(57)【要約】【課題】  放電加工時の電極の振れを抑制することにより、孔径の拡大を防ぎ高精度に且つ直進性の高い微細孔加工を行うことのできる放電加工方法を提供する。【解決手段】  ワークに細孔をあけるための放電加工方法は、下孔をあける下孔工程と、電極と前記ワーク間で放電を発生させて孔加工する加工工程とを具備する。前記加工工程において、前記電極又は前記ワークのいずれか一方を振動させる加振手順と、加工流体をワークに供給する加工流体供給手順とを具備する。前記加振手順において、前記電極を前記ワークに接触させる短絡電極制御が実施されており、更に前記電極又は前記ワークのいずれか一方の振動の方向は、前記電極の軸方向であることを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに細孔をあけるための放電加工方法において、この放電加工方法は、
下孔をあける下孔工程と、
電極と前記ワーク間で放電を発生させて孔加工する加工工程と、
を具備しており、
前記加工工程において、
前記電極又は前記ワークのいずれか一方を振動させる加振手順と、
加工流体をワークに供給する加工流体供給手順と、
を具備しており、
前記加振手順において、
前記電極を前記ワークに接触させる短絡電極制御が実施されており、更に
前記電極又は前記ワークのいずれか一方の振動の方向は、前記電極の軸方向である、ことを特徴とする放電加工方法。
【請求項２】
前記短絡電極制御において、放電加工中における前記電極を前記ワークに接触させる割合である短絡率は、２０％から４０％の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載の放電加工方法。
【請求項３】
前記電極又は前記ワークのいずれか一方の前記振動の振幅は、５から３０μｍの範囲にあることを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の放電加工方法。
【請求項４】
前記加工流体供給手順において、前記加工流体は下孔の方向から吸引されることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項５】
前記加工流体は液体であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項６】
前記加工流体は気体であることを特徴とする請求項４に記載の放電加工方法。
【請求項７】
前記加工工程において、前記ワークにキャップを装着する手順が更に具備されており、前記キャップは、前記ワークの形状を雄形状とすると、前記雄形状に適合する雌形状を有しているので、前記ワークに接するように装着でき、前記キャップが前記ワークに装着された際には、前記キャップは加工孔の部分のみ開けられて加工可能なように構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項８】
前記下孔工程において、下孔はレーザによりあけられることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項９】
該放電加工方法は、前記ワークを位置決めする位置決め工程を更に具備しており、
前記位置決め工程において、
視覚装置によりワークの下孔を検出する手順と、
前記視覚装置からの検出データを受信してワーク位置及びワークにおける加工するべき下孔の位置を処理装置により認識する手順と、
前記電極又は前記ワークの内少なくともいずれか一方を前記電極の軸線に直交する平面内で動かして、前記電極に対して前記ワークを位置決めする手順と、
を具備することを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項１０】
燃料噴射ノズルの細孔加工に使用されることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の放電加工方法。
【請求項１１】
ワークに細孔をあけるための放電加工機において、この放電加工機は、
放電電源から電流を供給されて放電する電極と、
前記電極と前記ワークのいずれか一方を前記電極の軸方向に振動させるための振動装置と、
