(57)【要約】【課題】ロータへの負荷を低減し、励磁コイルの低入力化と駆動部の小型化を図る。【解決手段】励磁コイル３３を有し静止しているステータ３２と回転動作するロータ３０とを隔壁４０で気密に分離することで気密シールのための接触抵抗を発生せずに動作させる。さらに流れ規制体３８を軸方向に付勢する付勢体３９の付勢力を移動体３６との間に作用させ、移動体３６の移動途中においては付勢体３９の付勢力がロータ３０の回転に対して負荷抵抗とならないようにしている。これによって、隔壁による確実な気密シール構造でかつ気密シールによる摩擦抵抗損失を防止でき、また流れ規制体への付勢力による負荷抵抗を無くしてロータへの負荷を低減でき、励磁コイルの低入力化、ロータあるいはステータなどの駆動部を小型化できる。【選択図】図１
2006262698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁極を有するロータと、励磁コイルを有するステータと、前記ロータに設けたロータ回転軸と、前記ロータ回転軸に設けた送り手段と、前記送り手段に螺合あるいは係合する移動体と、軸方向に付勢する付勢体を介在させて前記移動体に対して軸方向に移動可能に連結した流れ規制体と、前記ロータと前記ステータの隙間および前記ロータの一方の端面側に配置しかつ一体的に形成して前記ステータと流体側にある前記ロータを気密に分離する隔壁と、前記隔壁および前記ステータを取付けた取付体と、前記取付体に設け前記移動体の回転を規制する回動防止体と、前記隔壁のフランジ部と取付体との間に設けた第１シールと、流体と前記取付板との間に設けた第２シールとを備えたアクチュエータ。
【請求項２】
流れ規制体と移動体は径方向にガタを設けた係止部により連結し、流れ規制体を首振り自在とした請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
ロータ回転軸の外周を支持する軸受と、隔壁に一体形成した軸受保持部を有し、前記軸受を前記軸受保持部に保持した請求項１記載のアクチュエータ。
【請求項４】
隔壁、ステータおよび回動防止体を固定した取付体と、ロータ回転軸の軸方向のスラスト荷重を受ける軸受体を前記取付体とロータの間に備えた請求項１〜３のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路中の流体の流動を制御するアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来この種のアクチュエータとしては、特許文献１に示すようなものがある。以下その構成について図９、図１０を参照して説明する。
【０００３】
図９は第一の従来例であり、流体通路中の弁座１に対向して弁体２を設けたもので、弁体２は流体通路３の開口４に取付けるフランジ５に弁体２を弁座１に押し付ける方向に付勢するスプリング６を介して取付けられている。７は一端に弁体２を連結した弁棒で、この弁棒７は前記フランジ５の貫通孔８を貫通して流体通路外に延設されるとともに、弁棒７の軸方向の中程には送り雄ねじ９が形成されている。１０はロータ１１の内周面に形成した送り雌ねじで、この送り雌ねじ１０は送り雄ねじ９に螺合する。１２はロータ１１の外周側に設けた永久磁石、１３は永久磁石１２に隙間を介して対向するように設けた静止した電磁コイル、１４はロータ１１の両端に設けロータ１１の回転を支持する軸受、１５はフランジ５に固定された取付板である。１６は貫通孔８に設けたＯリングで、弁棒７とフランジ５の隙間からの流体通路３中の流体が外部に漏出するのを防止するものである。１７は弁棒７の端部に設け弁棒７の回動を防止する回り止め部である。この構成において、電磁コイル１３に通電制御してロータ１１を回転させ、ロータ１１に螺合する弁棒７を軸方向に直線移動させるものである。
【０００４】
