(57)【要約】【課題】  板材の良否の検査をより確実に行う。【解決手段】  圧電プレート２０８を保持部材４０４の上に乗せる。吸引装置４１２を動作させ、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａの気圧を計測しながら、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａを徐々に所定の気圧になるまで減圧していく。圧電プレート２０８に欠陥があると、所定の気圧となる前に破損する。圧電プレート２０８を上面と下面とを貫通する孔がある場合は、孔２１０Ｂから外気が流入し、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａが減圧されない。よって内部空間４０２Ａの気圧の変化を示す減圧曲線によって、孔の有無が検査できる。また、圧電プレート２０８が撓んだ状態で市販されている干渉計を用いて、圧電プレート２０８に干渉縞を形成し、この干渉縞を観察し、欠陥の有無を検査する。【選択図】        図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板材の一方の面で密閉された空間を所定の気圧に減圧して前記板材を撓ませ、該板材が破壊するか否かで良否の判別を行うことを特徴とする板材の検査方法。
【請求項２】
板材の一方の面で密閉された空間を減圧して前記板材を撓ませ、前記空間の気圧の変化を表す減圧曲線によって、該板材に貫通孔があるか否かの判別を行うことを特徴とする板材の検査方法。
【請求項３】
板材を変形手段で撓ませ、撓んだ前記板材に干渉縞を形成し、前記干渉縞を観察して良否の判別を行うことを特徴とする板材の検査方法。
【請求項４】
前記変形手段は、前記板材の一方の面で密閉された空間を所定の気圧に減圧して該板材を撓ませることを特徴とする請求項３に記載の板材の検査方法。
【請求項５】
前記板材は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電体であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の板材の検査方法。
【請求項６】
板材を撓ませる変形手段と、
前記板材に干渉縞を形成し、前記干渉縞を観察する干渉計と、
を備えることを特徴とする板材の検査装置。
【請求項７】
板材の一方の面で密閉される開口を備えるチャンバーと、
前記チャンバーの内部空間を減圧する減圧手段と、
を備えることを特徴とする板材の検査装置。
【請求項８】
前記チャンバーの内部空間の気圧の変化を計測する計測手段を備えることを特徴とする請求項７に記載の板材の検査装置。
【請求項９】
前記板材に干渉縞を形成し、前記干渉縞を観察する干渉計を備えることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の板材の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板材の検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子を用いてインク滴を吐出させる方式のインクジェット記録ヘッドが知られている。このようなインクジェット記録ヘッドには、例えば、数十μｍの厚さに加工した圧電プレートを分割し、圧電素子として用いている。
【０００３】
圧電プレートは、製造工程において、内部に空洞などの内部欠陥が生じることがある。また、圧電プレートは非常に脆く壊れやすいので傷が入りやすい。
【０００４】
このように内部欠陥や傷があると圧電素子の圧電性能が著しく低下する。そして、インク滴の吐出性能も低下する。よって、内部欠陥や傷の有無の検査が必要である。
【０００５】
従来の検査方法としては、図１３に示すように、圧電体プレート７００にライト７０２、７０４で光を透過させたり、微小な角度をつけて光を入射して、孔７００Ｂの有無や、傷７００Ａによる乱反射等を目視によって観察し、良否を判断していた。しかし、このような方法は効率が悪く、また確実性に乏しかった。特に、小さな傷や表面に露出していない内部欠陥７００Ｃは、上述の方法で検出するのは極めて困難であった。
【０００６】
さて、薄膜トランジスタなどを基板上に形成した半導体装置を製造する際の歩留り向上を目的とし、基板に大きな応力を発生させる工程を行ない、傷や内部欠陥を顕著化したのち、次工程の前に基板の検査を行うことで、傷や内部欠陥を検出しやすくする製造方法が提案されている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
