(57)【要約】      （修正有）【課題】加振器の加振方向を調整することができ、かつ微小部品の移送能力を向上させることができる微小部品搬送装置を提供することである。【解決手段】微小部品供給装置においては、圧電式振動部３０２により振動が発振され、その振動が第１搬送部材３２０および第２搬送部材３３０に与えられる。そして、第１搬送部材３２０および第２搬送部材３３０内に与えられた振動により微小部品が移送される。防振用板ばね３８０を取り付ける面に側面角度調整ダイヤルが設けられる。側面角度調整ダイヤルを回転させた場合、防振台３０１の一側面の面および圧電式振動部３０２の一側面の面が回転する。側面角度調整ダイヤルを逆方向に回転させた場合、防振台３０１の一側面の面および圧電式振動部３０２の面が逆方向に回転する。【選択図】図３
2006160422.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小部品に振動を与えて前記微小部品を直線状に移送する微小部品供給装置であって、
前記微小部品に振動を付与する加振器と、
前記加振器から付与される振動により前記微小部品を搬送する搬送路と、
前記加振器を支持するための支持台と、
前記支持台の固設面と前記加振器の固設面との固設を行う防振板部材とを含み、
前記支持台および加振器は、前記固設面の角度を変更できる角度調整装置を有することを特徴とする微小部品供給装置。
【請求項２】
前記角度調整装置は、角度指示装置をさらに含み、
前記角度指示装置からの指示に応じて前記固設面の向きを変化させることができることを特徴とする請求項１記載の微小部品供給装置。
【請求項３】
前記角度調整装置は、角度指示装置および複数のピンをさらに含み、
前記角度指示装置からの指示に応じて前記固設面から突出させる前記複数のピンの突出量を変化させることができることを特徴とする請求項１記載の微小部品供給装置。
【請求項４】
前記角度調整装置は、所定の角度を有する板状部材をさらに含み、
前記固設面と前記防振板部材との間に前記板状部材を設けることを特徴とする請求項１記載の微小部品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は平板状の微小部品を振動により移送することが可能な微小部品供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品に対して振動を与えることにより、部品を整列させるとともに部品の供給を行う部品供給装置の一つとして、パーツフィーダがよく知られている。このパーツフィーダは、部品に振動を与えることにより部品の姿勢を整え、次工程に供給することができる。
【特許文献１】特開２００３−２８５９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、近年、パーツフィーダにより姿勢が整えられ、かつ搬送される被対象物は、小型化および微小化してきている（以下、微小部品と呼ぶ。）。その一方、微小部品の搬送能力の向上が求められている。
【０００４】
その結果、微小部品の搬送能力を向上させるため加振器の加振力を大きくする必要が生じている。しかし、微小部品は自重が軽いため、わずかな振動方向のずれが生じた場合、搬送方向がずれるという課題があった。また、搬送能力を大きくした場合、個々の加振器ごとに振動方向が異なり、一律に加振器の位置調整を行っても量産工程において、加振器の振動方向と微小部品の搬送方向とのずれが生じるという課題があった。
【０００５】
特に、特許文献１記載の部品供給装置においては、部品を搬送する経路と、部品を還流させる経路の２経路を有するため、加振器と２経路との配置関係によりずれが生じやすいという課題があった。
【０００６】
本発明の目的は、加振器の加振方向を調整することができ、かつ微小部品の移送能力を向上させることができる微小部品搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００７】
（１）
本発明に係る微小部品供給装置は、微小部品に振動を与えて微小部品を直線状に移送する微小部品供給装置であって、微小部品に振動を付与する加振器と、加振器から付与される振動により微小部品を搬送する搬送路と、加振器を支持するための支持台と、支持台の固設面と加振器の固設面との固設を行う防振板部材とを含み、支持台および加振器は、固設面の角度を変更できる角度調整装置を有するものである。
