(57)【要約】【課題】曲線因子の低下を確実に防止し、プローブピンの交換に費やす時間およびコストのロスを低減することができる太陽電池セルの測定治具を提供する。【解決手段】ｎ型半導体１１上にバスバー電極１３を備え、プローブバー２２ａに、太陽電池セル１の測定時にバスバー電極に対し上方から接触した際に上方に退去移動する進退移動自在な電圧測定用プローブピン２２ｂおよび電流測定用プローブピン２２ｃを設ける。この各プローブピンに、プローブバーに支持された基端部とバスバー電極に対し接触する接触部２２ｆとの間においてプローブバーに対し基端部を支点にして非接触状態で接触部を進退移動させる進退移動部２２ｇを設ける。進退移動部を、バスバー電極に対し上方から接触した際に先端を上方にバネ弾力によって退去移動させるように構成している。【選択図】図３
2006118983.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面にバスバー電極を備えた太陽電池セルの測定治具おいて、
測定治具本体には、太陽電池セルの測定時に上記バスバー電極に対し測定方向から接触した際にその測定方向に退去移動する進退移動自在なプローブピンを備え、
このプローブピンには、測定治具本体に支持された基端と上記バスバー電極に対し接触する先端との間において測定治具本体に対し基端を支点にして非接触状態で先端を進退移動させる進退移動部が設けられていることを特徴とする太陽電池セルの測定治具。
【請求項２】
上記請求項１に記載の太陽電池セルの測定治具において、
プローブピンの進退移動部は、バスバー電極に対し測定方向から接触した際に先端を測定方向にバネ弾力によって退去移動させるように構成されていることを特徴とする太陽電池セルの測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セルの電気特性を測定する測定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、図１０に示すように、太陽電池セルａの受光面となる表面側のｎ型半導体ａ１上には、疑似太陽光ｐの入射をできるだけ妨げないように細いフィンガー電極ｃ，…と、電力を取り出すための太いバスバー電極ｄとが設けられている一方、太陽電池セルａの裏面のｐ型半導体ａ２には全面に電極（図示せず）が設けられている。そして、測定治具ｂを用いて測定する際には、金属製（例えばＣｕ板にＡｕメッキ）のステージｆに太陽電池セルａを載せることで裏面全体で導通をとり、表面側はバスバー電極ｄ上に、余分な影が生じない様にバスバー電極ｄの幅に収まる程度の細長いプローブユニットｇを降ろして導通をとり、両極からそれぞれ電圧・電流を測定する。この場合、図１１に示すように、測定時の等価回路では、疑似太陽光ｐを照射した状態で太陽電池端子間の電圧をスイープさせ、そのときの電流・電圧を読むことでＩ−Ｖ特性が得られるようになっている。
【０００３】
そして、従来、プローブユニットｇとしては、図１２に示すように、太陽電池セルａの測定時に上記バスバー電極ｄに対し測定方向（図１２では上方）から接触した際に、図１３に示すように、プローブピンｇ１，ｇ２…を測定方向（図１２および図１３では上方）に退去移動させる収縮機構ｅを具備し、プローブユニットｇをバスバー電極ｄに沿って押し付けた際に、工程上の様々なばらつき等により生じるバスバー電極ｄ表面の凹凸をプローブピンｇ１，ｇ２…の進退移動により吸収しつつバスバー電極ｄに対する電気的接触が得られるようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。そして、各プローブピンｇ１，ｇ２は、バスバー電極ｄの長手方向に適当な間隔で一列に並べて配され、四端子測定を行なう上で、電流測定用のプローブピンｇ２は全て短絡し、電圧測定用のプローブピンｇ１のみが電流測定用のプローブピンｇ２から絶縁されている。この場合、図１４に示すように、プローブピンｇ１，ｇ２は、例えば銅合金に金メッキ等が施され、同様に銅合金に金メッキ等を施したシリンダー状の金属パイプｇ３内に挿入されており、コイル状バネｇ４の収縮によるピストン運動によって収縮機構ｅが構成され、各プローブピンｇ１，ｇ２の導通が金属パイプｇ３の内周面との接触によって得られるようになっている。また、電流測定用のプローブピンの短絡は、金属製（例えば、Ｃｕ）のプローブバーに直接ピンを導通接触させて固定してもよいし、樹脂製（例えば、アクリル板）のプローブバーにピンを固定し、リード線などで短絡させてもよい。
