(57)【要約】      （修正有）【課題】  移動テーブルを確実に支持するとともに、全体を比較的コンパクトにすることができるテーブル支持機構を提供すること。【解決手段】  一側面に設けられた第１支持面１０及びこの一側面と反対側に設けられた第２支持面１２を有するベース体２と、第１支持面１０に第１支持機構１８を介して移動自在に支持された第１移動部材４と、第２支持面１２に第２支持機構２０を介して移動自在に支持された第２移動部材６と、一側部側が第３支持機構３２を介して第１移動部材４に、他側部側が第４支持機構３４を介して第２移動部材６に移動自在に支持された移動テーブル８と、を備えたテーブル支持機構。第１及び第２支持機構１８，２０はベース体２に対して所定方向に延び、第３支持機構３２は所定方向に対して所定角度傾斜して延び、第４支持機構は所定方向に対して垂直方向に延びている。【選択図】  図１
2006187840.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側面に設けられた第１支持面及びこの一側面と反対側の他側面に設けられた第２支持面を有するベース体と、前記ベース体の前記第１支持面に第１支持機構を介して往復移動自在に支持された第１移動部材と、前記ベース体の前記第２支持面に第２支持機構を介して往復移動自在に支持された第２移動部材と、一側部側が第３支持機構を介して前記第１移動部材に往復移動自在に支持され、他側部側が第４支持機構を介して前記第２移動部材に往復移動自在に支持された移動テーブルと、を備え、
前記第１及び第２支持機構は前記ベース体に対して所定方向に延びており、前記第３支持機構は前記所定方向に対して所定角度傾斜して延び、前記第４支持機構は前記所定方向に対して垂直な方向に延びていることを特徴とするテーブル支持機構。
【請求項２】
一側面に設けられた第１支持面及びこの一側面と反対側の他側面に設けられた第２支持面を有するベース体と、前記ベース体の前記第１支持面に第１支持機構を介して往復移動自在に支持された第１移動部材と、前記ベース体の前記第２支持面に第２支持機構を介して往復移動自在に支持された第２移動部材と、一側部側が第３支持機構を介して前記第１移動部材に往復移動自在に支持され、他側部側が第４支持機構を介して前記第２移動部材に往復移動自在に支持された移動テーブルと、を備え、
前記第１及び第２支持機構は前記ベース体に対して所定方向に延びており、前記第３支持機構は前記所定方向に対して所定角度傾斜して延び、前記第４支持機構は前記所定方向に対して前記第３支持機構の傾斜方向とは反対方向に所定角度傾斜して延びていることを特徴とするテーブル支持機構。
【請求項３】
前記第１及び第２移動部材を駆動させるための第１及び第２駆動手段が設けられ、前記第１及び第２駆動手段は第１及び第２リニアモータ手段から構成されており、前記第１リニアモータ手段の駆動用永久磁石が前記ベース体の前記第１支持面に取り付けられ、前記第１リニアモータ手段の駆動用コイルが前記第１移動部材に取り付けられ、また前記第２リニアモータ手段の駆動用永久磁石が前記ベース体の前記第２支持面に取り付けられ、前記第２リニアモータ手段の駆動用コイルが前記第２移動部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のテーブル支持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械の工具ホルダ、加工物ホルダなどを取り付けるための移動テーブルを支持するテーブル支持機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
移動テーブルを支持するテーブル支持機構として、ベース部材と、このベース部材に所定方向に移動自在に支持された第１及び第２移動部材と、一端側が第１移動部材に、他端側が第２移動部材に支持された移動テーブルとを備え、第１及び第２移動部材が所定方向（第１方向）に移動自在にベース部材に支持され、移動テーブルの一端側が第１移動部材に所定方向に垂直な方向（第２方向）に移動自在に支持され、この移動部材の他端側が第２方向に対して傾斜した方向（第３方向）に移動自在に支持されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このテーブル支持機構では、例えば、第１及び第２移動部材を第１方向に同速度で移動させることによって、移動テーブルを第１方向に移動させることができ、第１移動部材を停止した状態で第２移動部材を第１方向に移動させることによって、移動テーブルを第２方向に移動させることができ、また第１及び第２移動部材を相互に異なる速度で第１方向に移動させることによって、移動テーブルを第１方向に移動させながら第２方向に移動させることができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−７９５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなテーブル支持機構には、次の通りの解決すべき問題がある。