(57)【要約】【課題】板状部材の剛性を損なうことなく、開孔の小さい孔を精度良く貫通加工でき、積層時に流体漏れ等の不具合を引き起こす心配のない板状部材の積層構造およびその製造方法の提供を目的とするものである。【解決手段】貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材が積層され、前記貫通孔が流体の流路として構成される板状部材構造において、エッチングにより板状部材１に貫通孔６より大きい孔３を形成させ、その孔３に樹脂４を充填させ、充填物４にレーザー７により形成された貫通孔６を有する。これにより、板状部材の板厚に対して開口径が小さく精度の良い貫通孔を穿設できるとともに、バリやダレといった積層不良を引き起こすことも防止できる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材が積層され、前記貫通孔が流体の流路として構成される板状部材構造において、
エッチングにより板状部材に形成した前記貫通孔より大きい孔に樹脂を充填し、該充填物にレーザー加工により形成された貫通孔を有することを特徴とする板状部材構造。
【請求項２】
貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材が積層され、前記貫通孔が流体の流路として構成される板状部材構造において、
エッチングにより板状部材に形成した前記貫通孔より大きい孔に光感光性樹脂を充填し、該充填物にフォトリソグラフィにより形成された貫通孔を有することを特徴とする板状部材構造。
【請求項３】
前記板状部材は、インクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドの少なくとも一部を構成するプレートであり、前記貫通孔は前記ノズルであることを特徴とする請求項１または２に記載の板状部材構造。
【請求項４】
前記板状部材を含む複数のプレートを積層して構成し、前記各ノズルから噴射するインクを加圧するための圧力室と、その各圧力室にインクを供給するための共通インク室とを形成する両プレート間に前記板状部材を配置し、前記貫通孔は前記圧力室と共通インク室とを連通する絞り部であることを特徴とする請求項１または２に記載の板状部材構造。
【請求項５】
貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材を積層し、前記貫通孔が流体の流路として構成する板状部材構造の製造方法において、
板状部材にエッチングにより前記貫通孔より大きい孔を形成し、その孔に樹脂を充填し、硬化させた後、その充填物にレーザー加工により貫通孔を形成したことを特徴とする板状部材構造の製造方法。
【請求項６】
貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材を積層し、前記貫通孔が流体の流路として構成する板状部材構造の製造方法において、
板状部材にエッチングにより前記貫通孔より大きい孔を形成し、その孔に光感光性樹脂を充填し、硬化させた後、その充填物にフォトリソグラフィにより貫通孔を形成したことを特徴とする板状部材構造の製造方法。
【請求項７】
前記板状部材は、インクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドの少なくとも一部を構成するプレートであり、前記貫通孔は前記ノズルであることを特徴とする請求項５に記載の板状部材構造の製造方法。
【請求項８】
前記板状部材は、インクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドの少なくとも一部を構成するプレートであり、前記貫通孔は前記ノズルであることを特徴とする請求項６に記載の板状部材構造の製造方法。
【請求項９】
前記板状部材を含む複数のプレートを積層して構成し、前記各ノズルから噴射するインクを加圧するための圧力室と、その各圧力室にインクを供給するための共通インク室とを形成する両プレート間に前記板状部材を配置し、前記貫通孔は前記圧力室と共通インク室とを連通する絞り部であることを特徴とする請求項５に記載の板状部材構造の製造方法。
【請求項１０】
