(57)【要約】【課題】  高粘度の液状体の吐出量を精度良く制御することが可能な液滴吐出装置、及び膜厚の均一な液滴吐出装置、電気光学パネル及び電子機器を提供する。【解決手段】  吐出ヘッド３０の外周に、そのノズルプレート３１を囲むようにして吐出ヘッド用ヒータ３０Ｈを備えた。そして、吐出ヘッド用ヒータ３０Ｈは、その下部３０Ｓが、ノズルプレート３１よりも下側（基板ステージ２３側）に張り出すように構成した。【選択図】      図６
2006326380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を貯留する貯留室と、
前記貯留室から供給された液状体を導入し、前記導入した液状体を加圧してノズルプレートに形成したノズルから吐出させる吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドの下方に設けられるステージと、
を具備し、
前記吐出ヘッドと前記ステージを相対移動させて前記ノズルから前記液状体を吐出する液滴吐出装置において、
前記吐出ヘッドの周囲に、前記ノズルプレートよりも前記ステージ側に張り出して前記液状体の温度を制御する温度制御手段を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記温度制御手段は、加熱手段であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記貯留室は、前記液状体を加熱する貯留部用加熱手段を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記貯留室に貯留された前記液状体が前記吐出ヘッドに至る途中に通過する流路を備え、
前記流路は、該流路内を流れる前記液状体を加熱する流路用加熱手段を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の液滴吐出装置において、
前記液状体は、液晶であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載の液滴吐出装置を使用して製造されたことを特徴とする電気光学パネル。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学パネルを具備した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、電気光学パネル及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置の製造方法においては、ガラス基板上に、四角枠状のシール材を形成した後に、そのシール材によって区画された領域内に、必要量の液晶を吐出して液晶層を形成する液滴吐出法が知られている。
【０００３】
この種の液滴吐出法には、複数のノズルを備えた吐出ヘッドを走査方向に移動させながら、基板を副走査方向に移動させて、収容タンクに収容された液晶を、複数のノズルからガラス基板に対して吐出する、所謂インクジェット法がある。このインクジェット法は、一滴が極めて微小であるため、基板上に緻密に液晶を付着させることができることから、前記所定の領域内に均一な膜厚の液晶層を形成することができるという利点がある。
【０００４】
ところで、液晶は、一般に、粘性が高く、例えば室温で粘度が５０〜１００ｃｐｓ程度あるため、そのままでは、液滴化することができない。そこで、収容タンクを加熱することで液晶の粘性を低下させて流動化し、その状態で、吐出ヘッド内にて液晶に圧力を加えてノズルから吐出するようにしている。このようにすることで、液晶を液滴化するが可能となる（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−３４７６９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、インクジェット法では、一般に、吐出した液滴の着弾位置の精度を確保するために、ノズルの開口（液滴吐出ヘッドのノズルプレート）をガラス基板の表面に近づけている。