(57)【要約】【課題】スクリーン印刷を用いて大型の基板上に印刷用ペーストを塗布して印刷用ペースト層を形成する際に、その印刷用ペースト層に形状不良が発生することを抑制する。【解決手段】印刷ステージ１８およびスキージ２２を有する印刷装置とスクリーン１６とを用いて、大型表示パネルを構成する基板２１上に印刷用ペーストを塗布する際に、基板２１を印刷ステージ１８上に載置して基板２１の端部がスキージ２２の端部２２ａ近傍において上方に傾斜するようにし、スキージ２２をスクリーン１６に押し当てて移動させることにより、基板２１上に印刷用ペーストを塗布する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷ステージおよびスキージを有する印刷装置とスクリーンとを用いて、大型表示パネルを構成する基板上に印刷用ペーストを塗布する際に、基板を印刷ステージ上に載置して前記基板の端部がスキージの端部近傍において上方に傾斜するようにし、前記スキージをスクリーンに押し当てて移動させることにより、前記基板上に印刷用ペーストを塗布することを特徴とする大型表示パネルの製造方法。
【請求項２】
大型表示パネルを構成する基板上に印刷用ペーストを塗布する際に用いる印刷装置において、基板を載置するための印刷ステージと、スクリーン上を移動して基板上に印刷用ペーストを塗布するためのスキージとを有し、前記印刷ステージ上に載置した前記基板の端部がスキージの端部近傍において上方に傾斜するように前記印刷ステージを構成したことを特徴とする印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル等の大型表示パネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄型の表示装置に使用されるプラズマディスプレイパネルは、例えば図９に示すように、間に放電空間１を形成するように対向して配置された２つの基板であるガラス製の前面基板２と背面基板３とを備えている。前面基板２上には走査電極４と維持電極５とから構成された表示電極対が複数配列されており、表示電極対の間には遮光層（ブラックストライプ）６が形成されている。そして、走査電極４、維持電極５および遮光層６を覆って誘電体層７が形成され、誘電体層７上に酸化マグネシウムからなる保護層８が形成されている。走査電極４、維持電極５は、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）等からなる透明電極９とその上に形成された銀等からなるバス電極１０とにより構成されている。
【０００３】
また、背面基板３上には走査電極４および維持電極５と直交する方向に複数のアドレス電極１１が形成され、アドレス電極１１を覆って誘電体層１２が形成されている。誘電体層１２上には、アドレス電極１１の間に位置するように隔壁１３が形成され、誘電体層１２の表面および隔壁１３の側面には蛍光体層１４が形成されている。
【０００４】
放電空間１には、例えばネオンとキセノンの混合ガスからなる放電ガスが、４００〜６００Ｔｏｒｒの圧力で封入されている。走査電極４と維持電極５とから構成された表示電極対とアドレス電極１１との立体交差部に単位発光領域となる放電セルが形成される。表示電極対を構成する走査電極４および維持電極５の間で表示放電を起こさせたときに発生する紫外線によって蛍光体層１４を発光させてカラー画像を表示している。
【０００５】
ところで、前面基板２上に誘電体層７やバス電極１０を形成するとき、また背面基板３上にアドレス電極１１や誘電体層１２を形成するとき、例えば特許文献１に示すようにスクリーン印刷法が用いられる。以下に従来のスクリーン印刷法について図１０を用いて説明する。
【０００６】
図１０（ａ）に示すように、四角形状の版枠１５内に、金属からなる細線が網目状に形成されたスクリーン１６を高張力で張って構成したスクリーン版１７を、基板が載置される印刷ステージ１８の上方に設置し、スクレッパー１９を矢印の方向に動かすことにより印刷用ペースト２０をスクリーン１６上に塗布する。これにより、スクリーン１６の開口部に印刷用ペースト２０を充填する。スクレッパー１９はスクリーン１６に当てる先端部が直線状となった１枚の板状のブレードで構成されている。
