(57)【要約】【課題】化学重合予備導電性プレコート層を形成する工程を含有する固体電解コンデンサの製造方法において、酸化剤含有溶液の使用量が少なく、かつ漏れ電流特性に優れた固体電解コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させた塗布用ローラーを２個平行に接触させて設置し、その塗布用ローラー間に弁作用金属箔を通過させることによって弁作用金属表面に酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。【選択図】図２
2006165356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体酸化皮膜を形成させた弁作用金属表面に、酸化剤含有溶液を塗布させる工程、該酸化剤含有溶液を塗布させた弁作用金属表面に導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて化学重合による予備導電性プレコート層を形成させる工程、該予備導電性プレコート層上に電解重合により導電性高分子層を形成する工程を包含する固体電解コンデンサの製造方法において、該酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させた塗布用ローラーを２個平行に接触させて設置し、その塗布用ローラー間に該弁作用金属を通過させることによって該弁作用金属表面に酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項２】
酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させた塗布用ローラーに、外部ローラーを押し当て、塗布用ローラー表面に液溜り部を発生させ、該塗布用ローラー間に弁作用金属を通過させることによって酸化剤含有溶液を塗布させることを特徴とする請求項１に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項３】
塗布用ローラーが、塗布部、撥水部、拭取り部に区画されてなり、該塗布部に酸化剤含有溶液を保持させた後、弁作用金属を塗布用ローラー間に通過させることによって、該弁作用金属の所望の位置に酸化剤含有溶液を塗布することを特徴とした請求項１または２に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項４】
予備導電性プレコート層および導電性高分子層が、ポリピロールであることを特徴とする請求項１から３に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項５】
酸化剤含有溶液の溶媒が、水とアルコールとの混合溶媒であり、その重量比が９：１〜１：９であることを特徴とする請求項１から４に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性高分子を固体電解質として用いた固体電解コンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
弁作用金属表面に誘電体酸化皮膜を形成し、該誘電体酸化皮膜上に導電性高分子膜を形成して固体電解質とした固体電解コンデンサが提案されている。
【０００３】
特許文献１には、誘電体酸化皮膜表面にプレコート層として化学重合法により形成させた予備導電性プレコート層を設け、さらに該導電性プレコート層上に電解重合法による導電性高分子層を形成して、これを固体電解質とする構造の固体電解コンデンサが開示されている。
【０００４】
予備導電性プレコート層を形成させる化学重合法は、例えば誘電体酸化皮膜を形成させた弁作用金属表面に、酸化剤含有溶液を塗布し、付着した酸化剤とピロール、チオフェン、アニリン及びそれらの誘導体に代表される導電性高分子モノマーとを気相中または液相中で接触、重合させることにより、導電性高分子層を形成することができる。
【０００５】
特許文献２には、気相中で導電性高分子モノマーを化学重合させて予備導電性プレコート層を形成させ、次いで、電解重合導電性高分子層を形成させた固体電解コンデンサが開示されている。この場合、気相法による化学重合は、弁作用金属に酸化剤含有溶液を浸漬、塗布または噴霧した後、導電性高分子モノマーの蒸気中に接触させることにより行われている。