【０００８】
本発明に係る微小部品供給装置においては、加振器により振動が発振され、その振動が搬送路に与えられる。そして、搬送路に与えられた振動により微小部品が移送される。また、加振器は支持台上に防振板部材により固設される。
【０００９】
この場合、支持台および加振器は、防振板部材を取り付ける固設面に角度調整装置を有するので固設面の向きを調整することができ、加振器の振動方向と微小部品の移送方向とのずれを修正することができる。その結果、微小部品の移送方向に適した振動を微小部品に与えることができる。したがって、加振器の搬送能力を向上させた場合でも、微小部品の移送方向に適した振動を搬送路に与えることができるので、微小部品供給装置の微小部品の移送能力を向上させることができる。
【００１０】
（２）
角度調整装置は、角度指示装置をさらに含み、角度指示装置からの指示に応じて固設面の向きを変化させてもよい。
【００１１】
この場合、角度指示装置を調整することにより固設面の向きを変化させることにより加振器の振動方向を変化させることができるので、加振器の振動方向と微小部品の移送方向とのずれを修正することができる。さらに、防振板部材を取り付けるための固設面の角度を調整することにより、振動の伝達に直接関連する部分（振動の伝達方向側）ではなく、振動の伝達に間接的に関連する部分（振動の固定端側を保持するとともに角度を調整する）により、振動方向を調整することができるので、容易に微妙な振動方向のずれの調整を行うことができる。
【００１２】
（３）
角度調整機構は、角度指示装置および複数のピンをさらに含み、角度指示装置からの指示に応じて固設面から突出する複数のピンの突出量を変化させてもよい。
【００１３】
この場合、角度指示装置を調整することにより固設面から突出させる複数のピンの突出量をそれぞれ変化させることができるので、容易に加振器の振動方向を変化させることができ、加振器の振動方向と微小部品の移送方向とのずれを修正することができる。さらに、防振板部材を取り付けるための固設面から複数のピンを突出させることにより、固設面と防振板部材との角度を調整することができる。この場合、振動の伝達に直接関連する部分（振動の伝達方向側）ではなく、振動の伝達に間接的に関連する部分（振動の固定端側を保持するとともに角度を調整する）により振動方向を調整することができるので、容易にずれの微調整を行うことができる。
【００１４】
（４）
角度調整装置は、所定の角度を有する板状部材をさらに含み、固設面と防振板部材との間に板状部材を設けてもよい。
【００１５】
この場合、所定の角度を有する板状部材を固設面と防振板状部材との間に設けることにより、容易に加振器の振動方向を変化させることができ、加振器の振動方向と微小部品の移送方向とのずれを修正することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る第１〜第３の実施の形態について説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明に係る第１の実施の形態に係る微小部品供給装置１００の一例を示す模式的斜視図である。図１（ａ）は、微小部品供給装置１００の上面を示し、（ｂ）は微小部品供給装置１００の側面を示す。
【００１７】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、微小部品供給装置１００は、パーツフィーダ２００、リニアフィーダ３００およびステージ９００を含む。また、図１（ｂ）に示すように、パーツフィーダ２００は、ボウル状搬送部２１０と圧電式振動部２２０とを含む。
【００１８】
本実施の形態における微小部品供給装置１００においては、ステージ９００上にパーツフィーダ２００およびリニアフィーダ３００が設けられる。パーツフィーダ２００の微小部品排出部２１１には、リニアフィーダ３００の微小部品搬入部３１１が接続されている。さらに、リニアフィーダ３００の微小部品還流路３１７には、パーツフィーダ２００の受け入れ路２１７が接続されている。
