(57)【要約】【課題】同一高さの溝を容易に認識可能にして、ウェハを水平に配置する。【解決手段】  開口面を有する筐体を構成する一対の側壁１１ａ，１１ｂと、前記一対の側壁に夫々複数設けられた突部２とを具備し、前記突部の前記開口面に臨む端面は、前記一対の側壁のウェハが配置されるときに該ウェハに対して対応する位置の突部同士で同一色、同一形状又は同一模様に設定されることを特徴とする。【選択図】      図１
2006108143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口面を有する筐体を構成する一対の側壁と、
前記一対の側壁に夫々複数設けられた突部とを具備し、
前記突部の前記開口面に臨む端面は、前記一対の側壁のウェハが配置されるときに該ウェハに対して対応する位置の突部同士で同一色、同一形状又は同一模様に設定されることを特徴とするウェハカセット。
【請求項２】
前記突部の端面の色、形状又は模様は、上下の突部で相互に異なることを特徴とする請求項１に記載のウェハカセット。
【請求項３】
前記突部の端面の色、形状又は模様は、複数段毎に同一の色、形状又は模様が巡回的に現れることを特徴とする請求項１に記載のウェハカセット。
【請求項４】
開口面を有する筐体を構成する一対の側壁と、
前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部とを具備し、
前記溝部の前記開口面に臨む端面は、前記一対の側壁のウェハが配置されるときに該ウェハに対して対応する位置の溝部同士で同一形状に設定されることを特徴とするウェハカセット。
【請求項５】
前記溝部の端面の形状は、上下の溝部で相互に異なることを特徴とする請求項４に記載のウェハカセット。
【請求項６】
前記溝部の端面の形状は、複数の溝毎に同一の形状が巡回的に現れることを特徴とする請求項４に記載のウェハカセット。
【請求項７】
電気光学装置用基板を、請求項１乃至３のいずれか１つに記載のウェハカセットの前記一対の側壁に夫々複数設けられた突部のうちの対応する位置の突部上に載置するか又は請求項４乃至６のいずれか１つに記載のウェハカセットの前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部のうちの対応する位置の溝部に挿入する工程を具備したことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚の半導体基板、ガラス基板、石英基板等を収納可能なウェハカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に電気光学装置、例えば、電気光学物質に液晶を用いて所定の表示を行う液晶装置は、一対の基板間に液晶が挟持された構成となっている。このうち、ＴＦＴ駆動、ＴＦＤ駆動等によるアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置等の電気光学装置においては、縦横に夫々配列された多数の走査線（ゲート線）及びデータ線（ソース線）の各交点に対応して、画素電極及びスイッチング素子を基板（アクティブマトリクス基板）上に設けて構成される。
【０００３】
ＴＦＴ素子等のスイッチング素子は、ゲート線に供給されるオン信号によってオンとなり、ソース線を介して供給される画像信号を画素電極（透明電極（ＩＴＯ））に書込む。これにより、画素電極と対向電極相互間の液晶層に画像信号に基づく電圧を印加して、液晶分子の配列を変化させる。こうして、画素の透過率を変化させ、画素電極及び液晶層を通過する光を画像信号に応じて変化させて画像表示を行う。
【０００４】
このようなスイッチング素子を構成する素子基板は、集積回路等の半導体装置と同様に、半導体プロセスによって製造される。即ち、シリコンウェハに相当するガラス又は石英基板（以下、これらを総称してウェハという）上に、所定のパターンを有する半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜を積層することによって構成される。即ち、各種膜の成膜工程とフォトリソグラフィ工程の繰返しによって、ＴＦＴ基板等は形成されている。
【０００５】
このような半導体プロセスによって製造される電気光学装置等を含む半導体装置においては、一般的には、各プロセスの処理を行う装置間の搬送に際して、多数枚のウェハを一旦カセット（ウェハ治具又はウェハカセットともいう）に収納してウェハ治具毎に搬送する方法が採用される。
【０００６】
ウェハ治具は、例えば前面が開口した筐体であり、筐体内の左右の側面には、ウェハを支持するための複数の溝が形成されている。この溝内にウェハの両端を挿入することで各ウェハを支持するようになっている。
【０００７】
この場合において、ウェハのカセットへのローディング（収納）又はアンローディングを容易にするものとして、特許文献１においては、自動ロボットを採用した装置が開示されている。
