(57)【要約】      （修正有）【課題】少ない吐出空気量によって特に保護シートの剥離を容易且つ確実にすること、搬送容器との接触による吸着対象物の損傷又は落下を防止すること、吸着保持力の低下防止などを図ること。【解決手段】ピンセット本体１Ａは吸引路９ａと吐出路１０ａを内蔵する把持操作部５と、吸引路９ａと吐出路１０ａを吸着部１Ｂ側へ作用させる流路を形成した流路接続部６で構成し、吸着部１Ｂには円板状をした吸着板７の外周側に多数の吸引口１７を設けた環状の吸着面２３を設け、各吸引口１７を環状の連通路２２で連通させると共に、当該連通路２２は流路接続部６を介して把持操作部５の吸引路９ａに連通させ、流路接続部６には吸着対象物３，４の外周側一部上面に対して圧縮空気を噴射する吐出口２０を吸引口１７に隣接した外側位置に設け、当該吐出口２０は螺旋状溝による旋回流発生部１８を介して把持操作部５の吐出路１０ａに連通させている。【選択図】図３
2006289559.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピンセット本体と吸着保持部とを備え、ピンセット本体は吸引流路と吐出流路を内蔵して手で把持する把持操作部と、吸引流路と吐出流路を吸着保持部側へ作用させる流路を形成した流路接続部で構成し、吸着保持部には円板状をした吸着板の外周側に多数の吸引口を開口させた環状の吸着面を設け、各吸引口を環状の連通路で連通させると共に、当該連通路は流路接続部を介して把持操作部の吸引流路に連通させ、流路接続部には吸着対象物の外周側一部上面に対して圧縮空気を噴射する吐出口を吸引口に隣接した外側位置に設け、当該吐出口は螺旋状溝による旋回流発生部を介して把持操作部の吐出流路に連通させたことを特徴とする手持ち式真空ピンセット。
【請求項２】
前記螺旋状溝による旋回流発生部は栓部材の外周面に二条の螺旋状溝による旋回流発生通路を設け、当該栓部材を流路接続部の吐出中継流路内へ着脱可能に装着した請求項１に記載する手持ち式真空ピンセット。
【請求項３】
前記吸着保持部は吸着対象物が収容された搬送容器の内周に適合するガイドリングを、前記吸着板の外周に対して着脱可能に装着した請求項１又は２に記載する手持ち式真空ピンセット。
【請求項４】
前記各吸引口を連通させる連通路は段付きの環状溝孔で形成すると共に、吸着板の上面側から段部に係止する態様で環状シール部材を装着して吸着板に吸引流路を形成した請求項１〜３のいずれかに記載する手持ち式真空ピンセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピンセット本体を手で把持して先端に装着した吸着板の吸着面を吸着対象物に宛い、吸着面を真空状態にして吸着対象物をハンドリング（吸着保持）する手持ち式真空ピンセットに係り、例えばシリコンウエハや化合物半導体ウエハなどのように、薄板状又はフィルム状をした吸着対象物をハンドリング（吸着保持）する際に使用する。
【背景技術】
【０００２】
この種の真空ピンセットは、例えば特許文献１〜３などに開示されているように、手で把持操作を行うピンセット本体の先端に吸着板を装着すると共に、ピンセット本体には吸着板の吸着面に連通する吸引流路を設け、吸引流路はピンセット本体側に連結した吸引パイプなどを介して真空ポンプなどの真空圧源に接続し、ピンセット本体には吸引流路を大気に連通させる流路の切換え機構を設けた構成を備えている。
【特許文献１】特開２００１−３５９０８号公報
【特許文献２】特開２００１−１４４１６３号公報
【特許文献３】特開２００２−３６８０７２号公報
【０００３】
