(57)【要約】【課題】  複数の冷却部材に冷媒を導通する導入側接続部又は排出側接続部から冷媒漏れが発生したときに、冷媒漏れが発生している導入側接続部、排出側接続部を早期に特定し、被害の拡大を防止する。【解決手段】  複数の冷却部材５２Ａ〜５２Ｄへ冷媒を供給する導入管６２Ａ〜６２Ｄを導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄで冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのパイプ５４に接続する。複数の冷却部材５２Ａ〜５２Ｄから冷媒を排出する排出管６４Ａ〜６４Ｄを排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄで冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのパイプ５４に接続する。導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄと排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄは、光源用冷却装置５０の背面側の同一面に設けられている。これにより、冷媒漏れの発生時に、冷媒が漏れている導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄ、排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄを早期に特定できる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光が射出される複数の光源部を冷却する冷却装置であって、
パイプ内に冷媒を導通することによって、前記複数の光源部をそれぞれ冷却する複数の冷却部材と、
前記複数の冷却部材にそれぞれ接続され、供給管から前記パイプに冷媒を導入する導入側接続部と、
前記複数の冷却部材にそれぞれ接続され、前記パイプから冷媒を排出管に排出する排出側接続部と、を有し、
前記導入側接続部と前記排出側接続部とが、同一面又は同一領域に集中して設けられていることを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
複数の発熱部材を冷却する冷却装置であって、
パイプ内に冷媒を導通することによって、前記複数の発熱部材をそれぞれ冷却する複数の冷却部材と、
前記複数の冷却部材にそれぞれ接続され、供給管から前記パイプに冷媒を導入する導入側接続部と、
前記複数の冷却部材にそれぞれ接続され、前記パイプから冷媒を排出管に排出する排出側接続部と、を有し、
前記導入側接続部と前記排出側接続部とが、同一面又は同一領域に集中して設けられていることを特徴とする冷却装置。
【請求項３】
前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記複数の光源部との間に、遮蔽板が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の冷却装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の冷却装置が配設され、
前記複数の光源部から射出する光を所定のパターンに変調して感光材料面に画像を書き込むことを特徴とする露光描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光源部又は複数の発熱部材に冷媒を供給して冷却する冷却装置、及びこの冷却装置を備えた露光描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、露光光を感光材料面に露光して画像を書き込む露光描画装置が種々提案されている。
【０００３】
このような露光描画装置は、複数の光源装置を備えており、複数の光源装置から射出される光を所定のパターンに変調し、光学部品を介して感光材料面に露光することによって画像を書き込むものである（例えば特許文献１を参照）。
【０００４】
この露光描画装置では、複数の光源装置を駆動させる際に、各光源装置に配置された光源の発熱により、各光源から射出される光量が変動してしまう。このため、各光源が設置された部位にラジエータ（冷却装置）を設置し、冷却水などの冷媒を供給して光源を冷却する必要がある。
【０００５】
しかし、冷媒をラジエータに供給又は排出する導入管や排出管の配管接続部（管継手など）で水漏れが発生するおそれがある。また、ラジエータは複数配置されているため、水漏れが発生している配管接続部を早期に特定することが難しい。
