(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの劣化程度や断線の時期を検出する。【解決手段】抵抗加熱ヒータ５の昇温時の抵抗値を検出する抵抗値検出手段と、前記抵抗値検出手段により検出された抵抗値の変化を抵抗加熱ヒータ５の診断基準データ又は受診のための受診データとして外部データ通信回線を介して診断側に送信する送信手段１ｆとを備えた抵抗値検出装置１と、半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータ５の劣化診断装置２であって、外部データ通信回線を介してデータを受信する受信手段２ａと、前記受信手段２ａを介して半導体製造装置側から受信した抵抗加熱ヒータ５の診断基準データを格納する格納手段と、前記受信手段２ａを介して半導体生産装置側から受信した抵抗加熱ヒータ５の受診データを前記格納手段の診断基準データに対比してその大小により劣化状態を判定する。【選択図】図２
2006165200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの電流値を検出する電流検出手段と、
前記抵抗加熱ヒータの電圧値を検出する電圧検出手段と、
前記電流検出手段が検出する電流値と前記電圧検出手段が検出する電圧値とに基づいて前記抵抗加熱ヒータの抵抗値を算出する抵抗値算出手段と、
該抵抗値算出段が順次算出した抵抗値のデータを、前記抵抗加熱ヒータの劣化に伴う受診データとして、または、他の半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの劣化診断に用いる診断基準データとして、診断側の通信端末に外部データ通信回線を介して順次送信する送信手段とを
備えたことを特徴する半導体製造装置における抵抗加熱ヒータの抵抗値検出装置。
【請求項２】
前記診断基準データが前記抵抗加熱ヒータの昇温を開始した直後から劣化によって断線するまでに得られた抵抗値の変化のデータである抵抗加熱ヒータの抵抗値検出装置。
【請求項３】
半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの劣化診断装置であって、
外部データ通信回線を介してデータを受信する受信手段と、
前記受信手段を介して半導体製造装置側から受信した抵抗加熱ヒータの診断基準データを格納する格納手段と、
前記受信手段を介して半導体製造装置側から受信した抵抗加熱ヒータの受診データを前記格納手段の診断基準データに対比してその大小により劣化状態を判定する判定手段と、
該判定手段により判定された判定結果を送信元及び予め登録された所定の送信先に送信するデータ送信手段とを
備えたことを特徴とする半導体製造装置における抵抗加熱ヒータの劣化診断装置。
【請求項４】
前記格納手段が前記抵抗加熱ヒータ昇温時の温度の変化に基づく理論抵抗値の変化を前記診断基準データとして格納している請求項３記載の半導体製造装置における抵抗加熱ヒータの劣化診断装置。
【請求項５】
インターネットを含むネットワークでユーザ側の通信端末と保守側の通信端末とをリアルタイムに接続してユーザ側の半導体製造装置のメンテナンス情報を保守側に送信するとともに、メンテナンス情報に対する診断結果を、保守側からユーザ側に返信するようにしたネットワークシステムであって、
前記ユーザ側から保守側へデータを送信する通信端末に請求項１又は請求項２記載の抵抗値検出装置を用い、
保守側からユーザ側に診断結果を送信する通信端末に請求項３又は請求項４記載の劣化診断装置を用いるようにした
ことを特徴とするネットワークシステム。
【請求項６】
インターネットを含むネットワークでユーザ側の通信端末と監視側の通信端末とメンテナンス側の通信端末とをリアルタイムに接続してユーザ側の半導体製造装置のメンテナンス情報を監視側に送信し、監視側からユーザ側及びメンテナンス側にメンテナンス情報に対する診断結果を送信するようにしたネットワークシステムであって、
前記ユーザ側から監視側へデータを送信する通信端末に請求項１又は請求項２記載の抵抗値検出装置を用い、
監視側から診断結果をユーザ側とメンテナンス側とに送信する通信端末に請求項３又は請求項４記載の劣化診断装置を用いるようにした
ことを特徴とするネットワークシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置における抵抗加熱ヒータの抵抗値検出装置、半導体製造装置における抵抗加熱ヒータの劣化診断装置及びネットワークシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、抵抗加熱ヒータは均一な加熱に適しており、半導体製造装置においても縦型拡散炉やＣＶＤ装置に用いられている。この半導体製造装置の抵抗加熱ヒータには、常温で抵抗値が非常に小さく高温になると抵抗値が大きくなる二ケイ化モリブデン製の抵抗加熱ヒータが用いられているが、抵抗加熱ヒータに突発的な断線が発生すると正常な熱処理ができずロット不良等生産性に対して影響が発生する虞があり、特に、縦型拡散炉においては、バッチ式で多くの被処理物を一度に処理するために、影響が大きいという懸念がある。
そこで、抵抗加熱ヒータの断線を検出するために、例えば、抵抗加熱ヒータの電流値を検出し、抵抗加熱ヒータに電力を供給する指令が出力されているにもかかわらず抵抗加熱ヒータの電流値が検出されない場合に、断線と判定するヒータ検査装置が知られている。
なお、ウェーハ一枚の単価を十万円とすると、通常の縦型炉は１００枚のウェーハを同時に処理するため、ロット不良が発生すると被害額は膨大なものとなる。
【特許文献１】特開平４−１５８２８号公報（抵抗加熱ヒータの断線検出について）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、前記ヒータ検査装置のように抵抗加熱ヒータへの電流を監視するだけでは、劣化の程度や断線の時期を予測することは困難であるので、抵抗加熱ヒータの材料、使用時の環境に基づいて経験的に予測せざるを得ないという実情にある。
そこで、半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの劣化の程度や断線の時期を検出するために解決すべき課題が生じるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は前記課題を解決するため提案されたものであり、第１の手段は、半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの電流値を検出する電流検出手段と、前記抵抗加熱ヒータの電圧値を検出する電圧検出手段と、前記電流検出手段が検出する電流値と前記電圧検出手段が検出する電圧値とに基づいて前記抵抗加熱ヒータの抵抗値を算出する抵抗値算出手段と、該抵抗値算出段が順次算出した抵抗値のデータを、前記抵抗加熱ヒータの劣化に伴う受診データとして、又は、他の半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの劣化診断に用いる診断基準データとして、診断側の通信端末に外部データ通信回線を介して順次送信する送信手段とを備えたものである。
【０００５】
第１の手段の手段を用いて半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの劣化や断線の時期を診断するための診断基準データを診断側に送信する際は、まず、劣化が生じていない未使用の抵抗加熱ヒータを拡散炉やＣＶＤ装置等の半導体製造装置に取り付ける。次に、抵抗加熱ヒータをオンとして昇温を開始する。電流検出手段が電流を検出し、電圧検出手段が電圧を検出して抵抗値算出手段に出力すると抵抗算出手段が抵抗値の算出を開始する。抵抗値算出手段によって算出された抵抗値は、通信端末から外部データ通信回線を介して診断側に順次送信される。
ここで「順次送信される」とは、連続的に送信されるという意味である。従って、診断側に順次送信される抵抗値は、抵抗加熱ヒータの抵抗値の変化となり、他の抵抗加熱ヒータの劣化を診断するための診断基準データとなって、診断側でデータベースに格納されることになる。
診断基準データの送信後は、受診データを送信する。「受診データ」とは、診断基準データと対比して診断を受けるためのデータのことである。この受診データの送信は、診断基準データの送信と同様の手順となる。
従って、受診側は、診断基準データと受診データとを対比し、その大小により劣化を診断し、断線の時期を予測することになる。
【０００６】
第２の手段は、第１の手段において、診断基準データを前記抵抗加熱ヒータの昇温を開始した直後から劣化によって断線するまでに得られた抵抗値の変化のデータとしたものである。
このような抵抗値の変化のデータは、劣化による断線やそれ以前の断線の傾向を診断するためのデータとして最適であり、また、抵抗加熱ヒータの異常や異常の発生時期を知るためのデータとして最適である。従って、この診断基準データに受診データを対比すると、診断を受けようとする抵抗加熱ヒータの異常発生時期や断線発生時期の正確な予測が可能となる。
【０００７】
第３の手段は、半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの劣化診断装置であって、
外部データ通信回線を介してデータを受信する受信手段と、前記受信手段を介して半導体製造装置側から受信した抵抗加熱ヒータの診断基準データを格納する格納手段と、前記受信手段を介して半導体製造装置側から受信した抵抗加熱ヒータの受診データを前記格納手段の診断基準データに対比してその大小により劣化状態を判定する判定手段と、該判定手段により判定された判定結果を送信元及び予め登録された所定の送信先の通信端末に送信するデータ送信手段とを備えたものである。
ここで、外部データ通信回線とは、外部とデータ通信をすることができるデータ通信回線のことであり、一般の通信回線やケーブル回線及びインターネットを含む通信回線網を含む回線のことである。また、登録された「所定の送信先」とは、抵抗加熱ヒータの診断基準データと受診データとの対比による診断結果に基づいて抵抗加熱ヒータのメンテナンス等を実施する送信先、たとえば、メンテナンスを実施するメンテナンス業者等のことである。
