(57)【要約】【課題】小型化、省電力化が可能で、モータ軸やトランスミッションの出力軸などに容易に取り付けることができ、これら軸に掛かるトルクのリアルタイムモニタリングにも適用することができるトルク検出装置を提供する。【解決手段】軸と磁気センサを備えたトルク検出装置において、軸１には軸方向に略４５度傾いた複数の螺旋溝２ａを所定の幅Ａに形成して溝形成帯２とし、この溝形成帯２内に周方向に着磁された着磁部３を幅Ｂに形成し、ホールセンサなどの磁気センサ４を軸１の上記溝形成帯２に対向して配設する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸に対して略４５度方向に傾いた複数の螺旋溝を備えた溝形成帯を有すると共に、該溝形成帯に周方向に着磁された着磁部が形成された軸と、該軸の上記溝形成帯部に対向して配設された磁気センサを備えていることを特徴とするトルク検出装置。
【請求項２】
上記着磁部がバンド状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のトルク検出装置。
【請求項３】
上記磁気センサが軸の溝形成帯の端部寄り位置に配設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のトルク検出装置。
【請求項４】
上記磁気センサが軸方向に２個並んで配設されており、それぞれ軸の溝形成帯の両端寄り位置にそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載のトルク検出装置。
【請求項５】
上記磁気センサの軸とは反対側にヨークが配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つの項に記載のトルク検出装置。
【請求項６】
上記ヨークがソフト磁性材料から成ることを特徴とする請求項５に記載のトルク検出装置。
【請求項７】
上記ヨークが軸の溝形成帯幅に略一致する大きさであることを特徴とする請求項５又は６に記載のトルク検出装置。
【請求項８】
軸の回転を検出する回転検出部を備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つの項に記載のトルク検出装置。
【請求項９】
上記回転検出部は、軸の溝形成帯近傍部に取り付けられたリング磁石と、該リング磁石に対向して配設された回転検出用の第２の磁気センサを備えていることを特徴とする請求項８に記載のトルク検出装置。
【請求項１０】
上記リング磁石は、多極着磁されていることを特徴とする請求項９に記載のトルク検出装置。
【請求項１１】
トルク検出用の磁気センサの信号と回転検出用の第２の磁気センサの信号が同期していることを特徴とする請求項９又は１０に記載のトルク検出装置。
【請求項１２】
回転検出用の第２の磁気センサの信号に基づいて信号処理し、トルク検出用磁気センサの回転に伴う信号の変動を補正して出力することを特徴とする請求項１２に記載のトルク検出装置。
【請求項１３】
上記軸が熱処理された鋼であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１つの項に記載のトルク検出装置。
【請求項１４】
上記磁気センサがホール素子又はホールＩＣであることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１つの項に記載のトルク検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータ軸やトランスミッションの出力軸などにおける軸トルクを非接触で検出するのに用いられるトルク検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、自動車のトランスミッションの出力軸トルクをリアルタイムにモニターすることができれば、現在行われているような難しい制御を行なうことなく、ＡＴ車における変速ショックを緩和することができるようになるものと考えられる。
また、車輌の総合制御が可能になり、省燃費車輌の実現につなげることができることから、小型で廉価なトルクセンサの潜在的な要望は少なくなく、各種機関において研究開発が進められている。
【０００３】
