(57)【要約】 【課題】  高感度化、小型化、低価格化、高精度化を図ることのできる検出センサ、振動子を提供することを目的とする。【解決手段】  センサ１０において、ディスク型振動子２０Ａを用いることにより、高感度な質量の物体の検出や、質量の検出を行う。ディスク型振動子２０Ａは、いわゆるＳｉ単結晶を構造材料として用い、ＭＥＭＳ技術によって製造することができる。検出対象の分子等の付着効率を高めるため、ディスク型振動子２０Ａの表面に、凹凸、溝等を形成するのが好ましい。  また、ディスク型振動子２０Ａは、外周部を固定した固定端構造とすることもできる。この場合、ディスク型振動子２０Ａを駆動する駆動電極２１、ディスク型振動子２０Ａの振動の変化を検出する検出電極２２は、ディスク型振動子２０Ａの表面に対向するように設けるのが好ましい。【選択図】図１
2006329931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量を有した物質の付着または吸着により振動特性が変化するディスク状の振動子と、
前記振動子を振動させる駆動部と、
前記振動子における振動の変化を検出することで、前記物質を検出する検出部と、を備えることを特徴とする検出センサ。
【請求項２】
前記振動子は、その表面に前記物質が付着することを特徴とする請求項１に記載の検出センサ。
【請求項３】
前記振動子は、前記物質を吸着する吸着部材を備えることを特徴とする請求項１に記載の検出センサ。
【請求項４】
前記駆動部および前記検出部は、前記振動子と静電結合することで、前記振動子の振動、前記振動子の振動の変化の検出を行うことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項５】
前記振動子の表面の少なくとも一部に、凹凸または溝が形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項６】
前記検出部は、前記振動子に付着した前記物質の量を検出することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項７】
前記物質が特定の分子、あるいは特定の特性または特徴を有する複数種の分子であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項８】
前記振動子が複数設けられ、一方の前記振動子と他方の前記振動子は互いに静電結合する構成とされ、
前記検出部は、一方の前記振動子と他方の前記振動子に前記物質が付着したときの振動周波数の差の変化を検出することで、前記振動子に対する前記物質の付着を検出することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項９】
前記振動子と並列して、前記物質が付着しない基準振動子が設けられ、
前記検出部は、前記振動子に前記物質が付着したときの、前記基準振動子の振動を基準とした前記振動子の振動の変化を検出することで、前記振動子に対する前記物質の付着を検出することを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項１０】
前記振動子と前記基準振動子は、逆相の振動が生じることを特徴とする請求項９に記載の検出センサ。
【請求項１１】
質量を有した物質の付着を検出するための振動子であって、
振動子本体と、
前記振動子本体に対して間隙を隔てて設けられ、静電結合により前記振動子本体に電圧を加えるための駆動電極と、
前記振動子本体に対して間隙を隔てて設けられ、静電結合により前記振動子本体の振動による電圧の変化を検出する検出電極と、を備えることを特徴とする振動子。
【請求項１２】
前記振動子本体は、外周部が自由端とされていることを特徴とする請求項１１に記載の振動子。
【請求項１３】
前記振動子本体は、外周部が固定端とされていることを特徴とする請求項１１に記載の振動子。
【請求項１４】
前記振動子本体はディスク状であることを特徴とする請求項１１から１３のいずれかに記載の振動子。
【請求項１５】
前記駆動電極および前記検出電極は、前記振動子本体の表面に、間隔を隔てて対向するよう設けられていることを特徴とする請求項１３または１４に記載の振動子。
【請求項１６】
質量を有した物質が表面に付着することで振動特性が変化する少なくとも一対の振動子と、
前記振動子を振動させる駆動部と、
少なくとも一対の前記振動子間において、前記物質が付着したときの振動の変化を比較することで、前記振動子に対する前記物質の付着を検出する検出部と、を備えることを特徴とする検出センサ。
【請求項１７】
前記検出部は、少なくとも一対の前記振動子間において、前記物質が付着したときの前記振動子の振動周波数の差の変化を検出することで、前記振動子に対する前記物質の付着を検出することを特徴とする請求項１６に記載の検出センサ。
【請求項１８】
少なくとも一対の前記振動子のうちの一つが、前記物質が付着しない基準振動子とされ、
前記検出部は、前記振動子に前記物質が付着したときの、前記基準振動子の振動を基準とした前記振動子の振動の変化を検出することで、前記振動子に対する前記物質の付着を検出することを特徴とする請求項１６に記載の検出センサ。
