(57)【要約】【課題】  進退移動される移動体に対して接続されるフラットケーブルを、当該移動体の進退移動に対応しながら支持するフラットケーブルの支持構成において、その支持高さ位置を低く抑える。【解決手段】  上記フラットケーブルは、上記移動体の進退移動の方向に沿って配置され、当該進退移動に同期して移動される第１のケーブル部と、上記第１のケーブル部と連なり、当該第１のケーブル部の他端より下方へ向けて湾曲されて反転された反転用湾曲部と、上記反転用湾曲部と連なり、上記ケーブル支持部に配置されて支持される第２のケーブル部とを有し、上記移動体の進退移動の方向に対して上方又は下方に傾斜された方向に沿って、上記フラットケーブルにおける上記第２のケーブル部を配置させてその支持を行う傾斜支持部が備えられる。【選択図】  図２３
2006262595.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
進退移動される移動体と、当該移動体に電源供給又は信号送受を可能にその接続端部が当該移動体へ接続されたフラットケーブルと、当該移動体の進退移動に対する不動部分であって当該フラットケーブルを部分的に支持するケーブル支持部とを備えるフラットケーブルの支持構造において、
上記フラットケーブルは、
上記接続端部をその一端として有し、上記移動体の進退移動の方向に沿って配置され、当該移動体とともに移動される第１のケーブル部と、
上記第１のケーブル部の他端と連なるケーブル部であって、当該第１のケーブル部の他端より下方へ向けて湾曲されて反転された反転用湾曲部と、
上記反転用湾曲部と連なるケーブル部であって、上記ケーブル支持部に配置されて支持される第２のケーブル部とを有し、
上記ケーブル支持部は、上記移動体の進退移動の方向に対して上下方向に傾斜された方向に沿って、上記フラットケーブルにおける上記第２のケーブル部を配置させてその支持を行う傾斜支持部を備えることを特徴とするフラットケーブルの支持構造。
【請求項２】
上記傾斜支持部より離間する方向への上記第１のケーブル部の上記移動に伴う上記反転用湾曲部の曲率半径の増加を、上記傾斜支持部の傾斜による当該第１のケーブル部の上記他端と上記傾斜支持部との間の距離の増大により吸収するように、上記傾斜支持部の傾斜の角度を設定する請求項１に記載のフラットケーブルの支持構造。
【請求項３】
上記反転用湾曲部において、その反転の角度が１８０度より大きくなるように、上記傾斜支持部の傾斜の向きが設定されている請求項１又は２に記載のフラットケーブルの支持構造。
【請求項４】
上記反転用湾曲部において、その反転の角度が１８０度より小さくなるように、上記傾斜支持部の傾斜の向きが設定されている請求項１又は２に記載のフラットケーブルの支持構造。
【請求項５】
上記フラットケーブルは、複数のケーブルが互いに接着されて整列配置されることにより形成された略帯状のケーブル集合体であって、上記第１のケーブル部において、その幅方向を略水平に配置され、上記反転用湾曲部において、その厚み方向に湾曲されることにより上記反転が行われる請求項１から４のいずれか１つに記載のフラットケーブルの支持構造。
【請求項６】
基板に実装される複数の部品が配置された部品供給トレイを載置するトレイ供給用プレートより、上記それぞれの部品を部品実装可能に供給する部品供給装置において、
複数の上記トレイ供給用プレートを取り出し可能に収納するプレート収納部と、
請求項１から５のいずれか１つに記載の移動体であって、当該プレート収納部において、搬送位置に位置された上記トレイ供給用プレートに対して、解除可能に保持するプレート保持装置と、
上記搬送位置と部品供給位置との間で上記保持されたプレートを搬送可能に、上記プレート保持装置の上記進退移動を行う移動装置とを備えることを特徴とする部品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、進退移動される移動体に対して、その動力供給や制御信号の受け渡しのために接続される複数のケーブルにより構成されるフラットケーブルを、当該移動体の進退移動に対応しながら支持するフラットケーブルの支持構成に関するものであり、特に、基板に実装される複数の部品が配置された部品供給トレイを載置するトレイ供給用プレートより、上記それぞれの部品を部品実装可能に部品実装装置における実装部に供給する部品供給装置において、上記トレイ供給用プレートを移動させる移動体に接続されるフラットケーブルの支持構造及び部品供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のフラットケーブルの支持構成としては、種々構造のものが知られている。例えば、複数の電子部品が配置されている部品供給トレイを載置する複数のトレイ供給用プレートが収納されているマガジンより、１つのトレイ供給用プレートが選択されて、当該選択されたトレイ供給用プレートが移動体により保持されるとともにマガジンより引き出されて、部品供給位置へ移動されて配置され、当該部品供給位置に配置された部品供給トレイよりそれぞれの電子部品が、吸着ヘッド等により吸着保持されることで取り出されて、部品実装のための電子部品の供給が行われるというような構成の部品供給装置において、上記移動体へ接続されるようなフラットケーブルの支持構成が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。このような移動体に接続される従来のフラットケーブルの支持構成について、図２２に示す模式説明図を用いて以下に説明する。
【０００３】
図２２に示すように、例えばボールねじ機構により構成される移動装置５４０により図示左右方向に移動される移動体５４１には、複数のケーブルが互いに隣接配置されて接着（あるいは溶着）されたフラットケーブル５８０の一端が接続されている。このようなフラットケーブル５８０は複数の動力供給用ケーブルや制御信号用ケーブルなどにより構成されており、当該接続により移動体５４１へ必要な電力の供給や、制御信号の受け渡しを行うことが可能となっている。
【０００４】
また、図２２に示すように、フラットケーブル５８０の他端は、装置基台上における略平坦なケーブル支持面５８１上に固定用ブラケット５８２により固定されている。また、フラットケーブル５８０は、移動体５４１への接続端と固定用ブラケット５８２による固定部分との間において大きく曲げられている。これは、移動装置５４０による移動体５４１の進退移動の際に、フラットケーブル５８０においてこの曲がり部分５８０ａの位置を可変させることで、フラットケーブル５８０の接続によって移動体５４１の移動が阻害されることを防止するためである。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−５５８０４号公報
【特許文献２】特開平５−２２８５５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような従来のフラットケーブル５８０のケーブル支持面５８１による支持構成においては、ケーブル支持面５８１が略水平かつ平坦に構成されていることにより、フラットケーブル５８０の曲がり部分５８０ａが図示上方に向けて大きく膨らむような形態となってしまう。例えば、図２２に示すように、移動体５４１におけるフラットケーブル５８０の接続部分の高さ位置Ｈよりもさらに上方に曲がり部分５８０ａが位置されることとなる。
【０００７】
このような従来の構成においては、移動体５４１を進退移動させる装置において、フラットケーブル５８０の曲がり部分５８０ａの形態によりその高さ方向の設計上の制約を大きく受けることとなる。このような場合にあっては、装置の小型化を図ることができないという問題がある。
【０００８】
また、このようなフラットケーブル５８０の曲がり部分５８０ａの膨らみを押さえるべく、フラットケーブル５８０を図２２のように折り曲げずに略直線状に配置させて、ローラを介してケーブル支持面５８１に支持させるような構成も考えられる。しかしながらこのような構成においては、移動体５４１の移動によりローラとフラットケーブル５８０との接触部分に滑りによる摩擦が生じ、摩耗粉、すなわちパーティクルが発生するため、クリーン環境において用いることが困難となるという問題がある。特に、高精度な電子部品の実装が行われる環境においては、クラス１０００、あるいはクラス１０００よりも高い清浄度の環境（例えばクラス１００等）が要求されるような場合も多いが、このような環境には対応することができないという問題がある。
