(57)【要約】【課題】  機械的誤差及び加工誤差を削減し、高精度な位置決め精度を可能とし、高密度・高多層基板の半田バンプ印刷が可能なスクリーン印刷方法及び装置を提供する。【解決手段】  ダミーワークＤＷ（以降の印刷に必要な基準を印刷するワーク）をワークアライメント機構２に固定した状態で印刷位置に移動して半田印刷を行った後、該印刷されたダミーワークをワークアライメント位置に戻して画像処理カメラ７で撮像し、該画像からアライメント用に特定した半田バンプの位置座標を画像記憶し、この記憶したダミーワークの画像に基づいて次回以降のワークＷの位置決めを行い、その後印刷位置でワークの半田印刷を行うようにしている。【選択図】      図１
2006187912.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンが印刷されるワーク（Ｗ）に所定のパターンが形成されたスクリーンマスク（Ｓ）を重ね、前記スクリーンマスクを介して半田ペースト（Ｐ）を前記ワーク上に印刷するスクリーン印刷方法において、この印刷方法が以下の段階、
（１）ダミーワーク（ＤＷ：以降の印刷に必要な基準を印刷するワーク）をワークアライメント機構（２）に固定した状態で、ワークアライメント位置から印刷位置に移動して、前記ダミーワークに半田印刷を行う印刷段階と、
（２）半田印刷された前記ダミーワークをワークアライメント位置に戻し、固定された画像処理カメラ（７）で撮像された前記半田印刷されたダミーワークの画像から、アライメント用に特定した半田バンプの位置座標を画像記憶する記憶段階と、
（３）次回のワークアライメント位置でのワークの位置決めを、前記記憶段階で記憶された画像に基づいて行う位置決め段階と、
を備えていることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項２】
以降のワークの位置決めを記憶された前記ダミーワークの位置座標に基づいて繰り返し行い、個々に取り込まれたワークの画像データの中心座標を統計処理することで、繰り返し誤差の最小化を図る段階を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項３】
所定のパターンが印刷されるワーク（Ｗ）に所定のパターンが形成されたスクリーンマスク（Ｓ）を重ね、前記スクリーンマスクを介して半田ペースト（Ｐ）を前記ワーク上に印刷するスクリーン印刷装置（１）が、
前記ワークを載置し、制御装置（９）からの情報に基づいて前記ワークの位置決めを行うワークアライメント機構（２）と、
前記ワークアライメント機構をワークアライメント位置と印刷位置との間で移動させるワーク移動機構（３）と、
印刷位置に固定された前記スクリーンマスクを昇降させるスクリーン昇降機構（５）と、
前記スクリーンマスクを介して半田ペーストをワーク上に印刷する印刷機構（６）と、
ワークアライメント位置に固定された画像処理カメラ（７）と、
前記画像処理カメラによる画像からアライメント用に特定した半田バンプの画像を記憶し、これに基づいて前記ワークアライメント機構を制御する制御装置（９）と、
を具備していて、
最初に印刷したダミーワークまたは直前に印刷したワークまたは繰り返し行った印刷ワークの統計的平均値の画像に基づいて次回以降のワークの位置決めを行うことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記ワーク及び前記スクリーンマスクが、位置決めマーカーを有していないワーク及びスクリーンマスクであることを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半田ペースト等をスクリーンマスクを介してワークに印刷するスクリーン印刷方法及びその装置に関し、特に高密度・高多層基板のスクリーン印刷を得るのに好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
一般にプリント基板と半導体チップを接続する技術としてフリップチップ（ＦＣ）方式と呼ばれる半田バンプ（微細な半田の突起物）を使用して接合する方式が採用されている。この方式は、平面的に半田バンプを配置することで数千から数万の接続点数を一度に接続できるため、ＩＴ化の進展によって益々高機能化する半導体チップの接続条件は微細・高密度・高点数化が急速に進んでいる。
