(57)【要約】      （修正有）【課題】  異なる種類のジョブを複数登録して連鎖実行させる、操作・表示装置を提供すること。【解決手段】  露光装置による露光処理や計測処理（アライメント）、露光装置の光学系などの較正処理（キャリブレーション）や調整処理など、異なる種類のジョブを、キーボードなどを介して同時に予約登録し、その予約登録状態をディスプレイのジョブ・リスト表示画面５０にリスト表示する。予約登録されたジョブは、連鎖的に実行に移され、実行が完了（ジョブが完了）すると、ジョブ・リスト表示画面５０から消える。ジョブ・リスト表示画面５０には、ジョブ・リスト一覧表示部５１と、選択ジョブ詳細表示部５２と、ジョブ選択ボタン５３と、ジョブ状態遷移図表示部５４と、コマンドパネル操作部５５が同時に表示される。【選択図】      図３
2006041126.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置に装備された操作・表示装置であって、
前記装置により行われる異なるコマンド種類のジョブを複数入力して、同時にこれら入力したジョブのリストを画面上に表示し、ジョブを実行することを特徴とする操作・表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載の操作・表示装置において、
前記ジョブのリストには、入力した前記ジョブのタイプ、識別名、ファイル名、レシピ名、ステータス、投入時刻、開始時刻、レチクル名又はコメントを含み、
ジョブ投入実行ボタン、ジョブ削除実行ボタンなどの各種操作部のイメージと、現在どのジョブが実行中で、どのジョブが待機中で、どのジョブが完了したかなどを表示するジョブ状態遷移図のいずれか又は全てを、前記ジョブのリストと同時に表示することを特徴とする操作・表示装置。
【請求項３】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置に装備された操作・表示装置であって、
前記処理を行う装置に搬送される前記露光対象物を含む搬送対象物の位置情報と、該位置にある前記露光対象物を含む搬送対象物自体の情報とを画面上に同時に表示することを特徴とする操作・表示装置。
【請求項４】
請求項３に記載の操作・表示装置において、
前記露光対象物を含む搬送対象物の情報は、インライン信号情報と、露光対象物識別名と、ロケーション識別名と、露光対象物の処理状態及びジョブ識別名を含み、
前記処理などを行う装置と該装置に前記露光対象物を搬送する搬送システムとの接続状態の情報と、前記処理などを行う装置内に搬入されている露光対象物のアン・ロード実行ボタンとリジェクト実行ボタンとジョブ削除実行ボタンなどの各種操作ボタンのイメージのいずれか又は全てを、前記露光対象物を含む搬送対象物の位置情報及び前記露光対象物を含む搬送対象物自体の情報と同時に表示することを特徴とする操作・表示装置。
【請求項５】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置に装備された操作・表示装置であって、
前記露光対象物を複数収納して複数の状態に遷移される収納装置の各状態についての情報を画面上に表示することを特徴とする操作・表示装置。
【請求項６】
請求項５に記載の操作・表示装置において、
前記露光対象物を収納する前記収納装置内のスロットの番号、スロットの状態と、前記収納装置内の前記露光対象物の有無情報と、前記収納装置内に収納されている前記露光対象物の識別名、ロケーション識別名と、収納装置キャリアの識別名と、前記露光対象物の処理状態と、前記収納装置のロードポートの使用可否状態と、収納装置キャリアのアクセス状態と、収納装置キャリアの設置情報と、ジョブ識別名と、収納装置キャリアのキャンセル実行ボタンとリリース実行ボタンとリクリエイト実行ボタンとサービスモードの変更ボタンとアクセスモード変更ボタンなどの各種操作部のイメージのいずれか又は全てを、前記収納装置の状態情報と同時に表示することを特徴とする操作・表示装置。
【請求項７】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置に装備された操作・表示装置であって、
前記処理などを行う装置内にある前記露光対象物を含む撮像対象物を撮像装置によって撮像した撮像イメージと、撮像された前記撮像対象物を所定方向へ移動させる操作部のイメージ又は前記撮像対象物を予め設定された位置へ移動させる操作部のイメージとを画面上に同時に表示することを特徴とする操作・表示装置。
【請求項８】
請求項７に記載の操作・表示装置において、
前記撮像された撮像対象物の位置座標表示部のイメージと、撮像対象物の移動速度の設定部のイメージと、前記撮像装置の切り換え設定部のイメージと、前記撮像装置に装備された光学系シャッタの切り換え設定部のイメージのいずれか又は全てを、前記撮像イメージ及び前記いずれかの操作部のイメージと同時に表示する操作・表示装置。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか一項に記載の操作・表示装置において、
前記操作・表示装置がタッチパネルを備えることを特徴とする操作・表示装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９の何れか一項に記載の操作・表示装置において、
前記処理などを行う装置が、半導体製品の検査機、測定機、加工機などの半導体製造関連装置であることを特徴とする操作・表示装置。
【請求項１１】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を表示する表示方法であって、
前記装置により行われる異なるコマンド種類のジョブを複数入力して、同時にこれら入力したジョブのリストを画面上に表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の表示方法において、
前記ジョブのリストには、入力した前記ジョブのタイプ、識別名、ファイル名、レシピ名、ステータス、投入時刻、開始時刻、レチクル名又はコメントを含み、
ジョブ投入実行ボタン、ジョブ削除実行ボタンなどの各種操作部のイメージと、現在どのジョブが実行中で、どのジョブが待機中で、どのジョブが完了したかなどを表示するジョブ状態遷移図のいずれか又は全てを、前記ジョブのリストと同一画面上に同時に表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１３】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を表示する表示方法であって、
前記処理を行う装置に搬送される前記露光対象物を含む搬送対象物の位置情報と、該位置にある前記露光対象物を含む搬送対象物自体の情報とを同一画面上に同時に表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の表示方法において、
前記露光対象物を含む搬送対象物の情報は、インライン信号情報と、露光対象物識別名と、ロケーション識別名と、露光対象物の処理状態及びジョブ識別名を含み、
前記処理などを行う装置と該装置に前記露光対象物を搬送する搬送システムとの接続状態の情報と、前記処理などを行う装置内に搬入されている露光対象物のアンロード実行ボタンとリジェクト実行ボタンとジョブ削除実行ボタンなどの各種操作ボタンのイメージのいずれか又は全てを、前記露光対象物を含む搬送対象物の位置情報及び前記露光対象物を含む搬送対象物自体の情報と同一画面上に同時に表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１５】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を表示する表示方法であって、
