(57)【要約】【課題】クリーニング液を必要な量だけ必要な箇所に供給できるクリーニング液供給部とそのクリーニング液供給部を使用したスクリーン印刷機のクリーニング装置を提供する。【解決手段】スクリーン印刷機のクリーニング装置において、クリーニング液供給装置から供給されて給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該給送管の先端に設けられた液受部と、該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように該液受部の下部に設けられたガイド部とを備えたクリーニング供給部を設けた。【選択図】  図１
2006289639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニング液を供給するクリーニング液供給装置と、クリーニング液供給装置からクリーニング液をクリーニングシートに含浸させるよう給送する給送管とが設けられたスクリーン印刷機のクリーニング装置において、
前記クリーニング液供給装置から供給されて該給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該給送管の先端に設けられた液受部と、
該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように該液受部の下部に設けられたガイド部と、
を備えたことを特徴とするクリーニング液供給部。
【請求項２】
請求項１において、前記ガイド部を下方に向かって尖頭形状のガイド部としたことを特徴とするクリーニング液供給部。
【請求項３】
スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニングシートのふき取り面をスクリーンマスクの下面に押圧する押圧手段と、該押圧手段とスクリーンマスクとを水平方向に相対移動させる相対移動装置と、該クリーニングシートの新たなふき取り面を前記押圧手段上に供給するクリーニングシート供給装置と、クリーニング液を供給するクリーニング液供給装置と、該クリーニングシートに含浸させるようクリーニング液供給装置からクリーニング液を給送する給送管と、該給送管の先端に設けられたクリーニング液供給部と、該クリーニング液供給部を前記クリーニングシートの上方で該クリーニングシートの供給される方向とは交差する水平方向に移動させる移動手段とを備えたスクリーン印刷機のクリーニング装置において、
前記クリーニング液供給部は、請求項１又は２記載のクリーニング液供給部であることを特徴とするクリーニング装置。
【請求項４】
クリーニングシート供給装置によってクリーニングシートの新たなふき取り面を供給するとともに、クリーニング液供給装置からクリーニング液を給送管によりクリーニング液供給部まで供給し、該クリーニング液供給部から前記クリーニング液を前記クリーニングシートのふき取り面に含浸させ、該クリーニングシートのふき取り面をスクリーンマスクの下面に押圧するとともに該スクリーンマスクとクリーニングシートとを水平方向に相対移動させることにより該スクリーンマスクの下面をクリーニングするスクリーン印刷機のクリーニング方法において、
前記クリーニング液供給部として、前記クリーニング液供給装置から供給されて該クリーニング給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該クリーニング給送管の先端に設けられた液受部と、該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように前記液受部の下部に設けられたガイド部とを備えたクリーニング液供給部を設け、
前記クリーニングシートの上方であって前記クリーニングシートの新たなふき取り面を供給する方向とは交差する水平方向に該クリーニング液供給部を移動させるとともに該クリーニング液供給部から前記クリーニング液を滴下或いは流下させることにより該クリーニング液を該クリーニングシートのふき取り面に含浸させることを特徴とするスクリーン印刷機のクリーニング方法。