(57)【要約】【課題】  導圧管の詰まりが、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断可能な圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法を提供する。【解決手段】  高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。【選択図】                    図１
2006329846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号（Ｘ）を算出する差圧演算部（６１）と、
前記差圧信号（Ｘ）から差圧揺動（ＦＸ(i)）を算出する差圧揺動演算部（６２）と、
前記差圧揺動（ＦＸ(i)）から差圧分散（ＶＸ）を算出する差圧分散演算部（６３）と、
前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号（ＹＨ）を算出する高圧側圧力演算部（６４）と、
前記高圧側圧力信号（ＹＨ）から高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）を算出する高圧側圧力揺動演算部（６５）と、
前記高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）から高圧側圧力分散（ＶＨ）を算出する高圧側圧力分散演算部（６６）と、
前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号（ＹＬ）を算出する低圧側圧力演算部（６７）と、
前記低圧側圧力信号（ＹＬ）から低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）を算出する低圧側圧力揺動演算部（６８）と、
前記低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）から低圧側圧力分散（ＶＬ）を算出する低圧側圧力分散演算部（６９）と、
前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と前記差圧分散（ＶＸ）との比に係る第１診断変数（Ｚ１）を算出する第１比率演算部（７１）と、
前記低圧側圧力分散（ＶＬ）と前記差圧分散（ＶＸ）との比に係る第２診断変数（Ｚ２）を算出する第２比率演算部（７２）と、
前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と前記低圧側圧力分散（ＶＬ）との比に係る第３診断変数（Ｚ３）を算出する第３比率演算部（７３）と、
前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と、前記低圧側圧力分散（ＶＬ）と前記差圧分散（ＶＸ）との和との比に係る第４診断変数（Ｚ４）を算出する第４比率演算部（７４）と、
前記低圧側圧力分散（ＶＬ）と、前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と前記差圧分散（ＶＸ）との和との比に係る第５診断変数（Ｚ５）を算出する第５比率演算部（７５）と、
前記差圧分散（ＶＸ）と前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と前記低圧側圧力分散（ＶＬ）との積に係る第１変数（Ｚ６）を算出する第１積演算部（７６）と、
前記差圧揺動（ＦＸ(i)）と前記高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）と前記低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）との積に係る第２変数（Ｚ７）を算出する第２積演算部（７７）と、
前記第１診断変数（Ｚ１）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第１判定部（８１）と、
前記第２診断変数（Ｚ２）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第２判定部（８２）と、
前記第３診断変数（Ｚ３）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第３判定部（８３）と、
前記第４診断変数（Ｚ４）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第４判定部（８４）と、
前記第５診断変数（Ｚ５）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第５判定部（８５）と、
前記第１変数（Ｚ６）の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定する第６判定部（８６）と、
前記第２変数（Ｚ７）の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定する第７判定部（８７）と
を備えたことを特徴とする圧力検出器。
【請求項２】
前記差圧演算部（６１）は、前記差圧信号（Ｘ）が前記高圧側圧力の変化と前記低圧側圧力の変化とに影響されないように定められた演算式の定数（ＡＤ）を備え、
前記高圧側圧力演算部（６４）は、前記高圧側圧力信号が前記低圧側圧力の変化に影響されないように定められた演算式の定数（ＡＨ）を備え、
前記低圧側圧力演算部（６７）は、前記低圧側圧力信号が前記高圧側圧力の変化に影響されないように定められた演算式の定数（ＡＬ）を備えた
ことを特徴とする請求項１記載の圧力検出器。
【請求項３】
詰まりのないときの前記第１変数（Ｚ６）の値（Ｚ６ｓ）を格納する第１格納部（９１）を備え、
前記第６判定部(８６)は、前記第１変数（Ｚ６）と前記第１格納部（９１）に格納された値との比に係る第６診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定することを特徴とする請求項２記載の圧力検出器。
【請求項４】
詰まりのないときの前記第２変数（Ｚ７）の値（Ｚ７ｓ）を格納する第２格納部（９２）を備え、
前記第７判定部(８７)は、前記第２変数（Ｚ７）と前記第２格納部（９２）に格納された値との比に係る第７診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定することを特徴とする請求項２記載の圧力検出器。
【請求項５】
圧力を検出し、同一素子上に形成された少なくとも二つの振動式センサ（５１）と、前記振動式センサ（５１）における、一方の出力の周波数（ＦＣ）と他方の出力の周波数（Ｆｒ）とをそれぞれ計数するカウンタ(５２)とを備え、
差圧演算部(６１)と高圧側圧力演算部(６４)と低圧側圧力演算部(６７)とは下記の式を満足する
ことを特徴とする請求項２記載の圧力検出器。
記
Ｘ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１−ＡＤ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （Ａ）
ＹＨ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１＋ＡＨ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （Ｂ）
ＹＬ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１＋ＡＬ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （Ｃ）
ただし、以下のとおりとする。
Ｘは、差圧信号。
ＹＨは、高圧側圧力信号。
ＹＬは、低圧側圧力信号。
ＡＤ，ＡＨ及びＡＬは、定数。
ＦＣは、一方の前記振動式センサの出力の周波数。
Ｆｃｏは、基準圧力の状態における一方の前記振動式センサの出力の周波数。
Ｆｒは、他方の前記振動式センサの出力の周波数。
Ｆｒｏは、基準圧力の状態における他方の前記振動式センサの出力の周波数。
【請求項６】
前記差圧揺動（ＦＸ(i)）は、ｉ番目に生成された差圧信号（Ｘ(i)）と（ｉ−１）番目に生成された差圧信号（Ｘ(i-1)）との差分から成り、
前記高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）は、ｉ番目に生成された高圧側圧力信号（ＹＨ(i)）と（ｉ−１）番目に生成された高圧側圧力信号（ＹＨ(i-1)）との差分から成り、
前記低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）は、ｉ番目に生成された低圧側圧力信号（ＹＬ(i)）と（ｉ−１）番目に生成された低圧側圧力信号（ＹＬ(i-1)）との差分から成り、
前記差圧分散（ＶＸ）は、Ｎ個分の前記差圧揺動（ＦＸ(i)）の２乗平均から成り、
前記高圧側圧力分散（ＶＨ）は、Ｎ個分の前記高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）の２乗平均から成り、
前記低圧側圧力分散（ＶＬ）は、Ｎ個分の前記低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）の２乗平均から成る
ことを特徴とする請求項４記載の圧力検出器。
【請求項７】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、
前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、
前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、
前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、
前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、
前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、
前記高圧側圧力分散と前記差圧分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、
前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部と
を備えたことを特徴とする圧力検出器。
【請求項８】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、
前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、
前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、
前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、
前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、