【０００７】
次に、図１０（ｂ）に示すように、印刷ステージ１８上の所定の位置に基板２１を載置した後、スクリーン版１７を基板２１に対して所定の位置まで近づけ、ゴム製のスキージ２２をスクリーン１６に押し付けながら矢印の方向に移動させることにより、スクリーン１６の開口部に充填された印刷用ペースト２０を基板２１上に転写する。このようにして基板２１上に印刷用ペースト層２３が形成され、スクリーン印刷が行われる。
【特許文献１】特開２００３−２４９１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、大型のプラズマディスプレイパネルに用いる大きな基板２１に対してスクリーン印刷を行う場合、基板２１の大きさに応じてスクリーン１６も大きくなり、スクリーン１６上に載せる印刷用ペースト２０も重くなるため、スクリーン１６にはかなりの張力を掛けることになる。このようなスクリーン１６にスキージ２２を押し当てて印刷用ペースト２０を基板２１上に塗布するとき、図１１に示すように、スキージ２２の両端部２２ａがスクリーン１６の張力によって上側に押されて変形することになり、基板２１の端部において印刷用ペーストを所望の形状に塗布することができなくなる。この現象は印刷領域が大きくスキージ２２の幅Ｗが大きくなると発生しやすい。この場合、基板２１上に印刷用ペースト２０が転写されて形成された印刷用ペースト層２３の形状は、図１２に示すようにスキージ２２の両端部２２ａに対応する部分２３ａが盛り上がり、形状不良となる。このような形状不良は、信頼性の低下や表示品質不良が発生する原因となる。例えば誘電体層７を形成したときに上記のような形状不良となる部分２３ａが発生すると、その部分２３ａがある放電セルでは他の放電セルに比べて放電が発生しにくくなり、表示品質が低下することになる。
【０００９】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、スクリーン印刷を用いて大型の基板上に印刷用ペーストを塗布して印刷用ペースト層を形成する際に、その印刷用ペースト層に形状不良が発生することを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するために、本発明は、印刷ステージおよびスキージを有する印刷装置とスクリーンとを用いて、大型表示パネルを構成する基板上に印刷用ペーストを塗布する際に、基板を印刷ステージ上に載置して前記基板の端部がスキージの端部近傍において上方に傾斜するようにし、前記スキージをスクリーンに押し当てて移動させることにより、前記基板上に印刷用ペーストを塗布することを特徴とする大型表示パネルの製造方法である。
【００１１】
また本発明は、大型表示パネルを構成する基板上に印刷用ペーストを塗布する際に用いる印刷装置において、基板を載置するための印刷ステージと、スクリーン上を移動して基板上に印刷用ペーストを塗布するためのスキージとを有し、前記印刷ステージ上に載置した前記基板の端部がスキージの端部近傍において上方に傾斜するように前記印刷ステージを構成したことを特徴とする印刷装置である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、大型表示パネルを構成する基板上に印刷用ペーストを塗布して印刷用ペースト層を形成する際に、その印刷用ペースト層に不具合が発生することを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施の形態による大型表示パネルの製造方法について、プラズマディスプレイパネルを例にして図１〜図８を用いて説明する。図１〜図８において図９〜図１２に示す部分と同一部分については同一番号を付している。なお、本発明の一実施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの構造は図９を用いて説明したものと同じである。
【００１４】
まず、スパッタリング法により前面基板２上のほぼ全面にＩＴＯ膜を形成した後、エッチングによりパターニングすることにより、所定のパターン（ストライプ状）の透明電極９を形成する。
【００１５】
