(57)【要約】【課題】  基板への接着性が良好で、且つ、良好に駆動可能な有機薄膜トランジスタ、該有機薄膜トランジスタを設けた有機薄膜トランジスタシート及びこれらの製造方法の提供。【解決手段】  支持体と金属箔とをラミネートする接着層を支持体上に有し、前記支持体と前記金属箔とが前記接着層によりラミネートされ、前記支持体上にラミネートされた前記金属箔表面が研磨されたものであることを特徴とする有機薄膜トランジスタ。【選択図】        図６
2006093191.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と金属箔とをラミネートする接着層を支持体上に有し、前記支持体と前記金属箔とが前記接着層によりラミネートされ、前記支持体上にラミネートされた前記金属箔表面が研磨されたものであることを特徴とする有機薄膜トランジスタ。
【請求項２】
前記研磨は電解研磨であることを特徴とする請求項１に記載の有機薄膜トランジスタ。
【請求項３】
前記研磨は電解研磨と化学的機械研磨とであることを特徴とする請求項１に記載の有機薄膜トランジスタ。
【請求項４】
前記研磨は前記金属箔の表面粗さをＲｍａｘ＝５００ｎｍ以下に研磨するものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタ。
【請求項５】
ゲート電極の形成は研磨後に金属箔をエッチングするものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタ。
【請求項６】
前記金属箔はアルミニウムまたはタンタル、または、それらのいずれかを含有する合金であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタ。
【請求項７】
ゲート電極の一部が前記金属箔の陽極酸化被膜であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタ。
【請求項８】
研磨された前記金属箔にゲート電極が形成され、前記ゲート電極表面を覆うゲート絶縁層が形成され、前記ゲート絶縁層上に有機半導体層が形成され、前記有機半導体層上に光感応性樹脂の現像液により除去可能な原電極層が形成され、前記原電極層上に光感応性樹脂層が形成され、前記光感応性樹脂層が露光され、露光された前記光感応性樹脂層を現像することにより、前記原電極層の一部を除去してソース電極及びドレイン電極が形成されたものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタ。
【請求項９】
前記支持体は少なくとも樹脂よりなるものを含むことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタ。
【請求項１０】
支持体と金属箔とをラミネートする接着層を支持体上に形成する工程と、前記支持体と前記金属箔とを前記接着層によりラミネートする工程と、前記支持体上にラミネートされた前記金属箔表面を研磨する工程と、研磨した前記金属箔にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極表面を覆うゲート絶縁層を形成する工程と、前記ゲート絶縁層上に有機半導体層を形成する工程と、前記有機半導体層上に光感応性樹脂の現像液により除去可能な原電極層を形成する工程と、前記原電極層上に光感応性樹脂層を形成する工程と、前記光感応性樹脂層を露光する工程及び、露光された前記光感応性樹脂層を現像することにより、前記原電極層の一部を除去してソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、を有することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項１１】
支持体と金属箔とをラミネートする接着層を支持体上に形成する工程と、前記支持体と前記金属箔とをラミネートする工程と、前記支持体上にラミネートされた前記金属箔表面を研磨する工程と、研磨した前記金属箔にゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極表面を覆うゲート絶縁層を形成する工程と、前記ゲート絶縁層上に有機半導体層を形成する工程と、前記有機半導体層上に光感応性樹脂の現像液により除去可能な原電極層を形成する工程と、前記原電極層上に光感応性樹脂層を形成する工程と、前記光感応性樹脂層を露光する工程及び、露光された前記光感応性樹脂層を現像することにより、前記原電極層の一部を除去してソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、を有し、
前記ゲート電極を形成する工程において、前記ゲート電極を有する走査線を形成し、ソース電極及びドレイン電極を形成する前記工程において、前記ソース電極又は前記ドレイン電極を含む信号線及び前記ソース電極又は前記ドレイン電極を含む入出力電極を形成することにより、前記走査線及び前記信号線により接続されマトリクス配置された複数の有機薄膜トランジスタを有する有機薄膜トランジスタシートを製造することを特徴とする有機薄膜トランジスタシートの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする有機薄膜トランジスタシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機薄膜トランジスタ、有機薄膜トランジスタシート及びこれらの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の活性半導体層を有機半導体で構成した有機薄膜トランジスタ（有機ＴＦＴ）は、低コスト、且つ、大面積でありフレキシブルなデバイス、特に、ディスプレイやセンサ等のアクティブ駆動素子として検討されている。
【０００３】
有機薄膜トランジスは、ディスプレイやセンサの価格を革命的に引き下げる可能性を有することからその製造方法が有機薄膜トランジスタ関連技術における鍵の一つになる。
【０００４】
特許文献１及び特許文献２には、ソース電極及びドレイン電極を金の蒸着膜で形成した有機薄膜トランジスタが記載されている。また、特許文献３には、従来のフォトリソグラフ、インクジェット印刷等により電極を形成することが記載されている。
【特許文献１】特開平１０−１９０００１号公報
【特許文献２】特開２０００−３０７１７２号公報
【特許文献３】世界公開第００／７９６１７号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術では、樹脂基板状への電極の接着性、機械的耐久性に問題があった。具体的には、樹脂基板上に蒸着やスパッタで形成した金属薄膜をゲート電極に用いた場合、金属薄膜の基板への接着強度が低く、トランジスタ製造プロセス中に、傷つきや剥離により断線が生じる等の問題があり、電極が破壊されるとトランジスタが動作しないといった致命的な問題が発生する。