【０００３】
従来の半田バンプの形成は、ワークアライメント位置と半田印刷位置の２工程で構成される装置を用い、ワークアライメント位置でワーク（基板）をセットし、半田印刷位置に移動して、スクリーン昇降機構を作用してワークに金属スクリーンマスク（以下、「スクリーン」と称す）を重ね、スキージ等により半田ペーストをスクリーンを通してワークに印刷して形成する工程で行っていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この従来技術のスクリーン印刷装置が、図４，５に示されている。即ち、スクリーン印刷装置１は、ワーク（基板）Ｗの位置決めを行うワークアライメント機構２、ワークＷをワークアライメント位置と半田印刷位置との間で直線往復移動させるワーク移動機構３、スクリーンＳとこのスクリーンＳをワークアライメント位置と半田印刷位置との間で直線往復移動させるスクリーン移動機構４及びスクリーンＳを上下に昇降させるスクリーン昇降機構５、半田バンプ印刷機構６、画像処理カメラ７とカメラ昇降機構８等より構成されている。この印刷装置１では、ワークＷをワークアライメント機構２のテーブル２１上に載置し、ワークアライメント位置において画像処理カメラ７で撮像した画像に基づいてワークアライメント機構２によってワークＷの位置決めを行い、次いでワークＷをワーク移動機構３によって半田印刷位置に移動し、この半田印刷位置でスクリーン移動機構４及びスクリーン昇降機構５によりスクリーンＳをワークＷに重ね、半田バンプ印刷機構６のスキージ６１を移動して半田ペーストＰをスクリーンＳを介してワークＷ上に塗布することによって、ワークＷ上に半田バンプＢを印刷している。
【０００５】
一般に印刷品質の決め手はスクリーンＳの印刷パターンとワークＷの印刷パターンの重ね合わせ精度にあるが、不透明の金属スクリーンＳを用いていることから、ワークＷとスクリーンＳとを重ねて位置合わせをすることができないため、画像処理装置によって金属スクリーンＳの位置決めマーカーＭとワークＷの位置決めマーカーとを個々にアライメントし、画像処理データを基に機械的にスクリーンＳとワークＷを重ねる方式を採用している。
【０００６】
従って、図４，５に示すように画像処理カメラ７が固定の場合、スクリーンＳをスクリーン移動機構を用いてワークアライメント位置に移動し、画像処理カメラ７によってアライメント後、半田印刷位置に戻してプリント印刷する方式となるため、スクリーンＳの移動・昇降及び画像処理カメラ７の昇降など可動部が多く、位置合わせ後のスクリーンＳのセット位置はアライメント時の個々の移動機構の機械的な誤差を含むことになる。
また、スクリーンＳに設けた位置決めマーカー（ハーフエッチングで非貫通）と実際に半田を印刷する印刷孔（貫通）とは加工条件が異なるため、同時加工とならず、加工誤差を生じる。カメラ移動式では更に誤差が増えることになる。
このように、従来の複雑な機構で構成される半田印刷機構では構造的な誤差から、近年の微細・高密度・高点数化要求に答えることが困難となってきている。
【０００７】
特に、次世代の高密度・高多層基板のバンプ数は、ワーク１個当り数千バンプとなり、これまでの数百バンプの１０倍以上となることからバンプφ１００μｍ×ピッチ１５０μｍと高密度化が進む。このような要求に従来のアライメント方式の半田ペースト印刷技術では対応することが困難となっている。
更に、当出願人のＰＡＬＡＰ基板では、基板材質が従来のガラエポ基板と異なり、半田の濡れ性が良いことから、半田が正確にバンプ形成位置に転写されないとリフロー時（無酸化雰囲気で半田を溶かして、表面張力でボールに形成する）に流れて近傍のバンプとつながりブリッジ不良になるといった問題がある。
【０００８】
