(57)【要約】【課題】蛍光体層の形状不良が発生することを抑制できるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】背面基板８上に形成された隔壁１１間に蛍光体ペースト１４を塗布し、その後、蛍光体ペースト１４が乾燥するまでに背面基板８を減圧雰囲気に曝す。これにより、蛍光体ペースト１４を隔壁１１間に塗布した際に気泡２８が蛍光体ペースト１４中に含まれていたとしても、その気泡２８は上昇して蛍光体ペースト１４中から抜けるため、形状品質の良好な蛍光体ペースト層１５を形成することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に複数の隔壁が形成され、この隔壁間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、基板上に形成された隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、その後、前記蛍光体ペーストが乾燥するまでに前記基板を減圧雰囲気に曝すことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
蛍光体ペーストを塗布した基板を昇温して前記蛍光体ペーストを乾燥させる乾燥工程において、前記基板を減圧雰囲気に曝すことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
蛍光体ペーストに含まれる溶剤成分の蒸発温度以下の温度において基板を減圧雰囲気に曝すことを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
基板上に複数の隔壁が形成され、この隔壁間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、基板上に形成された隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、その後、前記蛍光体ペーストが乾燥するまでに前記基板に振動を加えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
蛍光体ペーストを塗布した基板を昇温して前記蛍光体ペーストを乾燥させる乾燥工程において、前記基板に振動を加えることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
蛍光体ペーストに含まれる溶剤成分の蒸発温度以下の温度において基板に振動を加えることを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
超音波によって基板に振動を加えることを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットディスプレイパネル（ＦＤＰ）の開発、商品化が盛んであり、特に大画面化することが比較的容易なＦＤＰであるプラズマディスプレイパネルは、視認性に優れた薄型表示デバイスとして注目されており、すでに５０インチクラスのものが商品化されている。
【０００３】
図６はプラズマディスプレイパネルの構造の一例を示している。図６に示すように、ガラス基板などの透明な前面基板１上には、ストライプ状の走査電極２とストライプ状の維持電極３とで対をなす表示電極４が複数形成され、そして前面基板１上の隣り合う表示電極４間には遮光層５が配置形成されている。この走査電極２および維持電極３は、それぞれ透明電極２ａ、３ａおよびこの透明電極２ａ、３ａに電気的に接続された銀等のバス電極２ｂ、３ｂから構成されている。また、前面基板１上には、表示電極４および遮光層５を覆うように誘電体層６が形成され、その誘電体層６上には保護層７が形成されている。
【０００４】
また、背面基板８上には、走査電極２および維持電極３と直交する方向に、ストライプ状のデータ電極９が複数形成されており、このデータ電極９を覆うように絶縁体層１０が形成されている。この絶縁体層１０上には、データ電極９に平行な複数の隔壁１１が形成され、この隔壁１１間の絶縁体層１０上には赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）にそれぞれ発光する蛍光体層１２が設けられている。なお、データ電極９は隣り合う隔壁１１の間に位置している。また、この図では、隔壁１１に垂直な補助隔壁を表示電極４間の位置に設けた例を示している。
