(57)【要約】【課題】ウェハを差し込もうとする一対の相対向する溝を容易に識別でき、ウェハの差込みミスを防止できるようにする。【解決手段】相対向する一対の側壁部材（１、２）の対向面に、ウェハ（Ｗ）の縁辺を案内する対向溝（３）が所定ピッチで互いに平行に複数設けられてなるウェハ用キャリアにおいて、上記各対向溝（３）を、上記一対の側壁部材（１、２）の内面に交互に配置されたウェハ差込側端部のテーパー角度（α、β）が異なる第一の凸部（５）と第二の凸部（６）とにより形成するようにする。その場合、上記一対の側壁部材（１、２）のうちの一方の側壁部材（１）の第一の凸部（５）と他方の側壁部材（２）の第一の凸部（５）とを互いに対向する同一位置に設け、同様に、一方の側壁部材（１）の第二の凸部（６）と他方の側壁部材（２）の第二の凸部（６）を互いに対向する同一位置に設けるようにする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対向する一対の側壁部材の対向面に、ウェハの縁辺を案内する対向溝が所定ピッチで互いに平行に複数設けられてなり、この対向溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、
上記各対向溝を、上記一対の側壁部材の内面に交互に配置されたウェハ差込側端部のテーパー角度が異なる第一の凸部と第二の凸部とにより形成すると共に、一方の側壁部材の第一の凸部と他方の側壁部材の第一の凸部とを互いに対向する同一位置に設け、同様に、一方の側壁部材の第二の凸部と他方の側壁部材の第二の凸部を互いに対向する同一位置に設けたことを特徴とするウェハ用キャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚のウェハを収納するウェハ用キャリアに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハの製造においては、複数枚（例えば、２５枚）のウェハを収納するウェハ用キャリアが用いられる。従来のウェハ用キャリアの一例を図３及び図４に示す。このウェハ用キャリアは、ウェハＷが差し込まれる複数の溝３と溝３の間の凸部４の形状は全て同じとなっている。従ってまた、各凸部４のウェハ差込側端部の形状も図４に示す如くいずれも同形であり、そのテーパー角度βもすべての凸部４について統一されている。
【０００３】
このような凸部の形態は、従来公知のウェハ用キャリアに広く共通しており、各凸部のウェハ差込側端部はすべて同一形状に形成されている（例えば下記特許文献１及び２参照）。
【０００４】
そのため、対向する側壁の一方の側壁内面の溝とこれに対応するもう一方の側壁内面の溝とを短時間で識別することは困難であり、ウェハの差込みミスが生じやすかった。即ち、ウェハ製造工程などでは、ウェハをキャリアの一番端の溝からではなく中間の溝から収納することがある。この場合、ウェハは相対向する溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するが、ウェハを収納しようとする一つの溝に対し、相対向する溝が確認しにくく、隣の溝にウェハを収納してしまい、ウェハ表面と溝と溝の間の凸部とが接触し、ウェハ表面にキズを付けてしまうことがある。また、相対向する溝が確認しにくい為に、慎重に相対向する溝を確認せねばならず、作業性が悪いという問題がある。
【特許文献１】特開平６−２１６２２９号公報
【特許文献２】特開平５−２１７９９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、上述した従来技術の問題点を解消し、ウェハを収納しやすいウェハ用キャリアを提供することにある。即ち、例えば、ウェハをキャリアの一番端の溝からではなく中間の溝から収納作業を開始する場合においても、ウェハの差込みミスを生じることがなく、ウェハをキズ付けることのないウェハ用キャリアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明に係るウェハ用キャリアは、相対向する一対の側壁部材の対向面に、ウェハの縁辺を案内する対向溝が所定ピッチで互いに平行に複数設けられてなり、この対向溝にウェハ縁辺部を差し込んで収納するウェハ用キャリアにおいて、上記各対向溝を、上記一対の側壁部材の内面に交互に配置されたウェハ差込側端部のテーパー角度（α、β）が異なる第一の凸部と第二の凸部とにより形成すると共に、一方の側壁部材の第一の凸部と他方の側壁部材の第一の凸部とを互いに対向する同一位置に設け、同様に、一方の側壁部材の第二の凸部と他方の側壁部材の第二の凸部を互いに対向する同一位置に設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
上記の如く、本発明においては、側壁内面に交互に配置される第一の凸部と第二の凸部のウェハ差込側端部のテーパー角度が異なっているため、対向する側壁内面上の互いに対応する第一の凸部同士、又は、第二の凸部同士を短時間で容易に見出すことができ、従って、それらの間に形成される一対の対向溝同士も容易に識別することができる。
【０００８】
そのため、本発明のウェハ用キャリアを用いた場合、ウェハをキャリアの一番端の溝からではなく中間の溝に収納する場合においても、ウェハを差し込もうとする一対の相対向する溝を容易に確認でき、ウェハの差込みミスを防止できると共に、作業性が大幅に向上する。
【０００９】
＜発明の要点＞
