(57)【要約】【課題】  液体を電極間で移動させて表示を行なう表示装置の製造方法において、表示面をフラットとすることができ、液体の注入量の制御も容易にする。【解決手段】  まず、裏面側（透明）板３と中間層形成体１１とをその間に介在された熱硬化性樹脂からなる平面格子状の裏面側側壁１７を介して貼り合わせ、裏面側空間２２を形成する。次に、裏面側空間２２内に中間層形成体１１の液体移動用孔１５を介して液体２３を圧力差により注入する。次に、中間層形成体１１と表面側透明板２とをその間に介在された熱硬化性樹脂からなる平面格子状の表面側側壁１６を介して貼り合わせ、表面側空間２１を形成する。そして、この表示装置では、液体２３が裏面側空間２２内にある状態（表面側空間２１内は空気で満たされている）と表面側空間２１内にある状態（裏面側空間２２内は空気で満たされている）とで表示状態が切り換えられる。【選択図】  図１
2006184340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素単位に区切られた複数の空間を形成する空間形成体と、前記空間形成体の各１画素に対応する空間内の一部に充填され、電場による力の作用にしたがって移動する液体とを備えた表示装置の製造方法であって、第１の板状体とこれに対向して配置された第２の板状体とを、その間に介在された未硬化状態の樹脂を硬化させて平面格子状の側壁を形成することにより、該側壁を介して貼り合わせ、前記第１、第２の板状体と前記側壁とによって囲まれた空間により、前記空間形成体の１画素に対応する空間の少なくとも一部を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の表示装置の製造方法において、
第１の板状体とこれに対向して配置された第２の板状体とを、その間に介在された未硬化状態の樹脂を硬化させて平面格子状の第１の側壁を形成することにより、該第１の側壁を介して貼り合わせ、前記第１、第２の板状体と前記第１の側壁とによって囲まれた第１の空間により、前記空間形成体の１画素に対応する空間の一部である一方の空間を形成する工程と、
前記第１の空間内に前記第２の板状体に形成された液体移動用孔を介して液体を注入する工程と、
前記第２の板状体とこれに対向して配置された第３の板状体とを、その間に介在された未硬化状態の樹脂を硬化させて平面格子状の第２の側壁を形成することにより、該第２の側壁を介して貼り合わせ、前記第２、第３の板状体と前記第２の側壁とによって囲まれた第２の空間により、前記空間形成体の１画素に対応する空間の他部である他方の空間を形成する工程と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の表示装置の製造方法において、前記第１、第２の側壁は熱硬化性樹脂または紫外線硬化型樹脂によって形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項４】
画素単位に区切られた複数の空間を形成する空間形成体と、前記空間形成体の各１画素に対応する空間内の一部に充填され、電場による力の作用にしたがって移動する液体とを備えた表示装置の製造方法であって、
第１の板状体とこれに対向して配置された第２の板状体とを、その間に介在された平面格子状の第１の側壁を介して貼り合わせ、前記第１、第２の板状体と前記第１の側壁とによって囲まれた第１の空間により、前記空間形成体の１画素に対応する空間の一部である一方の空間を形成する工程と、
前記第１の空間内に前記第２の板状体に形成された液体移動用孔を介して液体を前記空間形成体の内外での圧力差を利用して注入する工程と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の表示装置の製造方法において、
さらに、前記第２の板状体とこれに対向して配置された第３の板状体とを、その間に介在された平面格子状の第２の側壁を介して貼り合わせ、前記第２、第３の板状体と前記第２の側壁とによって囲まれた第２の空間により、前記空間形成体の１画素に対応する空間の他部である他方の空間を形成する工程
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液体を電極間で移動させて表示を行なう表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を電極間で移動させて表示を行なう従来の表示装置には、１画素を構成する直方体状の容器内に着色液体（誘電体）および気泡を封入し、容器の一方側の外面に互いに対向して設けられた一対の第１の電極に電圧が印加されると、静電力により、着色液体を容器内の一方側に移動させるとともに、気泡を容器内の他方側に移動させ、容器の他方側の外面に互いに対向して設けられた一対の第２の電極に電圧が印加されると、静電力により、着色液体を容器内の他方側に移動させるとともに、気泡を容器内の一方側に移動させ、容器の一方側のみを視認可能な画素とすることにより、表示を行なうようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２５４９６２号公報
