(57)【要約】【課題】分光素子交換機を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置の分光素子取付機構において、分光素子のθ方向の取付角度を、十分に高い精度で調整できるものを提供する。【解決手段】一方の面３１ａに分光素子４が貼り付けられ、ホルダー５の中心軸をなす交換軸６と平行な第１支軸Ｃ１を中心に回動自在な貼り付け板３１、ホルダーの１側面５ａおよび上面５ｅに沿うＬ字型の板材であって、ホルダーの１側面および上面が共有する辺５ｇと平行な第２支軸Ｃ２を中心に回動自在なＬ字部材３６、Ｌ字部材３６において交換軸６と平行に形成された貫通ねじ孔３６ｆに螺合する調整ねじ３４などを備える。弾性体３２，３５の付勢により、Ｌ字部材におけるホルダーの１側面に沿う部分３６ａが貼り付け板の他方の面３１ｂ側に当接し、調整ねじ３４の先端がホルダーの上面５ｅに当接する。【選択図】図３
2006184289.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
角柱状のホルダーの側面に配置した複数の平板の分光素子を、前記ホルダーの中心軸をなす交換軸を回転させることにより、試料から発生する蛍光Ｘ線の光路に選択的に進出させて入射した蛍光Ｘ線を分光させる分光素子交換機と、
前記分光素子で分光された蛍光Ｘ線の強度を測定する検出器と、
前記分光素子で分光される蛍光Ｘ線の波長を変えながら、その分光された蛍光Ｘ線が前記検出器に入射するように、前記交換軸と平行で前記分光素子交換機が取り付けられたθ軸およびそのθ軸と軸心が共通で前記検出器が取り付けられた２θ軸を回転させる連動手段とを備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる分光素子取付機構であって、前記分光素子ごとに、
一方の面に前記分光素子が貼り付けられ、前記交換軸と平行な第１支軸を中心に回動自在な貼り付け板と、
一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記貼り付け板の部分を付勢する第１弾性体と、
前記ホルダーにおいて前記交換軸と平行に形成されたねじ孔に、両端部が螺合し、中間部が鼓状にくびれた調整ねじと、
前記ホルダーの１側面に直交して前記ねじ孔まで貫通するガイド孔に摺動自在に挿入され、前記第１弾性体の付勢により、前記貼り付け板の他方の面および前記調整ねじの中間部に当接する球体とを備え、
前記ねじ孔に対する前記調整ねじのねじ込み量が調整されて、前記調整ねじの中間部において前記球体に当接する位置が変化することにより、前記球体を前記ガイド孔に沿って移動させて、前記貼り付け板を前記第１支軸を中心に回動させる分光素子取付機構。
【請求項２】
請求項１において、
前記ガイド孔の中心軸が、前記ねじ孔の中心軸に直交する位置から所定距離隔てて設定されている分光素子取付機構。
【請求項３】
角柱状のホルダーの側面に配置した複数の平板の分光素子を、前記ホルダーの中心軸をなす交換軸を回転させることにより、試料から発生する蛍光Ｘ線の光路に選択的に進出させて入射した蛍光Ｘ線を分光させる分光素子交換機と、
前記分光素子で分光された蛍光Ｘ線の強度を測定する検出器と、
前記分光素子で分光される蛍光Ｘ線の波長を変えながら、その分光された蛍光Ｘ線が前記検出器に入射するように、前記交換軸と平行で前記分光素子交換機が取り付けられたθ軸およびそのθ軸と軸心が共通で前記検出器が取り付けられた２θ軸を回転させる連動手段とを備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる分光素子取付機構であって、前記分光素子ごとに、
一方の面に前記分光素子が貼り付けられ、前記交換軸と平行な第１支軸を中心に回動自在な貼り付け板と、
一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記貼り付け板の部分を付勢する第１弾性体と、
前記ホルダーの１側面および上面に沿うＬ字型の板材であって、前記ホルダーの１側面および上面が共有する辺と平行な第２支軸を中心に回動自在なＬ字部材と、
一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記Ｌ字部材の部分を付勢する第２弾性体と、
