(57)【要約】【課題】簡単な構成で面型の受発光素子を利用できるようにすると共に、光クロストークの低減を図ることができる光導波路モジュールを提供する。【解決手段】導波路シート２は、第１のコア４ａと第２のコア４ｂを備え、第１のコア４ａの他方の端部側の辺に第１の傾斜端面７ａが形成され、第１の傾斜端面７ａに露出した第１のコア４ａの端面によって第１の反射面９ａが形成されて、第１の反射面９ａに対向して面型発光素子１２が実装される。また、第２のコア４ｂの一方の端部側の辺に第２の傾斜端面７ｂが形成され、第２の傾斜端面７ｂに露出した第２のコア４ｂの端面によって第２の反射面９ｂが形成され、第２の反射面９ｂに対向して面型受光素子１３が実装される。更に、第１の傾斜端面７ａ及び第２の傾斜端面７ｂの下面には、各反射面の直下に窓部８ａを備えた遮光膜８が形成される。【選択図】        図１
2006184758.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コアとクラッドを備えた平面型の光導波路において、
前記コアと交差する辺に傾斜端面を形成し、前記傾斜端面に露出させた前記コアの端面により形成された反射面と、
少なくとも前記傾斜端面の下面側に一体に形成され、前記反射面の直下に窓部を有する遮光膜と
を備えたことを特徴とする光導波路。
【請求項２】
前記遮光膜は、金属膜により構成される
ことを特徴とする請求項１記載の光導波路。
【請求項３】
前記クラッドは、下部クラッドと上部クラッドを備え、前記遮光膜は、前記下部クラッドの形成プロセスで前記下部クラッド内に形成された
ことを特徴とする請求項１記載の光導波路。
【請求項４】
本導波路は高分子材料により構成される
ことを特徴とする請求項１記載の光導波路。
【請求項５】
本導波路はフィルム状である
ことを特徴とする請求項１記載の光導波路。
【請求項６】
前記コアに少なくとも１本のコアが交差し、前記コアの交差位置に、任意の波長領域の光を選択的に反射及び透過させ、光の波長により光路を切り替える波長選択フィルタが挿入される挿入溝を備えた
ことを特徴とする請求項１記載の光導波路。
【請求項７】
コアとクラッドを有する平面型の光導波路と、
前記光導波路のコアと光学的に結合する光素子を備えた光導波路モジュールにおいて、
前記光導波路は、前記コアと交差する辺に傾斜端面を形成し、前記傾斜端面に露出させた前記コアの端面により形成された反射面と、
少なくとも前記傾斜端面の下面側に一体に形成され、前記反射面の直下に窓部を有する遮光膜とを備え、
前記反射面と対向する位置に、前記光素子として面型光素子を実装して、前記面型光素子を、前記窓部及び前記反射面を介して前記コアと光結合させた
ことを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項８】
前記光導波路は、任意の波長領域の光を選択的に反射及び透過させ、光の波長により光路を切り替える波長選択フィルタを備えた
ことを特徴とする請求項７記載の光導波路モジュール。
【請求項９】
前記光導波路は、少なくとも１本の他のコアが前記コアに交差し、前記コアの交差位置に前記波長選択フィルタを備えた
ことを特徴とする請求項８記載の光導波路モジュール。
【請求項１０】
前記光導波路は、前記他のコアと交差する辺に、前記傾斜端面による前記反射面と、少なくとも前記傾斜端面の下面側に一体に形成され、前記反射面の直下に窓部を有する遮光膜とを備え、
一方のコアの前記反射面と対向して面型光素子が実装されると共に、交差した他方のコアの前記反射面と対向して面型光素子が実装され、
前記面型光素子の一方は発光素子で、他方は受光素子である
