(57)【要約】    【課題】  容易に矯正できるが押さえをなくすと元に戻り反るような基板において、反りを矯正し、矯正した状態を保ちながら位置ズレなしに、搬送及び塗布を行うことができる装置を提供することにある。    【解決手段】  搬送機構部４をバキュームコンベアとし、バキュームコンベアをベルト12面上、及びベルト搬送面裏面に接触配置したチャンバ24上に吸引穴を設け、チャンバ24の吸着部分を分割し、センサにより基板の搬送に合わせ分割した部屋の吸引する部屋を切り替えるようにし、前記チャンバ24の始まりに基板反り矯正用押し付け機構14を設け、基板１を位置決め、反り矯正、吸着搬送することにより、反りを矯正した姿勢を保ち位置ズレが起きないようにしながら搬送塗布できる。    【選択図】  図１
2006289162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬入するローダ機構部と、基板の搬送方向と直行する幅方向の位置を合わせる位置決め部と、基板面上に複数の異なる色のインクで塗装を施す複数のインク吐出ヘッドからなる塗布ユニット部と、前記塗布ユニット部にて前記基板を搬送する搬送機構部と、塗装を施された基板を装置外に搬出するアンローダ機構部と、前記各部を制御する制御部からなる塗布装置において、
前記搬送機構部を複数の開孔を備えたバキュームコンベア構造とし、ベルトの内側に接触配置した複数の部屋に仕切ったバキュームチャンバを配置し、前記各部屋上部に前記バキュームコンベアの開孔と連通するように吸引孔を設け、基板センサにより基板の搬送に合わせ前記バキュームチャンバを構成する各部屋の吸引を切り替える制御できる負圧供給部設け、前記バキュームチャンバの直前またはバキュームチャンバの始まりに基板反り矯正用押し付け機構を設けたことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
基板を搬入するローダ機構部と、基板の搬送方向と直行する幅方向の位置を合わせる位置決め部と、基板面上に複数の異なる色のインク塗布する複数のインク吐出ヘッドを備えた塗布ユニット部と、塗布ユニット部において基板を搬送する搬送機構部と、塗装を施された基板を装置外に搬出するアンローダ機構部と、各部を制御する制御部からなる塗布装置において、
ローダ部、搬送部、アンローダ部それぞれの搬送要素であるコンベアを搬送方向に向かって左右に配置したことと、搬送方向に向かって中央部に吸着機構を持ち、上下移動及び搬送方向に向かってローダ機構部からアンローダ機構部まで前進後退ができる搬送ステージを１個以上設け、前記搬送ステージに吸着機構を設けたことを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１記載の塗布装置において、一つ以上の位置決め部を設け、その内の一つはローダ機構部後部及び搬送機構部前部に渡り、位置決め部を設けることにより位置決めした位置を保ちながら吸着できることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項１記載の塗布装置において、基板を搬入するローダ機構部を一定の力を受けると空転するアキューム機構にすることにより、塗布ユニット部の搬送機構によって吸着搬送されながら塗布されている基板に位置ズレを起こすような力を与えないようにしたことを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項１記載の塗布装置において、基板を搬出するアンローダ部をフリーローラコンベアで構成し、塗布ユニット部の搬送機構に吸着搬送されながら塗布されている基板に位置ズレを起こすような力を与えないようにしたことを特徴とする塗布装置。 
【請求項６】