【０００９】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、進退移動される移動体に対して、その動力供給や制御信号の受け渡しのために接続される複数のケーブルにより構成されるフラットケーブルを、当該移動体の進退移動に対応しながら支持するフラットケーブルの支持構成において、その支持高さ位置を低く抑えることができるフラットケーブルの支持構成を提供することにあり、また、このようなフラットケーブルの支持構成において、清浄化環境においての使用に適合可能な支持構造、及び部品供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、進退移動される移動体と、当該移動体に電源供給又は信号送受を可能にその接続端部が当該移動体へ接続されたフラットケーブルと、当該移動体の進退移動に対する不動部分であって当該フラットケーブルを部分的に支持するケーブル支持部とを備えるフラットケーブルの支持構造において、
上記フラットケーブルは、
上記接続端部をその一端として有し、上記移動体の進退移動の方向に沿って配置され、当該移動体とともに移動される第１のケーブル部と、
上記第１のケーブル部の他端と連なるケーブル部であって、当該第１のケーブル部の他端より下方へ向けて湾曲されて反転された反転用湾曲部と、
上記反転用湾曲部と連なるケーブル部であって、上記ケーブル支持部に配置されて支持される第２のケーブル部とを有し、
上記ケーブル支持部は、上記移動体の進退移動の方向に対して上下方向に傾斜された方向に沿って、上記フラットケーブルにおける上記第２のケーブル部を配置させてその支持を行う傾斜支持部を備えることを特徴とするフラットケーブルの支持構造を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、上記傾斜支持部より離間する方向への上記第１のケーブル部の上記移動に伴う上記反転用湾曲部の曲率半径の増加を、上記傾斜支持部の傾斜による当該第１のケーブル部の上記他端と上記傾斜支持部との間の距離の増大により吸収するように、上記傾斜支持部の傾斜の角度を設定する第１態様に記載のフラットケーブルの支持構造を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、上記反転用湾曲部において、その反転の角度が１８０度より大きくなるように、上記傾斜支持部の傾斜の向きが設定されている第１態様又は第２態様に記載のフラットケーブルの支持構造を提供する。
【００１４】
本発明の第４態様によれば、上記反転用湾曲部において、その反転の角度が１８０度より小さくなるように、上記傾斜支持部の傾斜の向きが設定されている第１態様又は第２態様に記載のフラットケーブルの支持構造を提供する。
【００１５】
本発明の第５態様によれば、上記フラットケーブルは、複数のケーブルが互いに接着されて整列配置されることにより形成された略帯状のケーブル集合体であって、上記第１のケーブル部において、その幅方向を略水平に配置され、上記反転用湾曲部において、その厚み方向に湾曲されることにより上記反転が行われる第１態様から第４態様のいずれか１つに記載のフラットケーブルの支持構造を提供する。
【００１６】
本発明の第６態様によれば、基板に実装される複数の部品が配置された部品供給トレイを載置するトレイ供給用プレートより、上記それぞれの部品を部品実装可能に供給する部品供給装置において、
複数の上記トレイ供給用プレートを取り出し可能に収納するプレート収納部と、
第１態様から第５態様のいずれか１つに記載の移動体であって、当該プレート収納部において、搬送位置に位置された上記トレイ供給用プレートに対して、解除可能に保持するプレート保持装置と、
上記搬送位置と部品供給位置との間で上記保持されたプレートを搬送可能に、上記プレート保持装置の上記進退移動を行う移動装置とを備えることを特徴とする部品供給装置を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、フラットケーブルの支持構造において、移動体が、例えば傾斜支持部より離間する方向に移動されるような場合にあっては、この移動に伴ってフラットケーブルにおいて、第１のケーブル部が同期して移動されることとなり、この第１のケーブル部の移動により、反転用湾曲部の湾曲における曲率半径は拡大されることとなるが、第１のケーブル部の他端と傾斜支持部のとの間の距離寸法も同様に拡大されることとなるため、当該距離寸法の拡大でもって、反転用湾曲部の曲率半径の拡大を吸収することができる。よって、フラットケーブルの反転用湾曲部において、移動体への接続端部の高さ位置よりも上方にフラットケーブルが位置されること又はその量を抑制することができ、その結果、当該上方に配置されることを防止する、あるいは当該上方に配置される部分を少なくすることができる。
【００１８】
このような効果を得ることができることにより、例えば、上記フラットケーブルにおける上記第１のケーブル部の配置高さ位置よりも上方の空間を上記移動体の移動に関連するような装置、部材の配置に利用するような場合にあっては、当該移動体の進退移動に拘わらず、上記反転用湾曲部が上記装置や部材に接触することを確実に防止することができる。
【００１９】
また、例えば、上記第１のケーブル部の配置高さ位置よりも上方におけるある程度の高さ位置まで、上記反転用湾曲部を位置させることができるような場合、すなわち、上述の場合よりも高さ制限が緩やかであるような場合には、上記傾斜支持部の傾斜の角度を例えば緩やかにすること等により、上記反転用湾曲部が上記第１のケーブル部の配置高さ位置よりも上方に位置される部分を少なくさせながら（すなわち抑制しながら）、上記移動体の進退移動を行うことができるフラットケーブルの支持構造を提供することができる。
【００２０】
このようなフラットケーブルの支持構造が用いられる装置構成において、高さ方向の小型化を図ることができ、その装置コストの削減や空間使用効率の向上を通じて、当該装置における生産性の向上を図ることができる。
【００２１】
特に、部品供給装置においては、装置基台上方側においては、その高さ寸法をできるだけ小さくするという制約が多いが、逆に基台下方側においてはこのような制約が一般的に少ない。従って、このようなフラットケーブルの支持構造を採用して、傾斜支持部を備えさせるような場合であっても、装置の全体的な構成に配置上の制約が新たに課されることも少ない。よって、このような支持構成を採用することで、部品供給装置における高さ方向の小型化（コンパクト化）を図ることができ、その装置コストの削減や空間使用効率の向上を通じて、生産性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
本発明の一の実施形態にかかる部品供給装置の一例である部品供給装置４を備え、この部品供給装置４から供給された部品を基板に実装する部品実装装置の一例である電子部品実装装置１０１の斜視図を図１に示す。また、図１の電子部品実装装置１０１の斜視図における部品供給装置４を部分的に拡大して示す斜視図を図２に示す。部品供給装置４についての詳細な構造や動作の説明を行うに先だって、このような部品供給装置４を備える電子部品実装装置１０１の全体的な構成及び動作についての説明を、図１を用いて行う。
【００２４】
（電子部品実装装置について）
図１に示すように、電子部品実装装置１０１は、部品の一例であるチップ部品やベアＩＣチップ等の電子部品２を基板に実装する実装動作を行う装置であり、大別して、複数の電子部品２を供給可能に収容する部品供給装置４と、この部品供給装置４から供給される各電子部品２を基板に実装する実装動作を行う実装部５とを備えている。
【００２５】
