(57)【要約】【課題】蒸着材料の溶融時におけるスプラッシュの発生を防止し、歩留りを向上させるようにした蒸着用るつぼを提供する。【解決手段】上方および下方に開放し、蒸着材料からなる焼結体ペレット２を収容する空洞部６を有する蒸着用るつぼ１０の外周面に、るつぼの上面１０ａと下面１０ｂを接続するガス抜き用切欠部１１を形成する。るつぼ１０をハース３のるつぼ用凹部４に装着すると、ガス抜き用切欠部１１は、るつぼ用凹部４の内壁面と接触せず、るつぼ用凹部４を開放空間とする。【選択図】  図２
2006070309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方および下方が開放し、蒸着材料からなる焼結体ペレットを収容する空洞部を有する蒸着用るつぼにおいて、
前記蒸着用るつぼの外周面に、蒸着るつぼの上面と下面を接続するガス抜き用切欠部を形成したことを特徴とする蒸着用るつぼ。
【請求項２】
請求項１記載の蒸着用るつぼにおいて、
ガス抜き用切欠部が溝または平坦面であることを特徴とする蒸着用るつぼ。
【請求項３】
請求項１または２記載の蒸着用るつぼにおいて、
ガス抜き用切欠部が蒸着用るつぼの外周面に複数形成されていることを特徴とする蒸着用るつぼ。
【請求項４】
請求項３記載の蒸着用るつぼにおいて、
複数のガス抜き用切欠部が蒸着用るつぼの外周面の周方向に等間隔おいて形成されていることを特徴とする蒸着用るつぼ。
【請求項５】
上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置において、
前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路を、前記るつぼ用凹部の内壁面に形成したことを特徴とする蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着対象物に蒸着材料を蒸着する際に用いられる蒸着用るつぼおよび蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子ビームによって蒸着材料を溶融して蒸発させ、基板、眼鏡用レンズ等の蒸着対象物に蒸着材料を蒸着する蒸着装置は、蒸着材料からなる焼結体ペレットを蒸着用るつぼにが装填し、このるつぼを水冷式のハースに装着し、電子ビームの照射によって前記焼結体ペレットの上層部を溶融、蒸発させることにより、蒸着材料を蒸着対象物に蒸着するものである（例えば、特許文献１，２参照）。
【特許文献１】実公平７−４５５６０号公報
【特許文献２】実開平５−７２９６４号公報
【０００３】
このような蒸着装置に用いられる蒸着用るつぼとしては、上方のみが開放した有底筒状のるつぼと、上下が開放した無底筒状のものとの２種類がある（例えば、特許文献３〜５参照）。これらのるつぼのうち本発明は後者の無底筒状の蒸着用るつぼに関するものであり、特に蒸着材料の飛散（スプラッシュともいう）を防止し得るようにした蒸着用るつぼを提供することにある。
【特許文献３】実開平３−１８１６２号公報
【特許文献４】実公平６−９０１１号公報
【特許文献５】特開２００３−１４７５０９号公報
【０００４】
蒸着装置による蒸着対象物への蒸着が終了すると、蒸着材料は冷えて固まりその一部がるつぼの内壁面に固着する。蒸着用るつぼは次の蒸着に再利用するために、内壁面に固着した焼結体ペレットを適宜な工具で叩いたり掻き落として取り除く必要がある。その際、無底筒状の蒸着用るつぼは、上下の開口部のどちらからでも工具を差し込めることから、有底筒状の蒸着用るつぼに比べて蒸着材料の除去作業を容易に行えるという利点を有する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
