(57)【要約】【課題】ディスク状対象物を検査するシステムを提供する。【解決手段】ディスク状基板３２を検査するシステムを開示する。システム１００は筐体に囲まれている。少なくともＸ方向およびＹ方向に移動可能であるとともに載置板２２により担持される台２が筐体５０内に設けられている。載置板２２は筐体５０に対して防振されている。同様に排気ユニット４０が載置板２２の下方に設けられているとともにそこから離れて配置されている。排気ユニット４０は空気流入用開口３６を有する。空気流入用開口３６は排気ユニット内で載置板２２の端部と筐体５０の壁との間に設けられている。【選択図】  図２
2006184283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状基板を検査する、いくつかの壁で形成された筐体に囲まれたシステムであって、ディスク状対象物の少なくとも一部領域を撮像する少なくとも１つのカメラと光学要素とが設けられ、少なくともＸ方向およびＹ方向に移動可能で前記ディスク状基板を上に配置する台を載置板が担持するシステムにおいて、前記載置板が前記筐体に対して防振され、排気ユニットが前記載置板の下方に離れて配置され、前記載置板と前記筐体の壁との間の距離に本質的に相当する幅を呈する空気吸入開口が前記排気ユニット内に実装されている、システム。
【請求項２】
空気を前記筐体内に導く空気供給ユニットが前記ディスク状対象物の上方に設けられている請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記排気ユニットが上部壁と、前記上部壁と対向するとともに空気を前記排気ユニットから吸い出す少なくとも１つの送風装置を担持する下部壁とを備える請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
最低１つの送風装置が前記上部壁内の前記空気吸入開口に正対しないように前記下部壁内に配置されている請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記台が空間的に前記空気供給ユニットと前記排気ユニットの前記開口との間の中間に配置され、空気流が前記ディスク状基板上で平行に導かれるようになっている請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記ディスク状対象物がウエハ、またはフラットパネルディスプレイ、またはマスクである請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記排気ユニットの輸送能力が前記供給ユニットの輸送能力を超えないように較正されている請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記筐体がいくつかのラック押出成形品により担持されているとともに、前記排気ユニットの少なくとも１つの側壁がこれらのラック押出成形品の１つにより形成されている請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記排気ユニットの側壁のすべてがラック押出成形品により形成されている請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記光学要素がレンズまたは対物レンズである請求項１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスク状基板を検査するシステムに関する。特に本発明は少なくとも１つのディスク状基板を検査する、いくつかの壁で形成された筐体で構成されたシステムに関する。さらにまたこのシステムは、ディスク状基板の少なくとも一部領域を撮像するカメラに接続された少なくとも１つの光学要素を備える。少なくともＸ方向およびＹ方向に移動可能な台を担持する載置板が設けられている。ディスク状基板は台の上に配置される。載置板は筐体に対して防振されている。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１にはマクロ欠陥を検出するシステムが開示されている。このシステムは筐体に囲まれているとともに第１の部分、第２の部分、および第３の部分に分割されている。第２の部分には少なくともＸ方向およびＹ方向に移動可能な台が設けられ、その上にそれぞれウエハまたはディスク状基板を配置し得る。空気ガイドを介して吸引した空気を導く吸引装置が第１の部分内に配置され、空気管は空気流がウエハ上で平行に導かれるようにいくつかの空気バッフルを備えている。
【０００３】
特許文献２には現場のクリーンルームの作業高さでディスク状対象物を取り扱うための装置が開示されている。さらにまたカートリッジ容器を設け、その高さを作業高さに対して調整し得る。処理または検査目的用ワークステーションが作業高さに配置されている。作業高さは、クリーンルームを上下に積み重ねられた２つの部分空間に分割する中間底面の上方に配置されており、空気流の空気流成分が中間底面上方の部分空間から駆動構成要素を含む中間底面下の部分空間内に導かれる。空気流は駆動要素により生じる研磨粒子が作業高さのワークステーションに到達しないように機能する。空気製造装置は筐体を備え、その換気口は空気バッフルを有する円形扇形状窓により分割されている。筐体内に空気流に対する特定の方向、経路および／またはダクトに関して何も述べられていない。
