(57)【要約】【課題】ロット番号を備えたシート上に加工処理を施す処理工程と、その後に検査装置によって欠陥が存在するか否かを検出する検査工程を有し、その処理工程と検査工程が複数回行われる製造方法において、複数回の検査工程より得られる検査結果情報の個々欠陥が発生した工程を容易に検出する検査結果情報を提供する。【解決手段】検査装置により、ロット番号毎で検査が行い、検査結果情報を記憶する検査結果情報記憶手段と、複数の検査工程で得た検査結果情報より、シートの検査日履歴を出力する検査結果一覧情報出力手段と、製造者に対し、ロット番号を入力する情報入力手段と、検査結果情報の検査工程毎の照合により、各欠陥の発生工程を特定する演算装置での処理手段と、前記製造者からに対応する検査結果情報と、どの欠陥発生工程を特定した演算結果とを出力する検査結果情報出力手段とを備えたことを特徴とする検査結果情報の提供システム。【選択図】図１
2006277475.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロット番号を有する基板識別コードを形成したシート基板（以下シートと記す）上に加工処理を施す処理工程と、その後に検査装置によって欠陥が存在するか否かを検出する検査工程を有し、さらにその処理工程と検査工程が複数回行われることによって製品を製造する製造方法での検査結果情報の提供方法において、
前記検査装置によってシート単位毎で検査が行われ、その検査工程の順序に、その検査結果情報が通信ネットワークを介して取得し、記憶媒体に記憶する検査結果情報記憶段階と、
複数回行われた前記検査工程によって得られた検査結果情報を前記記憶媒体の中から取得し、この取得した検査結果情報を基に、どのロット番号のシートが検査されたかの一覧を前記通信ネットワークに接続された情報入出力端末に出力する検査結果一覧情報出力段階と、
シートを製造する製造者に対し、前記情報入出力端末に出力された検査結果一覧情報から所定のロット番号を選択するか、又は、ロット番号を直接に入力するかを選び、前記通信ネットワークに接続された前記情報入出力端末から所定のロット番号を入力する情報入力段階と、
前記製造者から入力された選択、又は入力のロット番号に対応するシートの詳細な検査結果情報を、前記記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、該シートの検査工程毎の検査結果情報の照合により、シート上に存在する各欠陥がどの工程の検査装置で最初に検出されたかを算出することにより、当該工程で発生した欠陥を特定する演算装置での処理段階と、
前記製造者から入力されたロット番号に対応するシートの検査結果情報を、前記記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、前記演算装置で算出された、どの工程で発生した欠陥かを特定した演算結果と共に前記情報入出力端末に出力する検査結果情報出力段階と、
を備えた検査結果情報の提供方法。
【請求項２】
前記検査結果情報記憶段階と、前記検査結果一覧情報出力段階との間に、前記製造者に対して前記製造者に予め与えられた製造者識別情報を前記情報入出力端末から入力するように促す製造者識別情報入力段階と、
前記製造者識別情報入力段階で入力された製造者識別情報が前記製造者に対して予め与えられたものであるか否かを判定する製造者識別情報判定段階とを備え、
前記検査結果一覧情報出力段階は、前記製造者識別情報判定段階において前記製造者識別情報が前記製造者に対して予め与えられたものであると判定された場合のみに、前記検査結果一覧情報を出力するようにしたことを特徴とする請求項１記載の検査結果情報の提供方法。
【請求項３】
前記検査結果一覧情報は、シート単位に区分された欠陥情報を含んでいる検査結果情報であり、該検査結果情報は、シートごと、欠陥ごとに検査順序及び形状等の情報が関連付けされていることを特徴とする請求項１、又は２記載の検査結果情報の提供方法。
【請求項４】
前記記憶媒体は、各処理工程及び検査工程の通過履歴情報を記憶しており、ロット番号に対応するシートが、何れかの工程を終了しているか否かが判別可能なことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の検査結果情報の提供方法。
【請求項５】
前記検査結果一覧情報で選択、又は入力されたロット番号に対応するシートの情報と、前期記憶媒体に記憶されたロット番号ごとの各処理工程及び検査工程の通過履歴情報とを照合し、前記入力されたロット番号に対応するシートの情報に合致したロット番号内容が前記記憶媒体に存在する場合のみに、前記記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程
の通過履歴情報及び前記検査結果情報を前記情報入出力端末に出力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の検査結果情報の提供方法。
【請求項６】
前記検査結果情報は、前記通過履歴情報を用いることで、所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過しているか否かが判別可能なことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の検査結果情報の提供方法。
【請求項７】
前記所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過している場合、何れかの欠陥情報が所定の検査工程で得られた検査結果情報は、より前の工程における検査工程で得られた検査結果情報に存在する場合、該所定の検査工程の欠陥情報は、所定の工程よりも前の工程において発生していると判定し、以下同様の処理を辿ることにより、最終的に、所定の検査工程の欠陥情報が得られた最初の工程が判別可能なことを特徴とする請求項６記載の検査結果情報の提供方法。
【請求項８】
前記検査結果情報は、欠陥の座標情報を含んでおり、予め欠陥座標の位置の測定範囲誤差を任意の距離で設定し、所定の検査工程で得られた欠陥情報の座標情報と、それよりも前の工程における検査工程で得られた欠陥情報の座標情報の位置との比較を行い、その差が、測定範囲誤差の距離内に収まっている場合、双方の欠陥情報の座標情報は同一と見なし、所定の欠陥は、所定の検査工程よりも前の工程における検査工程で発生していると見做すことを特徴とする請求項６、又は７記載の検査結果情報の提供方法。
【請求項９】
ロット番号を有する基板識別コードに対応したシート上に加工処理を施す処理工程と、その後に検査装置によって欠陥が存在するか否かを検出する検査工程を有し、さらにその処理工程と検査工程が複数回行われることによって製品を製造する製造方法での検査結果情報の提供システムにおいて、
前記検査装置によってシート単位毎で検査が行われ、その検査結果情報が通信ネットワークを介して取得し、記憶媒体に記憶する検査結果情報記憶手段と、
複数回行われた前記検査工程によって得られた検査結果情報を前記記憶媒体の中から取得し、この取得した検査結果情報を基に、どのロット番号に対応したシートが検査されたかの一覧を前記通信ネットワークに接続された情報入出力端末に出力する検査結果一覧情報出力手段と、
シートを製造する製造者に対し、前記情報入出力端末に出力された検査結果一覧情報から、何れかの所定のロット番号を選択するか、又はロット番号を入力するかを選び、前記通信ネットワークに接続された前記情報入出力端末からロット番号を入力する情報入力手段と、
前記製造者から入力された選択、又は入力のロット番号に対応するシートの詳細な検査結果情報を、前記記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、該シートの検査工程毎の検査結果情報の照合により、シート上に存在する各欠陥がどの工程の検査装置で最初に検出されたかを算出することにより、当該工程で発生した欠陥を特定する演算装置での処理手段と、