【０００６】
一方、導電性ペーストや、金属箔で形成した電極は、接着強度は十分であるものの、表面粗さが大きく、これをゲート電極に用いると、トランジスタのキャリア移動度が低くなるか、駆動しないといった問題が生じた。
【０００７】
本発明は係る課題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、基板への接着性が良好で、且つ、良好に駆動可能な有機薄膜トランジスタ、該有機薄膜トランジスタを設けた有機薄膜トランジスタシート及びこれらの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る上記目的は下記請求項に記載する構成により達成される。
【０００９】
請求項１に係る発明は、支持体と金属箔とをラミネートする接着層を支持体上に有し、前記支持体と前記金属箔とが前記接着層によりラミネートされ、前記支持体上にラミネートされた前記金属箔表面が研磨されたものであることを特徴とする有機薄膜トランジスタである。
【００１０】
なお、金属箔とはスパッタや蒸着などで形成された金属薄膜や、導電性ペーストなどの流動性電極材料から形成された導電膜と異なり、圧延などで形成された金属の箔又はフィルムを指す。
【００１１】
請求項２に係る発明は、前記研磨は電解研磨であることを特徴とする請求項１に記載の有機薄膜トランジスタである。
【００１２】
請求項３に係る発明は、前記研磨は電解研磨と化学的機械研磨とであることを特徴とする請求項１に記載の有機薄膜トランジスタである。
【００１３】
請求項４に係る発明は、前記研磨は前記金属箔の表面粗さをＲｍａｘ＝５００ｎｍ以下に研磨するものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタである。
【００１４】
請求項５に係る発明は、ゲート電極の形成は研磨後に金属箔をエッチングするものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタである。
【００１５】
請求項６に係る発明は、前記金属箔はアルミニウムまたはタンタル、または、それらのいずれかを含有する合金であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタである。
【００１６】
請求項７に係る発明は、ゲート電極の一部が前記金属箔の陽極酸化被膜であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタである。
【００１７】
請求項８に係る発明は、研磨された前記金属箔にゲート電極が形成され、前記ゲート電極表面を覆うゲート絶縁層が形成され、前記ゲート絶縁層上に有機半導体層が形成され、前記有機半導体層上に光感応性樹脂の現像液により除去可能な原電極層が形成され、前記原電極層上に光感応性樹脂層が形成され、前記光感応性樹脂層が露光され、露光された前記光感応性樹脂層を現像することにより、前記原電極層の一部を除去してソース電極及びドレイン電極が形成されたものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタである。
【００１８】
請求項９に係る発明は、前記支持体は少なくとも樹脂よりなるものを含むことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の有機薄膜トランジスタである。
【００１９】
請求項１０に係る発明は、支持体と金属箔とをラミネートする接着層を支持体上に形成する工程と、前記支持体と前記金属箔とを前記接着層によりラミネートする工程と、前記支持体上にラミネートされた前記金属箔表面を研磨する工程と、研磨した前記金属箔にゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極表面を覆うゲート絶縁層を形成する工程と、前記ゲート絶縁層上に有機半導体層を形成する工程と、前記有機半導体層上に光感応性樹脂の現像液により除去可能な原電極層を形成する工程と、前記原電極層上に光感応性樹脂層を形成する工程と、前記光感応性樹脂層を露光する工程及び、露光された前記光感応性樹脂層を現像することにより、前記原電極層の一部を除去してソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、を有することを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法である。
【００２０】
請求項１１に係る発明は、支持体と金属箔とをラミネートする接着層を支持体上に形成する工程と、前記支持体と前記金属箔とをラミネートする工程と、前記支持体上にラミネートされた前記金属箔表面を研磨する工程と、研磨した前記金属箔にゲート電極を形成する工程と、前記ゲート電極表面を覆うゲート絶縁層を形成する工程と、前記ゲート絶縁層上に有機半導体層を形成する工程と、前記有機半導体層上に光感応性樹脂の現像液により除去可能な原電極層を形成する工程と、前記原電極層上に光感応性樹脂層を形成する工程と、前記光感応性樹脂層を露光する工程及び、露光された前記光感応性樹脂層を現像することにより、前記原電極層の一部を除去してソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、を有し、前記ゲート電極を形成する工程において、前記ゲート電極を有する走査線を形成し、ソース電極及びドレイン電極を形成する前記工程において、前記ソース電極又は前記ドレイン電極を含む信号線及び前記ソース電極又は前記ドレイン電極を含む入出力電極を形成することにより、前記走査線及び前記信号線により接続されマトリクス配置された複数の有機薄膜トランジスタを有する有機薄膜トランジスタシートを製造することを特徴とする有機薄膜トランジスタシートの製造方法である。
【００２１】
請求項１２に係る発明は、請求項１１に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする有機薄膜トランジスタシートである。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１〜９に係る発明によれば、ゲート電極と支持体の接着強度が向上し、ゲート電極の表面が平滑になりキャリアの移動速度が早くなり、良好に駆動可能な有機薄膜トランジスタの提供が可能となる。
【００２３】
請求項１０に係る発明によれば、請求項１〜９に記載した有機薄膜トランジスタの効率的な製造方法の提供が可能となる。