また、吸着対象物が大口径で薄型のウエハの場合には、例えば特許文献４などにも開示されているように、各ウエハの表裏に薄膜状の保護シートを介在させた状態で多数のウエハを積層して搬送容器（キャリアケース）に収納されているので、まず表面側の保護シートを吸着保持して取り除いた後に、ウエハを吸着保持して搬送容器から１枚ずつ取り出し、次の加工処理工程へ順次移送するようにしている。
【特許文献４】特開平０９−１２９７１９号公報
【０００４】
しかしながら、ウエハと保護シートを長期間に亘って積層状態にしておくと、下層側は上方から加圧を受けると共に、搬送容器に収納して搬送すると振動摩擦で静電気が発生し、ウエハと保護シート間が密着状態になって取り出す際に容易に剥離しなくなり、特に保護シートは柔軟で且つ通気性もあるので、保護シートを吸着した際に直下のウエハを同時に吸着保持したり、吸着の途中で落下する恐れもあることなどから、特許文献１〜４等に開示されている従来技術の真空ピンセットでは十分に対応することが困難であった。
【０００５】
そこで、これら従来技術の課題を解決し得る手持ち式の真空ピンセットとして、本件発明者は特願２００３−３１０９３４号で先行出願を行ったが、この先行出願では吸着板の外周側に多数の吸引口を同心状に設けると共に、吸着板の側面側に圧縮空気をほぼ水平状に噴射して吸着面に沿って流動させる吐出口を設け、積層状態にしたウエハと保護シートなどの極薄な吸着対象物に対し、ベルヌーイの定理によって保護シートの剥離を容易にすると共に、ウエハの吸着保持を容易且つ確実にするようにした。
【０００６】
また、本件発明者による上記先行出願の他にも、例えば特許文献５，６などにも開示されているように、真空による吸着保持に加えてベルヌーイ効果を利用した真空ピンセットの提案も有り、特許文献５の場合には、吸着板の軸心（中央）に吸引口を設けると共に、吸着板の外周側には複数の吐出口を同心状に設け、各吐出口から噴射させた空気が吸着板の吸着面に沿って軸心側に流動するようにし、特許文献６の場合には、吸着板の軸心（中央）に吐出口を設けると共に、吸着板の外周側には複数の吸引口を同心状に設け、各吐出口から噴射させた空気が吸着板の吸着面に沿って外周側に流動するようにしている。
【特許文献５】特開平１０−１６７４７０号公報
【特許文献６】特開２００３−１２８２７９公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、本件発明者による先行出願の場合のように、吸着板の側面側に設けた吐出口から圧縮空気をほぼ水平状に噴射する構造では、吸着対象物に対して吸着板を宛う際における吐出口の高さ位置や噴射角度などを一定条件に保持することが容易ではないことから、吐出口近傍における吸着対象物の表面を負圧にし、ベルヌーイ効果によって吸着対象物を浮上させる機能を、常に安定した状態で実施することが困難であった。
【０００８】
また、特許文献５，６などによる先行技術の場合のように、吸着板の外周側又は軸心側に設けた吐出口から軸心側又は外周側へ、吸着対象物の吸着面に沿って圧縮空気を流動させる構造では、吸着面に対して各吐出口から噴出させる圧縮空気は流速を均一にした状態で放射状に流動させないと、吸着対象物に振動を与えて脱落したり損傷させる恐れがあると共に、吸着面に対して圧縮空気が分散されるので吐出口から多量の空気量を噴出させる必要があることから、吐出用ポンプの容量が大きくなって装置全体を大型化させ且つ空気攪拌によるパーティクルの発生を増大させる恐れがある。
【０００９】
また、上記先行出願における吸着保持部の場合には、搬送容器（キャリアケース）に対して吸着板の口径を小さく形成しているが、吸着板を搬送容器内に挿入してウエハを吸着保持する際に、ウエハなどの吸着対象物の外周面が搬送容器の内周面に接触して損傷又は落下させる恐れがあった。
【００１０】
