(57)【要約】【課題】反応ガスの噴射経路と、電極構造を改良することで、安定したプラズマを生成させることが出来、洗浄時間の短縮と、効率良くプラズマを発生させることが出来るタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法及びその装置を提供する。【解決手段】この発明の第１実施形態では、洗浄処理槽１の側面１ａの２箇所に、前記板状電極５とセクターモールドＷの汚れ面Ｗｘとの間で、かつ電極テーブル２と平行に反応ガスＱを噴射させる直径６mm前後の噴射孔１６ａ，１６ｂが形成してあり、その噴射孔１６ａ，１６ｂの位置としては、板状電極５の縦方向中央の洗浄処理槽１の側面１ａに設けてある。洗浄処理槽１内は、減圧手段１３により６０〜９０Ｐａの減圧雰囲気に維持されるように設定され、また反応ガスＱは、酸素と四フッ化炭素の混合体を使用し、噴射圧力０．１５ＭＰａで、流量４００ＳＣＣＭ、１００ＳＣＣＭで洗浄処理槽１内に噴射させるように構成されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄処理槽内の電極テーブル上にセクターモールドの汚れ面が板状電極と相対向する位置に配置し、前記洗浄処理槽内を減圧雰囲気にした状態で、前記モールド汚れ面と前記板状電極との間に反応ガスを噴射させながらプラズマを生成させ、プラズマ放電と反応ガスとの化学反応によってセクターモールドの汚れ面を洗浄するタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法において、
前記反応ガスを洗浄処理槽の側壁に設けた噴射孔から前記板状電極とセクターモールドの汚れ面との間で、かつ電極テーブルと平行に噴射させて洗浄することを特徴とするタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法。
【請求項２】
前記反応ガスを板状電極の縦方向中央側面に向けて噴射させるようにする請求項１に記載のタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法。
【請求項３】
減圧手段を接続した洗浄処理槽内の電極テーブル上に、高周波電源と接続された板状電極を鉛直向きに配置し、前記洗浄処理槽の一部に、前記板状電極に相対向して配置したセクターモールドと板状電極との間に反応ガスを噴射させる噴射孔を設けたタイヤ加硫成形用金型の洗浄装置において、
前記洗浄処理槽の側面の少なくとも一箇所以上に、前記板状電極とセクターモールドの汚れ面との間で、かつ電極テーブルと平行に反応ガスを噴射させる噴射孔を設けたことを特徴とするタイヤ加硫成形用金型の洗浄装置。
【請求項４】
前記板状電極を、アルミ一体構造に構成し、セクターモールドと相対しない面を絶縁体で覆うように構成した請求項３に記載のタイヤ加硫成形用金型の洗浄装置。
【請求項５】
前記噴射孔を、板状電極の縦方向中央の洗浄処理槽の側面に設けた請求項３または４に記載のタイヤ加硫成形用金型の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、タイヤ加硫成形用金型の洗浄方法及びその装置に係わり、更に詳しくは洗浄時間の短縮と、効率良くプラズマを発生させることが出来るタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、タイヤ加硫成形用金型の洗浄装置としては、例えば、図６に示すように減圧手段を接続した洗浄処理槽１内の電極テーブル２上に、高周波電源３（高周波発振器）及びオートチューニング装置４を介して接続された板状電極５（パワー電極）を鉛直向きに配置し、前記洗浄処理槽１の一部に、前記板状電極５に相対向して配置したセクターモールドＷと板状電極５との間に板状電極５の上方から反応ガスＱを供給すると共に、モールドの汚れ面Ｗｘと前記板状電極５との間に反応ガスＱを噴射させながらプラズマＺを生成させ、プラズマ放電と反応ガスＱとの化学反応によってセクターモールドＷの汚れを除去するように構成している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
なお、前記オートチューニング装置４とは、高周波電源３の出力とプラズマ負荷との両者のインピーダンスマッチングを取ることによって高周波電力の反射波Ｓをなくし、進行波電力の出力波Ｓａを効率良く負荷側に電送する装置である。
【０００４】
