(57)【要約】【課題】  ハイドロフロロエーテル（ＨＦＥ）廃液から、ＨＦＥを高純度で回収することのできる方法を提供すること。【解決手段】  ＨＦＥと共沸する成分を含む廃液から、高純度のＨＦＥを回収するに際して、かかるＨＦＥの廃液を、炭素数が６〜１８の液状脂肪族アルコール及び炭素数が８以上の液状脂肪族炭化水素からなる群より選ばれた少なくとも１種の抽出溶媒にて、抽出処理する工程と、該抽出工程において得られる、前記抽出溶媒が混入したＨＦＥ相からなる抽残液を蒸留して、ＨＦＥを取り出す工程とを採用して、ＨＦＥの回収を実施する。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハイドロフロロエーテルと共沸する成分を不純物として含む廃液から、ハイドロフロロエーテルを回収する方法にして、
かかるハイドロフロロエーテルの廃液を、炭素数が６〜１８の液状脂肪族アルコール及び炭素数が８以上の液状脂肪族炭化水素からなる群より選ばれた少なくとも１種の抽出溶媒にて、抽出処理する工程と、
該抽出工程において得られる、前記抽出溶媒が混入したハイドロフロロエーテル相からなる抽残液を蒸留して、ハイドロフロロエーテルを取り出す工程とを、
含むことを特徴とするハイドロフロロエーテルの回収方法。
【請求項２】
前記ハイドロフロロエーテルが、パーフロロブチルメチルエーテル若しくはパーフロロブチルエチルエーテルである請求項１に記載のハイドロフロロエーテルの回収方法。
【請求項３】
前記抽出溶媒が、トリデシルアルコール、ｎ−デカノール、２−エチルヘキサノール、ｎ−ヘプタノール及びミネラルオイルのうちの１種である請求項１又は請求項２に記載のハイドロフロロエーテルの回収方法。
【請求項４】
前記ハイドロフロロエーテル廃液を、前記抽出溶媒に対して向流接触せしめることにより、前記抽出処理が実行される請求項１乃至請求項３の何れかに記載のハイドロフロロエーテルの回収方法。
【請求項５】
前記抽出工程において得られる、前記不純物を溶解してなる抽出溶媒相からなる抽出液を蒸留して、釜残液として、前記抽出溶媒を回収する請求項１乃至請求項４の何れかに記載のハイドロフロロエーテルの回収方法。
【請求項６】
前記ハイドロフロロエーテル廃液が、不純物として、イソプロピルアルコール及びヘプタンを含有しており、且つ前記抽出液の蒸留において得られる初留分が水洗されて、該初留分中の水溶性成分が除去される請求項５に記載のハイドロフロロエーテルの回収方法。
【請求項７】
前記ハイドロフロロエーテル廃液が、不純物として、イソプロピルアルコール及びヘプタンを含有しており、且つ前記抽出液の蒸留において得られる釜残液が水洗されて、該釜残液中の水溶性成分が除去される請求項５又は請求項６に記載のハイドロフロロエーテルの回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハイドロフロロエーテルの回収方法に係り、特に、ハイドロフロロエーテルと共沸するイソプロピルアルコール、ヘプタン、その他を不純物として含むハイドロフロロエーテル廃液から、高純度のハイドロフロロエーテルを有利に回収する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体や液晶デバイス、その他の精密部品、器具等の精密洗浄においては、低沸点のハイドロフロロエーテル（ＨＦＥ）が、超純水や他の有機溶媒と共に、用いられてきているが、そのような精密洗浄工程から排出されるＨＦＥ廃液には、一般に、濾過、沈降、蒸発等の分離操作が施されて、不純物としての夾雑成分が除去され、ＨＦＥが回収されてきている。
【０００３】
しかしながら、かかるＨＦＥ廃液の一部には、前工程で用いられた低沸点の脂肪族炭化水素やアルコールを、不純物として含有しているものがあり、そのようなＨＦＥ廃液は、その回収目的とするＨＦＥが、低沸点脂肪族炭化水素や低沸点アルコールと２成分又は３成分共沸する場合があり、その場合において、前記した蒸留操作等にて、高純度のＨＦＥを回収することは困難であったのである。
