(57)【要約】【課題】  転写ホルダーの一方の内面にマスター担体とスレーブ媒体とを吸着面との隙間を低減して確実に保持する。【解決手段】  転写情報に対応した転写パターンを有するマスター担体３，４を転写ホルダー１に保持し、マスター担体３，４に対し転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体２を密着させて磁気転写を行う際に、転写ホルダー１はマスター担体３，４を保持する内面と、マスター担体の表面と略同等の高さに突出して該マスター担体に重ねられたスレーブ媒体２の一部を吸着するスレーブ吸着面8aとを備え、該スレーブ吸着面8aがマスター担体３，４の表面に垂直な方向に可動な構造である。【選択図】      図１
2006065899.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報に対応した転写パターンを有するマスター担体を転写ホルダーに保持し、該マスター担体に対し転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体を密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記転写ホルダーは、前記マスター担体を保持する内面と、該マスター担体の表面と略同等の高さに突出して該マスター担体に重ねられた前記スレーブ媒体の一部を吸着するスレーブ吸着面とを備え、該スレーブ吸着面が前記マスター担体の表面に垂直な方向に可動な構造であることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記転写ホルダーは、接離移動する片側ホルダーと、該片側ホルダーとの間で転写を受けるスレーブ媒体の片側または両側に前記マスター担体を密着させる他側ホルダーとを備え、該片側ホルダーまたは他側ホルダーの一方に、前記マスター担体を保持する内面と、前記スレーブ媒体の一部を吸着する、前記マスター担体の表面に垂直な方向に可動な構造のスレーブ吸着面とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【請求項３】
前記転写ホルダーは片側ホルダーのみ備え、該片側ホルダーに前記マスター担体を保持する内面と、前記スレーブ媒体の一部を吸着する、前記マスター担体の表面に垂直な方向に可動な構造のスレーブ吸着面とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【請求項４】
前記スレーブ媒体の前記マスター担体との反対面には、中心部が閉じた他のマスター担体を保持して密着させることを特徴とする請求項３に記載の磁気転写装置。
【請求項５】
前記スレーブ吸着面を備えた部材を弾性材で構成し、その変形によって前記スレーブ吸着面が前記マスター担体の表面に垂直な方向に移動することを特徴とする請求項１，２または３に記載の磁気転写装置の転写ホルダー。
【請求項６】
前記マスター担体と前記転写ホルダーとの間に緩衝材を備え、該緩衝材と前記スレーブ吸着面を備えた前記弾性材とを一体に構成したことを特徴とする請求項５に記載の磁気転写装置。
【請求項７】
前記スレーブ吸着面を備えた部材を、前記転写ホルダーに対して移動可能に保持し、付勢部材で突出方向に付勢したことを特徴とする請求項１，２または３に記載の磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報が担持されたマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置に関し、特に上記マスター担体およびスレーブ媒体を保持して密着させる転写ホルダーの構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
上記磁気転写を行う際には、前記マスター担体とスレーブ媒体とを均一に密着させるために、このマスター担体とスレーブ媒体を保持して押圧する転写ホルダーを用いるのが好ましい。また、磁気転写の際、転写ホルダーはその押圧内面にマスター担体を保持すると共に、スレーブ媒体を保持する必要があり、該ホルダーにマスター担体の厚さと略同じ高さの段差を持たせ、この段差の部分に吸着孔を設けてスレーブ媒体を吸着保持することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２４２６３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前記磁気転写装置における転写ホルダーに、マスター担体を保持すると共にこのマスター担体に重ねてスレーブ媒体の一部を吸着保持するものでは、マスター担体の厚さばらつきや、段差の加工精度ばらつき分を考慮し、前述のスレーブ媒体を吸着保持する段差はマスター担体の厚さより低くする必要があった。