【０００４】
ところで、上記従来の表示装置では、１画素を構成する直方体状の容器の他方側上面に別の１画素を構成する直方体状の容器の一方側を重ね合わせ、これの繰り返しにより、複数の容器を階段状に重ね合わせ、この階段状に重ね合わせたものを複数並列し、これによりマトリクス表示を行うようにしている。また、容器を製造する方法としては、一例として、２枚のフィルムをその間に網状の側壁形成用部材を介して熱圧着して貼り合わせ、切断することにより、一側面が開口する複数の容器形成用の短冊状容器を形成し、短冊状容器のその側面を液体皿内の液体中に浸漬し、毛細管現象により、液体皿内の液体を短冊状容器の複数の容器内の各ほぼ半分（容器内に気泡を形成するため）に注入し、短冊状容器のその側面を熱によって封止している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の表示装置では、複数の直方体状の容器を階段状に重ね合わせ、この階段状に重ね合わせたものを複数並列し、これによりマトリクス表示を行うようにしているので、表示面が凸凹となり、視認性が良いとは言えないという問題がある。
【０００６】
そこで、この発明は、表示面をフラットとすることができる表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１に記載の表示装置の製造方法は、上記目的を達成するため、画素単位に区切られた複数の空間を形成する空間形成体と、前記空間形成体の各１画素に対応する空間内の一部に充填され、電場による力の作用にしたがって移動する液体とを備えた表示装置の製造方法であって、第１の板状体とこれに対向して配置された第２の板状体とを、その間に介在された未硬化状態の樹脂を硬化させて平面格子状の側壁を形成することにより、該側壁を介して貼り合わせ、前記第１、第２の板状体と前記側壁とによって囲まれた空間により、前記空間形成体の１画素に対応する空間の少なくとも一部を形成することを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の請求項４に記載の表示装置の製造方法は、画素単位に区切られた複数の空間を形成する空間形成体と、前記空間形成体の各１画素に対応する空間内の一部に充填され、電場による力の作用にしたがって移動する液体とを備えた表示装置の製造方法であって、第１の板状体とこれに対向して配置された第２の板状体とを、その間に介在された平面格子状の第１の側壁を介して貼り合わせ、前記第１、第２の板状体と前記第１の側壁とによって囲まれた第１の空間により、前記空間形成体の１画素に対応する空間の一部である一方の空間を形成する工程と、前記第１の空間内に前記第２の板状体に形成された液体移動用孔を介して液体を前記空間形成体の内外での圧力差を利用して注入する工程と、を含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、第１の板状体と第２の板状体とをその間に介在された平面格子状の側壁を介して貼り合わせ、且つ、第１、第２の板状体と側壁とによって囲まれた空間により、空間形成体内の１画素に対応する空間の少なくとも一部を形成することにより、表示面をフラットとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１はこの発明の後述する製造方法により製造された表示装置の一例で白色表示状態の一部を示す断面図である。この表示装置は、画素単位に区切られた複数の空間を形成する空間形成体１、空間形成体１の１画素に対応する空間を２つの空間２１、２２に区切る中間層形成体１１、２つの空間２１、２２のうちのいずれか一方の空間内に設けられた液体２３などを備えている。
【００１１】
空間形成体１は、ガラスや樹脂などの無色透明な材料からなる表面側透明板２および裏面側（透明）板３を備えている。表面側透明板２の内面にはＩＴＯなどからなる複数の第１の電極板４が各画素に対応して設けられ、その内面には酸化シリコンなどからなる絶縁膜５が設けられている。裏面側（透明）板３の内面にはＩＴＯなどからなる複数の第２の電極板６が各画素に対応して設けられ、その内面には酸化シリコンなどからなる絶縁膜７が設けられている。
【００１２】
