(57)【要約】【課題】  光学部材の曲率の変化を小さくすることが可能な光学部材の製造方法、および、その製造装置を提供する。【解決手段】  吐出ヘッド１２に備えられたノズル２３から、マイクロレンズ５３の原料である紫外線硬化樹脂からなる液体２１を押し出し、液体２１がノズル２３先端から垂れ下がってくびれ部８２が発生したときから、くびれ部８２の下側にある第２の液体２１ｂが分離して液滴８４が形成されるまで、この第２の液体に向かって紫外線８３を照射する。第２の液体２１ｂは、くびれ部８２によって上方に引っ張られた状態を維持しながら紫外線８３によって硬化を始める。【選択図】      図９
2006150773.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材の原料である粘性のある液体材料を、基板の上方に配置された吐出ヘッドのノズルから、前記基板上に吐出させる吐出工程と、
前記吐出工程で吐出され前記ノズルから分離されずに繋がった前記液体材料に向かって前記液体材料を硬化させるためのエネルギー線を照射する照射工程と、
を有することを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部材の製造方法であって、
前記照射工程では、前記ノズルから分離されずに繋がった前記液体材料のくびれより下側部分に向かって前記エネルギー線を照射することを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光学部材の製造方法であって、
前記吐出工程では、前記吐出ヘッドから吐出された前記液体材料が前記ノズルから分離される前に前記基板上に付着しうる距離を隔てて前記吐出ヘッドから前記基板に対して前記液体材料を吐出させることを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
前記照射工程では、前記液体材料が前記基板に付着する前から前記エネルギー線を照射することを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
前記照射工程では、前記液体材料が前記ノズルから分離する際にくびれが切れた直後を含む一時期は前記液滴への前記エネルギー線の照射を停止し、
前記エネルギー線の照射の前記一時期の停止が終わった後に前記液滴への前記エネルギー線の照射を再開することを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
前記液体材料が前記基板上に付着したあとに、前記液体材料を前記吐出ヘッド側に引っ張って前記液体材料から前記液滴に分離させることを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
前記吐出工程の後に、前記ノズルから分離されずに繋がった前記液体材料が前記基板上に付着した後に、前記ノズル内へ吸引するよう前記吐出ヘッドを駆動させることによって前記液体材料から液滴が前記基板上に付着した状態で分離されるのを助ける液滴分離工程を更に有することを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
前記液体材料は、紫外線硬化型樹脂であり、
前記エネルギー線は、紫外線であることを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法であって、
前記光学部材は、面発光型半導体レーザの上面に形成されることを特徴とする光学部材の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法を行う光学部材の製造装置であって、
載置部と、
光学部材の原料である粘性のある液体材料を前記載置部に載置された基板に吐出するためのノズルを備えた吐出ヘッドと、
前記ノズルから吐出され分離されずに繋がった前記液体材料に向かって前記液体材料を硬化させるためのエネルギー線を照射する照射部と、
を備えることを特徴とする光学部材の製造装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の光学部材の製造装置であって、
前記吐出ヘッドは、前記吐出ヘッドから吐出された前記液体材料が前記基板に付着しても前記ノズルから分離されずに繋がった状態を維持しうる距離に配置されていることを特徴とする光学部材の製造装置。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載の光学部材の製造装置であって、
前記吐出ヘッドは、前記吐出ヘッドから前記液体材料を吐出させるために伸縮する圧電素子を備え、
前記圧電素子を伸縮させるための駆動パルスを生成する駆動パルス生成部を更に有することを特徴とする光学部材の製造装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の光学部材の製造装置であって、
前記照射部では、前記駆動パルス生成部によって生成された前記液体材料を吐出するための第１駆動パルスの発生の後に、前記液体材料から液滴を分離するために前記液体材料を吐出させない程度の前記第１駆動パルスより低い電圧の第２駆動パルスの発生までの間に、前記吐出ヘッドから吐出された前記液体材料に向かって前記エネルギー線の照射が行われることを特徴とする光学部材の製造装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の光学部材の製造装置であって、
前記照射部では、前記第２駆動パルスを発生させる前に、前記エネルギー線の照射を開始することを特徴とする光学部材の製造装置。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の光学部材の製造装置であって、
