(57)【要約】【課題】  互いに対向配置されたＸ線源とＸ線検出器の間に、テープ状の検査対象物を長手方向に給送して一定の範囲ごとに合否判定を行う自動Ｘ線検査装置において、何らかの原因により判定動作が異常終了した場合でも、それまでに得られた判定結果を無駄にすることなく、異常終了に対応する位置から確実に判定動作を再開することのできる自動Ｘ線検査装置を提供する。【解決手段】  給送装置１による検査対象物Ｗの給送位置を刻々と検出する給送位置検出手段５を設けるとともに、検査対象物Ｗの一定の範囲の合否判定ごとにその判定動作が正常に終了したか否かを判別し、異常終了と判別した場合には給送を停止するとともに、給送位置検出手段５の出力に基づいて、その判定に供したＸ線透過データを取り込んだ検査対象物Ｗの給送位置を特定して、その位置から運転を再開することにより、中断前後の判定結果を確実に連続させることを可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置されたＸ線源およびＸ線検出器と、テープ状の検査対象物をその長手方向に沿った方向に上記Ｘ線源とＸ線検出器の間に供給する給送装置と、上記Ｘ線検出器から刻々と取り込んだ検査対象物のＸ線透過データを用いて、当該検査対象物の供給方向一定の範囲ごとに合否判定を行う合否判定手段を備えた自動Ｘ線検査装置において、
上記給送装置による検査対象物の刻々の給送位置を検出する給送位置検出手段と、上記合否判定手段により上記一定の範囲の判定動作を行うごとに、その動作が正常に終了したか否かを判別する動作判別手段と、その動作判別手段により異常終了が検出されたときに、上記給送装置の駆動を停止するとともに、上記給送位置検出手段の出力に基づいて、異常終了の判定動作に供されたＸ線透過データを取り込んだ検査対象物の給送位置を特定して、復帰時にその特定された位置から判定動作を行うように制御する制御手段を備えていることを特徴とする自動Ｘ線検査装置。
【請求項２】
上記給送手段が、テープ状の検査対象物にその長手方向に一定の間隔を開けて形成された孔にスプロケット歯を係合させて当該検査対象物を給送する手段であって、上記給送位置検出手段は、上記スプロケット歯を検出するセンサの出力を用いて検査対象物の刻々の給送位置を検出することを特徴とする請求項１に記載の自動Ｘ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物にＸ線を照射して得られるＸ線透視像に基づいて検査対象物の合否判定を行う自動Ｘ線検査装置に関し、更に詳しくは、テープ状の検査対象物を自動的に給送しつつ検査を行う自動Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物を非破壊のもとにその内部に存在する欠陥の有無などを検査する有力な方法として、Ｘ線源とＸ線検出器とを対向配置し、これらの間に検査対象物を供給してそのＸ線透過データを取り込み、検査対象物のＸ線透視像を構築してその像を画像処理してあらかじめ設定されているパターンと比較する方法が知られている。
【０００３】
このようなＸ線を用いた検査装置により、例えば多数のＩＣチップを一列状に搭載するためのＴＡＢ（Tape Automated Bonding) 用のフィルムキャリアテープなど、テープ状の検査対象物の検査を行うに際しては、Ｘ線源とＸ線検出器の間に、リールに巻かれたテープ状の検査対象物を繰り出すことによりその長手方向に沿う方向に順次供給し、検査対象物のパターンのピッチ等に基づいてあらかじめ設定されている範囲ごとに合否判定を行う（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−３９９６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、以上のようなテープ状の検査対象物をＸ線源とＸ線検出器の間に給送する方式の自動Ｘ線検査装置においては、画像処理を含む判定動作を行うパーソナルコンピュータなどに不具合が生じて検査の途中において装置の運転を中断せざるを得なくなった際、その不具合を除去して運転を再開するとき、中断した部位を確実に特定することが困難であり、そのような場合には最初から再検査を行う必要があって、中断までに行った合否判定の記録などが無駄になってしまう場合があった。
【０００５】
すなわち、ＴＡＢ用のフィルムキャリアテープにおいては、１つのリールに巻かれたテープに数千ないし数万個の検査対象領域が存在し、また、その部品が小さいために、目視では中断した領域の特定は不可能であり、合否判定結果はそのテープの先端からの領域の順番が完全に一致することを要求されることから、パーソナルコンピュータの不具合などにより装置の運転が中断した場合、上記のように最初から検査を行う必要が生じる。
