(57)【要約】【課題】例えば、ＴＡＢテープのような電子部品実装用フィルムキャリアテープをガイドに沿って搬送するにあたり、そのフィルムキャリアテープがガイドから外れてしまうことや、フィルムのガタツキの発生を防止でき、加えて、異物の付着や、傷の発生といった不具合を防止できるフィルムの搬送装置を提供する。【解決手段】  下方位置決めブロック部分３２，３３の上方に、上方位置決めブロック３４，３５を配置し、この上方位置決めブロック部分３４，３５は、圧縮スプリング３８を介して下方位置決めブロック部分３２，３３に常時押圧された状態に配置され、さらにこの上方位置決めブロック部分３４，３５に弾性ローラ３６，３７を取付し、長尺状のフィルム１２は、上面側および下面側がそれぞれ押圧ローラ３６，３７と位置決めブロック部分３２，３３との間に挟持される態様で案内されるようにした。【選択図】図２
2006190881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両側縁部に所定のピッチでスプロケットホールが形成された長尺状のフィルムを、送り出しリールおよび巻取りリール間に差し渡すとともに、これら２つのリール間に構成される搬送路の途中に、前記フィルムの幅方向への移動を規制しながら案内する位置決めガイド手段を配置したフィルム搬送装置において、
前記位置決めガイド手段は、クッション性を備えた押圧ローラを具備し、この押圧ローラにより前記フィルムの上面側の移動を規制していることを特徴とするフィルム搬送装置。
【請求項２】
前記位置決めガイド手段は、
前記フィルムの一方の側縁部に形成された第１のスプロケットホール形成領域の幅方向への移動を規制する第１の位置決めガイド手段と、
前記フィルムの他方の側縁部に形成された第２のスプロケットホール形成領域の幅方向への移動を規制する第２の位置決めガイド手段と、から構成され、
これら第１の位置決めガイド手段および第２の位置決めガイド手段は、それぞれ、前記フィルムの一方の側縁部または他方の側縁部を捕捉しつつ該当する側縁部の幅方向への移動を規制する断面略Ｌ字状の位置決め部を備えた第１の下方位置決めブロック部分または第２の下方位置決めブロック部分と、
これら第１の下方位置決めブロック部分または前記第２の下方位置決めブロック部分の上方に配置され、弾性部材の付勢力により前記第１の下方位置決めブロック部分または前記第２の下方位置決めブロック部分に、常時接近する方向に付勢される第１の上方位置決めブロック部分または第２の上方位置決めブロック部分と、
前記第１の上方位置決めブロック部分または前記第２の上方位置決めブロック部分に支持され、その外周面が前記第１の下方位置決めブロック部分または前記第２の下方位置決めブロック部分の、平坦なフィルム搬送面に臨むように配置される第１の押圧ローラまたは第２の押圧ローラと、から構成され、
前記長尺状のフィルムは、前記第１の位置決めガイド手段と前記第２の位置決めガイド手段とにより、一方の側縁部に形成された第１のスプロケット形成領域または他方の側縁部に形成された第２のスプロケット形成領域の上面側および下面側が、それぞれ第１の押圧ローラと第１の位置決めブロック部分、または第２の押圧ローラと第２の位置決めブロック部分との間に挟持される態様で案内されることを特徴とするフィルム搬送装置。
【請求項３】
前記第１の位置決めガイド手段または前記第２の位置決めガイド手段のうち、少なくとも一方の位置決めガイド手段は、他方の位置決めガイド手段に対して接近又は離反する方向に移動調整可能に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のフィルム搬送装置。
【請求項４】
前記第１の下方位置決めブロック部分または前記第２の下方位置決めブロック部分の少なくとも一方には、前記スプロケットをカウントするセンサが設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載のフィルム搬送装置。
【請求項５】
前記センサは、スプロケット規格のスーパーワイド、あるいはスプロケット規格のワイドに対応する位置にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項４に記載のフィルム搬送装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれかに記載のフィルム搬送装置が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの外観検査装置に取付けられることを特徴とする検査装置におけるフィルム搬送装置。
【請求項７】
両側縁部に所定のピッチでスプロケットホールが形成された長尺状のフィルムを、送り出しリールおよび巻取りリール間に差し渡すとともに、これら２つのリール間に構成される搬送路の途中に、前記フィルムの幅方向への移動を規制しながら案内する位置決めガイド手段を配置したフィルム搬送方法において、
前記位置決めガイド手段は、クッション性を備えた押圧ローラを具備し、この押圧ローラにより前記フィルムの上面側の移動を規制していることを特徴とするフィルム搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム搬送装置に関し、詳しくは、絶縁フィルム上に導体の回路パターンが形成された電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ、ＣＯＦ（Chip on Film）テープ、ＢＧＡ(Ball Grid Array)テープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）テープ、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テ