【００２４】
請求項１１に係る発明によれば、請求項１〜９に記載した有機薄膜トランジスタを多数有する有機薄膜トランジスタシートの効率的な製造方法の提供が可能となる。
【００２５】
請求項１２に係る発明によれば、請求項１〜９に記載した有機薄膜トランジスタを多数有する有機薄膜トランジスタシートの提供が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は本発明により製造された有機薄膜トランジスタの例を示すが、本発明はこれに限られない。
【００２７】
図１（ａ）は有機薄膜トランジスタの全体を示しており、１は支持体、４は接着層、２ａはゲート電極（第１金属層）、３ｂはゲート絶縁層、５は有機半導体層、６はソース電極、７はドレイン電極である。
【００２８】
図１（ｂ）は図１（ａ）から支持体１と接着層４とゲート電極２ａとを抜き出した図で、ゲート電極２ａを陽極酸化膜２ｂが覆っている。
【００２９】
図１（ｃ）は図１（ａ）から支持体１と接着層４とゲート電極２ａとを抜き出した図で、ゲート電極２ａ部以外の接着層を除去してある。
【００３０】
図１に示す有機薄膜トランジスタにおいて、
支持体１は、ガラスやフレキシブルなポリマーシートで構成され、例えばプラスチックフィルムをシートとして用いることができる。前記プラスチックフィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリレート、ポリイミド、ボリカーボネート（ＰＣ）、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）、セルロースアセテートプロピオネート（ＣＡＰ）等からなるフィルム等が挙げられる。このように、プラスチックフィルムを用いることで、ガラス基板を用いる場合に比べて軽量化を図ることができ、可搬性を高めることができるとともに、可撓性を有し、衝撃に対する耐性を向上できる。
【００３１】
接着層４は、支持体とゲート電極となる金属箔をラミネートするもので、アミン系硬化剤、ポリアミド系硬化剤、酸及び酸無水物系硬化剤、イミダゾール系硬化剤、フェノール系樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂などの硬化剤、及びイソシアネート類などの硬化剤を含む、エポキシ樹脂／ポリエステル系接着剤、エポキシ樹脂／ニトリルゴム系接着剤、エポキシ樹脂／アクリルエラストマー系接着剤、及びエポキシ樹脂／ウレタン系接着剤など、公知の材料を用いることが出来る。また、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン類や酢酸ビニル系樹脂などの熱可塑性樹脂を用いてもよい。
【００３２】
ゲート電極２ａびゲートバスラインは、箔とするための圧延等の処理が可能な金属材料で、アルミニウム、銅、銀、タンタル等の金属箔が好ましく、後に続く研磨及び陽極酸化により消費されるため、０．１μｍ〜１００μｍ、好ましくは１μｍ〜２０μｍの厚さを有し、陽極酸化膜を絶縁膜の一部とする場合は特にアルミニウム、タンタルが好ましい。
【００３３】
また、ゲート電極及びゲートバスラインを同一材料で形成することにより、ゲート電極とゲートバスラインを１工程で形成することが可能になる。ゲートバスラインには、抵抗の低い材料が望ましく、比抵抗３０Ω・ｃｍ以下の材料が好ましい。
【００３４】
ゲート電極は、マスキングやエッチングによりパターン化され、形成される。
【００３５】
支持体とゲート電極になる金属箔とのラミネートは、上述した接着層材料に応じて、たとえば、接着層の塗布後に熱風を吹き付ける乾燥部と圧着部とを備えたドライラミネーションを用いても良く、ホットメルトラミネーション（熱溶融ラミネート法）を用いてもよく、押し出しコーティングラミネーション、等の一般的に用いられるラミネート方法が用いることが可能となる。
【００３６】
ゲート電極の研磨方法は、研磨剤を用いた機械的研磨、ＣＭＰ（ケミカル・メカニカル・ポリシング）、化学的エッチング、電解研磨等が挙げられるが、好ましくは電解研磨、より好ましくは電解研磨とＣＭＰの併用が好ましい。
【００３７】
電解研磨においては金属箔に直流電源の陽極を接続し、電解液中に浸漬した陰極板に陰極を接続し、金属箔と陰極板間に電解液を介して所定の電流を流すことにより、陰極板に対向して電解液中を搬送される金属箔表面、特にその表面突起を溶出させ、表面を平滑にする。或いは必要に応じて交流を印加しても良く、または直流に交流を重畳して印加しても良い。
【００３８】
ここで金属箔にアルミニウム等の両性金属を用いる場合は接続する極性は陰陽逆であってもよい。
【００３９】
また、ＣＭＰとしては半導体製造工程で利用されているメタルＣＭＰの技術を用いることができる（たとえば、技術情報協会編「次世代ＵＬＳＩ多層配線の新材料・プロセス技術」に記載されている）。
【００４０】
研磨後のＪＩＳ  Ｂ  ０６０１による箔の表面粗さ最大値Ｒｍａｘは１ｎｍ〜５００ｎｍ、平均値Ｒａは３０ｎｍ以下、より好ましくはＲｍａｘは１ｎｍ〜１００ｎｍ、Ｒａは６ｎｍ以下が好ましい。
【００４１】
また、研磨後の厚さは０．０５〜５０μｍ、好ましくは０．１〜１５μｍが好ましい。
ゲート電極の形成方法としては、公知のフォトリソグラフ法によって、上記金属箔にフォトレジストを塗布しレーザーによるパターン露光を行いその後金属のエッチング液を用いてパターン化する電極形成方法が好ましいが、
その他、リフトオフ法を用いて電極形成する方法、アルミニウムや銅などの金属箔上に熱転写、インクジェット等によりパターニングしたレジストを用いてエッチングする方法がある。
【００４２】
また導電性ポリマーの溶液あるいは分散液、導電性微粒子分散液を直接インクジェットによりパターニングしてもよいし、塗工膜からリソグラフやレーザーアブレーションなどにより形成してもよい。さらに導電性ポリマーや導電性微粒子を含むインク、導電性ペーストなどを凸版、凹版、平版、スクリーン印刷などの印刷法でパターニングする方法も用いることができる。
【００４３】
ゲート絶縁層３ｂは陽極酸化膜又は該陽極酸化膜と絶縁膜とで構成される。陽極酸化膜は封孔処理されることが望ましい。陽極酸化膜は、陽極酸化が可能な金属を公知の方法により陽極酸化することにより形成される。
【００４４】
