(57)【要約】【課題】  絶縁基体の凹部と透光性蓋体との密閉空間に内在した異物が浮遊異物として光半導体素子の受光部に付着し固着することがなくなり、光半導体素子に外光を長期にわたって歪を生じることなく正常に受光させることができ、正常な電気信号を外部の機器や素子などに送ることが可能な信頼性の高い光半導体装置を提供すること。【解決手段】  光半導体装置９は、上面に光半導体素子３を収容し搭載するための凹部１ａを有する絶縁基体１と、絶縁基体１の凹部１ａの内側から外側に導出された配線導体２と、絶縁基体１の凹部１ａの底面に搭載されるとともに電極４が配線導体２に電気的に接続された、上面の中央部に受光部３ａを有する光半導体素子３と、絶縁基体１の上面に凹部１ａを塞ぐようにして取着された、受光部３ａを取り囲む突条部５ａが下面に形成されている透光性蓋体５とを具備している。【選択図】  図１
2006041313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に光半導体素子を収容し搭載するための凹部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の前記凹部の内側から外側に導出された配線導体と、前記絶縁基体の前記凹部の底面に搭載されるとともに電極が前記配線導体に電気的に接続された、上面の中央部に受光部を有する光半導体素子と、前記絶縁基体の上面に前記凹部を塞ぐようにして取着された、前記受光部を取り囲む突条部が下面に形成された透光性蓋体とを具備していることを特徴とする光半導体装置。
【請求項２】
前記突条部は、その下端が前記受光部と前記電極との間に位置するようにして形成されていることを特徴とする請求項１記載の光半導体装置。
【請求項３】
前記突条部は、その下端と、前記光半導体素子の前記受光部と前記電極との間の表面との間の間隔が、１０乃至５０μmであることを特徴とする請求項２記載の光半導体装置。
【請求項４】
前記突条部は、その外側面が下端から上端に向かうに伴って漸次外側に広がるように傾斜していることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトダイオード，ラインセンサ，イメージセンサ等の受光素子である光半導体素子またはこれらの受光部を有する光半導体素子等を具備した光半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のフォトダイオード（ＰＤ），ラインセンサ，イメージセンサ等の受光素子である光半導体素子またはこれらの受光部を有する光半導体素子を具備した光半導体装置を構成する絶縁基体は、上面に光半導体素子を収容するための凹部が形成されている。また、絶縁基体の凹部の内側から外側に配線導体が導出されている。
【０００３】
光半導体素子は絶縁基体の凹部内に収容されるとともに凹部の底面に樹脂接着剤等により接合されて搭載されており、その光半導体素子の上面の外周部等には電極が設けられている。光半導体素子の電極と上記配線導体のうち凹部の内側に露出した部位とが、Ａｕ，Ａｌ等から成るボンディングワイヤにより電気的に接続される。また、平板状の透光性蓋体が絶縁基体の上面に凹部を塞ぐようにして接合材を介して取着されている。
【０００４】
このように従来の光半導体装置は、透光性蓋体を有することにより、光半導体装置の内部空間にゴミなどの異物が侵入することを防止するとともに、光半導体装置の内部空間を密閉空間とすることで、外部雰囲気の湿気が光半導体装置内に侵入するのを極力防ぐようにして、光半導体素子の耐久性を向上させるようにしている。
【０００５】
そして、透光性蓋体を通して凹部内に進入した外光は、光半導体素子の受光部で受光されるとともに、光半導体素子により電気信号に変換される。変換されて生じた電気信号は、配線導体によって凹部の外側に導出され、光半導体装置の外部に配置された各種の機器や素子などに送られる。
【０００６】