前記露光対象物を複数収納して複数の状態に遷移される、収納装置の各状態についての情報を同一画面上に表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の表示方法において、
前記露光対象物を収納する前記収納装置内のスロットの番号、スロットの状態と、前記収納装置内の前記露光対象物の有無情報と、前記収納装置内に収納されている前記露光対象物の識別名、ロケーション識別名と、収納装置キャリアの識別名と、前記露光対象物の処理状態と、前記収納装置のロードポートの使用可否状態と、収納装置キャリアのアクセス状態と、収納装置キャリアの設置情報と、ジョブ識別名と、収納装置キャリアのキャンセル実行ボタンとリリース実行ボタンとリクリエイト実行ボタンとサービスモードの変更ボタンとアクセスモード変更ボタンなどの各種操作部のイメージのいずれか又は全てを、前記収納装置の状態情報と同時に表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１７】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を表示する表示方法であって、
前記処理などを行う装置内にある前記露光対象物を含む撮像対象物を撮像装置によって撮像した撮像イメージと、撮像された前記撮像対象物を所定方向へ移動させる操作部のイメージ又は前記撮像対象物を予め設定された位置へ移動させる操作部のイメージとを同一画面上に同時に表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の表示方法において、
前記撮像された撮像対象物の位置座標表示部のイメージと、撮像対象物の移動速度の設定部のイメージと、前記撮像装置の切り換え設定部のイメージと、前記撮像装置に装備された光学系シャッタの切り換え設定部のイメージのいずれか又は全てを、前記撮像イメージ及び前記いずれかの操作部のイメージと同一画面上に同時に表示することを特徴とする表示方法。
【請求項１９】
マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を、該装置に装備した操作・表示装置に表示させる表示プログラムであって、
請求項１１乃至１８の何れかに記載された表示内容を選択させるためにこれら表示内容のリストを画面に表示させる第１工程と、
選択された請求項１１乃至１８の何れかに記載の表示内容を画面上に表示させる第２工程を、前記操作・表示装置に実行させることを特徴とする表示プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体素子、液晶表示素子、ＣＣＤなどの撮像素子、又は薄膜磁気ヘッドなどを製造するリソグラフィ工程で使用される、露光装置などの半導体関連製造装置の作業内容を表示する、操作・表示装置、表示方法及び表示プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
マスク上のパターンを露光対象物である感光性基板（感光性樹脂を塗布したウエハ）に露光転写して半導体素子などを製造する、リソグラフィ工程で使用される露光装置などには、操作・表示装置としての操作パネル（制御卓：コンソール）が配置されていて、この操作パネルを介して露光装置に種々の作業を指示している。露光装置では、操作パネルを介して指示された作業を実施するプログラムを呼び出し、このプログラムに基づいてマスクとしてのレチクルが載置されるレチクルステージや、ウエハが載置されるウエハステージや、レチクル上のパターンをウエハ上に投影露光する投影光学系などを制御して、露光処理を行う。
【０００３】
従来、この種の操作パネルでは、例えば露光装置に与える種々の命令やパラメータの集まりであるジョブの名称などを複数羅列したジョブ・リストを表示し、この表示されたジョブ・リストから実行したいジョブを選択して露光装置に実行させるように構成したものが提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、選択可能な各種ジョブのリストの表示と、このリスト中から実行すべきジョブの選択並びにジョブを実行するのに必要なパラメータに基づいた露光レイアウトの表示を行うコンソール部を備え、該コンソール部の同一画面上にジョブのリストと、選択されたジョブにおける露光レイアウトを表示するように構成したものも提案されている（特許文献２参照）。
【０００５】
上述した操作パネルを含む、これまで提案された従来の操作パネルでは、いずれも複数の露光処理のジョブを予め指示しておき、このジョブ・リストの中から所望のジョブを選択して実行させるようになっているが、露光処理と異なる内容の処理、例えば、基板としてのウエハの寸法の計測、ウエハステージ上に載置されたウエハの載置位置の計測処理、あるいは露光装置に装備された光学系の較正処理などのジョブを同一画面上で指示することができない。
【０００６】
また、ジョブの実行中は同じ種類のジョブであっても別のジョブを追加して指示することができず、実行中のジョブが完了してから次に実行する別のジョブを指示しなければない。例えば、ホストコンピュータで実行中のジョブが完了したことを確認してから、操作パネルにジョブの指示受け入れ許可信号が送られて、操作パネルがジョブ受け入れ可能状になってから次に実行する別のジョブを指示しなければない。すなわち、ジョブ毎に実行操作画面を切り換えて、ジョブを実行させなければならない。
【０００７】
さらに、ジョブの実行操作画面とジョブの状態遷移を表示する画面とは別で、一々画面を切り換えなければならない。
【０００８】
このように上述した操作パネルでは、指示するジョブの内容が限定され、またジョブの追加操作が制約を受けるなどの不都合があり、露光装置の稼働率を向上させる点で大きな障害となっていた。
【０００９】
【特許文献１】特開平４−６４２１５号公報
【特許文献２】特開平８−１５３６７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、異なる種類のジョブを複数登録して連鎖実行させて、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の稼働率を向上させることが出来る、操作・表示装置、表示方法及び表示プログラムを提供することを目的とする。
【００１１】
また、本発明は、露光対象物である未露光のウエハをウエハステージ上にロードする一方、露光済みのウエハをウエハステージからアン・ロードする搬送システム（例えばウエハローダ）が露光装置に装備されているが、この搬送システム内におけるウエハの位置や状態（例えばロードスライダ上に載置されているのか、ロードスライダからウエハステージ上にロードされているかなどの、ウエハがおかれている状況、及び、ウエハの処理状況）を表示すること、及びウエハの位置やおかれている状況を確認した上で、ウエハをアン・ロードしたり、リジェクトしたりするなどの操作を行うことが可能な操作・表示装置、表示方法及び表示プログラムを提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明では、露光対象物である未露光のウエハを複数枚収納する収納装置（例えばフロント・オープニング・ユニファイド・ポッド:以下「FOUP」と略記する）からロードロボットによりウエハを取り出す際、ＦＯＵＰの状態を確認してＦＯＵＰキャリアを強制撤去したり、リリースしたり、リクリエートしたりするなどの操作を行うことが可能な操作・表示装置、表示方法及び表示プログラムを提供することを目的とする。
【００１３】