【００１９】
パーツフィーダ２００の圧電式振動部２２０により発振された振動が、圧電式振動部２２０の上部に載置されたボウル状搬送部２１０に与えられる。ボウル状搬送部２１０内には、ボウル状搬送部２１０の内周に沿って螺旋状の微小部品搬送路が設けられる（図示せず）。ボウル状搬送部２１０の中央底部に微小部品８００が供給され、圧電式振動部２２０からの振動により微小部品８００が螺旋状の搬送路上を搬送され、微小部品排出部２１１からリニアフィーダ３００の微小部品搬入部３１１に与えられる。
【００２０】
また、後述するように、リニアフィーダ３００には、圧電式振動部３０２が設けられており、圧電式振動部３０２により発振された振動が、リニアフィーダ３００の各搬送路に与えられる。それにより、微小部品供給装置１００は、微小部品供給装置１００の次工程に微小部品８００を供給することができる。
【００２１】
また、リニアフィーダ３００の搬送路内において所定姿勢に整理されなかった微小部品８００が存在する場合、または次工程においてトラブルが生じて次工程側に微小部品８００を搬送させないようにする場合、還流部材により微小部品８００が、微小部品還流路３１７からパーツフィーダ２００の受け入れ路２１７を介してボウル状搬送部２１０の中央底部に戻される。
【００２２】
次に、図２は本実施の形態において搬送される微小部品８００の形状の一例を示す模式的斜視図である。
【００２３】
図２に示すように、微小部品８００は、長さＬ、高さＨ、幅Ｂを有する直方体からなる。長さＬ、高さＨおよび幅Ｂの関係は、Ｈ＜Ｂ＜Ｌの関係を有する。このように、微小部品８００は平板状の微小部品からなる。
【００２４】
また、微小部品供給装置１００は、微小部品８００の一方の面に電極が形成されたものである場合が多く、一般に微小部品８００の大きさは、長さＬが３．２〜８ｍｍ程度であり、幅Ｂが２．５〜５．０ｍｍ程度であり、高さＨが０．８〜１．７ｍｍ程度である。
【００２５】
次に、図３は、リニアフィーダ３００の詳細を示す側面図である。
【００２６】
リニアフィーダ３００は、防振台３０１、圧電式振動部３０２、振動伝達部３０３、第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０、接続部材３４０および第３搬送部材３５０を含む。また、防振台３０１には、側面角度調整ダイヤル５００が設けられ、圧電式振動部３０２には、側面角度調整ダイヤル４００が設けられる。この側面角度調整ダイヤル４００，５００の詳細については後述する。
【００２７】
図３に示すように、防振台３０１の上部には、圧電式振動部３０２が複数の防振用板ばね３８０により保持される。この詳細については後述する。圧電式振動部３０２の上部には、振動伝達部３０３が複数の板ばね３９０により保持される。振動伝達部３０３の上部には、第１搬送部材３２０が固定され、第１搬送部材３２０の一端側には、第２搬送部材３３０が接続され、第１搬送部材３２０の側面には、接続部材３４０が併設される。また、第１搬送部材３２０には複数の板ばね３６０を介して第３搬送部材３５０が設けられる。
【００２８】
以上の構成により、圧電式振動部３０２により発振された振動は、板ばね３９０により第１搬送部材３２０および第２搬送部材３３０に伝えられ、さらに板ばね３６０により第３搬送部材３５０に伝えられる。
【００２９】
次に、図４は、防振台３０１および圧電式振動部３０２の固設状態の詳細を説明するための斜視図である。
【００３０】
図４に示すように、防振台３０１の上に圧電式振動部３０２が設けられる。防振台３０１の一側面にはボルト固定穴ＢＨ１およびボルト固定穴ＢＨ２が設けられ、防振台３０１の他側面にも同様のボルト固定穴（図示せず）が設けられている。
【００３１】
また、圧電式振動部３０２の一側面の下部にはボルト固定穴ＢＨ３およびボルト固定穴ＢＨ４が設けられ、圧電式振動部３０２の他側面の下部にも同様にボルト固定穴（図示せず）が設けられている。
【００３２】
さらに、圧電式振動部３０２の一側面の上部にはボルト固定穴ＢＨ５およびボルト固定穴ＢＨ６が設けられ、圧電式振動部３０２の他側面の上部にも同様にボルト固定穴（図示せず）が設けられている。
【００３３】
