(57)【要約】【課題】  基板の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、設備のレイアウトを容易に変更可能な基板搬送方法を提供する。【解決手段】  基板搬送方法は、作業完了を検知する作業完了検知ステップＳ１００と、基板搬送装置１００が最上流、中流及び最下流の何れの位置にあるかを特定する位置特定ステップＳ１０２と、作業完了が検知された後に、特定された位置が最下流である場合には、作業が完了したことを上流に通知し、特定された位置が中流である場合には、下流の作業完了を確認した上で、作業が完了したことを上流に通知する作業完了通知ステップＳ１１６，Ｓ１２４と、特定された位置が中流又は最下流である場合には、作業完了通知ステップＳ１１６，Ｓ１２４の後に基板１を下流に搬送し、特定された位置が最上流である場合には、作業の完了が検知され、下流の作業完了を確認した上で、基板１を下流に搬送する搬送ステップＳ１１０とを含む。【選択図】      図３
2006041194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の装置が一連に接続することで構成される基板の生産ラインにおける、１つの前記装置が前記基板に対して所定の作業を行って前記基板を下流に搬送する方法であって、
前記所定の作業の完了を検知する作業完了検知ステップと、
前記装置が、前記生産ラインの最上流、中流及び最下流のうち何れの位置にあるかを特定する位置特定ステップと、
前記作業完了検知ステップで作業の完了が検知された後に、前記位置特定ステップで特定された位置が最下流である場合には、作業が完了したことを上流に通知し、前記位置特定ステップで特定された位置が中流である場合には、下流の作業完了を確認した上で、作業が完了したことを上流に通知する作業完了通知ステップと、
前記位置特定ステップで特定された位置が中流又は最下流である場合には、前記作業完了通知ステップの後に基板を下流に搬送し、前記位置特定ステップで特定された位置が最上流である場合には、前記作業完了検知ステップで作業の完了が検知された後に、下流からの通知に基づいて下流の作業完了を確認した上で、基板を下流に搬送する搬送ステップと
を含むことを特徴とする基板搬送方法。
【請求項２】
前記搬送ステップは、
前記位置特定ステップで特定された位置が最上流である場合には、下流からの通知に基づいて下流の作業完了を確認した後に、基板の搬送を下流と同期して実行するための同期信号を下流に出力し、位置特定ステップで特定された位置が中流である場合には、上流からの同期信号を取得して前記同期信号を下流に出力する同期信号伝送サブステップと、
前記位置特定ステップで特定された位置が最上流又は中流である場合には、前記同期信号伝送サブステップで前記同期信号が下流に出力された後に、基板を下流に搬送し、前記位置特定ステップで特定された位置が最下流である場合には、上流から同期信号を取得した後に、基板を下流に搬送する同期搬送サブステップとを含む
ことを特徴とする請求項１記載の基板搬送方法。
【請求項３】
前記位置特定ステップでは、
前記装置が稼働しているときには、稼動していることを示す稼動中信号を上流及び下流に対して出力し、前記装置の上流及び下流からの稼働中信号の出力状況に基づいて前記装置の位置を特定する
ことを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送方法。
【請求項４】
前記作業完了検知ステップでは、
基板に対して所定のフィルムを貼り付ける作業の完了を検知する
ことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の基板搬送方法。
【請求項５】
複数の装置が一連に接続することで構成される基板の生産ラインシステムが、前記各装置で基板に対して所定の作業を行わせて前記基板を下流に搬送させる方法であって、
最下流の装置から最上流の装置まで、互いに接続する２つの装置間ごとに、下流の装置における作業が完了したとき、且つ、前記下流の装置よりもさらに下流の装置がある場合には前記さらに下流の装置における作業が完了したときに、作業が完了したことを前記下流の装置から上流の装置に通知させる作業完了通知ステップと、
前記作業完了通知ステップで通知を行った装置に、基板を下流に搬送させる搬送ステップと
を含むことを特徴とする生産ラインシステム。
【請求項６】
前記搬送ステップは、
前記作業完了通知ステップで作業の完了が最上流の装置にまで通知された後に、最上流の装置から最下流の装置まで、互いに接続する２つの装置間ごとに、上流の装置から下流の装置に、各装置の基板の搬送を同期して実行するための同期信号を伝送させる同期信号伝送サブステップと、
前記同期信号伝送サブステップで同期信号が最下流の装置にまで伝送された後に、各装置に基板を下流に搬送させる同期搬送サブステップとを含む
ことを特徴とする請求項５記載の生産ラインシステム。
【請求項７】
複数の基板搬送装置が一連に接続することで構成される基板の生産ラインにおける、前記基板に対して所定の作業を行って前記基板を下流に搬送する１つの前記基板搬送装置であって、
前記所定の作業を行う作業手段と、
前記基板を保持して移動することにより前記基板を搬送する搬送手段と、