【０００８】
この第３の手段を用いると、診断基準データと受診データとの対比により抵抗加熱ヒータの劣化の程度を判定でき、また、判定結果、即ち診断結果を、データ送信手段より返信元、すなわち、受診データの送信元及び予め登録された所定の送信先に送信できる。
すなわち、半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの昇温時の抵抗値を検知する抵抗値検出手段（電流検出手段、電圧検出手段）と、前記抵抗値検出手段により検知された抵抗値の変化を抵抗加熱ヒータの診断基準データ又は受診のための受診データとして外部データ通信回線（ネットワーク）を介して診断側に送信する送信手段を備えた半導体製造装置における抵抗加熱ヒータの抵抗値検出装置と、半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの劣化診断装置であって、外部データ通信回線を介してデータを受信する受信手段と、前記受信手段を介して半導体製造装置側（半導体生産側Ｈ）から受信した抵抗加熱ヒータの診断基準データを格納する格納手段（メモリ又はデータベース）と、前記受信手段を介して半導体生産装置側から受信した抵抗加熱ヒータの受診データを前記格納手段の診断基準データに対比してその大小により劣化状態を判定する判定手段（ＣＰＵ）と、該判定手段により判定された判定結果を診断結果として少なくとも送信元に返信する半導体製造装置における抵抗加熱ヒータの劣化診断装置とでネットワークを構成すると、診断を受けようとする抵抗加熱ヒータの劣化の程度、異常の有無、異常の時期、断線の時期等の診断結果を送信側から受診側にリアルタイムに送信することができる。
なお、診断結果の送信の形態は、Ｅメール等の形態でもよく、ＨＴＭＬ、ＸＭＬ形式のデータの形態でもよい。
【０００９】
第４の手段は、第３の手段において、前記格納手段が前記抵抗加熱ヒータ昇温時の温度の変化に基づく理論抵抗値の変化を前記診断基準データとして格納している。
このようにすると、半導体製造装置側からの診断基準データの送信が、万一、間に合わなかった場合や、通信障害等によって一時的に送信が不能となった場合等においても、受診データを送信できた場合には抵抗加熱ヒータの診断を実施することができる。
【００１０】
第５の手段は、インターネットを含むネットワークでユーザ側の通信端末と保守側の通信端末とをリアルタイムに接続してユーザ側の半導体製造装置のメンテナンス情報を保守側に送信するとともに、メンテナンス情報に対する診断結果を、保守側からユーザ側に返信するようにしたネットワークシステムであって、前記ユーザから保守側へデータを送信する通信端末に第１の手段又は第２の手段を用い、保守側からユーザ側に診断結果を送信する通信端末に第３の手段又は第４の手段を用いるようにしたものである。ここで、「メンテナンス情報」とは、前記抵抗加熱ヒータの劣化を診断するための診断基準データ、診断基準データと対比して抵抗加熱ヒータの劣化の状態を判定するための受診データ及び対比の結果のことである。
【００１１】
このようにすると、監視、報告、交換や点検などのメンテナンスを業務とする専門の保守側が半導体製造装置の抵抗加熱ヒータの劣化の程度や時期、断線の時期を監視する。
従って、半導体製造装置側は、保守側から異常や断線の診断が報告されるまでは半導体等の生産に専念することができる。
【００１２】
第６の手段は、インターネットを含むネットワークでユーザ側の通信端末と監視側の通信端末とメンテナンス側の通信端末とをリアルタイムに接続してユーザ側の半導体製造装置のメンテナンス情報を監視側に送信し、監視側からユーザ側及びメンテナンス側にメンテナンス情報に対する診断結果を送信するようにしたネットワークシステムであって、前記ユーザ側から監視側へデータを送信する通信端末に第１の手段又は第２の手段を用い、監視側から診断結果をユーザ側とメンテナンス側とに送信する通信端末に第３の手段又は第４の手段を用いるようにしたものである。
ここで、「メンテナンス情報」とは、前記抵抗加熱ヒータの劣化を診断するための診断基準データ、診断基準データと対比して抵抗加熱ヒータの劣化の状態を判定するための受診データ及び対比の結果のことである。
【００１３】
第６の手段において、監視側は前記抵抗加熱ヒータの監視、診断、及び診断結果の報告が業務となり、メンテナンス側は抵抗加熱ヒータの点検や交換が業務となる。従って、専門による効率のよい、製造、監視、メンテナンスが実施される。また、このように管理、メンテナンスの業務が分担されると、それぞれの品質を向上することが可能となるし、サービス側を近隣に、監視側を品質の高い遠隔地側に設定して監視、メンテナンスの質、スピードを大幅に改善することも可能になる。
また、このように、監視側と、保守とがそれぞれ監視業務とメンテナンス業務とに特化した場合には、効率の改善や品質の向上が可能となり、また、コストダウンも可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
以上、要するに、この発明によれば、従来のように、抵抗加熱ヒータの材料、使用時の環境に基づいて経験的に予測することがなく、半導体製造装置に備えられる抵抗加熱ヒータの異常や異常の時期、断線の時期を正確に予測することが可能となる。この結果、抵抗加熱ヒータの異常や断線等抵抗加熱ヒータの劣化に起因する不測の事態を回避することが可能になる。
【００１５】
また、抵抗加熱ヒータの異常や断線等の劣化に関する監視業務を専門の保守業者（保守側）に委任すると、それぞれの業務の効率を改善し、全体としてのコストダウンを図ることができる。
【００１６】
さらに、監視側の業務の一部、すなわち、半導体製造装置の抵抗加熱ヒータのメンテナンスの業務を専門のメンテナンス業者（メンテナンス側）に委任した場合は、さらに、業務の分担が図られさらに効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１はインターネットＩＴを含むネットワークＮで、半導体生産側（半導体製造装置側）Ｈの抵抗値検出装置（通信端末）１と、監視側Ｓの劣化診断装置（通信端末）２と、メンテナンス側（サービス側）Ｍの通信端末３とを接続したネットワークシステムの解説図である。このネットワークシステムは、ネットワークＮを介してユーザ側である半導体生産側Ｈの半導体製造装置のメンテナンス情報を、半導体生産側Ｈから監視側Ｓにリアルタイムに送信し、このメンテナンス情報に対する診断結果を、監視側Ｓから半導体生産側Ｈとメンテナンス側Ｍとにリアルタイムに送信するようになっている。
そして、このネットワークシステムを運営するために、監視側Ｓと半導体生産側Ｈとは、半導体製造装置としての拡散炉やＣＶＤ装置等の縦型炉４に備えられた抵抗加熱ヒータ５の劣化状態をリアルタイムに監視し、劣化に基づく抵抗加熱ヒータ５の異常や断線時期などの診断結果を半導体生産側Ｈにリアルタイムに送信する契約を締結し、また、監視側Ｓとメンテナンス側Ｍとは、監視側Ｓが前記抵抗加熱ヒータ５の劣化に基づく前記抵抗加熱ヒータ５の異常や断線時期などを監視し、その診断結果をメンテナンス側Ｍにリアルタイムに送信する契約と、メンテナンス側Ｍが監視側Ｓより送信された診断結果に対応して半導体生産側Ｈの抵抗加熱ヒータ５を点検し、補修し、交換する等のメンテナンス契約とを締結し、半導体生産側Ｈから監視側Ｓに支払われる対価の一部がメンテナンスの対価としてメンテナンス側Ｍに支払われるようになっている。
【００１８】
図２は、前記抵抗値検出装置１、劣化診断装置２を構成するコンピュータのブロック図である。
図示されるように、抵抗値検出装置１には、抵抗加熱ヒータ５の温度を検出する温度検出手段１ａと、抵抗加熱ヒータ５の電流値を検出する電流検出手段１ｂと、抵抗加熱ヒータ５の電圧を検出する電圧検出手段１ｃと、電流検出手段１ｂ、電圧検出手段１ｃが検出した電流値、電圧値、ヒータの測定温度（以下、温度という）などのアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器１ｄ等が備えられている。
【００１９】
前記電流検出手段１ｂが検出する電流値と、前記電圧検出手段１ｃが検出する電圧値とは、前記Ａ／Ｄ変換器１ｄによってデジタル信号に変換され、抵抗値算出手段としてのＣＰＵ１ｅに出力される。ＣＰＵ１ｅは、電流検出手段１ｂから出力された電流値と前記電圧検出手段１ｃから出力された電圧値とから電流、電圧、抵抗の相関により抵抗値Ｒを順次算出する。
【００２０】
前記Ａ／Ｄ変換器１ｄを介して前記ＣＰＵ１ｅに接続された温度検出手段１ａは、熱電対８，９の検出信号から抵抗加熱ヒータ５の温度を検出するものである。また、熱電対８，９は、抵抗加熱ヒータ５の温度に基づく電気信号を抵抗値検出装置１側へ出力するためのものであり、一方の熱電対８は、前記縦型炉４内の温度を測定して抵抗加熱ヒータ５の温度を炉の設定温度に一致させるため、例えば前記縦型炉４の半導体処理室内に設置され、他方の熱電対９は、抵抗加熱ヒータ５自体の温度を測定して抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を割り出すため、例えば抵抗加熱ヒータ５近傍に設置される（図１２参照）。
温度調節手段１ａは、図１２の温度調節手段１３Ａに相当し、熱電対８から出力される電気信号に対応する測定温度と予め設定している抵抗加熱ヒータ５の設定温度に基づいて図１２に示すサイリスタ１６のオン／オフを制御したり、熱電対８から出力される電気信号に対応する測定温度やサイリスタ１６のオン／オフの制御情報を上位装置等へ送信したりするものである。
【００２１】
前記劣化診断装置２は、前記ネットワークＮを介してデータを受信する受信手段２ａと、この受信手段２ａを介して半導体生産側Ｈからリアルタイムに受信した抵抗加熱ヒータ５の診断基準データを格納する格納手段としてのデータベース２ｂと、前記受信手段２ａを介して半導体生産側Ｈから受信した抵抗加熱ヒータ５の受診データを、予め、前記データベース２ｂに格納しておいた診断基準データに対比してその大小により劣化状態を判定する判定手段としてのＣＰＵ２ｃ等を備えている。
