(57)【要約】【課題】磁石厚みを極薄にした場合であっても、優れた磁気特性を有する希土類磁石薄板を提供する。【解決手段】添加したTiの一部または全てが固溶したＲ−Ｂ−Fe−Co−Ni−Ti合金  但し、Ｒ（Ｙを含むランタノイドのうちから選んだ少なくとも一種）：10at％以上、        25at％以下、        Ｂ：２at％以上、20at％以下、            Fe：10at％以上、73at％未満、        Co：７at％以上、50at％以下、            Ni：５at％以上、30at％以下、      （Fe＋Co＋Ni）：55at％以上、88at％未満、  Ti：0.5at％以上、３at％以下を用いて製造した希土類磁石であって、TiＢ2相が分散析出したＲ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相を含み、Ｒ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相におけるFe／(Fe＋Co＋Ni)を0.5以下とし、かつ磁石の厚みを50〜300μmとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
添加したTiの一部または全てが固溶したＲ−Ｂ−Fe−Co−Ni−Ti合金
但し、Ｒ（Ｙを含むランタノイドのうちから選んだ少なくとも一種）：10at％以上、            25at％以下、
Ｂ：２at％以上、20at％以下、
Fe：10at％以上、73at％未満、
Co：７at％以上、50at％以下、
Ni：５at％以上、30at％以下、
（Fe＋Co＋Ni）：55at％以上、88at％未満、
Ti：0.5at％以上、３at％以下
を用いて製造した希土類磁石であって、TiＢ2相が分散析出したＲ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相を含み、Ｒ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相におけるFe／(Fe＋Co＋Ni)が0.5以下で、かつ磁石の厚みが50〜300μmであることを特徴とする希土類磁石薄板。
【請求項２】
添加したTiの一部または全てが固溶したＲ−Ｂ−Fe−Co−Ni−Ti−Ga合金
但し、Ｒ（Ｙを含むランタノイドのうちから選んだ少なくとも一種）：10at％以上、            25at％以下、
Ｂ：２at％以上、20at％以下、
Fe：10at％以上、73at％未満、
Co：７at％以上、50at％以下、
Ni：５at％以上、30at％以下、
（Fe＋Co＋Ni）：55at％以上、88at％未満、
Ti：0.5at％以上、３at％以下、
Ga：３at％以下
を用いて製造した希土類磁石であって、TiＢ2相が分散析出したＲ2(Fe，Co，Ni，Ga)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni，Ga)4Ｂ相を含み、Ｒ(Fe，Co，Ni，Ga)4Ｂ相におけるFe／(Fe＋Co＋Ni)が0.5以下で、かつ磁石の厚みが50〜300μmであることを特徴とする希土類磁石薄板。
【請求項３】
請求項１または２において、前記希土類磁石薄板が、厚さ：10〜500μmの基板上に接合されていることを特徴とする希土類磁石薄板。
【請求項４】
請求項３において、前記基板が、Fe，Co，Niのうちから選んだ少なくとも一種を含む合金、または酸化物磁性層であることを特徴とする希土類磁石薄板。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の希土類磁石薄板と回転軸とで構成したロータと、該ロータと空隙を介して軸方向に対向するステータとを備えることを特徴とする薄型モータ。
【請求項６】
前記ロータとステータを平板状に構成したことを特徴とする請求項５記載の薄型モータ。
【請求項７】
前記ステータが、絶縁基板上に電気めっきで作製された平面コイルで構成されたことを特徴とする請求項６記載の薄型モータ。
【請求項８】
請求項７に記載の絶縁基板が、磁性基板の上に絶縁処理を施したものであることを特徴とする薄型モータ。
【請求項９】
請求項７に記載の絶縁基板が、NiZnフェライトであることを特徴とする薄型モータ。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれかに記載の平面コイルが、スパイラル状であることを特徴とする薄型モータ。
【請求項１１】
