(57)【要約】【課題】  省スペース化を図ることができるヘッド退避機構を提供する。【解決手段】  突き上げヘッド１のヘッド部２１を可倒ブロック３１に固定する。可倒ブロック３１の回転軸３５を本体ブロック３３の延出部３４に回動自在に支持し、ヘッド部２１の先端部３６がウェーハリング１２の内側領域３７に配置された起立状態３８と、ヘッド部２１を側方に傾倒して先端部３６が内側領域３７から離脱した傾倒状態３９とを形成可能とする。可倒ブロック３１の回転軸３５をロータリーシリンダ４１に接続し、ヘッド部２１を垂直に起立した起立状態３８と水平に傾倒した傾倒状態３９との間で回転駆動する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハリングに張設されたウェーハシート上のチップをニードルピンで突き上げる際に、ヘッド部の先端部が前記ウェーハリングの内側領域に配置される突き上げヘッドにおいて、
前記ヘッド部を本体ブロックに回動自在に支持し、前記ヘッド部を起立して前記先端部が前記ウェーハリングの前記内側領域に配置された起立状態と、前記ヘッド部を側方に傾倒して前記先端部が前記ウェーハリングの前記内側領域から離脱した傾倒状態とを形成可能に構成するとともに、前記ヘッド部を前記傾倒状態と前記起立状態との間で回転駆動する回転駆動手段を設けたことを特徴とするヘッド退避機構。
【請求項２】
前記本体ブロックをベースに上下動自在に支持するとともに、該ベースに対する前記本体ブロックの高さ位置を調整する高さ調整機構を設けたことを特徴とする請求項１記載のヘッド退避機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイボンディング装置においてウェーハシートに貼着されたチップを突き上げる突き上げヘッドを移動して退避させるヘッド退避機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ダイボンディング装置には、図３に示すように、突き上げヘッド７０１が設けられており、ウェーハリング７０２に張設されたウェーハシート７０３上のチップをピックアップする際に、対象チップを突き上げヘッド７０１内のニードルピンによって突き上げられるように構成されている。
【０００３】
この突き上げヘッド７０１を支持する可動ブロック７１１は、該可動ブロック７１１を上下動自在に支持するリニアガイド７１２と、前記可動ブロック７１１を前記リニアガイド７１２に沿って上下駆動するエアシリンダ７１３とからなる昇降機構７１４によって昇降自在に支持されている。また、前記可動ブロック７１１は、図外のショックアブソーバを介して高さ調整ストッパ７１５に当接するように構成されており、当該可動ブロック７１１は、その上限位置が規制されている。
【０００４】
これにより、前記ウェーハリング７０２交換時には、前記エアシリンダ７１３を作動して前記可動ブロック７１１を下方へ移動し、ウェーハリング７０２の内側領域７２１に先端部が配置された前記突き上げヘッド７０１のヘッド部７２２を下方に退避することで、前記ウェーハリング７０２の交換が容易に行えるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このようなヘッド待避機構にあっては、突き上げヘッド７０１を上下移動してヘッド部７２２を退避させる構造上、高さ寸法ｈが大きくなるとともに、大きなスペースを要するという問題があった。
【０００６】
すなわち、縦方向に延在するリニアガイド７１２の設置スペースや上下駆動用のエアシリンダ７１３の取付スペースが必要であった。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、省スペース化を図ることができるヘッド退避機構を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために本発明の請求項１のヘッド退避機構にあっては、ウェーハリングに張設されたウェーハシート上のチップをニードルピンで突き上げる際に、ヘッド部の先端部が前記ウェーハリングの内側領域に配置される突き上げヘッドにおいて、前記ヘッド部を本体ブロックに回動自在に支持し、前記ヘッド部を起立して前記先端部が前記ウェーハリングの前記内側領域に配置された起立状態と、前記ヘッド部を側方に傾倒して前記先端部が前記ウェーハリングの前記内側領域から離脱した傾倒状態とを形成可能に構成するとともに、前記ヘッド部を前記傾倒状態と前記起立状態との間で回転駆動する回転駆動手段を設けた。
【０００９】
