(57)【要約】    【課題】  筐体が挿入される収納室の筐体の載置面が傷付くのを防止する。    【解決手段】  底板１とフロントパネル２とリアパネル３とカバー本体４とで筐体を構成する。底板１の周縁部をほぼ全周に亘って上方へ折り曲げる。折り曲げられた底板１の周縁部にフロントパネル２及びリアパネル３の底面２ｈ，３ｈとカバー本体４の下端部４ｈとを、底板１の底面１ｈよりも上方に位置するように接続する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
底板とこの底板に装着されるカバーとを備え、ラックに取り付けられる筐体において、
前記底板の周縁部のうち前記ラックに固定するための固定部以外が上方へ折り曲げられ、
その折り曲げられた前記底板の周縁部に前記カバーの下端部が接続され、
その下端部が前記底板の底面よりも上方に位置する
ことを特徴とする筐体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は筐体に関し、特にモータ駆動回路等の電子機器を内蔵する筐体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージの駆動手段として複数のモータが使用されており、各モータには駆動回路を内蔵した筐体がそれぞれ使用されている。一般に、複数の筐体はその筐体の形状に合致した複数の収納室を有するラックに収納される。筐体をラックに固定するための取付穴を形成するために筐体（カバー）の一部を折り曲げて鍔部を形成する（特開平６−２４４５６７号公報参照）。
【０００３】
しかし、鍔部を精度良く直角に折り曲げることは難しいので、鍔部を筐体の底面と面一とすることは難しい。したがって、筐体をラックへ挿入するときやラックから引き出すときに鍔部によってラックの載置面が傷付く。
【０００４】
このことを他の従来例を用いて以下に説明する。
【０００５】
図４は従来の筐体の分解斜視図である。
【０００６】
この筐体は底板１１とフロントパネル１２とリアパネル１３とカバー本体１４とで構成されている。
【０００７】
矩形の底板１１の四辺には鍔部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄがそれぞれ形成されている。鍔部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄは底板１１の周縁部を上方へ直角に折り曲げて形成されている。
【０００８】
鍔部１１ａにはフロントパネル１２を取り付けるための２つの取付穴１１ａ−１が、鍔部１１ａと対向する鍔部１１ｃにはリアパネル１３を取り付けるための２つの取付穴１１ｃ−１がそれぞれ形成されている。なお、図４では２つの取付穴１１ａ−１のうちの片方は見えない。
【０００９】
フロントパネル１２は底板１１に対して直角に取り付けられる。フロントパネル１２の四辺には鍔部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄがそれぞれ形成されている。
【００１０】
鍔部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄはフロントパネル１２に対して直角に形成されている。鍔部１２ａと鍔部１２ｂ，１２ｃ，１２ｄとは反対方向へ折り曲げられている。
【００１１】
鍔部１２ａはリアパネル１３から離れる方向へ折り曲げられている。鍔部１２ａには筐体をラック１６（図５参照）に固定するボルト（図示せず）を通すための長穴１２ｅ，１２ｆが形成されている。
【００１２】
鍔部１２ｂ，１２ｃ，１２ｄはリアパネル１３へ近づく方向へ折り曲げられている。鍔部１２ｂにはカバー本体１４をフロントパネル１２に取り付けるボルト１８を通すための取付穴１２ｂ−１が形成されている。なお、図４では見えないが、鍔部１２ｄにもカバー本体１４をフロントパネル１２に取り付けるボルト１８を通すための取付穴が形成されている。
【００１３】
フロントパネル１２には筐体をラック１６（図５参照）に挿入したり、ラック１６から引き出したりするための一対のハンドル１２Ａが取り付けられている。
【００１４】
底板１１に対して直角に取り付けられるリアパネル１３の三辺には鍔部１３ｂ，１３ｃ，１３ｄがそれぞれ形成されている。
【００１５】
鍔部１３ｂ，１３ｄにはカバー本体１４をリアパネル１３に取り付けるボルト１８を通すための取付穴１３ｂ−１，１３ｄ−１がそれぞれ形成されている。
【００１６】
