(57)【要約】【課題】  減圧・加熱リサイクル処理において、液晶パネルを減圧及び加熱する際の減圧に工夫を加えることにより液晶の回収効率を高める。【解決手段】  液晶パネル１を収容する処理室２と、処理室２の内部を加熱する加熱装置３と、処理室２の内部が第２の気圧になるまで排気するロータリーポンプ８と、処理室２とロータリーポンプ８との間に配置されていて処理室２の内部が第２の気圧よりも低い第１の気圧になるまで排気するターボ分子ポンプ６とを有する液晶パネルの処理装置である。処理室２の内部をターボ分子ポンプ６で高真空に減圧するので、液晶パネル１からの液晶の揮発を促進でき、それ故、分離装置７における液晶の回収効率を高めることができる。【選択図】        図１
2006184376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルを収容する処理室と、
処理室の内部を加熱する加熱手段と、
前記処理室の内部が第２の気圧になるまで排気する第２の排気ポンプと、
前記処理室と前記第２の排気ポンプとの間に配置されていて前記処理室の内部が前記第２の気圧よりも低い第１の気圧になるまで排気する第１の排気ポンプと、
を有することを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の液晶パネルの処理装置において、
前記第１の排気ポンプが、前記処理室の排気物質成分のみからなる排気を第２の排気ポンプ側に排出し、且つ第２の排気ポンプよりも到達真空度の高いポンプである
ことを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液晶パネルの処理装置において、前記第１の排気ポンプがターボ分子ポンプであることを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の液晶パネルの処理装置において、
前記第１の排気ポンプの排気側に配置されると共に前記処理室から排出されたガスから液晶及び有機物を凝集によって分離する分離手段を有する
ことを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の液晶パネルの処理装置において、
前記第２の排気ポンプの排気側に配置されると共に前記処理室から排出されたガスから液晶及び有機物を凝集によって分離する分離手段を有する
ことを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１つに記載の液晶パネルの処理装置において、前記第２の排気ポンプはロータリーポンプ又はドライポンプであることを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項７】
液晶パネルを収容した処理室を第２の排気ポンプを用いて第２の気圧まで減圧し、さらに第１の排気ポンプにより第２の気圧よりも低い第１の気圧まで減圧し、
前記第１の気圧の下で前記処理室の内部を加熱することにより、前記液晶パネル内の液晶を揮発させ、前記液晶パネル内の基板上に形成した固形有機物の一部を揮発させ、さらに固形有機物の残部を炭化させる
ことを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【請求項８】
請求項７記載の液晶パネルの処理方法において、
前記処理室から排出されたガスから液晶及び有機物を凝集によって分離する分離工程をさらに有し、該分離工程は、前記第１の排気ポンプと前記第２の排気ポンプとの間で行われる
ことを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【請求項９】
請求項７記載の液晶パネルの処理方法において、
前記処理室から排出されたガスから液晶及び有機物を凝集によって分離する分離工程をさらに有し、該分離工程は、前記第２の排気ポンプの排気側で行われる
ことを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【請求項１０】
請求項７から請求項９のいずれか１つに記載の液晶パネルの処理方法において、前記第２の排気ポンプはロータリーポンプ又はドライポンプであることを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの構成要素を再利用可能にする液晶パネルの処理装置及び処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記の液晶パネルは、例えば、ガラス等から成る一対の基板を環状のシール材によって貼り合わせ、それら一対の基板及びシール材によって囲まれる隙間内、いわゆるセルギャップ内に液晶を封入するという構造を有する。そしてさらに、基板の外側表面には偏光板等といった有機材料から成る要素が設けられ、さらに基板の内側表面にはカラーフィルタ、配向膜等といった有機材料から成る要素が設けられる。