しかし、このような製造方法は、検査方法自体は従来と同様であり、やはり確実性に乏しい。
【０００８】
また、基板を凹形状の台座に載せ，凸形状の押型で基板を圧接し、曲げによる引張応力を発生させ、予め定めた許容応力に到達させることで基板の良否を判別する方法が提案されている。（例えば、特許文献２参照）。
【０００９】
しかし、このような検査方法は、剛性が低い被検査物では応力が強過ぎて検査が難しく、検査可能な板材に制限がある。
【特許文献１】特開２０００−１５０６０４
【特許文献２】特開２００１−２２１７２９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、板材の良否の検査をより確実に行える検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の板材の検査方法は、板材の一方の面で密閉された空間を所定の気圧に減圧して前記板材を撓ませ、該板材が破壊するか否かで良否の判別を行うことを特徴としている。
【００１２】
請求項１に記載の板材の検査方法は、板材の一方の面で密閉された空間を所定の気圧に減圧して板材を撓ませる。板材に欠陥が無ければ撓むだけで破壊されないが、板材に欠陥があると破壊する。よって、板材が破損するか否かで良否の判別を行える。また、欠陥が表面に露出してなくても検査が可能である。
【００１３】
なお、板材の一方の面で密閉された空間を所定の気圧に減圧して板材を撓ませるので、特定の箇所に応力が集中せずに、板材全体に均一に力がかる。よって、板材の欠陥の有無による破壊・非破壊が正確に反映される。また、微小な応力で板材を撓ませられるので、例えば、脆弱性材料からなる脆く破損しやすい板材や、非常に薄い薄板でも検査可能である。
【００１４】
請求項２に記載の板材の検査方法は、板材の一方の面で密閉された空間を減圧して前記板材を撓ませ、前記空間の気圧の変化を表す減圧曲線によって、該板材に貫通孔があるか否かの判別を行うことを特徴としている。
【００１５】
請求項２に記載の板材の検査方法は、板材の一方の面で密閉された空間を減圧して板材を撓ませる。板材に貫通孔が無い場合は空間の気圧はスムーズに減圧されていく。しかし、板材に貫通孔があると貫通孔からリークするので減圧されにくい。よって、空間の気圧の変化を表す減圧曲線によって、リークの有無、すなわち板材に貫通孔があるか否かの判別を行える。また、板材にかかる応力は微小にできるので、例えば、脆弱性材料からなる脆く破損しやすい板材や、非常に薄い薄板でも検査可能である。
【００１６】
請求項３に記載の板材の検査方法は、板材を変形手段で撓ませ、撓んだ前記板材に干渉縞を形成し、前記干渉縞を観察して良否の判別を行うことを特徴としている。
【００１７】
請求項３に記載の板材の検査方法は、板材を変形手段で撓ませ、撓んだ板材に干渉縞を形成する。板材に欠陥があると欠陥部分の撓みに歪みが生じる。この撓みの歪みは干渉縞の歪みとなり観察できる。したがって、干渉縞を観察して板材の良否の判別を行える。
【００１８】
また、欠陥が表面に露出してなくても検査が可能であるし、微小な欠陥であっても検査が可能である。
【００１９】
更に、欠陥があっても破壊されず、また、欠陥部分（干渉縞の歪み部分）を特定できる。よって、欠陥部分以外の正常な部分を使用できるので好適である。
【００２０】
請求項４に記載の板材の検査方法は、請求項３に記載の検査方法において、前記変形手段は、前記板材の一方の面で密閉された空間を所定の気圧に減圧して該板材を撓ませることを特徴としている。
【００２１】
請求項４に記載の板材の検査方法は、板材の一方の面が密閉された空間を所定の気圧に減圧して板材を撓ませているので、板材全体に均一に力がかかる。よって、板材も均一に撓む。つまり、板材の欠陥の有無による干渉縞の歪み（撓みの歪み）を正確に観察できる。
【００２２】
請求項５に記載の板材の検査方法は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査方法において、前記板材は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電体であることを特徴としている。
【００２３】
請求項５に記載の板材の検査方法は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電体を検査する。電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電体は、脆弱性材料であり、非常に脆く破損しやすい。また、貫通孔や表面に露出しない欠陥が存在する。よって、請求項１から請求項４のいずれかに記載の板材の検査方法で検査することは好適である。
【００２４】
