(57)【要約】【課題】  光源部を冷却する光源用冷却装置において、冷却部材のパイプと導入管との導入側接続部、又はパイプと排出管との排出側接続部から冷媒漏れが発生したときに、冷媒がパイプを伝って冷却部材及び光源部に流れるのを防止する。【解決手段】  冷媒を供給する導入管６２Ｄを導入側接続部６３Ｄでパイプ５５に接続し、パイプ５５を冷却部材５２Ｄの導入側のパイプ５４と連通させる。また、冷媒を排出する排出管６４Ｄを排出側接続部６５Ｄでパイプ５５に接続し、パイプ５５を冷却部材５２Ｄの排出側のパイプ５４と連通させる。パイプ５５の周囲には、ゴムリング９０が取り付けられている。これにより、導入側接続部６３Ｄ、排出側接続部６５Ｄから冷媒漏れが発生しても、冷媒がパイプ５５から冷却部材５２Ｄに伝わるのがゴムリング９０によって遮断される。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光が射出される光源部を冷却する冷却装置であって、
パイプ内に冷媒を導通することによって、前記光源部を冷却する冷却部材と、
冷媒を供給する導入管と前記パイプとを接続する導入側接続部と、
冷媒を排出する排出管と前記パイプとを接続する排出側接続部と、を有し、
前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記冷却部材との間にシール部材が設けられていることを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
発熱部材を冷却する冷却装置であって、
パイプ内に冷媒を導通することによって、前記発熱部材を冷却する冷却部材と、
冷媒を供給する導入管と前記パイプとを接続する導入側接続部と、
冷媒を排出する排出管と前記パイプとを接続する排出側接続部と、を有し、
前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記冷却部材との間にシール部材が設けられていることを特徴とする冷却装置。
【請求項３】
前記シール部材は、前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記冷却部材との間に位置する前記パイプに密着するように装着されたゴムリングであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の冷却装置。
【請求項４】
前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記冷却部材との間に位置する前記パイプは、上方の前記冷却部材から下方の前記導入側接続部及び前記排出側接続部に傾斜していることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の冷却装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の冷却装置が配設され、
前記複数の光源部から射出する光を所定のパターンに変調して感光材料面に画像を書き込むことを特徴とする露光描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源部又は発熱部材に冷媒を供給して冷却する冷却装置、及びこの冷却装置を備えた露光描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、露光光を感光材料面に露光して画像を書き込む露光描画装置が種々提案されている。
【０００３】
このような露光描画装置は、複数の光源装置を備えており、複数の光源装置から射出される光を所定のパターンに変調し、光学部品を介して感光材料面に露光することによって画像を書き込むものである（例えば特許文献１を参照）。
【０００４】
この露光描画装置では、複数の光源装置を駆動させる際に、各光源装置に配置された光源の発熱により、各光源から射出される光量が変動してしまう。このため、各光源が設置された部位にラジエータ（冷却装置）を設置し、冷却水などの冷媒を供給して光源を冷却する必要がある。
【０００５】
しかし、冷媒をラジエータに供給する導入管、又はラジエータから冷媒を排出する排出管との接続部（管継手など）で水漏れが発生するおそれがある。
【特許文献１】特開２００２−３５１０８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、接続部から冷媒漏れが発生しても冷媒が周辺に伝わるのを防止できる冷却装置及び露光描画装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明に係る冷却装置は、光が射出される光源部を冷却する冷却装置であって、パイプ内に冷媒を導通することによって、前記光源部を冷却する冷却部材と、冷媒を供給する導入管と前記パイプとを接続する導入側接続部と、冷媒を排出する排出管と前記パイプとを接続する排出側接続部と、を有し、前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記冷却部材との間にシール部材が設けられていることを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、冷却部材に設けられたパイプは、冷媒を供給する導入管と導入側接続部によって接続されている。