(57)【要約】【課題】  クランプ作業が軽力によりワンタッチで行えるとともに、金属粉が発生しないダイシング用治具を提供する。【解決手段】  クランプリング５に形成された切断部の対向する切断端部５ａ，５ｂに跨ってクランプ操作部材１０が取付けられ、このクランプ操作部材１０は、一方の切断端部５ａに固定された第１基台１２と、他方の切断端部５ｂに固定された第２基台１３と、第２基台１３にヒンジ軸部１４で上下回動可能に支持された手操作レバー１１と、第１基台１２と手操作レバー１１とを連結するばね部材１５とで構成されて、手操作レバー１１を上回動させたときに、クランプリング５が拡径されるとともに、手操作レバー１１を下回動させたときに、ばね部材１５で第１基台１２が引かれてクランプリング５が縮径されることにより、ダイシングシート２の周縁部がカセットリング３の外周縁に締め付けられてクランプされるようにした。【選択図】  図２
2006041197.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップ用切れ目付きシリコンウェハーを表面に粘着させたダイシングシートがカセットリングの上に載せられ、ダイシングシートの端部を係止した状態でカセットリングが迫り上げられ、ダイシングシートをカセットリングに強く張って延伸させることでシリコンウェハーからチップが自然に切り離された後に、ダイシングシートの周縁部をカセットリングの外周縁にクランプリングで締め付けてクランプするようにしたダイシング用治具であって、
上記クランプリングに形成された切断部の対向する切断端部に跨ってクランプ操作部材が取付けられ、このクランプ操作部材は、一方の切断端部に固定された第１基台と、他方の切断端部に固定された第２基台と、第２基台にヒンジ軸部で上下回動可能に支持された手操作レバーと、第１基台と手操作レバーとを連結するばね部材とで構成されて、手操作レバーを上回動させたときに、クランプリングが拡径されるとともに、手操作レバーを下回動させたときに、ばね部材で第１基台が引かれてクランプリングが縮径されることにより、ダイシングシートの周縁部がカセットリングの外周縁に締め付けられてクランプされるようにしたことを特徴とするダイシング用治具。
【請求項２】
手操作レバーを下回動させたときに、第１基台のばね連結部に対して、手操作レバーのばね連結部が低位置となるように設定されていることを特徴とする請求項１記載のダイシング用治具。
【請求項３】
手操作レバーに、ヒンジ軸部が嵌合する前後方向の長穴が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のダイシング用治具。
【請求項４】
第１基台のばね連結部は左右に形成されて、一側のばね連結部は、前後方向の長穴に形成され、他側のばね連結部は、前が開放された長溝に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイシング用治具。
【請求項５】
第２基台に、手操作レバーを下回動位置に係止するストッパー部が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイシング用治具。
【請求項６】
手操作レバーの前端下部と後端下部とに丸みが付けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のダイシング用治具。
【請求項７】
クランプリングの各切断端部に丸みが付けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のダイシング用治具。
【請求項８】
上記クランプリングに取付けられたクランプ操作部材の全幅は、カセットリングの厚みよりも狭く設定されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のダイシング用治具。
【請求項９】
チップ用切れ目付きシリコンウェハーを表面に粘着させたダイシングシートがカセットリングの上に載せられ、ダイシングシートの端部を係止した状態でカセットリングが迫り上げられ、ダイシングシートをカセットリングに強く張って延伸させることでシリコンウェハーからチップが自然に切り離された後に、ダイシングシートの周縁部をカセットリングの外周縁にクランプリングで締め付けてクランプするようにしたダイシング用治具であって、