また、前記劣化診断装置２には、前記ＣＰＵ２ｃにより判定された判定結果を前記抵抗加熱ヒータ５に対する診断結果として送信元、すなわち、半導体生産側Ｈにリアルタイムに返信すると共に、メンテナンス側Ｍに送信するデータ送信手段２ｄと、診断結果や指示等を表示するための表示手段２ｅ等が備えられている。
【００２２】
図３は前記抵抗値検出装置１に接続された表示手段１ｇの初期画面の一例である。この初期画面には、プログラムスイッチからなるモード切替えスイッチＳＷが示される。プログラムスイッチとは、プログラムによって構成されたスイッチのことであり、画面に表示されたスイッチが指のタッチやマウスのクリックによって画面上、オン、オフされ、オンによって関連したプログラムが起動するようにした画面上の擬似スイッチのことである。
【００２３】
初期画面に表示される診断基準データ入力モードボタンＳＷ１を、例えば、指先でオンにすると診断基準データ入力プログラム（後述する）が起動し、劣化診断モードボタンＳＷ２を押すと劣化診断プログラム（後述する）が起動する。また、前記した各プログラムが起動すると、表示手段１ｇの画面には、図４（ａ），（ｂ）に示すように、プログラムが動作している間、プログラムの動作中を示す確認画面が表示される。以下、特に、説明がない限り、画面の表示や各部動作に必要なデータ、プログラムは、ＣＰＵ１ｅ、ＣＰＵ２ｃの割り込み制御によって、固定記憶装置やメモリ、データベース２ｂから呼び出されるものとする。
【００２４】
図５は抵抗値検出装置１及び劣化診断装置２の動作を制御する診断基準データ入力プログラムのフローチャートである。
まず、診断基準データ入力モードボタンＳＷ１がオンとなったどうかを検出する（ステップＳ１）。断基準データ入力モードボタンＳＷ１のオンにより前記診断基準データ入力プログラムが起動すると、前記温度検出手段１ａ、前記電流検出手段１ｂ、電圧検出手段１ｃが動作しているかどうかを前記ＣＰＵ１ｅに判定させる（ステップＳ２〜ステップＳ４）。次に、抵抗値検出装置１及び劣化診断装置２が前記ネットワークＮに接続されているかどうかをＣＰＵ１ｅに判定させる（ステップＳ５）。
これらのステップ（ステップＳ２〜ステップＳ５）は、前記抵抗加熱ヒータ５が正常に動作しているかどうか、及び、前記ネットワークＮに正常接続されていて通信が可能となっているかどうかを判定するためのステップである。
【００２５】
温度検出手段１ａ、電流検出手段１ｂ、電圧検出手段１ｃが正常に動作し、ネットワークＮによるリアルタイムの通信が可能な状態となっていると、診断基準データ入力プログラムは、ＣＰＵ１ｅに診断基準データの採取を実行させる。
この場合、ＣＰＵ１ｅには、前記抵抗加熱ヒータ５の加熱制御を実行する温度調節計などの温度制御手段（図示せず）にリクエスト信号を出力させ、抵抗加熱ヒータ５による昇温を開始させる。
続いて、電流、電圧、抵抗の相関関係に基づいて前記電流検出手段１ｂ、電圧検出手段１ｃが検出する電流値、電圧値から温度ごとに抵抗値を計算させる（ステップＳ６）。
この場合、温度ごとの抵抗値とは、変化した温度ごとの抵抗値の変化という意味である。
さらに、温度ごとの抵抗値の変化から対応する抵抗値の変化を計算させ（ステップＳ７）、続いて、これらの計算値を前記抵抗値検出装置１の送信手段１ｆから劣化診断装置２の受信手段２ａに送信させる（ステップＳ８）。
劣化診断装置２のＣＰＵ２ｃは、前記抵抗値検出装置１から送信された温度ごとの抵抗値と、温度の変化に基づく抵抗値の変化とを診断基準データとして、データベース２ｂ又はメモリに順次格納させる（ステップＳ９）。このメモリ又はデータベース２ｂは請求項３に対応する格納手段である。
なお、前記リクエスト信号（割り込み信号）には、前記温度検出手段１ａの設定温度を最大温度Ｔｍａｘに書き換え、データの採取が終了した時点で元の設定温度Ｔｓｅｔに書き換える信号が含まれている。
【００２６】
次に、診断基準データ入力プログラムは、前記温度検出手段１ａが検出する抵抗加熱ヒータ５の温度が使用限界温度Ｔｍａｘに到達したかどうか、すなわち、Ｔ＝Ｔmaxかどうかを判定させ（ステップＳ１０）、続いて、前記電流検出手段１ｂに出力があるかどうか、すなわち、電流値Ａ＝０かどうかを判定させる（ステップＳ１１）。電流値Ａ＝０のときは、抵抗加熱ヒータ５が断線したときである。そして、電流検出手段１ｂが電流値０を検出し、前記抵抗加熱ヒータ５に断線が発生したときに、診断基準データのデータの採取を終了し、劣化診断装置２のＣＰＵ２ｃに前記劣化診断装置２の受信手段２ａへのデータ送信を終了するデータ採取完了信号を抵抗値検出装置１の受信手段１ｈへ送信させ、抵抗値検出装置１及び劣化診断装置２による診断基準データの採取を終了させる。
【００２７】
図６は、前記診断基準データ入力プログラムによって採取され、前記データベース２ｂ又はメモリに作成された診断基準データのテーブル及びマップを示す解説図であり、図６（ａ）は、抵抗加熱ヒータ５の温度の変化に基づく抵抗値の変化を示すテーブル、図６（ｂ）は、同じく温度の変化に基づく抵抗値の変化を示すマップである。
これらのテーブルＤ１、マップＤ２は、縦型炉４に抵抗加熱ヒータ５を取り付け、抵抗加熱ヒータ５を常温から使用限界温度ＴMAXに昇温させ、この抵抗加熱ヒータ５が昇温の開始から断線に至るまでの実データである。
この場合、診断基準となる抵抗加熱ヒータ５には、劣化のないものが用いられるが、未使用の抵抗加熱ヒータ５を用いた方がデータに対する信頼値が高い。
また、統計的に選択した複数の縦型炉４の抵抗加熱ヒータ５から前記診断基準データを採取し、温度ごとの抵抗値の平均値、温度の変化に基づく抵抗値の変化の平均値を前記診断基準データとしてデータとしての信頼性を向上してもよい。
【００２８】
図７は抵抗値検出装置１及び劣化診断装置２の動作を制御する劣化診断プログラムの一例である。
このプログラムは前記劣化診断モードボタンＳＷ２のオンにより起動するプログラムである。
この劣化診断プログラムは、ステップＳ１５〜ステップＳ２６までの受診データ検出部分と、ステップＳ２７〜ステップＳ３１までの劣化診断部分とで構成され、受診データ検出部分を半導体生産側Ｈの抵抗値検出装置１が担当し、劣化診断部分を監視側Ｓの劣化診断装置２が担当する構成となっている。
プログラムが起動すると、まず、前記劣化診断モードボタンＳＷ２がオンされたかどうかを判定させる（ステップＳ１５）。次に、前記温度検出手段１ａ、前記電流検出手段１ｂ、電圧検出手段１ｃが動作しているかどうかをＣＰＵ１ｅに判定させ（ステップＳ１６〜ステップＳ１８）、続いて、外部データ通信回線である前記ネットワークＮに接続されているかどうかを前記ＣＰＵ１ｅに判定させる（ステップＳ２０）。
ステップＳ１６〜ステップＳ１８は、前記抵抗加熱ヒータ５が正常に作動しているかどうか、ステップＳ２０は前記ネットワークＮが正常に接続されていて通信が可能な状態になっているかどうかを判定するためのものである。
【００２９】
温度検出手段１ａ、前記電流検出手段１ｂ、電圧検出手段１ｃが正常に作動し、ネットワークＮによる通信が可能な状態となっていると、劣化診断プログラムは、ＣＰＵ１ｅによる受診データ、すなわち、抵抗加熱ヒータ５の実データの採取を実行させる。この場合、前記温度検出手段１ａの設定温度Ｔｓｅｔを使用限界温度Ｔｍａｘにセットさせ（ステップＳ１９）、次に、前記抵抗加熱ヒータ５の加熱制御を実行する温度制御回路（図示せず）に対して前記診断基準データ入力プログラムと同様にリクエスト信号を出力させる。
そして、抵抗加熱ヒータ５をオンとして（ステップＳ２１）、抵抗加熱ヒータ５による昇温を開始させ、前記電流検出手段１ｂ、電圧検出手段１ｃによる抵抗加熱ヒータ５の電流値、電圧値、温度の検出を開始させる（ステップＳ２２）。
そして、抵抗加熱ヒータ５の電流値、電圧値に基づいて抵抗値を算出させると（ステップＳ２４）、これらの抵抗値、及び、現在の温度、ヒータの設定温度などを抵抗加熱ヒータ５の受診データとして監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段（図１参照）２ａに順次送信させる（ステップＳ２５）。
ここで受診データの送信時には、最初の送信時に、監視側Ｓの劣化診断装置（通信端末）２を制御するプログラムが添付される。このプログラムは図７において、ステップＳ２７〜ステップＳ３１までの制御を実行するプログラムであり、受信と同時に起動する。
監視側Ｓの劣化診断措置２でこのプログラムが起動すると、最初に受診データをデータベース２ｂ又はメモリの少なくとも一方に順次、格納させる（図２参照）。このデータの格納は、抵抗加熱ヒータ５が使用限界温度ＴMAXに到達したとき、完了する（ステップＳ２２）。
続いて、抵抗加熱ヒータ５の温度の変化に基づく抵抗値の変化のテーブル又はマップ（図６、図８、図９参照）を作成させ、これを前記データベース２ｂに格納させる。
そして、作成した受診データのテーブル又はマップを、前記診断基準データのテーブル又はマップに対比させて診断対象となる抵抗加熱ヒータ５の異常や断線の時期を判定させる。
診断に際しては、最初に、受診データの温度の変化に基づく抵抗値の変化Ｘが診断基準データの温度の変化に基づく抵抗値の変化に対して１０％以上かどうかを判定する（ステップＳ２７）。
【００３０】
次に、受診データの温度の変化に基づく抵抗値の変化Ｘが、診断基準データの温度の変化に基づく抵抗値の変化に対して３０％以内かどうかを判定させる（ステップＳ２８）。さらに、このプログラムは、これらの判定が終了すると、ＣＰＵ２ｃにより、判定結果に対応した診断結果を監視側と半導体生産側とに送信させる（ステップＳ３０）。なお、受診データに添付されたプログラムも、抵抗加熱ヒータ５が使用限界温度ＴMAXに到達したとき、完了する（ステップＳ３１）。
【００３１】