そして、冷媒が導入管から導入側接続部を通って冷却部材のパイプ内に導通されることで、光源部が冷却される。また、パイプは、冷媒を排出する排出管と排出側接続部によって接続されており、冷却部材のパイプ内に導通された冷媒が排出管に排出される。導入側接続部及び排出側接続部と冷却部材との間にはシール部材が設けられており、導入側接続部又は排出側接続部で冷媒漏れが発生しても、冷媒がシール部材によって遮断され、冷却部材に伝わるのが防止される。このため、冷却部材やその周辺に冷媒が広がることが防止される。
【０００９】
請求項２に記載の発明に係る冷却装置は、発熱部材を冷却する冷却装置であって、パイプ内に冷媒を導通することによって、前記発熱部材を冷却する冷却部材と、冷媒を供給する導入管と前記パイプとを接続する導入側接続部と、冷媒を排出する排出管と前記パイプとを接続する排出側接続部と、を有し、前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記冷却部材との間にシール部材が設けられていることを特徴としている。
【００１０】
ここで、発熱部材としては、例えば、モータや制御基板などが挙げられる。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、導入側接続部又は排出側接続部で冷媒漏れが発生しても、冷媒がシール部材によって遮断され、冷却部材に伝わるのが防止される。このため、冷却部材やその周辺に冷媒が広がることが防止される。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の冷却装置において、前記シール部材は、前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記冷却部材との間に位置する前記パイプに密着するように装着されたゴムリングであることを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、シール部材はゴムリングからなり、導入側接続部及び排出側接続部と冷却部材との間に位置するパイプに密着するように装着されているので、導入側接続部又は排出側接続部から漏れ出した冷媒はゴムリングで遮断され、ゴムリングに溜まった冷媒が下方に落下する。このため、冷媒がパイプを伝って冷却部材やその周辺に流れるのが防止される。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の冷却装置において、前記導入側接続部及び前記排出側接続部と前記冷却部材との間に位置する前記パイプは、上方の前記冷却部材から下方の前記導入側接続部及び前記排出側接続部に傾斜していることを特徴としている。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、導入側接続部及び排出側接続部と冷却部材との間に位置するパイプは、上方の冷却部材から下方の導入側接続部及び排出側接続部に傾斜しており、導入側接続部又は排出側接続部から漏れ出した冷媒は下方側に流れるため、冷媒が上方の冷却部材に伝わることがない。
【００１６】
請求項５に記載の発明に係る露光描画装置は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の冷却装置が配設され、前記複数の光源部から射出する光を所定のパターンに変調して感光材料面に画像を書き込むことを特徴としている。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の冷却装置が配設されており、導入側接続部又は排出側接続部で冷媒漏れが発生しても、冷媒が冷却部材及びその周辺に伝わるのが防止される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る冷却装置及び露光描画装置は、上記のように構成したので、導入側接続部又は排出側接続部で冷媒漏れが発生しても、冷媒が冷却部材及びその周辺に伝わるのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る光源用冷却装置の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
まず、最初に本発明の第１実施形態に係る冷却装置としての光源用冷却装置が搭載された露光描画装置の全体構成の概要を説明し、次に、本発明の要部について説明する。
【００２１】
図１には第１実施形態に係る光源用冷却装置５０が搭載された露光描画装置１０が示されている。
【００２２】