蒸着るつぼに装填した蒸着材料からなる焼結体ペレットを電子ビームの照射によって加熱し溶融することにより、蒸着材料のスプラッシュが発生する。このスプラッシュした微細な蒸着材料が蒸着対象物に達すると被蒸着面に付着したり、その表面が損傷したりするため蒸着製品に不良が生じ、歩留りを低下させるという不具合があった（例えば、特許文献６参照）。このような蒸着材料のスプラッシュは、蒸着材料に高エネルギーを与えるため、主として蒸着材料中に存在する空隙を満たしていた気体や蒸着材料自体の解離により発生した気体が急激に膨張し、蒸着材料の溶融部分から破裂することにより生じるものである。
【特許文献６】特開２０００−６３１７１
【０００６】
スプラッシュが生じる様子を図９および図１０を用いて説明する。図９は従来の蒸着用るつぼの外観斜視図、図１０（ａ）は焼結体ペレットを溶融する以前の状態、（ｂ）は電子ビームにより焼結体ペレットの上層部が溶融された状態を示す図である。これらの図において、１は無底筒状の蒸着用るつぼ、２は蒸着材料の焼結体ペレット、３は蒸着用るつぼ１が装着される水冷式のハース、４は蒸着用るつぼ１が嵌挿されるるつぼ用凹部、５はハース２内に設けられた冷却水通路である。
【０００７】
蒸着用るつぼ１は、通常熱伝導率の高い材料、例えば銅、アルミニウム、黒鉛、タングステン等によって上端から下端に向かって小径化する逆截頭円錐形を呈する筒体に形成され、内部には上下方向に全長にわたって同一内径の円柱状空洞部６が形成されている。空洞部６は蒸着るつぼ１の上方および下方が開放しており、穴径が焼結体ペレット２の外径より若干大きく設定されている。焼結体ペレット２は、全長にわたって同一外径の円柱体に形成されている。ハース３は、銅などの熱伝導率の高い材料からなる。ハース３のるつぼ用凹部４は、蒸着用るつぼ１の外形状と略同一の大きさのテーパ穴からなり、冷却効率を高めるために内壁面に蒸着用るつぼ１の外周面が接触している。
【０００８】
真空中において電子ビームを焼結体ペレット２の上面に照射すると、焼結体ペレット２の上層部が溶融して蒸発する。焼結体ペレット２が熱伝導率の高い蒸着材料である場合、電子ビームによってペレットの上面中央部を溶融すると、その溶融部分２ａ（図１０（ｂ）の斜線部）は熱伝導によりペレットの上面全体にわたって広がり、最外周部が蒸着るつぼ１の内壁面に接触する。一方、蒸着るつぼ１はハース３に接触して冷却されているため、溶融部分２ａの最外周部分が冷却して蒸着用るつぼ１の内壁面に固着し、るつぼの上方側の開口部を閉塞する。図１０（ｂ）はこの状態を示す。
【０００９】
このように、電子ビームによって焼結体ペレット２の上層部を溶融して蒸発させているとき、溶融部分２ａの内部には気体が発生する。この気体は、焼結体ペレット２の上面が溶融部分２ａによって密閉されている状態にあるため、この溶融部分２ａを通って焼結体ペレット２の上方には放出されず、焼結体ペレット２の溶融していない部分２ｂの粒子間の微細な隙間を通って焼結体ペレット２の側方や下方に放出される。しかしながら、るつぼ用凹部４内は、蒸着用るつぼ１との接触によって密閉空間を形成しているので、焼結体ペレット２の側方や下方に放出された気体を外部に放出させ難い状態になっている。このため、溶融部分２ａ内に発生する気体は、溶融部２ａ内に滞留し易い。そして、この気体は溶融部２ａ内において徐々に成長してさらなる電子ビームによる加熱により急激に膨張すると破裂し、溶融部２ａの蒸着材料を周囲に飛散させる。
【００１０】
本発明は上記した従来の問題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは蒸着材料の溶融時におけるスプラッシュの発生を防止し、蒸着製品の歩留りを向上させるようにした蒸着用るつぼを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために第１の発明は、上方および下方が開放し、蒸着材料からなる焼結体ペレットを収容する空洞部を有する蒸着用るつぼにおいて、前記蒸着用るつぼの外周面に、蒸着るつぼの上面と下面を接続するガス抜き用切欠部を形成したものである。