このように、受診データを診断基準データに対比させ、対応する診断結果を半導体生産側Ｈとメンテナンス側Ｍに送信すると、現在の状況を明確に把握した上での対応が可能となるため、抵抗加熱ヒータ５を利用して半導体を生産する半導体生産側Ｈの不測の損害の発生が防止され、安心な環境下で半導体を生産することができるようになる。
なお、図７には示されていないが、前記診断結果の送信に際しては、予め、診断基準データの温度ごとの抵抗値と受信データの温度ごとの抵抗値の対比によって得られる診断結果と、診断結果に対応するメンテナンス情報とを関連付けたＣＶＳ形式のデータファイル（以下、メンテナンスファイルという）を前記データベース２ｂに格納しておき、このメンテナンスファイルを、診断結果で検索することによって得られるメンテナンス情報を、半導体生産側Ｈと、メンテナンス側Ｍとに送信するものとする。
【００３２】
具体的には、診断基準データの抵抗値に対して対応する受診データの抵抗値の割合がどのように変化したときに、診断すべき抵抗値加熱ヒータにどのような機械的、電気的な症状が現れるのか、また、この場合にはどのようなメンテナンスを実施すれば半導体製造装置に対して最適なメンテナンスとなり得るのかを予め調査しておき、関連する症状、メンテナンス情報を割合ごとにリンクさせたデータファイルを形成しておき、このデータファイルを前記メンテナンスファイルとして前記データベース２ｂに格納しておく。
そして、受診データの診断に際しては、受診データの抵抗値を診断基準データの対応する抵抗値に対比したときに、受診データの抵抗値が診断基準データに対してどの位の割合となるのかを計算させる。
そしてこの決算によって得られた割合で、前記メンテナンスファイルを検索させ、検索によって得られた症状、情報を診断結果として監視側Ｓと、メンテナンス側Ｍに送信させる。前記メンテナンスファイルにおいて、１０％の割合の場合は、劣化の程度が微少で断線や温度の制御が不安定となるような現象は認められていない、１０％以上で３０％未満の場合は、劣化が進んでおり数ヶ月後に予備のヒータと交換する必要がある、３０％以上の場合は、近時に温度制御が不安定となり断線が発生するという、過去の経験に基づくものである。
この経験を生かしてメンテナンスファイルのレコードは、例えば、“±１０％”，“劣化はない” ， “継続して使用可能”、“±１０％以上で±３０％未満”，“劣化が進んでいる” ， “数ヶ月後に予備のヒータと交換する必要がある”、“±３０％以上”，“劣化がかなり進んでいる” ， “断線や温度の制御が不安定となるような現象が発生する虞があるので、使用を中断し、ヒータ交換を実施する必要がある”、といった３つのレコード群に区分して形成される。各レコード群を区別するのは、先頭の“±１０％”、“±１０％以上で±３０％未満、“±３０％以上”であり、これを割合、例えば、１０で検索したときに、対応する“劣化はない” ， “継続して使用可能”などのメンテナンス情報が検索されるように各レコードを構成するものとする。なお、“±１０％”のセルの±１０％は、便宜上、−１〜＋１０までの数値を示したものである。
つまり、この“±１０％”，“劣化はない” ， “継続して使用可能”という一つのレコードは、“−１０”，“劣化はない” ， “継続して使用可能”、 “−９”，“劣化はない” ， “継続して使用可能”、“−８”，“劣化はない” ， “継続して使用可能”、…、“８”，“劣化はない” ， “継続して使用可能”〜“、“９”，“劣化はない” ， “継続して使用可能”〜“１０”，“劣化はない”、“継続して使用可能”等の複数のレコードを、便宜上、一つのレコードで示したものである。他のレコードの“±１０％以上で±３０％未満”、“±３０％以上”のセルも同様の意味である。
なお、前記した劣化診断プログラムにおいて、ステップＳ３の前段に、図１２で説明するテーブルメモリ１４の理論抵抗値データを読み込むステップと、この理論抵抗値データの読み込みが正常かどうかの判定のステップと、前記データベース２ｂに前記診断基準データが格納されているかどうかの判定のステップとをこの順に設け、診断基準データが格納されていない場合には、理論抵抗値データを用いて受診データの診断を実行するようにしてもよい。そして、この場合に、得られた抵抗加熱ヒータ５の診断データを監視側Ｓから半導体生産側Ｈとメンテナンス側Ｍとにリアルタイムに送信させるようにしてもよい。
【００３３】
図８は、前記劣化診断プログラムが作成するテーブル及びマップの一例であり、図８（ａ）は抵抗加熱ヒータ５の温度の変化に基づく抵抗値の変化を示すテーブル、図８（ｂ）は同じく温度の変化に基づく抵抗値の変化を示すマップである。これらマップＤ２、Ｄ４は、画面に重ねて表示させると視覚的な判定が可能なる。また、図９に示すように、表示手段２ｅの画面にマップＤ２とマップＤ４とを互いに重ね合わせ、温度の変化と抵抗値の変化に対応させてマップＤ４を最新の抵抗値で書き換えていくと、抵抗加熱ヒータ５の劣化の様子をリアルタイムに且つ視覚的にとらえることができる。
【００３４】
図１０は、インターネットＩＴを含むネットワークＮで半導体生産側（ユーザ側）Ｈの抵抗値検出装置（通信端末）１と監視側Ｓの劣化診断装置（通信端末）２とをリアルタイムに接続したネットワークシステムの解説図である。
この場合、監視側Ｓとユーザ側である半導体生産側Ｈとの間には、半導体製造装置としての縦型炉４、具体的には、拡散炉やＣＶＤ装置に備えられた抵抗加熱ヒータ５の劣化状態をリアルタイムに監視し、劣化に基づく抵抗加熱ヒータ５の異常や断線時期などの診断結果を半導体生産側Ｈにリアルタイムに送信する契約が締結されるとともに、監視側Ｓの診断結果に対応して監視側Ｓが半導体生産側Ｈの抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実施する契約が締結される。
半導体生産側Ｈの抵抗加熱ヒータ５の劣化情報、すなわち、メンテナンス情報は、前記ネットワークＮを介して監視側Ｓにリアルタイムに送信され、メンテナンス情報に対する診断結果は監視側Ｓから半導体生産側Ｈにリアルタイムに返信される。
監視側Ｓは、図１で説明したように、監視側Ｓで診断した診断結果に基づいて遅滞なく抵抗加熱ヒータ５の劣化に対するメンテナンスを実施する。
従って、前記した実施形態と同様に、抵抗加熱ヒータ５の劣化による異常や断線の時期が正確に判定され、抵抗加熱ヒータ５の異常や断線に起因した縦型炉４の不測の事態が回避される。なお、メンテナンスとは、抵抗加熱ヒータ５に関する点検、設備、補修、交換などのことである。
【実施例１】
【００３５】
以下、添付図面を参照して前記抵抗値検出装置１に代えて用いられるヒータ検査装置２３Ａの一実施例を説明する。この場合、ヒータ検査装置２３Ａは、半導体生産側Ｈ側に備えられ、劣化診断装置２は監視側又は保守側に配置され、メンテナンス側Ｍには通信端３が備えられるものとする。
前記抵抗加熱ヒータ５は、図１１の解説図に示すように、縦型炉４の内壁に対して、ウェーハ等の被処理体を加熱する抵抗加熱ヒータ５を蛇行させた状態で張り巡らせたものである。抵抗加熱ヒータ５は、二ケイ化モリブデン、ニクロムなどを主成分とする材料で形成されていて、抵抗加熱ヒータ５で囲まれた領域には、被処理体を搬入し処理するための処理室を構成する反応管が配置される。
【００３６】
図１２は、縦型炉４に備えられるヒータ検査装置２３Ａの回路図である。
ここでは、電力要素を印加する印加手段が、抵抗加熱ヒータ５を加熱する交流電源で構成されている。
図１２には、図１１に示す抵抗加熱ヒータ５に加えて、以下説明する熱電対８と、熱電対９と、カレントトランス１０Ａと、商用電源１１と、受電用端子台１２と、保護用ブレーカ（ＮＦＢ）１３と、温度調節手段１３Ａと、電源トランスＴＲと、サイリスタ１６と、前記ヒータ検査装置２３Ａとを示している。
【００３７】
商用電源１１は、図１１に示す抵抗加熱ヒータ５に対して交流電圧を印加する交流電源である。
受電用端子台１２は、商用電源１１からの電圧を受けて抵抗加熱ヒータ５側へ渡す端子が裁置されたものである。
保護用ブレーカ（ＮＦＢ）１３は、抵抗加熱ヒータ５に過度の電圧が印加されることを防止するものであり、通常時にはオンすることで商用電源１１と抵抗加熱ヒータ５とを導通しており、抵抗加熱ヒータ５に過度の電圧が印加されそうなときにはオフすることで商用電源１１と抵抗加熱ヒータ５との導通を断つものである。
【００３８】
電源トランスＴＲは、前記商用電源１１によって印加される電圧を、前記抵抗加熱ヒータ５で使用可能な電圧に変換するものである。
サイリスタ１６は、電源トランスＴＲで変換された電圧の位相を制御して前記抵抗加熱ヒータ５に通電され電流を調整するスイッチ素子であり、温度検出手段としての熱電対８での抵抗加熱ヒータ５の測定温度が炉の設定温度よりも低い場合にオンされ、熱電対８での前記抵抗加熱ヒータ５の測定温度が炉の設定温度よりも高い場合にオフされるものである。
【００３９】
前記熱電対８に加えて、もう一つの熱電対９が設けられ、これら２つの熱電対８，９は、抵抗加熱ヒータ５の温度に基づく電気信号をヒータ検査装置２３Ａ側へ出力するものである。一方の熱電対８は、炉内の温度を測定して抵抗加熱ヒータ５の測定温度を炉の設定温度に一致させるためのものであり、例えば前記縦型炉４の半導体処理室内に設置されている。他方の熱電対９は、抵抗加熱ヒータ５自体の温度を測定して抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を割り出すためのものであり、例えば抵抗加熱ヒータ５近傍に設置される。
カレントトランス１０Ａは、抵抗加熱ヒータ５に流れる電流をヒータ検査装置２３Ａ側へ出力するものである。
【００４０】
温度調節手段１３Ａは、前記抵抗値検出装置１の温度調節手段１ａとして機能し、熱電対８から出力される電気信号に対応する測定温度と予め設定している抵抗加熱ヒータ５の設定温度とに基づいてサイリスタ１６のオン／オフを制御したり、熱電対８から出力される電気信号に対応する測定温度やサイリスタ１６のオン／オフの制御情報を上位装置等へ送信したりするものである。