すると、ノズル近傍の液晶とガラス基板との間の熱交換が生じて、ノズル近傍の液晶の温度が下がる。そして、暫くすると、吐出ノズル内の液晶とガラス基板との温度差がなくなり、再び、ノズル近傍の液晶が高い温度に保持される。このように、吐出ヘッドまたはガラス基板の位置が移動制御されて吐出ヘッドがガラス基板の表面上の新たな領域に対向する位置に近づく毎に、吐出ノズル内の液晶とガラス基板との間の熱交換が生じるため、ノズル近傍の液晶の温度が変動してしまうという問題があった。この結果、液晶の粘度が変動してしまうために、１回の吐出動作で、吐出される液晶の量がばらついてしまう。この結果、均一な膜厚の液晶層を形成できない虞があった。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、高粘度の液状体の吐出量を精度良く制御することが可能な液滴吐出装置、及び膜厚の均一な液滴吐出装置、電気光学パネル及び電子機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液滴吐出装置は、液状体を貯留する貯留室と、前記貯留室から供給された液状体を導入し、前記導入した液状体を加圧してノズルプレートに形成したノズルから吐出させる吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドの下方に設けられるステージと、を具備し、前記吐出ヘッドと前記ステージを相対移動させて前記ノズルから前記液状体を吐出する液滴吐出装置において、前記吐出ヘッドの周囲に、前記ノズルプレートよりも前記ステージ側に張り出して前記液状体の温度を制御する温度制御手段を設けた。
【０００８】
これによれば、温度制御手段は、ノズルプレートを取り囲むようにして設けられている
ので、ノズルプレート近傍の熱が外部に逃げ出さない。この結果、ノズルプレートの温度は変動しないことから、ノズル近傍の液状体の温度が変動せず一定になる。従って、液状体を加熱してその粘度を十分に低下させた状態で、吐出ヘッドをステージに近づけてもノズルの近傍での液状体の粘度は十分に低下した状態が維持される。従って、液滴吐出装置は、液状体の吐出量を精度良く制御することができるので、液状体からなる均一な膜厚の層を形成することができる。
【０００９】
この液滴吐出装置において、前記温度制御手段は、加熱手段であってもよい。
これによれば、液状体が室温で高粘性である場合、液状体は、その粘性が低下されて、流動性のよい状態になる。この結果、液状体を液滴化することができる。
【００１０】
この液滴吐出装置において、前記貯留室は、前記液状体を加熱する貯留部用加熱手段を備えていてもよい。
これによれば、貯留室に貯留されている液状体は加熱される。従って、吐出ヘッドのみで加熱する場合に比べて多くの熱量を液状体に供給することができるので、より粘性の低下した液状体を作ることができる。また、貯留室に多量の液状体を貯留することで、加熱されて粘性が低下した液状体を常時多量に貯留することが可能となるので、多量の液状体を必要とする場合であっても、吐出時に液状体が途中でなくなることはない。
【００１１】
この液滴吐出装置において、前記貯留室に貯留された前記液状体が前記吐出ヘッドに至る途中に通過する流路を備え、前記流路は、該流路内を流れる前記液状体を加熱する流路用加熱手段を備えていてもよい。
【００１２】
これによれば、流路に流れている液状体が加熱される。従って、吐出ヘッドのみで加熱する場合に比べて多くの熱量を液状体に供給することができるので、より粘性の低下した液状体を作ることができる。また、液状体を流路内でスムーズに流すことが可能となる。
【００１３】
この液滴吐出装置において、前記液状体は、液晶であってもよい。
これによれば、たとえば、液晶表示装置を製造する場合において、ノズルプレートでの液晶の粘性を一定にすることができるので、液晶の膜厚を精度良く制御することができる液滴吐出装置を実現することができる。この結果、輝度にムラのない優れた画質の画像を表示することの可能な液晶表示装置を製造することができる。
