(57)【要約】  【課題】  高い寸法精度を有した蛍光体層をコストの上昇を伴うことなく形成することが可能であって、種々の隔壁形状に対しても適用可能なディスプレイパネルの製造方法および製造装置を提供する。  【解決手段】  凹部ごとに蛍光体ペーストが各々充填されたガラス基板に対して、Ｚ方向に成形モールドを嵌め合わせる。成形モールドは、例えば、金属材料からなり、ガラス基板上に形成された凹部の形状に相対した凸形状部を複数有している。  成形モールドを凹部に嵌め合す際には、凸形状部の先端部分と下地誘電体層の表面との間に隙間ｄ１を残し、且つ、隔壁の側壁面との間にも所要の隙間を残すようにする。なお、間隙ｄ１などについては、用いる蛍光体ペーストを焼成した際の体積変化などを考慮して設定されるものである。  【選択図】  図２
2006040680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルの一方の主面に隔壁を立設し、当該隔壁を仕切りとする凹部を前記主面上に形成する隔壁形成ステップと、
前記凹部の内方に蛍光体粒子を含む蛍光体流動材料を充填する充填ステップと、
前記凹部の形状に相対する凸形状部を有する成形型を、当該凸形状部の外壁面と前記凹部の内壁面との間に所要の間隙を有するまで、前記凹部の深さ方向に移動させる型配置ステップと
を備えることを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記型配置ステップは、前記充填ステップよりも後に実施されるものであって、
前記型配置ステップでは、前記成形型の凸形状部によって、前記凹部に充填された蛍光体流動材料を押圧する
ことを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記型配置ステップは、前記充填ステップよりも前に実施されるものであって、
前記充填ステップでは、前記蛍光体流動材料を前記間隙へ充填する
ことを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記成形型には、前記凸形状部に吐出口を有する材料充填経路が設けられており、
前記充填ステップでは、前記成形型の材料充填経路を用いて前記蛍光体流動材料を前記間隙へ充填する
ことを特徴とする請求項３に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記充填ステップおよび型配置ステップの後に、前記蛍光体流動材料に対して加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して前記蛍光体流動材料の形状安定化を図る形状安定化ステップを備える
ことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
前記形状安定化ステップは、前記パネルに対して前記成形型を配置した状態を維持して実施する
ことを特徴とする請求項５に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
前記形状安定化ステップは、少なくとも紫外線照射を伴うものであって、
前記成形型は、照射された紫外線を前記蛍光体流動材料にまで透過する特性を有する
ことを特徴とする請求項６に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
前記形状安定化ステップは、前記成形型を前記パネルから離間させた後に実施する
ことを特徴とする請求項５に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
前記隔壁形成ステップにおいて、前記凹部は、前記パネルの主面上に複数形成されるものであって、
前記型配置ステップで用いる成形型は、前記複数の凹部の一部に対応するサイズおよび形状を有する
ことを特徴とする請求項１から８の何れかに記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記隔壁形成ステップにおいて、前記凹部は、前記パネルの主面上に複数形成されるものであって、
前記型配置ステップで用いる成形型は、前記パネル上における全ての凹部に対応するサイズおよび形状を有する
ことを特徴とする請求項１から８の何れかに記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
前記隔壁形成ステップは、前記パネルの一方の主面上に隔壁形成材料を含む隔壁流動材料を層状に塗布する隔壁材料塗布サブステップと、
前記主面上に塗布された隔壁流動材料に対して、形成しようとする隔壁の形状に相対する凹凸部を有する第２の成形型をもって、当該隔壁流動材料の層厚み方向に型押しする型押しサブステップとを有する
ことを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】
前記隔壁形成ステップは、前記第２の成形型で前記隔壁流動材料を型押しした状態を維持しながら加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して前記隔壁流動材料の形状安定化を図る形状安定化サブステップを備える
ことを特徴とする請求項１１に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】
前記隔壁形成ステップで用いる第２の成形型には、前記型配置ステップで用いる成形型を兼用する
ことを特徴とする請求項１１または１２に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１４】
前記パネルの主面方向において、前記成形型と前記パネルとの相対位置は、前記隔壁形成ステップの型押しサブステップから前記型配置ステップに至るまで保持されている
ことを特徴とする請求項１３に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１５】
前記型配置ステップおよび隔壁形成ステップの後には、前記蛍光体流動材料および隔壁流動材料の焼成を行う焼成ステップを有する
ことを特徴とする請求項１１から１４の何れかに記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
前記成形型は、前記凸形状部の外壁面が前記蛍光体流動材料に対する離型性を有する
ことを特徴とする請求項１から１５の何れかに記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１７】
前記蛍光体流動材料には、溶媒が含有されており、
前記成形型は、前記溶媒を吸収する機能を有する
ことを特徴とする請求項１から１６の何れかに記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】
前記成形型は、前記凸形状部の外壁面が前記溶媒を吸収する機能を有する
ことを特徴とする請求項１７に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１９】
前記隔壁形成ステップでは、前記パネルの主面に沿った少なくとも２方向に前記隔壁を列設する
ことを特徴とする請求項１から１８の何れかに記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２０】
パネルの一方の主面に隔壁を立設し、当該隔壁を仕切りとする凹部を前記主面上に形成する隔壁形成手段と、
前記凹部内方に対して、蛍光体粒子を含む蛍光体流動材料を充填する充填手段と、
前記凹部の形状に相対する凸形状部を有する成形型を有し、当該成形型を、前記凸形状部分の外壁面と前記凹部の内壁面との間に所要の間隙を有するまで、前記凹部の深さ方向に移動させる型配置手段とを備える
ことを特徴とするディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２１】
前記充填手段および型配置手段により、前記凹部の内壁面に所要の形状をもって被着された蛍光体流動材料に対して、加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して前記蛍光体流動材料の形状安定化を図る形状安定化手段を備える
ことを特徴とする請求項２０に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２２】
