(57)【要約】【課題】  本発明は、積層される複数の装置を識別しつつ、容易に積層装置を製造することができる技術を提供することを目的とする。【解決手段】端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置を提供する。ここで、マスタ装置は、隣接するスレーブ装置の端子に識別コマンドを入力するコマンド送信手段を有する。また、スレーブ装置は、隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、識別コマンドに基づいて自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、を有し、隣接するスレーブ装置同士を接続する端子の位置はスレーブ装置ごとに異なっており、各スレーブ装置のコマンド受信手段は、スレーブ装置毎に接続位置が異なる貫通配線を通過することにより、各スレーブ装置毎に異なる値に変化した識別コマンドを受信することを特徴とする。【選択図】      図３
2006040261.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置であって、
前記マスタ装置は、
隣接するスレーブ装置の端子に識別コマンドを入力するコマンド送信手段と、
前記識別コマンドに応じて設定された各スレーブ装置の識別ＩＤを、各スレーブ装置から受信する識別ＩＤ受信手段と、
各スレーブ装置と各識別ＩＤとの対応付けを記憶する対応付け記憶手段とを有し、
前記スレーブ装置は、
隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、
前記識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、
前記識別コマンドに基づいて自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、を有し、
前記隣接するスレーブ装置同士を接続する端子の位置はスレーブ装置ごとに異なっており、各スレーブ装置の前記コマンド受信手段は、前記スレーブ装置毎に接続位置が異なる貫通配線を通過することにより、各スレーブ装置毎に異なる値に変化した識別コマンドを受信することを特徴とする、積層装置。
【請求項２】
各スレーブ装置は、
前記識別コマンドが入力される端子は、前記識別コマンドの入力前は所定の電位（以下、第１電位という）にクランプされており、
前記コマンド受信手段が受信する識別コマンドは、前記端子の電位が、前記貫通配線を介した識別コマンドの入力により前記第１電位から変化することにより生成されることを特徴とする、請求項１に記載の積層装置。
【請求項３】
端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置であって、
前記マスタ装置は、
隣接するスレーブ装置の端子に識別コマンドを入力する第１コマンド送信手段と、
前記識別コマンドに応じて設定された各スレーブ装置の識別ＩＤを、各スレーブ装置から受信する識別ＩＤ受信手段と、
各スレーブ装置と各識別ＩＤとの対応付けを記憶する対応付け記憶手段とを有し、
前記スレーブ装置は、
隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、
前記マスタ装置または隣接するスレーブ装置から識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、
前記識別コマンドの受信により自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、
受信した識別コマンドを、各スレーブ装置固有の識別コマンドに変更するコマンド変更手段と、
変更された識別コマンドを前記貫通配線を介して隣接するスレーブ装置に入力する第２コマンド送信手段と、有することを特徴とする、積層装置。
【請求項４】
前記識別ＩＤ設定手段が識別ＩＤを設定すると、前記識別ＩＤの設定を完了したことを示す完了通知を、前記貫通配線を介して前記マスタ装置に送信する完了通知送信手段とをさらに含むことを特徴とする、請求項３に記載の積層装置。
【請求項５】
端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置のマスタ装置であって、
隣接するスレーブ装置の端子に識別コマンドを入力するコマンド送信手段と、
前記識別コマンドに応じて設定された各スレーブ装置の識別ＩＤを、各スレーブ装置から受信する識別ＩＤ受信手段と、
各スレーブ装置と各識別ＩＤとの対応付けを記憶する対応付け記憶手段と、
を含むことを特徴とする、マスタ装置。
【請求項６】
端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置のスレーブ装置であって、
隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、
前記マスタ装置から識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、
前記識別コマンドに基づいて自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、を有し、
前記隣接するスレーブ装置同士を接続する端子の位置はスレーブ装置ごとに異なっており、各スレーブ装置の前記コマンド受信手段は、前記スレーブ装置毎に接続位置が異なる貫通配線を通過することにより、各スレーブ装置毎に異なる値に変化した識別コマンドを受信することを特徴とするスレーブ装置。
【請求項７】
端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置のスレーブ装置であって、
隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、
前記マスタ装置または隣接するスレーブ装置から識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、
受信した識別コマンドを、各スレーブ装置固有の識別コマンドに変更するコマンド変更手段と、
変更された識別コマンドを前記貫通配線を介して隣接するスレーブ装置に入力する第２コマンド送信手段と、
前記識別コマンドの受信により自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、
を含むことを特徴とするスレーブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスタ装置及び複数のスレーブが積層された積層装置、そのスレーブ装置及びマスタ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種処理をそれぞれ実行する複数の半導体装置と、各半導体装置を制御するＣＰＵなどの制御装置とがボード上に積層されて構成される積層装置が開発されている。このようにボード上に半導体装置を積層することで、半導体装置を含む製品を小型化、軽量化することができる。ここで、各半導体装置には、ウェハ上で製造する段階で予め固有の識別ＩＤを付されている。制御装置は、この固有の識別ＩＤに基づいてそれぞれの半導体装置にアクセスし、半導体装置毎に制御を行うことができる。
【０００３】
また、特許文献１には、３次元実装されている各半導体装置を識別する方法が開示されている。図３２は前記特許文献１の３次元積層半導体装置の構成図である。図３２に示すように、第１半導体装置１の上に同一の端子構造を有する第２、第３半導体装置２、３が積層されている。各半導体装置では、基板内部を貫通する貫通配線により表裏面が電気的に接続されている。また、各半導体装置の同位置の端子同士が接触している。この構成により、各装置を制御するための信号が、制御装置から第１、第２、第３半導体装置１、２、３に共通に送信される。
【０００４】
各半導体装置は、各種制御信号が入力される制御端子と、各装置を選択状態とするための選択信号が入力されるＣＳ（Chip Select）端子が設けられている。第１半導体装置１の制御端子としては、例えば制御端子１２ａ及び制御端子１２ｂが挙げられる。また、第１半導体装置１のＣＳ端子としては、ＣＳ端子１１ａ、１１ｂ、１３ａ、１３ｂ、１５ａ、１５ｂが挙げられる。第１半導体装置１の裏面１ａの制御端子１２ａと表面１ｂの制御端子１２ｂとが垂直貫通配線５１を介して接続されている。ここで、垂直貫通配線は、表裏面に対して垂直な貫通配線であり、各種制御信号を送信する。また、第１半導体装置１の表面１ｂの制御端子１２ｂと第２半導体装置２の裏面２ａの制御端子１８ａとが接触しており、第２半導体装置２の表面２ｂの制御端子１８ｂと第３半導体装置３の裏面３ａの制御端子２０ａとが接触している。この構成により、互いに接触している各端子及び垂直貫通配線を介して、第１、第２、第３半導体装置１０、２０、３０に共通の制御信号が送信される。
【０００５】
また、第１の半導体装置１の裏面１ａのＣＳ端子１１ａ、１３ａ、１５ａと、表面１ｂのＣＳ端子１１ｂ、１３ｂ、１５ｂとが斜め貫通配線３１、３３、３５を介して接続されている。ここで、斜め貫通配線は、半導体装置の表裏面を貫通し、表裏面に対して斜めに交差する貫通配線である。また、第１半導体装置１の表面１ｂのＣＳ端子１１ｂと第２半導体装置２の裏面２ａのＣＳ端子１７ａとが接触しており、第１半導体装置１の表面１ｂのＣＳ端子１３ｂと第２半導体装置２の裏面２ａのＣＳ端子１９ａとが接触している。その他のＣＳ端子及び斜め貫通配線も図３２に示すように互いに接続されている。ここで、第１半導体装置１下部に設けられた制御装置（図示せず）は、各半導体装置を選択状態とするための選択信号を所定の端子を介して送信することで、所望の半導体装置にアクセスすることができる。
【０００６】
例えば、第１半導体装置１のＣＳ端子１１ａから送信された選択信号は、ＣＳ端子１１ａ→貫通配線３１→ＣＳ端子１１ｂ→ＣＳ端子１７ａ→貫通配線３７→ＣＳ端子１７ｂ→ＣＳ端子２１ａ→貫通配線４１→ＣＳ端子２１ｂを介して第３半導体装置３のＣＳ端子２１ｂに到達する。これにより、第３半導体装置３が選択状態となり、第３半導体装置３は制御装置から制御端子及び垂直貫通配線を介して各種制御信号を受信する。同様に、第１半導体装置１のＣＳ端子１３ａから送信された選択信号は、ＣＳ端子１３ａ→貫通配線３３→ＣＳ端子１３ｂ→ＣＳ端子１９ａ→貫通配線３９→ＣＳ端子１９ｂを介して第２半導体装置２のＣＳ端子１９ｂに到達する。これにより、第２半導体装置２が選択状態となる。さらに、第１半導体装置１のＣＳ端子１５ａから送信された選択信号は、ＣＳ端子１５ａ→貫通配線３５→ＣＳ端子１５ｂを介して第１半導体装置１のＣＳ端子１５ｂに到達する。これにより、第１半導体装置１が選択状態となる。
【０００７】
以上のようにＣＳ端子を選択して選択信号を送信することで、各半導体装置に個別にアクセスすることができる。
【特許文献１】特開２００２−５０７３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、ウェハ上での製造段階で予め固有の識別ＩＤを付している場合には、各半導体装置を制御する制御装置に予め設定された識別ＩＤを記憶させる必要がある。よって、どの識別ＩＤの半導体装置を積層しているのかを管理する必要がある。特に、ウェハ上では大量の半導体装置が製造されるため、個々に付された識別ＩＤにより半導体装置を管理することは非常に煩雑である。
【０００９】
また、特許文献１では、ＣＳ端子及び斜め貫通配線の接続により各半導体装置を識別できるため、ウェハ製造時に各半導体装置に固有の識別ＩＤを付する必要がない。しかし、１つのＣＳ端子を介して各半導体装置のみにアクセス可能とするには、斜め貫通配線及び各ＣＳ端子の組み合わせを考慮した上で各半導体装置を積層する必要がある。つまり、上記図３２において、ＣＳ端子１１ａからは第３半導体装置３のみにアクセス可能であり、ＣＳ端子１３ａからは第２半導体装置２のみにアクセス可能であり、ＣＳ端子１５ａからは第１半導体装置１のみにアクセス可能である。よって、ＣＳ端子とアクセス先の半導体装置の積層場所との組み合わせを考慮しつつ各半導体装置を積層する必要がある。
【００１０】
また、特許文献１においては、半導体装置を個別に選択状態とするために、特に斜め貫通配線を形成する必要がある。斜めの貫通配線を形成するには特殊加工が必要であり、精度良く形成するのは容易ではない。また、制御端子同士の接続に用いる垂直貫通配線とＣＳ端子同士の接続に用いる斜め貫通配線との２種類の貫通配線を設ける必要があり、製造工程が複雑となる。
【００１１】
そこで、本発明は、積層装置において積層される複数の装置を識別しつつ、容易に積層装置を製造することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願第１発明は、上記の課題を解決するために、端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置を提供する。
【００１３】
ここで、前記マスタ装置は、隣接するスレーブ装置の端子に識別コマンドを入力するコマンド送信手段と、前記識別コマンドに応じて設定された各スレーブ装置の識別ＩＤを、各スレーブ装置から受信する識別ＩＤ受信手段と、各スレーブ装置と各識別ＩＤとの対応付けを記憶する対応付け記憶手段とを有する。
【００１４】
また、前記スレーブ装置は、隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、前記識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、前記識別コマンドに基づいて自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、を有し、前記隣接するスレーブ装置同士を接続する端子の位置はスレーブ装置ごとに異なっており、各スレーブ装置の前記コマンド受信手段は、前記スレーブ装置毎に接続位置が異なる貫通配線を通過することにより、各スレーブ装置毎に異なる値に変化した識別コマンドを受信する。
【００１５】
端子配置が同一であるとは、例えばアドレス端子、リード／ライト端子、ＣＳ（Chip Select）端子などの各端子の配置が、スレーブ装置及びマスタ装置において同一であることを意味する。スレーブ装置は、例えば識別コマンドが入力されるＣＳ端子を少なくとも積層数分有している。また、識別コマンドは、例えば積層分のビット数からなるコマンドである。各スレーブ装置の少なくとも１のＣＳ端子同士は、スレーブ装置を貫通する貫通配線を介して接続されており、各ＣＳ端子は第１電位にクランプされている。ここで、貫通配線の設置位置を異ならせることで、ＣＳ端子同士の接続の組み合わせをスレーブ装置毎に異ならせる。例えば、あるＣＳ端子同士を貫通配線により電気的に接続すると、対応する１ビット分の識別コマンドがマスタ装置から送信され、そのＣＳ端子の電位が第１電位から変化する。一方、別のＣＳ端子同士の接続部分には貫通配線を設けないことで、そのＣＳ端子には識別コマンドが入力されず電位の変化は生じない。
【００１６】
