(57)【要約】【課題】被加工物の円周面に対して精度良好に微細凹部を形成することができると共に、加工コストの低減を実現する微細凹部加工装置を提供する。【解決手段】直径が異なる一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂと、両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂを同軸上に並列配置したローラ支持部材１２と、揺動軸１１を介してローラ支持部材１２を揺動自在に保持する工具ホルダ１０を備え、内周面Ｂａの中心線方向に両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂが並ぶ状態に工具ホルダ１０を配置し、両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂを内周面Ｂａに圧接させる圧縮コイルばね１６と、シリンダボアＣＢと工具ホルダ１０を内周面Ｂａの中心線回りに相対的に回転させてフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを内周面Ｂａに添って転動させる主軸３を備え、内周面Ｂａに対してフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを常に所定の傾斜角で圧接させるようにした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の円周面に微細凹部を形成する微細凹部加工装置であって、互いに異なる直径で外周部に凹部形成用の凸部を有する一対のフォームローラと、両フォームローラを同軸上に並列配置して回転自在に支持するローラ支持部材と、フォームローラのローラ軸に直交する揺動軸を介してローラ支持部材を揺動自在に保持する工具ホルダを備えると共に、被加工物に対して円周面の中心線方向に両フォームローラが並ぶ状態に工具ホルダを配置し、さらに、工具ホルダ側からローラ支持部材に荷重を付与して両フォームローラを円周面に圧接させる荷重付与手段と、被加工物と工具ホルダを円周面の中心線回りに相対的に回転させることにより円周面に圧接させたフォームローラを同円周面に添って転動させる回転駆動手段を備えたことを特徴とする微細凹部加工装置。
【請求項２】
被加工物と工具ホルダを円周面の中心線に沿う方向に相対的に移動させる軸方向駆動手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の微細凹部加工装置。
【請求項３】
被加工物と工具ホルダを円周面に対してフォームローラが近接離間する方向に相対的に移動させる径方向駆動手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の微細凹部加工装置。
【請求項４】
荷重付与手段が、アクチュエータであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
【請求項５】
荷重付与手段が、ばねであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
【請求項６】
荷重付与手段によりフォームローラに付与した荷重を検出する荷重検出手段を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
【請求項７】
荷重検出手段がロードセルであることを特徴とする請求項６に記載の微細凹部加工装置。
【請求項８】
被加工物が円形穴を有し、円周面が円形穴の内周面であって、回転駆動手段が工具ホルダを回転駆動する手段であると共に、工具ホルダの回転中心に対してローラ軸がオフセットされた位置に設けてあることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
【請求項９】
請求項７に記載の微細凹部加工装置を用いて、シリンダボアの内周面に微細凹部を形成したことを特徴とするエンジンのシリンダブロック。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の微細凹部加工装置を用いて被加工物の円周面に微細凹部を形成するに際し、円周面の中心線に対してローラ軸を傾斜させた状態にして円周面に両フォームローラを斜めに圧接させ、被加工物と工具ホルダを円周面の中心線回りに相対的に回転させて両フォームローラを円周面に添って転動させることにより、円周面に微細凹部を形成することを特徴とする微細凹部加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、自動車用エンジンにおけるシリンダブロックのシリンダボアの内周面などのように摺動接触を伴う被加工物の円周面に、低フリクション化を実現するための微細凹部（油だまり）を形成するのに用いる微細凹部加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、被加工物の円周面に微細凹部を形成する場合には、ショットブラストが多く採用されていた。このショットブラストでは、円周面に所定形状の透孔を有するマスキングシートを貼り付けた後、セラミックス等の小径粒子を円周面に向けて圧縮空気とともに投射することで、円周面の透孔を通して露出している部分に微細凹部を形成するようにしている。
