(57)【要約】【課題】  本発明は、モータ駆動回路等の電子機器を内蔵した筐体ユニットを複数収納する電子機器用ラック装置に関し、ラック内に筐体ユニットを容易，確実に収納することを目的とする。【解決手段】  ラック内に、電子機器が内蔵される筐体ユニットを複数収納してなる電子機器用ラック装置において、前記筐体ユニットを、前記電子機器を支持するユニット本体と、前記ユニット本体を覆って配置され前記ユニット本体が挿脱可能なカバー部材とから構成するとともに、前記カバー部材を前記ラック内に固定してなることを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラック内に、電子機器が内蔵される筐体ユニットを複数収納してなる電子機器用ラック装置において、
前記筐体ユニットを、前記電子機器を支持するユニット本体と、前記ユニット本体を覆って配置され前記ユニット本体が挿脱可能なカバー部材とから構成するとともに、
前記カバー部材を前記ラック内に固定してなることを特徴とする電子機器用ラック装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子機器用ラック装置において、
前記ユニット本体に前記電子機器と電気的に接続される筐体側コネクタを固定し、前記カバー部材に前記筐体側コネクタが連結されるラック側コネクタを固定してなることを特徴とする電子機器用ラック装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の電子機器用ラック装置において、
前記ユニット本体は、該ユニット本体の電源のオン，オフを行う電源スイッチを有することを特徴とする電子機器用ラック装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の電子機器用ラック装置において、
前記ユニット本体は、側面および上面が開口されていることを特徴とする電子機器用ラック装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の電子機器用ラック装置において、
前記ユニット本体は、側面および上面が、網状部材または穴あき部材により覆われていることを特徴とする電子機器用ラック装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータ駆動回路等の電子機器を内蔵した筐体ユニットを複数収納する電子機器用ラック装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から半導体露光装置のウエハステージおよびレチクルステージには複数のモータが使用されており、各モータには駆動回路を内蔵した筐体からなるアンプユニット(筐体ユニット)がそれぞれ別々に必要となる。そのため、半導体露光装置の近傍にアンプユニットを配置する場合には、アンプユニットの形状に合致した収納室を複数有するラックにアンプユニットを収納して整理することが多い（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−６９６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、近時、半導体露光装置の各ステージ等を駆動するアンプユニットは、必要となるステージ駆動モータ出力の増加に伴って、電力増加の傾向にあり、形状も従来に比較して、次第に大型化しつつあり、アンプユニットの体積も増加する傾向にある。
各アンプユニット自体は、鉄等の金属のカバーで覆われたエンクロージャー構造となっており、アンプユニットの体積が増加したことにより、アンプユニット自体の表面積が増加し、カバーを含めたアンプユニットの内包物以外の部分が重量に占める割合が増加している。アンプユニット単体での重量が増加すると、例えば、アンプユニット単体で輸送する際に重量物となり、取り扱いが難しくなるだけでなく、ラックにアンプユニットを設置する際にも、フォークリフト等の設備が必要となり設置に関するコストが増大するという問題点があった。
【０００４】
一方、アンプユニット自体のカバー等は、ただ単に、危険物に対する保護の働きだけでなく、アンプユニットの前面を吸気口とし、背面に空冷用のファンを設置することで、前面から背面への空気の流れを制御するという機能を持たせているため、アンプユニットの軽量化のために、むやみにカバー部分を廃止することもできなかった。