このような構成に構成することで、マスタ装置が送信した識別コマンドは各スレーブ装置が受信するときには、スレーブ装置毎に異なる情報となる。スレーブ装置の識別ＩＤ設定手段は、このスレーブ装置毎に異なる識別コマンドに応じて各スレーブ装置固有の識別ＩＤを設定する。よって、マスタ装置は、各スレーブ装置の同一端子構成の端子同士が貫通配線を介して接続されている場合であっても、設定された識別ＩＤにより各スレーブ装置にアクセスすることができる。例えば、まずマスタ装置は制御を行うスレーブ装置を識別ＩＤに基づいて選択し、該当するスレーブ装置を選択状態とする。その後、該当するスレーブ装置にコマンドを送信して各種制御を行わせる。ここで、識別ＩＤは、例えば各スレーブ装置のみにアクセスするための選択信号線を識別するための情報でもあり得る。スレーブ装置毎に固有の選択信号線を設定することで、各スレーブ装置のみを選択状態とすることができる。
【００１７】
また、同一端子構成の対応する端子同士を貫通配線により接続するため、貫通配線はスレーブ装置に対して垂直に形成することができる。よって、例えば貫通配線をスレーブ装置に対して傾きを有して形成するなど複雑な製造工程が不要であり、容易に積層装置を製造可能である。
【００１８】
また、識別ＩＤがまだ設定されていないスレーブ装置を積層して積層装置を製造し、その積層装置の初期設定時に前述のような識別ＩＤの設定を行うこともできる。初期設定終了後は、マスタ装置は設定された各識別ＩＤに基づいて各スレーブ装置にアクセスする。このように、積層装置として構成される前のスレーブ装置が識別ＩＤを有していなくても、積層装置製造後に識別ＩＤを設定することができる。言い換えると、積層装置製造前においては各スレーブ装置に識別ＩＤを付しておく必要がない。よって、ウェハ上でチップ形態のスレーブ装置を大量に製造する際に、各スレーブ装置に識別ＩＤを付す必要がない。これにより、ダイシング後の各スレーブ装置を識別ＩＤにより管理するという煩雑さをなくすことができる。例えば、ウェハからダイシングされた大量のスレーブ装置の中から、識別ＩＤに応じてスレーブ装置を選択するなど煩雑な作業を行う必要がない。
【００１９】
また、各スレーブ装置は、積層後の貫通配線の接続構成に応じた識別コマンドを受信する。そして、スレーブ装置は、その識別コマンドに応答して識別ＩＤを設定するため、スレーブ装置の積層時に積層順など積層方法を考慮する必要がない。よって、例えば任意に各スレーブ装置を積層することが可能であり、容易に積層装置を製造することが可能である。
【００２０】
また、識別コマンドが入力されるスレーブ装置のＣＳ端子は、貫通配線を介して互いに接続されている。つまり、識別コマンドを受信するための各スレーブ装置専用のＣＳ端子が不要である。さらに、識別コマンドは各スレーブ装置の通過により変化するため、各スレーブ装置に対して各スレーブ装置固有の識別コマンドを入力する必要もない。
【００２１】
本願第２発明は、第１発明において、各スレーブ装置は、前記識別コマンドが入力される端子は、前記識別コマンドの入力前は所定の電位（以下、第１電位という）にクランプされており、前記コマンド受信手段が受信する識別コマンドは、前記端子の電位が、前記貫通配線を介した識別コマンドの入力により前記第１電位から変化することにより生成されることを特徴とする積層装置を提供する。
【００２２】
各スレーブ装置は、複数のＣＳ（Chip Select）端子を有しており対応するＣＳ端子は貫通配線を介して接続される。ここで、貫通配線の接続構成はスレーブ装置毎に異なるように接続される。貫通配線により各ＣＳ端子同士が接続されている場合は、各ＣＳ端子の電位は、識別コマンドに応じた電位を受けて所定の電位から変化する。一方、貫通配線により接続されていないＣＳ端子は所定の電位にクランプされたままとなる。識別コマンドは、各ＣＳ端子がクランプされたままであるか、識別コマンドに応じて変化するかにより生成される。
【００２３】
具体的に３つのスレーブ装置を積層する場合を例に挙げて説明する。マスタ装置に隣接している順に、第１スレーブ装置Ａ、第２スレーブ装置Ｂ、第３スレーブ装置Ｃとし、それぞれ３つのＣＳ端子を有しているとする。ここで、第１スレーブ装置Ａは第１ＣＳ端子Ａ１、第２ＣＳ端子Ａ２、第３ＣＳ端子Ａ３を有しており、第２スレーブ装置Ｂは第１ＣＳ端子Ｂ１、第２ＣＳ端子Ｂ２、第３ＣＳ端子Ｂ３を有しており、第３スレーブ装置Ｃは第１ＣＳ端子Ｃ１、第２ＣＳ端子Ｃ２、第３ＣＳ端子Ｃ３を有しているものとする。また、各ＣＳ端子は第１電位にクランプされており、第１ＣＳ端子Ａ１，Ｂ１，Ｃ１のＣＳ端子配置、第２ＣＳ端子Ａ２，Ｂ２，Ｃ２のＣＳ端子配置、第３ＣＳ端子Ａ３，Ｂ３，Ｃ３のＣＳ端子配置は同一であるとする。さらに、第２ＣＳ端子Ａ２及び第２ＣＳ端子Ｂ２を第２スレーブ装置Ｂを貫通する貫通配線を介して接続する。これにより、マスタ装置と、１番目に離隔しているスレーブ装置Ａの第２ＣＳ端子Ａ２と、２番目に離隔しているスレーブ装置Ｂの第２ＣＳ端子Ｂ２とを電気的に接続する。また、第３ＣＳ端子Ａ３及び第３ＣＳ端子Ｂ３を第２スレーブ装置Ｂを貫通する貫通配線を介して接続するとともに、第３ＣＳ端子Ｂ３及び第３ＣＳ端子Ｃ３を第３スレーブ装置Ｃを貫通する貫通配線を介して接続する。これにより、マスタ装置と、１番目に離隔しているスレーブ装置Ａの第３ＣＳ端子Ａ３と、２番目に離隔しているスレーブ装置Ｂの第３ＣＳ端子Ｂ３と、３番目に離隔しているスレーブ装置Ｃの第３ＣＳ端子Ｃ３とを電気的に接続する。
【００２４】
ここで、第１電位にクランプされた第１ＣＳ端子Ａ１、第２ＣＳ端子Ａ２、第３ＣＳ端子Ａ３の状態を（１，１，１）のビットで表すものとする。そして、第１ＣＳ端子Ａ１、第２ＣＳ端子Ａ２、第３ＣＳ端子Ａ３にそれぞれに（０，０，０）の組み合わせからなる識別コマンドが入力されるとする。すると、第１ＣＳ端子Ａ１、第２ＣＳ端子Ａ２、第３ＣＳ端子Ａ３の状態は、（１，１，１）から（０，０，０）に変化する。よって、第１スレーブ装置Ａは、第１ＣＳ端子Ａ１、第２ＣＳ端子Ａ２、第３ＣＳ端子Ａ３から（０，０，０）を受信する。ここで、（０，０，０）は、マスタ装置からの識別コマンドに応じて第１スレーブ装置Ａが受信する識別コマンドである。第２スレーブ装置Ｂの第１ＣＳ端子Ｂ１は、第１ＣＳ端子Ｂ１及び第１ＣＳ端子Ａ１が接続されていないため、第１電位にクランプされたままである。よって、第２スレーブ装置Ｂは、（１，０，０）の識別コマンドを受信する。さらに、第３スレーブ装置Ｃの第１ＣＳ端子Ｃ１及び第２ＣＳ端子Ｃ２は、第１ＣＳ端子Ｃ１及び第１ＣＳ端子Ｂ１が接続されておらず、第２ＣＳ端子Ｃ２及び第２ＣＳ端子Ｂ２が接続されていないため、第１電位にクランプされたままである。よって、第３スレーブ装置Ｃは、（１，１，０）の識別コマンドを受信する。以上のように、マスタ装置が送信した識別コマンドは、スレーブ装置毎に異なる値に変化する。スレーブ装置の識別ＩＤ設定手段がこの識別コマンドに応じて各スレーブ装置固有の識別ＩＤを設定することで、マスタ装置は識別ＩＤにより各スレーブ装置を識別することができる。
【００２５】
本願第３発明は、端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置を提供する。
【００２６】
ここで、前記マスタ装置は、隣接するスレーブ装置の端子に識別コマンドを入力する第１コマンド送信手段と、前記識別コマンドに応じて設定された各スレーブ装置の識別ＩＤを、各スレーブ装置から受信する識別ＩＤ受信手段と、各スレーブ装置と各識別ＩＤとの対応付けを記憶する対応付け記憶手段とを有する。
【００２７】
また、前記スレーブ装置は、隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、前記マスタ装置または隣接するスレーブ装置から識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、前記識別コマンドの受信により自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、受信した識別コマンドを、各スレーブ装置固有の識別コマンドに変更するコマンド変更手段と、変更された識別コマンドを前記貫通配線を介して隣接するスレーブ装置に入力する第２コマンド送信手段と有する。
【００２８】
各スレーブ装置は、受信した識別コマンドを変更し、隣接するスレーブ装置に出力する。よって、各スレーブ装置は固有の識別コマンドを受信し、その固有の識別コマンドに基づいて各スレーブ装置固有の識別ＩＤを設定することができる。
【００２９】
本願第４発明は、第３発明において、前記識別ＩＤ設定手段が識別ＩＤを設定すると、前記識別ＩＤの設定を完了したことを示す完了通知を、前記貫通配線を介して前記マスタ装置に送信する完了通知送信手段とをさらに含むことを特徴とする積層装置を提供する。
【００３０】
完了通知送信手段がマスタ装置に対して完了通知を送信するため、マスタ装置は各スレーブ装置が識別ＩＤの設定を完了したか否かを判定することができる。例えば、マスタ装置は、識別コマンドの送信後から所定時間が経過してもスレーブ装置からの完了通知を受信しない場合は、各スレーブ装置での識別ＩＤの設定が完了したと判断する。スレーブ装置の積層数は製品が求める機能により変更され固定の情報ではない。そのため、マスタ装置はスレーブ装置の積層数を把握していない。よって、マスタ装置は、各スレーブ装置での識別ＩＤの設定完了を知ることにより、設定完了を待ち続ける無駄を省くことができる。また、マスタ装置は、完了通知と同時に次の動作に移行することができる。
【００３１】
本願第５発明は、端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置のマスタ装置であって、隣接するスレーブ装置の端子に識別コマンドを入力するコマンド送信手段と、前記識別コマンドに応じて設定された各スレーブ装置の識別ＩＤを、各スレーブ装置から受信する識別ＩＤ受信手段と、各スレーブ装置と各識別ＩＤとの対応付けを記憶する対応付け記憶手段とを含むことを特徴とする、マスタ装置。
【００３２】
マスタ装置は、各識別ＩＤに基づいて各スレーブ装置にアクセスすることができる。また、スレーブ装置製造後に識別ＩＤを設定することができるので、製造時には各スレーブ装置には固有の識別ＩＤを付す必要がない。よって、ウェハ上でチップ形態のスレーブ装置を大量に製造する場合において、識別ＩＤにより各スレーブ装置を管理するという煩雑さがなく管理が容易である。
【００３３】
本願第６発明は、端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置のスレーブ装置であって、隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、前記マスタ装置から識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、前記識別コマンドに基づいて自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、を有し、前記隣接するスレーブ装置同士を接続する端子の位置はスレーブ装置ごとに異なっており、各スレーブ装置の前記コマンド受信手段は、前記スレーブ装置毎に接続位置が異なる貫通配線を通過することにより、各スレーブ装置毎に異なる値に変化した識別コマンドを受信することを特徴とするスレーブ装置を提供する。
【００３４】
この構成により、本願第１発明と同様の作用効果を得ることができる。
【００３５】
本願第７発明は、端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置のスレーブ装置であって、隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、前記マスタ装置または隣接するスレーブ装置から識別コマンドを受信するコマンド受信手段と、受信した識別コマンドを、各スレーブ装置固有の識別コマンドに変更するコマンド変更手段と、変更された識別コマンドを前記貫通配線を介して隣接するスレーブ装置に入力する第２コマンド送信手段と、前記識別コマンドの受信により自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段と、を含むことを特徴とするスレーブ装置を提供する。この構成により、本願第３発明と同様の作用効果を得ることができる。
【００３６】
さらに、本願においては、端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される以下の積層装置を提供することもできる。
【００３７】
ここで、前記マスタ装置は、隣接するスレーブ装置の端子に、乱数の発生を開始させる乱数発生コマンドを入力するコマンド送信手段と、各スレーブ装置が発生した乱数を受信し、互いに異なる値の乱数であるかを判断する判断手段と、前記乱数発生コマンドに応じて設定された各スレーブ装置の識別ＩＤを、各スレーブ装置から受信する識別ＩＤ受信手段と、各スレーブ装置と各識別ＩＤとの対応付けを記憶する対応付け記憶手段とを有する。
【００３８】
また、前記スレーブ装置は、隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、前記乱数発生コマンドを受信するコマンド受信手段と、前記乱数発生コマンドに応答して乱数を発生し、発生した乱数を前記マスタ装置に送信する乱数発生手段と、前記マスタ装置の判断手段での判断結果に基づいて、自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段とを有する。
【００３９】
マスタ装置は、各スレーブ装置内部で発生した乱数を受信し、その乱数が全て異なるかどうかを判定する。各スレーブ装置は、発生した乱数が全て異なる場合は、各スレーブ装置が発生した乱数に基づいて固有の識別ＩＤを設定する。よって、同一端子構成のスレーブ装置を積層した積層装置であっても、マスタ装置はその識別ＩＤに基づいてスレーブ装置毎に制御を行うことができる。
【００４０】
また、スレーブ装置の物理的な配線構成や接続状態を変更することなく、各スレーブ装置を識別可能な識別ＩＤを設定することができる。さらに、スレーブ装置の積層数に応じてスレーブ装置に設ける端子数や物理的な接続状態を変更する必要もない。
【００４１】
さらに、本願においては、前記スレーブ装置は、識別ＩＤを記憶する識別ＩＤ記憶手段をさらに含むと好ましい。また、前記識別ＩＤ記憶手段は、不揮発性メモリであることが好ましい。これにより、識別ＩＤのデータの揮発を防ぐことができる。また、前記識別ＩＤ記憶手段は、前記積層装置組みたて前の検査時に前記識別ＩＤを記憶することが好ましい。
【００４２】
さらに、本願においては、端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層される積層装置のマスタ装置であって、隣接するスレーブ装置の端子に、乱数の発生を開始させる乱数発生コマンドを入力するコマンド送信手段と、各スレーブ装置が発生した乱数を受信し、互いに異なる値の乱数であるかを判断する判断手段とを含み、前記コマンド送信手段は、前記判断手段が各スレーブ装置からの乱数の値が異なると判断した場合は、識別ＩＤ決定コマンドを前記スレーブ装置に送信することを特徴とするマスタ装置を提供することもできる。
【００４３】
スレーブ装置は、識別ＩＤ決定コマンドを受信すると、自装置が発生した乱数に基づいて自装置の識別ＩＤを設定する。これにより、上記と同様の作用効果を得ることができる。
【００４４】
ここで、前記スレーブ装置の積層数を記憶する積層数記憶手段と、前記積層数に基づいて、前記スレーブ装置が発生する乱数の範囲を示す範囲情報を決定する範囲設定手段とをさらに含み、前記コマンド生成手段は、前記範囲情報を含む乱数発生コマンドを生成することが好ましい。
