(57)【要約】      （修正有）【課題】メンテナンス時の作業者の閉じ込めを無くす事ができる基板処理装置の提供。【解決手段】待機室を形成した筐体１１の背面壁にメンテナンス口６６を開閉するメンテナンス扉６７を設け、メンテナンス扉６７の開閉を検知する扉検知スイッチ７２と、メンテナンス扉６７を開状態に維持する開状態維持具８０とを設置する。開状態維持具８０はガイド８１とスライダ８６と押さえ８９と南京錠とを有する。メンテナンス扉６７の開放時に、押さえ８９の挿入部がガイドの押さえ受入れ部から抜け出ると、スライダ８６は自重でガイドの受け部に乗る。この後に、南京錠が南京錠取付孔に掛けられる。押さえ８９の挿入部９０が押さえ受入れ部８４に挿入するのをスライダ８６で阻止されるので、メンテナンス作業中にメンテナンス扉６７が固定されるのを防止でき、作業者の待機室への閉じ込めを無くすことができる。【選択図】図５
2006093258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する処理室と、この処理室の下側に配されて連設された予備室とを備えており、
前記予備室には、保守用の開口部と、この開口部を開閉する扉と、この扉が開いた際に、この扉を開状態に維持するように動作する開状態維持具とが設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関し、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の製造方法において、ＩＣが作り込まれる半導体ウエハ（以下、ウエハという。）に酸化や拡散、アニール、リフローおよびＣＶＤ等々の熱処理（thermal treatment ）を施す熱処理装置（furnace ）に利用して有効なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣの製造方法において、ウエハに不純物を拡散したり絶縁膜や金属膜等のＣＶＤ膜を形成したりするのに、ロードロック方式の熱処理装置（以下、ロードロック式熱処理装置という。）が、広く使用されている。
なお、ロードロック方式とは、ゲートバルブ等の隔離バルブを用いて処理室と予備室（待機室または搬入搬出室とも呼ばれている。）とを隔離し、処理室への空気の流入を防止したり、温度や圧力等の外乱を小さくして処理を安定化させる方式、である。
【０００３】
従来のロードロック式熱処理装置としては、処理室に対してゲートバルブによって隔離された予備室を減圧することによってウエハでの自然酸化膜の形成等を防止するように工夫したもの、がある。
このようなロードロック式熱処理装置においては、予備室のメンテナンス扉の開閉を検知し表示するマイクロスイッチが設置されている。例えば、特許文献１参照。
【特許文献１】特開平１１−１９５６９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記したロードロック式熱処理装置においては、保守点検時にメンテナンス扉の開き状態を確保するものではないために、例えば、予備室内へ作業者が入った状態で保守点検している際に、作業者が予備室内に閉じ込められてしまうことがある。
【０００５】
本発明の目的は、このような、予備室内への作業者の閉じ込めを絶対的に無くすことができる基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決する手段のうち代表的なものは、次の通りである。
（１）基板を処理する処理室と、この処理室の下側に配されて連設された予備室とを備えており、
前記予備室には、保守用の開口部と、この開口部を開閉する扉と、この扉が開いた際に、この扉を開状態に維持するように動作する開状態維持具とが設けられていることを特徴とする基板処理装置。
（２）基板を処理する処理室と、この処理室の下側に配されて連設された予備室とを備えており、
前記予備室には、保守用の開口部と、この開口部を開閉する扉と、この扉が開いた際に動作する開状態維持具とが設けられており、
前記開状態維持具は、この扉を一旦開けた際には、前記扉を閉じることができないように動作することを特徴とする基板処理装置。
（３）前記開状態維持具は、保守中であることを告知するように構成されていることを特徴とする（１）に記載の基板処理装置。
（４）前記開状態維持具は、動作後の位置にてロック可能であることを特徴とする（１）または（２）に記載の基板処理装置。