【特許文献１】特開２００２−３５１０８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、配管接続部の冷媒の漏れを早期に特定することができ、また、それに対する対応も容易な冷却装置及び露光描画装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明に係る冷却装置は、光が射出される複数の光源部を冷却する冷却装置であって、パイプ内に冷媒を導通することによって、前記複数の光源部をそれぞれ冷却する複数の冷却部材と、前記複数の冷却部材にそれぞれ接続され、供給管から前記パイプに冷媒を導入する導入側接続部と、前記複数の冷却部材にそれぞれ接続され、前記パイプから冷媒を排出管に排出する排出側接続部と、を有し、前記導入側接続部と前記排出側接続部とが、同一面又は同一領域に集中して設けられていることを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、複数の光源部をそれぞれ冷却する複数の冷却部材を備えており、各冷却部材のパイプ内に冷媒が導通されることによって複数の光源部が冷却される。各冷却部材には、供給管から冷媒をパイプに導入する導入側接続部と、パイプから冷媒を排出管に排出する排出側接続部とが配設され、これらの導入側接続部と排出側接続部とが、同一面又は同一領域に集中して設けられている。これにより、冷媒漏れの発生時に、同一面又は同一領域に設けられた導入側接続部及び排出側接続部を点検することで、冷媒漏れが発生している導入側接続部、排出側接続部を特定できる。このため、早期に冷媒漏れが発生している導入側接続部又は排出側接続部を修理することができる。また、導入側接続部と排出側接続部とが同一面又は同一領域に集中して設けられているので、組み立て作業が容易となると共に、メンテナンスの作業性が向上する。
【０００９】
請求項２に記載の発明に係る冷却装置は、複数の発熱部材を冷却する冷却装置であって、パイプ内に冷媒を導通することによって、前記複数の発熱部材をそれぞれ冷却する複数の冷却部材と、前記複数の冷却部材にそれぞれ接続され、供給管から前記パイプに冷媒を導入する導入側接続部と、前記複数の冷却部材にそれぞれ接続され、前記パイプから冷媒を排出管に排出する排出側接続部と、を有し、前記導入側接続部と前記排出側接続部とが、同一面又は同一領域に集中して設けられていることを特徴としている。
【００１０】
ここで、発熱部材としては、例えば、モータや制御基板などが挙げられる。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、冷媒漏れの発生時に、同一面又は同一領域に設けられた導入側接続部及び排出側接続部を点検することで、冷媒漏れが発生している導入側接続部又は排出側接続部を特定でき、その導入側接続部又は排出側接続部を早期に修理することができる。また、導入側接続部と排出側接続部とが同一面又は同一領域に集中して設けられているので、組み立て作業が容易となると共に、メンテナンスの作業性が向上する。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の冷却装置において、前記導入側接続部と前記排出側接続部よりも前記複数の光源部の側に、遮蔽板が設けられていることを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、導入側接続部及び排出側接続部と複数の光源部との間に遮蔽板が設けられているので、導入側接続部又は排出側接続部で冷媒漏れが発生しても、その周辺への影響を防止できる。
【００１４】
請求項４に記載の発明に係る露光描画装置は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の冷却装置が配設され、前記複数の光源部から射出する光を所定のパターンに変調して感光材料面に画像を書き込むことを特徴としている。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の冷却装置が配設されており、冷媒漏れの発生時に、冷媒漏れが発生している導入側接続部又は排出側接続部を早期に特定できる。このため、冷媒漏れによる被害を最小限に抑えることが可能となる。また、組み立て作業が容易となると共に、メンテナンスの作業性が向上する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る冷却装置及び露光描画装置は、上記のように構成したので、冷媒漏れが発生している導入側接続部又は排出側接続部を早期に特定でき、冷媒漏れによる被害を最小限に抑えることができる。また、組み立て時の作業性やメンテナンス時の作業性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係る冷却装置の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
まず、最初に本発明の第１実施形態に係る冷却装置としての光源用冷却装置が搭載された露光描画装置の全体構成の概要を説明し、次に、本発明の要部について説明する。
【００１９】
図１には第１実施形態に係る光源用冷却装置５０が搭載された露光描画装置１０が示されている。
【００２０】
