(57)【要約】【課題】  現像処理液を貯留した複数の処理液槽を備え、感光材料を前記処理液槽内の現像処理液中で搬送し、さらに、下流側の処理液槽へと移動させる処理ラックが各処理液槽毎に設けられた現像処理装置において、  感光材料による上流側の処理液槽から下流側の処理液槽への現像処理液の持ち込み量をより効果的に減らすことの可能な現像処理装置を提供する。【解決手段】  処理ラックによって現像処理液上に引き上げられている状態の感光材料Ｐから付着現像処理液を洗い流す洗浄機構２０と、洗浄機構２０によって感光材料Ｐから洗い流された付着現像処理液を回収する回収機構３０とを設けた。【選択図】        図２
2006184727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
現像処理液を貯留した複数の処理液槽を備え、感光材料を前記処理液槽内の現像処理液中で搬送し、さらに、下流側の処理液槽へと移動させる処理ラックが各処理液槽毎に設けられた現像処理装置であって、
前記処理ラックによって現像処理液上に引き上げられている状態の感光材料から付着現像処理液を洗い流す洗浄機構と、前記洗浄機構によって感光材料から洗い流された付着現像処理液を回収する回収機構とが設けられている現像処理装置。
【請求項２】
前記処理ラックは、感光材料用の搬送ローラが現像処理液中に浸漬された液中ラックと、前記液中ラックから現像処理液上に引き上げられた感光材料を下流側の次の液中ラックに手渡すためのターンラックとを有し、前記ターンラックは、感光材料の搬送方向に沿って互いに離間した少なくとも２組の搬送ローラ対を備えており、
前記洗浄機構は、前記２組の搬送ローラ対の間で感光材料に向けて洗浄用流体を吐出する洗浄ノズルを有する請求項１に記載の現像処理装置。
【請求項３】
前記洗浄機構は、前記洗浄用流体としての洗浄液を前記洗浄ノズルに供給する液体配管と、前記洗浄液を前記洗浄ノズルから感光材料に散布するための気体配管とを有する請求項２に記載の現像処理装置。
【請求項４】
前記洗浄液は、前記洗浄ノズルを備えた前記ターンラックの下流側に位置する処理液槽で用いる現像処理液からなる請求項２または３に記載の現像処理装置。
【請求項５】
前記洗浄ノズルは、前記２組の搬送ローラ対の間に位置する感光材料の下面と対向配置された給液パイプの壁面に形成されており、前記回収機構は、洗い流された付着現像処理液を使用済みの洗浄液と共に回収するために、前記２組の搬送ローラ対のうち感光材料の下面側に位置する搬送ローラと前記給液パイプとの下方に配置されたトレイを有する請求項３または４に記載の現像処理装置。
【請求項６】
前記回収機構によって回収された回収液を、前記洗浄ノズルを備えた前記ターンラックの上流側に位置する処理液槽に供給する供給機構が設けられている請求項５に記載の現像処理装置。
【請求項７】
前記洗浄用流体は、感光材料の表面から前記付着現像処理液を離脱させる高圧気体からなる請求項２に記載の現像処理装置。
【請求項８】
前記ターンラックに設けられた前記２組の搬送ローラ対は非吸水性で低硬度のローラ面を有する請求項２から７のいずれか一項に記載の現像処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、現像処理液を貯留した複数の処理液槽を備え、感光材料を前記処理液槽内の現像処理液中で搬送し、さらに、下流側の処理液槽へと移動させる処理ラックが各処理液槽毎に設けられた現像処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の現像処理装置としては、一例として、本発明に関連する先行技術文献情報として下記に示す特許文献１がある。この特許文献１に記された現像処理装置では、処理ラックが、搬送ローラが現像処理液中に浸漬された液中ラックと、液中ラックから現像処理液上に引き上げられた感光材料を下流側の次の液中ラックに手渡すためのターンラックとを有し、ターンラックには、感光材料の搬送方向に沿って互いに離間した少なくとも２組の搬送ローラ対を備えられている。したがって、感光材料は２組の搬送ローラ対のうち、上流側の処理液槽の上方に位置する搬送ローラ対の間を通過する間に、感光材料に付着した上流側の処理液槽の現像処理液の大半が絞り取られて、同上流側の処理液槽内に戻されるので、下流側に隣接する処理液槽の現像処理液が、感光材料が持ち込む上流側の現像処理液によって薄まる、或いは、劣化する、等の問題に対する対策として有効に作用している。