ヒータ検査装置２３Ａには、以下説明するテーブルメモリ１４と、ＤＯ出力手段１５と、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）２５と、演算器（ＣＰＵ）１７Ａと、Ａ／Ｄ変換器１９と、電圧検出手段２０Ａと、電流検出手段２１Ａと、温度調節手段１３Ａとが備えられる。また、図１１には示されていないが、このヒータ検査装置２３Ａには、抵抗加熱検出装置に必要な通信手段として送信手段１ｆ、受信手段１ｈ等が備えられる。
【００４１】
前記電圧検出手段２０Ａは、前記抵抗値検出装置１の電圧検出手段１ｃとして機能し、ＣＰＵ１７Ａからの命令に従・BR>チて、抵抗加熱ヒータ５に印加されている電圧のレベルを検出して、ＣＰＵ１７Ａ側へ出力するものである。
電流検出手段２１Ａは、前記抵抗値検出装置１の電流検出手段１ｂとして機能し、ＣＰＵ１７Ａからの命令に従って、抵抗加熱ヒータ５に流れる電流のレベルを、カレントトランス１０Ａからの電流に基づいて検出して、ＣＰＵ１７Ａ側へ出力するものである。
【００４２】
温度調節手段１３Ａは、ＣＰＵ１７Ａからの命令に従って、熱電対９から出力される電気信号に基づいて、抵抗加熱ヒータ５の温度を検出して、ＣＰＵ１７Ａ側へ出力するものである。
Ａ／Ｄ変換器１９は、前記抵抗値検出装置１のＡ／Ｄ変換器１ｄとして機能し、電圧検出手段２０Ａと電流検出手段２１Ａと温度調節手段１３Ａとによるアナログ信号の検出結果を、デジタル信号の検出結果に変換するものである。
【００４３】
格納手段としてのテーブルメモリ１４は、前記した劣化診断のための診断基準データ（実データ）、すなわち、温度−抵抗値特性、温度の変化−抵抗値の変化特性の他、図１３を用いて後述するように、抵抗加熱ヒータ５の固有の識別番号と、抵抗加熱ヒータ５の抵抗温度係数と、抵抗加熱ヒータ５の長さと、抵抗加熱ヒータ５の断面積と、抵抗加熱ヒータ５の基準時の抵抗値、たとえば診断基準となる製造時の基準抵抗とを一組で記憶しているメモリである。このようなテーブルメモリ１４を利用し、基準抵抗値等を利用すれば、前記診断基準データが劣化診断装置２のメモリやデータベース２ｂに格納されていない状態でも抵抗加熱ヒータ５の劣化を診断することが可能となる。
【００４４】
演算器（ＣＰＵ）１７Ａは、前記抵抗値検出装置１のＣＰＵ１ｅとしても機能するものであり、Ａ／Ｄ変換器１９で変換された電圧検出手段２０Ａ及び電流検出手段２１Ａのデジタル信号の検出結果に基づいて抵抗加熱ヒータ５の検査時の抵抗値を算出すると共に、算出した抵抗加熱ヒータ５の検査時の抵抗値とテーブルメモリ１４に格納されている理論抵抗値又は前記した診断基準データである温度−抵抗値特性又は温度の変化−抵抗値の変化特性のいずれか一方に基づいて抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を割り出すことができる。
【００４５】
また、ＣＰＵ（演算器）１７Ａは、割り出した抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を、送信手段１ｆからネットワークＮを介して前記した劣化診断装置２の受信手段２ａに送信する。もちろん、割り出した抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度に基づいて抵抗加熱ヒータ５の交換の必要性がある場合に、その判定結果、すなわち診断結果をヒータ検査装置２３Ａの送信手段１ｆから監視側Ｓの劣化診断装置の受信手段２ａに送信させ、監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａより、ヒータ検査装置２３Ａに接続されたスピーカからアラームを出力するようにＤＯ出力手段１５へ命令させるようにしてもよいし、同様に、メンテナンス側Ｍの通信端末３にスピーカを接続し、監視側Ｓの劣化診断装置２のデータ送信手段２ｄからこのスピーカにアラームを出力させるように、ＤＯ出力手段１５へ命令するようにしてもよい。このようにすると、視覚だけでなく聴覚も刺激され全体として注意力が増すので、監視ミスの減少に寄与できる。
【００４６】
このように、ＣＰＵ１７Ａに対して割り込み命令を与え、ＤＯ出力手段１５に対してＣＰＵ１７Ａから命令を与えるとＤＯ出力手段１５は、ＣＰＵ１７Ａの命令に従って、抵抗加熱ヒータ５の交換の必要性があることを示すアラームを出力させ、図示しないスピーカから警告音を発生させる。
Ｉ／Ｆ２５は、ＣＰＵ１７Ａ及び温度調節手段１３Ａと上位装置等とを接続するインターフェイスである。
【００４７】
以下、抵抗加熱ヒータ５の劣化の状態の診断に際しては、数式と前記理論抵抗値とに基づいて割り出すようにした例を説明していくが、前記テーブルメモリ１４には、実施の形態で説明した診断基準データも記憶されるので、この診断基準データと、診断すべき抵抗加熱ヒータ５の温度の変化−抵抗値変化特性との対比によって抵抗加熱ヒータ５の劣化を診断するようにしてもよいし、また、抵抗加熱ヒータ５の診断に前記テーブルメモリ１４を使用せずに実施の形態で説明したデータベース２ｂを用いることによって抵抗加熱ヒータ５の劣化の状態を診断させるようにしてもよい。
【００４８】
図１４は、図１２に示す半導体製造装置及び前記ヒータ検査装置２３Ａの動作を示すフローチャートである。
まず、前記テーブルメモリ１４を検索し、診断基準データを読み込む。この診断基準データは、実施の形態で説明したように、診断の基準とする抵抗加熱ヒータ５を試験して得られた実データである（ステップＳ９７）。次に、診断基準データが読み込まれたかどうかを判定する（ステップＳ９８）。この判定で診断基準データを正常に読み込むことができなかった場合は、テーブルメモリ１４に診断基準データのファイルが格納されていないものとして次に理論値モードを実行するかどうかを判定する（ステップＳ９９）。ここで理論値モードとは、前記ヒータ検査装置２３Ａを用い、抵抗加熱ヒータ５の理論抵抗値と実際の抵抗値とに基づいて抵抗加熱ヒータ５の劣化を診断し、異常や断線の時期、メンテナンスの時期などを判定するモードのことである。
ステップＳ９９で理論値モードを採用しない場合は、このフローを終了し、前記テーブルメモリ１４に前記診断基準データを格納した後に、再度、このフローを起動させ、図７で説明した劣化診断プログラムと同じプログラムを実行させる。
ステップＳ９９で理論値モードを採用する場合は、商用電源１１の交流電圧を抵抗加熱ヒータ５に印加して、抵抗加熱ヒータ５を例えば８００℃に向けて加熱する（ステップＳ１０１）。
具体的には、商用電源１１から半導体製造装置の縦型炉４に対して、交流電圧を印加する際に、ＣＰＵ１７Ａ等の制御によってＮＦＢ１３及びサイリスタ１６をオンしておき、商用電源１１の交流電圧を、電源トランスＴＲで抵抗加熱ヒータ５の使用可能な電圧に変換してから印加することによって抵抗加熱ヒータ５を加熱する。これにより縦型炉４をアイドル状態（スタンバイ状態）にする。
【００４９】
次に、ＣＰＵ１７Ａは、抵抗加熱ヒータ５自体の温度を測定する熱電対９から出力される電気信号に基づいて、抵抗加熱ヒータ５の温度が、抵抗加熱ヒータ５の検査温度である例えば８００℃に達したか否かを判別し、８００℃に達するまで判別を繰り返す（ステップＳ１０２）。
抵抗加熱ヒータ５が例えば８００℃（検出温度Ｔ℃）に達した場合には、抵抗加熱ヒータ５に印加されている電圧のレベルを、電圧検出手段２０Ａによって検出する（ステップＳ１０３）。
【００５０】
また、電流検出手段２１Ａによって、抵抗加熱ヒータ５に流れる電流のレベルを、カレントトランス１０Ａからの電流に基づいて検出する（ステップＳ１０４）。
上述したステップＳ１０２で８００℃を検出する時間を含めてステップＳ１０４で電流レベルを検出するまでの検出時間は、例えば数十ｍｍｓｅｃオーダであり、最大でも１秒程度である。また、これら一連のステップを繰り返して複数の検出データを取得するようにしてもよい。複数の検出データを取得する場合は、それらの平均値を採用する。
なお、電圧検出手段２０Ａと電流検出手段２１Ａと温度調節手段１３Ｂとによるアナログ信号の検出結果は、Ａ／Ｄ変換器１９によって、デジタル信号の検出結果に変換され、ＣＰＵ１７Ａに出力される。
【００５１】
次に、ＣＰＵ１７Ａは、例えば、温度調節手段１３Ａの検出温度（Ｔ℃）とテーブルメモリ１４の記憶内容とに基づいて、検出温度（Ｔ℃）での抵抗加熱ヒータ５の理論抵抗値Ｒを算出する（ステップＳ１０５）。
理論抵抗値Ｒは、検出温度での抵抗温度係数をρT（ａｔ  Ｔ℃）、抵抗加熱ヒータ５の長さをＬ、抵抗加熱ヒータ５の断面積をＳとすると、
Ｒ＝ρT×Ｌ／Ｓ
と示すことができる。
【００５２】
次に、ＣＰＵ１７Ａは、電圧検出手段２０Ａと電流検出手段２１Ａとの検出結果に基づいて、抵抗加熱ヒータ５の実際の抵抗値Ｒ’を算出する（ステップＳ１０６）。
抵抗値Ｒ’は、抵抗加熱ヒータ５の電圧のレベルをＶ、抵抗加熱ヒータ５の電流のレベルをＩとすると、      Ｒ’＝Ｖ／Ｉ
と示すことができる。
【００５３】
続いて、抵抗加熱ヒータ５の理論抵抗値Ｒと抵抗加熱ヒータ５の実際の抵抗値Ｒ’との変化率を算出する（ステップＳ１０７）。
なお、変化率は、以下のように示すことができる。
変化率＝（Ｒ−Ｒ’）／Ｒ×１００（％）
【００５４】
次に、ＣＰＵ１７Ａは、算出した変化率が例えば±１０％以上であるか否かを判定する（ステップＳ１０８）。
判定の結果、変化率が例えば±１０％以上である場合には、ＣＰＵ１７Ａは、近々、抵抗加熱ヒータ５の交換の必要性があるとして、例えばＤＯ出力手段１５へ命令することによって、スピーカからアラーム＃１を出力してから、ステップＳ１１０へ移行するが（ステップＳ１０９）、この場合には、判定の結果、すなわち、抵抗加熱ヒータ５に対する診断の結果を前記ネットワークＮを介して半導体生産側Ｈのヒータ検査装置２３Ａの送信手段１ｆから前記監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａに送信させ、監視側Ｓで抵抗加熱ヒータ５の劣化を診断させる。そしてこの場合において、診断の結果を前記した監視側Ｓの劣化診断装置１のデータ送信手段２ｄから半導体生産側Ｈのヒータ検査装置２３Ａの受信手段１ｆに返信させ、同時に、前記監視側Ｓから前記メンテナンス側Ｍの通信端末３に判定結果をリアルタイムに送信させるようにして、前記メンテナンス側Ｍのメンテナンス業者に前記抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実施させる。
