(57)【要約】【課題】  特に第１の駆動体と第２の駆動体の変位時間が異なるように、前記駆動体の物性を変えることで、簡単な回路構造にて移動体を確実に微小送りできるアクチュエータを提供することを目的としている。【解決手段】  移動体５の移動方向に変位し前記移動体５に駆動力を与える第２の圧電素子４の容量を、移動体５の移動方向に対し垂直方向に変位する第１の圧電素子３の容量よりも大きくすることで、前記第２の圧電素子４の変位にかかる時間を前記第１の圧電素子３の変位にかかる時間よりも長くする。これによって回路側を特に改良しなくても前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に共通電源２０を接続させ、前記共通電源２０から矩形波の電圧を前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に同時に印加すれば、前記移動体５を簡単な構造にて確実に微小送りできる。【選択図】図３
2006187097.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体と、前記移動体の移動方向に対して垂直方向に変位する第１の駆動体と、前記移動体と前記第１の駆動体との間に設けられ、前記移動体の移動方向に変位し、前記移動体に対し駆動力を与える第２の駆動体とを有し、
第２の駆動体は第１の駆動体に比べて変位するのにかかる時間が長く、
電圧が供給されていない初期状態では、前記移動体と前記第２の駆動体とが離れた状態であり、
前記初期状態から電圧が供給される第１の状態では、前記第１の駆動体が前記移動体方向に変位し前記第２の駆動体が前記移動体に当接するとともに、当接後、第２の駆動体の変位によって前記移動体が移動し、
前記第１の状態から電圧の供給が停止される第２の状態では、前記第１の駆動体が前記移動体方向と反対方向に変位して元の位置に戻り、前記２の駆動体が前記移動体から離れるとともに、離れた後、前記第２の駆動体が元の位置に戻ることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記第１の駆動体と第２の駆動体には共通の電源が接続されており、前記共通電源から矩形波の電圧が付与される請求項１記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記第１の駆動体は、前記第２の駆動体よりも剛性が高い請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記第１の駆動体は、第２の駆動体よりも圧電セラミックス板の積層枚数が少ない請求項３記載のアクチュエータ。
【請求項５】
第１の駆動体を構成する圧電セラミックス板は一枚であり、前記第２の駆動体は、バイモルフ構造である請求項４記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記第２の駆動体は前記第１の駆動体よりも容量が大きい請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記第１の駆動体及び第２の駆動体は共に圧電セラミックス板の上下に電極が設けられた構造であり、前記第１の駆動体の前記圧電セラミックス板の膜厚は前記第２の駆動体の圧電セラミックス板の膜厚よりも大きい請求項１，２，または６記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記第１の駆動体と第２の駆動体との間には、前記第１の駆動体の上部電極及び第２の駆動体の下部電極を兼ねる共通電極が設けられている請求項７記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記第１の駆動体には、別に圧電素子が直列接続されている請求項１，２，または６に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は微小送り機能を持つアクチュエータに係り、特に第１の駆動体と第２の駆動体の変位にかかる時間が異なるように、前記駆動体の物性をそれぞれ変えることで、簡単な回路構造にて移動体を確実に微小送りできるアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１（特開平８−２７５５５８号公報）には、例えばこの公報の図３（ａ）に示すように、圧電素子Ａの上に圧電素子Ｂが重ねて固定され、これら２つの圧電素子Ａ，Ｂが積み重ねられた上面に駆動片３２を介して移動体を設けたアクチュエータが開示されている。前記圧電素子Ａは厚み方向に変位し、圧電素子Ｂは前記厚み方向に対し直交する方向（すべり方向）に変位し、前記圧電素子Ａと圧電素子Ｂに、例えばこの構造の図６（ａ）に示す電圧を供給することで、この公報の図７（ａ）に示すように前記駆動片３２に円運動を起こさせ、これによって前記移動体を所定の方向に送ることが記載されている（例えば特許文献１の［００２０］欄〜［００２５］欄など）。