（５）基板を基板保持具に保持しつつ処理する処理室と、前記処理室を加熱するヒータユニットと、前記処理室にガスを供給するガス供給手段と、前記処理室を排気する排気手段とを備えており、前記処理室の下側に配されて連設された予備室と、前記処理室と前記予備室との間で前記基板保持具を昇降させる昇降装置とを備えており、
前記予備室には、保守用の開口部と、この開口部を開閉する扉と、この扉が開いた際に、この扉を開状態に維持するように動作する開状態維持具とが設けられている基板処理装置を用いる半導体装置の製造方法であって、
前記開口部が前記扉にて閉じられている際に前記予備室から前記処理室に前記基板保持具を上昇させるステップと、
前記ヒータユニットによって前記処理室を加熱するステップと、
前記処理室に前記ガス供給手段から前記ガスを供給するステップと、
前記処理室を排気手段によって排気するステップと、  
前記処理室にて前記基板を処理するステップと、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の効果】
【０００７】
前記した（１）によれば、保守に際して、予備室の保守用開口部の扉は開状態維持具によって開状態に維持されるので、作業者が予備室に閉じ込められることを完全に防止することができる。したがって、基板処理装置の安全性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【０００９】
本実施の形態に係る熱処理装置は、ロードロック式熱処理装置として構成されている。すなわち、図１〜図５に示されているように、ロードロック式熱処理装置１０は筐体１１を備えており、筐体１１にはロードロック方式の予備室であってボート１３が待機する待機室１２が形成されている。待機室１２は大気圧未満の圧力を維持可能な気密性能を有する密閉室に構成されており、ボート１３を収納可能な容積に形成されている。
図３に示されているように、筐体１１の側壁には待機室１２へ窒素ガス等の不活性ガスを供給する供給管１２ａと、待機室１２を排気する排気管１２ｂとが接続されている。
図１および図２に示されているように、筐体１１の正面壁にはウエハ搬入搬出口１４が開設されており、ウエハ搬入搬出口１４はゲート１５によって開閉されるようになっている。
筐体１１の天井壁にはボート搬入搬出口１６が開設されており、ボート搬入搬出口１６は処理室と待機室とを隔離する隔離バルブとしてのシャッタ１７（図１および図３参照）によって開閉されるようになっている。
【００１０】
筐体１１の上には処理室２０を加熱するヒータユニット１８が垂直方向に設置されており、ヒータユニット１８の内部には処理室２０を形成するプロセスチューブ１９が配置されている。
プロセスチューブ１９は上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に形成されてヒータユニット１８に同心円に配置されており、プロセスチューブ１９の円筒中空部によって処理室２０が構成されている。
図３に示されているように、プロセスチューブ１９の下端部には処理室２０に原料ガスやパージガス等を供給するためのガス供給手段であるガス供給管２１と、プロセスチューブ１９の内部を排気するための排気手段である排気管２２とが接続されている。
【００１１】
図３および図４に示されているように、筐体１１の待機室１２の天井壁には、ボートを昇降させるボートエレベータ２３が据え付けられている。ボートエレベータ２３は上側取付板２４および下側取付板２５を備えており、両取付板２４と２５との間には一対のガイド軸２６、２６が間隔をおいてそれぞれ垂直に敷設されている。両ガイド軸２６、２６には昇降板２７が垂直方向に昇降自在に支承されている。
両取付板２４と２５との間の一対のガイド軸２６、２６の両脇には、一対の駆動軸としての駆動側送りねじ軸２８と従動側送りねじ軸２９とがそれぞれ垂直に敷設されている。駆動側送りねじ軸２８は減速装置付きモータ（以下、モータという。）３０によって正逆方向に回転駆動されるように構成されており、従動側送りねじ軸２９は軸受装置３１によって回転自在に支承されている。昇降板２７の駆動側送りねじ軸２８と従動側送りねじ軸２９とがそれぞれ貫通した各部位には、駆動側ナット３２と従動側ナット３３とがそれぞれ設置されており、駆動側ナット３２と従動側ナット３３とには駆動側送りねじ軸２８と従動側送りねじ軸２９とがそれぞれ垂直方向に進退自在に螺合されている。
なお、作動やバックラッシュを良好なものとするために、駆動側ナット３２と駆動側送りねじ軸２８との螺合部および従動側ナット３３と従動側送りねじ軸２９との螺合部には、ボールねじ機構がそれぞれ使用されている。
