(57)【要約】【課題】  溶解した金属が装置本体への配管部に生成・付着しにくくなると同時に内部が腐食しにくいフローメータを提供する。【解決手段】  第１配管の材質よりもイオン化傾向の大きな第1電極及びイオン化傾向の小さな第２電極の一対を設置した詰まり防止本体部をフローメータ本体部の入り口部位に設置し給電することで、装置本体側への配管の詰まりを防止できるようにした。【選択図】  図２
2006118915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フローメータ本体部に連結した詰まり防止本体部と、前記詰まり防止本体部内部に設置された、イオン化傾向の大きな電極材質からなる第1電極とイオン化傾向の小さな電極材質からなる第2電極とからなる一対の電極と、前記第1電極はアノードとなり前記第2電極はカソードとなるように前記一対の電極に電圧を印加するための外部電源機構とからなる詰まり防止機能つきフローメータ装置。
【請求項２】
前記外部電源機構は、充電可能な２次電池機能を備えた構造あるいは外部電源機構に別途外付け電源取り出し口を設けて商用電源と接続して電気供給が可能である構造を特徴とする請求項１乃至３に記載の詰まり防止機能付きフローメータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を必要とする機器に流体を供給する金属配管から流体に溶出した金属溶解物や前記流体自体に含まれる金属溶解物が、金属配管内壁に析出付着することによる金属配管の目詰まりを防止する機能を備えた詰まり防止機能付きフローメータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工業用水等の流体を、製造装置等の機器に供給するには、図４に示すように、第１配管を経てフローメータ本体部４に流入する流体９を、フローメータ本体部４に取り付けられた調整ネジ８で流量のコントロールをして、第２配管１１を通じて必要量の流体９を製造装置１０に供給している。一般に、第１配管１及び第２配管１１の配管材質には、ステンレス等の金属材料（以下、配管材質の原子記号をＭとする。）を用いているため、流体９に溶解した金属材料Ｍが配管内に析出付着したり、金属配管が腐食したりすることによって金属配管が目詰まり、製造装置１０に必要な流体９を供給できないことが起こる。金属配管の腐食防止方法として、従来の技術では犠牲アノード方式やカソード防食法、金属電極一対に外部から電圧を印加する強制通電法等で金属の腐食反応（M → M+ + e-）を抑制させる方法がある。（例えば、特許文献１を参照。）
【特許文献１】特開平１０−２０５６８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、例えば犠牲アノード方式や犠牲カソード防食法、強制通電法は電圧を印加するための電源供給部を別途外付けで設置するため取付工事が別々になりメンテナンスを別途要する欠点がある。更に、前記金属配管の詰まり防止としてフィルター等を通した工業用水の流体を配管流体として用いたとしても、前記金属配管から配管内を流れる流体９に溶けた金属溶解物や、流体に含まれるイオン化傾向の大きい金属溶解物が配管に析出付着することによって、配管内が詰まり製造装置１０に必要とする流量の流体９を供給できなくなり、フローメータより上流に設けた製造装置１０の機能を損なうという問題が生じる。
【０００４】
本発明の目的は、フローメータ本体部より下流にある装置本体側の配管の詰まりを防止できるフローメータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）上記問題を解決するために、フローメータ本体部に連結した詰まり防止本体部と、前記詰まり防止本体部内部に設置された、イオン化傾向の大きな電極材質からなる第1電極とイオン化傾向の小さな電極材質からなる第2電極とからなる一対の電極と、前記第1電極をアノードとし、前記第2電極をカソードとするように前記一対の電極に電圧を印加するための外部電源機構とからなる詰まり防止機能つきフローメータ装置とした。
【０００６】
