(57)【要約】      （修正有）【課題】  逆方向電圧が高く安定性に優れ、かつ、生産性にも優れた反射率の高い化合物半導体発光素子用正極を提供すること。【解決手段】  銀合金からなる反射層を有することを特徴とする化合物半導体発光素子用正極１０を形成し、銀のエレクトロマイグレーションを抑制する。反射層とｐ型半導体層５の間にコンタクトメタル層を形成し低接触抵抗を実現する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
銀合金からなる反射層を有することを特徴とする化合物半導体発光素子用正極。
【請求項２】
銀合金がネオジウム、パラジウム、銅およびビスマスからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素を含有する請求項１に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【請求項３】
銀合金中の銀の含有量が９０〜９９．９９原子％である請求項１または２に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【請求項４】
反射層の膜厚が３０〜５００ｎｍである請求項１〜３のいずれか一項に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【請求項５】
反射層がｐ型半導体層と接するコンタクトメタル層を有する請求項１〜４のいずれか一項に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【請求項６】
コンタクトメタル層がＰｔ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｐｄ、ＲｕおよびＯｓの群から選ばれる少なくとも一種の金属またはこれらの少なくとも一種を含む合金からなる請求項５に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【請求項７】
コンタクトメタル層の厚さが１〜３０ｎｍである請求項５または６に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の正極を有する化合物半導体発光素子。
【請求項９】
化合物半導体が窒化ガリウム系化合物半導体である請求項８に記載の化合物半導体発光素子。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の化合物半導体発光素子を用いてなるランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は化合物半導体発光素子用正極、該正極を用いた発光素子およびランプに関し、特に優れた特性および安定性を有する正極、それを具備した化合物半導体発光素子および関連発明に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＡｌxＩｎyＧａ1-x-yＮ（０≦ｘ＜１，０≦ｙ＜１，ｘ＋ｙ＜１）で表わされる窒化ガリウム系化合物半導体が紫外光領域から青色あるいは緑色発光ダイオード（ＬＥＤ）の材料として注目されている。このような材料の化合物半導体を使うことによって、これまで困難であった発光強度の高い紫外光、青色、緑色等の発光が可能となった。このような窒化ガリウム系化合物半導体は、一般に絶縁性基板であるサファイア基板上に成長されるため、ＧａＡｓ系の発光素子のように基板の裏面に電極を設けることができない。このため結晶成長した半導体層側に負極と正極の両方を形成することが必要である。
【０００３】
特に、窒化ガリウム系化合物半導体を用いた半導体素子の場合は、サファイア基板が発光波長に対して透光性を有するため、電極面を下側にしてマウントし、サファイア基板側から光を取り出す構造のフリップチップ型が注目されている。
【０００４】
図１はこのような型の発光素子の一般的な構造例を示す概略図である。すなわち、発光素子は、基板１にバッファ層２、ｎ型半導体層３、発光層４およびｐ型半導体層５が結晶成長されて、発光層４およびｐ型半導体層５の一部がエッチング除去されてｎ型半導体層３が露出されており、ｐ型半導体層５上に正極１０、ｎ型半導体層３上に負極２０が形成されている。このような発光素子は、例えばリードフレームに電極形成面を向けて装着され、次いでボンディングされる。そして、発光層４で発生した光は基板１側から取り出される。この型の発光素子においては、光を効率よく取り出すために、正極１０には反射性の金属を用いてｐ型半導体層５の大部分を覆うように設け、発光層から正極側に向かった光も正極１０で反射させて基板１側から取り出している。