前記照射部では、前記第２駆動パルスが発生した後、ある時間で前記エネルギー線の照射を停止することを特徴とする光学部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば光通信に用いられるレンズ等の光学部材の製造方法、および、その製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信に用いられる光学部材の１つにマイクロレンズがある。マイクロレンズは、例えば、面発光型半導体レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）の出射面上に形成される。ＶＣＳＥＬは、光伝送媒体である光ファイバや光導波路と高精度に位置合わせをするために、ＶＣＳＥＬの出射面の上にマイクロレンズを形成することにより、ＶＣＳＥＬから出射された光の結合効率を高め、外部とのコネクションを実現している。よって、マイクロレンズは、所望の光学特性を得るために、その形状を厳密に制御する必要がある。
【０００３】
マイクロレンズの製造方法は、例えば、吐出ヘッドによってＶＣＳＥＬの出射面にマイクロレンズの原料である液滴を吐出する。出射面に付着した液滴は、自身の自重により平ら状につぶれる。これを、液滴が付着した出射面を回転させて逆さ向きに配置し、液滴に下向きの力を加えて、下向きに延びた状態にさせる。そして、エネルギー線である紫外線（ＵＶ）を照射して、液滴を硬化させている。これにより、マイクロレンズを高くさせている方法が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１１９５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の製造方法では、液滴は全体に高くなり、この状態でマイクロレンズが形成されるが、マイクロレンズの曲率の変化が大きく、ほぼ一定の曲率をもつ形状のマイクロレンズが得られにくいという問題があった。曲率の変化が大きいことにより、出射面から出射した光が拡散しやすく、伝送効率が低下してしまっていた。更に、製造工程の中で、面発光型半導体レーザの光学面を上下反転させなければならず、多量の電気光学素子を形成するのに時間や手間がかかっていた。
【０００６】
本発明は、このような従来の技術の有する未解決な課題に着目してなされたものであって、光学部材（マイクロレンズ）の曲率の変化を小さくすることが可能な光学部材の製造方法、および、その製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題を解決するために、本発明に係る光学部材の製造方法は、光学部材の原料である粘性のある液体材料を、基板の上方に配置された吐出ヘッドのノズルから、前記基板上に吐出させる吐出工程と、前記吐出工程で吐出され前記ノズルから分離されずに繋がった前記液体材料に向かって前記液体材料を硬化させるためのエネルギー線を照射する照射工程と、を有する。
【０００８】
この方法によれば、吐出工程によって、基板の上方に配置された吐出ヘッドのノズルから液体材料を吐出し、照射工程によって、ノズルから吐出され分離されずに繋がった状態にある液体材料に向かってエネルギー線を照射するので、液体材料をノズルから繋がった部分の張力により上方に引っ張りながら硬化させていくことができる。よって、その後、液体材料がノズルから切れてできた液滴が自重により平ら状に潰れることも起きにくくなるので、曲率の変化の小さい光学部材を形成することが可能となる。その結果、光の伝送効率を向上させることができる。
【０００９】
本発明に係る光学部材の製造方法は、前記照射工程では、前記ノズルから分離されずに繋がった前記液体材料のくびれより下側部分に向かって前記エネルギー線を照射することが望ましい。
【００１０】
この方法によれば、液体材料のくびれより下側部分に向かってエネルギー線を照射するので、分離されずに繋がっている部分の張力によりくびれより下側部分（光学部材となる部分）を上方に引っ張りながら液体材料を硬化させていくことができる。よって、曲率の変化の小さい液体材料を形成することができる。
【００１１】
本発明に係る光学部材の製造方法では、前記吐出工程では、前記吐出ヘッドから吐出された前記液体材料が前記ノズルから分離される前に前記基板上に付着しうる距離を隔てて前記吐出ヘッドから前記基板に対して前記液体材料を吐出させることが望ましい。
【００１２】
この方法によれば、吐出ヘッドは、ノズルから吐出された液体材料が基板上に付着しても分離されずに繋がった状態を維持しうる距離を隔てているので、液体材料が基板に着弾したとしても液体材料を上方に引っ張った状態でエネルギー線を照射することができる。よって、曲率の変化の小さい光学部材を形成することができる。
【００１３】
本発明に係る光学部材の製造方法では、前記照射工程では、前記液体材料が前記基板に付着する前から前記エネルギー線を照射することが望ましい。
【００１４】
この方法によれば、液体材料が基板に付着する前からエネルギー線を照射するので、基板に付着する前から除々に液体材料を硬化させていくことができる。よって、液体材料の粘度を高めることができ基板に付着しても潰れにくくすることが可能となる。その結果、曲率の変化の小さい光学部材を形成することができる。
【００１５】
本発明に係る光学部材の製造方法では、前記照射工程では、前記液体材料が前記ノズルから分離する際にくびれが切れた直後を含む一時期は前記液滴への前記エネルギー線の照射を停止し、前記エネルギー線の照射の前記一時期の停止が終わった後に前記液滴への前記エネルギー線の照射を再開することが望ましい。
【００１６】
この方法によれば、液体材料のくびれが切れた直後を含む一時期にエネルギー線の照射を停止するので、液滴にできた突起がなくなる過程を確保でき、突起を硬化させずに液滴本体に吸収させることができる。その後、液滴にエネルギー線の照射を再開するので、突起がなく曲率変化の少ない光学部材を形成することができる。また、再開時に突起があっても、最終的に硬化し終わるまでに突起がなくなればよい。
【００１７】
本発明に係る光学部材の製造方法では、前記液体材料が前記基板上に付着したあとに、前記液体材料を前記吐出ヘッド側に引っ張って前記液体材料から前記液滴に分離させることが望ましい。
【００１８】
この方法によれば、基板に付着した液体材料を吐出ヘッド側に引っ張って液滴に分離しているので、容易に液滴を形成することができる。
【００１９】
本発明に係る光学部材の製造方法では、前記吐出工程の後に、前記ノズルから分離されずに繋がった前記液体材料が前記基板上に付着した後に、前記ノズル内へ吸引するよう前記吐出ヘッドを駆動させることによって前記液体材料から液滴が前記基板上に付着した状態で分離されるのを助ける液滴分離工程を更に有することが望ましい。