前記型配置手段が有する成形型は、熱伝導性および紫外線透過性の少なくとも一方を有しており、
前記形状安定化手段は、前記成形型が前記パネルに対して配されたままの状態を維持しながら、当該成形型を介して加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して、前記蛍光体流動材料の形状安定化を図る
ことを特徴とする請求項２１に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２３】
前記形状安定化手段は、前記成形型が前記パネルから離間した後であって、前記蛍光体流動材料の形状が保持されている間に、加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して、前記蛍光体流動材料の形状安定化を図る
ことを特徴とする請求項２１に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２４】
前記成形型には、外面側から前記凹部まで連通する蛍光体流動材料の充填用としての材料充填経路が形成されており、
前記充填手段は、前記パネルに対して所定の位置に配された成形型の前記材料充填経路をもって、前記凹部の内方に蛍光体流動材料の充填を実施する
ことを特徴とする請求項２０に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２５】
前記成形型には、前記パネルに対して所定の位置に配された際に、前記隔壁の頂部あるいはその近傍に相対する箇所から当該成形型の外面まで連通するように、ガス抜き用のガス排気経路が形成されている
ことを特徴とする請求項２４に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２６】
前記隔壁形成手段は、前記パネルの主面上に複数の凹部が形成されるように隔壁を形成するものであって、
前記成形型は、前記複数の凹部の一部に対応するサイズおよび形状を有し、
前記型配置手段は、前記成形型を、前記パネルの主面方向に移動させながら、前記パネルに形成された全ての凹部に対して順次配する
ことを特徴とする請求項２０に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２７】
前記隔壁形成手段は、前記パネルの主面上に複数の凹部が形成されるように隔壁を形成するものであって、
前記成形型が、前記複数の凹部の全てに対応するサイズおよび形状を有する
ことを特徴とする請求項２０に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２８】
前記隔壁形成手段は、
前記パネルの一方の主面上に隔壁形成材料を含む隔壁流動材料を層状に塗布する隔壁材料塗布部と、
前記主面上に塗布された隔壁流動材料に対して、形成しようとする隔壁の形状に対応する凹凸部を有する第２の成形型を、前記隔壁流動材料の層厚み方向に型押しする型押し部とを備える
ことを特徴とする請求項２７に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２９】
前記隔壁形成手段における第２の成形型は、前記型配置手段における成形型を兼用している
ことを特徴とする請求項２８に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項３０】
前記型配置手段における成形型は、前記凸形状部の外表面が前記蛍光体流動材料に対する離型性を有している
ことを特徴とする請求項２０から２９の何れかに記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項３１】
前記充填手段によって充填される蛍光体流動材料には、溶媒が含有されており、
前記型配置手段における成形型は、前記凸形状部に前記溶媒を吸収する機能が付加されている
ことを特徴とする請求項２０から３０の何れかに記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項３２】
前記隔壁形成手段は、前記パネルの主面に沿った少なくとも２方向に前記隔壁を列設する
ことを特徴とする請求項２０から３１の何れかに記載のディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネルの製造方法および製造装置に関し、特に、背面パネルの製造技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイパネルの一種であるプラズマディスプレイパネル（以下では、「ＰＤＰ」と記載する。）は、一対の基板が互いの間に放電空間を挟んだ状態で対向配置された構成を有している。一対のパネルの内、所謂、背面パネルは、背面基板の一方の主表面上に複数のデータ電極がストライプ状に形成され、データ電極が形成された背面基板の主表面を被覆するように下地誘電体層が形成され、さらに下地誘電体層の表面上であって、データ電極とデータ電極との間に相当する各個所に隔壁が突設された構成を有する。また、背面パネルには、隣り合う一対の隔壁と下地誘電体層とで構成される溝部分の壁面に蛍光体層が形成されている。
【０００３】
蛍光体層は、溝毎に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各蛍光体材料が使い分けられて、形成されている。
ところで、蛍光体層の形成には、従来よりスクリーン印刷法により蛍光体ペーストを塗布する方法が用いられているが、この方法によると隔壁の側壁面に高い精度をもって蛍光体層を形成することが困難である。この方法を用いて製造されたＰＤＰでは、画素毎のホワイトバランスを正確にとることができず画質の低いものとなってしまう。また、このＰＤＰでは、蛍光体層の厚みにバラツキを有することから、薄い箇所で蛍光体層が放電による蛍光体劣化を生じやすく、パネル全体としての寿命が短いものとなる。また、このような蛍光体層の形成方法では、前面パネル側への蛍光体ペーストのまわりこみを生じることもあり、高い精度での蛍光体層の形成が困難である。
【０００４】
このような問題に対して、従来では、フォトレジストを用いる方法（例えば、特許文献１参照。）、サンドブラスト法を用いて不用部分を除去する方法（例えば、特許文献２参照。）、吹付けフォトリソグラフィー法を用いてパターニングする方法（例えば、特許文献３参照。）、ディスペンサー法（例えば、特許文献４参照。）、フィルムを用いた転写法（例えば、特許文献５参照。）などが開発されているが、製造コストおよび寸法精度の両立という観点から課題が残る。
【０００５】
このような課題に対しては、形成しようとする蛍光体層の表面形状に合わせた形状を有するノズルを用いて蛍光体層を形成する技術も開発されている（特許文献６参照）。
【特許文献１】特開平０４−６７５２９号公報
【特許文献２】特開平０６−５２０５号公報
【特許文献３】特開平０５−４１１５９号公報
【特許文献４】特開２０００−１１３８１５号公報
【特許文献５】特開２００１−２１０２３６号公報
【特許文献６】特開２００３−２７２５２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１〜５に係る蛍光体層の形成技術では、コスト面と品質面とを両立することが困難であり、また、上記特許文献６に係る蛍光体層の形成技術では、ノズルを隔壁に沿って走査するので、ストライプ状の隔壁を有する形態にしか対応することができず、クロストークの防止などに効果がある井桁状の隔壁を有するものには適用することができない。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決しようとなされたものであって、高い寸法精度を有した蛍光体層をコストの上昇を伴うことなく形成することが可能であって、種々の隔壁形状に対しても適用可能なディスプレイパネルの製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るディスプレイパネルの製造方法は、次のような特徴を有する。
