(57)【要約】【課題】  厚さによって濃度と分布が変化する金属触媒を含むキャッピング層パターンを利用して結晶化工程を実施し、非晶質シリコン層とキャッピング層パターンの界面に形成されるシードの密度及び位置を制御して、結晶粒の大きさと均一度を向上させ、一回の結晶化工程で所望の大きさ及び均一度の多結晶シリコンを所望の位置に選択的に形成し、特性が優秀で、所望の特性を有する薄膜トランジスタを形成する。【解決手段】  基板と、基板上に形成され、金属触媒が所定の分布で含まれ所定の高さ及び幅のキャッピング層パターンを利用し、キャッピング層下部の非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化し、結晶粒の大きさが相異なる複数個の半導体層、及び半導体層上に形成されたゲート絶縁膜、ゲート電極、層間絶縁膜及びソース／ドレイン電極を含んで構成された薄膜トランジスタ製造方法。【選択図】  図５
2006108608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に形成されて、金属触媒が所定の分布で含まれて所定の高さ及び幅を有するキャッピング層パターンを利用して前記キャッピング層下部の非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化して結晶粒の大きさが相異なる複数個の半導体層、及び
前記半導体層上に形成されたゲート絶縁膜、ゲート電極、層間絶縁膜及びソース／ドレイン電極を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ。
【請求項２】
前記結晶粒の大きさが相異なる複数個の半導体層は非晶質シリコン層とキャッピング層の界面上に形成されたシードの密度が相互に異同によって形成されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項３】
前記シードの密度はキャッピング層パターン内の金属触媒の量の差により形成されることを特徴とする請求項２に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項４】
前記金属触媒の量の差はキャッピング層パターン内の金属触媒の密度とキャッピング層パターンの形状及び位置によることを特徴とする請求項３に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項５】
前記結晶化法は前記非晶質シリコン層及び前記非晶質シリコン層の表面からの距離によって濃度の変化がある金属触媒を含むキャッピング層パターンが形成された基板を熱処理して非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化する結晶化法であることを特徴とする請求項１に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項６】
前記半導体層上に残留する金属触媒の量が１０９ないし１０１３ａｔｏｍｓ／ｃｍ２であることを特徴とする請求項１に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項７】
基板を準備する段階と、
前記基板上に非晶質シリコン層を形成する段階と、
前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階と、
前記キャッピング層をパターニングする段階、及び
前記基板を熱処理して非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化する段階を含むことを特徴とする薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項８】
前記結晶化する段階以後、
前記キャッピング層を除去する段階と、
前記多結晶シリコン層をパターニングして半導体層を形成する段階、及び
前記基板上にゲート絶縁膜、ゲート電極、層間絶縁膜及びソース／ドレイン電極を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項９】
前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階は、
前記非晶質シリコン層上に第１キャッピング層を形成する段階と、
前記第１キャッピング層上に金属触媒層を形成する段階、及び
前記金属触媒層上に第２キャッピング層を形成する段階であることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１０】
前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階は、
前記非晶質シリコン層上にキャッピング層形成物質と金属触媒を同時に蒸着して金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階であることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１１】
前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階は、
前記非晶質シリコン層上に所定の厚さを形成する間にはキャッピング層形成物質のみを蒸着して金属触媒が存在しないキャッピング層を形成して、連続的にキャッピング層形成物質と金属触媒を同時に蒸着して所定の厚さは金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階であることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１２】
