(57)【要約】【課題】楔形ファイバの先端部形状測定において、正確に形状測定することが難しいという問題があった。【解決手段】楔形ファイバの先端部を飼料台に載置するとともに、上記楔形ファイバの先端部をレンズにより結像させて寸法を測定する寸法測定法において、上記レンズを通して楔形ファイバの先端部を観察した際に、その先端部に映し出された楔形ファイバの光源反射像の幅とその幅に対応する既知の先端部の曲率半径との関係から、楔形ファイバの先端部の曲率半径を測定するとともに、結像点を先端部から光ファイバの外径に合わせたときの外径の光源反射像から先端部の中心までの距離を測定し、既知の光ファイバ外径から先端部中心までの距離と比較して、中心位置ずれ量を算出すること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
楔形ファイバの先端部を試料台に載置するとともに、上記楔形ファイバの先端部にレンズにより結像させて楔形ファイバの中心位置ズレを測定する楔形ファイバの中心位置ズレ測定法において、上記レンズを通して楔形ファイバの先端部を観察した際に、映し出された楔形ファイバの光源反射像の幅とその幅に対応する既知の先端部の曲率半径との関係から、楔形ファイバの先端部の曲率半径を測定するとともに、結像点を先端部から光ファイバの外径に合わせたときの外径の光源反射像から先端部の中心までの距離を測定し、既知の光ファイバ外径から先端部中心までの距離と比較して、中心位置ずれ量を算出することを特徴とする楔形ファイバの中心位置ズレ測定方法。
【請求項２】
上記先端部の光源反射像の幅と先端部の曲率半径の大きさが、比例関係を有することを特徴とする請求項１記載の楔形ファイバの中心位置ズレ測定方法。
【請求項３】
請求項１〜２のいずれかに記載の楔形ファイバの中心位置ズレ測定方法を用いたことを特徴とする楔形ファイバの中心位置ズレ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信、産業用等に使用される楔形ファイバの先端形状測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＤモジュール１２４は高出力化が進んでおり、光通信における用途だけでなく、医療や産業用にも利用されるようになってきた。これらの高出力のＬＤ１２２からの出射光パターンは、光分布が円状のガウス分布でなく縦方向と横方向で異なる楕円状となる。  
ＬＤ１２２からの出射光の楕円率をアスペクト比と定義されており、例として光通信に使用される９８０nmの励起用ＬＤでは、２．５：１と４：１の間のアスペクト比を有する出射光のパターンとなる。このような形状の出射光と効率よく結合させるために、種々の先端形状１２１が提案されており、その代表的なものとして楔形ファイバ１１がある
楔形ファイバ１１は、図６に示すように光ファイバの端部にコア６３の中心軸に対して対称に形成された二つの傾斜面６１があり、その先端部６２にこれらの傾斜面６１に対して連続して半円筒状の曲面を備えてレンズを形成している。通常、先端形状１２１が形成された光ファイバ１２６は、メタライズ１２７を施され、光パッケージ１２３の内部でＬＤ１２２と共に組み込まれＬＤモジュール１２４として形成される。光パッケージ１２３に組み込まれる際に、結合効率が最大となるように先端形状１２１に合わせて光軸合わせをしたのち半田１２５にて光パッケージ１２３に固定される。
【０００３】
これらの光パッケージ１２３を組み立てる上で、ＬＤ１２２からの出射光を光ファイバに効率良く結合させることが重要である。
【０００４】
前述したように、ＬＤ１２２からの出射光との結合が最適となるよう、ＬＤ１２２のアスペクト比に従い楔形ファイバ１１の先端部６２の曲率半径ＬＦを調節することにより、高い結合効率を達成することができる。
【０００５】