前記板状部材を含む複数のプレートを積層して構成し、前記各ノズルから噴射するインクを加圧するための圧力室と、その各圧力室にインクを供給するための共通インク室とを形成する両プレート間に前記板状部材を配置し、前記貫通孔は前記圧力室と共通インク室とを連通する絞り部であることを特徴とする請求項６に記載の板状部材構造の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貫通孔が形成された少なくとも１枚または複数枚積層された板状部材構造およびその製造方法に関し、例えば、インクジェットヘッド等の多数のノズル孔をもつ積層体に適用されるものである。
【背景技術】
【０００２】
貫通孔が形成された板状部材構造として、例えば特許文献１に記載されているような、インクジェットヘッドのキャビティユニットが知られている。キャビティユニットは、その背面に圧電アクチュエータが接合され、圧電アクチュエータの駆動により、キャビティユニットに設けられたノズルから選択的にインクを噴射して被記録媒体に画像を記録する。
【０００３】
このキャビティユニットは、複数個のノズルを列状に穿設されたノズルプレートと、この各ノズル毎に圧力室を備えたキャビティプレートと、インク供給源からインクを溜めた後に圧力室にインクを供給する共通インク室を備えたマニホールドプレートと、圧力室と共通インク室とに連通し、インクの流量を規制している絞り部を持つベースプレートのような複数枚のプレートを備えており、これらが接着剤を介して積層形成されている。
【特許文献１】特開２００４−２２３８８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このキャビティユニットを構成している、各プレートの中でも特に共通インク室から圧力室へのインクの流量を規制する絞り部と、インクを直接噴射するためのノズルは、インク噴射の品質に直接影響を及ぼすため、孔径が小さく、高い精度の穿設が望まれていた。
【０００５】
しかしながら、こういった絞り部やノズルなどの貫通孔を加工する方法としてウェットエッチングがあるが、エッチング後の表面状態や孔径精度は悪く、高い孔径精度が求められる前記絞り部やノズルにおいては、噴射特性がバラツキやすくなるという問題があった。また貫通加工できる孔径がプレートの板厚寸法によって制限され、一般的には板厚寸法の１．５倍程度が孔径の下限となっている。そのため、孔径の小さい貫通孔を穿設しようとすると、プレートの板厚を薄くする必要があり、プレートの剛性を確保したい場合に問題があった。
【０００６】
また、孔径の小さい貫通孔を穿設する他の方法として、プレス加工や樹脂フィルムへのレーザー加工が挙げられるが、プレス加工では開口の周囲にせん断によるダレ（変形）やバリ（突起）を発生し、これを修復するための後処理が必要であった。また、金型も必要となり、コストがかかってしまう。さらにプレス加工により貫通孔が穿設されたプレートを他のプレートに積層する場合には、前記バリやダレがプレート間の密着を防げるため、接着不良や流体漏れを招来することが問題であった。
【０００７】
樹脂フィルムへレーザー加工する方法は、レーザー加工にて貫通孔を形成した樹脂フィルムをプレートに接合してインクジェットヘッドを製造する。この方法を圧力室に隣接するベースプレートに適用した場合、樹脂フィルム自体の剛性がなく、圧力室の内圧変化を吸収してしまい、インクの噴射特性が低下してしまう。また用紙にインクを噴射するノズルを備えたノズルプレートに適用させた場合、耐摩耗性が劣るため、用紙に接触した時ノズルを傷つけ印字品質を低下させてしまうことがある。このため、接触から保護するためにノズルプレートのインク噴射面側に金属板製の保護プレートを備えつける必要があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解消するものであり、板状部材の剛性を損なうことなく、小さい貫通孔を精度良く加工でき、積層時に流体漏れ等の不具合を引き起こす心配のない板状部材構造およびその製造方法の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、請求項１に記載の発明における板状部材構造では、貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材が積層され、前記貫通孔が流体の流路として構成される板状部材構造において、エッチングにより板状部材に形成した前記貫通孔より大きい孔に樹脂を充填し、該充填物にレーザー加工により形成された貫通孔を有することを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明における板状部材構造は、貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