【特許文献１】特開２０００−２７５８１３号公報（段落番号００１３、図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、特許文献１に記された現像処理装置では、感光材料は互いに圧着された弾性材料からなる搬送ローラ対の間を通されることによって、感光材料の表面に付着した現像処理液が機械的なスクイズによって除去されるだけなので、感光材料の表層部内に染み込んだ現像処理液までは取り切れず、結局は上流側の現像処理液が下流側に隣接した処理液槽に持ち込まれ、２番目以降の処理液槽の処理液の劣化がそれだけ早く進むために、現像処理液の処理能力を所定のレベルに保持するために比較的頻繁に補充液を補充する必要があるという問題があった。
【０００４】
したがって、本発明の目的は、上に例示した従来技術による現像処理装置の持つ前述した欠点に鑑み、感光材料による上流側の処理液槽から下流側の処理液槽への現像処理液の持ち込み量をより効果的に減らすことの可能な現像処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の特徴構成は、現像処理液を貯留した複数の処理液槽を備え、感光材料を前記処理液槽内の現像処理液中で搬送し、さらに、下流側の処理液槽へと移動させる処理ラックが各処理液槽毎に設けられた現像処理装置であって、
前記処理ラックによって現像処理液上に引き上げられている状態の感光材料から付着現像処理液を洗い流す洗浄機構と、前記洗浄機構によって感光材料から洗い流された付着現像処理液を回収する回収機構とが設けられている点にある。
【０００６】
したがって、本発明の第１の特徴構成による現像処理装置では、搬送ローラ対による機械的なスクイズのみの処理の場合と異なり、感光材料の表層部内に染み込んだ現像処理液まで洗浄機構によって洗い流され、洗い流された付着現像処理液は下流側の処理液槽へと流入することなく回収されるので、感光材料が上流側の処理液槽から下流側の処理液槽へ持ち込む現像処理液の量が非常に効果的に減らされ、その結果、上流側の処理液の持ち込みによる各処理液の劣化を効果的に抑制することができる。処理液の劣化が抑制されると、処理液はその本来の化学的活性度を永く保持できるため、補充頻度を少なくすることができる、処理液槽のサイズを小型化できる、現在通常は４個設けられている安定化槽の数を減らすことができる、或いは、処理液槽内での感光材料の搬送速度を高めることができる、等の波及効果が得られる。
【０００７】
本発明の第２の特徴構成は、前記処理ラックは、感光材料用の搬送ローラが現像処理液中に浸漬された液中ラックと、前記液中ラックから現像処理液上に引き上げられた感光材料を下流側の次の液中ラックに手渡すためのターンラックとを有し、前記ターンラックは、感光材料の搬送方向に沿って互いに離間した少なくとも２組の搬送ローラ対を備えており、
前記洗浄機構は、前記２組の搬送ローラ対の間で感光材料に向けて洗浄用流体を吐出する洗浄ノズルを有する点にある。
【０００８】
したがって、本発明の第２の特徴構成による現像処理装置では、感光材料は、処理液槽の上方に位置するターンラックの搬送ローラ対によって感光材料表面の現像処理液を機械的にスクイズする第１の作用と、その後、洗浄用流体で表層部内の現像処理液を洗い流す洗浄ノズルによる第２の作用とで、感光材料が保持している現像処理液がより確実に除去されるので、上流側の現像処理液の下流側の処理液槽への持込がより効果的に抑制される。洗浄ノズルから吐出する洗浄用流体としては液体と気体のいずれも使用可能である。
【０００９】