陽極酸化処理可能な金属としては、アルミニウム又はタンタルを挙げることができ、陽極酸化処理の方法には特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。陽極酸化処理を行なうことにより、酸化被膜が形成される。陽極酸化処理に用いられる電解液としては、多孔質酸化皮膜を形成することができるものならばいかなるものでも使用でき、一般には、硫酸、燐酸、蓚酸、クロム酸、ホウ酸、スルファミン酸、ベンゼンスルホン酸等あるいはこれらを２種類以上組み合わせた混酸あるいそれらの塩が用いられる。陽極酸化の処理条件は使用する電解液により種々変化するので一概に特定し得ないが、一般的には、電解液の濃度が１〜８０質量％、電解液の温度５〜７０℃、電流密度０．５〜６０Ａ／ｄｍ2、電圧１〜１００ボルト、電解時間１０秒〜５分の範囲が適当である。好ましい陽極酸化処理は、電解液として硫酸、リン酸又はホウ酸の水溶液を用い、直流電流で処理する方法であるが、交流電流を用いることもできる。これらの酸の濃度は５〜４５質量％であることが好ましく、電解液の温度２０〜５０℃、電流密度０．５〜２０Ａ／ｄｍ2で２０〜２５０秒間電解処理するのが好ましい。
【００４５】
図１に示したように、ゲート電極とゲート絶縁層の少なくとも一部とは、金属層と陽極酸化膜とからなり、金属層と陽極酸化膜との次のような組合わせによりゲート電極及びゲート絶縁層の少なくとも一部が形成される。
（１）ゲート電極・・・・第１金属層
ゲート絶縁層・・・・・前記第１金属層とは異なる金属の第２陽極酸化膜
このような組み合わせを実現する金属材料としては、前記第１金属層に、銅又はアルミニウムを用いることができ、第２金属層に、アルミニウム又はタンタルを用いることができる。
【００４６】
特に望ましい材料の組み合わせとしては、第１金属層に銅を用い、第２金属層にアルミニウムを用いるものと、第１金属層にアルミニウムを用い、第２金属層にタンタルを用いるものがある。
【００４７】
陽極酸化膜の表面、すなわち、絶縁膜と接する陽極酸化膜の表面又は有機半導体層と接する陽極酸化膜の表面は平滑であることが望ましく、その表面粗さは、Ｒｍａｘで５０ｍｎ以下、Ｒａで３０ｎｍ以下であることが望ましく、Ｒｍａｘで１０ｎｍ以下、Ｒａで６ｎｍ以下であることが特に望ましい。
【００４８】
このような平滑性の高い陽極酸化膜を形成するために、陽極酸化される金属層は研磨、又はスパッタリング法又はＣＶＤ法により形成されることが望ましく、特に研磨又はスパッタリング法又は大気圧プラズマ法により形成されることが望ましい。特に、２層構成とすることにより平滑性を向上することができる。
【００４９】
ここで、大気圧プラズマ法は、ドラム状の電極の周囲にガスの供給手段と固定電極を設け、略大気圧中で両電極間に放電によるガスのプラズマを発生させ、ドラム状電極に沿わせて搬送されるウエブ表面に被膜を形成するような方式が望ましく、このような大気圧プラズマ法等によって高い平滑性の陽極酸化膜を形成することにより、その上に形成される有機半導体の配向性を向上することができ、活性層におけるキャリアの移動度を向上することができる等の効果が得られる。
【００５０】
前記したように、本発明においては、ゲート絶縁層の少なくとも一部が陽極酸化膜により形成されるが、該陽極酸化膜はゲート絶縁層の比誘電率を高め、その絶縁性を高める上で有効であり、該陽極酸化膜の比誘電率は６以上であることが望ましい。
【００５１】
陽極酸化膜の形成後、封孔処理することが好ましい。封孔処理により、上記に示した絶縁膜を設けない構成でも、良好な絶縁性が得られる。封孔処理は、熱水処理、沸騰水処理、水蒸気処理、珪酸ソーダ処理、重クロム酸塩水溶液処理、亜硝酸塩処理、酢酸アンモニウム塩処理、電着封孔処理等の公知の方法を用いて行うことができる。
【００５２】
有機半導体層５は、活性層を構成する有機半導体にはπ共役系材料が用いられる。たとえばポリピロール、ポリ（Ｎ−置換ピロール）、ポリ（３−置換ピロール）、ポリ（３，４−二置換ピロール）などのポリピロール類、ポリチオフェン、ポリ（３−置換チオフェン）、ポリ（３，４−二置換チオフェン）、ポリベンゾチオフェンなどのポリチオフェン類、ポリイソチアナフテンなどのポリイソチアナフテン類、ポリチェニレンビニレンなどのポリチェニレンビニレン類、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）などのポリ（ｐ−フェニレンビニレン）類、ポリアニリン、ポリ（Ｎ−置換アニリン）、ポリ（３−置換アニリン）、ポリ（２，３−置換アニリン）などのポリアニリン類、ポリアセチレンなどのポリアセチレン類、ポリジアセチレンなどのポリジアセチレン類、ポリアズレンなどのポリアズレン類、ポリピレンなどのポリピレン類、ポリカルバゾール、ポリ（Ｎ−置換カルバゾール）などのポリカルバゾール類、ポリセレノフェンなどのポリセレノフェン類、ポリフラン、ポリベンゾフランなどのポリフラン類、ポリ（ｐ−フェニレン）などのポリ（ｐ−フェニレン）類、ポリインドールなどのポリインドール類、ポリピリダジンなどのポリピリダジン類、ナフタセン、ペンタセン、ヘキサセン、ヘプタセン、ジベンゾペンタセン、テトラベンゾペンタセン、ピレン、ジベンゾピレン、クリセン、ペリレン、コロネン、テリレン、オバレン、クオテリレン、サーカムアントラセンなどのポリアセン類およびポリアセン類の炭素の一部をＮ、Ｓ、Ｏなどの原子、カルボニル基などの官能基に置換した誘導体（トリフェノジオキサジン、トリフェノジチアジン、ヘキサセン−６，１５−キノンなど）、ポリビニルカルバゾール、ポリフエニレンスルフィド、ポリビニレンスルフィドなどのポリマーや特開平１１−１９５７９０に記載された多環縮合体などを用いることができる。また、これらのポリマーと同じ繰返し単位を有するたとえばチオフェン６量体であるα−セクシチオフェンα，ω−ジヘキシル−α−セクシチオフェン、α，ω−ジヘキシル−α−キンケチオフェン、α，ω−ビス（３−ブトキシプロピル）−α−セクシチオフェン、スチリルベンゼン誘導体などのオリゴマーも好適に用いることができる。さらに銅フタロシアニンや特開平１１−２５１６０１に記載のフッ素置換銅フタロシアニンなどの金属フタロシアニン類、ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド、Ｎ，Ｎ’−ビス（４−トリフルオロメチルベンジル）ナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミドとともに、Ｎ，Ｎ’−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロオクチル）、Ｎ，Ｎ’−ビス（１Ｈ，１Ｈ−ペルフルオロブチル）及びＮ，Ｎ’−ジオクチルナフタレン１，４，５，８−テトラカルボン酸ジイミド誘導体、ナフタレン２，３，６，７テトラカルボン酸ジイミドなどのナフタレンテトラカルボン酸ジイミド類、及びアントラセン２，３，６，７−テトラカルボン酸ジイミドなどのアントラセンテトラカルボン酸ジイミド類などの縮合環テトラカルボン酸ジイミド類、Ｃ６０、Ｃ７０、Ｃ７６、Ｃ７８、Ｃ８４等フラーレン類、ＳＷＮＴなどのカーボンナノチューブ、メロシアニン色素類、ヘミシアニン色素類などの色素など��あげられる。
