(57)【要約】【課題】発生した異常を確実に自己診断で検出し得る測定装置を提供する。【解決手段】所定信号波形の測定用信号Ｓ１を生成する信号生成部２１と、入力した測定用信号Ｓ１の波形データを電圧波形データＤｖとして生成するＡ／Ｄ変換部２３（電圧波形データ生成部）と、正常な測定用信号Ｓ１の所定信号波形に対して予め規定された電圧波形用許容範囲データとＡ／Ｄ変換部２３によって生成された電圧波形データＤｖとに基づいて自己診断処理を実行する制御部とを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定信号波形の測定用信号を生成する信号生成部と、
入力した前記測定用信号の波形データを電圧波形データとして生成する電圧波形データ生成部と、
正常な前記測定用信号の前記所定信号波形に対して予め規定された電圧波形用許容範囲データと前記電圧波形データとに基づいて自己診断処理を実行する制御部とを備えている測定装置。
【請求項２】
所定信号波形の測定用信号を生成する信号生成部と、
所定の測定対象体に前記測定用信号が供給されているときに当該所定の測定対象体を流れる電流を電圧信号に変換して出力する電流検出部と、
入力した前記電圧信号の波形データを電流波形データとして生成する電流波形データ生成部と、
正常な前記測定用信号が前記所定の測定対象体を流れたときの電流波形に対して予め規定された電流波形用許容範囲データと前記電流波形データとに基づいて自己診断処理を実行する制御部とを備えている測定装置。
【請求項３】
所定信号波形の測定用信号を生成する信号生成部と、
入力した前記測定用信号の波形データを電圧波形データとして生成する電圧波形データ生成部と、
測定対象体に前記測定用信号が供給されているときに当該測定対象体を流れる電流を電圧信号に変換して出力する電流検出部と、
入力した前記電圧信号の波形データを電流波形データとして生成する電流波形データ生成部と、
前記電圧波形データおよび前記電流波形データに基づいて前記測定対象体についての電気的パラメータを演算する演算部と、
所定の測定対象体についての前記電気的パラメータが当該所定の測定対象体に対して予め規定された許容範囲に含まれていないときに、正常な前記測定用信号の前記所定信号波形に対して予め規定された電圧波形用許容範囲データと前記電圧波形データとに基づく第１の自己診断処理、および正常な前記測定用信号が前記所定の測定対象体を流れたときの電流波形に対して予め規定された電流波形用許容範囲データと前記電流波形データとに基づく第２の自己診断処理のうちの少なくとも一方を実行する制御部とを備えている測定装置。
【請求項４】
前記制御部の制御に従って前記電流波形データ生成部に前記測定用信号を出力するスイッチ部を備え、
前記制御部は、前記スイッチ部を制御して前記電流波形データ生成部に前記測定用信号を出力させることによって当該電流波形データ生成部に対して前記電圧波形データを生成させると共に前記電圧波形用許容範囲データと当該電圧波形データとに基づいて自己診断処理を実行する請求項３記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自己診断機能を有すると共に、回路基板に形成された配線パターン等の測定対象体についての電気的パラメータを測定する測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置（回路基板検査装置）として、出願人は、特開平１０−２３９４０２号公報において、パターン発生回路、パターン検出回路、出力変換回路および回路正常・異常決定手段を備えた測定装置を開示している。この測定装置では、パターン発生回路によって発生された電気量（測定用信号）をパターン検出回路で検出し、パターン検出回路で検出した電気量を出力変換回路において増幅し、出力変換回路で増幅された電気量が予め設定された範囲に含まれているかを回路正常・異常決定手段において判定する。これにより、各回路が正常であるか異常であるかが自己診断されている。