この露光描画装置１０は、いわゆるフラットベッド型の面露光方式のマルチビーム露光装置に構成したものであり、基台１１上の４本の脚部材１２Ａに支持されたプレート基体１２と、このプレート基体１２上に設けられた図中Ｙで示す送り方向（走査方向）に移動操作可能に装着された移動台座１５と、この移動台座１５上に設置され、例えばプリント基板（ＰＣＢ）、カラーの液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）といったガラス基板の表面に感光材料を形成したもの等である感光材料２１を載置固定すると共に、図中Ｚで示す高さ方向の位置調整を行う移動ステージ１４と、一方向に延在したマルチビームをレーザ光として射出する光源ユニット１６と、このマルチビームを、所望の画像データに基づきマルチビームの位置に応じて空間変調し、マルチビームの波長領域に感度を有する感光材料に、この変調されたマルチビームを露光ビームとして照射する露光ヘッドユニット１８と、移動ステージ１４の移動に伴って露光ヘッドユニット１８の各露光ヘッド２６にそれぞれ供給する変調信号を画像データから生成する制御ユニット２０とを主に有して構成される。
【００２３】
この露光描画装置１０には、移動ステージ１４の上方に感光材料を露光するための露光ヘッドユニット１８が配置されており、この露光ヘッドユニット１８内に設置された各露光ヘッド２６には、光源ユニット１６からそれぞれ引き出されたバンドル状光ファイバ２８が接続される。
【００２４】
この露光描画装置１０には、プレート基体１２を跨ぐように門型フレーム２２が設けられ、その両面にそれぞれ一対の位置検出センサ２４が取り付けられる。この位置検出センサ２４は、移動ステージ１４の通過を検知したときの検出信号を制御ユニット２０に供給する。
【００２５】
この露光描画装置１０では、プレート基体１２の上面に、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド３０が設置される。この２本のガイド３０上には、スライダ３１を介して移動台座１５が往復移動可能に装着される。
【００２６】
この露光描画装置１０では、固定された露光ヘッドユニット１８に対して、移動台座１５上に移動ステージ１４を介して載置された被露光材料である感光材料（基板）２１を送り方向へ移動しながら、感光材料面に走査露光する。
【００２７】
また、移動台座１５上には、図示しないガイドレールを介して摺動操作板部材３８が配置され、リニア駆動機構４０によって、走査方向（移動ステージ１４の移動方向である矢印Ｙ方向）に直交する方向（矢印Ｘ方向）に精密に移動調整される。摺動操作板部材３８上には、走査方向（移動ステージ１４の移動方向である矢印Ｙ方向）に直交する方向（矢印Ｘ方向）に沿って、一対の楔形部材４４を平行に配置する。一対の楔形部材４４上には、三角形状の支持ブロック４８が配置され、支持ブロック４８の上側に設置される移動ステージ１４が移動台座１５と平行に支受されるように構成される。各支持ブロック４８は、楔形部材４４上を重力で滑り落ちないように図示しない支持部材によって支持される。そして、
制御ユニット２０によってリニア駆動機構４０を駆動制御して、摺動操作板部材３８と一体の各楔形部材４４を走査方向（移動ステージ１４の移動方向である矢印Ｙ方向）に直交する方向（矢印Ｘ方向）に精密に移動することで、各支持ブロック４８の露光面高さ（矢印Ｚ方向）を調整するように構成されている。
【００２８】
また、光源ユニット１６には、４つの光源装置１６Ａ〜１６Ｄが、上下方向にほぼ平行に２つずつ配置されている。図３に示すように、光源装置１６Ｄには、複数のＬＤチップを有する多数のレーザモジュール１１２が配列された光源部１７Ｂと、各レーザモジュール１１２に接続され、各レーザモジュール１１２から射出されたレーザ光を導光して射出するマルチモード光ファイバ１１３と、多数のマルチモード光ファイバ１１３が接続され、多数のマルチモード光ファイバから射出されたレーザ光を集束して射出するコネクタ部１１４と、各レーザモジュール１１２を駆動制御する駆動制御部１１５と、各レーザモジュール１１２と各駆動制御部１１５とを接続する配線１１６とを備えている。また、レーザモジュール１１２は、レーザ光の射出方向を同一にして２列の光源列１１２ａ，１１２ｂに分けられて配置されている。そして、光源列１１２ａ，１１２ｂはレーザ光の射出方向に対して前後に位置するように配置されている。また、コネクタ部１１４においてマルチモード光ファイバ１１３がバンドルされてバンドル状光ファイバ２８が形成されている。バンドル状光ファイバ２８はコネクタ部１１４から外部に取り出され、このバンドル状光ファイバ２８から、多数のマルチモード光ファイバ１１３から射出されたレーザ光を集束した集束光が射出される。なお、図３では、光源装置１６Ｄが示されているが、光源装置１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃも同じ構成となっている。
【００２９】
このような露光描画装置１０では、図１に示すように、光源ユニット１６は、レーザ光をバンドル状光ファイバ２８から射出する。また、露光パターンに応じた画像データが制御ユニット２０に入力され、制御ユニット２０内のメモリに一旦記憶される。
