(57)【要約】      （修正有）【課題】加速／減速に応答する小型で低コストな内部スイッチを含むＭＥＭＳデバイスを提供する。【解決手段】内部スイッチはＭＥＭＳデバイスを含み、ウエハの基体層１１２上に支持された可動電極１２４及び固定電極１２２を有する。可動電極１２４は加速及び／又は減速による内力に応答して移動して、その内力が接触しきい値に達するか超えるかした時に固定電極１２２と接触し、それにより内部スイッチの状態を開放から短絡へ変化させる。ＭＥＭＳデバイスは実質的に平面デバイスであり、内力がデバイス面に平行にかかる時は、他の力方向の場合とほぼ同じとなるように設計される。本発明の内部スイッチは１ミリメートル未満といった比較的小さいサイズに設計され、その内部スイッチは対応のスイッチ回路に組み込むことができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＭＥＭＳデバイスであって、
基体上に支持された可動電極、及び
該基体上に取り付けられた固定電極からなり、
該ＭＥＭＳデバイスを作用させる内力が接触しきい値に達するか又はそれを超えるかした時に該可動電極が該固定電極との接触位置に来るように、該可動電極が該内力に応答して該基体に対して移動するように適合されたデバイス。
【請求項２】
請求項１記載のデバイスにおいて、該基体は平面を画定し、該内力が前記平面に平行な場合、該可動電極の初期位置からのずれの大きさが全ての力方向に対して実質的に同じであるデバイス。
【請求項３】
請求項１記載のデバイスにおいて、
該可動電極は、環状体であって該環状体と支持構造物との間に取り付けられたセグメント化されたスプリングによって支持される環状体からなり、
該セグメント化されたスプリングは、該スプリングによって画定される平面内のずれに対して実質的に等方性の弾性定数を持つ実質的に平面のスプリングである
デバイス。
【請求項４】
請求項３記載のデバイスにおいて、該環状体が開口グリッド構造物からなり、該開口グリッド構造物は軸対称であり、相互に接続する環状及び放射状の梁を含むデバイス。
【請求項５】
請求項１記載のデバイスにおいて、該ＭＥＭＳデバイスは、等しいレベルの加速と減速に対して実質的に同じ態様で応答するよう適合されたデバイス。
【請求項６】
ＭＥＭＳデバイスであって、
基体上に支持された可動体、
該基体上に取り付けられた支持構造物、及び
該可動体と該支持構造物との間に取り付けられたセグメント化されたスプリングからなり、
該セグメント化されたスプリングは、該スプリングによって画定される平面内のずれに対して実質的に等方性の弾性定数を持つ実質的に平面のスプリングであるデバイス。
【請求項７】
請求項６記載のデバイスにおいて、
該セグメント化されたスプリングは、各々が該可動体と該支持構造物との間に取り付けられた３つの螺旋状のセグメントからなり、
該支持構造物に取り付けられたセグメント端部は第１の円周上付近に位置し、互いに約１２０度の角度で離隔され、
該可動体に取り付けられたセグメント端部は第２の円周上付近に位置し、互いに約１２０度の角度で離隔され、該第１及び第２の円は互いに実質的に同心であり、各セグメントについて、（ｉ）該円の中心と該可動体に取り付けられたセグメント端部とを結ぶ線、及び（ii）該円の中心と該支持構造物に取り付けられたセグメント端部とを結ぶ線、とのなす各が約２４０度であるデバイス。
【請求項８】
請求項６記載のデバイスにおいて、該ＭＥＭＳデバイスは層加工されたウエハを用いて製作され、
該基体は前記ウエハの第１の層であり、
該セグメント化されたスプリングは、該第１の層上に積層された、前記ウエハの第２の層から製作されるデバイス。
【請求項９】
回路であって、
ビーコン、及び
可動電極が固定電極に接触する位置に来た時に該ビーコンをオン状態にするように適合されたスイッチ回路からなり、
該スイッチ回路はＭＥＭＳデバイスを含み、該ＭＥＭＳデバイスは、
基体上に支持される該可動電極、及び