この露光描画装置１０は、いわゆるフラットベッド型の面露光方式のマルチビーム露光装置に構成したものであり、基台１１上の４本の脚部材１２Ａに支持されたプレート基体１２と、このプレート基体１２上に設けられた図中Ｙで示す送り方向（走査方向）に移動操作可能に装着された移動台座１５と、この移動台座１５上に設置され、例えばプリント基板（ＰＣＢ）、カラーの液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）といったガラス基板の表面に感光材料を形成したもの等である感光材料２１を載置固定すると共に、図中Ｚで示す高さ方向の位置調整を行う移動ステージ１４と、一方向に延在したマルチビームをレーザ光として射出する光源ユニット１６と、このマルチビームを、所望の画像データに基づきマルチビームの位置に応じて空間変調し、マルチビームの波長領域に感度を有する感光材料に、この変調されたマルチビームを露光ビームとして照射する露光ヘッドユニット１８と、移動ステージ１４の移動に伴って露光ヘッドユニット１８の各露光ヘッド２６にそれぞれ供給する変調信号を画像データから生成する制御ユニット２０とを主に有して構成される。
【００２１】
この露光描画装置１０には、移動ステージ１４の上方に感光材料を露光するための露光ヘッドユニット１８が配置されており、この露光ヘッドユニット１８内に設置された各露光ヘッド２６には、光源ユニット１６からそれぞれ引き出されたバンドル状光ファイバ２８が接続される。
【００２２】
この露光描画装置１０には、プレート基体１２を跨ぐように門型フレーム２２が設けられ、その両面にそれぞれ一対の位置検出センサ２４が取り付けられる。この位置検出センサ２４は、移動ステージ１４の通過を検知したときの検出信号を制御ユニット２０に供給する。
【００２３】
この露光描画装置１０では、プレート基体１２の上面に、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド３０が設置される。この２本のガイド３０上には、スライダ３１を介して移動台座１５が往復移動可能に装着される。
【００２４】
この露光描画装置１０では、固定された露光ヘッドユニット１８に対して、移動台座１５上に移動ステージ１４を介して載置された被露光材料である感光材料（基板）２１を送り方向へ移動しながら、感光材料面に走査露光する。
【００２５】
また、移動台座１５上には、図示しないガイドレールを介して摺動操作板部材３８が配置され、リニア駆動機構４０によって、走査方向（移動ステージ１４の移動方向である矢印Ｙ方向）に直交する方向（矢印Ｘ方向）に精密に移動調整される。摺動操作板部材３８上には、走査方向（移動ステージ１４の移動方向である矢印Ｙ方向）に直交する方向（矢印Ｘ方向）に沿って、一対の楔形部材４４を平行に配置する。一対の楔形部材４４上には、三角形状の支持ブロック４８が配置され、支持ブロック４８の上側に設置される移動ステージ１４が移動台座１５と平行に支受されるように構成される。各支持ブロック４８は、楔形部材４４上を重力で滑り落ちないように図示しない支持部材によって支持される。そして、
制御ユニット２０によってリニア駆動機構４０を駆動制御して、摺動操作板部材３８と一体の各楔形部材４４を走査方向（移動ステージ１４の移動方向である矢印Ｙ方向）に直交する方向（矢印Ｘ方向）に精密に移動することで、各支持ブロック４８の露光面高さ（矢印Ｚ方向）を調整するように構成されている。
【００２６】
また、光源ユニット１６には、４つの光源装置１６Ａ〜１６Ｄが、上下方向にほぼ平行に２つずつ配置されている。図３に示すように、光源装置１６Ｂには、複数のＬＤチップを有する多数のレーザモジュール１１２が配列された光源部１７Ｂと、各レーザモジュール１１２に接続され、各レーザモジュール１１２から射出されたレーザ光を導光して射出するマルチモード光ファイバ１１３と、多数のマルチモード光ファイバ１１３が接続され、多数のマルチモード光ファイバから射出されたレーザ光を集束して射出するコネクタ部１１４と、各レーザモジュール１１２を駆動制御する駆動制御部１１５と、各レーザモジュール１１２と各駆動制御部１１５とを接続する配線１１６とを備えている。また、レーザモジュール１１２は、レーザ光の射出方向を同一にして２列の光源列１１２ａ，１１２ｂに分けられて配置されている。そして、光源列１１２ａ，１１２ｂはレーザ光の射出方向に対して前後に位置するように配置されている。また、コネクタ部１１４においてマルチモード光ファイバ１１３がバンドルされてバンドル状光ファイバ２８が形成されている。バンドル状光ファイバ２８はコネクタ部１１４から外部に取り出され、このバンドル状光ファイバ２８から、多数のマルチモード光ファイバ１１３から射出されたレーザ光を集束した集束光が射出される。なお、図３では、光源装置１６Ｂが示されているが、光源装置１６Ａ、１６Ｃ、１６Ｄも同じ構成となっている。
【００２７】
このような露光描画装置１０では、図１に示すように、光源ユニット１６は、レーザ光をバンドル状光ファイバ２８から射出する。また、露光パターンに応じた画像データが制御ユニット２０に入力され、制御ユニット２０内のメモリに一旦記憶される。
【００２８】