【特許文献１】特開平６−１５５７０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、従来のスクリーン及びワークの２データを個々に画像処理する方式では、カメラ移動によって２回の機械的誤差が生じていたものを、ワーク位置決め誤差のみに減少することでより高精度な位置決め精度を可能とし、更にマーカーと印刷部位との加工誤差もなくすことができ、次世代の高密度・高多層基板の半田バンプ印刷を可能にしたスクリーン印刷方法及びその装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載のスクリーン印刷方法及びその装置を提供する。
請求項１に記載のスクリーン印刷方法は、ダミーワークＤＷ（以降の印刷に必要な基準を印刷するワークを以下ダミーワークＤＷと呼ぶ）をワークアライメント機構２に固定した状態で印刷位置に移動して半田印刷を行った後に、この印刷されたダミーワークＤＷをワークアライメント位置に戻して画像処理カメラ７で撮像して、この画像からアライメント用に特定した半田バンプの位置座標を画像記憶し、この記憶したダミーワークＤＷの画像に基づいて次回以降のワークＷの位置決めを行うようにしたものであり、これにより、個々の機構の移動による機械的な誤差を削減し、高精度な位置決め精度を可能とし、高密度・高多層基板の半田バンプ印刷を行うことができる。
【００１１】
請求項２のスクリーン印刷方法は、ワークの位置決めを記憶されたダミーワークＤＷの位置座標に基づいて繰り返し行い、個々に取り込まれたワークＷの画像データの中心座標を統計処理することで、繰り返し誤差の最小化を図るようにしたものであり、これにより、いっそうの位置決めの高精度化を図ることができる。
【００１２】
請求項３に記載のスクリーン印刷装置は、ワークを載置し、制御装置９からの情報に基づいてワークの位置決めを行うワークアライメント機構２と、ワークアライメント位置と印刷位置との間でワークアライメント機構２を移動させるワーク移動機構３と、印刷位置に固定されたスクリーンマスクＳを昇降させるスクリーン昇降機構５と、スクリーンマスクＳを介して半田ペーストＰをワークＷ上に印刷する印刷機構６と、ワークアライメント位置に固定された画像処理カメラ７と、画像処理カメラ７による画像からアライメント用に特定した半田バンプの画像を記憶し、これに基づいてワークアライメント機構２を制御する制御装置９とを備えていて、最初に印刷したダミーワークＤＷまたは、直前に印刷したワーク、または、それまでに印刷したワークの統計的な平均値の内、もっとも高度な位置決め結果が得られる画像に基づいて次回以降のワークＷの位置決めを行うようにしたものであり、これにより、請求項１と同様の作用効果を奏することができる。また、スクリーン移動機構、カメラ昇降機構等を削除することができ、機構の簡素化を図ることができる。
【００１３】
請求項４のスクリーン印刷装置は、位置決めマーカーを有していないワーク及びスクリーンマスクを使用するようにしたものであり、これにより、貫通穴と非貫通穴という加工条件の異なる加工による加工誤差の発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態のスクリーン印刷方法及びその装置について説明する。図１は、本発明の実施の形態のスクリーン印刷装置の全体構成を示す図である。スクリーン印刷装置１は、基本的に、テーブル２１上に載せた、基板であるワークＷをＸＹθ方向に位置決めするワークアライメント機構２、ワークＷをワークアライメント位置と印刷位置との間で直線移動させるワーク移動機構３、スクリーン（スクリーンマスク）Ｓを上下に昇降するスクリーン昇降機構５、印刷位置でスクリーンＳを介して半田ペーストＰをワークＷ上に印刷する印刷機構６、ワークＷ及びスクリーンＳを撮像する画像処理カメラ７及びカメラ７で撮像した画像を記憶し、これに基づいてワークアライメント機構を制御する制御装置９等より構成されている。
【００１５】
ワークアライメント機構２は、ワークＷを載置して保持するテーブル２１、Ｘ方向に移動するＸ方向移動台２２、Ｙ方向に移動するＹ方向移動台２３及びθ方向に回動する回動台２４とより構成されていて、これらが一緒に組み合わされていてワーク移動機構３の搬送テーブル３１上に取着されている。テーブル２１の上面は、多数の吸引孔（図示せず）を有する吸着面であって、ワークＷを載せた状態でこれを吸着して位置決めすることができる。これら吸引孔は図示されない真空ポンプに接続している。テーブル２１は、Ｘ方向移動台２２上に支持され、Ｘ方向移動台２２はＹ方向移動台２３上に支持され、更にＹ方向移動台２３が回動台２４上に支持されている。これによって、テーブル２１上のワークＷの位置がＸ，Ｙ，θ方向に修正できるようになっている。なお、Ｘ，Ｙ方向の移動及びθ方向の回動は、サーボモータ２５によってそれぞれ行われる。
