(57)【要約】【課題】  ハウジングへの深穴加工に起因した不具合を解消する。【解決手段】  ボールスプライン１５をハウジング１２に固定されたボス部２２と、ボス部２２に対して上下方向への移動のみが許容されたスプライン軸２３で構成し、スプライン軸２３の中空部３１と連通したパイプ３４をホース３５で負圧ポンプに接続する。スプライン軸２３上端にニードルピン４４を支持する軸受け４１を設け、軸受け４１にスプライン軸２３の中空部３１に連通する連通穴４３を開設する。ヘッド部１４上面のステージ５１に、ニードルピン４４が出入りする出入口５２とバキューム穴５３を開設し、スプライン軸２３の中空部３１及び連通穴４３を介してヘッド部１４の内部空間５４に供給された負圧をバキューム穴５３に供給する。【選択図】        図１
2006093362.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド部内に設けられたニードルピンを上動して前記ヘッド部上面のステージに配置されたウェーハシート上のチップを突き上げる際に、前記ステージに開設されたバキューム穴に負圧を供給して前記ウェーハシートを吸着する突き上げヘッドにおいて、
前記突き上げヘッドのハウジング内に、該ハウジングに支持されたボス部と、該ボス部に対して上下移動のみが許容された中空のスプライン軸とからなるボールスプラインを設け、前記スプライン軸の上端部に前記ニードルピンを支持する軸受けを設けるとともに、前記スプライン軸の下端部に、当該スプライン軸内の中空部に負圧を供給する負圧供給源を接続する一方、
前記スプライン軸の上端部に、前記ハウジング上部に設けられた前記ヘッド部の内部空間と前記中空部とを連通して、当該中空部に供給された前記負圧を前記内部空間を介して前記バキューム穴に供給する連通穴を設けたことを特徴とする突き上げヘッド構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイボンディング装置においてウェーハシートに貼着されたチップを突き上げる突き上げヘッド構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ダイボンディング装置には、図２に示すように、突き上げヘッド７０１が設けられており、ウェーハシート７０２に貼着されたチップ７０３をピックアップする際に、対象チップ７０３を突き上げられるように構成されている。
【０００３】
前記突き上げヘッド７０１のヘッド部７１１内には、チップ７０３を突き上げるニードルピン７１２が収容されており、該ニードルピン７１２は、作動軸７１３の上端部に設けられた軸受け７１４に取り付けられている。前記作動軸７１３は、ストロークベアリング７１５を介してハウジング７１６に支持されており、前記作動軸７１５の下端部には、固定ブロック７１７が固定されている。
【０００４】
該固定ブロック７１７の下端部には、図３にも示すように、従動ベアリング７２１が設けられており、該従動ベアリング７２１は、駆動モータ７２２で回動されるカム７２３の周面を転動するように構成されている。これにより、前記作動軸７１３及び該作動軸７１３に支持された前記ニードルピン７１２は、前記カム７２３の回転角に応じて上下動するように構成されており、ウェーハシート７０２に貼着されたチップ７０３を突き上げて前記ウェーハシート７０２から剥離できるように構成されている。
【０００５】
前記固定ブロック７１７側部には、平坦なストレート面７３１が形成されており、該ストレート面７３１には、ミニチュアベアリング７３２が付勢されている。これにより、当該固定ブロック７３１は、回転を規制する回り止め７３３が構成されており、前記作動軸７１３に取り付けられた前記ニードルピン７１２の回動を防止し、取付時の偏心に起因したニードルピン７１２の位置ずれを防止できるように構成されている。
【０００６】
