(57)【要約】【課題】  検査感度及び検査速度を落とさずに、撮像部と照明系とからなる、複数の撮像系間の機差を校正する撮像装置及び撮像方法、さらにこれを用いた検査装置を提供する。【解決手段】  本発明の撮像装置は、各々撮像部を有する複数の撮像系からなる撮像装置において、全ての撮像部の、露光時間に対応した輝度情報を読み込み、該輝度情報から各撮像部毎の露光時間係数を計算する露光時間係数計算部と、所定の露光時間に対して、各撮像部毎に対応する露光時間係数を乗じて、各撮像部の撮像に用いる撮像露光時間を計算する露光時間計算部とを有している。【選択図】    図１
2006038553.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々撮像部を有する複数の撮像系からなる撮像装置において、
全ての撮像部の、露光時間に対応した画像の輝度情報を読み込み、該輝度情報から各撮像部毎の露光時間係数を計算する露光時間係数計算部と、
所定の露光時間に対して、各撮像部毎に対応する露光時間係数を乗じて、各撮像部の撮像に用いる撮像露光時間を計算する露光時間計算部と
を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
撮像装置が各々の撮像部に対応した照明装置を有しており、
校正用サンプルにより、前記撮像部毎に全ての画素が受光する輝度情報を測定する輝度測定部と、
該輝度の最大値が所定の閾値となるよう、前記所定の露光時間に対して、前記照明装置の光量を調整する調光制御部と
を有することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記閾値が、所定の露光時間における撮像部の受光部が受光する明るさと出力される輝度値との対応関係において、輝度値が明るさの一次関数である範囲の最大値であり、かつ全ての撮像部で最も小さい値に設定されていることを特徴とする請求項２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記露光時間係数計算部が各撮像部毎の輝度情報の平均値及び３σを求め、各撮像部において最大の３σを、前記閾値から減算し、この減算結果により各撮像部の平均値を除算した結果を露光時間係数として出力することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記露光時間係数計算部が各撮像部毎の輝度情報の平均値と、最大値及び最小値との輝度差を求め、各撮像部において最大の輝度差を、前記閾値から減算し、この減算結果により各撮像部の平均値を除算した結果を露光時間係数として出力することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の撮像装置。
【請求項６】
撮像装置で撮像する被撮像対象に対応して、所定の露光時間を調整する基準露光係数を、各々の撮像部毎に記憶したデータベースを有していることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の撮像装置。
【請求項７】
前記露光時間計算部が、被撮像対象に対応した基準露光係数を、前記データベースより各撮像部に対応して読み出し、露光時間係数を乗じた露光時間に対し乗じて、各撮像部の撮像露光時間として出力することを特徴とする請求項６に記載の撮像装置。
【請求項８】
各々撮像部を有する複数の撮像系からなる撮像装置における撮像方法において、
全ての撮像部の、露光時間に対応した画像の輝度情報を読み込み、該輝度情報から各撮像部毎の露光時間係数を計算する露光時間係数計算過程と、
所定の露光時間に対して、各撮像部毎に対応する露光時間係数を乗じて、各撮像部の撮像に用いる撮像露光時間を計算する露光時間計算過程と
を有することを特徴とする撮像方法。
【請求項９】
校正用サンプルにより、前記撮像部毎に全ての画素の輝度情報を測定する輝度測定過程と、
該輝度の最大値が所定の閾値となるよう、前記所定の露光時間に対して、各々の撮像部に対応した照明装置の光量を調整する調光制御過程と
を有することを特徴とする請求項８に記載の撮像方法。
【請求項１０】
前記露光時間係数計算過程において、各撮像部毎の輝度情報の平均値及び３σを求め、各撮像部において最大の３σを、前記閾値から減算し、この減算結果により各撮像部の平均値を除算した結果を露光時間係数として出力することを特徴とする請求項８または請求項９に記載の撮像方法。
【請求項１１】
前記露光時間係数計算過程において、各撮像部毎の輝度情報の平均値と、最大値及び最小値との輝度差を求め、各撮像部において最大の輝度差を、前記閾値から減算し、この減算結果により各撮像部の平均値を除算した結果を露光時間係数として出力することを特徴とする請求項８または請求項９に記載の撮像方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像部と照明との撮像系を複数搭載して、デバイスが形成された基板の広範囲の領域を撮像するものであり、全ての撮像部で同じ輝度の基板画像が得られるように、個々の撮像部と照明系の機差を取り除く撮像装置及びこれを用いた欠陥検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、広範囲な領域を撮像しようとする際、撮像にかかる時間を短縮させるために、複数の撮像系を設けて、上記領域を一度に撮像することが検査装置等において行われている。
しかしながら、上述したように、複数の撮像系を用いて１つの画像を取得する場合、単独の撮像系を用いた場合に対して、各撮像系間の特性のバラツキの問題を解決する必要がある。
特に、パターン欠陥等の検査装置は、検査領域の広範囲化に伴い撮像部と照明系を複数搭載して同時に検査を行い、検査時間の短縮化を実現している。
【０００３】
このため、反射率が一様な被検体に対して全ての撮像部で同じ輝度の基板画像が得られるように設定が必要であるとともに、検査する工程基板ごとに欠陥抽出対象が異なるため、画像処理による欠陥抽出に適した光量を設定する必要、すなわち、個々の撮像部と照明系の機差を取り除くということが必要である。
すなわち、撮像系の撮像部及び照明の特性のバラツキにより、得られる画像の輝度が撮像系に対応する部分ごとに異なるため、検査等において画質が不十分なため、検査精度が低下してしまう。
【０００４】
このため、複数の撮像系の特性を揃える必要があり、すなわち、複数の撮像部で同じ輝度の画像を得るため、照明を調光することが行われている。
しかしながら、照明には可視域の波長帯域が長いハロゲン光源を使用するのが一般的であり、いくつかの問題点を有している。