本発明に係るディスプレイパネルの製造方法は、パネルの一方の主面に隔壁を立設し、隔壁を仕切りとする凹部をパネルの主面上に形成する隔壁形成ステップと、主面上に形成された凹部の内方に蛍光体粒子を含む蛍光体流動材料（例えば、蛍光体ペースト、蛍光体インクなど）を充填する充填ステップと、凹部の形状に相対する凸形状部を有する成形型を、当該凸形状部の外壁面と凹部の内壁面との間に所要の間隙を有するまで、凹部の深さ方向に移動させる型配置ステップとを備えることを特徴とする。ここで、型配置ステップと充填ステップとの時間的な前後関係は、何れを先に実施してもよい。
【０００９】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、型配置ステップを充填ステップよりも後に実施する場合には、充填ステップにおいて凹部内方に充填された蛍光体流動材料に対して、成形型の凸形状部をもって押圧することができる。これによって、押圧を受けた蛍光体流動材料は、凹部の側壁および底壁の各表面に被着するとともに、その膜厚が一定になる。
【００１０】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、型配置ステップを充填ステップよりも先に実施され、充填ステップで蛍光体流動材料を成形型と凹部との間隙へ充填することができる。このように、型配置ステップの後に充填ステップを実施する場合であって、成形型に蛍光体流動材料を充填するための材料充填経路を設けておけば、簡易に蛍光体層の形成を行うことが可能となる。
【００１１】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、成形型には、凸形状部に吐出口を有すつ材料充填経路が設けられており、充填ステップでは、成形型の材料充填経路を用いて蛍光体流動材料を前記間隙へ充填することを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、充填ステップおよび型配置ステップの後に、蛍光体流動材料に対して加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して蛍光体流動材料の形状安定化を図る形状安定化ステップを備えることを特徴とする。このように、本発明に係るディスプレイパネルの製造方法では、蛍光体流動材料の形状を安定化させるステップを備えることで、成形型によって寸法などに規制を受けた蛍光体流動材料がより型崩れし難くなり、高い精度の蛍光体層を形成する上で望ましい。蛍光体流動材料の形状を安定化させるための具体策としては、例えば、加熱処理や紫外線照射処理などを採用することができる。
【００１２】
ここで、形状の安定化を図るには、成形型をパネルに対して配置したままの状態を維持しながら実施することがより望ましい。そして、紫外線照射をもって蛍光体流動材料の形状安定化を図るには、成形型が紫外線透過特性を有することが望ましい。例えば、石英ガラスなどを用いて成形型を形成するなどの方策によって実現することができる。
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、形状安定化ステップは、パネルの凹部に対して成形型を配置した状態を維持して実施することを特徴とする。
【００１３】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、形状安定化ステップは、少なくとも紫外線照射を伴うものであって、成形型は、照射された紫外線を蛍光体流動材料にまで透過する特性を有することを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、形状安定化ステップは、成形型をパネルから離間させた後に実施することを特徴とする。
【００１４】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、隔壁形成ステップにおいて、パネルにおける凹部は、主面上に複数形成されるものであって、型配置ステップで用いる成形型は、複数の凹部の一部に対応するサイズおよび形状を有することを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、隔壁形成ステップにおいて、パネルにおける凹部は、主面上に複数形成されるものであって、型配置ステップで用いる成形型は、パネル上における全ての凹部に対応するサイズおよび形状を有することを特徴とする。
【００１５】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、隔壁形成ステップは、パネルの一方の主面上に隔壁形成材料を含む隔壁流動材料（例えば、隔壁用ペースト、隔壁用インクなど）を層状に塗布する隔壁材料塗布サブステップと、パネルの主面上に塗布された隔壁流動材料に対して、形成しようとする隔壁の形状に相対する凹凸部を有する第２の成形型をもって、当該隔壁流動材料の層厚み方向に型押しする型押しサブステップとを有することを特徴とする。このように、隔壁の形成においても型押しを実施することが精度の確保という観点から望ましい。
【００１６】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、隔壁形成ステップは、第２の成形型で隔壁流動材料を型押しした状態を維持しながら加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して隔壁流動材料の形状安定化を図る形状安定化サブステップを備えることを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、隔壁形成ステップで用いる第２の成形型には、型配置ステップで用いる成形型を兼用することを特徴とする。このように、型配置ステップで用いる成形型と隔壁形成ステップで用いる第２の成形型とを成形型を兼用するようすれば、パネルの面方向にその位置を維持して隔壁の形成と蛍光体層の形成とを実施することができるので、より望ましい。
【００１７】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、パネルの主面方向において、成形型とパネルとの相対位置は、隔壁形成ステップの型押しサブステップから型配置ステップに至るまで保持されていることを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、型配置ステップおよび隔壁形成ステップの後には、蛍光体流動材料および隔壁流動材料の焼成を行う焼成ステップを有することを特徴とする。
【００１８】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、成形型は、凸形状部の外壁面が蛍光体流動材料に対する離型性を有することを特徴とする。このように、成形型の少なくとも凸部形状部に蛍光体流動材料に対する離型性を付加しておくことが、蛍光体層の精度確保という観点から望ましい。例えば、成形型の該当部分表面をフッ素樹脂やシリコーンゴムなどでコーティングしておくことで、蛍光体流動材料に対する離型性を付加することが可能となる。
【００１９】
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体流動材料には、溶媒が含有されており、成形型は、蛍光体流動材料中の溶媒を吸収する機能を有することを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、成形型は、凸形状部の外壁面が溶媒を吸収する機能を有することを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造方法であって、隔壁形成ステップでは、パネルの主面に沿った少なくとも２方向に隔壁を列設することを特徴とする。
【００２０】
また、上記目的を達成するために、本発明に係るディスプレイパネルの製造装置は、次のような特徴を有する。
本発明に係るディスプレイパネルに製造装置は、パネルの一方の主面上に隔壁を立設し、隔壁を仕切りとする凹部をパネルの主面上に形成する隔壁形成手段と、パネルの主面上に形成された凹部内方に対して、蛍光体粒子を含む蛍光体流動材料を充填する充填手段と、凹部の形状に相対する凸形状部を有する成形型を有し、当該成形型を、成形型における凸形状部分の外壁面とパネルにおける凹部の内壁面との間に所要の間隙を有するまで、凹部の深さ方向に移動させる型配置手段とを備えることを特徴とする。
【００２１】
