(57)【要約】【課題】  ＥＳＲを小さくすることができる固体電解コンデンサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】  この固体電解コンデンサ１００では、タンタルなどの金属粒子の多孔質焼結体からなる陽極１の周囲を覆うように、該陽極１上に酸化タンタルなどからなる誘電体層２と、コバルト酸化物からなる電解質層３と、第１導電層４ａおよび第２導電層４ｂから構成される陰極４とが順次形成されている。また、陽極１の陽極リード１ａ上には、陽極端子７が接続され、陰極４の上面には、導電性接着剤層５と陰極端子６が形成されているている。そして、陰極端子６および陽極端子７の端部が外部に引き出されるように、第２導電層４ｂ、陰極端子６および陽極端子７の周囲には、モールド外装樹脂８が形成されている。【選択図】  図１
2006093198.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属からなる陽極上に形成された該金属の酸化物からなる誘電体層と、
前記誘電体層上に形成されたコバルト酸化物からなる第１酸化物層と、
前記第１酸化物層上に形成された陰極とを備える、固体電解コンデンサ。
【請求項２】
前記第１酸化物層は、マンガン、亜鉛およびマグネシウムからなるグループより選択される少なくとも１つの元素を含む、請求項１に記載の固体電解コンデンサ。
【請求項３】
前記誘電体層と前記第１酸化物層との間にマンガン酸化物からなる第２酸化物層をさらに備える、請求項１または２に記載の固体電解コンデンサ。
【請求項４】
前記陽極は、タンタル、アルミニウム、ニオブおよびチタンからなるグループより選択される少なくとも１つの元素を含む、請求項１〜３に記載の固体電解コンデンサ。
【請求項５】
金属からなる陽極上に該金属の酸化物からなる誘電体層を形成する工程と、
コバルトイオンを含む水溶液を酸化することにより前記誘電体層上にコバルト酸化物からなる第１酸化物層を形成する工程と、
前記第１酸化物層上に陰極を形成する工程とを備える、固体電解コンデンサの製造方法。
【請求項６】
前記水溶液は、マンガンイオン、亜鉛イオンおよびマグネシウムイオンからなるグループより選択される少なくとも１つのイオンをさらに含む、請求項５に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、固体電解コンデンサおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、高周波領域で等価直列抵抗（以下、ＥＳＲと呼ぶ）の値が小さい固体電解コンデンサの開発が望まれている。ここで、従来の固体電解コンデンサでは、金属からなる陽極の表面にこの金属の酸化物からなる誘電体層が形成されており、さらに、この誘電体層上には、電解質層と電解質層上に形成された陰極とが形成されている。
【０００３】
また、ＥＳＲは、誘電体損失や電解質層の比抵抗および電解質層と陰極との接触抵抗などの和からなり、特に高周波領域では、電解質層の比抵抗および電解質層と陰極との接触抵抗などの影響が大きくなる。そこで、従来の固体電解コンデンサでは、低抵抗の電解質層としてマンガン酸化物からなる酸化物層が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−１６７７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、マンガン酸化物からなる酸化物層を電解質層に用いた従来の固体電解コンデンサであっても、１００ｋＨｚ付近の高周波領域でのＥＳＲ特性については未だ十分でないという問題点があった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、
この発明の１つの目的は、ＥＳＲを小さくすることができる固体電解コンデンサを提供することである。
【０００６】
この発明のもう１つの目的は、ＥＳＲを小さくすることができる固体電解コンデンサの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による固体電解コンデンサは、金属からなる陽極上に形成された該金属の酸化物からなる誘電体層と、誘電体層上に形成されたコバルト酸化物からなる第１酸化物層と、第１酸化物層上に形成された陰極とを備えている。
