(57)【要約】【課題】  生産性を向上したマイクロレンズの製造方法、その製造方法によって製造されたマイクロレンズを備える電気光学装置及びマイクロレンズ製造装置を提供する。【解決手段】  各受容孔との相対位置をガラス基板３５毎に同じにするアライメントマーク３６を設け、そのアライメントマーク３６の位置座標に基づいて、各受容孔の位置座標を演算するようにした。そして、演算した各受容孔の位置座標に基づいて、副走査方向Ｙ側から順に、各受容孔に所定の容量の樹脂を液体吐出ノズルから吐出するようにした。【選択図】      図１
2006119406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板に形成した液体受容部に液体吐出ノズルから液体を吐出し、吐出した前記液体を前記透明基板上で硬化させることによってマイクロレンズを製造するマイクロレンズの製造方法において、
前記液体受容部との相対位置を決める位置整合部を形成した複数の透明基板をステージに配置し、
前記ステージに配置された前記各透明基板の前記位置整合部の位置を検出し、検出した前記位置整合部の位置に基づいて前記各透明基板の前記液体受容部の位置を算出し、前記算出した液体受容部の位置に対して前記液体吐出ノズルから液体を吐出して、前記複数の透明基板の前記液体受容部にマイクロレンズを製造することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載するマイクロレンズの製造方法において、
前記液体受容部は、前記透明基板の一方向に沿って列状に設けられ、前記透明基板は、前記一方向と直交する他方向に沿って配置され、前記液体吐出ノズルは、前記他方向に沿って往復動することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載するマイクロレンズの製造方法において、
前記液体受容部は、前記透明基板の一方向に沿って列状に設けられ、前記位置整合部は、前記液体受容部の列の端部に設けられたことを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
【請求項４】
透明基板に形成された発光素子と、前記発光素子の発光した光を出射するマイクロレンズとを備えた電気光学装置において、
前記マイクロレンズは、請求項１〜３のいずれか１つに記載のマイクロレンズの製造方法によって製造されたマイクロレンズであることを特徴とする電気光学装置。
【請求項５】
請求項４に記載する電気光学装置において、
前記発光素子は、発光層を備えたエレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項５に記載する電気光学装置において、
前記発光層は、有機材料で形成され、前記エレクトロルミネッセンス素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１つに記載する電気光学装置において、
前記マイクロレンズは、凸形状のレンズであって、前記発光素子から発光された光を集光して出射することを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
透明基板に設けられた液体受容部に液体吐出ノズルから液体を吐出してマイクロレンズを製造するマイクロレンズ製造装置において、
複数の前記透明基板に対して、前記液体受容部との相対位置を決める位置整合部を形成した複数の透明基板を配置するステージと、
前記ステージに配置された前記各透明基板の位置整合部の位置を検出する位置検出部と、
前記位置検出部の検出した位置整合部の位置に基づいて前記各透明基板の液体受容部の位置を算出する算出手段と、
前記算出手段の算出した液体受容部の位置に液体吐出ノズルを移動して液体の吐出を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とするマイクロレンズ製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロレンズの製造方法、電気光学装置及びマイクロレンズ製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真方式を用いた画像形成装置には、感光ドラムを露光して潜像を形成する電気光学装置としての露光ヘッドが利用されている。近年では、この露光ヘッドの薄型化や軽量化等を図るために、露光ヘッドの発光源として、透明基板（例えば、ガラス基板）上に形成した有機ＥＬ素子を利用する提案がなされている。
【０００３】
ところが、こうした露光ヘッドでは、有機ＥＬ素子が拡散光源であるために、同有機ＥＬ素子から発光された光の取出し効率が低く、露光するための光量が十分に得られない問題がある。
【０００４】
