(57)【要約】【課題】高い発光効率によって明るい光を供給できる固体発光素子等を提供すること。【解決手段】電流を供給することにより発光する発光部２０２と、発光部２０２に電流を供給する第１の電極２０１及び第２の電極２０６と、を有し、第１の電極２０１は、発光部２０２からの光を第２の電極２０６の方向へ反射し、第２の電極２０６は、発光部２０２からの光を出射するための開口部２０８を備え、開口部２０８が設けられている部分以外の部分で、発光部２０２からの光を第１の電極２０１の方向へ反射する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電流を供給することにより発光する発光部と、
前記発光部に前記電流を供給する第１の電極及び第２の電極と、を有し、
前記第１の電極は、前記発光部からの光を前記第２の電極の方向へ反射し、
前記第２の電極は、前記発光部からの光を出射するための開口部を備え、前記開口部が設けられている部分以外の部分で、前記発光部からの光を前記第１の電極の方向へ反射することを特徴とする固体発光素子。
【請求項２】
前記開口部は、ドット状に形成されることを特徴とする請求項１に記載の固体発光素子。
【請求項３】
前記開口部は、縞目状に配置されることを特徴とする請求項１に記載の固体発光素子。
【請求項４】
前記開口部は、前記第２の電極がワイヤグリッドアレイを形成するように設けられ、
前記第２の電極は、特定の振動方向の偏光光を透過し、前記特定の振動方向とは異なる他の振動方向の偏光光を反射することを特徴とする請求項１に記載の固体発光素子。
【請求項５】
前記発光部と前記第２の電極との間に設けられ、前記発光部に前記電流を拡散させる電流拡散部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の固体発光素子。
【請求項６】
前記第２の電極の、前記開口部が設けられている部分以外の部分に対応して設けられた抵抗部を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の固体発光素子。
【請求項７】
光を供給する固体発光素子と、
前記固体発光素子からの光を角度変換する角度変換部と、を有し、
前記固体発光素子は、
電流を供給することにより発光する発光部と、
前記発光部に前記電流を供給する第１の電極及び第２の電極と、を有し、
前記第１の電極は、前記発光部からの光を前記第２の電極の方向へ反射し、
前記第２の電極は、前記発光部からの光を出射するための開口部を備え、前記開口部が設けられている部分以外の部分で、前記発光部からの光を前記第１の電極の方向へ反射することを特徴とする光源装置。
【請求項８】
前記角度変換部は、前記固体発光素子の出射側に設けられたマイクロレンズアレイであることを特徴とする請求項７に記載の光源装置。
【請求項９】
前記角度変換部は、前記開口部の周辺に設けられた反射部であって、
前記反射部は、前記発光部からの光を出射側へ反射することを特徴とする請求項７に記載の光源装置。
【請求項１０】
前記反射部は、前記第２の電極に積層して設けられることを特徴とする請求項９に記載の光源装置。
【請求項１１】
前記第２の電極は、前記反射部として機能することを特徴とする請求項９に記載の光源装置。
【請求項１２】
前記固体発光素子の周辺に設けられ、前記発光部からの光を出射側へ反射するミラーを有することを特徴とする請求項７〜１１のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１３】
前記ミラーで反射した光を角度変換するレンズ素子を有することを特徴とする請求項１２に記載の光源装置。
【請求項１４】
前記固体発光素子からの光を特定の振動方向の偏光光に変換して出射する偏光変換部を有することを特徴とする請求項７〜１３のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１５】
請求項７〜１４のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、を有することを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体発光素子、光源装置及び画像表示装置、特に、光源装置に用いられる固体発光素子の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プロジェクタの光源として、固体発光素子を用いることが提案されている。特に、固体発光素子である発光ダイオード（以下、「ＬＥＤ」という。）は、超小型、超軽量、長寿命であるという特徴を有する。また、ＬＥＤは、照明目的で用いるための開発、改良によって、高輝度化及び高効率化が図られている。このことから、プロジェクタの小型化及び低消費電力化を図るために、プロジェクタの光源装置にＬＥＤを用いることが期待されている。現在開発されているＬＥＤは、従来プロジェクタの光源として用いられる超高圧水銀ランプに比べ、発光効率及び投入可能電力のいずれも小さい。このため、プロジェクタの光源を超高圧水銀ランプからＬＥＤに置き換えるのみでは、明るい画像を得ることは困難である。そこで、プロジェクタの光源にＬＥＤを用いるために、ＬＥＤの発光効率、特に、外部取出効率を向上させることが考えられている。外部取出効率は、発光部へ供給する電流に対して、ＬＥＤの外部へ取り出すことが可能な光量を割合で示したものである。ＬＥＤの外部取出効率を向上させるための技術は、例えば、特許文献１に提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１３１０７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に提案されている技術は、出射側に透明基板を設け、出射側とは反対側に電極を配置してＬＥＤチップを実装する、いわゆるフリップチップ構造を用いるものである。ＬＥＤチップをフリップチップ実装する構成では、発光部からの光は、透明基板を透過した後外部に出射する。フリップチップ構造では、ある程度の厚みを有する透明基板を形成する必要がある。ＬＥＤから出射する光は、透明基板を設けることによって発光部から出射面までの距離が長くなる分、広い範囲に広がることが考えられる。ＬＥＤから出射する光が広い範囲に広がるほど、ＬＥＤから出射する光の進行方向をコントロールすることが困難になる。また、広い範囲に広がった光の損失を低減するためには、大型な光学系を用いる必要がある。特に、小型なプロジェクタでは、大型な光学系を用いることが困難である。
【０００５】