【００１２】
第２の発明は、ガス抜き用切欠部を溝または平坦面で構成したものである。
【００１３】
第３の発明は、ガス抜き用切欠部を蒸着用るつぼの外周面に複数形成したものである。
【００１４】
第４の発明は、複数のガス抜き用切欠部を蒸着用るつぼの周方向に等間隔おいて形成したものである。
【００１５】
第５の発明は、上方および下方が開放した空洞部を有し、この空洞部内に蒸着材料からなる焼結体ペレットが装填された蒸着用るつぼを冷却用ハースに設けたるつぼ用凹部内に装着し、前記焼結体ペレットを電子ビームによって加熱、溶解して蒸発させ、蒸着対象物に蒸着する蒸着装置において、前記蒸着用るつぼと前記るつぼ用凹部との間に形成される空間を外部に開放させる通路を、前記るつぼ用凹部の内壁面に形成したものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明においては、蒸着用るつぼをハースのるつぼ用凹部に装着した状態において、ガス抜き用切欠部は、るつぼ用凹部の内壁面と接触せずにガス抜き用の通路を形成し、るつぼ用凹部を外部と連通する開放空間とする。また、蒸着用るつぼ側の代わりにハース側に形成した通路もるつぼ用凹部を開放空間とする。このため、溶融した蒸着材料内に発生した気体は急激に膨張する以前に溶融していない部分を通って焼結体ペレットの側方および下方に抜けると、ペレットの外周面とるつぼの内壁面との間およびペレットの下面とるつぼ用凹部の底面との間を通り、前記通路からるつぼ用凹部の外部に放出される。したがって、蒸着材料の溶融部内で発生した気体が成長したり破裂するようなことはなく、蒸着材料のスプラッシュを防止することができる。特に、熱伝導率が高く、電子ビームで加熱したときに焼結体ペレットの上層部全体が溶融するような蒸着材料を使用した場合に効果的である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本願発明に係る蒸着用るつぼを蒸着装置の水冷式ハースに装着した状態を示す平面図、図２は蒸着用るつぼ、焼結体ペレットおよびハースの要部の外観斜視図、図３は同蒸着用るつぼをハースのるつぼ用凹部に装填した状態の平面図、図４（ａ）は焼結体ペレットを溶融する以前の状態における図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は焼結体ペレットを溶融した状態における図３のＡ−Ａ線断面図である。なお、従来技術の欄で説明した部品等と同一のものについては同一符号をもって示す。これらの図において、全体を符号１０で示すものは、蒸着用るつぼ（以下、単につるぼともいう）、２はるつぼ１０に装填される焼結体ペレット、３は水冷式のハースである。
【００１８】
前記るつぼ１０は、上端より下端に向かって小径化する逆截頭円錐形を呈する無底筒状体に形成され、焼結体ペレット２が装填される空洞部６を有している。前記空洞部６は、穴径が全長にわたって同一の円柱状に形成され、るつぼ１０の上方および下方に開口している。るつぼ１０の外周面には、２つのガス抜き用切欠部１１が周方向に１８０°離間して形成されている。このガス抜き用切欠部１１は、るつぼ１０の外周面の一部をＤ字状にカットすることにより形成された平坦面で構成されている。また、ガス抜き用切欠部１１は、るつぼ１０の高さ方向の全長にわたって形成することによりるつぼ１０の上面１０ａと下面１０ｂを接続している。このようなガス抜き用切欠部１１は、るつぼ１０をハース３のるつぼ用凹部４内に装填した状態において、るつぼ用凹部４の内壁面と接触せず、るつぼ用凹部４の内部を外部に連通させる通路１５を形成する。
【００１９】
