(57)【要約】【課題】パネルのサイズによって移動されるクランピングキャリアーを一対のカンチレバーから構成して全体的な構造が簡単なカンチレバーパネル移送装置を提供すること。【解決手段】本発明のカンチレバーパネル移送装置を成す構成手段は、所定の駆動手段によってサブテーブルとワークテーブルとの間を往来する移動体と、移動体の上面に設けられる一対のキャリアー移動手段と、キャリアー移動手段によって移動体の長手方向に往復運動できる移動ブロックと、移動ブロックと一端が結合されてキャリアー移動手段によって移動され、互いに平行に向き合っている二つのカンチレバークランプキャリアーと、二つのカンチレバークランプキャリアーにそれぞれ結合されて移送されるパネルをクランピングし、カンチレバークランプキャリアーの長手方向に沿って移動可能なグリップ手段と、を含んで成る。【選択図】図３
2006160523.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネル検査装置のサブテーブルとワークテーブルとの間で被検査パネルを移送するパネル移送装置であって、
所定の駆動手段によって前記サブテーブルとワークテーブルとの間を往来する移動体と、
前記移動体の上面に設けられる一対のキャリアー移動手段と、
前記キャリアー移動手段によって前記移動体の長手方向に往復運動できる移動ブロックと、
前記移動ブロックと一端が結合されて前記キャリアー移動手段によって移動され、互いに平行に向き合っている二つのカンチレバークランプキャリアーと、
前記二つのカンチレバークランプキャリアーにそれぞれ少なくとも二つ以上結合されて移送されるパネルをクランピングするグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とするカンチレバーパネル移送装置。
【請求項２】
前記それぞれのキャリアー移動手段は、
前記移動体の長手方向に設けられる一対のガイドレールと、
前記ガイドレールの間に設けられるボールスクリューと、
前記ボールスクリューを駆動するモーターと、を含んで構成され、
前記移動ブロックは、
前記ガイドレールと噛み合って摺動摺動するガイド結合部材と、
前記ボールスクリューに結合されて連動されるナット結合体と、を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項３】
前記移動ブロックと前記移動ブロック端が結合されるカンチレバークランプキャリアーの上面にはリブがさらに備えられることを特徴とする、請求項１に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項４】
前記リブは、前記カンチレバークランプキャリアーの他端で前記移動ブロックに行くほど厚さと幅が増加することを特徴とする、請求項３に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項５】
前記移動ブロックは、カンチレバークランプキャリアーと連結される上部移動ブロックと前記上部移動ブロックの下部に結合される下部移動ブロックとより成り、
前記上部移動ブロックは前記下部移動ブロック上で微細回転が可能に結合されることを特徴とする、請求項１に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項６】
前記上部移動ブロックと下部移動ブロックのそれぞれには、垂直線上に対応する一つの回転ホールと二つの微細調整ホールが形成され、
前記回転ホールには回転ボルトが結合され、
前記微細調整ホールには微細調整ボルトが結合されることを特徴とする、請求項５に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項７】
前記二つの微細調整ホールには、前記微細調整ボルトとねじ結合できるようにねじ山が形成され、
前記微細調整ボルトが移動できるように長く曲がった形状を有することを特徴とする、請求項６に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項８】
前記上部移動ブロックの側面には、少なくとも二つ以上の補正ピンをさらに備えることを特徴とする、請求項５に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項９】
前記グリップ手段は、
前記カンチレバークランプキャリアーの自由端側に固定されるように設けられる第１のグリップ手段と、
前記第１のグリップ手段に所定間隔固定端側に離隔されるように前記カンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に形成された溝に沿って受動に移動可能に設けられる第２のグリップ手段と、
を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１０】
前記グリップ手段は、
前記カンチレバークランプキャリアーの自由端側に固定されるように設けられる第１のグリップ手段と、
前記第１のグリップ手段に所定間隔固定端側に離隔されるように前記カンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に沿って自動的に移動可能に設けられる第２のグリップ手段と、
を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１１】
前記グリップ手段は、
前記カンチレバークランプキャリアーの自由端側に長手方向に形成された溝に沿って受動に移動可能に設けられる第１のグリップ手段と、
前記第１のグリップ手段に所定間隔固定端側に離隔されるように前記カンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に沿って自動的又は受動的に移動可能に設けられる第２のグリップ手段と、
を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１２】
前記グリップ手段は、
前記カンチレバークランプキャリアー上に移動可能に結合されるグリップベースと、