光源装置と空間光変調装置とを含めたプロジェクタの光学系において、有効に扱える光束が存在する空間的な広がりを面積と立体角の積（エテンデュー、Ｇｅｏｍｅｔｒｉｃａｌ  Ｅｘｔｅｎｔ）として表すことができる。この面積と立体角の積は、光学系において保存される。特許文献１の技術では複数の発光体を高い密度で配置することが困難であることから、発光体の数を多くするほど、空間光変調装置に入射する光束の空間的な広がりが増大すると考えられる。これに対して、空間光変調装置が有効に変調可能な光の取り込み角度には限りがある。空間光変調装置へ入射する光束の空間的な広がりが増大するほど、空間光変調装置で変調することができない光が増加してしまう。有効に変調できない光が増加すると、光源装置へ供給する電力の一部を無駄にするばかりでなく、無駄な電力消費によって生じる発熱からさらに発光効率が低下することになる。
【０００６】
さらに、特許文献１に開示されている構成はＬＥＤチップのアライメントが困難であるため、製造コストの高騰を引き起こす場合があると考えられる。レンズ部分については、透明樹脂の充填によって形成するために設計上の自由度が低い上、高精度かつ安定して形成することも困難と考えられる。このように、従来の技術では、高い発光効率によって明るい光を供給することが困難であるため問題である。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、高い発光効率によって明るい光を供給できる固体発光素子、及びその固体発光素子を用いる光源装置及びプロジェクタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、電流を供給することにより発光する発光部と、発光部に電流を供給する第１の電極及び第２の電極と、を有し、第１の電極は、発光部からの光を第２の電極の方向へ反射し、第２の電極は、発光部からの光を出射するための開口部を備え、開口部が設けられている部分以外の部分で、発光部からの光を第１の電極の方向へ反射することを特徴とする固体発光素子を提供することができる。
【０００８】
発光部から第２の電極の方向へ進行した光のうち、開口部に入射した光は、開口部を通過して固体発光素子から出射する。発光部から第２の電極の方向へ進行した光のうち、開口部以外の部分に入射した光は、第２の電極から第１の電極の方向へ反射する。発光部から第１の電極の方向へ進行した光は、第１の電極から第２の電極の方向へ反射する。発光部から開口部以外の方向へ進行した光は、第１の電極、第２の電極での反射を繰り返した後、開口部を通過して固体発光素子から出射する。固体発光素子から出射した光は、マイクロレンズアレイ等の他の光学素子を透過させることにより、所定方向へ進行させることができる。このようにして、発光部からの光を効率良く固体発光素子の外部へ進行させ、外部取出効率が高い構成とすることができる。
【０００９】
本発明の固体発光素子は、固体発光素子の出射面に厚い透明基板を設ける必要が無いことから、発光部と開口部との間の距離を短くすることが容易である。このため、発光部に近接させて光学素子を配置することが可能である。固体発光素子からの光が広い範囲に広がる前に光学素子に入射可能な構成にできることから、小型な光学素子を用いて、固体発光素子から出射する光の進行方向を容易にコントロールすることができる。出射する光の進行方向をコントロールすることで、固体発光素子からの光を、例えば空間光変調装置で効率良く利用することもできる。固体発光素子からの光を効率良く利用可能であれば無駄な電力を低減できるほか、無駄な発熱を低減することによって固体発光素子の発光効率の低下を低減できる。さらに、本発明の固体発光素子は、発光部からの光を有効に利用できるように、光学素子の位置等に関連させて高い自由度で設計することが可能である。これにより、高い発光効率によって明るい光を供給できる固体発光素子を得られる。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様によれば、開口部は、ドット状に形成されることが望ましい。開口部をドット状に形成することにより、固体発光素子を複数の点光源と同様に扱うことが可能となる。これにより、固体発光素子から出射する光の進行方向を容易にコントロールすることができる。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様によれば、開口部は、縞目状に配置されることが望ましい。これにより、開口部を容易に形成でき、かつ開口部と他の光学素子とを容易に位置決めすることができる。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様としては、開口部は、第２の電極がワイヤグリッドアレイを形成するように設けられ、第２の電極は、特定の振動方向の偏光光を透過し、特定の振動方向とは異なる他の振動方向の偏光光を反射することが望ましい。これにより、特定の振動方向の偏光光を得られる。また、特定の振動方向とは異なる他の振動方向の偏光光は、第２の電極で反射した後、発光部の方向へ進行する。発光部の方向へ進行し、第１の電極及び第２の電極での反射を繰り返すことで特定の振動方向の偏光光に変換された光は、開口部を透過する。第１の電極、第２の電極で光を反射可能な構成とすることで、第２の電極で反射して発光部の方向へ進行する光を再利用することができる。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様としては、発光部と第２の電極との間に設けられ、発光部に電流を拡散させる電流拡散部を有することが望ましい。電流拡散部を設けることにより、発光部全体に、略均一に電流を供給することができる。発光部全体に略均一な電流を供給可能であると、発光部のうち開口部の直下の部分から光を発生させることが可能となる。開口部の直下の部分で発生した光は、開口部を通過して効率良く外部へ出射する。これにより、固体発光素子の外部取出効率を向上させることができる。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様としては、第２の電極の、開口部が設けられている部分以外の部分に対応して設けられた抵抗部を有することが望ましい。開口部が設けられている部分以外の部分に対応して抵抗部を設けることにより、発光部のうち開口部の直下の部分へ多くの電流を供給することが可能となる。開口部の直下の部分へ多くの電流を供給することが可能であると、発光部は、開口部の直下の部分で強い光を発生させることができる。開口部の直下の部分で発生した光は、開口部を通過して効率良く外部へ出射する。これにより、固体発光素子の外部取出効率を向上させることができる。
【００１５】