【００５３】
これらのπ共役系材料のうちでも、チオフェン、ビニレン、チェニレンビニレン、フェニレンビニレン、ｐ−フェニレン、これらの置換体またはこれらの２種以上を繰返し単位とし、かつ該繰返し単位の数ｎが４〜１０であるオリゴマーもしくは該繰返し単位の数ｎが２０以上であるポリマー、ペンタセンなどの縮合多環芳香族化合物、フラーレン類、縮合環テトラカルボン酸ジイミド類、金属フタロシアニンよりなる群から選ばれた少なくとも１種が好ましい。
【００５４】
また、その他の有機半導体材料としては、テトラチアフルバレン（ＴＴＦ）−テトラシアノキノジメタン（ＴＣＮＱ）錯体、ビスエチレンテトラチアフルバレン（ＢＥＤＴＴＴＦ）−過塩素酸錯体、ＢＥＤＴＴＴＦ−ヨウ素錯体、ＴＣＮＱ−ヨウ素錯体、などの有機分子錯体も用いることができる。さらにポリシラン、ポリゲルマンなどのσ共役系ポリマーや特開２０００−２６０９９９に記載の有機・無機混成材料も用いることができる。
【００５５】
本発明においては、有機半導体層に、たとえば、アクリル酸、アセトアミド、ジメチルアミノ基、シアノ基、カルボキシル基、ニトロ基などの官能基を有する材料や、ベンゾキノン誘導体、テトラシアノエチレンおよびテトラシアノキノジメタンやそれらの誘導体などのように電子を受容するアクセプターとなる材料や、たとえばアミノ基、トリフェニル基、アルキル基、水酸基、アルコキシ基、フェニル基などの官能基を有する材料、フェニレンジアミンなどの置換アミン類、アントラセン、ベンゾアントラセン、置換ベンゾアントラセン類、ピレン、置換ピレン、カルバゾールおよびその誘導体、テトラチアフルバレンとその誘導体などのように電子の供与体であるドナーとなるような材料を含有させ、いわゆるドーピング処理を施してもよい。
【００５６】
前記ドーピングとは電子授与性分子（アクセクター）または電子供与性分子（ドナー）をドーパントとして該薄膜に導入することを意味する。従って，ドーピングが施された薄膜は、前記の縮合多環芳香族化合物とドーパントを含有する薄膜である。本発明に用いるドーパントとしてアクセプター、ドナーのいずれも使用可能である。このアクセプターとしてＣｌ2、Ｂｒ2、Ｉ2、ＩＣｌ、ＩＣｌ3、ＩＢｒ、ＩＦなどのハロゲン、ＰＦ5、ＡｓＦ5、ＳｂＦ5、ＢＦ3、ＢＣ１3、ＢＢｒ3、ＳＯ3などのルイス酸、ＨＦ、ＨＣｌ、ＨＮＯ3、Ｈ2ＳＯ4、ＨＣｌＯ4、ＦＳＯ3Ｈ、ＣｌＳＯ3Ｈ、ＣＦ3ＳＯ3Ｈなどのプロトン酸、酢酸、蟻酸、アミノ酸などの有機酸、ＦｅＣｌ3、ＦｅＯＣｌ、ＴｉＣｌ4、ＺｒＣｌ4、ＨｆＣｌ4、ＮｂＦ5、ＮｂＣｌ5、ＴａＣｌ5、ＭｏＣｌ5、ＷＦ5、ＷＣｌ6、ＵＦ6、ＬｎＣｌ3（Ｌｎ＝Ｌａ、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｐｒ、などのランタノイドとＹ）などの遷移金属化合物、Ｃｌ-、Ｂｒ-、Ｉ-、ＣｌＯ4-、ＰＦ6-、ＡｓＦ5-、ＳｂＦ6-、ＢＦ4-、スルホン酸アニオンなどの電解質アニオンなどを挙げることができる。またドナーとしては、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓなどのアルカリ金属、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａなどのアルカリ土類金属、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂなどの希土類金属、アンモニウムイオン、Ｒ４Ｐ+、Ｒ４Ａｓ+、Ｒ３Ｓ+、アセチルコリンなどをあげることができる。これらのドーパントのドーピングの方法として予め有機半導体の薄膜を作製しておき、ドーパントを後で導入する方法、有機半導体の薄膜作製時にドーパントを導入する方法のいずれも使用可能である。前者の方法のドーピングとして、ガス状態のドーパントを用いる気相ドーピング、溶液あるいは液体のドーパントを該薄膜に接触させてドーピングする液相ドーピング、個体状態のドーパントを該薄膜に接触させてドーパントを拡散ドーピングする固相ドーピングの方法をあげることができる。また液相ドーピングにおいては電解を施すことによってドーピングの効率を調整することができる。後者の方法では、有機半導体化合物とドーパントの混合溶液あるいは分散液を同時に塗布、乾燥してもよい。たとえば真空蒸着法を用いる場合、有機半導体化合物とともにドーパントを共蒸着することによりドーパントを導入することができる。またスパッタリング法で薄膜を作製する場合、有機半導体化合物とドーパントの二元ターゲットを用いてスパッタリングして薄膜中にドーパントを導入させることができる。さらに他の方法として、電気化学的ドーピング、光開始ドーピング等の化学的ドーピングおよび例えば刊行物｛工業材料、３４巻、第４号、５５頁、１９８６年｝に示されたイオン注入法等の物理的ドーピングの何れも使用可能である。
【００５７】
これら有機薄膜の作製法としては、真空蒸着法、分子線エピタキシャル成長法、イオンクラスタービーム法、低エネルギーイオンビーム法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法、プラズマ重合法、電解重合法、化学重合法、スプレーコート法、スピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法およびＬＢ法等が挙げられ、材料に応じて使用できる。ただし、この中で生産性の点で、有機半導体の溶液をもちいて簡単かつ精密に薄膜が形成できるスピンコート法、ブレードコート法、デイップコート法、ロールコート法、バーコート法、ダイコート法等が好まれる。これら有機半導体からなる薄膜の膜厚としては、特に制限はないが、得られたトランジスタの特性は、有機半導体からなる活性層の膜厚に大きく左右される場合が多く、その膜厚は、有機半導体により異なるが、一般に１μｍ以下、特に１０〜３００ｎｍが好ましい。
【００５８】
