(57)【要約】【課題】スクリーン印刷の印刷材料の滲みを制御することができて、微細な図案であっても高い転写性で正確に目的の印刷パターンを印刷できる低コストで高品質なスクリーン印刷版を提供する。【解決手段】少なくとも、スクリーン印刷において被印刷物上に目的の印刷パターン４を形成するための印刷材料を吐き出す開口部２が設けられたスクリーン印刷版１であって、前記開口部２の大きさは、前記目的の印刷パターン４より縮小されており、かつ、前記開口部２の開口端部３が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するものであることを特徴とするスクリーン印刷版。【選択図】  図１
2006347077.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、スクリーン印刷において被印刷物上に目的の印刷パターンを形成するための印刷材料を吐き出す開口部が設けられたスクリーン印刷版であって、前記開口部の大きさは、前記目的の印刷パターンより縮小されており、かつ、前記開口部の開口端部が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するものであることを特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項２】
前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凸部が、前記目的の印刷パターンよりも０〜２５μｍ縮小された位置となるものであることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凹部に対する凸部の高さが、５〜２５μｍであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクリーン印刷版。
【請求項４】
前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、該凹凸パターンの周期が、５〜５０μｍであることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
【請求項５】
前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凹部の幅が、５〜２５μｍであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
【請求項６】
前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、少なくとも、三角波、矩形波、正弦波のいずれかの形状、または、これらの形状を組み合わせたものであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
【請求項７】
前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、袋状の凹部が周期的に形成されたものであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
【請求項８】
前記袋状の凹部の形状が、円形または台形であることを特徴とする請求項７に記載のスクリーン印刷版。
【請求項９】
少なくとも、請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版と、該スクリーン印刷版上で平行移動することによって前記開口部を通じて印刷材料を吐き出させて被印刷物に塗布するスキージと、該スキージを平行移動させる平行移動機構とを備えたものであることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のスクリーン印刷装置によって、基板の表面上にスクリーン印刷で電極が形成されたものであることを特徴とする太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷において被印刷物上に目的の印刷パターンを形成するための印刷材料を吐き出す開口部が設けられたスクリーン印刷版に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷は、スキージの摺動動作によってインキやペーストなどの印刷材料をスクリーン印刷版の開口部から押し出し、開口部の形状を印刷物に転写することによって目的の印刷パターンを印刷する印刷方法である。
スクリーン印刷で用いるスクリーン印刷版には、材質や製造方法の違いによって多くの種類が存在する。なかでも、金属細線を編み込んだ紗に乳剤で印刷する開口部を形成したものや、金属薄板にエッチングやレーザ加工により印刷する開口部を形成したものが、一般的である。