前記製造者から入力されたロット番号に対応するシートの検査結果情報を、前記記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、前記演算装置で算出された、どの工程で発生した欠陥かを特定した演算結果と共に前記情報入出力端末に出力する検査結果情報出力手段と、
を備えたことを特徴とする検査結果情報の提供システム。
【請求項１０】
前記情報入出力端末に前記検査結果一覧情報出力手段を実行される前に、前記情報入出力端末から前記製造者に対して前記製造者に予め与えられた製造者識別情報を入力するように促す製造者識別情報入力手段と、
前記予め与えられた製造者識別情報を、前記製造者と関連付けて記憶する製造者識別情報
データベースと、前記情報入出力端末から入力された製造者識別情報とを、照合する製造者識別情報照合手段とを更に備え、
前記検査結果一覧情報出力手段は、前記製造者識別情報照合手段による照合の結果、両製造者識別情報が一致した場合のみに、前記検査結果一覧情報を出力するようにしたことを特徴とする請求項９記載の検査結果情報の提供システム。
【請求項１１】
前記検査結果一覧情報は、シートの単位に区分された欠陥情報を含んでいる検査結果情報であり、該検査結果情報は、シートごと、欠陥ごとに検査順序及び形状等の情報が関連付けされていることを特徴とする請求項９、又は１０記載の検査結果情報の提供システム。
【請求項１２】
前記記憶媒体は、各処理工程及び検査工程の通過履歴情報を記憶しており、ロット番号に対応するシートが何れかの工程を終了しているか否かが判別可能なことを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項記載の検査結果情報の提供システム。
【請求項１３】
前記検査結果一覧情報で選択、又は入力されたロット番号に対応するシート情報と、前記憶媒体に記憶されたロット番号ごとの各処理工程及び検査工程の通過履歴情報とを照合し、前記選択、又は入力されたロット番号の情報に合致した場合、前記記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程の通過履歴情報及び前記検査結果情報を前記情報入出力端末に出力させる検査結果情報取得手段を備えたことを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項記載の検査結果情報の提供システム。
【請求項１４】
前記検査結果情報は、前記通過履歴情報を用いることで、所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過しているか否かが判別可能なことを特徴とする請求項９乃至１３のいずれか１項記載の検査結果情報の提供システム。
【請求項１５】
所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過している場合、何れかの欠陥情報が所定の検査工程で得られた前記検査結果情報は、より前の工程における検査工程で得られた検査結果情報に存在する場合、所定の検査工程の欠陥情報は、所定の工程よりも前の工程において発生していると判定し、以下、同様の処理を辿る事で最終的に所定の検査工程の欠陥情報が得られた最初の工程が判別可能なことを特徴とする請求項１４記載の検査結果情報の提供システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばカラーフィルタのように同一のシート上に複数、例えば多面付け配置等、まとめて配置することによって製造する製品を検査する場合、それら同一のシート上に配置された製品個々の検査結果情報を、製造者が容易に把握できるように提供する提供方法及び提供システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、製造ライン等で製造者が製品を製造した場合、製造ラインにおいて製品を加工する処理工程と、製造された製品が要求仕様どおりの性能が得られるか否かを確認する性能検査や、製品の欠陥の有無を検査する品質検査などの検査工程が存在する。そして、これら加工の処理工程の結果である処理情報や検査工程の結果である検査結果情報が製品の製品番号、ロット番号等に紐付けて管理されている。
【０００３】
各製造工程の検査工程において、性能検査及び品質検査共に満足する結果が得られた製品については次の工程へまわし、引き続き加工を行う。最終工程であれば、製品を納品先に出荷する。性能検査及び品質検査のどちらか一方で不合格とされる結果が得られた製品については、修正可能な欠陥であれば修正工程へまわし、修正不可能な欠陥であれば製品を破棄する。
【０００４】
検査工程で得られた検査結果情報の欠陥情報は、ロット番号、例えばロットのように製品を製造する時の区分けの単位、若しくは１シート単位で管理され、製造者に対して後追い若しくはリアルタイムで欠陥情報が開示される検査結果情報の提供方法が実用化されている。
【０００５】
前記検査結果情報の提供方法において、欠陥情報の開示方法としては、欠陥の種別毎にグラフとして集計するものや、欠陥の種別毎にマップ表示を行うものがあり、欠陥の早期発見、欠陥発生の防止策の検討などに利用されている。
【０００６】
このように、製造ラインの検査工程で得られた検査結果情報と、シートの処理工程で得られた加工情報を紐付けて製造者に開示することを欠陥発生防止の一手段としてシステム化している（特許文献１参照）。
【０００７】
ところで、上述したような検査結果情報は検査を行った当該工程内の検査装置単体でのものであり、当該工程内検査装置が検出した全ての欠陥情報を含んでいる。
【０００８】
しかしながら、工程内の検査装置において、当該工程内検査装置で検出され得る検査結果情報は、当該工程内検査装置よりも以前の工程に設置されている検査装置との関連性が無く、当該工程内検査装置で検出され得る検査結果情報は、当該工程内検査装置よりも以前の工程に設置されている検査装置で検出され得る検査結果情報と重複する部分が発生してくる。このため、当該工程で発生した欠陥であるか、当該工程よりも以前の工程で発生した欠陥であるかの区別が出来ない問題がある。
【０００９】
本来、シート上に発生している個々の欠陥に対して、その欠陥がどの工程で発生したかを特定し、それを製造者が把握することにより、的確な品質改善のアクションへ繋げるべきものであるが、それが現状のシステムによって構築できているとは言い難い。
【００１０】
従来技術では、検査機同士で欠陥情報の差分をとり、当該工程で発生した欠陥がどれで
あるかを特定することがシステム化されている。しかし、処理工程が複数に分かれ、それぞれの工程について検査装置がある、又は検査装置がない場合があり、差分を取ることによって欠陥の発生工程を特定しようとした場合、処理が非常に煩雑化してしまう。また、各々処理工程ごとに欠陥の発生工程を明確の特定できない問題もある。
【００１１】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開平１１−１３３２２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、製造者が同一のシート上に複数面付け等で配置することによって製造した、例えばカラーフィルタのような製品を、シート毎に検査装置によって検査し、その結果を製造者に開示する場合、検出された欠陥について、その欠陥がどの工程に設置された検査装置によって検出されたか、即ちその欠陥がどの工程で発生したかを容易に検出可能とする個別欠陥の発生工程特定方法等の個別欠陥の検査結果情報の提供方法及びその提供システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目標を達成するために、本発明では以下のような手段を講じる。