前面基板２上に透明電極９を形成した後、スクリーン印刷法によりバス電極１０となる材料を透明電極９を覆うように前面基板２のほぼ全面に塗布することにより、第１ペースト層および第２ペースト層を積層形成する。ここで、バス電極１０は、透明電極９上に形成された暗色導電層と、その上に形成された導電層とからなる２層構造であり、第１ペースト層は暗色導電層となる層であり、第２ペースト層は導電層となる層である。暗色導電層はコントラスト向上のために設けている。第１ペースト層および第２ペースト層は感光性材料層であり、第１ペースト層は黒色顔料、無機バインダおよび感光性樹脂成分を含む感光性ペーストを用いて形成され、第２ペースト層はＡｇ等の導電性材料、無機バインダおよび感光性樹脂成分を含む感光性ペーストを用いて形成される。黒色顔料として例えば、酸化ルテニウムやルテニウム複合酸化物のような導電性材料を用いることができる。導電性のない黒色顔料を用いる場合には、さらにＡｇ等の導電性材料を含ませればよい。また、無機バインダとして例えばガラスフリットを使用することができる。次に、フォトリソグラフィ法を用いて第１ペースト層および第２ペースト層をパターニングした後、６００℃程度の温度で焼成することにより、透明電極９上にバス電極１０が形成される。
【００１６】
遮光層６についても同様に、黒色顔料、無機バインダおよび感光性樹脂成分を含む感光性ペーストを前面基板２上に塗布して感光性材料層を形成し、フォトリソグラフィ法を用いて感光性材料層をパターニングし、焼成することにより形成される。
【００１７】
次に、透明電極９、バス電極１０および遮光層６を覆うようにスクリーン印刷法等を用いて前面基板２上にガラスペーストを塗布した後、所定温度で所定時間（例えば５６０℃で２０分）焼成することによって所定の厚み（約２０μｍ）となるように誘電体層７を形成する。誘電体層７を形成するときに使用するガラスペーストとしては、例えば、ＰｂＯ（７０ｗｔ％） 、Ｂ2Ｏ3（１５ｗｔ％）、ＳｉＯ2（１０ｗｔ％）、およびＡｌ2Ｏ3（５ｗｔ％）と有機バインダ（例えば、α−ターピネオールに１０％のエチルセルローズを溶解したもの）との混合物が使用される。ここで、有機バインダとは樹脂を有機溶媒に溶解したものであり、エチルセルローズ以外に樹脂としてアクリル樹脂、有機溶媒としてブチルカービトール等も使用することができる。さらに、こうした有機バインダに分散剤（例えば、グリセルトリオレエート）を混入させてもよい。また、ペーストを用いてスクリーン印刷する代わりに、成型されたフィルム状の誘電体前駆体をラミネートして焼成することによって形成してもよい。
【００１８】
次に、誘電体層７上に保護層８を形成する。保護層８は酸化マグネシウムからなり、真空蒸着法等の成膜プロセスにより、保護層８が所定の厚み（約０．５μｍ）となるように形成する。
【００１９】
このような方法により、前面基板２上に、構造物である走査電極４、維持電極５、遮光層６、誘電体層７、保護層８を形成する。
【００２０】
また、背面基板３上にアドレス電極１１をストライプ状に形成する。具体的には、背面基板３上に、アドレス電極１１の材料、例えば感光性Ａｇペーストのような感光性材料を用いてスクリーン印刷法等により感光性材料層を形成し、その後、フォトリソグラフィ法等によって感光性材料層をパターニングし、焼成することでアドレス電極１１を形成することができる。
【００２１】
次に、以上のようにして形成したアドレス電極１１を覆うように誘電体層１２を形成する。誘電体層１２は、例えば、鉛系のガラス材料を含むガラスペーストを、例えば、スクリーン印刷法で塗布した後、所定温度で所定時間（例えば５６０℃で２０分）焼成することによって、所定の層の厚み（約２０μｍ）となるように形成する。また、ガラスペーストをスクリーン印刷する代わりに、成型されたフィルム状の下地誘電体層前駆体をラミネートして焼成することによって形成しても良い。
【００２２】
次に、隔壁１３を例えばストライプ状に形成する。隔壁１３は、Ａｌ2Ｏ3等の骨材とガラスフリットとを主剤とする感光性ペーストをダイコート法やスクリーン印刷法等により成膜し、フォトリソグラフィ法によりパターニングし、焼成することで形成することができる。または、例えば、鉛系のガラス材料を含むペーストを、例えば、スクリーン印刷法により所定のピッチで繰り返し塗布した後、焼成することによって形成してもよい。ここで、隔壁１３の間隙の寸法は、例えば３２インチ〜５０インチのＨＤ−ＴＶの場合、１３０μｍ〜２４０μｍ程度である。
