(57)【要約】【課題】この発明は、表裏反転させる基板のサイズに拘わらず対向する別の基板の移動ストロークを短くでき基板のハンドリングを容易にできる基板反転機構、および表示装置の製造装置を提供することを課題とする。【解決手段】基板反転機構２０は、ドーム型の真空チャンバ２１を有する。真空チャンバ２１内には、背面基板４を支持する支持部２２、前面基板２を吸着保持する静電チャック２４、および静電チャック２４を回転させるリンクアーム２６を有する。リンクアーム２６の先端が静電チャック２４の中心に接続され、リンクアーム２６の基端および静電チャック２４の一端がそれぞれスライド軸２５、２７によって横方向にスライド可能に支持されている。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を略水平に保持する保持部材と、
上記基板の一端近くで上記保持部材を回動可能且つ横方向にスライド可能に支持した第１スライド軸と、
この第１スライド軸から離間した位置で上記保持部材に対してピボットを介して先端を回動可能に接続したリンクアームと、
このリンクアームの基端を回動可能且つ上記横方向にスライド可能に支持した第２スライド軸と、
を有することを特徴とする基板反転機構。
【請求項２】
上記第１および第２スライド軸は、略水平方向に延びたスライド面に沿って互いに交差する方向に移動可能に配置され、互いに入れ子状に交差することで上記基板を上記スライド面より上方で表裏反転させることを特徴とする請求項１に記載の基板反転機構。
【請求項３】
上記ピボットは、基板の中心に近接して設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板反転機構。
【請求項４】
上記ピボットから第１スライド軸までの距離は、上記ピボットから第２スライド軸までの距離と略等しいことを特徴とする請求項３に記載の基板反転機構。
【請求項５】
上記スライド面の下方で上記基板に対向する別の基板を支持する支持部をさらに有し、該支持部は、上記基板を表裏反転させた後に上記別の基板を上記基板に近接させるように、該別の基板を上昇させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の基板反転機構。
【請求項６】
上記支持部は、上記基板を表裏反転させるときに上記別の基板を下方に退避させることを特徴とする請求項５に記載の基板反転機構。
【請求項７】
前面基板と、この前面基板に対向配置されているとともに、その周縁部同士が封着された背面基板と、複数の画像表示素子と、を備えた表示装置の製造装置であって、
上記前面基板をその内面が上を向く姿勢にして略水平に保持する保持部材と、
上記前面基板の一端近くで上記保持部材を回動可能且つ横方向にスライド可能に支持した第１スライド軸と、
この第１スライド軸から離間した位置で上記保持部材に対してピボットを介して先端を回動可能に接続したリンクアームと、
このリンクアームの基端を回動可能且つ上記横方向にスライド可能に支持した第２スライド軸と、
を有することを特徴とする表示装置の製造装置。
【請求項８】
上記第１および第２スライド軸は、略水平に延びたスライド面に沿って互いに交差する方向に移動可能に配置され、互いに入れ子状に交差することで上記前面基板を上記スライド面より上方で表裏反転させることを特徴とする請求項７に記載の表示装置の製造装置。
【請求項９】
上記ピボットは、上記前面基板の中心に近接して設けられていることを特徴とする請求項８に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１０】
上記ピボットから第１スライド軸までの距離は、上記ピボットから第２スライド軸までの距離と略等しいことを特徴とする請求項９に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１１】
上記スライド面の下方で上記前面基板に対向するように上記背面基板をその内面が上を向く姿勢にして支持する支持部をさらに有し、該支持部は、上記前面基板を表裏反転させた後に上記背面基板を上記前面基板に近接させるように、上記背面基板を上昇させることを特徴とする請求項７乃至請求項１０のいずれか１項に記載の表示装置の製造装置。
【請求項１２】