例えば、照明を調光するために光源への印加電圧を可変させる方式の場合、調光の応答性が悪く、かつ印加電圧と輝度との対応関係が線形でないため高い精度の調整が困難であり、さらには電圧可変により光源に負荷がかかり、光源の特性劣化の要因となる。
【０００５】
また、例えば、照明を調光するために、ＮＤフィルタを用いた場合、瞬時に基板に対して露光する光量を変化させることが出来ない。
この改善策として、このため、装置内に含まれる複数の光学系において、検査感度を同程度にすることを目的とし、像質から画像処理パラメータを設定するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−６７７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示すパターン検査装置にあっては、装置内に含まれる複数の光学系において、検査感度を同程度にするため、取得した画像の像質から画像処理パラメータを設定し、この画像処理パラメータにより検査感度の調整を行うが、画像処理に時間がかかり、また取得した後なので像質の調整に限界があり、常に高い精度で全て撮像系間の調整が行えるわけではない。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、検査感度及び検査速度を落とさずに、撮像部と照明系とからなる、複数の撮像系間の機差を校正する撮像装置及び撮像方法、さらにこれを用いた検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の撮像装置は、各々撮像部（たとえば、実施例における撮像部１）を有する複数の撮像系からなる撮像装置において、全ての撮像部の、露光時間に対応した画像の輝度情報（例えば、輝度値）を読み込み、該輝度情報から各撮像部毎の露光時間係数を計算する露光時間係数計算部と、所定の露光時間に対して、各撮像部毎に対応する露光時間係数を乗じて、各撮像部の撮像に用いる撮像露光時間を計算する露光時間計算部とを有することを特徴とする。
本発明の撮像方法は、各々撮像部を有する複数の撮像系からなる撮像装置における撮像方法において、全ての撮像部の、露光時間に対応した輝度情報を読み込み、該輝度情報から各撮像部毎の露光時間係数を計算する露光時間係数計算過程と、所定の露光時間に対して、各撮像部毎に対応する露光時間係数を乗じて、各撮像部の撮像に用いる撮像露光時間を計算する露光時間計算過程とを有することを特徴とする。
【０００８】
上述した構成により、本発明の撮像装置及び撮像方法は、撮像部と照明装置とからなる撮像系間の機差を補正し、同一の被撮像対象から、全ての撮像系間において同様の輝度を有する画像を撮像できるため、複数の撮像系により同一の被撮像対象を複数の部分画像として撮像した画像と合成して、被撮像対象の全体画像を生成する際、撮像後の画像処理を行わないため、撮像及び合成処理の速度を落とさず、また、撮像時点で撮像系間の機差を吸収しているため、高い精度で機差が校正された、視覚的に違和感のない全体画像を作成できる。
本発明の撮像装置及び撮像方法は、例えば、大面積のＦＰＤ基板を複数作成する供取り基板などの検査をする検査装置に搭載した場合など、撮像及び合成処理の速度が低下しないため、すなわち検査速度を低下させず、撮像時点で各撮像系間の機差を吸収しているため、合成した結果の輝度が全体画像において高い精度で合わせ込むことができるため、検査の精度を向上させることが可能となる。
【０００９】
本発明の撮像装置は、撮像装置が各々の撮像部に対応した照明装置を有しており、校正用サンプルにより、前記撮像部毎に全ての画素が受光する輝度を測定する輝度測定部と、該輝度の最大値が所定の閾値となるよう、前記所定の露光時間に対して、前記照明装置の光量を調整する調光制御部とを有することを特徴とする。
本発明の撮像方法は、校正用サンプルにより、前記撮像部毎に全ての画素受光する輝度を測定する輝度測定過程と、該輝度の最大値が所定の閾値となるよう、前記所定の露光時間に対して、各々の撮像部に対応した照明装置の光量を調整する調光制御過程とを有することを特徴とする。
本発明の撮像装置は、前記閾値が、所定の露光時間における撮像部の受光部が受光する明るさと出力される輝度値との対応関係において、輝度値が明るさの一次関数である範囲の最大値であり、かつ全ての撮像部で最も小さい値に設定されていることを特徴とする。
【００１０】
上述した構成により、本発明の撮像装置及び撮像方法は、上記機差を補正する際、各撮像部の全ての画素の輝度を、所定の閾値以下となるように照明装置の光量を調整することにより、一次関数での変化領域に制御範囲が含まれることとなり、撮像系の機差の制御を高い精度で行うことが可能となる。
【００１１】
本発明の撮像装置は、前記露光時間係数計算部が各撮像部毎の輝度情報の平均値及び３σを求め、各撮像部において最大の３σを、前記閾値から減算し、この減算結果により各撮像部の平均値を除算した結果を露光時間係数として出力することを特徴とする。
本発明の撮像方法は、前記露光時間係数計算過程において、各撮像部毎の輝度情報の平均値及び３σを求め、各撮像部において最大の３σを、前記閾値から減算し、この減算結果により各撮像部の平均値を除算した結果を露光時間係数として出力することを特徴とする。
上述した構成により、本発明の撮像装置及び撮像方法は、複数の撮像系において最大の３σを、前記閾値、すなわち撮像系における照度と輝度との対応関係が直線性を有している範囲の最大値から減算して、各撮像部の平均値を除算して、除算結果を各々の露光時間係数としているため、撮像した輝度がばらついたとしても、直線性を有した範囲内において輝度を補正することが可能となる。
【００１２】
本発明の撮像装置は、前記露光時間係数計算部が各撮像部毎の輝度情報の平均値と、最大値及び最小値との輝度差を求め、各撮像部において最大の輝度差を、前記閾値から減算し、この減算結果により各撮像部の平均値を除算した結果を露光時間係数として出力することを特徴とする。
本発明の撮像方法は、前記露光時間係数計算過程において、各撮像部毎の輝度情報の平均値と、最大値及び最小値との輝度差を求め、各撮像部において最大の輝度差を、前記閾値から減算し、この減算結果により各撮像部の平均値を除算した結果を露光時間係数として出力することを特徴とする。
上述した構成により、本発明の撮像装置及び撮像方法は、複数の撮像系において輝度の最大値と最小値との最大の輝度差を、前記閾値、すなわち撮像系における照度と輝度との対応関係が直線性を有している範囲の最大値から減算して、各撮像部の平均値を除算して、除算結果を各々の露光時間係数としているため、撮像した輝度がばらついたとしても、直線性を有した範囲内において輝度を補正することが可能となる。