るつぼ１０の材質としては、通常熱伝導率の高い材料、例えば銅、アルミニウム、黒鉛、タングステン等が用いられる。因みに、るつぼ１０の大きさは、高さが１５．５ｍｍ、外径は上端が３０．２ｍｍ、下端が２４．５ｍｍ（いずれもガス抜き用切欠部１１のない部分）、空洞部６の穴径は２２．６ｍｍ、ガス抜き用切欠部１１が形成されている上端側と下端側における最も薄い部分の厚さＷ1 ，Ｗ2 は、２．８ｍｍ、０．６ｍｍである。ガス抜き用切欠部１１の厚さＷ1 ，Ｗ2 や幅は、るつぼ１０の強度とハース３との接触による冷却性能、るつぼ用凹部４によるるつぼ１０の保持性能等を考慮して決定される。ガス抜き用切欠部１１を大きく形成した場合は、るつぼ用凹部４の内壁面とガス抜き用切欠部１１との間にできる通路１５も大きくなるので、溶融した蒸着材料が付着するなどしても通気が妨げられるおそれが少ない。また、るつぼ１０のガス抜き用切欠部１１が形成されている部分の肉厚Ｗ1 ，Ｗ2 を他の部分の肉厚の半分以上にしておくと、るつぼ１０の強度を著しく低下させることがない。
【００２０】
本実施の形態では、ガス抜き用切欠部１１を点対称になるように周方向に１８０°離間させて２つ形成した場合を示したが、これに限らずガス抜き用切欠部は１つであってもよく、また３つ以上であってもよい。また、ガス抜き用凹部１１を周方向において等間隔に設けた例を示したが、これに限らず等間隔ではない位置に設けてもよい。なお、ガス抜き用切欠部１１を複数設ける場合、周方向において等間隔に設けると、るつぼ１０の温度の偏りを防止することができるためより好ましい。
【００２１】
前記焼結体ペレット２は、蒸着材料の粉末を加圧プレスで成形し、常圧中で電気炉により１０００〜１４００℃に加熱して焼成処理することにより形成されたものであり、前記空洞部６より若干小さい外径を有する円柱状に形成されている。蒸着材料としては、眼鏡用レンズに反射防止膜を蒸着する場合、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム等が用いられる。例えば、酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）と酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）の粉末を、重量比９５：５の割合で混合し、３００ｋｇ／ｃｍ2 で加圧プレスした後、１３００℃で２４時間加熱して、直径２１．８〜２２．５ｍｍ、高さ１５．５〜１６．０ｍｍの円柱状の焼結体ペレットを製作する。
【００２２】
このような焼結体ペレット２は、るつぼ１０とともにハース３のるつぼ用凹部４に装填される。この状態において、るつぼ１０の外周面（但し、ガス抜き用切欠部１１は除く）はるつぼ用凹部４の内壁面に接触している。焼結体ペレット２は、下端部がるつぼ１０の下方に突出して下面がるつぼ用凹部４の底面に接触し、上面がるつぼ１０の上面と略同一面を形成するかまたはそれ以下であることが好ましい。
【００２３】
るつぼ１０に焼結体ペレット２を装填した状態において、るつぼ１０の内壁面と焼結体ペレット３の外周面との隙間は、溶融した蒸着材料がハース３のるつぼ用凹部４内に流れ落ちないようにするために可及的小さい方が好ましいが、るつぼ１０は熱伝導率の高い金属からなり、るつぼ用凹部４の内壁面に接触して冷却水通路５内の冷却水により冷却されるため、多少の隙間であればるつぼ用凹部４内に流れ落ちる前にるつぼ１０の内壁面に接触して固化するので、特に問題になることはない。
【００２４】
前記ハース３は、銅板によって円板状に形成され、その上面には前記るつぼ１０を収納する８個のるつぼ用凹部４が回転軸１２を中心とする同一円周上に周方向に等配されて形成され、内部には前記冷却水通路５が設けられている。前記るつぼ用凹部４は、るつぼ１０の外形と略同一形状のテーパ状に形成されている。このため、るつぼ用凹部４の上端側開口部の穴径が最大で、内奥に向かって小径化しており、底面が平坦面に形成されている。るつぼ用凹部４の内壁面の垂直方向の傾斜角度は、るつぼ１０の外周面の傾斜角度より若干小さく設定されている。