【０００５】
従って、正極材料としてはｐ型半導体層との低接触抵抗および高反射率が求められる。反射率の最も高い金属としては、銀（Ａｇ）が一般に知られている。しかし、Ａｇがエレクトロマイグレーションを起こすこともよく知られている。
【０００６】
エレクトロマイグレーションとは水の存在下でイオン化して拡散する現象で、Ａｇを用いた電極では周囲に水が存在する雰囲気において、通電することにより、Ａｇを主成分とする析出物が生成される。析出物が正極より発生して負極に到達したり、また、析出物がｐ型半導体層とｎ型半導体層とをつないでしまうと、逆方向電圧が低下し、発光素子の特性が経時劣化する。よって、反射性正極としてＡｇを使用する場合、Ａｇのエレクトロマイグレーションを抑制して、特性を安定化する必要がある。
【０００７】
Ａｇを正極材料として使用する手段として、特開平１１−１８６５９８号公報および特開平１１−１８６５９９号公報には、ｐ型窒化物半導体層上に銀層を設け、銀層上に安定化層をさらに設けることが提案されている。安定化層の役割は銀層の機械的および電気的特性を向上するためと記載されている。また、Ａｇの蒸着速度および蒸着中のサファイア基板の温度を制御することによって、ｐ型窒化物半導体層上にＡｇ層を安定して成膜している。
【０００８】
また、特開平１１−２２０１７１号公報でもｐ型半導体層に接続する第１の金属層（Ａｇ）を覆う第２の金属層を用いることが提案されている。第２の金属層がＡｇ層を覆うためエレクトロマイグレーションが起こらないと記載されている。
【０００９】
しかし、銀層上に安定化層を設けることは、コストアップを招き、製造工程も複雑となるという問題がある。
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−１８６５９８号公報
【特許文献２】特開平１１−１８６５９９号公報
【特許文献３】特開平１１−２２０１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、銀を正極材料に用いた場合における上述の問題点を解決し、逆方向電圧が高く安定性に優れ、かつ、生産性にも優れた化合物半導体発光素子用正極を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は下記の発明を提供する。
（１）銀合金からなる反射層を有することを特徴とする化合物半導体発光素子用正極。
（２）銀合金がネオジウム、パラジウム、銅およびビスマスからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素を含有する上記１項に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【００１３】
（３）銀合金中の銀の含有量が９０〜９９．９９原子％である上記１または２項に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【００１４】
（４）反射層の膜厚が３０〜５００ｎｍである上記１〜３項のいずれか一項に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【００１５】
（５）反射層がｐ型半導体層と接するコンタクトメタル層を有する上記１〜４項のいずれか一項に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【００１６】
（６）コンタクトメタル層がＰｔ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｐｄ、ＲｕおよびＯｓの群から選ばれる少なくとも一種の金属またはこれらの少なくとも一種を含む合金からなる上記５項に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【００１７】
（７）コンタクトメタル層の厚さが１〜３０ｎｍである上記５または６項に記載の化合物半導体発光素子用正極。
【００１８】
（８）上記１〜７項のいずれか一項に記載の正極を有する化合物半導体発光素子。
（９）化合物半導体が窒化ガリウム系化合物半導体である上記８項に記載の化合物半導体発光素子。
【００１９】
（１０）上記８または９項に記載の化合物半導体発光素子を用いてなるランプ。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の化合物半導体発光素子用正極は、反射層に合金化した銀を用いることによって、銀金属を単独で用いた従来の反射性正極に比べて、銀のエレクトロマイグレーションを有効に抑制することができる。その結果、本発明の正極を用いた発光素子は逆方向電圧が高く、安定性に優れ、かつ生産性にも優れる。
