(57)【要約】【課題】多品種少量、高精細、低価格のプリント配線板や各種半導体パッケージ基板等の布線検査を効率的な検査スピードと低いランニングコストで布線検査を行うための検査データの作製方法、検査データ作製機及び布線検査機を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の布線検査機１００は、検査データ作製機１０と、スプリングプローブを使った検査治具２１と、導電ゴム４２を使った検査治具４１とで構成された一括検査機２０と、フライングプローバのプローブ３１を用いたフライングプローバ３０と、配線基板等からなる被検査体５０とで構成されている。【選択図】図１
2006329851.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる布線検査手段を組み合わせて配線基板のオープン、ショートの検査を行う布線検査方法において、配線基板の配線パターンの設計データであるガーバーデータにより検査部位ごとに適した検査手段を選択して振り分ける工程と、それぞれの検査部位ごとに検査にかかる時間、コストのデータから前記配線基板の検査全体にかかる時間、コストをそれぞれの布線検査手段について求める工程とを有することを特徴とする検査データの作製方法。
【請求項２】
異なる布線検査手段のどちらでも検査可能な部位について、再度検査手段を選択しなおす工程と、選択し直した内容に応じて検査全体の時間とコストを算出しなおす工程とを有することを特徴とする検査データの作製方法。
【請求項３】
配線基板の配線パターンの設計データであるガーバーデータにより検査部位ごとに適した検査手段を選択して振り分ける手段と、それぞれの検査部位ごとに検査にかかる時間、コストのデータから前記配線基板の検査全体にかかる時間、コストをそれぞれの布線検査手段について求める手段とを有することを特徴とする検査データ作製機。
【請求項４】
異なる布線検査手段のどちらでも検査可能な部位について、再度検査手段を選択しなおす手段と、選択し直した内容に応じて検査全体の時間とコストを算出しなおす手段とを有することを特徴とする検査データ作製機。
【請求項５】
検査全体にかかる時間とコストを一覧表示する手段を有することを特徴とする検査データ作製機。
【請求項６】
少なくとも異なる布線検査手段を有する検査機と、請求項３乃至５のいずれか一項に記載の検査データ作製機とから構成されていることを特徴とする布線検査機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板や各種半導体パッケージ基板の配線のオープン、ショートを電気的に検査する布線検査機の検査データの作製方法及び検査データ作製機並びに布線検査機に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板や各種半導体パッケージ基板等の配線のオープン、ショートを電気的に検査する布線検査機には、スプリングプローブを使った検査治具に代表される、何らかの検査治具を搭載するものと、フライングプローバと呼ばれる検査治具を搭載しないものとがある。
【０００３】
検査治具を搭載する布線検査機は、配線パターンに合わせて複数のプローブを配置する治具を予め製作する必要があるが、治具をつくれば一遍に複数箇所の検査が可能なため検査スピードが速く、検査結果の信頼性が高いという長所がある反面、検査治具の製作に要する費用（ランニングコスト）が高い、検査ポイントのピッチが１２０μｍ程度までしか対応できないという短所がある。
【０００４】
また、検査治具を搭載しないフライングプローバは、ランニングコストが安い、検査ポイントのピッチが１２０μｍ以下であっても十分に対応できるという長所がある反面、検査のための特別な治具は不要だが１回に１箇所ずつしか検査できないので検査スピードが遅く、検査結果の信頼性が検査治具を搭載する布線検査機に比べるとやや低いという短所がある。
【０００５】
現在のプリント配線板や各種半導体パッケージ基板のひとつの傾向として、多品種少量化，高精細化，低価格化があげられる。
そういった製品を検査する場合、スプリングプローブを使った検査治具を搭載する布線検査機では、ランニングコストが高いこと、フライングプローバでは検査スピードが遅いことが大きな問題となる。
【０００６】