第１に、ベース部材の上面に第１及び第２移動部材が第１方向に間隔をおいて配置される構成であり、それ故に、テーブル支持機構全体の薄型化を達成することができるが、この第１方向に細長い構造となり、テーブル支持機構全体が大きくなって小型の装置に適用が困難である。第２に、第１及び第２移動部材を移動させるためにリニアモータ手段を用いた場合、リニアモータ手段の駆動用磁石とベース体との間に磁気的吸引作用が働き、第１及び／又は第２移動部材を移動させる際に、この磁気的吸引作用が抵抗となる。
【０００６】
本発明の目的は、移動テーブルを確実に支持するとともに、全体をコンパクトにすることができるテーブル支持機構を提供することである。
本発明の他の目的は、移動テーブルを移動させるための駆動手段としてリニアモータ手段を用いた場合においても、移動の際の抵抗を抑えることができるテーブル支持機構を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１に記載のテーブル支持機構は、一側面に設けられた第１支持面及びこの一側面と反対側の他側面に設けられた第２支持面を有するベース体と、前記ベース体の前記第１支持面に第１支持機構を介して往復移動自在に支持された第１移動部材と、前記ベース体の前記第２支持面に第２支持機構を介して往復移動自在に支持された第２移動部材と、一側部側が第３支持機構を介して前記第１移動部材に往復移動自在に支持され、他側部側が第４支持機構を介して前記第２移動部材に往復移動自在に支持された移動テーブルと、を備え、
前記第１及び第２支持機構は前記ベース体に対して所定方向に延びており、前記第３支持機構は前記所定方向に対して所定角度傾斜して延び、前記第４支持機構は前記所定方向に対して垂直な方向に延びていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の請求項２に記載のテーブル支持機構では、一側面に設けられた第１支持面及びこの一側面と反対側の他側面に設けられた第２支持面を有するベース体と、前記ベース体の前記第１支持面に第１支持機構を介して往復移動自在に支持された第１移動部材と、前記ベース体の前記第２支持面に第２支持機構を介して往復移動自在に支持された第２移動部材と、一側部側が第３支持機構を介して前記第１移動部材に往復移動自在に支持され、他側部側が第４支持機構を介して前記第２移動部材に往復移動自在に支持された移動テーブルと、を備え、
前記第１及び第２支持機構は前記ベース体に対して所定方向に延びており、前記第３支持機構は前記所定方向に対して所定角度傾斜して延び、前記第４支持機構は前記所定方向に対して前記第３支持機構の傾斜方向とは反対方向に所定角度傾斜して延びていることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の請求項３に記載のテーブル支持機構では、前記第１及び第２移動部材を駆動させるための第１及び第２駆動手段が設けられ、前記第１及び第２駆動手段は第１及び第２リニアモータ手段から構成されており、前記第１リニアモータ手段の駆動用永久磁石が前記ベース体の前記第１支持面に取り付けられ、前記第１リニアモータ手段の駆動用コイルが前記第１移動部材に取り付けられ、また前記第２リニアモータ手段の駆動用永久磁石が前記ベース体の前記第２支持面に取り付けられ、前記第２リニアモータ手段の駆動用コイルが前記第２移動部材に取り付けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１に記載のテーブル支持機構によれば、ベース体の一側面の第１支持面に第１支持機構を介して第１移動部材が移動自在に支持され、このベース体の他側面の第２支持面に第２支持機構を介して第２移動部材が移動自在に支持されているので、第１及び第２移動部材はベース体の両側面側に配置され、このように構成することによって、ベース体の長さ（第１及び第２移動部材が移動する方向の長さ）が細長くなるのを防止することができ、テーブル支持機構の全体をコンパクトにすることができ、小型の工作機械などにも適用することができる。