そこで、従来より、有機ＥＬ素子を備えた露光ヘッドでは、その光の取出し効率を向上する提案がなされている（例えば、特許文献１）。特許文献１記載の技術では、有機ＥＬ素子から発光された光を取出す光取出し面に、その有機ＥＬ素子と１対１で対応するマイクロレンズを設ける。これによって、有機ＥＬ素子から発光された光を同マクロレンズによって集光することができ、その光軸方向の発光輝度を高めて光の取出し効率を向上することができる。
【０００５】
一方、特許文献１記載の技術では、こうした露光ヘッドの生産性を向上するために、いわゆるインクジェット法によって前記マイクロレンズを形成する。詳しくは、透明基板の光取出し面上であって有機ＥＬ素子と相対向する位置に、紫外線照射や加熱等によって硬化する樹脂を吐出する。そして、吐出した樹脂が凸レンズ形状となるように硬化してマイクロレンズを形成する。これによって、マイクロレンズの構成材料や形成工程の選択範囲を拡張することができ、ひいては露光ヘッドの生産性を向上することができる。
【特許文献１】特開２００３−２９１４０４号広報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、こうした露光ヘッドに対してインクジェット法によるマイクロレンズの形成を行うと以下の問題を生じる。すなわち、インクジェット法では、樹脂を吐出するための吐出ノズルを各有機ＥＬ素子と相対向する位置に走査する必要がある。従って、吐出ノズルから樹脂を吐出する度に、同吐出ノズルの位置と有機ＥＬ素子の位置とを整合するための時間を要する。その結果、マイクロレンズを形成する工程のスループットを低下させる、ひいては露光ヘッドの生産性を損なう問題を招く。
【０００７】
そこで、こうした位置整合や樹脂の吐出を、複数の透明基板に対して並列に行うことができれば、マイクロレンズ形成工程のスループット、ひいては露光ヘッドの生産性を向上することができる。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、生産性を向上したマイクロレンズの製造方法、その製造方法によって製造されたマイクロレンズを備える電気光学装置及びマイクロレンズ製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のマイクロレンズの製造方法は、透明基板に形成した液体受容部に液体吐出ノズルから液体を吐出し、吐出した前記液体を前記透明基板上で硬化させることによってマイクロレンズを製造するマイクロレンズの製造方法において、前記液体受容部との相対位置を決める位置整合部を形成した複数の透明基板をステージに配置し、前記ステージに配置された前記各透明基板の前記位置整合部の位置を検出し、検出した前記位置整合部の位置に基づいて前記各透明基板の前記液体受容部の位置を算出し、前記算出した液体受容部の位置に対して前記液体吐出ノズルから液体を吐出して、前記複数の透明基板の前記液体受容部にマイクロレンズを製造する。
【００１０】
本発明のマイクロレンズの製造方法によれば、位置整合部の位置を検出し、検出した位置整合部の数に相対する液体受容部にマイクロレンズを形成することができる。従って、透明基板を交換することなく複数の透明基板の液体受容部に対してマイクロレンズを形成することができる。その結果、マイクロレンズを製造するスループットを向上することができる。ひいては、マイクロレンズの生産性を向上することができる。
【００１１】
このマイクロレンズの製造方法において、前記液体受容部は、前記透明基板の一方向に沿って列状に設けられ、前記透明基板は、前記一方向と直交する他方向に沿って配置され、前記液体吐出ノズルは、前記他方向に沿って往復動する。
【００１２】
このマイクロレンズの製造方法によれば、液体吐出ノズルの一度の往動（復動）によって、複数の透明基板の液体受容部に液体を吐出することができる。その結果、透明基板間において、液体の吐出量のバラツキを低減することができる。ひいては、透明基板間のマイクロレンズのサイズを均一化することができ、マイクロレンズの生産性を向上することができる。
【００１３】
このマイクロレンズの製造方法において、前記液体受容部は、前記透明基板の一方向に沿って列状に設けられ、前記位置整合部は、前記液体受容部の列の端部に設けられた。
このマイクロレンズの製造方法によれば、透明基板毎に、一つの整合部によって列状に配列される複数の液体受容部を整合することができる。その結果、一つの整合部に基づいて複数の液体受容部に液体を吐出することができ、マイクロレンズの生産性をより向上することができる。
【００１４】
本発明の電気光学装置は、透明基板に形成された発光素子と、前記発光素子の発光した光を出射するマイクロレンズとを備えた電気光学装置において、前記マイクロレンズは、上記するマイクロレンズの製造方法によって製造されたマイクロレンズである。
