(57)【要約】  【課題】機器ボックスにおける機器の収容効率の向上を図ることができる基板処理装置を提供する。  【解決手段】機器ボックス４は、その正面側下端部においてほぼ水平に延びた支軸５に回動自在に支持されており、この支軸５を支点として正面側に傾倒させて、フレーム１の外部に引き出すことができるようになっている。機器ボックス４内の各機器には、信号送受のための信号線や電力供給のための給電線などの配線が接続されている。各配線は、支軸５の近傍を通ってフレーム１の内部へと延びるように配設されている。これにより、フレーム１内から機器ボックス４を引き出す構成であっても、各配線の長さを長くする必要がなく、配線を収容するための広いスペースの確保を不要とすることができる。【選択図】        図２
2006041048.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
このフレーム内に設けられ、処理対象の基板を収容して、その基板に所定の処理を施すための処理チャンバと、
所定方向に延びた支軸に支持され、その支軸を支点とする回動によって、上記フレーム内に収容された状態と上記フレーム外に引き出された状態とに変位するように設けられており、メンテナンスの必要な機器を収容するための機器ボックスと、
上記機器ボックス内から上記支軸の近傍を通って上記フレーム内へと延びる配線とを含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
フレームと、
このフレーム内に設けられ、処理対象の基板を収容して、その基板に所定の処理を施すための処理チャンバと、
所定方向に延びた支軸に支持され、その支軸を支点とする回動によって、上記フレーム内に収容された状態と上記フレーム外に引き出された状態とに変位するように設けられており、メンテナンスの必要な機器を収容するための機器ボックスと、
上記ボックス内から上記支軸の近傍を通って上記フレーム内へと延びる配管とを含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
上記処理チャンバの上方に配置され、上記処理チャンバ内に清浄空気のダウンフローを供給するためのファンフィルタユニットをさらに含み、
上記機器ボックスは、上記処理チャンバの側方に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
上記所定方向は、ほぼ水平方向またはほぼ鉛直方向であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板に対して所定の処理を施すための基板処理装置に関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板等の基板に対して処理を施すための基板処理装置が用いられる。
【０００３】
このような基板処理装置は、処理チャンバを備えており、処理対象の基板は、その処理チャンバに搬入されて処理を受ける。また、処理チャンバの上方には、機器ボックスが配置されていて、この機器ボックスの近傍には、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ：Fan Filter Unit）が配置されている。ファンフィルタユニットは、ファンおよびフィルタを上下に積層した構成であり、ファンによる送風をフィルタで浄化して生成される清浄空気流を処理チャンバ内にダウンフローとして供給する。また、機器ボックス内には、動作制御のための制御基板などの電装部品、処理チャンバ内での処理に用いられる処理液の流量を計測するための流量計などの計器類が収容されている。
【０００４】
基板処理装置の一側面には、機器ボックス内に収容された電装部品などの機器をメンテナンスするためのメンテナンス開口が形成されている。このメンテナンス開口には、パネルが開閉可能に設けられており、メンテナンス時には、そのパネルを開いて、メンテナンス開口から機器ボックス内の機器にアクセスすることができる。
【特許文献１】特開平９−１２９７０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記のような構成では、メンテナンス開口から機器ボックス内の奥に配置されている機器にもアクセス可能なように、各機器を十分な間隔を空けて配置しなければならないため、機器ボックスにおける機器の収容効率が低いという欠点がある。
【０００６】
機器ボックス内の各機器へのアクセスを容易にするために、機器ボックスをメンテナンス開口から水平に引き出し可能に構成することが考えられる。しかし、電装部品や計器類には配線が接続されており、機器ボックスを水平に引き出し可能にするためには、その配線長を長くする必要が生じる。配線長を長くすると、その分、機器ボックス内に配線の収容スペースを広く確保しなければならないので、機器ボックスにおける機器の収容効率を向上させることはできない。