カバー本体１４は２つの側板１４ａ，１４ｂと天板１４ｃとで構成されている。側板１４ａ，１４ｂは互いに平行であり、天板１４ｃに対してそれぞれ直角に折り曲げられている。側板１４ａ，１４ｂには、カバー本体１４をフロントパネル１２及びリアパネル１３に取り付けるボルト１８を通すための取付穴１４ａ−１，１４ｂ−１がそれぞれ形成されている。
【００１７】
図５は筐体のラック内への挿入方法を説明する斜視図、図６は筐体のラックへの取付方法を説明する斜視図である。
【００１８】
図５，６はカバー本体１４がフロントパネル１２及びリアパネル１３にボルト１８で取り付けられ、フロントパネル１２及びリアパネル１３が底板１１にボルト１８で取り付けられた状態を示す。なお、図５，６ではボルト１８の図示は省略されている。また、筐体内には図示しないモータ駆動回路等の電子機器が内蔵されている。
【００１９】
図５に示すようにハンドル１２Ａを使用してラック１６の収納室１６Ａの筐体載置面１６ａに筐体の底板１１の底面１１ｈを接触させながら筐体を収納室１６Ａへ挿入する。
【特許文献１】特開平６−２４４５６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
ところが、実際上はフロントパネル１２の鍔部１２ａや底板１１の鍔部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを精度良く直角に折り曲げることは難しいとともに、底板１１にフロントパネル１２、リアパネル１３及びカバー本体１４を精度良く取り付けることは難しいので、
鍔部１２ａを底板１１の底面１１ｈと面一にすることは難しい。
【００２１】
その結果、筐体をラック１６へ挿入するときやラック１６から引き出すとき、収納室１６Ａの筐体載置面１６ａが傷付く。
【００２２】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は筐体が挿入される収納室の筐体の載置面が傷付くのを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、底板とこの底板に装着されるカバーとを備え、ラックに取り付けられる筐体において、前記底板の周縁部のうち前記ラックに固定するための固定部以外が上方へ折り曲げられ、その折り曲げられた前記底板の周縁部に前記カバーの下端部が接続され、その下端部が前記底板の底面よりも上方に位置することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
この発明によれば、筐体をラックに挿入するときやラックから引き出すときの載置面の傷を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２６】
図１はこの発明の一実施形態に係る筐体の分解斜視図である。
【００２７】
この筐体は底板１とフロントパネル２とリアパネル３とカバー本体４とを備えている。この実施形態ではフロントパネル２とリアパネル３とカバー本体４とで請求項１記載のカバーが構成される。
【００２８】
矩形の底板１の四辺には鍔部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄがそれぞれ形成されている。鍔部１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは底板１の周縁部を上方へ直角に折り曲げて形成されている。
【００２９】
鍔部１ａが形成された側の底板１の一辺には、ラック６（図２参照）に筐体を取り付けるボルト（図示せず）を通す取付穴１ｅ−１，１ｆ−１が形成された延出部１ｅ，１ｆが底板１と面一となるように形成されている。
【００３０】
鍔部１ａにはフロントパネル２を取り付けるための２つの取付穴１ａ−１が、鍔部１ａと対向する鍔部１ｃにはリアパネル３を取り付けるための２つの取付穴１ｃ−１がそれぞれ形成されている。なお、図１では鍔部１ａの２つの取付穴１ａ−１のうち片方は見えない。
【００３１】
ボルト８を用いてリアパネル３を鍔部１ｃに取り付けたとき、リアパネル３の底面３ｈが底板１の底面１ｈよりも上方となるように取付穴１ｃ−１，３ａ−１は形成されている。
【００３２】
底板１に対して直角に取り付けられるフロントパネル２の三辺には鍔部２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞれ形成されている。
【００３３】
鍔部２ｂ，２ｃ，２ｄはフロントパネル２に対して直角に折り曲げられている。