【００１５】
本発明の電気光学装置によれば、発光素子と、同発光素子の発光した光を出射するマイクロレンズとを備える電気光学装置の生産性を向上することができる。
この電気光学装置において、前記発光素子は、発光層を備えたエレクトロルミネッセンス素子である。
【００１６】
この電気光学装置によれば、エレクトロルミネッセンス素子を備えた電気光学装置の生産性を向上することができる。
この電気光学装置において、前記発光層は、有機材料で形成され、前記エレクトロルミネッセンス素子は、有機エレクトロルミネッセンス素子である。
【００１７】
この電気光学装置によれば、有機エレクトロルミネッセンス素子を備えた電気光学装置の生産性を向上することができる。
この電気光学装置において、前記マイクロレンズは、凸形状のレンズであって、前記発光素子から発光された光を集光して出射する。
【００１８】
この電気光学装置によれば、マイクロレンズが凸形状のレンズで形成されるため、集光機構などを介することなく、発光素子の発光した光をマイクロレンズによって集光することができる。従って、発光素子から発光した光を集光して出射する電気光学装置の生産性を向上することができる。
【００１９】
本発明のマイクロレンズ製造装置は、透明基板に設けられた液体受容部に液体吐出ノズルから液体を吐出してマイクロレンズを製造するマイクロレンズ製造装置において、複数の前記透明基板に対して、前記液体受容部との相対位置を決める位置整合部を形成した複数の透明基板を配置するステージと、前記ステージに配置された前記各透明基板の位置整合部の位置を検出する位置検出部と、前記位置検出部の検出した位置整合部の位置に基づいて前記各透明基板の液体受容部の位置を算出する算出手段と、前記算出手段の算出した液体受容部の位置に液体吐出ノズルを移動して液体の吐出を制御する制御手段と、を備えた。
【００２０】
本発明のマイクロレンズ製造装置によれば、位置検出部が位置整合部の位置を検出し、検出した位置整合部の数と相対する液体受容部に対して制御手段が液体の吐出を制御することができる。従って、透明基板を交換することなく複数の透明基板の液体受容部に対してマイクロレンズを形成することができる。その結果、マイクロレンズを製造するスループットを向上することができる。ひいては、マイクロレンズの生産性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図６に従って説明する。図１及び図２は、マイクロレンズ製造装置を示す概略平面図及び概略正断面図である。
図１に示すように、マイクロレンズ製造装置１０には、平面板状に形成された支持板１１が備えられている。支持板１１は、マイクロレンズ製造装置１０を支持する板部材であって、その左右方向（主走査方向Ｘ）の両端部には、左右一対の支持台１２，１３が配設固定されている。一対の支持台１２，１３は、図２に示すように、直方体形状に形成され、支持板１１の上面（支持面１１ａ）から上方（図１において紙面に直交する側）に向かって延びるように立設されている。両支持台１２，１３の上側には、主走査方向Ｘと直交する前後方向（副走査方向Ｙ）に沿って前後一対の狭持板１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂがそれぞれ配設されている。前後一対の狭持板１２ａ，１２ｂ（挟持板１３ａ，１３ｂ）は、その前後方向の間隔を収縮可能にして、図示しないボルト等によって支持台１２，１３に位置決めされるようになっている。
【００２２】
両支持台１２，１３の間には、図１に示すように、主走査ガイド板１５が配設されている。主走査ガイド板１５は、支持板１１の左右幅と略同じ左右幅を有する板部材であって、その左右両端部が、それぞれ狭持板１２ａ，１２ｂ及び狭持板１３ａ，１３ｂによって狭持されている。これによって、主走査ガイド板１５は、その前後面１５ａ，１５ｂを主走査方向Ｘと平行にして、且つ支持面１１ａに対して直交するように位置決めされる。しかも、主走査ガイド板１５は、図２に示すように、その下面１５ｃを支持面１１ａから所定の距離だけ離間した位置に位置決めされる。
【００２３】
主走査ガイド板１５の後面１５ｂであって支持台１２側には、図１に示すように、収容タンク１６が配設されている。収容タンク１６は、その内部に紫外線硬化性樹脂Ｐｕ（以下単に、樹脂Ｐｕという。）を収容するタンクであって、その樹脂Ｐｕを供給可能にしている。
【００２４】
主走査ガイド板１５の前面１５ａには、主走査方向Ｘに沿って、同主走査ガイド板１５
の左右方向略全幅にわたり、上下一対の主走査ガイド１７ａ，１７ｂが突出形成されている。その主走査ガイド１７ａ，１７ｂには、図示しないリニアガイド機構を備えたスライダ１８が主走査方向Ｘに沿って移動可能に取り付けられている。そのスライダ１８は、主走査モータＭ１（図５参照）に連結駆動されている。主走査モータＭ１は、所定のパルス信号を受けてステップ単位で回転する、いわゆるステッピングモータである。