【０００３】
スクリーン印刷は、生産性が高いため、多くの産業分野で活用されている。
しかし、このスクリーン印刷を用いて、目的の印刷パターン、特に、微細な図案を印刷する場合に、開口端部からの印刷材料の滲みによって、転写性が低下するという問題がある。一方で、電子工業分野で使用されているスクリーン印刷では、特に高い転写性が求められている。
【０００４】
例えば、図３のように、開口部２ａの開口端部３ａが直線状であるスクリーン印刷版１ａを用いて印刷動作をした場合、印刷材料の滲みのため、印刷材料の端部の形状である印刷後の印刷パターン５ａは目的の印刷パターン４ａと一致せず、直線状にならない。元来、印刷材料の端部を直線状にするために開口端部３ａを直線としているにもかかわらず、印刷材料の滲みのため、印刷領域の面積が拡大する上に、印刷材料の端部は不規則な形状となってしまう。
【０００５】
この滲み現象の原因には様々なものが複合的に作用していると考えられるが、特には、（１）高い印圧、（２）被印刷物の表面形状、（３）メッシュの交点、（４）印刷材料の粘度が挙げられる。
【０００６】
このような印刷材料の滲みを防止する方法の１つに、スクリーン印刷版の被印刷物と接触する側の開口部近傍に、凹形の溝の印刷材料溜まりを設ける方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
また、他の滲み防止方法としては、スクリーン印刷版の被印刷物と接触する側に、開口端部に沿って、被印刷物との接触面の法線方向に堤をある高さで設ける方法がある（例えば、特許文献２参照）。
しかし、これらの方法では、スクリーン印刷版の作製方法が複雑になり、作製コストがが増大するという問題点がある。
【０００８】
また、被印刷物の表面形状は滲み現象に大きく影響する。例えば、導電性ペーストのスクリーン印刷によって電極を作製している太陽電池では、被印刷物（基板）の表面形状はテクスチャと呼ばれる四角錘の集合体となっているため、必ずしもスクリーン印刷版は被印刷物表面と密着せず、隙間が開いてしまう。その様な場合には、上記方法も効果的であるとはいえない。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２９４４４号公報
【特許文献２】特開平５−２７０１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、スクリーン印刷の印刷材料の滲みを制御することができて、微細な図案であっても高い転写性で正確に目的の印刷パターンを印刷できる低コストで高品質なスクリーン印刷版を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明によれば、少なくとも、スクリーン印刷において被印刷物上に目的の印刷パターンを形成するための印刷材料を吐き出す開口部が設けられたスクリーン印刷版であって、前記開口部の大きさは、前記目的の印刷パターンより縮小されており、かつ、前記開口部の開口端部が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するものであることを特徴とするスクリーン印刷版が提供される（請求項１）。
【００１２】
このように開口部の開口端部が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するスクリーン印刷版を用いてスクリーン印刷を行えば、前記開口部の開口端部の凹凸パターンにおける凹部（開口が小さくなる部分）近傍では印刷材料の滲み幅が大きくなり、凸部（開口が大きくなる部分）近傍では滲み幅が小さくなるので、印刷後の印刷パターンが滑らかで規則的な形状となる。そのため、印刷材料の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止することができるので、目的の印刷パターンが微細な図案であってもより高い転写性でより正確に、目的通りのパターン形状を印刷することができる。また、スクリーン印刷では、滲み現象を皆無にすることは不可能であるので、前記開口部の大きさは、目的の印刷パターンより縮小されたものとすることにより、印刷材料が滲んだ後の印刷パターンの形状を、目的の印刷パターンの形状と一致させることができる。
【００１３】
このとき、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凸部が、前記目的の印刷パターンの端部よりも０〜２５μｍ縮小された位置となるものであることが好ましい（請求項２）。