前記作業手段での作業の完了を検知する作業完了検知手段と、
前記基板搬送装置が、前記生産ラインの最上流、中流及び最下流のうち何れの位置にあるかを特定する位置特定手段と、
前記作業完了検知手段で作業の完了が検知された後に、前記位置特定手段で特定された位置が最下流である場合には、作業が完了したことを上流に通知し、前記位置特定手段で特定された位置が中流である場合には、下流の作業完了を確認した上で、作業が完了したことを上流に通知する作業完了通知手段と、
前記位置特定手段で特定された位置が中流又は最下流である場合には、前記作業完了通知手段による通知の後に、前記搬送手段に基板を下流に搬送させ、前記位置特定手段で特定された位置が最上流である場合には、前記作業完了検知手段で作業の完了が検知された後に、下流からの通知に基づいて下流の作業完了を確認した上で、前記搬送手段に基板を下流に搬送させる搬送制御手段と
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項８】
前記基板搬送装置は、さらに、
前記位置特定手段で特定された位置が最上流である場合には、下流からの通知に基づいて下流の作業完了を確認した後に、基板の搬送を下流と同期して実行するための同期信号を下流に出力し、位置特定手段で特定された位置が中流である場合には、上流からの同期信号を取得して前記同期信号を下流に出力する同期信号伝送手段を備え、
前記搬送制御手段は、
前記位置特定手段で特定された位置が最上流又は中流である場合には、前記同期信号伝送手段により前記同期信号が下流に出力された後に、前記搬送手段に基板を下流に搬送させ、前記位置特定手段で特定された位置が最下流である場合には、上流から同期信号を取得した後に、前記搬送手段に基板を下流に搬送させる
ことを特徴とする請求項７記載の基板搬送装置。
【請求項９】
請求項１〜４の何れか１項に記載の基板搬送方法に含まれるステップをコンピュータに実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶パネルなどの基板を搬送する基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶パネルなどの基板に対して半導体チップなどの部品を実装するための作業を行い、作業完了後に、その基板を搬送する基板搬送装置が提供されている。
このような基板搬送装置は、複数台が一列に連なるように配列されて用いられる場合がある。この場合、各基板搬送装置は、基板に対してそれぞれ互いに異なる作業を行い、作業完了後には、その基板を隣の基板搬送装置に搬送する。これにより、基板に対する生産ラインが構成される。
【０００３】
具体的に、基板搬送装置は、基板に対する作業が完了すると、生産ラインの下流の基板搬送装置に対して、基板を下流に搬送しても良いかを問い合わせ、搬送しても良いとの応答を得た後に、基板を下流に搬送する。そして、基板搬送装置は、上流から次の作業対象となる基板が搬送されていれば、その基板に対する作業を実行する。また、基板搬送装置は、生産ラインの上流の基板搬送装置から、基板を自らに搬送しても良いかといった問い合わせを受けたときには、自らに基板が搬入されて載置されるスペースがあることを確認して、搬入しても良いとの応答を上流に行う。このように各基板搬送装置は、それぞれ下流に基板が載置されるスペースが確保されているか否かを確認して、作業完了後の基板を下流に搬送する。したがって、上記従来の基板搬送装置では、一生産ラインにおける作業時間又は搬送時間が長くなってしまう。
【０００４】
また近年、液晶パネルなどの基板は拡大の傾向にある。したがって、上記従来の基板搬送装置では、自らの上記スペースに液晶パネルが載置されたときには、その載置された液晶パネルが作業中の液晶パネルに接触してしまい、不具合を生じさせてしまうことがある。
【０００５】
一方、上述のような作業を行うユニットを複数備え、基板を各ユニット間で搬送する基板搬送装置も提案されている（例えば、特許文献１参照。）。つまり、このような特許文献１の基板搬送装置は、１台の装置で上述の生産ラインを構成している。
【０００６】
このような特許文献１の基板搬送装置は、各ユニットにおける作業が完了すると、その各ユニットで作業された複数の基板を下流のユニットへ同時に搬送する。
したがって、上記特許文献１の基板搬送装置では、上記従来の基板搬送装置のように下流に基板を載置するためのスペースが確保されていることを確認することなく、そのスペースが確保されるのを見越すように、各ユニットで作業された複数の基板を下流に同時に搬送するため、一生産ラインにおける作業時間又は搬送時間を短縮し、基板の接触による不具合も抑えることができる。
【特許文献１】特開２００１−２２８４５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の基板搬送装置では、各ユニットのレイアウトを変更するときには、基板を搬送するための制御内容を、その変更後のレイアウトに応じた制御内容に変更する必要があり、レイアウトの変更に手間がかかるという問題がある。
【０００８】
