(57)【要約】【課題】真空容器１全体としての材料コストの低減を図る。【解決手段】  容器本体３は、内部が真空ポンプ５に接続可能であって、容器本体３の一側に開口部７が形成され、容器本体３に開口部７を開閉する蓋部材９が着脱可能に設けられ、蓋部材９に、真空ポンプ５の排気作動によって容器本体３の内部を真空状態にしたときに、大気圧による外力を容器本体３の内側から受けるサポート部材１７が設けられたこと。【選択図】  図１
2006136835.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が真空ポンプに接続可能であって、少なくとも一側に開口部が形成された容器本体と；
前記容器本体に着脱可能に設けられ、前記開口部を開閉する蓋部材と；
前記蓋部材に設けられてあって、前記真空ポンプの排気作動によって前記容器本体の内部を真空状態にしたときに、大気圧による外力を前記容器本体の内側から受けるサポート部材と；
を具備したことを特徴とする真空容器。
【請求項２】
前記サポート部材の両端に設けられ、前記容器本体の内面に対して転動可能なコロと；
を具備したことを特徴とする請求項１に記載の真空容器。
【請求項３】
前記サポート部材は、前記真空ポンプの排気作動によって前記容器本体の内部を真空状態にしたときに、前記蓋部材を外方向へ押圧するように構成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の真空容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＣＶＤ装置、ＰＶＤ装置等に用いられる真空容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な真空容器について簡単に説明すると、次のようになる。即ち、前記真空容器は、容器本体を具備しており、この容器本体は、内部が真空ポンプに接続可能である。また、前記容器本体の一側には、開口部が形成されており、前記容器本体には、前記開口部を開閉する蓋部材が着脱可能に設けられている。なお、前記容器本体には、バルブが接続されており、このバルブは、前記容器本体の内部に外気を供給可能である。
【０００３】
従って、前記真空容器を用いてＣＶＤ、ＰＶＤ等の表面処理を行う場合には、前記蓋部材を前記容器本体に装着させて、前記蓋部材により前記開口部を閉じる。そして、前記真空ポンプの排気動作によって前記容器本体の内部を真空状態にする。
【０００４】
一方、前記容器本体の内部に配置した処理器具のメンテナンス等を行う場合には、前記バルブの操作によって前記容器本体の内部に外気を供給する。そして、前記蓋部材を前記容器本体から離脱させて、前記蓋部材により前記開口部を開く。
【０００５】
なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１及び特許文献２に示すものがある。
【特許文献１】特開平５−１００３９７２号公報
【特許文献２】特開平６−１９８１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前記処理器具のメンテナンス等の作業性を考慮すると、前記容器本体における前記開口部を大きくする必要がある一方、前記容器本体における前記開口部を大きくすると、前記容器本体の内部を真空状態にしたときに、大気圧による外力（圧縮力）によって前記容器本体が変形し易くなる。そのため、前記容器本体の肉厚を厚くすること等により、前記大気圧による外力に十分に耐える程度に前記容器本体の剛性を高めることが必要になり、前記真空容器全体としての材料コストが高くなるという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の特徴は、内部が真空ポンプに接続可能であって、少なくとも一側に開口部が形成された容器本体と；
前記容器本体に着脱可能に設けられ、前記開口部を開閉する蓋部材と；
前記蓋部材に設けられてあって、前記真空ポンプの排気作動によって前記容器本体の内部を真空状態にしたときに、大気圧による外力（圧縮力）を前記容器本体の内側から受けるサポート部材と；
を具備したことである。
【０００８】
ここで、「前記蓋部材に前記サポート部材が設けられた」とは、前記蓋部材に別部材であるサポート部材が設けられたことの他に、前記蓋部材の一部にサポート部が形成されたことを含むものである。また、「前記蓋部材に設けられ」とは、前記蓋部材に着脱可能に設けられたことを含むものである。
【０００９】
本発明の特徴によると、前記真空容器を用いてＣＶＤ、ＰＶＤ等の表面処理を行う場合には、前記蓋部材を前記容器本体に装着させて、前記蓋部材により前記開口部を閉じる。そして、前記真空ポンプの排気動作によって前記容器本体の内部を真空状態にする。
【００１０】
一方、前記容器本体の内部に配置した処理器具のメンテナンス等を行う場合には、例えばバルブの操作によって前記容器本体の内部に外気を供給する。そして、前記蓋部材を前記容器本体から離脱させて、前記蓋部材により前記開口部を開く（前記真空容器の一般的な作用）。
【００１１】