高い結合効率を得るためには、楔形ファイバ１１の先端部６２の曲率半径ＬＦだけでなく、先端部６２がコア６３に対称に存在していることも重要である。先端部６２が光ファイバのコア６３の中心よりずれている場合には、入射した光の一部が、コア６２の伝搬条件を満たすことができずにクラッド６４に漏れ出てしまい、結合効率が低下する。楔形ファイバ１１の先端部６２の曲率半径ＬFおよび中心位置ずれ量ＬBは、結合効率に対して多大な影響があり、その精度が数μｍ異なっただけで結合効率が大きく低下する。    
そのため、楔形ファイバ１１の製造上、精度よく短時間に、先端部６２の曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢを短時間で測定、評価する必要がある。
【０００６】
従来の先球ファイバ７１の測定方法として、図８に示すように光ファイバの側面より先端部７２をＣＣＤカメラ８１等で観測し、その像をモニタ８２で写しだし大きさをスケール等で確認して曲率半径ＬＦを測定する方法があった。先球ファイバ７１は、コア６３に対称に先端部７２に球面を形成したもので、楔形ファイバ１１がアスペクト比の大きいＬＤ１２２に用いられるのに対して、先球ファイバ７１は、アスペクト比の小さいＬＤ１２２に用いられる。この方法は、先球ファイバ７１の先端形状測定方法として用いられてきた方法であるが、図９に示すようにＡＢの方向から、楔形ファイバ１１を観測することにより、曲率半径ＬＦ及び、中心位置ずれ量ＬＢを測定することができる。
【０００７】
また、他の先球ファイバ７１の従来の測定方法として、図１０に示す方法も用いられてきた。この方法では、先球の先端部７２を軸方向から同軸落射正面方式の顕微鏡で観察し光源１０６の形状を集光レンズ１０５、ハーフミラー１０２、対物レンズ１０１を通し、先端部７２に写すことによってできる光源像を対物レンズ１０１、接眼レンズ１０３を通し、観測面１０４に形成させ該光源像の大きさが先端部７２の半径と比例することを利用して被測定物の曲率半径ＬＦを測定する方法である。この先球ファイバ７１への測定方法を用いて、楔形ファイバ１１の曲率半径ＬＦを測定することもできた（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平２−９５２０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の光ファイバの側面から測定する方法では、被測定物を側面からのみ観測するために、一面的な情報が得られるのみであり、楔形ファイバ１１の先端部６２の曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢの立体的な情報を得ることができないという問題があった。
【０００９】
側面からの情報では、先端部６２の曲率半径ＬＦが、先端部６２の両端で異なっている場合では、その最大値のみを測定することができるのみであった。例えば先端部６２の曲率半径ＬＦが光ファイバのコア６３で小さくなっている場合では、コアの曲率半径ＬＦを評価することができなかった。
【００１０】
さらに、先端部６２の中心位置ずれ量ＬＢについても、光ファイバ外径１２での情報のみであり、光ファイバのコア６３付近の中心位置ずれ量ＬＢを評価をすることができなかった。そのため、測定結果から必要な曲率半径ＬＦ、中心位置ズレＬＢを満足しているにも関わらず、実際にＬＤモジュール１２４を作製してみると、必要な結合効率を得ることができないという問題があった。
【００１１】
従来の特許文献１に記載の方法では、光ファイバの軸方向から評価しているため、従来の光ファイバの側面から測定する方法にて確認できなかった先端部６２の曲率半径ＬＦを立体的な情報として得ることができるようになったが、中心位置ズレ量ＬＢについては、従来の光ファイバの側面から測定する方法にて測定する必要があったため、光ファイバの光ファイバ外径１２付近以外での評価をすることができないという問題があった。
【００１２】
