(57)【要約】【課題】光モジュール用ピグテイルに用いられる貫通孔傾斜キャピラリのように、貫通孔が外周に対して大きな同心度を有する貫通孔傾斜円筒体を作製することが困難であった。【解決手段】略中心部に貫通孔を有する複数の円筒体同士をワイヤに通して互いに当接し、該ワイヤを中心軸として上記円筒体の外周側面を研削加工する円筒体の製造方法において、上記円筒体の両端面を略平行の傾斜面とし、複数の上記円筒体の端面同士を当接して外周側面を研削加工することにより、上記貫通孔を上記外周側面に対して傾斜させる。【選択図】図１
2006065003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略中心部に貫通孔を有する複数の円筒体同士をワイヤに通して互いに当接し、該ワイヤを中心軸として上記円筒体の外周側面を研削加工する円筒体の製造方法において、上記円筒体の両端面を略平行な傾斜面とし、複数の上記円筒体の端面同士を当接して外周側面を研削加工することにより、上記貫通孔を上記外周側面に対して傾斜させる工程を含むことを特徴とする貫通孔傾斜円筒体の製造方法。
【請求項２】
上記端面同士の上記中心軸の垂線に対する角度のバラツキが±０．５°以下であることを特徴とする請求項１記載の貫通孔傾斜円筒体の製造方法。
【請求項３】
上記円筒体の両端面の外周と各端面の長軸との交点における接線間の角度を±０．５°以下とすることを特徴とする請求項１または２記載の貫通孔傾斜円筒体の製造方法。
【請求項４】
上記端面の表面粗さＲａを３．２μｍ以下とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の貫通孔傾斜円筒体の製造方法。
【請求項５】
上記円筒体の外周側面を研削加工した後に、上記円筒体の少なくとも一方の傾斜した端面を研磨し、上記貫通孔の傾斜方向と反対の位置に面取り部を設けることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の貫通孔傾斜円筒体の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の貫通孔傾斜円筒体の製造方法であって、上記貫通孔傾斜円筒体を光通信用キャピラリとすることを特徴とする貫通孔傾斜キャピラリの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、任意の貫通孔傾斜角を有する貫通孔傾斜円筒体の製造方法であって、特に、光モジュール用ピグテイルに使用されるキャピラリの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、光通信等の光信号処理に用いられる光モジュール用ピグテイル２１は、半導体レーザモジュール等に用いられ、図９に示すように、光ファイバ２２のファイバ芯線部を挿通する貫通孔１０を有するキャピラリ１４と、該キャピラリ１４と連設し、前記光ファイバを挿通する挿通孔２３を有するホルダ２４とからなり、キャピラリ１４の先端面は、レーザーダイオード等の光源への反射戻り光を抑制するため、ホルダ２４に形成された挿通孔２３の中心軸の垂線に対して一定角度傾斜している。
【０００３】
ここで、図９に示すような光モジュール用ピグテイル２１は、キャピラリ１４に形成された貫通孔１０がホルダ２４に形成された挿通孔２３の中心軸と平行に設けられているため、キャピラリ１４の先端面の反対側より光ファイバ２２に入射した光がキャピラリ１４の先端面より出射する際、屈折率が変化するため、その出射光の光軸が矢印方向に曲がってしまい、光接続損失が大きくなってしまう。
【０００４】
そこで、光ファイバが挿通される細孔が、キャピラリ１４の中心軸に対して一定角度傾いていることが望ましい。この傾斜により、上述の出射光の光軸の矢印方向への曲がりが補正されるからである。
【０００５】
このような、キャピラリを得る加工方法として、先ず、例えば円柱状ジルコニアセラミックスを用意し、次に所望の内径に対応したスポット径を有するレーザー光を、上記円柱状ジルコニアセラミックスの中心部に、所望の傾斜角で照射する方法が提案されている（特許文献１、２参照）。
【特許文献１】特開２００２−２９６４４８号公報
