(57)【要約】【解決手段】本発明の多分岐光導波路基板１は、基板上において個々の多分岐光導波路２が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにそれぞれ交互に複数配置された一つの多分岐光導波路ユニット３と、前記一つの多分岐光導波路ユニット４に対して１本の光導波路入出力端面５同士及び複数本の光導波路入出力端面６同士が対向配置された他の多分岐光導波路ユニット４が形成されており、前記一つの多分岐光導波路ユニット３と前記他の多分岐光導波路ユニット４とが離間して配置されている。また、本発明の多分岐光導波路チップ７の製造方法は、前記多分岐光導波路基板１から個々の多分岐光導波路チップ７をダイシングソーにて直線的に切り出すようにする。【効果】本発明によれば、基板上における多分岐光導波路の配置効率がよく、しかも多分岐光導波路基板からダイシングソーを用いて直線的に多分岐光導波路チップを切り出すことが可能であるので効率的に多分岐光導波路チップを製造することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐される多分岐光導波路が複数個配置され、前記基板から個々の多分岐光導波路チップが切り出されるための多分岐光導波路基板であって、前記基板上において前記個々の多分岐光導波路が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにそれぞれ交互に複数配置された一つの多分岐光導波路ユニットと、前記一つの多分岐光導波路ユニットに対して１本の光導波路入出力端面同士及び複数本の光導波路入出力端面同士が対向配置された他の多分岐光導波路ユニットが形成されており、前記一つの多分岐光導波路ユニットと前記他の多分岐光導波路ユニットとが離間して配置されていることを特徴とする多分岐光導波路基板。
【請求項２】
前記基板上の多分岐光導波路ユニットは３個以上配置されていることを特徴とする請求項１記載の多分岐光導波路基板。
【請求項３】
前記多分岐光導波路は８分岐以上の分岐数を有するものであることを特徴とする請求項１または請求項２記載の多分岐光導波路基板。
【請求項４】
基板上に１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐される多分岐光導波路が複数個配置され、前記基板から個々の多分岐光導波路チップを切り出す多分岐光導波路チップの製造方法であって、前記基板上において前記個々の多分岐光導波路が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにそれぞれ交互に複数配置された一つの多分岐光導波路ユニットと、前記一つの多分岐光導波路ユニットに対して１本の光導波路入出力端面同士及び複数本の光導波路入出力端面同士が対向配置された他の多分岐光導波路ユニットを前記一つの多分岐光導波路ユニットと前記他の多分岐光導波路ユニットとが離間して配置するように形成し、前記基板から個々の多分岐光導波路チップを切り出すことを特徴とする多分岐光導波路チップの製造方法。
【請求項５】
前記基板上の多分岐光導波路ユニットは３個以上配置されていることを特徴とする請求項４記載の多分岐光導波路チップの製造方法。
【請求項６】
前記多分岐光導波路は８分岐以上の分岐数を有するものであることを特徴とする請求項４または請求項５記載の多分岐光導波路チップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、個々の多分岐光導波路チップを製造するために複数の多分岐光導波路が配置された多分岐光導波路基板及びこの基板から多分岐光導波路チップを製造するための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＦＴＴＨ（Ｆｉｂｅｒ  Ｔｏ  Ｔｈｅ  Ｈｏｍｅ）システムに代表される光通信システムがますます発展してきているが、このような光通信システムには様々な光デバイスが用いられている。種々の光デバイスの中の一つに光を分岐・結合する多分岐光導波路があり、この多分岐光導波路は例えばＰＯＮ（Ｐａｓｓｉｖｅ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）システムなどで多数適用されている。
【０００３】
多分岐光導波路を製造するに際しては、複数の多分岐光導波路を配置した多分岐光導波路基板から個々の基板上に形成された多分岐光導波路、即ち多分岐光導波路チップを切り出し、この個々の多分岐光導波路チップを光通信システム内で例えば図２に示すような１×Ｎ導波路スプリッタに形成して適用している。
【０００４】
図２において、１×Ｎ型の多分岐導波路チップ２１はＶ溝２２を介して１本の光ファイバ２３及び複数本の光ファイバ２４と接続されている。ここで、多分岐光導波路２５とは基板上の多分岐の光導波路そのもののことをいい、個々に切り出された基板上に形成された多分岐光導波路のことを多分岐光導波路チップという。
【０００５】
このような多分岐光導波路の適用は今後さらに増える傾向にあり、また多分岐光導波路チップの製造コストも低減傾向にある。従って、市場におけるシェアを確保若しくは増大しようとするとさらに安価なコストでこの多分岐光導波路チップを提供する必要があるという課題が重要なものとなってくる。