【００４５】
さらに、各スレーブ装置はそれぞれ内部抵抗を有しており、それぞれの内部抵抗を介して各スレーブ装置を互いに接続する第１配線と、前記第１配線と接続されており、前記スレーブ装置の接続数に応じて前記第１配線に出力される電位を検出する電位検出手段と、検出された電位に応じて前記スレーブ装置の接続数を算出する接続数算出手段と、を含むことを特徴とするマスタ装置を提供することが好ましい。  第１配線にはスレーブ装置の接続数に応じた電位が出力されるため、マスタ装置は、これに基づいてスレーブ装置の接続数を把握することができる。よって、予め接続数を記憶しておく必要がないため、積層装置におけるスレーブ装置の積層数の自由度が高まる。例えば、急な積層数の変更も対応可能である。
【発明の効果】
【００４６】
本発明を用いれば、積層装置において積層される複数の装置を識別しつつ、容易に積層装置を製造することができる技術を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
＜第１実施形態例＞
（積層装置の概要）
図１Ａは本発明の第１実施形態例に係る積層装置の概略図、図１Ｂは図１Ａのスレーブ装置に及びマスタ装置の端子構成を示す概略図である。積層装置１０００は、積層される各スレーブ装置を制御するマスタ装置１００、マスタ装置からの命令に応じて各種制御を行う第１〜第３スレーブ装置１１０、１２０及び１３０が順に積層されている。マスタ装置１００及び各スレーブ装置の端子αは、各端子の平面図である図１Ｂに示すように同一端子配置で構成されている。よって、マスタ装置１００及び各スレーブ装置を積層すると、各装置の端子α同士が接触する。また、各スレーブ装置には、基板からなるスレーブ装置を貫通する貫通配線βが各端子に対応するように設けられている。なお、貫通配線の設置位置については後述するが、貫通配線を設けない位置がある。このように、同一端子配置での装置が積層されるとともに、貫通配線により対応する端子同士が接続されることで、マスタ装置からの各種命令が各端子及び貫通配線を介して各スレーブ装置に送信される。
【００４８】
（各スレーブ装置へのアクセスの概要）
図２は、本発明の第１実施形態例に係る積層装置のバス配線構成を示す概念図である。バス配線には、各スレーブ装置を選択状態とするための選択信号線（第１〜第３選択信号線１７１、１７２、１７３）とデータ信号線１７５とが含まれる。マスタ装置１００は、第１選択信号線１７１を介して第１スレーブ装置１１０と接続され、第２選択信号線１７２を介して第２スレーブ装置１２０と接続され、第３選択信号線１７３を介して第３スレーブ装置１３０と接続される。また、マスタ装置１００は、データ信号線１７５を介してそれぞれ第１〜第３スレーブ装置１１０〜１３０と接続される。ここで、マスタ装置１００が各選択信号線を介して所望のスレーブ装置にアクセスし、その後データ信号線１７５を介してアクセス先のスレーブ装置にのみデータを送信する。例えば、第１スレーブ装置１１０に各種制御を行わせる場合には、マスタ装置１００は第１選択信号線１７１を介して選択信号を送信して第１スレーブ装置１１０を選択状態とし、データ信号線１７５を介して第１スレーブ装置１１０に制御信号を送信する。このようにすることで、同一端子配置のスレーブ装置を積層した場合であっても、任意のスレーブ装置にのみ所望の制御を行わせることができる。
【００４９】
（積層装置の具体的構成）
（１）全体構成
図３は、第１実施形態例に係る積層装置の断面の構成図である。積層装置１０００は、マスタ装置１００、第１スレーブ装置１１０、第２スレーブ装置１２０及び第３スレーブ装置１３０が積層されている。マスタ装置１００、第１〜第３スレーブ装置１１０〜１３０の端子は、上述の図１Ｂに示すように同一端子構成を有している。また、端子には、各スレーブ装置に各種処理を行わせるための制御信号が入力される複数の制御端子と、マスタ装置１００からの識別コマンドが入力される複数のＣＳ端子とが含まれる。ここでは、スレーブ装置を３つ積層する例を示したが、積層数は限定されない。
【００５０】
（２）ＣＳ端子構成及び貫通配線を介したＣＳ端子の接続構成
マスタ装置１００の表面１００ｂ上の第１ＣＳ端子１０１ｂ、第２ＣＳ端子１０３ｂ、第３ＣＳ端子１０５ｂは、マスタ装置１００からの識別コマンドを上部に積層された各スレーブ装置に送信する端子である。ここで、識別コマンドとは、各スレーブ装置を識別する識別ＩＤの設定を各スレーブ装置に行わせるためのコマンドであり、例えば積層分のビット数から構成されるコマンドである。例えば、図３に示すようにスレーブ装置が３つ積層されている場合は、識別コマンドは例えば（０，０、０）の３ビットからなるコマンドから構成される。ここで、識別コマンド（０，０，０）について、左から順に第１ビット、第２ビット、第３ビットというものとする。よって、第１ＣＳ端子１０１ｂから第１ビット“０”が送信され、第２ＣＳ端子１０３ｂから第２ビット“０”が送信され、第３ＣＳ端子１０５ｂから第３ビット“０”が送信される。
【００５１】
各スレーブ装置もまた、マスタ装置１００と同一の配置位置に各ＣＳ端子を有している。これらのマスタ装置１００及び各スレーブ装置のＣＳ端子は、少なくともスレーブ装置の積層数分設けられている。また、各ＣＳ端子は、識別コマンドの入力前は、例えば電源またはグランドなどの所定の電位（以下、第１電位といい、“１”で表すものとする。）にクランプされている。そして、各スレーブ装置のＣＳ端子同士の一部は、貫通配線１５１、１５３、１５５を介して接続される。つまり、あるＣＳ端子同士は貫通配線を介して接続するが、別のＣＳ端子同士は貫通配線を介して接続しないなど、貫通配線の設置位置をスレーブ装置毎に異ならせる。なお、貫通配線は、基板状のスレーブ装置を貫通する配線であり、基板の主面に対して概ね垂直に形成されている。次に具体的なＣＳ端子構成及び貫通配線を介したＣＳ端子の接続構成を図３に沿って説明する。
【００５２】
マスタ装置１００の表面１００ｂ上の第１ＣＳ端子１０１ｂ、第２ＣＳ端子１０３ｂ、第３ＣＳ端子１０５ｂは、それぞれ第１スレーブ装置１１０の裏面１１０ａ上の第１ＣＳ端子１１１ａ、第２ＣＳ端子１１３ａ、第３ＣＳ端子１１５ａと接触している。また、第１スレーブ装置１１０の裏面１１０ａ上の第２ＣＳ端子１１３ａ、第３ＣＳ端子１１５ａは、それぞれ貫通配線１５１、１５３を介して、第１スレーブ装置１１０の表面１１０ｂ上の第２ＣＳ端子１１３ｂ、第３ＣＳ端子１１５ｂと接続されている。さらに、第１スレーブ装置１１０の表面１１０ｂ上の第２ＣＳ端子１１３ｂ、第３ＣＳ端子１１５ｂは、それぞれ第２スレーブ装置１２０の裏面１２０ａ上の第２ＣＳ端子１２３ａ、第３ＣＳ端子１２５ａと接触している。そして、第３ＣＳ端子１２５ａは、貫通配線１５５を介して、第２スレーブ装置１２０の表面１２０ｂ上の第３ＣＳ端子１２５ｂと接続されている。また、第３ＣＳ端子１２５ｂは、第３スレーブ装置１３０の裏面１３０ａ上の第３ＣＳ端子１３５ａと接続されている。よって、第１ＣＳ端子１１１ａと、第２ＣＳ端子１１３ａ、１１３ｂ、１２３ａと、第３ＣＳ端子１１５ａ、１１５ｂ、１２５ａ、１２５ｂ、１３５ａには、貫通配線を介して識別コマンドが入力される。
【００５３】
一方、第１スレーブ装置１１０の表面１１０ｂ上の第１ＣＳ端子１１１ｂは、表面１１０ａ上の対応する第１ＣＳ端子１１１ａと貫通配線を介して接続されていない。同様に、第２スレーブ装置１２０の表面１２０ａ上の第２ＣＳ端子１２３ａは、表面１２０ｂ上の対応する第２ＣＳ端子１２３ｂと貫通配線を介して接続されていない。よって、第１ＣＳ端子１１１ｂ、１２１ａ、１２１ｂ、１３１ａ、１３１ｂと、第２ＣＳ端子１２３ｂ、１３３ａ、１３３ｂとには識別コマンドが入力されない。
【００５４】
このようなＣＳ端子及び貫通配線の接続構成により、各スレーブ装置を識別可能とするための識別ＩＤの設定が可能となる。識別ＩＤの設定方法については後述する。
【００５５】
（３）制御端子構成及び貫通配線を介した制御端子の接続構成
各スレーブ装置の制御端子は同一の端子配置を有しており、それぞれ対応する制御端子が貫通配線を介して接続されている。同一端子構成を有しているとは、例えばアドレス端子、リード／ライト端子などの各端子の配置が同一であることを意味する。このように、同一の端子配置とすることで、マスタ装置１００から各スレーブ装置には同一の機能を有する信号が送信されることとなる。
【００５６】
各制御端子は、貫通配線を介して例えば次のように接続されている。図３に示すように、マスタ装置１００の表面１００ｂ上の制御端子１０７ｂと第１スレーブ装置１１０の裏面１１０ａ上の制御端子１１７ａとが接触し、第１スレーブ装置１１０の表面１１０ｂ上の制御端子１１７ｂと第２スレーブ装置１２０の裏面１２０ａ上の制御端子１２７ａとが接触し、第２スレーブ装置１２０の表面１２０ｂ上の制御端子１２７ｂと第３スレーブ装置１３０の裏面１３０ａ上の制御端子１３７ａとが接触している。さらに、制御端子１１７ａは貫通配線１６１を介して制御端子１１７ｂと接続され、制御端子１２７ａは貫通配線１６３を介して制御端子１２７ｂと接続され、制御端子１３７ａは貫通配線１６５を介して制御端子１３７ｂと接続されている。このような構成により、予め選択信号の送信により選択状態となっているスレーブ装置に、マスタ装置１００から制御信号が送信される。
【００５７】
（機能構成）
次に、識別ＩＤを設定するためのマスタ装置及び各スレーブ装置の機能構成について説明する。図４は、マスタ装置及びスレーブ装置の機能構成図である。
【００５８】
（１）マスタ装置
マスタ装置１００は、識別コマンド送信部１８７、識別ＩＤ受信部１８９、対応付け記憶手段１９０、選択信号送信部１９１、制御信号送信部１９２を含む。
【００５９】
識別コマンド送信部１８７は、識別コマンドを生成して、第１〜第３ＣＳ端子１０１ｂ、１０３ｂ、１０５ｂを介して各スレーブ装置に識別コマンドを送信する。識別ＩＤ受信部１８９は、各スレーブ装置が設定した各スレーブ装置固有の識別ＩＤを受信する。マスタ装置１００は、例えば、制御端子同士を接続する貫通配線を介して各スレーブ装置毎に識別ＩＤを受信する。なお、識別ＩＤ受信部１８９は、後述のように、識別ＩＤとしてスレーブ装置毎の選択信号線の情報を受信するようにしても良い。対応付け記憶手段１９１は、受信した識別ＩＤを各スレーブ装置に対応付けて記憶する。
【００６０】
選択信号送信部１９１は、必要な処理を実行可能なスレーブ装置を選択状態とするために、該当するスレーブ装置に選択信号を送信する。このとき、選択信号送信部１９１は、対応付け記憶手段１９１に記憶されている識別ＩＤに基づいて選択信号を生成し、該当するスレーブ装置に選択信号を送信する。例えば、選択信号は、アクセス先のスレーブ装置の識別ＩＤを含んで生成される。次に、制御信号送信部１９２は、選択状態としたスレーブ装置に各種制御を行わせるための制御信号を送信する。これにより、マスタ装置は、該当するスレーブ装置のみに所望の処理を実行させることができる。
【００６１】
（２）スレーブ装置の機能構成
各スレーブ装置は、コマンド受信部１８１、識別ＩＤ設定部１８２、識別ＩＤ記憶部１８３、選択信号受信部１８４、制御信号受信部１８５及び処理部１８６を含む。コマンド受信部１８１は、マスタ装置１００から各ＣＳ端子を介して識別コマンドを受信する。識別コマンドは、マスタ装置１００から各スレーブ装置に送信される。しかし、上述の図３に示すように、貫通配線により各スレーブ装置のＣＳ端子が接続されるか否かにより、識別コマンド（０，０，０）の全ビットが送信されない場合がある。例えば、第２スレーブ装置１２０の第１ＣＳ端子１２１ａは、識別コマンドの第１ビット“０”を受信できない。これは、第２スレーブ装置１２０下部の第１スレーブ装置１１０の第１ＣＳ端子１１１ｂが貫通配線により接続されていないためである。よって、第１ＣＳ端子１２１ａは、第１電位“１”にクランプされたままとなる。一方、第２スレーブ装置１２０の第２ＣＳ端子１２３ａ及び第３ＣＳ端子１２５ａは、識別コマンドの第２ビット“０”及び第３ビット“０”を受信する。よって、第２スレーブ装置１２０のコマンド受信部１８１は、、第１ＣＳ端子１２１ａ、第２ＣＳ端子１２３ａ、第３ＣＳ端子１２５ａを介して、識別コマンド（１，０，０）を受信する。
【００６２】
以上のように、各スレーブ装置のコマンド受信部１８１は、貫通配線の配置位置に応じてその値が変化した識別コマンドを受信する。図５は、図３に示す第１〜第３スレーブ装置１１０、１２０、１３０のコマンド受信部が受信する識別コマンドである。図３に示すように、貫通配線の配置位置がスレーブ装置毎に異なっているため、各スレーブ装置のコマンド受信部１８１が受信する識別コマンドの値は互いに異なる。
【００６３】
識別ＩＤ設定部１８２は、互いに異なる値の識別コマンドに基づいて自装置の識別ＩＤを設定する。前述の通り、識別コマンドの値は各スレーブ装置毎に異なるため、それに応じて識別ＩＤを設定することで、各スレーブ装置固有の識別ＩＤを設定することができる。識別ＩＤ記憶部１８３は、設定された自装置の識別ＩＤを記憶する。
【００６４】
選択信号受信部１８４は、例えば識別ＩＤを含む選択信号をマスタ装置の選択信号送信部１９１から受信する。また、選択信号受信部１８４は、識別ＩＤ記憶部１８３内の識別ＩＤと選択信号に含まれる識別ＩＤとを比較し、自装置が選択されているかどうかを判断する。ここで、自装置が選択されている場合は、選択信号受信部１８４は、制御信号受信部１８５にマスタ装置１００からの制御信号を受信するように命令する。制御信号受信部１８５は、その命令に応じて、マスタ装置１００の制御信号送信部１９２から制御端子を介して制御信号を受信する。
【００６５】
処理部１８６は、制御信号受信部１８５が受信した制御信号を処理し、各種制御を実行する。
【００６６】
なお、各スレーブ装置の識別ＩＤ設定部１８２は、後述のように識別コマンドに基づいて自装置を選択状態とするための選択信号線を認識するようにしても良い。そして、識別ＩＤ記憶部１８３は、識別ＩＤ設定部１８２が認識した選択信号線を記憶する。このようにスレーブ装置毎に選択信号線を設定することによっても、各スレーブ装置のみを選択状態とすることができる。
【００６７】
（識別ＩＤの設定処理）
次に、上記図３に示すＣＳ端子及び貫通配線の接続構成に基づいて、各スレーブ装置による識別ＩＤの設定処理について説明する。
【００６８】
（１）識別コマンドの送信前
識別コマンドが各スレーブ装置に送信される前は、各ＣＳ端子は全て第１電位“１”にクランプされている。次に、マスタ装置１００の識別コマンド送信部１８７が、３ビットの（０，０，０）で構成される識別コマンドを、第１〜第３ＣＳ端子１０１ｂ、１０３ｂ、１０５ｂを介して各スレーブ装置に送信する。つまり、第１ＣＳ端子１０１ｂから第１ビット“０”が送信され、第２ＣＳ端子１０３ｂから第２ビット“０”が送信され、第３ＣＳ端子１０５ｂから第３ビット“０”が送信される。この識別コマンドの送信により、各スレーブ装置及びマスタ装置は、識別ＩＤの設定モードに入る。
【００６９】
（２）識別コマンドの送信後