このように開口部の凸部が目的の印刷パターンの端部よりも０〜２５μｍ縮小された位置となるようにすることにより、印刷材料が滲んだ後の印刷パターンの形状を、さらに正確に目的の印刷パターンの形状と一致させることができる。
【００１４】
また、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凹部に対する凸部の高さが、５〜２５μｍであることが好ましい（請求項３）。
このように凹部に対する凸部の高さが、５〜２５μｍであることにより、より効果的に凹部近傍での印刷材料の滲み幅を大きくし、凸部近傍での滲み幅を小さくすることができるので、印刷後の印刷パターンをより効果的に滑らかなものとすることができる。
【００１５】
さらに、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、該凹凸パターンの周期が、５〜５０μｍであることが好ましい（請求項４）。
このように凹凸パターンの周期が５〜５０μｍであることにより、より効果的に凹部近傍での印刷材料の滲み幅を大きくし、凸部近傍での滲み幅を小さくすることができるので、印刷パターンをより効果的に滑らかで、かつ、規則的なものとすることができる。なお、規則的な印刷パターンの形状は、周期が開口端部の凹凸パターンと一致するものとなる。
【００１６】
また、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、凹部の幅が、５〜２５μｍであることが好ましい（請求項５）。
このように凹部の幅が５〜２５μｍであることにより、より効果的に凹部近傍での印刷材料の滲み幅を大きくすることができ、印刷後の印刷パターンをより効果的に滑らかなものとすることができる。
【００１７】
さらに、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、少なくとも、三角波、矩形波、正弦波のいずれかの形状、または、これらの形状を組み合わせたものであることが好ましい（請求項６）。
このように凹凸パターン形状は、少なくとも、三角波、矩形波、正弦波のいずれかの形状、または、これらの形状を組み合わせたものとすることにより、簡単で正確な同期性を有する凹凸パターンを形成することができるとともに、凹凸パターンの設計および作製が容易であり、製造コストを低く抑えることができる。
【００１８】
また、前記開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、袋状の凹部が周期的に形成されたものであることが好ましい（請求項７）。
このように凹凸パターン形状は袋状の凹部が周期的に形成されたものとすることによって、積極的に滲みを生じさせる箇所を作製することができて、結果として、より効果的に滲みを制御することができる。すなわち、この袋状の開口部に囲まれた非開口部の直下に積極的に滲みを誘導することができる。
【００１９】
さらに、前記袋状の凹部の形状が、円形または台形であることが好ましい（請求項８）。
このように袋状の凹部の形状が、円形または台形であることにより、滲みを容易に誘導できるし、袋状の凹部の設計および作製が容易であり、製造コストを低く抑えることができる。
【００２０】
また、本発明によれば、少なくとも、上記のスクリーン印刷版と、該スクリーン印刷版上で平行移動することによって前記開口部を通じて印刷材料を吐き出させて被印刷物に塗布するスキージと、該スキージを平行移動させる平行移動機構とを備えたものであることを特徴とするスクリーン印刷装置が提供される（請求項９）。
【００２１】
このようなスクリーン印刷装置によって平行移動機構によりスキージを平行移動させて、スクリーン印刷版の開口部を通じて印刷材料を吐き出させて被印刷物に塗布すれば、スクリーン印刷版の開口部の開口端部が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するので、前記開口部の開口端部の凹凸パターンにおける凹部近傍では印刷材料の滲み幅が大きくなり、凸部近傍では滲み幅が小さくなるため、結果として印刷パターンの端部が滑らかで規則的な形状となる。そのため、印刷材料の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止することができるので、目的の印刷パターンが微細な図案であっても高い転写性でより正確に、目的通りのパターン形状を印刷することができる装置となる。
【００２２】
特に、前記のスクリーン印刷装置によって、基板の表面上にスクリーン印刷で電極が形成されたものであることを特徴とする太陽電池が提供される（請求項１０）。
このように、前記のスクリーン印刷装置によって、スクリーン印刷で電極が形成された太陽電池とすれば、正確にフィンガー電極等のパターンを低コストで印刷でき、安価で高品質の太陽電池となる。