【０００６】
予備導電性プレコート層形成のため弁作用金属に酸化剤含有溶液を付着させる際、浸漬あるいは噴霧といった方法では、薬液の使用量が多く製造コストが増大するという問題点があった。また、酸化剤含有溶液がコンデンサの陰極形成部以外に付着してしまうため、予備導電性プレコート層が陽極引出部に達するなどし、得られるコンデンサの漏れ電流不良が生じやすいという不具合があった。
【０００７】
また、従来の塗布による方法は、ディスペンス法あるいは刷毛による塗布方法が知られているが、板状基材の場合、片面ずつ処理する必要があり、工程に多大な時間を費やすため、より簡便な塗布方法が望まれていた。
【０００８】
【特許文献１】特開昭６３−１７３３１３号公報
【特許文献２】特開平３−６２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
化学重合予備導電性プレコート層を形成する工程を含有する固体電解コンデンサの製造方法において、酸化剤含有溶液の使用量が少なく、かつ漏れ電流特性に優れた固体電解コンデンサの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、誘電体酸化皮膜を形成させた弁作用金属表面に、酸化剤含有溶液を塗布させる工程、該酸化剤溶液を塗布させた弁作用金属表面に導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて化学重合による予備導電性プレコート層を形成させる工程、該予備導電性プレコート層上に電解重合により導電性高分子層を形成する工程を包含する固体電解コンデンサの製造方法において、該酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させたスポンジ状の塗布用ローラーを２個平行に接触させて設置し、その塗布用ローラー間に該弁作用金属を通過させることによって該弁作用金属表面に酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１１】
また、酸化剤含有溶液を塗布する際、酸化剤含有溶液を保持させた塗布用ローラーに、他素材からなる外部ローラーを押し当て、塗布用ローラー表面に液溜り部を発生させた後、該塗布用ローラー間に弁作用金属を通過させることによって酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１２】
また、塗布用ローラーが、塗布部、撥水部、拭取り部に区画されてなり、該塗布部に酸化剤含有溶液を保持させた後、弁作用金属を塗布用ローラー間に通過させることによって、該弁作用金属の所望の位置に酸化剤含有溶液を塗布し、導電性高分子モノマーの蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１３】
また、上記塗布方法を用いて形成した予備導電性プレコート層および電解重合による導電性高分子層が、ポリピロールからなることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。
【００１４】
また、上記方法を用いて酸化剤含有溶液を塗布する際、使用する酸化剤含有溶液の溶媒が、水とアルコールとの混合溶媒であり、その重量比が９：１〜１：９であることを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によると、弁作用金属箔に簡便に酸化剤含有溶液を塗布することができ、酸化剤含有溶液の使用量を少なくすることができる。また目的とする部分、すなわち陰極形成部のみに酸化剤含有溶液を塗布することができ、漏れ電流特性の優れた固体電解コンデンサの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して、詳細に説明する。
【００１７】
本発明に用いられる弁作用金属としては、箔状または板状のアルミニウム、タンタル及びニオブがあげられる。
【００１８】