ことを特徴とする請求項９記載の光導波路モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コアとクラッドを備えた平面型の光導波路と、この光導波路を備えた光導波路モジュールに関する。詳しくは、光導波路のコアと交差する辺に傾斜端面を形成して、コアに対する垂直方向から光の入出射を行う反射面を備えると共に、少なくとも傾斜端面の下面側に、反射面の直下に窓部を有する遮光膜を一体に備えることで、光がクラッドに結合して迷光となることを防ぐと共に、クラッドを伝搬される迷光が出射されることを防ぎ、簡単な構成で光クロストークの低減を図るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子機器内のボード間、チップ間等の情報伝達は電気信号により行われてきたが、更に超高速、大容量の情報伝送を実現するために、光配線技術が注目されており、光配線技術を利用した導波路型の光モジュールが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に開示される光モジュールは、端面発光型の発光素子（ＬＤ）と端面受光型の受光素子（ＰＤ）を備え、受光素子を光導波路側とは別の実装用キャリアに実装し、光導波路と受光素子の間に、光クロストークの低減のために遮光膜を形成した波長フィルタを挿入した構成である。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３０５３６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の光モジュールでは、光導波路と受光素子の間に遮光膜を備えた波長フィルタを挿入するため、受光素子を光導波路側とは別の実装用キャリアに実装して光導波路と位置合わせする構成である。このため、実装工程が複雑で低コスト化は困難であるという問題がある。
【０００６】
さらに、発光素子側には遮光膜を備えた波長フィルタを実装することができず、光クロストークの発生を抑えることができないという問題がある。
【０００７】
さて、面型の受発光素子は作製プロセスが端面型のものに比較して容易であることや表面実装に向いていることなどから、端面型のものに比較して低コスト化に対して有利である。特に面型発光素子（ＶＣＳＥＬ）は、高速で直接変調が可能であるというメリットもあり、低コストな光モジュール用のデバイスとして非常に有望であり、面型の受発光素子を使用した低コストな光モジュールが求められている。
【０００８】
しかし、特許文献１の構成では、発光素子をＶＣＳＥＬに置き換えるためには別の実装用キャリア等が必要となり、実装工程が更に複雑になってしまい、低コスト化が困難であるという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、簡単な構成で光クロストークの低減を図ることができる光導波路と、この光導波路を備えた光導波路モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するため、本発明に係る光導波路は、コアとクラッドを備えた平面型の光導波路において、コアと交差する辺に傾斜端面を形成し、傾斜端面に露出させたコアの端面により形成された反射面と、少なくとも傾斜端面の下面側に一体に形成され、反射面の直下に窓部を有する遮光膜とを備えたものである。
【００１１】
本発明に係る光導波路では、コアの反射面において、コアに対する垂直方向から光の入出射が行われる。これにより、コアを伝搬される光は反射面で反射し、遮光膜の窓部を透過してコアに対して垂直方向へ出射する。また、反射面に対してコアの垂直方向から入射した光は、遮光膜の窓部を透過し反射面で反射してコアを伝搬される。
【００１２】
これに対して、クラッドに結合した迷光は、傾斜端面で反射しても遮光膜で遮光され、外部に出射しない。また、反射面に対してコアの垂直方向から入射した光でコアに結合しない光は、遮光膜で遮光されてクラッドに結合しない。
【００１３】
本発明に係る光導波路モジュールは、コアとクラッドを有する平面型の光導波路と、光導波路のコアと光学的に結合する光素子を備えた光導波路モジュールにおいて、光導波路は、コアと交差する辺に傾斜端面を形成し、傾斜端面に露出させたコアの端面により形成された反射面と、少なくとも傾斜端面の下面側に一体に形成され、反射面の直下に窓部を有する遮光膜とを備え、反射面と対向する位置に、光素子として面型光素子を実装して、面型光素子を、窓部及び反射面を介してコアと光結合させたものである。
【００１４】
本発明に係る光導波路モジュールでは、光導波路の端部に傾斜端面を形成することで、コアの反射面において、コアに対する垂直方向から光の入出射が行われる。
【００１５】
これにより、反射面に対向して面型光素子として受光素子を備えることで、コアを伝搬される光は反射面で反射し、遮光膜の窓部を透過してコアに対して垂直方向へ出射し、受光素子に結合する。