【００３０】
感光材料２１を表面に吸着した移動ステージ１４は、露光面位置が露光ヘッドユニット１８に対して所定高さ（所定間隔）となるように昇降動作されて調整される。また移動ステージ１４は、図示しない駆動装置により、ガイド３０に沿って搬送方向上流側から下流側に一定速度で移動される。移動ステージ１４が門型フレーム２２の下を通過する際に、門型フレーム２２に取り付けられた位置検出センサ２４により感光材料２１の先端が検出されると、メモリに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、制御ユニット２０によって制御信号（制御データ）が各露光ヘッド２６毎に生成される。
【００３１】
そして、この生成された制御信号に基づいて各露光ヘッド２６毎に空間光変調素子（図示せず）のマイクロミラーの各々がオンオフ制御される。光源ユニット１６から空間光変調素子にレーザ光が照射されると、マイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光は、所要の露光ビームスポット位置に結像される。このようにして光源ユニット１６から出射されたレーザ光が画素毎にオンオフされて、感光材料２１が露光処理される。
【００３２】
また、感光材料２１は、移動ステージ１４と共に一定速度で移動され、露光ヘッドユニット１８により走査され、各露光ヘッド２６毎に帯状の露光済み領域が形成される。露光ヘッドユニット１８による感光材料２１の走査が終了し、位置検出センサ２４で感光材料２１の後端が検出されると、移動ステージ１４は、図示しない駆動装置により、ガイド３０に沿って搬送方向最上流側にある原点に復帰し、再度、ガイド３０に沿って搬送方向上流側から下流側に一定速度で移動される。
【００３３】
次に、上記露光描画装置１０の光源ユニット１６に搭載された光源用冷却装置５０について説明する。
【００３４】
図１及び図２に示すように、光源ユニット１６には、上下方向にほぼ平行に配置された４つの光源装置１６Ａ〜１６Ｄが、図示しないフレームに固定支持されている。図２及び図３に示すように、４つの光源装置１６Ａ〜１６Ｄは、多数のレーザモジュール１１２が配列された光源部１７Ａ〜１７Ｄを備えており、光源部１７Ａ〜１７Ｄの下部には、それぞれ板状の冷却部材（ラジエータ）５２Ａ〜５２Ｄが配設されている。
【００３５】
図３及び図４に示すように、冷却部材５２Ｄには、光源部１７Ｄの下部に、この光源部１７Ｄとほぼ同じ大きさのアルミ板５３が配置されている。このアルミ板５３の下部には、冷媒（例えば冷却水）が流れるパイプ５４が配設されている。このパイプ５４は、アルミ板５３を介して冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのほぼ全体を冷却可能なように、アルミ板５３の全体にわたって蛇行して配設され、図示しない支持部材によって支持されている。なお、図４は冷却部材５２Ｄが示されているが、他の冷却部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃも同じ構成となっている。
【００３６】
図２に示すように、光源用冷却装置５０は、冷媒を所定の温度に冷却するとともに循環供給するチラー５６を備えている。チラー５６には、冷媒を流す１本の供給管５８が連結され、この供給管５８は、光源用冷却装置５０の下方側で２本の供給管６０Ａ、６０Ｂに分岐される。また、供給管６０Ａは分岐部６１Ａで２つの導入管６２Ａ，６２Ｂに分岐され、供給管６０Ｂは分岐部６１Ｂで２つの導入管６２Ｃ、６２Ｄに分岐される。
【００３７】
図４及び図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、導入管６２Ｄは、管継手からなる導入側接続部６３Ｄで、冷却部材５２Ｄに配設されたパイプ５４と連通するパイプ５５に接続されている。この導入側接続部６３Ｄは、その周囲に装着された支持部材７６によって本体フレーム８０の上部に取り付けられている。また、冷却部材５２Ｄのパイプ５４の排出側と連通するパイプ５５は、管継手からなる排出側接続部６５Ａで排出管６４Ｄに接続されている。この排出側接続部６５Ｄは、その周囲に装着された支持部材７８によって本体フレーム８０の上部に取り付けられている。２つのパイプ５５の周囲には、シール部材であるゴムリング（Ｏ−リング）９０が取り付けられている。ゴムリング９０はパイプ５５の周面に密着している。
【００３８】
また、図２に示すように、導入管６２Ａは導入側接続部６３Ａで冷却部材５２Ａのパイプ５４と連通するパイプ５５（図４及び図５参照）に、導入管６２Ｂは導入側接続部６３Ｂで冷却部材５２Ｂのパイプ５４と連通するパイプ５５に、導入管６２Ｃは導入側接続部６３Ｃで冷却部材５２Ｃのパイプ５４と連通するパイプ５５にそれぞれ接続されている。これらの導入側接続部６３Ａ〜６３Ｃは、支持部材７６によって図示しない本体フレームに支持されている。
【００３９】