ところで、プラズマＺを発生させるために設けた板状電極５（モールドの汚れ面Ｗｘと平行な電極：シャワー電極）の構造としては、例えば、図７に示すように、板状の板状電極５の両側に複数の孔７を設けた反応ガスＱの拡散板８と、噴射孔９を設けた仕切り板１０とを配設し、反応ガスＱは拡散板８の孔７及び仕切り板１０の噴射孔９を通ってセクターモールドＷの汚れ面Ｗｘ側に噴射させると共に、その汚れ面Ｗｘと前記板状電極５との間にプラズマＺを生成させてセクターモールドＷの汚れを除去するものである。
【０００５】
然しながら、プラズマＺを発生させるために設けたシャワー電極の反応ガスＱの噴射孔９の異常放電によってプラズマＺが不安定になり、反射波Ｓが大きくなり高周波電源３（高周波発振器）が故障すると言う問題が発生した。
【０００６】
この異常放電の原因を追求すると、シャワー電極の構造にあり、反応ガスＱを均一に噴射させるために設けた仕切り板１０の合わせ面１０ａに電位差が生じて放電が発生することが判った。
【特許文献１】特開２００１−２９３７２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明はかかる従来の問題点に着目し、反応ガスの噴射経路と、電極構造を改良することで、安定したプラズマを生成させることが出来、洗浄時間の短縮と、効率良くプラズマを発生させることが出来るタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法及びその装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は上記目的を達成するため、この発明のタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法は、反応ガスを洗浄処理槽の側壁に設けた噴射孔から前記板状電極とセクターモールドの汚れ面との間で、かつ電極テーブルと平行に噴射させて洗浄することを要旨とするものである。
【０００９】
ここで、前記反応ガスを板状電極の縦方向中央側面に向けて噴射させるようにする。
【００１０】
また、この発明のタイヤ加硫成形用金型の洗浄装置は、洗浄処理槽の側面の少なくとも一箇所以上に、前記板状電極とセクターモールドの汚れ面との間で、かつ電極テーブルと平行に反応ガスを噴射させる噴射孔を設けたことを要旨とするものである。
【００１１】
ここで、前記板状電極を、アルミ一体構造に構成し、セクターモールドと相対しない面を絶縁体で覆うように構成し、また前記噴射孔を、板状電極の縦方向中央の洗浄処理槽の側面に設けるものである。
【発明の効果】
【００１２】
この発明は上記のように構成したので、以下のような優れた効果を奏するものである。（ａ）．電極を一体構造にすることにより、電極内で電位差が生じないので放電を防止することが出来、出力を上げることが出来るので洗浄処理時間の短縮化が可能となる。
（ｂ）．また出力を上げることが出来るのでシャワー方式でなくても鋳接ぎ部へ強いプラズマが侵入し、灰化を促進させて処理時間の短縮化を図ることが出来る。
（ｃ）．板状電極の周囲に絶縁体を貼ることにより、セクターモールドの汚れ面側に効率よくプラズマを発生させることが出来る。
（ｄ）．シャワー電極を一体構造にすることが出来るので、電極が簡素化されコストダウンを図ることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面に基づき、この発明の実施形態を説明する。なお、従来例と同一構成要素は、同一符号を付して説明は省略する。
【００１４】
図１は、この発明の第１実施形態におけるタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法を実施するための洗浄装置の概略側面図、図２は図１の概略正面図を示し、１は開閉扉１ｂを備えた密閉箱状の洗浄処理槽、５は洗浄処理槽の上壁から鉛直に吊設された板状電極、３は高周波電源（高周波発振器）、１２は洗浄処理槽１の底壁に形成された排気孔、１３は真空ポンプ等の減圧手段、１４はアース電極、１５はアースを示し、前記板状電極５と相対向する位置には洗浄を目的としたセクターモールドＷが設置されている。
【００１５】
この発明の第１実施形態では、洗浄処理槽１の側面１ａの２箇所に、前記板状電極５とセクターモールドＷの汚れ面Ｗｘとの間で、かつ電極テーブル２と平行に反応ガスＱを噴射させる直径６mm前後の噴射孔１６ａ，１６ｂが形成してあり、その噴射孔１６ａ，１６ｂの位置としては、板状電極５の縦方向中央の洗浄処理槽１の側面１ａに設けてある。