感光材料２１を表面に吸着した移動ステージ１４は、露光面位置が露光ヘッドユニット１８に対して所定高さ（所定間隔）となるように昇降動作されて調整される。また移動ステージ１４は、図示しない駆動装置により、ガイド３０に沿って搬送方向上流側から下流側に一定速度で移動される。移動ステージ１４が門型フレーム２２の下を通過する際に、門型フレーム２２に取り付けられた位置検出センサ２４により感光材料２１の先端が検出されると、メモリに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、制御ユニット２０によって制御信号（制御データ）が各露光ヘッド２６毎に生成される。
【００２９】
そして、この生成された制御信号に基づいて各露光ヘッド２６毎に空間光変調素子（図示せず）のマイクロミラーの各々がオンオフ制御される。光源ユニット１６から空間光変調素子にレーザ光が照射されると、マイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光は、所要の露光ビームスポット位置に結像される。このようにして光源ユニット１６から出射されたレーザ光が画素毎にオンオフされて、感光材料２１が露光処理される。
【００３０】
また、感光材料２１は、移動ステージ１４と共に一定速度で移動され、露光ヘッドユニット１８により走査され、各露光ヘッド２６毎に帯状の露光済み領域が形成される。露光ヘッドユニット１８による感光材料２１の走査が終了し、位置検出センサ２４で感光材料２１の後端が検出されると、移動ステージ１４は、図示しない駆動装置により、ガイド３０に沿って搬送方向最上流側にある原点に復帰し、再度、ガイド３０に沿って搬送方向上流側から下流側に一定速度で移動される。
【００３１】
次に、上記露光描画装置１０の光源ユニット１６に搭載された光源用冷却装置５０について説明する。
【００３２】
図１及び図２に示すように、光源ユニット１６には、上下方向にほぼ平行に配置された４つの光源装置１６Ａ〜１６Ｄが、図示しないフレームに固定支持されている。４つの光源装置１６Ａ〜１６Ｄは、多数のレーザモジュール１１２（図３参照）が配列された光源部１７Ａ〜１７Ｄを備えており、光源部１７Ａ〜１７Ｄの下部には、それぞれ板状の冷却部材（ラジエータ）５２Ａ〜５２Ｄが配設されている。
【００３３】
図３及び図６に示すように、冷却部材５２Ｂには、光源部１７Ｂの下部に、この光源部１７Ｂとほぼ同じ大きさのアルミ板５３が配置されている。このアルミ板５３の下部には、冷媒（例えば冷却水）が流れるパイプ５４が配設されている。このパイプ５４は、アルミ板５３を介して冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのほぼ全体を冷却可能なように、アルミ板５３の全体にわたって蛇行して配設され、図示しない支持部材によって支持されている。なお、図６は冷却部材５２Ｂが示されているが、他の冷却部材５２Ａ、５２Ｃ、５２Ｄも同じ構成となっている。
【００３４】
図２に示すように、光源用冷却装置５０は、冷媒を所定の温度に冷却するとともに循環供給するチラー５６を備えている。チラー５６には、冷媒を流す１本の供給管５８が連結され、この供給管５８は、光源用冷却装置５０の下方側で２本の供給管６０Ａ、６０Ｂに分岐される。また、供給管６０Ａは分岐部６１Ａで２つの導入管６２Ａ，６２Ｂに分岐され、供給管６０Ｂは分岐部６１Ｂで２つの導入管６２Ｃ、６２Ｄに分岐される。
【００３５】
また、導入管６２Ａは、管継手からなる導入側接続部６３Ａで、冷却部材５２Ａに配設されたパイプ５４（図６中の矢印Ａ方向を参照）に接続されている。また、導入管６２Ｂは導入側接続部６３Ｂで冷却部材５２Ｂのパイプ５４に、導入管６２Ｃは導入側接続部６３Ｃで冷却部材５２Ｃのパイプ５４に、導入管６２Ｄは導入側接続部６３Ｄで冷却部材５２Ｄのパイプ５４にそれぞれ接続されている。これらの導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄは、支持部材７６によって図示しないフレームに支持されている。
【００３６】
さらに、冷却部材５２Ａのパイプ５４の排出側（図６中の矢印Ｂ方向を参照）は、管継手からなる排出側接続部６５Ａで排出管６４Ａに接続されている。また、冷却部材５２Ｂのパイプ５４は排出側接続部６５Ｂで排出管６４Ｂに、冷却部材５２Ｃのパイプ５４は排出側接続部６５Ｃで排出管６４Ｃに、冷却部材５２Ｄのパイプ５４は排出側接続部６５Ｄで排出管６４Ｄにそれぞれ接続されている。これらの排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄは、支持部材７８によって図示しないフレームに支持されている。また、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄは、冷媒が冷却部材５２Ａ〜５２Ｄの下方側からパイプ５４に導入されるように配管され、排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄは、冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのパイプ５４から冷媒が上方側に流れるように配管されている。これにより、パイプ５４内に導通される冷媒の流れが安定化する。