前記グリップベースに一対のテンション維持部によって結合される支持体と、
前記支持体の下部面に結合されるホルダーと、
を含んで成ることを特徴とする、請求項９乃至請求項１１のうちいずれか一つの項に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１３】
前記テンション維持部は、
前記グリップベースと前記支持体とを結合する一対の結合バーと、
前記結合バーの外周面に設けられて前記グリップベースについて前記支持体のテンションを維持させるスプリングと、を含んで成ることを特徴とする、請求項１２に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１４】
前記カンチレバークランプキャリアー上の上面には、長手方向に一対の溝がさらに形成され、
前記グリップベースを前記一対の溝のうちの内側溝に固定させるか、或いは内側溝に沿って受動移動が可能に結合されることを特徴とする、請求項１３に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１５】
前記支持体の両側面には、前記カンチレバークランプキャリアーの中央部分まで延長される第１及び第２の感知対象バーがさらに備えられ、
前記カンチレバークランプキャリアーには、
前記第１の感知対象バーを通じて前記パネルがクランピングされたかを感知するパネル有無センサーと、
前記第２の感知対象バーを通じて前記パネルに過度な力が加えられるかを感知するパネル損傷防止センサーと、がさらに備えられることを特徴とする、請求項１４に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１６】
前記パネル損傷防止センサーは、前記カンチレバークランプキャリアーの上面に長手方向に形成された一対の溝のうちの外側溝に設けられることを特徴とする、請求項１５に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１７】
前記カンチレバークランプキャリアーの一側面の長手方向に移動可能に設けられるグリップ手段を自動的に移動させるために、
前記カンチレバークランプキャリアーの長手方向に一対のＬ／Ｍガイドを設け、
前記一対のＬ／Ｍガイドの間にスクリューシャフトと、前記スクリューシャフトを駆動するモーターと、を設け、
前記グリップベースの下部面には、前記スクリューシャフトとねじ結合されるナットと前記Ｌ／Ｍガイドと噛み合うガイド結合体と、が設けられることを特徴とする、請求項１０又は請求項１１に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１８】
前記ホルダーは、前記パネルと接触する一端に形成される接触部が凹溝形状であるか、或いはＬ字形状であることを特徴とする、請求項１２に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【請求項１９】
前記接触部には、ラバーがさらに備えられることを特徴とする、請求項１８に記載のカンチレバーパネル移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネル検査装置のパネル移送装置に関するものであり、特に検査するパネルサイズによって自動移動できるクランピングキャリアーを二つのカンチレバーから構成し、それぞれのカンチレバーを移動させるために一対のキャリアー移動手段を備えることによって、装置の構造を簡単にしてコストを大幅に低減させることができるカンチレバーパネル移送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に知られたような液晶パネル検査装置は、液晶パネルのラインの断線検査と色相検査のためプローブユニットを用いて点灯検査を行い、その外顕微鏡を用いて肉眼検査を行う。
【０００３】
このような液晶パネル検査装置は、図１に示されたように検査装置本体１００と、検査装置本体１００の一側に形成された液晶パネル供給部１０と、液晶パネル供給部１０と並んで水平構造に設けられた検査部３０と液晶パネル供給部１０から液晶パネルが供給されて検査部３０にローディング及びアンローディングさせるパネル移送装置４０と、から構成される。
【０００４】
ここで、従来のパネル検査装置のパネル移送装置４０は、図２に示されたように、移送装置本体４１と、移送装置本体４１の側端に少なくとも一つ以上設けられることと同時に液晶パネル供給部１０及び検査部３０にかけて液晶パネル４８の縦長手方向側に所定の間隔を置いて配置されることと同時に多段に配置されるガイドレール４２と、ガイドレール４２に沿って互いに離隔に水平移動されるように設けられる四角移動部材４３と、各四角移動部材４３の上、下端側に形成されることと同時に各ガイドレール４２に沿って移動することによって、各四角移動部材４３を水平移動させる複数の移送体４４と、四角移動部材４３の上、下端側のうちいずれか一側に連結された移送体４４と結合されてその移送体４４を移動可能に駆動させる複数の駆動手段（図示せず）と、から構成される。
【０００５】
併せて、四角移動部材４３の一側面に上、下対称に形成される二対のガイド４５と、ガイド４５に沿って上、下対称の形態に移動可能に設けられる一対の移動ブロック４６と、それぞれの移動ブロック４６を駆動させる駆動手段（図示せず）と、移動ブロック４６の内端側に設けられて液晶パネル４８を固定するように設けられるグリップ手段４７と、から構成される。ここで、グリップ手段４７は、移動ブロック４６の内端側の中央に固定されて設けられる。
【０００６】
このグリップ手段４７は、図２の拡大部分に示されたように、移動ブロック４６に設けられるエアシリンダーのような駆動手段４７ｃとこの駆動手段によって移動される移動軸４７ｂとこの移動軸４７ｂと連結されて液晶パネル４８をグリップするグリッパー４７ａと、から構成される。従って、液晶パネル４８をグリップするためには駆動手段４７ｃの駆動によって移動軸４７ｂに連結されるグリッパー４７ａを移動させなければならない。
【０００７】