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、充填手段および型配置手段とにより、パネルにおける凹部の内壁面に所要の形状をもって被着された蛍光体流動材料に対して、加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して蛍光体流動材料の形状安定化を図る形状安定化手段を備えることを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、型配置手段が有する成形型は、熱伝導性および紫外線透過性の少なくとも一方を有しており、形状安定化手段は、成形型がパネルに対して配されたままの状態を維持しながら、当該成形型を介して加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して、蛍光体流動材料の形状安定化を図ることを特徴とする。
【００２２】
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、形状安定化手段は、成形型がパネルから離間した後であって、蛍光体流動材料の形状が保持されている間に、加熱および紫外線照射の少なくとも一方を実施して、蛍光体流動材料の形状安定化を図ることを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、成形型には、外面側から凹部まで連通する蛍光体流動材料の充填用としての材料充填経路が形成されており、充填手段は、パネルに対して所定の位置に配された成形型の材料充填経路をもって、凹部の内方に蛍光体流動材料の充填を実施することを特徴とする。
【００２３】
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、成形型には、パネルに対して所定の位置に配された際に、隔壁の頂部あるいはその近傍に相対する箇所から当該成形型の外面まで連通するように、ガス抜き用のガス排気経路が形成されていることを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、隔壁形成手段は、パネルの主面上に複数の凹部が形成されるように隔壁を形成するものであって、成形型は、複数の凹部の一部に対応するサイズおよび形状を有し、型配置手段は、成形型を、パネルの主面方向に移動させながら、パネルに形成された全ての凹部に対して順次配することを特徴とする。
【００２４】
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、隔壁形成手段は、パネルの主面上に複数の凹部が形成されるように隔壁を形成するものであって、成形型が、複数の凹部の全てに対応するサイズおよび形状を有することを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、隔壁形成手段は、パネルの一方の主面上に隔壁形成材料を含む隔壁流動材料を層状に塗布する隔壁材料塗布部と、主面上に塗布された隔壁流動材料に対して、形成しようとする隔壁の形状に対応する凹凸部を有する第２の成形型を、隔壁流動材料の層厚み方向に型押しする型押し部とを備えることを特徴とする。
【００２５】
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、隔壁形成手段における第２の成形型は、型配置手段における成形型を兼用していることを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、型配置手段における成形型は、その凸形状部の外表面が蛍光体流動材料に対する離型性を有していることを特徴とする。
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、充填手段によって充填される蛍光体流動材料には、溶媒が含有されており、型配置手段における成形型は、凸形状部に蛍光体流動材料中の溶媒を吸収する機能が付加されていることを特徴とする。
【００２６】
上記ディスプレイパネルの製造装置であって、隔壁形成手段は、パネルの主面に沿った少なくとも２方向に隔壁を列設することを特徴とする。
なお、本発明に係るディスプレイパネルの製造方法および製造装置は、ストライプ状あるいは井桁状などの種々の形態の隔壁形状に対して適用可能であるが、井桁状の隔壁を有するディスプレイパネルを製造する上で特に有効である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係る製造方法および製造装置では、型配置ステップにおいて、隔壁の形成によってパネルの主面上に形成された凹部に相対する凸形状部を有する成形型を、凸形状部の外壁面と凹部の内壁面との間隙が所要寸法となるまで、凹部の深さ方向に移動させ、型配置ステップの前または後で、凹部に蛍光体流動材料を充填する。このようにすることで、本発明に係る製造方法により形成される蛍光体層の形状・寸法は、成形型の凸形状部の外壁面と凹部内壁面との間隙によって設定されることになる。
【００２８】
また、本発明に係る製造方法および製造装置では、工程が煩雑となることもなく、また、複雑で高価な装置を使用する必要もない。よって、本発明に係るディスプレパネルの製造方法および製造装置では、上記特許文献１〜５に代表されるような従来の技術に比べて、高い寸法精度を有した蛍光体層をコストの上昇を伴うことなく形成することができる。
また、本発明に係るディスプレイパネルの製造方法および製造装置では、成形型の移動方向をパネルに形成された凹部の深さ方向としているので、井桁状などを含む種々の隔壁形状に対応して蛍光体層の形成が可能であって、上記特許文献６の技術に比べて優位性を有している。
【００２９】
従って、本発明に係るディスプレイパネルの製造方法および製造装置は、高い寸法精度を有した蛍光体層をコストの上昇を伴うことなく形成することが可能であって、種々の隔壁形状に対しても適用可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下では、発明を実施するための最良の形態について、一例を用いて説明する。なお、以下の説明で用いるのは、本発明の一例であって、本発明がその特徴とする構成以外、以下の例に限定されるものではない。
（実施の形態１）
実施の形態１に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法と、この製造に用いる製造装置について、図１〜４を用いて説明する。
【００３１】
１．隔壁形成ステップ
図１（ａ）に示すように、ガラス基板１１の一方の主面上全体に、感光性の銀（Ａｇ）ペーストを塗布して膜を形成した後、フォトリソグラフィー法を用いてストライプ状とし、これを約５５０（℃）の温度で焼成してデータ電極１２を形成する。ここで、ガラス基板１１には、例えば、厚み２．６（ｍｍ）のソーダライムガラスなどを用いることができ、この上に形成するＡｇ膜の膜厚みは、例えば、約５（μｍ）程度とする。
【００３２】
次に、データ電極１２がストライプ状に形成されたガラス基板１１の主面上に、例えば、軟化点が５５０〜６００（℃）程度の誘電体ガラス粉末（酸化鉛系あるいは酸化ビスマス系）とブチルカルビトールアセテート等からなる有機バインダーとを混合した誘電体ペーストを全面塗布する。そして、この誘電体ペーストを乾燥させた後、５５０〜６５０（℃）程度の温度で焼成して下地誘電体層１３を形成する。なお、下地誘電体層１３の形成にあたっては、構成材料の中に酸化チタン（ＴｉＯ2）などを含有させておくこともできる。
【００３３】
その後、鉛系のガラス材料を用いて隔壁用のガラスペーストを作製し、これをスクリーン印刷法などを用いて下地誘電体層１３の主面上に形成していく。このとき、隔壁１４の形成形状は、図のＸ方向に延びる隔壁部１４ａとＹ方向に延びる隔壁部１４ｂとからなるようにしておく。即ち、ＸＹ両方向に延びる井桁状としておく。そして、所要の高さ（例えば、６０〜１００μｍ）までガラスペーストを塗布し終わったら、焼成を実施して隔壁１４の形成が完了する。
【００３４】
なお、図１（ａ）に示すように、本実施の形態において、隔壁１４の高さは、Ｘ方向に伸びる隔壁部１４ａがＹ方向に延びる隔壁部１４ｂよりも若干高くなるように設定されている。
以上のようにして、主面上に井桁状の隔壁１４が形成され、ガラス基板１１上には、隔壁１４と下地誘電体層１３とによって複数の凹部が形成されるに至る。この形成された各々の凹部は、プラズマディスプレイパネルにおいて放電セルに相当するものである。
【００３５】
２．蛍光体ペースト充填ステップ