【００２３】
そして、隔壁１３と隔壁１３との間の溝には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）に発光する蛍光体層１４を形成する。これは、各色の蛍光体粒子と有機バインダとからなるペースト状の蛍光体インキを塗布し、これを４００〜５９０℃の温度で焼成して有機バインダを焼失させることによって、各蛍光体粒子が結着してなる蛍光体層１４として形成する。
【００２４】
このような方法により、背面基板３上に、構造物であるアドレス電極１１、誘電体層１２、隔壁１３、蛍光体層１４を形成する。
【００２５】
このように蛍光体層１４等の構造物を形成した背面基板３の周辺部に低融点ガラスフリットを塗布して乾燥させる。その後、この背面基板３と保護層８等を形成した前面基板２とを対向配置して加熱処理を行うことにより、前面基板２と背面基板３とを低融点ガラスフリットにより封着する。その後、前面基板２と背面基板３との間の放電空間内を高真空（例えば１．１×１０-4Ｐａ）に排気し、続いてその放電空間に放電ガスを封入して封じ切ることにより、プラズマディスプレイパネルが製造される。
【００２６】
以上のように、前面基板２上に遮光層６、誘電体層７、バス電極１０を形成するとき、また背面基板３上にアドレス電極１１、誘電体層１２、隔壁１３を形成するときの方法の１つとして、スクリーン印刷法を用いる。次に本発明の一実施の形態によるスクリーン印刷法について説明する。
【００２７】
本発明の一実施の形態において、基板上に印刷用ペーストを塗布する際に用いる印刷装置の正面図を図１に示し、Ａ−Ａ線で切った断面図を図２に示す。この印刷装置は、基板２１を載置するための印刷ステージ１８と、スクリーン版１７のスクリーン１６上に印刷用ペーストを塗布するためのスクレッパー１９と、スクリーン１６上に塗布された印刷用ペーストを基板２１上に転写するためのスキージ２２とを備えている。また、図１および図２に示すように互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を設定し、Ｚ軸を鉛直方向とする。
【００２８】
スクリーン版１７は、ステンレス等からなる細線が網目状に形成されたスクリーン１６を、版枠１５内に高張力で張って構成したものであり、スクリーン保持台２４に固定されている。
【００２９】
印刷ステージ１８はスクリーン版１７の下方に配置されている。そして、印刷ステージ１８上に載置された基板２１とスクリーン版１７との距離を変えることができるように、印刷ステージ１８はＺ方向に移動できるようになっている。印刷ステージ１８上には、基板２１の各辺にそれぞれ接するようにして配置される４つの補助基板２５が設けられており、４つの補助基板２５はＸ方向およびＹ方向のうち少なくとも一方の方向に移動可能である。４つの補助基板２５のうち、例えば２つの補助基板２５が印刷ステージ１８上に固定されていてもよい。なお、印刷ステージ１８には基板２１を所定位置に位置決めするための基板位置決め手段（図示せず）と、基板２１を印刷ステージ１８に吸着固定するための吸着装置（図示せず）が設けられている。
【００３０】
スクレッパー１９は例えばステンレス製のブレードであり、スキージ２２は例えばゴム製である。スクレッパー１９およびスキージ２２の先端部は直線状になっている。スクレッパー１９、スキージ２２は、上下に動くことができるように、たとえばエアシリンダからなるスクレッパー保持部材２６、スキージ保持部材２７にそれぞれ取り付けられている。また、スクレッパー保持部材２６およびスキージ保持部材２７はその上方に配置された支持部材２８に取り付けられるとともに、支持部材２８はその両側に配置されたガイドレール２９に可動に保持されており、ガイドレール２９に沿って支持部材２８をＹ方向に動かすための所定の駆動装置を設けている。すなわち、スクレッパー１９およびスキージ２２を同時にＹ方向に移動させるとともに、別々にＺ方向に移動させることができる。
【００３１】