【０００３】
上記の液晶パネルは、携帯電話機、携帯情報端末機、その他のＩＴ（Information Technology）機器等といった電子機器に装備されて、近年、市場に多量に供給されている。近年のＩＴ関連技術及び液晶表示技術の発展にはめざましいものがあり、そのため、電子機器及び液晶表示装置の使用寿命は非常に短くなっている。そのため、廃棄される液晶パネルの量も、近年、非常に多くなっている。また、工場で生産される液晶パネルの数も多くなっており、それに対応して工場から廃棄される液晶パネルの数も多くなっている。
【０００４】
このように多量に廃棄される液晶パネルを何等の後処理も無く、単に廃棄することは、環境汚染等といった社会問題を誘発するおそれもあるので好ましくない。このため、最近では、液晶パネルの構成部品をリサイクル、すなわち再利用することが望まれている。液晶パネルの構成部品を再利用するために、従来、ＶＴＲ（Vacuum Thermal Recycle：真空加熱再処理）と呼ばれる処理方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この方法では、処理対象である液晶パネルを反応炉等といった処理室内に収容し、その処理室内を減圧及び加熱する。液晶パネルの内部には液晶、有機材料等といった環境を汚染し易い物質が含まれているが、上記の減圧及び加熱により、液晶、有機物等を処理室内で揮発させることができる。そして、揮発した液晶及び揮発した有機物をキャリアガスによって搬送して処理室の外へ運び出し、その運び出したガスを冷却等することによって液晶、有機物等を凝集させてガスから分離して回収する。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２３０２２９号公報（第４〜７頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来のＶＴＲ処理では、液晶パネルから液晶、有機物等を効率良く回収することができなかった。本発明者はその原因を知るために種々の実験を行い、その結果、処理対象である液晶パネルの周りを減圧する際の減圧の程度が不十分であったことを知見した。
【０００８】
本発明は、上記の知見に基づいて成されたものであって、液晶パネルを減圧及び加熱する際の減圧に工夫を加えることにより、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る液晶パネルの処理装置は、液晶パネルを収容する処理室と、処理室の内部を加熱する加熱手段と、前記処理室の内部が第２の気圧になるまで排気する第２の排気ポンプと、前記処理室と前記第２の排気ポンプとの間に配置されていて前記処理室の内部が前記第２の気圧よりも低い第１の気圧になるまで排気する第１の排気ポンプとを有することを特徴とする。
【００１０】
上記構成において、「処理室」は液晶パネルを気密に収容できる構造体であることが望ましい。また、その内部を大きく減圧した場合にも損傷することがないように、高い機械的な強度を有していることが望ましい。また、「加熱手段」は、例えば、通電によって発熱する発熱線を用いた加熱機器、あるいは、その他任意の構造の加熱機器を用いることができる。
【００１１】
上記「第１の排気ポンプ」は、例えば、ターボ分子ポンプによって構成できる。この「ターボ分子ポンプ」はそれ自体周知の排気ポンプであり、例えば、多数のタービン翼と多数の固定翼とを交互に同軸上に配設し、それら多数のタービン翼を同時に高速で回転させることによって気体分子流を形成して排気を行うポンプである。このターボ分子ポンプを用いれば、排気したい領域（本発明でいえば処理室の内部）を約１０−７Ｐａの高真空に減圧できることが知られている。
【００１２】
また、上記「第２の排気ポンプ」は、処理室の内部を粗く排気するためのポンプである。より具体的には、第１の排気ポンプによって処理室内を高真空域まで減圧するのに先立って、処理室内を予め粗く減圧するためのポンプである。第１の排気ポンプが処理室内を約１０−７Ｐａ程度まで減圧することを考えれば、第２排気ポンプは処理室内を約１Ｐａ程度まで減圧するポンプを用いることができる。このような排気ポンプとしては、例えば、ロータリーポンプ、ドライポンプ等を用いることができる。