振動伝達部３０３の一側面の下部にはボルト固定穴ＢＨ７およびボルト固定穴ＢＨ８が設けられ、振動伝達部３０３の他側面の下部にも同様にボルト固定穴（図示せず）が設けられている。
【００３４】
また、２枚の防振用板ばね３８０には、４個の孔が設けられており、２枚の板ばね３９０にも、４個の孔が設けられている。
【００３５】
防振台３０１に圧電式振動部３０２を固設する具体例としては、防振台３０１の一側面に設けられたボルト固定穴ＢＨ１，ＢＨ２に防振用板ばね３８０の孔を介して２本のボルトＢがそれぞれ螺合される。また、圧電式振動部３０２の一側面の下部に設けられたボルト固定穴ＢＨ３，ＢＨ４に防振用板ばね３８０の孔を介して２本のボルトＢがそれぞれ螺合される。
【００３６】
同様に、防振台３０１の他側面に設けられたボルト固定穴に防振用板ばね３８０の孔を介して２本のボルトＢがそれぞれ螺合される（図示せず）。圧電式振動部３０２の他側面に設けられたボルト固定穴に防振用板ばね３８０の孔を介して２本のボルトＢがそれぞれ螺合される（図示せず）。
【００３７】
一方、圧電式振動部３０２の一側面の上部に設けられたボルト固定穴ＢＨ５，ＢＨ６に板ばね３９０の孔を介して２本のボルトＢがそれぞれ螺合される。振動伝達部３０３の一側面に設けられたボルト固定穴ＢＨ７，ＢＨ８に板ばね３９０の孔を介して２本のボルトＢがそれぞれ螺合される。
【００３８】
さらに、圧電式振動部３０２の他側面の上部に設けられたボルト固定穴に板ばね３９０の孔を介して２本のボルトがそれぞれ螺合される。振動伝達部３０３の他側面に設けられたボルト固定穴に板ばね３９０の孔を介して２本のボルトがそれぞれ螺合される。
【００３９】
以上のように、防振台３０１上に防振用板ばね３８０を介して圧電式振動部３０２が固設され、圧電式振動部３０２の上に板ばね３９０を介して振動伝達部３０３が固設される。それにより、圧電式振動部３０２により発振された振動が、振動伝達部３０３を介して第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０に与えられる。
【００４０】
この場合、圧電式振動部３０２により発振された矢印Ｘ１の方向の振動は、圧電式振動部３０２の加振能力を向上させた場合または、微小部品供給装置１００の全体的なバランスによって、矢印Ｘ２の方向または矢印Ｘ３の方向にずれる場合がある。以下、その振動方向のずれの調整手法（矢印Ｘ２およびＸ３の方向を矢印Ｘ１の方向に調整する）について詳細に説明する。
【００４１】
図５は圧電式振動部３０２の振動方向を調整する前の側面の一例を示す模式的斜視図であり、図６は圧電式振動部３０２の振動方向を調整した後の側面の一例を示す模式的斜視図である。
【００４２】
図５に示すように圧電式振動部３０２の一側面は、面４１０および面４２０から構成される。また、圧電式振動部３０２の正面には、側面角度調整ダイヤル４００が設けられ、防振台３０１の正面には、側面角度調整ダイヤル５００が設けられている。
【００４３】
図５に示すように、圧電式振動部３０２の振動方向を調整する前の一側面の面４１０および面４２０は一平面からなる。次に、図６に示すように、側面角度調整ダイヤル４００を矢印Ｒ１の方向に回転させた場合、圧電式振動部３０２の一側面の面４１０が矢印Ｒ２の方向（垂直軸周りの方向）に回転する。すなわち、面４１０は、面４２０と異なる傾きとなる。また、側面角度調整ダイヤル４００を矢印Ｒ１とは逆方向に回転させた場合、圧電式振動部３０２の一側面の面４１０が矢印Ｒ２（垂直軸周りの方向）とは逆方向に回転する。なお、面４１０の回転角度は、０．００度から±５．００度程度の範囲であることが好ましい。
【００４４】
同様に、図６に示すように、側面角度調整ダイヤル５００を矢印Ｒ１の方向に回転させた場合、防振台３０１の一側面の面５１０が矢印Ｒ２の方向（垂直軸周りの方向）に回転する。また、側面角度調整ダイヤル５００を矢印Ｒ１とは逆方向に回転させた場合、防振台３０１の一側面の面５１０が矢印Ｒ２（垂直軸周りの方向）とは逆方向に回転する。なお、面５１０の回転角度は、０．００度から±５．００度程度の範囲であることが好ましい。
【００４５】