【０００４】
例えば、半導体の洗浄工程においては、超純水による洗浄、低沸点アルコールであるイソプロピルアルコールによる洗浄、低沸点の脂肪族炭化水素であるヘプタンによる洗浄、更にはＨＦＥによる洗浄が、順次、採用されることとなるのであるが、この洗浄操作において回収されたＨＦＥ廃液には、少なくともヘプタンが数％程度混入して、不純物として含まれるようになる。そして、そのようなＨＦＥ廃液においては、それに精密な蒸留操作を施しても、ＨＦＥとヘプタンとの共沸等が原因と考えられる理由により、９８％以上の高純度のＨＦＥを回収することが出来ず、それを、そのまま、半導体の洗浄操作に用いることは、困難であった。
【０００５】
このため、そのようなＨＦＥ廃液は、焼却処分するしか方法がないのであるが、その焼却には、発生する弗酸の処理も行なう必要があるところから、その処理コストが著しく高騰する、等という問題が内在しているのである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為されたものであって、その解決課題とするところは、ハイドロフロロエーテル（ＨＦＥ）廃液から、ハイドロフロロエーテル（ＨＦＥ）を高純度で回収することの出来る方法を提供することにあり、また、他の課題とするところは、ＨＦＥ廃液から、半導体等の精密洗浄工程に再利用可能な高純度のＨＦＥを有利に回収し得る方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そして、そのような課題を解決するために、本発明にあっては、ＨＦＥと共沸する成分を不純物として含むＨＦＥの廃液から、ＨＦＥを回収する方法にして、（ａ）かかるＨＦＥの廃液を、炭素数が６〜１８の液状脂肪族アルコール及び炭素数が８以上の液状脂肪族炭化水素からなる群より選ばれた少なくとも１種の抽出溶媒にて、抽出処理する工程と、（ｂ）該抽出工程において得られる、前記抽出溶媒が混入したＨＦＥ相からなる抽残液を蒸留して、ＨＦＥを取り出す工程とを、含むことを特徴とするＨＦＥの回収方法を、その要旨とするものである。
【０００８】
なお、このような本発明に従うＨＦＥの回収方法にあっては、前記抽出溶媒としては、トリデシルアルコール（トリデカノール）、ｎ−デカノール、２−エチルヘキサノール、ｎ−ヘプタノール及びミネラルオイルのうちの１種が、有利に用いられることとなる。
【０００９】
また、本発明にあっては、前記ハイドロフロロエーテルとしては、有利には、パーフロロブチルメチルエーテル若しくはパーフロロブチルエチルエーテルが、対象とされるのである。
【００１０】
さらに、本発明に従うＨＦＥの回収方法の望ましい態様の一つによれば、前記ＨＦＥ廃液を、前記抽出溶媒に対して向流接触せしめることにより、前記抽出処理が、有利に実行されることとなる。
【００１１】
そして、本発明に従うＨＦＥの回収方法の他の望ましい態様においては、前記抽出工程において得られる、前記不純物を溶解してなる抽出溶媒相からなる抽出液を蒸留することにより、釜残液として、前記抽出溶媒が回収され、そして、その回収された抽出溶媒は、再び、本発明に従うＨＦＥ廃液の抽出処理操作に、好適に用いられるのである。
【００１２】
また、本発明にあっては、有利には、前記ＨＦＥ廃液が、不純物として、イソプロピルアルコール及びヘプタンを含有しており、且つ前記抽出液の蒸留において得られる初留分が水洗されて、該初留分中の水溶性成分が除去されるようにすることによって、その初留分を、再び、本発明に従う抽出処理操作における原料として、ＨＦＥ廃液と共に供給されて、ＨＦＥの回収が有利に行なわれる。
【００１３】