【００２５】
そして、主走査モータＭ１に所定のステップ数に対応する駆動信号を入力されると、スライダ１８が、主走査方向Ｘに沿って移動して、前記ステップ数に対応する配置位置で位置決めされる。
【００２６】
なお、本実施形態では、スライダ１８の配置位置であって、同スライダ１８の右側端部が主走査ガイド１７ａ，１７ｂの右側端部と重なる位置を往動位置とする。また、同スライダ１８の左側端部が主走査ガイド１７ａ，１７ｂの左側端部と重なる位置を復動位置とする。
【００２７】
そのスライダ１８の下側には液体吐出ヘッド２０が配設されている。その液体吐出ヘッド２０には、図６に示すように、ノズルプレート２１が備えられている。そのノズルプレート２１には、その鉛直方向Ｚに開口する多数の液体吐出ノズルＮ（以下単に、吐出ノズルＮという。）が形成されている。吐出ノズルＮは、液体としての樹脂Ｐｕを吐出するためのノズルであって、副走査方向Ｙに沿って１列に配設されている。しかも、吐出ノズルＮは、その配列ピッチが、後述するピッチ幅Ｐとなるように形成されている。その吐出ノズルＮの上側には、前記収容タンク１６に連通して樹脂Ｐｕを吐出ノズルＮ内に供給可能にする供給室２２が形成されている。各供給室２２の上側には、鉛直方向Ｚに沿って往復振動して供給室２２内の容積を拡大縮小する振動板２３が配設されている。その振動板２３の上側であって各供給室２２と相対向する位置には、それぞれ鉛直方向Ｚに沿って伸縮動して振動板２３を振動させる圧電素子２４が配設されている。
【００２８】
そして、液体吐出ヘッド２０に所定の駆動信号が入力されると、同駆動信号に基づいて各圧電素子２４がそれぞれ伸縮動し、対応する供給室２２の容積が拡大縮小する。この時、供給室２２の容積が縮小すると、縮小した容積分の樹脂Ｐｕが、各吐出ノズルＮから液滴Ｄｓとして吐出される。続いて、供給室２２の容積が拡大すると、拡大した容積分の樹脂Ｐｕが、収容タンク１６から供給室２２内に供給される。つまり、液体吐出ヘッド２０は、こうした供給室２２の拡大縮小によって樹脂Ｐｕを吐出する。
【００２９】
その液体吐出ヘッド２０の主走査方向Ｘには、位置検出部２５が配設されている。位置検出部２５は、カメラ等の撮像機能を備え、後述する位置整合部としてのアライメントマーク３６の実画像データを生成し、同実画像データをＣＰＵ５１（図５参照）に入力するようになっている。
【００３０】
図１に示すように、支持板１１の主走査方向Ｘ略中央位置であって前記主走査ガイド板１５の下方には、副走査ガイド板３０が配設固定されている。副走査ガイド板３０は、支持板１１の前後幅と略同じ前後幅を有する板部材である。その副走査ガイド板３０の上面には、副走査方向Ｙに沿って、同副走査ガイド板３０の副走査方向Ｙ略全幅にわたり、一対の副走査ガイド３１ａ，３１ｂが、突出形成されている。その副走査ガイド３１ａ，３１ｂには、対応する一対のリニアガイド機構３２ａ，３２ｂを備えた基板ステージ３３が副走査方向Ｙに沿って移動可能に取り付けられている。その基板ステージ３３は、副走査モータＭ２に連結駆動されている。副走査モータＭ２は、所定のパルス信号を受けてステップ単位で回転する、いわゆるステッピングモータである。
【００３１】
基板ステージ３３は、上側から見て長方形に形成される台座であって、その上面略中央
位置には、上側から見て長方形に形成される載置部３４が凹設されている。載置部３４は、電気光学装置を構成する透明基板としてのガラス基板３５を収容可能にする凹部であって、その副走査方向Ｙの幅がガラス基板３５の長手方向の幅と略同じ大きさで形成されている。また、載置部３４の主走査方向Ｘの幅は、図１に示すように、１２枚のガラス基板３５を収容可能にする大きさで形成されている。その載置部３４の底面には、主走査方向Ｘに沿って等間隔に、１２個の吸引孔３４ａが形成されている。吸引孔３４ａは、載置部３４の底面から鉛直方向Ｚに形成される円形孔であって、図示しない吸引手段に接続されて載置部３４側を吸引するようになっている。
【００３２】
そして、副走査モータＭ２に対して所定のステップ数に相対する駆動信号が入力されると、基板ステージ３３が、副走査方向Ｙに沿って移動して前記ステップ数に対応する配置位置で位置決めされる。
【００３３】
なお、本実施形態では、基板ステージ３３の配置位置であって、基板ステージ３３をスライダ１８よりも前側にする位置を搬送位置（図１における実線）とする。また、基板ステージ３３の配置位置であって、載置部３４の後側端部（副走査方向Ｙ側端部）をスライダ１８の移動経路上にする位置を検出位置とする。さらに、基板ステージ３３の配置位置であって、載置部３４の前側端部（副走査方向Ｙの反対側端部）をスライダ１８の移動経路上にする位置を吐出終了位置（図１における２点鎖線）とする。