弁作用金属箔１の表面をエッチングした後、アジピン酸アンモニウム等の水溶液中で陽極化成を行い、誘電体酸化皮膜を形成させた後、図１に示すように一定の間隔で該弁作用金属箔に貫通孔２を形成し、貫通孔部２の化成を行い、陰極形成部３を残し絶縁性塗膜４を形成させ、絶縁性塗膜４上に電解重合時の給電電極となる導電性塗膜５を形成させる。この時、導電性塗膜５は誘電体酸化皮膜に直接接触しないように離して形成させる。
【００１９】
次いで、誘電体酸化皮膜を形成させた弁作用金属表面に予備導電性プレコート層を形成させる工程について説明する。
【００２０】
酸化剤含有溶液を弁作用金属表面に塗布させる方法としては、図２に示すように、２つの塗布用ローラー６を平行に接触させて設置し、酸化剤含有溶液を滴下ロート、ディスペンサー等からなる供給部７から塗布用ローラー６に滴下し、酸化剤含有溶液を十分に供給する。その後、弁作用金属を２つの塗布用ローラー６の下方から引き上げ、該ローラー間を通過させることによって、酸化剤含有溶液を弁作用金属表面に塗布する。
【００２１】
上記方法によれば、弁作用金属箔両面の陰極形成部に同時に酸化剤含有溶液を塗布することが可能で、塗布工程に費やす時間が短縮できる。
【００２２】
また、酸化剤含有溶液を塗布用ローラー６に供給した後、外部ローラー８を塗布用ローラー６に押し当てるよう設置することにより２つの塗布用ローラー６の表面に液溜まり部９を発生させ、該ローラー間に弁作用金属箔を通過させることにより、所望の量の酸化剤含有溶液を塗布することができる。
【００２３】
上記方法によれば、適宜、外部ローラーの押しつけ圧力、弁作用金属の引き上げ速度等を選択することによって、弁作用金属表面に塗布する酸化剤含有溶液量を必要最低限の量にすることができ、薬剤使用量が低減できる。
【００２４】
また、塗布用ローラー６が、塗布部６ａ、撥水部６ｂ、拭取り部６ｃに区画されてなるものを使用すれば、弁作用金属の陰極形成部３のみに塗布することが可能である。この時、外部ローラー８の幅は陰極形成部３の全長以下に設定する。外部ローラー８を塗布用ローラー６の塗布部６ａに押し当てて液溜まり部９を生成させ、塗布用ローラー６の塗布部６ａの両端にはゴム性パッキン等からなる撥水部６ｂを設置し、発生した液溜まり部９が陰極形成部３以外への流出することを塞き止め、撥水部６ｂの外側には液溜まりから溢れた酸化剤含有溶液を拭き取るために、拭取り部６ｃを設置する。
【００２５】
上記方法によれば、陰極形成部のみに酸化剤含有溶液を塗布でき、その上に予備導電性プレコート層を形成できるため、陽極引出部と陰極形成部の接触の恐れが少なく、漏れ電流特性に優れ、歩留まりの良い固体電解コンデンサが得られる。
【００２６】
上記塗布用ローラー６の塗布部６ａの材質としては、ポリウレタン、ポリエチレン、ポリビニルアルコール、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルゴム、シリコンゴム、フッ素ゴム、メラミン樹脂などが挙げられ、吸水性を保持できるようにスポンジ状に成形されたものが好ましい。耐磨耗性、耐薬品性、柔軟性、酸化剤含有溶液の保持力を考慮すると吸水率が２００〜８００％のポリウレタン、またはポリエチレンであることがより好ましい。スポンジの肉厚は１.０〜５.０ｃｍとして酸化剤含有溶液の組成により適宜選択される。
【００２７】
上記撥水部６ｂの材質としては、酸化剤含有溶液を吸収せず、撥水性を有するゴム系材料等が好ましく使用できるが、特に限定されない。
【００２８】
上記拭取り部６ｃは塗布部６ａと材質が同一あるいは、６ａの材質よりも吸水性の高い材質のものを用いることができる。図１に示す様に塗布部６ａ、撥水部６ｂ、拭取り部６ｃの全長が塗布を行う弁金属箔１の幅より大きくなる様に拭取り部６ｃの幅を設定し、上記拭取り部６ｃの肉厚は塗布部６ａと同様であることが好ましい。
【００２９】
塗布用ローラー６の芯棒６ｄの素材としては、ステンレス等の金属、塩化ビニル等のプラスチック類から選ばれ、丸棒、芯抜き棒のいずれでも良く、芯棒６ｄの直径は適宜選択される。
【００３０】
上記外部ローラー８の材質としては、金属類、ガラス、プラスチック類があげられるが、塗布用ローラー６に押し当てる圧力に耐久性のある金属類が好ましい。また、外部ローラー８を塗布用ローラー６の塗布部６ａに押し当てて生成した液溜まり９が、塗布用ローラー６から溢れないようにするために、外部ローラー８の幅は塗布用ローラー６の塗布部６ａの幅より小さくするのが好ましい。