請求項７〜10のいずれかに記載の平面コイルが、スパイラル状コイルを直列に接続したダブルスパイラル状コイルで構成されたものであることを特徴とする薄型モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、希土類磁石薄板およびこの希土類磁石薄板を用いた薄型モータに関するものである。
上記した薄型モータは、ハードディスクドライブ等の電子機器に搭載して好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
最近の電子機器の小型・薄型化に伴い、そこに搭載される電磁モータのより一層の小型・薄型化が望まれている。例えば、携帯電話への大容量メモリとして、ハードディスクの搭載が検討されており、そこに使用されるモータには極薄構造が要求されている。このような極薄モータを実現するには、その構成部品も小型・薄型化することが必須となる。
【０００３】
従来、電磁モータのロータとしては、希土類焼結磁石や急冷希土類磁石粉末を樹脂にまぜたボンド磁石などが知られているが、さらに薄型化を実現した磁石として、レーザーアブレーション法（ＰＬＤ法）による希土類磁石が特許文献１に提案されている。
【特許文献１】特開2002−270418号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記したように、最近では、磁石の小型・薄型化に対する要求が殊のほか強まっているが、このような状況下における課題を、以下に列挙する。
(1) Nd系の希土類焼結磁石は、粒界層がダメージを受けると保磁力が極端に小さくなり、その劣化厚みが数10μmと大きいため、500μm未満の厚さでの使用は困難である。
(2) Nd系のボンド磁石の場合、板厚を薄くするためには磁石粉末を小さくする必要があるが、粒径を50μm以下にすると磁気特性が低下する傾向にある。このため、薄板にすると粉末磁気特性の低下や磁石密度の低下による磁気特性の低下が避けられず、使用厚み限界は300〜500μm程度と見積もられている。
(3) 上記(1), (2)を解決するものとして、ＰＬＤ法を用いた厚膜Nd系磁石が上掲特許文献１で提案されたが、この磁石は結晶方向がランダムな無配向磁石であるため、大きなエネルギー積を得ることは困難である。
(4) Nd−Fe−Ｂ磁石は耐食性に劣るため、防食コーティングが必須となるが、この皮膜厚みの分ギャップ長が大きくなるので、モータトルクが低下する。特に薄型磁石においてはこの影響が大きい。中でも、Niめっき膜を施すとそれ自身が軟磁性を示すため、板厚みがNiめっき膜に匹敵するほど薄くなった場合には、磁石から発生する磁束が減少する。
(5) ロータには多極着磁を行う必要があるが、モータの小型化に伴いそのパターンが微細化し、着磁がし難いという問題が発生する。特に、上記(2), (3)の磁石は無配向磁石であるため、良好な着磁特性を得ることが困難である。
(6) ステータは銅線を巻いたものを使用するのが一般的であるが、この方法では小型・薄型化が困難である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の目的は、磁石厚みを極薄にした場合であっても、磁束の減少を生じることなく、優れた磁気特性を得ることができる希土類磁石薄板を提案するところにある。
また、本発明の第２の目的は、上記した希土類磁石薄板を用いることにより、従来よりも大幅な小型・薄型化に成功した薄型モータを提案するところにある。
【０００６】
すなわち、本発明の要旨構成は次のとおりである。
（１）添加したTiの一部または全てが固溶したＲ−Ｂ−Fe−Co−Ni−Ti合金
但し、Ｒ（Ｙを含むランタノイドのうちから選んだ少なくとも一種）：10at％以上、            25at％以下、
Ｂ：２at％以上、20at％以下、
Fe：10at％以上、73at％未満、
Co：７at％以上、50at％以下、
Ni：５at％以上、30at％以下、
（Fe＋Co＋Ni）：55at％以上、88at％未満、
Ti：0.5at％以上、３at％以下
を用いて製造した希土類磁石であって、TiＢ2相が分散析出したＲ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相を含み、Ｒ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相におけるFe／(Fe＋Co＋Ni)が0.5以下で、かつ磁石の厚みが50〜300μmであることを特徴とする希土類磁石薄板。
【０００７】
（２）添加したTiの一部または全てが固溶したＲ−Ｂ−Fe−Co−Ni−Ti−Ga合金