【特許文献１】特開平１０−２３９４０２号公報（第２−３頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、出願人が開示している回路基板検査装置には、以下の改善すべき課題がある。すなわち、この回路基板検査装置では、静電容量やインダクタンスを測定する状態に設定されている場合、パターン発生回路は電気量（測定用信号）として交流信号成分を含む信号を生成し、パターン検出回路は交流信号成分を含む信号についてのピーク値や、この交流信号成分の振幅または実効値などを電気量として検出し、回路正常・異常決定手段はピーク値等の電気量が予め設定された範囲に含まれているか否かに基づいて、各回路が正常であるか異常であるかを自己診断している。この場合、パターン発生回路によって生成された交流信号成分を含む信号が理想とする信号波形（正常は信号波形）と相違するとき、具体的には、例えば、若干歪んでいたり、直流オフセットが必要以上に重畳されていたり、ノイズが重畳している等の理由によって理想とする信号波形と相違するときに、このような状態であっても、この回路基板検査装置では、ピーク値、振幅および実効値などの電気量が予め設定された範囲に含まれているときには、各回路が正常であると判断される。また、パターン発生回路によって正常な信号が生成されている状態において、他の回路（この例ではパターン検出回路および出力変換回路）の少なくとも１つに異常が生じているときであっても、他の回路から最終的に出力された電気量（この例では出力変換回路で増幅された電気量）に基づくピーク値等の電気量が予め設定された範囲に含まれているときには、やはり、各回路が正常であると判断される。しかしながら、このようなときであっても、パターン発生回路以外の他の回路（この例ではパターン検出回路および出力変換回路）のいずれかが異常であると自己診断できるのが好ましい。
【０００４】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、発生した異常を確実に自己診断で検出し得る測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、所定信号波形の測定用信号を生成する信号生成部と、入力した前記測定用信号の波形データを電圧波形データとして生成する電圧波形データ生成部と、正常な前記測定用信号の前記所定信号波形に対して予め規定された電圧波形用許容範囲データと前記電圧波形データとに基づいて自己診断処理を実行する制御部とを備えている。
【０００６】
また、請求項２記載の測定装置は、所定信号波形の測定用信号を生成する信号生成部と、所定の測定対象体に前記測定用信号が供給されているときに当該所定の測定対象体を流れる電流を電圧信号に変換して出力する電流検出部と、入力した前記電圧信号の波形データを電流波形データとして生成する電流波形データ生成部と、正常な前記測定用信号が前記所定の測定対象体を流れたときの電流波形に対して予め規定された電流波形用許容範囲データと前記電流波形データとに基づいて自己診断処理を実行する制御部とを備えている。
【０００７】
また、請求項３記載の測定装置は、所定信号波形の測定用信号を生成する信号生成部と、入力した前記測定用信号の波形データを電圧波形データとして生成する電圧波形データ生成部と、測定対象体に前記測定用信号が供給されているときに当該測定対象体を流れる電流を電圧信号に変換して出力する電流検出部と、入力した前記電圧信号の波形データを電流波形データとして生成する電流波形データ生成部と、前記電圧波形データおよび前記電流波形データに基づいて前記測定対象体についての電気的パラメータを演算する演算部と、所定の測定対象体についての前記電気的パラメータが当該所定の測定対象体に対して予め規定された許容範囲に含まれていないときに、正常な前記測定用信号の前記所定信号波形に対して予め規定された電圧波形用許容範囲データと前記電圧波形データとに基づく第１の自己診断処理、および正常な前記測定用信号が前記所定の測定対象体を流れたときの電流波形に対して予め規定された電流波形用許容範囲データと前記電流波形データとに基づく第２の自己診断処理のうちの少なくとも一方を実行する制御部とを備えている。
【０００８】