【００２５】
また、るつぼ用凹部４は、蒸着用るつぼ１０の高さより深く形成されている。言い換えれば、蒸着用るつぼ１０は、るつぼ用凹部４の上端の内径と一致する部分から底面までの高さが、るつぼ用凹部４の深さより短くなるように形成されている。
【００２６】
このように蒸着用るつぼ１０を形成することにより、蒸着用るつぼ１０は蒸着中に高温になる上部側の外周面でハース３と接触することができ、効率よく冷却することができる。また、蒸着用るつぼ１０とるつぼ用凹部４の底面との間、特に蒸着用るつぼ１０の下端とるつぼ用凹部４の底面との間に空間ができ、この空間は蒸着材料の溶融部２ａから発生した気体が通路１５に達するまでの通路となる。
【００２７】
また、前記ハース３は、蒸着装置のチャンバー内に回転自在に設置されており、使用する蒸着材料を順次切り替えることができる。また、ハース３の近辺には、電子ビームの照射源である電子銃１３が配設されている。このような構成は従来から一般に知られており、例えば特許文献１，２に記載されたものがある。
【００２８】
前記ハース３のるつぼ用凹部４に焼結体ペレット２をるつぼ１０とともに装填すると、るつぼ１０は、上端側外周縁（ただし、ガス抜き用切欠部１１を除く）がるつぼ用凹部１０の開口部に接触し、下端が凹部４の底面から浮いた状態でるつぼ用凹部１０に保持される。るつぼ１０のガス抜き用切欠部１１は、るつぼ用凹部４の内壁面と接触せず通路１５を形成しており、るつぼ用凹部４内の開放空間を形成している。
【００２９】
この状態で、電子銃１３より放出された電子ビームを焼結体ペレット２の上面中央に照射すると、この照射された部分は加熱され、溶融する。そして、溶融した蒸着材料は蒸発して眼鏡用レンズ等の蒸着対象物の被蒸着面に付着し蒸着膜を形成する。
【００３０】
また、焼結体ペレット２の上層部の中央部分が加熱して溶融すると、この溶融部２ａは熱の伝導により上層部全体に広がる（図４（ｂ））。溶融部２ａが上層部全体に広がると、その最外周部はるつぼ１０の内壁面に接触して冷却され固着する。
【００３１】
焼結体ペレット２を電子ビームによって加熱すると、溶融部２ａ内には気体が発生するが、本発明においてはるつぼ１０に形成したガス抜き用切欠部１１によってるつぼ用凹部４を開放空間としているので、溶融部２ａ内に発生した気体をるつぼ用凹部４の外部に確実に放出させることができ、スプラッシュの発生を防止することができる。なお、溶融部２ａ内に発生する気体は、もともとペレット内部に存在していた気体や蒸着材料自体の解離により発生した気体である。焼結体ペレット２の上面は溶融部２ａによって覆われているので、ペレット内部で発生した気体が溶融部２ａの表面から上方に放出されることは少ない。しかし、るつぼ用凹部４をガス抜き用切欠部１１によって開放空間にしておくと、溶融部２ａ内に発生した気体は急激に膨張して破裂する以前に溶融していない部分２ｂの隙間を通って焼結体ペレット２の外周面および下面から外部に放出されると、焼結体ペレット２とるつぼ１０の内壁面との隙間や、焼結体ペレット２の下面とるつぼ凹部４の底面との間の隙間を通ってるつぼ用凹部４の内壁面とるつぼ１０の外周面との隙間に至る。そして、るつぼ用凹部４の内壁面とガス抜き用切欠部１１との間に形成されている通路１５を通ってるつぼ用凹部４の外部上方に放出される。したがって、溶融部２ａ内の気体が溶融部内に滞留して急激に膨張し破裂するようなことはなく、スプラッシュの発生を未然に防止することができる。
【００３２】
ここで、蒸着用るつぼ１０にガス抜き用切欠部１１を形成しておくと、溶融した蒸着材料がるつぼ１０に付着して切欠部１１を塞いだ場合は、るつぼ１０を交換すればよいので作業性がよい。