請求項６に記載の板材の検査装置は、板材を撓ませる変形手段と、前記板材に干渉縞を形成し、前記干渉縞を観察する干渉計と、を備えることを特徴としている。
【００２５】
請求項６に記載の板材の検査装置は、変形手段で板材を撓ませ、干渉計で撓んだ板材に干渉縞を形成し、干渉縞を観察する。
【００２６】
板材に欠陥があると欠陥部分の撓みに歪みが生じる。この撓みの歪みは干渉縞の歪みとなり観察できる。したがって、干渉縞を観察して板材の良否の判別を行える。
【００２７】
また、欠陥が表面に露出してなくても検査が可能であるし、微小な欠陥であっても検査が可能である。
【００２８】
更に、欠陥があっても破壊されず、また、欠陥部分（干渉縞の歪み部分）を特定できる。よって、欠陥部分以外の正常な部分を使用できるので好適である。
【００２９】
請求項７に記載の板材の検査装置は、板材の一方の面で密閉される開口を備えるチャンバーと、前記チャンバーの内部空間を減圧する減圧手段と、を備えることを特徴としている。
【００３０】
請求項７に記載の板材の検査装置は、チャンバーの開口が板材の一方の面で密閉される。そして、減圧手段でチャンバーの内部空間を減圧する。チャンバーの内部空間を減圧すると板材が撓む。
【００３１】
所定の気圧となっても、板材に欠陥が無ければ撓むだけで破壊されないが、板材に欠陥があると破壊する。よって、板材が破損するか否かで良否の判別を行える。また、欠陥が表面に露出してなくても検査が可能である。
【００３２】
なお、チャンバーの内部空間を減圧して板材を撓ませるので、特定の箇所に応力が集中せずに板材全体に均一に力がかる。よって、板材の欠陥の有無による破壊・非破壊が正確に反映される。また、微小な応力で板材を撓ませられるので、例えば、脆弱性材料からなる脆く破損しやすい板材や、非常に薄い薄板でも検査可能である。
【００３３】
請求項８に記載の板材の検査装置は、請求項７に記載の構成において、前記チャンバーの内部空間の気圧の変化を計測する計測手段を備えることを特徴としている。
【００３４】
請求項８に記載の板材の検査装置は、チャンバーの内部空間の気圧の変化を計測する計測手段を備えている。よって、板材に貫通孔が有るとリークし減圧されにくく、板材に撓みが生じにくい。しかし、計測手段によってチャンバーの内部空間の気圧の変化を計測し、リークの有無、すなわち板材に貫通孔があるか否かの判別を行える。
【００３５】
請求項９に記載の板材の検査装置は、請求項７又は請求項８に記載の構成において、前記板材に干渉縞を形成し、前記干渉縞を観察する干渉計を備えることを特徴としている。
【００３６】
請求項９に記載の板材の検査装置は、板材に干渉縞を形成し、この干渉縞を観察する干渉計を備えている。撓んだ板材に欠陥があると欠陥部分の撓みに歪みが生じ、この撓みの歪みは干渉縞の歪みとなり観察できる。したがって、干渉縞を観察して板材の良否の判別を行える。
【００３７】
また、減圧して板材を撓ませているので、板材全体に均一に力がかかるので、板材も均一に撓む。よって、板材に欠陥の有無による干渉縞の歪み（撓みの歪み）を正確に観察できる。
【発明の効果】
【００３８】
以上説明したように本発明によれば、板材の良否の検査をより確実に行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
先ず圧電素子３６を用いたインクジェット記録ヘッド１１２の構成の概要を説明する。
【００４０】
図１及び図２に示すようにインクジェット記録ヘッド１１２は、マトリックス状に配置されたインク滴を吐出するノズル１０と菱形形状をした圧力室１２と備え、ノズル１０と圧力室１２とはノズル連通路１６で連通されている。
【００４１】
また、図示しないインク供給部から導入されたインクが充填される共通インク流路１４を備えている。そして、共通インク流路１４の開口部２０と圧力室１２とが、インク供給路１８で連通されている。
【００４２】
圧力室１２の上面には振動板３４が接着され、振動板３４の上面には、略長方形の圧電素子３６が接着され、更に圧電素子３６の上面にはボール半田４０を介して配線基板３８が接合されている。
【００４３】
なお、図２（Ａ）に示すように、ノズル１０は圧力室１２の菱形形状の角部に位置し、インク供給路１８はノズル１０の位置と対角線上に反対の角部と連通している。
【００４４】
また、圧電素子３６は駆動部３６Ａと電極パット部３６Ｂとで構成されている。電極パット部３６Ｂは圧力室１２の領域外に延出した部分で、ボール半田４０を介して配線基板３８と接続されている。駆動部３６Ａは圧力室１２に相当する領域の上面に配設された部分で、その大きさは圧力室１２より若干小さく、圧力室１２と略同形状となる。
【００４５】
