(57)【要約】【課題】  音叉型屈曲振動水晶片が小型化しても電極ショートの発生しにくい電極構造を提供する。【解決手段】  二本の脚部と二本の脚部を接続する基部を有するＵ字状音叉型屈曲振動水晶片の第１の脚部の表裏主面と第２の脚部の内外側面に第一の励振電極を設けて各々共通接続し、第２の脚部の表裏主面と第１の脚部の内外側面に第二の励振電極を設けて各々接続してなる音叉型屈曲振動水晶片の電極形状において、第１の脚部の表主面と第２の脚部の内側面に形成された第一の励振電極を音叉型屈曲振動水晶片のＵ字部溝端を中心としてＵ字部溝端より基部側表主面を通して第２の脚部Ｕ字溝端付近で第２の脚部の内側面に接続する電極形状とし、前記接続電極が形成された第２の脚部主表面の前記接続電極より基部側へは励振電極を設けない音叉型屈曲振動水晶片の電極形状とする。【選択図】  図１
2006108884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二本の脚部と二本の脚部を接続する基部を有するＵ字状音叉型屈曲振動水晶片の第１の脚部の表裏主面と第２の脚部の内外側面に第一の励振電極を設けて各々共通接続し、第２の脚部の表裏主面と第１の脚部の内外側面に第二の励振電極を設けて各々接続してなる音叉型屈曲振動水晶片の電極形状において、第１の脚部の表主面と第２の脚部の内側面に形成された第一の励振電極を音叉型屈曲振動水晶片のＵ字部溝端を中心としてＵ字部溝端より基部側表主面を通して第２の脚部Ｕ字溝端付近で第２の脚部の内側面に接続する電極形状とし、前記接続電極が形成された第２の脚部主表面の前記接続電極より基部側へは励振電極を設けないことを特徴とする音叉型屈曲振動水晶片の電極形状。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器などに組込まれる音叉型屈曲振動水晶振動子に使用される音叉型屈曲振動水晶片の電極形状に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動子は、水晶の圧電効果を利用した振動子であり、水晶特有な安定した発振源である為多くの分野に利用されており、腕時計、ビデオデッキ、携帯電話等に使用されている。
【０００３】
図３は従来技術による水晶振動子に使用する一般的な音叉型屈曲振動水晶片の正面図（Ａ）、および電極形成用マスクの正面図（Ｂ）である。音叉型屈曲振動水晶片１は、共振部分として第１の脚部２と第２の脚部３を有し、各脚部を接続して支え且つ支持部分としての基部４より構成される。音叉型屈曲振動水晶片１の表面には励振電極が形成される。音叉型屈曲振動水晶片１の第１の脚部２の表裏主面と第２の脚部３の内外側面に第一の励振電極５を設けて各々共通接続し、第２の脚部３の表裏主面と第１の脚部２の内外側面に第二の励振電極６を設けて各々接続する（脚部内外の側面電極は不図示）。第１の脚部２に形成された第一の励振電極５は、接続電極７により音叉のＵ字溝の付近から第２の脚部３の内側側面に設けられた励振電極５に接続される。そして、これらの励振電極５、６に交流電源を接続することにより、第１の脚部２と第２の脚部３が屈曲振動を行う音叉型屈曲振動水晶片１が得られる。
【０００４】
これらの電極形状を設ける方法として、図３（Ｂ）に示すような金属製の蒸着マスク１０を２枚用いて音叉型屈曲振動水晶片１の表裏面を挟持し、例えば真空蒸着法等の手法により前記音叉型屈曲振動水晶片１の主面（表裏面）及び側面にクロム、銀、金等の電極材料を付着させている。尚、図３（Ｂ）に示す点線は蒸着マスクに挟持される音叉型屈曲振動水晶片１を示し、主面電極は蒸着マスク１０の窓１０ａから、側面電極は金属蒸着マスク１０の窓１０ｂから飛び込む電極材料が音叉型屈曲振動振動片１の表面で堆積して形成される。図中ハッチングで表示されている部分は蒸着マスクの桟がハーフエッチングされている部分である。蒸着マスクは金属製が一般的であるが、ガラスや水晶でもかまわない。特許文献１参照。
【０００５】
【特許文献１】実開平１−８６３１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、電子部品は軽薄短小の要求が強く、水晶振動子にも小型化の要求が強い。水晶振動子は、小型化するにつれて、音叉型屈曲振動水晶片１も小型となり電極形状も小さくなりそのパターンは細くなる。特に第２の脚部３のように接続電極７と励振電極６ａが並列して配置される部分ではパターンが細くなる。蒸着マスク１０に形成されるパターンはエッチング法や電鋳法で形成されるが、パターンの最小幅は蒸着マスク１０の厚さ程度となる為、より細いパターンを形成する為には蒸着マスク１０を薄くしなければならい。しかし、蒸着マスク１０を薄くすると蒸着マスク１０に機械的強度がなくなり、取扱いや蒸着時の熱により蒸着マスク１０が変形し、形成される電極パターンが断線したり、パターン間のショートが発生するので、微細パターンを形成するために安易に蒸着マスク１０を薄くすることは、出来ない。特に、前述した音叉型屈曲振動水晶片１のＵ字部溝付近の主面部には電極を形成する為の蒸着マスク窓と音叉型屈曲水晶片１を挟むための金属桟が集中するため、窓、桟ともに微細化し、蒸着マスク１０の加工が難しく、ショート、断線の発生が多い箇所である。
【０００７】