請求項２記載の塗布装置において、基材の反り矯正押し付け機構を１個以上設けたことを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッドを用いて、大型基板上の所定領域に異なる色のインクを塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェットヘッドを用いた塗布装置として、特許文献１に記載のように、基板を搬入するローダ機構部と、基板の位置を合わせる位置決め部と、基板面状に複数の異なる色のインクで塗装を施す複数のインク突出ヘッドからなり上記基板を搬送する搬送機構を有する塗布ユニット部と、塗装を施された基板を装置外に搬出するアンローダ部と前記各部を制御する制御部からなる塗布装置がある。
【０００３】
また、特許文献２には吸着用の孔を備えたコンベアの内側に複数の空気室とそれぞれの空気室の下部にバルブシートを設けた空気取り入れ口とが設けられ、空気取り入れ口がバキュウムブロワに連通するプレナムを設けた構成の記録紙搬送機構が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２５５３５８号公報
【特許文献２】特開平９−５８８９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示の装置では、基板を搬入するローダ機構部に上流の他の装置から搬送するか、あるいは直接載せることにより、基板面上に複数の異なる色のインクで塗布を施す複数のインク吐出ヘッドからなる塗布ユニット部に、上記基板を搬送する搬送機構部により搬送され塗布される。その後、基板を装置外に搬出するアンローダ部に搬送される。この基板は搬送機構部の搬送面に乗った状態で搬送されるため基板裏面は平坦なものを想定した装置であり、基板の姿勢を保ちながら搬送することができ、塗布時の位置ズレが起きない。また、基板上面の塗布面の凹凸から数ミリ程度のインク突出ヘッドとの間隔を空けて搬送しながら塗布することが可能である。
【０００６】
従って、この構成では基板搬送面に反りがある場合には、基板の姿勢が安定せず、位置ズレが起こり得るため、精度の高い塗布ができない。また、基板上面の凹凸に対しインク突出ヘッドを数ミリ程度に近づけることができず、精度の高い塗装ができない。その他に、反りが大きい場合には、搬送部上部に設けたインク吐出ヘッドや塗布ユニット部構造物及び機構部に接触し、搬送できないことも考えられる。
【０００７】
また、特許文献２のように搬送ベルト面に吸着して搬送する場合でも、引用文献２の図１及び図２の弁構造では弁の開閉がうまくいかず、基板を水平に吸着させることができない。
【０００８】
そこで、本発明では、容易に矯正できるが押さえをなくすと元に戻り反るような基板において、反りを矯正し、矯正した状態を保ちながら位置ズレなしに、搬送及び塗布を行うことができる装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、基板を搬送する搬送機構に、請求項１と２に記載した内容の吸着しながら搬送する機構を設けることにより、反りのある基材を矯正する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によると容易に矯正できるが押さえがなくなると元に戻り反るような基板において、基板を搬送面に吸い付けることにより、反りを矯正し姿勢を保ち位置ズレが起きないようにしながら搬送でき、塗布形状（パターン）には位置ズレ、濃淡むらが発生しない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下本発明の実施例を図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１２】