各スレーブ装置のコマンド受信部１８１は、貫通配線の設置位置に応じてその値が変化した識別コマンドを受信する。ここで、各スレーブ装置のコマンド受信部１８１のそれぞれは、前述の図５に示す識別コマンドを受信する。具体的に説明すると、第１スレーブ装置１１０の第１ＣＳ端子１１１ａは、マスタ装置１００の第１ＣＳ端子１０１ｂから識別コマンド（０，０，０）の第１ビット“０”を受信する。同様に、第１スレーブ装置１１０の第２ＣＳ端子１１３ａ及び第３ＣＳ端子１１５ａは、それぞれ第２ＣＳ端子１０３ｂ及び第３ＣＳ端子１０５ｂから識別コマンド（０，０，０）の第２ビット“０”及び第３ビット“０”を受信する。これにより、第１スレーブ装置１１０のコマンド受信部１８１は、識別コマンド（０，０，０）を受信する。
【００７０】
前述したように、第１スレーブ装置１１０の第１ＣＳ端子１１１ａ及び１１１ｂが貫通配線により接続されていないため、第２スレーブ装置１２０の第１ＣＳ端子１２１ａには、識別コマンド（０，０，０）の第１ビット“０”が到達しない。よって、第１ＣＳ端子１２１ａは、第１電位“１”にクランプされたままとなる。一方、第２スレーブ装置１２０の第２ＣＳ端子１２３ａ及び１２５ａには、貫通配線１５１及び１５３を介して識別コマンド（０，０，０）の第２ビット“０”及び第３ビット“０”が送信される。よって、第２スレーブ装置１２０のコマンド受信部１８１は、識別コマンド（１，０，０）を受信する。
【００７１】
さらに、第１スレーブ装置１１０の第１ＣＳ端子１１１ａ及び１１１ｂが貫通配線により接続されていないため、第３スレーブ装置１３０の第１ＣＳ端子１３１ａには、識別コマンド（０，０，０）の第１ビット“０”が到達しない。同様に、第２スレーブ装置１２０の第２ＣＳ端子１２３ａ及び１２３ｂが貫通配線により接続されていないため、第３スレーブ装置１３０の第２ＣＳ端子１３３ａには、識別コマンド（０，０，０）の第２ビット“０”が到達しない。よって、第１ＣＳ端子１３１ａ及び第２ＣＳ端子１３３ａは、第１電位“１”にクランプされたままとなる。一方、第３スレーブ装置１３０の第３ＣＳ端子１３５ａには、貫通配線１５３、貫通配線１５５及び第３ＣＳ端子１２５ｂを介して識別コマンド（０，０，０）の第３ビット“０”が送信される。よって、第３スレーブ装置１３０のコマンド受信部１８１は、識別コマンド（１，１，０）を受信する。
【００７２】
次に、各スレーブ装置の識別ＩＤ設定部１８２は、それぞれの識別コマンド（０，０，０）、（１，０，０）、（１，１，０）に基づいて、各スレーブ装置固有の識別ＩＤを設定する。識別ＩＤ記憶部１８３は、識別ＩＤ設定部１８２が設定した識別ＩＤを記憶する。
【００７３】
上記では、各スレーブ装置の識別ＩＤ設定部１８２は、識別コマンドに基づいて識別ＩＤを設定するとした。しかし、識別ＩＤ設定部１８２は、識別コマンドに基づいて自装置を選択状態とするための選択信号線を認識するようにしても良い。例えば、識別コマンドのうち“０”が出力される最上位ビットに基づいて各スレーブ装置を識別する。第１スレーブ装置１１０は、識別コマンド（０，０，０）を受信しており、“０”が出力される最上位ビットは識別コマンドの第１ビットである。よって、第１スレーブ装置の識別ＩＤ設定部１８２は、第１ＣＳ端子１１１ａを選択信号線と認識し、この第１ＣＳ端子１１１ａが“０”となる場合を自装置が選択されていると認識する。また、第２スレーブ装置１２０は、識別コマンド（１，０，０）を受信しており、“０”が出力される最上位ビットは識別コマンドの第２ビットである。よって、第２スレーブ装置の識別ＩＤ設定部１８２は、第２ＣＳ端子１２３ａを選択信号線と認識し、この第２ＣＳ端子１２３ａが“０”となる場合を自装置が選択されていると認識する。さらに、第３スレーブ装置１３０は、識別コマンド（１，１，０）を受信しており、“０”が出力される最上位ビットは識別コマンドの第３ビットである。よって、第３スレーブ装置の識別ＩＤ設定部１８２は、第３ＣＳ端子１３５ａを選択信号線と認識し、第３ＣＳ端子１３５ａが“０”となる場合を自装置が選択されていると認識する。
【００７４】
（各スレーブ装置での各種制御処理）
マスタ装置１００の選択信号送信部１９１は、積層された同一端子構成のスレーブ装置の１つにアクセスするために、アクセス先のスレーブ装置の識別ＩＤを対応付け記憶手段１９０から検索する。そして、選択信号送信部１９１は、検索された識別ＩＤを含む選択信号を生成して、各スレーブ装置の選択信号受信部１８４に送信する。これにより、該当する識別ＩＤを有するスレーブ装置が、各種制御を実行可能な選択状態となる。次に、該当するスレーブ装置の制御信号受信部１８５は、マスタ装置から制御信号を受信する。この制御信号に基づいて、該当するスレーブ装置が各種処理を実行する。
【００７５】
（作用効果）
このような構成に構成することで、マスタ装置が送信した識別コマンドは各スレーブ装置が受信するときには、スレーブ装置毎に異なる情報となる。スレーブ装置の識別ＩＤ設定手段は、このスレーブ装置毎に異なる識別コマンドに応じて各スレーブ装置固有の識別ＩＤを設定する。よって、マスタ装置は、各スレーブ装置の同一端子構成の端子同士が貫通配線を介して接続されている場合であっても、設定された識別ＩＤにより各スレーブ装置にアクセスすることができる。例えば、まずマスタ装置は制御を行うスレーブ装置を識別ＩＤに基づいて選択し、該当するスレーブ装置を選択状態とする。その後、該当するスレーブ装置にコマンドを送信して各種制御を行わせる。ここで、識別ＩＤは、例えば各スレーブ装置のみにアクセスするための選択信号線を識別するための情報でもあり得る。スレーブ装置毎に固有の選択信号線を設定することで、各スレーブ装置のみを選択状態とすることができる。
【００７６】
また、同一端子構成の対応する端子同士を貫通配線により接続するため、貫通配線はスレーブ装置に対して垂直に形成することができる。よって、例えば貫通配線をスレーブ装置に対して傾きを有して形成するなど複雑な製造工程が不要であり、容易に積層装置を製造可能である。
【００７７】
また、識別ＩＤがまだ設定されていないスレーブ装置を積層して積層装置を製造し、その積層装置の初期設定時に前述のような識別ＩＤの設定を行うこともできる。初期設定終了後は、マスタ装置は設定された各識別ＩＤに基づいて各スレーブ装置にアクセスする。このように、積層装置として構成される前のスレーブ装置が識別ＩＤを有していなくても、積層装置製造後に識別ＩＤを設定することができる。言い換えると、積層装置製造前においては各スレーブ装置に識別ＩＤを付しておく必要がない。よって、ウェハ上でチップ形態のスレーブ装置を大量に製造する際に、各スレーブ装置に識別ＩＤを付す必要がない。これにより、ダイシング後の各スレーブ装置を識別ＩＤにより管理するという煩雑さをなくすことができる。例えば、ウェハからダイシングされた大量のスレーブ装置の中から、識別ＩＤに応じてスレーブ装置を選択するなど煩雑な作業を行う必要がない。
【００７８】
また、各スレーブ装置は、積層後の貫通配線の接続構成に応じた識別コマンドを受信する。そして、スレーブ装置は、その識別コマンドに応答して識別ＩＤを設定するため、スレーブ装置の積層時に積層順など積層方法を考慮する必要がない。よって、例えば任意に各スレーブ装置を積層することが可能であり、容易に積層装置を製造することが可能である。
【００７９】
また、識別コマンドが入力されるスレーブ装置のＣＳ端子は、貫通配線を介して互いに接続されている。つまり、識別コマンドを受信するための各スレーブ装置専用のＣＳ端子が不要である。さらに、識別コマンドは各スレーブ装置の通過により変化するため、各スレーブ装置に対して各スレーブ装置固有の識別コマンドを入力する必要もない。
【００８０】
上記第１実施形態例実施の積層装置を搭載した製品としては、例えば図６に示す携帯電話や、携帯型コンピュータ、ＰＤＡ、携帯型ＴＶ受信機、携帯型オーディオプレーヤ、カーナビゲーションシステム、などが挙げられる。
【００８１】
（第１実施形態例の変形例１）
上記の第１実施形態例では、図３に示すように貫通配線を配置する場合を説明した。しかし、各スレーブ装置が、貫通配線を介して異なる値の識別コマンドを受信できれば、貫通配線の配置位置は図３に限定されない。例えば、図７に示すように、第１スレーブ装置１１０に貫通配線１５１ａ及び１５３ａを設け、第２スレーブ装置１２０に貫通配線１５５ａを設けても良い。具体的に説明すると、第１スレーブ装置１１０の第１ＣＳ端子１１１ａ及び１１１ｂを貫通配線１５１ａで接続する。また、第１スレーブ装置１１０の第３ＣＳ端子１１５ａ及び１１５ｂを貫通配線１５３ａで接続する。さらに、第２スレーブ装置１２０の第３ＣＳ端子１２５ａ及び１２５ｂを貫通配線１５５ａで接続する。
【００８２】
ここで、第１〜第３ＣＳ端子１０１ｂ、１０３ｂ、１０５ｂから識別コマンドが入力されると、各スレーブ装置が受信する識別コマンドは次のようになる。第１スレーブ装置１１０の第１〜第３ＣＳ端子１１１ａ、１１３ａ、１１５ａは、そのまま識別コマンド（０，０，０）を識別コマンドとして受信する。また、第２スレーブ装置１２０の第１ＣＳ端子１２１ａ及び第３ＣＳ端子１２５ａは、それぞれ貫通配線１５１ａ及び貫通配線１５３ａを介して識別コマンド（０，０，０）の第１ビット“０”及び第３ビット“０”を受信する。一方、第１スレーブ装置１１０の第２ＣＳ端子１１３ａ及び１１３ｂは貫通配線により接続されていないため、第２スレーブ装置１２０の第２ＣＳ端子１２３ａは第１電位にクランプされたままとなる。これにより、第２スレーブ装置１２０のコマンド受信部１８１は、識別コマンド（０，１，０）を受信する。さらに、第２スレーブ装置１２０の第２ＣＳ端子１２３ａ及び１２３ｂは貫通配線により接続されていない。よって、第３スレーブ装置１３０のコマンド受信部１８１は、識別コマンド（１，１，０）を受信する。
【００８３】
以上より、各スレーブ装置の識別ＩＤ設定部１８２は、それぞれの識別コマンド（０，０，０）、（０，１，０）、（１，１，０）に基づいて、各スレーブ装置固有の識別ＩＤを設定する。
【００８４】
（その他）
また、上記では識別コマンドを（０，０，０）としたが、識別コマンドを（１，１，１）としても良い。そして、ＣＳ端子をクランプさせる第１電位を“０”としても良い。この場合、前述の図７での識別コマンドの値は、“１”は“０”になり、“０”は“１”になる。
【００８５】
さらに、上記では、各スレーブ装置及びマスタ装置の両面に端子を設けているが、貫通配線を介して端子同士が接続されるのであれば、片面にのみ端子を設ける構成であっても良い。
【００８６】
＜第２実施形態例＞
（積層装置の構成）
（１）全体構成
マスタ装置及び各スレーブ装置の端子は、第１実施形態例の図１Ａ及び図１Ｂに示すように同一端子配置である。
【００８７】
図８は、第２実施形態例に係る積層装置の断面の構成図である。積層装置２０００は、マスタ装置２００、第１スレーブ装置２１０、第２スレーブ装置２２０、第３スレーブ装置２３０及び第４スレーブ装置２４０が積層されている。また、端子には、各スレーブ装置に各種処理を行わせるための制御信号が入力される複数の制御端子と、マスタ装置２００からの識別コマンドが入力される複数のＣＳ端子とが含まれる。ここでは、スレーブ装置を４つ積層する例を示したが、積層数は限定されない。
【００８８】
（２）ＣＳ端子構成及び貫通配線を介したＣＳ端子の接続構成
マスタ装置２００の表面２００ｂ上の第３ＣＳ端子２０５ｂは、マスタ装置２００からの識別コマンドを上部に積層された各スレーブ装置に送信するＣＳ端子である。また、各スレーブ装置に設けられた貫通配線２７１、２７５及び２７９は、マスタ装置からの識別コマンド及び下部のスレーブ装置からのコマンドを上部のスレーブ装置に送信するための貫通配線である。また、貫通配線２７１、２７５及び２７９は、各スレーブ装置毎に配置位置が入れ替わる。これにより、貫通配線が形成されているＣＳ端子に入力されたコマンドは、上部のスレーブ装置に送信される。一方、貫通配線が形成されていないＣＳ端子にコマンドが入力された場合は、そのコマンドは上部のスレーブ装置には送信されない。ここで、貫通配線とは、基板上のスレーブ装置を貫通する配線であり、基板の主面に対して概ね垂直に形成されている配線である。
【００８９】
一方、貫通配線２７３、２７７、２８１は、各スレーブ装置による識別ＩＤの設定が完了したことを示す完了通知を、各スレーブ装置からマスタ装置２００に送信するための貫通配線である。また、貫通配線２７３、２７７、２８１は、同配置のＣＳ端子同士を第１〜第４スレーブ装置まで接続する。具体的にＣＳ端子及び貫通配線の構成を以下に説明する。
【００９０】
第１スレーブ装置２１０の裏面２１０ａ上の第２ＣＳ端子２１３ａ及び表面２１０ｂ上の第２ＣＳ端子２１３ｂは、貫通配線２７１を介して接続されている。第２スレーブ装置２２０の裏面２２０ａ上の第３ＣＳ端子２２５ａ及び表面２２０ｂ上の第３ＣＳ端子２２５ｂは、貫通配線２７５を介して接続されている。第３スレーブ装置２３０の裏面２３０ａ上の第２ＣＳ端子２３３ａ及び表面２３０ｂ上の第２ＣＳ端子２３３ｂは、貫通配線２７９を介して接続されている。このように、各スレーブ装置の第２ＣＳ端子同士及び第３ＣＳ端子同士は、スレーブ装置毎に交互に配置された貫通配線により接続されている。
【００９１】
さらに、第１スレーブ装置２１０の裏面２１０ａ上の第１ＣＳ端子２１１ａ及び表面２１０ｂ上の第１ＣＳ端子２１１ｂは、貫通配線２７３を介して接続されている。第２スレーブ装置２２０の裏面２２０ａ上の第１ＣＳ端子２２１ａ及び表面２２０ｂ上の第１ＣＳ端子２２１ｂは、貫通配線２７７を介して接続されている。また、第３スレーブ装置２３０の裏面２３０ａ上の第１ＣＳ端子２３１ａ及び表面２３０ｂ上の第１ＣＳ端子２３１ｂは、貫通配線２８１を介して接続されている。このように、全スレーブ装置の第１ＣＳ端子同士は、貫通配線により接続されている。
【００９２】
なお、同配置の端子同士は、スレーブ装置及びマスタ装置の積層により接触している。また、各ＣＳ端子は、マスタ装置２００からの識別コマンドの入力前は、例えば電源またはグランドなどの所定の電位（以下、第１電位といい、“１”で表すものとする。）にクランプされている。
【００９３】
（３）制御端子構成及び貫通配線を介した制御端子の接続構成
各スレーブ装置の制御端子は同一の端子配置を有しており、それぞれ対応する制御端子が貫通配線を介して接続されている。同一端子構成を有しているとは、例えばアドレス端子、リード／ライト端子などの各端子の配置が同一であることを意味する。このように、同一の端子配置とすることで、マスタ装置２００から各スレーブ装置には同一の機能を有する信号が送信されることとなる。
【００９４】
各制御端子は、図８に示すように接続されている。よって、例えば、マスタ装置２００の制御端子２０７ｂからの制御信号は、制御端子２１７ａ、貫通配線２６１、制御端子２１７ｂ、２２７ａ、貫通配線２６３、制御端子２２７ｂ、２３７ａ、貫通配線２６５及び制御端子２３７ｂ、２４７ａを介して、選択信号により選択されたスレーブ装置に送信される。
【００９５】
（識別ＩＤの設定方法の概略）
図９は、図８に示す積層装置における識別ＩＤの設定方法の概略を示すタイミングチャートである。
【００９６】
マスタ装置２００は、第１スレーブ装置２１０に識別コマンドを送信する。このとき、識別コマンドは、第１スレーブ装置２１０に設定するための識別ＩＤ「０００１」を含む。第１スレーブ装置２１０は、この識別コマンドに基づいて自装置の識別ＩＤとして「０００１」を設定する。そして、第１スレーブ装置２１０は、次の第２スレーブ装置２２０に識別ＩＤを設定するためのコマンドを生成し、第２スレーブ装置２２０に送信する。このとき、生成されたコマンドは、第２スレーブ装置２２０に設定される識別ＩＤ「０００２」を含む。次のスレーブ装置の識別ＩＤは、積層されている全てのスレーブ装置に固有の識別ＩＤとなるように生成される。ここでは、一例として自装置の識別ＩＤを１づつカウントアップする方法により、次のスレーブ装置の識別ＩＤを生成している。第１スレーブ装置２１０は、識別ＩＤの設定が完了すると、完了したことを示す「ＡＣＫ」応答をマスタ装置２００に送信する。