【０００８】
この第１の局面による固体電解コンデンサでは、誘電体層と陰極との間に形成されるコバルト酸化物からなる第１酸化物層は電解質層として作用する。ここで、コバルト酸化物はマンガン酸化物よりも高い導電性を有しているので、誘電体層と陰極との間の抵抗を小さくすることができる。これにより、固体電解コンデンサのＥＳＲを小さくすることができる。
【０００９】
上記第１の局面による固体電解コンデンサにおいて、好ましくは、コバルト酸化物からなる酸化物層は、マンガン、亜鉛およびマグネシウムからなるグループより選択される少なくとも１つの元素を含む。このように構成すれば、コバルト酸化物の組成や結晶性などが変化しにくいので、コバルト酸化物からなる第１酸化物層の導電性が低下しにくい。これにより、固体電解コンデンのＥＳＲの増加を抑制することができる。
【００１０】
上記第１の局面による固体電解コンデンサにおいて、好ましくは、誘電体層と第１酸化物層との間にマンガン酸化物からなる第２酸化物層をさらに備える。このとき、マンガン酸化物からなる第２酸化物層も電解質層として作用する。このように構成すれば、マンガン酸化物からなる第２酸化物層は、誘電体層および第１酸化物層との間で良好な密着性を有しているので、誘電体層と第１酸化物層との間の密着性が向上する。これにより、誘電体層と第１酸化物層との剥離を抑制することができるので、さらに、長期にわたって固体電解コンデンのＥＳＲの増加を抑制することができる。なお、第２酸化物層の厚みは、好ましくは、０．０１μｍ以上０．５μｍ以下である。このように、第２酸化物層の厚みを０．０１μｍ以上とすることにより、誘電体層と第１酸化物層との密着性向上に対して効果が大きくなり、また、第２酸化物層の厚みを０．５μｍ以下とすることにより、第１酸化物層よりも導電性の低い第２酸化物層を形成したことによるＥＳＲの増加の影響を抑えることができる。この場合、さらに好ましくは、第２酸化物層の厚みは、０．０２μｍ以上０．１μｍ以下である。
【００１１】
上記第１の局面による固体電解コンデンサにおいて、好ましくは、陽極は、タンタル、アルミニウム、ニオブおよびチタンからなるグループより選択される少なくとも１つの元素を含む。この場合、タンタル、アルミニウム、ニオブおよびチタンの酸化物は比誘電率が大きいので、小型で大きな静電容量を有する固体電解コンデンサを得ることができる。
【００１２】
また、この発明の第２の局面による固体電解コンデンサの製造方法は、金属からなる陽極上に該金属の酸化物からなる誘電体層を形成する工程と、コバルトイオンを含む水溶液を酸化することにより誘電体層上にコバルト酸化物からなる第１酸化物層を形成する工程と、第１酸化物層上に陰極を形成する工程とを備える。
【００１３】
この第２の局面による固体電解コンデンサの製造方法では、上記のように、コバルトイオンを含む水溶液を酸化することにより、マンガン酸化物よりも高い導電性を有するコバルト酸化物からなる酸化物層を形成することができる。これにより、誘電体層と陰極との間に電解質層として作用する低抵抗のコバルト酸化物からなる酸化物層を形成することができるので、ＥＳＲを小さくすることができる固体電解コンデンサを容易に製造することができる。
【００１４】
上記第２の局面による固体電解コンデンサの製造方法において、好ましくは、水溶液は、マンガンイオン、亜鉛イオンおよびマグネシウムイオンからなるグループより選択される少なくとも１つのイオンをさらに含む。このように構成すれば、コバルト酸化物からなる酸化物層中にマンガン、亜鉛およびマグネシウムからなるグループより選択される少なくとも１つの元素をさらに含ませることができるので、コバルト酸化物の組成や結晶性などが変化しにくくなる。その結果、コバルト酸化物からなる第１酸化物層の導電性が低下しにくくなるので、ＥＳＲの増加を抑制することができる固体電解コンデンサを容易に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施形態に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明は下記の実施形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能なものである。
