(57)【要約】【課題】  高精度な光学素子の加圧成形による量産を低廉に行えるようにする。【解決手段】  第一加熱部５１−１及び第二加熱部５１−２は、成形型１２に接触することで成形型１２を加熱する。サーボモータ１−１は、加熱部（第一加熱部５１−１及び第二加熱部５１−２）よりも少ない台数で当該加熱部を移動させて成形型１２に接触させる。加圧部５２は、加熱された後の成形型１２を加圧して成形型１２内の成形素材１１を成形する。第一冷却部５３−１及び第二冷却部５３−２は、成形型１２に接触することで加圧後の成形型１２を冷却する。サーボモータ１−３は、冷却部（第一冷却部５３−１及び第二冷却部５３−２）よりも少ない台数で当該冷却部を移動させて成形型１２に接触させる。【選択図】      図１
2006160564.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形型に接触することで当該成形型を加熱する複数の加熱手段と、
前記加熱手段を移動させて前記成形型に接触させる第一の原動機と、
加熱された後の前記成形型を加圧して当該成形型内の成形素材を成形する加圧手段と、
前記成形型に接触することで前記加圧後の当該成形型を冷却する冷却手段と、
前記冷却手段を移動させて前記成形型に接触させる第二の原動機と、
を備えており、
前記第一の原動機は、前記加熱手段よりも少ない台数で当該加熱手段を移動させる
ことを特徴とする光学素子成形装置。
【請求項２】
成形型に接触することで当該成形型を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段を移動させて前記成形型に接触させる第一の原動機と、
加熱された後の前記成形型を加圧して当該成形型内の成形素材を成形する加圧手段と、
前記成形型に接触することで前記加圧後の当該成形型を冷却する複数の冷却手段と、
前記冷却手段を移動させて前記成形型に接触させる第二の原動機と、
を備えており、
前記第二の原動機は、前記冷却手段よりも少ない台数で当該冷却手段を移動させる
ことを特徴とする光学素子成形装置。
【請求項３】
前記加熱、前記加圧、及び前記冷却は、いずれも不活性なガスが充填されている成形室内で行われ、
前記成形室に隣接して配置されており外部から前記成形型が投入された後に前記不活性なガスで充填されるチャンバを更に備えており、
前記成形型を、前記不活性なガスが充填された後の前記チャンバから前記成形室に移動させて前記加熱、前記加圧、及び前記冷却をそれぞれ行う、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子成形装置。
【請求項４】
前記加熱、前記加圧、及び前記冷却は、いずれも不活性なガスが充填されている成形室内で行われ、
前記第一及び前記第二の原動機は前記成形室外に配置されており、
前記第一及び前記第二の原動機で生じさせた力をそれぞれ前記加熱手段及び前記冷却手段へ伝達する軸を覆う蛇腹部材を更に備えている、
ことを特徴とする請求項１に記載の光学素子成形装置。
【請求項５】
請求項１から４までのうちのいずれか一項に記載の光学素子成形装置を使用して行う成形素材の加圧成形により製造することを特徴とする光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧成形技術に関し、特に、光学機器に使用されるガラスレンズ等の光学素子の加圧成形技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学素子を高精度且つ安価に製造する方法として、光学的精度の機能面を有する成形型を用い、ガラス材料等の成形素材に対する加圧成形を高温下で行って光学素子を形成し、研削・研磨等の工程を省略するという方法が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。この方法は、非球面を有する光学素子の形成が容易であるという特徴を有している。以下、この技術について説明する。
【０００３】
図２は、従来の光学素子成形装置の一例を示している。
この光学素子成形装置２００の成形室２５には、成形型１２やこの成形装置２００の酸化を防止するために、成形型１２や成形装置２００を形成している金属素材に対して不活性なガスである窒素ガスが窒素パイプ２６から充填されている。
【０００４】
成形装置２００内では、成形素材１１を加圧して光学機能面を転写するために使用される成形型１２の内部に成形素材１１を挟み込むことで加熱、加圧、冷却の各工程が行われ、１つの工程を終えたときには、当該成形型１２を同図における右端から左方向へと移動させて次の工程へ送る。