中間層形成体１１は、ステンレス鋼や銅箔などからなる第３の電極板１２の表裏両面に表面側絶縁膜１３および裏面側絶縁膜１４が設けられ、各画素の中央部に対応する部分に液体移動用孔１５が設けられた構造となっている。この場合、表面側絶縁膜１３は、白色の樹脂によって形成されている。裏面側絶縁膜１４は、同様の樹脂によって形成してもよい。液体移動用孔１５の形状は、円形状、正方形状、長方形状などのいずれであってもよい。
【００１３】
そして、表面側透明板２下の絶縁膜５と中間層形成体１１上の表面側絶縁膜１３とは、例えばエポキシ系樹脂などの熱硬化性樹脂からなる平面格子状の表面側側壁１６を介して、互いに貼り合わされている。また、裏面側（透明）板３上の絶縁膜７と中間層形成体１１下の裏面側絶縁膜１４とは、同様に例えばエポキシ系樹脂などの熱硬化性樹脂からなる平面格子状の裏面側側壁１７を介して、互いに貼り合わされている。この状態では、第１〜第３の電極板４、６、１２は、互いに平行となるように配置されている。
【００１４】
つまり、空間形成体１は、主として、表面側透明板２、裏面側（透明）板３および両側壁１６、１７によって囲まれた空間によって画素単位に区切られた空間を形成する構造となっており、この空間形成体１の１画素に対応する空間は、表面側透明板２と裏面側（透明）板３との間に設けられた、液体移動用孔１５を有する中間層形成体１１によって２つの空間２１、２２に区切られている。
【００１５】
すなわち、表面側透明板２下の絶縁膜５、中間層形成体１１上の表面側絶縁膜１３および表面側側壁１６によって囲まれた空間によって表面側空間２１が形成され、裏面側（透明）板３上の絶縁膜７、中間層形成体１１下の裏面側絶縁膜１４および裏面側側壁１７によって囲まれた空間によって裏面側空間２２が形成され、両空間２１、２２は液体移動用孔１５を介して連通されている。
【００１６】
この場合、表面側空間２１の容積と裏面側空間２２の容積とはほぼ同じとなっている。そして、図１に示す後述する白色表示状態では、裏面側空間２２内および液体移動用孔１５内に黒色に着色した水などの液状誘電体からなる液体２３が満たされ、表面側空間２１内に空気が満たされている。なお、表面側空間２１と裏面側空間２２の平面形状は多少異なっていても、その容量がほぼ同じであればよい。
【００１７】
ここで、この表示装置の一部の寸法の一例について説明すると、１画素を構成する部分の平面形状が正方形でその一辺の長さは５００μｍ程度であり、表面側透明板２下の絶縁膜５と中間層形成体１１上の表面側絶縁膜１３との間隔および裏面側（透明）板３上の絶縁膜７と中間層形成体１１下の裏面側絶縁膜１４との間隔は数十〜数μｍ程度と、薄型化することができる。
【００１８】
次に、この表示装置の表示動作について簡単に説明する（詳細は後述する）。図１に示す状態において、第１〜第３の電極板４、６、１２に第１の条件で電圧が印加されると、電場による力により、裏面側空間２２内にある液体（誘電体）２３は液体移動用孔１５を介して表面側空間２１内に移動し、図２に示すように、表面側空間２１内および液体移動用孔１５内に液体２３が満たされ、裏面側空間２２内に空気が満たされる。
【００１９】
一方、図２に示す状態において、第１〜第３の電極板４、６、１２に第２の条件で電圧が印加されると、電場による力により、表面側空間２１内にある液体２３は液体移動用孔１５を介して裏面側空間２２内に移動し、図１に示すように、裏面側空間２２内および液体移動用孔１５内に液体２３が満たされ、表面側空間２１内に空気が満たされる。
【００２０】
そして、図１に示す状態では、表面側空間２１内に液体２３がないため、中間層形成体１１の白色の表面側絶縁膜１３が画素表面側から目視され、白色表示となる。この場合、表面側側壁１６は白色の材料によって形成してもよい。一方、図２に示す状態では、表面側空間２１内に例えば黒色の液体２３があるため、黒色表示となる。
【００２１】
次に、この表示装置における電場による力での表示動作について、詳細に説明する。誘電体である液体２３は、電場がかかると分極する。分極した液体２３にかかっている電場が一様でない（空間的に変化している）ところでは、液体２３はその分極の向きと電場成分の偏微分との関係に応じて電場から力を受ける。液体２３の各部分が受ける力の大きさと向きは、液体２３の各部分の分極を双極子モーメントで近似し、各双極子モーメントの成分とそれぞれの双極子の位置での電場成分の偏微分とから考察することができる。
【００２２】
双極子が受ける力Ｆは、双極子モーメントをＰ、電場をＥとしたとき、次の式（１）から求められる。ただし、Ｐ、Ｅ、Ｆはベクトル、▽はナブラである。
Ｆ＝（Ｐ・▽）Ｅ……（１）
【００２３】
この双極子が受ける力Ｆは、電場強度の２乗の勾配の大きいところで大きくなる。このため、表面側空間２１、裏面側空間２２、液体移動用孔１５内に適切な電場（電位の変化）を作り出すことで、後述する電場以外の手段による力にしたがった初期動作の後に、液体２３を表面側空間２１から裏面側空間２２へあるいは裏面側空間２２から表面側空間２１へと移動させる主たる動力が得られる。