【００５５】
ステップＳ１００では、変化率が例えば３０％以上であるか否かを判定する。判定の結果、変化率が例えば３０％以上である場合には、ＣＰＵ１７Ａは、早急に、抵抗加熱ヒータ５の交換の必要性があるとして、ＤＯ出力手段１５へ命令することによって、例えばスピーカからアラーム＃１とは音色、周波数等の異なるアラーム＃２を出力する（ステップＳ１１１）が、この場合も前記ステップ１０９と同様に、監視側Ｓの劣化診断装置２で抵抗加熱ヒータ５の劣化を診断し、診断結果をメンテナンス側Ｍの通信端末３に送信させてメンテナンス側Ｍの通信端末３による抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実行させる。
【００５６】
続いて、被処理体をロット不良にすることなく抵抗加熱ヒータ５の交換を可能とするために、実際に処理室に被処理体を搬入する前に、抵抗加熱ヒータ５の加熱を終了する（ステップＳ１０３）。
【００５７】
一方、変化率が例えば±１０％以上でない場合、及び、変化率が例えば±３０％以上でない場合、すなわち、１０％未満の場合には、引き続き、抵抗加熱ヒータ５を加熱していき、温度調節手段１３Ａによって、熱電対８から出力される電気信号と予め設定している抵抗加熱ヒータ５の設定温度とに基づいて、サイリスタ１６をオン／オフして、アイドル状態（スタンバイ状態）を継続する。また、熱電対８から出力される電気信号が示す情報やサイリスタ１６のオン／オフの制御情報を、監視側Ｓに送信させるが（ステップＳ１２）、この場合も、変化率の結果をヒータ検査装置２３Ａの送信手段１ｆから監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａにリアルタイムに送信させることによって、抵抗加熱ヒータ５の劣化の状態を監視側Ｓに判定させると共に、監視側Ｓの劣化診断装置２のデータ送信手段２ｄから半導体生産側Ｈのヒータ検査装置２３Ａの受信手段１ｈに診断結果を返信させる。また、この際には、監視側Ｓの劣化診断装置１のデータ送信手段２ｄからメンテナンス側Ｍの通信端末３に診断結果をリアルタイムに送信させて、メンテナンス側Ｍのメンテナンス業者に抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実行させる。
【００５８】
以上説明したように、実施例１では、同じ温度における抵抗加熱ヒータ５の理論抵抗値と実際の抵抗加熱ヒータ５の抵抗値の変化率をとらえて、抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を割り出すことにより、抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度から抵抗加熱ヒータ５の交換の必要性があれば、その旨を報知して、抵抗加熱ヒータ５の交換を促すことができるようにしている。従って、作業者の経験に基づく主観的な判断に頼ることなく、客観的な判断ができるようになり、抵抗加熱ヒータ５を断線前に交換することができる。
【００５９】
また、抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を知ることができるので、常に炉で正常な熱処理ができるようになり、被処理体のロット不良を出すこともなく、生産性を向上できる。特に縦型炉４の生産性を向上することができる。また、抵抗加熱ヒータ５の劣化判断が正確なるため、予備の抵抗加熱ヒータ５を準備して定期交換する必要がなく、必要に応じた抵抗加熱ヒータ交換ができるようになり、また交換後に寿命予測範囲期間内で断線するという問題もなくなる。
【００６０】
また、実施例１では、商用電源１１を抵抗加熱ヒータ抵抗測定用の電源として使用しているために、抵抗加熱ヒータ抵抗測定用の特別な電源が不要となり、構成が簡単になる。また、既存の半導体製造装置にヒータ検査装置２３Ａを追加するだけで、抵抗加熱ヒータ５の劣化を検査することができる装置を実現できる。
【００６１】
また、半導体製造装置が半導体ウェーハ処理に入る前のアイドル状態（スタンバイ状態）のときに、そのままの状態で、抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を割り出せるようにしているので、抵抗加熱ヒータ抵抗測定時に、商用電源１１に基づいて抵抗加熱ヒータ加熱される炉内温度が乱されるようなことはなく、また半導体製造装置の稼動に支障をきたすこともない。
そして、図１０で説明したように、インターネットＩＴを含むネットワークＮに前記ヒータ検査装置２３Ａの送信手段１ｆ及び受信手段１ｈを接続し、前記実施の形態と同様にインターネットＩＴを含むネットワークＮを介して監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａにリアルタイムに接続することによって、監視側Ｓで抵抗加熱ヒータ５の劣化状態を診断し、診断結果に基づいて抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実施させるようにした場合は、本発明の実施の形態と同様に半導体生産側Ｈの抵抗加熱ヒータ５の劣化に起因した不測の事態を防止でき、また、図１で説明したように、インターネットＩＴを含むネットワークＮを介して監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａにリアルタイムに接続し、監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａにメンテナンス側Ｍの通信端末３を接続することによって、監視側Ｓで抵抗加熱ヒータ５の劣化状態を診断し、診断結果に基づいてメンテナンス側Ｍで抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実施させると、本発明の実施の形態と同様に、抵抗加熱ヒータ５の劣化に起因したロット不良などの不測の損害を防止することができる。
【実施例２】
【００６２】
図１５は、実施例２のヒータ検査装置２３Ａに代わるヒータ制御装置２３Ｂの回路図である。ここでは、電力要素を印加する印加手段が、抵抗加熱ヒータ５に交流電圧を印加する商用電源１１とは別な、直流電圧を印加する直流電源で構成される。なお、図１２を用いて説明した部分と同じ部分には同符合を付して説明を省略する。この場合、ヒータ検査装置２３Ｂは、半導体生産側Ｈ側に備えられ、劣化診断装置２は、監視側又は保守側に配置され、メンテナンス側Ｍには通信端３が備えられるものとする。
図１５には、図１１に示す抵抗加熱ヒータ５に加えて、以下説明する商用電源１１と、受電用端子台１２と、保護用ブレーカ（ＮＦＢ）１３と、電源トランスＴＲと、サイリスタ１６と、熱電対８と、熱電対９と、シャント抵抗器１０Ｂと、ヒータ制御装置２３Ｂとを示している。
シャント抵抗器１０Ｂは、抵抗加熱ヒータ５に流れる電流の一部を分離してヒータ制御装置２３Ｂ側へ出力するものである。
【００６３】
ヒータ制御装置２３Ｂは、以下説明する取得手段２２と、直流電圧発生器１８と、温度調節手段１３Ｂと、テーブルメモリ１４と、ＤＯ出力手段１５と、演算器（ＣＰＵ）１７Ｂと、Ａ／Ｄ変換器１９と、電圧検出手段２０Ｂと、電流検出手段２１Ｂと、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）２５とを備える。また、ヒータ制御装置２３Ｂには、図１５には示されていないが、抵抗値検出装置に必要な通信手段として送信手段１ｆ、受信手段１ｈ等が備えられる。
【００６４】
電圧検出手段２０Ｂは、前記抵抗値検出装置１の電圧検出手段１ｃとして機能し、ＣＰＵ１７Ｂからの命令に従って、直流電圧発生器１８によって発生され、抵抗加熱ヒータ５の両端に印加される直流電圧を検出するものである。
電流検出手段２１Ｂは、ＣＰＵ１７Ｂからの命令に従って、直流電圧発生器１８によって発生された直流電圧を抵抗加熱ヒータ５に印加したときに抵抗加熱ヒータ５に流れる電流を、シャント抵抗器１０Ｂによって分離された電流に基づいて検出するものである。
【００６５】
取得手段２２は、例えば電源トランスＴＲの二次側に接続されており、電源トランスＴＲの二次側電源と抵抗加熱ヒータ５とを結ぶ経路から、抵抗加熱ヒータ５に加えられる二次側電源の電源同期信号を取得するものである。ここで二次側電源の電源同期信号は、サイリスタ１６によって通電制御される二次側電源の電流のオン／オフに同期した信号である。
直流電圧発生器１８は、取得手段２２で取得された電源同期信号に基づいて、遮断手段であるサイリスタ１６が位相制御されて、経路を一時的にオフしているときに、抵抗加熱ヒータ５に印加する直流電圧を発生するものである。そのために、直流電圧発生器１８はサイリスタ１６を経ずに抵抗加熱ヒータ５に直接接続されるようになっている。前述した電源同期信号は、電源トランスＴＲで変換されてサイリスタ１６によって位相制御される電圧波形から形成される。
【００６６】
温度検出手段（温度検出計）１３Ｂは前記抵抗値検出装置１の温度検出手段１ａとして機能し、熱電対８から出力される電気信号に対応する測定温度と予め設定している抵抗加熱ヒータ５の設定温度とに基づいてサイリスタ１６のオン／オフを位相制御したり、熱電対８から出力される電気信号に対応する測定温度やサイリスタ１６のオン／オフの制御情報を上位装置等へ送信したりするものである。
【００６７】
演算器（ＣＰＵ）１７Ｂは前記抵抗値検出装置１のＣＰＵ１ｅとしても機能し、前記抵抗値検出装置１のＡ／Ｄ変換器１ｄとしても機能するＡ／Ｄ変換器１９で変換された電圧検出手段２０Ｂ及び電流検出手段２１Ｂのデジタル信号の検出結果に基づいて抵抗加熱ヒータ５の検査時の抵抗値を算出すると共に、前記した劣化診断のための診断基準データ、すなわち、温度−抵抗値特性、温度の変化率−抵抗の変化率特性の他、算出した抵抗加熱ヒータ５の検査時の抵抗値とテーブルメモリ１４の記憶内容とに基づいて抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を割り出すものである。このようなテーブルメモリ１４を利用すれば、前記診断基準データが劣化診断装置２のメモリやデータベース２ｂに格納されていない状態でも抵抗加熱ヒータ５の劣化の診断可能となる。
