(57)【要約】【課題】溶融金属に対する濡れ性を改善し、長寿命化を達成することができる金属蒸発ボートを提供する。【解決手段】二硼化チタン（ＴｉＢ２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ２ ）と窒化硼素（ＢＮ）を含有してなるセラミックス焼結体の上面に、通電方向と平行でない方向に、溝の深さに有位差をつけて複数の溝を設けてなることを特徴とする金属蒸発発熱体。この場合において、（１）一つの溝において、又は溝と溝同士間において、溝の深さの有意差があること、（２）溝の深さの有意差が、溝の最深部の深さに対して１０％以上、特に３０％以上であること、（３）複数の溝のうち、最深部を有する溝を、セラミックス焼結体の長手方向に対して中心部又はその近傍に設けること、（４）複数の溝のうち、最浅部を有する溝を、セラミックス焼結体の長手方向に対して一端又は両端に設けること、（５）溝の数が１０以上であること、などが好ましい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
二硼化チタン（ＴｉＢ２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ２ ）と窒化硼素（ＢＮ）を含有してなるセラミックス焼結体の上面に、通電方向と平行でない方向に、溝の深さに有位差をつけて複数の溝を設けてなることを特徴とする金属蒸発発熱体。
【請求項２】
一つの溝において、又は溝と溝同士間において、溝の深さに有意差をつけることを特徴とする請求項１記載の金属蒸発発熱体。
【請求項３】
溝の深さの有意差が、溝の最深部の深さに対して１０％以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の金属蒸発発熱体。
【請求項４】
複数の溝のうち、最深部を有する溝を、セラミックス焼結体の長手方向に対して中心部又はその近傍に設けることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【請求項５】
複数の溝のうち、最浅部を有する溝を、セラミックス焼結体の長手方向に対して一端又は両端に設けることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【請求項６】
溝の数が１０以上であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【請求項７】
通電方向と平行でない方向が、通電方向に対して２０〜１６０度であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【請求項８】
交差点が少なくとも一カ所できるように溝同士を交差させることを特徴とする請求項1〜７のいずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【請求項９】
セラミックス焼結体がキャビティを有するものであり、キャビティ底面及び／又はセラミックス焼結体の上面に、複数の溝を設けることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【請求項１０】
キャビティ底面及び／又はセラミックス焼結体上面に、複数の溝によって模様が描かれていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【請求項１１】
模様の占有面積率が、キャビティを有するものについてはキャビティ底面積に対して、キャビティを有しないものについてはセラミックス焼結体の上面積に対して、それぞれ３０％以上であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【請求項１２】