材が積層され、前記貫通孔が流体の流路として構成される板状部材構造において、エッチングにより板状部材に形成した前記貫通孔より大きい孔に光感光性樹脂を充填し、該充填物にフォトリソグラフィにより形成された貫通孔を有することを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明における板状部材は、請求項１または２に記載のものにおいて、インクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドの少なくとも一部を構成するプレートであって、前記貫通孔は前記ノズルであることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１または２に記載のものにおいて、板状部材を含む複数のプレートを積層して構成し、前記各ノズルから噴射するインクを加圧するための圧力室と、その各圧力室にインクを供給するための共通インク室とを形成する両プレート間に前記板状部材を配置し、前記貫通孔は前記圧力室と共通インク室とを連通する絞り部であることを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項５に記載の発明における板状部材構造の製造方法は、貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材を積層し、前記貫通孔が流体の流路として構成する板状部材構造の製造方法において、板状部材にエッチングにより前記貫通孔より大きい孔を形成し、その孔に樹脂を充填し、硬化させた後、その充填物にレーザー加工により貫通孔を形成したことを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項６に記載の発明における板状部材構造の製造方法は、貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材を積層し、前記貫通孔が流体の流路として構成する板状部材構造の製造方法において、板状部材にエッチングにより前記貫通孔より大きい孔を形成し、その孔に光感光性樹脂を充填し、硬化させた後、その充填物にフォトリソグラフィにより貫通孔を形成したことを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項７に記載の発明は、請求項５に記載の板状部材構造の製造方法において、前記板状部材は、インクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドの少なくとも一部を構成するプレートであり、前記貫通孔は前記ノズルであることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項８に記載の発明は、請求項６に記載の板状部材構造の製造方法において、インクを噴射するための複数のノズルを備えるインクジェットヘッドの少なくとも一部を構成するプレートであり、前記貫通孔は前記ノズルであることを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項９に記載の発明は、請求項５に記載の板状部材構造の製造方法であって、前記板状部材を含む複数のプレートを積層して構成し、前記各ノズルから噴射するインクを加圧するための圧力室と、その各圧力室にインクを供給するための共通インク室とを形成する両プレート間に前記板状部材を配置し、前記貫通孔は前記圧力室と共通インク室とを連通する絞り部であることを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項１０に記載の発明は、請求項６における板状部材の製造方法であって、板状部材構造の製造方法であって、前記板状部材を含む複数のプレートを積層して構成し、前記各ノズルから噴射するインクを加圧するための圧力室と、その各圧力室にインクを供給するための共通インク室とを形成する両プレート間に前記板状部材を配置し、前記貫通孔は前記圧力室と共通インク室とを連通する絞り部であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１に記載の発明によれば、エッチングにより板状部材に貫通孔より大きい孔を形成し、樹脂を充填させてレーザー加工により貫通孔を形成することにより、板状部材の剛性を損なうことなく、板厚に対してエッチングのみでは困難な孔径の小さい貫通孔を精度良く形成することができる。また、バリやダレが発生することがないため、板状部材を積層した場合にも接着不良や流体漏れをすることを防止することができる。