上記支持部は、上記前面基板を表裏反転させるときに上記背面基板を下方に退避させることを特徴とする請求項１１に記載の表示装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、略水平に保持した基板を表裏反転させる基板反転機構に係り、特に、蛍光体スクリーンを有する前面基板を表裏反転させて多数の電子放出素子を有する背面基板に近接対向させる表示装置の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有する表示装置として、液晶ディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等が知られている。また、ＦＥＤの一種として、表面伝導型の電子放出素子を備えた表示装置（以下、ＳＥＤと称する）の開発が進められている。
【０００３】
ＳＥＤは、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有する。これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周縁部を互いに接合され、内部を真空にされて偏平な平面パネル構造の真空外囲器を構成している。
【０００４】
前面基板の背面基板に対向する対向面には３色の蛍光体層を有する蛍光体スクリーンが形成され、蛍光体スクリーンの上にメタルバックが形成され、背面基板の前面基板に対向する対向面には、蛍光体層を励起発光させる電子の放出源として画素毎に対応する多数の電子放出素子が整列配置されている。また、背面基板の対向面上には、電子放出素子を駆動するための多数本の配線がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器の外部に引き出されている。
【０００５】
前面基板と背面基板の間には板状のグリッドが配設されている。このグリッドには、電子放出素子に対して整列した位置関係で多数のビーム通過孔が形成されているとともに、前面基板および背面基板の対向面に当接することで基板間の隙間を維持するための複数の柱状のスペーサが設けられている。
【０００６】
このＳＥＤを動作させる場合、基板間に１０［ｋＶ］程度の高電圧を与え、配線に接続した駆動回路を介して各電子放出素子に選択的に駆動電圧を印加する。これにより、各電子放出素子から選択的に電子ビームが放出され、これら電子ビームが、グリッドの対応するビーム通過孔を通って対応する蛍光体層に照射され、蛍光体層が励起発光されてカラー画像が表示されるようになっている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００７】
上記ＳＥＤを製造する場合、まず、蛍光体スクリーンおよびメタルバックを対向面に形成した前面基板、多数の電子放出素子および配線を対向面に形成し且つ周縁部に側壁を接合した背面基板、および上述したスペーサグリッドを用意する。そして、前面基板の対向面の周縁部、および背面基板に接合された側壁の上端に低融点金属などの封着材を充填しておく。各基板を保持する場合、対向面に接触することができないため、対向面を上にした状態でハンドリングする必要がある。
【０００８】
この後、スペーサグリッドを対向面上に配置した背面基板の上方に対向面を上にした前面基板を離間して重ねた状態で真空チャンバ内に投入し、所定のタイミングで前面基板を背面基板の上方で表裏反転させる。そして、背面基板の対向面を前面基板の対向面に近接させ、それぞれ周縁部に充填されている封着材を溶融させて２枚の基板の周縁部同士を真空雰囲気中で封着する。
【０００９】
上記のように真空チャンバ内で前面基板を表裏反転させる場合、例えば、背面基板を前面基板から離間する方向（下方）に退避させ、前面基板の中心にある回転軸を中心に前面基板を１８０°表裏反転させ、背面基板を前面基板に向けて上昇させる。この方法を採用すると、比較的小さな空間で前面基板を表裏反転させることができる。
【００１０】
しかし、上述したように背面基板を前面基板に対して昇降移動させるためには、真空チャンバの下方に配置した昇降機構のスライドロッドを真空チャンバ内に介在させる必要があり、通常、ベローズを介してロッドを真空チャンバ内に挿通する。このため、反転させる前面基板のサイズが異なると、背面基板を退避および上昇させるアームのストロークが変化し、基板のサイズに応じて異なる長さのベローズを有する装置を用意する必要がある。また、上記の反転方法を採用すると、昇降機構のアームのストロークが比較的長くなり、真空雰囲気内での作業に不適当と言える。
【特許文献１】特開２００３−０５１２５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