【００１２】
昇降板２７の下面の中央には円筒形状に形成された昇降軸３８が、垂直方向下向きに固定されており、昇降軸３８と駆動側送りねじ軸２８と従動側送りねじ軸２９と一対のガイド軸２６、２６とは水平方向に一列に配置されているとともに、昇降軸３８を挟んで対称形に配置されている。昇降軸３８の中空部３９には昇降軸３８の内径よりも小径の外径を有する円筒形状に形成された内筒４０が同心円に配置されて固定されている。
昇降軸３８は筐体１１の天井壁に開設された挿通孔４１を挿通して下端部が待機室１２に挿入されており、筐体１１の天井壁の上面と昇降板２７の下面との間には挿通孔４１を気密封止するベローズ４２が介設されている。昇降軸３８の下端にはボートを昇降させるためのアームとしての昇降台４３が、待機室１２の下面と水平に配置されて固定されている。
昇降台４３は上面が開口した箱形状に形成された本体４４と、平面形状が本体４４と同一の平板形状に形成された蓋体４５とを備えており、本体４４に蓋体４５がシールリング４６を挟んで被せ付けられることにより、気密室４７を形成するようになっている。
【００１３】
昇降台４３の気密室４７の天井面である蓋体４５の下面には磁性流体シール装置４８によってシールされた軸受装置４９が設置されており、軸受装置４９は蓋体４５を垂直方向に挿通した回転軸５０を回転自在に支持しており、回転軸５０はボート回転駆動用モータ５１によって回転駆動されるようになっている。回転軸５０の上端にはボート１３が垂直に立脚するように設置されている。
ボート１３は複数枚（例えば、２５枚、５０枚、７５枚、１００枚ずつ等）のウエハ１をその中心を揃えて水平に支持した状態で、処理室２０に対してボートエレベータ２３による昇降台４３の昇降に伴って搬入搬出するように構成されている。
昇降台４３の上面には蓋体としてのシールキャップ５３がシールリング５２を介されて設置されている。シールキャップ５３は処理室２０の炉口になる筐体１１のボート搬入搬出口１６をシールするように構成されている。
【００１４】
磁性流体シール装置４８の外側には磁性流体シール装置４８や軸受装置４９およびボート回転駆動用モータ５１を冷却するための冷却装置５４が設置されており、冷却装置５４には冷却水供給管５５が接続されている。冷却水供給管５５は気密室４７から内筒４０の中空部を通じて待機室１２の外部に引き出されており、冷却水供給源５７に可変流量制御弁５６を介して接続されるようになっている。
シールキャップ５３の内部には冷却水５８が流通する通水路５９が開設されており、通水路５９には冷却装置５４の冷却水が導入側連絡管６０によって導入されるようになっている。通水路５９には導出側連絡管６１の一端が接続されており、導出側連絡管６１の他端は昇降軸３８の中空部３９の下端に接続されている。
昇降軸３８の中空部３９の上端には冷却水排出管６２が接続されており、冷却水排出管６２は冷却水供給源５７に接続されるようになっている。したがって、昇降軸３８の中空部３９には冷却水５８が下端の導出側連絡管６１から導入されて上端の冷却水排出管６２から排出されることによって流通するようになっている。
なお、内筒４０の中空部にはボート回転駆動用モータ５１の電力供給電線６３が挿通されて、外部に引き出されている。
【００１５】
図１および図２に示されているように、待機室１２のウエハ搬入搬出口１４の後方には、ウエハ１を移載するウエハ移載装置６４が設置されている。ウエハ移載装置６４はスカラ形ロボット（selective compliance assembly robot arm 。ＳＣＡＲＡ）によって構成されており、ウエハ１をツィーザ６５によって下から掬いとって三次元方向に搬送するように構成されている。
【００１６】
図１および図２に示されているように、筐体１１の背面壁には保守用の開口部としてのメンテナンス口６６が縦長の長方形に大きく開設されており、図１、図２および図５に示されているように、背面壁の外面には開口部を開閉する扉（開き戸またはドア）としてのメンテナンス扉６７が取り付けられている。メンテナンス扉６７には覗き窓６８（図５参照）が設けられている。
図５に示されているように、メンテナンス扉６７は縦の一辺において上下で一対のヒンジ６９、６９によって回動自在に支承されており、メンテナンス口６６を片開き状態で開閉するようになっている。メンテナンス扉６７はメンテナンス口６６を負圧を維持して閉塞することができるように構成されている。
メンテナンス扉６７には複数個（図５では八個）の扉固定装置（鍵なし錠）７０が設置されており、メンテナンス扉６７は扉固定装置７０によって固定された状態において、メンテナンス口６６を負圧を維持して閉塞することができるように構成されている。