本発明の第３の特徴構成は、前記洗浄機構は、前記洗浄用流体としての洗浄液を前記洗浄ノズルに供給する液体配管と、前記洗浄液を前記洗浄ノズルから感光材料に散布するための気体配管とを有する点にある。
【００１０】
したがって、本発明の第３の特徴構成による現像処理装置では、洗浄用流体として液体を用いることで、感光材料の表層部内の現像処理液をより確実に洗い流すことができる。しかも、洗浄液は気体配管で供給された気体によって感光材料に散布されるので、微量の洗浄液で感光材料の全面を均等に洗浄することができ、洗浄液の使用量が少なくて済む。
【００１１】
本発明の第４の特徴構成は、前記洗浄液は、前記洗浄ノズルを備えた前記ターンラックの下流側に位置する処理液槽で用いる現像処理液からなる点にある。
【００１２】
したがって、本発明の第４の特徴構成による現像処理装置では、下流側に位置する処理液槽で用いる現像処理液を洗浄液としてあるので、感光材料が処理ラックによって現像処理液の液面より上方に持ち上げられている間も、下流側用の現像処理液によって処理されることになり、一つの処理液槽の実質的な処理能力が著しく高められる。特に、従来の構成による現像処理装置では、一般的な処理液槽を構成する現像槽（ＣＤ）、漂白定着槽（ＢＦ）、安定化槽（ＳＴＢ）の中で、特に安定化槽については処理ラックによって処理液面より上に引き上げられた感光材料の表面に付着しているＳＴＢ液は、搬送ローラ対によってスクイズされて感光材料面上に付着した薄膜状になっている間に空気中で酸化されて安定化の機能が劣化するため、感光材料が処理ラックによって処理液面より上に引き上げられている間は安定化の作用は余り期待できなかった。そのため、印画紙のＳＴＢ液浸漬時間が９０秒程度必要となり、安定化槽を少なくとも４つ設ける必要があった。
しかし、本発明の第４の特徴構成による現像処理装置では、感光材料が処理ラックによって現像処理液の液面から持ち上げられている間（通常は約５秒間）、散布される洗浄液によってＳＴＢ液の酸化が防止されるのみでなく、感光材料面上の酸化したＳＴＢ液は洗浄機構によって供給される新鮮なＳＴＢ液によって剥ぎ取られて新たなＳＴＢ液と置換され続けるので、感光材料面上には常に未酸化で安定化機能の高いＳＴＢ液が保持されて、感光材料が処理ラックによって処理液面より上に引き上げられている間もＳＴＢ液による安定化処理（感光材料の表層部に染み込んでいるＢＦ液がＳＴＢ液と置換される作用など）が引き続き進められる。その結果、従来に比して安定化槽の槽数の少ない現像処理装置を提供することさえ不可能ではなくなるという著しい効果が認められた。
また、本発明の第４の特徴構成による現像処理装置では、洗浄ノズルを備えた前記ターンラックの下流側に位置する処理液槽で用いる現像処理液を洗浄液としているので、少なくとも複数の安定化槽に適用する場合においては、洗浄ノズルから散布される洗浄液が与える負の影響（現像処理液の希釈現象など）を極小にでき、しかも、洗い流された付着現像処理液と使用済みの洗浄液とが混合された回収液も、上流側に位置する処理液槽の現像処理液を汚染する虞が少ないので、これを廃棄せず、上流側に戻して有効に用いることが可能となる。
【００１３】
本発明の第５の特徴構成は、前記洗浄ノズルは、前記２組の搬送ローラ対の間に位置する感光材料の下面と対向配置された給液パイプの壁面に形成されており、前記回収機構は、洗い流された付着現像処理液を使用済みの洗浄液と共に回収するために、前記２組の搬送ローラ対のうち感光材料の下面側に位置する搬送ローラと前記給液パイプとの下方に配置されたトレイを有する点にある。
【００１４】
したがって、本発明の第５の特徴構成による現像処理装置では、洗い流された付着現像処理液と使用済みの洗浄液とが、感光材料の下面側に位置する搬送ローラの周面を流れ落ちるものも含めて、トレイという簡単な装置によって確実に回収可能となる。回収液がトレイから溢れ出ることのないように、トレイ内の回収液はポンプなどで適宜抜き取られる構成とすれば良い。
【００１５】
本発明の第６の特徴構成は、前記回収機構によって回収された回収液を、前記洗浄ノズルを備えた前記ターンラックの上流側に位置する処理液槽に供給する供給機構が設けられている点にある。