さらに、光ファイバの軸方法から先端部６２の曲率半径ＬＦを測定し、その後に光ファイバの側面から中心位置ずれ量ＬＢを測定する必要があるため、楔形ファイバ１１をそれぞれの測定機へのセットする必要があり、そのため、測定に時間がかかるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記問題点に鑑みて本発明は、楔形ファイバの先端部を試料台に載置するとともに、上記楔形ファイバの先端部にレンズにより結像させて楔形ファイバの中心位置ズレを測定する楔形ファイバの中心位置ズレ測定法において、上記レンズを通して楔形ファイバの先端部を観察した際に、映し出された楔形ファイバの光源反射像の幅とその幅に対応する既知の先端部の曲率半径との関係から、楔形ファイバの先端部の曲率半径を測定するとともに、結像点を先端部から光ファイバの外径に合わせたときの外径の光源反射像から先端部の中心までの距離を測定し、既知の光ファイバ外径から先端部中心までの距離と比較して、中心位置ずれ量を算出することを特徴とする。
【００１４】
また、上記先端部の光源反射像の幅と先端部の曲率半径の大きさが、比例関係を有することを特徴とする。
【００１５】
また、上記の楔形ファイバの形状測定方法を用いたことを特徴とする楔形ファイバの寸法測定装置とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、楔形ファイバの先端部の曲率半径および中心位置ずれ量を立体的に簡便な方法で測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下本発明の実施形態を図を用いて説明する。
【００１８】
図１は本発明の第一実施形態を示す楔形ファイバ１１の先端部の寸法測定方法の概念図である。
【００１９】
本発明にかかわる被測定物である楔形ファイバ１１は、ステージ１に設置される。光源９から出射した光は、集光レンズ７で集光されハーフミラー３で反射されて対物レンズ２でさらに集光されて、被測定物である先端部６２に集光される。集光された光は、先端部６２で反射し、対物レンズ２、ハーフミラー３を通り接眼レンズ４を通り、観測面５に光源反射像２３を形成する。この形成された光源反射像寸法ＬＡは、先端部６２の曲率半径ＬＦが大きくなるほど大きくなり、小さくなるほど小さくなる比例関係となる。具体的には、以下に示す数式１で表される関係となる。ここでαは比例係数、βは定数である。この比例係数αおよび定数βを求めることにより、観測面５の光源反射像寸法ＬＡから、曲率半径ＬＦを求めることができる。比例係数αおよび定数βは、曲率半径ＬＦが既知の楔形ファイバ１１を測定し、そのときの光源反射像寸法ＬＡを求める。これを１０本以上繰り返し、曲率半径ＬＦに対してそれぞれ求めた光源反射像寸法ＬＡから、最小二乗法にて比例係数α、定数βを求めればよい。
【数１】
2006184032.tif 000003
【００２０】
光源反射像２３としては、コントラスト比３０〜8０％を閾値として光源反射像２３を規定する。コントラスト比３０％未満で規定した場合には、先端部６２以外の傾斜面６１からの反射光も読み込むことになるため正しく光源反射像２３を規定することできず、コントラスト比８０％より大きく規定した場合には、光源反射像２３の大きさが非常に小さくなるため、大きさを判断することが難しくなる。この理由のため、コントラスト比としては３０〜８０％の閾値を使用すればよいが、より望ましくは、コントラスト比として約５０％の時で、最も光源反射像の大きさを判別しやすい。コントラスト比を変えた場合には、光源反射像２３の大きさが変化するため、測定においては、一定のコントラスト比にて光源反射像２３を規定し、曲率半径ＬＦとの比例係数αを求める必要がある。コントラスト比の規定を変えた場合には、再度比例係数αを求めなければならない。光源反射像寸法ＬＦは光源反射像２３をＣＤの方向の大きさを計測することによって求めることができる。
【００２１】