【０００６】
つまり、スレーブ吸着面を有する段差の高さが、マスター担体の厚さより高く突出していると、転写ホルダーを閉じてスレーブ媒体とマスター担体を密着させる際に、スレーブ吸着面の周囲でスレーブ媒体がマスター担体より浮き上がり、良好な密着が得られない。密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。また、スレーブ吸着面への強い接触によりスレーブ媒体へのダメージの発生や、それに伴う塵埃によりコンタミネーションの発生が問題となる。
【０００７】
しかし、上記段差の吸着面をマスター担体の厚さより低くすると、スレーブ媒体とスレーブ吸着面との間に隙間が発生し、スレーブ媒体の吸着時に吸引エアがリークし、スレーブ媒体の吸着が不十分となり、スレーブ媒体の位置決め不良や、磁気転写処理中にスレーブ媒体が落下する恐れがある。
【０００８】
さらに、マスター担体とスレーブ媒体との密着性を向上させるために、マスター担体裏面とホルダー面との間に弾性変形する緩衝材を介装する場合があり、このときには転写ホルダーを閉じて加圧密着した際に、緩衝材の圧縮変形分および緩衝材の厚さばらつきを考慮して、スレーブ吸着面を有する段差の高さを低く設定する必要がある。そのため、加圧する前の状態でスレーブ媒体を吸着する際に、スレーブ吸着面とスレーブ媒体との隙間がさらに大きくなってリークが増大し、吸着が不安定となる問題がある。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、転写ホルダーにマスター担体とスレーブ媒体とを重ねて保持するについて、スレーブ吸着面とスレーブ媒体との隙間を低減してスレーブ媒体を確実に保持できるようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の磁気転写装置は、転写情報に対応した転写パターンを有するマスター担体を転写ホルダーに保持し、該マスター担体に対し転写を受ける磁気記録部を有するスレーブ媒体を密着させて転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記転写ホルダーは、前記マスター担体を保持する内面と、該マスター担体の表面と略同等の高さに突出して該マスター担体に重ねられた前記スレーブ媒体の一部を吸着するスレーブ吸着面とを備え、該スレーブ吸着面が前記マスター担体の表面に垂直な方向に可動な構造であることを特徴とするものである。
【００１１】
前記転写ホルダーは、接離移動する片側ホルダーと、該片側ホルダーとの間で転写を受けるスレーブ媒体の片側または両側に前記マスター担体を密着させる他側ホルダーとを備え、該片側ホルダーまたは他側ホルダーの一方に、前記マスター担体を保持する内面と、前記スレーブ媒体の一部を吸着する、前記マスター担体の表面に垂直な方向に可動な構造のスレーブ吸着面とを備えるように構成可能である。
【００１２】
また、前記転写ホルダーは片側ホルダーのみ備え、該片側ホルダーに前記マスター担体を保持する内面と、前記スレーブ媒体の一部を吸着する、前記マスター担体の表面に垂直な方向に可動な構造のスレーブ吸着面とを備えるように構成可能である。その際、前記スレーブ媒体の前記マスター担体との反対面には、中心部が閉じた他のマスター担体を保持して密着させることで両面転写が行える。
【００１３】
前記スレーブ吸着面を備えた部材を弾性材で構成し、その変形によって前記スレーブ吸着面が前記マスター担体の表面に垂直な方向に移動するように構成できる。その際、前記マスター担体と前記転写ホルダーとの間に緩衝材を備え、該緩衝材と前記スレーブ吸着面を備えた前記弾性材とを一体に構成してもよい。
【００１４】
前記スレーブ吸着面を備えた部材を、前記転写ホルダーに対して移動可能に保持し、付勢部材で突出方向に付勢するように構成できる。
【発明の効果】
【００１５】
上記のような本発明の磁気転写装置によれば、転写ホルダーがマスター担体を保持する内面と、マスター担体の表面と略同等の高さに突出してマスター担体に重ねられたスレーブ媒体の一部を吸着するスレーブ吸着面とを備え、このスレーブ吸着面が前記マスター担体の表面に垂直な方向に可動な構造としたことにより、マスター担体とスレーブ媒体とを密着させた磁気転写時に、スレーブ媒体とスレーブ吸着面とが強く当たることがなく、マスター担体とスレーブ媒体との密着不良が発生したり、スレーブ媒体に傷を付けたりすることがない。
【００１６】
