(57)【要約】【課題】  圧電体と駆動ＩＣとを接続する金属配線の断線を防止する液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。【解決手段】  振動板４８の上に、下部電極５２と絶縁して駆動ＩＣ６０と接続する電極部１２０を形成している。この電極部１２０から上部電極５４へ渡って貫通穴１２４を形成し、該貫通穴１２４へ導体１２６を埋めて、電極部１２０と上部電極５４とを導通させるようにしている。これにより、上部電極５４は導体１２６及び電極部１２０を通じて駆動ＩＣ６０と接続されることとなり、従来のように、上部電極５４の上面から金属配線を引き回す必要がなくなる。このため、該金属配線を引き回すことにより生じる金属配線の断線等の問題は起きない。また、金属配線の腐食を防止するため金属配線の表面を被覆する樹脂が不要となるため、圧電体９４の振動特性が安定する。【選択図】          図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルと、
前記ノズルと連通し、液滴が充填される圧力室と、
前記圧力室の一部を構成する振動板と、
前記圧力室へ液滴流路を介して供給する液滴をプールする液滴プール室と、
前記振動板を変位可能とする圧電体と、
前記振動板と前記圧電体の下面の間に形成され、圧電体の一方の極性となる下部電極と、
前記圧電体の上面に設けられ、他方の極性となる上部電極と、
前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加する駆動ＩＣと、
を備え、
前記下部電極と絶縁して前記振動板の上に形成され、前記駆動ＩＣに接続された電極部と、
前記電極部から前記上部電極へ渡って形成された貫通穴と、
前記貫通穴へ埋められ、前記電極部と前記上部電極とを導通させる導体と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記下部電極を形成するときに前記電極部を形成したことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記導体がメッキ法又はプラズマ法で前記貫通穴へ埋められたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク滴等を吐出する液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、主走査方向に往復移動するインクジェット記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」という場合がある）や紙幅を有するインクジェット記録ヘッドの複数のノズルから選択的にインク滴を吐出し、副走査方向に搬送されて来る記録紙等の記録媒体に文字や画像等を印刷するインクジェット記録装置は知られている。
【０００３】
このような構成のインクジェット記録ヘッドにおいて、次世代インクジェットヘッドとして１２００ｄｐｉ、さらには２４００ｄｐｉの高解像度の実現が望まれている。ピエゾタイプのインクジェットヘッドを高解像で得るためには、複数列のノズル配列が必要である。また、圧電素子（ＰＺＴ素子等）への配線は個別配線を行い、各圧電素子から引き回し、駆動ＩＣと接続させる。
【０００４】
例えば、特許文献１では、圧電素子を積層させており、この積層された圧電素子にスルーホールを設け、該スルーホールを導電材料で埋めて、圧電素子の一方の極性である内部共通電極または他方の極性である内部個別電極を構成する導電層同士をスルーホールによって相互接続し、圧電素子の端面に、内部共通電極または内部個別電極にそれぞれ導通可能なフレキシブルケーブルを接続して、圧電素子に電圧を印加できるようにしている。
【０００５】
しかしながら、このような構成では、圧電素子自体が複雑な構成であり、コストが高くなってしまう。また、圧電素子の端面とフレキシブルケーブルの接続領域が広いため、高密度のマトリックス配列を得ることが困難となってしまう。また、圧電素子の端面にフレキシブルケーブルが接続されることで、圧電体の振動へ影響を及ぼしてしまう。
【０００６】
このため、図１０に示すように、圧電体２０４の上面に上部電極２００（内部個別電極に相当)を配置し圧電体２０４の下面に下部電極２０２（内部共通電極に相当)を配置して圧電素子２１０を構成しているが、圧電素子を構成する圧電体は、５〜２０μｍ程度の厚さが狙いであり、通常のＬＳＩ工程において、上部電極２００の上面と下部電極２０２の上面との間には、圧電体２０４の肉厚分の高低差が生じる。ここで、金属配線２０６を引き回した場合、圧電体２０４の肉厚分の高低差により、局所的な配線幅の減少（細り）が発生する。そして、顕著な場合は金属配線２０６の断線が生じる可能性がある。