【００１４】
本発明の請求項１に係る発明は、ロット番号を有する基板識別コードを形成したシート基板（以下シートと記す）上に加工処理を施す処理工程と、その後に検査装置によって欠陥が存在するか否かを検出する検査工程を有し、さらにその処理工程と検査工程が複数回行われることによって製品を製造する製造方法での検査結果情報の提供方法において、前記検査装置によってシート単位毎で検査が行われ、その検査工程の順序に、その検査結果情報が通信ネットワークを介して取得し、記憶媒体に記憶する検査結果情報記憶段階と、複数回行われた前記検査工程によって得られた検査結果情報を前記記憶媒体の中から取得し、この取得した検査結果情報を基に、どのロット番号のシートが検査されたかの一覧を前記通信ネットワークに接続された情報入出力端末に出力する検査結果一覧情報出力段階と、シートを製造する製造者に対し、前記情報入出力端末に出力された検査結果一覧情報から所定のロット番号を選択するか、又は、ロット番号を直接に入力するかを選び、前記通信ネットワークに接続された前記情報入出力端末から所定のロット番号を入力する情報入力段階と、前記製造者から入力された選択、又は入力のロット番号に対応するシートの詳細な検査結果情報を、前記記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、該シートの検査工程毎の検査結果情報の照合により、シート上に存在する各欠陥がどの工程の検査装置で最初に検出されたかを算出することにより、当該工程で発生した欠陥を特定する演算装置での処理段階と、前記製造者から入力されたロット番号のシートに対応する検査結果情報を、前記記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、前記演算装置で算出された、どの工程で発生した欠陥かを特定した演算結果と共に前記情報入出力端末に出力する検査結果情報出力段階と、を備えた検査結果情報の提供方法である。
【００１５】
本発明の請求項１に係る発明によれば、シート上に加工処理を施す処理工程と、その後に検査装置によって欠陥が存在するか否かを検出する検査工程を有し、さらにその処理工程と検査工程が複数回行われることによって製品を製造する製造方法であって、検査結果情報記憶段階と、検査結果一覧情報出力段階と、情報入力段階と、演算装置での処理段階と、検査情報出力段階とを備えている。
【００１６】
検査結果情報記憶段階では、検査装置によってシート単位で検査が行われ、その検査結果情報を通信ネットワークを介して取得し、記憶媒体に記憶する。検査結果一覧情報出力
段階では、複数回行われた検査工程によって得られた検査結果情報を記憶媒体の中から取得し、この取得した検査結果情報を基に、どのシートが検査されたかの一覧を通信ネットワークに接続された情報入出力端末に出力する。また、情報入力段階では、シートを製造する製造者に対し、情報入出力端末に出力された検査結果一覧情報からロット番号を選択するか、又はロット番号を直接入力するかを選び、通信ネットワークに接続された情報入出力端末から入力する。演算装置での処理段階では、製造者から入力されたロット番号に対応する検査結果情報を、記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、工程毎の検査結果情報の照合により、シート上に存在する各欠陥がどの工程の検査装置で最初に検出されたかを算出することにより、どの工程で発生した欠陥かを特定する。そして検査情報出力段階では、製造者から入力されたロット番号のシートに対応する検査結果情報を、記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、演算装置で導出された、どの工程で発生した欠陥かを特定した演算結果と共に情報入出力端末に出力する。
【００１７】
従って、請求項１の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、例えば、カラーフィルタのような製品をシート上に製造する製造方法では、各製品の検査結果情報をインターネット等の通信ネットワークを介して記憶媒体に記憶させることができ、その検査結果情報を基に、工程毎の検査結果情報の照合により、シート上に存在する各欠陥がどの工程の検査装置で最初に検出されたかを算出することにより、どの工程で発生した欠陥かを特定することができる。
【００１８】
また、製造者は、どのシートが検査されたかの一覧が表示された情報入出力端末から通信ネットワークを介して記憶媒体にアクセスし、シート上に存在する各欠陥がどの工程で発生したかを特定した情報を含む検査結果情報を、この記憶媒体から取得することができる。
【００１９】
本発明の請求項２に係る発明は、前記検査結果情報記憶段階と、前記検査結果一覧情報出力段階との間に、前記製造者に対して前記製造者に予め与えられた製造者識別情報を前記情報入出力端末から入力するように促す製造者識別情報入力段階と、前記製造者識別情報入力段階で入力された製造者識別情報が前記製造者に対して予め与えられたものであるか否かを判定する製造者識別情報判定段階とを備え、前記検査結果一覧情報出力段階は、前記製造者識別情報判定段階において前記製造者識別情報が前記製造者に対して予め与えられたものであると判定された場合のみに、前記検査結果一覧情報を出力するようにしたことを特徴とする請求項１記載の検査結果情報の提供方法である。
【００２０】
本発明の請求項２に係る発明によれば、検査結果情報記憶段階と、検査結果一覧情報出力段階との間に、製造者に対して製造者に予め与えられた製造者識別情報を情報入出力端末から入力するように促す製造者識別情報入力段階と、製造者識別情報入力段階で入力された製造者識別情報が製造者に対して予め与えられたものであるか否かを判定する製造者識別情報判定段階とを更に備えている。そして、検査結果一覧情報出力段階は、製造者識別情報判定段階において製造者識別情報が製造者に対して予め与えられたものであると判定された場合のみに、検査結果一覧情報を出力する。
【００２１】
従って、請求項２の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、認証された製造者のみにしか情報入出力端末を操作することができない。このため、第三者が記憶媒体に記憶されている情報を不当に取得したりすることを阻止できるので、セキュリティの向上を図ることが可能となる。
【００２２】
本発明の請求項３に係る発明は、前記検査結果一覧情報は、シート単位に区分された欠陥情報を含んでいる検査結果情報であり、該検査結果情報は、シートごと、欠陥ごとに検査順序及び形状等の情報が関連付けされていることを特徴とする請求項１、又は２記載の
検査結果情報の提供方法である。
【００２３】
前記請求項３に係る発明によれば、検査結果一覧情報は、シート単位に区分された欠陥情報を含んでいる検査結果情報であり、検査結果情報はシートごとに情報が関連付けされている。
【００２４】
従って、請求項３の発明の検査結果情報の提供方法においては、ロット番号ごと、シートごと、欠陥情報ごとに情報が関連付けされていることにより、製造者はシート毎に検査結果情報を効率よく把握することができる。
【００２５】
本発明の請求項４に係る発明は、前記記憶媒体は、各処理工程及び検査工程の通過履歴情報を記憶しており、シートが、何れかの工程を終了しているか否かが判別可能なことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の検査結果情報の提供方法である。
【００２６】
前記請求項４に係る発明によれば、記憶媒体は、各処理工程及び検査工程の通過履歴情報を記憶しており、各シートが何れかの工程を終了しているか否かが判別可能になっている。従って、請求項４の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、製造者は当該シートが何れかの工程を終了しているか否かを効率よく把握することができる。