【００９７】
次に、第２スレーブ装置２２０は、コマンドとともに識別ＩＤ「０００２」を受信し、自装置の識別ＩＤとして「０００２」を設定する。同様に、次の第３スレーブ装置２３０に識別ＩＤを設定するためのコマンドを生成し、第３スレーブ装置２３０に送信する。ここで、生成されたコマンドは、識別ＩＤとして「０００３」を含む。そして、第２スレーブ装置２２０は、自装置の識別ＩＤの設定が完了するとマスタ装置２００に「ＡＣＫ」応答を送信する。
【００９８】
積層されている各スレーブ装置が識別ＩＤの設定を完了するまで、上記の処理を繰り返し行う。
【００９９】
（機能構成）
次に、識別ＩＤを設定するためのマスタ装置及び各スレーブ装置の機能構成について説明する。図１０は、マスタ装置及びスレーブ装置の機能構成図である。なお、図１０には、第１スレーブ装置２１０及び第２スレーブ装置２２０の機能構成のみを示しているが、他のスレーブ装置も同様の機能構成を有している。
【０１００】
（１）マスタ装置
マスタ装置２００は、識別コマンド送信部２８７、識別ＩＤ受信部２８９、対応付け記憶手段２９０、選択信号送信部２９１及び制御信号送信部２９２を含む。
【０１０１】
識別コマンド送信部２８７は、識別コマンドを生成して、第３ＣＳ端子２０５ｂを介して第１スレーブ装置２１０に識別コマンドを送信する。
【０１０２】
識別ＩＤ受信部２８９は、各スレーブ装置が設定した各スレーブ装置固有の識別ＩＤと識別ＩＤの設定完了を示す完了通知とを受信する。なお、識別ＩＤの受信により完了通知の受信としても良い。対応付け記憶手段２９０は、受信した識別ＩＤを各スレーブ装置に対応付けて記憶する。
【０１０３】
なお、識別ＩＤ受信部２８９は、積層数を含む完了通知を受信し、積層数に基づいて各スレーブ装置の識別ＩＤを取得するようにしても良い。つまり、後述のスレーブ装置のコマンド受信部２９３は、各スレーブ装置を通過するたびに積層数をカウントアップしていき、そのカウント値を積層数としてマスタ装置２００に送信する。ここで、各スレーブ装置のコマンド受信部２９３が、所定の方法によりその上部に積層されるスレーブ装置の識別ＩＤを設定するものとする。この場合、マスタ装置の識別ＩＤ受信部２８９は、受信した積層数及び所定の識別ＩＤ設定方法に基づいて、各スレーブ装置の識別ＩＤを把握するようにしても良い。例えば、識別ＩＤ受信部２８９が最上部のスレーブ装置からの完了通知として、積層数＝５を受信したとする。そして、各スレーブ装置のコマンド受信部２９３が、自装置の識別ＩＤに＋１をして自装置上部のスレーブ装置の識別ＩＤを設定しているとする。この場合、識別ＩＤ受信部２８９は、各スレーブ装置から識別ＩＤを受信しなくても、積層数が５に基づいて、マスタ装置から近い順に識別ＩＤが「０００１」、「０００２」、「０００３」、「０００４」、「０００５」であると認識することができる。
【０１０４】
選択信号送信部２９１は、必要な処理を実行可能なスレーブ装置を選択状態とするために、該当するスレーブ装置に選択信号を送信する。このとき、選択信号送信部２９１は、対応付け記憶手段２９０に記憶されている識別ＩＤに基づいて選択信号を生成し、該当するスレーブ装置に選択信号を送信する。次に、制御信号送信部２９２は、選択状態としたスレーブ装置に各種制御を行わせるための制御信号を送信する。これにより、該当するスレーブ装置のみに所望の処理を実行させることができる。
【０１０５】
（２）スレーブ装置の機能構成
各スレーブ装置は、識別ＩＤ設定部２８２、識別ＩＤ記憶部２８３、選択信号受信部２８４、制御信号受信部２８５、処理部２８６、コマンド送信部２９３及びコマンド受信部２９４を含む。
【０１０６】
コマンド受信部２９４は、マスタ装置または下部のスレーブ装置から識別コマンドを受信する。第１スレーブ装置２１０のコマンド受信部２９４ａは、マスタ装置２００の第３ＣＳ端子２０５ｂ及び第１スレーブ装置２１０の第３ＣＳ端子２１５ａを介して、識別コマンドを受信する。ここで、識別コマンドとしては「０」が入力されるものとする。また、第１スレーブ装置２１０への識別コマンドには、識別ＩＤ「０００１」が含まれるものとする。ここで、識別コマンド入力前は、第３ＣＳ端子２１５ａは第１電位“１”にクランプされている。よって、第３ＣＳ端子２１５ａは、識別コマンド“０”を受信することによりその電位が“１”から“０”に変化する。コマンド受信部２９４は、その変化に基づいて、識別コマンドに含まれる識別ＩＤを受信する。
【０１０７】
コマンド送信部２９３は、コマンド受信部２９４が受信した識別ＩＤに基づいて、上部のスレーブ装置の識別ＩＤを生成する。そして、生成した識別ＩＤを含むコマンドを生成して上部のスレーブ装置のコマンド受信部２９３に送信する。識別ＩＤの生成は、積層されているスレーブ装置の識別ＩＤが異なるように行われれば良く、その方法は限定されない。
【０１０８】
識別ＩＤ設定部２８２は、受信した識別ＩＤに基づいて自装置の識別ＩＤを設定する。識別ＩＤ記憶部２８３は、設定された自装置の識別ＩＤを記憶する。また、識別ＩＤ設定部２８２は、識別ＩＤの設定が完了すると、完了通知「ＡＣＫ」を生成してマスタ装置２００の識別ＩＤ受信部２８９に送信する。これにより、マスタ装置２００は、識別コマンドの送信後所定時間が経過してもスレーブ装置からの完了通知「ＡＣＫ」を受信しない場合は、各スレーブ装置での識別ＩＤの設定が完了したと判断する。スレーブ装置の積層数は製品が求める機能により変更され固定の情報ではないため、マスタ装置２００はスレーブ装置の積層数を把握していない。よって、マスタ装置は、各スレーブ装置での識別ＩＤの設定完了を受信することにより、設定完了を待ち続ける無駄を省くことができる。また、マスタ装置は、完了通知「ＡＣＫ」と同時に次の動作に移行することができる。
【０１０９】
選択信号受信部２８４は、例えば識別ＩＤを含む選択信号をマスタ装置の選択信号送信部２９１から受信する。また、選択信号受信部２８４は、識別ＩＤ記憶部２８３内の識別ＩＤと選択信号に含まれる識別ＩＤとを比較し、自装置が選択されているかどうかを判断する。ここで、自装置が選択されている場合は、選択信号受信部２８４は、制御信号受信部２８５にマスタ装置２００からの制御信号を受信するように命令する。制御信号受信部２８５は、その命令に応じて、マスタ装置２００の制御信号送信部２９２から制御端子を介して制御信号を受信する。
【０１１０】
処理部２８６は、制御信号受信部２８５が受信した制御信号を処理し、各種制御を実行する。
【０１１１】
（識別ＩＤの設定処理）
図１１は、図８に示す積層装置における識別ＩＤの設定方法の概略を示す概略図である。前述の図１０に示すスレーブ装置の機能構成図とともに、識別ＩＤの設定処理について説明する。
【０１１２】
マスタ装置２００の識別コマンド送信部２８７は、マスタ装置２００の第３ＣＳ端子２０５ｂ及び第１スレーブ装置２１０の第３ＣＳ端子２１５ａを介して、第１スレーブ装置２１０に識別コマンドを送信する。
【０１１３】
第１スレーブ装置２１０のコマンド受信部２９４ａは、マスタ装置２００から送信された識別コマンドを受信する。ここで、第３ＣＳ端子２１５ａには貫通配線が形成されていないため、識別コマンドがそのまま第２スレーブ装置２１０に送信されない。次に、第１スレーブ装置２１０の識別ＩＤ設定部２８２ａは、受信した識別コマンドに基づいて自装置に固有の識別ＩＤを設定する。例えば、識別コマンドに、第１スレーブ装置２１０の識別ＩＤとして「０００１」が含まれている場合、識別ＩＤ設定部２８２ａは、この識別ＩＤ「０００１」を第１スレーブ装置２１０に設定する。ここで、識別ＩＤ設定部２８２ａは、識別ＩＤを自装置に設定すると、識別ＩＤの設定完了を示す完了通知「ＡＣＫ」を生成する。そして、識別ＩＤ設定部２８２ａは、自装置の識別ＩＤ「０００１」とともに完了通知「ＡＣＫ」をマスタ装置２００の識別ＩＤ受信部２８９ａに送信する。ここで、完了通知「ＡＣＫ」及び識別ＩＤ「０００１」は、貫通配線２７３を介してマスタ装置２００に送信される。
【０１１４】
次に、第１スレーブ装置２１０のコマンド送信部２９３ａは、上部の第２スレーブ装置２２０が固有の識別ＩＤを設定可能なようなコマンドを生成する。例えば、コマンド送信部２９３ａは、自装置の識別ＩＤに１を足した識別ＩＤに基づいてコマンドを生成する。第１スレーブ装置の識別ＩＤ「０００１」に１を足した識別ＩＤ「０００２」を含むコマンドを生成するものとする。そして、コマンド送信部２９３ａは、図１１中の第１スレーブ装置２１０の矢印の向きに沿って、生成したコマンドを第２ＣＳ端子２１３ａに伝達する。これにより、生成されたコマンドは、第２ＣＳ端子２１３ａと第２ＣＳ端子２１３ｂとを接続する貫通配線２７１を介して、第２スレーブ装置２２０の第２ＣＳ端子２２３ａに送信される。
【０１１５】
第２スレーブ装置２２０のコマンド受信部２９４ｂは、第２ＣＳ端子２２３ａを介して第１スレーブ装置２１０からコマンドを受信する。ここで、第２ＣＳ端子２２３ａには貫通配線が形成されていないため、識別コマンドがそのまま第３スレーブ装置２１０に送信されない。識別ＩＤ設定部２８２ｂは、受信したコマンドに基づいて自装置の識別ＩＤとして「０００２」を設定する。次に、識別ＩＤ設定部２８２ｂは、自装置の識別ＩＤ「０００２」とともに完了通知「ＡＣＫ」をマスタ装置２００の識別ＩＤ受信部２８９に送信する。ここで、完了通知「ＡＣＫ」及び識別ＩＤ「０００２」は、貫通配線２７７及び貫通配線２７３を介してマスタ装置２００に送信される。
【０１１６】
さらに、第２スレーブ装置２２０のコマンド送信部２９３ｂは、識別ＩＤ「０００２」に＋１を行い、識別ＩＤ「０００３」に基づいてコマンドを生成する。そして、コマンド送信部２９３ｂは、図１１中の第２スレーブ装置２１０の矢印の向きに沿って、生成したコマンドを第３ＣＳ端子２２５ａに伝達する。これにより、生成されたコマンドは、第２スレーブ装置２２０の第３ＣＳ端子２２５ａと第３ＣＳ端子２２５ｂとを接続する貫通配線２７５を介して、第３スレーブ装置２３０の第３ＣＳ端子２３５ａに送信される。
【０１１７】
このようにして、マスタ装置２００から受信した識別コマンド及び下部のスレーブ装置から受信したコマンドに基づいて、自装置に固有の識別ＩＤを設定することができる。
【０１１８】
（各スレーブ装置での各種制御処理）
マスタ装置２００の選択信号送信部２９１は、積層された同一端子構成のスレーブ装置の１つにアクセスするために、アクセス先のスレーブ装置の識別ＩＤを対応付け記憶手段２９０から検索する。そして、選択信号送信部２９１は、検索された識別ＩＤを含む選択信号を生成して、各スレーブ装置の選択信号受信部２８４に送信する。これにより、該当する識別ＩＤを有するスレーブ装置が、各種制御を実行可能な選択状態となる。次に、該当するスレーブ装置の制御信号受信部２８５は、マスタ装置から制御信号を受信する。この制御信号に基づいて、該当するスレーブ装置が各種処理を実行する。
【０１１９】
（作用効果）
各スレーブ装置は、受信した識別コマンドを変更し、隣接するスレーブ装置に出力する。よって、各スレーブ装置は固有の識別コマンドを受信し、その固有の識別コマンドに基づいて各スレーブ装置固有の識別ＩＤを設定することができる。よって、積層装置において複数のスレーブ装置が積層されている場合であっても、マスタ装置は各スレーブ装置を識別することができる。例えば、まずマスタ装置は制御を行うスレーブ装置を識別ＩＤに基づいて選択し、該当するスレーブ装置を選択状態とする。その後、該当するスレーブ装置にコマンドを送信して各種制御を行わせることができる。その他、第１実施形態例と同様の作用効果を得ることができる。
【０１２０】
（第２実施形態例の変形例１）
上記の第２実施形態例では、マスタ装置２００が各スレーブ装置から完了通知「ＡＣＫ」を受信することで識別ＩＤの設定処理を終了した。しかし、所定時間経過後に識別ＩＤの設定処理を終了するようにしても良い。例えば、マスタ装置２００は、予めスレーブ装置の積層数を別途記憶しておく。そして、マスタ装置２００は、その積層数分のスレーブ装置が識別ＩＤを設定するのに要する時間が経過すると、識別ＩＤの設定処理を終了させる。このような場合には、各スレーブ装置からマスタ装置２００に完了通知「ＡＣＫ」を送信する必要がない。よって、図１２に示すような構成とすることができる。図１２は、別の第２実施形態例に係る積層装置の断面の構成図である。図１２に示す構成では、図８と比較して、完了通知「ＡＣＫ」を送信するための貫通配線２７３、２７７、２８１を設ける必要がない。その他の構成は、図８と同様であるので説明を省略する。
【０１２１】
（第２実施形態例の変形例２）
図１３は、別の第２実施形態例に係る積層装置の断面の構成図である。上記第２実施形態例の図８及び図１１の構成では、例えば第１スレーブ装置の第３ＣＳ端子２１５ａには貫通配線が形成されていない。つまり、第１スレーブ装置２１０の裏面２１０ａに第３ＣＳ端子２１５ａを形成しても、必ずしも貫通配線が第３ＣＳ端子２１５ａ上に形成される構成ではない。しかし、図１３においては、各スレーブ装置の裏面にＣＳ端子が形成されると、そのＣＳ端子とともに貫通配線が形成されている。例えば、第１スレーブ装置３１０は、その裏面３１０ａに第１ＣＳ端子３１１ａ、第３ＣＳ端子３１５ａ、第４ＣＳ端子３１７ａを有している。そして、第１ＣＳ端子３１１ａには貫通配線３６１が設けられ、第３ＣＳ端子３１５ａには貫通配線３６３が設けられ、第４ＣＳ端子３１７ａには貫通配線３６５が設けられている。同様に、第２スレーブ装置３２０は、その裏面３２０ａに第１ＣＳ端子３２１ａ、第２ＣＳ端子３２３ａ、第３ＣＳ端子３２５ａを有している。そして、第１ＣＳ端子３２１ａには貫通配線３６７が設けられ、第２ＣＳ端子３２３ａには貫通配線３６９が設けられ、第３ＣＳ端子３２５ａには貫通配線３７１が設けられている。このように各端子及び貫通配線が一体形成される場合には、図１３のようにスレーブ装置を積層することで、各スレーブ装置は識別ＩＤを設定することができる。
【０１２２】
図１４は、図１３に示す積層装置における識別ＩＤの設定方法の概略を示す概略図である。マスタ装置及びスレーブ装置の機能構成図は、前述の図１０と同様であるので、図１４及び図１０を用いて図１３の構成を説明する。
【０１２３】
マスタ装置３００の識別コマンド送信部３８７は、マスタ装置３００の第４ＣＳ端子３０７ｂ及び第１スレーブ装置３１０の第４ＣＳ端子３１７ａを介して、第１スレーブ装置３１０に識別コマンドを送信する。
【０１２４】
第１スレーブ装置３１０のコマンド受信部２９４ａは、マスタ装置３００から送信された識別コマンドを受信する。ここで、第４ＣＳ端子３１７ａには貫通配線３６５が形成されているが、貫通配線３６５は上部の第２スレーブ装置３２０とは接続されていない。よって、識別コマンドは、そのまま第２スレーブ装置３２０に送信されることはない。次に、第１スレーブ装置３１０の識別ＩＤ設定部２８２ａは、受信した識別コマンドに基づいて自装置に固有の識別ＩＤを設定する。ここで、識別ＩＤ設定部２８２ａは、自装置の識別ＩＤ「０００１」とともに完了通知「ＡＣＫ」をマスタ装置３００の識別ＩＤ受信部２８９に送信する。ここで、完了通知「ＡＣＫ」及び識別ＩＤ「０００１」は、貫通配線３６１を介してマスタ装置３００に送信される。