【００２０】
この方法によれば、液滴分離工程によって、ノズルから分離されずに繋がった液体材料がノズル内に吸引する力によってノズル側に引っ張られるので、くびれて細くなった部分から先の液体材料を液滴として分離しやすくなる。
【００２１】
本発明に係る光学部材の製造方法では、前記液体材料は、紫外線硬化型樹脂であり、前記エネルギー線は、紫外線であることが望ましい。
【００２２】
この方法によれば、紫外線硬化型樹脂からなる液体材料に紫外線を照射して硬化させるので、光学部材を製造しやすくすることができる。
【００２３】
本発明に係る光学部材の製造方法では、前記光学部材は、面発光型半導体レーザの上面に形成されることが望ましい。
【００２４】
この方法によれば、面発光型半導体レーザ上に光学部材を形成するので、光学部材によって面発光型半導体レーザから発光した光の拡散を抑制することが可能となる。よって、光の伝送効率を向上させることができる。
【００２５】
上記問題を解決するために、本発明に係る光学部材の製造装置は、載置部と、光学部材の原料である粘性のある液体材料を前記載置部に載置された基板に吐出するためのノズルを備えた吐出ヘッドと、前記ノズルから吐出され分離されずに繋がった前記液体材料に向かって前記液体材料を硬化させるためのエネルギー線を照射する照射部と、を備える。
【００２６】
この構成によれば、吐出ヘッドによって載置部に載置された基盤に液体材料の吐出を行い、照射部によってノズルから分離せずに繋がった液体材料に向かってエネルギー線の照射を行うので、液体材料をノズルから繋がった部分の張力により上方に引っ張りながら硬化させていくことができる。よって、その後、液体材料がノズルから切れてできた液滴が自重により平ら状に潰れることも起きにくくなるので、曲率の変化の小さい光学部材を形成することが可能となる。その結果、光の伝送効率を向上させることができる。
【００２７】
本発明に係る光学部材の製造装置では、前記吐出ヘッドは、前記吐出ヘッドから吐出された前記液体材料が前記基板に付着しても前記ノズルから分離されずに繋がった状態を維持しうる距離に配置されていることが望ましい。
【００２８】
この構成によれば、吐出ヘッドがノズルから吐出された液体材料が基板上に付着しても分離されずに繋がった状態を維持しうる距離を隔てているので、液体材料が基板に着弾したとしても液体材料（光学部材となる部分）を上方に引っ張った状態でエネルギー線を照射することができる。よって、曲率の変化の小さい光学部材を形成することができる。
【００２９】
本発明に係る光学部材の製造装置では、前記吐出ヘッドは、前記吐出ヘッドから前記液体材料を吐出させるために伸縮する圧電素子を備え、前記圧電素子を伸縮させるための駆動パルスを生成する駆動パルス生成部を更に有することが望ましい。
【００３０】
この構成によれば、駆動パルス生成部によって圧電素子を伸縮するための駆動パルスを生成し、駆動パルスの電圧を基に圧電素子が伸縮するので、駆動パルス電圧を圧電素子へ印加するときの大きさやタイミングを変えることにより、吐出ヘッドから液体材料を吐出させたり、液体材料から液滴に分離したりすることができる。
【００３１】
本発明に係る光学部材の製造装置では、前記照射部では、前記駆動パルス生成部によって生成された前記液体材料を吐出するための第１駆動パルスの発生の後に、前記液体材料から液滴を分離するために前記液体材料を吐出させない程度の前記第１駆動パルスより低い電圧の第２駆動パルスの発生までの間に、前記吐出ヘッドから吐出された前記液体材料に向かって前記エネルギー線の照射が行われることが望ましい。
【００３２】
この構成によれば、駆動パルス生成部によって液体材料を吐出するための第１駆動パルスを発生させて吐出ヘッドから液体材料を吐出し、液滴を分離するための第２駆動パルスを発生させて液体材料から液滴を分離するまでの間に、液体材料にエネルギー線の照射が行われるので、液体材料をノズルから繋がった部分の張力により上方に引っ張っているときに硬化させていくことができる。よって、曲率の変化の小さい光学部材を形成することができる。
【００３３】
本発明に係る光学部材の製造装置では、前記照射部では、前記第２駆動パルスを発生させる前に、前記エネルギー線の照射を開始することが望ましい。
【００３４】
この構成によれば、液体材料から液滴に分離するための第２駆動パルスを発生させる前にエネルギー線を照射するので、液体材料をノズルから繋がった部分の張力により上方に引っ張っているときから除々に液体材料を硬化させていくことができる。よって、液体材料の粘度を高めることができ基板に付着しても潰れにくくすることが可能となる。その結果、曲率の変化の小さい光学部材を形成することができる。
【００３５】
本発明に係る光学部材の製造装置では、前記照射部では、前記第２駆動パルスが発生した後、ある時間で前記エネルギー線の照射を停止することが望ましい。
【００３６】
この構成によれば、第２駆動パルスの発生によって液体材料から液滴に分離したあとのある時間でエネルギー線の照射を停止するので、分離したときに液滴にできた突起がなくなる過程を確保でき、突起を硬化させずに液滴本体に吸収させることができる。その後エネルギー線の照射を再開したときには、突起がなく曲率変化の少ない光学部材を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明に係る光学部材の製造方法およびその製造装置の実施形態について図面を参照して説明する。
【００３８】
図１は、本実施形態の光学部材の製造装置の構成を模式的に示す斜視図である。以下、本実施形態の光学部材の製造装置であるマイクロレンズ製造装置の構成について、図１を参照しながら説明する。図１に示すように、マイクロレンズ製造装置１１は、光学部材としてのマイクロレンズ５３（図４参照）の原料である粘性の液体材料（以下、「液体」という）２１（図２参照）を吐出する吐出ヘッド１２と、吐出ヘッド１２をＸ方向にスライド移動させる第１のスライド機構（図示せず）と、載置部としてのステージ１３と、ステージ１３をＹ方向にスライド移動させる第２のスライド機構１６と、ステージ１３をＺ方向に昇降させる第３のスライド機構１７と、エネルギー線の照射を行う照射部８１（図８、図９参照）とを有する。
【００３９】