【００３４】
鍔部２ｂ，２ｃ，２ｄはリアパネル３に近づく方向へ折り曲げられている。
【００３５】
鍔部２ｂにはカバー本体４をフロントパネル２に取り付けるボルト８を通すための取付穴２ｂ−１が形成されている。なお、見えないが、鍔部２ｄにもカバー本体４をフロントパネル２に取り付けるボルト８を通すための取付穴が形成されている。
【００３６】
フロントパネル２には取付穴１ａ−１と対向する位置に取付穴２ａ−１が形成されている。
【００３７】
フロントパネル２には筐体をラック６に挿入したりラック６から筐体を引き出したりするために使用される一対のハンドル２Ａが取り付けられている。
【００３８】
底板１に対して直角に取り付けられるリアパネル３の三辺には鍔部３ｂ，３ｃ，３ｄがそれぞれ形成されている。
【００３９】
鍔部３ｂ，３ｃ，３ｄはリアパネル３に対して直角に折り曲げられている。鍔部３ｂ，３ｃ，３ｄはフロントパネル２へ近づく方向へ折り曲げられている。なお、折り曲げられた部分は曲面形状となるため、ラック６への挿入時にラック６の筐体載置面６ａに傷が付きにくい。
【００４０】
鍔部３ｂ，３ｄにはカバー本体４をリアパネル３に取り付けるボルト８を通すための取付穴３ｂ−１，３ｄ−１がそれぞれ形成されている。
【００４１】
底板１の鍔部１ａ，１ｃの下端の角部には溶接・研摩によって丸みが付けられている。
【００４２】
カバー本体４は２つの側板４ａ，４ｂと天板４ｃとで構成されている。側板４ａ，４ｂは互いに平行であり、天板４ｃに対して直角に折り曲げられている。側板４ａ，４ｂには、カバー本体４をフロントパネル２及びリアパネル３に取り付けるボルト８を通すための取付穴４ａ−１，４ｂ−１がそれぞれ形成されている。
【００４３】
図２は筐体のラック内への挿入方法を説明する斜視図、図３は筐体のラックへの取付方法を説明する斜視図である。
【００４４】
図２，３にはカバー本体４がフロントパネル２及びリアパネル３にボルト８で取り付けられ、フロントパネル２及びリアパネル３が底板１にボルト８で取り付けられた状態が示されている。なお、ボルト８の図示は省略されている。また、筐体内には図示しないモータ駆動回路等の電子機器が内蔵される。
【００４５】
ボルト８によって筐体を組み立てたとき、フロントパネル２及びリアパネル３の底面２ｈ，３ｈ、カバー本体４の下端部４ｈは底板１の底面１ｈよりも上方に位置する。したがって、例えばフロントパネル２が底板１に対して傾いて取り付けられた場合であっても、フロントパネル２やリアパネル３の下端が底板１の底面１ｈより下方にならない。
【００４６】
図２に示すようにハンドル２Ａを使用してラック６の収納室６Ａの筐体載置面６ａに筐体の底面を接触させながら筐体を収納室６Ａ内へ挿入したとき、収納室６Ａの筐体載置面６ａに底板１の底面１ｈだけが面接触する。したがって、筐体によって収納室６Ａの筐体載置面６ａが傷付くことがない。筐体は収納室６Ａの指定位置まで挿入された後、取付穴１ｅ−１，１ｆ−１を介して挿入した筐体固定用ボルト９によってラック６に固定される。
【００４７】
なお、筐体をラック６から引き出すときには、上記手順を逆に辿ればよい。
【００４８】
この実施形態によれば、筐体の底面と収納室６Ａの筐体載置面６ａとが面接触するので、筐体をラック６の収納室６Ａに挿入するときやラック６の収納室６Ａから引き出すとき、収納室６Ａの筐体載置面６ａを傷付けるのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】図１はこの発明の一実施形態に係る筐体の分解斜視図である。
【図２】図２は筐体のラック内への挿入方法を説明する斜視図である。
【図３】図３は筐体のラックへの取付方法を説明する斜視図である。
【図４】図４は従来の筐体の分解斜視図である。
【図５】図５は筐体のラック内への挿入方法を説明する斜視図である。
【図６】図６は筐体のラックへの取付方法を説明する斜視図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  底板
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ  鍔部
１ｈ，２ｈ，３ｈ  底面
２  フロントパネル
３  リアパネル
４  カバー本体
４ｈ  下端部
６  ラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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