【０００５】
成形型１２の構造の詳細を図３に示す。同図に示すように、成形型１２は上型１２ａ、下型１２ｂ、及び胴型１２ｃを組み合わせて構成される。この成形型１２の上型１２ａと下型１２ｂとの間に成形素材１１を挟み込み、加熱しながら上型１２ａと下型１２ｂとで成形素材１１を加圧することにより光学素子が形成される。
【０００６】
図２の説明へ戻る。成形素材１１をその内部に挟み込ませた成形型１２は、まず入口チャンバ２１に投入される。
型移動具１３は成形型１２を成形室２５内で移動させるためのものである。
【０００７】
型移動具１３の構造の詳細を図４に示す。図２においては型移動具１３を横から見た形態が表されているが、図４では、型移動具１３を上方から見た形態を表している。
図４において、運動装置１４は、櫛状の形状を有している型移動具１３を運動させる。
【０００８】
運動装置１４の動作を開始させると、まず、縦移動シリンダ１５が動作して型移動具１３を同図における下方向へ移動させ、その櫛の歯に相当する部分が、同図において複数配置されている成形型１２の列の間へ挿入される。続いて、横移動シリンダ１６が動作して型移動具１３を同図における左方向へ移動させる。このとき、前述の櫛の歯に相当する部分が成形型１２を左方向へ突き動かす。
【０００９】
その後、成形型１２をその隣の成形型１２の位置にまで移動させたところで、縦移動シリンダ１５が再び動作して型移動具１３を同図における上方向へ移動させ、前述の櫛の歯に相当する部分を成形型１２の列から抜き出す。そしてその後、横移動シリンダ１６が動作して型移動具１３を同図における右方向へ移動させる。この結果、型移動具１３は元の位置へと戻る。
【００１０】
運動装置１４は、型移動具１３の上述した運動を繰り返し行わせる。その結果、成形型１２は、同図における左方向へ移動し、左隣の成形型１２の位置へと順次送られる。
図２において、型移動具１３が移動させる成形型１２の移動先の位置の鉛直方向には、熱交換部材３０が上下一対となって合計５組配置されている。熱交換部材３０は、成形型３１と接触する、熱伝導性の良好な当接板３１と、プレス軸４２に固定されている断熱材３２との間に、ヒータ３３と熱電対３４とが挟み込まれた構造を有しており、成形型１２に接触させることで、成形素材１１の内包されている成形型１２を加熱することができる。なお、熱電対３４は、ヒータ３３によって加熱される当接板３１の測温のために設けられており、当接板３１は、不図示の制温装置により、熱電対３４を用いた測温結果に応じてその温度が所定の温度となるように制御されている。
【００１１】
サーボモータ４１−１、４１−２、４１−３、４１−４、及び４１−５は、プレス軸４２に固定されている上側の熱交換部材３０を下方向へ移動させて成形型１２と接触させると共に、所定の力で成形型１２を加圧して成形型１２内の成形素材１１を成形する原動機であり、成形室２５の室外に配置されている。
【００１２】
このうち、サーボモータ４１−１及び４１−２は、主に成形型１２を加熱する第一加熱部５１−１及び第二加熱部５１−２を構成する２つの上側の熱交換部材３０を、各々移動させて成形型１２に接触させる。
【００１３】
また、サーボモータ４１−３は、加熱部５１によって加熱された後の成形型１２を加圧して成形型１２内の成形素材１１を成形する加圧部５２を構成する上側の熱交換部材３０を移動させて成形型１２に接触・加圧を行わせる。
【００１４】
更に、サーボモータ４１−４及び４１−５は、加圧部５２による加圧後の成形型１２に接触することで主に成形型１２を冷却する（加圧部５２よりも低い所定温度となるようにヒータ５３の温度を制御して成形型１２を徐冷する）第一冷却部５３−１及び第二冷却部５３−２を構成する上側の２つの熱交換部材３０を、各々移動させて成形型１２に接触させる。
【００１５】
まず、成形素材１１を挟み込ませた成形型１２を成形装置２００の外部から入口チャンバ２１に配置する。すると、成形室入口シャッタ２３が上方に開くと共に、型移動具１３がその成形型１２を成形室２３内へ引き込み、その成形型１２を第一加熱部５１−１の位置へ配置する。このとき成形室入口シャッタ２３が下方に閉じる。なお、このとき、成形室出口シャッタ２４は下方に閉じており、成形室２３内は、窒素パイプ２６から送り込まれる窒素ガスで満たされている。
【００１６】
