(57)【要約】  【課題】  マグネットポンプを用いた液体供給装置において、少ない吐出流量であってもマグネットポンプに過負荷が生じることなく液体を供給できるようにする。  【解決手段】  液体Ｌを貯留するタンク１と、マグネットポンプ２と、液体Ｌが吐出されるシャワーヘッド４と、タンク１とマグネットポンプ２とを結ぶ供給配管６と、マグネットポンプ２とシャワーヘッド４とを結ぶ吐出配管７と、吐出配管７から分岐してタンク１に接続する循環配管８とを設け、循環配管８への液体流量を調整することによって、マグネットポンプ２の吐出量を一定としたままシャワーヘッド４からの液体吐出量を調整できるようにした。【選択図】      図２
2006070713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留するタンクと、マグネットポンプと、液体が吐出される吐出部と、タンクとマグネットポンプとを結ぶ供給配管と、マグネットポンプと吐出部とを結ぶ吐出配管と、吐出配管から分岐してタンクに接続する循環配管とを備えたことを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】
吐出配管の、マグネットポンプと配管分岐部との間にフィルタを設けた請求項１記載の液体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体供給装置に関し、より詳細にはマグネットポンプを用いてタンクから吐出部へ液体を供給する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体を送り出す手段として、渦巻きポンプや渦流ポンプなどのメカニカルポンプがこれまでから広く使用されている。しかし、このようなメカニカルポンプでは、軸シール部分から液体が漏れることがある。特に、長期間の使用によって軸シール部分が摩耗すると液体漏れが不可避的に生じる。このような液体漏れを防止するためには、定期的に軸シール部分を交換しなければならず、多くの労力と時間が必要となる。
【０００３】
そこで、ケーシングを密閉容器とし、インペラーの軸に磁石を取り付けるとともに、ケーシングの外側に、電動モータで回転する磁石を取り付け、磁力を利用してインペラーを回転させるマグネットポンプが開発され、近年使用されつつある。このマグネットポンプでは軸シールは不要であるため、軸シール部分からの液体漏れは発生しない。
【０００４】
一方、マグネットポンプにはその構造から、吐出流量を少なくすると軸動力が大きくなり電動モータに過負荷が掛かるという特性がある。このため、使用に際しては所定値以上の吐出流量を保持する必要がある。
【０００５】
ところが、例えば製品の洗浄工程などでは、製品の種類に応じて洗浄液の吐出量を調整することが日常的に行われている。図３に、従来の液体供給装置の一例を示す概説図を示す。図３の液体供給装置では、タンク１に貯留された洗浄液Ｌは配管６を通ってマグネットポンプ２へ供給される。そして洗浄液Ｌは、マグネットポンプ２によって、途中フィルタ３によって異物や気泡が除去された後、シャワーノズル４へ送られる。シャワーノズル４に送られた洗浄液Ｌは、シャワーノズル４の噴出口（不図示）から、シャワーノズル４の下方を図の右方向に搬送される板状製品９に向かって噴射され、これにより製品９の表面が洗浄される。なお、複数のフィルタ３が並列に取り付けられているのは、シャワーヘッド４への洗浄液Ｌの供給を止めることなく各フィルタ３を個別に交換可能とするためである。またフィルタ３を交換する際のエアーを除去するために各フィルターにドレイン配管１１が接続されている。
【０００６】
このような液体供給装置において、大きな製品を洗浄する場合には洗浄液Ｌの噴射量を多くし、小さな製品を洗浄する場合には洗浄液Ｌの噴射量を少なくする。この洗浄液Ｌの噴射量を少なくしたときに、マグネットポンプ２の吐出流量が所定値未満となることがある。すると、マグネットポンプ２の電動モータに過負荷が掛かり安全装置が働いて電源が落ちてしまう。
【０００７】
かかる問題を解決するためには、複数種類のマグネットポンプを用意し、洗浄液の吐出量に合わせて、使用するマグネットポンプを切り換える方策が考えられるが、複数のマグネットポンプの購入費や設置場所などの点で現実的ではない。
【特許文献１】特開２００１−２６９６０８号公報（特許請求の範囲、（００５１）、図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、吐出量が少量の場合であってもマグネットポンプのモータに過負荷が生じることなく液体を供給きる液体供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、液体を貯留するタンクと、マグネットポンプと、液体が吐出される吐出部と、タンクとマグネットポンプとを結ぶ供給配管と、マグネットポンプと吐出部とを結ぶ吐出配管と、吐出配管から分岐してタンクに接続する循環配管とを備えたことを特徴とする液体供給装置が提供される。
【００１０】
ここで、液体中の異物や気泡を取り除く観点から、吐出配管の、マグネットポンプと配管分岐部との間にフィルタを設けるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の液体供給装置では、マグネットポンプと吐出部とを結ぶ吐出配管から、循環配管を分岐させてタンクに接続させたので、循環配管への液体流量を調整することによって、マグネットポンプの吐出量を一定としたまま吐出部からの液体吐出量を自由に設定することこができる。これにより、吐出部からの液体吐出量を少なくしたときでも、マグネットポンプの吐出流量は所定値以上を維持できるので、マグネットポンプのモータに過負荷が掛かることがない。
【００１２】