【００３７】
また、排出管６４Ａと排出管６４Ｄは、冷媒が流れる最上部に支持された分岐部６６Ａで１本の排出管６８Ａに合流される。また、排出管６４Ｂと排出管６４Ｃは、分岐部６６Ａと同じ揚程位置（冷媒が流れる最上部）に支持された分岐部６６Ｂで１本の排出管６８Ｂに合流される。さらに、排出管６８Ａと排出管６８Ｂは分岐部７２で１本の回収管７４に合流される。この回収管７４は、チラー５６に連結されている。チラー５６内には、図示しない熱交換器及びポンプが設けられており、回収管７４から回収された冷媒が所定温度に冷却され、供給管５８に送り出されることで冷媒が循環供給される。
【００３８】
このような光源用冷却装置５０は、供給管５８と冷却部材５２Ａ〜５２Ｄの間、及び冷却部材５２Ａ〜５２Ｄと回収管７４の間で、導入管６２Ａ〜６２Ｄと、排出管６４Ａ〜６４Ｄが並列に接続されるような配管となっている。
【００３９】
図４に示すように、光源用冷却装置５０は本体フレーム８０に支持されており、この本体フレーム８０には、光源部１７Ａ〜１７Ｄ及び冷却部材５２Ａ〜５２Ｄと、排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄ及び排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄの間に、遮蔽板８２が取り付けられている。図５に示すように、遮蔽板８２は、１１枚の板部材８２Ａ〜８２Ｋを組み合わせたものである。すなわち、遮蔽板８２は、中央部に位置する２枚の板部材８２Ｂ、８２Ｃの背面から見て左側に、４枚の板部材８２Ａ、８２Ｅ、８２Ｇ、８２Ｉが配置され、右側に５枚の板部材８２Ｄ、８２Ｆ、８２Ｈ、８２Ｊ、８２Ｋが配置されている。左右上下に位置する板部材８２Ａ、８２Ｄ、８２Ｇ、８２Ｈには、支持部材７６、７８を通すための２つの切り欠き部８４が設けられている（図４参照）。中央部に位置する板部材８２Ｂ、８２Ｃには、本体フレーム８０に取り付ける際に利用される切り欠き部８６が設けられている。これらの遮蔽板８２は、光源用冷却装置５０の導入管６２Ａ〜６２Ｄ、排出管６４Ａ〜６４Ｄなどの各種配管が完了した後、板部材８２Ａ〜８２Ｋを本体フレーム８０に図示しないねじで締結することによって取り付けられる。さらに、図４に示すように、光源用冷却装置５０の導入管６２Ａ〜６２Ｄ、排出管６４Ａ〜６４Ｄなどの各種配管の背面側の本体フレーム８０には、本体カバー９０が図示しないねじによって取り付けられる。
【００４０】
次に、本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置５０の作用について説明する。
【００４１】
図２に示すように、チラー５６内では、回収管７４から回収された冷媒が所定温度に冷却され、供給管５８に送り出される。供給管５８を流れる冷媒は、２本の供給管６０Ａ、６０Ｂに分流される。さらに、供給管６０Ａを流れる冷媒は２本の導入管６２Ａ、６２Ｂに分流され、供給管６０Ｂを流れる冷媒は２本の導入管６２Ｃ、６２Ｄに分流される。導入管６２Ａ〜６２Ｄを流れる冷媒は、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄから、４つの冷却部材５２Ａ〜５２Ｄに配設されたパイプ５４（図６中の矢印Ａ方向）に導入される。
【００４２】
そして、４つの冷却部材５２Ａ〜５２Ｄに配設されたパイプ５４に冷媒が導通されることで、光源部１７Ａ〜１７Ｄが冷却される。その際、供給管５８と冷却部材５２Ａ〜５２Ｄの間で、供給管６０Ａ、６０Ｂを介して導入管６２Ａ〜６２Ｄが並列に接続されており、ほぼ均一な温度の冷媒が各冷却部材５２Ａ〜５２Ｄに供給される。
【００４３】
さらに、冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのパイプ５４内に導通された冷媒は、それぞれ排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄから排出管６４Ａ〜６４Ｄに送られる。さらに、冷媒は最上部に配置された分岐部６６Ａ、６６Ｂに送られ、分岐部６６Ａで排出管６４Ａと排出管６４Ｄの冷媒が１本の排出管６８Ａに合流され、分岐部６６Ｂで排出管６４Ｂと排出管６４Ｃの冷媒が１本の排出管６８Ｂに合流される。さらに、排出管６８Ａと排出管６８Ｂの冷媒は分岐部７２で１本の回収管７４に合流され、チラー５６内に回収される。チラー５６では、図示しない熱交換器及びポンプにより冷媒が所定温度に冷却されて供給管５８に供給され、これにより冷媒が循環使用される。
【００４４】