【００１４】
本発明の電気光学パネルは、上記記載の液滴吐出装置を使用して製造されている。
これによれば、液状体からなる層の膜厚が均一である電気光学パネルを実現することができる。ここで、例えば、液状体が液晶である場合においては、その液晶層はムラのない均一なものになるので、輝度にムラのない優れた画質の画像を表示することの可能な液晶パネルを実現することができる。
【００１５】
本発明の電子機器は、上記記載の電気光学パネルを具備している。
これによれば、電気光学パネルは、その液状体からなる層の膜厚が均一であるので、例えば、液状体が液晶である場合においては、輝度にムラのない優れた画質の画像を表示することの可能な電子機器を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図６に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置を使用して製造した電気光学パネルとしての液晶表示装置について説明する。
【００１７】
図１は、液晶表示装置の斜視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。
図１において、液晶表示装置１は、液晶パネル２と、該液晶パネル２に対して図１中Ｚ矢印方向に向かって光（平面光）Ｌを照射する照射装置３とを備えている。
【００１８】
液晶パネル２は、照射装置３側（平面光Ｌの照射側）に備えられた対向基板４と、素子基板５とが互いに積層された構成を成している。
対向基板４は、四角板状の無アルカリガラス基板であって、図２に示すように、その素子基板５側の側面（対向電極形成面４ａ）には、対向電極６が積層されている。対向電極６は、例えば、錫−インジウム酸化物（ＩＴＯ）といった光透過性導電物質で構成されている。対向電極６には、図示しない電源回路に電気的に接続され、該電源回路から所定の共通電圧が供給されるようになっている。また、対向電極６の上側（素子基板５側）には、ラビング処理等による配向処理の施された配向膜７ａが積層されている。
【００１９】
図１に示すように、素子基板５は、対向基板４と略同じ大きさの四角板状の無アルカリガラス基板であって、その対向基板４側の側面（素子形成面５ａ）には、図１中Ｘ矢印方向に沿って延設された複数の走査線８が互いに所定のピッチで形成されている。各走査線８は、図示しない走査線駆動回路に電気的に接続されている。そして、各走査線８は、所定のタイミングで対応する走査信号が供給されるようになっている。
【００２０】
また、素子形成面５ａには、各走査線８と直交する図１中Ｙ矢印方向に沿って延設された複数のデータ線９が互いに所定のピッチで形成されている。各データ線９は、図示しないデータ線駆動回路に電気的に接続されている。そして、各データ線９には、各走査線８に走査信号が供給されるタイミングで、表示データに基づくデータ信号が供給されるようになっている。
【００２１】
さらに、各走査線８とデータ線９の交差に対応する位置には、対応する走査線８及びデータ線９に接続された画素領域１０が形成されている。つまり、素子基板５は、ｎ×ｍ個の画素領域１０がマトリックス状に形成されている。各画素領域１０内には、画素電極１１（図２参照）及び薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等からなる図示しない制御素子が形成されている。画素電極１１は、例えば、錫−インジウム酸化物（ＩＴＯ）といった光透過性導電物質で構成されている。
【００２２】
図２に示すように、データ線９（走査線８）及び画素電極１１の下側（対向電極形成面４ａ側）には、ラビング処理等による配向処理の施された配向膜７ｂが積層されている。そして、素子基板５（配向膜７ａ）と対向基板４（配向膜７ｂ）との間に、対向基板４（素子基板５）の外縁に沿うようにして四角枠状に、スペーサ１２ａを有したシール材１２が配設されている。このシール材１２が各基板４，５の外縁に配設されることによって、素子基板５（素子形成面５ａ）と対向基板４（対向電極形成面４ａ）とが一定の間隔（スペーサ１２ａの外径）で離間するようになっている。