前記真空容器の一般的な作用の他に、前記蓋部材に前記サポート部材が設けられてあって、前記サポート部材によって前記大気圧による外力を前記容器本体の内側から受けるため、前記容器本体の肉厚を薄すること等により、前記容器本体の剛性の低下を図っても、前記大気圧による外力によって生じる前記容器本体の変形を十分に抑えることができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上の如き、本発明によれば、前記容器本体の肉厚を薄くすること等により、前記容器本体の剛性の低下を図っても、前記大気圧による外力によって生じる前記容器本体の変形を十分に抑えることができるため、前記真空容器全体としての材料コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明をより詳細に説明するために、本発明の各実施形態につき、適宜に図面を参照して説明する。なお、図面中において、「ＦＦ」は、前方向を指してあって、「ＦＲ」は、後方向を指し、「Ｌ」は、左方向を指し、「Ｒ」は、右方向を指している。
【００１４】
《第１実施例》
実施形態の第１実施例について図１から図３を参照して説明する。
【００１５】
図１は、実施形態の第１実施例に係わる真空容器の縦断面図であって、図２は、実施形態の第１実施例に係わる真空容器の横断面図であって、図３は、図１におけるI-I線に沿った図である。
【００１６】
第１実施例に係わる真空容器１は、例えばＣＶＤ装置、ＰＶＤ装置等に用いられるものであって、容器本体３を具備しており、この容器本体３は、内部が真空ポンプ５に接続可能である。また、容器本体３の一側（上側）には、開口部７が形成されており、容器本体３には、開口部７を開閉する蓋部材９が着脱可能に設けられている。更に、容器本体３における開口部７の周縁には、周溝１１が形成されており、この周溝１１には、容器本体３と蓋部材９の間を気密に保持するＯリング１３が嵌入されている。なお、容器本体３には、バルブ（図示省略）が接続されており、このバルブは、容器本体３の内部に外気を供給可能である。
【００１７】
蓋部材９の内側面には、左右方向へ延びたサポート部材１５が取付ボルト（図示省略）を介して着脱可能に設けられており、このサポート部材１５は、真空ポンプ５の排気作動によって容器本体３の内部を真空状態にしたときに、大気圧による外力（圧縮力）を容器本体３の内側から受けるものである。ここで、サポート部材１５の数は、複数であっても差し支えなく、また、左右方向へ延びたサポート部材１５の他に、前後方向へ延びたサポート部材が蓋部材９の内側面に設けられるようにしても差し支えない。
【００１８】
蓋部材９の内側面には、前記ＣＶＤ装置等の処理器具の１つであるヒータ１７が複数の取付金具１９を介して設けられており、容器本体３の内部には、前記ＣＶＤ装置の別の処理器具である高周波電極（図示省略）等が配置されている。
【００１９】
次に、実施形態の第１実施例の作用・効果について説明する。
【００２０】
真空容器１を用いてＣＶＤ、ＰＶＤ等の表面処理を行う場合には、蓋部材９を容器本体３に装着させて、図１及び図２において実線で示すように、蓋部材９により開口部７を閉じる。そして、真空ポンプ５の排気動作によって容器本体３の内部を真空状態にする。
【００２１】
一方、容器本体３の内部に配置した前記高周波電極等のメンテナンス等を行う場合には、前記バルブの操作によって容器本体３の内部に外気を供給する。そして、蓋部材９を容器本体３から離脱させて、図１及び図２に仮想線で示すように、蓋部材９により開口部７を開く（真空容器１の一般的な作用）。
【００２２】
真空容器１の一般的な作用の他に、蓋部材９の内側面にサポート部材１５が設けられてあって、サポート部材１５によって前記大気圧による外力を容器本体３の内側から受けるため、容器本体３の肉厚を薄くする等により、容器本体３の剛性の低下を図っても、前記大気圧による外力によって生じる容器本体３の変形を十分に抑えることができる。
【００２３】
従って、第１実施例によれば、容器本体３の肉厚を薄くする等により、容器本体３の剛性の低下を図っても、前記大気圧による外力によって生じる容器本体３の変形を十分に抑えることができるため、真空容器１全体としての材料コストの低減を図ることができる。
【００２４】
なお、容器本体３の一側に開口部７が形成され、容器本体３に開口部７を開閉する蓋部材９が着脱可能に設けられる他に、容器本体３の他側（下側）に別の開口部が形成され、容器本体３に前記別の開口部を開閉する別の蓋部材が着脱可能に設けられるようにしても差し支えない。
【００２５】
《第２実施例》
実施形態の第２実施例について図４及び図５を参照して説明する。
【００２６】
図４は、実施形態の第２実施例に係わる真空容器の縦断面図であって、図５は、実施形態の第２実施例に係わる真空容器の横断面図である。
【００２７】
第２実施例に係わる真空容器２１は、第１実施例に係わる真空容器１と同様の構成を有しており、真空容器２１の具体的な構成のうち、真空容器１の具体的な構成と異なる部分についてのみ説明する。なお、真空容器２１における複数の構成要素のうち、真空容器１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付して、説明を省略する。
【００２８】
