(57)【要約】【課題】  複数種類の流体を効率良く混合させることができ、かつ、小型化が可能であって、流路の目詰まりを生じる恐れも少ないマイクロミキサを提供する。【解決手段】  上面に複数個の有底孔１８が形成され、各有底孔１８の周囲に複数個の貫通孔２０が形成され、各有底孔１８の上部周縁部とその周囲の貫通孔２０の上端部とを流路的に接続する連絡通路２２が形成された基板１０を複数枚、上方側の基板１０の貫通孔２０が下方側の基板１０の有底孔１８に連通するように積層させて互いに密着させ、流体が基板１０の厚み・積層方向へ流動しながら合流および分流を繰り返すようにした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種類の流体を混合するマイクロミキサにおいて、
主面に複数個の有底孔が形成されるとともに、各有底孔の周囲にそれぞれ複数個の貫通孔が、前記主面と前記主面とは反対側の反対面とを貫通するように形成され、各有底孔の周縁部とその周囲の貫通孔とを流路的に接続する連絡通路がそれぞれ形成された基板を複数枚、所定の基板の貫通孔が当該基板の反対面側に隣接する基板の有底孔に連通するように積層させて互いに密着させ、流体が複数の基板それぞれの主面側から反対面側へ順次流動しながら合流および分流を繰り返すようにしたことを特徴とするマイクロミキサ。
【請求項２】
積層された複数枚の基板と別の積層された複数枚の基板との間に、基板の複数個の貫通孔を通って流入する流体を合流させるための１つもしくは複数の大形透孔が形成された中間合流用基板が介挿された請求項１に記載のマイクロミキサ。
【請求項３】
複数種類の流体の注入口が設けられるカバー板と最上層の基板との間に、複数種類の流体を予備混合するための混合流路が形設された予備混合用基板が介挿された請求項１または請求項２に記載のマイクロミキサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数種類の液体等の流体を微少流量で流しながら、それらの流体を混合させるマイクロミキサに関し、このマイクロミキサは、化学薬品、化粧品、化学調味料、塗料等の合成などに使用される。
【背景技術】
【０００２】
この種のマイクロミキサは、複数種類の流体、例えば２種類の液体をそれぞれ微少流量で液体流路に流し、液体流路を途中で交差させたり分岐させたりして２種類の液体を混合させる、といったものである。このようなマイクロミキサは、従来、ガラス、シリコン、プラスチック、セラミックス、金属などで形成された基板の表面に微細な溝を加工形成し、その基板の表面にカバー板を密着させて溝を被覆し、基板の溝部分を液体流路とするとともに、カバー板に、２種類の液体を導入するための２つの入口通路と混合された液体を取り出すための出口通路とを形成した構造を有している。そして、液体流路を構成する基板表面の溝は、液体の混合効率を高めるために、途中で複数回、交差および分岐を繰り返すように形成されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特表２００１−５２０１１２号公報（第６−７頁、図１、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のマイクロミキサのように、基板の表面に溝を形成して液体流路を平面的に構成する、といった構造では、２種類の液体の混合効率を高めようとすると、混合しようとする液体の粘性や性質に応じて流路長を長くすることが必要となってくる。この結果、マイクロミキサのサイズが大きくなる、といった問題点がある。また、生成された固形物が流路の交差部分などに徐々に堆積して流路を部分的に閉塞し、このため、液体の混合効率が大きく低下する、といった問題点もある。
【０００４】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、複数種類の流体を効率良く混合させることができ、かつ、小型化が可能であって、流路の目詰まりを生じる恐れも少ないマイクロミキサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に係る発明は、複数種類の流体を混合するマイクロミキサにおいて、主面に複数個の有底孔が形成されるとともに、各有底孔の周囲にそれぞれ複数個の貫通孔が、前記主面と前記主面とは反対側の反対面とを貫通するように形成され、各有底孔の周縁部とその周囲の貫通孔とを流路的に接続する連絡通路がそれぞれ形成された基板を複数枚、所定の基板の貫通孔が当該基板の反対面側に隣接する基板の有底孔に連通するように積層させて互いに密着させ、流体が複数の基板それぞれの主面側から反対面側へ順次流動しながら合流および分流を繰り返すようにしたことを特徴とする。