【００２１】
また、銀合金は、その組成にもよるが、純粋な銀金属よりも反射率が向上する。従って、本発明の正極を用いた発光素子は素子出力も向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の正極を使用する化合物半導体発光素子としては、図１に示したような、基板１上にバッファ層２、ｎ型半導体層３、発光層４およびｐ型半導体層５を順次結晶成長させ、負極および正極をｎ型半導体層３およびｐ型半導体層５上にそれぞれ設けた構造のものを何ら制限無く用いることができる。
【００２３】
本発明において、正極は銀（Ａｇ）合金からなる反射層を有することを特徴とする。本発明者は、銀を合金化することによって、銀のエレクトロマイグレーションが抑制されることを見いだした。合金化することによる銀のエレクトロマイグレーション抑制のメカニズムはよくわかっていない。一つには、合金膜においてはＡｇの凝集が抑えられ、より平滑な表面になるためであると思われる。また、一つには、合金となる金属が膜表面で酸化膜（例えば、Ｂｉ2Ｏ3）を作るためであると思われる。かかる観点からは、合金相手としては酸化膜を形成し易い金属が好ましい。具体的には、Ａｇとの合金相手としては、Ｎｄ、Ｐｄ、ＣｕおよびＢｉなどが特に望ましい。
【００２４】
反射層中のＡｇの割合は少なくとも９０原子％以上あることが好ましく、９５原子％以上であるとさらに好ましく、９７原子％以上であると特に好ましい。Ａｇの割合が低すぎると反射率が大きく低下するので好ましくない。また、Ａｇの割合が多すぎるとエレクトロマイグレーション抑制効果が低下するので好ましくない。９９．９９原子％以下が好ましく、９９．９原子％以下がさらに好ましく、９９．５原子％以下が特に好ましい。
【００２５】
また、純粋なＡｇ金属よりもＡｇを合金化すると反射率が向上する。これもＡｇの凝集が抑えられ平滑性が維持されるためであると思われる。合金相手となる金属種によって異なるが、合金割合が１〜２％近辺までは純粋なＡｇ金属よりも反射率が向上する。しかし、合金比率が大きくなると逆に反射率は下がってしまう。反射率の向上により、素子出力も向上する。
【００２６】
反射層の膜厚は３０〜５００ｎｍが好ましい。膜厚が薄すぎると反射率が十分でなく、厚すぎるのは生産性の観点から好ましくない。５０〜３００ｎｍがさらに好ましく、６０〜２５０ｎｍが特に好ましい。
【００２７】
本発明の正極はＡｇ合金からなる反射層のみから構成してもよいが、ｐ型半導体層と反射層の間に、ｐ型半導体層との接触抵抗が低く、かつ透光性に優れたコンタクトメタル層を設けることができる。また、通常、回路基板またはリードフレーム等との電気接続のためにボンディングパッド層が最上層に設けられる。
【００２８】
Ａｇ合金からなる反射層が直接ｐ型半導体層と接していると、合金中のＡｇがｐ型半導体層に拡散する。Ａｇがｐ型半導体層へ過度に拡散すると、逆方向電圧の低下の原因となる。これは、Ａｇの拡散により、ｐ型半導体層の結晶性が悪化するためと思われる。従って、ｐ型半導体層と反射層の間にコンタクトメタル層を設けることにより、コンタクトメタル層が反射層からｐ型半導体層へのＡｇの拡散防止層としても作用し、逆方向電圧の低下をさらに防止することができる。
【００２９】
コンタクトメタル層の材料にはｐ型半導体層との低接触抵抗を達成するために、仕事関数の高い金属、具体的にはＰｔ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｐｄ、ＲｕおよびＯｓなど白金族金属または白金族金属を含む合金を用いることが好ましい。さらに好ましくはＰｔ、Ｉｒ、ＲｈおよびＲｕである。Ｐｔが特に好ましい。
【００３０】
コンタクトメタル層は反射層からｐ型半導体層へのＡｇの拡散防止層としての役割も併せ持つため、緻密な構造をとる融点の高い金属が望ましい。具体的には、Ａｇより融点の高い金属または合金であることが好ましい。この観点からも白金族金属はコンタクトメタル層の材料として好ましい。
【００３１】
コンタクトメタル層の厚さは、低接触抵抗を安定して得るためには１ｎｍ以上とすることが好ましい。さらに好ましくは２ｎｍ以上であり、３ｎｍ以上が特に好ましい。また、光透過率を十分に得るために、３０ｎｍ以下とすることが好ましい。さらに好ましくは２０ｎｍ以下であり、１０ｎｍ以下が特に好ましい。コンタクトメタル層はＡｇの拡散防止層としての役割も併せ持つため、この観点からは０．５ｎｍ以上が好ましい。さらに好ましくは１ｎｍ以上である。また、コンタクトメタル層として連続した層を成している状態が好ましい。