【００２３】
素子基板５（配向膜７ｂ）と対向基板４（配向膜７ａ）とシール材１２によって封止される空間には、液状体としての液晶１５からなる液晶層１５Ｌが形成されている。
そして、走査線８が前記走査線駆動回路による線順次走査に基づいて１本ずつ順次選択されると、画素領域１０内の前記制御素子が順次、選択期間中だけオン状態となり、そのタイミングで、前記データ線駆動回路から出力されたデータ信号が対応するデータ線９及び制御素子を介して、対応する前記画素電極１１に出力される。すると、素子基板５の画素電極１１と対向電極６の電位差に応じて液晶１５の配向状態が制御される。
【００２４】
この結果、照射装置３から平面光Ｌが液晶１５の配向状態に応じて変調され、図示しない偏光板を通過するか否かによって、液晶パネル２の素子基板５側に所望する画像が表示
される。
【００２５】
次に、前記のように構成された液晶パネル２を製造する液滴吐出装置について図３〜図６に従って説明する。
図３は、液滴吐出装置２０の全体斜視図であり、図４は、液滴吐出装置２０の要部概略断面図である。この液滴吐出装置２０は、複数枚（本実施形態では、２５枚）の対向基板４を形成する１枚の基板としてのマザー基板４Ｍ上に、液晶１５を吐出して液晶層１５Ｌを形成する装置である。尚、マザー基板４Ｍは、大型の四角板状の無アルカリガラス基板であって、図３に示すように、予め別途公知の方法によって、対向電極６、配向膜７ａ（図２参照）及びシール材１２が、その対向基板４が形成される各領域の所定の位置に形成されている。例えば、シール材１２は、ディスペンサやスクリーン印刷等によって、スペーサ１２ａを分散した紫外線硬化性樹脂等を、各対向基板４が形成される領域の外縁に沿って四角枠状に吐出することによって形成されたものである。そして、シール材１２によって区画形成された略四角形状の各領域が、図３中に示す、液晶層１５Ｌが形成される形成領域Ｓとなる。
【００２６】
図３に示すように、液滴吐出装置２０には、略直方体形状の基台２１が備えられている。その基台２１の上面には、図３中Ｙ矢印方向に延びる一対の案内凹溝２２が、Ｙ矢印方向全幅にわたり形成されている。また、基台２１上には、ステージとしての基板ステージ２３が取付けられている。この基板ステージ２３は、図示しないＹ軸モータに連結駆動されている。
【００２７】
そして、所定の駆動信号が前記Ｙ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、基板ステージ２３が、図３中Ｙ矢印方向に沿って、所定の速度で往動又は復動する（Ｙ矢印方向に移動する）ようになっている。本実施形態では、最も反Ｙ矢印方向に位置する基台２１の配置位置（図３及び図４に示す実線）を往動位置とし、最もＹ矢印方向の配置位置（図３及び図４に示す２点鎖線）を復動位置という。
【００２８】
基板ステージ２３の上面には、マザー基板４Ｍの被吐出面４Ｍａを上側にして載置する載置面２４が形成され、載置したマザー基板４Ｍを、基板ステージ２３に対して位置決めするようになっている。
【００２９】
基台２１の図３中Ｘ矢印方向の両側には、一対の支持台２６ａ、２６ｂが立設され、その一対の支持台２６ａ、２６ｂには、図３中Ｘ矢印方向に延びる案内部材２７が架設されている。その案内部材２７の上側には、収容タンク２８が配設されている。
【００３０】
図４に示すように、収容タンク２８は、中空構造をした箱体２８Ａと、該箱体２８Ａの側壁内に埋設された貯留部用加熱手段としての収容タンク用ヒータ２８Ｂとを備えている。箱体２８Ａは、前記液晶１５を収容するためのものである。液晶１５は、その粘度が室温では高く、温度が高くなるとともに低下して流動化する性質を有している。本実施形態の液晶１５は、その粘度が、室温では、例えば、５０〜１００ｃｐｓであるが、６０℃になると微小な液滴に形成される程度に十分に粘度が低くなる液晶である。
【００３１】