前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、
前記低圧側圧力分散と前記差圧分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、
前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部と
を備えたことを特徴とする圧力検出器。
【請求項９】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、
前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、
前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、
前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、
前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、
前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、
前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、
前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、
前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部と
を備えたことを特徴とする圧力検出器。
【請求項１０】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、
前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、
前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、
前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、
前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、
前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、
前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、
前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、
前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、
前記高圧側圧力分散と、前記低圧側圧力分散と前記差圧分散との和との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、
前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部と
を備えたことを特徴とする圧力検出器。
【請求項１１】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、
前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、
前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、
前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、
前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、
前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、
前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、
前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、
前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、
前記低圧側圧力分散と、前記高圧側圧力分散と前記差圧分散との和との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、
前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部と
を備えたことを特徴とする圧力検出器。
【請求項１２】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、
前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、
前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、
前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、
前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、
前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、
前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、
前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、
前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、
前記差圧分散と前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との積に係る変数を算出する積演算部と、
前記変数の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定する判定部と
を備えたことを特徴とする圧力検出器。
【請求項１３】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、
前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、
前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、
前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、
前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、
前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、
前記差圧揺動と前記高圧側圧力揺動と前記低圧側圧力揺動との積に係る変数を算出する積演算部と、
前記変数の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定する判定部と
を備えたことを特徴とする圧力検出器。
【請求項１４】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出するステップ、
前記高圧側圧力分散と前記差圧分散との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、
を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
【請求項１５】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、
前記低圧側圧力分散と前記差圧分散との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、
を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
【請求項１６】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、
前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、
前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、
を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
【請求項１７】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、
前記高圧側圧力分散と、前記低圧側圧力分散と前記差圧分散との和との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、
を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
【請求項１８】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、
前記低圧側圧力分散と、前記高圧側圧力分散と前記差圧分散との和との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、
を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
【請求項１９】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、
前記差圧分散と前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との積に係る変数の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定するステップ、
を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
【請求項２０】
高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、
前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出するステップ、
前記差圧揺動と前記高圧側圧力揺動と前記低圧側圧力揺動との積に係る変数の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定するステップ、
