(57)【要約】【課題】移載装置を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることにより、カセットの受け渡しを短時間で行うことができるようにした搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送台車１に、水平方向に貫通し、搬送台車１の一側面を開放した水平空間部１ｃを形成することにより、搬送台車１を前面視して略コ字状に形成するとともに、この水平空間部１ｃから上方に連続する搬送台車１のカセット支持部１ａを貫通する鉛直空間部１ｂを形成し、移載装置２を、搬送台車１との間でカセットＣの受け渡しを行う台車走行路Ｒの位置に移動させた状態で、搬送台車１が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過する際に、移載装置２の伸縮可能に構成したカセット支持部２ａを、搬送台車１の水平空間部１ｃに位置させるようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、電子部品基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにした搬送装置において、前記移載装置を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能なように、搬送台車のカセット支持部と移載装置のカセット支持部の位置を異ならしたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
搬送台車に、水平方向に貫通し、搬送台車の一側面を開放した水平空間部と、該水平空間部から上方に連続する搬送台車のカセット支持部を貫通する鉛直空間部とを形成し、搬送台車が進入、停止又は通過する際に、移載装置のカセット支持部を、前記搬送台車の水平空間部に位置させるようにしたことを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
搬送台車のカセット支持部の上面にカセットを載置し、搬送台車が進入、停止又は通過する際に、移載装置のカセット支持部のアームを、カセットの側部上方から垂下させ、前記アームの屈曲させた先端部を、カセットの下方で、かつ、搬送台車のカセット支持部の側方に位置させるようにしたことを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載の搬送装置によって取り扱われるカセットであって、サイズが１８００ｍｍ×１５００ｍｍ以上の電子部品基板であることを特徴とする枚葉電子部品基板。
【請求項５】
サイズが２２００ｍｍ×１８００ｍｍ以上の電子部品基板であることを特徴とする請求項４記載の枚葉電子部品基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、本発明は搬送装置に係り、特に、搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品用基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにした搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品の製造工場においては、図２に示すように、製造装置Ｍ１、Ｍ２との間で液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品用基板の受け渡しを行うストッカＳｔを配設するようにしている。
そして、このストッカＳｔの入出庫口Ｓに対して、電子部品用基板を収容したカセットＣを搬入、搬出するために、例えば、ストッカＳｔの入出庫口Ｓ間を結ぶように形成された台車走行路Ｒ（図２は、循環路を形成した例を示したが、これに限定されない。）を走行する搬送台車１が用いられている。
また、ストッカＳｔの入出庫口Ｓには、移載装置２を配置し、この移載装置２と、搬送台車１との間で、カセットＣの受け渡しを行うようにしている。
【０００３】
ところで、従来の搬送装置においては、搬送台車１と移載装置２との間でカセットＣの受け渡しを行う場合、例えば、図３−１（ｂ）及び図３−２（ｂ）に示すように、受け渡し位置に進入、停止した搬送台車１０１のカセット支持部１０１ａを鉛直方向に貫通する鉛直空間部１０１ｂに、移載装置２の伸縮可能なカセット支持部１０２ａを伸張、挿入し、この支持部１０２ａを上昇させることによりカセットＣを搬送台車１０１のカセット支持部１０１ａから持ち上げ、ストッカＳｔの入出庫口Ｓに受け入れるようにしている。なお、ストッカＳｔの入出庫口Ｓから搬送台車１０１へのカセットＣを受け渡しは、移載装置２が上記動作と逆の動作をすることにより行うようにしている。
このように、従来の搬送装置においては、カセットＣの受け渡しを、搬送台車１０１が受け渡し位置に進入、停止した後、移載装置２の伸縮可能に構成したカセット支持部１０２ａを伸張、挿入するようにしているため、カセットＣの受け渡しに時間を要し、搬送効率、ひいては、生産効率を低下させるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記従来の搬送装置の有する問題点に鑑み、移載装置を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることにより、カセットの受け渡しを短時間で行うことができるようにした搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明の搬送装置は、搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、電子部品基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにした搬送装置において、前記移載装置を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能なように、搬送台車のカセット支持部と移載装置のカセット支持部の位置を異ならしたことを特徴とする。
【０００６】
この場合において、搬送台車に、水平方向に貫通し、搬送台車の一側面を開放した水平空間部と、該水平空間部から上方に連続する搬送台車のカセット支持部を貫通する鉛直空間部とを形成し、搬送台車が進入、停止又は通過する際に、移載装置のカセット支持部を、前記搬送台車の水平空間部に位置させるようにすることができる。
【０００７】
また、搬送台車のカセット支持部の上面にカセットを載置し、搬送台車が進入、停止又は通過する際に、移載装置のカセット支持部のアームを、カセットの側部上方から垂下させ、前記アームの屈曲させた先端部を、カセットの下方で、かつ、搬送台車のカセット支持部の側方に位置させるようにすることができる。
【０００８】