【特許文献１】特開平９−１８６２１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記従来のものでは、太陽電池セルａの測定時にプローブピンｇ１，ｇ２が金属パイプｇ３の内周面に対し機械的に接触して電気的導通が得られるようになっているため、測定を繰り返すことでプローブピンｇ１，ｇ２と金属パイプｇ３との互いの接触面が摩耗し、金メッキが剥がれるなどの劣化が生じる。このため、接触抵抗が増大し、曲線因子の低下の原因となる。
【０００５】
しかも、曲線因子が低下すると、出力の低下にも繋がるため、これを避ける上で、プローブピンを頻繁に定期交換する必要があり、時間およびコストの両面で大きなロスとなる。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、曲線因子の低下を確実に防止し、プローブピンの交換に費やす時間およびコストのロスを低減することができる太陽電池セルの測定治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明では、受光面にバスバー電極を備えた太陽電池セルの測定治具として、測定治具本体に、太陽電池セルの測定時に上記バスバー電極に対し測定方向から接触した際にその測定方向に退去移動する進退移動自在なプローブピンを設ける。そして、上記プローブピンに、測定治具本体に支持された基端と上記バスバー電極に対し接触する先端との間において測定治具本体に対し基端を支点にして非接触状態で先端を進退移動させる進退移動部を設けている。
【０００８】
この特定事項により、太陽電池セルの測定時にバスバー電極に対し測定方向から先端が接触するプローブピンは、測定治具本体に支持された基端を支点にして測定治具本体に対し非接触状態で先端を測定方向に退去移動させながら進退移動部によって進退移動するようになっているので、工程上の様々なばらつき等により生じるバスバー電極表面の凹凸がプローブピンの進退移動により吸収されつつバスバー電極に対する電気的接触が得られることになる。これにより、太陽電池セルの測定時に金属パイプの内周面に対しプローブピンを接触させていたもののように金属同士の機械的接触によって電気的導通を得る必要がなく、摩耗等の劣化による接触抵抗増大に伴う曲線因子の低下を確実に防止することが可能となる。しかも、曲線因子の低下が防止されることによって出力低下も抑制され、プローブピンの交換の周期を遅延させて、プローブピンの交換に費やす時間およびコストのロスを低減することが可能となる。
【０００９】
特に、プローブピンの進退移動部を特定するものとして、以下の構成が掲げられる。
【００１０】
つまり、進退移動部を、バスバー電極に対し測定方向から接触した際に先端を測定方向にバネ弾力によって退去移動させるように構成している。
【００１１】
この特定事項により、太陽電池セルの測定時にバスバー電極に対し測定方向からプローブピンの先端が接触すると、測定治具本体に支持された基端を支点にして先端が進退移動部のバネ弾力によって測定方向に退去移動するようになっているので、太陽電池セルの測定時に基端を除く部位（先端および進退移動部）の測定治具本体に対する非接触状態が確実なものとなり、プローブピン自体の構造を非常に簡単なものにすることが可能となる上、摩耗等の劣化による接触抵抗増大による曲線因子の低下をより確実に防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
以上、要するに、プローブピンの基端と先端との間に測定治具本体に対し非接触状態で先端を進退移動させる進退移動部を設けることで、太陽電池セルの測定時に金属同士の機械的接触による電気的導通を不要にし、摩耗等の劣化による接触抵抗増大に伴う曲線因子の低下を確実に防止することができるとともに、プローブピンの交換の周期を遅延させてプローブピンの交換に費やす時間およびコストのロスを低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１４】
図１〜図３は本発明の実施例１に係わる太陽電池セルの電気特性を測定する測定治具を示している。
【００１５】
図１〜図３において、太陽電池セル１は、受光面となる表面側にｎ型半導体１１が設けられ、そのｎ型半導体１１上に、光の入射をできるだけ妨げないように細いフィンガー電極１２，…と、電力を取り出すための２本の太いバスバー電極１３，１３とが設けられている。各フィンガー電極１２は、バスバー電極１３に対し直交している。一方、太陽電池セル１の裏面にｐ型半導体１４が設けられ、このｐ型半導体１４の全面に裏面電極１５が設けられている。