前記ワークの加工部位に加工流体を供給するためのノズルと、
ワークに予めあけられた下孔から前記加工流体を吸引するための吸引装置と、
を具備することを特徴とする放電加工機。
【請求項１２】
前記ワークに装着して、既にあけられた孔を塞ぐためのキャップが更に具備されており、前記キャップは、前記ワークの形状を雄形状とすると、前記雄形状に適合する雌形状を有しているので、前記ワークに接するように装着でき、前記キャップが前記ワークに装着された際には、前記キャップは加工孔の部分のみ開けられて加工可能なように構成されていることを特徴とする請求項１１に記載の放電加工機。
【請求項１３】
前記ワークの下孔を検出するための視覚装置と、
前記視覚装置からの検出データを受信してワーク位置及びワークにおける加工するべき下孔の位置を認識する処理装置と、更に
前記処理装置からの情報により前記電極又は前記ワークの内少なくともいずれか一方を前記電極の軸線に直交する平面内で動かして、前記電極に対して前記ワークを位置決めするＸＹ移動装置と、
を更に具備することを特徴とする請求項１１又は１２のいずれかに記載の放電加工機。
【請求項１４】
燃料噴射ノズルの細孔加工に使用されることを特徴とする請求項１１から１３のいずれか一項に記載の放電加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電加工方法に係り、より特別には、燃料噴射ノズル等に設けられる高精度微細孔を加工するための放電加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
車両用エンジン等の燃料噴射ノズルの複数の燃料噴射孔は微細であり、その寸法及び方向が高精度であることが要求される。ワークに細孔を高い精度で加工する方法として放電加工がある。放電加工は一般的に水や油などの加工液中で行われ、加工位置に加工液を積極的に供給して、加工屑や加工ガスを除去するとともに加工部を冷却しながら加工を行う。このため、孔加工用の放電電極にはパイプ電極が用いられ、その中空孔を通して加工液を加工部に供給して加工効率の向上を図っている。
【０００３】
しかし、直径が２００μ以上ある細孔であれば、パイプ電極を用いることができるが、直径が１００μ以下、特に５０μ以下になると、パイプ電極を用いることが難しくなり、中実電極が用いられる。しかし、中実電極で直径１００μ以下の細孔加工を行うと、加工部の加工液がほとんど流動できないため、加工能率が非常に低下する。
この様な高精度微細孔の加工方法として、レーザ加工により下孔加工として細孔を設けたワークに放電加工で仕上加工を行う方法が考えられる（例えば、特許文献１参照）。この場合、レーザビームで開けた穴を下孔とし、中実の針状電極を用いた放電加工により仕上加工を行ってやれば、精度の高い孔加工が可能で、放電加工による仕上加工時には、下孔を通して加工部に加工液を供給できるため加工速度が向上する。
【０００４】
しかし、この様な従来放電加工において、直径が０．１ｍｍ以下で長さ（Ｌ）／直径（Ｄ）≧８の微細深孔を加工する場合、電極剛性が低いため、加工中の放電爆発力や、放電爆発で気化した水蒸気（気泡）が電極側面を通過する際に電極がふれ回る。また集中放電が起こることで更にそのふれ量は増大する。そのため、電極径に対し、３０〜４０μｍ程度孔径が拡大し、その径・形状精度にバラツキが生まれる。また、放電加工自体直進性がないため、ふれ方によりその都度異なった方向に曲がった孔が明けられる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１５０２４８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みなされたもので、上記問題点に対し、放電加工時の電極の振れを抑制することにより、孔径の拡大を防ぎ、高精度に且つ直進性の高い孔加工を行うことのできる高精度微細孔の放電加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１の形態では、上述した目的を達成するために、ワークに細孔をあけるための放電加工方法は、下孔をあける下孔工程と、電極と前記ワーク間で放電を発生させて孔加工する加工工程とを具備する。前記加工工程において、前記電極又は前記ワークのいずれか一方を振動させる加振手順と、加工流体をワークに供給する加工流体供給手順とを具備する。前記加振手順において、前記電極を前記ワークに接触させる短絡電極制御が実施されており、更に前記電極又は前記ワークのいずれか一方の振動の方向は、前記電極の軸方向であることを特徴とする。