ここで、サーボモータ４１−１が動作して第一加熱部５１−１を構成する上側の熱交換部材３０を下降させて成形型１２に接触させ、成形型１２を上下から所定の温度で所定の時間加熱する。この第一の加熱工程が完了するとサーボモータ４１−１が動作して第一加熱部５１−１を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させ、続いて型移動具１３が動作して成形型１２を第二加熱部５１−２の位置へ移動して配置する。次に、サーボモータ４１−２が動作して第二加熱部５１−２を構成する上側の熱交換部材３０を下降させて成形型１２に接触させ、成形型１２を上下から所定の温度で所定の時間加熱する。この第二の加熱工程が完了するとサーボモータ４１−２が動作して第二加熱部５１−２を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させ、続いて型移動具１３が動作して成形型１２を加圧部５２の位置へ移動して配置する。
【００１７】
次に、サーボモータ４１−３が動作して加圧部５２を構成する上側の熱交換部材３０を下降させて成形型１２を押圧し、成形型１２を上下から所定の温度で加熱しながら所定の時間加圧する。この加圧工程により、成形素材１１の所定形状への成形が完了するとサーボモータ４１−３が動作して加圧部５２を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させ、続いて型移動具１３が動作して成形型１２を第一冷却部５３−１の位置へ移動して配置する。
【００１８】
次に、サーボモータ４１−４が動作して第一冷却部５３−１を構成する上側の熱交換部材３０を下降させて成形型１２に接触させ、成形型１２を上下から所定の温度で所定の時間冷却する。この第一の冷却工程が完了するとサーボモータ４１−４が動作して第一冷却部５３−１を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させ、続いて型移動具１３が動作して成形型１２を第二冷却部５３−２の位置へ移動して配置する。次に、サーボモータ４１−５が動作して第二冷却部５３−２を構成する上側の熱交換部材３０を下降させ、成形型１２を上下から所定の温度で所定の時間冷却する。この第二の冷却工程が完了するとサーボモータ４１−５が動作して第二冷却部５３−２を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させる。
【００１９】
すると、成形室出口シャッタ２４が上方に開くと共に、型移動具１３がその成形型１２を成形室２３の外へ押し出して出口チャンバ２２へ配置する。その後、成形室出口シャッタ２４が下方に閉じる。
【００２０】
こうして成形型１２が成形装置２００から取り出され、その内部より成形された光学素子が取り出されて光学素子の製造が完了する。
以上の説明においては、１個の成形型１２に注目して光学素子が製造される工程を説明したが、型移動具１３は、複数の成形型１２を一定の時間間隔で順次移送するので、成形素材１１を挟み込ませた成形型１２を順次成形装置２００へ投入することより、光学素子が量産される。
【特許文献１】特開平４−１６４８２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
上述した成形装置２００においては、第一加熱部５１−１、第二加熱部５１−２、加圧部５２、第一冷却部５３−１、及び第二冷却部５３−２の各々に対して、それぞれサーボモータ４１−１、４１−２、４１−３、４１−４、及び４１−５を１台ずつ設けているため、装置コストが高価なものとなってしまっている。ここで、加熱工程や冷却工程は、熱交換部材３０を成形型１２に接触させれば十分であり、加圧工程のように、成形型１２を加圧する力の制御を高度に行う必要はない。
【００２２】
また、前述した成形装置２００においては、成形室２５内を窒素雰囲気で保つようにしているものの、成形室入口シャッタ２３及び成形室出口シャッタ２４の開閉により、またプレス軸４２を成形室２５内へ通す穴と当該プレス軸４２との隙間より、外気が成形室２５内へ侵入し、代わりに成形室２５内の窒素ガスが外部へ漏出してしまう。そのため、成形室２５内の酸素濃度の上昇により成形型１２や成形装置２００の酸化が生じるのみならず、熱交換部材３０の温度が所定の設定温度から低下してしまう、あるいはその温度にムラが生じてしまう、などという場合が発生し、結果として、製造される光学素子の品質が不安定となり得る。
【００２３】
