(57)【要約】【課題】  動圧溝パターンの形成工程を簡略化して、動圧軸受装置の製造コストの低減を図ることである。【解決手段】  軸部材の素材２ａ’の外周面２ａ１にインクジェット法によりインク１２を供給してマスキングパターン１を形成した後、非マスク部１ｂの素材表面をエッチングで除去する。さらに溶剤を用いてマスキング１ａを除去することにより動圧溝パターンＡを形成する。【選択図】図２
2006118608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部材の表面に、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、
軸部材の素材表面に樹脂組成物を供給して、動圧発生部の形状に対応したマスキングパターンを形成する工程と、
非マスク部の素材表面を除去する工程と、
マスキングパターンを除去する工程とを含む、動圧発生部の形成方法。
【請求項２】
軸部材の表面に、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、
軸部材の素材表面に樹脂組成物を供給して、動圧発生部の形状に対応したマスキングパターンを形成する工程と、
非マスク部の素材表面をめっきする工程と、
マスキングパターンを除去する工程とを含む、動圧発生部の形成方法。
【請求項３】
マスキングパターンは、素材表面に樹脂組成物をノズルから着弾あるいは滴下して形成されたものであることを特徴とする、請求項１または２何れか記載の、動圧発生部の形成方法。
【請求項４】
樹脂組成物として、光硬化性を有する樹脂組成物を用いた請求項１〜３何れか記載の、動圧発生部の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動圧軸受装置に使用する軸部材の外周および端面に設けられる動圧発生部の形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
動圧軸受装置は、軸部材と、軸部材の外周に位置する軸受部材の相対回転により軸受隙間に生じた潤滑油の動圧作用で圧力を発生させ、この圧力で軸部材を非接触支持する軸受装置である。この動圧軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を備えるものであり、近年ではその特徴を活かして、情報機器、例えばＨＤＤ、ＦＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置などのスピンドルモータ用の軸受、レーザービームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ用の軸受、あるいは電気機器、例えばプロジェクタのカラーホイール、軸流ファンなどの小型モータ用の軸受として、その用途を拡大しつつある。
【０００３】
この種の動圧軸受装置では、例えば軸部材の外周面に、動圧を発生するための溝（動圧溝）がヘリングボーン形状やスパイラル形状等に配列した状態で形成される。この特殊かつ複雑な形状の動圧発生部を精度良く形成するための方法として、以下に述べる方法が知られている。
【０００４】
（１）軸部材の素材表面にマスキングのための皮膜を形成し、レーザー光により前記皮膜の動圧溝に対応する部分を除去した後、エッチング処理、皮膜除去作業を経て動圧溝を形成する（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
（２）動圧溝形状に対応する印刷型を、軸部材の素材外周面と接触させながら軸部材の回転に応じて移動させることにより、軸部材の素材外周に動圧溝以外の部分を耐食インクで印刷すると共に、軸部材の印刷型との接触部以外の位置に光線を照射してインクを硬化させる。その後、非印刷部のエッチング処理、印刷部の除去作業を行い、動圧溝を形成する（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００１−２００４００号公報
【特許文献２】特公昭６２−４９３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記（１）の動圧発生部形成方法によれば、有機バインダ（インク）からなる皮膜層を動圧発生部形成領域全面にわたって形成した後、レーザー光による動圧溝形成のための皮膜除去（パターニング）が必要となるため、インク使用量と形成工程が増加し、かつレーザー光照射設備が必要となるため、高コスト化するとともに高額投資が必要となる。