さらに、本発明によれば、光を供給する固体発光素子と、固体発光素子からの光を角度変換する角度変換部と、を有し、固体発光素子は、電流を供給することにより発光する発光部と、発光部に電流を供給する第１の電極及び第２の電極と、を有し、第１の電極は、発光部からの光を第２の電極の方向へ反射し、第２の電極は、発光部からの光を出射するための開口部を備え、開口部が設けられている部分以外の部分で、発光部からの光を第１の電極の方向へ反射することを特徴とする光源装置を提供することができる。
【００１６】
固体発光素子は、外部取出効率が高い構成とすることができる。角度変換部は、固体発光素子からの光を所定方向へ導くように角度変換する。固体発光素子における光の出射位置が開口部に限定されるため、角度変換部を設けることで、固体発光素子から出射する光の進行方向を容易にコントロールすることができる。角度変換部は、固体発光素子の開口部に近接して配置することが可能である。固体発光素子からの光が広い範囲に広がる前に角度変換部に入射可能な構成にできることから、小型な角度変換部を用いることができる。出射する光の進行方向をコントロールすることで、光源装置からの光を、例えば空間光変調装置で効率良く利用することもできる。さらに、光源装置は、光を有効に利用できるように固体発光素子と角度変換部とを高い自由度で設計することが可能である。これにより、高い光利用効率で明るい光を供給することが可能な光源装置を得られる。
【００１７】
また、本発明の好ましい態様としては、角度変換部は、固体発光素子の出射側に設けられたマイクロレンズアレイであることが望ましい。これにより、固体発光素子からの光を屈折により所定方向へ導くことができる。
【００１８】
また、本発明の好ましい態様としては、角度変換部は、開口部の周辺に設けられた反射部であって、反射部は、発光部からの光を出射側へ反射することが望ましい。これにより、固体発光素子からの光を反射により所定方向へ導くことができる。
【００１９】
また、本発明の好ましい態様としては、反射部は、第２の電極に積層して設けられることが望ましい。第２の電極に積層して反射部を設けるため、複雑な位置合わせを行うこと無く反射部を形成することが可能である。これにより、反射部を容易に形成することができる。
【００２０】
また、本発明の好ましい態様としては、第２の電極は、反射部として機能することが望ましい。これにより、光源装置を簡易な構成とし、さらに容易に製造することができる。
【００２１】
また、本発明の好ましい態様としては、固体発光素子の周辺に設けられ、発光部からの光を出射側へ反射するミラーを有することが望ましい。これにより、固体発光素子から所定方向以外の方向へ進行した光を所定方向へ導き、光を効率良く利用可能な構成にできる。
【００２２】
また、本発明の好ましい態様としては、ミラーで反射した光を角度変換するレンズ素子を有することが望ましい。これにより、ミラーで反射した光の進行方向をコントロールすることができる。
【００２３】
また、本発明の好ましい態様としては、固体発光素子からの光を特定の振動方向の偏光光に変換して出射する偏光変換部を有することが望ましい。これにより、特定の振動方向の偏光光を供給でき、かつ均一な光を供給可能な光源装置を得られる。
【００２４】
さらに、本発明によれば、上記の光源装置と、光源装置からの光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置と、を有することを特徴とする画像表示装置を提供することができる。上記の光源装置を用いることにより、光を効率良く空間光変調装置へ入射させることができる。また、光源装置から供給する光の進行方向を容易にコントロールできることから、空間光変調装置で有効に変調可能な角度の光を供給することができる。これにより、高い光利用効率で明るい画像を表示可能な画像表示装置を得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。
【実施例１】
【００２６】
図１は、本発明の実施例１に係る画像表示装置であるプロジェクタ１００の概略構成を示す。プロジェクタ１００は、観察者側に設けられたスクリーン１１８に光を投写し、スクリーン１１８で反射した光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるフロント投写型のプロジェクタである。プロジェクタ１００は、赤色光（以下、「Ｒ光」という。）を供給する光源装置１１０Ｒと、緑色光（以下、「Ｇ光」という。）を供給する光源装置１１０Ｇと、青色光（以下、「Ｂ光」という。）を供給する光源装置１１０Ｂとを有する。
【００２７】
光源装置１１０ＲからのＲ光は、空間光変調装置１１２Ｒに入射する。空間光変調装置１１２Ｒは、光源装置１１０ＲからのＲ光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶表示装置である。空間光変調装置１１２Ｒで変調された光は、クロスダイクロイックプリズム１１４に入射する。光源装置１１０ＧからのＧ光は、空間光変調装置１１２Ｇに入射する。空間光変調装置１１２Ｇは、光源装置１１０ＧからのＧ光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶表示装置である。空間光変調装置１１２Ｇで変調された光は、Ｒ光とは異なる面からクロスダイクロイックプリズム１１４に入射する。
【００２８】
光源装置１１０ＢからのＢ光は、空間光変調装置１１２Ｂに入射する。空間光変調装置１１２Ｂは、光源装置１１０ＢからのＢ光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶表示装置である。空間光変調装置１１２Ｂで変調された光は、Ｒ光及びＧ光とは異なる面からクロスダイクロイックプリズム１１４に入射する。色合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム１１４は、２つのダイクロイック膜１１４ａ、１１４ｂをＸ字型に直交するように配置して構成されている。ダイクロイック膜１１４ａは、Ｒ光を反射し、Ｇ光及びＢ光を透過する。ダイクロイック膜１１４ｂは、Ｂ光を反射し、Ｇ光及びＲ光を透過する。クロスダイクロイックプリズム１１４は、Ｒ光、Ｇ光及びＢ光を合成して投写光学系１１５の方向へ出射する。投写光学系１１５は、クロスダイクロイックプリズム１１４からの光をスクリーン１１８に投写する。
【００２９】
図２は、光源装置１１０Ｒの要部断面構成を示す。光源装置１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂは、それぞれＲ光、Ｇ光、Ｂ光を供給する構成とするほかは、同様の構成を有する。本実施例では、光源装置１１０Ｒを代表例として以下の説明を行う。光源装置１１０Ｒは、固体発光素子であるＬＥＤ２００と、マイクロレンズアレイ２１２とを有する。ＬＥＤ２００は、面状の発光層２０２から光を供給する面発光光源である。