前記キャッピング層に含まれた金属触媒は非晶質シリコン層とキャッピング層の界面からの距離によって金属触媒の密度が変化する濃度勾配を有するようにすることを特徴とする請求項１０または１１に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１３】
前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階は、
前記非晶質シリコン層上にキャッピング層を形成する段階、及び
前記キャッピング層内部にイオン注入工程で金属触媒を注入する段階であることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１４】
前記基板を熱処理して非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化する段階は、
前記基板を第１熱処理してキャッピング層パターン内の金属触媒を拡散または浸透させて多結晶シリコン層とキャッピング層パターンの界面にシードを形成する段階、及び
前記基板を第２熱処理してシードにより非晶質シリコン層が多結晶シリコン層を結晶化する段階であることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１５】
前記第１熱処理は２００ないし８００℃の温度範囲で熱処理することを特徴とする請求項１４に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１６】
前記第２熱処理は４００ないし１３００℃の温度範囲で熱処理することを特徴とする請求項１４に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１７】
前記キャッピング層の厚さは５ないし２０００Åであることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１８】
前記金属触媒はＮｉ、Ｐｄ、Ｔｉ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｍｏ、Ｔｒ、Ｒｕ、Ｒｈ、ＣｄまたはＰｔのうちいずれか一つ以上であることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項１９】
前記キャッピング層パターンとキャッピング層パターン間間の間隔は３ないし４００μｍであることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項２０】
前記キャッピング層パターンの幅は１ないし２０μｍであることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【請求項２１】
前記多結晶シリコン層に残留する金属触媒は１０９ないし１０１３ａｔｏｍｓ／ｃｍ２であることを特徴とする請求項７に記載の薄膜トランジスタ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は薄膜トランジスタ及びその製造方法に係り、さらに詳細には基板上に非晶質シリコン層を形成して、前記非晶質シリコン層上に厚さによって他の濃度を有する金属触媒を含むキャッピング層を形成した後、前記キャッピング層をパターニングしてキャッピング層パターンを形成して、前記非晶質シリコン層を結晶化することによって、前記非晶質シリコン層とキャッピング層パターンの界面に形成されるシードの密度及び位置を制御するようになることによって、結晶粒の大きさと均一度を向上させるだけでなく、一回の結晶化工程で所望する大きさ及び均一度を有する多結晶シリコンを所望する位置に選択的に形成して特性が優秀であって、所望する特性を有する薄膜トランジスタを形成する薄膜トランジスタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、多結晶シリコン層は高い電界効果移動度と高速動作回路に適用が可能であってＣＭＯＳ回路構成が可能であるという長所があって薄膜トランジスタ用半導体層の用途で多く使われている。このような多結晶シリコン層を利用した薄膜トランジスタは主にアクティブマトリックス液晶ディスプレー装置（ＡＭＬＣＤ）のアクティブ素子と有機電界発光素子（ＯＬＥＤ）等のような平板表示装置のスイッチング素子及び駆動素子に使われる。
【０００３】
この時、薄膜トランジスタに用いる多結晶シリコン層は通常的に非晶質シリコン層を蒸着した後、高温熱処理を利用した技術またはレーザー熱処理方法などによって製造される。レーザー熱処理方法は低温工程が可能であって高い電界効果移動度を具現することができるが、高価のレーザー装備が必要であるので代替技術が多く研究されている。
【０００４】
現在、金属を利用して非晶質シリコンを結晶化する方法は高温で長時間熱処理して結晶化する固相結晶化（Ｓｏｌｉｄ  Ｐｈａｓｅ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ）より低い温度で迅速な時間内に結晶化させることができる長所を有しているため多く研究されている。金属を利用した結晶化方法は金属誘導結晶化（Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ）方法と金属誘導側面結晶化（Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｌａｔｅｒａｌ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ）方法に区分される。しかし、金属を利用した前記方法の場合にも金属汚染によって漏れ電流が増加して薄膜トランジスタの素子特性が低下する問題点がある。