【特許文献１】特開２０００−９４６７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記事実を考慮し、圧電体と駆動ＩＣとを接続する金属配線の断線を防止する液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液滴吐出ヘッドにおいて、液滴を吐出するノズルと、前記ノズルと連通し、液滴が充填される圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、前記圧力室へ液滴流路を介して供給する液滴をプールする液滴プール室と、前記振動板を変位させる圧電素子と、前記振動板と前記圧電素子の下面の間に形成され、圧電素子の一方の極性となる下部電極と、前記圧電素子の上面に設けられ、他方の極性となる上部電極と、前記上部電極及び前記下部電極に電圧を印加する駆動ＩＣと、を備え、前記下部電極と絶縁して前記振動板の上に形成され、前記駆動ＩＣに接続された電極部と、前記電極部から前記上部電極へ渡って形成された貫通穴と、前記貫通穴へ埋められ、前記電極部と前記上部電極とを導通させる導体と、を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項１に記載の発明では、振動板の上に、下部電極と絶縁した状態で駆動ＩＣと接続する電極部を形成している。この電極部から上部電極へ渡って貫通穴を形成し、該貫通穴へ導体を埋めて、電極部と上部電極とを導通させるようにしている。
【００１０】
これにより、上部電極は導体及び電極部を通じて駆動ＩＣと接続されることとなり、上部電極の上面から金属配線を引き回す必要がなくなる。このため、該金属配線を引き回すことにより生じる金属配線の断線等の問題は起きない。また、金属配線の腐食を防止するため金属配線の表面を被覆する樹脂が不要となるため、圧電体の振動特性が安定する。
【００１１】
また、圧電体に貫通穴を形成し、該貫通穴へ導体を埋めて、上部電極と上部電極の反対側に位置する電極部を導通させることで、簡単な配線構造が得られ、低コスト化が実現されると共に、高信頼性を得られる。
【００１２】
さらに、振動板と圧電体の下面の間に、下部電極と同一平面上に電極部を形成することで、いわゆる共通電極（下部電極に相当）とアドレス電極（上部電極に相当）を同一工程上で形成することができる。これにより、工数の削減を図ることができ、低コスト化を実現することができる。
【００１３】
また、例えば、ＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｆｌａｔ  Ｃａｂｌｅ）で上部電極の上面から上部電極と接続する方法に比べ、上部電極の接続領域を狭くすることができ、高密度のマトリックス配列が得られる。また、ＦＦＣの接続状態による圧電体への振動の影響をなくし、バラツキのない安定した液滴吐出ヘッドが得られる
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記下部電極を形成するときに前記電極部を形成したことを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載の発明では、下部電極を形成するときに電極部を形成することで、工数を削減することができ、低コスト化を図ることができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記導体がメッキ法又はプラズマ法で前記貫通穴へ埋められたことを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、液滴吐出装置において、請求項１〜３の何れか１項に液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は上記構成としたので、上部電極は導体及び電極部を通じて駆動ＩＣと接続されることとなり、上部電極の上面から金属配線を引き回す必要がなくなる。このため、該金属配線を引き回すことにより生じる金属配線の断線等の問題は起きない。また、金属配線の腐食を防止するため金属配線の表面を被覆する樹脂が不要となるため、圧電体の振動特性が安定する。また、圧電体に貫通穴を形成し、該貫通穴へ導体を埋めて、上部電極と上部電極の反対側に位置する電極部を導通させることで、簡単な配線構造が得られ、低コスト化が実現されると共に、高信頼性を得られる。さらに、振動板と圧電体の下面の間に、下部電極と同一平面上に電極部を形成することで、いわゆる共通電極（下部電極に相当）とアドレス電極（上部電極に相当）を同一工程上で形成することができる。これにより、工数の削減を図ることができ、低コスト化を実現することができる。