【特許文献１】特開平５−１１４６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、半導体プロセス中の実験、試験や検査のための工程にウェハが投入されることがある。また、製品とするウェハ以外のダミーウェハが工程中に投入されることもある。このような場合には、搬送工程において自動ロボットを利用することができず、人手でウェハをウェハ治具に収納する必要があることがある。
【０００９】
しかしながら、ウェハ治具の溝の上下の間隔が左右の溝間の距離に比べて極めて小さいことから、同一高さの左右の溝を確認することが困難である。このため、左右で異なる高さの溝にウェハを挿入してしまうこともあり、また、同一高さの左右の溝に正確にウェハを挿入するために、比較的長時間を要してしまうことがあるという問題点があった。
【００１０】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、左右で同一の形状、模様、色彩を付すことにより、容易に対応する一対の溝を確認することができるウェハカセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るウェハカセットは、開口面を有する筐体を構成する一対の側壁と、前記一対の側壁に夫々複数設けられた突部とを具備し、前記突部の前記開口面に臨む端面は、前記一対の側壁のウェハが配置されるときに該ウェハに対して対応する位置の突部同士で同一色、同一形状又は同一模様に設定されることを特徴とする。
【００１２】
このような構成によれば、筐体を構成する一対の側壁には、夫々突部が複数設けられる。突部の端面は、一対の側壁の対応する位置の突部同士で同一色、同一形状又は同一模様に設定される。これにより、オペレータが同一色、同一形状又は同一模様の突部を目印として、ウェハを突部間に挿入することで、ウェハを一対の側壁の同一位置に収納することができる。
【００１３】
また、前記突部の端面の色、形状又は模様は、上下の突部で相互に異なることを特徴とする。
【００１４】
このような構成によれば、上下の突部の端面の色、形状又は模様が相互に異なるので、オペレータは一対の側壁の同一位置の突部同士であることを容易に確認することができる。
【００１５】
また、前記突部の端面の色、形状又は模様は、複数段毎に同一の色、形状又は模様が巡回的に現れることを特徴とする。
【００１６】
このような構成によれば、複数段に設定する色、形状又は模様を巡回的に用いることで、多数の段に認識しやすい色、形状、模様を設定することができる。
【００１７】
本発明に係るウェハカセットは、開口面を有する筐体を構成する一対の側壁と、前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部とを具備し、前記溝部の前記開口面に臨む端面は、前記一対の側壁の対応する位置の溝部同士で同一形状に設定されることを特徴とする。
【００１８】
このような構成によれば、筐体を構成する一対の側壁には、夫々溝部が複数設けられる。溝部は、一対の側壁のウェハが配置されるときに該ウェハに対して対応する位置の溝部同士で同一形状に設定される。これにより、オペレータが同一形状の溝部を目印として、ウェハを溝部に挿入することで、ウェハを一対の側壁の同一位置に収納することができる。
【００１９】
また、前記溝部の端面の形状は、上下の溝部で相互に異なることを特徴とする。
【００２０】
このような構成によれば、上下の溝部の形状が相互に異なるので、オペレータは一対の側壁の同一位置の溝部同士であることを容易に確認することができる。
【００２１】
また、前記溝部の端面の形状は、複数の溝毎に同一の形状が巡回的に現れることを特徴とする。
【００２２】
このような構成によれば、複数の溝に設定する形状を巡回的に用いることで、多数の溝に認識しやすい形状を設定することができる。
【００２３】
本発明に係る電気光学装置の製造方法は、電気光学装置用基板を、上記ウェハカセットの前記一対の側壁に夫々複数設けられた突部のうちの対応する位置の突部上に載置するか又は上記ウェハカセットの前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部のうちの対応する位置の溝部に挿入する工程を具備したことを特徴とする。
【００２４】
このような構成によれば、一対の側壁の対応する位置の突部又は溝部同士を容易に認識することができるので、電気光学装置用基板を確実に対応する位置の突部又は溝部に配置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係るウェハカセットを示す正面図である。
【００２６】
図１において、ウェハカセット１は前面が開口した筐体である。ウェハカセット１は、平面的にはウェハ４よりも若干大きなサイズに構成されて、ウェハ４を収納可能である。即ち、ウェハ４が円形状である場合には、平面的にはウェハカセット１の縦方向及び横方向の寸法は、ウェハ４の直径よりも若干大きなサイズに設定され、ウェハ４が四角形の場合には、平面的には、ウェハカセット１の縦方向及び横方向の寸法は、ウェハ４の縦方向及び横方向の寸法よりも夫々若干大きなサイズに設定される。
