(57)【要約】【課題】  電極部への負荷を低減する圧電素子の配線構造、この配線構造を有する圧電アクチュエータ及び電子機器を提供する。【解決手段】  正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５を、高弾性率を有する第１〜第３絶縁層２７〜２９及び第１〜第３導電層３１〜３３から形成した。これにより、正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５を形成したことによる第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化及び屈折効率の低下を軽減させることができる。導電性ペーストはレーザ等の熱光源にて局所的に加熱することで、硬化できるので、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の分極性能に影響を及ぼすことなく第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４及び第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４に接着することができる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子上に形成された複数の同極の電極部の間に、絶縁樹脂よりなる弾性を有した絶縁層を形成するとともに、絶縁層の上に導電性ペーストを硬化または焼結してなる弾性を有した導電層を形成して、前記電極部の間を導電層にて接続したことを特徴とする圧電素子の配線構造。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電素子の配線構造において、
前記複数の同極の電極部の少なくとも一つの電極部は、外部装置からのリード線と導電性ペーストを硬化または焼結してなる弾性を有した接着剤にて接続したことを特徴とする圧電素子の配線構造。
【請求項３】
圧電素子上に形成された各極に、それぞれ複数の同極の電極部を有し、各極の電極部に、駆動電圧を印加することにより前記圧電素子を振動させる圧電アクチュエータにおいて、
各極に、複数の同極の電極部の間に対して、絶縁樹脂よりなる弾性を有した絶縁層を形成するとともに、絶縁層の上に導電性ペーストを硬化または焼結してなる弾性を有した導電層を形成して、前記電極部の間を導電層にて接続したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記絶縁層及び前記導電層は、前記圧電素子の伸縮量の少ない伸縮減衰部又は同伸縮減衰部の付近に設けたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記複数の同極の電極部の少なくとも一つの電極部は、外部装置からのリード線と導電性ペーストを硬化または焼結してなる弾性を有した接着剤にて接続したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれか１つに記載の圧電アクチュエータにおいて、
伸縮板の表裏に前記圧電素子をそれぞれ設け、両圧電素子に、前記複数の同極の電極部を形成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項３〜６のいずれか１つに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子の表面の四隅に前記電極部を設け、対角線上の前記電極部同士を同極の電極部としたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記伸縮板に、前記圧電素子の伸張方向に突出する当接部を設けたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項９】
請求項８に記載の前記圧電アクチュエータの前記当接部を、略円柱状に形成された被対象物に当接可能に位置決めする位置決め手段と、
前記圧電素子を駆動させる駆動電圧を生成する駆動電圧生成手段と、
前記位置決め手段及び前記駆動電圧生成手段を制御し、前記被対象物を回転運動させる制御手段とを備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子に駆動電圧を供給する圧電素子の配線構造、この配線構造を有する圧電アクチュエータ及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電素子に駆動電圧を供給するための配線構造が種々提案されている。一般に、このような配線構造では、ベース上に形成された配線パターンに導線を介して圧電素子の電極部を接合し、導線及び配線パターンを介して駆動電源から駆動電圧を供給するようになっていた（例えば、特許文献１）。
【０００３】
特許文献１に記載の配線構造では、圧電素子の電極部と導線をハンダにて接続している。そして、導線自身を絶縁樹脂により圧電素子に接合し、導線自身が圧電素子の振動に共振することを抑制し圧電素子の振幅低下を抑制していた。