また、転写ホルダーに保持したマスター担体に重ねてスレーブ媒体をセットする際にも、このスレーブ媒体の内面にスレーブ吸着面が接するように接近し、スレーブ吸着用の吸引エアのリークが少ないため、十分なスレーブ保持力が得られ、スレーブの位置ずれや脱落を確実に防止することができる。
【００１７】
さらに、マスター担体とスレーブ媒体との密着性を向上させるためにマスター担体と転写ホルダーとの間に緩衝材を介装した場合においても、この緩衝材の変形分だけスレーブ吸着面を低く設定する必要がなく、スレーブ媒体の裏面とスレーブ吸着面との隙間が小さくて吸引エアのリークが少なく、良好なスレーブ媒体の吸着保持機能が得られるとともに、緩衝材に求められる厚み公差が大きくなり、緩衝材製作時のコスト低減が可能となる。
【００１８】
前記スレーブ吸着面を備えた部材を弾性材で構成した場合には、構造が簡易に構成できる。その際、前記弾性材と前記緩衝材とを一体に構成したものでは、さらに構造が簡易に構成できる。一方、スレーブ吸着面を備えた部材をホルダーに対して移動可能の保持し、付勢部材で突出方向に付勢したものでは、耐久性に優れた構造となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は第１の実施形態にかかる磁気転写装置の開状態にある転写ホルダーを示す概略断面図、図２は図１の要部拡大図である。なお、図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００２０】
図１に示す磁気転写装置の転写ホルダー１は、両面同時磁気転写を行うものであり、接離移動可能ないずれもステンレススチール、アルミニウム、セラミックスなどからなる片側ホルダー５と他側ホルダー６とを備え、片側ホルダー５の内面５ａに一方のマスター担体３およびスレーブ媒体２を保持し、他側ホルダー６の内面６ａに他方のマスター担体４を保持している。両側ホルダー５，６の接近により、両者間にスレーブ媒体２の両面に両側のマスター担体３，４を密着させる。
【００２１】
磁気転写装置は、図示していないが、例えば、転写ホルダー１の片側ホルダー５と他側ホルダー６とで密閉された内部空間を形成し、この内部空間のエアーを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る真空吸引手段と、転写ホルダー１を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置とを備える。また、スレーブ媒体２とマスター担体３，４との密着は、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙密着させることの何れかを指すものとする。
【００２２】
スレーブ媒体２は円盤状で所定径の中心孔２ａが開口され、両面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。また、マスター担体３，４は円盤状ディスクに形成され、所定径の中心孔３ａ，４ａが開口され、基板上に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなる転写パターン（不図示）を同心円状に有する。
【００２３】
上記スレーブ媒体２の中心孔２ａの内径は、マスター担体３の中心孔３ａの内径より、所定の内径差を持って小さく設定され、この内径差部位が後述のスレーブ吸着面８ａに吸引保持される。
【００２４】
前記片側ホルダー５および他側ホルダー６は円盤状で、マスター担体３，４の外径より大きい円形状の押圧内面５ａ，６ａを備え、この押圧内面５ａ，６ａにそれぞれマスター担体３，４を両側ホルダー５，６の中心に対して所定の位置決め精度で保持する。
【００２５】
上記両側ホルダー５，６の押圧内面５ａ，６ａへのマスター担体３，４の保持は、この押圧内面５ａ，６ａに多数のエアー吸引孔（不図示）がほぼ均等に開口され、マスター担体３，４を吸引保持することなどにより行われる。
【００２６】
なお、図示してないが、両側ホルダー５，６の背面にはそれぞれ支持軸を備え、回転可能に保持される。また、片側ホルダー５および他側ホルダー６は一方または両方が軸方向に移動して開閉可能に設けられている。
【００２７】
そして、片側ホルダー５においては、前述のように、一方のマスター担体３上にスレーブ媒体２を重ねて吸着保持するものであるが、これは上記マスター担体３の中心孔３ａの内周側部位に吸引孔８ｂが開口したスレーブ吸着面８ａを備えて行われる。このスレーブ吸着面８ａは、円弧状の弾性材によるスレーブ吸着部材８で構成され、その弾性変形によってスレーブ吸着面８ａが片側ホルダー５と他側ホルダー６の接離方向すなわち前記マスター担体の表面に垂直な方向に変位可能で可動な構造となっている。
【００２８】