【請求項１９】
前記振動子はディスク状であることを特徴とする請求項１６から１８のいずれかに記載の検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、質量を有した物質の有無の検出、物質の質量の検出等を行うために用いるのに適した検出センサ、振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロマシン／ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems) 技術などの微細加工技術の進展により、機械的な振動子を極めて小さく作ることが可能となっている。これにより振動子そのものの質量を小さく作ることが可能になったことから、分子レベルの極微小な物質（例えば分子やウイルス等）の付着による質量変化によっても、周波数やインピーダンス特性の変動が生ずるほどに高感度な振動子が実現しつつある。このような高感度な振動子を用いれば、極微小な物質の存在や量を検出できるセンサ等を構成することが可能となる。
また、空気の粘性などによる振動エネルギー損失の小さい振動のさせ方（振動モード）を用いることにより、空気中においても極めてＱ値（Quality Factor）の高い振動を振動子に起こさせることが可能になり、これにより精度良く周波数の変動を観測することができるようになってきた。
【０００３】
振動子の周波数変化等によって物質の量を検出する装置としては、ＱＣＭ(Quarts Crystal Micro balance: 水晶天秤)センサが知られている。これは、水晶振動子に物質が付着するとその質量に応じて振動周波数が変動する（下がる）性質を利用したもので、微小な質量変化を計測する質量センサとして優れた性能を有しており、例えば膜厚計（蒸着モニタ）としてもよく用いられている（例えば、非特許文献１参照）。
また、味覚や嗅覚を与える分子を、水晶発振器の表面に形成した脂質二重膜に吸着させ、この質量変化を測定する技術も提案されている（例えば、非特許文献２参照）。
【０００４】
このような方式を採用することで、白金やパラジウムを水素分子の吸着膜として適用した水素ガス検知センサや、ＰＭＭＡポリマーを用いたアルコール成分検知、また食物の匂い検知等が実現できることが既に報告されている。
【０００５】
【非特許文献１】“ＱＣＭ水晶センサとは・・・・・”、[online]、株式会社多摩デバイス、[平成１７年４月２０日検索]、インターネット＜URL: http://www.tamadevice.co.jp/whats-qcm.htm＞
【非特許文献２】岡畑恵雄、“味覚や嗅覚を重さで計る”、ぶんせき、日本分析化学会、２００３年、１０号、ｐ．６０６−６０９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記したような、微小質量の付着によって振動特性が変化する振動子を用いたセンサにおいては、さらなる高感度化、小型化、低価格化が常に求められている。
また、非特許文献２に記載の技術においては、分子の吸着能が高い脂質二重膜が使われているが、この膜は水分の存在が必須であり、ドライな雰囲気では利用が制限される。また水晶は自由なマイクロ加工が困難であり、またシリコンとの集積化が困難等の課題がある。これらの理由から感度を上げるには更なる工夫が必要である。
【０００７】
ＱＣＭセンサにおいて、振動周波数は、
ｆｏ＝α／ｔ
で表される。ここで、α：周波数を決める定数、ｔ：水晶振動子の厚さである。このように、ＱＣＭセンサの振動周波数はその膜厚と逆比例に関係があるため、膜厚を十分に薄くすることが出来ない。すなわちＱＣＭセンサでは、検出する微小質量と振動子の等価質量の比を向上させるには限界があることを意味している。
また、例えば物質の量を検出するセンサを構成する場合、目的の物質以外の他の物質が振動子に付着すると、検出精度が低下してしまうことになる。したがって、センサを使用する環境に関わらず、高精度な検出が行えるセンサが求められている、という課題もある。
本発明は、このような技術的課題に基づいてなされたもので、高感度化、小型化、低価格化、高精度化を図ることのできる検出センサ、振動子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる目的のもと、本発明の検出センサは、質量を有した物質の付着または吸着により振動特性が変化するディスク状の振動子と、振動子を振動させる駆動部と、振動子における振動の変化を検出することで、物質を検出する検出部と、を備えることを特徴とする。
ここで、物質が、振動子の表面に付着するようにしてもよい。また、振動子に、物質を吸着する吸着部材を備えるようにしてもよい。この場合、吸着部材は、振動子と別体とすることもできるし、振動子と一体的に設けることも可能である。
このような検出センサにおいては、振動子に質量を有した物質が付着すると、その質量の影響を受けて振動子の振動数等の振動特性が変化する。したがって、検出部では、振動子の振動を電気的にモニタリングすることで、物質の検出を行うことができる。この場合、物質の検出とは、振動子への物質の付着の有無だけでなく、振動子への物質の付着量を検出することもできる。これにより、従来に無いディスク型の検出センサを実現することができる。