例えば、上記特許文献１の基板搬送装置は、ユニットＡ、ユニットＢ、ユニットＣ、及びユニットＤを備え、これらのユニットがそれぞれ一列に互いに接続したレイアウトを有している。ここで、そのレイアウトを、ユニットＡ及びユニットＢと、ユニットＣ及びユニットＤとが分離したレイアウトに変更すると、ユニットＡ及びユニットＢと、ユニットＣ及びユニットＤとのそれぞれに対して制御内容の変更を要する。即ち、各ユニットの合計４つの基板を同時に搬送するといった制御内容を、２つの基板を同時に搬送するといった制御内容に変更する必要がある。その結果、ユニットＡ及びユニットＢと、ユニットＣ及びユニットＤとは非同期に、それぞれ独立して基板の搬送を行う。一方、そのユニットＡ及びユニットＢと、ユニットＣ及びユニットＤとを接続して、元のレイアウトに戻す場合には、４つの全てのユニットの同期を取るように、制御内容も元に戻す必要がある。
【０００９】
そこで本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであって、基板の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、設備のレイアウトを容易に変更可能な基板搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明に係る基板搬送方法は、複数の装置が一連に接続することで構成される基板の生産ラインにおける、１つの前記装置が前記基板に対して所定の作業を行って前記基板を下流に搬送する方法であって、前記所定の作業の完了を検知する作業完了検知ステップと、前記装置が、前記生産ラインの最上流、中流及び最下流のうち何れの位置にあるかを特定する位置特定ステップと、前記作業完了検知ステップで作業の完了が検知された後に、前記位置特定ステップで特定された位置が最下流である場合には、作業が完了したことを上流に通知し、前記位置特定ステップで特定された位置が中流である場合には、下流の作業完了を確認した上で、作業が完了したことを上流に通知する作業完了通知ステップと、前記位置特定ステップで特定された位置が中流又は最下流である場合には、前記作業完了通知ステップの後に基板を下流に搬送し、前記位置特定ステップで特定された位置が最上流である場合には、前記作業完了検知ステップで作業の完了が検知された後に、下流からの通知に基づいて下流の作業完了を確認した上で、基板を下流に搬送する搬送ステップとを含むことを特徴とする。
【００１１】
これにより、複数の装置を接続して生産ラインを構成した場合に、例えば、最下流の装置から上流の装置へと順に最上流の装置にまで作業完了の通知がなされて、最上流の装置での作業が完了しているときには、生産ラインの全ての装置は、作業完了の通知が行われたときを適当なタイミングとして基板を下流に搬送するため、全ての装置で同期して基板を下流に搬送することができ、生産ラインの基板の搬送時間が長くなるのを防ぐことができる。また、作業完了の通知が最下流の装置から上流の装置へと順になされて、中流の装置が作業中であるときには、作業完了の通知はその中流の装置より上流には行われないこととなるが、その中流の装置よりも下流の全ての装置が、作業完了の通知が行われたときを適当なタイミングとして基板を下流に搬送するため、これらの装置で同期を取り、上述と同様に、基板の搬送時間が長くなるのを防ぐことができる。さらに、各装置が生産ラインのどの位置にあるかを特定してその位置に応じた動作を行うため、各装置の制御内容を変更することなく生産ラインのレイアウトを容易に変更することができる。例えば、４つの装置から生産ラインを構成したときには、これら４つの装置に上述のような同期を取った動作を実行させることができる一方で、その生産ラインのレイアウトを変更して、それぞれ２つの装置からなる２つの生産ラインを構成したときには、各装置の制御内容を変更することなく、各生産ラインで装置間の同期を取った動作を実行させることができる。
【００１２】
また、前記搬送ステップは、前記位置特定ステップで特定された位置が最上流である場合には、下流からの通知に基づいて下流の作業完了を確認した後に、基板の搬送を下流と同期して実行するための同期信号を下流に出力し、位置特定ステップで特定された位置が中流である場合には、上流からの同期信号を取得して前記同期信号を下流に出力する同期信号伝送サブステップと、前記位置特定ステップで特定された位置が最上流又は中流である場合には、前記同期信号伝送サブステップで前記同期信号が下流に出力された後に、基板を下流に搬送し、前記位置特定ステップで特定された位置が最下流である場合には、上流から同期信号を取得した後に、基板を下流に搬送する同期搬送サブステップとを含むことを特徴としても良い。
【００１３】
これにより、複数の装置を接続して生産ラインを構成した場合に、例えば、最下流の装置から上流の装置へと順に上流の装置まで作業完了の通知がなされて、最上流の装置で作業が完了しているときには、最上流の装置から下流の装置へ順に最下流の装置にまで同期信号が伝送され、生産ラインの全ての装置は、その同期信号の伝送を適当なタイミングとして基板を下流に搬送するため、上述と同様、全ての装置で基板搬送の同期を取ることができ、基板の搬送時間が長くなるのを防ぐことができる。また、作業完了の通知が最上流の装置に通知されて全ての装置の作業が完了した後に、同期信号が伝送されるため、確実に全ての装置の同期を取ることができる。