収容タンク用ヒータ２８Ｂは、本実施形態においては、公知の棒状の発熱体であって、例えば、シリコンカーバイト（ＳｉＣ）で構成されている。また、収容タンク用ヒータ２８Ｂは、図示しない電源供給回路に電気的に接続され、その電源供給回路から供給される電力によって加熱されるようになっている。本実施形態においては、収容タンク用ヒータ２８Ｂは、箱体２８Ａ内にある液晶１５が６０℃に加熱されるようにその温度が制御されるようになっている。この結果、箱体２８Ａ内にある液晶１５は、その粘度が十分に低下して流動化される。
【００３２】
また、収容タンク２８には、流路としてのチューブＰが設けられている。このチューブＰは、可撓性を有しており、後記する吐出ヘッド３０に連通している。そして、チューブＰは、収容タンク２８に貯留された液晶１５を吐出ヘッド３０に供給するようになっている。
【００３３】
図４中の拡大部４０に、チューブＰの一部断面図を示す。図４中の拡大部４０に示すように、チューブＰは、その周囲全域に渡ってテープ状の流路用加熱手段としてのチューブ用ヒータＰＡが巻回されている。チューブ用ヒータＰＡは、例えば、ニクロム線といった可撓性のある発熱体である。チューブ用ヒータＰＡは、前記電源供給回路に電気的に接続され、その電源供給回路から供給される電力によって発熱し、チューブＰを介して、液晶１５を加熱するようになっている。そして、本実施形態においては、チューブ用ヒータＰＡは、チューブＰ内を流れる液晶１５が６０℃に加熱されるようにその温度が制御されるようになっている。この結果、チューブＰ内を流れる液晶１５は、その粘度が十分に低下した状態となる。
【００３４】
図３に示すように、案内部材２７の下側には、図３中Ｘ矢印方向に延びる一対の案内レールＲが、案内部材２７の略全幅にわたり形成され、その案内レールＲには、Ｘ軸モータ（図示略）に連結駆動されてＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に直動するキャリッジ２９が取付けられている。キャリッジ２９のＸ矢印方向の幅は、マザー基板４Ｍ（被吐出面４Ｍａ）のＸ矢印方向の幅と略同じサイズで形成されている。そして、所定の駆動信号を前記Ｘ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ２９がＸ矢印方向に沿って往動又は復動する（Ｘ矢印方向に移動する）ようになっている。本実施形態では、最も支持台２６ａ側（Ｘ矢印方向側）に位置するキャリッジ２９の配置位置（図３に示す実線）を往動位置とし、最も支持台２６ｂ側（反Ｘ矢印方向側）に位置する配置位置（図３に示す２点鎖線）を復動位置という。
【００３５】
キャリッジ２９の下側には、液滴吐出ヘッド（以下、単に、「吐出ヘッド」という。）３０が配設されている。
図５は、吐出ヘッド３０を下側（基板ステージ２３側）から見た場合の図であって、図６は、吐出ヘッド３０のＣ−Ｃ断面図である。
【００３６】
図５に示すように、吐出ヘッド３０は、その下側に、即ち、図５中反Ｚ矢印方向側に、ノズルプレート３１を備えている。ノズルプレート３１の下面には、Ｚ矢印方向に沿って貫通形成される複数の吐出ノズル（以下、単に、「ノズル」という。）Ｎが、Ｘ矢印方向に沿って一列に配列されている。尚、本実施形態では、ノズルＮが形成されたＸ矢印方向の長さＬｎは、マザー基板４Ｍの幅方向（図３中Ｘ矢印方向）の長さにほぼ等しい。
【００３７】
図６に示すように、各ノズルＮのＺ矢印方向には、それぞれキャビティ３２が形成されている。キャビティ３２は、各ノズルＮに共通する供給路３３に接続されている。この供給路３３は、チューブＰ（図４参照）に連結されており、収容タンク２８からの液晶１５が供給される。このチューブＰは、前記したように、チューブ用ヒータＰＡによって加熱されているので、同チューブＰを介して供給される液晶１５は、加熱されてその粘性が低下した状態である。
【００３８】
キャビティ３２のＺ矢印方向には、Ｚ矢印方向及び反Ｚ矢印方向に振動可能に貼り付けられた振動板３４が備えられて、キャビティ３２内の容積を拡大・縮小可能にしている。振動板３４のＺ矢印方向には、各ノズルＮに対応する圧電素子３５が配設されている。圧電素子３５は、該圧電素子３５を駆動制御するための駆動信号を受けて収縮・伸張し、振動板３４をＺ矢印方向及び反Ｚ矢印方向に振動させてキャビティ３２内に供給された液晶
