(57)【要約】【課題】洗浄槽内部のメンテナンス等の際に洗浄用薬品等が作業者や周辺環境に悪影響を与えること及び扉が邪魔になることを防止可能にするとともに、開閉容易であるとともに壊れにくい扉を備えた洗浄槽を提供する。【解決手段】ワークの洗浄に用いる洗浄槽であって、洗浄槽本体（２）と、該洗浄槽本体（２）の任意の箇所に形成された開口部（２０４）と、該開口部（２０４）を開閉するための扉（３）とにより構成され、前記扉（３）は、前記開口部（２０４）を開閉可能な耐薬品性ビニールシート（４）と、該シート（４）に一定の間隔を置いて略平行に装備された、両端にベアリング（６）が装着された複数本のシャフト（５）と、該シャフト（５）間において前記シート（４）に装着された長板状の一対の芯材（７）を備え、一端側のシャフト（５）を他端側へ移動することで、シート（４）をアコーディオン式に開閉自在とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの洗浄に用いる洗浄槽であって、
洗浄槽本体（２）と、
該洗浄槽本体（２）の任意の箇所に形成された開口部（２０４）と、
該開口部（２０４）を開閉するための扉（３）とにより構成され、
前記扉（３）は、
前記開口部（２０４）を開閉可能なシート（４）と、
該シート（４）に一定の間隔を置いて略平行に装備された複数本のシャフト（５）と、
該シャフト（５）間において前記シート（４）に装着された一対の芯材（７）と、を備えたことを特徴とする洗浄槽。
【請求項２】
前記シャフト（５）の両端にベアリング（６）を装着したことを特徴とする請求項１に記載の洗浄槽。
【請求項３】
前記シート（４）として耐薬品性のビニールシートを用いたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄槽。
【請求項４】
前記芯材（７）がポリ塩化ビニール製の板材であることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の洗浄槽。
【請求項５】
前記芯材（７）がステンレス製の板材であることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の洗浄槽。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル製造、ＰＤＰパネル製造、有機ＥＬパネル製造、ＦＥＤパネル製造、プリント基板製造、半導体製造、版製造その他電子機器部品等の製造プロセスに含まれる洗浄工程において使用される洗浄槽に係り、より詳しくは、メンテナンス等の際に用いる扉をアコーディオン式にすることにより、洗浄槽内部のメンテナンス等の際において、洗浄用薬品等が作業者に与える悪影響を防止して安全に作業を行うことを可能にするとともに、扉の開閉を容易にし、更に扉を壊れにくくした洗浄槽に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、フラットパネルディスプレイ（液晶、ＰＤＰ、ＥＬ、ＦＥＤ等）半導体、プリント基板、電子機器部品等の洗浄は製造プロセスに配置した洗浄槽の中において行われるが、この洗浄槽では、内部のメンテナンス等のために開口を備えるとともに、この開口を開閉自在とした扉が設けられていることが一般的である。
【０００３】
ここで、図６は、従来から使用されている洗浄槽３１の斜視図であり、図において３２は洗浄槽本体である。そして、洗浄槽本体３２内には、ワークを搬送するためのコンベアが配置されるとともに、搬送されていくワークに洗浄液等を噴射するための噴射ノズル等が備えられている（いずれも図示せず。）。
【０００４】
また、洗浄槽本体３２には開口３３が形成されるとともに、この開口３３を開閉可能な扉３４が備えられており、洗浄槽本体３２の内部のメンテナンスは一般的に、扉３４を開いて開口３３を開放した状態にして行われる。
【０００５】
そして、従来から採用されている扉としては、蝶番等を用いて洗浄槽に蝶着された形態のものであり、これを開く場合には、扉を回動させることによっておこなっていた。なお、図６は両開き式の扉３４を示しているが、その他、上方へ開く扉等、各種の形態のものが提供されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前述したように、洗浄槽内においてはワークに向けて洗浄液等の薬品が噴射され、この洗浄液は人体にとって有害なものであるが、ワークに向けて洗浄液等の薬品が噴射される際には、これらの薬品類が前記扉の内側に付着してしまうことが少なく無い。また、洗浄液等を加温している場合には蒸発等によって薬品類が水滴となって扉の内側に付着してしまうことも考えられる。