上記クランプリングに形成された切断部の対向する切断端部に跨ってクランプ操作部材が取付けられ、このクランプ操作部材は、一方の切断端部に一端部が連結されたばね部材と、他方の切断端部にヒンジ軸部で上下回動可能に支持された手操作レバーとで構成されて、上記ばね部材の他端部は手操作レバーに連結されていて、手操作レバーを上回動させたときに、クランプリングが拡径されるとともに、手操作レバーを下回動させたときに、ばね部材で一方の切断端部が引かれてクランプリングが縮径されることにより、ダイシングシートの周縁部がカセットリングの外周縁に締め付けられてクランプされるようにしたことを特徴とするダイシング用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェハーからチップに切り離すときに使用するダイシング用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空装置の作動により、シリコンウェハーを穴あきゴム盤の上に吸着保持させた状態でダイシング加工を行うものがある（特許文献１参照）。
【０００３】
また、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、チップ用切れ目付きシリコンウェハー１を表面に粘着させたダイシングシート（延伸性プラスチックフィルム）２がカセットリング３の上に載せられ、図７（ａ）（ｂ）に示すように、ダイシングシート２の端部を係止具４で係止した状態でカセットリング３が迫り上げられ（矢印ａ参照）、ダイシングシート２をカセットリング３に強く張って延伸させることでシリコンウェハー１からチップ１ａが自然に切り離された後に、図７（ｃ）（ｄ）に示すように、ダイシングシート２の周縁部をカセットリング３の外周縁にクランプリング５で締め付けてクランプするようにしたダイシング用治具７もある。
【０００４】
このダイシング用治具７では、図８（ａ）（ｂ）に示すように、クランプリング５に形成された切断部の対向する切断端部５ａ，５ｂに跨ってクランプ操作部材６が取付けられていて、このクランプ操作部材６は、ボルト６ａとナット６ｂとで構成されている。
【０００５】
上記特許文献１では、大掛かりな真空装置が必要であるうえ、ダイシング加工を吸着工程とは別工程として行う必要がある等の理由から、大量生産には向くが少量生産には向かないという問題がある。
【０００６】
一方、上記ダイシング用治具７は、シリコンウェハー１をダイシングシート２に粘着させてカセットリング３の上に載せ、カセットリング３を迫り上げて、ダイシングシート２をカセットリング３に張ることでシリコンウェハー１からチップ１ａを自然に切り離すことができるから、少量生産向きであって、大掛かりな装置もいらないこともあって現在でも採用され続けている。
【０００７】
ところで、ダイシングシート２の周縁部をカセットリング３の外周縁にクランプリング５で締め付けてクランプする作業は、ダイシングシート２をカセットリング３に強く張って延伸させた状態で、ダイシングシート２の周縁部にクランプリング５を嵌め合わせて、ボルト６ａとナット６ｂをねじ込み操作することで、カセットリング３の外周縁にダイシングシート２の周縁部をクランプリング５で締め付けてクランプするようにしている。
【特許文献１】特開平２−１３０１０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記クランプ作業におけるボルト６ａとナット６ｂのねじ込み操作は、強く張って延伸させた状態のダイシングシート２をさらに延伸させながらクランプしなければならないことから、多大なトルクを必要とするので、まず電動ドライバーで有る程度ねじ込んでおき、ついで手動ドライバーで仕上げねじ込みするようにしている。
【０００９】
したがって、電動ドライバーと手動ドライバーとを使い分けてクランプ作業をしなければならないので、作業性が極めて悪いうえに時間もかかり、しかもねじ込み量は作業者の感にたよっているので、クランプ力がバラツキやすいという問題があった。
【００１０】
しかも、ダイシング用治具７によるダイシング工程は、全てクリーンルーム内で行わなければならないが、クリーンルーム内でボルト６ａとナット６ｂのねじ込み操作をした場合、ドライバー用溝の欠損やねじ部分の摩擦欠損などによって金属粉が発生し、この金属粉がダイシング工程に悪影響を与えるという問題もあった。
【００１１】