【００１６】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る固体電解コンデンサの断面構造図である。図１を参照して、以下に、本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの構造について説明する。
【００１７】
図１に示すように、固体電解コンデンサ１００においては、陽極１は、タンタル、アルミニウム、ニオブまたはチタンなどの金属粒子の多孔質焼結体からなる直方体状の基体１ａと、基体１ａに一部が埋め込まれた陽極リード１ｂとから構成されている。陽極１上には、該陽極１の周囲を覆うように陽極酸化により形成された酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化ニオブまたは酸化チタンなどからなる誘電体層２が形成されている。ここで、タンタル、アルミニウム、ニオブまたはチタンは、本発明の陽極を構成する「金属」の一例、また、酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化ニオブまたは酸化チタンは、本発明の「金属の酸化物」の一例である。
【００１８】
誘電体層２上には、該誘電体層２の周囲を覆うようにコバルト酸化物からなる電解質層３が形成されている。ここで、コバルト酸化物からなる電解質層３は、本発明の「第１酸化物層」の一例である。
【００１９】
電解質層３上には、該電解質層３の周囲を覆うように陰極４が形成されている。陰極４は、該電解質層３の周囲を覆うように形成されたカーボンペーストからなる第１導電層４ａと、該第１導電層４ａの周囲を覆うように形成された銀ペーストからなる第２導電層４ｂとから構成されている。
【００２０】
陰極４の周囲のうち上面には、導電性接着剤層５が形成され、さらに、導電性接着剤層５上には、陰極端子６が形成されている。また、基体１ａから露出した陽極リード１ｂ上には、陽極端子７が溶接により接続されている。さらに、陰極端子６および陽極端子７の端部が外部に引き出されるように、第２導電層４ｂ、陰極端子６および陽極端子７の周囲には、モールド外装樹脂８が形成されている。これにより、本発明の第１実施形態に係る固体電解コンデンサ１００が構成されている。
【００２１】
次に、図１に示す本発明の第１実施形態に係る固体電解コンデンサの製造方法について説明する。
【００２２】
まず、タンタル、アルミニウム、ニオブまたはチタンなどの金属粒子の粉体を焼結することにより多孔質焼結体からなる基体１ａを形成する。このとき、陽極リード１ｂの一部を基体１ａに埋め込む。これにより、基体１ａと陽極リード１ｂとから構成される陽極１が作製される。
【００２３】
次に、陽極１をリン酸水溶液などの水溶液中で陽極酸化することにより、陽極１の周囲を覆うように、該陽極１上に酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化ニオブまたは酸化チタンからなる誘電体層２を形成する。
【００２４】
次に、硫酸コバルト水溶液などのコバルトイオンを含む水溶液中に、上記誘電体層２が形成された陽極１を浸漬した後、この水溶液中に過塩素酸ナトリウムなどの酸化剤を添加する。これにより、水溶液中のコバルトイオンは酸化され、誘電体層２上にコバルト酸化物が堆積される。その結果、誘電体層２の周囲を覆うように、該誘電体層２上にコバルト酸化物からなる電解質層３を形成する。
【００２５】
次に、電解質層３の周囲を覆うように、該電解質層３上にカーボンペーストおよび銀ペーストを順次、塗布、乾燥することにより、該電解質層３上にカーボンペーストからなる第１導電層４ａおよび銀ペーストからなる第２導電層４ｂが積層された陰極４を形成する。
【００２６】
また、陰極端子６上に導電性接着剤を塗布した後、この導電性接着剤を介して陰極４と陰極端子６とを接触させる。さらに、陰極４と陰極端子６とで導電性接着剤を押圧しながら乾燥することにより、陰極４と陰極端子６とを接続する導電性接着剤層５を形成する。また、溶接により、陽極リード１ｂ上に陽極端子７を接続し、さらに、陰極端子６および陽極端子７の端部が外部に引き出されるように、第２導電層４ｂ、陰極端子６および陽極端子７の周囲にモールド外装樹脂８を形成する。このようにして、本発明の第１実施形態に係る固体電解コンデンサ１００が作製される。