【０００７】
そしてこのとき、前述のような、蝶番等によって回動自在に装着された扉を用いている場合には、洗浄槽内部のメンテナンスのために扉を開いた際に、扉の内側に付着している薬品類が飛び散ってしまい、あるいは落下してしまい、それにより作業者が危険にさらされるおそれが考えられる。
【０００８】
また、洗浄槽に蝶着されている扉の場合には、扉を開いた状態において扉の内側が外部に露出してしまうが（図６参照）、このとき、扉の内側に薬品類が付着している場合には、薬品類が外部にさらされてしまうため、作業者のみならず洗浄槽の周辺全体が薬品による悪影響を受けるおそれも考えられる。
【０００９】
特に、マザーガラスのような大きなワークの洗浄の場合には洗浄槽も大きくならざる得ないために、メンテナンスに際しては作業者が洗浄槽の内部に入ることが少なく無いが、かかる場合には、作業者の洗浄槽への出入りのために扉も大きくせざるを得ず、薬品類による悪影響は無視できないものとなる。
【００１０】
このとき、例えばスライド式の扉を採用することも考えられはするが、スライド式の扉では開口を広く確保することが難しく、特にマザーガラスのような大きなワークの洗浄に用いる洗浄槽の場合には、作業者が洗浄槽内部に入る際に扉が邪魔になってしまうという問題点がある。
【００１１】
更に、従来は、前述したような開閉自在の扉によって洗浄槽本体に形成された開口を閉鎖する方法のほかに、透明ＰＶＣ製等のカバーによって開口を閉鎖する方法も採用されているが、この方法では、カバーを単に洗浄槽本体上に置くだけであるために、取り外した後のカバーの置き場所に困るとともに、カバーが壊れ易く、更に大型の洗浄槽の場合には扉の取り外しや取付等の開閉が困難であるという問題点が指摘されている。
【００１２】
そこで、本発明は、洗浄槽内部のメンテナンス等の際において、洗浄用薬品等が作業者や周辺環境に悪影響を与えることを防止可能にするとともに、洗浄槽への出入りの際に扉が邪魔になることを防止可能とし、更に、扉の開閉が容易であるとともに、扉が壊れにくく、開放した際の扉の取り扱いに困ることもない洗浄槽を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の洗浄槽は、ワークの洗浄に用いる洗浄槽であって、洗浄槽本体と、該洗浄槽本体の任意の箇所に形成された開口と、該開口を開閉するための扉とにより構成され、
前記扉は、前記開口を開閉可能なシートと、該シートに間隔を置いて略平行に装備された複数本のシャフトと、該シャフト間において前記シートに装着された一対の芯材と、を備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明においては、洗浄槽に形成された開口部を開閉するための扉を備えるとともに、この扉は、洗浄槽に形成した開口を閉塞可能なシートと、このシートに間隔を置いて略平行に装備された複数本のシャフトと、このシャフト間において前記シートに装着された一対の芯板とを備えており、これにより、一方の端部に位置するシャフトを他方の端部側へ移動することにより、アコーディオン式に扉を開くことを可能としている。
【００１５】
そのために、扉を開いた際に扉の裏面が露出することが無く、扉の裏面に付着している薬品類が飛び散ることがない。
【００１６】
また、アコーディオン式に扉を開くため、洗浄槽本体に形成した開口部を大きく開放することができマザーガラスのような大きなワーク用の洗浄槽の場合において作業者の洗浄槽内への出入りの際に扉が邪魔になることがなく、また、開閉が容易であるとともに扉が壊れにくい。
【００１７】
従って、本発明によれば、洗浄槽内部のメンテナンスの際の作業者の安全を確保することができるとともに、扉の裏面に付着している薬品類が非洗浄エリアに悪影響を及ぼすことを防止することも可能であり、また、メンテナンスのために作業者が洗浄槽内へ入る際に扉が邪魔になることもなく、更に、扉の開閉が容易であるとともに扉が壊れにくい洗浄槽とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の洗浄槽では、側壁及び天井部によって内部を閉塞空間にした洗浄槽本体を備えており、この洗浄槽本体における任意の箇所にはメンテナンス用の開口部が形成されるとともに、この開口を開閉自在なように、前記洗浄槽本体には扉が装着されている。
【００１９】
そして、扉は、前記開口を閉塞可能なシートを備えており、このシートには、所定間隔を置いて、複数本のシャフトが略平行に装備され、更に、シャフト間において、前記シートには、長板状の芯材が備えられている。