【０００５】
これらの前面基板１と背面基板８とは、走査電極２および維持電極３とデータ電極９とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止され、そして放電空間には、例えばネオンとキセノンの混合ガスが放電ガスとして封入されている。また、表示電極４とデータ電極９との立体交差部には単位発光領域となる放電セルが形成される。そして、各電極に所定の電圧を印加して各放電セルで放電を発生させることにより、画像表示が行われる。
【０００６】
このようなプラズマディスプレイパネルの蛍光体層１２は、中央部膜厚が約１５〜２５μｍであり、例えば特許文献１に記載されているようにスクリーン印刷法により形成される。この方法について図７を用いて説明する。まず図７（ａ）に示すように、背面基板８上にデータ電極９、絶縁体層１０および隔壁１１が形成されたものに対して、蛍光体印刷用の印刷版１３を設置し、所定の隔壁１１間に赤色の蛍光体ペースト１４を印刷し、塗布する。その後、蛍光体ペースト１４を乾燥させることにより溶剤成分を除去し、図７（ｂ）に示すように赤色の蛍光体ペースト層１５を形成する。同様にして図７（ｃ）に示すように、赤色の蛍光体ペースト層１５が形成された背面基板８に対して、印刷版１６を用いて緑色の蛍光体ペースト１７を所定の隔壁１１間に印刷し、塗布する。その後、緑色の蛍光体ペースト１７を乾燥させる。続いて同様に、青色の蛍光体ペーストを印刷、塗布した後、乾燥させる。そして最後に焼成することにより、各色の蛍光体ペースト層から有機物を脱バイし、図７（ｄ）に示すように赤色の蛍光体層１２Ｒ、緑色の蛍光体層１２Ｇおよび青色の蛍光体層１２Ｂが形成される。
【特許文献１】特開２００３−２４９１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のようにスクリーン印刷法で蛍光体層１２を形成する場合、以下の課題があった。すなわち図８（ａ）に示すように、赤色の蛍光体ペースト１４を印刷した際、気泡１８を巻き込んでしまうことがあった。そして、この状態のまま蛍光体ペースト１４を乾燥して焼成すると、図８（ｂ）に示すように、隔壁１１間に形成された蛍光体層１２Ｒは、隔壁１１との間に空間１９を巻き込んだ形状となる。このような背面基板８を用いてプラズマディスプレイパネルを製造すると、放電空間が通常に比べて小さくなっているために、他の放電セルと同じ様な電圧条件で放電せず、画像表示の際、その放電セルが不灯となるか、もしくは制御できずに点滅することになり、表示不良となる。また、前面基板１と背面基板８とをフリットガラスで封着して内部を排気し、放電空間に放電ガスを封入してプラズマディスプレイパネルとする工程での振動などで、図８（ｃ）に示すように空間１９近傍で蛍光体層１２Ｒが割れて剥がれ、その放電セルが不灯になったり、剥がれた蛍光体層１２Ｒが他の放電セルに入ることで、表示不良を起こしたり、違う色の点灯状態を生じるという不良につながってしまう。
【０００８】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、蛍光体層の形状不良が発生することを抑制できるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、基板上に形成された隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、その後、前記蛍光体ペーストが乾燥するまでに前記基板を減圧雰囲気に曝すことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１０】
