(57)【要約】【課題】  寸法安定性に優れた支持体であって、特に磁気記録媒体とした際に環境変化による寸法変化が少なく、また、カッピング量を制御することでヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた高密度磁気記録媒体とすることができる支持体を提供することにある。【解決手段】ポリエステルフィルムの両方の表面Ａ，Ｂ上に金属類又は金属系無機化合物を含む層（Ｍａ、Ｍｂ層）が形成され、そのＭａ層、Ｍｂ層の厚みをそれぞれＭａ、Ｍｂとしたとき、Ｍａ＞Ｍｂであり、かつ厚みの比（Ｍａ／Ｍｂ）が１．１〜１０であることを特徴とする磁気記録媒体用支持体とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリエステルフィルムの一方の表面Ａ上に金属類または金属系無機化合物を含む層（Ｍａ層）が設けられ、他方の表面Ｂ上に金属類または金属系無機化合物を含む層（Ｍｂ層）が設けられ、これらＭａ層、Ｍｂ層の厚みをそれぞれＭａ、Ｍｂとしたとき、Ｍａ＞Ｍｂであり、かつ厚みの比（Ｍａ／Ｍｂ）の値が１．１〜１０である磁気記録媒体用支持体。
【請求項２】
Ｍａ層、Ｍｂ層の厚みがそれぞれ１〜１００ｎｍである、請求項１に記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項３】
表面Ａの側に磁性層が設けられる、請求項１または２に記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項４】
表面Ａの中心線平均粗さＲａが０．５〜１０ｎｍである、請求項１〜３のいずれかに記載の記録媒体用支持体。
【請求項５】
Ｍａ層、Ｍｂ層がともに磁性金属を含まない、請求項１〜４のいずれかに記載の記録媒体用支持体。
【請求項６】
Ｍａ層とＭｂ層とがともに金属酸化物を含み、Ｍａ層とＭｂ層の酸素濃度が異なる、請求項１〜５のいずれかに記載の磁気記録媒体用支持体。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれかに記載の磁気記録媒体用支持体の少なくとも片面に磁性層を塗布してなる磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気テープなどの磁気記録媒体に用いられる支持体と、該支持体を用いてなる磁性層を有する磁気記録媒体とに関する。
【背景技術】
【０００２】
二軸延伸ポリエステルフィルムはその優れた熱特性、寸法安定性、機械特性および表面形態の制御のし易さから各種用途に使用されており、特に磁気記録媒体用などの支持体としての有用性がよく知られている。近年、磁気テープは機材の軽量化、小型化、長時間記録化のため高密度化が要求されている。高密度記録化のためには、記録波長を短くし、記録トラックを小型化することが有用である。しかしながら、記録トラックを小型化すると、磁気テープの走行時における熱やテープ保存時の熱変形により、記録トラックのずれが起こりやすくなるという問題点がある。したがって、テープ使用環境での熱寸法安定性および保存安定性といった特性の改善に対する要求がますます強まっている。この観点から、支持体には、強度、寸法安定性の点から剛性の高い芳香族ポリアミドが用いられることがあった。しかしながら芳香族ポリアミドは高価格でコストがかかり、汎用記録媒体の支持体としては現実的ではない。
【０００３】
一方、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレートなどを用いたポリエステルフィルムは、そのままでは剛性が低いため、延伸技術を用いて高強度化した磁気記録媒体用支持体が開発されている。しかしながら、温度や湿度に対する寸法安定性などの厳しい要求を満足することはいまだ困難である。
【０００４】
また、磁気テープに加工した場合に、磁性層、ベースフィルム、バックコート層の物理的特性の違いによる要因で幅方向における湾曲（カッピング）が生じることが知られている。カッピングが大きすぎると磁気ヘッドに対する当たりが不安定になったり、走行安定性が悪化してしまったりと問題となる。このため、カッピングを防ぐために熱処理によりカッピングを改善する方法（特許文献１）、カッピング防止機能層を設ける方法（特許文献２）などが開示されている
しかしながら、これらの方法ではカッピングを改善することはできるが温度や湿度に対する寸法安定性を向上することはできず、高密度磁気記録媒体用支持体として使用することができない。
【０００５】
逆に、温度や湿度に対する寸法安定性を向上するためにポリエステルフィルムの片面または両面に金属などの補強層を設ける方法（特許文献３）が開示されている。しかしながら、金属とポリエステルフィルムの温湿度に対する膨張量の違いにより大きくカッピングしてしまい、ヘッド当たりが悪化してしまう問題がある。
【特許文献１】特開２００１−１８４６３５号公報
【特許文献２】特開２００３−１５１１２２号公報
【特許文献３】特開２００２−２３７０２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、上記の問題を解決し、寸法安定性に優れた支持体であって、特に磁気記録媒体とした際に環境変化による寸法変化が少なく、また、カッピング量を制御することでヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた高密度磁気記録媒体とすることができる支持体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは上記課題について鋭意検討した結果、ポリエステルフィルムの両方の表面にある範囲内の厚み比で金属類又は金属系無機化合物を含む層を設けることで、両面の圧縮応力や温度膨張量の違いからカッピング量が制御でき、特に高密度磁気記録テープ用ベースフィルムとして好適な磁気記録媒体用支持体となることを見いだし、本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち、上記課題を達成するための本発明は、ポリエステルフィルムの一方の表面Ａ上に金属類または金属系無機化合物を含む層（Ｍａ層）が設けられ、他方の表面Ｂ上に金属類または金属系無機化合物を含む層（Ｍｂ層）が設けられ、これらＭａ層、Ｍｂ層の厚みをそれぞれＭａ、Ｍｂとしたとき、Ｍａ＞Ｍｂであり、かつ厚みの比（Ｍａ／Ｍｂ）の値が１．１〜１０である磁気記録媒体用支持体を特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の磁気記録媒体用支持体は、寸法安定性に優れた支持体であって、特に磁気記録媒体とした際に環境変化による寸法変化が少なく、また、カッピング量を制御することでヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた高密度磁気記録媒体を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の磁気記録媒体用支持体はポリエステルフィルムの両方の表面Ａ、Ｂ上に金属類または金属系無機化合物を含む層（それぞれＭａ層、Ｍｂ層）が形成されている。ここで、金属類とは、いわゆる単体金属、半金属、合金、金属間化合物を表し、具体的には、例えば単体金属ではＭｇ、Ｃａ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｂ、半金属ではＣ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｂ、Ｔｅなどが挙げられ、これらの金属の数種を混ぜ合わせて合金や金属間化合物としてもよい。また、金属系無機化合物としては、例えば、上記金属類の酸化物や窒化物、炭化物、ホウ化物、硫化物、塩化物などを用いることができる。具体的には、例えば、ＣｕＯ、ＺｎＯ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｆｅ２Ｏ３、Ｆｅ３Ｏ４、Ａｇ２Ｏ、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、ＳｎＯ２、ＺｒＯ２、ＩｎＯ３、ＭｏＯ３などの酸化物、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＧａＮ、ＴａＮ、ＡｌＮなどの窒化物、ＴｉＣ、ＷＣ、ＳｉＣ、ＮｂＣ、ＺｒＣ、Ｆｅ３Ｃなどの炭化物などが挙げられる。また、上記の金属系無機化合物はそれぞれ単独で用いてもよく、もちろん複数種を混合して用いても構わない。Ｍ層（Ｍａ層、Ｍｂ層の総称）を構成する金属材料は磁気記録媒体とした際に読み取りや書き込みに影響を与えるため磁性金属を含まないことが好ましい。ここでいう磁性金属はＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉを表す。強度、生産性、環境性の観点からアルミニウム元素を含んでいることが好ましく、特にアルミニウム元素が主成分となっていることが好ましい。また、さらに好ましくはアルミニウムの単体金属かアルミナを用いることが好ましい。