また、移動部材の一側部側が第３の支持機構を介して第１移動部材に支持され、移動部材の他側部側が第４支持機構を介して第２移動部材に移動自在に支持されているので、移動テーブルの両側部がベース体の両側面を覆うような構造となり、このように構成することによって、移動テーブルを確実に支持することができるとともに、テーブル支持機構の一層のコンパクト化を達成することができる。更に、第１及び第２支持機構はベース体に対して所定方向（第１方向）に延び、第３支持機構は上記所定方向に対して所定角度傾斜して延び、第４支持機構は上記所定方向に対して垂直な方向（第２方向）に延びているので、第１及び第２移動部材を所定方向に同速度で移動させることによって、移動テーブルをこの所定方向に移動させることができ、また第２移動部材に対して第１移動部材を所定方向に相対的に移動させる（例えば、第２移動部材を静止させて第１移動部材を移動させる）ことによって、移動テーブルを上記所定方向に対して垂直な方向（第２方向）に移動させることができる。
【００１１】
また、本発明の請求項２に記載のテーブル支持機構によれば、ベース体、第１移動部材及び第２移動部材に関する構成が、請求項１に記載のテーブル支持機構と実質上同一であるので、上述したと同様の作用効果が達成される。また、第１及び第２支持機構はベース体に対して所定方向（第１方向）に延び、第３支持機構は上記所定方向に対して所定角度傾斜して延び、第４支持機構は上記所定方向に対して第３支持機構の傾斜方向と反対方向に所定角度傾斜して延びているので、第１及び第２移動部材を所定方向に同速度で移動させることによって、移動テーブルをこの所定方向に移動させることができ、また第２移動部材に対して第１移動部材を所定方向に相対的に移動させる（例えば、第第１移動部材を所定方向に、第２移動部材を所定方向と反対方向に移動させる）ことによって、移動テーブルを上記所定方向に対して垂直な方向（第２方向）に移動させることができる。
【００１２】
また、本発明の請求項３に記載のテーブル支持機構によれば、移動テーブルを移動させるための駆動手段が第１及び第２リニアモータ手段から構成され、第１リニアモータ手段の駆動用永久磁石がベース体の第１支持面に取り付けられ、その駆動用コイルが第１移動部材に取り付けられ、また第２リニアモータ手段の駆動用永久磁石がベース体の第２支持面に取り付けられ、その駆動用コイルが第２移動部材に取り付けられているので、第１リニアモータ手段の駆動用永久磁石と第１移動部材との間に作用する磁気的吸引力と、第２リニアモータ手段の駆動用永久磁石と第２移動部材との間に作用する磁気的吸引力とが、相互に打ち消し合うように作用し、これによって、第１及び第２リニアモータの駆動用永久磁石による磁気的作用を少なくして抵抗を小さく抑えることができる。また、このように構成した場合、リニアモータ手段を２個用いることによって、２軸（第１方向及び第２方向）のスライドにおける磁気的吸引力を打ち消すことができ、リニアモータ手段を用いたスライド機構の構成を簡素化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明に従うテーブル支持機構の一実施形態について説明する。図１は、本発明に従うテーブル支持機構の一実施形態を示す断面図であり、図２は、図１のテーブル支持機構の側面図であり、図３は、図１のテーブル支持機構のベース体と第１移動部材との支持構造を示す側面図であり、図４は、図１のテーブル支持機構の第１移動部材と移動テーブルとの支持構造を示す側面図であり、図５は、図１のテーブル支持機構の第２移動部材と移動テーブルとの支持構造を示す側面図であり、図６は、移動テーブルの動きを説明するための説明図である。
【００１４】
図１及び図２において、図示のテーブル支持機構は、ベース体２と、このベース体２に移動自在に支持された第１及び第２移動部材４，６と、これら第１及び第２移動部材４，６に移動自在に支持された移動テーブル８と、から構成されている。このテーブル支持機構は、例えば工作機械のテーブル支持機構として適用することができ、この場合、ベース体２が工作機械（例えば、ＮＣ旋盤）の機械本体に取り付けられ、又は機械本体と一体的に構成される。