【００１６】
また、反射面に対向して面型光素子として発光素子を備えることで、発光素子から出射され、反射面に対してコアの垂直方向から入射した光は、遮光膜の窓部を透過し反射面で反射してコアを伝搬される。
【００１７】
これに対して、クラッドに結合した迷光は、傾斜端面で反射しても遮光膜で遮光され、光導波路から出射せず、受光素子に結合しない。また、発光素子から出射され、反射面に対してコアの垂直方向から入射した光でコアに結合しない光は、遮光膜で遮光されてクラッドに結合しない。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の光導波路によれば、コアの反射面の直下には窓部を備えて光を透過できるようにして、傾斜端面の下面側に遮光膜を一体に備えることで、クラッドを伝搬され、傾斜端面で反射した迷光が、外部に出射することを防ぐことができる。また、反射面に対してコアの垂直方向から入射した光でコアに結合しない光がクラッドに結合して迷光となることを防ぐことができる。
【００１９】
本発明の光導波路モジュールによれば、上述した光導波路を備えることで、発光素子から出射された光がコア以外のクラッドに結合して迷光となることを防ぐことができる。また、クラッドを伝搬された迷光が受光素子に結合することを防ぐことができる。これにより、光クロストークを低減することができる。
【００２０】
更に、光導波路は傾斜端面を備えて反射面を形成することで、コアに対する垂直方向から光の入出射が行われるので、単一の基板等に光導波路と面型光素子を実装することができ、かつ、遮光膜を光導波路に一体に形成するので、簡単な構成で、低コストな光モジュールを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の光導波路及び光導波路モジュールの実施の形態について説明する。
【００２２】
＜第１の実施の形態の光導波路モジュールの構成例＞
図１は第１の実施の形態の光導波路モジュールの一例を示す構成図で、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００２３】
第１の実施の形態の光導波路モジュール１Ａは、平面型の光導波路を構成する導波路シート２Ａと、導波路シート２Ａを支持する実装基板３を備える。導波路シート２Ａは、例えば高分子材料で構成され、第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂと、クラッド層５を構成する下部クラッド５ａ及び上部クラッド５ｂを備えて、コア・クラッド構造を有する。
【００２４】
第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂは、屈折率が下部クラッド５ａ及び上部クラッド５ｂより若干大きくなるように構成されて、光が第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂに閉じ込められて伝搬される。
【００２５】
導波路シート２Ａは、対向する２辺の間を第１のコア４ａが直線状に延在し、第１のコア４ａの一方の端部と交差する辺に垂直端面６を備える。また、導波路シート２Ａは、第１のコア４ａの他方の端部と交差する辺に第１の傾斜端面７ａを備える。
【００２６】
更に、導波路シート２Ａは、第２のコア４ｂが第１のコア４ａと交差して直線状に延在し、第２のコア４ｂの一方の端部と交差する辺に第２の傾斜端面７ｂを備える。
【００２７】
また、導波路シート２Ａは、少なくとも第１の傾斜端面７ａと第２の傾斜端面７ｂの下面側に遮光膜８を備える。
【００２８】
第１の傾斜端面７ａは、導波路シート２Ａの下面に対して４５度に傾斜しており、第１のコア４ａの他方の端面が、第１の傾斜端面７ａと同一平面に露出している。そして、第１の傾斜端面７ａに露出した第１のコア４ａの端面により、第１の反射面９ａが構成される。
【００２９】
同様に、第２の傾斜端面７ｂは、導波路シート２Ａの下面に対して４５度に傾斜しており、第２のコア４ｂの一方の端面が、第２の傾斜端面７ｂと同一平面に露出している。そして、第２の傾斜端面７ｂに露出した第２のコア４ｂの端面により、第２の反射面９ｂが構成される。
【００３０】