上記スレーブ吸着部材８は、マスター担体３の中心孔３ａに沿って設置され、その高さはスレーブ吸着面８ａがマスター担体３の表面と略同等の高さとなるように、もしくは若干突出するように設定されている。
【００２９】
このスレーブ吸着部材８の内部に貫通形成された吸引孔８ｂは、底面で片側ホルダー５の内面５ａに開口したエア通路１５と連通し、このエア通路１５は片側ホルダー５の内部を通って不図示の支持軸を通して外部に導出され、真空ポンプに接続され吸引圧力が導入される。このエア通路１５を経てスレーブ吸着部材８の吸着面８ａに開口した吸引孔８ｂに作用するエア吸引力によって、マスター担体３の中心孔３ａより内周に位置する、前記スレーブ媒体２の中心孔２ａ近傍の内径差部位をマスター担体３側に吸引し、マスター担体３と密着させるように保持する。
【００３０】
本実施形態においては、スレーブ吸着部材８を弾性材で構成したことにより、密着時に両側ホルダー５，６が閉じて、スレーブ媒体２がマスター担体３に押圧された際にはスレーブ吸着部材８が弾性変形し、そのスレーブ吸着面８ａがスレーブ媒体２の面と密着して吸引エアのリークが少ない状態で確実に吸引保持できる。弾性材としては、例えばポリウレタンゴム、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレンゴム、ブタジエンゴム、ニトリルゴム等を挙げることができる。
【００３１】
なお、スレーブ媒体２が押圧される前の状態のスレーブ吸着部材８のスレーブ吸着面８ａは、片側ホルダー５に保持されたマスター担体３の表面より若干突出するように設けるのが、エアリークを低減する上では好適である。
【００３２】
次に、図３および図４は第２の実施形態を示し、図３は磁気転写装置の開状態にある転写ホルダーを示す概略断面図、図４は図２の要部拡大図である。
【００３３】
この実施形態の転写ホルダー１０では、片側ホルダー５の内面５ａとマスター担体３の裏面との間に弾性変形する緩衝材７を介装して、その変形によって均等に加圧力が作用するようにしてマスター担体３，４とスレーブ媒体２との密着性を向上させるものであり、これに応じてスレーブ吸着部材１８の高さを変更している。その他は前例と同様であり、同一構成には同一符号を付してその説明を省略する。
【００３４】
上記緩衝材７はマスター担体３と同形の円盤状であり、その中心孔７ａの内径はマスター担体３と略同一に形成されている。この緩衝材７とマスター担体３の中心孔７ａ，３ａに設置される、本実施形態のスレーブ吸着部材１８は、前例と同様に弾性材で構成されている。このスレーブ吸着部材１８は、吸引孔１８ｂが開口したスレーブ吸着面１８ａを有し、平面的には前例の図１，図２のスレーブ吸着部材８と同形であるが、緩衝材７の厚さ分だけ大きな高さに設定され、その高さはスレーブ吸着面１８ａがマスター担体３の表面と略同等の高さとなるように、もしくは若干突出するように設定されている。
【００３５】
このスレーブ吸着部材１８の吸引孔１８ｂは、同様に片側ホルダー５のエア通路１５と連通され、吸引孔１８ｂに作用するエア吸引力によって、スレーブ媒体２の中心孔２ａ近傍の内径差部位をマスター担体３側に吸引保持する。
【００３６】
本実施形態においても、スレーブ吸着部材１８を弾性材で構成したことにより、密着時に両側ホルダー５，６が閉じて、スレーブ媒体２がマスター担体３に押圧された際には、緩衝材７が押圧変形するとともにスレーブ吸着部材１８が弾性変形し、そのスレーブ吸着面１８ａがスレーブ媒体２の面と密着して吸引エアのリークが少ない状態で確実に吸引保持できる。
【００３７】
次に、図５は第３の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す要部拡大図であり、この実施形態は上記第２の実施形態の変形例である。
【００３８】
この実施形態の転写ホルダー２０では、片側ホルダー５の内面５ａとマスター担体３の裏面との間に介装した緩衝材７と、弾性材によるスレーブ吸着部材２８とを一体に構成してなる。このスレーブ吸着部材２８は、吸引孔２８ｂが開口したスレーブ吸着面２８ａを有し、その形態は前例の図３，図４のスレーブ吸着部材１８と同一であり、その吸引孔２８ｂは、片側ホルダー５のエア通路１５と連通され、吸引孔２８ｂに作用するエア吸引力によって、スレーブ媒体２の中心孔２ａ近傍の内径差部位をマスター担体３側に吸引保持する。
【００３９】
本実施形態では、スレーブ吸着部材２８および緩衝材７は前例と同様の機能を有し、両者が一体に構成されていることで、構造の簡素化、組み立ての容易さを得ている。
【００４０】
次に、図６は第４の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す要部拡大図である。この実施形態の転写ホルダー３０は、緩衝材７が設置されていない第１の実施形態（図１）と同様のタイプである。