【００３２】
ボンディングパッド層は、Ａｕ、Ａｌ、ＮｉおよびＣｕ等の材料を用いた各種構造が周知であり、これら周知のものを含めて、各種材料および構造のものを何ら制限無く用いることができる。また、厚さは１００〜１０００ｎｍが好ましい。ボンディングパッドの特性上厚い方がボンダビリティーが高くなるため、３００ｎｍ以上が好ましい。さらに、製造コストの観点から５００ｎｍ以下が好ましい。
【００３３】
反射層、コンタクトメタル層およびボンディングパッド層はスパッタリングや真空蒸着などの当業界周知の如何なる方法で形成してもよい。なかでもスパッタリング法は反射性に優れた反射層および接触抵抗の低いコンタクトメタル層が得られるので好ましい。
【００３４】
コンタクトメタル層をｐ型半導体層上に形成するにあたり、ＲＦ放電によるスパッタリング成膜法で形成することが好ましい。ＲＦ放電によるスパッタリング成膜法を用いることで、蒸着法やＤＣ放電のスパッタリング成膜法を用いるより接触抵抗の低い電極を形成できる。
【００３５】
一方、反射層はＤＣ放電によるスパッタリング成膜法で形成することが好ましい。ＲＦ放電スパッタリングによる膜とＤＣ放電スパッタリングによる膜の違いとしては、結晶性が異なることが挙げられる。ＤＣ膜は柱状構造が見られ、緻密な膜である。一方、ＲＦ膜は柱状構造が見られず、疎な膜である。
【００３６】
従って、ＲＦ放電による成膜では、初期において、接触抵抗を下げる効果を持つが、膜厚を大きくすると、その膜が疎であるために反射率の点ではＤＣ放電による成膜に比べて劣る。そこで、接触抵抗を低く保った範囲で薄膜化して光透過率を上げたコンタクトメタル層をＲＦ放電により形成し、その上に反射層をＤＣ放電により形成することが好ましい。
【００３７】
スパッタリングは、従来公知のスパッタリング装置を用いて従来公知の条件を適宜選択して実施することができる。化合物半導体層を積層した基板をチャンバ内に収容し、基板温度を室温から５００℃の範囲に設定する。基板加熱は特に必要としないが、適度に加熱しても良い。チャンバ内は真空度が１０-4〜１０-7Ｐａとなるまで排気する。スパッタリング用ガスとしては、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅ等が使用できる。入手の容易さからＡｒとするのが望ましい。これらの内の一つのガスをチャンバ内に導入し、０．１〜１０Ｐａにしたのち放電を行う。好ましくは０．２〜５Ｐａの範囲に設定する。供給する電力は０．２〜２ｋＷの範囲が好ましい。この際、放電時間と供給電力を調節することによって、形成する層の厚さを調節することができる。スパッタリングに使用する所要ターゲットの酸素含有量は１００００ｐｐｍ以下とすることが、形成された層中の酸素含有量が少なくなるので好ましい。６０００ｐｐｍ以下とすることがさらに好ましい。合金層を形成する場合、あらかじめ目的組成の合金を作製しておき、その合金をターゲットとして、同じ組成の合金層をスパッタリングすることが好ましい。
【００３８】
本発明の正極を使用した、図１に示したような化合物半導体発光素子において、基板にはサファイアおよびＳｉＣ等従来公知のものを含めて、透明な基板であれば何ら制限なく用いることができる。化合物半導体として、例えば一般式ＡｌxＩｎyＧａ1-x-yＮ（０≦ｘ＜１，０≦ｙ＜１，ｘ＋ｙ＜１）で表わされる窒化ガリウム系化合物半導体が多数知られており、本発明においても、それら周知の化合物半導体を含めて一般式ＡｌxＩｎyＧａ1-x-yＮ（０≦ｘ＜１，０≦ｙ＜１，ｘ＋ｙ＜１）で表わされる窒化ガリウム系化合物半導体が何ら制限なく用いることができる。
【００３９】
その一例を説明すると、図２に示したような、サファイア基板１上にＡｌＮ層からなるバッファ層２を積層し、その上にｎ型ＧａＮ層からなるコンタクト層３ａ、ｎ型ＧａＮ層からなる下部クラッド層３ｂ、ＩｎＧａＮ層からなる発光層４、ｐ型ＡｌＧａＮ層からなる上部クラッド層５ｂ、およびｐ型ＧａＮ層からなるコンタクト層５ａを順次積層したものを用いることができる。
【００４０】
このような窒化ガリウム系化合物半導体のコンタクト層５ａ、上部クラッド層５ｂ、発光層４、および下部クラッド層３ｂの一部をエッチングにより除去してコンタクト層３ａ上に例えばＴｉ／Ａｕからなる負極２０を当業者周知の手段により設け、コンタクト層５ａ上に本発明の正極１０を設ける。
【００４１】