を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出し、差圧信号と静圧信号とを生成する圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法に関し、特に、高圧側導圧管の詰まりと低圧側導圧管の詰まりとをそれぞれ診断する圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧力検出器（圧力伝送器）は、高圧側圧力と低圧側圧力とから、差圧信号と静圧信号とを生成し伝送すると共に、差圧信号の揺動と静圧信号の揺動との相関関係から導圧管の一方又は両方の詰まり状態を検出するものもある（例えば、特許文献１参照。）。そして、この詰まり診断の結果は所定の方法で伝送される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１３２８１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の圧力検出器は、高圧側導圧管のみの詰まりと、低圧側導管のみの詰まりが診断できないという課題がある。
【０００５】
このような課題に対して、本出願人に係る２００４年３月２６日付け特願２００４−０９１４３２号「圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法」明細書の発明は、高圧側導圧管の詰まりの発生と、低圧側導圧管の詰まりの発生とを簡便・正確に診断できる。
【０００６】
また、従来の圧力検出器は、プロセスの流量の影響を受けるために、導圧管の詰まりを判定することが困難という課題がある。
【０００７】
詳しくは、プロセスの流量が小さいと、圧力の揺動の値が小さくなる傾向がある。このため、導圧管が詰まって圧力の揺動の値が小さいのか、プロセスの流量が小さくて圧力の揺動の値が小さいのか、の判別が困難であった。
【０００８】
このため、従来の圧力検出器は、プロセスの流量の設定毎に詰まり診断の基準の値を切り替えるようにしていた。よって、従来の圧力検出器は、プロセス流量の値に応じて詰まり診断の基準を変更する必要があり、メンテナンス費用を要するという課題がある。
【０００９】
本発明の目的は、以上説明した課題を解決するものであり、導圧管の詰まりが、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断可能な圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的を達成する本発明は、次の通りである。
（１）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号（Ｘ）を算出する差圧演算部（６１）と、前記差圧信号（Ｘ）から差圧揺動（ＦＸ(i)）を算出する差圧揺動演算部（６２）と、前記差圧揺動（ＦＸ(i)）から差圧分散（ＶＸ）を算出する差圧分散演算部（６３）と、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号（ＹＨ）を算出する高圧側圧力演算部（６４）と、前記高圧側圧力信号（ＹＨ）から高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）を算出する高圧側圧力揺動演算部（６５）と、前記高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）から高圧側圧力分散（ＶＨ）を算出する高圧側圧力分散演算部（６６）と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号（ＹＬ）を算出する低圧側圧力演算部（６７）と、前記低圧側圧力信号（ＹＬ）から低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）を算出する低圧側圧力揺動演算部（６８）と、前記低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）から低圧側圧力分散（ＶＬ）を算出する低圧側圧力分散演算部（６９）と、前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と前記差圧分散（ＶＸ）との比に係る第１診断変数（Ｚ１）を算出する第１比率演算部（７１）と、前記低圧側圧力分散（ＶＬ）と前記差圧分散（ＶＸ）との比に係る第２診断変数（Ｚ２）を算出する第２比率演算部（７２）と、前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と前記低圧側圧力分散（ＶＬ）との比に係る第３診断変数（Ｚ３）を算出する第３比率演算部（７３）と、前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と、前記低圧側圧力分散（ＶＬ）と前記差圧分散（ＶＸ）との和との比に係る第４診断変数（Ｚ４）を算出する第４比率演算部（７４）と、前記低圧側圧力分散（ＶＬ）と、前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と前記差圧分散（ＶＸ）との和との比に係る第５診断変数（Ｚ５）を算出する第５比率演算部（７５）と、前記差圧分散（ＶＸ）と前記高圧側圧力分散（ＶＨ）と前記低圧側圧力分散（ＶＬ）との積に係る第１変数（Ｚ６）を算出する第１積演算部（７６）と、前記差圧揺動（ＦＸ(i)）と前記高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）と前記低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）との積に係る第２変数（Ｚ７）を算出する第２積演算部（７７）と、前記第１診断変数（Ｚ１）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第１判定部（８１）と、前記第２診断変数（Ｚ２）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第２判定部（８２）と、前記第３診断変数（Ｚ３）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第３判定部（８３）と、前記第４診断変数（Ｚ４）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第４判定部（８４）と、前記第５診断変数（Ｚ５）の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する第５判定部（８５）と、前記第１変数（Ｚ６）の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定する第６判定部（８６）と、前記第２変数（Ｚ７）の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定する第７判定部（８７）とを備えたことを特徴とする圧力検出器。
（２）前記差圧演算部（６１）は、前記差圧信号（Ｘ）が前記高圧側圧力の変化と前記低圧側圧力の変化とに影響されないように定められた演算式の定数（ＡＤ）を備え、前記高圧側圧力演算部（６４）は、前記高圧側圧力信号が前記低圧側圧力の変化に影響されないように定められた演算式の定数（ＡＨ）を備え、前記低圧側圧力演算部（６７）は、前記低圧側圧力信号が前記高圧側圧力の変化に影響されないように定められた演算式の定数（ＡＬ）を備えたことを特徴とする（１）記載の圧力検出器。
（３）詰まりのないときの前記第１変数（Ｚ６）の値（Ｚ６ｓ）を格納する第１格納部（９１）を備え、前記第６判定部(８６)は、前記第１変数（Ｚ６）と前記第１格納部（９１）に格納された値との比に係る第６診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定することを特徴とする（２）記載の圧力検出器。
（４）詰まりのないときの前記第２変数（Ｚ７）の値（Ｚ７ｓ）を格納する第２格納部（９２）を備え、前記第７判定部(８７)は、前記第２変数（Ｚ７）と前記第２格納部（９２）に格納された値との比に係る第７診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定することを特徴とする（２）記載の圧力検出器。
（５）圧力を検出し、同一素子上に形成された少なくとも二つの振動式センサ（５１）と、前記振動式センサ（５１）における、一方の出力の周波数（ＦＣ）と他方の出力の周波数（Ｆｒ）とをそれぞれ計数するカウンタ(５２)とを備え、差圧演算部(６１)と高圧側圧力演算部(６４)と低圧側圧力演算部(６７)とは下記の式を満足することを特徴とする（２）記載の圧力検出器。
記
Ｘ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１−ＡＤ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （Ａ）
ＹＨ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１＋ＡＨ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （Ｂ）
ＹＬ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１＋ＡＬ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （Ｃ）
ただし、以下のとおりとする。
Ｘは、差圧信号。ＹＨは、高圧側圧力信号。ＹＬは、低圧側圧力信号。ＡＤ，ＡＨ及びＡＬは、定数。ＦＣは、一方の前記振動式センサの出力の周波数。Ｆｃｏは、基準圧力の状態における一方の前記振動式センサの出力の周波数。Ｆｒは、他方の前記振動式センサの出力の周波数。Ｆｒｏは、基準圧力の状態における他方の前記振動式センサの出力の周波数。
（６）前記差圧揺動（ＦＸ(i)）は、ｉ番目に生成された差圧信号（Ｘ(i)）と（ｉ−１）番目に生成された差圧信号（Ｘ(i-1)）との差分から成り、前記高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）は、ｉ番目に生成された高圧側圧力信号（ＹＨ(i)）と（ｉ−１）番目に生成された高圧側圧力信号（ＹＨ(i-1)）との差分から成り、前記低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）は、ｉ番目に生成された低圧側圧力信号（ＹＬ(i)）と（ｉ−１）番目に生成された低圧側圧力信号（ＹＬ(i-1)）との差分から成り、前記差圧分散（ＶＸ）は、Ｎ個分の前記差圧揺動（ＦＸ(i)）の２乗平均から成り、前記高圧側圧力分散（ＶＨ）は、Ｎ個分の前記高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）の２乗平均から成り、前記低圧側圧力分散（ＶＬ）は、Ｎ個分の前記低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）の２乗平均から成ることを特徴とする（４）記載の圧力検出器。
【００１１】
（７）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、前記高圧側圧力分散と前記差圧分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。