それぞれの移動ブロック４６を駆動するためには、それぞれの移動ブロック４６の両端と連結された一対の駆動手段（図示せず）を同期駆動させる。一対の駆動手段を同期駆動させて検査するパネルがクランピングできる位置まで移動ブロック４６を移動させることができる。
【０００８】
一方、液晶パネル供給部１０は、供給された液晶パネル４８を待機させるサブテーブル（図１で参照符号２０を付記される。）が設けられ、サブテーブル２０に待機中である液晶パネル４８は、移送装置４０によって検査部３０にローディングされるように構成され、移送装置４０によって再び検査テーブルからアンローディングされて液晶パネル供給部１０に復帰するように構成され、移動ブロック４６は駆動手段（図示せず）によって検査するパネルをクランピングできる位置まで移動された後、エアシリンダー４７ｃによって上、下対称になった方向に前進後退移動されてグリッパー４７ａに液晶パネルを嵌め方式によってグリップするように構成される。
【０００９】
前述したように構成された状態で作業者は、検査する液晶パネルを液晶パネル供給部１０のサブテーブル２０に安着させた後、作動スイッチを押す。そして、作動スイッチによって制御部は制御信号を発生し、制御信号に応じてエアシリンダーが作動されて液晶パネル供給部１０のサブテーブル２０に安着された液晶パネルを四角移動部材４３に供給させる位置に待機する。
【００１０】
前述したように液晶パネル供給部１０のサブテーブル２０に安着された液晶パネル４８が待機状態を成せば、サブテーブル２０に供給された液晶パネル４８のサイズ及び種類についての情報が制御部（図示せず）に伝達される。そうすれば、制御部（図示せず）の制御信号に応じて液晶パネル４８のサイズ及び種類に対応する位置に移動ブロック４６が移動される。
【００１１】
そして、エアシリンダーのような移動手段４７ｃによって上、下対称の形態に前進後退移動されるグリッパー４７ａに液晶パネル上、下端側を嵌め方式によって取る。
【００１２】
その後、グリップ手段４７の一側に設けられたセンサーによって液晶パネル４８のグリップ状態が確認されれば、再びエアシリンダーの動作によってサブテーブル２０は後進して初期状態に待機し、検査部３０の検査テーブルもまた前進して検査初期状態に待機する。
【００１３】
以上で調べた従来の液晶パネル検査装置のパネル移送装置４０によれば、四角移動部材４３上に一対の移動ブロック４６が存在し、一対の移動ブロック４６を移動させるために二対の駆動手段（図示せず）が備えられ、装備の構造が複雑で装備製作コストが高まるといった問題点がある。
【００１４】
また、液晶パネル４８をグリップするためにグリッパー４７ａを移動させるさらに他の駆動手段４７ｃが備えられることによって、駆動手段を駆動するための駆動電力の消耗が増加して装置の重さが増加するといった短所がある。
【００１５】
また、駆動手段４７ｃをエアシリンダーから構成する場合、エアを供給する別途のライン及びセンサーが備えられなければならないので、装備が複雑で制御が煩わしい短所が発生する。そして、各グリッパー４７ａを駆動するエアシリンダーに同一なエアを供給しなければならないが、もし同一なエアが供給されない場合、液晶パネル４８を正確にグリップできない場合が発生し得る。
【００１６】
また、移動ブロック４６の両端に連結される駆動手段（図示せず）を同期駆動させてそれぞれの移動ブロック４６を移動させるので、一対の駆動手段に含まれる一対のモーターの出力が相異なる場合、移動ブロック４６の両端に位置差異が生じて両側のガイドに沿って移動する移動ブロックが破損されるという問題点が発生し、装置が誤動作できるだけではなく、移送装置全体が破壊されるという問題点が発生する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明の技術的課題は、パネルのサイズによって移動されるクランピングキャリアーを一対のカンチレバーから構成して全体的な構造が簡単なカンチレバーパネル移送装置を提供することである。
【００１８】
本発明の他の技術的課題は、一対のクランピングキャリアーを移動させるためのキャリアー移動手段を一対のみ備えることによって、構成手段のレイアウトが簡単になり、コストと駆動電力を低めさせるカンチレバーパネル移送装置を提供することである。
【００１９】
本発明のさらに他の技術的課題は、ホルダーの形状を多様に構成して液晶パネル供給部の誤動作によって垂直方向にパネルが過移動される場合に発生するパネルの損傷を防止できるカンチレバーパネル移送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
前述した他の技術的課題を達成するための本発明の一実施形態によるカンチレバーパネル移送装置を成す構成手段は、液晶パネル検査装置のサブテーブルとワークテーブルとの間で被検査パネルを移送するパネル移送装置であって、所定の駆動手段によってサブテーブルとワークテーブルとの間を往来する移動体と、この移動体の上面に設けられる一対のキャリアー移動手段と、キャリアー移動手段によって移動体の長手方向に往復運動できる移動ブロックと、移動ブロックと一端が結合されてキャリアー移動手段によって移動され、互いに平行に向き合っている二つのカンチレバークランプキャリアーと、二つのカンチレバークランプキャリアーにそれぞれ少なくとも二つ以上結合されて移送されるパネルをクランピングするグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とする。
【００２１】
また、それぞれのキャリアー移動手段は、移動体の長手方向に設けられる一対のガイドレールと、ガイドレールの間に設けられるボールスクリューと、ボールスクリューを駆動するモーターと、を含んで構成され、移動ブロックは、ガイドレールと噛み合って摺動摺動するガイド結合部材と、ボールスクリューに結合されて連動されるナット結合体と、を含んで成ることを特徴とする。
【００２２】
また、移動ブロックと移動ブロック端が結合されるカンチレバークランプキャリアーの上面にはリブ（ｒｉｂ）がさらに備えられることが好ましく、このリブは、カンチレバークランプキャリアーの他端で移動ブロックに行くほど厚さと幅が増加することが好ましい。