【特許文献１】特開２００３−３４０３７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の配線構造を、ピエゾ素子等の高周波数にて伸縮する圧電素子に駆動電圧を供給するものに採用した場合、振動によって導線自身にかかる負荷は絶縁樹脂にて軽減できるが、ハンダによる導線と電極部との接合箇所への負荷は軽減し難い。このため、電極部から導線が剥離し断線する可能性があり、さらに電極部に剥離したことによる負荷がかかるおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記した問題を解決するものであって、電極部への負荷を低減する圧電素子の配線構造、この配線構造を有する圧電アクチュエータ及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の圧電素子の配線構造は、圧電素子上に形成された複数の同極の電極部の間に、絶縁樹脂よりなる弾性を有した絶縁層を形成するとともに、絶縁層の上に導電性ペーストを硬化または焼結してなる弾性を有した導電層を形成して、前記電極部の間を導電層にて接続した。
【０００７】
本発明の圧電素子の配線構造によれば、導電性ペーストに銀等を採用した場合、レーザ等の光源にて局所的に加熱することで、圧電素子の分極性能に影響を及ぼすことなく、その硬化や焼結を行うことができる。つまり、硬化や焼結の際に圧電素子の振動特性を劣化させることがない。また、弾性を有する導電性ペーストを採用したことで、絶縁層及び導電層による圧電素子の振動特性の劣化及び屈折効率の低下を防止することができる。また、導電性ペーストを採用したことで導電層の厚みを容易に薄く形成することができる。ここで、測定された導電層の抵抗値が目標値よりも高い場合には、導電性ペーストを、抵抗値を下げるために追加塗布することもできる。また、万一、導電層が電極部から剥離した場合であっても、剥離による各電極部への負荷を軽減することができ、さらに容易に再接続することができる。
【０００８】
この圧電素子の配線構造では、前記複数の同極の電極部の少なくとも一つの電極部は、外部装置からのリード線と導電性ペーストを硬化または焼結してなる弾性を有した接着剤にて接続した。
【０００９】
この圧電素子の配線構造によれば、リード線を接続したことによる圧電素子の振動特性の劣化を軽減させることができる。さらに、リード線が電極部から剥離した場合であっても、剥離による負荷を低減できるとともに容易に再接続することができる。
【００１０】
本発明の圧電アクチュエータは、圧電素子上に形成された各極に、それぞれ複数の同極の電極部を有し、各極の電極部に、駆動電圧を印加することにより前記圧電素子を振動させる圧電アクチュエータにおいて、各極に、複数の同極の電極部の間に対して、絶縁樹脂よりなる弾性を有した絶縁層を形成するとともに、絶縁層の上に導電性ペーストを硬化または焼結してなる弾性を有した導電層を形成して、前記電極部の間を導電層にて接続した。
【００１１】
本発明の圧電アクチュエータによれば、導電性ペーストに銀等を採用した場合、レーザ等の光源にて局所的に加熱することで、圧電素子の分極性能に影響を及ぼすことなく、その硬化や焼結を行うことができ、圧電素子の振動特性を劣化させることがない。また、弾性を有する導電性ペーストを採用したことで、圧電素子の振動特性及び屈折効率確保することができる。また、導電性ペーストを採用したことで導電層の厚みを容易に薄く形成することができ圧電アクチュエータの小型化を実現できる。
【００１２】
この圧電アクチュエータの前記絶縁層及び前記導電層は、前記圧電素子の伸縮量の少ない伸縮減衰部又は同伸縮減衰部の付近に設けた。
この圧電アクチュエータによれば、絶縁層及び導電層を圧電素子の伸縮減衰部又はその付近に形成したことで、圧電素子の振動による導電層の金属疲労を低減することができる。これにより、導電層の断線又は剥離等を防止することができ圧電アクチュエータを長寿命とすることができる。
【００１３】
この圧電アクチュエータは、前記複数の同極の電極部の少なくとも一つの電極部は、外部装置からのリード線と導電性ペーストを硬化または焼結してなる弾性を有した接着剤にて接続した。
【００１４】
この圧電アクチュエータによれば、リード線を接続したことによる圧電素子の振動特性の劣化を軽減させることができる。さらに、リード線が電極部から剥離した場合であっても、剥離による負荷を低減できるとともに容易に再接続することができるので圧電アクチュエータのメンテナンス性を向上させることができる。
【００１５】
この圧電アクチュエータでは、伸縮板の表裏に前記圧電素子をそれぞれ設け、両圧電素子に、前記複数の同極の電極部を形成した。
この圧電アクチュエータによれば、伸縮板は表裏に設けた圧電素子の振動により伸縮することができる。そして、伸縮板を介して両圧電素子の同極の電極部を相対向させ同電位とした場合、両圧電素子は、その振動の同期をとることができる。従って伸縮板は、より安定した伸縮運動をすることができる。