【０１２５】
次に、第１スレーブ装置３１０のコマンド送信部２９３ａは、上部の第２スレーブ装置３２０が固有の識別ＩＤを設定可能なようなコマンドを生成する。そして、コマンド送信部２９３ａは、図１４中の第１スレーブ装置３１０の矢印の向きに沿って、生成したコマンドを第３ＣＳ端子３１５ａに伝達する。これにより、生成されたコマンドは、第３ＣＳ端子３１５ａと第３ＣＳ端子３１５ｂとを接続する貫通配線３６３を介して、第２スレーブ装置３２０の第３ＣＳ端子３２５ａに送信される。
【０１２６】
第２スレーブ装置３２０のコマンド受信部２９４ｂは、第３ＣＳ端子３２５ａを介して第１スレーブ装置３１０からコマンドを受信する。ここで、第３ＣＳ端子３２５ａには貫通配線３７１が形成されているが、貫通配線３７１は上部の第３スレーブ装置３３０とは接続されていない。よって、第１スレーブ装置３１０が生成したコマンドは、そのまま第３スレーブ装置３３０に送信されることはない。次に、第２スレーブ装置３２０の識別ＩＤ設定部２８２ａは、受信したコマンドに基づいて自装置に固有の識別ＩＤを設定するとともに、完了通知「ＡＣＫ」及び識別ＩＤを貫通配線３６７及び貫通配線３６１を介してマスタ装置３００に送信する。
【０１２７】
さらに、第２スレーブ装置３２０のコマンド送信部２９３ｂは、同様にコマンドを生成する。そして、コマンド送信部２９３ｂは、図１４中の第２スレーブ装置３２０の矢印の向きに沿って、生成したコマンドを第２ＣＳ端子３２３ａに伝達する。これにより、生成されたコマンドは、第２スレーブ装置３２０の第２ＣＳ端子３２３ａと第２ＣＳ端子３２３ｂとを接続する貫通配線３６９を介して、第３スレーブ装置３３０の第３ＣＳ端子３３３ａに送信される。
【０１２８】
積層されている各スレーブ装置が識別ＩＤの設定を完了するまで、上記の処理を繰り返し行う。これにより、マスタ装置３００から受信した識別コマンド及び下部のスレーブ装置から受信したコマンドに基づいて、自装置に固有の識別ＩＤを設定することができる。
【０１２９】
（その他）
上記では、各スレーブ装置及びマスタ装置の両面に端子を設けているが、貫通配線を介して端子同士が接続されるのであれば、片面にのみ端子を設ける構成であっても良い。
【０１３０】
＜第３実施形態例＞
（概要）
端子の配置が同一である複数のスレーブ装置とマスタ装置とが積層されることで積層装置が構成されている。ここで、マスタ装置は、隣接するスレーブ装置の端子に、乱数の発生を開始させる乱数発生コマンドを入力するコマンド送信手段と、各スレーブ装置が発生した乱数を受信し、互いに異なる値の乱数であるかを判断する判断手段と、乱数発生コマンドに応じて設定された各スレーブ装置の識別ＩＤを、各スレーブ装置から受信する識別ＩＤ受信手段と、各スレーブ装置と各識別ＩＤとの対応付けを記憶する対応付け記憶手段とを有している。また、スレーブ装置は、隣接するスレーブ装置及び自装置の少なくとも１の端子同士を接続する貫通配線と、乱数発生コマンドを受信するコマンド受信手段と、乱数発生コマンドに応答して乱数を発生し、発生した乱数を前記マスタ装置に送信する乱数発生手段と、マスタ装置の判断手段での判断結果に基づいて、自装置の識別ＩＤを設定する識別ＩＤ設定手段とを有している。
【０１３１】
このような構成において、マスタ装置は、各スレーブ装置内部で発生した乱数を受信し、その乱数が全て異なるかどうかを判定する。各スレーブ装置は、発生した乱数が全て異なる場合は、各スレーブ装置が発生した乱数に基づいて固有の識別ＩＤを設定する。よって、同一端子構成のスレーブ装置を積層した積層装置であっても、マスタ装置はその識別ＩＤに基づいてスレーブ装置毎に制御を行うことができる。
【０１３２】
また、スレーブ装置の物理的な配線構成や接続状態を変更することなく、各スレーブ装置を識別可能な識別ＩＤを設定することができる。さらに、スレーブ装置の積層数に応じてスレーブ装置に設ける端子数や物理的な接続状態を変更する必要もない。以下に、具体的構成を説明する。
【０１３３】
（構成）
図１５は、本発明の第３実施形態例に係るデバイス識別方法を用いて装置の識別を行うシステムの構成図である。
【０１３４】
図１５において、マスタ装置４０１と、第１スレーブ装置４１１、第２スレーブ装置４１２乃至第ｎのスレーブ装置４１３とは、それぞれコマンド線４２２、４３４およびデータ信号線４２１、４３３によって接続される。マスタ装置は、コマンド線を介して各スレーブ装置を選択するためのコマンドを該当するスレーブ装置に送信する。
【０１３５】
また、マスタ装置及び各スレーブ装置の端子が、第１実施形態例の図１Ａ及び図１Ｂに示すように同一端子配置であり、対応する端子同士が貫通配線を介して接続されている。
【０１３６】
（機能構成）
図１６Ａは、第３実施形態例におけるスレーブ装置の機能構成図であり、図１６Ｂは、マスタ装置の機能構成図である。図１６Ａおよび図１６Ｂにおいて、図１５と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【０１３７】
図１６Ａにおいて、スレーブ装置は、コマンド処理手段５０１、乱数発生手段５０２、データ処理手段５０３及び識別ＩＤ記憶手段５０４を含む。コマンド処理手段５０１は、マスタ装置４０１から送信されるコマンドを処理し、マスタ装置４０１への応答送信を制御する。コマンドには、スレーブ装置に乱数を発生させるための命令及び乱数を発生させる範囲に関する範囲情報が含まれる。乱数発生手段５０２は、マスタ装置から指示された範囲内で乱数を発生する。データ処理手段５０３は、マスタ装置との間で送受信されるデータの処理や応答信号の発信処理を行う。識別ＩＤ記憶手段５０４は、マスタ装置からの命令に応じて乱数発生手段５０２が発生した乱数をスレーブ装置の識別ＩＤとして記憶する。
【０１３８】
図１６Ｂにおいて、マスタ装置４０１は、コマンド発生手段５５１、データ処理手段５５３、応答確認手段５５２及び接続数記憶手段５５４を含む。コマンド発生手段５５１は、スレーブ装置に対して、スレーブ装置の数を上限とする乱数を発生することを要求したり、発生した乱数に応じて応答を返すように要求するなどのコマンドを発生する。データ処理手段５５３は、スレーブ装置との間で送受信されるデータの処理や応答信号受信の処理を行う。応答確認手段５５２は、スレーブ装置から送信された応答について、その回数を記憶する。接続数記憶手段５５４は、マスタ装置４０１に接続されているスレーブ装置の数を記憶する。
【０１３９】
（処理）
（１）マスタ装置での全体処理
図１７は、マスタ装置が各スレーブ装置を識別する際の全体の処理の概要を示すフローチャートである。図１７を用いて、マスタ装置が各スレーブ装置を識別する際の全体の処理の概要を説明する。
【０１４０】
ステップＳ４０１：マスタ装置４０１の接続数記憶手段５５４は、スレーブ装置数を取得する。ここで、スレーブ装置数をＤｎと記述することにする。スレーブ装置数Ｄｎは、マスタ装置製造時に接続数記憶手段５５４にあらかじめ記録しておいても良いし、製造後にマスタ装置外から記憶させてもよい。
【０１４１】
ステップＳ４０２：マスタ装置４０１のコマンド発生手段５５１は、スレーブ装置に発生させる乱数の範囲を決定する。ここで、発生する乱数の範囲の下限をＲｍｉｎとし、上限をＲｍａｘと記述することにする。したがって、発生する乱数の範囲は、Ｒｍｉｎ乃至Ｒｍａｘとなる。ここで、ＲｍａｘからＲｍｉｎを差し引いた数は、スレーブ装置数Ｄｎ以上とする。なお、ＲｍａｘからＲｍｉｎを差し引いた数は、スレーブ装置数Ｄｎを上回って設定されてもよい。
【０１４２】
ステップＳ４０３：ステップＳ４０２で決定された範囲の乱数をスレーブ装置に発生させるために、コマンド発生手段５５１は、乱数発生コマンドを発行し各スレーブ装置に送信する。この乱数発生コマンドは、発生する乱数の範囲を示す範囲情報を含んでおり、コマンド線４２２を通じて各スレーブ装置に伝達される。
【０１４３】
ステップＳ４０４：マスタ装置４０１のデータ処理手段５５３及び応答確認手段５５２は、スレーブ装置がそれぞれ固有の乱数を発生したかどうかを確認する乱数確認処理を行う。
【０１４４】
ステップＳ４０５：コマンド発生手段５５１は、ステップＳ４０４の結果に基づいて、各スレーブ装置が、各スレーブ装置を識別するための識別ＩＤを設定可能かどうかを判定する。
【０１４５】
ステップＳ４０６：識別ＩＤを設定可能である場合には、コマンド発生手段５５１は識別ＩＤ設定コマンドを発行する。この識別ＩＤ設定コマンドは、コマンド線４２２、４３４を介して各スレーブ装置に伝達される。
【０１４６】
（２）マスタ装置での乱数確認処理
図１８は、図１７におけるステップＳ４０４の乱数確認処理の内容を示したフローチャートである。
【０１４７】
ステップＳ５００：応答確認手段５５２は、乱数確認処理の開始にあたり、レジスタ、バッファ等を初期化する処理を行う。
【０１４８】
ステップＳ５０１：応答確認手段５５２は、スレーブ装置が乱数を発生したか否かを確認するために、最初の乱数の値を決定する。ここで、決定した乱数の値をＲａと記述することとする。Ｒａは、ステップＳ４０２で決定された乱数の範囲内から決定され、ここでは、Ｒａを最小値のＲｍｉｎとする。
【０１４９】
ステップＳ５０２：コマンド発生手段５５１は、識別ＩＤ設定コマンドに対する応答を要求するために、発生乱数確認コマンドをデータ処理手段５５３を介してスレーブ装置に発行する。発生乱数確認コマンドは、Ｒａを含んでおり、スレーブ装置が発生した乱数とＲａとが等しい場合に、スレーブ装置に応答を要求するためのコマンドである。これにより、マスタ装置の応答確認手段５５２は、スレーブ装置の発生した乱数とＲａとが等しい場合には、データ処理手段５５３を介してスレーブ装置から応答を受信する。
【０１５０】
ステップＳ５０３：応答確認手段５５２は、スレーブ装置から応答があったか否かを確認する。
【０１５１】
ステップＳ５０４：応答確認手段５５２は、ステップＳ５０４において応答を受信した場合には、応答が何回あったかを記憶する。ここで、スレーブ装置からの応答回数をＡｎと記述することとすると、応答が有るたびに応答数Ａｎに１を加える。なお、ＡｎはステップＳ５００において０に初期化されているものとする。
【０１５２】
ステップＳ５０５：次に、応答確認手段５５２は、ＲａがＲｍａｘに達したか否かを判定する。
【０１５３】
ステップＳ５０６：応答確認手段５５２は、ステップＳ５０５においてＲａがまだＲｍａｘに達していないと判定すると、Ｒａに１を加えてスレーブ装置に確認する乱数の値を変更する。続いて、ステップＳ５０２に戻り、応答確認手段５５２による乱数の確認処理を継続する。
【０１５４】
ステップＳ５０７：応答確認手段５５２は、ステップＳ５０５においてＲａがＲｍａｘに達したと判定した場合、つまり、ステップＳ４０２において決定された乱数の範囲におけるすべての値について、スレーブ装置が乱数を発生したかどうかを確認した場合は、次に、スレーブ装置からの応答回数Ａｎがスレーブ装置数Ｄｎに等しいかどうかを判定する。
これにより、スレーブ装置が他のスレーブ装置と異なる乱数を発生したかどうかを確認することができる。
【０１５５】
ステップＳ５０８：応答確認手段５５２は、ステップＳ５０７において応答回数Ａｎがスレーブ装置数Ｄｎに等しいことを確認すると、乱数確定フラグを出力する。つまり、応答確認手段５５２は、各スレーブ装置がそれぞれ異なる乱数を発生している場合は、乱数確定フラグを発生する。前述のステップＳ４０５において、コマンド発生手段５５１は、この乱数確定フラグが立っていた場合は、各スレーブ装置が識別ＩＤを設定可能であるという判定を行う。そして、各スレーブ装置に対して識別ＩＤ設定コマンドを送信する。
【０１５６】
（３）スレーブ装置での全体処理
図１９は、スレーブ装置がマスタ装置からコマンドを受けた際の処理の概要を示すローチャートである。図１９を用いてスレーブ装置での処理を説明する。
【０１５７】
ステップＳ６０１：スレーブ装置のコマンド処理手段５０１は、マスタ装置４０１のコマンド発生手段５５１が発行したコマンドを、コマンド線４３４を介して受信する。また、コマンド処理手段５０１は、受信したコマンドがどのような処理を要求しているかを解析する。例えば乱数発生確認コマンドであるのか、乱数発生コマンドであるのか、識別ＩＤ設定コマンドであるのかなどを解析する。
【０１５８】
ステップＳ６０２：コマンド処理手段５０１は、受信したコマンドの種類に応じて、乱数発生処理を行うか、乱数確認処理を行うか、識別ＩＤ設定処理を行うかを判定する。
【０１５９】
ステップＳ６１１：コマンドが乱数発生コマンドである場合は、乱数発生手段５０２は、マスタ装置のコマンド発生手段５５１が設定した乱数範囲内で乱数Ｒｎを発生する。ここで、発生した乱数をＲｎとして記述することとする。
【０１６０】
ステップＳ６２１：コマンド処理手段５０１は、確認を要求された乱数Ｒａを含む発生乱数確認コマンドを受信すると、その処理を実行する。つまり、コマンド処理手段５０１は、乱数発生手段５０２から乱数を受信し、各スレーブ装置が発生した乱数ＲｎとＲａとが等しいかどうかを判定する。
【０１６１】
ステップＳ６２２：コマンド処理手段５０１は、乱数Ｒａと各スレーブ装置が発生した乱数Ｒｎとが等しい場合は、データ処理手段５０３を介して、マスタ装置４０１に応答を返す。
【０１６２】
ステップＳ６３１：コマンド処理手段５０１は、前述の識別ＩＤ設定コマンドをマスタ装置４０１のコマンド発生手段５５１から受信すると、各スレーブ装置が発生した乱数Ｒｎを各スレーブ装置固有の識別ＩＤとして識別ＩＤ記憶手段５０４に出力する。
【０１６３】
（作用効果）
以上のような構成によれば、積層装置において複数のスレーブ装置が積層されている場合であっても、マスタ装置は各スレーブ装置を識別することができる。例えば、まずマスタ装置は制御を行うスレーブ装置を識別ＩＤに基づいて選択し、該当するスレーブ装置を選択状態とする。その後、該当するスレーブ装置にコマンドを送信して各種制御を行わせることができる。
【０１６４】
また、識別ＩＤがまだ設定されていないスレーブ装置を積層して積層装置を製造し、その初期設定時に前述のように識別ＩＤの設定を行うこともできる。初期設定終了後は、マスタ装置は設定された各識別ＩＤに基づいて各スレーブ装置にアクセスする。このように、積層装置として構成される前のスレーブ装置が識別ＩＤを有していなくても、スレーブ装置製造後に識別ＩＤを設定することができる。言い換えると、製造時には各スレーブ装置には固有の識別ＩＤを付す必要がない。よって、ウェハ上でチップ形態のスレーブ装置を大量に製造する場合において、識別ＩＤにより各スレーブ装置を管理するという煩雑さをなくすことができる。例えば、ウェハからダイシングされた大量のスレーブ装置の中から識別ＩＤに応じてスレーブ装置を選択するなど煩雑な作業を行う必要がない。よって、ダイシング後のスレーブ装置の管理が容易である。
【０１６５】
特に、マスタ装置及び各スレーブ装置の端子が、第１実施形態例の図１Ａ及び図１Ｂに示すように同一端子配置であり、対応する端子同士が貫通配線を介して接続されている場合に有効である。つまり、マスタ装置は、各スレーブ装置の同一端子構成の端子同士が貫通配線を介して接続されている場合であっても、設定された識別ＩＤにより各スレーブ装置にアクセスすることができる。例えば、まずマスタ装置は制御を行うスレーブ装置を識別ＩＤに基づいて選択し、該当するスレーブ装置を選択状態とする。その後、該当するスレーブ装置にコマンドを送信して各種制御を行わせる。また、同一端子構成の対応する端子同士を貫通配線により接続するため、貫通配線はスレーブ装置に対して垂直に形成することができる。よって、例えば貫通配線をスレーブ装置に傾きを有して形成するなど複雑な製造工程が不要であり、容易に積層装置を製造可能である。