遮光膜８は、光を透過しない例えば金属薄膜が下部クラッド５ａ内に集積して形成される。第１の傾斜端面７ａの下面に形成される遮光膜８は、第１の反射面９ａの直下に窓部８ａを備え、第１の反射面９ａの直下は光が透過する構成である。同様に、第２の傾斜端面７ｂの下面に形成される遮光膜８は、第２の反射面９ｂの直下に窓部８ａを備え、第２の反射面９ｂの直下は光が透過する構成である。
【００３１】
導波路シート２Ａは、実装位置の基準となる位置合わせマーカ８ｂを備える。位置合わせマーカ８ｂは、遮光膜８を備えていない位置に形成され、例えば、遮光膜８と同様に金属薄膜が下部クラッド５ａ内に集積して形成されて、導波路シート２Ａの上面から視認できるように構成される。
【００３２】
導波路シート２Ａは、第１のコア４ａと第２のコア４ｂの交差位置にフィルタ挿入溝１０を備え、フィルタ挿入溝１０に波長選択フィルタ１１が挿入される。フィルタ挿入溝１０は、第１のコア４ａと第２のコア４ｂの交差位置を横切るように形成され、フィルタ挿入溝１０の対向する側壁面の一方に、第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂの端面が露出すると共に、他方の側壁面に第１のコア４ａの端面が露出する。
【００３３】
波長選択フィルタ１１は、任意の波長領域における光を選択的に反射及び透過させる機能を有し、例えば波長λ１の光は反射し、波長λ２の光は透過するように構成される。
【００３４】
波長選択フィルタ１１は、フィルタ挿入溝１０に挿入され、導波路シート２Ａに接着固定される。波長選択フィルタ１１は、第１のコア４ａと第２のコア４ｂの交差する部分を横切る位置に挿入されており、第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂを伝搬される光の波長に応じて光路を切り替える。
【００３５】
実装基板３は、例えばシリコン（Ｓｉ）基板であり、表面に導波路シート２Ａが接着により実装される。また、実装基板３は、面型発光素子（ＶＣＳＥＬ）１２と、面型受光素子（ＰＤ）１３と、図示しない電子部品等が実装される。
【００３６】
更に、実装基板３は、導波路シート２Ａの第１の反射面９ａに対向させて面型発光素子１２を実装するために第１の実装凹部１５ａを備えると共に、導波路シート２Ａの第２の反射面９ｂに対向させて面型受光素子１３を実装するために第２の実装凹部１５ｂを備える。
【００３７】
第１の実装凹部１５ａ及び第２の実装凹部１５ｂは、実装基板３の表面の一部を凹状にして形成され、面型発光素子１２は、発光部が導波路シート２Ａの第１の反射面９ａと対向するように第１の実装凹部１５ａに実装される。また、面型受光素子１３は、受光部が導波路シート２Ａの第２の反射面９ｂと対向するように第２の実装凹部１５ｂに実装される。面型発光素子１２及び面型受光素子１３は、ワイヤボンディング等により図示しない電子部品等と電気的に接続される。
【００３８】
＜導波路シートの製造工程例＞
図２は導波路シート２Ａの製造工程例を示す説明図で、次に、第１の実施の形態の光導波路モジュール１Ａを構成する導波路シート２Ａの製造工程について説明する。
【００３９】
まず、図２（ａ）に示すように、下部クラッド５ａの第１層を構成する紫外線硬化型の高分子材料をスピンコート等によりシリコン等の支持基板１６上に塗布し、プリベイクを行った後、紫外線を照射して薄膜を硬化させ、下部クラッド第１層５ａ（１）を形成する。
【００４０】
次に、図２（ｂ）に示すように、下部クラッド第１層５ａ（１）上の所定の位置に、窓部８ａを有する遮光膜８を形成する。本例では、遮光膜８をチタン（Ｔｉ）膜で形成する。このため、まず、チタンを下部クラッド第１層５ａ（１）の全面に蒸着し、フォトリソグラフィプロセスで図１に示す第１の反射面９ａ及び第２の反射面９ｂの直下となる箇所、あるいは第１の反射面９ａ及び第２の反射面９ｂの大きさより多少大きい箇所の窓部８ａの形成箇所を取り除いたレジストパターンを形成する。
【００４１】
そして、レジストパターン以外のチタン膜を薬品によりエッチングし、最後にレジストをエッチングすることで、所定の位置に窓部８ａが形成された遮光膜８が作製される。なお、図１に示す位置合わせマーカ８ｂも、このプロセスで同時に作り込むことが可能である。
【００４２】
