(57)【要約】      （修正有）【課題】  信号側測定端子（Ｌｏ）の機械的振動を防ぎ、浮遊容量の影響、絶縁体の電荷の不均衡発生を防止して、微小静電容量素子を高速で測定できる。【解決手段】  素子１をセットする絶縁体１０を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板２０を備えると共に、下方にホルダー３０を垂直上下動自在に備え、絶縁板２０にソース側測定端子（Ｈｉ６）及び信号側測定端子（Ｌｏ）５を埋設固定すると共に、その下端を絶縁体１０にセットした素子１の各電極２、２と相対して備える一方、ホルダー３０に平行対面して設置した押上げピン４、４の先端を、絶縁体１０を通して素子１の各電極２、２と相対して備え、また、素子１と面接触する絶縁板２０に空気層２１を設け、絶縁体１０の押上げピン４、４間に金属板１１を挿置して備えた、チップ状電子部品の測定手段によって課題を解決した。【選択図】  図１−１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子をセットする絶縁体を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板を備えると共に、下方にホルダーを垂直上下動自在に備え、
絶縁板にソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）を埋設固定すると共に、その下端を絶縁体にセットした素子の各電極と相対して備える一方、ホルダーに平行対面して設置した押上げピンの先端を、絶縁体を通して素子の各電極と相対して備えたものであり、
ホルダーを垂直上昇移動し、その押上げピンで素子を垂直に持上げて、該素子の各電極を絶縁板のソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）に圧接導通して、素子の微小静電容量値を測定するように備えたことを特徴とする、  チップ状電子部品の測定手段。
【請求項２】
素子をセットする絶縁体を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板を備えると共に、下方にホルダーを垂直上下動自在に備え、
絶縁板にソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）を埋設固定すると共に、その下端を絶縁体にセットした素子の各電極と相対して備える一方、ホルダーに平行対面して設置した押上げピンの先端を、絶縁体を通して素子の各電極と相対して備え、
また、素子と面接触する絶縁板を、ソース側測定端子（Ｈｉ）の埋設固定側と信号側測定端子（Ｌｏ）の埋設固定側に分割して、両者間に空気層を設けたものであり、
ホルダーを垂直上昇移動し、その押上げピンで素子を垂直に持上げて、該素子の各電極を絶縁板のソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）に圧接導通して、素子の微小静電容量値を測定するように備えると共に、絶縁板に空気層を設けたことにより絶縁体の極少静電容量（寄生成分）の影響を阻止して測定できるようにしたことを特徴とする、
チップ状電子部品の測定手段。
【請求項３】
素子をセットする絶縁体を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板を備えると共に、下方にホルダーを垂直上下動自在に備え、
絶縁板にソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）を埋設固定すると共に、その下端を絶縁体にセットした素子の各電極と相対して備える一方、ホルダーに平行対面して設置した押上げピンの先端を、絶縁体を通して素子の各電極と相対して備え、
また、平行対面する押上げピンと点接触する絶縁体を分割して、押上げピン間に金属板を挿置したしたものであり、
ホルダーを垂直上昇移動し、その押上げピンで素子を垂直に持上げて、該素子の各電極を絶縁板のソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）に圧接導通して、素子の微小静電容量値を測定するように備えると共に、絶縁体に金属板を挿置したしたことにより絶縁体の極少静電容量（寄生成分）の影響を阻止して測定できるようにしたことを特徴とする、
チップ状電子部品の測定手段。
【請求項４】
素子をセットする絶縁体を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板を備えると共に、下方にホルダーを垂直上下動自在に備え、