請求項４記載の測定装置は、請求項３記載の測定装置において、前記制御部の制御に従って前記電流波形データ生成部に前記測定用信号を出力するスイッチ部を備え、前記制御部は、前記スイッチ部を制御して前記電流波形データ生成部に前記測定用信号を出力させることによって当該電流波形データ生成部に対して前記電圧波形データを生成させると共に前記電圧波形用許容範囲データと当該電圧波形データとに基づいて自己診断処理を実行する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の測定装置によれば、制御部が正常な測定用信号の信号波形に対して予め規定された電圧波形用許容範囲データと電圧波形データとに基づいて自己診断処理を実行することにより、測定用信号の信号波形に異常が発生しているか否かを自己診断することができ、その結果として信号生成部に異常が発生しているか否かを自己診断することができる。このため、この回路基板検査装置によれば、測定用信号のピーク値や、測定用信号に含まれている交流信号成分の振幅または実効値などに基づいて自己診断する従来の構成では判別できないような測定用信号へのノイズの重畳や、信号波形の歪み、直流電圧の重畳などの異常を、波形判定によって一層確実に自己診断できるため、信号生成部に異常が生じているか否かを、より確実に自己診断することができる。
【００１０】
また、請求項２記載の測定装置によれば、制御部が正常な測定用信号が所定の測定対象体を流れたときの電流波形に対して予め規定された電流波形用許容範囲データと電流波形データとに基づいて自己診断処理を実行することにより、測定用信号の信号波形に異常が発生しているか否かを自己診断することができ、その結果として信号生成部や電流検出部などに異常が発生しているか否かを自己診断することができる。このため、この回路基板検査装置によれば、測定用信号のピーク値や、測定用信号に含まれている交流信号成分の振幅または実効値などに基づいて自己診断する従来の構成では判別できないような測定用信号へのノイズの重畳や、信号波形の歪み、直流電圧の重畳などの異常を、波形判定によって一層確実に自己診断できるため、信号生成部に異常が生じているか否かを、より確実に自己診断することができる。
【００１１】
また、請求項３記載の測定装置によれば、制御部が、測定対象体についての電気的パラメータがその測定対象体に対して予め規定された許容範囲に含まれていないときに、電圧波形用許容範囲データと電圧波形データとに基づく自己診断処理を実行することにより、検査対象体について測定した電気的パラメータが許容範囲に含まれていない理由について、検査対象体の異常によるものなのか、測定用信号の信号波形（つまり信号生成部）の異常によるものなのかを特定することができる結果、正常な検査対象体を誤って異常と判断する事態を回避することができる。したがって、この回路基板検査装置によれば、検査に対する信頼性を十分に向上させることができる。
【００１２】
また、請求項４記載の測定装置によれば、制御部が、スイッチ部を制御して電流波形データ生成部に測定用信号を出力させることによって電流波形データ生成部に対して電圧波形データを生成させると共に電圧波形用許容範囲データと電圧波形データとに基づいて自己診断処理を実行することにより、簡易な構成でありながら、電圧波形データ生成部で取得される一方の系統の電圧波形データと電流波形データ生成部で取得される他方の系統の電圧波形データとに基づいて、電圧波形データ生成部および電流波形データ生成部のいずれかの異常または両者の異常を自己診断することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る測定装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。なお、以下では、測定装置の一例として回路基板検査装置を例に挙げて説明する。
【００１４】
最初に、回路基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１５】
回路基板検査装置１は、図１に示すように、プローブ２，３、プローブ移動機構（以下、単に移動機構ともいう）４ａ，４ｂ、測定部５、制御部６、ＲＡＭ７およびＲＯＭ８を備えて構成されている。この回路基板検査装置１は、回路基板１０に形成された配線パターン１０ａ、および回路基板１０に実装された抵抗やインダクタンスなどの電子部品１０ｂ（図２参照）を検査対象体（測定対象体）として、これらの検査対象体の抵抗値やインダクタンス値を測定することによって検査対象体を検査する。
【００１６】
