(57)【要約】【課題】  優れた導電性、優れた耐熱性及び耐液圧性を有し、且つ可撓性を有する液冷式給電チューブを提供する。【解決手段】  内部を冷却液が流れる金属チューブの途中に少なくとも一つの回動式ジョイント部４０を設ける。回動式ジョイント部４０は、通液方向上流側に位置する金属チューブの端部から直角方向に突出した内筒部４１と、下流側に位置する金属チューブの端部から直角方向に突出し、内筒部４１が回動可能に嵌合する外筒部４２とを有する。内筒部４１の外周面の軸方向一部には、先端側へ向かって漸次拡径する外面テーパー部４１ａを形成する。外筒部４２の内周面の軸方向一部には、前記外面テーパー部４１ａに密接するように同方向へ傾斜した内面テーパー部４２ａを形成する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を冷却液が流れる金属チューブからなり、且つチューブ途中に少なくとも一つの摺動式ジョイント部を有する屈曲可能な液冷式給電チューブであって、前記摺動式ジョイント部は、外筒部内に内筒部が摺動可能に嵌合する二重筒部分を有しており、前記内筒部の外周面の少なくとも軸方向一部には先端側へ向かって漸次拡径する外面テーパー部が形成されており、前記外筒部の内周面の少なくとも軸方向一部には前記外面テーパー部に密接するように同方向へ傾斜した内面テーパー部が形成されていることを特徴とする液冷式給電チューブ。
【請求項２】
前記摺動式ジョイント部は、内筒部と外筒部が中心線回りにのみ相対回転する回転式ジョイント部である請求項１に記載の液冷式給電チューブ。
【請求項３】
回転中心線が平行になる少なくとも３つの回転式ジョイント部を有する請求項２に記載の液冷式給電チューブ。
【請求項４】
内筒部の外面テーパー部を外筒部の内面テーパー部に弾性的に押圧するべく内筒部と外筒部を離脱方向へ付勢するスプリングを有する請求項１に記載の液冷式給電チューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマトーチ、特に銅電極型のプラズマトーチへの給電に適した液冷式給電チューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
チタン、ジルコニウムなどの高融点活性金属を工業的規模で製造するためには、これらの原料となる素材を溶解し、インゴットをつくらなければならない。このインゴットを製造する方法として現在最も一般的なのは、消耗電極式真空アーク溶解炉（ＶＡＲ炉）を使用する方法である。この方法では、まず、溶解原料となる素材を用いて棒状の消耗電極を製作する。次いで、これを真空又は不活性ガス雰囲気中で直流電源の印加により水冷銅るつぼ内でアーク溶解することにより、目的とするインゴットを得る。
【０００３】
消耗電極の製作過程では、従来より塊粒状の素材を押し固めて作製したコンパクトを溶接で繋ぎ合わせて所定の棒状に形成することが行われている。ところが、この電極を製作するための溶接過程では、注意を払わなければならないことある。代表的な高融点活性金属であるチタンを例にとって説明すると以下のとおりである。
【０００４】
通常、高融点活性金属の溶接にはＴＩＧ溶接やプラズマ溶接が使用されており、トーチ電極としては耐久性に優れたタングステンが用いられている。ところが、このタングステン電極は、そのごく一部でも溶損して溶接ビード中へ混入した場合、溶解工程でも拡散することなはく、最終チタン製品に高密度介在物（ＨＤＩ）として残り、材料欠陥を発生させる。このため、特定の分野では、タングステン電極を使用しないトーチでインゴットの製作を行うことが強く求められている。
【０００５】
このような要求に応えるため、本発明者は銅電極型のプラズマトーチ、そのなかでも特に、特許文献１に記載されるようなロッド型の銅電極をもつプラズマトーチの使用を企画した。すなわち、銅電極の場合でも溶接ビード中への混入の危険はあるが、仮に溶接ビード中へ混入しても、ＶＡＲ溶解時に母材マトリックス中へ拡散し、最終製品中にＨＤＩ欠陥として残らないのである。しかも銅は、熱伝導性が極めて高いので、発熱が集中する電極先端からの冷却を高めるという観点からも好ましい材質であり、銅の代わりに銅合金を用いてもよい。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１７０７６０号公報