吐出ヘッド１２は、液体２１を吐出するために用いられる。第１のスライド機構は、例えば、第１スライド軸１４と、Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａ（図３参照）とを有する。吐出ヘッド１２は、このＸ方向駆動用パルスモータ４０ａの回転に応じて、第１スライド軸１４に沿ってＸ方向へのスライド移動が可能となっている。
【００４０】
ステージ１３は、吐出ヘッド１２の吐出側と対向する側の位置に配置されている。ステージ１３には、マイクロレンズ５３が形成される前の基板１５が固定されている。ステージ１３上に固定された基板１５に液体２１を吐出および硬化することにより、マイクロレンズ５３が形成される。
【００４１】
第２のスライド機構１６は、ステージをＹ方向に移動させる。第２のスライド機構１６は、例えば、第２スライド軸（図示せず）と、Ｙ方向駆動用パルスモータ４０ｂ（図３参照）とを有する。ステージ１３は、このＹ方向駆動用パルスモータ４０ｂの回転に応じて、第２スライド軸に沿ってＹ方向へのスライド移動が可能となっている。
【００４２】
第３のスライド機構１７は、ステージ１３をＺ方向（高さ方向）に移動させる。第３スライド機構１７は、例えば、第３スライド軸（図示せず）と、Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃ（図３参照）とを有する。ステージ１３は、このＺ方向駆動用パルスモータ４０ｃの回転に応じて、第３スライド軸に沿ってＺ方向へのスライド移動が可能となっている。
第１〜第２のスライド機構によって吐出ヘッド１２とステージ１３とを移動させることにより、液体２１の着弾位置を決定している。
【００４３】
照射部８１（図８，９参照）は、吐出ヘッド１２に設けられており、ノズル２３（図２参照）から吐出され基板１５上に付着した液滴に対してエネルギー線の照射を行う。
【００４４】
図２は、吐出ヘッドの構造を示す模式断面図である。以下、本実施形態の吐出ヘッドの構造について、図２を参照して説明する。吐出ヘッド１２は、マイクロレンズ５３の原料である液体２１を貯留する液体貯留室２２と、液体２１を吐出するノズル２３と、圧電素子２４と、振動板２５とを有する。
【００４５】
マイクロレンズ５３（図４参照）は、光などのエネルギー線を付与することにより硬化可能な液体２１を液滴として基板１５上に付着させるとともに、その液滴を硬化させることで構成される。本実施形態の液体２１は、エネルギー線として紫外線が照射されることにより硬化する紫外線硬化型樹脂である。紫外線硬化型樹脂は、一般に、プレポリマー、オリゴマー、およびモノマーのうち少なくとも１つと光重合開始剤とを含む。紫外線硬化型樹脂としては、例えば、紫外線硬化型のアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂が挙げられる。粘度の選択性の広さを考慮すると、アクリル系樹脂を用いるのが好ましい。紫外線硬化型のアクリル系樹脂は、例えば、エポキシアクリレート類、スピロアセタール系アクリレート類等のアクリレート類、エポキシメタクリレート類、スピロアセタール系アクリレート類、ポリエステルメタクリレート類、ポリエーテルメタクリレート類等のメタクリレート類等が挙げられる。
【００４６】
紫外線硬化型樹脂は、熱によって硬化する樹脂ではないため、面発光型半導体レーザ５２（図４参照）などの素子に与えるダメージを少なくして硬化させることができる。また、紫外線硬化型樹脂は、一般に光透過性の高いものが多い。よって、硬化させるべき液滴等に紫外線を片面から照射しても液滴の全体を硬化させることが可能である。また、光の損失が少ないことから、長い光路長に対してマイクロレンズを形成する場合に特に有効である。
【００４７】
ノズル２３は、液体貯留室２２に貯留された液体２１を吐出するために用いられる。ノズル２３の直径は、例えば、１０μｍである。
【００４８】
圧電素子２４は、例えば、ピエゾ素子である。この圧電素子２４は、圧電効果またはピエゾ効果を利用し、電圧が印加されることにより伸縮する性質がある。
【００４９】
振動板２５は、圧電素子２４と液体貯留室２２との間に設けられており、圧電素子２４の伸縮に連動して振動する。振動板２５は、例えば、シリコン等の弾性材料によって構成されており、振動しやすい構成になっている。
【００５０】
以上のことから、圧電素子２４に電圧を印加して電圧変化を与えることにより圧電素子２４が伸縮し、圧電素子２４に接している振動板２５に圧力が伝わる。そして、振動板２５が液体貯留室２２側に向かって凹状となるように弾性変形を起こし、その凹状になった空間に供給された液体２１が入り込む。その後、圧電素子２４への電圧の印加を停止すると、凹状の振動板２５が元の状態に戻され、供給されて入り込んだ液体２１の分が液体貯留室２２に圧力を加える。その結果、液体貯留室２２の液体２１が押され、ノズル２３より微小量の液体２１が押し出される。
【００５１】
図３は、マイクロレンズ製造装置の電気的構成を模式的に示すブロック図である。以下、マイクロレンズ製造装置の構成について、図３を参照しながら説明する。マイクロレンズ製造装置１１は、マイクロレンズ製造装置１１の動作を制御するための制御回路３１を備えている。制御回路３１は、コンピュータ３２から液体２１を吐出するための吐出信号などの各種データを受け取る第１インターフェース（Ｉ／Ｆ）３３と、ＲＡＭ３４と、所定の処理を行うためのプログラムやデータを記憶したＲＯＭ３５と、発振回路（図示せず）と、ＣＰＵを含む制御部３６と、駆動パルス生成回路としての駆動波形生成回路３７と、マイクロレンズ製造装置内の回路から送られたデータを受け取る第２インターフェース（Ｉ／Ｆ）３８とを備えている。
【００５２】
第２インターフェース３８には、第１ドライバ３９ａと、第２ドライバ３９ｂと、第３ドライバ３９ｃと、吐出ヘッド１２とに接続されている。第１〜第３ドライバ３９ａ〜３９ｃは、それぞれ、Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａ、Ｙ方向駆動用パルスモータ４０ｂ、Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃに接続されている。
【００５３】