溝が、幅０．１〜１．５ｍｍ、長さ１ｍｍ以上、深さ０．０３〜１．０ｍｍであり、溝の深さの有位差が、溝の最深部の深さに対して１０％以上であり、しかも０．００５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１〜１１いずれかに記載の金属蒸発発熱体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属蒸着発熱体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属蒸発発熱体（以下、「ボート」ともいう。）としては、例えば窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、及び二硼化チタン（ＴｉＢ２）を主成分とするセラミックス焼結体の上面にキャビティを形成させたものが知られている（特公昭５３−２０２５６号公報）。その市販品の一例として電気化学工業社製商品名「ＢＮコンポジットＥＣ」がある。これの使用方法は、ボートの両端をクランプで電極につなぎ電圧を印加して発熱させ、キャビティに入れられたＡｌ線材等の金属を溶融・蒸発させて蒸着膜を得、冷却される。このような操作は、繰り返し行われ、その間に冷熱サイクルと溶融金属による浸食を受けて寿命となる。
【０００３】
ボート寿命は、ボートに対する溶融金属の濡れ性に大きく関係しており、濡れ性が悪いと、溶融金属は局在化しボート本来の蒸着効率が得られないばかりか、ボートに対する溶融金属の腐食の進行速度を速め、ボート寿命が短くなる。そこで、ボートの濡れ性を確保するため、レーザー照射をするなどの種々の工夫が行われているが、十分なる長寿命化は達成できていない。また、レーザー照射には多大な装置・設備が必要となる。これを解決するべく、本出願人は、セラミックス焼結体の上面に、通電方向と平行でない方向に溝の１又は２以上を設けてなるボートを先に提案した（特許文献１）。
【特許文献１】特願２００４−００８２１７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、溶融金属に対する濡れ性を改善し、長寿命化を達成することができる金属蒸発発熱体（ボート）を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、二硼化チタン（ＴｉＢ２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ２ ）と窒化硼素（ＢＮ）を含有してなるセラミックス焼結体の上面に、通電方向と平行でない方向に、溝の深さに有位差をつけて複数の溝を設けてなることを特徴とする金属蒸発発熱体である。
【０００６】
本発明においては、以下の実施態様（１）〜（１１）から選ばれる１又は２以上を備えていることが好ましい。
（１）一つの溝において、又は溝と溝同士間において、溝の深さの有意差があること。
（２）溝の深さの有意差が、溝の最深部の深さに対して１０％以上、特に３０％以上であること。
（３）複数の溝のうち、最深部を有する溝を、セラミックス焼結体の長手方向に対して中心部又はその近傍に設けること。
（４）複数の溝のうち、最浅部を有する溝を、セラミックス焼結体の長手方向に対して一端又は両端に設けること。
（５）溝の数が１０以上であること。
（６）通電方向と平行でない方向が、通電方向に対して２０〜１６０度、特に６０〜１２０度であること。
（７）交差点が少なくとも一カ所できるように溝同士を交差させること。
（８）セラミックス焼結体がキャビティを有するものであり、キャビティ底面及び／又はセラミックス焼結体の上面に、溝を有していること。
（９）キャビティ底面及び／又はセラミックス焼結体上面に、複数の溝によって模様が描かれていること。
（１０）模様の占有面積率が、キャビティを有するものについてはキャビティ底面積に対して、キャビティを有しないものについてはセラミックス焼結体の上面積に対して、それぞれ３０％以上、特に５０％以上、更には８０％以上であること。
（１１）溝が、幅０．１〜１．５ｍｍ、長さ１ｍｍ以上、深さ０．０３〜１．０ｍｍであり、溝の深さの有位差が、溝の最深部の深さに対して１０％以上、特に３０％以上であり、しかも０．００５ｍｍ以上、特に０．０１ｍｍ以上であること。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、溶融金属に対する濡れ性を改善し、長寿命化を達成することができるボートが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明で用いるセラミックス焼結体の組成は、二硼化チタン及び／又は二硼化ジルコニウムの導電物質と、窒化硼素の絶縁物質と、を少なくとも必須成分として含有するものである。窒化チタン、炭化珪素、炭化クロム等の導電物質や、窒化アルミニウム、窒化珪素、アルミナ、シリカ、酸化チタン等の絶縁物質は適宜含有させることができる。