【００１６】
前記洗浄処理槽１内は、減圧手段１３により６０〜９０Ｐａの減圧雰囲気に維持されるように設定され、また反応ガスＱは、酸素と四フッ化炭素の混合体を使用し、噴射圧力０．１５ＭＰａで、流量４００ＳＣＣＭ、１００ＳＣＣＭで洗浄処理槽１内に噴射させるように構成されている。
【００１７】
また、前記板状電極５を、図５に示すようにアルミ一体構造に構成し、セクターモールドＷと相対しない面を絶縁体１７で覆うように構成してある。即ち、この発明では、高圧印加用電極と反応ガスＱの噴射とを分離させ、反応ガスＱの噴射経路を変更することで電極を一体構造にして簡素化を図り、更に電極内で電位差が生じないようにすることで放電を防止し、出力を上げることが出来るようにしたものである。
【００１８】
この発明では、従来２ＫＷ〜１２０分であったものを、３ＫＷ／８０分に短縮化でき、洗浄効率を高めることが出来た。
【００１９】
また、図３及び図４は、この発明の第２実施形態における洗浄装置の概略正面図と、その平面図を示し、この実施形態は、前記洗浄処理槽１の側面１ａの１箇所に、上記第１実施形態と同様な噴射孔１６ｃを形成したものである。
【００２０】
なお、その他の構成及び作用は上記第１実施形態と同様なので同一符号を付して説明は省略する。
【００２１】
この発明の実施形態１及び２は、上記のように構成することで、洗浄処理槽１内の電極テーブル２上にセクターモールドＷの汚れ面Ｗｘが板状電極５と相対向する位置に配置し、前記洗浄処理槽１内を減圧雰囲気にした状態で、前記モールド汚れ面Ｗｘと前記板状電極５との間に反応ガスＱを噴射させながらプラズマを生成させ、プラズマ放電と反応ガスとの化学反応によってセクターモールドＷの汚れ面Ｗｘを洗浄する際、前記反応ガスＱを洗浄処理槽１の側面１ａに設けた噴射孔１６ａ，１６ｂ，１６ｃから前記板状電極５とセクターモールドＷの汚れ面Ｗｘとの間で、かつ電極テーブル２と平行に噴射させて洗浄するものである。
【００２２】
このように、板状電極５を一体構造にすることにより、電極内で電位差が生じないので放電を防止することが出来、出力を上げることが出来るので洗浄処理時間の短縮化が可能となり、また出力を上げることが出来るのでシャワー方式でなくても鋳接ぎ部へ強いプラズマが侵入し、灰化を促進させて処理時間の短縮化を図ることが出来る。
【００２３】
更に、板状電極５の周囲に絶縁体１７を貼ることにより、セクターモールドＷの汚れ面側に効率よくプラズマを発生させることが出来、またシャワー電極を一体構造にすることが出来るので、電極が簡素化されコストダウンを図ることが出来るものである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】この発明の第１実施形態におけるタイヤ加硫成形用金型の洗浄方法を実施するための洗浄装置の概略側面図である。
【図２】図１の概略正面図である。
【図３】この発明の第２実施形態における洗浄装置の概略正面図である。
【図４】図３の平面図である。
【図５】板状電極の一部拡大説明図である。
【図６】従来のタイヤ加硫成形用金型の洗浄装置の概略構成図である。
【図７】従来のシャワー電極の説明図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  洗浄処理槽                １ａ  側面
１ｂ  開閉扉                      ２  電極テーブル
３  高周波電源                  ４  オートチューニング装置
５  板状電極（パワー電極）
Ｑ  反応ガス                    Ｚ  プラズマ
Ｓ  反射波                    Ｓａ  出力波
７  孔                          ８  拡散板
９  噴射孔                    １０  仕切り板
１０ａ  合わせ面                １２  排気孔
１３  減圧手段                  １４  アース電極
１５  アース  
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ  噴射孔  １７  絶縁体
Ｗ  セクターモールド          Ｗｘ  汚れ面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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