本発明の塗布装置の全体構成を図１に示す。本装置は大きく６つの部分からなる。すなわち、塗布対象物である基板１を搬入するローダ機構部２と、基板１の位置を合わせる第一位置決め部３ａ及び第二位置決め部３ｂとからなる位置決め機構と、基板面上に複数の異なる色のインクで塗装を施す複数のインク吐出ヘッドからなり、基板１を搬送しながら基板面状に塗装を施す塗布ユニット部６と、塗装を施された基板１を装置外に搬出するアンローダ機構部１１と、塗布ユニット部６を含み前記ローダ機構部２とアンローダ機構部１１との間に設けられ基板１を搬送する搬送機構部４と、各部駆動機構を制御する制御部１３とから構成されている。なお、本実施例では第一位置決め部３ａはローダ機構部２内の入口側に設けられ第二位置決め部３ｂはローダ機構部２の出口側にローダ機構部２と搬送機構部４をまたぐようにして設けてある設けてある。
【００１３】
搬送対象物である基板１は、例えばロール状に巻かれたコンマ数ミリ程度の薄い金属板を連続してエンボス加工し（例えば幅４５５ｍｍ程度、厚さ１５ｍｍ〜４０ｍｍ程度）作られる。更に、基板１の裏面に発泡樹脂材を充填する場合もある。また、その他の工程を経る場合もある。その後、任意の長さ（例えば４０００ｍｍ）に裁断して作られる基板で、基板１の厚さや幅に対して基板長（基板搬送方向の長さ）が長いため、搬送面側（搬送するローラまたはベルトに接触する面側）が上（Ｚ方向）に反り、平坦な面に搬送面側を下にして置くと裁断された両側が平坦な面から（例えば３０ｍｍ〜５０ｍｍ）浮き上がった状態になっている場合が多い（図１（ｃ））。また、逆に基板１の両端の裁断部が平坦な面に接触し、中央部が浮き上がっている場合もある。また、裁断前の先端側も同様の反りが発生する場合が多い。
【００１４】
図１の第一位置決め部３ａ及び第ニ位置決め部３ｂの詳細図を図２（ａ）、（ｂ）に示す。図２（ａ）は位置決め前の待機状態を示す図である。図２（ｂ）は基材を位置決め機構により基準位置に押し付けている状態の図である。本実施例では、基板検知センサ４３は第ニ位置決め部３ｂの出口側に設けてあり、第一位置決め部３ａには設けていない。第一位置決め部３ａと第ニ位置決め部３ｂは、基板１のＸ１方向（搬送方向）の先端と後端を同時に位置決めできる間隔に配置してある。また、本実施例では第ニ位置決め部３ｂは、搬送機構部４のバキュームチャンバ２４による吸着時における位置ズレを防止するため、搬送機構部４のバキュームチャンバ２４に掛かるように、ローダ機構部２と搬送機構部４とを跨ぐように配置してある。これにより、第二位置決め部３ｂは、基板の先端側をバキュームチャンバにより搬送ベルトに吸着した状態で位置決めしている。なお、吸着力を作用したときに位置ずれが発生しない場合は、第ニ位置決め部３ｂの位置がバキュームチャンバ２４の始まりと一致する配置や直前に配置しても良い。
【００１５】
基板位置決め機構は、搬送路を挟んで左右に移動可能な位置決め部材からなる。両方の部材には基板が搬送方向に移動できるように、多数の位置決めローラ４８ａ、４８ｂ（例えば直径２０ｍｍ程度の樹脂フリーローラ）を備えている。この位置決めローラ４８は位置決めローラ固定プレート４１ａ、４１ｂに取り付けてある。これらの位置決めローラは、位置決めの際に、基板との接触抵抗を少なくして、位置決めが小さな力で行えるようにしている。そのため、この位置決めローラ４８ａ、４８ｂの代わりに接触抵抗の小さな樹脂板としても良い（例えばテフロン、ポリアセタール、超高分子ポリエチレン等）。位置決めローラ固定プレート４１ａ、４１ｂはリニアブッシュ（ガイド）３８ａ、３８ｂ及びエアーシリンダ３９ａ、３９ｂに取り付けられ、移動可能限界位置までエアーシリンダ３９ａ、３９ｂの押し付け力でそれぞれＹ２、Ｙ１方向に基材を押し付けできる。
【００１６】
