(57)【要約】【課題】  簡単な機構で前面及び背面ノズルを切削ブレードから同時に退避可能なブレードカバー装置を提供すること。【解決手段】  本発明のブレードカバー装置４０は，切削ブレード２２の外周を覆う固定基台部４４と，固定基台部４４に対し略水平方向にスライド可能に配設された移動カバー部４２とからなる。さらに，移動カバー部４２は，切削ブレード２２の前面／背面に対して切削液を供給する前面及び背面ノズル２７ａ，２７ｂを備え，スライド時に固定基台部４４の上面４４ｃ及びＹ軸方向の背面４４ｂによって案内されるように，固定基台部４４の上面４４ｃ及び背面４４ｂを覆うように配設され，案内孔４２５を貫通する係止部材５３によって固定基台部４４に取り付けられている。これにより，移動カバー部４２をＸ軸方向にスライドさせることで，前面及び背面ノズル２７ａ，２７ｂを切削ブレード２２に対してＸ軸方向に同時に移動させることができる。【選択図】  図２
2006187850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置であって：
前記スピンドルハウジングに固定され，前記切削ブレードの外周を覆う固定基台部と；
前記固定基台部に対し，前記スピンドルの軸方向と直交する略水平方向にスライド可能に取り付けられた移動カバー部と；
から構成され；
前記移動カバー部は，
前記切削ブレードの前面に対して切削液を供給する前面ノズルと，前記切削ブレードの背面に対して切削液を供給する背面ノズルとを備え，
スライド時に，前記固定基台部の上面と，前記スピンドルの軸方向にある側面とによって案内されるように，前記固定基台部の前記上面および前記側面の少なくとも一部を覆うようにして配設され，
前記移動カバー部のスライド方向およびスライド可能範囲を規制する案内孔が貫通形成されており，前記案内孔を貫通して前記固定基台部と係合することで前記移動カバー部を係止する係止部材によって，前記固定基台部に取り付けられ；
前記移動カバー部が前記固定基台部に対して略水平方向にスライドすることによって，前記前面ノズルおよび前記背面ノズルを前記切削ブレードに対して略水平方向に同時に移動させることを特徴とする，ブレードカバー装置。
【請求項２】
前記係止部材は，前記固定基台部に対して着脱自在に係合することを特徴とする，請求項１に記載のブレードカバー装置。
【請求項３】
前記固定基台部の材質は，合成樹脂であることを特徴とする，請求項１または２のいずれかに記載のブレードカバー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，切削装置の切削ブレードを覆うブレードカバー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
精密切削装置，例えばダイシング装置においては，図６に示すように，高速回転するスピンドル１２５の先端部１２５ａに装着された切削ブレード１２２を用いて，半導体ウェハ等の被加工物を切削する。この切削ブレード１２２の外周は，スピンドル１２５を支持するスピンドルハウジング１２６の先端部に固定されたブレードカバー１４０により覆われて保護されている。このブレードカバー１４０には，切削ブレード１２２の両側面（Ｙ軸方向の前面及び背面）に対向配置される一対の側面ノズル（前面ノズル１２７ａ，背面ノズル１２７ｂ）が設けられる。この前面ノズル１２７ａおよび背面ノズル１２７ｂは，切削加工時に，切削ブレード１２２の前面および背面に対し，冷却用の切削液を供給する。
【０００３】
ところで，上記切削ブレード１２２は，切削加工に伴い摩耗若しくは破損するため，適宜交換する必要がある。図６に示すブレードカバー１４０の構成では，切削ブレード１２２を交換するためには，まず，止めネジ１４３を緩めて，前面ノズル１２７ａが固設されたブレードカバー１４０ａをブレードカバー１４０ｂから取り外した後に，取り付けナット１２４を緩めて，切削ブレード１２２をスピンドル１２５の先端部１２５ａから取り外す必要がある。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２７６１８３号公報
【特許文献２】特開平１１−２５１２６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら，上記従来のブレードカバー１４０では，切削ブレード１２２の交換時に，止めネジ１４３を弛緩／締結して，前面ノズル１２７ａが設けられたブレードカバー１４０ａの着脱を行なわなければならないので，ブレード交換作業に時間と手間がかかるという問題があった。
【０００６】