【００１４】
なお、本発明は、上述の基板搬送方法のプログラムや、そのプログラムを格納する記憶媒体、その基板搬送方法を用いた基板搬送装置並びにシステムとしても実現することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の基板搬送方法は、基板の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、設備のレイアウトを容易に変更することができるという作用効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態における基板搬送装置について図面を参照しながら説明する。
本実施の形態における基板搬送装置は、液晶パネルの基板にＴＣＰ（Tape Carrier Package）といった部品を実装するための作業を行ってその基板を搬送するものであって、他の基板搬送装置と接続されることで、その基板に対する生産ラインを構成する。
【００１７】
図１は、本実施の形態の基板搬送装置を用いて生産ラインが構成された状態を示す図である。
この図１に示すように、４つの基板搬送装置１００は一列に接続されて生産ラインＬを構成する。
【００１８】
以下、４つの基板搬送装置１００をそれぞれ区別するために、生産ラインＬの最も上流に位置する基板搬送装置１００を最上流機１０１、その最上流機１０１の次に下流に位置する基板搬送装置１００を第１中流機１０２、その第１中流機１０２の次に下流に位置する基板搬送装置１００を第２中流機１０３、生産ラインＬの最も下流に位置する基板搬送装置１００を最下流機１０４とする。
【００１９】
最上流機１０１は、生産ラインＬで作業対象となる基板１を最初に受け取って、その基板１に対してＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）を貼り付け、その基板１を下流の第１中流機１０２に搬送する。第１中流機１０２は、最上流機１０１から搬送された基板１に対して部品を仮圧着し、その基板１を第２中流機１０３に搬送する。第２中流機１０３は、第１中流機１０２から搬送された基板１に仮圧着された一部の部品を本圧着し、その基板１を最下流機１０４に搬送する。最下流機１０４は、第２中流機１０３から搬送された基板１に仮圧着された残りの部品を本圧着して、下流に基板１を搬送する。
【００２０】
このように生産ラインＬでは、基板１は、上流から下流へと、最上流機１０１、第１中流機１０２、第２中流機１０３、及び最下流機１０４の順に各基板搬送装置１００に搬送され、各基板搬送装置１００によって作業される。
【００２１】
図２は、本実施の形態における基板搬送装置１００の構成を示す構成図である。
このような基板搬送装置１００は、上述の作業を行う作業部１１０と、作業対象となる基板１が載置されることで、生産ラインＬの上流からその基板１を受け取る基板受け部１２０と、基板受け部１２０に載置された基板１を作業部１１０や下流などに搬送する搬送部１３０と、下流に接続される他の基板搬送装置との間で信号の入出力を行う下流入力部１４１及び下流出力部１４２と、上流に接続される他の基板搬送装置との間で信号の入出力を行う上流入力部１５１及び上流出力部１５２と、搬送部１３０などを制御する制御部１６０とを備えている。
【００２２】
本実施の形態における基板搬送装置１００は、生産ラインＬが構成されたときに、その生産ラインＬにおける基板１の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、その生産ラインＬのレイアウトを容易に変更することができる点に特徴がある。
【００２３】
作業部１１０は、例えば液晶パネルの基板１にＡＣＦを貼り付けたり、その基板１にＴＣＰを仮圧着又は本圧着したりするといった作業を行う。そして、作業部１１０は、作業が行われているか、又は完了しているかといった作業状況を示す作業状況信号を制御部１６０に出力する。
【００２４】
搬送部１３０は、基板１を載せるための円盤１３１を有し、制御部１６０からの制御に応じてその円盤１３１を移動させることで、その円盤１３１に載せられた基板１を搬送する。具体的に、搬送部１３０は、基板受け部１２０にある基板１をその円盤１３１に載せ変えて吸着させる。そして、搬送部１３０は、円盤１３１を基板１に沿った方向に移動させることで、円盤１３１に載置された基板１を作業部１１０に搬送する。作業部１１０で基板１に対する作業が完了すると、搬送部１３０は、円盤１３１を移動させることで、その基板１を下流に搬送する。即ち、基板搬送装置１００よりも下流に他の基板搬送装置が接続されていれば、搬送部１３０は、その他の基板搬送装置の基板受け部に基板１を搬送し、基板搬送装置１００よりも下流に他の基板搬送装置が接続されていなければ、搬送部１３０は、生産ラインＬ外に基板１を搬送する。
【００２５】
下流入力部１４１は、下流に接続される他の基板搬送装置から、その下流の基板搬送装置での作業が完了していることを、ＯＮの状態で知らせる作業完了信号と、下流の基板搬送装置が稼動中であることを、ＯＮの状態で知らせる稼動中信号とを取得する。
【００２６】