また、本発明では、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置にある撮像対象物（例えばマスクや露光対象物であるウエハ）の撮像イメージをモニターしながら撮像対象物の移動操作、移動速度設定、位置座標表示、撮像装置（ＩＴＶモニター）の切り換えなどを操作することが可能な操作・表示装置、表示方法及び表示プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成する本発明の請求項１に記載の操作・表示装置は、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置に装備された操作・表示装置であって、前記装置により行われる異なるコマンド種類のジョブを複数入力して、同時にこれら入力したジョブのリストを画面上に表示し、ジョブを実行することを特徴とする。
【００１５】
請求項１に記載の操作・表示装置において、例えば、前記ジョブのリストには、入力した前記ジョブのタイプ、識別名、ファイル名、レシピ名、ステータス、投入時刻、開始時刻、レチクル名又はコメントを含み、ジョブ投入実行ボタン、ジョブ削除実行ボタンなどの各種操作部のイメージと、現在どのジョブが実行中で、どのジョブが待機中で、どのジョブが完了したかなどを表示するジョブ状態遷移図のいずれか又は全てを、前記ジョブのリストと同時に表示するようにしてもよい（請求項２）。
【００１６】
上記目的を達成する本発明の請求項３に記載の操作・表示装置は、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置に装備された操作・表示装置であって、前記処理を行う装置に搬送される前記露光対象物を含む搬送対象物の位置情報と、該位置にある前記露光対象物を含む搬送対象物自体の情報とを画面上に同時に表示することを特徴とする。
【００１７】
請求項３に記載の操作・表示装置において、例えば、前記露光対象物を含む搬送対象物の情報は、インライン信号情報と、露光対象物識別名と、ロケーション識別名と、露光対象物の処理状態及びジョブ識別名を含み、前記処理などを行う装置と該装置に前記露光対象物を搬送する搬送システムとの接続状態の情報と、前記処理などを行う装置内に搬入されている露光対象物のアンロード実行ボタンとリジェクト実行ボタンとジョブ削除実行ボタンなどの各種操作ボタンのイメージのいずれか又は全てを、前記露光対象物を含む搬送対象物の位置情報及び前記露光対象物を含む搬送対象物自体の情報と同時に表示するようにしてもよい（請求項４）。
【００１８】
上記目的を達成する本発明の請求項５に記載の操作・表示装置は、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置に装備された操作・表示装置であって、  前記露光対象物を複数収納して複数の状態に遷移される、収納装置の各状態についての情報を画面上に表示することを特徴とする。
【００１９】
請求項５に記載の操作・表示装置において、例えば、前記露光対象物を収納する前記収納装置内のスロットの番号、スロットの状態と、前記収納装置内の前記露光対象物の有無情報と、前記収納装置内に収納されている前記露光対象物の識別名、ロケーション識別名と、収納装置キャリアの識別名と、前記露光対象物の処理状態と、前記収納装置のロードポートの使用可否状態と、収納装置キャリアのアクセス状態と、収納装置キャリアの設置情報と、ジョブ識別名と、収納装置キャリアのキャンセル実行ボタンとリリース実行ボタンとリクリエイト実行ボタンとサービスモードの変更ボタンとアクセスモード変更ボタンなどの各種操作部のイメージのいずれか又は全てを、前記収納装置の状態情報と同時に表示するようにしてもよい（請求項６）。
【００２０】
上記目的を達成する本発明の請求項７に記載の操作・表示装置は、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置に装備された操作・表示装置であって、前記処理などを行う装置内にある前記露光対象物を含む撮像対象物を撮像装置によって撮像した撮像イメージと、撮像された前記撮像対象物を所定方向へ移動させる操作部のイメージ又は前記撮像対象物を予め設定された位置へ移動させる操作部のイメージとを画面上に同時に表示することを特徴とする。
【００２１】
請求項７に記載の操作・表示装置において、例えば、前記撮像された撮像対象物の位置座標表示部のイメージと、撮像対象物の移動速度の設定部のイメージと、前記撮像装置の切り換え設定部のイメージと、前記撮像装置に装備された光学系シャッタの切り換え設定部のイメージのいずれか又は全てを、前記撮像イメージ及び前記いずれかの操作部のイメージと同時に表示するようにしてもよい（請求項８）。
【００２２】
請求項１乃至８の何れか一項に記載の操作・表示装置において、操作・表示装置がタッチパネルを備えるようにしてもよい（請求項９）。
【００２３】
請求項１乃至９の何れか一項に記載の操作・表示装置において、処理などを行う装置が、半導体製品の検査機、測定機、加工機などの半導体製造関連装置であってもよい（請求項１０）。
【００２４】
上記目的を達成する本発明の請求項１１に記載の表示方法は、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を表示する表示方法であって、前記装置により行われる異なるコマンド種類のジョブを複数入力して、同時にこれら入力したジョブのリストを画面上に表示することを特徴とする。
【００２５】
上記目的を達成する本発明の請求項１３に記載の表示方法は、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を表示する表示方法であって、前記処理を行う装置に搬送される前記露光対象物の位置情報と、該位置にある前記露光対象物自体の情報とを同一画面上に同時に表示することを特徴とする。
【００２６】
上記目的を達成する本発明の請求項１５に記載の表示方法は、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を表示する表示方法であって、前記露光対象物を複数収納して複数の状態に遷移される、収納装置の各状態についての情報を同一画面上に表示することを特徴とする。
【００２７】
上記目的を達成する本発明の請求項１７に記載の表示方法は、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を表示する表示方法であって、前記処理などを行う装置内にある撮像対象物を撮像装置によって撮像した撮像イメージと、撮像された前記撮像対象物を所定方向へ移動させる操作部のイメージ又は前記撮像対象物を予め設定された位置へ移動させる操作部のイメージとを同一画面上に同時に表示することを特徴とする。
【００２８】
上記目的を達成する本発明の請求項１９に記載の表示プログラムは、マスク上のパターンを露光対象物に露光転写する処理などを行う装置の操作内容を、該装置に装備した操作・表示装置に表示させる表示プログラムであって、請求項１１乃至１８の何れかに記載された表示内容を選択させるためにこれら表示内容のリストを画面に表示させる第１工程と、選択された請求項１１乃至１８の何れかに記載の表示内容を画面上に表示させる第２工程を、前記操作・表示装置に実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の請求項１，２に記載の操作・表示装置や、本発明の請求項１１，１２に記載の表示方法によれば、同一コマンド種類、及び、異なるコマンド種類のジョブを複数入力して、同時にこれら入力したジョブのリストを画面上に表示するようにしてあるので、同一画面上で異なる種類のジョブの登録操作を行うことができ、登録操作が効率よく行え、結果として露光装置などの装置の稼働率を向上させることが可能となる。