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のマイクロミキサにおいて、積層された複数枚の基板と別の積層された複数枚の基板との間に、基板の複数個の貫通孔を通って流入する流体を合流させるための１つもしくは複数の大形透孔が形成された中間合流用基板を介挿したことを特徴とする。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載のマイクロミキサにおいて、複数種類の流体の注入口が設けられるカバー板と最上層の基板との間に、複数種類の流体を予備混合するための混合流路が形設された予備混合用基板を介挿したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１に係る発明のマイクロミキサにおいて、複数種類の流体は、基板の有底孔内へ流入して合流し、この有底孔内で相互に混合される。有底孔内で混合された流体は、有底孔の周縁部から連絡通路を通って流出し、有底孔の周囲の複数個の貫通孔へ分かれて流入する。所定の基板の貫通孔内へ流入した流体は、貫通孔内を通って流動し、当該基板の反対面側に隣接する基板の有底孔内へ流入する。このとき、反対面側に隣接した基板の有底孔内において、前記所定の基板の別々の貫通孔内から流入した流体同士が合流することにより、複数種類の流体の混合が促進される。このように合流と分流を繰り返しながら、流体が複数の基板それぞれの主面側から反対面側へ流動していくことにより、複数種類の流体が混合されていく。また、従来のマイクロミキサのように基板の表面に溝を形成して流路を平面的に構成する構造ではなく、積層された複数枚の基板に流路を立体的に構成する構造であるため、マイクロミキサの平面形状が小さくなる。さらに、基板表面に形成される微細な溝を途中で複数回、交差させたり分岐させたりする構造ではなく、１つの基板内において有底孔と複数個の貫通孔とを連絡通路を通して流路的に接続するとともに、所定の基板の貫通孔と当該基板の反対面側に隣接する基板の有底孔とを順次連通させていく構造であるため、生成された固形物によって流路が部分的に閉塞される、といった恐れが少ない。
したがって、請求項１に係る発明のマイクロミキサを使用すると、複数種類の流体を効率良く混合させることができ、また、流路の目詰まりを防止することができるとともに、マイクロミキサを小型化することが可能となる。
【０００９】
請求項２に係る発明のマイクロミキサでは、積層された複数枚の基板の有底孔および貫通孔を通って流動してきた流体が、中間合流用基板の大形透孔内で一旦合流して、その後に再び、合流と分流を繰り返しながら積層された複数枚の基板の有底孔および貫通孔を通って流動していくので、複数種類の流体をより均一に混合させることができるとともに、その混合効率をより高めることができる。
【００１０】
請求項３に係る発明のマイクロミキサでは、予備混合用基板の混合流路において複数種類の流体が予備混合された後に、その混合流体が、積層された複数枚の基板の有底孔および貫通孔を通って流動していくので、複数種類の流体の混合効率をより高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、この発明の最良の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１ないし図４は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、マイクロミキサの主要部の概略構成を示す分解斜視図であり、図２は、このマイクロミキサの構成要素である複数枚の基板の部分拡大縦断面図であり、図３および図４はそれぞれ、積層された複数枚の基板における有底孔、貫通孔および連絡通路の平面的配置を説明するための平面図である。
【００１２】
このマイクロミキサは、互いに密着する複数枚の基板１０、最上位置の基板１０の表面に密着する予備混合用基板１２、この予備混合用基板１２の表面に密着する上部カバー板１４、および、最下位置の基板１０の裏面に密着する下部カバー板１６を積層して主要部が構成されている。上部カバー板１４と予備混合用基板１２、予備混合用基板１２と基板１０、基板１０同士および基板１０と下部カバー板１６とはそれぞれ、図示しない固定具により互いに液密状態で密着させられ、上部カバー板１４、予備混合用基板１２、複数枚の基板１０および下部カバー板１６が一体化されている。