【００３４】
次に、マイクロレンズを形成するガラス基板３５について以下に説明する。
図３に示すように、ガラス基板３５は、細長い短冊状の基板であって、その上面３５ａの一角には、整合部としてのアライメントマーク３６が凸設されている。アライメントマーク３６は、上面３５ａに積層されるレジストＲＬ（図４参照）によって視認可能な大きさの正方形に形成されている。
【００３５】
そのアライメントマーク３６の右側には、多数の受容部３７が副走査方向Ｙに２列に配列され、主走査方向Ｘ側の列を第１受容列３８ａと主走査方向Ｘの反対側の列を第２受容列３８ｂとしている。受容部３７は、上面３５ａに積層されるレジストＲＬによって形成され、上側から見て略正方形に形成されている。各受容部３７の略中央位置には、それぞれ液体受容部としての受容孔３９が形成されている。受容孔３９は、受容部３７を上方に開口する円形孔である。なお、この受容孔３９の内周面は、フッ素系プラズマ等によって表面処理され、樹脂Ｐｕを撥液する撥液性を備えている。
【００３６】
これら受容孔３９及びアライメントマーク３６は、上面３５ａ全面に塗布されたレジストＲＬが同じ露光・現像工程を経ることによって同時に形成される。これによって、受容孔３９及びアライメントマーク３６は、各種工程間差等を回避して、常に同じ相対位置で形成される。つまり、各ガラス基板３５において、受容孔３９は、アライメントマーク３６に対して常に同じ相対的位置に配置される。
【００３７】
詳述すると、各受容孔３９は、アライメントマーク３６の最も副走査方向Ｙ側であって、かつ最も主走査方向Ｘ側の角部（基準点Ｋ）を基準に配置形成されている。すなわち、図３に示すように、第１受容列３８ａであってその最も副走査方向Ｙ側（アライメントマーク３６側）の受容孔３９は、その中心位置を、基準点Ｋから主走査方向Ｘに第１主走査整合距離Ｘ１だけ離間し、副走査方向Ｙに第１副走査整合距離Ｙ１だけ離間する位置に形成されている。そして、第１受容列３８ａの受容孔３９は、副走査方向Ｙに沿ってその配列ピッチをピッチ幅Ｐにして形成されている。
【００３８】
また、第２受容列３８ｂであってその最もアライメントマーク３６側の受容孔３９は、その中心位置を、基準点Ｋから主走査方向Ｘに第２主走査整合距離Ｘ２だけ離間し、副走
査方向Ｙに第２副走査整合距離Ｙ２だけ離間する位置に形成されている。そして、第２受容列３８ｂの受容孔３９は、第１受容列３８ａと同じく、副走査方向Ｙに沿ってその配列ピッチをピッチ幅Ｐにして形成されている。
【００３９】
図４に示すように、ガラス基板３５の下面３５ｂであって受容部３７と相対向する位置には、それぞれ発光素子領域４１が形成されている。その発光素子領域４１には、それぞれ薄膜トランジスタ４２（以下単に、ＴＦＴ４２という。）と発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）４３が形成されている。ＴＦＴ４２は、下面３５ｂに堆積されるポリシリコン膜をチャンネル膜としたポリシリコン型ＴＦＴ等である。有機ＥＬ素子４３は、有機材料からなる発光層を備え、前記受容孔３９と相対向する位置に形成されている。そして、ＴＦＴ４２が所定のデータ信号によってオン状態となると、有機ＥＬ素子４３が、そのオン状態に基づいた輝度で上面３５ａ側に発光するようになっている。
【００４０】
次に、上記するマイクロレンズ製造装置１０の電気的構成について以下に説明する。
図５は、マイクロレンズ製造装置１０の電気構成を示すブロック図である。
マイクロレンズ製造装置１０は制御部を構成するＣＰＵ５１、ＲＯＭ５２、ＲＡＭ５３を備え、これら各種デバイスがバス５４を介して電気的に接続されている。また、これら各種デバイスは、バス５４を介して主走査モータ駆動回路５５、副走査モータ駆動回路５６、吐出ヘッド駆動回路５７及び位置検出部駆動回路５８に接続されている。
【００４１】
ＣＰＵ５１は、マイクロレンズ製造装置１０に設けた図示しない入力装置からの各種操作信号が入力される。また、ＣＰＵ５１は、バス５４を介して各種駆動回路に各種制御信号を出力する。即ち、ＣＰＵ５１は、それぞれ主走査モータ駆動回路５５、及び副走査モータ駆動回路５６を介して対応する主走査モータＭ１及び副走査モータＭ２をそれぞれ駆動制御する。また、ＣＰＵ５１は、それぞれ吐出ヘッド駆動回路５７及び位置検出部駆動回路５８を介して対応する液体吐出ヘッド２０（圧電素子２４）及び位置検出部２５をそれぞれ駆動制御する。
【００４２】
ＲＯＭ５２は、ＣＰＵ５１が各種操作信号に基づいて各種駆動回路を制御するための各種プログラムが記憶されている。また、ＲＯＭ５２は、ＣＰＵ５１が各受容孔３９の座標位置を演算するための前記第１及び第２主走査整合距離Ｘ１，Ｘ２、第１及び第２副走査整合距離Ｙ１，Ｙ２及びピッチ幅Ｐを記憶する。