【特許文献２】特開２００３−１４９７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら上記の方法は、レーザー光の熱によりジルコニアセラミックスの中心部を溶融状態とし、貫通孔を形成した後、冷却して再度固体にするため、形成された貫通孔の表面は滑らかにならず、凹凸を持った面となる。
【０００７】
そのため、ファイバの挿入性に問題が有った。これを解決するために、貫通孔表面の凹凸を除去する必要が有り、貫通孔を大量に研磨しなければならなかった。しかしながら、近年求められている微小サイズのキャピラリでは、貫通孔に上記した研磨を施しにくく、所望の傾斜角を得ることが困難であった。さらに、上記した研磨工程に多大な工数を要するという問題点が有った。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、略中心部に貫通孔を有する複数の円筒体同士をワイヤに通して互いに当接し、該ワイヤを中心軸として上記円筒体の外周側面を研削加工する円筒体の製造方法において、上記円筒体の両端面を略平行な傾斜面とし、複数の上記円筒体の端面同士を当接して外周側面を研削加工することにより、上記貫通孔を上記外周側面に対して傾斜させる工程を含むことを特徴とする。
【０００９】
また、上記端面同士の上記中心軸に対する角度のバラツキを±０．５°以下とすることを特徴とする。
【００１０】
また、上記円筒体の両端面の外周と各端面の長軸との交点における接線間の角度を±０．５°以下とすることを特徴とする。
【００１１】
また、上記端面の表面粗さＲａを３．２μｍ以下とすることを特徴とする。
【００１２】
さらに、上記円筒体の外周側面を研削加工した後に、上記円筒体の少なくとも一方の傾斜した端面を研磨し、上記貫通孔の傾斜方向と反対の位置に面取り部を設けることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法によれば、略中心部に貫通孔を有する複数の円筒体同士をワイヤに通して互いに当接し、該ワイヤを中心軸として上記円筒体の外周側面を研削加工する円筒体の製造方法において、上記円筒体の両端面を略平行な傾斜面とし、複数の上記円筒体の端面同士を当接して外周側面を研削加工することにより、上記貫通孔を上記外周側面に対して傾斜させる工程を含むことにより、上記円筒体外周に対する任意の貫通孔の傾斜角を有する貫通孔傾斜円筒体を得ることができる。
【００１４】
さらに、複数の上記円筒体の当接する上記端面同士の上記中心軸に対する角度のバラツキを±０．５°以下とすることにより、上記円筒体外周に対する任意の貫通孔の傾斜角を有する貫通孔傾斜円筒体を容易に得ることができるとともに、上記ワイヤにかかる力を低減し、ワイヤ切れを防ぐことができる。
【００１５】
さらに、上記円筒体の両端面の外周と各端面の長軸との交点における接線間の角度を±０．５°以下とすることにより、上記円筒体外周に対する任意の貫通孔の傾斜角を有する貫通孔傾斜円筒体を容易に得ることができるとともに、複数の上記円筒体を上記ワイヤに沿って直線状に併設することができる。
【００１６】
さらに、複数の上記円筒体の当接する上記端面の表面粗さをＲａ３．２μｍ以下とすることにより、複数の上記円筒体の端面同士が当接する接触面の摩擦抵抗を低減することができる。
【００１７】
さらに、上記円筒体の外周側面を研削加工した後に、上記円筒体の少なくとも一方の傾斜した端面を研磨し、上記貫通孔の傾斜方向と反対の位置に面取り部を設けることにより、作製された貫通孔傾斜円筒体の傾斜方向が上記端面から容易に見出すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
図１は、本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法の外周研削工程における一実施形態を示す側面図である。２個の円筒体１を１本のワイヤ２に通し、連続する円筒体１の両端にストッパー３をそれぞれ設置し、円筒体１のストッパー３間より外側への移動を防止する。
【００２０】