【発明の効果】
【００２３】
このように、本発明により、スクリーン印刷の際の印刷材料の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止することができるので、目的の印刷パターンが微細な図案であっても高い転写性でより正確に、目的通りのパターン形状を印刷することが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
スクリーン印刷は、生産性が高いため、多くの産業分野で活用されているが、スクリーン印刷を用いて、目的の印刷パターン、特に、微細な図案を印刷する場合に、開口端部からの印刷材料の滲みによって、転写性が低下するという問題がある。一方で、電子工業分野、たとえば太陽電池等のパターンの印刷等で使用されているスクリーン印刷では、特に高い転写性が求められている。
【００２５】
そこで、本発明者等は、鋭意研究を重ね、少なくとも、スクリーン印刷において被印刷物上に目的の印刷パターンを形成するための印刷材料を吐き出す開口部が設けられたスクリーン印刷版であって、前記開口部の大きさは、前記目的の印刷パターンより縮小されており、かつ、前記開口部の開口端部が、前記目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するものとすることにより、印刷材料の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止することができ、目的の印刷パターンが微細な図案であっても高い転写性でより正確に、目的通りのパターン形状を印刷することができることを見出した。
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図１および図２は、本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部が凹凸パターン形状（三角波）を有するものの一例を表した概略平面図である。図９は、本発明のスクリーン印刷装置の一例の概略断面図である。
【００２７】
本発明のスクリーン印刷版１を用いたスクリーン印刷装置１０は、少なくとも、スクリーン印刷において被印刷物１１上に目的の印刷パターン４を形成するための印刷材料１２を吐き出す開口部２が設けられたスクリーン印刷版１であって、開口部２の大きさは、目的の印刷パターン４より縮小されており、かつ、開口部２の開口端部３が、目的の印刷パターン４の形状と異なる凹凸パターン形状を有するスクリーン印刷版１と、スクリーン印刷版１上で平行移動することによって開口部２を通じて印刷材料１２を吐き出させて被印刷物１１に塗布するスキージ２１と、スキージ２１を平行移動させる平行移動機構２０とを備えたものである。
【００２８】
本発明のスクリーン印刷版１は、スクリーン印刷において被印刷物１１上に目的の印刷パターン４を形成するための印刷材料１２を吐き出す開口部２が設けられたものである。
開口部２の大きさは、目的の印刷パターン４より縮小されており、これにより、印刷材料１２が印刷後の印刷パターン５の形状を、目的の印刷パターン４の形状と一致させることができる。
【００２９】
開口部２の開口端部３が、目的の印刷パターン形状４と異なる凹凸パターン形状を有することにより、スクリーン印刷の際に、開口部２の開口端部３の凹凸パターンにおける凹部７近傍では印刷材料１２の滲み幅が大きくなり、凸部６近傍では滲み幅が小さくなるので、印刷後の印刷パターン５が滑らかで規則的な形状となる。これは、従来のように目的のパターン形状と同じ、相似形をした開口部の開口端部とすると端部が直線状であれば、印刷材料が不規則に滲んで、コントロールできず、結果として目的の印刷パターンを形成することができないこととは対照的である。
【００３０】
このように、印刷材料１２の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止することができ、すなわち、滲みが生じた後の印刷パターン形状を制御することができるので、目的の印刷パターン４が微細な図案であっても高い転写性でより正確に、目的通りのパターン形状を印刷することができる。
【００３１】
たとえば、図２に示したように、例えば、三角波を開口部２の開口端部３としたスクリーン印刷版１を用いて印刷動作をした場合、印刷後の印刷パターンは、滲み現象により三角波と同じ周期をもったゆるやかなパターン５となる。
【００３２】
図３に示した直線状の開口端部３ａの場合と同様に、印刷材料１２の端部である印刷後の印刷パターン５は滲みによって開口部より拡大する。しかし、印刷後の印刷パターン５の形状は、境界線の三角波の角部が鈍った（丸まった）形状となり、端部の形状の周期は境界線の三角波の周期と一致する。すなわち、図３の５ａのような不規則なパターンとはならない。