また，精密切削装置では，前面ノズル１２７ａと背面ノズル１２７ｂから切削ブレード１２２の前面と背面に対し，切削液が略均等に供給されないと，切削された被加工物に大きなチッピングが生じてしまう。従って，前面ノズル１２７ａと背面ノズル１２７ｂは，相互の間隔や高さを高精度に調整して，ブレードカバー１４０に設置されなければならない。
【０００７】
ところが，図６に示した上記従来のブレードカバー１４０では，前面ノズル１２７ａが設けられるブレードカバー１４０ａと，背面ノズル１２７ｂが設けられるブレードカバー１４０ｂとが，分離可能な別部品として別体に構成されていた。このため，前面ノズル１２７ａと背面ノズル１２７ｂの位置決めを正確に行うためには，別体構成されたブレードカバー１４０ａとブレードカバー１４０ｂの形状，およびブレードカバー１４０ａの位置決め部材を高精度で製作しなければならず，そのための費用や負担が大きいという問題があった。
【０００８】
また，上記止めネジ１４３を使用しないタイプのブレードカバーとして，特許文献１には，切削ブレード交換時に，前面ノズルが設けられたブレードカバーを，背面ノズルが設けられたブレードカバーに対して回動或いはスライドさせて，前面ノズルを退避させる技術が記載されている。しかし，この特許文献１の技術であっても，各ノズルが設置されるブレードカバーが別部品として別体構成されているため，前面ノズル及び背面ノズルの間隔や高さを高精度に位置決めするために，各ブレードカバーを高精度に製作する必要があることには変わりがなかった。
【０００９】
以上のような理由から，前面ノズルと背面ノズルとの間隔及び高さを高精度に保ちながら退避させて，切削ブレードを容易に交換できるブレードカバーが希求されていた。この解決方法のひとつとして，特許文献２には，一対の前面ノズル及び背面ノズルがともに設けられたブレードカバーを垂直方向に回動させて，前面ノズル及び背面ノズルを切削ブレードの周辺から同時に退避させるブレードカバーが記載されている。
【００１０】
しかし，この特許文献２のような構成では，回動されて上方に退避された状態のブレードカバーが，そのままでは自重で閉まってしまう。このため，回動した状態を維持するためのストッパーなどを追加設置することが必要となり，機構が複雑になるという問題があった。また，ブレードカバーの回動に伴って，各ノズルに切削液を供給するホースが屈曲して負担がかかるので，当該ホースが破損あるいは外れ易いという問題があった。さらに，切削ブレードがチャックテーブルに近い位置にある場合，回動時にノズルがチャックテーブルに接触してしまう怖れがあるため，切削ユニット全体を一旦上昇させてからでないと，ブレードカバーを回動させることができない，という問題もあった。
【００１１】
そこで，本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，簡単な機構で１対の前面ノズル及び背面ノズルを同時に切削ブレードから退避させることが可能で，退避時に各ノズルがチャックテーブルに接触する危険性がなく，さらに，各ノズルに切削液を供給するホースに過度の負担をかけることがない，新規かつ改良されたブレードカバー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，スピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルの先端に装着された切削ブレードを覆うブレードカバー装置が提供される。このブレードカバー装置は，スピンドルハウジングに固定され，切削ブレードの外周を覆う固定基台部と；固定基台部に対し，スピンドルの軸方向と直交する略水平方向にスライド可能に取り付けられた移動カバー部と；から構成される。また，上記移動カバー部は，切削ブレードの前面に対して切削液を供給する前面ノズルと，切削ブレードの背面に対して切削液を供給する背面ノズルとを備える。また，上記移動カバー部は，スライド時に，固定基台部の上面と，スピンドルの軸方向にある側面とによって案内されるように，固定基台部の上面および側面の少なくとも一部を覆うようにして配設される。さらに，上記カバー部は，移動カバー部のスライド方向およびスライド可能範囲を規制する案内孔が貫通形成されており，案内孔を貫通して固定基台部と係合することで移動カバー部を係止する係止部材によって，固定基台部に取り付けられる。このようなブレードカバー装置では，移動カバー部が固定基台部に対して略水平方向にスライドすることによって，前面ノズルおよび背面ノズルを切削ブレードに対して略水平方向に同時に移動させる。
【００１３】