【０００４】
特許文献３には清浄な乱気流を生成して現場クリーンルームを提供する装置が開示されている。現場クリーンルームは筐体に囲まれている。筐体は側壁上に空気源を有する。遠心ファンが空気源の背後に設けられており、これによって空気が装置の内部に到達する。空気排出口は空気源を有する壁と対向して位置する壁に設けられている。現場クリーンルームの内部の空気流の分配については記載も検討もされていない。
【０００５】
特許文献４にはクリーンルーム条件下での半導体製造用システムが開示されている。このシステムは壁に囲まれた建造物を備え、クリーンルーム条件は建造物の一部分に関係している。空気はフィルタを介してクリーンルーム内に供給される。クリーンルームの床の穴は清浄な空気を例えば設備の他の部分に導く。空気流がどのように送られるか、または導かれるかに関しては何も開示されていない。
【０００６】
【特許文献１】独国出願公開第１０３５１８４８．７号明細書
【特許文献２】独国特許第４３１０１４９Ｃ２号明細書
【特許文献３】独国特許第１９５３８０４０Ｃ２号明細書
【特許文献４】欧州特許第０３３５７５２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は振動がシステムの光学的および／または機械的構成要素に伝達されることなく空気流を装置内に生成することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的をディスク状基板を検査する、いくつかの壁で形成された筐体に囲まれたシステムにより解決する。光学要素と少なくとも１つのカメラとがディスク状対象物の少なくとも一部領域を撮像するために設けられている。載置板がＸ方向およびＹ方向に移動可能な少なくとも１つの台を担持し、その上にディスク状対象物が配置される。載置板は筐体に対して防振されている。排気ユニットが載置板の下方に離れて配置されており、排気ユニットには本質的に載置板から筐体の１つの壁までの距離に相当する幅を呈する空気吸入用開口が実装されている。
【０００９】
ディスク状基板を検査するシステムがいくつかの壁で形成された筐体に囲まれている場合特に有利である。さらにまたディスク状対象物の少なくとも一部領域を撮像する光学要素と少なくとも１つのカメラとが筐体内に設けられている。載置板がＸ方向およびＹ方向に移動可能な少なくとも１つの台を担持し、その上にディスク状対象物が配置される。載置板は筐体に対して防振されている。排気ユニットが載置板の下方に離れて配置されており、排気ユニットには本質的に載置板から筐体の１つの壁までの間の距離に相当する幅を呈する空気吸入開口が実装されている。
【００１０】
また筐体には空気供給ユニットがディスク状対象物の上方に設けられている。供給ユニットは空気を筐体内に導く。
【００１１】
排気ユニットは空気吸入開口が形成された上部壁を備えている。上部壁と対向して位置する下部壁が空気を排気ユニットから吸い出す少なくとも１つの送風装置を担持する。下部壁内の最低１つの送風装置が上部壁内の空気吸入開口に正対しないように配置されている。
【００１２】
空間的に台が空気供給ユニットと排気ユニットの開口との間の中間に配置されて、空気流が対象物上で平行に導かれるようになっている。ディスク状対象物がウエハ、フラットパネルディスプレイ、またはマスクであってもよい。
【００１３】
排気ユニットの輸送能力が供給ユニットの輸送能力を超えないように較正されている。さらにまた筐体がいくつかの異なる側面により担持されており、排気ユニットの少なくとも１つの側壁がこれらのラック押出成形品の１つにより形成されている。排気ユニットの側壁のすべてがラック押出成形品により形成されている場合さらに有利であり得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の対象を図に概略的に示すとともに図面に基づいて以下に説明する。
【００１５】
図１はウエハまたはディスク状基板をそれぞれ検査するためのシステム１００全体の台２の配置図を示す。システム１００は筐体５０に囲まれているとともに本実施形態では第１の部分６と、第２の部分８と、第３の部分１０とに分割されている。筐体５０はすべての外面において壁（図示せず）により封止されているため、それぞれ特定の環境またはクリーンルーム条件が筐体５０内に存在する。数個の照明装置１２および少なくとも１つの検出装置１４は本質的に筐体５０の第１の部分６に収容されている。検出装置１４は通常カメラまたはＣＣＤカメラである。第１の部分６は分離板１６によって第２の部分８から分離されている。照明装置１２からの光は分離板１６を貫通する光学装置１８を介して被検査ウエハの表面上へと導かれる。第２の部分には少なくともＸ方向およびＹ方向に移動可能な台２が設けられている。台２は第２の部分８を第３の部分１０から分離する載置板２２上に載置されている。第３の部分１０はシステム１００およびシステム１００の個々の構成要素の制御および管理に関与する数個の制御ユニット２０またはコンピュータを備えている。さらにデータはここで取得および分析される。
【００１６】