【００２７】
ウェハカセット１は、高さ方向には所定の高さを有して、所定枚数のウェハ４を収納することができるようになっている。ウェハカセット１は左右方向の一対の側壁１１ａ，１１ｂに、内側に向けて突出した複数の突部２が設けられている。突部２はウェハカセット１の前面から奥行き方向に延出し、上下の突部２同士でウェハカセット１の前面から奥行き方向まで延びた溝部３を構成する。
【００２８】
左右の側壁１１ａ，１１ｂに設けた各突部２は、対応する左右の段同士で相互に同一の高さに配置され、左右の溝３はウェハカセット１の同一高さの位置に設けられる。なお、各突部２の高さ方向の寸法（肉厚）は、必ずしも同一でなくてもよいが、例えば、各突部２の上面、即ち、溝部３の底面の位置は、少なくとも左右の対応する突部同士で同一となっている。
【００２９】
各突部２の少なくとも前端面はウェハカセット１の前面開口に露呈しており、各突部２の前端面をウェハカセット１の前方から視認することができるようになっている。
【００３０】
本実施の形態においては、格突部２の少なくとも前端面には、着色が施されており、ウェハカセット１の同一高さの突部２同士の前端面は、同一色に設定されている。更に、本実施の形態においては、上下に所定段数間隔（例えば１段毎）で隣接する突部２同士の前端面には異なる色の着色が施されている。そして、同一色が所定の段数毎に周期的に現れるように彩色が施されている。
【００３１】
例えば、図１では、着色された色の相違を各突部２の前端面に付したハッチングの模様の変化によって表している。例えば、図１の無地は前端面２Ｙが黄色に着色されていることを示し、斜め斜線は前端面２Ｒが赤に着色されていることを示し、クロス斜線は前端面２Ｂが青に着色されていることを示し、縦縞は前端面２Ｇが緑に着色されていることを示し、塗り潰しは前端面２ＢＬが黒に着色されていることを示している。
【００３２】
なお、図１は一例であり、各突部の前端面に付す色は特に限定されるものではない。図１の例では黒を含む５色で巡回的に着色した例を示したが、２色以上であれば何色でもよく、着色の周期は特に限定されるものではない。例えば、好ましくは、色を１段毎に変えた方がよいが、場合によっては、黒を２段、白を２段ずつ等のように、複数段間隔で着色してもよい。なお、同一色が現れる段の間隔は、なるべく大きい方がよく、また、上下の段の色は色合いの変化が大きい方がよい。
【００３３】
このように構成された実施の形態においては、オペレータは、各突部２の前端面の色を参考にしながら、ウェハ４をウェハカセット１内に収納する。即ち、オペレータは、ウェハ４を図示しないウェハピンセットを用いて保持し、左右で前端面が同一色の突部２同士の上方又は下方の溝３に、ウェハ４を挿入して溝３内にウェハ４を格納する。同一色の突部２同士は、ウェハカセット１内の同一の高さの位置に設けられており、オペレータが左右で同一色の突部２の上方又は下方にウェハ４を収納することで、ウェハ４を確実に水平に配置することができる。
【００３４】
このように、本実施の形態においては、突部２同士の間隔が狭い場合でも、オペレータが左右の突部２の色を一致させながらウェハを挿入することで、ウェハを確実に水平状態で溝内に収納することができる。
【００３５】
なお、ウェハカセットの前方から視認できるのであれば、突部の前端面以外の位置に着色するようにしてもよい。
【００３６】
図２は本発明の第２の実施の形態に係るウェハカセットを示す正面図である。図２において図１と同一の構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００３７】
第１の実施の形態においては、突部の前端面の色を左右で同一にすることによって、左右の同一高さの溝を確認した。これに対し、本実施の形態は、突部の前端面の形状を所定段数毎に変化させ、左右で同一形状とすることで、左右の同一高さの溝を確認可能にしたものである。
【００３８】
即ち、図１の突部２はウェハカセット１の前方から見た形状は共通で、前端面の色に変化を付けていたが、本実施の形態における各突部５は、前端面の色は共通で、ウェハカセット１の前方から見た形状に変化を付けたものである。
【００３９】
各突部５はウェハカセット１の前方から少なくとも前端面の形状を確認できるようになっている。そして、ウェハカセット１の同一高さの突部５同士の前端面形状は、同一に設定されている。更に、本実施の形態においては、上下に所定段数間隔（例えば１段毎）で隣接する突部５同士の前端面形状は異なる形状に設定されている。そして、同一形状が所定の段数毎に周期的に現れるようになっている。
【００４０】
例えば、図２の例では、突部５Ａ乃至５Ｄの４種類の前端面形状を巡回的に設定した例を示している。なお、図２は一例であり、各突部の前端面形状は特に限定されるものではない。図２の例では４形状を巡回的に設定した例を示したが、２形状以上であれば何形状でもよく、その周期は特に限定されるものではない。例えば、好ましくは、形状を１段毎に変えた方がよいが、場合によっては、同一形状を例えば２段ずつ繰返してもよい。なお、同一形状が現れる段の間隔は、なるべく大きい方がよく、また、上下の段の形状の変化は大きい方がよい。
