(57)【要約】【課題】  貼合せ基板に液晶皿から液晶を注入して液晶パネルを製造する際に、より均一に近い状態で迅速に貼合せ基板および液晶を加熱または冷却することができるようにする。【解決手段】  液晶パネル製造装置は、上面に液晶１２２を露出させて溜めておくための液晶皿１４０と、液晶注入口１２１を有する貼合せ基板１２０を液晶注入口１２１が液晶１２２に接触するように支持するための支持部としてのカセット指示部１６０と、この支持部に保持される貼合せ基板１２０の上側から液晶１２２および貼合せ基板１２０を加熱するためのヒータ１００と、ヒータ１００が発散する熱を循環させるための熱循環ファン１１０とを備える。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に液晶を露出させて溜めておくための液晶皿と、
液晶注入口を有する貼合せ基板を前記液晶注入口が前記液晶に接触するように支持するための支持部と、
前記支持部に保持される前記貼合せ基板の上側から前記液晶および前記貼合せ基板を加熱するためのヒータと、
前記ヒータが発散する熱を循環させるための熱循環ファンとを備える、液晶パネル製造装置。
【請求項２】
前記液晶皿に残っている前記液晶を冷却するために、前記ヒータおよび前記熱循環ファンに置き換える形で設置するための冷却ファンを備える、請求項１に記載の液晶パネル製造装置。
【請求項３】
前記液晶皿はステージに載せられており、前記ステージと前記支持部との相対的な高さの差は変更可能となっている、請求項１または２に記載の液晶パネル製造装置。
【請求項４】
上面に液晶を露出させた液晶皿の上側に貼合せ基板を設置して液晶注入作業を行なう際に、前記貼合せ基板の上側から、前記液晶および前記貼合せ基板を加熱するためのヒータを備える加熱ユニット。
【請求項５】
前記ヒータから発散される熱を循環させるための熱循環ファンを備える請求項４に記載の加熱ユニット。
【請求項６】
上面に液晶を露出させた液晶皿の上側に貼合せ基板を設置して液晶注入作業を行なった後に、前記液晶皿に残った前記液晶を上方から冷却するための冷却ファンを備える冷却ユニット。
【請求項７】
上面に液晶を露出させた液晶皿の上側に、液晶注入口を有する貼合せ基板を、前記液晶注入口が前記液晶に接触するように設置する工程と、
前記貼合せ基板の上側から前記液晶および前記貼合せ基板を加熱する加熱工程とを含む、液晶パネルの製造方法。
【請求項８】
前記加熱工程は、前記貼合せ基板の上側から熱循環ファンによって熱を循環させながら行なう、請求項７に記載の液晶パネルの製造方法。
【請求項９】
前記加熱工程の後に、前記液晶皿に残った前記液晶を上方から冷却ファンによって冷却する工程をさらに含む、請求項７または８に記載の液晶パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貼合せ基板の内部に液晶を注入する工程で使用可能な液晶パネル製造装置、加熱ユニット、冷却ユニットおよび液晶パネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶パネルの製造方法の一種として、２枚のガラス基板をシール材によって互いに貼り合わせたもの（以下「貼合せ基板」という。）のシール材の切れ間である液晶注入口から液晶を注入する方法が知られている。この方法は以下のように行なわれる。まず、チャンバ内に液晶皿および貼合せ基板を設置し、常温のもとで、チャンバ内を減圧する。こうして貼合せ基板の内部が減圧された状態で、液晶注入口を液晶皿に溜められた液晶の液面に接触させる。この状態でチャンバを大気圧に戻す。こうすることによって、貼合せ基板の内外の圧力差によって液晶が貼合せ基板の内部に吸い上げられていく。ここで、液晶は温度が高い方が粘性が低くなるので、液晶皿を載せた台に電熱ヒータを内蔵したり台の内部に温水を循環させたりすることによって液晶皿を介して液晶の温度を上げることが行なわれていた。液晶の粘性を下げることによって液晶は吸い上げられやすくなる。
【０００３】
なお、以上本発明についての背景技術を、出願人の知得した一般的技術情報に基づいて説明したが、出願人の記憶する範囲において、出願前までに先行技術文献情報として開示すべき情報を出願人は有していない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液晶の粘性が十分に下がって液晶の吸い上げが円滑に行なわれるためには、液晶自体のみならず貼合せ基板も適正な温度に加熱されている必要がある。しかし、従来は、液晶皿の台にヒータが内蔵されていたので、まずヒータによって台が加熱され、台、液晶皿、液晶、貼合せ基板の順で熱が伝わるという状況であった。そのため、熱が伝わるのが遅く、貼合せ基板自体が十分な温度に温まるまでに時間がかかった。また、このように多くの部材を介して順に熱が伝わることとなっていたので、途中のいずれかの部材に歪などがあって接触面積が十分でない場合にはさらに熱が伝わるのが遅くなっていた。その結果、熱の伝達が不均一となる場合があった。
