(57)【要約】【課題】クリーンルーム内で製造された重量の大きな精密機器などの製造物を、安全且つ容易にクリーンルームの外部に搬出可能なクリーンルーム構造体と、製造物の搬出方法と、を実現すること。【解決手段】クリーンルーム２０の天井部は天井パネル２２ｂが縦横に着脱可能に連結して成り、このクリーンルーム２０は天井クレーン１７を有する工場建屋１０内に設けられる。そして、クリーンルーム２０内の製造物をクリーンルーム２０の外部に搬出する際には、天井パネル２２ｂを取り外すことによりクリーンルーム２０の天井の一部を開口し、その開口部に天井クレーン１７のクレーンフック１７ａを移動させて降下させ、そこで製造物をクレーンフック１７ａに吊り下げてクリーンルーム２０から搬出する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
工業用建屋と、該工業用建屋内に設けられたクリーンルームと、を備え、前記クリーンルームは、内部空間と外部空間とを連通する開閉可能な連通部を含む天井部を有する、ことを特徴とするクリーンルーム構造体。
【請求項２】
前記天井部は、複数のパネル部材が着脱可能に連結されて成り、前記連通部は、前記着脱可能な一又は複数のパネルによって形成される、ことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム構造体。
【請求項３】
前記工業用建屋は、建屋内を縦横方向と鉛直方向とに移動可能なクレーンフックを含む天井クレーンを有する、ことを特徴とする請求項１または２に記載のクリーンルーム構造体。
【請求項４】
クレーンを有する工業用建屋内に設置され、天井部に内部空間と外部空間とを連通する開閉可能な連通部を有するクリーンルーム内で製造された製造物を、該クリーンルームの外部に搬出するための搬出方法であって、
製造物を前記クリーンルームの外部に搬出する際には、前記連通部を開放して開口部を設けるステップと、
前記クレーンが有するクレーンフックを、前記開口部からクリーンルーム内部に降下させるステップと、
前記クレーンフックに前記製造物を吊り下げた後に、このクレーンフックを上方に引き上げてクリーンルームから搬出するステップと、
を含む、ことを特徴とする製造物の搬出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム構造体と、クリーンルーム内で製造された製造物の搬出方法と、に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造装置等の精密機器は製造現場を清浄な雰囲気に保持可能なクリーンルーム内で製造される。このようなクリーンルームに係る従来技術としては例えば下記特許文献１などに開示されているものが知られている。
【０００３】
クリーンルーム内で製造された製造物は、クリーンルームの内部で移動用の台車などに積み替えられて側壁に設けられた出入口から外部に搬出される。そして、クリーンルームの外部に搬出された製造物は、さらに、待機中の搬送用トラックまで搬送され、そこで、この搬送用トラックに積み替えられる。
【特許文献１】特開平１０−２０５１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、クリーンルーム内で製造される製造物は、重量の大きなものから小さなものまで様々である。特に最近では、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）などのＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）製造装置や半導体製造装置など、重量の大きな精密機器に対する需要が高まっているが、このような重量の大きな製造物の場合、製造物の重量が大きいこと、そして、製造物が精密機器であるため取り扱いに慎重さが要求されること、などの点で、上述のように製造物をクリーンルームの内部で台車に積み替え、さらに、クリーンルームの外部で台車から搬送用トラックに積み替えるには大きな困難や労力が伴う。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、クリーンルーム内で製造された重量の大きな精密機器などの製造物を、安全且つ容易にクリーンルームの外部に搬出可能なクリーンルーム構造体と、製造物の搬出方法と、を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のクリーンルーム構造体は、工業用建屋と、この工業用建屋内に設けられたクリーンルームと、を備え、上記クリーンルームは、内部空間と外部空間とを連通する開閉可能な連通部を含む天井部を有する、ことを特徴とする。