【００１５】
ベース体２は所定方向（第１方向）（図１において紙面に垂直な方向、図２において左右方向）に長く、その一側面（図１において右面）に第１支持面１０が設けられ、この一側面と反対側の他側面（図１において左面）に第２支持面１２が設けられている。第１支持面１０の上下方向中間部には第１取付凹部１４が設けられ、また第２支持面１２にも上下方向中間部に第２取付凹部１６が設けられ、第１及び第２取付凹部１４，１６は上記所定方向に直線状に延びている。
【００１６】
このベース体２の一側面側（図１において右側）に第１移動部材４が配設され、その他側面側（図１において左側）に第２移動部材６が配設されている。第１及び第２移動部材４，６は矩形状であり、ベース体２の第１支持面１０と第１移動部材４との間に第１支持機構１８が配設され、ベース体２の第２支持面１２と第２移動部材６との間に第２支持機構２０が配設されている。第１及び第２支持機構１８，２０は実質上同一の構成であり、以下、主として図３を参照して第１支持機構１８（第２支持機構２０）について説明する。
【００１７】
第１支持機構１８（第２支持機構２０）は、第１案内支持部材２２（第２案内支持部材２４）と、第１案内支持部材２２（第２案内支持部材２４）に移動自在に支持された第１スライダ２６（第２スライダ２８）とから構成されている。この実施形態では、一対の第１案内支持部材２２（第２案内支持部材２４）がベース体２の第１支持面１０（第２支持面１２）に上下方向に間隔をおいて実質上平行に取り付けられ、このベース体２の一端から他端まで直線状に延びている。また、第１スライダ２６（第２スライダ２８）は各第１案内支持部材２２（第２案内支持部材２４）に対応して所定方向（図３において左右方向）に間隔をおいて一対設けられ、各第１スライダ２６の組（各第２スライダ２８の組）が対応する第１案内支持部材２２（第２案内支持部材２４）に滑動自在に装着されている。このように構成されているので、第１移動部材４は第１支持機構１８の第１案内支持部材２２に沿って矢印３０又は矢印３１で示す所定方向（第１方向）に往復移動自在にベース体２の第１支持面１０に支持され、また第２移動部材６は第２支持機構２０の第２案内支持部材２４に沿って上記所定方向に往復移動自在にベース体２の第２支持面１２に支持されている。
【００１８】
尚、上述した構成に代えて、第１移動部材４（第２移動部材６）に第１案内支持部材２２（第２案内支持部材２４）を取り付けるとともに、ベース体２の第１支持面１０（第２支持面１２）に第１スライダ２６（第２スライダ２８）を取り付けるようにしてもよい。
【００１９】
移動テーブル８は、このように支持された第１及び第２移動部材４，６に第３及び第４支持機構３２，３４を介して移動自在に支持されている。移動テーブル８は平坦な取付面３６を有する本体部３８と、この本体部３８の両側部に設けられた第１及び第２被支持部４０，４２とを有し、第１及び第２被支持部４０，４２は本体部３８から図１において実質上垂直下方に延びている。この本体部３８の取付面３６には、加工工具を着脱自在に保持するための工具ホルダ、加工物を着脱自在に保持するための加工物ホルダなどが取り付けられる。第１被支持部４０は第１移動部材４の外側に配設され、この第１被支持部４０と第１移動部材４との間に第３支持機構３２が介在され、また第２被支持部４２は第２移動部材６の外側に配設され、この第２被支持部４２と第２移動部材６との間に第４支持機構３４が介在されている。
【００２０】
主として図１及び図４を参照して、第３支持機構３２について説明すると、図示の第３支持機構３２は、第３案内支持部材４４と、第３案内支持部材４４に移動自在に支持された第３スライダ４８とから構成されている。この実施形態では、一対の第３案内支持部材４４が第１移動部材４の外面に間隔をおいて実質上平行に取り付けられ、この第１移動部材４の一端下部（図４において左下部）から他端上部（図４において右上部）に向けて直線状に延びている。この第３案内支持部材４４の所定方向に対する所定傾斜角度αは、適宜の角度でよいが、位置付け制御などを考慮すると４５度に設定するのが望ましい。また、第３スライダ４８は各第３案内支持部材４４に対応して上記所定方向に対して所定角度傾斜した方向（図４において左下から右上の方向）に間隔をおいて一対設けられ、各第３スライダ４８の組が対応する第３案内支持部材４４に滑動自在に装着されている。