さらに、本発明に従う他の望ましい態様によれば、前記ＨＦＥ廃液が、不純物として、イソプロピルアルコール及びヘプタンを含有しており、且つ前記抽出液の蒸留において得られる釜残液が水洗されて、かかる釜残液中の水溶性成分が除去されるようにすることが望ましく、それによって、そのような釜残液が、再び、抽出溶媒として、有利に使用されることとなるのである。
【発明の効果】
【００１４】
このように、本発明に従うＨＦＥの回収方法によれば、特定の抽出溶媒を用いた溶媒抽出処理と、その抽残液に対する蒸留（精留）処理とを組み合わせることにより、例えばヘプタンを不純物として含むＨＦＥ廃液から、共沸成分たるヘプタンを効果的に除去して、そのようなヘプタンを含むことのないＨＦＥを、高純度にて回収することが、可能となるのである。
【００１５】
従って、本発明によって、ＨＦＥが高純度において回収され得ることとなったことにより、その回収ＨＦＥは、再び、半導体の洗浄等の、本来の各種用途に有利に用いられ得るのであり、また、ＨＦＥの回収が可能となったことによって、従来から採用されているＨＦＥ廃液の焼却処分が不要となり、以て、処理コストが高価となる等の問題も効果的に解消し得ることとなるのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
ところで、かくの如き本発明に従うＨＦＥの回収方法において対象とされる、ＨＦＥの廃液は、半導体や液晶デバイス、その他の部品、器具の精密洗浄工程から排出される、前工程に例えばヘプタン洗浄処理工程等が存在することによって、洗浄媒体としてのヘプタン等のＨＦＥ共沸成分を必然的に不純物として含むこととなるＨＦＥ廃液が、その主たる対象とされるものであるが、勿論、それに限られることなく、少なくとも、ヘプタン等のＨＦＥ共沸成分を不純物として含むＨＦＥの廃液であれば、何れも、本発明を適用して、高純度のＨＦＥを有利に回収することが可能である。
【００１７】
なお、かかるＨＦＥ廃液におけるＨＦＥ（ハイドロフロロエーテル）は、公知のものであって、例えば、パーフロロブチルメチルエーテル（Ｃ4Ｆ9ＯＣＨ3 ）やパーフロロブチルエチルエーテル（Ｃ4Ｆ9ＯＣ2Ｈ5）等を挙げることができる。また、そのようなＨＦＥとしては、具体的には、住友スリーエム（株）製のＨＦＥ−７１００やＨＦＥ−７２００（商品名）等が用いられる。
【００１８】
そして、本発明にあっては、かくの如きＨＦＥ廃液に対して、先ず、特定の抽出溶媒を用いた溶媒抽出処理が、施されることとなる。この溶媒抽出処理によって、ＨＦＥ廃液中の不純物であるヘプタンが少なくとも溶解せしめられた抽出溶媒相からなる、比重の軽い抽出液が、軽液（上層）として取り出される一方、比重の重いＨＦＥ相からなる抽残液が、重液（下層）として取り出されることとなる。
【００１９】
なお、ここで用いられる特定の抽出溶媒とは、炭素数が６〜１８の液状脂肪族アルコール及び炭素数が８以上の液状脂肪族炭化水素からなる群より選ばれた少なくとも１種の溶媒であって、具体的には、ｎ−ヘキサノール、シクロヘキサノール、ｎ−ヘプタノール、２−エチルヘキサノール、ｎ−デカノール、トリデシルアルコール、オクタンジオール、ミネラルオイル（スピリッツ）等を挙げることができる。また、そのような抽出溶媒の中でも、沸点が１５０℃以上であるものが、好適に用いられる。特に、本発明にあっては、抽出作業性や抽出効果等の観点から、トリデシルアルコール（トリデカノール）が、好適に用いられるのである。
【００２０】
また、かかるＨＦＥ廃液の特定の抽出溶媒による抽出処理は、それらＨＦＥ廃液と抽出溶媒とが充分に接触せしめられ得るように、従来と同様な装置や手法を採用して、実施されることとなるが、特に、本発明にあっては、ＨＦＥ廃液と抽出溶媒とを向流接触せしめる手法が有利に採用され、これによって、抽出処理が効果的に行なわれ得るのである。そして、そのような向流抽出操作においては、例えば、図１に示される如きミキサーセトラーを用い、その複数を、図２に示される如く、直列に接続してなるミキサーセトラー抽出装置が、有利に用いられることとなる。