前記Ｌ字部材において前記交換軸と平行に形成された貫通ねじ孔に螺合する調整ねじとを備え、
前記第１弾性体および第２弾性体の付勢により、前記Ｌ字部材における前記ホルダーの１側面に沿う部分が前記貼り付け板の他方の面側に当接するとともに、前記調整ねじの先端が前記ホルダーの上面に当接し、
前記貫通ねじ孔に対する前記調整ねじのねじ込み量が調整されて、前記Ｌ字部材が前記第２支軸を中心に回動することにより、前記貼り付け板を前記第１支軸を中心に回動させる分光素子取付機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光素子交換機を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置における分光素子取付機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の走査型蛍光Ｘ線分析装置の検出部について、一例を図２に示す。図２（ａ）は正面図、図２（ｂ）は左側面部分断面図である。試料から発生した蛍光Ｘ線１が、発散スリット２を経て、分光素子４Ａで分光され、その分光された蛍光Ｘ線８が検出器９に入射する。ここで、いわゆるゴニオメータなどの連動手段１２により、分光素子４Ａで分光される蛍光Ｘ線８の波長を変えながら、その分光された蛍光Ｘ線８が検出器９に入射するように、分光素子４Ａが取り付けられたθ軸１０およびそのθ軸１０と軸心が共通で検出器９が取り付けられた２θ軸１１が回転される。
【０００３】
さらに、１種類の分光素子４Ａでは、検出できる蛍光Ｘ線８の波長範囲が限られるので、分光素子４は複数、ここでは４つ備えられており、分光素子交換機７により交換される。分光素子交換機７は、四角柱状のホルダー５の側面（角柱における側面で、図面上の側面ではない）に配置した４つの平板の分光素子４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄを、ホルダー５の中心軸をなす交換軸６を回転させることにより、試料から発生する蛍光Ｘ線の光路３に選択的に進出させる。なお、交換軸６はθ軸、２θ軸と平行である。
【０００４】
このような分光素子交換機を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置において正確な分光、検出を行うには、各分光素子４Ａ…のホルダー５への取付にあたり、いわゆるθ方向（分光角が増減する方向）の調整をしておく必要がある。この調整が可能な分光素子取付機構５０の従来例を図５に示す。分光素子取付機構５０Ａ…は、分光素子４Ａ…ごとに設けられ、図５（ａ）は図２（ａ）の分光素子取付機構５０Ａの部分拡大図、図５（ｂ）はその右側面部分断面図である。なお、図５の上下方向は図２の上下方向と一致しておらず、また、図５においては１つの分光素子取付機構５０Ａに着目し、同じ構成の残りの分光素子取付機構５０Ｂ…は記載していない。このような記載の方法については、後述する図１、３、４も同様である。
【０００５】
この分光素子取付機構５０Ａは、以下のように構成されている。まず、貼り付け板５１は、一方の面５１ａに分光素子４Ａが貼り付けられ、交換軸６（図２（ａ））と平行な第１支軸Ｃ１（他方の面５１ｂ側に形成された２つの突起部５１ｃ，５１ｄの先端を結ぶ直線）を中心に回動自在である。また、板ばねである第１弾性体５２は、一方の端部５２ａがホルダー５にねじなどで係止され、他方の端部５２ｂが貼り付け板５１の右部分（図５（ａ）で第１支軸Ｃ１よりも右側の部分）に係止され、貼り付け板５１の右部分をホルダー５の方に引き寄せるように付勢している。ホルダー５においては、交換軸６（図２（ａ））と平行にねじ孔５３が形成され、そのねじ孔５３に、調整ねじ５４の後端部５４ａが螺合し、調整ねじ５４の先端部５４ｂは円錐状である。また、ホルダー５には１側面５ａに直交して前記ねじ孔５３まで貫通するガイド孔５５が形成され、そのガイド孔５５に球体５６が摺動自在に挿入され、第１弾性体５２の付勢により、球体５６は貼り付け板５１の他方の面５１ｂおよび調整ねじ５４の先端部５４ｂに当接する。
【０００６】