【０００５】
一方、金属量を減らして良質の多結晶シリコン層を形成させるために、イオン注入器を介して金属のイオン濃度を調節して高温処理、急速熱処理またはレーザー照射で良質の多結晶シリコン層を形成させる技術と金属誘導結晶化方法で多結晶シリコン層の表面を平坦にするために粘性がある有機膜と液状の金属を混合してコーティング方法で薄膜を蒸着した次に熱処理工程で結晶化する方法が開発されている。しかし、前記結晶化方法の場合にも多結晶シリコン層で最も重要視されるグレーン大きさの大型化及び均一度側面で問題がある。
【０００６】
前記問題を解決するために蓋層を利用した結晶化方法で多結晶シリコン層を製造する方法（特許文献１）が開発された。前記方法は、基板上に金属触媒層を形成して、その上にキャッピング層を形成させた次に、前記キャッピング層上に非晶質シリコン層を形成して熱処理あるいはレーザーを利用して金属触媒をキャッピング層を介して非晶質シリコン層に拡散させてシードを形成させた後、これを利用して多結晶シリコン層を得る方法である。前記方法は金属触媒が蓋層を介して拡散するため必要以上の金属汚染を防止することができるという長所がある。
【０００７】
しかし、前記の結晶化方法は金属触媒の均一な濃度制御が難しくて結晶化位置及び結晶粒の大きさを制御するに難しいという問題点があって特に、金属触媒層をパターニングする過程で金属触媒が保護されないこともあって均一な金属触媒層のパターンがむずかしいという問題点がある。
【特許文献１】大韓民国特許出願公開第２００３−００６０４０３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、本発明は前記のような従来技術の諸般短所と問題点を解決するためのことであって、基板上に非晶質シリコン層を形成して、前記非晶質シリコン層上に厚さによって他の濃度を有する金属触媒を含むキャッピング層を形成した後、前記キャッピング層をパターニングしてキャッピング層パターンを形成して、前記非晶質シリコン層を結晶化することによって、前記非晶質シリコン層とキャッピング層パターンの界面に形成されるシードの密度及び位置を制御するようになることによって、結晶粒の大きさと均一度を向上させるだけでなく、一回の結晶化工程で所望する大きさ及び均一度を有する多結晶シリコンを所望する位置に選択的に形成して特性が優秀であって、所望する特性を有する薄膜トランジスタを形成する薄膜トランジスタ及びその製造方法を提供することに本発明の目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の前記目的は基板と、前記基板上に形成されて、金属触媒が所定の分布で含まれて所定の高さ及び幅を有するキャッピング層パターンを利用して前記キャッピング層下部の非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化して結晶粒の大きさが相異なる複数個の半導体層、及び前記半導体層上に形成されたゲート絶縁膜、ゲート電極、層間絶縁膜及びソース／ドレイン電極で構成された薄膜トランジスタにより達成される。
【００１０】
また、本発明の前記目的は基板を準備する段階と、前記基板上に非晶質シリコン層を形成する段階と、前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階と、前記キャッピング層をパターニングする段階、及び前記基板を熱処理して非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化する段階で構成された薄膜トランジスタ製造方法によっても達成される。
【００１１】
また、本発明の前記目的は前記結晶化する段階以後、前記キャッピング層を除去する段階と、前記多結晶シリコン層をパターニングして半導体層を形成する段階、及び前記基板上にゲート絶縁膜、ゲート電極、層間絶縁膜及びソース／ドレイン電極を形成する段階をさらに含むことを特徴とする薄膜トランジスタ製造方法によっても達成される。
【００１２】
また、本発明の前記目的は前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階は前記非晶質シリコン層上に第１キャッピング層を形成する段階と、前記第１キャッピング層上に金属触媒層を形成する段階、及び前記金属触媒層上に第２キャッピング層を形成する段階であることを特徴とする薄膜トランジスタ製造方法によっても達成される。
【００１３】
また、本発明の前記目的は前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階は前記非晶質シリコン層上にキャッピング層形成物質と金属触媒を同時に蒸着して金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階であることを特徴とする薄膜トランジスタ製造方法によっても達成される。
【００１４】
また、本発明の前記目的は前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階は前記非晶質シリコン層上に所定の厚さを形成する間にはキャッピング層形成物質のみを蒸着して金属触媒が存在しないキャッピング層を形成して、連続的にキャッピング層形成物質と金属触媒を同時に蒸着して所定の厚さは金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階であることを特徴とする薄膜トランジスタ製造方法によっても達成される。