【０００５】
そこで、本発明は、より均一に近い状態で迅速に貼合せ基板および液晶を加熱または冷却することができる液晶パネル製造装置、加熱ユニット、冷却ユニットおよび液晶パネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に基づく液晶パネル製造装置は、上面に液晶を露出させて溜めておくための液晶皿と、液晶注入口を有する貼合せ基板を上記液晶注入口が上記液晶に接触するように支持するための支持部と、上記支持部に保持される上記貼合せ基板の上側から上記液晶および上記貼合せ基板を加熱するためのヒータと、上記ヒータが発散する熱を循環させるための熱循環ファンとを備える。
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に基づく加熱ユニットは、上面に液晶を露出させた液晶皿の上側に貼合せ基板を設置して液晶注入作業を行なう際に、上記貼合せ基板の上側から、上記液晶および上記貼合せ基板を加熱するためのヒータを備える。
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に基づく冷却ユニットは、上面に液晶を露出させた液晶皿の上側に貼合せ基板を設置して液晶注入作業を行なった後に、上記液晶皿に残った上記液晶を上方から冷却するための冷却ファンを備える。
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明に基づく液晶パネルの製造方法は、上面に液晶を露出させた液晶皿の上側に、液晶注入口を有する貼合せ基板を、上記液晶注入口が上記液晶に接触するように設置する工程と、上記貼合せ基板の上側から上記液晶および上記貼合せ基板を加熱する加熱工程とを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、貼合せ基板を上側からヒータによって加熱したり液晶皿に残った液晶を上方から冷却ファンによって冷却したりするので、貼合せ基板および液晶を迅速に加熱したり液晶皿に残った液晶を迅速に冷却したりすることができる。また、加熱または冷却は上方から行なわれるので均一に行なうことができる。さらに、加熱時には熱循環ファンを用いることによって熱はヒータから発散するだけでなくチャンバ内で循環することとなるので、より均一な加熱が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（実施の形態１）
（構成）
図１を参照して、本発明に基づく実施の形態１における液晶パネル製造装置について説明する。この液晶パネル製造装置は、上面に液晶１２２を露出させて溜めておくための液晶皿１４０を備える。さらに、この液晶パネル製造装置は、液晶注入口１２１を有する貼合せ基板１２０を液晶注入口１２１が液晶１２２に接触するように支持するための支持部としてのカセット支持部１６０を備える。カセット支持部１６０はカセット１３０を支持するためのものであり、カセット１３０内には貼合せ基板１２０が液晶注入口１２１を下に向けて保持される。したがって、カセット支持部１６０は間接的にではあるが貼合せ基板１２０を支持している。図１の例では貼合せ基板１２０は１枚１枚の液晶パネルのサイズに分割する前のもの、すなわち複数枚の液晶パネルに対応する部分が１列につながった短冊状の貼合せ基板である。これは短冊状の貼合せ基板でなく個々の液晶パネルのサイズに分割した後の貼合せ基板であってもよい。
【００１２】
さらに、この液晶パネル製造装置は、カセット支持部１６０に保持される貼合せ基板１２０の上側から液晶１２２および貼合せ基板１２０を加熱するためのヒータ１００と、ヒータ１００が発散する熱を循環させるための熱循環ファン１１０とを備える。この例ではヒータ１００は、ＩＲ（赤外線）ヒータである。
【００１３】
ヒータ１００および熱循環ファン１１０はいずれもチャンバ１の外部にある電源２に接続されている。ヒータ１００および熱循環ファン１１０は一括して扱える加熱ユニット３を構成しており、加熱ユニット３はひとまとまりのユニットとして、この液晶パネル製造装置の他の部分から取り外すことが可能となっている。すなわち、加熱ユニット３は、上面に液晶１２２を露出させた液晶皿１４０の上側に貼合せ基板１２０を設置して液晶注入作業を行なう際に、貼合せ基板１２０の上側から、液晶１２２および貼合せ基板１２０を加熱するためのヒータ１００を備える。また、加熱ユニット３は、ヒータ１００が発散する熱を循環させるための熱循環ファン１１０を備える。
【００１４】
この液晶パネル製造装置は、好ましいことに、ステージ１５０を備えている。液晶皿１４０はステージ１５０に載せられており、ステージ１５０は液晶皿１４０を載せて上下移動ができるようになっている。この例では支持部としてのカセット支持部１６０は移動せずにステージ１５０が上下に移動できるようになっているが、ステージ１５０と支持部との相対的な高さの差は変更可能でありさえすれば、支持部の方が上下に移動する構成となっていてもよい。あるいは、ステージと支持部との両方が上下に移動する構成であってもよい。