すなわち、ウェーハリングに張設されたウェーハシート上のチップを突き上げる突き上げ時には、本体ブロックに支持されたヘッド部を回転駆動手段で回動して起立させることにより、前記ヘッド部の先端部がウェーハリングの内側領域に配置された起立状態が形成される。また、前記ウェーハリングを交換する交換時には、前記ヘッド部を回転駆動手段で回動して側方に傾倒させることにより、前記ヘッド部の先端部が前記ウェーハリングの前記内側領域から離脱した傾倒状態が形成される。
【００１０】
このように、前記ヘッド部を回動することにより、前記ヘッド部の先端部が前記ウェーハリングの内側領域に配置された状態と、前記内側領域から離脱した状態とが形成される。
【００１１】
また、請求項２のヘッド退避機構においては、前記本体ブロックをベースに上下動自在に支持するとともに、該ベースに対する前記本体ブロックの高さ位置を調整する高さ調整機構を設けた。
【００１２】
すなわち、高さ調整機構によってベースに対する本体ブロックの高さ位置を調整することで、ヘッド部が設けられた前記本体ブロックのベースからの高さ位置を調整することができる。これにより、起立状態にある前記ヘッド部の高さが可変されるので、該ヘッド部とウェーハリングに張設されたウェーハシートとの距離が調整される。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように本発明の請求項１のヘッド退避機構にあっては、本体ブロックに支持されたヘッド部を回動することで、該ヘッド部の先端部がウェーハリングの内側領域に配置された状態と、前記内側領域から離脱した状態とを形成することができる。
【００１４】
したがって、ヘッド部を昇降機構で上下動して、その先端部をウェーハリングの内側領域から退避させる従来と比較して、高さ寸法を小さくすることができる。また、縦方向に延在するリニアガイドの設置スペースや、上下駆動用のエアシリンダの取付スペースも不要となり、省スペース化を図ることができる。
【００１５】
また、請求項２のヘッド退避機構においては、高さ調整機構によってベースに対する本体ブロックの高さ位置を調整することで、ヘッド部が設けられた前記本体ブロックのベースからの高さ位置を調整することができる。これにより、起立状態にある前記ヘッド部の高さを直接的に可変することができ、該ヘッド部とウェーハリングに張設されたウェーハシートとの距離の調整を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるヘッド退避機構を備えた突き上げヘッド１を示す図であり、該突き上げヘッド１は、チップをリードフレームにボンディングするダイボンディング装置に設けられている。
【００１７】
前記突き上げヘッド１は、図２に示すように、リング保持機構１１の下部に設けられている。該リング保持機構１１は、セットされたウェーハリング１２を保持する装置であり、ウェーハリング１２を保持した状態で、該ウェーハリング１２に張設されたウェーハシート１３を引張し、該ウェーハシート１３に貼着された各チップ１４の間隔を広げられるように構成されている。
【００１８】
前記突き上げヘッド１のヘッド部２１は、図１及び図２に示すように、円筒状のハウジング２２と、該ハウジング２２上部の固定された先端部を形成するステージ構成部２３とによって構成されており、該ステージ構成部２３は、上部が閉鎖された円筒状に形成されている。この突き上げヘッド１内には、下部の駆動機構２４によって上下駆動される作動軸２５が収容されており、該作動軸２５先端の軸受けには、ニードルピン２６が取り付けられている。これにより、前記駆動機構２４によって前記作動軸２５を上動することで、前記ヘッド部２１上のウエハシート１３に貼着されたチップ１４を前記ニードルピン２６で突き上げてウェーハシート１３から剥離し、ボンディングヘッド２７によるピックアップを容易とするように構成されている。
【００１９】
この突き上げヘッド１のヘッド部２１は、可倒ブロック３１のヘッド固定プレート３１ａに固定されており、該可倒ブロック３１の両側部からは脚部３２，３２が延出している。両脚部３２，３２間には、本体ブロック３３より延出した延出部３４が配置されており、前記両脚部３２，３２を連結した回転軸３５は、前記延出部３４にラジアルベアリングを介して回動自在に支持されている。これにより、前記ヘッド部２１は、前記本体ブロック３３に回動自在に支持されており、図２中実線で示すように、前記ヘッド部２１を垂直に起立して、その先端部３６を前記ウェーハリング１２の内側領域３７に配置した起立状態３８と、図２中破線で示すように、前記ヘッド部２１を側方へ水平に傾倒して前記先端部３６を前記ウェーハリング１２の前記内側領域３７から離脱して該内側領域３７より下方に位置させた傾倒状態３９とを形成できるように構成されている。