該基体に取り付けられる該固定電極を有し、該ＭＥＭＳデバイスを作用させる内力が接触しきい値に達するか又はそれを超えるかした時に該可動電極が該固定電極との接触位置に来るように、該可動電極が該内力に応答して該基体に対して移動するように適合された回路。
【請求項１０】
請求項９記載の回路において、該スイッチ回路が更に、該可動及び固定電極が最初の接触後に離れる時に該ビーコンのオン状態を維持するよう適合された回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスイッチに関し、より具体的には、移動に対して感度を持つスイッチに関する。本発明はまた微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
内部スイッチは、加速及び／又は減速に応答してその状態を、例えば、開放から短絡状態に変えることができるスイッチである。例えば、特定の方向への加速度の絶対値が所定のしきい値を超えた時に、内部スイッチはその状態を変化させる。そしてこの変化を用いて、内部スイッチによって制御される電気回路をトリガすることができる。内部スイッチは、自動車のエアバック作動システム、振動警報システム、武器発射のための起爆装置、及び歩くと光る靴のような広範なアプリケーションに用いられている。従来技術の内部スイッチのいくつかの代表的な開示が、例えば、米国特許第６３５４７１２号、第５９５５７１２号、第４１７８４９２号、及び第４０１２６１３号に見られ、それらの全ての教示がここに参照として取り込まれている。
【０００３】
従来の内部スイッチは、ネジ、ピン、ボール、スプリング、及び他の比較的小さい許容差で加工される要素のような、個別に製造されるいくつかの部材を用いて組み立てられる比較的複雑な機械的デバイスである。このように、従来の内部スイッチはサイズが（例えば、数センチなど）比較的大きく、製造及び組み立てコストが比較的高いものであった。さらに、従来の内部スイッチはしばしば機械的故障を起こしがちであった。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の原理に従って、ＭＥＭＳデバイスとして設計された内部スイッチを用いて従来技術における課題に取り組むものである。一実施例では、ＭＥＭＳデバイスは層状のウエハを用いて製造され、ウエハの基体層の上に支持された可動電極及びその基体層に取り付けられた固定電極を有する。可動電極は内力に応答して基体層に対して移動するように適合されていて、それは単位量当たりの内力が接触しきい値に達するか超えるかした時に可動電極が固定電極との接触位置に来るようにして、それにより内部スイッチの状態を開放から短絡へ変化させるようになっている。一実施例では、ＭＥＭＳデバイスは実質的に平面デバイスであり、内力がデバイス面に平行にかかる場合は、可動電極の無付加時（力がかからない時）の位置からのずれの大きさは、他の力方向の場合とほぼ同じとなるように設計される。好都合なことに、発明の内部スイッチはモノリシックデバイスであり、これによってスイッチを比較的小型（例えば、約１ミリメートル）で比較的低コストとすることが可能となる。小型で低コストなので、発明のいくつかの内部スイッチを対応のスイッチ回路に組み込むことができ、それにより、その回路における個々の内部スイッチの機械的故障及び／又は動作不能に対する保護を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
ここで、「一実施例」又は「実施例」に対して言及するものについて、その実施例に関連して記載された特定の特徴、構造又は特性が発明の少なくとも１つの実施例に含まれ得るということを意味している。明細書で随所に見られる「一実施例では」という文言があるからといって、必ずしも全て同じ実施例に言及するものではなく、個別の又は代替の実施例が他の実施例と相互に排他し合うものではない。
【０００６】