【００４１】
このように構成された実施の形態においては、オペレータは、各突部５の前端面形状を参考にしながら、ウェハ４をウェハカセット１内に収納する。即ち、オペレータは、左右で前端面が同一形状の突部５同士の上方又は下方の溝３に、ウェハ４を挿入して溝３内にウェハ４を格納する。前端面が同一形状の突部５同士は、ウェハカセット１内の同一の高さの位置に設けられており、オペレータが左右で同一色の突部５の上方又は下方にウェハ４を収納することで、ウェハ４を確実に水平に配置することができる。
【００４２】
このように、本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４３】
図３は本発明の第３の実施の形態に係るウェハカセットを示す正面図である。図３において図１と同一の構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００４４】
第１又は第２の実施の形態においては、突部の前端面の色又は形状を左右で同一にすることによって、左右の同一高さの溝を確認した。これに対し、本実施の形態は、ウェハカセット１の前方から見える溝形状を所定段数毎に変化させ、左右で同一形状とすることで、左右の同一高さの溝を確認可能にしたものである。
【００４５】
即ち、本実施の形態においては、各突部７の色及び形状は共通で、ウェハカセット１の前端面に現れる各溝６の形状に変化を付けたものである。
【００４６】
各溝６はウェハカセット１の前方から少なくとも前端面の形状を確認できるようになっている。そして、ウェハカセット１の同一高さの溝６同士の前端面における溝形状は、同一に設定されている。更に、本実施の形態においては、上下に所定段数間隔（例えば１段毎）で隣接する溝６同士の溝形状は異なる形状に設定されている。そして、同一形状が所定の段数毎に周期的に現れるようになっている。
【００４７】
例えば、図３の例では、溝６Ａ乃至６Ｄの４種類の溝形状を巡回的に設定した例を示している。なお、図３は一例であり、各溝形状は特に限定されるものではない。図３の例では４形状を巡回的に設定した例を示したが、２形状以上であれば何形状でもよく、その周期は特に限定されるものではない。例えば、好ましくは、形状を１段毎に変えた方がよいが、場合によっては、同一形状を例えば２段ずつ繰返してもよい。なお、同一形状が現れる段の間隔は、なるべく大きい方がよく、また、上下の段の形状の変化は大きい方がよい。
【００４８】
このように構成された実施の形態においては、オペレータは、各溝６の溝形状を参考にしながら、ウェハ４をウェハカセット１内に収納する。即ち、オペレータは、左右で前端面が同一形状の溝６同士に、ウェハ４を挿入して格納する。前端面が同一形状の溝６同士は、ウェハカセット１内の同一の高さの位置に設けられており、オペレータが左右で同一色の溝６にウェハ４を収納することで、ウェハ４を確実に水平に配置することができる。
【００４９】
このように、本実施の形態においても、第１及び第２の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５０】
図４は本発明の第４の実施の形態に係るウェハカセットを示す正面図である。図４において図１と同一の構成要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００５１】
第１の実施の形態においては、突部の前端面の色を左右で同一にすることによって、左右の同一高さの溝を確認した。これに対し、本実施の形態は、突部の前端面の模様を所定段数毎に変化させ、左右で同一模様とすることで、左右の同一高さの溝を確認可能にしたものである。
【００５２】
即ち、本実施の形態における各突部８は、前端面の色は共通で、前端面の模様に変化を付けたものである。各突部８はウェハカセット１の前方から少なくとも前端面の模様を確認できるようになっている。そして、ウェハカセット１の同一高さの突部８同士の前端面模様は、同一に設定されている。更に、本実施の形態においては、上下に所定段数間隔（例えば１段毎）で隣接する突部８同士の前端面模様は異なる模様に設定されている。そして、同一模様が所定の段数毎に周期的に現れるようになっている。
【００５３】
図４は突部８の前端面模様をハッチングによって示している。なお、塗り潰しは、梨時模様を示している。図４の例では、突部８Ａ乃至８Ｅの５種類の前端面模様を巡回的に設定した例を示している。なお、図４は一例であり、各突部の前端面模様は特に限定されるものではない。図４の例では５模様を巡回的に設定した例を示したが、２模様以上であれば何模様でもよく、その周期は特に限定されるものではない。例えば、好ましくは、模様を１段毎に変えた方がよいが、場合によっては、同一模様を例えば２段ずつ繰返してもよい。なお、同一模様が現れる段の間隔は、なるべく大きい方がよく、また、上下の段の模様の変化は大きい方がよい。
【００５４】