【００２７】
本実施形態においては、誘電体層２と陰極３との間に形成されるコバルト酸化物からなる電解質層３は、マンガン酸化物よりも高い導電性を有しており、誘電体層２と陰極３との間の抵抗を小さくすることができる。これにより、固体電解コンデンサ１００のＥＳＲを小さくすることができる。
【００２８】
また、電解質層３中にマンガン、亜鉛およびマグネシウムからなるグループより選択される少なくとも１つの元素を含ませてもよい。これにより、コバルト酸化物の組成や結晶性などが変化しにくいので、コバルト酸化物からなる電解質層３の導電性が低下しにくい。その結果、固体電解コンデンサ１００のＥＳＲの増加を抑制することができる。
【００２９】
本実施形態においては、陽極１は、タンタル、アルミニウム、ニオブおよびチタンからなるグループより選択される少なくとも１つの元素を含んでいる。この場合、酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化ニオブおよび酸化チタンは比誘電率が大きいので、これらの酸化物からなる誘電体層を有する固体電解コンデンサ１００の静電容量を大きくすることができる。特に、陽極１をタンタルまたはアルミニウムとした場合には、誘電体層２を構成する酸化タンタルまたは酸化アルミニウムは耐電圧性が高いので、誘電体層２の膜厚を非常に薄くすることができる。これにより、固体電解コンデンサ１００の耐電圧性および静電容量を大きくすることができる。また、陽極１をニオブまたはチタンとした場合には、誘電体層２を構成する酸化ニオブまたは酸化チタンの比誘電率は特に大きいので、固体電解コンデンサ１００の静電容量をさらに大きくすることができる。
【００３０】
また、本実施形態では、陽極１の基体１ａは、金属粒子の多孔質焼結体から構成されているが、本発明はこれに限らず、金属板や金属箔の基体から構成されてもよい。また、陽極１は、タンタル、アルミニウム、ニオブまたはチタンの単体だけでなく、これらのグループより選択される少なくとも１つの元素を含む合金や化合物から構成されていてもよい。
【００３１】
本実施形態では、コバルトイオンを含む水溶液を酸化することによりマンガン酸化物よりも高い導電性を有するコバルト酸化物からなる電解質層３を形成しているので、コバルト酸化物からなる電解質層３を、誘電体層２の周囲を覆うように、誘電体層２上に容易に形成することができる。これにより、電解質層３上にさらに陰極４を形成した際に、誘電体層２と陰極４との間の抵抗をより小さくすることができる。その結果、ＥＳＲを小さくすることができる固体電解コンデンサ１００を容易に製造することができる。
【００３２】
ここで、本実施形態では、硫酸コバルト水溶液を酸化する際に、過塩素酸ナトリウムを用いたが、本発明はこれに限らず、次亜塩素酸ナトリウムなどの他の酸化剤を用いることもできる。
【００３３】
また、コバルトイオンを含む水溶液中にマンガンイオン、亜鉛イオンおよびマグネシウムイオンからなるグループより選択される少なくとも１つのイオンをさらに含ませてもよい。これにより、電解質層３中にマンガン、亜鉛またはマグネシウムを容易に含ませることができる。
【００３４】
（第２実施形態）
図２は、本発明の第２実施形態に係る固体電解コンデンサの断面構造図である。この第２実施形態では、誘電体層とコバルト酸化物からなる第１酸化物層との間にマンガン酸化物からなる第２酸化物層を有する固体電解コンデンサの構造および製造方法について説明する。
【００３５】
図２に示すように、固体電解コンデンサ２００は、誘電体層２とコバルト酸化物からなる電解質層３との間に、該誘電体層２の周囲を覆うようにマンガン酸化物からなる電解質層３１が形成されている以外は、第１実施形態の固体電解コンデンサ１００と同様の構造を有している。ここで、マンガン酸化物からなる電解質層３１は、本発明の「第２酸化物層」の一例である。
【００３６】
次に、図２に示す本発明の第２実施形態に係る固体電解コンデンサの製造方法について説明する。
【００３７】