【００３３】
図５は本発明の他の実施の形態を示す蒸着用るつぼの外観斜視図である。
この実施の形態は、るつぼ２０の外周面に形成されるガス抜き用切欠部を周方向に略等間隔おいて形成された４つの溝２１で構成したものである。溝２１の断面形状としては、半円形としたが、これに限らず矩形、Ｕ字状、Ｖ字状等適宜な形状とすることができる。その他の構造は上記した実施の形態と同一である。
このような構造からなるるつぼ２０においても上記した実施の形態と同様な原理でスプラッシュの発生を防止することができる。
【００３４】
また、本実施の形態においては、溝２１を４つ形成しているので、仮にどれか１つの溝２１が溶融状態の蒸着材料の流入、固着によって塞がれたとしても、全ての溝２１が塞がれない限り他の開放している溝から気体をるつぼ用凹部から排出できるため好ましい。
また、これにより溝２１の大きさを小さくすることができるので、強度や冷却性能やハースによるるつぼ２０の保持性能を低下させずに所期の目的を達成することができる。
さらに、４つの溝２１をるつぼ２０の周方向に略等間隔おいて形成しているので、るつぼ２０の温度むらを抑制することができる。なお、本実施の形態では４つの溝２１を周方向において等間隔に設けた例を示したが、溝２１は３つ以下でも５つ以上でもよい。また、等間隔に設けなくてもよい。
【００３５】
図６は本発明を蒸着装置に適用した実施の形態を示す要部の外観斜視図、図７は図６のＢ−Ｂ線断面図である。この実施の形態は、蒸着用るつぼ３０が装填されるハース３のるつぼ用凹部４に通路３１を形成したものである。蒸着用るつぼ３０は、上端より下端に向かって小径化する逆截頭円錐形を呈する無底筒状体に形成され、焼結体ペレット２が装填される空洞部６を有している。前記空洞部６は、穴径が全長にわたって同一の円柱状に形成され、るつぼ１０の上方および下方に開口している。
【００３６】
前記通路３１は、るつぼ用凹部４の内壁面に周方向に１８０°離間して２つ形成されている。また、この通路３１は、断面形状が半円形の溝からなり、下端がるつぼ用凹部４の底面に達し、上端が冷却用ハース３の上面に開放するように形成されている。このため、焼結体ペレット２が装填された蒸着用るつぼ３０をるつぼ用凹部４内に装着した状態において、るつぼ用凹部４と蒸着用るつぼ３０との間に形成される空間３２は、通路３１によってハース３の上方に開放する開放空間を形成している。その他の構造は、上記した実施の形態と同一である。
【００３７】
このような構造からなる冷却用ハース３を備えた蒸着装置においても、蒸着用るつぼ３０にガス抜き用の切欠部を形成する代わりにハース３側に通路３１を形成してるつぼ用凹部４と蒸着用るつぼ３０との間の空間３２を開放空間としているので、上記した実施例と同様な原理でスプラッシュの発生を防止することができる。
【００３８】
この場合、図２および図５に示した蒸着用るつぼ１０，２０は消耗品なので大量に製作し、その個々にガス抜き用切欠部１１，２１を形成する必要があるため、るつぼ１０，２０の製造に手間が掛かるのに対し、ハース３側に通路３１を形成する場合は一度溝加工するだけでよいので加工に手間が掛からないという利点がある。なお、通路３１の断面形状としては、半円形としたが、これに限らず矩形、Ｕ字状、Ｖ字状等適宜な形状とすることができる。また、通路３１は２本の場合について示したが、これに限定されず１本でも３本以上でもよい。また、複数の通路を周方向において等間隔に配置した例を示したが、これに限らず等間隔ではない位置に設けてもよい。なお、複数の通路を形成する場合、周方向において等間隔に配置すると、るつぼの温度むらを抑制することができるのでより好ましい。
【００３９】
図８は本発明のさらに他の実施の形態を示す断面図である。