かかる構成により，係止部材を弛緩させて，固定基台部に対し移動カバー部を略水平方向にスライドさせるという簡単な機構を用いて，切削ブレードの交換時に，一対の前面ノズルおよび背面ノズルを切削ブレードの近傍から同時に退避させることができる。このため，前面ノズルと背面ノズルとの間隔及び高さを高精度に保ちながら，切削ブレードを容易かつ迅速に交換できる。さらに，この退避時には，水平方向にスライドさせる構成であるので，前面ノズルおよび背面ノズルをチャックテーブルに接触させる危険性がなく，また，前面ノズルおよび背面ノズルに切削液を供給するホースに過度の負担をかけることもない。また，固定基台部を案内部材として利用して移動カバー部を案内できるので，簡単な構造で移動カバー部のスライド移動を円滑に行うことができるとともに，固定基台部によって移動カバー部を安定して支持することができる。
【００１４】
また，上記係止部材は，固定基台部に対して着脱自在に係合するように構成してもよい。これにより，係止部材を固定基台部から脱離することによって，移動カバー部を固定基台部から取り外すことができるため，移動カバー部に設けられた前面ノズルおよび背面ノズルを，簡単に調整したり，交換したり，或いは清掃したりすることができる。また，係止部材を固定基台部の上面に取り付けることにより，係止部材をオペレータにとって操作し易い位置に配置できる。
【００１５】
また，上記固定基台部の材質は，プラスチック等の合成樹脂であってもよい。これにより，移動カバー部と固定基台部との摩擦抵抗を低減させて，移動カバー部をより一層円滑にスライドさせることができる。なお，移動カバー部の材質は，強度面での観点からは，ステンレス等の金属類が好ましいが，かかる例に限定されず，プラスチック等の合成樹脂など任意の材質であってよい。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明によれば，固定基台部に対し移動カバー部を略水平方向にスライドさせるという簡単な機構で，一対の前面ノズルおよび背面ノズルを同時に切削ブレードから退避させることができる。さらに，この退避時には，前面ノズルおよび背面ノズルをチャックテーブルに接触させる危険性がなく，各ノズルに切削液を供給するホースに過度の負担をかけることがない。また，固定基台部を案内部材として利用して移動カバー部を案内できるので，簡単な構造で移動カバー部を円滑にスライドさせることができるとともに，固定基台部によって移動カバー部を安定して支持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１８】
（第１の実施形態）
まず，図１に基づいて，本発明の第１の実施形態にかかる切削装置の一例であるダイシング装置１０の全体構成について説明する。なお，図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１０を示す全体斜視図である。
【００１９】
図１に示すように，ダイシング装置１０は，例えば，半導体ウェハなどの被加工物１２を切削加工する切削手段である切削ユニット２０と，被加工物１２を保持する被加工物保持手段であるチャックテーブル３０と，切削ユニット移動機構（図示せず。）と，チャックテーブル移動機構（図示せず。）とを備える。
【００２０】
切削ユニット２０は，スピンドルに装着された切削ブレード２２を備えている。この切削ユニット２０は，切削ブレード２２を高速回転させながら被加工物１２に切り込ませることにより，被加工物１２を切削して極薄のカーフ（切溝）を形成する。
【００２１】
また，チャックテーブル３０は，例えば，その上面が略平坦な円盤状のテーブルであり，その上面に真空チャック（図示せず。）等を具備している。このチャックテーブル３０上には，例えば，ウェハテープ１３を介してフレーム１４に支持された状態の被加工物１２が載置される。チャックテーブル３０は，かかる被加工物１２を真空吸着して安定的に保持する。
【００２２】
切削ユニット移動機構は，切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させる。このＹ軸方向は，切削方向（Ｘ軸方向）に対して直交する水平方向であり，切削ユニット２０内に延設されたスピンドルの軸方向と一致する。切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させることにより，切削ブレード２２の刃先を被加工物１２の切削位置（切削ライン）に位置合わせすることができる。また，切削ブレード２２の交換作業等のメンテナンス時には，切削ユニット２０をＹ軸方向手前側（オペレータ側），即ち，ダイシング装置１０の前面（正面）側に前進させて，切削ユニット２０をオペレータが作業しやすい位置に配置することができる。さらに，この切削ユニット移動機構は，切削ユニット２０をＺ軸方向（垂直方向）にも移動させる。これにより，被加工物１２に対する切削ブレード２２の切り込み深さを調整することができる。