【００１５】
また、本発明の前記目的は前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する段階は前記非晶質シリコン層上にキャッピング層を形成する段階、及び前記キャッピング層内部にイオン注入工程で金属触媒を注入する段階であることを特徴とする薄膜トランジスタ製造方法によっても達成される。
【発明の効果】
【００１６】
したがって、本発明の薄膜トランジスタ製造方法は厚さによって濃度及び分布が変化する金属触媒を含むキャッピング層パターンを利用して結晶化工程を進行することによって、結晶粒の大きさと均一度を向上させるだけでなく、一回の結晶化工程で所望する大きさ及び均一度を有する多結晶シリコンを所望する位置に選択的に形成して特性が優秀であって、所望する特性を有する薄膜トランジスタを形成することができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の前記目的と技術的構成及びそれによる作用効果に関する詳細な事項は本発明の望ましい実施形態を図示している図面を参照した以下詳細な説明によってさらに明確に理解されることである。
【００１８】
図１は基板上にバッファー層及び非晶質シリコン層を形成する工程の断面図である。図で見るようにガラスまたはプラスチックのような絶縁基板１０１上にシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜のような絶縁膜を利用して単層または複層でバッファー層１０２を形成する。この時前記バッファー層は下部基板で発生する水分または不純物の拡散を防止したり、結晶化時熱の伝達の速度を調節することによって、前記非晶質シリコン層の結晶化がよくなされることができるようにする役割をする。
【００１９】
続いて、前記バッファー層上に非晶質シリコン層１０３ａを形成する。この時前記非晶質シリコン層は化学的気相蒸着法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）または物理的気相蒸着法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）を利用することができる。また前記非晶質シリコン層を形成する時または形成した後に脱水素処理して水素の濃度を低くめる工程を進行することができる。
【００２０】
図２Ａないし図２Ｄは前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程の断面図である。
【００２１】
先に、図２Ａは前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程の一実施形態の断面図である。図で見るように非晶質シリコン層が形成された基板上に化学的気相蒸着法または物理的気相蒸着法を利用してシリコン酸化膜または窒化膜で第１キャッピング層１０４ａを形成する。
【００２２】
続いて、前記第１キャッピング層上に金属触媒を化学的気相蒸着法または物理的気相蒸着法を利用して１０１１ないし１０１５ａｔｏｍｓ／ｃｍ２の面密度で蒸着して金属触媒層１０５を形成する。この時、前記金属触媒はＮｉ、Ｐｄ、Ｔｉ、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｍｏ、Ｔｒ、Ｒｕ、Ｒｈ、ＣｄまたはＰｔのうちいずれか一つ以上を利用することができるが、望ましくはニッケル（Ｎｉ）を利用して金属触媒層１０６ａを形成する。前記ニッケルを利用して金属触媒層を形成することが前記ニッケルが非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化することが容易であるため望ましい。
【００２３】
続いて、前記金属触媒層上に化学的気相蒸着法または物理的気相蒸着法を利用してシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜で第２キャッピング層１０４ｂを形成して金属触媒が含まれたキャッピング層１０５ａを形成する。
【００２４】
したがって、図に表記した前記キャッピング層の金属触媒の濃度グラフ１０７で見るように前記第１キャッピング層と第２キャッピング層間の金属触媒層で１００％を示していることを見ることができる。したがって、前記金属触媒層の面密度または蒸着量を調節して以後非晶質シリコン層の結晶化を誘導するシード（ｓｅｅｄ）の量、位置または密度を調節することができる。この時、前記金属触媒の濃度グラフのｘ軸はキャッピング層内の金属触媒の濃度を示して、ｙ軸は非晶質シリコン層とキャッピング層の界面からの距離、すなわち、キャッピング層の厚さを示している。
【００２５】
次に、図２Ｂは前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程の他の一実施形態の断面図である。図で見るように化学的気相蒸着装置または物理的気相蒸着装置を利用してキャッピング層を形成しながら、金属触媒を同時に注入して前記キャッピング層内に金属触媒が均一に分布するように形成して均一に分布した金属触媒１０６ｂを含むキャッピング層１０５ｂを形成する。
【００２６】
この時、図で見るように前記金属触媒を含むキャッピング層の金属触媒の濃度グラフ１０８ａはキャッピング層内に均一に分布していて、キャッピング層の厚さ全体にかけて一定の密度を見せている。このような均一な分布を有している場合、金属触媒を注入しながらキャッピング層を形成するので、キャッピング層形成速度は一定にして、金属触媒の注入量または速度を調節することによって金属触媒の密度を調節することができて、また金属触媒の注入量または速度は一定に維持しながらキャッピング層の形成速度を調節してキャッピング層内の金属触媒の密度を調節することができる。