【０００６】
従来から多分岐光導波路チップを製造する場合には図３に示すように、一本の光導波路から複数本の光導波路に分岐される多分岐光導波路（１×Ｎ導波路スプリッタ）の配置方向を例えば扇状に広がるような方向に一様に統一して多分岐光導波路基板を作成し、この基板から波線で示す切り出し線に沿って個々の多分岐光導波路チップを切り出していた。
【０００７】
図３において、多分岐光導波路基板３１は多分岐光導波路３２が複数個配置されて形成されている。多分岐光導波路基板３１から切り出された場合の多分岐光導波路チップ３３は長方形の形状をしており、多分岐光導波路チップ３３における一本の光導波路入出力端面３４と複数本の光導波路入出力端面３５がそれぞれ接するように縦横に配置されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
このような多分岐光導波路基板３１から多分岐光導波路チップ３３を切り出して製造する場合、多分岐光導波路３２の配置状況からダイシングソーにて例えばＸ１→Ｘ１´、Ｘ２→Ｘ２´、・・・、Ｘ６→Ｘ６´のようなＸ方向、またＹ１→Ｙ１´、・・・、Ｙ４→Ｙ４´のようなＹ方向に直線的に切り出すことも可能であるので製造効率としては不都合はないが、多分岐光導波路３２が扇形の形状であるのに対してチップ基板は長方形であるために基板上の空間部の無駄が多く、基板上における多分岐光導波路３２の配置効率が悪いという欠点があった。しかもこのような配置状況の影響は多分岐光導波路の分岐数が多くなるほど顕著になってくる。
【０００９】
そこで、基板上の多分岐光導波路の配置効率を上げるために図４に示すように多分岐光導波路が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにそれぞれ交互に配置するような多分岐光導波路基板も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１０】
図４において、多分岐光導波路基板４１は多分岐光導波路４２が複数個配置されて形成されているが、多分岐光導波路基板４１から切り出された場合の多分岐光導波路チップ４３は多分岐光導波路が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにそれぞれ交互に配置されている。そして、多分岐光導波路チップ４３における１本の光導波路入出力端面４４と複数本の光導波路入出力端面４５とは、１本の光導波路入出力端面４４同士及び複数本の光導波路入出力端面４５同士がそれぞれ接するように配置されている。
【００１１】
【特許文献１】特開平６−２５００３４号公報
【特許文献２】特開２００２−２５０８２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、上記のような従来の技術には、次のような解決すべき課題があった。
【００１３】
即ち、特許文献１や図３に開示されている従来技術は多分岐光導波路チップの製造効率はともかく基板上における多分岐光導波路の配置効率が悪いという問題があった。一方、特許文献２や図４に示すような従来技術は配置効率は改善されているものの製造効率が悪いという問題があった。即ち、図４により説明すれば、Ｙ方向はＹ１→Ｙ１´、・・・というように直線的に切り出しが可能だとしてもＸ方向は例えばＸ１、Ｘ２、・・・から切り出した後にＸ１´、Ｘ２´、・・・から切り出さなければならず、どうしても切り出し工程が増加してしまうからである。
【００１４】
本発明は上記のような課題を解決したもので、基板上における多分岐光導波路の配置効率がよく、しかも個々の多分岐光導波路チップを効率よく製造できる多分岐光導波路基板及びこの基板を用いた多分岐光導波路チップの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は以上の点を解決するため次のような構成からなるものである。
【００１６】
即ち、本発明はまず第１の態様として、基板上に１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐される多分岐光導波路が複数個配置され、前記基板から個々の多分岐光導波路チップが切り出されるための多分岐光導波路基板であって、前記基板上において前記個々の多分岐光導波路が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにそれぞれ交互に複数配置された一つの多分岐光導波路ユニットと、前記一つの多分岐光導波路ユニットに対して１本の光導波路入出力端面同士及び複数本の光導波路入出力端面同士が対向配置された他の多分岐光導波路ユニットが形成されており、前記一つの多分岐光導波路ユニットと前記他の多分岐光導波路ユニットとが離間して配置されている。
【００１７】
また、第２の態様として、前記第１の態様において、前記基板上の多分岐光導波路ユニットは３個以上配置されている。
【００１８】
さらに、第３の態様として、前記第１または第２の態様において、前記多分岐光導波路は８分岐以上の分岐数を有するものである。
【００１９】