図１及び図２に示す部品供給装置４においては、基板に実装される多数の電子部品２（部品の一例である）が格子上に配列されて収容配置された部品供給トレイをその上面に載置する複数のトレイ供給用プレートを収納して上記夫々のプレートを選択的に供給可能に収納しているプレート収納部の一例であるリフター装置１０が、部品供給装置４の図示Ｙ軸方向手前側に設置されている。なお、トレイ供給用プレートの構成の説明については、後述するものとする。また、このように部品供給トレイから供給される電子部品２としては、ベアＩＣチップやベアＩＣチップ以外のＩＣチップ（例えば、パッケージが施されたＩＣチップ等）やチップ部品等がある。
【００２６】
また、図１及び図２に示すように、部品供給装置４は、リフター装置１０に収納されているそれぞれのプレートの中から１枚のプレートが選択されて搬送取り出し可能とされる搬送位置Ｐ１と、当該搬送取り出しが行われたプレートが配置されて、当該プレートより電子部品２を取り出し可能な状態とされる部品供給位置Ｐ２とを有している。また、この搬送位置Ｐ１と部品供給位置Ｐ２との間で、上記選択されたプレートを解除可能に保持して搬送するプレート移動装置４０を備えている。
【００２７】
さらに、部品供給装置４には、部品供給位置Ｐ２に選択的に配置された上記プレート上に載置されている上記部品供給トレイから電子部品２を個別に吸着保持して、実装部５に向けて図示Ｘ軸方向沿いに移動させるとともに、上記吸着保持した電子部品２を上下方向に反転させる反転ヘッド装置１４が備えられている。なお、本実施形態においては、このような反転ヘッド装置１４を部品供給装置４が備えている場合について説明するものとするが、このような場合に代えて、部品供給装置４とは別の構成の装置として、部品供給装置４とともに、電子部品実装装置１０１に備えられているような場合であってもよい。
【００２８】
また、図１に示すように、実装部５には、電子部品２を吸着保持して基板に実装する実装ヘッド部２０が備えられている。また、互いに図示Ｘ軸方向沿いに配置された位置であって、反転ヘッド装置１４により保持された電子部品２が実装ヘッド部２０に受渡し可能な位置である部品受渡し位置と、基板に対する電子部品２の実装動作が行われる基板実装領域との間で、実装ヘッド部２０を支持しながら、図示Ｘ軸方向に沿って進退移動させる移動装置の一例であるＸ軸ロボット２２が、さらに実装部５に備えられている。
【００２９】
なお、実装ヘッド部２０は、ボイスコイルモータ等の移動手段にて昇降駆動可能であり、かつ、吸着保持した電子部品２を介して、押圧エネルギーや超音波振動エネルギーや熱エネルギー等の接合エネルギーを、電子部品２と基板の接合部に付与できるように構成された保持部（図示しない）を備えており、電子部品２を基板に対して加圧しながら上記接合エネルギーを付与することが可能となっている。また、Ｘ軸ロボット２２は、例えば、ボールねじ軸部とこのボールねじ軸部に螺合されたナット部とを用いた移動機構（図示しない）が備えられている。
【００３０】
また、図１に示すように、実装ヘッド部２０及びＸ軸ロボット２２の下方における実装部５の基台２４上には、基板を図示Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であって、かつ、実装ヘッド部２０に対する基板上における電子部品２が実装される位置の位置決めを行うＸＹテーブル２６が配設されている。このＸＹテーブル２６は、図示Ｘ軸方向とＹ軸方向との夫々に、例えばサーボモータにて移動駆動するとともに、リニアスケールを用いてフルクローズ制御にて位置決めすることが可能となっている。また、このＸＹテーブル２６の上面には、基板を解除可能に保持して固定する基板保持台２８が設置されている。なお、図１において、Ｘ軸方向とＹ軸方向は、基板の表面沿いの方向であって、かつ、互いに直交する方向である。
【００３１】
また、図１に示すように、電子部品実装装置１０１には、基台２４の上面における図示Ｙ軸方向手前側の端部において、図示Ｘ軸方向左向きの方向である基板搬送方向Ｂに沿って基板を搬送し、基板保持台２８への基板の供給及び基板保持台２８からの基板の排出を行う基板搬送装置３０が備えられている。基板搬送装置３０は、電子部品実装装置１０１の図示Ｘ軸方向右側の端部からＸＹテーブル２６上の基板保持台２８にまで、基板を搬送して供給するローダ部の一例であるローダ３２と、基板保持台２８から電子部品実装装置１０１の図示Ｘ軸方向左側の端部にまで、基板を搬送して排出するアンローダ部の一例であるアンローダ３４とを備えている。なお、本実施形態においては、電子部品実装装置１０１におけるＸＹテーブル２６が、基板搬送装置３０が備える基板保持移動装置と兼用されている例となっている。また、ＸＹテーブル２６と基板支持台２８とが、基板の上記移動及び保持を行う基板保持移動装置の一例となっている。また、このように兼用されているような場合に代えて、電子部品実装装置１０１におけるＸＹテーブル２６とは別に、基板保持移動装置が基板搬送装置３０に備えられているような場合であってもよい。
【００３２】
なお、図１に示す電子部品実装装置１０１は、当該構成の説明の便宜を考慮して、基台２４の上面全体を覆っているケーシングカバーが取り外された状態の斜視図となっており、図２の部品供給装置４についても同様である。
【００３３】
次に、このような構成を有する電子部品実装装置１０１における電子部品２の基板への実装動作について説明する。
【００３４】
図１の電子部品実装装置１０１において、基台２４上におけるローダ３２及びアンローダ３４の間に位置するように、基板保持台２８がＸＹテーブル２６により移動される。それとともに、電子部品実装装置１０１にて夫々の電子部品２の実装が行われるべき基板が、例えば、電子部品実装装置１０１に隣接する他の装置等より基板搬送装置３０のローダ３２に供給されて、ローダ３２にて基板搬送方向Ｂに基板が搬送されて、この基板が基板保持台２８に供給されて保持される。その後、ＸＹテーブル２６が図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動されて、基板が上記基板実装領域に移動される。
【００３５】
一方、図１及び図２に示す部品供給装置４にて、リフター装置１０に収納されている夫々のプレートより１枚のプレートが選択されて搬送位置Ｐ１に位置されるとともに、搬送一Ｐ１においてプレート移動装置４０により当該プレートが保持されて、当該保持されたプレートが図示Ｙ軸方向に沿って搬送されることにより部品供給位置Ｐ２に配置される。その後、上記配置されたプレートがプレート移動装置４０によりＹ軸方向に移動され、反転ヘッド１４がＸ軸方向に移動されることにより、当該プレート上の一の電子部品２と反転ヘッド１４との位置決めが行われる。その後、当該電子部品２が反転ヘッド装置１４により吸着保持されて取り出されるとともに、当該電子部品２が、反転されて上記部品受渡し位置にまで移動される。また、実装部５にて実装ヘッド部２０が、Ｘ軸ロボット２２により、上記部品受渡し位置にまで移動されて、反転ヘッド装置１４から実装ヘッド部２０に電子部品２が受け渡される。その後、上記受け渡された電子部品２を吸着保持した状態の実装ヘッド部２０が、Ｘ軸ロボット２２により、上記基板実装領域の上方へと移動される。
【００３６】
その後、実装ヘッド部２０により吸着保持されている電子部品２と、基板保持台２８により保持されている基板における電子部品３が実装されるべき位置との位置合わせが、ＸＹテーブル２６の移動により行われる。この位置合わせの後、実装ヘッド部２０の昇降動作等が行われて、電子部品２の基板への実装動作が行われる。複数の電子部品２の上記実装動作が行われるような場合にあっては、上記夫々の動作が繰り返して行うことにより、夫々の電子部品２の実装動作が行われる。
【００３７】
その後、夫々の電子部品２の上記実装動作が終了すると、夫々の電子部品２が実装された状態の基板が、基板保持台２８とともに、ＸＹテーブル２６により、ローダ３２とアンローダ３４との上記間の位置にまで移動されて、基板保持台２８より基板がアンローダ３４に受け渡され、アンローダ３４にて基板が基板搬送方向Ｂに沿って搬送されて、電子部品実装装置１０１より基板が排出される。上記排出された基板は、例えば、電子部品実装装置１０１に隣接して設置されている上記部品実装の次の処理等を行う他の装置に供給されたり、部品実装済みの基板として基板収納装置等に収納されたりする。
【００３８】