また本発明は、基板上に形成された隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、その後、前記蛍光体ペーストが乾燥するまでに前記基板に振動を加えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、形状品質の良好な蛍光体層を形成することができ、表示特性の優れたプラズマディスプレイパネルを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、基板上に複数の隔壁が形成され、この隔壁間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、基板上に形成された隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、その後、前記蛍光体ペーストが乾燥するまでに前記基板を減圧雰囲気に曝すことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、蛍光体ペーストを塗布した基板を昇温して前記蛍光体ペーストを乾燥させる乾燥工程において、前記基板を減圧雰囲気に曝すことを特徴とする。
【００１４】
さらに、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、蛍光体ペーストに含まれる溶剤成分の蒸発温度以下の温度において基板を減圧雰囲気に曝すことを特徴とする。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、基板上に複数の隔壁が形成され、この隔壁間に蛍光体層が形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、基板上に形成された隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、その後、前記蛍光体ペーストが乾燥するまでに前記基板に振動を加えることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【００１６】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、蛍光体ペーストを塗布した基板を昇温して前記蛍光体ペーストを乾燥させる乾燥工程において、前記基板に振動を加えることを特徴とする。
【００１７】
さらに、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、蛍光体ペーストに含まれる溶剤成分の蒸発温度以下の温度において基板に振動を加えることを特徴とする。
【００１８】
さらに、請求項７に記載の発明は、請求項４〜６のいずれかに記載の発明において、超音波によって基板に振動を加えることを特徴とする。
【００１９】
以下、本発明の一実施の形態について図１〜図５を用いて説明する。なお、図１〜図５において、図６〜図８に示す部分と同一部分については同一番号を付している。
【００２０】
（実施の形態１）
図１（ａ）は、本発明の実施の形態１における蛍光体層の乾燥工程で用いる乾燥炉の概略構成図であり、同図（ｂ）および同図（ｃ）は動作条件の一例を示す図である。この乾燥炉２０は、入口２０ａ側から出口２０ｂ側に向かって減圧・加熱ゾーン、加熱・キープゾーンおよび冷却ゾーンを有しており、各ゾーン内には加熱手段であるヒーター２１が設けられている。各ゾーンの間には乾燥炉２０内を仕切るためのシャッター２２が設けられ、乾燥炉２０の入口２０ａおよび出口２０ｂにもシャッター２２が設けられている。また、各ゾーンにおいて、出口側にガス供給系２３が設けられるとともに入口側に圧力調整弁付排気口２４が設けられており、さらに減圧・加熱ゾーンには減圧用排気口２５が設けられている。そして、基板２６をセッター２７に載せた状態で、セッター２７および基板２６を入口２０ａから乾燥炉２０に投入し、乾燥炉２０内を移動して出口２０ｂから取り出すことにより、基板２６の乾燥が行われる。
【００２１】
次に、プラズマディスプレイパネルの製造方法について説明するが、以下では特に上記の乾燥炉２０を用いた蛍光体層１２の形成方法について説明する。
【００２２】
まず、背面基板８上に複数のデータ電極９を形成し、このデータ電極９を覆うように絶縁体層１０を形成し、絶縁体層１０上に隔壁１１を形成する。これにより、背面基板８上にデータ電極９と絶縁体層１０と隔壁１１とが形成された基板が得られる。
【００２３】
次に、この基板に対してスクリーン印刷法を用い、所定の隔壁１１間の絶縁体層１０上に赤色の蛍光体ペーストを塗布する。蛍光体ペーストには、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルを主とする溶剤や蛍光体粉末が含まれている。図２には、赤色の蛍光体ペースト１４を塗布したときの状態を示しており、スクリーン印刷したときに望ましい状態にならず、乾燥、焼成したときに不良になり得る部分を示している。すなわち、塗布された赤色の蛍光体ペースト１４には気泡１８が取り込まれた状態となっており、このように背面基板８上に赤色の蛍光体ペースト１４が形成されたものを基板２６とする。