【００１３】
基板１０は、ガラス、シリコン、プラスチック、セラミックス、金属などで形成されている。基板１０には、その上面に複数個の有底孔１８が並列して形設されている。各有底孔１８の周囲にはそれぞれ、基板１０の厚み方向に貫通する複数個、図示例では４個の貫通孔２０が円周方向に等配されて形成されている。また、基板１０の上面には、有底孔１８と各貫通孔２０との間にそれぞれ溝が形成されており、これらの溝が、有底孔１８の上部周縁部と各貫通孔２０の上端部とをそれぞれ流路的に接続する連絡通路２２となる。そして、互いに隣り合う有底孔１８、１８の上部周縁部からそれぞれ延出する２本の連絡通路２２、２２が、両有底孔１８、１８の中間に配置された１個の貫通孔２０の上端部位置で合流するように構成されている。また、上下方向において互いに接する基板１０同士間では、図２に示すように、上方側の基板１０の貫通孔２０が下方側の基板１０の有底孔１８に連通するように、複数枚の基板１０が積層されている。
【００１４】
図３および図４に、積層された各基板１０にそれぞれ形成された有底孔１８、貫通孔２０および連絡通路２２の平面的配置関係を示す。図３の（ａ）が、第１層目の基板１０に形成された有底孔１８ａ、貫通孔２０ａおよび連絡通路２２ａを示し、図３の（ｂ）が、第２層目の基板１０に形成された有底孔１８ｂ、貫通孔２０ｂおよび連絡通路２２ｂを示し、図３の（ｃ）が、第３層目の基板１０に形成された有底孔１８ｃ、貫通孔２０ｃおよび連絡通路２２ｃを示している。また、図４は、基板１０を透視した状態で有底孔１８ａ、貫通孔２０ａおよび連絡通路２２ａ；有底孔１８ｂ、貫通孔２０ｂおよび連絡通路２２ｂ；有底孔１８ｃ、貫通孔２０ｃおよび連絡通路２２ｃをそれぞれ示している。これらの図に示したように、第１層目の基板１０に形成された各貫通孔２０ａが、第２層目の基板１０に形成された各有底孔１８ｂの中心部にそれぞれ位置し、第２層目の基板１０に形成された各貫通孔２０ｂが、第３層目の基板１０に形成された各有底孔１８ｃの中心部にそれぞれ位置している。このように、上方側の基板１０の各貫通孔２０ａ（２０ｂ）が下方側の基板１０の各有底孔１８ｂ（１８ｃ）の中心部にそれぞれ位置するように、複数枚の基板１０が上下方向に積層されることにより、上方側の基板１０の貫通孔２０ａ（２０ｂ）と下方側の基板１０の有底孔１８ｂ（１８ｃ）とが順次連通して、全体の流路が構成されている。
【００１５】
なお、図２ないし図４においては、下層になるほど基板１０に形成される有底孔１８、貫通孔２０および連絡通路２２の数が多くなるように描かれているのに対し、図１においては、同数の有底孔１８、貫通孔２０および連絡通路２２が形成された同一構成の基板１０を複数枚積層している。これは単に、同一構成の基板１０を出来るだけ共用する方が、製作コストを下げることができて製造上有利である、といった経済的な理由からである。したがって、有底孔１８、貫通孔２０および連絡通路２２の数および形成位置の異なる複数種類の基板を用意して、それらを所定順序で積層するような構成としても、もちろん構わない。図１に示したように同一構成の基板１０を複数枚積層するようにしたときは、上方側に位置する基板１０においては全部の有底孔１８、貫通孔２０および連絡通路２２に流体、例えば液体が流れる訳ではなく、特に最上位置の基板１０においては数個所（図示例では２個所）の有底孔１８ならびにその周囲の各４個の貫通孔２０および各４本の連絡通路２２だけに液体が流れることとなる。
【００１６】
基板１０の積層枚数や基板１０に形成される有底孔１８、貫通孔２０および連絡通路２２の寸法は、特に限定されず、混合しようとする液体の粘性や性質に応じて適宜設定すればよい。
【００１７】
予備混合用基板１２も、ガラス、シリコン、プラスチック、セラミックス、金属などで形成されている。予備混合用基板１２には、４個の微小貫通孔が形成されており、この各微小貫通孔がそれぞれ第１の液体供給口２４、第２の液体供給口２６および２つの液体排出口２８、３０となる。基板１０の表面には、一端（始端）が第１の液体供給口２４および第２の液体供給口２６にそれぞれ個別に連通する微細な２本の有底溝が形成されており、この各有底溝がそれぞれ第１の液体流路３２および第２の液体流路３４を構成する。第１の液体流路３２を構成する有底溝と第２の液体流路３４を構成する有底溝とは途中で交差して、その交差部分より下流側に１本の有底溝が形成されており、この有底溝が混合流路３６を構成する。混合流路３６を構成する有底溝は分岐して、その分岐部分より下流側に２本の有底溝が形成されており、この各有底溝がそれぞれ排出流路３８、４０を構成し、各排出流路３８、４０が各液体排出口２８、３０にそれぞれ個別に連通している。そして、予備混合基板１２を最上位置の基板１０の表面に密着させたときに、予備混合基板１２の各液体排出口２８、３０が、基板１０の２個所の有底孔１８にそれぞれ個別に連通するようになっている。