図１０は第二の従来例を示し、上記第一の従来例の弁棒７に接触するＯリング１６を無くしたものである。１８は外周側に永久磁石１９を設けたロータであり、ロータ１８に固定された回転軸２０にはその端部に送り雄ねじ２１を有している。２２はロータ１８の外周側に隙間を設けて配置された非磁性のパイプであり、パイプ２２の外周側には電磁コイル２３を設けるとともに、パイプ２２の両端部にシール部材であるＯリング２４を設けてモータを構成し、モータ取付板２５と弁体２の間にスプリング２６を設け端部に弁体２に連結した弁体移動手段２７を回転軸２０の送り雄ねじ２１に螺合したものである。２８はモータ取付板２５に取付た弁体移動手段２７の回動を防止する回り止め部である。この構成において、流体流路３中の流体はパイプ２２部のＯリング２４により外部への漏れを防止される。
【特許文献１】特開平５−７１６５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、第一の従来例では、貫通孔８と弁棒７の間に設けたＯリング１６によるシール構造ではＯリング１６は弁棒７に密着しているため、弁棒７を動かすのに摩擦抵抗を発生して駆動力を増大せねばならず、遮断弁の駆動部の大型化および大入力化を招いていた。また、経年変化によりＯリング１６が弁棒７に固着して弁体２の動作が阻害され信頼性上の課題があった。
【０００６】
また、第二の従来例では、弁体２は絶えずスプリング２６により付勢されているため、モータはその動作時には絶えずスプリング２６の付勢力による抵抗を受けることになる。すなわち、開弁時ではスプリング２６の付勢力に打ち勝って弁体２を移動させる必要があり、また開弁および閉弁時のいずれでもスプリング２６の付勢力が軸方向推力として送りねじ部に加わって摩擦抵抗を発生する。このようにスプリング２６の付勢力がモータに対する負荷抵抗として作用するためモータの出力を大きくする必要が生じてモータ入力の増
大およびモータの大型化を招き、モータの低入力化および小型化に対して課題があった。
【０００７】
特に、限られた容量あるいは限られた電圧の電池でモータを駆動する場合では、低入力化および高出力化が実用化の可否を決める大きな課題であった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記課題を解決するために、励磁コイルを有し静止しているステータと回転動作するロータとを隔壁で気密に分離することで気密シールのための接触抵抗を発生せずに動作させ、さらに流れ規制体を軸方向に付勢する付勢体の付勢力を移動体との間に作用させ、移動体の移動途中においては付勢体の付勢力がロータの回転に対して負荷抵抗とならないようにしたものである。
【０００９】
上記発明によれば、隔壁による確実な気密シール構造でかつ気密シールによる摩擦抵抗損失を防止でき、また流れ規制体への付勢力による負荷抵抗を無くしてロータへの負荷を低減でき、励磁コイルの低入力化、ロータあるいはステータなどの駆動部の小型化が実現できる。
【発明の効果】
【００１０】
以上の説明から明らかなように本発明のアクチュエータによれば、軸方向に付勢する付勢体を介在させて移動体に対して軸方向に移動可能に連結した流れ規制体と、ロータとステータの隙間およびロータの一方の端面側に配置しかつ一体的に形成してステータと流体側にあるロータを気密に分離する隔壁と、隔壁およびステータを取付けた取付体と、取付体に設け移動体の回転を規制する回動防止体と、隔壁のフランジ部と取付体との間に設けた第１シールと、流体と取付板との間に設けた第２シールとを備えているので、隔壁による確実な気密シール構造でかつ気密シールによる摩擦抵抗損失を防止でき、また移動体と流れ規制体との間の付勢力により負荷抵抗を低減してロータへの負荷を低減でき、駆動部であるステータの低入力化ができるという効果があり、さらにロータあるいはステータなどの駆動部の小型化を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
磁極を有するロータと、励磁コイルを有するステータと、前記ロータに設けたロータ回転軸と、前記ロータ回転軸に設けた送り手段と、前記送り手段に螺合あるいは係合する移動体と、軸方向に付勢する付勢体を介在させて前記移動体に対して軸方向に移動可能に連結した流れ規制体と、前記ロータと前記ステータの隙間および前記ロータの一方の端面側に配置しかつ一体的に形成して前記ステータと流体側にある前記ロータを気密に分離する隔壁と、前記隔壁および前記ステータを取付けた取付体と、前記取付体に設け前記移動体の回転を規制する回動防止体と、前記隔壁のフランジ部と取付体との間に設けた第１シールと、流体と前記取付板との間に設けた第２シールとを備えたものである。
