(57)【要約】【課題】  極めて簡単な方法にて高精度なサーボ・データを記録することができるディスク装置の製造方法及びディスク装置を提供する。【解決手段】  ベース内に磁気ディスク及びこれを駆動するＳＰＭ、ＶＣＭ等の各アセンブリを収納し、トップ・カバーを取り付けて、ＨＤＤの各アセンブリを密閉すべく組み立てる（ステップS１）。その後、ハード・ディスク・アセンブリＨＤＡ内の空気を空気より密度が小さいＨｅなどの気体に置換し（ステップＳ５）、セルフ・サーボ・トラック・ライトにより磁気ディスクにサーボ・データを記録し（ステップＳ７）、その後、ＨＤＡ内の前記気体を空気に置換する（ステップＳ９）。【選択図】  図５
2006040423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクと、前記ディスクに対するデータの記録及び再生を行うヘッドと、前記ディスク及びヘッドを駆動する駆動部とを筐体に収納してなるディスク装置の製造方法において、
前記ディスク、ヘッド及び駆動部を前記筐体に収納し、
前記筐体内の空気を前記空気より密度が小さい気体に置換し、
セルフ・サーボ・トラック・ライトにより前記ディスクにサーボ・データを記録し、
前記筐体内の前記気体を前記空気に置換する
ことを特徴とするディスク装置の製造方法。
【請求項２】
前記気体は、不活性ガス又は不活性ガスと空気との混合ガスである
ことを特徴とする請求項１記載のディスク装置の製造方法。
【請求項３】
前記気体は、ヘリウム、水素、又は、ヘリウム及び／又は水素と空気との混合ガスである
ことを特徴とする請求項１記載のディスク装置の製造方法。
【請求項４】
前記気体に置換する際は、前記筐体内に前記気体を注入しつつ前記空気を排出する
ことを特徴とする請求項１記載のディスク装置の製造方法。
【請求項５】
前記気体に置換する際は、前記筐体に設けられたパーティクルテスト用のテスト口から前記気体を注入しつつ前記空気を排出する
ことを特徴とする請求項１記載のディスク装置の製造方法。
【請求項６】
前記気体に置換する際は、前記テスト口の径より小さい径のチューブを前記テスト口に挿入し前記気体を注入する
ことを特徴とする請求項５記載のディスク装置の製造方法。
【請求項７】
前記気体に置換する際は、前記筐体に設けられた通気口から前記気体を注入しつつ前記空気を排出する
ことを特徴とする請求項１記載のディスク装置の製造方法。
【請求項８】
前記気体に置換する際は、前記筐体に設けられた第１の通気口から前記気体を注入しつつ前記筐体に設けられた第２の通気口から前記空気を排出する
ことを特徴とする請求項７記載のディスク装置の製造方法。
【請求項９】
前記空気に置換する際は、前記第２の通気口から前記空気を注入しつつ前記第１の通気口から前記気体を排出する
ことを特徴とする請求項８記載のディスク装置の製造方法。
【請求項１０】
前記筐体の上面側に設けられた前記第１の通気口から前記気体を注入しつつ前記筐体の下面側に設けられた前記第２の通気口から前記空気を排出する
ことを特徴とする請求項８記載のディスク装置の製造方法。
【請求項１１】
前記第１の通気口から前記気体を注入しつつ前記筐体において前記第１の通気口とは対角に設けられた前記第２の通気口から前記空気を排出する
ことを特徴とする請求項８記載のディスク装置の製造方法。
【請求項１２】
前記空気に置換する際は、前記通気口を開放する
ことを特徴とする請求項７記載のディスク装置の製造方法。
【請求項１３】
ディスクと、前記ディスクに対するデータの記録及び再生を行うヘッドと、前記ディスク及びヘッドを駆動する駆動部とを筐体に収納してなるディスク装置において、
前記筐体は、セルフ・サーボ・トラック・ライトの前に前記筐体内に空気より密度が軽い気体を注入し前記筐体内の空気を排出するための通気口を有するディスク装置。
【請求項１４】
前記通気口は、前記セルフ・サーボ・トラック・ライトの後、前記筐体内に空気を注入し前記筐体内の前記気体を排出するためのものである
ことを特徴とする請求項１３記載のディスク装置。
【請求項１５】
前記気体を注入する第１の通気口と前記空気を排出する第２の通気口とを有する
ことを特徴とする請求項１３記載のディスク装置。
【請求項１６】
前記第１の通気口は前記筐体の上部に設けられ、前記第２の通気口は前記筐体の下部に設けられる
ことを特徴とする請求項１４記載のディスク装置。
【請求項１７】
前記第１の通気口と前記第２の通気口とは前記筐体において対角に設けられる
ことを特徴とする請求項１４記載のディスク装置。
【請求項１８】
装置自身が記録したサーボ・データが記録されたディスクと、
前記ディスクに対するデータの記録及び再生を行うヘッドと、
前記サーボ・データを再生した再生信号から生成した位置誤差信号に基づき前記ヘッドを位置決め制御する制御部とを有し、
前記サーボ・データから得られる前記位置誤差信号は、非繰り返しランアウト成分より繰り返しランアウト成分が小さい
ことを特徴とするディスク装置。
【請求項１９】
前記サーボ・データから得られる前記位置誤差信号は、非繰り返しランアウト成分より、セルフ・サーボ・トラック・ライト中に非繰り返しランアウトにより書き込まれる繰り返しランアウト成分が小さい
ことを特徴とする請求項１８記載のディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーボ・データを装置自身が記録するセルフ・サーボ・トラック・ライトが可能なディスク装置及びその製造方法に関し、特にヘッドの位置決め精度の向上を図ったディスク装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
データ記憶装置として、光ディスクや磁気テープなどの様々な態様のメディアを使用する装置が知られている。その中で、ハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ）は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータにとどまらず、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、あるいはデジタル・カメラなどで使用されるリムーバブルメモリなど、ＨＤＤの用途は、その優れた特性により益々拡大している。
【０００３】
ＨＤＤで使用される磁気ディスクは、同心円状に形成された複数のトラックを有しており、各トラックはデータが記憶されるデータ領域とサーボ・データが記憶されるサーボ領域とを備え、それぞれユーザ・データとアドレス情報（サーボ・データ）とが記憶される。薄膜素子で形成された磁気ヘッドがアドレス情報に従って所望の領域（アドレス）にアクセスすることによって、データ書き込みあるいはデータ読み出しを行うことができる。
【０００４】
サーボ領域には、サーボ・データとして、シリンダＩＤ、サーボ・セクタ番号、バースト・パターンなどが記憶されている。トラックＩＤは、トラックのアドレスを示し、サーボ・セクタＩＤは、サーボ・セクタのアドレスを示す。バースト・パターンは、トラックに対する磁気ヘッドの相対位置情報を有しており、各々信号が記憶された領域がディスクの半径方向に沿って一定間隔で配列されたもので、互いに信号記憶領域の位相が異なる複数の信号記憶領域列で構成されている。
【０００５】
磁気ディスクに対するデータの読み出し又は書き込みは、磁気ディスクが回転している状態において、サーボ・データによって磁気ヘッドの位置を確認しながら実行される。磁気ヘッドに読み取られたサーボ・データは、コントローラによって演算処理される。現在の磁気ヘッド位置と目的の磁気ヘッド位置との関係から、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）に供給する電流値が決定される。コントローラは、算出された電流値を指示する制御データ（ＤＡＣＯＵＴ）を生成し、ＶＣＭドライバに供給する。ずれが発生した場合には、これを補正するようにキャリッジを駆動して磁気ヘッドの位置制御を実行している。
【０００６】
ところで、ＨＤＤは、近時の高容量化の実現のため、トラック間隔をより狭くし、よりトラック密度を上げる傾向にある。狭いトラックを実現するためには、ヘッドの位置決めを制御するための上述のサーボ・データを高精細に記録する必要があり、サーボ・データを書き込むサーボ・トラック・ライト（ＳＴＷ）工程は極めて重要な生産工程となる。したがって、より精度が高い光学系のエンコーダの使用又は円板のみを外部のＳＴＷで記録することにより、機械的振動を改善するなどして位置決め精度の向上が図られているが、ディスクが回転していることによる風乱又は円板が有するフラッタがサーボ・トラック・ライトの精度の支配的な要因になり、困難を極めている。
【０００７】
そこで、特許文献１には、室内を低密度ガス雰囲気としてサーボ・トラック・ライトするサーボ・トラック・ライタが開示されている。この特許文献１に記載の技術においては、サーボ・データを書き込むべきディスクをサーボ・トラック・ライタに挿入し、サーボ・トラック・ライタの室内をＨｅなどの低密度ガスで置換し、ＳＴＷを実行する。低密度ガス雰囲気内でＳＴＷを実行することによりＳＴＷ工程におけるディスクの振動を低減する。
【０００８】
また、円板のフラッタを抑制する方法として、空気よりも軽いガスを封入したままＨＤＤを製品として生産する方法が従来から提案されている（例えば下記特許文献２など）。この特許文献２などに記載の技術においては、密閉された磁気ディスク記憶装置において、容器内部の空気を排除し、ヘリウム又は水素を充填することにより、風損を抑制し、磁気ディスクの高密度化に伴う装置内部の温度上昇を抑えること等ができる。
【特許文献１】米国特許出願公開第２００３／００８１３４４号明細書