【００１８】
上部カバー板１４および下部カバー板１６は、ステンレス鋼、プラスチック等でそれぞれ形成されている。上部カバー板１４には、２個の微小貫通孔が形成されており、この各微小貫通孔がそれぞれ第１の液体供給通路４２および第２の液体供給通路４４となる。第１の液体供給通路４２および第２の液体供給通路４４にはそれぞれ、第１の液体供給管４６および第２の液体供給管４８が連通接続されている。また、上部カバー板１４を予備混合基板１２の表面に密着させたときに、第１の液体供給通路４２および第２の液体供給通路４４はそれぞれ、予備混合基板１２の第１の液体供給口２４および第２の液体供給口２６に連通するようになっている。また、下部カバー板１６の表面には、基板１０の貫通孔２０の形成区域に対応した平面形状を有する凹部５０が形成されている。そして、凹部５０内に１個の微小貫通孔が形成されており、この微小貫通孔が液体排出通路５２となる。液体排出通路５２には、液体排出管５４が連通接続されている。
【００１９】
なお、予備混合用基板１２は、特に必要が無ければ設けなくてもよい。予備混合基板１２を省略して、上部カバー板１４を最上位置の基板１０の表面に直接に密着させるときは、上部カバー板１４に形成される第１の液体供給通路４２および第２の液体供給通路４４を、それら両液体供給通路４２、４４が基板１０の１つの有底孔１８にそれぞれ連通するように配置する。また、上部カバー板１４に第１の液体供給通路４２および第２の液体供給通路４４を複数対設けて、各一対の液体供給通路４２、４４を基板１０の複数個所の有底孔１８にそれぞれ個別に連通させるようにしてもよい。
【００２０】
上記したように構成されたマイクロミキサを使用して、２種類の液体を混合させるときは、マイクロシリンジ、マイクロポンプ、マイクロバルブなどにより上部カバー板１４の第１の液体供給通路４２および第２の液体供給通路４４を通して予備混合用基板１２の第１の液体供給口２４および第２の液体供給口２６へ、第１の液体および第２の液体をそれぞれ個別に注入する。各液体供給口２４、２６へそれぞれ注入された第１の液体および第２の液体は、予備混合用基板１２の第１の液体流路３２および第２の液体流路３４内をそれぞれ別々に流れ、第１の液体流路３２と第２の液体流路３４とが交差する部分で合流した後、混合流路３６内を流れる。そして、第１の液体および第２の液体は、混合流路３６内を流れる間に予備的に混合される。混合流路３６内を流れる間に混合された液体は、混合流路３６内から各排出流路３８、４０内へ分かれて流入し、各排出流路３８、４０内をそれぞれ流れて各液体排出口２８、３０へ到達する。そして、混合液体は、各液体排出口２８、３０をそれぞれ通り、最上位置の基板１０の２個所において有底孔１８内へ流入する。
【００２１】
最上位置の基板１０の有底孔１８内へ流入した混合液体は、図２に示すように、有底孔１８の内底面で流れの方向が反転することにより、第１の液体と第２の液体との混合が促進される。そして、有底孔１８内の混合液体は、有底孔１８の上部周縁部から各連絡通路２２をそれぞれ通って流出し、有底孔１８の周囲の４個の貫通孔２０の上端部へ分かれて流入する。基板１０の貫通孔２０内へ流入した混合液体は、貫通孔２０内を通って流下し、当該基板１０の下方側に隣接した基板１０の有底孔１８内へ流入する。このとき、下方側の基板１０の有底孔１８内において、上方側の基板１０の別々の貫通孔２０内から流入した液体同士が合流することにより、第１の液体と第２の液体との混合がさらに促進される。このように合流と分流を繰り返しながら、混合液体が基板１０の厚み・積層方向へ流動していくことにより、第１の液体と第２の液体とが完全に混合される。
【００２２】