ＲＡＭ３４は、各種データの記憶および読み出しに利用される。コンピュータ３２から送信された吐出データは、第１インターフェース３３を介してＲＡＭ３４に記憶される。その後、ＲＡＭ３４から読み出された吐出データは、各種吐出信号に変換されて、吐出ヘッド１２およびステージ１３を制御するために各ドライバ３９ａ〜３９ｃ等に送られる。
駆動波形生成回路３７は、圧電素子２４を駆動するための駆動パルスであるパルス電圧を生成する。このパルス電圧を圧電素子２４に印加して振動板２５を変形させることにより、ノズル２３から液体２１を吐出したり、ノズル２３から液体２１を分離することができる。
【００５４】
Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａは、第１ドライバ３９ａを介して第２インターフェース３８に接続されている。第１ドライバ３９ａは、第２インターフェース３８から送られた位置データを含む信号を電流に変換する。Ｘ方向駆動用パルスモータ４０ａは、この電流に従って吐出ヘッド１２をＸ方向に所定量移動させるための回転を行う。
【００５５】
Ｙ方向駆動用パルスモータ４０ｂは、第２ドライバ３９ｂを介して第２インターフェース３８に接続されている。第２ドライバ３９ｂは、第２インターフェース３８から送られた位置データを含む信号を電流に変換する。Ｙ方向駆動用パルスモータ４０ｂは、この電流に従ってステージ１３をＹ方向に所定量移動させるための回転を行う。
【００５６】
Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃは、第３ドライバ３９ｃを介して第２インターフェース３８に接続されている。第３ドライバ３９ｃは、第２インターフェース３８から送られた位置データを含む信号を電流に変換する。Ｚ方向駆動用パルスモータ４０ｃは、この電流に従ってステージ１３をＺ方向に所定量移動させるための回転を行う。
【００５７】
図４は、電気光学素子の構造を模式的に示す断面図である。本実施形態における電気光学素子５１とは、受発光素子上に光学部材であるマイクロレンズを形成したものである。受発光素子の１つである発光素子としては、例えば、光を放出する部位（出射面）を有し、半導体レーザ、半導体発光ダイオード、有機ＥＬ装置などが挙げられる。受発光素子の１つである受光素子としては、例えば、光を取り込む部位（入射面）を有し、固体撮像素子、フォトダイオード、ＭＳＭ（Metal Semiconductor Metal）フォトディレクターなどが挙げられる。以下、半導体レーザの１つである面発光型半導体レーザ（ＶＣＳＥＬ）５２上に光学部材としてのマイクロレンズ５３が形成された電気光学素子５１の構成について、図４を参照しながら説明する。
【００５８】
電気光学素子５１は、基板１５としての面発光型半導体レーザ（ＶＣＳＥＬ）５２と、マイクロレンズ５３とを有する。面発光型半導体レーザ５２は、図４に示すように、第１基板５４と、第１基板５４上に形成された垂直共振器（以下「共振器」とする）５５と、共振器５５上に形成された第１電極５６と、第１基板５４の下面側に形成された第２電極５７とを有する。第１基板５４は、例えば、ｎ型ＧａＡｓ（砒素ガリウム）基板である。
【００５９】
共振器５５は、分布反射型多層膜ミラー層（以下、「第１ミラー層」という）５８と、第１ミラー層５８上に形成された柱状の半導体堆積体（以下、「柱状部」とする）５９と、柱状部５９の側面を覆う絶縁層６０とを有する。
【００６０】
柱状部５９は、活性層６１と、活性層６１の上方に形成された酸化アルミニウムからなる電流狭窄層６２と、電流狭窄層６２の上面に形成された分布反射型多層膜ミラー層（以下、「第２ミラー層」という）６３とを有する。
【００６１】
第１電極５６および第２電極５７は、共振器５５に電流を注入するために設けられている。詳しくは、この第１電極５６および第２電極５７によって、活性層６１に電流が注入される。第１電極５６は、例えばＡｕとＺｎの合金とＡｕとの積層膜から形成することができる。第１電極５６は、柱状部５９の上面の一部に開口部６４を有する。柱状部５９の上面のうち、開口部６４によって開口された部分が出射面６５となる。第２電極５７は、例えば、ＡｕとＧｅの合金とＡｕとの積層膜から構成されている。
【００６２】
以上により構成された面発光型半導体レーザ５２は、共振器５５の上面に設けられた出射面６５から、第１基板５４と垂直方向に光（レーザ）を出射することができる。
【００６３】
マイクロレンズ５３は、面発光型半導体レーザ５２の出射面６５上に配置されている。このマイクロレンズ５３は、出射面６５から出射される光（レーザ）に対して透明な液体２１を硬化させることにより構成される。これにより、光（レーザ）を効率良く出射させることが可能となる。
【００６４】
次に、面発光型半導体レーザ５２の一般的な動作を説明する。なお、下記の面発光型半導体レーザ５２の駆動方法は一例であり、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変更が可能である。
【００６５】
まず、第１電極５６と第２電極５７との間で電圧を印加すると、活性層６１において、電子と正孔との再結合が起こり発光が生じる。そこで生じた光が第２ミラー層６３と第１ミラー層５８との間を往復する際に誘導放出が起こり、光の強度が増幅される。光利得が光損失を上まわると、レーザ発振が起こり、柱状部５９上面にある出射面６５からマイクロレンズ５３へと入射する。このマイクロレンズ５３にて放射角が調整された後、第１基板５４に対して垂直方向（図４に示す上方側）に光（レーザ）が出射される。
【００６６】
図５、図６は、面発光型半導体レーザの製造工程を示す模式断面図である。以下、面発光半導体レーザの製造方法を、図５、図６を参照しながら説明する。
【００６７】
まず、図５に示す工程１では、第１基板５４の表面に、組成を変調させながらエピタキシャル成長させることにより、半導体多層膜６６を形成する。半導体多層膜６６は、第１ミラー層５８、活性層６１、第２ミラー層６３を順に第１基板５４上に堆層させることにより形成する。次に、所定のパターンのレジスト層６７を形成する。レジスト層６７は、半導体多層膜６６上に、フォトレジスト（図示せず）を塗布した後、フォトリソグラフィ法によりフォトレジストをパターニングすることにより、所定のパターンに形成される。
【００６８】