さらに、上記先行出願における吸着保持部の場合には、各吸引口を連通させる環状溝孔を設けた吸着板の上面に、吸着補助板を接着などによって張り合わせて吸引流路を形成するようにしているが、漏出した接着剤などによって吸着板が汚れたり、面精度の経時変化などで吸着板に反りなどが生じ、吸着板と吸着対象物又は吸着補助板との間で空気漏れして吸着保持力を低下させる恐れがあること、吸着補助板の製造コストと吸着板との張り合わせコストがかかったり、重量が嵩んで長時間の使用では作業者の手に負担が掛かる。
【００１１】
そこで本発明では、これら従来技術の課題を解決し得る手持ち式真空ピンセットの提供を目的とするものであって、第１の目的は真空吸着作用と併用するベルヌーイ作用を局部的に実施するようにし、少ない吐出空気量によって特に保護シートの剥離を容易且つ確実にすることであり、第２の目的は吸着板にガイドリングを装着し、搬送容器との接触による吸着対象物の損傷又は落下を防止することであり、第３の目的は吸着補助板を省略して吸着板に吸引流路を形成するようにし、吸着保持力の低下防止やコストの低減及び作業者の負担軽減などを図ることである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、ピンセット本体と吸着保持部とを備え、ピンセット本体は吸引流路と吐出流路を内蔵して手で把持する把持操作部と、吸引流路と吐出流路を吸着保持部側へ作用させる流路を形成した流路接続部で構成し、吸着保持部には円板状をした吸着板の外周側に多数の吸引口を開口させた環状の吸着面を設け、各吸引口を環状の連通路で連通させると共に、当該連通路は流路接続部を介して把持操作部の吸引流路に連通させ、流路接続部には吸着対象物の外周側一部上面に対して圧縮空気を噴射する吐出口を吸引口に隣接した外側位置に設け、当該吐出口は螺旋状溝による旋回流発生部を介して把持操作部の吐出流路に連通させている手持ち式真空ピンセットである。（請求項１）
【００１３】
請求項１の手持ち式真空ピンセットにおいて、前記螺旋状溝による旋回流発生部は栓部材の外周面に二条の螺旋状溝による旋回流発生通路を設け、当該栓部材を流路接続部の吐出中継流路内へ着脱可能に装着した。（請求項２）
【００１４】
請求項１又は２の手持ち式真空ピンセットにおいて、前記吸着保持部は吸着対象物が収容された搬送容器の内周に適合するガイドリングを、前記吸着板の外周に対して着脱可能に装着した。（請求項３）
【００１５】
請求項１〜３の手持ち式真空ピンセットにおいて、前記各吸引口を連通させる連通路は段付きの環状溝孔で形成すると共に、吸着板の上面側から段部に係止する態様で環状シール部材を装着して吸着板に吸引流路を形成した。（請求項４）
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の手持ち式真空ピンセットでは、先行出願の場合のように吸着板の側面側に設けた吐出口から圧縮空気をほぼ水平状に噴射する構造ではなく、吐出口から吸着対象物の外周側一部上面に対して圧縮空気を垂直状に旋回流として噴射する構造を採ったことにより、吐出口の高さ位置や噴射角度などを一定条件に保持することが可能であるから、ベルヌーイ効果によって吸着対象物を浮上させる機能を常に安定した状態で実施することが可能である。
【００１７】
また、吐出口から噴射する圧縮空気は特許文献５，６などによる先行技術の場合とは違って、吸着対象物の吸着面に沿って外周側の一部から軸心側へ圧縮空気を流動させる構造であるから、先行技術の場合のように流速の不均一によって吸着対象物に振動を与えて脱落したり損傷させる恐れがないと共に、吐出口から噴射する空気量は少なくて吐出ポンプは容量が小さい小型のもので良いので、装置全体を小型化させ且つ空気攪拌によるパーティクルの発生を減少することが可能である。
【００１８】