また、例えば、ＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｆｌａｔ  Ｃａｂｌｅ）で上部電極の上面から上部電極と接続する方法に比べ、上部電極の接続領域を狭くすることができ、高密度のマトリックス配列が得られる。また、ＦＦＣの接続状態による圧電体への振動の影響をなくし、バラツキのない安定した液滴吐出ヘッドが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に示す実施例を基に詳細に説明する。なお、記録媒体は記録紙Ｐとして説明をする。また、記録紙Ｐのインクジェット記録装置１０における搬送方向を副走査方向として矢印Ｓで表し、その搬送方向と直交する方向を主走査方向として矢印Ｍで表す。また、図において、矢印ＵＰ、矢印ＬＯが示されている場合は、それぞれ上方向、下方向を示すものとし、上下の表現をした場合は、上記各矢印に対応しているものとする。
【００１９】
まず、最初にインクジェット記録装置１０の概要を説明する。図１で示すように、インクジェット記録装置１０は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクジェット記録ユニット３０（インクジェット記録ヘッド３２）を搭載するキャリッジ１２を備えている。このキャリッジ１２の記録紙Ｐの搬送方向上流側には一対のブラケット１４が突設されており、そのブラケット１４には円形状の開孔１４Ａ（図２参照）が穿設されている。そして、その開孔１４Ａに、主走査方向に架設されたシャフト２０が挿通されている。
【００２０】
また、主走査方向の両端側には、主走査機構１６を構成する駆動プーリー（図示省略）と従動プーリー（図示省略）が配設されており、その駆動プーリーと従動プーリーに巻回されて、主走査方向に走行するタイミングベルト２２の一部がキャリッジ１２に固定されている。したがって、キャリッジ１２は主走査方向に往復移動可能に支持される構成である。
【００２１】
また、このインクジェット記録装置１０には、画像印刷前の記録紙Ｐを束にして入れておく給紙トレイ２６が設けられており、その給紙トレイ２６の上方には、インクジェット記録ヘッド３２によって画像が印刷された記録紙Ｐが排出される排紙トレイ２８が設けられている。そして、給紙トレイ２６から１枚ずつ給紙された記録紙Ｐを所定のピッチで副走査方向へ搬送する搬送ローラー及び排出ローラーからなる副走査機構１８が設けられている。
【００２２】
その他、このインクジェット記録装置１０には、印刷時において各種設定を行うコントロールパネル２４と、メンテナンスステーション（図示省略）等が設けられている。メンテナンスステーションは、キャップ部材、吸引ポンプ、ダミージェット受け、クリーニング機構等を含んで構成されており、吸引回復動作、ダミージェット動作、クリーニング動作等のメンテナンス動作を行うようになっている。
【００２３】
また、各色のインクジェット記録ユニット３０は、図２で示すように、インクジェット記録ヘッド３２と、それにインクを供給するインクタンク３４とが一体に構成されたものであり、インクジェット記録ヘッド３２の下面中央のインク吐出面３２Ａに形成された複数のノズル５６（図３参照）が、記録紙Ｐと対向するようにキャリッジ１２上に搭載されている。したがって、インクジェット記録ヘッド３２が主走査機構１６によって主走査方向に移動しながら、記録紙Ｐに対してノズル５６から選択的にインク滴を吐出することにより、所定のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録される。
【００２４】
そして、主走査方向への１回の移動が終了すると、記録紙Ｐは、副走査機構１８によって副走査方向に所定ピッチ搬送され、再びインクジェット記録ヘッド３２（インクジェット記録ユニット３０）が主走査方向（前述とは反対方向）に移動しながら、次のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録されるようになっており、このような動作を複数回繰り返すことによって、記録紙Ｐに画像データに基づく全体画像がフルカラーで記録される。
【００２５】
以上のような構成のインクジェット記録装置１０において、次にインクジェット記録ヘッド３２について詳細に説明する。
【００２６】
図３はインクジェット記録ヘッド３２の構成を示す概略平面図であり、図４は図３のＸ−Ｘ線概略断面図である。この図３、図４で示すように、インクジェット記録ヘッド３２には、インクタンク３４と連通するインク供給口３６が設けられており、そのインク供給口３６から注入されたインク１１０は、インクプール室３８に貯留される。
【００２７】