【特許文献２】特公昭６０−５９６６０号公報
【特許文献３】特開２０００−１１０１７８号公報
【特許文献４】特開平５−２８６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記特許文献１に記載のサーボ・トラック・ライタを使用すると、ＨＤＤ以外に、密閉構造を有する特殊なサーボ・トラック・ライタ装置を用意する必要がある。更に、ＳＴＷの際には、ディスクを上記サーボ・トラック・ライタ装置にセッティングして装置内の環境を低密度ガスで置換し、ＳＴＷ終了後に室内の雰囲気を空気で置換する操作が必要であり、ディスクにサーボ・データを書き込む毎にこれらの一連の操作を繰り返す必要がある。これらのことにより、ＨＤＤの製造工程が極めて煩雑になると共に製造コストが高くなってしまうという問題点がある。
【００１０】
また、上記特許文献２などのように、空気以外のガス（気体）を封入したままの装置とすれば、ユーザはＨＤＤの使用に際してフラッタを低減する効果を得ることができるが、空気以外の気体を封入した状態の装置をユーザに提供するためには、装置を完全に密閉しなければならず、湿度変化及び温度変化に対する対策が必要になるという問題点がある。また、ユーザの使用中にガス抜けが発生すると、このガス抜けによる性能劣化が重大な欠陥となる恐れがある。更に、使用したガスをユーザから回収する必要が生じる場合がある。以上のことから、空気以外の気体を封入したままの装置をユーザに提供することは極めて困難であり、著しく現実性が低く、いまだ実現化には到っていない。
【００１１】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、極めて簡単な方法にて高精度なサーボ・データを記録することができるディスク装置の製造方法、及び高精度なサーボ・データが記録されたディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した目的を達成するために、本発明にかかるディスク装置の製造方法は、ディスクと、前記ディスクに対するデータの記録及び再生を行うヘッドと、前記ディスク及びヘッドを駆動する駆動部とを筐体に収納してなるディスク装置の製造方法において、前記ディスク、ヘッド及び駆動部を前記筐体に収納し、前記筐体内の空気を前記空気より密度が小さい気体に置換し、セルフ・サーボ・トラック・ライトにより前記ディスクにサーボ・データを記録し、前記筐体内の前記気体を前記空気に置換することを特徴とする。
【００１３】
本発明においては、筐体内の空気を空気より密度が小さい気体に置換してからセルフ・サーボ・トラック・ライトによりサーボ・データを記録するため、サーボ・データを記録する際に空気抵抗に起因するランアウトを低減し、正確にサーボ・データを記録することができる。
【００１４】
また、前記気体は、不活性ガス又は不活性ガスと空気との混合ガスであることが好ましい。不活性ガスであれば他の物質と化学的な反応を起こさず、安全である。
【００１５】
更に、前記気体は、ヘリウム、水素、又は、ヘリウム及び／又は水素と空気との混合ガスであることが更に好ましい。ヘリウムは空気に比してその密度が１／１０程度であり、その抵抗を１／１０程度に減少させることができ、かつ扱いやすい。また、水素は、ヘリウムより気体密度が小さく更に気体抵抗を低減させフラッタを抑制させる効果が大きい。
【００１６】
更にまた、前記気体に置換する際は、前記筐体内に前記気体を注入しつつ前記空気を排出することができ、気体を注入しつつ空気を排出することで、筐体内の圧力を一定に保つことができる。
【００１７】
また、前記気体に置換する際は、前記筐体に設けられたパーティクルテスト用のテスト口から前記気体を注入しつつ前記空気を排出することができ、もともと筐体に設けられているパーティクルテスト用のテスト口を使用すれば筐体に通気口を設ける必要がない。
【００１８】
更に、前記気体に置換する際は、前記テスト口の径より小さい径のチューブを前記テスト口に挿入し前記気体を注入することができ、前記チューブから気体を注入し、チューブとテスト口との間隙から空気を押し出し筐体内の空気を気体に置換することができる。
【００１９】
更にまた、前記気体に置換する際は、前記筐体に設けられた通気口から前記気体を注入しつつ前記空気を排出することができ、通気口を設けてもよい。
【００２０】
また、前記気体に置換する際は、前記筐体に設けられた第１の通気口から前記気体を注入しつつ前記筐体に設けられた第２の通気口から前記空気を排出することができ、排出用と注入用の穴を設けることで、置換処理を高効率化することができる。
【００２１】
更に、前記空気に置換する際は、前記第２の通気口から前記空気を注入しつつ前記第１の通気口から前記気体を排出することができる。この場合、前記筐体の上面側に設けられた前記第１の通気口から前記気体を注入しつつ前記筐体の下面側に設けられた前記第２の通気口から前記空気を排出するようにすれば、空気より密度が小さい気体を筐体の上面側から注入・排出することができ、置換処理を更に効率よく行うことができる。
【００２２】
更にまた、前記第１の通気口から前記気体を注入しつつ前記筐体において前記第１の通気口とは対角に設けられた前記第２の通気口から前記空気を排出することができ、対角に設けることで、筐体内の空気・気体の置換を更に迅速に行うことができる。
【００２３】
また、前記空気に置換する際は、前記通気口を開放してもよく、これにより空気を注入する工程を省くことができる。
【００２４】
本発明にかかるディスク装置は、ディスクと、前記ディスクに対するデータの記録及び再生を行うヘッドと、前記ディスク及びヘッドを駆動する駆動部とを筐体に収納してなるディスク装置において、前記筐体は、セルフ・サーボ・トラック・ライトの前に前記筐体内に空気より密度が軽い気体を注入し前記筐体内の空気を排出するための通気口を有する。
【００２５】
本発明にかかるディスク装置は、装置自身が記録したサーボ・データが記録されたディスクと、前記ディスクに対するデータの記録及び再生を行うヘッドと、前記サーボ・データを再生した再生信号から生成した位置誤差信号に基づき前記ヘッドを位置決め制御する制御部とを有し、前記サーボ・データから得られる前記位置誤差信号は、非繰り返しランアウト成分より繰り返しランアウト成分が小さいことを特徴とする。
【００２６】
ここで、前記サーボ・データから得られる前記位置誤差信号は、非繰り返しランアウト成分より、セルフ・サーボ・トラック・ライト（ＳＳＴＷ）時に、ＮＲＲＯであった揺れがサーボ・パターンに書き込まれてしまった結果として、ＳＳＴＷ後にトラック・フォローすると書き込まれたＮＲＲＯに沿ってトラック・フォローイングすることになってしまうことで観測されるＲＲＯ成分（以下、フローズンＮＲＲＯという。）が小さいものである。隣接トラック間で位相が一致しないフローズンＮＲＲＯが小さいため、トラックピッチバランスの悪化を低減することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、極めて簡単な方法にて高精度なサーボ・データを記録することができるディスク装置の製造方法、及びランアウト成分が低減されたサーボ・データが記録されたディスクを有するディスク装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。この実施の形態は、本発明を、ハード・ディスク・アセンブリ（ＨＤＡ）内を空気より比重が小さい気体で置換してセルフ・サーボ・ライトを実行することにより、サーボ・データのランアウト成分を極めて小さく抑え、ヘッドの位置決め精度を飛躍的に向上させたハード・ディスク・ドライブの製造方法に適用したものである。
【００２９】
図１は、本実施の形態にかかるハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ）１００の概略構成を示す斜視図、図２は、その機能ブロック図である。
【００３０】
図１に示すように、ＨＤＤ１００は、開口部を有する箱型のベース１１０ａと、ベース１１０ａの開口部を覆う板状のトップ・カバー１１０ｂを備える。ベース１１０ａとトップ・カバー１１０ｂとは、フッ素ゴムなどの図示せぬガスケットを介して固定されることによってディスク・エンクロージャを構成し、気圧調整用の呼吸孔はあるもののＨＤＤ１００の各構成要素をほぼ密閉状態で収容することができる。
【００３１】
ベース１１０ａは、その内部に各構成要素を収容している。このベース１１０ａは例えば鉄鋼（ＳＰＣＣ）などの磁性体をプレス加工して形成される。また、アルミニウムなどによって形成してもよい。
【００３２】
磁気ディスク１１１は、磁性層が磁化されることによってデータを記憶する不揮発性の記憶ディスクである。磁気ディスク１１１はアルミニウム基板又はガラス基板によって形成することができる。磁気ディスク１１１は、スピンドル・モータ（ＳＰＭ）１１４にトップ・クランプ１１４ｂによって固定される。ＳＰＭ１１４はベース１１０ａに固定されている。ＳＰＭ１１４は、所定の回転速度で磁気ディスク１１１を回転駆動する。
【００３３】
ヘッド１１６は、図示せぬホストとの間で入出力されるデータについて、磁気ディスク１１１への書き込み及び読み出しを行う。ヘッド１１６は、磁気ディスク１１１への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換するライト素子部、磁気ディスク１１１からの磁界を電気信号に変換するリード素子部を備えている。ヘッド１１６は、スライダの面上に配置されている。
【００３４】