【００２１】
主として図１及び図５を参照して、第４支持機構３４について説明すると、図示の第４支持機構３４は、第４案内支持部材４６と、第４案内支持部材４６に移動自在に支持された第４スライダ５０とから構成されている。この実施形態では、一対の第４案内支持部材４６が第２移動部材６の外面に間隔をおいて実質上平行に取り付けられ、この第２移動部材６の下部から上部に向けて図４において上下方向に直線状に延びている。また、第４スライダ５０は各第４案内支持部材４６に対応して図５において上下方向に間隔をおいて一対設けられ、各第４スライダ５０の組が対応する第４案内支持部材４６に滑動自在に装着されている。
【００２２】
このように構成されているので、移動テーブル８の第１被支持部４０は第３支持機構３２の第３案内支持部材４４に沿って矢印５１又は矢印５３（図４参照）で示す方向（第１方向に対して所定傾斜角度α傾斜した方向）に往復移動自在に第１移動部材４に支持され、また移動テーブル８の第２被支持部４２は第４支持機構３４の第４案内支持部材４６に沿って矢印５５又は矢印５７（図５参照）で示す方向（第２方向）に往復移動自在に第２移動部材６に支持されている。
【００２３】
尚、上述した構成に代えて、移動テーブル８の第１被支持部４０（第２被支持部４２）に第３案内支持部材４４（第４案内支持部材４６）を取り付けるとともに、第１移動部材４（第２移動部材６）に第３スライダ４８（第４スライダ５０）を取り付けるようにしてもよい。また、上述した実施形態では、第３支持機構３２の第３案内支持部材４４を図４において所定方向に対して所定傾斜角度α上方に傾斜するように設けているが、これとは反対に、図４において所定方向に対して所定傾斜角度α下方に傾斜するように設けるようにしてもよい。また、第３支持機構３２の第３案内支持部材４４を所定方向（第１方向）に対して所定傾斜角度α傾斜するように、また第４支持機構３４の第４案内支持部材４６を所定方向に対して垂直な方向（第２方向）に設けているが、これとは反対に、第３支持機構３２の第３案内支持部材４４を所定方向に対して垂直な方向（第２方向）に設け、第４支持機構３４の第４案内支持部材４６を所定方向に対して所定傾斜角度α傾斜するように設けるようにしてもよい。
【００２４】
このテーブル支持機構は、更に、移動テーブル８を所要の通りに移動させるための駆動源５２が設けられ、この駆動源５２は、第１移動部材４を移動させるための第１駆動手段５４と、第２移動部材６を移動させるための第２駆動手段５６とから構成されている。第１及び第２駆動手段５４，５６は第１及び第２リニアモータ手段５８，６０から構成され、これらリニアモータ手段５８，６０は、Ｎ極及びＳ極が長手方向に交互に着磁された駆動用永久磁石６２と、駆動電流が供給される駆動用コイル６４から構成されている。第１リニアモータ手段５８の駆動用永久磁石６２は、ベース体２の第１支持面１０の第１取付凹部１４に取り付けられ、第１支持機構１８の一対の第１案内支持部材２２間にて上記所定方向（第１方向）に延びており、その駆動用コイル６４は、この駆動用永久磁石６２に対向して第１移動部材４（具体的には、二組の第１スライダ２６の間の部位）に取り付けられおり、この駆動用コイル６４に駆動電流を所要の通りに供給することによって、駆動用永久磁石６２（これが取り付けられたベース体２）に対して駆動用コイル６４（これが取り付けられた第１移動部材４）を上記所定方向（第１方向）に移動させることができる。同様に、第２リニアモータ手段６０の駆動用永久磁石６２は、ベース体２の第２支持面１２の第２取付凹部１６に取り付けられ、第２支持機構２０の一対の第２案内支持部材２４間にて上記所定方向（第１方向）に延びており、その駆動用コイル６４は、この駆動用永久磁石６２に対向して第２移動部材６（具体的には、二組の第２スライダ２８の間の部位）に取り付けられおり、この駆動用コイル６４に駆動電流を所要の通りに供給することによって、ベース体２に対して第２移動部材４を上記所定方向に移動させることができる。
【００２５】
上述したようにベース体２の第１支持面１０に第１移動部材４を配置し、この第１移動部材４を第１リニアモータ手段５８により移動させるようにするとともに、ベース体２の第２支持面１２に第２移動部材６を配置し、この第２移動部材６を第２リニアモータ手段６０により移動させるようにすることによって、第１リニアモータ手段５８の駆動用永久磁石６２による磁気的作用と第２リニアモータ手段６０の駆動用永久磁石６４による磁気的作用とが相互に打ち消し合うように作用し、これら駆動用永久磁石６４による磁気的影響をほとんどなくして移動の際の抵抗を小さく抑え、第１及び第２移動部材４，６の移動をスムースに行うことができる。