【００３１】
次に、酸化剤含有溶液の組成について説明する。
【００３２】
本発明に用いられる酸化剤含有溶液は、酸化剤を、アルコール、水、または水とアルコールとの混合溶媒が使用できる。
【００３３】
本発明に用いられる酸化剤としては、ヨウ素、臭素、ヨウ化臭素、二酸化塩素、ヨウ素酸、過ヨウ素酸、亜塩素酸等のハロゲン化物、五フッ化アンチモン、五塩化リン、五フッ化リン、塩化アルミニウム、塩化モリブデン等の金属ハロゲン化物、過マンガン酸塩、重クロム酸塩、無水クロム酸、第二鉄塩、第二銅塩等の高原子価金属塩、硫酸、硝酸、トリフルオロメタン硫酸等のプロトン酸、三酸化硫黄、二酸化窒素等の酸素化合物、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過ホウ酸ナトリウム等のペルオキソ酸またはその塩、あるいはモリブドリン酸、タングストリン酸、タングストモリブドリン酸等のヘテロポリ酸またはその塩があげられ、少なくとも１種が用いられる。誘電体酸化皮膜への化学的損傷が少なく、反応が容易であるという点からはペルオキソ酸またはその塩、ヘテロポリ酸またはその塩が好ましい。
【００３４】
また、本発明の酸化剤含有溶液に、ドーパントを添加させることにより、導電性高分子中に所望のドーパントを導入することができ、導電性高分子膜の耐熱性、導電性をより一層向上させることができる。
【００３５】
上記ドーパントとしては、以下のアニオン成分を有する化合物が用いられる。ヨウ素、臭素、塩素等のハロゲンアニオン、ヘキサフロロリン、ヘキサフロロヒ素、ヘキサフロロアンチモン、テトラフロロホウ素、過塩素酸等のハロゲン化物アニオン、メタンスルホン酸、ドデシルスルホン酸等のアルキル基置換有機スルホン酸アニオン、カンファースルホン酸等の環状スルホン酸アニオン、ベンゼンスルホン酸、p-トルエンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ベンゼンジスルホン酸等のアルキル基置換または無置換のベンゼンモノまたはジスルホン酸アニオン、２−ナフタレンスルホン酸、１，７−ナフタレンジスルホン酸等のスルホン酸基を１〜３個置換させたナフタレンスルホン酸のアルキル基置換または無置換アニオン、アントラセンスルホン酸、アントラキノンスルホン酸、アルキルビフェニルスルホン酸、ビフェニルジスルホン酸等のアルキル基置換または無置換のビフェニルスルホン酸イオン、ポリスチレンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合体等の高分子スルホン酸アニオン、置換または無置換の芳香族スルホン酸アニオン、ビスサルチレートホウ素、ビスカテコレートホウ素等のホウ素化合物アニオン、あるいはモリブドリン酸、タングストリン酸、タングストモリブドリン酸等のヘテロポリ酸アニオンがあげられ、これらのアニオン成分を有する酸、アンモニウム塩等から選ばれる少なくとも１種の化合物が用いられる。
【００３６】
本発明の酸化剤含有溶液に用いられる溶媒としては、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等のアルコール溶媒、水、または水とアルコールの混合溶媒を用いることができるが、弁作用金属の多孔質孔内に酸化剤含有溶液を十分に含浸させることが必要であり、表面張力が低いアルコール溶媒、もしくは水とアルコールとの混合溶媒が好適である。中でも、酸化剤の溶解力とエッチングされた弁作用金属表面への浸透性を併せ持つことから、水とアルコールの重量比が９：１〜１：９である混合溶媒が好ましい。
【００３７】
次に、上記の酸化剤含有溶液を塗布した弁作用金属表面に導電性高分子モノマー蒸気を接触させて予備導電性プレコート層を形成させる工程について説明する。
【００３８】
前記工程で得られた酸化剤含有溶液を塗布させた弁作用金属の表面に、ピロール、チオフェン、アニリン及びそれらの誘導体に代表される導電性高分子モノマー蒸気を接触させることにより、該モノマーが重合し、該弁作用金属表面に予備導電性プレコート層を形成させることができる。
【００３９】