固体電解コンデンサ２００の製造方法は、第１実施形態の固体電解コンデンサ１００の製造方法において、誘電体層２上にコバルト酸化物からなる電解質層３を形成する前に、誘電体層２上にマンガン酸化物からなる電解質層３１を形成し、その後、コバルト酸化物からなる電解質層３を形成する以外は、第１実施形態の固体電解コンデンサ１００の製造方法と同様である。
【００３８】
ここで、誘電体層２上へのマンガン酸化物からなる電解質層３１の形成は、次のように行う。まず、誘電体層２が形成された陽極１を硝酸マンガン水溶液中に浸漬させることにより、誘電体層２の表面に硝酸マンガン水溶液を付着させる。この陽極１を加熱すると表面の硝酸マンガンは熱分解され、誘電体層２の表面には、マンガン酸化物が析出する。陽極１の硝酸マンガン水溶液中への浸漬〜加熱のプロセスを数回繰り返すことにより、誘電体層２の周囲を覆うように、誘電体層２上にマンガン酸化物からなる電解質層３１を形成する。
【００３９】
本実施形態においては、誘電体層２とコバルト酸化物からなる電解質層３との間にマンガン酸化物からなる電解質層３１をさらに備える。このように構成すれば、マンガン酸化物からなる酸化物層３１は誘電体層２およびコバルト酸化物からなる電解質層３との間で良好な密着性を有しているので、誘電体層２とコバルト酸化物からなる電解質層３との間の密着性が向上する。これにより、誘電体層２とコバルト酸化物からなる電解質層３とが剥離しにくくなるので、さらに、固体電解コンデンサ２００のＥＳＲの増加を抑制することができる。
【実施例】
【００４０】
（実施例１）
実施例１では、第１実施形態に係る製造方法により固体電解コンデンサＡ１を作製した。
【００４１】
まず、タンタル粒子の粉体を焼結することにより多孔質焼結体からなり、約３．３ｍｍ×約２．７ｍｍ×約１．７ｍｍの直方体状の基体１ａと基体１ａに一部を埋め込んだ陽極リード１ｂとからなる陽極１を形成した。次に、陽極１を約６０℃に保持した約０．１ｗｔ％のリン酸水溶液中において約１０Ｖの定電圧で約１０時間陽極酸化を行うことによって、陽極１の周囲を覆うように、陽極１上に酸化タンタルからなる誘電体層２を形成した。
【００４２】
次に、約３ｗｔ％の硫酸コバルト水溶液中に、誘電体層２が形成された陽極１を約５分間浸漬することにより、陽極１の表面に硫酸コバルト水溶液を付着させた。その後、この陽極１を約１８ｗｔ％の過塩素酸ナトリウム水溶液中に浸漬することにより、陽極１の表面に付着した硫酸コバルト水溶液中のコバルトイオンを酸化した。これにより、誘電体層２の周囲を覆うように、誘電体層２上にコバルト酸化物からなる電解質層３を形成した。
【００４３】
また、電解質層３の周囲を覆うように、電解質層３上にカーボンペーストを塗布し、約８０℃で約３０分間乾燥することによりカーボンペーストからなる第１導電層４ａを形成した。次に、第１導電層４ａの周囲を覆うように、第１導電層４ａ上に銀ペーストを塗布し、約１７０℃で約３０分間乾燥することにより銀ペーストからなる第２導電層４ｂを形成した。これにより、電解質層３の周囲を覆うように、電解質層３上に第１導電層４ａおよび第２導電層４ｂが積層された陰極４を形成した。
【００４４】
そして、表面をニッケルめっきした約０．１ｍｍの厚さを有する鉄箔からなる陰極端子６上に導電性接着剤を約２ｍｇ塗布した後、この導電性接着剤を介して陰極４と陰極端子６とを接触させた。そして、導電性接着剤を陰極４と陰極端子６とで押圧しながら、約６０℃の温度で約３０分間乾燥を行うことにより、陰極４と陰極端子６とを接続する導電性接着剤層５を形成した。
【００４５】
その後、溶接により、陽極リード１ａ上に陽極端子７を接続し、さらに、陰極端子６および陽極端子７の端部が外部に引き出されるようにモールド外装樹脂８を形成することにより、固体電解コンデンサＡ１を作製した。
【００４６】
次に、実施例１による固体電解コンデンサＡ１を作製後に分解することにより、固体電解コンデンサＡ１の断面を露出させて、ＥＳＣＡにより電解質層３の組成分析を行った。その結果、電解質層３には、コバルトおよび酸素が含まれていることから、電解質層３はコバルト酸化物から構成されていることがわかった。
【００４７】
（実施例２）
実施例２では、第２実施形態に係る製造方法により固体電解コンデンサＡ２を作製した。
