(57)【要約】【課題】  装置全体の構造を小型化することができるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を提供する。【解決手段】  アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出すアクチュエータケースの孔から流出するダストの拡散を防止する装置において、上記アクチュエータの出力シャフト引き出し孔１０ｂを覆うアダプタ８をアクチュエータケース２に装着し、このアダプタ８に、アダプタ８の内側空洞部１５に流出したダストをアダプタ８の内部空気とともに強制的に排気する排気装置９を連結したことにある。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出すアクチュエータケースの孔から流出するダストの拡散を防止する装置において、上記アクチュエータの出力シャフト引き出し孔を覆うアダプタをアクチュエータケースに装着し、このアダプタに、アダプタの内側空洞部に流出したダストをアダプタの内部空気とともに強制的に排気する排気装置を連結したことを特徴とするアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置。
【請求項２】
アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出すアクチュエータケースの孔から流出するダストの拡散を防止する装置において、上記出力シャフト引き出し孔が設けられたアクチュエータケース壁面に空洞部を設け、この空洞部に、空洞部の内部空気を強制的に排気する排気装置を連結したことを特徴とするアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータの内部から発生するダストが、アクチュエータの外部に流出して室内空間を汚染する不具合を防止することができるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モータ等のアクチュエータでは、出力シャフトを支持する軸受けがアクチュエータの内部壁面に設けられており、この軸受けが出力シャフトの回転時に磨耗粉を発生したり、軸受け部に充填されたグリスなどのオイルミストが出力シャフトの回転に伴って出力シャフトの引き出し孔から外部に流出する不具合があった。
このため、半導体工場等のクリーンルーム内での作業が必須の現場では、アクチュエータから流出するダストの拡散を極力抑制する必要がある。
【０００３】
そこで、従来では、モータ全体をケース内に閉じ込めてダストの発生を抑制したり、モータ全体を入れたケースにファンを設けてモータ内から流出するダストをケース外に排気するようにしたものが知られている(特許文献１参照)。
【特許文献１】特開昭６２−２９３９５１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来技術によると、モータ全体をケース内に閉じ込めるため、装置全体が大型化したり、ファンをケース内に組み込むための構造が複雑となっていた。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決し、装置全体の構造を小型化することができるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するため、アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出すアクチュエータケースの孔から流出するダストの拡散を防止する装置において、上記アクチュエータの出力シャフト引き出し孔を覆うアダプタをアクチュエータケースに装着し、このアダプタに、アダプタの内側空洞部に流出したダストをアダプタの内部空気とともに強制的に排気する排気装置を連結したことにある。
また、本発明は、アクチュエータの出力シャフトを外部に引き出すアクチュエータケースの孔から流出するダストの拡散を防止する装置において、上記出力シャフト引き出し孔が設けられたアクチュエータケース壁面に空洞部を設け、この空洞部に、空洞部の内部空気を強制的に排気する排気装置を連結したことにある。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、装置全体の構造を小型化することができるとともに、部品点数を最小限に設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら、詳細に説明する。
図１はアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を示す部分断面図である。
図１において、１はアクチュエータとしてのモータで、このモータ１はモータケース２の内部に、図示しないステータとともにロータ３が収納されている。このロータ３を支持する出力シャフト４がモータケース２に設けられた軸受け５を介して支持されている。
出力シャフト４は一端部をモータケース２のフランジ６に設けられた出力シャフト引き出し孔６ａからモータケース２の外側に引き出されている。
【０００９】
７はモータ１のフランジ６に組み付けられたダスト拡散防止装置で、このダスト拡散防止装置７はフランジ６に取り付けられるアダプタ８と、このアダプタ８の内部空気を排気する排気装置９とで構成されている。
【００１０】