【００２０】
請求項２に記載の発明によれば、エッチングにより板状部材に貫通孔より大きい孔を形成し、光硬化性樹脂を充填させてフォトリソグラフィにより貫通孔を形成することにより、板状部材の剛性を損なうことなく、板厚に対してエッチングのみでは困難な直径の小さい貫通孔を精度良く形成することができる。また、バリやダレが発生することがないため、板状部材を積層した場合にも接着不良や流体漏れをすることを防止することができる。
【００２１】
請求項３に記載の発明によれば、インクジェットヘッドの少なくとも１部のプレートにおいて、貫通孔がインクを噴出するノズルであることにより、孔径の小さいノズルを精度良く形成でき、インクの噴射特性のバラツキが少なく、品質の良い印字ができる。また、プレートの剛性を確保したまま、孔径の小さいノズルを形成できるため、用紙がヘッドに接触してノズルを傷つけることを防ぐことができる。さらに、バリやダレが発生することがないため、プレート積層時の接着不良や、インク漏れを防止することができる。
【００２２】
請求項４に記載の発明によれば、貫通孔が圧力室と共通インク室とを連通する絞り部であることにより、プレートの剛性を確保したまま孔径の小さい絞り部が精度良く形成でき、噴射時に発生した圧力室内の圧力が共通インク室へ伝播するのを規制し、圧力室での適正な圧力を保持でき、インクの噴射特性のバラツキを減少できる。また、加工時のバリやダレの発生を防ぐことができるため、プレート積層時の接着不良や、インク流路の接続においてインク漏れを防止することができる。
【００２３】
請求項５に記載の発明によれば、板状部材にエッチングにより貫通孔より大きい孔を形成し、樹脂を充填、硬化させた後、レーザー加工により貫通孔を形成するので、板状部材の剛性を損なうことなく、板厚に対してエッチングのみでは困難な孔径の小さい貫通孔を精度良く形成することができる。また、バリやダレが発生することがないため、板状部材を積層した場合にも接着不良や流体漏れをすることを防ぐことができる。
【００２４】
請求項６に記載の発明によれば、板状部材にエッチングにより貫通孔より大きい孔を形成し、その孔に光感光性樹脂を充填し、充填物にフォトリソグラフィにより貫通孔を形成するので、板状部材の剛性を損なうことなく、板厚に対してエッチングのみでは困難な孔径の小さい貫通孔を精度良く形成することができる。また、バリやダレが発生することがないため、板状部材を積層した場合にも接着不良や流体漏れをすることを防止することができる。
【００２５】
請求項７、８に記載の発明によれば、インクジェットヘッドの少なくとも１部のプレートにおいて、貫通孔がインクを噴出するノズルであるため、孔径の小さいノズルを精度良く形成され、インクの噴射特性のバラツキが少なく、品質の良い印字ができる。また、バリやダレの発生を防ぐことができるため、プレート積層時の接着不良や、インク漏れを防止することができる。また、プレートの剛性を確保したまま、孔径の小さいノズルを形成できるため、用紙がヘッドに接触してノズルを傷つけることを防ぐことができる。さらに、加工時のバリやダレが発生することがないため、プレート積層時の接着不良や、インク漏れを防止することができる。
【００２６】
請求項９，１０に記載の発明によれば、貫通孔が圧力室と共通インク室とを連通する絞り部であるため、プレートの剛性を確保したまま孔径の小さい絞り部が精度良く形成でき、噴射時に発生した圧力室内の圧力が共通インク室へ伝播するのを規制することができ、圧力室での適正な圧力を保持でき、インクの噴射特性のバラツキを減少できる。また、加工時のバリやダレの発生を防ぐことができるため、プレート積層時の接着不良や、流路の接続でのインク漏れを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について、図面に基づいて説明する。図１は第１の実施形態の板状部材構造およびその製造方法を示す。
【００２８】