各プローブ２，３は、接触型プローブであって、プローブ固定具２ａ，３ａを介して各移動機構４ａ，４ｂにそれぞれ取り付けられている。各移動機構４ａ，４ｂは、制御部６の制御下で、各プローブ２，３を上下左右に移動させることにより、回路基板１０の表面における任意の位置にプローブ２，３の先端部を移動可能に構成されている。例えば、各移動機構４ａ，４ｂは、回路基板１０の表面に形成された複数の配線パターン１０ａ上に予め設定されている測定ポイントに、各プローブ２，３の先端部を接触させる。
【００１７】
測定部５は、図２に示すように、信号生成部２１、電流検出部２２、Ａ／Ｄ変換部（同図中では「Ａ／Ｄ」と表記する）２３，２４、フィルタ部（同図中では「ＬＰＦ」と表記する）２８，２９、演算部２５、および一対の出力端子２６ａ，２６ｂを備えて構成されている。信号生成部２１は、所定信号波形の測定用信号Ｓ１を生成すると共に、この測定用信号Ｓ１を一対の出力端子２６ａ，２６ｂ間に出力する。この構成により、各出力端子２６ａ，２６ｂに各プローブ２，３の後端側がそれぞれ接続され、各プローブ２，３の先端部がそれぞれ測定ポイントに接触している状態において信号生成部２１が測定用信号Ｓ１を出力したときは、この各測定ポイント間に位置している配線パターン１０ａ等の検査対象体に測定用信号Ｓ１が供給される。ここで、測定用信号Ｓ１とは、所定信号波形の交流信号、または所定の直流電圧に所定信号波形の交流成分が重畳した直流信号をいう。本例では、信号生成部２１は、一例として正弦波を測定用信号Ｓ１として生成する。
【００１８】
電流検出部２２は、電流／電圧変換回路を含んで構成されて、信号生成部２１から、出力端子２６ａ、プローブ２、配線パターン１０ａ等の検査対象体、プローブ３および出力端子２６ｂを経由して信号生成部２１（具体的には、信号生成部２１内のグランド）に戻る電流経路Ａ（図２中において一点鎖線で示す）中に配設されている。本例では、一例として電流経路Ａにおける出力端子２６ｂとグランドとの間の部位に配設されている。また、電流検出部２２は、信号生成部２１によって配線パターン１０ａ等に供給された測定用信号Ｓ１に起因して電流経路Ａに流れる電流（つまり、配線パターン１０ａ等の検査対象体に流れる電流）Ｉ１を検出すると共に、検出した電流Ｉ１を電圧信号Ｓ２に変換して出力する。フィルタ部２８は、ローパスフィルタで構成されて、入力している測定用信号Ｓ１に含まれている高周波成分（ノイズ成分）を除去する。フィルタ部２９は、ローパスフィルタで構成されて、入力している電圧信号Ｓ２に含まれている高周波成分（ノイズ成分）を除去する。Ａ／Ｄ変換部２３は、本発明における電圧波形データ生成部であって、フィルタ部２８によって高周波成分が除去された測定用信号Ｓ１を入力して、測定用信号Ｓ１についての波形データを電圧波形データＤｖとして出力する。Ａ／Ｄ変換部２４は、本発明における電流波形データ生成部であって、フィルタ部２９によって高周波成分が除去された電圧信号Ｓ２を入力して、電圧信号Ｓ２についての波形データを電流波形データＤｉとして出力する。演算部２５は、電圧波形データＤｖおよび電流波形データＤｉに基づいて抵抗値やインダクタンス値等の電気的パラメータＤｍを演算して出力する。
【００１９】
制御部６は、各移動機構４ａ，４ｂに対する駆動制御、演算部２５によって演算されたすべての検査対象体についての電気的パラメータＤｍとこの電気的パラメータに対して許容範囲として予め規定された許容範囲データＤｒとに基づく検査処理を実行する。また、制御部６は、信号生成部２１、フィルタ部２８およびＡ／Ｄ変換部２３のすべてが正常に作動しているときにＡ／Ｄ変換部２３から出力される電圧波形データＤｖに基づく電圧波形Ｓｖ（図４〜図７参照）に対して電圧波形用許容範囲（電圧波形用許容エリア）として予め規定された電圧波形用許容範囲データＤｖｒと、電圧波形データＤｖとに基づく第１の自己診断処理を実行する。また、制御部６は、各プローブ２，３間に配線パターン１０ａ等の予め決められた検査対象体が接続され、かつ電流経路Ａ中に含まれるすべての構成要素が正常なときにＡ／Ｄ変換部２４から出力される電流波形データＤｉに基づく電流波形Ｓｉ（図４〜図７参照）に対して電流波形用許容範囲（電流波形用許容エリア）として予め規定された電流波形用許容範囲データＤｉｒと、電流波形データＤｉとに基づく第２の自己診断処理などを実行する。