このようなトルクセンサとしては、種々のものが知られているが、例えば図７に示すように、トルクの検出対象である軸（被測定軸）に、螺旋状の溝を備えた帯状部分を左右に２箇所形成すると共に、これら帯状部分を取り囲むコイルをそれぞれ設け、コイルで励磁し、左右の有溝帯状部の透磁率変化を検出することによって、トルクを検出する方式のセンサが提案されている（例えば、特許文献１及び非特許文献１参照）。
ここで、溝は左右で相対向する方向にそれぞれ４５度傾いて設けられており、図に示すように軸にトルクが働くと、図中左側の帯状部では透磁率が増加し、右側帯状部では透磁率が減少する。トルクが働くと４５度方向に引張、圧縮応力が働き、溝が形状異方性を形成しているから、磁歪の逆効果により上記のようになる。なお、これは、磁歪が正の材料についての説明であって、以下の説明においても同様とする。
【特許文献１】特許第２６７７０６６号公報
【非特許文献１】Ｒ．Ｉｓｈｉｎｏ  ｅｔ  ａｌ．：ＩＥＥＥ  ｔｒａｎｓ．ｏｎ  Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ，ｖｏｌ．３８，Ｎｏ．５，３３０６，Ｓｅｐ．２００２
【０００４】
また、図８に示すように、磁歪リングを軸に嵌合するタイプの磁歪式トルクセンサ、すなわち磁歪リングを周方向に磁化させておいて、軸にトルクがかかったときに、軸方向に発生する磁界の成分を、ホール素子等の小さな磁気センサで検出するものも提案されている（例えば、非特許文献２及び３参照）。
このタイプのセンサにおいては、磁歪を有するリングが軸に嵌められているため、リングには、周方向に引張応力が働いている。周方向に着磁すると、磁化は周方向に向いている。軸にトルクが負荷されると、４５度方向に応力が作用するので、磁化は軸方向に倒され、軸方向に磁化が現われる。ホール素子等のセンサを配置しておくことにより、トルクに相関のある信号が検出される。
【非特許文献２】Ｉ．Ｊ．Ｇａｒｓｈｅｌｉｓ：ＩＥＥＥ  ｔｒａｎｓ．ｏｎ  Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ，ｖｏｌ．２８，Ｎｏ．５，２２０２，Ｓｅｐ．１９９２
【非特許文献３】Ｉ．Ｊ．Ｇａｒｓｈｅｌｉｓ  ａｎｄ  Ｃ．Ｒ．Ｃｏｎｔｏ：ＪＡＰ，Ｖｏｌ．７９，Ｎｏ．８，４７５６，１９９６
【０００５】
さらに、図９に示すように、磁歪を有する軸材の一部に周方向にバンド状に着磁する方式も提案されている（例えば、非特許文献４参照）。
このような装置におけるトルク検出原理は、上記した磁歪リング方式と同じであって、軸には磁歪を有する材料を使用し、バンド状に周方向に着磁しておくことによって、軸にトルクがかかると、周方向を向いていた磁化が軸方向に傾くことから、バンドの端付近に、ホール素子等の磁気センサを配設しておくことによって、トルクに見合った信号が検出できることになる。
【非特許文献４】Ｉ．Ｊ．Ｇａｒｓｈｅｌｉｓ  ａｎｄ  Ｃ．Ａ．Ｊｏｎｅｓ：ＪＡＰ，Ｖｏｌ．８５，Ｎｏ．８，５４６８，１９９９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図７に示した螺旋溝方式の磁歪式トルクセンサにおいては、溝部を備えた帯状部分が軸方向に２個所あることに加えて、これら帯状部分をそれぞれ覆うコイルを用いる方式であるため、スペースを要する点に課題があって、センサの小型化には難がある。
また、コイルに１０ｋＨｚオーダーの交流電流を流す方式であり、数十ｍＡで、数ボルトであるから、１Ｗ弱程度の電力を要し、消費電力が大きいという課題もある。
【０００７】
また、図８に示した磁歪リング嵌合タイプの磁歪式トルクセンサにおいては、図７に示したものと較べると、軸方向長さが短くて済み、検出センサも小さいことから、径方向にも小型化を図ることができ、ホール素子又はホールＩＣ等のホールセンサも省電力であることから、小型、省電力の要求を満たすものであるが、このセンサの場合には、センサの検出原理から予測されるように、軸は非磁性（例えば、オーステナイト系ステンレス鋼など）であるか、磁化しにくい材料であることが望ましい。また、軸とリングとが締り嵌めであるため、少し大きなトルクがかかると、軸とリングとの間に、すべりが発生してしまうという難点がある。また、リングを実際のモータ軸などに取り付けるための工法開発も必要となる。このとき、トルク検出装置の取り付け位置にリングを嵌合するには、段取りなどを考慮した設計見直しも伴うものと考えられる。