（８）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力分散と前記差圧分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。
（９）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。
（１０）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、前記高圧側圧力分散と、前記低圧側圧力分散と前記差圧分散との和との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。
（１１）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力分散と、前記高圧側圧力分散と前記差圧分散との和との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。
（１２）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、前記差圧揺動から差圧分散を算出する差圧分散演算部と、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、前記差圧分散と前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との積に係る変数を算出する積演算部と、前記変数の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。
（１３）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出する差圧演算部と、前記差圧信号から差圧揺動を算出する差圧揺動演算部と、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記差圧揺動と前記高圧側圧力揺動と前記低圧側圧力揺動との積に係る変数を算出する積演算部と、前記変数の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。
【００１２】
（１４）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出するステップ、前記高圧側圧力分散と前記差圧分散との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
（１５）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、前記低圧側圧力分散と前記差圧分散との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
（１６）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
（１７）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、前記高圧側圧力分散と、前記低圧側圧力分散と前記差圧分散との和との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
（１８）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、前記低圧側圧力分散と、前記高圧側圧力分散と前記差圧分散との和との比に係る診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定するステップ、を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
（１９）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記差圧揺動から差圧分散を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出するステップ、前記差圧分散と前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との積に係る変数の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定するステップ、を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
（２０）高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器の詰まり診断方法において、前記高圧側圧力と前記低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号を算出し、前記差圧信号から差圧揺動を算出し、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出し、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出し、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出し、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出するステップ、前記差圧揺動と前記高圧側圧力揺動と前記低圧側圧力揺動との積に係る変数の値に基づき前記高圧側導圧管と前記低圧側導圧管との両方の詰まりを判定するステップ、を備えたことを特徴とする圧力検出器の詰まり診断方法。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば次のような効果がある。
本発明によれば、導圧管の詰まりが、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断可能な圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法を提供できる。
【００１４】
また、本発明によれば、高圧側導圧管の詰まりの発生と、低圧側導圧管の詰まりの発生とを簡便・正確にそれぞれ診断可能な圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に図１に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例を示す構成図である。図１の実施例の特徴は、第１比率演算部７１に係る構成、第２比率演算部７２に係る構成、第３比率演算部７３に係る構成、第４比率演算部７４に係る構成、第５比率演算部７５に係る構成、第１積演算部７６に係る構成、第２積演算部７７に係る構成のおのおのにある。また、図１の実施例は、請求項１から請求項６に記載の発明に対応する。
【００１６】
流体が流れる管路１の途中にオリフィス２が設置される。オリフィス２の高圧側の圧力は高圧側導圧管３１によって圧力検出器（圧力伝送器）５０内のセンサ５１に伝達され、オリフィス２の低圧側の圧力は低圧側導圧管３２によってセンサ５１に伝達される。
【００１７】
また、センサ５１は、例えば、振動式センサで形成され、高圧側導圧管３１からの圧力と低圧側導圧管３２からの圧力とを検出する。詳しくは、センサ５１は、例えば、同一素子上に形成された二つの振動式センサを備える。さらに、一方の振動式センサは圧力検出器のダイアフラム（図示せず）の中央部分に形成し、他方の振動式センサはこのダイアフラムの周辺部分に形成する。そして、センサ５１における一方の出力の周波数ＦＣと他方の出力の周波数Ｆｒとは、それぞれ高圧側導圧管３１からの圧力及び低圧側導圧管３２からの圧力に基づき変化する。
【００１８】
さらに、カウンタ５２は、センサ５１の出力に接続され、一方の出力の周波数ＦＣと他方の出力の周波数Ｆｒとをそれぞれ計数する。
【００１９】
また、差圧演算部６１は、カウンタ５２の出力と結合する。そして、差圧演算部６１は、以下の式（１）の演算を実施し、差圧信号Ｘを算出する。
Ｘ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１−ＡＤ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （１）
【００２０】
ただし、周波数ＦＣは一方のセンサ５１の出力の周波数とし、周波数Ｆｃｏは基準圧力の状態における一方のセンサ５１の出力の周波数とし、周波数Ｆｒは他方のセンサ５１の出力の周波数とし、周波数Ｆｒｏは基準圧力の状態における他方のセンサ５１の出力の周波数とする。
【００２１】
ここで、例えば、高圧側と低圧側の圧力が大気圧の場合を基準圧力の状態とし、予め、周波数Ｆｃｏと周波数Ｆｒｏとはメモリ等（図示せず）に格納しておく。
【００２２】
また、式（１）の定数ＡＤは、差圧信号Ｘが高圧側圧力の変化と低圧側圧力の変化とに影響されないように定められた所定の演算式の定数である。詳しくは、例えば、高圧側圧力と低圧側圧力とを、共に、０ｋＰａから５０ｋＰａまで変化させる。このとき、定数ＡＤを所定の値とすると、差圧信号Ｘが一定の値となる。
【００２３】
即ち、差圧信号Ｘの値は、高圧側圧力と低圧側圧力との静圧信号Ｙの変化から影響を受けにくい特性となる。
【００２４】
ここで、ｉ番目に生成される差圧信号Ｘを差圧信号Ｘ(i)とし、（ｉ−１）番目に生成される差圧信号Ｘを差圧信号Ｘ(i-1)とする。また、Ｎは全サンプル数とする。
【００２５】
さらに、差圧揺動演算部６２は、差圧演算部６１の出力と結合する。そして、差圧揺動演算部６２は、以下の式（２）の演算を実施し、差圧揺動ＦＸ(i)を算出する。即ち、揺動を差分で定義する。
ＦＸ(i)＝Ｘ(i)−Ｘ(i-1)  （２）
【００２６】
また、差圧分散演算部６３は、差圧揺動演算部６２の出力と結合する。そして、差圧分散演算部６３は、以下の式（３）の演算を実施し、差圧分散ＶＸを算出する。即ち、分散を２乗平均で定義する。
ＶＸ＝Σ（ＦＸ(i)２）／Ｎ  （３）
【００２７】
同様に、高圧側圧力演算部６４は、カウンタ５２の出力と結合する。そして、高圧側圧力演算部６４は、以下の式（４）の演算を実施し、高圧側圧力信号ＹＨを算出する。
ＹＨ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１＋ＡＨ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （４）
【００２８】
また、式（４）の定数ＡＨは、高圧側導圧管３１からの圧力が一定、かつ、低圧側導圧管３２からの圧力のみの変化に対して高圧側圧力信号ＹＨの値がほぼ一定となる所定の値である。
【００２９】
詳しくは、例えば、高圧側導圧管３１からの圧力は１００ｋＰａで一定とし、低圧側導圧管３２からの圧力を０ｋＰａから５０ｋＰａに変化させる。このとき、定数ＡＨを所定の値に調整とすると、高圧側圧力信号ＹＨの値が１００ｋＰａで一定の値となる。
【００３０】