また、吐出配管の、マグネットポンプと配管分岐部との間にフィルタを設けると、マグネットポンプとタンクとの間を循環する液体がフィルタを繰り返し通過するようになるので、液体中の異物や気泡がより確実に除去される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の液体供給装置について図に基づいて説明する。なお、本発明はこれらの実施形態に何ら限定されるものではない。
【００１４】
図１は、本発明の液体供給装置の一例を示す概略構成図である。図１の液体供給装置は、レジスト剥離液Ｌを基板９に噴射して、基板９上に付着しているレジスト（不図示）を除去するものである。レジスト剥離液（液体）Ｌはタンク１に貯留され、供給配管６を通してマグネットポンプ２に供給される。供給されたレジスト剥離液Ｌはマグネットポンプ２によって吐出配管７を通してシャワーヘッド（吐出部）４に送られ、シャワーヘッド４の噴出口（不図示）から基板９に向かって噴射される。
【００１５】
吐出配管７にはフィルタ３が取り付けられている。このフィルタ３によってレジスト剥離液Ｌの異物や気泡が除去される。この図の装置ではフィルタ３は吐出配管７に設けられているが、供給配管６にフィルタ３を設けても構わない。ただし、マグネットポンプ２から生じる異物や気泡をも取り除くためには、フィルタ３は吐出配管７に設けるのが好ましい。
【００１６】
吐出配管７の、フィルタ３よりも下流側から循環配管８が分岐している。循環配管８の端部はタンク１に接続され、その途中には弁５が取り付けられている。マグネットポンプ２から吐出されたレジスト剥離液Ｌは、配管分岐部１０において一部はシャワーヘッド４へ供給され、残りはタンク１へ戻される。そして循環配管８に設けられた弁５を調整することによって、マグネットポンプ２の吐出流量を所定値以上に維持したままで、シャワーヘッド４へ送られる流量を任意に調整することができるようになる。これにより、従来問題となっていた、マグネットポンプ２の吐出流量が所定値未満となることによって生じるマグネットポンプ２の電動モータへの過負荷が確実に防止される。
【００１７】
弁５の調整は手動及び自動のいずれでもよい。弁５を自動調整する場合には、シャワーヘッド４からのレジスト剥離液Ｌの噴射量を流量計など従来公知の検知手段で検知し、噴射量が所望値となるように弁５の開度を制御すればよい。また、この図の装置では弁５は循環配管８に設けられているが、配管分岐部１０から下流の吐出配管７に設けても構わない。
【００１８】
図１の液体供給装置では、吐出配管７と循環配管８に流れる液体流量を弁５で調整しているが、吐出配管７と循環配管８を流れる液体の流量を調整できる手段であればこれに限定されるものではなく、従来公知の手段を用いることができる。また、図１の液体供給装置ではレジスト剥離液Ｌを供給しているが、これに限定されるものではなく、従来公知の液体を供給することができる。
【００１９】
本発明の液体供給装置の他の実施形態を図２に示す。図１の液体供給装置と異なる点は、複数のフィルタ３ａ，３ｂ，３ｃを吐出配管７に並列に取り付けた点にある。これによりシャワーヘッド４へのレジスト剥離液Ｌの供給を止めることなくフィルタ交換が行える。なお、フィルタ交換の際のエアー抜きは従来はドレイン配管１１（図３に図示）を用いて行われていたが、この図の液体供給装置では、エアー抜き時のレジスト剥離液Ｌを循環配管８を通してタンク１に戻すことによりエアー抜きを行う。
【実施例】
【００２０】
（実施例１）
図２の液体供給装置におけるマグネットポンプの電流値および動力を測定した。なお、使用したマグネットポンプの最小吐出流量は２００〜２２０Ｌ／ｍｉｎであり、測定時のマグネットポンプの吐出流量は２４０Ｌ／ｍｉｎであった。そして、シャワーヘッドから１８０Ｌ／ｍｉｎのレジスト剥離液を噴出させ、６０Ｌ／ｍｉｎは循環配管を通して循環させた。結果を表１に示す。
【００２１】
（比較例１）
図３の液体供給装置を用い、シャワーヘッドからのレジスト剥離液の噴出量を実施例１と同じ１８０Ｌ／ｍｉｎとするため、マグネットポンプの吐出流量を１８０Ｌ／ｍｉｎとした以外は、実施例１と同じ条件でマグネットポンプの電流値および動力を測定した。結果を表１に合わせて示す。
【００２２】
【表１】
2006070713.tif 000003
【００２３】
表１から明らかなように、実施例１の装置では、最小吐出流量を超える流量のレジスト剥離液をマグネットポンプから吐出させながら、所定の噴出量を超える分は循環させるようにしたので、マグネットポンプの電流値は９．１Ａ、動力は２．４ｋＷと仕様範囲内であった。これに対し、比較例１の装置では、レジスト剥離液のマグネットポンプからの吐出量がそのままシャワーヘッドからの噴出量となるため、マグネットポンプの吐出量を最小吐出流量以下とした。このため、マグネットポンプの電流値は１３．１Ａ、動力は３．５ｋＷと仕様範囲を超える値となった。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の液体供給装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の液体供給装置の他の例を示す概略構成図である。
【図３】従来の液体供給装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００２５】
１    タンク
２    マグネットポンプ
３    フィルタ
３ａ，３ｂ，３ｃ    フィルタ
４    シャワーヘッド（吐出部）
５    弁
６    供給配管
７    吐出配管
８    循環配管
１０    配管分岐部
Ｌ    レジスト剥離液（液体）
【図１】
2006070713.tif 000004
【図２】
2006070713.tif 000005
【図３】
2006070713.tif 000006