図１Ａ、Ｂは本発明の一実施例による内部スイッチ１００の上面図及び断面図を示すものである。スイッチ１００はシリコンを絶縁体上に付加した（ＳＯＩ）ウエハを用いて製造されたＭＥＭＳデバイスである。ＳＯＩ・ＭＥＭＳ構造を製作する製造技術が開発されたので、スイッチ１００は比較的小型なものとして設計することができる。例えば、現在のリソグラフィー技術が、ウエハ１１０において様々なスイッチ要素をミクロン以下の分解能で規定するように用いられ、それにより、ウエハ領域の１平方ミリメートルも占有しないスイッチ１００を得ることが可能となる。結果として、比較的多数のスイッチ１００が１枚のウエハを用いて製造でき、それにより、個々のスイッチ各々のコストを大幅に低減することができる。さらに、小型で低コストなので、スイッチ１００のいくつかを対応するスイッチ回路に内蔵することができ、それにより、その回路における個々の内部スイッチ１００の機械的故障及び／又は動作不良に対する保護を提供することができる。
【０００７】
ウエハ１１０は（ｉ）２つのシリコン層、即ち、基体層１１２及び上層１１６、及び（ii）上層１１６と基体層１１２の間に配置される酸化シリコン層１１４を有する。基体層１１２はスイッチ構造に支持を提供し、酸化シリコン層１１４は上層１１６と基体層１１２との間の電気的絶縁を提供し、上層１１６は所定のスイッチ要素を画定するために用いられる。なお、各層は下記でより詳しく記載される。特に、次の、固定電極１２２、可動電極１２４、支持構造物１２６、ばね１２８、接触パッド１３０及び導電線１３２といったスイッチ要素が上層１１６において画定される。
【０００８】
可動電極１２４は基体層１１２から切り離され、スプリング１２８と支持構造物１２６によって基体層上に支持された環状体を含む。支持構造物１２６は環状体の内部の開口部内に配置される。一実施例では、スプリング１２８は３つの螺旋セグメント１２８ａ−ｃを有し、各々は支持構造物１２６の外周部と環状体の内周部との間に取り付けられる。支持構造物１２６に取り付けられた螺旋セグメント１２８ａ−ｃの端部は、略円周上に配置されるとともに互いに約１２０度の角度で離隔されている。同様に、可動電極１２４の環状体の内周部に取り付けられた螺旋セグメント１２８ａ−ｃの端部も、他の略円周上に配置されるとともに互いに約１２０度の角度で離隔されている。それらの円は互いにほぼ同心であり、セグメント１２８ａ−ｃ各々に対して、（ｉ）円の中心と可動電極１２４に取り付けられたセグメント端部とを結ぶ線と（ii）円と中心と支持構造物１２６に取り付けられたセグメント端部とを結ぶ線、とのなす角は約２４０度である。このように、螺旋セグメント１２８ａ−ｃは支持構造物１２６の周囲を約２４０度の角度に亘って伸長している。この螺旋セグメント１２８ａ−ｃの構成によって、各対の螺旋セグメント間で約１２０度の重なりが作られる。この重なりの存在によって、スプリング１２８が、上層１１６によって画定される平面内で実質的に等方性の、即ち、平面内のスプリングの変形の方向に実質的に依存しない弾性定数を有することになる。結果として、上層１１６の平面内で特定の大きさで働く力が、可動電極１２４のずれをもたらし、そのずれの大きさが全ての力方向に対してほぼ同じになる。
【０００９】
一実施例では、図１Ａに示すように、可動電極１２４の環状体は放射状かつ環状の梁からなる軸対称のグリッド構造物である。このグリッド構造物を構成する１つの目的は、スイッチ１００の製作工程中に、可動電極１２４がその下にある基体層１１２の部分から分離し易くするためである。より具体的には、製作工程で酸化シリコン層１１４の選択された部分を除去するのに通常使用されるウエット・エッチング剤が、グリッド構造物の開口部に浸透することによって、電極１２４の足元に当初からあった酸化シリコン層の部分に適切かつ充分に及ぶ（図１Ｂ参照）。ウエット・エッチング剤は、酸化シリコン層１１４の部分に触れると、最初にグリッド開口部の下に直接位置する酸化シリコンを除去し、そして、グリッド構造物の梁の下に位置する酸化シリコンを浸食するように除去する。これにより電極１２４が基体層１１２から分離される。