アクチュエータ１１７はヘッド１１６を支持する。アクチュエータ１１７は、回動軸１１８に回動自在に保持されており、アクチュエータ・アーム１１９とＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）１１５とを備えている。ＶＣＭ１１５は、フラットコイルに流される駆動電流に応じて、回動軸１１８を中心としてアクチュエータ・アーム１１９を回動し、磁気ディスク１１１の上にヘッド１１６を移動する、もしくは、磁気ディスク１１１の外側へヘッド１１６を移動することができる。
【００３５】
このＨＤＤ１００はロード・アンロード型と称されるＨＤＤである。磁気ディスク１１１の回転が停止するときには、アクチュエータ１１７はヘッド１１６をデータ領域からランプ１３１に退避させる。ランプ１３１への退避時（オフロード）において、アクチュエータ・アーム１１９の先端部に形成されたタブ１３２がランプ１３１上を摺動し、所定位置で停止する。尚、ＣＳＳ方式（Contact Start and Stop）のＨＤＤにおいては、磁気ディスク１１１内周側に形成されているＣＳＳゾーンにヘッド１１６が退避する。
【００３６】
なお、図１に示すＨＤＤ１００は、一枚の磁気ディスク１１１を備えるが、２枚以上の磁気ディスクを備えたものとしてもよいことは勿論である。複数枚の磁気ディスクを両面記憶する場合には、ハブ１１４ａによってＳＰＭ１１４の回転軸方向に所定の間隔で複数枚の磁気ディスクを一体的に保持する。それぞれ各記憶面を走査するヘッドを保持するアクチュエータ・アームを記憶面の数だけ用意し、アクチュエータ・アーム１１９と所定の間隔をおいて重なる位置でアクチュエータ１１７に固定すればよい。
【００３７】
このＨＤＤ１００は、図２に示すように、上述したようにベース１１０ａとトップ・カバー１１０ｂとからなるディスク・エンクロージャ１１０内に、磁気ディスク１１１、ヘッド１１６の一例であるヘッド素子部１１２、アーム電子回路（アームエレクトロニクス：ＡＥ）１１３、ＳＰＭ１１４、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）１１５を備えている。また、ＨＤＤ１００は、筺体１１０の外側に固定された回路基板１２０を備えている。回路基板１２０上には、モータ・ドライバ・ユニット１２２と、ＡＥ１１３との間及び外部ホストとの間で信号のやりとりをする信号を処理する信号処理回路１２１とが形成されている。信号処理回路１２１は、リード・ライト・チャネル（Ｒ／Ｗチャネル）１２３、ハード・ディスク・コントローラ（ＨＤＣ）／ＭＰＵ集積回路（以下ＨＤＣ／ＭＰＵ）１２４、及びメモリの一例としてのＲＡＭ１２５とを備え、Ｒ/Ｗチャネル１２３、ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４は、ＲＡＭ１２５と共に１つのパッケージで構成される。
【００３８】
外部ホストからの書き込みデータは、ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４によって受信され、Ｒ／Ｗチャネル１２３、ＡＥ１１３を介して、ヘッド素子部１１２によって磁気ディスク１１１に書き込まれる。また、磁気ディスク１１１に記憶されているデータは、ヘッド素子部１１２によって読み出され、読み出しデータは、ＡＥ１１３、Ｒ／Ｗチャネル１２３を介して、ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４から外部ホストに出力される。
【００３９】
次に、ＨＤＤの各構成要素について説明する。磁気ディスク１１１は、ＳＰＭ１１４の回転軸に固定されている。ＳＰＭ１１４は、モータ・ドライバ１２２によって駆動され、ＳＰＭ１１４は所定の速度で磁気ディスク１１１を回転する。磁気ディスク１１１は、データを記録する記録面を両面に備え、各記録面に対応するヘッド素子部１１２が設けられている。各ヘッド素子部１１２は図示せぬスライダに固定され、スライダは、図１に示すアクチュエータ・アーム１１９に固定されている。アクチュエータ・アーム１１９はＶＣＭ１１５に固定され、ＶＣＭ１１５は、揺動することによってスライダ及びヘッド素子部１１２を移動する。
【００４０】
磁気ディスク１１１からのデータの読み取り／書き込みのため、アクチュエータ・アーム１１９は回転している磁気ディスク１１１表面のデータ領域上にヘッド素子部１１２を移動する。アクチュエータ・アーム１１９が揺動することによって、ヘッド素子部１１２が磁気ディスク１１１の表面の半径方向に沿って移動する。これによって、ヘッド素子部１１２が所望の領域にアクセスすることができる。
【００４１】
ヘッド素子部１１２において、典型的には、磁気ディスク１１１への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録ヘッド（ライトヘッド）、及び磁気ディスク１１１からの磁界を電気信号に変換する再生ヘッド（リードヘッド）が一体的に形成されている。具体的には、近時の高記録密度化に伴い、例えば、磁気抵抗効果（Magneto Resistive：ＭＲ）を利用したＭＲヘッド、巨大磁気抵抗効果（Giant Magneto Resistive：ＧＭＲ）を利用したＧＭＲヘッド、媒体との接触によるサーマル・アスベリティ（thermal Asperity：ＴＡ）の抑制に優れた効果を示すヘッド構成として、２枚のＭＲ素子で構成するＤＳＭＲ（Dual Stripe Magneto Resistive）ヘッド等を再生ヘッドとし、薄膜ヘッドで記録を行うＭＲ再生／薄膜記録複合ヘッド（ＭＲヘッド）が使用される。
【００４２】
そして、磁気ディスク１１１に対向するスライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスク１１１との間の空気の粘性による圧力が、アクチュエータ・アーム１１９によって磁気ディスク方向に加えられる力とバランスすることによって、ヘッド素子部１１２は磁気ディスク１１１上を一定のギャップを置いて浮上する。
【００４３】
また、ＡＥ１１３は、複数のヘッド素子部１１２の中からデータ・アクセスが行われる１つのヘッド素子部１１２を選択し、選択されたヘッド素子部１１２により再生される再生信号を一定のゲインで増幅（プリアンプ）し、Ｒ／Ｗチャネル１２３に送る。また、Ｒ／Ｗチャネル１２３からの記録信号を選択されたヘッド素子部１１２に送る。
【００４４】
Ｒ／Ｗチャネル１２３は、ホストから取得したデータについて、ライト処理を実行する。ライト処理において、Ｒ／Ｗチャネル１２３はＨＤＣ／ＭＰＵ１２４から供給されたライト・データをコード変調し、さらにコード変調されたライト・データをライト信号（電流）に変換してＡＥ１１３に供給する。また、ホストにデータを供給する際にはリード処理を行う。
【００４５】
リード処理において、Ｒ／Ｗチャネル１２３はＡＥ１１３から供給されたリード信号を一定の振幅となるように増幅し、取得したリード信号からデータを抽出し、デコード処理を行う。読み出されるデータは、ユーザ・データとサーボ・データを含む。デコード処理されたリード・データは、ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４に供給される。また、サーボ・データを磁気ディスク１１１に記録した後、トラック幅が異常か否か（トラックピッチバランスの良否）を検査する際にＲ／Ｗチャネル１２３によるリード信号を使用する。
【００４６】
ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４は、ＭＰＵとＨＤＣが一つのチップに集積された回路である。ＭＰＵは、ＲＡＭ１２５にロードされたマイクロ・コードに従って動作し、バースト・データから位置誤差信号を生成してヘッド素子部１１２のポジショニング制御を行ったり、インターフェース制御及びディフェクト管理などを行ったりするＨＤＤ１００の全体の制御のほか、データ処理に関する必要な処理を実行する。ＨＤＤ１００の起動に伴い、ＲＡＭ１２５には、ＭＰＵ上で動作するマイクロ・コードの他、制御及びデータ処理に必要とされるデータが磁気ディスク１１１あるいはＲＯＭ（不図示）からロードされる。
【００４７】
また、本実施の形態におけるＨＤＤ１００は、装置自身がサーボ・データを記録するセルフ・サーボ・トラック・ライト（ＳＳＴＷ）を実行し、更にＳＳＴＷにより記録されたサーボ・データが所定の精度で記録されているか否かを検査する。この検査処理では、磁気ディスク１１１に記録されたサーボ・データに含まれるバースト・パターン（Servo Burst）により決定されるトラック幅が局所的に広かくなっていないか否か及び狭くなっていないか否かを検証し、これら正常ではないトラック幅となっているトラック（欠陥トラック）を検出し、これを磁気ディスク１１１上の所定の領域に記録される欠陥テーブルに登録する。ＨＤＤ１００は、データ記録時には、欠陥テーブルを参照し、登録されている欠陥トラックにはデータを記録しないよう制御される。
【００４８】
なお、この欠陥トラック検出の検査処理をＨＤＤ１００自身で実行する場合には、検査処理を開始するフラグを磁気ディスク１１１上にセットしておき、電源がオンされると検査処理用プログラム（Self Test Code）が磁気ディスク１１１から読み出され、ＡＥ１１３、Ｒ／Ｗチャネル１２３、ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４を介して、ＲＡＭ１２５上に読み込まれ、検査処理のプログラムが実行されるようにしておくことができる。
【００４９】
また、ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４は、ホストとの間のインターフェース機能を備えており、ホストから伝送されたユーザ・データ及びリード・コマンドやライト・コマンドといったコマンドなどを受信する。受信したユーザ・データは、Ｒ／Ｗチャネル１２３に転送される。また、Ｒ／Ｗチャネル１２３から取得した磁気ディスク１１１からの読み出しデータをホストに伝送する。ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４は、さらに、ホストから取得した、あるいは、磁気ディスク１１１から読み出したユーザ・データについて、誤り訂正（ＥＣＣ）のための処理を実行する。