図１に示す第１の実施形態は、板状部材１にエッチングにより後述する所望の貫通孔より大きい孔３を形成し、孔３に樹脂４を充填させ、充填物４にレーザー７にて貫通孔６を形成するものである。はじめに、金属製の板状部材１は所望の貫通孔よりも大きい孔３を形成するためにレジスト膜２が両面に塗布または焼き付けられている。公知のとおり孔３に対応する部分をマスキングしてレジスト膜２を露光後、マスキングし露光されなかったレジスト膜のみをキシレン系有機溶剤により溶解させるネガフォトレジスト法によりレジスト膜に開口２ａの形成を行った。このレジスト膜の除去は、露光された部分が溶剤によって可溶となるポジフォトレジスト法を用いても良い。
【００２９】
次に図１（ａ）に示すように、孔３の部分のレジスト膜に開口２ａが形成された金属製の板状部材１の両面にエッチング液を噴霧し、エッチング処理をさせ、板状部材１に貫通孔６よりも大きい孔３を形成する。続いて、図１（ｂ）のように、エッチングした孔３に溶融した樹脂４を充填し、ヘラ８やローラーを用いてその樹脂４を板状部材１の上下両表面と同一平面にならし、硬化させる。ここで樹脂４はポリイミドを用いたが、他にポリアミド、エポキシなどの熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、光硬化性樹脂など熱や光によって硬化する樹脂が使用できる。次に、図１（ｃ）のように、充填した樹脂４にレーザー７を露光しアブレーションによって所望の孔径の貫通孔６を形成した。エッチングにより形成された孔３の孔径３（ａ）は、レーザー光７で形成させた貫通孔６の孔径（テーパの大きい側）の１．２〜２倍である。また、孔３は、板状部材１の両面からそれぞれエッチングにより円弧状に形成されることで、板状部材１の板厚方向の中間に、板厚方向表面での開口部よりも小径の張出部３ａが形成され、これにより、充填物４が孔３から脱落しないように保持される。
【００３０】
図２は、第２の実施形態の板状部材構造およびその製造方法を示す。この第２の実施形態は、板状部材１の孔３に充填した樹脂４に貫通孔１０をフォトリソグラフィによって形成するものである。金属製の板状部材１は、前記第１の実施形態と同様に表面にレジスト膜２を形成し、孔３に対応する部分２ａのレジスト膜を除去して、図２（ａ）のように金属製の板状部材１をウェットエッチング処理によって、所望の貫通孔１０よりも大きい孔３を形成する。
【００３１】
次に図２（ｂ）のように、エッチング処理された孔３に光感光性樹脂１１をヘラ８やローラーで充填させる。樹脂は、感光性エポキシを用いたが、他に感光性のウレタン系樹脂や感光性のポリエステル系樹脂なども使用できる。続いて、図２（ｃ）のように光感光性樹脂１１の表面上に、貫通孔１０の形成される部分をマスク１２ａにより覆って光透過膜１２を形成し、光感光性樹脂１１を露光後、マスク１２ａにより露光されなかった部分のみをキシレン系有機溶剤により溶解させるネガフォトレジスト法により、図２（ｄ）のような貫通孔１０を形成させた。この貫通孔１０の形成は、露光された部分が溶剤によって可溶となるポジフォトレジスト法を用いても良い。
【００３２】
エッチングにより形成された孔３の孔径３（ａ）は、貫通孔径１０の直径の１．２〜２倍である。
【００３３】
図３、４は、上記各実施形態の板状部材構造を圧電式のインクジェットヘッド１００に適用した例を示すもので、インクジェットヘッド１００は、金属製の複数枚のプレートを備えるキャビティユニット３０にプレート型の圧電アクチュエータ２０が接合され、このプレート型の圧電アクチュエータ２０の上面に外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブル２４が重ね接合されている。そして、キャビティユニット３０の下面側に開口されたノズル５０から、下向きにインクが噴射するものとする。
【００３４】
前記キャビティユニット３０は、図３に示すように、ノズルプレート３１、スペーサプレート３２、２枚のマニホールドプレート３３ａ、３３ｂ、ベースプレート３４、およびキャビティプレート３５の合計６枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合した構造となっている。
【００３５】
実施形態では、各プレート３１〜３５は５０〜１５０μｍ程度の厚さを有し、４２％ニッケル合金鋼板製である。前記ノズルプレート３１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク噴射用のノズル５０が微小間隔で多数個穿設されている。このノズル５０は、当該ノズルプレート３１における長辺方向（図３の紙面に直角な方向、図４のＸ方向）に沿って、千鳥配列状で２列に配列されている。
【００３６】