【０００３】
そして、微細凹部を形成した後は、マスキングシートを取り外して洗浄するのに続いて、再びホーニングを行うことにより、上記ショットブラスト加工で微細凹部の周囲に生じた盛上り部分を除去するようにしている。
【特許文献１】特開２００２−３０７３１０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記したようなショットブラストによる微細凹部の形成にあっては、微細凹部を規則的に配置することが困難であり、加えて、円周面に対するマスキングシートの貼り付け工程及び取り外し工程、並びに洗浄工程が不可欠であって、このような作業が多い分だけ加工コストが嵩むという問題があり、これらの問題を解決することが従来の課題となっていた。
【０００５】
本発明は、上記従来の課題に着目して成されたものであって、被加工物の円周面に対して精度良好に微細凹部を形成することができると共に、加工コストの低減を実現することが可能である微細凹部加工装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の微細凹部加工装置は、被加工物の円周面に微細凹部を形成する微細凹部加工装置である。この微細凹部加工装置は、互いに異なる直径で外周部に凹部形成用の凸部を有する一対のフォームローラと、両フォームローラを同軸上に並列配置して回転自在に支持するローラ支持部材と、フォームローラのローラ軸に直交する揺動軸を介してローラ支持部材を揺動自在に保持する工具ホルダを備えると共に、被加工物に対して円周面の中心線方向に両フォームローラが並ぶ状態に工具ホルダを配置する。
【０００７】
そしてさらに、工具ホルダ側からローラ支持部材に荷重を付与して両フォームローラを円周面に圧接させる荷重付与手段と、被加工物と工具ホルダを円周面の中心線回りに相対的に回転させることにより円周面に圧接させたフォームローラを同円周面に添って転動させる回転駆動手段を備えたことを特徴としており、微細凹部加工においては、互いに直径の異なる一対のフォームローラを用いることで、円周面に対して両フォームローラを斜めに圧接させると共に、円周面に対する両フォームローラの傾斜角を常に一定に維持しながら、円周面に微細凹部を形成する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の微細凹部加工装置は、従来のような使い捨てのマスキングシートを用いずにフォームローラによる機械加工を行うことから、被加工物の円周面に高精度の微細凹部を高効率で形成することができると共に、生産性の向上や製造コストの低減を実現することができる。また、互いに直径が異なる一対のフォームローラを採用したことから、円周面に対して両フォームローラを常に所定の傾斜角で圧接させて、円周面に対して傾斜した微細凹部を形成することができ、これにより、相手部材との摺動接触状況に応じた適切な油の保持機能を発揮する微細凹部を形成することができ、さらに、一対のフォームローラで二箇所同時に微細凹部の形成を行うことで、加工時間を大幅に短縮することができる。
【実施例】
【０００９】
以下、図面に基づいて、本発明の微細凹部加工装置の一実施例を説明するが、微細凹部加工装置の詳細な構成は以下の実施例に限定されるものではない。
【００１０】
図２に示す微細凹部加工装置１は、自動車用エンジンのシリンダブロックを被加工物とし、被加工物の円周面すなわち円形穴であるシリンダボアの内周面に微細凹部を形成するＮＣ工作機械であって、鉛直方向に移動可能な主軸ヘッド２と、主軸ヘッド２に下向きに突出した状態で支持される主軸３と、主軸ヘッド２の下側において水平面内で互いに直交する二軸方向に移動可能な被加工物載置用のテーブル４と、主軸３に同軸に装着されて一体で回転する工具ホルダ１０を備えており、図示しない自動工具交換装置により、主軸３に対して工具ホルダ１０の着脱を行うようになっている。
【００１１】
工具ホルダ１０は、図１に示すように、主軸３に装着する部位であるシャンク部１０Ａと、その下側に連続するボディ部１０Ｂを有すると共に、ボディ部１０Ｂの下側に、アダプタ１０Ｃを介してハウジング１０Ｄを備え、このハウジング１０Ｄに、揺動軸１１を介してローラ支持部材１２を揺動自在に連結すると共に、ローラ支持部材１２により、互いに直径が異なる一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを回転自在に支持している。