【０００７】
しかしながら、銅電極型プラズマトーチへの切替に伴って様々な問題が発生している。一つは、銅電極の耐熱性がタングステン電極に比べて低く、使用寿命が短いことである。このため、タングステン電極のように先端部を尖らせることはできず、電極の先端面は平坦面とされる。銅電極の先端面を平坦面とすると、トーチ内の電極先端における電流集中、熱集中が軽減され、耐久性が向上する。それでも未だ先端面の特定箇所に電流集中、熱集中が生じる傾向があり、これを緩和するために、前述した特許文献１では、銅電極の先端面を先端側へ向かって凹の方向に湾曲した凹型曲面とすることが提示されている。
【０００８】
銅電極の使用寿命を延ばすための今一つの対策は、大量の冷却水をプラズマトーチへ供給することである。プラズマアークを集中させるために、ノズル及びその内側の電極を先絞りに形成する傾向があることから、この冷却は一層重要視されてきている。
【０００９】
ところが、ＶＡＲ一次溶解用の消耗電極の製作では、プラズマトーチの冷却度を高めることが困難である。その理由を図４により説明する。一般に、ＶＡＲ一次溶解用の消耗電極の製作では、横長の炉体１内で消耗電極２の製作が行われる。具体的に説明すると、横長の炉体１の長手方向複数箇所からプラズマトーチ３が炉内に挿入されている。製作に際しては、複数のコンパクト４が棒状に組み合わされて炉内へ横に寝かせて挿入され、炉内が真空引き後にアルゴンガスで置換される。この状態でコンパクト４の仮組み体を台車５の上で周方向に回転させると共に炉長方向に移動させることにより、複数のプラズマトーチ３で溶接を行う。
【００１０】
プラズマトーチ３への給電は、特許文献２に示されるようないわゆる水冷ケーブル６を介して行われる。水冷ケーブル６は、外部がホースであり、その内部に電線が挿入されている。水冷ケーブル６内に冷却水を通じることにより、電線の冷却、プラズマトーチ３への冷却水の供給が行われる。外部ホースはゴム系のエラストマーからなり、可撓性を有している。この可撓性があるために、プラズマトーチ３は炉内である程度移動することができる。すなわち、プラズマトーチ３は、コンパクト４の仮組み体の高品質な溶接のために、溶接対象物に対して垂直姿勢のままで炉長方向に若干量移動できる必要がある。また、溶接熱のために炉内が２００℃以上に加熱されるため、水冷ケーブル６の外部ホースはこの熱に耐える必要がある。
【００１１】
【特許文献２】特許第３４４３６２５号公報
【００１２】
プラズマトーチがタングステン電極型の場合は、この消耗電極の製作法で問題はなかった。ところが、タングステン電極が銅電極に切り替わると、水冷ケーブル６が制約となって消耗電極の製作が困難となった。なぜなら、前述したとおり銅電極はタングステン電極と比べて多量の冷却水の供給を必要とし、この供給のために水圧を上げると、水冷ケーブル６の外部ホースが頻繁に破損し、交換する必要が生じたのである。
【００１３】
また、従来から広く知られている耐圧性、耐熱性及び導電性を併せ持つフレキシブルなホース、パイプ類として、表面をステンレス鋼線で補強したフレキシブルホースや、ステンレス鋼薄板を波状パイプに加工したフレキシブルホース（又はベローズチューブ）がある。しかしながら、これらは、チタン溶接用プラズマトーチの水冷式給電ケーブルに使用した場合、下記の問題点を生じるため、使用できない。
【００１４】
第１の問題点は腐食であり、スポンジ状チタンコンパクト溶接時に発生する微量の塩酸がステンレス鋼表面を短期間のうちに腐食させるため、これらは実使用に耐えない。すなわち、ステンレス鋼線補強フレキシブルチューブでは、ステンレス鋼線間の内部まで腐食が進行し、短期間のうちにステンレス鋼線が断線して使用不可能となる。また、ステンレス鋼薄板を波状パイプに加工したフレキシブルホーズでも、同様に腐食が進行し、特に波板加工の際の溶接部の腐食が進行し、ピンポール状の孔食が発生して短期間の間に使用不能となる。
【００１５】
第２の問題点は可撓性の欠如である。すなわち、ステンレス鋼薄板を波状パイプに加工したフレキシブルホース（又はベローズチューブ）では、可撓性が小さく、ホースを繰り返し屈曲させると短期間のうちに割れが発生する。
【００１６】