このとき、駆動部および検出部は、振動子の振動、振動の変化を検出するためにいかなる手段を用いても良いが、振動子との静電結合を用いるのが好ましい。
【０００９】
また振動子に対する物質（分子）の付着面には、分子の吸着を効率よく行えるような吸着材料を付加しても良い。これには、グローバルな認識材と、選択認識材がある。グローバルな認識材は、選択性は強くないが、ある特定の分子群、例えばアルコールやエーテル等を吸着するポリマーである。これらのポリマーをナノファイバー化したり、またポーラスにして表面積を増やすことも有効である。また選択性の強い認識材としては、抗原−抗体反応を起こすような生物由来の材料や、アクセプター−レセプターの組み合わせや、遺伝子やＤＮＡ，ＲＮＡとハイブリダイゼーションする特定の塩基配列を持ったプローブ等がある。また、脂質二重膜でも良い。なお、このような吸着素材は、通常は振動子とは別に形成し、振動子の表面に取り付けるのが一般的である。しかし、吸着素材がある程度の密度を持てば、吸着材料と振動子を一体に形成するようにしても良い。さらには、振動子自体を吸着素材で形成するようにしても良い。
また、ここでいうポリマーのナノファイバー化とは、様々な分子に対する吸着特性が異なるポリマーの吸着能を飛躍的に挙げるため、ポリマーを数ナノメートル〜数百ミクロンメートルの大きさ（長さ）の繊維状にするものをいう。
【００１０】
また、振動子の表面の少なくとも一部には、凹凸または溝を形成するのが良い。これにより、振動子の表面積が増加するため、振動子の表面に対する物質の付着を効率良く行える。さらに、前述した吸着材料のナノファイバー化との組み合わせによって、更なる高感度化を図ることも可能になる。
【００１１】
このような検出センサにおいては、検出対象となる物質を特定の分子、あるいは特定の特性または特徴を有する複数種の分子とすることができる。これにより、例えば、ガス検出センサ、匂いセンサ等に本検出センサを用いることができる。これには、振動子で、特定の分子としてガスや生体由来の分子、生活空間の浮遊分子、揮発性分子等を対象とする場合、特定種の分子のみを高い選択性を持って検出するのが望ましい。また、このように選択性の高い検出センサを複数用い、複数種の分子を認識したり、用途の応用範囲を広げることができる。また、グローバル認識と称される、特定の特徴を持った分子群や、同じ側鎖を持つ分子群等を検出することもできる。この場合、検出センサを複数用い、これら複数の検出センサ間における検出能の差から、信号処理やソフトフェアを用いた処理等によって分子群の認識を行うようにしても良い。また、液中で動作するように構成を変更して、特定のたんぱく質や酵素、糖鎖等を検出しても良い。
【００１２】
また、本発明の検出センサにおいては、振動子を複数設け、一方の振動子と他方の振動子が互いに静電結合する構成とすることができる。この場合、検出部では、一方の振動子と他方の振動子に物質が付着したときの振動周波数の差の変化を検出することで、振動子に対する物質の付着を検出する。このようにすると、一方の振動子と他方の振動子は、静電結合によって互いに逆相で振動するため、物質の付着による振動周波数の差の変化は、低周波の信号で出力されることになり、検出が容易となる。
【００１３】
また、振動子と並列して物質が付着しない基準振動子を設け、検出部では、振動子に物質が付着したときの、基準振動子の振動を基準とした振動子の振動の変化を検出することで、振動子に対する物質の付着を検出することもできる。物質が付着する振動子と物質が付着しない基準振動子を同一の検出環境下に置くことで、外乱の影響を受けずに高感度な検出が行える。
このような振動子と基準振動子においては、逆相の振動が生じるように双方を結線することで、振動子の振動の変化を容易に検出できる。
【００１４】
本発明は、質量を有した物質の付着を検出するための振動子とすることもできる。この振動子は、  振動子本体と、振動子本体に対して間隙を隔てて設けられ、静電結合により振動子本体に電圧を加えるための駆動電極と、振動子本体に対して間隙を隔てて設けられ、静電結合により振動子本体の振動による電圧の変化を検出する検出電極と、を備えることを特徴とする。振動子は、いかなる形状としてもよいが、例えばディスク状とすることができる。
この場合、振動子本体は、外周部を自由端としても良いし、固定端としても良い。固定端とする場合、駆動電極および検出電極は、振動子本体の表面に、間隔を隔てて対向するよう設けるのが好ましい。これにより、振動子本体と駆動電極および検出電極との静電結合を面で行うことができ、結合容量を高めることができる。
【００１５】
また、本発明は、質量を有した物質が表面に付着することで振動特性が変化する少なくとも一対の振動子と、振動子を振動させる駆動部と、少なくとも一対の振動子間において、物質が付着したときの振動の変化を比較することで、振動子に対する物質の付着を検出する検出部と、を備えることを特徴とする検出センサとすることもできる。
この場合、検出部は、少なくとも一対の振動子間において、物質が付着したときの振動子の振動周波数の差の変化を検出することで、振動子に対する物質の付着を検出することができる。