蓋部材９の内側面には、左右方向へ延びたサポート部材２３が取付ボルト（図示省略）を介して着脱可能に設けられており、このサポート部材２３は、第１実施例に係わるサポート部材１５と同様に、真空ポンプ５の排気作動によって容器本体３の内部を真空状態にしたときに、大気圧による外力（圧縮力）を容器本体３の内側から受けるものである。そして、サポート部材２３は、真空ポンプ５の排気作動によって容器本体３の内部を真空状態にしたときに、外向き（図４及び図５において上向き）に凸状に湾曲して蓋部材９を外方向（図４及び図５において上方向）へ押圧するように構成されている。なお、サポート部材２３の数は、複数であっても差し支えなく、また、左右方向へ延びたサポート部材２３の他に、前後方向へ延びたサポート部材が蓋部材の内側面に設けられるようにしても差し支えない。
【００２９】
更に、サポート部材２３の両端には、容器本体３の内面に対して転動可能なコロ２５が設けられており、コロ２５は、サポート部材２３に対して上下方向（サポート部材２３の長手方向）へ僅かに移動できるように構成されることが望ましい。
【００３０】
次に、第２実施例の作用・効果について説明する。
【００３１】
蓋部材９の内側面にサポート部材２３が設けられてあって、サポート部材２３によって前記大気圧による外力を容器本体３の内側から受けるため、容器本体３の肉厚を薄くすること等により、容器本体３の剛性の低下を図っても、前記大気圧による外力によって生じる容器本体３の変形を十分に抑えることができる。また、サポート部材２３は、真空ポンプ５の排気作動によって容器本体３の内部を真空状態にしたときに、蓋部材９を外方向へ押圧するように構成されているため、蓋部材９の肉厚を薄くすること等により、蓋部材９の剛性の低下を図っても、前記大気圧による外力によって生じる蓋部材９の変形を十分に抑えることができる。
【００３２】
また、真空ポンプ５の排気動作によって容器本体３の内部を真空状態にする際に、容器本体３が左右方向へ、蓋部材９が容器本体３の他側方向（図４及び図５において下方向）へそれぞれ僅かに変位しても、コロ２５が容器本体３の内面に対して転動することによって、サポート部材２３に過度のせん断力が作用することを回避することができる。
【００３３】
従って、第２実施例によれば、容器本体３及び蓋部材９の肉厚を薄くすること等により、容器本体３及び蓋部材９の剛性の低下を図っても、前記大気圧による外力によって生じる容器本体３及び蓋部材９の変形を十分に抑えることができるため、真空容器２１全体としての材料コストのより一層の低減を図ることができる。
【００３４】
《第３実施例》
実施形態の第３実施例について図６及び図７を参照して説明する。
【００３５】
図６は、実施形態の第３実施例に係わる真空容器の縦断面図であって、図７は、実施形態の第２実施例に係わる真空容器の横断面図である。
【００３６】
第３実施例に係わる真空容器２７は、第１実施例に係わる真空容器１と同様の構成を有しており、真空容器２７の具体的な構成のうち、真空容器１の具体的な構成と異なる部分についてのみ説明する。なお、真空容器２７における複数の構成要素のうち、真空容器１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付して、説明を省略する。
【００３７】
蓋部材９の内側面の中央部には、左右方向へ延びたサポート部（サポート部材）９ａが形成されており、蓋部材９の一部であるサポート部９ａは、第１実施例に係わるサポート部材１５と同様に、真空ポンプ５の排気作動によって容器本体３の内部を真空状態にしたときに、大気圧による外力を容器本体３の内側から受けるものである。
【００３８】
更に、サポート部９ａの両端には、容器本体３の内面に対して転動可能なコロ２９が設けられており、コロ２９は、サポート部９ａに対して左右方向へ僅かに移動できるように構成されることが望ましい。
【００３９】
なお、第３実施例によれば、第１実施例と同様の作用・効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施形態の第１実施例に係わる真空容器の縦断面図である。
【図２】実施形態の第１実施例に係わる真空容器の横断面図である。
【図３】図１におけるI-I線に沿った図である。
【図４】実施形態の第２実施例に係わる真空容器の縦断面図である。
【図５】実施形態の第２実施例に係わる真空容器の横断面図である。
【図６】実施形態の第３実施例に係わる真空容器の縦断面図である。
【図７】実施形態の第２実施例に係わる真空容器の横断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１            真空容器
３（３ａ）    容器本体
５            真空ポンプ
７            開口部
９            蓋部材
１１            周溝
１３            Ｏリング
１５            サポート部材
１７            ヒータ
１９            取付金具
２１            真空容器
２３            サポート部材
２５            コロ
２７            真空容器
２９            コロ
【図１】
2006136835.tif 000003
【図２】
2006136835.tif 000004
【図３】
2006136835.tif 000005
【図４】
2006136835.tif 000006
【図５】
2006136835.tif 000007
【図６】
2006136835.tif 000008
【図７】
2006136835.tif 000009