この矢印Ｒ２の方向に回転した面４１０および面５１０に対して、防振用板ばね３８０を固定することにより圧電式振動部３０２において加振される加振方向矢印Ｘ２またはＸ３の方向を矢印Ｘ１の方向に調整することができ、第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０および第３搬送部材３５０の振動方向を最適に調整することができる。
【００４６】
以上の構成により、側面角度調整ダイヤル４００，５００により圧電式振動部３０２の面４１０および防振台３０１の面５１０の向きを調整することができるので、圧電式振動部３０２の振動方向と微小部品８００の移送方向とのずれを修正することができる。その結果、微小部品８００の移送方向に適した振動を第１搬送部材３２０および第２搬送部材３３０に与えることができ、その振動を微小部品８００に与えることができる。したがって、圧電式振動部３０２の加振能力が大きくなっても、ずれを生じさせることなく、微小部品供給装置１００の微小部品８００の移送能力を向上させることができる。
【００４７】
なお、本実施の形態においては、側面角度調整ダイヤル４００により面４１０の角度が調整されることとしたが、これに限定されず、側面角度調整ダイヤル４００により圧電式振動部３０２の側面の上部の面の角度が調整されることとしてもよい。
【００４８】
すなわち、振動伝達に直接関連する部分（板ばね３９０の固定面）の角度を調整する構成をさらに設けてもよい。この場合、振動方向のずれが大きい場合には、振動伝達に直接関連する部分の角度を調整し、さらに、振動の伝達方向微調整を行う場合には、振動伝達に間接的に関連する部分の角度を調整することにより、さらに容易に振動伝達の方向を調整することができる。
【００４９】
また、側面角度調整ダイヤル４００，５００をそれぞれ設けることとしたが、これに限定されず、１の側面角度調整ダイヤルにより全ての面の角度を調整させる構成としてもよい。
【００５０】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態における防振台３０１ｂおよび圧電式振動部３０２ｂが、第１の実施の形態における防振台３０１および圧電式振動部３０２の構成と異なるのは、以下の点である。
【００５１】
図７および図８は、第２の実施の形態に係る防振台３０１ｂおよび圧電式振動部３０２ｂの一側面を示す斜視図である。
【００５２】
図７に示すように、第２の実施の形態における圧電式振動部３０２ｂは、側面角度調整ダイヤル４００の代わりに角ピン突出量調整ダイヤル４０１を有し、圧電式振動部３０２の面４１０の代わりに、面４５０を有する。また、面４５０には、角ピン４５１〜角ピン４５７が設けられる。また、防振台３０１ｂは、側面角度調整ダイヤル５００の代わりに角ピン突出量調整ダイヤル５０１を有し、防振台３０１の面５１０の代わりに面５５０を有する。また、面５５０には、角ピン５５１〜角ピン５５７が設けられる。
【００５３】
図８に示す角ピン突出量調整ダイヤル４０１，５０１を矢印Ｒ１の方向に回転することにより、角ピン４５１〜角ピン４５７が面４５０から突出し、角ピン５５１〜角ピン５５７が面５５０から突出する。
【００５４】
この場合、角ピン４５１および角ピン４５４と、角ピン４５２，角ピン４５５および角ピン４５７と、角ピン４５３および角ピン４５６との突出量はそれぞれ異なり、図８に示すように、角ピン４５１および角ピン４５４の突出量が最も多く、角ピン４５２，角ピン４５５および角ピン４５７の突出量が次に多く、角ピン４５３および角ピン４５６の突出量が最も少ない状態となる。
【００５５】
一方、角ピン５５１および角ピン５５４と、角ピン５５２，角ピン５５５および角ピン５５７と、角ピン５５３および角ピン５５６との突出量はそれぞれ異なり、図８に示すように、角ピン５５１および角ピン５５４の突出量が最も多く、角ピン５５２，角ピン５５５および角ピン５５７の突出量が次に多く、角ピン５５３および角ピン５５６の突出量が最も少ない状態となる。
【００５６】
また、図示していないが、角ピン突出量調整ダイヤル４０１，５０１を矢印Ｒとは逆方向に回転することにより、角ピン４５１〜角ピン４５７が面４５０から突出し、角ピン５５１〜角ピン５５７が面５５０から突出する。
【００５７】