上述のように隔壁１４の形成によって複数の凹部が形成されたガラス基板１１（以下では、この状態の基板を「隔壁形成パネル１００」と記載する場合がある。）に対して、各凹部毎に蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂを充填する。蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの充填には、ディスペンサ２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂを用いる。
【００３６】
充填する蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂは、次のようにして作製される。
蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂは、色毎に設けたサーバ内に５０（質量％）トなる量の各蛍光体と、有機溶媒としてのターピネオールを４６（質量％）と、バインダとしてのエチルセルロースを４（質量％）とを入れ、例えば、サンドミルなどを用いて攪拌・混合する。攪拌・混合により、蛍光体ペーストの粘度は、例えば、１０〜２００（ｄＰａ・ｓ）の範囲内に調整される。ここで、各蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂに混入される蛍光体には、次に示すような蛍光体を用いることができる。
【００３７】
赤色（Ｒ）；（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ
Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ
Ｙ2ＳｉＯ4：Ｅｕ
Ｙ3ＡｌＯ12：Ｅｕ
Ｚｎ3（ＰＯ4）2：Ｍｎ
ＹＢＯ3：Ｅｕ
ＧｄＢＯ3：Ｅｕ
ＳｃＢＯ3：Ｅｕ
ＬｕＢＯ3：Ｅｕ
緑色（Ｇ）；Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ
ＢａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ
ＳｒＡｌ13Ｏ19：Ｍｎ
ＣａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ
ＹＢＯ3：Ｔｂ
ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｍｎ
ＬｕＢＯ3：Ｔｂ
ＧｄＢＯ3：Ｔｂ
ＳｃＢＯ3：Ｔｂ
Ｓｒ6Ｓｉ3Ｏ3Ｃｌ4：Ｅｕ
青色（Ｂ）；Ｙ2ＳｉＯ5：Ｃｅ
ＣａＷＯ4：Ｐｂ
ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ
なお、ペーストには、希釈剤もしくは分散剤として公知の有機溶媒もしくは水などを用いることができ、バインダーとしてポリビニルアルコールやアルキル化セルロースなどの各種有機材料を用いることもできる。
【００３８】
また、必要に応じてペースト中にガラスフリットを混合することもでき、これによって下地誘電体１３の表面や隔壁１４の表面との接着性を高めることが可能となり、耐久性に優れたプラズマディスプレイパネルの製造に有効である。例えば、用いるガラスフリットとしては、融点が３５０〜６００（℃）程度のものが望ましい。
３．型押しステップ
次に、ガラス基板１１上の凹部に充填された蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの形状を規制するための型成形ステップについて、図２および図３を用いて説明する。
【００３９】
図２に示すように、凹部に蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂが各々充填されたガラス基板１１に対して、Ｚ方向に成形モールド３００を嵌め合わせる。成形モールド３００は、例えば、金属材料からなり、ガラス基板１１上に形成された凹部の形状に相対した凸形状部３００ａを複数有している。
成形モールド３００を凹部に嵌め合わせる際には、凸形状部の先端部分と下地誘電体層１３の表面との間に隙間ｄ１を残し、且つ、隔壁１４の側壁面との間にも所要の隙間を残すようにする。なお、間隙ｄ１などについては、用いる蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂを焼成した際の体積変化などを考慮して設定されるものである。
【００４０】
図３に示すように、本実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造過程で用いる成形モールド３００は、隔壁形成パネル１００に複数形成された凹部の一部に対して対応するサイズおよび形状に設定されている。即ち、本実施の形態では、複数の凹部に対して回数を分けて蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの型押しを実施することにより、形成された隔壁１４のバラツキを型押しの段階で吸収することが可能となる。ただし、通常、隔壁１４の形成精度は、蛍光体層などの形成精度などに比べて高いものであるので、隔壁形成パネル１００における全ての凹部に対して一度に型押しが可能なサイズ、形状を有する成形モールドを用いることも可能である。
【００４１】
図３に示すように、本実施の形態に係る製造方法では、隔壁形成パネル１００を載置するテーブル４０１、これをＸ方向およびＹ方向に駆動する駆動部４０２、４０３、テーブル４０１上で隔壁形成パネル１００を固定するチャック４０４、パネル取りつけ基準板４０５ａ、４０５ｂなどからなるＸＹテーブル４００を用いる。また、成形モールド３００は、モールドベース３０１に取りつけられており、モールドベース３０１は、昇降シリンダ（不図示）のシャフト３０２に固定されている。
【００４２】
このような構成を有する製造装置では、成形モールド３００を隔壁１４の高さ方向（Ｚ方向）に昇降することで凹部内の蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂを型押しし、一定領域の型押しが済めば、駆動部４０２、４０３によって隔壁形成パネル１００がＸ、Ｙの両方向に移動される。そして、隔壁形成パネル１００の全ての凹部の蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの型押しが終了するまで繰り返しこの操作が実行される。
【００４３】
なお、隔壁形成パネル１００と成形モールド３００との相対位置については、テーブル４０１への隔壁形成パネル１００の配置などを考慮して補正する必要などもある。このため、正確な位置関係を得るためには、モールドベース３０１などに位置検出センサを設けておき、隔壁形成パネル１００の基準となる位置を測定し、成形モールド３００での型押しの際に位置補正を実施することも有効である。ここで、位置検出センサには、接触型のセンサを用いることも、被接触センサを用いることも可能である。
【００４４】
図２に戻って、成形モールド３００によって型押しされた蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂは、成形モールド３００の凸形状部３００ａの外壁面と隔壁１４および下地誘電体層１３の表面との間で形状が規定され、隔壁１４の壁面にも被着された成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂとなる。このとき、成形モールド３００によって型押しされた成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂは、その膜厚みも一定となる。
【００４５】
４．形状安定化ステップ
本実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造過程においては、上記型押しステップの後に、成形モールド３００を退避させ成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂに対して紫外線（ＵＶ）照射を実施する。このＵＶ照射を受けた各成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂは、その表面１５２Ｒａ、１５２Ｇａ、１５２Ｂａから所定の厚みだけ内方まで硬化することになり、これによって形状が安定化された形状安定化ペースト１５２Ｒ、１５２Ｇ、１５２Ｂとなる。
