(57)【要約】【課題】  ヘッドの移動方向を多様に調節することができるガントリー装置を提供する。【解決手段】  本発明のよるガントリー装置は、互いに並んで離隔配置された一対の第１ガイドと、前記一対の第１ガイドに各々結合されて前記第１ガイドに沿って移動する一対のスライダーと、前記一対のスライダーに結合されて前記スライダーと共に移動する第２ガイドと、前記第２ガイドに結合されて前記第２ガイドに沿って移動するヘッドと、前記スライダー及び前記第２ガイドの間に設けられ前記第２ガイドを前記スライダーの移動方向及び前記ヘッドの移動方向に対して横方向軸線を中心に回動させる回動ユニットとを含むことを特徴とする。【選択図】図１
2006065296.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガントリー装置において、
互いに並んで離隔配置された一対の第１ガイドと、
前記一対の第１ガイドに各々結合されて前記第１ガイドに沿って移動する一対のスライダーと、
前記一対のスライダーに結合されて前記スライダーと共に移動する第２ガイドと、
前記第２ガイドに結合されて前記第２ガイドに沿って移動するヘッドと、
前記スライダー及び前記第２ガイドの間に設けられ、前記第２ガイドを前記スライダーの移動方向及び前記ヘッドの移動方向に対して横方向軸線を中心に回動させる回動ユニットとを含むことを特徴とするガントリー装置。
【請求項２】
前記回動ユニットは、
前記スライダー及び前記第２ガイドのうちのいずれか一つに設けられた駆動部と、他の一つに設けられ前記駆動部に接触駆動されて前記第２ガイドを回動させる駆動接触部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載のガントリー装置。
【請求項３】
前記駆動部は、駆動モータと、前記駆動モータによって回動する回動体とを含み、
前記駆動接触部は前記回動体と接触可能に設けられたことを特徴とする、請求項２に記載のガントリー装置。
【請求項４】
前記回動体はピニオンを含み、前記駆動接触部は前記ピニオンと噛合い結合可能に円弧状に設けられたラックを含むことを特徴とする、請求項３に記載のガントリー装置。
【請求項５】
前記回動体はローラーを含み、前記駆動接触部は前記ローラーと接触可能に円弧状に設けられたローラーガイドを含むことを特徴とする、請求項３に記載のガントリー装置。
【請求項６】
前記回動ユニットは、前記第２ガイドの一側と前記スライダーとを回動可能に連結するヒンジ部をさらに含むことを特徴とする、請求項２乃至請求項５のいずれか一項に記載のガントリー装置。
【請求項７】
前記回動ユニットは、
前記第２ガイドの一側及び前記第２ガイドの一側と結合する前記スライダーの間に設けられて前記第２ガイドを回動させる駆動モータと、
前記第２ガイドの他側及び前記第２ガイドの他側と結合する前記スライダーのうちのいずれか一つに設けられて他の一つとスライディング可能に結合された円弧状のガイド部材とを含むことを特徴とする、請求項１に記載のガントリー装置。
【請求項８】
前記ガイド部材は前記第２ガイドの他側と結合する前記スライダーに設けられて前記第２ガイドの他側をスライディング可能に支持することを特徴とする、請求項７に記載のガントリー装置。
【請求項９】
前記第２ガイドの他側には前記ガイド部材に案内されるようにガイド突起が設けられることを特徴とする、請求項８に記載のガントリー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガントリー装置に係わり、より詳しくは、ヘッドの移動構造を改善したガントリー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ガントリー（ＧＡＮＴＲＹ）装置は半導体のウエハー（ＷＡＦＥＲ）または液晶表示パネル（ＬＣＤ）用ガラスなどの精密検査のためのスキャニング作業または表面蒸着作業などに使用される。
【０００３】
このような従来のガントリー装置は、液晶表示パネル用ガラスなどを検査するためのスキャナーが装着されたヘッドと、ヘッドをＸ軸及びＹ軸方向に移送する移送装置とから構成される。