本発明は、上記問題を解消するためになされたもので、クランプ作業が軽力によりワンタッチで行えるとともに、金属粉が発生しないダイシング用治具を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、チップ用切れ目付きシリコンウェハーを表面に粘着させたダイシングシートがカセットリングの上に載せられ、ダイシングシートの端部を係止した状態でカセットリングが迫り上げられ、ダイシングシートをカセットリングに強く張って延伸させることでシリコンウェハーからチップが自然に切り離された後に、ダイシングシートの周縁部をカセットリングの外周縁にクランプリングで締め付けてクランプするようにしたダイシング用治具であって、
上記クランプリングに形成された切断部の対向する切断端部に跨ってクランプ操作部材が取付けられ、このクランプ操作部材は、一方の切断端部に固定された第１基台と、他方の切断端部に固定された第２基台と、第２基台にヒンジ軸部で上下回動可能に支持された手操作レバーと、第１基台と手操作レバーとを連結するばね部材とで構成されて、手操作レバーを上回動させたときに、クランプリングが拡径されるとともに、手操作レバーを下回動させたときに、ばね部材で第１基台が引かれてクランプリングが縮径されることにより、ダイシングシートの周縁部がカセットリングの外周縁に締め付けられてクランプされるようにしたことを特徴とするものである。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１記載のダイシング用治具であって、手操作レバーを下回動させたときに、第１基台のばね連結部に対して、手操作レバーのばね連結部が低位置となるように設定されていることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１または２記載のダイシング用治具であって、手操作レバーに、ヒンジ軸部が嵌合する前後方向の長穴が形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイシング用治具であって、第１基台のばね連結部は左右に形成されて、一側のばね連結部は、前後方向の長穴に形成され、他側のばね連結部は、前が開放された長溝に形成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイシング用治具であって、第２基台に、手操作レバーを下回動位置に係止するストッパー部が形成されていることを特徴とするものである。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載のダイシング用治具であって、手操作レバーの前端下部と後端下部とに丸みが付けられていることを特徴とするものである。
【００１８】
請求項７の発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載のダイシング用治具であって、クランプリングの各切断端部に丸みが付けられていることを特徴とするものである。
【００１９】
請求項８の発明は、請求項１〜７のいずれか１項に記載のダイシング用治具であって、上記クランプリングに取付けられたクランプ操作部材の全幅は、カセットリングの厚みよりも狭く設定されていることを特徴とするものである。
【００２０】
請求項９の発明は、チップ用切れ目付きシリコンウェハーを表面に粘着させたダイシングシートがカセットリングの上に載せられ、ダイシングシートの端部を係止した状態でカセットリングが迫り上げられ、ダイシングシートをカセットリングに強く張って延伸させることでシリコンウェハーからチップが自然に切り離された後に、ダイシングシートの周縁部をカセットリングの外周縁にクランプリングで締め付けてクランプするようにしたダイシング用治具であって、
上記クランプリングに形成された切断部の対向する切断端部に跨ってクランプ操作部材が取付けられ、このクランプ操作部材は、一方の切断端部に一端部が連結されたばね部材と、他方の切断端部にヒンジ軸部で上下回動可能に支持された手操作レバーとで構成されて、上記ばね部材の他端部は手操作レバーに連結されていて、手操作レバーを上回動させたときに、クランプリングが拡径されるとともに、手操作レバーを下回動させたときに、ばね部材で一方の切断端部が引かれてクランプリングが縮径されることにより、ダイシングシートの周縁部がカセットリングの外周縁に締め付けられてクランプされるようにしたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１の発明によれば、カセットリングにダイシングシートを張った状態で、拡径させたクランプリングをダイシングシートの周縁部に嵌め合わせた後に、テコ力の利用で手操作レバーを下回動させると、クランプリングが縮径されることにより、ダイシングシートの周縁部がカセットリングの外周縁に締め付けられてクランプされるようになる。