【００１１】
また、Ｍａ層とＭｂ層とがともに金属酸化物（ここでいう金属酸化物とは酸素濃度５原子％以上の金属と酸素の化合物をいう）を含んでいることが好ましい。また、Ｍａ層とＭｂ層とがともに金属酸化物から構成されていてもよい。Ｍａ層とＭｂ層の酸素濃度はそれぞれ異なっていることが好ましい。より好ましくは、Ｍａ層の酸素濃度がＭｂ層よりも高いことが好ましい。さらに好ましくはＭａ層の酸素濃度がＭｂ層よりも１０〜２０原子％高いことが好ましい。これは酸素濃度によって蒸着膜の内部応力が変わるため、カッピング量の制御がしやすくなり、さらに蒸着厚みの自由度が広がるため、目的に合わせた蒸着厚みが設定可能となるからである。Ｍ層の好ましい酸素濃度は金属種によって異なるが、５〜７０原子％であることが好ましい。より好ましくは１０〜６０原子％である。これは、完全酸化物よりも靭性があり、削れにくいためである。酸素濃度を制御するために蒸着機内に酸素導入ノズルを設置し、蒸着中に酸素ガスを導入することが好ましい。
【００１２】
Ｍ層の形成方法としては物理蒸着法や化学蒸着法を用いることができる。ベースフィルムの物理蒸着法には真空蒸着法、スパッタリング法があり、真空蒸着法が一般的である。特にＭ層の膜厚を正確に制御するために電子ビーム蒸着が好ましい。また、蒸着順は蒸着膜の内部応力が小さくなるようにＭａ層から先にするのが本発明の効果を大きくするために重要である。
【００１３】
Ｍａ層とＭｂ層の厚みをそれぞれＭａ、Ｍｂとしたとき、その厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）は１．１〜１０であることが重要である（ただし、Ｍａ＞Ｍｂとする）。両面に同じ厚み（Ｍａ／Ｍｂ＝１）のＭ層を設けても磁気テープにした際に磁性層、ベースフィルム、バックコート層の物理的特性の違いからＡ面に凸となるカッピングを防ぐことができずヘッドタッチ性が悪化してしまう。そこで金属の湾曲に対する保持力が厚みによって強くなる特性を利用し、異なる厚みのＭａ層、Ｍｂ層を設けてカッピング量を制御する必要がある。しかし、Ｍａ／Ｍｂが１．１未満では厚みの差が小さすぎで効果が小さくヘッドタッチ性の改善にはなりにくい。逆にＭａ／Ｍｂが１０より大きい場合、蒸着による金属膜の内部応力の影響でＢ面に凸のカッピングとなるためヘッドタッチ性や走行耐久性が悪化してしまう。また、金属材料によって保持力や蒸着膜の内部応力が変わるため、保持力の強い材料や蒸着膜の内部応力が大きい金属材料をＭ層に用いる場合はＭａ層、Ｍｂ層の厚みを薄くする方が好ましい。逆にポリエステルフィルムが厚い場合はＭａ層、Ｍｂ層の厚みを厚くする方が好ましい。Ｍａ／Ｍｂは金属材料にもよるがより好ましくは１．２５〜８、さらに好ましくは１．５〜５である。
【００１４】
Ｍ層の厚みは１〜１００ｎｍであることが好ましい。１ｎｍより小さい場合、補強効果が小さく寸法安定性が低下する傾向にある。また、１００ｎｍより大きい場合はクラックや粒界ができやすく寸法安定性が悪化しやすい。また走行を繰り返すことで剥離や脱落が発生し易く、結果として寸法安定性が悪化する傾向にある。Ｍ層の厚みは、より好ましくは１０〜８０ｎｍ、さらに好ましくは２０〜７０ｎｍである。この範囲にすることでＭ層の結晶粒径を細かくすることができ、補強効果が大きくなるため好ましい。
【００１５】
本発明の磁気記録媒体用支持体は、少なくとも一方の表面の中心線平均粗さＲａが０．５ｎｍ〜１０ｎｍであることが好ましい。Ｒａが０．５ｎｍより小さい場合は、フィルム製造、加工工程などで、搬送ロールなどとの摩擦係数が大きくなり、工程トラブルを起こすことがあり、磁気テープとして用いる場合に、磁気ヘッドとの摩擦が大きくなり、磁気テープ特性が低下しやすい。また、Ｒａが１０ｎｍより大きい場合は、高密度記録の磁気テープとして用いる場合に、磁性面側が粗くなり、電磁変換特性が低下することがある。より好ましくは２〜９ｎｍ、さらに好ましくは３〜８ｎｍである。支持体の表面のＲａは金属材料の種類やＭ層の形成方法、膜厚を変更することで制御できる。
【００１６】
本発明の磁気記録媒体用支持体において、上記表面のもう一方の表面の中心線平均粗さＲａは３〜３０ｎｍであることが好ましい。Ｒａが３ｎｍより小さい場合は、フィルム製造、加工工程などで、搬送ロールなどとの摩擦係数が大きくなり、工程トラブルを起こすことがあり、磁気テープとして用いる場合に、ガイドロールとの摩擦が大きくなり、テープ走行性が低下することがある。また、Ｒａが３０ｎｍより大きい場合は、フィルムロールやパンケーキとして保存する際に、表面突起が反対側の表面に転写し、電磁変換特性が低下する傾向がある。より好ましくは５〜２０ｎｍ、さらに好ましくは７〜１５ｎｍである。
【００１７】
Ｍ層の金属材料の結晶粒径は５０ｎｍ以下であることが好ましい。結晶粒のないアモルファス状態が補強効果の観点からもっとも好ましく、結晶粒径が小さいほど補強効果が大きく好ましい。５０ｎｍより大きいの場合は水蒸気の遮蔽性が悪化し、寸法安定性が悪くなることがある。結晶粒径は、より好ましくは４０ｎｍ以下、さらに好ましくは３０ｎｍ以下である。なお、結晶粒径はＭ層の組成や形成方法、Ｍ層の厚みにより制御することができる。
【００１８】
本発明の磁気記録媒体用支持体は、カッピング量が−０．２〜１．０ｍｍであることが好ましい。−０．２ｍｍより小さい場合、磁気記録媒体とした時にＢ面が凸のカッピングになってしまい、ヘッド当たりや走行性が悪化してしまう。１．０ｍｍより大きい場合はＡ面が凸に過剰にカッピングしてしまい、ヘッド当たりや走行性が悪化してしまう。より好ましくは−０．１〜０．５ｍｍ、さらに好ましくは０〜０．３ｍｍである。支持体のカッピング量はＭ層の金属材料の種類や厚み比によって制御できる。
【００１９】
本発明の磁気記録媒体用支持体は、幅方向の温度膨張係数が−１０〜３０ｐｐｍ／℃であることが好ましい。温度膨張係数が上記範囲内であることは、磁気記録媒体への加工工程や磁気記録媒体の高温度条件での寸法安定性の観点から好ましい。より好ましくは０〜２０ｐｐｍ／℃、さらに好ましくは５〜１０ｐｐｍ／℃である。支持体の温度膨張係数はポリエステルフィルムの温度膨張係数でほとんど決まるが、Ｍ層の金属材料の種類や厚みによっても制御できる。
【００２０】
本発明の磁気記録媒体用支持体は、幅方向の湿度膨張係数が−２〜８ｐｐｍ／％ＲＨであることが好ましい。湿度膨張係数が上記範囲内であることは、磁気記録媒体への加工工程や磁気記録媒体の記録再生時の高湿条件での寸法安定性の観点から好ましい。より好ましくは−１〜７ｐｐｍ／％ＲＨ、さらに好ましくは０〜６ｐｐｍ／％ＲＨである。支持体の湿度膨張係数はＭ層の厚みや結晶粒径などで制御することができる。
【００２１】
本発明の磁気記録媒体用支持体は、長手方向のヤング率が５〜１０ＧＰａであることが好ましい。５ＧＰａより小さい場合、テープドライブ内での長手方向への張力によって長手方向に伸び、この伸び変形により幅方向に収縮し、記録トラックずれという問題が発生しやすい。１０ＧＰａより大きい場合、テープ破断が起こり易く、また幅方向のヤング率が不足し、エッジダメージの原因となる。支持体の長手方向のヤング率はポリエステルフィルムの長手方向のヤング率でほとんど決まるが、Ｍ層の金属材料の種類や厚みによっても制御できる。
【００２２】
なお、本発明において、支持体の長手方向とはポリエステルフィルムの長手方向と同じ方向を指し、支持体の幅方向とはポリエステルフィルムの幅方向と同じ方向を指す。
【００２３】
本発明の磁気記録媒体用支持体に用いるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、例えば、芳香族ジカルボン酸、脂環族ジカルボン酸または脂肪族ジカルボン酸などの酸成分やジオール成分を構成単位（重合単位）とするポリマーである。
【００２４】
芳香族ジカルボン酸成分としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、４，４’−ジフェニルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルエーテルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルスルホンジカルボン酸等を用いることができ、なかでも好ましくは、テレフタル酸、フタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸を用いることができる。脂環族ジカルボン酸成分としては、例えば、シクロヘキサンジカルボン酸等を用いることができる。脂肪族ジカルボン酸成分としては、例えば、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸等を用いることができる。これらの酸成分は一種のみを用いてもよく、二種以上を併用してもよい。
【００２５】