１５に圧力を加えるようになっている。
【００３９】
また、図５に示すように、吐出ヘッド３０は、その外周に、ノズルプレート３１を囲むようにして温度制御手段及び加熱手段としての吐出ヘッド用ヒータ３０Ｈを備えている。図６に示すように、吐出ヘッド用ヒータ３０Ａは、発熱部材ＨＡと、該発熱部材ＨＡの周囲を取り囲むようにして設けられた保温部材ＨＢとから構成されている。
【００４０】
発熱部材ＨＡは、本実施形態においては、複数の公知の棒状の発熱体から構成されたものであって、例えば、シリコンカーバイト（ＳｉＣ）で構成されている。また、発熱部材ＨＡは、前記電源供給回路に電気的に接続され、その電源供給回路から供給される電力によって発熱するようになっている。一方、保温部材ＨＢは、発熱部材ＨＡにて発せられた熱を吐出ヘッド３０内の液晶１５に均一に伝達するとともに、液晶１５の熱が外部に放出しないように吐出ヘッド３０を保温するためのものである。
【００４１】
また、図６に示すように、吐出ヘッド用ヒータ３０Ｈは、その下部３０Ｓが、ノズルプレート３１よりも下側（基板ステージ２３側）に張り出している。つまり、下部３０Ｓは、ノズルプレート３１を囲むようにして、同ノズルプレート３１よりもマザー基板４Ｍに近接している。そして、吐出ヘッド用ヒータ３０Ｈが各キャビティ３２内の液晶１５を加熱することによって、ノズルＮの近傍で液晶１５の粘度を十分に低下させるようになっている。
【００４２】
次に、液滴吐出装置２０を使用した液晶表示装置１の製造方法について以下に説明する。
まず、図３に示すように、往動位置に位置する基板ステージ２３上に、吐出面４Ｍａを上側にしてマザー基板４Ｍを配置固定する。このとき、マザー基板４Ｍ（吐出面４Ｍａ）のＹ矢印方向側の辺は、案内部材２７より反Ｙ矢印方向側に配置されている。
【００４３】
また、前記電源回路を駆動させて、収容タンク用ヒータ２８Ｂ、チューブ用ヒータＰＡ及び発熱部材ＨＡに電力を供給する。この結果、収容タンク２８、チューブＰ及び吐出ヘッド３０内にある液晶１５がそれぞれ加熱されて流動化される。
【００４４】
そして、前記Ｘ軸モータＭＸを駆動制御してキャリッジ２９を往動位置から往動させるとともに、マザー基板４ＭがＹ矢印方向に移動したときに、各吐出ヘッド３０の直下を形成領域Ｓが通過する位置にセットする。この状態で、前記Ｙ軸モータＭＹを駆動制御して、基板ステージ２３（マザー基板４Ｍ）をＹ矢印方向に搬送させる。
【００４５】
やがて、各吐出ヘッド３０のノズルＮが各形成領域Ｓに対向する位置に至る。このとき、吐出ヘッド３０（液晶１５）は、大気を介して相対向するマザー基板４Ｍと熱交換が生じるが、吐出ヘッド用ヒータ３０Ｈの下部３０Ｓが、ノズルプレート３１よりも下側（基板ステージ２３側）に張り出してノズルプレート３１を取り囲んでいるので、ノズルプレート３１近傍の熱が外部に逃げ出さない。この結果、ノズルプレート３１は、常時、その温度が変動せず、６０℃に一定になる。
【００４６】
そして、各吐出ヘッド３０のノズルＮが各形成領域Ｓに対向する位置に至ったタイミングで、各ノズルＮの圧電素子３５に駆動信号を供給する。この結果、各ノズルＮの圧電素子３５が収縮・伸張して対応するキャビティ３２の圧力が減圧・加圧される。すると、各ノズルＮ内の液晶１５の界面（メニスカスＭ）がＺ矢印方向及び反Ｚ矢印方向に振動する。このとき、液晶１５は、加熱されてその粘度が十分に低下しているので、流動性がよい。この結果、微小な液滴Ｄとなって反Ｚ矢印方向に沿って吐出されることにより、形成領域Ｓ内に液滴Ｄが付着される。
【００４７】
以後、同様に、基板ステージ２３（形成領域Ｓ）をＹ矢印方向に搬送させながら、対応するノズルＮからの液滴Ｄの吐出を繰り返し、マザー基板４Ｍ（吐出面４Ｍａ）の全ての形成領域Ｓに、予め設定した所定量の液晶１５を吐出する。
【００４８】