【００６８】
この場合、演算器（ＣＰＵ）１７Ｂは、割り出した抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度をヒータ検査装置２３Ｂのデータ送信手段２ｂから上位装置、例えば、前記したように、監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａに送信するように命令する、あるいは割り出した抵抗加熱ヒータ５の劣化の程度を上位装置に送信するものであるが、前記実施の形態で説明したように、前記監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａに送信し、前記監視側Ｓで診断した結果を前記監視側Ｓの劣化診断装置２のデータ送信手段２ｄから半導体生産側Ｈのヒータ制御装置２３Ｂの受信手段１ｈに返信させて前記スピーカからアラームが出力されるようにＤＯ出力手段１５へ命令してもよい。そして、監視側Ｓの劣化診断装置２のデータ送信手段２ｄからメンテナンス側Ｍの通信端末３に診断結果を送信し、メンテナンス側Ｍによって抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスが実施されるようにしてもよい。
【００６９】
さらに、演算器（ＣＰＵ）１７Ｂは、直流電圧発生器１８に対して直流電圧を発生するように促すと共に、取得手段２２で取得された電源同期信号に基づいて、サイリスタ１６が位相制御により一時的にオフされるときに、直流電圧発生器１８で発生させた直流電圧を抵抗加熱ヒータ５へ印加するように命令する等のヒータ制御装置２３Ｂの動作の制御を司るものである。
【００７０】
ＤＯ出力手段１５は、ＣＰＵ１７Ｂの命令に従って、抵抗加熱ヒータ５の交換の必要性があることを示すアラームを出力するように、図示しないスピーカに促すものである。
Ｉ／Ｆ２５は、ＣＰＵ１７Ｂ及び温度調節手段１３Ｂと上位装置等とを接続するインターフェイスである。
【００７１】
図１６は、図１５に示す縦型炉４及びヒータ制御装置２３Ｂの動作を示すフローチャートである。前記テーブルメモリ１４を検索し、診断基準データのファイルを読み込む。この診断基準データは、実施の形態で説明したように、診断基準とする抵抗加熱ヒータ５から試験によって採取した実データである（ステップＳ１９７）。次に、診断基準データが読み込まれたかどうかを判定する（ステップＳ１９８）の判定で診断基準が正常に読み込むことができなかった場合は、テーブルメモリ１４に診断基準データのファイルが格納されていないものとして次に理論値モードを実行するかどうかを判定する（ステップＳ１９９）。理論値モードとは、ヒータ制御装置２３Ｂを用い、抵抗加熱ヒータ５の理論抵抗値と実際の抵抗値とに基づいて抵抗加熱ヒータ５の劣化を診断し、異常や断線の時期、メンテナンスの時期などを判定することができるモードのことである。
ステップＳ９９で理論値モードを選択しない場合は、このフローを終了し、前記テーブルメモリ１４に前記診断基準データを格納した後に、再度、このフローを起動させ、図７で説明した劣化診断プログラムと同じプログラムを実行させる。
ステップＳ９９で理論値モードを選択する場合は、まず、商用電源１１の交流電圧を抵抗加熱ヒータ５に印加して、抵抗加熱ヒータ５を例えば８００℃に向けて加熱する（ステップＳ２０１）。
次に、ＣＰＵ１７Ｂは、抵抗加熱ヒータ５自体の温度を測定する熱電対９から出力される電気信号に基づいて、抵抗加熱ヒータ５の温度が、抵抗加熱ヒータ５の検査温度である例えば８００℃に達したか否かを判別し、８００℃に達するまで判別を繰り返す（ステップＳ２０２）。
抵抗加熱ヒータ５が例えば８００℃に達した場合には、ＣＰＵ１７Ｂは、取得手段２２によって電源トランスＴＲの二次側電源の電源同期信号を取得する（ステップＳ２０３）。
【００７２】
ＣＰＵ１７Ｂは、この取得した電源同期信号から、サイリスタ１６によって電源トランスＴＲの二次側電源から抵抗加熱ヒータ５へ通じる経路が遮断されている期間（サイリスタ１６によってオフしている期間）を読み取り、その遮断期間中に、抵抗加熱ヒータ５の抵抗検出用データ、すなわち、診断基準データを取得するための一連のステップＳ２０４〜Ｓ２０９を処理する。この遮断期間は、例えば数十ｍｍｓｅｃオーダであり、最大でも１秒程度である。また、遮断期間中に一連のステップを繰り返して複数の検出データを取得するようにしても、あるいは複数の遮断期間にわたって複数の検出データを取得するようにしてもよい。複数の検出データを取得する場合は、それらの平均値を採用する。
【００７３】
サイリスタ１６がオフすると、まず、直流電圧発生器１８に対して、抵抗加熱ヒータ５に印加する直流電圧を発生するように命令する（ステップＳ２０４）。
そして、ＣＰＵ１７Ｂは、直流電圧発生器１８で発生された直流電圧を、抵抗加熱ヒータ５に印加する（ステップＳ２０６）。
この状態で、電圧検出手段２０Ｂによって、直流電圧発生器１８によって発生され抵抗加熱ヒータ５に印加される直流電圧を検出する（ステップＳ２０７）。
【００７４】
また、電流検出手段２１Ｂによって、抵抗加熱ヒータ５に流れる電流を、シャント抵抗器１０Ｂによって分離された電流に基づいて検出する（ステップＳ２０８）。
さらに、温度調節手段１３Ｂによって、熱電対９から出力される電気信号に基づいて抵抗加熱ヒータ５の温度（検出温度Ｔ℃、ここでは８００℃）を検出する（ステップＳ２０９）。
なお、電圧検出手段２０Ｂと電流検出手段２１Ｂと温度調節手段１３Ｂとによるアナログ信号の検出結果は、Ａ／Ｄ変換器１９によって、デジタル信号の検出結果に変換され、ＣＰＵ１７Ｂに出力される。
【００７５】
このようにしてサイリスタ１６がオフしている遮断期間中に、ＣＰＵ１７Ｂは抵抗加熱ヒータ抵抗測定用データを取得するが、このデータ取得前はもちろん、取得中も、取得後も、電源トランスＴＲの二次側電源の電流はサイリスタ１６による通電制御下にあり、炉の温度が設定温度となるように通常に制御されている。
【００７６】
次に、ＣＰＵ１７Ｂは、例えば、温度調節手段１３Ｂの検出温度（Ｔ℃）とテーブルメモリ１４の記憶内容とに基づいて、検出温度（Ｔ℃）での抵抗加熱ヒータ５の理論抵抗値Ｒを算出する（ステップＳ２１１）。
続いて、抵抗加熱ヒータ５の理論抵抗値Ｒと抵抗加熱ヒータ５の実際の抵抗値Ｒ’との変化率を算出する（ステップＳ２１３）。
【００７７】
次に、ＣＰＵ１７Ｂは、算出した変化率が例えば±１０％以上であるか否かを判定する（ステップＳ２１４）。
判定の結果、変化率が例えば±１０％以上である場合には、ＣＰＵ１７Ｂは、近々、抵抗加熱ヒータ５の交換の必要性があるとして、ＤＯ出力手段１５へ命令することによって、例えばスピーカからアラーム＃１を出力してから、ステップＳ２１８へ移行する（ステップＳ２１５）が、この場合も、判定の結果、すなわち、抵抗加熱ヒータ５に対する診断の結果を前記ネットワークＮを介して前記監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａに送信させ、監視側Ｓが劣化を診断させる。そして、この場合において、診断の結果を前記した監視側Ｓから半導体生産側Ｈのヒータ制御装置２３Ｂに返信させ、同時に、前記監視側Ｓの劣化診断装置２のデータ送信手段２ｄからネットワークＮを介して前記メンテナンス側Ｍの通信端末３に判定結果をリアルタイムに送信させ、前記メンテナンス側Ｍに前記抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実施させる。
【００７８】
ステップＳ２１８では、算出した変化率が例えば３０％以上であるか否かを判定する。判定の結果、変化率が例えば３０％以上である場合には、ＣＰＵ１７Ｂは、早急に、抵抗加熱ヒータ５の交換の必要性があるとして、ＤＯ出力手段１５へ命令することによって、例えばスピーカからアラーム＃１とは音色、周波数等の異なるアラーム＃２を出力する（ステップＳ２１７）が、この場合も前記ステップ１０９と同様に、監視側Ｓで抵抗加熱ヒータ５の劣化を診断し、メンテナンス側Ｍによる抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスが実行されるようにしてもよい。
【００７９】
続いて、被処理体をロット不良にすることなく抵抗加熱ヒータ５の交換を可能とするために、実際に処理室に被処理体を搬入する前に、抵抗加熱ヒータ５の加熱を終了する（ステップＳ２１８）。
【００８０】
一方、変化率が例えば±１０％以上でない場合、及び、変化率が例えば±３０％以上でない場合、すなわち、変化率が１０％未満の場合には、引き続き、抵抗加熱ヒータ５を加熱していき、温度調節手段１３Ｂによって、熱電対８から出力される電気信号と予め設定している抵抗加熱ヒータ５の設定温度とに基づいて、サイリスタ１６をオン／オフして、アイドル状態（スタンバイ状態）を継続する。また、熱電対８から出力される電気信号が示す情報やサイリスタ１６のオン／オフの制御情報を上位装置等へ送信するが（ステップＳ２１８）、この場合も、変化率の結果をヒータ制御装置２３Ｂの送信手段１ｆから監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａにリアルタイムに送信させることによって、抵抗加熱ヒータ５の劣化の判断を監視側Ｓで判定させると共に、監視側Ｓの劣化診断装置２のデータ送信手段２ｄから半導体生産側Ｈのヒータ制御手段２３Ｂに診断結果を返信させる。また、この際には、監視側Ｓのヒータ制御装置２３Ｂからメンテナンス側Ｍの通信端末３に診断結果をリアルタイムに送信させて、メンテナンス側Ｍのメンテナンス業者に抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実行させる。