【００１６】
ワーク移動機構３は、印刷装置１の基台１１上に設けられる搬送ガイド３２とワークアライメント機構２を載せて、搬送ガイド３２に沿って移動する搬送テーブル３１とより構成される。搬送テーブル３１は図示されない駆動部によって搬送ガイド３２に沿ってワークアライメント位置と印刷位置との間を往復直線移動する。
【００１７】
スクリーン（スクリーンマスク）Ｓとは、マスクの表面に所定のパターンが形成されているもの、例えば、メタルマスクや狭義のスクリーンマスクを含む概念である。スクリーンＳには、印刷孔Ｓ1によるパターンが形成されているが、位置決めマーカーは形成されていない。このスクリーンＳは、印刷位置においてスクリーン昇降機構５によって上下に昇降可能に構成されているが、本発明においては、印刷位置とワークアライメント位置間を移動させるスクリーン移動機構を有しておらず、両者間を移動することはできない。
【００１８】
スクリーン昇降機構５は、印刷装置１の基台１１上に立設された左右の柱状部材１２間を架設した横架部材１３に取り付けられた一対の昇降用シリンダ５１と、昇降用シリンダ５１内を摺動するピストン体５１ａの一端に固定されている、スクリーンＳを保持する保持体５２とから構成されている。保持体５２は、例えば昇降用シリンダ５１内に導入される流体によって作動される。
【００１９】
印刷装置１の横架部材１３には、上記スクリーン昇降機構５の外に、印刷機構６及び画像処理カメラ７も取り付けられている。即ち、一対の画像処理カメラ７が、ワークアライメント位置において横架部材１３に固定して取り付けられている。この画像処理カメラ７は、ワークＷの表面に焦点が合わされて固定されている。また画像処理カメラ７には、カメラ７からの画像を記憶し、この記憶された画像認識情報に基づいて、ワークＷのテーブル２１をＸ，Ｙ，θ方向に修正して補正する制御装置９が接続されている。
【００２０】
印刷機構６は、印刷装置１の横架部材１３に取り付けられていて、スキージ６１が取り付けられたスキージヘッド６２と、スキージヘッド６２を上下に昇降させるスキージ昇降機構６３及びスキージヘッド６２を横方向に移動するスキージ移動機構６４とを含んでいる。スキージ昇降機構６３は、例えば、ピストン−シリンダ機構により、またスキージ移動機構６４は、例えばボールネジ機構により構成されている。したがって、スキージヘッド６２のスキージ６１が、スクリーンＳに当接する位置までスキージ昇降機構６３によって降下され、その後、スキージ移動機構６４によりスクリーンＳがワークＷに当接するようにスキージ６１をスクリーンＳ上を移動させ、スクリーンＳ上の半田ペーストＰをスキージ６１で押してスクリーンＳの印刷孔Ｓ1を通してワークＷ上に半田ペーストＰを塗布することにより、スクリーン印刷が行われる。
【００２１】
上記構成よりなる本実施形態のスクリーン印刷装置１の動作（スクリーン印刷方法）について、図２，３に従って説明する。
まず、ワークＷと同一の外形形状のダミーワークＤＷをワークアライメント機構２のテーブル２１上に載置して保持する。ワークアライメント機構２を操作しない（固定した）状態でワーク移動機構３を作動させ、ダミーワークＤＷを保持したワークアライメント機構２をワークアライメント位置から印刷位置へと移動する。この状態で図２（ａ）に示すように通常の印刷動作でダミーワークＤＷに半田バンプを印刷する。即ち、スクリーン昇降機構５によってスクリーンＳを降下しダミーワークＤＷに当接する。次いで、印刷機構６のスキージ昇降機構６３によってスキージヘッド６２を降下し、スキージ６１をスクリーンＳに当接する。この状態でスキージ移動機構６４によりスキージ６１をスクリーンＳ上を移動させ、スクリーンＳ上の半田ペーストＰをスキージ６１で押して、スクリーンＳの印刷孔Ｓ1を通してダミーワークＤＷ上に半田ペーストＰを塗布する。このようにして、ダミーワークＤＷ上に半田バンプが印刷される。印刷後、スクリーンＳ及びスキージヘッド６２は上昇して元の位置に戻る。