【００２７】
本発明の請求項５に係る発明は、前記検査結果一覧情報で選択、又は入力されたロット番号のシート情報と、前記記憶媒体に記憶されたロット番号ごとの各処理工程及び検査工程の通過履歴情報とを照合し、前記入力されたロット番号のシート情報に合致したロット番号内容が前記記憶媒体に存在する場合のみに、前記記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程の通過履歴情報及び前記検査結果情報を前記情報入出力端末に出力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の検査結果情報の提供方法である。
【００２８】
前記請求項５に係る発明によれば、検査結果一覧情報より選択、又は入力されたロット番号のシートの検査結果情報と、前記記憶媒体に記憶されたロット番号のシートごとの各処理工程及び検査工程の通過履歴情報とを照合し、検査結果一覧情報で選択、又は入力されたロット番号に合致した場合、当該のロット番号のシートの記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程の通過履歴情報及び検査結果情報を情報入出力端末に出力する。従って、請求項５の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、製造者は記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程の通過履歴情報さらに検査結果情報を効率把握することができる。
【００２９】
本発明の請求項６に係る発明は、前記検査結果情報は、前記通過履歴情報を用いることで、所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過しているか否かが判別可能なことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の検査結果情報の提供方法である。
【００３０】
前記請求項６に係る発明によれば、検査結果情報は通過履歴情報を用いることで、所定の検査工程よりも前段階の工程において検査工程を通過しているか否かが判別可能になっている。従って、請求項６の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、所定の検査工程よりも前段階の工程において検査工程を通過しているか否かが容易に判別可能となっている。
【００３１】
本発明の請求項７に係る発明は、前記所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過している場合、何れかの欠陥情報が所定の検査工程で得られた検査結果情報は、より前の工程における検査工程で得られた検査結果情報に存在する場合、該所定の検査工程の欠陥情報は、所定の工程よりも前の工程において発生していると判定し、以下同様の処
理を辿ることにより、最終的に、所定の検査工程の欠陥情報が得られた最初の工程が判別可能なことを特徴とする請求項６記載の検査結果情報の提供方法である。
【００３２】
前記請求項７に係る発明によれば、所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過している場合、何れかの欠陥情報が所定の検査工程で得られた検査結果情報よりも前の工程における検査工程で得られた検査結果情報に存在する場合、所定の欠陥情報は所定の工程よりも前の工程において発生していると判定し、同様の処理を辿る事で最終的に所定の欠陥情報が得られた最初の工程が判別可能になっている。従って、請求項７の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、製造者は所定の欠陥情報が得られた最初の工程がどの工程かを効率よく把握することができる。
【００３３】
本発明の請求項８に係る発明は、前記検査結果情報は、欠陥の座標情報を含んでおり、予め欠陥座標の位置の測定範囲誤差を任意の距離で設定し、所定の検査工程で得られた欠陥情報の座標情報と、それよりも前の工程における検査工程で得られた欠陥情報の座標情報の位置との比較を行い、その差が、測定範囲誤差の距離内に収まっている場合、双方の欠陥情報の座標情報は同一と見なし、所定の欠陥は、所定の検査工程よりも前の工程における検査工程で発生していると見做すことを特徴とする請求項６、又は７記載の検査結果情報の提供方法である。
【００３４】
前記請求項８に係る発明によれば、検査結果情報は欠陥の座標情報を含んでおり、演算装置において予め欠陥座標の位置の測定範囲誤差を任意の距離で設定し、所定の検査工程で得られた欠陥情報の座標情報と、それよりも前の工程における検査工程で得られた欠陥情報の座標情報の比較を行い、その差が測定範囲誤差の距離内に収まっている場合、同一の欠陥情報見なし、所定の欠陥は所定の検査工程よりも前の工程における検査工程で発生していると見做している。従って、請求項８の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、欠陥の座標情報を用いて演算を行うことにより、所定の欠陥が所定の検査工程よりも前の工程における検査工程で発生したか否かを効率よく把握することができる。
【００３５】
本発明の請求項９に係る発明は、ロット番号を有する基板識別コードに形成したシート上に加工処理を施す処理工程と、その後に検査装置によって欠陥が存在するか否かを検出する検査工程を有し、さらにその処理工程と検査工程が複数回行われることによって製品を製造する製造方法での検査結果情報の提供システムにおいて、前記検査装置によってシート単位毎で検査が行われ、その検査結果情報が通信ネットワークを介して取得し、記憶媒体に記憶する検査結果情報記憶手段と、複数回行われた前記検査工程によって得られた検査結果情報を前記記憶媒体の中から取得し、この取得した検査結果情報を基に、どのロット番号のシートが検査されたかの一覧を前記通信ネットワークに接続された情報入出力端末に出力する検査結果一覧情報出力手段と、シートを製造する製造者に対し、前記情報入出力端末に出力された検査結果一覧情報から、何れかの所定のロット番号を選択するか、又はロット番号を入力するかを選び、前記通信ネットワークに接続された前記情報入出力端末からロット番号を入力する情報入力手段と、前記製造者から入力された選択、又は入力のロット番号に対応するシートの詳細な検査結果情報を、前記記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、該シートの検査工程毎の検査結果情報の照合により、シート上に存在する各欠陥がどの工程の検査装置で最初に検出されたかを算出することにより、当該工程で発生した欠陥を特定する演算装置での処理手段と、前記製造者から入力されたロット番号のシートに対応する検査結果情報を、前記記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、前記演算装置で算出された、どの工程で発生した欠陥かを特定した演算結果と共に前記情報入出力端末に出力する検査結果情報出力手段と、を備えたことを特徴とする検査結果情報の提供システムである。
【００３６】