上記アダプタ８は、図２に示すように、モータ１のフランジ６に対応する平板状の本体１０の内側に浅い円筒状の凹部１０ａを形成したもので、この凹部１０ａの底面１０ｅの中心に出力シャフト４の引き出し孔１０ｂが形成されている。本体１０の四隅にはモータ１のフランジ６の取付穴(図示せず)に対応する孔１０ｃが形成されている。アダプタ８は、この孔１０ｃに図示しないねじを介してモータ１のフランジ６の取付穴に固定されている。本体１０の一側には、外側に突出した、突片１１が一体成形されており、この突片１１の板面１１ａには上記本体１０の肉厚部分を貫通して上記凹部１０ａの内壁面１０ｄに一端１２ａを開口した排気通路１２の他端１２ｂが開口している。この排気通路１２の他端１２ｂには、排気装置９のホース１３を連結するノズル１４が設けられている。排気装置９はクリーンルームの外に設けられた吸引ポンプなどを介して凹部１０ａの内側を排気するものである。
【００１１】
次に上記アクチュエータにおけるダスト拡散防止装置の作用を説明する。
アダプタ８をモータ１のフランジ６に取り付け、ノズル１３に排気装置９のホースを接続する。そして、モータ１の作動と共に排気装置９を駆動する。排気装置９の駆動によってアダプタ８の凹部１０ａ内がホース１３を通して吸引される。こうして、モータ１の作動に伴ってモータ１内のダストが、出力シャフト４の引き出し孔１０ｂを通してアダプタ８の凹部１０ａとモータ１のフランジ６との空洞部１５に流出してきた場合、排気装置９の吸引力によって、ダストが空洞部１５内の空気と共に室外に排気される。
【００１２】
図３は、図２と同一部分は、同符号を付して示すアダプタの変形例で、この場合、アダプタ８の凹部１０ａの底面１０ｅに、内壁面１０ｄに沿って円弧状の突起部１６ａ，１６ｂ，１６ｃを円周方向に一定間隔を開けて連続するように形成したものである。突起部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの高さは、内壁面１０ｄの高さに合わせて形成され、突起部１６ａ，１６ｂ，１６ｃ間の間隙１７は、排気通路１２の他端１２ｂの開口位置Ａからずれるように形成されている。空洞部１５は、上記間隙１７を通って内壁面１０ｄと突起部１６ａ，１６ｂ，１６Ｃとの間に形成された通路１８に連通している。
この変形例によると、出力シャフト４の引き出し孔１０ｂから流出したダストは、空洞部１５の突起部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの内側に入り、各間隙１７を通って内壁面１０ｄと突起部１６ａ，１６ｂ，１６Ｃとの間の通路１８に入り込む。そして、通路１８を通って排気通路１２の他端１２ｂに達することになる。したがって、空洞部１５内でダストが一箇所に集中することなく、均一に分散されて通路１８を通って排気通路１２から排気されることになる。
【００１３】
図４は、本発明のダスト拡散防止装置の他の実施の形態で、図１と同一部分は同符号を付して同一部分の説明は省略して説明する。
この場合、アダプタ８は用いずに、モータ１のモータフランジ１９自体にアダプタの機能を持たせたものである。
モータフランジ１９は、内部に中空の空洞部２０を形成したもので、この空洞部２０に通じる通路２１を、モータフランジ１９の壁面１９ａに形成している。通路２１の一端は、空洞部２０に連通し、通路２１の他端は外部に通じるモータフランジ１９の壁面１９ｂに開口している。そして、モータ１のモータフランジ１９の空洞部２０とモータケース２の内部とを仕切る壁面１９ｃに軸受け５が設けられている。
【００１４】
この実施の形態によると、モータフランジ１９にアダプタの機能を持たせたので、部品点数の削減を図ることができる。
【００１５】
本発明は、上記実施の形態のみに限定されるものではなく、例えば、モータのモータケース２内から流出するダストの排気について説明したが、油圧モータ、発電機あるいはボールねじなどの他のアクチュエータに適用できることは言うまでもない。また、アダプタは合成樹脂による一体成形でもよく、あるいは金属製でも良い。など、その他、本発明の要旨を変更しない範囲内で適宜変形して実施し得ることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態によるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を示す部分断面図である。
【図２】図１のアダプタを示す斜視図である。
【図３】図２のアダプタの変形例を示す斜視図である。
【図４】本発明の他の実施の形態によるアクチュエータにおけるダスト拡散防止装置を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００１７】
１    モータ（アクチュエータ）
２    モータケース
４    出力シャフト
５    軸受け
６    フランジ
７    ダスト拡散防止装置
８    アダプタ
９    排気装置
１０    本体
１０ａ  凹部
１０ｂ  引き出し孔
１０ｃ  孔
１１    突片
１２    排気通路
１５、２０    空洞部
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ    突起部
１７    間隙
１８、２１    通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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