【００２２】
次に、この印刷されたダミーワークＤＷを載置保持しているワークアライメント機構２を印刷位置からワークアライメント位置に戻す。ワークアライメント位置で、図２（ｂ）に示すように固定された画像処理カメラ７により、半田バンプが印刷されたダミーワークＤＷを撮像し、その画像からアライメント用に特定した半田バンプ（例えば、最外周の特徴的な半田バンプ）の、例えば２点の位置座標（ｘ1，ｙ1，θ1）を制御装置９に画像記憶する。以上のスクリーンアライメント操作により、半田バンプの基準位置が制御装置９に記憶される。
【００２３】
画像記憶後のワークＷへの半田バンプの印刷は、図３に示すように基本的に従来と同様の操作によって行われる。即ち、ワークアライメント位置にある印刷されたダミーワークＤＷをテーブル２１から取り出し、次に印刷するワークＷをテーブル２１に載置し保持する。次いで図４（ａ）に示されるように画像処理カメラ７でワークＷを撮像し、その画像からダミーワークＤＷのアライメント用に特定した半田バンプに対応する半田バンプ搭載位置を被印刷部のパターンから読み取り、その位置座標（ｘ2，ｙ2，θ2）の情報を制御装置９に入力する。制御装置９は、印刷されたダミーワークＷのアライメント用に特定した半田バンプの位置座標（ｘ1，ｙ1，θ1）と、これに対応するワークＷのアライメント用に特定した半田バンプ搭載位置の位置座標（ｘ2，ｙ2，θ2）とを比較して、その差分（｜ｘ1−ｘ2｜，｜ｙ1−ｙ2｜，｜θ1−θ2｜）だけ位置修正するように、ワークアライメント機構２に指令する。この指令に基づいて、ワークアライメント機構２は、Ｘ方向移動台２２、Ｙ方向移動台２３及びθ方向移動台２４を作動して、Ｘ，Ｙ及びθ方向の位置修正を行う。このようにして、印刷されたダミーワークＤＷの半田バンプの位置情報に基づいて、ワークＷの位置決めがされる。
実施例ではダミーワークＤＷの半田バンプ形状と半田バンプ搭載位置の被印刷部パターンが異なり、ダミーワークＤＷの半田バンプ形状が円形、被印刷部パターンが四角形であった。また、印刷後の半田バンプ搭載位置を印刷部のパターンはこれらが重なる画像となるため、記憶画像は３種類をそれぞれに設け、対象に合わせて切り替えて位置座標の取得を行っている。この切り替え機能により印刷後のバンプ位置から次の印刷に必要な位置補正を行うこともできる。
画像処理の処理アルゴリズムによっては、外形形状や、外周エッジの抽出などさまざまあるが、ワークの印刷形状や目的の精度に合わせて適宜選定することで、高精度化を図ることができる。
【００２４】
位置決めされたワークＷは、ワーク移動機構３によってワークアライメント位置から印刷位置に移動される。次いで、図３（ｂ）に示すように上述したダミーワークＤＷの印刷と同様に、ワークＷに印刷が行われる。即ち、スクリーン昇降機構５によりスクリーンＳがワークＷに当接する位置まで降ろされ、次いで、スキージ昇降機構６３によってスキージヘッド６２が降ろされ、スキージ６１がスクリーンＳに当接する。この状態で、スキージ移動機構６４によりスキージ６１をスクリーンＳ上を移動させ、スクリーンＳ上の半田ペーストＰをスキージ６１で押して印刷孔Ｓ1を通してワークＷ上に半田ペーストＰを塗布する。ワークＷの全面の半田バンプ印刷が終了後、スクリーンＳ及びスキージヘッド６２は上昇して元の位置に戻る。ワークＷは、印刷位置からワークアライメント位置に戻され、取り出される。
この図３（ａ）及び図３（ｂ）に示される工程を繰り返すことによって、ワークＷの印刷が行われる。
【００２５】
以上説明したように、本発明のスクリーン印刷方法は、ワークＷ上の半田バンプを位置決めマーカーとすることで、従来にない高精度の位置決めが可能となるが、更に高精度化するために、ダミーワークＤＷによるスクリーンマスクアライメント操作を十分繰り返し、個々に取り込まれたワークＷの画像データの中心座標を統計処理することで、繰り返し誤差の最小化も可能となり、将来の高精度化要求に応えることができる。
【００２６】
更に本発明では、以下のような実施形態を採用することができる。