【０００７】
そこで、この発明の目的は、機器ボックスにおける機器の収容効率の向上を図ることができる基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、フレーム（１）と、このフレーム内に設けられ、処理対象の基板を収容して、その基板に所定の処理を施すための処理チャンバ（２）と、所定方向に延びた支軸（５）に支持され、その支軸を支点とする回動によって、上記フレーム内に収容された状態と上記フレーム外に引き出された状態とに変位するように設けられており、メンテナンスの必要な機器（１２，１３，１４，１５）を収容するための機器ボックス（４）と、上記機器ボックス内から上記支軸の近傍を通って上記フレーム内へと延びる配線（１６）とを含むことを特徴とする基板処理装置である。
【０００９】
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
【００１０】
この発明によれば、機器ボックスをフレーム外に引き出すことができるので、機器ボックス内に収容される各機器のメンテナンスは、フレーム内から機器ボックスを引き出して行うことができる。これにより、機器ボックス内に各機器を間隔を狭めた状態で配置することができるので、機器ボックスにおける機器の収容効率を向上させることができる。そのうえ、各機器のメンテナンスの作業性が向上するので、基板処理装置のメンテナンス（維持）のための費用を低減することができる。
【００１１】
また、機器ボックス内の配線は、支軸の近傍を通ってフレーム内へと延びるように配設されているので、支軸を支点として機器ボックスを回動させたときに、配線の支軸の近傍に位置している部分よりも各機器側の部分が、その支軸の近傍に位置している部分を中心に回動する。そのため、フレーム内から機器ボックスを引き出す構成であっても、配線の長さを長くする必要がなく、配線を収容するための広いスペースの確保を不要とすることができる。
【００１２】
さらに、機器ボックス内における機器の収容効率の向上に伴って、機器ボックスのサイズの縮小化を図ることができ、その分、処理チャンバのサイズを拡大することができる。そのため、処理チャンバ内における各配置物の配置スペースを十分に確保することができ、最適なレイアウトで各配置物を配置して、処理チャンバにおける処理（プロセス）の安定化を図ることができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、フレーム（１）と、このフレーム内に設けられ、処理対象の基板を収容して、その基板に所定の処理を施すための処理チャンバ（２）と、所定方向に延びた支軸（５）に支持され、その支軸を支点とする回動によって、上記フレーム内に収容された状態と上記フレーム外に引き出された状態とに変位するように設けられており、メンテナンスの必要な機器（１２，１３，１４，１５）を収容するための機器ボックス（４）と、上記ボックス内から上記支軸の近傍を通って上記フレーム内へと延びる配管（１７）とを含むことを特徴とする基板処理装置である。
【００１４】
この発明によれば、機器ボックスをフレーム外に引き出すことができるので、機器ボックス内に収容される各機器のメンテナンスは、フレーム内から機器ボックスを引き出して行うことができる。これにより、機器ボックス内に各機器を間隔を狭めた状態で配置することができるので、機器ボックスにおける機器の収容効率を向上させることができる。そのうえ、各機器のメンテナンスの作業性が向上するので、基板処理装置のメンテナンス（維持）のための費用を低減することができる。
【００１５】
また、機器ボックス内の配管は、支軸の近傍を通ってフレーム内へと延びるように配設されているので、支軸を支点として機器ボックスを回動させたときに、配管の支軸の近傍に位置している部分よりも各機器側の部分が、その支軸の近傍に位置している部分を中心に回動する。そのため、フレーム内から機器ボックスを引き出す構成であっても、配管の長さを長くする必要がなく、配管を収容するための広いスペースの確保を不要とすることができる。
【００１６】
さらに、機器ボックス内における機器の収容効率の向上に伴って、機器ボックスのサイズの縮小化を図ることができ、その分、処理チャンバのサイズを拡大することができる。そのため、処理チャンバ内における各配置物の配置スペースを十分に確保することができ、最適なレイアウトで各配置物を配置して、処理チャンバにおける処理（プロセス）の安定化を図ることができる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、上記処理チャンバの上方に配置され、上記処理チャンバ内に清浄空気のダウンフローを供給するためのファンフィルタユニット（３）をさらに含み、上記機器ボックスは、上記処理チャンバの側方に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置である。