請求項２の手持ち式真空ピンセットでは、旋回流を発生する二条の螺旋状溝を栓部材の外周面に設け、吸着対象物に適合させた所望の旋回流を発生できるように着脱して交換使用することができると共に、流路接続部の吐出中継流路内を切削加工などによって螺旋状溝を設ける場合に比べてて加工が容易である。
【００１９】
請求項３の手持ち式真空ピンセットでは、吸着板の外周にガイドリングを設けたことによって、ウエハなどのように脆弱な吸着対象物を吸着保持する際に外周面が搬送容器の内周面に接触して損傷又は落下させることを防止することができると共に、ガイドリングを吸着板に対して着脱可能にすると、共通の吸着板を用いて各種サイズの吸着対象物（搬送容器の内径）に適合させることができるが、特にガイドリングを透明にすると吸着状態を目視することができる。
【００２０】
請求項４の手持ち式真空ピンセットでは、吸着板の上面に吸着補助板を重合させないで吸引流路を形成することができるので、吸着補助板の省略によって漏出した接着剤などで吸着板が汚れたり、面精度の経時変化などで吸着板に反りなどが生じ、吸着板と吸着対象物又は吸着補助板との間で空気漏れして吸着保持力を低下させることはなく、吸着補助板の製造コストと吸着板との張り合わせコストは不要であり、軽量化によって長時間の使用でも作業者の手に掛かる負担が軽減される。
【実施例】
【００２１】
本発明の手持ち式真空ピンセットについて、本発明を適用した好適な実施形態を示す添付図面に基づいて詳細に説明するが、図１と図２は真空ピンセットの使用状態を斜視図で示し、図３は真空ピンセット１の要部を吸着面側から見た平面図で示し、図４は吸着板に設けた吸引流路の説明を一部を破断して吸着面とは反対側から見た平面図で示し、図５はベルヌーイによる吐出流路の説明を縦断面図で示し、図６は真空吸着による吸引流路の説明を縦断面図で示す。
【００２２】
図示の実施形態による真空ピンセット１は、図１及び図２で示すように、搬送容器（キャリアケース）２内に積層状態で収容した吸着対象物である保護シート３とウエハ４に対し、まず保護シート３を吸着保持して取り除いた後に、ウエハ４を吸着保持して次の加工処理工程へ移送する作業を交互に行う際に特に好適であるが、他の構造による搬送容器や収納容器或いは処理容器に収容したウエハなどの薄板状又はフィルム状をした吸着対象物のハンドリングにも適用できる。
【００２３】
真空ピンセット１は、ピンセット本体１Ａと吸着保持部１Ｂとを備え、ピンセット本体１Ａは吸引流路９ａと吐出流路１０ａを内蔵して手で把持する把持操作部５と、吸引流路９ａと吐出流路１０ａを吸着保持部１Ｂ側へ作用させる流路が形成された流路接続部６で構成されると共に、吸着保持部１Ｂは流路接続部６を介して吸引流路９ａに連通する吸引口を設けた吸着板７と、吸着板７の外周に装着したガイドリング８で構成されている。
【００２４】
ピンセット本体１Ａは、吸引流路９ａを形成する吸引側パイプ９と吐出流路１０ａを形成する吐出側パイプ１０を並設して把持操作部５が構成され、吸引側パイプ９と吐出側パイプ１０は、先端側がコネクタ１１，１１を介して流路接続部６と着脱可能にねじ結合され、後端側にはコネクタに連結した配管チューブを介して空気圧源に接続（図示を省略）し、空気圧源に設けた吸引ポンプに吸引流路９ａを接続すると共に、吐出ポンプに吐出流路１０ａを接続させる。
【００２５】
把持操作部５には、吸引側パイプ９内に形成した吸引流路９ａの途中に、開閉操作ボタン１２ａによって流路を開閉する公知の開閉弁機構１２（詳細な図示は省略）が装着されており、開閉操作ボタン１２ａが押されていない常時は、バネ力に付勢された弁体によって吸引流路９ａは上流側と下流側が連通して吸引作動が行われ、開閉操作ボタン１２ａを押した際には、バネ力に抗して摺動した弁体によって吸引流路９ａは上流側と下流側が遮断されると共に、下流側は大気と連通して吸引作動が停止される。
