(57)【要約】【課題】  所定の性能を長時間にわたって維持することができる簡単な構造で、小型化可能なポンプシステムを提供する。【解決手段】  ポンプシステム１は、ダイアフラム１００を駆動することによって容積が変更可能なポンプ室５３，６３と、ポンプ室５３，６３に作動流体を流入する入口流路５２，６２と、ポンプ室５３，６３から作動流体を流出する出口流路５４，６４と少なくとも入口流路５２，６２を開閉する第１の流体抵抗要素としての弁体１１０，１１１と、を有するポンプ体２０，３０と、ポンプ体２０，３０に備えられたそれぞれの出口流路５４，６４が連通する合成出口流路７２と、を備えるポンプ１０と、合成出口流路７２の下流側に備えられる第２の流体抵抗要素としての流出流路７６、を備え、ポンプ体２０，３０が選択的に駆動される。【選択図】      図１
2006070895.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストンまたは可動壁を駆動することによって容積が変更可能なポンプ室と、該ポンプ室に作動流体を流入する入口流路と、前記ポンプ室から作動流体を流出する出口流路と少なくとも前記入口流路を開閉する第１の流体抵抗要素と、を有する複数のポンプ体と、前記複数のポンプ体に備えられたそれぞれの前記出口流路が連通する合成出口流路と、を備えるポンプと、
前記合成出口流路の下流側に備えられる第２の流体抵抗要素と、を備え、
前記複数のポンプ体が選択的に駆動されることを特徴とするポンプシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のポンプシステムにおいて、
前記ポンプ室に設けられる前記複数のポンプ体それぞれの性能を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づき前記複数のポンプ体を選択的に駆動する切換制御部と、
を備えていることを特徴とするポンプシステム。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のポンプシステムにおいて、
前記複数のポンプ体のうちの一つのポンプ体を駆動し、
前記検出部が、前記一つのポンプ体が所定の性能以下であることを検出すると、前記複数のポンプ体のうちの他のポンプ体を駆動することを特徴とするポンプシステム。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のポンプシステムにおいて、
前記検出部が、前記一つのポンプ体が所定の性能以下であることを検出すると、前記複数のポンプ体のうちの他のポンプ体を駆動し、前記他のポンプ体が所定の性能以下であることを検出すると、前記一つのポンプ体、または、さらに他のポンプ体を駆動することを特徴とするポンプシステム。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載のポンプシステムにおいて、
前記検出部が、前記ポンプ室の内部圧力を検出する圧力センサであることを特徴とするポンプシステム。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載のポンプシステムにおいて、
前記複数のポンプ体が、それぞれユニット化され、
前記合成出口流路を形成する出口流路管によって一体に構成されていることを特徴とするポンプシステム。
【請求項７】
請求項１に記載のポンプシステムにおいて、
前記作動流体が冷却媒体であり、前記第２の流体抵抗要素が受熱部であることを特徴とするポンプシステム。
【請求項８】
請求項１または請求項６に記載のポンプシステムにおいて、
前記受熱部と、該受熱部を経由した作動流体が、前記複数のポンプ体それぞれの入口流路に流入する流入流路と、を備え、前記冷却媒体が、前記複数のポンプ体のうちの駆動対象ポンプ体と前記受熱部と前記流入流路との間を循環することを特徴とするポンプシステム。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載のポンプシステムにおいて、
前記流入流路に放熱部を備えることを特徴とするポンプシステム。
【請求項１０】
請求項７または請求項９のいずれかに記載のポンプシステムにおいて、
前記冷却媒体が循環する流路のいずれかに温度検出部を備え、前記温度検出部の検出結果に基づき前記複数のポンプ体を選択的に駆動する切換制御部と、
を備えていることを特徴とするポンプシステム。
【請求項１１】
請求項７ないし請求項１０のいずれか一項に記載のポンプシステムにおいて、
前記温度検出部が、前記冷却媒体が循環する流路の少なくとも１箇所が所定の温度以上であることを検出すると、前記複数のポンプ体のうちの他のポンプ体を駆動し、前記他のポンプ体が所定の温度以上であることを検出すると、前記一つのポンプ体、または、さらに他のポンプ体を駆動することを特徴とするポンプシステム。
【請求項１２】
請求項７ないし請求項１１のいずれか一項に記載のポンプシステムにおいて、
前記ポンプ室の内部圧力を検出する検出部と、前記温度検出部、とを備え、
前記複数のポンプ体のうちの一つのポンプ体が、前記検出部または前記温度検出部のいずれか一方が、所定の圧力以下または所定の温度以上であることを検出すると、前記複数のポンプ体のうちの他のポンプ体を駆動し、前記他のポンプ体が所定の温度以上であることを検出すると、前記一つのポンプ体、または、さらに他のポンプ体を駆動することを特徴とするポンプシステム。
【請求項１３】
請求項１に記載のポンプシステムにおいて、
前記出口流路と前記第２の流体抵抗要素との間に、流体の脈流吸収要素を備えていることを特徴とするポンプシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，ピストンあるいはダイアフラム等の可動壁により、ポンプ室内の容積を変更して作動流体の移動を行うポンプシステムに関し、特に、小型高出力のポンプシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ピストンあるいはダイアフラム等により、容積が変更可能なポンプ室と、このポンプ室へ作動流体を流入させる入口流路と、ポンプ室から作動流体を流出させる出口流路とを備えたポンプにおいて、入口流路の合成イナータンス値は出口流路の合成イナータンス値よりも小さく、さらに、入口流路は、ポンプ室に作動流体が流入する場合の流体抵抗が、流出する場合の流体抵抗よりも小さくなる流体抵抗要素を備えているポンプが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、発熱部に固定された受熱ヘッドと、この受熱ヘッドに接続されるとともに、複数の循環路を有する冷却液チューブと、冷却チューブの循環路を選択する制御基板と、流路を切り換えるための流路切り換え部材と、受熱ヘッドとチューブの複数の循環路のうちの一つの経路を冷却させるポンプとを備え、循環路の温度を検出して循環路を選択して、ポンプから冷却液を選択された流路に流動させ、また、選択されない流路からの冷却液体の逆流を防止する逆流防止部材を備えた液冷システムが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３２２９８６号公報（第６頁、図１）