絶縁板に信号側測定端子（Ｌｏ）を埋設固定し、ホルダーにソース側測定端子（Ｈｉ）（圧縮スプリング付）と押上げピン（圧縮スプリング付）を平行対面して取付けて備えたものであり、
ホルダーを垂直上昇移動し、そのソース側測定端子と押上げピンで素子を絶縁板に圧接するまで垂直に持上げて、該素子の各電極を絶縁体の信号側測定端子（Ｌｏ）及びホルダーのソース側測定端子（Ｈｉ）に圧接導通して、素子の微小静電容量値を測定するように備えたことを特徴とする、
チップ状電子部品の測定手段。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極を有したチップ状電子部品（以下、素子と記す。）、特に微小静電容量の電極を有した素子の微小静電容量値の測定に適した測定手段に関し、該素子を高速で正確に精度良く測定する測定手段を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の素子（チップ状電子部品）の測定手段を図３−１及び図３−２に示す。
【０００３】
「図３−１を参照」
従来の測定手段による素子の測定手段は、素子１をセットする絶縁体１０を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板２０を備えると共に、下方にホルダー３０を垂直上下動自在に備え、該ホルダー３０に設置した圧縮スプリング付きのソース側測定端子（Ｈｉ）７及び信号側測定端子（Ｌｏ）８の先端を絶縁体１０を通して素子１の各電極２、２と相対して備えたものであり、
【０００４】
「図３−２を参照」
測定時に、ホルダー３０を垂直上昇することによって、そのソース側測定端子（Ｈｉ）７及び信号側測定端子（Ｌｏ）８の先端が絶縁体１０を通して垂直上昇移動し、もって、絶縁体１０上の素子１を持上げて絶縁板２０に面接触停止すると共に、圧縮スプリングの弾力でソース側測定端子（Ｈｉ）７及び信号側測定端子（Ｌｏ）８の先端が素子１の各電極２、２に圧接導通Ｐ１して素子の静電容量値を測定するようにしたものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の測定手段は、測定時に、ホルダーを高速で垂直上昇移動すると、ソース側測定端子及び信号側測定端子も一緒に高速で垂直上昇移動するため、該端子及びそれらに接続されている測定器からの測定コード等に機械的振動が発生し、また、該機械的振動発生による、空気中の浮遊容量の影響、ホルダー及び絶縁体内での電荷の不均衡発生等によって、同一素子の繰り返し測定で、静電容量測定値が安定しないため、それらが素子の微小静電容量値を測定する上で解決を要する重要課題であった。
【０００６】
そして、機械的振動の終息時間は６秒位要するため、多数素子測定の高速処理化の大きな障害となっていた。
【０００７】
更に、素子と面接触する絶縁板２０、測定端子と点接触する絶縁体１０の極少静電容量値（寄生成分）が微小静電容量素子の測定値に含まれて素子の測定値が不正確になる等の課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで本発明の目的は、微小静電容量を有する素子を高速で正確に精度良く測定する測定手段を提供して上記従来の課題を有効に解決することにある。
即ち、請求項１の発明は、
素子をセットする絶縁体を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板を備えると共に、下方にホルダーを垂直上下動自在に備え、
【０００９】
絶縁板にソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）を埋設固定すると共に、その下端を絶縁体にセットした素子の各電極と相対して備える一方、ホルダーに設置した押上げピンの先端を、絶縁体を通して素子の各電極と相対して備えたものであり、
【００１０】
ホルダーを垂直上昇移動し、その押上げピンで素子を垂直に持上げて、該素子の各電極を絶縁板のソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）に圧接導通して、素子の微小静電容量値を測定するように備えたことを特徴とする、チップ状電子部品の測定手段によって課題を解決したものである。
【００１１】
請求項２の発明は、