【００１３】
本発明の撮像装置は、撮像装置で撮像する被撮像対象に対応して、所定の露光時間を調整する基準露光係数を各々の撮像部毎に記憶したデータベースを有していることを特徴とする。
本発明の撮像装置は、前記露光時間計算部が、被撮像対象に対応した基準露光係数を、前記データベースより各撮像部に対応して読み出し、露光時間係数を乗じた露光時間に対し乗じて、各撮像部の撮像露光時間として出力することを特徴とする。
上述した構成により、本発明の撮像装置は、被撮像対象毎に、各被撮像対象に対応した露光時間とするため、この露光時間に乗じて調整する基準露光係数が予め測定され、記憶されているため、この基準露光係数に対応しているいずれの被撮像対象に対しても、同様に高い精度で輝度の調整を行うことが可能であり、被撮像対象が変わる境目において最適な露光時間が簡易な演算により高速に得られるため、各撮像系の輝度調整がリアルタイムに行え検査時間を増加させることがない。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明の撮像装置及び撮像方法によれば、撮像部と照明装置とからなる撮像系間の機差を補正し、同一の被撮像対象から、全ての撮像系間において同様の輝度を有する画像を撮像できるため、複数の撮像系により同一の被撮像対象を複数の部分画像として撮像した画像と合成して、被撮像対象の全体画像を生成する際、撮像後の画像処理を行わないため、撮像及び合成処理の速度を落とさず、また、撮像時点で撮像系間の機差を吸収しているため、各部分画像間の機差が高い精度で校正され、視覚的に違和感のない全体画像を作成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態による撮像装置を搭載した基板の検査装置を図面を参照して説明する。図１は同実施形態の構成例を示す概念図である。
この図において、検査装置は、撮像部１及び照明装置２からなる撮像系と、輝度調整を行う統合制御部４と、校正用サンプル３の位置を調整する保持移動部５と、基板８が配置されるステージ６と、該ステージ６において基板８を移動させる基板搬送部７とを有している。
ここで、本発明は、統合制御部４及び複数の撮像系からなる撮像装置である。撮像系は図面奥に向かって複数配置されており、各々撮像部１と照明装置２とから構成されている。
撮像部１と照明装置２とは、各々同一の機器が使用されるが、個々の特性のバラツキを有している。
【００１６】
撮像部１は、例えば、受光素子であるＣＣＤ（電荷結合素子）が画素単位で一列に並んで配置されたラインセンサ等で構成されている。
照明装置２は、例えば、ハロゲンランプを光源としており、被撮像対象である基板８に対して所定の光量の光を放射させる。
また、撮像部１は、上記照明装置２が放射した光が被撮像対象において反射した反射光を受光して、所定の輝度情報、すなわち輝度値を示すデジタルデータを出力する。
【００１７】
統合制御部４は、本発明の特徴的な部分であり、後に詳細な説明を行うが、複数の撮像系（撮像部１，照明装置２）各々を制御して、各撮像系間の機差を低減させる処理を行う。
校正用サンプル３は、各照明装置２の光量の調整、及び撮像装置間の機差の低減処理を行うための輝度情報を取得するために用いられる。
保持移動部５は、上記校正用サンプル３の位置を調整、すなわち、校正に使用する際に、照明装置２から放射された光が反射して、反射した反射光が撮像部１の受光部に入射する位置に移動させ、検査が行われており、使用されない際に、ステージ６上における基板８の搬送に邪魔にならない位置に移動させる。
基板搬送部７は、撮像系が基板８における画像をサンプリングするタイミングに対応させた速度で、基板８をステージ６上において搬送させる。
【００１８】
次に、図２を参照して、詳細に図１の検査装置の説明を行う。図２は、上記検査装置の各部の構成を詳細に示すブロック図である。
統合制御部４は画像データ処理部１０と制御管理部１１とから構成されており、検査前において、画像データ処理部１０は輝度差の調整制御を行い、制御結果を制御管理部１１へ出力し、制御管理部１１は上記制御結果により、照明装置２及び撮像部１の調整を行う。
また、検査中において、画像データ処理部１０は検査画像を生成し、この検査画像から欠陥のある部分を検出し、この部分の座標を出力する。制御管理部１１は、基板８を基板６上において、所定の速度で撮像系に対して相対的に移動させる。
【００１９】
照明装置２は、ハロゲンランプなどの高照度の光を発行する光源１３と、この光源１３の光量を調整する調光制御部１２とを有しており、上記制御管理部１１からの制御信号により所定の光量の光を放射する。
撮像部１は、反射光などの外部光を入射し、入射した光量を受光素子により画像（画素）毎の輝度値に変換して、この輝度値を示すデジタルデータを出力する受光部１５と、制御管理部１１からの制御信号により、所定の周期のサンプリングタイミング毎に、受光部１が外部光を入射する時間幅すなわち露光時間を制御する撮像制御部１４とを有している。撮像部１がＣＣＤによるラインセンサである場合、１次元に並べられた受光素子が各々１画素の輝度値を出力することになる。
【００２０】
保持移動部５は、ステージ６上において、校正用サンプル３の反射面を、撮像系に対して基板８の検査面と同一の高さに調整するサンプル上下駆動制御部１６を有している。
基板搬送部７は、基板８を乗せて移動する搬送部２０と、搬送部２０の移動速度を上記サンプリングタイミングに対応した速度に調整する搬送制御部１８と、搬送部２０に基板８を固定する基板クランプ部２１と、この基板クランプ部２１における基板８の固定及び固定の解除の制御を行うクランプ制御部１９とを有している。
【００２１】
次に、本発明の実施例である撮像装置における画像データ処理部１０を、図３を参照して説明する。ここで、図３は、画像データ処理部１０の構成例を示すブロック図である。
上記画像データ処理部１０は、所定の露光時間を撮像部毎に調整する露光時間係数を計算する露光時間係数計算部３０と、上記露光時間係数を用いて、各撮像部毎の露光時間を計算する露光時間計算部３１と、各撮像部毎に対応させ、上記露光時間係数を格納するデータベース３２とを有している。
【００２２】
次に、図１〜図３及び図４〜図７，図９，図１０を参照して、上述した本発明の撮像装置を搭載した検査装置の動作を説明する。図４〜図７，図９，図１０は、図１〜図３の一実施例による上記検査装置の一動作例を具体的に示すフローチャートである。
＜測定準備過程＞
まず、図４のフローチャートに示す順に、検査測定の前に、ステップＳ１においてベースとなる露光時間，ステップＳ２において露光時間係数，及びステップＳ３において基準露光係数を順次求める。
