(57)【要約】  【課題】  手動のみで、所望の位置に効率的にカセットを位置決めできる搬送台車を提供する。  【解決手段】  カセットＣを所望の棚段まで上昇させる場合、比較的変換比の小さな油圧ジャッキ５を用いて、作業者の力を中間部４の上昇力に変換するので、中間部４を粗動させながら上昇させることができ、それにより上昇時間を短縮できる。一方、所望の棚段が近づいたときは、比較的変換比の大きな機械式ジャッキ７を用いて、作業者の力を保持部６の上昇力に変換するので、保持部６を微動させながら上昇させることができ、所望の棚段に対して精度良く静止させることが可能となる。又、保持部６がオーバーハングしていると、カセットＣを移送させやすいというメリットがある。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、
前記カセットを保持する保持部と、
前記保持部を支持する中間部と、
作業者の力により、前記中間部に対して前記保持部を重力方向に移動させる第１のリフト手段と、
前記中間部を支持する、複数の車輪を備えたベース部と、
作業者の力により、前記ベース部に対して前記中間部を重力方向に移動させる第２のリフト手段と、を有し、
前記第１のリフト手段は、作業者の力を前記保持部の上昇力に変換する第１変換機構を有し、
前記第２のリフト手段は、作業者の力を前記中間部の上昇力に変換する第２変換機構を有し、
前記第１変換機構の変換比は、前記第２変換機構の変換比より大きく、
前記保持部は、前記中間部に対してオーバーハングしていることを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
前記第１のリフト手段は、作業者の手の力を入力するハンドルを備えており、前記第２のリフト手段は、作業者の足の力を入力するペダルを備えていることを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。
【請求項３】
前記カセットを保持した前記保持部の重心は、重力方向に投影したときに、前記複数の車輪で囲われた領域内に位置するようになっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程に用いるマスクは、ゴミなどの異物の付着を防止するためにカセットに密封されて、マスクチェンジャ装置のマスクストッカに搬送される。マスクストッカに搬送されたカセットから、ロボットによりマスクが取り出され、露光装置に装填されるようになっている。しかるに、ある種のマスクとカセットを合わせた重量は５０ｋｇ以上となり、これを一人の作業者が手で把持して搬送することは困難である。そこで、搬送台車に、マスクを収容したカセットを搭載して搬送することが行われている。例えば特許文献１には、搬送する感光板の姿勢を変更できる搬送台車が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１４０３２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかるに、マスクストッカには、複数のカセットを収容できる収容部が設けられており、通常は収容部は上下方向に並んでいる。従って、重量が５０ｋｇ以上となるマスクを収容したカセットを搬送する場合、搬送台車から所定の高さにある収容部までカセットを持ち上げたり下ろしたりする作業が必要となるが、これも一人の作業者が行うことは困難であるが、クレーンやホイストを用いると、作業が大がかりとなり時間がかかる。これに対し、特許文献１に記載の搬送台車を流用してカセットを搬送した場合、カセットの姿勢を変更できても、高さ位置を変更することはできないという問題がある。
【０００４】
一方、搬送台車にモータなどの動力源を搭載し、カセットの昇降を行うことも考えられる。しかしながら、搬送台車は、工程の都合に応じて、半導体製造工場内をランダムに移動するものであり、従ってモータに電力を供給する電源コードを引きずりながら移動することは作業に支障を与える恐れがある。これに対し、コードレスとするためにバッテリーを搭載すると、搬送台車の重量が増大し、これを手押しする作業者の負担が大となる。更に、工数低減のため搬送作業の効率化も要求されている。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、手動のみで、所望の位置に効率的にカセットを位置決めできる搬送台車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の搬送台車は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、