【００１２】
そして、隔壁による確実で信頼性の高い気密シール構造にでき、かつ気密シールによる摩擦抵抗損失の防止と、流れ規制体への付勢力がロータの回転に負荷抵抗として作用するのを防止して、ステータの低入力化およびロータあるいはステータなどの駆動部の小型化が実現できる。
【００１３】
また、ロータ回転軸の中心に設けた軸穴と、この軸穴に挿入して前記ロータの回転を支持する支持軸とを有し、前記支持軸は前記隔壁に固定したものである。そして、ロータは支持軸により小径部で支持され接触半径の低減により摩擦抵抗の低減がなされて低入力化が促進され、さらに軸支持構成の小型化によりアクチュエータの小型化が実現できる。
【００１４】
また、支持軸は一端を軸支持体に接合し、この軸支持体を前記隔壁に接合したものであ
る。そして、隔壁を極薄い材料で形成した場合でも支持軸を確実にかつ接合強度を高めて隔壁に取付けることができ、隔壁の薄肉化により回転力の高出力化と構造の高強度化により耐久性などの信頼性を高めることができる。
【００１５】
また、軸支持体は磁性のある材料としたものである。そして、隔壁を非磁性材料で構成しても、ロータの側面に磁性材を配置できるためロータとステータ間の磁気回路の磁気抵抗を低減でき、磁気駆動力を向上でき回転力の高出力化が実現できる。
【００１６】
また、ロータ回転軸の軸穴の流れ規制体側に封止部を設けたものである。そして、流れ規制体側からの支持軸部へのゴミ、異物などの侵入が防止でき、安定した回転を持続し信頼性を高めることができる。また、支持軸部で発生した摩耗粉あるいは塗布されていた潤滑剤などが流体側に出るのが防止でき、清浄な流体への利用ができる。
【００１７】
また、流れ規制体と移動体は径方向にガタを設けた係止部により連結し、流れ規制体を移動体に対して首振り自在としたものである。そして、流体通路に対するアクチュエータの取付に誤差がある場合、例えば弁座に対して傾いて設置された場合でも首振り動作により流れ規制体が流体通路の弁座を正常に閉止でき、確実な流体制御動作がなされ信頼性をより一層向上することが実現できる。
【００１８】
また、ロータ回転軸の外周を支持する軸受と、前記隔壁に一体形成した軸受保持部を有し、前記軸受を前記軸受保持部に保持したものである。そして、軸受保持部は隔壁に一体形成されるため芯ズレのない高精度の加工によりロータと隔壁の隙間の一層の低減がなされ、さらに凹凸の形成により隔壁の強度が向上できるため隔壁の薄肉化をより一層推進でき、ロータの回転力が向上できる。
【００１９】
また、隔壁、ステータおよび回動防止体を固定した取付体と、前記ロータ回転軸の軸方向のスラスト荷重を受ける軸受体を前記取付体と前記ロータの間に備えたものである。そして、軸方向に発生したスラスト荷重によりロータが軸方向に移動して隔壁あるいは取付体などの構成要素と接触するのを防止するとともに、流体側からロータ側へゴミ、異物などが侵入するのを防止して安定した回転を持続し信頼性を高めることができる
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００２０】
（実施の形態１、実施の形態２）
図１は本発明の実施の形態１および実施の形態２のアクチュエータの開弁状態を示す断面図であり、図２は本発明の実施の形態１および実施の形態２のアクチュエータの閉弁状態を示す断面図である。図１において、３０は外周部に永久磁石による磁極３１を有するロータであり、３２は励磁コイル３３を囲み磁性材料で形成したステータであり、ステータ３２はロータ３０の磁極３１の外側に対向して配置されている。３４はロータ３０に設けたロータ回転軸であり、ロータ回転軸３４の外周部には送り手段３５が設けられ、この実施の形態では螺旋状の溝（あるいは突起）による雄ねじを送り手段３５として用いている。３６は送り手段３５に螺合する雌ねじを設けた移動体であり、３７は移動体３６がロータ回転軸３４に対して回転しないようにする回動防止体である。