上記ベースとなる露光時間は各撮像部それぞれが実際に使用する撮像露光時間を求める基準となる時間であり、この露光時間に撮像部毎の機差の影響を抑制する露光時間係数を乗じて、さらに、この乗算結果に対して被撮像対象に対応した（すなわち被撮像対象の反射率に対応した）基準露光係数を乗じて、上記撮像露光時間の計算が行われる。
【００２３】
＜ベースとなる露光時間の設定＞
まず、以下に図５に示すフローチャートを用いて、ステップＳ１における基準となる露光時間の設定の処理について説明する。このベースとなる露光時間の設定おいては、複数ある撮像系を１つ選択して行う。
ユーザが低反射率レイヤ基板（すなわち、基板８）をステージ６上に設置する（ステップＳ１１）。
そして、ユーザが統合制御部４に対して準備過程を開始させる指示を入力することにより、制御管理部１１はクランプ制御部１９に対して基板８のクランプを指示する信号を出力することにより、ステージ６上において基板クランプ部２１が基板８をクランプする（ステップＳ１２）。
ここで、クランプとは、真空吸引機により基板クランプ部２１を真空状態として、基板８を基板クランプ部２１に吸引して固定することを示している。
【００２４】
次に、制御管理部１１は、撮像制御部１４に対して、撮像部１のスペックにおいて最大の露光時間を設定する（ステップＳ１３）。
これにより、撮像制御部１４は、制御管理部１１から撮像指示が入力されると、受光部１５がこの最大露光時間の間、外部光を受光するよう制御する。
そして、制御管理部１１は搬送制御部１８に対して、撮像系にて撮像可能な位置への移動を指示する信号を出力する（ステップＳ１４）。
これにより、搬送制御部１８は、搬送部２０を駆動させて、撮像系にて撮像可能な位置へ基板８を移動させる。
この位置は、基板８における特徴点、すなわち欠陥の有無を検出したい部分が撮像系により撮像される場所とする。
【００２５】
次に、制御管理部１１は、撮像制御部１４に対して、基板８（低反射率レイヤー基板）の撮像指示を出力し（ステップ１５）、画像データ処理部１０に対して、特徴点における平均輝度値を計算するよう指示する（ステップＳ１６）。ここで、照明装置の照度を調整するため、低反射率のレイヤー基板を使用する。レイヤー基板は、ＦＰＤ等の表示基板や半導体基板であり、製造における各工程における処理時点の基板を示している。
これにより、露光時間係数計算部３０は、選択された撮像部１において、この撮像部１の有するＣＣＤの全ての受光素子が入力した光の輝度の平均値を計算する。
そして、露光時間係数計算部３０は、上記撮像部１に求められた輝度の平均値（輝度平均値）が、撮像部１の有する入力される光の照度と出力する輝度値との対応関係において、直線性を有する、すなわち輝度値が光の照度の一次関数である範囲内に、含まれているか否かの判定を行う（ステップＳ１７）。
【００２６】
ここで、範囲内の上限を請求項における閾値としており、範囲の下限も下部の閾値として存在するが、露光時間の設定を上記閾値を基準として行うため、下部の閾値は考慮していない。
このため、制御管理部１１はステップＳ１の開始時点において、調光制御部１２に対して発光部１３が最大の光量で光を放射するよう制御しておく。
【００２７】
そして、露光時間係数計算部３０は、上記輝度平均値が直線の範囲内に含まれている（上記閾値を超えていない）ことを検出した場合、処理をステップＳ１８へ進め、一方、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていない（上記閾値を超えている）ことを検出した場合、処理をステップＳ１９へ進める（ステップＳ１７）。
次に、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が直線の範囲内に含まれてい無いことを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、選択された撮像系の照明装置２の調光制御部１２に対して、所定の光量を減少させる制御信号を出力し、発光部１３の発光する光量を低下させ、処理をステップＳ１４へ戻す（ステップＳ１９）。
【００２８】
また、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていることを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、搬送制御部１に対して搬送部２０の移動を指示し、ステージ６上の基板８を、保持移動部５により校正用サンプル３が昇降させる位置から待避させ、処理をステップＳ２０へ進める（ステップＳ１８）。
そして、制御管理部１１は、調光制御部１２に対して、発光部１３の発光する光量を変更させないように、閾値に含まれる輝度値となった印加電圧にて固定することを指示する（ステップＳ２０）。
【００２９】
次に、制御管理部１１は、保持移動部５のサンプル上下駆動制御部１６に対して、校正用サンプル３の上下方向における位置決めを指示する（ステップＳ２１）。
これにより、サンプル上下駆動制御部１６は校正用サンプル３の表面を、撮像系に対して基板８の検査面と同様の位置に設定する。
そして、制御管理部１１は、校正用サンプル３の位置決めが終了したことを確認すると、撮像制御部１４に対して校正用サンプル３の表面の撮像を指示する（ステップＳ２２）。
【００３０】
次に、制御管理部１１は、画像データ処理部１０に対して、校正用サンプル３から反射して選択した撮像系に入力される反射光の平均輝度値を計算するよう指示する。
これにより、露光時間係数計算部３０は、上記撮像部１において、撮像部１の有するＣＣＤの全ての受光素子が入力した光の輝度の平均値を計算する。
そして、露光時間係数計算部３０は、上記撮像部１において求められた輝度平均値が、撮像部１の有する入力される光の照度と出力する輝度値との対応関係において、直線性を有する、すなわち輝度値が光の照度の一次関数である範囲内に、含まれているか否かの判定を、各撮像系毎に行う（ステップＳ２３）。
【００３１】
このとき、露光時間係数計算部３０は、ステップＳ２３により求められた輝度平均値が直線の範囲内に含まれていることを検出した場合、処理をステップＳ２５へ進め、一方、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていないことを検出した場合、処理をステップＳ２４へ進める（ステップＳ２３）。