【００２１】
ここで、図１に示されるミキサーセトラー（セル）の断面概略図において、ＨＦＥ廃液と抽剤（抽出溶媒）とが、ミキシングゾーン（混合部）Ｍに導入されて、攪拌装置２によって、均一に混合撹拌せしめられた後、セトリングゾーン（分離部）Ｓに導かれ、そこで、比重の軽い抽剤からなる軽液相４と比重の重いＨＦＥからなる重液相６に分離せしめられることとなる。そして、その際、ＨＦＥ廃液中に存在する不純物としてのヘプタン等の共沸成分は、抽剤に溶解して、軽液相４として取り出される一方、ＨＦＥは、ヘプタンを含有しない重液相６として、分離されるようになる。そして、それら軽液相４と重液相６とが、ミキサーセトラーの槽外（セル外）に取り出されるのである。
【００２２】
また、図２は、図１に示される如きミキサーセトラー（セル）の６個（６段）を直列に接続して、ＨＦＥ廃液と抽剤とが向流接触せしめられるように構成したミキサーセトラー抽出装置の、平面形態におけるミキシングゾーンＭとセトリングゾーンＳとの配置形態の該略図を示している。そこにおいて、ＨＦＥ廃液が導入される最上流側のミキサーセトラーセル（８ａ）から、抽剤が導入される最下流側のミキサーセトラーセル（８ｆ）まで、ミキシングゾーン（Ｍ）とセトリングゾーン（Ｓ）とが交互に位置するように、６個のミキサーセトラーセル（８ａ〜８ｆ）が配置されている。そして、最下流側のミキサーセトラーセル８ｆのセトリングゾーンＳにおいて分離された重液が、抽残液として、ミキサーセトラー抽出装置から取り出されるようになっている一方、ＨＦＥ廃液中のヘプタン等の共沸成分を溶解して含有する抽剤が、最上流側のミキサーセトラーセル８ａのセトリングゾーンＳから、軽液相４として、装置外に取り出されるようになっているのである。なお、各ミキサーセトラーセル８ａ〜８ｆにおいては、外部から導入されたＨＦＥ廃液又は前段のミキサーセトラーセルのセトリングゾーンＳにおいて分離された重液相（６）と、後段のミキサーセトラーセルのセトリングゾーンＳにおいて分離された軽液相（４）又は外部から導入される抽剤とが、それぞれのミキシングゾーンＭに導かれて、そこで、撹拌装置（２）にて均一に混合撹拌せしめられて、不純物としてのヘプタン等の共沸成分が、抽剤側に抽出されて、ＨＦＥ相から分離されるようになっている。
【００２３】
このように、図２に示される如きミキサーセトラー抽出装置を用いて、ＨＦＥ廃液と抽剤とを向流接触せしめ、各ミキサーセトラーセル８ａ〜８ｆにおいて、抽出処理操作を繰り返して、実行することにより、ＨＦＥ廃液中の不純物としてのヘプタン等の共沸成分を、効果的に抽剤側に抽出せしめ得、以て、ヘプタン等の共沸成分を含むことのないＨＦＥからなる抽残液を、重液として得ることが出来るのである。
【００２４】
尤も、かかる抽出工程において得られる抽残液（重液）は、抽出処理に用いた抽出溶媒（抽剤）が必然的に混入したＨＦＥ相からなるものであるところから、そのような抽残液から高純度のＨＦＥを得るべく、蒸留操作（精留）が、実施される。その際、ＨＦＥは、低沸点である一方、本発明で用いられる抽出溶媒（抽剤）は、高沸点であり、しかも、それらＨＦＥと抽出溶媒とは共沸するものではないところから、前記した精留により、目的とするＨＦＥが、高純度において分離、取り出されることとなるのである。
【００２５】