素子と面接触する絶縁板を、ソース側測定端子（Ｈｉ）の埋設固定側と信号側測定端子（Ｌｏ）の埋設固定側に分割して、両者間に空気層を設けたものであり、該空気層を設けたことにより絶縁板の極少静電容量（寄生成分）の影響を阻止して測定できるようにしたことを特徴とする、チップ状電子部品の測定手段によって課題を解決したものである。
【００１２】
請求項３記載の発明は、
平行対面する押上げピンと点接触する絶縁体を分割して、押上げピン間に金属板を挿置したしたものであり、該金属板を挿置したしたことにより絶縁体の極少静電容量（寄生成分）の影響を阻止して測定できるようにしたことを特徴とする、チップ状電子部品の測定手段によって課題を解決したものである。
【００１３】
請求項４記載の発明は、
素子をセットする絶縁体を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板を備えると共に、下方にホルダーを垂直上下動自在に備え、
絶縁板に信号側測定端子（Ｌｏ）を埋設固定し、ホルダーにソース側測定端子（Ｈｉ）（圧縮スプリング付）と押上げピン（圧縮スプリング付）を平行対面して取付けて備えたものであり、
【００１４】
ホルダーを垂直上昇移動し、そのソース側測定端子と押上げピンで素子を絶縁板に圧接するまで垂直に持上げて、該素子の各電極を絶縁体の信号側測定端子（Ｌｏ）及びホルダーのソース側測定端子（Ｈｉ）に圧接導通して、素子の微小静電容量値を測定するように備えたことを特徴とする、チップ状電子部品の測定手段によって課題を解決したものである。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明は、信号側測定端子（Ｌｏ）を絶縁板内に埋設固定することによって、信号側測定端子（Ｌｏ）、その端子に接続された測定コードの機械的振動を防ぎ、浮遊容量の影響、絶縁体の電荷の不均衡発生を防止して、微小静電容量素子を高速で測定できる優れた効果がある。
【００１６】
請求項２の発明は、絶縁板に空気層を設けたことにより絶縁板の極少静電容量（寄生成分）加算を防止しその影響を阻止して測定できる優れた効果がある。
【００１７】
請求項３の発明は、絶縁体に金属板を挿置したしたことにより絶縁体の極少静電容量（寄生成分）加算を防止しその影響を阻止して測定できる優れた効果がある。
【００１８】
請求項４の発明は、絶縁板に信号側測定端子（Ｌｏ）を埋設固定し、ホルダーにソース側測定端子（Ｈｉ）（圧縮スプリング付）と押上げピン（圧縮スプリング付）を平行対面して取付けて備えたことにより、該素子の各電極を絶縁体の信号側測定端子（Ｌｏ）及びホルダーのソース側測定端子に圧接導通して、素子の微小静電容量値を測定することができる優れた構成的特徴がある。
【００１９】
図４は、従来の測定手段による信号側測定端子の測定時の測定電圧、センサー、及びトリガーの波形図であり、
図５は、本発明実施例による信号側測定端子の測定時の測定電圧、センサー、及びトリガーの波形図である。
両図を比較すると、本発明実施例の方が微小静電容量素子の静電容量測定に於いて、信号側測定端子の測定電圧波形の乱れがなくなること、トリガーレディタイムを短縮して測定の高速化を図ることができること、及び、ばらつきの無い高精度の測定に極めて有効であること、等の極めて顕著な効果があることを一見して明確に理解できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
素子をセットする絶縁体を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板を備えると共に、下方にホルダーを垂直上下動自在に備え、絶縁板にソース側測定端子（Ｈｉ）及び信号側測定端子（Ｌｏ）を埋設固定すると共に、その下端を絶縁体にセットした素子の各電極と相対して備える一方、ホルダーに平行対面して設置した押上げピンの先端を、絶縁体を通して素子の各電極と相対して備え、また、素子と面接触する絶縁板を、ソース側測定端子（Ｈｉ）の埋設固定側と信号側測定端子（Ｌｏ）の埋設固定側に分割して、両者間に空気層を設け、平行対面する押上げピンと点接触する絶縁体を分割して、押上げピン間に金属板を挿置して備えた、チップ状電子部品の測定手段。
【実施例１】
【００２１】
本発明の実施例１を図１−１、及び図１−２によって説明する。
図１−１は本発明の実施例１の構成概略図であり、図１−２は図１−１の動作説明図である。
【００２２】
「図１−１を参照」