【００３０】
また、本発明の請求項３，４に記載の操作・表示装置や、本発明の請求項１３，１４に記載の表示方法によれば、露光対象物（ウエハ）を含む搬送対象物の位置情報と、該位置にある露光対象物を含む搬送対象物自体の情報とを画面上に同時に表示するようにしてあるので、搬送対象物の位置と状態を確認しながら搬送対象物の搬送操作が行え、結果として露光装置などの装置の稼働率を向上させることが可能となる。
【００３１】
また、本発明の請求項５，６に記載の操作・表示装置や、本発明の請求項１５，１６に記載の表示方法によれば、露光対象物を複数収納して複数の状態に遷移される、収納装置の各状態についての情報を画面上に表示するようにしてあるので、収納装置の状態を確認しながら収納装置キャリアの操作を行うことができ、結果として露光装置などの装置の稼働率を向上させることが可能となる。
【００３２】
また、本発明の請求項７，８に記載の操作・表示装置や、本発明の請求項１７，１８に記載の表示方法によれば、露光処理などを行う装置内にある撮像対象物を撮像装置によって撮像した撮像イメージと、撮像された撮像対象物を所定方向へ移動させる操作部のイメージ又は撮像対象物を予め設定された位置へ移動させる操作部のイメージとを画面上に同時に表示するようにしてあるので、露光対象物を含む撮像対象物をモニターしながら該撮像対象物の状態変更操作を容易に行うことができ、結果として露光装置などの装置の稼働率を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の操作・表示装置、表示方法及び表示プログラムの一実施形態について図１乃至図９を参照して説明する。
【００３４】
図１は本実施態様の操作・表示装置１０が装備された露光装置２０と、この露光装置２０に露光対象物であるウエハを搬入（ロード）、搬出（アン・ロード）するウエハローダ系３０などの外観の概略を示している。
【００３５】
図１に示すように、操作・表示装置１０は、露光装置２０のチャンバ２１の外面所定位置に設置された液晶ディスプレイやＣＲＴなどのディスプレイ１１と、露光装置２０に各種ジョブを入力（指示）するためのキーボード１２を備える。ディスプレイ１１には、その前面にタッチパネル１３が取り付けられ、このタッチパネル１３を介して露光装置２０に各種の指示を与えることが出来るようにしてある。タッチパネル１３には、例えば超音波方式、抵抗膜方式、赤外線方式、アナログ容量結合方式などのタッチパネルが採用される。
【００３６】
露光装置２０には、図示しないが、そのチャンバ２１内に、露光対象物としてのウエハが搭載されるウエハステージと、回路パターンが形成されたマスクとしてのレチクルが搭載されるレチクルステージと、レチクルステージ上に搭載されたレチクルのパターンをウエハステージ上に搭載されたウエハに露光転写する投影光学系などが装備される。
【００３７】
ウエハローダ系３０には、図示しないが、そのチャンバ３１内にウエハを保持してウエハローダ系３０のチャンバ３１と露光装置２０のチャンバ２１との間を往復移動するロードスライダと、該ロードスライダをチャンバ３１とチャンバ２１との間で往復移動させるリニアモータを備えた直線運動機構と、フロント・オープニング・ユニファイド・ポッド（Front Opening Unified Pod:以下「FOUP」と略記する）３５から未露光のウエハを取り出すロードロボットと、該ロードロボットからロードスライダへのウエハＷの受け渡しの中継を行いつつ、その中継の間にウエハＷに対するプリアライメントを行うプリアライメントステージと、該プリアライメントステージ上に搭載されたターンテーブルと、露光済みのウエハをウエハステージからアンロードするためのアンロードスライダと、該アンロードスライダからウエハを受け取るアンロードロボットなどが装備される。
【００３８】
図２は、操作・表示装置１０、露光装置２０及びウエハローダ系３０などを制御し、駆動する制御・駆動系のブロック図を示している。
【００３９】
図２に示すように操作・表示装置１０を制御する操作・表示制御系１４は、インターフェース２４を介してディスプレイ１１とキーボード１２などに接続され、これらディスプレイ１１とキーボード１２などに制御信号を出力する一方、キーボード１２から送られた操作指示信号などを入力する。また、露光装置２０やウエハローダ系３０などを制御する主制御系２２は、同じくインターフェース２４を介してウエハステージ駆動系２５、レチクルステージ駆動系２６、アライメント検出系２７、ウエハローダ駆動系３２、ＦＯＵＰ３５と、ＦＯＵＰキャリア３６、ＩＴＶモニター４０及びＩＶＴモニター駆動系４１などに接続され、これらに制御信号を出力する一方、アライメント検出系２７から送られたレチクルステージやウエハステージの位置計測情報や、ウエハローダ系３０から送られたウエハローダ系３０内のウエハの位置情報や、ＦＯＵＰ３５から送られたＦＯＵＰ３５の状態情報及びＦＯＵＰ３５内に収納されているウエハの情報や、ＩＴＶモニター４０から送られたウエハやレチクルなどの撮像対象物の撮像信号などを入力する。
【００４０】
操作・表示制御系１４は、キーボード１２を介して入力された露光装置２０への操作指示信号（指示情報）を主制御系２２に送る一方、主制御系２２からレチクルステージやウエハステージの位置計測情報や、ウエハローダ系３０内でのウエハの位置情報や、ＦＯＵＰ３５の状態情報及びＦＯＵＰ３５内に収納されているウエハの情報や、ＩＴＶモニター４０から送られた撮像信号（撮像情報）などを入力し、これら情報（図３乃至図８参照）をキーボード１２を介して入力した露光装置２０への操作指示信号と共にディスプレイ１１に表示するようにディスプレイ１１を駆動、制御する。
【００４１】
操作・表示装置１０、露光装置２０、ウエハローダ系３０などの制御内容は、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えるメモリ２３にストアされており、操作・表示制御系１４及び主制御系２２は、それぞれメモリ２３からこれら制御内容を読み出し、この制御内容に基づいてインターフェース２４を介して操作・表示装置１０、露光装置２０、ウエハローダ系３０、ＦＯＵＰ３５、ＦＯＵＰキャリア３６、ＩＴＶモニター４０、ＩＴＶモニター駆動系４１などを駆動、制御する。
【００４２】
操作・表示制御系１４の場合、メモリ２３に例えば図９のフローチャートで表現される表示プログラムがストアされているので、この表示プログラムをメモリ２３から読み出してディスプレイ１１を駆動、制御することにより、ディスプレイ１１上に例えば図３乃至図８に示す画面を表示させることが出来る。
【００４３】
次に本発明の特徴部分である、図３乃至図８に示す各画面の内容を説明する。
【００４４】
図３はディスプレイ１１の画面を[Job List]に切り換えたときの、ジョブ・リスト表示画面５０を示している。
【００４５】
露光装置２０による露光処理や計測処理（アライメント）、露光装置２０の光学系などの較正処理（キャリブレーション）や調整処理など、異なる種類のジョブを、キーボード１２などを介して同時に予約登録し、その予約登録状態をディスプレイ１１のジョブ・リスト表示画面５０にリスト表示する。予約登録されたジョブは、連鎖的に実行に移され、実行が完了（ジョブが完了）すると、ジョブ・リスト表示画面５０から消える。
【００４６】
図３の上側である、ジョブ・リスト表示画面５０の上段には、ジョブ・リストの一覧表示部５１が設けられ、このジョブ・リストの一覧表示部５１には、投入されたジョブについて、例えばジョブ識別名（Job Id）、ジョブ・タイプ（Job Type）、レシピ（Recipe）、ジョブ・ステータス（Job Status）、ジョブ投入時刻（Job