【００２７】
また、前記キャッピング層内の金属触媒の密度または量を示す他の金属触媒濃度グラフ１０８ｂ、１０８ｃで見るようにキャッピング層の厚さによって漸進的に増加するように形成することもできて、幾何級数的に増加するように形成することもできる。
【００２８】
前記のようにキャッピング層内の金属触媒の密度または量を調節して以後結晶核であるシードの位置、量または密度を調節することができる。
【００２９】
次に、図２Ｃは前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程のまた他の一実施形態の断面図である。図で見るように化学的気相蒸着装置または物理的気相蒸着装置を利用して非晶質シリコン層上に所定の厚さを形成する間には金属触媒を注入しないが、一定の厚さ以上を形成した後、金属触媒を注入し始めて所定厚さ以上にだけ金属触媒１０６ｃを含むキャッピング層１０５ｃを形成する。
【００３０】
この時、図に表記した前記金属触媒を含むキャッピング層の金属触媒の濃度グラフ１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃ、１０９ｄ及び１０９ｅで見るように所定厚さ以後、金属触媒の濃度が一定なように形成したり、漸進的に増加するように形成したり、漸進的に減少するように形成したり、幾何級数的に増加するように形成したり、幾何級数的に減少するように形成することができる。
【００３１】
次に、図２Ｄは前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程のまた他の一実施形態の断面図である。図で見るように化学的気相蒸着装置または物理的気相蒸着装置を利用して非晶質シリコン層上にキャッピング層１０５ｄを形成する。
【００３２】
続いて、イオン注入工程を利用して前記キャッピング層内の所定位置に金属触媒１０６ｄを注入してキャッピング層の所定厚さ範囲で金属触媒が存在するようにする。
【００３３】
この時、図に表記した前記金属触媒を含むキャッピング層の金属触媒の濃度グラフ１１０ａ、１１０ｂで見るように一回のイオン注入で金属触媒が存在する領域を一つの領域だけで形成したり、二度以上のイオン注入で金属触媒が存在する領域を二つ以上の領域に形成することができる。
【００３４】
したがって、図２Ａないし図２Ｄで詳述した色々な方法で金属触媒を含むキャッピング層を形成することができるが、これは前記金属触媒の量、密度または分布を適切に制御することによって、以後前記キャッピング層をパターニングする工程とともに結晶化に必要なシードの生成位置、密度または分布を制御することができるようになる。
【００３５】
この時、前記金属触媒を含むキャッピング層の厚さは５ないし２０００Åで形成することが望ましい。
【００３６】
図３Ａないし図３Ｃは前記金属触媒を含むキャッピング層をパターニングして多様な形態のキャッピング層パターンを形成する工程の断面図である。
【００３７】
先に、図３Ａはパターニングマスクのパターン間の間隔を制御して間隔が異なるように形成されたキャッピング層パターンの断面図である。図で見るようにパターンマスクまたはフォトレジストパターンを利用して前記キャッピング層１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃまたは１０５ｄをパターニングしてキャッピング層パターン１２０ａを形成する。この時、前記キャッピング層パターンはキャッピング層パターン間の間の間隔１２１を調節して形成する。
【００３８】
前記のようにキャッピング層パターン間の間隔を調節して形成する場合、前記キャッピング層パターンが形成された領域下部の非晶質シリコン層の結晶粒の大きさ及び均一度はキャッピング層パターンにより形成されたシードにより決定される反面、キャッピング層パターンが存在しない領域下部（以後、“無パターン領域”だと称する）の非晶質シリコン層の結晶粒の大きさ及び均一度は隣接するキャッピング層パターンの結晶粒の大きさ及び均一度だけでなく、隣接するキャッピング層パターン間の距離にも多くの影響を受けるようになる。すなわち、キャッピング層パターン下部の非晶質シリコン層はキャッピング層パターン内部に存在する金属触媒の密度または分布によって形成されたシードにより決定された大きさ及び均一度を有する多結晶シリコン層を形成するようになるが、無パターン領域下部の非晶質シリコン層は最も近いキャッピング層パターンにより形成された多結晶シリコン層の結晶性が側面伝播により結晶性を有するようになることによって、結晶粒の大きさ及び均一度がキャッピング層パターンのシードに影響を受けるだけでなくキャッピング層パターン間の間隔、すなわち、結晶性の伝播の距離にも影響を受けるようになる。したがって、前記パターン間の距離を制御して非晶質シリコン層の結晶化を制御することができる。
【００３９】
この時、前記キャッピング層パターン間の間隔は３ないし４００μｍに形成することが望ましいが、これは前記キャッピング層パターンと隣接するキャッピング層パターンの間に形成された多結晶シリコン層を利用して半導体層を形成したり、キャパシターの電極などで利用するからである。すなわち、キャッピング層パターン間の間隔が狭ければ（すなわち、３μｍ以下である場合）、半導体層やキャパシターの電極等のような素子を形成するのが難しくて、あまり広く形成されると（すなわち、４００μｍ以上である場合）非晶質シリコン層の結晶化が難しかったりあまり多くの工程時間が必要であるという短所がある。