また図１に示すように、Ｙ軸に垂直な断面を見たときの印刷ステージ１８は、中央部分は平坦な形状となっており、所定の位置から端部に近づくにつれて上方へ傾斜した形状を有しており、印刷ステージ１８上に載置した基板２１の端部がスキージ２２の端部２２ａの近傍において上方に傾斜するようになっている。印刷ステージ１８の端部において上方に傾斜した形状となっている領域は、印刷用ペーストを転写する際にスクリーン１６の張力によってスキージ２２が上側に押されて変形する領域に対応するように構成されている。
【００３２】
図３は、印刷ステージ１８上に基板２１を載置した状態を上側から見た平面図である。印刷ステージ１８には所定位置に固定された基板位置決め手段３０ａと移動可能な基板位置決め手段３０ｂが設けられており、基板位置決め手段３０ｂが基板２１を基板位置決め手段３０ａ側に押し付けることによって印刷ステージ１８上の所定位置に基板２１が配置される。図３に示すように、基板２１は、その各辺がＸ軸およびＹ軸のどちらか一方に平行になるように配置された状態になっており、前述したように基板２１の周囲には、基板２１の各辺にそれぞれ接するように４つの補助基板２５が配置されている。また、図３において破線はスキージ２２を表しており、スキージ２２はＸ軸に平行に配置され、スキージ２２に垂直な方向であるＹ方向に移動する。
【００３３】
図４は、スクリーン版１７の平面図である。通常、スクリーン版１７は基板２１の大きさよりもある程度大きくなっている。版枠１５内に高張力で張られたスクリーン１６は、中央領域１６ａと、その中央領域１６ａの周囲の領域である周辺領域１６ｂとから構成され、中央領域１６ａは網目状の開口部を有しており、周辺領域１６ｂでは印刷用ペーストが下側に転写されないように、乳剤等により網目状の開口部がふさがれている。スクリーン１６の中央領域１６ａは基板２１とほぼ同じ大きさであり、図３のように配置される基板２１上にスクリーン１６の中央領域１６ａが位置するように構成されている。このようなスクリーン版１７を用いれば基板２１上のほぼ全面に印刷用ペーストを形成することができる。
【００３４】
次に、このような本発明の一実施の形態における印刷装置を用いて基板２１に印刷する方法について図５を用いて説明する。
【００３５】
まず、スクリーン版１７に設けたスクリーン１６の１辺に沿って印刷用ペースト２０を供給した後、図５（ａ）に示すようにスクレッパー１９を配置する。
【００３６】
続いて図５（ｂ）に示すように、スクレッパー１９の先端部をスクリーン１６に押し当てながらスクレッパー１９を矢印の方向（Ｙ方向）に移動させることにより印刷用ペースト２０をスクリーン１６上に塗布し、印刷用ペースト２０をスクリーン１６の開口部に充填する。このとき、スキージ２２はスクレッパー１９と干渉しないように上方に退避している。
【００３７】
次に、図５（ｃ）に示すように、印刷ステージ１８上に基板２１を載置し、基板位置決め手段３０ａ、３０ｂ（図３参照）により基板２１を位置決めした後、補助基板２５を基板２１の周囲に配置する。そして、基板２１をスクリーン版１７の下方の所定位置まで近づけるとともに、スクリーン版１７と基板２１との相対的な位置合わせを行う。なお、スクリーン１６上に印刷用ペースト２０を塗布している間に、印刷ステージ１８上に基板２１を載置して位置決めした後、補助基板２５を配置する一連の動作を行ってもよい。
【００３８】
その後、図５（ｄ）に示すように、スキージ２２をスクリーン１６に押し付けながら矢印の方向（Ｙ方向）に移動させることにより、スクリーン１６の開口部に充填された印刷用ペースト２０を基板２１上に転写し、基板２１上に印刷用ペースト層２３を形成する。このとき、スクレッパー１９はスキージ２２と干渉しないように上方に退避している。
【００３９】
以上のようにして本実施の形態による印刷装置を用いてスクリーン印刷が行われる。
【００４０】