【０００７】
一方、上記（２）の方法によれば、印刷型が軸部材の外周面と接触して移動するため、接触部での摩耗が生じやすく、量産時には印刷型の摩耗や変形等による印刷精度の低下が懸念される。さらにインク供給装置から供給された耐食インクは、印刷型を経て軸部材の外周面に到達し、さらにスキージにより圧迫されて軸部材外周面に定着するから、溝形成に関与しない余分な耐食インクが必要であり、高価な耐食インクの使用量が増して不経済である。また、動圧溝および素材形状に対応した印刷型が必要となるため、近年の多種多様な要求に対応しづらい。
【０００８】
本発明の課題は、動圧溝を始めとする動圧作用を発生させるための部分（動圧発生部）の形成工程を簡略化して、その加工コストの低減を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明では、軸部材の表面に、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、第１の手段として、素材表面に樹脂組成物を供給して、動圧発生部の形状に対応したマスキングパターンを形成する工程と、非マスク部の素材表面を除去する工程と、マスキングパターンを除去する工程とを含む、動圧発生部の形成方法を提供する。
【００１０】
さらに本発明では、第２の手段として、素材表面に樹脂組成物を供給して、動圧発生部の形状に対応したマスキングパターンを形成する工程と、非マスク部の素材表面をめっきする工程と、マスキングパターンを除去する工程とを含む、動圧発生部の形成方法を提供する。
【００１１】
何れの手段においても、マスキングパターンの形成に際し、素材表面に樹脂組成物を供給するための方法としては、例えば樹脂組成物を、細孔ノズルから微小液滴の状態で着弾あるいは滴下する方法、例えばインクジェット法が考えられる。この方法により、高精度のマスキングパターン形成が可能となる一方、ノズルと素材表面が非接触となるので、従来方法で問題となる接触部での摩耗による精度低下を回避することができる。また本方法ではスキージが不要で必要箇所にのみインクが使用されるので、インクはマスキングパターンの形成に関与するだけの使用量で足り、インクの使用量を削減することができる。さらには、印刷型や印刷型を保持するための保持部材や、従来別方法で必要であった素材表面を被覆する皮膜のマスキングパターン成形工程が不要であり、成形装置を簡略化することができ、低コスト化を図ることができる。
【００１２】
第１の手段において、非マスク部の素材表面を除去する加工方法としては、例えばエッチング、マイクロブラスト、レーザー加工、放電加工、超音波加工、切削加工等が挙げられる。この中でもコスト面や加工精度を考慮すると、化学エッチングや電解エッチング等のエッチングが好ましい。
【００１３】
第２の手段において、非マスク部の素材表面をめっき処理する方法としては、素材の材質や、求められる軸受性能に応じて、電気ニッケルめっき、無電解ニッケルめっき、硬質クロムめっき、亜鉛めっき、亜鉛−鉄、亜鉛−ニッケル合金めっき等の公知のめっき方法を選択することができる。さらにこれらめっき層の耐食性向上のための後処理として、クロム酸浸漬処理（クロメート処理）を施すこともできる。
【００１４】
上述の処理を施した後、有機溶剤等を用いてマスキングパターンを溶融あるいは剥離等させることで動圧発生部が形成される。
【００１５】
マスキングパターンを形成する樹脂組成物には、種々のエネルギー付加により硬化する樹脂が使用できるが、コスト面や作業環境等を考慮すると、光硬化性樹脂を使用し、光線の照射によりこの樹脂を硬化させるのが好ましい。光硬化性樹脂としては、紫外線硬化樹脂や赤外線硬化樹脂の他、可視光硬化樹脂なども使用することができるが、低コストでかつ短時間で硬化可能な紫外線硬化樹脂が特に好ましい。
【００１６】
以上に述べた動圧発生部の形成方法は、軸部材の外周のみならず、軸部材の端面に動圧発生部を形成する際にも用いることができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上より、本発明によれば、従来必要とされていた、エッチングのための例えばレーザーを使用してのマスキングパターン形成が不要となり、動圧発生部の形成工程を簡略化することができることに加え、インク等の消耗品も必要最低限で足りるため、動圧発生部の加工コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明方法の実施形態を図１〜図７に基づいて説明する。
【００１９】