【特許文献１】特開平８−２７５５５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１では、図６（ａ）に示すように、厚み方向に変位する圧電素子Ａに励振電圧ＶＡを印加し、すべり方向に変位する圧電素子Ｂに対して電圧ＶＡと同一周波数で位相が９０度遅れた電圧ＶＢを印加する。特許文献１ではこの公報の図１６に示す駆動回路に圧電素子Ａ及び圧電素子Ｂを接続し、前記駆動片３２が円運動を起こすように制御している。
【０００４】
特許文献１では、このように圧電素子Ａ，Ｂの物性自体には特に工夫はなされておらず回路上での制御にて、移動体の微小送りを実現しようとするものである。
【０００５】
ところで特許文献１では、上記したように、前記駆動片３２に、この公報の図７に示すような円運動を起こさせているが、このような円運動を起こさせるために、図１６の駆動回路のように、励振電圧Ａ，Ｂに位相差を生じさせる回路構造が必要となり回路が複雑化しやすい。特に特許文献１では、圧電素子Ａ，Ｂにそれぞれ別電源を接続させないといけない。
【０００６】
そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に第１の駆動体と第２の駆動体の変位にかかる時間が異なるように、前記駆動体の物性をそれぞれ変えることで、簡単な回路構造にて移動体を確実に微小送りできるアクチュエータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明におけるアクチュエータは、
移動体と、前記移動体の移動方向に対して垂直方向に変位する第１の駆動体と、前記移動体と前記第１の駆動体との間に設けられ、前記移動体の移動方向に変位し、前記移動体に対し駆動力を与える第２の駆動体とを有し、
第２の駆動体は第１の駆動体に比べて変位するのにかかる時間が長く、
電圧が供給されていない初期状態では、前記移動体と前記第２の駆動体とが離れた状態であり、
前記初期状態から電圧が供給される第１の状態では、前記第１の駆動体が前記移動体方向に変位し前記第２の駆動体が前記移動体に当接するとともに、当接後、第２の駆動体の変位によって前記移動体が移動し、
前記第１の状態から電圧の供給が停止される第２の状態では、前記第１の駆動体が前記移動体方向と反対方向に変位して元の位置に戻り、前記２の駆動体が前記移動体から離れるとともに、離れた後、前記第２の駆動体が元の位置に戻ることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明では、第２の駆動体が第１の駆動体に比べて変位にかかる時間が長くなるように、後述するように前記第２の駆動体と第２の駆動体との物性を異ならしめている。これにより、上記初期状態から第１の状態、第２の状態に適切に移行させることができ、前記移動体を簡単な構造にて確実に微小送りすることが可能である。
【０００９】
本発明では、前記第１の駆動体と第２の駆動体には共通の電源が接続されており、前記共通電源から矩形波の電圧が付与されることが好ましい。このように前記第１の駆動体及び第２の駆動体に共通電源を接続し、矩形波の電圧を供給することで、上記した初期状態から第１の状態、第２の状態に適切に移行させることができ、前記移動体を簡単な回路構造にて確実に微小送りすることが出来る。
【００１０】
本発明では、前記第１の駆動体は、前記第２の駆動体よりも剛性が高いことが好ましい。これにより、前記第２の駆動体の変位にかかる時間を第１の駆動体の変位にかかる時間よりも長く出来る。
【００１１】
具体的には、前記第１の駆動体は、第２の駆動体よりも圧電セラミックス板の積層枚数が少ないことが好ましい。例えば、第１の駆動体を構成する圧電セラミックス板は一枚であり、前記第２の駆動体は、バイモルフ構造である。
【００１２】
あるいは本発明では、前記第２の駆動体は前記第１の駆動体よりも容量が大きいことが好ましい。これにより、前記第２の駆動体の変位にかかる時間を第１の駆動体の変位にかかる時間よりも長く出来る。
【００１３】