【０００４】
このような構成によって、従来のガントリー装置はヘッドをＸ軸及びＹ軸方向に移送することによって液晶表示パネル用ガラスなどを検査することができる。そして、このような検査対象物の液晶表示パネル用ガラス及びウエハーなどには主にスキャニング検査のためのアラインマーク（ＡＬＩＧＮ  ＭＡＲＫ）が表示され、スキャニング検査はこのようなアラインマークを基準に実施されなければならない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このような従来のガントリー装置は、液晶表示パネル用ガラスなどに表示されたアラインマークとヘッドの移動方向が正しく整列されない場合、ヘッドの移動方向をアラインマークに整列させることができる別途の手段が設けられていないため使用が不便であるという問題点がある。そのため、ヘッドの移動方向を多様に調節することができるガントリー装置が開発される必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的は、本発明によって、ガントリー装置において、互いに並んで離隔した一対の第１ガイドと、前記一対の第１ガイドに各々結合されて前記第１ガイドに沿って移動する一対のスライダーと、前記一対のスライダーに結合されて前記スライダーと共に移動する第２ガイドと、前記第２ガイドに結合されて前記第２ガイドに沿って移動するヘッドと、前記スライダー及び前記第２ガイドの間に設けられて前記第２ガイドを前記スライダーの移動方向及び前記ヘッドの移動方向に対して横方向軸線を中心に回動させる回動ユニットとを含むことを特徴とするガントリー装置により達成される。
【０００７】
ここで、前記回動ユニットは、前記スライダー及び前記第２ガイドのうちのいずれか一つに設けられた駆動部と、他の一つに設けられ前記駆動部に接触駆動されて前記第２ガイドを回動させる駆動接触部とを含むことができる。
【０００８】
前記駆動部は駆動モータと、前記駆動モータによって回動する回動体とを含み、前記駆動接触部は前記回動体と接触可能に設けられることができる。
【０００９】
前記回動体はピニオンを含み、前記駆動接触部は前記ピニオンと噛合い結合可能に円弧状に設けられたラックを含むことができる。
【００１０】
前記回動体はローラーを含み、前記駆動接触部は前記ローラーと接触可能に円弧状に設けられたローラーガイドを含むことができる。
【００１１】
前記回動ユニットは前記第２ガイドの一側と前記スライダーとを回動可能に連結するヒンジ部をさらに含むことができる。
【００１２】
前記回動ユニットは、前記第２ガイドの一側及び前記第２ガイドの一側と結合する前記スライダーの間に設けられて前記第２ガイドを回動させる駆動モータと、前記第２ガイドの他側及び前記第２ガイドの他側と結合する前記スライダーのうちのいずれか一つに設けられて他の一つとスライディング可能に結合された円弧状のガイド部材とを含むことができる。
【００１３】
前記ガイド部材は前記第２ガイドの他側と結合する前記スライダーに設けられて前記第２ガイドの他側をスライディング可能に支持することができる。
【００１４】
前記第２ガイドの他側には前記ガイド部材に案内されるようにガイド突起が設けられることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によるガントリー装置はヘッドの移動方向を多様に調節することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
説明に先立って、いろいろな実施形態において、同一の構成を有する構成要素については同一の符号を使用して代表的に第１実施形態で説明し、その他の実施形態では第１実施形態と異なる構成についてのみ説明する。
【００１７】
以下、添付図面を参照して本発明を詳細に説明する。
【００１８】
〔第１実施形態〕