【特許文献２】特開２００３−２２１４８号公報（第３，４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような特許文献１のポンプでは、ポンプ室内に高い圧力を生じさせることで高出力化した、小型のポンプを提供している。しかし、ポンプ室内に気泡が滞留した場合には、ダイアフラムの変形によって生じるポンプ室の減少体積は、気泡の圧縮に使われて圧力上昇に寄与せず、ポンプ室内の圧力が低下し、ポンプからの作動流体の吐出量が減少する。最悪の場合はポンプ動作が不能になる。そのため、滞留した気泡は速やかに排除することが重要である。
【０００６】
また、特許文献２では、ポンプは、複数の循環路を備える液冷システムに用いられているが、循環路を選択するために、ポンプの外部に循環路を選択して流路を切り換えるための流路切り換え部材を備え、さらには、選択されない循環路に選択された循環路から冷却液を逆流させないための逆流防止部材を備えており、構造が複雑になる他、小型化できないというような課題がある。
【０００７】
本発明の目的は、所定の性能を長時間にわたって維持する簡単な構造で、小型化可能なポンプシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のポンプシステムは、前述の課題を解決するためになされるものであって、ピストンまたは可動壁を駆動することによって容積が変更可能なポンプ室と、該ポンプ室に作動流体を流入する入口流路と、前記ポンプ室から作動流体を流出する出口流路と少なくとも前記入口流路を開閉する第１の流体抵抗要素と、を有する複数のポンプ体と、前記複数のポンプ体に備えられたそれぞれの前記出口流路が連通する合成出口流路と、を備えるポンプと、前記合成出口流路の下流側に備えられる第２の流体抵抗要素と、を備え、前記複数のポンプ体が選択的に駆動されることを特徴とする。
ここで、第１の流体抵抗要素としては、例えば、流体を一方向のみに流動する逆止弁等が採用され、第２の流体抵抗要素としては、例えば、流体の流動抵抗を著しく高める細管や流動長さを長くするというものが採用される。
【０００９】
本発明によれば、前述のポンプは、複数のポンプ体を備え、それぞれのポンプ体から流出される作動流体を合流して流出する一本の合成出口流路を備えており、複数のポンプ体を選択的に駆動するため、状態のよいポンプ体を駆動することができるので、常に所定のポンプ性能を安定して維持することができる。
また、前述したように、ポンプ体はそれぞれが入口流路に第１の流体抵抗要素として逆止弁を備えており、また、合成出口流路の下流側に第２の流体抵抗要素を備えている。そのため、一つのポンプ体を駆動しているときには他のポンプ体の逆止弁が閉塞され、合成出口流路からそこに接続されている全てのポンプ体のポンプ室内に至る部分の流体の圧力は、駆動されているポンプ体からの流体の吐出によって高められる。このとき、駆動していないポンプ体のポンプ室内に滞留している気泡の体積は圧力によって減少するので、滞留気泡が存在するポンプ体を複数サイクル駆動することで、滞留気泡を排出することが可能である。このようにポンプ体を選択的に駆動することで、一つのポンプ体を駆動している間に他のポンプ体内の滞留気泡を排出し、性能を回復できる。
【００１０】
また、前述のポンプシステムでは、前記ポンプ室に設けられる前記複数のポンプ体それぞれの性能を検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づき前記複数のポンプ体を選択的に駆動する切換制御部と、を備えていることが好ましい。
【００１１】
このようにすれば、ポンプ室内の状態を検出し、その検出結果に基づき複数のポンプ体を選択的に駆動するので、常に、ポンプは所定の性能を維持することができる。
なお、この切り換えは、ポンプ室に設けられる検出部と、切換制御部を備えることで行なわれ、他に特別な切換部材等を備える必要はなく、簡単な構成のポンプシステムを提供することができる。
【００１２】
また、前述の構成では、前記複数のポンプ体のうちの一つのポンプ体を駆動し、前記検出部が、前記一つのポンプ体が所定の性能以下であることを検出すると、前記複数のポンプ体のうちの他のポンプ体を駆動することが好ましい。
【００１３】
このように、一つのポンプ体の性能が、ポンプ室内の滞留気泡等により所定の性能に達しないときには、そのポンプ体の駆動を停止し、他のポンプ体の駆動に切り換えるために、常に、ポンプは所定の性能を維持することができる。また、前述したように他のポンプ体を駆動している間に、他のポンプ体の前に駆動したポンプ体の性能を回復できる。
【００１４】
また、前記検出部が、前記一つのポンプ体が所定の性能以下であることを検出すると、前記複数のポンプ体のうちの他のポンプ体を駆動し、前記他のポンプ体が所定の性能以下であることを検出すると、前記一つのポンプ体、または、さらに他のポンプ体を駆動することが好ましい。
【００１５】
このようにすれば、複数のポンプ体の一つの性能を検出し、所定の性能に達していないときには、順次ポンプ体を切り換えて駆動するため、常に、ポンプは所定の性能を維持することができる。
また、前述したように、他のポンプ体を駆動している間に、他のポンプ体の前に駆動したポンプ体の性能が復帰されるために、ポンプ体は、その復帰サイクルに合わせた数だけ用意すればよく、少ない数量でポンプの性能を維持することができる。
【００１６】
また、前記検出部が、前記ポンプ室の内部圧力を検出する圧力センサであることが好ましい。
【００１７】
本発明のポンプは、前述したようにピストンまたは可動壁を駆動することによって容積が変更可能なポンプ室を備えている。従って、作動流体がポンプ室内に流入される際には、ポンプ室内の圧力が低下し、作動流体が流出される際には、ポンプ室内の圧力が高められる構造であるために、ポンプ室内の圧力を検出することで所定のポンプ性能が維持されているかを検出することができるので、この内部圧力の検出結果に基づきポンプ体を選択的に駆動すれば、ポンプは所定の性能を維持することができる。
【００１８】
さらに、前記複数のポンプ体が、それぞれユニット化され、前記合成出口流路を形成する出口流路管によって一体に構成されていることが好ましい。