インクジェット記録ヘッド１１２は、このような構成により、駆動電圧が圧電素子３６の電極パット部３６Ｂに印加されると、圧電素子３６の駆動部３６Ａがたわみ変形して、圧力室１２のインクを加圧し、ノズル１０からインク滴が吐出する。
【００４６】
つぎに、インクジェット記録ヘッド１１２の製造方法の概要を説明する。
【００４７】
図１と図２とに示すように、ノズル１０が形成されるノズルプレート２２と、ノズル連通路１６と共通インク流路１４となる孔が形成されたインクプールプレート２４、２６と、ノズル連通路１６と共通インク流路１４の開口部２０となる孔が形成されたスループレート２８と、インク供給路１８となる孔が形成されたインク供給路プレート３０と、圧力室１２となる孔が形成された圧力室プレート３２とを順番に積層し接合する。
【００４８】
なお、ノズルプレート２２の材質はポリイミドであり、ノズルプレート２２、インクプールプレート２４、２６、スループレート２８、圧力室プレート３２の材質はＳＵＳである。また、圧力室１２等になる各孔は、エッチング加工によって形成されている。
【００４９】
つぎにノズルプレート２２の表面に撥水コート膜（図示せず）を被覆すると共に、エキシマレーザでノズル１０を開ける。
【００５０】
ノズル１０を形成後に圧力室プレート３２に振動板３４を接着し、振動板３４の上面に各圧力室１２に対応した圧電素子３６を接着する
そして、最後に圧電素子３６毎にボール半田４０を形成した配線基板３８を圧電素子３６と接合する。
【００５１】
なお、圧電素子３６の両面には電極層が形成されており圧電素子３６と配線基板３８とは電気的に接続されている。また、配線基板３８と振動板３４とは導電性材にて接続されている。
【００５２】
つぎに圧電素子３６の製造方法について説明する。
【００５３】
図３（Ａ）に示すように、圧電素子３６の原料となる微細粒子２０２（約３μｍのＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）粒子）を焼結用の円筒炉３００に入れ、加圧しながら焼成する。図３（Ｂ）に示すように、焼結された微細粒焼結体のインゴット２０４を取り出す。図４（Ａ）と図４（Ｂ）とに示すように、インゴット２０４をスライスし、約１００μｍ厚（図４（Ｂ）のｔ１）の微細粒焼結体の板状圧電体２０６とする。そして、図５（Ａ）と図５（Ｂ）とに示すように、板状圧電体２０６を研磨装置（図示省略）で研磨して薄板化し、約３５μｍ厚（図５（Ｂ）のｔ２）の微細粒焼結体の圧電プレート２０８とする。
【００５４】
図示は省略するが、圧電プレート２０８の両面に電極層となる電極膜をスパッタリング等で形成したのち、サンドブラスト加工などによって分割し、圧電素子３６（図２参照）とする。なお、本実施形態の場合は、１枚の圧電プレート２０８から数ヘッド分の圧電素子３６となる。
【００５５】
さて、図３（Ｃ）に示すように、焼結直後のインゴット２０４の内部には、空洞２１０が残存する。そして、図４（Ｂ）に示すように、スライス後の板状圧電体２０６の中にも、この空洞２１０が残り、そして、図５（Ｂ）に示すように、薄板化後の圧電プレート２０８の内部欠陥２１０Ａ（空洞）や孔２１０Ｂとなる。
【００５６】
圧電プレート２０８の内部欠陥２１０Ａや孔２１０Ｂは、圧電素子３６への分割工程や、その後のインクジェット記録ヘッド１１２の製造工程においてストレスがかかると、圧電素子３６の破損やクラックの原因となる。また、内部欠陥２１０Ａや孔２１０Ｂのある圧電素子３６は、圧電特性が著しく低下し、このためインク滴の吐出特性も著しく低下する。更に、駆動電圧を印加した際に圧電素子３６の両面がショートする原因にもなる。
【００５７】
したがって、圧電プレート２０８の内部欠陥２１０Ａや孔２１０Ｂの有無を検査する必要がある。よって、つぎに本発明の実施形態に係る圧電プレート２０８の検査装置４００について説明する。
【００５８】
図６に示すように、検査装置４００は、上方が開口した円筒形状のチャンバー４０２を備えている。チャンバー４０２の外径は圧電プレート２０８のより若干大きく、開口の内径は圧電プレート２０８より若干小さい。よって、圧電プレート２０８はチャンバー４０２の上端部４０２Ｂの上に乗る。また、上端部４０２Ｂの上には弾性体からなる円形の保持部材４０４が設けられており、圧電プレート２０８はこの保持部材４０４の上に乗せられる。
【００５９】
なお、この保持部材４０４は、ゴム硬度１００°Ｈｓ以下が望ましく、５０°Ｈｓから８０°Ｈｓであれば、更に望ましい。なお、本実施形態では、ゴム硬度は約６０°Ｈｓとなっている。
【００６０】
チャンバー４０２の下部には、吸引口４０８が形成されている。そして、吸引装置４１２がチューブ４１０を介して吸引口４０８と繋がれている。
【００６１】