図２の例は基板を両側から挟みこんだときに、基板の片側が基準位置に合うようにする方法である。基準位置４４側のリニアブッシュ（ガイド）３８ｂ、エアーシリンダ３９ｂの支持プレートは位置決めローラ４８ｂの押し付け限界位置が基準位置４４に一致するよう固定してある。このため、対面側のリニアブッシュ（ガイド）３８ａ、エアーシリンダ３９ａの支持プレートを基板幅に合わせてＹ１方向又はＹ２方向に移動できるように基板幅合わせ機構４２が設けてある。この基板幅合わせ機構４２により基板の幅が変化しても対応可能である。
【００１７】
基板幅が一定の場合は、基板幅合わせ機構４２を省略しても良い。基準側の位置決めローラ４８ｂの基板接触位置が基準位置４４と一致固定される場合は、図面上方側の位置決め部材であるリニアブッシュ（ガイド）３８ｂ及びエアーシリンダ３９ｂを設けなくても良い。
【００１８】
図３の例は基板の中心を基準位置４４に合わせる方法である。両側のリニアブッシュ（ガイド）３８ａ、３８ｂ、エアーシリンダ３９ｂ、３９ｂの支持プレートが基材合わせ機構４２により基準位置４４を中心に対称に移動可能である。図３では支持プレートのそれぞれが基材合わせ機構４２のそれぞれ右ネジ、左ネジにより移動するようになっている。基準位置４４はコンベアの中心にしても良いし、その他の位置としても良い。なお、この位置決め部は第一位置決め部３ａのみとし基板１の大きさに合わせて適当な長さや位置にしても良い。
【００１９】
ローダ機構部２は、インクを塗布する基板１を搬入するため、複数の搬入ローラ２Ｒより構成され、少なくとも１つ以上の搬入ローラ２Ｒに駆動機構が設けてある。搬送部４の搬送精度に影響を与えないように２Ｒは一定以上の抵抗を受けた場合、空回りするようなアキューム（緩衝）機構なっている。ローダ機構部２の駆動力が搬送部４の搬送精度に影響を与えない程に弱い場合はアキューム機構を省略しても良い。
【００２０】
塗布ユニット部６は基板の幅方向の全域にインクが塗布できるように、色毎に複数の塗布ヘッドが配置されている。この塗布ヘッドの下を通る搬送部４にはバキュームコンベア１２が配置されている。
【００２１】
バキュームコンベア１２の入り口部分には、前述の反りのある基板１の反りを矯正するための反り押さえシリンダローラ１４が設けてある。この反り押さえシリンダローラ１４にて基板１を上方から反っている部分をコンベアに押し付けて矯正し、バキュームコンベア１２が基材を吸着し易くしている。バキュームコンベア１２に吸着された基板１の搬送面はほぼ平坦になる。この状態で吸着搬送することにより、基板１は位置ずれを起こすことなく平坦状態を保持しているため高精度に塗布される。
【００２２】
バキュームコンベア１２に使用するベルトは樹脂製の平ベルトでも良いし、樹脂製のタイミングベルトでも良いし、スチールベルトでも良い。図４に示すようにベルト面には吸着用の開孔４５が複数設けてある。また、ベルト下には複数の部屋に仕切られたバキュームチャンバ２４が設けてあり、バキュームチャンバ２４のベルト裏面に接触する側には、基板をベルト上に吸着するために適当な形状と数の吸引孔４６を設けてある。図４では、ベルト側の開孔４５に比べてバキュームチャンバ側の吸引孔４６を小さく形成してある。このように孔径を変えることで、ベルト面の開孔４５とバキュームチャンバの吸引孔４６とが確実に連通し、基板に負圧力が作用するようにした。
【００２３】
また、前述のように、基板１がこのバキュームチャンバ２４の吸引孔を全て塞がなくても吸着力を維持できるよう、Ｘ１の方向に多数の仕切り４７を設けるか、バキュームチャンバ２４をＸ１方向に小さいボックスを繋いだ構成とし、バキュームチャンバ２４を多数（図の場合は１３個）の部屋に分けている。この各部屋毎に配管２３が接続され、図１に示すように、各部屋毎に負圧の供給を制御できるように負圧供給部が設けてある。この負圧供給部は、負圧の供給制御するゲート弁２２や、分岐チャンバ２１と、分岐チャンバ２１に負圧を供給する負圧源であるブロワ室１８内に設置されているブロワ１９やエアーフィルタ２０からなる。