【０００９】
なかでも、二硼化チタン及び／又は二硼化ジルコニウムと、窒化硼素と、を主成分とするか、又は二硼化チタン及び／又は二硼化ジルコニウムと、窒化硼素と、窒化アルミニウムと、を主成分とするものであることが好ましい。特に好ましくは、二硼化チタン及び／又は二硼化ジルコニウム３０〜６０％（％は質量％、以下同じ。）と、窒化硼素７０〜４０％と、を含むか、又は二硼化チタン及び／又は二硼化ジルコニウム３５〜５５％と、窒化硼素２５〜４０％と、窒化アルミニウム５〜４０％とを含むものが好適である。このような組成であると、セラミックス焼結体の加工が極めて容易となる。
【００１０】
また、セラミックス焼結体の相対密度は好ましくは９０％以上、特に９３％以上であることが好適である。相対密度が９０％よりも著しく小さいと、溶融金属がセラミックス焼結体の気孔に浸食し、浸食が促進される恐れがある。相対密度９０％以上の実現は、上記組成に１０％を超えない範囲で後述の焼結助剤を添加すれば容易となる。なお、セラミックス焼結体の相対密度は、焼結体を所定の寸法の直方体に加工し、その外寸及び質量より求めた実測密度を理論密度で除することにより求められる。
【００１１】
本発明で用いるセラミックス焼結体は、二硼化チタン及び／又は二硼化ジルコニウムの導電物質と、窒化硼素の絶縁物質とを含む混合原料粉末を成形後焼結することによって製造することができる。
【００１２】
原料の二硼化チタン粉末としては、金属チタンとの直接反応やチタニア等の酸化物の還元反応を利用した方法等いずれの製造法によって得られたもので良い。平均粒子径は５〜２５μｍであることが好ましい。
【００１３】
窒化硼素粉末としては、六方晶窒化硼素又はアモルファス窒化硼素、又はこれらの混合物であることが好ましい。これは、硼砂と尿素の混合物をアンモニア雰囲気中、８００℃以上で加熱する方法、硼酸又は酸化硼素と燐酸カルシウムの混合物をアンモニウム、ジシアンジアミド等の含窒素化合物を１３００℃以上に加熱する方法などによって製造することができる。更には、窒化硼素粉末を窒素雰囲気中で高温加熱し、結晶性を高めたものであっても良い。窒化硼素粉末の平均粒子径は、１０μｍ以下、特に５μｍ以下であることが好ましい。
【００１４】
窒化アルニミウム粉末は、直接窒化法、アルミナ還元法などで製造されたものでよく、平均粒子径は１０μｍ以下、特に７μｍ以下であることが好ましい。
【００１５】
焼結助剤としては、アルカリ土類金属酸化物、希土類元素酸化物及び加熱によってこれらの酸化物となる化合物からなる群から選ばれる一種又は二種以上の粉末が用いられる。具体的には、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｃｅ２Ｏ３、Ｐｒ２Ｏ３、Ｎｄ２Ｏ３、Ｐｍ２Ｏ３、Ｓｍ２Ｏ３、Ｅｕ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｔｂ２Ｏ３、Ｄｙ２Ｏ３、Ｈｏ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３など、更にはＣａ（ＯＨ）２等の水酸化物や、ＭｇＣＯ３等の炭酸塩等、加熱によってこれらの酸化物となる化合物などを例示することができる。焼結助剤の平均粒子径は５μｍ以下、特に１μｍ以下であることが好ましい。
【００１６】
上記成分を含む混合原料粉末は、好ましくは造粒されてから、成形し焼結される。成形・焼結条件の一例をあげると、０．５〜２００ＭＰａの一軸加圧又は冷間等方圧加圧した後、１８００〜２２００℃の温度下における常圧焼結又は１ＭＰａ以下の低圧焼結である。更に好ましい条件の例としては、１８００〜２２００℃、１〜１００ＭＰａのホットプレス又は熱間等方圧プレスである。
【００１７】
焼結は、黒鉛製容器、窒化硼素製容器、窒化硼素で内張した容器などに収納して行うことが望ましい。ホットプレス法では、黒鉛又は窒化硼素製スリーブ、窒化硼素で内張したスリーブなどを用いて焼結することが好ましい。
【００１８】