また、前記キャビティプレート３５は、図３、４のように複数の圧力室４５がキャビティプレート３５の長辺方向に沿って、千鳥配列状で２列に配列されている。実施形態では、前記各圧力室４５は、平面視細長形状に形成され、その長手方向がキャビティプレート３５の短辺方向に沿うようにして穿設され、長手方向の一端部４５ａがノズル５０と連通し、他端部４５ｂが後述する共通インク室４９と連通する。
【００３７】
各圧力室４５における一端部４５ａは、ベースプレート３４、２枚のマニホールドプレート３３ｂ、３３ａ、スペーサプレート３２に、同じく千鳥配列状にて穿設されている微小径の連通孔４６を介して、ノズルプレート３１における前記各ノズル５０に連通している。
【００３８】
キャビティプレート３５の下面に隣接するベースプレート３４には、各圧力室４５の他端部４５ｂに接続する絞り部４８が穿設されている。
【００３９】
この絞り部４８は、後述する共通インク室４９から前記各圧力室４５へインクを供給し、流路抵抗となるように断面積を小さくして形成されている。
【００４０】
２枚のマニホールドプレート３３ａ、３３ｂには、その長辺方向に沿って長い２つの共通インク室が前記ノズル５０の各列に沿って延びるように板厚を貫通して形成されている。すなわち、図３に示すように、２枚のマニホールドプレート３３ａ、３３ｂを積層し、かつその上面をベースプレート３４で覆い、下面をスペーサプレート３２にて覆うことにより、合計２つの共通インク室（マニホールド室）４９が密閉状に形成される。各共通インク室４９は、各プレートの積層方向から平面視したときに、図４のように前記圧力室４５の一部と重なって圧力室４５の列方向（ノズル５０の列方向）に沿って長く延びている。
【００４１】
各共通インク室４９の一端部は、インク供給口（図示せず）を介してインク供給源に連通している。
【００４２】
インク供給口からノズル５０に至るインク流通路では、インクは、インク供給口からインク供給チャンネルとしての共通インク室４９に供給された後、ベースプレート３４の絞り部４８を経由して各圧力室４５に分配供給される。そして、圧電アクチュエータ２０の駆動により、インクは各圧力室４５内から前記連通孔４６を通って、その圧力室４５に対応するノズル５０に至るという構成になっている。
【００４３】
一方、圧電アクチュエータ２０は、特開平４−３４１８５３号公報等に開示された公知のものと同様に、複数枚の圧電シート２１を積層した構造で、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シートのうち下から偶数段目の圧電シート２１ｂの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット３５における各圧力室４５に対応した箇所ごとに細幅の個別電極２３が長辺方向に沿って列状に形成されている。下から奇数段目の圧電シート２１ａの上面（広幅面）には、複数個の圧力室４５に対して共通のコモン電極２２が形成されている。
【００４４】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２０における下面（圧力室４５と対面する広幅面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着材シート（図示せず）を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット３０に対して、圧電アクチュエータ２０が、その各個別電極を前記キャビティユニット３０における各圧力室４５の各々に対応させて接着・固定される。また、この圧電アクチュエータ２０における上側の表面には、前記各電極に接続される配線パターンを有する前記フレキシブルフラットケーブル２４が固定される。
【００４５】
前記図１および図２に示した板状部材構造は、好ましくはノズルプレート３１またはベースプレート３４もしくはその双方に適用される。
【００４６】
ノズルプレート３１には、前記図１および図２で説明したものと同様に、ノズル５０の孔径よりも大きい孔５１ｂが形成され、この孔５１ｂに充填された樹脂充填物５１ａにレーザー加工、またはフォトリソグラフィにより貫通孔としてのノズル５０が形成されている。図３では２列のノズル５０が相互に近接しているために、孔５１ｂおよび充填物５１ａを、全ノズルを内包する大きさに形成しているが、各ノズルごと、あるいは数個のノズルごとに独立した形状に形成することもできる。レーザー加工でノズル５０を形成するとき、ノズル５０はレーザー光の入射側に孔径が大きいテーパ状に形成されるが、インクジェットヘッドにおいては、インクの噴射方向に径が小さくなるように配置される。