【００２１】
３８は流体通路３中に配置され流体の流動状態を規制する流れ規制体であり、流れ規制体３８は移動体３６に対して軸方向に移動可能に連結されている。３９は移動体３６と流れ規制体３８の間に介在させ軸方向に互いに離れようとする付勢力を加える付勢体である。流れ規制体３８は弁座１に当接する弁ゴム板３８ａを弁ゴム保持部３８ｂに取付けるとともに弁ゴム押え３８ｃで固定している。４０は流体側にあるロータ３０およびそれに連なる流れ規制体３８側とステータ３２側とを気密に分離する隔壁であり、隔壁４０はロー
タ３０とステータ３２との隙間にロータ３０と僅かな距離（０．０５〜０．２ｍｍ）を離して配置される円筒部４０ａとロータ３０の一方の端面側に配置される側面部４０ｂとを一体的に非磁性の材料で形成したものである。
【００２２】
４１は一端を隔壁４０の円筒部４０ａに固定した支持軸であり、支持軸４１はロータ回転軸３４の中心に設けた軸穴４２に挿入されてロータ３０の回転を支持するものである。４１ａは支持軸４１に設けた逃し部であり、支持軸４１の先端部と根元部が確実に軸穴４２に接するようにしている。なお、ここでは送り手段３５と移動体３６は連続した螺旋状の山と溝により螺合している場合を考えたが、螺旋状の山と溝は不連続でも良く、また連続した螺旋状の山あるいは谷に対して数箇所の接触点を持つ点接触方式でも良い。４３は隔壁４０およびステータ３２を取付けた取付体であり、この取付体４３にはロータ回転軸３４が貫通する貫通孔４３ａが設けられている。４４はステータ３２および隔壁４０の側面部４０ｂをカバーする側板、４５は隔壁４０のフランジ部４０ｃと取付体４３の間に設け気密シールするＯリング（第１シール）、４６は流体通路３と取付体４３の間を気密シールするＯリング（第２シール）である。
【００２３】
次に動作を説明する。まずステータ３２の励磁コイル３３に接続した駆動回路（図示せず）により弁閉する方向に励磁コイル３３に順次通電してロータ３０の磁極に電磁力を加えてロータ３０を支持軸４１を軸心として回転させ、ロータ回転軸３４に螺合した移動体３６に力を加える。移動体３６は回動防止体３７により回り止めされているためロータ回転軸３４の回転とともに弁座１の方へ移動する。この時移動体３６に連結された流れ規制体３８は移動体３６とともに弁座１の方へ移動し、この移動途中において付勢体３９の付勢力はロータ３０の回転力に対して負荷とはならない。
【００２４】
しかし、流れ規制体３８が弁座１に当接すると付勢体３９の付勢力がロータ３０に負荷として作用し、ロータ３０の回転力は付勢体３９をあと僅かな寸法だけ圧縮させるよう移動体３６を弁座１の方へ移動させる。付勢体３９をあと僅かだけ圧縮してロータ３０の回転を停止させると、流れ規制体３８を弁座１に対して押し付けるように付勢体３９の付勢力が加わり、安定した弁閉止力が加わった状態で弁閉される。図２に弁閉止力が加わった状態で流れ規制体３８が弁座１を閉止した状態を示す。
【００２５】
次に、流れ規制体３８を弁座１から離して開弁する方向に移動させる場合は、ロータ３０の回転方向が逆転方向になるように駆動回路（図示せず）を切換えて駆動する。開弁動作において付勢体３９の付勢力が弁座１に加わっている過程では、この付勢力がロータ３０を開弁方向に回転させる力として作用するためロータ３０を回転させる負荷が低減される。特に、弁閉時に流体の圧力差が弁座１の上流、下流間に生じて図中の流れ規制体３８側が高い圧力となっている場合は、流れ規制体３８を弁座１に押付ける力（背圧）として作用するが、付勢体３９の付勢力はこの背圧を低減する方向に作用するため開弁時の負荷が低減される。
【００２６】
流れ規制体３８が弁座１から離れると付勢体３９の付勢力はロータ３０の負荷とは無関係となり、ロータ３０の回転により流れ規制体３８を開弁位置（図１に示す）まで移動させて駆動回路（図示せず）によりロータ３０の回転を停止する。なお、ロータ３０の回転をステップ駆動させるいわゆるステッピングモータとしてロータ３０およびステータ３２を構成することにより、弁閉位置および開弁位置の精度を容易に高めることができ、励磁コイル３３に印可する駆動周波数（パルスレート）を負荷に応じて変えることができる。