【００２４】
続いて、乾燥炉２０を用いて赤色の蛍光体ペースト１４を乾燥させる乾燥工程を行う。
【００２５】
まず、図２に示した基板２６をセッター２７上に載せた状態で、図１に示すようにセッター２７および基板２６を入口２０ａから乾燥炉２０に投入する。最初の減圧・加熱ゾーンに投入されるとシャッター２２が閉じ、減圧・加熱ゾーンより減圧用排気口２５を通じて排気することにより、減圧・加熱ゾーンは減圧雰囲気になり、基板２６は減圧雰囲気に曝される。同時に、ヒーター２１による加熱が開始される。減圧・加熱ゾーンが減圧されるに伴い、図２に示した赤色の蛍光体ペースト１４に取り込まれていた気泡１８は、図３（ａ）に示すようにその体積が増大し、気泡２８のように気泡１８に比べて大きな体積を有するようになる。そして浮力のためと推定されるが、図３（ｂ）に示すように、気泡２８は上昇して赤色の蛍光体ペースト１４中から抜ける。減圧を行うと同時に加熱処理を行っているため、赤色の蛍光体ペースト１４に含まれる溶剤成分は蒸発していく。なお一例として、図１（ｂ）、（ｃ）に示すように減圧・加熱ゾーン内の圧力は大気圧（約１ａｔｍ）から０．８ａｔｍまで減圧され、温度は常温から第１の温度Ｔ１（例えば９０℃）まで昇温される。第１の温度Ｔ１は溶剤成分の蒸発温度以下の温度に設定している。
【００２６】
次に、減圧・加熱ゾーンの温度が第１の温度Ｔ１に達した後、減圧・加熱ゾーン内を減圧状態から大気圧の状態に戻す。そして、減圧・加熱ゾーンと加熱・キープゾーンとの間のシャッター２２を開け、基板２６を載せたセッター２７を加熱・キープゾーンに移送する。このとき、加熱・キープゾーンの温度はほぼ第１の温度Ｔ１となっている。加熱・キープゾーンでは、第１の温度Ｔ１から第２の温度Ｔ２（例えば１２０℃）まで昇温して第２の温度Ｔ２を所定の時間だけ維持（キープ）することにより、赤色の蛍光体ペースト１４中の溶剤成分を十分に蒸発させて蛍光体ペーストを乾燥させる乾燥処理を行う。所定の処理時間が経過すると、図３（ｃ）のように赤色の蛍光体ペースト層１５が形成される。この赤色の蛍光体ペースト層１５中には気泡１８が存在しておらず、好ましい形状になっている。
【００２７】
その後、加熱・キープゾーンと冷却ゾーンとの間のシャッター２２を開け、基板２６を載せたセッター２７を冷却ゾーンに移送する。このとき、冷却ゾーンの温度はほぼ第２の温度Ｔ２となっている。冷却ゾーンでは、第２の温度Ｔ２から常温まで温度を低下させることにより基板２６を冷却し、所定の処理時間が経過した後、乾燥炉２０の出口２０ｂから基板２６を載せたセッター２７が搬出される。
【００２８】
次に、赤色の蛍光体ペースト層１５が形成された基板２６に対して、上記と同様の方法により、緑色の蛍光体ペーストを塗布し乾燥させることにより緑色の蛍光体ペースト層を形成し、その後、上記と同様の方法により、青色の蛍光体ペーストを塗布し乾燥させることにより青色の蛍光体ペースト層を形成する。このようにして３色の蛍光体ペースト層を形成した後、焼成することにより、背面基板８上に蛍光体層１２を形成する。
【００２９】
このように蛍光体層１２を形成した背面基板８と、表示電極４、遮光層５、誘電体層６および保護層７を形成した前面基板１とを対向させて周囲をガラスフリットで封着し、内部の空間を排気してから放電ガスを封入することにより、プラズマディスプレイパネルが得られる。
【００３０】
この実施の形態１によれば、蛍光体ペーストを隔壁１１間に塗布した際に気泡１８が蛍光体ペースト中に含まれていたとしても、その気泡１８は上記の蛍光体ペーストの乾燥工程を実施することにより存在しなくなる。このため、気泡１８を巻き込み放電空間の小さい放電セルが形成されることや、蛍光体層１２の剥がれを生じることを抑制できるので、形状品質の良好な蛍光体層１２を形成することができる。
【００３１】
以上のように、基板上に形成された隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、その後、蛍光体ペーストが乾燥するまでに基板を減圧雰囲気に曝すことにより、品質の良好な蛍光体層を形成することができるので、表示特性の優れたプラズマディスプレイパネルを安定して得ることができる。