【００３０】
ＬＥＤ２００は、下側電極層２０１、発光層２０２、電流拡散層２０５及び上側電極層２０６を順次積層して構成されている。下側電極層２０１及び上側電極層２０６は、発光層２０２に電流を供給する。下側電極層２０１は、発光層２０２に対して所定の出射方向とは反対側に設けられた第１の電極である。上側電極層２０６は、発光層２０２に対して出射方向の側に設けられた第２の電極である。下側電極層２０１及び上側電極層２０６は、いずれも導電性及び高反射性を備える金属部材、例えば銀やアルミニウムで構成されている。下側電極層２０１、上側電極層２０６は、不図示の外部電源と電気的に接続されている。
【００３１】
発光層２０２は、電流を供給することにより発光する発光部である。発光層２０２は、いずれも不図示のｎ型半導体層、活性層、ｐ型半導体層を有する。活性層は、ｎ型半導体層及びｐ型半導体層の間に設けられている。Ｒ光用ＬＥＤの場合、発光層２０２は、例えばＡｌＧａＰ系の半導体部材で構成することができる。Ｂ光用ＬＥＤ、Ｇ光用ＬＥＤの場合、発光層２０２は、例えばＧａＩｎＮ系の半導体部材で構成することができる。また、発光層２０２には、ｎ型半導体層、活性層、ｐ型半導体層以外の他の層を設けることとしても良い。
【００３２】
発光層２０２と上側電極層２０６との間には、電流拡散層２０５が設けられている。電流拡散層２０５は、発光層２０２に電流を拡散させる電流拡散部である。電流拡散層２０５は、例えばＩＴＯ等からなる透明電極で構成することができる。下側電極層２０１、発光層２０２及び電流拡散層２０５がＸＹ面の略全体に設けられているのに対して、上側電極層２０６には、開口部２０８が設けられている。開口部２０８は、発光層２０２からの光を出射するために設けられている。図３に示すように、複数の開口部２０８は、Ｘ方向及びＹ方向にマトリクス状に配列している。このように、開口部２０８は、ドット状に形成されている。また、上側電極層２０６は、格子状に形成されている。
【００３３】
マイクロレンズアレイ２１２は、ＬＥＤ２００の出射側に設けられている。マイクロレンズアレイ２１２は、ＬＥＤ２００からの光を角度変換する角度変換部である。マイクロレンズアレイ２１２は、複数のマイクロレンズ素子２１１を有する。図４の上面構成に示すように、複数のマイクロレンズ素子２１１は、Ｘ方向及びＹ方向にマトリクス状に配列している。また、マイクロレンズアレイ２１２は、ＸＹ面上における各マイクロレンズ素子２１１の中心部と、ＬＥＤ２００の開口部２０８とが、光源装置１１０Ｒの出射側から見て略一致するように形成されている。
【００３４】
図５は、発光層２０２からの光の振る舞いを説明するものである。下側電極層２０１及び上側電極層２０６の間に電圧を印加すると、発光層２０２に電流が供給される。発光層２０２と上側電極層２０６との間に電流拡散層２０５を設けていることから、発光層２０２の全体には、略均一に電流が供給される。このため、発光層２０２は、略均一に光を発生させる。なお、発光層２０２に略均一に電流を供給することが可能であれば、ＬＥＤ２００は、電流拡散層２０５を省略することとしても良い。
【００３５】
発光層２０２から上側電極層２０６の方向へ進行した光のうち、開口部２０８に入射した光Ｌ１は、開口部２０８を通過してＬＥＤ２００から出射する。また、発光層２０２から上側電極層２０６の方向へ進行した光のうち、開口部２０８以外の部分に入射した光Ｌ２は、上側電極層２０６から下側電極層２０１の方向へ反射する。上側電極層２０６で反射した光Ｌ２は、発光層２０２を透過した後下側電極層２０１に入射する。下側電極層２０１に入射した光Ｌ２は、下側電極層２０１から上側電極層２０６の方向へ反射する。
【００３６】
発光層２０２から下側電極層２０１の方向へ進行した光Ｌ３は、下側電極層２０１から上側電極層２０６の方向へ反射する。下側電極層２０１で反射した光Ｌ２、Ｌ３のうち開口部２０８に入射した光は、開口部２０８を通過してＬＥＤ２００から出射する。下側電極層２０１で反射した光Ｌ２、Ｌ３のうち開口部２０８以外の方向へ進行した光は、上側電極層２０６及び下側電極層２０１での反射を繰り返す。上側電極層２０６及び下側電極層２０１での反射を繰り返すうち開口部２０８を通過した光は、ＬＥＤ２００から出射する。
【００３７】
このようにして、発光層２０２からの光を効率良くＬＥＤ２００の外部へ進行させ、外部取出効率が高い構成とすることができる。また、開口部２０８をドット状に形成することから、各開口部２０８は複数の点光源であるとみなせる。図２に戻って、ＬＥＤ２００から出射した光は、マイクロレンズアレイ２１２に入射する。マイクロレンズ素子２１１では、入射した光を屈折して略平行にする。光源装置１１０Ｒは、平行化されたＲ光を空間光変調装置１１２Ｒ（図１参照）の方向へ出射する。
【００３８】
従来、外部取出効率を向上させるために、出射側に透明基板を設け、出射側とは反対側に電極層を配置してＬＥＤチップを実装する、いわゆるフリップチップ構造が提案されている。フリップチップ実装に併せて、発光部と透明基板との界面、もしくは透明基板の出射側の界面に凹凸を形成することで、外部へ効率良く光を出射させる技術も提案されている。従来提案されているフリップチップ構造は、半導体層と電極層とを接続するために発光部の一部を取り除く必要がある。発光部を取り除いた部分は非発光領域となることから、発光体として無駄な領域を生じてしまう上、照明対象物を照明する光にムラが生じてしまう場合があると考えられる。また、ＬＥＤチップに非発光領域が存在する場合、エテンデューを無駄に大きくしてしまうこととなる。
【００３９】
透明基板に凹凸面を形成する場合、ＬＥＤから出射する光は、凹凸面を透過することによりランダムな方向へ散乱する。これに対して、空間光変調装置が有効に変調可能な光の取り込み角度には限りがある。このため、空間光変調装置へ入射する光束の空間的な広がりが増大するほど、空間光変調装置で変調することができない光が増加してしまうと考えられる。
【００４０】
これに対して、本実施例の光源装置１１０Ｒは、ＬＥＤ２００の出射面に厚い透明基板を設ける必要が無いことから、発光層２０２と開口部２０８との間の距離を短くすることが容易である。マイクロレンズアレイ２１２は、発光層２０２に近接させて配置することが可能である。光源装置１１０Ｒは、ＬＥＤ２００からの光が広い範囲に広がる前にマイクロレンズ素子２１１に入射可能な構成にできる。このことから、小型なマイクロレンズアレイ２１２を用いて、ＬＥＤ２００から出射する光の進行方向を容易にコントロールすることができる。特に、各開口部２０８が点光源とみなせることから、開口部２０８に対応してマイクロレンズ素子２１１を設けることで、光を効率良く平行化することができる。
【００４１】