【００１８】
この発明によれば、機器ボックスが処理チャンバの側方に配置されているので、ファンフィルタユニットから処理チャンバ内に供給されるダウンフローが、機器ボックス内の各機器からの発熱による影響を受けるおそれがない。よって、安定した温度のダウンフローを処理チャンバ内に供給することができるので、処理チャンバにおける処理のさらなる安定化を図ることができる。
【００１９】
なお、請求項４に記載のように、上記所定方向は、ほぼ水平方向またはほぼ鉛直方向であってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図１は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の正面図である。この基板処理装置は、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板等の基板に対して処理を施すための装置であり、フレーム１内に、処理チャンバ２、ファンフィルタユニット３および機器ボックス４を備えている。
【００２２】
処理対象の基板は、処理チャンバ２に搬入されて、その処理チャンバ２内で所定の処理を受ける。この所定の処理は、処理液（薬液および／または純水）を用いた処理であってもよいし、基板を加熱および／または冷却する熱処理であってもよい。また、基板を１枚ずつ処理する枚葉処理であってもよいし、複数枚の基板を一括して処理するバッチ処理であってもよい。たとえば、基板に対する処理が処理液を用いた枚葉処理である場合には、処理チャンバ２内に、基板を保持するためのスピンチャック、このスピンチャックに保持された基板に処理液を供給するためのノズル、基板から飛散する処理液を捕獲するためのスプラッシュガードなどが配置される。また、基板に対する処理が熱処理である場合には、処理チャンバ２内に、基板を加熱および／または冷却するためのプレートなどが配置される。
【００２３】
ファンフィルタユニット３は、処理チャンバ２の上方において、処理チャンバ２とフレーム１の天面との間に形成されている空間内に配置されている。このファンフィルタユニット３は、ファンおよびフィルタを上下に積層した構成であり、ファンによる送風をフィルタで浄化して処理チャンバ２内に供給する。これにより、処理チャンバ２内には、清浄空気のダウンフローが形成される。このダウンフローによって、たとえば、基板からの処理液の跳ね返りによる処理液ミストの舞い上がりを抑制することができ、基板に処理液ミストが付着（処理液の再付着）するのを防止することができる。
【００２４】
機器ボックス４は、鉛直方向（高さ方向）に長く、正面視における水平方向（幅方向）に狭く形成されており、処理チャンバ２とフレーム１の側面との間において、処理チャンバ２に隣接して配置されている。また、機器ボックス４は、その正面側下端部においてほぼ水平に延びた支軸５に回動自在に支持されており、この支軸５を支点として正面側に傾倒させて、フレーム１の外部に引き出すことができるようになっている。
【００２５】
さらにまた、図２に示すように、フレーム１の底面上には、機器ボックス４を正面側に約９０度傾倒させた状態で保持するためのストッパ６が設けられている。このストッパ６は、機器ボックス４の幅方向（図２の紙面に垂直な方向）に延びる連結軸７によって互いに回動自在に連結された２本のアーム８，９を備えている。一方のアーム８の連結軸７と反対側の端部は、機器ボックス４の底面に設けられたボックス側係止部１０に対して、機器ボックス４の幅方向に延びる軸線まわりに回動自在に係止されている。また、他方のアーム９の連結軸７と反対側の端部は、フレーム１の底面に設けられたフレーム側係止部１１に対して、機器ボックス４の幅方向に延びる軸線まわりに回動自在に係止されている。
【００２６】
機器ボックス４がフレーム１内に収容された状態において、ボックス側係止部１０およびフレーム側係止部１１は互いに対向し、ストッパ６は、図２に二点鎖線で示すように、２本のアーム８，９が互いに重なり合うように２つ折りに折れ曲がった状態になっている。そして、その状態から機器ボックス４を正面側に約９０度傾倒させると、図２に実線で示すように、２本のアーム８，９が一直線状に延び、それ以上の機器ボックス４の回動が規制されるとともに、その機器ボックス４が正面側に傾倒した状態が保持される。
【００２７】
機器ボックス４の内部には、処理チャンバ２内の各配置物を動作させるための電装部品などの機器が収容されている。たとえば、処理チャンバ２内に、スピンチャック、ノズルおよびスプラッシュガードなどが配置されている場合、機器ボックス４内には、スピンチャックの回転駆動力を発生するモータのためのドライバ１２、ノズルに処理液を供給するための供給管を開閉するためのバルブ、その供給管を流れる処理液の流量を計測するための流量計、スプラッシュガードの昇降駆動力を発生するモータのためのドライバ１３、これらのドライバ１２，１３やバルブを制御するための制御基板１４などが収容される。また、ノズルが基板上での処理液の供給位置を変更可能なスキャンノズルである場合、機器ボックス４内にはさらに、そのスキャンノズルの駆動力を発生するステッピングモータのためのドライバ１５が収容される。