【００２４】
図３は、上記表示装置において、第２の電極板６と第３の電極板１２の電圧を０Ｖとし、第１の電極板４に例えば１０Ｖの正電圧を印加した場合の画素内空間の電位分布イメージを示す図である。この電位分布イメージ図は、画素内空間断面の各点での電位を３次元的に表現した図である。
【００２５】
画素内空間断面の各点での電位は上方向の高さで表され、３次元の図の底面を構成する辺のうち、図示手前側の長辺（横軸）が第２の電極板６に対応する位置であり、当該軸上での電位は０Ｖとなり、図示奥側にあるこれと平行な長辺（横軸）が第１の電極板４に対応する位置であり、当該軸上での電位は１０Ｖとなる。すなわち、この２つの長辺に直交する短辺に沿う方向に、奥側が表面側空間２１の電位、手前側が裏面側空間２２の電位、その半分あたりのところが中間層形成体１１の電位となる。
【００２６】
第１、第２の電極板４、６のそれぞれの軸方向の座標は図１の左右方向の座標に対応しており、軸方向の中央の座標は液体移動用孔１５の位置に対応している。表面側空間２１では、第１の電極板４の１０Ｖから第３の電極板１２の０Ｖ近くへと電位が急激に変化するが、液体移動用孔１５の位置に対応した中央付近の上層部分では、電位がそれよりも緩やかに変化し、下層部分でさらになだらかに変化して第２の電極板６で０Ｖとなる。そして、液体移動用孔１５の下方あたりを除く裏面側空間２２の電位はどこもほぼ０Ｖである。
【００２７】
図４は、図３で示した画素内空間の電位分布イメージに対応する電場分布イメージを示す図である。電場については、電位の傾きから求めることができる。図４に示す３次元の電場分布イメージ図では、上方向の高さが電場の強さ（大きさ・絶対値）を表すもので、第１の電極板４側の表面側空間２１の電場は非常に強いが、第２の電極板６側の裏面側空間２２の電場は非常に弱いことが分かる。
【００２８】
表面側空間２１において、第１の電極板４と第３の電極板１２との電位差による電場が支配的であるが、液体移動用孔１５に対応する部分には第３の電極板１２がないために、第１の電極板４と第２の電極板６との電位差による電場の作用が生じている。このため、表面側空間２１に対応する電場同士を比べると、液体移動用孔１５の上あたりの電場はそれ以外の電場よりも弱い。液体移動用孔１５の上下方向に対応した電場については、表面側空間２１、液体移動用孔１５内、裏面側空間２２と下に行くほど電場は弱くなる。
【００２９】
裏面側空間２２において、第３の電極板１２と第２の電極板６との電位差による電場が支配的であるが、液体移動用孔１５に対応する部分では第１の電極板４と第２の電極板６との電位差による電場の作用が生じている。このため、液体移動用孔１５の下から外側に行くほど電場は弱くなり、液体移動用孔１５から十分離れた中間層形成体１１の下では電場はほとんどない。
【００３０】
すなわち、図１に示すように、液体２３がすべて裏面側空間２２内にあるときに、第２の電極板６と第３の電極板１２とを０Ｖにして第１の電極板４に１０Ｖの正電圧を印加すると（第１の条件）、図４で示した電場分布イメージからも分かるように、液体移動用孔１５から離れたところの液体２３はほとんど分極しないが、液体移動用孔１５内と液体移動用孔１５の下とその周辺の液体２３が分極する。この液体２３における分極の大雑把な方向は、図３で示した電位分布イメージから推測可能である。
【００３１】
この際、液体移動用孔１５内の液体２３と裏面側空間２２内の液体移動用孔１５の下方の液体２３にはほぼ上向きの力が加わって表面側空間２１に移動しようとする。また、この液体２３の移動に追随するように、裏面側空間２２の液体２３で液体移動用孔１５の下方より外側の液体２３には概ね液体移動用孔１５の下方へと向かう力が加わる。これにより、液体移動用孔１５内にある液体２３は表面側空間２１へと上がり、また液体移動用孔１５の下方にある液体２３は液体移動用孔１５へと上がり、さらに液体移動用孔１５の下方の外側にある液体２３は液体移動用孔１５の下方へと集まって行く。
【００３２】
そして、液体移動用孔１５から表面側空間２１に上がって来た液体２３は、同じ原理による力を受けて、その一部はさらに上へ、一部は液体移動用孔１５の上から離れて表面側空間２１の端へと入って行く。この際、表面側空間２１に入って来た液体２３は、そこの強い電場により強く分極はするが、当該電場は端のあたりを除いてほぼ一様なので、特には力を受けない。しかし、液体移動用孔１５を介して後から次々と表面側空間２１に入って来る液体２３に押される形で表面側空間２１の端の方へと移動して行く。
【００３３】