【００５０】
Ｒ／Ｗチャネル１２３によって読み出されるデータは、ユーザ・データの他に、サーボ・データを含んでいる。ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４は、サーボ・データを使用したヘッド素子部１１２の位置決め制御を行う。ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４からの制御データはモータ・ドライバ・ユニット１２２に出力される。モータ・ドライバ・ユニット１２２は制御信号に応じて駆動電流をＶＣＭ１１５に供給する。また、ＨＤＣ／ＭＰＵ１２４は、サーボ・データを使用して、データのリード／ライト処理の制御を行う。
【００５１】
図３を参照して、磁気ディスク１１１上の記録データについて説明する。図３は、磁気ディスク１１１の記録面の記録データの状態を模式的に示している。図３に示すように、磁気ディスク１１１の記録面には、磁気ディスク１１１の中心から半径方向に放射状に延び、所定の角度毎に複数のサーボ領域３０１が形成され、隣り合う２つのサーボ領域３０１の間にデータ領域３０２が形成されている。サーボ領域３０１及びデータ領域３０２は、所定の角度で交互に設けられている。各サーボ領域３０１には、ヘッド素子部１１２の位置決め制御を行うためのサーボ・データが記録される。各データ領域３０２には、ユーザ・データが記録される。
【００５２】
また、磁気ディスク１１１の記録面には、半径方向の所定幅を有し、同心円状に形成された複数本のトラック３０３が形成される。サーボ・データ及びユーザ・データは、トラック３０３に沿って記録される。サーボ領域３０１間の一のトラック３０３は、複数のデータ・セクタ（ユーザ・データの記録単位）を備えている。また、トラック３０３は、磁気ディスク１１１の半径方向の位置に従って、複数のゾーンにグループ化されている。一のトラック３０３に含まれるセクタ３０４の数は、ゾーンのそれぞれに設定される。図３においては、３つのゾーンが例示されている。ゾーン毎に記録周波数を変更することで、記録密度を向上することができる。
【００５３】
次に、磁気ディスク１１１のサーボ領域に記録されるサーボ・データについて説明する。データ記録用磁気ヘッドの記録メディアである磁気ディスク１１１上には、同心円状トラックにフォローイングするためにサーボ・データが書かれている。サーボ・データは、トラック上に複数個所書かれており、図４（ａ）に示すように、データの同期を取るためのSyncデータが記録されるSync部Ｄ１、サーボ・データの開始を示すサーボマークが記録されるＳＴＭ（Servo track mark）部Ｄ２、何番目のトラックであるかなどの位置情報を有するトラックＩＤ部Ｄ３、細かい位置制御をするためのバースト・パターンが記録されるＢｕｒｓｔ部Ｄ４などの周知の領域からなる。Sync部Ｄ１は、サーボ・データを読み出す前に信号アンプの増幅率を調整して振幅を一定にするサーボＡＧＣ（Automatic Gain Control）を含む。
【００５４】
Ｂｕｒｓｔ部Ｄ４に記録されるバースト・パターンは、例えば図４（ｂ）に示すように、バーストＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの４種類のバースト・パターンからなり、ヘッドによりこれを再生し、その再生信号（バースト信号）から得られる振幅等の変化を数値化し、ヘッド素子部１１２のトラッキング制御（トラック・フォローイング）等に使用される。
【００５５】
ここで、図４（ｂ）に示すバースト・パターンは、トラック中心をＴｃ、トラック境界をＴｂ、トラック幅をＴｗとしたとき、バーストＡ、Ｂは、それぞれトラック中心Ｔｃから隣接する一方のトラック中心Ｔｃ、他方のトラック中心Ｔｃにかけて交互に一定周期で記録された信号となっており、一のトラックの一方のトラック境界Ｔｂ上、他方のトラック境界Ｔｂ上にそれぞれ記録される。また、バーストＣ、バーストＤは、１つのトラック内に一定周期で記録された信号であり、いずれか一方が奇数トラック、他方が偶数トラックに記録される。そして、これらバーストＡ〜Ｄは、トラックが延びる方向にそれぞれ１０周期程度繰り返して記録される。リードヘッド３００ａは、例えばバーストＡとバーストＢの再生信号の振幅がバランスする位置をトラック中心Ｔｃとしてこの位置に制御される。ヘッドの位置ずれは、例えばバーストＡ、Ｂの再生信号から得られる振幅又は波形の絶対値の積分値の和、差等に応じて生成された誤差信号により行うことができる。
【００５６】
このバースト・パターンの記録方法としては、以下に示す２種類の記録方式がある。すなわち、１つのバースト・パターンを２回の記録によりトリミングしながら重ね書きする方式と、１つのバースト・パターンを１回の記録で行う重ね書きなし（トリミングなし）の方式である。１つのバースト・パターンを２回の記録により記録すると、１つのバースト・パターンに書きつなぎ部分ができるため、この重ね書き方式によるバースト・パターンの記録方式を本明細書においてはシームド方式といい、シームド方式により記録されたサーボ・パターンをシームド・サーボ・パターンという。また、トリミングなしで１度の記録によりバースト・ターンを記録すると、バースト・パターンに書きつなぎ部分ができない。本明細書においては、このトリミングなしによるバースト・パターンの記録方式をシームレス方式といい、シームレス方式により記録されたサーボ・パターンをシームレス・サーボ・パターンということする。シームレス・サーボ・パターンは、同一の記録ヘッドで記録されるため、それ自体の幅は一定である。そして、通常、記録ヘッドの幅よりトラック幅の方が広いため、半径方向で隣接するシームレス・サーボ・パターン間にはギャップが形成されることになる。
【００５７】
そして、本実施の形態におけるＨＤＤ１００は、サーボライタによって磁気ディスク１１１にサーボ・データを記録するのではなく、いわゆるセルフ・サーボ・ライト方式により、ＨＤＤ１００自身がサーボ・データを記録するものである。一の磁気ディスクの記録面当たりのトラックの数（トラック密度）が増大すると、サーボライタ精度及び書込時間は比例的に増大するため、サーボライタを使用したサーボ・トラック・ライト（ＳＴＷ）であると、多数の製造サイクルにわたって所望の書込精度を有する高価なサーボライタをクリーンルームに設置する等する必要があるが、セルフ・サーボ・トラック・ライト（ＳＳＴＷ又はＳＳＷ）により、ＨＤＤの生産性を向上し、製造の容易化等を図ることができる。
【００５８】
なお、ＳＳＴＷにおいて、シームレス方式であっても、シームド方式であっても、理想的にはトラック幅が一定の幅又は一定の範囲内の幅になるようサーボ・データが記録されるが、外乱又は振動等によりトラック幅が局所的に広くなったり狭くなったりする場合がある。この場合、シームド・サーボ・パターンは、サーボ・パターン自体の磁気ディスクの半径方向の幅が異なってしまうことでトラック幅が変化するのに対し、シームレス・サーボ・パターンは、上述のように同一の記録ヘッドにて１回の記録によりサーボ・パターンが記録されるため、サーボ・データ自体の幅は変化せず、その代わり、隣接するサーボ・パターンとの間の磁気ディスク半径方向のギャップの大きさが変化する。上述のサーボ・データの検査工程においては、実際にデータを書き込み正常に読み出せるか否かを検査したり、例えばシームド・サーボ・パターンにおいてはサーボ・パターンの幅を測定したり、シームレス・サーボ・パターンにおいてはギャップの大きさを測定したりすることで、トラック幅が正常か否かを検査することができる。
【００５９】
次に、本実施の形態におけるＨＤＤ１００の製造方法について説明する。本実施の形態におけるＨＤＤ１００の製造方法においては、ＨＤＤ１００は、通常の組み立て工程の後、セルフ・サーボ・トラック・ライトＳＳＴＷによりサーボ・データを記録し、所定の検査工程を経て製造される。このＳＳＴＷにおいて、従来は空気中で行われていたのに対し、本実施の形態においては、空気より密度が小さい気体（低密度ガス）中で行うことで、サーボ・データの書き込み精度を飛躍的に向上させるものである。
【００６０】
ヘッドを位置決め制御するためには、サーボ・データをヘッドで再生し、この再生信号に基づき最も近いトラックのセンタラインからヘッドがどれだけ離れているかの位置誤差を示す信号ＰＥＳ（Position Error Signal：位置誤差信号）を生成し、これに基づきアクチュエータを制御することで行われる。
【００６１】
記録密度の増加によるトラックの高密度化等に伴い、所望のトラックのセンタライン上にヘッドを高精度で維持し続けることが困難になる。ヘッドの位置決め精度が悪化する要因の１つとしてヘッドとディスク媒体との間の相対的な振れを示す所謂ディスクランアウト（Disk Runout）が知られている。このディスクランアウトには、ディスクを回転駆動するスピンドル・モータの回転に同期して繰返し現れる反復性ランアウト（Repeatable Runout：ＲＲＯ）（１次ランアウト）と、当該回転に同期しない非反復性ランアウト（Non-Repeatable Runout：ＮＲＲＯ）とがあり、いずれによってもトラック・フォローの最中にヘッドがトラックのセンタラインからずれてしまい、それによって位置誤差信号ＰＥＳを大きくしてしまう原因となる。
【００６２】