さらに、冷却部材５２Ａのパイプ５４の排出側と連通するパイプ５５（図４及び図５参照）は、管継手からなる排出側接続部６５Ａで排出管６４Ａに接続されている。また、冷却部材５２Ｂのパイプ５４と連通するパイプ５５は排出側接続部６５Ｂで排出管６４Ｂに、冷却部材５２Ｃのパイプ５４と連通するパイプ５５は排出側接続部６５Ｃで排出管６４Ｃにそれぞれ接続されている。これらの排出側接続部６５Ａ〜６５Ｃは、支持部材７８によって図示しない本体フレームに支持されている。なお、図４及び図５（Ａ）、（Ｂ）には、冷却部材５２Ｄが示されているが、他の冷却部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃも同じ構成となっており、パイプ５５にゴムリング９０が取り付けられている。
【００４０】
図２示すように、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄは、冷媒が冷却部材５２Ａ〜５２Ｄの下方側からパイプ５４、５５（図４参照）に導入されるように配管され、排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄは、冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのパイプ５４、５５から冷媒が上方側に流れるように配管されている。これにより、パイプ５４、５５内に導通される冷媒の流れが安定化する。
【００４１】
また、排出管６４Ａと排出管６４Ｄは、冷媒が流れる最上部に支持された分岐部６６Ａで１本の排出管６８Ａに合流される。また、排出管６４Ｂと排出管６４Ｃは、分岐部６６Ａと同じ揚程位置（冷媒が流れる最上部）に支持された分岐部６６Ｂで１本の排出管６８Ｂに合流される。さらに、排出管６８Ａと排出管６８Ｂは分岐部７２で１本の回収管７４に合流される。この回収管７４は、チラー５６に連結されている。チラー５６内には、図示しない熱交換器及びポンプが設けられており、回収管７４から回収された冷媒が所定温度に冷却され、供給管５８に送り出されることで冷媒が循環供給される。なお、回収管７４と供給管５８は、下方部の本体フレーム８０に固定部材８２によって取り付けられている（図５参照）。
【００４２】
このような光源用冷却装置５０は、供給管５８と冷却部材５２Ａ〜５２Ｄの間、及び冷却部材５２Ａ〜５２Ｄと回収管７４の間で、導入管６２Ａ〜６２Ｄと、排出管６４Ａ〜６４Ｄが並列に接続されるような配管となっている。
【００４３】
次に、本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置５０の作用について説明する。
【００４４】
図２に示すように、チラー５６内では、回収管７４から回収された冷媒が所定温度に冷却され、供給管５８に送り出される。供給管５８を流れる冷媒は、２本の供給管６０Ａ、６０Ｂに分流される。さらに、供給管６０Ａを流れる冷媒は２本の導入管６２Ａ、６２Ｂに分流され、供給管６０Ｂを流れる冷媒は２本の導入管６２Ｃ、６２Ｄに分流される。導入管６２Ａ〜６２Ｄを流れる冷媒は、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄからパイプ５５を通って、冷却部材５２Ａ〜５２Ｄに配設されたパイプ５４（図４中の矢印Ａ方向）に導入される。
【００４５】
そして、冷却部材５２Ａ〜５２Ｄに配設されたパイプ５４に冷媒が導通されることで、光源部１７Ａ〜１７Ｄが冷却される。その際、供給管５８と冷却部材５２Ａ〜５２Ｄの間で、供給管６０Ａ、６０Ｂを介して導入管６２Ａ〜６２Ｄが並列に接続されており、ほぼ均一な温度の冷媒が各冷却部材５２Ａ〜５２Ｄに供給される。
【００４６】
さらに、冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのパイプ５４に導通された冷媒は、それぞれパイプ５５（図４参照）を通って排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄから排出管６４Ａ〜６４Ｄに送られる。さらに、冷媒は最上部に配置された分岐部６６Ａ、６６Ｂに送られ、分岐部６６Ａで排出管６４Ａと排出管６４Ｄの冷媒が１本の排出管６８Ａに合流され、分岐部６６Ｂで排出管６４Ｂと排出管６４Ｃの冷媒が１本の排出管６８Ｂに合流される。さらに、排出管６８Ａと排出管６８Ｂの冷媒は分岐部７２で１本の回収管７４に合流され、チラー５６内に回収される。チラー５６では、図示しない熱交換器及びポンプにより冷媒が所定温度に冷却されて供給管５８に供給され、これにより冷媒が循環使用される。
【００４７】
このよう光源用冷却装置５０では、冷却部材５２Ａ〜５２Ｄのパイプ５４と連通するパイプ５５に、ゴムリング９０が取り付けられている（図４及び図５参照）。このため、導入側接続部６３Ａ〜６３Ｄ又は排出側接続部６５Ａ〜６５Ｄから冷媒漏れが発生しても、冷媒がパイプ５５から冷却部材５２Ａ〜５２Ｄの側に流れるのがゴムリング９０によって遮断される。そして、ゴムリング９０に溜まった冷媒は下方に落下する。これにより、冷媒がパイプ５５を伝って冷却部材５２Ａ〜５２Ｄに流れて、毛細管現象により光源部１７Ａ〜１７Ｄに広がるのを防止できる。