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、ラック内に筐体ユニットを容易，確実に収納することができる電子機器用ラック装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の電子機器用ラック装置は、ラック内に、電子機器が内蔵される筐体ユニットを複数収納してなる電子機器用ラック装置において、前記筐体ユニットを、前記電子機器を支持するユニット本体と、前記ユニット本体を覆って配置され前記ユニット本体が挿脱可能なカバー部材とから構成するとともに、前記カバー部材を前記ラック内に固定してなることを特徴とする。
【０００６】
請求項２の電子機器用ラック装置は、請求項１記載の電子機器用ラック装置において、前記ユニット本体に前記電子機器と電気的に接続される筐体側コネクタを固定し、前記カバー部材に前記筐体側コネクタが連結されるラック側コネクタを固定してなることを特徴とする。
請求項３の電子機器用ラック装置は、請求項１または請求項２記載の電子機器用ラック装置において、前記ユニット本体は、該ユニット本体の電源のオン，オフを行う電源スイッチを有することを特徴とする。
【０００７】
請求項４の電子機器用ラック装置は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の電子機器用ラック装置において、前記ユニット本体は、側面および上面が開口されていることを特徴とする。
請求項５の電子機器用ラック装置は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の電子機器用ラック装置において、前記ユニット本体は、側面および上面が、網状部材または穴あき部材により覆われていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の電子機器用ラック装置では、筐体ユニットのカバー部材をラック内に固定したので、カバー部材の分だけ重量の軽減されたユニット本体をカバー部材に挿入することによりラック内に筐体ユニットを収納することが可能になる。従って、ラック内に筐体ユニットを容易，確実に収納することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
（第１の実施形態）
図１および図２は、本発明の電子機器用ラック装置の第１の実施形態を示している。
この実施形態の電子機器用ラック装置は、例えば半導体工場等において半導体露光装置のステージ駆動用モータのアンプユニット(筐体ユニット)を複数収納するのに使用される。
【００１０】
この実施形態の電子機器用ラック装置は、ラック１１と筐体ユニット１３とを有している。筐体ユニット１３は、ユニット本体１５とカバー部材１７とに分割され、カバー部材１７がラック１１内に固定されている。
ラック１１は、平行に配置された天板１１ａおよび底板１１ｂの両側面に側板１１ｃを取り付け、背面側を背板１１ｄで塞いで構成され、その正面側は外部に開放されている。そして、天板１１ａおよび底板１１ｂの間には両端が側板１１ｃに支持された棚板１１ｅが３枚配置され、ラック１１の内部が棚板１１ｅによって上下方向へ４段に仕切られている。ラック１１の内部には、棚板１１ｅに対して垂直に立設し、かつラック１１幅方向に延存する仕切り板１９が各段ごとに同位置に配置されている。
【００１１】
仕切り板１９で区切られたラック１１正面側の空間はそれぞれ収納室２１(複数の収納室を２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの符号で区別する)を構成する。また、仕切り板１９で区切られたラック１１背面側の空間は、一部が導風室２３(複数の導風室を２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの符号で区別するす)を構成し、その他の空間が図示しないケーブルボックスを構成する。仕切り板１９には放熱口１９ａが開口されており、放熱口１９ａによって収納室２１と導風室２３とが連通している。
【００１２】
なお、この実施形態では、ラック１１最上段の第１収納室２１ａおよび第１導風室２３ａからラック１１最下段の第４収納室２１ｄおよび第４導風室２３ｄまで、上下方向に収納室２１および導風室２３が４つ並設されている。