【０００８】
そして、図９に示したバンド状着磁方式のトルクセンサの場合には、リング嵌合方式で課題であったすべりの問題はないものの、軸材料を特殊な材料に変更することが必要である点や、図示したように局所的で、軸方向にはっきりと分離されたバンド状に着磁することができない点等に課題を有している。
【０００９】
本発明は、従来の磁歪式トルクセンサにおける上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、小型化、省電力化が可能であって、モータ軸やトランスミッションの出力軸など、各種の軸に取り付けることができ、これらの軸に掛かるトルクをリアルタイムにモニターするのに適用可能なトルク検出装置、さらには、回転検出部を備え、トルク検出と同時に軸の回転を検出することができるだけでなく、回転検出信号に基づいて、回転に伴って発生するトルク検出信号の変動を補正することも可能なトルク検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上記課題の解決を目的として鋭意検討した結果、螺旋溝方式による従来のトルクセンサにおける溝形成部分の一方のみを利用し、当該部分の中央を周方向に着磁し、ホールセンサによるトルク検出を試みたところ、十分な検出信号が得られることを見出し、本発明を完成するに到った。
【００１１】
本発明は上記知見に基づくものであって、本発明のトルク検出装置は、軸と磁気センサを備え、上記軸には軸方向に対して４５度傾いた複数の螺旋溝を備えた溝形成帯が形成されていると共に、当該溝形成帯には周方向着磁部が形成されている一方、上記磁気センサが軸の上記溝形成帯に対向して配設されていることを特徴としている。
また、本発明のトルク検出装置の好適形態は、さらに上記軸の回転を検出する回転検出部を備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、軸方向に４５度傾いた複数の螺旋溝を軸の周囲に帯状に形成し、軸のこれら螺旋溝が形成されている領域（溝形成帯）に、周方向の着磁部が形成されており、溝底部が周方向に均一に着磁されることになり、ホール素子など小型の磁気センサを用いることによって、省電力小型のトルク検出装置を実現することができ、このようなトルク検出装置は、モータ軸やトランスミッションの出力軸などにかかるトルクをリアルタイムにモニターするための装置として好適に使用することができる。
また、本発明の上記好適形態においては、軸の回転を検出する回転検出部を備えていることから、トルク検出と同時に軸の回転を検出することができ、さらにはこの回転検出部からの回転検出信号に基づいて、軸の回転に基づくトルク検出信号の変動を補正することも可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明のトルク検出装置について、その実施の形態と共にさらに詳細に説明する。
【００１４】
本発明のトルク検出装置は、例えば図１に示すような構造を有し、基本的構造として、モータ軸やトランスミッションの出力軸など、トルクを検出しようとする軸１と、例えばホール素子やホールＩＣなどから成る磁気センサ４を備えたものであって、上記軸１には、その軸方向に対してほぼ４５度傾いた複数の螺旋溝２ａが形成されて成る溝形成帯２が当該軸の周囲に幅Ａの寸法に帯状に形成されていると共に、この溝形成帯２の中央部には、周方向に着磁された着磁部３が幅Ｂの寸法に形成されている。一方、上記磁気センサ４は、上記溝形成帯２に対向する位置に配設されている。
なお、図において螺旋溝２ａは、螺旋状であるからして、正確には図７のようにＳ字状に表されるべきものであるが、作図の便宜上、直線として概略的に表してある。
【００１５】
上記螺旋溝２ａの傾斜方向としては、ジャスト４５度ばかりでなく、±５度程度の範囲でも本発明の効果が発揮される。ただし、形成する溝の平行度としては±０．５度程度に収めることが望ましい。
また、トルク検出用の磁気センサとしてはアナログ出力であることが必要である。ホールＩＣの場合も同様である。ただし、回転検出用のホールＩＣはパルス出力タイプ（ディジタル出力タイプ）のものが好適である。
【００１６】