このようにして、電子部品実装装置１０１において、夫々の電子部品２の基板への実装動作が行われる。なお、夫々の電子部品２が実装された基板がアンローダ３４により排出された後、さらに新たな別の基板がローダ３２により供給されることにより、順次供給される夫々の基板に対して夫々の電子部品２の実装を行うことが可能となっている。
【００３９】
（部品供給装置について）
次に、このような構成及び部品実装動作を行う電子部品実装装置１０１が備える部品供給装置４の詳細な構成について、特に、リフター装置１０及びプレート移動装置４０の構成を中心に説明する。
【００４０】
まず、図２に示すように、リフター装置１０は、複数のトレイ供給用プレートを収納して上下方向に積層的に収納する箱体状の形状を有する収納体の一例であるマガジンカセット５０（図３に図示する）と、このマガジンカセット５０を支持するとともに、マガジンカセット５０の昇降動作を行って、マガジンカセット５０に収納されている上記夫々のプレートのうちの１枚のプレートを、プレート移動装置４０により取り出し可能な昇降高さ位置（搬送位置Ｐ１でもある）に位置させる収納体昇降部の一例であるカセット昇降部５１と、カセット昇降部５１を取り付けられて、かつ、カセット昇降部５１によるマガジンカセット５０の昇降動作を案内可能な基台５２とを備えている。
【００４１】
ここで、マガジンカセット５０の拡大斜視図（半透過斜視図）を図３に示す。図３に示すように、マガジンカセット５０においては、図示Ｃ方向が部品供給位置Ｐ２への上記夫々のプレートの取り出し方向（あるいはプレート搬送方向、以降、プレート取出方向Ｃとする）となっている。また、マガジンカセット５０は、プレート取出方向Ｃと直交する方向において、互いに対向するように側壁部５０ａが夫々設けられており、夫々の側壁部５０ａの互いに対向する側面において、プレート取出方向Ｃに沿って複数の溝部５０ｂが形成されている。上記夫々のプレート（以降、プレート６とする）は、その互いに対向する両端部において、夫々の側壁部５０ａの溝部５０ｂと係合されることにより、マガジンカセット５０に保持されて収納されている。なお、夫々の側壁部５０ａにおいて夫々の溝部５０ｂは一定の間隔ピッチでもって形成されており、夫々の溝部５０ｂに係合されて保持された状態で、プレート６はその表面が略水平な状態とされている。さらに、夫々のプレート６は、夫々の溝部５０ｂの形成方向に沿って案内されながら、プレート取出方向Ｃ沿いに進退移動（すなわち、スライド移動）可能な状態とされている。また、マガジンカセット５０においては、収納されている夫々のプレート６の取り出しが行われるため、上記取り出しの障害とならないように、プレート取出方向Ｃ側には側壁部が設けられておらず、例えば常時開放された状態とされている。
【００４２】
次に、トレイ供給用プレート６の斜視図を図４に示し、トレイ供給用プレート６の構造について説明する。図４に示すように、トレイ供給用プレート６は、直線状の部分と曲線状の部分とが組み合わされた外周部分を有する大略円盤状の形状を有している。また、プレート取出方向Ｃを挟んで互いに対向されるそれぞれの端部は、マガジンカセット５０のそれぞれの溝部５０ｂと係合されることが考慮されて、上記直線状の外周部分となっている。これにより、マガジンカセット５０の内部に複数のトレイ供給用プレート６を積層して収容することが可能となっている。また、図４に示すように、トレイ供給用プレート６は、略正方形状の内周孔部を有する環状プレートであるトレイリング５９と、このトレイリング５９の上記内周孔部分に取り付けられて形成され、複数の部品供給トレイ５７を着脱可能に載置するトレイ載置部５８とを備えている。トレイ載置部５８は、トレイリング５９の表面よりも一段低くなるように形成されており、部品供給トレイ５７が載置された場合に、その部品供給トレイ５７に収納されている夫々のトレイ供給部品２ｔの上面高さ位置が、トレイリング５９の表面高さ位置と略同じとなるように形成されている。なお、図５においては、略正方形状の平面形状を有する４つの部品供給トレイ５７が２列に配列されて、トレイ載置部５８に載置されている。なお、トレイ載置部５８がトレイリング５９と別に形成されて、トレイリング５９の内側に取り付けられるような場合に代えて、トレイ載置部５８がトレイリング５９と一体的に形成されるような場合であってもよい。
【００４３】
また、図５に示すように、トレイ供給用プレート６におけるトレイリング５９のプレート取出方向Ｃ側の端部近傍位置が、プレート移動装置４０によるトレイ供給用プレート６の保持位置となっている。さらにトレイ供給用プレート６においてこのプレート取出方向Ｃ側の端部には、プレート移動装置４０による保持のための２箇所の切欠部（凹部の一例である）７と、当該端部近傍かつ２箇所の切欠部７の略間の位置にトレイリング５９を上下方向に貫通するような貫通孔部８（係合部の一例である）が形成されている。なお、本実施形態において用いられるトレイ供給用プレート６としては、例えば、その外径が４４０ｍｍ、重量７００〜９００ｇ程度のプレートが用いられる。これは、一般的に良く用いられる半導体ウェハが載置されたウェハ供給用プレート（外径１５０ｍｍ、重量１０〜３０ｇ）と比較して、その外径が大きく、重量も重いものである。
【００４４】
次に、プレート移動装置４０の外観斜視図を図５に示す。さらにその構成の理解をより容易なものとするために、プレート移動装置４０の構成を模式的に示す模式平面図を図６に示し、図６の側面図（一部断面を含む）を図７に示す。なお、図６及び図７においては、プレート移動装置４０に隣接して設置されるリフター装置１０のマガジンカセット５０も合わせて図示し、プレート移動装置４０とマガジンカセット５０との関係を表している。
【００４５】
図５及び図６に示すように、プレート移動装置４０は、トレイ供給用プレート６を解除可能に保持するプレート保持装置４１と、このプレート保持装置４１をプレート搬送方向Ｃに沿って進退移動させる移動装置６０とを備えている。具体的には、プレート保持装置４１は、トレイ供給用プレート６のプレート取出搬送方向Ｃ側の端部近傍に形成された貫通孔部８に脱挿可能に挿入される挿入端部４２ａ（係合端部の一例である）を有する保持部材の一例であるトレイチャック４２と、トレイ供給用プレート６の上記端部に形成された２箇所の切欠部７と解除可能に係合可能であって、当該係合が行われることにより、トレイ供給用プレート６の表面沿いの方向において、プレート取出方向Ｃと直交する方向（すなわち、図示Ｘ軸方向）及び回転方向に、トレイ供給用プレート６の位置をその保持のために規定する保持規定部材の一例である２本の位置決めピン４３ａを有する位置決め部４３が備えられている。なお、それぞれの位置決めピン４３ａは、切欠部７との係合により得られる位置決め精度を考慮して、例えば円柱形状のピンが用いられることが好ましい。
【００４６】
また、プレート保持装置４１は、これらのトレイチャック４２及び位置決め部４３が取り付けられ、移動装置６０によりプレート取出方向Ｃに沿って進退移動される移動ブロック４４を備えており、移動装置６０により移動ブロック４４の移動が行われることにより、トレイチャック４２お及び位置決め部４３をプレート取出方向Ｃ沿いに進退移動させることが可能となっている。なお、トレイ供給用プレート６のプレート取出方向Ｃへの移動中心（移動の中心軸）に対して、例えば、それぞれの位置決めピン４３ａは線対称の位置に配置され、また、挿入端部４２ａは当該移動中心上に位置されていることが、移動における保持の安定性という観点より好ましい。
【００４７】
また、図６及び図７に示すように、位置決め部４３は、移動ブロック４４に対してプレート取出方向Ｃ沿いにスライド移動可能にスライド案内部材４５（移動案内部材の一例である）を介して取り付けられており、さらにその図示右側の端部には、それぞれの位置決めピン４３ａを図示左側に配置されたトレイ供給用プレート６の端部に対して付勢可能に、付勢部材の一例であるバネ部４６を介して移動ブロック４４に取り付けされている。このように位置決め部４３がスライド案内部材４５及びバネ部４６を介して移動ブロック４４に取り付けられていることにより、プレート取出方向Ｃにおいて、それぞれの位置決めピン４３ａとトレイチャック４２の挿入端部４２ａとの間の距離を変化させることが可能となっている。