この実施の形態は、るつぼ用凹部４の底面外周部にハース３の下面側に開口する通路４０を形成したものである。その他の構造は図６および図７に示した実施の形態と同一である。このような構造においても上記した実施例と同様な原理でスプラッシュの発生を防止することができる。なお、通路４０は、溶融した蒸着材料が付着した際に取り除き易いように、ストレートな孔にすることが好ましい。また、図８ではるつぼ用凹部４の底面に通路４０の開口を設けた例を示したが、通路４０は蒸着用るつぼとるつぼ用凹部の底面との間の空間に開口していればよく、例えばるつぼ用凹部の内壁面下部に通路の開口部を設けてもよい。この場合は、ハース３の側面側に開口するようにすると通路４０をストレートに形成することができる。また、図８のようにるつぼ用凹部４の底面に通路を形成する場合は、焼結体ペレットの底面によって塞がれない位置に通路の開口を設けると通気が妨げられないという意味でより好ましい。
【００４０】
なお、図１、図５および図６においては、周方向におけるハースと蒸着用るつぼとが接触する領域の割合は冷却性能を考慮して決定されるが、半分以上にしておくと冷却性能を著しく低下させることがないのでより好ましい。
また、図１、図５においては、ガス抜き用切欠部１１を蒸着用るつぼ１０，２０の外周面に高さ方向全長にわたって形成した例を示し、図６においては、通路３１をハース３のるつぼ用凹部４の内壁面に高さ方向全長にわたって形成した例を示したが、蒸着用るつぼとるつぼ用凹部の底面との間の空間と外部とをつなぐのに必要な部分だけに切欠部や通路を設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は眼鏡レンズの蒸着に提供した例を示したが、これ以外の光学薄膜の蒸着にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本願発明に係る蒸着用るつぼを蒸着装置の水冷式ハースに装填した状態を示す平面図である。
【図２】蒸着用るつぼ、焼結体ペレットおよびハースの要部の外観斜視図である。
【図３】同蒸着用るつぼをハースのるつぼ用凹部に装填した状態の平面図である。
【図４】（ａ）は焼結体ペレットを溶融する以前の状態における図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は焼結体ペレットを溶融した状態における図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態を示す蒸着用るつぼの外観斜視図である。
【図６】本発明を蒸着装置に適用した実施の形態を示す要部の外観斜視図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施の形態を示す断面図である。
【図９】従来の蒸着用るつぼの外観斜視図である。
【図１０】（ａ）は焼結体ペレットを溶融する以前の状態における断面図、（ｂ）は焼結体ペレットが溶融された状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１…蒸着用るつぼ、２…焼結体ペレット、３…水冷式ハース、４…るつぼ用凹部、５…冷却水通路、６…空洞部、１０…蒸着用るつぼ、１１…ガス抜き用切欠部、１５…通路、２０…蒸着用るつぼ、２１…溝、３０…蒸着用るつぼ、３１…通路、３２…空間、４０…通路。
【図１】
2006070309.tif 000003
【図２】
2006070309.tif 000004
【図３】
2006070309.tif 000005
【図４】
2006070309.tif 000006
【図５】
2006070309.tif 000007
【図６】
2006070309.tif 000008
【図７】
2006070309.tif 000009
【図８】
2006070309.tif 000010
【図９】
2006070309.tif 000011
【図１０】
2006070309.tif 000012