次に、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていないことを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、対応する撮像部１の撮像制御部１４に対して、所定の露光時間を減少させる制御信号を出力し、サンプリングのタイミングにおいて受光部１５が受光する時間幅を減少させ、処理をステップＳ２２へ戻す（ステップＳ２４）。
【００３２】
また、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていることを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、ベースとなる露光時間（α）として、現在設定されている露光時間を、データベース３２に格納する、処理をステップＳ２６へ進める（ステップＳ２５）。
次に、制御管理部１１は、保持移動部５のサンプル上下駆動制御部１６に対して、構成サンプル３が基板８の移動に対して、接触しない位置に校正用サンプル３を下降させる指示を出力する（ステップＳ２６）。
これにより、サンプル上下駆動制御部１６は、校正用サンプル３を所定の位置に下降させる。
【００３３】
＜露光時間係数の設定＞
次に、以下に図６に示すフローチャートを用いて、ステップＳ２における露光時間係数の設定の処理について説明する。
ユーザが露光時間係数の導出方法を制御管理部１１に対して指示し、制御管理部１１はその導出方法を導出方法フラグに設定しておく（ステップＳ３０）。
ここで、フラグをａとすると、導出方法を輝度差最大値サーチとするときａ＝０とし、導出方法を３σサーチとするときａ＝１とする。この導出方法の違いについては、後に説明する。
【００３４】
そして、制御管理部１１は、データベース３２からベースとなる露光時間を読み出し、この「ベースとなる露光時間」を、全ての撮像部１における撮像制御部１４に対して設定するとともに、全ての照明装置２の調光制御部１２に対し、光量をこのベースとなる露光時間を求めたときの値とするよう指示する（ステップＳ３１）。
次に、制御管理部１１は、保持移動部５のサンプル上下駆動制御部１６に対して、校正用サンプル３の上下方向における位置決めを指示する（ステップＳ３２）。
これにより、サンプル上下駆動制御部１６は校正用サンプル３の表面を、撮像系に対して基板８の検査面と同様の位置に設定する。
【００３５】
そして、制御管理部１１は、順次、各撮像部１から所定の１つを選択する（ステップＳ３３）。
このとき、制御管理部１１は、撮像部１の台数がｎ個あるとし、撮像部１の号機をｋとすると、ｋ＝１，２，３，…，ｎ−１，ｎの順番に、撮像部１を選択していくように、ｋ＝１として初期化する。
次に、制御管理部１１は、ｋ号機の撮像部１の撮像制御部１４に対して、校正用サンプル３の表面の撮像を行うよう制御信号を出力する（ステップＳ３４）。
【００３６】
そして、制御管理部１１は、画像データ処理部１０に対して、校正用サンプル３から反射してｋ号機の撮像部１に入力される反射光の平均輝度値を、計算するよう指示する（ステップＳ３５）。
これにより、露光時間係数計算部３０は、ｋ号機の撮像部１について、撮像部１の有するＣＣＤの全ての受光素子が受光した光の輝度の平均値を計算する。
次に、露光時間係数計算部３０は、そして、露光時間係数計算部３０は、各々の撮像部１毎に求められた輝度平均値が、撮像部１の有する入力される光の照度と出力する輝度値との対応関係において、直線性を有する、すなわち輝度値が光の照度の一次関数である範囲内に、含まれているか否かの判定を、各撮像系毎に行う（ステップＳ３６）。
【００３７】
このとき、露光時間係数計算部３０は、ステップＳ３６により求められた輝度平均値が直線の範囲内に含まれていることを検出した場合、処理をステップＳ３８へ進め、一方、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていないことを検出した場合、処理をステップＳ３７へ進める（ステップＳ３６）。
次に、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が直線の範囲内に含まれてい無いことを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、対応する撮像部１の撮像制御部１４に対して、所定の露光時間を減少させる制御信号を出力し、サンプリングのタイミングにおいて受光部１５が受光する時間幅を減少させ、処理をステップＳ３４へ戻す（ステップＳ３７）。
【００３８】
また、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていることを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、基準となる露光時間として現在の設定を固定するよう、撮像制御部１４に対して制御信号を出力し、露光時間係数計算部３０はｋに１を加算（ｋをインクリメント）し、処理をステップＳ３９へ進める（ステップＳ３８）。
次に、露光時間係数計算部３０は、ｋとｎとを比較し、「ｋ≦ｎ（ｋがｎ以下）」であることを検出すると処理をステップＳ３４に戻し、「ｋ＞ｎ（ｋがｎ未満）」であることを検出すると処理をステップＳ４０へ進める（ステップＳ３９）。
すなわち、露光時間係数計算部３０は、全ての撮像部１の露光時間の調整が終了するまで、ステップＳ３４からステップＳ３９の処理を繰り返して行う。
【００３９】
そして、制御管理部１１は、保持移動部５のサンプル上下駆動制御部１６に対して、構成サンプル３が基板８の移動に対して、接触しない位置に校正用サンプル３を下降させる指示を出力する（ステップＳ４０）。
これにより、サンプル上下駆動制御部１６は、校正用サンプル３を所定の位置に下降させる。
次に、制御管理部１１は、画像処理部１０に対して、各撮像部１毎に、各々の有する受光素子の出力する輝度値に対して、平均輝度値・輝度差・３σの算出を指示する（ステップＳ４１）。
【００４０】
そして、制御管理部１１は、フラグａが「１」または「０」のいずれであるかの検出を行い、ａ≠０（すなわち、ａ＝１）であることを検出すると、ステップＳ４３からステップＳ４８の処理を実行し、一方、ａ＝０であることを検出すると、ステップＳ５０からステップＳ５５の処理を実行する。
次に、制御管理部１１は、「ａ＝１」である場合、画像データ処理部１０に対して露光時間係数を輝度値の３σを使用して導出することを指示する制御信号を出力する（ステップＳ４３）。
【００４１】
これにより、露光時間係数計算部３０は、全ての撮像部１の３σをサーチして、サーチしたなかから最も大きい３σ（３σの最大値）を検出する。
そして、露光時間係数計算部３０は、ｋ＝１に初期化し、処理をステップＳ４５へ進める（ステップＳ４４）。