つまり、ねじ孔５３に対する調整ねじ５４のねじ込み量を調整すると（調整ねじ５４の後端部５４ａに設けられた六角孔を利用）、調整ねじ５４の先端部５４ｂにおいて球体５６に当接する位置（高さ）が変化して、球体５６がガイド孔５５に沿って移動し、貼り付け板５１が第１支軸Ｃ１を中心に回動するので、分光素子４Ａのホルダー５へのθ方向の取付角度を調整できる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、ねじ孔５３に対し、調整ねじ５４は後端部５４ａでしか螺合しておらず、いわば片持ちの状態なので、ねじ込み量を調整すると先端部５４ｂがぶれて（歳差運動をして）、十分に精度の高い調整ができない。
【０００８】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、分光素子交換機を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置の分光素子取付機構において、分光素子のθ方向の取付角度を、十分に高い精度で調整できるものを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本願第１の発明は、まず、角柱状のホルダーの側面に配置した複数の平板の分光素子を、前記ホルダーの中心軸をなす交換軸を回転させることにより、試料から発生する蛍光Ｘ線の光路に選択的に進出させて入射した蛍光Ｘ線を分光させる分光素子交換機と、前記分光素子で分光された蛍光Ｘ線の強度を測定する検出器と、前記分光素子で分光される蛍光Ｘ線の波長を変えながら、その分光された蛍光Ｘ線が前記検出器に入射するように、前記交換軸と平行で前記分光素子交換機が取り付けられたθ軸およびそのθ軸と軸心が共通で前記検出器が取り付けられた２θ軸を回転させる連動手段とを備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる分光素子取付機構である。そして、前記分光素子ごとに、以下のように、貼り付け板、第１弾性体、調整ねじおよび球体を備え、調整ねじのねじ込み量が調整される。
【００１０】
貼り付け板は、一方の面に前記分光素子が貼り付けられ、前記交換軸と平行な第１支軸を中心に回動自在である。第１弾性体は、一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記貼り付け板の部分を付勢する。調整ねじは、前記ホルダーにおいて前記交換軸と平行に形成されたねじ孔に、両端部が螺合し、中間部が鼓状にくびれている。球体は、前記ホルダーの１側面に直交して前記ねじ孔まで貫通するガイド孔に摺動自在に挿入され、前記第１弾性体の付勢により、前記貼り付け板の他方の面および前記調整ねじの中間部に当接する。この分光素子取付機構は、前記ねじ孔に対する前記調整ねじのねじ込み量が調整されて、前記調整ねじの中間部において前記球体に当接する位置が変化することにより、前記球体を前記ガイド孔に沿って移動させて、前記貼り付け板を前記第１支軸を中心に回動させる。
【００１１】
本願第１の発明によれば、ねじ孔に対して調整ねじが両端部で螺合し、いわば両持ちの状態なので、ねじ込み量を調整しても、球体に当接する調整ねじの中間部がぶれることなく、分光素子のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整できる。
【００１２】
本願第２の発明は、まず、前記第１の発明と同様に、分光素子交換機、検出器および連動手段を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる分光素子取付機構である。そして、分光素子ごとに、以下のように、貼り付け板、第１弾性体、Ｌ字部材、第２弾性体および調整ねじを備え、調整ねじのねじ込み量が調整される。
【００１３】
貼り付け板は、一方の面に前記分光素子が貼り付けられ、前記交換軸と平行な第１支軸を中心に回動自在である。第１弾性体は、一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記貼り付け板の部分を付勢する。Ｌ字部材は、前記ホルダーの１側面および上面に沿うＬ字型の板材であって、前記ホルダーの１側面および上面が共有する辺と平行な第２支軸を中心に回動自在である。第２弾性体は、一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記Ｌ字部材の部分を付勢する。調整ねじは、前記Ｌ字部材において前記交換軸と平行に形成された貫通ねじ孔に螺合する。この分光素子取付機構では、前記第１弾性体および第２弾性体の付勢により、前記Ｌ字部材における前記ホルダーの１側面に沿う部分が前記貼り付け板の他方の面側に当接するとともに、前記調整ねじの先端が前記ホルダーの上面に当接する。そして、前記貫通ねじ孔に対する前記調整ねじのねじ込み量が調整されて、前記Ｌ字部材が前記第２支軸を中心に回動することにより、この分光素子取付機構は、前記貼り付け板を前記第１支軸を中心に回動させる。