【００４０】
先に、図３Ｂはいろいろなパターニング方法を利用して厚さが異なるように形成されたキャッピング層パターンの断面図である。図で見るようにパターンマスクまたはフォトレジストパターンを利用して前記キャッピング層１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃまたは１０５ｄをパターニングしてキャッピング層パターン１２０ｂを形成する。この時、前記キャッピング層パターンはキャッピング層の厚さ１２２を調節して形成する。
【００４１】
この時、前記キャッピング層パターンの厚さは金属触媒の量、密度及び分布に多くの影響を及ぼす。すなわち、前記図２Ａないし図２Ｄで詳述したようにキャッピング層の厚さによって金属触媒の量または密度が変化するようになるが、これにより、キャッピング層パターンの厚さが変化（すなわち、パターニングされてなくなるようになれば）するようになれば金属触媒の量がさらに変化が大きくなるようになる。結局、結晶化を誘導するシードがキャッピング層内の金属触媒の密度だけでなく、キャッピング層パターンの厚さにも影響を受けるようになるため結晶化をさらに精密に制御することができるようになる。
【００４２】
この時、前記キャッピング層パターンの厚さを異なるように形成する方法はハーフトーンマスクを利用したり、部分的にマスクを形成して、全面エッチングを進行してキャッピング層パターンの厚さを調節する方法などがある。
【００４３】
この時、前記キャッピング層パターンの厚さは図２Ａないし図２Ｄで詳述したような方法で形成されたキャッピング層をエッチングして完全になくすこともでき、また全くエッチングしないで形成されたキャッピング層そのままを利用することができる。すなわち、キャッピング層パターンの厚さはキャッピング層パターンを形成した後、前記キャッピング層パターン内に存在する金属触媒の量または密度と密接な関係があるので必要により多様に調節することができる。
【００４４】
次に、図３Ｃはキャッピング層パターン間の幅を異なるように形成したキャッピング層パターンの断面図である。図で見るようにマスクまたはフォトレジストパターンを利用してキャッピング層パターン１２０ｃ自らの幅１２３を異なるように形成する。
【００４５】
前記のようにキャッピング層パターンの幅が異なるように形成されると、各キャッピング層パターン内に含まれた金属触媒の密度は相互に同様であるが、金属触媒の量（金属触媒の量はそれぞれのキャッピング層パターンの密度が同じだと言うならばキャッピング層パターンの体積に比例するようになる）は相異なるのでキャッピング層パターンの下部領域から生成されるシードの個数がキャッピング層パターンの幅によって増加するようになる。
【００４６】
また、前記キャッピング層パターンの幅が所定の大きさ以下になれば、キャッピング層パターン下部にはただし一つのシードだけが生成されるはずで、これによりキャッピング層パターン下部の非晶質シリコン層は結晶粒がただし一つである単結晶領域になることである。そして、このような単結晶領域と隣接した非晶質シリコン層（無パターン領域下部の非晶質シリコン層）も前記単結晶領域の結晶性が伝播されて結晶化されることであって基板全体的には結晶性が優秀な多結晶シリコン層を得ることができることである。
【００４７】
この時、前記キャッピング層パターンの幅は１ないし２０μｍに形成することが望ましいが、これは前記キャッピング層パターンの幅によって結晶化に影響を及ぼす金属触媒の量が直接的に影響を受けるからである。また、キャッピング層パターンの幅があまり大きくなるようになれば、結晶化工程以後、多結晶シリコン層上に残留する金属触媒の量があまり多くなり多結晶シリコン層の特性を低下させるため２０μｍ以下に形成することが望ましい。
【００４８】
したがって、前記図２Ａないし図２Ｄと図３Ａないし図３Ｃで詳述した厚さによって他の密度で分布した金属触媒を有するキャッピング層形成方法と前記キャッピング層をさまざまな形態にパターニングしたキャッピング層パターン方法をいろいろの組合で組み合わせて非晶質シリコン層上にキャッピング層パターンを形成するようになれば所望する領域に所望する結晶粒の大きさ、所望する結晶粒大きさの均一度を有する多結晶シリコン層を形成することができる。
【００４９】
図４は前記非晶質シリコン層及び金属触媒を含むキャッピング層が形成された基板を熱処理して結晶化する工程の断面図である。図で見るように図２Ａないし図２Ｄで詳述したような方法でさまざまな形態の密度及び分布を有する金属触媒を含むキャッピング層を形成して、図３Ａないし図３Ｃで詳述したような方法でキャッピング層をパターニングしてさまざまな形態のキャッピング層パターン１２０を形成した基板を熱処理１２４して前記非晶質シリコン層１０３ａを多結晶シリコン層１０３ｂに結晶化する工程を進行する。
【００５０】
この時、前記熱処理工程は第１熱処理工程及び第２熱処理工程で二度の工程にかけて進められることができる。第１熱処理工程は２００ないし８００℃の温度範囲で熱処理して前記キャッピング層パターン内に含まれている金属触媒を拡散または浸透させて非晶質シリコン層の界面に結晶化を誘導する金属ケイ化物のシードを形成させる。
【００５１】
続いて、前記第２熱処理工程を４００ないし１３００℃の温度範囲で実施して前記シードにより非晶質シリコン層を多結晶シリコン層に結晶化する。この時、前記多結晶シリコン層の結晶粒の大きさは５μｍないし４００μｍを有するようになる。
【００５２】