このとき、上記螺旋溝２ａの大きさとしては、特に限定されないが、作製上の容易さ、及び機械的な強度を確保する観点から、溝幅については１ｍｍから３ｍｍ、深さについては、０．５ｍｍから２．０ｍｍの範囲とすることがそれぞれ望ましい。また、螺旋溝２ａの形成領域、すなわち溝形成帯２の幅Ａについては、大きすぎるとセンサの小型化に反すると共に、センサ性能確保が難しくなり、小さすぎるとセンサ感度低下を招くことになることから、５ｍｍから２０ｍｍ程度の範囲とすることが望ましい。
また、螺旋溝２ａの本数としては、被測定軸１の径Ｄに応じて決定されるが、少なすぎると溝形成の効果が得られず、多すぎると加工上の難を伴うと共に、やはり溝形成の効果が得られなくなる。残る山部との兼ね合いから、山：溝の比を概ね１：１から３：１程度の範囲になるように本数を選択することが望ましい。
【００１７】
上記着磁部３は、図示したように、局所的で軸方向に分離されたバンド状に着磁することが望ましく、これによって検出感度を向上させることができる。
着磁部３の幅Ｂとしては、バンドを幅Ａに収めた方が好適なことから、上記溝形成帯２の幅Ａの１／２〜１／１の範囲とすることが望ましい。
【００１８】
また、上記磁気センサ４としては、上記したホール素子やホールＩＣの他には、ＭＩセンサなどをも使用することができるが、十分大きな感度を得る観点から、図に示すように、幅Ａをなす溝形成帯２の端部近傍位置に配置することが望ましい。
【００１９】
このような構造を有する本発明のトルク検出装置においては、トルク検出部である溝形成帯２が１個所であって、コイルを使用しないことから、溝方式のトルクセンサ（図７参照）に較べて省電力小型化が可能であり、軸１に直接着磁するようにしていることから、リング嵌合式トルクセンサ（図８参照）のようなリングのすべりが発生することがなく、螺旋溝２ａが形成された溝形成帯部２に着磁することによって、周方向に均一な着磁が可能となって検出感度を向上させることができると共に、従来のバンド状着磁方式トルクセンサ（図９参照）に較べて、着磁部を溝間部内に局部的に、軸方向に区分されたバンド状に形成することができる。  
また、軸１の材料に特殊な材料を用いる必要もなく、モータやトランスミッションの出力軸などへの取り付けも容易であり、これら出力軸をそのまま軸１とすることも可能である。
【００２０】
上記軸１には、上記螺旋溝２ａを形成した状態で、例えば高周波焼入れや、軸材料によっては、固溶化処理及び時効処理のような熱処理を施すことが望ましい。
すなわち、溝を設けてから熱処理することによって、溝底部の組織が均一となる。また、加工による歪が加わっていることが組織の微細化につながり、組織の均一化につながっているものと考えられる。さらには、溝があるために溝底部の残留応力分布が均一となり、周方向の磁化分布がほぼ均一となって、良好なセンサ特性が得られているものと推測される。
【００２１】
また、上記磁気センサ４には、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、例えば珪素鋼板、電磁軟鉄、パーマロイなど、保磁力の小さいソフト（軟質）磁性材料から成るヨーク５を設けて集磁を図ることが望ましく、これによってセンサ感度をほぼ倍近くにすることができる。さらに、ヨーク５を用いることによって、上記した感度増加に加えて、外界からの電磁ノイズに対する耐性を持たせることができると共に、ギャップ（軸１の表面と磁気センサ４との距離）変動に対して鈍感にすることができる。なお、ヨーク５の軸方向長さは、軸１の溝形成帯２を覆う程度の長さとすることが適切である。
図に示した例（軸１の径Ｄ＝１９ｍｍ）では、ヨーク５には板厚０．５ｍｍ程度のＰＢパーマロイ（４０〜５０％Ｎｉ−Ｆｅ）を使用し、当該ヨーク５の軸１表面からの距離としては、図示したように磁気センサ４がヨーク５との中央になるような位置に配設するのが適切である。
【００２２】
さらに、磁気センサは２個用いることが望ましく、図３に示すように、上記磁気センサ４に加えて第２の磁気センサ６を軸方向に並べ、これらを上記溝形成帯２の両端部近傍位置にそれぞれ配置することが望ましい。この場合、第２の磁気センサ６については、センサ感度のセンスが逆になるので、減算することが好ましく、これによって２つのセンサ信号が加算されて２倍にすることができる。