一方、上記の抽出処理工程において得られた、不純物としてのヘプタン等の共沸成分を溶解してなる抽出溶媒相からなる抽出液（戻り抽剤）には、それから、抽出溶媒を回収すべく、蒸留操作が加えられることとなる。そして、この操作において、初留分には、低沸点のＨＦＥが含まれることとなるところから、それは、ＨＦＥ廃液と共に、再度の抽出処理が施されることとなる一方、釜残として、高沸点の抽出溶媒が取り出されるところから、それは、回収されて、再び、抽出溶媒として、抽出工程に用いられのである。なお、かかる蒸留操作において生じる中留分（後留分を含む）は、ヘプタン等の不純物が多く含まれることとなるところから、燃焼廃棄されることとなる。また、このような戻り抽剤の蒸留操作においては、一般に、初留分が、常圧下における６０〜６１℃程度の留分として集められるのであり、また、中留分は、常圧下において、約６１〜９８℃の留分として集められ、更に、後留分は、減圧（８０ｍｍＨｇ）下において、塔頂温度がほぼ定常（約１３１℃）になるまで蒸留して、得られる留分として、取り出されたものである。
【００２６】
また、かかる戻り抽剤の蒸留操作において取り出された初留分には、有利には、水洗操作が実施されて、かかる初留分中の水溶性成分が除去された後、再度の抽出処理に回されることとなっており、これによって、不純物としての水溶性成分が系外に容易に取り出されることとなる。更に、そのような戻り抽剤の蒸留操作において取り出された釜残液に対しても、同様な水洗処理が実施され、その上層が、回収抽出溶媒として、抽出処理に再度利用され得るようになっている。
【００２７】
なお、以上の如き本発明に従うＨＦＥ廃液の抽出工程、抽残液の蒸留工程、戻り抽剤の蒸留工程を含む回収工程のフロー図が、図３に示されている。そして、このフロー図より明らかな如く、本発明に従って抽出処理と蒸留（精留）を行なうことによって、ＨＦＥ廃液から、ＨＦＥが有利に回収され得るようになっている一方、抽出溶媒にあっても、蒸留操作によって効果的に回収されて、抽出処理に再び使用され得るようになっているのである。
【実施例】
【００２８】
以下に、本発明の実施例を示し、本発明を更に具体的に明らかにすることとするが、本発明は、そのような実施例の記載によって、何等の制約をも受けるものでないことは、言うまでもないところである。また、本発明には、以下の実施例の他にも、更には、上記した具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等を加え得るものであることが、理解されるべきである。なお、以下の実験における百分率や部は、特に断りのない限り、何れも重量基準にて表わされるものである。
【００２９】
比較例  １
下記表１に示される組成のＨＦＥ廃液（１）について、既存の蒸留技術による回収テストを実施した。なお、かかるＨＦＥ廃液（１）におけるＨＦＥ−７１００（住友スリーエム株式会社）は、沸点が６１℃のパーフロロブチルメチルエーテルであり、ＩＰＡは、沸点が８２．５℃のイソプロピルアルコールであり、また、ヘプタンの沸点は、９８．４℃である。
【００３０】
【表１】
2006169172.tif 000003
【００３１】
なお、ＨＦＥの回収テストは、かかるＨＦＥ廃液（１）について、通常の蒸留テスト装置を用いて、理論段数が１５〜２０段の場合（Ｒｕｎ１）と３０〜４０段の場合（Ｒｕｎ２）とにおいて、それぞれ行ない、その結果を、下記表２に示した。その際、初留分の１２％をカットし、また、釜残は８％であった。かかる表２の結果から明らかな如く、ＨＦＥの目標純度：９９％を得ることが出来ず、これは、ＨＦＥとヘプタンとが共沸しているものと考えられる。
【００３２】
【表２】
2006169172.tif 000004
【００３３】
比較例  ２
上記の比較例１に用いたＨＦＥ廃液（１）とは組成が少し異なる、下記表３に示されるＨＦＥ廃液（２）を用いて、比較例１と同様にして、従来からの蒸留法によるＨＦＥの回収を試みた。
【００３４】
【表３】
2006169172.tif 000005
【００３５】
かかるＨＦＥ廃液（２）について、理論段数を３０〜４０段として、蒸留を行なった結果、下記表４に示される如く、ＩＰＡの切れが悪いために、初留分を６０％もカットした後、ようやくＨＦＥ純度が、上記比較例１並みの９７．５％となり、とても目標の９９％以上とすることは出来なかった。