【００１９】
このような構造によれば、作動流体を流入、流出するポンプ機能を備えるポンプ体が、それぞれユニット化され、合成出口流路を有する出口流路管によって一体に構成されるので、所望の性能に応じてポンプ体との接続形状を適宜形成すれば、適切な数のポンプ体の構成を任意に選択してポンプシステムを構成することができる。
【００２０】
また、本発明のポンプシステムの構成としては、前記作動流体が冷却媒体であり、前記第２の流体抵抗要素が受熱部であることが好ましい。
ここで、受熱部としては、例えば、発熱体から熱を冷却媒体に伝達する部材であり、詳しくは後述するが、受熱部は細管で構成されているため、前述した第２の流体抵抗要素を兼ねている。即ち、このポンプシステムは、ポンプを用いた冷却装置を示している。
【００２１】
従って、このポンプシステムは、第２の流体抵抗要素として受熱部を備えているので、前述したように、駆動しているポンプ体によって、駆動していないポンプ体のポンプ室内の圧力が高められており、ポンプ室に滞留気泡が存在する場合には排出し、性能を回復させることが可能である。また、順次ポンプ体を切り換えて駆動することができるので、ポンプの性能を長時間にわたって維持することができ、冷却装置として、充分な性能を提供することができる。
【００２２】
また、前述のポンプシステムが、前記受熱部と、該受熱部を経由した作動流体が前記複数のポンプ体それぞれの入口流路に流入する流入流路と、を備え、前記冷却媒体が、前記複数のポンプ体のうちの駆動対象ポンプ体と前記受熱部と前記流入流路との間を循環することが好ましい。
【００２３】
この構造によれば、複数のポンプ体に共通な受熱部から熱を伝達された作動流体が、流入流路を流通する過程で冷却されて、駆動対象ポンプ体に流入されて受熱部との間を循環するが、前述したように、このポンプ体を順次切り換えて駆動するために、常に、最適な作動流体の流通を行なうことができる。
【００２４】
さらに、前記流入流路に放熱部を備えることが好ましい。
放熱部としては、例えば、流入流路をＵ字状の管を連続して流路を長くすることや、熱伝導率が高い金属性の放熱板と組み合わせる構造を採用することができる。
【００２５】
このように、受熱部から熱が伝達された作動流体を放熱部で放熱冷却し、冷却された作動流体を再度受熱部に流動するので、効率のよい冷却装置を提供することができる。
【００２６】
また、このポンプシステムは、前記冷却媒体が循環する流路のいずれかに温度検出部を備え、前記温度検出部の検出結果に基づき前記複数のポンプ体を選択的に駆動する切換制御部と、を備えていることが好ましい。
ここで、温度検出部としては、例えば、サーミスタ等の温度センサを採用することができる。
【００２７】
このようにすれば、冷却媒体が循環する流路に温度検出部を備えており、この温度検出部により前述の流路の温度を測定して駆動すべきポンプ体を選択して駆動するため、一層効率的な受熱部の冷却を行なうことができる。
【００２８】
また、前記温度検出部が、前記冷却媒体が循環する流路の少なくとも１箇所が所定の温度以上であることを検出すると、前記複数のポンプ体のうちの他のポンプ体を駆動し、前記他のポンプ体が所定の温度以上であることを検出すると、前記一つのポンプ体、または、さらに他のポンプ体を駆動することが好ましい。
【００２９】
前述の構造によれば、温度検出部によって冷却媒体が循環する流路が所定の温度以上であると検出したときには、駆動中のポンプ体が必要な流量の冷却媒体を流動していないと判断し、他のポンプ体に切り換えて駆動するため、冷却媒体を安定して循環することができる。また、前述したように他のポンプ体を駆動している間に、他のポンプ体の前に駆動したポンプ体の性能を回復できる。更に、このようにポンプ体を切り換えることで冷却媒体の循環流路が切り替わり、十分に冷えている放熱部を用いて放熱できるため、放熱効率を向上させることが可能である。
【００３０】
さらに、前記ポンプ室の内部圧力を検出する検出部と、前記温度検出部、とを備え、前記複数のポンプ体のうちの一つのポンプ体が、前記検出部または前記温度検出部のいずれか一方が、所定の圧力以下または所定の温度以上であることを検出すると、前記複数のポンプ体のうちの他のポンプ体を駆動し、前記他のポンプ体が所定の温度以上であることを検出すると、前記一つのポンプ体、または、さらに他のポンプ体を駆動することが好ましい。
【００３１】
本発明のポンプは、前述したように、作動流体をポンプ室内に流入される際には、ポンプ室内の圧力が低下し、作動流体が流出される際には、ポンプ室内の圧力が高まる構造であるために、ポンプ室内の圧力を検出することで所定のポンプ性能が維持されているかを検出することができるので、このポンプ室の内部圧力の検出結果に基づきポンプ体を選択的に駆動すれば、ポンプは所定の性能を維持することができる。
【００３２】
また、冷却媒体が循環する流路に温度検出部を備えており、温度検出部が冷却媒体が循環する流路が所定の温度以上であると検出したときには、駆動中のポンプ体が必要な流量の冷却媒体を流動していないと判断し、駆動すべきポンプ体を選択して駆動するため、一層効率的な受熱部の冷却を行なうことができる。
【００３３】
このように、ポンプ室の内部圧力を検出する検出部と作動流体の循環流路の温度検出を行なう温度検出部とを併せ持ち、圧力と温度両方から、適切なポンプ体を選択して駆動するために、所定のポンプ性能を長時間にわたって維持するポンプシステムを提供することができる。
【００３４】
さらに、前記出口流路と前記第２の流体抵抗要素との間に、流体の脈流吸収要素を備えていることが好ましい。
ここで、脈流吸収要素としては、詳しくは後述するが、例えば、出口流路と第２の流体抵抗要素との間にポンプ室内の圧力で可動する薄肉部を設ける構造を採用できる。
【００３５】
出口流路と第２の流体抵抗要素との間、つまり、合成出口流路の範囲内に脈流吸収要素を設けることにより、ポンプの圧力脈動を吸収し、複数存在するポンプ体のうちの駆動していないポンプ体のポンプ室内の圧力が、脈動を少なく上昇させることができる。このようにすることで、ポンプ室内の滞留気泡排出効果を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４は本発明の実施形態１のポンプシステムが示され、図５には実施形態２、図６には実施形態３、図７〜図１０には実施形態４、図１１には実施形態５が示されている。
（実施形態１）
【００３７】
図１〜図４は実施形態１のポンプシステムが示されている。
図１は、本実施形態１のポンプシステム１の断面図が示されている。図１（ａ）において、ポンプシステム１は、基本構成として、ポンプ体２０とポンプ体３０とを有するポンプ１０と、合成出口流路７２に接続される第２の流体抵抗要素としての流出流路７６が開設された流出管７５とから構成されている。