そこで、プリント配線板や各種半導体パッケージ基板の配線の種別によって、導電ゴムによる検査とフライングプローバによる検査に分けることにより、全体として効率的な検査スピードと低いランニングコストを実現する布線検査方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
この布線検査方法では、単に配線の種別ごとに検査データを作製し、それぞれ該当する検査技術を有する検査機に送っただけでは、各検査機間の検査時間に差が生じ、必ずしも全体として効率的な検査スピードを得ることはできない。
【０００７】
また、プリント配線板や各種半導体パッケージ基板によってはコストをかけてでも検査スピードを上げたいもの、あるいは逆に検査スピードが遅くなることを承知でコストを低減しなければならないもの等、いろいろであり、単に配線の種別にしたがって検査データを作製し、振り分けたのでは満足のいく状況にはならない。
【特許文献１】特開２００４−１３２８６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、多品種少量、高精細、低価格のプリン
ト配線板や各種半導体パッケージ基板等の布線検査を効率的な検査スピードと低いランニングコストで布線検査を行うための検査データの作製方法、検査データ作製機及び布線検査機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、異なる布線検査手段を組み合わせて検査を行う配線基板の布線検査方法において、配線基板の配線パターンの設計データであるガーバーデータにより検査部位ごとに適した検査手段を選択して振り分ける工程と、それぞれの検査部位ごとに検査にかかる時間、コストのデータから前記配線基板の検査全体にかかる時間、コストをそれぞれの布線検査手段について求める工程とを有することを特徴とする検査データの作製方法としたものである。
【００１０】
また、請求項２においては、異なる布線検査手段のどちらでも検査可能な部位について、再度検査手段を選択しなおす工程と、選択し直した内容に応じて検査全体の時間とコストを算出しなおす工程とを有することを特徴とする検査データの作製方法としたものである。
【００１１】
また、請求項３においては、配線基板の配線パターンの設計データであるガーバーデータにより検査部位ごとに適した検査手段を選択して振り分ける手段と、それぞれの検査部位ごとに検査にかかる時間、コストのデータから前記配線基板の検査全体にかかる時間、コストをそれぞれの布線検査手段について求める手段とを有することを特徴とする検査データ作製機としたものである。
【００１２】
また、請求項４においては、異なる布線検査手段のどちらでも検査可能な部位について、再度検査手段を選択しなおす手段と、選択し直した内容に応じて検査全体の時間とコストを算出しなおす手段とを有することを特徴とする検査データ作製機としたものである。
【００１３】
また、請求項５においては、検査全体にかかる時間とコストを一覧表示する手段を有することを特徴とする検査データ作製機としたものである。
【００１４】
さらにまた、請求項６においては、少なくとも異なる布線検査手段を有する検査機と、請求項３乃至５のいずれか一項に記載の検査データ作製機とから構成されていることを特徴とする布線検査機としたものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の検査データの作製方法及び布線検査機を用いてプリント配線板や各種半導体パッケージ基板の布線検査を実施することにより、一括検査機とフライングプローバという異なる検査技術の布線検査機に対して、配線の種別、検査ポイントのピッチ、検査治具作製費及び布線検査機の処理能力等を考慮し、適切な検査データを作製することができ、全体として、多品種少量、高精細、低価格のプリント配線板や各種半導体パッケージ基板等の布線検査を効率的な検査スピードと低いランニングコストで実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の布線検査機の一実施例を示す模式構成図である。
布線検査機１００は、検査データ作製機１０と、スプリングプローブを使った検査治具２１と、導電ゴム４２を使った検査治具４１とで構成された一括検査機２０と、フライングプローバのプローブ３１を用いたフライングプローバ３０と、配線基板等からなる被検査体５０とで構成されている。