吸引装置４１２は吸引口４０８からチャンバー４０２の内部空間４０２Ａを減圧し、また、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａの気圧を計測できる。
【００６２】
つぎに、圧電プレート２０８の検査装置４００での検査方法について説明する。
【００６３】
図６に示すように、圧電プレート２０８を保持部材４０４の上に乗せる。吸引装置４１２を動作させる。圧電プレート２０８で密閉されたチャンバー４０２の内部空間４０２Ａの気圧を計測しながら、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａを徐々に所定の気圧になるまで減圧していく。所定の気圧に減圧されると図１０に示すように、圧電プレート２０８が撓む。
【００６４】
しかし、圧電プレート２０８に内部欠陥２１０Ａ（図５参照）や傷などがあると、図７に示すように、所定の気圧となる前に破損する。よって、圧電プレート２０８の内部欠陥２１０Ａや傷の有無を検査できる。また、表面に露出していない内部欠陥２１０Ａの有無も検査できる。
【００６５】
更に、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａを減圧して圧電プレート２０８を撓ませるので、特定の箇所に応力が集中せずに、圧電プレート２０８全体に均一に力がかかる。よって、内部欠陥２１０Ａや傷の有無による破壊・非破壊が正確に反映される。また、撓み量も微小にできる。
【００６６】
さて、圧電プレート２０８の上面と下面とを貫通する孔２１０Ｂがある場合は、図８の矢印Ｒで示すように、孔２１０Ｂから外気が流入し、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａが減圧されないので、圧電プレート２０８は撓まない。しかし、図９のグラフに示すように、孔２１０Ｂが無い場合の気圧の変化を示す減圧曲線Ａと孔２１０Ｂが有る場合の気圧の変化を示す減圧曲線Ｂとに差がでる。（つまり、孔２１０Ｂがあると減圧されにくい）。したがって、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａの気圧の変化を示す減圧曲線Ａ，Ｂによって、孔２１０Ｂの有無が検査できる。
【００６７】
なお、保持部材４０４のゴム硬度は６０°Ｈｓと十分柔らかいので、圧電プレート２０８が撓んでも、保持部材４０４と密着する。よって、圧電プレート２０８と保持部材４０４との間に隙間があき、そこから外気が流入することはない。つまり、孔２１０Ｂ以外から外気が流入することはない。
【００６８】
さて、内部欠陥２１０Ａや傷が微小の場合、所定の気圧となっても破損しない場合がある。このような場合は、次のようにして内部欠陥２１０Ａや傷の検査を行う。
【００６９】
図１０に示すように圧電プレート２０８が撓んだ状態で、図１１に示すように、圧電プレート２０８に干渉縞５００を形成し、干渉縞５００を観察する。
【００７０】
内部欠陥２１０Ａや傷が無い場合は、圧電プレート２０８の撓みは一様であるので、図１１（Ａ）に示すように干渉縞５００も一様に形成される。
【００７１】
しかし、内部欠陥２１０Ａや傷がある場合は、圧電プレート２０８の撓みは一様でなく歪むので、図１１（Ｂ）に示すように干渉縞５００も歪んで形成される。
【００７２】
したがって、干渉縞５００を観察することで内部欠陥２１０Ａや傷の有無を検査できる。なお、保持部材４０４はゴム硬度６０°Ｈｓと適度な硬度を有しているので圧電プレート２０８は一様に撓む。よって、干渉縞５００の歪みの観察を正確に行える。
【００７３】
また、干渉縞５００が歪んでいる部分Ｘが内部欠陥２１０Ａや傷がある箇所である。よって、内部欠陥２１０Ａや傷がある部分を特定できるので、圧電プレート２０８全体を廃棄せず、内部欠陥２１０Ａや傷がない部分を利用できる。
【００７４】
なお、圧電プレート２０８に干渉縞５００を形成し、干渉縞５００を観察する手段としては、市販の干渉計を用いれば良い。干渉計とは、光源から出た光を２つ以上の光に分割し、別々の光路を通ったあと再び重ね合わせ、光路差により発生する干渉縞を捉え、これを解析して被検体の表面形状や透過波面形状を求めるものである。したがって、干渉計は、光源、光の分割手段、光の重ね合わせ手段、検出手段などから構成されている。
【００７５】
つぎに、本実施形態の作用を説明する。
【００７６】
今まで説明したように、圧電プレート２０８の傷、内部欠陥２１０Ａ、孔２１０Ｂの有無を確実に検査できる。
【００７７】