【０００８】
この様に構成することにより、狙い孔径より１０〜５０μｍ小さい下孔を予めあけておいて、短絡気味の電極制御を行って強制的に電極とワークが接触する機会を与えることにより、放電爆発により電極が振動するたびに電極が下孔にガイドされ、電極の振動の拡大を抑制できる。更に、電極をその軸方向に振動させることにより、スラッジの排出性が上がり、集中放電が少なくなることにより電極ふれの増大を抑制できる。上記作用が奏することにより、より直進性が高く且つ高精度な細孔加工を行うことが出来る。
【０００９】
本発明の請求項２の形態では、上記請求項１の形態において、前記短絡電極制御において、放電加工中における前記電極を前記ワークに接触させる割合である短絡率は、２０％から４０％の範囲にあることを特徴とする。
本形態によれば、加振手順における短絡電極制御をより具体化する。
【００１０】
本発明の請求項３の形態では、上記請求項１又は２のいずれかの形態において、前記電極又は前記ワークのいずれか一方の振動の振幅は、５から３０μｍの範囲にあることを特徴とする。
本形態によれば、加振手順をより具体化する。
【００１１】
本発明の請求項４の形態では、上記請求項１から３の形態のいずれか一項において、前記加工流体供給手順において、前記加工流体は下孔の方向から吸引されることを特徴とする。
本形態によれば、下孔方向から加工流体を吸引して加工流体を電極側面に沿って流すので、電極ガイド効果が発揮されて、電極の振れの増大を抑制できる。
【００１２】
本発明の請求項５の形態では、上記請求項１から４の形態のいずれか一項において、前記加工流体は液体であることを特徴とする。
本形態によれば、加工流体をより具体化する。
【００１３】
本発明の請求項６の形態では、上記請求項４の形態において、前記加工流体は気体であることを特徴とする。
本形態によれば、加工流体として気体を使用して気中深孔放電加工を行い、更に下孔方向から吸引することにより、スラッジの排出性を悪化させることなく、電極の振れを少なくして加工することが可能である。
【００１４】
本発明の請求項７の形態では、上記請求項１から６の形態のいずれか一項において、前記加工工程において、前記ワークにキャップを装着する手順が更に具備されており、前記キャップは、前記ワークの形状を雄形状とすると、前記雄形状に適合する雌形状を有しているので、前記ワークに接するように装着でき、前記キャップが前記ワークに装着された際には、前記キャップは加工孔の部分のみ開けられて加工可能なように構成されていることを特徴とする。
本形態によれば、下孔から吸引しながら複数の孔を加工する際に、ワークにキャップを被せることにより、下孔からの吸引の妨げになる既に加工された孔をシールして、加工されている下孔からの加工液の吸引が弱まるのを防ぐので、電極の振れ抑制効果が薄まることを防止する。
【００１５】
本発明の請求項８の形態では、上記請求項１から７の形態のいずれか一項において、前記下孔工程において、下孔はレーザによりあけられることを特徴とする。
本形態によれば、特に直進性の高いレーザ加工により下孔加工を行うことで、電極が直進性の高い下孔にガイドされるので、より直進性の高い細孔加工ができる。
【００１６】
本発明の請求項９の形態では、上記請求項１から８の形態のいずれか一項において、該放電加工方法は、前記ワークを位置決めする位置決め工程を更に具備しており、前記位置決め工程において、視覚装置によりワークの下孔を検出する手順と、前記視覚装置からの検出データを受信してワーク位置及びワークにおける加工するべき下孔の位置を処理装置により認識する手順と、前記電極又は前記ワークの内少なくともいずれか一方を前記電極の軸線に直交する平面内で動かして、前記電極に対して前記ワークを位置決めする手順とを具備する。