【００４８】
次に、本発明の第２実施形態に係る光源用冷却装置を図面に基づいて説明する。
【００４９】
なお、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００５０】
図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、この光源用冷却装置の冷却部材５２Ｄでは、冷却部材５２Ｄのパイプ５４（図４参照）の導入側と連通するパイプ１００が導入側接続部６３Ｄと接続されている。また、冷却部材５２Ｄのパイプ５４（図４参照）の排出側と連通するパイプ１００が排出側接続部６５Ｄと接続されている。パイプ１００は、上方の冷却部材５２Ｄから下方の導入側接続部６３Ｄ及び排出側接続部６５Ｄに傾斜するように湾曲している。また、パイプ１００の周囲には、シール部材であるゴムリング（Ｏ−リング）１０２が取り付けられている。なお、図６（Ａ）、（Ｂ）には、冷却部材５２Ｄが示されているが、他の冷却部材５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃも同じ構成となっている。
【００５１】
このような光源用冷却装置では、パイプ１００の外周が下方の導入側接続部６３Ｄ、排出側接続部６５Ｄから上方の冷却部材５２Ｄの側に傾斜しているので、導入側接続部６３Ｄ又は排出側接続部６５Ｄから漏れ出した冷媒がゴムリング１０２により遮断される効果に加えて、冷媒が重力によりパイプ１００の外周面を伝って上方の冷却部材５２Ｄに伝わるのが防止される。このため、導入側接続部６３Ｄ又は排出側接続部６５Ｄから漏れ出した冷媒が冷却部材５２Ｄ及び光源部１７Ｄに伝わるのをより確実に防止できる。また、同様に冷媒が冷却部材５２Ａ〜５２Ｃ及び光源部１７Ａ〜１７Ｃに流れるのをより確実に防止できる。
【００５２】
なお、上記実施形態では、光源部１７Ａ〜１７Ｄが４つ配設される構成であったが、この構成に限定するものではなく、光源部の数は適宜に設定できる。このとき、光源部の数に応じて冷却部材の数を設定し、冷媒を導通する導入側接続部、排出側接続部をそれぞれのパイプに配設することで、本発明を適用することができる。
【００５３】
なお、上記実施形態では、シール部材はゴムリング９０、１０２であったが、この構成に限定するものではない。シール部材は、パイプ５５、１００を取り囲み、冷媒が伝わるのを遮断できる形状であれば、適宜に設定できる。また、シール部材は、ゴム系材料に限定するものではなく、樹脂などで構成してもよい。また、冷媒を吸収できる吸水性樹脂を用いてよい。
【００５４】
なお、上記実施形態では、光源部を冷却する光源用冷却装置として説明したが、発熱部材（例えば、モータや制御基板など）を冷却する冷却装置に用いることもでき、同様に冷媒洩れが広がるのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置を搭載した露光描画装置の概略を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置で冷却される光源部を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置で用いられる冷却部材及びシール部材を示す概略平面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る光源用冷却装置で用いられる冷却部材、ゴムリング付近を示す斜視図及び側面図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る光源用冷却装置で用いられる冷却部材、ゴムリング付近を示す斜視図及び側面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０   露光描画装置
１６   光源ユニット
１６Ａ 光源装置
１６Ｂ 光源装置
１６Ｃ 光源装置
１６Ｄ 光源装置
１７Ａ 光源部
１７Ｂ 光源部
１７Ｃ 光源部
１７Ｄ 光源部
５０   光源用冷却装置（冷却装置）
５２Ａ 冷却部材
５２Ｂ 冷却部材
５２Ｃ 冷却部材
５２Ｄ 冷却部材
５４   パイプ
５５   パイプ
６２Ａ 導入管
６２Ｂ 導入管
６２Ｃ 導入管
６２Ｄ 導入管
６３Ａ 導入側接続部
６３Ｂ 導入側接続部
６３Ｃ 導入側接続部
６３Ｄ 導入側接続部
６４Ａ 排出管
６４Ｂ 排出管
６４Ｃ 排出管
６４Ｄ 排出管
６５Ａ 排出側接続部
６５Ｂ 排出側接続部
６５Ｃ 排出側接続部
６５Ｄ 排出側接続部
７６   支持部材
７８   支持部材
８０   本体フレーム
９０   ゴムリング
１００ パイプ
１０２ ゴムリング
【図１】
2006184540.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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