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷機のスクリーンマスクを清掃するクリーニング液をクリーニングシートに含浸させるために供給するクリーニング液供給部及びそのクリーニング液供給部を使用したクリーニング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板上にＩＣ、ＬＳＩ、コンデンサチップ等の電子部品を半田付するためのクリーム半田を基板に印刷するスクリーン印刷機は、スクリーンマスクを基板の上に重ね、スクリーンマスク上にクリーム半田を供給し、スキージをスクリーンマスク上面で摺動させることにより、スクリーンマスクに開孔されたパターン孔を通して基板にクリーム半田を印刷するようになっている。このようなスクリーン印刷機においてはスクリーンマスク上にスキージを繰り返し摺動させて基板にクリーム半田を印刷する間に、スクリーンマスク上のクリーム半田がパターン孔を通してスクリーンマスクの下面に回り込み、スクリーンマスクの下面を汚してしまう。このようにスクリーンマスクの下面が汚れると、汚れとしてのクリーム半田が基板の上面に付着し、基板は不良基板になってしまう。そのため、スクリーンマスクの下面は適宜クリーニングされることが必要であり、このクリーニングする技術として、特許文献１のようなものが知られている。
【０００３】
これは、クリーニング液としての有機溶剤をクリーニングシート４に含浸させ、多数の凹凸部が形成されたパッド８で該クリーニングシート４をスクリーン１７に押圧し、該パッド８を２方向に往復運動させ、クリーニングシート４の有機溶剤で汚れを溶かしながらクリーニングシート４でふき取るというものである。また、このクリーニング装置はクリーニングシート４に有機溶剤を含浸させるため有機溶剤の供給部１９を備えている。この供給部１９に使用される吐出ノズル２２は前記パッド８のＹ方向の幅に等しい長手寸法を有し、パッド８に掛けられたクリーニングペーパ４にＸ方向に移動させながら有機溶剤を噴射・含浸させるものである。これによると、パッド８を複雑に動かすことで、作業の熟練度に関係なく高い品質で安定した清掃作業をおこなうことができる。
【特許文献１】特開平６−２９７６９６号公報（第４頁、第５頁、図１〜図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来装置では、多孔の吐出ノズル２２からクリーニング液をクリーニングシート４に噴射させて含浸させるため、クリーニング液を必要以上に使用することとなる上、スクリーン１７に押圧するクリーニングシート４の面積が大きく、クリーニングシート４及びクリーニング液の使用量が多くなるという問題があった。また、クリーニング液を多量に使用することは環境衛生の面からも問題であった。
【０００５】
このようなクリーニング液の使用量（吐出量）のコントロールやクリーニングシートの必要な位置に必要なだけ含浸させるといったことを市販のノズルや吐出のための小径の穴加工で実現しようとした場合、クリーニング液の送り量(供給量)、ノズル径（開口径）、ノズル形状の３要素の組合せを考慮しなければならないため、最適な組合せを選択してコントロールするのが困難であった。また、少量のクリーニング液を途切れないよう必要な位置に含浸させるため、ノズル径を小さくすると、ゴミによる詰まりを生じやすくなるという不具合があった。
【０００６】
本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたものであり、クリーニング液を必要な量だけ必要な箇所に供給できるクリーニング液供給部とそのクリーニング液供給部を使用したクリーニング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するために、請求項１に係る発明の特徴は、スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニング液を供給するクリーニング液供給装置と、クリーニング液供給装置からクリーニング液をクリーニングシートに含浸させるよう給送する給送管とが設けられたスクリーン印刷機のクリーニング装置において、前記クリーニング液供給装置から供給されて該給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該給送管の先端に設けられた液受部と、該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように該液受部の下部に設けられたガイド部とを備えたことである。
【０００８】
請求項２に係る発明の特徴は、請求項１において、前記ガイド部を下方に向かって尖頭形状のガイド部としたことである。
【０００９】