具体的には、前記第１の駆動体及び第２の駆動体は共に圧電セラミックス板の上下に電極が設けられた構造であり、前記第１の駆動体の前記圧電セラミックス板の膜厚は前記第２の駆動体の圧電セラミックス板の膜厚よりも大きいことが好ましい。これによって、前記第２の駆動体の容量を前記第１の駆動体の容量よりも大きくできる。また係る場合、前記第１の駆動体と第２の駆動体との間には、前記第１の駆動体の上部電極及び第２の駆動体の下部電極を兼ねる共通電極が設けられていることが、簡単な構造にできて好ましい。
【００１４】
また本発明では、前記第１の駆動体には、別に圧電素子が直接接続されており、前記第２の駆動体は前記第１の駆動体に比べて見かけ上、容量が大きくされていてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、第２の駆動体が第１の駆動体に比べて変位にかかる時間が長くなるように、前記第２の駆動体と第２の駆動体との物性を異ならしめている。これにより初期状態から第１の状態、第２の状態に適切に移行させることができ、移動体を簡単な構造にて確実に微小送りすることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は本発明の第１の実施の形態のアクチュエータを示す部分断面図（初期状態）、図２ないし図４は図１と同様のアクチュエータを示す部分断面図であり、特に駆動体（圧電素子）及び移動体の動作を説明するための状態図、図５は、図１に示す第１の駆動体及び第２の駆動体を拡大した部分拡大断面図、図６は図１に示すアクチュエータの回路図、図７は供給電圧、第１の駆動体の変位、第２の駆動体の変位の時間に対する変位量を示すためのチャート図、図８，図９は、図５に代えて別の構成を説明するための第１の駆動体及び第２の駆動体の部分断面図、図１０は、本発明の第２の実施の形態のアクチュエータを示し、特に第１の駆動体（圧電素子）及び第２の駆動体の部分拡大断面図、である。
【００１７】
図１に示すアクチュエータ１は、設置台２，第１の圧電素子（第１の駆動体）３，第２の圧電素子（第２の駆動体）４，移動体５，及び加圧部材６とを有して構成される。図１に示すアクチュエータ１は、例えば製造ライン中に設けられたウエハ（移動体）の位置合わせ等に使用できる。図１に示すように、前記設置台２には、前記移動体５方向に向けて突出する保持部２ａ，２ａが設けられ、前記移動体５は前記保持部２ａ，２ａの上面に置かれている。前記設置台２には、前記保持部２ａ，２ａ間に前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４とを収納するための収納部２ｂが設けられ、前記第１の圧電素子３の下面が前記収納部２ｂ内に固定されている。
【００１８】
図１に示すように前記移動体５の上面にはばね等によって吊るされた前記加圧部材６が接触しており、前記加圧部材６からは前記移動体５方向に向けて加圧力が働いている。
【００１９】
図１に示す前記第１の圧電素子３は図５に示すように圧電セラミックス板１０の上面１０ａおよび下面１０ｂに上部電極１２及び下部電極１１が設けられている。
【００２０】
同様に第２の圧電素子４は、圧電セラミックス板１３の上面１３ａに上部電極１４が設けられ、下面１３ｂに設けられた前記上部電極１２が前記第２の圧電素子４の下部電極としても機能している。以下、電極１２を「共通電極」と称する。前記圧電セラミックス板１０，１３及び電極１１，１２，１４には既存の材料が適用される。
【００２１】
前記第１の圧電素子３の圧電セラミックス板１０は、電極１１，１２間に電圧を印加したときに、前記第１の圧電素子３が図示上方向に変位するように分極処理されており、一方、前記第２の圧電素子４の圧電セラミックス板１３は、前記電極１２，１４間に電圧を印加したときに、前記第２の圧電素子４が図示右方向に変位するように分極処理されている（図５を参照）。ここで図示上方向とは、前記移動体５に向う方向であり、図示右方向とは前記移動体５の移動方向を指している。
【００２２】
図１，図５に示すように、前記第１の圧電素子３の圧電セラミックス板１０の膜厚はＨ１で形成され、前記第２の圧電素子４の圧電セラミックス板１３の膜厚はＨ２で形成されている。前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４を構成する圧電セラミックス板は同じ材質である。よって前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に対し同じ大きさの電圧を供給したとき、前記第１の圧電素子３のほうが第２の圧電素子４よりも電荷が溜まる時間が早く（第１の圧電素子３のほうが第２の圧電素子４よりも容量が小さくなる）、前記第１の圧電素子３のほうが第２の圧電素子４よりも電圧変化に対して俊敏に変位できる。すなわち第１の圧電素子３のほうが第２の圧電素子４よりも変位にかかる時間が短い。