【００２３】
チャックテーブル移動機構は，切削加工時に，被加工物１２を保持したチャックテーブル３０を切削方向（Ｘ軸方向）に往復移動させて，被加工物１２に対し切削ブレード２２の刃先を直線的な軌跡で作用させる。
【００２４】
かかる構成のダイシング装置１０は，高速回転する切削ブレード２２を被加工物１２に切り込ませながら，切削ユニット２０とチャックテーブル３０とを相対移動させることにより，被加工物１２の格子状に配置された複数の切削ラインを切削する。これによって，被加工物１２をダイシング加工して，複数のチップに分割することができる。
【００２５】
次に，図２に基づいて，本実施形態にかかる切削ユニット２０の構成について詳細に説明する。なお，図２は，本実施形態にかかる切削ユニット２０を示す斜視図である。
【００２６】
図２に示すように，切削ユニット２０は，例えば，フランジ２１と，切削ブレード２２と，ナット２４と，スピンドル２５と，スピンドルハウジング２６と，ブレードカバー装置４０と，を主に備える。
【００２７】
切削ブレード２２は，例えば，略リング形状を有する極薄の切削砥石である。かかる切削ブレード２２は，例えば，フランジ２１およびナット２４などによって，スピンドル２５の先端部２５ａに装着される。本実施形態にかかる切削ブレード２２は，例えば，所謂ワッシャーブレードで構成されており，その両側をフランジ２１で挟持してナット２４で固定することによって，スピンドル２５に軸着される構成である。しかし，かかる例に限定されず，切削ブレード２２は，外周部に配される切削砥石である切り羽部と，当該切り羽部をスピンドル２５に軸着するための基台部とが一体構成されたハブブレードで構成されてもよい。
【００２８】
また，スピンドル２５は，例えば，モータ（図示せず。）の回転駆動力を切削ブレード２２に伝達するための回転軸であり，装着された切削ブレード２２を例えば３０，０００ｒｐｍで高速回転させることができる。このスピンドル２５の大部分は，スピンドルハウジング２６に覆われているが，その先端部２５ａは，スピンドルハウジング２６から露出しており，かかる先端部２５ａに切削ブレード２２等が装着される。なお，このスピンドル２５は，切削方向（Ｘ軸方向）と直交するＹ軸方向に延設されている。
【００２９】
また，スピンドルハウジング２６は，スピンドル２５の外周を覆うようにして設けられたハウジングである。このスピンドルハウジング２６は，内部に設けられたエアベアリング（図示せず。）等によって，スピンドル２５を回転可能に支持する。
【００３０】
また，ブレードカバー装置４０は，切削ブレード２２の外周を覆うようにして配設され，スピンドルハウジング２６の先端部に固定される。このブレードカバー装置４０は，切削ブレード２２を保護するとともに，切削加工に伴う切削液や切削屑，破損したブレード片などが，切削ユニット２０外部に飛散することを防止する。このブレードカバー装置４０には，切削液供給ノズルとして，切削ブレード２２の側面側から切削液を供給する一対の側面ノズル２７ａ，２７ｂと，切削ブレード２２の外周面側から切削液を供給する外周ノズル６０（図３参照）とが設けられている。かかるブレードカバー装置４０は，本実施形態にかかる特徴的構成要素であり，以下にその詳細について説明する。
【００３１】
次に，図２および図３に基づいて，本実施形態にかかる特徴であるブレードカバー装置４０について詳細に説明する。図３は，本実施形態にかかるブレードカバー装置４０を示す正面図（ａ）および右側面図（ｂ）である。
【００３２】
図２および図３に示すように，ブレードカバー装置４０は，大別すると，例えば，スピンドルハウジング２６に固定され，切削ブレード２２の外周を覆う固定基台部４４と，固定基台部４４に対して略水平方向（Ｘ軸方向）にスライド可能に取り付けられた移動カバー部４２と，から構成されている。
【００３３】
まず，固定基台部４４について説明する。固定基台部４４は，例えば，プラスチック等の合成樹脂で形成された略直方体形状の部材であり，スピンドルハウジング２６の先端部に固設されている。この固定基台部４４の前面４４ａの中央部には，切削ブレード２２径より若干大径の略円形の凹部４４２が陥没形成されている。この凹部４４２内に切削ブレード２２を配置することによって，切削ブレード２２の外周のうち，被加工物１２に切り込ませる下部を除く部分が，固定基台部４４によって覆われる。これにより，固定基台部４４によって，切削ブレード２２を保護するとともに，切削加工時における切削液，切削屑等の飛散を防止できる。なお，固定基台部４４の前面４４ａとは，固定基台部４４の４側面のうち，スピンドル２５の軸方向先端側（Ｙ軸正方向側）の側面であり，固定基台部４４の背面４４ｂとは，スピンドル２５の軸方向奥側（Ｙ軸負方向側）の側面である。