【０１６６】
また、各スレーブ装置は、積層後のスレーブ装置からの乱数に応じて識別ＩＤを設定するため、スレーブ装置の積層時に積層順など積層方法を考慮する必要がない。よって、例えば任意に各スレーブ装置を積層することが可能であり、容易に積層装置を製造することが可能である。
【０１６７】
また、識別コマンドが入力されるスレーブ装置の端子は、貫通配線を介して互いに接続されている。つまり、コマンドを受信するための各スレーブ装置専用の端子が不要である。さらに、識別コマンドは各スレーブ装置の通過により変化するため、各スレーブ装置に固有の識別コマンドを入力する必要もない。
【０１６８】
（その他）
なお、本実施の形態において、識別ＩＤ記憶手段５０４は不揮発性メモリとし、非通電状態においても識別ＩＤを保持してもよい。
【０１６９】
また、本実施の形態においては、乱数によりスレーブ装置の識別ＩＤを決定したが、組み立て前に各スレーブ装置固有のシリアル識別ＩＤを記憶させておいてもよい。
【０１７０】
また、本実施の形態において、乱数発生手段は前記シリアル識別ＩＤを種とした乱数を発生させてもよい。
【０１７１】
また、本実施の形態において、スレーブ装置は内部に装置の仕様情報を保持し、マスタ装置は前記仕様情報を参照できるようにしてもよい。
【０１７２】
＜第４実施形態例＞
（構成）
図２０は、本発明の第４実施形態例に係るマスタ装置を用いて装置の識別を行うシステムの構成図である。図２０において、判別信号線７０１、７０２は、マスタ装置とスレーブ装置間を接続するアナログ信号線である。
【０１７３】
また、マスタ装置及び各スレーブ装置の端子が、第１実施形態例の図１Ａ及び図１Ｂに示すように同一端子配置であり、対応する端子同士が貫通配線を介して接続されている。
【０１７４】
（１）スレーブ装置
図２１Ａは、第４実施形態例におけるスレーブ装置の構成図であり、図２１Ｂは、マスタ装置の構成図である。図２１Ａおよび図２１Ｂにおいて、図１６Ａ及び図１６Ｂと同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【０１７５】
図２１Ａにおいて、スレーブ装置は、コマンド処理手段５０１、乱数発生手段５０２、データ処理手段５０３、識別ＩＤ記憶手段５０４、抵抗８０１及びスイッチ手段８０３を含む。判別信号線７０２は、スイッチ手段８０３を介して一定の値をもつ抵抗８０１と接続される。抵抗８０１の他の一端は、グランド８０２に接続される。ここで、スイッチ手段８０３は、コマンド処理手段５０１によって開閉を制御されるスイッチである。
【０１７６】
（２）マスタ装置
図２１Ｂにおいて、マスタ装置４０１は、コマンド発生手段５５１、データ処理手段５５３、応答確認手段５５２、接続数記憶手段５５４及び装置数検出手段８１１を含む。装置数検出手段８１１は、判別信号線７０２の電位に基づいてスレーブ装置数を検出する。
【０１７７】
（３）装置数検出手段
図２２は、第４実施形態例に係る装置数検出手段８１１の一例の構成図である。図２２において、判別信号線７０２は、スイッチ手段９０４及び一定の抵抗値を持つ抵抗９０１を介して、一定の電圧値を持つ例えば電源ＶＤＤに接続される。スイッチ手段９０４は、コマンド発生手段５５１からのコマンドにより開閉を制御される。さらに、判別信号線７０２は、Ａ／Ｄ変換手段９０３に接続される。ここで、Ａ／Ｄ変換手段９０３は、判別信号線上の判別信号の電位を受信してデジタル値に変換後、接続数算出手段９０２に出力する。接続数算出手段９０２は、入力された判別信号の電位情報から、マスタ装置に接続されているスレーブ装置の数を判別する。
【０１７８】
図２３に、装置数検出手段の具体的な例を示す。図２３において、図２２と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【０１７９】
図２３において、装置数検出手段８１１の抵抗９０１が１ｋΩ、ＶＤＤが５Ｖである。マスタ装置に接続されるスレーブ装置は、第１〜第３スレーブ装置４１１、４１２、４１３であり、スレーブ装置数は「３」である。また、各スレーブ装置内では、１ｋΩの抵抗を介して判別信号線７０２とグランドとが接続されている。
【０１８０】
コマンド発生手段５５１からのコマンドにより、スイッチ手段９０４が閉じると、抵抗９０１を介して判別信号線７０２とＶＤＤ（５Ｖ）とが接続される。判別信号線７０２及びグランド間には、１ｋΩの抵抗が並列に３つ接続されているので、判別信号線７０２及びグランド間のインピーダンスは約３３３Ωとなる。したがって、判別信号線７０２の電位は、抵抗９０１との分圧によって、約１．２５Ｖとなる。Ａ／Ｄ変換手段９０３は、判別信号線７０２の電位を検出して、デジタルデータに変換し、接続数算出手段９０２に出力する。
【０１８１】
接続数算出手段９０２は、例えば図２４のような判別信号電位から装置数を算出するための装置数検出テーブルを有している。よって、接続数算出手段９０２は、装置数検出テーブルを参照しながら入力された判別信号電位に基づいて、接続されているスレーブ装置数を算出する。図２４の装置数検出テーブルは、例えば、マスタ装置４０１の持つ抵抗９０１の値及びスレーブ装置内において判別信号線７０２に接続された抵抗の値をもとに算出される。ここで、接続数算出手段９０２は、判別信号電位が１．２５Ｖであることから、スレーブ装置数は「３」であると算出する。接続数記憶手段５５４は、算出されたスレーブ装置数を記憶する。
【０１８２】
前述の第３実施形態例で示すとおり、応答確認手段５５２は、確認する数値Ｒａと等しい乱数を発生したスレーブ装置から応答を受信する。このとき、コマンド発生手段５５１は、確認する数値Ｒａとスレーブ装置が発生した乱数Ｒｎとが等しい場合、その乱数を発生したスレーブ装置のみがスイッチ手段８０３を閉じるようなコマンドを生成する。コマンド発生手段５５１は、そのコマンドを該当するスレーブ装置に送信する。これにより、装置数検出手段８１１は、前記数値Ｒａに等しい乱数Ｒｎを発生したスレーブ装置の数を取得することができる。ここで、装置数検出手段８１１が取得したスレーブ装置の数が１つであった場合、コマンド発生手段５５１は、前記数値Ｒａに等しい乱数Ｒｎを発生したスレーブ装置に対して、発生した乱数を識別ＩＤ記憶手段５０４に出力させるための識別ＩＤ設定コマンドを生成する。これにより、識別ＩＤ設定コマンドを受信したスレーブ装置は、発生した乱数に基づいて識別ＩＤを自装置に設定する。
【０１８３】
同様に、装置数検出手段８１１は、発生させた乱数範囲の数値すべてについて、前記数値に等しい乱数を発生したスレーブ装置の個数を確認する。そして、前記数値に等しい乱数を発生したスレーブ装置の個数がひとつであった場合には、コマンド発生手段５５１は識別ＩＤ設定コマンドを生成する。これにより、識別ＩＤ設定コマンドを受信したスレーブ装置は、発生した乱数に基づいて識別ＩＤを自装置に設定する。
【０１８４】
ここで、コマンド発生手段５５１は、識別ＩＤが確定していないスレーブ装置に対して、確定した識別ＩＤの数値を含まない範囲の乱数範囲を決定し、各スレーブ装置に送信することもできる。そして、決定した乱数範囲において上記の処理を行う。つまり、装置数検出手段８１１は、発生した乱数範囲について、確認する数値Ｒａに等しい乱数Ｒｎを発生したスレーブ装置の個数を確認する。そして、確認する数値Ｒａに等しい乱数Ｒｎを発生したスレーブ装置の個数が１つであるスレーブ装置については、そのスレーブ装置は発生した乱数を識別ＩＤ記憶手段５０４に出力して識別ＩＤを記憶する。
【０１８５】
以上のように、確認する数値に等しい乱数を発生したスレーブ装置が１つであった場合には識別ＩＤを確定し、複数あった場合のみ再度乱数を発生させ、すべてのスレーブ装置の識別ＩＤが確定するまで繰り返す。
【０１８６】
（作用効果）
上述の通り、マスタ装置は、判別信号線７０２の電位に基づいてスレーブ装置数を検出する装置数検出手段８１１を有している。このとき、判別信号線７０２に接続されたスレーブ装置の数に応じて判別信号線の電位が変化する。よって、その電位を判定することによりマスタ装置に接続されているスレーブ装置の数を検出することができる。
【０１８７】
また、応答確認時に、確認する数値Ｒａに等しい乱数Ｒｎを発生したスレーブ装置の数を確認する。そして、確認する数値Ｒａに等しい乱数Ｒｎを発生したスレーブ装置の数が一つであったものについて識別ＩＤを確定していく。これにより、識別ＩＤ決定のための乱数が重複する確率を低減することができる。
【０１８８】
その他、第３実施形態例と同様の作用効果を得ることができる。
【０１８９】
（その他）
上記においては、接続数算出手段９０２は装置数検出テーブルを持つとした。しかし、判別信号線７０２に接続されるマスタ装置４０１の抵抗９０１の値（Ｒｈとする）及びスレーブ装置の抵抗値（Ｒｄとする）、抵抗９０１が接続される電位（Ｖｈとする）の情報に基づいて、例えば次式から判別信号電位（Ｖｒとする）をもとにスレーブ装置数（Ｄｎ）を算出してもよい。
【０１９０】
Ｄｎ≒Ｒｄ（Ｖｈ−Ｖｒ）÷（Ｒｈ×Ｖｒ）  ・・・（１）
＜第５実施形態例＞
（構成）
図２５は、本発明の第５実施形態例におけるデバイス識別方法を用いて装置の識別を行うシステムの構成図である。図２５において、図１５と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【０１９１】
図２５において、アナログチップセレクト信号配線（以降、ＣＳＡ信号配線とする）１２０１、１２０２は、マスタ装置４０１とスレーブ装置間を接続するアナログ信号線である。また、抵抗１２０３はスレーブ装置間を接続する抵抗であり、ＣＳＡ信号配線に対して直列に挿入される一定の値を持つ抵抗である。
【０１９２】
また、マスタ装置及び各スレーブ装置の端子が、第１実施形態例の図１Ａ及び図１Ｂに示すものと同様に同一端子配置であり、対応する端子同士が貫通配線を介して接続されている。このような３次元実装された半導体装置において、抵抗１２０３を実現する例を以下に示す。
【０１９３】
（１）抵抗
図２６（ａ）、（ｂ）は、この発明の実施の形態に係るスレーブ装置について説明するためのもので、図２６（ａ）はチップの平面図、図２６（ｂ）は図２６（ａ）図のＸ−Ｘ’線に沿った断面図である。
【０１９４】
図２６（ａ）、（ｂ）に、半導体基板（例えば半導体メモリチップ）１５１１には、四辺に沿って貫通孔１５１２が形成されている。これらの貫通孔１５１２内の半導体基板１５１１表面には酸化シリコン等の絶縁膜１５１３が形成されている。また、上記貫通孔１５１２内には、上記絶縁膜１５１３が介在されることにより、上記半導体基板１５１１と絶縁された状態で導電性の材料からなる電極１５１４が設けられている。そして、上記電極１５１４における基板１５１１の主表面側には、接合材料層１５１８が形成されている。
【０１９５】
なお、上記電極１５１４の材料としては、上述したＣｕやＷ以外にも、これらを含む合金や、Ａｌ、Ｍｏ、ポリシリコン、Ａｕ、あるいはこれらを含む合金等を用いることができる。また、上記接合材料層１５１８としては、Ａｕ、Ｐｂ／Ｓｎ、Ｓｎ、Ａｕ／Ｓｎ、Ｓｎ／Ｉｎ、Ｓｎ／Ｂｉ等を用いることができる。
【０１９６】
次に、上述した半導体装置の製造方法について説明する。図２７（ａ）及び（ｃ）はそれぞれ、上記半導体装置における電極１５１４とその近傍を拡大して製造工程順に示している。
【０１９７】
まず、図２７（ａ）に示すように、半導体基板１５１１の主表面にレジスト１６２０を形成し、フォトリソ工法によりパターニングを行う。
【０１９８】
図２７（ｂ）に示すように、開孔１６２１をケミカルエッチング工法にて形成する。レーザー加工工法や高密度プラズマエッチング工法により形成することもできる。
【０１９９】
図２７（ｃ）に示すように、この開孔１６２１の内壁に熱酸化やＣＶＤ法により、酸化シリコン等の絶縁膜１５１３を形成する。
【０２００】
次に図２７（ｄ）に示すように、開孔１６２１内に導電性ペーストをスクリーン印刷工法によりの電極１５１４で埋め込む。このとき、開孔１６２１に十分に導電性ペーストを埋め込む為、２回以上印刷することが好ましい。さらに２回以上印刷する際に導電性ペースト中にボイドのかみ込みを減少させるため、減圧したチャンバー内等で行うことが好ましい。また電極１５１４の材料として導電性ペーストが好ましい。
【０２０１】
スタックされるデバイス（例えばメモリとする）のＣＳ端子に作られるビア（すなわち図２６の貫通穴１５１２）として、長さ１００μｍ、穴径を１０μｍ、抵抗値を１０Ωにて作製する場合、その導電性ペーストの抵抗率は約１．０×１０-5Ω・ｍとなる。一般的な金属材料の場合、約２．０×１０-8〜１．０×１０-6Ω・ｍであるため、所望の電位差を生じさせることが困難となる。導電性ペーストは導電性フィラと樹脂からなり、導電性フィラ材料としてＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｌの粉末あるいはそれらからなる合金粒子を導電材料とし、これに熱硬化性樹脂を混練したものがその一例として使用できる。特にＣｕは導電性が良好で、マイグレーションも少なく価格も安いため有効である。また、Ｃｕ粒子にＡｇコートを施したＡｇコートＣｕ粉末を用いると、Ｃｕの酸化による抵抗の増加を抑制できることから好ましい。ＡｇコートＣｕ粉末の場合、導電性フィラの配合量として、６０〜８０ｗｔ％が好ましく、特に６５〜７５ｗｔ％が好ましい。導電性フィラが８０ｗｔ％を超えると導電性ペーストの抵抗率が約１．０×１０-6Ω・ｍより下がってしまう。また６０ｗｔ％より少ない場合、約１．０×１０-4Ω・ｍより大きくなってしまうためである。熱硬化性樹脂は液状のエポキシ樹脂が耐熱性の面で安定である。熱硬化性樹脂を用いた場合、導電性ペーストを開孔２１に充填したのち、２００℃の温度で３０分程度硬化させることで、所望の抵抗値を得ることができる。
【０２０２】
次に図２７の（ｅ）に示すように、基板１５１１上のレジスト１６２０を除去する。レ
ジスト１６２０を除去することで、スクリーン印刷工法などによる工程中でレジスト１６２０表面に付着した異物等をすべて除去することができる。
【０２０３】
引き続き、図２７の（ｆ）に示すように、基板１５１１の主表面側の上記電極１５１４上に、接合材料層１５１８を形成する。
【０２０４】
これにより図２６（ａ）に示された貫通孔１５１２に所定の抵抗を付与できる。
【０２０５】
（２）スレーブ装置
図２８Ａは、第５実施形態例に係るスレーブ装置の構成図であり、図２８Ｂは、マスタ装置の構成図である。図２８Ａおよび図２８Ｂにおいて、図２５、図１６Ａ及び図１６Ｂと同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【０２０６】
図２８Ａにおいて、スレーブ装置は、ＣＳ検知手段１３０１、抵抗８０１、及びデータ処理手段５０３を含む。ＣＳ検知手段１３０１は、ＣＳＡ信号配線１２０２の電位を検知する。そして、ＣＳＡ信号配線１２０２の電位が所定の電位であった場合、ＣＳ検知手段１３０１は、データ処理手段５０３がデータ信号線１２１を介してデータを送受信することを許可する。
【０２０７】