【００２３】
図５，図６に示すように、前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４には同じ電源（以下、「共通電源」と言う）２０が接続されており、前記共通電源２０から前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に対し同時に矩形波の電圧（パルス電圧）が供給される。
【００２４】
図１は、前記共通電源２０から前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に対し電圧が印加されていない初期状態を示す。図１に示す初期状態では、前記第２の圧電素子４の上面４ａは、前記移動体５の下面５ａから下方に離れた状態にある。図２では、前記共通電源２０から前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に対し同時に矩形波の電圧（パルス電圧）が供給される（第１の状態）。上記したように第１の圧電素子３は、前記第２の圧電素子４よりも変位にかかる時間が短い。図７（１）に示すように、供給電圧が時間ｔ１のとき０（Ｖ）からａ（Ｖ）まで大きくなると、図７（３）に示すように、時間ｔ１から時間ｔ２までの間に、前記第１の圧電素子３は変位量ｂだけ上方に向けて（移動体５方向に向けて）変位する。一方、図７（２）に示すように、第２の圧電素子４は、時間ｔ１から時間ｔ３までの間に、変位量ｃだけ図示右方向に向けて変位する。図７（２）（３）に示すように、第１の圧電素子３は時間ｔ２のときに変位が完全に終了するが、第２の圧電素子４は、時間ｔ２後も依然として変位しつづける。
【００２５】
このため図２に示すように、電圧をかけた第１の状態では、優先的にまず第１の圧電素子３が上方へ向けて変位し、少なくとも第１の圧電素子３が変位しきった時間ｔ２のときには前記第２の圧電素子４の上面４ａが前記移動体５の下面５ａに接触した状態になる。時間ｔ２までの間に前記第２の圧電素子４も図２の点線で示すように若干図示右方向に向けて変位する。
【００２６】
図３では、時間Ｔ２から時間ｔ３までの状態（第１の状態）を示している。時間ｔ２から時間ｔ３までは、第２の圧電素子４のみがさらに図示右方向に変位する。上記のように図２のとき、前記第２の圧電素子４の上面４ａは前記移動体５の下面５ｂに接触しているため、時間ｔ２から時間ｔ３の間に前記第２の圧電素子４が図示右方向に変位することで前記移動体５も図示右方向へ移動する。このとき前記移動体５は加圧部材６によって下方向へ加圧されているが、前記第２の圧電素子４と移動体５との間に働く静摩擦力は、前記第２の圧電素子４と移動体５との間に働く静摩擦力や保持部２ａと移動体５との間に働く静摩擦力に比べて大きくなっており、このため、前記第２の圧電素子４が図示右方向へ変位すると同時に前記移動体５も図示右方向へ移動する。
【００２７】
図７（１）に示すように時間ｔ４のとき、電圧供給を停止すると、図７（３）に示すように、第１の圧電素子３は、時間ｔ４から時間ｔ５までの間に変位量ｂだけ変位し元の位置に戻る。一方、図７（２）に示すように、第２の圧電素子４は、時間ｔ４から時間ｔ６までの間に、変位量ｃだけ変位し元の位置に戻る。このため図４に示すように、電圧供給を停止した第２の状態では、時間ｔ４から時間ｔ５の間、優先的にまず第１の圧電素子３が下方へ向けて変位し、前記第２の圧電素子４の上面４ａが前記移動体５の下面５ａから離れる。なお時間ｔ４から時間ｔ５までの間に前記第２の圧電素子４も図２の点線で示すように若干図示左方向に向けて変位する。
【００２８】
前記第１の圧電素子３が完全に復元したあと、時間ｔ５から時間ｔ６の間、変位速度の遅い第２の圧電素子４がさらに図示左方向に変位し、時間ｔ６のとき前記第２の圧電素子４も元の位置に戻り図１の状態になる。
【００２９】
図１ないし図４に示す動作を繰返し行なうことで前記移動体５を図示右方向に向けて微小送りすることが出来る。
【００３０】