本発明方法は、素材表面にマスキングパターンを形成する第１工程と、非マスク部に所定の加工を施す第２工程と、マスキングパターンを除去する第３工程とからなる。第２工程は、非マスク部を除去する第１手段と、非マスク部をめっきする第２手段とに大別され、第２工程では、第１手段又は第２手段の何れか一方が選択使用される。
【００２０】
図１は、第１工程を示すもので、軸部材２（図６参照）を構成する軸部２ａの素材２ａ’の外周に樹脂組成物を供給してマスキングパターンを形成する装置、ここではインクジェット方式の印刷装置の概要を示すものである。素材２ａ’はステンレス鋼等の金属材料で形成される。図示のように、この印刷装置は、回転駆動される素材２ａ’の外周面２ａ１と対向させた一又は複数のノズルヘッド１０と、ノズルヘッド１０に対してその円周方向位置を異ならせて配置した、好ましくは図示のように素材２ａ’を挟んでノズルヘッド１０と対向させて配置した硬化部３とを主要な構成要素とする。ノズルヘッド１０には、微小液滴状態のインク１２を吐出する複数のノズル１４が軸方向に配設されている。インク１２は、例えば光硬化性樹脂、好ましくは紫外線硬化樹脂をベース樹脂とする樹脂組成物であり、必要に応じて適当な割合で有機溶媒を配合したものが使用される。硬化部３は、樹脂組成物を硬化させるための光を照射する光源で、例えば紫外線ランプが使用される。
【００２１】
支持部１３にて素材２ａ’を両端支持しつつ回転させながらノズルヘッド１０を軸方向に往復スライドさせ、ノズル１４からインク１２を吐出することにより、インク１２の微小液滴が素材２ａ’の外周面２ａ１の所定位置に着弾する。この微小液滴が多数集合することで、素材２ａ’の外周面２ａ１に印刷された領域（マスキング）１ａを形成し、このマスキング１ａと印刷されていない領域、すなわち非マスク部１ｂとでマスキングパターン１を形成する。マスキングパターン１の印刷は軸部材２の回転に伴って徐々に円周方向に進行する形で行われ、印刷部分が硬化部３の対向領域に達すると、紫外線の照射を受けたインク１２が重合反応を起こして順次硬化する。最終的には、各ノズルからのインクの供給・停止を適宜切換えながら素材２ａ’を１〜数十回転させて、素材２ａ’の全周にマスキングパターン１を形成する。印刷したマスキングパターン１は、図２（ａ）に示すように、素材表面から盛り上がったマスキング１ａと非マスク部１ｂとで凹凸断面を形成している。
【００２２】
図４は、同じく第１工程を示すもので、軸部材２を構成するフランジ部２ｂの素材２ｂ’の上側端面２ｂ１または下側端面２ｂ２にマスキングパターンを形成するインクジェット方式の印刷装置の概要を示すものである（下側端面２ｂ２に形成する場合は上側端面２ｂ１に成形する場合と上下の差以外は全くの同様であるので、以下説明は省略する。）。主要な構成要素は図１の印刷装置と同様であるが、異なる点としては、ノズルヘッド１０および硬化部３が回転駆動される素材２ｂ’の上側端面２ｂ１と対向させて配置され、かつノズルヘッド１０と硬化部３を上側端面２ｂ１上で円周方向の位置を異ならせて配置した点である。
【００２３】
素材２ｂ’を回転させながらノズルヘッド１０を半径方向に往復スライドさせ、ノズル１４からインク１２を吐出することにより、インク１２の微小液滴が素材２ｂ’の上側端面２ｂ１の所定位置に着弾する。この微小液滴が多数集合することで、素材２ｂ’の上側端面２ｂ１には、印刷された領域（マスキング）１１ａが形成され、印刷されていない領域、すなわち非マスク部１１ｂとで、例えばスパイラル形状のマスキングパターン１１が形成される（図示省略）。マスキングパターン１１の印刷はフランジ部２ｂの回転に伴って徐々に円周方向に進行する形で行われ、印刷部分が硬化部３の対向領域に達すると、紫外線の照射を受けたインク１２が重合反応を起こして順次硬化する。各ノズルからのインクの供給・停止を適宜切換えながら軸部材を１〜数十回転させて、素材２ｂ’の上側端面２ｂ１の全周にわたってマスキングパターン１１を形成する。
【００２４】
この印刷では、インク１２の微小液滴の吐出を制御することで印刷後のインク膜厚およびマスキングパターンの形状を精度良く管理することができる。よって従来のように、パターン形成領域全面にわたりマスキング層を形成する場合と比較すると、インク１２はマスキングパターン１の形成に関与するだけの使用量で足り、さらにレーザー等を用いるマスキングパターン形成工程が不要となり、印刷したマスキングパターン１をそのまま利用して、エッチングやめっき処理工程に移ることができるため、かかる製造コストを低減することができる。
【００２５】