ストッパー３間に複数の円筒体１を通したワイヤ２は左右に移動し、一定の位置で回転する回転砥石４とローラー５の間を通過させる。この時、回転砥石４とローラー５間の距離は、円筒体１の外径よりも僅かに小さいので、円筒体１の外周は回転砥石４によって研削される。
【００２１】
このように回転砥石４を通過する円筒体１ａは、その外径よりも間隔の狭い部分を通過しようとするので、ここで大きな抵抗を受ける。一方、ワイヤ２は進行し続けるので、円筒体１ａは、後方の円筒体１ｂから進行方向８に押され、これら２つの円筒体１ａ、１ｂは、接触面で軸方向に互いに押し合う力６を及ぼし合う。
【００２２】
ここで、円筒体１の両端面９を互いに略平行な傾斜面とし、複数の円筒体１の端面９同士を当接し、円筒体１の外周側面を研削加工しなければならない。これは、円筒体１ａ及び１ｂの端面９同士が当接する接触面は、互いに中心軸に対して傾斜しているので、中心軸方向に押し合う力６により、図１の場合では、円筒体１ａは上記接触面付近で径方向下向きの力７ａを受ける。また、円筒体１ｂは上記接触面付近で径方向上向きの力７ｂを受ける。そのため、円筒体１ａの図中上部の外周は回転砥石４から遠ざかり、あまり研削されない。これに対して、円筒体１ｂの図中上部の外周は逆に回転砥石４に押し付けられるため、大きく研削される。
【００２３】
実際は、回転砥石４とローラー５の回転により、円筒体１はワイヤ２を中心に回転するため、図１の状態から１８０°回転した時は、円筒体１ａの上記と反対側の外周側面は回転砥石４に押し付けられ、大きく研削される。一方、円筒体１ｂの上記と反対側の外周側面は回転砥石４から遠ざかり、あまり研削されない。
【００２４】
これらの事項により、円筒体１ａ、１ｂは共に、貫通孔出口が両端面９において、中心軸方向外側に突出した側の外周に偏る。その結果、貫通孔１０が外周に対して傾斜した円筒体１を得ることができる。
【００２５】
尚、貫通孔１０の傾斜角θは、図２に示すように、円筒体１の中心軸Ｋと貫通孔１０の中心軸Ｌの為す角度で定義される。
【００２６】
ここで、貫通孔１０の傾斜角は、円筒体１両端に位置する傾斜面の角度θ１と、当接する２つの円筒体１ａ、１ｂの押し合う力６によって決まり、傾斜面の角度θ１が大きいほど、また、押し合う力６が大きいほど傾斜角は大きくなる。押し合う力６は、回転砥石４の切り込み量、ワイヤ２の進行速度、回転砥石４の回転速度で決まる。切り込み量が大きいと、円筒体１ａの受ける抵抗が大きくなり押し合う力は大きくなる。ワイヤ２の進行速度が大きい時も同様である。また、回転砥石４の回転が遅いと、研削も遅くなり、結果的に円筒体１ａの受ける抵抗も小さくなり、押し合う力６が大きくなる。
【００２７】
一方、円筒体１の両端面９を傾斜面にしないと、円筒体１ａ、１ｂが上記接触面に及ぼす押し合う力６は互いに打ち消し合うため、上記接触面付近で力７ａ及び力７ｂのような力を受けなくなるので、貫通孔１０を任意の傾斜角を有する円筒体を得ることはできない。
【００２８】
尚、円筒体１ａと１ｂの接合面では、上記の理由から貫通孔１０に挿入されたワイヤ２に、せん断力が働き、場合によってはワイヤ２が切断される可能性もある。
【００２９】
その場合は、貫通孔１０とワイヤ２の内外径差を大きくする、即ち、貫通孔１０の内径を大きくするか、ワイヤ２の外径を小さくしてやることによって、切断の可能性を取り除く事ができる。これは、せん断力によるワイヤ２の変形が、上記内外径差のために小さくなるからである。
【００３０】
次に、円筒体１の両端にある傾斜面ついて説明する。図３（ａ）は円筒体１の長手方向の断面図であり、図３（ｂ）は円筒体１の平面図である。
【００３１】
ここで、当接する円筒体１ａ及び１ｂの端面９同士の中心軸Ｋの垂線Ｍに対する角度θ１のバラツキが±０．５°以下であることが好ましい。これは、角度θ１のバラツキが±０．５°を超えると、これら端面９同士が接触する際に、各円筒体１をワイヤ２上で一直線に整列できず、研削加工中にワイヤ２を不正に曲げようとする力が働き、加工中ワイヤ２切れが起こり、研削加工ができなくなる可能性がある。
【００３２】