【００３６】
【表４】
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【００３７】
これら比較例１及び比較例２の蒸留テストの結果からして、蒸留操作のみでは、低沸点の脂肪族炭化水素や低沸点アルコールを含有するＨＦＥ廃液から、高純度のＨＦＥの工業的な回収は、極めて困難であることが理解される。
【００３８】
実験例  １
図１に示される２Ｌ容量の小型ミキサーセトラーセルの８個を、図２に示される如く、直列に連結してなる抽出試験装置を用い、また、抽出溶媒（抽剤）としては、トリデシルアルコールを用いて、前記したＨＦＥ廃液（２）の抽出分離テストを実施した。なお、ＨＦＥ廃液の供給量を５０ｍＬ／時とし、抽剤の供給量を１００ｍＬ／時として、それらを、向流接触させて、抽出操作を実施した。
【００３９】
かかる抽出分離テストの結果を、下記表５に示すが、この表５の結果より明らかな如く、抽出試験装置から、重液相である下層として取り出された抽残液は、抽出溶媒として用いたトリデシルアルコールを０．４％含むものの、蒸留操作では除去することが出来なかったヘプタンは全く含有されておらず、ＩＰＡが０．０２％となり、また、水分は約９０ｐｐｍまで下がり、ＨＦＥ純度が、目標の９９％を超え、９９．６％までアップしたものとすることが出来た。
【００４０】
一方、抽出試験装置から軽液相である上層として取り出された戻り抽剤は、ヘプタンを２．４％含み、またＩＰＡを２．７％、水を１５００ｐｐｍ含み、更にＨＦＥも１１．２％含むものとなったため、抽出溶媒：トリデシルアルコール純度が８３．５％に低下したものとなった。
【００４１】
【表５】
2006169172.tif 000007
【００４２】
実験例  ２
前記実験例１において得られた抽残液（重液相）は、ＨＦＥ純度としては充分であるものの、高沸点のトリデシルアルコールを約０．４％含むものであるところから、それを、そのまま精密洗浄用用剤として用いることが出来ないため、更に、そのような抽残液について、以下の蒸留テストを行ない、高沸点のトリデシルアルコールを除去し得ることを確認した。なお、仕込量は、４６１．１部、還流比は１.５とし、常圧下において蒸留を行ない、塔頂温度：６０．７〜６０．８℃にて、留分を取り出した。その結果を、下記表６に示す。
【００４３】
【表６】
2006169172.tif 000008
【００４４】
かかる表６の結果から明らかなように、抽残液を蒸留して得られる初留分及び中留分共に、抽出溶媒であるトリデシルアルコールを全く含まないものとなったのであり、また、釜残液は、その殆どがＨＦＥであるところから、次回の蒸留時に、次回抽残液と併せて蒸留回収することが可能である。
【００４５】
実験例  ３
前記実験例１において得られた軽液相である戻り抽剤には、約１１％のＨＦＥ、２．４％のヘプタン、２．７％のＩＰＡ、更に約８４％のトリデシルアルコール（抽剤）が含まれているところから、それら含有成分をそれぞれ分離できなければ、工業的に経済的なシステムとはならないため、かかる戻り抽剤について、蒸留テストを実施した。なお、仕込量は３２１．９部とする一方、初留は、常圧下、塔頂温度が６０〜６１℃の留分を集めることにより、また、中留としては、常圧下において、温度が６１℃から上がり始めたところから９８．５℃の温度になるまでの留分を集めることにより、得た。更に、後留としては、減圧（８０ｍｍＨｇ）下において、塔頂温度が約１３１℃になるまで蒸留を行ない、その留分を集めた。蒸留結果を、以下の表７に示す。
【００４６】
【表７】
2006169172.tif 000009
【００４７】
上記の蒸留操作において得られた初留分には、ＩＰＡが４．５％も含まれているところから、それを同量の水で洗浄した結果、下記表８に示されるように、水溶性のＩＰＡが殆どカットされ、次回原料として使用できることが明らかとなった。