６はソース電極、７はドレイン電極であり、ソース電極、ソースバスライン、ドレイン電極及び出力電極を構成する材料としては、導電性材料であれば特に限定されず、白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、アンチモン鉛、タンタル、インジウム、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、酸化スズ・アンチモン、酸化インジウム・スズ（ＩＴＯ）、フッ素ドープ酸化亜鉛、亜鉛、炭素、グラファイト、グラッシーカーボン、銀ペーストおよびカーボンペースト、リチウム、ベリリウム、ナトリウム、マグネシウム、カリウム、カルシウム、スカンジウム、チタン、マンガン、ジルコニウム、ガリウム、ニオブ、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、アルミニウム、マグネシウム／銅混合物、マグネシウム／銀混合物、マグネシウム／アルミニウム混合物、マグネシウム／インジウム混合物、アルミニウム／酸化アルミニウム混合物、リチウム／アルミニウム混合物等が用いられるが、特に、白金、金、銀、銅、アルミニウム、インジウム、ＩＴＯおよび炭素が好ましい。あるいはドーピング等で導電率を向上させた公知の導電性ポリマー、例えば導電性ポリアニリン、導電性ポリピロール、導電性ポリチオフェン、ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸の錯体なども好適に用いられる。ソース電極、ドレイン電極は、上に挙げた中でも半導体層との接触面において電気抵抗が少ないものが好ましい。
【００５９】
ソース電極、ソースバスライン、ドレイン電極及び出力電極の形成方法としては、上記材料を原料として蒸着やスパッタリング等の方法を用いて形成した導電性薄膜を、公知のフォトリソグラフ法やリフトオフ法を用いて電極形成する方法、アルミニウムや銅などの金属箔上に熱転写、インクジェット等によるレジストを用いてエッチングする方法がある。
【００６０】
また導電性ポリマーの溶液あるいは分散液、導電性微粒子分散液を直接インクジェットによりパターニングしてもよいし、塗工膜からリソグラフやレーザーアブレーションなどにより形成してもよい。さらに導電性ポリマーや導電性微粒子を含むインク、導電性ペーストなどを凸版、凹版、平版、スクリーン印刷などの印刷法でパターニングする方法も用いることができる。
【００６１】
粒子径が１〜５０ｎｍ好ましくは１〜１０ｎｍの金属微粒子を加熱融着して形成された電極を用いる。金属材料は白金、金、銀、ニッケル、クロム、銅、鉄、錫、タンタル、インジウム、コバルト、パラジウム、テルル、レニウム、イリジウム、アルミニウム、ルテニウム、ゲルマニウム、モリブデン、タングステン、亜鉛、等を用いることができるが、特に、仕事関数が４．５ｅＶ以上の白金、金、銀、銅、コバルト、クロム、イリジウム、ニッケル、パラジウム、モリブデン、タングステンが好ましい。
【００６２】
上記導電性微粒子として、粒子径が１〜５０ｎｍ好ましくは１〜１０ｎｍの白金、金、銀、銅、コバルト、クロム、イリジウム、ニッケル、パラジウム、モリブデン、タングステンなどの金属微粒子が挙げられる。このような金属微粒子分散液の製造方法として、ガス中蒸発法、スパッタリング法、金属蒸気合成法などの物理的生成法や、コロイド法、共沈法などの、液相で金属イオンを還元して金属微粒子を生成する化学的生成法が挙げられるが、好ましくは、特開平１１−７６８００、同１１−８０６４７、同１１−３１９５３８、特開２０００−２３９８５３などに示されたコロイド法、特開２００１−２５４１８５、特開２００１−５３０２８、特開２００１−３５８１４、特開２００１−３５２５５、特開２０００−１２４１５７、特開２０００−１２３６３４などに記載されたガス中蒸発法により製造された分散物である。これらの分散物を、塗設し電極パターン状に成型した後、溶媒を乾燥させ、さらに１００℃〜３００℃、好ましくは１５０℃〜２００℃の範囲で熱処理することにより、金属微粒子を熱融着させることで電極形成する。
【００６３】
図２は有機薄膜トランジスタシート１０の回路図である。
【００６４】
有機薄膜トランジスタシート１０はマトリクス配置された多数の有機薄膜トランジスタ素子１４を有する。１１は各有機薄膜トランジスタ素子１４のゲート電極のゲートバスラインであり、１２は各有機薄膜トランジスタ素子のソース電極のソースバスラインである。
【００６５】
各有機薄膜トランジスタ素子１４のドレイン電極には、出力電極（不図示）が接続され、各出力電極には、液晶、電気泳動素子等の出力素子１６が接続され、表示装置における画素を構成する。図示の例では、出力素子１６としての液晶が抵抗とコンデンサからなる等価回路で示されている。１５は蓄積コンデンサ、１７は垂直駆動回路、１８は水平駆動回路である。
【００６６】
図３は有機薄膜トランジスタシートの各マトリクスにおける電極の配置を示す図である。
【００６７】
図３（ａ）に示す例は、出力電極１３から突出させたドレイン電極１３ａとソースバスライン１２との間の間隙がゲートバスライン１１の上に形成されるように、ソースバスライン１２及び出力電極１３を形成し、前記間隙を埋めるように有機半導体層５を設層して有機半導体の活性層を形成することにより、有機薄膜トランジスタ素子を構成した例であり、図３（ｂ）に示す例は、ソースバスライン１２から突出させたソース電極１２ａとドレイン電極としての出力電極１３との間の間隙がゲートバスライン１１上に形成されるように、ソースバスライン１２及び出力電極１３を形成し、前記間隙を埋めるように有機半導体層５を形成することにより有機半導体の活性層を形成して有機薄膜トランジスタ素子を構成した例である。
【００６８】
図４は有機薄膜トランジスタの製造方法における各工程についての説明図である。
【００６９】
図５は支持体に金属箔をラミネートする概念図である。
【００７０】
図６は金属箔表面を研磨する概念図である。
【００７１】
本発明の実施の形態に係る有機薄膜トランジスタの製造方法及び有機薄膜トランジスタシートの製造方法における各工程について図４、５、６を用いて説明する。
【００７２】
工程Ｓ１  図４において支持体１と金属箔とをラミネートする接着層４を支持体上に形成する工程。
【００７３】
たとえば図５において、支持体元巻き１０１から繰り出されて矢印方向に一定速度で搬送される前記した支持体１００の表面に、塗布手段１０３等により、前記した接着層１０４が形成される。
【００７４】
工程Ｓ２  図４において支持体１とゲート電極を構成する金属箔２とを接着層４によりラミネートする工程。
【００７５】
たとえば図５において、接着層が形成された支持体に、金属箔元巻きから繰り出された金属箔が加圧ローラ等により密着加圧され（必要に応じ加熱され）ラミネートされる。
【００７６】
工程Ｓ１及びＳ２について具体的な方法を説明する。
【００７７】
１００は支持体、１０１は支持体を所定の張力で繰り出す繰り出し手段、１０２は支持体を一定速度で搬送する搬送手段、１０３は支持体表面に接着層を一定層厚で均一に塗布する塗布手段で、
２００は金属箔、２０１は金属箔を支持体より低い所定の張力で繰り出す繰り出し手段、２０２は金属箔を支持体と同一速度で矢印方向に搬送する搬送手段、
３００は支持体に金属箔を加圧密着させラミネートする加圧ローラ対（加圧ローラ対３００は使用する接着層材料に応じ所定の温度に加熱される。）、３０１は金属箔がラミネートされた支持体、３０２は金属箔がラミネートされた支持体の搬送手段で、