【００３４】
また，この固定基台部４４には，図３に示すように，外周ノズル６０が内蔵化されている。この外周ノズル６０は，切削ブレード２２の外周面と対向するように配置され，切削方向前方（Ｘ軸正方向）から切削ブレード２２の外周に対して切削液を噴射する切削液供給ノズル（シャワーノズル）である。
【００３５】
より詳細には，この外周ノズル６０は，固定基台部４４の切削方向前方側の内部に形成されている。かかる外周ノズル６０は，切削液を噴射する例えば略円形の噴射口６２と，この噴射口６２に連通される流路６４とを有する。噴射口６２は，固定基台部４４の凹部４４２の切削方向前方側の側面において，切削ブレード２２の外周面と対向する位置に形成されている。また，流路６４は，固定基台部４４のカバー前部４６の内部に垂直方向に延びるように形成され，外部から供給された切削液を噴射口６２に導く。
【００３６】
また，この固定基台部４４の一側上部には，ホース連結部５２が設けられており，このホース連結部５２には，ブレードカバー装置４０の外部に設けられた切削液供給手段（図示せず。）に連通された給液ホース５２１が連結される。かかる構成により，給液ホース５２１を介して供給された切削液は，固定基台部４４の内部に形成された外周ノズル６０の流路６４を通り，噴射口６２から切削ブレード２２の外周面に向けて噴射される。
【００３７】
このように，本実施形態にかかるブレードカバー装置４０では，外周ノズルユニットを固定基台部４４に外付けするのではなく，固定基台部４４自体に噴射口６２および流路６４を形成することによって，外周ノズル６０が内蔵化されている。これによって，ブレードカバー装置４０の部品数を低減し，外周ノズル６０を設置するための構成を単純化することができる。
【００３８】
次に，移動カバー部４２について説明する。移動カバー部４２は，固定基台部４４の上部を覆うカバー部材であり，固定基台部４４に対して略水平方向（Ｘ軸方向）にスライド可能に取り付けられる。この移動カバー部４２は，例えば，ステンレス等の金属製の板金部品であり，例えば，金属製の平板を，垂直方向の断面形状が略コの字形となるように折り曲げ加工して製造される。この移動カバー部４２は，図２及び図３に示すように，略水平に配置される上面部４２ｃと，上面部４２ｃのＹ軸方向前面側に上面部４２ｃに対して略垂直に配設される前面部４２ａと，上面部４２ｃのＹ軸方向背面側に上面部４２ｃに対して略垂直に配設される背面部４２ｂとからなる。
【００３９】
かかる移動カバー部４２は，Ｘ軸方向のスライド時に固定基台部４４の上部によって案内されるように，固定基台部４４の上部を覆うように配設される。具体的には，移動カバー部４２は，固定基台部４４の上面４４ｃ全体と，固定基台部４４のＹ軸方向の前面４４ａおよび背面４４ｂの上部と，固定基台部４４のＸ軸方向の一側面４４ｄの上部とを覆うようにして配設される。この移動カバー部４２の上面部４２ｃと背面部４２ｂは，それぞれ，固定基台部４４の上面４４ｃと背面４４ｂに接触している。これにより，移動カバー部４２は，固定基台部４４を，Ｘ軸方向にスライドするための案内部材として利用することができる。
【００４０】
なお，本実施形態にかかる移動カバー部４２の前面部４２ａは，固定基台部４４の前面４４ａと接触していない。しかし，かかる例に限定されず，移動カバー部４２のＹ軸方向の幅と，固定基台部４４のＹ軸方向の幅とを同程度にして，移動カバー部４２の前面部４２ａと，固定基台部４４の前面４４ａとが接触するように構成してもよい。
【００４１】
また，この移動カバー部４２のＸ軸方向一側の下部には，図２及び図３に示すように，一対の側面ノズル（即ち，正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂ）が固設されている。この側面ノズル２７ａ，２７ｂは，切削ブレード２２の両側面（切削ブレード２２のＹ軸方向両側の略平坦面である前面および背面をいう。）に対して，Ｙ軸方向両側から切削液（例えば切削水）を供給する切削液供給ノズル（ブレードクーラーノズル）である。このうち，正面ノズル２７ａは，切削ブレード２２の前面側下部に隣接して配置され，切削ブレード２２の前面に対して切削液を供給する。また，背面ノズル２７ｂは，切削ブレード２２の背面側下部に隣接して配置され，切削ブレード２２の背面に対して切削液を供給する。
【００４２】