その後、所定量の液晶１５が付着した２５箇所の形成領域Ｓを備えるマザー基板４Ｍに、素子基板５のマザー基板（図示略）を貼り合わせた後にダイシングすることにより液晶パネル２を製造する。
【００４９】
その後、前記のようにして製造された液晶パネル２に照射装置３をその対向基板４側に取付けて、液晶表示装置１が製造される。
前記本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【００５０】
（１）本実施形態では、吐出ヘッド３０の外周に、そのノズルプレート３１を囲むようにして吐出ヘッド用ヒータ３０Ｈを備えた。従って、ノズルＮの近傍で液晶１５の粘度を十分に低下させるようになっている。
【００５１】
（２）また、本実施形態では、吐出ヘッド用ヒータ３０Ｈは、その下部３０Ｓが、ノズルプレート３１よりも下側（基板ステージ２３側）に張り出しノズルプレート３１を取り囲んでいる。従って、ノズルプレート３１近傍の熱が外部に逃げ出さない。この結果、ノズルプレート３１の温度は変動しないので、ノズルＮ近傍の液晶１５の温度が変動せず、６０℃に一定になる。従って、ノズルＮの近傍での液晶１５の粘度は十分に低下した状態が維持される。この結果、液晶１５の液滴Ｄの吐出量を精度良く制御することができるので、均一な膜厚の液晶層１５Ｌを形成することができる。
【００５２】
（３）さらに、本実施形態では、吐出ヘッド３０以外に、液晶１５を貯留する収容タンク２８の側壁内に収容タンク用ヒータ２８Ｂを備えた。そして、収容タンク２８に収容された液晶１５を、その粘度が十分に低下するように収容タンク用ヒータ２８Ｂによって収容タンク２８を加熱するようにした。従って、収容タンク２８に多量の液晶１５を収容することで、粘性が低下して流動性のよい状態の液晶１５を、常時、吐出ヘッド３０に供給することができる。この結果、液晶１５を吐出している途中で、詰まって吐出する液晶１５がなくなることはない。
【００５３】
（４）また、本実施形態では、収容タンク２８に収容された液晶１５を吐出ヘッド３０に供給するチューブＰの周囲全域に渡ってテープ状のチューブ用ヒータＰＡを備えた。そして、チューブＰ内を流れる液晶１５を、その粘度が十分に低下するようにチューブ用ヒータＰＡによってチューブＰを加熱するようにした。従って、液晶１５を吐出ヘッド３０にスムーズに流すことが可能となる。また、収容タンク２８で加熱された液晶１５をその粘度が高くなることなく吐出ヘッド３０に供給することができる。
【００５４】
（５）本実施形態では、均一な膜厚の液晶層１５Ｌを形成することができるので、表示品位の優れた液晶表示装置１を製造することができる。
（第２実施形態）
次に、第１実施形態で説明した液晶表示装置１の電子機器の適用について図７に従って説明する。液晶表示装置１は、モバイル型のパーソナルコンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ等種々の電子機器に適用できる。
【００５５】
図７は、液晶テレビ５０の斜視図である。この液晶テレビ５０は、液晶表示装置１を搭載した大型テレビ用の表示ユニット５１と、スピーカー５２と、複数の操作ボタン５３とを備えている。この場合でも、液晶表示装置１を用いた表示ユニット５１は、その液晶層
１５Ｌ（図１参照）の膜厚が均一であるため、輝度ムラのない表示品位の優れた画像を表示することができる。
【００５６】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では、液滴吐出装置２０を使用して、液晶表示装置１の液晶層１５Ｌを形成するようにしたが、これに限定されるものではなく、たとえば、液晶層１５Ｌ以外の、走査線８やデータ線９といった金属配線や絶縁層を形成する場合に使用してよい。要は、室温で高粘度の液状体を吐出して形成される部材であれば、どんなものであってもよい。
【００５７】
○上記実施形態では、各収容タンク２８、チューブＰ及び吐出ヘッド３０に、収容タンク用ヒータ２８Ｂ、チューブ用ヒータＰＡ及び発熱部材ＨＡを設けたが、例えば、収容タンク２８にのみにヒータ２８Ｂを設けるようにしてもよい。このようにすることで、液晶表示装置１の構成を簡単にすることができる。