請求項３に係る発明の特徴は、スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニングシートのふき取り面をスクリーンマスクの下面に押圧する押圧手段と、該押圧手段とスクリーンマスクとを水平方向に相対移動させる相対移動装置と、該クリーニングシートの新たなふき取り面を前記押圧手段上に供給するクリーニングシート供給装置と、クリーニング液を供給するクリーニング液供給装置と、該クリーニングシートに含浸させるようクリーニング液供給装置からクリーニング液を給送する給送管と、該給送管の先端に設けられたクリーニング液供給部と、該クリーニング液供給部を前記クリーニングシートの上方で該クリーニングシートの供給される方向とは交差する水平方向に移動させる移動手段とを備えたスクリーン印刷機のクリーニング装置において、前記クリーニング液供給部は、請求項１又は２記載のクリーニング液供給部であることである。
【００１０】
請求項４に係る発明の特徴は、クリーニングシート供給装置によってクリーニングシートの新たなふき取り面を供給するとともに、クリーニング液供給装置からクリーニング液を給送管によりクリーニング液供給部まで供給し、該クリーニング液供給部から前記クリーニング液を前記クリーニングシートのふき取り面に含浸させ、該クリーニングシートのふき取り面をスクリーンマスクの下面に押圧するとともに該スクリーンマスクとクリーニングシートとを水平方向に相対移動させることにより該スクリーンマスクの下面をクリーニングするスクリーン印刷機のクリーニング方法において、前記クリーニング液供給部として、前記クリーニング液供給装置から供給されて該クリーニング給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該クリーニング給送管の先端に設けられた液受部と、該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように前記液受部の下部に設けられたガイド部とを備えたクリーニング液供給部を設け、前記クリーニングシートの上方であって前記クリーニングシートの新たなふき取り面を供給する方向とは交差する水平方向に該クリーニング液供給部を移動させるとともに該クリーニング液供給部から前記クリーニング液を滴下或いは流下させることにより該クリーニング液を該クリーニングシートのふき取り面に含浸させることである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明においては、クリーニング給送管の先端より流出するクリーニング液は、液受部に当たって流れが受けとめられ、液体の粘性の作用によって液受部に付着しながら重力によって下方に向かって流れ落ちる。液受部に付着して流れ落ちるクリーニング液は下部に設けられたガイド部によって流れがまとめられ、ガイドを伝って含浸予定位置に滴下或いは流下する。これにより、給送管から吐出したクリーニング液が例え少量であっても、重力によって下方への流れ（落下）を生じ、さらにガイド部によって流れがまとめられかつ導かれるので、クリーニング液の流れが途切れにくく、クリーニングシートの含浸予定位置に必要な量だけを均一に含浸させることができる。含浸予定位置として、印刷対象である基板の巾にかかわらず、例えばスクリーンマスク上の印刷パターンが存在する部分に対応する位置にだけクリーニング液を含浸させることもできる。したがって、市販のノズルにおいては開口径・ノズル形状・供給量の３つをコントロールする必要があったのに対して、クリーニング液の供給量をコントロールするだけで、簡単な装置によって必要な量をクリーニングシートの必要な位置に容易に供給することができる。
【００１２】
請求項２に係る発明においては、液受部で受けられたクリーニング液は下方に向かって尖頭形状のガイドによって、連続的かつ細い流れにまとめられ、クリーニング液が少量でも流れが途切れにくく、少量のクリーニング液が供給されてもコントロールが容易にでき、必要な含浸予定位置に対しても正確に供給できる。したがって、クリーニング液を余分に供給することがないので、クリーニング液の使用量を減少させることができ、ランニングコストの削減を図ることができる。
【００１３】
請求項３に係る発明においては、クリーニング液の供給量が例え少量でも、含浸に必要な位置に必要なだけのクリーニング液を容易に供給でき、余分にクリーニング液を使用しないクリーニング装置を提供することができる。
【００１４】