【００２６】
流路接続部６には、吸引側パイプ９の吸引流路９ａと連通する吸引中継流路１４と、吐出側パイプ１０の吐出流路１０ａと連通する吐出中継流路１５が接続ブロック１３内に設け、吸引中継流路１４は図６で示すように吸着板７に設けた連通路１６を介して各吸引口１７に連通させると共に、吐出中継流路１５は図５で示すように終端側に設けた旋回流発生部１８を介して外部に開口されている。
【００２７】
旋回流発生部１８は、図示の実施形態では垂直状に形成した吐出中継流路１５の終端側に対して、外周面に二条の螺旋状溝１９ａ，１９ｂによる旋回流発生通路を設けた栓部材１９を着脱可能に装着するようにし、これによって吐出中継流路１５の終端側開口部から旋回流として吐出空気が流出するようにしているが、この終端側開口部には各吸引口１７が開口されている吸着板７の底面より僅かに（例えば、１〜２ｍｍ程度）後退した位置になるように筒状の吐出口２０設け、間隙部ｄが形成されるようにしている。
【００２８】
吸着板７は、図３及び図４で示すように軸心孔２１を設けた環状の円板で形成され、上面の外周側には段付きの環状溝２２を軸心孔２１と同心円状に設け、底面の外周側には他の底面より僅かに突出させた環状の吸着面板２３を形成すると共に、この吸着面板２３には円周方向に沿った所定間隔毎に吸引口１７を穿設して環状溝２２に底面側から連通させ、環状溝２２には上面側から段部に係止する態様でＯリングなどの環状シール部材２４を装着している。
【００２９】
また、吸着板７には取付け孔２５を設けて流路接続部６の接続ブロック１３との間を取付けねじ２６で連結すると共に、取付け孔２５の隣接位置には一端側が流路接続部６の吸引中継流路１４と連通して他端側が環状溝２2に連通する連通路２７を設け、これによって真空ピンセット１には、各吸引口１７が環状溝２２と吸引中継流路１４とを介して吸引側パイプ９の吸引流路９ａと連通する吸着用の流路が形成される。
【００３０】
ガイドリング８は、内周側が吸着板７の外周側に嵌合して外周側が搬送容器（キャリアケース）２の内周側に嵌合する環状の円板で形成され、面板の一部には接続ブロック１３の吐出口２０に遊嵌して回転止めを行う係止孔２８を設けると共に、一部に切込み部２９を設けて拡径可能にし、吸着板７の外周面に設けた環状の嵌合溝３０に対して着脱可能に装着できるようにしているが、特に吸着対象物の吸着状体が目視できるように透明の板材で形成することが望ましい。
【００３１】
以上の構成による真空ピンセット１には、吸引側パイプ９の吸引流路９ａと、接続ブロック１３の吸引中継流路１４と連通路１６、吸着板７の連通路２７と環状溝２２及び吸引口１７とで連通された吸引側流路が形成され、この吸引側流路は空気圧源の吸引ポンプに連結されていると共に、吸引流路９ａ途中に設けた開閉弁機構１２は開閉操作ボタン１２ａが押されていない常時は開弁状態であるから、吸引用ポンプを作動させると吸引口１７を介して、吸着対象物を吸着保持することができ、開閉操作ボタン１２ａを押すと開閉弁機構１２は閉弁して、前方流路の空気を大気に放出して吸着対象物を離脱できる。
【００３２】
また、真空ピンセット１には吐出側パイプ１０の吐出流路１０ａと、接続ブロック１３の吐出中継流路１５と、栓部材１９の二条の螺旋状溝１９ａ，１９ｂによる旋回流発生通路と、吐出口２０とで連通された吐出側流路が形成され、この吐出側流路は空気圧源の吐出ポンプに連結されているので、吐出ポンプを作動させると吐出口２０を介して空気を噴射して、ベルヌーイ作用による負圧で吸着対象物を吐出口２０側へ浮上させ、吸引口１７による吸着対象物の吸着保持を助成することができる。
【００３３】