各導風室２３の棚板１１ｅには同一サイズの開口２５が同位置に設けられて、上下に隣接する導風室２３がそれぞれ相互に連通し、第１導風室２３ａの空気が第４導風室２３ｄまで到達するようになっている。なお、各導風室２３において上面の開口２５は上段側の導風室２３の空気を流入する流入口となり、下面の開口２５は下段側の導風室２３に空気を流出する流出口となる。
【００１３】
また、第１導風室２３ａの開口２５には、下段側に空気を送風する送風ファン２７が設置されている。さらに、第４導風室２３ｄには背面側に排気ダクト接続口２９が開口されている。排気ダクト接続口２９には排気ダクト３１が接続され、排気ダクト３１の入り口にはラック１１外部に空気を排出する排気ファン３３が取り付けられている。
各導風室２３の内部には、導風室２３の幅に合わせて成形された整風板３５がそれぞれ配置されている。各整風板３５の一端は放熱口１９ａの上側に取り付けられ、その他端は流出口（最下段の場合は排気ダクト接続口２９）の位置までラック１１背面側に張り出している。すなわち、整風板３５の一端側は放熱口１９ａを覆っており、他端側が流出口（または排気ダクト接続口２９）への入口を２つの領域に間仕切りしている。
【００１４】
この整風板３５の他端で仕切られた流出口（または排気ダクト接続口２９）の一方の領域には流入口からの排風が通過し、他方の領域には放熱口１９ａからの排風が通過する。そのため、放熱口１９ａから流入する収納室２１の温排風は整風板３５によって流出口（または排気ダクト接続口２９）に案内され、上段の導風室２３と連通する流入口側に流れ難くなっている。一方、流入口から流入する上段の導風室２３の温排風は整風板３５によって流出口（または排気ダクト接続口２９）に案内され、放熱口１９ａ側に流れ難くなっている。
【００１５】
また、流出口等において、整風板３５で仕切られた一方の領域の面積（流入口の流れの通過面積）に対する他方の領域の面積（放熱口１９ａの流れの通過面積）の比は、上段側から下段側に順次小さくなるように設定されている。
筐体ユニット１３は、図３に示すように、ユニット本体１５とカバー部材１７とを有している。
【００１６】
ユニット本体１５は、モータ駆動回路を構成する電源(トランス)３７，電子機器３９，電子基板４１等を有している。また、これ等の機器で発生した熱を放熱する放熱器４３を有している。ユニット本体１５は、直方体状をしており、その底板４５に、電源３７，電子機器３９，電子基板４１，放熱器４３等の機器(以下アンプ部品Ａと総称する)が固定されている。
【００１７】
ユニット本体１５の前面１５ａには、ユニット本体１５の内部に外気を取り入れるための通気口４７と、ハンドリングを容易にするための取っ手４９とが形成されている。また、アンプ部品Ａの電源３７をオン，オフする電源スイッチ５１が配置されている。
ユニット本体１５の背面１５ｂには、アンプ部品Ａで発生した熱を外部に放出するための放熱ファン５３が取り付けられている。また、筐体側コネクタ５５が設けられている。筐体側コネクタ５５は複数の電気接点を有し、各電気接点はアンプ部品Ａの電力供給線やアンプ部品Ａの入出力信号線にそれぞれ接続されている。
【００１８】
ユニット本体１５の前面１５ａと背面１５ｂとの間には、断面Ｌ字状のフレーム部材５７が設けられている。この実施形態では、フレーム部材５７は、ユニット本体１５の上部の両側に設けられ、ユニット本体１５の強度を補強している。そして、ユニット本体１５の側面１５ｃおよび上面１５ｄが開口している。
カバー部材１７は、断面コ字状をしており、上面１７ａの両側に側面１７ｂを有している。また、側面１７ｂの下端に内側に折曲される案内部１７ｃを有している。このカバー部材１７は、図１に示したように、ラック１１の棚板１１ｅに固定される。そして、この状態で、カバー部材１７と棚板１１ｅとの間の空間に、ユニット本体１５が挿入される。
【００１９】
カバー部材１７の背面側には、カバー部材１７を折曲して取付部１７ｄが形成されている。そして、この取付部１７ｄに、筐体側コネクタ５５と嵌合するラック側コネクタ５９が固定されている。ラック側コネクタ５９は筐体側コネクタ５５との対応位置に電気接点を有し、各電気接点は外部電源やモータの入出力信号線（外部電源およびモータの図示は省略する）にそれぞれ接続されている。
【００２０】