なお、従来のＰＤ，ラインセンサ，イメージセンサ等の受光素子である光半導体素子またはこれらの受光部を有する光半導体素子を具備した光半導体装置において、絶縁基体と透光性蓋体とを接合する接合材としては、一般的にシリカフィラーを混入させたエポキシ樹脂やフェノール樹脂，クレゾール樹脂，粉体カーボンとシリコン樹脂粒子の混合体等が使用されている。
【０００７】
また、絶縁基体は酸化アルミニウム質焼結体やガラスセラミック焼結体等の焼結体（セラミックス）、エポキシ樹脂等の樹脂材料等により形成されており、例えばセラミック粉末を有機溶剤，樹脂バインダーとともにシート状に加工して得たセラミックグリーシートを積層し、焼成することにより作製される。
【特許文献１】特開１９９３−３３５５３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の光半導体装置においては、光半導体素子を気密封止している密閉空間内への外部からのゴミなどの異物や湿気等の侵入は効果的に防止することができるものの、透光性蓋体で凹部を塞いで密閉空間を形成する際に凹部内に残留している異物や、密閉空間内で新たに発生した微細な異物等が光半導体素子の受光部に付着し、受光特性が低下し易いという問題があった。また、この場合製品歩留まりも低下してしまう。
【０００９】
このような密閉空間内の異物としては、透光性蓋体を絶縁基体の上面に取着する前に異物の物理的除去法（エアーブロー法、粘着樹脂による除去方法等）により除去しきれなかった残留異物、透光性蓋体を絶縁基体の上面に位置決め載置し取着する封止工程における混入や巻き込みによる異物、絶縁基体を構成する焼結体等の材料の微細な破片、光半導体素子を絶縁基体に接着させる接着剤、透光性蓋体を接合させる接合材等から発塵し密閉空間内に生じた異物等がある。これらの異物が、封止工程以降の工程、また完成品として出荷し輸送した際における振動等により、密閉空間内を移動し、一部が平板状の透光性蓋体の下面と光半導体素子の上面との間の空間に舞い込んで降下し光半導体素子の受光部に付着する。
【００１０】
特に、近時、ＰＤ，ラインセンサ，イメージセンサ等の光半導体素子は、画像の精細化やセンサとしての検知精度の高精度化等の要求に応じて、受光部が非常に精細に形成されているため、１μｍ以下の微小な異物の付着や固着でも、上記のような受光特性の低下や製造歩留まりの低下等の問題を生じてしまう。
【００１１】
従って、本発明は上記問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、光半導体素子の受光部に、特に密閉空間内に存在する異物が付着するようなことが効果的に防止され、正常な電気信号を外部の機器や素子などに送ることが可能な信頼性の高い光半導体装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の光半導体装置は、上面に光半導体素子を収容し搭載するための凹部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の前記凹部の内側から外側に導出された配線導体と、前記絶縁基体の前記凹部の底面に搭載されるとともに電極が前記配線導体に電気的に接続された、上面の中央部に受光部を有する光半導体素子と、前記絶縁基体の上面に前記凹部を塞ぐようにして取着された、前記受光部を取り囲む突条部が下面に形成された透光性蓋体とを具備していることを特徴とする。
【００１３】
本発明の光半導体装置は好ましくは、前記突条部は、その下端が前記受光部と前記電極との間に位置するようにして形成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の光半導体装置は好ましくは、前記突条部は、その下端と、前記光半導体素子の前記受光部と前記電極との間の表面との間の間隔が、１０乃至５０μmであることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の光半導体装置は好ましくは、前記突条部は、その外側面が下端から上端に向かうに伴って漸次外側に広がるように傾斜していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の光半導体装置によれば、絶縁基体の凹部を塞ぐようにして取着された透光性蓋体は、下面に受光部を取り囲む突条部が形成されていることから、透光性蓋体の下面と光半導体素子の上面の受光部との間の空間は、外周部分が突条部で取り囲まれて、その外側と有効に遮断されることになり、この空間内に密閉空間内の異物が舞い込むことを抑制し、受光部に異物が降下し付着することを効果的に防止することができる。