次に先端部２３の中心ズレＬＢの測定方法を述べる。光源反射像２３から光源反射像中心線２４を測定しておき、その後測定装置の焦点を光ファイバ外径１２にあわせ、光ファイバ外径１２に焦点があった状態で、光ファイバ外径像２１測定しておく。先に測定した光源反射像中心線２４の位置は既にわかっているので、光ファイバ外径像２１の位置から、光ファイバ中心線２２を算出する。光ファイバ中心線２２は、光ファイバの光軸に垂直でかつ光源像を通る同一平面上に、光ファイバの中心を通り光源反射像中心線２４に平行な線であり、光ファイバ中心線２２より光源反射像中心線２４までの距離が先端部６２の中心位置ずれ量ＬＢを示しているため、この距離を求めることで中心位置ずれ量ＬＢを測定することができる。これより、楔形ファイバ１１の先端部６２の中心位置ずれ量ＬＢを、立体的に把握することが可能となる。
【００２２】
本測定方法にて、測定可能な楔形ファイバ１１としては、光ファイバとしてシングルモードファイバ、マルチモードファイバ、偏波保持ファイバ等どのような種類の光ファイバでも良く、クラッド径Ｄ２およびコア径Ｄ１はどのような大きさであってもよい。光ファイバのコア６３に対称に傾斜面６１が形成され、その先端部６２に曲面が形成されていれば、どのような楔形ファイバ１１であっても測定可能ある。
【００２３】
次に本発明の測定方法を用いた測定装置について述べる。本発明の測定装置としては、光学系８としては、光源９及び光源からの光を導入する集光レンズ７とハーフミラー３、及び先端部６２を拡大する対物レンズ２と接眼レンズ４および接眼レンズに対して遠近動作するステージ１を有していればよく、例えば同軸落射照明方式の顕微鏡を用いればよい。  
顕微鏡の倍率は、２００〜４００倍程度が望ましい。これは、倍率が低ければ、光源反射像寸法ＬＡを測定することが難しく、逆に倍率が高ければ、光ファイバの光ファイバ外径１２が視野外となり光ファイバの光ファイバ外径像２１を測定することが難しくなるためである。本発明の測定装置の光源としては、ハロゲン球のような、一般的に使用されている光源であれば、どのようなものでもよい。
【００２４】
光源反射像２３を観測するためには、顕微鏡内にスケールを設けて、目視にて観測してもよいが、定量的に位置関係を把握するためには、ＣＣＤカメラ６を設置しこのＣＣＤカメラ６からの映像をモニタ１３等で映し出すようにした方が良い。より望ましくは、ＣＣＤカメラ６を画像処理装置１０に取り込み演算をして先端部６２の曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢを求めるようにした方がよく、スケールの読みとり誤差や測定上の手間を大幅に省くことができる。特に、光源反射像寸法ＬＡは、規定するコントラスト比によって異なる値となるため、目視では判別することが難しい。ＣＣＤカメラ６にて取り込んだ映像を画像処理することにより、コントラスト比が数値として読み込めるため光源反射像２３の範囲が明確となり正しい光源反射像寸法ＬＡを求めることができる。
【００２５】
本装置を用いての測定手順について図３を用いて述べる。まず最初に、既知の先端部６２の曲率半径ＬＦを持った楔形ファイバ１１にて、光源反射像２３と曲率半径ＬＦ間の比例関係を確認しておく。次に被測定物である楔形ファイバ１１を測定装置にセットする。楔形ファイバ１１のセットは、測定装置の光軸方向に対して、楔形ファイバ１１の光軸方向が±５°以下となるようにセットした方が良い。この理由としては、セット角度が５°以上ずれている場合、楔形ファイバ１１の先端部６２の両側と測定装置の対物レンズ間の距離に相違が生じ、ピントが楔形ファイバ１１の両側部分が合わなくなるためと光ファイバ中心線２２を求める際の誤差が大きくなるためである。
【００２６】
楔形ファイバ１１をセットした後、焦点を合わすとモニタ１３上に図３（ｃ）に示す光源反射像２３が形成されるので、画像処理装置１０にてこの像を読み込んでおく。次に焦点を光ファイバの光ファイバ外径１２に合わせる。図３（ｂ）に示すようにモニタ１３上に光ファイバの光ファイバ外径像２１が形成されるので画像処理装置１０にてこの像を読み込み、先に読み込んでおいた光源反射像２３と光ファイバ外径像２１を重ね合わせる。
【００２７】
この結果、図３（ｃ）に示すように両方が重ね合わされた画像が形成される。重ね合わせた後、光ファイバ中心線２２および光源反射像中心線２４を作製する。
【００２８】