前記請求項９に係る発明によれば、シート上に加工処理を施す処理工程と、その後に検査装置によって欠陥が存在するか否かを検出する検査工程を有し、さらにその処理工程と検査工程が複数回行われることによって製品を製造する製造方法の検査結果情報の提供システムであって、検査結果情報記憶手段と、検査結果一覧情報出力手段と、情報入力手段と、演算装置での処理手段と、検査情報出力手段とを備えている。検査結果情報記憶手段は、検査装置によってシート単位で検査が行われ、その検査結果情報を通信ネットワークに介して取得し、記憶媒体に記憶する。検査結果一覧情報出力手段は、複数回行われた検査工程によって得られた検査結果情報を記憶媒体の中から取得し、この取得した検査結果情報を基に、どのシートが検査されたかの一覧を通信ネットワークに接続された情報入出力端末に出力する。また、情報入力手段は、シートを製造する製造者に対し、情報入出力端末に出力された検査結果一覧情報から選択、又は入力するロット番号を選び、通信ネットワークに接続された情報入出力端末から当該ロット番号を入力する。演算装置での処理手段は、製造者から選択、又は入力のロット番号のシートに対応する検査結果情報を、記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、工程毎の検査結果情報の照合により、シート上に存在する各欠陥がどの工程の検査装置で最初に検出されたかを導出することにより、どの工程で発生した欠陥かを特定する。そして検査情報出力手段は、製造者から入力された選択入力に対応する検査結果情報を、記憶媒体に記憶された検査結果情報の中から取得し、演算装置で導出された、どの工程で発生した欠陥かを特定した演算結果と共に情報入出力端末に出力する。
【００３７】
従って、請求項９の発明の検査結果情報の提供システムにおいては、以上のような手段を講じることにより、例えば、カラーフィルタのような製品をシート上に製造する製造方法では、各製品の検査結果情報をインターネット等の通信ネットワークを介して記憶媒体に記憶させることができ、その検査結果情報を基に、工程毎の検査結果情報の照合により、シート上に存在する各欠陥がどの工程の検査装置で最初に検出されたかを算出することにより、どの工程で発生した欠陥かを特定することができる。
【００３８】
また、製造者は、どのシートが検査されたかの一覧が表示された情報入出力端末から通信ネットワークを介して記憶媒体にアクセスし、少なくともシート上に存在する各欠陥がどの工程で発生したかを特定した情報を含む検査結果情報を、この記憶媒体から取得することができる。
【００３９】
本発明の請求項１０に係る発明は、前記情報入出力端末に前記検査結果一覧情報出力手段を実行される前に、前記情報入出力端末から前記製造者に対して前記製造者に予め与えられた製造者識別情報を入力するように促す製造者識別情報入力手段と、前記予め与えられた製造者識別情報を、前記製造者と関連付けて記憶する製造者識別情報データベースと、前記情報入出力端末から入力された製造者識別情報とを、照合する製造者識別情報照合手段とを更に備え、前記検査結果一覧情報出力手段は、前記製造者識別情報照合手段による照合の結果、両製造者識別情報が一致した場合のみに、前記検査結果一覧情報を出力するようにしたことを特徴とする請求項９記載の検査結果情報の提供システムである。
【００４０】
前記請求項１０に係る発明によれば、検査結果情報記憶手段と、検査結果一覧情報出力手段との間に、製造者に対して製造者に予め与えられた製造者識別情報を情報入出力端末から入力する製造者識別情報入力手段と、製造者識別情報入力手段で入力された製造者識別情報が製造者に対して予め与えられたものであるか否かを判定する製造者識別情報判定手段とを更に備えている。そして、検査結果一覧情報出力手段は、製造者識別情報判定手段において製造者識別情報が製造者に対して予め与えられたものであると判定された場合のみに、検査結果一覧情報を出力する。従って、請求項１０の発明の検査結果情報の提供システムにおいては、以上のような手段を講じることにより、認証された製造者のみにしか情報入出力端末を操作することができない。このため、第三者が記憶媒体に記憶されて
いる情報を不当に取得したりすることを阻止できるので、セキュリティの向上を図ることが可能となる。
【００４１】
本発明の請求項１１に係る発明は、前記検査結果一覧情報は、シート単位に区分された欠陥情報を含んでいる検査結果情報であり、該検査結果情報は、シートごと、欠陥ごとに検査順序及び形状等の情報が関連付けされていることを特徴とする請求項９、又は１０記載の検査結果情報の提供システムである。
【００４２】
前記請求項１１に係る発明によれば、検査結果一覧情報は、シート単位に区分された欠陥情報を含んでいる検査結果情報であり、検査結果情報はシートごとに情報が関連付けされている。従って、請求項１１の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、製造者はシート毎に関連付けされた欠陥情報を含んでいる検査結果情報を効率よく把握することができる。
【００４３】
本発明の請求項１２に係る発明は、前記記憶媒体は、各処理工程及び検査工程の通過履歴情報を記憶しており、各シートが何れかの工程を終了しているか否かが判別可能なことを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項記載の検査結果情報の提供システムである。
【００４４】
前記請求項１２に係る発明によれば、記憶媒体は、各処理工程及び検査工程の通過履歴情報を記憶しており、各シートが何れかの工程を終了しているか否かが判別可能になっている。従って、請求項１２の発明の検査結果情報の提供システムにおいては、以上のような手段を講じることにより、製造者は当該シートが何れかの工程を終了しているか否かを効率よく把握することができる。
【００４５】
本発明の請求項１３に係る発明は、前記検査結果一覧情報で選択、又は入力されたロット番号のシート情報と、前記記憶媒体に記憶されたロット番号ごとの各処理工程及び検査工程の通過履歴情報とを照合し、前記選択、又は入力されたロット番号の情報に合致した場合、前記記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程の通過履歴情報及び前記検査結果情報を前記情報入出力端末に出力させる検査結果情報取得手段を備えたことを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項記載の検査結果情報の提供システムである。
【００４６】
前記請求項１３に係る発明によれば、検査結果一覧情報で選択、又は入力されたロット番号と、前記記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程の通過履歴情報のロット番号とを照合し、検査結果一覧情報で選択、又は入力されたロット番号が合致した場合、記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程の通過履歴情報さらに検査結果情報を情報入出力端末に出力する。従って、請求項１３の発明の検査結果情報の提供システムにおいては、以上のような手段を講じることにより、製造者は記憶媒体に記憶された各処理工程及び検査工程の通過履歴情報さらに検査結果情報を効率把握することができる。
【００４７】
本発明の請求項１４に係る発明は、前記検査結果情報は、前記通過履歴情報を用いることで、所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過しているか否かが判別可能なことを特徴とする請求項９乃至１３のいずれか１項記載の検査結果情報の提供システムである。
【００４８】
前記請求項１４に係る発明によれば、検査結果情報は通過履歴情報を用いることで、所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過しているか否かが判別可能になっている。従って、請求項１４の発明の検査結果情報の提供方法においては、以上のような手段を講じることにより、所定の検査工程よりも前段階の工程において検査工程を通過しているか否かが容易に判別可能となっている。
【００４９】