【００３８】
ポンプ１０は、ケース４０と蓋体５０とを一体に固着されることにより構成され、二つのポンプ体２０及び３０を備えている。ポンプ体２０と３０とは同じ構成、同じ形状で形成されている。ポンプ体２０から説明すると、ケース４０には、積層型圧電素子８０が装着される圧電素子装着部４３が穿たれ、底部４４に積層型圧電素子８０の一方の端部が固着されている。また、ポンプ体３０も同様に、ケース４０には、積層型圧電素子８１が装着される圧電素子装着部４１が穿たれ、底部４２に積層型圧電素子８１の一方の端部が固着されている。
【００３９】
ケース４０の上面４５には、可動壁としてのダイアフラム１００が載置されて密着固着されている。ダイアフラム１００の下面は、前述した積層型圧電素子８０，８１の他方の端部が固着されている。このような状態において、蓋体５０がダイアフラム１００の上面に載置され密着固定される。こうしてケース４０と蓋体５０とが一体に固着されポンプ１０が構成されている。
【００４０】
蓋体５０には、ケース４０方向から管状の入口接続管６１，５１と、入口接続管６１，５１の中間に流出接続管７１が突設されており、入口接続管６１には入口流路６２が開設され、入口接続管５１には入口流路５２が開設され、流出接続管７１には合成出口流路７２が開設されている。入口流路６２は積層型圧電素子８０に対向した位置、入口流路５２は積層型圧電素子８１に対向した位置に設けられている。これら入口流路６２と入口流路５２の積層型圧電素子側の端部は、断面積が減縮された弁孔６５及び弁孔５５が形成され、弾性を有する弁体１１０，１１１のそれぞれの周縁部が前記弁孔６５，５５の周縁に固着されている。
【００４１】
この弁体１１０及び弁体１１１とダイアフラム１００との間に構成された空間がポンプ室６３とポンプ室５３とされる。ポンプ室６３とポンプ室５３からは、それぞれ溝状の出口流路６４と出口流路５４とが延出されて流出接続管７１に開設された合成出口流路７２に連通している。弁体１１０，１１１は、積層型圧電素子８０，８１の伸縮運動によって、弁孔６５，５５を開閉する第１の流体抵抗要素としての逆止弁を構成している。即ち、積層型圧電素子が収縮したときには、ダイアフラムを吸引してポンプ室の容積を大きくし、伸張したときには、ダイアフラムを押し上げてポンプ室の容積を小さくする。
【００４２】
ポンプ室の容積を大きくしたときには、ポンプ室内の圧力が減少するために、弁体がポンプ室側に撓み、弁孔を開放し、作動流体が、入口流路からポンプ室内に流入する。逆にポンプ室の容積を減縮したときには、ポンプ室内の圧力が増大し、弁体によって弁孔が閉塞されて作動流体は、ポンプ室内への流入を閉塞され、出口流路へ流出される。
【００４３】
流出接続管７１の先端部には、流出管７５が接続されており、この流出管７５には合成出口流路７２から連続する流出流路７６と、流出口７７が設けられている。流出流路７６は合成出口流路７２よりも断面積が減縮されている。この流出流路７６は、合成出口流路７２に比べて断面積が著しく小さく設定されているので、第２の流体抵抗要素となる。
【００４４】
ポンプ室６３及びポンプ室５３の上部の壁にはポンプ室内の圧力を検出するための検出部としての圧力センサ９０，９１が設けられ、図示しないリード線等でポンプ外部に備えられる圧力検出回路１２２（図４、参照）に接続されている。
【００４５】
なお、入口接続管６１，５１は、それぞれ図示しない外部配管に接続され、作動流体を入口流路６２，５２に供給する。
また、前述した積層型圧電素子８０，８１は、やはり図示しないリード線によって切換制御部としての切換回路１２１（図４、参照）に接続されている。
【００４６】
前述した流体抵抗要素としての流出流路７６は、様々な形態を採用することができる。
図１（ｂ）は、流出流路の変形例を示す部分断面図である。流出接続管７１に接続される流出管７５には、流出口７７に向かって途中から略Ｕ字形状の管を連続したＵ字管部７８が形成され、中央に開設される流出流路７９は、図１（ａ）において示した流出流路７６に比べ、流路が遙かに長くなっており、作動流体が流動する際の流体抵抗を大きくしている。また、以上の構成において、各ポンプ体における入口流路から弁体までのイナータンス値は、出口流路のイナータンス値より小さくなっている。
【００４７】
次に、ポンプの基本動作について説明する。ポンプ１０は、ポンプ体２０，３０を備えているが、ポンプ体２０，３０とは同じ動作をするので、ポンプ体２０を例示して動作を説明する。
図２は、ダイアフラム１００の変位とゲージ圧で示したポンプ室６３内の圧力の波形を示す。なお、ダイアフラム１００の変位は、図１において示したように、圧電素子装着部４３の壁の周縁部に固着される範囲内における変位を示している。図２では、ポンプ体の負荷圧力を１．５気圧として運転し、吐出量が多い状態のときのダイアフラム１００の変位（μｍ）、ゲージ圧で示したポンプ室６３内の圧力（ａｔｍ）の変化の波形を示している。
【００４８】
積層型圧電素子８０に交流電圧が供給されることによって、ダイアフラム１００が振動し、ポンプ室６３の容積が連続的に変化する。
【００４９】
図２に示すダイアフラム変位波形において、波形の傾きが正の領域は積層型圧電素子８０が伸びてポンプ室６３の容積が減少している過程である。一方、波形の傾きが負の領域は積層型圧電素子８０が縮んでポンプ室６３の容積が増大している過程である。ポンプ室６３内圧力は、ポンプ室６３の容積減少過程が始まると、圧力上昇が始まる。そして、後述する理由によって、この容積減少過程が終了する前に、圧力は最大値を迎え減少し始める。さらに、ポンプ室６３の容積減少過程が始まると、引き続き圧力は減少しつづけ、この容積減少過程の途中でポンプ室内に真空状態が発生し、ゲージ圧で−１気圧、絶対圧で０気圧の一定値となる。
この時の入口流路６２、出口流路６４における流量の関係について図３を参照して説明する。
【００５０】
図３は、入口流路６２、出口流路６４における流量の波形を示している。図３において、ポンプを運転した時に順方向（負荷方向）へ流れる流量をグラフ上で正方向としている。なお、詳しくは後述するが、積層型圧電素子８０が駆動しているときには、積層型圧電素子８１は駆動停止の状態であるため、弁体は入口流路５２を閉塞しているため（図１、参照）、出口流路６４の流量は合成出口流路の流量と等しい。
【００５１】
出口流路６４の流量は、ポンプ室６３内圧力が上昇し負荷圧力を上回ると、増加し始める。そしてポンプ室６３内の作動流体が出口流路６４から流出し始め、流出量がダイアフラム１００の変位によるポンプ室６３の容積減少量を上回るポイントで、ポンプ室６３内圧力は減少し始める。ポンプ室６３内圧力が減少し負荷圧力よりも低下すると、出口流路６４の流量は減少し始める。一方、入口流路６２では、ポンプ室６３内圧力が大気圧よりも減少すると、その圧力差によって弁体１１０が開き、流量が増加し始める。また、ポンプ室６３内の圧力は上昇し大気圧よりも増加すると、減少し始める。