【００４８】
即ち、実施例１と同様にして、タンタル粒子の多孔質焼結体からなる基体１ａと基体１ａに一部を埋め込んだ陽極リード１ｂとからなる陽極１の周囲を覆うように、陽極１上に酸化タンタルからなる誘電体層２を形成した。
【００４９】
次に、この陽極１を約３５ｗｔ％の硝酸マンガン水溶液中に浸漬させることにより、誘電体層２の表面に硝酸マンガン水溶液を付着させた後で、約２７０℃の乾燥炉中で加熱した。これにより、表面に付着した硝酸マンガンを熱分解し、誘電体層２の表面にマンガン酸化物を析出させた。このような陽極１の硝酸マンガン水溶液中への浸漬〜加熱のプロセスを数回繰り返すことにより、誘電体層２の周囲を覆うように、誘電体層２上にマンガン酸化物からなる電解質層３１を形成した。
【００５０】
さらに、実施例１と同様にして、約３ｗｔ％の硫酸コバルト水溶液中に誘電体層２および電解質層３１が形成された陽極１を浸漬することにより、陽極１の表面に硫酸コバルト水溶液を付着させた。その後、この陽極１を約１８ｗｔ％の過塩素酸ナトリウム水溶液中に浸漬することにより、陽極１の表面に付着した硫酸コバルト水溶液中のコバルトイオンを酸化した。これにより、電解質層３１の周囲を覆うように、電解質層３１上にコバルト酸化物からなる電解質層３を形成した。
【００５１】
その後、実施例１と同様にして、陰極４を形成し、さらに、陰極端子６および陽極端子７をそれぞれ取り付け、モールド外装樹脂８を形成することにより、固体電解コンデンサＡ２を作製した。
【００５２】
次に、実施例２による固体電解コンデンサＡ２を作製後に分解することにより、固体電解コンデンサＡ２の断面を露出させて、ＥＳＣＡにより電解質層３および３１の組成分析を行った。その結果、電解質層３１にはマンガンおよび酸素が含まれていることから、電解質層３１はマンガン酸化物から構成されていることがわかった。また、電解質層３にはコバルトおよび酸素が含まれていることから、電解質層３はコバルト酸化物から構成されていることがわかった。さらに、固体電解コンデンサＡ２の断面をＳＥＭにより観察した。その結果、電解質層３は、約０．０３μｍの厚みを有し、また、電解質層３１は、約０．０３μｍの厚みを有していることがわかった。
【００５３】
（比較例１）
比較例１では、コバルト酸化物からなる電解質層３を形成しない点を除いて、実施例２と同じ条件および方法で固体電解コンデンサＸ１を作製した。即ち、比較例１の固体電解コンデンサＸ１は、マンガン酸化物からなる電解質層のみを有している従来の固体電解コンデンサと同様の構成である。
【００５４】
（評価）
次に、上記のように作製した実施例１、２および比較例１の固体電解コンデンサＡ１、Ａ２およびＸ１を用いて、各固体電解コンデンサの作製直後と約６０℃の乾燥炉中に２日間及び１０日間保存した後において、ＬＣＲメータにより陰極端子と陽極端子との間の１００ｋＨｚにおけるＥＳＲをそれぞれ測定した。結果を表１に示す。なお、各ＥＳＲの測定値は、比較例１の固体電解コンデンサＸ１の作製直後におけるＥＳＲの値を１００とした指数で表示した。
【００５５】
【表１】
2006093198.tif 000003
【００５６】
これらの結果より、実施例１および２のコバルト酸化物からなる電解質層３を有する固体電解コンデンサＡ１およびＡ２では、いずれも、コバルト酸化物からなる電解質層３を有していない比較例１の固体電解コンデンサＸ１よりもＥＳＲが小さいことがわかった。
【００５７】
また、約６０℃の乾燥炉中に保存することにより、いずれの固体電解コンデンサにおいてもＥＳＲが大きくなっているが、ＥＳＲの値は、保存後２日でほぼ飽和している。また、固体電解コンデンサＡ１およびＡ２を比較すると、作製直後は、固体電解コンデンサＡ１の方が固体電解コンデンサＡ２よりもＥＳＲが小さいが、上記の乾燥炉中での保存に対して、固体電解コンデンサＡ２の方がＥＳＲの増加が少なく、２日間および１０日間の保存後では、固体電解コンデンサＡ１よりも固体電解コンデンサＡ２の方がＥＳＲが小さい。これにより、誘電体層２とコバルト酸化物からなる電解質層３との間にマンガン酸化物からなる電解質層３１を形成することにより、ＥＳＲの増加を抑制することができることがわかった。
【００５８】
（実施例３）