本発明の請求項１５に係る発明は、所定の検査工程よりも前の工程において検査工程を通過している場合、何れかの欠陥情報が所定の検査工程で得られた前記検査結果情報は、より前の工程における検査工程で得られた検査結果情報に存在する場合、所定の検査工程の欠陥情報は、所定の工程よりも前の工程において発生していると判定し、以下、同様の処理を辿る事で最終的に所定の検査工程の欠陥情報が得られた最初の工程が判別可能なことを特徴とする請求項１４記載の検査結果情報の提供システムである。
【００５０】
前記請求項１５に係る発明によれば、所定の検査工程よりも前の工程において、検査工程を通過している場合、何れかの欠陥情報が所定の検査工程で得られた検査結果情報よりも前の工程における検査工程で得られた検査結果情報に存在する場合、所定の欠陥情報は所定の工程よりも前の工程において発生していると判定し、以下同様の処理を辿る事で最終的に所定の欠陥情報が得られた最初の工程が判別可能になっている。
【００５１】
欠陥情報が所定の検査工程で得られた検査結果情報よりも前の工程における検査工程で得られた検査結果情報に存在するか否かの判定は、製造者が予め欠陥座標の位置の測定範囲誤差を任意の距離で設定しておき、所定の検査工程で得られた欠陥情報の座標情報と、それよりも前の工程における検査工程で得られた欠陥情報の座標情報の比較を行い、その差が測定範囲誤差の距離内に収まっている場合、同一の欠陥情報と見なし、所定の欠陥は所定の検査工程よりも前の工程における検査工程で得られた検査結果情報に存在するという形で行われる。従って、請求項１４の発明の検査結果情報の提供システムにおいては、以上のような手段を講じることにより、製造者は所定の欠陥情報が得られた最初の工程がどの工程かを効率よく把握することができる。
【発明の効果】
【００５２】
本発明の個別欠陥の検査結果情報の提供方法及びその提供システムによれば、検査工程から得られる、工程ごとにシート単位で紐付けられた検査結果情報を収集し、その中の欠陥情報に対して検査工程間での差分をとることにより、当該欠陥がどの工程で発生したものかを容易に検出可能となる。それにより、欠陥発生工程に対する不良発生防止策を迅速に講じることができ、品質改善に大きく寄与し、歩留まりが向上する。
【００５３】
本発明の個別欠陥の検査結果情報の提供システムによれば、そして、製造者は、情報入出力端末１１からインターネット等の通信ネットワーク１０を解して検査結果情報提供システム１３へとアクセスし、検査結果情報格納データベース７に記憶された検査結果情報の中から所望の検査結果情報を取得することが出来る。さらにこの検査結果情報の中には、演算部９の演算によって導出された、製造工程で発生した欠陥がどの工程で発生したかという発生工程情報が含まれている。これによって、製造者は、各シート３０の検査結果情報を効率的に把握することが可能となる。
【００５４】
本発明の個別欠陥の検査結果情報の提供システムによれば、情報入出力端末１１からアクセス要求があった場合には、予めＩＤ番号とパスワードとからなる製造者識別情報に基づいて認証処理を行い、認証された製造者のみからのアクセスが許可されるので、製造者へなりすました第三者によるアクセスを阻止することができる。これにより、でたらめな検査結果情報が検査結果情報格納データベース７に記憶されたり、検査結果情報格納データベース７に記憶された検査結果情報が製造者以外によって不正に読み取られないようなセキュリティ対策を講じたりすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５５】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。
【００５６】
図１は、本実施例に関わる検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムが適用される構成例を示す概念図である。
【００５７】
すなわち、製造ライン１２は、各工程１、２、３に対し、検査装置が、４、５、６のように設置され、各工程での検査結果情報が、検査装置４、５、６によって作成される。
【００５８】
また、本実施例に係る検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システム１３は、検査結果情報格納データベース７と、インターネット等の通信ネットワーク８、１０及び演算部９からなる。製造ライン１２の検査装置４、５、６で作成された検査結果情報は、検査結果情報提供システム１３の検査結果格納データベース７に記憶される。また、検査結果情報提供システム１３は、インターネット等の通信ネットワーク１０を介して情報入出力端末１１に接続されている。情報入出力端末１１は、図示しないマウスやキーボード等の入出力手段を備えている。なお、図１では、工程を１、２、３及び検査装置を４、５、６として示しているが、これは３工程、３装置に限るものではなく、それ以上の工程が存在する場合であっても、本実施例に関わる検査結果情報の提供方法を適用した検査結果情報の提供システム１３は適用可能である。また、図１に示すようなネットワークシステムでは、システム等のＬＡＮ、あるいは公衆回線や専用回線を介して複数のＬＡＮが接続されるＷＡＮ等からなる。ＬＡＮの場合には、必要に応じてルータを介した多数のサブネットから構成される。また、ＷＡＮの場合には、公衆回線に接続するためのファイアウォール等を適宜備えているが、個々ではその図示及び詳細説明を省略する。
【００５９】
図２は、本実施例に関わる検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムにおいて、検査結果情報システム１３が、情報入出力端末１１に表示させる入力画面である。この入力画面にはＩＤ番号入力欄２０と、パスワード入力欄２１と、ＯＫ釦２２と、取消釦２３とが表示される。これによって、製造者に対して、情報入出力端末１１から、ＩＤ番号とパスワードとを入力するように促す。ＩＤ番号とパスワードとは、製造者ごとに予め与えられた製造者識別情報である。検査情報提供システム１３側では、このような製造者識別情報を予め各製造者に与えておき、与えられた製造者識別情報を検査結果情報格納データベース７に格納している。
【００６０】
製造者は、検査結果情報格納データベース７から検査結果情報を取得する場合には、マウスやキーボードを操作することによって図２のＩＤ番号入力欄２０およびパスワード入力欄２１に、自己に与えられたＩＤ番号とパスワードとをそれぞれ入力する。そして、マウスでＯＫ釦２２をクリックすることで、入力された製造者識別情報が通信ネットワーク１０を介して検査結果情報提供システム１３側へと送信されるようにしている。マウスで取消釦２３をクリックすると、入力したデータがキャンセルされ、正しいデータを再入力できるようにしている。
【００６１】
このようにして送信された製造者識別情報は、検査結果情報格納データベース７に記憶された製造者識別情報と照合される。そして照合の結果、双方の製造者識別情報が一致した場合には、製造者から検査結果情報の取得を許可する。
【００６２】
図３は、本実施例に関わる検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムにおいて、製造者が、製造するカラーフィルタの例を示している。カラーフィルタは、同一のシート３０上に複数まとめて多面付けの配置されており、そのシートの一部にロット番号３１を具備している。ロット番号３１は、２次元コードなどのように接触、非接触に関わらず図示しない読取装置によって容易に読取りが可能である。ロット番号３１には、該ロット番号に対応するシート３０を識別する固有情報が記録されており、このロット番号３１を図示しない読取装置によって読取ることで、検査結果情報提供システム１３は複数生産されたカラーフィルタをシート単位で識別することが可能となる。
【００６３】