第３の問題点は導電性の不足である。すなわち、ステンレス鋼系材料は導電率が低く、事実上これを通電部材として使用することができない。また、これらのフレキシブルホースは通電部材としての使用について考慮されていないために、このホースを用いて通電を行う場合、別に銅線などの導体を内包させる必要があり、従来の水冷ケーブルと同様、構造が複雑になり、また大量の冷却水を通水するためには更に大口径のホースが必要になる。
【００１７】
なお、上記フレキシブルホースの材質をステンレス鋼系材料から塩酸にも耐え得る耐食性のよい材料に変更することも考えられるが、特注品となりコスト高になる。更には材質の変更だけでは上記第２、第３の問題までは払拭されない。
【００１８】
以上のように、消耗電極の製作での炉内温度に耐えると共に、銅電極が必要とする水量確保のための高水圧に耐え得る通水系を備え、且つプラズマトーチの移動を許容する可撓性を備えた通電ケーブルは、本発明者の知る限り存在しないのである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明の目的は、優れた導電性は勿論のこと、優れた耐熱性及び耐圧性を有し、しかも可撓性を有する液冷式給電チューブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するために、本発明の液冷式給電チューブは、内部を冷却液が流れる金属チューブからなり、且つチューブ途中に少なくとも一つの摺動式ジョイント部を有する屈曲可能な液冷式給電チューブであって、前記摺動式ジョイント部は、外筒部内に内筒部が摺動可能に嵌合する二重筒部分を有しており、前記内筒部の外周面の少なくとも軸方向一部には先端側へ向かって漸次拡径する外面テーパー部が形成されており、前記外筒部の内周面の少なくとも軸方向一部には前記外面テーパー部に密接するように同方向へ傾斜した内面テーパー部が形成されていることを構成上の特徴点とする。
【００２１】
本発明の液冷式給電チューブにおいては、内部を冷却液が流れる金属チューブが構成材料とされているので、優れた耐熱性及び耐圧性が確保される。チューブ途中に設けられた摺動式ジョイント部では、内筒部側の外面テーパー部と外筒部側の内面テーパー部とが摺動可能に密接するためにチューブが回転する。このため、ジョイント部の個数及び回転方向の組合せにより、可撓性に匹敵するフレキシビリティが確保される。また、外面テーパー部と内面テーパー部の密接摺動により、前記回転運動を阻害することなく優れた通電性が確保される。なぜなら、チューブ内の液圧が外筒部と内筒部の離脱方向に作用し、内面テーパー部と外面テーパー部の密接部分（摺動通電部）に付加されることにより、高い通電性が確保されるからである。
【００２２】
内面テーパー部と外面テーパー部の密着性を更に高めるためには、内筒部の外面テーパー部が外筒部の内面テーパー部に弾性的に押圧されるように内筒部と外筒部を離脱方向へ付勢するスプリングの使用が有効である。このスプリングは内筒部と外筒部を液圧が付加されないときに組立状態に保持するのにも有効であり、内筒部の先端側に配置するのがスペース的に合理的で望ましい。
【００２３】
摺動式ジョイント部は、代表的には例えば内筒部と外筒部が中心線回りにのみ相対回転する回転式ジョイント部である。これは、内面テーパー部と外面テーパー部を一定角度の部分円錐面とすることにより実現されるが、両テーパー部はこの部分円錐面に限らず、軸に対して回転対称形の曲面なども含み、部分球面も含む。両テーパー部が部分球面の場合、内筒部と外筒部は中心線回りに相対回転する他、両テーパー部が中心線に直角な軸回りに回転可能であることにより、内筒部と外筒部は周囲全方向へ３次元的に折曲可能となる。
【００２４】
一方、内筒部と外筒部が中心線回りにのみ相対回転する回転式ジョイント部の場合は、ジョイント部が一つであればチューブの折曲動作は一方向の折曲だけである。すなわち、内筒部及び外筒部をチューブに直角に形成すれば、両筒部の中心線回りの相対回転により、チューブは一方向に折れ曲がる。しかし、回転式ジョイント部の場合であっても、例えば３つの回転式ジョイント部を、回転中心線が平行になるように組み合わせれば、チューブは平行移動が可能になる。回転式ジョイント部の個数を更に増やせば、チューブは更に複雑な運動をすることが可能となる。
【００２５】