【００２４】
図５に基板１の流れと吸着室の移動の関係を示す。吸着している吸着室を（ｑ）で表している。図５（ａ）は基板１が搬送機構部４に到達する前の状態を示している。図５（ｂ）は基板１が搬送機構部４に到達して位置決め機構で位置決めしている状態を示してる。このとき、基板１の先端側はバキュームコンベア１２に吸着されている。図５（ｃ）〜図５（ｆ）に示すように、位置決めが終了すると基板１はバキュームコンベア１２の所定の移動速度で移動する。このとき、基板１の搬送に連動してゲート弁２２を切り換え、バキュームチャンバ２４の上流側の吸着室から吸着することにより、常に基板１の反りのある部分の真下を吸着しながら搬送する。つまり、この吸着している吸着室（ｑ）は基板１の反りに合わせて１ヶ所から数ヶ所（例えば基材先端と後端の２ヶ所）を吸着しながら搬送する。また、図５（ｇ）に示すように、連続して搬入される機材に合わせて、１枚目の基板を吸着搬送しながら、２枚目の基板を吸着搬送することもできる。
【００２５】
図１、図４及び図５の例はベルトを３本掛けした例であるが、１本掛けでも複数掛けでも良い。図６（ａ）に示すように、この搬送ベルト１２ａの側面に樹脂ガイド４９ａを設けることにより搬送ベルトの蛇行を抑え、更に塗布精度を上げている。タイミングベルトの場合は、歯面の凹凸によるエアー漏れを樹脂ガイドが防止する効果もある。搬送ベルトの蛇行を抑える方法として、図６（ｂ）〜（ｄ）のようにベルト裏面に搬送方向に連続する突起または段差を設け、チャンバ側に凹部又は凸部のガイドを設けた構成としても良い。
【００２６】
インク塗布を基板端面まで余白無く行う為には、基板端面から外側にはみ出して塗布する場合がある。この場合には、バキュームコンベア１２のベルト面にインクが付着する。図１に示すようにこのインクの付着による汚れを取り、基板１の裏面（搬送面）を汚さない様にクリーニング機構２６を搬送ベルトの下流の下部側に設けている。このクリーニング機構はベルトの汚れが少ない場合や基板１の汚れ防止をする必要がないと判断される場合は無くても良い。
【００２７】
反り押さえシリンダローラ１４と塗布ユニット部６の間に面状合わせカメラ１６を内蔵したカメラ部１５を配置してある。エンボス加工されている基板１を任意の位置で裁断し、裁断された基板１には予め位置合わせ用のマークを設けてある。この基板１上に設けたマークを面状合わせカメラ１６で認識することにより、塗布ユニット部６においてエンボスに合わせた塗布パターンの塗布を行うことができる。
【００２８】
アンローダ機構部１１の搬出ローラ２５はバキュームコンベア１２の搬送精度に影響を与えないよう、フリーローラとなっている。このアンローダ機構部１１は基板より長く設定してある。これにより、塗布終了後、基板１の後端がバキュームコンベア１２の搬送力で押し出され慣性力でアンローダ機構部１１より下流の他装置の駆動搬送機構に受け渡せるようになっている。基板１がバキュームコンベア１２から離れた後、アンローダ機構部１１の一部に駆動付のローラ等を付け搬送を補助しても良い。
【００２９】
基板を投入前に予め位置決めローラ４８ａ、４８ｂを押し付け限界位置にシリンダを動作させておき、機板幅合わせ機構４２により基板１の幅寸法に位置決め機構を合わせ、機板幅合わせ機構４２をその位置で固定する。
【００３０】
装置運転動作は、まず、基板１を図１に示すＸ１方向にローダ機構部２へ乗せるか、本発明の装置より上流の他装置からＸ１方向にローダ機構部２へ搬送される。そして、基材１の後端が第一位置決め部３ａ、基板１の先端が第二位置決め部３ｂの位置に来たとき、図２の基板検知センサ４３が基板先端を検出する。基板検知センサ４３が基板先端を検知すると、第一位置決め部３ａと第ニ位置決め部３ｂが同時に動作し、基材１の長尺片側側面（裁断面以外の片面）を基準位置４４に合わせると共に、搬送方向に対する角度のズレを補正する。