【００８１】
以上説明したように、実施例２によれば、商用電源１１ではなく、直流電源に基づいて抵抗加熱ヒータ５のデータを取得するようにしたので、交流の電力制御状態による電流波形、電圧波形のひずみの影響を受けず、実効値／直流変換時に伴う誤差もなくなり、抵抗加熱ヒータ５を単純抵抗として計算できる。そのため、実施例１の効果に加えて、実際の抵抗値を高い精度で算出することができる。
【００８２】
また、実施例２では、直流電圧の抵抗加熱ヒータ５への印加は、サイリスタ１６のオン／オフ制御に基づく電源同期信号と同期した経路の遮断期間内に行うようにしている。すなわち、二次側電源と抵抗加熱ヒータ５とを結ぶ経路のサイリスタ１６の位相制御による遮断期間内に、抵抗加熱ヒータ５の実際のデータを検出するようにしたので、抵抗加熱ヒータ抵抗検出、時に抵抗加熱ヒータ５に直流電圧を印加しても、商用電源１１に基づいて抵抗加熱ヒータ加熱される炉内温度が乱されるようなことはない。また、直流電圧発生器１８による抵抗加熱ヒータ５の加熱期間は、ごく短い期間であるため、直流電源加熱によっても炉内温度が乱されるようなことがない。
【００８３】
また、実施例２では、直流電圧の抵抗加熱ヒータ５への印加は、サイリスタ１６のオン／オフ制御に基づく電源同期信号と同期した経路の遮断期間内に行うようにしたが、炉内の温度制御に影響を与えない期間内であれば、抵抗加熱ヒータ検査のために一定期間サイリスタを強制的にオフさせて、そのオフ期間（経路遮断期間）、直流電圧を抵抗加熱ヒータ５に印加するようにしてもよい。
従って、この実施例にあっても図１０で説明したように、インターネットＩＴを含むネットワークＮにヒータ制御装置２３Ｂを接続し、前記実施の形態と同様にインターネットＩＴを含むネットワークＮを介して監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａにリアルタイムに接続することによって、監視側Ｓで抵抗加熱ヒータ５の劣化状態を診断し、診断結果に基づいて抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実施させる場合には、本発明の実施の形態と同様に半導体生産側Ｈの抵抗加熱ヒータ５の劣化に起因した不測の事態を防止できる。また、図１で説明したように、インターネットＩＴを含むネットワークＮを介して監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａにリアルタイムに接続し、監視側Ｓの劣化診断装置２の受信手段２ａにメンテナンス側Ｍの通信端端末３を接続することによって、監視側Ｓで抵抗加熱ヒータ５の劣化状態を診断し、この診断結果に基づいてメンテナンス側Ｍで抵抗加熱ヒータ５のメンテナンスを実施させるようにした場合には、本発明の実施の形態と同様に、抵抗加熱ヒータ５の劣化に起因したロット不良などの不測の損害を防止することができる。
【実施例３】
【００８４】
ところで、上述した実施例２では、電力要素を印加する印加手段を、抵抗加熱ヒータ５に直流電圧を印加する直流電圧発生器で構成したが、本発明はこれに限定されず、直流電流発生器で構成してもよい。
実施例３は、実施例２の直流電圧発生器１８（図１５参照）に代えて直流電流発生器を備えたものであり、電力要素を印加する印加手段が、前記抵抗加熱ヒータ５に直流電流を流す直流定電流源で構成されている。
【００８５】
直流電圧発生器１８に代えて直流定電流源を、サイリスタ１６を経ずに、直流定電流源と前記抵抗加熱ヒータ５との間で閉回路が形成されるように、抵抗加熱ヒータ５に接続する。演算器（ＣＰＵ）１７Ｂは、サイリスタ１６が経路をオフしているかオフしていないかにかかわらず、常時、直流定電流源から抵抗加熱ヒータ５へ、商用電源１１によって加熱されるヒータ温度に影響のでない範囲の直流定電流値を流すようにする。また、演算器（ＣＰＵ）１７Ｂは、取得手段２２で取得された電源同期信号に基づいて温度調節手段１３Ｂを経由してサイリスタ１６を一時的にオフしたときに、直流定電流源から流している直流定電流に基づいて、実施例２と同様なフローに従って、抵抗加熱ヒータ５の理論抵抗値Ｒと抵抗加熱ヒータ５の実際の抵抗値Ｒ’との変化率を算出し、抵抗加熱ヒータ検査を行う。
【００８６】
実施例３では、抵抗加熱ヒータ５に直流定電流を常時流しているので、経路の切替え時のロスタイムがなくなり、速やかに抵抗加熱ヒータ検査を行うことができる。
【００８７】
なお、本発明は、抵抗加熱ヒータ５を加熱する構成要素を有する半導体製造装置であれば、縦型炉４に限定されず、いずれの装置、例えば一度に処理する被処理体の数が１〜３程度と少ない枚葉炉等にも適用可能である。また装置の種類によらず、抵抗加熱ヒータ５を備えたものであればいずれも適用可能である。
【００８８】
また、上述した実施例では、抵抗加熱ヒータ５の検査温度が所定の温度（８００℃）に達したか否かを判別するようにしたが、任意の温度で抵抗加熱ヒータ５を検査するようにしてもよい。その場合、理論抵抗値Ｒを求めるに際しては、検査温度に最も近い抵抗温度係数をテーブルメモリ１４から選択して使用するとよい。
さらに、前記劣化診断プログラムには、抵抗値の変化が診断基準の抵抗値の変化に対比して１０％を超え３０％未満の場合と、３０％を超える場合の両方において、半導体生産側Ｈの抵抗値検出装置１とメンテナンス側Ｍのスピーカ（図示せず）を作動させて警告を促すプログラムを組み込んでおき、音による警告を促すようにしてもよい。
また、監視側Ｓでメンテナンス側Ｍとの情報交換により前記メンテナンスファイルを更新し、各レコード、各レコードの各セルについて内容を充実するようにしてもよい。
さらに、前記データの採取は、本実施の形態では、データのサンプリングが１℃刻みになるように設定するが、サンプリング数が多くデータ量が膨大な量となる場合は、診断に影響のない程度までサンプリング数を減らすようにしても構わない。
また、実施の形態では、温度の変化に基づく抵抗値の変化に基づいて診断基準データと受診データとを作成する説明をしたが、これらの微分値、すなわち、変化率で診断基準データと受診データを作成し、相互の対比により抵抗加熱ヒータ５の劣化の状態を診断するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】インターネットを含むネットワークで半導体生産側（ユーザ側）の抵抗値検出装置（通信端末）と監視側の劣化診断装置（通信端末）とメンテナンス側（サービス側）の通信端末とを接続したネットワークシステムの解説図である。
【図２】抵抗値検出装置及び劣化診断装置を構成するコンピュータのブロック図である。
【図３】抵抗値検出装置に接続されている表示手段の初期画面の一例を示す解説図である。
【図４】プログラムの動作中を示す確認画面を示す解説図である。
【図５】抵抗値検出装置及び劣化診断装置の動作を制御する診断基準データ入力プログラムのフローチャート図である。
【図６】診断基準データ入力プログラムによって採取され、格納手段としてのデータベース又はメモリに格納された診断基準データのテーブルとマップとを示す解説図であり、図６（ａ）は、抵抗加熱ヒータの温度の変化に基づく抵抗値の変化を示すテーブル、図６（ｂ）は、同じく温度の変化に基づく抵抗値の変化を示すマップの解説図である。
【図７】抵抗値検出装置及び劣化診断装置の動作を制御する劣化診断プログラムの一例を示すフローチャート図である。
【図８】劣化診断プログラムが作成するテーブル及びマップの解説図であり、図８（ａ）は、抵抗加熱ヒータの温度の変化に基づく抵抗値の変化を示すテーブル、図８（ｂ）は、同じく温度の変化に基づく抵抗値の変化を示すマップを示す解説図である。
【図９】劣化診断装置に接続されている表示手段の画面に診断基準データのマップと受診データのマップを互い重ね表示させた例を示す解説図である。
【図１０】インターネットを含むネットワークで半導体生産側（ユーザ側）と監視側とをリアルタイムに接続した一実施の形態を示す解説図である。
【図１１】本発明に係る半導体製造装置の構成要素となる縦型炉に抵抗加熱ヒータを取り付けている様子を示す斜視図である。
【図１２】実施例１による抵抗加熱ヒータ及びヒータ検査装置の回路図である。
【図１３】図２に示すテーブルメモリの記憶内容を示す図である。
【図１４】実施例１によるヒータ検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図１５】実施例２による抵抗加熱ヒータ及びヒータ検査装置の回路図である。
【図１６】実施例２によるヒータ検査装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００９０】
１  抵抗値検出装置
１ａ  温度検出手段
１ｂ  電流検出手段
１ｃ  電圧検出手段
１ｄ  Ａ／Ｄ変換器
１ｅ  ＣＰＵ（抵抗値算出手段）
１ｆ  送信手段
２  劣化診断装置
２ａ  受信手段
２ｂ  データベース（格納手段）
２ｃ  ＣＰＵ（判定手段）
４  半導体製造装置
５  抵抗加熱ヒータ
【図１】
2006165200.tif 000003
【図２】
2006165200.tif 000004
【図３】
2006165200.tif 000005
【図４】
2006165200.tif 000006
【図５】
2006165200.tif 000007
【図６】
2006165200.tif 000008
【図７】
2006165200.tif 000009
【図８】
2006165200.tif 000010
【図９】
2006165200.tif 000011
【図１０】
2006165200.tif 000012
【図１１】
2006165200.tif 000013
【図１２】
2006165200.tif 000014
【図１３】
2006165200.tif 000015
【図１４】
2006165200.tif 000016
【図１５】
2006165200.tif 000017
【図１６】
2006165200.tif 000018