このため、位置合わせマーカ８ｂを形成するプロセスで遮光膜８を導波路シート２Ａに作り込むことができるため、工程を増やすことなく簡単に遮光膜８を形成することができる。
【００４３】
また、遮光膜８をチタン等の金属膜とすると、蒸着で形成することができるため、更に簡単に形成することができる。
【００４４】
次に、図２（ｃ）に示すように、下部クラッド５ａの第２層を構成する紫外線硬化型の高分子材料をスピンコート等により下部クラッド第１層５ａ（１）上に塗布し、プリベイク、紫外線照射、現像、ポストベイクの処理を行い、図１に示すフィルタ挿入溝１０を形成しながら下部クラッド５ａを作製する。
【００４５】
例えば、図１に示すフィルタ挿入溝１０のパターンが形成されたマスクを介して紫外線を照射してフィルタ挿入溝の形成位置以外の薄膜を硬化させ、現像によりフィルタ挿入溝の形成位置を除去して下部クラッド第２層５ａ（２）を形成する。これにより、下部クラッド第１層５ａ（１）と下部クラッド第２層５ａ（２）の間の所定の位置に、窓部８ａを有する遮光膜８と位置合わせマーカ８ｂを挟み込んだ形態で、かつ、フィルタ挿入溝の形成位置が凹部となった下部クラッド５ａが形成される。
【００４６】
次に、図２（ｄ）に示すように、第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂを構成する紫外線硬化型の高分子材料をスピンコート等により下部クラッド５ａ上に塗布し、プリベイク、紫外線照射、現像、ポストベイクの処理を行い、第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂを作製する。
【００４７】
例えば、図１に示す第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂのパターンが形成された図示しないマスクを介して紫外線を照射することで第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂを形成する部位を硬化させ、溶液現像によってコアの形成部位以外を除去して、所定のパターンで第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂを形成する。第１のコア４ａ及び第２のコア４ｂを構成する高分子材料は、下部クラッド５ａ及び上部クラッド５ｂを構成する高分子材料より若干屈折率が大きい材料を用いる。
【００４８】
次に、図２（ｅ）に示すように、上部クラッド５ｂを構成する紫外線硬化型の高分子材料をスピンコート等により下部クラッド５ａ及び第１のコア４ａと第２のコア４ｂ上に塗布し、下部クラッド第２層形成プロセスと同様にプリベイク、紫外線照射、現像、ポストベイクの処理を行い、図１に示すフィルタ挿入溝１０を形成しながら上部クラッド５ｂを作製する。
【００４９】
次に、図１で説明した第１の傾斜端面７ａ及び第２の傾斜端面７ｂが形成される辺となる部分を、図２（ｆ）に示すように、４５度の角度を持つダイシングプレートを用いてダイシングすることで、第１の傾斜端面７ａ及び第１の反射面９ａと、第２の傾斜端面７ｂ及び第２の反射面９ｂを形成する。また、他の辺となる部分は、９０度の角度を持つダイシングプレートを用いてダイシングすることで、所定の形状の導波路シート２Ａを切り出す。
【００５０】
そして、図６（ｇ）に示すように、導波路シート２Ａを支持基板１６から剥離して、導波路シート２Ａが完成する。
【００５１】
＜光導波路モジュールの製造工程例＞
次に、図２で説明した工程で作製した導波路シート２Ａを、実装基板３に実装して光導波路モジュール１Ａを製造する工程について説明する。
【００５２】
まず、導波路シート２Ａが実装されていない実装基板３の第１の実装凹部１５ａに面型発光素子１２を実装する。また、実装基板３の第２の実装凹部１５ｂに面型受光素子１３を実装する。そして、ワイヤボンディング等で電気的な接続を行う。
【００５３】
次に、導波路シート２Ａの第１の反射面９ａが面型発光素子１２の発光部の真上に位置し、第２の反射面９ｂが面型受光素子１３の受光部の真上に位置するように、導波路シート２Ａを、位置合わせマーカ８ｂを基準に位置合わせを行い、実装基板３に接着固定する。導波路シート２Ａを実装基板３に接着固定する接着剤としては、導波路シート２Ａが光を透過するので、可視光（４０５，４３６ｎｍ）硬化型の接着剤を用いる。