【００１４】
本願第２の発明においては、前記第１の発明における球体および中間部で球体に当接してホルダーにねじ込まれる調整ねじに代えて、Ｌ字部材、Ｌ字部材にねじ込まれて先端でホルダーに当接する調整ねじおよび第２弾性体を用いた前記構成により、貼り付け板に当接するＬ字部材の第２支軸を中心とする回動を十分に高い精度で調整でき、その結果、分光素子を貼り付けた貼り付け板の第１支軸を中心とする回動も十分に高い精度で調整できる。したがって、やはり、分光素子のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の第１実施形態の分光素子取付機構について説明する。この分光素子取付機構は、従来の技術で説明したのと同様の走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる。図２に示すように、この走査型蛍光Ｘ線分析装置は、分光素子交換機７と、検出器９と、連動手段１２とを備えている。分光素子交換機７は、例えば四角柱状のホルダー５の側面に配置した４つの平板の分光素子４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄを、ホルダー５の中心軸をなす交換軸６を回転させることにより、試料から発生して発散スリット２を通過した蛍光Ｘ線３の光路に選択的に進出させて入射した蛍光Ｘ線３を分光させる。ホルダーの側面の数は４に限らず、その側面に配置する分光素子の数も４に限らず、また分光素子を配置しない側面があってもよい。なお、図示しないが、試料にはＸ線管などのＸ線源から１次Ｘ線が照射されて、蛍光Ｘ線１が発生する。
【００１６】
検出器９は、分光素子交換機７により選択された分光素子、例えば分光素子４Ａで分光された蛍光Ｘ線８の強度を測定する。連動手段（ゴニオメータ）１２は、分光素子４Ａで分光される蛍光Ｘ線８の波長を変えながら、その分光された蛍光Ｘ線８が検出器９に入射するように、前記交換軸６と平行で分光素子交換機７が取り付けられたθ軸１０と、そのθ軸１０と軸心が共通で検出器９が取り付けられた２θ軸１１とをモーターなどで回転させる。つまり、θ軸１０と２θ軸１１は２重軸になっており、各先端部１０ａ，１１ａには台が形成され、分光素子交換機７、検出器９がそれぞれ取り付けられている。この走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる第１実施形態の分光素子取付機構２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄは、分光素子４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄごとに、図１に示すように、貼り付け板２１、第１弾性体２２、調整ねじ２４および球体２６を備え、調整ねじ２４のねじ込み量が調整される。
【００１７】
貼り付け板２１は、一方の面２１ａに分光素子４Ａが接着などにより貼り付けられ、前記交換軸６（図２（ａ））と平行な第１支軸Ｃ１を中心に回動自在である。ここでは、他方の面２１ｂ側に２つの突起部２１ｃ，２１ｄを形成し、ホルダー５の１側面５ａにそれぞれ点接触する両突起部２１ｃ，２１ｄの先端を結ぶ直線で第１支軸Ｃ１を構成しているが、先端が直線状でホルダー５の１側面５ａに線接触する突起部（エッジ）を形成して、その先端で第１支軸を構成してもよい。また、突起部は、ホルダー５の１側面５ａ側に形成してもよい。第１弾性体２２は、板ばねで、一方の端部２２ａがホルダー５にねじなどで係止され、他方の端部２２ｂが貼り付け板２１の右部分（図１（ａ）で第１支軸Ｃ１よりも右側の部分）に係止され、貼り付け板２１の右部分をホルダー５の方に引き寄せるように付勢している。調整ねじ２４は、ホルダー５において前記交換軸６（図２（ａ））と平行に形成されたねじ孔２３に、両端部２４ａ，２４ｃが螺合し、中間部２４ｂが鼓状にくびれている。
【００１８】