また、本発明によるマスキングパターンの形成方法では、従来の印刷機のように印刷型と軸部材２との接触部を持たないから、接触部での摩耗による印刷精度の低下を回避することができ、量産時にも安定してマスキングパターン精度を確保することができる。さらに印刷型や印刷型を保持するための印刷用スクリーン等が不要であり、かつ軸部材２の回転に応じて印刷型を移動させる機構も不要となるので、形成装置の構造を簡素化し、形成装置の費用を抑えることができる。また、上記と同様に、インク１２はマスキングパターン１の形成に関与するだけの使用量で足りるので、スキージを必要とする従来装置に比べ、インク１２の使用量を低減して低コスト化を図ることができる。
【００２６】
なお、インク１２の定着方式としては、上述のインクジェット方式のみならず、例えば電気泳動を利用して液滴を吐出する方法、いわゆるノズルレスタイプの液滴吐出方式、あるいはマイクロピペットを介してインク１２を液滴の状態ではなく連続的に素材２ａ’の表面に吐出する方式、あるいは素材表面までの距離を短縮し、インク１２を吐出と同時に定着面に接触させる方式などを使用することもできる。また、インクジェット印刷機の印刷方法は、連続（コンティニュアス）式、オンデマンド式の何れでもよい。
【００２７】
上記第１工程でのマスキングパターンの形成後、素材２ａ’は第２工程に移送される。上記のとおり第２工程は第１手段と第２手段に大別されるが、まず第１手段を例に挙げて説明する。
【００２８】
図２（ｂ）に示すように、第１手段による第２工程では、外周面２ａ１の非マスク部１ｂの表面が規定の深さ分だけ除去される。非マスク部１ｂの表面除去方法としては、エッチング、マイクロブラスト、レーザー加工、放電加工、超音波加工、切削加工等が挙げられる。これらの中で、高精度で非マスク部１ｂを加工（除去）する方法としては、エッチングが好ましい。エッチングの具体例としては、化学エッチング、電解エッチング等が挙げられるが、高速かつ高精度に加工でき、環境負荷も小さい電解エッチングが最も好ましい。
【００２９】
この工程で外周面２ａ１上に形成されたマスキング１ａ以外の非マスク部１ｂが、その外周面２ａ１からほぼ等速で除去されていく。非マスク部１ｂの除去が進行し、規定の深さになると、除去処理が完了し動圧溝Ａｂが形成される。
【００３０】
最後に、素材２ａ’を第３工程に移送し、マスキング１ａを有機溶剤等で溶融もしくは剥離等させて除去することで、図２（ｃ）に示すように、動圧溝Ａｂと、動圧溝Ａｂを区画形成する部分（区画部）Ａａからなる動圧溝パターンＡが形成される。
【００３１】
以上の第１手段の説明では、非マスク部１ｂの表面を除去して動圧溝パターンを形成する第１手段を説明したが、これ以外にも以下に示すような、第２手段を使用することもできる。
【００３２】
第２手段では、図３（ａ）に示すように、上記第１工程で素材２ａ’の外周面２ａ１にマスキング１ａと非マスク部１ｂとからなるマスキングパターン１を形成した後、図３（ｂ）に示すように、素材２ａ’にめっき処理が施される。めっき方法としては、電気ニッケルめっき、無電解ニッケルめっき、硬質クロムめっき、亜鉛めっき、亜鉛−鉄、亜鉛−ニッケル合金めっき等の公知のめっき方法が、素材の材質や、軸受の要求性能等に応じて適宜選択される。これらめっき層の耐食性向上のための後処理として、クロム酸浸漬処理（クロメート処理）を施すこともできる。
【００３３】
これらのめっき処理を行うことで、図３（ｂ）に示すように、マスキング１ａの間がめっき１５で埋められ、非マスク部１ｂが、めっき１５で被覆される。めっき１５の厚さは、規定の動圧溝深さに等しい厚さとする。
【００３４】
次に、素材２ａ’を第３工程に移送し、マスキング１ａを有機溶剤等で溶融もしくは剥離等させて除去することで、図３（ｃ）に示すように、めっき１５が区画部Ａａとなり、区画部Ａａ間のマスキング１ａの除去部分が動圧溝Ａｂとなって動圧溝パターンＡが形成される。
【００３５】
なお、手順としては全くの同一であるため、詳細な説明は省略するが、図２（ａ）〜（ｃ）または図３（ａ）〜（ｃ）に基づいて説明した上記と同様の手段で、フランジ部２ｂの素材２ｂ’の上側端面２ｂ１に、例えば図５に示すスパイラル形状に配列した動圧溝Ｂｂおよび区画部Ｂａからなる動圧溝パターンＢが形成され、さらに下側端面２ｂ２に例えばスパイラル形状の動圧溝パターンＣ（図示省略）が形成される。
【００３６】