【００２３】
また、移動ブロックは、カンチレバークランプキャリアーと連結される上部移動ブロックと上部移動ブロックの下部に結合される下部移動ブロックとより成り、上部移動ブロックは下部移動ブロック上で微細回転が可能に結合されることを特徴とする。
【００２４】
また、上部移動ブロックと下部移動ブロックのそれぞれには、垂直線上に対応する一つの回転ホールと二つの微細調整ホールが形成され、回転ホールには回転ボルトが結合され、微細調整ホールには微細調整ボルトが結合されることを特徴とする。
【００２５】
また、二つの微細調整ホールは、微細調整ボルトとねじ結合できるようにねじ山が形成され、微細調整ボルトが移動できるように長く曲がった形状を有することを特徴とする。
【００２６】
また、上部移動ブロックの側面には、少なくとも二つ以上の補正ピンがさらに備えられることが好ましい。従って、上部移動ブロックに結合されるカンチレバークランプキャリアーの水平度などを補正できる。
【００２７】
また、グリップ手段は、カンチレバークランプキャリアーの自由端側に固定されるように設けられる第１のグリップ手段と、第１のグリップ手段に所定間隔内側に離隔されるようにカンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に形成された溝に沿って受動に移動可能に設けられる第２のグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とする。
【００２８】
また、グリップ手段は、カンチレバークランプキャリアーの自由端側に固定されるように設けられる第１のグリップ手段と、第１のグリップ手段に所定間隔離隔されるようにカンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に沿って自動に移動可能に設けられる第２のグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とする。
【００２９】
また、グリップ手段は、カンチレバークランプキャリアーの自由端側に長手方向に形成された溝に沿って受動に移動可能に設けられる第１のグリップ手段と、第１のグリップ手段に所定間隔内側に離隔されるようにカンチレバークランプキャリアーの一側面に長手方向に沿って自動又は受動に移動可能に設けられる第２のグリップ手段と、を含んで成ることを特徴とする。
【００３０】
また、テンション維持部は、グリップベースと支持体とを結合する一対の結合バーと、結合バーの外周面に設けられてグリップベースについて支持体のテンションを維持させるスプリングと、を含んで成ることを特徴とする。
【００３１】
また、カンチレバークランプキャリアーの他端側の上面には、長手方向に一対の溝がさらに形成され、グリップベースを一対の溝のうちに内側溝に固定させるか、或いは内側溝とボルト締めによって受動移動が可能に結合されることを特徴とする。
【００３２】
また、支持体の両側面には、カンチレバークランプキャリアーの中央部分まで延長される第１及び第２の感知対象バーがさらに備えられ、カンチレバークランプキャリアーには、第１の感知対象バーを通じてパネルがクランピングされたかを感知するパネル有無センサーと、第２の感知対象バーを通じてパネルに過度な力が加えられるかを感知するパネル損傷防止センサーがさらに備えられることを特徴とする。
【００３３】
また、パネル損傷防止センサーは、カンチレバークランプキャリアーの上面に長手方向に形成された一対の溝のうちに外側溝に設けられることを特徴とする。
【００３４】
また、カンチレバークランプキャリアーの一端側に結合されるグリップ手段を自動に移動させるために、カンチレバークランプキャリアーの長手方向に一対のＬ／Ｍガイドを設け、一対のＬ／Ｍガイドの間にスクリューシャフトと、スクリューシャフトを駆動するモーターを設け、グリップベースの下部面には、スクリューシャフトとねじ結合されるナットとＬ／Ｍガイドと噛み合うガイド結合体と、が設けられることを特徴とする。
【００３５】
また、ホルダーは、パネルと接触する一端に形成される接触部が凹溝形状であるか、或いはＬ字形状であることを特徴とし、接触部には、ラバー（ｒｕｂｂｅｒ）がさらに備えられることが好ましい。
【発明の効果】
【００３６】
前述したような構成及び作用そして好適な実施形態を有する本発明のカンチレバーパネル移送装置２００によれば、検査するパネルのサイズによって移動されるクランピングキャリアーをカンチレバーから構成することによって、パネル移送装置２００の構成を簡単にしてコストを低減させることができる効果がある。
【００３７】
また、クランピングキャリアーを駆動するために使用されるキャリアー移動手段２２０を二つのみ使用することによって、コストと電力消費とを低減させる効果がある。
【００３８】
また、本発明はカンチレバークランプキャリアーを使用してパネルを移送するので、構成部品のサイズと重さが縮小して製作コストを低減させる長所がある。
【００３９】
また、移送するパネルをクランピングするホルダーを駆動手段によって動作させないので、装備構成が簡単で電力消耗を減少させることができる長所がある。
【００４０】
また、カンチレバークランプキャリアー上に所定位置に位置するようにグリップ手段を自動に移動させることができて、多様なサイズを有するパネルについて迅速に対応してクランピングできる長所がある。
【００４１】
また、カンチレバークランプキャリアーの端部に結合された上部移動ブロックが下部移動ブロック上で微細回転が可能なようにしてカンチレバークランプキャリアーのθ軸のセッティングが可能である。従って、多様な形のパネルに対応でき、多様な角度に供給されるパネルに対応できる効果がある。
【００４２】
また、ホルダーの形状をＬ字形状から構成することによって、液晶パネル供給部によってパネル移送装置にパネルが供給される場合、液晶パネル供給部の誤動作によって垂直方向にパネルが過移動されるとき、ホルダーの形状によってパネルが破損されるといった問題点を解決できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、添付した図面を参照して前述したような構成手段より成っている本発明のカンチレバーパネル移送装置２００に関する作用及び好適な実施形態を詳細に説明する。