気相重合法は、酸化剤含有溶液を塗布させた弁作用金属を、導電性高分子モノマー蒸気を含有する雰囲気中に保持させる、あるいは該蒸気を含有する気体を直接弁作用金属表面に吹き付ける方法であり、本発明の予備導電性高分子膜を形成するのに好適である。また、導電性高分子モノマーの中でも、比較的揮発性の高いピロールが気相重合に好適な導電性高分子モノマーである。
【００４０】
気相重合法のより具体的な方法としては、例えば、導電性高分子モノマーの蒸気を外部から導入させた反応槽内に、酸化剤含有溶液を塗布させた弁作用金属を保持させる、または反応槽内に導電性高分子モノマー溶液をあらかじめ封入しておき、該モノマー蒸気を充満させた気相中に該弁作用金属を保持させる、あるいは窒素、アルゴン等のキャリアガスに導電性高分子モノマー蒸気を混入させた混合ガスを、直接弁作用金属表面に吹き付ける等の手段があげられる。
【００４１】
気相重合温度は特に限定されないが、安全性を考慮すると、導電性高分子モノマーの引火点以下が好ましく、例えば、ピロールを用いた場合は、３９℃以下で適宜選択される。また、重合時間は、使用する導電性高分子モノマーや反応槽、あるいは気相重合温度などの条件により適宜選択されるが、概ね数分〜６０分程度である。
【００４２】
次に、予備導電性プレコート層上に電解重合により導電性高分子層を形成させて固体電解質層を設ける工程について説明する。
【００４３】
本発明に用いられる電解重合液は、従来公知の電解重合液が用いられ、導電性高分子モノマーおよび支持電解質を含有した溶液を用いることができる。導電性高分子モノマーについては、ピロール類、チオフェン類、アニリン類等従来公知のものが使用できるが、得られる重合物の電気的特性、熱安定性などから、ピロールが好ましい。
【００４４】
電解重合液中に含まれる支持電解質としては、ＬｉＰＦ６、ＬｉＡｓＦ６、ＬｉＢＦ４、ＫＩ、ＮａＰＦ６、ＮａＣｌＯ４、トルエンスルホン酸ナトリウム、トルエンスルホン酸テトラブチルアンモニウム、１，７−ナフタレンジスルホン酸ナトリウム、アルキルナフタレンスルホン酸テトラエチルアンモニウム、ビスサルチレートホウ素テトラメチルアンモニウム等の化合物から選ばれ特に限定されず、また溶媒としては、アセトニトリル、アルコール、水等から選ばれ、特に限定されない。
【００４５】
上記電解重合液中に、前記予備導電性プレコート層を形成させた弁作用金属を浸漬し、弁作用金属箔上に絶縁性塗膜を介して形成した導電性塗膜を陽極とし、ステンレス板等を陰極として電圧を印加し、電解重合導電性高分子層を形成させる。
【００４６】
次に、電解重合導電性高分子層上にカーボンペースト、銀ペーストを順次塗布し、コンデンサの陰極とする。
【００４７】
得られたコンデンサを個々に切り離し、従来公知の方法で組み立て、外装を施して本発明の固体電解コンデンサを完成させる。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明を実施例に基づいてより説明するが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
【００４９】
実施例１
表面にエッチングを施したアルミニウム箔（厚さ１５０μｍ、長さ８０ｍｍ、幅３０ｍｍ）を、アジピン酸アンモニウム水溶液中、電圧１０Ｖで電解酸化し、表面に誘電体酸化皮膜を形成した。その後、長さ方向に１．０ｍｍの間隔で１５ｍｍ×１．０ｍｍの貫通孔を４１個打ち抜き、貫通孔２の打ち抜き端面の化成を行い、陰極形成部３（１５ｍｍ×１．０ｍｍ：４０個）以外に絶縁性塗膜４を形成し、絶縁性塗膜４上に電解重合時に給電電極となる導電性塗膜５を形成した。
【００５０】
該弁作用金属表面に予備導電性プレコート層を形成させる工程では、本発明の塗布部、撥水部、拭取り部からなる塗布用ローラー６、外部ローラー８を使用することにより、酸化剤含有溶液の塗布を行い、各材料の寸法と素材を以下に示す。
【００５１】
＜酸化剤含有溶液の塗布用ローラー＞
塗布部６ａ：幅１５ｍｍ、肉厚１０ｍｍ、ポリウレタン
撥水部６ｂ：幅３ｍｍ、肉厚８ｍｍ、フッ素ゴム
拭取り部６ｃ：幅１５ｍｍ、肉厚１０ｍｍ、ポリウレタン
芯棒６ｄ：直径１０ｍｍ、長さ６０ｍｍ、ステンレス芯抜き棒
外部ローラー８：直径５ｍｍ、長さ１５ｍｍ、ステンレス丸棒
【００５２】