また、ジオール成分としては、例えば、エチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，２−シクロヘキサンジメタノール、１，３−シクロヘキサンジメタノール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、２，２’−ビス（４’−β−ヒドロキシエトキシフェニル）プロパン等を用いることができ、なかでも好ましくは、エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール等を用いることができ、特に好ましくは、エチレングリコール等を用いることができる。これらのジオール成分は一種のみを用いてもよく、二種以上を併用してもよい。
【００２６】
また、ポリエステルには、ラウリルアルコール、イソシアン酸フェニル等の単官能化合物が共重合されていてもよいし、トリメリット酸、ピロメリット酸、グリセロール、ペンタエリスリトール、２，４−ジオキシ安息香酸、等の３官能化合物などが、過度に分枝や架橋をせずポリマーが実質的に線状である範囲内で共重合されていてもよい。さらに酸成分、ジオール成分以外に、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、２，６−ヒドロキシナフトエ酸などの芳香族ヒドロキシカルボン酸およびｐ−アミノフェノール、ｐ−アミノ安息香酸などを本発明の効果が損なわれない程度の少量であればさらに共重合せしめることができる。
【００２７】
本発明の支持体に用いるポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましい。またこれらの共重合体、および変性体でもよい。
【００２８】
本発明の支持体に用いるポリエステルとしては、強度、耐熱性、生産性の観点からポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましい。また、これらの共重合体、および変性体でもよく、他の熱可塑性樹脂とのポリマーアロイでも良い。特に、ポリエステル樹脂とポリイミド系樹脂のポリマーアロイは混合割合によって耐熱性（ガラス転移温度）を制御できるため、使用条件に合わせたポリマー設計ができるため好ましい。
【００２９】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムは２層以上の積層構成であることが好ましい。特に、磁気記録媒体用途に用いるため、表裏の表面には、優れた電磁変換特性を得るための平滑な表面と、製膜・加工工程での搬送や、磁気テープの走行性や走行耐久性を付与するために比較的粗い表面という異なる粗さの表面形態が求められる。この意味でも、フィルムは２層以上の積層構成であることが好ましい。
【００３０】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムはフィルム表面に易滑性や耐摩耗性、耐スクラッチ性などを付与するために特に限定されないが無機粒子、有機粒子、例えば、クレー、マイカ、酸化チタン、炭酸カルシウム、カリオン、タルク、湿式シリカ、乾式シリカ、コロイド状シリカ、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、アルミナ、ジルコニア等の無機粒子、アクリル酸類、スチレン系樹脂、熱硬化樹脂、シリコーン、イミド等を構成成分とする有機粒子、ポリエステル重合反応時に添加する触媒等によって析出する粒子（いわゆる内部粒子）などが添加されてもよい。
【００３１】
本発明の支持体は、本発明を阻害しない範囲内で各種添加剤、例えば、相溶化剤、可塑剤、耐候剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑剤、帯電防止剤、増白剤、着色剤、導電剤、結晶核剤、紫外線吸収剤、難燃剤、難燃助剤、顔料、染料、などが添加されてもよい。
【００３２】
本発明の支持体は必要に応じて、熱処理、マイクロ波加熱、成形、表面処理、ラミネート、コーティング、印刷、エンボス加工、エッチング、などの任意の加工を行ってもよい。
【００３３】
本発明の支持体の厚みは、用途に応じて適宜決定できるが、通常磁気記録媒体用途では３〜１５μｍが好ましい。中でも、高密度磁気記録媒体用途の場合、３〜９μｍが好ましく、より好ましくは４〜８μｍである。厚みが３μｍより小さい場合は、テープに腰がなくなるため、電磁変換特性が低下することがあり、９μｍより大きい場合は、テープ１巻あたりのテープ長さが短くなるため、磁気テープの小型化、高容量化が困難になる場合がある。
【００３４】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造するための方法においては、ポリエステルのペレットを押出機を用いた溶融押出により口金から吐出し、吐出されたポリマーを冷却固化させてシート状に成形することが好ましい。その際、繊維焼結ステンレス金属フィルターによりポリマーを濾過することが、ポリマー中の未溶融物を除去するために好ましい。
【００３５】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムは、該シートを長手方向と幅方向の二軸に特定条件で延伸した後、熱処理することにより製造できる。特に限定されないが２段階以上に分けて、再縦、再横延伸を行う方法が高密度記録の磁気テープとして最適な高強度のフィルムが得られ易いために好ましい。
【００３６】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造する際の長手方向の総延伸倍率は、特に限定されないが、２．５〜１０倍が好ましく、より好ましくは４．５〜７倍である。長手方向の総延伸倍率が２．５倍より小さな場合は、長手方向の弾性率が低下するため、磁気記録媒体として用いる場合、電磁変換特性が低下することがある。長手方向の総延伸倍率が１０倍より大きな場合には、フィルム破れが増加して、生産性が低下したりする。また、再縦延伸を行う際の再縦延伸倍率を総縦延伸倍率の２５％以下にする場合、フィルム破れが減少するため好ましい。再縦延伸を行う際、１度目の縦延伸の延伸倍率は２．５〜４倍、再縦延伸倍率は１．２〜２．３倍が好ましい。
【００３７】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造する際の幅方向の総延伸倍率は、特に限定されないが、３〜８倍が好ましく、より好ましくは３．５〜６倍である。幅方向の総延伸倍率が３倍より小さな場合は、磁気記録媒体として用いる場合、トラックずれが起こりやすくなったりする。幅方向の総延伸倍率が６倍以上である場合、フィルム破れによって生産性が低下することがある。また、再横延伸を行う際の再横延伸倍率を総横延伸倍率の２０％以上にする場合、フィルム破れが減少するため好ましい。再横延伸を行う際、１度目の横延伸の延伸倍率は３〜４．５倍、再縦延伸倍率は１．２〜２倍が好ましい。
【００３８】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造する際の長手方向の延伸温度は、特に限定されないが、延伸性などの観点から、ポリマーのガラス転移温度Ｔｇ〜（Ｔｇ＋５０℃）の範囲で行う場合、延伸性が良好となるため好ましい。再縦延伸を行う場合、再縦延伸温度は（Ｔｇ＋３０℃）〜（Ｔｇ＋８０℃）が好ましい。
【００３９】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造する際の幅方向の延伸温度は、特に限定されないが、延伸性などの観点から、ポリマーのＴｇ〜（Ｔｇ＋５０℃）の範囲が好ましい。再横延伸を行う場合、再横延伸温度は（Ｔｇ＋５０℃）〜（Ｔｇ＋１５０℃）が好ましい。
【００４０】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造する際の長手方向の延伸速度は、特に限定されないが、５，０００〜２０万％／分の範囲が好ましく、再縦延伸を行う場合、再縦延伸速度は３万〜２０万％／分の範囲が好ましい。
【００４１】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造する際の幅方向の延伸速度は、特に限定されないが、１，０００〜１０，０００％／分の範囲が好ましく、再横延伸を行う場合、再横延伸速度は１，０００〜２０，０００％／分が好ましい。
【００４２】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造する際の熱処理温度は、１６０℃〜２３０℃の範囲が好ましく、より好ましくは、１８０℃〜２１０℃である。
【００４３】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムを製造する際の熱処理時間は、０．５〜１０秒の範囲が好ましく、より好ましくは３〜８秒である。
【００４４】
本発明の支持体に用いるポリエステルフィルムの延伸形式としては、長手方向に延伸した後に幅方向に延伸を行うなどの逐次二軸延伸法や、同時二軸テンター等を用いて長手方向と幅方向を同時に延伸する同時二軸延伸法、さらに、逐次二軸延伸法と同時二軸延伸法を組み合わせた方法などが包含される。