【０００７】
そして、本発明の製造物の搬出方法は、クレーンを有する工業用建屋内に設置され、天井部に内部空間と外部空間とを連通する開閉可能な連通部を有するクリーンルーム内で製造された製造物を、このクリーンルームの外部に搬出するための搬出方法であって、製造物を上記クリーンルームの外部に搬出する際には、上記連通部を開放して開口部を設けるステップと、上記クレーンが有するクレーンフックを、上記開口部からクリーンルーム内部に降下させるステップと、上記クレーンフックに上記製造物を吊り下げた後に、このクレーンフックを上方に引き上げてクリーンルームから搬出するステップと、を含む、ことを特徴とする。
【０００８】
本発明のクリーンルーム構造体、そして、本発明の製造物の搬出方法によれば、天井部に内部空間と外部空間とを連通する開閉可能な連通部を有するクリーンルームが工業用建屋内に設置されている。このため、クリーンルーム内にある製造物をクリーンルームの外部に搬出する際には、連通部を開放して天井部に開口部を形成し、建屋内に設置されたクレーン（例えば、天井クレーンや設置面上の移動式クレーンなど）を用いて、この開口部にクレーンフックを降下させ、そこで製造物をクレーンフックに吊り下げた後に、クレーンフックを引き上げてクリーンルームの外部に搬出できる。このため、従来のように、製造物をクリーンルーム内で台車に積み替えるなど、製造物に衝撃を与えたり破損させたりする虞がある操作を行わずに済むため、特に、製造物が、大重量の大型精密機器のような場合であっても、製造物を安全且つ容易にクリーンルームの外部に搬出できる。
【０００９】
また、最近では、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのＦＰＤ製造装置や半導体製造装置など、大型精密機器に対する需要増加に伴い、このような大型精密機器を製造するための広いクリーンルームに対する需要も増加の一途を辿っている。このような大型精密機器を製造するためのクリーンルームは、大型精密機器の大重量に耐えられるだけの頑丈な床（土台）と、建屋内部の空間が上方に高い大きな建物容積と、が共に必要となるが、本発明のクリーンルーム構造体によれば、クリーンルームを設置する工業用建屋として、上記のような頑丈な床（土台）と、建屋内部の空間が上方に高い大きな建物容積と、を有する、例えば、大型機器の製造工場などの多くの既設の工場建屋が利用できるため、大重量の大型精密機器を製造するためのクリーンルームの増設が低コストで効率良く行える。
【００１０】
また、本発明のクリーンルーム構造体によれば、上記天井部は、複数のパネル部材が着脱可能に連結されて成り、上記連通部は、上記着脱可能な一又は複数のパネルによって形成されるのが好ましい。このように、連通部がパネルによって形成され、この連通部の開閉がパネルの取り外しによって行われるので、連通部の位置や大きさが自由に設定できることとなり、様々な大きさの製造物の搬出に対し柔軟に対応可能となる。
【００１１】
また、本発明のクリーンルーム構造体によれば、上記工場建屋は、建屋内を縦横方向と鉛直方向とに移動可能なクレーンフックを含む天井クレーンを有するのが好ましい。このように、天井クレーンを備えた工場建屋を利用すれば、クリーンルーム内で製造される大重量の大型精密機器を搬出するためのクレーンをクリーンルームと共に新たに設ける必要が無く、このため、クリーンルームの設置に係るコストや工程の低減化が図られる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、クリーンルーム内で製造された重量の大きな精密機器などの製造物を、安全且つ容易にクリーンルームの外部に搬出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本実施形態に係るクリーンルーム構造体について説明する。なお、以下の図面の説明においては、同一要素には同一符号を付し、重複説明を省略する。
【００１４】
まず、図１を参照して本実施形態に係るクリーンルーム構造体１の構成について説明する。図１（ａ）は、本実施形態に係るクリーンルーム構造体の平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）に示すＩ−Ｉ矢示方向の断面構造を示す図である。なお、図１（ａ）に示す平面図は、クリーンルーム構造体内を屋根越しに上方から見た図である。