従って、吸引側パイプ９と吐出側パイプ１０を並設した把持操作部５を手で把持し、保護シート３及びウエハ４が交互に積層されている搬送容器２に対して、図１で示すようにガイドリング８を周壁内に挿入した状態で保護シート３に吸着面板２３を宛うと、吐出口２０から保護シート３の上面に噴射された旋回流は、間隙部ｄを介して保護シート３の上面に沿って軸心側へ流動し、保護シート３の一部上面にはベルヌーイ作用による負圧を発生するので、保護シート３の一部はウエハ４から剥離すると共に、まず吐出口２０に隣接する吸引口１７によって吸着面板２３に吸着保持され、次いで保護シート３の残り部分も他の吸引口１７によって吸着面板２３に直ちに吸着保持される。
【００３４】
そして、吸着保持した保護シート３は開閉操作ボタン１２ａの押圧操作による開閉弁機構１２の閉弁で離脱させ、次いで保護シート３が除去された搬送容器２内のウエハ４に対して、保護シート３の場合と同様の操作で図２で示すように吸着保持するが、保護シート３に比べて重量があるウエハ４の場合にも、ベルヌーイ作用による助成で吐出口２０に隣接する部分をまず吸着保持することによって、確実な吸着保持を行うことができる。
【００３５】
なお、例えば口径が３００ｍｍ（１２吋）或いは２００ｍｍ（８吋）程度のウエハを吸着保持する際には、空気圧源として用いる吸引ポンプと吐出ポンプの能力としては、吸引ポンプの場合には圧力が−７０キロパスカルで流量が６．５Ｌ／ｍｉｎ程度で、吐出ポンプの場合には圧力が３０キロパスカルで流量が７．５Ｌ／ｍｉｎ程度であることが望ましいことを確認している。
【００３６】
以上の実施形態による真空ピンセット１では、先行出願の場合のように吸着板の側面側に設けた吐出口から圧縮空気をほぼ水平状に噴射する構造ではなく、吐出口２０から吸着対象物の上面に対して圧縮空気を垂直状に旋回流として噴射する構造を採ったことにより、吐出口の高さ位置や噴射角度などを一定条件に保持することが可能であるから、、ベルヌーイ効果によって吸着対象物を浮上させる機能を常に安定した状態で実施することが可能である。
【００３７】
特に、吐出口から噴射する圧縮空気は特許文献５，６などによる先行技術の場合とは違って、吸着対象物の吸着面に沿って外周側の一部から軸心側へ圧縮空気を流動させる構造であるから、先行技術の場合のように流速の不均一によって吸着対象物に振動を与えて脱落したり損傷させる恐れがないと共に、吐出口から噴射する空気量は少なくて吐出ポンプは容量が小さい小型のもので良いので、装置全体を小型化させ且つ空気攪拌によるパーティクルの発生を減少することが可能である。
【００３８】
また、搬送容器２の内周より小径の吸着板で吸着保持部を形成した先行出願の場合とは違って、搬送容器２の内周に適合するガイドリング８を吸着板７の外周に装着したことにより、吸着対象物であるウエハ４を吸着保持する際に外周面が搬送容器２の内周面に接触して損傷又は落下させることを防止することができると共に、このガイドリング８を吸着板７に対して着脱可能にすると、共通の吸着板７を用いてウエハ４の各種サイズ（搬送容器２の内径）に適合させることができ、ガイドリング８を透明にすると吸着状態を目視することができる。
【００３９】
さらに、各吸引口を連通させる環状溝孔を設けた吸着板の上面に、吸着補助板を接着などによって張り合わせて吸引流路を形成している上記先行出願における吸着保持部の場合とは違って、各吸引口を連通させる環状溝孔を段付き溝で形成すると共に、吸着板の上面側から段部に係止する態様でＯリングなどの環状シール部材２４を装着して吸引流路を形成したので、吸着補助板の省略によって漏出した接着剤などで吸着板が汚れたり、面精度の経時変化などで吸着板に反りなどが生じ、吸着板と吸着対象物又は吸着補助板との間で空気漏れして吸着保持力を低下させることはなく、吸着補助板の製造コストと吸着板との張り合わせコストは不要であり、軽量化によって長時間の使用でも作業者の手に掛かる負担が軽減される。