さらに、円筒体１の両端面９の外周と各端面９の長軸ａ、ｂとの交点における接線ｃ、ｄ間の角度θ２が±０．５°以下であることが好ましい。これは、角度θ２が±０．５°を超えると、各円筒体１をワイヤ２上で一直線に整列できず、研削加工中にワイヤ２を不正に曲げようとする力が働き、加工中ワイヤ２切れが起こり、研削加工ができなくなる可能性がある。ここで、端面９は上述したように傾斜面となっているため、図３（ｂ）に示すように、各端面９は楕円形状を有するので、長軸ａ、ｂを規定できる。さらに、長軸ａ、ｂの各端面９の外周との交点も規定できるので、従って、該交点における接線ｃ、ｄを導くことができる。
【００３３】
さらに、複数の円筒体１が当接する端面９の表面粗さがＲａ３．２μｍ以下であることが好ましい。これは、円筒体１の端面９の表面粗さがＲａ３．２μｍを超えると、複数の円筒体１同士の端面９が当接する接触面に摩擦抵抗が発生するため、円筒体１に与える力７ａや力７ｂを抑制するため、円筒体１の外周側面に対する貫通孔１０の傾斜角にバラツキが生じたり、あるいは、貫通孔１０を傾斜させることができない可能性がある。
【００３４】
さらに、円筒体１の外周側面を研削加工した後に、図４に示すように、円筒体１の少なくとも一方の傾斜した端面９を研磨し、貫通孔１０の傾斜方向と反対の位置に面取り部１３を設けることが好ましい。これは、面取り部１３を設けることにより、円筒体１の傾斜方向を容易に見出すことができるようになるからである。
【００３５】
一方で、平面研削を施す時に円筒体１端面９の傾斜面を残して光モジュール用キャピラリ１４を製作すれば、図５に示すように、平面研削面１１に面取り部１３が形成される。この面取り部１３は、図４に示す平面研削面１１に沿って研削すると、必然的に貫通孔１０の傾斜方向の反対側に形成されるので、これにより、容易に貫通孔１０の傾斜方向を知ることができる。
【実施例】
【００３６】
以下に、本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法を用いて貫通孔傾斜円筒体を作製した。
【００３７】
（実施例１）先ず、押出し成形法により円筒状ジルコニア成形体を押出し、乾燥、焼成工程を経て長尺円筒状ジルコニアセラミック１５を製作した。長さは約２００ｍｍで直径はφ１．６ｍｍである。
【００３８】
次に、長尺円筒状ジルコニアセラミック１５を図６に示すように、カット治具１６上に載置、固定した。カット治具１６には平行な溝１７が５０本、約３ｍｍの間隔で形成されており、本実施例では、各溝に長尺円筒状ジルコニアセラミック１５を載置した。固定にはホットメルトワックスを用いたが、他の接着剤を用いてもよく、細い板状の治具をねじで押し付けるなどの機械的な固定方法でも良い。
【００３９】
次に、図７に示すように、ベッド１８ａ上に、角度θ３＝１５°にて角度治具１９を電磁石の磁力で固定し、その上に長尺円筒状ジルコニアセラミック１５を載置、固定したカット治具１６をねじによって固定した。
【００４０】
上記の状態で、高速回転するダイヤ工具１８ｃを長尺円筒状ジルコニアセラミック１５に押し当て、長尺円筒状ジルコニアセラミック１５をカットした。ここで、ダイヤ工具１８ｃは、コラム１８ｂで上下方向に移動させることができる。また、コラム１８ｂ自体もベッド１８ａに平行に、紙面を貫く方向、及び紙面手前方向に移動させることができる。この機構により、本実施例では長尺円筒状ジルコニアセラミック１５、５０本を約３ｍｍの間隔でカットして傾斜した端面９を有する長尺円筒状ジルコニアセラミック１５を形成した。尚、カットにより形成された端面９は、角度θ１＝１５°となった。これは上述した方法を鑑みると、角度θ３＝角度θ１となるからである。
【００４１】
以上の切断工程により、両端面９が角度θ１＝１５°で平行に傾斜し、貫通孔１０の両端面９間の距離が約３ｍｍの円筒体１を切り出すことができた。各長尺円筒状ジルコニアセラミック１５から４０本の円筒体１を切り出したので、合計で２，０００本の円筒体１を切り出すことができた。
【００４２】
上述した製造方法で作製された１００個の円筒体１をそれぞれ当接させて、各円筒体１の有する貫通孔１０に１本のワイヤ２を通した。今回の試験では、円筒体１の貫通孔の内径がφ１２５μｍ〜１２６μｍであり、外径約φ１００μｍのワイヤ２を用いた。
【００４３】
そして、５０個の円筒体１を通したワイヤをワイヤセンタレス加工機にセットし、一回の研削量を約１０μｍとして研削加工を行った。
【００４４】