【００１５】
（製造方法）
本実施の形態における液晶パネルの製造方法について説明する。チャンバ１内を減圧し、ほぼ真空状態にした状況で、まず、上面に液晶１２２を露出させた液晶皿１４０の上側に、液晶注入口１２１を有する貼合せ基板１２０を、液晶注入口１２１が液晶１２２に接触するように設置する工程を行なう。すなわち、液晶注入前の貼合せ基板１２０を内部に保持したカセット１３０をカセット支持部１６０に設置する。ステージ１５０を上昇させ、貼合せ基板１２０の液晶注入口１２１が液晶１２２に接触するようにする。
【００１６】
次に、貼合せ基板１２０の上側から液晶１２２および貼合せ基板１２０を加熱する加熱工程を行なう。すなわち、電源２をオンにし、液晶１２２および貼合せ基板１２０を加熱する。この状態でチャンバ１内を大気圧に戻す。この例では熱循環ファン１１０も電源２のオンによって動作を開始するので、加熱工程は好ましいことに、貼合せ基板１２０の上側から熱循環ファン１１０によって熱を循環させながら行なわれることとなる。
【００１７】
加熱ユニット３の働きの結果、液晶１２２は温度が上がることで粘性が小さくなり、貼合せ基板１２０の内外の圧力差によって貼合せ基板１２０に吸い上げられていく。貼合せ基板１２０内への液晶の注入が終わった後に電源２をオフにし、加熱ユニット３をカセット１３０の上側から外す。好ましくは、加熱ユニット３はチャンバ１の外に出して保管する。液晶注入済みの貼合せ基板１２０を保持するカセット１３０もチャンバ１から取り出し、次工程にまわされる。
【００１８】
（作用・効果）
本実施の形態では、貼合せ基板１２０を上側からヒータ１００によって加熱するので、貼合せ基板１２０および液晶１２２を迅速に加熱することができる。しかも、熱循環ファン１１０を用いることによって熱はヒータ１００から発散するだけでなくチャンバ１内で循環することとなるので、均一な加熱が可能となる。
【００１９】
なお、ヒータ１００は、この例ではＩＲヒータとしたが、ＩＲヒータである代わりにフィルムヒータ、石英ヒータ、電熱ヒータなどであってもよい。
【００２０】
（実施の形態２）
（構成）
図２を参照して、本発明に基づく実施の形態２における液晶パネル製造装置について説明する。この液晶パネル製造装置は、実施の形態１で説明した構成に加えて、交換用パーツとして冷却ユニット４を備える。冷却ユニット４は加熱ユニット３と置き換える形で液晶パネル製造装置に設置されるものであり、上面に液晶１２２を露出させた液晶皿１４０の上側に貼合せ基板１２０を設置して液晶注入作業を行なった後に、液晶皿１４０に残った液晶１２２を上方から冷却するための冷却ファン１７０を含む。図２では加熱ユニット３は図示されていないが本実施の形態における液晶パネル製造装置は加熱ユニット３と冷却ユニット４との両方を備えており、適宜置き換えることが可能となっている。
【００２１】
（製造方法）
本実施の形態における液晶パネルの製造方法について説明する。この液晶パネルの製造方法では、実施の形態１で説明した製造方法の各工程を含み、さらに液晶皿１４０に残った液晶１２２を上方から冷却ファン１７０によって冷却する工程を含む。すなわち、加熱ユニット３およびカセット１３０を液晶パネル製造装置から取り出した後に、加熱ユニット３のあった位置に冷却ユニット４を設置する。冷却ユニット４は電源２に接続される。ステージ１５０は、冷却ファン１７０からの風が液晶１２２に強く当たり過ぎることを避けるために十分な距離だけ下降する。こうして電源２をオンにし、冷却ユニット４の冷却ファン１７０を動作させる。この結果、液晶皿１４０およびその内部の液晶１２２は温度が下がり、常温付近にまで至る。
【００２２】
（作用・効果）
本実施の形態では、液晶皿１４０に残った液晶１２２を冷ますために、上方から冷却ファン１７０によって冷却することとしているので、迅速に効率良く液晶１２２を冷却することができ、冷却に要する時間を短縮することができる。液晶１２２を冷却して粘性を上げておくことによって、次にチャンバ１内を減圧したときに液晶１２２が飛び散ることを防止できる。
【００２３】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に基づく実施の形態１における液晶パネル製造装置の概念図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態２における液晶パネル製造装置の概念図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  チャンバ、２  電源、３  加熱ユニット、４  冷却ユニット、１００  ヒータ、１１０  熱循環ファン、１２０  貼合せ基板、１２１  液晶注入口、１２２  液晶、１２３  液晶、１３０  カセット、１４０  液晶皿、１５０  ステージ、１６０  カセット支持部、１７０  冷却ファン。
【図１】
2006072131.tif 000003
【図２】
2006072131.tif 000004