【００４８】
【表８】
2006169172.tif 000010
【００４９】
また、上記の蒸留テストにて得られた釜残液について、それと同量又は２倍量の水を用いて洗浄した結果、洗浄前の酸価：約０．３６ｍｇＫＯＨ／ｇから、それぞれ、０．１６ｍｇＫＯＨ／ｇ又は０．１５ｍｇＫＯＨ／ｇに、低下した。そして、それら洗浄された釜残液（トリデシルアルコール）を用いて、実験例１と同様な抽出テストを行なった結果、全く新品のトリデシルアルコールと同等の性能を示すことを認めた。
【００５０】
実験例  ４
前記実験例１において得られた抽残液（重液・ＨＦＥ）を用いて、その約７０Ｌ（約１００Ｋｇ）を、塔径：２００ｍφ、充填高さ：７ｍ、ボトム容量：１００Ｌの中試精留装置と３連の０．２μフィルターを用いて、ＨＦＥ回収テストを行なった。なお、仕込量は１００．１Ｋｇ、還流比は１．５とし、また初留と中留は、還流液をＧＣ分析して、ＨＦＥが９９．９％以上になったところで、中留の留分として集めることにより、分けた。その結果を、下記表９に示す。
【００５１】
【表９】
2006169172.tif 000011
【００５２】
実験例  ５
上記の実験例４と同様に、実験例１の小型ミキサーセトラーによる抽出分離テストで得られた戻り抽剤の約９５Ｌ（約８１Ｋｇ）を用いて、それから、実験例４と同様な中試精留装置を用いて蒸留を行ない、下記表１０に示される結果を得た。なお、仕込量は８７．６Ｋｇ、還流比は１．５とし、また初留、中留、後留の留分は、それぞれ、実験例３と同様にして分けた。
【００５３】
【表１０】
2006169172.tif 000012
【００５４】
かかる蒸留テストにおいて得られた初留分について、実験例３と同様に水洗を行なったところ、下記表１１に示される如く、ＩＰＡの含有量を著しく低下せしめることが出来た。また、釜残液の水洗品についても、その酸価は０．１６ｍｇＫＯＨ／ｇとなり、更に、それを用いたＨＦＥ廃液の抽出テスト結果は、前記表５とほぼ同様な結果となって、再使用可能であることを確認した。
【００５５】
【表１１】
2006169172.tif 000013
【００５６】
実験例  ６
下記表１２に示される各種溶媒を用いて、ＨＦＥ廃液（２）について、分液ロート法による抽出処理を実施し、その結果を、下記表１２に併せ示した。
【００５７】
【表１２】
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【００５８】
かかる表１２の結果から明らかなように、高級脂肪族アルコールの何れもが、抽出溶媒（抽剤）として有効な結果を示し、また、高級脂肪族炭化水素であるミネラルスピリッツにあっても、同様であったが、フタル酸２−エチルへキシル（ＤＯＰ）は、全く抽剤として機能しなかった。また、そのような抽剤として有効に機能するものの中でも、その抽出性能、粘度、沸点、融点、危険性等を考慮すると、トリデシルアルコールが最適であることを認めた。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】ミキサーセトラーの一例を示す縦断面概要図である。
【図２】６連のセルからなるミキサーセトラー抽出装置を示す平面概要図である。
【図３】本発明に従うＨＦＥ廃液の回収システムの一例を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００６０】
２  攪拌装置                            ４  軽液相
６  重液相                              ８ａ〜８ｆ  ミキサーセトラーセル
【図１】
2006169172.tif 000015
【図２】
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【図３】
2006169172.tif 000017