また、電流拡散層２０５を設けることで、発光層２０２のうち開口部２０８の直下の部分で効率良く光を発生させることができる。空間光変調装置１１２Ｒは、光源装置１１０Ｒで光を平行化することで、光源装置１１０Ｒからの光を効率良く利用することもできる。ＬＥＤ２００からの光を効率良く利用可能であれば無駄な電力を低減できるほか、無駄な発熱を低減することによって、ＬＥＤ２００の発光効率の低下を低減できる。
【００４２】
ＬＥＤ２００は、小さい面積の開口部２０８を設けるほど、光の進行方向を制御し易くなる。また、ＬＥＤ２００は、大きい面積の開口部２０８を設けるほど、多くの光を出射させることが可能となる。開口部２０８のサイズ及び数は、空間光変調装置１１２Ｒで変調可能な光を効率良く供給できるように適宜決定することができる。また、マイクロレンズアレイ２１２は、開口部２０８のサイズや位置に応じて、ＬＥＤ２００からの光を空間光変調装置１１２Ｒで効率良く変調できる光に角度変換するように、設計することができる。
【００４３】
このように、光源装置１１０Ｒは、光を有効に利用できるようにＬＥＤ２００及びマイクロレンズアレイ２１２を高い自由度で設計することが可能である。これにより、高い発光効率によって明るい光を供給することができるという効果を奏する。また、光源装置１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂを用いることで、プロジェクタ１００は、高い光利用効率で明るい画像を表示することができる。
【００４４】
ＬＥＤ２００は、ドット状に開口部２０８を形成する構成に限られない。例えば図６に示すように、ＬＥＤ２００は、縞目状に開口部６０８を配置する構成としても良い。上側電極層６０６は、Ｙ軸方向に長手方向を有する開口部６０８をＸ軸方向に並列している。縞目状に開口部６０８を形成することで、開口部６０８を容易に形成することができる。縞目状に開口部６０８を形成するＬＥＤ２００には、角度変換部として、図７に示すレンチキュラーレンズアレイ７１２を組み合わせることができる。
【００４５】
レンチキュラーレンズアレイ７１２は、Ｙ軸方向に長手方向を有するレンチキュラーレンズ７１１をＸ軸方向に並列して構成されている。レンチキュラーレンズアレイ７１２は、開口部６０８に対応してレンチキュラーレンズ７１１を配置するように形成されている。一方向に長手方向を有する開口部６０８及びレンチキュラーレンズ７１１は、容易に位置決めをすることができる。なお、ＬＥＤの開口部の形状及び配置は説明するものに限らず、明るい光を供給可能であれば他の形状や異なる配置としても良い。
【００４６】
図８は、本実施例の変形例に係るＬＥＤ８００の断面構成及び上面構成を示す。ＬＥＤ８００は、第２の電極である上側電極層８０６がワイヤグリッドアレイを形成するように開口部を設けることを特徴とする。図８の断面構成に示すように、上側電極層８０６は、電流拡散層２０５の上に積層されている。また、図８の上面構成に示すように、上側電極層８０６には、Ｘ軸方向に長手方向を有するスリット状の開口部が、Ｙ軸方向に並列している。上側電極層８０６は、金属部材で構成されるワイヤが、例えば２００ｎｍ間隔で配置されたワイヤグリッドアレイである。
【００４７】
ワイヤグリッドアレイは、振動方向がワイヤに略垂直である偏光光を透過し、振動方向がワイヤに略平行である偏光光を反射する。例えば、上側電極層８０６は、ｐ偏光光の振動方向に対してワイヤが略垂直となるように配置することにより、特定の振動方向の偏光光であるｐ偏光光のみを透過させることができる。また、上側電極層８０６は、特定の振動方向とは異なる他の振動方向の偏光光、例えばｓ偏光光を反射する。
【００４８】
上側電極層８０６がワイヤグリッドアレイを形成するように開口部を形成することにより、特定の振動方向の偏光光を供給することができる。また、特定の振動方向とは異なる他の振動方向の偏光光は、上側電極層８０６で反射した後、発光層２０２の方向へ進行する。発光層２０２の方向へ進行し、下側電極層２０１及び上側電極層８０６での反射を繰り返すことで特定の振動方向の偏光光に変換された光は、上側電極層８０６を透過する。このようにして、上側電極層８０６で反射して発光層２０２の方向へ進行した光を再利用することができる。ＬＥＤ２００からの光を、液晶型の空間光変調装置で変調可能な偏光光に変換して供給することにより、ＬＥＤ２００からの光の利用効率を向上することができる。
【００４９】
なお、プロジェクタ１００に設けられるダイクロイック膜１１４ａ、１１４ｂ（図１参照）は、通常、ｓ偏光光の反射特性に優れる。このため、ダイクロイック膜１１４ａ、１１４ｂで反射されるＲ光及びＢ光をｓ偏光光とし、ダイクロイック膜１１４ａ、１１４ｂを透過するＧ光をｐ偏光光とすることが望ましい。プロジェクタ１００に本変形例のＬＥＤ８００を用いる場合、光源装置１１０Ｒ、１１０Ｂからはｓ偏光光、光源装置１１０Ｇからはｐ偏光光を供給するように、色光ごとに偏光特性を変化させることとしても良い。
【実施例２】
【００５０】
図９は、本発明の実施例２に係る光源装置９１０の要部断面構成を示す。光源装置９１０は、上記実施例１に係るプロジェクタ１００に適用することができる。上記実施例１の光源装置１１０Ｒと同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例の光源装置９１０は、抵抗部９０３を有することを特徴とする。抵抗部９０３は、低導電性の部材で構成されている。
【００５１】
ＬＥＤ９００は、発光層９０２と電流拡散層２０５との間に抵抗部９０３を備えている。抵抗部９０３は、上側電極層２０６のうち開口部２０８が設けられている部分以外の部分に対応して、光源装置９１０の出射側から見た形状が上側電極層２０６と略同一となるように設けられている。また、抵抗部９０３は、発光層９０２のうち、例えば上側電極層２０６側に設けられた半導体層に形成されている。
【００５２】
図１０は、下側電極層２０１及び上側電極層２０６によって発光層９０２へ供給される電流の分布を説明するものである。発光層９０２へ供給された電流Ｉは、発光層９０２において、抵抗部９０３が設けられている部分以外の部分を通過するように分布している。上側電極層２０６のうち、開口部２０８が設けられている部分以外の部分に対応して抵抗部９０３を配置していることから、電流Ｉは、発光層９０２のうち開口部２０８の直下の部分へ多く供給される。
【００５３】
発光層９０２のうち開口部２０８の直下の部分へ多くの電流Ｉを供給することが可能であると、発光層９０２は、開口部２０８の直下の部分で強い光を発生させることができる。開口部２０８の直下の部分で発生した光は、開口部２０８を通過して効率良く外部へ出射する。ＬＥＤ９００から効率良く光を出射させるためには、開口部２０８の直下の部分に電流Ｉを集中させるほか、上側電極層２０６の直下にも、上側電極層２０６の直下から取り出し得る光の量に応じた電流を供給することが望ましい。抵抗部９０３は、ＬＥＤ９００から光を効率良く供給できるような電流分布となるように、サイズや位置を適宜決定することができる。これにより、ＬＥＤ９００の外部取出効率を向上させることができるという効果を奏する。