【００２８】
機器ボックス４をフレーム１の手前側に引き出すことができるので、機器ボックス４内に収容される各機器のメンテナンスは、フレーム１内から機器ボックス４を引き出して行うことができる。これにより、機器ボックス４内に各機器を間隔を狭めた状態で配置することができるので、機器ボックス４における機器の収容効率を向上させることができる。また、フレーム１内から機器ボックス４を引き出し可能にしたことによって、メンテナンスの作業性が向上されるので、基板処理装置のメンテナンス（維持）のための費用（ＣＣＯ：Cost Of Ownership）を低減することができる。
【００２９】
また、機器ボックス４内の各機器には、信号送受のための信号線や電力供給のための給電線などの配線が接続されている。たとえば、制御基板１４に接続された配線１６を例にとって図２に示すように、各機器に接続された配線は、支軸５の近傍を通って、フレーム１の内部へと延びるように配設されている。これにより、支軸５を支点として機器ボックス４を回動させると、その機器ボックス４の回動に伴って、各機器に接続された配線は、支軸５の近傍に位置している部分よりも各機器側の部分が、その支軸５の近傍に位置している部分を中心に回動する。そのため、フレーム１内から機器ボックス４を引き出す構成であっても、各配線の長さを長くする必要がなく、配線を収容するための広いスペースの確保を不要とすることができる。
【００３０】
さらに、機器ボックス４内における機器の収容効率の向上に伴って、機器ボックス４のサイズの縮小化を図ることができ、その分、処理チャンバ２のサイズを拡大することができる。そのため、処理チャンバ２内における各配置物の配置スペースを十分に確保することができ、最適なレイアウトで各配置物を配置して、処理チャンバ２における処理（プロセス）の安定化を図ることができる。
【００３１】
また、この実施形態によれば、機器ボックス４が処理チャンバ２の側方に配置されているので、ファンフィルタユニット３から処理チャンバ２内に供給されるダウンフローが、機器ボックス４内の各機器からの発熱による影響を受けるおそれがない。よって、安定した温度のダウンフローを処理チャンバ２内に供給することができるので、処理チャンバ２における処理のさらなる安定化を図ることができる。
【００３２】
なお、この実施形態では、配線を有する機器が機器ボックス４内に収容されている場合について説明したが、機器ボックス４内に配管（チューブ）が通される場合にも、この発明を適用することができる。たとえば、処理チャンバ２内における基板の処理に薬液が用いられる場合には、機器ボックス４内に窒素ガスなどの不活性ガスを供給して、機器ボックス４内に薬液雰囲気が流入するのを防止することが好ましいが、この場合、図３に示すように、不活性ガスを供給するための配管１７は、支軸５の近傍を通って、フレーム１の内部へと延びるように配設されるとよい。こうすれば、フレーム１内から機器ボックス４を引き出す構成であっても、配管１７の長さを長くする必要がなく、配管１７を収容するための広いスペースの確保を不要とすることができる。また、処理チャンバ２内のノズルに処理液を供給するための配管が機器ボックス４内に通される場合にも、同様に、その配管は、支軸５の近傍を通って、フレーム１の内部へと延びるように配設されるとよい。
【００３３】
また、機器ボックス４が水平方向に延びる支軸５を支点として回動可能な構成を取り上げたが、たとえば、機器ボックス４は、処理チャンバ２の上方、側方または下方において、鉛直方向に延びる支軸を支点として回動可能に設けられてもよい。
【００３４】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明の一実施形態に係る基板処理装置の正面図である。
【図２】機器ボックス内に配線を有する機器を収容した場合の構成を示す縦断面図である。
【図３】機器ボックス内に配管を配設した場合の構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１      フレーム
２      処理チャンバ
３      ファンフィルタユニット
４      機器ボックス
５      支軸
１２    ドライバ
１３    ドライバ
１４    制御基板
１５    ドライバ
１６    配線
１７    配管
【図１】
2006041048.tif 000003
【図２】
2006041048.tif 000004
【図３】
2006041048.tif 000005