【００２０】
ＲＡＭ７は、良品回路基板から予め吸収したデータに基づいて予め規定されたすべての検査対象体についての電気的パラメータＤｍ用の許容範囲データＤｒと、上記したように、信号生成部２１、フィルタ部２８およびＡ／Ｄ変換部２３のすべてが正常なときの電圧波形データＤｖに基づく電圧波形Ｓｖに対して予め規定された電圧波形用許容範囲データＤｖｒと、上記したように所定の検査対象体（所定の測定対象体）に正常な測定用信号Ｓ１を供給したときにＡ／Ｄ変換部２４から出力される電流波形データＤｉに基づく電流波形Ｓｉに対して予め規定された電流波形用許容範囲データＤｉｒと、制御部６の演算結果などを一時的に記憶する。ＲＯＭ８は、制御部６の動作プログラムを記憶する。
【００２１】
次に、回路基板検査装置１の動作について説明する。最初に、回路基板１０に対する検査動作について、図面を参照して説明する。
【００２２】
まず、回路基板検査装置１では、図１，２に示すように、所定位置に配設された回路基板１０に対して、制御部６が、移動機構４ａ，４ｂを制御して、検査対象体（同図では一例として配線パターン１０ａ）の各端部表面に規定された測定ポイントにプローブ２，３を接触させる。次いで、測定部５が、この検査対象体の電気的パラメータＤｍを測定する。具体的には、測定部５では、信号生成部２１が、プローブ２を介して配線パターン１０ａに測定用信号Ｓ１を供給する。電流検出部２２は、測定用信号Ｓ１の供給によって電流経路Ａに流れる電流Ｉ１を検出すると共に、検出した電流Ｉ１を電圧に変換して電圧信号Ｓ２を出力する。この状態において、Ａ／Ｄ変換部２３は測定用信号Ｓ１を入力して電圧波形データＤｖを出力し、Ａ／Ｄ変換部２４は電圧信号Ｓ２を入力して電流波形データＤｉを出力する。次いで、演算部２５は、入力した電圧波形データＤｖおよび電流波形データＤｉと、これらのデータＤｖ，Ｄｉに基づいて算出した測定用信号Ｓ１と電流Ｉ１との位相差とに基づいて、抵抗値やインダクタンス値等の電気的パラメータＤｍを演算して制御部６に出力する。
【００２３】
続いて、制御部６は、検査処理を実行する。この検査処理では、制御部６は、入力した電気的パラメータＤｍに対する許容範囲データＤｒをＲＡＭ７から読み出すと共に、電気的パラメータＤｍが許容範囲データＤｒで規定される許容範囲に含まれているか否かを判別する。この場合、制御部６は、電気的パラメータＤｍが許容範囲に含まれていると判別したときには、その判別結果をＲＡＭ７に記憶させた後に、移動機構４ａ，４ｂを制御して、次の検査対象体用に規定された測定ポイントにプローブ２，３を接触させることにより、この検査対象体についての検査処理に移行する。一方、電気的パラメータＤｍが許容範囲に含まれていないと判別したときには、制御部６は、後述する自己診断処理（本発明における第１の自己診断処理）を実行し、この自己診断処理の結果、信号生成部２１等が正常と判別したときには、検査処理での判別結果が正しいとして、この判別結果をＲＡＭ７に記憶させる。一方、制御部６は、この自己診断処理の結果、信号生成部２１等に異常があると判別したときには、検査処理での判別結果をＲＡＭ７に記憶させることなく検査処理を中止して、信号生成部２１等に異常がある旨を表示装置（図示せず）などに出力する。
【００２４】
この自己診断処理（第１の自己診断処理）では、制御部６は、電圧波形用許容範囲データＤｖｒをＲＡＭ７から読み出すと共に、電圧波形データＤｖが電圧波形用許容範囲データＤｖｒで規定される電圧波形用許容範囲に含まれているか否かを図形判定による波形判定によって判別することにより、電圧波形データＤｖに基づく電圧波形Ｓｖが予め規定された所定信号波形となっているか否か（測定用信号Ｓ１が正常な信号波形か否か）を自己診断する。具体的には、制御部６は、図４に示すように、例えば、電圧波形データＤｖで特定される電圧波形Ｓｖと、同図中において斜線で示す電圧波形用許容範囲（電圧波形用許容エリア）Ｂとを図外のメモリ内に仮想的に描画し、電圧波形Ｓｖが電圧波形用許容範囲Ｂ（同図中において斜線）内にすべて含まれていると判別したときには、電圧波形データＤｖに基づく電圧波形Ｓｖが予め規定された所定信号波形となっている、つまり、制御部６は、信号生成部２１等が正常であると自己診断する。この場合、制御部６は、検査処理で判別した内容、つまり電気的パラメータＤｍが許容範囲に含まれていないとの判別結果に誤りがないため、この判別結果をＲＡＭ７に記憶させて、次の検査対象体についての検査処理に移行する。