素子１をセットする絶縁体１０を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板２０を備えると共に、下方にホルダー３０を垂直上下動自在に備え、絶縁板２０にソース側測定端子（Ｈｉ６）及び信号側測定端子（Ｌｏ）５を埋設固定すると共に、その下端を絶縁体１０にセットした素子１の各電極２、２と相対して備える一方、ホルダー３０に平行対面して設置した押上げピン４、４の先端を、絶縁体１０を通して素子１の各電極２、２と相対して備え、また、素子１と面接触する絶縁板２０を、ソース側測定端子（Ｈｉ）６の埋設固定側と信号側測定端子（Ｌｏ）５の埋設固定側に分割して、両者間に空気層２１を設け、平行対面する押上げピン４、４と点接触する絶縁体１０を分割して、押上げピン４、４間に金属板１１を挿置して備えたものであり、
【００２３】
「図１−２を参照」
ホルダー３０を垂直上昇移動し、その押上げピン４、４で素子１を垂直に持上げて、該素子１の各電極２、２を絶縁板２０のソース側測定端子（Ｈｉ）６及び信号側測定端子（Ｌｏ）５に圧接導通Ｐ１して、素子1の微小静電容量値を測定するように備えた、チップ状電子部品の測定手段である。
【実施例２】
【００２４】
実施例２を図２−１、及び図２−２によって説明する。
図２−１は本発明の実施例２の構成概略図であり、図２−２は図２−１の動作説明図である。
【００２５】
「図２−１を参照」
素子１をセットする絶縁体１０を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板２０を備えると共に、下方にホルダー３０を垂直上下動自在に備え、
絶縁板２０に信号側測定端子（Ｌｏ）５を埋設固定し、ホルダー３０にソース側測定端子（Ｈｉ）６（圧縮スプリング付）と押上げピン４（圧縮スプリング付）を平行対面して取付けて備えたものであり、
【００２６】
「図２−２を参照」
ホルダー３０を垂直上昇移動し、そのソース側測定端子（Ｈｉ）６と押上げピン４で素子１を絶縁板２０に圧接するまで垂直に持上げて、該素子１の各電極２、２を絶縁板２０の信号側測定端子（Ｌｏ）５及びホルダー３０のソース側測定端子（Ｈｉ）６に圧接導通Ｐ１して、素子１の微小静電容量値を測定するように備えた、チップ状電子部品の測定手段である。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明測定手段は、素子をセットする絶縁体を定位置に備え、その上方の定位置に絶縁板を備え、下方にホルダーを垂直上下動自在に備えたチップ状電子部品の測定手段に広く汎用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１−１】本発明の実施例１の構成概略図。
【図１−２】図１−１の動作説明図。
【図２−１】本発明の実施例２の構成概略図。
【図２−２】図２−１の動作説明図。
【図３−１】従来例の構成概略図。
【図３−２】図３−１の動作説明図。
【図４】従来の測定手段による信号側測定端子の測定時の測定電圧、センサー、及びトリガーの波形図。
【図５】本発明実施例による信号側測定端子の測定時の測定電圧、センサー、及びトリガーの波形図。
【符号の説明】
【００２９】
１    素子(チップ状電子部品)
２    素子電極
４    押上げピン
５    信号側測定端子（Ｌｏ）
６    ソース側測定端子（Ｈｉ）
７    ソース側測定端子（Ｈｉ）(従来例)
８    信号側測定端子（Ｌｏ）(従来例)
１０  絶縁体
１１  金属板
２０  絶縁板
２１  空気層
３０  ホルダー
Ｐ１  電極と測定端子との圧接導通点
【図１−１】
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【図１−２】
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【図２−１】
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【図２−２】
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【図３−１】
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【図３−２】
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【図４】
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【図５】
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