この時、前記多結晶シリコン層の結晶粒大きさ及び均一度は前記シードの量または密度により決定されるが、これは前記キャッピング層パターンの大きさ（幅及び間隔）とキャッピング層パターン内の金属触媒の分布、密度及び量により決定される。したがって、多結晶シリコン層の結晶粒大きさ及び均一度を制御するためにはキャッピング層パターン内の金属触媒の分布、密度及び量を前記図２Ａないし図３Ｃで詳述したような方法で制御することで成すことができる。
【００５３】
この時、前記多結晶シリコン層上に残留する金属触媒の量は１０９ないし１０１３ａｔｏｍｓ／ｃｍ２であるが、これは前記キャッピング層パターン内に含まれた金属触媒が熱処理工程により非晶質シリコン層表面に拡散または浸透してシードを形成して、前記シードにより結晶化された後、前記キャッピング層を除去した後にも残留する量としてキャッピング層パターン内に含まれた金属触媒の量に直接的な関連がある。
【００５４】
図５は熱処理工程時非晶質シリコン層の結晶化を説明するための断面図及び平面図である。図で見るように図４の第１熱処理工程により図３Ａないし図３Ｃで詳述したキャッピング層パターン内に含まれた金属触媒が拡散または浸透によりシード１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ、１２５ｄ及び１２５ｅを形成する。この時、前記シードはキャッピング層パターン１２６ａ、１２６ｂ、１２６ｃ、１２６ｄ及び１２６ｅ内に含まれた金属触媒により形成される。
【００５５】
続いて、第２熱処理工程により前記シードにより非晶質シリコン層が多結晶シリコン層に結晶化が誘導される。図５で見るように前記シードの結晶性が非晶質シリコン層に伝播１２７ａ、１２７ｂ、１２７ｃ、１２７ｄ及び１２７ｅされて多結晶シリコン層を形成するようになるが、図ではシードを中心にして平面的に（四方に）結晶が成長することと描写されているが、実際には垂直的に（深さ方向に）も結晶が成長する。
【００５６】
この時、図５の左側で１番目に位置したキャッピング層パターンである第１キャッピング層パターン１２６ａは他のキャッピング層パターンの基準になるパターンであって図２Ａないし図２Ｄのうちいずれか一つ以上の金属触媒の濃度分布を有するキャッピング層パターンである。前記第１キャッピング層パターン下部には第１キャッピング層パターン内に含まれていた金属触媒によりシード１２５ａが形成されて、前記シードの結晶性が第２熱処理工程の間伝播１２７ａされて結晶粒１２８ａを形成するようになるが、前記結晶粒の大きさは第１キャッピング層パターンの下部領域の面積に生成されたシードの個数（図では４個が形成されているのを見ることができる）により決定されるので、第１キャッピング層パターンの下部領域の面積とシードの個数を調節して制御することができる。すなわち、面積は広げて、形成されるシードの個数を一定なようにするならば結晶粒の大きさは大きくなって、面積は固定して、シードの個数を減らしても結晶粒の大きさは大きくなるようになる。また、前記第１キャッピング層パターンと隣接する無パターン領域、すなわち、キャッピング層パターン間の間の領域であって前記第１キャッピング層パターンにより形成された結晶性が伝播されるようになるが、図の第１無パターン領域１２９ａは四つの結晶粒（第１キャッピング層パターンの両側の結晶粒を合わせた個数）から伝播された結晶性により結晶化されて２個の結晶粒を形成するようになる。
【００５７】
図５の左側で２番目に位置したキャッピング層パターンである第２キャッピング層パターン１２６ｂは図３Ｃで詳述したようにキャッピング層パターンの幅を制御して形成したパターンであって、その幅を下部領域の非晶質シリコン層上に一つのシード１２５ｂだけが形成される幅で形成したキャッピング層パターンである。前記シードにより結晶性が伝播１２７ｂされて第２キャッピング層パターン下部領域の非晶質シリコン層は一つの結晶粒１２８ｂで成長するようにする。したがって、第２無パターン領域でも結晶粒の結晶性が伝播されて２個の結晶粒だけが形成されて、第２無パターン領域の内部には結晶粒界が存在しない単結晶のようなシリコン層を得ることができる。
【００５８】
この時、前記第１キャッピング層パターンと第２キャッピング層パターンの間の領域には第１無パターン領域と第２無パターン領域が存在するようになる。したがって、前記第１キャッピング層パターンと第２キャッピング層パターン間の領域には両側の結晶性が接触する結晶粒界１３０ａを含んで少なくとも一つ以上の結晶粒界（例えば、第１キャッピング層パターンと第２キャッピング層パターン下部領域にそれぞれ一つの結晶粒だけが存在すると仮定しても、それぞれの結晶粒から伝播された結晶性が接触する領域では少なくとも一つの結晶粒界が形成されるからである。）が形成される。また他の無パターン領域が接触する領域でも結晶粒界１３０ｂ、１３０ｃ、１３０ｄがそれぞれ少なくとも一つ以上形成される。
【００５９】
図５の左側で三番目に位置したキャッピング層パターンである第３キャッピング層パターン１２６ｃは図３Ｂで詳述したようにキャッピング層パターンの厚さを制御して形成したパターンであって、その厚さを制御して非晶質シリコン層上にシード１２５ｃの個数を制御することができる。この時、第１キャッピング層パターンと金属触媒の分布及び密度が同一であれば厚さが薄いほど結晶粒１２８ｃの大きさは大きくなるようになることである。
【００６０】
