(57)【要約】      （修正有）【課題】モジュラー（ｍｏｄｕｌａｒ）操作装置を備えるカセットストッカーを提供する。【解決手段】複数の開口部１５を有するハウジング１０、開口部１５に対応して設置され、カセットを保管する少なくとも一つの操作装置２０、及びハウジング１０内に設置され、開口部１５を介して操作装置２０に保管されたカセットを取り出し搬送する搬送装置４０を有するカセットストッカー。操作装置２０は、ハウジング１０内に移動可能な状態で設置され、空気清浄器２５を有する。【選択図】図２
2006165551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部を有するハウジング、前記開口部に対応して設置され、カセットを保管する少なくとも一つの操作装置、及び前記ハウジング内に設置され、前記開口部を介して前記操作装置に保管されたカセットを取り出し搬送する搬送装置を有するカセットストッカー。
【請求項２】
前記操作装置は、前記ハウジングの外側に設置される請求項１に記載のカセットストッカー。
【請求項３】
前記操作装置は、前記ハウジング内に移動可能な状態で設置される請求項１に記載のカセットストッカー。
【請求項４】
前記開口部に可動状態で設置され、前記開口部をブロックする複数のブロック板、及び前記ハウジング内の前記操作装置を移動する移動装置を更に有する請求項３に記載のカセットストッカー。
【請求項５】
前記搬送装置は、レール、及び前記レールに移動可能な状態で設置され、前記レールに沿って前期開口部の間を移動するクレーンを有する請求項１に記載のカセットストッカー。
【請求項６】
前記操作装置は、第一空気清浄器を有する請求項１に記載のカセットストッカー。
【請求項７】
前記第一空気清浄器は、ファンフィルターユニットを有する請求項６に記載のカセットストッカー。
【請求項８】
前記操作装置は、予め保管された材料の交換機である請求項１に記載のカセットストッカー。
【請求項９】
前記開口部は、周辺の操作装置に接続される請求項１に記載のカセットストッカー。
【請求項１０】
前記周辺の操作装置は、伝送装置、または生産装置を有する請求項１に記載のカセットストッカー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットストッカー及びその形成方法に関し、特に、モジュラー（ｍｏｄｕｌａｒ）操作装置を備えるカセットストッカーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カセットストッカー（ｃａｓｓｅｔｔｅ ｓｔｏｃｋｅｒ）は、カセットを保管し、搬送をするストッカーである。図１Ａは、従来のカセットストッカーを表しており、カセット５６０を保管するための大型ハウジング５１０と、例えば、基板交換機などの複数の操作装置５２０を有する。例えば、レール５３０上のクレーン５４０などの搬送装置がハウジング５１０に供され、操作装置５２０の中のカセット５６０を取り出し、搬送する。図１Ｂと１Ｃに示すように、クレーン５４０は、一つの操作装置５２０からカセット５６０を取り出し、カセット５６０を他の操作装置５２０に搬送する回転台を有する。また、ハウジング５１０は、例えば、ファンフィルターユニット（ＦＦＵ）などの空気清浄器５５０を有し、ハウジング５１０内の空気をろ過し、汚染を減少する。
【０００３】
従来のカセットストッカーでは、ハウジング５１０は、操作装置５２０と搬送装置を有する。しかし、操作装置５２０は、ハウジング５１０に固定されており、仮に一つの操作装置５２０が故障した場合、カセットストッカーの操作は、分解修復するために中断され、取り出しと搬送の効率を低下させる。
【０００４】
また、操作装置５２０は、ハウジング５１０に固定され、ハウジング５１０の単一の空気清浄器５５０をシェアする。よって、操作装置５２０は、同じ環境下で操作される。仮に汚染（例えば、ほこりまたは粒子など）が単一の操作装置５２０に生じた場合、他の操作装置５２０がクレーン５４０の取り出しと搬送の影響を受ける可能性があるが、汚染がどこから生じたかを見分けることは困難である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
よって、本発明の実施例は、モジュラー（ｍｏｄｕｌａｒ）操作装置を備えるカセットストッカーを供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第一実施例においてカセットストッカーは、ハウジング、少なくとも一つの操作装置及び、搬送装置を有し、ハウジングは、複数の開口部を有する。操作装置は、開口部に対応して設置され、カセットを保管する。搬送装置は、ハウジング内に設置され、開口部を介して操作装置に保管されたカセットを取り出し搬送する。