下流出力部１４２は、制御部１６０からの制御に応じて、同期した動作を開始する旨を知らせる内容の同期信号と、基板搬送装置１００が稼働中であることを、ＯＮの状態で知らせる稼働中信号とを、下流に接続される他の基板搬送装置に出力する。
【００２７】
上流入力部１５１は、上流に接続される他の基板搬送装置から、上述と同様の同期信号と、その上流の基板搬送装置が稼働中であることを、ＯＮの状態で知らせる稼働中信号とを取得する。
【００２８】
上流出力部１５２は、制御部１６０からの制御に応じて、作業部１１０での作業が完了したことを、ＯＮの状態で知らせる作業完了信号と、基板搬送装置１００が稼働中であることを、ＯＮの状態で知らせる稼働中信号とを、上流に接続される他の基板搬送装置に出力する。
【００２９】
制御部１６０は、作業部１１０からの作業状況信号に基づいて、作業部１１０での作業の完了を検知する作業完了検知部１６１と、基板搬送装置１００が生産ラインＬの最上流、中流、及び最下流のうち何れの位置にあるかを特定する位置特定部１６２と、上流に接続される他の基板搬送装置に、作業の完了を通知する作業完了通知部１６３と、下流出力部１４２を制御して同期信号を下流に出力させる同期信号伝送部１６４と、同期信号の入出力に基づいて搬送部１３０に基板１を搬送させる搬送制御部１６５とを備えている。
【００３０】
制御部１６０の位置特定部１６２は、下流入力部１４１及び上流入力部１５１で取得された稼動中信号に基づいて、生産ラインＬにおける基板搬送装置１００の位置が最上流、中流、及び最下流の何れであるかを特定する。
【００３１】
即ち、位置特定部１６２は、下流及び上流の基板搬送装置からの稼動中信号がＯＮのときには、基板搬送装置１００の位置が中流であること、即ち基板搬送装置１００が上述の第１中流機１０２又は第２中流機１０３であることを特定する。また、位置特定部１６２は、下流の基板搬送装置からの稼働中信号のみがＯＮのときには、基板搬送装置１００の位置が最上流であること、即ち基板搬送装置１００が上述の最上流機１０１であることを特定する。さらに、位置特定部１６２は、上流の基板搬送装置からの稼働中信号のみがＯＮのときには、基板搬送装置１００の位置が最下流であること、即ち基板搬送装置１００が上述の最下流機１０４であることを特定する。また、位置特定部１６２は、下流及び上流の基板搬送装置からの稼働中信号がＯＦＦのときには、基板搬送装置１００が他の基板搬送装置と接続されていない単独機であることを特定する。
【００３２】
制御部１６０の作業完了通知部１６３は、位置特定部１６２で特定された位置が最下流である場合には、作業完了検知部１６１で作業の完了が検知された後に、上流出力部１５２から出力される作業完了信号をＯＮにする。また、作業完了通知部１６３は、位置特定部１６２で特定された位置が中流である場合には、作業完了検知部１６１で作業の完了が検知された後に、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであることを確認した上で、上流出力部１５２から出力される作業完了信号をＯＮにする。これにより、基板搬送装置１００から上流の他の基板搬送装置に対して作業の完了が通知される。
【００３３】
制御部１６０の同期信号伝送部１６４は、位置特定部１６２で特定された位置が最上流である場合には、作業完了検知部１６１で作業の完了が検知された後に、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであることを確認した上で、同期信号を下流出力部１４２から下流に出力させる。また、同期信号伝送部１６４は、位置特定部１６２で特定された位置が中流である場合には、上流からの同期信号が上流入力部１５１に取得されると、同期信号を下流出力部１４２から下流に出力させる。これにより、基板搬送装置１００から下流の他の基板搬送装置に対して同期信号が伝送される。
【００３４】
制御部１６０の搬送制御部１６５は、位置特定部１６２で特定された位置が最上流又は中流である場合には、前記同期信号伝送部１６４により同期信号が下流に出力された後に、搬送部１３０に基板１を下流に搬送させる。また、搬送制御部１６５は、位置特定部１６２で特定された位置が最下流である場合には、上流からの同期信号が上流入力部１５１で取得された後に、搬送部１３０に基板１を下流に搬送させる。
【００３５】
図３は、制御部１６０の動作を示すフロー図である。
制御部１６０は、作業部１１０から出力される作業状況信号に基づいて、作業部１１０での作業が完了したことを検知すると（ステップＳ１００）、基板搬送装置１００の位置が最上流、中流、及び最下流の何れであるかを特定する（ステップＳ１０２）。
【００３６】
制御部１６０は、ステップＳ１０２で基板搬送装置１００の位置が最上流であることを特定すると、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであるか否かを判別する（ステップＳ１０４）。ここで、作業完了信号がＯＦＦであると判別したときには（ステップＳ１０４のＮ）、制御部１６０は、作業完了信号がＯＮとなるまで待機する（ステップＳ１０６）。一方、作業完了信号がＯＮであると判別したときには（ステップＳ１０４のＹ）、下流出力部１４２から同期信号を出力させる（ステップＳ１０８）。そして、制御部１６０は、搬送部１３０の円盤１３１が基板搬送装置１００の下流側に移動するように搬送部１３０を制御することで、作業部１１０から下流の基板搬送装置の基板受け部に基板１を搬送させる（ステップＳ１１０）。