次に、露光時間係数計算部３０は、「ｋ号機の輝度平均値」を、「撮像部１のビット数（上記閾値の値）から３σの最大値を減算した結果」により除算する。この除算結果の値をγとすると、ベースとなる露光時間αに対する変更した新たな露光時間Ｈの割合を、上記γに対して乗算し、撮像部１のｋ号機に対応する露光時間係数「γ×Ｈ／α」を計算する。この露光時間係数を上記ｋ号機に対応させてデータベース３２に格納する（ステップＳ４６）。
【００４２】
そして、露光時間係数計算部３０は、ｋに１を加算して、処理をステップＳ４８へ進める（ステップＳ４７）。
次に、露光時間係数計算部３０は、ｋとｎとを比較し、「ｋ≦ｎ（ｋがｎ以下）」であることを検出すると処理をステップＳ４５に戻し、「ｋ＞ｎ（ｋがｎ未満）」であることを検出すると処理を終了する（ステップＳ４８）。
すなわち、露光時間係数計算部３０は、全ての撮像部１の露光時間係数の計算が終了するまで、ステップＳ４５からステップＳ４８の処理を繰り返して行う。
【００４３】
一方、制御管理部１１は、「ａ＝０」である場合、画像データ処理部１０に対して露光時間係数を輝度差最大値を使用して導出することを指示する制御信号を出力する（ステップＳ５０）。
これにより、露光時間係数計算部３０は、全ての撮像部１の輝度差最大値をサーチして、サーチしたなかから最も大きい輝度差を輝度差最大値として検出する。
そして、露光時間係数計算部３０は、ｋ＝１に初期化し、処理をステップＳ５２へ進める（ステップＳ５１）。
次に、露光時間係数計算部３０は、「ｋ号機の輝度平均値」を、「撮像部１のビット数（上記閾値の値）から輝度最大値を減算した結果」により除算する。この除算結果の値をγとすると、ベースとなる露光時間αに対する変更した新たな露光時間Ｈの割合を、上記γに対して乗算し、撮像部１のｋ号機に対応する露光時間係数「γ×Ｈ／α」を計算する。この露光時間係数を上記ｋ号機に対応させてデータベース３２に格納する（ステップＳ５２）。
【００４４】
そして、露光時間係数計算部３０は、ｋに１を加算して、処理をステップＳ５５へ進める（ステップＳ５４）。
次に、露光時間係数計算部３０は、ｋとｎとを比較し、「ｋ≦ｎ（ｋがｎ以下）」であることを検出すると処理をステップＳ５２に戻し、「ｋ＞ｎ（ｋがｎ未満）」であることを検出すると処理を終了する（ステップＳ５５）。
すなわち、露光時間係数計算部３０は、全ての撮像部１の露光時間係数の計算が終了するまで、ステップＳ５２からステップＳ５５の処理を繰り返して行う。
【００４５】
＜基準露光係数の設定＞
次に、以下に図７に示すフローチャートを用いて、ステップＳ３における基準露光係数の設定の処理について説明する。
ユーザが基準露光係数を算出するときに用いる撮像部１の号機番号をｋ号機（１≦ｋ≦ｎ）として、制御管理部１１に対して入力する（ステップＳ６１）。
そして、制御管理部１１は、撮像部１の撮像露光時間を撮像制御部１４に対して設定するよう画像データ処理部１０に指示する。
これにより、露光時間計算部３１は、ｋ号機に対応する露光時間係数γ及びベースとなる露光時間αをデータベース３２から読みだし、この露光時間係数を、ベースとなる露光時間に乗算して、この乗算結果を撮像露光時間として、撮像制御部１４に記憶されている露光時間に対して上書きして、新たな露光時間とする（ステップＳ６２）。
【００４６】
ユーザが各レイヤ毎の基板の基準露光時間を計算するため、評価レイヤー基板（基板８）をステージ６に設置する（ステップＳ６３）。
そして、ユーザが統合制御部４に対して準備過程を開始させる指示を入力することにより、制御管理部１１はクランプ制御部１９に対して評価レイヤー基板のクランプを指示する信号を出力することにより、ステージ６上において基板クランプ部２１が評価レイヤー基板をクランプする（ステップＳ６４）。
ここで、クランプとは、真空吸引機により基板クランプ部２１を真空状態として、評価レイヤー基板を基板クランプ部２１に吸引して固定することを示している。
【００４７】
そして、制御管理部１１は搬送制御部１８に対して、撮像系にて撮像可能な位置への移動を指示する信号を出力する（ステップＳ６５）。
これにより、搬送制御部１８は、搬送部２０を駆動させて、撮像系にて撮像可能な位置へ評価レイヤー基板８を移動させる。
この位置は、評価レイヤー基板８における特徴点、すなわち欠陥の有無を検出したい部分が撮像系により撮像される場所とする。
【００４８】
次に、制御管理部１１は、撮像制御部１４に対して、評価レイヤー基板の撮像指示を出力し（ステップＳ６６）、画像データ処理部１０に対して、特徴点を複数撮像したときの輝度差平均値を計算するよう指示する（ステップＳ６７）。
これにより、露光時間係数計算部３０は、撮像部１の有するＣＣＤの全ての受光素子が受光した光の輝度差平均値を計算する。
【００４９】
そして、露光時間係数計算部３０は、撮像部１について求められた輝度差平均値が、規定の範囲内に、含まれているか否かの判定を行う（ステップＳ６８）。
ここで、範囲内の上限を請求項における閾値としており、範囲の下限も下部の閾値として存在するが、露光時間の設定を上記閾値を基準として行うため、下部の閾値は考慮していない。
【００５０】
ここで、輝度差平均値について説明する。撮像部１において、受光素子から得られた特徴点の輝度値において、最大値と最小値との差を求め、この差を輝度差とする。
具体例で説明すると、先ず図１１に示すように評価用のレイヤー基板を用意し、基板の画像を撮像して得られるサンプリングした測定点を輝度値毎の出現頻度のヒストグラムにする（図１２）。
次にレイヤー内の着目点が２点（図１１のＡ点とＢ点）である場合、Ａ点とＢ点がヒストグラムのどこに属しているかを把握する。
Ａ点とＢ点が属するヒストグラムの山のピーク値同士の差を求め、これを輝度差とする。
そして１つのレイヤーに対して、複数回撮像を行い、求めた輝度差の平均をとったものを輝度差平均値としている。
【００５１】
この輝度差平均値の規定の範囲について説明する。ここで図１２のＢ点の明るい部分の輝度をＩＢ、Ａ点の暗い部分の輝度をＩＡとしたとき、コントラストＣは
Ｃ＝（ＩＢ−ＩＡ）／（ＩＢ＋ＩＡ）
で表される。
評価用レイヤー基板のコントラストは一定なのでＩＡが大きくなるに従い、ＩＢも大きくなり、その差である輝度差平均値も大きくなる。
よって露出時間を長くして明るくした方がＡ点とＢ点の識別の精度が高くなる。
ただし、ＩＢが入力される光量に対して出力される輝度が直線の範囲であることが必要である。
したがって、規定の範囲は、基板毎の明るい部分の輝度が上限の閾値を超えず、必要な識別の精度が得られるように適宜決定される。
【００５２】