【００１６】
この圧電アクチュエータでは、前記圧電素子の表面の四隅に前記電極部を設け、対角線上の前記電極部同士を同極の電極部とした。
この圧電アクチュエータによれば、導電層は、対角線上の電極部を最短距離にて接続することができる。つまり、導電層は短く形成することができるので、その抵抗値を低減することができる。
【００１７】
この圧電アクチュエータの前記伸縮板に、前記圧電素子の伸張方向に突出する当接部を設けた。
この圧電アクチュエータによれば、伸縮板の当接部は、圧電素子に伴う伸縮板の伸縮によって、例えば楕円軌道の運動をすることができる。そして、このように楕円軌道にて運動する当接部を、円柱状に形成された被対象物の側面に当接させた場合、トルクを発生させ被対象物を回転運動させることができる。
【００１８】
本発明の電子機器は、本発明の前記圧電アクチュエータの前記当接部を、略円柱状に形成された被対象物に当接可能に位置決めする位置決め手段と、前記圧電素子を駆動させる駆動電圧を生成する駆動電圧生成手段と、前記位置決め手段及び前記駆動電圧生成手段を制御し、前記被対象物を回転運動させる制御手段とを備えた。
【００１９】
本発明の電子機器によれば、圧電アクチュエータの当接部により被対象物を回転運動させることができる。また、圧電アクチュエータの導電層は、弾性を有する導電性ペーストにより形成されているため、圧電素子の振動による断線が抑制され長寿命とすることができる。また、万一、導電層が電極部から剥離した場合であっても、剥離による電極部への負荷を軽減することができ、さらに容易に再接合することができるので、電子機器のメンテナンス性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図５に従って説明する。
図１〜図３に示すように、電子機器としての駆動装置１は、圧電アクチュエータとしてのアクチュエータ部３と、位置決め手段、制御手段及び外部装置としての駆動制御部５を備えている。
【００２１】
アクチュエータ部３は、略長方形の平板状に形成された伸縮板７を備えている。伸縮板７はアルミニウムから構成され外力により若干伸縮するようになっている。伸縮板７の短辺側の面（前側面７ａ）には、その中心位置に略半円柱状の当接部９が突出形成されている。また伸縮板７の長辺側の面（右側面７ｂ）には、その中心位置から同伸縮板７を支持する支持軸１１が延設されている。支持軸１１は、その基端部１１ａが駆動制御部５の開口部５ａに挿入され、駆動制御部５内の図示しない支持機構に連結されている。駆動制御部５は、支持機構により支持軸１１を介して、伸縮板７を水平方向（前側面７ａから後側面７ｃ方向）に若干回動するように支持している。伸縮板７の上面７ｅ及び下面７ｆには、略長方形の平板状に形成された圧電素子としての第１及び第２ピエゾ素子１３，１５が接着材によって接着されている。
【００２２】
第１ピエゾ素子１３の上面１３ａの一方の対角線上の隅部には、第１及び第２正電極部Ａ１，Ａ２がそれぞれ設けられ、又、他方の対角線上の隅部には第１及び第２負電極部Ｂ１，Ｂ２がそれぞれ設けられている。第１及び第２正電極部Ａ１，Ａ２、第１及び第２負電極部Ｂ１，Ｂ２は、それぞれ略長方形の薄型平板状に形成された銅板であって、第１ピエゾ素子１３の四隅から同第１ピエゾ素子１３の中央部１７にかけて接着されている。第１ピエゾ素子１３の上面１３ａには、同上面１３ａにて第１正電極部Ａ１と第１負電極部Ｂ１、及び、第２正電極部Ａ２と第２負電極部Ｂ２をそれぞれ区画する、略長方形の薄型平板形状に形成された第１アース部１９が接着されている。
【００２３】
そして、図２に示すように、本実施形態の第１ピエゾ素子１３は、第１及び第２正電極部Ａ１，Ａ２に正電圧が印加されると、第１及び第２正電極部Ａ１，Ａ２と接着した箇所が第１ピエゾ素子１３の伸張方向としての長手方向に伸張するようになっている。また第１ピエゾ素子１３は、第１及び第２負電極部Ｂ１，Ｂ２に負電圧が印加されると、第１及び第２負電極部Ｂ１，Ｂ２と接着した箇所が第１ピエゾ素子１３の長手方向に収縮するようになっている。
【００２４】
また図３に示すように、第２ピエゾ素子１５の下面１５ａには、第１ピエゾ素子１３と同様に、第３及び第４正電極部Ａ３，Ａ４、第３及び第４負電極部Ｂ３，Ｂ４、第２アース部２０がそれぞれ設けられている。そして、第３正電極部Ａ３は、第２ピエゾ素子１５、伸縮板７及び第１ピエゾ素子１３を介して第１正電極部Ａ１と相対向している。また同様に、第４正電極部Ａ４は第２正電極部Ａ２と、第３負電極部Ｂ３は第１負電極部Ｂ１と、第４負電極部Ｂ４は第２負電極部Ｂ２と、第２アース部２０は第１アース部１９とそれぞれ相対向している。
【００２５】
これにより、第２ピエゾ素子１５は、第１ピエゾ素子１３と同様かつ同方向に伸縮することができるようになっている。ここで、第１ピエゾ素子１３の上面１３ａの中央部１７、及び、第２ピエゾ素子１５の下面１５ａの中央部２４は、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の伸縮の際に伸縮量の小さい伸縮減衰部となっている。