【００４５】
以下、本発明の支持体の製造方法について、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）をポリエステルとして用いた例を代表例として説明する。もちろん、本願はＰＥＴに限定されるものではなく、他のポリマー、例えばガラス転移温度や融点の高いポリマーなどを用いる場合は、以下に示す温度よりも高温で押出や延伸を行うなど、適宜調整を行い支持体を製造することが可能である。
【００４６】
まず、ポリエチレンテレフタレートを例にしてポリエステルの製造方法を説明する。本発明で使用するポリエチレンテレフタレートは、次のいずれかのプロセスで製造される。すなわち、（１）テレフタル酸とエチレングリコールを原料とし、直接エステル化反応によって低分子量のポリエチレンテレフタレートまたはオリゴマーを得、さらにその後の三酸化アンチモンやチタン化合物を触媒に用いた重縮合反応によってポリマーを得るプロセス、（２）ジメチルテレフタレートとエチレングリコールを原料とし、エステル交換反応によって低分子量体を得、さらにその後の三酸化アンチモンやチタン化合物を触媒に用いた重縮合反応によってポリマーを得るプロセスである。ここで、エステル化は無触媒でも反応は進行するが、エステル交換反応においては、通常、マンガン、カルシウム、マグネシウム、亜鉛、リチウム、チタン等の化合物を触媒に用いて進行させ、またエステル交換反応が実質的に完結した後に、該反応に用いた触媒を不活性化する目的で、リン化合物を添加する場合もある。
【００４７】
また、フィルムを構成するポリエステルに不活性粒子を含有させる場合には、エチレングリコールに不活性粒子を所定割合にてスラリーの形で分散させ、このエチレングリコールを重合時に添加する方法が好ましい。不活性粒子を添加する際には、例えば、不活性粒子の合成時に得られる水ゾルやアルコールゾル状態の粒子を一旦乾燥させることなく添加すると粒子の分散性がよい。また、不活性粒子の水スラリーを直接ＰＥＴペレットと混合し、ベント式二軸混練押出機を用いて、ＰＥＴに練り込む方法も有効である。不活性粒子の含有量を調節する方法としては、上記方法で高濃度の不活性粒子のマスターペレットを作っておき、それを製膜時に不活性粒子を実質的に含有しないＰＥＴで希釈して不活性粒子の含有量を調節する方法が有効である。
【００４８】
得られたＰＥＴのペレットを、１８０℃で３時間以上減圧乾燥した後、固有粘度が低下しないように窒素気流下あるいは減圧下で、２８０〜３２０℃に加熱された押出機に供給し、スリット状のダイから押出し、キャスティングロール上で冷却して未延伸フィルムを得る。この際、異物や変質ポリマーを除去するために各種のフィルター、例えば、焼結金属、多孔性セラミック、サンド、金網などの素材からなるフィルターを用いることが好ましい。また、必要に応じて、定量供給性を向上させるためにギアポンプを設けてもよい。フィルムを積層する場合には、２台以上の押出機およびマニホールドまたは合流ブロックを用いて、複数の異なるポリマーを溶融積層する。
【００４９】
次に、この未延伸フィルムを二軸延伸し、二軸配向させる。ここでは、最初に長手方向、次に幅方向の延伸を行う逐次二軸延伸法を用いる。延伸温度は、未延伸フィルムを７０〜１３０℃の加熱ロール群で加熱し、長手方向に２．５〜１０倍（再縦延伸を行う場合、２．５〜４倍）に１段もしくは多段で延伸し、２０〜５０℃の冷却ロール群で冷却する。長手方向の延伸速度は５，０００〜２００，０００％／分の範囲で行うのが好ましい。続いて幅方向の延伸を行う。幅方向の延伸方法としては、例えば、テンターを用いる方法が一般的である。幅方向の延伸倍率は３〜８倍（再横延伸を行う場合、３〜４．５倍）、延伸速度は１，０００〜１０，０００％／分、温度は８０〜１２０℃の範囲で行うのが好ましい。さらに、再縦延伸および再横延伸を行う。その場合の延伸条件としては、長手方向の延伸は、温度７０〜１７０℃の加熱ロール群で、延伸倍率１．２〜２．３倍、幅方向の延伸方法としてはテンターを用いる方法が好ましく、温度１３０〜２３０℃、延伸倍率１．２〜２倍で行うのが好ましい。続いて、この延伸フィルムを緊張下または幅方向に弛緩しながら熱処理する。この場合の熱処理温度は、１３０℃〜２３０℃で、時間は０．５〜１０秒の範囲で行うのが好ましい。
【００５０】
次に、真空蒸着装置内に設置された図３に示すフィルム走行装置に、得られたポリエステルフィルムをセットし、１．００×１０−８〜１．００×１０２Ｐａの減圧下で蒸着することが好ましい。さらに緻密で劣化部分の少ないＭ層を形成させるために好ましくは１．００×１０−６〜１．００×１０−１Ｐａの高減圧下で蒸着することが好ましい。ポリエステルフィルムを−３０〜６０℃の冷却金属ドラムを介して走行させ、蒸着物を加熱蒸発させ、フィルムの両面に形成して巻取る。蒸着は両面同時に行っても良いし、片面ずつ行っても良い。より好ましくはＡ面を先に蒸着し、その後Ｂ面を蒸着する方が好ましい。蒸着時に酸素濃度を制御する場合、酸素導入ノズル２４を設置し、ガス流量制御装置２６で酸素ガス導入量を調整し、酸素濃度を制御する。蒸着後、真空蒸着装置内を常圧に戻して、巻取ったフィルムを巻き返す。Ｍ層とポリエステルフィルムの密着性を高めるために２０〜５０℃の温度で１〜３日間エージングすることが好ましい。
【００５１】
なお、図３について説明すると、真空蒸着装置１１においては、真空チャンバ１２の内部をポリエステルフィルムが巻出しロール部１３から冷却ドラム１６を経て巻取りロール部１８へと走行する。そのときに、るつぼ２３内の金属材料１９を、電子銃２０から照射した電子ビーム２１で加熱蒸発させるとともに、酸素供給ノズル２４から酸素ガスを導入し、蒸発した金属を酸化反応させながら冷却ドラム１６上のポリエステルフィルムに蒸着する。両面にＭ層を設ける場合は、片方の表面（１面目）に金属系酸化物を蒸着した後巻取りロール部１８から片面蒸着ポリエステルフィルムを取り外し、それを巻出しロール部１３にセットし同じように反対側の表面（２面目）に金属系酸化物を蒸着する。
【００５２】
磁気記録媒体の製法としては、例えば、次に説明する方法を用いることができる。まず、０．１〜３ｍ幅にスリットした磁気記録媒体用支持体を、張力１０〜３０ｋｇ／ｍで搬送させ、支持体の磁性層面側に磁性塗料および非磁性塗料をエクストルージョンコーターにより重層塗布（上層は磁性塗料で、塗布厚０．１μｍ、非磁性下層の厚みは適宜変化させる）し、磁気配向させ、乾燥温度１００℃で乾燥させる。次いで非磁性層面側にバックコートを塗布し、小型テストカレンダー装置（スチール／ナイロンロール、５段）で、温度７０〜１００℃、線圧１００〜３００ｋｇ／ｃｍでカレンダー処理した後、巻き取る。上記テープ原反を１／２インチ幅にスリットし、パンケーキを作製し、次いで、このパンケーキから特定の長さ分をカセットに組み込んで、カセットテープ型磁気記録媒体とする。ここで、磁性塗料などの組成は例えば以下のような組成が挙げられるが、これに限定されるものではない。
（磁性塗料の組成）
・強磁性金属粉末                        ：  １００重量部
・変成塩化ビニル共重合体                ：    １０重量部
・変成ポリウレタン                      ：    １０重量部
・ポリイソシアネート                    ：      ５重量部
・ステアリン酸                          ：  １．５重量部
・オレイン酸                            ：      １重量部
・カーボンブラック                      ：      １重量部
・αアルミナ                            ：    １０重量部
・メチルエチルケトン                    ：    ７５重量部
・シクロヘキサノン                      ：    ７５重量部
・トルエン                              ：    ７５重量部
（非磁性塗料の組成）
・変成ポリウレタン                      ：    １０重量部
・変成塩化ビニル共重合体                ：    １０重量部
・メチルエチルケトン                    ：    ７５重量部
・シクロヘキサノン                      ：    ７５重量部
・トルエン                              ：    ７５重量部
・ポリイソシアネート                    ：      ５重量部
・ステアリン酸                          ：  １．５重量部
・オレイン酸                            ：      １重量部
（バックコートの組成）
・カーボンブラック（平均粒径２０ｎｍ）  ：    ９５重量部