Entry Time）、レチクル（Reticle）などのリストを表示している。なお、図３ではジョブ投入時刻とレチクルについては省略されている。
【００４７】
ジョブ・タイプでは、ジョブの形式を表示し、具体的には、例えば、Exposure JOB, Calibration JOB, Measure JOB, Wflat JOB, Maintenance
JOB, Illumination JOBなどを表示する。
【００４８】
レシピでは、例えば露光条件などを表示する。
【００４９】
ジョブ・ステータスでは、ジョブの状態を表示する。
【００５０】
例えばPJ(Process JOB)の場合では、QUEUED/POOLED, SETTING UP, WAITING FOR START,
PROCESSING, PROCESS COMPLETE, PAUSING, ABORTINGなどのジョブの状態を表示する。
【００５１】
CJ(Control JOB)の場合では、QUEUED, SELECTED, PAUSED, STOPPING, WAITING FOR
START, EXECUTING, PROCESSING, COMPLETE, PAUSED, STOPPING, ABORTING, COMPLETEDなどのジョブの状態を表示する。これらは半導体製造関連規格であるSEMI
E40-1000に準拠したものである。
【００５２】
ジョブ投入時刻では、PJ/CJ投入時刻を表示する。
【００５３】
レチクルでは、使用するレチクル名を表示する。
【００５４】
ジョブ・リスト表示画面５０の左側であって、ジョブ・リストの一覧表示部５１の下側には、ジョブ・リストの一覧表示部５１内にあるジョブから選択されたジョブについて表示する選択ジョブ詳細表示部５２が設けられている。この選択ジョブ詳細表示部５２は、選択されたジョブについて、ジョブ識別名（Job Id）、ジョブ・ファイル（Job File）、レシピ（Recipe）、プロセス・スタート（Process Start）、コメント(Comment)、レチクル（Reticle）などを表示する。
【００５５】
プロセス・スタートでは、自動か手操作(Auto or Manual)かを表示する。
【００５６】
コメントでは、PJ/CJ投入時刻を表示する。
【００５７】
ジョブ・リスト表示画面５０の略中央であって、ジョブ・リストの一覧表示部５１の下には、４つのジョブ選択ボタン５３が設けられている。画面の下側に向いた矢印ボタン▼（三角形の頂点を画面の下側に向け且つ内側を黒色で塗りつぶして表現したボタン）は、選択したキューイング・ジョブ(QUEUEING JOB：待機状態にあるジョブ)を１つ後に移動させるためのボタンである。また、画面の上側に向いた矢印ボタン▲（三角形の頂点を画面の上側に向け且つ内側を黒色で塗りつぶして表現したボタン）は、選択したキューイング・ジョブを１つ前に移動させるためのボタンである。また、画面の下側に向いた矢印ボタン▼（三角形の頂点を画面の下側に向け且つ内側を黒色で塗りつぶして表現したボタン）を２つ重ねたボタンは、選択したキューイング・ジョブをキュー（待機列）の最後尾に移動させるためのボタンである。また、画面の上側に向いた矢印ボタン▲（三角形の頂点を画面の上側に向け且つ内側を黒色で塗りつぶして表現したボタン）を２つ重ねたボタンは、選択したキューイング・ジョブをキュー（待機列）の先頭に移動させるためのボタンである。
【００５８】
ジョブ・リスト表示画面５０の略中央であって、ジョブ選択ボタン５３の下には、ジョブの状態遷移図表示部５４が設けられている。このジョブの状態遷移図表示部５４は、例えば、運用モードがPoolおよびQueue-PJのときはPJ状態遷移図を表示する。また、運用モードがQueue-CJのときはPJ状態遷移図とCJ状態遷移図を表示する。状態が色分けしてあり、ジョブ・ステータスの指標となる。
【００５９】
ジョブ・リスト表示画面５０の右側には、Abortボタン、Stopボタン、Pauseボタン、Suspendボタン、Startボタン、Lock/Unlockボタン、Createボタン、Editボタン、Job
Cancelボタンなどの、個々のジョブに指示を与える操作部としてのコマンドパネル操作部５５が設けられている。
【００６０】
Abortボタンは、有効なジョブ（完了していないジョブ）があるときに有効で、ポップアップ中断確認ボタンを表示し、ジョブの中断をするためのボタンである。
【００６１】
Stopボタンは、有効なジョブがあるときに有効で、ポップアップ停止確認ボタンを表示し、ジョブの停止をするためのボタンである。
【００６２】
Pauseボタンは、有効なジョブがあるときに有効で、ジョブを一時停止させるためのボタンである。
【００６３】
Suspendボタンは、有効なジョブがあるときに有効で、ジョブを即時停止させるためのボタンである。
【００６４】
Startボタンは、WATING FOR START状態をPROCESSINGに移行させるためのボタンである。
【００６５】
Lock/Unlockボタンのうち、Lockボタンは、キュー内（待機列内）にジョブがあるときに有効で、先頭キューをロックし、ジョブ選択時はそのジョブ以降をロックするためのボタンであり、またUnlockボタンは、Lockボタンでロックしたキューイング・ジョブ（待機ジョブ）のロックを解除するためのボタンである。
【００６６】
Createボタンは、挿入位置・投入の確認ダイアログを表示した後、ジョブ投入画面をポップアップ表示し、ジョブを投入するためのボタンである。
【００６７】
Editボタンは、キューイング・ジョブを１つ選択したとき、あるいはWATING FOR START状態、PAUSED状態のジョブを選択したときに有効で、パラメータ編集画面をポップアップ表示するためのボタンである。
【００６８】
Job Cancelボタンは、キューイング・ジョブを選択したときにのみ有効で、削除確認メッセージボックスを表示し、ジョブを削除するためのボタンである。
【００６９】
コマンドパネル操作部５５は、何れかのボタンをタッチすることにより、所望の操作を露光装置２０に指示することが出来る。
【００７０】
図４はディスプレイ１１の画面を[Wafer Transfer]に切り換えたときの、ウエハ搬送表示画面６０を示している。
【００７１】
このウエハ搬送表示画面６０では、画面を左右２段の構成とし、左段（図４の左側）にウエハの装置内（露光装置２０内とウエハローダ系３０内）のロケーションを視覚的に把握できるようにウエハロケーションについてグラフィック表示し、右段（図４の右側）に装置内に搬入されたウエハについての情報を一覧表示する。
【００７２】
ウエハ搬送表示画面６０の左上段には、ＬＩＮＥ／ＬＯＣＡＬ接続状態表示部６１が設けられている。このＬＩＮＥ／ＬＯＣＡＬ接続状態表示部６１は、インラインとの接続状態を表示する。Ｔｒａｃｋとの接続状態、ＬＩＮＥ／ＬＯＣＡＬ接続状態などを、画面のオブジェクトの色を切り換えて状態を表示する。色の対応は以下の通りである。
【００７３】
ＬＩＮＥの文字については、ＬＩＮＥ状態の時、例えば背景の矩形の色を黄色にする。また、ＬＯＣＡＬ状態の時、例えば背景の矩形の色を背景透過にする。
【００７４】
ＬＯＣＡＬ文字については、ＬＩＮＥ状態の時、背景の矩形の色を背景透過にする。また、ＬＯＣＡＬ状態の時、例えば背景の矩形の色を黄色にする。
【００７５】
Ｔｒａｃｋについては、ＬＩＮＥ状態の時、例えば塗りつぶし色を白色（Processing Apparatusを現すオブジェクトと同色）とする。またＬＩＮＥ状態の時、塗りつぶし色を背景透過にする。
【００７６】