図５の左側で４番目に位置したキャッピング層パターンである第４キャッピング層パターン１２６ｄは図３Ａで詳述したようにキャッピング層パターン間の間隔を制御して形成するためのパターンであって、第４キャッピング層パターン自体は他のいずれのキャッピング層パターンと同一に形成しても構わないが、その間隔だけは異なるように形成する。この時、第３キャッピング層パターン下部に形成された多結晶シリコン層の結晶性が伝播して形成された第３無パターン領域のうち第４キャッピング層パターンと隣接した領域と第４キャッピング層パターン下部に形成された多結晶シリコン層の結晶性が伝播して形成された第４無パターン領域のうち第３キャッピング層パターンと隣接した領域が他の無パターン領域より広く形成されるので第４キャッピング層パターンにより形成された多結晶シリコン層の結晶性を広く形成したい時はパターンのみを広く形成することによって容易に形成することができる。
【００６１】
図５の左側で５番目に位置したキャッピング層パターンである第５キャッピング層パターン１２６ｅは図３Ｃで詳述したようにキャッピング層パターンの幅を制御して形成したパターンであって、均一に分布したシード１２５ｅにより均一に形成された結晶粒１２８ｅが広く形成されるように形成することができる。すなわち、キャッピング層パターン内の金属触媒を調節してシードの生成密度及び量を調節して、結晶を成長させることによって、一定の大きさの均一度を有する多結晶シリコン層を得ることができるようになる。
【００６２】
図６は本発明により形成された多結晶シリコン層を利用して薄膜トランジスタを製造した後の断面図である。図で見るように前記キャッピング層パターンを除去した後、所定領域（キャッピング層パターンの下部領域またはキャッピング層パターンの間の領域）をパターニングして多結晶シリコン層で形成された半導体層２０１を形成する。この時、前記半導体層は図２Ａないし図３Ｃで詳述したように多様な分布及び密度を有する金属触媒を含んで、多様な大きさ、幅及び位置を有するキャッピング層パターンを形成した後、結晶化することによって結晶粒の大きさ及び均一度が制御された多結晶シリコン層で形成される。
【００６３】
続いて、前記基板上にシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜を単層または複層で化学的気相蒸着法または物理的気相蒸着法を利用してゲート絶縁膜２０２を形成する。
【００６４】
続いて、前記基板上にゲート電極形成物質を蒸着した後、パターニングしてゲート電極２０３を形成して、前記基板上にシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜を単層または複層で層間絶縁膜２０４を形成する。
【００６５】
続いて、前記層間絶縁膜及びゲート絶縁膜の所定領域をエッチングして前記半導体層の所定領域を露出させたコンタクトホールを形成して、前記基板全面にソース／ドレイン電極形成物質を形成した後、パターニングしてソース／ドレイン電極２０５を形成して薄膜トランジスタを完成する。
【００６６】
本発明は以上でよく見たように望ましい実施形態を挙げて図示して説明したが、前記実施形態に限られなくて本発明の精神を外れない範囲内で該発明が属する技術分野で通常の知識を有する者により多様な変更と修正が可能であることである。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】基板上にバッファー層及び非晶質シリコン層を形成する工程の断面図。
【図２Ａ】前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程の断面図。
【図２Ｂ】前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程の断面図。
【図２Ｃ】前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程の断面図。
【図２Ｄ】前記非晶質シリコン層上に金属触媒を含むキャッピング層を形成する工程の断面図。
【図３Ａ】前記金属触媒を含むキャッピング層をパターニングして多様な形態のキャッピング層パターンを形成する工程の断面図。
【図３Ｂ】前記金属触媒を含むキャッピング層をパターニングして多様な形態のキャッピング層パターンを形成する工程の断面図。
【図３Ｃ】前記金属触媒を含むキャッピング層をパターニングして多様な形態のキャッピング層パターンを形成する工程の断面図。
【図４】前記非晶質シリコン層及び金属触媒を含むキャッピング層が形成された基板を熱処理して結晶化する工程の断面図。
【図５】熱処理工程時非晶質シリコン層の結晶化を説明するための断面図及び平面図。
【図６】本発明により形成された多結晶シリコン層を利用して薄膜トランジスタを製造した後の断面図。
【符号の説明】
【００６８】
１０１  絶縁基板
１０２  バッファー層
１０３ａ  非晶質シリコン層
１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃ、１０５ｄ  キャッピング層
１０６ａ、１０６ｂ、１０６ｃ、１０６ｄ  金属触媒
１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ  キャッピング層パターン
１２４  熱処理工程
２０１  半導体層
【図１】
2006108608.tif 000003
【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
2006108608.tif 000009
【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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