このようなランアウト誤差は、近時のディスクの回転速度の高速化に伴うディスクを含む回転部材の空気抵抗（風損）の増大によって、益々増大し、例えば、ユーザ・データをトラックに書き込む際又は読み出す際にトラックに追従するために、位置誤差信号ＰＥＳからディスク等の回転による風損等による影響を軽減するような処理等が行われる。ただし、このような処理をするためにＨＤＣ／ＭＰＵ１２４等でサーボ・データに基づき補正信号を生成し、これに基づきＶＣＭ１１５等を制御する必要があり、処理が煩雑となる。
【００６３】
そこで、本願発明者等が鋭意実験研究した結果、ヘッドの位置決め精度は、製造段階においてサーボ・データを記録する際の記録精度によっても向上させることができることに鑑み、ＳＳＴＷを、ＨＤＡ内部の気体を空気より密度が小さい気体に置換してから実行することで、問題のランナウト成分を極めて効果的に除去することができることを知見した。
【００６４】
すなわち、本実施の形態におけるＨＤＤ１００は、ＨＤＤ１００の組み立て後、セルフ・サーボ・トラック・ライトＳＳＴＷによりサーボ・データを記録する際に、ＨＤＤ１００のＨＤＡ内部の空気を、空気よりも軽いＨｅ等の気体（低密度ガス）で置換する。そして、低密度ガス中にてＳＳＴＷによりサーボ・データを記録し、再びＨＤＡ内部の雰囲気を空気に戻す。これにより、記録されたサーボ・データは、１乃至２ｋＨｚ近傍の位置誤差信号におけるランアウト成分が著しく低く抑えられた特長的なサーボ・データを有するものとなる。
【００６５】
ここで、ＳＳＴＷの際のＨＤＡ内部の雰囲気は、空気より密度（比重）が小さい低密度ガスとするが、この低密度ガスとしては、Ｈｅ、Ｎｅ等の不活性ガス又はＨ２等の極めて密度が小さいガスの単体又は、これら又は空気との混合気体を使用することが好ましい。特に、Ｈｅは、扱いやすく、かつ密度が空気の１／１０程度であり、例えばＨＤＡ内の雰囲気をヘリウムに置換すれば風損による影響を１／１０程度に低減することができ、極めて簡単に高精度にサーボ・データを記録することが可能となる。また、水素は極めて軽い気体であり、気体の抵抗を著しく低減し、更に大きなフラッタ低減効果を得ることができる。したがって、低密度ガスとしては、ヘリウム若しくは水素の単体、又は少なくともヘリウム若しくは水素のいずれかを含む２成分若しくは３成分の混合ガスなどを使用することが好ましい。
【００６６】
図５は、本実施の形態におけるＨＤＤの製造方法を示すフローチャートである。図５に示すように、まず、ディスク・エンクロージャ１１０を構成するベース１１０ａ及びトップ・カバー１１０ｂを用意し、ベース１１０ａ内に磁気ディスク１１１及びこれを駆動するＳＰＭ１１４、ＶＣＭ１１５等の各アセンブリを収納し、トップ・カバー１１０ｂを取り付けて、ＨＤＤ１００の各アセンブリを密閉すべく組み立てる（ステップＳ１）。
【００６７】
次に、ＨＤＡは内部が高度な清浄度が保たれることが要求されるため、内部の清浄度を測定するパーティクルテストを行い、清浄度が規定値を満たすか否かをテストする（ステップＳ２）。ＨＤＤ１００の例えばベース１１０ａには、このパーティクルテストを行うための直径数ミリ程度のテスト口が設けられている。テスト後、所定の規定値を満たしている場合には、上記テスト口をシール・テープにてシールし（ステップＳ３）、その後、ＨＤＡにリークがあるか否かがテストされる（ステップＳ４）。ここでリークがある場合は、テスト口のシーリングをやり直す。なお、ステップＳ２においてパーティクルテストの結果、内部の清浄度が規定値内でない場合、またステップＳ３において１又は複数回シーリングをやり直してもリークが生じる場合は、ステップＳ１に戻って例えばベース等を取り替えるなど組み立て工程をやり直す。
【００６８】
この後、セルフ・サーボ・トラック・ライトＳＳＴＷを実行する。まず、ＳＳＴＷに先立ち、ＨＤＡ内の空気をＨｅに置換する（ステップＳ５）。この置換では、ＨＤＡ内の空気を排出しながら、同時にＨｅを注入する。このように、ＨＤＡ内の圧力を一定に保つのは、近時のＨＤＤは軽量化等のためディスク・エンクロージャが薄い金属板等からなり、低圧にすると変形する恐れがあるためである。したがって、ＨＤＡ内を空気からＨｅに置換する場合、及び後述するように、サーボ・ライト後、Ｈｅを排出しＨＤＡ内の雰囲気を空気に戻す場合、置換するために注入する気体の流量を大きくしすぎると内部の圧力が高くなり、また置換気体の流量を小さくしすぎると置換に長時間かかるため、これらを考慮して適当な流量を設定する。また、ＨＤＡ内がＨｅに置換されたか否かは、例えば予め確実に置換可能な時間を実験により求めるなどしておけばよい。なお、ＨＤＡが低圧でも耐えうる構造であれば、例えば内部を真空にしてＨｅを注入したり、一旦窒素等でパージしてからＨｅに置換するようにしてもよい。
【００６９】
Ｈｅを注入する場合は、例えば中心側の内周部と外縁側の外周部との２重構造のチューブを用意し、ディスク・エンクロージャ１１０に通気口を設け、チューブと通気口とを接続し、例えば内周部からＨｅを注入し、外周部から空気を排出させるようにすることができる。
【００７０】
また、他の方法としては以下のようなものがある。図６は、ＨＤＡ内の雰囲気を空気からＨｅに置換する様子を示す図であって、ベースとトップ・カバーとからなるディスク・エンクロージャ１１０に設けられたパーティクルテスト口１４１にＨｅ注入用のチューブ２０１を接続した例を示している。図６に示すように、チューブ２０１の径をパーティクルテスト用のテスト口１４１の径より小さいものとし、チューブ２０１とテスト口１４１との間に隙間を設け、チューブ２０１からＨｅを注入すると共に当該隙間から空気Ａｉｒを排出させればよい。
【００７１】
また、図６では、テスト口１４１をＨｅ注入口及び空気排出口として併用する例を示すが、テスト口１４１ではなく、Ｈｅ注入口及び空気排出口を個別に設けたり、テスト口１４１を気体の注入口とし、更に気体の排出口を設けたりした構成としてもよいことは勿論である。図７は、テスト口１４１とは別に、通気口１４２を設けた例を示す模式図である。図７に示すように、トップ・カバー側に設けられた通気口１４２をＨｅ注入用とし、テスト口１４１を空気排出口とする。このように、Ｈｅの注入口をディスク・エンクロージャ１１０の上側、すなわちトップ・カバー側に設けることで、空気より密度が小さいＨｅの注入又はＨｅの排出が容易となる。また、同様の理由から、後述するように、Ｈｅを排出して空気に置換する場合には、ベース側のテスト口を空気の注入口とし、トップ・カバー側の通気口１４２をＨｅ排出口とすることができる。
【００７２】
更に、Ｈｅの通気口と空気の通気口を個別に設ける場合は、その位置をディスク・エンクロージャにおいて２つの通気口が対角位置となるように設けることが好ましい。例えば対角線上の一端側であってトップ・カバー側と他端側であってベース側とに設けることができる。各通気口の間に距離を設けかつ対角に設けることで気体の置換処理を確実なものとすることができる。
【００７３】
図５に戻って、Ｈｅを注入した後、Ｈｅ注入口をシーリングする（ステップＳ６）。なお、ステップＳ４におけるテスト口１４１のリークテストと同様、リークがないことを確かめた後、セルフ・サーボ・ライトを実行する（ステップＳ７）。このセルフ・サーボ・ライトは通常の方法と同様であり、ＨＤＤ１００自身が半トラックピッチずつヘッドを移動させてサーボ・データを記録していく。記録するサーボ・データは、上述のように、シームド・サーボ・パターンであっても、シームレス・サーボ・パターンであってもよい。なお、ここで、ヘッドの記録が不能などの理由でセルフ・サーボ・ライトに失敗した場合（ステップＳ８：Ｙｅｓ）は、ステップＳ１の組み立て工程に戻る。
【００７４】
サーボ・データの記録が終わった後は、上述のＨｅ注入口から空気を注入しつつＨｅを排出させ、ＨＤＡ内の環境を空気に戻す（ステップＳ９）。図６に示す注入用のチューブ２０１を使用する場合は、ステップＳ５のＨｅの代わりに空気を注入し、内部のＨｅを排出させる。また、図７に示すように通気口を２つ設けた場合は、チューブ２１１から空気を注入し、チューブ２１２からＨｅを排出するようにすればよい。この際、ＨＤＡ内から排出されたＨｅを回収装置にて回収し、リサイクルするようにしてもよい。なお、通気口をオープンにし、そのまま放置することでＨＤＡ内部を空気に置換するようにしてもよい。
【００７５】
その後、注入口として使用したテスト口１４１をシール・テープによりシールし（ステップＳ１０）、リークがあるか否かを確認する（ステップＳ１１）。リークがない場合には検査工程に進む（ステップＳ１２）。検査工程では、封入したＨｅは完全に取り除かれ、Ｈｅ封入前と全く同じ状態にて行われる。すなわち、以降の工程では、本実施の形態における方法を使用しない従来の場合と全く同じ工程となる。検査工程では、例えばサーボ・データが正確に記録されているか否か、すなわちトラックピッチバランスの良否等をチェックし、トラックピッチバランスが悪いトラックをシリンダ単位又はトラック単位で磁気ディスク１１１の所定領域に記録される欠陥テーブルに欠陥シリンダ又は欠陥トラックなどとして登録するなどの処理が行われる。所定の基準を満たす場合には製品として出荷される。ＨＤＤ１００は、ユーザ・データを記録する際には、この欠陥テーブルを参照し、欠陥シリンダ以外の領域にデータを記録するよう構成されている。
【００７６】
本実施の形態においては、ＳＳＴＷによりサーボ・データを記録するため、外部の位置決め装置や外部クロックを必要とせず、ＨＤＡを密閉した状態でＳＴＷが可能である。よって、ＨＤＡ内をＨｅに置換してＳＴＷを行うことができ、風乱の影響を極力与えないようにし、特に、位置誤差信号において１〜２ｋＨｚ近傍に発生するランアウト成分を劇的に低減することができ、よってヘッドの位置決め精度を飛躍的に向上させることができる。
【００７７】