【００２７】
ロータ３０の回転はロータ回転軸３４の中心に設けた軸穴４２に挿入された支持軸４１により回動自在に支持されているものであり、ロータ回転軸３４の外周面ではなく内周面を滑り面として接触半径を小さくして摩擦力によるトルク損失が低減される。
【００２８】
以上の動作において、励磁コイル３３を有するステータ３２を磁気回路を横切る隔壁４０により流体通路の外側に設けた気密シール構造のため、気密シールによる接触抵抗を無くしてロータ３０への気密シール負荷を無くしたものである。また、流れ規制体３８は付勢体３９により軸方向に付勢されるものの、付勢体３９の付勢力は移動体３６と流れ規制体３８との間に作用させた内力となり、移動体３６と流れ規制体３８と付勢体３９は一体に動く。このため付勢力は流れ規制体３８が弁座１に当接する時のみロータ３０への負荷となるだけで、流れ規制体３８が弁座１から離れて移動している場合では付勢力がロータ３０への負荷とならず負荷低減が実現でき、流れ規制体３８を弁座１から離す開弁時では付勢体３９の付勢力が流れ規制体３８に加わる背圧を減少させるように作用するため開弁時のロータ３０への負荷が低減できる。
【００２９】
また、支持軸４１をロータ回転軸３４の内径方向に設けた軸穴４２に挿入するにより、回転支持部を軸方向に設けずに済むため軸支持構成の小型化ができ、さらにロータ回転軸３４の中空化により回転に対する慣性モーメントの低減がなされロータ３０への負荷の低減あるいはロータ３０が回転する時の応答性を向上できる。
【００３０】
このように実施の形態１では、隔壁４０による確実な気密シール構造でかつ気密シールによる摩擦抵抗損失を防止でき、また移動体３６と流れ規制体３８との間の付勢力により負荷抵抗を低減してロータへの負荷を低減でき、駆動部であるステータ３２の低入力化、およびロータ３０あるいはステータ３２などの駆動部の小型化を実現できる。
【００３１】
さらに実施の形態２では、ロータ３０は小径の支持軸４１で支持することで接触半径の低減により摩擦抵抗の低減がなされて駆動部への低入力化が促進され、さらに軸支持構成の小型化によりアクチュエータの小型化が実現できる。
【００３２】
（実施の形態３、実施の形態４）
図３は本発明の実施の形態３および実施の形態４のアクチュエータの断面図である。図において、図１、図２の実施の形態と同一部材、同一機能は同一符号を付し詳細な説明は省略し、異なるところを中心に説明する。
【００３３】
４７は支持軸４１の一端を接合した軸支持体であり、軸支持体４７はさらに隔壁４０の側面部４０ｂの流体通路３側に接合されている。軸支持体４７は外形が隔壁４０の円筒部４０ａの内側形状に沿うように精度良く仕上げるとともに、その中心部に開口４７ａを設けて支持軸４１の端部を嵌め合わせることで隔壁４０の円筒部４０ａの中心に芯ズレなく支持軸４１を配置している。なお、軸支持体４７への支持軸４１の接合および隔壁４０への軸支持体４７の接合は溶接などで容易に実施できる。４８はロータ３０の軸方向のスラスト荷重を受けるスラスト軸受で、弁閉時に付勢体３９の付勢力が加わる時にもロータ回転軸３４の滑らかな動作を確保する。また、軸支持体４７を磁性材料とすることにより磁性材をロータ３０の磁極３１の側面近傍に配置でき、ロータ３０とステータ３２の側面における磁気回路の磁気抵抗が小さくなる。
【００３４】
このため、軸支持体４７の厚さを大きくすることにより支持軸４１を強度を高めて支持でき、さらに強度を持った軸支持体４７を隔壁４０に接合することで隔壁４０の強度を高めることができる。ところで、ロータ３０とステータ３２との間の距離である磁気ギャップは磁気回路の抵抗となるためできるだけ小さく設定すべきであり、従ってロータ３０とステータ３２の間に配置される隔壁４０は薄さが必要となる。特に隔壁４０を生産性に優れた絞り加工で成形する場合では側面部４０ｂは素材の薄さとなり、支持軸４１を直接接合するのは強度上困難となる。しかし、強度を持った軸支持体４７を介して支持軸４１を設置すると、極薄板の絞り加工による隔壁４０の形成と隔壁４０の補強が両立でき生産性
を高めることができる。
【００３５】