【００４６】
なお、ＵＶ照射については、成形モールド３００を用いて型押しした成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂから順次実施すればよく、隔壁形成パネル１００の全ての蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの型押しの終了を待つ必要はない。例えば、上記図３の成形モールド３００に追従してテーブル４０１と相対的に移動し、ＵＶ照射できる構成とすればよい。
【００４７】
また、形状安定化ステップの実施タイミングについては、成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂの形状が維持されている間に設定することが必要となる。特に、隔壁１４の上部壁面に被着された蛍光体ペーストについては、下方に垂れ易いので注意を要する。
なお、形状安定化ステップについては、上記図４のＵＶ照射によるものだけでなく、次のような手段によっても実施することが可能である。
【００４８】
図５（ａ）に示すように、成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂを加熱し、表面１５３Ｒａ、１５３Ｇａ、１５３Ｂａがその形状が安定化された形状安定化ペースト１５３Ｒ、１５３Ｇ、１５３Ｂとすることもできる。また、図５（ｂ）に示すように、ＵＶ照射と加熱との両方を実施し、表面１５４Ｒａ、１５４Ｇａ、１５４Ｂａが硬化した状態の形状安定化ペースト１５４Ｒ、１５４Ｇ、１５４Ｂとすることもできる。
【００４９】
ここで、本実施の形態では、形状安定化ステップを成形モールド３００を隔壁形成パネル１００から離間させた後に実施することとしたが、必ずしも離間させた後に実施する必要はない。例えば、上記図２のような成形モールド３００の配置を維持した状態で、成形モールド３００自体を加熱し、成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂの形状の安定化を図ってもよいし、成形モールド３００を紫外線透過性を有する材料、例えば、石英ガラスなどから形成しておけば、成形モールド３００の外側よりＵＶ照射を実施することで照射されたＵＶは成形蛍光体ペースト１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂに到達するに至り、形状の安定化を図ることができる。これについては、後述する。
【００５０】
５．焼成ステップ
図示はしていないが、図４または図５に示すように形状安定化が図られた形状安定化ペースト１５２Ｒ〜１５４Ｒ、１５２Ｇ〜１５４Ｇ、１５２Ｂ〜１５４Ｂを所定の温度、所定の時間（例えば、約５００℃で１０ｍｉｎ．）焼成することで蛍光体層の形成が完了する。そして、この後に、別途作製された前面パネルと蛍光体層の形成が完了した背面パネルとを張り合わせ、放電空間内にＸｅ−Ｎｅ、Ｘｅ−Ｎｅ−Ｈｅなどからなる放電ガスを充填することでプラズマディスプレイパネルが完成する。
【００５１】
以上のような過程を経る本実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法では、高い寸法精度を有した蛍光体層をコストの上昇を伴うことなく形成することが可能であって、種々の隔壁形状に対しても適用可能である。ここで、隔壁１４の寸法のバラツキは、通常、数百（ｎｍ）程度であり、これをベースとする本実施の形態に係る蛍光体層の形成では、寸法精度が高いことが保証される。
【００５２】
６．型押しステップで用いる成形モールド３００
上記型押しステップで蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの形状・寸法の規制に用いた成形モールド３００は、例えば、次のような方法を用いて作製することができる。
成形モールド３００は、平板状のベース体の一方の主面に対して、所定形状で予め作製した凸形状チップをロウ付けなどの方法で接合することで作製することができる。ここで、形状安定化ステップにおいて、成形モールド３００を配したままの状態で加熱を実施する場合には、加熱に対しても歪などを生じない材料で成形モールド３００を作製しておくことが必要である。
【００５３】
また、成形モールド３００の作製にあたっては、フォトリソ工程を用いることもできる。そして、型押しステップにおいて、成形モールド３００と蛍光体ペースト１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂとの間の離型性を考慮して、その表面をフッ素樹脂やシリコーンゴムなどでコーティングしておくこともできる。
（実施の形態２）
実施の形態２に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法について、図６を用いて説明する。なお、以下の説明においては、上記実施の形態１との差異部分のみを説明するものとし、重複部分についての説明は、図示を含めて省略する。
【００５４】
図６（ａ）に示すように、本実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、上記図１（ａ）と同様の形態を有するガラス基板１１に対して、先ず、成形モールド３１０を嵌め合わせる。本実施の形態に係る成形モールド３１０は、上記実施の形態１煮かかる製造過程で用いた成形モールド３００とは異なり、Ｚ方向に向けてモールド３１０を貫く細孔３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂおよび細孔３１２が設けられている。
【００５５】
成形モールド３１０に設けられた細孔３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂは、それぞれ蛍光体ペーストを充填するために設けられた充填経路として機能するものであり、各凸形状部３１０ａ毎に設けられている。また、細孔３１２は、成形モールド３１０をガラス基板１１に対して嵌め合わせた際に、隔壁１４の頂部分に対向する部分に開口部が位置することになるよう形成されており、蛍光体ペーストを充填する際の残留ガス（例えば、空気）を排気するための役割を担う。
【００５６】
図６（ｂ）に示すように、成形モールド３１０を嵌め合わせた後、成形モールド３１０とガラス基板１１および隔壁１４との間隔を維持しながら、細孔３１１Ｒから赤色蛍光体ペースト１６０Ｒ、細孔３１１Ｇから緑色蛍光体ペースト１６０Ｇ、細孔３１１Ｂから青色蛍光体ペースト１６０Ｂを間隙に充填する。充填された各色の蛍光体ペースト１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂは、成形モールド３１０における凸形状部３１０ａの外壁面と下地誘電体層１３および隔壁１４の外壁面との間の間隙に充填されていく。そして、蛍光体ペースト１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂの上端部分が隔壁１４の頂部分よりもやや下方となる位置までとなる量のペーストを充填したところで蛍光体ペースト１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂの充填を完了する。
【００５７】
これの後、上記実施の形態１と同様に、充填された蛍光体ペースト１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂの形状安定化ステップを実施し、焼成ステップを経ることによって蛍光体層の形成が完了する。
このように本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法でも、上記実施の形態１と同様に、高い寸法精度を有した蛍光体層をコストの上昇を伴うことなく形成することが可能であって、種々の隔壁形状に対しても適用可能である。
【００５８】