【００１６】
測定治具２は、Ｃｕ板にＡｕメッキが施された金属ステージ２１を備え、この金属ステージ２１上に太陽電池セル１を載せることによって、太陽電池セル１裏面のｐ型半導体１４全面の裏面電極１５に対し導通が取られるようになっている。また、測定治具２は、太陽電池セル１表面のｎ型半導体１１のバスバー電極１３，１３に対しそれぞれの幅に収まる程度の細長いプローブユニット２２，２２を備えている。この各プローブユニット２２は、バスバー電極１３に対し上方から昇降移動する測定治具本体としてのＣｕ製のプローブバー２２ａと、このプローブバー２２ａの長手方向所定間隔置き（例えば１３ｍｍ置き）に基部（上部）が取り付けられたプローブピン２２ｂ，２２ｃとを備えている。上記プローブピン２２ｂ，２２ｃは、プローブバー２２ａの長手方向に一列に並べて配され、中央に位置する単一の電圧測定用プローブピン２２ｂと、この電圧測定用プローブピン２２ｂを挟んで両側に配された複数の電流測定用プローブピン２２ｃ，…とからなる。上記各電流測定用プローブピン２２ｃは、四端子測定を行なう上でプローブバー２２ａに対し導通され、全てが短絡するようになっている。一方、上記電圧測定用プローブピン２２ｂは、プローブバー２２ａに対し絶縁具２２ｄを介して接続され、各電流測定用プローブピン２２ｃに対し絶縁されるようになっている。また、上記電圧測定用プローブピン２２ｂと電圧端子２２ｅとの間に電圧計Ｖが接続されている一方、上記各電流測定用プローブピン２２ｃは、電流計Ａにそれぞれ接続されている。そして、上記電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの先端には、バスバー電極１３に対し接触する接触部２２ｆ（図４に表れる）が設けられている。この場合、電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃは、例えば銅合金等の金属製よりなり、直径が１ｍｍに形成されている。
【００１７】
そして、図４にも示すように、上記電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃは、プローブバー２２ａに支持された基端部と上記バスバー電極１３に対し接触する接触部２２ｆ（先端）との間においてプローブバー２２ａに対し基端部を支点にして非接触状態で接触部２２ｆを上下方向に進退移動させる進退移動部２２ｇを備えている。この進退移動部２２ｇは、基端部より下方に真っ直ぐ延びたのち略水平方向に屈曲させてプローブバー２２ａの長手方向一側（図４では左側）に向かって距離ｍ（例えば略１１ｍｍ）延びてから、その延長端を下方に屈曲させて真っ直ぐに距離ｋ（例えば略５ｍｍ）延ばしており、バスバー電極１３に対し測定方向となる上方から接触した際に先端を上方にバネ弾力によって退去移動させるように構成されている。
【００１８】
ここで、測定治具２により太陽電池セル１の電気特性を測定する手順を図面に基づいて説明する。
【００１９】
まず、図２に示すように、金属ステージ２１上に太陽電池セル１を載せて、太陽電池セル１裏面のｐ型半導体１４全面の裏面電極１５に対し導通を取っておく。
【００２０】
次いで、図３に示すように、各プローブユニット２２（プローブバー２２ａ）を上方から降ろして電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの接触部２２ｆをバスバー電極１３に対し接触させる。このとき、電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの先端（接触部２２ｆ）は、プローブバー２２ａに支持された基端部と接触部２２ｆとの間の進退移動部２２ｇによって、プローブバー２２ａに対し基端部を支点にして非接触状態で接触部２２ｆを上下方向に進退移動、つまりバスバー電極１３に対し測定方向となる上方から接触した際に上方にバネ弾力によって退去移動するようになっている。この場合、図５の（ａ）に示すように、電流測定用プローブピン２２ｃ（電圧測定用プローブピン２２ｂ）の先端（接触部２２ｆ）をバスバー電極１３に対し押し付けた際に、図５の（ｂ）に示すように、先端は電流測定用プローブピン２２ｃの基端部の支持位置から見てプローブバー２２ａの長手方向一側（図５では左側）にズレるが、このズレる方向がバスバー電極１３の延びる方向と一致しているので、接触部２２ｆがバスバー電極１３からはみ出して導通不良になったり、太陽電池セル１のｎ型半導体１１（受光部分）に余分な影を落としたりすることがないようにしている。