また、少なくとも一対の振動子のうちの一つを、物質が付着しない基準振動子とし、検出部では、振動子に物質が付着したときの、基準振動子の振動を基準とした振動子の振動の変化を検出することで、振動子に対する物質の付着を検出することもできる。
このような振動子は、カンチレバー状等とすることもできるが、ディスク状とするのが好ましい。
【００１６】
微小質量の検出は、薄膜形成の際の膜厚モニタ、抗体抗原反応や蛋白質吸着作用などのバイオ研究にも用いることができる。本発明の検出センサや振動子は、このような用途に好適である。
また、小型で安定な高感度な家庭用や個人用のガスセンサや、携帯性に優れる使い捨て型で空気中などに浮遊する有害物質の検出等の用途にも、本発明の検出センサや振動子を用いることも考えられる。さらにこれ以外の用途に対しても、本発明の検出センサや振動子の利用を妨げるものではない。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、検出センサ、振動子の高感度化、小型化、低価格化、高精度化を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面に示す実施の形態に基づいてこの発明を詳細に説明する。
図１は、本実施の形態におけるセンサ（検出センサ）１０の基本的な構成を説明するための図である。
この図１に示すセンサ１０は、ディスク状で、全体として円形、矩形、あるいは適宜他の形状を有し、質量を有した分子等の検出対象物が付着すると振動周波数が変化するディスク型振動子（振動子）２０と、ディスク型振動子２０における振動特性の変化を検出する検出部３０と、を備えている。
【００１９】
上記のようなディスク型振動子２０を用いたセンサ１０の基本的な原理について説明する。
ディスク型振動子２０において、その外周が固定されていない(Free)な状態でのディスク型振動子２０の振動数を決める周波数関数と、その振動の形を示すモード関数は、以下のように決められることができ、これらはディスク型振動子２０の厚みには無関係である。
すなわち、開放端条件におけるディスク型振動子２０の振動周波数（周波数関数）や振動姿態（モード関数）は、円柱座標(r, θ, z)を用いた解析により、以下の通りとなる。なおＡはｄｉｌａｔａｔｉｏｎ（拡張・縮小方向）の振幅、Ｂはｒｏｔａｔｉｏｎ（回転方向）の振幅である。
ディスク型振動子２０に生じる振動には、（ａ）ラジアルモード（径方向にのみ振動するモード）、（ｂ）タンジェンタルモード（Tangential Mode：径方向に直交する軸方向にのみ振動するモード）、（ｃ）コンパウンドモード（径方向の振動および径方向に直交する軸方向の振動が複合したモード）、の３通りがある。
ラジアルモードの場合、周波数関数、モード関数は、以下の通りとなる。
【００２０】
【数１】
2006329931.tif 000003
【００２１】
また、タンジェンタルモードの場合、周波数関数、モード関数は、以下の通りとなる。
【００２２】
【数２】
2006329931.tif 000004
【００２３】
コンパウンドモードの場合、周波数関数、モード関数は、以下の通りとなる。
【００２４】
【数３】
2006329931.tif 000005
【００２５】
なお、任意係数Aは径方向の振動の振幅、Bは軸方向の振動振の幅であり、AとBの比は次式で表される。
【００２６】
【数４】
2006329931.tif 000006
【００２７】
また等価質量は、次のように決めることができる。
【００２８】
【数５】
2006329931.tif 000007
【００２９】
また、この等価質量と振動周波数ωを用いることで、等価剛性は次の様に決まる。
【００３０】
【数６】
2006329931.tif 000008
【００３１】
上式は、ディスク型振動子２０の振動は、剛性係数Lreのバネに重さMreの重りをぶら下げた時には角周波数ωで振動することと等価であることを示している。
また上式を書き換えることにより、等価質量Mreがmreだけ増えたときの振動周波数は次式で表すことができる。
【００３２】
【数７】
2006329931.tif 000009
【００３３】
すなわち、等価質量Mreがmreだけ増えたときの振動周波数の変化は、次式で表される。
【００３４】
【数８】
2006329931.tif 000010
【００３５】
このように、本考案のディスク型振動子２０では、質量を有した物質が付着すると、振動周波数が変化するので、これを検出することで、微小質量を検出できる。さて上記の式（１２）によれば、微小質量に相当するmreと等価質量Mreとの比が小さいほど周波数の変動量は大きくなり、微小質量検出装置としての感度が高いことがわかる。すなわち式（１１）によれば、等価質量Mreはディスク型振動子２０の厚みｔと比例関係にあるが、式（１），(３)および（６）に示すように、ディスク型振動子２０の厚みｔは振動周波数とは無関係であるので、ディスク型振動子２０の厚みｔを機械的な強度の許す範囲まで薄くして等価質量Mreを小さくすることで、容易に感度の向上を図ることができる。
【００３６】
以下、このようなディスク型振動子２０を用いたセンサ１０として、複数の実施形態を示す。