【００１７】
また、受光部に位置する透光性蓋体の部分には突条部の内側面によって段差が形成されており、その結果透光性蓋体が光半導体素子の受光部に接触することがなく、受光部にキズ等の損傷を与えることを防止することができる。その結果、光半導体素子の受光部に、特に密閉空間内に存在する異物が付着するようなことが効果的に防止された、正常な電気信号を外部の機器や素子などに送ることが可能な信頼性の高い光半導体装置を提供することができる。また、製品歩留まりも高くすることができる。
【００１８】
また、本発明の光半導体装置は好ましくは、突条部は、その下端が受光部と電極との間に位置するようにして形成されていることから、受光部の全周にわたって確実に、透光性蓋体の下面と光半導体素子の上面の受光部との間の空間を突条部で取り囲んで遮断することができる。また、突条部の下端が受光部や電極、電極に接続されているボンディングワイヤ等に誤って接触して損傷を与えることをより確実に防止することができ、信頼性や受光特性により一層優れた光半導体装置とすることができる。
【００１９】
また、本発明の光半導体装置は好ましくは、突条部は、その下端と、光半導体素子の受光部と電極との間の表面との間の間隔が、１０乃至５０μmであることから、突条部の下端が光半導体素子の受光部や電極、電極に接続されているボンディングワイヤ等に誤って接触して損傷を与えることをより確実に防止することができる。また、突条部の下端と光半導体素子の表面との間の間隔を、異物の通過をより確実に防ぐことができる程度に狭いものとして受光部への異物の降下、付着をより有効に防止することができ、信頼性や受光特性に極めて優れた光半導体装置とすることができる。
【００２０】
本発明の光半導体装置は好ましくは、突条部は、その外側面が下端から上端に向かうに伴って漸次外側に広がるように傾斜していることから、突条部の機械的強度を向上させることができ、大きな衝撃が加わるような環境で使われた場合でも突条部に割れ等の機械的な破壊が生じることが効果的に防止された、信頼性の高い光半導体装置とすることができる。また、突条部の外側面が外側に広がっているので、受光部の上方からの光を透光性蓋体によって確実に導くことができ、透光性蓋体を通って受光部に達する外光を遮ることはなく、光半導体装置としての受光精度を良好に確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の光半導体装置について以下に詳細に説明する。図１は本発明の光半導体装置について実施の形態の一例を示す断面図である。図１において、１は絶縁基体、２は配線導体、３は光半導体素子、４は光半導体素子３の電極、５は透光性蓋体、６は光半導体素子３を絶縁基体１に接合し搭載するための接着剤、７は透光性蓋体５を絶縁基体１に取着するための接合材、８はボンディングワイヤである。これらの絶縁基体１、配線導体２、光半導体素子３および透光性蓋体５により、光半導体装置９が主に構成されている。
【００２２】
絶縁基体１は、その上面に形成された凹部１ａに光半導体素子３が収容されて凹部１ａの底面に接着剤６により接合されて搭載される。この光半導体素子３は上面に受光部３ａが設けられており、また光半導体素子３の上面の外周部には電源用や信号用等の電極４が設けられている。また、凹部１ａの内側から外側にかけて配線導体２が導出されており、凹部１ａの内側に露出した配線導体２と光半導体素子３の電極４とがＡｕ，Ａｌ等から成るボンディングワイヤ８で電気的に接続されている。
【００２３】
さらに、絶縁基体１の上面の凹部１ａの周囲の全周に樹脂接着剤等から成る接合材７を介して、ガラス，石英，サファイア，透明樹脂等から成る透光性蓋体５が接合されて取着されている。