【００３１】
基板位置決め機構が基板の位置決めを行った後、反り押さえシリンダローラ１４が動作して、基板１の先端を上からベルト上に押し付け、反りを矯正する。次に、バキュームチャンバ２４及びバキュームコンベアベルト１２により吸着が始まる。その後第一位置決め部３ａ及び第二位置決め部３ｂ共両側の位置決め部が外側Ｙ１，Ｙ２方向に退避する。その後は図５に示すように、基板１の移動に同調して吸着チャンバ２４の吸着している部屋（ｑ）が次々に切り替わり、基板１の反りを矯正した状態を保ちながら搬送される。次に、基板１が面状合わせカメラ部１５を通過するときに、基板１上に設けたマークを面状合わせカメラ１６で認識する。塗布ユニット部６ではカメラで認識したマーク位置情報を用いて、塗布を開始する。そして、基板１は塗布ユニット部６を移動しながら所望のパターンに塗布される。基板１後端が反り押さえシリンダローラ１４の直前に来たとき（図５（ｅ））、反り押さえシリンダローラ１４が基板１後端を押し付け反りを矯正する。そして、バキュームチャンバ２４及びバキュームコンベアベルト１２により吸着搬送される。搬送塗布後、バキュームコンベアベルト１２を通過した基板１はアンローダ機構部１１（フリーローラ）を慣性で通過し、他の装置へ受け渡される。複数枚の基板を搬送塗布する場合は、任意の間隔を持って基板１を供給することで連続して塗布を行うことができる。図５（ｇ）では２枚目の基板１ｂが１枚目の基板１の後に搬送されている状態を示している。
【実施例２】
【００３２】
本発明の第２の実施例を図７及び図８に示す。図７に示すように本装置は大きく７つの部分からなる。すなわち基板１の位置を合わせる第一位置決め部３ａと、基板１を搬入するローダ機構部２と、基板面上に複数の異なる色のインクで塗装を施す複数のインク吐出ヘッドからなり搬送しながら基板面状に塗装を施す塗布ユニット部６と、上記基板１を搬送する搬送機構部４と、塗装を施された基板を装置外に搬出するアンローダ機構部１１と、ローダ機構部２からアンローダ機構部１１まで移動可能な吸着テーブル２７ａ，２７ｂと、前記装置の各部駆動機構を制御する制御部１３から構成されている。
【００３３】
ここで先の実施例と大きく異なる点は、先の実施例ではローダ機構部２及びアンローダ機構部１１とは複数本のローラで基板１を搬送するローラコンベアの構成であったものを、２本の平行なベルトコンベア２９ａ、２９ｂをそれぞれ適当な間隔をあけて設けたものである。また、基板１を吸着して移動する吸着テーブル２７ａ、２７ｂを２本のベルトコンベアの間に設けた点である。この吸着テーブルはローダ機構部２とアンローダ機構部１１との間を往復運動できるように構成してある。なお本実施例では、アンローダ機構部１１のベルトコンベア２９ｂが、先の搬送機構部４を兼用できるようにローダ機構部２まで延伸されている。
【００３４】
ローダ機構部２は、２本の搬送ベルト２９ａがＹ１、Ｙ２方向に並列に配列されている。同様にアンローダ機構部１１も２本の搬送ベルト２９ｂがＹ１、Ｙ２方向に並列に配列されている。ローダ機構部２の両側２本の搬送ベルト２９ａの駆動は、一方側の搬送ベルトの下流側に接続してある駆動モータ１７ａによって行われる。他方側の搬送ベルトは吸着テーブル２７ａ、２７ｂの移動スペースを確保するため、搬送ベルトより下側に搬送ベルト駆動用シャフト３４設けてある。この搬送ベルト駆動用シャフト３４は搬送ベルト駆動用ベルト３０ａにより駆動モータ軸側と他方側搬送ベルト回転軸とがそれぞれ連結されている（図８参照）。なお、１対の搬送ベルト２９ａは、それぞれ別のモータで駆動する構成としても良い。アンローダ機構部１１の１対の搬送ベルト２９ｂの駆動も搬送ベルト２９ａの駆動と同様の構成としてある。