セラミックス焼結体からボートを製造するには、例えば機械加工等によって適宜形状に加工することによって行うことができる。また、本発明のボートは、セラミックス焼結体の上面のほぼ中央部にキャビティを設けることもできる。ボート形状の一例を示せば、全体寸法が縦１００〜２００ｍｍ、幅（横）２５〜３５ｍｍ、厚み８〜１２ｍｍの板状体である。キャビティが設けられる場合、キャビティの例としては、縦９０ｍｍ〜１２０ｍｍ、幅（横）２０〜３２ｍｍ、深さ０．５〜２ｍｍの直方形状をあげることができる。
【００１９】
本発明のボートは、セラミックス焼結体の上面に、また、キャビティを有するものにあってはキャビティ底面及び／又はセラミックス焼結体の上面に、通電方向（すなわち電極と電極を結ぶ方向）と平行でない方向に、複数の溝を有するものである。これによって、通電方向と平行方向の濡れ拡がり性を更に抑制し、通電方向と直交方向への濡れ拡がりが助長され、濡れ性が一段と向上する。
【００２０】
通電方向と平行でない方向の角度は、通電方向に対して２０〜１６０度、特に６０〜１２０度であることが好ましい。
【００２１】
溝の形状は、断面が矩形である線状形状が好ましく、その一例を示せば、幅が０．１〜１．５ｍｍ、長さが１ｍｍ以上、深さが０．０３〜１ｍｍ、特に幅が０．３〜１ｍｍ、長さが１０ｍｍ以上、深さが０．０５〜０．２ｍｍである。溝の数は、１０以上、特に３０以上、更には５０以上であることが好ましい。溝と溝の間隔は２ｍｍ以下、特に０．５〜１．５ｍｍであることが好ましい。
【００２２】
本発明においては、溝同士を交差させ、交差点を少なくとも一カ所、好ましくは溝の数と同数以上の交差点を形成させるか、又はセラミックス焼結体の上面及び／又はキャビティ底面に、例えば円形、楕円形、菱形、矩形、月形、格子、放射状等の各種模様（平面模様）を、複数の溝によって描くことが好ましい。模様の占有面積率としては、キャビティを有するものについてはキャビティ底面積に対して、キャビティを有しないものについてはセラミックス焼結体の上面積に対して、それぞれ３０％以上、特に５０％以上、更には８０％以上であることが好ましい。
【００２３】
本発明において、模様の占有面積率とは、最も外側に位置する溝同士を結ぶことによって形成された面積をセラミックス焼結体の上面積又はキャビティの底面積で除した値の百分率として定義される。模様の占有面積率に代わって、セラミックス焼結体の上面積又はキャビティの底面積あたりの溝の占有面積を百分率で表すと、１０％以上、特に３０％以上、更には５０％以上であることが好ましい。
【００２４】
本発明のボートには、アルミニウムなどの溶融金属が側面から這い出るのを防ぐために、セラミックス焼結体の上面に、従来構造のように、例えば舟形等のキャビティが形成されたものであってもよい。本発明においては、キャビティは必ずしも必要ではないが、それを有するものにあっては、溝は少なくともキャビティ底面に形成することが好ましい。
【００２５】
以上のようにして、複数の溝を形成することによって、溝のないボートに比べて、通電方向と平行方向の溶融金属の濡れ性が抑制され、電極への溶融金属の到達を著しく遅らせることができるので、金属蒸発の安定化と高効率化が可能となる。本発明の特徴は、このような複数の溝を設けたボートにおいて、溝の深さに有意差をつけたことであり、これによって溶融金属の濡れ性を助長させたことである。
【００２６】
本発明において、溝の深さの有意差とは、（溝の最深部の深さ−溝の最浅部の深さ）／（溝の最深部の深さ）の百分率、として表示することができる。この式において、溝の最深部の深さを測定するのに用いた溝と、溝の最浅部の深さを測定するのに用いた溝は、同じであっても良いし、異なっていてもよい。本発明において、上式による溝の有意差は、１０％以上、特に３０％以上であることが好ましい。また、上式に関係なく、又は上式に関係させて、（溝の最深部の深さ−溝の最浅部の深さ）が、０．００５ｍｍ以上、特に０．１ｍｍ以上であることが好ましい。
【００２７】
本発明において、溝の深さに有位差を設けるには、（イ）複数の溝のうち、その少なくとも一つの溝において、溝の深さの有意差を設ける、（ロ）２以上の溝同士間において、溝の深さに有位差を設ける、又は（ハ）両者の組合せによって行われる。
【００２８】
（イ）の方法では上式に従って溝の有位差が求められることになる。この場合、溝の最深部は、溝の長手方向に対して１０〜８０％の間、特に４０〜６０％の間に有させ、最浅部はこれらの範囲以外の位置に有させることが好ましい。