このよう光源用冷却装置５０では、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄと排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄとが本体フレーム８０の同一面（背面）側に集中して設けられている。これにより、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄと排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄのいずれかで冷媒漏れが発生したときに、本体カバー９０を取り外して背面側を調べることで、冷媒漏れが発生している導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄ、排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄを特定できる。このため、早期に冷媒漏れが発生している導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄ又は排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄを特定して修理することができ、漏れ被害を最小限に抑えることができる。また、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄと排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄを同一面（背面）側に集中して設けることで、配管などの組み立て作業が容易となると共に、メンテナンスの作業性が向上する。
【００４５】
また、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄ及び排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄと複数の光源部１７Ａ〜１７Ｄとの間に、遮蔽板８２が設けられているので、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄ又は排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄいずれかで冷媒漏れが発生し、冷媒が飛散しても、光源部１７Ａ〜１７Ｄへ冷媒が付着するのを防止できる。このため、冷媒漏れによる光源部１７Ａ〜１７Ｄの故障などを防止できる。
【００４６】
なお、上記実施形態では、光源部１７Ａ〜１７Ｄが４つ配設される構成であったが、この構成に限定するものではなく、光源部の数は適宜に設定できる。このとき、光源部の数に応じて冷却部材の数を設定し、冷媒を流す導入側接続部及び排出側接続部を同一面又は同一領域に集中して設ければよい。
【００４７】
なお、上記実施形態では、光源部１７Ａ〜１７Ｄを冷却する光源用冷却装置として説明しているが、複数の発熱部材（例えば、モータや制御基板など）を冷却する冷却装置に用いることができ、同様に冷媒漏れが発生している配管接続部を早期に特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置を搭載した露光描画装置の概略を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置で冷却される光源部を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置の遮蔽板を取り付けた状態を示す構成図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置の遮蔽板を示す構成図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置で用いられる冷却部材を示す構成図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０   露光描画装置
１６   光源ユニット
１６Ａ〜１６Ｄ       光源装置
１７Ａ〜１７Ｄ       光源部
５０   光源用冷却装置（冷却装置）
５２Ａ 冷却部材
５２Ｂ 冷却部材
５２Ｃ 冷却部材
５２Ｄ 冷却部材
５３   アルミ板
５４   パイプ
５６   チラー
５８   供給管
６０Ａ 供給管
６０Ｂ 供給管
６１Ａ 分岐部
６１Ｂ 分岐部
６２Ａ 導入管（供給管）
６２Ｂ 導入管（供給管）
６２Ｃ 導入管（供給管）
６２Ｄ 導入管（供給管）
６３Ａ 導入側接続部
６３Ｂ 導入側接続部
６３Ｃ 導入側接続部
６３Ｄ 導入側接続部
６４Ａ 排出管
６４Ｂ 排出管
６４Ｃ 排出管
６４Ｄ 排出管
６５Ａ 排出側接続部
６５Ｂ 排出側接続部
６５Ｃ 排出側接続部
６５Ｄ 排出側接続部
６６Ａ 分岐部
６６Ｂ 分岐部
６８Ａ 排出管
６８Ｂ 排出管
７２   分岐部
７４   回収管
７６   支持部材
７８   支持部材
８０   本体フレーム
８２   遮蔽板
９０   本体カバー
【図１】
2006184539.tif 000003
【図２】
2006184539.tif 000004
【図３】
2006184539.tif 000005
【図４】
2006184539.tif 000006
【図５】
2006184539.tif 000007
【図６】
2006184539.tif 000008