図１乃至図４に示されているように、本発明の第１実施形態によるガントリー装置１は、互いに並んで離隔した一対の第１ガイド１０と、一対の第１ガイド１０に各々結合されて第１ガイド１０に沿って移動する一対のスライダー２０と、一対のスライダー２０に結合されてスライダー２０と共に移動する第２ガイド３０と、第２ガイド３０に結合されて第２ガイド３０に沿って移動するヘッド４０と、スライダー２０及び第２ガイド３０の間に設けられ第２ガイド３０をスライダー２０の移動方向及びヘッド４０の移動方向に対して横方向軸線６５を中心に回動させる回動ユニット５０とを含む。そして、本発明の第１実施形態によるガントリー装置１には一対の第１ガイド１０の間に半導体のウエハー（ＷＡＦＥＲ）及び液晶表示パネル（ＬＣＤ）用ガラスのような製品５が安着して支持されるように製品支持台８が設けられることができる。
【００１９】
製品支持台８は製品５を支持できるように板状に設けられることができる。製品支持台８はコンベヤーベルトのように製品５を支持して移送可能なように設けられることもできる。
【００２０】
製品５は半導体のウエハー（ＷＡＦＥＲ）または液晶表示パネル（ＬＣＤ）用ガラスのように精密検査あるいは表面蒸着作業など精密操作が要求されるものであることができる。しかし、このような製品５はヘッド４０に装着されたスキャナーあるいは蒸着ユニットなどによって多様に変更されることができる。製品５にはスキャニング検査作業あるいは表面蒸着作業などのための複数のアラインマーク（ＡＬＩＧＮ  ＭＡＲＫ）６が表示され、このようなスキャニング検査作業及び表面蒸着作業はこのようなアラインマーク６を基準に実施される。
【００２１】
第１ガイド１０は製品支持台８を介して一対のスライダー２０に対応して一対設けられる。しかし、第１ガイド１０はスライダー２０を支持するように一つあるいは三つ以上設けられることもできる。一対の第１ガイド１０は互いに並んで配置されて一対のスライダー２０を同一方向に案内する。第１ガイド１０には後述のスライダー２０の第１突起部２１に対応して第１突起収容部１１が設けられることができる。
【００２２】
第１突起収容部１１は後述のスライダー２０の第１突起部２１を収容して精密に案内するように第１ガイド１０の上部面に陥没形成される。しかし、第１突起収容部１１がスライダー２０に設けられ、後述の第１突起部２１が第１突起収容部１１に収容されるように第１ガイド１０の上部面に設けられることもできる。第１突起収容部１１は一例として三角形断面形状に設けられることができ、四角形断面形状または半円断面形状など多様な形状に設けられることもできる。
【００２３】
スライダー２０は一対の第１ガイド１０に対応して一対設けられる。しかし、スライダー２０は第１ガイド１０の個数によって第１ガイド１０に移動可能に一つあるいは三つ以上設けられることもできる。一対のスライダー２０は一対の第１ガイド１０に案内されて第１ガイド１０の長さ方向に共に移動する。スライダー２０には第１ガイド１０の第１突起収容部１１に対応して第１突起部２１が設けられる。スライダー２０は第１ガイド１０に沿って駆動ユニット（図示せず）によって移動することができる。このような駆動ユニットは一般モータを長く広げた直線運動を発生するリニアモータであることもでき、スライダー２０及び第１ガイド１０に結合されて第１ガイド１０に対してスライダー２０を移動させるボールスクリュー及びボールスクリューを回転するモータなどであることもできる。
【００２４】
第１突起部２１は第１ガイド１０の第１突起収容部１１に収容されて案内されるようにスライダー２０の下部面に突出形成されることができる。第１突起部２１は一例として三角形断面形状に設けられることができ、四角形断面形状または半円断面形状など多様な形状に設けられる。
【００２５】
第２ガイド３０は一対のスライダー２０に結合されてスライダー２０と共に第１ガイド１０に沿って移動する。第２ガイド３０は四角断面の長い棒状に設けられることができ、三角形断面または円形断面など他の断面形状に設けられることもできる。第２ガイド３０は両側３０ａ、３０ｂが一対のスライダー２０に各々結合される。第２ガイド３０の一側３０ａは後述の回動ユニット５０のヒンジ部６１によって第１スライダー２０ａの上側に回動可能に結合されることができる。第２ガイド３０の他側３０ｂは後述の回動ユニット５０の駆動部５１及び駆動接触部５８によってヒンジ部６１を中心に第２スライダー２０ｂの上側に回動可能に結合されることができる。第２ガイド３０はヘッド４０を第２ガイド３０の長さ方向に案内するようにヘッド４０を支持する。第２ガイド３０には後述のヘッド４０の第２突起部４１に対応して第２突起収容部３１が設けられる。