ウエハ搬送表示画面６０の左段であって、ＬＩＮＥ／ＬＯＣＡＬ接続状態表示部６１の下には、ウエハロケーション情報表示部６２が設けられている。このウエハロケーション情報表示部６２は、ウエハの装置内のロケーション（例えばWafer Stage, Load Robot, Pre Aligner, Load Slider, Unload Slider,
Unload Robot）について、視覚的に把握できるように図で表示している。
【００７７】
ウエハが、装置内の、例えば、Wafer Stage, Load Robot, Pre Aligner, Load Slider, Unload Slider,
Unload Robot上に存在している場合には、ウエハを表す円形の図形を緑色で塗りつぶし、また存在していない場合には、ウエハを表す円形の図形を白色で塗りつぶす。
【００７８】
また、ウエハロケーション情報表示部６２は、ウエハの通し番号、ウエハ露光処理済み／未露光、ウエハの処理状態、ウエハの搬送状態などのウエハの属性についても表示する。
【００７９】
ウエハロケーション情報表示部６２中のＦＯＵＰについては、２５枚分のスロットを線で表示する。ウエハをウエハローダ系３０などに出しているスロットについては線を緑色で塗りつぶして表示し、ウエハが存在するスロットについては線を黒色で塗りつぶして表示し、ウエハが存在しないスロットについては線を灰色で塗りつぶして表示する。
【００８０】
ウエハ搬送表示画面６０の中央部から右段にかけてウエハ情報一覧表示部６３が設けられている。このウエハ情報一覧表示部６３は、露光装置２０、ウエハローダー系３０などの装置内に搬入されている各ウエハの情報を搬入順（搬入されるとリストの一番下に入る）に表示する。このように一覧表示することでジョブの進行具合を視覚的に捉えることができる。ウエハが露光装置２０、ウエハローダー系３０などの装置から搬出されると、ウエハの情報は削除される。
【００８１】
ウエハ情報一覧表示部６３に表示される情報としては、以下のものがある。
【００８２】
[Inline]インライン信号情報リスト表示があり、キャリアエンド信号（同期／非同期）“ＣＥ”を表示し、ロットエンド信号（同期／非同期）“ＬＥ”を表示し、キャリアエンド信号とロットエンド信号が同時の場合には、“ＣＥ＆ＬＥ”（又はＣＥ＋ＬＥなど）と表示する。  非同期のロットエンド信号はロット信号のみの行となる。
【００８３】
また、[Subst ID]サブストレート識別名リスト表示があり、“キャリア識別名”＋“．”＋“ウエハ識別名”で表示され、例えばＦＯＵＰ01.03と表示される。
【００８４】
また、[Location ID]サブストレートのロケーション識別名リスト表示があり、Wafer Stage, Load Robot, Pre
Aligner, Load Slider, Unload Slider, Unload Robotと表示される。
【００８５】
また、[Proc State]サブストレートの処理状態リスト表示があり、サブストレートの処理状態を、
[NEED PROCESSING]
[IN PROCESSED]
[PROCESSED]
[ABORTED]
[STOPPED]
[REJECTED]
[LOST]
[SKIPPED]の文字で表示する。
【００８６】
また、[Proc Job ID]プロセスジョブ識別名リスト表示があり、該当するプロセスジョブ識別名を表示する。
【００８７】
ウエハ搬送表示画面６０の最右段には、コマンドパネル操作部６４があり、装置内に搬入されている各ウエハのアン・ロード実行ボタン、リジェクト実行ボタン及びジョブ削除実行ボタンなどを表示する。何れかのボタンをタッチすることにより、所望の操作を露光装置２０やウエハローダ系３０に指示することが出来る。
【００８８】
図５はディスプレイ１１の画面を[Port & FOUP]に切り換えたときの、ウエハPort & FOUP表示画面７０を示している。
【００８９】
このウエハPort & FOUP表示画面７０は、ロードポートとＦＯＵＰキャリアの状態表示及び、ロードポートとＦＯＵＰキャリアの操作実行を行うための画面である。
【００９０】
ウエハPort & FOUP表示画面７０の左上方には、サービスモード・アクセスモード表示部７１が設けられている。
【００９１】
このサービスモード・アクセスモード表示部７１は、サービスモードとして、ロードポートが使用出来る状態の[IN SERVICE]と、ロードポートが使用出来ない状態の[OUT OF SERVICE]の、ロードポートトランスファ状態モデルを表示する。また、アクセスモードとして、手動によるキャリア搬送のみを許可する[MANUAL]と、自動によるキャリア搬送のみを許可する[AUTO]の、アクセスモード状態モデルを表示する。
【００９２】
ウエハPort & FOUP表示画面７０の左側であって、サービスモード・アクセスモード表示部７１の下方には、ロードポート状態簡略シグナル表示部７２が設けられている。
【００９３】
このロードポート状態簡略シグナル表示部７２は、以下のロードポートステータスについて、シグナルを表す円内の色を変更することで表示する。
【００９４】
[READY TO LOAD]
ＦＯＵＰ搬送状態を表す[PRESENCE]
ＦＯＵＰ予約状態を表す[RESERVED]
ＦＯＵＰ設置状態を表す[PLACEMENT]
[READY TO UNLOAD]
ウエハPort & FOUP表示画面７０の左側であって、ロードポート状態簡略シグナル表示部７２の下方には、ＦＯＵＰステータス表示部７３が設けられている。
【００９５】
ＦＯＵＰステータス表示部７３は、ＦＯＵＰキャリア設置情報について、ＦＯＵＰキャリアの物理的なイメージを表現するグラフィックで表示するもので、キャリアの有無と、ＦＯＵＰキャリアの図形の下部に表示するフックと、ドッキング状態の表示（ドッキングスタート／アンドッキングスタートの状態はテキスト表示）と、扉開閉状態の表示などの情報を表示する。
【００９６】
図６はＦＯＵＰステータス表示部７３を詳細に表示しており、この図６では実線でＦＯＵＰキャリアのドッキング状態を表示し、二点鎖線でＦＯＵＰキャリアのアンドッキング状態を表示している。また、Ｌ字状のフックについては、黒色に塗りつぶしてクランプ状態を表示し、灰色で塗りつぶしてアンクランプ状態をしている。また、扉開閉状態については、黒色に塗りつぶしてクローズ状態を表示し、灰色で塗りつぶしてオープン状態を表示している。
【００９７】
ウエハPort & FOUP表示画面７０の左側であって、ＦＯＵＰステータス表示部７３の下方には、キャリア識別名表示部７４が設けられている。
【００９８】
ウエハPort & FOUP表示画面７０の中央部から右側にかけて、ＦＯＵＰ内ウエハ一覧表示部７５が設けられている。
【００９９】
このＦＯＵＰ内ウエハ一覧表示部７５には、スロット番号リスト表示、サブストレート識別名（ウエハ識別名）リスト表示、サブストレートのロケーション識別名リスト表示、ＦＯＵＰキャリアのウエハ有無リスト表示、現在のスロット状態リスト表示、サブストレートの処理状態リスト表示とジョブ識別名リスト表示などのＦＯＵＰキャリアの各スロットウエハの状態を一覧表示する。
【０１００】
スロット番号リスト表示では０１〜ｎの番号で表示する。
【０１０１】
サブストレートのロケーション識別名リスト表示では、Wafer Stage, Load Robot, Pre Aligner, Load Slider, Unload Slider,
Unload Robotなどのロケーションを表示する。
【０１０２】
ＦＯＵＰキャリアのウエハ有無リスト表示では、ＦＯＵＰキャリアにマッピングされたときのスロットマップ状態について、
[UNDEFINED]（不明）、
[EMPTY]（空）、
[NOT EMPTY]（何かある）、