【００３７】
また、ステップＳ１０２で基板搬送装置１００の位置が中流であることを特定すると、制御部１６０は、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであるか否かを判別する（ステップＳ１１２）。ここで、作業完了信号がＯＦＦであると判別したときには（ステップＳ１１２のＮ）、制御部１６０は、作業完了信号がＯＮとなるまで待機する（ステップＳ１１４）。一方、作業完了信号がＯＮであると判別したときには（ステップＳ１１２のＹ）、制御部１６０は、上流出力部１５２から出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ１１６）。さらに、制御部１６０は、上流からの同期信号が上流入力部１５１で取得されたか否かを判別する（ステップＳ１１８）。ここで、同期信号が取得されていないと判別したときには（ステップＳ１１８のＮ）、制御部１６０は、同期信号が取得されるまで待機する（ステップＳ１２０）。一方、同期信号が取得されたと判別したときには（ステップＳ１１８のＹ）、制御部１６０は、下流出力部１４２から同期信号を出力させる（ステップＳ１２２）。そして、制御部１６０は、搬送部１３０の円盤１３１が基板搬送装置１００の下流に移動するように搬送部１３０を制御することで、作業部１１０から下流側の基板搬送装置の基板受け部に基板１を搬送させる（ステップＳ１１０）。
【００３８】
また、ステップＳ１０２で基板搬送装置１００の位置が最下流であることを特定すると、制御部１６０は、上流出力部１５２から出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ１２４）。そして、制御部１６０は、上流からの同期信号が上流入力部１５１で取得されたか否かを判別する（ステップＳ１２６）。ここで、同期信号が取得されていないと判別したときには（ステップＳ１２６のＮ）、制御部１６０は、同期信号が取得されるまで待機する（ステップＳ１２８）。一方、同期信号が取得されたと判別したときには（ステップＳ１２６のＹ）、制御部１６０は、搬送部１３０の円盤１３１が基板搬送装置１００の下流側に移動するように搬送部１３０を制御することで、作業部１１０から下流の生産ラインＬ外に基板１を搬送させる（ステップＳ１１０）。
【００３９】
図４は、生産ラインＬに含まれる各基板搬送装置１００の動作の一例を示すシーケンス図である。
例えば、最上流機１０１、第１中流機１０２、第２中流機１０３、及び最下流機１０４は、それぞれに搬送された基板１に対して作業を開始する（ステップＳ２００）。
【００４０】
最上流機１０１は、例えば他の基板搬送装置に比べて最も早く作業を完了する（ステップＳ２０２）。しかし、第１中流機１０２から出力される作業完了信号がＯＦＦであるため、最上流機１０１は、その作業完了信号がＯＮとなるまで待機する。
【００４１】
最下流機１０４は、最上流機１０１の次に早く作業を完了する（ステップＳ２０４）。そこで、最下流機１０４は、第２中流機１０３に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ２０６）。第２中流機１０３は、最下流機１０４から出力される作業完了信号がＯＮの状態となるが、第２中流機１０３での作業が完了していないため、その作業を継続して行う。
【００４２】
第１中流機１０２は、最下流機１０４の次に作業を完了する（ステップＳ２０８）。しかし、第２中流機１０３から出力される作業完了信号がＯＦＦであるため、第１中流機１０２は、その作業完了信号がＯＮとなるまで待機する。
【００４３】
そして最後に第２中流機１０３が作業を完了すると（ステップＳ２１０）、第２中流機１０３は、最下流機１０４からの作業完了信号がＯＮになっていることを確認して、第１中流機１０２に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ２１２）。
【００４４】
第１中流機１０２は、既に作業が完了しているため、第２中流機１０３から出力される作業完了信号がＯＮになったのを確認すると、最上流機１０１に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ２１４）。
【００４５】
最上流機１０１は、既に作業が完了しているため、第１中流機１０２から出力される作業完了信号がＯＮになったのを確認すると、同期信号を第１中流機１０２に出力する（ステップＳ２１６）。
【００４６】
第１中流機１０２は、最上流機１０１から同期信号を取得すると、第２中流機１０３に対して同期信号を出力する（ステップＳ２１８）。
第２中流機１０３は、第１中流機１０２から同期信号を取得すると、最下流機１０４に対して同期信号を出力する（ステップＳ２２０）。
【００４７】
このような同期信号の伝送が行われた後、その同期信号を合図に、最上流機１０１は第１中流機１０２に、第１中流機１０２は第２中流機１０３に、第２中流機１０３は最下流機１０４に、最下流機１０４は生産ラインＬ外に、それぞれ基板１を搬送する（ステップＳ２２２）。
【００４８】