【００４３】
そして、ＣＰＵ５１は、ＲＯＭ５２に記憶された各種プログラムに基づいて各種駆動回路を駆動制御するための各種制御信号を出力するとともに、各種演算処理結果等をＲＡＭ５３に一時記憶するようになっている。例えば、ＣＰＵ５１は、位置検出部２５から出力される実画像データに基づいて、アライメントマーク３６（基準点Ｋ）の位置を演算する。すなわち、ＣＰＵ５１は、前記スライダ１８の往動位置を基準にして、基準点Ｋまでの主走査方向Ｘの距離と副走査方向Ｙの距離とを演算し、同基準点Ｋの位置を２次元の位置座標として演算する。さらに、ＣＰＵ５１は、ＲＯＭ５２に記憶される第１及び第２主走査整合距離Ｘ１，Ｘ２、第１及び第２副走査整合距離Ｙ１，Ｙ２及びピッチ幅Ｐを参照して、各基準点Ｋの位置座標に対応する各受容孔３９の位置座標を演算する。
【００４４】
次に、上記する構成のマイクロレンズ製造装置１０によってガラス基板３５にマイクロレンズを形成する形成方法について以下に説明する。
今、入力装置を介してＣＰＵ５１にマイクロレンズを形成するための操作信号が入力されると、ＣＰＵ５１は、図示しない搬送機構等を駆動して、所定の位置に収容されるガラス基板３５を基板ステージ３３の載置部３４内に移載する。この時、各ガラス基板３５は、図１に示すように、それぞれアライメントマーク３６を副走査方向Ｙ側（後側）に配置
し、下面３５ｂ（発光素子領域４１）を吸引孔３４ａに相対させて配置される。これによって、１２枚のガラス基板３５は、その長手方向を副走査方向Ｙと平行にして、かつ吸引孔３４ａに吸引されて位置決めされる。なお、この際、スライダ１８を往動位置、及び基板ステージ３３を搬送位置にそれぞれ位置決めされているものとする。
【００４５】
各ガラス基板３５が載置部３４内に位置決めされると、ＣＰＵ５１は、副走査モータＭ２を駆動して基板ステージ３３を搬送位置から検出位置に移動する。基板ステージ３３が検出位置に移動すると、ＣＰＵ５１は、主走査モータＭ１を駆動して、スライダ１８を往動位置から復動位置に移動する。この際、ＣＰＵ５１は、位置検出部２５を駆動して各ガラス基板３５のアライメントマーク３６（基準点Ｋ）を含む実画像データを取得する。続いて、ＣＰＵ５１は、取得した実画像データに基づいて、各ガラス基板３５の基準点Ｋの位置座標を演算するとともに、各ガラス基板３５毎に基準点Ｋに対応する各受容孔３９の位置座標を演算してＲＡＭ５３に記憶する。
【００４６】
さらに、ＣＰＵ５１は、各ガラス基板３５の基準点Ｋについて、隣合う基準点Ｋの副走査方向Ｙ（前後方向）の相対距離を演算しＲＡＭ５３に記憶する。つまり、ガラス基板３５の第１及び第２受容列３８ａ，３８ｂの各受容孔３９について、その隣合うガラス基板３５の第１及び第２受容列３８ａ，３８ｂに対応する各受容孔３９の副走査方向Ｙ（前後方向）の相対距離が演算され記憶される。
【００４７】
次に、ＣＰＵ５１は、最も復動位置側にあるガラス基板３５の第１受容列３８ａの最も基準点Ｋ側の受容孔３９の位置座標を読み出す。そして、ＣＰＵ５１は、読み出した位置座標に基づいて副走査モータＭ２を駆動し、液体吐出ヘッド２０（最も副走査方向Ｙ側の吐出ノズルＮ）の移動経路が前記最も基準点Ｋ側の受容孔３９と重なる位置に基板ステージ３３を位置決めする。
【００４８】
基板ステージ３３を位置決めすると、ＣＰＵ５１は、主走査モータＭ１を駆動してスライダ１８を復動位置から往動位置に移動する。そして、ＣＰＵ５１は、液体吐出ヘッド２０（最も副走査方向Ｙ側の吐出ノズルＮ）が最も基準点Ｋ側の受容孔３９の直上を通過するとき、各吐出ノズルＮを駆動し、直下の第１受容列３８ａの各受容孔３９に樹脂Ｐｕを吐出する。
【００４９】
なお、この時、吐出ノズルＮの配列ピッチと第１受容列３８ａの受容孔３９の配列ピッチとが同じピッチ幅Ｐで形成されるため、図５に示すように、各吐出ノズルＮは、それぞれ同一ガラス基板３５上の受容孔３９と相対向する位置に配置される。つまり、吐出ノズルＮの数と略等しい数の同一ガラス基板３５上の受容孔３９に所定の容量の樹脂Ｐｕが同時に吐出される。受容孔３９内に吐出された樹脂は、その表面張力と受容孔３９の撥液性とによって上方とに突出する凸面Ｍを形成する。
【００５０】
吐出ノズルＮの吐出動作が終了し、液体吐出ヘッド２０が第１受容列３８ａから第２受容列３８ｂに移動する途中において、ＣＰＵ５１は、副走査方向Ｙ（前後方向）における予め決められた第１受容列３８ａに対する第２受容列３８ｂの相対距離だけ、副走査モータＭ２を駆動して、基板ステージ３３を位置決めさせる。従って、液体吐出ヘッド２０（最も副走査方向Ｙ側の吐出ノズルＮ）の移動経路に、第２受容列３８ｂの最も基準点Ｋ側の受容孔３９が配置制御される。そして、ＣＰＵ５１は、液体吐出ヘッド２０（最も副走査方向Ｙ側の吐出ノズルＮ）が第２受容列３８ｂの最も基準点Ｋ側の受容孔３９の直上を通過するとき、各吐出ノズルＮを駆動し、直下の第２受容列３８ｂの各受容孔３９に樹脂Ｐｕを吐出する。