請求項４に係る発明においては、クリーニング給送管の先端より流出するクリーニング液は液受部に当たって流れが受けとめられ、液体の粘性の作用によって液受部に付着しながら重力によって下方に向かって流れ落ちる。液受部に付着して流れ落ちるクリーニング液は、下部に設けられたガイド部によって流れがまとめられ、ガイドを伝ってクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下する。この際に、クリーニング液供給部を水平方向に移動させることによって、クリーニング液がクリーニングシート上に所定の巾の直線状に含浸する。このクリーニング供給部によると、例えクリーニング液が少量であってもクリーニング液の流れが途切れにくく、クリーニングシートの含浸予定位置である必要な巾の直線上に必要な量だけを均一に含浸させることができる。また、クリーニング液の供給量とクリーニング液供給部の移動速度とをコントロールすることにより、クリーニング液を必要な量だけを容易に供給することができる。したがって、クリーニング液をクリーニングシートに余分に含浸させる量が減り、一度のクリーニング作業に使用されるクリーニングシートの面積も少なく抑えることができ、ランニングコストの削減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明に係るクリーニング液供給部を使用したスクリーン印刷機のクリーニング装置の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。図１はクリーニング装置の一部に断面を有する側面図であり、図２は同正面図であり、図３はクリーニング供給部の側面からの拡大図であり、図４は同正面からの拡大図である。
【００１６】
クリーニング装置１は、スクリーンマスク３の下面をクリーニングするクリーニングユニット５とクリーニング液を供給するクリーニング液供給ユニット７とから構成されている。
【００１７】
クリーニングユニット５は、クリーニングするスクリーンマスク３に対応した巾に形成された帯状のクリーニングシート９と、クリーニングシート９を巻装した供給ローラ１１と、使用済みのクリーニングシート９が巻き取られる巻き取りローラ１３と押圧手段としての板ばね部２１とを有している。
【００１８】
巻き取りローラ１３の一端部の外輪には作動歯車１５が形成され、作動歯車１５は噛合する中間歯車１７を介して回転する駆動歯車１９の駆動によってＸ方向（図１で左右方向）にクリーニングシート９を巻き取るようになっている。これらの供給ローラ１１、巻き取りローラ１３、作動歯車１５、中間歯車１７及び駆動歯車１９によってクリーニングシート供給装置を構成する。供給ローラ１１と巻き取りローラ１３との間には前記板ばね部２１が設けられている。
【００１９】
板ばね部２１は、例えば鋼製で二枚の薄い巾狭の長尺の板材よりなり、クリーニングシート９の巾方向に延在するように配置される。そしてこれらの二枚の板材を対向するように横に並べて、互いに内側へ傾斜するように短か手方向の下端部を固定することにより形成されている。板ばね部２１はＹ方向（Ｘ方向に直交する水平方向）に延在するように設けられ、上方からの圧力に対して反発するように構成されている。板ばね部２１の下部には垂直方向にガイドされる昇降シリンダ２２が配設され、該昇降シリンダ２２を上昇させると前記供給ローラ１１と巻き取りローラ１３との間で張架されるクリーニングシート９の緊張力に板ばね部２１が反発してクリーニングシート９の下面を押圧するようになっている。
【００２０】
また、クリーニングユニット５の一端には摺動ガイド１８が設けられ、他端には転動輪２０が設けられている。クリーニングユニット５は、これらの摺動ガイド１８及び転動輪２０によって両端上部に設けられたＸ方向に延在する一対のガイドレール２４にスライド可能に横架され、図示しないサーボモータ及びボールねじ機構によって水平移動する。これらのガイドレール２４、サーボモータ及びボールねじ機構により相対移動装置を構成する。この相対移動装置によって、スクリーンマスク３と板ばね部２１を含むクリーニングユニット５とがＸ方向に相対移動をするようになっている。
【００２１】
クリーニング液供給ユニット7は、基台２３上に設けられたクリーニング液供給装置としてのポンプ２５と給送管２７とクリーニング液供給部２９とから構成されている。
【００２２】