基板に形成される有底孔の形状は、図１ないし図４に示したような形状のものに限らない。例えば、図５および図６に、積層された各基板にそれぞれ形成される有底孔、貫通孔および連絡通路の平面的配置関係を示すように、開口形状が正方形である有底孔５６ａ、５６ｂ、５６ｃを基板の上面に形成し、その有底孔５６ａ、５６ｂ、５６ｃの上部周縁の４つのコーナー部に連絡通路６０ａ、６０ｂ、６０ｃを介して４個の貫通孔５８ａ、５８ｂ、５８ｃを形成するようにしてもよい。図５の（ａ）は、第１層目の基板に形成される有底孔５６ａ、貫通孔５８ａおよび連絡通路６０ａを示し、図５の（ｂ）は、第２層目の基板に形成される有底孔５６ｂ、貫通孔５８ｂおよび連絡通路６０ｂを示し、図５の（ｃ）は、第３層目の基板に形成される有底孔５６ｃ、貫通孔５８ｃおよび連絡通路６０ｃを示している。また、図６は、基板を透視した状態で有底孔５６ａ、貫通孔５８ａおよび連絡通路６０ａ；有底孔５６ｂ、貫通孔５８ｂおよび連絡通路６０ｂ；有底孔５６ｃ、貫通孔５８ｃおよび連絡通路６０ｃをそれぞれ示している。この実施形態においても、第１層目の基板１０に形成された各貫通孔５８ａが、第２層目の基板１０に形成された各有底孔５６ｂの中心部にそれぞれ位置し、第２層目の基板１０に形成された各貫通孔５８ｂが、第３層目の基板１０に形成された各有底孔５６ｃの中心部にそれぞれ位置している。このように、上方側の基板１０の各貫通孔５８ａ（５８ｂ）が下方側の基板１０の各有底孔５６ｂ（５６ｃ）の中心部にそれぞれ位置するように、複数枚の基板１０が上下方向に積層されることにより、上方側の基板１０の貫通孔５８ａ（５８ｂ）と下方側の基板１０の有底孔５６ｂ（５６ｃ）とが順次連通して、全体の流路が構成される。
【００２３】
また、図７および図８に、積層された各基板にそれぞれ形成される有底孔、貫通孔および連絡通路の平面的配置関係を示すように、開口形状が正三角形である有底孔６２ａ、６２ｂ、６２ｃを基板の上面に形成し、その有底孔６２ａ、６２ｂ、６２ｃの上部周縁の３つのコーナー部に連絡通路６６ａ、６６ｂ、６６ｃを介して３個の貫通孔６４ａ、６４ｂ、６４ｃを形成するようにしてもよい。図７の（ａ）は、第１層目の基板に形成される有底孔６２ａ、貫通孔６４ａおよび連絡通路６６ａを示し、図７の（ｂ）は、第２層目の基板に形成される有底孔６２ｂ、貫通孔６４ｂおよび連絡通路６６ｂを示し、図７の（ｃ）は、第３層目の基板に形成される有底孔６２ｃ、貫通孔６４ｃおよび連絡通路６６ｃを示している。また、図８は、基板を透視した状態で有底孔６２ａ、貫通孔６４ａおよび連絡通路６６ａ；有底孔６２ｂ、貫通孔６４ｂおよび連絡通路６６ｂ；有底孔６２ｃ、貫通孔６４ｃおよび連絡通路６６ｃをそれぞれ示している。この実施形態においても、第１層目の基板１０に形成された各貫通孔６４ａが、第２層目の基板１０に形成された各有底孔６２ｂの中心部にそれぞれ位置し、第２層目の基板１０に形成された各貫通孔６４ｂが、第３層目の基板１０に形成された各有底孔６２ｃの中心部にそれぞれ位置している。このように、上方側の基板１０の各貫通孔６４ａ（６４ｂ）が下方側の基板１０の各有底孔６２ｂ（６２ｃ）の中心部にそれぞれ位置するように、複数枚の基板１０が上下方向に積層されることにより、上方側の基板１０の貫通孔６４ａ（６４ｂ）と下方側の基板１０の有底孔６２ｂ（６２ｃ）とが順次連通して、全体の流路が構成される。
【００２４】
次に、図９および図１０は、この発明の別の実施形態を示し、図９は、マイクロミキサの一部の概略構成を示す分解斜視図であり、図１０は、このマイクロミキサの部分拡大縦断面図である。
【００２５】
このマイクロミキサでは、積層された複数枚の基板６８と別の積層された複数枚の基板７０、６８との間に中間合流用基板７２を介挿して、中間合流用基板７２の表面および裏面を基板６８の裏面および基板７０の表面にそれぞれ密着させるようにしている。基板６８は、図１ないし図４に示した基板１０と同様の構成であって、基板６８には、その上面に複数個の有底孔７４が並列して形設され、各有底孔７４の周囲にそれぞれ４個の貫通孔７６が形成されて、有底孔７４の上部周縁部と各貫通孔７６の上端部とがそれぞれ連絡通路７８によって流路的に接続されている。また、中間合流用基板７２の裏面に密着する基板７０には、複数個の貫通孔８０が形設されている。なお、複数個の貫通孔８０が設けられた基板７０に代えて、有底孔７４、貫通孔７６および連絡通路７８が設けられた基板６８を用いるようにしても差し支えない。中間合流用基板７２には、基板６８の貫通孔７６の形成区域に対応した平面形状を有する大形透孔８２が形成されている。なお、図示例では、中間合流用基板７２に１つの大形透孔８２を形成しているが、基板６８の貫通孔７６の形成区域に対応する区域内に、複数の大形透孔を形成するようにしてもよい。
【００２６】