【００３３】
この三角波の角部が鈍る理由を、図４及び図９を用いて説明する。まず、スクリーン印刷では、印刷材料１２はスキージ２１の摺動動作によって開口部２から押し出され、被印刷物１１表面に接触する。理想的には、印刷材料１２と被印刷物１１との接触面は、開口部２直下に限定されることが望ましいが、ある圧力を印刷材料１２に印加してスクリーン印刷版１の開口部２から押し出すという印刷の原理上、印刷材料１２がスクリーン印刷版の非開口部１Ｂと被印刷物１１との間の空間に滲み出ることは避けられない。
【００３４】
開口端部３から非開口部１Ｂの下に滲む印刷材料１２の体積は、開口端部３の単位長さあたり同じとなる。また、印刷材料１２は、開口部２から非開口部１Ｂの下に滲む際に、図４中の矢印で示したように開口端部３の垂直方向に滲む。その結果、理想的な滲み幅は開口端部３から等距離となり、図中に一点鎖線で示したようになるはずである。
【００３５】
しかし、開口部２の凸部６の周辺と開口部２の凹部７の周辺では、矢印８の密度が他の直線部分とは異なる。さらに、開口部２の凸部６の周辺と開口部２の凹部７の周辺とでも、矢印８の密度が異なる。当然、非開口部１Ｂの凹部の直下（開口部２の凸部６の先端周辺）では、滲み出る印刷材料１２の体積が小さく、非開口部１Ｂの凸部の直下（開口部２の凹部７に囲まれた領域）では滲み出る印刷材料１２の体積が大きい。
【００３６】
この結果、非開口部１Ｂの凹部の直下（開口部２の凸部６の先端周辺）では滲み幅が小さくなり、非開口部１Ｂの凸部の直下（開口部２の凹部７に囲まれた領域）では滲み幅が大きくなる。そして、印刷材料１２の端面（図中の破線）は、開口部２の凹凸を打ち消すような形状となり、角部が鈍る（丸まる）。
【００３７】
この角部が丸まる現象によって、開口部２と非開口部１Ｂの開口端部３の振幅よりも、印刷後の印刷パターン５の振幅が小さくなる現象を利用して、印刷後の印刷パターン５の形状を目的の印刷パターン４の形状に近づけ、滲み形状の制御を行うことが、本発明の原理である。
【００３８】
そのためには、元々使用する印刷条件における滲みの大きさとほぼ同じか、より小さい大きさの三角波などの周期波を、開口部２に作製すれば良い。当然、この開口端部３の周期波の周期や振幅を元々の滲みの大きさよりも十分に大きくすれば、周期波の直線部における滲みも無視できなくなる。
【００３９】
例えば、図５（ａ）に点線で示したような直線状の目的の印刷パターン４の形状を得たい場合は、使用する印刷条件における滲み幅よりも小さい振幅で凹凸パターンを作製し、印刷後の印刷パターン５の形状の凹凸を小さくなるようにする。
また、図５（ｂ）に点線で示したような曲線状の目的の印刷パターン４の形状を得たい場合は、振幅の中心を所望の目的の印刷パターン４の形状に沿わせるように、滲み幅よりも小さい振幅で凹凸パターンを作製する。
【００４０】
このとき、開口部２の開口端部３の凹凸パターン形状は、凸部６が目的の印刷パターン４の端部よりも０〜２５μｍ縮小された位置となるようにすることが好ましく、これにより、印刷材料１２が滲んだ後の印刷後の印刷パターン５の形状を、さらに正確に目的の印刷パターン４の形状と一致させることができる。
【００４１】
また、開口部２の開口端部３の凹凸パターン形状は、凹部７に対する凸部６の高さが、５〜２５μｍであることにより、より効果的に凹部７近傍での印刷材料１２の滲み幅を大きくし、凸部６近傍での滲み幅を小さくすることができるので、印刷後の印刷パターン５をより効果的に滑らかなものとし、目的のパターン４に合致させることができる。
【００４２】
さらに、開口部２の開口端部３の凹凸パターン形状は、該凹凸パターンの周期が、５〜５０μｍであることが好ましく、これにより、より効果的に凹部７近傍での印刷材料１２の滲み幅を大きくし、凸部６近傍での滲み幅を小さくすることができるので、印刷後の印刷パターン５をより効果的に滑らかで、かつ、規則的なものとすることができる。なお、規則的な印刷パターンの形状は、周期が開口端部３の凹凸パターンと一致するものとなる。従って、印刷後のパターン５の形状を自在に制御することができる。
【００４３】
また、開口部２の開口端部３の凹凸パターン形状は、凹部７の幅が５〜２５μｍであることが好ましい。これにより、より効果的に凹部７近傍での印刷材料１２の滲み幅を大きくすることができ、印刷後の印刷パターン５をより効果的に滑らかなものとすることができる。
【００４４】
さらに、開口部２の開口端部３の凹凸パターン形状は、少なくとも、三角波、矩形波、正弦波のいずれかの形状、または、これらの形状を組み合わせたものであることが好ましく、簡単で正確な同期性を有する凹凸パターンを形成することができるとともに、凹凸パターンの設計および作製が容易であり、製造コストを低く抑えることができる。また、このようなパターンであれば、凹部で印刷材料が容易に滲んで、印刷後のパターンを平坦化し易い。