【００４８】
さらに図６及び図７に示すように、トレイチャック４２は、図示左側端部に挿入端部４２ａを、図示右側端部に回転中心４２ｂを備え、この回転中心４２ｂにおいて移動ブロック４４に回動可能に取り付けられている。そして、この回転中心４２ｂを支点として、トレイチャック４２全体が揺動され、トレイ供給用プレート６の貫通孔部８への挿入位置Ｐ３と挿入解除位置Ｐ４との間で挿入端部４２ａを昇降させることが可能となっている。
【００４９】
さらに、プレート保持装置４１には、この挿入端部４２ａの昇降動作を行うために、トレイチャック４２の上記回動を行うチャック昇降装置４７が備えられている。チャック昇降装置４７は、トレイチャック４２の回転中心４２ｂと挿入端部４２ａとの間には設けられたカムフォロア部４２ｃと当接可能であって、当該当接により上記回動によりカムフォロア部４２ｃの上昇位置を規定するカム部４８と、このカム部４８の昇降を行うシリンダ部４９とを備えている。また、トレイチャック４２は、その挿入端部４２ａが挿入位置Ｐ３に常時位置されるように、その回動方向に付勢する付勢部材の一例であるバネ部７０を備えている。従って、チャック昇降装置４７のカム部４８がその昇降の上端位置に位置されている場合には、カム部４８とカムフォロア部４２ｃとの当接は解除されて、その結果バネ部７０の付勢力により挿入端部４２ａが挿入位置Ｐ３に位置され、一方、カム部４８がその昇降の下限位置に位置されている場合には、カム部４８とカムフォロア部４２ｃとが当接状態とされ、バネ部７０の付勢力に抗して挿入端部４２ａが挿入解除位置Ｐ４に位置されるように構成されている（図８参照）。
【００５０】
なお、このようなチャック昇降装置４７は、移動ブロック４４に設置することも可能であるが、移動部分の構成を少しでも小型化するために、移動ブロック４４には設置せずに、リフター装置１０の手前の位置に固定配置されている。このような構成を採用しているため、カム部４８はカムフォロア部４２ｃとの当接状態においても、プレート取出方向Ｃ沿いにおけるトレイチャック４２の移動を阻害しないように滑らかな平板状の部材により形成されている。なお、上記トレイチャック４２の移動中におけるカム部４８とカムフォロア部４２ｃとの当接を滑らかなものとするため、カム部４８におけるプレート取出方向Ｃ沿いのそれぞれの端部には上方側に向けた傾斜部が形成されている。
【００５１】
また、図５〜図７に示すように、移動装置６０は、プレート取出方向Ｃに沿って配置されたボールねじ軸部６１と、このボールねじ軸部６１に螺合されたナット部６２と、ボールねじ軸部６１を回転駆動させることで、ナット部６２をプレート取出方向Ｃに沿って進退移動させる駆動モータ６３とを備えている。なお、プレート保持装置４１の移動ブロック４４は、ナット部６２に固定されている。
【００５２】
また、移動装置６０においては、プレート保持装置４１により保持されたトレイ供給用プレート６が移動装置６０によりプレート取出方向Ｃに沿って搬送される際に、トレイ供給用プレート６におけるプレート取出方向Ｃと直交する方向におけるそれぞれの端部を搬送可能に支持する一対の搬送レールとして、支持回転部材の一例である整列配列された複数のローラ部６４が配置されている。これらのローラ部６４は、上記搬送の際にトレイ供給用プレート６の上記それぞれの端部を支持しながら、回転されることで、当該端部表面との摩擦や摩耗を低減させる機能を有している。
【００５３】
また、図６に示すように、マガジンカセット５０におけるプレート取出方向Ｃの奥側には、搬送位置Ｐ１に位置されたトレイ供給用プレート６の図示左側方向への位置を規制する搬送位置規定部材の一例である２つのストッパ５３が備えられている。これらのストッパ５３にトレイ供給用プレート６の一方の端部が当接した状態とされることで、トレイ供給用プレート６を搬送位置Ｐ１に確実に位置決めすることが可能となっている。
【００５４】
また、図５に示すように、プレート保持装置４１は、トレイ供給用プレート６を保持状態にあるのか、あるいは保持していない状態にあるのかを検出するセンサとしてトレイ検出センサ７１（例えば近接センサ等）を備えている。このようにトレイ検出センサ７１が備えられていることにより、プレート保持装置４１がトレイ供給用プレート６を保持状態にあるのか又は非保持状態にあるのかを確実に検出することができ、トレイ供給用プレート６同士の衝突等の発生を確実に防止することができる。
【００５５】
次に、このような構成を有する部品供給装置４において、マガジンカセット５０より選択されたトレイ供給用プレート６を取り出して部品供給位置Ｐ２に位置させるプレート取出動作と、当該取り出されたトレイ供給用プレート６を搬送位置Ｐ１に位置させてマガジンカセット５０内に収納させるプレート収納動作とについて、以下に具体的に説明する。当該説明にあたって、図９にプレート取出動作の主要な手順のフローチャートを示し、図１０〜図１５に当該プレート取出動作を説明するための模式説明図を示す。また、図１６にプレート収納動作の主要な手順のフローチャートを示し、図１７〜図２１に当該プレート収納動作を説明するための模式説明図を示す。なお、以下に示すそれぞれの手順を行うための動作は、部品供給装置４が備える制御装置（図示しない）により互いの動作が関連付けられながら統括的に制御されて行われる。
【００５６】
（プレート取出動作）
まず、図９のフローチャートのステップＳ１において、まず、リフター装置１０のカセット昇降部５１を上昇又は下降させることにより、マガジンカセット５０より取り出されるトレイ供給用プレート６を昇降高さ位置、すなわち搬送位置Ｐ１に位置させる。その後、あるいはそれとともに、プレート移動装置４０において、移動装置６０によりプレート保持装置４１（すなわち、移動ブロック４４）を搬送位置Ｐ１に向けて移動させる（ステップＳ２）。この移動開始の際には、プレート保持装置４１において検出センサ７１によりプレート６の保持が行われていないことを確認した上で行われる。なお、プレート６の保持が行われていると検出された場合には、当該移動が停止され、警報等の出力が行われる。また、プレート保持装置４１の移動開始の後、あるいは当該移動とともに、チャック昇降部４７によりカム部４８が下降位置に下降される。この状態が図１０の模式説明図に示す状態である。
【００５７】
その後、トレイチャック４２が搬送位置Ｐ１の近傍まで移動されると、カムフォロア部４２ｃが下降位置に位置された状態のカム部４８と当接しながらバネ部７０が圧縮されて回転中心４２ｂ回りにトレイチャック４２が回動される。その結果、挿入端部４２ａが挿入解除位置Ｐ４へ下降されて位置されることとなる（ステップＳ３）。さらに、挿入端部４２ａが挿入解除位置Ｐ４へ位置された状態にて移動ブロック４４が搬送位置Ｐ１へ向けて移動されることにより、トレイチャック４２とトレイ供給用プレート６との接触が回避された状態にて、挿入端部４２ａがトレイ供給用プレート６の端部の下面へと潜り込んだ状態とされるとともに、それぞれの位置決めピン４３ａがトレイ供給用プレート６のプレート取出方向Ｃ側の端部におけるそれぞれの切欠部７に当接された状態となる（ステップＳ４）。この状態が図１１に示す状態である。
【００５８】
その後、さらに移動ブロック４４を搬送位置Ｐ１に向けて移動させることにより、それぞれの位置決めピン４３ａと当接状態にあるトレイ供給用プレート６が、マガジンカセット５０内のそれぞれのストッパ５３に押し付けられて、搬送位置Ｐ１において位置決めされる。
【００５９】
具体的には、図６に示すように、トレイ供給用プレート６に形成されているそれぞれの切欠部７は、互いに異なる形状を有している。図示下方側に形成されている切欠部７は、位置決めピン４３ａとの係合により、トレイ供給用プレート６をプレート取出方向Ｃに直交する方向に位置決めするための基準となる切欠部であり、一方、図示上方側に形成されている切欠部７は、上記基準が規定された状態のトレイ供給用プレート６に対して、プレート６の表面沿いにおける回転方向に位置決めするための切欠部となっている。従って、それぞれのストッパ５３に当接され、かつ、それぞれの切欠部７に各々の位置決めピン４３ａが係合された状態（すなわち図６に示す状態）においては、トレイ供給用プレート６は、搬送位置Ｐ１において、プレート取出方向Ｃ、当該方向Ｃに直交する方向、及びプレート６の表面沿いの回転方向に位置決めされた状態となる。