この場合、角ピン４５１および角ピン４５４と、角ピン４５２，角ピン４５５および角ピン４５７と、角ピン４５３および角ピン４５６との突出量はそれぞれ異なり、角ピン４５１および角ピン４５４の突出量が最も少なく、角ピン４５２，角ピン４５５および角ピン４５７の突出量が次に少なく、角ピン４５３および角ピン４５６の突出量が最も多い状態となる。
【００５８】
一方、角ピン５５１および角ピン５５４と、角ピン５５２，角ピン５５５および角ピン５５７と、角ピン５５３および角ピン５５６との突出量はそれぞれ異なり、角ピン５５１および角ピン５５４の突出量が最も少なく、角ピン５５２，角ピン５５５および角ピン５５７の突出量が次に少なく、角ピン５５３および角ピン５５６の突出量が最も多い状態となる。
【００５９】
したがって、この角ピン４５１〜角ピン４５７，角ピン５５１〜角ピン５５７により防振用板ばね３８０の取り付け角度を調整することができる。なお、面４５０，５５０から突出する角ピン４５１〜角ピン４５７および角ピン５５１〜角ピン５５７により取り付けられる防振用板ばね３８０の取り付け角度は、角ピン４５１〜角ピン４５７および角ピン５５１〜角ピン５５７が突出していない場合と比較して、０．００度から±５．００度以内であることが好ましい。
【００６０】
この面４５０，５５０および突出した角ピン４５１〜角ピン４５７，角ピン５５１〜５５７に対して、防振用板ばね３８０を固定することにより圧電式振動部３０２において加振される加振方向、矢印Ｘ２またはＸ３の方向を矢印Ｘ１の方向に調整することができ、第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０および第３搬送部材３５０の振動方向を最適に調整することができる。
【００６１】
以上のように、角ピン突出量調整ダイヤル４０１，５０１により圧電式振動部３０２の面４５０および面５５０に対して取り付けられる防振用板ばね３８０の向きを調整することができるので、圧電式振動部３０２の振動方向と微小部品８００の移送方向とのずれを修正することができる。その結果、微小部品８００の移送方向に適した振動を第１搬送部材３２０および第２搬送部材３３０に与えることができ、その振動を微小部品８００に与えることができる。したがって、微小部品供給装置１００の微小部品８００の移送能力を向上させることができる。
【００６２】
なお、本実施の形態においては、角ピン突出量調整ダイヤル４０１により面４５０から角ピン４５１〜角ピン４５７が突出することとしたが、これに限定されず、角ピン突出量調整ダイヤル４０１によりにより圧電式振動部３０２の側面の上部の面の角度が調整されることとしてもよい。
【００６３】
すなわち、振動伝達に直接関連する部分（板ばね３９０の固定面）の角度を調整する構成をさらに設けてもよい。この場合、振動方向のずれが大きい場合には、振動伝達に直接関連する部分の角度を調整し、さらに、振動の伝達方向微調整を行う場合には、振動伝達に間接的に関連する部分の角度を調整することにより、さらに容易に振動伝達の方向を調整することができる。
【００６４】
また、本実施の形態においては、角ピン４５１〜角ピン４５７，角ピン５５１〜角ピン５５７を用いることとしたが、このピン形状または本数は、これに限定されたものではなく、他の形状、他の任意の本数を用いてもよい。例えば、円柱状のピンを５本設けてもよく、円柱状のピンを３本および角ピンを４本設けることとしてもよい。
【００６５】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態における防振台３０１ｃおよび圧電式振動部３０２ｃが、第１の実施の形態における防振台３０１ｃおよび圧電式振動部３０２および第２の実施の形態における防振台３０１ｂおよび圧電式振動部３０２ｂの構成と異なるのは、以下の点である。
【００６６】
図９および図１０は、第３の実施の形態に係る防振台３０１ｂおよび圧電式振動部３０２ｃの一側面を示す斜視図である。
【００６７】
図９および図１０に示すように、第３の実施の形態における防振台３０１ｃおよび圧電式振動部３０２ｃは、防振台３０１の面５１０および防振台３０１の角ピン５５１〜角ピン５５７の代わりに三角柱部材５７０を有し、圧電式振動部３０２の面４１０および圧電式振動部３０２ｂの角ピン４５１〜角ピン４５７の代わりに三角柱部材４７０を有する。