【００５１】
吐出ノズルＮの吐出動作が終了し、液体吐出ヘッド２０が最も復動位置側のガラス基板
３５の第２受容列３８ｂから隣のガラス基板３５の第１受容列３８ａ移動する途中において、ＣＰＵ５１は、基板ステージ３３を移動制御する。つまり、ＣＰＵ５１は、隣合うガラス基板３５の相対距離から、最も副走査方向Ｙ側の吐出ノズルＮの移動経路に次のガラス基板３５であって第１受容列３８ａの最も基準点Ｋ側の受容孔３９が重なる位置に配置されるように副走査モータＭ２を駆動して基板ステージ３３を位置決めする。
【００５２】
そして、ＣＰＵ５１は、最も副走査方向Ｙ側の吐出ノズルＮが次のガラス基板３５であって第１受容列３８ａの最も基準点Ｋ側の受容孔３９の直上を通過するとき、各吐出ノズルＮを駆動し、直下の第１受容列３８ａの各受容孔３９に樹脂Ｐｕを吐出する。
【００５３】
以後、同様に、スライダ１８（液体吐出ヘッド２０）を往動位置に移動させる間、上記したように、基板ステージ３３を位置制御しながら液体吐出ヘッド２０を駆動することによって、各ガラス基板３５の第１及び第２受容列３８ａ，３８ｂの各受容孔３９に樹脂Ｐｕが吐出される。
【００５４】
そして、吐出ノズルＮの数だけの、各ガラス基板３５の第１及び第２受容列３８ａ，３８ｂの各受容孔３９に樹脂Ｐｕが吐出されると、スライダ１８（液体吐出ヘッド２０）を往動位置から復動位置に移動させる。そして、その間、上記と同様な動作を行うことによって、残る各受容孔３９に樹脂Ｐｕを吐出させることができる。
【００５５】
次に、基板ステージ３３を吐出終了位置に移動して全ての受容孔３９に樹脂Ｐｕを吐出すると、ＣＰＵ５１は、図示しない搬送機構等を駆動して、載置部３４内から各ガラス基板３５を所定の位置まで移載する。移載されたガラス基板３５は、その上面３５ａ側から紫外線を照射される。これによって、受容孔３９内に吐出された樹脂が凸面Ｍを保持した状態で硬化し、同受容孔３９内に、凸型状のマイクロレンズが形成される。
【００５６】
次に、上記するように構成した本実施形態の効果について以下に説明する。
（１）本実施形態によれば、各受容孔３９との相対位置をガラス基板３５毎に同じにするアライメントマーク３６を設け、ＣＰＵ５１が、一度の位置検出動作（スライダ１８の往動）によって各アライメントマーク３６の位置座標を演算するようにした。そして、ＣＰＵ５１が、各アライメントマーク３６の位置座標に基づいて、各受容孔３９の位置座標を演算し、副走査方向Ｙ側の受容孔３９から順に所定の容量の樹脂Ｐｕを吐出するようにした。
【００５７】
従って、一度の位置検出動作によって、１２枚のガラス基板３５の各受容孔３９にマイクロレンズを形成することができる。その結果、マイクロレンズを製造するスループットを向上することができ、ひいてはマイクロレンズの生産性を向上することができる。
【００５８】
（２）しかも、副走査方向Ｙ側の受容孔３９から順に樹脂Ｐｕを吐出するため、液体吐出ヘッド２０（吐出ノズルＮ）の一度の往動（復動）によって、複数のガラス基板３５の受容孔３９に樹脂Ｐｕを吐出することができる。従って、例えば、液体吐出ヘッド２０の一度の往動（復動）によって一枚のガラス基板３５に液体を吐出する場合に比べ、液体吐出ノズルＮの経時変化等に起因する吐出量のバラツキを、ガラス基板３５間において低減することができる。ひいては、ガラス基板３５間のマイクロレンズのサイズをより均一化することができ、マイクロレンズの生産性を向上することができる。
【００５９】
（３）本実施形態によれば、受容孔３９及びアライメントマーク３６を同一工程によって同時に形成するようにした。従って、受容孔３９及びアライメントマーク３６を異なる工程によって形成する場合に比べ、各種工程間の間差等を回避することができ、受容孔３９に対するアライメントマーク３６の相対位置を、ガラス基板３５毎に、確実に同じにす
ることができる。
【００６０】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、ガラス基板３５が、その長手方向を副走査方向Ｙに沿って配置されるようにした。これに限らず、例えば、図７に示すように、ガラス基板３５が、その長手方向を主走査方向Ｘに沿って配置するようにしてもよい。なお、この際、位置検出部２５は、図７に示すように、支持台１２上であって基板ステージ３３上に延びるアーム２５ａに備えられ、載置部３４の右側端部を撮像可能にするのが好ましい。また、ノズルの配列ピッチは、第１受容列３８ａと第２受容列３８ｂの配列ピッチと同じ大きさにすることが望ましい。
【００６１】