【００２５】
一方、図５に示すように電圧波形Ｓｖの一部にノイズが重畳していたり、図６に示すように電圧波形Ｓｖが歪んでいたり、また図示はしないが、電圧波形Ｓｖに直流成分が重畳していたりすることにより、電圧波形データＤｖに基づく電圧波形Ｓｖにおける少なくとも一部が電圧波形用許容範囲Ｂ（同図中において斜線）から外れていると判別したときには、制御部６は、電圧波形Ｓｖが予め規定された所定信号波形ではないために、測定用信号Ｓ１（すなわち、信号生成部２１）、フィルタ部２８およびＡ／Ｄ変換部２３の少なくとも１つに異常が発生していると自己診断する。
【００２６】
このように、この回路基板検査装置１によれば、信号生成部２１、Ａ／Ｄ変換部２３およびフィルタ部２８が正常なときの電圧波形データＤｖに基づく電圧波形Ｓｖに対して電圧波形用許容範囲として予め規定された電圧波形用許容範囲データＤｖｒと電圧波形データＤｖとに基づく波形判定によって制御部６が自己診断処理を実行することにより、電圧波形データＤｖに基づく電圧波形Ｓｖに異常が発生しているか否かを自己診断することができ、その結果として信号生成部２１、フィルタ部２８およびＡ／Ｄ変換部２３の少なくとも１つに異常が発生しているか否かを自己診断することができる。このため、この回路基板検査装置１によれば、測定用信号Ｓ１のピーク値や、測定用信号Ｓ１に含まれている交流信号成分の振幅または実効値などに基づいて自己診断する従来の構成では判別できないような測定用信号Ｓ１へのノイズの重畳や、信号波形の歪み、直流電圧の重畳などの異常（つまり信号生成部２１の異常）を、さらにはＡ／Ｄ変換部２３およびフィルタ部２８の少なくとも１つに生じた異常を波形判定によって一層確実に自己診断できる。また、基板検査用の電気的パラメータＤｍを求めるための電圧波形データＤｖを用いて、信号生成部２１、Ａ／Ｄ変換部２３およびフィルタ部２８を自己診断するため、自己診断専用のＡ／Ｄ変換部を用いない結果、回路基板検査装置１を簡易に構成することができる。
【００２７】
また、この回路基板検査装置１によれば、制御部６が、測定対象体についての電気的パラメータＤｍがその測定対象体に対して予め規定された許容範囲に含まれていないときに、電圧波形用許容範囲データＤｖｒと電圧波形データＤｖとに基づく自己診断処理を実行することにより、検査対象体について測定した電気的パラメータＤｍが許容範囲に含まれていない理由について、検査対象体の異常によるものなのか、回路基板検査装置１自体の異常によるものなのかを特定することができる結果、正常な検査対象体を誤って異常と判断する事態を回避することができる。したがって、この回路基板検査装置１によれば、検査に対する信頼性を十分に向上させることができる。
【００２８】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、検査処理中において自己診断処理を実行する例について上記したが、検査処理とは別に、自己診断処理だけを実行することもできる。この場合、上記したように信号生成部２１等についての自己診断のみを実行する構成を採用することもできるし、プローブ２，３に所定の測定対象体を接触させた状態でその測定対象体を測定用信号Ｓ１が流れたときにＡ／Ｄ変換部２４から出力される電流波形データＤｉに基づく電流波形に対して予め規定された電流波形用許容範囲データＤｉｒと、その際に測定した電流波形データＤｉとに基づく自己診断処理を実行することにより、電流経路Ａに含まれている信号生成部２１以外の他の構成要素（例えば電流検出部２２）、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９に対する自己診断処理（本発明における第２の自己診断処理）を実行する構成を採用することができる。以下、この自己診断処理について説明する。
【００２９】
まず、この自己診断処理の実行に先立ち、電流経路Ａに含まれている各構成要素（信号生成部２１を含む）、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９が正常のときに各プローブ２，３を所定の検査対象体（所定の測定対象体）に接触させ、その測定対象体を正常な測定用信号Ｓ１が流れたときにＡ／Ｄ変換部２４から出力される電流波形データＤｉに基づく電流波形に対して予め規定された電流波形用許容範囲データＤｉｒを予め取得してＲＡＭ７に記憶させておく。