さらに、軸支持体４７を磁性材料とした場合では対向するロータ３０とステータ３２間の磁気回路抵抗が低減されているため、励磁コイル３３に通電されると隔壁４０の円筒部４０ａが介在する磁気ギャップ部において一層大きい磁束を発生でき、ロータ３０の回転力を高めることや所定の回転力を得るための励磁コイル３３への電気入力を低減できる。特に、隔壁４０は対向するロータ３０とステータ３２間に配置されるため非磁性材で構成する必要があり、円筒部４０ａと側面部４０ｂを一体で形成する時は磁性材の軸支持体４７により磁気抵抗の低減による磁気回路の改善ができる。
【００３６】
このように実施の形態３では、隔壁４０を極薄い材料で形成した場合でも支持軸４１を確実にかつ接合強度を高めて隔壁４０に取付けることができ、隔壁４０の薄肉化により回転力の高出力化と構造の高強度化により耐久性などの信頼性を高めることができ、さらに生産性を向上できる。
【００３７】
さらに実施の形態４では、隔壁４０を非磁性材料で構成しても、ロータ３０の側面に磁性材を配置できるためロータ３０とステータ３２間の磁気回路の磁気抵抗を低減でき、磁気駆動力を向上でき回転力の高出力化あるいは駆動部の低入力化が実現できる。
【００３８】
（実施の形態５）
図４は本発明の実施の形態５のアクチュエータの断面図である。図において、図１〜図３の実施の形態と同一部材、同一機能は同一符号を付し詳細な説明は省略し、異なるところを中心に説明する。
【００３９】
４９はロータ回転軸３４に開けた軸穴４２が流れ規制体３８側に開口しないよう流れ規制体３８側に設けた封止部である。
【００４０】
このため、流体通路３に面した流れ規制体３８側から支持軸４１部へゴミ、異物などが侵入するのが防止できるとともに、支持軸４１部で発生した摩耗粉あるいは塗布されていた潤滑剤などが流体通路３側に漏出するのが防止できる。なお、軸穴４２はロータ３０側から先端が開口しないように開けた盲穴でも良いが、高精度の加工ができ入口部と先端部の寸法確認ができる貫通穴として加工後に封止栓を設けて封止部４９とすることで軸穴４２の加工性および信頼性が向上できる。
【００４１】
このように、流れ規制体３８側からの支持軸４１部へのゴミ、異物などの侵入が防止でき、安定した回転を持続し耐久性および信頼性を高めることができる。また、支持軸４１部で発生した摩耗粉あるいは塗布されていた潤滑剤などが流体通路側に出るのが防止でき、流体への汚染の防止と清浄な流体への利用ができるなど適応範囲を広げることができる。
【００４２】
（実施の形態６）
図５は本発明の実施の形態６のアクチュエータの断面部分図である。図において、図１〜図４の実施の形態と同一部材、同一機能は同一符号を付し詳細な説明は省略し、異なるところを中心に説明する。
【００４３】
５０は移動体３６に設けた外周方向に延びる外周突起３６ａと流れ規制体３８の弁ゴム保持部３８ｂに設けた内周方向に延びる内周突起３８ｄとを嵌め合わせて係止した係止部であり、外周突起３６ａは流れ規制体３８の内周壁３８ｅとガタ（隙間）を設けるように形成され、内周突起３８ｄは移動体３６の外周壁３６ｂとガタ（隙間）を設けるように形成されている。
【００４４】
このため、図６に示すように流れ規制体３８にほぼ軸方向の外力Ｐが開弁方向に加わると、流れ規制体３８は移動体３６あるいはロータ回転軸３４に対して角度θだけ傾き、いわゆる首振り動作が生じる。従って、アクチュエータが流体通路の弁座に対して傾いて設置された場合でも流れ規制体３８は弁座の傾きに対してなじむように自在に首振り動作し、確実な弁閉止が実現できる。
【００４５】
このように、流体通路に対するアクチュエータの取付に誤差がある場合、例えば弁座に対して傾いて設置された場合でも首振り動作により流れ規制体が流体通路の弁座を正常に閉止でき、確実な流体制御動作がなされ信頼性をより一層向上することが実現できる。
【００４６】
（実施の形態７）
図７は本発明の実施の形態７のアクチュエータの断面図である。図において、図１〜図６の実施の形態と同一部材、同一機能は同一符号を付し詳細な説明は省略し、異なるところを中心に説明する。
【００４７】