【０００７】
また、もう一つの実施例は、カセットストッカーを形成する方法が供される。複数の開口部を有するハウジングが供される。カセットを保管するために、開口部を介してハウジングに取り外し可能な状態で接続された操作装置が供される。開口部の間に移動可能な状態で設置された搬送装置がハウジング内に供され、操作装置に保管されたカセットを取り出し搬送する。
【０００８】
上述の方法では、操作装置は、ハウジングの外側に、または移動可能な状態で設置される。更にカセットストッカーは、開口部に対応して設置された複数のブロック板と、ハウジング内の操作装置を移動させる移動装置を有する。
【０００９】
搬送装置は、レールと、レールに移動可能な状態で設置されたクレーンを有し、レールに沿って開口部の間を移動する。
【００１０】
また、操作装置は、カセットの空気をろ過する第一空気清浄器を有し、ハウジングは、ハウジング内の空気をろ過する第二空気清浄器を有する。第一空気清浄器と第二空気清浄器は、ファンフィルターユニットであってもよい。また、開口部は伝送装置若しくは生産装置を有する周辺の操作装置に接続される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、一の操作装置が故障した場合、当該操作装置が接続していた開口部は密閉されるので、他の操作装置２０に関係なく分解修復でき、カセットストッカーの操作を中断せずに済む。よって、取り出し、搬送の効率は、一の操作装置の故障のために低下することがない。また、カセットストッカーの各操作装置は独自の第一空気清浄器２５を、ハウジングは第二空気清浄器をそれぞれ有するので、操作装置を独立した環境下で操作することができる。仮に、汚染（例えば、ほこりまたは粒子など）が一の操作装置に生じた場合でも、他の操作装置はその影響を受けることがなく、汚染された操作装置は適宜隔離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明についての目的、特徴、長所が一層明確に理解されるよう、以下に実施形態を例示し、図面を参照しながら、詳細に説明する。
【実施例】
【００１３】
図２は、本発明におけるカセットストッカーの実施例である。図２では、カセットストッカーは、ハウジング１０、ハウジング１０の外側に設置された複数の操作装置２０と搬送装置を有する。操作装置２０は、例えば、本実施例の基板交換機などの予め保管された材料の交換機（ｐｒｅ−ｓｔｏｒｅｄ  ｍａｔｅｒｉａｌ  ｅｘｃｈａｎｇｅｒ）であってもよい。搬送装置は、レール３０と、レール上のクレーン４０を有する。
【００１４】
本実施例では、操作装置２０は、ハウジング１０の外側に設置され、ハウジング１０は、複数の開口部１５を有し、開口部１５によってクレーン４０がカセット６０を取り出し、搬送する。操作装置２０は、開口部１５に対応して設置され、カセット６０を保管する。カセット６０は、例えば、基板またはフラットパネル（未表示）などの複数の予め保管された材料を保管する。操作装置２０に接続されていない各開口部１５は、ブロック板５０を有し、ハウジング１０を密閉した状態に維持する。クレーン４０は、レール３０上に移動可能な状態で設置され、レール３０に沿って開口部の間を移動し、操作装置２０に保管されたカセット６０を取り出し、搬送することができる。開口部１５のサイズは、操作装置２０より実質的に大きいか等しいことを要し、予め保管された材料より実質的に大きいことも要す。
【００１５】
また、各操作装置２０は、例えば、ファンフィルターユニットなどの単独の第一空気清浄器２５を有し、操作装置２０の空気をろ過する。また、ハウジング１０は、例えばファンフィルターユニットなどの第二空気清浄器７０を有し、ハウジング１０の空気をろ過する。
【００１６】
本実施例では、クレーン４０とレールのみがハウジング１０内に設置される。操作装置２０は、ハウジング１０の外側に設置される。一つの操作装置２０が故障した場合、当該操作装置が接続していた開口部１５は密閉されるので、他の操作装置２０に関係なく分解修復でき、カセットストッカーの操作を中断せずに済む。よって、取り出し、搬送の効率は、単一の操作装置２０のために低下することがない。
【００１７】