【００１５】
図１に示すように、クリーンルーム構造体１は、頑丈な地盤の上に建てられた工業用建屋としての工場建屋１０と、この工場建屋１０の内部に設置されたクリーンルーム２０と、を備え、工場建屋１０は、少なくともクリーンルーム２０の設置が行える程度以上の建物容積（特に建屋内部の空間が上方に高い構造）を有する既設の遊休工場建屋であって、例えば、大型機器製造用の工場建屋などが好ましい。
【００１６】
工場建屋１０の床部には、コンクリート製の頑丈な床１１（例えば厚さ１５０ｍｍ以上）が地盤上に新たに形成されている。この床１１には、床表面の平坦化を図るため、例えばＳＬ（セルフレベリング）セメントなどが用いられ、さらにその表面には防塵用の静電塗装が施されている。なお、本実施形態に係るクリーンルーム構造体１は、工場建屋１０に限らず、クリーンルーム２０の設置が行える程度以上の建物容積（特に建屋内部の空間が上方に高い構造）を有する建屋であれば、倉庫などの建屋が用いられたものであっても良い。
【００１７】
工場建屋１０は、細長い略矩形状の平面形状を有し、この平面形状の四隅に四本の鉄骨製の支柱１２ａが立設されている。そして工場建屋１０は、側壁１３が、四本の支柱１２ａを内側とするようにこの平面形状の外周に沿って立設され、鉄骨製の支柱１２ｂが、工場建屋１０の内部で側壁１３に沿って複数立設されている。そして、支柱１２ａ，１２ｂは何れも側壁１３に連結され、また、屋根１４が支柱１２（１２ａ，１２ｂ）によって支持されている。
【００１８】
工場建屋１０は、対向する一対の長辺側に設けられたガイドレール１６を介して、長手方向（図中符号Ａに示す方向）に移動可能な天井クレーン１７を備える。このガイドレール１６は、対向する一対の長辺側の各々において、支柱１２ｂの天井側の所定位置に長手方向に水平に延びるように設けられている。
【００１９】
天井クレーン１７は、製造物を吊り下げるためのクレーンフック１７ａが、滑車１７ｂを介して垂直方向（図中符号Ｂに示す方向）に移動可能に本体部１７ｃに設けられ、さらに、この滑車１７ｂは、本体部１７ｃの長手方向（図中符号Ｃに示す方向）に移動可能に設けられている。本体部１７ｃは、長手方向の各端部が一対のガイドレール１６の各々に支持されている。そして、本体部１７ｃは、その長手方向が、ガイドレール１６の長手方向に対し常に垂直となるように、このガイドレール１６の長手方向に向けて移動可能となっている。ここで、天井クレーン１７は、図示しない操作部により駆動操作される。
【００２０】
工場建屋１０は、平面形状の互いに対向する一対の短辺側の側壁１３に出入口１５がそれぞれ設けられている。この出入口１５は、搬送用トラックが通過可能な大きさの間口を有し、例えば、シャッター（図示略）などにより開閉される。
【００２１】
クリーンルーム２０は、工場建屋１０内に設置されている。そして、クリーンルーム２０の内部に清浄な空調空気を送り込むための空調設備２０ａが、工場建屋１０の外側に設置され、側壁１３を工場建屋１０の内外部に貫通する複数のダクト２０ｂを介してクリーンルーム２０の図示しない吹出口と吸込口とに連結されている。このように空調設備２０ａを工場建屋１０の外側に設置することによって、空調設備２０ａの稼動時に生じる騒音や振動がクリーンルーム２０に及ぶのを回避できる。
【００２２】
空調設備２０ａは、空調空気を生成するための図示しない各種フィルタ（例えば、ポケットフィルタ、除塩フィルタ、ケミカルフィルタおよびＨＥＰＡフィルタなど）などを有する。そして、空調設備２０ａは、外部から取り入れた空気をこのフィルタで濾過するとともに適度な温度に調整して指定されたクリーン度の空調空気を生成し、この空調空気をダクト２０ｂを介してクリーンルーム２０内に送風する。
【００２３】
クリーンルーム２０は、クリーンルーム２０を構築するための各種部材や工具が、出入口１５を介して工場建屋１０の内部に搬入され、その部材が上記工具を用いて工場建屋１０の内部で組み立てられことにより構築される。このクリーンルーム２０は、このように、既設の工場建屋１０内で容易に構築が可能な構成を有するものである。そこで次に、図２を参照して、クリーンルーム２０の構成ついて詳細に説明する。図２は、本実施形態に係るクリーンルームの構成を示す図である。
【００２４】