【００２２】
このように、手操作レバーを軽い力で下回動させるというワンタッチ操作で、簡単かつ短時間でダイシングシートをバラツキ無くクランプできるようになる。また、クランプ操作部材の操作にドライバー等の工具が不要になるとともに、工具やボルト・ナットを用いることに起因する金属粉などが発生しなくなる。
【００２３】
請求項２の発明によれば、手操作レバーを下回動させたときに、第１基台のばね連結部よりも手操作レバーのばね連結部が低位置となるから、手操作レバーが下回動方向に自己保持されて、不用意に上回動するおそれがなくなる。
【００２４】
請求項３の発明によれば、手操作レバーに、ヒンジ軸部が嵌合する前後方向の長穴を形成したから、手操作レバーを下回動させるときに、手操作レバーの前端部がダイシングシートに接触すると、長穴によって手操作レバーが後方に移動するので、ダイシングシートを切り裂くおそれがなくなる。
【００２５】
請求項４の発明によれば、第１基台のばね連結部に長穴と長溝とを形成したから、長穴によって第１基台のばね連結部からばね部材が外れないとともに、長穴と長溝とによって第１基台に対するばね部材の前後左右の遊びを大きくとれるので、クランプリングの切断端部同士が互い違いになっていても、手操作レバーを無理に下回動させれば、切断端部同士が相互に引き寄せられて対向しながらクランプできるようになる。
【００２６】
請求項５の発明によれば、第２基台に、手操作レバーを下回動位置に係止するストッパー部を形成したから、下回動位置から上回動を規制すれば、手操作レバーを下回動位置に確実に保持できるとともに、下回動を規制すれば、手操作レバーの後端下部でダイシングシートを切り裂くおそれがなくなる。
【００２７】
請求項６の発明によれば、手操作レバーの前端下部と後端下部とに丸みを付けたから、ダイシングシートを切り裂くおそれがなくなる。
【００２８】
請求項７の発明によれば、クランプリングの各切断端部に丸みを付けたから、ダイシングシートを切り裂くおそれがなくなる。
【００２９】
請求項８の発明によれば、クランプ操作部材の全幅をカセットリングの厚みよりも狭く設定したから、不使用時にはカセットリングを厚み方向に安定に重ね置きできるので、置きスペースが少なくなる。
【００３０】
請求項９の発明によれば、カセットリングにダイシングシートを張った状態で、拡径させたクランプリングをダイシングシートの周縁部に嵌め合わせた後に、テコ力の利用で手操作レバーを下回動させると、クランプリングが縮径されることにより、ダイシングシートの周縁部がカセットリングの外周縁に締め付けられてクランプされるようになる。
【００３１】
このように、手操作レバーを軽い力で下回動させるというワンタッチ操作で、簡単かつ短時間でダイシングシートをバラツキ無くクランプできるようになる。また、クランプ操作部材の操作にドライバー等の工具が不要になるとともに、工具やボルト・ナットを用いることに起因する金属粉などが発生しなくなる。さらに、クランプ操作部材の構成部品としては、ばね部材と手操作レバーとヒンジ軸部とであるから、部品点数が極めて少なく、溶接等による固定も無いので、コスト安に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、従来技術と同一構成・作用の箇所は、同一番号を付して詳細な説明を省略する。
【００３３】
図６（ｃ）を参照すれば、本実施形態では、例えば、シリコンウェハー１は、５〜６インチサイズの円形状のものであり、ダイシングシート２は、０．０３〜０．１ｍｍ厚の延伸性プラスチックフィルム製であり、カセットリング３は、内径Ｄ１が２５０ｍｍ、外径Ｄ２が２６４ｍｍ、厚みｔが１０ｍｍの鉄製リングであり、クランプリング５は、直径が２．６ｍｍのばね棒材をリング状に丸めて、カセットリング３の外周縁のリング溝３ａに嵌り合う内径に設定したステンレス製である。なお、各サイズや材質は、参考に掲示したものであって、これらに限られることはない。
【００３４】
図１に示すように、上記クランプリング５に形成された切断部の対向する切断端部５ａ，５ｂに跨って第１実施形態のクランプ操作部材１０が取付けられている。上記各切断端部５ａ，５ｂには、切断端がエッジとならいような丸みが付けられている（図２参照）。
【００３５】