【００２０】
ここで、前記シャフトの両端にベアリングを装着するとよく、これによりシートの開閉が容易となる。
【００２１】
また、前記シートとしては、耐薬品性のビニールシート等を用いるとよく、これにより、薬品類による悪影響を排除して長期間に亘って使用することが可能となる。
【００２２】
更に、前記芯板は、ポリ塩化ビニール製、ステンレス製等、適度な硬度を有する素材により構成するとよく、これにより、前記ビニールシート等を適格にアコーディオン式に折り畳んでいくことが可能となる。
【実施例１】
【００２３】
本実施例の洗浄槽の実施例について図面を参照して説明すると、図１は、本実施例の洗浄槽１の平面図であり、また、図２は本実施例の洗浄槽の側面構造を示す図であり、図において２は洗浄槽本体である。
【００２４】
そして、本実施例において洗浄槽本体２は、略箱型形状としており、従って、少なくとも、４枚の側壁２０１と、天井壁２０２とを有して構成されているとともに、正面側の上部をテーパー状にしてテーパー面２０３を形成し、使用に際して、その内部には、ワークを搬送するための搬送装置２０５が配置されるとともに、この搬送装置２０５により搬送されていくワークに洗浄液を噴射するための噴射装置（図示せず）とが配備され、更に、前記側壁におけるワークの搬送方向には、洗浄工程が終了したワークを次のエリアへ搬送するたに用いられる搬出口が形成されている（図示せず）。
【００２５】
次に、前記洗浄槽本体２における前記テーパー面２０３には、所定の面積とした、略長方形状の開口部２０４が形成されるとともに、この開口部２０４を開閉自在な配置で、前記洗浄槽本体２には扉３が備えられている。そして、扉３を開いて開口部２０４を開放した状態にすることで、この開口部２０４を介して洗浄槽本体２の内部のメンテナンスを可能にしている。
【００２６】
ここで、前記扉３について詳細に説明すると、図３は前記扉３の平面図であり、また、図４は扉３の正面図であり、図において、前記扉３は、シート４を有しており、このシート４は、前記開口部２０４を十分に閉塞可能な寸法としている。なお、本実施例において前記シート４は、厚み０．３〜０．５ミリ程度の耐薬品性のビニール製シートを２枚貼り合わせることにより構成し、また、本実施例において前記シート４の寸法としては、長さ８００ｍｍ、幅６５０ｍｍの長方形状としている。
【００２７】
次に、前記シート４には、その長手方向に沿って、所定の間隔を置いて、複数本のシャフト５が、シート４の長手方向に直交する方向に向けて平行に装着されており、このシャフト５の両端にはベアリング６が装着されている。
【００２８】
ここで、前記シャフト５について説明すると、本実施例において前記シャフトとしては、４ｍｍ径のステンレス製シャフトを用いており、前記シート４の幅寸法よりも長い寸法として、これにより、ベアリング６の部分が前記シート４の外側に位置するようにしている。また、シャフト５は、前記シート４の長手方向に向いた両端部にそれぞれ１本ずつ配置するとともに、本実施例においては、この両端のシャフト５間に７本のシャフト５を等間隔で平行に配置している。但し、このシャフトの本数は特に限定されず、また、シャフト５間の寸法も限定されない。また、シート４へのシャフト５の装着方法は特に限定されず、接着、溶着等いかなる方法でもよい。
【００２９】
次に、前記シート４には、前記シャフト５間においてそれぞれ、一対の芯材が装着されている。即ち、図において７が芯材であり、本実施例においてこの芯材７は、厚み３ｍｍのポリ塩化ビニール製の長板状としており、この芯材７を２枚用いて、前記シャフト５間において、それぞれの芯材７を、任意の間隔を置いて、前記シャフト５と平行に、隣り合わせにして、前記シート４の上面側に装着している。そしてこれにより、隣り合うシャフト５を近接した場合に、それぞれの芯材６が、その裏面側において重なり合うことを可能としている。
【００３０】
そのために、前記シート４によって前記開口部２０４を閉鎖している状態において、シート４の一端側のシャフト５を他端側へ移動することによって、閉鎖されている開口部２０４を開放することが可能になるとともに、このとき、芯材７の存在によって、シート４を折り畳んでいくことが可能となる。
【００３１】
次に、図１において８はガイドであり、即ち、本実施例においては、前記開口部２０４の上側及び下側にガイド８を形成し、このガイド８上に前記ベアリング６を設置することとしている。そのため、前記シャフト５を移動してシート４を開放する際には、確実に開口部２０４を開放することが可能である。
【００３２】