インクプール室３８は天板４０と隔壁４２とによって、その容積が規定されており、インク供給口３６は、天板４０の所定箇所に複数、列状に穿設されている。この天板４０の材質は、例えばガラス、セラミックス、シリコン、樹脂等、インクジェット記録ヘッド３２の支持体になり得る強度を有する絶縁体であれば何でもよい。また、天板４０には、後述する駆動ＩＣ６０へ通電するための金属配線９０が設けられている。この金属配線９０は、樹脂膜９２で被覆保護されており、インク１１０による侵食が防止されるようになっている。
【００２８】
隔壁４２は樹脂（感光性ドライフィルム）で成形され、インクプール室３８を矩形状に仕切っている。また、インクプール室３８は、圧電素子４６と、その圧電素子４６によって上下方向に撓み変形させられる振動板４８を介して、圧力室５０と上下に分離されている。つまり、圧電素子４６及び振動板４８が、インクプール室３８と圧力室５０との間に配置される構成とされ、インクプール室３８と圧力室５０とが同一水平面上に存在しないように構成されている。
【００２９】
したがって、圧力室５０を互いに接近させた状態に配置することが可能であり、ノズル５６をマトリックス状に高密度に配設することが可能となっている。また、このような構成にしたことにより、キャリッジ１２の主走査方向への１回の移動で、広いバンド領域に画像を形成することができるので、その走査時間が短くて済む。すなわち、少ないキャリッジ１２の移動回数及び時間で記録紙Ｐの全面に亘って画像形成を行う高速印刷が実現可能となっている。
【００３０】
ここで、振動板４８は、ＳＵＳ等の金属で成形され、少なくとも上下方向に弾性を有し、圧電素子４６に電圧が印加されると、上下方向に撓み変形する（変位する）構成になっている。なお、振動板４８は、ガラス等の絶縁性材料であっても差し支えはない。
【００３１】
一方、圧電素子４６は、マトリックス状に配置され（図３参照）、圧力室５０毎に振動板４８の上部に設けられており、ＰＺＴ膜で形成された圧電体９４で構成されている。圧電体９４の下面と振動板４８との間には、一方の極性となる下部電極５２が設けられており、圧電体９４の上面には他方の極性となる上部電極５４が設けられている。
【００３２】
また、下部電極５２の同一平面上には、下部電極５２との間に隙間を設けた状態で電極部１２０が形成されており、駆動ＩＣ６０に接続されている。また、電極部１２０の一部は、圧電体９４の下面に設けられており、圧電体９４を間において上部電極５４と対面している。
【００３３】
圧電体９４には、電極部１２０から上部電極５４へ渡って貫通穴１２４が形成されており、この貫通穴１２４へは、メッキ法又はプラズマ法によって導体１２６が埋め込まれ、電極部１２０と上部電極５４が導体１２６を介して導通可能となっている。
【００３４】
また、圧電素子４６は、低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０で被覆保護されている。この低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０は、水分透過性が低くなる条件で圧電素子４６に着膜するため、水分が圧電素子４６の内部に侵入して信頼性不良となること（いわゆるＰＺＴ膜内の酸素を還元することにより生ずる圧電特性の劣化）を防止することができる。なお、下部電極５２と接触する金属（ＳＵＳ等）製の振動板４８は、低抵抗なＧＮＤ配線としても機能するようになっている。
【００３５】
さらに、低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０の上面は、樹脂保護膜８８で被覆保護され、インク１１０による侵食が防止されるようになっているが、圧電素子４６の上方は、樹脂保護膜８８が被覆されない構成になっている。樹脂膜８２は、柔軟性がある樹脂層であるため、このような構成により、圧電素子４６（振動板４８）の変位阻害が防止されるようになっている（上下方向に好適に撓み変形可能とされている）。つまり、圧電素子４６上方の樹脂層は、薄い方がより変位阻害の抑制効果が高くなるので、樹脂保護膜８８を被覆しないようにしている。
【００３６】
圧電素子４６の上部には隔離室１１２が設けられており、該隔離室１１２によって圧電素子４６をインク１１０から隔離している。これにより、圧電素子４６にはインク１１０による拘束力が負荷されないため、該拘束力によって圧電素子４６の撓み変形が阻害されることはない。また、隔離室１１２によって圧電素子４６をインク１１０から隔離することで、圧電素子４６をインク侵食から保護している。
【００３７】
この圧電素子４６の撓み変形によって圧力室５０が加圧され、圧力室５０と連通するノズル５６からインク滴としてインク１１０が吐出されるとき、インク流路６６を介してインクプール室３８内へ伝達されるインク１１０の圧力波は、隔離室１１２に設けられたエアダンパー４４によって緩和される。