但し、Ｒ（Ｙを含むランタノイドのうちから選んだ少なくとも一種）：10at％以上、            25at％以下、
Ｂ：２at％以上、20at％以下、
Fe：10at％以上、73at％未満、
Co：７at％以上、50at％以下、
Ni：５at％以上、30at％以下、
（Fe＋Co＋Ni）：55at％以上、88at％未満、
Ti：0.5at％以上、３at％以下、
Ga：３at％以下
を用いて製造した希土類磁石であって、TiＢ2相が分散析出したＲ2(Fe，Co，Ni，Ga)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni，Ga)4Ｂ相を含み、Ｒ(Fe，Co，Ni，Ga)4Ｂ相におけるFe／(Fe＋Co＋Ni)が0.5以下で、かつ磁石の厚みが50〜300μmであることを特徴とする希土類磁石薄板。
【０００８】
（３）上記（１）または（２）において、前記希土類磁石薄板が、厚さ：10〜500μmの基板上に接合されていることを特徴とする希土類磁石薄板。
【０００９】
（４）上記（３）において、前記基板が、Fe，Co，Niのうちから選んだ少なくとも一種を含む合金、または酸化物磁性層であることを特徴とする希土類磁石薄板。
【００１０】
（５）上記（１）〜（４）のいずれかに記載の希土類磁石薄板と回転軸とで構成したロータと、該ロータと空隙を介して軸方向に対向するステータとを備えることを特徴とする薄型モータ。
【００１１】
（６）前記ロータとステータを平板状に構成したことを特徴とする上記（５）記載の薄型モータ。
【００１２】
（７）前記ステータが、絶縁基板上に電気めっきで作製された平面コイルで構成されたことを特徴とする上記（６）記載の薄型モータ。
【００１３】
（８）上記（７）に記載の絶縁基板が、磁性基板の上に絶縁処理を施したものであることを特徴とする薄型モータ。
【００１４】
（９）上記（７）に記載の絶縁基板が、NiZnフェライトであることを特徴とする薄型モータ。
【００１５】
（10）上記（７）〜（９）のいずれかに記載の平面コイルが、スパイラル状であることを特徴とする薄型モータ。
【００１６】
（11）上記（７）〜（10）のいずれかに記載の平面コイルが、スパイラル状コイルを直列に接続したダブルスパイラル状コイルで構成されたものであることを特徴とする薄型モータ。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、磁石厚みを極薄にした場合であっても、優れた磁気特性を有する希土類磁石薄板を得ることができる。
その結果、本発明によれば、基板と一体化した50〜300μm厚の高性能極薄磁石ロータや平面構造の薄型ステータを得ることができ、これにより高性能の薄型モータを現実のものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
まず、本発明のＲ−Ｂ−Fe−Co−Ni−Ti合金からなる希土類磁石において、成分組成を上記の範囲に限定した理由について説明する。
Ｒ（Ｙを含むランタノイドのうちから選んだ少なくとも一種）：10at％以上、25at％以下
Ｒは、Ｒ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相においては大きな結晶磁気異方性を持つ点で、また粒界においては逆磁区の発生を抑えることで保磁力を大きくする点で、有用な成分である。しかしながら、含有量が10at％に満たないと、Fe，Co，Niリッチ相が析出して保磁力が低下し、一方25at％を超えると相対的にFe，Co，Ni濃度が低下して飽和磁化が低下する。従って、Ｒは10at％以上、25at％以下の範囲に限定した。
【００１９】
Ｂ：２at％以上、20at％以下
Ｂは、Ｒ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相を形成するのに有用な成分である。しかしながら、含有量が２at％に満たないと、やはりFe，Co，Niリッチ相が析出して保磁力が低下し、一方20at％を超えると相対的にFe，Co，Ni濃度が低下して飽和磁化が低下する。従って、Ｒは２at％以上、20at％以下の範囲に限定した。
【００２０】
Fe：10at％以上、73at％未満
Feは、大きな飽和磁化を得るのに有効に寄与するが、含有量が10at％未満ではその添加効果に乏しく、一方73at％以上になるとα−Feの析出を伴い、保磁力低下の不利を招く。従って、Feは10at％以上、73at％未満の範囲に限定した
【００２１】
Ni：５at％以上、30at％以下