前記作動軸７１３を包囲する前記ハウジング７１６には、図２に示したように、深穴７４１が上下方向に穿孔されており、その下端部は閉鎖されている。また、前記深穴７４１の上端部は、前記作動軸７１３が収容された内部空間７４２に連通されているとともに、当該深穴７４１の中途部は、側方に設けられたパイプ７４３を介して、図外の負圧供給源に接続されている。これにより、該負圧供給源から供給される負圧を前記ヘッド部７１１の内部空間７４４に供給するとともに、この負圧をヘッド部７１１上面のステージ７４５に開設されたバキューム穴７４６に供給することによって、前記対象チップ７０３周囲部の前記ウェーハシート７０２をステージ７４５に吸着してニードル７１２突き上げ時でのウェーハシート７０２の上動が抑えられるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような突き上げヘッド７０１にあっては、負圧供給用の深穴７４１をハウジング７１５に穿孔する構造上、構成が複雑で組立、調整、及びメインテナンス等に多大な時間を要するとともに、低コスト化の阻害要因となっていた。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ハウジングへの深穴加工に起因した不具合を解消することができる突き上げヘッド構造を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために本発明の突き上げヘッド構造にあっては、ヘッド部内に設けられたニードルピンを上動して前記ヘッド部上面のステージに配置されたウェーハシート上のチップを突き上げる際に、前記ステージに開設されたバキューム穴に負圧を供給して前記ウェーハシートを吸着する突き上げヘッドにおいて、前記突き上げヘッドのハウジング内に、該ハウジングに支持されたボス部と、該ボス部に対して上下移動のみが許容された中空のスプライン軸とからなるボールスプラインを設け、前記スプライン軸の上端部に前記ニードルピンを支持する軸受けを設けるとともに、前記スプライン軸の下端部に、当該スプライン軸内の中空部に負圧を供給する負圧供給源を接続する一方、前記スプライン軸の上端部に、前記ハウジング上部に設けられた前記ヘッド部の内部空間と前記中空部とを連通して、当該中空部に供給された前記負圧を前記内部空間を介して前記バキューム穴に供給する連通穴を設けた。
【００１０】
すなわち、チップを突き上げるニードルピンは、ボールスプラインのスプライン軸に設けられた軸受けに支持されており、該スプライン軸は、前記突き上げヘッドのハウジングに支持されたボス部に対して上下移動のみが許容されている。このため、前記軸受けの回動を防止する回り止め機構を別途設けること無く、前記軸受けに支持された前記ニードルピンの不用意な回動を防止することができる。
【００１１】
また、前記ボールスプラインの前記スプライン軸は、中空のものが使用されており、当該スプライン軸下部に供給された負圧を、当該スプライン軸上部の連通穴を介して前記ヘッド部内の内部空間に供給することができる。これにより、前記スプライン軸の中空部に供給された前記負圧は、前記内部空間を介して前記バキューム穴に供給され、この負圧によってステージ上のウェーハシートが吸着される。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように本発明の突き上げヘッド構造にあっては、ニードルピンの支持機構をボールスプラインで構成することで、ニードルピンを支持する軸受けの上下作動を許容しつつ、前記ニードルピンの不用意な回転を防止することができる。このため、前記ニードルピンを上下動自在に支持するストロークベアリングと、前記ニードルピンの回動を防止する回り止めとを設けなければならなかった従来と比較して、機構の簡素化を図り低コスト化を図ることができる。
【００１３】
また、前記ボールスプラインの前記スプライン軸を中空とすることで、当該ボールスプラインで区画された下部から上部へ負圧を供給することができる。
【００１４】
このため、負圧供給用の深穴のハウジングへの加工が不要となり、構成、組立、調整、及びメインテナンス等の簡素化を図ることができ、これらに起因した不具合を解消し、低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかる突き上げヘッド構造を備えた突き上げヘッド１を示す図であり、該突き上げヘッド１は、ウエハシート２に貼着されたチップ３をボンディングヘッド４でピックアップしてリードフレームのボンディングポイントにボンディングするダイボンディング装置に設けられている。
【００１６】
この突き上げ装置１は、支持部１１に支持された円筒状のハウジング１２と、該ハウジング１２上部の小径部１３に嵌着固定されたヘッド部１４とによって構成されており、該ヘッド部１４は、上部が閉鎖された円筒状に形成されている。そして、前記ハウジング１２内には、ボールスプライン１５が設けられている。
【００１７】