５１は隔壁４０の側面部４０ｂ側に設けロータ回転軸３４の外周を支持する第一の軸受であり、この軸受５１は隔壁４０の側面部４０ｂに一体形成した軸受保持部５２に収納され保持されている。この軸受保持部５２は絞り加工により側面部４０ｂに環状の突出部４０ｄを設けるとともに中央に凹部４０ｅを設けて形成している。５３は取付体４３側に設けロータ回転軸３４の外周を支持する第二の軸受であり、この軸受５３は取付体４３に固定されている。なお、ここでは第一の軸受５１と第二の軸受５３でロータ回転軸３４を回転支持する場合を示したが、第一の軸受５１の軸方向長さを大きくし第二の軸受５３を無くして片持ち支持とすることができる。
【００４８】
このため、軸受保持部５２は絞り加工により隔壁４０の円筒部４０ａに対して芯ズレなく形成でき、軸受５１を回転の中心に精度良く配置できる。また、極薄板で形成された隔壁４０は環状の突出部４０ｄおよび中央の凹部４０ｅの凹凸の形成により補強できる。
【００４９】
このように、軸受保持部は隔壁に一体形成されるため芯ズレのない高精度の加工によりロータと隔壁の隙間を一層低減でき、さらに凹凸の形成により隔壁の強度が向上できるため隔壁の薄肉化をより一層推進でき、ステータとロータ間の磁気ギャップの低減によりロータの回転力が一層向上できる。
【００５０】
（実施の形態８）
図８は本発明の実施の形態８のアクチュエータの断面図である。図において、図１〜図６の実施の形態と同一部材、同一機能は同一符号を付し詳細な説明は省略し、異なるところを中心に説明する。
【００５１】
５４は支持軸４１で回転支持されるロータ回転軸３４の軸方向のスラスト荷重を受ける軸受体である。この軸受体５４はロータ回転軸３４の外周部に接して設けるとともに、隔壁４０、ステータ３２および回動防止体３７を固定した取付体４３に設けたロータ回転軸３４が貫通する貫通孔４３ａとロータ３０の間に貫通孔４３ａを塞ぐように配置している。
【００５２】
このため、流れ規制体３８に背圧が加わっている開弁時では流れ規制体３８を弁座１から引き離す時に軸方向の反力がスラスト力として軸受体５４を介して取付体４３に加わる。この軸受体５４によりロータ３０が取付体４３などに当接するのが防止されるとともに、摩擦抵抗の小さい摺動材で軸受体５４を形成することにより摩擦損失の低減がなされる。さらに、軸受体５４は取付体４３の貫通孔４３ａを塞ぐように配置されているため、流
体通路３側からゴミ、異物などがロータ３０側に侵入するのを防止できる。また、スラスト軸受とゴミ侵入防止蓋を一つで併用できるため小型化あるいは生産性が高められる。
【００５３】
このように、軸方向に発生したスラスト荷重によりロータが軸方向に移動して隔壁あるいは取付体などの構成要素と接触するのを防止するとともに、流体側からロータ側へゴミ、異物などが侵入するのを防止して安定した回転を持続し信頼性を高めることができ、さらに小型化あるいは生産性が向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態１および実施の形態２のアクチュエータの開弁状態を示す断面図
【図２】同アクチュエータの閉弁状態を示す断面図
【図３】本発明の実施の形態３および実施の形態４のアクチュエータの断面図
【図４】本発明の実施の形態５のアクチュエータの断面図
【図５】本発明の実施の形態６のアクチュエータの部分断面図
【図６】同アクチュエータの首振り動作を示す断面図
【図７】本発明の実施の形態７のアクチュエータの断面図
【図８】本発明の実施の形態８のアクチュエータの断面図
【図９】従来のアクチュエータの断面図
【図１０】従来の他のアクチュエータの断面図
【符号の説明】
【００５５】
３０  ロータ
３１  磁極
３２  ステータ
３３  励磁コイル
３４  ロータ回転軸
３５  送り手段
３６  移動体
３７  回動防止体
３８  流れ規制体
３９  付勢体
４０  隔壁
４１  支持軸
４２  軸穴
４３  取付体
４７  軸支持体
４９  封止部
５０  係止部
５１  軸受
５２  軸受保持部
５４  軸受体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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