このように構成された実施の形態においては、オペレータは、各突部８の前端面模様を参考にしながら、ウェハ４をウェハカセット１内に収納する。即ち、オペレータは、左右で前端面が同一模様の突部８同士の上方又は下方の溝３に、ウェハ４を挿入して溝３内にウェハ４を格納する。前端面が同一模様の突部８同士は、ウェハカセット１内の同一の高さの位置に設けられており、オペレータが左右で同一模様の突部８の上方又は下方にウェハ４を収納することで、ウェハ４を確実に水平に配置することができる。
【００５５】
このように、本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５６】
図５及び図６は上記各実施の形態のウェハカセットを用いて製造された電気光学装置を示している。図５は電気光学装置用基板であるＴＦＴ基板等の素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板側から見た平面図であり、図６は素子基板と対向基板とを貼り合わせて液晶を封入する組立工程終了後の電気光学装置である液晶装置を、図５のＨ−Ｈ'線の位置で切断して示す断面図である。
【００５７】
電気光学装置である液晶装置は、図５及び図６に示すように、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板を用いた素子基板１０と、これに対向配置される、例えばガラス基板や石英基板を用いた対向基板２０との間に液晶５０を封入して構成される。対向配置された素子基板１０と対向基板２０とは、シール材４１によって貼り合わされている。
【００５８】
素子基板１０上には画素を構成する画素電極（ＩＴＯ）９ａ等がマトリクス状に配置される。また、対向基板２０上には全面に対向電極（ＩＴＯ）２１が設けられる。素子基板１０の画素電極９ａ上には、配向処理が施された配向膜１６が設けられている。一方、対向基板２０条には第１遮光膜２３が形成され、第１遮光膜２３上には、対向電極（共通電極）２１が基板２０全面に亘って形成されている。対向電極２１上に配向処理が施された配向膜２２が積層されている。また、対向基板２０には表示領域を区画する額縁としての遮光膜４２が設けられている。遮光膜４２は例えば遮光膜２３と同一又は異なる遮光性材料によって形成されている。
【００５９】
液晶を封入するためのシール材４１は、遮光膜４２の外側の領域の素子基板１０と対向基板２０との間に形成される。シール材４１は対向基板２０の輪郭形状に略一致するように配置され、素子基板１０と対向基板２０を相互に固着する。シール材４１は、素子基板１０の１辺の一部において欠落しており、液晶５０を注入するための液晶注入口７８が形成される。貼り合わされた素子基板１０及び対向基板２０相互の間隙には、液晶注入口７８より液晶が注入される。液晶注入後に、液晶注入口７８を封止材７９で封止するようになっている。
【００６０】
素子基板１０のシール材４１の外側の領域には、データ線駆動回路６１及び実装端子６２が素子基板１０の一辺に沿って設けられており、この一辺に隣接する２辺に沿って、走査線駆動回路６３が設けられている。素子基板１０の残る一辺には、画面表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路６３間を接続するための複数の配線６４が設けられている。また、対向基板２０のコーナー部の少なくとも１箇所においては、素子基板１０と対向基板２０との間を電気的に導通させるための導通材６５が設けられている。
【００６１】
上記各実施の形態に係るウェハカセットは、図５及び図６に示す素子基板１０又は対向基板２０の種々の製造工程において採用される。例えば、素子基板１０又は対向基板２０の搬送に際して、素子基板１０又は対向基板２０を上記各実施の形態のウェハカセットに挿入して、搬送するのである。上記各実施の形態のウェハカセットは、左右の対応する突部又は溝部が同一形状、模様又は色で構成されており、素子基板１０又は対向基板２０を確実に同一段に挿入することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るウェハカセットを示す正面図。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係るウェハカセットを示す正面図。
【図３】本発明の第３の実施の形態に係るウェハカセットを示す正面図。
【図４】本発明の第４の実施の形態に係るウェハカセットを示す正面図。
【図５】各実施の形態のウェハカセットを用いて製造された電気光学装置を示す平面図。
【図６】各実施の形態のウェハカセットを用いて製造された電気光学装置を示す断面図。
【符号の説明】
【００６３】
１…ウェハカセット、２…突部、３…溝部、４…ウェハ、１１ａ，１１ｂ…側壁。
【図１】
2006108143.tif 000003
【図２】
2006108143.tif 000004
【図３】
2006108143.tif 000005
【図４】
2006108143.tif 000006
【図５】
2006108143.tif 000007
【図６】
2006108143.tif 000008