【００１６】
したがって、本発明の第６の特徴構成による現像処理装置では、回収機構で回収される、洗い流された付着現像処理液と使用済みの洗浄液とが混合された回収液が、実際に上流側に戻され、現像処理液の一部として有効に用いられるので、省資源、及び、廃液の減量化が果たされる。
【００１７】
本発明の第７の特徴構成は、前記洗浄用流体は、感光材料の表面から前記付着現像処理液を離脱させる高圧気体からなる点にある。
【００１８】
したがって、本発明の第７の特徴構成による現像処理装置では、高圧気体として例えば高圧空気を用いれば、特に洗浄用流体として何ら特定の材料を調達することも無しに、感光材料から付着現像処理液を洗い流すことができ、また、回収機構の回収対象も少量の付着現像処理液のみとなるので、回収機構によって回収される回収液の量が微量に抑えられて、回収機構を小型化できる。
【００１９】
本発明の第８の特徴構成は、前記ターンラックに設けられた前記２組の搬送ローラ対は非吸水性で低硬度のローラ面を有する点にある。
【００２０】
したがって、本発明の第８の特徴構成による現像処理装置では、ターンラックの搬送ローラ対を構成するローラ面が非吸水性で且つ低硬度であるため、感光材料がこの搬送ローラ対の間を通過する際に、感光材料の表面からより効果的に付着現像処理液がスクイズされ、しかも、搬送ローラ対自身の周面が感光材料の表面から取り去った付着現像処理液が、周面の表層部などに保持されたまま下流側の処理液槽の上に運ばれて処理液槽に進入する虞も抑制され、付着現像処理液の持ち込み量がさらに抑制される。
【００２１】
本発明によるその他の特徴および利点は、以下図面を用いた実施形態の説明により明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、本発明による現像処理装置の一例としての写真プリント装置１００の概略構成を示す。この写真プリント装置１００は、図示されない操作ステーションから受け取ったデータに基づく画像を印画紙に露光処理し、露光済みの印画紙を現像処理して完成した写真プリントとして出力する。前記操作ステーションは、現像済み写真フィルムやデジタルカメラ用の画像記録メディアから取り込んだデータに、色補正などを含む適宜必要な加工を施して写真プリント装置１００に転送する装置である。
写真プリント装置１００は、着脱自在な２つの印画紙マガジン１、一方の印画紙マガジン１から引き出された印画紙Ｐをプリントサイズに切断するカッター２、切断された印画紙Ｐの裏面にプリント処理情報を印字するバックプリント部３、印画紙Ｐの乳剤面に画像の露光処理を行うプリント露光部４、及び、露光済みの印画紙Ｐを現像処理する現像処理ユニット５を有する。現像処理ユニット５から排出された印画紙Ｐは、乾燥ユニット７で乾燥処理を施され、装置上部の横送りコンベア８から完成プリントとしてオーダ毎にソータ（不図示）のトレイに排出される。
【００２３】
プリント露光部４には、副走査方向に搬送される印画紙Ｐに対して、主走査方向に沿って操作ステーションからのプリントデータに基づいてＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色のレーザ光線の照射を行う露光エンジン４ａが設けられている。露光エンジン４ａとしては、このレーザ露光式のエンジンの他に、ＰＬＺＴシャッタ方式、液晶シャッタ方式、蛍光ビーム方式、ＦＯＣＲＴ方式、或いは、ＤＭＤ方式を用いることができる。また、写真プリント装置１００内には、印画紙Ｐに対する各種処理に合わせた搬送速度で印画紙Ｐを搬送する印画紙搬送機構９が敷設されている。印画紙搬送機構９は、複数の挟持搬送ローラ対から構成されており、印画紙搬送方向に関してプリント露光部４の前後に配置された２つのチャッカー式印画紙搬送ユニット９ａを含む。
現像処理ユニット５は、印画紙Ｐを湿式現像処理するための処理液槽６として、発色現像処理液（ＣＤ）を貯留する発色現像槽６ａ、漂白定着処理液（ＢＦ）を貯留する漂白定着槽６ｂ、及び、安定処理液（ＳＴＢ）を貯留する４つの安定槽６ｃ〜６ｆを備えている。