図４（ｂ）は、重ね合わせた像の例を示す。図４（ｂ）において、楔形ファイバ１１の先端部６２の光源反射像寸法ＬＡと中心位置ずれ量ＬＢをＡ側から測定点４１、測定点４２、測定点４３と順次サンプリング寸法ＬＣにて測定し、Ｂ側に到達するまで測定する。
【００２９】
その後、光源反射像寸法ＬＡより数式１にて、曲率半径ＬＦを計算する。図４（ａ）はこのようにして得られた先端部の曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢである。この図に見られるように、楔形ファイバ１１の先端部６２に沿って立体的に、測定できていることがわかる。
【００３０】
サンプリング寸法ＬＣとしては、被測定物の楔形ファイバ１１の種類にもよるが、測定点が３点以上になるように設定したほうが望ましい。サンプリング寸法ＬＣが大きくなった場合は、測定点が少なくなり、測定結果の精度が低下する。逆にサンプリング寸法ＬＣが小さくした場合には、測定点が多くなるため、測定精度が向上するが、測定時間に要する時間が増加するので、必要となる情報が得ることができるよう設定すればよい。
【００３１】
また、サンプリング寸法ＬＣは、一定の間隔で設定する必要もなく、測定点毎の任意の間隔で設定してもよい。光ファイバは、コア６３を光が伝搬する構造になっているため、楔形ファイバ１１の結合効率に影響するコア６３付近の測定点が多くなるようサンプリング寸法ＬＣを設定し測定時間を短縮することもできる。
【００３２】
シングルモードの光ファイバを使用した楔形ファイバ１１では、コア径Ｄ１が１０μｍ以下と小さいことが多いため、ＬＤとの結合に寄与するのは、楔形ファイバ１１の先端部６２のコア６３付近の曲率半径ＬＦと中心位置ずれ量ＬＢである。そのため、楔形ファイバ１１のコア６３部分の曲率半径ＬＦと中心位置ずれ量ＬＢの測定データにて、良否の判断をすればよい。
【００３３】
マルチモードの光ファイバを使用した楔形ファイバ１１では、クラッド径Ｄ２が１２５μｍ、コア径がＤ１が１０５μｍ程度と大きいものがあり、活性層の幅が１００μｍ程度のＬＤ１２２と結合させるために使用されることが多い。このようなＬＤ１２２からは、幅１００μｍにわたって活性層に垂直な方向に広がるビームを出射するので、楔形ファイバ１１においては、コア６３全域でＬＤ１２２からの出射光を結合させるため、中心位置ズレ量ＬＢをできるだけ小さくして、先端部６２の曲率半径ＬＦが一定であることが望まれる。楔形ファイバ１１の評価に対しては、本発明の測定方法で測定することにより、使用されている光ファイバの種類に応じて、正しく先端部形状を把握することができ、ＬＤ１２２との結合効率を正しく評価することが可能となる。
【００３４】
楔形ファイバ１１は、前述のようにＬＤ１２２と結合させる場合に使用されるが、ＬＤ１２２は、反射戻り光に弱く、反射戻り光があった場合には、ＬＤ１２２の動作が不安定となる。これを防ぐ目的で楔形ファイバ１１の先端部６２に、ＡＲコートを施すことがある。本発明の測定方法では、同軸落射方式の顕微鏡を用いているので、先端部１１の形状だけでなく、ＡＲコート膜の欠陥やゴミの付着等の外観評価を実施することもできる。また、先端部６２のカケやチッピング等の欠損やクラック等の異常についても、確認することが可能である。
【００３５】
図５（ａ）（ｂ）は、本測定装置で観測した光源反射像２３、および光ファイバ外径像２１の一例を示す。図５（ａ）の観測像からは、Ａ及びＢ側の光源反射像２３が大きく、また光源反射像中心２４が、光ファイバ中心線２２よりずれていることから、Ａ及びＢ側の先端部６２の曲率半径ＬＦが大きく、また、中心位置ずれ量ＬＢも大きいことがわかる。
【００３６】
また、図５（ｂ）の観測像からは、ファイバ中心部の光源反射像２３が小さく、また光源反射像中心２４が光ファイバ中心線２２よりずれていることから、先端部６２の中心部の曲率半径ＬＦが小さく、中心ズレ量ＬＢも大きいことがわかる。これらの観測結果は、従来の測定方法では、同一の結果になってしまうが、本発明の測定方法を用いることにより、正しく先端部１１の形状を確認することができる。
【００３７】