【００３５】
第一位置決め機構２７ａはローダ機構部２のＹ１側とＹ２側に配列されていて位置決めを行う。また、本実施例では、第一位置決め機構２７ａをほぼ中央にして２個の反り押さえシリンダローラ１４が上流側と下流側に各１個配置されている。ローダ機構部２の下流側には面状合わせカメラ部１５が配置されている。
【００３６】
吸着テーブル２７ａ、２７ｂは基板１の長さに合わせた長さ（例えば基板１の長さ４０００ｍｍに対し、吸着テーブル２７ａ、２７ｂの長さ４１００ｍｍ）になっている。また吸着テーブルの上面の全面、または部分的に（例えば搬送方向の両端と中央部に）複数の吸着孔２８が設けてある。この吸着テーブル上の基板を、２個またはそれ以上の数の反り押さえシリンダローラ１４により押さえ付けることで、基板１の搬送面側を平坦に矯正することにより吸着固定することができる。また、吸着テーブル２７ａ、２７ｂの裏面に吸着テーブル昇降シリンダ３２が設けられている（図８）。吸着テーブル昇降シリンダ３２の下には吸着テーブル昇降シリンダ３２を支持する部材が配置されその下にＬＭガイド３５が配置されていて、吸着テーブル２７ａと２７ｂがＹ１、Ｙ２方向のガタが無く滑らかにＸ１方向に駆動できるようにしてある。吸着テーブル２７ａと２７ｂは吸着テーブル駆動モータ３３ａ、３３ｂを駆動源として、吸着テーブル駆動ベルト３１により移動される。吸着テーブルの移動には駆動ベルト３１の代わりにボールネジやリニアモータを使用してもよい。吸着テーブル２７ａと２７ｂにはそれぞれ配管２３が接続され、エアーフィルタ２０を介してブロワ１９に接続されている。図示していないが配管２３は吸着テーブル２７ａと２７ｂが動作しやすいように吸着テーブル２７ａと２７ｂ付近でケーブルベアに収納されている。
【００３７】
なお、本実施例では、ローダ機構部側の搬送ベルト２９ａ（１対）とアンローダ機構部側の搬送ベルト２９ｂ（１対）の計２対を設けたが、基板搬入側から基板出口までの装置全長に渡って一体（１対）としても良いし、３対以上に分割しても良い。
【００３８】
図９に基板１及び２枚目の基板１ｂと、吸着テーブル２７ａ、２７ｂの動きの関係を示す。まず、基板１を図７に示すＸ１方向にローダ機構部２へ乗せるか、本発明の装置より上流に設けてある他装置からＸ１方向にローダ機構部２へ搬送する（図９（ａ））。基板１の長手方向中央が第一位置決め部３ａのほぼ中央に来たときに、センサ４３が基板の先端部を検出し、その検出結果に基づいて位置決め機構を動作させて位置決めする（図９（ｂ））。その後、吸着テーブル２７ａが、基板１を下からすくい上げるように搬送ベルト２９ａ、２９ｂより高い位置（例えば１０ｍｍ程度）まで上昇し吸着を開始する。その状態で、２個の反り押さえシリンダ１４が同時に基板１を吸着テーブル２７ａ面に押し付け矯正することにより、完全に基板１が吸着テーブル２７ａに吸着される（図９（ｃ））。その後、第一位置決め部３ａが外側Ｙ１、Ｙ２方向に退避する。（このとき吸着テーブル２７ｂは二枚目の基板１ｂを搬送塗布するため、下降した状態でローダ機構部２へ戻り始める。）次にテーブル２７ａがヘッドユニット６へ移動を始め、面状合わせカメラ１６で基材１の面状を認識後、または認識しながら吸着テーブル２７ａにより基板１を搬送し、塗布ユニット部６で塗布しながら搬送を続ける（図９（ｄ））。塗布終了後、吸着テーブル２７ａが搬送ベルト２９ｂより低く、上昇する他方の吸着テーブルの裏面より低い位置まで下降、吸着解除（または吸着解除、下降）することにより、基板１を搬送ベルト２９ｂに乗せる。搬送ベルト２９ｂに乗せられた基板１は本装置の外に搬出される。基板１を搬送ベルト２９ｂに乗せ終えた吸着テーブル２７ａは３枚目の基板を搬送塗布するため下降した状態でローダ機構部２へ戻る。このとき吸着テーブル２７ｂは２枚目の基板１ｂを搬送し、塗布ユニット部６で塗布しながら搬送している。このように、吸着テーブル２７ａと吸着テーブル２７ｂが交互に同じ手順で塗布を行う。吸着テーブルが１個の場合は戻る時間がロス時間になる。そこで基板を連続して流すために、２つのテーブルが交互に動き、ロス時間をカバーしている。