【００１０】
一実施例では、固定電極１２２は可動電極１２４を囲む円状の電極である。可動電極１２４に力が加えられない平衡位置にある時、可動電極は固定電極１２２から円形ギャップ１４０によって離隔され、その幅がスイッチ１００の接触しきい値を規定する。スイッチ１００における接触しきい値は、可動電極１２４を固定電極１２２に接触させる際の単位量当たりの内力の想定される最低値として規定される。ギャップ１４０の幅の設計値を増加させると、スイッチ１００の接触しきい値は増加することになる。それは、可動電極１２４が固定電極１２２と接触するためにより広いギャップを移動しなければならないからであり、それは初期平衡位置から可動電極をより大きくずらすことを要する。それゆえ、この大きなずれのためにスプリング１２８で生成される増加していく力に対抗するだけのより大きい内力の付加が必要になる。
【００１１】
なお、上層１１６の厚さは接触しきい値には実質的に影響しない。それは、可動電極１２４の質量とスプリング１２８の弾性定数は上記厚さに対して線形に変化するためである。逆に、可動電極の平面外のずれ（即ち、上層１１６の平面に直角な方向のずれ）に対するスプリング１２８の弾性定数は上層１１６の厚さの３乗に比例する。結果として、可動電極１２４の平面外のずれは、スイッチ１００において比較的厚い上層１１６を持つＳＯＩウエハ１１０を用いることで制限できる。
【００１２】
可動電極１２４は、スプリング１２８、支持構造物１２６、及び支持構造物の上部に取り付けられた配線１３４ａを介して（図１に図示しない）外部回路と電気的に接触している。同様に、固定電極１２２は、導電線１３２、接触パッド、及び接触パッドの上部に接触された配線１３４ｂを介して外部回路と電気的に接触している。
【００１３】
スイッチ１００は、例えば、以下のように動作する。スイッチ１００が静止又は一定の速度で動いている時、ギャップ１４０は可動電極１２４と固定電極１２２を離隔し、これによりスイッチが開放状態で維持される。スイッチ１００が、上層１１６の平面上での加速度の絶対値が接触しきい値を超えるように加速された時、結果として生ずる内力によって可動電極１２４がギャップ１４０に亘って移動し、固定電極１２２と接触する。これによりスイッチ１００の状態が開放から短絡に変化する。加速度の絶対値が接触しきい値よりも低くなると、スプリング１２８の反発力によって可動電極１２４は固定電極１２２と離れた状態となり、それによりスイッチ１００が開放状態に戻る。
【００１４】
当業者であれば、スイッチ１００が等しいレベルの加速及び減速に対して同様の理論で応答することは理解できるであろう。スイッチ１００のこの特質が以下の分析から理解できる。スイッチ１００がある加速度である方向（この分析においては、以下、「方向Ｘ」という）にトリガされる（即ち、その状態を開放から短絡へ変化する）とする。すると、スプリング１２８が等方性であること及び電極１２２及び１２４がほぼ軸対称であることにより、スイッチ１００は反対方向、即ち、方向−Ｘの同じレベルの加速によってもトリガされる。そして、加速によって生成された方向−Ｘの内力は方向Ｘの等しい減速によって生成された内力と等しいということであるから、スイッチ１００が方向−Ｘにおける加速によってトリガされた場合、それは方向Ｘの等しい減速によってもトリガされるという結論に帰する。この結論を最初の仮定に照らし合わせると、スイッチ１００が方向Ｘにあるレベルの加速でトリガされる場合、それは同じ方向Ｘの等しいレベルの減速によってトリガされるということを結論付けることができる。スイッチ１００のこの特性の観点から、このスイッチは、力の発生源や方向に関係なく選択されたしきい値を越える内力を検出するように設計される内部センサーに使用することができる。
【００１５】