特許文献１でも電極形状によりショートの対策をしているが、根本的な対策とはならず、特に音叉型屈曲振動水晶片が小さくなると、効果が半減してしまっている。本発明は音叉型屈曲振動水晶片が小型化しても電極ショートの発生しにくい電極構造を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
二本の脚部と二本の脚部を接続する基部を有するＵ字状音叉型屈曲振動水晶片の第１の脚部の表裏主面と第２の脚部の内外側面に第一の励振電極を設けて各々共通接続し、第２の脚部の表裏主面と第１の脚部の内外側面に第二の励振電極を設けて各々接続してなる音叉型屈曲振動水晶片の電極形状において、第１の脚部の表主面と第２の脚部の内側面に形成された第一の励振電極を音叉型屈曲振動水晶片のＵ字部溝端を中心としてＵ字部溝端より基部側表主面を通して第２の脚部Ｕ字溝端付近で第２の脚部の内側面に接続する電極形状とし、前記接続電極が形成された第２の脚部主表面の前記接続電極より基部側へは励振電極を設けない音叉型屈曲振動水晶片の電極形状とする。ここで、第１の脚部、第２の脚部としているのは便宜上であり、音叉型屈曲振動水晶片を裏面から見れば第１の脚部と第２の脚部は入れ替わるものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の音叉型屈曲振動水晶片の電極形状とすると、従来、蒸着マスクパターンが微細化する部分の電極形状が単純化され、微細化の必要がないので蒸着マスクを薄くする必要がなく、電極のパターン切れやショートが発生しなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
二本の脚部と二本の脚部を接続する基部を有するＵ字状音叉型屈曲振動水晶片の第１の脚部の表裏主面と第２の脚部の内外側面に第一の励振電極を設けて各々共通接続し、第２の脚部の表裏主面と第１の脚部の内外側面に第二の励振電極を設けて各々接続してなる音叉型屈曲振動水晶片の電極形状において、第１の脚部の表主面と第２の脚部の内側面に形成された第一の励振電極を音叉型屈曲振動水晶片のＵ字部溝端を中心としてＵ字部溝端より基部側表主面を通して第２の脚部Ｕ字溝端付近で第２の脚部の内側面に接続する電極形状とし、前記接続電極が形成された第２の脚部主表面の前記接続電極より基部側へは励振電極を設けない音叉型屈曲振動水晶片の電極形状とする。
【実施例１】
【００１１】
図１は本発明による音叉型屈曲振動水晶片の正面図（Ａ）および電極形成用マスクの正面図（Ｂ）であり、図２は音叉型屈曲振動水晶片の正面右斜視図（Ａ）と背面左斜視図（Ｂ）である。
【００１２】
音叉型屈曲振動水晶片１は、共振部分として第１の脚部２と第２の脚部３を有し、各脚部を接続して支え且つ支持部分としての基部４より構成される。音叉型屈曲振動水晶片１の表面には励振電極が形成される。音叉型屈曲振動水晶片１の第１の脚部２の表裏主面と第２の脚部３の内外側面に第一の励振電極１２を設けて各々共通接続し、第２の脚部３の表裏主面と第１の脚部２の内外側面に第二の励振電極１３を設けて各々接続する。第１の脚部２に形成された第一の励振電極１２は、接続電極１７により音叉のＵ字溝の付近から第２の脚部３の内側側面に設けられた励振電極１２に接続される。そして、これらの励振電極１２、１３に交流電源を接続することにより、第１の脚部２と第２の脚部３が屈曲振動を行う音叉型屈曲振動水晶片１が得られる。
【００１３】
これらの電極形状を設ける方法として、図１（Ｂ）に示すような金属製の蒸着マスク１１を２枚用いて音叉型屈曲振動水晶片１の表裏面を挟持し、例えば真空蒸着法等の手法により前記音叉型屈曲振動水晶片１の主面（表裏面）及び側面にクロム、銀、金等の電極材料を付着させている。尚、図１（Ｂ）に示す点線は蒸着マスク１１に挟持される音叉型屈曲振動水晶片１を示し、主面電極は蒸着マスク１１の窓１１ａから、側面電極は蒸着マスク１１の窓１１ｂから飛び込む電極材料が音叉型屈曲振動振動片１の表面で堆積して形成される。図中はッチングで表示されている部分は蒸着マスク１１の桟がハーフエッチングされている部分である。
【００１４】
本実施例によると、水晶振動子のクリスタルインピーダンスが多少高くなるが、音叉型屈曲振動水晶片が小型化しても励振電極形成およびそれに用いる蒸着マスクの作成および蒸着マスクの取扱いが容易になる。特に電極間のショート不良のて低減には多大な効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による音叉型屈曲振動水晶片の正面図（Ａ）および電極形成用マスクの正面図（Ｂ）
【図２】音叉型屈曲振動水晶片の正面右斜視図（Ａ）と背面左斜視図（Ｂ）
【図３】従来技術による水晶振動子に使用する一般的な音叉型屈曲振動水晶片の正面図（Ａ）および電極形成用マスクの正面図（Ｂ）
【符号の説明】
【００１６】
１        音叉型屈曲振動水晶片
２        第１の脚部
３        第２の脚部
４        基部
５        第一の励振電極
６        第二の励振電極
６ａ      第二の励振電極
７        接続電極
１０      金属蒸着マスク
１０ａ    窓
１０ｂ    窓
１１      金属蒸着マスク
１１ａ    窓
１１ｂ    窓
１２      第一の励振電極
１３      第二の励振電極
１７      接続電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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