このようにして、別工程で動圧溝パターンＡ、Ｂ、Ｃを形成した軸部２ａとフランジ部２ｂを圧入等の方法で一体化することにより図６および図７に示す軸部材２が完成する。この他、軸部２ａの素材２ａ’とフランジ部２ｂの素材２ｂ’を予め鍛造等で一体成形し、これを図１および図４に示す第１工程の印刷装置に順次供給してそれぞれマスキングパターンを形成した後、第２工程、さらに第３工程を経て軸部材２を形成することもできる。この場合、エッチング処理工程やめっき工程、あるいはマスキングパターンの除去工程は、軸部２ａとフランジ部２ｂで同時に行うことができるので、より一層効率的に動圧溝を形成することができる。
【００３７】
図６に、上記工程で製作された軸部材２を組み込んだ動圧軸受装置２１の一構成例を示す。この動圧軸受装置２１は、軸部材２と、スリーブ状の部分を有し、軸部２ａをその内周に挿入可能な軸受部材７と、軸受部材７の一端側開口を封口する蓋部材８と、軸受部材７の他端側に位置し、動圧軸受装置２１の内部を満たす潤滑油をシールするためのシール部９とを備えている。
【００３８】
軸部材２は、軸部２ａと、その下端に一体または別体に設けられたフランジ部２ｂとを備える。軸部２ａの外周面２ａ１には、上記の工程を経て動圧溝Ａｂおよび区画部Ａａからなる動圧溝パターンＡが形成される。
【００３９】
さらに、フランジ部２ｂの上側端面２ｂ１および下側端面２ｂ２には、それぞれ上記の工程を経て動圧溝パターンＢおよび動圧溝パターンＣが形成される。これら動圧溝パターンＢ、Ｃとそれぞれ対向する軸受部材７の下側端面７ａ２、および蓋部材８の上側端面８ｂ１との間には、それぞれ第１のスラスト軸受隙間、および第２のスラスト軸受隙間が形成される。なお、動圧溝パターンＢ、Ｃの何れか一方または双方は、上記形成工程の他、他の加工方法、例えばプレス加工にて成形することもできる。また、動圧溝パターンＢ、Ｃの何れか一方又は双方を、フランジ部２ｂの両端面２ｂ１、２ｂ２に対向する軸受部材７の下側端面７ａ２あるいは蓋部材８の上側端面８ｂ１に形成することもできる。
【００４０】
軸受部材７は、略円筒状に形成され、その内周に軸部材２が挿入されている。図示例の軸受部材７は、スリーブ部７ａとその上方のシール装着部７ｂと、その下方の封口部７ｃとで構成され、封口部７ｃの内周面７ｃ１には軸受部材７とは別体の後述の蓋部材８が嵌合固定される。スリーブ部７ａの円筒状の内周面７ａ１は、シール装着部７ｂの内周面７ｂ１や封口部７ｃの内周面７ｃ１よりも小径で、軸部材２の二つのラジアル軸受面Ａと対向する。
【００４１】
蓋部材８は、軸受部材７の一端開口部を封口する部材で、軸受部材７とは別体の有底略円筒形状に形成される。この蓋部材８は、円筒状の側部８ａと側部８ａの下端開口を封口する底部８ｂとを備え、図示例では側部８ａと底部８ｂとは一体成形されている。蓋部材８は、例えば側部８ａの内周面８ａ１を軸受部材７の封口部７ｃの内周面７ｃ１に嵌合し、圧入、接着、溶着等の適宜の手段を施すことにより軸受部材７に固定される。この時、軸部材２のフランジ部２ｂは、軸受部材７のスリーブ部７ａの下側端面７ａ２と、蓋部材８の底部８ｂの上側端面８ｂ１との間の空間に収容される。蓋部材８の側部８ａの上側端面８ａ２は、軸受部材７のスリーブ部７ａの下側端面７ａ２と当接しており、これによってスラスト軸受隙間が規定幅に管理される。
【００４２】
なお、軸受部材７および蓋部材８は、例えば軟質金属等の金属材料のプレス成形、樹脂材料の射出成形、あるいはＭＩＭ成形等のように成形型を用いる手法で一体成形することができ、軸受装置の要求特性に合わせ、形成する素材は適宜選択可能である。
【００４３】
シール部９は、金属材料や樹脂材料で環状に形成される。シール部９は、この実施形態では、軸受部材７とは別体に形成され、軸受部材７の上端側に位置するシール装着部７ｂの内周面７ｂ１に圧入、接着等の手段で固定される。シール部９の内周面９ａは上方に向かうにつれてテーパ状に拡径しており、この内周面９ａと、内周面９ａに対向する軸部２ａの外周面２ａ１との間には、上方に向かうにつれて半径方向寸法が漸次拡大する環状のシール空間Ｓが形成される。シール部９で密封された動圧軸受装置１の内部空間には、潤滑油が注油され、動圧軸受装置１内が潤滑油で満たされる。この状態では、潤滑油の油面はシール空間Ｓの範囲内に維持される。部品点数の削減および組立工数の削減のため、シール部９を軸受部材７と一体形成することもできる。
【００４４】
上記構成の動圧軸受装置２１において、軸部材２を回転させると、ラジアル軸受隙間およびスラスト軸受隙間に満たされた潤滑油に動圧作用が生じ、これにより、ラジアル軸受隙間には軸部材２をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が形成され、スラスト軸受隙間には軸部材２をスラスト方向に非接触支持するスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２がそれぞれ形成される。