初期ＳＯＩウエハからスイッチ１００を製作するのに異なるエッチング技術を用いてもよい。例えば、選択的反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を用いると、シリコンが酸化シリコンよりも格段に速くエッチングされることが知られている。同様に、例えば、フロン系のエッチング剤を用いると、酸化シリコンがシリコンよりも格段に速くエッチングされる。例えば、化学蒸着を用いて様々な表面を金属メッキしてもよい。スイッチ１００の種々の部品がリソグラフィーを用いてＳＯＩウエハの上層に配置される。スイッチ１００の製作に適する様々な製作工程に関する更なる開示が、米国特許第６２０１６３１号、第５６２９７９０号及び第５５０１８９３に見られ、それらの教示は参照としてここに取り込まれている。
【００１６】
図２Ａ−Ｂは、本発明の他の実施例による内部スイッチ２００のそれぞれ上面図及び断面図を示すものである。スイッチ２００は図１のスイッチ１００と類似のＭＥＭＳデバイスである。従って、スイッチ１００と２００とで類似する要素は、図１及び２において同じ下二桁の符号を付してある。スイッチ１００と２００との間の相異点を下記に説明する。
【００１７】
スイッチ２００はスイッチ１００の可動電極１２４と実質的に同じ可動電極２２４を有する。しかし、スイッチ１００では固定電極１２２が可動電極１２４を囲んでいるが、スイッチ２００は、可動電極２２４の環状体の内部開口部内に位置する固定電極２２２を有している。結果として、スイッチ２００において固定電極と可動電極とを離隔しているギャップ２４０は、可動電極２２４の環状体の内周部と固定電極２２２の外周部との間に位置する。さらに、スイッチ１００で可動電極の環状体の内周部に配置されるスプリング１２８とは異なり、スイッチ２００のスプリング２２８は可動電極２２４の環状体の外周部に配置されている。
【００１８】
一実施例では、スプリング２２８は、スプリング１２８（図１）の螺旋セグメント１２８ａ−ｃと類似の設計の３つの平面螺旋セグメント２２８ａ−ｃを備える。しかし、セグメント２２８ａ−ｃの各々は可動電極２２４の環状構造の外周部と可動電極の周囲に位置する上層２１６の部分２２６との間に取り付けられる。このように、スイッチ２００の部分２２６は、スイッチ１００の支持構造物１２６の機能と同様の機能を担っている。スイッチ１００のスプリング１２８と同様に、スイッチ２００のスプリング２２８は、上層２１６によって画定される平面内で実質的に等方性の弾性定数を持つように設計される。
【００１９】
可動電極２２４は、スプリング２２８、部分２２６、及び部分２２６に取り付けられた配線２３４ａを介して（図１に図示しない）外部回路と電気的に接触している。同様に、固定電極２２２は、固定電極の上部に取り付けられた配線２３４ｂを介して外部回路と電気的に接触している。
【００２０】
スイッチ２００が静止又は一定の速度で動いている時、ギャップ２４０は可動電極２２４と固定電極２２２を離隔し、これによりスイッチが開放状態で維持される。スイッチ２００が、上層２１６の平面上での加速度の絶対値が接触しきい値を超えるように加速／減速された時、結果として生ずる内力によって可動電極２２４がギャップ２４０に亘って移動し、固定電極２２２と接触する。これによりスイッチ２００の状態が開放から短絡に変化する。加速度／減速度の絶対値が接触しきい値よりも低くなると、スプリング２２８の反発力によって可動電極２２４は固定電極２２２と離れた状態となり、それによりスイッチ２００が開放状態に戻る。
【００２１】
図３は本発明の一実施例によるビーコン回路３００を示すものである。回路３００は電源（例えば、バッテリー）３５０、クロウバー回路３６０及びビーコン（例えば、発光ダイオード）３７０を備える。クロウバー回路３６０は、図１及び２のスイッチ１００又は２００のいずれかと類似の内部スイッチ３６２を含む。ビーコン回路３００は内部スイッチ３６２がトリガされるとビーコン３７０をオンする（即ち、瞬間的にその状態を開放から短絡に変化させる）。ビーコン回路３００は、たとえその後内部スイッチ３６２が開放状態に戻ってもビーコン３７０をオン状態に維持する。結果として、これを見る者は、単にビーコン信号の有無を検知するだけで、ビーコン回路３００が内部スイッチ３６２の接触しきい値に対応する重大な内力を受けているか又は受けたかを判断できる。