・カーボンブラック（平均粒径２８０ｎｍ）：    １０重量部
・αアルミナ                            ：  ０．１重量部
・変成ポリウレタン                      ：    ２０重量部
・変成塩化ビニル共重合体                ：    ３０重量部
・シクロヘキサノン                      ：  ２００重量部
・メチルエチルケトン                    ：  ３００重量部
・トルエン                              ：  １００重量部
また、磁気記録媒体の具体的な用途としては、例えば、データ記録用途、具体的にはコンピュータデータのバックアップ用途や映像などのデジタル画像の記録用途などに好適に用いることができる。
【００５３】
（物性の測定方法ならびに効果の評価方法）
本発明における特性値の測定方法並びに効果の評価方法は次の通りである。
【００５４】
（１）蒸着厚み、組成分析（酸素濃度）
下記測定にて、深さ方向の組成分析を行い、Ｍ層を構成する金属材料の濃度が最大値の半分になる深さまでをＭ層の厚み［ｎｍ］とした。
【００５５】
ｉ）測定装置
Ｘ線光電子分光法  米国ＳＳＩ社製ＳＳＸ−１００
ｉｉ）測定条件
励起Ｘ線：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃ  ＡｌＫα１，２線（１４８６．６ｅＶ）
Ｘ線径：０．３［ｍｍ］
光電子脱出角度：３５°  （検出深さ：数ｎｍ）
ラスター領域：２×４［ｍｍ］
Ａｒイオンエッチング：  ３［ＫｅＶ］  １．５×１０−７［Ｔｏｒｒ］
スパッタ速度：４．７ｎｍ／ｍｉｎ（Ｓｉ２Ｏ換算値）
組成分析はＭ層の厚みの中間のデータから算出する。ピークの結合エネルギー値から元素情報が得られ、各ピークの面積比を用いて組成を定量化（原子％）する。
【００５６】
（２）表面粗さＲａ
触針式表面粗さ計を用いて中心線平均粗さＲａを測定した。条件は下記のとおりであり、フィルム幅方向に走査して２０回測定を行った平均値をもって値とした。
【００５７】
測定装置    ：小坂研究所製高精度薄膜段差測定器ＥＴ−１０
触針先端半径：０．５μｍ
触針荷重    ：５ｍｇ
測定長      ：１ｍｍ
カットオフ値：０．０８ｍｍ
（３）カッピング
下記装置にてカッピングを測定した。図１のように中心間距離３５ｍｍの２つの支点ＰにＡ面が上になるようにサンプルをかけ、両端に０．３ｇの荷重をかけた。その時の２つのＰ間の中点における変形厚みをレーザー寸法測定器で測定した。Ａ面が凸の場合を正の値で、Ａ面が凹の場合を負の値とした。
【００５８】
測定装置          ：カッピング測定装置（図１）
レーザー寸法測定器：キーエンス社製ＬＳ−５０４０
張力              ：両端分銅０．３ｇ
試料サイズ        ：幅１／２ｉｎｃｈ×長さ１５０ｍｍ
（４）温度膨張係数
測定装置：真空理工（株）製ＴＭＡ  ＴＭ−３０００、加熱制御部ＴＡ−１５００
試料サイズ：幅４ｍｍ×試長間１５ｍｍ
荷重：０．５ｇ
試料前処理：２３℃→５０℃→２３℃
測定温度：２３℃→５０℃
前処理後、再度２３℃から５０℃まで昇温し、その時の３０℃から４０℃でのフィルムの変化量ΔＬ［μm］を測定し、次式から温度膨張係数［ｐｐｍ／℃］を算出した。
【００５９】
温度膨張係数［ｐｐｍ／％ＲＨ］＝１０６×｛（ΔＬ／（１５×１０３））／（４０−３０）｝
（５）湿度膨張係数
測定装置：大倉インダストリー製テープ伸び試験機
試料サイズ：幅１０ｍｍ×試長間２００ｍｍ
荷重：１０ｇ
測定温度：３０℃
測定湿度：４０％ＲＨ→８０％ＲＨ
相対湿度４０％ＲＨから８０％ＲＨまで変化させ、変化量ΔＬ［ｍｍ］を測定し、次式から湿度膨張係数［ｐｐｍ／％ＲＨ］を算出した。
【００６０】
湿度膨張係数［ｐｐｍ／％ＲＨ］＝１０６×｛（ΔＬ／２００）／（８０−４０）｝
磁気記録媒体の場合は、メチルエチルケトンで磁性層やバックコート層を除去して支持体の測定を行う。
【００６１】
（６）ヤング率  ＡＳＴＭ−Ｄ８８２（１９９７年）に規定された方法に従って、インストロンタイプの引張試験機を用いて測定した。測定は下記の条件とした。
【００６２】
測定装置：オリエンテック（株）製フィルム強伸度自動測定装置
“テンシロンＡＭＦ／ＲＴＡ−１００”
試料サイズ：幅１０ｍｍ×試長間１００ｍｍ、
引張り速度：２００ｍｍ／分
測定環境：温度２３℃、湿度６５％ＲＨ
磁気記録媒体の場合は、メチルエチルケトンで磁性層やバックコート層を除去して支持体の測定を行う。  （７）粒子の平均粒径（分散径）
フィルム断面を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用い、１万〜１０万倍の倍率で観察する。ＴＥＭの切片厚さは約１００ｎｍとし、場所を変えて１００視野以上測定する。測定した等価円相当径の平均を不活性粒子の平均粒径とした。
【００６３】
フィルム中に粒径の異なる２種類以上の粒子が存在する場合、上記の等価円相当径の個数分布が２種類以上のピークを有する分布となるため、そのそれぞれについて、別個に平均粒径を算出する。
【００６４】
（８）ポリマー、粒子の含有量
ポリマーを溶解する適切な溶媒に溶解し、１Ｈ核のＮＭＲ（核磁気共鳴）スペクトルを測定する。適切な溶媒は、ポリマーの種類によって異なるが、例えば、ヘキサフルオロイソプロパノール（ＨＦＩＰ）／重クロロホルムが用いられる。得られたスペクトルにおいて、ポリマーに特有の吸収（例えばＰＥＴであればテレフタル酸の芳香族プロトンの吸収）のピーク面積強度をもとめ、その比率とプロトン数よりポリマーのモル比を算出する。さらに各々のポリマーの単位ユニットに相当する式量より重量比を算出する。測定条件は、例えば、以下のような条件であるが、ポリマーの種類によって異なるため、この限りではない。
【００６５】
装置        ：ブルカー社製BRUKER DRX-500
溶媒        ：ＨＦＩＰ／重クロロホルム
観測周波数  ：４９９．８ＭＨｚ
基準        ：ＴＭＳ（テトラメチルシラン）（０ｐｐｍ）
測定温度    ：３０℃
観測幅      ：１０ＫＨｚ
データ点    ：６４Ｋ
acquisiton time ：４．９５２秒
pulse delay time：３．０４８秒
積算回数    ：２５６回
また、必要に応じて、顕微ＦＴ−ＩＲ法（フーリエ変換顕微赤外分光法）で組成分析を行ってもよい。その場合、ポリエステルのカルボニル基に起因するピークとそれ以外の物質に起因するピークの比から求める。なお、ピーク高さ比を重量比に換算するために、あらかじめ重量比既知のサンプルで検量線を作成してポリエステルとそれ以外の物質の合計量に対するポリエステル比率を求める。また、必要に応じてＸ線マイクロアナライザーを併用してもよい。また、不活性粒子の含有量については、ポリマーは溶解するが不活性粒子は溶解させない溶媒を選んで、ポリマーを溶解し、粒子を遠心分離して重量百分率を求めた。
【００６６】
（９）固有粘度
オルトクロロフェノール中、２５℃で測定した溶液粘度から下式から計算する。
【００６７】
ηｓｐ／Ｃ＝[η]＋Ｋ[η]２・Ｃ
ここで、ηｓｐ＝（溶液粘度／溶媒粘度）−１、Ｃは溶媒１００ｍｌあたりの溶解ポリマー重量（ｇ／１００ｍｌ、通常１．２）、Ｋはハギンス定数（０．３４３とする）である。また、溶液粘度、溶媒粘度はオストワルド粘度計を用いて測定した。
【００６８】
（１０）ガラス転移温度（Ｔｇ）
下記装置および条件で比熱測定を行い、ＪＩＳ  Ｋ７１２１（１９８７）に従って決定した。
【００６９】
装置    ：ＴＡ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ社製温度変調ＤＳＣ
測定条件：
加熱温度    ：２７０〜５７０Ｋ（ＲＣＳ冷却法）
温度校正    ：高純度インジウムおよびスズの融点
温度変調振幅：±１Ｋ
温度変調周期：６０秒
昇温ステップ：５Ｋ
試料重量    ：５ｍｇ
試料容器    ：アルミニウム製開放型容器（２２ｍｇ）
参照容器    ：アルミニウム製開放型容器（１８ｍｇ）
なお、ガラス転移温度は下記式により算出した。
【００７０】
ガラス転移温度＝（補外ガラス転移開始温度＋補外ガラス転移終了温度）／２
（１１）結晶粒径
下記測定にて、Ｘ線回折を行い、Ｍ層を構成する金属材料の結晶粒径を求めた。
【００７１】
ｉ）測定手法
広角Ｘ線回折（ディフラクトメータ）法  
ｉｉ）Ｘ線発生装置
（株）理学電機社製  ＲＵ−２００
Ｘ線源：ＣｕＫα線（湾曲結晶モノクロメータ使用）
出力：５０ｋＶ  １５０ｍＡ
ｉｉｉ）ゴニオメータ
（株）理学電機社製  ２１５５Ｄ型
スリット：１°  −０．１５ｍｍ  −１°  −０．４５ｍｍ
検出器：シンチレーションカウンター
ｉｖ）計数記録装置
（株）理学電機社製  ＲＡＤ−Ｂ型
２θ／θ：連続スキャン
測定範囲：２θ＝１０〜１００°
スキャン速度：２°／ｍｉｎ
サンプリング：０．０２°
ｖ）解析法
広角Ｘ線回折測定法で得られた２θ／θ強度データのうち、半値幅からScherrerの式を用いて結晶粒径を算出した。