【００５８】
○上記実施形態では、収容タンク用ヒータ２８Ｂ、チューブ用ヒータＰＡ及び発熱部材ＨＡはそれぞれ液晶１５を加熱する加熱手段であるが、これを、加熱だけでなく液晶１５を冷却することが可能な温度制御手段であってもよい。このようにすることで、液晶１５の温度をより精度良く制御することができる。
【００５９】
○上記実施形態では、各収容タンク２８、チューブＰ及び吐出ヘッド３０内の液晶１５がそれぞれ同じ温度（６０℃）になるように、各収容タンク用ヒータ２８Ｂ、チューブ用ヒータＰＡ及び発熱部材ＨＡに電力を供給するようにしたが、これに限定されるものではなく、個々異なった温度で加熱されるようにしてもよい。例えば、収容タンク２８→チューブＰ→吐出ヘッド３０の順に温度が低くなるように、各収容タンク用ヒータ２８Ｂ、チューブ用ヒータＰＡ及び発熱部材ＨＡに電力を供給するようにしてもよい。このとき、吐出ヘッド３０内の液晶１５の流動性が十分に確保できる程度の発熱部材ＨＡに電力を供給すればよい。
【００６０】
○上記実施形態では、シール材１２（形成領域Ｓ）を対向基板４のマザー基板４Ｍに形成し、液晶１５の液滴Ｄをマザー基板４Ｍに吐出するようにしたが、これに限らず、素子基板５のマザー基板にシール材１２（形成領域Ｓ）に形成し、液晶１５の液滴Ｄをその素子基板５のマザー基板に吐出するようにしてもよい。
【００６１】
○上記実施形態では、吐出手段を圧電素子３５として具体化した。これに限らず、例えば、吐出手段を抵抗加熱素子として具体化し、その抵抗加熱素子の加熱によってキャビティ３２内に気泡を形成し、その気泡によってキャビティ３２内を加圧する構成にしてもよい。あるいは、吐出手段をディスペンサに供給するエアーの加圧ポンプ等で構成してもよく、液晶１５（液状体）を加圧して吐出させる手段であればよい。
【００６２】
○上記実施形態では、液滴吐出ヘッド３０の吐出ノズルＮによって吐出口を構成するようにした。これに限らず、例えばエアー式ディスペンサ等の吐出ノズルによって吐出口を構成するようにしてもよい。
【００６３】
○上記実施形態では、対向基板４のマザー基板４Ｍに形成された複数の形成領域Ｓに液晶１５（液滴Ｄ）を吐出する構成にした。これに限らず、１つの形成領域Ｓを有した基板（対向基板４）に液滴Ｄを吐出する構成にしてもよい。
【００６４】
○上記実施形態では、液状体としての液晶を吐出して液晶表示装置１を製造する構成した。これに限らず、例えば液状体を金属インクとして具体化し、液晶表示装置１の各種金
属配線や、平面状の電子放出素子を備え、同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤ等）を備えた表示装置の金属配線を製造する構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】第１実施形態の液晶表示装置の概略斜視図。
【図２】同じく、液晶表示装置の概略断面図。
【図３】同じく、液滴吐出装置の概略斜視図。
【図４】同じく、液滴吐出装置の概略断面図。
【図５】同じく、液滴吐出ヘッドを説明するための概略斜視図。
【図６】同じく、液滴吐出ヘッドを説明するための概略断面図。
【図７】第２実施形態に係る電子機器としての液晶テレビの斜視図。
【符号の説明】
【００６６】
Ｎ…ノズル、Ｐ…流路としてのチューブ、ＰＡ…流路用加熱手段としてのチューブ用ヒータ、１…電気光学パネルとしての液晶表示装置、４Ｍ…基板としてのマザー基板、１５…液状体としての液晶、２０…液滴吐出装置、２３…ステージとしての基板ステージ、２８…貯留室としての収容タンク、２８Ｂ…貯留部用加熱手段としての収容タンク用ヒータ、３０…吐出ヘッド、３０Ｈ…温度制御手段及び加熱手段としての吐出ヘッド用ヒータ、３１…ノズルプレート、５０…電子機器としての液晶テレビ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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