【００３７】
[第一の実施形態]
本実施の形態におけるディスク型振動子２０Ａは、例えばＳｉによって形成され、支持部２０ａのみが固定された状態で、残る外周部が自由端となるように支持されている。
このディスク型振動子２０Ａの近傍には、駆動電極（駆動部）２１と、検出電極２２とが設けられている。
駆動電極２１、検出電極２２は、ディスク型振動子２０Ａに対し、所定の電圧を印加したときに、静電結合が生じるよう、微小の間隙を隔てて配置されている。図１に示したような構成においては、ディスク型振動子２０Ａを半径方向に振動させるラジアルモードとする。ラジアルモードは、空気の粘性による影響が小さく、高いＱ値（Quality factor）が得やすい。
【００３８】
このようなディスク型振動子２０Ａにおいては、所定の周波数を有した電気的な信号を電源から駆動電極２１に印加すると、静電結合により、ディスク型振動子２０Ａが前記の周波数で振動する。検出電極２２では、ディスク型振動子２０Ａの電気的な振動を、静電結合により検出し、これを検出部３０に出力する。このとき、ディスク型振動子２０Ａに質量を有した物質が付着すると、その質量の影響を受けてディスク型振動子２０Ａの振動数が変化する。したがって、検出部３０では、検出電極２２から出力される電気的な振動をモニタリングすることで、ディスク型振動子２０Ａへの物質の付着の有無、あるいはディスク型振動子２０Ａへの物質の付着量を検出することが可能となっている。
このようなディスク型振動子２０Ａを効率良く駆動するためにはディスク型振動子２０Ａと駆動電極２１の間を、例えば１００ｎｍ以下といった極めて狭い間隙として、結合容量を大きくすることが必要である。
【００３９】
上記したような構成のセンサ１０においては、ディスク型振動子２０Ａを用いることにより、高感度な質量の物体の検出や、質量の検出を行うことが可能となる。
また、ディスク型振動子２０Ａは、いわゆるＳｉ単結晶を構造材料として用い、ＭＥＭＳ技術によって製造することができることから、Ｓｉ半導体と同一チップ内にセンサ１０を組み込んで作ることも可能となる。
【００４０】
ところで、ディスク型振動子２０Ａに対しては、その上面に検出対象となる分子等が落下して付着する。このとき、検出対象の分子等の付着効率を高めるため、ディスク型振動子２０Ａの表面に、凹凸、溝等を形成するのが好ましい。これにより、例えば斜め方向に落ちてきた分子等をディスク型振動子２０Ａの上面で捕捉しやすくなる。
このような凹凸や溝は、ディスク型振動子２０Ａの表面全体に形成しても良いが、その一部のみに形成するようにしても良い。その場合、ディスク型振動子２０Ａにおいて生じる振動の振幅が大きくなるような箇所に凹凸や溝を形成するのが好ましい。
【００４１】
［第二の実施形態］
さて、上記においては、ディスク型振動子２０Ａを、外周が固定されていない状態の例を挙げたが、外周を固定する構造とすることもできる。なお、センサ１０全体としての構成は、上記第一の実施形態と同様であるので、ディスク型振動子２０Ｂのみを中心として説明を行い、他の構成については説明を省略する。
【００４２】
図２、図３は、このような固定端型のディスク型振動子２０Ｂの構成を示す図であり、図３は図２のＡ−Ａ’断面図である。
図３に示すように、固定端型のディスク型振動子２０Ｂは、絶縁性を有したＳｉからなる基板２３上に、駆動電極（駆動部）２４、検出電極２５が設けられ、さらにその上に絶縁体２６を介し、Ｓｉ層２７が積層された構成を有している。ここで、図２および図３に示すように、絶縁体２６には、円形あるいは矩形状の開口部２６ａが形成されており、これによってＳｉ層２７は開口部２６ａの部分において振動子本体２８として振動できるようになっている。この場合も、Ｓｉ層２７の表面には、検出対象の分子等の付着効率を高めるため、凹凸、溝２９等を形成するのが好ましい。
【００４３】
また、駆動電極２４、検出電極２５は、開口部２６ａの部分において、振動子本体２８に対し、所定の間隙を隔てた状態で略平行となるように設けられている。
これら駆動電極２４、検出電極２５は、ｎ＝２のコンパウンドモードの振動を用いる場合、図４に示すように、駆動電極２４、検出電極２５をそれぞれ略扇状として、二対設けるのが良い。また、ｎ＝１のコンパウンドモードの振動を用いる場合には、駆動電極２４、検出電極２５をそれぞれ半円状とし、これらを一対設けるのが良い。
【００４４】
このようなディスク型振動子２０Ｂを用いて構成したセンサ１０においては、所定の周波数を有した電気的な信号を電源から駆動電極２４に印加すると、静電結合により、ディスク型振動子２０Ｂが前記の周波数で振動する。検出電極２５では、ディスク型振動子２０Ｂの電気的な振動を静電結合により検出し、これを検出部３０に出力する。このとき、ディスク型振動子２０Ｂの振動子本体２８に質量を有した物質が付着すると、その質量の影響を受けて振動子本体２８の振動数が変化する。
外周が固定された固定端条件の振動の場合にも、振動子本体２８の振動には、上記第一の実施形態におけるディスク型振動子２０Ａと同様、ｎ＝０のラジアルモードやタンジェンタルモード、ｎ≧１のコンパウンドモードが存在するが、外周部を固定したディスク型振動子２０Ｂに対し、駆動電極２１、検出電極２２を略平行に設けた上記構成においては、コンパウンドモードを使うのが好ましい。この場合、Ｑ値も開放端条件の場合と同等の性能が得られる