【００３２】
なお、実施の形態１においては、乾燥炉２０内の各ゾーンをシャッター２２で仕切っているが、減圧を行う減圧・加熱ゾーンのみ減圧できる構造を備えていればよい。また、蛍光体ペーストを塗布した基板を減圧雰囲気に曝すことと加熱することを同じゾーンで行っているが、基板を減圧雰囲気に曝した後、乾燥工程の加熱処理を開始してもよい。
【００３３】
（実施の形態２）
図４（ａ）は、本発明の実施の形態２における蛍光体層の乾燥工程で用いる乾燥炉の概略構成図であり、同図（ｂ）は動作条件の一例を示す図である。この乾燥炉２９は、入口２９ａ側から出口２９ｂ側に向かって超音波処理・加熱ゾーン、加熱・キープゾーンおよび冷却ゾーンを有しており、各ゾーン内には加熱手段であるヒーター２１が設けられている。各ゾーンの間には乾燥炉２９内を仕切るためのシャッター２２が設けられ、乾燥炉２９の入口２９ａおよび出口２９ｂにもシャッター２２が設けられている。また、各ゾーンにおいて、出口側にガス供給系２３が設けられるとともに入口側に圧力調整弁付排気口２４が設けられており、さらに超音波処理・加熱ゾーンには超音波印加装置３０が設けられている。そして、基板２６をセッター２７に載せた状態で、セッター２７および基板２６を入口２９ａから乾燥炉２９に投入し、乾燥炉２９内を移動して出口２９ｂから取り出すことにより、基板２６の乾燥が行われる。
【００３４】
次に、プラズマディスプレイパネルの製造方法について説明するが、以下では特に上記の乾燥炉２９を用いた蛍光体層１２の形成方法について説明する。
【００３５】
まず、背面基板８上に複数のデータ電極９を形成し、このデータ電極９を覆うように絶縁体層１０を形成し、絶縁体層１０上に隔壁１１を形成する。これにより、背面基板８上にデータ電極９と絶縁体層１０と隔壁１１とが形成された基板が得られる。
【００３６】
次に、この基板に対してスクリーン印刷法を用い、所定の隔壁１１間の絶縁体層１０上に赤色の蛍光体ペーストを塗布する。蛍光体ペーストには、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルを主とする溶剤や蛍光体粉末が含まれている。赤色の蛍光体ペースト１４を塗布したときの状態を図２に示しており、スクリーン印刷したときに望ましい状態にならず、乾燥、焼成したときに不良になり得る部分を示している。すなわち、塗布された赤色の蛍光体ペースト１４には気泡１８が取り込まれた状態となっており、このように背面基板８上に赤色の蛍光体ペースト１４が形成されたものを基板２６とする。
【００３７】
続いて、乾燥炉２９を用いて赤色の蛍光体ペースト１４の乾燥工程を行う。
【００３８】
まず、図２に示した基板２６をセッター２７上に載せた状態で、図４に示すようにセッター２７および基板２６を入口２９ａから乾燥炉２９に投入する。最初の超音波処理・加熱ゾーンに投入されるとシャッター２２が閉じ、超音波印加装置３０により基板２６に超音波が印加される。同時に、ヒーター２１による加熱が開始される。基板２６に超音波が印加されることにより基板２６に振動が加えられる。図２に示した赤色の蛍光体ペースト１４に取り込まれていた気泡１８は、超音波処理により基板２６に振動が加わるためと推定されるが、図５（ａ）に示すように上昇して赤色の蛍光体ペースト１４中から抜ける。所定の時間で超音波処理を終了する。超音波処理を行うと同時に加熱処理を行っているため、赤色の蛍光体ペースト１４に含まれる溶剤成分は蒸発していく。なお一例として、図４（ｂ）に示すように超音波処理・加熱ゾーンの温度は常温から第１の温度Ｔ１（例えば９０℃）まで昇温される。第１の温度Ｔ１は溶剤成分の蒸発温度以下の温度に設定している。
【００３９】
次に、超音波処理・加熱ゾーンの温度が第１の温度Ｔ１に達した後、超音波処理・加熱ゾーンと加熱・キープゾーンとの間のシャッター２２を開け、基板２６を載せたセッター２７を加熱・キープゾーンに移送する。このとき、加熱・キープゾーンの温度はほぼ第１の温度Ｔ１となっている。加熱・キープゾーンでは、第１の温度Ｔ１から第２の温度Ｔ２（例えば１２０℃）まで昇温して第２の温度Ｔ２を所定の時間だけ維持（キープ）することにより、赤色の蛍光体ペースト１４中の溶剤成分を十分に蒸発させて蛍光体ペーストを乾燥させる乾燥処理を行う。所定の処理時間が経過すると、図５（ｂ）のように赤色の蛍光体ペースト層１５が形成される。この赤色の蛍光体ペースト層１５中には気泡１８が存在しておらず、好ましい形状になっている。