ここで、比較例として、図８に示すような両端面９が傾斜していない円筒体１に外周研削加工を施して貫通孔傾斜円筒体の作製を行った。しかしながら、この外周研削加工では、加工中に各円筒体１に径方向上向きの力や下向きの力が作用しないので、平均で０．０６°の傾斜角しかなかったため、光モジュール用キャピラリとして利用するために十分な傾斜量を有する貫通孔傾斜円筒体を作製することができなかった。
【００４５】
また、さらに比較試験として、円筒体１にＹＡＧレーザーを斜めに照射し、貫通孔傾斜円筒体を作製した。レーザー光は、スポット径が１２５μｍになるように、また、入射角は、貫通孔の傾斜角が３．６°になるように調整した。
【００４６】
しかし、上記したレーザー加工による貫通孔の形成方法では、該貫通孔の内壁にレーザー光の熱により一旦溶融状態になったセラミックが冷却されて固化したため、貫通孔の内壁面が凹凸のある荒れた面となった。この状態で貫通孔にファイバを挿入するとファイバを傷つけるため、貫通孔の内壁面に研磨加工を施す必要があった。そして、ワイヤにダイヤモンドスラリーを塗布することにより研磨加工を施したが、多大な加工時間を要した。また、この研磨加工により貫通孔の傾斜角が変動し、最大で１．５°ずれる円筒体になった。
【００４７】
これらに対して、本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法であれば、貫通孔１０を円筒体１の外周に対して容易に傾斜させることができるとともに、所望の傾斜角θを有する貫通孔傾斜円筒体を作製することができた。尚、本発明の実施例の傾斜角θは平均で約３．６°であった。
【００４８】
ここで、例えば光モジュール用キャピラリの場合、この貫通孔１０の傾斜角θは一般に、３．１〜４．６°程度が望ましいとされるので、光モジュール用キャピラリとして利用するために十分な傾斜角を有する貫通孔傾斜円筒体を作製することができた。
【００４９】
尚、傾斜角の測定は、円筒体１の貫通孔１０にピンゲージを挿入、突出させ、これを回転し、その先端の振れから傾斜角を判断するという一般的な測定方法を用いた。（ＪＩＳ  Ｃ  ５９６１  ５．４）
（実施例２）上述した本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法において、当接する２つの円筒体１ａ及び１ｂの端面９同士の中心軸に対する角度θ１のバラツキとワイヤ２のワイヤ切れの発生率との関連について検証した。
【００５０】
上記実施例１と同じ条件で５０個の円筒体１を外周研削加工する試験を１００回行い、隣り合い当接する円筒体１ａ及び円筒体１ｂの端面９における様々な角度θ１にともなうワイヤ切れの発生率を算出した。結果は表１に示すとおりである。
【表１】
2006065003.tif 000003
【００５１】
この表１から、試料番号４〜６では円筒体１ａ及び円筒体１ｂの当接する各端面９の角度θ１の差が１．０°を超えたため、ワイヤ２に円筒体１ａ及び円筒体１ｂを一直線に維持することが困難になり、ワイヤ２に力が作用し、ワイヤ切れが生じた。
【００５２】
これらに対して、試料番号１〜３では円筒体１ａ及び円筒体１ｂの当接する各端面９の角度θ１の差を１．０°以下としたため、角度θ１のバラツキが±０．５°以下とすることができるので、ワイヤ２にかかる力を低減し、ワイヤ２の切れを防ぐことができた。
【００５３】
（実施例３）上述した本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法において、上記実施例２と同じ条件及び回数で外周研削加工試験を行い、円筒体１の端面９の外周と端面９の長軸ａ、ｂとの交点における接線ｃ、ｄ間の角度θ２とワイヤ切れについて検証した。結果は表２に示すとおりである。
【表２】
2006065003.tif 000004
【００５４】
この表２から、試料番号１０〜１２では円筒体１の両端面９の角度θ２の差が１．０°を超えたため、ワイヤ２に円筒体１ａ及び円筒体１ｂを一直線に維持することが困難になり、ワイヤ２に力が作用し、ワイヤ切れが生じた。
【００５５】