上述した電子機器用ラック装置では、筐体ユニット１３のカバー部材１７がラック１１の棚板１１ｅの所定位置に固定される。そして、カバー部材１７のラック側コネクタ５９に外部電源やモータの入出力用の配線が接続される。次に、筐体ユニット１３のユニット本体１５の電源スイッチ５１をオフにした状態で、ユニット本体１５をカバー部材１７の前側からカバー部材１７に押し込むことにより、カバー部材１７のラック側コネクタ５９にユニット本体１５の筐体側コネクタ５５が接続される。そして、ユニット本体１５の電源スイッチ５１をオンにすることにより、ユニット本体１５のアンプ部品Ａが電気的に作動される。一方、ユニット本体１５をカバー部材１７から取り外す時には、ユニット本体１５の電源スイッチ５１をオフにする。
【００２１】
この実施形態の電子機器用ラック装置では、筐体ユニット１３のカバー部材１７をラック１１内に固定したので、カバー部材１７の分だけユニット本体１５の重量が軽減される。例えば、外形サイズが、幅３６０ｍｍ、高さ３００ｍｍ、奥行き４５０ｍｍの筐体ユニット１３では、その総重量が２５ｋｇ程度になるが、筐体ユニット１３をカバー部材１７とユニット本体１５とに分割することにより、ユニット本体１５の総重量を、例えば１８ｋｇ以下にすることが可能になる。
【００２２】
そして、この重量の軽減されたユニット本体１５をカバー部材１７に挿入することによりラック１１内に筐体ユニット１３を収納することが可能になる。従って、ラック１１内に筐体ユニット１３を容易，確実に収納することができる。
また、カバー部材１７にラック側コネクタ５９を固定したので、ラック側コネクタ５９と筐体側コネクタ５５との相対的な位置決めが容易で確実なものになる。すなわち、カバー部材１７をラック１１から取り外した状態で、カバー部材１７にユニット本体１５を挿入して予めラック側コネクタ５９と筐体側コネクタ５５との位置決めを行い、この後、棚板１１ｅにカバー部材１７を固定して、カバー部材１７にユニット本体１５を挿入することにより、ユニット本体１５の筐体側コネクタ５５をラック側コネクタ５９に確実に連結することができる。
【００２３】
また、カバー部材１７へのユニット本体１５の挿脱時に、ユニット本体１５の電源スイッチ５１を切ることにより、アンプ部品Ａへの電気的な衝撃を回避することができ、また、作業者が感電することを防止することができる。
そして、上述した電子機器用ラック装置では、図４に示すように、カバー部材１７にユニット本体１５を装着し、電源スイッチ５１をオンにすることにより放熱ファン５３が回転し、カバー部材１７の内側に通気口４７から放熱ファン５３に向けて空気の流れが発生する。通気口４７からカバー部材１７の内側に流入した空気はアンプ部品Ａの熱を奪い、放熱ファン５３によって筐体ユニット１３の外側に放出される。そして、放熱ファン５３の温排風は各収納室２１の放熱口１９ａから各導風室２３にそれぞれ流入する。
【００２４】
ラック１１の内部では、第１導風室２３ａの送風ファン２７と、排気ダクト接続口２９の排気ファン３３とによって、第１導風室２３ａから第４導風室２３ｄに向けて下向きの空気の流れが発生する。従って、ラック１１内の空気の流れが塵埃を巻き上げにくくなっている。
第１導風室２３ａに流入した放熱口１９ａからの温排風は整風板３５に案内されて下面の流出口に導かれ、送風ファン２７によって第２導風室２３ｂの流入口に送り出される。第２導風室２３ｂおよび第３導風室２３ｃでは、上面の流入口からの排風は整風板３５によって下面の流出口の一方の領域に導かれ、放熱口１９ａからの温排風は整風板３５によって下面の流出口の他方の領域に導かれて、それぞれ下段の導風室に流入する。
【００２５】
また、第４導風室２３ｄでは、上面の流入口からの排風は整風板３５によって排気ダクト接続口２９の一方の領域に導かれ、放熱口１９ａからの温排風は整風板３５によって排気ダクト接続口２９の他方の領域に導かれ、排気ダクト接続口２９に接続された排気ダクト１６から工場の外に排出される。
従って、整風板３５が放熱口１９ａからの温排風と流入口からの排風とを、それぞれ流出口等まで案内するので、上段の導風室２３からの排風が下段の収納室２１に逆流するおそれや、収納室２１からの温排風が上段の導風室２３に逆流するおそれも著しく低減する。
【００２６】