【００２１】
そして、電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの接触部２２ｆによりバスバー電極１３に対する導通をとり、両極からそれぞれ電圧・電流を測定し、図示しないキセノンランプにより疑似太陽光Ｐを照射した状態で太陽電池１端子間の電圧をスイープさせ、そのときの電流・電圧を読むことでＩ−Ｖ特性を得る。
【００２２】
この場合、図６に示すように、測定治具２による測定回数と曲線因子の関係について説明するに、測定回数の増加とともに曲線因子が低下しており、太陽電池セルの測定時に金属パイプの内周面の内周面に対しプローブピンを接触させていた従来のもの（図６中において破線で示す）では３０万回の測定で曲線因子が１％低下しているのに対し、本実施例１のもの（図６中において実線で示す）では、同じく曲線因子が１％低下するまでに３６万回程度の測定ができることが判る。要するに、出力低下を避けるためにＦＦの１％低下を目安に電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの交換周期を決めるとすると、本実施例１の電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃでは寿命が従来のものに比して１．２倍となる。
【００２３】
このように、太陽電池セル１の測定時にバスバー電極１３に対し上方から先端（接触部２２ｆ）が接触する電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃは、各プローブユニット２２のプローブバー２２ａに支持された基端部を支点にしてプローブバー２２ａに対し非接触状態で先端を上方に退去移動させながら進退移動部２２ｇによって進退移動するようになっているので、工程上の様々なばらつき等により生じるバスバー電極１３表面の凹凸が電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの進退移動により吸収されつつバスバー電極１３に対する電気的接触が得られることになる。これにより、太陽電池セルの測定時に金属パイプの内周面の内周面に対しプローブピンを接触させていたもののように金属同士の機械的接触によって電気的導通を得る必要がなく、摩耗等の劣化による接触抵抗増大に伴う曲線因子の低下を確実に防止することができる。しかも、曲線因子の低下が防止されることによって出力低下も抑制され、電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの交換の周期を遅延させて、電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの交換に費やす時間およびコストのロスを低減することができる。
【００２４】
しかも、太陽電池セル１の測定時にバスバー電極１３に対し上方から電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃの先端が接触すると、各プローブユニット２２のプローブバー２２ａに支持された基端部を支点にして先端が進退移動部２２ｇのバネ弾力によって上方に退去移動するようになっているので、太陽電池セル１の測定時に基端部を除く部位（接触部２２ｆおよび進退移動部２２ｇ）のプローブバー２２ａに対する非接触状態が確実なものとなり、電圧測定用プローブピン２２ｂおよび各電流測定用プローブピン２２ｃ自体の構造を非常に簡単なものにすることができる上、摩耗等の劣化による接触抵抗増大による曲線因子の低下をより確実に防止することができる。
【実施例２】
【００２５】
次に、本発明の実施例２を図７に基づいて説明する。
【００２６】
この実施例２では、進退移動部の形状を変更している。なお、進退移動部を除くその他の構成は、上記実施例１の場合と同じであり、同じ部分については同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００２７】