球体２６は、ホルダー５の１側面５ａに直交して前記ねじ孔２３まで貫通するガイド孔２５に摺動自在に挿入され、第１弾性体２２の付勢により、貼り付け板２１の他方の面２１ｂおよび調整ねじ２４の中間部２４ｂに当接する。より具体的には、球体２６は、その直径よりもわずかに大きい孔径のガイド孔２５に挿入され、図１の上側で貼り付け板２１の他方の面２１ｂに点接触するとともに、下側で調整ねじ２４の中間部２４ｂの円錐側面状の表面に点接触している。つまり、調整ねじ２４の後端部２４ａに設けられた六角孔にレンチを挿入して回転させることにより、ねじ孔２３に対する調整ねじ２４のねじ込み量を調整すると、調整ねじ２４の中間部２４ｂにおいて球体２６に当接する位置（高さ）が変化して、球体２６がガイド孔２５に沿って図１の上下方向に移動し、その結果、貼り付け板２１が第１支軸Ｃ１を中心としてθ方向に回動するので、分光素子４Ａのホルダー５へのθ方向の取付角度を調整できる。
【００１９】
第１実施形態の分光素子取付機構２０によれば、ねじ孔２３に対して調整ねじ２４が両端部２４ａ，２４ｃで螺合し、いわば両持ちの状態なので、ねじ込み量を調整しても、球体２６に当接する調整ねじ２４の中間部２４ｂがぶれることなく（歳差運動をすることなく）、分光素子４のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整できる。
【００２０】
さて、図５に示した前記従来の分光素子取付機構５０においても、球体５６がガイド孔５５に摺動自在なように、ガイド孔５５の孔径は、球体５６の直径よりもわずかに大きく、すなわちあそびが設けられている。そして、ガイド孔５５の中心軸Ｃ５５が、ねじ孔５３の中心軸Ｃ５３と直交する位置にあり、球体５６は、図５（ａ）の左右方向のいずれかにおいてガイド孔５５の内面に当接（点接触）している。このような構成で、調整ねじ５４のねじ込み量を調整して、球体５６をガイド孔５５に沿って図５の上下方向に移動させようとすると、図５（ａ）の左右方向において前記あそびの範囲内で揺動する。その結果、球体５６が下側で点接触している調整ねじ５４の先端部５４ｂの位置（高さ）が変化して、球体５６は上下方向においてもわずかながら揺動し、貼り付け板５１が第１支軸Ｃ１を中心にわずかながら揺動するので、分光素子４Ａのホルダー５へのθ方向の取付角度を、今一つ、十分に高い精度で調整できない。
【００２１】
これに対し、図１（ａ）に示すように、第１実施形態の分光素子取付機構２０では、ガイド孔２５の中心軸Ｃ２５が、ねじ孔２３の中心軸Ｃ２３に直交する位置Ｃ２５Ｖから所定距離、例えば前記あそびよりもやや大きい距離ｄだけ隔てて設定されており、球体２６は、図１（ａ）の右方向においてガイド孔２５の内面に当接（点接触）して安定している。したがって、調整ねじ２４のねじ込み量を調整して、球体２６を図１の上下方向に移動させる場合にも、図１（ａ）の右方向においてガイド孔２５の内面に当接したままで左右方向に揺動することがなく、その結果、球体２６は上下方向においても揺動することがなく、貼り付け板２１が第１支軸Ｃ１を中心に揺動することなく安定して回動するので、分光素子４Ａのホルダー５へのθ方向の取付角度を、いっそう、十分に高い精度で調整できる。
【００２２】
次に、本発明の第２実施形態の分光素子取付機構について説明する。図２に示すように、この分光素子取付機構３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄは、第１実施形態で説明したのと同様の走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられ、分光素子４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄごとに、図３に示すように、貼り付け板３１、第１弾性体３２、Ｌ字部材３６、第２弾性体３５および調整ねじ３４を備え、調整ねじ３４のねじ込み量が調整される。
【００２３】