工程２では、柱状部５９を形成する。まず、工程１において形成したレジスト層６７をマスクとして、例えばドライエッチング法により、第２ミラー層６３、活性層６１、および第１ミラー層５８の一部をエッチングして、柱状の半導体堆積体（柱状部）５９を形成する。以上により、第１基板５４上に、柱状部５９を含む共振器５５が形成される。その後、レジスト層６７を除去する。
【００６９】
工程３では、必要に応じて、電流狭窄層６２を形成する。電流狭窄層６２は、第２ミラー層６３の一部を酸化することにより形成する。電流狭窄層６２を備えた面発光型半導体レーザ５２（図４参照）では、駆動する際に、電流狭窄層６２が形成されていない部分（酸化されていない部分）のみに電流が流れる。従って、酸化によって電流狭窄層６２を形成する工程において、形成する電流狭窄層６２の範囲を制御することにより、電流密度の制御が可能となる。
【００７０】
図６に示す工程４では、柱状部５９を取り囲む絶縁層６０を形成する。ここでは、絶縁層６０を形成するための材料は、例えば、ポリイミド樹脂を用いる。まず、例えば、スピンコート法を用いて、樹脂前駆体（ポリイミド前駆体）を共振器５５上に塗布して、樹脂前駆体層（図示せず）を形成する。この際、前記樹脂前駆体層の膜厚が柱状部５９の高さより大きくなるように形成する。
次に、この基板を、例えば加熱して溶媒を除去した後、柱状部５９の上面５９ａを露出させる。柱状部５９の上面５９ａを露出させる方法としては、ＣＭＰ法、ドライエッチング法、ウエットエッチング法などが利用できる。この後、前記樹脂前駆体層をイミド化させることで、絶縁層６０が形成される。
【００７１】
工程５では、活性層６１に電流を注入するための第１電極５６および第２電極５７、およびレーザ光の出射面６５を形成する。まず、例えば真空蒸着法により絶縁層６０および柱状部５９の上面５９ａ（図６、工程４参照）に、例えばＡｕとＺｎの合金とＡｕとの積層膜（図示せず）を形成する。この場合、最表面にＡｕ層を形成する。次に、リフトオフ法により、柱状部５９の上面５９ａに、前記積層膜が形成されていない部分を形成する。この部分が開口部６４となる。そして、柱状部５９の上面５９ａのうち開口部６４内の領域が出射面６５として機能する。
次に、第１基板５４の裏面５４ａに、例えば真空蒸着法により、例えばＡｕとＧｅの合金とＡｕとの積層膜（図示せず）を形成する。
以上の工程（工程１〜工程５）により、出射面６５を含む面発光型半導体レーザ５２を形成する。
【００７２】
図７は、マイクロレンズの製造過程における、液体２１を吐出したり分離したりするためのパルス電圧の印加と、照射部８１から照射される紫外線照射とのタイミングを示すタイムチャートである。以下、パルス電圧と紫外線照射との関係を、図７を参照しながら説明する。なお、縦軸には、パルス電圧の印加状態と紫外線の照射状態を示している。横軸には、１つのマイクロレンズ５３を製造する過程における経過時間を示している。
【００７３】
図７に示すように、マイクロレンズ５３の形成において、２つのパルス電圧を印加している。２つのパルス電圧は、Ａ時刻からＢ時刻にかけて印加する第１駆動パルスである第１パルス電圧７１と、Ｆ時刻からＩ時刻にかけて印加する第２駆動パルスである第２パルス電圧７２とである。
【００７４】
第１パルス電圧７１は、Ａ時刻において、ある時間をかけて圧電素子２４への印加が開始される。これにより、圧電素子２４が伸縮し、圧電素子２４と接している振動板２５が液体貯留室２２側に向かって凹状に変形する。そして凹状に変形して空いた部分に新しく供給された微少量の液体２１が入り込む。その後、Ｂ時刻において、第１パルス電圧７１の圧電素子２４への印加を停止する。これにより、凹状に変形した振動板２５が勢いよく元の状態に復帰し、新しく供給された分の液体２１が液体貯留室２２に押される。その結果、ノズル２３より微少量の液体２１が押し出される。第１パルス電圧７１は、形成するマイクロレンズ５３の大きさによって、圧電素子２４に印加する電圧の大きさを制御する。
【００７５】
第２パルス電圧７２は、Ｆ時刻において圧電素子２４への印加が開始される。第２パルス電圧７２は、Ａ時刻に印加した第１パルス電圧７１より低い電圧に設定されている。第２パルス電圧７２は、ノズル２３から液体２１が吐出しない程度の電圧に設定されている。圧電素子２４に第２パルス電圧７２を印加することにより、振動板２５が勢いよく凹状に変形する。これにより、ノズル２３にある液体２１を吸引することができる。そして、Ｈ時刻からＩ時刻にかけて、圧電素子２４への第２パルス電圧７２の印加を停止することにより、ノズル２３内への吸引動作が終了する。
【００７６】
また、図７に示すように、紫外線照射は、Ｄ時刻からＧ時刻にかけて照射する第１の照射７３と、Ｉ時刻からＪ時刻にかけて照射する第２の照射７４とを有する。液体２１に第１および第２の照射７３，７４を行うことにより、液体２１を硬化させる。
【００７７】
図８〜図１０は、マイクロレンズの製造工程を示す模式断面図である。以下、マイクロレンズ製造装置を用いて、面発光型半導体レーザの出射面上にマイクロレンズを製造する方法を、図７〜図１０を参照しながら説明する。なお、図８〜図１０に示す面発光型半導体レーザ５２は、図６の工程５に示す面発光型半導体レーザ５２を模式化したものであり、同様に構成されている。また、マイクロレンズ５３（図４参照）は、例えば、液滴吐出法により出射面６５に向けて液体２１を吐出する方法により形成される。
また、図９，１０に示す工程１４，１５，１７の紫外線を照射する工程を照射工程とする。
【００７８】
まず、工程１１では、吐出ヘッド１２を面発光型半導体レーザ５２上の所定位置（高さＸ）に移動した状態を示している。まず、吐出ヘッド１２は、コンピュータ３２から送られた吐出データを基にしてＸ方向駆動用パルスモータ４０ａを所定量回転させることにより、Ｘ方向の所定位置に移動を行う。ステージ１３は、吐出データを基にしてＹ方向およびＺ方向駆動用パルスモータ４０ｂ，４０ｃを所定量回転をさせることにより、Ｙ方向およびＺ方向（高さ方向）の所定位置に移動を行う。これにより、吐出ヘッド１２とマイクロレンズ５３を形成する面発光型半導体レーザ５２の出射面６５との液体２１を吐出するための位置合わせが終了する。