本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、高精度な光学素子の加圧成形による量産を低廉に行えるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明の態様のひとつである光学素子成形装置は、成形型に接触することで当該成形型を加熱する複数の加熱手段と、当該加熱手段を移動させて当該成形型に接触させる第一の原動機と、加熱された後の当該成形型を加圧して当該成形型内の成形素材を成形する加圧手段と、当該成形型に接触することで当該加圧後の当該成形型を冷却する冷却手段と、当該冷却手段を移動させて当該成形型に接触させる第二の原動機と、を備えており、当該第一の原動機は、当該加熱手段よりも少ない台数で当該加熱手段を移動させることを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
【００２５】
また、本発明の別の態様のひとつである光学素子成形装置は、成形型に接触することで当該成形型を加熱する加熱手段と、当該加熱手段を移動させて当該成形型に接触させる第一の原動機と、加熱された後の当該成形型を加圧して当該成形型内の成形素材を成形する加圧手段と、当該成形型に接触することで当該加圧後の当該成形型を冷却する複数の冷却手段と、当該冷却手段を移動させて当該成形型に接触させる第二の原動機と、を備えており、当該第二の原動機は、当該冷却手段よりも少ない台数で当該冷却手段を移動させることを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
【００２６】
なお、上述した本発明に係る光学素子成形装置において、加熱、加圧、及び冷却は、いずれも不活性なガスが充填されている成形室内で行われ、当該成形室に隣接して配置されており外部から成形型が投入された後に当該不活性なガスで充填されるチャンバを更に備えており、当該成形型を、当該不活性なガスが充填された後の当該チャンバから当該成形室に移動させて当該加熱、当該加圧、及び当該冷却をそれぞれ行うようにしてもよい。
【００２７】
また、前述した本発明に係る光学素子成形装置において、加熱、加圧、及び冷却は、いずれも不活性なガスが充填されている成形室内で行われ、第一及び第二の原動機は当該成形室外に配置されており、当該第一及び当該第二の原動機で生じさせた力をそれぞれ加熱手段及び冷却手段へ伝達する軸を覆う蛇腹部材を更に備えるようにしてもよい。
【００２８】
なお、上述したいずれかの本発明に係る光学素子成形装置を使用して行う成形素材の加圧成形により製造することを特徴とする光学素子の製造方法も、本発明に係るものである。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、以上のようにすることにより、高精度な光学素子の加圧成形による量産が低廉に行えるようになるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明を実施する光学素子成形装置の構成を示している。なお、同図に示した成形装置１００において、図２に示した従来の光学素子成形装置２００と同様の構成要素には同一の符号を付している。ここでは、これらについての詳細な説明は重複するので省略することとし、図１と図２との差異点を中心に説明する。なお、成形型１２の構造も図３に示したものと同一であり、型移動具１３の構造・動作も図４に示したものと同一である。
【００３１】
サーボモータ１−１、１−２、及び１−３は、プレス軸４２に固定されている上側の熱交換部材３０を下方向へ移動させて成形型１２と接触させると共に、所定の力で成形型１２を加圧して成形型１２内の成形素材１１を成形する原動機であり、成形室２５の室外に配置されている。
【００３２】
ここで、サーボモータ１−１の軸２−１は板材である連結材３−１の一方の面に固定されており、この連結材３−１の他方の面には２つのプレス軸４２が固定されている。この２つのプレス軸４２には、第一加熱部５１−１及び第二加熱部５１−２を構成する２つの上側の熱交換部材３０がそれぞれ固定されている。
【００３３】
また、サーボモータ１−２の軸２−２は板材である連結材３−２の一方の面に固定されており、この連結材３−２の他方の面にはプレス軸４２が固定されている。このプレス軸４２には、加圧部５２を構成する上側の熱交換部材３０がそれぞれ固定されている。
【００３４】
また、サーボモータ１−３の軸２−３は板材である連結材３−３の一方の面に固定されており、この連結材３−３の他方の面には２つのプレス軸４２が固定されている。この２つのプレス軸４２には、第一冷却部５３−１及び第二冷却部５３−２を構成する２つの上側の熱交換部材３０がそれぞれ固定されている。
【００３５】