【００３９】
なお、図９（ａ）に吸着テーブル２７ａと吸着テーブル２７ｂとの動作方向を３７の矢印で示してある。この図で、一方の吸着テーブルが上方を移動中は他方の吸着テーブルは下方を移動するようにしている。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施例１の全体概略構成を示す図である。
【図２】実施例１の位置決め機構の一例である。
【図３】実施例１の位置決め機構の第２例である。
【図４】実施例１のバキュームコンベアの詳細図である。
【図５】実施例１のバキュームコンベア動作の流れを示す図である。
【図６】実施例１のバキュームコンベアの詳細形状
【図７】本発明の実施例２の全体概略構成を示す図である。
【図８】図７の右側面拡大図である。
【図９】本発明の実施例２の全体概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１、１ｂ…基板、２…ローダ機構部、２Ｒ…搬入ローラ、３ａ…第一位置決め部、３ｂ…第ニ位置決め部、４…搬送機構部、５…ヘッド保守機構部、６…塗布ユニット部、７…イエロ用ヘッド、８…マゼンタ用ヘッド、９…シアン用ヘッド、１０…ブラック用ヘッド、７a、８a、９a、１０a…それぞれの色のインクボトル、７b、８b、９b、１０b…それぞれの色の中間タンク、１１…アンローダ機構部、１２，１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ…バキュームコンベアベルト、１３…制御部、１４…反り押さえシリンダローラ、１５…面状合わせカメラ部、１６…面状合わせカメラ、１７ａ、１７ｂ…駆動モータ、１８、１８ａ、１８ｂ…ブロワ収納部、１９，１９ａ、１９ｂ…ブロワ、２０、２０ａ、２０ｂ…エアーフィルタ、２１…分岐チャンバ、２２…ゲート弁、２３、２３ａ、２３ｂ…配管、２４，２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ…バキュームチャンバ、２５…搬出ローラ、２６…クリーニング機構部、２７ａ、２７ｂ…吸着テーブル、２８…吸着テーブル吸着穴、２９ａ、２９ｂ…搬送ベルト、３０ａ、３０ｂ…搬送ベルト駆動用ベルト、３１ａ、３１ｂ…吸着テーブル駆動ベルト、３２…吸着テーブル昇降シリンダ、３３ａ、３３ｂ…吸着テーブル駆動モータ、３４…搬送ベルト駆動シャフト、３５…吸着テーブル移動用ＬＭガイド、３６ａ、３６ｂ…吸着テーブル昇降シリンダ支持部材、３７…吸着テーブルの動作方向、３８ａ、３８ｂ…リニアブッシュ（ガイド）３９ａ、３９ｂ…エアーシリンダ、４０…ＬＭガイド、４１ａ、４１ｂ…位置決めローラ固定プレート、４２…機材幅合わせ機構、４３…基材検知センサ、４４…基準位置、４５…バキュームコンベアベルト吸着穴、４６…バキュームチャンバ吸着穴、４７…バキュームチャンバ仕切板、４８ａ、４８ｂ…位置決めローラ、４９ａ、４９ｂ、４９ｃ…樹脂ガイド、４９ｄ…バキュームチャンバガイド溝、５０ａ、５０ｂ、５０ｃ…樹脂ガイド・バキュームチャンバ吸着穴、５０ｄ…バキュームチャンバ吸着穴、５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄ…バキュームコンベアベルト吸着穴、Ｘ１、Ｙ１、Ｙ２…方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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