この発明の目的は、表裏反転させる基板のサイズに拘わらず対向する別の基板の移動ストロークを短くでき基板のハンドリングを容易にできる基板反転機構、および表示装置の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、この発明の基板反転機構は、基板を略水平に保持する保持部材と、上記基板の一端近くで上記保持部材を回動可能且つ横方向にスライド可能に支持した第１スライド軸と、この第１スライド軸から離間した位置で上記保持部材に対してピボットを介して先端を回動可能に接続したリンクアームと、このリンクアームの基端を回動可能且つ上記横方向にスライド可能に支持した第２スライド軸と、を有する。
【００１３】
上記発明によると、リンクアームを用いて基板を保持した保持部材を持ち上げながら回転させて基板を表裏反転させるようにしたため、基板反転時における基板の移動範囲を極めて狭くできる。
【００１４】
また、この発明の表示装置の製造装置は、前面基板と、この前面基板に対向配置されているとともに、その周縁部同士が封着された背面基板と、複数の画像表示素子と、を備えた表示装置を製造するための装置であって、上記前面基板をその内面が上を向く姿勢にして略水平に保持する保持部材と、上記前面基板の一端近くで上記保持部材を回動可能且つ横方向にスライド可能に支持した第１スライド軸と、この第１スライド軸から離間した位置で上記保持部材に対してピボットを介して先端を回動可能に接続したリンクアームと、このリンクアームの基端を回動可能且つ上記横方向にスライド可能に支持した第２スライド軸と、を有する。
【００１５】
上記発明によると、リンクアームを用いて前面基板を保持した保持部材を持ち上げながら回転させて前面基板を表裏反転させるようにしたため、前面基板を反転させるときに前面基板の移動範囲を極めて狭くできる。
【発明の効果】
【００１６】
この発明の基板反転機構、および表示装置の製造装置は、上記のような構成および作用を有しているので、表裏反転させる基板のサイズに拘わらず対向する別の基板の移動ストロークを短くでき基板のハンドリングを容易にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。  
始めに、図１乃至図３を参照して、本発明の実施の形態に係る表示装置の一例として、ＳＥＤ（Surface-conduction Electron-emitter Display）について説明する。図１は、前面基板２を部分的に切り欠いた状態のＳＥＤの真空外囲器１０（以下、表示パネル１０と称する場合もある）を示す斜視図であり、図２は、図１の真空外囲器１０を線II-IIで切断した断面図であり、図３は、図２の断面を部分的に拡大した部分拡大断面図である。
【００１８】
図１乃至図３に示すように、表示パネル１０は、それぞれ矩形のガラス板からなる前面基板２（基板）および背面基板４（別の基板）を備え、これらの基板は約１．０〜２．０ｍｍの隙間をおいて互いに平行に対向配置されている。なお、背面基板４は、前面基板２より１回り大きいサイズを有する。また、前面基板２および背面基板４は、ガラスからなる矩形枠状の側壁６を介して周縁部同士が接合され、内部が真空の扁平な平面パネル構造の真空外囲器を構成している。
【００１９】
前面基板２の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン１２が形成されている。この蛍光体スクリーン１２は、赤、青、緑の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ、および遮光層１１を並べて構成され、これらの蛍光体層はストライプ状あるいはドット状に形成されている。また、蛍光体スクリーン１２上には、アルミニウム等からなるメタルバック１４が形成されている。
【００２０】
背面基板４の内面には、蛍光体スクリーン１２の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを励起発光させるための電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子１６が設けられている。これらの電子放出素子１６は、画素毎、すなわち蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子１６は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板４の内面上には、各電子放出素子１６に駆動電圧を与えるための多数本の配線１８がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器１０の外部に引き出されている。
【００２１】