クリーンルーム２０は、略直方体形状のクリーンルーム躯体２１ａと、このクリーンルーム躯体２１ａを躯体として形状保持するとともに、クリーンルーム躯体２１ａに対し十分な強度を与えるための鉄骨枠組２１ｂと、を有する。そして、クリーンルーム躯体２１ａは、細長い略矩形状の平面形状を有する複数の側面パネル２２ａ（図２に示す例では２８枚の側面パネル２２ａ）と、細長い略矩形状の平面形状を有する複数の天井パネル２２ｂ（図２に示す例では４０枚の天井パネル２２ｂ）と、により構成され、鉄骨枠組２１ｂは、側面補強部材２３と、支柱２４と、第１梁部材２５ａと、第２梁部材２５ｂと、第３梁部材２５ｃと、第４梁部材２５ｄとにより構成される。そして、このクリーンルーム躯体２１ａや鉄骨枠組２１ｂの各構成部材（例えば、側面パネル２２ａや側面補強部材２３など）は、縦横寸法や厚みなどが全て規格化（モジュール化）されたものとなっている。
【００２５】
クリーンルーム躯体２１ａの側面部は、複数の側面パネル２２ａが短辺側を下向きにして並列され、隣接する互いの長辺同士が連結されることにより形成される。そして、側面パネル２２ａは工場建屋１０の床１１に立設されている。また、クリーンルーム躯体２１ａの天井部は、複数の天井パネル２２ｂがマトリクス状に縦横に並べられ、隣接する互いの長辺同士と短辺同士とが連結されることにより形成される。ここで、側面パネル２２ａや天井パネル２２ｂは高い強度と高い断熱効果とを有する、例えばセラミック製などのパネルであり、ねじ止めなどの着脱可能な連結方式によって相互に連結されている。
【００２６】
さらに、クリーンルーム躯体２１ａの側面部には、この側面部を形成する側面パネル２２ａ同士の連結強度を補強して側面形状を保持するための側面補強部材２３が、クリーンルーム躯体２１ａの平面形状の外周方向に沿って、全側面パネル２２ａの各々に連結されて設けられている。そして、この側面補強部材２３と側面パネル２２ａとは、ねじ止めなどの着脱可能な連結方式によって相互に連結されている。
【００２７】
さらに、側面補強部材２３には、等間隔に配置された複数の支柱２４（図２に示す例では１７本の支柱２４）が連結され、各支柱２４は工場建屋１０の床１１に立設されている。そして、各支柱２４のうち、クリーンルーム躯体２１ａの平面形状を成す一対の長辺側にそれぞれ位置する各支柱２４の上端部には、長辺方向に延びる第１梁部材２５ａが各々連結され、クリーンルーム躯体２１ａの平面形状を成す一対の短辺側にそれぞれ位置する各支柱２４の上端部には、短辺方向に延びる第２梁部材２５ｂが各々連結されている。さらに、互いに隣接する第１梁部材２５ａと第２梁部材２５ｂとは相互に連結されている。ここで、側面補強部材２３と支柱２４との間、そして、支柱２４と第１梁部材２５ａおよび第２梁部材２５ｂとの間は、何れも、ねじ止めなどの着脱可能な連結方式によって相互に連結されている。
【００２８】
また、上述のようにして設けられた一対の第１梁部材２５ａの間には、さらに、複数の第３梁部材２５ｃ（図２に示す例では４本の第３梁部材２５ｃ）が第１梁部材２５ａの長手方向に垂直な方向に延びるように互いに平行に、そして等間隔に設けられている。この場合、各第３梁部材２５ｃは、何れも、一対の第１梁部材２５ａと、クリーンルーム躯体２１ａの平面形状を成す一対の長辺側に位置する支柱２４と、に対し、ねじ止めなどの着脱可能な連結方式によって共に連結されている。
【００２９】
そして、第３梁部材２５ｃには、この第３梁部材２５ｃと鉛直上方から見て互いに重なる位置にある天井パネル２２ｂがねじ止めなどの着脱可能な連結方式によって連結されている。これにより、天井部を構成する全ての天井パネル２２ｂが複数の第３梁部材２５ｃの何れかに連結されることとなるため、天井部が補強されて天井部の形状が保持される。
【００３０】
また、天井パネル２２ｂと第３梁部材２５ｃとは、上述したように着脱可能な連結方式に基づいて相互に連結されたものとなっているが、このような連結方式としては、特に、天井パネル２２ｂの取り外しが容易に行える方式が用いられている。例えば、ねじ止めによる連結方式であっても、作業者が作業し易い位置にねじ止め箇所が設けられる方式となっている。
【００３１】
さらに、一対の第２梁部材２５ｂの間には、複数の第４梁部材２５ｄ（図２に示す例では１５本の第４梁部材２５ｄ）が第２梁部材２５ｂに垂直な方向に延びるように互いに平行に、そして等間隔に設けられている。この第４梁部材２５ｄは、その長手方向が、互いに隣接する二つの第３梁部材２５ｃ同士の間隔（すなわち、第３梁部材２５ｃから、その長手方向に垂直な方向に向かって隣接する第３梁部材２５ｃに至るまでの間隔）に相当する長さを有する。そして、この第４梁部材２５ｄは、互いに隣接する二つの第３梁部材２５ｃに対し、ねじ止めなどの着脱可能な連結方式によって連結される。