【００７２】
（１２）幅寸法測定
１ｍ幅にスリットした支持体を、張力２０ｋｇ／ｍで搬送させ、支持体のＡ面側に下記組成の磁性塗料および非磁性塗料をエクストルージョンコーターにより重層塗布（上層は磁性塗料で、塗布厚０．１μｍ、非磁性下層の厚みは適宜変化させた。）し、磁気配向させ、乾燥温度１００℃で乾燥させた。次いでＢ面に下記組成のバックコートを塗布した後、小型テストカレンダー装置（スチール／ナイロンロール、５段）で、温度８５℃、線圧２００ｋｇ／ｃｍでカレンダー処理した後、巻き取った。上記テープ原反を１／２インチ幅にスリットし、パンケーキを作成した。次いで、このパンケーキから長さ２００ｍ分をカセットに組み込んで、カセットテープとした。
（磁性塗料の組成）
・強磁性金属粉末                        ：  １００重量部
・変成塩化ビニル共重合体                ：    １０重量部
・変成ポリウレタン                      ：    １０重量部
・ポリイソシアネート                    ：      ５重量部
・ステアリン酸                          ：  １．５重量部
・オレイン酸                            ：      １重量部
・カーボンブラック                      ：      １重量部
・アルミナ                              ：    １０重量部
・メチルエチルケトン                    ：    ７５重量部
・シクロヘキサノン                      ：    ７５重量部
・トルエン                              ：    ７５重量部
（バックコートの組成）
・カーボンブラック（平均粒径２０ｎｍ）  ：    ９５重量部
・カーボンブラック（平均粒径２８０ｎｍ）：    １０重量部
・αアルミナ                            ：  ０．１重量部
・変成ポリウレタン                      ：    ２０重量部
・変成塩化ビニル共重合体                ：    ３０重量部
・シクロヘキサノン                      ：  ２００重量部
・メチルエチルケトン                    ：  ３００重量部
・トルエン                              ：  １００重量部
カセットテープのカートリッジからテープを取り出し、下記恒温恒湿槽内へ下記シート幅測定装置を入れ、各環境にて幅を測定した。
【００７３】
測定装置：（株）アヤハエンジニアリング社製シート幅測定装置
レーザー寸法測定機：キーエンス社製ＬＳ−５０４０
ロードセル：ＮＭＢ社製ＣＢＥ１−１０Ｋ
恒温恒湿槽：（株）カトー社製ＳＥ−２５ＶＬ−Ａ
張力制御：分銅（長手方向）
試料サイズ：幅１／２ｉｎｃｈ×長さ２５０ｍｍ
保持時間：５時間
（幅寸法変化率）
２つの条件でそれぞれ幅寸法（ｌＡ，ｌＢ）を測定し、次式にて寸法変化率を算出した。次の基準で寸法安定性を評価した。
【００７４】
Ａ条件：１０℃１０％ＲＨ  張力１．０Ｎ
Ｂ条件：４０℃８０％ＲＨ  張力０．５Ｎ
幅寸法変化率［ｐｐｍ］＝１０６×（（ｌＢ−ｌＡ）／ｌＡ）
○：幅寸法変化率が０［ｐｐｍ］以上７００［ｐｐｍ］未満
△：幅寸法変化率が７００［ｐｐｍ］以上１，０００［ｐｐｍ］未満
×：幅寸法変化率が１，０００［ｐｐｍ］以上
（１３）磁気テープのヘッドタッチ性
上記（１２）で作製したカセットテープを、市販のＩＢＭ社製ＬＴＯドライブ３５８０−Ｌ１１を用いて、ヘッドタッチ性の評価としてエンベロープ欠け量を評価した。
【００７５】
測定装置：アドバンテスト社製ＴＲ４１７１型スペクトルアナライザ
ＲＢＷ  ：１０［ｋＨｚ］
ＶＢＷ  ：３０［ｋＨｚ］
周波数スパン：０［ＭＨｚ］
スイープタイム：４０［ｍｓ］
アベレージ：１６［回］
上記装置で得られた出力波形（エンベロープ）をオシロスコープで測定し、図２に示すように出力波形の最大値Ｘと最小値Ｙから次式にてエンベロープ欠け量を算出した。
【００７６】
エンベロープ欠け量［ｄＢ］＝２０×ｌｏｇ（Ｘ／Ｙ）
○：エンベロープ欠け量が０［ｄＢ］以上１．０［ｄＢ］未満
△：エンベロープ欠け量が１．０［ｄＢ］以上２．０［ｄＢ］未満
×：エンベロープ欠け量が２．０［ｄＢ］以上
（１４）走行耐久性
上記（１２）で作製したカセットテープを、市販のＩＢＭ社製ＬＴＯドライブ３５８０−Ｌ１１を用いて、１００時間走行させ、次の基準でテープの走行耐久性を評価した。
【００７７】
○：テープ端面の伸び、折れ曲がりがなく、削れ跡が見られない。
【００７８】
△：テープ端面の伸び、折れ曲がりはないが、一部削れ跡が見られる。
【００７９】
×：テープ端面の一部が伸び、ワカメ状の変形が見られ、削れ跡が見られる。
【００８０】
（１５）総合評価
寸法安定性・ヘッドタッチ性・走行耐久性の３つの評価で×が一つもないものを合格とした。
【実施例】
【００８１】
次の実施例に基づき、本発明の実施形態を説明する。なお、ここでポリエチレンテレフタレートをＰＥＴ、ポリ（エチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート）をＰＥＮと表記する。
【００８２】
（実施例１）
テレフタル酸ジメチル１９４重量部と不活性粒子（球状シリカ）を加えたエチレングリコール１２４重量部に、酢酸マグネシウム４水塩０．１重量部を加え、１４０〜２３０℃でメタノールを留出しつつエステル交換反応を行った。次いで、リン酸トリメチル０．０５重量部のエチレングリコール溶液、および三酸化アンチモン０．０５重量部を加えて５分間撹拌した後、低重合体を３０ｒｐｍで攪拌しながら、反応系を２３０℃から２９０℃まで徐々に昇温するとともに、圧力を０．１ｋＰａまで下げた。最終温度、最終圧力到達までの時間はともに６０分とした。３時間重合反応させ所定の攪拌トルクとなった時点で反応系を窒素パージし常圧に戻して重縮合反応を停止し、冷水にストランド状に吐出、直ちにカッティングして固有粘度０．６２のポリエチレンテレフタレートのペレット（Ａ面側）を得た。
【００８３】
同様にして、不活性粒子（球状架橋ポリスチレン）の濃度を変更して、固有粘度０．６２のポリエチレンテレフタレートのペレット（Ｂ面側）を得た。
【００８４】
押出機Ａ、Ｂ２台を用い、２８０℃に加熱された押出機Ａには、得られたＰＥＴ（固有粘度０．６２、平均径０．３μｍの球状シリカ粒子０．１６重量％配合）のペレット（Ａ面側）を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給し、同じく２８０℃に加熱された押出機Ｂには、常法により得られたＰＥＴ（固有粘度０．６２、平均径０．３μｍの球状架橋ポリスチレン粒子０．１５重量％と平均径０．８μｍの球状架橋ポリスチレン粒子０．０１重量％）のペレット（Ｂ面側）を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。２層積層するべくＴダイ中で合流させ（積層比Ａ／Ｂ＝７／１）、表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、積層未延伸フィルムを作製した。この未延伸フィルムをロール式延伸機にて長手方向に２段で、速度２０，０００％／分、温度７０℃から９５℃で３．０倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に速度２，０００％／分、温度１００℃で３．０倍延伸した。続いて、ロール式延伸機で長手方向に１段で、温度８０℃から１４０℃で１．７倍に再延伸した。続いて、テンターを用いて幅方向に温度１７０℃で１．５倍再延伸した。定長下で温度２２０℃で５秒間熱処理した後、幅方向に５％の弛緩処理を行い厚み約６μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを作製した。
【００８５】
次に、真空蒸着装置内に設置された図３に示すフィルム走行装置に、得られたポリエステルフィルムをセットし、１．５０×１０−１Ｐａの減圧度にした後に、２０℃の冷却金属ドラムを介して１００ｍ／ｍｉｎで走行させた。このとき、Ａｌを電子ビーム（出力２．５ｋＶ）で加熱蒸発させ、Ａｌの蒸着薄膜層（厚み６０ｎｍ）をフィルムのＡ面に形成して巻取った。次にＢ面を蒸着速度５０ｍ／ｍｉｎにしたこと以外同様に蒸着し巻取った。
蒸着後、真空蒸着装置内を常圧に戻して、巻取ったフィルムを巻き返し、４０℃の温度で２日間エージングして、記録媒体用支持体を得た。この得られた記録媒体用支持体は、表１で示したようにポリエステルフィルムの両面に金属層を持ち、その厚み比が本発明の範囲内であったため、磁気テープとして使用した際に寸法変化率が小さく優れた特性を有していた。
【００８６】
（比較例１）