【００３８】
一方、駆動ＩＣ６０は、隔壁４２で規定されたインクプール室３８の外側で、かつ天板４０と振動板４８との間に配置されており、振動板４８や天板４０から露出しない構成とされている。したがって、インクジェット記録ヘッド３２の小型化が実現可能となっている。
【００３９】
また、駆動ＩＣ６０の周囲は樹脂材５８で封止されている。この駆動ＩＣ６０を封止する樹脂材５８の注入口４０Ｂは、図５で示すように、製造段階における天板４０において、各インクジェット記録ヘッド３２を仕切るように格子状に複数個穿設されており、圧電素子基板７０と圧力室５０が形成された流路基板７２を結合（接合）させた後、樹脂材５８によって封止された（閉塞された）注入口４０Ｂに沿って天板４０を切断することにより、マトリックス状のノズル５６（図３参照）を有するインクジェット記録ヘッド３２が１度に複数個製造される構成になっている。
【００４０】
また、この駆動ＩＣ６０の下面には、図４、図６で示すように、複数のバンプ６２がマトリックス状に所定高さ突設されており、振動板４８上に圧電素子４６が形成された圧電素子基板７０にフリップチップ実装されるようになっている。したがって、圧電素子４６に対する高密度接続が容易に実現可能であり、駆動ＩＣ６０の高さの低減を図ることができる（薄くすることができる）。これによっても、インクジェット記録ヘッド３２の小型化が実現可能となっている。
【００４１】
また、図４において、駆動ＩＣ６０の外側には、バンプ６４が設けられている。このバンプ６４は、天板４０に設けられる金属配線９０と、圧電素子基板７０に設けられる電極部１２０とを接続しており、当然ながら、圧電素子基板７０に実装された駆動ＩＣ６０の高さよりも高くなるように設けられている。
【００４２】
したがって、インクジェット記録装置１０の本体側から天板４０の金属配線９０に通電され、その天板４０の金属配線９０からバンプ６４を経て電極部１２０に通電され、そこから駆動ＩＣ６０に通電される構成である。そして、その駆動ＩＣ６０により、所定のタイミングで圧電素子４６に電圧が印加され、振動板４８が上下方向に撓み変形することにより、圧力室５０内に充填されたインク１１０が加圧されて、ノズル５６からインク滴が吐出する構成である。
【００４３】
インク滴を吐出するノズル５６は、圧力室５０毎に１つずつ、その所定位置に設けられている。圧力室５０とインクプール室３８とは、圧電素子４６を回避するとともに、振動板４８に穿設された貫通孔４８Ａを通るインク流路６６と、圧力室５０から水平方向へ向かって延設されたインク流路６８とが連通することによって接続されている。このインク流路６８は、インクジェット記録ヘッド３２の製造時に、インク流路６６とのアライメントが可能なように（確実に連通するように）、予め実際のインク流路６６との接続部分よりも少し長めに設けられている。
【００４４】
このようなインクジェット記録ヘッド３２を備えたインクジェット記録装置１０において、次に、その作用を説明する。
【００４５】
まず、図１及び図２に示すインクジェット記録装置１０に印刷を指令する電気信号が送られると、給紙トレイ２６から記録紙Ｐが１枚ピックアップされ、副走査機構１８により、所定の位置へ搬送される。
【００４６】
一方、インクジェット記録ユニット３０では、すでにインクタンク３４から図４に示すインク供給口３６を介してインクジェット記録ヘッド３２のインクプール室３８にインク１１０が注入（充填）され、インクプール室３８に充填されたインク１１０は、インク流路６６、６８を経て圧力室５０へ供給（充填）されている。そして、このとき、ノズル５６の先端（吐出口）では、インク１１０の表面が圧力室５０側に僅かに凹んだメニスカスが形成されている。
【００４７】
そして、キャリッジ１２に搭載されたインクジェット記録ヘッド３２が主走査方向に移動しながら、複数のノズル５６から選択的にインク滴を吐出することにより、記録紙Ｐの所定のバンド領域に、画像データに基づく画像の一部を記録する。
【００４８】
すなわち、駆動ＩＣ６０により、所定のタイミングで、所定の圧電素子４６に電圧を印加し、振動板４８を上下方向に撓み変形させて（面外振動させて）、圧力室５０内のインク１１０を加圧し、所定のノズル５６からインク滴として吐出させる。
【００４９】
こうして、記録紙Ｐに画像データに基づく画像の一部が記録されたら、副走査機構１８により、記録紙Ｐを所定ピッチ搬送させ、上記と同様に、インクジェット記録ヘッド３２を主走査方向に移動しながら、再度複数のノズル５６から選択的にインク滴を吐出することにより、記録紙Ｐの次のバンド領域に、画像データに基づく画像の一部を記録する。
【００５０】