【００２４】
本発明における絶縁基体１は、アルミナ質焼結体（アルミナセラミックス），窒化アルミニウムセラミックス，炭化珪素セラミックス，窒化珪素セラミックス，ガラスセラミックス等のセラミックス、樹脂等から成る。そして、絶縁基体１はその底板部の上面の外周部に別体の枠状の側壁部が設けられているか、または絶縁基体１の底板部と側壁部とが一体的に形成されていてもよい。
【００２５】
絶縁基体１は、例えば、アルミナ質焼結体から成り、底板部と側壁部とが一体に焼成して形成されている場合、アルミナ，シリカ等の原料粉末を有機溶剤，樹脂バインダーとともにシート状に成形して複数のセラミックグリーンシート（以下、グリーンシートともいう）を作製するとともに、一部のグリーンシートを枠状に打ち抜いて枠状のグリーンシートを作製し、その後、枠状のグリーンシートが上層に位置するようにしてグリーンシートを積層し、原料粉末の組成に応じて約１３００〜１６００℃の温度で焼成することにより形成される。
【００２６】
絶縁基体１の上面には、光半導体素子３を収容し底面に載置するための凹部１ａが形成されており、配線導体２が凹部１ａの内側から外側に導出されるとともに、この配線導体２のうち凹部１ａの内側に露出した部位に光半導体素子３の電極４がボンディングワイヤ８を介して接続されることにより、絶縁基体１に搭載された光半導体素子３は、電極４，ボンディングワイヤ８および配線導体２を介して外部電気回路に電気的に接続される。
【００２７】
この配線導体２は、タングステン，モリブデン，銅，銀等のメタライズ導体等により形成されている。そして、配線導体２は、例えば絶縁基体１となるグリーンシートに必要に応じて予め所定のスルーホールを形成し、タングステン，モリブデン，銅，銀等の金属ペーストをグリーンシートの表面やスルーホールの内面に印刷塗布したり充填しておくことにより形成される。
【００２８】
なお、図１では、凹部１ａの内側面に段差部を設け、その段差部の上面から絶縁基体１の下面に配線導体２を導出させた例を示しているが、段差部を設けずに、凹部１ａの底面等から配線導体２を凹部１ａの外側に導出させるようにしてもよい。配線導体２の導出させる部位は、絶縁基体１の下面に限らず、側面、側面および下面の両方等でもよい。
【００２９】
また、光半導体素子３は、その上面の中央部に受光部が設けられており、その上面の受光部の周囲である外周部には、電源用や信号用の電極４が設けられている。光半導体素子３は、ＰＤ，ラインセンサ，イメージセンサ，ＣＣＤ（Charge Coupled Device），ＥＰＲＯＭ（Erasable and Programmable ＲＯＭ）等の受光素子、またはこれらの受光部を有する光半導体素子などである。
【００３０】
光半導体素子３は絶縁基体１の凹部１ａの底面に載置され、樹脂接着剤，ろう材，低融点ガラス等から成る接着剤６によって接着されており、電極４と、配線導体２の凹部１ａの内側に露出している部分とは、Ａｕ，Ａｌ等からなるボンディングワイヤ８により電気的に接続される。
【００３１】
なお、ボンディングワイヤ８は、その長さが０．３〜３ｍｍであることが好ましい。０．３ｍｍ未満では、ボンディングワイヤ８が短すぎて十分なループを形成することが難しくなるため、光半導体素子３の電極４と配線導体２とを確実に接続することが難しくなり、接続不良が生じやすくなる。３ｍｍを超えると、ボンディングワイヤ８が長くなりすぎてループが不要に高くなる傾向があり、ボンディングワイヤ８に不要なインダクタンスが発生して高周波信号の伝送性が劣化しやすくなるとともにコスト高となる。
【００３２】
また、光半導体素子３の電極４と配線導体２との接続は、ボンディングワイヤ８により行うものに限らず、いわゆるリボン等の帯状の接続線等を用いてもよい。
【００３３】