【００６０】
また、それぞれの位置決めピン４３ａが当接状態（係合状態）において移動ブロック４４の上記移動が行われることにより、バネ部４６が圧縮されて、当該圧縮による付勢力がプレート６に対して付加されることとなるため、上記位置決め状態においてトレイ供給用プレート６は安定した状態とされることとなる。さらにバネ部４６が圧縮されることにより、プレート取出方向Ｃにおいて、位置決めピン４３ａと挿入端部４２ａとの間の距離が拡大されることとなる。その結果、図１２に示すように、挿入解除位置Ｐ４に位置された状態の挿入端部４２ａが、貫通孔分８に挿入可能に貫通孔部８の下方へと位置されることとなる（ステップＳ５）。すなわち、図１１の状態と図１２の状態とを比較して明らかなように、位置決め部４３のバネ部４６が圧縮されずかつそれぞれの位置決めピン４３ａが切欠部７に当接された状態においては、トレイチャック４２の挿入端部４２ａは貫通孔部８の下方には位置されず、バネ部４６が圧縮されて位置決めピン４３ａと挿入端部４２ａとの間の距離が拡大されて初めて、挿入端部４２ａが挿入可能に貫通孔部８の下方に位置されるように、トレイ供給用プレート６において貫通孔部８の形成位置や大きさが決定されている。
【００６１】
その後、図１２及び図１３に示すように、ステップＳ６において、チャック昇降装置４７によりカム部４８が上昇位置へと上昇されて、バネ部７０の付勢力によりトレイチャック４２が回転中心４２ｂ回りに回動されて、挿入端部４２ａが挿入解除位置Ｐ４から挿入位置Ｐ３へと上昇され、トレイ供給用プレート６の貫通孔部８内に挿入される。
【００６２】
この挿入が行われた後、図１４に示すように、ステップＳ７において、移動装置６０により移動ブロック４４が部品供給位置Ｐ２に向けて移動されることにより、トレイチャック４２の挿入端部４２ａが、貫通孔部８の周部へと当接される。具体的には、この移動により、圧縮状態にあるバネ部４６の圧縮を低減させて、それぞれの位置決めピン４３ａと挿入端部４２ａとの間の距離を縮小することで、挿入端部４２ａが上記周部へと当接されることとなる。また、この当接状態においては、バネ部４６の圧縮は僅かに低減されたものの、まだ圧縮状態とされているため、その付勢力でもって、それぞれの位置決めピン４３ａ及び挿入端部４２ａにより、トレイ供給用プレート６が３点保持された状態とされる（ステップＳ８）。なお、バネ部４６は、この保持状態において、トレイ供給用プレート６を確実に保持するための付勢力を発揮できるように選定されることが好ましい。
【００６３】
その後、移動装置６０によりプレート保持装置４１が部品供給位置Ｐ２に向けてさらに移動されることにより、上記３点保持された状態のトレイ供給用プレート６の端部がマガジンカセット５０内のそれぞれのストッパ５３から離間され、マガジンカセット５０よりプレート取出方向Ｃに向けて取り出される（ステップＳ９）。この状態が図１５の模式説明図に示す状態である。
【００６４】
マガジンカセット５０より取り出されたトレイ供給用プレート６は、その両端部がローラ部６４により支持された状態にて部品供給位置Ｐ２へ向けて搬送される。すなわち、トレイ供給用プレート６の荷重は、それぞれのローラ部６４により支持され、一方、その支持姿勢はプレート保持装置４１のそれぞれの位置決めピン４３ａ及び挿入端部４２ａの３点保持により高精度に規定された状態にて搬送が行われる。
【００６５】
その後、トレイ供給用プレート６が部品供給位置Ｐ２に到達すると、載置するそれぞれの部品供給トレイ５７からそれぞれの電子部品２の供給が可能な状態とされる。このようなそれぞれの電子部品２の供給は、図１に示すように、反転ヘッド装置１４が図示Ｘ軸方向に移動され、プレート保持装置４１が移動装置６０により図示Ｙ軸方向に移動されることにより、トレイ供給用プレート６上の一の電子部品２と反転ヘッド装置１４との位置決めが行われ、当該位置決めの後、反転ヘッド装置１４により上記一の電子部品２が吸着保持により取り出すことができる。また、このような位置決めの際、トレイ供給用プレート６は、上記３点保持により高精度に位置決めされた状態にて保持されているため、電子部品２の供給のための位置決めを高精度に行うことができる。
【００６６】
（プレート収納動作）
次に、部品供給のためにマガジンカセット５０から取り出されプレート保持装置４１により保持された状態のトレイ供給用プレート６を、マガジンカセット５０内に収納する動作について以下に説明する。
【００６７】
まず、図１６のステップＳ１１において、マガジンカセット５０内にてこのトレイ供給用プレート６が収納されるべき位置であるプレート収納位置を、カセット昇降部５１によりマガジンカセット５０を上昇又は下降させることで、昇降高さ位置（すなわち搬送位置Ｐ１）に位置させる。その後、図１７に示すように、ステップＳ１２において、移動装置６０によりプレート保持装置４１を搬送位置Ｐ１に向けて移動させることで、上記保持状態にあるトレイ供給用プレート６の搬送位置Ｐ１に向けての移動を開始する。なお、この移動開始の際には、例えば、プレート保持装置４１が備える検出センサ７１によりトレイ供給用プレート６が保持されていることが検出され、当該保持の検出結果に基づいて、チャック昇降装置４７によりカム部４８が上昇位置に配置される。
【００６８】
その後、移動装置６０によりトレイ供給用プレート６が移動されて、図１８に示すように、搬送位置Ｐ１にトレイ供給用プレート６が位置され、マガジンカセット５０内の上記プレート収納位置にトレイ供給用プレート６が位置されることとなる（ステップＳ１３）。このような移動が行われても、カム部４８が上昇位置に位置されていることにより、トレイチャック４２の挿入端部４２ａは挿入位置Ｐ３に位置された状態が保たれ、トレイ供給用プレート６に対する上記３点保持は継続して行われた状態にある。また、図１８に示すように、搬送位置Ｐ１に位置されることで、トレイ供給用プレート６の保持側端部とは反対側の端部が、マガジンカセット５０内のそれぞれのストッパ５３に当接されることとなる。
【００６９】
このストッパ５３への当接状態の後、さらに搬送位置Ｐ１側へ向けての移動ブロック４４の移動が行われることにより、位置決め部４３のバネ部４６が圧縮される。このバネ部４６の圧縮により、それぞれの位置決めピン４３ａとトレイチャック４２の挿入端部４２ａとの間の距離が拡大され、その結果、貫通孔部８の周部より挿入端部４２ａが離間される（ステップＳ１４）。この状態が図１９の模式説明図に示す状態である。
【００７０】
その後、図２０に示すように、ステップＳ１５において、チャック昇降装置４７によりカム部４８を下降させて下降位置に位置させることにより、トレイチャック４２のカムフォロア部４２ｃが押し下げられて、回転中心４２ｂ回りにトレイチャック４２が回動され、その結果、挿入端部４２ａが挿入位置Ｐ３から挿入解除位置Ｐ４へと下降されて、貫通孔部８より離脱される。これにより、トレイ供給用プレート６に対する上記３点保持が解除されたこととなる（ステップＳ１６）。
【００７１】
その後、図２１に示すように、移動装置６０によりプレート保持装置４１を部品供給位置Ｐ２へ移動させ、当該移動により、それぞれの位置決めピン４３ａが各々の切欠部７より離脱される（ステップＳ１７）。これにより、トレイ供給用プレート６がマガジンカセット５０内に収納されることとなる（Ｓ１８）。
【００７２】
なお、プレート保持装置４１において、バネ部４６が圧縮されることによりそれぞれの位置決めピン４３ａよりトレイ供給用プレート６に対して付勢力が付加されるものと説明したが、動作エラーやプレート６が正規の位置に配置されていないような場合にあっては、バネ部４６が過度に圧縮されて大きな付勢力がプレート６に対して付加されるような場合も考えられる。このようなバネ部４６の過度な圧縮を防止するために、バネ部４６の圧縮状態あるいは位置決めピン４３ａの位置を監視するフォトセンサを備えさせることもできる。当該フォトセンサにより過度な圧縮を検出することで、過大な付勢力が付加されることを防止することができるからである。
【００７３】