図４は、本実施例に関わる検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムにおいて、検査結果情報のデータ構造を示している。検査結果情報は、カラーフィルタに対してロット番号に対応するシート３０ごとに存在し、その内容は、工程コード、ロット番号、シート番号、日付が単一の項目であるのに対し、欠陥番号、欠陥内容、欠陥座標ｘ、欠陥座標ｙは、欠陥の数だけ項目が存在する。データの格納構造は、データベースは最上位に、グループごとのロット番号と、処理工程、又は検査装置を示す工程コードと、その下にロット番号３１を置き、入出力単位に分割されたエリアごとに欠陥番号、該欠陥番号ごとに欠陥内容の情報、例えば、欠陥種類及び欠陥座標等を階層構造で格納する。
【００６４】
図５は、本実施例に関わる検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムにおいて、検査結果情報格納データベース７に格納されている検査結果情報の内、いずれかの検査結果情報を取得する場合、画面表示のロット番号一覧４２から選択するか、又は画面表示のロット入力欄４０へ所定のロット番号を入力する画面を示している。
【００６５】
製造者は、検査結果情報格納データベース７から検査結果情報を取得する場合には、マウスやキーボードを操作することによって図５のロット入力欄４０にロット番号を入力する。そしてマウスでＯＫ釦４１をクリックすることで、入力されたロット番号が通信ネットワーク１０を介して検査結果提供システム１３側へと送信されるようにしている。
【００６６】
検査結果情報提供システム１３では、図５の画面を情報入出力端末１１に出力させる場合、検査結果情報格納データベース７に格納されている検査結果情報の中のロット番号のみを演算部９によって取得し、ロット入力欄４０に表示させる。製造者がマウスでロット入力欄４０を操作する際、図５のロット番号一覧４２のようにロット番号の一覧を表示させる。製造者は、表示されたロット番号を選択する方法か、又はキーボードからロット番号を入力するかを選び、所定のロット番号の検査結果情報を指示する。
【００６７】
図６は、本実施例に関わる検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムにおいて、製造者が図５で入力した所定のロット番号を持つ検査結果情報が検査結果情報格納データベース７に存在しない場合に検査結果情報提供システム１３が情報入出力端末１１に表示させる画面を示している。この場合、ＯＫ釦を押すことで図５のロット番号選択画面に戻る。
【００６８】
図７は、本実施例に関わる検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムにおいて、製造者が図５で入力した所定のロット番号を持つ検査結果情報が、検査結果情報格納データベース７に存在する場合に検査結果情報提供システム１３が情報入出力端末１１に表示させる画面を示している。
【００６９】
表示される検査結果情報は、同一のロット番号（ＡＢＣ０００２）を持つ欠陥情報で、ある。縦方向には、欠陥番号（欠陥Ｎｏ）が表示され、欠陥Ｎｏ．は、１から順次にふられた整理番号で、記述されている。横方向には、シート番号（ロット番号に対応するシートにおいて、シートを識別する番号）と、検査日時と、発生工程と、欠陥内容の情報と、欠陥座標ｘの情報と、欠陥座標ｙの情報と、設備情報１（設備名又は処理工程名等）とを記述されている。ここでの発生工程が、当該欠陥がいずれかの工程で発生したかを表している。また設備情報は単数のみ示しているが、これは単数に限るものではなく、複数ある場合であっても、本実施例に係る検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システム１３は適用可能である。
【００７０】
次に、以上のように構成した本実施例に係る検査結果情報提供方法を適用した検査結果常用適用システムの動作について、図８〜１０に示すフローチャートを用いて説明する。
【００７１】
図８では、製造者によって、複数面付けのカラーフィルタをマトリクス上に配置したシート３０が製造される（Ｓ１参照）と、各カラーフィルタについて、図１の４、５、６の検査装置を用いて欠陥情報の有無が検査される（Ｓ２参照）。そして、その検査結果に基づいて検査結果情報が作成され、検査結果情報格納データベース７に格納される（Ｓ３参照）。
【００７２】
次に、製造者Ａが、検査結果情報を読み出すために情報入出力端末１１から検査情報提供システム１３へのアクセスを試みると、情報入出力端末１１から図２に示すような入力画面が表示される。これによって、製造者は、情報入出力端末１１から、ＩＤ番号とパスワードを入力するように促される（Ｓ４参照）。このＩＤ番号とパスワードからなる製造者識別情報は、製造者に予め与えられているとともに、検査結果情報格納データベース７に格納されている。
【００７３】
これに対して製造者側がマウスやキーボードを操作することによって、自己に与えられたＩＤ番号とパスワードとをそれぞれ入力し、マウスでＯＫ釦２２をクリックすることによって、入力された製造者識別情報が通信ネットワーク１０を介して検査結果情報提供システム１３側へと送信される（Ｓ５参照）。なお、マウスで取消釦２３をクリックすると、入力したデータがキャンセルされ、正しいデータを再入力することができる状態となる。
【００７４】
演算部９では、この製造者識別情報と、検査結果情報格納データベース７に記憶された製造者識別情報とが照合される。そして、照合の結果、両製造者識別情報が一致した場合（Ｓ６：Ｙｅｓ）には、情報入出力端末１１から検査結果情報提供システム１３へのアクセスが許可され（Ｓ７）、一致しない場合（Ｓ６：Ｎｏ）には、情報入出力端末１１からのアクセスが許可されず（Ｐ１０）を経由、ステップＳ４の処理に戻る。
【００７５】
アクセスが許可されると、情報入出力端末１１から図５に示すような入力画面が表示される。これによって、製造者は、情報入出力端末１１から、検査結果情報を送信するように促される（Ｓ８）。この時、情報入出力端末１１に表示されている図５の画面のロット番号入力欄４０には、検査結果情報格納データベース７に格納されている検査結果情報の中のロット番号のみを演算部９によって取得し、その取得内容がロット番号一覧４２のように表示される（図５参照）。製造者はこの中からロット番号を選択してもよい。また、直接キーボードからロット番号を入力してもよい。
【００７６】
これに対して製造者側がマウスやキーボードを操作することによって、ロット番号を選択、又は入力し、マウスでＯＫ釦４１をクリックすることによって、所定の検査結果情報が通信ネットワーク１０を介して検査結果情報提供システム１３側へと送信される（Ｓ９参照）。
【００７７】
次に、Ｓ１１へフローする。演算部９では、この検査結果情報が検査結果情報提供システム１３の検査結果情報格納データベース７に存在するか否かの判定が行われる（Ｓ１０参照）。そして、判定の結果、検査結果情報が存在する場合（Ｓ１１：Ｙｅｓ）には、該当する検査結果情報のうち、最後に通過した工程の検査機の検査結果情報が検査結果情報格納データベース７から演算部９へと読み出され（Ｓ１２参照）、検査結果情報が存在しない場合（Ｓ１１：Ｎｏ）には、送信されたロット番号の検査結果情報が検査結果情報提供システムに存在しない（Ｓ１９）ことを示す図６の画面が表示される。これに対し、製造者側がマウスを操作しＯＫ釦をクリックすることによって、ステップＳ８の処理に戻る。なお、図８のフロー図の最後のＫ―１は、図９のフロー図の最初のＫ―１に接続している。
【００７８】
次に、図９のフローチャートのＳ１３へフローする。取得された検査結果情報は複数の欠陥情報を含んでいることが一般的であり、その欠陥情報の１つを当該欠陥情報とし（Ｓ１３）、当該欠陥情報が、当該検査工程より１つ前の検査工程の検査結果情報に存在するか否かが演算部９によって判定される（Ｓ１４）。
【００７９】