貼り付け板３１、第１弾性体３２については、別途後述する点以外は第１実施形態と同様であるので説明を省略する。Ｌ字部材３６は、ホルダー５の１側面５ａおよび上面（角柱としての上面で、図面における正面）５ｅに沿うＬ字型の板材であって、前記ホルダー５の１側面５ａおよび上面５ｅが共有する辺５ｇと平行な第２支軸Ｃ２を中心に回動自在である。ここでは、ホルダー５の上面５ｅに沿う部分（以下、上面対応部という）３６ｂのホルダー５側に２つの突起部３６ｃ，３６ｄを形成し、ホルダー５の上面５ｅにそれぞれ点接触する両突起部３６ｃ，３６ｄの先端を結ぶ直線で第２支軸Ｃ２を構成しているが、先端が直線状でホルダー５の上面５ｅに線接触する突起部（エッジ）を形成して、その先端で第２支軸を構成してもよい。また、突起部は、ホルダー５の上面５ｅ側に形成してもよい。
【００２４】
Ｌ字部材３６の上面対応部３６ｂからホルダー５まで形成された貫通孔３６ｅ，３３に、引張コイルばねである第２弾性体３５が挿通され、一方の端部３５ａがホルダー５の下面５ｆ側にピン３７Ａを介して係止され、他方の端部３５ｂがＬ字部材３６の上面対応部３６ｂにピン３７Ｂを介して係止され、Ｌ字部材３６の上面対応部３６ｂをホルダー５の方に引き寄せるように付勢している。調整ねじ３４は、Ｌ字部材３６の上面対応部３６ｂにおいて前記交換軸６（図２（ａ））と平行に形成された貫通ねじ孔３６ｆに螺合する。
【００２５】
この分光素子取付機構３０では、第１弾性体３２および第２弾性体３５の付勢により、Ｌ字部材３６におけるホルダー５の１側面５ａに沿う部分（以下、側面対応部という）３６ａが貼り付け板３１の他方の面３１ｂ側に当接するとともに、調整ねじ３４の先端がホルダー５の上面５ｅに当接する。より具体的には、Ｌ字部材３６の側面対応部３６ａの外側（図３での上側）の面が、貼り付け板３１の他方の面３１ｂに形成された突起部３１ｅの先端に点接触し、かつ、Ｌ字部材３６の上面対応部３６ｂにねじ込まれた調整ねじ３４の先端がホルダー５の上面５ｅに当接するように、第１弾性体３２および第２弾性体３５の付勢力が調整されている。
【００２６】
つまり、調整ねじ３４の後端部に設けられた六角孔にレンチを挿入して回転させることにより、貫通ねじ孔３６ｆに対する調整ねじ３４のねじ込み量を調整すると、Ｌ字部材３６が第２支軸Ｃ２を中心に回動し、その結果、貼り付け板３１が第１支軸Ｃ１を中心としてθ方向に回動するので、分光素子４Ａのホルダー５へのθ方向の取付角度を調整できる。なお、貼り付け板３１の他方の面３１ｂに突起部３１ｅを形成する代わりに、Ｌ字部材３６の側面対応部３６ａの外側（図３での上側）に突起部を形成してもよい。
【００２７】
図１の第１実施形態の分光素子取付機構２０では、貼り付け板２１に当接する球体２６、およびその球体２６に中間部２４ｂで当接してホルダー５にねじ込まれる調整ねじ２４を用いたが、これらに代えて、図３の第２実施形態の分光素子取付機構３０では、貼り付け板３１に当接するＬ字部材３６、およびそのＬ字部材３６にねじ込まれて第２弾性体３３の付勢力により先端でホルダー５に当接する調整ねじ３４を用いることにより、貼り付け板３１に当接するＬ字部材３６の第２支軸Ｃ２を中心とする回動を十分に高い精度で調整でき、その結果、分光素子４を貼り付けた貼り付け板３１の第１支軸Ｃ１を中心とする回動も十分に高い精度で調整できる。したがって、やはり、分光素子４のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整できる。
【００２８】
次に、本発明の第３実施形態の分光素子取付機構について説明する。図４に示すように、この分光素子取付機構４０は、前記第２実施形態の分光素子取付機構３０（図３）と比較すると、Ｌ字部材４６における第２支軸Ｃ２の位置および構成の仕方が異なるのみである。具体的には、まず、Ｌ字部材４６の側面対応部４６ａの先端部４６ｃに対応して、ホルダー５の１側面５ａの下面５ｆ側に突出部５ｈが設けられることにより、ホルダー５の１側面５ａ側に、前記辺５ｇと平行な溝が形成されている。一方、Ｌ字部材４６の側面対応部４６ａの先端部（エッジ）４６ｃは、その先端が直線状で、第２弾性体４５の付勢力により前記ホルダー５の１側面５ａ側の溝に線接触して、第２支軸Ｃ２を構成する。その他の構成は、第２実施形態の分光素子取付機構３０（図３）と同様であるので、説明を省略する。
【００２９】
さて、分光素子４のθ方向の取付角度の調整にあたり、第２支軸Ｃ２から力点である調整ねじ４４の先端までの距離に対し、第２支軸Ｃ２から作用点である貼り付け板４１の他方の面４１ｂに形成された突起部４１ｅの先端までの距離が小さい程、微調整が容易になるが、その点において、第３実施形態の分光素子取付機構４０は、第２実施形態の分光素子取付機構３０（図３）よりも好ましい。すなわち、第３実施形態の分光素子取付機構４０によれば、分光素子４のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整でき、しかも、微調整がいっそう容易である。