また、透光性蓋体５が樹脂接着剤等からなる接合材７を介して絶縁基体１の上面に接合されて取着されており、これにより、光半導体素子３が絶縁基体１の凹部１ａと透光性蓋体５とで構成される密閉空間内に気密封止される。この接合材７は、例えば樹脂接着剤からなる場合、アクリル系樹脂，エポキシ系樹脂，フェノール系樹脂，クレゾール系樹脂，シリコン系樹脂，ポリエーテルアミド系樹脂等から成る。また接合材７は、余計な外光の入射を遮断するために、黒色，茶褐色，暗褐色，暗緑色，濃青色等の暗色系の顔料や染料を混入させてもよい。また、接合材７は、ガラス等の無機材料からなるものや、無機材料からなるフィラー粉末を樹脂接着剤に添加したものでもよい。
【００３４】
本発明の光半導体装置９は、画像認識装置，センサ,カメラ付き携帯電話,バーコードリーダー等の光学機器や電子機器の部品として使用される。例えば、光学機器や電子機器を構成する電気回路基板の所定位置に実装され、外光を受光するとともに光半導体素子３で電気信号に変換し、その電気信号を光学機器や電子機器を構成する電気回路基板の電気回路に供給する。
【００３５】
なお、光半導体装置９の外部電気回路基板への実装の際には、複数の光半導体装置９を搬送用トレイ等に収納し、まとめて実装用の装置まで搬送する必要があり、また、光半導体装置９をチャック等の保持装置で保持し、外部電気回路基板の所定位置に位置合わせする必要がある。また、光半導体装置９のトレイへの出し入れは、手作業による方法や自動搬送装置等の設備を用いる方法により行われる。
【００３６】
本発明の半導体装置９において、透光性蓋体５は、受光部３ａを取り囲む突条部５ａが下面に形成されている。これにより、透光性蓋体５の下面と光半導体素子３の上面の受光部３ａとの間の空間は、外周部分が突条部５ａで取り囲まれて、その外側と有効に遮断されることになり、この空間内に、密閉空間内の異物が舞い込むことを抑制し、受光部３ａに異物が降下し付着することを効果的に防止することができる。その結果、光半導体素子３の受光部３ａに、特に密閉空間内に存在する異物が付着するようなことが効果的に防止された、正常な電気信号を外部の機器や素子などに送ることが可能な信頼性の高い光半導体装置９を提供することができる。また、製品歩留まりも高くすることができる。
【００３７】
また、透光性蓋体５の下面は、突条部５ａの内側、つまり受光部３ａに対向する領域では、受光部３ａとの間の距離が十分に大きいので、透光性蓋体５が光半導体素子３の受光部３ａに接触することはなく、受光部３ａにキズ等の損傷を与えることを防止することができる。
【００３８】
このような突条部５ａが形成された透光性蓋体５は、透光性のガラスや樹脂等からなり、例えばガラスからなる場合、ある厚みを有する板状のガラス材を所定の寸法に切断した後、突条部５ａとなる部位を残して切削加工を施して厚さを薄くし、突条部５ａの部分が残るように成形する方法等により作製することができる。なお、突条部５ａは、受光部３ａを取り囲むために、平面視で四角枠状等の枠状のパターンで形成される。
【００３９】
また本発明において、突条部５ａは、その下端が受光部３ａと電極４との間に位置するようにして形成されていることが好ましい。これにより、受光部３ａの全周にわたって確実に、透光性蓋体５の下面と光半導体素子３の上面の受光部３ａとの間の空間を突条部５ａで取り囲んで遮断することができるとともに、突条部５ａの下端が受光部３ａや電極４、電極４に接続されているボンディングワイヤ８等に誤って接触して損傷を与えることをより確実に防止することができ、信頼性や受光特性により一層優れた光半導体装置９とすることができる。
【００４０】
また、突条部５ａは、その下端と、光半導体素子３の受光部３ａと電極４との間の表面との間の間隔を１０乃至５０μmとしておくことが好ましい。これにより、突条部５ａの下端が光半導体素子３の受光部３ａや電極４、電極４に接続されているボンディングワイヤ８等に誤って接触して損傷を与えることをより確実に防止することができるとともに、突条部５ａの下端と光半導体素子３の表面との間の間隔を、異物の通過をより確実に防止できる程度に狭いものとして受光部３ａへの異物の降下、付着をより確実に防ぐことができ、信頼性や受光特性に極めて優れた光半導体装置９とすることができる。
【００４１】