図２（ａ）は、クランプ操作部材１０の手操作レバー１１を下回動（矢印ｂ参照）させたクランプ状態の側面図、同（ｂ）は、手操作レバー１１を上回動（矢印ｃ参照）させたアンクランプ状態の側面図、図３（ａ）は、図２（ａ）の反対側から見た手操作レバー１１を下回動させたクランプ状態の側面図、同（ｂ）は、図２（ｂ）の反対側から見た手操作レバー１１を上回動させたアンクランプ状態の側面図、図４は、クランプ操作部材１０の分解斜視図である。
【００３６】
上記クランプリング５の一方の切断端部５ａの外周には、第１基台１２が溶接固定されるとともに、他方の切断端部５ｂの外周には、第２基台１３が溶接固定されている。
【００３７】
第１基台１２は、切断端部５ａに固定されるベース部１２ａと、このベース部１２ａの前側で左右から立ち上がった一対のヒンジ用立ち上がり部１２ｂとで構成されている。上記各立ち上がり部１２ｂの内、一側には前後方向の長穴（ばね連結部）１２ｃが形成されるとともに、他側には、前が開放された長溝（ばね連結部）１２ｄが形成されている。
【００３８】
第２基台１３は、切断端部５ｂに固定されるベース部１３ａと、このベース部１３ａの前側で左右から立ち上がった一対のヒンジ用立ち上がり部１３ｂと、後側中央から立ち上がったストッパー部１３ｃとで構成されている。上記各立ち上がり部１３ｂにはピン穴１３ｄがそれぞれ形成されている。なお、ストッパー部１３ｃについては、後で詳細に説明する。
【００３９】
正面視で略逆Ｕ字状に折り曲げられた手操作レバー１１が設けられ、この手操作レバー１１の左右の立ち下がり部１１ａは、第２基台１３の立ち上がり部１３ｂに外側から嵌り込む内幅に設定されるとともに、その前側には、第２基台１３の各ピン穴１３ｄに対応する前後方向の長穴１１ｂがそれぞれ形成されていて、各長穴１１ｂと各ピン穴１３ｄとに跨ってヒンジピン（ヒンジ軸部）１４が圧入されるようになる。このヒンジピン１４によって、手操作レバー１１は第２基台１３で上下回動可能に支持されるようになる。
【００４０】
上記手操作レバー１１の立ち下がり部１１ａの前端下部１１ｉと後端下部１１ｊとには丸みが付けられている。
【００４１】
上記手操作レバー１１の後側には、一方の立ち下がり部１１ａの上端から内方に折り曲げられた指引っ掛け部１１ｃが形成されるとともに、この指引っ掛け部１１ｃの前端と他方の立ち下がり部１１ａの後端との間に、上記第２基台１３のストッパー部１３ｃが入り込み可能な切欠き１１ｄが形成されている。
【００４２】
上記第２基台１３のストッパー部１３ｃには、手操作レバー１１が下回動位置に下回動されたときに、手操作レバー１１の切欠き１１ｄの肩部１１ｅを下方から当て止めて、それ以上の下回動を規制する下回動ストッパー部１３ｅが設けられるとともに、切欠き１１ｄの前縁１１ｇと干渉しないよう前方に屈曲された上回動ストッパー部１３ｆが設けられている。
【００４３】
この上回動ストッパー部１３ｆには、ストッパー屈曲部１３ｇ（図２参照）が形成されていて、手操作レバー１１が下回動位置に下回動されるときに、切欠き１１ｄの前縁１１ｇがストッパー屈曲部１３ｇに当接して、上回動ストッパー部１３ｆを前方に撓ませながらストッパー屈曲部１３ｇを乗り越えることにより、手操作レバー１１の切欠き１１ｄの前縁１１ｇを上方から当て止めて、下回動位置からの上回動を規制するようになる。
【００４４】
ばね棒材が平面視で略Ｕ字状に折り曲げられるとともに、側面視で略台形状に屈曲されたばね部材１５が設けられ、このばね部材１５の前端連結部１５ａが第１基台１２の長穴１２ｃと長溝１２ｄとに貫通されて、第１基台１２で上下回動可能に支持されるようになる。
【００４５】
このばね部材１５の後端内曲げ部１５ｂは、上記手操作レバー１１の立ち下がり部１１ａの後側の形成した差し込み穴（ばね連結部）１１ｈに差し込まれて、抜け外れないよう屈曲されるようになる。
【００４６】
この差し込み穴１１ｈは、手操作レバー１１を下回動させたときに、第２基台１３のピン穴１３ｄ（ヒンジピン１４）に対して低位置となるように設定されている。
【００４７】
上記ばね部材１５によって、第１基台１２と手操作レバー１１とが連結されるようになる。
【００４８】
上記クランプリング５に取付けられたクランプ操作部材１０の全幅Ｗ（図１参照）は、カセットリング３の厚みｔ〔図６（ｃ）参照〕よりも狭く設定されている。上述のサイズ例で、カセットリング３の厚みが１０ｍｍであれば、それ以下、例えば９ｍｍに設定されている。
【００４９】
上記第１実施形態のクランプ操作部材１０の構成であれば、カセットリング３にダイシングシート２を張った状態で、拡径させたクランプリング５をダイシングシート２の周縁部に嵌め合わせた後に、手操作レバー１１をテコ力で下回動させると、クランプリング５が縮径されることにより、ダイシングシート２の周縁部がカセットリング３の外周縁のリング溝３ａに締め付けられてクランプされるようになる。