繰り出し手段１０１から繰り出された支持体１００は搬送手段１０２で搬送されて塗布手段１０３で接着層１０４を塗布され、他方、繰り出し手段２０１から繰り出された金属箔２００は搬送手段２０２で搬送され、加圧ローラ対３００で支持体と金属箔が加圧密着されてラミネートされる。
【００７８】
なお、使用する接着剤により加圧ローラ対は接着剤の溶融温度に加熱してもよく、また、熱風を吹き付けてもよい。
【００７９】
工程Ｓ３  図４において支持体１の上にラミネートされた金属箔２の表面を研磨する工程。
【００８０】
一定速度で搬送される支持体にラミネートされた金属箔に対して、前記した電解研磨、あるいは電解研磨とＣＭＰを行うことにより、金属箔表面を平滑に研磨する。
【００８１】
たとえば図６において、金属箔がラミネートされた支持体（以下箔付き支持体と記す）３０１が、金属箔が図示上側に向いた状態で、搬送ローラ３０３により矢印方向に搬送されている。
【００８２】
箔付き支持体３０１は、ＣＭＰ装置４００のテーブル４０３と回転移動する研磨パッド４０２との対向部Ａに搬送される。研磨パッド４０２は所定の荷重で箔付き支持体３０１を加圧しながら、箔付き支持体３０１の全幅に亘り回転しながら移動する。そしてこの加圧回転移動によりスラリー供給手段４０１から供給されたスラリー４０５が金属箔表面を研磨する。
【００８３】
なお、廃スラリーはパッド４０４に回収されて廃棄される。
【００８４】
そして箔付き支持体３０１は洗浄装置５００に搬送され、洗浄ノズル５０１からの洗浄水の噴射によりスラリーや研磨粉が洗浄された後、電解研磨装置６００に搬送される。
【００８５】
電解研磨装置６００の金属パッド６０４には電解液６０３が満たされ、金属槽６０４の中央に陰極となる白金板６０５が設置されている。
【００８６】
ＣＭＰ研磨された箔付き支持体３０１は、白金電極６０５と金属槽６０４との間を、金属箔が白金電極６０５に対向した状態で搬送され、搬送中に電解液６０３に浸漬される。
【００８７】
ここで、金属箔と接触する金属ローラ６０２には電源６０１の陽極が接続され、白金電極６０５（と金属槽６０４と）には陰極が接続され、電解液中で電圧印加により発生するアノード溶解現象により金属箔の凸部が凹部より先に溶解されて平滑となる。
【００８８】
また、電源６０１は材料により直流または交流または交直重畳電源を選択して所定の電圧を材料に印加する。
【００８９】
そして電解研磨が完了した金属箔付き支持体３０１は洗浄装置５００に搬送され、洗浄ノズル５０１からの洗浄水の噴射により電解液や溶出物が洗浄された後、陽極酸化装置７００に搬送される。
【００９０】
工程Ｓ４  図４において第１金属層を形成する第１金属層（ゲート電極）形成工程。
【００９１】
前記したように、スパッタリング法等により第１金属層２ａが形成される。第１金属層２ａは、マスキング、エッチング等によりパターニングされ、ゲート電極及びゲートバスラインが形成される。
【００９２】
工程Ｓ５  図４において前記第１金属層上に第２金属層を形成する第２金属層形成工程。
【００９３】
前記したように、スパッタリング法等により第２金属層２ｂが形成され、マスキング、エッチング等によりパターニングされる。前記に説明したように第２金属層は第１金属層とは異なる金属からなる。
【００９４】
工程Ｓ６  図４において前記ゲート電極表面の陽極酸化処理（陽極酸化皮膜）を行う工程。
【００９５】
前記した陽極酸化処理工程においては、少なくとも第２金属層の一部が陽極酸化膜に変換され、陽極酸化膜３が形成される。
【００９６】
また、陽極酸化膜３は前記した方法により必要に応じて封孔処理される。該封孔処理によりゲート絶縁層の絶縁性を向上し、ゲートリーク電流を低減することができる。
【００９７】
たとえば図６において、電解研磨された箔付き支持体３０１は、陽極酸化装置７００に搬送され、金属槽７０４内に設置された白金電極７０５と金属槽７０４間とを金属箔が白金電極７０５に対向した状態で搬送され、搬送中に電解液７０３に浸漬される。ここで、金属箔と接触する金属ローラ７０２には電源７０１の陽極が接続され、白金電極７０５（と金属槽７０４と）には陰極が接続され、電解液中で電圧印加により陽極から発生するガスにより金属箔表面の酸化が行われる。
【００９８】
ここで電源７０１は材料により直流または交流または交直重畳電源を選択して所定の電圧を材料に印加する。
【００９９】
そして陽極酸化が完了した金属箔付き支持体３０１は洗浄装置５００に搬送され、洗浄ノズル５０１からの洗浄水の噴射により電解液や溶出物が洗浄される。
【０１００】
工程Ｓ７  図４において絶縁膜形成を行う工程。
【０１０１】
陽極酸化膜３上に絶縁膜８が前記した方法により必要に応じて形成される。絶縁膜の付加により、ゲート絶縁層の絶縁性を向上し、ゲートリーク電流を低減することができる。
【０１０２】
工程Ｓ８  図４において有機半導体層形成を行う工程。
【０１０３】
前記した膜形成方法により前記した有機半導体層５が形成される。有機半導体層５は陽極酸化膜３又は絶縁膜８の上に形成される。
【０１０４】
工程Ｓ９  図４においてソース電極、ソースバスライン、ドレイン電極及び出力電極の形成工程。
【０１０５】
前記したように、蒸着やスパッタリング等の方法を用いて形成した導電性薄膜に、公知のフォトリソグラフ法やリフトオフ法を用いてソース電極１２ａ、ソースバスライン１２、出力電極（ドレイン電極）１３等の電極を形成する方法、アルミニウムや銅などの金属箔上に熱転写、インクジェット等によるレジストを用いてエッチングする方法がある。
【０１０６】
また導電性ポリマーの溶液あるいは分散液、導電性微粒子分散液を直接インクジェットによりパターニングしてもよいし、塗工膜からリソグラフやレーザーアブレーションなどにより形成してもよい。さらに導電性ポリマーや導電性微粒子を含むインク、導電性ペーストなどを凸版、凹版、平版、スクリーン印刷などの印刷法でパターニングする方法も用いることができる。
【０１０７】
以上説明した構成を適宜選択して備えることにより、ロール状の材料元巻きから、支持体上にマトリクス状に有機薄膜トランジスタを形成したロール状の完成品元巻きまで、ウエブ状態で連続して処理が行え、生産効率を上げることができる。
【実施例】
【０１０８】
（実施例１）
厚さ８μｍのアルミニウム箔がラミネートされたＰＥＴフィルムを用いて、以下のように有機薄膜トランジスタを形成した。
〈研磨処理〉
１、バフを用いた一般的な機械研磨を行った。
【０１０９】
２、濃度が２０質量％の硝酸ナトリウム水溶液からなる電解液中で、アルミニウム箔及びプラチナ電極を浸漬し、平行に正対させた。次に、アルミニウムを陽極、プラチナを陰極として両極間に、電流密度４Ａ／ｃｍ2の直流電流を流し電解研磨を行い、よく洗浄した。