接合部材として機能する側壁６は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材１９により、前面基板２の周縁部および背面基板４の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。本実施の形態では、背面基板４と側壁６をフリットガラス１９ａを用いて接合し、前面基板２と側壁６をインジウム１９ｂを用いて接合した。もし、配線１８のある背面基板４と側壁６を低融点金属で封着する場合は、配線１８と封着材１９の電気ショートを避けるため、中間層として絶縁層を設ける必要がある。
【００２２】
また、表示パネル１０は、前面基板２と背面基板４の間にガラスからなる複数の細長い板状のスペーサ８を備えている。本実施の形態において、スペーサ８は、複数の細長いガラス板としたが、矩形板状の金属板からなるグリッド（図示せず）と、グリッドの両面に一体的に立設された多数の柱状のスペーサ（図示せず）と、で構成しても良い。
【００２３】
各スペーサ８は、上述したメタルバック１４、および蛍光体スクリーン１２の遮光層１１を介して前面基板２の内面に当接する上端８ａ、および背面基板４の内面上に設けられた配線１８上に当接する下端８ｂを有する。しかして、これら複数のスペーサ８は、前面基板２および背面基板４の外側から作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。
【００２４】
さらに、ＳＥＤは、前面基板２のメタルバック１４と背面基板４との間にアノード電圧を印加する図示しない電圧供給部を備えている。電圧供給部は、例えば、背面基板４の電位を０Ｖに設定し、メタルバック１４の電位を１０ｋＶ程度にするよう、両者の間にアノード電圧を印加する。
【００２５】
そして、上記ＳＥＤにおいて、画像を表示する場合、配線１８に接続した図示しない駆動回路を介して電子放出素子１６の素子電極間に電圧を与え、任意の電子放出素子１６の電子放出部から電子ビームを放出するとともに、メタルバック１４にアノード電圧を印加する。電子放出部から放出された電子ビームは、アノード電圧により加速され、蛍光体スクリーン１２に衝突する。これにより、蛍光体スクリーン１２の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが励起されて発光し、カラー画像を表示する。
【００２６】
また、上記構造の表示パネル１０を製造する場合、予め、蛍光体スクリーン１２およびメタルバック１４の設けられた前面基板２を用意し、電子放出素子１６および配線１８が設けられているとともに側壁６およびスペーサ８が接合された背面基板４を用意しておく。そして、背面基板４の周縁部に接合された側壁６の上端に溶融したインジウム１９ｂを充填し、前面基板２の周縁対応部にも溶融したインジウム１９ｂを充填しておく。
【００２７】
そして、用意したこれら構造物（以下の説明ではこれらの構造物を単に前面基板２、背面基板４と称する）を図４に示すような基板反転機構２０のドーム型の真空チャンバ２１内に内面を上にした状態で順次投入し、前面基板２を１８０°だけを表裏反転させて背面基板４に対向させ、インジウム１９ｂを溶融させて２枚の基板２、４の周縁部同士を封着して表示パネル１０を製造する。
【００２８】
なお、前面基板２および背面基板２、４は、基板反転機構２０に投入される前に高温でプリベークされて脱ガス処理されているため、周縁部に充填したインジウム１９ｂが溶融する。このため、各基板２、４は、基板反転機構２０に投入する段階において、インジウム１９ｂが完全に固化していない状態で移載しても垂れないように、内面を上にしてハンドリングする必要がある。
【００２９】
ここで図４を参照して上述した基板反転機構２０の構造についてさらに詳細に説明する。図４には、基板反転機構２０を正面から見た概略正面図を示してある。  
図４に示すように、真空チャンバ２１内には、後に投入される背面基板４の背面を支持する支持部２２、前面基板２の背面を吸着保持する静電チャック２４（保持部材）、静電チャック２４を１８０°回転させるためのリンクアーム２６、および表裏反転した後の前面基板２を静電チャック２４の吸着面から引き剥がすためのスプリッタ２８が設けられている。
【００３０】
リンクアーム２６の先端２６ａは、静電チャック２４の略中央、言い換えると、静電チャック２４に吸着保持された前面基板２の中心に近接した位置で、ピボット２３を介して静電チャック２４に対して回動可能に接続されている。また、リンクアーム２６の基端２６ｂは、スライド軸２５（第２スライド軸）を介して図示しないスライド機構に対して回動可能に支持されている。このスライド機構は、スライド軸２５を図中破線で示すスライド面Ｓに沿って横方向、すなわち図中左右方向にスライドさせる。