【００４５】
また、図６のように、開口部２の開口端部３の凹凸パターン形状は、袋状の凹部７Ｂが周期的に形成されたものとすることが好ましく、これによって、積極的に滲みを生じさせる箇所を作製することができて、より効果的に滲みを制御することができる。この袋状に開口部２に囲まれた非開口部１Ｂの直下に積極的に滲みを誘導することができる。
【００４６】
さらに、前記袋状の凹部７Ｂの形状が、図６（ａ）のような台形、あるいは、図６（ｂ）のような円形であることが好ましく、これにより、より容易に凹部に滲みを生じさせて印刷材料で埋めることができ、また、袋状の凹部７Ｂの設計および作製が容易であり、製造コストを低く抑えることができる。
【００４７】
ここで、被印刷物１１としては、コスト上、平板を用いることが好ましいが、溝や穴等の凹部を設けてもよい。その場合、加工法として研削加工を用いた場合は、凹部は溝形状となる。
また、被印刷物１１としては、例えばシリコン単結晶ウェーハが用いられ、特に太陽電池用シリコンウエーハが用いられるが、その場合のウエーハの形状、物性など特に限定されない。たとえば、太陽電池の電極パターンとしてフィンガー電極やバスバー電極を印刷するような場合に、本発明は適用できる。また、本発明の被印刷物１１としては、シリコン単結晶ウェーハ以外の素材のものへの適用も可能であり、複雑なパターンの印刷を要するプリント基板等であってもよい。
【００４８】
スキージ２１は、図９のようにスクリーン印刷版１上で、印圧や移動速度を制御しながら、ガイドレール２７上を移動する平行移動機構２０によって平行移動させるものとすることができる。スキージ２１は、スクリーン印刷版１上で平行移動することによって開口部２を通じて印刷材料１２を吐き出させて被印刷物１１に塗布する。
【００４９】
平行移動機構２０には、ガイドレール２７上に直接固定したスキージ冶具１６の連結部を通じて、移動速度を制御する手段を設けるのが好ましく、さらに、スキージ冶具１６または平行移動機構２０には、スキージ２１が印刷材料１２を介してスクリーン印刷版１を押す圧力を調節するための印刷圧力調整用アクチュエータを設けることが好ましい。
この場合、アクチュエータをアクチュエータ制御回路等に接続して、圧縮空気や電力によってスキージ２１を上下させ、スキージ２１がスクリーン印刷版１を押す圧力を調節することができる。
【００５０】
ガイドレール２７は、例えば図９のように、スクリーン印刷版１の版枠２４にガイドレール高さ調整用アクチュエータ２５を備えた支柱２６を取り付け、その上部に設置することができる。この場合、スキージ２１はスキージ冶具１６で平行移動機構２０と固定でき、このスキージ冶具１６はガイドレール２７によりスクリーン印刷版１に対して平行に滑走可能となる。スキージ２１のスクリーン印刷版１に対する高さはガイドレール高さ調整用アクチュエータ２５を用いてガイドレール２７の高さを調整することによって制御することができる。
【００５１】
以上のような本発明のスクリーン印刷装置１０によって平行移動機構２０によりスキージ２１を平行移動させて、スクリーン印刷版１の開口部２を通じて印刷材料１２を吐き出させて被印刷物１１に塗布すれば、スクリーン印刷版１の開口部２の開口端部３が、目的の印刷パターン形状と異なる凹凸パターン形状を有するので、開口部２の開口端部３の凹凸パターンにおける凹部７近傍では印刷材料１２の滲み幅が大きくなり、凸部６近傍では滲み幅が小さくなるため、印刷パターンの端部が滑らかで規則的な形状となる。
【００５２】
そのため、印刷材料１２の滲みによる印刷パターンの形状の不規則化を防止することができるので、目的の印刷パターン４が微細な図案であっても高い転写性で正確に、目的通りのパターン形状を印刷することができる。
【実施例】
【００５３】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００５４】
（実施例、比較例）
厚さ３００μｍ、直径１２５ｍｍのシリコン単結晶ウェーハ１５０枚を用意し、水酸化カリウム水溶液でダメージを取り除いた後、図７に示すような開口部の開口端部を振幅１０μｍ、周期２０μｍの三角波で、三角波の振幅中心間距離９０μｍの開口部を持つスクリーン印刷版１を用意した（実施例１）。
【００５５】
また、図８に示すような凹部が袋状（円形）７Ｂのスクリーン印刷版であって、円形の袋部が直径１０μｍ、周期２０μｍ、開口幅１００μｍのスクリーン印刷版も用意した（実施例２）。
一方、比較のために、直線状の開口端部を持ち、開口幅を１００μｍとしたスクリーン印刷版も用意した（比較例）。