また、突条部５ａは、その外側面が下端から上端に向かうに伴って漸次外側に広がるように傾斜していることが好ましい。これにより、突条部５ａの機械的強度を向上させることができ、大きな衝撃が加わるような環境で使われた場合でも突条部５ａに割れ等の機械的な破壊が生じることが効果的に防止された、信頼性の高い光半導体装置９とすることができる。
【００４２】
また、突条部５ａの外側面は外側に広がっているので、受光部３ａの上方からの光を透光性蓋体５によって確実に導くことができ、透光性蓋体５を通って受光部３ａに達する外光を遮ることはなく、光半導体装置９としての受光精度を良好に確保することができる。
【００４３】
また、透光性蓋体５の上下面の少なくとも一方に、紫外線を遮断するための光学膜を形成してもよい。なお、透光性蓋体５の下面とは、突条部５ａの露出面（側面や下端面）も含む。
【００４４】
また、透光性蓋体５は、突条部５ａの内側で下面を低くする、すなわち透光性蓋体５の下面と光半導体素子３の上面との間の距離が近くなるように下面側に透光性蓋体５を厚くするようにしてもよい。この場合、透光性蓋体５の下面と光半導体素子３の上面（受光部３ａ）との間がより狭くなるので、透光性蓋体５で凹部１ａを塞いで密閉空間とする際に、透光性蓋体５の下面と光半導体素子３の上面（受光部３ａ）との間に異物が残留することをより効果的に抑制することができる。
【００４５】
また、本発明の光半導体装置９は、接合材７が透光性蓋体５の上面の外周部を覆っていることが好ましい。この構成により、例えば透光性蓋体５がガラスから成る場合でも、ガラスの破片が剥離しやすいエッジ部が接合材７で被覆されていることになり、外部からの衝撃、接触等により、そのエッジ部でガラスの破片が剥離するのをより一層効果的に防止することができる。その結果、破片が透光性蓋体５の表面に付着することがより効果的に防止され、歪を生じることなく外光が透光性蓋体５を通過するようにでき、受光特性に極めて優れた光半導体装置９を作製できる。
【００４６】
また、接合材７が透明な樹脂接着剤から成る場合、接合材７の屈折率が透光性蓋体５と同じであってもよい。この場合、接合材７と透光性蓋体５との界面で光の反射や散乱等が発生するのを効果的に抑制することができ、光半導体素子３に余分な反射光や散乱光が入射するのを防ぐことができる。また、接合材７が透明な樹脂接着剤から成る場合、その内部に含まれる気泡の体積が３０体積％以下であることがよい。３０体積％を超えると、接合材７の接合力が低下するとともに、気泡によって光が散乱され光半導体素子３に余分な散乱光が入射し易くなる。接合材７に含まれる気泡の割合を小さくするには、減圧室や真空装置内で接合材７を使用する方法、予め接合材７に含まれる気泡を真空脱泡する方法等がある。
【００４７】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更は可能である。例えば、透光性蓋体５は、その全面が一様に透光性を有するものである必要は無く、光半導体素子３の受光部に受光される外光が通る部分を透光性に優れたものとするとともに、接合材７を介して絶縁基体１に接合される部位を粗面とし、アンカー効果で接合をより強固にして、気密封止の信頼性により一層優れる光半導体装置９としてもよい。
【００４８】
また、透光性蓋体５の外周部分を、遮光性の樹脂膜を貼り付ける等の手段で遮光性とし、余計な外光が凹部５内に入り込んだり、凹部５内で光が乱反射したりすることを防止し、余計な光が受光面で受光されることをより確実に防止して受光特性を向上させるようにしてもよい。
【実施例】
【００４９】
絶縁基体１を酸化アルミニウム質焼結体で作製し、また下面に突条部５ａを有する透光性蓋体５をホウケイ酸系ガラス作製して、光半導体素子３としてＣＭＯＳを用いて、透光性蓋体５の突条部５ａの下端と、光半導体素子３の受光部３ａと電極４との間の表面との間の距離を表１に示すように変化させて、受光の信頼性について試験を行った。突条部５ａは、側面が下端から上端に向かうにともなって斜めに傾斜した形状（傾斜角度４５°）とした。
【００５０】
絶縁基体１は、１辺の長さが１４ｍｍ、厚さが１．７ｍｍの正方形の板状に形成されており、上面の中央部には１辺の長さが１０ｍｍ、深さが１．１ｍｍの平面視形状が正方形状の凹部１ａが形成されているものとした。