基台２３上には支柱３１が一定の間隔を置いて対向して立設され、これらの支柱３１にはリニアガイド３５が付設された横梁３３がＹ方向に横架されている。支柱３１の脇にはポンプ２５が配置され、このポンプ２５に給送管２７の末端部が連結されてクリーニング液供給部２９にクリーニング液が供給される。リニアガイド３５にはクリーニング液供給ユニット７のガイドブロック３７がスライド可能に設けられ、ガイドブロック３７はＬアングル３９を介して支持ベース部材４１にボルト・ナット等で固定されている。また、対向する支柱３１にはそれぞれ軸受部材４３が同軸上に設けられ、これらの軸受部材４３にはねじ軸４５が両端部においてそれぞれ回転自在に支承されている。前記支持ベース部材４１の一端部にはナット部が形成され、該ナット部はねじ軸４５に螺合されている。図略のサーボモータによりねじ軸４５が軸線周りに回転すると支持ベース部材４１がＹ方向にスライドするようになっている。これらのリニアガイド３５、ガイドブロック３７、ねじ軸４５、ナット部及びサーボモータにより、クリーニング液供給部２９をクリーニングシート９の供給される方向とは交差する方向に移動させる移動手段を構成する。
【００２３】
支持ベース部材４１の他端部にはガイド付昇降シリンダ４７が小Ｌアングル４９によって固定されている。ガイド付昇降シリンダ４７はシリンダ部４８とピストン部５０とを有し、ピストン部５０の先端には支柱板５１が下端において立設固定されている。
【００２４】
支柱板５１は下部及び上部において直角に折り曲げられて断面略コの字をなすように形成され、該折り曲げによって形成された水平上部５３及び水平下部５５には上部支承穴５７及び下部支承穴５９がそれぞれ対向するように同軸上に穿設されている。上部支承穴５７及び下部支承穴５９には垂直に延在する旋回軸６１が支承されている。旋回軸６１は中空状に形成され、旋回軸６１の上端には上部支承穴５７に遊嵌されたボルト部材６２が螺入され、このボルト部材６２によって旋回軸６１の上端部は上部支承穴５７に回動可能に支承されている。旋回軸６１の下端部には下部支承穴５９に遊嵌された旋回シリンダ６３の作動軸が図略の連結金具を介して連結され、該作動軸によって旋回軸６１の下端部は下部支承穴５９に支承されるとともに旋回シリンダ６３の作動に連動して回動するようになっている。旋回軸６１の上端部には前記ボルト部材６２に螺入されたナット部材６４と旋回軸６１の上端面とにより挟持された旋回アーム６５が設けられている。
【００２５】
旋回アーム６５は巾狭の板状体がプレス等で下方が開放した断面コ字形の棒状に形成され、水平方向に延在するとともに末端部において前記旋回軸６１とは相対回転不能に連結されている。旋回アーム６５は旋回シリンダ６３の作動に伴ってＸ方向とＹ方向との間を９０度旋回するようになっている。旋回アーム６５の内側には給送管２７を保持する保持片６６が複数個所に所定の間隔で設けられ、旋回アーム６５の先端部近傍は水平よりもわずかに傾斜させて形成されている。この傾斜によって、液受け部６９やガイド部７１に付着したクリーニング液が、クリーニング液供給部２９の外側を伝ってクリーニング液供給部２９の根元部分に流れ落ちるのを防止している。
【００２６】
旋回アーム６５の先端部には、図３及び図４に示すように、液受け部６９とガイド部７１とから構成されるクリーニング液供給部２９が設けられ、クリーニング液供給部２９には給送管２７の先端部が配設されている。液受け部６９は平板状に形成され、給送管２７の先端開口部に対向するように設けられている。液受け部６９の下部には液受け部６９に連続してガイド部７１が下方に向かって尖頭状に形成され、液受け部６９とガイド部７１とで五角形のホームベース状になっている。クリーニング液供給部２９の近傍には、吸水性のペーパからなる図略のクリーニング液ふき取り部材が設けられ、クリーニング液をクリーニングシート９に含浸させる作業後であって、Ｘ方向に平行に配された旋回アーム６５が旋回する前に、クリーニング供給部２９に余分に付着したクリーニング液がふき取られる。これによって、旋回アーム６５が旋回した場合にクリーニング供給部２９に付着したクリーニング液が周りに飛び散るのを防止するようになっている。本実施形態では、クリーニング液として例えば、イソプロピルアルコールを使用する。
【００２７】
次に上記のように構成されたクリーニング装置を使用したクリーニング方法について、以下に説明する。初めに、クリーニング液供給ユニット７において、同ユニット７はリニアガイド３５の端部（図２において右端部）に配置され、ガイド付シリンダ４７は下端に位置するとともに旋回アーム６５はクリーニング装置１の内側に向かってＹ方向に平行に配置されている。
【００２８】