そして、上記の搬送装置によって、サイズが１８００ｍｍ×１５００ｍｍ以上、さらには、２２００ｍｍ×１８００ｍｍ以上の電子部品基板を取り扱うことができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の搬送装置によれば、移載装置を、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることにより、カセットの受け渡しを短時間で行うことができ、搬送効率、ひいては、生産効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の搬送装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１〜図３−２に、本発明の搬送装置の第１実施例を示す。
【００１２】
この搬送装置は、従来の搬送装置と同様、図２に示すように、ストッカＳｔの入出庫口Ｓに対して、液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品用基板を収容したカセットＣを搬入、搬出するために、ストッカＳｔの入出庫口Ｓ間を結ぶように形成された台車走行路Ｒを走行する搬送台車１を用いるとともに、ストッカＳｔの入出庫口Ｓに移載装置２を配置し、この移載装置２と、搬送台車１との間で、カセットＣの受け渡しを行うようにしたものである。
【００１３】
そして、この搬送装置は、搬送台車１と、ストッカＳｔの入出庫口Ｓに配置した移載装置２との間で、カセットＣの受け渡しを行う場合、図１、図３−１（ａ）及び図３−２（ａ）に示すように、移載装置２を、搬送台車１との間でカセットＣの受け渡しを行う台車走行路Ｒの位置に移動させた状態で搬送台車１が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能なようにしている。
【００１４】
具体的には、搬送台車１に、水平方向に貫通し、搬送台車１の一側面を開放した水平空間部１ｃを形成することにより、搬送台車１を前面視して略コ字状に形成するとともに、この水平空間部１ｃから上方に連続する搬送台車１のカセット支持部１ａを貫通する鉛直空間部１ｂを形成するようにする。
これにより、移載装置２を、搬送台車１との間でカセットＣの受け渡しを行う台車走行路Ｒの位置に移動させた状態で、搬送台車１が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過する際に、移載装置２の伸縮可能に構成したカセット支持部２ａを、搬送台車１の水平空間部１ｃに位置させるようにすることができる。
そして、搬送台車１から移載装置２へカセットＣの受け渡しを行う場合には、搬送台車１が進入、停止すると、搬送台車１の水平空間部１ｃに挿入されている移載装置２の伸張状態にあるカセット支持部２ａを、搬送台車１のカセット支持部１ａを貫通する鉛直空間部１ｂを上昇させることにより、カセットＣを搬送台車１のカセット支持部１ａから持ち上げ、ストッカＳｔの入出庫口Ｓに受け入れるようにする。なお、ストッカＳｔの入出庫口Ｓから搬送台車１へのカセットＣを受け渡しは、移載装置２が上記動作と逆の動作をすることにより行うことができる。
このように、搬送台車１のカセット支持部１ａと移載装置２のカセット支持部２ａの位置を異ならせることにより、両者が干渉しないようにして、移載装置１、具体的には、移載装置１のカセット支持部１ａを、搬送台車１との間でカセットＣの受け渡しを行う台車走行路Ｒの位置に移動させた状態で搬送台車１が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることができ、これにより、カセットＣの受け渡しを短時間で行うことができる。
【００１５】
そして、この搬送装置によって、サイズが１８００ｍｍ×１５００ｍｍ以上、さらには、２２００ｍｍ×１８００ｍｍ以上の液晶ガラス基板等の電子部品基板を取り扱うことができる。
【実施例２】
【００１６】
図４−１〜図４−１０に、本発明の搬送装置の第２実施例を示す。
この搬送装置は、移載装置２を、レールＲ２に移動可能に垂設したクレーンにより構成したもので、搬送台車１との間でカセットＣの受け渡しを行う台車走行路Ｒの位置に移動させた状態で、カセット支持部１ａの上面にカセットＣを載置した搬送台車１が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過する際に、移載装置２のカセット支持部２ａの伸縮可能に構成したアーム２１を、カセットＣの側部上方から垂下させ、このアーム２１の屈曲させた先端部２２を、カセットＣの下方で、かつ、搬送台車１のカセット支持部１ａの側方に位置させるようにしたものである。
そして、搬送台車１から移載装置２へカセットＣの受け渡しを行う場合には、搬送台車１が進入、停止すると、移載装置２のカセット支持部２ａのアーム２１を縮小させることにより、カセットＣを搬送台車１のカセット支持部１ａから持ち上げ、ストッカＳｔの入出庫口Ｓに受け入れるようにする。なお、ストッカＳｔの入出庫口Ｓから搬送台車１へのカセットＣを受け渡しは、移載装置２が上記動作と逆の動作をすることにより行うことができる。
このように、搬送台車１のカセット支持部１ａと移載装置２のカセット支持部２ａの位置を異ならせることにより、両者が干渉しないようにして、移載装置１、具体的には、移載装置１のカセット支持部１ａを、搬送台車１との間でカセットＣの受け渡しを行う台車走行路Ｒの位置に移動させた状態で搬送台車１が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることができ、これにより、カセットＣの受け渡しを短時間で行うことができる。
【００１７】
この搬送装置の動作の詳細を、ストッカＳｔ内に配設したシャトル台車Ｓｈ、昇降可能に構成したカセット台Ｃｄ及びスタッカクレーンＣｒの動作と併せて、図４−２〜図４−１０に示す。
【００１８】
なお、本実施例の搬送装置のその他の構成は、上記第１実施例の搬送装置と同様である。
【００１９】
ところで、上記第２実施例の搬送装置においては、移載装置２を、伸縮可能なアーム２１からなるカセット支持部２ａを備え、レールＲ２に移動可能に垂設したクレーンにより構成するようにしたが、このほか、図５に示す第１変形例のように、移載装置２を構成するクレーンのカセット支持部２ａのアーム２１を伸縮可能とせず、搬送台車１及びシャトル台車Ｓｈのカセット支持部を昇降可能に構成したり（この場合、カセット台Ｃｄは昇降可能に構成する必要はない。）、図５に示す第２変形例や第３変形例のように、移載装置２を構成するクレーンのカセット支持部２ａのアーム２１（第２変形例の場合は、図示右側の２本のアーム、第３変形例の場合は、４本のアーム）を揺動可能に構成するとともに、搬送台車１及びシャトル台車Ｓｈのカセット支持部を昇降可能に構成する（この場合、カセット台Ｃｄは昇降可能に構成する必要はない。）ことができる。