本形態によれば、ワークの下孔を正確に検出できるので、ワークの下孔の位置決めが高精度で且つ自動的に実施可能であり、より迅速に加工ができる。
【００１７】
本発明の請求項１０の形態では、上記請求項１から９の形態のいずれか一項において、燃料噴射ノズルの細孔加工に使用されることを特徴とする。
本形態によれば、本発明の適用対象をより具体化する。
【００１８】
本発明の請求項１１の形態では、ワークに細孔をあけるための放電加工機は、放電電源から電流を供給されて放電する電極と、前記電極と前記ワークのいずれか一方を前記電極の軸方向に振動させるための振動装置と、前記ワークの加工部位に加工流体を供給するためのノズルと、ワークに予めあけられた下孔から前記加工流体を吸引するための吸引装置とを具備することを特徴とする。
【００１９】
この様に放電加工機を構成することにより、予め下孔をあけておいて電極を下孔によりガイドできること、電極をその軸方向に振動させることができること、及び加工流体によるガイド効果を導入できることにより、放電爆発により電極が振動するたびに電極が下孔にガイドされ、電極の振動の拡大を抑制でき、更に、電極をその軸方向に振動させることにより、スラッジの排出性が上がり、集中放電が少なくなることにより電極ふれの増大を抑制できる。上記作用が奏することにより、より直進性の高く且つ高精度な細孔加工を行うことが出来る。
【００２０】
本発明の請求項１２の形態では、上記請求項１１の形態において、前記ワークに装着して、既にあけられた孔を塞ぐためのキャップが更に具備されており、前記キャップは、前記ワークの形状を雄形状とすると、前記雄形状に適合する雌形状を有しているので、前記ワークに接するように装着でき、前記キャップが前記ワークに装着された際には、前記キャップは加工孔の部分のみ開けられて加工可能なように構成されていることを特徴とする。
本形態によれば、下孔から吸引しながら複数の孔を加工する際に、ワークにキャップを被せることにより、下孔からの吸引の妨げになる既に加工された孔をシールして、加工されている下孔からの加工液の吸引が弱まるのを防ぐので、電極の振れ抑制効果が薄まることを防止する。
【００２１】
本発明の請求項１３の形態では、上記請求項１１又は１２の形態のいずれかにおいて、前記ワークの下孔を検出するための視覚装置と、前記視覚装置からの検出データを受信してワーク位置及びワークにおける加工するべき下孔の位置を認識する処理装置と、更に前記処理装置からの情報により前記電極又は前記ワークの内少なくともいずれか一方を前記電極の軸線に直交する平面内で動かして、前記電極に対して前記ワークを位置決めするＸＹ移動装置とを更に具備することを特徴とする。
本形態によれば、ワークの下孔を正確に検出できるので、ワークの下孔の位置決めが高精度で且つ自動的に実施可能であり、より迅速に加工ができる。
【００２２】
本発明の請求項１４の形態では、上記請求項１１から１３の形態のいずれか一項において、燃料噴射ノズルの細孔加工に使用されることを特徴とする。
本形態によれば、本発明の適用対象をより具体化する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施の形態の装置を詳細に説明する。図１及び図２は、本発明に係る高精度微細孔加工方法を実施可能な放電加工機の第１の実施の形態を図解的に示しており、図１は第１の実施の形態の放電加工機１０の全体の概略的な構成を示す説明図であり、図２は図１の放電加工機１０の放電ヘッド付近の部分図である。本実施の形態において、放電加工機１０はワーク３としての車両エンジン用の燃料噴射ノズルに噴射孔をあける加工を実施する。
【００２４】