すなわち、本実施例では、図７に示すように、各プローブピン３１は、プローブバー２２ａに支持された基端部３１ａとバスバー電極１３に対し接触する接触部３１ｂ（先端）との間においてプローブバー２２ａに対し基端部３１ａを支点にして非接触状態で接触部３１ｂを上下方向に進退移動させる進退移動部３１ｃを備えている。この進退移動部３１ｃは、基端部３１ａより下方に真っ直ぐ延びたのちプローブバー２２ａの長手方向一側（図７では左側）に向かって斜め下方に延びるように屈曲してから、プローブバー２２ａの長手方向他側（図７では右側）に向かって斜め下方に延びるように屈曲し、再度プローブバー２２ａの長手方向一側に向かって斜め下方に延びるように屈曲し、その延長端を、基端部と対応する位置（進退移動部３１ｃにおけるプローブバー２２ａの長手方向中央位置）で下方に屈曲させて真っ直ぐに延ばしており、バスバー電極１３に対し測定方向となる上方から接触した際に先端を上方にバネ弾力によって退去移動させるように構成されている。この場合、進退移動部３１ｃは、プローブバー２２ａの長手方向に距離ｍ（例えば１１ｍｍ）の長さに設定されている。
【００２８】
これにより、太陽電池セル１の測定時にバスバー電極１３に対し上方から各プローブピン３１の先端が接触すると、各プローブユニット２２のプローブバー２２ａに支持された基端部３１ａを支点にして先端が進退移動部３１ｂのバネ弾力によって上方に退去移動するようになっているので、太陽電池セル１の測定時に基端部３１ａを除く部位（接触部３１ｂおよび進退移動部３１ｃ）のプローブバー２２ａに対する非接触状態が確実なものとなり、各プローブピン３１自体の構造を非常に簡単なものにすることができる上、摩耗等の劣化による接触抵抗増大による曲線因子の低下をより確実に防止することができる。
【００２９】
また、バスバー電極１３に対し接触部３１ｂを押し付けて接触させた際に、接触部３１ｂが水平方向にズレることがなく、接触部３１ｂの接触によるバスバー電極１３および太陽電池セル１のｎ型半導体１１への傷付きを確実に防止することができる。
【実施例３】
【００３０】
次に、本発明の実施例３を図８に基づいて説明する。
【００３１】
この実施例３では、進退移動部の形状を変更している。なお、進退移動部を除くその他の構成は、上記実施例１の場合と同じであり、同じ部分については同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３２】
すなわち、本実施例では、図８に示すように、各プローブピン３２は、プローブバー２２ａに上端が支持された基端部３２ａと、バスバー電極１３に対し接触する接触部３２ｂと、この両者間においてプローブバー２２ａに対し基端部３２ａを支点にして非接触状態で接触部３２ｂを上下方向に進退移動させる進退移動部３２ｃとを備えている。この進退移動部３２ｃは、プローブバー２２ａの長手方向と平行に略水平方向に延びる板バネよりなり、その長手方向一側（図８では左側）に接触部３２ｂの上端が取り付けられている一方、長手方向他側（図８では右側）に基端部３２ａの下端が取り付けられていて、バスバー電極１３に対し測定方向となる上方から接触した際に先端を上方にバネ弾力によって退去移動させるように構成されている。
【００３３】
これにより、太陽電池セル１の測定時にバスバー電極１３に対し上方から各プローブピン３２の先端（接触部３２ｂの下端）が接触すると、各プローブユニット２２のプローブバー２２ａに支持された基端部３２ａの上端を支点にして先端が進退移動部３２ｃのバネ弾力によって上方に退去移動するようになっているので、太陽電池セル１の測定時に基端部を除く部位（接触部３２ｂおよび進退移動部３２ｃ）のプローブバー２２ａに対する非接触状態が確実なものとなり、各プローブピン３２自体の構造を非常に簡単なものにすることができる上、摩耗等の劣化による接触抵抗増大による曲線因子の低下をより確実に防止することができる。
【実施例４】
【００３４】
次に、本発明の実施例４を図９に基づいて説明する。
【００３５】
この実施例４では、進退移動部の形状を変更している。なお、進退移動部を除くその他の構成は、上記実施例１の場合と同じであり、同じ部分については同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３６】