【００５２】
このようにして、積層型圧電素子８０を駆動することにより、入口流路６２から作動流体をポンプ室６３内に流入し、出口流路６４へ移動し、合成出口流路７２を経て流出口７７から吐出させる。ポンプ体３０も同様な動作を行なうが、ポンプ体３０を駆動するときには、ポンプ体２０は停止しているので、弁体１１０は入口流路６２を閉塞するため、作動流体は、入口流路５２からポンプ室５３内に流入され、出口流路５４、合成出口流路７２を経て流出口７７から吐出される。
ポンプ体２０とポンプ体３０との切換制御については、図４を参照して説明する。図１も参照して説明する。
【００５３】
図４は、本実施形態１のポンプシステムのシステム構成を示すブロック図である。図１も参照して説明する。図１、図４において、ポンプシステム１は、ポンプ１０の駆動全体を制御する駆動制御部１２０とポンプ体２０とポンプ体３０との駆動状態を切り換える切換制御部としての切換回路１２１と、ポンプ体２０，３０それぞれのポンプ室６３，５３内部に備えられる圧力センサ９０，９１の圧力検出制御を行なう圧力検出回路１２２とから構成されている。
【００５４】
続いて、ポンプの運転、特にポンプ体２０と３０との切り換え動作について説明する。まず、ポンプ体２０を駆動している状態から説明する。ポンプ体２０を連続して運転すると、作動流体中に含まれる僅かな気体がポンプ室６３内に徐々に滞留して気泡を形成することが考えられる。ポンプ室６３内に気泡が形成されると、ポンプ室６３内の圧力が所定の圧力まで達しない。このような状態になると、ポンプ体２０を駆動しても作動流体の流動量が減少してしまい、所定のポンプ性能が得られなくなる。ポンプ室６３内には圧力センサ９０が備えられており、圧力センサ９０でポンプ室６３内の圧力を検出して、圧力検出回路１２２によって、所定の圧力よりも小さくなったと判断したときに、切換回路１２１を切り換え、ポンプ体２０を停止し、ポンプ体３０の駆動に切り換える。
【００５５】
合成出口流路７２の端部には流体抵抗要素としての流出流路７６が備えられているため、ポンプ体３０を駆動している際に、ポンプ室５３、合成出口流路７２及びポンプ室６３内の圧力は高められた状態となっており、ポンプ室６３内の気泡は容積を縮小されているため積層型圧電素子８０の駆動によりポンプ室６３内圧力が十分に上昇可能になっている。この状態の時にポンプ体２０を複数サイクル駆動し滞留気泡を排出しておく。
ポンプ体３０を駆動し続けると、前述したポンプ体２０と同様にポンプ室５３内に気泡が滞留して、圧力が低下してくることが考えられる。
【００５６】
このような場合においても、圧力センサ９１でポンプ室内の圧力を検出して、所定の圧力よりも小さくなった場合には、再度ポンプ体２０の駆動に切り換える。ポンプ体２０は、前述したように、ポンプ体３０を駆動している間にポンプ室６３内の滞留気泡を排出しているため、すぐに駆動開始できる状態になっている。
【００５７】
駆動しているポンプ体のポンプ室内の圧力を検出すると同時に、駆動していないポンプ体のポンプ室内の圧力も検出すれば、それぞれのポンプ室内の圧力を検出することで、どちらのポンプ体を駆動すればよいかを判断して切り換えることもできる。
【００５８】
なお、前述した本実施形態１では、ポンプ１０は、ポンプ体が二つ備えられている例について説明したが、ポンプ体は、二つに限定されるものではない。
例えば、図示しないが、ポンプ体を三つ備えることもできる。このような場合、最初に駆動していたポンプ体の圧力が低下したとき、別のポンプ体を駆動し、このポンプ体の圧力が低下したときには、さらに次のポンプ体の駆動に順次切り換える。または、最初に駆動していたポンプ体の圧力が復帰していると検出した場合には、再度、最初のポンプ体の駆動に切り換える制御システムとしてもよい。
【００５９】
さらには、複数備えられたポンプ体の中から最も適切な圧力状態にあるポンプ体を選択して切り換えて駆動する制御システムとすることができる。
【００６０】
従って、前述した実施形態１によれば、ポンプ１０は、二つのポンプ体２０，３０を備え、それぞれのポンプ体から流出される一本の合成出口流路７２を備えており、複数のポンプ体を順次切り換えて駆動するため、状態のよいポンプ体を選択的に駆動することができるので、常に所定のポンプ性能を安定して維持することができる。
また、前述したように、ポンプ体はそれぞれが第１の流体抵抗要素として逆止弁を備えており、ポンプ体２０を駆動しているときには、ポンプ体３０側の逆止弁が閉塞され、また合成出口流路７２の下流側には第２の流体抵抗要素としての流出流路７６を備えているため、駆動していないポンプ体３０のポンプ室内の圧力は高められ、ポンプ室６３に滞留気泡が存在していたとしても、それを排出することができ、ポンプ体の切り換えをしても直ちに駆動開始することができる。
【００６１】
また、ポンプ室６３及び５３の内部圧力を検出する圧力センサ９０，９１を備え、その検出結果に基づき適切な圧力状態にあるポンプ体２０またはポンプ体３０に切り換えて駆動するので、常に、ポンプ１０は所定の性能を維持することができる。
なお、この切り換えは、ポンプ室６３，５３に設けられる圧力センサ９０，９１と、切換回路１２１を備えることで行なわれ、特別な切換部材等を備える必要はなく、簡単な構成のポンプシステム１を提供することができる。
【００６２】
前述したように、ポンプ体の一つを駆動している間に、このポンプ体の前に駆動したポンプ体の性能が復帰されるために、ポンプ体は、その復帰サイクルに合わせた数だけ用意すればよく、少ない数量でポンプの性能を維持することができる。
【００６３】
さらに、このポンプシステム１は、複数のポンプ体を備えることができるので、高いポンプ性能が要求される場合においても、複数のポンプ体のうちの幾つかのポンプ体を同時に駆動し、ポンプ室内の圧力が低下したときには、他の複数のポンプ体に駆動を切り換えることができ、所望される作動流体の流量に合わせて組み合わせを選択することによって、多様な要求にこたえることができるという効果がある。
（実施形態２）
【００６４】
続いて、本発明のポンプシステムに係る実施形態２について図面に基づき説明する。実施形態２は、前述した実施形態１（図１、参照）のポンプ体をそれぞれ単独のポンプ体にユニットしていることに特徴を有している。
図５は、本実施形態２に係るポンプシステムを示す断面図である。図５において、本実施形態２のポンプシステム１は、ポンプ体２０と、ポンプ体３０と、ポンプ体２０，３０を接続する出口流路管１７５とから構成されている。