即ち、高圧側圧力信号ＹＨの値は、低圧側導圧管３２からの圧力の変化から影響を受けにくい特性となる。そして、高圧側圧力信号ＹＨの値は、高圧側導圧管３１からの圧力に基づく値となる。また、高圧側圧力信号ＹＨは、第１の静圧信号に相当する。
【００３１】
ここで、ｉ番目に生成される高圧側圧力信号ＹＨを高圧側圧力信号ＹＨ(i)とし、（ｉ−１）番目に生成される高圧側圧力信号ＹＨを高圧側圧力信号ＹＨ(i-1)とする。また、Ｎは全サンプル数とする。
【００３２】
さらに、高圧側圧力揺動演算部６５は、高圧側圧力演算部６４の出力と結合する。そして、高圧側圧力揺動演算部６５は、以下の式（５）の演算を実施し、高圧側圧力揺動ＦＨ(i)を算出する。即ち、揺動を差分で定義する。
ＦＨ(i)＝ＹＨ(i)−ＹＨ(i-1)  （５）
【００３３】
また、高圧側圧力分散演算部６６は、高圧側圧力揺動演算部６５の出力と結合する。そして、高圧側圧力分散演算部６６は、以下の式（６）の演算を実施し、高圧側圧力分散ＶＨを算出する。即ち、分散を２乗平均で定義する。
ＶＨ＝Σ（ＦＨ(i)２）／Ｎ  （６）
【００３４】
同様に、低圧側圧力演算部６７は、カウンタ５２の出力と結合する。そして、低圧側圧力演算部６７は、以下の式（７）の演算を実施し、低圧側圧力信号ＹＨを算出する。
ＹＬ＝（ＦＣ／Ｆｃｏ）２−１＋ＡＬ・｛（Ｆｒ／Ｆｒｏ）２−１｝  （７）
【００３５】
また、式（７）の定数ＡＬは、低圧側導圧管３２からの圧力が一定、かつ、高圧側導圧管３１からの圧力のみの変化に対して低圧側圧力信号ＹＬの値がほぼ一定となる所定の値である。
【００３６】
詳しくは、例えば、低圧側導圧管３２からの圧力は１００ｋＰａで一定とし、高圧側導圧管３１からの圧力を０ｋＰａから５０ｋＰａに変化させる。このとき、定数ＡＬを所定の値に調整すると、低圧側圧力信号ＹＬの値が１００ｋＰａで一定となる。
【００３７】
即ち、低圧側圧力信号ＹＬの値は、高圧側導圧管３１からの圧力の変化から影響を受けにくい特性となる。そして、低圧側圧力信号ＹＬの値は、低圧側導圧管３２からの圧力に基づく値となる。また、低圧側圧力信号ＹＬは、第２の静圧信号に相当する。
【００３８】
ここで、ｉ番目に生成される低圧側圧力信号ＹＬを低圧側圧力信号ＹＬ(i)とし、（ｉ−１）番目に生成される低圧側圧力信号ＹＬを低圧側圧力信号ＹＬ(i-1)とする。また、Ｎは全サンプル数とする。
【００３９】
さらに、低圧側圧力揺動演算部６８は、低圧側圧力演算部６７の出力と結合する。そして、低圧側圧力揺動演算部６８は、以下の式（８）の演算を実施し、低圧側圧力揺動ＦＬ(i)を算出する。即ち、揺動を差分で定義する。
ＦＬ(i)＝ＹＬ(i)−ＹＬ(i-1)  （８）
【００４０】
また、低圧側圧力分散演算部６９は、低圧側圧力揺動演算部６８の出力と結合する。そして、低圧側圧力分散演算部６９は、以下の式（９）の演算を実施し、低圧側圧力分散ＶＬを算出する。即ち、分散を２乗平均で定義する。
ＶＬ＝Σ（ＦＬ(i)２）／Ｎ  （９）
【００４１】
さらに、第１比率演算部７１は、差圧分散演算部６３の出力と高圧側圧力分散演算部６６の出力とに結合する。そして、第１比率演算部７１は、以下の式（１０）の演算を実施し、診断変数Ｚ１を算出する。即ち、診断変数Ｚ１を高圧側圧力分散ＶＨと差圧分散ＶＸとの比で定義する。
Ｚ１＝ＶＨ／ＶＸ  （１０）
【００４２】
また、第１判定部８１は、第１比率演算部７１の出力と結合する。そして、第１判定部８１は、診断変数Ｚ１の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。詳しくは、診断変数Ｚ１の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１または低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００４３】
さらに、第２比率演算部７２は、差圧分散演算部６３の出力と低圧側圧力分散演算部６９の出力とに結合する。そして、第２比率演算部７２は、以下の式（１１）の演算を実施し、診断変数Ｚ２を算出する。即ち、診断変数Ｚ２を低圧側圧力分散ＶＬと差圧分散ＶＸとの比で定義する。
Ｚ２＝ＶＬ／ＶＸ  （１１）
【００４４】
また、第２判定部８２は、第２比率演算部７２の出力と結合する。そして、第２判定部８２は、診断変数Ｚ２の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。詳しくは、診断変数Ｚ２の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１または低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００４５】
さらに、第３比率演算部７３は、高圧側圧力分散演算部６６の出力と低圧側圧力分散演算部６９の出力とに結合する。そして、第３比率演算部７３は、以下の式（１２）の演算を実施し、診断変数Ｚ３を算出する。即ち、診断変数Ｚ３を高圧側圧力分散ＶＨと低圧側圧力分散ＶＬとの比で定義する。
Ｚ３＝ＶＨ／ＶＬ  （１２）
【００４６】
また、第３判定部８３は、第３比率演算部７３の出力と結合する。そして、第３判定部８３は、診断変数Ｚ３の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。詳しくは、診断変数Ｚ３の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１または低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００４７】
さらに、第４比率演算部７４は、差圧分散演算部６３の出力と高圧側圧力分散演算部６６の出力と低圧側圧力分散演算部６９の出力とに結合する。そして、第４比率演算部７４は、以下の式（１３）の演算を実施し、診断変数Ｚ４を算出する。即ち、診断変数Ｚ４を、高圧側圧力分散（ＶＨ）と、低圧側圧力分散（ＶＬ）と差圧分散（ＶＸ）との和との比で定義する。
Ｚ４＝ＶＨ／（ＶＬ＋ＶＸ）（１３）
【００４８】
即ち、診断変数Ｚ４は、低圧側圧力分散ＶＬが無視できれば高圧側圧力分散ＶＨと差圧分散ＶＸとの比に係る変数であり、差圧分散ＶＸが無視できれば高圧側圧力分散ＶＨと低圧側圧力分散ＶＬとの比に係る変数である。
【００４９】
そして、診断変数Ｚ４は、診断変数Ｚ１と比較して、低圧側導圧管３２の詰まりの診断における感度が高く、低圧側導圧管３２の詰まりのみの診断に適している。なお、診断変数Ｚ４の代表的な値は、高圧側導圧管３１の詰まりがなく低圧側導圧管３２の詰まりがない場合において０．３３となり、高圧側導圧管３１の詰まりがなく低圧側導圧管３２のみの詰まりがある場合において１．０となる。
【００５０】
また、第４判定部８４は、第４比率演算部７４の出力と結合する。そして、第４判定部８４は、診断変数Ｚ４の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。詳しくは、診断変数Ｚ４の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１または低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００５１】
さらに、第５比率演算部７５は、差圧分散演算部６３の出力と高圧側圧力分散演算部６６の出力と低圧側圧力分散演算部６９の出力とに結合する。そして、第５比率演算部７５は、以下の式（１４）の演算を実施し、診断変数Ｚ５を算出する。即ち、診断変数Ｚ５を、低圧側圧力分散（ＶＬ）と、高圧側圧力分散（ＶＨ）と差圧分散（ＶＸ）との和との比で定義する。
Ｚ５＝ＶＬ／（ＶＨ＋ＶＸ）  （１４）
【００５２】
即ち、診断変数Ｚ５は、高圧側圧力分散ＶＨが無視できれば低圧側圧力分散ＶＬと差圧分散ＶＸとの比に係る変数であり、差圧分散ＶＸが無視できれば高圧側圧力分散ＶＨと低圧側圧力分散ＶＬとの比に係る変数である。
【００５３】
そして、診断変数Ｚ５は、診断変数Ｚ２と比較して、高圧側導圧管３１の詰まりの診断における感度が高く、高圧側導圧管３１の詰まりのみの診断に適している。なお、診断変数Ｚ５の代表的な値は、高圧側導圧管３１の詰まりがなく低圧側導圧管３２の詰まりがない場合において０．３３となり、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり低圧側導圧管３２の詰まりがない場合において１．０となる。
【００５４】
また、第５判定部８５は、第５比率演算部７５の出力と結合する。そして、第５判定部８５は、診断変数Ｚ５の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。詳しくは、診断変数Ｚ５の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１または低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００５５】
さらに、第１積演算部７６は、差圧分散演算部６３の出力と高圧側圧力分散演算部６６の出力と低圧側圧力分散演算部６９の出力とに結合する。そして、第１積演算部７６は、以下の式（１５）の演算を実施し、積から成る第１変数Ｚ６を算出する。即ち、第１変数Ｚ６を差圧分散ＶＸと高圧側圧力分散ＶＨと低圧側圧力分散ＶＬとの積で定義する。
Ｚ６＝ＶＸ・ＶＨ・ＶＬ  （１５）
【００５６】
また、第６判定部８６は、第１積演算部７６の出力と結合する。そして、第６判定部８６は、第１変数Ｚ６の値に基づき高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。詳しくは、第１変数Ｚ６の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。
【００５７】
さらに、第１格納部９１は、詰まりのないときの第１変数Ｚ６の値Ｚ６ｓを格納する。詳しくは、メンテナンス直後の、詰まりのないときの値Ｚ６ｓは、基準の値として、第１格納部９１に格納され、保持される。
【００５８】
そして、第６判定部８６は、第１変数Ｚ６と、予め第１格納部９１に格納された値（Ｚ６ｓ）との比から成る診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）を算出する。そしてまた、第６判定部８６は、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値に基づき高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。詳しくは、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。
【００５９】
さらに、第２積演算部７７は、差圧遥動演算部６２の出力と高圧側圧力遥動演算部６５の出力と低圧側圧力遥動演算部６８の出力とに結合する。そして、第２積演算部７７は、以下の式（１６）の演算を実施し、積から成る第２変数Ｚ７を算出する。即ち、第２変数Ｚ７を差圧揺動（ＦＸ(i)）と高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）と低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）との積に係る変数で定義する。