これらに対して、試料番号７〜９では円筒体１の両端面９の角度θ２の差を１．０°以下としたため、角度θ２を±０．５°以下とすることができるので、ワイヤ２にかかる力を低減し、ワイヤ２の切れを防ぐことができた。
【００５６】
（実施例４）上述した本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法において、上記実施例２と同じ条件で円筒体１ａ及び円筒体１ｂの外周研削加工を行い、当接する円筒体１ａ及び円筒体１ｂの端面９の表面粗さＲａと傾斜角のバラツキとの関連について検証した。
【００５７】
ダイヤ工具１８ｃの番手を変えて様々な表面粗さＲａの端面９を有する円筒体１を作製し、上記実施例２と同じ条件及び回数で外周研削加工試験を行い、得られた円筒体１が有する貫通孔１０の各円筒体の外周に対する傾斜角を上記実施例１と同様の方法で測定した。
【００５８】
ここで、円筒体１ａ及び１ｂの当接する各端面９の表面粗さＲａを０．４μｍとし、外周研削加工して得られた円筒体の傾斜角を１として規格化し、評価を行った。結果は表３に示すとおりである。
【表３】
2006065003.tif 000005
【００５９】
この表３から、試料番号１７、１８では当接する各端面９の表面粗さＲａが３．２μｍを超えたため、円筒体１ａと円筒体１ｂの当接する各端面９の接触面に摩擦抵抗が発生し、各円筒体に与える力７ａや力７ｂを抑制したため、円筒体１の外周側面に対する貫通孔１０の傾斜角のバラツキが大きくなった。
【００６０】
これらに対して、試料番号１４〜１６では当接する各端面９の表面粗さＲａを３．２μｍ以下としたため、円筒体１ａと円筒体１ｂの当接する各端面９の接触面に発生する摩擦抵抗を低減できたため、各円筒体に与える力７ａや力７ｂを効率よく均等に作用することができたため、円筒体１の外周側面に対する貫通孔１０の傾斜角のバラツキは小さかった。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法における外周研削工程を示す断面図である。
【図２】本発明の貫通孔傾斜円筒体の製造方法で作製した貫通孔傾斜円筒体を示す断面図である。
【図３】貫通孔傾斜円筒体の端面の傾斜角を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図４】面取り部の形成工程を示す要部の側面図である。
【図５】キャピラリの端面付近を示す斜視図である
【図６】円筒体のカット治具示す平面図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は円筒体をカットする工程を示す側面図である。
【図８】従来の貫通孔を有する円筒体の製造方法における外周研削工程を示す断面図である。
【図９】従来の貫通孔を有する円筒体の製造方法における外周研削工程を示す側面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１・・・円筒体
１ａ・・・進行方向前方の円筒体
１ｂ・・・進行方向後方の円筒体
２・・・ワイヤ
３・・・ストッパー
４・・・回転砥石
５・・・ローラー
６・・・軸方向力
７・・・径方向力
７ａ・・・径方向下向きの力
７ｂ・・・径方向上向きの力
８・・・進行方向
９・・・円筒体端面
１０・・・貫通孔
１１・・・平面研削面
１３・・・面取り部
１４・・・キャピラリ
１５・・・長尺円筒状ジルコニアセラミック
１６・・・カット治具
１７・・・溝
１８・・・カット装置
１８ａ・・・ベッド
１８ｂ・・・コラム
１８ｃ・・・ダイヤ工具
１９・・・角度治具
２１・・・光モジュール用ピグテイル
２２・・・光ファイバ
２３・・・挿通孔
２４・・・ホルダ
【図１】
2006065003.tif 000006
【図２】
2006065003.tif 000007
【図３】
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【図４】
2006065003.tif 000009
【図５】
2006065003.tif 000010
【図６】
2006065003.tif 000011
【図７】
2006065003.tif 000012
【図８】
2006065003.tif 000013
【図９】
2006065003.tif 000014