【００４０】
このようにして、本発明による手持ち式真空ピンセットでは真空吸着作用と併用するベルヌーイ作用を局部的に実施するようにし、少ない吐出空気量によって特に保護シートの剥離を容易且つ確実にすることが可能であり、また吸着板にガイドリングを装着し、搬送容器との接触による吸着対象物の損傷又は落下を防止することが可能であり、吸着補助板を省略して吸着板に吸引流路を形成するようにし、吸着保持力の低下防止やコストの低減及び作業者の負担軽減などを図ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】真空ピンセットの使用状態であって、搬送容器内に吸着保持部（ガイドリング付き吸着板）を挿入した状態を斜視図で示す。
【図２】真空ピンセットの使用状態であって、吸着対象物を吸着保持して搬送容器から取り出した状態を斜視図で示す。
【図３】真空ピンセットの要部を吸着面側から見た状態を平面図で示す。
【図４】吸着板に設けた吸引流路の説明を一部を破断して吸着面とは反対側から見た状態を平面図で示す。
【図５】ベルヌーイによる吐出流路の説明を縦断面図で示す。
【図６】真空吸着による吸引流路の説明を縦断面図で示す。
【符号の説明】
【００４２】
１  真空ピンセット
１Ａ  ピンセット本体
１Ｂ  吸着保持部
２  搬送容器（キャリアケース）
３  保護シート（吸着対象物）
４  ウエハ（吸着対象物）
５  把持操作部
６  流路接続部
７  吸着板
８  ガイドリング
９  吸引側パイプ
９ａ  吸引流路
１０  吐出側パイプ
１０ａ  吐出流路
１１  コネクタ
１２  開閉弁機構
１２ａ  開閉操作ボタン
１３  接続ブロック
１４  吸引中継流路
１５  吐出中継流路
１６  連通路
１７  吸引口
１８  旋回流発生部
１９  栓部材
１９ａ，１９ｂ  螺旋状溝
２０  吐出口
２１  軸心孔
２２  環状溝（段付きの）
２３  吸着面板
２４  環状シール部材（Ｏリング）
２５  取付け孔
２６  取付けねじ
２７  連通路
２８  係止孔
２９  切込み部
３０  嵌合溝
【図１】
2006289559.tif 000003
【図２】
2006289559.tif 000004
【図３】
2006289559.tif 000005
【図４】
2006289559.tif 000006
【図５】
2006289559.tif 000007
【図６】
2006289559.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月3日(2005.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピンセット本体と吸着保持部とを備え、ピンセット本体は吸引流路と吐出流路を内蔵して手で把持する把持操作部と、吸引流路と吐出流路を吸着保持部側へ作用させる流路を形成した流路接続部で構成し、吸着保持部には円板状をした吸着板の外周側に多数の吸引口を開口させた環状の吸着面を設け、各吸引口を環状の連通路で連通させると共に、当該連通路は流路接続部を介して把持操作部の吸引流路に連通させ、流路接続部には吸着対象物の外周側一部上面に対して圧縮空気を噴射する吐出口を吸引口に隣接した外側位置に設け、当該吐出口は螺旋状溝による旋回流発生部を介して把持操作部の吐出流路に連通させたことを特徴とする手持ち式真空ピンセット。
【請求項２】
前記螺旋状溝による旋回流発生部は栓部材の外周面に二条の螺旋状溝による旋回流発生通路を設け、当該栓部材を流路接続部の吐出中継流路内へ着脱可能に装着した請求項１に記載する手持ち式真空ピンセット。