そして、露光時間係数計算部３０は、上記輝度差平均値が規定の範囲内に含まれている（上記閾値を超えていない）ことを検出した場合、処理をステップＳ７０へ進め、一方、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていない（上記閾値を超えている）ことを検出した場合、処理をステップＳ６９へ進める（ステップＳ６８）。
次に、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が直線の範囲内に含まれていないことを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、対応する撮像部１の撮像制御部１４に対して、所定の露光時間を減少させる制御信号を出力し、受光部１５の露光時間を増加減少させ、処理をステップＳ６５へ戻す（ステップＳ６９）。
【００５３】
また、露光時間係数計算部３０は、輝度差平均値が規定の範囲内に含まれていることを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、搬送制御部１に対して搬送部２０の移動を指示し、ステージ６上の評価レイヤー基板を、保持移動部５により校正用サンプル３が昇降させる位置から待避させ、処理をステップＳ７１へ進める（ステップＳ７０）。
そして、露光時間係数計算部３０は、「ステップＳ７０の時点の撮像部１における露光時間」を、「基準露光時間とｋ号機に対応する露光時間係数とを乗じた結果」にて除算し、この除算結果を評価レイヤーの基準露光係数とし、評価レイヤー基板のレイヤー情報（例えばレイヤー番号）に対応して、データベース３２に格納する（ステップＳ７１）。
【００５４】
次に、上述した処理を繰り返して、必要な評価レイヤー基板全てに対して、各々に対応した基準露光係数を求める。
上述してきたように、図４に示す測定前の準備フローが終了した時点で、図８に示すレイヤ（評価レイヤー基板）各々に対応する基準露光係数ｊと、撮像部１各々に対応する露光時間係数ｉとのテーブルが形成され、露光時間計算部３１が予め撮像部１とレイヤ（基板８）との組合せに対応するｉ×ｊの数値を演算しておき、これにベースとなる露光時間を乗算することにより、各撮像部１毎の撮像露光時間が高速に演算することができる。
【００５５】
＜測定実行過程＞
次に、図９のフローチャートに示す順に、検査測定として、ステップＳ４からステップＳ８の処理が行われる。
検査装置の検査管理を行うサーバから検査対象の基板８のレイヤー情報（例えば、レイヤー番号）を取得する（ステップＳ４）。
そして、画像データ処理部１０の露光時間計算部３１は、上記レイヤー情報から、この基板８に対応する基準露光係数を、データベース３２から読みだし、各撮像部１毎に、ベースとなる露光時間に対し、この基準露光時間及びデータベース３２から読み出す各撮像部１に対応する露光時間係数を乗じて、撮像露光時間を求め、各撮像部１毎に得られたこの撮像露光時間を対応する撮像部１の撮像制御部１４に設定する（ステップＳ５）。
【００５６】
次に、制御管理部１１は、複数の撮像系により検査対象の基板８を、搬送制御部１８により、所定の速度に移動させつつ、所定の一定周期（サンプリングのタイミング）毎に、全ての撮像部１の撮像制御部１４に対して撮像を指示し、各撮像部１の撮像制御部１４は設定されている撮像露光時間の間、撮像部１の受光部１５の受光素子をオン状態として、各受光素子毎の輝度値を測定し、画像データ処理部１０内のラインメモリに一旦記憶する（ステップＳ６）。
【００５７】
そして、画像データ処理部１０は、上記ラインメモリに記憶されている１周期前の輝度値と、現在受光部１５が受光している輝度値と、各受光素子毎に比較して、大幅に変化している部分を欠陥候補として抽出する（ステップＳ７）。
次に、画像データ処理部１０は、基板８のレイヤー情報と、基板８における座標値（時間方向のサンプリング数と、撮像部１の受光部１５の受光素子の位置とで規定）と、欠陥のサイズ（上記座標値の範囲で規定）とを出力する（ステップＳ８）。
【００５８】
次に、図９のフローチャートにおける撮像部１の露光時間を演算するステップＳ５の処理を、図１０のフローチャートを参照して詳細に説明する。
制御管理部１１は、撮像部１の号機番号をｋ号機（１≦ｋ≦ｎ）として、ｋ＝１に初期化する（ステップＳ８０）。
そして、制御管理部１１は、撮像部１の撮像露光時間を撮像制御部１４に対して設定するよう画像データ処理部１０に指示する。
これにより、露光時間計算部３１は、ｋ号機に対応する露光時間係数と、基板８のレイヤー情報に対応する基準露光係数とをデータベース３２から読みだし、この露光時間係数及び基準露光係数を、ベースとなる露光時間に乗算して、この乗算結果を撮像露光時間として、撮像制御部１４に設定する（ステップＳ８１）。
【００５９】
次に、露光時間係数計算部３０は、ｋに１を加算して、処理をステップＳ８３へ進める（ステップＳ８２）。
次に、露光時間係数計算部３０は、ｋとｎとを比較し、「ｋ≦ｎ（ｋがｎ以下）」であることを検出すると処理をステップＳ８１に戻し、「ｋ＞ｎ（ｋがｎ未満）」であることを検出すると処理を終了する（ステップＳ８３）。
すなわち、露光時間係数計算部３０は、全ての撮像部１の撮像露光時間の計算が終了するまで、ステップＳ８１からステップＳ８３の処理を繰り返して行う。
【００６０】
次に、他の実施例として、構成は図１〜図３に示す実施形態と同様であるが、図１３に示すように、図６のフローチャートにおけるステップＳ３６とステップＳ３８との間に、新たな処理としてステップＳ５６及びＳ５７が設けられた動作の説明を、既に述べた実施例と異なる動作のみに対して行う。
ステップＳ３５の処理の後、露光時間係数計算部３０は、輝度値の粗調整として、各々の撮像部１毎に求められた輝度平均値が、撮像部１の有する入力される光の照度と出力する輝度値との対応関係において、直線性を有する、すなわち輝度平均値が光の照度の一次関数である第１の規定範囲内に、含まれているか否かの判定を、各撮像系毎に行う（ステップＳ５６）。
【００６１】
このとき、露光時間係数計算部３０は、ステップＳ５６により求められた輝度平均値が第１の規定範囲内に含まれていることを検出した場合、処理をステップＳ３６へ進め、一方、輝度平均値が第１の範囲内に含まれていないことを検出した場合、処理をステップＳ５７へ進める（ステップＳ５６）。
次に、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が第１の規定範囲内に含まれていないことを検出した検出信号を調光制御部１２へ出力する。
これにより、調光制御部１２は、対応する撮像部１に対応する発光部１３に対する印加電圧を調整し（輝度値が高ければ低く、輝度値が低ければ高くする）、処理をステップＳ３４へ戻す（ステップＳ５７）。