【００６８】
図９に示す面４１０および面５１０に対して、図１０に示すように、三角柱部材４７０および三角柱部材５７０を取り付ける。この場合、三角柱部材４７０は、面４１０に対して防振用板ばね３８０が０．００度から±５．００度以内の範囲内で回転した状態で取り付けられることが好ましく、三角柱部材５７０は、面５１０に対して防振用板ばね３８０が０．００度から±５．００度以内の範囲内で回転した状態で取り付けられることが好ましい。なお、三角柱部材４７０および三角柱部材５７０はいずれも同じ角度を有するものである。
【００６９】
以上の構成により、三角柱部材４７０および三角柱５７０を面４１０および面５１０と防振用板ばね３８０との間に設けることにより、容易に圧電式振動部３０２の振動方向の調整をすることができ、圧電式振動部３０２の振動方向と微小部品８００の移送方向とのずれを修正することができる。
【００７０】
なお、本実施の形態においては、面４１０に三角柱部材４７０を設けることとしたが、これに限定されず、圧電式振動部３０２の側面の上部の面に三角柱部材４７０を設けることとしてもよい。
【００７１】
すなわち、振動伝達に直接関連する部分（板ばね３９０の固定面）の角度を調整する構成をさらに設けてもよい。この場合、振動方向のずれが大きい場合には、振動伝達に直接関連する部分の角度を調整し、さらに、振動の伝達方向微調整を行う場合には、振動伝達に間接的に関連する部分の角度を調整することにより、さらに容易に振動伝達の方向を調整することができる。
【００７２】
上記第１〜第３の実施の形態においては、微小部品８００が微小部品に相当し、微小部品供給装置１００が微小部品供給装置に相当し、圧電式振動部３０２が加振器に相当し、第１搬送部材３２０、第２搬送部材３３０および第３搬送部材３５０が搬送路に相当し、ステージ９００が支持台に相当し、面４１０、４５０，５１０，５５０が固設面に相当し、防振用板ばね３８０が防振板部材に相当し、側面角度調整ダイヤル４００，５００および面４１０、５１０，角ピン突出量調整ダイヤル４０１、５０１、面４５０および面５５０および角ピン４５１〜角ピン４５７、角ピン５５１〜角ピン５５７、三角柱部材４７０、三角柱５７０が角度調整装置に相当し、側面角度調整ダイヤル４００，５００および角ピン突出量調整ダイヤル４０１，５０１が角度指示装置に相当し、角ピン４５１〜角ピン４５７および角ピン５５１〜角ピン５５７がピンに相当し、三角柱部材４７０および三角柱５７０が所定の角度を有する板状部材に相当する。
【００７３】
本発明は、上記の好ましい第１〜第３の実施の形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明に係る第１の実施の形態に係る微小部品供給装置の一例を示す模式的斜視図
【図２】本実施の形態において搬送される微小部品の形状の一例を示す模式的斜視図
【図３】リニアフィーダの詳細を示す側面図
【図４】防振台および圧電式振動部の固設状態の詳細を説明するための斜視図
【図５】防振台および圧電式振動部の振動方向を調整する前の側面の一例を示す模式的斜視図
【図６】圧防振台および電式振動部の振動方向を調整した後の側面の一例を示す模式的斜視図
【図７】第２の実施の形態に係る防振台および圧電式振動部の一側面を示す斜視図
【図８】第２の実施の形態に係る防振台および圧電式振動部の一側面を示す斜視図
【図９】第３の実施の形態に係る防振台および圧電式振動部の一側面を示す斜視図
【図１０】第３の実施の形態に係る防振台および圧電式振動部の一側面を示す斜視図
【符号の説明】
【００７５】
１００  微小部品供給装置
３０２  圧電式振動部
３２０  第１搬送部材
３３０  第２搬送部材
３８０  防振用板ばね
４００  側面角度調整ダイヤル
４０１，５０１  角ピン突出量調整ダイヤル
４１０，４５０，５１０，５５０  面
４５１〜４５７，５５１〜５５７  角ピン
４７０  三角柱部材
５７０  三角柱部材
８００  微小部品
９００  ステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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