【００４０】
その後、加熱・キープゾーンと冷却ゾーンとの間のシャッター２２を開け、基板２６を載せたセッター２７を冷却ゾーンに移送する。このとき、冷却ゾーンの温度はほぼ第２の温度Ｔ２となっており、冷却ゾーンでは、第２の温度Ｔ２から常温まで温度を低下させることにより基板２６を冷却し、所定の処理時間が経過した後、乾燥炉２９の出口２９ｂから基板２６を載せたセッター２７が搬出される。
【００４１】
次に、赤色の蛍光体ペースト層１５が形成された基板２６に対して、上記と同様の方法により、緑色の蛍光体ペーストを塗布し乾燥させることにより緑色の蛍光体ペースト層を形成し、その後、上記と同様の方法により、青色の蛍光体ペーストを塗布し乾燥させることにより青色の蛍光体ペースト層を形成する。このようにして３色の蛍光体ペースト層を形成した後、焼成することにより、背面基板８上に蛍光体層１２を形成する。
【００４２】
このように蛍光体層１２を形成した背面基板８と、表示電極４、遮光層５、誘電体層６および保護層７を形成した前面基板１とを対向させて周囲をガラスフリットで封着し、内部の空間を排気してから放電ガスを封入することにより、プラズマディスプレイパネルが得られる。
【００４３】
この実施の形態２によれば、蛍光体ペーストを隔壁１１間に塗布した際に気泡１８が蛍光体ペースト中に含まれていたとしても、その気泡１８は上記の蛍光体ペーストの乾燥工程を実施することにより存在しなくなる。このため、気泡１８を巻き込み放電空間の小さい放電セルが形成されることや、蛍光体層１２の剥がれを生じることを抑制できるので、形状品質の良好な蛍光体層１２を形成することができる。
【００４４】
以上のように、基板上に形成された隔壁間に蛍光体ペーストを塗布し、その後、前記蛍光体ペーストが乾燥するまでに前記基板に振動を加えることにより、品質の良好な蛍光体層を形成することができるので、表示特性の優れたプラズマディスプレイパネルを安定して得ることができる。
【００４５】
なお、実施の形態２においては、乾燥炉２９内の各ゾーンをシャッター２２で仕切っているが、シャッター２２は必要に応じて設ければよい。また、蛍光体ペーストを塗布した基板の超音波処理を行うことと加熱することを同じゾーンで行っているが、超音波処理を行った後、加熱処理を開始してもよい。
【００４６】
また、上記の実施の形態１と実施の形態２とを組み合わせて行ってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
以上説明したように、本発明によれば、形状品質の良好な蛍光体層を形成することができ、プラズマディスプレイパネルの製造に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施の形態１に係る乾燥炉の概略構成図および動作条件の一例を示す図
【図２】赤色の蛍光体ペーストを塗布した状態を示す断面図
【図３】（ａ）〜（ｃ）は同乾燥炉を用いて赤色の蛍光体ペーストを乾燥させたときの様子を示す断面図
【図４】（ａ）、（ｂ）は本発明の実施の形態２に係る乾燥炉の概略構成図および動作条件の一例を示す図
【図５】（ａ）、（ｂ）は同乾燥炉を用いて赤色の蛍光体ペーストを乾燥させたときの様子を示す断面図
【図６】プラズマディスプレイパネルの一部を示す斜視図
【図７】（ａ）〜（ｄ）は従来の蛍光体層の形成方法を説明するための断面図
【図８】（ａ）〜（ｃ）は従来の蛍光体層の形成方法の課題を説明するための断面図
【符号の説明】
【００４９】
１  前面基板
８  背面基板
９  データ電極
１０  絶縁体層
１１  隔壁
１２  蛍光体層
１４、１７  蛍光体ペースト
１５  蛍光体ペースト層
１８、２８  気泡
１９  空間
２０、２９  乾燥炉
２１  ヒーター
２２  シャッター
２５  減圧用排気口
２６  基板
３０  超音波印加装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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