図９に示した構成を備えたマイクロミキサにおいては、図１０に示すように、積層された複数枚の基板６８の有底孔７４および貫通孔７６を通って流動してきた液体が、中間合流用基板７２の大形透孔８２内で一旦合流して、その後に再び、中間合流用基板７２の大形透孔８２内から基板７０の貫通孔８０内へ流入し、基板７０の貫通孔８０内を流下して、基板６８の有底孔７４内へ流入する。そして、基板６８の有底孔７４内へ流入した液体は、上記したように合流と分流を繰り返しながら、積層された複数枚の基板６８の有底孔７４および貫通孔７６を通って流動していく。このため、２種類の液体がより均一に混合されるとともに、その混合効率がより高められる。
【００２７】
なお、上述の実施形態においては、マイクロミキサを構成する上部カバー板１４、予備混合用基板１２、複数枚の基板１０、および下部カバー板１６等は、この順に上方から下方へ配列され、すなわち、マイクロミキサの上方から液体を注入し下方から液体を注出するようになっている。しかしながら、基板１０の各貫通孔２０は非常に微細なために液体には界面張力が働くので、必ずしもマイクロミキサの上方から液体を注入し下方から液体を注出しなくても、マイクロミキサの内部を液体が流れることは可能である。たとえば、マイクロミキサを横置きにしてマイクロミキサの左方から液体を注入し右方から液体を注出したり、マイクロミキサを図１とは上下逆さまに配置してマイクロミキサの下方から液体を注入し上方から液体を注出してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】この発明の実施形態の１例を示し、マイクロミキサの主要部の概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示したマイクロミキサの構成要素である複数枚の基板の部分拡大縦断面図である。
【図３】図１に示したマイクロミキサの、積層された複数枚の基板における有底孔、貫通孔および連絡通路の平面的配置を説明するための平面図である。
【図４】同じく、図１に示したマイクロミキサの、積層された複数枚の基板における有底孔、貫通孔および連絡通路の平面的配置を説明するための図であって、基板を透視した状態で有底孔、貫通孔および連絡通路を示す平面図である。
【図５】図１ないし図４に示した基板の有底孔とは異なる形状の有底孔を示す、図３と同様の平面図である。
【図６】積層された複数枚の基板における図５に示した有底孔、貫通孔および連絡通路の平面的配置を説明するための図であって、基板を透視した状態で有底孔、貫通孔および連絡通路を示す平面図である。
【図７】図１ないし図４に示した基板の有底孔とは異なる形状の有底孔の別の例を示す、図３と同様の平面図である。
【図８】積層された複数枚の基板における図７に示した有底孔、貫通孔および連絡通路の平面的配置を説明するための図であって、基板を透視した状態で有底孔、貫通孔および連絡通路を示す平面図である。
【図９】この発明の別の実施形態を示し、マイクロミキサの一部の概略構成を示す分解斜視図である。
【図１０】図９に示したマイクロミキサの部分拡大縦断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０、６８、７０  基板
１２  予備混合用基板
１４  上部カバー板
１６  下部カバー板
１８、１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、５６ａ、５６ｂ、５６ｃ、６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、７４  有底孔
２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、５８ａ、５８ｂ、５８ｃ、６４ａ、６４ｂ、６４ｃ、７６、８０  貫通孔
２２、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、６０ａ、６０ｂ、６０ｃ、６６ａ、６６ｂ、６６ｃ、７８  連絡通路
２４、２６  液体供給口
２８、３０  液体排出口
３２、３４  液体流路
３６  混合流路
３８、４０  排出流路
４２、４４  液体供給通路
４６、４８  液体供給管
５０  凹部
５２  液体排出通路
５４  液体排出管
７２  中間合流用基板
８２  大形透孔
【図１】
2006326408.tif 000003
【図２】
2006326408.tif 000004
【図３】
2006326408.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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