【００２４】
各処理液槽６には、印画紙Ｐを処理液槽６内の現像処理液中で搬送し、さらに、下流側の次の処理液槽６へと移動させる処理ラック１０が着脱可能に収納されている。図２に示すように、処理ラック１０は、印画紙Ｐを搬送する搬送ローラ１１ａ，１１ｂが全て現像処理液中に浸漬された液中ラック１０ａと、液中ラック１０ａの上方に配置されたターンラック１０ｂとからなる。ここでは、ターンラック１０ｂとして、前後に隣接する２つの処理液槽６に跨るように配置されたクロスオーバー型のターンラックを用いている。
ターンラック１０ｂは、液中ラック１０ａの搬送ローラ１１ａ，１１ｂと同期して駆動される２組の搬送ローラ対１２，１３を備えている。２組の搬送ローラ対１２，１３どうしは印画紙Ｐの搬送方向に沿って互いに離間している。上流側の搬送ローラ対１２ａ，１２ｂは、上流側の液中ラック１０ａから現像処理液上に引き上げられた印画紙Ｐを受取り、下流側の搬送ローラ対１３ａ，１３ｂに受け渡す。下流側の搬送ローラ対１３ａ，１３ｂは、受け取った印画紙Ｐを下流側に隣接する次の液中ラック１０ａに手渡す。上流側の搬送ローラ対１２ａ，１２ｂは、上流側の液中ラック１０ａから現像処理液上に引き上げられた印画紙Ｐの表面に付着した現像処理液をスクイズして上流側の液中ラック１０ａに流し落とす働きを有する。
【００２５】
この写真プリント装置１００の最大の特徴は、一部のターンラック１０ｂに、液中ラック１０ａから現像処理液上に引き上げられている状態の印画紙Ｐから付着現像処理液を洗い流す洗浄機構２０と、洗浄機構２０によって印画紙Ｐから洗い流された付着現像処理液を回収する回収機構３０とが設けられている点にある。図２に示すように、ここでは、漂白定着槽６ｂと第１安定槽６ｃとに跨る第２ターンラック１０ｂ2と、第１安定槽６ｃと第２安定槽６ｄとに跨る第３ターンラック１０ｂ3とにこれらの機構が取り付けられている。
洗浄機構２０は、２組の搬送ローラ対１２，１３の間に水平に配置された給液パイプ２１を備えている。図３と図４に示すように、給液パイプ２１の筒壁面には多数の洗浄ノズル２１ａが印画紙Ｐの幅方向に並べられている。各洗浄ノズル２１ａは、２組の搬送ローラ対１２，１３の間を搬送される印画紙Ｐの下面（乳剤面）と対向するように上方を向いている。給液パイプ２１の内部には、洗浄液が液体ポンプＰ１によって液体配管Ｈ１を介して送り込まれ、同時に、高圧空気が気体ポンプＰ２によって気体配管Ｈ２を介して送り込まれる。したがって、洗浄ノズル２１ａからは高圧空気の作用で洗浄液が印画紙Ｐの下面に強く吹き付けられる（散布操作の一例）。液体ポンプＰ１と気体ポンプＰ２の作動開始と停止の操作は後述する制御装置４０によって制御される。
【００２６】
回収機構３０は、ターンラック１０の底面付近に配置された平面視で矩形を呈する浅いトレイ３１を有する。図２から理解されるように、給液パイプ２１の周囲は搬送中の印画紙Ｐと、印画紙Ｐの下面側に位置する搬送ローラ１２ａ，１３ａと、トレイ３１とで完全に包囲されており、且つ、トレイ３１は、２組の搬送ローラ対１２，１３のうち感光材料の下面側に位置する搬送ローラ１２ａ，１３ａと給液パイプ２１との下方に配置されている。従って、洗浄機構２０によって洗い流された付着現像処理液と使用済みの洗浄液とは、隣接する漂白定着槽６ｂ或いは第１安定槽６ｃなどに流れ込むことなく、全て各トレイ３１上に回収される。
尚、最初の処理液槽６である発色現像槽６ａの入口部には、プリント露光部４から送られてくる印画紙Ｐの先端を検出する光センサ（不図示）が設けられており、制御装置４０は、搬送ローラ１２ａ，１３ａの間に印画紙Ｐが位置している時にのみ洗浄機構２０による洗浄液の散布を実施するように構成されている。
【００２７】