【００５４】
これにより、面型発光素子１２は第１の反射面９ａを介して第１のコア４ａと光学的に結合し、面型受光素子１３は第２の反射面９ｂを介して第２のコア４ｂと光学的に結合する。
【００５５】
なお、面型発光素子１２及び面型受光素子１３と、導波路シート２Ａの位置合わせは、２次元方向の移動で行えるので、位置合わせマーカ８ｂを利用することで、光素子を駆動することなく、パッシブアライメントで実現できる。
【００５６】
次に、導波路シート２Ａのフィルタ挿入溝１０に波長選択フィルタ１１を挿入し、接着固定する。波長選択フィルタ１１を接着固定する接着剤には、可視光硬化型で、かつ、導波路シート２Ａと同等の屈折率を有する接着剤を用いる。
【００５７】
最後に、図示しない光ファイバを導波路シート２Ａの垂直端面６に第１のコア４ａと光結合するように位置合わせして実装する。
【００５８】
＜光導波路モジュールの動作例＞
光導波路モジュール１Ａは、図示しない対向機器からの入力信号が波長λ１の光信号で図示しない光ファイバから入力される。光ファイバは、導波路シート２Ａの第１のコア４ａと光学的に結合しているので、入力光信号は導波路シート２Ａの第１のコア４ａに入射して、第１のコア４ａを伝搬される。
【００５９】
導波路シート２Ａの第１のコア４ａを伝搬される入力光信号は、波長選択フィルタ１１に入射する。波長選択フィルタ１１は、本例では波長λ１の光は反射するので、第１のコア４ａを伝搬される波長λ１の入力光信号は、波長選択フィルタ１１で反射して、第２のコア４ｂに入射し、第２のコア４ｂを伝搬される。
【００６０】
導波路シート２Ａの第２のコア４ｂを伝搬される入力光信号は、第２の反射面９ｂで反射することで光の伝搬方向が９０度変換され、遮光膜８の窓部８ａを透過して導波路シート２Ａの第２の傾斜端面７ｂの下面側から出射し、対向する面型受光素子１３で受光されて、面型受光素子１３で電気信号に変換される。
【００６１】
ここで、光ファイバから出射された光の一部は第１のコア４ａに結合せずクラッド層５に結合して迷光となる。しかし、迷光が第２の傾斜端面７ｂで反射しても、第２の傾斜端面７ｂの下面には遮光膜８が形成されているので、迷光は遮光膜８で遮光され、第２の傾斜端面７ｂの下面から出射しない。これにより、クラッド層５を多重反射した迷光が面型受光素子１３に入射してクロストークとなることを防ぐことができ、光クロストークを低減できる。
【００６２】
一方、光導波路モジュール１Ａでは、電気信号が面型発光素子１２で光信号に変換される。ここで、面型発光素子１２の発振波長はλ２とする。
【００６３】
面型発光素子１２の発光部から出射された出力光信号は、導波路シート２Ａの第１の傾斜端面７ａの下面側から入射し、遮光膜８の窓部８ａを透過して第１の反射面９ａで反射することで光の伝搬方向が９０度変換されて、導波路シート２Ａの第１のコア４ａを伝搬される。
【００６４】
導波路シート２Ａの第１のコア４ａを伝搬される出力光信号は、波長選択フィルタ１１に入射する。波長選択フィルタ１１は、上述したように波長λ２の光は透過するので、第１のコア４ａを伝搬される波長λ２の出力光信号は、波長選択フィルタ１１を透過して更に先の第１のコア４ａに入射し、第１のコア４ａを伝搬される。そして、導波路シート２Ａの第１のコア４ａを伝搬された出力光信号は、図示しない光ファイバに入射して、光ファイバを伝搬されて図示しない対向機器で受光される。
【００６５】
図示しない対向機器では、光導波路モジュール１Ａと対になる光導波路モジュールとして、光導波路モジュール１Ａと同じ構成で、かつ、波長λ２の光は反射し、波長λ１の光は透過する波長選択フィルタと、発振波長λ１の面型発光素子を備えた光導波路モジュールを用いることで、複数の異なる波長の光信号の分離多重化を行って、１本の光ファイバに複数の異なる波長の光信号を伝送させることが可能となる。
【００６６】
これにより、光導波路モジュール１Ａを備えることで、波長多重双方向光通信（ＷＤＭ）が行われるシステムの構築が可能となる。
【００６７】
ここで、面型発光素子１２から出射した光の一部は第１のコア４ａに結合しないが、第１の傾斜端面７ａの下面は、第１の反射面９ａの直下の窓部８ａ以外は遮光膜８が形成されているので、第１のコア４ａに結合しない光は遮光膜８で遮光され、クラッド層５に結合せず第１の傾斜端面７ａに入射しない。これにより、面型発光素子１２から出射され第１のコア４ａに結合しない光がクラッド層５に結合して迷光となることを防ぐことができ、光クロストークを低減できる。