Ｚ７＝Σ（ＦＸ(i)・ＦＨ(i)・ＦＬ(i)）2／Ｎ  （１６）
【００６０】
また、第７判定部８７は、第２積演算部７７の出力と結合する。そして、第７判定部８７は、第２変数Ｚ７の値に基づき高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。詳しくは、第２変数Ｚ７の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。
【００６１】
さらに、第２格納部９２は、詰まりのないときの第２変数Ｚ７の値Ｚ７ｓを格納する。詳しくは、メンテナンス直後の、詰まりのないときの値Ｚ７ｓは、基準の値として、第２格納部９２に格納され、保持される。
【００６２】
そして、第７判定部８７は、第２変数Ｚ７と、予め第２格納部９２に格納された値（Ｚ７ｓ）との比から成る診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）を算出する。そしてまた、第７判定部８７は、診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値に基づき高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。詳しくは、診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値と所定の値とを比較して、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。
【００６３】
以下に、図１の実施例の詰まり診断方法について、図２を用いてステップ毎に順に説明する。図２は、本発明の一診断方法を示すフローチャートである。なお、図２のフローチャートは、一つのマイクロプロセッサで処理する場合と、複数のマイクロプロセッサで並列に処理する場合とがある。いずれの場合でも実質的に同等の構成となり、同等の作用効果がある。
【００６４】
第１に、センサ５１において、高圧側圧力と低圧側圧力との検出のステップＳ１を実行する。
第２に、カウンタ５２において、一方の出力の周波数ＦＣと他方の出力の周波数Ｆｒとをそれぞれ計数する計数のステップＳ２を実行する。
【００６５】
第３に、差圧演算部６１、差圧揺動演算部６２、差圧分散演算部６３、高圧側圧力演算部６４、高圧側圧力揺動演算部６５、高圧側圧力分散演算部６６、低圧側圧力演算部６７、低圧側圧力揺動演算部６８、低圧側圧力分散演算部６９において、圧力揺動分散演算のステップＳ３を実行する。
【００６６】
詳しくは、差圧演算のステップＳ６１において高圧側圧力と低圧側圧力との差圧に基づく差圧信号Ｘを算出し、差圧遥動演算のステップＳ６２において差圧信号Ｘから差圧揺動ＦＸ(i)を算出し、差圧分散演算のステップＳ６３において差圧揺動ＦＸ(i)から差圧分散ＶＸを算出する。
【００６７】
また、高圧側圧力演算のステップＳ６４において高圧側導圧管３１からの圧力に基づく高圧側圧力信号ＹＨを算出し、高圧側圧力遥動演算のステップＳ６５において高圧側圧力信号ＹＨから高圧側圧力揺動ＦＨ(i)を算出し、高圧側圧力分散のステップＳ６６において高圧側圧力揺動ＦＨ(i)から高圧側圧力分散ＶＨを算出する。
【００６８】
さらに、低圧側圧力演算のステップＳ６７において低圧側導圧管３２からの圧力に基づく低圧側圧力信号ＹＬを算出し、低圧側圧力遥動演算のステップＳ６８において低圧側圧力信号ＹＬから低圧側圧力揺動ＦＬ(i)を算出し、低圧側圧力分散のステップＳ６９において低圧側圧力揺動ＦＬ(i)から低圧側圧力分散ＶＬを算出する。
【００６９】
第４に、第１比率演算部７１、第２比率演算部７２、第３比率演算部７３、第４比率演算部７４、第５比率演算部７５、第１積演算部７６、第２積演算部７７、第１判定部８１、第２判定部８２、第３判定部８３、第４判定部８４、第５判定部８５、第６判定部８６、第７判定部８７において、比率演算・積演算並びに判定のステップＳ４を実行する。
【００７０】
詳しくは、第１比率演算のステップＳ７１において高圧側圧力分散ＶＨと差圧分散ＶＸとから第１診断変数Ｚ１を算出し、第１判定のステップＳ８１において第１診断変数Ｚ１の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００７１】
また、第２比率演算のステップＳ７２において低圧側圧力分散ＶＬと差圧分散ＶＸとから第２診断変数Ｚ２を算出し、第２判定のステップＳ８２において第２診断変数Ｚ２の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００７２】
さらに、第３比率演算のステップＳ７３において高圧側圧力分散ＶＨと低圧側圧力分散ＶＬとから第３診断変数Ｚ３を算出し、第３判定のステップＳ８３において第３診断変数Ｚ３の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００７３】
また、第４比率演算のステップＳ７４において高圧側圧力分散ＶＨと低圧側圧力分散ＶＬと差圧分散ＶＸとから第４診断変数Ｚ４を算出し、第４判定のステップＳ８４において第４診断変数Ｚ４の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００７４】
さらに、第５比率演算のステップＳ７５において高圧側圧力分散ＶＨと低圧側圧力分散ＶＬと差圧分散ＶＸとから第５診断変数Ｚ５を算出し、第５判定のステップＳ８５において第５診断変数Ｚ５の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定する。
【００７５】
また、第１積演算のステップＳ７６において差圧分散ＶＸと高圧側圧力分散ＶＨと低圧側圧力分散ＶＬとから第１変数Ｚ６を算出し、第６判定のステップＳ８６において第１変数Ｚ６の値に基づき高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。
【００７６】
また、第２積演算のステップＳ７７において差圧揺動（ＦＸ(i)）と高圧側圧力揺動（ＦＨ(i)）と低圧側圧力揺動（ＦＬ(i)）とから第２変数Ｚ７を算出し、第７判定のステップＳ８７において第２変数Ｚ７の値に基づき高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定する。
【００７７】
以下に、図３を用いて、図１の実施例の第１比率演算部７１、第２比率演算部７２、第３比率演算部７３における診断変数Ｚ１、診断変数Ｚ２及び診断変数Ｚ３の特性を詳しく説明する。図３は、図１の実施例の診断変数Ｚ１、診断変数Ｚ２及び診断変数Ｚ３の特性を示す特性図である。
【００７８】
同図において、横軸は、高圧側導圧管３１の詰まり（Ｈ側詰まり）の程度及び低圧側導圧管３２の詰まり（Ｌ側詰まり）の程度を示す。詳しくは、図３の左側から右側の方向に対して、高圧側導圧管３１の詰まりの程度が増加する。また、逆に、図３の右側から左側の方向に対して、低圧側導圧管３２の詰まりの程度が増加する。さらに、同図において、縦軸は、診断変数Ｚ１、診断変数Ｚ２及び診断変数Ｚ３の値を示す。そして、診断変数Ｚ１、診断変数Ｚ２及び診断変数Ｚ３の値は、それぞれ適当な範囲で分布する。
【００７９】
つまり、第１に、図３の特性図において、中央部分は、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２の詰まりがない場合における代表的な状態を示す。このとき、診断変数Ｚ１の代表的な値は０．５となり、診断変数Ｚ２の代表的な値は０．５となり、診断変数Ｚ３の代表的な値は１．０となる。
【００８０】
第２に、図３の特性図において、右側端部分は、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがない場合における代表的な状態を示す。このとき、診断変数Ｚ２の代表的な値は１．０となり、診断変数Ｚ１及び診断変数Ｚ３は小さくなる。
【００８１】
第３に、図３の特性図において、左側端部分は、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２のみの詰まりがある場合における代表的な状態を示す。このとき、診断変数Ｚ１の代表的な値は１．０となり、診断変数Ｚ２は小さくなり、診断変数Ｚ３は大きくなる。
【００８２】
第４に、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりの場合は、図３の中央となる場合もあるが、必然性はない。
【００８３】
そして、診断変数Ｚ１、診断変数Ｚ２及び診断変数Ｚ３の値は、高圧側導圧管３１の詰まりの程度及び低圧側導圧管３２の詰まりの程度（横軸）に対して、単調に変化する特性となる。よって、診断変数Ｚ１の値と所定の値とを比較して簡便に詰まりを判定でき、診断変数Ｚ２の値と所定の値とを簡便を比較して簡便に詰まりを判定でき、診断変数Ｚ３の値と所定の値とを比較して簡便に詰まりを判定できる。
【００８４】
以上のように構成する図１の実施例の動作について図１から図４を用いて説明する。図４は、図１の実施例における詰まり診断の判定表であり、実用的な判断の閾値を示す。
【００８５】
まず、管路１における流量が定常的な場合を説明する。
【００８６】
第１に、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２の詰まりがない場合を説明する。このとき、差圧遥動ＦＸ(i)の値は大きく差圧分散ＶＸの値は大きくなり、高圧側圧力揺動ＦＨ(i)の値は大きく高圧側圧力分散ＶＨの値は大きくなり、低圧側圧力揺動ＦＬ(i)の値は大きく低圧側圧力分散ＶＬの値は大きくなる。
【００８７】
このため、診断変数Ｚ１の値は所定の値に分布し、診断変数Ｚ２の値は所定の値に分布し、診断変数Ｚ３の値は所定の値に分布し、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値は所定の値に分布する。具体的には、診断変数Ｚ１の値は０．２５から０．９までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ２の値は０．２５から０．９までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ３の値は０．２５から１．７５までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ４の値は０．２５から０．９までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ５の値は０．２５から０．９までのいずれかの値となり、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値は０．０１５より大きい値となり、診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値は０．０１５より大きい値となる。