【００１７】
図５に示されているように、ヒンジ６９、６９側と反対側に配置された複数個（図５では四個）の扉固定装置７０には、メンテナンス扉６７の開閉を検知する扉検知センサとしての扉検知スイッチ７２がそれぞれ設置されている。
図６および図７に示されているように、扉検知スイッチ７２は扉固定装置７０におけるノブ７１の一部に接触することによって開閉するように構成されている。すなわち、メンテナンス扉６７が閉じて、ノブ７１が接触する際に、扉検知スイッチ７２は閉じるように構成されている。
図８に示されているように、複数個の扉検知スイッチ７２は安全回路７３にそれぞれ接続されており、安全回路７３は全ての扉検知スイッチ７２が閉じた時にだけポンプ７４の給電回路７５に介設された開閉スイッチ７６と、窒素ガス供給管１２ａに介設された電磁弁７７のソレノイドを制御する制御回路７８の開閉スイッチ７９とを開くように構成されている。
【００１８】
図５に示されているように、筐体１１の背面における作業者が目視し易い高さ位置には、メンテナンス扉６７が開いた際にメンテナンス扉６７を開状態に維持するように動作する開状態維持具８０が設置されている。
図６および図７に示されているように、開状態維持具８０はガイド８１とスライダ８６と押さえ８９と南京錠９１（図７参照）とを備えている。ガイド８１は筐体１１の背面におけるメンテナンス口６６の近傍に垂直に配置されて、ねじ結合や溶接等（図示せず）によって固着されている。押さえ８９はメンテナンス扉６７のガイド８１に対向する位置に配置されて、ねじ結合や溶接等（図示せず）によって固着されている。
【００１９】
ガイド８１は四角形の筒形状に形成されたガイド部８２と、アングル型鋼形状に形成された受け部８３とを備えており、ガイド部８２の下端の一辺と受け部８３の縦部片の上端とが一体的に連結されている。ガイド部８２の下側が開放した形態になるとともに、受け部８３の水平部片８３ａがガイド部８２の筒中空部８２ａの延長線上において直交した状態になることにより、ガイド８１の下端部には押さえ受入れ部８４が形成されている。受け部８３の水平部片８３ａにおけるメンテナンス扉６７と反対側の端部には、南京錠９１を取り付けるための南京錠取付孔８５が開設されている。
【００２０】
スライダ８６はガイド８１のガイド部８２の筒中空部８２ａよりも若干だけ小径の四角形の棒形状に形成されている。スライダ８６は筒中空部８２ａに垂直方向に摺動自在に嵌入されて、ガイド８１に上下動自在に支承されている。スライダ８６の下端部には南京錠取付部８７が突設されており、南京錠取付部８７の先端部には南京錠取付孔８８が、受け部８３の南京錠取付孔８５に対向するように開設されている。
【００２１】
押さえ８９はエルボ形状に形成されており、水平に配置された状態で、一端部がメンテナンス扉６７の端面における外面側隅部にねじ結合や溶接等（図示せず）によって固着されている。押さえ８９の固着端部と反対側の端部には、ガイド８１の押さえ受入れ部８４に挿入する挿入部９０が形成されており、挿入部９０はメンテナンス扉６７の端面よりも突出した状態で、押さえ受入れ部８４に挿入するようになっている。
【００２２】
以下、前記構成に係るロードロック式熱処理装置を使用した成膜工程を説明する。
【００２３】
これから成膜すべきウエハ１は大気圧状態の待機室１２へ、筐体１１のウエハ搬入搬出口１４を通してウエハ移載装置６４によって搬入され、ボート１３に装填（チャージング）される。
この際、図１に示されているように、ボート搬入搬出口１６がシャッタ１７によって閉鎖されることにより、処理室２０の高温雰囲気が待機室１２に流入することは防止されている。このため、装填途中のウエハ１および装填されたウエハ１が高温雰囲気に晒されることはなく、ウエハ１が高温雰囲気に晒されることによる自然酸化等の弊害の派生は防止されることになる。
【００２４】
予め指定された枚数のウエハ１がボート１３へ装填されると、図１に示されているように、ウエハ搬入搬出口１４はゲート１５によって閉鎖される。
その後、待機室１２の排気管１２ｂおよび処理室２０の排気管２２に設けた圧力センサ（図示せず）の検知圧力を比較しつつ、待機室１２を排気管１２ｂによって減圧し、待機室１２を予め減圧化された処理室２０と同圧化する。
そして、ボート搬入搬出口１６がシャッタ１７によって開放される。
【００２５】