また、図１２に示すように、プレート取出動作において、プレート保持装置４１がマガジンカセット５０内に位置される際に、トレイ供給用プレート６とトレイチャック４２の挿入端部４２ａとの干渉を防止するために、チャック昇降装置４７により挿入端部４２ａが挿入位置Ｐ３から挿入解除位置Ｐ４へと下降されるように構成されている。このような動作は移動装置６０の動作とチャック昇降装置４７の動作が互いに関連づけられて制御されることで行われるものである。このような制御において万が一動作エラーが発生した場合のことを考慮して、例えば図１２に示すように、トレイチャック４２において挿入端部４２ａの先端にテーパ部４２ｄを形成することも好適である。挿入端部４２ａが挿入位置Ｐ３より下降されないような場合が生じたとしても、当該テーパ部４２ｄがトレイ供給用プレート６の端部と当接されることで、挿入端部４２ａを押し下げるような力を発生させることができ、両者の衝突による衝撃を低減させることができるからである。
【００７４】
また、上記説明においては、付勢部材として例えばバネ部４６、７０を用いるような場合について説明したが、本実施形態はこのような場合についてのみ限られるものではない。例えばこのような場合に代えて、ダンパーなど弾性を有する部材が用いられるような場合であってもよい。
【００７５】
また、上記説明においては、２つの位置決めピン４３ａが、１つの部材である位置決め部４３に備えられ、位置決め部４３がバネ部４６を介して移動ブロック４４に固定されているような場合について説明したが、本実施形態はこのような場合についてのみ限られるものではない。このような場合に代えて例えば、各々の位置決めピン４３ａが個別にバネ部を介して移動ブロック４４に固定されるような場合であってもよい。ただし、２つの位置決めピン４３ａを位置決め部４３に備えさせるような構成を採用する方が、スライド案内部材４５やバネ部４６の構成を共通化（すなわち２つ用意する必要を無くす）することができ、装置構成の簡素化や装置コストの観点より好適である。
【００７６】
また、上記説明においては、トレイ供給用プレート６の端部に貫通孔部８が形成され、この貫通孔部８内にトレイチャック４２の挿入端部４２ａが挿入されて、バネ部４６の付勢力により貫通孔部８の周部へ挿入端部４２ａが押し付けられるような場合について説明したが、本実施形態はこのような場合についてのみ限られるものではない。このような場合に代えて、トレイ供給用プレート６の端部に凹部や凸部等の係合部が形成され、トレイチャック４２にこの係合部と解除可能に係合される係合端部が形成されるような場合であってもよい。
【００７７】
（フラットケーブルの支持構造）
次に、本実施形態の部品供給装置４において採用されているフラットケーブルの支持構造について説明する。具体的には、プレート移動装置４０において、移動装置６０によりプレート取出方向Ｃに沿って進退移動されるプレート保持装置４１（移動体の一例である）に接続される複数の動力線や信号線により構成されるフラットケーブルを、部品供給装置４の基台表面に形成されたケーブル支持面により支持しながらプレート保持装置４１を進退移動可能とするフラットケーブルの支持構成である。本実施形態のフラットケーブルの支持構成について、図２３及び図２４に示す模式説明図を用いて以下に説明する。
【００７８】
図２３の模式説明図に示すように、部品供給装置４において、移動装置６０により図示左右方向であるプレート取出方向Ｃに進退移動されるプレート保持装置４１には、フラットケーブル８０の一端が接続端部８０ａとして接続されている。また、このフラットケーブル８０の他端は、部品供給装置４の基台（プレート保持装置４１の進退移動に対する不動部分、すなわち移動されない部分である）上におけるケーブル支持面８１に固定用ブラケット８２を介して固定されている。なお、プレート保持装置４１の進退移動を考慮し、フラットケーブル８０は、接続端部８０ａと上記他端との間において、略１８０度（具体的には、１８０度より大きな角度でもって）その向きが反転されるように曲がり部分８０ｂ（すなわち、反転用湾曲部の一例である）が設けられている。
【００７９】
さらに、具体的かつ詳細に説明すれば、図２３に示すように、フラットケーブル８０は、接続端部８０ａよりプレート取出方向Ｃに沿って略直線状に配置される第１のケーブル部８０ｃと、この第１のケーブル部８０ｃの接続端部８０ａとは逆側の端部と連なるように配置され、フラットケーブル８０を反転させる曲がり部分８０ｂと、この曲がり部分８０ｂと連なり、ケーブル支持面８１上に配置されることで支持された第２のケーブル部８０ｄとにより構成されている。
【００８０】
ここで、図２３におけるＡ−Ａ線矢視断面図を図２４に示す。図２４に示すように、フラットケーブル８０は、動力供給用ケーブルや制御信号用ケーブル等の複数のケーブル８３が互いに隣接して配置されるとともに互いに接着（溶着）されて一体的な状態とされている。
【００８１】
また、図２３に示すように、ケーブル支持面８１は、従来の構成のように略水平かつ平坦に構成されているのではなく、プレート保持装置４１の進退移動によるフラットケーブル８０の接続端部８０ａの移動方向（すなわち、プレート取出方向Ｃ）に対して傾斜された面である傾斜支持面８１ａ（傾斜支持部の一例である）を備えている。なお、この傾斜支持面８１ａは、上記移動方向に対して、例えば３０度程度の傾斜角度でもって傾斜されており、曲がり部分８０ｂにおいてフラットケーブル８０の配置空間が拡大されるような傾斜の向きが採用されている。
【００８２】
具体的に本実施形態におけるフラットケーブルの支持構造の特徴及び得られる効果について説明する。移動装置６０によりプレート保持装置４１が、例えば図２５に示すように、傾斜支持面８１ａより離間する方向（すなわち図示左向き）に移動されると、この移動に伴ってフラットケーブル８０において、第１のケーブル部８０ｃが同期して移動されることとなる。この第１のケーブル部８０ｃの移動により、曲がり部８０ｂの湾曲における曲率半径は拡大されることとなるが、第１のケーブル部８０ｃの左側端部と傾斜支持面８１ａのとの間の距離寸法も同様に拡大されることとなる。従って、当該距離寸法の拡大でもって、曲がり部８０ｂの曲率半径の拡大を吸収することができる。なお、このような曲率半径の拡大を吸収するという観点からは、プレート保持装置４１の移動範囲やそれに伴う曲がり部８０ｂの曲率半径の拡大量（変化量）を考慮して、傾斜支持面８１ａの長さ寸法や傾斜角度が決定されることが好ましい。
【００８３】
従って、フラットケーブル８０の曲がり部分８０ｂにおいて、プレート保持装置４１への接続端部８０ａの高さ位置Ｈよりも上方にフラットケーブル８０が位置されることを防止することができる。特に、図２５に示すように、プレート保持装置４１がマガジンカセット５０へ近接する位置へ移動されるような場合にあっても、ケーブル支持面８１に傾斜支持面８１ａが設けられ、マガジンカセット５０手前側下方の空間が十分に確保されていることにより、接続端部８０ａの高さ位置Ｈよりも上方に曲がり部分８０ｂが位置されることを確実に防止することができる。
【００８４】
このような部品供給装置４においては、装置基台上方側においては、その高さ寸法をできるだけ小さくするという制約が多いが、逆に基台下方側においてはこのような制約が一般的に少ない。従って、ケーブル支持面８１に傾斜支持面８１ａを設けるような場合であっても、装置の全体的な構成に配置上の制約が新たに課されることも少ない。よって、このような支持構成を採用することで、部品供給装置４における高さ方向の小型化（コンパクト化）を図ることができ、その装置コストの削減や空間使用効率の向上を通じて、生産性の向上を図ることができる。
【００８５】
また、移動装置６０によりプレート保持装置４１が進退移動された場合においても、フラットケーブル８０において曲がり部分８０ｂの位置が上記移動方向に沿って移動され、フラットケーブル８０が傾斜支持面８１ａより部分的に離間されるかあるいは配置されるかという動きが生じるだけであるため、フラットケーブル８０と傾斜支持面８１ａとの摩耗が生じることを確実に防止することができる。従って、フラットケーブル８０よりパーティクルが発生することを確実に防止することができ、クラス１０００以上の高度な清浄度環境への適用を実現することができる。
【００８６】