【００８８】
そして、診断変数Ｚ１の値、診断変数Ｚ２の値、診断変数Ｚ３の値、診断変数Ｚ４の値、診断変数Ｚ５の値、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値及び診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値の全てが、この範囲にあるとき、図１の実施例は、正常であると判定される。
【００８９】
第２に、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがない場合説明する。このとき、差圧揺動ＦＸ(i)の値は大きく差圧分散ＶＸの値は大きい。また、詰まりにより、高圧側圧力揺動ＦＨ(i)の値は小さくなり、高圧側圧力分散ＶＨの値は小さくなる。さらに、低圧側圧力揺動ＦＬ(i)の値は大きく、低圧側圧力分散ＶＬの値は大きい。
【００９０】
このため、診断変数Ｚ１の値は小さくなり、診断変数Ｚ２の値は所定の値に分布し、Ｚ３の値は小さくなり、診断変数Ｚ４の値は小さくなり、診断変数Ｚ５の値は所定の値に分布する。具体的には、診断変数Ｚ１の値は０から０．２５までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ２の値は０．９から１．１までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ３の値は０から０．２５までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ４の値は０から０．２５までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ５の値は０．９から１．１までのいずれかの値となる。
【００９１】
そして、診断変数Ｚ１の値、診断変数Ｚ２の値、診断変数Ｚ３の値、診断変数Ｚ４の値または診断変数Ｚ５の値のいずれかが、この範囲にあるとき、図１の実施例は、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがないと判定する。また、診断変数Ｚ１に係る構成、診断変数Ｚ２に係る構成、診断変数Ｚ３に係る構成、診断変数Ｚ４に係る構成、診断変数Ｚ５に係る構成は冗長となっている。
【００９２】
第３に、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２のみの詰まりがある場合を説明する。このとき、差圧遥動ＦＸ(i)の値は大きく差圧分散ＶＸの値は大きい。また、高圧側圧力揺動ＦＨ(i)の値は大きく、高圧側圧力分散ＶＨの値は大きい。さらに、詰まりにより、低圧側圧力揺動ＦＬ(i)の値は小さくなり、低圧側圧力分散ＶＬの値は小さくなる。
【００９３】
このため、診断変数Ｚ１の値は所定の値に分布し、診断変数Ｚ２の値は小さくなり、診断変数Ｚ３の値は大きくなり、診断変数Ｚ４の値は所定の値に分布し、診断変数Ｚ５の値は小さくなる。具体的には、診断変数Ｚ１の値は０．９から１．１までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ２の値は０から０．２５までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ３の値は１．７５より大きい値となり、診断変数Ｚ４の値は０．９から１．１までのいずれかの値となり、診断変数Ｚ５の値は０から０．２５までのいずれかの値となる。
【００９４】
そして、診断変数Ｚ１の値、診断変数Ｚ２の値、診断変数Ｚ３の値、診断変数Ｚ４の値または診断変数Ｚ５の値のいずれかが、この範囲にあるとき、図１の実施例は、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２のみの詰まりがあると判定する。また、診断変数Ｚ１に係る構成、診断変数Ｚ２に係る構成、診断変数Ｚ３に係る構成、診断変数Ｚ４に係る構成、診断変数Ｚ５は冗長となっている。
【００９５】
第４に、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりの場合を説明する。このとき、詰まりにより、差圧遥動ＦＸ(i)の値は小さく差圧分散ＶＸの値は小さくなり、高圧側圧力揺動ＦＨ(i)の値は小さく高圧側圧力分散ＶＨの値は小さくなり、低圧側圧力揺動ＦＬ(i)の値は小さく低圧側圧力分散ＶＬの値は小さくなる。
【００９６】
このため、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値は小さくなり、診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値は小さくなる。具体的には、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値は０から０．０１５までのいずれかの値となり、診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値は０から０．０１５までのいずれかの値となる。
【００９７】
そして、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）の値または診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）の値がこの範囲にあるとき、図１の実施例は、高圧側導圧管３１の詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがあると判定する。即ち、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりがあると判定する。また、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）に係る構成、診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）に係る構成は冗長となっている。
【００９８】
したがって、第１判定部８１において、診断変数Ｚ１が０．２５よりも小さいときは、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがないという判定結果となる。さらに、診断変数Ｚ１が０．９よりも大きいときは、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２のみの詰まりがあるという判定結果となる。
【００９９】
また、第２判定部８２において、診断変数Ｚ２が０．９よりも大きいときは、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがないという判定結果となる。さらに、診断変数Ｚ２が０．２５よりも小さいときは、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２のみの詰まりがあるという判定結果となる。
【０１００】
さらに、第３判定部８３において、診断変数Ｚ３が０．２５よりも小さいときは、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがないという判定結果となる。さらに、診断変数Ｚ３が１．７５よりも大きいときは、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２のみの詰まりがあるという判定結果となる。
【０１０１】
また、第４判定部８４において、診断変数Ｚ４が０．２５よりも小さいときは、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがないという判定結果となる。さらに、診断変数Ｚ４が０．９よりも大きいときは、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２のみの詰まりがあるという判定結果となる。
【０１０２】
さらに、第５判定部８５において、診断変数Ｚ５が０．９よりも大きいときは、高圧側導圧管３１のみの詰まりがあり、低圧側導圧管３２の詰まりがないという判定結果となる。さらに、診断変数Ｚ５が０．２５よりも小さいときは、高圧側導圧管３１の詰まりがなく、低圧側導圧管３２のみの詰まりがあるという判定結果となる。
【０１０３】
また、第６判定部８６において、診断変数（Ｚ６／Ｚ６ｓ）が０．０１５よりも小さいときは、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりがあるという判定結果となる。
【０１０４】
さらに、第７判定部８７において、診断変数（Ｚ７／Ｚ７ｓ）が０．０１５よりも小さいときは、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりがあるという判定結果となる。
【０１０５】
次に、管路１における流量が変化する場合を説明する。
流量が小さくなると、高圧側圧力揺動ＦＨ(i)の値は小さくなり、高圧側圧力分散ＶＨの値は小さくなる。また、低圧側圧力揺動ＦＬ(i)の値も小さくなり、低圧側圧力分散ＶＬの値は小さくなる。
【０１０６】
したがって、流量が小さくなっても、診断変数Ｚ１の値、診断変数Ｚ２の値、診断変数Ｚ３の値、診断変数Ｚ４の値及び診断変数Ｚ５の値は、それぞれほとんど変動しない。
【０１０７】
同様に、流量が大きくなると、高圧側圧力揺動ＦＨ(i)の値は大きくなり、高圧側圧力分散ＶＨの値は大きくなる。また、低圧側圧力揺動ＦＬ(i)の値も大きくなり、低圧側圧力分散ＶＬの値は大きくなる。
【０１０８】
したがって、流量が大きくなっても、診断変数Ｚ１の値、診断変数Ｚ２の値、診断変数Ｚ３の値、診断変数Ｚ４の値及び診断変数Ｚ５の値は、それぞれほとんど変動しない。
【０１０９】
以上のことにより、図１の実施例は、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に高圧側導圧管３１の詰まりと低圧側導圧管３２の詰まりとをそれぞれ診断できる。同様に、図２の詰まり診断方法は、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に高圧側導圧管３１の詰まりと低圧側導圧管３２の詰まりとをそれぞれ診断できる。
【０１１０】
また、上述の実施例とは別に、図１の実施例において、低圧側圧力演算部６７、低圧側圧力揺動演算部６８、低圧側圧力分散演算部６９、第２比率演算部７２、第３比率演算部７３、第４比率演算部７４、第５比率演算部７５、第１積演算部７６、第２積演算部７７、第２判定部８２、第３判定部８３、第４判定部８４、第５判定部８５、第６判定部８６、第７判定部８７、第１格納部９１、第２格納部９２の構成要素を削除した場合（図示せず）について、説明する。
【０１１１】
即ち、このときの実施例は、第１比率演算部７１に係る構成のみで形成される。さらにまた、このときの実施例は、請求項７及び請求項１４に記載の発明に対応する。
【０１１２】