【００４５】
このような構成においても、検出部３０では、検出電極２５から出力される電気的な振動をモニタリングすることで、振動子本体２８への物質の付着の有無、あるいは振動子本体２８への物質の付着量を、上記第一の実施形態と同様、高感度で検出することが可能となっている。
しかも、振動子本体２８と駆動電極２４、検出電極２５は、互いに略平行に配置された面を介して静電結合することができる。これにより、結合容量を大きくすることができ、駆動・検出効率をさらに高めることが可能となる。
また、このようなディスク型振動子２０Ｂをユニット化した場合、駆動電極２４、検出電極２５はＳｉ層２７の背面側に隠すことができる。上記第一の実施形態で示した開放端方式のディスク型振動子２０Ａにおいては、必要な静電結合量を確保するためにディスク型振動子２０Ａと、駆動電極２１、検出電極２２との間に、極めて狭い間隙（例えば１００ｎｍ程度以下）を設けることが必要である。このような構造のため、微小質量を有した物質や埃等がこの狭い間隙に入り込み、測定が不能となる事態が発生する可能性がある。これに対し、ディスク型振動子２０Ｂは、駆動電極２４、検出電極２５を背面側に配置できるので、このような問題が発生するのを回避できる。また、外部にはＳｉ層２７が露出するのみとなり、センサ１０を、デザイン性に優れたものとすることが可能となる。
【００４６】
［第三の実施形態］
次に、本発明のさらに他の実施の形態として、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄを静電結合して構成するセンサ１０について説明する。
図５に示すように、センサ１０は、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄを静電結合して備える。ここで、ディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄとしては、上記第一の実施形態のディスク型振動子２０Ａと同様のものを例に挙げるが、もちろん第二の実施形態のディスク型振動子２０Ｂを用いることもできる。
このようなセンサ１０では、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄを用い、ディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄのそれぞれに固有の振動周波数と、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄ間の静電結合が作用することにより変化した周波数との周波数差が、ディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄの表面に付着した微小質量によって変化する現象を用いる。
【００４７】
このような構成において、まず、静電結合により結合している二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄについて検討する。２つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄのうち、一方のディスク型振動子２０Ｃは、互いに静電的な結合が無い場合と同様、その振動周波数は、開放端の条件でｎ＝２とすると、式（６）で決まり、その振動の様子は式（７）で表される。ここでも式（９）、式（１０）と同様の関係から、振動周波数ω0は、等価質量Mreと等価剛性Lreにより、次式の通りとなる。
【００４８】
【数９】
2006329931.tif 000011
【００４９】
他方のディスク型振動子２０Ｄは、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄが静電結合しているため、その影響を受ける。二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄ間の結合容量による等価剛性をLelecとすると他方のディスク型振動子２０Ｄの振動周波数は、次式の通りとなる。
【００５０】
【数１０】
2006329931.tif 000012
【００５１】
ここで、Ｌelecは両端固定梁の振動の場合、次式と通りとなる。
【００５２】
【数１１】
2006329931.tif 000013
【００５３】
ここで、ε：振動子間の誘電率、ｇ：振動子間の距離、ΔVp：振動子のポラリゼーション電圧の差、l:振動子の長さ、h：振動子の厚みである。
ところで、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄを静電結合させるためには、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄを接近させて重ね合わせれば良い。また、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄを、静電結合電極を介して結合させるようにしても良い。この場合、上式（１５）は、次式となる。