以上に述べたように、本測定方法を用いることにより、楔形ファイバ１１の軸方向から評価しているため、先端部６２の曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢを立体的な情報を得ることができるため楔形ファイバ１１の光ファイバ外径１２以外のコア６３付近を評価することが可能となった。
【００３８】
また、測定機への楔形ファイバ１１へのセットが１回で済むために、測定を短時間で簡便に実施できるようになった。
【実施例】
【００３９】
ここで、以下に示す方法で実験を行った。
【００４０】
図１に示す本発明の測定装置にて、先端部の曲率半径ＬＦが既知の楔形ファイバ１１の光源反射像寸法ＬＡを実施例として３５％、５０％、７５％、比較例として２５％、９０％のコントラスト比を閾値として、それぞれ求めた。
【００４１】
倍率が４０倍の接眼レンズ４および倍率が２０倍の対物レンズ２を用い、ＣＣＤカメラ６にて光源反射像２３を観測し、その結果を画像処理装置１０を用いて、光ファイバのコア６３の光源反射像寸法ＬＡを求めた。
【００４２】
被測定物としては、シングルモード光ファイバを用いた光ファイバのコア６３における先端部の曲率半径ＬＦが５．８０〜２０．００μｍの楔形ファイバ１１を１５本用意し、それぞれのコントラスト比での光源反射像寸法ＬＡを求め、その測定結果から、最小２乗法を用いて、数１の比例係数α、および定数βを求めた。
【００４３】
また、測定結果の評価のため２乗誤差Ｉを求めた。２乗誤差Ｉは、ｉ個目の楔形ファイバの曲率半径をＬＦｉ、光源反射像ＬＡｉとした時、数２にて表される値で、この値が小さいほど、曲率半径ＬＦと光源反射像ＬＡの間の数式１の誤差が小さいことを示している。
【００４４】
表１にＬＡの測定結果、および比例計数α、定数β、２乗誤差Ｉの計算結果を示す。
【表１】
2006184032.tif 000004
【００４５】
【数２】
2006184032.tif 000005
【００４６】
表１より本発明の実施例として、コントラスト比３５％〜７５％を閾値とした場合では、２乗誤差Ｉが０．７８９〜０．９９６となったが、比較例として、コントラスト比２５％および９０％では、５．５８９および２．４４５％と大きくなった。
【００４７】
この結果より、光源反射像２３において、コントラスト比の３０〜8０％を閾値として光源反射像２３を規定することにより、測定誤差を小さく測定することができた。
【００４８】
次に実施例１として、本発明の図１に示す測定方法、比較例１，２として従来の図９、図１０に示す測定方法にて、楔形ファイバ１１のコア付近の曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢをそれぞれ測定し、その測定結果の比較を行った。
【００４９】
測定サンプルとしては、コア６３中心部の曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢが既知のシングルモードの光ファイバを用いた楔形ファイバ１１を５本用いた。
【００５０】
本発明の実施例１の測定方法としては、倍率が４０倍の接眼レンズ４および倍率が２０倍の対物レンズ２を用い、ＣＣＤカメラ６にて光源反射像２３を観測し、その結果を画像処理装置１０を用いて、コア６３中心部の光源反射像寸法ＬＡおよび中心位置ずれ量ＬＢを求め、光源反射像２３は、コントラスト比が５０％を閾値として用いた。
【００５１】
また、比例定数αおよび定数βは表１の実施例で求めた値を使用し数１を用いて光源反射像寸法ＬＡの値から曲率半径ＬＦを計算した。
【００５２】
比較例１としては、図９の測定方法にて、倍率４００倍で側面より観測し、ＣＣＤカメラ８１にて観測し、曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢを求めた。
【００５３】
比較例２として、図１０の測定方法にて倍率が４０倍の接眼レンズ１０３および倍率が２０倍の対物レンズ１０１を用いてコア中心の曲率半径ＬＦを測定した。なお、比較例２の従来の図１０に示す測定方法では、中心ずれ量ＬＢを測定できないため従来の図９に示す測定方法を用いて測定を行った。