前記カセットを保持する保持部と、
前記保持部を支持する中間部と、
作業者の力により、前記中間部に対して前記保持部を重力方向に移動させる第１のリフト手段と、
前記中間部を支持する、複数の車輪を備えたベース部と、
作業者の力により、前記ベース部に対して前記中間部を重力方向に移動させる第２のリフト手段と、を有し、
前記第１のリフト手段は、作業者の力を前記保持部の上昇力に変換する第１変換機構を有し、
前記第２のリフト手段は、作業者の力を前記中間部の上昇力に変換する第２変換機構を有し、
前記第１変換機構の変換比は、前記第２変換機構の変換比より大きく、
前記保持部は、前記中間部に対してオーバーハングしていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の搬送台車によれば、前記カセットを所望の位置まで上昇させる場合、まず前記第２のリフト手段を用いて、比較的変換比の小さな第２変換機構により、作業者の力を前記中間部の上昇力に変換するので、前記中間部を粗動させながら上昇させることができ、それにより上昇時間を短縮できる。一方、所望の上昇位置が近づいたときは、前記第１のリフト手段を用いて、比較的変換比の大きな第１変換機構により、作業者の力を前記保持部の上昇力に変換するので、前記保持部を微動させながら上昇させることができ、所望の位置に対して精度良く静止させることが可能となる。又、前記保持部がオーバーハングしていると、前記カセットを移送させやすい。加えて、電力が不要であるため、前記搬送台車を簡素で低コストなものとできる。
【０００８】
前記第１のリフト手段は、作業者の手の力を入力するハンドルを備えており、前記第２のリフト手段は、作業者の足の力を入力するペダルを備えていると、強い力が必要になるときには、脚力を用いることによって粗動させ、それにより重いカセットを容易に上昇させることができ、一方、所望の位置に近づいたときは、手の力を用いて微動させることで、精度良い位置あわせが可能となる。
【０００９】
前記カセットを保持した前記保持部の重心は、重力方向に投影したときに、前記複数の車輪で囲われた領域内に位置するようになっていると、安定しやすい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１、２は、本実施の形態にかかる搬送台車の側面図であり、図１は、搬送時の状態を示し、図２は、リフト時の状態を示している。尚、図において上下が重力方向である。
【００１１】
図において、４つの車輪１を下面に取り付けたベース部２は、図で左端から斜め上方に向かって延在するようにして、作業者が手で押すための取手３を取り付けている。ベース部２の上方には、それと平行に中間部４が配置されている。中間部４は、ベース部２に対して油圧ジャッキ５により支持されている。中間部４と油圧ジャッキとで第２のリフト手段を構成する。
【００１２】
図２に示すように、第２変換機構である油圧ジャッキ５は、作業者が足で踏むことのできるペダル５ａと、ペダル５ａの往復揺動運動により油圧を発生する油圧シリンダ５ｂと、油圧シリンダ５ｂ内に発生した油圧により伸長するピストンロッド５ｃと、ピストンロッド５ｃにより駆動されるＸ字状に交差し互いにピン結合されたリンク部材５ｄ，５ｅとから構成されている。一方のリンク部材５ｄの右端は、ベース部２に対して枢動可能に配置され、他方のリンク部材５ｅの右端は、中間部４に枢動可能に配置されており、他方のリンク部材５ｅの自由端をピストンロッド５ｃにより押圧することで、リンク部材５ｄ、５ｅはベース部２に対して中間部４をリフトさせることができるようになっている。
【００１３】
中間部４の上方には、それと平行に筐体状の保持部６が配置されている。保持部６は、中間部４に対して機械式ジャッキ７により支持されている。保持部６と、機械式ジャッキ７とで第１のリフト手段を構成する。
【００１４】
図２に示すように、第１変換機構である機械式ジャッキ７は、作業者が足で回すことができるハンドル７ａと、ハンドル７ａに連結されたねじ軸７ｂと、ねじ軸７ｂにより駆動されるＸ字状に交差し互いにピン結合されたリンク部材７ｃ，７ｄとから構成されている。一方のリンク部材７ｃの右端は、中間部４に対して枢動可能に配置され、他方のリンク部材７ｄの右端は、中間部４に枢動可能に配置されている。他方のリンク部材７ｄの自由端に形成された雌ねじに、ねじ軸７ｂが螺合しているので、ねじ軸７ｂを回転させることにより、リンク部材７ｃ、７ｄは中間部７に対して保持部６をリフトさせることができるようになっている。