【０００６】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、不測の不具合が生じて装置の運転が中断しても、それまでに行った合否判定を無駄にすることなく、不具合の生じた部位から確実に検査を再開することのできる自動Ｘ線検査装置の提供をその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の自動Ｘ線検査装置は、互いに対向配置されたＸ線源およびＸ線検出器と、テープ状の検査対象物をその長手方向に沿った方向に上記Ｘ線源とＸ線検出器の間に供給する給送装置と、上記Ｘ線検出器から刻々と取り込んだ検査対象物のＸ線透過データを用いて、当該検査対象物の供給方向一定の範囲ごとに合否判定を行う合否判定手段を備えた自動Ｘ線検査装置において、上記給送装置による検査対象物の刻々の給送位置を検出する給送位置検出手段と、上記合否判定手段により上記一定の範囲の判定動作を行うごとに、その動作が正常に終了したか否かを判別する動作判別手段と、その動作判別手段により異常終了が検出されたときに、上記給送装置の駆動を停止するとともに、上記給送位置検出手段の出力に基づいて、異常終了と判別された判定動作に供されたＸ線透過データを取り込んだ検査対象物の給送位置を特定して、復帰時にその特定された位置から判定動作を行うように制御する制御手段を備えていることによって特徴づけられる（請求項１）。
【０００８】
ここで、本発明においては、上記給送手段が、テープ状の検査対象物にその長手方向に一定の間隔を開けて形成された孔にスプロケット歯を係合させて当該検査対象物を給送する手段であって、上記給送位置検出手段は、上記スプロケット歯を検出するセンサの出力を用いて検査対象物の刻々の給送位置を検出する構成（請求項２）を好適に採用することができる。
【０００９】
本発明は、給送装置によるテープ状の検査対象物の刻々の給送位置を検出するとともに、各回の合否判定ごとにその判定動作が正常に終了したか否かを判別し、異常終了と判別された場合には、その判定動作を行ったＸ線透過データを取り込んだ位置を記憶して、運転再開時にその記憶した位置から判定動作を行うことにより、課題を解決しようとするものである。
【００１０】
すなわち、本発明においては、テープ状の検査対象物を給送しながら、その一定の範囲の合否判定を行うごとに、その判定動作が正常に終了したか否かを判別する。一方、テープ状の検査対象物の給送位置を刻々と検出し、判定動作が異常終了したと判別された場合には、テープ状の検査対象物の給送を停止し、運転再開時には、異常終了と判別された判定動作に供されたＸ線透過データを取り込んだ位置にテープ状の検査対象物を自動的に位置決めして、判定動作を続ける。これにより、異常終了した判定動作に対応する位置から確実に判定を再開することができる。
【００１１】
また、請求項２に係る発明のように、給送手段として、テープ状の検査対象物に一定の間隔で形成された孔にスプロケット歯を係合させて当該検査対象物を給送するタイプのものを用いる場合、スプロケット歯を検出するセンサの出力により検査対象物の給送位置を検出するように構成すれば、簡単な構成のもとに確実かつ正確に位置検出を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、テープ状の検査対象物を給送しながら一定の範囲ごとにＸ線透視データを取り込んで順次合否判定を行う自動Ｘ線検査装置において、何らかの不具合により自動運転が中断しても、確実に中断した時点の位置から判定動作を再開することが可能となり、従来のようにそれまでの判定結果を無駄にすることがなく、また、判定の信頼性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施の形態の要部構成図であり、要部の機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００１４】
検査対象物Ｗは例えばＴＡＢ用のテープであって、その幅方向両縁部にはそれぞれ長手方向に一定の間隔で孔Ｗａが形成されている。給送装置１はモータ１１を駆動源とし、その回転軸に２つのスプロケット１２，１２を固定して、検査対象物Ｗの両縁部に形成された孔Ｗａに対してスプロケット歯１２ａが係合するようになっている。この構成により、モータ１１を駆動して各スプロケット１２，１２を回転させれば、検査対象物Ｗはその長手方向に給送される。モータ１１はコントローラ１３から供給される駆動信号によって駆動制御され、このコントローラ１３は、パーソナルコンピュータ２の制御下に置かれている。
【００１５】
給送装置１による検査対象物Ｗの給送路上に、検査対象物Ｗを挟むようにＸ線源３とＸ線検出器４が対向配置されている。そして、検査対象物ＷがこれらのＸ線源３とＸ線検出器４の間を通過する際に、検査対象物Ｗの長さ方向一定の範囲のＸ線透過データがＸ線検出器４により逐次検出される。Ｘ線検出器４の出力は、キャプチャーボード等の画像データ取込回路５を介してパーソナルコンピュータ２に取り込まれる。
【００１６】