【００２６】
次にアクチュエータ部３の配線構造について図１〜図４に従って説明する。
図１及び図２に示すように、アクチュエータ部３は、正電極用配線部２１及び負電極用配線部２３と、アース用配線部２５を備えている。
【００２７】
正電極用配線部２１は、第１ピエゾ素子１３の上面１３ａの中央部１７を通って第２正電極部Ａ２と第１正電極部Ａ１の間、第１ピエゾ素子１３の左側面１３ｄ、伸縮板７の左側面７ｄ及び第２ピエゾ素子１５の左側面１５ｄを通って第１正電極部Ａ１と第３正電極部Ａ３の間にそれぞれ形成されている。さらに正電極用配線部２１は、第２ピエゾ素子１５の下面１５ａの中央部２４を通って第３正電極部Ａ３と第４正電極部Ａ４の間に形成されている。各正電極用配線部２１は、下層に絶縁樹脂にて積層形成された第１絶縁層２７と、第１絶縁層２７の上に積層形成された銀からなる第１導電層３１とから構成されている。そして正電極用配線部２１は、第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４上において、第１導電層３１が第１絶縁層２７から延出形成され、第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４に対して接合されている。これにより、第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４は、正電極用配線部２１（第１導電層３１）を介して同電位となる。また、第４正電極部Ａ４には、第１のリード線４１の先端が接着剤として高弾性率の導電性ペーストを硬化してなる接合部４４で接着され、その他端が駆動制御部５内に設けられた駆動電圧生成手段としての駆動回路３７に接続されている。
【００２８】
尚、この正電極用配線部２１の形成方法は、第２正電極部Ａ２と第１正電極部Ａ１の間、第１正電極部Ａ１と第３正電極部Ａ３の間、及び、第３正電極部Ａ３と第４正電極部Ａ４の間に、高弾性率の絶縁樹脂を塗布して硬化させて第１絶縁層２７を各面に対して接着形成する。第１絶縁層２７が形成した後、同第１絶縁層２７の上面に、銀を含有した高弾性率の導電性ペーストを塗布して熱光源にて局所的に加熱して硬化させて第１導電層３１を接着形成する。そして、第４正電極部Ａ４と第１のリード線４１の接続は、接着剤として高弾性率の導電性ペーストを使用し、第１導電層３１と同様に加熱して硬化させた接合部４４で、第４正電極部Ａ４と第１のリード線４１とを電気的に接続する。
【００２９】
従って、第１導電層３１及び第１絶縁層２７は、高弾性率を有しているため、正電極用配線部２１を形成したことによる第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化を軽減させることができる。しかも、各正電極用配線部２１は、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の伸縮の際に伸縮量の小さい伸縮減衰部（中央部１７，２４）に形成されているので、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化をより軽減させることができる。さらに、第４正電極部Ａ４と第１のリード線４１の接続も、高弾性率を有した導電性ペーストを硬化させた接合部４４で構成したので、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動により接合部４４が金属疲労して断線することがない。
【００３０】
一方、負電極用配線部２３は、第１ピエゾ素子１３の上面１３ａの中央部１７であって前記正電極用配線部２１の上面を通って第２負電極部Ｂ２と第１負電極部Ｂ１の間に形成されている。さらに負電極用配線部２３は、第１ピエゾ素子１３の左側面１３ｄ、伸縮板７の左側面７ｄ及び第２ピエゾ素子１５の左側面１５ｄを通って第１負電極部Ｂ１と第３負電極部Ｂ３の間、第２ピエゾ素子１５の下面１５ａの中央部２４であって前記正電極用配線部２１の上面を通って第３負電極部Ｂ３と第４負電極部Ｂ４の間に、それぞれ形成されている。各負電極用配線部２３は、下層に絶縁樹脂にて積層形成された第２絶縁層２８と、第２絶縁層２８の上に積層形成された銀からなる第２導電層３２とから構成されている。そして負電極用配線部２３は、第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４上において、第２導電層３２が第２絶縁層２８から延出形成され、第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４に対して接合されている。これにより、第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４は、負電極用配線部２３（第２導電層３２）を介して同電位となる。また第４負電極部Ｂ４には、第２のリード線４２の先端が高弾性率の導電性ペーストを硬化してなる接合部４４で接続され、その他端が駆動制御部５内に設けられた駆動電圧生成手段としての駆動回路３７に接続されている。