【００３２】
また、クリーンルーム躯体２１ａは、出入口２６が側面部に設けられ、さらに、照明装置、動力盤、電線などを収納する各種配管（何れも図示略）など、クリーンルームとして必要な各種装備が内部に設けられている。
【００３３】
次に、図３〜図５を参照してクリーンルーム躯体２１ａ内部から製造物を搬出する際の搬出方法について説明する。図３は本実施形態に係る製造物の搬出方法を説明するためのフローチャートであり、図４は本実施形態に係るクリーンルームの天井部に開口部を形成する際の様子を示す図であり、図５は本実施形態に係るクリーンルームから製造物を搬出する際の搬出工程を説明するための動作説明図である。
【００３４】
まず、複数の天井パネル２２ｂのうち、搬出する製造物の大きさに応じて取り外し対象となる天井パネル２２ｂを特定する。そして、鉛直上方から見て、この特定した天井パネル２２ｂに重なった位置にある第４梁部材２５ｄと、この取り外し対象となっている天井パネル２２ｂと、を全て取り外す（ステップＳ１）。これにより、天井部には製造物が通過可能な開口部が形成されることとなる。
【００３５】
例えば、搬出対象となる製造物の大きさに応じて、図４（ａ）の図中符号Ｄ１〜Ｄ４に示す箇所に対応する四つの天井パネル２２ｂが取り外された場合には、図４（ｂ）の図中符号Ｄ５に示す箇所に対応する第４梁部材２５ｄも取り外される。これにより、図４（ｂ）の図中符号Ｄ６に示す略矩形状の開口部が形成される。
【００３６】
次に、天井クレーン１７を駆動して、クレーンフック１７ａをクリーンルーム２０内（すなわち、クリーンルーム躯体２１ａ内）にある製造物３０の直上に至るまで移動させ、さらに、この製造物３０の位置までクレーンフック１７ａを降下させる（ステップＳ２）。
【００３７】
そして、製造物３０に形成された係合部、あるいは、製造物３０に係合部が形成されてない場合には製造物３０が格納された係合部を有す図示しない搬送用ケースをクレーンフック１７ａに吊り下げ、その状態で図５の図中符号Ｅ１に示す方向にクレーンフック１７ａを上昇させて製造物３０をクリーンルーム２０の外部に搬出する（ステップＳ３）。
【００３８】
次に、クレーンフック１７ａを、製造物３０あるいは製造物３０が格納された搬送用ケースが吊り下げられた状態で、工場建屋１０内の、例えば、図１（ａ）の図中符号Ｆに示す位置に待機中の搬送用トラック４０の直上に至るまで、図５の図中符号Ｅ２に示す方向に移動させ、その後クレーンフック１７ａを図５の図中符号Ｅ３に示す方向に降下させて、この製造物３０あるいは搬送用ケースを搬送用トラック４０の荷台に載置する（ステップＳ４）。
【００３９】
以上記載のように、本実施形態に係るクリーンルーム構造体１は、天井クレーン１７を有する既設の工場建屋１０内に、天井部の一部または全部に開口部を形成可能なクリーンルーム２０が設置されたものである。そして、クリーンルーム２０の天井部は、天井パネル２２ｂがマトリクス状に（縦横に）着脱可能に連結されて構成され、この天井パネル２２ｂを取り外すことにより天井部に開口部が形成される。このようなクリーンルーム構造体１では、クリーンルーム２０内にある製造物を外部に搬出して搬送用トラックに搭載する際には、搬出する製造物の大きさに応じた分だけ天井パネル２２ｂを取り外してクリーンルーム２０の天井の一部に開口部を形成し、その開口部に天井クレーン１７のクレーンフック１７ａを移動させて製造物まで降下させ、そこで製造物をクレーンフック１７ａに吊り下げた後に、このクレーンフック１７ａを引き上げてクリーンルーム２０から搬出し、そしてこのクレーンフック１７ａを搬送用トラックまで移動させる。したがって、製造物が大重量の大型精密機器であっても、製造物に衝撃を与えたり破損させたりしないように安全且つ容易にクリーンルーム２０から搬出して搬送用トラックまで移動可能となる。
【００４０】
また、近年では、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのＦＰＤ製造装置や半導体製造装置など、大型精密機器に対する需要増加に伴って、このような大型精密機器を製造するための広いクリーンルームに対する需要も増加の一途を辿っている。このような大型精密機器を製造するためのクリーンルームは、大型精密機器の大重量に耐えられるだけの頑丈な床（土台）と、建屋内部の空間が上方に高い大きな建物容積と、が共に必要となるが、本実施形態に係るクリーンルーム構造体１によれば、クリーンルームの設置場所として、大型機器の製造などに用いられた頑丈な床（土台）と建屋内部の空間が上方に高い大きな建物容積と、を有する既設の工場建屋が有効に利用可能となるため、大重量の大型精密機器が製造可能なクリーンルーム２０の設置が低コストで効率良く行える。