より具体的には，正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂは，図３に示すように，例えば，移動カバー部４２のＸ軸方向の一側から垂直方向下方に向かって延び，所定の曲率半径で湾曲した後，切削ブレード２２の下部に沿って水平方向に延設されている。この正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂの水平部分には，例えば，スリット状若しくは微細孔状の噴射口（図示せず。）が複数形成されている。
【００４３】
かかる正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂは，移動カバー部４２の内側に配設された各ノズル固定部４２２に連結固定されている。また，移動カバー部４２の一側上部には，例えば２つのホース連結部５１が設けられており，この各ホース連結部５１には，上記切削液供給手段と連通された給液ホース５１１がそれぞれ連結される。さらに，上記各ノズル固定部４２２の内部には，上記正面ノズル２７ａ，背面ノズル２７ｂと，上記各ホース連結部５１とを連通する流路４２３がそれぞれ貫通形成されている。
【００４４】
かかる構成により，給液ホース５１１を介して供給された切削液は，ノズル固定部４２２の内部に形成された流路４２６を通って正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂに達し，正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂの噴射口から，切削ブレード２２の前面及び背面の下部および加工点に向けて噴射される。
【００４５】
このようにして切削液を供給することによって，切削ブレード２２および加工点を冷却して，切削加工時に被加工物１２にチッピングが発生することを防止できる。また，かかる切削液の供給によって，切削加工により生じた切削屑を洗い流すこともできる。特に，この正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂは，同一形状を有し，かつ，切削ブレード２２を挟んで対称な位置（高さおよび水平位置）に正確に配設されている。これにより，切削ブレード２２の前面と背面に対し，切削液を均等に供給できるので，被加工物１２にチッピングが発生することを効果的に防止できる。
【００４６】
次に，移動カバー部４２のスライド機構について詳細に説明する。上記移動カバー部４２の例えば上面部４２ｃには，スライド方向であるＸ軸方向に延びる長孔である案内孔４２５が貫通形成されている。この案内孔４２５は，移動カバー部４２のスライド方向をＸ軸方向に規制するとともに，移動カバー部４２のスライド可能範囲を後述する切削位置と退避位置との間の所定範囲に規制する機能を有する。なお，この案内孔４２５は，移動カバー部４２の前面部４２ａまたは背面部４２ｂなどに形成されてもよい。
【００４７】
さらに，移動カバー部４２は，上記案内孔４２５を上方から貫通して固定基台部４４に係合する係止部材である例えばクランプボルト５３によって，固定基台部４４に対して取り付けられている。
【００４８】
具体的には，このクランプボルト５３の雄ねじ部５３ｂは，その外径が上記案内孔４２５の短手方向（Ｙ軸方向）の幅と同一若しくは若干小さい程度であるため，案内孔４２５を貫通して，固定基台部４４の上面４４ｃに形成された雌ねじ孔４４１と螺合する。一方，クランプボルト５３の頭部５３ａは，その外径が上記案内孔４２５の短手方向の幅よりも大きいため，案内孔４２５を貫通できない。このため，クランプボルト５３を固定基台部４４に締結した時には，クランプボルト５３の頭部５３ａによって，移動カバー部４２の上面部４２ｃを係止して，下方にある固定基台部４４に向けて押圧することができる。
【００４９】
かかる構成により，クランプボルト５３を締結することによって，クランプボルト５３により移動カバー部４２を係止して，固定基台部４４に固定することができる。例えば，図２および図３に示すように，クランプボルト５３が案内孔４２５の一端（図では左端）に位置するときに，クランプボルト５３を締結することによって，移動カバー部４２を切削位置に位置づけて，固定基台部４４に固定することができる。このように移動カバー部４２が切削位置で固定されたときには，上記正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂは，切削ブレード２２の両側に隣接して対向配置されるので，かかる正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂから切削液を供給しながら，切削ブレード２２によって被加工物１２を好適に切削加工することができる。
【００５０】