【００２６】
第２突起収容部３１は後述のヘッド４０の第２突起部４１を収容して精密に案内するように第２ガイド３０の側面に陥没形成されることができる。第２突起収容部３１は第１ガイド１０に設けられた第１突起収容部１１と同一なので詳細な説明は省略する。しかし、第２突起収容部３１がヘッド４０に設けられ、後述の第２突起部４１が第２突起収容部３１に収容されるように第２ガイド３０に設けられることもできる。
【００２７】
ヘッド４０は第２ガイド３０の長さ方向に沿って移動可能に第２ガイド３０に結合される。ヘッド４０には第２ガイド３０の第２突起収容部３１に対応して第２突起部４１が設けられることができる。ヘッド４０はスライダー２０のように、第２ガイド３０に沿って駆動ユニット（図示せず）によって移動することができる。このような駆動ユニットは一般モータを長く広げた直線運動を発生するリニアモータであることもでき、ヘッド４０及び第２ガイド３０に結合されて第２ガイド３０に対してヘッド４０を移動させるボールスクリュー及びボールスクリューを回転するモータなどであることもできる。ヘッド４０には製品５の精密検査作業あるいは表面蒸着作業などを遂行するようにスキャナーあるいは蒸着ユニットなどが装着されることができる。ヘッド４０は製品５に表示された複数のアラインマーク６を認識してヘッド４０と製品５のアラインマーク６が正しく配列されたかを検査することができる。つまり、ヘッド４０を第１ガイド１０の長さ方向及び第２ガイド３０の長さ方向に移動させて製品５のアラインマーク６を確認することによってヘッド４０と製品５のアラインマーク６が正しく配列されたかを検査することができる。その後、ヘッド４０と製品５のアラインマーク６が任意の角度でずれている場合、回動ユニット５０を駆動して第２ガイド３０を任意の角度だけ回動させヘッド４０と製品５のアラインマーク６を正しく整列すればよい。
【００２８】
第２突起部４１は第２ガイド３０の第２突起収容部３１に収容されて案内されるようにヘッド４０の側面に突出形成されることができる。第２突起部４１は一例として三角形断面形状に設けられることができ、四角形断面形状または半円断面形状など多様な形状に設けられることもできる。
【００２９】
回動ユニット５０はスライダー２０及び第２ガイド３０のうちのいずれか一つに設けられた駆動部５１と、他の一つに設けられ駆動部５１に接触駆動されて第２ガイド３０を回動させる駆動接触部５８とを含む。回動ユニット５０は第２ガイド３０の一側３０ａとスライダー２０とを回動可能に連結するヒンジ部６１をさらに含むことができる。つまり、回動ユニット５０のヒンジ部６１は第２ガイド３０の一側３０ａと第１スライダー２０ａとの間に設けられ、回動ユニット５０の駆動部５１及び駆動接触部５８は第２ガイド３０の他側３０ｂと第２スライダー２０ｂとの間に設けられることができる。
【００３０】
駆動部５１は第２スライダー２０ｂに設けられるのが好ましいが、第２ガイド３０の他側３０ｂに設けられることもできる。駆動部５１は、駆動モータ５３と、駆動モータ５３によって回動する回動体５５とを含むことができる。
【００３１】
駆動モータ５３は回転力を発生し、第２スライダー２０ｂにボルト（図示せず）などで装着されて第２スライダー２０ｂと一体に移動する。しかし、駆動モータ５３は第２ガイド３０の他側３０ｂに装着されることもできる。
【００３２】
回動体５５は駆動モータ５３によって回転可能なように駆動モータ５３の駆動軸５４と連結される。回動体５５は駆動接触部５８と噛合い結合可能に外周面にギヤ形状が設けられたピニオンであるのが好ましい。しかし、回動体５５は駆動接触部５８と転がり接触可能なローラー（図示せず）であることもできる。
【００３３】