一方、裏面側空間２２内の大部分の液体２３については、裏面側空間２２の電場はほぼ０なので力をほとんど受けない。しかし、液体２３には表面張力により表面積を小さくしようとする力が働くので、裏面側空間２２内の液体２３も、液体移動用孔１５を通って表面側空間２１へと移動する液体２３に引っ張られて液体移動用孔１５の方向へと移動して行く。
【００３４】
このように、第２の電極板６と第３の電極板１２を０Ｖにして第１の電極板４に１０Ｖの正電圧を印加することにより得られる電場空間と液体２３の表面張力および後から押される力などの総合作用の結果、全体としての液体２３は、電場の弱い裏面側空間２２の領域から電場の強い表面側空間２１の領域へと移動して行く。
【００３５】
一方、図２に示すように、液体２３がすべて表面側空間２１にあるときに、これをすべて裏面側空間２２へと移動させる場合には、第１の電極板４と第３の電極板１２を０Ｖとし、第２の電極板６に例えば１０Ｖの正電圧を印加すると（第２の条件）、上記同様の原理により、表面側空間２１内の液体２３は液体移動用孔１５を通って裏面側空間２２へと移動する。
【００３６】
そして、この表示装置では、液体２３を表面側空間２１または裏面側空間２２に一旦移動させてしまうと、その状態を維持するのに各電極板４、６、１２間に電圧をかける必要はない。すなわち、例えば、各電極板４、６、１２に対する印加電圧をすべて０Ｖにした場合には、表示画素空間内のすべての点で電位は０Ｖであり電場が無いので、液体２３は電場から全く力を受けることはないが、次のような力が寄与して表面側空間２１または裏面側空間２２に移動し終えた液体２３はその場所に留まる。
【００３７】
通常、液体２３には表面張力により一つになって丸まろうとする性質があるが、この表示画素空間内の液体２３の体積はとても小さいのでその影響は大きい。表面側空間２１または裏面側空間２２へと移動し終えて一つにまとまった液体２３が、液体移動用孔１５を通って再び他方の空間へと入り込むには、この表面張力によって一つになって丸まろうとする性質の力に逆らわなければならない。すなわち、液体２３の表面張力は、当該液体２３が現在の空間内に留まろうとする力として寄与する。
【００３８】
また、液体移動用孔１５の面積は小さいので、液体移動用孔１５を通過する際に液体２３は通過摩擦などによる抵抗力を受け、この通過摩擦などによる抵抗力も液体２３が現在の空間内に留まろうとする力として寄与する。さらに、液体２３が接している面との付着力も、当該液体２３が現在の空間内に留まろうとする力として寄与する。
【００３９】
このように、中間層形成体１１の液体移動用孔１５を介して上下分離した表面側空間２１と裏面側空間２２とのそれぞれにおける液体２３の表面張力や静止力として働く付着力の寄与により、通常の重力や振動などによる外力が加わった場合でも、液体２３が他の空間へ勝手に移動してしまうのを阻止することができる。したがって、この表示装置によれば、表示内容を変えない限りは電力を加える必要はなく、非常に低消費電力で、高コントラスト、且つ広い視野角の見やすい表示装置を実現することができる。
【００４０】
ところで、図１および図２に示す表示装置では、両側壁１６、１７が平面格子状であるため、複数の画素はマトリクス状に配置されている。この場合、両側壁１６、１７は、空間形成体１の空間を画素単位に区切るための隔壁となる。また、この例では、第３の電極板１２は、白色表示と黒色表示のいずれの場合も０Ｖの電圧が印加されるため、べた状の共通電極となっている。
【００４１】
第１、第２の電極板４、６は、０Ｖの電圧と例えば１０Ｖの正電圧とが選択的に印加されるため、例えばアクティブマトリクス型液晶表示装置の画素電極のように、各画素に対応して島状に分離されている。そして、薄膜トランジスタなどのスイッチング素子を用いて、第１、第２の電極板４、６に０Ｖの電圧と１０Ｖの正電圧を選択的に印加するようにしてもよい。
【００４２】
また、第１、第２の電極板４、６の大きさは、両側壁１６、１７によって囲まれた表示領域よりもやや広い面積として側壁１６、１７に食い込むような面積としてもよく、また表示領域にぴったりと当て嵌まる面積としてもよく、さらに表示領域よりもやや狭い面積としてもよい。また、表示領域（画素）の平面形状は、正方形に限らず、長方形などの他の形状であってもよい。
【００４３】
次に、図１に示す表示装置の製造方法の一例について説明する。まず、図５に示すように、ガラスや樹脂などの無色透明な材料からなる裏面側（透明）板３の上面に、スパッタ法などにより成膜されたＩＴＯ膜をフォトリソグラフィ法によりパターニングすることにより、複数の第２の電極板６を各画素に対応して形成する。次に、第２の電極板６を含む裏面側（透明）板３の上面に、スパッタ法やプラズマＣＶＤ法などにより、酸化シリコンなどからなる絶縁膜７を形成する。
【００４４】