一方，クランプボルト５３を弛緩することによって，クランプボルト５３による移動カバー部４２の係止動作が解除されるため，図４および図５に示すように，移動カバー部４２を固定基台部４４に対して，スピンドル２５の軸方向に対して直交する水平方向（即ち，Ｘ軸方向）にスライドさせることができる。
【００５１】
このスライド時には，上述したような移動カバー部４２の上面部４２ｃおよび背面部４２ｂと，固定基台部４４の上部（上面４４ａおよび背面４４ｂ）との係合が維持され，かつ，案内孔４２５とクランプボルト５３との相互作用によってスライド方向が規制される。このため，固定基台部４４の上面４４ａおよび背面４４ｂによって，移動カバー部４２のＸ軸方向のスライドを好適に案内することができる。従って，上記のような簡単なスライド機構により，移動カバー部４２を水平方向に円滑にスライドさせることができる。
【００５２】
さらに，上述したように，移動カバー部４２は，ステンレス等の金属で形成されているが，固定基台部４４は，従来のようなステンレス等の金属ではなく，プラスチック等の合成樹脂で形成されている。このように固定基台部４４の材質を合成樹脂とすることによって，固定基台部４４を軽量化できるだけではなく，移動カバー部４２と固定基台部４４との摩擦抵抗を低減して，移動カバー部４２をより一層円滑にスライドさせることができるという効果もある。
【００５３】
このように，移動カバー部４２を固定基台部４４に対してＸ軸方向にスライドさせることによって，この移動カバー部４２に固設された上記前面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂを，切削ブレード２２に対してＸ軸方向に同時に移動させることができる。
【００５４】
さらに，上記のようにして移動カバー部４２がＸ軸方向にスライドして，図４および図５に示すように，クランプボルト５３が案内孔４２５の他端（図では右端）まで達すると，移動カバー部４２はクランプボルト５３によって係止される。このため，移動カバー部４２は，それ以上スライドすることはできず，退避位置に位置づけられる。このように，移動カバー部４２が退避位置に位置づけられたときには，図５に示すように，上記正面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂは，切削ブレード２２をスピンドル２５から取り外したとしても，当該切削ブレード２２と接触しないＸ軸方向の位置まで退避される。
【００５５】
このため，摩耗若しくは破損等が原因で切削ブレード２２を交換する際に，オペレータは，移動カバー部４２を上記のようにして退避位置まで手動でスライドさせるだけで，正面ノズル２７ａに邪魔されることなく，切削ブレード２２を着脱して交換することができる。なお，移動カバー部４２を退避位置までスライドさせた後に，クランプボルト５３を締結して移動カバー部４２を固定すれば安全であるが，かかる固定作業を行わなくても，一度退避位置に配置された移動カバー部４２は，特別な外力が作用しない限り静止しているので，上記切削ブレード２２の交換作業を実行することは可能である。
【００５６】
以上，本実施形態にかかるダイシング装置１０におけるブレードカバー装置４０について詳細に説明した。かかるブレードカバー装置４０によれば，固定基台部４４に対し移動カバー部４２を略水平方向にスライドさせるという比較的簡単な機構で，前面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂを切削ブレード２２から退避させることができる。このため，オペレータは，切削ブレード２２を容易かつ迅速に交換することができる。
【００５７】
さらに，上記ブレードカバー装置４０では，上記前面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂが同一の部材（移動カバー部４２）に固設されている。このため，前面ノズル２７ａと背面ノズル２７ｂの相互の間隔及び高さを高精度に保ちながら，前面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂをＸ軸方向に同時に移動させて退避させることができる。よって，一度，前面ノズル２７ａと背面ノズル２７ｂの相互の間隔及び高さを調整してブレードカバー装置４０に適切に設置してしまえば，その後は，前面ノズル２７ａと背面ノズル２７ｂの相互の間隔及び高さを調整する必要がないという利点がある。
【００５８】