続いて、昇降台４３に支持されたシールキャップ５３およびボート１３が、ボートエレベータ２３のモータ３０によって昇降板２７および昇降軸３８を介して上昇され、プロセスチューブ１９の処理室２０にボート搬入搬出口１６から搬入（ボートローディング）される。ボート１３を処理室２０へ搬入する際に、昇降軸３８が上昇すると、ベローズ４２は上方向に伸張する。
図２に示されているように、ボート１３が所定の位置となる上限に達すると、シールキャップ５３の上面の周辺部がボート搬入搬出口１６をシール状態に閉塞するため、プロセスチューブ１９の処理室２０は気密に閉じられた状態になる。
【００２６】
その後、プロセスチューブ１９の処理室２０は気密に閉じられた状態で、所定の圧力となるように排気手段である排気管２２から排気され、ヒータユニット１８によって所定の温度に加熱され、所定の原料ガスがガス供給手段であるガス供給管２１から所定の流量だけ供給される。これにより、予め設定された処理条件に対応する所望の膜がウエハ１に形成される。
この際、ボート１３がボート回転駆動用モータ５１によって回転されることにより、原料ガスがウエハ１の表面に均一に接触される。このため、ウエハ１にはＣＶＤ膜が均一に形成される。
【００２７】
ここで、冷却水５８が冷却装置５４およびシールキャップ５３の通水路５９に、冷却水供給管５５および冷却水排出管６２を通じて流通されることにより、熱によるシールキャップ５３のシールリング５２や磁性流体シール装置４８および軸受装置４９の劣化が防止される。このとき、冷却水５８が昇降軸３８の中空部３９を流通するため、昇降軸３８および内筒４０も冷却されることになる。
【００２８】
予め設定された処理時間が経過すると、待機室１２の排気管１２ｂおよび処理室２０の排気管２２に設けた圧力センサ（図示せず）の検知圧力を比較しつつ、待機室１２を排気管１２ｂによって減圧し、待機室１２を処理室２０と同圧化する。
ボート１３およびシールキャップ５３を支持した昇降台４３が昇降軸３８および昇降板２７を介してボートエレベータ２３のモータ３０によって下降されることにより、図１に示されているように、処理済みウエハ１を保持したボート１３が待機室１２に搬出（ボートアンローディング）される。
この際、ベローズ４２は昇降軸３８の下降に伴って下方向に短縮する。
【００２９】
ボート１３が処理室２０から待機室１２に搬出されると、ボート搬入搬出口１６がシャッタ１７によって閉鎖される。
待機室１２が大気圧に復帰された後に、ウエハ搬入搬出口１４がゲート１５によって開放され、ボート１３の処理済みウエハ１がウエハ移載装置６４によって脱装（ディスチャージング）される。
【００３０】
以降、前述した作用が繰り返されることにより、ウエハ１が例えば、２５枚、５０枚、７５枚、１００枚ずつ、ロードロック式熱処理装置１０によってバッチ処理されて行く。
【００３１】
ところで、ウエハ移載装置６４のツィーザ６５を交換したり、ボート１３やプロセスチューブ１９のフルクリーニング（ウエットエッチングによる洗浄）等を実施する場合には、筐体１１の背面壁のメンテナンス口６６がメンテナンス扉６７によって開放される。
そして、作業者がメンテナンス口６６を通って待機室１２に入り込んで、ウエハ移載装置６４のツィーザ６５やボート１３およびプロセスチューブ１９の交換作業等が実施される。
このように、作業者が待機室１２に入っている状態で、メンテナンス口６６がメンテナンス扉６７によって誤って閉じられると、閉じ込めが発生する。作業者が待機室１２に閉じ込められることは非常に危険であるため、作業者が待機室１２に入っている状態においては、メンテナンス扉６７が閉じられることの無いように工夫する必要がある。
【００３２】
以下、作業者が待機室１２に入っている状態においてメンテナンス扉６７が閉じられるのを確実に無くすための開状態維持具８０の作用について説明する。
【００３３】
まず、メンテナンス口６６がメンテナンス扉６７によって閉じられている通常の稼働時においては、開状態維持具８０は図５および図６に示された状態になっている。
すなわち、メンテナンス扉６７がメンテナンス口６６を閉じた状態においては、開状態維持具８０の押さえ８９の挿入部９０がガイド８１の押さえ受入れ部８４に挿入した状態になっているとともに、ガイド部８２の筒中空部８２ａに嵌入されたスライダ８６が上昇して押さえ８９の挿入部９０の上に乗っかった状態になっている。
また、メンテナンス扉６７がメンテナンス口６６を閉じた状態においては、全ての扉検知スイッチ７２が扉固定装置７０のノブ７１と接触することにより、図８に示されているように、閉じた状態になっている。したがって、開閉スイッチ７６および７９が安全回路７３によっていずれも閉じられているので、ポンプ７４の給電回路７５および供給管１２ａの電磁弁７７の制御回路７８は通常の作動を維持することができる。