このように２個のセンサ４，６を配置することにより、外部からのほぼ一様な磁界に対しては、その影響をキャンセルすることができるので、外乱に対する耐性がさらに増すことになる。
【００２３】
本発明のトルク検出装置には、上記した溝形成帯２とこれに対向する磁気センサ４から成るトルク検出部に隣接して、回転検出部を配置することができる。
このような回転検出部は、図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、例えばボンド磁石から成り、被測定軸１における溝形成帯２の近傍位置に取り付けられたリング磁石７と、このリング磁石７に対向して配設され、例えばホールＩＣから成る磁気センサ８（第２の磁気センサ）で構成することができる。このホールＩＣはパルス出力タイプ（ディジタル出力タイプ）が望ましい。
【００２４】
上記リング磁石７は、図４（ｃ）に示すように、多極（Ｎ，Ｓの繰り返し）に着磁されており、この例における着磁の方向は径方向である。
ホールＩＣ８からの検出信号は、図５（ａ）に示すような信号となり、軸１の回転位置、回転数を検出することができ、このようにトルク検出部に隣接して、回転検出部を設けることによって、軸１に負荷されるトルクと共に、回転の信号をも取ることができるトルク検出装置を実現することができる。
【００２５】
上記したように、トルク検出部と共に回転検出部を備えたトルク検出装置においては、ホールＩＣ（第２の磁気センサ）８からの回転検出信号に基づいて、トルク検出用の磁気センサ４からのトルク検出信号に含まれる軸１の回転に伴う変動（うねり変動）を補正することができる。
【００２６】
すなわち、図５（ｂ）は、図４に示したトルク検出装置による軸１の回転に伴うトルクの信号である。ここで、Ｔ＝０はトルクが印加していないときのトルク信号であり、＋Ｔ及び−Ｔは、＋及び−のトルクが印加したときのトルク信号をそれぞれ示すものである。この図においては、説明の便宜上、変動幅を強調してあるが、このような回転に伴うトルク信号の変動は好ましくない。
この回転変動の要因としては、軸材料の磁気特性が周方向で均一でないことや、トルク検出用の磁気センサ４と軸表面とのギャップが均一でない（軸中心が偏心している）ことによる。
【００２７】
図４に示したトルク検出装置においては、第２の磁気センサ８から回転信号が得られることから、これによって軸１の回転位置を知ることができ、回転検出信号に基づいてトルク検出信号を処理することによって、当該軸１の回転に伴う変動（感度変動も含めて）を補正することができる。
現状の信号処理技術をもってすれば、信号処理をリアルタイムで行なうことができ、図５（ｃ）に示すような補正トルク信号を得ることができる。
【実施例】
【００２８】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されることはない。
【００２９】
（発明例１）
マルエージング鋼（日立金属（株）製商品名ＹＡＧ３００、１８％Ｎｉ−９％Ｃｏ−５％Ｍｏ−Ｆｅ）を用いて、図１に示すように、軸径Ｄ＝１９ｍｍの被測定軸１を機械加工によって作製し、１ｍｍ径のエンドミルを用いて、軸方向に４５度方向に傾いた螺旋溝２ａを周方向に２０本、１ｍｍ幅、１．５ｍｍ深さに形成した。なお、２０本の螺旋溝２ａが形成された溝形成帯２の幅Ａは１１ｍｍとした（エンドミルのセンター間の距離は１０ｍｍ）。
これら機械加工の後、固溶化および時効熱処理を施した。なお、固溶化は８２０℃×１ｈ、時効は４９０℃×５ｈ真空中にて行なった。固溶化後は炉中にて、窒素冷却（空冷も可）、時効後は空冷した。
【００３０】
次に、上記螺旋溝２ａが形成された幅１１ｍｍの溝形成帯２の中央部に、ＮｄＦｅＢ焼結磁石を用いて着磁部３を周方向にバンド状に形成した。このとき、着磁部３の狙い幅Ｂを６ｍｍとした。
なお、着磁方法については、非特許文献３に記載された方法に準拠し、幅６ｍｍ、奥行き１２ｍｍ、厚さ３ｍｍのＮｄＦｅＢ焼結磁石（着磁は厚さ方向）を用い、幅６ｍｍの辺（狙い幅６ｍｍと呼応）を回転中の軸（回転数：約２６０ｒｐｍ）に平行に対持させ（軸芯を含む面に磁石の厚さ中心がある）ることによってバンド状に着磁した。最初は軸表面に接近させ、その後、１ｍｍの位置に保持（３分間）、その後ゆっくりと磁石を径方向に遠ざけた。全着磁所用時間は約５分であった。
【００３１】
そして、図に示す位置に磁気センサとしてホールセンサ４を配置すると共に、被測定軸１にトルクを印加して、ホールセンサ４の出力を調べた。