【００１２】
アダプタ１０Ｃは、例えば図示しないステッピングモータを具備した移動機構を内蔵しており、この移動機構の作動により、シリンダブロックＣＢのシリンダボアＢの内周面Ｂａに対してハウジング１０Ｄ、ローラ支持部材１２及び両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂを一体的に近接離間させる。
【００１３】
ハウジング１０Ｄは、片側に開放された筒状の中空体であって、内部には、軸線方向を水平にしたスプラインナット１４が嵌合固定してあり、このスプラインナット１４と先端に揺動軸１１を備えたプラインシャフト１５とを互いにスプライン結合して、揺動軸１１に連結したローラ支持部材１２を主軸３と直交する方向に移動自在に保持している。揺動軸１１は、その軸線方向が、水平面においてスプラインシャフト１５の軸線に直交する方向である。
【００１４】
また、ハウジング１０Ｄには、工具ホルダ１０側である当該ハウジング１０Ｄからローラ支持部材１２に荷重を付与して両フォームローラ１３Ａ，１３ＢをシリンダボアＢの内周面Ｂａに圧接させる荷重付与手段としての圧縮コイルばね１６が介装してあり、圧縮コイルばね１６の後方には、この圧縮コイルばね１６によって両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂに付与した荷重を検出する荷重検出手段としての圧電型のロードセル１７が設けてある。
【００１５】
つまり、この実施例では、ハウジング１０Ｄに、荷重付与手段である圧縮コイルばね１６や荷重検出手段であるロードセル１７がコンパクトに内蔵してあり、当該装置の構造の簡素化や小型化に貢献し得るものとなっている。
【００１６】
スプラインシャフト１５には、ハウジング１０Ｄ内の端部に、スプラインシャフト１５の直径よりも大径の止め具１８が固定してあり、この止め具１８は、圧縮コイルばね１６の伸びを抑えると共に、圧縮コイルばね１６が伸びきった際の衝撃を緩和し、ハウジング１０Ｄからローラ支持部材１２が脱落するのを阻止する。なお、図１においては、スプラインシャフト１５と圧縮コイルばね１６が同軸上に図示してあるが、実際には、これらは互いに干渉しない位置にずれて配置してある。
【００１７】
ローラ支持部材１２は、図３にも示すように揺動軸１１に揺動自在に連結してあって、上下に同軸状態で突出するローラ軸１９，１９を備えると共に、各ローラ軸１９，１９に軸受２０，２０を介してフォームローラ１３Ａ，１３Ｂが装着してあり、両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂを同軸上に並列配置して回転自在に支持している。このとき、揺動軸１１とローラ軸１９は、互いに直交する位置関係にある。なお、軸受２０には、図示した玉軸受のほかに、すべり軸受などを用いることができる。
【００１８】
二つのフォームローラ１３Ａ，１３Ｂは、上側の小径のもの（１３Ａ）と下側の大径のもの（１３Ｂ）があり、図４に先端部を拡大して示すように、外周部に凹部形成用の凸部Ｐが一定間隔で設けてあると共に、シリンダボアＢの直径よりも小さい直径を有する。このとき、小径のフォームローラ１３Ａにおける凸部Ｐの大きさ及び間隔と、大径のフォームローラ１３Ｂにおける凸部Ｐの大きさ及び間隔は同じであり、この実施例の突部Ｐは先端面がローラ軸１９と平行を成す角型のものである。
【００１９】
そして、両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂは、その材料がとくに限定されるものではないが、例えば、超硬、超硬以外の硬質金属やアルミナ、窒化珪素等のセラミックスなどから成るものであって、高い強度と靭性を有しており、被加工物が焼入れ鋼などの高硬度材料であっても微細凹部を形成することができる。凸部Ｐの高さは例えば１００μｍ程度であり、数μｍ又は数十μｍ程度のディンプル状の微細凹部を形成する。
【００２０】
ここで、微細凹部加工装置１は、微細凹部の加工対象となる円周面が、シリンダブロックＣＢにおけるシリンダボアＢの内周面Ｂａであるから、その内周面Ｂａの中心線Ｌ１と主軸３及び工具ホルダ１０の回転中心Ｌ２とが一致するように、シリンダボアＢに対して工具ホルダ１０を配置すると共に、この状態で、アダプタ１０Ｃ、ハウジング１０Ｄ、ローラ支持部材１２及び両フォームローラ１３Ａ，１３ＢがシリンダボアＢの内側に対して挿脱可能である。
【００２１】
そして、微細凹部加工装置１は、内周面Ｂａの中心線Ｌ１に対して両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂが上下に並ぶ状態であると共に、工具ホルダ１０の回転中心Ｌ２に対してローラ軸１９がオフセットされた位置にある。