すなわち、本実施例では、図９に示すように、各プローブピン３３は、プローブバー２２ａに上端が支持された基端部３３ａと、バスバー電極１３に対し接触する接触部３３ｂと、この両者間においてプローブバー２２ａに対し基端部３３ａを支点にして非接触状態で接触部３３ｂを上下方向に進退移動させる進退移動部３３ｃとを備えている。この進退移動部３３ｃは、基端部３３ａと対応する位置（進退移動部３３ｂにおけるプローブバー２２ａの長手方向中央位置）からプローブバー２２ａの長手方向一側（図９では左側）に向かって斜め下方に延びたのち、プローブバー２２ａの長手方向他側（図９では右側）に向かって斜め下方に延びるように屈曲し、基端部と対応する位置まで再度プローブバー２２ａの長手方向一側に向かって斜め下方に延びるように屈曲する板バネよりなり、その下端に接触部３３ｂの上端が取り付けられている一方、上端に基端部３２ａの下端が取り付けられていて、バスバー電極１３に対し測定方向となる上方から接触した際に先端を上方にバネ弾力によって退去移動させるように構成されている。
【００３７】
これにより、太陽電池セル１の測定時にバスバー電極１３に対し上方から各プローブピン３３の先端（接触部３３ｂの下端）が接触すると、各プローブユニット２２のプローブバー２２ａに支持された基端部３３ａの上端を支点にして先端が進退移動部３３ｃのバネ弾力によって上方に退去移動するようになっているので、太陽電池セル１の測定時に基端部を除く部位（接触部３３ｂおよび進退移動部３３ｃ）のプローブバー２２ａに対する非接触状態が確実なものとなり、各プローブピン３３自体の構造を非常に簡単なものにすることができる上、摩耗等の劣化による接触抵抗増大による曲線因子の低下をより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施例１に係わる太陽電池セルの測定治具の斜視図である。
【図２】同じく各プローブピンをバスバー電極に対し接触させる前の状態を示す測定治具の一部を切り欠いた側面図である。
【図３】同じく各プローブピンをバスバー電極に対し接触させた状態を示す測定治具の一部を切り欠いた側面図である。
【図４】同じくプローブピンの側面図である。
【図５】同じく（ａ）はバスバー電極に対し接触させる前の状態を示すプローブピンの概略側面図、（ｂ）はバスバー電極に対し接触させた後の状態を示すプローブピンの概略側面図である。
【図６】測定回数に対するプローブピンの曲線因子変化率の特性を示す特性図である。
【図７】本発明の実施例２に係わる測定治具のプローブピンの側面図である。
【図８】本発明の実施例３に係わる測定治具のプローブピンの斜視図である。
【図９】本発明の実施例４に係わる測定治具のプローブピンの斜視図である。
【図１０】従来例に係わる太陽電池セルの測定治具の斜視図である。
【図１１】同じく測定治具の測定時に使用される等価回路図である。
【図１２】同じく各プローブピンをバスバー電極に対し接触させる前の状態を示す測定治具の一部を切り欠いた側面図である。
【図１３】同じく各プローブピンをバスバー電極に対し接触させた状態を示す測定治具の一部を切り欠いた側面図である。
【図１４】同じくプローブピンの縦断側面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１        太陽電池セル
１１      ｎ型半導体（受光面）
１３      バスバー電極
２        測定治具
２２ａ    ブローブバー（測定治具本体）
２２ｂ    電圧測定用プローブピン（プローブピン）
２２ｃ    電流測定用プローブピン（プローブピン）
２２ｆ    接触部（先端）
２２ｇ    進退移動部
３１，３２，３３
プローブピン
３１ａ，３２ａ，３３ａ
基端部（基端）
３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ
接触部（先端）
３１ｃ，３２ｃ，３３ｃ
進退移動部
【図１】
2006118983.tif 000003
【図２】
2006118983.tif 000004
【図３】
2006118983.tif 000005
【図４】
2006118983.tif 000006
【図５】
2006118983.tif 000007
【図６】
2006118983.tif 000008
【図７】
2006118983.tif 000009
【図８】
2006118983.tif 000010
【図９】
2006118983.tif 000011
【図１０】
2006118983.tif 000012
【図１１】
2006118983.tif 000013
【図１２】
2006118983.tif 000014
【図１３】
2006118983.tif 000015
【図１４】
2006118983.tif 000016