【００３４】
メンテナンス作業に際して、メンテナンス扉６７が開かれると、メンテナンス扉６７の回動に伴って、メンテナンス扉６７に固定された押さえ８９が移動するために、図７で参照されるように、押さえ８９の挿入部９０がガイド８１の押さえ受入れ部８４から抜け出る。挿入部９０が押さえ受入れ部８４から抜け出ると、挿入部９０の上に乗っかったスライダ８６は自重によって落下し、ガイド８１の受け部８３の上に乗っかる。
この後に、図７に示されているように、南京錠９１がスライダ８６の南京錠取付孔８８および受け部８３の南京錠取付孔８５に引っ掛けられて、鍵（図示せず）によって鎖錠される。これにより、スライダ８６はガイド８１の受け部８３に束縛されるために、ガイド８１の押さえ受入れ部８４から離脱することができない状態になる。
なお、作業者は南京錠９１の鍵（図示せず）を携帯して待機室１２に入るようにするとよい。
このようにして、押さえ受入れ部８４はスライダ８６によって埋められた状態になっているために、押さえ８９の挿入部９０が押さえ受入れ部８４に挿入することができない状態になる。したがって、メンテナンス扉６７が閉じる方向に回動されても、図７に示されているように、押さえ８９の挿入部９０が押さえ受入れ部８４に挿入するのをスライダ８６によって阻止されるために、扉固定装置７０が固定する状態に至ることはない。
つまり、作業者が待機室１２に入っている状態においては、開状態維持具８０はメンテナンス扉６７が閉じられることの無いようにメンテナンス扉６７の開状態を維持することができる。したがって、作業者が待機室１２に入っている最中に、メンテナンス口６６がメンテナンス扉６７によって誤って閉じられるのを完全に防止することができ、作業者の待機室１２への閉じ込めが発生するのを絶対的に無くすことができる。
なお、「保守中」であることを告知する告知札（図示せず）を、例えば、南京錠取付孔８５、８８に引っ掛けると、安全性をより一層高めることができる。
【００３５】
ちなみに、メンテナンス扉６７がメンテナンス口６６を開いた状態においては、全ての扉検知スイッチ７２が扉固定装置７０のノブ７１から離れることにより、図８で参照されるように、開いた状態になる。したがって、開閉スイッチ７６および７９が安全回路７３によっていずれも開かれるので、ポンプ７４の給電回路７５および供給管１２ａの電磁弁７７の制御回路７８は通常の作動を実施することができない状態になる。
このようにして、作業者が待機室１２に入っている最中において、ポンプ７４による待機室１２の排気および供給管１２ａによる窒素ガスの待機室１２の供給を防止することができるので、待機室１２に入っている作業者の安全をより一層高めることができる。
【００３６】
メンテナンス作業が終了し、作業者が待機室１２から出た後にメンテナンス扉６７を閉じるに際しては、まず、開状態維持具８０の南京錠９１がスライダ８６の南京錠取付孔８８および受け部８３の南京錠取付孔８５から取り外される。
次いで、開状態維持具８０のスライダ８６が南京錠取付部８７を手で持たれて、ガイド部８２の筒中空部８２ａに対して摺動されながら持ち上げられるとともに、メンテナンス扉６７が締め切られることにより、開状態維持具８０の押さえ８９の挿入部９０がガイド８１の押さえ受入れ部８４に挿入される。
開状態維持具８０の押さえ８９の挿入部９０がガイド８１の押さえ受入れ部８４に挿入された後に、メンテナンス扉６７は扉固定装置７０によって固定される。
メンテナンス扉６７が扉固定装置７０によって固定された後に、スライダ８６の南京錠取付部８７の手を離すと、スライダ８６は自重によってガイド部８２の筒中空部８２ａを下降して押さえ８９の挿入部９０の上に乗っかった状態になるため、開状態維持具８０は元の通常の稼働時の状態に戻る。
【００３７】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【００３８】
1)  作業者が待機室に入っている時にメンテナンス扉が閉じられることの無いように、開状態維持具がメンテナンス扉の開状態を維持することにより、作業者が待機室に入っている最中に、メンテナンス口がメンテナンス扉によって誤って閉じられるのを完全に防止することができるので、作業者の待機室への閉じ込めが発生するのを絶対的に無くすことができる。
【００３９】