ここでは、図３と図４に示すように、第２ターンラック１０ｂ2の洗浄ノズル２１ａから散布（吐出の一例）する洗浄液としては、第２安定槽６ｄの補充タンク６Ｓｄに貯留されている安定処理液（ＳＴＢ２）が用いられ、印画紙Ｐの乳剤面から洗い流された付着現像処理液は使用済みの洗浄液と共にトレイ３１内に回収液として回収され、この回収液は比較的多量の漂白定着処理液（ＢＦ）を含有するので、トレイ３１の底部に接続された回収ホース４０ａを介して廃液タンク４１に排出される。
他方、図３と図４に示すように、第３ターンラック１０ｂ3の洗浄ノズル２１ａから散布する洗浄液としては、第３安定槽６ｅの補充タンク６Ｓｅに貯留されている安定処理液（ＳＴＢ３）が用いられ、印画紙Ｐの乳剤面から洗い流された付着現像処理液は使用済みの洗浄液と共にトレイ３１内に回収された後に、漂白定着処理液（ＢＦ）の含有量が基準以下であるので、このトレイ３１の底部に接続された供給ホース４０ｂ（供給機構の一例）を介して第１安定槽６ｃに供給される。
【００２８】
尚、各ターンラック１０ｂの搬送ローラ対１２，１３のローラ面には、印画紙Ｐからの付着現像処理液のスクイズ性を高めるために、液中ラック１０ａの搬送ローラ１１ａ，１１ｂに比して非吸水性で低硬度の弾性材料、例えば、吸水率１．０％以下、ショア硬度６０°以下のエラストマーが採用されている。
本発明による写真プリント装置１００では、特に洗浄機構と回収機構とを備えている結果、安定槽６を４個から増やすこともなく、補充頻度を低下させることが可能となり、しかも、定常状態における安定槽６中に含有されるＢＦ液の濃度が、第１安定槽６ｃでは３０％以下、第２安定槽６ｄでは２０％以下、第３安定槽６ｅでは１０％以下、第４安定槽６ｆでは２％以下という一般的な基準を十分にクリアすることが可能となった。
〔別実施形態〕
【００２９】
〈１〉一般に、乳剤面側による処理液の持ち込みが基材面側（裏面）よりも多いので、上記の実施形態では、乳剤面に洗浄用流体を吐出する構成としているが、必要に応じて、基材面に洗浄用流体を吐出する機構を付け加えることも可能である。
【００３０】
〈２〉洗浄機構として、洗浄ノズルに空気を送る手段を廃して、洗浄液のみを吐出して感光材料面に拭き付けても良い。この場合にも、洗浄ノズルを微細な径の孔とし、洗浄液を高圧で送り込むことによって洗浄液を感光材料面に散布することができる。
【００３１】
〈３〉全てのターンラックに洗浄機構と回収機構とを設けても良い。この場合、洗浄液として界面活性剤などを主体とした薬剤を用い、回収した液は全て廃液タンク４１などに排出すれば良い。
【００３２】
〈４〉洗浄用流体として、液体を用いず、感光材料の表面から付着現像処理液を離脱させる高圧気体のみを用いても良い。この場合も、回収した付着液現像処理液は全て回収し、廃液タンク４１などに排出すれば良い。
【００３３】
〈５〉本発明による現像処理装置は、印画紙ではなく写真フィルムを現像処理する現像処理装置でも良い。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
露光済みの印画紙や写真フィルムなどの感光材料を現像処理する現像処理装置の処理能力を向上させ、或いは、装置をコンパクト化する技術として適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明による現像処理装置を示す構成図
【図２】現像処理装置の処理ラックの要部を示す破断正面図
【図３】現像処理装置の洗浄機構と回収機構を示す概略平面図
【図４】現像処理装置の第３ターンラックに設けた洗浄機構と回収機構を示す概略側面図
【符号の説明】
【００３６】
Ｐ  印画紙（感光材料）
４  プリント露光部
５  現像処理ユニット
６  処理液槽
１０  処理ラック
１０ａ  液中ラック
１０ｂ  ターンラック
１２，１３  搬送ローラ対
２０  洗浄機構
２１  給液パイプ
２１ａ  洗浄ノズル
３０  回収機構
３１  トレイ
Ｈ１  液体配管
Ｈ２  気体配管
４０ａ  回収ホース
４０ｂ  供給ホース（供給機構）
【図１】
2006184727.tif 000003
【図２】
2006184727.tif 000004
【図３】
2006184727.tif 000005
【図４】
2006184727.tif 000006