【００６８】
なお、以上の例では、遮光膜８を導波路シート２Ａの下部クラッド５ａ内に形成することとしたが、下部クラッド５ａの下面に蒸着等により形成してもよい。また、遮光膜８は、少なくとも第１の傾斜端面７ａ及び第２の傾斜端面７ｂの下面全体を遮光する範囲に形成されることが望ましいが、第１の傾斜端面７ａ及び第２の傾斜端面７ｂの下面全体より大きい範囲に形成しても良い。例えば、遮光膜８を、第１の傾斜端面７ａ及び第２の傾斜端面７ｂの下面全体に加えて、第１の実装凹部１５ａと第２の実装凹部１５ｂを覆う範囲に形成しても良い。
【００６９】
＜第２の実施の形態の光導波路の構成例＞
図３は第２の実施の形態の光導波路の一例を示す構成図で、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。第２の実施の形態の光導波路を構成する導波路シート２Ｂは、コア４ｃと、クラッド層５を構成する下部クラッド５ａ及び上部クラッド５ｂを備えて、コア・クラッド構造を有し、例えば４本のコア４ｃが平行に配置される。
【００７０】
導波路シート２Ｂは、一方の端部に垂直端面６を備える。また、導波路シート２Ｂは、垂直端面６が形成された辺と対向する他方の辺に傾斜端面７を備え、傾斜端面７に露出するコア４ｃの端面よって反射面９が構成される。
【００７１】
更に、導波路シート２Ｂは、少なくとも傾斜端面７の下面側に遮光膜８を備える。遮光膜８は、光を透過しない例えば金属薄膜が下部クラッド５ａ内に集積して形成される。遮光膜８は、反射面９の直下に窓部８ａを備え、反射面９の直下は光が透過する構成である。
【００７２】
また、導波路シート２Ｂは、遮光膜８と同様の金属薄膜で位置合わせマーカ８ｂが下部クラッド５ａ内に形成される。
【００７３】
導波路シート２Ｂは、例えば各反射面９に対向して４個の面型光素子を備えることで、４チャンネルの送信モジュールを構成する。なお、いくつかの面型光素子を受光素子とすることで、多芯のファイバを利用した送受信モジュールとして機能させることができる。
【００７４】
導波路シート２Ｂでも、傾斜端面７の下面に遮光膜８を備えることで、発光素子から出射されてコア４ｃに結合しない光がクラッド層５に結合して迷光となることを防ぐことができる。また、クラッド層５を伝搬される迷光が傾斜端面７の下面から出射して受光素子に入射することを防ぐことができる。
【００７５】
なお、導波路シート２Ｂの形成プロセスは、図２で説明した工程と同様であるが、導波路シート２Ｂはフィルタ挿入溝を形成しないので、クラッド層の形成プロセスでは現像の工程が省かれる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、電子機器のボード間やチップ間の光通信モジュールや、光ファイバを利用した通信ケーブルのコネクタ等に適用される。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】第１の実施の形態の光導波路モジュールの一例を示す構成図である。
【図２】導波路シートの製造工程例を示す説明図である。
【図３】第２の実施の形態の光導波路の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００７８】
１・・・光導波路モジュール、２・・・導波路シート、３・・・実装基板、４ａ・・・第１のコア、４ｂ・・・第２のコア、５・・・クラッド層、５ａ・・・下部クラッド、５ｂ・・・上部クラッド、６・・・垂直端面、７ａ・・・第１の傾斜端面、７ｂ・・・第２の傾斜端面、８・・・遮光膜、８ａ・・・窓部、８ｂ・・・位置合わせマーカ、９ａ・・・第１の反射面、９ｂ・・・第２の反射面、１０・・・フィルタ挿入溝、１１・・・波長選択フィルタ、１２・・・面型発光素子、１３・・・面型受光素子、１５ａ・・・第１の実装凹部、１５ｂ・・・第２の実装凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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