2)  作業者の待機室への閉じ込めの発生を絶対的に無くすことにより、作業者が待機室へ入ってのメンテナンス作業の安全性を確保することができるので、脆弱なセラミックから成るツィーザ等のようにメンテナンス作業の頻度が高いウエハ移載装置を設置した場合であっても、安心して待機室内でメンテナンス作業することができる。
【００４０】
3)  メンテナンス扉がメンテナンス口を開いた状態においては、全ての扉検知スイッチが開いた状態になるように構成するとともに、ポンプの給電回路および供給管の電磁弁の制御回路を通常の作動を実施することができないように設定することにより、作業者が待機室に入っている最中において、ポンプによる待機室の排気および供給管による窒素ガスの待機室の供給を防止することができるので、待機室に入っている作業者の安全をより一層高めることができる。
【００４１】
4)  扉固定装置のノブの接触および離間によって開閉するように扉検知スイッチを構成することにより、扉検知スイッチを待機室の外部に配置することができるので、耐圧（高圧および低圧）構造の扉検知スイッチを使用せずに済み、コストを低減することができるばかりでなく、扉検知スイッチが待機室の汚染源になるのを防止することができる。
【００４２】
図９は本発明の第二の実施の形態であるロードロック式熱処理装置を示す一部省略斜視図である。
図１０は図９のＸ部を示す斜視図である。
図９に示されているように、本実施の形態に係る開状態維持具８０Ａは四箇所の扉固定装置７０に設置されている。
図１０に示されているように、開状態維持具８０Ａは扉固定装置７０のノブ７１に連動した回転軸９２を備えており、回転軸９２には南京錠９１を引っ掛けるための南京錠取付孔９２ａが開設されている。
本実施の形態に係る開状態維持具８０Ａがメンテナンス扉６７の開状態を維持するに際しては、図１０に示されているように、南京錠９１が南京錠取付孔９２ａに引っ掛けられることにより、回転軸９２およびノブ７１の回転が阻止される。ノブ７１の回転が阻止されると、扉固定装置７０はメンテナンス扉６７を固定することができないために、メンテナンス扉６７は開状態を維持することになる。
【００４３】
図１１は本発明の第三の実施の形態であるロードロック式熱処理装置を示す一部省略斜視図である。
図１１に示されているように、本実施の形態に係る開状態維持具８０Ｂは四箇所の扉固定装置７０に跨がって設置されている。
すなわち、開状態維持具８０Ｂは四箇所の扉固定装置７０の各ノブ７１にそれぞれ連動し、挿通孔９４をそれぞれ有する四本の回転軸９３と、四本の回転軸９３を連結する連結具９５とを備えている。連結具９５は一本の連結棒９６と、四本の挿通棒９７とを備えており、各挿通棒９７は挿通孔９４に挿通可能に構成されている。四本のうちの目視し易い高さの挿通棒９７の先端部には、南京錠９１を引っ掛けるための南京錠取付孔９８が開設されている。
本実施の形態に係る開状態維持具８０Ｂがメンテナンス扉６７の開状態を維持するに際しては、図１１に示されているように、連結具９５が四箇所の扉固定装置７０に跨がって設置される。まず、四本の挿通棒９７が四本の回転軸９３の挿通孔９４にメンテナンス扉６７の外側から水平方向に同時に挿通される。続いて、南京錠９１が南京錠取付孔９８に引っ掛けられる。
このようにして、開状態維持具８０Ｂが四箇所の扉固定装置７０に跨がって設置されることにより、四箇所の扉固定装置７０の回転軸９３およびノブ７１の回転が阻止されると、扉固定装置７０はメンテナンス扉６７を固定することができないために、メンテナンス扉６７は開状態を維持することになる。
【００４４】
図１２は本発明の第四の実施の形態であるロードロック式熱処理装置を示す一部省略斜視図である。
図１３は図１２のXIII部を示す斜視図である。
図１２に示されているように、本実施の形態に係る開状態維持具８０Ｃは、メンテナンス扉６７の上側のヒンジ６９の付近に設置されている。
図１３に示されているように、開状態維持具８０Ｃは筐体１１の背面のヒンジ６９の近傍に固着された固定アングル部材９９と、メンテナンス扉６７のヒンジ６９の近傍に開設された南京錠取付孔１００とを備えている。
本実施の形態に係る開状態維持具８０Ｃがメンテナンス扉６７の開状態を維持するに際しては、図１２に示されているように、メンテナンス扉６７が直角に開放された状態で、図１３に示されているように、南京錠９１が南京錠取付孔１００に引っ掛けられるとともに、固定アングル部材９９を束縛するように取り付けられる。
このようにして、メンテナンス扉６７が固定アングル部材９９に南京錠９１によって結束されることにより、開状態維持具８０Ｃはメンテナンス扉６７の開状態を維持することになる。