【００４１】
この実施形態におけるスレーブ吸着部材３８は、スレーブ媒体２の内周部を吸着するスレーブ吸着面３８ａを備え、このスレーブ吸着面３８ａを含む全体が、片側ホルダー５に対して移動可能に保持され、背部に設置された付勢部材３７で突出方向に付勢されている。
【００４２】
片側ホルダー５の中心部には円形状の凹部５ｂが形成され、この凹部５ｂに軸方向に移動可能に円盤状のスレーブ吸着部材３８が挿入されている。スレーブ吸着部材３８は前面の外周部に吸引孔３８ｂが開口し、スレーブ媒体の中心孔２ａに相当する中心部位は凹状（必ずしも必要ない）に形成されている。外周部の吸引孔３８ｂは、底部で中心方向に屈曲し、背面中央の連通孔３８ｃに開口している。上記連通孔３８ｃに対向して、片側ホルダー５の凹部５ｂの中心部には吸引圧導入口１６が開口し、両者が連通する。このスレーブ吸着部材３８の連通孔３８ｃと吸引圧導入口１６との間には、スレーブ吸着部材３８の変位を吸収する弾性材による連結管３６が設置され、吸引エアのリークを低減している。
【００４３】
なお、上記連結管３６は、スレーブ吸着面３８ａにスレーブ媒体２が接触した状態では、スレーブ吸着部材３８の外周部のリークは殆どなくなるので、設置しなくてもよい。
【００４４】
また、上記付勢部材３７は板バネで構成され、スレーブ吸着面３８ａがスレーブ媒体２に接触するようにスレーブ吸着部材３８を付勢しているが、スレーブ吸着面３８ａがマスター担体３の表面より大きく突出しないように付勢量が設定されている。
【００４５】
本実施形態においては、スレーブ吸着部材３８を片側ホルダー５に移動可能に設置したことにより、密着時に両側ホルダー５，６が閉じて、スレーブ媒体２がマスター担体３に押圧された際にはスレーブ吸着部材３８が没入移動し、そのスレーブ吸着面３８ａがスレーブ媒体２の面と密着して吸引エアのリークが少ない状態で確実に吸引保持できる。
【００４６】
次に、図７は第５の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す要部拡大図である。この実施形態の転写ホルダー４０は、緩衝材７が設置されている第２の実施形態（図３）と同様のタイプであり、それに応じてスレーブ吸着部材４８の高さを変更したものであり、その他は前例と同様であり、同一構成には同一符号を付してその説明を省略する。
【００４７】
この実施形態のスレーブ吸着部材４８は、吸引孔４８ｂが開口したスレーブ吸着面４８ａを有し、平面的には前例の図６のスレーブ吸着部材３８と同形であるが、緩衝材７の厚さ分だけ大きな高さに設定され、同様に板バネによる付勢部材３７で吐出方向に付勢され、そのスレーブ吸着面４８ａがマスター担体３の表面と略同等の高さとなるように、もしくは若干突出するように設定されている。
【００４８】
このスレーブ吸着部材４８の吸引孔４８ｂは、連通口４８ｃを経て同様に片側ホルダー５の吸引圧導入口１６と連通され、エア吸引力によってスレーブ媒体２の中心孔２ａ近傍の内径差部位をマスター担体３側に吸引保持する。
【００４９】
本実施形態においても、スレーブ吸着部材４８を片側ホルダー５に移動可能に設置したことにより、密着時に両側ホルダー５，６が閉じて、スレーブ媒体２がマスター担体３に押圧された際にはスレーブ吸着部材４８が没入移動し、そのスレーブ吸着面４８ａがスレーブ媒体２の面と密着して吸引エアのリークが少ない状態で確実に吸引保持できる。
【００５０】
次に、図８は第６の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す要部拡大図である。この実施形態の転写ホルダー５０は、緩衝材７が設置されている第２の実施形態（図３）と同様のタイプであり、それに応じて図７と同様にスレーブ吸着部材５８の高さを変更し、さらに、摺動部を無くしたものであり、その他は前例と同様であり、同一構成には同一符号を付してその説明を省略する。
【００５１】
この実施形態のスレーブ吸着部材５８は、吸引孔５８ｂが開口したスレーブ吸着面５８ａを有し、外径が片側ホルダー５の凹部５ｂの開口径より小さく設定されて、両者間に隙間を形成し、スレーブ吸着部材５８の移動に伴う摩耗、塵埃の発生を抑制する構造としたものである。
【００５２】
スレーブ吸着部材５８の吸引孔５８ｂは、連通口５８ｃを経て同様に片側ホルダー５の吸引圧導入口１６と連通され、エア吸引力によってスレーブ媒体２の中心孔２ａ近傍の内径差部位をマスター担体３側に吸引保持する。
【００５３】
次に、図９は第７の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す概略断面図である。この実施形態における磁気転写装置の転写ホルダー６０は、両面同時磁気転写を行うものであるが、片側ホルダー５のみで構成され、前述の各実施形態における他側ホルダー６は備えていない。