【００２６】
次に、主として図１、図２及び図５を参照して、上述したテーブル支持機構における移動テーブル８の動きについて説明する。このテーブル支持機構において、例えば、第１及び第２リニアモータ手段５８，６０を作動させて第１及び第２移動部材４，６を同一方向（例えば、図２において左方）に同速度で移動させると、第１及び第２移動部材４，６間に相対的移動がなく、従って、移動テーブル８は第１及び第２移動部材４，６と一体的に移動し、かくして、移動テーブル８を第１及び第２移動部材４，６の移動速度と同速度で同一方向（例えば、図２において左方）に移動させることができる。
【００２７】
また、例えば、図６に示すように、図２に示す状態から第１リニアモータ手段５８を作動させて第２移動部材６に対して第１移動部材４を矢印７０で示す方向（図２及び図５において左方）に移動させると、第２移動部材６に対する第１移動部材４の移動に伴って、第３支持機構３２の第３スライダ４８が第３案内支持部材４４に沿って図６において右上方向に移動するとともに、第４支持機構３４の第４スライダ５０が第４案内支持機構４６に沿って図５において上方に移動し、かくして、移動テーブル８を上記所定方向に対して垂直な矢印７２で示す方向（図６において上方向であって、第２方向）に移動させることがきる。一方、第２移動部材６に対して第１移動部材４を矢印７０で示す方向と反対方向（図２及び図５において右方）に移動させると、上述したとは反対に、第２移動部材６に対する第１移動部材４の移動に伴って、第３支持機構３２の第３スライダ４８が第３案内支持部材４４に沿って図６において左下方向に移動するとともに、第４支持機構３４の第４スライダ５０が第４案内支持機構４６に沿って図５において下方に移動し、かくして、移動テーブル８を矢印７４で示す方向（図６において下方向であって、第２方向）に移動させることがきる。
【００２８】
このように、上述したテーブル支持機構では、第１及び第２移動部材４，６の移動を制御することによって、移動テーブル８を所定方向（矢印３０又は矢印３１で示す第１方向）及び上記所定方向と垂直な方向（矢印７２又は矢印７４で示す第２方向）に移動させることができ、例えば、工作装置などにおけるＸ−Ｚ移動テーブル支持機構として適用することができる。
【００２９】
以上、本発明に従うテーブル支持機構の一実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能である。
【００３０】
例えば、図示の実施形態では、第１及び第２駆動手段５４，５６として第１及び第２リニアモータ手段５８，６０を用いているが、これらリニアモータ手段に代えて、ねじ軸とこのねじ軸を正逆方向に回転駆動する駆動モータとの組合せから構成するようにしてもよく、かかる場合、ベース体２の第１及び第２支持面１０，１２に上記所定方向（第１方向）に沿ってねじ軸が設けられ、第１及び第２移動部材４，６にこのねじ軸に螺着されるブロック片が取り付けられる。
【００３１】
また、図示の実施形態では、ベース体２の第１及び第２支持面１０，１２に第１及び第２リニアモータ手段５８，６０の駆動用永久磁石６２を取り付け、第１及び第２移動部材４，６に第１及び第２リニアモータ手段５８，６０の駆動用コイル６４を取り付けているが、これとは反対に、ベース体２の第１及び第２支持面１０，１２にそれらの駆動用コイル６４を取り付け、第１及び第２移動部材４，６にそれらの駆動用磁石６２を取り付けるようにしてもよい。
【００３２】
また、例えば、図示の実施形態では、第３支持機構３２の第３案内支持部材４４を図４において左右方向（第１方向）に対して所定傾斜角度α上方に傾斜するように設け、第４の支持機構３４の第４案内支持部材４６を図５において上下方向（第２方向）に設けているが、このような構成に代えて、図７に示すように構成することができる。第３及び第４支持機構の変形形態を示す図７（移動テーブルの第１被支持部及び第１移動部材を省略して示す）において、この変形形態における第３支持機構３２Ａは、上述した実施形態における第３支持機構と実質上同一の構成であり、第３案内支持部材４４Ａと、第３案内支持部材４４Ａに移動自在に支持された第３スライダ４８Ａとから構成され、一対の第３案内支持部材４４Ａが例えば第１移動部材４の外面に間隔をおいて取り付けられ、この第１移動部材４の一端下部（図７において左下部）から他端上部（図７において右上部）に向けて直線状に延び、所定方向（図７において左右方向である第１方向）に対して所定傾斜角度α（例えば、４５度）傾斜して延びている。また、第３スライダ４８Ａは各第３案内支持部材４４Ａに対応して上記所定方向に対して所定角度傾斜した方向に間隔をおいて一対設けられ、各第３スライダ４８Ａの組が対応する第３案内支持部材４４Ａに滑動自在に装着されている。