【００５０】
したがって、手操作レバー１１を軽い力で下回動させるというワンタッチ操作で、簡単かつ短時間でダイシングシート２をバラツキ無くクランプできるようになる。また、クランプ操作部材１０の操作にドライバー等の工具が不要になるとともに、工具やボルト・ナットを用いることに起因する金属粉などが発生しなくなる。
【００５１】
また、手操作レバー１１を下回動させたときに、第２基台１３のピン穴（ばね連結部）１３ｄよりも手操作レバー１１の差し込み穴（ばね連結部）が低位置となるから、手操作レバー１１が下回動方向に自己保持されて、不用意に上回動するおそれがなくなる。
【００５２】
さらに、手操作レバー１１に、ヒンジピン１４が嵌合する前後方向の長穴１１ｂを形成したから、手操作レバー１１を下回動させるときに、手操作レバー１１の前端部がダイシングシート２に接触すると、長穴１１ｂによって手操作レバー１１が後方に移動するので、ダイシングシート２を切り裂くおそれがなくなる。
【００５３】
さらにまた、第１基台１３のばね連結部として長穴１３ｃと長溝１３ｄとを形成したから、長穴１３ｃによってばね部材１５が外れないとともに、長穴１３ｃと長溝１３ｄとによって第２基台１３に対するばね部材１５の前後左右の遊びを大きくとれるので、クランプリング５の切断端部５ａ，５ｂ同士が互い違いになっていても、手操作レバー１１を無理に下回動させれば、切断端部５ａ，５ｂ同士が相互に引き寄せられて対向しながらクランプできるようになる。因みに、長穴１３ｃと長溝１３ｄではない丸穴だけでは、手操作レバー１１を無理に下回動させれば、ばね部材１５が変形若しく破損することがある。
【００５４】
さらに、第２基台１３に、手操作レバー１１を下回動位置に係止するストッパー部１３ｃを形成したから、上回動ストッパー部１３ｆで下回動位置から上回動を規制すれば、手操作レバー１１を下回動位置に確実に保持できるとともに、下回動ストッパー部１３ｅで下回動を規制すれば、手操作レバー１１の後端下部１１ｊでダイシングシート２を切り裂くおそれがなくなる。
【００５５】
また、手操作レバー１１の前端下部１１ｉと後端下部１１ｊとに丸みを付けたから、ダイシングシート２を切り裂くおそれがなくなる。
【００５６】
さらに、クランプリング５の各切断端部５ａ，５ｂに丸みを付けたから、ダイシングシート２を切り裂くおそれがなくなる。
【００５７】
また、クランプ操作部材１０の全幅Ｗをカセットリング３の厚みｔよりも狭く設定したから、不使用時にはカセットリング３を厚み方向に安定に重ね置きできるので、置きスペースが少なくなる。
【００５８】
図５に示すように、上記クランプリング５に形成された切断部の対向する切断端部５ａ，５ｂに跨って第２実施形態のクランプ操作部材２０が取付けられている。
【００５９】
図５（ａ）は、クランプ操作部材２０の手操作レバー２１を下回動（矢印ｂ参照）させたクランプ状態の平面図、同（ｂ）は、（ａ）の側面図、同（ｃ）は、手操作レバー２１を上回動（矢印ｃ参照）させたアンクランプ状態の側面図である。
【００６０】
上記クランプリング５の各切断端部５ａ，５ｂはそれぞれ外方に立ち上げられている。また、平面視でコ字状に折り曲げるとともに側面視で円弧状に湾曲させたばね部材２２と、平面視でＬ字状に折り曲げた手操作レバー２１とが設けられている。
【００６１】
上記一方の切断端部５ａに開けられた小穴に上記ばね部材２２の一端部２２ａが差し込まれて先端を折り曲げることにより、ばね部材２２は、切断端部５ａで上下回動可能かつ抜脱不能に支持されるようになる。
【００６２】
上記他方の切断端部５ｂに開けられた小穴と上記手操作レバー２１の前端部２１ａの小穴とにヒンジピン（ヒンジ軸部）２３が圧入され、このヒンジピン２３によって、手操作レバー２１は、切断端部５ｂで上下回動可能に支持されるようになる。
【００６３】
上記ばね部材２２の他端部２２ｂは、手操作レバー２１の側部の小穴に差し込まれて先端を折り曲げることにより、上下回動可能かつ抜脱不能に支持されるようになる。
【００６４】