【００５４】
そして、片側ホルダー５、スレーブ媒体２、一方のマスター担体３およびスレーブ吸着部材８は、第１の実施形態と同様に構成され、片側ホルダー５の内面５ａに一方のマスター担体３およびスレーブ媒体２を重ねて吸着保持する。
【００５５】
つまり、スレーブ吸着部材８の内部に貫通形成された吸引孔８ｂが、底面で片側ホルダー５の内面５ａに開口したエア通路１５と連通し、このエア通路１５を経てスレーブ吸着部材８の吸着面８ａに開口した吸引孔８ｂに作用するエア吸引力によって、マスター担体３の中心孔３ａより内周に位置する、前記スレーブ媒体２の中心孔２ａ近傍の内径差部位をマスター担体３側に吸引し、マスター担体３と密着させるように保持する。
【００５６】
また、上記スレーブ媒体２の片側ホルダー５と反対面には、他方のマスター担体４’が吸着保持され、これによりスレーブ媒体２の両面に両側のマスター担体３，４’を密着させる。この他方のマスター担体４’は円盤状ディスクに形成され、基板上に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなる転写パターン（不図示）を同様に有するが、中心孔は開口されずに中心部が閉じ、スレーブ媒体２に密着された際に、該スレーブ媒体２の中心孔２ａを閉塞するようになっている。
【００５７】
そして、片側ホルダー５の内面５ａには、前記エア通路１５とは別途に、スレーブ吸着部材８の内周側に開口するエア通路１７が形成され、このエア通路１７が連通するスレーブ吸着部材８の内周側およびスレーブ媒体２の中心孔２ａに作用するエア吸引力によって、他方のマスター担体４’を片側ホルダー５側に吸引し、スレーブ媒体２と密着させるように保持する。
【００５８】
本実施形態においては、他側ホルダー６を省略したことにより、磁気転写時に転写用磁界を印加する不図示の磁界印加装置をスレーブ媒体２とマスター担体３，４’の密着面に近接させることができる。また、スレーブ吸着部材８を弾性材で構成したことにより、第１の実施形態と同様の作用が得られる。
【００５９】
また、本実施形態における他側ホルダー６を省略し、片側ホルダー５のみによる転写ホルダーの形態は、前述の第２〜６の実施形態についても適用可能であり、エア通路１５または吸引圧導入口１６とは別途に、スレーブ媒体２の中心孔２ａに吸引力を作用させて他方のマスター担体４’を吸引保持するように構成可能である。
【００６０】
その他、前述の各実施形態においては、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４または４’を密着させて両面同時磁気転写を行う態様を示しているが、他方のマスター担体４，４’は省略して片面逐次磁気転写を行うように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す概略断面図
【図２】図１の要部拡大図
【図３】第２の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す概略断面図
【図４】図２の要部拡大図
【図５】第３の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す要部拡大図
【図６】第４の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す要部拡大図
【図７】第５の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す要部拡大図
【図８】第６の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す要部拡大図
【図９】第７の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーを示す概略断面図
【符号の説明】
【００６２】
１,10,20,30,40,50,60     転写ホルダー
２    スレーブ媒体
2a    中心孔
３,４,４’  マスター担体
3a,4a     中心孔
５    片側ホルダー
６    他側ホルダー
７    緩衝材
８,18,28,38,48,58    スレーブ吸着部材
8a,18a,28a,38a,48a,58a     スレーブ吸着面
27    付勢部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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