【００５４】
【数１２】
2006329931.tif 000014
【００５５】
ただし、Ｒ：ディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄの半径、α：静電結合端子と結合する部分の角度、である。
さて、式（１３）、（１４）より、ω０とω１の差：Δωは、次式のようになる。
【００５６】
【数１３】
2006329931.tif 000015
【００５７】
このディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄにおいて、質量がΔｍreだけ増えたとき、振動周波数の差Δωは、次式のようになる。
【００５８】
【数１４】
2006329931.tif 000016
【００５９】
この式（１８）で表されるように、ディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄにおいては、ディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄの質量に対し、質量を有した物質が同じように付着すると、同感度で振動周波数の差が変化する。
この時の周波数スペクトラムは、図６に示すように、異なる二つの周波数にピークを持つ周波数スペクトラムとなる。このような静電結合型のディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄを、差動増幅器４０の帰還回路に用いて発信機を構成したとき、二つの振動周波数ω０、ω１で発信する様に増幅器を動作させた場合には、差動増幅器４０の発信動作が非線形動作であることから、最も非線形が強い２次の非線形成分だけを考慮しても、ω０、ω１、ω０−ω１、２ω０、２ω１、の５つの周波数スペクトラムが観測される。
この周波数スペクトラムの一つとして、振動周波数の差Δω=ω０−ω１を直接観測することができ、この振動周波数の差Δωは、適当な低域フィルタを使えば単独で抽出することが容易に可能である。すなわち、微小質量の付着によって生じる二つの周波数と、その差をダイレクトに観測することが可能であり、簡易に高感度な質量検出を行うことが可能となる。しかも振動周波数の差Δωは、周波数そのものが低くなっており、高周波的回路としての処理が容易になるメリットもある。
【００６０】
このような構成のセンサ１０においては、二つのディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄは、全く同じ環境の中で動作していることから、外乱による影響は同じように受けていると考えることが出来る。すなわち、外乱による周波数の変動は、検出部３０で振動周波数の差を求める段階において、ディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄ間で相殺されてしまうため、この構成により、センサ１０は、外乱に強い、高精度な質量検出を行うことが可能となる。
【００６１】
［第四の実施形態］
次に、本発明のさらに他の実施の形態として、二つのディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆを用い、片方のディスク型振動子２０Ｆにのみ質量を付着させる構成のセンサ１０について説明する。
図７に示すように、センサ１０は、二つのディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆを並列に備えている。ディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆは、それぞれｎ＝２のコンパウンドモード、いわゆるワイングラスモード（Wine-Glass Mode）で振動するように設けられている。
ワイングラスモードで振動するディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆにおいては、駆動電極２１と検出電極２２を合わせて合計４つの結合電極があるが、ディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆは、互いに隣り合う電極に対応する部位において、互いに逆位相で振動し、向かい合う電極に対応する部位では同相で振動する。したがって、一方のディスク型振動子２０Ｅでは、駆動電極２１から入力された信号と同相の信号を取出し、他方のディスク型振動子２０Ｆからは逆相の信号を取り出せるように、図６に示すように結線する。これにより、検出部３０では、一方のディスク型振動子２０Ｅから生じる振動周波数と、他方のディスク型振動子２０Ｆから生ずる振動周波数の、二つの周波数がスペクトラムとして観測される。
【００６２】
このようなセンサ１０においては、一方のディスク型振動子２０Ｅは、図示しないカバーで覆う等して、検出対象となる物質を付着しないようにして基準振動子とし、他方のディスク型振動子２０Ｆに検出対象となる物質を付着させるようにする。この場合、ディスク型振動子２０Ｆに物質が付着してディスク型振動子２０Ｆの質量がmreだけ増えたとき、前記の式（１１）のように、片方のディスク型振動子２０Ｆの振動周波数だけが変化する。残るディスク型振動子２０Ｅには、物質が付着しないので、振動周波数は一定である。このディスク型振動子２０Ｆの周波数と、質量の変化していないディスク型振動子２０Ｅの周波数の差は、次式のようになる。