金属層を設けないこと以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層を持たず本発明の範囲外であったため磁気テープとして使用した際に寸法変化率が大きく寸法安定性が劣る特性であった。
【００８７】
（比較例２）
蒸着機内のフィルム走行速度を変更しＢ面のみ厚み９０ｎｍの金属層を設けること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体はＢ面しか金属層を持たず本発明の範囲外であったため磁気テープとして使用した際に寸法変化率大きく寸法安定性が劣る特性であった。
【００８８】
（比較例３）
蒸着機内のフィルム走行速度を変更しＡ面のみ厚み９０ｎｍの金属層を設けること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体はＡ面しか金属層を持たず本発明の範囲外であったため磁気テープとして使用した際に寸法変化率大きく寸法安定性が劣る特性であった。
【００８９】
【表１】
2006277920.tif 000003
【００９０】
（表１）に示すように、両面に金属層を設けた（実施例１）の場合、金属による補強効果と水蒸気の遮蔽効果から温湿度変化に対する寸法安定性の優れた磁気テープが得られた。片面または金属層を持たない（比較例１）〜（比較例３）の場合、温湿度変化に対する寸法安定性が劣る磁気テープしか得られない。
【００９１】
（実施例２）
蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ層、Ｍｂ層の厚みを変更し、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１．１にした以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１．１であっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【００９２】
（実施例３）
蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ層、Ｍｂ層の厚みを変更し、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１０にした以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１０であっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【００９３】
（実施例４）
金属材料にＣｕを用いること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属材料がＣｕであっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【００９４】
（実施例５）
ポリエステルフィルムの製造において、ＰＥＴをＰＥＮに変更し、押出機を２台使わずに、２８０℃に加熱された押出機Ａには、常法により得られたＰＥＮ（固有粘度０．６２、平均径０．３μｍの球状架橋ポリスチレン粒子０．２重量％と平均径０．８μｍの球状架橋ポリスチレン粒子０．０１重量％）のペレットを１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給し、長手方向の延伸温度１１５℃から１３５℃で倍率を５．０倍とし、幅方向の延伸温度１３５℃で倍率を３．２倍とし、さらに長手方向の再延伸温度を１３０から１４０℃で倍率を１．２倍とし、２００℃で熱処理すること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体はポリエステルフィルムがＰＥＮであっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【００９５】
（実施例６）
２９０℃に加熱された同方向回転タイプのベント式２軸混練押出機に、常法により得られたＰＥＴ（固有粘度０．８５）のペレット５０重量％とＧＥ  Ｐｌａｓｔｉｃｓ社製のポリエーテルイミド“Ｕｌｔｅｍ１０１０”（固有粘度０．６８）のペレット５０重量％を供給し、ブレンドチップ（Ｉ）を作製した。
【００９６】
押出機Ａ、Ｂ２台を用い、２９５℃に加熱された押出機Ａには、常法により得られたＰＥＴ（固有粘度０．６２、平均径０．０９μｍの球状シリカ粒子０．０５重量％配合）のペレット９０重量％とブレンドチップ（Ｉ）１０重量％（Ａ面側）を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給し、同じく２９５℃に加熱された押出機Ｂには、常法により得られたＰＥＴ（固有粘度０．６２、平均径０．３μｍの炭酸カルシウム粒子０．５重量％）のペレット９０重量％とブレンドチップ（Ｉ）１０重量％（Ｂ面側）を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給した。２層積層するべくＴダイ中で合流させ（積層比Ａ／Ｂ＝５／１）、表面温度２５℃のキャストドラムに静電荷を印加させながら密着冷却固化し、積層未延伸フィルムを作製した。この未延伸フィルムをロール式延伸機にて長手方向に２段で、速度２０，０００％／分、温度９０℃から１１０℃で３．１倍延伸し、さらに、テンターを用いて、幅方向に速度２，０００％／分、温度１００℃で３．３倍延伸した。続いて、ロール式延伸機で長手方向に１段で、温度９０℃から１５０℃で１．７倍に再延伸した。続いて、テンターを用いて幅方向に温度２００℃で１．３倍再延伸した。定長下で温度２０５℃で５秒間熱処理した後、１５０℃の冷却ゾーンで幅方向に５％の弛緩処理を行い、さらに１００℃のゾーンで幅方向に１％の弛緩処理を行い厚み約６μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを作製したこと以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。
得られた記録媒体用支持体はポリエステルフィルムがＰＥＴとＰＥＩのブレンドであっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【００９７】
（実施例７）
金属材料にアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を用いること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属材料がＡｌ２Ｏ３であっても磁気テープとして使用した際に寸法変化率が小さく、ヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【００９８】
（実施例８）
金属材料に酸化チタン（ＴｉＯ２）を用いること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属材料がＴｉＯ２であっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【００９９】
（実施例９）
Ｂ面の金属材料にＣｕを用いること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属材料がＣｕであっても磁気テープとして使用した際に寸法変化率が小さく、ヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【０１００】
（実施例１０）
蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ，Ｍｂ層の厚みを変更し、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１．５にした以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層が薄くて厚み比が１．５であっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【０１０１】
（実施例１１）
蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ，Ｍｂ層の厚みを変更し、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１．２５にした以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層が非常に厚く厚み比が１．２５であっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【０１０２】
（実施例１２）