【００３１】
尚、この負電極用配線部２３の形成方法は、正電極用配線部２１を接着形成した後に行われ、正電極用配線部２１と同様に接着形成される。また、第４負電極部Ｂ４と第２のリード線４２の接続も、第４正電極部Ａ４と第１のリード線４１の接続と同じ方法で行われる。
【００３２】
従って、第２導電層３２及び第２絶縁層２８は、高弾性率を有しているため、負電極用配線部２３を形成したことによる第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化を軽減させることができる。しかも、各負電極用配線部２３は、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の伸縮の際に伸縮量の小さい伸縮減衰部（中央部１７，２４）に形成されているので、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化をより軽減させることができる。しかも、第４負電極部Ｂ４と第２のリード線４２の接続も、高弾性率を有した導電性ペーストを硬化させた接合部４４で構成したので、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動により接合部４４が金属疲労して断線することがない。
【００３３】
また、アース用配線部２５は、第１ピエゾ素子１３の上面１３ａ、第１正電極部Ａ１、第１ピエゾ素子１３の左側面１３ｄ、伸縮板７の左側面７ｄ、第２ピエゾ素子１５の左側面１５ｄ、第３正電極部Ａ３及び第２ピエゾ素子１５の下面１５ａを通って、第１アース部１９と第２アース部２０の間に形成されている。アース用配線部２５は、下層に絶縁樹脂にて積層形成された第３絶縁層２９と、第３絶縁層２９の上に積層形成された銀からなる第３導電層３３とから構成されている。そしてアース用配線部２５は、第１及び第２アース部１９，２０上において、第３導電層３３が第３絶縁層２９から延出形成され、第１及び第２アース部１９，２０に対して接合されている。これにより、第１及び第２アース部１９，２０は、アース用配線部２５（第３導電層３３）を介して同電位となる。また、第２アース部２０には、第３のリード線４３が高弾性率の導電性ペーストを硬化してなる接合部４４で接続され、その他端が駆動制御部５内に設けられた駆動電圧生成手段としての駆動回路３７に接続されている。
【００３４】
尚、このアース用配線部２５の形成方法は、正電極用配線部２１と同時に行われ、その形成方法は正電極用配線部２１と同様に行われ接着形成される。また、第２アース部２０と第３のリード線４３の接続も、第４正電極部Ａ４と第１のリード線４１の接続と同じ方法で行われる。従って、第３導電層３３及び第３絶縁層２９は、高弾性率を有しているため、アース用配線部２５を形成したことによる第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化を軽減させることができる。しかも、アース用配線部２５は、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の伸縮の際に伸縮量の小さい伸縮減衰部（中央部１７，２４）付近に形成されているので、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化をより軽減さ
せることができる。しかも、第２アース部２０と第３のリード線４３の接続も、高弾性率を有した導電性ペーストを硬化させた接合部４４で構成したので、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動で、接合部４４が金属疲労して断線することがない。
【００３５】
次に、駆動制御部５の動作について図２〜図５に従って説明する。
図２及び図３に示すように、駆動制御部５は、駆動回路３７及び正電極用配線部２１を介して駆動電圧としての正電圧Ｖ１を第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４に印加するとともに、駆動回路３７及び負電極用配線部２３を介して駆動電圧としての負電圧Ｖ２を第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４に印加するようになっている。さらに、駆動制御部５は、駆動回路３７及びアース用配線部２５を介して第１及び第２アース部１９，２０を接地させている。そして、駆動制御部５は、正電圧Ｖ１及び負電圧Ｖ２を第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４と第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４にそれぞれ印加することで第１及び第２ピエゾ素子１３，１５を伸縮駆動させる。詳しくは、駆動制御部５は印加する正電圧Ｖ１及び負電圧Ｖ２の強度を調整し、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の伸縮の度合いを調整する。そして、図２に示すように駆動制御部５は、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の伸張を繰り返し実行することで、伸縮板７を伸縮させ振動させるようになっている。ここで図５に示すように、伸縮板７は振動することで、当接部９の先端部Ｐを楕円軌道Ｒにて運動させるようになっている。