なお、上記説明においては、ケーブル支持面８１において、曲がり部分８０ｂ側の空間が拡大されるように傾斜支持面８１ａが配置されるような場合について説明したが、このような場合についてのみ限られるものではない。このような場合に代えて、例えば図２３に示す傾斜支持面の傾斜の向きを逆向きにして、固定用ブラケット８２側に拡大された空間が配置されるような構造を採用することができる。このような構造においても同様な効果を得ることができる。
【００８７】
上記実施形態によれば、以下のような種々の効果を得ることができる。
【００８８】
まず、プレート保持装置４１において、トレイ供給用プレート６に対して、プレート取出方向Ｃに直交する方向の位置決めと回転方向の位置決めを行なう２本の位置決めピン４３ａと、２本の位置決めピン４３ａの付勢力に抗してプレート６の貫通孔部８の周部に押圧される挿入端部４２ａとが備えられ、これらによりトレイ供給用プレート６が３点保持されることにより、トレイ供給用プレート６の確実な保持を行なうことができる。
【００８９】
また、上述のようにプレート取出方向Ｃに直交する方向の位置決めと回転方向の位置決めとが行なわれ、さらにトレイ供給用プレート６がマガジンカセット５０のそれぞれのストッパ５３に押し付けられることで、プレート取出方向Ｃにおいても位置決めされた状態、すなわち、トレイ供給用プレート６の保持姿勢が確実かつ高精度に規定された状態にて、このような３点保持によるプレート６の保持が行われることにより、プレート６の保持を確実かつ高精度なものとすることができる。
【００９０】
また、このようなプレート６の保持のための保持姿勢の規定は、高精度なセンサを用いた位置認識制御等を行うことなく、全て機械的な位置決め動作により行うことができるため、装置コストの低減化に貢献することができる。
【００９１】
さらに、プレート保持装置４１により保持されたトレイ供給用プレート６は、部品供給位置Ｐ２へと搬送されて、このプレート６上の電子部品２が反転ヘッド装置１４により吸着取出しされることとなるが、この吸着取出しのための位置決めは、反転ヘッド装置１４のＸ軸方向の移動と、移動装置６０によるプレート保持装置４１のＹ軸方向の移動とにより行うことができる。すなわち、プレート保持装置４１により保持された状態のトレイ供給用プレート６を、その保持を解除して別の位置決め装置等に受け渡すことなく、当該保持状態のままでその部品供給のための位置決めを行うことができる。また、プレート保持装置４１によるプレート６の保持は、上述のように確実かつ高精度に行われているため、当該部品供給のための位置決めを高精度なものとすることができる。従って、部品供給装置４において、その部品供給における位置決めのための専用の装置を備えさせる必要をなくすことができ、搬送位置Ｐ１から部品供給位置Ｐ２へプレート６を保持して移動させるプレート移動装置４０により、当該部品供給のための位置決めを行うことができ、装置コストの低減化に貢献することができる。
【００９２】
また、プレート移動装置４０によるトレイ供給用プレート６の保持及びその保持解除の動作は、移動装置６０によりプレート取出方向Ｃ沿いの移動動作、及びチャック昇降装置４７による昇降動作により具体的に実現することができるため、装置構成を簡単なものとすることができ、装置コストの低減化と信頼性の向上とを通じて、生産性を向上させることが可能となる。
【００９３】
また、このようなトレイ供給用プレート６は、ウェハ供給用プレート等と比べてその大きさが大きく、重量も重いという特徴を有している。そのため、トレイ供給用プレート６をその両端部において挟んで持ち上げて搬送するという構成が採用されるような場合には、プレートの反りや曲がりが生じる恐れがある。しかしながら、上記実施形態においては、プレート６自体の荷重は、それぞれのローラ部６４にて支持し、その表面沿いの方向における位置決めはプレート保持装置４１によりプレート６の一方の端部を３点保持することで行っているため、このような大径かつ重いという特徴を有するプレート６を確実に保持することができる。
【００９４】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の一の実施形態にかかる部品供給装置を備える部品実装装置の斜視図である。
【図２】図１の部品実装装置における部品供給装置の斜視図である。
【図３】部品供給装置に装備されるマガジンカセットの半透過模式斜視図である。
【図４】マガジンカセットに収納されるトレイ供給用プレートの模式斜視図である。
【図５】プレート移動装置の構造を示す斜視図である。
【図６】マガジンカセットよりプレート移動装置によりプレートが取り出されている状態を示す模式説明図である。
【図７】図６の模式説明図におけるマガジンカセット及びプレート移動装置の側面を示す模式説明図である。
【図８】プレート移動装置によりプレートが部品供給位置に移動された状態を示す模式説明図である。
【図９】プレート取出動作の手順を示すフローチャートである。
【図１０】プレート取出動作において、プレート保持装置が搬送位置へ向けて移動されている状態を示す模式説明図である。
【図１１】プレート取出動作において、位置決めピンがプレートに当接された状態を示す模式説明図である。
【図１２】プレート取出動作において、バネ部が圧縮されて、挿入端部が貫通孔部の下方に配置された状態を示す模式説明図である。
【図１３】プレート取出動作において、挿入端部が貫通孔部へ挿入された状態を示す模式説明図である。
【図１４】プレート取出動作において、バネ部の圧縮が低減されることにより、プレートに対して３点保持が行われた状態を示す模式斜視図である。
【図１５】プレート取出動作において、マガジンカセットよりプレートが取り出された状態を示す模式説明図である。
【図１６】プレート収納動作の手順を示すフローチャートである。
【図１７】プレート収納動作において、保持状態のプレートが搬送位置へ向けて移動されている状態を示す模式説明図である。
【図１８】プレート収納動作において、保持状態のプレートが搬送位置に位置された状態を示す模式説明図である。
【図１９】プレート収納動作において、貫通孔部の周部より挿入端部が離間された状態を示す模式説明図である。
【図２０】プレート収納動作において、貫通孔部より挿入端部が離脱された状態を示す模式説明図である。
【図２１】プレート収納動作において、保持解除が行われ、マガジンカセット内にプレートが収納された状態を示す模式説明図である。
【図２２】従来のフラットケーブルの支持構成を示す模式説明図である。
【図２３】本発明の上記実施形態の部品供給装置におけるフラットケーブルの支持構成を示す模式説明図である。
【図２４】図２３のフラットケーブルにおけるＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図２５】図２３のフラットケーブルの支持構成において、プレート保持装置が搬送位置へ向けて移動された状態を示す模式説明図である。
【符号の説明】
【００９６】
２  電子部品
４  部品供給装置
６  トレイ供給用プレート
７  切欠部
８  貫通孔部
１０  リフター装置
１４  反転ヘッド装置（反転ヘッド）
４０  プレート移動装置
４１  プレート保持装置
４２  トレイチャック
４２ａ  挿入端部
４２ｂ  回転中心
４２ｃ  カムフォロア部
４３  位置決め部
４３ａ  位置決めピン
４４  移動ブロック
４５  スライド案内部材
４６  バネ部
４７  チャック昇降装置
４８  カム部
４９  シリンダ部
５０  マガジンカセット
５１  カセット昇降部
５２  基台
５３  ストッパ
５７  部品供給トレイ
６０  移動装置
６１  ボールねじ軸部
６２  ナット部
６３  駆動モータ
６４  ローラ部
８０  フラットケーブル
８０ａ  接続端部
８０ｂ  曲がり部分
８１  ケーブル支持面
８１ａ  傾斜支持面
８２  固定用ブラケット
８３  ケーブル
１０１  電子部品実装装置
Ｐ１  搬送位置
Ｐ２  部品供給位置
Ｐ３  挿入位置
Ｐ４  挿入解除位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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