クリーニングユニット５においては、同ユニット５はガイドレール２４のＸ方向の端部（図１において左端部）に配置され、板ばね部２１には巻き取りローラ１３が駆動して供給ローラ１１からクリーニングシート９の新たなふき取り面が供給された状態となっている。
【００２９】
図略の基板がスクリーン印刷機に搬入されると、クリーニング液供給ユニット７はリニアガイド３５上のクリーニング液供給位置に移動する。次に、ガイド付昇降シリンダ４７を作動させて支柱板５１及び旋回アーム６５をクリーニング液を供給する高さまで上昇させて停止させる。次に旋回シリンダ６３を作動させて、旋回アーム６５を初期のＹ方向に平行な位置から９０度左旋回させてＸ方向に平行な位置であって、板ばね部２１の上方に位置するクリーニングシート９のふき取り面の端にクリーニング液供給部２９が位置するように位置決めする。このようにスクリーン印刷を行う動作と共にクリーニング液を供給する等のクリーニングを行う動作を並行して行うことによって、スクリーン印刷全体のサイクルタイムが短縮できるようになっている。
【００３０】
次に、図略の前記サーボモータの駆動によりねじ軸４５を回転させてクリーニング液供給部２９をクリーニングシート９の巾方向（Ｙ方向）の一端部より他端部まで水平移動させるとともにクリーニング液をクリーニングシート９に含浸させる。このときにガイド部７１の先端部はクリーニングシート９の上面からわずかに離間させてクリーニング液を滴下或いは流下させながら移動する。かかる水平移動のための移動速度を例えば４０ｍｍ/ｓとすることができる。
【００３１】
また、含浸させる際、給送管２７から吐出したクリーニング液が例え少量であっても、液受け部６９で受けられたクリーニング液は重力によって下方への流れを生じ、さらにガイド部７１によって流れがまとめられかつ導かれるので、クリーニング液の流れが途切れにくく、クリーニングシート９の含浸予定位置に必要な量だけを均一に含浸させることができる。含浸予定位置として、印刷対象である基板の巾にかかわらず、例えばスクリーンマスク３上の印刷パターンが存在する部分に対応する位置にだけクリーニング液を含浸させることもできる。このようにクリーニングシート９に余分に含浸させないので、使用されるクリーニング液を少量に減らすことができる。
【００３２】
次に、基板にスクリーン印刷をしたスクリーンマスク３がクリーニングされる位置に搬入されると、クリーニングシート９にクリーニング液が含浸したクリーニングユニット５はガイドレール２４、図略のサーボモータ及びボールねじ機構からなる前記相対移動装置によって、Ｘ方向にスライドして該スクリーンマスク３の下方にあるクリーニング開始位置に位置決めされる。
【００３３】
次に、昇降シリンダ２２を作動させることにより、板ばね部２１を上昇させてクリーニングシート９のふき取り面をスクリーンマスク３の下面に押圧する。
【００３４】
次に、該ふき取り面をスクリーンマスク３の下面に押圧した状態で、前記相対移動装置を作動させてスクリーンマスク３とクリーニングシート９（板ばね部２１）とを一方向に相対移動させることにより、スクリーンマスク３の下面の汚れをふき取る。
【００３５】
次に、昇降シリンダ２２を作動させて板ばね部２１を下降させて、クリーニングシート９をスクリーンマスク３の下面より離間させる。
【００３６】
次に、前記相対移動装置によってクリーニングユニット５をクリーニング開始位置に戻し、巻き取りローラ１３を駆動させることによりクリーニングシート９を１ピッチ分送って新たなふき取り面を板ばね部２１に供給する。この際の送り量として例えば１０ｍｍ送るものとする。このように、一回のふき取り作業に含浸させるクリーニング液の量を少なくすることで、ふき取りに使用するクリーニングシート９の面積も少なくすることができ、クリーニングシート９の一回の送り量も少なくて済み、ランニングコストの低減を図ることができる。
【００３７】
次に、昇降シリンダ２２を作動させることにより、板ばね部２１を上昇させてクリーニングシート９のふき取り面をスクリーンマスク３の下面に押圧する。
【００３８】
次に、該ふき取り面をスクリーンマスク３の下面に押圧した状態で、前記相対移動装置を作動させてスクリーンマスク３とクリーニングシート９（板ばね部２１）とを一方向に相対移動させることにより、スクリーンマスク３の下面の汚れをふき取る。この場合は、クリーニング液をクリーニングシート９に含浸させずにおこなう、いわゆる乾式によってふき取り作業をおこなう。このふき取り作業と平行して図示しないバキューム装置によって、スクリーンマスク３下面に付着したクリーニング液の除去をおこなう。
【００３９】