なお、ホールセンサ４は、径方向の磁界を検知し、その感磁エリアは、約２ｍｍ２であって、エリアの中心は軸１の表面から約０．５ｍｍの位置にあった。
【００３２】
図６は、その結果を示すものであって、±５０Ｎｍのトルクに対して、ヒステリシスのほとんどない特性を示すことが判明した。
【００３３】
（発明例２）
軸１の材料として、パーメンジュール（日立金属（株）製商品名ＹＥＰ−２Ｖ、４９％Ｃｏ−２％Ｖ−Ｆｅ）を用いると共に、熱処理をパーメンジュールの磁気特性を確保するものとした（真空中、望ましくはＨ２雰囲気中で、８５０℃に３時間保持後、そのまま炉冷）こと以外は、上記発明例１と同じ操作を繰り返すことによって得られた軸を用いて、同一条件のもとにホールセンサ４の出力特性を同様に調査した。
その結果、感度としては若干劣るレベルであるものの、ヒステリシスのほとんどない特性が得られた。
【００３４】
（発明例３）
軸１の材料として、ＪＩＳ  Ｇ４０５１に規定される機械構造用炭素鋼Ｓ４０Ｃを用いると共に、熱処理として高周波焼入れを施し、次いで１７０℃×２時間の焼戻し処理を行ったこと以外は、上記発明例１と同じ操作を繰り返すことによって得られた軸を用いて、同一条件のもとにホールセンサ４の出力特性を同様に調査した。なお、上記熱処理の狙いとしては、表面硬さをＨＲＣ５０以上、ＨＲＣ４５以上の有効硬化層深さを０．８ｍｍ以上とし、焼き戻し後の表面硬さ及び硬化層深さは、狙い条件を満足していた。
その結果、感度としては若干劣るレベルであるものの、上記発明例２と同様にヒステリシスのほとんどない特性が得られた。
【００３５】
（比較例）
被測定軸材料として、機械構造用炭素鋼Ｓ４０Ｃを用い、熱処理として上記発明例３と同様に高周波焼入れ及び焼戻し処理を行うと共に、軸に螺旋溝２ａを形成しなかったこと以外は、上記発明例１と同じ操作を繰り返すことによって得られた軸を用いて、同一条件のもとにホールセンサの出力特性を同様に調査した。
その結果、感度としては多少低い程度であったが、レンズ状のヒステリシス（２０％強のレベル）を示す特性となった。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明のトルク検出装置の実施形態の一例を示す説明図である。
【図２】（ａ）図１に示した磁気センサにヨークを設けたトルク検出装置の形態例を示す正面図である。（ｂ）図２（ａ）に示したトルク検出装置の平面図である。
【図３】図２に示したトルク検出装置に磁気センサを増設した形態例を示す説明図である。
【図４】（ａ）図１の装置に回転検出部を増設したトルク検出装置の形態例を示す正面図である。（ｂ）図４（ａ）に示したトルク検出装置の平面図である。（ｃ）図４（ａ）及び（ｂ）に示したリング磁石の形状を示す拡大説明図である。
【図５】（ａ）図４に示したトルク検出装置における回転検出信号を示すグラフである。（ｂ）図４に示したトルク検出装置におけるトルク検出信号を示すグラフである。（ｃ）図４に示したトルク検出装置における補正後のトルク検出信号を示すグラフである。
【図６】図１に示したトルク検出装置におけるセンサ出力特性データの一例を示すグラフである。
【図７】従来の溝方式トルクセンサの構造を示す概略説明図である。
【図８】従来のリング嵌合方式トルクセンサの構造を示す概略説明図である。
【図９】従来のバンド状着磁方式トルクセンサの構造を示す概略説明図である。
【符号の説明】
【００３７】
１    軸
２    溝形成帯
２ａ  螺旋溝
３    着磁部
４，６    ホールセンサ（磁気センサ）
５    ヨーク
７    リング磁石
８    ホールＩＣ（第２の磁気センサ）
【図１】
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【図２】
2006184040.tif 000004
【図３】
2006184040.tif 000005
【図４】
2006184040.tif 000006
【図５】
2006184040.tif 000007
【図６】
2006184040.tif 000008
【図７】
2006184040.tif 000009
【図８】
2006184040.tif 000010
【図９】
2006184040.tif 000011