駆動接触部５８は回動体５５と接触可能なように設けられる。駆動接触部５８は第２ガイド３０の他側３０ｂにボルト（図示せず）などで結合されるのが好ましい。しかし、駆動接触部５８は駆動部５１に応じて第２スライダー２０ｂに装着されることもできる。駆動接触部５８はピニオン形状の回動体５５と噛合い結合可能であり、円弧状に設けられたラック（ＲＡＣＫ）形状であるのが好ましい。しかし、駆動接触部５８はローラー形状の回動体５５と転がり接触可能なように円弧状に設けられたローラーガイド（図示せず）であることもできる。これによって、第２スライダー２０ｂに装着された駆動モータ５３の作動によって回動体５５が回転すると、第２ガイド３０の他側３０ｂに結合された駆動接触部５８が移動して第２ガイド３０を回転させる。
【００３４】
ヒンジ部６１は第２ガイド３０の一側３０ａと第１スライダー２０ａとの間に設けられて第２ガイド３０を回動可能に支持する。ヒンジ部６１は、第１スライダー２０ａに設けられたヒンジピン６２と、ヒンジピン６２を収容可能なように第２ガイド３０の一側３０ａに設けられたヒンジピン収容部６３とを含む。
【００３５】
ヒンジピン６２は、第１スライダー２０ａに設けられることができ、第２ガイド３０の一側３０ａに設けられることもできる。ヒンジピン６２の軸線はスライダー２０の移動方向及びヘッド４０の移動方向に対して方向軸線６５と同一である。スライダー２０の移動方向及びヘッド４０の移動方向は直角を成すことができ、直角ではないこともある。そして、ヒンジピン６２の軸線６５がスライダー２０の移動方向及びヘッド４０の移動方向に対して直角を成すことができ、直角ではないこともある。
【００３６】
ヒンジピン収容部６３は第２ガイド３０の一側３０ａに設けられることができるが、ヒンジピン６２に応じて第１スライダー２０ａに設けられることもできる。ヒンジピン収容部６３はヒンジピン６２に対して自由回転可能に設けられるが、多少の摩擦力を有して回動することもできる。
【００３７】
このような構成によって、本発明の第１実施形態によるガントリー装置の作動過程を図３及び図４を参照して見てみると次の通りである。
【００３８】
まず、駆動ユニット（図示せず）を利用して第１及び第２スライダー２０ａ、２０ｂを第１ガイド１０の長さ方向に移動させることができ、ヘッド４０を第２ガイド３０の長さ方向に移動させることができる。ヘッド４０を第１ガイド１０の長さ方向及び第２ガイド３０の長さ方向に移動させて製品５のアラインマーク６を確認することによってヘッド４０と製品５のアラインマーク６が正しく配列されたかを検査することができる。そして、ヘッド４０と製品５のアラインマーク６が任意の角度でずれている場合、回動ユニット５０を利用して第２ガイド３０を任意の角度だけ回動させヘッド４０と製品５のアラインマーク６を正しく整列すればよい。つまり、回動ユニット５０の駆動モータ５３を作動して回動体５５を回転させることによって、ヒンジピン６２を中心に駆動接触部５８が第２ガイド３０及びヘッド４０と一体に回転する。
【００３９】
これによって、本発明の第１実施形態によるガントリー装置１は、ヘッド４０を第１ガイド１０の長さ方向及び第２ガイド３０の長さ方向だけでなく第２ガイド３０の一側３０ａを中心に回転可能に設けることによって、ヘッド４０の移動方向を多様に調節することができる。そして、ヘッド４０の移動方向を多様に調節することができるので、ヘッド４０を製品５のアラインマーク６と容易に整列することができる。
【００４０】
〔第２実施形態〕
図５乃至図７に示されているように、本発明の第２実施形態によるガントリー装置１０１の回動ユニット１５０は第２ガイド３０の一側３０ａ及び第１スライダー２０ａの間に第２ガイド３０を回動させる駆動モータ１６１を含むという点が第１実施形態との差異点である。回動ユニット１５０は第２ガイド３０の他側３０ｂ及び第２スライダー２０ｂのうちのいずれか一つに設けられて他の一つとスライディング可能に結合された円弧状のガイド部材１５１をさらに含むことができる。
【００４１】
駆動モータ１６１は第２ガイド３０の一側３０ａ及び第２ガイド３０の一側３０ａと結合する第１スライダー２０ａのうちのいずれか一つに設けられて第２ガイド３０を回動させる。駆動モータ１６１は第１スライダー２０ａに結合されて第１スライダー２０ａと一体に移動することができる。そして、第２ガイド３０の一側３０ａには回転軸１６２と一体に回転するように駆動モータ１６１の回転軸１６２が一体に結合される回転軸結合部１６３が設けられる。しかし、駆動モータ１６１が第２ガイド３０の一側３０ａに設けられ、回転軸結合部１６３が第１スライダー２０ａに設けられることもできる。