【００１５】
例えば、ペダル５ａを１ストローク踏み込めば中間部４が５ｃｍ上昇し、ハンドル７ａを１回転させれば保持部６が１ｃｍ上昇するというように、第１変換機構の変換比は、前記第２変換機構の変換比より大きくなっている。更に、図に示すように、保持部６は中間部４に対してオーバーハングして（その右端からはみ出して）いる。
【００１６】
保持部６の上部には一対のレール６ａが図で左右方向に延在するように設けられ、かかるレール６ａに沿って、案内される形でスライド台８が移動可能に支持されている。スライド台８上には、マスクＭを収容したカセットＣが搭載されている。カセットＣは、下面に複数の車輪を有しており、スライド台８からマスクストッカＭＳに移動する際に、移動が容易となっている。
【００１７】
なお、図示していないが、カセットＣを保持した保持部６の重心は、重力方向に投影したときに、複数の車輪で囲われた領域内に位置するようになっているので、カセットＣの搬送時に搬送台車が横転するなどの不具合が抑制される。
【００１８】
次に、本実施の形態にかかる搬送台車の動作について説明する。作業者は、取手３を把持してカセットＣを搭載した搬送台車を押しながら、所定のマスクストッカＭＳまで移動する。このとき、保持部６は最も低い位置にしておくと、重心が低くなり搬送が安定するので好ましい。
【００１９】
マスクストッカＭＳの下部には、ストッパＳＴが配置されている。作業者が、マスクストッカＭＳの搬送場所に対して搬送台車を接近させたとき、ストッパＳＴに車輪１が当接することで、カセットを移送できる所定位置に到達したことがわかる。
【００２０】
搬送台車を所定位置に寄せた後、作業者は、マスクストッカＭＳにおけるカセットＣを移送したい棚段に合わせて保持部６を上昇させる。具体的には、作業者が、足でペダル５ａを踏むことで中間部４が粗動するので、短時間でリフトを行うことができる。一方、カセットＣを移送したい棚段が近づいた時点で、作業者は、ハンドル７ａを回転させると、保持部６が微動するので、カセットＣを移送したい棚段に精度良く位置あわせすることができる。
【００２１】
スライド台８の上面と、移送したい棚段の上面の水平方向位置が一致した時点で、作業者は、スライド台８を図２の右方へと押し出して、マスクストッカＭＳの棚段に当接させる。それによりスライド台８と棚段とのスキマがなくなるので、作業者はカセットＣを棚段に押し出せば、車輪の転動により、カセットＣは、スムーズに棚段へと移動する。尚、マスクストッカＭＳよりカセットＣを搬送台車に載せる場合には、以上と逆の手順で作業を行えばよい。
【００２２】
本実施の形態によれば、カセットＣを所望の棚段まで上昇させる場合、比較的変換比の小さな油圧ジャッキ５を用いて、作業者の力を中間部４の上昇力に変換するので、中間部４を粗動させながら上昇させることができ、それにより上昇時間を短縮できる。一方、所望の棚段が近づいたときは、比較的変換比の大きな機械式ジャッキ７を用いて、作業者の力を保持部６の上昇力に変換するので、保持部６を微動させながら上昇させることができ、所望の棚段に対して精度良く静止させることが可能となる。又、保持部６がオーバーハングしていると、カセットＣを移送させやすいというメリットがある。
【００２３】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、その発明の範囲内で変更・改良が可能であることはもちろんである。第１のリフト手段に機械式ジャッキ、或いはその他の手動式ジャッキを用いても良いし、第２のリフト手段に油圧ジャッキ、或いはその他の手動式を用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施の形態にかかる搬送台車の側面図である。
【図２】本実施の形態にかかる搬送台車の側面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１ 車輪
２ ベース部
３ 取手
４ 中間部
５ 油圧ジャッキ
５ａ ペダル
５ｂ 油圧シリンダ
５ｃ ピストンロッド
５ｄ リンク部材
５ｅ リンク部材
６ 保持部
６ａ レール
７ 中間部
７ 機械式ジャッキ
７ａ ハンドル
７ｂ ねじ軸
７ｃ リンク部材
７ｄ リンク部材
８ スライド台
Ｃ カセット
Ｍ マスク
ＭＳ マスクストッカ
ＳＴ ストッパ
【図１】
2006347424.tif 000003
【図２】
2006347424.tif 000004