なお、固定アングル部材９９はアングル形状としなくてもよく、円柱形状でも角形状でもよい。
【００４５】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【００４６】
例えば、錠は南京錠を使用するに限らない。
【００４７】
開口部としてのメンテナンス口は待機室の背面壁に配置するに限らず、側面壁等に配置してもよい。
【００４８】
ボートが待機する待機室はロードロック室に構成するに限らず、大気圧を維持可能な気密室に構成してもよい。
【００４９】
扉検知スイッチが開いた状態でポンプの給電回路および供給管の電磁弁の制御回路を通常の作動を実施することができないように設定するに限らず、例えば、エレベータ等の搬送手段の給電回路や、ヒータユニットの給電回路にリンクさせ、通常の作動を実施することができないようにしてもよい。要するに、予備室内で作業者がメンテナンス作業に必要でない用力を供給できなくしたりして制御することにより、メンテナンス作業時の安全性を向上させればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施の形態であるロードロック式熱処理装置を示す側面断面図である。
【図２】ボート搬入時を示す側面断面図である。
【図３】図１のIII −III 線に沿う背面断面図である。
【図４】左側面図である。
【図５】背面から見た一部省略斜視図である。
【図６】図５のVI部を示す斜視図である。
【図７】その開状態維持の作用を示す斜視図である。
【図８】扉検知スイッチによる制御回路を示す回路図である。
【図９】本発明の第二の実施の形態であるロードロック式熱処理装置を示す一部省略斜視図である。
【図１０】図９のＸ部を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第三の実施の形態であるロードロック式熱処理装置を示す一部省略斜視図である。
【図１２】本発明の第四の実施の形態であるロードロック式熱処理装置を示す一部省略斜視図である。
【図１３】図１２のXIII部を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…ウエハ（基板）、１０…ロードロック式熱処理装置（基板処理装置）、１１…筐体、１２…待機室（予備室）、１２ａ…供給管、１２ｂ…排気管、１３…ボート、１４…ウエハ搬入搬出口、１５…ゲート、１６…ボート搬入搬出口、１７…シャッタ、１８…ヒータユニット、１９…プロセスチューブ、２０…処理室、２１…ガス供給管（ガス供給手段）、２２…排気管（排気手段）、２３…ボートエレベータ、２４…上側取付板、２５…下側取付板、２６…ガイド軸、２７…昇降板、２８…駆動側送りねじ軸（駆動軸）、２９…従動側送りねじ軸（駆動軸）、３０…モータ、３１…軸受装置、３２…駆動側ナット、３３…従動側ナット、３８…昇降軸、３９…中空部、４０…内筒、４１…挿通孔、４２…ベローズ、４３…昇降台（アーム）、４４…本体、４５…蓋体、４６…シールリング、４７…気密室、４８…磁性流体シール装置、４９…軸受装置、５０…回転軸、５１…ボート回転駆動用モータ、５２…シールリング、５３…シールキャップ（蓋体）、５４…冷却装置、５５…冷却水供給管、５６…可変流量制御弁、５７…冷却水供給源、５８…冷却水、５９…通水路、６０…導入側連絡管、６１…導出側連絡管、６２…冷却水排出管、６３…電力供給電線、６４…ウエハ移載装置、６５…ツィーザ、６６…メンテナンス口（保守用の開口部）、６７…メンテナンス扉（扉）、６８…覗き窓、６９…ヒンジ、７０…扉固定装置（鍵なし錠）、７１…ノブ、７２…扉検知スイッチ（扉検知センサ）、７３…安全回路、７４…ポンプ、７５…給電回路、７６…開閉スイッチ、７７…電磁弁、７８…制御回路、７９…開閉スイッチ、８０…開状態維持具、８１…ガイド、８２…ガイド部、８２ａ…筒中空部、８３…受け部、８３ａ…水平部片、８４…押さえ受入れ部、８５…南京錠取付孔、８６…スライダ、８７…南京錠取付部、８８…南京錠取付孔、８９…押さえ、９０…挿入部、９１…南京錠、８０Ａ…開状態維持具、９２…回転軸、９２ａ…南京錠取付孔、８０Ｂ…開状態維持具、９３…回転軸、９４…挿通孔、９５…連結具、９６…連結棒、９７…挿通棒、９８…南京錠取付孔、８０Ｃ…開状態維持具、９９…固定アングル部材、１００…南京錠取付孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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