【００５４】
図１１−１及び図１１−２は、本実施例の光源装置９１０の製造手順を説明するものである。まず工程ａにおいて、平行平板である基板１１０１上に発光層９０２を積層する。発光層９０２は、不図示のｎ型半導体層、活性層、ｐ型半導体層を含む。発光層９０２は、ｎ型半導体層、ｐ型半導体層のいずれかを基板１１０１側に配置する構成であれば良い。ＡｌＧａＰ系の半導体部材を用いる場合、基板１１０１として、例えばＧａＡｓ材料からなる層を用いることができる。また、ＧａＩｎＮ系の半導体部材を用いる場合、基板１１０１として、例えばサファイア基板を用いることができる。
【００５５】
次に、工程ｂにおいて、基板１１０１を取り外す。なお、基板１１０１としてＧａＡｓ材料からなる層を用いる場合、基板１１０１をそのまま半導体層として用いることから、基板１１０１の取り外しは不要である。工程ｃでは、発光層９０２に下側電極層２０１を貼り合わせる。工程ｄでは、発光層９０２のうち下側電極層２０１を貼り合わせた側とは反対側に、マスク１１０２を介して不純物をドーピングする。発光層９０２にドーピングする不純物は、低導電性の物質である。工程ｄを経て、工程ｅに示す抵抗部９０３が形成される。なお、抵抗部９０３は、不純物をドーピングする以外の工程により形成することとしても良い。
【００５６】
次に、工程ｆにおいて、発光層９０２のうち抵抗部９０３を形成した側に、電流拡散層２０５を積層する。電流拡散層２０５は、例えばＩＴＯを蒸着することで形成することができる。工程ｇでは、電流拡散層２０５の上に金属膜１１０３を積層する。金属膜１１０３は、上側電極層２０６（図９参照）を構成する金属部材を蒸着することで形成することができる。次に、工程ｈにおいて、金属膜１１０３をエッチングして開口部２０８を形成する。開口部２０８を形成することで、電流拡散層２０５の上に上側電極層２０６が形成される。発光層９０２に抵抗部９０３が形成されている部分以外の部分に合わせて金属膜１１０３のエッチングを行うことにより、抵抗部９０３に対応して上側電極層２０６を形成することができる。工程ａから工程ｈにより、ＬＥＤ９００を形成する。
【００５７】
さらに、工程ｉにおいて、ＬＥＤ９００の上側電極層２０６に対向するようにマイクロレンズアレイ２１２を装着する。マイクロレンズアレイ２１２は、マイクロレンズ素子２１１の中心部と開口部２０８とが略一致するように位置を合わせて装着する。以上により、光源装置９１０を製造することができる。なお、上記実施例１の光源装置１１０Ｒは、抵抗部９０３を形成する工程ｄを、光源装置９１０の製造手順から省略することにより製造することができる。
【実施例３】
【００５８】
図１２は、本発明の実施例３に係る光源装置１２１０の要部断面構成を示す。光源装置１２１０は、上記実施例１に係るプロジェクタ１００に適用することができる。上記実施例１の光源装置１１０Ｒと同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例の光源装置１２１０は、反射部１２１１を有することを特徴とする。反射部１２１１は、発光層２０２からの光を出射側へ反射することで、ＬＥＤ２００からの光を角度変換する角度変換部である。
【００５９】
反射部１２１１は、上側電極層２０６の出射側の面に積層して設けられた四角錐形状の構造体である。反射部１２１１は、少なくとも上側電極層２０６と接している面以外の面が反射面で構成されている。反射部１２１１の反射面は、開口部２０８の周辺に設けられている。反射部１２１１は、全体を高反射性の部材、例えばアルミニウム等の金属部材やシリコン部材で構成するほか、四角錐形状の基材に高反射性の金属膜や誘電性多層膜をコーティングして構成することができる。
【００６０】
開口部２０８を通過した光は、反射部１２１１の反射面に入射する。反射部１２１１は、開口部２０８からの光を反射して略平行にする。光源装置１２１０は、平行化された光を空間光変調装置の方向へ出射する。このように、反射部１２１１は、反射によりＬＥＤ２００からの光を空間光変調装置の方向へ導く。反射部１２１１は、空間光変調装置で変調可能な光を効率良く供給できるように、高さや反射面の傾きを適宜設定することができる。これにより、実施例１の光源装置１１０Ｒと同様に、高い発光効率によって明るい光を供給することができる。
【００６１】
また、上側電極層２０６に積層して反射部１２１１を設ける構成とすることで、複雑な位置合わせを行うこと無く、明るい光を供給するための反射部１２１１を形成することが可能である。これにより、容易に反射部１２１１を形成し、明るい光を供給することができる。なお、反射部１２１１の形状は四角錐形状に限らず、開口部２０８を通過した光を効率良く供給可能な形状であれば他の形状、例えば四角錐形状以外の多角錐形状や角錐台形、曲面を有する形状としても良い。例えば、図６に示すように縞目状の開口部を設ける場合、反射部１２１１は、開口部と同一の長手方向を有する形状とすることができる。このように、反射部１２１１は、開口部の形状に合わせて適宜構成を決定することができる。
【００６２】
なお、反射部は、第２の電極である上側電極層２０６の上に設ける構成に限られない。例えば、図１３に示す光源装置１３１０のように、第２の電極を反射部として機能させることとしても良い。第２の電極である上側電極部１３１１は、電流拡散層２０５の上に設けられている。上側電極部１３１１は、導電性かつ高反射性の部材、例えばアルミニウム部材を有する。上側電極部１３１１は、上記の光源装置１２１０の反射部１２１１と同様の形状、及び同様の間隔で設けられている。発光層２０２は、下側電極層２０１及び上側電極部１３１１から供給される電流によって発光する。
【００６３】
また、上側電極部１３１１は、上記の反射部１２１１と同様に、発光層２０２からの光を出射側へ反射する。上側電極部１３１１が第２の電極、及び反射部の機能を併有することで、光源装置１３１０を簡易な構成にできる。これにより、光源装置１３１０をさらに容易に製造することができる。さらに、図１４に示す光源装置１４１０のように、上側電極部１３１１に対応して抵抗部９０３を設けることとしても良い。
【００６４】
図１５は、本実施例の光源装置の製造手順を説明するものである。ここで製造手順を説明する光源装置１５１０は、図１２に示す光源装置１２１０に抵抗部９０３を追加した構成を有する。工程ａにおいて、ＬＥＤ９００を形成する。ＬＥＤ９００の形成は、図１１−１及び図１１−２に示す工程ａから工程ｈまでの手順と同様の手順で行う。次に、工程ｂにおいて、上側電極層２０６の上に金属層１５０１を形成する。金属層１５０１は、例えば電鋳によって形成することができる。