また，前面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂを水平方向に移動させて退避させる構成であるので，従来の回動させて退避させる機構の場合のように，前面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂがチャックテーブル３０に接触する危険性がない。従って，切削ブレード２２がチャックテーブル３０に近い位置にある場合であっても，切削ユニット２０全体を上昇させずとも，そのままの位置で切削ブレード２２を交換可能である。
【００５９】
加えて，前面ノズル２７ａおよび背面ノズル２７ｂの移動方向が水平方向であるため，従来の回動させて退避させる機構と比べて，各ノズル２７ａ，２７ｂに切削液を供給するための給液ホース５１１が屈曲せず，当該給液ホース５１１に対して過度の負担をかけることがない。よって，当該給液ホース５１１の破損や外れを防止できる。
【００６０】
また，係止部材であるクランプボルト５３は，固定基台部４４の上面に着脱自在に設けられている。このため，クランプボルト５３を螺脱することによって，移動カバー部４２を固定基台部４４から取り外して，簡単に交換したり，清掃したりすることができる。さらに，クランプボルト５３をブレードカバー装置４０の上部に配設することによって，オペレータがクランプボルト５３を操作し易くなる。
【００６１】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６２】
例えば，上記実施形態では，切削装置としてダイシング装置１０の例を挙げて説明したが，本発明はかかる例に限定されない。例えば，スピンドル２５により高速回転する切削ブレード２２を用いて被加工物１２を切削加工する装置であれば，例えば，ダイシング加工以外の切削加工を行う各種の切削装置であってもよい。
【００６３】
また，上記実施形態では，移動カバー部４２の材質はステンレス等の金属であったが，本発明はかかる例に限定されず，合成樹脂など任意の材質であってもよい。
【００６４】
また，上記実施形態にかかるブレードカバー装置４０では，係止部材としてクランプボルト５３を用いたが，かかる例に限定されず，移動カバー部４２を係止して固定基台部４４に対して固定／固定解除することが可能な部材であれば，例えば，フック機構，ピンなど任意の部材であってよい。また，案内孔４２５を貫通するように固定基台部４４から雄ねじ部を突設し，かかる雄ねじ部にナットを係合させて移動カバー部４２を係止，固定してもよい。
【００６５】
また，案内孔４２５および係止部材の設置個所は，ブレードカバー装置４０の上面側に限定されず，例えば，ブレードカバー装置４０の前面側若しくは背面側などであってもよい。
【００６６】
また，移動カバー部４２および固定基台部４４の形状は，上記実施形態のように，上面が水平面，前面および背面が垂直面となるような形状に限定されない。移動カバー部４２は，固定基台部４４に対してＸ軸方向にスライドでき，固定基台部４４を案内部材として利用できる形状であればよい。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は，切削装置における切削ブレードを覆うブレードカバー装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかるダイシング装置を示す全体斜視図である。
【図２】同実施形態にかかる切削ユニットを示す斜視図である。
【図３】同実施形態にかかるブレードカバー装置を示す正面図（ａ）および右側面図（ｂ）である。
【図４】同実施形態にかかる移動カバー部がスライドした状態の切削ユニットを示す斜視図である。
【図５】同実施形態にかかる移動カバーがスライドした状態のブレードカバー装置を示す正面図である。
【図６】従来の切削ユニットにおけるブレードカバー装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６９】
１０  ：  ダイシング装置
１２  ：  被加工物
２０  ：  切削ユニット
２２  ：  切削ブレード
２５  ：  スピンドル
２７ａ  ：  前面ノズル
２７ｂ  ：  背面ノズル
３０  ：  チャックテーブル
４０  ：  ブレードカバー装置
４２  ：  移動カバー部
４２ａ  ：  前面部
４２ｂ  ：  背面部
４２ｃ  ：  上面部
４４  ：  固定基台部
４４ａ  ：  固定基台部の前面
４４ｂ  ：  固定基台部の背面
４４ｃ  ：  固定基台部の上面
５３  ：  クランプボルト（係止部材）
６０  ：  外周ノズル
４２５  ：  案内孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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