（２）前記の外部電源機構は、充電可能な２次電池機能を備えた構造あるいは外部電源機構に別途外付け電源取り出し口を設けて商用電源と接続して電気供給が可能である構造の詰まり防止機能付きフローメータ装置とした。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、フローメータを流れる流体に溶解した金属溶解物や流体自体に含まれる金属溶解物を陰電極に付着させるとともに、陽電極が犠牲アノードとなることで腐食を防止し、フローメータ本体部より下流にある流体を要する製造装置の配管の詰まりを防止する効果がある。そして、フローメータ本体部と詰まり防止本体部が連結していることにより流体の金属溶解物除去効果を流量によって確認することができ、フローメータ本体部より下流にある製造装置の配管の詰まりを回避、事前防止する効果がある。さらに、電源機構が一体となっていることで本発明によるフローメータは製造装置への取り付けおよび移動が非常に簡便である効果も有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１に本発明における詰まり防止フローメータ装置１３の概略図を示す。図１において、フローメータ本体部４の入り口部にジョイント１２を介して詰まり防止本体部５を連結し外部電源機構６を含めて詰まり防止フローメータ装置１３が構成される。フローメータ本体部４は図４に示した従来のフローメータ本体部４である。
【０００９】
詰まり防止本体部５の断面図を図２と図３に示す。詰まり防止本体部５は、第１配管１の材質よりもイオン化傾向の大きな電極２及び第１配管１の材質と同等のイオン化傾向をもつ電極３から構成されている。
【００１０】
図２における詰まり防止本体部５及びジョイント１２の材質は第１配管１と同じ材質であり、詰まり防止本体部５及びジョイント１２と第１配管１が同じ管径であれば詰まり防止本体部５は円筒状でも角筒状でも良い。電極３と詰まり防止本体部５の内部は電気的に接続され同電位に保たれる。
【００１１】
図２において、詰まり防止本体部５内の電極２及び電極３を通電させるための電源体として外部電源機構６を詰まり防止本体部５の側面に設けている。なお、外部電源機構６の電源から詰まり防止本体部５内の電極２及び電極３に通電するため、電極２及び電極３と電源間の電極配線は例えば白金などの耐腐食性の金属材料配線で接続されている。図２の詰まり防止本体部５の側面に設けられた外部電源機構６は、充電可能な２次電池機能を外部電源機構６の内部に有する電源構造であるか、あるいは外部電源機構６に別途外付け電源取り出し口を設けて商用電源と接続することにより電気供給が可能な構造を有している。
【００１２】
上記説明における機能を有する図１のフローメータ構造において、第１配管１内に流体９が流れている時に、詰まり防止本体部５内に設けた電極２をアノード、電極３をカソードになるように外部電源機構６の電源から電圧を印加する。電極２及び電極３の印加電圧を流体９から除去すべき金属溶解物のカソード反応が起こる電圧範囲に設定することで、流体９に溶解している金属溶解物がカソード反応により電極３に生成される。電極３にイオン化傾向の大きな金属が生成し、同時に詰まり防止本体部５およびこれに接続された第１配管１の内面に電極２の金属が析出することで腐食が防止され、フローメータ本体部４より上流にあるフローメータ本体部４を要する装置本体側１０の配管１１の詰まりが防止できる。また、フローメータ本体部４と詰まり防止本体部５が連結していることから、流体９の金属溶解物除去効果をフローメータ本体部４の流量コマ７によって示される流量値によって確認可能となり、フローメータ本体部４より下流にある装置本体側１０の配管１１の詰まりを回避、事前防止する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】製造装置に接続した本発明の詰まり防止機能付きフローメータ概略図
【図２】本発明における詰まり防止本体部断面図
【図３】図２におけるＡ−Ａ 断面図
【図４】製造装置に接続した従来のフローメータ概略図
【符号の説明】
【００１４】
１  第１配管
２  第１電極
３  第２電極
４  フローメータ本体部
５  詰まり防止本体部
６  外部電源機構
７  流量コマ
８  調整ネジ
９  供給流体
１０  製造装置
１１  第２配管
１２  ジョイント部位
１３  詰まり防止機能付きフローメータ装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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