次に、昇降シリンダ２２を作動させて板ばね部２１を下降させて、クリーニングシート９をスクリーンマスク３の下面より離間させる。
【００４０】
次に、前記相対移動装置によってクリーニングユニット５をクリーニング開始位置に戻し、巻き取りローラ１３を駆動させることによりクリーニングシート９を送って新たなふき取り面を板ばね部２１に供給する。
【００４１】
ここで、スクリーンマスクの下面は例えば１０枚のスクリーン印刷作業で汚れるので、１１枚目の基板が搬入された時点で、上記クリーニング作業を最初から繰り返す。
【００４２】
なお、本実施形態において、クリーニング液供給部として、液受け部とガイド部とで５角形のホームベース状としたが、これに限定されるものではなく、例えば、液受け部としての円形の板７３に、ガイド部としてくちばし状の突起７５を設けてもよい。この場合、図５に示すように、給送管２７の開口部を覆うように取り付けることで逆止弁として働き、クリーニング液が給送管２７内で該管の先端から後方へ戻ってしまうのを防止することができる。また、図３及び図４に示す実施形態においても、逆止弁をクリーニング供給部２９の近くに位置する給送管２７の途中に設けてもよい。これによって、例えばポンプ２５が停止した場合においても給送管２７内にクリーニング液が逆流して給送管２７の先端の口から空気を吸い込むのを防止し、ポンプ２５が再起動した場合にも空気が泡となって出てくることなく滑らかに含浸作業を再開することができる。
【００４３】
また、図６に示すように、ガイド部の先端はクリーニングシート９に接するように使用してもよい。かかるように接することで、滑らかに滴下しないようなごく少量のクリーニング液が供給される場合であっても、クリーニングシートに狭い巾状でかつ均一にクリーニング液を含浸させることができる。
【００４４】
また、本実施形態（図３及び図４に示す）のガイド部に液受け部の途中からガイド部の先端まで至るガイド溝を形成してもよい。この場合ガイド溝が毛細管現象によってクリーニング液を保持でき、クリーニング液の供給が例え少量であっても、途切れにくくかつ滑らかに供給することができる。
【００４５】
また、液受け部及びガイド部を刷毛状或いは筆状に形成し、刷毛状或いは筆状の根元部分にクリーニング液を供給するものとしてもよい。刷毛或いは筆における複数の細い毛の間に毛細管現象でクリーニング液を保持することができ、クリーニング液の供給が例え少量であっても、途切れにくくかつ滑らかに供給することができる。
【００４６】
また、本実施形態ではクリーニング液供給装置としてポンプを使用したが、これに限定されるものではなく、例えばクリーニング液を貯留するタンクを給送管の末端部に連結し、該タンクをクリーニング液が吐出する該給送管の先端部（或いはクリーニング液供給部）よりも上方に配置するいわゆる垂下方式によって構成してもよい。この場合、給送管の途中或いはクリーニング液供給部に開閉弁を設けて、クリーニング液の流通をコントロールする。これによると、簡単でコストの安い装置でクリーニング液を供給することができる。
【００４７】
本実施形態では、クリーニング液としてイソプロピルアルコールを使用したが、これに限定されるものではなく、例えばキシレン、アセトン、シンナー等の有機溶剤を使用することができる。有機溶剤によってスクリーンマスクの下面の微細孔に入り込んだ余分なクリーム半田やペーストを溶かして除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係るクリーニング液供給部を装備したスクリーン印刷機のクリーニング装置の側面図。
【図２】同正面図。
【図３】クリーニング液供給部の拡大側面図。
【図４】クリーニング液供給部の拡大正面図。
【図５】クリーニング液供給部の他の実施形態の拡大図。
【図６】クリーニング液供給部の他の実施形態の拡大図。
【符号の説明】
【００４９】
１…クリーニング装置、３…スクリーンマスク、５…クリーニングユニット、７…クリーニング液供給ユニット、９…クリーニングシート、１１…供給ローラ、１３…巻き取りローラ、１５…作動歯車、１７…中間歯車、１９…駆動歯車、２１…板ばね部、２５…ポンプ、２７…給送管、２９…クリーニング液供給部、３５…リニアガイド、４３…軸受部材、４５…ねじ軸、６９…液受け部、７１…ガイド部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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