（２）マスタ装置
図２８Ｂにおいて、マスタ装置４０１は、データ処理手段５５３、ＣＳ決定手段１３１１、接続数記憶手段５５４及び装置数検出手段８１１を含む。ＣＳ決定手段１３１１は、アクセスすべき所望のスレーブ装置に応じて、ＣＳＡ信号配線１２０２に異なる電位を印加する。
【０２０８】
（３）ＣＳ決定手段
図２９に第５実施形態例のＣＳ決定手段１３１１によるチップセレクトの具体的な例を示す。図２９において、図２８Ａ、図２８Ｂおよび図２５と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【０２０９】
図２９において、スレーブ装置４１１、４１２、４１３内でＣＳＡ信号線に接続された抵抗８０１は１０Ωである。また、各スレーブ装置間の抵抗１２０３は１０Ωである。なお、ここではマスタ装置４０１に接続されたスレーブ装置の数は３つであるものとする。ＣＳ検知手段１３０１は、ＣＳＡ信号線１２０２の電位が０．５Ｖ±０．１Ｖであるとき、データ処理手段５５３が、データ信号線４２１を介してマスタ装置４０１とデータを送受信することを許可する。
【０２１０】
第１スレーブ装置４１１にアクセスする場合、マスタ装置のＣＳ決定手段１３１１はＣＳＡ信号線１２０２に０．５Ｖを印加する。これにより、第１スレーブ装置４１１のＣＳ検知手段が検知するポイント１４１１における電位が０．５Ｖ±０．１Ｖとなる。このとき、第２スレーブ装置４１２のＣＳ検知手段は、ポイント１４１２における電位として、０．２Ｖを検知する。なお、ポイント１４１２における電位は、抵抗８０１、１２０３によって分圧されている。また、第３スレーブ装置４１３のＣＳ検知手段は、ポイント１４１３における電位として０．１Ｖを検知する。同様に、ポイント１４１３における電位は、抵抗８０１及び２つの抵抗１２０３によって分圧されている。よって、ＣＳ検知手段１３０１は、第２、第３スレーブ装置によるデータの送受信を許可しない。
【０２１１】
次に、第２スレーブ装置４１２にアクセスする場合、ポイント１４１２における電位を０．５Ｖ±０．１Ｖにする必要がある。したがって、マスタ装置のＣＳ決定手段１３１１は、ＣＳＡ信号線１２０２に、１．２５Ｖを印加する。このとき、ＣＳＡ信号線上のポイント１４１１における電位は１．２５Ｖ、ポイント１４１２における電位は０．５Ｖ、ポイント１４１３における電位は０．２５Ｖとなる。よって、ＣＳ検知手段１３０１は、第２スレーブ装置４１２のみにマスタ装置４０１とのデータの送受信を許可する。
【０２１２】
同様に、第３スレーブ装置１４０３にアクセスする場合は、ＣＳ決定手段１３１１はＣＳＡ信号線１２０２に５Ｖを印加する。
【０２１３】
（作用効果）
かかる構成によれば、マスタ装置は、アクセスするスレーブ装置に応じた電位を印加する。これにより、スレーブ装置のＣＳ検知手段は、スレーブ装置間に挿入された抵抗によって分圧された電位を検知し、マスタ装置間とデータの送受信を行うかどうかを決定することができる。
【０２１４】
その他、第３実施形態例と同様の作用効果を得ることができる。
【０２１５】
＜第６実施形態例＞
（構成）
図３０は、本発明の第６実施形態例におけるデバイス識別方法を用いて装置の識別を行うシステムの構成図である。図３０において、図１５と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【０２１６】
図３０において、インダクタ１７０１はスレーブ装置間を接続し、ＣＳＡ信号配線に対して直列に挿入される一定の値を持つインダクタである。
【０２１７】
また、マスタ装置及び各スレーブ装置の端子が、第１実施形態例の図１Ａ及び図１Ｂに示すものと同様に同一端子配置であり、対応する端子同士が貫通配線を介して接続されている。
【０２１８】
（１）スレーブ装置
図３１Ａは、第６実施形態例に係るスレーブ装置の構成図であり、図３１Ｂは、マスタ装置の構成図である。図３１Ａおよび図３１Ｂにおいて、図１６Ａ及び図１６Ｂと同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。
【０２１９】
図３１Ａにおいて、スレーブ装置は、ＣＳ検知手段１８０１、周波数記憶手段１８０３、静電容量１８０２及びデータ処理手段５０３を含む。ＣＳ検知手段１８０１は、ＣＳＡ信号配線１２０２及び静電容量１８０２に接続されている。また、静電容量１８０２は、グランドとＣＳＡ信号配線１２０２との間に接続されている。ここで、インダクタ１７０１と静電容量１８０２とは、ローパスフィルタを形成している。ＣＳ検知手段１８０１は、ＣＳＡ信号配線１２０２に流れる信号について、このローパスフィルタを通過した一定以上のパワーをもつ信号周波数を検知する。そして、ＣＳ検知手段１８０１により検知された周波数が周波数記憶手段１８０３に記憶されている周波数以下であった場合に、データ処理手段５０３はデータ信号線１２１を介してデータを送受信することを許可する。
【０２２０】
また、ＣＳ検知手段１８０１は、周波数記憶手段１８０３に周波数が記録されていない場合には、最初に検知した一定以上のパワーを持つ信号周波数を、周波数記憶手段１８０３に記憶させる。
【０２２１】
（２）マスタ装置
マスタ装置４０１は、データ処理手段５５３、ＣＳ決定手段１８１１、接続数記憶手段５５４及び装置数検出手段８１１を含む。図３１Ｂにおいて、ＣＳ決定手段１８１１は、アクセスすべき所望のスレーブ装置に応じて、ＣＳＡ信号配線１２０１にそれぞれ異なる一定の周波数を持った信号を印加する。
【０２２２】
（処理及び作用効果）
マスタ装置のＣＳ決定手段は、スレーブ装置に接続されたアナログチップセレクト信号線に対し、アクセスするスレーブ装置に応じた周波数を印加する。上述の通り、スレーブ装置間に挿入されたインダクタとスレーブ装置のアナログチップセレクト信号に接続された静電容量とによってローパスフィルタ構造が形成されている。よって、ＣＳ検知手段は、一定以上のパワーをもつ一定周波数の信号を検知し、マスタ装置間とデータの送受信を行うかどうかを決定することができる。
【０２２３】
なお、前記周波数記憶手段１８０３への周波数の記憶は、例えばコマンド線によって送信されるコマンドにより実行されてもよい。
【０２２４】
その他、第３実施形態例と同様の作用効果を得ることができる。
【０２２５】
＜その他の実施形態例＞
前述した方法をコンピュータに実行させるコンピュータプログラム及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、本発明の範囲に含まれる。ここで、コンピュータ読み取り可能な記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＢＤ（Ｂｌｕｅ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ）、半導体メモリを挙げることができる。
【０２２６】
前記コンピュータプログラムは、前記記録媒体に記録されたものに限られず、電気通信回線、無線又は有線通信回線、インターネットを代表とするネットワーク等を経由して伝送されるものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【０２２７】
本発明にかかるデバイス識別方法および装置は、３次元実装による高密度実装が必要なモバイル機器や、複数の半導体装置を多数接続する必要がある、メモリモジュール等の用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０２２８】
【図１Ａ】本発明の第１実施形態例に係る積層装置の概略図。
【図１Ｂ】図１Ａのスレーブ装置に及びマスタ装置の端子構成を示す概略図。
【図２】本発明の第１実施形態例に係る積層装置のバス配線構成を示す概念図。
【図３】第１実施形態例に係る積層装置の断面の構成図。
【図４】マスタ装置及びスレーブ装置の機能構成図。
【図５】図３に示す第１〜第３スレーブ装置のコマンド受信部が受信する識別コマンドの一例。
【図６】携帯電話の一例。
【図７】別の第１実施形態例に係る積層装置の断面の構成図。
【図８】第２実施形態例に係る積層装置の断面の構成図。
【図９】図８に示す積層装置における識別ＩＤの設定方法の概略を示すタイミングチャート。
【図１０】マスタ装置及びスレーブ装置の機能構成図。
【図１１】図８に示す積層装置における識別ＩＤの設定方法の概略を示す概略図。
【図１２】別の第２実施形態例に係る積層装置の断面の構成図。
【図１３】別の第２実施形態例に係る積層装置の断面の構成図。
【図１４】図１３に示す積層装置における識別ＩＤの設定方法の概略を示す概略図。
【図１５】本発明の第３実施形態例に係るデバイス識別方法を用いたシステムの構成図。
【図１６Ａ】スレーブ装置の構成図。
【図１６Ｂ】マスタ装置の構成図。
【図１７】マスタ装置が各スレーブ装置を識別する際の全体の処理の概要を示すフローチャート。
【図１８】乱数確認処理の内容を示したフローチャート。
【図１９】スレーブ装置がマスタ装置からコマンドを受けた際の処理の概要を示すローチャート。
【図２０】第４実施形態例におけるデバイス接続数算出装置を用いたシステムの構成図
【図２１Ａ】第４実施形態例におけるスレーブ装置の構成図。
【図２１Ｂ】第４実施形態例におけるマスタ装置の構成図。
【図２２】第４実施形態例に係る装置数検出手段の構成図。
【図２３】装置数検出手段の具体的な例。
【図２４】判別信号電位から装置数を算出するための装置数検出テーブル。
【図２５】本発明の実施の形態３におけるデバイス識別方法を用いたシステムの構成図。
【図２６】（ａ）本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置を示す図。（ｂ）本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置の断面図。
【図２７】（ａ）本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置の第１の製造工程を示す図。（ｂ）本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置の第２の製造工程を示す図。（ｃ）本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置の第３の製造工程を示す図。（ｄ）本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置の第４の製造工程を示す図。（ｅ）本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置の第５の製造工程を示す図。（ｆ）本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置の第６の製造工程を示す図。
【図２８Ａ】本発明の第５実施形態例におけるマスタ装置の構成図。
【図２８Ｂ】本発明の第５実施形態例におけるスレーブ装置の構成図。
【図２９】本発明の実施の形態３におけるデバイス識別方法の具体例を説明する図。
【図３０】本発明の実施の形態４におけるデバイス識別方法を用いたシステムの構成図。
【図３１Ａ】本発明の実施の形態４におけるマスタ装置の構成図。
【図３１Ｂ】本発明の実施の形態４におけるスレーブ装置の構成図。
【図３２】特許文献１の３次元積層半導体装置の構成図。
【符号の説明】
【０２２９】
１００、２００、３００、４０１：マスタ装置
１１０〜１３０、２１０〜２４０、３１０〜３３０：スレーブ装置
１８１、２９４：コマンド受信部
１８２、２８２：識別ＩＤ設定部
１８３、２８３：識別ＩＤ記憶部
１８４、２８４：選択信号受信部
１８５、２８５：制御信号受信部
１８６、２８６：処理部
１８７、２８７：識別コマンド送信部
１８９、２８９：識別ＩＤ受信部
１９０、２９０：対応付け記憶手段
１９１、２９１：選択信号送信部
１９２、２９２：制御信号送信部
１５１、１５３、１５５、２７３、２７１、２７５、２７７、２７９、２８１：貫通配線１０１、１０３、１０５、１１１、１１３、１１５、１２１、１２３、１２５、１３１、１３３、１３５、２１１、２１３、２１５、２２１、２２３、２２５、２３１、２３３、２３５、３１１、３１３、３１５、３１７、３２１、３２３、３２５、３２７、３３１、３３３、３３５、３３７：ＣＳ端子
１０７、１１７、１２７、１３７、２０７、２１７、２２７、２３７、３０９、３１９、３２９、３３９：制御端子
５０１：コマンド処理手段
５０２：乱数発生手段
５０３：データ処理手段
５０４：識別ＩＤ記憶手段
５５１：コマンド発生手段
５５２：応答確認手段
５５３：データ処理手段
５５４：接続数記憶手段
８１１：装置数検出手段
９０２：接続数算出手段
９０３：Ａ／Ｄ変換手段
１３０１、１８０１：ＣＳ検知手段
１３１１、１８１１：ＣＳ決定手段
１８０３：周波数記憶手段
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006040261.tif 000007
【図５】
2006040261.tif 000008
【図６】
2006040261.tif 000009
【図７】
2006040261.tif 000010
【図８】
2006040261.tif 000011
【図９】
2006040261.tif 000012
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2006040261.tif 000015
【図１３】
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【図１４】
2006040261.tif 000017
【図１５】
2006040261.tif 000018
【図１６Ａ】
2006040261.tif 000019
【図１６Ｂ】
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【図１７】
2006040261.tif 000021
【図１８】
2006040261.tif 000022
【図１９】
2006040261.tif 000023
【図２０】
2006040261.tif 000024
【図２１Ａ】
2006040261.tif 000025
【図２１Ｂ】
2006040261.tif 000026
【図２２】
2006040261.tif 000027
【図２３】
2006040261.tif 000028
【図２４】
2006040261.tif 000029
【図２５】
2006040261.tif 000030
【図２６】
2006040261.tif 000031
【図２７】
2006040261.tif 000032
【図２８Ａ】
2006040261.tif 000033
【図２８Ｂ】
2006040261.tif 000034
【図２９】
2006040261.tif 000035
【図３０】
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【図３１Ａ】
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【図３１Ｂ】
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【図３２】
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