【００４４】
図３は、液晶パネル検査装置のサブテーブルとワークテーブルとの間で被検査パネルを移送するカンチレバーパネル移送装置２００を示す構成図である。
【００４５】
図３に示されたように、本発明のカンチレバーパネル移送装置２００は、所定の駆動手段（図示せず）によってレール２１１に沿ってサブテーブルとワークテーブルとの間を往来する移動体２１０と、移動体２１０の上面に設けられるキャリアー移動手段２２０と、キャリアー移動手段２２０によって移動される移動ブロック２３０と、移動ブロック２３０と一端が連結される一対のカンチレバークランプキャリアー２４０と、カンチレバークランプキャリアーの所定部分に固定されて結合されるか、或いは自動又は受動に移動可能に設けられるグリップ手段２５０，２６０と、を含んで成る。
【００４６】
移動体２１０は、長方形の板状構造になっており、両端はワークテーブルとサブテーブルとの間に長く形成されたレール２１１に沿って移動できるように設けられている。レール２１１に沿って移動される移動体２１０は、所定の駆動手段（図示せず）によってサブテーブルとワークテーブルとの間を往復移動できる。所定の移動手段（図示せず）とレール２１１は、従来のパネル移送装置と類似した構造を有して動作される。
【００４７】
そして、移動体２１０の上面には、一対のカンチレバークランプキャリアー２４０を移動させることができる一対のキャリアー移動手段２２０が設けられている。キャリアー移動手段２２０は、二つのカンチレバークランプキャリアー２４０を移動させるために移動体２１０の上面に対称に設けられる。
【００４８】
また、一対のキャリアー移動手段２２０には、移動ブロック２３０が結合されている。そして、移動ブロック２３０にカンチレバークランプキャリアー２４０の一端が結合される。
【００４９】
従って、キャリアー移動手段２２０によって移動ブロック２３０は移動体２１０の長手方向に往復運動でき、移動ブロック２３０に結合されるカンチレバークランプキャリアーもやはり移動体２１０の長手方向に往復移動できる。
【００５０】
図４には、移動ブロック２３０とキャリアー移動手段２２０の結合構造が示されている。以下ではそれぞれのカンチレバークランプキャリアー２４０と結合された一対の移動ブロック２３０とキャリアー移動手段２２０はそれぞれ同一な構造と動作を行うので、一側のカンチレバークランプキャリアー２４０と結合された移動ブロック２３０とキャリアー移動手段２２０についてのみ説明する。
【００５１】
図４に示されたように、キャリアー移動手段２２０は、移動体２１０の長手方向に並んで設けられる一対のガイドレール２２１と、ガイドレール２２１の間に設けられるボールスクリュー２２３と、ボールスクリュー２２３を駆動するサーボモーター２２５と、を含んで構成される。そして、キャリアー移動手段２２０によって移動体２１０の長手方向に移動される移動ブロック２３０はガイドレール２２１と噛み合って摺動摺動するガイド結合部材２３１と、ボールスクリュー２２３に結合されて連動されるためにねじ山が形成されたナット結合体２３３と、を含んで構成される。
【００５２】
前述したような構造で、パネルサイズに対応して一対のカンチレバークランプキャリアー２４０を移動させるためには、サーボモーター２２５を駆動してボールスクリュー２２３を回転させる。そうすれば、ボールスクリュー２２３にナット結合体２３３が連動されて移動ブロック２３０がガイドレール２２１に沿って移動できる。
【００５３】
すなわち、前述したように移動ブロック２３０がガイドレール２２１に沿って移動されれば、移動ブロック２３０と一端が結合された一対のカンチレバークランプキャリアー２４０はパネルサイズに対応してクランピングポイントまで移動できる。
【００５４】
また、一対のカンチレバークランプキャリアー２４０は、図３に示されたように、互いに平行に向き合うことができるように設けられるために一対の移動ブロック２３０にそれぞれ一端が結合されている。
【００５５】
一方、図３又は図４に示されたように、移動ブロック２３０は、カンチレバークランプキャリアー２４０と連結される上部移動ブロック２３０ａと上部移動ブロック２３０ａの下部に結合される下部移動ブロック２３０ｂとより成る。そして、上部移動ブロック２３０ａは下部移動ブロック２３０ｂ上で微細回転が可能なように結合されている。このように下部移動ブロック２３０ｂ上に結合される上部移動ブロック２３０ａを微細回転させることができるので、供給される多様な種類のパネルについても対応できる。
【００５６】
ここで、カンチレバークランプキャリアー２４０に結合される上部移動ブロック２３０ａが下部移動ブロック２３０ｂ上で微細回転できるようにするため、上部移動ブロック２３０ａと下部移動ブロック２３０ｂのそれぞれには垂直線上に対応する一つの回転ホール２３３ａ，２３３ｂと二つの微細調整ホール２３２ａ，２３２ｂが形成され、回転ホール２３３ａ，２３３ｂには回転ボルト２３４が結合され、微細調整ホール２３２ａ，２３２ｂには微細調整ボルト２３５が結合されるようにする。
【００５７】
すなわち、下部移動ブロック２３０ｂに回転ホール２３３ｂと微細調整ホール２３２ｂの二つを設け、下部移動ブロック２３０ｂ上に結合される上部移動ブロック２３０ａにも下部移動ブロック２３０ｂ上に形成された回転ホール２３３ｂと微細調整ホール２３２ｂの対応する位置に回転ホール２３３ａと微細調整ホール２３２ａを形成させる。
【００５８】
そして、上部移動ブロック２３０ａと下部移動ブロック２３０ｂ上に形成された回転ホール２３３ａ，２３３ｂに回転ボルト２３４を結合させ、微細調整ホール２３２ａ，２３２ｂには微細調整ボルト２３５を結合させる。
【００５９】
従って、二つの微細調整ホール２３２ａ，２３２ｂは、微細調整ボルト２３５とねじ結合できるようにねじ山が形成され、微細調整ボルト２３５が移動できるように長く曲がった形状を有している。
【００６０】