また、連結材３−１、３−２、及び３−３と成形室２５の上部プレートとの間には、プレス軸４２を覆う収縮ベローズ（蛇腹部材）４が各々連結されている。収縮ベローズ４は、サーボモータ１−１、１−２、及び１−３で生じさせた力をそれぞれ第一加熱部５１−１及び第二加熱部５１−２、加圧部５２、並びに第一冷却部５３−１及び第二冷却部５３−２へ伝達するプレス軸４２と当該プレス軸４２を成形室２５内へ通す穴との隙間による、外気の成形室２５内への侵入と成形室２５内の窒素ガスの外部への漏出とを防止して成形室２５内の気密性を向上させるためのものである。この収縮ベローズ４を設けることにより、成形型１２や成形装置１００の酸化が防止される。更に、成形室２５内の気密性の向上によって成形室２５内の温度低下も抑制されるので、ヒータ３３によるエネルギー消費が低減する結果、高精度な光学素子の加圧成形による量産の低廉化に寄与する。
【００３６】
この他、入口チャンバ２１と出口チャンバ２２とには窒素パイプ５が各々導かれており、各チャンバ内を窒素雰囲気で満たすことができる。また、入口チャンバ２１は真空ポンプ９を動作させることで真空雰囲気とすることもできる。更に、入口チャンバ２１と出口チャンバ２２とには、外気から遮断する入口チャンバシャッタ７と出口チャンバシャッタ８とがそれぞれ設けられており、成形室２５内の気密性を向上させている。
【００３７】
この成形装置１００を使用する成形素材１１の加圧成形による光学素子の製造は、以下のような手順で行われる。
初期状態として、入口チャンバシャッタ７、出口チャンバシャッタ８、成形室入口シャッタ２３、及び成形室出口シャッタ２４はいずれも下方に閉じられている。
【００３８】
まず、入口チャンバシャッタ７が上方に開き、成形素材１１を挟み込ませた成形型１２を成形装置１００の外部から入口チャンバ２１に配置する。
ここで、まず、真空弁１０が開放される。すると、真空ポンプ９の作用により入口チャンバ２１内の空気が抜かれ、真空雰囲気となる。その後、真空弁１０を閉止すると共に、今度は窒素流入弁６を開放する。すると、窒素パイプ５から窒素ガスが送り込まれ、入口チャンバ２１内は窒素雰囲気となる。この後、成形室入口シャッタ２３が上方に開き、型移動具１３がその成形型１２を入口チャンバ２１から成形室２５内へ引き込み、その成形型１２を第一加熱部５１−１の位置へ配置する。すると成形室入口シャッタ２３が下方に閉じる。
【００３９】
このように、成形型１２や成形装置１００に対して不活性なガスである窒素ガスを入口チャンバ２１内に充填してから成形型１２を成形室２５に移動させるようにしたことにより、成形室２５内への入口チャンバ２１側からの外気の侵入が良好に防止されるので、成形型１２や成形装置１００の酸化が防止される。
【００４０】
ここで、サーボモータ１−１が動作して第一加熱部５１−１を構成する上側の熱交換部材３０を下降させて成形型１２に接触させ、成形型１２を上下から所定の温度で所定の時間加熱する。この第一の加熱工程が完了するとサーボモータ１−１が動作して第一加熱部５１−１を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させ、続いて型移動具１３が動作して成形型１２を第二加熱部５１−２の位置へ移動して配置する。ここで、サーボモータ１−１が再び動作して第二加熱部５１−２を構成する上側の熱交換部材３０を下降させて成形型１２に接触させ、成形型１２を上下から所定の温度で所定の時間加熱する。この第二の加熱工程が完了するとサーボモータ１−２が動作して第二加熱部５１−２を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させ、続いて型移動具１３が動作して成形型１２を加圧部５２の位置へ移動して配置する。
【００４１】
次に、サーボモータ１−２が動作して加圧部５２を構成する上側の熱交換部材３０を下降させて成形型１２を押圧し、成形型１２を上下から所定の温度で加熱しながら所定の時間加圧する。この加圧工程により、成形素材１１の所定形状への成形が完了するとサーボモータ１−２が動作して加圧部５２を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させ、続いて型移動具１３が動作して成形型１２を第一冷却部５３−１の位置へ移動して配置する。
【００４２】
次に、サーボモータ１−３が動作して第一冷却部５３−１を構成する上側の熱交換部材３０を下降させて成形型１２に接触させ、成形型１２を上下から所定の温度で所定の時間冷却する。この第一の冷却工程が完了するとサーボモータ１−３が動作して第一冷却部５３−１を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させ、続いて型移動具１３が動作して成形型１２を第二冷却部５３−２の位置へ移動して配置する。次に、サーボモータ１−３が再び動作して第二冷却部５３−２を構成する上側の熱交換部材３０を下降させ、成形型１２を上下から所定の温度で所定の時間冷却する。この第二の冷却工程が完了するとサーボモータ１−３が動作して第二冷却部５３−２を構成する上側の熱交換部材３０を上昇させる。