また、Ｈｅに置換するのは、ＳＴＷ工程の例えば数時間程度であり、その間のみＨＤＡ内の密閉状態を維持できればよいので、特別な構成を必要とせず、極めて簡単に実行することができる。
【００７８】
更に、ＳＴＷ工程後は、Ｈｅを封入したままにするのではなく、Ｈｅを完全に排出することで、ユーザのＨＤＤの使用に際してもＨＤＡ内のガス漏れ等の心配がなく、よってガス漏れによる製品性能の劣化などの不具合が生じることがない。
【００７９】
次に本発明の効果について説明する。先ず、本発明の適用により除去又は低減することができるランアウト成分について説明する。ランアウトには、上述したように、繰り返し生じるＲＲＯ成分と、回転に同期しない非繰り返しのＮＲＲＯと呼ばれるものがある。ここで、ＲＲＯには、スピンドル・モータの回転に同期した機械的振動と、回転非同期の機械的振動とが存在する。回転に同期した機械的振動も、回転非同期の機械的振動もＳＴＷ工程時にサーボ・パターンとして書き込まれた後は製品がトラック・フォローイングする際には両者とも回転に同期したＲＲＯとして観測されることになる。本明細書においては後者のＲＲＯを前者の一般的なＲＲＯと区別するためフローズンＮＲＲＯということとする。
【００８０】
図８はスピンドル・モータの回転に同期したＲＲＯ、図９はフローズンＮＲＲＯを説明するための模式図である。図８及び図９において、横軸はセクタ数、縦軸は隣り合った２本の記録トラックのトラック中心位置でのＰＥＳを示す。フローズンＮＲＲＯとは、通常、ＮＲＲＯと呼ばれる回転非同期の振動がＳＳＴＷ中に書き込まれ、これを読み出した際に必ずその振動成分が読み出されてしまうもので、書き込まれたＮＲＲＯとも呼ばれる。図８に示すように、スピンドル・モータの回転に同期したＲＲＯは、各トラックにて回転周波数に現れるもので、隣り合うトラック間で位相が一致しているため、隣り合うトラック間でトラックピッチが変動しない。
【００８１】
これに対し、図９に示すように、フローズンＮＲＲＯは、各トラック間で非同期なランアウトであり、隣り合うトラック間で位相が一致していないため、トラックピッチが変動する。これにより、局所的なトラックピッチバランスの悪化を引き起こす。したがって、このフローズンＮＲＲＯの低減がヘッドの位置決め精度の向上に極めて重要である。
【００８２】
フローズンＮＲＲＯは、上述したように、通常ＮＲＲＯと呼ばれる回転非同期の成分がＳＴＷの最中に書き込まれることで生じるものであり、これが、サーボ・データを再生した際には必ずその振動成分が読み出されてＲＲＯとして観測されることになる。よって、記録時、すなわちＳＳＴＷにおけるＮＲＲＯを除去する必要がある。ＮＲＲＯが発生する一の原因としては、ハード・ディスクが高速回転することによって誘起される空気流がヘッドスライダ及びアームに当ることが挙げられるが、本実施の形態においては、空気中ではなく、空気に比して気体密度が小さいＨｅ中などでＳＳＴＷを実行するため、ハード・ディスクが高速回転することによって誘起される気体流による影響を小さくし、よって書き込みの際のＮＲＲＯを小さく抑えることができる。この結果としてフローズンＮＲＲＯ成分が空気中にてＳＳＴＷしたものに比して劇的に低減される。
【００８３】
次に、従来と同様の方法により実際にセルフ・サーボ・トラック・ライト（ＳＳＴＷ）によりサーボ・データを記録した磁気ディスク、すなわちＨＤＡ内を空気のままとしてＳＳＴＷを実行した磁気ディスクのバースト・データの再生結果と、本発明を適用してＨＤＡ内をＨｅに置換してから実際にＳＳＴＷにより実際にサーボ・データを記録した磁気ディスクのバースト・データの再生結果とを比較して本発明の効果について説明する。
【００８４】
２．５インチのＨＤＤを、従来と同様の方法によって記録したサーボ・データと、本発明を適用したサーボ・データのＲＲＯ、ＮＲＲＯを測定した。図１０は実験手順を示すフローチャートである。まず、図５に示すステップＳ４が終了したＨＤＤを用意し、図１０に示すように、通常と同様、セルフ・サーボ・トラック・ライトＳＳＴＷによりサーボ・トラック・ライトＳＴＷを実行した。このＳＴＷは、ＨＤＡ内の環境を空気のままとして行う従来のＳＳＴＷである。その後、このサーボ・データのＰＥＳ  ＦＦＴ測定を行った（ステップＳ２２）。以下、この測定結果を比較例（ＦＦＴ１）という。ＰＥＳ  ＦＦＴ測定では、１０２４個の連続したセクタのＰＥＳ情報を取得し、これを１００回繰り返して測定した。
【００８５】
ここで、トラックの中心を、バーストＡの振幅とバーストＢの振幅とがバランスする位置とする。また、本実施例においては、バーストＡ、バーストＢの振幅をＡ、Ｂとし、ＰＥＳ＝Ａ／（Ａ＋Ｂ）（フルスケール＝２５５）として算出した。なお、ＰＥＳ＝Ｂ／（Ａ＋Ｂ）としてもよい。
【００８６】
次に、ＨＤＡ内をＨｅに置換し（ステップＳ２３）、再びステップＳ２２と同様、ＰＥＳ  ＦＦＴ測定を行った（ステップＳ２４）。以下、この測定結果を参照例（ＦＦＴ２）という。その後、Ｈｅ中で再びＳＳＴＷによりＳＴＷを行った（ステップＳ２５）。このＳＴＷは、ＨＤＡ内をＨｅで置換した状態で行う本実施例である。そして、再びステップＳ２２と同様、ＰＥＳ  ＦＦＴ測定を行った（ステップＳ２６）。以下、この測定結果を参照例（ＦＦＴ３）という。その後、ＨＤＡ内を空気に置換し（ステップＳ２７）、ＰＥＳ  ＦＦＴを測定した（ステップＳ２８）。以下、この測定結果を実施例（ＦＦＴ４）という。
【００８７】
以上の測定で得られたＦＦＴ１〜ＦＦＴ４の測定結果に基づき本発明の効果について詳細に説明する。上述の如く、ＦＦＴ１（比較例）は、従来どおり、空気中でＳＴＷを行ってそのまま空気中でサーボ・データを再生してＰＥＳ  ＦＦＴのデータを測定したものである。また、ＦＦＴ２（参照例）は、同じく従来どおり空気中でＳＴＷを行った後、Ｈｅに置換し、Ｈｅ中でサーボ・データを再生してＰＥＳ  ＦＦＴのデータを測定したものである。また、ＦＦＴ３（参照例）は、本発明を適用し、Ｈｅ中でＳＴＷを行って、そのＨｅ中でサーボ・データを再生してＰＥＳ  ＦＦＴのデータを測定したものである。そして、ＦＦＴ４（実施例）は、本発明を適用し、Ｈｅ中でＳＴＷを行った後、空気に置換し、空気中でサーボ・データを再生してＰＥＳ  ＦＦＴのデータを測定したものである。
【００８８】
図１１乃至図２６は、磁気ディスク径が２.５インチ、回転数５４００ｒｐｍのＨＤＤにおいて測定したＦＦＴ１〜ＦＦＴ４に基づき以下の方法にてＲＲＯ、ＮＲＲＯを求めた結果を示す図であって、それぞれ、１番目のヘッド（Head0）乃至４番目のヘッド（Head3）における結果を示すグラフ図である。本実施例におけるＲＲＯ、ＮＲＲＯは以下のようにして求めた。すなわち、ＲＲＯは、先ず、上述したＰＥＳ  ＦＦＴ測定において、連続する１０２４セクタからＰＥＳデータを取得する。そして、これを高速フーリエ変換（Fast Fourier Transform：ＦＦＴ）する処理を同一トラックに対して１００回繰り返し、これら１００回分の測定データを平均した。また、ＮＲＲＯは、ＦＦＴ後の１００セット分のピーク値から上記平均値（ＲＲＯ）を引いた値を示す。なお、測定に使用したサーボ・パターンは、シームド・サーボ・パターンであり、上述のＰＥＳ  ＦＦＴ測定は、磁気ディスクの外周側において製品カードを使用して測定した結果である。
【００８９】
図１１乃至図２６において、横軸は、ＰＥＳの時間軸をＦＦＴにより変換した周波数軸を示し、縦軸はＰＥＳ（Ａ／（Ａ＋Ｂ）ｏｒＢ／（Ａ＋Ｂ））の大きさを示す。また、それぞれ上図及び下図はそれぞれ上述のようにして算出したＲＲＯ、ＮＲＲＯを示す。図１１乃至図１４は、１番目のヘッド（Head0）におけるそれぞれＦＦＴ１〜ＦＦＴ４を示し、図１５乃至図１８は、２番目のヘッド（Head1）におけるそれぞれＦＦＴ１〜ＦＦＴ４を示し、図１９乃至図２２は、３番目のヘッド（Head2）におけるそれぞれＦＦＴ１〜ＦＦＴ４を示し、図２３乃至図２６は、４番目のヘッド（Head3）におけるそれぞれＦＦＴ１〜ＦＦＴ４を示す。
【００９０】
図１１、図１５、図１９、図２３に示すＦＦＴ１（比較例）と、図１４、図１８、図２２、図２６に示すＦＦＴ４（実施例）とを比較すると、ＦＦＴ１においては、所定のサンプル数のサーボ・データの再生信号から取得したＰＥＳをフーリエ変換して求めた各周波数に対するＰＥＳの平均値（ＲＲＯ）と、各周波数におけるＰＥＳの最大値とＲＲＯとの差（ＮＲＲＯ）とが同程度であるのに対し、ＦＦＴ４においては、ＲＲＯがＮＲＲＯより小さくなっているのが分かる。特に、１〜２ｋＨｚ近傍におけるＲＲＯが劇的に低減していることが分かる。
【００９１】
ここで、１〜２ｋＨｚ近傍におけるＲＲＯは、主に磁気ディスクのフラッタモードとトルクノイズと呼ばれる振動によるフローズンＮＲＲＯであり、サーボ・データの書き込みの際にヘッド及びディスクが受ける空気抵抗が大きく影響する。
【００９２】
周波数が１乃至２ｋＨｚ近傍においては、このようなフラッタによる振動が顕著であり、これがＳＴＷ工程におけるトラック書き込み時のみならず、製品での再生時においても現れ、製品のサーボ系を使用しても完全にこれらのエラーを０にすることは不可能である。結果的には、フローズンＮＲＲＯに相当する書き込まれたサーボ・データによるエラー（ｅ１）と、読み出し時のＮＲＲＯによるエラー（ｅ２）の二乗和に相当するエラーが発生することになるが、本発明方法においては、Ｈｅ等の気体密度が小さいガス中でＳＴＷを実行することにより、サーボ・データの書き込みの際にヘッド及びディスクが受ける気体抵抗を大きく低減することができ、これにより、フローズンＮＲＲＯに相当する書き込まれたサーボ・データによるエラー（ｅ１）を例えば半分程度に軽減することができ、よって発生するエラーを飛躍的に低減することができる。
【００９３】