該ボールスプライン１５は、前記ハウジング１２に内嵌した状態で該ハウジング１２に固定ネジ２１で固定された外周部を構成するボス部２２と、該ボス部２２内に配置されたスプライン軸２３によって構成されており、該スプライン軸２３は、該スプライン軸２３及び前記ボス部２２に形成された縦溝及び両溝間に設けられたボールによって（図示省略）、前記ボス部２２に対して上下方向への移動のみが許容されるように構成されている。
【００１８】
前記スプライン軸２３は、円筒状に形成されており、内部には、軸方向に延在する中空部３１が設けられている。このスプライン軸２３の下端部には、ブロック３２が嵌着した状態で固定ネジ３３で固定されており、前記ブロック３２は、図外の駆動機構によって上下方向に駆動されるように構成されている。このブロック３２には、前記スプライン軸２３の前記中空部３１と連通する円筒状のパイプ３４が側方へ向けて突設されている。該パイプ３４は、ホース３５を介して負圧供給源を構成する負圧ポンプに接続されており、該負圧ポンプによって発生した負圧が、前記スプライン軸２３の前記中空部３１に供給されるように構成されている。
【００１９】
前記スプライン軸２３の上端部には、軸受け４１が固定ネジ４２で固定されており、この軸受け４１の側面には、前記スプライン軸２３の前記中空部３１に連通する連通穴４３が開設されている。この軸受け４１の上端部には、ニードルピン４４を着脱自在に固定するチャック４５が設けられており、前記ニードルピン４４を交換自在に取り付けられるように構成されている。
【００２０】
前記ヘッド部１４の上面は、前記ウェーハシート２下面に面接するステージ５１を構成しており、該ステージ５１には、前記ニードルピン４４が出入りする出入口５２が中央部に開設されている。該出入口５２の外周部には、バキューム穴５３が開設されており、該バキューム穴５３は、当該ヘッド部１４で包囲された内部空間５４に連通している。
【００２１】
これにより、前記負圧ポンプから供給された負圧は、前記スプライン軸２３の前記中空部３１及び前記連通穴４３を介して、前記ボールスプライン１５より上方に設けられた前記ヘッド部１４内の内部空間５４に供給された後、前記バキューム穴５３を介して前記ステージ５１上面に供給されるように構成されており、前記駆動機構で前記ニードルピン４４を上動して前記ウェーハシート２上のチップ３を突き上げる際には、前記バキューム穴５３に供給された前記負圧によって前記ウェーハシート２を前記ステージ５１に吸着して固定して上方への逃げを阻止できるように構成されている。
【００２２】
以上の構成にかかる本実施の形態において、チップ３を突き上げるニードルピン４４は、ボールスプライン１５のスプライン軸２３に設けられた軸受け４１に取り付けられており、前記スプライン軸２３は、当該突き上げヘッド１のハウジング１２に支持されたボス部２２に対して上下移動のみが許容されている。このため、前記軸受け４１の回動を防止する回り止め機構を別途設けること無く、前記軸受け４１に取り付けられた前記ニードルピン４４の不用意な回動を防止することができる。
【００２３】
これにより、前記ニードルピン４４を上下動自在に支持するストロークベアリングと、前記ニードルピン４４の回動を防止する回り止めとを設けなければならなかった従来と比較して、機構の簡素化を図り低コスト化を図ることができる。
【００２４】
また、前記ボールスプライン１５の前記スプライン軸２３は、中空のものが使用されており、当該スプライン軸２３の下部より供給された負圧を、当該スプライン軸２３上部の連通穴４３を介して、当該ボールスプライン１５より上部に設けられた前記ヘッド部１４内の内部空間５４に供給することができる。
【００２５】
これにより、負圧供給用の深穴のハウジング１２への加工が不要となり、構成、組立、調整、及びメインテナンス等の簡素化を図ることができる。よって、これらに起因した不具合を解消し、低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】従来の突き上げヘッドを示す断面図である。
【図３】図２のＡ矢視図である。
【符号の説明】
【００２７】
１    突き上げヘッド
２    ウェーハシート
３    チップ
１２    ハウジング
１４    ヘッド部
１５    ボールスプライン
２２    ボス部
２３    スプライン軸
３１    中空部
４１    軸受け
４３    連通穴
４４    ニードルピン
５１    ステージ
５３    バキューム穴
５４    内部空間
【図１】
2006093362.tif 000003
【図２】
2006093362.tif 000004
【図３】
2006093362.tif 000005