【００３３】
また、第４支持機構３４Ａは、第４案内支持部材４６Ａと、第４案内支持部材４６Ａに移動自在に支持された第４スライダ５０Ａとから構成されている。一対の第４案内支持部材４６Ａが第２移動部材６の外面に間隔をおいて実質上平行に取り付けられ、この第２移動部材６の一端上部（図７において左上部）から他端下部（図７において右下部）に向けて直線状に延び、所定方向（第１方向）に対して上記第３案内支持部材４４Ａの傾斜方向と反対方向に所定傾斜角度α傾斜して延びている。また、第４スライダ５０Ａは各第４案内支持部材４６Ａに対応して図７において右上から左下方向に間隔をおいて一対設けられ、各第４スライダ５０Ａの組が対応する第４案内支持部材４６Ａに滑動自在に装着されている。
【００３４】
このような第３及び第４支持機構３２Ａ，３４Ａを採用しても、上述したと同様に、移動テーブル８を所定方向（図７において左右方向である第１方向）及びこの所定方向に対して垂直な方向（図７において上下方向である第２方向）に移動させることができる。例えば、第１及び第２移動部材４，６を同一方向（例えば、図７において左方）に同速度で移動させると、第１及び第２移動部材４，６間に相対的移動がなく、従って、移動テーブル８は第１及び第２移動部材４，６と一体的に移動し、かくして、移動テーブル８を第１及び第２移動部材４，６の移動方向と同一方向に移動させることができる。
【００３５】
また、例えば、図７に示す状態から第１及び第２移動部材４，６を相互に離隔する方向に移動させると、図７から理解されるように、第１及び第２移動部材４，６の離隔方向の移動に伴って、第３支持機構３２Ａの第３スライダ４８Ａが第３案内支持部材４４Ａに沿って図７において右上方向に移動するとともに、第４支持機構３４Ａの第４スライダ５０Ａが第４案内支持機構４６Ａに沿って図７において左上方向に移動し、かくして、移動テーブル８を上記所定方向に対して垂直な矢印７２で示す方向（図７において上方向であって、第２方向）に移動させることがきる。一方、例えば、図７に示す状態から第１及び第２移動部材４，６を相互に近接する方向に移動させると、第１及び第２移動部材４，６の近接方向の移動に伴って、第３支持機構３２Ａの第３スライダ４８Ａが第３案内支持部材４４Ａに沿って図７において左下方向に移動するとともに、第４支持機構３４Ａの第４スライダ５０Ａが第４案内支持機構４６Ａに沿って図７において右下方向に移動し、かくして、移動テーブル８を上記所定方向に対して垂直な矢印７４で示す方向（図７において下方向であって、第２方向）に移動させることがきる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に従うテーブル支持機構の一実施形態を示す断面図。
【図２】図１のテーブル支持機構の側面図。
【図３】図１のテーブル支持機構のベース体と第１移動部材との支持構造を示す側面図。
【図４】図１のテーブル支持機構の第１移動部材と移動テーブルとの支持構造を示す側面図。
【図５】図１のテーブル支持機構の第２移動部材と移動テーブルとの支持構造を示す側面図。
【図６】移動テーブルの動きを説明するための説明図。
【図７】第３及び第４支持機構の変形形態を一部断面で示す断面図。
【符号の説明】
【００３７】
２  ベース体
４，６  移動部材
８  移動テーブル
１０，１２  支持面
１８，２０，３２，３２Ａ，３４，３４Ａ  支持機構
２２，２４，４４，４４Ａ，４６，４６Ａ  案内支持部材
２６，２８，４８，４８Ａ，５０，５０Ａ  スライダ
４０，４２  被支持部
５８，６０  リニアモータ手段
６２  駆動用永久磁石
６４  駆動用コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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