なお、図１２、図１６、図２０、図２４に示す参照例のＦＦＴ２、図１３、図１７、図２１、図２５に示す参照例のＦＦＴ３は、ＮＲＲＯが著しく低減していることがわかる。これらはいずれも、Ｈｅ中でサーボ・データを再生した結果であり、Ｈｅ中でサーボ・データを再生することで、読み出しの際にヘッド及び磁気ディスクに対する気体の抵抗が大きく低減され、これによりＮＲＲＯも大きく低減されることが分かる。すなわち、従来法により空気中でＳＴＷしたものであっても、本願を適用してＨｅ中でＳＴＷしたものであっても、ＦＦＴ２、ＦＦＴ３に示すように、いずれもＨｅ中で再生するとＮＲＲＯの値が小さくなるのに対し、従来法であっても本願を適用しても空気中で再生した場合はＮＲＲＯの値がほとんど変化しない。すなわち、ＮＲＲＯは、再生の際に受ける気体抵抗が小さいほど、すなわちＨＤＡ内の気体の比重が小さいほど小さくなる。
【００９４】
ところで、ＲＲＯとＮＲＲＯの値に関してであるが、プッシュピンを使用したり、メディア単体でＳＴＷが行われるサーボ・トラック・ライタ方式の場合は、アームをプッシュピンで固定したり、磁気ディスク自体のフラッタを抑える工夫により書込み時のフラッタを抑制することができるためＲＲＯをＮＲＲＯより小さくすることができる。一方、ＳＳＴＷを実行する場合は、ＨＤＤ１００自身によりサーボ・データを記録するため外部からアーム及び磁気ディスク自体のフラッタを抑えるような工夫を施すことが不可能であり、ＦＦＴ１に示すように、ＲＲＯがＮＲＲＯと同等、又はＲＲＯがＮＲＲＯより大きくなる。
【００９５】
これに対し、本発明を適用してＦＦＴ４においては、ＲＲＯが低減されるためＮＲＲＯより小さくなっている。なお、後述するように、ＮＲＲＯは記録雰囲気によらず、再生雰囲気による影響が大きく、ＦＦＴ１であってもＦＦＴ４であってもほぼ同じ値となる。ここで、ＦＦＴ１からＦＦＴ４において低減したＲＲＯの大部分は空気をＨｅに置換したことにより低減されたフローズンＮＲＲＯであり、ＦＦＴ４において観測されるＲＲＯの大部分がスピンドル・サーボの回転に同期した通常のＲＲＯと考えられる。特に、ＦＦＴ１における１乃至２ｋＨｚにかけての大きな盛り上りは、フラッタモードの影響によるＮＲＲＯが支配的な要因となって現れるフローズンＮＲＲＯであり、これがＦＦＴ４に示すように、Ｈｅ中でＳＳＴＷすることにより大きく低減されているのが分かる。
【００９６】
上述したように、ＲＲＯのうち、フローズンＮＲＲＯは、スピンドル・サーボの回転に同期した通常のＲＲＯと異なり、各トラック間で位相が異なるため、再生信号から除去する等の処理が困難である。また、ＳＳＴＷではなく、サーボ・トラック・ライタなどにおいては、磁気ディスク又はヘッドに対する空気抵抗を小さく安定化させたりする工夫がなされフラッタモードを生じさせないようにすることが提案されているが、フローズンＮＲＲＯの低減が充分でない。フローズンＮＲＲＯが生じると、図９に示したように、トラックピッチが局所的に狭くなったり広くなったりしてしまい、ヘッドの位置決め精度が悪化してしまう。これに対し、本発明を適用し、Ｈｅ中でサーボ・データを記録することで、フローズンＮＲＲＯの低減により、ＦＦＴ４に示すように、ＲＲＯをＦＦＴ１の１／２程度に低減することができ、トラックピッチ変動を生じさせず、位置決め精度を飛躍的に向上させることができる。
【００９７】
また、ＦＦＴ２又はＦＦＴ３に示すように、ＮＲＲＯの測定をしたＰＥＳはＨｅ中ではその値が小さく、空気中ではその値が２倍程度となる。本発明にかかる方法ではＳＴＷ工程の後、ＨＤＡ内を完全に空気に置換し元の状態に戻す。これを、Ｈｅを封入したままとすれば、ＦＦＴ２又はＦＦＴ３に示すように、ＨＤＤのサーボ・データはＮＲＲＯが小さいものとなる。このようにＨｅを封入したままとすればＮＲＲＯを低減する効果があるものの、Ｈｅを封入したままとするには、ＨＤＤにＨｅを封入したままの状態でユーザに提供する必要がある。この場合、ＨＤＤを完全に密閉しなければならず、湿度変化又は温度変化に対する対策が必要であると共に、その後のＨｅ抜けによる性能劣化が重大な欠陥となる恐れがある。更に、環境問題等の観点から封入したガスの回収を要する又は回収した方が好ましい場合がある。
【００９８】
すなわち、ＨＤＤを完全密閉にすると、装置外部の温度が下がった場合に装置内部の湿度が上昇して装置内に水滴が発生したり、装置外部の温度が上昇した場合に装置内部の圧力が大きくなって故障等の原因となる恐れがある。また、上述したように、ＳＴＷ工程後の検査工程等においては、ユーザに使用される環境にて検査が行われるため、Ｈｅを封入した状態で検査が行われることとなる。ところが、ユーザの使用中にガス漏れ等が生じた場合、検査段階とは異なる環境で使用される結果となり、例えばＦＦＴ１又はＦＦＴ４に示すように、ＮＲＲＯはその値が２倍程度になり、所望の性能が得られなくなる。これに対し、本発明は、ＳＴＷ工程の間のみＨｅを封入し、その後の工程ではＨＤＡ内の雰囲気を空気に戻すため、ユーザが使用する環境にて検査を行うことで正確な検査を行うことができると共に、ＨＤＤを密閉する必要がなく、従って湿度変化及び温度変化に対する特別な対策を必要としない。更にガス漏れ等による性能劣化等の問題が生じることがなく、必要であればＳＴＷの後、ＨＤＡ内のＨｅを空気に置換する際にＨｅを回収してリサイクルすることができる。
【００９９】
また、ＦＦＴ２又はＦＦＴ３に示すように、ＮＲＲＯの値はＨｅ中で測定するとその値が空気中に比して小さくなることを利用し、ＨＤＡ内がＨｅに置換されたか否か、及び密閉状態が保たれているか否かを検証することができる。上述したように、パーティクルテストのためのテスト口やＨＤＡ外部との気圧調節用の呼吸孔が設けられており、通常ＨＤＤは完全な密閉構造にはなっていない。これをＳＴＷ工程の数時間は密閉状態とする必要がある。言い換えれば、ＳＴＷ工程の間の数時間のみ密閉状態が保たれればよい。このため、本実施例においは、通気口として使用するテスト口と、呼吸孔とをシーリングする極めて簡易な方法でＨｅを封入するが、ＳＴＷの間、ＨｅがＨＤＡ内に封入され密閉状態が維持できているか否かをＮＲＲＯの測定値を利用して検証した。
【０１００】
ＨＤＡ内がＨｅに置換され、ＳＴＷ工程の間、Ｈｅ雰囲気が維持されていたか否かは、ＦＦＴ２又はＦＦＴ３の測定結果のＮＲＲＯの値によって判断することができる。すなわち、ＳＴＷ工程の後、ＰＥＳ  ＦＦＴ測定をした結果、ＮＲＲＯがＦＦＴ１と同程度大きければ、ＨＤＡ内はＨｅに置換されていないことを示し、ＦＦＴ２又はＦＦＴ３と同程度に小さければＨＤＡ内がＨｅに置換され、密閉状態が保たれていることが分かる。本願発明者等が、ＳＴＷ工程後のＰＥＳ  ＦＦＴの経時変化を測定した結果によれば、ＨＤＡ内のＨｅは数十時間であれば密閉状態を維持できることを知見した。すなわち、本発明のような簡易な方法であっても、ＳＴＷ工程として必要な数時間程度であれば密閉状態を維持することができる。
【０１０１】
また、ＨＤＡ内の空気がどの程度の時間でＨｅに置換できるか否かもこのＰＥＳ  ＦＦＴの測定により検証することができる。すなわち、ＨＤＡ内の気圧が一定に維持できる適当な流量のＨｅを注入し、ＨＤＡ内を置換し、その後にＰＥＳ  ＦＦＴを測定してＦＦＴ２又はＦＦＴ３と同程度にＮＲＲＯが小さくなる最短の時間を求めることで、確実にＨＤＡ内をＨｅに置換する又は空気に置換することができる時間を求めておくことができる。本願発明者等の測定では、例えば１分程度でＨＤＡ内の空気をＨｅに置換することができる。
【０１０２】
次に、３．５インチのＨＤＤについて行った測定結果について説明する。２．５インチに比してディスク径が大きい３．５インチのＨＤＤの方が、回転による風乱の影響が大きく、よって本発明を適用することでより大きな効果が得られる。また、回転数が速いほど、空気抵抗によるフラッタの影響が大きくなり、本発明の効果が顕著になる。
【０１０３】
図２７、図２８は、ディスク径が３．５インチ、回転数６３００ｒｐｍのＨＤＤの測定結果を示す図であり、いずれの図においても太線で示すデータは本発明を適用してＨｅ中にてＳＳＴＷによりＳＴＷして記録したサーボ・データの再生結果を示し、細線で示すデータは、従来通り、空気中にてＳＳＴＷによりＳＴＷして記録したサーボ・データの再生結果を示す。また、いずれのデータも、セルフ・サーボ・トラック・ライトＳＳＴＷによりシームレス・サーボ・パターンを記録した後、ＳＳＴＷのカードを使用して測定した結果を示す。
【０１０４】
図２７は、ＴＭＲ（Tunneling Magneto Resistive）ヘッドによる再生信号をＦＦＴにより周波数成分に変換し、周波数と再生信号のＰＥＳ（フルスケール＝１）の大きさとの関係を示すグラフ図である。Ｆ１〜Ｆ３は、ディスクフラッタに起因するランアウトであり、６００Ｈｚ以下で全体的に盛り上がっているノイズは、トルクノイズに起因するランナウトである。細線で示す従来の方法にて記録されたサーボ・データの測定結果（比較例）においては、太線で示す本発明を適用してＨｅ中において記録されたサーボ・データの測定結果（実施例）に比して特に低周波帯域におけるノイズ、すなわちディスクフラッタに起因するＦ１〜Ｆ３におけるノイズが顕著である。この図２７に示す測定結果は、上述したように、ＳＳＴＷのカードを使用して測定したデータであり、Ｆ１〜Ｆ３等に示すランアウト成分は、サーボ・データを書き込む際に発生しているＮＲＲＯを示す。これらのランアウト成分が太線で示す実施例においては、著しく低減されていることが分かる。
【０１０５】
また、上述したように、シームレス・サーボ・パターンは隣接するサーボ・パターン間にギャップが形成され、このギャップの大きさによりそのトラック幅の変動（Squeeze）を測定することができる。すなわち、トラック幅が変動しない場合は、ギャップが一定であり、トラック幅が変動する場合はギャップの大きさも変動する。したがって、ギャップの大きさを測定することで、トラック幅の変動を測定することができる。図２８は、その測定結果を示すもので、縦軸は、バーストＡ〜バーストＤの振幅をＡ〜Ｄとしたとき、トラック幅の変動を（Ａ＋Ｂ）／Ｃ（又は（Ａ＋Ｂ）／Ｄ）として測定し、これをＦＦＴして周波数成分に分解したものである。