【００６５】
ポンプ体２０は、ケース１４０Ａと蓋体１５０Ａとを一体に固着されることにより構成されている。ケース１４０Ａには、積層型圧電素子８０が装着される圧電素子装着部１４３が穿たれ、底部１４４に積層型圧電素子８０の一方の端部が固着されている。
ケース１４０Ａの上面側には、ダイアフラム１００Ａが固定される凹部が設けられ、ダイアフラム１００Ａが載置されて周縁部が密着固着されている。ダイアフラム１００Ａの下面は、前述した積層型圧電素子８０の他方の端部に固着されている。このような状態において、蓋体１５０Ａがケース１４０Ａの上面縁に密着固定され、一体にユニット化されている。
【００６６】
蓋体１５０Ａには、ケース１４０Ａ方向から管状の入口接続管１６１が突設されており、入口接続管１６１には入口流路１６２が開設されている。入口流路１６２の積層型圧電素子側の端部は、断面積が減縮された弁孔１６５が形成され、弾性を有する弁体１１０の周縁部が前記弁孔１６５周縁に固着されている。これら弁孔１６５と弁体１１０とから逆止弁が構成され、この逆止弁が第１の流体抵抗要素である。
【００６７】
この弁体１１０とダイアフラム１００Ａとの間に形成された空間がポンプ室１６３である。ポンプ室１６３からは、出口流路１６４が延出されている。弁体１１０は、積層型圧電素子８０の伸縮運動によって弁孔１６５を開閉する。即ち、積層型圧電素子８０が収縮したときには、ダイアフラム１００Ａを吸引してポンプ室１６３の容積を大きくし、伸張したときには、ダイアフラム１００Ａを押し圧してポンプ室１６３の容積を小さくする。
【００６８】
ポンプ室１６３の容積を大きくしたときには、ポンプ室１６３内の圧力が減少するために、弁体１１０がポンプ室１６３側に撓み、弁孔１６５を開放し、作動流体が、入口流路１６２からポンプ室１６３内に流入する。逆にポンプ室１６３の容積を減縮したときには、ポンプ室１６３内の圧力が増大し、弁体１１０によって弁孔１６５が閉塞されて作動流体は、ポンプ室１６３から出口流路１６４に流出される。
【００６９】
ポンプ体３０は、ポンプ体２０と同じ構成と同じ形状をしており、ケース１４０Ｂと蓋体１５０Ｂとを一体に固着されることにより構成されている。ケース１４０Ｂには、積層型圧電素子８１が装着される圧電素子装着部１４１が穿たれ、底部１４２に積層型圧電素子８１の一方の端部が固着されている。
ケース１４０Ｂの上面側には、ダイアフラム１００Ｂが固定される凹部が設けられ、ダイアフラム１００Ｂが載置されて周縁部が密着固着されている。ダイアフラム１００Ｂの下面は、前述した積層型圧電素子８１の他方の端部に固着されている。このような状態において、蓋体１５０Ｂがケース１４０Ｂの上面縁に密着固定され、一体にユニット化されている。
【００７０】
蓋体１５０Ｂには、ケース１４０Ｂ方向から管状の入口接続管１５１が突設されており、入口接続管１５１には入口流路１５２が開設されている。入口流路１５２の積層型圧電素子側の端部は、断面積が減縮された弁孔１５５が形成され、弾性を有する弁体１１１の周縁部が前記弁孔１５５周縁に固着されている。これら弁孔１５５と弁体１１１とから逆止弁が構成され、この逆止弁が第１の流体抵抗要素である。
【００７１】
この弁体１１１とダイアフラム１００Ｂとの間に形成された空間がポンプ室１５３である。ポンプ室１５３からは、出口流路１５４が延出されている。弁体１１１は、積層型圧電素子８１の伸縮運動によって弁孔１５５を開閉する。
ポンプ体３０の動作は、前述したポンプ体２０の動作と同じであるため説明を省略する。
ポンプ体２０とポンプ体３０とは、出口流路管１７５によって接続されている。
【００７２】
出口流路管１７５は、略Ｔ字型の管であり、ポンプ体２０から突設されている出口流路管部１６６と、ポンプ体３０から突設されている出口流路管部１５６と、が、それぞれ接続される接続管部１７３，１７４が直線的に設けられ、出口流路１６４，１５４が出口流路１７２Ａに連通している。
【００７３】
さらに、出口流路１７２Ａは、直交する合成出口流路１７２Ｂに連通し、その流出口方向に向かって途中から断面積が減縮された流出流路１７６に連通している。この流出流路１７６が第２の流体抵抗要素である。
【００７４】
ポンプ体２０及び３０のそれぞれのポンプ室１６３，１５３内には、検出素子としての圧力センサ９０，９１が備えられている。
【００７５】
このようにして、それぞれユニット化されたポンプ体２０及びポンプ体３０が、出口流路管１７５によって接続されてポンプシステム１が構成されている。
このポンプシステム１の駆動制御及び駆動切換動作は、前述した実施形態１と同じであるため説明を省略する。
【００７６】
また、前述した実施形態２では、ポンプ体は２個備えられている構造を例示したが、ポンプ体の数は、２個に限らない。例えば、ポンプ体を３個使用する場合には、略同じポンプ体を３個準備し、出口流路管１７５のポンプ体との接続管部を３方向に延出させて接続することができる。
【００７７】
従って、前述した実施形態２によれば、作動流体を流入、流出するポンプ機能をそれぞれが備えるポンプ体２０，３０が、それぞれユニット化され、出口流路１７２Ａ、合成出口流路１７２Ｂを有する出口流路管１７５によって一体に構成されるので、簡単な構造のポンプ体を必要な数用意し、出口流路管１７５をポンプ体の数に対応した形状にすれば、適切な数のポンプ体の構成を任意に選択してポンプを構成することができる。このような構造によれば、ポンプ性能に応じたポンプシステムを容易に提供することができる。
（実施形態３）
【００７８】
次に、本発明に係る実施形態３のポンプシステムについて図に基づき説明する。実施形態３は、前述した実施形態１の構造を基本に、ダイアフラムをポンプ体それぞれに独立して備えたことに特徴を有している。他の構成は実施形態１と同じであるため、説明を省略し、同じ符号を附与している。
図６は、実施形態３のポンプシステムを示す断面図である。図６において、ケース４０に設けられた圧電素子装着部４３，４１に積層型圧電素子８０，８１がそれぞれ装着されている。
【００７９】
圧電素子装着部４３，４１の開口部は、ケース４０の上面４５から積層型圧電素子の厚み分だけ掘り下げられた凹部が形成され、この凹部の周縁にダイアフラム１００Ａ，１００Ｂが固着され、さらに、ダイアフラム１００Ａ，１００Ｂと積層型圧電素子８０，８１の端部とが固着されている。
【００８０】
従って、実施形態３によれば、ケース４０内に装着される積層型圧電素子８０，８１に対応してダイアフラム１００Ａ，１００Ｂが備えられているので、各ポンプ体に最適なダイアフラムの直径、厚みを選択することができ、そのことにより所望のポンプ性能が得られ易くなるという効果がある。
また、ポンプ体２０とポンプ体３０の性能を変更する仕様の場合には、それぞれに合ったポンプ性能を得ることができる。