【００４５】
図７に上記軸部材２を使用した動圧軸受装置２１の第２構成例を示す。この動圧軸受装置２１が図６に示す第１構成例と大きく異なる点は、一部材であった軸受部材７が、ハウジング１７と軸受スリーブ１８の二部材で構成されている点である。軸部材２は、例えば含油焼結金属で円筒形状に形成される軸受スリーブ１８の内周面に挿入される。また、例えば樹脂の射出成形で略円筒形状に成形されるハウジング７の内周面には、接着等の手段で軸受スリーブ１８が固定される。軸部材２の回転時には、軸部材２の外周面２ａ１に形成された動圧溝パターンＡと、軸受スリーブ１８の内周面との間のラジアル軸受隙間にラジアル軸受部が形成される。この他の点については、同一構造であるため、同一符号を付与し、重複説明を省略する。
【００４６】
以上の説明では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２およびスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２を構成する動圧軸受として、例えばヘリングボーン形状やスパイラル形状に配列した動圧溝からなる動圧発生部を用いた軸受を例示しているが、動圧発生部の構成はこれに限定されるものではない。ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２として、例えば円周方向複数箇所で、ラジアル軸受隙間を円周方向の一方又は双方にくさび状に縮小させた形状とした、いわゆる多円弧軸受、軸方向に延びた動圧溝を円周方向の複数箇所に形成した、いわゆるステップ軸受で構成することもできる。また、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２として、複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向等間隔に設けた、いわゆるステップ軸受、いわゆる波型軸受（ステップ型が波型になったもの）等で構成することもできる。なお、図６および図７では、軸方向に離隔して二つのラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２を配置した場合を例示しているが、ラジアル軸受部の数は任意であり、一つあるいは三つ以上設けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係るマスキングパターンの成形装置を示す側面図である。
【図２】動圧発生部の形成工程を示す第１概要図である。
【図３】動圧発生部の形成工程を示す第１概要図である。
【図４】本発明に係るマスキングパターンの他の成形装置を示す側面図である。
【図５】軸部材の端面に形成される動圧溝パターンの一例を示す図である。
【図６】動圧発生部を形成した軸部材を有する動圧軸受装置の第１構成例を示す断面図である。
【図７】動圧発生部を形成した軸部材を有する動圧軸受装置の第２構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１        マスキングパターン
１ａ      印刷領域（マスキング）
１ｂ      非印刷領域（非マスク部）
２        軸部材
２ａ      軸部
２ｂ      フランジ部
３        硬化部
７        軸受部材
８        蓋部材
１０      ノズルヘッド
１２      インク（樹脂組成物）
１３      支持部
１４      ノズル
１５      めっき
２１      動圧軸受装置
Ａ、Ｂ、Ｃ    動圧溝パターン
Ｒ１、Ｒ２    ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２    スラスト軸受部
【図１】
2006118608.tif 000003
【図２】
2006118608.tif 000004
【図３】
2006118608.tif 000005
【図４】
2006118608.tif 000006
【図５】
2006118608.tif 000007
【図６】
2006118608.tif 000008
【図７】
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