また、布線検査機２００は、配線基板等からなる被検査体５０の反対面に接触する一括検
査機２０の導電ゴム４２を使った検査治具４１をスプリングプローブを使った検査治具２２に変更したもので、配線基板等からなる被検査体５０の反対面に接触する検査治具は導電ゴム４２を使った検査治具４１であっても、一般的なスプリングプローブを使った検査治具２２であっても同じである。
【００１７】
図１（ａ）及び（ｂ）に示す本発明の布線検査機の検査データ作製機１０は、配線基板の配線パターンの設計データであるガーバーデータにより検査部位ごとに適した検査手段を選択して振り分ける手段と、それぞれの検査部位ごとに検査にかかる時間、コストのデータから前記配線基板の検査全体にかかる時間、コストをそれぞれの布線検査手段について求める手段とを有している。
また、異なる布線検査手段のどちらでも検査可能な部位について、再度検査手段を選択しなおす手段と、選択し直した内容に応じて検査全体の時間とコストを算出しなおす手段とを有している。
さらにまた、検査全体にかかる時間とコストを一覧表示する手段を有し、表示結果に基づいてオペレーターが最的な方法を選定し、指示できるようになっている。
【００１８】
図２は、配線基板等からなる被検査体５０の検査ポイント５１及び５２と配線５３、５４、５５の状態を模式的に示す説明図である。
配線基板等からなる被検査体５０のオープン、ショートの一般的な検査方法について説明する。
図３（ａ）〜（ｃ）は、配線基板等からなる被検査体５０の検査の流れを示す。
まず、図３（ａ）は、被検査体５０の一方の面（図では下面）の検査ポイント５２にスプリングプローブを使った検査治具２１を接触させ、反対の面の検査ポイント５１に導電ゴム４２を接触させる。
この状態でプローブ間に電気を流し、被検査体５０の配線５３及び配線５５にオープンがあるかどうかを検査する。
【００１９】
次に、図３（ｂ）に示すように、導電ゴム４２を被検査体５０の検査ポイント５１から離し、検査治具２１のプローブ間に電気を流し、配線５３及び配線５５にショートがあるかどうかを検査する。
【００２０】
最後に、図３（ｃ）に示すように、図３（ａ）及び図３（ｂ）で配線５４にオープン、ショートがあるかどうかをフライングプローバ３０によって検査する。
このように、配線基板等からなる被検査体５０のオープン、ショートの検査は３段階によってそれぞれ検査される。
なお、実際の配線パターンは様々であるので、必ずしも上記の３段階によらず、配線パターンに適した検査方法を選択して検査を行うことも可能である。例えば、パッド５１のピッチが１２０μ以下の場合には検査治具での検査は困難であり、その場合は全てのパターンをフライングプローバで検査すれば良い。
また、図２の５６のように配線基板表面に設けられている配線パターンは、本方式の検査方法によらず他の方式、例えば市販の外観検査機などを利用して検査が可能であるので、あらかじめ検査対象から除くことで検査の手間を省くことも可能である。
【００２１】
図１（ａ）及び（ｂ）に示す本発明の布線検査機１００を使った配線基板等からなる被検査体５０のオープン、ショートの検査方法について説明する。
まず、オペレーターは、ガーバーデータというＣＡＤ設計データを検査データ作製機１０に入力する。ここで検査データ作製機１０の機能によって検査ポイントの位置、配線のつながり等の情報が抽出される。従来は、この情報をそのまま布線検査機に送り、布線検査が実施されていた。
【００２２】
検査データ作製機１０には、図４（ａ）〜（ｃ）のデータを予め登録できるようになっている。
図４（ａ）は、スプリングプローブを使った検査治具２１、２２を製作する場合の費用を、プローブ１本あたりの価格におきかえたものである。例えば、上面用の検査治具２２に１５０μｍピッチ用のプローブが２，５００本使われた場合は、上側検査治具製作費は、２，２００（円／本）×２，５００（本）＝５５０（万円）となる。
同様に下側用の検査治具２１に８００μｍピッチ用のプローブが１，２００本使われた場合は、下側検査治具製作費は、５００（円／本）×１，２００（本）＝６０（万円）となり、上下合計で５５０（万円）＋６０（万円）＝６１０（万円）となる。
【００２３】
図４（ｂ）は、各検査機の処理能力の一例である。