【００３０】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、分光素子交換機を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置の分光素子取付機構において、分光素子のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】（ａ）は本発明の第１実施形態の分光素子取付機構の部分拡大図、（ｂ）はその右側面部分断面図である。
【図２】（ａ）は同分光素子取付機構などが用いられる走査型蛍光Ｘ線分析装置の検出部の正面図、（ｂ）はその左側面部分断面図である。
【図３】（ａ）は本発明の第２実施形態の分光素子取付機構の部分拡大図、（ｂ）はその右側面部分断面図である。
【図４】（ａ）は本発明の第３実施形態の分光素子取付機構の部分拡大図、（ｂ）はその右側面部分断面図である。
【図５】（ａ）は従来の分光素子取付機構の部分拡大図、（ｂ）はその右側面部分断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  試料から発生する蛍光Ｘ線
４  分光素子
５  ホルダー
５ａ  ホルダーの１側面
５ｅ  ホルダーの上面
５ｇ  ホルダーの１側面および上面が共有する辺
６  交換軸
７  分光素子交換機
８  分光素子で分光された蛍光Ｘ線
９  検出器
１０  θ軸
１１  ２θ軸
１２  連動手段
２０，３０，４０，５０  分光素子取付機構
２１，３１，４１，５１  貼り付け板
２１ａ，３１ａ，４１ａ，５１ａ  貼り付け板の一方の面
２１ｂ，３１ｂ，４１ｂ，５１ｂ  貼り付け板の他方の面
２２，３２，４２，５２  第１弾性体
２２ａ，３２ａ，４２ａ，５２ａ  第１弾性体の一方の端部
２２ｂ，３２ｂ，４２ｂ，５２ｂ  第１弾性体の他方の端部
２３，５３  ホルダーのねじ孔
２４，５４  ホルダーにねじ込まれる調整ねじ
２４ａ，５４ａ  ホルダーにねじ込まれる調整ねじの後端部
２４ｂ  ホルダーにねじ込まれる調整ねじの中間部
２４ｃ，５４ｂ  ホルダーにねじ込まれる調整ねじの先端部
２５，５５  ガイド孔
２６，５６  球体
３４，４４  Ｌ字部材にねじ込まれる調整ねじ
３５，４５  第２弾性体
３５ａ，４５ａ  第２弾性体の一方の端部
３５ｂ，４５ｂ  第２弾性体の他方の端部
３６，４６  Ｌ字部材
３６ａ，４６ａ  Ｌ字部材におけるホルダーの１側面に沿う部分
Ｃ１  第１支軸
Ｃ２  第２支軸
Ｃ２５，Ｃ５５  ガイド孔の中心軸
Ｃ２５Ｖ，Ｃ５５  ホルダーのねじ孔に直交する位置
ｄ  所定距離。
【図１】
2006184289.tif 000003
【図２】
2006184289.tif 000004
【図３】
2006184289.tif 000005
【図４】
2006184289.tif 000006
【図５】
2006184289.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月20日(2006.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
角柱状のホルダーの側面に配置した複数の平板の分光素子を、前記ホルダーの中心軸をなす交換軸を回転させることにより、試料から発生する蛍光Ｘ線の光路に選択的に進出させて入射した蛍光Ｘ線を分光させる分光素子交換機と、
前記分光素子で分光された蛍光Ｘ線の強度を測定する検出器と、
前記分光素子で分光される蛍光Ｘ線の波長を変えながら、その分光された蛍光Ｘ線が前記検出器に入射するように、前記交換軸と平行で前記分光素子交換機が取り付けられたθ軸およびそのθ軸と軸心が共通で前記検出器が取り付けられた２θ軸を回転させる連動手段とを備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる分光素子取付機構であって、前記分光素子ごとに、
一方の面に前記分光素子が貼り付けられ、前記交換軸と平行な第１支軸を中心に回動自在な貼り付け板と、