これによれば、基板ステージ３３を搬送位置から吐出終了位置に移動することによって各アライメントマーク３６の位置座標を算出することができる。そのため、基板ステージ３３の１回の移動によって、各受容孔３９の位置座標を算出することができる。
【００６２】
しかも、液体吐出ヘッド２０の１回の往動（復動）によって、少なくとも１枚のガラス基板３５の全ての受容孔３９に液体を吐出することができる。そのため、ガラス基板３５内におけるマイクロレンズのサイズ等のバラツキを低減することができる。
【００６３】
・上記実施形態では、スライダ１８につまり、位置検出部２５の配設位置は、アライメントマーク３６の実画像データを取得可能にする位置であればよい。
・上記実施形態では、ＣＰＵ５１が図示しない搬送機構等を駆動して各ガラス基板３５をマイクロレンズ製造装置１０に移載する構成にした。これに限らす、例えば手などによってガラス基板３５を移載するようにしてもよい。
【００６４】
これによれば、アライメントマーク３６が視認可能な大きさで形成されているため、同アライメントマーク３６を確実に副走査方向Ｙ側に配置することができ、その移載作業を容易にすることができる。
【００６５】
・上記実施形態では、アライメントマーク３６を上面３５ａに積層されるレジストＲＬによって形成する構成にしたが、これに限らず、例えばガラス基板３５の上面３５ａに凹設する構成であってもよく、あるいはガラス基板３５の下面３５ｂに設ける構成であってもよい。つまり、アライメントマーク３６は、受容孔３９との相対位置をガラス基板３５毎に同じにして、位置検出部２５によってその位置座標を検出できるものであればよい。
【００６６】
・上記実施形態では、載置部３４が１２枚のガラス基板３５を載置可能にしたが、これに限らず、複数のガラス基板３５を載置可能にするものであればよい。
・上記実施形態では、透明基板をガラス基板３５として具体化したが、これに限らず、例えばポリイミド等のプラスチック基板であってもよい。
【００６７】
・上記実施形態では、受容孔３９内を液体受容部として具体化したが、これに限らず、アライメントマーク３６に基づいて、予め設定される上面３５ａ上の位置であってもよい。
【００６８】
・上記実施形態では、発光素子領域４１を備えたガラス基板３５にマイクロレンズを形成する構成にした。これに限らず、例えば発光素子領域４１を形成する前にマイクロレンズを形成してもよく、さらには発光素子領域４１を備えない構成であってもよい。
【００６９】
・上記実施形態では、受容孔３９に撥液性を備え、マイクロレンズを凸形状のレンズとして具体化したが、これに限らず例えば撥液性を備えることなく、マイクロレンズを凹形
状のレンズとして具体化してもよい。
【００７０】
・上記実施形態では、マイクロレンズを紫外線硬化性樹脂Ｐｕによって形成する構成にしたが、これに限らず、例えば熱硬化性樹脂であってもよく、受容孔３９内に吐出された後に硬化する液体であればよい。
【００７１】
・上記実施形態では、有機ＥＬ素子４３の発光を制御するＴＦＴ４２を各発光素子領域４１に１個備える構成にした。これに限らず、有機ＥＬ素子４３の発光を制御するＴＦＴ４２を各発光素子領域４１に２個以上備える構成にしてもよく、あるいはＴＦＴ４２をガラス基板３５に備えない構成にしてもよい。
【００７２】
・上記実施形態では、電気光学装置を露光ヘッドとして具体化したが、これに限らず、例えば液晶パネルに装着されるバックライト等であってもよく、あるいは平面状の電子放出素子を備え、同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型ディスプレイ（ＦＥＤやＳＥＤ等）であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明におけるマイクロレンズ製造装置を示す概略平面図。
【図２】同じく、マイクロレンズ製造装置を示す概略正断面図。
【図３】同じく、ガラス基板を示す概略平面図。
【図４】同じく、ガラス基板を示す概略側断面図。
【図５】同じく、マイクロレンズ製造装置の電気的構成を示すブロック図。
【図６】同じく、マイクロレンズの製造工程を説明する説明図。
【図７】変更例におけるマイクロレンズ製造装置を示す概略平面図。
【符号の説明】
【００７４】
１０…マイクロレンズ製造装置、３５…電気光学装置を構成する透明基板としてのガラス基板、３６…位置整合部としてのアライメントマーク、３９…液体受容部としての受容孔、４３…発光素子としての有機ＥＬ素子、５１…算出手段及び制御手段を構成するＣＰＵ、Ｎ…液体吐出ノズル、Ｘ…主走査方向、Ｙ…副走査方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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