なお、本実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法では、成形モールド３１０に設けられた細孔３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂを用いて蛍光体ペースト１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂの充填を実施するのであるが、形状安定化ステップの実施前あるいは焼成ステップの実施前に細孔３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂのペースト吐出口に形成される尖りを除去することが望ましい。
【００５９】
また、本実施の形態に用いる成形モールド３１０は、上記実施の形態１と同様の方法を用いて作製することができる。また、成形モールド３１０の凸形状部３１０ａの外表面に蛍光体ペースト１６０Ｒ、１６０Ｇ、１６０Ｂとの間での離型性を有するように、表面をフッ素樹脂やシリコーンゴムなどでコーティングしておいてもよい。
（変形例１）
上記実施の形態１、２における変形例について、図７（ａ）を用いて説明する。本変形例が特徴とするのは、型押しステップで用いる成形モールドにある。
【００６０】
図７（ａ）に示すように、本変形例に係る成形モールド３２０は、ガラス基板上の隔壁により形成される凹部に対応する凸形状部の表面３２０ａが蛍光体ペースト中に含まれる溶媒成分を吸収する機能を有する。具体的には、図７（ａ）の拡大部分に示すように、ベースとなる型本体３２１における凸形状部の表面３２０ａには、例えば、吸水性ポリマーフィルム３２２が貼り付けられている。
【００６１】
このように凸形状部の表面３２０ａに吸水性ポリマーフィルム３２２が貼り付けられた構造を有する成形モールド３２０を用いて蛍光体ペーストの型押しを実施した場合には、型押しの時点で蛍光体ペースト中の溶媒成分（例えば、ターピネオールなど）を成形モールド３２０の表面の吸水性ポリマーフィルム３２２が吸収するので、成形モールド３２０を型押しされた蛍光体ペーストから離間させても、蛍光体ペーストの型崩れを発生し難い。よって、本変形例に係る成形モールド３２０は、寸法精度の高い蛍光体層を形成するのに適している。
【００６２】
（変形例２）
本変形例についても、型押しステップで用いる成形モールドに特徴を有するものであって、成形モールド３３０の構成について、図７（ｂ）を用いて説明する。
図７（ｂ）に示すように、本変形例に係る成形モールド３３０は、全体が蛍光体ペースト中に含まれる溶媒成分を吸収可能な材料から形成されている。具体的には、例えば、成形モールド３３０は、全体が多孔性の樹脂材料から構成されている。ここで、樹脂材料の選択等においては、その孔径が溶媒成分を吸収可能であって、且つ、蛍光体粒子そのものが入り込まないものであるようにすることが必要となる。
【００６３】
本変形例に係る成形モールド３３０を用いて型押しステップを実行した場合にも、上記変形例１に係る成形モールド３２０を用いた場合と同様に、型押し後における蛍光体ペーストの形状安定性を高く保持することが可能である。即ち、本変形例に係る成形モールド３３０を使用した場合においても、型押しステップで蛍光体ペーストに対して成形モールド３３０を接触させると、毛細管現象により蛍光体ペース途中における溶媒成分（例えば、ターピネオールなど）が成形モールド３３０の孔内に吸収されることになり、蛍光体ペーストの流動性の低減を図ることができる。
【００６４】
従って、本変形例に係る成形モールド３３０についても、寸法精度の高い蛍光体層を形成するのに適している。
なお、本変形例では、成形モールド３３０を構成する材料の一例として、多孔性の樹脂材料をあげたが、必ずしもこれに限定を受けるものではない。毛細管現象等を利用して蛍光体ペースト中における溶媒成分を成形モールドの側に吸収することができるようなものであれば、これに限らず用いることが可能である。
【００６５】
（変形例３）
変形例３に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法について、図８を用いて説明する。
上記実施の形態１でも少し触れたが、形状安定化ステップについては、成形モールド３４０を嵌め合わせた状態を維持したままで実施してもよい。図８に示すように、本変形例に係る成形モールド３４０は、熱伝導性に優れるものであって、また、蛍光体ペーストの形状の安定化を図るときに掛かる温度に対して耐性を有するものである。具体的には、例えば、ステンレスなどの金属材料を用いて構成されている。
【００６６】
本変形例に係る製造方法では、このような成形モールド３４０をガラス基板１１に対してはめ合わせた状態を維持したまま、成形モールド３４０の外方から熱を加える。成形モールド３４０に加えられた熱は、成形モールド３４０内を伝導し、蛍光体ペースト１７０Ｒ、１７０Ｇ、１７０Ｂに到達し、これらの形状の安定化を図る。
以上のような成形モールド３４０を用いる本変形例に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法では、成形モールド３４０を嵌め合わせた状態を維持したまま、形状安定化ステップを実行するので、上記実施の形態１、２などにもまして高い寸法精度で蛍光体層を形成することが可能となる。
【００６７】
なお、上記では、成形モールド３４０の構成材料の一例として、ステンレスなどの金属材料をあげたが、セラミック材料などを用いることも可能である。
（変形例４）
変形例４に係る製造方法で用いる成形モールド３５０について、図９を用いて説明する。
【００６８】
図９に示すように、本変形例に係る成形モールド３５０は、外方から照射された紫外線（ＵＶ）を蛍光体ペースト１７１Ｒ、１７１Ｇ、１７１Ｂにまで透過する性質を有するものである。上記変形例３などと同様に、成形モールド３５０を用いて蛍光体ペースト１７１Ｒ、１７１Ｇ、１７１Ｂを型押しした状態を維持しながら、成形モールド３５０の外方よりＵＶを照射する。照射されたＵＶは、成形モールド３５０内を透過し、蛍光体ペースト１７１Ｒ、１７１Ｇ、１７１Ｂにまで到達し、これらの形状の安定化を図る。
【００６９】
本変形例に係る成形モールド３５０を用いた製造方法でも、上記変形例３に係る製造方法と同様に、より高い寸法精度での蛍光体層の形成が可能である。
なお、本変形例に係る成形モールド３５０の構成材料としては、例えば、石英ガラスなどをあげることができる。
また、図１０に示すように、熱伝導性とＵＶ透過性との両性能を兼ね備える成形モールド３６０を用いれば、形状安定化ステップにおいて、型押しされた状態の蛍光体ペースト１７２Ｒ、１７２Ｇ、１７２Ｂに対して、加熱およびＵＶ照射の両方の手段をもって、それらの形状の安定化を図ることが可能となる。この場合にも、高い寸法精度で蛍光体層を形成することができる。
【００７０】
（実施の形態３）
次に、実施の形態３に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法について、図１１、１２を用いて説明する。図１１、１２は、隔壁１８および蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂの形成過程を示す工程図である。
先ず、図１１（ａ）に示すように、一方の主面上にデータ電極１２および下地誘電体層１３が形成されたガラス基板１１を作製する。これについては、上記実施の形態１などと同様である。
【００７１】
次に、図１１（ｂ）に示すように、下地誘電体層１３の表面上に、隔壁１８を形成するためのガラスペースト１８０を一様な厚みで塗布する。塗布するガラスペースト１８０は、例えば、鉛系のガラス粒子を含むペーストである。
図１１（ｃ）に示すように、ガラスペースト１８０が一様に塗布されたガラス基板１１に対して、形成しようとする隔壁、それによって形成される凹部の形状に相対する形状の凸形状部３７０ａを有する成形モールド３７０を嵌め合わせる。成形モールド３７０の嵌め合わせについては、凸形状部３７０ａの先端面（図１１（ｃ）におけるＺ方向下端面）が下地誘電体層１３の表面に到達するまでとする。このように成形モールド３７０を嵌め合わせることでガラスペースト１８０は、形成しようとする隔壁１８に相当する形状に成形される（この状態のガラスペーストを図１１（ｃ）以降では、成形ガラスペースト１８１として示す）。
【００７２】
図１２（ａ）に示すように、隣り合う成形ガラスペースト１８１と成形ガラスペースト１８１との間に形成される凹部に対して、上記図１と同様の方法をもって、蛍光体ペースト１９０Ｒ、１９０Ｇ、１９０Ｂを充填する。