まず図１を参照すると、本発明の第１の実施の形態の放電加工機１０が示されており、放電加工機１０においては、放電ヘッド１と、それに取り付けられた電極２とが具備されており、更に加工対象であるワーク３が設置されて、それらが同一直線上に配置されている。また、放電加工機１０は下孔を検出する視覚装置５と、画像処理装置６と、ワーク３の位置を補正するＸＹテーブル８とを更に具備する。また本実施の形態において好適には、電極２に振動を加えるための振動装置１１は、電極側の放電ヘッド１に設置されており、この様子が図２に示されるが、放電ヘッド１以外の部分に設置されても良い。振動装置１１は、例えばピエゾ方式、ボイスコイル方式、カム式ピストン方式等の当業者に既知の加振方式であって良い。放電加工機１０は更に、電極２に電流を供給する放電電源７と、加工液１４を噴射するための加工液ノズル４を具備する。放電電源７の＋端子は電極２に接続され、−端子はワーク３に接続される。ワーク３は、台部１３のチャックにより保持されており、台部１３はＸＹテーブル８に設置される。また、図３に示すように、あけられた孔をシールするための治具（キャップ１７）がワーク３に設置されている。
【００２５】
上記構成において、放電加工機１０による細孔の加工について説明する。
先ず、特に直進性の高いレーザ加工により、好適には狙い孔径より１０〜５０μｍ小さい下孔加工を行う。これにより、電極２は下孔にガイドされるため、孔の直進性を得るためには予めあけた下孔の直進性が重要になるので、より直進性の高い孔に仕上げることが可能となる。次に、予めあけられた下孔を図１において点線の位置で視覚装置５により検出し、画像処理装置６によりその位置を認識する。放電ヘッド１及び電極２がその位置になるように、ＸＹテーブル８を作動させて、実線の位置に台部１３に搭載されたワーク３の位置を補正する。その後電極２とワーク３間に放電電源７から放電パルスを加え、電極２をワーク３に近づけることで放電を行う。その際必要に応じ、加工液ノズル４から加工液１４をワーク３に対して噴射して加工屑をかけ流す。電極２からの放電の際、電極２を振動装置１１により振動させながら放電加工を行う。この際、電極２対して電極軸方向に沿った振動のみを与える。放電ギャップは通常５μｍ程度であるので、振動付与の条件は短絡を促すような条件で、振幅を放電ギャップ以上、好適には５〜３０μｍとすることが必要である。ただし電極軸方向に沿った振動のみを与えないと、逆に振れが大きくなるため、振動の加え方には注意が必要である。
【００２６】
本実施の形態においては、通常の電極制御方法と比べ、電極送り速度を上げる、あるいは電極引き戻しタイミングを遅らせる等の操作を行うことにより、電極２とワーク３の短絡率を好適には２０〜４０％程度とする制御方法（短絡気味の制御）を用いて加工を行うことで、電極２が下孔に接している割合が増える。ここで、短絡率とは、放電加工を行っている時間に対する電極とワークが短絡（接触）している時間の割合を意味する。上記の本実施の形態の電極制御方法と、従来の電極制御方法の相違を図５から７で説明する。図６に下孔を開けない場合の従来の放電加工方法による細孔加工の様子を示す。電極２は、前の放電爆発等により横方向に振動している状態でワーク３に接近する。そして電極２がワーク３に充分接近する際、横振動のため電極２の側面もワーク３に接近して放電爆発を起こすと、電極２の横振動は放電爆発により更に増幅される。この様な放電爆発が繰り返されると電極２の横振動（振れ）は大きくなる。そのため加工孔は点線のごとく大きくなってしまう。
【００２７】
図７に下孔をあけた場合の従来の放電加工方法による細孔加工の様子を示す。電極２は、やはり前の放電爆発等により横方向に振動している状態でワーク３に接近する。そして電極２がワーク３に充分接近して放電爆発を起こすと、電極２の横振動は放電爆発により更に増幅される。この様な放電爆発が繰り返されると電極２の横振動はやはり大きくなり、そのため加工孔は点線のごとく大きくなってしまう。
【００２８】
図５に、下孔をあけた場合の上記で説明した本実施の形態における放電加工方法による細孔加工の様子を示す。電極２は、やはり前の放電爆発等により横方向に振動している状態でワーク３に接近する。そして電極２がワーク３に充分接近して放電爆発するが、この際電極２がワーク３に接する短絡時間が長くとられるため、電極２の横振動（振れ）はワーク３により抑えられる。従って、電極２がワーク３から離れる状態では、横振動はあるものの図６と７に示す従来例に比べて小さく抑えられる。この様な電極制御を行うことにより、放電爆発により電極２が振動する度に電極２が下孔に接触してガイドされ、電極２の横振動（振れ）の拡大を抑制できる。