吐出ヘッド１２は、例えば、マイクロレンズ５３が形成されるまで、この高さＸに固定される。液体２１の先端部２１ａは、圧電素子２４に電圧が印加されていない（ＯＦＦ）とき、例えば、吐出ヘッド１２の先端面１２ａと同じ位置にある。なお、この状態を液体２１の「基準状態」とする。吐出ヘッド１２と所定位置との位置合わせが終了したあと、圧電素子２４に第１パルス電圧７１（図７参照）を印加する（Ａ時刻）。
なお、照射部８１は、吐出ヘッド１２が高さＸの位置にあるとき、マイクロレンズ５３が形成される出射面６５に向くように配置されている。
【００７９】
工程１２では、ノズル２３から液体２１が出始めた状態を示している（吐出工程）。まず、Ａ時刻（図７参照）において、圧電素子２４に所定量の第１パルス電圧７１を印加したことにより、振動板２５が液体貯留室２２に向かって凹状に弾性変形を起こす。そして凹状に変形して空いた部分に新しく供給された微少量の液体２１が入り込む。次に、Ｂ時刻において、第１パルス電圧７１の圧電素子２４への印加を停止することにより、凹状に変形した振動板２５が勢いよく元の状態に復帰する。これにより、新しく供給された分の液体２１が液体貯留室２２に押され、ノズル２３より微少量の液体２１が押し出される。
【００８０】
工程１３では、ノズル２３から押し出されて出てきた液体２１が、自重によって柱状に垂れ下がってきた状態を示している（Ｃ時刻）。液体２１は粘性を有しているので、ノズル２３から出てきた液体２１がすぐには分離せずに垂れ下がってきている。このとき、パルス電圧は印加しない状態であり、紫外線の照射も停止している。
【００８１】
図９に示す工程１４では、ノズル２３から出てきた液体２１のうち、ノズル２３内の液体２１に吸収される第１の液体２１ａと、更に垂れ下がっていく第２の液体２１ｂとに分離を開始した状態を示している。これにより、押し出されて出てきた液体２１にくびれ部８２が生じる。このくびれ部８２が生じた時点から、照射部８１によって第２の液体２１ｂに向かって紫外線８３の照射を開始する（Ｄ時刻）。紫外線８３を照射する時間は、例えば、２秒程度である。液体２１は、紫外線硬化樹脂であるので、紫外線８３が当たることにより硬化を始める。着弾前のくびれができた段階から紫外線８３の照射を早期に始めることにより、第２の液体２１ｂの粘度を高めることができ、出射面６５に着弾したときに潰れにくくすることが可能となる。
【００８２】
工程１５では、第２の液体２１ｂが面発光型半導体レーザ５２の出射面６５に着弾し始めた状態を示している。このとき、パルス電圧は「ＯＦＦ」（印加無し）のままである。紫外線８３の照射は、引き続き行っている（Ｅ時刻）。ノズルから押し出されて出てきた液体２１は、第２の液体２１ｂの重さにより、くびれ部８２が更に延びて細くなるものの、繋がっている状態である。つまり、吐出ヘッド１２と面発光型半導体レーザ５２の出射面６５との高さは、くびれ部８２が切れずに第２の液体２１ｂが出射面６５に着地できる高さに予め設定されている。これにより、出射面６５上に着弾した第２の液体２１ｂは、くびれ部８２を介して第１の液体２１ａ側（図９において重力向と反対方向となる上方）に引っ張られているので、自重によって平らな状態になることもなく、引っ張られた状態のまま粘度が高くなる。
【００８３】
工程１６では、ノズル２３から出てきている液体２１のくびれ部８２を切って第２の液体２１ｂを液滴８４として分離する（液滴分離工程）。まず、Ａ時刻に印加した第１パルス電圧７１より低い第２パルス電圧７２を圧電素子２４に印加する（Ｆ時刻）。この第２パルス電圧７２の印加により振動板２５を勢いよく凹状に変形させる。これにより、ノズル２３から出てきている液体２１をノズル２３内に吸引する。このとき、第２の液体２１ｂは、出射面６５上に付着しているので、出射面６５上に残ろうとする。よって、くびれ部８２は、第１の液体２１ａに引っ張られて延びることにより切れる。その結果、第２の液体２１ｂは、第１の液体２１ａから分離して液滴８４となる（Ｇ時刻）。このとき、ノズル２３内にある液体２１のメニスカスは、液体２１がノズル２３内に吸引されたことにより、吐出ヘッド１２の先端面１２ａより凹状になっている。紫外線８３は、液滴８４に分離した直後（Ｇ時刻）に照射を停止する。
液滴８４に分離したときに発生する液滴上部の突起部８４ａは、紫外線８３の照射を停止しているので、突起部８４ａの硬化が進行せず、徐々に液滴８４本体に吸収されいく。なお、突起部８４ａが液滴８４本体に吸収されずに残ったとしても、マイクロレンズ５３上部の中央に位置するので、光が拡散することを抑制することができる。
【００８４】
図１０に示す工程１７では、液滴８４への紫外線８３の照射を再開する。出射面６５上に付着した液滴８４は、工程１６において液滴８４上部の突起部８４ａが液滴８４本体に吸収されたので、突起部８４ａの無い状態になっている。この突起部８４ａの無い状態の液滴８４に、紫外線８３の照射を開始する（Ｉ時刻）。振動板２５は、液滴８４が分離したあと圧電素子２４への電圧の印加が停止（電圧ＯＦＦに復帰）されているので、元の状態に戻されてくる。よって、ノズル２３内に吸引されて凹状だった液体２１がノズル２３の先端側に戻されてくるので、液体２１のメニスカスは、吐出ヘッド１２の先端面１２ａより突出した凸状になっている。ノズル２３からの液体２１の押し出し量は、Ｂ時刻における液体２１の押し出し量より少ないので吐出に至らず、表面張力によりノズル２３内に戻ることが可能な凸状のメニスカス状態になるだけである。
【００８５】
工程１８では、液体２１が凹状のメニスカス形状になる。液体２１は、工程１７においてノズル２３から凸状のメニスカス状態に出るが、その後、除々に停止してくる振動板２５の振動に追従して一旦凹状になる。この時点で、紫外線８３の照射を停止する（Ｊ時刻）。パルス電圧の印加は、停止した状態のままである。
【００８６】
工程１９では、液体２１のメニスカス形状が基準状態に戻るとともに、マイクロレンズ５３が完成する（Ｋ時刻）。ノズル２３内の液体２１は、次のパルス電圧が印加されるまで、この基準状態を維持する。
【００８７】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