このように、回転式ジョイント部の場合は、両テーパー部が部分球面である摺動式ジョイント部の場合と比べて可動範囲に制約があるが、その一方で次のような長所がある。常に水圧が中心線方向に付加されるので、どの角度に回転しても常に均一な密着性がテーパー部において確保できる。このため、より確実な電気伝導性が確保できる。また、上記摺動式ジョイント部の場合よりも構造が単純なため水漏れ防止の観点からも望ましい。加えて、ＶＡＲ一次溶解用の消耗電極の製作時のように溶接対象物に垂直姿勢のまま若干量平行移動する機能をもたせる場合などは、前述した少なくとも３つの回転式ジョイント部を、回転中心線が平行になるように組み合わせる構造を採用すれば、機械的なねじれが生じることもなく、好都合である。
【００２６】
本発明の液冷式給電チューブは、その特質からして、銅電極型のプラズマトーチ、特にチタン、ジルコニウムなどの高融点活性金属の製造プロセスでの消耗電極の製作に使用されるコンパクト溶接用プラズマトーチへの給電に適する。また、その特質、特に耐熱性・耐圧性に優れていることから、給水側に用いれば特に有効であるが、排水側に使用することも可能である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の液冷式給電チューブは、液圧を利用したテーパー嵌合式の摺動通電部をもつ摺動式ジョイント部を金属チューブ途中に有する構成により、優れた耐熱性及び耐圧性と共に、優れた導電性を有し、しかも、摺動式ジョイント部の組合せやテーパー部の形状設計により、可撓性に匹敵する優れたフレキシビリティを保有し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態を示す液冷式給電チューブの正面図、図２は同液冷式給電チューブおける摺動式ジョイント部の縦断側面図である。
【００２９】
本実施形態の液冷式給電チューブは、図１に示すように、チタン、ジルコニウムなどの高融点活性金属の製造プロセスでの消耗電極の製作に使用されるコンパクト溶接用プラズマトーチ１０への給電に使用されている。プラズマトーチ１０はロッド型の銅電極を使用しており、図示されない横型炉体の内部に下方を向けて垂直に設置されている（図４参照）。このプラズマトーチ１０は、水平方向の固定ガイド１１により、炉体の長手方向に移動可能に支持されている。
【００３０】
プラズマトーチ１０への給電に使用される液冷式給電チューブは、垂直な固定チューブ２０と、固定チューブ２０の下に連結された上下２本の可動チューブ３０，３０と、可動チューブ３０の下に連結された垂直で水平な一方向にのみ移動可能な半固定チューブ２０′とを備えている。これらのチューブはいずれも銅系金属からなり、上側の固定チューブ２０は、下部を残して炉体の上方に突出している。
【００３１】
２本の可動チューブ３０，３０及び下側の半固定チューブ２０′は横型炉体内にあり、下側の短い固定チューブ２０はその下のプラズマトーチ１０と直結されている。そして上側の固定チューブ２０と上側の可動チューブ３０との間、上下の可動チューブ３０，３０の間、及び下側の可動チューブ３０と下側の半固定チューブ２０′との間は、回転中心軸が平行になるように配置された摺動式ジョイント部４０により回転可能に各連結されている。なお液冷式給電チューブは、図１の上から下へ冷却水を流通させるので、以下上側を上流側、下側を下流側と称す。
【００３２】
摺動式ジョイント部４０は、図２に示すように、上流側チューブ６０の下流側の端部に直角に接続された内筒部４１と、下流側チューブ７０の上流側の端部に直角に接続された外筒部４２との組み合わせにより構成された回転式であり、いずれの筒部もチューブ材質と同じ銅系金属（銅又は銅合金）により構成されている。
【００３３】
内筒部４１は、外筒部４２の内側に回転自在に嵌合しており、両者の間はリング状のシール部材４３によりシールされている。内筒部４１の先端部外周面は、先端側（下流側）に向かうに連れて外径が漸次増大するテーパー面（外面テーパー部４１ａ）になっている。外面テーパー部４１ａより上流側の外周面は、外径が一定のストレート面である。外筒部４２は、外面テーパー部４１ａに対応する内面テーパー部４２ａを基端部（下流側の端部）の内周面に有している。内面テーパー部４２ａより上流側の内周面は、内径が一定のストレート面である。
【００３４】
内筒部４１の先端側（上流側）には、コイル状のスプリング４４が圧縮状態で配置されている。このスプリング４４は、外筒部４２が接続されたチューブ端部内に直角に配置されており、これにより内筒部４１を離脱方向（内筒部４１が外筒部４２から抜け出る方向）へ付勢している。