【００６５】
工程ｃでは、マスク１５０２を介したエッチングや型成形等により、金属層１５０１の一部を除去する。工程ｃで金属層１５０１の一部を除去することにより、工程ｄに示す反射部１２１１を形成する。以上により、光源装置１５１０を製造することができる。なお、上記の光源装置１２１０は、抵抗部９０３を形成する工程を光源装置１５１０の製造手順から省略することにより製造することができる。
【００６６】
反射部１２１１をシリコン部材で形成する場合、シリコン材料を加圧により直接接合することができる。直接接合によって形成されたシリコンの層に異方性エッチングを施すことにより、反射部１２１１を容易に形成することが可能である。シリコン材料で形成された反射部１２１１は、研磨により表面を鏡面仕上げすることとしても良い。また、シリコン部材で形成した構造体に反射膜をコーティングすることによって反射部１２１１を形成することとしても良い。
【００６７】
図１６は、上記の光源装置１４１０の製造手順を説明するものである。工程ａにおいて、下側電極層２０１、発光層９０２、抵抗部９０３及び電流拡散層２０５からなる構造体を形成する。かかる構造体の形成は、図１１−１及び図１１−２に示す工程ａから工程ｆまでの手順と同様の手順で行う。次に、工程ｂにおいて、電流拡散層２０５の上に金属層１６０１を形成する。金属層１６０１は、例えば電鋳によって形成することができる。
【００６８】
工程ｃでは、マスク１６０２を介したエッチングや型成形等により、金属層１６０１の一部を除去する。工程ｃで金属層１６０１の一部を除去することにより、工程ｄに示す反射部１３１１を形成する。以上により、光源装置１４１０を製造することができる。なお、上記の光源装置１３１０は、抵抗部９０３を形成する工程を光源装置１４１０の製造手順から省略することにより製造することができる。
【実施例４】
【００６９】
図１７は、本発明の実施例４に係る光源装置１７１０の要部断面構成を示す。光源装置１７１０は、上記実施例１に係るプロジェクタ１００に適用することができる。上記実施例１の光源装置１１０Ｒと同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例の光源装置１７１０は、ＬＥＤ２００の周辺に設けられたミラー１７０１を有することを特徴とする。光源装置１７１０は、図２に示す光源装置１１０Ｒにミラー１７０１を追加した構成を有する。
【００７０】
ミラー１７０１は、ＬＥＤ２００の側に凹面が向けられた放物面形状を有する。ミラー１７０１の形状は、放物面形状に限らず、双曲面、その他の自由曲面である非球面形状や
球面形状としても良い。ミラー１７０１は、高反射性の部材、例えばアルミニウム等の金属部材で構成するほか、曲面形状の基材に高反射性の金属膜や誘電性多層膜をコーティングすることにより構成することができる。図１８の上面構成に示すように、ミラー１７０１は、ＬＥＤ２００の四方を取り囲むように設けられている。
【００７１】
図１７に戻って、発光層２０２で発生した光のうち一部の光は、ＬＥＤ２００の側面からＹ軸方向へ進行する。ＬＥＤ２００の側面からＹ軸方向へ進行した光は、ミラー１７０１で反射して、出射方向であるＺ軸方向へ進行する。ミラー１７０１は、発光層２０２からの光を出射側へ反射する。このように、ミラー１７０１を設けることにより、ＬＥＤ２００から所定の照明方向以外の方向へ進行する光を照明方向へ導き、光を効率良く利用可能な構成にできる。これにより、明るい光を供給することができるという効果を奏する。
【００７２】
図１９は、本実施例の変形例に係る光源装置１９１０の要部断面構成を示す。本変形例の光源装置１９１０は、ミラー１９０１で反射した光を角度変換するレンズ素子１９１１を有することを特徴とする。ミラー１９０１は、略平坦な平面形状を有する点が、上記の光源装置１７１０のミラー１７０１とは異なる。図２０の上面構成に示すように、レンズ素子１９１１は、ミラー１９０１と同様に、ＬＥＤ２００の四方を取り囲むように設けられている。
【００７３】
発光層２０２からミラー１９０１へ入射した光は、ミラー１９０１で反射した後レンズ素子１９１１に入射する。レンズ素子１９１１は、入射した光を略平行にして出射する。レンズ素子１９１１を透過した光は、マイクロレンズアレイ２１２を透過した光と同様に、平行化されて出射する。このように、レンズ素子１９１１を設けることにより、ミラー１９０１で反射した光の進行方向をコントロールすることができる。これにより、空間光変調装置で変調可能な光を効率良く供給することができる。
【００７４】
レンズ素子１９１１は、マイクロレンズアレイ２１２と分離して形成するほか、マイクロレンズアレイ２１２と一体に形成することとしても良い。例えば、開口部２０８及びミラー１９０１を覆うマイクロレンズアレイ２１２を設ける構成とすることで、光源装置１９１０を容易に製造することができる。なお、ミラー１７０１、１９０１、及びレンズ素子１９１１は本実施例の配置に限らず、所定方向へ効率良く光を供給することが可能であれば異なる配置としても良い。また、上記の光源装置１７１０の曲面形状のミラー１７０１とレンズ素子１９１１とを組み合わせて用いることとしても良い。
【実施例５】
【００７５】
図２１は、本発明の実施例５に係る光源装置２１１０の要部断面構成を示す。光源装置２１１０は、上記実施例１に係るプロジェクタ１００に適用することができる。上記実施例１の光源装置１１０Ｒと同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例の光源装置２１１０は、偏光変換部２１０１を有することを特徴とする。偏光変換部２１０１は、ＬＥＤ２００からの光を特定の振動方向の偏光光に変換して出射する。光源装置２１１０は、図２に示す光源装置１１０Ｒに、偏光変換部２１０１及びマイクロレンズアレイ２１１２を追加した構成を有する。
【００７６】
マイクロレンズアレイ２１１２は、マイクロレンズアレイ２１２と偏光変換部２１０１との間に設けられている。マイクロレンズアレイ２１１２は、複数のマイクロレンズ素子２１１１をＸ方向及びＹ方向にマトリクス状に配列して構成されている。マイクロレンズアレイ２１１２は、マイクロレンズアレイ２１２からの光をさらに平行化して偏光変換部２１０１に入射させる。偏光変換部２１０１は、偏光分離膜２１０２と反射膜２１０３とが交互に形成された偏光ビームスプリッタアレイと、偏光ビームスプリッタアレイの出射面の一部に選択的に配置されたλ／２位相板２１０４とを有する。偏光分離膜２１０２と反射膜２１０３とは、偏光変換部２１０１の法線であるＺ軸に対して略４５度傾けて設けられている。