【００２２】
なお、この実施例では、主軸３が、回転駆動手段すなわち被加工物であるシリンダブロックＣＢと工具ホルダ１０をシリンダボアＢの内周面Ｂａの中心線Ｌ１回りに相対的に回転させることにより内周面Ｂａに圧接させた両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂを同内周面Ｂａに添って転動させる手段に相当し、ここでは工具ホルダ１０を回転駆動する。
【００２３】
また、この実施例では、主軸ヘッド２が、軸方向駆動手段すなわち被加工物であるシリンダブロックＣＢとホルダである工具ホルダ１０をシリンダボアＢの内周面Ｂａの中心線Ｌ１に沿う方向に相対的に移動させる手段に相当し、ここでは工具ホルダ１０を移動させる。
【００２４】
さらに、この実施例では、アダプタ１０Ｃが、径方向駆動手段すなわち被加工物であるシリンダブロックＣＢとホルダである工具ホルダ１０をシリンダボアＢの内周面Ｂａに対して両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂが近接離間する方向に相対的に移動させる手段に相当し、ここでは両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂを径方向に駆動する。
【００２５】
上記の微細凹部加工装置１において、シリンダボアＢの内周面Ｂａに微細凹部を形成するに際しては、まず、シリンダボアＢの中心線Ｌ１と工具ホルダ１０の回転中心Ｌ２とが一致するように位置決めをした後、主軸３とともに工具ホルダ１０を下降させ、シリンダボアＢ内に一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを挿入する。
【００２６】
次に、アダプタ１０Ｃ内の移動機構を作動させて、シリンダボアＢの内周面Ｂａに対して両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂを接触させ、ロードセル１７により検出した荷重が予め設定した値になるまでアダプタ１０Ｃ内の移動機構の作動を継続させる。
【００２７】
つまり、シリンダボアＢの内周面Ｂａに両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂが接触した後、アダプタ１０Ｃ内の移動機構の作動を継続させると、ローラ支持部材１２とハウジング１０Ｄとの間で圧縮コイルばね１６が圧縮され、その反発力が荷重として両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂに付与されると共に、ロードセル１７によってこの荷重が検出されることから、ロードセル１７の検出荷重が設定値になるまでアダプタ１０Ｃ内の移動機構の作動を継続させれば、両フォームローラ１３Ａ，１３ＢがシリンダボアＢの内周面Ｂａに所定荷重で圧接することとなり、これにより微細凹部の深さも決まる。
【００２８】
この際、微細凹部加工装置１では、ローラ支持部材１２によって互いに直径が異なる一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを同軸上に並列配置すると共に、ローラ支持部材１２が揺動軸１１により揺動自在に保持してあるので、シリンダボアＢの内周面Ｂａに対してローラ軸１９が傾斜した状態になると共に、同内周面Ｂａに対して両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂの凸部Ｐが常に所定の傾斜角で圧接されることとなる。
【００２９】
また、微細凹部加工装置１では、揺動軸１１が一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂの中間に位置していると共に、両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂの中間に位置するローラ支持部材１２に対して圧縮コイルばね１６による荷重を付与しているので、両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂに圧縮コイルばね１６による荷重がほぼ均一に付与される。
【００３０】
次に、上記のように荷重の設定値を検出して、アダプタ１０Ｃ内の移動機構の作動を停止した後、主軸３により工具ホルダ１０を回転駆動すると、シリンダボアＢの内周面Ｂａに斜めに圧接している両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂが連れ回りし、これらのフォームローラ１３Ａ，１３Ｂの転動によってシリンダボアＢの内周面Ｂａに微細凹部が形成される。そして、主軸（回転駆動手段）３の回転と主軸ヘッド（軸方向駆動手段）２の下降とを同期させることにより、シリンダボアＢの内周面Ｂａの広い領域に微細凹部を形成することができる。