【００５６】
どの版とも、スクリーン印刷版には紗がステンレス製細線で作製されたものを使用した。メッシュ数は３８０、乳剤厚は１５μｍである。
次に、上記版それぞれを用いてシリコン単結晶ウェーハ５０枚ずつ（合計１５０枚）に、導電性ペーストを印刷した。この導電性ペーストの粘度は、５０Ｐａ・ｓである。
【００５７】
本発明による印刷条件は、スキージがスクリーン印刷版を押す力を３００Ｎ、スキージ速度を１５０ｍｍ／ｓとした。
次に、光学顕微鏡を用いて、印刷後のウェーハ表面における導電性ペーストの印刷幅を測定した。得られた印刷幅の最小値と最大値、中央値を表１に示す。
【００５８】
【表１】
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【００５９】
この結果から、印刷幅の中央値は、本発明による実施例１で１０１μｍ、実施例２で１１１μｍ、比較例で１２６μｍであった。
印刷幅の最大値と最小値との差は、実施例２と比較例では２倍以上異なる。これは、大きな差である。本実験では、より直線に近い印刷後の印刷パターンの形状を得ようとしているため、本発明による印刷材料の端面平準化の効果は大きいことがわかる。
【００６０】
また、実施例１と２との間では、最大値に大きな差が生じた。これは、実施例２における直線部分における滲みが強く影響したためである。
【００６１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部が凹凸パターン形状（三角波）を有するものの一例を表した概略平面図である。
【図２】本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部の凹凸パターン形状（三角波）を有するものの一例と、印刷後の印刷パターンの例を表した概略平面図である。
【図３】従来のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部が直線状の形状を有するものの一例を表した概略平面図である。
【図４】本発明のスクリーン印刷版によるスクリーン印刷における、滲み現象を説明するための概略図である。
【図５】本発明のスクリーン印刷版であって、目的の印刷パターンの端部が（ａ）直線状であるものと（ｂ）曲線状であるものの例を表した概略平面図である。
【図６】本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部の凹凸パターン形状は、袋状の凹部（（ａ）台形（ｂ）円形）が形成されたものの例を表した概略平面図である。
【図７】本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部の凹凸パターン形状が三角波で、目的の印刷パターンが帯状であるものの一例を表した概略平面図である（実施例１）。
【図８】本発明のスクリーン印刷版であって、開口部の開口端部の凹凸パターン形状が円形の袋状の凹部で、目的の印刷パターンが帯状であるものの一例を表した概略平面図である（実施例２）。
【図９】本発明のスクリーン印刷装置の一例の概略断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１、１ａ…スクリーン印刷版、  １Ｂ…スクリーン印刷版の非開口部、  
２、２ａ…開口部、  ３、３ａ…開口端部、  ４、４ａ…目的の印刷パターン、  
５、５ａ…印刷後の印刷パターン、  ６…凸部、  ７…凹部、  ７Ｂ…袋状の凹部、  
８…滲みの方向、  １０…スクリーン印刷装置、  
１１…被印刷物、  １２…印刷材料、  １５…スキージゴム、  １６…スキージ治具、  
２０…平行移動機構、  ２１…スキージ、  ２３…チャックテーブル、  ２４…版枠、  
２５…ガイドレール高さ調整用アクチュエータ、  ２６…支柱、  
２７…ガイドレール。  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【手続補正書】
【提出日】平成17年6月24日(2005.6.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
スクリーン印刷は、スキージの摺動動作によってインキやペーストなどの印刷材料をスクリーン印刷版の開口部から押し出し、開口部の形状を被印刷物に転写することによって目的の印刷パターンを印刷する印刷方法である。
スクリーン印刷で用いるスクリーン印刷版には、材質や製造方法の違いによって多くの種類が存在する。なかでも、金属細線を編み込んだ紗に乳剤で印刷する開口部を形成したものや、金属薄板にエッチングやレーザ加工により印刷する開口部を形成したものが、一般的である。