【００２９】
（ロ）の方法の場合には、「溝の最深部」を求めた溝と、「溝の最浅部」を求めた溝とは、同じであっても良いし、異なってもよい。さらには、複数の溝の全てが最深部と最浅部のない均一深さの溝であってもよいし、複数の溝の少なくとも一つの溝が、（イ）のように不均一深さの溝を有するものであってもよい。（ハ）は、これらのうち特別な実施態様であって、均一深さを有する溝と不均一深さを有する溝とが組み合わされた構造である。
【００３０】
（ロ）又は（ハ）において、より深い溝（最深部を有する溝を含む）とより浅い溝（最浅部を含む溝）は、例えば交互に設ける、二つ以上置きに設ける、ランダムに設けるなど、全く自由である。しかし、最深部を有する溝は、セラミックス焼結体の長手方向に対して中心部又はその近傍に設けることが好ましい。ここで、長手方向に対して中心部又はその近傍とは、例えば長手方向に対して２０〜８０％、特に３０〜７０％、更には４０〜６０％の位置であることが好ましい。そして、これらの領域以外の領域には、上記領域に配設された、より深い溝（最深部を有する溝を含む）よりもいずれも深さの浅い溝を設けることが好ましい。とくに、セラミックス焼結体の長手方向に対して一端又は両端において、最も端になる溝が、最浅部を有する溝であることが更に好ましい。
【００３１】
溝の加工は、例えば機械加工、サンドブラスト、ウォータージェット等の方法によって行うことができる。
【００３２】
本発明のボートの一例を示す斜視図を図１〜図７に示した。溝の方向は、いずれもセラミックス焼結体の通電方向に対して２０〜１６０度である。図２のボートは交差点を有し、それ以外のボートは交差点を有さない。図１、２、５及び６のボートはキャビティを有し、それ以外のボートはキャビティを有さない。
【００３３】
図１のボートは、長さ１５０mm×幅３０mm×厚み１０ｍｍの直方角柱体からなるセラミックス焼結体の上面の中央部に、幅２６ｍｍ×深さ１ｍｍ×長さ１２０ｍｍのキャビティを設け、更にこのキャビティ底面には、長さ２０ｍｍ、幅１ｍｍ、深さの異なる溝を１ｍｍ間隔幅で、通電方向に対して９０度にして、５０本設けたものである。実施例においては、溝の深さ（図示なし）を種々変更して溝の深さに有意差を設けた。
【００３４】
図２のボートは、ボートのキャビティ底面に、通電方向に対して４５度にした、幅１ｍｍ、深さ０．１５ｍｍ、長さ２８ｍｍの溝を１ｍｍ間隔に３５本と、この溝と直交する通電方向に対して１３５度の傾きをもつ幅１ｍｍ、深さ０．１０ｍｍ、長さ２８ｍｍの溝を３５本とを、交差させて設けたこと以外は、図１と同じである。
【００３５】
図３のボートは、キャビティを形成させることなく、長さ６４５ｍｍ、幅１．５ｍｍで深さの異なる連続する溝により複数の溝（合計３０本）を通電方向に対して９０度の傾きを持つ縞状模様に設けたこと以外は、図１と同じである。深さ０．２０ｍｍの溝はセラミックス焼結体の長手方向に対して４０〜６０％の位置にのみ設けられ、深さ０．１５ｍｍの溝は上記以外の位置に設けられている。
【００３６】
図４のボートは、キャビティを形成させることなく、幅１．０ｍｍ、深さ０．１５ｍｍ、長さ２５ｍｍの溝を１ｍｍ間隔で２４本と、幅１．０ｍｍ、深さ０．１０ｍｍ、長さ２５ｍｍの溝を１ｍｍ間隔で２５とを、両端が深さ０．１０ｍｍの溝として交互に、しかもいずれの溝も通電方向に対して９０度にして設けたこと以外は、図１と同じである。
【００３７】
図５のボートは、キャビティ底面に、最大長さ２４ｍｍ、幅１ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの溝の２６本を、セラミックス焼結体の中心部又はその近傍に通電方向に対して９０度にして設ける一方、その右側と左側には、幅１ｍｍ、深さ０．１０ｍｍの溝を１ｍｍ間隔幅で１２本づつ（合計２４本）を、いずれも通電方向に対して９０度にして設け、楕円模様を形成させたこと以外は、図１と同じである。
【００３８】
図６のボートは、キャビティ底面およびキャビティ以外のボート上面に、長さ２０ｍｍ、幅１ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの溝３０本を、セラミックス焼結体の中心部又はその近傍に通電方向に対して９０度にして設ける一方、その右側と左側には、長さ２０ｍｍ、幅１ｍｍ、深さ０．１０ｍｍの溝を１５づつ（合計３０本）を、いずれも通電方向に対して９０度にして設けたこと以外は、図１と同じである。