図４（ａ）及び（ｂ）のデータは、予め検査データ作製機１０に登録されており、オペレーターが検査を行う都度入力するものではない。ただし、登録されている情報に変更があった場合は入力し直すことができる。
【００２４】
図４（ｃ）は、配線基板等からなる被検査体５０の枚数、面付数、上側検査治具に導電ゴム４２を使った検査治具４１を使うか、それともスプリングプローブを使った検査治具２２を使うか、フライングプローバ３０のカバー率を入力する。
フライングプローバ３０のカバー率とは、図２に示す配線５４のうち、フライングプローバ３０で検査するものの割合である。
【００２５】
図４（ｃ）のデータを入力すると、検査データ作製機１０で所定の計算を行い、直ちに図５に示す結果が検査データ作製機１０の表示部に表示される。
オペレーターは図５の１から５に示された結果から、最適なものを選定する。例えば、処理能力を最大にしたければ１を、ランニングコストを０にしたければ３を、図２に示す配線基板等からなる被検査体５０の配線５４がない被検査体であれば２も選択の候補となる。
また、かけられる検査治具製作費（図中では治具代）が決まっているのであれば、４のフライングプローバ３０のカバー率を変えながら治具製作費の欄に示された価格を見て、その場合の検査時間が把握できる。５では、一括検査機２０とフライングプローバ３０の検査時間を同じにした場合の検査時間とカバー率、および治具製作費が分かる。
【００２６】
図４で選択した内容をもとに、フライングプローバ３０のカバー率を決定し、図４（ｃ）に再入力し最終決定の指示をすると、検査データ作製機１０はそれにしたがって、一括検査機用の検査データとフライングプローバ用の検査データを作製し、検査データ作製機１０から検査データが一括検査機２０とフライングプローバ３０にそれぞれ送られ、配線基板等からなる被検査体５０のオープン、ショートの検査が実施される。
【００２７】
上記したように、本発明の布線検査機は、検査データ作製機１０を備えているため、ガーバーデータというＣＡＤ設計データから、ほぼ自動的に配線パターンに適した検査手段を判定することができ、それに基づき、検査をそれぞれの手段に自動的に振り分けることが出来る。
また、それぞれの検査手段ごとに、検査にかかるコストと検査時間及び必要な治具のコストが予め分かっていため、ある配線基板について検査を行う場合の検査にかかる時間とコスト（治具代も含め）をほぼ自動的に見積もることが出来る。その場合、どちらの手段でも検査可能は部分については選択することが出来る。
その選択に当たっては、検査において時間を優先して考えるか、コストを優先して考えるかにより、オペレーターが選択できる。さらに、コスト、時間を勘案して検査の各手段への振り分けを再度調整する手段も備えている。
このことから、多品種少量、高精細、低価格のプリント配線板や各種半導体パッケージ基
板等の布線検査を効率的な検査スピードと低いランニングコストで実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の布線検査機の一実施例を示す模式構成図である。
【図２】配線基板等からなる被検査体の一例を示す模式構成図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、配線基板等からなる被検査体のオープン、ショートの検査の流れを示す説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｂ）は、検査データ作製機に予め登録するデータの一例を示す。（ｃ）は、入力データの一例を示す。
【図５】検査データ作製機での出力データの一例を示す。
【符号の説明】
【００２９】
１０……検査データ作製機
２０……一括検査機
２１、２２……スプリングプローブを使った検査治具
３０……フライングプローバ
３１……フライングプローバのプローブ
４１……導電ゴムを使った検査治具
４２……導電ゴム
５０……配線基板等の被検査体
５１、５２……検査ポイント
５３、５４、５５、５６……配線
１００、２００……布線検査機
【図１】
2006329851.tif 000003
【図２】
2006329851.tif 000004
【図３】
2006329851.tif 000005
【図４】
2006329851.tif 000006
【図５】
2006329851.tif 000007