また、カセットストッカーの各操作装置２０は独自の第一空気清浄器２５を有し、ハウジング１０は第二空気清浄器を有するので、操作装置を独立した環境下で操作することができる。仮に、汚染（例えば、ほこりまたは粒子など）が一の操作装置に生じた場合でも、他の操作装置２０はその影響を受けることがなく、汚染された操作装置は適宜隔離することができる。
【００１８】
図３Ａと図３Ｂは本発明におけるもう１つの実施例である。図３Ａと３Ｂでは、カセットストッカーは、ハウジング１０、複数の操作装置２０と、ハウジング１０内の搬送装置を有する。ハウジング１０は複数の開口部１５を有し、搬送装置はレール３０とレール上のクレーン４０を有する。図３Ａと図３Ｂの本実施例における図２の実施例との差異は、いくつかの操作装置２０がハウジング１０内に設置されていることである。また、各開口部１５は、ブロック板５０と移動装置５５を有する。ブロック板５０は、開口部１５に可動状態で設置され、前記開口部１５をブロックする。移動装置５５は、ハウジング１０内の操作装置２０を移動させる。よって、各操作装置２０は、移動装置５５と開口部１５を介してハウジング１０の外側と内側の間を移動する。移動装置５５は、ハウジング１０内の操作装置２０を移動させることができるもので、無限軌道（ｔｒａｃｋ）、複数のホイール、ボール又はニードルローラー（ｒｏｌｌｉｎｇ
ｎｅｅｄｌｅｓ）によるものであってもよい。
【００１９】
図３Ａに示すように、カセットストッカーを操作中は、操作装置２０はハウジング内にあり、対応する開口部１５はブロック板５０によってブロックされ、ハウジング１０を密閉した状態に保つ。また、操作装置２０が故障の時、故障した操作装置２０は、ハウジング１０から開口部１５に移動させてメンテナンスを行うことができる。ブロック板５０は、開口部１５をブロックするので、カセットストッカーに残っている他の操作装置２０が当該操作装置の故障に影響されずに操作を続行することができる。
【００２０】
特筆すべきは、操作装置２０の配置は、カセットストッカーの操作、または空間の配置に基づいて決めることができる。特に、操作装置２０のいくつかは、図２に示す実施例のように、ハウジング１０の外側に設置されることができ、操作装置２０のいくつかは、図３Ａと図３Ｂに示す実施例のように、ハウジング１０内に設置することができる。
【００２１】
いくつかの実施例では、カセットストッカーは、追加の伝送装置、または生産装置と合わせて操作することができる。例えば、伝送装置及び生産装置、又はそのいずれかをハウジング１０の開口部１５に接続することで、操作装置２０のカセット６０がカセットストッカーから伝送装置及び生産装置又はそのいずれかに伝送することができる。一般的に、伝送装置は、ロボット、回転板（ｒｏｌｌｉｎｇ
ｐｌａｔｅ）、またはその他の伝送装置であってもよい。また、生産装置は、現像（ｄｅｖｅｌｏｐｉｎｇ）装置、例えば、ＰＶＤまたはＣＶＤ装置、エッチング装置、分類装置、または生産に用いられるその他の装置などであってもよい。
【００２２】
以上、本発明の好適な実施例を例示したが、これは本発明を限定するものではなく、本発明の精神及び範囲を逸脱しない限りにおいては、当業者であれば行い得る少々の変更や修飾を付加することは可能である。従って、本発明が保護を請求する範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１Ａ】従来のカセットストッカーの概略図である。
【図１Ｂ】図１Ａの従来のカセットストッカーのクレーンがカセットを取り出す概略図である。
【図１Ｃ】図１Ａの従来のカセットストッカーのクレーンがカセットを搬送する概略図である。
【図２】本発明の実施例のカセットストッカーの概略図である。
【図３Ａ】本発明のもう一つの実施例のカセットストッカーの概略図である。
【図３Ｂ】図３Ａの従来のカセットストッカーの操作装置２０が取り除かれる概略図である。
【符号の説明】
【００２４】
１０  ハウジング
１５  開口部
２０  装置
２５  第一空気清浄器
３０  レール
４０  クレーン
５０  ブロック板
５５  移動装置
６０  カセット
７０  第一空気清浄器
５１０  ハウジング
５２０  操作装置
５３０  レール
５４０  クレーン
５５０  空気清浄器
５６０  カセット
【図１Ａ】
2006165551.tif 000003
【図１Ｂ】
2006165551.tif 000004
【図１Ｃ】
2006165551.tif 000005
【図２】
2006165551.tif 000006
【図３Ａ】
2006165551.tif 000007
【図３Ｂ】
2006165551.tif 000008