【００４２】
ガイド部材１５１は第２ガイド３０の他側３０ｂと結合する第２スライダー２０ｂに設けられて第２ガイド３０の他側３０ｂをスライディング可能に支持することができる。ガイド部材１５１は第２スライダー２０ｂにボルト（図示せず）などで結合されることができる。ガイド部材１５１には後述の第２ガイド３０の他側３０ｂに設けられたガイド突起１５５を収容して案内する円弧状のガイド溝１５３が設けられる。
【００４３】
ガイド突起１５５はガイド部材１５１に案内されるように第２ガイド３０の他側３０ｂに設けられることができる。つまり、ガイド突起１５５は第２スライダー２０ｂに結合されたガイド部材１５１のガイド溝１５３に挿入されて案内される。ガイド突起１５５にはガイド部材１５１に対して転がり接触可能にローラー（図示せず）が装着されることもできる。
【００４４】
このような構成によって、本発明の第２実施形態によるガントリー装置１０１の作動過程を見てみると次の通りである。
【００４５】
まず、第１実施形態のように、ヘッド４０を第１ガイド１０の長さ方向及び第２ガイド３０の長さ方向に移動させて製品５のアラインマーク６を確認することによって、ヘッド４０と製品５のアラインマーク６が正しく配列されたかを検査することができる。そして、ヘッド４０と製品５のアラインマーク６が任意の角度でずれている場合、回動ユニット１５０を利用して第２ガイド３０を任意の角度だけ回動させヘッド４０と製品５のアラインマーク６を正しく整列すればよい。つまり、図７に示されているように、回動ユニット１５０の駆動モータ１６１を作動して駆動モータ１６１の回転軸１６２を中心に第２ガイド３０及びヘッド４０を回転させる。
【００４６】
これによって、本発明の第２実施形態によるガントリー装置は、ヘッドを第１ガイドの長さ方向及び第２ガイドの長さ方向だけでなく第２ガイドの一側を中心に回転可能に設けることによって、ヘッドの移動方向を多様に調節することができる。そして、ヘッドの移動方向を多様に調節することができるのでヘッドを製品のアラインマークと容易に整列することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態によるガントリー装置の斜視図である。
【図２】図１のガントリー装置の分解斜視図である。
【図３】図１のガントリー装置の第１ガイド及びヘッドの作動斜視図である。
【図４】図１のガントリー装置の第２ガイドの作動斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態によるガントリー装置の斜視図である。
【図６】図５のガントリー装置の分解斜視図である。
【図７】図５のガントリー装置の第２ガイドの作動斜視図である。
【符号の説明】
【００４８】
１、１０１  ガントリー装置
５  製品
６  アラインマーク
８  製品支持台
１０  第１ガイド
１１  第１突起収容部
２０  スライダー
２０ａ  第１スライダー
２０ｂ  第２スライダー
２１  第１突起部
３０  第２ガイド
３１  第２突起収容部
４０  ヘッド
４１  第２突起部
５０、１５０  回動ユニット
５１  駆動部
５３、１６１  駆動モータ
５４  駆動軸
５５  回動体
５８  駆動接触部
６１  ヒンジ部
６２  ヒンジピン
６３  ヒンジピン収容部
６５  横方向軸線
１５１  ガイド部材
１５３  ガイド溝
１５５  ガイド突起
１６２  回転軸
１６３  回転軸結合部
【図１】
2006065296.tif 000003
【図２】
2006065296.tif 000004
【図３】
2006065296.tif 000005
【図４】
2006065296.tif 000006
【図５】
2006065296.tif 000007
【図６】
2006065296.tif 000008
【図７】
2006065296.tif 000009