【００７７】
ＬＥＤ２００からの光は、２つのマイクロレンズアレイ２１２、２１１２を透過した後偏光変換部２１０１に入射する。偏光変換部２１０１に入射する光は、特定の振動方向の偏光光であるｐ偏光光と、特定の振動方向に対して略直交する振動方向の偏光光であるｓ偏光光とを含む、偏光方向がランダムな光である。偏光変換部２１０１の偏光分離膜２１０２に入射した光のうちｐ偏光光は、偏光分離膜２１０２を透過して、偏光変換部２１０１から出射する。
【００７８】
偏光分離膜２１０２に入射した光のうちｓ偏光光は、偏光分離膜２１０２で反射した後、反射膜２１０３の方向へ進行する。反射膜２１０３に入射したｓ偏光光は、反射膜２１０３で反射した後、偏光ビームスプリッタアレイから出射する。λ／２位相板２１０４は、偏光ビームスプリッタアレイの出射面のうち、反射膜２１０３で反射した光が通過する位置に設けられている。反射膜２１０３で反射した後λ／２位相板２１０４に入射した光は、ｐ偏光光に変換されて、λ／２位相板２１０４から出射する。
【００７９】
光源装置２１１０は、このようにしてｐ偏光光を出射する。また、偏光変換部２１０１で光束を細かく分割することから、ＬＥＤ２００からの光を均一化して出射することも可能である。これにより、特定の振動方向の偏光光を供給でき、かつ均一な光を供給することができるという効果を奏する。ＬＥＤ２００からの光を、液晶型の空間光変調装置で変調可能な偏光光に変換することにより、ＬＥＤ２００からの光の利用効率を向上することができる。偏光変換部２１０１は、ｐ偏光光を供給可能な構成とするほか、ｓ偏光光を供給可能な構成としても良い。また、偏光変換部２１０１の出射側に重畳レンズを設けることにより、さらに均一化された光を供給することが可能である。
【００８０】
なお、上記各実施例の光源装置にはＬＥＤの他、例えばＥＬ素子や半導体レーザ等、電流の注入により発光する他の固体発光素子を用いても良い。また、各実施例の光源装置を備えるプロジェクタ１００は、３つの空間光変調装置を用いる３板式のプロジェクタに限らず、単独の空間光変調装置を用いる単板式のプロジェクタであっても良い。また、空間光変調装置としては透過型の液晶表示装置を用いるほか、反射型の液晶表示装置やティルトミラーデバイスを用いることとしても良い。
【００８１】
各実施例の光源装置は、フロント投写型のプロジェクタ１００に適用する場合に限らず、他の画像表示装置、例えばリアプロジェクタや直視型ディスプレイにも適用することができる。さらに、光源装置は、画像表示装置の照明用途に限らず、例えば、平行光を供給するためのスポットライトやヘッドライト等にも用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
以上のように、本発明に係る固体発光素子は、平行な光を供給するための光源装置に用いる場合に有用であり、特に、プロジェクタの光源装置に用いる場合に適している。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の実施例１に係るプロジェクタの概略構成図。
【図２】光源装置の要部断面構成図。
【図３】開口部の配置を説明する図。
【図４】光源装置の上面構成図。
【図５】発光層からの光の振る舞いを説明する図。
【図６】縞目状に配置された開口部を示す図。
【図７】レンチキュラーレンズアレイの構成図。
【図８】実施例１の変形例に係るＬＥＤの断面構成及び上面構成を示す図。
【図９】本発明の実施例２に係る光源装置の要部断面構成図。
【図１０】発光層へ供給される電流の分布を説明する図。
【図１１−１】光源装置の製造手順を説明する図。
【図１１−２】光源装置の製造手順を説明する図。
【図１２】本発明の実施例３に係る光源装置の要部断面構成図。
【図１３】第２の電極が反射部として機能する光源装置の要部断面構成図。
【図１４】抵抗部を有する光源装置の要部断面構成図。
【図１５】光源装置の製造手順を説明する図。
【図１６】光源装置の製造手順を説明する図。
【図１７】本発明の実施例４に係る光源装置の要部断面構成図。
【図１８】光源装置の上面構成図。
【図１９】実施例４の変形例に係る光源装置の要部断面構成図。
【図２０】光源装置の上面構成図。
【図２１】本発明の実施例５に係る光源装置の要部断面構成図。
【符号の説明】
【００８４】
１００  プロジェクタ、１１０Ｒ、１１０Ｇ、１１０Ｂ  光源装置、１１２Ｒ、１１２Ｇ、１１２Ｂ  空間光変調装置、１１４  クロスダイクロイックプリズム、１１４ａ、１１４ｂ  ダイクロイック膜、１１５  投写光学系、１１８  スクリーン、２００  ＬＥＤ、２０１  下側電極層、２０２  発光層、２０５  電流拡散層、２０６  上側電極層、２０８  開口部、２１１  マイクロレンズ素子、２１２  マイクロレンズアレイ、６０６  上側電極層、６０８  開口部、７１１  レンチキュラーレンズ、７１２  レンチキュラーレンズアレイ、８００  ＬＥＤ、８０６  上側電極層、９００  ＬＥＤ、９０２  発光層、９０３  抵抗部、９１０  光源装置、１１０１  基板、１１０２  マスク、１１０３  金属膜、１２１０  光源装置、１２１１  反射部、１３１０  光源装置、１３１１  上側電極部、１４１０  光源装置、１５０１  金属層、１５０２  マスク、１５１０  光源装置、１６０１  金属層、１６０２  マスク、１７０１  ミラー、１７１０  光源装置、１９０１  ミラー、１９１０  光源装置、１９１１  レンズ素子、２１０１  偏光変換部、２１０２  偏光分離膜、２１０３  反射膜、２１０４  λ／２位相板、２１１０  光源装置、２１１１  マイクロレンズ素子、２１１２  マイクロレンズアレイ
【図１】
2006165423.tif 000003
【図２】
2006165423.tif 000004
【図３】
2006165423.tif 000005
【図４】
2006165423.tif 000006
【図５】
2006165423.tif 000007
【図６】
2006165423.tif 000008
【図７】
2006165423.tif 000009
【図８】
2006165423.tif 000010
【図９】
2006165423.tif 000011
【図１０】
2006165423.tif 000012
【図１１−１】
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【図１１−２】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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