また、上段側から下段側にかけて、流入口等の一方の領域の面積に対する他方の領域の面積の比が順次小さく設定されているので、排気ダクト接続口２９からの距離が遠ざかるにつれて収納室２１の温排風が吸引され易くなるように設定されている。従って、すべての筐体ユニット１３からの温排風が均等に近い状態で排気ダクト接続口２９に吸引され、上下に並列配置した筐体ユニット１３の効率よい冷却が可能となる。すなわち、排気ダクト接続口２９から離れた上段側の収納室２１および導風室２３で熱の滞留が発生するおそれは著しく低減する。
（第２の実施形態）
図５は、本発明の電子機器用ラック装置の第２の実施形態の要部の詳細を示している。なお、第２の実施形態において第１の実施形態と共通の構成には同一符号を付して説明を省略する。
【００２７】
この実施形態では、筐体ユニット１３を構成するユニット本体１５の側面１５ｃおよび上面１５ｄが、金網等からなる網状部材６１により覆われている。このようにユニット本体１５の側面１５ｃおよび上面１５ｄを網状部材６１により覆うことにより、電源３７，電子機器３９，電子基板４１，放熱器４３等のアンプ部品Ａを外部から保護することができる。また、作業者の手等が不用意にアンプ部品Ａに接触することを防止することができる。そして、網状部材６１は、比較的重量が小さいため、ユニット本体１５の重量の増加は僅かである。
【００２８】
なお、この実施形態では、ユニット本体１５の側面１５ｃおよび上面１５ｄを網状部材６１により覆った例について説明したが、薄板からなるパンチング板等の穴あき部材により覆っても良い。
（実施形態の補足事項）
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
【００２９】
(１)上述した実施形態では、半導体露光装置のモータのアンプに本発明を適用した例について説明したが、例えば、通信機器等に広く適用することができる。
(２)上述した実施形態では、ユニット本体１５に放熱ファン５３を設けた例について説明したが、例えば、カバー部材１７の背面側に放熱ファンを設けても良い。
(３)上述した実施形態では、ユニット本体１５の底板４５にアンプ部品Ａを固定した例について説明したが、例えば、底板４５をフレーム部材にして、フレーム部材にアンプ部品Ａを固定しても良い。これにより、ユニット本体１５の重量をより軽減することができる。
【００３０】
(４)上述した実施形態では、カバー部材１７にユニット本体１５を単に挿入した例について説明したが、例えば、カバー部材１７にローラ等の案内部材、あるいは、可動式のガイドレールを設けて、案内部材によりユニット本体１５を案内しても良い。
(５)上述した実施形態では、カバー部材１７にユニット本体１５を単に挿入した例について説明したが、例えば、カバー部材１７の前面に、カバー部材１７とユニット本体１５との間に形成される間隙をシールするシール部材を設けてもよい。これにより、カバー部材１７の周辺部からカバー部材１７内に空気が流入することが防止され、アンプ部品Ａをより効果的に冷却することができる。
【００３１】
(６)上述した実施形態では、ユニット本体１５の底板４５等を鉄等の金属により形成した例について説明したが、例えば、樹脂にニッケルメッキ等の金属メッキをして形成しても良い。これによりユニット本体１５をより軽量化することができる。
(７)上述した実施形態では、ラック１１の各段に１つの筐体ユニット１３を配置した例について説明したが、例えば、各段に複数の筐体ユニットを隣接して配置しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の電子機器用ラック装置の第１の実施形態を分解して示す説明図である。
【図２】図１のユニット本体をラックのカバー部材に挿入する状態を示す斜視図である。
【図３】図１のカバー部材とユニット本体を示す斜視図である。
【図４】図１の電子機器用ラック装置の空気の流れを示す説明図である。
【図５】本発明の電子機器用ラック装置の第２の実施形態の要部を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３３】
１１  ラック
１３  筐体ユニット
１５  ユニット本体
１７  カバー部材
５１  電源スイッチ
５５  筐体側コネクタ
５９  ラック側コネクタ
５７  フレーム部材
【図１】
2006040918.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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