図１２（ｂ）に示すように、各蛍光体ペースト１９０Ｒ、１９０Ｇ、１９０Ｂが充填された凹部に対して、再び成形モールド３７０を嵌め合わせる。このとき、成形モールド３７０の嵌め合わせ位置は、成形モールド３７０における凸形状部３７０ａの先端面（図１２（ｂ）におけるＺ方向下端面）と下地誘電体層１３の表面との間に間隙ｄ２が残る程度に設定する。ここで、間隙ｄ２については、上記実施の形態１の間隙ｄ１と同様に、焼成時における蛍光体ペーストの体積変化を考慮して決定される。
【００７３】
本実施の形態に係る製造方法で用いる成形モールド３７０については、隔壁用のガラスペースト１８０を型押しするためと、蛍光体ペースト１９０Ｒ、１９０Ｇ、１９０Ｂを型押しするためとの両方に用いる。そして、成形モールド３７０は、ガラス基板１１の主面に沿った方向において、上記図１１（ｃ）の状態から図１２（ｂ）の状態に至るまでの間、同じ位置に維持されている。
【００７４】
このようにして、成形ガラスペースト１８１と成形蛍光体ペースト１９１Ｒ、１９１Ｇ、１９１Ｂが形成される。最後に、成形ガラスペースト１８１および成形蛍光体ペースト１９１Ｒ、１９１Ｇ、１９１Ｂを一度に焼成することで隔壁１８および蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂが完成する。
本実施の形態に係る製造方法では、上述のように、隔壁１８および蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂを成形モールド３７０を兼用して形成し、その間ガラス基板１１の主面に沿った方向に成形モールド３７０の位置を維持しているので、隔壁１８と蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂの寸法精度をともに高く維持することが可能である。また、隔壁１８を形成するための焼成と蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂを形成するための焼成とを兼ねて実施するので、その分工定数を低減することができ、コスト低減も図ることができる。
【００７５】
従って、本実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法では、高い寸法精度を有する隔壁１８、蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂを製造コストを低く抑えながら形成することができる。
なお、本実施の形態に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法においても、上記変形例１〜４の手段を採用することができる。例えば、図１１（ｃ）に示すガラスペースト１８０の型押しを実施した時点、および図１２（ｂ）に示す蛍光体ペースト１９１Ｒ、１９１Ｇ、１９１Ｂを型押しした時点の各々の時点において、加熱あるいはＵＶ照射などの手段をもって各々の形状の安定化を図ることとしてもよい。
【００７６】
また、本実施の形態では、ガラスペースト１８０を型押しするのに用いる成形モールド３７０を蛍光体ペースト１９０Ｒ、１９０Ｇ、１９０Ｂを型押しするのに用いるものと兼用することとしたが、工程毎に最適な成形モールドをそれぞれ用いることもできる。その際には、ガラス基板１１の主面に沿った方向における成形モールドの相対位置に関する保証手段を設けておくことが望ましい。具体的には、例えば、ガラス基板１１における蛍光体層などの形成とは関係のない領域に目印となるポイントを設けておき、成形モールドをこのポイントを基準とするように位置合わせすることで実現できる。これには、ポイント認識用のセンサー（接触式、非接触式）を用いることができる。
【００７７】
さらに、本実施の形態に係る隔壁１８および蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂの形成は、ガラス基板１１上に形成しようとするもの全体を一度に実施してもよいし、領域毎に分けて実施してもよい。
（その他の事項）
上記実施の形態１〜３、変形例１〜４では、井桁状の隔壁１４、１８を有するプラズマディスプレイパネルの背面パネルを形成する方法を一例として取り上げたが、勿論、ストライプ状の隔壁、あるいはミアンダ構造の隔壁などを有するパネルを製造するために本発明に係る製造方法を用いることもできる。また、図１（ａ）などに示すように、上記実施の形態１では、井桁状に形成された隔壁１４において、Ｘ方向に伸びる隔壁部１４ａと、Ｙ方向に延びる隔壁部１４ｂとでＺ方向高さを異なる設定としたが、必ずしも互いの高さが異なる仕様とする必要はない。即ち、隔壁部１４ａと隔壁部１４ｂとのＺ方向上端面を面一とすることも可能である。
【００７８】
また、データ電極１２の配置、あるいはその他の構成については、適宜変更が可能である。例えば、ガラス基板１１上にデータ電極１２と並行あるいは交差する方向に、所謂、予備電極を設けることとしてもよいし、パネル駆動時における維持期間あるいは書き込み期間にプライミング放電を発生させるための予備放電空間を主放電空間に併設することとしてもよい。
【００７９】
さらに、上記実施の形態１〜３、変形例１〜４であげた各部の構成材料などは、一例であって、本発明はこれに限定を受けるものではない。例えば、上記実施の形態などでは、蛍光体ペーストあるいはガラスペーストを用いることとしたが、通常、「ペースト」という用語は、粘度の高い流動体を指して用いられることが多い。しかしながら、本発明では、型押しの後に形状安定化ステップあるいは焼成ステップに至るまでの間さえ、その形状を保持し得るものであれば、ペーストよりも粘度の低い流動体を用いることも可能である。
【００８０】
また、本発明は、プラズマディスプレイパネル以外にも、パネルの一方の主面に形成された凹部に蛍光体層を備えたディスプレイパネル、例えば、蛍光体層に電子線を照射することにより発光させるＦＥＤ（フィールドエミッションディスプレイ）などの製造にも適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、高い精度が要求される高精細なディスプレイパネルを製造するのに適する。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】実施の形態１に係るＰＤＰの製造過程の内、蛍光体ペーストの充填ステップを示す工程図である。
【図２】実施の形態１に係るＰＤＰの製造過程の内、型押しステップを示す工程図である。
【図３】実施の形態１に係る型押しステップを実現するための装置を示す構成概念図である。
【図４】実施の形態１に係るＰＤＰの製造過程の内、蛍光体ペーストの形状の安定化を図る形状安定化ステップを示す工程図である。
【図５】実施の形態１に係る形状安定化ステップの変形例として工程図である。
【図６】実施の形態２に係るＰＤＰの製造過程の内、モールド配置ステップおよびペースト充填ステップの各々を示す工程図である。
【図７】変形例１、変形例２の各々に係るＰＤＰの製造過程において、型押しステップに用いる成形モールドを示す断面図である。
【図８】変形例３に係る形状安定化ステップを示す工程図である。
【図９】変形例４に係る形状安定化ステップを示す工程図である。
【図１０】変形例４に係る形状安定化ステップの他のバージョンを示す工程図である。
【図１１】実施の形態３に係るＰＤＰの製造過程の内、隔壁成形ステップを示す工程図である。
【図１２】実施の形態３に係るＰＤＰの製造過程の内、蛍光体層形成ステップを示す工程図である。
【符号の説明】
【００８３】
１１．背面基板
１２．データ電極
１３．下地誘電体層
１４、１８．隔壁
１００．背面パネル前駆体
１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ．蛍光体ペースト
１８０．ガラスペースト
２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ．ディスペンサー
３００〜３７０．成形モールド
３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂ．ペースト充填経路
３１２．ガス排気経路
３２２．吸水性ポリマーフィルム
４００．ＸＹテーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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