前述したような構造で、微細調整ホール２３２ａ，２３２ｂに結合された微細調整ボルト２３５と回転ホール２３３ａ，２３３ｂと、に結合された回転ボルト２３４の締め力を解除した後、カンチレバークランプキャリアー２４０を所定角度回転させれば、カンチレバークランプキャリアー２４０の端部に結合された上部移動ブロック２３０ａが回転ボルト２３４を中心に回転し、長く曲がった形状を有する微細調整ホール２３２ａ，２３２ｂが微細調整ボルト２３５に沿って滑る。
【００６１】
そして、カンチレバークランプキャリアー２４０を所望の角度に回転させた後、上部移動ブロック２３０ａの微細調整ホール２３２ａと下部移動ブロック２３０ｂの微細調整ホール２３２ｂに微細調整ボルト２３５とを結合して堅固に固定することによってカンチレバークランプキャリアー２４０のθ軸のセッティングが完了される。
【００６２】
前述したように構成されたカンチレバークランプキャリアー２４０のθ軸のセッティングによって、多様な形のパネルに対応でき、多様な角度に供給されるパネルに対応できる。
【００６３】
一方、図３及び図４に示されたように、上部移動ブロック２３０ａの側面には少なくとも二つ以上の補正ピン２３６がさらに備えられることが好ましい。上部移動ブロック２３０ａに結合されるカンチレバークランプキャリアー２４０は、製作過程で発生する誤差によって完全な水平度を維持できない場合が発生できる。この場合、補正ピン２３６を用いて上部移動ブロック２３０ａ上に結合されたカンチレバークランプキャリアー２４０の水平度などの誤差を補正できる。
【００６４】
他方、移動ブロック２３０とこの移動ブロック２３０に一端が結合されるカンチレバークランプキャリアー２４０の上面には図５に示されたように、リブ（ｒｉｂ）２７０を設けることが好ましい。前述したようにリブ２７０をさらに備えることによって、カンチレバークランプキャリアー２４０と移動ブロック２３０の結合をさらに堅固にし、移動ブロック２３０と結合されるカンチレバークランプキャリアー２４０の固定端側で受ける応力を分散させることができる。
【００６５】
ここで、カンチレバークランプキャリアー２４０に設けられるグリップ手段２５０，２６０に検査パネルがクランピングされる場合、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側よりは移動ブロック２３０側である固定側に行くほどパネルの荷重による応力が増加する。
【００６６】
従って、リブ２７０はカンチレバークランプキャリアー２４０の他端で移動ブロック２３０に行くほど厚さと幅が増加することが好ましい。
【００６７】
一方、二つのカンチレバークランプキャリアー２４０には移送されるパネルをクランピング（ｃｌａｍｐｉｎｇ）できるグリップ（ｇｒｉｐ）手段が結合される。二つのカンチレバークランプキャリアー２４０に結合されるグリップ手段２５０，２６０は、移送されるパネルをクランピングするために向き合うことができるように設けられる。
【００６８】
前述したように、移送されるパネルをクランピングするためにカンチレバークランプキャリアー２４０に結合されるグリップ手段２５０，２６０は、カンチレバークランプキャリアー２４０のそれぞれに少なくとも二つ以上結合されて固定又は移動可能に設けられる。すなわち、グリップ手段２５０，２６０は、移送するパネルのサイズに対応できるように少なくとも一つのグリップ手段がカンチレバークランプキャリアー２４０の長手方向に移動できるように設けられる。
【００６９】
本発明でのグリップ手段２５０，２６０は、図５に示されたように、パネル移送装置２００の構造を簡単にするためにそれぞれのカンチレバークランプキャリアー２４０が二つづつ設けられる。
【００７０】
このグリップ手段２５０，２６０は、固定されるか、或いは移動可能にカンチレバークランプキャリアー２４０に設けられる。従って、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に設けられるグリップ手段２５０を第１のグリップ手段２５０、第１のグリップ手段２５０と離隔されるようにカンチレバークランプキャリアー２４０の一側面の所定位置に設けられるグリップ手段２６０を第２のグリップ手段２６０というとき、次の通り設けられることができる。
【００７１】
すなわち、第１のグリップ手段２５０は、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に固定されるように設けられ、第２のグリップ手段２６０はカンチレバークランプキャリアー２４０の一側面に長手方向に形成された溝２４１に沿って受動に移動可能に設けられることができる。
【００７２】
また、第１のグリップ手段２５０は、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に固定されるように設けられ、第２のグリップ手段２６０はカンチレバークランプキャリアー２４０の一側面に長手方向に沿って自動に移動可能に設けられることができる。
【００７３】
そして、第１のグリップ手段２５０は、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に長手方向に形成された溝に沿って受動に微細移動可能に設けられ、第２のグリップ手段２６０は、カンチレバークランプキャリアー２４０の一側面に長手方向に沿って自動又は受動に移動可能に設けられることができる。
【００７４】
図５は、第１のグリップ手段２５０は、固定されており、第２のグリップ手段２６０は受動移動可能に設けたグリップ手段２５０，２６０を示す。図５に示されたように第２のグリップ手段２６０は、カンチレバークランプキャリアー２４０上に長く形成された溝２４１に沿って受動に移動できて、移送するパネルサイズに対応して一定方向に移動された後ボルト２６５によって固定されることが好ましい。
【００７５】
もしカンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に設けられる第１のグリップ手段２５０も受動に移動可能に設ければ、図６に示されたように第１のグリップ手段２５０をカンチレバークランプキャリアー２４０の一側面の所定位置に移動させた後ボルト２５１ａ締めによって固定できる。