（実施形態４）
【００８１】
続いて、本発明に係る実施形態４のポンプシステムについて図面に基づき説明する。実施形態４は、前述した実施形態のポンプシステムの構成を基本にして、冷却装置としてのポンプシステム２００を例示している。
【００８２】
図７は、実施形態４に係る冷却装置としてのポンプシステムを示す正面図（一部が断面図）である。ポンプ１０の構成は、実施形態１（図１、参照）と同じであるため説明を省略し、同じ符号を附与している。図７において、流出接続管７１に接続された流出管７５は、先端部が受熱部２５０に接続されている。受熱部２５０の内部には、流出流路７６に連通する冷却流路（図９、参照）が形成されて、作動流体としての冷却媒体が流動される。受熱部２５０からは、冷却媒体流出路２０１が接続されており、この冷却媒体流出路２０１は二又に分岐され、一方は、ポンプ体２０の入口流路６２に連通し、他方は、ポンプ体３０の入口流路５２に連通している。
【００８３】
冷却媒体流出路２０１と入口流路６２，５２との間のそれぞれの流路には、放熱部２０５が備えられている。放熱部２０５は、略Ｕ字の管を連続して形成される流入流路としての放熱流路２０３と、放熱流路２０３の外郭と接触する放熱板２０６とから構成され、受熱部２５０から吸熱した冷却媒体は、この放熱部２０５で放熱冷却されて、ポンプ体２０，３０それぞれの入口流路６２，５２に流入される。このポンプシステム２００は、前述した実施形態１〜３と同様に、ポンプ体２０またはポンプ体３０のいずれか一方を駆動し、そのポンプ体のポンプ性能が低下したときに他方のポンプ体を駆動するというシステムを有している。
受熱部２５０は、発熱体と冷却流路とから構成されている。
【００８４】
図８には、受熱部２５０を外観視した部分斜視図が示され、図９には断面図が示されている。本実施形態４では、発熱体としての集積回路の冷却を例に説明する。図８、図９において、受熱部２５０には、基板２５１にクーラー・チップ２５５が固着されている。基板２５１には、流出流路７６から冷却媒体流出路２０１に連通する冷却流路２５２が開設されており、クーラー・チップ２５５にも冷却流路２５２が連通している。クーラー・チップ２５５の上面には、発熱体としての集積回路（ＬＳＩチップ）２６０が固着され、集積回路２６０の熱は、クーラー・チップ２５５に伝達され、冷却媒体によって冷却する。集積回路２６０から熱を伝達された冷却媒体は、放熱部２０５で冷却されポンプ体２０またはポンプ体３０に流入され、再び冷却流路２５２に流出されるという循環を行なっている。
【００８５】
実施形態４においては、集積回路２６０の冷却を目的とした冷却装置としてのポンプシステムを例示したが、このような場合、図示しないが、冷却流路２５２の大きさは、幅５０μｍ、ピッチ１００μｍ、深さ２００μｍ程度の流路を複数連通しているので、合成出口流路７２よりも遥かに断面積が小さいため、第２の流体抵抗要素となっている。
【００８６】
クーラー・チップの上面の集積回路２６０の近傍には、温度検出部としてのサーミスタ等の温度センサ２７０が固定されて、クーラー・チップ２５５の表面温度を検出している。このことは、集積回路２６０の温度を間接的に検出していることを意味する。温度センサ２７０は、予め適正な温度範囲が設定されており、ポンプが所定の条件下で駆動され、冷却媒体が適正流量で流動している場合には、この温度範囲内に維持されるように設計されている。従って、温度センサ２７０がこの温度範囲以上に高温になっていることを検出したときには、ポンプ性能が低下し、冷却媒体が所定流量以下になっていると判断し、別のポンプ体に駆動を切り換える。
【００８７】
図１０は、冷却装置としてのポンプシステム２００のシステム構成を示すブロック図である。図１０において、ポンプシステム２００は、ポンプの駆動全体を制御する駆動制御部１２０とポンプ体２０とポンプ体３０との駆動を切り換える切換制御部としての切換回路１２１と、ポンプ体２０，３０それぞれのポンプ室６３，５３内部に備えられる圧力センサ９０，９１の圧力検出制御を行なう圧力検出回路１２２と、受熱部２５０に備えられる温度センサ２７０の検出温度と所定の設定温度との比較をする温度検出制御回路２８０から構成されている。
【００８８】
図１０では、ポンプ体２０が駆動していることを示している。温度センサ２７０によって所定温度以上であることを検出すると切換回路１２１がポンプ体３０の駆動に切り換える。ポンプ体３０の駆動中に所定温度以上であることを検出すると、再びポンプ体２０の駆動に切り換える。こうして、所定温度以下のポンプ体の駆動に順次切り換えることで、冷却媒体の所定流量を維持するとともに、実施形態１にて説明したように性能が低下したポンプ体のポンプ室内部に滞留している気泡を排出し性能を回復させておくことができる。更に、このようにポンプ体を切り換えることで冷却媒体の循環流路が切り替わり、十分に冷えている放熱部を用いて放熱できるため、放熱効率を向上させることも可能である。
【００８９】
ここで、冷却媒体が所定流量を流動することができなくなるということは、前述した実施形態１で説明したように、ポンプ室内に気泡等が滞留して、ポンプ室内の圧力が低下していることが考えられる。ポンプ室内には、圧力センサ９０，９１が備えられているために、ポンプ室内の圧力が所定の圧力より低下したと検出すると、ポンプ体の駆動を切り換える。
【００９０】
このように、実施形態４では、受熱部２５０に温度センサ２７０を備え、また、ポンプ室内には圧力センサを備え、どちらか一方が所定の温度以上になるか、所定の圧力以下になったと検出した場合には、ポンプ体の駆動を切り換えるというシステム構成にしている。
【００９１】
なお、実施形態４においても、ポンプ体の数は２個に限らずもっと増やすことができる。また、温度センサ２７０は、受熱部２５０に配置する他、放熱部２０５や、ポンプ体２０，３０等、冷却媒体の流路のいずれかに一つまたは複数個備えることができる。
【００９２】
従って、前述した実施形態４によれば、このポンプシステムは、第２の流体抵抗要素としての受熱部２５０と、ポンプ室内に圧力センサ９０，９１を備えているので、前述した実施形態１と同様な効果を得ることができる。これらのことから、ポンプの性能を長時間にわたって維持することができるので、冷却装置として、充分な冷却性能を提供することができる。
【００９３】
また、ポンプ体２０，３０に共通な受熱部２５０から熱を伝達された冷却媒体が、放熱流路２０３を流通する過程で冷却されて、駆動対象ポンプ体に流入され、受熱部２５０との間の循環を繰り返し、しかも、ポンプ体２０，３０を順次切り換えて駆動するために、常に、最適な状態、充分な量の冷却媒体の流通を行なうことができる。さらに、受熱部２５０に温度センサ２７０を備えており、この温度センサ２７０により受熱部２５０の温度を測定して駆動すべきポンプ体を選択して駆動するため、一層効率的な受熱部２５０の冷却を行なうことができる。