そして、このような動作を繰り返し行い、記録紙Ｐに画像データに基づく画像が完全に記録されたら、副走査機構１８により、記録紙Ｐを最後まで搬送し、排紙トレイ２８上に記録紙Ｐを排出する。これにより、記録紙Ｐへの印刷処理（画像記録）が完了する。
【００５１】
次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの要旨について説明する。
【００５２】
図４に示すように、本形態では、振動板４８の上に、下部電極５２と絶縁して駆動ＩＣ６０と接続する電極部１２０を形成している。この電極部１２０から上部電極５４へ渡って貫通穴１２４を形成し、該貫通穴１２４へ導体１２６を埋めて、電極部１２０と上部電極５４とを導通させるようにしている。
【００５３】
これにより、上部電極５４は導体１２６及び電極部１２０を通じて駆動ＩＣ６０と接続されることとなり、従来のように、上部電極５４の上面から金属配線２０６（図１０参照）を引き回す必要がなくなる。このため、該金属配線２０６を引き回すことにより生じる金属配線２０６の断線等の問題は起きない。また、金属配線２０６の腐食を防止するため金属配線２０６の表面を被覆する樹脂が不要となるため、圧電体９４の振動特性が安定する。
【００５４】
一方、圧電体９４に貫通穴１２４を形成し、該貫通穴１２４へ導体１２６を埋めて、上部電極５４と上部電極５４の反対側に位置する電極部１２０を導通させることで、簡単な配線構造が得られ、低コスト化が実現されると共に、高信頼性を得られる。
【００５５】
また、例えば、ＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｆｌａｔ  Ｃａｂｌｅ）で上部電極５４の上面から上部電極５４と接続する方法に比べ、上部電極５４の接続領域を狭くすることができ、高密度のマトリックス配列が得られる。また、ＦＦＣの接続状態による圧電体９４への振動の影響をなくし、バラツキのない安定したインクジェット記録ヘッド３２が得られる。
【００５６】
以上のような構成のインクジェット記録ヘッド３２において、次に、圧電素子４６の形成方法について説明する。
【００５７】
まず、図８（Ａ）及び図９（Ａ）（なお、図９（Ａ）は図８（Ａ）のＡ−Ａ断面であるり、図９（Ｂ）以下も同様である。）で示すように、振動板４８の上面に、下部電極５２及び電極部１２０をパターニングする。具体的には、金属膜スパッタ、ホトリソグラフィー法によるレジスト形成、パターニング（エッチング）、酸素プラズマによるレジスト剥離であるが、電極部１２０は下部電極５２との間に隙間（溝部１２１）を設けた状態で形成される。そして、この下部電極５２が接地電位となる。
【００５８】
次に、図８（Ｂ）及び図９（Ｂ）で示すように、下部電極５２及び電極部１２０の上面に、低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０を積層するが、後述する上部電極５４が形成される領域（溝部１２３）は除く。
【００５９】
そして、図８（Ｃ）及び図９（Ｃ）に示すように、露出している下部電極５２及び電極部１２０と低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０の上面に、圧電素子４６の材料であるＰＺＴ膜（以下、「圧電体９４」という）をスパッタ法で積層した後、図８（Ｄ）に示すように、圧電体９４の上面に上部電極５４をスパッタ法で積層する。
【００６０】
そして、図８（Ｅ）で示すように、圧電体９４及び上部電極５４をパターニングするため、上部電極５４の上面にレジストマスク１２２を形成する。ここで、下部電極５２及び上部電極５４の電極材料としては、例えば圧電体であるＰＺＴ材料との親和性が高く、耐熱性がある、Ａｕ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｐｔ等が挙げられる。
【００６１】
次に、図８（Ｆ）及び図９（Ｄ）に示すように、上部電極５４及び圧電体９４をドライエッチングによりパターニングする。これにより、上部電極５４及び圧電体９４を貫通する貫通穴１２４が形成される。そして、図８（Ｇ）及び図９（Ｅ）に示すように、メッキ法又はプラズマ法によって、この貫通穴１２４内へ導体１２６を埋め込んだ後、図８（Ｈ）及びに示すように、レジストマスク１２２を除去して、圧電素子４６が形成される。
【００６２】
以上のように、本形態では、振動板４８の上面に、下部電極５２の同一平面上に電極部１２０を形成することで、いわゆる共通電極（下部電極５２に相当）とアドレス電極（上部電極５４に相当）を同一工程上で形成することができる。これにより、工数の削減を図ることができ、低コスト化を実現することができる。
【００６３】