図２はディスク状基板を試験および検査するシステム１００内の供給ユニット３０および排気ユニット４０の概略的配置を示す。少なくともＸ方向およびＹ方向に移動可能な台２が載置板２２に取り付けられている。筐体５０の壁はラック３２によって担持されている。またラック３２は載置板２２を担持し、載置板２２は防振装置によってラック３２から分離されている。排気ユニット４０は載置板２２の下方に配置され、これにより排気ユニット４０は載置板２２から離れている。少なくとも１つの送風装置３４が排気ユニット４０内に設けられ、筐体５０の内部から空気を吸い出して排気する。排気ユニット４０と載置板２２との間の距離のため、送風装置３４からの振動は載置板２２またはＸ方向およびＹ方向に移動可能な台２のいずれにも伝わらない。検査対象のディスク状基板５は台の上に配置される。筐体にはディスク状基板の少なくとも一部領域を撮像する少なくとも１つの光学要素３５が設けられており、カメラ１４がディスク状基板５の一部領域の画像を取ることができるようになっている。空気供給ユニットがディスク状基板５の表面の上方に配置されている。空気供給ユニットは筐体の一方側に設けられ、空気排気ユニット４０は筐体５０の反対側に設けられている。空気排気ユニット４０には開口３６が実装され、これを通過して排気すべき空気が排気ユニット４０に到達する。筐体５０の内部の載置板２２は筐体５０の側壁から離れている。排気ユニット４０内の開口３６はその幅が載置板２２と筐体５０の壁との間の距離にほぼ相当するように実装されている。排気ユニット４０には上部壁４１と下部壁４２とが実装されている。空気が排気ユニット４０に進入する際に通過する開口３６は上部壁４１内に実装されている。空間的には台２は空気供給ユニット３０と排気ユニット４０への開口との中間に配置されており、空気流６０がディスク状対象物５上で平行に導かれるようになっている。排気ユニット４０の輸送能力は供給ユニット３０の輸送能力を超えないように較正されている。その結果筐体５０の外側の圧力に比べてわずかな正圧が筐体内に生じる。
【００１７】
図３は排気ユニット４０の平面図を示す。空気が進入する際に通過する開口３６は排気ユニット４０の上部壁４１に実装されている。ここに示す実施形態では開口３６は矩形であるがこれを限定として解釈すべきではない。当業者には任意の形状を開口３６に用い得ることは明らかであろう。開口３６は上記のように、本質的には載置板２２と筐体５０の壁との間の距離に相当する幅３７を有する。開口３６の長さ３８は本質的には排気ユニット４０の幅全体にわたって延びている。
【００１８】
図４は排気ユニット４０の平面図を示し、これにより下部壁も示す。排気ユニット４０の下部壁４２内の送風装置３４の配置が破線で示されている。送風装置３４は排気ユニットの上部壁４１内に空気が進入する際に通過する開口３６と正対しないように下部壁４２内に配置されている。排気ユニット４０の下部壁４２内の送風装置３４の数は移動させる空気量による。当業者には送風装置の数および送風装置３４の配置に関して多数の設計上の可能性があることは明白であろう。
【００１９】
図５は筐体５０内の排気ユニット４０の配置の概略図を示す。このシステムの筐体５０はいくつかのラック押出成形品５１により担持されている。排気ユニット４０は、ラック押出成形品５１が排気ユニットの筐体の側壁５２をなすように筐体内で寸法合わせされている。これによりシステム全体１００の組立および搭載が非常に容易になる。排気ユニット４０の上部壁４１および排気ユニット４０の下部壁４２はラック押出成形品５１上に、またはラック押出成形品５１に単に取り付けるだけでよい。このように上部壁４１および下部壁４２はラック押出成形品５１と共に排気ユニット４０用の筐体を形成している。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ディスク状対象物の検査および／またはマクロ欠陥の検出用のシステム全体の構造の概略図である。
【図２】排気ユニットまでの空気供給ユニットの筐体内の空気流の概略図である。
【図３】排気ユニットの透視図である。
【図４】排気ユニットの概略的平面図であり、これにより上部壁が示されるともに下部壁が破線で示されている。
【図５】筐体内の配置に関する排気ユニットの概略図である。
【符号の説明】
【００２１】
２  台
５  ディスク状基板／対象物
６  第１の部分
８  第２の部分
１０  第３の部分
１２  照明装置
１４  検出装置／カメラ
１６  分離板
１８  光学装置
２０  制御ユニット
２２  載置板
３０  （空気）供給ユニット
３２  ラック
３４  送風装置
３５  光学要素
３６  開口
３７  幅
３８  長さ
４０  （空気）排気ユニット
４１  上部壁
４２  下部壁
５０  筐体
５１  ラック押出成形品
５２  側壁
６０  空気流
１００  システム
【図１】
2006184283.tif 000003
【図２】
2006184283.tif 000004
【図３】
2006184283.tif 000005
【図４】
2006184283.tif 000006
【図５】
2006184283.tif 000007
【外国語明細書】
2006184283000001.pdf
2006184283000002.pdf
2006184283000003.pdf
2006184283000004.pdf