[COLLECTLY OCCUPIED]（正しく置かれている）、
[DOUBLE SLOTED]（１ｓｌｏｔ内に２枚ある）、
[CROSS SLOTED]（斜めに入っている）などの文字で表示する。
【０１０３】
現在のスロット状態リスト表示では、現在のスロット状態について、
[EMPTY]、
[COLLECTLY OCCUPIED]の文字で表示する。
【０１０４】
サブストレートの処理状態リスト表示では、ウエハ情報一覧表示部６３でのサブストレートの処理状態表示と同じ内容を表示する。
【０１０５】
ウエハPort & FOUP表示画面７０の右側には、コマンドパネル操作部７６が設けられている。
【０１０６】
このコマンドパネル操作部７６には、以下に示す実行ボタンを表示する。
[Cancel Carrier]ボタン、
[Release Carrier]ボタン、
[Recreate Carrier]ボタン
[Change Service Mode]ボタン、
[Change Access Mode]ボタン。
【０１０７】
[Cancel Carrier]ボタンは、ボタンを押して、ＦＯＵＰキャリアの強制搬出を行うもので、処理中のＦＯＵＰキャリアを強制的に終了する。ＦＯＵＰキャリアの搬出を行う場合には、ウエハローダ系３０（露光装置２０）内のＦＯＵＰから搬送されたウエハを全部回収した後にＦＯＵＰ扉をクローズして行う。
【０１０８】
[Release Carrier]ボタンは、ボタンを押して、ＦＯＵＰキャリアのリリースを行うもので、扉がクローズ状態のＦＯＵＰキャリアを回収可能な状態にする。ＦＯＵＰキャリアのリリースは、ウエハ処理と並行動作が可能である。
【０１０９】
[Recreate Carrier]ボタンは、ボタンを押して、ＦＯＵＰキャリアのリクリエイトを行うもので、搬出可能になっているＦＯＵＰキャリアの再処理を行う為のものである。再処理をする為には、ＦＯＵＰを搬出、搬入することでも可能であるが、これをＧＵＩ上からの指示のみで可能とするものである。
【０１１０】
[Change Service Mode]ボタンは、ボタンを押して、サービスモードの変更を行うものである。
【０１１１】
[Change Access Mode]ボタンは、ボタンを押して、アクセスモードの変更を行うものである。
【０１１２】
図７はディスプレイ１１の画面を[ITV]に切り換えたときの、ＩＴＶ表示・操作画面８０を示している。
【０１１３】
露光装置２０内にはＩＴＶ(Industrial Tele Vision)が設置されていて、このＩＴＶの撮像画像をこのＩＴＶ表示・操作画面８０で表示する。
【０１１４】
ＩＴＶ表示・操作画面８０は、ＩＴＶモニター部、ウエハステージやレチクルステージの座標表示部、ウエハステージやレチクルステージのステージ操作部を１つの画面内で同時に表示するように構成されている。ウエハステージとレチクルステージの切り換え表示が可能になっている。
【０１１５】
ＩＴＶ表示・操作画面８０の左上には、ＩＴＶモニター表示部８１が設けられていて、このＩＴＶモニター表示部８１により、指定されたＩＴＶにより撮像された撮像画像の表示を行う。
【０１１６】
ＩＴＶ表示・操作画面８０の左下には、ＩＴＶモニター表示切換部８２が設けられている。図８はこのＩＴＶモニター表示切換部８２を詳細に示している。
【０１１７】
ＩＴＶの切換は以下に対して行える（図８参照）。
【０１１８】
RA Search([Mix],[Right],[Left])
RA Fine([YR+YL],[XR+XL])
FIA([FIA X],[FIA Y],[Index],[Search],[Observe])
Wafer Pre Alg([Neutal],[Right],[Left],[TA],[WPre3])
Reticle Pre Alg([Left],[Right])
ＩＴＶモニター表示調整項目には、[Contrast]と[Brightness]とがある。[Contrast]はコントラストを例えば０〜２５５段階に調整し、また[Brightness]は明るさを例えば０〜２５５段階に調整する。
【０１１９】
図７に示すように、ＩＴＶ表示・操作画面８０の左側であって、ＩＴＶモニター表示部８１の下側には、ウエハステージ座標表示部８３と、レチクルステージ座標表示部８４がそれぞれ設けられている。
【０１２０】
ウエハステージ座標表示部８３は、現在のウエハステージの座標を表示するもので、表示項目としてＸ・Ｙ・Ｚ・Pitch・Rollがある。絶対座標表示と相対座標表示の切換は、トグルボタンで行い、相対座標表示の時は、ＲＥＳＥＴボタンで０にリセットすることが出来る。
【０１２１】
レチクルステージ座標表示部８４は、現在のレチクルステージの座標を表示するもので、表示項目としてＸ・Ｙ・θがある。絶対座標表示と相対座標表示の切換は、トグルボタンで行い、相対座標表示の時は、ＲＥＳＥＴボタンで０にリセットすることが出来る。
【０１２２】
図７に示すように、ＩＴＶ表示・操作画面８０の右側にはコマンドパネル操作部８５が設けられている。このコマンドパネル操作部８５には、操作対象を切り換えるボタンやマニュアル操作の開始・終了ボタンが配置される。
【０１２３】
マニュアル操作開始ボタン[Start]によりマニュアル操作を開始する。マニュアル操作が出来ない状態の時は、このボタンを押すことは出来ない。
【０１２４】
マニュアル操作終了ボタン[End]によりマニュアル操作がそのままの状態で終了する。
【０１２５】
操作対象切換ボタンとしては、[Wafer Manual],[Reticle Manual],[Stage],[Shutter]がある。
【０１２６】
[Wafer Manual]ボタンにより、ＩＴＶ表示・操作画面８０の中央部にウエハステージ操作用項目の表示部８６が表示される。この表示部８６には、各設定ダイアログ表示用ボタンとマニュアル操作ボタンが表示される。
【０１２７】
[Reticle Manual] ボタンにより、ＩＴＶ表示・操作画面８０の中央部にレチクルステージ操作用項目の表示部８６が表示される。この表示部には、各設定ダイアログ表示用ボタンとマニュアル操作ボタンが表示される。
【０１２８】
[Stage]ボタンにより、ＩＴＶ表示・操作画面８０の中央部にステージ操作用項目の表示部８６が表示される。この表示部８６には、各設定ダイアログ表示用ボタンが配置されていて、例えば以下に示すステージ対象の操作が行えるようになっている。
【０１２９】
<Limit Position>については、
[Back Left],[Back Right],[Front Right],[Front Left]ボタン処理がある。
【０１３０】
<VRA>については、
[VRA_X1],[VRA_X2]ボタン処理がある。
【０１３１】
<Sensor>については、
[Illum. Sensor],[Power Mon]ボタン処理がある。
【０１３２】
<Loading Position>については、
[Front],[Side]ボタン処理がある。
【０１３３】
<FIA>については、
[FIA_X],[FIA_Y]ボタン処理がある。
【０１３４】
<Wafer Table & AF>については、
[WT Position],[AF Halving],[AF Sensor],[AF]ボタン処理がある。
【０１３５】
<Reticle Position>については、
[Reticle Pos]ボタン処理がある。
【０１３６】
<Blind Position>については、
[Blind Pos]ボタン処理がある。
【０１３７】
[Shutter]により、ＩＴＶ表示・操作画面８０の中央部にシャッター操作用項目の表示部８６が表示される。この表示部８６には、各設定ダイアログ表示用ボタンが配置され、例えば以下に示すシャッタ対象の操作が行えるようになっている。