これらの窒化ガリウム系化合物半導体の成長方法は特に限定されず、ＭＯＣＶＤ（有機金属化学気相成長法）、ＨＶＰＥ（ハイドライド気相成長法）、ＭＢＥ（分子線エピタキシー法）、などＩＩＩ族窒化物半導体を成長させることが知られている全ての方法を適用できる。好ましい成長方法としては、膜厚制御性、量産性の観点からＭＯＣＶＤ法である。ＭＯＣＶＤ法では、キャリアガスとして水素（Ｈ2）または窒素（Ｎ2）、ＩＩＩ族原料であるＧａ源としてトリメチルガリウム（ＴＭＧ）またはトリエチルガリウム（ＴＥＧ）、Ａｌ源としてトリメチルアルミニウム（ＴＭＡ）またはトリエチルアルミニウム（ＴＥＡ）、Ｉｎ源としてトリメチルインジウム（ＴＭＩ）またはトリエチルインジウム（ＴＥＩ）、Ｖ族原料であるＮ源としてアンモニア（ＮＨ3）、ヒドラジン（Ｎ2Ｈ4）などが用いられる。また、ドーパントとしては、ｎ型にはＳｉ原料としてモノシラン（ＳｉＨ4）またはジシラン（Ｓｉ2Ｈ6）を、Ｇｅ原料としてゲルマン（ＧｅＨ4）または有機ゲルマニウム化合物を用い、ｐ型にはＭｇ原料としては例えばビスシクロペンタジエニルマグネシウム（Ｃｐ2Ｍｇ）またはビスエチルシクロペンタジエニルマグネシウム（（ＥｔＣｐ）2Ｍｇ）を用いる。
【００４２】
本発明の化合物半導体発光素子用正極を用いると、優れた特性および安定性を有する窒化ガリウム系化合物半導体発光素子が得られる。つまり、この技術によって高輝度のＬＥＤランプを作製することができるため、この技術によって作製したチップを組み込んだ携帯電話、ディスプレイおよびパネル類などの電子機器ならびにその電子機器を組み込んだ自動車、コンピュータおよびゲーム機などの機械装置類は、低電力での駆動が可能となり、高い特性を実現することが可能である。特に、携帯電話、ゲーム機、玩具および自動車部品などの、バッテリー駆動させる機器類において、省電力の効果を発揮する。
【実施例】
【００４３】
以下に、実施例および比較例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
【００４４】
表１に本実施例および比較例で用いた反射層およびコンタクトメタル層の組成ならびに得られた初期素子特性およびエージングテスト結果を示した。なお、エージングとは２５℃、４０〜６０％ＲＨ環境下で３０ｍＡで通電し続けるテストであり、１００時間通電後に逆方向電圧が低下した個数、即ちエレクトロマイグレーションが発生した個数の割合を示した（各実施例について１０個テスト）。駆動電圧および出力は電流２０ｍＡで測定した初期値である。
【００４５】
（実施例１）
図２は本実施例で製造した窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の概略図である。
用いた窒化ガリウム系化合物半導体は、サファイア基板１上にＡｌＮ層からなるバッファ層２を積層し、その上にｎ型ＧａＮ層からなるコンタクト層３ａ、ｎ型ＧａＮ層からなる下部クラッド層３ｂ、ＩｎＧａＮ層からなる発光層４、ｐ型ＡｌＧａＮ層からなる上部クラッド層５ｂ、およびｐ型ＧａＮ層からなるコンタクト層５ａを順次積層したものである。コンタクト層３ａはＳｉを７×１０18／ｃｍ3ドープしたｎ型ＧａＮ層であり、下部クラッド層３ｂはＳｉを５×１０18／ｃｍ3ドープしたｎ型ＧａＮ層であり、発光層４の構造は単一量子井戸構造で、ＩｎＧａＮの組成はＩｎ0.95Ｇａ0.05Ｎである。上部クラッド層５ｂはＭｇを１×１０18／ｃｍ3ドープしたｐ型のＡｌＧａＮでその組成はＡｌ0.25Ｇａ0.75Ｎである。コンタクト層５ａはＭｇを５×１０19／ｃｍ3ドープしたｐ型のＧａＮ層である。これらの層の積層は、ＭＯＣＶＤ法により、当該技術分野においてよく知られた通常の条件で行なった。
【００４６】
この窒化ガリウム系化合物半導体積層物に以下の手順で正極および負極を設けてフリップチップ型窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製した。
【００４７】
（１）まず、上記の窒化ガリウム系化合物半導体積層物の負極形成領域のｎコンタクト層３ａを露出させた。手順は以下のとおりである。公知のリソグラフィー技術およびリフトオフ技術を用いて、エッチングマスクをｐコンタクト層５ａ上の負極形成領域以外の領域に形成した。
【００４８】
次いで、反応性イオンドライエッチングにて、ｎコンタクト層３ａが露出するまでエッチングを施した後、ドライエッチング装置より取り出し、エッチングマスクをアセトン洗浄により除去した。
【００４９】
（２）次に、以下の手順により正極を形成した。ｐコンタクト層５ａ表面の酸化膜を除去する目的で沸騰した濃ＨＣｌ中で素子を１０分間処理した後、正極をｐコンタクト層５ａ上に形成する。始めに反射層を成膜する。形成手順は以下の通りである。
【００５０】
レジストを一様に塗布して、公知のリソグラフィー技術により正極形成領域のレジストを除去する。バッファードフッ酸（ＢＨＦ）に室温で1分間浸漬した後、真空スパッタ装置で、反射層を成膜した。スパッタ法により形成する際の操作条件は、次の通りである。