【０１１０】
３、市販のメタルＣＭＰ用パッド、及びＣｕ−ＣＭＰ用スラリーを用いてアルミニウム表面を研磨した。
【０１１１】
４、機械研磨と電解研磨を交互に１０回繰り返した。
〈ゲート電極〉
市販のフォトレジストを用いて、フォトリソグラフ法によりゲート電極状のレジストパタンを形成後、エッチング液を用いてアルミ箔をエッチングし、ゲート電極を形成し、その後よく洗浄した。
〈陽極酸化処理〉
一部のサンプルに陽極酸化処理を行った。
【０１１２】
以上のフィルム基板を、７質量％のホウ酸アンモニウム水溶液中で、２分間、１００Ｖの定電圧電源から供給される直流により、陽極酸化皮膜の厚さが１２０ｎｍになるように陽極酸化皮膜を形成し、よく洗浄した。
〈ゲート絶縁膜形成〉
大気圧プラズマ処理により、厚さ２５０ｎｍの酸化ケイ素膜（ゲート絶縁膜）を設けた。
【０１１３】
ただし、陽極酸化膜を形成したサンプルについては、酸化ケイ素膜の厚さを１３０ｎｍとし、ゲート絶縁膜の厚さがすべて２５０ｎｍとなるように調整した。
【０１１４】
（使用ガス）
不活性ガス：ヘリウム９８．２５体積％
反応性ガス：酸素ガス１．５体積％
反応性ガス：テトラエトキシシラン蒸気（ヘリウムガスにてバブリング）０．２５体積％
（放電条件）
放電出力：１０Ｗ／ｃｍ2
（電極条件）
冷却水による冷却手段を有するステンレス製ジャケットロール母材にセラミック溶射によるアルミナを１ｍｍ被覆し、その後、テトラメトキシシランを酢酸エチルで希釈した溶液を塗布乾燥後、紫外線照射により封孔処理を行い、表面を平滑にしてＲｍａｘ５μｍとした誘電体（比誘電率１０）を有するロール電極であり、アースされている。
【０１１５】
一方、印加電極としては、中空の角型のステンレスパイプに対し、上記同様の誘電体を同条件にて被覆した。
【０１１６】
上記、基板を、オクタデシルトリクロロシランの５％トルエン溶液に、３分間浸漬し、酸化ケイ素皮膜の表面処理を行った。
＜半導体層形成工程＞
次に、ＥＤＴＡを用いたキレート洗浄法により、よく精製したポリ（３−ヘキシルチオフェン）のｒｅｇｉｏｒｅｇｕｌａｒ体（アルドリッチ社製）のクロロホルム溶液を調製し、Ｎ２ガスでバブリングすることで、溶液中の溶存酸素を除去し、Ｎ２ガス雰囲気中で前記の表面処理済のゲート絶縁膜の表面にアプリケーターを用いて塗布し、室温で乾燥させた後、窒素ガス下で、５０℃、１５分間の熱処理を施した。このときポリ（３−ヘキシルチオフェン）の膜厚は５０ｎｍであった。
＜ソース、ドレイン形成＞
上記半導体層上に、マスクを介して、金の電極パターンを蒸着することで、Ｌ＝３０μｍ、Ｗ＝１ｍｍの有機薄膜トランジスタを作成した。
【０１１７】
ｐチャネルＦＥＴとして動作させた時の、線形領域のキャリア移動度を計測した。
また、ソース電極とゲート電極の間にバイアスを印加し、ブレークダウン（絶縁膜の放電破壊）が生じたバイアスを比較した。
【０１１８】
その結果、下記のように４のＣＭＰ、及びＣＭＰ＋陽極酸化、また、５の機械研磨＋電解研磨、及び機械研磨＋電解研磨＋陽極酸化の組み合わせがＲｍａｘが５００ｎｍ以下の条件を満たすことがわかった。
【０１１９】
例えば、機械研磨は機械研磨のみ、機械研磨＋陽極酸化は機械研磨と陽極酸化とを行ったことを意味する。
【０１２０】
Ｒｍａｘ      ブレークダウン電圧（Ｖ）      移動度
１、研磨処理なし            ３０μｍ              ３                    −
２、機械研磨                  ３μｍ            １０              ０．０００５
＋陽極酸化                                  ３５              ０．０００８
３、電解研磨                  １μｍ            １５              ０．０００７
＋陽極酸化                                  ４０              ０．００１２
４、ＣＭＰ              ０．０５μｍ            ３５                ０．０１１
＋陽極酸化                                １００                ０．０２５
５、機械研磨＋電解研磨  ０．０５μｍ            ４０                ０．０３０
＋陽極酸化                                    １２０                ０．０４５
また、その比較例として、下記を行ったが、トランジスタの製造ができなかった。
【０１２１】
比較例１：ＰＥＴフィルム上に厚さ３００ｎｍのアルミニウム蒸着膜を形成した後、上記の陽極酸化処理を行ったが、処理液中で蒸着膜が剥離してしまった。
【０１２２】
比較例２  ＰＥＴフィルム上に厚さ３００ｎｍのアルミニウム蒸着膜を形成した後、上記の大気圧プラズマ処理を行ったが、処理中に蒸着膜が剥離してしまった。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明により製造された有機薄膜トランジスタの例である。
【図２】有機薄膜トランジスタシート１０の回路図である。
【図３】有機薄膜トランジスタシートの各マトリクスにおける電極の配置を示す図である。
【図４】有機薄膜トランジスタの製造方法における各工程についての説明図である。
【図５】支持体に金属箔をラミネートする概念図である。
【図６】金属箔表面を研磨する概念図である。
【符号の説明】
【０１２４】
１、１００  支持体
２、２００  金属箔
２ａ  ゲート電極
３ａ  陽極酸化膜
３ｂ  ゲート絶縁層
４  接着層
５  有機半導体層
６  ソース電極
７  ドレイン電極
８  絶縁膜
１０  有機薄膜トランジスタシート
１１  ゲートバスライン
１２  ソースバスライン
１３  出力電極
１０３  塗布手段
３００  加圧ローラ対
４００  ＣＭＰ装置
４０１  スラリー供給手段
４０２  研磨パッド
４０３  テーブル
５００  洗浄装置
６００  電解研磨装置
６０１、７０１  電源
６０２  金属ローラ
６０３  電解液
６０５  白金電極
７００  陽極酸化装置
７０３  電解液
【図１】
2006093191.tif 000003
【図２】
2006093191.tif 000004
【図３】
2006093191.tif 000005
【図４】
2006093191.tif 000006
【図５】
2006093191.tif 000007
【図６】
2006093191.tif 000008