実施例３では、他の金属を含むコバルト酸化物からなる電解質層について検討を行った。
【００５９】
実施例３では、実施例１のコバルト酸化物からなる電解質層３を形成する際に、約０．５ｗｔ％の硫酸マンガン、約０．４ｗｔ％の硫酸亜鉛または約０．８ｗｔ％の硫酸マグネシウムをそれぞれ含む約３ｗｔ％の硫酸コバルト水溶液を用いた点を除いて、実施例１と同じ条件および方法で固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３を作製した。
【００６０】
次に、実施例３による固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３を作製後に分解することにより、固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３の断面を露出させて、ＥＳＣＡにより電解質層３の組成分析を行った。その結果、電解質層３には、コバルトおよび酸素が含まれていることから、電解質層３はコバルト酸化物から構成されていることがわかった。さらに、固体電解コンデンサＢ１の電解質層３にはマンガンが、固体電解コンデンサＢ２の電解質層３には亜鉛が、固体電解コンデンサＢ３の電解質層３にはマグネシウムが、それぞれ含まれていることがわかった。さらに、固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３の断面をＳＥＭにより観察した。その結果、各固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３の電解質層３は、約０．０３μｍの厚みを有していることがわかった。
【００６１】
そして、実施例１と同様に、固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３を用いて、各固体電解コンデンサの作製直後と約６０℃の乾燥炉中に２日間及び１０日間保存した後において、ＬＣＲメータにより陰極端子と陽極端子との間の１００ｋＨｚにおけるＥＳＲをそれぞれ測定した。結果を表２に示す。なお、各ＥＳＲの測定値は、比較例１の固体電解コンデンサＸ１の作製直後におけるＥＳＲの値を１００とした指数で表示した。
【００６２】
【表２】
2006093198.tif 000004
【００６３】
このように、実施例３の固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３では、いずれも、比較例１の固体電解コンデンサＸ１よりもＥＳＲが小さいことがわかった。
【００６４】
また、固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３も固体電解コンデンサＡ１およびＸ１と同様に、約６０℃の乾燥炉中に保存することにより、いずれの固体電解コンデンサにおいてもＥＳＲが大きくなっているが、ＥＳＲの値は、保存後２日でほぼ飽和している。また、上記の乾燥炉中での保存に対して、固体電解コンデンサＡ１よりも固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３のＥＳＲの増加が少なく、２日間および１０日間の保存後では、固体電解コンデンサＡ１よりも固体電解コンデンサＢ１〜Ｂ３の方がＥＳＲが小さい。これにより、コバルト酸化物からなる電解質層３中にマンガン、亜鉛またはマグネシウムが固溶することにより、ＥＳＲの増加を抑制することができることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る固体電解コンデンサの断面構造図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る固体電解コンデンサの断面構造図である。
【符号の説明】
【００６６】
１      陽極
１ａ    陽極リード
２      誘電体層
３      電解質層
４      陰極
４ａ    第１導電層
４ｂ    第２導電層
５      導電性接着剤層
６      陰極端子
７      陽極端子
８      モールド外装樹脂
１００  固体電解コンデンサ
【図１】
2006093198.tif 000005
【図２】
2006093198.tif 000006