【００４７】
ノズルプレート３１においてノズル５０に対する孔５１ｂの大きさはできるだけ小さいことが好ましい。これにより用紙がノズルプレートに接触しても、ノズル５０周囲の樹脂が損傷することを少なくできる。さらに好ましくは、孔５１ｂに充填する樹脂５１ａとして、硬化時に収縮しやすい材料を使用することで、図５に示すように、ノズル５０周囲の樹脂に用紙が接触する機会をさらに少なくし、ノズル周囲の損傷をなくすことができる。
【００４８】
ベースプレート３４には、前記図１および図２で説明したものと同様に、絞り部４８の孔径よりも大きい孔４７ｂが形成され、この孔４７ｂに充填された樹脂充填物４７ａにレーザー加工、またはフォトリソグラフィにより貫通孔としての絞り部４８が形成されている。
【００４９】
ノズルプレート３１およびベースプレート３４のいずれにおいても、ノズル５０および絞り部４８をウェットエッチングで加工しようとすると、各プレートの板厚寸法に対して、一般的には直径が１．５倍以上の開口しか穿設することができない。しかしながら、上述のように、エッチング加工の孔４７ｂ、５１ｂに樹脂充填させてレーザー加工、またはフォトリソグラフィによりノズル５０および絞り部４８を形成することで、板厚に対して孔径の小さい開口も形成可能にしている。また、エッチングによる加工を選択すると、一般的には表面状態も悪く孔径精度も悪くなってしまう。また、プレス加工を選択するとプレスする側の端面にダレやバリが発生し、他のプレートとの界面にバリがあると、インクの流通路の接続漏れや、積層面の接着不良を起こしてしまう。本発明では、バリによる悪影響がなく、精度の高いノズル５０および絞り部４８を形成することが可能になり、かつ加工がし易くなる。
【００５０】
また、この製造方法によると、同じ孔径の貫通孔を穿設する場合に、ノズルプレート３１およびベースプレート３４の板厚寸法を厚くでき、その各プレートの取り扱いが容易になるだけでなく、インクジェットヘッド全体の剛性を高めることができ、１つの圧力室での噴射による影響が他の圧力室へ及ぶいわゆるクロストークを減少することができる。特に、ベースプレートの板厚を厚くすることで、圧力室で適正な圧力を発生することができる。
【００５１】
また、本発明は、インクジェットヘッドだけでなく、その他の流体のための微小な貫通孔を積層体に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】第１の実施形態の板状部材構造およびその製造方法を示す図であり、（ａ）は板状部材にエッチングによって大きい孔を形成した状態、（ｂ）はエッチング処理された孔に樹脂を充填している状態、（ｃ）は樹脂充填物にレーザー加工し、貫通孔を形成した状態を示す図である。
【図２】第２の実施形態の板状部材構造およびその製造方法を示す図であり、（ａ）は板状部材にエッチングによって大きい孔を形成した状態、（ｂ）は、エッチング処理された孔に光感光性樹脂を充填している状態、（ｃ）は樹脂充填物表面にマスクを重ね、露光させている状態、（ｄ）は樹脂充填物に貫通孔を形成した状態を示す図である。
【図３】本発明が適用されたインクジェットヘッドの断面図
【図４】本発明が適用されたインクジェットのキャビティユニットの平面図
【図５】他の実施形態のノズルプレートのノズル孔の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１      板状部材
２      レジスト
３      孔
４      樹脂
６      貫通孔
１０    貫通孔
１１    光感光性樹脂
１２ａ  マスク部
２０    圧電アクチュエータ
２１    圧電シート
２２    共通電極
２３    個別電極
３０    キャビティユニット
３１    ノズルプレート
３２    スペーサプレート
３３    マニホールドプレート
３４    ベースプレート
３５    キャビティプレート
４５    圧力室
４６    連通孔
４７ａ  樹脂
４７ｂ    孔
４８    絞り部
４９    共通インク室
５０    ノズル
１００  インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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