【００３０】
次いで、所定の測定対象体（例えば、基準とする所定の抵抗）にプローブ２，３を接触させた後に、信号生成部２１から電流経路Ａに測定用信号Ｓ１を供給させる。この状態において、制御部６は、まず、自己診断処理（第１の自己診断処理）を実行して信号生成部２１等に対する自己診断を行い、信号生成部２１等が正常であるか否かを判別する。この際に、信号生成部２１等に異常が発生しているときには、正常な測定用信号Ｓ１が電流経路Ａに供給されない状態では第２の自己診断処理を実行できないため、制御部６は、信号生成部２１等に異常が発生している旨の信号を出力した後に、この自己診断処理を終了する。一方、信号生成部２１等が正常のときには、制御部６は、第２の自己診断処理を実行する。この第２の自己診断処理では、制御部６は、ＲＡＭ７から読み出した電流波形用許容範囲データＤｉｒで規定される電流波形用許容範囲（電流波形用許容エリア）に、入力した電流波形データＤｉが含まれているか否かを上記した図形判定と同様にして実行することにより、Ａ／Ｄ変換部２４から出力される電流波形データＤｉに基づく電流波形が予め規定された正常な信号波形か否かを自己診断する。
【００３１】
具体的には、図４に示すように、電流波形データＤｉに基づく電流波形Ｓｉが同図中において斜線で示す電流波形用許容範囲（電流波形用許容エリア）Ｃにすべて含まれていると判別したときには、信号生成部２１等が正常（つまり、測定用信号Ｓ１が正常）であるため、電流経路Ａに含まれている信号生成部２１以外のすべての構成要素（各プローブ２，３および電流検出部２２）、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９も正常であると自己診断する。一方、図５，６に示すように、電流波形Ｓｉの少なくとも一部が電流波形用許容範囲Ｃから外れていると判別したときには、信号生成部２１等が正常な状態において、電流波形Ｓｉが予め規定された正常な信号波形ではないため、制御部６は、電流経路Ａに含まれている信号生成部２１以外の各構成要素（各プローブ２，３および電流検出部２２）、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９のいずれかに異常が発生していると自己診断する。この回路基板検査装置１によれば、電流経路Ａに含まれている信号生成部２１以外の構成要素、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９について正常か否かを自己診断できる結果、検査に対する信頼性を一層向上させることができる。また、基板検査用の電気的パラメータＤｍを求めるための電流波形データＤｉを用いて、信号生成部２１およびＡ／Ｄ変換部２４を自己診断するため、自己診断専用のＡ／Ｄ変換部を用いない結果、回路基板検査装置１を簡易に構成することができる。なお、電圧波形用許容範囲データＤｖｒを用いた自己診断を行うことなく、電流波形用許容範囲データＤｉｒのみを用いた自己診断を行う構成を採用することもできる。
【００３２】
また、所定の測定対象体（例えば、基準とする所定の抵抗）にプローブ２，３を接触させることにより、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９についての自己診断を実行する例について上記したが、図３に示す測定部５Ａを備えた回路基板検査装置１Ａ（図１参照）の構成を採用することにより、所定の測定対象体にプローブ２，３を接触させることなく、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９についての自己診断を実行することもできる。なお、回路基板検査装置１と同様に機能を有する構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。この回路基板検査装置１Ａは、測定用信号Ｓ１のＡ／Ｄ変換部２４への出力を制御（出力開始または出力停止）を実行するためのスイッチ部２７を備えている。