Niは、耐食性を向上させるに有効な元素であるが、含有量が５at％未満ではその添加効果に乏しく、一方30at％を超えると保磁力や飽和磁化の急激な低下を招く。従って、Niは５at％以上、30at％以下の範囲に限定した。
【００２２】
Co：７at％以上、50at％以下
Coは、Ni添加による耐食性の向上効果を損なうことなしに、磁気特性、特に保磁力を効果的に向上させ得るだけでなく、キュリー温度の向上にも有効な元素である。しかしながら、含有量が７％未満ではその添加効果に乏しく、一方50％を超えるとむしろ保磁力や飽和磁化の低下を招く。従って、Coは７at％以上、50at％以下の範囲に限定した。
【００２３】
（Fe＋Co＋Ni）：55at％以上、88at％未満
上記した（Fe＋Co＋Ni）の合計量が55at％に満たないと飽和磁化が低下し、一方88at％以上になるとＲやＢが少なくなり保磁力が低下する。従って、（Fe＋Co＋Ni）量は55at％以上、88at％未満の範囲に限定した。
【００２４】
Ti：0.5at％以上、３at％以下
本発明の希土類磁石は、溶解・鋳造したＲ−Ｂ−Fe−Co−Ni−Ti合金またはＲ−Ｂ−Fe−Co−Ni−Ti−Ga合金から製造されるが、添加したTiの一部または全部が合金中に固溶していることが肝要である。
すなわち、本発明の希土類磁石薄板において、添加したTiは、焼結後には、全てTiB2として析出するのであるが、溶解・鋳造段階では、少なくとも一部は合金中に固溶しており、残りの部分はTiB2として析出している。そして、固溶したTiは焼結時にＲ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相中に析出する。
【００２５】
これらの析出相は、以下に示す２つの効果がある。
第１の効果は、機械強度の向上であり、この効果は、析出相がクラック伝播を抑制する効果と結晶粒の微細化効果からなる。前者はＲ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相中に析出したTiB2、一方後者は、溶解・鋳造時に析出し粒界に偏析したTiB2が効果の主たる役割を担っている。
従って、溶解・鋳造時には、全てのTiを固溶させていてもよいが、一部を析出させておいた方がより効果的である。好適な固溶量は添加Ti量の15〜45％程度である。
【００２６】
第２の効果は、Ｒ（Fe，Co，Ni）4Ｂ相量のコントロールである。
Ｒ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相は、Ｒ−Fe−Ｂ合金における非磁性の Nd1.1Fe4B4に対応する。Nd1.1Fe4B4と違って 強磁性相で飽和磁化の増大に寄与するが、磁化容易軸が面内に向いているため、その析出の形態によっては保磁力が低下する。この点、Tiを添加するとTiB2の析出と共に合金中のＢ濃度が低下してＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相量が減少する。また、先に述べたように結晶粒の微細化も起こる。このような状態でのＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相は、飽和磁化の増大に寄与し、保磁力低下の原因とはならない。
【００２７】
上記のメカニズムについては、まだ明確に解明されたわけではないが、おそらく保磁力を発現するNd2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相との磁気的な交換結合に起因しているものと推定している。
【００２８】
ここに、Tiの添加量が0.5at％未満では、上記の効果が小さく、一方３at％超えではＢ濃度が低くなりすぎる等の理由で保磁力の低下を招く。従って、Tiは0.5at％以上、３at％以下の範囲に限定した。
【００２９】
また、本発明において、TiＢ2相が分散析出したＲ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相の量は、体積率で0.3〜５％程度とすることが好ましい。というのは、Ｒ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相量が 0.3％に満たないと機械強度向上の効果が小さく、一方５％を超えると主相内の歪が大きくなって保磁力の低下を招くからである。
同様に、Ｒ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相の量は、体積率で１〜20％程度とすることが好ましい。というのは、Ｒ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相量が１％に満たないと（Fe，Co，Ni）リッチ相が析出して保磁力を低下させ、一方20％を超えると（Fe，Co，Ni）を消費して飽和磁化を下げてしまうからである。