【０１３８】
[Laser Emission]ボタン処理では、
レーザ動作設定ダイアログを表示する。光路切換（Ｍａｉｎｅ側とＲＡ側）の指定とレーザ発光のＯｎ／Ｏｆｆ設定が行える。Ｍａｉｎ側でレーザがＯｎの時はダミーショットとなり、ＲＡ側でＯｎの時はＶＲＡ発光となる。レーザがＯｎの時はレーザ値を設定する。レーザ値がＯｆｆの時は光路切換のみとなる。
【０１３９】
[MAIN/RA]ボタン処理では、
光路切換ダイアログを表示する。光路切換（Ｍａｉｎ／ＲＡ）設定が行える。
【０１４０】
[RA Mirror]ボタン処理では、
落射ミラー切換ダイアログを表示する。ミラー切換(Exposure_Position/RA_Position)設定が行える。
【０１４１】
[FIA Shutter]ボタン処理では、
ＦＩＡシャッタ駆動ダイアログを表示する。シャッタの開閉（Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅ）設定が行える。
【０１４２】
[FIA Search]ボタン処理では、
ＦＩＡ光路切換ダイアログを表示する。Fine & Search/Observationの設定が行える。
【０１４３】
[FIA ND Filter]ボタン処理では、
ＦＩＡ  ＮＤフィルタ切換ダイアログを表示する。フィルタの設定が行える。
【０１４４】
[FIA NA Filter]ボタン処理では、
ＦＩＡ  ＮＡフィルタ切換ダイアログを表示する。フィルタの設定が行える。
【０１４５】
[FIA Wavelength]ボタン処理では、
ＦＩＡ波長切換ダイアログを表示する。波長切換(Broad/Green/Orange/Red)設定が行える。
【０１４６】
[ALG AF Filter]ボタン処理では、
アライメントＡＦシャープカットフィルタ切換ダイアログを表示する。フィルタの切換（Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅ）設定が行える。
【０１４７】
[ND Pos]ボタン処理では、
ＮＤフィルタ位置設定ダイアログを表示する。指定する位置が選択出来る。
【０１４８】
図９はディスプレイ１１が図３、図４、図５又は図７の何れかの画面を表示するように、ディスプレイ１１を駆動制御するための表示プログラムの一実施態様を示している。
【０１４９】
ステップＳ９０１で、ディスプレイ１１の画面上に図３、図４、図５又は図７の何れの画面を表示させるかを選択するためのリストを表示する。
【０１５０】
例えば、[Job List],[Wafer Transfer],[Port & FOUP],[Reticle Transfer],[Port
& POD]などが画面の最上段に表示される（図３、図４、図５参照）。オペレータはこのリストに基づいて何れかの画面を選択する。
【０１５１】
ステップＳ９０２で画面からリストを選択されたか否かが判断され、選択されるまで待機する。何れかの画面を選択した場合には、ステップＳ９０３に移行して、選択した画面をディスプレイ１１に表示させる。例えば、[Job List]を選択した場合には、ディスプレイ１１に図３の画面を表示させ、また[Wafer Transfer]を選択した場合には、ディスプレイ１１に図４の画面を表示させ、また[Port
& FOUP]を選択した場合には、ディスプレイ１１に図５の画面を表示させ、また[ITV]を選択した場合には、ディスプレイ１１に図７の画面を表示させる。
【０１５２】
ステップＳ９０４では、別の内容の画面に切り換えるか否かが判断され、別の内容の画面に切り換える場合には、ステップＳ９０２に戻り、同じ操作が繰り返され、別の内容の画面を選択しない場合、最後に選択した画面のまま維持される。
【０１５３】
上述した本発明の実施態様では、本発明の操作・表示装置１０を露光装置２０に装備した場合を示したが、これに限定されず、本発明の操作・表示装置１０を例えば半導体製品の検査機、測定機、加工機など半導体製造関連装置にも装備することができ、その場合、図３乃至図８に示す表示画面の内容も装置にあわせて変わる。
【０１５４】
また、図３乃至図８に示す画面内容はあくまでも一実施態様として示したもので、これに限定されるものではない。使いやすいようにするために画面構成を種々変更することは可能である。
【０１５５】
また、図３乃至図８の画面を表示するように操作・表示装置１０（ディスプレイ１１）を駆動制御する表示プログラムとして図９のフローチャートを示したが、これに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０１５６】
【図１】本発明の操作・表示装置を露光装置に装備した場合の一実施形態を示す概略斜視図である。
【図２】図２に示す、操作・表示装置１０、露光装置２０及びウエハローダ系３０などを制御し、駆動する制御・駆動系のブロック図である。
【図３】図１に示す操作・表示装置のディスプレイ上に表示される画面の図である。
【図４】図１に示す操作・表示装置のディスプレイ上に表示される画面の図である。
【図５】図１に示す操作・表示装置のディスプレイ上に表示される画面の図である。
【図６】図５に示す画面中のＦＯＵＰステータス表示部７３の詳細図である。
【図７】図１に示す操作・表示装置のディスプレイ上に表示される画面の図である。
【図８】図７に示す画面中のＩＴＶモニター表示切換部８２の詳細図である。
【図９】本発明の表示プログラムの一実施態様を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１５７】
１０  操作・表示装置                  １１  ディスプレイ
１２  キーボード                      １３  タッチパネル
１４  操作・表示制御系                ２０  露光装置
２２  主制御系                        ２３  メモリ
３０  ウエハローダ系                  ３５  ＦＯＵＰ
５０  ジョブ・リスト表示画面            ５１  ジョブ・リスト一覧表示部
５２  選択ジョブ詳細表示部            ５３  ジョブ選択ボタン
５４  状態遷移図表示部                ５５  コマンドパネル操作部
６０  ウエハ搬送表示画面              
６１  ＬＩＮＥ／ＬＯＣＡＬ接続状態表示部
６２  ウエハロケーション情報表示部
６３  ウエハ情報一覧表示部            ６４  コマンドパネル操作部
７０  ウエハＰＯＲＴ＆ＦＯＵＰ状態表示画面
７１  サービスモード・アクセスモード表示部
７２  ロードポート状態簡略シグナル表示部
７３  ＦＯＵＰステータス表示部
７４  キャリア識別名表示部              ７５  ＦＯＵＰ内ウエハ一覧表示部
７６  コマンドパネル表示部
８０  ＩＴＶ表示・操作画面            ８１  ＩＴＶモニター表示部
８２  ＩＴＶモニター表示切換部        ８３  ウエハステージ座標表示部
８４  レチクルステージ座標表示部      ８５  コマンドパネル表示部
【図１】
2006041126.tif 000003
【図２】
2006041126.tif 000004
【図３】
2006041126.tif 000005
【図４】
2006041126.tif 000006
【図５】
2006041126.tif 000007
【図６】
2006041126.tif 000008
【図７】
2006041126.tif 000009
【図８】
2006041126.tif 000010
【図９】
2006041126.tif 000011