【００３５】
外筒部４２が接続されたチューブ端部において内筒部４１が対向する部分は、外筒部４２内への内筒部４１の挿入及びチューブ端部内へのスプリング４４の挿入のために円形に開口しており、その開口部は蓋部４５により閉止されている。蓋部４５の接合は他の部材接合と共にロウ付けにより行われている。
【００３６】
次に、本実施形態の液冷式給電チューブの機能について説明する。
【００３７】
図示されないプラズマ用電源及び給水源が、上流側の長い固定チューブ２０、その下流側の２本の可動チューブ３０，３０、更に下流側の短い半固定チューブ２０′を介してプラズマトーチ１０に接続されている。これらのチューブはいずれも銅管である。したがって、プラズマアーク発生用の電力がプラズマトーチ１０に供給される。また、チューブ内を通して冷却水がプラズマトーチ１０に供給される。銅管は耐熱性に優れた通水チューブであるため、高温下でも高圧で冷却水を供給することができる。
【００３８】
上流側の固定チューブ２０と上流側の可動チューブ３０との間、上流側及び下流側の可動チューブ３０，３０の間、及び下流側の可動チューブ３０とその下流側の半固定チューブ２０′との間には、３つの回転式ジョイント部４０が回転中心軸が平行になるように介装されている。この３関節構造による可動チューブ３０，３０の傾斜により、プラズマトーチ１０は半固定チューブ２０′と共に垂直姿勢のまま水平方向へ平行移動することができる。
【００３９】
しかも、３つの回転式ジョイント部４０は通水性のみならず、優れた通電性を有する。すなわち、冷却水は、上流側のチューブ内から、内筒部４１と外筒部４２が嵌合する二重筒部分内を通り、下流側のチューブ内へ流通する。ここで、内筒部４１と外筒部４２が嵌合する二重筒部分は、上流側のチューブ及び下流側のチューブに直角である。このため、図２中に矢示するように、上流側のチューブ内から二重筒部分内にかけての水圧が、下流側のチューブ端部において内筒部４１が対向する部分に付加される。この結果、外面テーパー部４１ａが内面テーパー部４２ａに強く押圧される。加えて、両テーパー部は、スプリング４４によっても押圧され合う。
【００４０】
すなわち、外面テーパー部４１ａと内面テーパー部４２ａは、チューブ内の水圧及びスプリング４４により押圧され合う。このため、外面テーパー部４１ａと内面テーパー部４２ａの密接部分（摺動通電部）における密着性が上がり、高い通電性が確保される。また、この状態でも、外面テーパー部４１ａと内面テーパー部４２ａの密接部分は摺動可能である。このため、回転式ジョイント部４０の回転性は阻害されない。ちなみに、他の連結部はロウ付けなどの固定的な接触部であるために、通電性に問題はない。
【００４１】
かくして、横型炉体内のプラズマトーチ１０に高い圧力で冷却水を供給することが可能となり、プラズマトーチ１０における陽極電極の耐久性を向上させることができる。また、プラズマトーチ１０の炉長方向における水平移動が可能となる。更に、この移動に伴う通電性の低下も回避される。プラズマトーチ１０からの排水は従来どおりの例えばゴム系の可撓性チューブ５０により行う。排水系は水圧が低いので、従来どおりの可撓性チューブ５０でも特に問題を生じない。本実施形態の液冷式給電チューブは高温・高圧下で特に効力を発揮するのである。
【００４２】
本実施形態では図２における上側を上流側、下側を下流側としたが、下側を上流側、上側を下流側として回転式ジョイント部を使用することも可能である。回転式ジョイント部に方向性はなく、逆向きに使用した場合も、外面テーパー部４１ａと内面テーパー部４２ａはチューブ内の水圧及びスプリング４４により押圧され合う。また、スプリング４４が存在するために、水圧が付加されない場合にも外面テーパー部４１ａと内面テーパー部４２ａは押圧され合う。すなわち、スプリング４４は内筒部４１と外筒部４２の初期位置保持にも有効である。
【００４３】
内面テーパー部４１ａ及び外面テーパー部４２ａの中心線に対する傾斜角度θは、ここでは約４５度であるが、１０〜７０度、望ましくは３０〜６０度の範囲内で選択するのが好ましい。この傾斜角度が小さすぎると互いの雄・雌のテーパー面同士が食い込み固着するため摺動困難となる可能性があり、大きすぎる場合はテーパー接続による密着性向上の効果が得難く、十分なテーパー接触面積が得られなくなるため良好な電気伝導性を得にくくなる場合がある。