そして、このときの実施例は、図１の実施例と同様に、診断変数Ｚ１の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定できる。したがって、この場合においても、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断できる。ただし、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりは判定できない。
【０１１３】
さらに、上述の実施例とは別に、図１の実施例において、高圧側圧力演算部６４、高圧側圧力揺動演算部６５、高圧側圧力分散演算部６６、第１比率演算部７１、第３比率演算部７３、第４比率演算部７４、第５比率演算部７５、第１積演算部７６、第２積演算部７７、第１判定部８１、第３判定部８３、第４判定部８４、第５判定部８５、第６判定部８６、第７判定部８７、第１格納部９１、第２格納部９２の構成要素を削除した場合（図示せず）について、説明する。
【０１１４】
即ち、このときの実施例は、第２比率演算部７２に係る構成のみで形成される。さらにまた、このときの実施例は、請求項８及び請求項１５に記載の発明に対応する。
【０１１５】
そして、このときの実施例は、図１の実施例と同様に、診断変数Ｚ２の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定できる。したがって、この場合においても、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断できる。ただし、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりは判定できない。
【０１１６】
また、上述の実施例とは別に、図１の実施例において、差圧演算部６１、差圧揺動演算部６２、差圧分散演算部６３、第１比率演算部７１、第２比率演算部７２、第４比率演算部７４、第５比率演算部７５、第１積演算部７６、第２積演算部７７、第１判定部８１、第２判定部８２、第４判定部８４、第５判定部８５、第６判定部８６、第７判定部８７、第１格納部９１、第２格納部９２の構成要素を削除した場合（図示せず）について、説明する。
【０１１７】
即ち、このときの実施例は、第３比率演算部７３に係る構成のみで形成される。さらにまた、このときの実施例は、請求項９及び請求項１６に記載の発明に対応する。
【０１１８】
そして、このときの実施例は、図１の実施例と同様に、診断変数Ｚ３の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定できる。したがって、この場合においても、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断できる。ただし、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりは判定できない。
【０１１９】
さらに、上述の実施例とは別に、図１の実施例において、第１比率演算部７１、第２比率演算部７２、第３比率演算部７３、第５比率演算部７５、第１積演算部７６、第２積演算部７７、第１判定部８１、第２判定部８２、第３判定部８３、第５判定部８５、第６判定部８６、第７判定部８７、第１格納部９１、第２格納部９２の構成要素を削除した場合（図示せず）について、説明する。
【０１２０】
即ち、このときの実施例は、第４比率演算部７４に係る構成のみで形成される。さらにまた、このときの実施例は、請求項１０及び請求項１７に記載の発明に対応する。
【０１２１】
そして、このときの実施例は、図１の実施例と同様に、診断変数Ｚ４の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定できる。したがって、この場合においても、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断できる。ただし、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりは判定できない。
【０１２２】
また、上述の実施例とは別に、図１の実施例において、第１比率演算部７１、第２比率演算部７２、第３比率演算部７３、第４比率演算部７４、第１積演算部７６、第２積演算部７７、第１判定部８１、第２判定部８２、第３判定部８３、第４判定部８４、第６判定部８６、第７判定部８７、第１格納部９１、第２格納部９２の構成要素を削除した場合（図示せず）について、説明する。
【０１２３】
即ち、このときの実施例は、第５比率演算部７５に係る構成のみで形成される。さらにまた、このときの実施例は、請求項１１及び請求項１８に記載の発明に対応する。
【０１２４】
そして、このときの実施例は、図１の実施例と同様に、診断変数Ｚ５の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定できる。したがって、この場合においても、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断できる。ただし、高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりは判定できない。
【０１２５】
さらに、上述の実施例とは別に、図１の実施例において、第１比率演算部７１、第２比率演算部７２、第３比率演算部７３、第４比率演算部７４、第５比率演算部７５、第２積演算部７７、第１判定部８１、第２判定部８２、第３判定部８３、第４判定部８４、第５判定部８５、第７判定部８７、第１格納部９１、第２格納部９２の構成要素を削除した場合（図示せず）について、説明する。
【０１２６】
即ち、このときの実施例は、第１積演算部７６に係る構成のみで形成される。さらにまた、このときの実施例は、請求項１２及び請求項１９に記載の発明に対応する。
【０１２７】
そして、このときの実施例は、図１の実施例と同様に、第１変数Ｚ６の値に基づき高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定できる。したがって、この場合においても、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断できる。ただし、高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりいずれか一方の詰まりは判定できない。
【０１２８】
また、上述の実施例とは別に、図１の実施例において、第１比率演算部７１、第２比率演算部７２、第３比率演算部７３、第４比率演算部７４、第５比率演算部７５、第１積演算部７６、第１判定部８１、第２判定部８２、第３判定部８３、第４判定部８４、第５判定部８５、第６判定部８６、第１格納部９１、第２格納部９２の構成要素を削除した場合（図示せず）について、説明する。
【０１２９】
即ち、このときの実施例は、第２積演算部７７に係る構成のみで形成される。さらにまた、このときの実施例は、請求項１３及び請求項２０に記載の発明に対応する。
【０１３０】
そして、このときの実施例は、図１の実施例と同様に、第２変数Ｚ７の値に基づき高圧側導圧管３１と低圧側導圧管３２との両方の詰まりを判定できる。したがって、この場合においても、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断できる。ただし、高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりいずれか一方の詰まりは判定できない。
【０１３１】
さらに、上述の実施例とは別に、図１の実施例の第３比率演算部７３において、以下の式（１７）の演算を実施し、診断変数Ｚ３’を算出する。
Ｚ３’＝１／Ｚ３＝ＶＬ／ＶＨ  （１７）
【０１３２】
そして、第３判定部８３は、診断変数Ｚ３’の値に基づき高圧側導圧管３１の詰まりまたは低圧側導圧管３２の詰まりを判定するようにしても、実質的に図１の実施例と同等の構成であり、同等の作用効果がある。
【０１３３】
以上のように、本発明は、前述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲でさらに多くの診断変数の式の変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の一診断方法を示すフローチャートである。
【図３】図１の実施例の診断変数Ｚ１、診断変数Ｚ２及び診断変数Ｚ３の特性を示す特性図である。
【図４】図１の実施例における詰まり診断の判定表である。
【符号の説明】
【０１３５】
１  管路
２  オリフィス
３１  高圧側導圧管
３２  低圧側導圧管
５０  圧力検出器（圧力伝送器）
５１  センサ（振動式センサ）
５２  カウンタ
６１  差圧演算部
６２  差圧揺動演算部
６３  差圧分散演算部
６４  高圧側圧力演算部
６５  高圧側圧力揺動演算部
６６  高圧側圧力分散演算部
６７  低圧側圧力演算部
６８  低圧側圧力揺動演算部
６９  低圧側圧力分散演算部
７１  第１比率演算部（比率演算部）
７２  第２比率演算部（比率演算部）
７３  第３比率演算部（比率演算部）
７４  第４比率演算部（比率演算部）
７５  第５比率演算部（比率演算部）
７６  第１積演算部
７７  第２積演算部
８１  第１判定部（判定部）
８２  第２判定部（判定部）
８３  第３判定部（判定部）
８４  第４判定部（判定部）
８５  第５判定部（判定部）
８６  第６判定部（判定部）
８７  第７判定部（判定部）
９１  第１格納部（格納部）
９２  第２格納部（格納部）
Ｓ１  検出のステップ
Ｓ２  計数のステップ
Ｓ３  圧力揺動分散演算のステップ
Ｓ４  比率演算・積演算並びに判定のステップ
Ｓ６１  差圧演算のステップ
Ｓ６２  差圧揺動のステップ
Ｓ６３  差圧分散のステップ
Ｓ６４  高圧側圧力演算のステップ
Ｓ６５  高圧側圧力揺動演算のステップ
Ｓ６６  高圧側圧力分散演算のステップ
Ｓ６７  低圧側圧力演算のステップ
Ｓ６８  低圧側圧力揺動演算のステップ
Ｓ６９  低圧側圧力分散演算のステップ
Ｓ７１  第１比率演算のステップ（比率演算のステップ）
Ｓ７２  第２比率演算のステップ（比率演算のステップ）
Ｓ７３  第３比率演算のステップ（比率演算のステップ）
Ｓ７４  第４比率演算のステップ（比率演算のステップ）
Ｓ７５  第５比率演算のステップ（比率演算のステップ）
Ｓ７６  第１積演算のステップ（積演算のステップ）
Ｓ７７  第２積演算のステップ（積演算のステップ）
Ｓ８１  第１判定のステップ（判定のステップ）
Ｓ８２  第２判定のステップ（判定のステップ）
Ｓ８３  第３判定のステップ（判定のステップ）
Ｓ８４  第４判定のステップ（判定のステップ）
Ｓ８５  第５判定のステップ（判定のステップ）
Ｓ８６  第６判定のステップ（判定のステップ）
Ｓ８７  第７判定のステップ（判定のステップ）
【図１】
2006329846.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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