【００２０】
以上、本発明の搬送装置について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明の搬送装置は、搬送台車との間でカセットの受け渡しを行う台車走行路の位置に移動させた状態で搬送台車が当該位置に進入、停止又は当該位置を通過可能にすることにより、カセットの受け渡しを短時間で行うことができることから、液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品用基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにした搬送装置の用途に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の搬送装置の第１実施例を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図２】本発明の搬送装置を適用する電子部品の製造工場の一例を示す概略平面図である。
【図３−１】（ａ）は本発明の搬送装置の第１実施例の動作説明図、（ｂ）は従来の搬送装置の動作説明図である。
【図３−２】（ａ）は本発明の搬送装置の第１実施例の動作説明図、（ｂ）は従来の搬送装置の動作説明図である。
【図４−１】本発明の搬送装置の第２実施例を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は平面図である。
【図４−２】同搬送装置の動作状態（移載装置：待機状態、搬送台車：進入状態）を示す説明図である。
【図４−３】同搬送装置の動作状態（移載装置：待機状態、搬送台車：停止状態）を示す説明図である。
【図４−４】同搬送装置の動作状態（移載装置：カセット支持部のアームを縮小させてカセットを持ち上げた状態、搬送台車：停止状態）を示す説明図である。
【図４−５】同搬送装置の動作状態（移載装置：移載装置を移動させ、カセットをストッカの入出庫口に受け入れた状態、搬送台車：走行）を示す説明図である。
【図４−６】同搬送装置の動作状態（移載装置：カセット支持部のアームを伸張させてカセットをシャトル台車に載置した状態、搬送台車：−）を示す説明図である。
【図４−７】同搬送装置の動作状態（移載装置：移動させ、待機させた状態、搬送台車：−、シャトル台車：カセット台まで移動させた状態）を示す説明図である。
【図４−８】同搬送装置の動作状態（移載装置：待機状態、搬送台車：進入、停止状態、シャトル台車：停止状態、カセット台：カセット支持部を上昇させてカセットを持ち上げた状態）を示す説明図である。
【図４−９】同搬送装置の動作状態（移載装置：待機状態、搬送台車：停止状態、シャトル台車：走行状態、カセット台：カセットを持ち上げた状態）を示す説明図である。
【図４−１０】同搬送装置の動作状態（移載装置：カセット支持部のアームを縮小させてカセットを持ち上げた状態、搬送台車：停止状態、シャトル台車：停止状態、カセット台：カセットを持ち上げた状態、スタッカクレーンＣｒ：カセットを受け取るためにカセット支持部を伸張させた状態）を示す説明図である。
【図５】本発明の搬送装置の第２実施例の第１変形例を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は平面図である。
【図６】本発明の搬送装置の第２実施例の第２変形例を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は平面図である。
【図７】本発明の搬送装置の第２実施例の第３変形例を示し、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は平面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１    搬送台車
１ａ  カセット支持部
１ｂ  鉛直空間部
１ｃ  水平空間部
２    移載装置
２ａ  カセット支持部
２１  アーム
２２  アームの先端部
Ｃ    カセット
Ｒ    台車走行路
Ｓｔ  ストッカ
Ｓ    ストッカの入出庫口
Ｓｈ  シャトル台車
Ｃｄ  カセット台
Ｃｒ  スタッカクレーン
【図１】
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【図２】
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【図３−１】
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【図３−２】
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【図４−１】
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【図４−２】
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【図４−３】
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【図４−４】
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【図４−５】
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【図４−６】
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【図４−７】
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【図４−８】
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【図４−９】
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【図４−１０】
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【図５】
2006041208.tif 000017
【図６】
2006041208.tif 000018
【図７】
2006041208.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月20日(2004.8.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、搬送装置に係り、特に、搬送台車と、ストッカの入出庫口に配置した移載装置との間で、液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品用基板を収容したカセットの受け渡しを行うようにした搬送装置に関するものである。