また、圧電プレート２０８は、脆弱性材料であり、また、厚みも約３５μｍと非常に薄い。よって、非常に脆く破損しやすい。このような圧電プレート２０８は、僅かな応力でも破壊するので検査が困難である。しかし、圧電プレート２０８の検査装置４００は、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａを徐々に減圧して、少しずつ、しかも微小に圧電プレート２０８を撓ませられる。また、特定の箇所に応力が集中せずに、圧電プレート２０８全体に均一に力がかる。したがって、非常に脆く破損しやすい圧電プレート２０８でも容易に且つ確実に検査が可能となっている。
【００７８】
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
【００７９】
例えば、上記実施形態では、干渉計による観察でも検査したが、干渉計を用いず破損の有無と減圧曲線とで検査しても良い。
【００８０】
あるいは、干渉計と減圧曲線とで検査しても良い。また、干渉計のみによる観察でも良く、この場合は、上記実施形態のように、チャンバー４０２の内部空間４０２Ａを減圧して圧電プレート２０８を撓ませる以外の方法で圧電プレート２０８を撓ませても良い。例えば、図１２に示すように、圧電プレート２０８の中央部を押圧部材６００で押して撓ませても良い。
【００８１】
また、例えば、上記実施形態では、圧電プレート２０８を検査したが、板状圧電体２０６（図４参照）を検査しても良い。
【００８２】
また、例えば、上記実施形態では、焼結・スライス・薄膜化の工程を経て圧電プレート２０８を製造したが、これに限定されない。その他の製造方法であっても良い。
【００８３】
また、例えば、上記実施形態では、圧電プレート２０８を分割して形成される圧電素子３６は、インクジェット記録ヘッド１１２に使用した例で説明しているが、これに限定されない。圧電素子は、電気機械変換素子としてセンサやアクチュエータなどとして、その他のものにも適用可能である。また、圧電素子の厚みや形状は対象に応じて最適なものとなる。
【００８４】
また、圧電プレート２０８以外の板材の検査にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】（Ａ）は、圧電素子を使用したインクジェット記録ヘッドの内部を示す部分断面斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＸ部分の拡大図である。
【図２】（Ａ）は、圧電素子を使用したインクジェット記録ヘッドの内部を平面視した図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡＡ断面の断面図である。
【図３】圧電素子の製造方法を模式的に示し、（Ａ）は焼結する図であり、（Ｂ）は焼結後のインゴットの図であり、（Ｃ）はインゴットの内部の図である。
【図４】圧電素子の製造方法を模式的に示し、（Ａ）はインゴットをスライスして形成した板材の図であり、（Ｂ）は板材の断面図である。
【図５】圧電素子の製造方法を模式的に示し、（Ａ）は板材を研磨して薄板化した圧電プレートの図であり、（Ｂ）は圧電プレートの断面図である。
【図６】（Ａ）は本発明の実施形態に係る検査装置を模式的に示す図であり、（Ｂ）はチャンバーの断面図である。
【図７】圧電プレートが破損した様子を模式的に示す図である。
【図８】圧電プレートの孔から外気が流入する様子を模式的に示す図である。
【図９】チャンバーの内部空間の気圧の変化を示す減圧曲線のグラフである。
【図１０】圧電プレートが撓んでいる様子を模式的に示す図である。
【図１１】（Ａ）は正常な圧電プレートの干渉縞を示し、（Ｂ）は欠陥がある圧電プレートの干渉縞を示す図である。
【図１２】圧電プレートの干渉縞を観察するために圧電プレートを撓ませるその他の例を示す図である。
【図１３】（Ａ）は従来の圧電プレートの検査方法を模式的に示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）の円内の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００８６】
２０６      板状圧電体（板材、圧電体）
２０８      圧電プレート（板材、圧電体）
４００      検査装置（板材の検査装置）
４０２      チャンバー
４０２Ａ    内部空間（空間）
４１２      減圧装置（減圧手段、変形手段、計測手段）
５００      干渉縞
６００      押圧部材（変形手段）
Ａ      減圧曲線
Ｂ      減圧曲線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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