【００３６】
次に、上述した駆動装置１の動作について図５に従って説明する。
駆動装置１は、円柱状に形成され軸線方向に回転可能な被対象物としての回転体５０を回転運動させるようになっている。図５に示すように、駆動装置１は、円柱状に形成され軸線方向に回転可能な回転体５０に対して、駆動制御部５の支持機構により、伸縮板７の当接部９の先端部Ｐを回転体５０の側面５０ａに当接可能に位置決めする。そして、駆動装置１は位置決めの完了後に、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５に正電圧Ｖ１及び負電圧Ｖ２を印加することで、先端部Ｐを楕円軌道Ｒにて運動させ回転体５０の側面５０ａに当接させる。これにより、駆動装置１は、回転体５０にトルクを発生させ矢印５１方向に回転運動させる。
【００３７】
以上、上記した本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）本実施形態では、正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５を、高弾性率を有する第１〜第３絶縁層２７〜２９及び第１〜第３導電層３１〜３３から形成した。これにより、正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５を形成したことによる第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化及び屈折効率の低下を軽減させることができる。さらに、第１〜第３導電層３１〜３３を構成する導電性ペーストはレーザ等の熱光源にて局所的に加熱することで、硬化できるので、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の分極性能に影響を及ぼすことなく第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４及び第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４に接着することができる。換言すると、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化を防止することができる。また、万一、第１〜第３導電層３１〜３３が正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５から剥離した場合であっても、剥離による負荷を低減することができる。
【００３８】
（２）本実施形態では、第４正電極部Ａ４、第４負電極部Ｂ４及び第２アース部２０に、第１〜第３のリード線４１〜４３を、高弾性率の導電性ペーストを硬化してなる接合部４４にて接続した。これにより、第１〜第３のリード線４１〜４３を接続したことによる第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性の劣化を軽減させることができる。さらに、第１〜第３のリード線４１〜４３が第４正電極部Ａ４、第４負電極部Ｂ４及び第２アース部２０から剥離した場合であっても、剥離による負荷を低減できるとともに容易に再接続することができる。これにより、アクチュエータ部３のメンテナンス性を向上させることができる。
【００３９】
（３）本実施形態では、正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５を、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の伸縮減衰部（中央部１７，２４）とその付近に形成した。これにより、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動による正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５の金属疲労を低減し、断線又は剥離等を防止することができアクチュエータ部３を長寿命とすることができる。
【００４０】
（４）本実施形態では、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４と第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４をそれぞれ同電位とした。これにより、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５は、その伸縮の同期をとることができる。従って伸縮板７は、より安定した伸縮運動をできるので、当接部９の先端部Ｐの楕円軌道Ｒをより正確に確保することができる。