【００４４】
図３は本発明の他の実施形態を示す摺動式ジョイント部の縦断面図である。本実施形態の液冷式給電チューブでは、上流側チューブ６０（図では上側のチューブ）と下流側チューブ７０（図では下側のチューブ）とが摺動式ジョイント部８０により折曲可能に連結されている。チューブ６０，７０はいずれも銅管である。
【００４５】
摺動式ジョイント部８０は、上流側チューブ６０の下流側（下側）の端部に形成された先広がりの内筒部８１と、内筒部８１が挿入されるように下流側チューブ７０の上流側（上側）の端部に形成された外筒部８２とからなる。内筒部８１及び外筒部８２は、他の部分より外径及び内径がそれぞれ大きい大径部であり、特に内筒部８１の外周面は、先端から離れるにつれて外径が漸減する部分球面で形成された外面テーパー部８１ａである。外筒部８２は、下流側チューブ７０の端部に形成されたフランジ部７１に接合されており、その内周面は、外面テーパー部８１ａに対応する部分球面の内面テーパー部８２ａになっている。両者のテーパー部間は、環状のシール部材８３によりシールされている。
【００４６】
内筒部８１の先端部は、内筒部８１の運動及び受圧のために、下流側チューブ７０の端部に形成されたフランジ部７１から離れている。また内筒部８１の内周面は、先端へ向かうにつれて内径が一定割合で漸増するコーン形状に形成されている。
【００４７】
本実施形態の液冷式給電チューブでは、銅製のチューブ６０，７０を介してプラズマアーク発生用の電力がプラズマトーチに供給される。また、チューブ６０，７０内を通して冷却水がプラズマトーチに供給される。銅管は耐熱性に優れた通水チューブであるため、高温下でも高圧で冷却水を供給することができる。
【００４８】
チューブ６０，７０は、摺動式ジョイント部８０により折曲可能に連結されている。より具体的には、摺動式ジョイント部８０では、内筒部８１の外周面（外面テーパー部８１ａ）及び外筒部８２の内周面（内面テーパー部８２ａ）が部分球面であるため、チューブ６０，７０は周囲全方向に折曲可能である。加えて、内筒部８１及び外筒部８２を大径部としたことにより、チューブ６０，７０内の液圧が離脱方向に付加される。この結果、外面テーパー部８１ａが内面テーパー部８２ａに強く押圧され、良好な通電性が確保される。
【００４９】
本実施形態においてもスプリングによって摺動式ジョイント部８０を組立状態に保持することは可能である。また、本実施形態のように、内筒部８１及び外筒部８２が円筒部に限定されないことは言うまでもない。
【００５０】
なお、チューブ１０，２０，２０′，６０，７０の各表面及び摺動式ジョイント部４０，８０の各表面には、絶縁性及び耐熱性をもつテープ又はチューブを被覆することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施形態を示す液冷式給電チューブの正面図である。
【図２】同液冷式給電チューブにおける摺動式ジョイント部の縦断面図である。
【図３】別の摺動式ジョイント部の縦断面図である。
【図４】高融点活性金属の製造プロセスでの消耗電極の作製に使用される溶接設備の概略構成を示す縦断側面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  プラズマトーチ
２０  固定チューブ
２０′  半固定チューブ
３０  可動チューブ
４０  摺動式ジョイント部
４１  内筒部
４１ａ  外面テーパー部
４２  外筒部
４２ａ  内面テーパー部
４４  スプリング
５０  可撓性チューブ
６０  上流側チューブ
７０  下流側チューブ
７１  フランジ部
８０  摺動式ジョイント部
８１  内筒部
８１ａ  外面テーパー部
８２  外筒部
８２ａ  内面テーパー部
【図１】
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【図２】
2006289473.tif 000004
【図３】
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【図４】
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