次に、裏面側（透明）板３上の絶縁膜７の上面の所定の箇所に、エポキシ系樹脂などの熱硬化性樹脂からなる平面格子状の裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａを形成する。未硬化状態の裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａの形成方法としては、スクリーン印刷法、ディスペンサ法などが挙げられる。スクリーン印刷法の場合には、裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａの高さはほぼ一定とすることができる。ディスペンサ法の場合には、シリンジを用いて描画するため、何ら工夫しない場合には、平面格子状の裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａは交差点で盛り上がってしまう。
【００４５】
したがって、ディスペンサ法の場合には、平面格子状の裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａを交差点で盛り上がらないようにする必要がある。例えば、図示していないが、裏面側（透明）板３をＸＹ方向に微小移動可能なステージ上に載置し、定位置に配置されたシリンジの射出圧力を、形成すべき平面格子状の裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａの交差点付近で低下させ、当該交差点付近での樹脂塗布量を目的とする樹脂塗布量のほぼ半分とし、２回の描画で目的とする樹脂塗布量とするようにしてもよい。
【００４６】
また、上下方向に移動可能としたシリンジを、形成すべき平面格子状の裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａの交差点付近ですばやく一定の高さだけ上昇させ、シリンジから射出された樹脂を引き伸ばし、当該交差点付近での樹脂塗布量を目的とする樹脂塗布量のほぼ半分とし、２回の描画で目的とする樹脂塗布量とするようにしてもよい。この場合、上昇させたシリンジをすばやく下降させると、樹脂塗布量が部分的に多くなるので、次の交差点までの間に徐々に下降させるようにする。
【００４７】
次に、図示していないが、裏面側（透明）板３上の絶縁膜７の上面において画素領域にかからない周囲の部分に、裏面側側壁１７の高さが一定となるようにするため、予め設定された厚さの角棒状スペーサを載置する。そして、図６に示すように、裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａの上面に、液体移動用孔１５を有する中間層形成体１１の裏面側絶縁膜１４を位置合わせして配置する。ここで、中間層形成体１１は、ステンレス鋼や銅箔などからなる第３の電極板１２の表裏両面に白色の樹脂からなる表面側絶縁膜１３および裏面側絶縁膜１４が形成され、各画素の中央部に対応する部分に液体移動用孔１５がパンチングなどにより形成された構造となっている。
【００４８】
次に、図６に示す状態において、加熱処理を行うと、裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａが硬化する。これにより、中間層形成体１１下の裏面側絶縁膜１４と裏面側（透明）板３上の絶縁膜７とは裏面側側壁１７を介して互いに貼り合わされ、裏面側空間２２が形成される。この場合、中間層形成体１１の自重のみによって加圧するようにしてもよく、また中間層形成体１１上に平板状の加圧板を載置して加圧するようにしてもよい。
【００４９】
加熱処理としては、ステンレス鋼や銅箔などからなる第３の電極板１２の一端部をクリップ形状の発熱部材で挟み、第３の電極板１２を加熱して裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａを加熱するようにしてもよい。また、第３の電極板１２に電流を流し、あるいは交流磁界を加えることにより、第３の電極板１２を発熱させて裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａを加熱するようにしてもよい。さらに、上記加圧板を用いる場合には、この加圧板を加熱するか発熱させるようにしてもよい。そして、裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａの硬化後に上記角棒状スペーサを取り除く。
【００５０】
次に、図６に示すものの上下を反転したもの（以下、上下反転体３１という）を、図７に示すように、真空チャンバ（図示せず）内に配置された液体皿３２上に位置させる。この場合、液体皿３２内には、黒色に着色した水などの液体２３が溜められている。次に、真空チャンバ内を真空吸引して、裏面側空間２２内の空気を液体移動用孔１５から排気し、裏面側空間２２内を予め設定された真空状態とする。