【００７６】
カンチレバークランプキャリアー２４０に固定されるか、又は受動に移動できるようにカンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に結合された第１のグリップ手段２５０の結合構造は図６で示す。
【００７７】
図６に示されたように、カンチレバークランプキャリアー２４０の上面には、長手方向に並んで形成された一対の溝２４１，２４２が形成されている。そしてグリップ手段２５０は、一対の溝２４１，２４２のうちにクランピングされるパネル側に近い溝２４１（以下、“内側溝２４１”という。）に移動可能に設けられ、ボルト２５１ａ締めによって固定されるグリップベース２５１と、グリップベース２５１に一対のテンション（ｔｅｎｓｉｏｎ）維持部２５３によって結合される支持体２５５と、この支持体２５５の下部面に結合されるホルダー２５７と、を含んで成される。
【００７８】
そして、テンション維持部２５３は、図６に示されたように、グリップベース２５１と支持体２５５とを結合する一対の結合バー２５３″と、結合バー２５３″の外周面に設けられるスプリング２５３′と、から構成される。
【００７９】
前述したように、グリップベース２５１と支持体２５５との間にテンション維持部２５３を設けることによって、ホルダー２５７にパネルがクランピングされる場合、パネルに及ぶ力を吸収してパネルを保護できる。
【００８０】
このパネルをクランピングするホルダー２５７は、パネルと接触する一端に特定形状の接触部２５７ａ，２５７ｂが設けられている。接触部２５７ａ，２５７ｂは、図７の（ａ）に示されたように凹溝形状をしているか、或いは図７の（ｂ）に示されたようにＬ字形状をしている。そして、接触部２５７ａ，２５７ｂにはパネルがクランピングされた場合、パネルがかかれるか、或いは損傷されることを防止するために図７の（ｃ）と図７の（ｄ）に示されたように、ラバー（ｒｕｂｂｅｒ）２５７ｃが備えられることが好ましい。
【００８１】
特に、ホルダーの形状をＬ字形状から構成するので、液晶パネル供給部によってパネル移送装置にパネルが供給される場合、液晶パネル供給部の誤動作によって垂直方向にパネルが過移動されるとき、ホルダーの形状によってパネルが破損するといった問題点を解決できる。
【００８２】
一方、受動に移動できる第１のグリップ手段２５０が結合されるカンチレバークランプキャリアー２４０の所定部分には、第１のグリップ手段２５０のホルダー２５７にパネルがクランピングされたかを感知するセンサーと、カンチレバークランプキャリアー２４０のオーバー駆動にパネルに加えられる力が過度であるかを感知するセンサーがさらに設けられることが好ましい。
【００８３】
前述したようなセンサーを設けるために、支持体２５５の両側面には図６に示されたようにカンチレバークランプキャリアー２４０の中央部分まで延長される第１及び第２の感知対象バー２５８，２５９がさらに備えられる。そして、カンチレバークランプキャリアー２４０上には、第１の感知対象バー２５８を通じてパネルがクランピングされたかを感知するパネル有無センサー２４５と、第２の感知対象バー２５９を通じてパネルに過度な力が加えられるかを感知するパネル損傷防止センサー２４７がさらに備えられる。
【００８４】
一方、第２の感知対象バー２５９を通じてパネルに過度な力が加えられるかを感知するパネル損傷防止センサー２４７はカンチレバークランプキャリアー２４０の上面に長手方向に形成された一対の溝２４１，２４２のうちから外側溝２４２に移動可能に設けられることと同時にねじ結合されて固定される。
【００８５】
この構造で、カンチレバークランプキャリアー２４０の移動によってパネルがホルダー２５７にクランピングされれば、支持体２５５はテンション維持部２５３によって弾力を維持しつつ後退移動される。そうすれば、第１の感知対象バー２５８も同時後退移動されてパネル有無センサー２４５によって感知されることによって、パネルがクランピングされたことを制御部（図示せず）で認知する。
【００８６】
ところで、カンチレバークランプキャリアー２４０がオーバー駆動されてパネルに過度な力が加えられる場合には、支持体２５５はテンション維持部２５３によって弾力を維持しつつ一定以上後退移動される。そうすれば、第２の感知対象バー２５９も同時後退移動されてパネル損傷防止センサー２４７によって感知されることによって、パネルに過度な力が加えられていることを制御部（図示せず）で認知する。
【００８７】
一方、各カンチレバークランプキャリアー２４０に結合される二つのグリップ手段２５０，２６０は、図８又は図９に示されたように、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に結合される第１のグリップ手段２５０は固定に設けられ、カンチレバークランプキャリアー２４０の一側面の所定位置に位置するように移動可能に設けられる第２のグリップ手段２６０は自動に移動されるように設けられることができる。
【００８８】
第２のグリップ手段２６０がカンチレバークランプキャリアー２４０の所定位置に移動可能に設けられるので、移送するパネルのサイズが変更されても迅速に対応できる。
【００８９】
図８は、カンチレバークランプキャリアー２４０に結合されたグリップ手段２５０，２６０を示す斜視図である。図８に示されたように、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に結合された第１のグリップ手段２５０は、ねじボルト２５１ａ締めによってカンチレバークランプキャリアー２４０上の所定位置に固定される構造であり、第１のグリップ手段２５０と所定間隔離隔されてカンチレバークランプキャリアー２４０の一側面の所定位置に位置するように移動可能に設けられた第２のグリップ手段２６０は、移動手段２８０によって自動に移動させることができる構造である。そして、パネル有無センサー２４５とパネル損傷防止センサー２４７は第１のグリップ手段２５０が結合されたカンチレバークランプキャリアー２４０の周辺に備えられる。
【００９０】