【００２９】
上記のごとく放電加工時には必要に応じ、加工液１４をワーク３に噴射するが、この際予め明けられた下孔から、図示されない吸引装置により加工液１４ごと吸引することで、気泡が下孔から抜ける割合が増加する。これにより電極側面を通過する気泡が減少し、電極の振れを抑制することができる。この加工液の吸引効果について、図８を参照して説明する。図８（Ａ）に従来例の加工液供給の状態を示す。従来例の場合図８（Ａ）に示すように、加工液１４の流れは、本孔（仕上げられた孔）２１へ流入して更に狭い下孔２２方向よりむしろ、本孔２１から溢れるようにその横方向への流れが形成される。加工液１４と共に気泡１５も横方向に流れるため、加工液１４と気泡１５の流体力により電極２は横方向の力を受けるので、電極２の横方向の振動を増幅することになる。
【００３０】
一方、本実施の形態の場合を図８（Ｂ）に示す。図８（Ｂ）において加工液１４は、下孔２２方向から図示されない吸収装置により吸引されることにより、本孔２１から流れ込んでほとんどが下孔２２方向に流れる。この際気泡１５も一緒に下孔２２を通り流出する。従って、加工液１４と気泡１５の流体力は電極２に対する軸方向の力として作用するので、この際電極側面を流れを持った加工液１４が通過することでも電極ガイド効果を持つ。本実施の形態の加工液の吸引により、電極２に横方向の振動を与えない。吸引装置は当業者に既知な種々の吸引装置であって良い。
【００３１】
また本実施の形態における、ワーク３である燃料噴射ノズルには通常、複数の孔が明けられている。下孔より放電で仕上げた孔（本孔）の方が大きくなるため、通常仕上げた孔の方が加工液が流れやすい。そのため加工が進み放電仕上げ孔数が増えるごとに吸引力が弱まり、電極の振れ抑制効果が薄まる。そこで、その対策方法として、既にあいた孔をシールする治具が必要となる。本実施の形態においては、孔をシールするための治具として図３に示すキャップ１７をワーク３に装着する。キャップ１７は、図３に示すように、加工部のみに溝の入ったものであり、その形状はワーク先端形状のメス型である。従って、ワーク３にキャップ１７を装着すると、加工対象の孔以外の孔は塞がれることになる。キャップ１７は、対象以外の孔を完全にシールするためには接触部にゴム材を使用することが好ましいが、メタルシールであっても良い。孔が完全にシールされなくても、加工液の流入を十分阻止できる。
【００３２】
図４を参照すると、本発明の第２の実施の形態が示されている。本発明の第２の実施の形態では、上記第１の実施の形態において、振動装置１２が台部１３に取り付けられて、ワーク３を電極２の軸方向に振動させる。第２の実施の形態の前記第１の実施の形態との相違は、この構成だけであるので、第２の実施の形態のそれ以外の構成の説明は省略する。
【００３３】
本発明の第３の実施の形態では、上記第１と第２の実施の形態のいずれかにおいて、放電加工において液体の加工液１４をワーク３に供給しない。本実施の形態においては、放電加工は気中で行う。ノズル４からワーク３に気体を供給しても良い。通常気中では放電爆発力が液中と比べて低く、当然気泡も発生しない。ただ深孔では加工屑の排出が困難であることが課題である。本実施の形態においては、第１の実施の形態と同様に下孔より図示されない吸引装置により吸引を行う。この吸引により加工屑を排出することで、気中深孔放電加工を行う。これにより電極の振れが少なく加工することが可能である。
【００３４】
次に上記実施の形態の効果及び作用について説明する。
本発明の第１の実施の形態の放電加工方法により以下の効果が期待できる。
・特に直進性の高いレーザ加工により下孔加工を行うことに加えて、短絡気味の電極制御を行って強制的に電極とワークが接触する機会を与えることにより、放電爆発により電極が振動するたびに電極が下孔にガイドされ、電極の横振動（振れ）の拡大を抑制できる。
・更に、電極をその軸方向に振動させることにより、スラッジの排出性が上がり、集中放電が少なくなることにより電極振れの増大を抑制できる。