【００２２】
ビーコン回路３００は、例えば、以下のように動作する。初期状態では、内部スイッチ３６２は開放状態であり、クロウバー回路３６０のシリコン制御整流器（ＳＣＲ）はオフ状態である。この構成はビーコン３７０をオフ状態に保持する。ＳＣＲはゲート信号によって整流制御される。ＳＣＲはゲートに印加される適当な信号によってオフ状態（高抵抗）からオン状態（低抵抗）に切り換えられる。ＳＣＲがオンされると、ＳＣＲは、ゲート信号がその後なくなっても、保持電流と呼ばれる最小電流がＳＣＲを流れ続ける限りオン状態を維持する。クロウバー回路３６０において、抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、（ｉ）内部スイッチ３６２がトリガされる時にＳＣＲがオンされ、かつ（ii）内部スイッチ３６２が最初のトリガから開放状態に戻る時に、保持電流よりも大きい電流がＳＣＲ、抵抗Ｒ１及びビーコン３７０にかけて維持されるように選択される。
【００２３】
図４は本発明の他の実施例によるビーコン回路４００を示すものである。ビーコン回路４００は電源（例えば、バッテリー）４５０、ブレーカー回路４６０及びビーコン４７０を備え、ビーコン回路３００（図３）と類似するものである。特に、ビーコン回路４００は（ｉ）ブレーカー回路４６０に含まれる内部スイッチ４６２がトリガされる時にビーコン４７０をオンし、（ii）たとえ内部スイッチ４６２がその後開放状態に戻ってもビーコン４７０をオン状態に維持する。
【００２４】
ビーコン回路４００は、例えば、以下のように動作する。初期状態では、内部スイッチ４６２及びブレーカー回路４６０のブレーカースイッチ４６４の双方が開放状態にあり、ビーコン４７０をオフ状態に保持する。内部スイッチ４６２がトリガされると、電流がブレーカースイッチ４６４のコイル４６６に流れ始め、これによってブレーカースイッチ４６４の接点を接続（短絡）する。ブレーカースイッチ４６４が短絡されると、ブレーカースイッチは電気的バイアスを内部スイッチに与えるので、内部スイッチ４６２の状態に関わらず電流がコイル４６６に流れ続ける。結果として、Ｔ字形導電体４６８はコイル４６６によって発生した起電力によってそこに維持され、それによってブレーカー４６４の接点を短絡状態に維持する。このように、ブレーカースイッチ４６４は電源４５０からの電力をビーコン４７０に供給し、ビーコンをオン状態に維持する。
【００２５】
本発明は説明のための実施例を参照して記載されてきたが、この記載は限定的に解釈されるものではない。本発明の他の実施例と同様に、記載された実施例の様々な変更例は、発明が関係する分野の当業者には明らかなものであり、特許請求の範囲で表現される発明の原理と範囲に含まれるものとみなされる。
【００２６】
発明の内部スイッチがシリコン／酸化シリコンＳＯＩウエハを背景として記載されてきたが、ゲルマニウム補完シリコンのような他の適切な材料を同様に用いてもよい。材料はこの技術でよく知られるように適切にドーピングしてもよい。例えば、導電性強化のための金属メッキによって又は機械的強度の強化のためのイオン注入によって種々の表面の変更を行ってもよい。異なる形で形成された電極、セグメント、梁、グリッド、パッド、線及び支持構造物を本発明の範囲と原理から逸脱することなく用いることもできる。スプリングは異なる形や大きさのものとしてもよい。ここで、用語「スプリング」は、歪められてから元の形を回復できる適切な弾性体を一般的に示すものである。等方性のスプリングを施すために、本発明の範囲と原理を逸脱することなく、異なるセグメント数を用いることもできる。
【００２７】