【００５４】
表２にそれぞれの測定方法での測定結果を示す。
【表２】
2006184032.tif 000006
【００５５】
表２より本発明の実施例１では、曲率半径ＬＦ、中心位置ずれ量ＬＢのそれぞれの測定誤差の最大値は、０．２５μｍおよび０．５μｍ値となった。
【００５６】
それに対して、比較例１の測定結果では、曲率半径ＬＦは１．０３μｍ、中心位置ずれ量ＬＢは１．７１μｍの最大測定誤差が生じた。
【００５７】
また、比較例２の測定結果では、曲率半径ＬＦの測定誤差は０．２８μｍ以下と本発明と同等程度の測定精度であったが、中心位置ずれ量ＬＢでは、１．７１μｍの測定誤差が生じた。
【００５８】
この結果より、従来の光ファイバの側面より観測する方法では、曲率半径ＬＦおよび中心位置ずれ量ＬＢの両方において、測定誤差が大きかった。
【００５９】
また、従来の光ファイバの軸方向から測定する方法では、曲率半径ＬＦは、正確に測定することができるが、中心位置ずれ量ＬＢは測定することができないため、従来の光ファイバ側面より観測する方法にて測定する必要があり、その測定結果として、中心位置ずれ量ＬＢが大きかった。
【００６０】
これに対し、本発明の実施例１では、先端部の中心位置ずれ量を測定する方法では、正確に先端部形状を測定することができた。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の楔形ファイバ先端形状測定装置の概略図である。
【図２】本発明の楔形ファイバ先端形状測定装置の測定画面である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の楔形ファイバ先端形状測定装置の測定画面である。
【図４】（ａ）は、本発面の楔形ファイバ先端測定装置の測定結果の一例であり、（ｂ）は本発明の先端形状測定装置の測定画面である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は本発明の楔形ファイバ先端形状測定装置の測定画面である。
【図６】（ａ）は、楔形ファイバの側面図であり、（ｂ）は、楔形ファイバの光軸方向からの上面図であり、（ｃ）は、楔形ファイバの正面図である。
【図７】（ａ）は、先球ファイバの正面図であり、（ｂ）は先球ファイバの光軸方向からの上面図である。
【図８】従来の先球ファイバの先端形状測定方法を説明するための模式図である。
【図９】従来の楔形ファイバの先端形状測定方法を説明するための模式図である。
【図１０】従来の楔形ファイバの先端形状測定方法を説明するための模式図である。
【図１１】楔形ファイバの実装方法を説明するための模式図である。
【図１２】楔形ファイバを用いる光モジュールを示す模式図である。
【符号の説明】
【００６２】
１：ステージ
２：対物レンズ
３：ハーフミラー
４：接眼レンズ
５：観測面
６：CCDカメラ
７：集光レンズ
８：光学系
９：光源
１０：画像処理装置
１１：楔形ファイバ
１２：光ファイバ外径
１３：モニタ
２１：光ファイバ外径像
２２：光ファイバ中心線
２３：光源反射像
２４：光源反射像中心線
４１：測定点
４２：測定点
４３：測定点
６１：傾斜面
６２：先端部
６３：コア
６４：クラッド
７１：先球ファイバ
７２：先端部
８１：CCDカメラ
８２：モニタ
１０１：対物レンズ
１０２：ハーフミラー
１０３：接眼レンズ
１０４：観測面
１０５：集光レンズ
１０６：光源
１２１：先端形状
１２２：ＬＤ
１２３：パッケージ
１２４：ＬＤモジュール
１２５：半田
１２６：光ファイバ
１２７：メタライズ
Ａ：方向指示符号
Ｂ：方向指示符号
Ｃ：方向指示符号
Ｄ：方向指示符号
ＬＡ：光源反射像寸法
ＬＢ：中心位置ずれ量
ＬＣ：サンプリング寸法
ＬＦ：曲率半径
Ｄ１：コア径
Ｄ２：クラッド径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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