【００１３】
ロータリーポンプは、回転式容積移送式真空ポンプの一種であり、ステータ内において偏心状態で回転する偏心ロータと、ステータ内壁に摺動する翼板との作用で定常流を吐き出す構造のポンプである。また、ドライポンプは、油又は液体を運動する部分のすきまを密閉する目的に使用しない容積移送式真空ポンプである。
【００１４】
上記構成の本発明に係る液晶パネルの処理装置によれば、ターボ分子ポンプの働きによって処理室内を高真空にすることができるので、液晶及びその他の有機物を蒸発し易くすることができ、それ故、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。具体的には、消費エネルギの削減及び処理時間の短縮等に関して効率的な処理を達成できる。また、ターボ分子ポンプはガスを汚すこと無く通過させることができるので、きれいな液晶を回収する上で非常に好ましい。
【００１５】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理装置においては、前記第１の排気ポンプが、前記処理室の排気物質成分のみからなる排気を第２の排気ポンプ側に排出し、且つ第２の排気ポンプよりも到達真空度の高いポンプであることが望ましい。このようなポンプは、例えば、ターボ分子ポンプによって実現できる。
【００１６】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理装置は、前記第１の排気ポンプの排気側に配置されると共に前記処理室から排出されたガスから液晶及び有機物を凝集によって分離する分離手段を有することが望ましい。この構成によれば、分離手段は低真空領域に配置されることになるので、高真空領域において凝集させる場合に比べて、蒸発した液晶及び有機物を凝集し易くできる。このため、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。具体的には、消費エネルギの削減及び処理時間の短縮等に関して効率的な処理を達成できる。
【００１７】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理装置は、前記第２の排気ポンプの排気側に配置されると共に前記処理室から排出されたガスから液晶及び有機物を凝集によって分離する分離手段を有することが望ましい。この構成によれば、分離手段は大気圧領域に配置されることになるので、高真空領域及び上記の低真空領域において凝集させる場合に比べて、蒸発した液晶及び有機物を凝集し易くできる。このため、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。具体的には、消費エネルギの削減及び処理時間の短縮等に関して効率的な処理を達成できる。
【００１８】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理方法は、（ア）液晶パネルを収容した処理室を第２の排気ポンプを用いて第２の気圧まで減圧し、（イ）さらに第１の排気ポンプにより第２の気圧よりも低い第１の気圧まで減圧し、（ウ）前記第１の気圧の下で前記処理室の内部を加熱することにより、前記液晶パネル内の液晶を揮発させ、前記液晶パネル内の基板上に形成した固形有機物の一部を揮発させ、さらに固形有機物の残部を炭化させることを特徴とする。
【００１９】
この液晶パネルの処理方法によれば、第１の排気ポンプの働きによって処理室内を高真空にすることができるので、液晶及びその他の有機物を蒸発し易くすることができ、それ故、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。具体的には、消費エネルギの削減及び処理時間の短縮等に関して効率的な処理を達成できる。
【００２０】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理方法は、前記処理室から排出されたガスから液晶及び有機物を凝集によって分離する分離工程を有することが望ましく、さらに、該分離工程は、前記第１の排気ポンプと前記第２の排気ポンプとの間で行われることが望ましい。この構成によれば、分離工程は第１の排気ポンプの排気ポートと第２の排気ポンプの吸気ポートとの間、すなわち低真空領域において行われるので、高真空領域において凝集させる場合に比べて、蒸発した液晶及び有機物を凝集し易くできる。このため、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。具体的には、消費エネルギの削減及び処理時間の短縮等に関して効率的な処理を達成できる。