【００３１】
このとき、微細凹部加工装置１では、両フォームローラ１３Ａ，１３ＢをシリンダボアＢの中心線Ｌ１に沿う方向に一定速度で直線移動させるだけで、内周面Ｂａに対して螺旋状に連続して微細凹部を形成することができる。このように螺旋状に連続形成する方が当然のことながら高効率である。
【００３２】
このように、上記の微細凹部加工装置１では、フォームローラ１３Ａ，１３Ｂを用いた機械加工を行うことから、シリンダボアＢの内周面Ｂａに高精度な微細凹部を高効率で形成することができ、使い捨てのマスキングシートを用いてショットブラスト行う従来の微細凹部加工に比べて、生産性の向上や製造コストの低減を実現することができる。
【００３３】
そして、直径が異なる一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを採用したことから、シリンダボアＢの内周面Ｂａに対して両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂの凸部Ｐが斜めに圧接されると共に、その傾斜角が常に一定に維持されることとなり、内周面Ｂａに斜めに切り込んだ微細凹部を形成することができ、しかも、一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂで二箇所同時に微細凹部の形成を行うので、加工時間を大幅に短縮することができる。
【００３４】
ここで、内周面Ｂａに形成する微細凹部は、相手部材（ピストン）との摺動接触において、例えば相手部材が一定条件で往復摺動する場合には、図５（ｂ）に示すように、内周面Ｂａに対して垂直に切り込んだ微細凹部Ｑでも充分な油の保持機能を有するのであるが、相手部材の往動と復動の条件が異なる場合や、相手部材との接触位置等によっては、図５（ａ）に示すように、内周面Ｂａに対して切り込みや底部を傾斜させた微細凹部Ｑとすることで、より一層適切な油の保持機能が得られる。
【００３５】
つまり、上記の微細凹部加工装置１によれば、直径が異なる一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを採用したことで、上記のように、相手部材との摺動接触状況に応じた適切な油の保持機能を発揮する微細凹部Ｑを形成することができる。したがって、形成しようとする微細凹部Ｑの形状に対応して、両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂの直径や互いの距離などを予め設定しておけば良い。
【００３６】
また、微細凹部加工装置１は、移動機構を内蔵したアダプタ１０Ｃ、すなわち内周面Ｂａに対して両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂが近接離間する方向に相対的に移動させる径方向駆動手段を備えているので、内周面Ｂａに対する両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂの圧接力を容易に変更して、異なる深さの微細凹部を形成することができ、加工中に微細凹部の深さを部分的に変化させることもできる。
【００３７】
さらに、微細凹部加工装置１は、荷重付与手段として圧縮コイルばね１６を採用しているので、装置構造を簡略化することができると共に、簡単な構造でありながら両フォームローラ１３Ａ，１３Ｂに充分な荷重を付与することができる。なお、荷重付与手段としては、ばねのほかにアクチュエータを用いることができ、この場合には、アクチュエータ自体で荷重の増減を行うことが可能になる。
【００３８】
そしてさらに、微細凹部加工装置１は、荷重検出手段としてロードセル１７を採用したことにより、簡単な構造で付与荷重を正確に検出することができると共に、その検出信号を用いて例えば径方向駆動手段（アダプタ１０Ｃ）をフィードバック制御することで、形成される微細凹部が常に一定の深さとなるように荷重を制御することができ、また、微細凹部の深さが部分的に変化するように荷重を制御することも可能である。
【００３９】
上記の微細凹部加工装置１を用いて微細凹部の加工が施されたシリンダブロックＣＢは、シリンダボアＢの内周面Ｂａに高精度の微細凹部Ｑが規則的に形成されたものとなり、ピストンとの摺動接触において微細凹部が油だまりとして有効に機能し、エンジンの性能向上に貢献し得るものとなる。
【００４０】
図６は、ローラ支持部材の他の実施例を説明する図である。図示のローラ支持部材３２は、概略円筒状を成す部材であって、その外部に、揺動軸１１に装着する連結部３３を有している。この実施例では、揺動軸１１は、スプラインシャフト１５の先端に設けた連結部材３４に設けてある。