【００２０】
前記可倒ブロック３１に設けられた前記回転軸３５には、回転駆動手段としてのロータリーシリンダ４１が接続されている。これにより、該ロータリーシリンダ４１で前記可倒ブロック３１を９０度回動することによって、前記ヘッド部２１を、垂直に起立した前記起立状態３８と、水平に傾倒した前記傾倒状態３９との間で回転駆動できるように構成されている。
【００２１】
そして、前記本体ブロック３３からは、支柱部５１が下方へ向けて延出しており、該支柱部５１の下端には、挿入穴５２が開設されている。該挿入穴５２には、ダイボンディング装置のベース５３に起立した起立柱５４が挿入されており、当該本体ブロック３３は、前記ベース５３に上下動自在に支持されている。
【００２２】
前記本体ブロック３３の前記支柱部５１には、側方に延出するブラケット６１が設けられており、該ブラケット６１には、周面に雄ねじが形成されたストッパ６２が螺入されている。該ストッパ６２の上端には、つまみ６３が設けられており、該つまみ６３を回動操作して前記ブラケット６１より下方に突出した前記ストッパ６２の突出量を可変できるように構成されている。これにより、前記つまみ６３付きストッパ６２によって、前記ベース５３に対する前記本体ブロック３３の高さ位置を調整する高さ調整機構６４が構成されている。
【００２３】
以上の構成にかかる本実施の形態において、ウェーハリング１２に張設されたウェーハシート１３上のチップ１４を突き上げる突き上げ時には、本体ブロック３３に可倒ブロック３１を介して支持されたヘッド部２１をロータリーシリンダ４１で回動して起立させることにより、前記ヘッド部２１の先端部３６が前記ウェーハリング１２の内側領域３７に配置された起立状態３８を形成することができる。これにより、ウェーハシート１３に貼着されたチップ１４の突き上げ動作を行うことができる。
【００２４】
一方、前記ウェーハリング１２を交換する交換時には、前記ヘッド部２１を前記ロータリーシリンダ４１で回動して側方に傾倒させることにより、前記ヘッド部２１の先端部３６が前記ウェーハリング１２の前記内側領域３７から離脱して下方に位置した傾倒状態３９を形成することができる。これにより、前記ウェーハリング１２の交換を容易とすることができる。
【００２５】
このように、前記本体ブロック３３に支持された前記ヘッド部２１を回動することで、該ヘッド部２１の先端部３６がウェーハリング１２の内側領域３７に配置された状態と、該内側領域３７から離脱して下方に位置した状態とを形成することができる。
【００２６】
したがって、ヘッド部２１を昇降機構で上下動して、その先端部３６をウェーハリング１２の内側領域３７から退避させる従来と比較して、高さ寸法Ｈを小さくすることができる。また、縦方向に延在するリニアガイドの設置スペースや、上下駆動用のエアシリンダの取付スペースも不要となり、省スペース化を図ることができる。
【００２７】
そして、高さ調整機構６４を構成するつまみ６３付きのストッパ６２を手動で回転操作するだけで、ベース５３に対する本体ブロック３３の高さ位置を調整することができ、前記ヘッド部２１が設けられた前記本体ブロック３３のベース５１からの高さ位置を調整することができる。これにより、前記起立状態３８にある前記ヘッド部２１の高さを直接的に可変することができ、該ヘッド部２１と前記ウェーハリング１２に張設された前記ウェーハシート１３との距離を手動にて微調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施の形態を示す要部の斜視図である。
【図２】同実施の形態を示す要部断面図である。
【図３】従来の突き上げヘッドを示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１    突き上げヘッド
１２    ウェーハリング
１３    ウェーハシート
１４    チップ
２１    ヘッド部
２６    ニードルピン
３１    可倒ブロック
３３    本体ブロック
３６    先端部
３７    内側領域
３８    起立状態
３９    傾倒状態
４１    ロータリーシリンダ
５３    ベース
６２    ストッパ
６４    高さ調整機構
【図１】
2006093478.tif 000003
【図２】
2006093478.tif 000004
【図３】
2006093478.tif 000005