【００２１】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理方法は、前記処理室から排出されたガスから液晶及び有機物を凝集によって分離する分離工程を有することが望ましく、さらに、該分離工程は、前記第２の排気ポンプの排気側で行われることが望ましい。こうすれば、分離工程は第２の排気ポンプの排気ポート、すなわち大気圧領域において行われるので、高真空領域及び上記の低真空領域において凝集させる場合に比べて、蒸発した液晶及び有機物を凝集し易くできる。このため、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。具体的には、消費エネルギの削減及び処理時間の短縮等に関して効率的な処理を達成できる。
【００２２】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理方法において、前記第２の排気ポンプはロータリーポンプ又はドライポンプであることが望ましい。これらのポンプは、ターボ分子ポンプ等といった第１の排気ポンプと協働して処理室内を高真空に減圧することに関して非常に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る液晶パネルの処理装置及び処理方法を一実施形態を例示して説明する。まず、本実施形態に係る処理装置を説明する前に、処理対象である液晶パネルについて簡単に説明する。
【００２４】
処理対象である液晶パネルは任意の表示モードによって構成できる。例えば、液晶駆動方式でいえば、単純マトリクス方式及びアクティブマトリクス方式のいずれであっても良い。また、液晶モードの種別でいえば、ＴＮ（Twisted Nematic）、ＳＴＮ（Super Twisted Nematic）、負の誘電率異方性を持つ液晶（すなわち、垂直配向用液晶）、その他任意の液晶を用いることができる。また、採光方式でいえば、反射型、透過型又は半透過反射型のいずれであっても良い。
【００２５】
単純マトリクス方式とは、各画素に能動素子を持たず、走査電極とデータ電極との交差部が画素またはドットに対応し、駆動信号が直接に印加されるマトリクス方式である。この方式に対する液晶モードとしては、ＴＮ、ＳＴＮ、垂直配向モードが用いられる。次に、アクティブマトリクス方式とは、画素又はドットごとに能動素子が設けられ、書き込み期間では能動素子がＯＮ状態となってデータ電圧が書き込まれ、他の期間では能動素子がＯＦＦ状態になって電圧が保持されるマトリクス方式である。この方式で使用する能動素子には３端子型と２端子型がある。３端子型の能動素子には、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）がある。また、２端子型の能動素子には、例えば、ＴＦＤ（Thin Film Diode）がある。
【００２６】
上記の反射型とは、太陽光、室内光等といった外部光を液晶パネルの内部で反射させて表示に用いる方式である。また、透過型とは、液晶パネルを透過する光を用いて表示を行う方式である。また、半透過反射型とは、反射型表示と透過型表示の両方を選択的に行うことができる方式である。採光方式として透過型及び半透過反射型が採用される場合には、液晶パネルの表示面と反対側の面に照明装置が設けられる。
【００２７】
上記の各種方式の液晶パネルは、例えば、図３に示すように構成される。この液晶パネル１は、透光性のガラス、プラスチック等によって形成された第１基板５１と、同じく透光性のガラス、プラスチック等によって形成された第２基板５２とを有する。これらの基板は、環状のシール材５３によって貼り合わされている。そして、第１基板５１、第２基板５２、及びシール材５３によって囲まれる隙間内、いわゆるセルギャップ内に液晶５４が封入される。
【００２８】
第１基板５１及び第２基板５２の外側の表面には偏光板５６ａ及び５６ｂが貼着等によって装着される。液晶パネル１の採光方式如何によってはいずれか一方の偏光板は不要になる場合もある。また、偏光板５６ａ，５６ｂ以外の光学要素、例えば位相差板等が偏光板５６ａ，５６ｂに加えて又はそれらに代えて用いられることもある。第１基板５１及び第２基板５２の内側表面には、カラーフィルタ、配向膜、反射膜、樹脂層、オーバーコート層、その他、有機物を主体とした種々の要素が設けられる。