なお、上記実施例のインクジェット記録装置１０では、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ユニット３０がそれぞれキャリッジ１２に搭載され、それら各色のインクジェット記録ヘッド３２から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が記録紙Ｐに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、記録紙Ｐ上への文字や画像の記録に限定されるものではない。
【００６４】
すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、工業的に用いられる液滴噴射装置全般に対して、本発明に係るインクジェット記録ヘッド３２を適用することができる。
【００６５】
また、上記実施例のインクジェット記録装置１０では、主走査機構１６と副走査機構１８を有するＰａｒｔｉａｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）の例で説明したが、本発明におけるインクジェット記録は、これに限定されず、紙幅対応のいわゆるＦｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ）であってもよい。むしろ、本発明は、高密度ノズル配列を実現するのに有効なものであるため、１パス印字を必要とするＦＷＡには好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録装置を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るキャリッジに搭載されたインクジェット記録ユニットを示す概略斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を示す概略平面図である。
【図４】図３のＸ−Ｘ線概略断面図であり、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドを示している。
【図５】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドとして切断される前の天板を示す概略平面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドに備えた駆動ＩＣのバンプを示す概略平面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成とボードを示す概略斜視図である。
【図８−１】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を形成する工程を示す概略断面図である。
【図８−２】（Ｅ）〜（Ｈ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を形成する工程を示す概略断面図である。
【図９−１】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を形成する工程を示す概略平面図である。
【図９−２】（Ｄ）〜（Ｅ）は、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を形成する工程を示す概略平面図である。
【図１０】従来のインクジェット記録ヘッドの構造を示す概略断面図
【符号の説明】
【００６７】
１０    インクジェット記録装置（液滴吐出装置）
３２    インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
３８    インクプール室（液滴プール室）
４６    圧電素子
４８    振動板
５０    圧力室
５２    下部電極
５４    上部電極
５６    ノズル
９４    圧電体
１２０  電極部
１２４  貫通穴
１２６  導体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８−１】
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【図８−２】
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【図９−１】
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【図９−２】
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【図１０】
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