【００９４】
さらに、ポンプ室内には圧力センサ９０，９１を備えており、ポンプ室内の圧力を検出することで所定のポンプ性能が維持されているかを検出することができるので、このポンプ室の内部圧力の検出結果に基づきポンプ体の駆動を選択的に駆動すれば、ポンプは所定の性能を維持することができる。
【００９５】
このように、ポンプ室の内部圧力を検出する圧力センサ９０，９１と冷却媒体の循環流路の温度検出を行なう温度センサ２７０とを併せ持ち、圧力と温度両方から、適切なポンプ体を選択して駆動するために、所定のポンプ性能を長時間にわたって維持する冷却装置としてのポンプシステムを提供することができる。
（実施形態５）
【００９６】
続いて、本発明の実施形態５について図面を参照して説明する。実施形態５は、前述した実施形態１〜４に記載のポンプシステム（図１、図５〜図７、参照）に脈流吸収要素を設けたことに特徴を有している。前述のポンプシステムのどれにも応用可能であるため、実施形態１（図１、参照）を基本構造として例示し説明する。共通部分には、同じ符号を附して説明する。
図１１は、実施形態５に係るポンプシステムを示す断面図である。図１１において、流出接続管７１に薄肉部７１Ａが設けられている。
【００９７】
薄肉部７１Ａは、蓋体５０の入口接続管５１，５２を接続する接続部５０Ａと流出管７５との接続部の間に形成される。薄肉部７１Ａの厚さと長さは、ポンプ室５３，６３の圧力差によって膨縮可能な強度の範囲に設定されている。なお、薄肉部７１Ａと接続部５０Ａ及び流出管７５との接続鍔部との接続部は応力集中が発生しないように丸められることが望ましい。
【００９８】
従って、前述した実施形態５によれば、出口流路５４，６４と第２の流体抵抗要素との間、つまり、合成出口流路７２の範囲内に脈流吸収要素としての薄肉部７１Ａを設けることにより、ポンプ室５３，６３の圧力脈動を吸収し、複数存在するポンプ体のうちの駆動していないポンプ体のポンプ室内の圧力が、脈動を少なく上昇させることができる。このようにすることで、ポンプ室内の滞留気泡排出効果を高めることができる。
【００９９】
なお、脈流吸収のための薄肉部は、出口流路５４，６４と第２の流体抵抗要素としての流出流路７６の間に設ければよいので、流出管７５の合成流出流路７２の範囲に設けることもできる。前述した実施形態３，４も同様な構造を採用することができる。
【０１００】
また、実施形態２によるポンプシステムでは、出口流路管１７５の鍔部１７４と第２の流出流路１７６との間に薄肉部を設けることで、脈流吸収要素を備えることができる。
【０１０１】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前述の実施形態１〜実施形態４では、二つのポンプ体２０，３０を備えているが、これらのポンプ体は、それぞれ大きさや性能を変更して備えることができる。例えば、ポンプ体２０を主ポンプ体とし、通常使用に適するポンプ性能を有し、ポンプ体３０は、従ポンプ体として、主ポンプ体を補完するだけの性能を有するポンプ性能とすることができる。即ち、従ポンプ体は、主ポンプ体が所定のポンプ性能に復帰する間のみ駆動することを意味する。
【０１０２】
このようにすれば、従ポンプ体は、主ポンプ体よりも小型にすることができ、また、圧力センサは、主ポンプのポンプ室にのみ設けることができ、ポンプシステムを小型化することができる他、構造を簡素化することもでき、製造コストの低減もできるという効果がある。
また、前述の実施形態１〜実施形態４において、圧力検出部や温度検出部の替わりに、駆動制御部１２０に時間をカウントするタイマーを備え、所定の時間が経過する毎に駆動するポンプ体を選択する構成としても良い。この場合、圧力検出部や温度検出部を省略でき、構造が簡素化し製造コストの低減もできるという効果がある。
【０１０３】
また、前述の実施形態１〜実施形態４では、可動壁としてのダイアフラムを使用して、ポンプ室の容積を変更するポンプを例示して説明したが、本発明では、ピストンによるポンプ室の容積を変更する構造にも採用することができ、前述した実施形態と同様な効果が
得られる。
【０１０４】
また、前述の実施形態５では、脈流吸収要素としての薄肉部を合成流出流路７２の範囲に形成しているが、脈流吸収要素は、蓋体５０の入口接続管５１，６１とを接続している接続部５０Ａの範囲に薄肉部を設けることで実現することが可能である。
【０１０５】
従って、前述の実施形態１〜実施形態５では、所定の性能を長時間にわたって維持することができる簡単な構造で、小型化可能なポンプシステムを提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０６】
本発明のポンプシステムは、例示した集積回路の冷却装置の他に、小型の液体移送用ポンプを使用する電子機器の冷却装置や、医療分野、各種製造装置等に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】（ａ）は、本発明の実施形態１に係るポンプシステムを示す断面図。（ｂ）は、本発明の実施形態１に係るポンプシステムの変形例を示す部分断面図。
【図２】本発明の実施形態１に係るポンプシステムのダイアフラムの変位とポンプ室内の圧力の波形を示すグラフ。
【図３】本発明の実施形態１に係るポンプシステムの入口流路と出口流路６４における流量の波形を示すグラフ。
【図４】本発明の実施形態１に係るポンプシステムのシステム構成を示すブロック図。
【図５】本発明の実施形態２に係るポンプシステムを示す断面図。
【図６】本発明の実施形態３に係るポンプシステムを示す断面図。
【図７】本発明の実施形態４に係る冷却装置としてのポンプシステムを示す正面図。
【図８】本発明の実施形態４に係る受熱部を示す部分斜視図。
【図９】本発明の実施形態４に係る受熱部を示す断面図。
【図１０】本発明の実施形態４に係る冷却装置としてのポンプシステムのシステム構成を示すブロック図。
【図１１】本発明の実施形態５に係るポンプシステムを示す断面図。
【符号の説明】
【０１０８】
１…ポンプシステム、１０…ポンプ、２０，３０…ポンプ体、５２，６２…入口流路、５３，６３…ポンプ室、５４，６４…出口流路、７２…合成出口流路、７６…第２の抵抗要素としての流出流路、１００…ダイアフラム、１１０，１１１…第１の流体抵抗要素としての弁体。
【図１】
2006070895.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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