【００２９】
第１基板５１は第２基板５２の外側へ張り出す張出し部５７を有する。本実施形態では、この張出し部５７に３個の駆動用ＩＣ５８が実装されている。この実装は、例えばＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film：異方性導電膜）を用いたＣＯＧ（Chip On Glass）技術によって行うことができる。また、張出し部５７の辺端に配線基板５９が接続され、この配線基板５９を介して駆動用ＩＣ５８へ所定の信号が供給される。なお、基板５１上に駆動用ＩＣ５８を直接に実装するというＣＯＧ技術に代えて、配線基板５９上に駆動用ＩＣ５８を実装する実装方法を採用することもできる。
【００３０】
図３に示す液晶パネル１が単純マトリクス方式である場合には、第１基板５１及び第２基板５２のそれぞれの内側の表面、すなわち液晶５４側の表面にＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウムスズ酸化物）等によって電極が形成され、それらの電極が互いに対向する部分に画素又は表示用のドット領域が形成される。そして、それらの画素等に印加する電圧を画素ごとに制御することにより、第１基板５１の外側表面又は第２基板５２の外側表面に適宜の像を表示する。
【００３１】
液晶パネル１がアクティブマトリクス方式である場合には、第１基板５１及び第２基板５２のそれぞれの内側の表面にＩＴＯ等によって電極が形成され、それらの電極が互いに対向する部分に画素又は表示用のドット領域が形成され、さらにそれらの画素の１つ１つにＴＦＤ（Thin Film Diode）等といった２端子素子や、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）等といった３端子素子等から成るスイッチング素子が付設される。そして、各画素に印加される電圧をそれらのスイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦによって画素ごとに制御することにより、第１基板５１の外側表面又は第２基板５２の外側表面に適宜の像を表示する。ＴＦＤ、ＴＦＴ等といったスイッチング素子は、Ｃｒ、Ｔａ、その他種々の金属類によって形成される。
【００３２】
上記のような液晶パネル１において、カラー表示を行う場合には、一対の基板の５１，５２のうちの一方にカラーフィルタが設けられる。カラーフィルタは、特定の波長域の光を選択的に透過する複数のフィルタによって形成される。例えば、３原色であるＢ（青），Ｇ（緑），Ｒ（赤）の１色ずつを基板上の各表示用ドット領域に対応させて所定の配列、例えばストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列で並べることによってカラーフィルタが形成される。このように３つの異なった色の組み合わせによってカラー表示を行う場合は、それら３つの表示ドット領域の集まりによって１つの画素が形成される。一方、白黒等といった２色によってモノカラー表示を行う場合は、１つの表示ドット領域によって１つの画素が形成される。
【００３３】
上記の液晶パネル１は、市場に供給された後に使用寿命に達した場合には廃棄される。また、液晶パネル１の製造過程において何等かの不良が発生した場合にはその液晶パネル１は廃棄される。このように廃棄される液晶パネル１に対して適切なリサイクル処理が行われないと、偏光板５６ａ，５６ｂ、シール材５３、電極等といった有機物や、液晶５４等が放置されて環境を汚染する可能性がある。そのため、液晶パネル１内の液晶や有機物をリサイクル処理することが望まれている。
【００３４】
図１は、そのようなリサイクル処理を実施するための処理装置であって、本発明に係る液晶パネルの処理装置の一実施形態を示している。この処理装置は、処理対象である液晶パネル１を収容する処理室としてのチャンバ２と、そのチャンバ２の内部を加熱する加熱装置３と、チャンバ２の排気ポートに接続されたターボ分子ポンプ６と、ターボ分子ポンプ６の排気ポートに接続された分離装置７と、分離装置７の排気ポートに接続された第２排気ポンプとしてのロータリーポンプ８と、ロータリーポンプ８の排気ポートに接続された後処理フィルタ９とを有する。以上の各要素は、ガス流路１１によってつながっている。符号４は必要に応じて設けられるガス供給装置４であり、このガス供給装置４はチャンバ２の内部へガスを供給する。
【００３５】