一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記貼り付け板の部分を付勢する第１弾性体と、
前記ホルダーの１側面および上面に沿うＬ字型の板材であって、前記ホルダーの１側面および上面が共有する辺と平行な第２支軸を中心に回動自在なＬ字部材と、
一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記Ｌ字部材の部分を付勢する第２弾性体と、
前記Ｌ字部材において前記交換軸と平行に形成された貫通ねじ孔に螺合する調整ねじとを備え、
前記第１弾性体および第２弾性体の付勢により、前記Ｌ字部材における前記ホルダーの１側面に沿う部分が前記貼り付け板の他方の面側に当接するとともに、前記調整ねじの先端が前記ホルダーの上面に当接し、
前記貫通ねじ孔に対する前記調整ねじのねじ込み量が調整されて、前記Ｌ字部材が前記第２支軸を中心に回動することにより、前記貼り付け板を前記第１支軸を中心に回動させる分光素子取付機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
最初に、本発明の基礎となる提案例について説明する。この提案例は、まず、角柱状のホルダーの側面に配置した複数の平板の分光素子を、前記ホルダーの中心軸をなす交換軸を回転させることにより、試料から発生する蛍光Ｘ線の光路に選択的に進出させて入射した蛍光Ｘ線を分光させる分光素子交換機と、前記分光素子で分光された蛍光Ｘ線の強度を測定する検出器と、前記分光素子で分光される蛍光Ｘ線の波長を変えながら、その分光された蛍光Ｘ線が前記検出器に入射するように、前記交換軸と平行で前記分光素子交換機が取り付けられたθ軸およびそのθ軸と軸心が共通で前記検出器が取り付けられた２θ軸を回転させる連動手段とを備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる分光素子取付機構である。そして、前記分光素子ごとに、以下のように、貼り付け板、第１弾性体、調整ねじおよび球体を備え、調整ねじのねじ込み量が調整される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この提案例によれば、ねじ孔に対して調整ねじが両端部で螺合し、いわば両持ちの状態なので、ねじ込み量を調整しても、球体に当接する調整ねじの中間部がぶれることなく、分光素子のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
前記目的を達成するために、本願発明は、まず、前記提案例と同様に、分光素子交換機、検出器および連動手段を備えた走査型蛍光Ｘ線分析装置に用いられる分光素子取付機構である。そして、分光素子ごとに、以下のように、貼り付け板、第１弾性体、Ｌ字部材、第２弾性体および調整ねじを備え、調整ねじのねじ込み量が調整される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本願発明においては、前記提案例における球体および中間部で球体に当接してホルダーにねじ込まれる調整ねじに代えて、Ｌ字部材、Ｌ字部材にねじ込まれて先端でホルダーに当接する調整ねじおよび第２弾性体を用いた前記構成により、貼り付け板に当接するＬ字部材の第２支軸を中心とする回動を十分に高い精度で調整でき、その結果、分光素子を貼り付けた貼り付け板の第１支軸を中心とする回動も十分に高い精度で調整できる。したがって、やはり、分光素子のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図１の第１実施形態の分光素子取付機構２０では、貼り付け板２１に当接する球体２６、およびその球体２６に中間部２４ｂで当接してホルダー５にねじ込まれる調整ねじ２４を用いたが、これらに代えて、図３の第２実施形態の分光素子取付機構３０では、貼り付け板３１に当接するＬ字部材３６、およびそのＬ字部材３６にねじ込まれて第２弾性体３５の付勢力により先端でホルダー５に当接する調整ねじ３４を用いることにより、貼り付け板３１に当接するＬ字部材３６の第２支軸Ｃ２を中心とする回動を十分に高い精度で調整でき、その結果、分光素子４を貼り付けた貼り付け板３１の第１支軸Ｃ１を中心とする回動も十分に高い精度で調整できる。したがって、やはり、分光素子４のθ方向の取付角度を十分に高い精度で調整できる。