ここで、スキージ２２によって印刷用ペースト２０を基板２１上に転写するときのＹ軸に垂直な正面図を図６に示す。基板２１が大きい場合には、前述したように使用するスクリーン１６にはかなりの張力が掛かっている。このため、スクリーン１６にスキージ２２を押し当てて印刷用ペースト２０を基板２１上に塗布するとき、スキージ２２の両端部２２ａがスクリーン１６の張力によって上側に押されて変形することになるが、本実施の形態では印刷ステージ１８の端部が上方に傾斜した形状であり、スキージ２２の両端部２２ａが変形したときの形状に沿うようになっている。このため、印刷用ペースト２０が基板２１上に転写されて形成された印刷用ペースト層２３は、図１２で示したような状態とはならず、図７に示すように端部においても所望の厚みを有する印刷用ペースト層２３を得ることができ、形状不良が発生することを抑制できる。
【００４１】
図８は、印刷ステージ１８の端部を上方に傾斜させた部分の近傍領域を拡大して示す断面図である。図８に示すように、基板２１を印刷ステージ１８上に載置したときに基板２１の端部２１ａが上方に傾斜した領域（傾斜領域）の幅をａとしており、傾斜領域の高さをｂとしている。基板２１の一方の端部における傾斜領域の幅ａと他方の端部における傾斜領域の幅ａとがほぼ同じになるように基板２１を載置する。幅ａおよび高さｂは、印刷用ペーストを基板２１上に転写するときのスキージ２２の変形量に応じて設定する。すなわち、転写時におけるスキージ２２の先端部の形状に基板２１の表面がほぼ沿うようにしておく。このようにしておくことにより、図７に示すように端部においても所望の厚みを有する印刷用ペースト層２３を得ることができ、形状不良が発生することを抑制できる。また、傾斜領域における印刷ステージ１８の表面形状（Ｙ軸に垂直な断面の表面形状）は、直線状でもよく、下方に凸に湾曲した形状でもよい。ここで幅ａおよび高さｂは、基板２１の大きさ、使用するスクリーン１６やスキージ２２の特性等に応じて適宜設定すればよく、例えば５０型パネル用の基板（約１１５０ｍｍ×７００ｍｍ）上に図３に示す状態で印刷用ペースト２０を塗布する場合、一例としてａ＝１００ｍｍ、ｂ＝１ｍｍ〜２ｍｍとすればよい。
【００４２】
以上のように、本実施の形態による方法を用いて基板２１上に印刷用ペーストを塗布すれば、好ましい形状の印刷用ペースト層２３を形成することができ、形状不良の発生を抑制することができる。そして、本実施の形態による印刷方法は、印刷用ペーストを塗布する基板の大きさが５０型パネル用の基板（約１１５０ｍｍ×７００ｍｍ）、あるいはそれよりも大きい大型の基板に対して特に有用である。
【００４３】
以上のように、大型のプラズマディスプレイパネル等のような大型表示パネルの製造工程においてスクリーン印刷をする際に、本実施の形態による印刷方法を用いることにより印刷用ペースト層に不具合が発生することを抑制できるので、高品質の大型表示パネルを製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、大型の基板上に印刷用ペーストを塗布して印刷用ペースト層を形成する場合、印刷用ペースト層の形状に不具合が発生することを抑制することができ、大型表示パネルを製造する際に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施の形態による印刷装置の正面図
【図２】同印刷装置をＡ−Ａ線で切って示す断面図
【図３】同印刷装置の印刷ステージ上に基板を載置した状態を上側から見た平面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン版の平面図
【図５】（ａ）〜（ｄ）は同印刷装置を用いて印刷する状況を示す断面図
【図６】同印刷装置によりスクリーン印刷を行っている状態を示す正面図
【図７】同印刷装置により形成された印刷用ペースト層を示す断面図
【図８】同印刷装置の一部分の拡大図
【図９】プラズマディスプレイパネルの要部を示す斜視図
【図１０】（ａ）、（ｂ）は従来のスクリーン印刷法を説明するための断面図
【図１１】スクリーン印刷において不具合が生じるときのスキージを示す正面図
【図１２】印刷用ペースト層に不具合が発生した状態を示す断面図
【符号の説明】
【００４６】
２  前面基板
３  背面基板
１６  スクリーン
１８  印刷ステージ
２０  印刷用ペースト
２１  基板
２２  スキージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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