図５は、生産ラインＬにおける作業完了信号及び同期信号の流れを模式的に示す図である。
作業完了信号は、図５に示すように、最下流機１０４から最上流機１０１まで、各基板搬送装置１００での作業完了を条件に上流に伝達される。即ち、互いに接続する２つの基板搬送装置１００間において、下流の基板搬送装置１００での作業が完了し、且つ、その下流の基板搬送装置１００よりもさらに下流の基板搬送装置１００がある場合にはそのさらに下流の基板搬送装置１００での作業が完了しているときに、下流の基板搬送装置１００から上流の基板搬送装置１００にＯＮの作業完了信号が出力される。
【００４９】
その後、同期信号は、最上流機１０１から最下流機１０４まで、２つの基板搬送装置１００間で伝送される。即ち、ＯＮの作業完了信号が最上流機１０１にまで伝達され、且つ最上流機１０１での作業が完了すると、全ての基板搬送装置１００での作業が完了したこととなる。そして、最上流機１０１から最下流機１０４まで、互いに接続する２つの基板搬送装置１００間ごとに、同期信号が上流の基板搬送装置１００から下流の基板搬送装置１００に伝送される。この同期信号を合図に、各基板搬送装置１００は基板を下流に搬送する。
【００５０】
このように本実施の形態では、全ての基板搬送装置１００での作業完了後に、同期信号を合図に全ての基板搬送装置１００が基板１を下流に搬送するため、基板１の搬送を各基板搬送装置１００で同期を取り、同時に基板１を下流に搬送することができる。その結果、生産ラインＬにおける基板１の作業時間及び搬送時間が長くなるのを防ぐことができる。
【００５１】
ここで、本実施の形態における基板搬送装置１００は、図１及び図５に示す生産ラインＬのレイアウトを容易に変更することができる。
【００５２】
図６は、４つの基板搬送装置１００のレイアウトが変更された状態を示す図である。
【００５３】
生産ラインＬは、例えばそれぞれ２つの基板搬送装置１００から構成される２つの生産ラインＬＡ，ＬＢに分割される。
このようにレイアウトが変更されると、各基板搬送装置１００は、上流及び下流の稼動中信号のＯＮ又はＯＦＦの状態に基づき、生産ラインＬＡ，ＬＢにおける自らの位置が最上流、中流、及び最下流の何れであるかを特定する。具体的に、生産ラインＬにおける第１中流機であった基板搬送装置１００の制御部１６０は、稼動中信号の状態に基づき、最下流であることを特定し、生産ラインＬにおける第２中流機であった基板搬送装置１００の制御部１６０は、稼働中信号の状態に基づき、最上流であることを特定する。その結果、各生産ラインＬＡ，ＬＢでは、元の生産ラインＬと同様、作業完了信号及び同期信号が各基板搬送装置１００間で伝達され、生産ラインＬＡ，ＬＢごとに各基板搬送装置１００が同時に基板１を下流に搬送する。
【００５４】
即ち、本実施の形態では、制御部１６０の制御内容を変更することなく、複数の基板搬送装置１００のレイアウトを容易に変更することができる。
また、このような独立した２つの非同期の生産ラインＬＡ，ＬＢを互いに接続して元の生産ラインＬを構成したときには、上述と同様、各基板搬送装置１００は自らの生産ラインＬにおける位置を特定してその位置に応じた動作を行うため、各基板搬送装置１００の制御部１６０の制御内容を変更することなく、４つの基板搬送装置１００は再び同期して基板１を下流に搬送する。
【００５５】
さらに、生産ラインＬに基板搬送装置１００をもう一つ接続して新たな生産ラインを構成するような場合であっても、制御内容を変更することなくその新たな生産ラインを構成することができる。また、基板搬送装置１００を単独で動作させることもできる。
【００５６】
（変形例１）
ここで、本実施の形態における基板搬送装置１００の変形例について説明する。
本変形例に係る基板搬送装置は、同期信号を出力又は取得することなく基板１を下流に搬送する。つまり、本変形例に係る基板搬送装置の制御部１６０は、同期信号伝送部１６４を備えていない。
【００５７】
具体的に、制御部の搬送制御部は、位置特定部１６２で特定された位置が中流又は最下流である場合には、作業完了通知部１６３により上流出力部１５２からＯＮの作業完了信号が出力された後に、搬送部１３０に基板１を下流に搬送させる。また、搬送制御部は、位置特定部１６２で特定された位置が最上流である場合には、作業完了検知部１６１で作業完了が検知された後に、下流入力部１４１で取得される作業完了信号がＯＮであることを確認した上で、搬送部１３０に基板１を下流に搬送させる。
【００５８】
即ち、中流及び最下流の基板搬送装置は、上流にＯＮの作業完了信号を出力した後に、基板１を下流に搬送し、最上流の基板搬送装置は、自らの作業が完了して、下流の作業完了を確認した上で、基板１を下流に搬送する。
【００５９】
例えば、生産ラインＬにおいて、最下流機から上流の基板搬送装置へと順に最上流機にまでＯＮの作業完了信号が出力されて、最上流機での作業が完了しているときには、生産ラインＬの全ての基板搬送装置は、作業完了信号の入出力を合図に基板１を下流に搬送する。その結果、上記実施の形態と同様に、全ての基板搬送装置で基板１の搬送に同期を取ることができる。
【００６０】
また、最下流機から第２中流機に、さらに第２中流機から第１中流機に、ＯＮの作業完了信号が出力され、第１中流機が作業中であるときには、ＯＮの作業完了信号はその第１中流機から最上流機には出力されないこととなる。