酸化剤含有溶液を以下の組成となるように調製した。
＜酸化剤含有溶液＞
酸化剤：過硫酸アンモニウム０．３ｍｏｌ／Ｌ
ドーパント：ｐ−トルエンスルホン酸０．３ｍｏｌ／Ｌ
溶媒：エタノールと水の混合溶媒（エタノール：水=６：４）
【００５３】
前記アルミニウム箔に、上記塗布用ローラーと外部ローラーを用いて、本発明に記載の方法により上記酸化剤含有溶液の塗布を行った後、ピロール蒸気中、１５分間保持し、この操作を４回繰り返すことにより、誘電体酸化皮膜上に気相重合ポリピロール膜からなる予備導電性プレコート層を形成させた。なお、予備導電性プレコート層は、陰極形成部のみに形成させることができ、気相重合４回での酸化剤含有溶液の使用量は２０ｍＬであった。また、酸化剤含有溶液を塗布する工程に所要した時間は２０秒であった。
【００５４】
次に導電性塗膜の端部を給電部とし、上記箔を、ピロールモノマー０．３ｍｏｌ／Ｌ及び支持電解質として２−ナフタレンスルホン酸ナトリウム０．２ｍｏｌ／Ｌを含む電解重合液に浸漬し、導電性塗膜を陽極とし、外部陰極との間に定電流（０．５ｍＡ／ｃｍ２、６０分）を印加させて電解重合ポリピロール膜を形成した。
【００５５】
得られた上記電解重合ポリピロール膜上に、カーボンペースト及び銀ペーストを順次塗布して陰極層を形成させ、一部から対極を取り出した後、エポキシ樹脂でモールドし、電圧８．２Ｖを印加させてエージングを行い、定格電圧６．３Ｖの固体電解コンデンサを完成した。
【００５６】
得られた固体電解コンデンサ４０個について、周波数１２０Ｈｚにおける静電容量（以下、「Ｃ」と略記する。）、１２０Ｈｚにおける誘電損失（以下、「ｔａｎδ」と略記する。）及び１００ｋＨｚにおける等価直列抵抗（以下、「ＥＳＲ」と略記する。）、定格電圧６．３Ｖ、４０秒での漏れ電流（以下、「ＬＣ」と略記）の各特性を測定し、４０個の平均値の結果を表１に示す。
【００５７】
比較例１
予備導電性プレコート層を弁金属表面に形成させる工程において、酸化剤含有溶液の弁作用金属に塗布する方法を、刷毛を用いて行った以外は、実施例１と同様にして、固体電解コンデンサを作製した。なお、陰極形成部３のみ酸化剤含有溶液を塗布した。気相重合４回での酸化剤含有溶液の使用量は２０ｍＬであった。また、酸化剤含有溶液を塗布する工程に所要した時間は６０秒であった。
【００５８】
比較例２
予備導電性プレコート層を弁金属表面に形成させる工程において、酸化剤含有溶液の弁作用金属に塗布する方法を、浸漬で行った以外は、実施例１と同様にして、固体電解コンデンサを作製した。なお、予備導電性高分子膜は、アルミニウム箔１の全面に形成され、１００ｍＬのステンレス容器で浸漬を行ったため、気相重合４回での酸化剤含有溶液の使用量は１００ｍＬであった。
【００５９】
比較例３
予備導電性プレコート層を弁金属表面に形成させる工程において、酸化剤含有溶液の弁作用金属に塗布する方法を、噴霧で行った以外は、実施例１と同様にして、固体電解コンデンサを作製した。なお、予備導電性プレコート層は、比較例２と同じく、アルミニウム箔１の全面に形成され、噴霧での酸化剤含有溶液の塗布は市販の霧吹き器で行い、気相重合１回につき２０回、アルミニウム箔１の表裏から噴霧し、気相重合４回の酸化剤含溶液の使用量は８０ｍＬであった。
【００６０】
【表１】
2006165356.tif 000003
【００６１】
本実施例においては、電気的特性の優れたコンデンサが得られ、特に漏れ電流特性に優れたものとなっている。また、酸化剤含有溶液の使用量、塗布に費やす所要時間ももっとも少ない。本発明によれば、生産性に優れた固体電解コンデンサの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】酸化剤含有溶液の塗布方法の正面図
【図２】酸化剤含有溶液の塗布方法の側面図
【符号の説明】
【００６３】
１    弁作用金属箔
２    貫通孔
３    陰極形成部 
４    絶縁性塗膜
５    導電性塗膜
６    塗布用ローラー
６ａ  塗布部
６ｂ  撥水部
６ｃ  拭取り部
６ｄ  芯棒
７    供給部
８    外部ローラー
９    液溜まり部
【図１】
2006165356.tif 000004
【図２】
2006165356.tif 000005