図９は、カンチレバークランプキャリアー２４０の一端に結合された第２のグリップ手段２６０を自動に移動させるため備えられる移動手段２８０の構成部品を示す。
【００９１】
図９に示されたように、カンチレバークランプキャリアー２４０の長手方向に一対のＬ／Ｍガイド２８１を設け、一対のＬ／Ｍガイド２８１の間にスクリューシャフト２８３とこのスクリューシャフト２８３を駆動するモーター２８５とを設ける。そして、自動に移動されるグリップベース２５１の下部面にはスクリューシャフト２８３とねじ結合されるナット２６３と、Ｌ／Ｍガイド２８１と噛み合うガイド結合体２６１が設けられる。
【００９２】
この構造で、モーター２８５を駆動させてスクリューシャフト２８３を回転させれば、スクリューシャフト２８３とねじ結合されるナット２６３が連動されてグリップベース２５１は，Ｌ／Ｍガイド２８１に沿って摺動しながら移動される。従って、移送されるパネルのサイズに対応して第２のグリップ手段２６０を自動に移動させることができるので、多様なサイズのパネルに直ちに対応してパネルエッジ部分を迅速で堅固に固定できる。
【００９３】
一方、自動に移動される第２のグリップ手段２６０は、前述した第１のグリップ手段２５０（受動に移動される第１のグリップ手段２５０）と同一な構造を有しているので構造説明を省略する。また、ホルダー２５７の形状も図７を参照して前述したので説明を省略する。
【００９４】
以下では、前述したカンチレバーパネル移送装置を成す構成手段の動作によって移送されるパネルをグリップして移送する全体的な動作について調べる。
【００９５】
まず、移送されるパネルのサイズに合うようにグリップ手段２５０，２６０をセッティングする。すなわち、移送されるパネルのエッジ部を完全にクランピングするための位置にグリップ手段２５０，２６０をセッティングするために、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に設けられる第１のグリップ手段２５０を固定させ、カンチレバークランプキャリアー２４０の一端に設けられる第２のグリップ手段２６０を受動に移動させた後、ボルト２６５によってセッティングするか、或いは移動手段２８０によって第２のグリップ手段２６０の位置を自動にセッティングさせる。また、カンチレバークランプキャリアー２４０の自由端側に設けられる第１のグリップ手段２５０を受動に移動させた後、ボルトによってセッティングすることもできる。
【００９６】
前述したように、移送されるパネルのサイズによってグリップ手段２５０，２６０のセッティングを完了した場合には供給されるパネルが伝達されてサブテーブルから液晶パネル検査部のワークテーブルへ移送させる。
【００９７】
すなわち、サブテーブルに供給される液晶パネルのサイズ及び種類についての情報が制御部（図示せず）に送られれば、制御部（図示せず）はキャリアー移動手段２２０に制御信号を送る。制御信号に応じてキャリアー移動手段２２０はカンチレバークランプキャリアー２４０を液晶パネルのサイズ及び種類に対応される位置まで迅速に移動させる。
【００９８】
カンチレバークランプキャリアー２４０が液晶パネルをグリップできる所定の位置まで移動されれば、制御部（図示せず）は、キャリアー移動手段２２０の駆動を減少させることによって、カンチレバークランプキャリアー２４０に結合されるグリップ手段２５０，２６０によって液晶パネルが完全にクランピングできるようにする。
【００９９】
この際、正常的にグリップ手段２５０，２６０によって液晶パネルがクランピングされたかをパネル有無センサー２４５が感知して制御部（図示せず）に伝達する。もし制御部（図示せず）の制御信号に応じてキャリアー移動手段２２０が必要以上駆動されることによってグリップ手段２５０，２６０にクランピングされる液晶パネルに過度な力が加えられた場合には、パネル損傷防止センサー２４７によって感知されて制御部（図示せず）に伝達される。そうすれば、制御部（図示せず）は、制御信号に応じてキャリアー移動手段２２０の駆動を停止させるか、或いはカンチレバークランプキャリアー２４０を後退させた後、再び液晶パネルをクランピングさせることができる。
【０１００】
前述したような動作によって正常的に液晶パネルをクランピングした後には所定の駆動手段によって移送体を移動させて検査部に液晶パネルを移送させる。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】一般的なパネル検査装置を示す全体斜視図である。
【図２】図１に示された従来パネル移送装置の平面図である。
【図３】本発明のカンチレバーパネル移送装置の全体構成図である。
【図４】本発明の構成要素であるキャリアー移動手段と移動ブロックの分離斜視図である。
【図５】本発明の構成要素であるリブが結合されたカンチレバークランプキャリアーの構成図である。
【図６】本発明の構成要素であるカンチレバークランプキャリアーの自由端側に連結されたグリップ手段の構成図である。
【図７】本発明の構成要素であるホルダーの多様な形態を示す例示図である。
【図８】本発明の構成要素であるカンチレバークランプキャリアーの上側面の長手方向に沿って移動可能に設けられたグリップ手段とグリップ手段を移送させる移動手段の構成図である。
【図９】図８のグリップ手段と移動手段の分離図である。
【符号の説明】
【０１０２】
２００  カンチレバーパネル移送装置
２１０  移動体
２１１  レール
２２０  キャリアー移動手段
２３０  移動ブロック
２４０  カンチレバークランプキャリアー
２５０，２６０  グリップ手段
【図３】
2006160523.tif 000003
【図４】
2006160523.tif 000004
【図５】
2006160523.tif 000005
【図６】
2006160523.tif 000006
【図７】
2006160523.tif 000007
【図８】
2006160523.tif 000008
【図９】
2006160523.tif 000009
【図１】
2006160523.tif 000010
【図２】
2006160523.tif 000011