判定はまず、当該欠陥の欠陥座標ｘ、欠陥座標ｙを当該検査工程の検査結果情報から取得し（Ｓ１５）、次に当該欠陥の欠陥座標ｘ、欠陥座標ｙを当該検査工程の１つ前の検査工程の検査結果情報から取得し（Ｓ１６）する。そしてステップＳ１５及びステップＳ１６で取得した両座標が、予め製造者によって設定された範囲内に存在するか否かの判定が演算部９によって行われる（Ｓ１７）。
【００８０】
そして、判定の結果、両座標が、設定された範囲内に存在する場合（Ｓ１８：Ｙｅｓ）には、当該欠陥は当該検査工程よりも１つ前の検査工程で発見されている（Ｓ１９）ことになり、当該検査工程を１つ前の検査工程へ更新し、当該工程に設定する（Ｓ２０）。さらに、新当該検査工程の１つ前の検査工程が存在するか否か判定される（Ｓ２１参照）。両座標が、設定された範囲内に存在しない場合（Ｓ２２：Ｎｏ）には、当該欠陥は当該検査工程で最初に発見されたものであると判定（Ｓ２３）する。両座標が、設定された範囲内に存在する場合（Ｓ２２：Ｙｅｓ）には、ステップＳ１４の処理に戻る。
【００８１】
ステップＳ１４からステップＳ２１及びステップＳ２３〜Ｓ２６の処理により、１つの欠陥情報に対する発生工程の特定が終了する（Ｓ２３、Ｓ２４参照）。続けてステップＳ２５で、着目する欠陥情報を変更し、処理を続行する。
【００８２】
ここで、全ての欠陥情報について発生工程の判定が終了したか否かが演算部９によって判定される（Ｓ２６）。そして、判定の結果、全ての欠陥情報について発生工程の判定が終了していない場合（Ｓ２７：Ｎｏ）には、判定が行われていない欠陥情報を当該欠陥に設定するため、ステップＳ１３の処理に戻る。Ｓ１３以降のフローを実行する。また、全ての欠陥情報について発生工程の判定が終了した場合（Ｓ２７：Ｙｅｓ）には、図１０のＳ２８へフローする。なお、図９のフロー図の最後のＫ―２は、図１０のフロー図の最初のＫ―２に接続している。
【００８３】
次に、図１０のフローチャートのＳ２８へフローする。次に、図１０のＳ２８では、全ての欠陥について発生工程の判定が終了し、且つルールに合致したか否か判定する。全て終了するも、ルールに合致しない場合（Ｓ２９：Ｎｏ）では、発生工程が判断できないとし（Ｓ３０参照）、例えばＸ工程と記録し（Ｓ３１参照）、再度Ｓ２８へフローする。全て終了且つ合致の場合（Ｓ２９：Ｙｅｓ）では、発生工程の判定結果及び、欠陥情報の詳細が情報入出力端末１１に図７のように表示され（Ｓ３２参照）、欠陥の発生工程の特定が終了する。
【００８４】
図８〜１０の本発明のフローチャートを実行することにより、情報入出力端末１１に図７のように表示された画面が参照されることができ、着目した欠陥がどの工程で発生したものかを効率よく、かつ確実に検査結果情報が製造者によって取得される。
【００８５】
図１１は、本発明の欠陥の発生した工程を特定する処理手段を説明する図面である。ａは、図７でのシート番号０００１の欠陥の検査結果情報より抜粋したデータ表であり、当該シート（０００１）は、最初のＡ工程では、欠陥が１個検出され、次のＢ工程は、１個、Ｃ工程では、３個、Ｄ工程では４個を検出した。座標データでは、欠陥Ｎｏ０００１〜０００４はすべて一致した。図１１ｂは、図７でのシート番号０００１の欠陥Ｎｏ，０００１〜０００４をプロットした平面図であり、欠陥Ｎｏ、の配付ルールは、規定され、そ
の規定により、自動配付されている。欠陥の検査時の位置座標の検出では、検出誤差を最小化するため、検査開始時、シート原点３２でまず原点を合わせ、検査途中では、各カラーフィルタ原点３３でさらに原点を合わせ、を実行する。検査装置では、パターン（パターン画像）と、パターンとを照合する、又はパターンデータと、パターンとを照合する等の検査方法を使用して、同一の欠陥を別のパターンものと判定することがないように注意することが好ましい。
【００８６】
図１０のＳ２９で記述したルールについて説明する。同一の欠陥を別のパターンと判定した場合、又は検出限界近傍の微小形状の場合では、欠陥検出が不安定となり、前工程で検出した欠陥が当該工程で未検出となる場合であり、ルールに合致しない、すなわち、欠陥の発生工程を特定できないケースがあり、ルールの設定に注意することが好ましい。
。
【００８７】
図１１の示すシートでは、欠陥の検査結果情報及び発生工程の特定情報を用いて、シート単位（シート原点合わせ）による欠陥位置の分布の解析では、処理工程、例えば装置起因の原因追跡、カラーフィルタ原点合わせによる欠陥位置の分布の解析では、パターン形成工程、例えばパターン形状起因の原因追跡等に活用され、その処置の時間短縮、又はその処置の正確度の向上ができる。
【００８８】
上述したように、本実施例に係る検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムにおいては、上記のような作用により、製造者は複数のカラーフィルタをマトリクス上に配置したシート３０を製造する過程で行われる検査装置４によって得られた検査結果情報を検査結果情報格納データベース７に記憶させることができる。
【００８９】
そして、製造者は、情報入出力端末１１からインターネット等の通信ネットワーク１０を解して検査結果情報提供システム１３へとアクセスし、所望の検査結果情報を取得することが出来る。さらに製造工程で発生した欠陥がどの工程で発生したかという発生工程情報が含まれている。
【００９０】
なお、情報入出力端末１１からアクセス要求があった場合には、予めＩＤ番号とパスワードとからなる製造者識別情報に基づいて認証処理を行い、認証された製造者のみからのアクセスが許可されるので、検査結果情報が製造者以外によって不正に読み取られない。
【００９１】
以上、本発明を実施する為の最良の形態について、添付図面を参照しながら説明したが、本発明はかかる構成に限定されない。特許請求の範囲の発明された技術的思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の技術的範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明の実施例に係る検査結果情報提供方法を適用した検査結果情報提供システムが適用される製造ライン及びネットワーク構成例を示す概念図である。
【図２】情報入出力端末からＩＤ番号とパスワードとを入力する為の入力画面の一例を示す模式図である。
【図３】マトリクス状にカラーフィルタが配置されたシートの一例を示す概念図である。
【図４】検査結果情報の一例を示すデータ構成図である。
【図５】情報入出力端末から表示される検査結果情報の入力・選択画面の一例を示す模式図である。
【図６】情報入出力端末から表示される検査結果情報が存在しなかった場合の一例を示す模式図である。
【図７】情報入出力端末から表示される検査結果情報の一例を示す模式図である。
【図８】本発明の一連の動作を示すフローチャートである。
【図９】本発明の一連の動作を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の一連の動作を示すフローチャートである。
【図１１】ａ〜ｂは、本発明の欠陥の発生した工程を特定する処理手段を説明する図面である。
【符号の説明】
【００９３】
１、２、３…処理工程
４、５、６…検査装置
７…検査結果情報格納データベース
８、１０…通信ネットワーク
９…演算部
１１…情報入出力端末
１２…製造ライン
１３…検査結果情報提供システム
２０…ＩＤ番号入力欄
２１…パスワード入力欄
２２…ＯＫ釦
２３…取消釦
３０…シート
３１…ロット番号
３２…シート原点
３３…カラーフィルタ原点
４０…ロット入力欄
４１…ＯＫ釦
４２…ロット番号一覧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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