【００３１】
また、静電チャック２４の一端２４ａ、言いかえると、静電チャック２４に吸着保持された前面基板２の一端近くの静電チャック２４は、スライド軸２７（第１スライド軸）を介して図示しないスライド機構に対して回動可能に支持されている。このスライド機構も、スライド軸２７を図中破線で示すスライド面Ｓに沿って横方向、すなわち図中左右方向にスライドさせる。本実施の形態では、ピボット２３からスライド軸２５までの距離とピボット２３からスライド軸２７までの距離が同じ距離に設定されている。
【００３２】
スライド軸２５をスライドさせるスライド機構、およびスライド軸２７をスライドさせるスライド機構は、スライド軸２５、２７を互いに入れ子状に交差するようにスライドさせ、図７に示すように２本のスライド軸２５、２７の位置を入れ替えることで、静電チャック２４を１８０°反転させて前面基板２を表裏反転させる。表裏反転動作については後に詳述する。また、このとき、静電チャック２４は、スライド面Ｓより上方で表裏反転される。
【００３３】
支持部２２は、上述したスライド面Ｓの下方に配置され、表裏反転された前面基板２の内面と背面基板４の内面が位置合わせされた状態で対向するように背面基板４を支持する。支持部２２は、背面基板４の背面に当接する先端を有する複数本の支持ロッド２２ａを有し、複数本の支持ロッド２２ａで支持した背面基板４を上下に昇降移動可能となっている。支持部２２の昇降機構については、ここでは説明を省略する。
【００３４】
スプリッタ２８は、静電チャック２４を貫通して延びた複数本の剥離ロッド２８ａを有する。スプリッタ２８は、静電チャック２４の吸着面から離間した背面側から剥離ロッド２８ａを挿通して配置され、通常、静電チャック２４とともに回転される。なお、スプリッタ２８は、後述するように、押圧ロッド２９によって一部を押圧されて動作する。
【００３５】
また、真空チャンバ２１のドーム形状は、静電チャック２４の回転軌跡に沿って形成されている。このように、真空チャンバ２１をドーム形状にすることで強度を高めることができる。なお、静電チャック２４は、静電気を利用して前面基板２の背面を吸着するため、真空雰囲気中においては給電をカットした後も前面基板２を吸着する。
【００３６】
次に、上記構造の基板反転機構２０の動作について、図４乃至図７を参照して説明する。  
まず、真空チャンバ２１内に内面を上にした状態の前面基板２を投入し、静電チャック２４の吸着面に前面基板２の背面を吸着保持せしめる。この状態を図４に示す。この後、図５に示すように、支持部２２を僅かに下降させた後、静電チャック２４の一端に設けられたスライド軸２７、およびリンクアーム２６の基端に設けられたスライド軸２５を、スライド面Ｓに沿って互いに近付く方向にスライドさせ、ピボット２３を上昇させる方向に静電チャック２４を回転させる。このとき、支持部２２は、回転する静電チャック２４およびスプリッタ２８の部位が干渉することのない程度に下方に退避される。
【００３７】
さらに、図示しないスライド機構によってスライド軸２５、２７を交差させ、静電チャック２４をさらに回転させる。この状態を図６に示す。そして、図７に示すように、スライド軸２５およびスライド軸２７が完全に入れ替わるまで静電チャック２４を回転させることで、静電チャック２４に吸着保持された前面基板２が１８０°表裏反転される。なお、図７に示す状態のとき、スプリッタ２８の部位が押圧ロッド２９の先端に対向する。
【００３８】
この後、支持部２２の複数本の支持ロッド２２ａの上に、ここでは図示しない背面基板４をその内面を上にした姿勢で位置決めして載置する。そして、支持部２２を一定距離だけ上昇させて背面基板４を上昇させ、背面基板４の内面と静電チャック２４に吸着保持された前面基板２の内面を近接させる。このとき、前面基板２の内面周縁部に充填されているインジウム１９ｂと背面基板４周縁部の側壁６の上端に充填されているインジウム１９ｂが接触する。そして、インジウム１９ｂを溶融させて前面基板２および背面基板４の周縁部を封着する。
【００３９】
さらにこの後、支持部２２を下降させるとともに、押圧ロッド２９によってスプリッタ２８の部位を押圧し、スプリッタ２８を動作させる。このとき、複数本の剥離ロッド２８ａの先端が前面基板２の背面を押圧し、静電チャック２４の吸着面と前面基板２の背面を引き剥がす。静電チャック２４は静電気の作用によって前面基板２を吸着するため、真空チャンバ２１内においては、静電チャック２４の通電をカットした後も吸着力をしばらく失わない。このため、スプリッタ２８によって両者を強制的に引き剥がす必要がある。
【００４０】