パーソナルコンピュータ２では、このようにして検査対象物Ｗの一定範囲のＸ線透過データを逐次取り込むごとに、そのデータに基づく検査対象物ＷのＸ線透過像と、あらかじめ記憶している基準パターンとを比較する等の公知の手法によって合否判定を行う。その合否判定結果は例えばハードディスクなど記憶媒体に順次記憶し、あるいは外部に出力する。また、パーソナルコンピュータ２では、その合否判定ごとに、その合否判定動作が正常に終了した否かを自ら判別する。
【００１７】
前記した給送装置１の一方のスプロケット１２に近接して、近接スイッチ５１が配置されており、この近接スイッチ５１によりスプロケット１２のスプロケット歯１２ａが検出される。つまり、スプロケット１２が回転している間、その周囲に一定のピッチで形成されているスプロケット歯１２ａが近接スイッチ５１の配設位置を通過するごとに、近接スイッチ５１からパルス状の信号が出力される。この近接スイッチ５１の出力は検出回路５２に取り込まれ、この検出回路５２では、その出力に基づいて検査対象物Ｗの刻々の給送位置に応じた信号を出力し、パーソナルコンピュータ２に供給する。この検出回路５２は例えばパルス信号をカウントするカウンタによって構成することができ、これらによって検査対象物Ｗの給送位置検出機構５を構成している。パーソナルコンピュータ２では、検出回路５２の出力により、検査対象物Ｗの給送開始からの刻々の給送位置を認識することができる。また、この検出回路５２の出力に基づく検査対象物Ｗの給送位置を、前記した各回の判定結果に併せて記憶することにより、検査対象物Ｗの先頭から何番目の領域に不合格箇所があるかを認識することができる。
【００１８】
パーソナルコンピュータ２は、給送装置２を含む装置全体を、以下に示すように制御する。図２はパーソナルコンピュータ２の制御による装置の制御手順の内容を表すフローチャートであり、この図２を参照しつつ本発明の実施の形態の全体の動作を説明する。
【００１９】
給送装置１を駆動して検査対象物Ｗを給送しつつＸ線源３からのＸ線を照射し、Ｘ線検出器４からの出力を取り込んで一定の範囲ごとのＸ線透過データを用いて合否判定を行い、検査対象物Ｗであるテープの終了位置にまでその判定を終了した時点で、一連の動作を終了する。各回の合否判定ごとに、その判定動作が正常に終了したか否かを判別し、何らかの原因によりその判定動作が異常終了であると判別した場合には、検出回路５２からの出力に基づいて、その合否判定に供したＸ線透過データを取り込んだ検査対象物Ｗの給送位置を記憶したうえで、モータ１１を停止して検査対象物Ｗの給送を一旦停止し、運転を中断する。その後、モータ１１を逆転して検査対象物Ｗを原点位置に復帰させる。中断の原因となった不具合を解消すべく復旧操作を行い、運転を再開する旨の指令を与えると、モータ１１を駆動して、異常終了と判別した時点で記憶している給送位置に検査対象物Ｗを自動的に給送する。従って、運転再開時には、合否判定動作が異常終了と判別された位置から、判定動作が再開されることになり、中断前の判定結果と再開後の判定結果が確実に連続したものとなる。
【００２０】
ここで、以上の実施の形態においては、スプロケット歯１２ａをスプロケット１２の外周側に配置した近接スイッチ５１によって検出した例を示したが、例えば図３に要部斜視図を示すように、スプロケット１２の構造として各スプロケット歯１２ａをスプロケット１２の外側だけでなく内側にも突出させた構造のものを用いることもでき、この場合、近接スイッチ５１をスプロケット１２の側方に配置してスプロケット歯１２ａの内側への突出部分を検出することもできる。
【００２１】
また、以上の実施の形態においては、ＴＡＢ用のテープを検査対象物とした例を示したが、本発明は特にこれに限定されることなく、テープ状の検査対象物であれば任意のものの検査に適用することができる。更に、検査対象物に一定の間隔で孔が形成されていない場合には、給送装置としてはプーリを用いたものとすることができる。更にまた、給送位置の検出は、スプロケットないしはプーリの軸に装着したロータリエンコーダ等を用いて行うことも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態の要部構成図であり、要部の機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】本発明の実施の形態の動作を表すフローチャートである。
【図３】本発明の他の実施の形態の要部斜視図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  給送装置
１１  モータ
１２  スプロケット
１２ａ  スプロケット歯
１３  コントローラ
２  パーソナルコンピュータ
３  Ｘ線源
４  Ｘ線検出器
５  給送位置検出機構
５１  近接スイッチ
５２  検出回路
Ｗ  検査対象物
Ｗａ  孔
【図１】
2006329947.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006329947.tif 000005