・下孔方向から加工液を吸引することにより、加工液が電極側面に沿って流れることにより電極ガイド効果が発揮される。
・下孔から吸引しながら燃料噴射ノズルの複数の孔を加工する際に、既に仕上げた孔を介しての吸引が強くなることを回避するために、加工される燃料噴射ノズルにキャップを被せて、吸引の妨げになる既に加工された孔をシールして、加工されている下孔からの加工液の吸引が弱まるのを防ぎ、それにより電極の振れ抑制効果が薄まることを防止する。
・上記作用が奏することにより、より直進性の高く且つ、例えば従来と比べ５〜１０μｍ小さく、高精度な細孔加工を行うことが出来る。
【００３５】
本発明の第２の実施の形態の放電加工方法により、以下の効果が期待できる。
・ワークを電極の軸方向に振動させることにより、やはりスラッジの排出性が向上し、更に集中放電が少なくなることにより電極振れの増大を抑制できる。
【００３６】
本発明の第３の実施の形態の放電加工方法により、以下の効果が期待できる。
・気中深孔放電加工を行い更に下孔方向から吸引することにより、スラッジの排出性を悪化させることなく、電極の振れを少なくして加工することが可能である。
【００３７】
上記の説明において、本発明の高精度細孔を加工する放電加工方法はエンジンの燃料噴射ノズルの孔加工に使用されたが、本発明はこれに限定されず、これとは別の装置の加工に使用されても良い。
また、上記において記載した、あるいは添付図面に示した実施の形態において、電極のワークに対する位置決めはワークを保持する台部をＸＹテーブルにより位置決めすることにより行われたが、放電ヘッド側にＸＹ方向の位置決め機構が具備されても良い。
【００３８】
また、上記の説明において、下孔はレーザ加工によりあけられるように記載されたが、本発明はこれに限定されず、これ以外の電鋳等の別の加工方法により下孔があけられても良い。
【００３９】
上記の実施の形態は本発明の例であり、本発明は、該実施の形態により制限されるものではなく、請求項に記載される事項によってのみ規定されており、上記以外の実施の形態も実施可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１は、本発明に係る放電加工方法による高精度微細孔加工を実施可能な放電加工機の第１の実施の形態の全体の概略的な構成を示す説明図である。
【図２】図２は図１の放電加工機の放電ヘッド付近の部分説明図であり、第１の実施の形態の振動装置を示す。
【図３】図３は第１の実施の形態においてワークに装着されたキャップの説明図である。
【図４】図４は第２の実施の形態の振動装置を装着した台部付近の部分説明図である。
【図５】図５は、第１の実施の形態の放電加工方法において、短絡気味電極制御による細孔加工の様子を示す説明図である。
【図６】図６は、下孔があけられていない場合の従来例の放電加工方法による細孔加工の様子を示す説明図である。
【図７】図７は、下孔があけられている場合の従来例の放電加工方法による細孔加工の様子を示す説明図である。
【図８】図８は加工液を下孔から吸引した場合の効果の説明図であり、吸引のない従来の場合（Ａ）と吸引のある本発明の第１の実施の形態の場合（Ｂ）を比較している。
【図９】図８は気中放電加工において下孔から吸引した場合の効果の説明図であり、吸引のない従来の場合（Ａ）と吸引のある本発明の第３の実施の形態の場合（Ｂ）を比較している。
【符号の説明】
【００４１】
１    放電ヘッド
２    電極
３    ワーク
４    加工液ノズル
５    視覚装置
６    画像処理装置
７    放電電源
８    ＸＹテーブル
１０    放電加工機
１１    振動装置
１３    台部
１４    加工液
【図１】
2006272484.tif 000003
【図２】
2006272484.tif 000004
【図３】
2006272484.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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