また、本実施形態の処理装置は、炭化物及び灰の除去装置１２と、洗浄装置１３とを有する。炭化物及び灰の除去装置１２は、液晶パネル１を構成する基板に付着している炭化物及び灰を除去するための装置である。また、洗浄装置１３は基板に付着している金属類を除去するための装置である。炭化物及び灰の除去装置１２及び洗浄装置１３は、ベルトコンベヤ等といった基板を搬送する搬送路に沿って設置されても良いし、それぞれ独立して設置されても良い。それらが独立して設置される場合には、作業者が基板をそれらの装置の間で持ち運ぶことになる。
【００３６】
上記の加熱装置３は、例えば通電によって発熱する発熱線を用いて構成される。この加熱装置３は、チャンバ２の内部、すなわち液晶パネル１の周りを２００℃〜８００℃（２００℃及び８００℃を含む）に加熱する。２００℃未満であると液晶パネル１内の液晶の揮発及び有機物の揮発が不十分になるおそれがあるからである。また、８００℃を越えて加熱すると熱負荷が大きくなり過ぎてそれに耐えうる構造を構築することに過剰なコストがかかるからである。
【００３７】
上記のロータリーポンプ８は、それ自体周知の回転式容積移送式真空ポンプの一種であり、ステータ内において偏心状態で回転する偏心ロータと、ステータ内壁に摺動する翼板との作用で定常流を吐き出す構造のポンプである。このロータリーポンプ８は、チャンバ２の内部を適宜の第２気圧、例えば１Ｐａ程度の気圧まで減圧する。また、上記のターボ分子ポンプ６は、それ自体周知の排気ポンプであり、例えば、多数のタービン翼と多数の固定翼とを交互に同軸上に配設し、それら多数のタービン翼を同時に高速で回転させることによって排気を行うポンプである。ロータリーポンプ８でチャンバ２の内部を予め第２気圧まで減圧した上で、このターボ分子ポンプを用いてチャンバ２の内部をさらに減圧すれば、チャンバ２の内部を約１０−７Ｐａの高真空まで減圧することができる。
【００３８】
次に、上記の分離装置７は、コンデンサ部１４と容器１６とを有する。コンデンサ部１４にはターボ分子ポンプ６から排気されるガスが流れ込むようになっており、さらにそのコンデンサ部１４には冷却液通路１７が設けられる。ターボ分子ポンプ６を経由してガス流路１１を流れるガスはコンデンサ部１４において冷却液通路１７を流れる冷却液、例えば冷却水によって冷却される。このとき、揮発した液晶や揮発した有機物がガスの中に含まれていれば、そのガスが冷却されたとき、ガス中の液晶や有機物が凝集してガスから分離される。分離した液晶や有機物は、容器１６の中に回収される。
【００３９】
炭化物及び灰の除去装置１２は、例えば、ブラッシング装置や、流体噴射装置等を用いて構成できる。ブラッシング装置を用いた場合には、液晶パネルの基板に付着している炭化物、灰等をブラッシングによって基板から剥離する。また、流体噴射装置を用いた場合には、基板に流体、例えば空気を吹き付けることにより炭化物等を基板から剥離する。また、洗浄装置１３は、例えば、酸洗洗浄装置を用いて構成できる。この場合には、基板に結合した金属類を酸によって溶解して基板から除去することができる。
【００４０】
以下、上記処理装置によって行われるリサイクル処理について説明する。
まず、図３に示す液晶パネル１を破砕すること無く図１のチャンバ２内へ入れる。通常は、複数の液晶パネル１をチャンバ２内へ入れる。この液晶パネル１は、市場で寿命が尽きて廃棄されたものや、液晶パネルの製造過程で不良品として廃棄されたもの等である。なお、図３の配線基板５９は予め取り外しておいても良い。次に、ロータリーポンプ８及びターボ分子ポンプ６を作動してチャンバ２内を高真空、例えば、約１０−７Ｐａに減圧する。そしてさらに、加熱装置３によってチャンバ２内を比較的低温域、例えば２００℃〜８００℃（２００℃及び８００℃を含む）内の適宜の温度に加熱する。
【００４１】
以上の減圧及び加熱により、図１の液晶パネル１内の偏光板５６ａ，５６ｂ等といった固形有機物の一部、及び液晶５４等をチャンバ２内で揮発させる。また、残部の固形有機物を炭化させる。本実施形態では、チャンバ２内がターボ分子ポンプ６によって高真空に減圧されるので、液晶の揮発、有機物の揮発、及び有機物の炭化が十分に促進される。揮発した液晶等は分離装置７において冷却液通路１７を流れる冷却液、例えば冷却水によって冷却されて凝集し、他のガスから分離されて容器１６の中に回収される。
【００４２】