【００４１】
さらに、天井クレーン１７を備えた工場建屋１０を用いているため、クリーンルーム２０の内部で製造される大重量の大型精密機器を搬出するための天井クレーン１７をクリーンルーム２０と共に新たに設ける必要が無く、このため、クリーンルーム２０の設置に係るコストや工程の低減化が図られる。
【００４２】
さらに、クリーンルーム２０の構成部材（例えば、側面パネル２２ａや天井パネル２２ｂなど）の各々は、縦横寸法が規格化（モジュール化）されたものであるため、クリーンルーム２０の設置（設計）や解体が容易であるとともに、様々な形状のクリーンルーム２０が構築可能となる。このため、クリーンルーム２０を、既設の工場建屋の形状に柔軟に適合させて構築できるので、高い汎用性が実現できる。
【００４３】
なお、本発明は、上記説明したクリーンルーム構造体１に限らず、詳細構成や詳細動作については変更可能である。例えば、図１に示す工場建屋１０の構造は一例であって様々な形状の工場建屋に対し本発明は適用可能である。また、工場建屋１０に限らず、倉庫などの建屋であっても良い。
【００４４】
また、図２に示すクリーンルーム２０の構成も一例であり、側面パネル２２ａ、天井パネル２２ｂ、側面補強部材２３、支柱２４、第１梁部材２５ａ、第２梁部材２５ｂ、第３梁部材２５ｃおよび第４梁部材２５ｄなどの数、形状および配置（特に設置間隔など）は図示および説明したものに限らない。また、空調設備２０ａを工場建屋１０の外部に設けるとしたが、これに限らず、空調設備２０ａを工場建屋１０の内部に設けるような構成であっても良い。
【００４５】
また、本実施形態では、個々の天井パネル２２ｂを取り外すことによってクリーンルーム躯体２１ａの天井部に開口部が形成される構成となっているが、これに限らず、天井部に間口の広い扉を一または複数設け、この扉を開放することによって開口部が形成されるような構成であっても良い。
【００４６】
また、工場建屋１０内を準クリーンルーム化する構成であっても良い。この場合、工場建屋１０内に空調空気を送風するための空調設備が新たに設置されるとともに、必要に応じて工場建屋１０の気密性の向上を図るためのリフォームが施される。このように、工場建屋１０内が準クリーンルーム化されると、クリーンルーム２０の外気が既に空調済みとなっているため、クリーンルーム２０内のクリーン度の設定が、外気に影響されることなく詳細且つ容易に行え、さらに、工場建屋１０の天井部を開放した場合であっても、クリーンルーム２０内におけるクリーン度の劣化が十分に抑制可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本実施形態に係るクリーンルーム構造体の構成を示す図である。
【図２】本実施形態に係るクリーンルームの構成を示す図である。
【図３】本実施形態に係る製造物の搬送方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】本実施形態に係るクリーンルームの天井部に開口部を形成する際の様子を示す図である。
【図５】本実施形態に係るクリーンルーム内から製造物を搬出する際の搬出工程を説明するための動作説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…クリーンルーム構造体、１０…工場建屋、１１…床、１２…支柱、１３…側壁、１４…屋根、１５…出入口、１６…ガイドレール、１７…天井クレーン、１７ａ…クレーンフック、１７ｃ…本体部、２０…クリーンルーム、２０ａ…空調設備、２０ｂ…ダクト、２１ａ…クリーンルーム躯体、２１ｂ…鉄骨枠組、２２ａ…側面パネル、２２ｂ…天井パネル、２３…側面補強部材、２４…支柱、２５ａ…第１梁部材、２５ｂ…第２梁部材、２５ｃ…第３梁部材、２５ｄ…第４梁部材、３０…製造物、４０…搬送用トラック。
【図１】
2006070505.tif 000003
【図２】
2006070505.tif 000004
【図３】
2006070505.tif 000005
【図４】
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【図５】
2006070505.tif 000007