金属材料にチタン（Ｔｉ）を用い、蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ，Ｍｂ層の厚みを変更し、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１．６にした以外は実施例６と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１．６であっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【０１０３】
（実施例１３）
厚み8.5μmの二軸配向ポリエステルフィルムを作製したこと、蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ，Ｍｂ層の厚みを変更し、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を７．５にした以外は実施例６と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は二軸配向ポリエステルフィルムが厚いため金属層を厚めに蒸着することにより金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を７．５であっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【０１０４】
（実施例１４）
押出機を２台使わずに、２８０℃に加熱された押出機Ａに、実施例１と同様の方法にて得られたＰＥＴ（固有粘度０．６２、平均径０．３μmの球状架橋ポリスチレン粒子０．１５重量％と平均径０．８μmの球状架橋ポリスチレン粒子０．０１重量％）のペレットを１８０℃で３時間減圧乾燥した後に供給し、単層で二軸配向ポリエステルフィルムを作製したことと、蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ、Ｍｂ層の厚みを変更し、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を４にした以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体はベースフィルムが単膜で表面粗さが両面とも同じで金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）が４であっても磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【０１０５】
（実施例１５）
Ａ面の金属材料にＣｏを用いること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属材料がＣｏであり磁性金属であるため磁気テープとして使用した際に記録・再生時に若干ノイズが増加したがヘッドタッチ性や走行耐久性には優れた特性を有していた。
【０１０６】
（比較例４）
蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ層、Ｍｂ層の厚みを同じにし、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１にした以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）が１で本発明の範囲外であったため磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性、走行耐久性に劣る特性であった。
【０１０７】
（比較例５）
蒸着機内のフィルム走行速度を制御しＭａ層、Ｍｂ層の厚みを変更し、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１１にした以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）が１１で本発明の範囲外であったため磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性、走行耐久性に劣る特性であった。
【０１０８】
（比較例６）
比較例４と同様の方法にて得られた記録媒体用支持体を磁気テープ化し、特開２００１−１８４６３５号公報の非接触加熱によってカッピング改善処理を行った。金属層とベースフィルムの熱収縮応力などの違いからカッピングは改善されず、金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）が１で本発明の範囲外であったため磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に劣る特性であった。
【０１０９】
【表２】
2006277920.tif 000004
【０１１０】
（実施例１６）
蒸着機内で酸素導入ノズル２４から酸素ガスを導入しＭａ層の酸素濃度４０原子％、Ｍｂ層の酸素濃度６０原子％にすること以外、実施例２と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１．１であってもＭａ，Ｍｂ層の酸素濃度の違いにより磁気テープとして使用した際に実施例２よりヘッドタッチ性や走行耐久性がさらに優れた特性を有していた。
【０１１１】
（実施例１７）
蒸着機内で酸素導入ノズル２４から酸素ガスを導入しＭａ層の酸素濃度６０原子％、Ｍｂ層の酸素濃度１０原子％にすること以外、実施例３と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属層厚み比（Ｍａ／Ｍｂ）を１０であってもＭａ，Ｍｂ層の酸素濃度の違いにより磁気テープとして使用した際に実施例３よりヘッドタッチ性や走行耐久性がさらに優れた特性を有していた。
【０１１２】
（実施例１８）
金属材料にＳｎを用いることと蒸着機内で酸素導入ノズル２４から酸素ガスを導入しＭａ層の酸素濃度４５原子％、Ｍｂ層の酸素濃度３０原子％にすること以外は実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。得られた記録媒体用支持体は金属材料がＳｎであり酸素濃度がＭａ，Ｍｂ層で異なるため磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性に優れた特性を有していた。
【０１１３】
（実施例１９）
蒸着機内で酸素導入ノズル２４から酸素ガスを導入しＭａ層の酸素濃度５０原子％、Ｍｂ層の酸素濃度４０原子％にすること以外、実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。Ｍａ，Ｍｂ層の酸素濃度の違いにより磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性がさらに優れた特性を有していた。
【０１１４】
（実施例２０）
蒸着機内で酸素導入ノズル２４から酸素ガスを導入しＭａ層の酸素濃度４０原子％、Ｍｂ層の酸素濃度５０原子％にすること以外、実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。Ｍａ層の方がＭｂ層より酸素濃度が小さいが磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性が優れた特性を有していた。
【０１１５】
（実施例２１）
蒸着機内で酸素導入ノズル２４から酸素ガスを導入しＭａ層の酸素濃度８０原子％、Ｍｂ層の酸素濃度４原子％にすること以外、実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。Ｍａが過酸化状態であり、Ｍｂ層が微酸化状態であるが磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性がさらに優れた特性を有していた。
【０１１６】
（実施例２２）
蒸着機内で酸素導入ノズル２４から酸素ガスを導入しＭａ層の酸素濃度１０原子％、Ｍｂ層の酸素濃度５原子％にすること以外、実施例１と同様の方法にて記録媒体用支持体を得た。酸素濃度は小さいがＭａ，Ｍｂ層に酸化濃度の違いがあるため磁気テープとして使用した際にヘッドタッチ性や走行耐久性が優れた特性を有していた。
【０１１７】
【表３】
2006277920.tif 000005
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】カッピングを測定するための装置の概略図である。
【図２】ヘッドタッチ性の評価の対象となる出力波形の概略図である。
【図３】真空蒸着装置内に設置されたフィルム走行装置の概略図である。
【符号の説明】
【０１１９】
１：支点Ｐ
２：サンプル
３：分銅
４：出力波形
Ｘ：最大値
Ｙ：最小値
１１：真空蒸着装置
１２：真空チャンバ
１３：巻出しロール部
１４：ポリエステルフィルム
１５：ガイドロール
１６：冷却ドラム
１７：蒸着チャンバ
１８：巻取りロール部
１９：金属材料
２０：電子銃
２１：電子ビーム
２２：酸素ガスボンベ
２３：るつぼ
２４：酸素供給ノズル
２５：マスク
２６：ガス流量制御装置
【図１】
2006277920.tif 000006
【図２】
2006277920.tif 000007
【図３】
2006277920.tif 000008