【００５１】
次に、図８に示すように、上下反転体３１を下降させ、複数の液体移動用孔１５の部分を液体皿３２内の液体２３中に浸漬し、この状態で真空チャンバ内を大気圧に戻す。これにより、図９に示すように、上下反転体３１の内部（裏面側空間２２）と外部との圧力差を利用した注入法により、液体皿３２内の液体２３が各液体移動用孔１５を介して各裏面側空間２２内に一括して注入される。この場合、液体移動用孔１５は液体注入口として機能する。液体２３の注入が終了したら、上下反転体３１を液体皿３１から引き上げ、真空チャンバ内から取り出す。
【００５２】
次に、図１０に示すように、図５に示す場合と同様に、表面側透明板２の上面に複数の第１の電極板４が形成され、その上面に絶縁膜５が形成され、その上面にエポキシ系樹脂などの熱硬化性樹脂からなる平面格子状の表面側側壁１６となる未硬化状態の樹脂１６ａが形成されたものを用意する。
【００５３】
次に、図示していないが、表面側透明板２上の絶縁膜５の上面において画素領域にかからない周囲の部分に、表面側側壁１６の高さが一定となるようにするため、予め設定された厚さの角棒状スペーサを載置する。次に、図１１に示すように、表面側側壁１６となる未硬化状態の樹脂１６ａの上面に上下反転体３１の中間層形成体１１の表面側絶縁膜１３を位置合わせして配置する。
【００５４】
次に、図１１に示す状態において、上記と同様な加熱処理を行うと、表面側側壁１６となる未硬化状態の樹脂１６ａが硬化する。これにより、中間層形成体１１下の表面側絶縁膜１３と表面側透明板２上の絶縁膜５とは表面側側壁１６を介して互いに貼り合わされ、表面側空間２１が形成される。この場合も、上下反転体３１の自重のみによって加圧するようにしてもよく、また上下反転体３１上に平板状の加圧板を載置して加圧するようにしてもよい。そして、表面側側壁１６となる未硬化状態の樹脂１６ａの硬化後に上記角棒状スペーサを取り除く。そして、図１１に示すものの上下を反転すると、図１に示す表示装置が得られる。
【００５５】
このようにして得られた表示装置では、裏面側（透明）板（第１の板状体）３と中間層形成体（第２の板状体）１１とをその間に介在された平面格子状の裏面側側壁（第１の側壁）１７を介して貼り合わせ、裏面側（透明）板３、中間層形成体１１および裏面側側壁１７によって囲まれた裏面側空間２２を形成し、中間層形成体１１と表面側透明板（第３の板状体）２とをその間に介在された平面格子状の表面側側壁（第２の側壁）１７を介して貼り合わせ、中間層形成体１１、表面側透明板２および表面側側壁１６によって囲まれた表面側空間２１を形成しているので、表面側透明板２の外面からなる表示面をフラットとすることができ、視認性を良くすることができる。
【００５６】
ところで、上記従来の表示装置では、液体皿内の液体を短冊状容器のそれぞれの容器内のほぼ半分だけ（容器内に気泡を形成するため）に毛細管現象により注入しなければならないが、その注入量の制御が極めて困難である。また、短冊状容器がマトリクス表示の１行または１列を形成するとしても、マトリクス表示のための複数の短冊状容器に対してそれぞれ液体の注入を行わなければならず、また短冊状容器の注入したそれぞれの側面を熱によって封止しなければならず、作業性が悪い。
【００５７】
これに対し、この実施形態の製造方法では、図７〜図９に示すように、圧力差を利用した注入法により、液体移動用孔１５を介して液体皿３２内の液体２３を裏面側空間２２内に満杯となるように注入しているので、その注入量の制御を行う必要はなく、液体注入を極めて容易に行うことができる。また、各液体移動用孔１５を介して液体皿３２内の液体２３を各裏面側空間２２内に一括して注入でき、また液体注入口として機能した液体移動用孔１５を封止する必要がないので、作業性を良くすることができる。
【００５８】
なお、両側壁１６、１７の材料としては、例えばエポキシ系樹脂などからなる紫外線硬化型樹脂を用いてもよい。その場合は、図６に示すような状態では、裏面側透明板３の下面側から紫外線を照射すればよい。また、図１１に示すような状態では、表面側透明板２の下面側から紫外線を照射すればよい。
【００５９】
また、図９に示す工程後に、上下反転体３１の上下を反転して、図１２に示すように、中間層形成体１１を上側とし、この中間層形成体１１の表面側絶縁膜１３の上面に表面側側壁１６となる未硬化状態の樹脂１６ａを形成し、その上に表面側透明板２下の絶縁膜５を位置合わせして配置し、この状態で表面側側壁１６となる未硬化状態の樹脂１６ａを硬化させるようにしてもよい。この場合、表面側側壁１６となる未硬化状態の樹脂１６ａの材料として紫外線硬化型樹脂を用いた場合には、表面側透明板２の上面側から紫外線を照射すればよい。
【００６０】