従来公知のウェハ用キャリアにおいては、ウェハを差し込み、保持する対向溝を形成する互いに平行な複数の凸部のウェハ差込側端部の形状が、いずれも同一形状であったため、ウェハの差込作業時に、対向する側壁内面上の対応する一対の溝を識別することが極めて困難であった。そのため、ウェハをキャリアの一番端の溝から順番に差し込んでいく場合は、次の対向溝を識別することは比較的容易であっても、いきなり中間の溝から差込みを開始する場合には、対向溝の識別が困難で差込ミスを生じやすく、ウェハの表面が凸部で擦られてキズを付けることが多かった。
【００１０】
これに対して、本発明においては、ウェハ差込側端部の形状（テーパー角度）が互いに異なる第一の凸部と第二の凸部とを交互に配置することにより、対向する側壁内面上の対応する一対の溝の識別性が大幅に向上し、そのため、ウェハの差込ミスが未然に防止され、不良品の発生率が低下すると共に、作業効率を向上させることが可能となり、作業者のストレスも軽減できるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、本発明のウェハ用キャリアの一実施例を示す斜視図、図２は、図１に示した本発明のウェハ用キャリアの側壁内面に形成された複数の凸部のウェハ差込側端部の拡大図である。
【００１２】
図１に示す如く、本発明に係るウェハ用キャリアは、その上面開口部からウェハＷを入れたり出したりできるようになっており、相対向する一対の側壁部材１及び２の対向面（内面）には、ウェハＷの出し入れ時にその縁辺部を案内する複数の対向溝３が互いに平行に所定ピッチで設けられている。
【００１３】
ウェハの差込作業時には、側壁部材１の内面上の所望の対向溝３と、これに対応する位置に設けられた側壁部材２の内面上の対向溝３とにウェハＷの両側の縁辺部を正確に合わせて差し込むようにする。
【００１４】
複数の対向溝３を形成するため交互に配列された第一の凸部５と第二の凸部６は、そのウェハ差込側端部のテーパー角度が異なっており、図２に示す如く、例えば第一の凸部５のテーパー角度をαとしたとき、第二の凸部６のテーパー角度はαより大きな角度βとなるように構成されている。
【００１５】
このように、テーパー角度の異なる第一の凸部５と第二の凸部６とを側壁部材１及び２の内面上に交互に配列すると共に、側壁部材１及び２の一方の側壁部材の内面の第一の凸部５と他方の側壁部材の内面の第一の凸部５とが互いに対向する同一箇所に位置するよう配列し、同様に、一方の側壁部材の内面の第二の凸部６と他方の側壁部材の内面の第二の凸部６も互いに対向する同一箇所に位置するように配列する。
【００１６】
上記テーパー角度α及びβの値は、ウェハＷの出し入れ操作やウェハの保持作用に支障を生じない範囲で任意に設定し得る。
【００１７】
このように、本発明においては、側壁内面に交互に配置される第一の凸部５のテーパー角度αと第二の凸部６のテーパー角度βが異なっているため、対向する側壁内面上の互いに対応する一対の対向溝３を容易に識別することができ、これにより、ウェハの差込みミスを未然に防止できると共に、作業効率を大幅に向上させることが可能となる。
【実施例１】
【００１８】
本発明の一実施例を図１及び図２に示す。
【００１９】
本実施例のウェハ用キャリアは、図示する如く、互いに向かい合う一対の側壁部材１、２の対向面に、ウェハＷの縁辺を案内する対向溝３が所定ピッチで複数設けられてなる。また、対向溝３の設けられた各側壁部材（側壁部材１、２）の隣り合わせの溝３と溝３の間は、ウェハ差込側端部のテーパー角度が異なる第一の凸部５と第二の凸部６からなり、この凸部５、６は交互に配置されている。また、凸部５の対向位置には同じテーパー角度の凸部５が、凸部６の対向位置には同じテーパー角度の凸部６が配置された構成となっている。
【００２０】
本ウェハ用キャリアにおいて、ウェハＷをキャリアの一番端の溝からではなく中間の溝に収納する場合においても、ウェハＷを差し込もうとする一対の相対向する溝３は、溝３に対する凸部５、６の位置関係が同じとなるため、容易に確認できる。
【００２１】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その目的の範囲内において上記の説明及び図面の記載から当業者が容易に想到し得るすべての変更実施例を包摂するものである。
【００２２】
本発明のウェハ用キャリアを用いた場合、ウェハをキャリアの一番端の溝からではなく中間の溝に収納する場合において、ウェハを差し込もうとする一対の相対向する溝を容易に確認できる。そのため、ウェハの差込ミスが未然に防止され、不良品の発生率が低下すると共に、作業効率を向上させることが可能となり、作業者のストレスも軽減し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明のウェハ用キャリアの一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示した本発明のウェハ用キャリアの側壁内面に形成された複数の凸部のウェハ差込側端部の拡大図である。
【図３】従来のウェハ用キャリアの一例を示す斜視図である。
【図４】図３に示した従来のウェハ用キャリアの側壁内面に形成された凸部のウェハ差込側端部の拡大図である。
【符号の説明】
【００２４】
Ｗ  ウェハ
１、２  側壁部材
３  溝
４、５、６  凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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