【００６２】
ステップＳ５６における輝度値の粗調整の後、露光時間係数計算部３０は、輝度値の微調整として、各々の撮像部１毎に求められた輝度平均値が、撮像部１の有する入力される光の照度と出力する輝度値との対応関係において、直線性を有する、すなわち輝度平均値が光の照度の一次関数における第２の規定範囲内に、含まれているか否かの判定を、各撮像系毎に行う（ステップＳ３６）。
【００６３】
このとき、露光時間係数計算部３０は、ステップＳ３６により求められた輝度平均値が第２の規定範囲内に含まれていることを検出した場合、処理をステップＳ３８へ進め、一方、輝度平均値が第２の規定範囲内に含まれていないことを検出した場合、処理をステップＳ３７へ進める（ステップＳ３６）。
次に、露光時間係数計算部３０は、輝度平均値が第２の規定範囲内に含まれていないことを検出した検出信号を制御管理部１１へ出力する。
これにより、制御管理部１１は、対応する撮像部１の撮像制御部１４に対して、所定の露光時間を減少させる制御信号を出力し、サンプリングのタイミングにおいて受光部１５が受光する時間幅を減少させ、処理をステップＳ３４へ戻す（ステップＳ３７）。
【００６４】
上述し他の実施形態において、輝度平均値の第１の規定範囲は第２の規定範囲より広く設定する。また、平均輝度値の調整幅は粗調整時には広く、微調整時には狭く設定する。
すなわち、撮像制御部１４の露光時間可変ステップ量は調光制御部１２の光調整ステップ量に比較して、細かく設定することができる。
上述の発光部１３に対する印加電圧を変更して、輝度値の制御を行うことにより、照明装置２の長時間運用により、発光部１３が劣化し、発光部１３の光量が各チャンネル毎に大きくバラツキ、撮像制御部１４の露光時間の制御のみでは明るさの機差が取れない場合に、輝度値の調整が可能となる効果がある。
【００６５】
上述の検査装置においては、レイヤー基板が１種類のものを想定して記載しているが、工場における生産としては製造装置の稼動効率を向上させるため、図１４に示すように、１つの大面積基板に複数の品種のレイヤ基板を同時に製造し（供取り基板として製造し）ている。
このとき、サーバから上記供取り基板における、検査対象の基板の品種の切り替わり位置を示す座標情報が示され、制御管理部１１は自身の測定している座標情報（例えば、基板の進行方向であるｘ軸方向の移動速度と移動時間とから求められる１次元の座標値）と、サーバから入力された切り替わり位置（レイヤー基板領域Ａからレイヤー基板領域Ｂへの切り替わり位置）の座標情報とが一致したことを検出して、座標情報と共に送信されるレイヤー情報により、データベース３２から基準露光係数を読み出し、撮像露光時間の演算が行われる。
【００６６】
また、上述してきた構成において、撮像系を１つ、すなわち、撮像部１と照明装置２との組合せを１のみ用いた撮像装置を搭載した基板の検査装置に対し、レイヤ基板毎の基準露光計数をデータベース化して用いても、検査の効率を向上させることが可能である。
【００６７】
なお、図１における撮像装置の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより輝度の調整の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータシステム」は、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）を備えたＷＷＷシステムも含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【００６８】
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の一実施形態の撮像装置を搭載した基板の検査装置の構成を示す概念図である。
【図２】図１の検査装置の構成例を示すブロック図である。
【図３】図２の画像データ処理部１０の本実施例における構成例を示すブロック図である。
【図４】図１の検査装置における測定準備の処理の一例を示すフローチャートである。
【図５】図４のステップＳ１の処理を詳細に説明したフローチャートである。
【図６】図４のステップＳ２の処理を詳細に説明したフローチャートである。
【図７】図４のステップＳ３の処理を詳細に説明したフローチャートである。
【図８】データベース３２におけるテーブルの構成を示す概念図である。
【図９】図１の検査装置の測定処理の一例を示すフローチャートである。
【図１０】図９のステップＳ５の処理を詳細に説明したフローチャートである。
【図１１】レイヤー基板毎の基準露光係数を求める処理を説明する概念図である。
【図１２】レイヤ基板を撮像したときの測定点の輝度値毎の出現頻度を示すヒスとグラムである。
【図１３】図４のステップＳ２の処理を詳細に説明した他の実施形態におけるフローチャートである。
【図１４】供取り基板における異なる品種のレイヤー基板領域毎の基準露光係数を求める処理を説明する概念図である。
【符号の説明】
【００７０】
１…撮像部                              ２…照明装置
３…校正用サンプル                      ４…統合制御部
５…保持移動部                          ６…ステージ
７…基板搬送部                          ８…基板
１０…画像データ処理部                  １１…制御管理部
１２…調光制御部                        １３…発光部
１４…撮像制御部                        １５…受光部
１６…サンプル上下駆動制御部            １８…搬送制御部
１９…クランプ制御部                    ２０…搬送部
２１…基板クランプ部                    ３０…露光時間係数計算部
３１…露光時間計算部                    ３２…データベース
【図１】
2006038553.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006038553.tif 000007
【図６】
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【図７】
2006038553.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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