上記手操作レバー２１の後側には、内方に折り曲げられた折り曲げ部２１ｂが形成されるとともに、他方の切断端部５ｂ側のクランプリング５には、手操作レバー２１が下回動されたときに、折り曲げ部２１ｂを上回動しないように係止するための湾曲ストッパー部５ｃが形成されている。この手操作レバー２１の折り曲げ部２１ｂを湾曲ストッパー部５ｃで係止するためには、図５（ａ）の矢印ｄのように、手操作レバー２１とともに折り曲げ部２１ｂを側方に変位させながら、側方から湾曲ストッパー部５ｃに嵌め込むようにする。なお、折り曲げ部２１ｂが湾曲ストッパー部５ｃから抜け外れにくいようにするために、折り曲げ部２１ｂの上縁に湾曲ストッパー部５ｃに係合する凹部等を形成しておくことが望ましい。
【００６５】
上記第２実施形態のクランプ操作部材２０の構成であれば、カセットリング３にダイシングシート２を張った状態で、拡径させたクランプリング５〔図５（ｃ）参照〕をダイシングシート２の周縁部に嵌め合わせた後に、手操作レバー２１をテコ力で下回動させると〔図５（ｂ）参照〕、ばね部材２２で一方の切断端部５ａが引かれてクランプリング５が縮径されることにより、ダイシングシート２の周縁部がカセットリング３の外周縁のリング溝３ａに締め付けられてクランプされるようになる。
【００６６】
したがって、手操作レバー２１を軽い力で下回動させるというワンタッチ操作で、簡単かつ短時間でダイシングシート２をバラツキ無くクランプできるようになる。また、クランプ操作部材２０の操作にドライバー等の工具が不要になるとともに、工具やボルト・ナットを用いることに起因する金属粉などが発生しなくなる。
【００６７】
また、クランプリング５に手操作レバー２１を下回動位置に係止するストッパー部５ｃを形成したから、手操作レバー２１を下回動位置に確実に保持できる。
【００６８】
さらに、クランプ操作部材２０の構成部品としては、ばね部材２２と手操作レバー２１とヒンジピン２３とであるから、部品点数が極めて少なく、溶接等による固定も無いので、コスト安に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係る第１実施形態のクランプ操作部材を取付けたクランプリングであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図２】（ａ）は、手操作レバーを下回動させたクランプ状態の側面図、（ｂ）は、手操作レバーを上回動させたアンクランプ状態の側面図である。
【図３】（ａ）は、図２（ａ）の反対側から見た手操作レバーを下回動させたクランプ状態の側面図、（ｂ）は、図２（ｂ）の反対側から見た手操作レバーを上回動させたアンクランプ状態の側面図である。
【図４】クランプ操作部材の分解斜視図である。
【図５】本発明に係る第２実施形態のクランプ操作部材を取付けたクランプリングであり、（ａ）は手操作レバーを下回動させたクランプ状態の平面図、（ｂ）は（ａ）の側面図、（ｃ）は手操作レバーを上回動させたアンクランプ状態の側面図である。
【図６】従来のダイシング用治具の使用説明図であり、（ａ）はシリコンウェハーの平面図、（ｂ）はシリコンウェハーを粘着させたダイシングシートの平面図、（ｃ）はカセットリングの上にダイシングシートを載せた側面断面図である。
【図７】従来のダイシング用治具の使用説明図であり、（ａ）は、カセットリングを迫り上げてダイシングシートを強く張って延伸させた状態の平面図、（ｂ）は（ａ）の側面断面図、（ｃ）は、ダイシングシートの周縁部をカセットリングの外周縁にクランプリングで締め付けてクランプした状態の平面図、（ｄ）は（ｃ）の側面断面図である。
【図８】従来のクランプ操作部材を取付けたクランプリングであり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１      シリコンウェハー
１ａ    チップ
２      ダイシングシート
３      カセットリング
５      クランプリング
５ａ，５ｂ  切断端部
５ｃ    湾曲ストッパー部
１０    クランプ操作部材
１１    手操作レバー
１１ｄ  長穴
１２    第１基台
１２ａ  長穴（ばね連結部）
１２ｂ  長溝（ばね連結部）
１３    第２基台
１３ｃ  ストッパー部
１３ｅ  下回動ストッパー部
１３ｆ  上回動ストッパー部
１４    ヒンジピン（ヒンジ軸部）
１５    ばね部材
Ｗ      全幅
２０    クランプ操作部材
２１    手操作レバー
２２    ばね部材
２２ａ  一端部
２２ｂ  他端部
２３    ヒンジピン（ヒンジ軸部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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