【００３９】
図７のボートは、セラミックス焼結体の上面積に、長さ１９ｍｍ、幅１ｍｍ、深さ０．１５ｍｍの溝を、１．５ｍｍ間隔で通電方向に対して９０度にして３０本を設けると共に、その両側には、長さ２５ｍｍ、幅１ｍｍ、深さ０．１０ｍｍの溝を、１．５ｍｍ間隔で通電方向に対して９０度にして１４本づつ（合計２８本）を設け、更にはその両側に、長さ２７ｍｍ、幅１ｍｍ、深さ０．０５ｍｍの溝を、１．５ｍｍ間隔で通電方向に対して９０度にして４本づつ（合計８本）を設ける一方、通電方向に並行な方向には、幅１ｍｍ、深さ０．１５ｍｍ、長さ１３０ｍｍの溝を両縁部にそれぞれ1本、その内側中央部に、幅１ｍｍ、深さ０．１５ｍｍ、長さ６５ｍｍの溝を両縁部にそれぞれ1本を設けたこと以外は、実施例１と同じである。
【００４０】
本発明のボートの使用法の一例をあげれば、ボートの溝の一部又は全部に接触させてＡｌ線材等の金属を供給しながら真空加熱し、フィルム等に金属蒸着膜を形成することである。真空加熱の条件の一例を示せば、真空度が好ましくは１×１０−１〜１×１０−３Ｐａ、温度が好ましくは１４００〜１６００℃である。
【実施例】
【００４１】
実施例１〜３
二硼化チタン 粉末（平均粒子径１２μｍ）４５％、窒化硼素粉末（平均粒子径０．７μｍ）、３０質量％及び窒化アルミニウム粉末（平均粒子径１０μｍ）２５質量％の混合原料粉末を黒鉛製のダイスに充填し、温度１７５０℃でホットプレスを行ってセラミックス焼結体（相対密度９４．５％、直径２００ｍｍ×高さ２０ｍｍ）を製造した。このセラミックス焼結体から、図１に示されるボートを機械加工により製造した。溝の深さ（図示なし）を変更して溝の深さに種々の有意差を設けた。
【００４２】
実施例４〜６
キャビティを形成させなかったこと以外は、実施例１、２又は３と同様にしてボートを製造した。
【００４３】
実施例７ 
一本の溝について、溝の長手方向に対して中央１／３の位置の部分を深さ０．１５ｍｍに、その両側を深さ０．１０ｍｍとし、このような溝を５０本設けたこと以外は、実施例１と同様にしてボートを製造した。
【００４４】
比較例１、２
溝の深さには有意差を設けずに、深さ０．１５ｍｍの溝を均一に形成させたこと以外は、実施例１又は４と同様にしてボートを製造した。
【００４５】
上記で得られたボートの溶融金属に対する濡れ性を評価するため、ボート端部をクランプで電極につなぎボート中央部の温度が１６００℃となるように印加電圧を決定し設定した。ついで、ボートに電圧を印加して加熱し、真空度１×１０−２Ｐａの真空下、アルミニウムワイヤーを毎分６．５ｇ／分の速度で５分間、溝部に供給し加熱を続けた。アルミニウム供給開始５分後にボート上面を写真撮影し、溶融金属の拡がりについて、中央部の幅(ｍｍ)と最大長(ｍｍ)を測定した。それらの結果を表１に示す。
【００４６】
また、ボート寿命を評価した。すなわち、ボート中央部の温度を１５００℃とし、真空度２×１０−２Ｐａの真空中、アルミニウムワイヤーを６．５ｇ／分の割合で供給しながら４０分間を単位サイクルとして蒸発試験を行い、この操作を繰り返し行った。そして、ボートのアルミニウム蒸発面上の浸食深さが最大３ｍｍになったときの繰り返し回数をボートの寿命とした。それらの結果を表１に示す。
【００４７】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明のボート及び金属の蒸発方法は、各種金属を例えばフイルム等に蒸着するのに用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明のボートの一例を示す斜視図。
【図２】本発明のボートの一例を示す斜視図。
【図３】本発明のボートの一例を示す斜視図。
【図４】本発明のボートの一例を示す斜視図。
【図５】本発明のボートの一例を示す斜視図。
【図６】本発明のボートの一例を示す斜視図。
【図７】本発明のボートの一例を示す斜視図
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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