また、第４の態様として、基板上に１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐される多分岐光導波路が複数個配置され、前記基板から個々の多分岐光導波路チップを切り出す多分岐光導波路チップの製造方法であって、前記基板上において前記個々の多分岐光導波路が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにそれぞれ交互に複数配置された一つの多分岐光導波路ユニットと、前記一つの多分岐光導波路ユニットに対して１本の光導波路入出力端面同士及び複数本の光導波路入出力端面同士が対向配置された他の多分岐光導波路ユニットを前記一つの多分岐光導波路ユニットと前記他の多分岐光導波路ユニットとが離間して配置するように形成し、前記基板から個々の多分岐光導波路チップを切り出すものである。
【００２０】
さらに、第５の態様として、前記第４の態様において、前記基板上の多分岐光導波路ユニットは３個以上配置されている。
【００２１】
また、第６の態様として、前記第４または第５の態様において、前記多分岐光導波路は８分岐以上の分岐数を有するものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の多分岐光導波路基板及びこの基板を用いた多分岐光導波路チップの製造方法によれば、基板上における多分岐光導波路の配置効率がよく、しかも多分岐光導波路基板からダイシングソーを用いて直線的に多分岐光導波路チップを切り出すことが可能であるので効率的に多分岐光導波路チップを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について具体例を用いて説明する。
【００２４】
図１は本発明の多分岐光導波路基板の一実施の形態を表した図である。図１において、本発明の多分岐光導波路基板１は、複数の多分岐光導波路２が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにＹ方向に交互に配置された多分岐光導波路ユニット３と、この多分岐光導波路ユニット３に対してＸ方向に多分岐光導波路ユニット３と同様に複数の多分岐光導波路２が１本の光導波路から複数本の光導波路に分岐された扇状に広がる向きとその反対向きにやはりＹ方向に交互に配置された多分岐光導波路ユニット４とで形成されている。そして、一方の多分岐光導波路ユニット３と他方の多分岐光導波路ユニット４は１本の光導波路の入出力端面５同士、及び複数本の光導波路の入出力端面６同士が対向するように、即ち多分岐光導波路ユニット３と多分岐光導波路ユニット４とが中心線Ｃに対して対称的に配置されており、しかもこれらの多分岐光導波路ユニット３と多分岐光導波路ユニット４はＸ方向に所定間隔Ｌだけ離間されて配置されている。間隔Ｌは多分岐光導波路チップを最も効率よく切り出すための適宜な値を選択すればよい。
【００２５】
このような多分岐光導波路基板１から個々の多分岐光導波路チップ７を切り出す際には、Ｙ方向はＹ１→Ｙ１’、・・・、Ｙ４→Ｙ４’のようにダイシングソーにて直線的に切り出すことができるのに加えて、Ｘ方向もＸ１→Ｘ２’、Ｘ２→Ｘ１’、Ｘ２→Ｘ３’、Ｘ３→Ｘ２’、・・・のようにダイシングソーにより斜めに直線的に切り出すことができるので、従来技術に比べて工程の煩雑さが改善される。
【００２６】
以上のように本発明の多分岐光導波路基板１はこの基板１から切り出される多分岐光導波路チップ７において多分岐光導波路２を基板上での空間部の無駄がなく効率よく配置できるとともに、多分岐光導波路チップ７を製造する際に工程が簡略化できるので、大幅なコスト低減を図ることができる。
【００２７】
なお、上記した本実施の形態では２個の多分岐光導波路ユニットについて説明したが、多分岐光導波路ユニットの個数は特に限定されるものではなく、３個以上形成してもよい。多分岐光導波路ユニットを多数個形成すればそれだけ配置効率や製造効率が向上する。また、本実施の形態で説明した多分岐光導波路は１×１６導波路スプリッタであるので分岐数が１６であるが、この分岐数についても特に限定はなく、少なくとも８分岐、できればそれ以上の分岐数を有する多分岐光導波路に適用することが望ましい。これは分岐数が多ければ多いほど本発明の効果を奏することができるからである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の多分岐光導波路基板の一実施の形態を説明する図である。
【図２】多分岐光導波路チップの適用状況を説明する図である。
【図３】従来の多分岐光導波路基板の一例を説明する図である。
【図４】従来の多分岐光導波路基板の他の例を説明する図である。
【符号の説明】
【００２９】
１    多分岐光導波路基板
２    多分岐光導波路
３    多分岐光導波路ユニット
４    多分岐光導波路ユニット
５    １本の光導波路入出力端面
６    複数本の光導波路入出力端面
７    多分岐光導波路チップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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