以上のような液晶及び有機物の回収処理が行われる一方で、チャンバ２内には図３の液晶パネル１の複数個分の基板５１及び基板５２が分離した状態で残される。これらの基板には固形有機物の炭化物や灰が付着している。これらの基板は、チャンバ２から取り出され、さらに炭化物及び灰の除去装置１２内の所定の処理位置に置かれて処理を受ける。これにより、基板５１，５２から炭化物及び灰が除去される。この場合、基板に付着する固形有機物は炭化しているので、その固形有機物は簡単な除去処理、例えばブラッシング、流体噴射等でも容易に除去できる。
【００４３】
炭化物等が除去された後、基板は洗浄装置１３へ送られて洗浄処理を受ける。具体的には、酸洗処理を受けることにより、基板に結合した金属類を溶解して基板から分離、すなわち除去し、質の良いガラス基板等を回収する。
【００４４】
以上のように、本実施形態では、有機物である液晶と、偏光板等といった固形有機物の一部を揮発させて液状有機物及び固形有機物として回収できる。また、付着物が除去された清浄な基板、例えばガラス基板を回収できる。また、残部の有機物は炭化されるので基板から容易に除去でき、この除去された炭化物は別途、処理して回収して再利用できる。
第２の排気ポンプ（例えば、ロータリーポンプ）のみで処理した場合では、処理を完了するのに約３０分を要するが、第１の排気ポンプとしてターボ分子ポンプを配設した本実施形態では、処理時間を約１０分に短縮することができた。
【００４５】
（第２実施形態）
図２は、本発明に係る液晶パネルの処理装置及び処理方法の第２実施形態を示している。この実施形態が図１に示した先の実施形態と異なる点は、分離装置７とロータリーポンプ８の位置を入れ替えたことである。具体的には、ターボ分子ポンプ６の排気ポートにロータリーポンプ８の吸気ポートを接続し、ロータリーポンプ８の排気ポートに分離装置７のコンデンサ部１４の吸気ポートを接続したことである。なお、図２の実施形態において図１の実施形態の場合と同じ部材は同じ符号を付して示すことにして、その説明は省略するものとする。
【００４６】
本実施形態の処理装置によれば、チャンバ２から排出されたガスはターボ分子ポンプ６及びロータリーポンプ８を通って分離装置７のコンデンサ部１４へ送られ、そのコンデンサ部１４において冷却液通路１７を流れる冷却液によって冷却される。そして、この冷却により、ガスに含まれる液晶及び有機物が凝集されてガスから分離され、灰を含まない質の良い液晶、液状有機物、及び固形有機物が容器１６に回収される。この際、分離装置７はロータリーポンプ８の排気ポート側、すなわち大気圧領域に設けられているので、液晶及び有機物は極めて容易に凝集する。このため、液晶等の回収効率が向上する。
【００４７】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、液晶や有機物の回収または、封止材やシール材の分解の為に窒素やアルゴンといった不活性ガス若しくは酸素等の活性ガスを適宜選択して処理室内に流入させ、処理効率を上げることが可能である。
【００４８】
また、図１及び図２の実施形態では第２の排気ポンプとしてロータリーポンプを用いたが、これに代えてドライポンプを用いることもできる。ドライポンプとは、油又は液体を運動する部分のすきまを密閉する目的に使用しない容積移送式真空ポンプである。このドライポンプを用いる場合にも、第２排気ポンプは液晶パネルが収容されたチャンバ内を約１Ｐａ程度の気圧に減圧することが望ましい。
【００４９】
また、以上の実施形態では、分離装置７として冷却方式の分離装置を用いたが、その他任意の構造の分離装置を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係る液晶パネルの処理装置の一実施形態を示す図である。
【図２】本発明に係る液晶パネルの処理装置の他の実施形態を示す図である。
【図３】液晶パネルの一実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５１】
１．液晶パネル、  ２．チャンバ（処理室）、  ３．加熱装置（加熱手段）、
６．ターボ分子ポンプ、  ７．分離装置、  ８．ロータリーポンプ（第２の排気手段）、
９．後処理フィルタ、  １１．ガス流路、  １４．コンデンサ部、  １６．容器、
１７．冷却液通路、  ５１．第１基板、  ５２．第２基板、  ５３．シール材、
５４．液晶、  ５６ａ，５６ｂ．偏光板、  ５７．張出し部、  ５８．駆動用ＩＣ、
５９．配線基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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