【００３０】
Ｒ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相におけるFe／(Fe＋Co＋Ni)比：0.5以下
Ｒ−遷移金属−Ｂ合金磁石には、Ｂリッチ相が必ず存在し、Ｒ−Fe−ＢではNd1.1Fe4B4相が析出する。このＢリッチ相はＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相よりもＢが多い。本発明に従いTiを添加した場合には、Ｂを多量に消費することを考慮すると、Ｂの少ないＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相を勘案して、Ｂ量をバランスする必要がある。ここに、（Fe＋Co＋Ni）合計量に対するFe量の比すなわちFe／（Fe＋Co＋Ni）比が0.5超になるとＲ（Fe，Co，Ni）4Ｂ相が存在できなくなり、αFeなど保磁力の低下する相が析出する。従って、Ｒ（Fe，Co，Ni）4Ｂ相におけるFe／（Fe＋Co＋Ni）は0.5以下に限定した。
【００３１】
Ga：３at％以下
また、本発明では、磁気特性とくに保磁力の改善を目的として、さらにGaを含有させることもできる。このGaは、Ｒ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相に固溶してＲ2(Fe，Co，Ni，Ga)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni，Ga)4Ｂ相を形成する。かかるＲ2(Fe，Co，Ni，Ga)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni，Ga)4Ｂ相の作用・効果は、Ｒ2(Fe，Co，Ni)14Ｂ相およびＲ(Fe，Co，Ni)4Ｂ相の場合と同様であるが、特に保磁力の向上に有効である。しかしながら、含有量が３at％を超えるとかえって保磁力の低下を招くので、Gaは３at％以下の範囲で添加することが好ましい。なお、このGa添加量の好適下限値は0.5at％である。
そして、このGaは、Tiと同時に添加するとより効果的である。
【００３２】
なお、本発明では、上記した有効成分の他、Ｃ，Ｎ，Ｏ，Ｖ，Cr，Mn，Cu，Zn，Ge，In，Sn，Zr，Hf，Ta，Ｗなどの不純物成分が若干混入することがあるが、これらの不純物は合計量が２at％以下であれば特に問題はない。
【００３３】
さらに、本発明における希土類磁石薄板の厚みは50〜300μmの範囲に制限する。というのは、本発明で対象とするモータ厚みは１mm程度以下であり、この要件を満足するためには、磁石厚みは300μm以下に抑える必要があるからである。とはいえ、磁石厚みが50μm未満になると材料の割れなどが発生して、ハンドリングが困難になる。より好ましい磁石厚みは100〜200μm である。
【００３４】
また、本発明では、希土類磁石薄板の強度を補強するために、希土類磁石薄板を基板の上に接合すると好適である。この時、基板厚みが10μm未満では補強効果が乏しく、一方 500μmを超えるとモータの薄型化が損なわれる。従って、希土類磁石を接合する基板厚みは10〜500μm程度とすることが好ましい。
【００３５】
かような基板としては、Fe，Co，Niのうちから選んだ少なくとも一種を含んだ合金、もしくは酸化物磁性層が好適である。このように、補強基板をシフト磁性層にすると、ロータのバックヨークとして使用できる利点がある。
具体的には、Fe，Co，Niの他、Fe−Ni，Fe−Si，Fe−Al−Si，Fe−Cr−Si等の合金系、およびMnZn系フェライトやNiZn系フェライト等のソフトフェライ卜が有利に適合する。
【００３６】
以上、本発明に従う希土類磁石薄板について説明したが、次にかかる希土類磁石薄板を用いた薄型モータについて説明する。
すなわち、本発明の希土類磁石薄板と回転軸とで構成したロータと、該ロータと空隙を介して軸方向に対向するステータとを組み合わせることにより、モータを作製することができる。
【００３７】
かようなモータとしては、ロータとステータを平板状に構成すると薄型化に一層有利である。
この際、ステータとして、絶縁処理された基板上にフォトリソグラフと電気めっきで作製した平面コイルを利用すると、ステータの薄型に有利である。
特に、基板として絶縁体のNiZnフェライトを用いれば、絶縁処理不要で、しかも発生磁界を大きくすることができる利点がある。