【００５１】
透光性蓋体５は、形成しようとする突条部５ａの高さを含む厚さのガラス板材を、まず所定の外寸に切断した後、突条部５ａが形成される部分を除いて切削加工を施し、下面に突条部５ａを有する形状に加工した。その後、その突条部５ａの側面を上端から下端にかけて漸次厚さが薄くなるように研磨加工して傾斜面とすることにより、下面に所定形状の突条部５ａを有する形状に形成した。
【００５２】
光半導体素子３は、エポキシ樹脂接着剤により凹部１ａの底面に接着固定し、透光性蓋体５は、エポキシ樹脂からなる紫外線硬化性樹脂により絶縁基体１の上面に接合した。
【００５３】
作製した光半導体装置９について、周波数１２０Ｈｚ、加速度２０ｇ（ｇ：重力加速度）の振動を１２回加えた後、受光の信頼性を試験した。なお、比較例の試料として、突条部５ａを形成していない透光性蓋体５を用いた試料を用いた。
【００５４】
受光特性は、以下のようなテストによりその確認を行った。まず、評価用のテストボードを使用し、そのテストボードには、光半導体装置９を着脱可能なソケットが装着されている。テストを行う光半導体装置９をそのソケットにセットし、その光半導体装置９のガラス製の透光性蓋体５の上部には、透光性蓋体５及び光半導体装置９全体を覆うようにレンズ付きの鏡筒をセットする。セットした光半導体装置９によって、レンズを通してテスト用の被写体（白色ボード）を画像として取り込み、モニター用の画像装置に映像化させる。映像化した画面を確認し、画面上で異物の再付着を確認する試験を行った。このとき、異物の再付着があると真っ白でなければならない被写体に黒色または灰色の色調のものが現れ、異物の再付着が確認できる。その試験結果を表１に示す。
【表１】
2006041313.tif 000003
【００５５】
表１より、突条部５ａを形成したものの場合、突条部５ａの下端と光半導体素子３の表面との間の距離が３〜６０μｍの場合において、いずれの場合にも受光特性を良好に確保された。
【００５６】
一方、突条部５ａを形成していないものの場合、受光の信頼性が不十分であった。
【００５７】
また、突条部５ａの下端と光半導体素子３の表面との間の間隔が１０乃至５０μmのものの場合、受光部３ａへの接触によるキズ、打痕等のダメージを与えることなく、信頼性の高い光半導体装置９とすることができた。
【００５８】
これに対し、突条部５ａの下端と光半導体素子３の表面との間の間隔が１０μm未満のものの場合、光半導体素子３の受光部３ａと電極４の間の表面において、そのパッシベーション（保護膜）にキズ等の発生が一部のものに見られた。生じたキズは浅く微細で、電気的な信頼性の点では大きな問題を生じるようなものではなかったが、極めて高い電気的な信頼性を要求される高精細な写真の用途においては、精度が不十分となるおそれがある。
【００５９】
また、突条部５ａの下端と光半導体素子３の表面との間の間隔が５０μｍを超えるものの場合、突条部５ａの下端と光半導体素子３の表面との間の空間が広くなり、受光部３ａの外周部等に微細な異物が付着し易くなり、受光の特性が若干低下する傾向が見られた。
【００６０】
なお、本発明の光半導体装置は、上述の実施の形態および実施例で説明した例に限らず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。例えば、透光性蓋体５は、中央部が透光性部材で形成されるとともに、外周部が金属材料やセラミック材料等から成る枠部材に透光性部材を樹脂接着剤やガラス、ろう材等を介して接合したものでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の光半導体装置の実施の形態の例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１・・・絶縁基体
１ａ・・・凹部
２・・・配線導体
３・・・光半導体素子
４・・・電極
５・・・透光性蓋体
５ａ・・・突条部
７・・・接合材
８・・・ボンディングワイヤ
９・・・光半導体装置
【図１】
2006041313.tif 000004