図１ないし図７で説明したように、本発明では第１の圧電素子３の容量を第２の圧電素子４の容量よりも小さくすることで、移動体５の移動方向に対し垂直方向に変位する第１の圧電素子３と、移動体５の移動方向に変位し、移動体５に対し駆動力を与える第２の圧電素子４とが共通電源２０から供給された電圧に対して第１の圧電素子３のほうが第２の圧電素子４よりも変位にかかる時間を短く出来る。この結果、前記移動体５を図１に示す初期状態から電圧が供給される第１の状態では、まず図２に示すように、第１の圧電素子３を上方へ向けて変位させ、前記第２の圧電素子４が前記移動体５に当接した状態となった後、図３のように変位速度の遅い第２の圧電素子４が図示右方向へ変位することで移動体５を図示右方向へ送ることができ、さらに、第１の状態から電圧供給が停止される第２の状態では、前記第１の圧電素子３を下方向へ変位させ前記第１の圧電素子３が元の状態に戻り、前記第２の圧電素子４が前記移動体５から離れた後、変位速度の遅い前記第２の圧電素子４が図示左方向へ移動して元の状態に戻る。このように電圧を供給した第１の状態では、前記第２の圧電素子４が前記移動体５に当接状態となった後、前記第２の圧電素子４からの図示右方向への駆動力が前記移動体５に適切に働き、前記移動体５を微小送りできるとともに、電圧供給を停止した第３の状態では、優先して前記第２の圧電素子４が前記移動体５から離れた後、前記第２の圧電素子４が元の状態に戻るから前記移動体５を元の位置に戻す方向の駆動力（すなわち図示左方向への駆動力）は働かず、従来に比べて適切に前記移動体５を微小送りすることが可能である。
【００３１】
特に、図２から図３の状態に移行するとき、前記移動体５と第２の圧電素子４との間には静摩擦力が作用して前記移動体５を所定の方向へ移動させることが出来る。このため前記移動体５を微小送りするときに、前記移動体５と前記第２の圧電素子４との間に摩耗が生じにくい。なお前記移動体５は移動時、加圧部材６及び保持部２ａの当接面上を滑るため、加圧部材６及び保持部２ａの当接面との間での摩耗を防ぐべく前記加圧部材６及び保持部２ａの当接面を鏡面等にすることが好ましい。
【００３２】
また、図５，図６に示すように前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４を接続する電気回路の構造を簡単に出来る。本発明では前記第１の圧電素子の容量が第２の圧電素子４の容量よりも小さくなるように、前記第１の圧電素子３を構成する圧電セラミックス板１０の膜厚Ｈ１を第２の圧電素子４を構成する圧電セラミックス板１３の膜厚Ｈ２よりも厚くし、このように前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４の物性を異ならしめれば、前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４を共通電源２０に接続し、前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に対し同時に矩形波の電圧を印加するだけで、図１ないし図４に示した一連の動作を第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に対し行なわせることが出来る。従って特許文献１などのように電気回路側を特に改良することなく、簡単な回路構造で微小送り機能を持つアクチュエータ１を実現できる。
【００３３】
特に本発明では、図５で説明したように、前記第１の圧電素子３と第２の圧電素子４間に共通電極１２を設け、前記共通電極１２に共通電源２０を接続させておけば、第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に、同時に同じ矩形波の電圧（パルス電圧）を供給出来るから、圧電素子３，４の構造自体も簡単に出来る。
【００３４】
図８では、前記第１の圧電素子３に別に圧電素子（以下、ダミー素子と言う）２１を直列に接続させている。図８では、前記第１の圧電素子３と第２の圧電素子４を構成する圧電セラミックス板は同じ材質でしかも膜厚が同じであり、前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４は同じ容量となっている。図８では、前記第１の圧電素子３にダミー素子２１を直列接続させていることで、前記第１の圧電素子３の容量は見かけ上小さくなる。この結果、共通電源２０から前記第１の圧電素子３及び前記第２の圧電素子４に対し電圧が印加されたとき、前記第１の圧電素子３は第２の圧電素子４よりも俊敏に変位し、逆にいえば第２の圧電素子４は第１の圧電素子３よりも変位にかかる時間が長くなり、図１ないし図４で説明した前記移動体５に対する微小送りを適切に実現できる。
【００３５】