また、この回路基板検査装置１Ａでは、Ａ／Ｄ変換部２４が、測定用信号Ｓ１の電圧波形データＤｖへの変換を実行する。この場合、スイッチ部２７は、制御部６によって出力される制御信号Ｓｓに従ってオン状態またはオフ状態に移行する。この構成によれば、所定の測定対象体にプローブ２，３を接触させることなく、フィルタ部２９に測定用信号Ｓ１を直接供給することができる。このため、信号生成部２１、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９のすべてが正常に作動している状態において、スイッチ部２７を介してフィルタ部２９に測定用信号Ｓ１を供給したときにＡ／Ｄ変換部２４から出力される電圧波形データＤｖに基づく電圧波形Ｓｖに対して電圧波形用許容範囲として予め電圧波形用許容範囲データＤｖｒを規定してＲＡＭ７に記憶させておくことにより、スイッチ部２７を介してフィルタ部２９に測定用信号Ｓ１を供給するだけで、Ａ／Ｄ変換部２４から出力される電圧波形データＤｖとこの電圧波形用許容範囲データＤｖｒとに基づいて、制御部６が、信号生成部２１、Ａ／Ｄ変換部２４およびフィルタ部２９に対する自己診断を実行することができる。
【００３３】
また、信号生成部２１が測定用信号Ｓ１の一例として正弦波を出力する例について上記したが、信号生成部２１が正常状態において矩形波状の測定用信号Ｓ１を出力する構成を採用することもできる。この構成においても、各構成要素が正常な状態において、Ａ／Ｄ変換部２３（またはＡ／Ｄ変換部２４）から出力される電圧波形データＤｖ（または電流波形データＤｉ）に基づく電圧波形Ｓｖ（または電流波形Ｓｉ）に対して電圧波形用許容範囲Ｂ（または電流波形用許容範囲Ｃ）として電圧波形用許容範囲データＤｖｒ（または電流波形用許容範囲データＤｉｒ）を予め求めてＲＡＭ７に記憶させておくことにより、図７において破線で示すように、電圧波形Ｓｖ（または電流波形Ｓｉ）が電圧波形用許容範囲Ｂ（電流波形用許容範囲Ｃ）にすべて含まれるときには、制御部６が、信号生成部２１等は正常であると自己診断でき、同図中において実線で示すように、生じた歪みによって電圧波形Ｓｖ（または電流波形Ｓｉ）の少なくとも一部が電圧波形用許容範囲Ｂ（電流波形用許容範囲Ｃ）から外れているときには、制御部６は、信号生成部２１等のいずれかに異常が発生していると自己診断することができる。また、上記の構成では、各Ａ／Ｄ変換部２３，２４の前段に各フィルタ部２８，２９を配設したが、各フィルタ部２８，２９の少なくとも一方を省いた構成を採用することも勿論可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】回路基板検査装置１（１Ａ）の構成を示す構成図である。
【図２】回路基板検査装置１の測定部５の構成を示すブロック図である。
【図３】回路基板検査装置１Ａの測定部５Ａの構成を示すブロック図である。
【図４】正弦波状の電圧波形Ｓｖ（電流波形Ｓｉ）が正常な信号波形のときの電圧波形Ｓｖ（電流波形Ｓｉ）と電圧波形用許容範囲Ｂ（電流波形用許容範囲Ｃ）との関係を示す説明図である。
【図５】正弦波状の電圧波形Ｓｖ（電流波形Ｓｉ）の一部にスパイクノイズが重畳しているときの電圧波形Ｓｖ（電流波形Ｓｉ）と電圧波形用許容範囲Ｂ（電流波形用許容範囲Ｃ）との関係を示す説明図である。
【図６】正弦波状の電圧波形Ｓｖ（電流波形Ｓｉ）が歪んでいるときの電圧波形Ｓｖ（電流波形Ｓｉ）と電圧波形用許容範囲Ｂ（電流波形用許容範囲Ｃ）との関係を示す説明図である。
【図７】矩形波状の電圧波形Ｓｖ（電流波形Ｓｉ）が歪んでいるときの電圧波形Ｓｖ（電流波形Ｓｉ）と電圧波形用許容範囲Ｂ（電流波形用許容範囲Ｃ）との関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１，１Ａ  回路基板検査装置
５，５Ａ  測定部
６  制御部
２１  信号生成部
２２  電流検出部
２３，２４  Ａ／Ｄ変換部
Ｄｉ  電流波形データ
Ｄｉｒ  電流波形用許容範囲データ
Ｄｖ  電圧波形データ
Ｄｖｒ  電圧波形用許容範囲データ
Ｓ１  測定用信号
Ｓ２  電圧信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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