【００３８】
平面コイルとしては、スパイラル状とすることが発生磁界を大きくできるので、好適である。かような平面コイルの作成に際しては、コイル間を直列に接続する必要があり、例えば、基板スルーホールを通して裏面で結合することができる。
この時、図１に示すように、ダブルスパイラル構造とすれば、２個毎をコイル面側で接続することができ、裏面での結合回数が半分に減少するので有利である。なお、図中番号１がダブルスパイラルコイルである。
【００３９】
なお、本発明に従う希土類磁石薄板では、加工で入るクラックに起因して、その表面層は保磁力が小さくなっている。従って、かような保磁力が小さい表面層は極力薄くすることが好ましい。ここに，保磁力が小さな表面層厚さが10μmを超えるとエネルギー積の低下が無視できなくなるので、かかる表面層厚さは10μm以下とすることが望ましい。
【実施例】
【００４０】
実施例１
以下、本発明を実施例により詳しく説明する。但し、本発明は例示した実施例のみに限定されるものではない。
表１に示す組成になるように各元素を秤量し、高周波溶解後、水冷銅ハースに鋳込んだ。得られた各インゴット中のＲ2(Fe，Co，Ni,(Ga))14Ｂ相中における固溶Ti量およびTiB2相の有無について調べた結果を、表１に併記する。
ついで、各インゴットを、Ar気流中で粗粉砕後、ジェットミルで平均粒径：２〜３μmまで微粉砕したのち、15kOeの磁場中にて、1.5ｔ/cm2の圧力で成形し、ついで、真空中にて1000〜1100℃で熱処理して焼結体とした。
引き続き、各焼結体を、ダイヤモンドホイールで切断後、＃400遊離砥粒研摩して所定の厚みとした。なお、No.24は、溶解・鋳造後のインゴットを1000℃で１時間真空熱処理して、全てのTiを析出させたものである。
かくして得られた希土類磁石薄板の磁気特性および耐食性について調べた結果を、表１に併せて示す。
【００４１】
なお、磁気特性は、振動試料型磁力計にて評価した。
また、インゴット中のＲ2(Fe，Co，Ni,(Ga))14Ｂ相中におけるTi固溶量は、ＳＥＭ−ＥＤＸにて測定した。
耐食性は、70℃、95％RHにて500時間腐食試験を行ったときの、発錆面積率で評価し、その値が20％未満の場合を耐食性良好（○）と判断した。
【００４２】
【表１】
2006165361.tif 000003
【００４３】
同表から明らかなように、本発明に従う希土類磁石薄板はいずれも、磁石厚みが300μm以下と薄いにもかかわらず、優れた磁気特性および耐食性が得られている。
【００４４】
実施例２
表２に示す組み合わせで、図２に示すような、ステータ、ロータ、回転軸のセットからなるモータを作製した。希土類磁石薄板の寸法は、外径：４mm、内径：２mm、厚さ：100μm の一定とした。図中、番号２が希土類磁石薄板、３がバックヨークであり、この希土類磁石薄板２とバックヨーク３でロータ４を構成している。また、番号５は基板６上に形成された平面コイルであり、この平面コイル５と基板６でステータ７を構成している。なお、番号８は回転軸である。
本発明の希土類磁石板としては、実施例１と同じ方法で作製した（Nd0.93Dy0.07）14(Fe0.585Co0.274Ni0.1Ti0.015Ga0.026)78.5Ｂ7.5組成（表２には組成Ｉと標記）のもの、また比較例のNd−Fe−Ｂ系焼結磁石板としては（Nd0.93Dy0.07）14(Fe0.94Co0.05Nb0.01)78Ｂ8組成（表２には組成IIと標記）のものを用いた。表２中のステータコイルにおける「巻き線」とは銅線を巻いて作製したもので、「平面コイル」とは本発明に従い作成したものを意味する。
かくして得られたモータの全体厚みおよびトルクを表２に併記する。
なお、トルクは、No.25のトルクを1.0としたときの相対値で示す。
【００４５】
【表２】
2006165361.tif 000004
【００４６】
同表から明らかなように、本発明によれば、薄型でかつ高トルクのモータが得られることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】ダブルスパイラル構造の模式図である。
【図２】実施例２におけるモータ構造を示した図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  ダブルスパイラルコイル
２  希土類磁石薄板
３  バックヨーク
４  ロータ
５  平面コイル
６  基板
７  ステータ
８  回転軸
【図１】
2006165361.tif 000005
【図２】
2006165361.tif 000006