様々なタイプのビーコンを本発明のビーコン回路に用いてもよい。ここで、ビーコンは、ビーコン回路の対応する内部スイッチがトリガされたか否かを観測者が判断できるような適切な手段（電磁気的な放射・発光デバイスに限られない）であればよい。ビーコン回路は、内部スイッチの電極同士が最初の接触の後に離れる時、ビーコンをオン状態に維持するように設計されていても、されていなくてもよい。発明の種々のスイッチは、必要に応じて及び／又は当業者には明らかな他の回路とともにチップ上に配列されるようにしてもよいし、集積されるようにしてもよい。２以上の様々な方向に向けた本発明の内部スイッチをビーコン回路に内蔵して、回路が様々な方向に対する内力を検知できるようにしてもよい。
【００２８】
この明細書の記載おいて、ＭＥＭＳデバイスは、他方に対して相対的に移動するように適合された２以上の部品を備えるデバイスである。ここで、移動は、機械的、温度的、電気的、磁気的、光学的及び／又は化学的な相互作用のような適切な相互作用又はその組み合せに基づくものである。ＭＥＭＳデバイスは、（ナノ製作技術等の）微細又は小型製作技術を用いて製作される。当該技術は（１）例えば、単一層の自律組み立て、所望の化学物質に対して高い親和性を持つ化学コーティング、及び化学結合の生成と飽和等の自律組み立て技術、及び（２）例えば、リソグラフィー、化学蒸着、パターンニング及び物質選択性エッチング、並びに表面の処理、成形、メッキ及びテクスチャリング等を用いるウエハ／材料処理技術を含むがこれに限定されるものではない。ＭＥＭＳデバイスのある要素の縮尺や大きさは量子効果が出るようなものであればよい。ＭＥＭＳデバイスの例示として、限定されるものではないが、ＮＥＭＳ（ナノ電気機械システム）デバイス、ＭＯＥＭＳ（マイクロオプトマシンシステム）デバイス、マイクロマシン、マイクロシステム、及びマイクロシステム技術又はマイクロスステム集積を用いて作られるデバイス等がある。
【００２９】
本発明がＭＥＭＳデバイスの実施を背景に述べられてきたが、本発明は理論的にはマイクロスケールよりも大きいスケールを含むあらゆる大きさについて実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１Ａ、Ｂは本発明の一実施例による内部スイッチのそれぞれ上面図及び断面図である。
【図２】図２Ａ、Ｂは本発明の他の実施例による内部スイッチのそれぞれ上面図及び断面図である。
【図３】図３は、本発明の一実施例による図１及び２に示した内部スイッチの１つを用いることができるビーコン回路を示す図である。
【図４】図４は、本発明の他の実施例による図１及び２に示した内部スイッチの１つを用いることができるビーコン回路を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１００．内部スイッチ、  １１２．基体層、  １１４．酸化シリコン層、  １１６．上層、１２２．固定電極、  １２４．可動電極、  １２６．支持構造物、  １２８．スプリング、  １２８ａ−ｃ．螺旋セグメント、  １３０．接触パッド、  １３２．導電線、  １３４ａ、ｂ．配線、  １４０．ギャップ、  ２００．内部スイッチ、  ２１２．基体層、  ２１４．酸化シリコン層、  ２１６．上層、  ２２２．固定電極、  ２２４．可動電極、  ２２６．部分、  ２２８．スプリング、  ２２８ａ−ｃ．平面螺旋セグメント、  ２３４ａ、ｂ．配線、  ２４０．ギャップ、  ３００．ビーコン回路、  ３５０．電源、  ３６０．クロウバー回路、  ３６２．内部スイッチ、  ３７０．ビーコン、  ４００．ビーコン回路、  ４５０．電源、  ４６０．ブレーカー回路、  ４６２．内部スイッチ、  ４６４．ブレーカースイッチ、  ４６６．コイル、  ４６８．Ｔ字形導電体、  ４７０．ビーコン
【図１】
2006093114.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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