また、図１に示す表示装置は、上下方向に対称な構造であるので、図５に示す当初の工程において、表面側透明板２上の絶縁膜５上に表面側側壁１６を形成し、図７〜図９に示す工程において、表面側空間２１内に液体２３を注入し、図１０に示す工程において、裏面側（透明）板３上の絶縁膜７上に裏面側側壁１７を形成するようにしてもよい。すなわち、当初の工程の対象は、表面側透明板２および裏面側（透明）板３のいずれであってもよい。そして、当初の工程を表面側空間２１内に液体２３を注入する工程にした場合、中間層形成体１１の裏面側絶縁膜１４上に裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａを形成し、その上に裏面側（透明）板３下の絶縁膜７を位置合わせして配置し、この状態で裏面側側壁１７となる未硬化状態の樹脂１７ａを硬化させるようにしてもよい。そして、これを上下反転すると、図１に示す表示装置で表面側空間２１内に液体２３がある状態のものが得られる。
また、上記実施形態では、樹脂１６ａまたは樹脂１７ａの硬化後に角棒状スペーサを取り除くとしたが、取り除かずにスペーサを構造体の一部とするようにしてもよい。
【００６１】
また、上記実施形態において、液体２３の色は黒色以外の青色、赤色などであってもよい。また、上記実施形態において、液体移動用孔１５を設ける位置は中間層形成体１１の中央部でなくてもよく、また液体移動用孔１５は複数であってもよい。液体移動用孔１５を複数とする場合には、液体移動用孔１５の大きさや形状は同じであってもよく、異なっていてもよい。
【００６２】
また、上記実施形態において、強い衝撃などが加わっても表示が乱れないようにするには、表示内容が変更されないときでも電圧をかけるようにすればよいが、その場合には低消費電力化を図るため、表示内容を変更するときよりも弱い電圧をかける構成としてもよく、あるいは、表示内容が変更されないときには、間歇的に電圧をかけて、乱されたかもしれない表示を一定時間ごとに復元する構成としてもよい。
【００６３】
また、上記実施形態では、各電極板４、６、１２に直流電圧をかける場合について説明したが、交流電圧をかけるようにしてもよい。例えば、液体２３を表面側空間２１へ移動させる場合、第１の電極板４には第３の電極板１２と逆相で、第２の電極板６には第３の電極板１２と同相で、３つの電極板４、６、１２に対して１０Ｖと０Ｖを一定周期で切り換えてかけるようにしてもよい。なお、電極板の数は３つに限定されるものではなく、誘電体である液体２３を表面側空間２１と裏面側空間２２との間で電場の強さの違いにより移動させるものであれば、それ以上の電極板数あるいはそれ以下の電極板数であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】この発明の製造方法により製造された表示装置の一例で白色表示状態の一部    を示す断面図。
【図２】図１に示す表示装置の黒色表示状態の断面図。
【図３】図１および図２に示す表示装置のある条件での画素内空間の電位分布イメー    ジを示す図。
【図４】図３で示した画素内空間の電位分布イメージに対応する電場分布イメージを    示す図。
【図５】図１に示す表示装置の製造方法の一例において、当初の工程の断面図。
【図６】図５に続く工程の断面図。
【図７】図６に続く工程の断面図。
【図８】図７に続く工程の断面図。
【図９】図８に続く工程の断面図。
【図１０】図９に続く工程の断面図。
【図１１】図１０に続く工程の断面図。
【図１２】この発明の製造方法の他の例での所定の工程の断面図。
【符号の説明】
【００６５】
１  空間形成体
２  表面側透明板
３  裏面側（透明）板
４  第１の電極板
５  絶縁膜
６  第２の電極板
７  絶縁膜
１１  中間層形成体
１２  第３の電極板
１３  表面側絶縁膜
１４  裏面側絶縁膜
１５  液体移動用孔
１６  表面側側壁
１６ａ  表面側側壁となる未硬化状態の樹脂
１７  裏面側側壁
１７ａ  裏面側側壁となる未硬化状態の樹脂
２１  表面側空間
２２  裏面側空間
２３  液体
３１  図６の上下反転体
３２  液体皿
【図１】
2006184340.tif 000003
【図２】
2006184340.tif 000004
【図３】
2006184340.tif 000005
【図４】
2006184340.tif 000006
【図５】
2006184340.tif 000007
【図６】
2006184340.tif 000008
【図７】
2006184340.tif 000009
【図８】
2006184340.tif 000010
【図９】
2006184340.tif 000011
【図１０】
2006184340.tif 000012
【図１１】
2006184340.tif 000013
【図１２】
2006184340.tif 000014