【００６１】
ここで、本変形例では、上述のように第１中流機及び最下流機は、上流にＯＮの作業完了信号を出力した後に基板１を下流に搬送するため、第１中流機及び最下流機で基板１の搬送に同期を取ることができる。
【００６２】
図７は、本変形例に係る生産ラインＬに含まれる各基板搬送装置の動作の一例を示すシーケンス図である。
例えば、最上流機、第１中流機、第２中流機、及び最下流機は、それぞれに搬送された基板１に対して作業を開始する（ステップＳ３００）。
【００６３】
第２中流機は、他の基板搬送装置に比べて最も早く作業を完了する（ステップＳ３０２）。しかし、最下流機から出力される作業完了信号がＯＦＦであるため、第２中流機は、その作業完了信号がＯＮとなるまで待機する。
【００６４】
最下流機は、第２中流機の次に早く作業を完了する（ステップＳ３０４）。そこで、最下流機は、第２中流機に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ３０６）。
第２中流機は、既に作業が完了しているため、最下流機から出力される作業完了信号がＯＮになったのを確認すると、第１中流機に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ３０８）。第１中流機は、第２中流機から出力される作業完了信号がＯＮの状態となるが、第１中流機での作業が完了していないため、その作業を継続して行う。
【００６５】
ここで、ステップＳ３０６及びステップＳ３０８で作業完了信号がＯＮになったことにより、第２中流機及び最下流機は、それぞれ基板１を下流に搬送する（ステップＳ３１０）。即ち、ステップＳ３０６及びステップＳ３０８での動作は、基板の搬送と比べて極めて短時間に行われるため、第２中流機及び最下流機による基板１の搬送は、同期して行われる。
【００６６】
次に、最上流機は作業を完了し（ステップＳ３１２）、第１中流機からの作業完了信号がＯＮとなるまで待機する。そして、第１中流機が作業を完了し（ステップＳ３１４）、第２中流機からの作業完了信号がＯＮとなっていることを確認した上で、最上流機に出力される作業完了信号をＯＮにする（ステップＳ３１６）。
【００６７】
このように作業完了信号がＯＮになったことにより、最上流機及び第１中流機は、それぞれ基板１を下流に搬送する（ステップＳ３１８）。このとき、上述と同様に、最上流機及び第１中流機による基板１の搬送は、同期して行われる。
【００６８】
また、このような本変形例に係る基板搬送装置は、上述の基板搬送装置１００と同様に、自らが生産ラインのどの位置にあるかを特定してその位置に応じた動作を行うため、生産ラインのレイアウトを容易に変更することができる。
【００６９】
以上、本発明に係る基板搬送装置やその動作方法について実施の形態及び変形例を用いて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、本実施の形態及び変形例の基板搬送装置では、液晶パネルを基板として扱ったが、他の基板であっても良いことは言うまでもない。
【００７０】
また、本実施の形態及び変形例の基板搬送装置では、作業が完了してから、下流に同期信号を出力するまで、又は上流に対する作業完了信号をＯＮにするまで、作業完了後の基板を作業部１１０で待機させておいたが、その間に、作業部から下流の他の基板搬送装置の基板受け部付近に移動させておいても良い。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明の基板搬送方法は、基板の搬送時間が長くなるのを防ぎつつ、設備のレイアウトを容易に変更することができるという効果を有し、例えば基板に部品を実装するための装置や、その装置を複数接続して構成される生産ラインなどに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態における基板搬送装置を用いて生産ラインが構成された状態を示す図である。
【図２】同上の基板搬送装置の構成を示す構成図である。
【図３】同上の制御部の動作を示すフロー図である。
【図４】同上の生産ラインに含まれる各基板搬送装置の動作の一例を示すシーケンス図である。
【図５】同上の生産ラインにおける作業完了信号及び同期信号の流れを模式的に示す図である。
【図６】同上の４つの基板搬送装置のレイアウトが変更された状態を示す図である。
【図７】同上の変形例に係る生産ラインに含まれる各基板搬送装置の動作の一例を示すシーケンス図である。
【符号の説明】
【００７３】
１  基板
１００  基板搬送装置
１０１  最上流機
１０２  第１中流機
１０３  第２中流機
１０４  最下流機
１１０  作業部
１２０  基板受け部
１３０  搬送部
１３１  円盤
１４１  下流入力部
１４２  下流出力部
１５１  上流入力部
１５２  上流出力部
１６０  制御部
１６１  作業完了検知部
１６２  位置特定部
１６３  作業完了通知部
１６４  同期信号伝送部
１６５  搬送制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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