（１）本実施形態によれば、ノズル２３から液体２１が押し出され、液体２１にくびれ部８２が発生したことから、液体２１が出射面６５に着弾して液滴８４になるまで、第２の液体２１ｂに向かって紫外線８３を照射するので、くびれ部８２によって第２の液体２１ｂを上方に引っ張った状態で硬化させていくことができる。よって、第２の液体２１ｂを、自重により平らな状態になることなく、重力方向と反対となる上方へ引っ張りながら硬化させていくことができる。従って、ほぼ一定に近い曲率をもつ形状にマイクロレンズ５３を製造することができる。よって、出射面６５から出射されたレーザー光の拡散を抑制することができ、その結果、光の伝送効率を向上させることができる。加えて、時間や手間をかけることなく、マイクロレンズ５３を形成することができる。
【００８８】
（２）本実施形態によれば、吐出ヘッド１２の先端面１２ａと出射面６５との距離は、ノズル２３から押し出された液体２１が出射面６５に着弾しても分離しない距離に設定されているので、第２の液体２１ｂが出射面６５上に付着した後も、くびれ部８２によって第２の液体２１ｂを上方に引っ張った状態を保ちつつ紫外線８３によって硬化させていくことができる。よって、曲率変化の少ないマイクロレンズ５３を形成することができる。
【００８９】
なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
（変形例１）前記実施形態では、ノズル２３から押し出された液体２１のうち第２の液体２１ｂを分離するとき、圧電素子２４に第２パルス電圧７２を印加して液体２１をノズル２３内に吸引することにより分離した。これを、ステージ１３をＺ方向に下降させて、ノズル２３とステージ１３とを離すことにより、第２の液体２１ｂを分離するようにしてもよい。また、吐出ヘッド１２をＺ方向に移動可能な移動手段を設け、吐出ヘッドを出射面６５に着弾した液体２１から離すようにして、液滴８４と分離するようにしてもよい。
【００９０】
（変形例２）前記実施形態では、図９の工程１４に示すように、出射面６５に向かって紫外線８３が照射されるように取り付けられた照射部８１により、ノズル２３から液体２１が押し出されてくびれ部８２が発生したときから液滴８４に分離するまで、紫外線８３の照射を行っていた。これを、照射部８１から常に紫外線８３の照射が行われているようにしてもよい。これによれば、紫外線８３は、マイクロレンズ５３が形成される出射面６５に向かって照射しているので、液体２１が出射面６５に着弾するときに液体２１に紫外線８３が当たり、くびれ部８２によって第２の液体２１ｂが繋がっている状態で第２の液体２１ｂを硬化させていくことができる。
また、くびれ部８２が切れた直後の液滴８４に発生する突起部８４ａは、液滴８４に紫外線８３の照射が引き続き行われているため、突起部８４ａがそのまま硬化したとしても、マイクロレンズ５３上部の中央に位置するので、光が拡散することを抑制することができる。
【００９１】
（変形例３）前記実施形態では、紫外線８３を照射する照射部８１は、紫外線８３が出射面６５に向かって照射するように向けられて固定されていた。これを、照射部８１の角度を可変することが可能な回動機構（図示せず）を備え、この回動機構の動作によりノズル２３先端から液体２１が押し出されて出射面６５に着弾するまでの範囲に向かって紫外線８３を照射できるようにしてもよい。これによれば、第２の液体２１ｂに向かって自由に紫外線８３の照射位置が設定できるので、更に曲率変化の少ないマイクロレンズ５３を製造することができる。
【００９２】
（変形例４）前記実施形態では、吐出ヘッド１２と出射面６５との距離Ｘを固定して、一定の大きさの液滴８４を形成するようにした。これを、ノズル２３の開口サイズの大きさを変えるとともに、吐出ヘッド１２と出射面６５との距離Ｘを変えて、液滴の大きさを変えて形成するようにしてもよい。これによれば、マイクロレンズ５３の大きさを任意に設定することができる。
【００９３】
（変形例５）前記実施形態では、面発光型半導体レーザ５２の出射面６５上にマイクロレンズ５３を形成して、出射光を収束させて拡散することを抑制していた。これを、フォトダイオード（ＰＤ）の受光面上にマイクロレンズ５３を形成するようにしてもよい。マイクロレンズ５３は、フォトダイオードの大きさに応じて、例えば、液体２１の着弾数を増やすことにより形成される。これによれば、曲率変化の少ないマイクロレンズ５３によって光を収束しやすくし、受光効率を向上させることができる。また、面発光型半導体レーザとフォトダイオードとを組み合わせた発光面および受光面上に、このマイクロレンズ５３を形成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】一実施形態における、光学部材の製造装置の構成を模式的に示す斜視図。
【図２】吐出ヘッドの構造を模式的に示す断面図。
【図３】マイクロレンズ製造装置の電気的構成を模式的に示すブロック図。
【図４】面発光型半導体レーザとマイクロレンズの構造を模式的に示す断面図。
【図５】面発光型半導体レーザの製造工程を示す模式断面図。
【図６】面発光型半導体レーザの製造工程を示す模式断面図。
【図７】パルス電圧と紫外線照射との関係を示すタイムチャート。
【図８】マイクロレンズの製造工程を示す模式断面図。
【図９】マイクロレンズの製造工程を示す模式断面図。
【図１０】マイクロレンズの製造工程を示す模式断面図。
【符号の説明】
【００９５】
１１…光学部材の製造装置としてのマイクロレンズ製造装置、１２…吐出ヘッド、１３…載置部としてのステージ、１５…基板、２１…液体材料である液体、２１ａ…液体を構成する第１の液体、２１ｂ…液体を構成する第２の液体、２２…吐出ヘッドを構成する液体貯留室、２３…吐出ヘッドを構成するノズル、２４…吐出ヘッドを構成する圧電素子、３７…駆動パルス生成部としての駆動波形生成回路、４０ａ…Ｘ方向駆動用パルスモータ、４０ｂ…Ｙ方向駆動用パルスモータ、４０ｃ…Ｚ方向駆動用パルスモータ、５１…面発光型半導体レーザと光学部材とを組み合わせた電気光学素子、５２…面発光型半導体レーザ（ＶＣＳＥＬ）、５３…光学部材としてのマイクロレンズ、６４…開口部、６５…出射面、７１…第１駆動パルスとしての第１パルス電圧、７２…第２駆動パルスとしての第２パルス電圧、８１…照射部、８２…くびれ部、８３…エネルギー線としての紫外線、８４…液滴、８４ａ…突起部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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