【０１０６】
上述したように、シームレス・サーボ・パターンは、トラック中心をバーストＡとバーストＢとがバランスする位置としたとき、バーストＡとバーストＢとの間にギャップが形成される。ギャップが形成されるのは、記録ヘッドの幅がトラック幅より小さいためである。したがって、（Ａ＋Ｂ）／Ｃを測定すると、バーストＡとバーストＢとの間に形成されるギャップの大きさによってその値が変動し、トラック幅の変動を測定することができる。ここで、実際には、再生ヘッドの幅はバーストＣの幅より狭いため、その値は飽和して再生ヘッドの幅に応じた値となる。したがって、（Ａ＋Ｂ）／Ｃは、再生ヘッドに対するギャップの大きさを示すものとなっている。なお、縦軸は（Ａ＋Ｂ）／Ｄでもよく、また、基準となるトラックの（Ａ＋Ｂ）／Ｃが所定の値となるようゲイン調整されているものとする。
【０１０７】
図２８においても、図２７と同様、細線で示す比較例は、２ｋＨｚ以下の低周波数帯域におけるギャップの変動が大きく、フラッタモードの影響が顕著であることがわかる。このギャップの変動も図２７の場合と同様、サーボ・データを書き込む際に発生しているＮＲＲＯによるものである。これに対し、本発明を適用した太線で示す実施例は、低周波帯域においてほぼフラッタモードが除去されていることがわかる。
【０１０８】
図２９及び図３０は、図２７及び図２８に示すデータと対応する図であって、ディスク径が２．５インチ、回転数５４００ｒｐｍのＨＤＤのシームド・サーボ・パターンを測定した結果を示す。なお、ＳＳＴＷでは、製品としてのＨＤＤがヘッドの位置決めに使用するために使用する製品用のサーボ・データとは別にＳＳＴＷを行うためのバースト・パターン（SSW burst pattern）が記録され、これを再生しながら製品用のバースト・パターンが記録される。製品用のバースト・パターンが、シームレス・サーボ・パターンであっても、シームド・バースト・パターンであっても、ＳＳＴＷ独自のバースト・パターン（SSW burst pattern）はトリミングされることなく記録されるため、ＳＳＴＷ装置としては上述のトラック幅変動を示す（Ａ＋Ｂ）／Ｃに相当するデータを測定することができる。また、実施例及び比較例は、それぞれ図１１乃至図２６のＦＦＴ４及びＦＦＴ１に対応する。図１１乃至図２６の測定が製品カードを使用している、すなわち製品としてのＨＤＤが再生したサーボ・データの再生結果から得られる測定結果であったのに対し、本例ではセルフ・サーボ・トラック・ライタでの測定結果を使用している点が異なるが、ＰＥＳであっても、トラック幅変動（Squeeze）であっても１乃至２ｋＨｚにおけるノイズ成分が除去されていることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の実施の形態にかかるハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ）の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかるＨＤＤの機能ブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態にかかるＨＤＤの磁気ディスクの記録面の記録データの状態を示す模式図である。
【図４】（ａ）は、サーボ・データの一例を示す模式図、（ｂ）は、シームド方式のバーストＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを説明するための図である。
【図５】本発明の実施の形態にかかるＨＤＤの製造方法を示すフローチャートである。
【図６】ＨＤＡ内の雰囲気を空気からＨｅに置換する様子を示す図である。
【図７】ベースにテスト口とは別に、通気口を設けた例を示す模式図である。
【図８】スピンドル・モータの回転に同期したＲＲＯを説明するためのグラフ図である。
【図９】フローズンＮＲＲＯを説明するためのグラフ図である。
【図１０】本発明の実施例における実験手順を示すフローチャートである。
【図１１】ディスク径が２.５インチ、回転数５４００ｒｐｍのＨＤＤの１番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ１に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図１２】同じく、１番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ２に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図１３】同じく、１番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ３に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図１４】同じく、１番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ４に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図１５】ディスク径が２.５インチ、回転数５４００ｒｐｍのＨＤＤの２番目のヘッド（Head1）において測定したＦＦＴ１に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図１６】同じく、２番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ２に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図１７】同じく、２番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ３に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図１８】同じく、２番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ４に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図１９】ディスク径が２.５インチ、回転数５４００ｒｐｍのＨＤＤの３番目のヘッド（Head2）において測定したＦＦＴ１に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図２０】同じく、３番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ２に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図２１】同じく、３番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ３に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図２２】同じく、３番目のヘッド（Head0）において測定したＦＦＴ４に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図２３】ディスク径が２.５インチ、回転数５４００ｒｐｍのＨＤＤの４番目のヘッド（Head3）において測定したＦＦＴ１に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図２４】同じく、４番目のヘッド（Head3）において測定したＦＦＴ２に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図２５】同じく、４番目のヘッド（Head3）において測定したＦＦＴ３に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図２６】同じく、４番目のヘッド（Head3）において測定したＦＦＴ４に基づきＲＲＯ・ＮＲＲＯを求めた結果を示すグラフである。
【図２７】ディスク径が３．５インチ、回転数６３００ｒｐｍのＨＤＤにおけるＴＭＲヘッドのサーボ・データの再生信号の振幅値を示すグラフ図である。
【図２８】同じくディスク径が３．５インチ、回転数６３００ｒｐｍのＨＤＤにおけるシームレス・サーボ・パターン間の半径方向のギャップを測定した結果を示すグラフ図である。
【図２９】ディスク径が２．５インチ、回転数５４００ｒｐｍのＨＤＤにおけるＴＭＲヘッドのサーボ・データの再生信号の振幅値を示すグラフ図である。
【図３０】同じく、ディスク径が２．５インチ、回転数５４００ｒｐｍのＨＤＤにおけるトラック幅の変動を測定した結果を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１１０ｂ  トップ・カバー、１１０ａ  ベース、
１１１  磁気ディスク、１１２  ヘッド素子部、
１１４  スピンドル・モータ、１１４ａ  ハブ、
１１６  ヘッド、１１７  アクチュエータ、１１８  回動軸、
１１９  アクチュエータ・アーム、１２０  回路基板、
１２１  信号処理回路、１２２  モータ・ドライバ、
１２３  チャネル、１３１  ランプ、
１４１  テスト口、１４２  通気口、
２０１，２１１，２１２  チューブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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