【００５１】
チャンバ内の真空度が１０-4Ｐａ以下となるまで排気し、上記窒化ガリウム系化合物半導体積層物をチャンバ内に収容し、スパッタ用ガスとしてＡｒガスをチャンバ内に導入し、０．５ＰａとしたのちＤＣ放電によるスパッタリングを行ない、反射層を成膜した。供給する電力は０．５ｋＷとし、反射層として、Ａｇ／Ｃｕ合金（Ｃｕ：１原子％）を２００ｎｍの膜厚で成膜した。反射層の合金組成の制御は、あらかじめ当該組成の合金を作製しておき、それをターゲットに用いることによって行なった。
【００５２】
次いで、上記の圧力および供給電力でのＤＣ放電によるスパッタリングで、ボンディングパッド層として膜厚３００ｎｍのＡｕを成膜した。スパッタ装置内より取り出した後、リフトオフ技術を用いて正極領域以外の金属膜をレジストとともに除去した。
【００５３】
（３）負極をコンタクト層３ａ上に形成した。形成手順は以下の通りである。レジストを全面に一様に塗布した後、コンタクト層３ａまで露出した領域上に公知リソグラフィー技術を用いて負極領域の窓を開け、蒸着法によりＴｉおよびＡｕをこの順序でそれぞれ１００ｎｍおよび３００ｎｍの厚さで形成した。その後、負極部以外の金属膜をレジストとともに除去した。
【００５４】
（４）保護膜を形成した。形成手順は以下の通りである。レジストを全面に一様に塗布した後、正極と負極の間の一部に公知リソグラフィー技術を用いて窓を開け、上述したスパッタ法によりＳｉＯ2を２００ｎｍの厚さで形成した。保護膜部以外のＳｉＯ2膜をレジストとともに除去した。
（５）ウェーハを分割し、本発明の窒化ガリウム系化合物半導体発光素子とした。
【００５５】
得られた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子をＴＯ‐１８にマウントし、初期素子特性を測定した。その結果を表１に示した。また、１０個のサンプルをＴＯ‐１８にマウントし、エージングテストを行ない、その前後における逆方向電圧の変化を測定した。１０個中３個について、逆方向電圧が低下し、エレクトロマイグレーションが発生していた。
【００５６】
（実施例２〜６）
反射層の材料のみを変えて、実施例１と同様に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製し、得られた発光素子を実施例１と同様に評価した。その結果を表１に併せて示した。
【００５７】
（実施例７）
反射層の形成前に、厚さ４ｎｍのＰｔからなるコンタクトメタル層を形成したこと以外は、実施例１と同様に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製し、得られた発光素子を実施例１と同様に評価した。その結果を表１に併せて示した。表１から、コンタクトメタル層を設けることにより、出力は若干低下するが、駆動電圧が大幅に下がり、かつ、エージングテストによる逆方向電圧の低下も大幅に減少することが判る。
【００５８】
なお、コンタクトメタル層の形成は、スパッタ用ガスとしてＡｒガスを用い、圧力は３Ｐａとし、供給電力は０．５ｋＷとし、ＲＦ放電によるスパッタリングで行なった。
【００５９】
（比較例）
反射層をＡｇ金属層とした以外は、実施例１と同様に窒化ガリウム系化合物半導体発光素子を作製し、得られた発光素子を実施例１と同様に評価した。その結果を表１に併せて示した。表１から、エージングテストの結果、全てのサンプルで逆方向電圧が低下し、本発明に比較してエレクトロマイグレーションの発生が顕著であることが判る。
【００６０】
【表１】
2006093675.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明の正極を用いた窒化ガリウム系化合物半導体発光素子は、優れた特性と安定性を有し、発光ダイオードおよびランプ等の材料として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】従来のフリップチップ型化合物半導体発光素子の一般的な構造を示す概略図である。
【図２】本発明のフリップチップ型窒化ガリウム系化合物半導体発光素子の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００６３】
１    基板
２    バッファ層
３    ｎ型半導体層
４    発光層
５    ｐ型半導体層
１０    正極
２０    負極
【図１】
2006093675.tif 000004
【図２】
2006093675.tif 000005