以上のように、本実施の形態によると、リンクアーム２６を用いて前面基板２を表裏反転させるようにしたため、背面基板４を前面基板２の回転領域（干渉エリア）から退避させる必要がなく、背面基板４の昇降ストロークを最小限にすることができる。これにより、例えば、真空チャンバ２１を貫通するスライドロッド２２ｂを挿通するベローズの長さを短くできる。また、表裏反転させる前面基板２のサイズが変わった場合でも、背面基板４の昇降ストロークを変更する必要がなく、異なるサイズの基板を処理できる。
【００４１】
これに対し、従来のように前面基板２の中心にある回転軸を中心に基板を回転させる場合、前面基板２を反転させた後に背面基板４に対向しているためには、前面基板２の回転領域から背面基板４を大きく下方に退避させる必要がある。このように、背面基板４の昇降ストロークが大きくなると、スライドロッド２２ｂを挿通するためのベローズも長くする必要があり、真空雰囲気を維持する上で不利益となる。
【００４２】
また、このような従来の反転方法を採用すると、前面基板２を大きなサイズのものに替えようとした場合、背面基板４を退避させるストロークを大きくする必要があるため、真空チャンバ２１のサイズを上方だけではなく下方にも広げる必要がある。当然のことながら、前面基板２を保持する静電チャック２４のサイズも大きくする必要がある。
【００４３】
これに対し、本実施の形態のように、リンク機構を用いてスライド面Ｓより上の領域で前面基板２を回転させて、背面基板４を退避させない構造を採用することにより、装置構成を大幅に変更することなく、サイズの大きな前面基板２にも対応できる。つまり、本実施の形態の装置では、前面基板２のサイズが大きくなった場合、静電チャック２４のテーブルサイズをスライド軸２７から離間した方向に延長するとともに、前面基板２の回転空間を広げるように真空チャンバ２１の上方領域だけ大きくすれば良い。
【００４４】
また、本実施の形態のように、前面基板２の中心近くで静電チャック２４とリンクアーム２６をピボット２３を介して接続し、リンクアーム２６の基端と静電チャック２４の一端をスライド面Ｓに沿って横方向にスライドさせ、前面基板２を回転させることで、表裏反転させる前面基板２の幅と略同じ幅のチャンバ内で前面基板２を反転させることができる。つまり、本実施の形態によると、真空チャンバ２１の容積を極めて小さくすることができ、真空引きに要する時間を短縮できる等、種々の利益を得ることができる。
【００４５】
なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。更に、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせても良い。
【００４６】
例えば、上述した実施の形態では、前面基板２を背面基板４の上方で反転させる場合について説明したが、これに限らず、背面基板４を表裏反転させるようにしても良い。また、上述した実施の形態では、前面基板２を吸着保持する静電チャック２４を用いた場合について説明したが、これに限らず、他の基板保持機構を用いることができる。
【００４７】
また、上述した実施の形態では、リンクアーム２６の先端を静電チャック２４の略中心に接続した場合について説明したが、これに限らず、静電チャック２４の一端をスライド可能且つ回転可能に支持したスライド軸２７から離間した位置にピボット２３を設ければ良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】この発明の実施の形態に係るＳＥＤの表示パネルを示す外観斜視図。
【図２】図１の表示パネルを線II−IIに沿って切断した断面斜視図。
【図３】図２の断面を部分的に拡大して示す部分拡大断面図。
【図４】図１の表示パネルを製造する製造装置としての基板反転機構を示す概略図。
【図５】図４とともに基板反転機構の動作を説明するための動作説明図。
【図６】基板反転機構の動作を説明するための動作説明図。
【図７】基板反転機構の動作を説明するための動作説明図。
【符号の説明】
【００４９】
１…ＳＥＤ、２…前面基板、４…背面基板、６…側壁、８…スペーサ、１０…真空外囲器（表示パネル）、１２…蛍光体スクリーン、１４…メタルバック、１６…電子放出素子、１８…配線、２０…基板反転機構、２１…真空チャンバ、２２…支持部、２３…ピボット、２４…静電チャック、２６…リンクアーム、２８…スプリッタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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