上記説明においては、位置決めマーカーとしてアライメント用に特定したバンプをワーク配線の２バンプを使用することで説明しているが、アライメント用として別途に設けたものであってもよい。
またワークＷの半田搭載位置の形状と、印刷されるバンプ形状が同じものとして説明しているが、異なる形状、大きさであってもよい。
更に、スクリーンＳが印刷時にワークＷ上に降下する機構で説明しているが、ワークＷを上昇する機構を採用することも可能である。
また、画像処理カメラ７がワークＷ高さに固定してあるとして説明しているが、ワークＷ厚みに応じて昇降する機構であっても、ダミーワークＤＷの印刷時に同条件に固定できれば同様の効果が得られるものである。
【００２７】
以上説明したように、本発明では、以下のような方式を採用しているものである。
（１）高精度な微細半田バンプのペースト印刷を実現するため、製作誤差を生じる金属スクリーンの位置決めマーカーを用いず、金属スクリーンの印刷孔を直接アライメントする方式を採用している。
（２）移動誤差を吸収して印刷孔を直接アライメントするため、金属スクリーンの設置後、ダミーワークＤＷに半田印刷を行い、ワークアライメント位置で印刷後の半田バンプの位置座標を画像取り込みし、位置決め座標とする方式を採用している。
（３）位置決め対象の半田バンプ搭載位置のパターンが基準と成る印刷された半田バンプ（スクリーンの印刷孔によって印刷された半田バンプ）と異なる画像と成っても記憶画像の切り替えによって対応する方式を採用している。
（４）位置決め対象のバンプは、被印刷エリア（パターン）の最外形にあり特徴的なバンプをスクリーン毎に選択する方式を採用している。
（５）ダミープレートの外形形状はワークと同一とし、アライメント機構もワーク位置決め機構と併用することで、機械による誤差のない方式を採用している。
（６）印刷の過程で生じる、設備環境の変化（温度による伸びや、スクリーンの劣化による伸び等）による精度劣化を防止するため、各種（半田単体、被印刷位置形状、半田単体＋被印刷位置形状）の画像パターンを選択して位置決めに使用することで、直前の印刷結果を統計的に次回の基準位置に反映する方式を採用する。
（７）カメラ昇降機構やスクリーン移動機構の廃止により、ワークアライメント位置から半田印刷位置までの距離を最短距離に縮め、設備の伸びによる繰り返し停止精度劣化を防止する機械構成を採用している。
（８）スクリーンを半田印刷機構が構成される基準プレートから支持する構成とすることでスクリーンの昇降誤差のない方式を採用している。
以上のような方式を採用することで、微細・高密度・高点数化の要求に答える半田バンプのスクリーン印刷を可能としたものである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態のスクリーン印刷装置の全体構成を示す図である。
【図２】本発明のスクリーン印刷装置の動作（印刷方法）を説明する図であり、（ａ）はダミーワークへの半田ペーストの印刷を、（ｂ）は印刷後のダミーワークの画像処理を説明する図である。
【図３】図２と同様に本発明のスクリーン印刷装置の動作（印刷方法）を説明する図であり、（ａ）はワークの位置決めを、（ｂ）はワークへの半田ペーストの印刷を説明する図である。
【図４】従来のスクリーン印刷装置の全体構成を示す図である。
【図５】従来のスクリーン印刷装置の金属スクリーンのアライメントを説明する図である。
【符号の説明】
【００２９】
１    スクリーン印刷装置
１１    基台
１３    横架部材
２    ワークアライメント機構
２１    テーブル
３    ワーク移動機構
５    スクリーン昇降機構
６    印刷機構
６１    スキージ
６２    スキージヘッド
６３    スキージ昇降機構
６４    スキージ移動機構
７    画像処理カメラ
９    制御装置
Ｐ    半田ペースト
Ｓ    スクリーン（スクリーンマスク）
Ｓ1    印刷孔
Ｗ    ワーク
ＤＷ    ダミーワーク
【図１】
2006187912.tif 000003
【図２】
2006187912.tif 000004
【図３】
2006187912.tif 000005
【図４】
2006187912.tif 000006
【図５】
2006187912.tif 000007