【００４３】
すると、成形室出口シャッタ２４が上方に開くと共に、型移動具１３がその成形型１２を成形室２５の外へ押し出して出口チャンバ２２へ配置する。なお、このとき、出口チャンバ２２内は、窒素パイプ５から窒素ガスが予め送り込まれており、窒素雰囲気が保たれている。その後、成形室出口シャッタ２４が下方に閉じる。
【００４４】
この後、出口チャンバシャッタ８が上方に開き、成形型１２が成形装置１００から取り出される。その後には出口チャンバシャッタ８が下方に閉じ、出口チャンバ２２内には窒素パイプ５から窒素ガスが充填される。こうすることにより、成形室２５内への出口チャンバ２２側からの外気の侵入が良好に防止されるので、成形型１２や成形装置１００の酸化が防止される。
【００４５】
最後に、成形型１２の内部より成形された光学素子が取り出されて光学素子の製造が完了する。
以上の説明においては、１個の成形型１２に注目して光学素子が製造される工程を説明したが、型移動具１３は、複数の成形型１２を一定の時間間隔で順次移送するので、成形素材１１を挟み込ませた成形型１２を順次成形装置１００へ投入することより、光学素子が量産される。
【００４６】
以上のように、この成形装置１００においては、２つの加熱部（第一加熱部５１−１及び第二加熱部５１−２）よりも数（段数）の少ない、１台のサーボモータ１−１でこれらの加熱部を移動させるようにし、また、２つの冷却部（第一冷却部５３−１及び第二冷却部５３−２）よりも数の少ない、１台のサーボモータ１−３でこれらの冷却部を移動させるようにしている。このように、加熱部・冷却部の数よりも少ない台数の原動機でこれらの加熱部・冷却部を移動させるようにしたことにより、成形装置１００のコストが低下するので、高精度な光学素子の加圧成形による量産が低廉に行えるようになる。
【００４７】
なお、図１に示した成形装置１００においては、加熱部の数よりも少ない台数の原動機（サーボモータ１−１）でこれらの加熱部を移動させると共に、冷却部の数よりも少ない台数の原動機（サーボモータ１−３）でこれらの冷却部を移動させるようにしていたが、そのいずれか一方のみを少ない台数の原動機で移動させるようにしてもよい。
【００４８】
また、図１に示した成形装置１００においては、加圧部５２については１段としていたが、加圧部５２を複数段としてもよい。なお、この場合、成形精度に配慮し、加圧部５２については、同数の原動機を用いて成形型１２を加圧するようにしてもよい。また、その一方で、成形精度に余裕があるのであれば、加圧部５２についても、少ない台数の原動機で成形型１２を加圧するようにしてもよい。
【００４９】
その他、本発明は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明を実施する光学素子成形装置の構成を示す図である。
【図２】従来の光学素子成形装置の一例を示す図である。
【図３】成形型の構造の詳細を示す図である。
【図４】型移動具の構造の詳細を示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１−１、１−２、１−３  サーボモータ
２−１、２−２、２−３  軸
３−１、３−２、３−３  連結材
４  収縮ベローズ
５  窒素パイプ
６  窒素流入弁
７  入口チャンバシャッタ
８  出口チャンバシャッタ
９  真空ポンプ
１０  真空弁
１１  成形素材
１２  成形型
１２ａ  上型
１２ｂ  下型
１２ｃ  胴型
１３  型移動具
１４  運動装置
１５  縦移動シリンダ
１６  横移動シリンダ
２１  入口チャンバ
２２  出口チャンバ
２３  成形室入口シャッタ
２４  成形室出口シャッタ
２５  成形室
２６  窒素パイプ
３０  熱交換部材
３１  当接板
３２  断熱材
３３  ヒータ
３４  熱電対
４１−１、４１−２、４１−３、４１−４、４１−５  サーボモータ
４２  プレス軸
５１−１  第一加熱部
５１−２  第二加熱部
５２  加圧部
５３−１  第一冷却部
５３−２  第二冷却部
１００、２００  光学素子成形装置
【図３】
2006160564.tif 000003
【図４】
2006160564.tif 000004
【図１】
2006160564.tif 000005
【図２】
2006160564.tif 000006