【００６３】
【数１５】
2006329931.tif 000017
【００６４】
二つのディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆを用い、片方のディスク型振動子２０Ｆにのみ質量を有した物質を付着させる構成とすることで、一方のディスク型振動子２０Ｅを基準とし、他方のディスク型振動子２０Ｆにおける振動周波数の変化を検出するようになっている。しかも、一方のディスク型振動子２０Ｅと、他方のディスク型振動子２０Ｆは、２つの振動周波数の位相が互いに同相になるように結線しており、同時に異なる２つの周波数で振動していることになる。この２つの周波数の間は、一方のディスク型振動子２０Ｅでは周波数に対して振幅が減衰する方向にあり、他方のディスク型振動子２０Ｆでは振幅が増大する方向にある。この振幅が増加するときの位相と振幅が減衰するときの位相とでは、互いに逆相の状態になるため、二つの周波数の間に深いスペクトラムの谷を作ることになる。すなわち、二つの周波数の違いを明瞭に示し、高感度な質量の検出が行えることになる。
【００６５】
このように構成された二つのディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆを、図５と同様に、増幅器の帰還回路に用いて発信機を構成したときの発信スペクトラムは、ここでも２次の非線形まで考慮すると、図６のようなスペクトラムが得られる。しかも、ディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆは逆相接続のため、極めて小さい周波数の違いが生じても二つの周波数は明瞭に分かれることから、極めて感度の高い微小質量が検出できるセンサ１０を構成することが可能となる。
【００６６】
ところで、図７に示すように、ディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆには、周波数調整質量（Frequency Tuning Mass）３１を設けることもできる。これはディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆの粗い周波数調整を行うためのもので、必ずしも必要なものではない。むしろポラリゼーション電圧(Polarization Voltage) による微妙な周波数調整が現実的である。例えば、はじめに二つの周波数が完全に一致するように、もしくは特定の周波数差になるように調整し、この状態でディスク型振動子２０Ｅ、２０Ｆに微小質量を付着させて周波数変化を観測する等の方法が最を用いるのが好ましい。
【００６７】
なお、上記第三、第四の実施形態では、開放端条件のディスク型振動子２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ、２０Ｆを用いて説明してあるが、これに限るものではなく、第二の実施形態で示したような固定端条件のディスク型振動子２０Ｂを用いても構成可能である。
【００６８】
また、振動子は、ディスク型であれば良く、例えば、中央部に穴のあいた形状等とすることができる。このようなディスク型振動子は、Annular Ring, Hollow-Disk, RBAR(Radial Bulk Annular Resonator)等とも称されており、この場合、振動モードは、
（ａ）Flexural mode（前記Radial modeに対応）
（ｂ）Extensional mode（前記Tangential modeに対応）
（ｃ）Compound mode（前記Compound modeに対応）
となる。
これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】第一の実施形態のセンサの構成を示す図である。
【図２】第二の実施形態のセンサにおいて、表面に溝を形成した状態を示す図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’断面図である。
【図４】センサに設けた駆動電極、検出電極を示す図である。
【図５】第三の実施形態のセンサの構成を示す図である。
【図６】第三の実施形態、第四の実施形態のセンサで得られる周波数スペクトラムの例を示す図である。
【図７】第四の実施形態のセンサの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０…センサ（検出センサ）、２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ、２０Ｆ…ディスク型振動子（振動子）、２１、２４…駆動電極（駆動部）、２２、２５…検出電極、２８…振動子本体、２９…溝、３０…検出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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