【００４１】
（５）本実施形態では、正電極用配線部２１と負電極用配線部２３を第１ピエゾ素子１３の中央部１７、第２ピエゾ素子１５の中央部２４にてそれぞれ交差するようにした。これにより、正電極用配線部２１及び負電極用配線部２３は、対局する第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４及び第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４をそれぞれ最短距離にて接続することができる。つまり、正電極用配線部２１と負電極用配線部２３は短く形成することができるので、それぞれの抵抗値を低減することができる。さらに、正電極用配線部２１と負電極用配線部２３を中央部１７，２４にて交差させたことで、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の伸縮による負荷を低減でき断線又は剥離を抑制することができる。これにより、アクチュエータ部３をより長寿命とすることができる。
【００４２】
（６）本実施形態では、正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５を第１及び第２ピエゾ素子１３，１５上に積層形成した。これにより、アクチュエータ部３の厚みを容易に薄くでき小型化を実現するとともに、接合の際の作業効率を向上させることができる。ここで、正電極用配線部２１、負電極用配線部２３及びアース用配線部２５の第１〜第３導電層３１〜３３の抵抗値が目標値よりも高い場合には、導電性ペーストを追加塗布することで、その抵抗値を低減することもできる。
【００４３】
尚、発明の実施の形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、第１〜第３導電層３１〜３３を構成する高弾性率の導電性ペーストを、レーザ等の熱光源の加熱により硬化し形成されるものを採用したが、焼結により形成されるものを採用してもよい。
【００４４】
・上記実施形態では、伸縮板７をアルミニウム、第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４と第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４及び第１〜第３導電層３１〜３３を銀から構成したが、適宜変更してもよい。
【００４５】
・上記実施形態では、正電極用配線部２１と負電極用配線部２３を中央部１７，２４にて交差させたが、中央部１７，２４の付近にて交差させてもよい。
・上記実施形態では、正電極用配線部２１と負電極用配線部２３を、第１〜第４正電極部Ａ１〜Ａ４と第１〜第４負電極部Ｂ１〜Ｂ４に中央部１７，２４の付近にて接合したが、中央部１７，２４にて接合してもよい。このとき、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５の振動特性を確保できるように、構成を適宜変更してもよい。
【００４６】
・上記実施形態では、伸縮板７の上面７ｅ及び下面７ｆに第１及び第２ピエゾ素子１３，１５をそれぞれ設けたが、第１及び第２ピエゾ素子１３，１５のいずれか一方のみを設けてもよい。
【００４７】
・上記実施形態では、圧電素子を第１及び第２ピエゾ素子１３，１５に具体化したが、回転体５０を回転運動させることができれば、他の圧電素子を採用してもよい。
・上記実施形態では、被対象物を円柱状に形成された回転体５０に具体化したが、例えば球体に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態の駆動装置の構成を説明する斜視図。
【図２】同駆動装置の構成を説明する上面図。
【図３】同駆動装置の構成を説明する下面図。
【図４】図２におけるＣ−Ｃ線方向の断面図。
【図５】同駆動装置の動作を説明する上面図。
【符号の説明】
【００４９】
１…電子機器としての駆動装置、３…圧電アクチュエータとしてのアクチュエータ部、５…位置決め手段、制御手段及び外部装置としての駆動制御部、７…伸縮板、９…当接部、１３，１５…圧電素子としての第１及び第２ピエゾ素子、１７，２４…伸縮減衰部としての中央部、２７〜２９…第１〜第３絶縁層、３１〜３３…第１〜第３導電層、３７…駆動電圧生成手段としての駆動回路、４１〜４３…第１〜第３のリード線、４４…接着剤としての接合部、５０…被対象物としての回転体、Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４…電極部としての第１〜第４正電極部及び第１〜第４負電極部、Ｖ１，Ｖ２…駆動電圧としての正電圧及び負電圧。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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