【００４１】
また、ローラ支持部材３２は、その内部に、二つの軸受３５，３５を並べて収容すると共に、軸受３５，３５の両側を位置決め固定する固定用部材３６，３７を備え、両軸受３５，３５により、一本のローラ軸３９の中間を回転自在に保持している。そして、ローラ軸３９の両端部近傍に、直径の異なる一対のフォームローラ１３Ａ，１３Ｂが夫々固定してある。このようなローラ支持部材３２を用いた場合においても、先の実施例と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００４２】
図７は、フォームローラ１３Ａ，１３Ｂに設けた凸部の他の形状を説明する図である。図７（ａ）に示す凸部Ｐ１は、先の実施例と同様にフォームローラ１３Ａ，１３Ｂの外周部に沿って一定間隔で設けてあると共に、その先端面が、内周面Ｂａの中心線に対するローラ軸（１９）の傾斜角に対応して傾斜している。このような凸部Ｐ１を有するフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを用いて微細凹部の加工を行うと、図７（ｃ）に示すように、斜めに切り込まれ且つ底面が内周面Ｂａと平行な微細凹部Ｑ１を形成することができる。
【００４３】
図７（ｂ）に示す凸部Ｐ２は、同じくフォームローラ１３Ａ，１３Ｂの外周部に沿って一定間隔で設けてあると共に、その先端面が球面状（又は曲面状）を成している。このような凸部Ｐ２を有するフォームローラ１３Ａ，１３Ｂを用いて微細凹部の加工を行うと、図７（ｄ）に示すように、斜めに切り込まれ且つ底面が球面状（又は曲面状）の微細凹部Ｑ２を形成することができる。
【００４４】
なお、本発明に係わる微細凹部加工装置は、その構成が上記各実施例に限定されるものではなく、構成の細部を適宜変更することができる。例えば、上記各実施例では、回転駆動手段（主軸３）、軸方向駆動手段（主軸ヘッド２）、及び径方向駆動手段（アダプタ１０Ｃ）として、被加工物（シリンダブロックＣＢ）及び工具ホルダ１０のいずれか一方を駆動する場合を例示したが、他方を駆動したり被加工物と工具ホルダの両方を駆動したりして、被加工物と工具ホルダを相対的に移動させることが可能である。
【００４５】
また、上記実施例では、フォームローラの外周部に凹部形成用の凸部を一定間隔で設け、ディンプル状の微細凹部を形成する場合を説明したが、凸部を鍔状にして、連続する溝状の微細凹部を形成することもできる。
【００４６】
さらに、上記実施例では、シリンダブロックＣＢを被加工物とし、その円周面すなわちシリンダボアＢの内周面に微細凹部を形成する場合を説明したが、円柱部を有する被加工物を対象とし、その円周面すなわち円柱部の外周面に微細凹部を形成することも可能であり、具体的には、カムシャフト、ピストン、クランクシャフト及びバランサシャフト（サイレントシャフト）などを挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の微細凹部加工装置の一実施例を説明する断面図である。
【図２】微細凹部加工装置の全体を説明する斜視図である。
【図３】ローラ支持部材及びフォームローラを説明する断面図である。
【図４】フォームローラの外周部の拡大図である。
【図５】凸部を斜めに圧接させて微細凹部を形成した場合を示す断面図（ａ）、及び凸部を垂直に圧接させて微細凹部を形成した場合を示す断面図（ｂ）である。
【図６】ローラ支持部材の他の例を説明する断面図である。
【図７】凸部の他の形状例を示す各々拡大図（ａ）（ｂ）及びこれらの凸部により形成した微細凹部を示す各々断面図（ｃ）（ｄ）である。
【符号の説明】
【００４８】
Ｂ                シリンダボア
Ｂａ              シリンダボアの内周面（円周面）
ＣＢ              シリンダブロック（被加工物）
Ｐ  Ｐ１  Ｐ２    凹部形成用の凸部
Ｑ  Ｑ１  Ｑ２    微細凹部
１                微細凹部加工装置
２                主軸ヘッド（軸方向駆動手段）
３                主軸（回転駆動手段）
１０              工具ホルダ（ホルダ）
１０Ｃ            アダプタ（径方向駆動手段）
１１              揺動軸
１２              ローラ支持部材
１３Ａ  １３Ｂ    フォームローラ
１６              圧縮コイルばね（荷重付与手段）
１７              ロードセル（荷重検出手段）
１９              ローラ軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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