なお、図１及び図３において、本実施例においては、前記テーパー面２０３において、扉３を閉じた際に扉３の開閉方向における左右の外周側となる箇所にそれぞれ、２個ずつの固定部材１０を配置するとともに、この固定部材１０には扉３側へ向けてバネ９を連結させ、更に、このバネ９の先端部にはそれぞれ、シート４の両端側に位置するシャフト５に係脱自在とした、Ｅ型止め輪等の係止部材１１を装備している。そして、扉３を閉じた状態において係止部材１１をシャフト５に係止することにより、バネ９の付勢力によって、扉３の閉じた状態における位置を固定して確実に開口部２０４を閉鎖可能としている。但し、扉３の閉じた状態における位置固定方法としては、必ずしもこのような方法を採用する必要はなく他の方法を採用してもよい。従って、例えば、固定部材１０に磁石を装着するとともにシャフト５に磁石あるいは磁性体を装着し、磁力によって扉３の閉じた状態における位置を固定してもよい。
【００３３】
次に、このように構成される本実施例の洗浄槽１の作用について説明すると、本実施例の洗浄槽１においては、ワークの洗浄を行っている際には扉３を閉鎖しておく。そして、洗浄槽１内のメンテナンス等を行う際には、シート４の一方の端部に備えているシャフト５と係止部材１１との係止を解除するとともに、この係止部材１１との係止を解除したシャフト５をシート４の他方の端部側へ移動していく。
【００３４】
そうすると、それぞれのシャフト５の両端に備えたベアリング７がガイド８上を転がりながら移動していくことで、それぞれのシャフト５が他端側に移動していき開口部２０４が開放されていく。また、その際に、シャフト５間には隣り合う配置で一対の芯材７が配置されているため、シート４は規則正しく折り畳まれていく。この折り畳んだ状態における扉３を正面側から示した図が図５であり、また、図１においては、シャフト５を移動している途中を示しており、この状態においては開口部２０４の一部が開放されている。
【００３５】
このように、本実施例の洗浄槽１においては、開口部２０４を開閉可能な扉をアコーディオン式の開閉方式としたために、洗浄槽本体２内のメンテナンスを行うために扉３を開放した際でも扉３の裏面に付着した薬品類が飛び散ることがなく、また扉３の裏面が外部に露出することが無く、これにより作業者の安全を確保することが可能である。
【００３６】
更に、扉３を開放した際には開口部２０４を十分に開放することができるために、マザーガラス等の大きいワーク用の洗浄槽において作業者が洗浄槽本体の内部に入ってメンテナンス作業を行う場合でも、扉が作業者の出入りの邪魔になることも無い。
【００３７】
更にまた、扉３をアコーディオン式としているために、その開閉が容易であるとともに、壊れにくく、扉３を開いた際に扉３の保管場所に迷うこともない。
【００３８】
なお、本実施例の洗浄槽では、洗浄槽本体に形成した開口部を閉鎖可能なシートに間隔を置いて複数本のシャフトを装備し、更に各シャフト間に一対の芯材を配置したことを特徴としているために、シート、シャフト及び芯材の素材等は特に限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明の洗浄槽では、アコーディオン式の扉を用いて、この扉によって、洗浄槽本体に形成した開口部を開閉可能としており、これにより、洗浄槽本体内のメンテナンスの際に洗浄用の薬品類により作業者が危険にさらされることを防止するとともに、扉を開閉容易かつ壊れにくくしているため、人体に悪影響を与える薬品類を使用して処理を行う洗浄槽の全般に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の洗浄槽の実施例を示す平面図である。
【図２】本発明の洗浄槽の実施例を示す側面図である。
【図３】本発明の洗浄槽の実施例に用いる扉の平面図である。
【図４】本発明の洗浄槽の実施例に用いる扉の正面図である。
【図５】本発明の洗浄槽の実施例に用いる扉を折り畳んだ状態を説明するための図である。
【図６】従来の洗浄槽を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    洗浄槽
２    洗浄槽本体
２０１    隔壁
２０２    天井壁
２０３    テーパー面
２０４    開口部
２０５    搬送装置
３    扉
４    シート
５    シャフト
６    ベアリング
７    芯材
８    ガイド
９    バネ
１０    固定部材
１１    係止部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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