あるいは図９のように第１の圧電素子３を複数個設け、前記第１の圧電素素子３を直列に接続させておいても前記第１の圧電素子３全体の容量を見かけ上、第２の圧電素子４の容量よりも小さく出来る。図９に示す全ての第１の圧電素子３は図８の場合と異なって、前記第２の圧電素子４を上方に向けて移動させる駆動力を発揮する。なお図９の実施形態では、前記第１の圧電素子３上に前記第２の圧電素子４を設置する設置板４０を設け、前記設置板４０上に第２の圧電素子４を設置し、各第１の圧電素子３を直列接続させておく。図９の実施形態でも共通電源２０から前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４に同じ矩形波の電圧を印加すればよい。
【００３６】
図１０は、図５ないし図９と異なって、前記第１の圧電素子３及び第２の圧電素子４の剛性を変えた実施例である。剛性が大きいほど変位するのにかかる時間が短くなる。本発明では、第１の圧電素子３０を前記第２の圧電素子３１に比べて変位するのにかかる時間が短くなるように調整するため、前記第１の圧電素子３０の剛性を前記第２の圧電素子３１の剛性よりも大きくする。
【００３７】
このように前記第１の圧電素子３０の剛性を前記第２の圧電素子３１の剛性よりも大きくするには、図１０のように前記第１の圧電素子３０を圧電セラミックス板３２の単板で形成し、前記第２の圧電素子３１を、金属板３３に接着層（図示しない）を介して圧電セラミックス板３４，３５を貼りあわせたバイモルフ構造にすればよい。符号３６〜３９は電極である。なお第１の圧電素子３０と第２の圧電素子３１の間には絶縁層５０が設けられている。
【００３８】
圧電セラミックス板を複数貼りあわせた構造であると、接着層の箇所で変位が吸収され、変位速度が遅くなる。この結果、図７と同様に、第２の圧電素子３１のほうが第１の圧電素子３０よりも電圧変化が生じたとき、変位するのにかかる時間が長くなる。よって図１の初期状態から、図７（ａ）のように矩形波の電圧（パルス電圧）を供給した電圧の立ち上がり時（第１の状態）に、第１の圧電素子３０のほうが第２の圧電素子３１よりも素早く上方へ変位して、図２に示すように第２の圧電素子３１が確実に前記移動体５の下面５ａに当接した状態となった後、第２の圧電素子３１がさらに図示右方向に変位して図３のように、移動体５が図示右方向へ送られる。電圧供給を停止したとき（第２の状態）は、第１の圧電素子３０のほうが第２の圧電素子３１よりも素早く変位して、図４に示すように第１の圧電素子３０が下方向へ変位し前記第２の圧電素子３１の上面が前記移動体５の下面５ａから完全に離れた後、第２の圧電素子３１が元の位置に戻るから、前記移動体５に戻り方向（図示左方向）への駆動力は作用せず、前記移動体５を適切に微小送りすることが出来る。
【００３９】
なお、本発明のアクチュエータはカメラのオートフォーカス装置などに用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施の形態のアクチュエータを示す部分断面図（初期状態）、
【図２】図１の状態から特に駆動体（圧電素子）及び移動体の動作を説明するための部分断面図（第１の状態の最初から途中まで）、
【図３】図２の状態から特に駆動体（圧電素子）及び移動体の動作を説明するための部分断面図（第１の状態の途中から最後まで）、
【図４】図３の状態から特に駆動体（圧電素子）及び移動体の動作を説明するための部分断面図（第２の状態）、
【図５】図１に示す第１の駆動体及び第２の駆動体を拡大した部分拡大断面図、
【図６】図１に示すアクチュエータの回路図、
【図７】供給電圧、第１の駆動体の変位、第２の駆動体の変位の時間に対する変位量を示すためのチャート図、
【図８】図５に代えて別の構成を説明するための第１の駆動体及び第２の駆動体の部分断面図、
【図９】図５に代えて別の構成を説明するための第１の駆動体及び第２の駆動体の部分断面図、
【図１０】本発明の第２の実施の形態のアクチュエータを示し、特に第１の駆動体（圧電素子）及び第２の駆動体の部分拡大断面図、
【符号の説明】
【００４１】
１  アクチュエータ
３、３０  第１の圧電素子
４、３１  第２の圧電素子
５  移動体
１０、１３、３２、３４、３５  圧電セラミックス板
１１、１２、１４、３６、３７、３８、３９  電極
２０  共通電源
２１  ダミー素子（圧電素子）
【図１】
2006187097.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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