ープ）(以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープまたはフィルムキャリテー
プ」という)などを、搬送するのに好適なフィルム搬送装置およびフィルム搬送方法に関
する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業の分野では、ＩＣ（集積回路）チップ、ＬＳＩ（大規模集積回路）チップなどの電子部品を実装するプリント配線板が用いられているが、昨今の電子機器は、例えば携帯電話に代表されるように電子機器の小型軽量化、高機能化、高信頼性、低価格化などが要求されている。
【０００３】
例えば、このような電子機器の小型軽量化などの特性を実現するための電子部品実装方法として、ＴＡＢテープのような電子部品実装用フィルムキャリアテープにデバイスを実装することが行われている。このような電子部品実装用フィルムキャリアテープは、ポリイミドなどの絶縁フィルムにエポキシなどの樹脂接着剤を介して銅箔などの導電性金属箔を貼着し、この導電性金属箔表面に感光性樹脂を塗布して所望の配線パターンを得るように露光を行い現像した後、この樹脂の感光部分または非感光部分をマスキング材として導電性金属箔をエッチングして配線パターンを形成し、続いてソルダーレジストの塗布、硬化やメッキ処理などを行い製造されている。
【０００４】
そして、最近では、電子機器の小型軽量化が要望される中で、電子部品の高密度実装が要求され、これに伴い電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線幅の狭ピッチ化、フィルム厚の薄型化（５０μｍ以下）が進んでいる。
【０００５】
このような状況下、例えば絶縁フィルム上に薄い電解銅メッキを施すなどの手法により絶縁フィルム上に直接導電体層を形成した２層フレキシブル基板が開発され、ＣＯＦ（Chip On Film）テープなどに用いられるようになった。
【０００６】
ところで、図５に示したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープ４には、導電配線パターンが形成された電子部品実装用ユニット６、６…がテープ長手方向に並んで形成されている。そして、テープ幅方向の両端には、搬送のために設けられたスプロケットホール５がテープ長手方向に並んで穿設されている。ここで、テープ幅Ｓは、通常３５〜７０ｍｍ、場合によっては、それ以上の２００ｍｍ程度であり、スプロケットホール５のピッチＰは、一般には４．７５±０．０３ｍｍである。
【０００７】
そして、検査や製造のためのテープ送りや位置決めなど、多くの工程においてスプロケットホール５を基準にして行われている。このため、電子部品実装用フィルムキャリアテープ４の信頼性を向上させるためには、この搬送が適正に行われることが要求される。
【０００８】
特に、昨今の製品テープの薄型化（５０μｍ以下）、ＣＯＦテープ化への市場の動向を考慮すると、確実に安定したテープ搬送が要求されている。
図６は、このような電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送する、特許文献１に開示された従来のフィルム搬送装置を示したものである。
【０００９】
この搬送装置では、例えば、ＴＡＢテープ１が搬送される断面略Ｌ字状の段差部９を設けたガイド溝７の上面に、弾性プラスチック帯２を配置し、この弾性プラスチック帯２によりＴＡＢテープ１の垂れ下がりを防止している。
【００１０】
一方、図７（Ａ），（Ｂ）は、従来の他のフィルム搬送装置を示したものである。
このフィルム搬送装置では、断面Ｌ字状のテープガイド３の上面に平板状の押さえプレート８を配置して開口部の上部を閉塞し、この上方が閉塞されたテープガイド３内にＴＡＢテープ１を供給するようにしている。
【特許文献１】特開２００４−８７７９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記特許文献１に開示された図６のフィルム搬送装置では、ＴＡＢテープ１の中央部が下方に反った状態で水平に搬送されると、テープ１の中央部裏面と弾性プラスチック帯２とが接触しテープ裏面に異物が付着したり、傷がついてしまうという問題がある。
【００１２】
また、図６のフィルム搬送装置では、ＴＡＢテープ１に反りなどが発生していると、その反りによってテープの中央部が盛り上がり、水平に搬送した際、ＴＡＢテープ１がガイド溝７から外れてしまうという不具合が発生する。
【００１３】
ここで、ＴＡＢテープ１などでは、ポリイミドなどの絶縁フィルムに導電性金属箔が貼着されるため、金属箔が貼着されている部分といない部分とで剛性が異なるため、特に、両端部などに部分的な反りが発生し易いという現状がある。
【００１４】
さらに、図６に示したフィルム搬送装置では、ガイド溝７から外れることはないとしても搬送の途中でＴＡＢテープ１に上下方向のバタツキが発生した場合に、そのバタツキを制御する機構を有していない。したがって、このバタツキが発生すると、異物の付着や傷の問題が増大されることになる。
【００１５】
仮に、図６のフィルム搬送装置において、弾性プラスチック帯２を取り外して使用したとする。この場合、上下方向への反りが発生した状態で水平方向に搬送されると、テープの支持体が存在しないため、両端部がガイド溝７から外れる虞れがある。このようにガイド溝７から外れてしまうと、異物の付着や、傷の発生が生じ易く、場合によってはテープ自体が折れてしまうことにまで発展する。
【００１６】
また、図７（Ａ），（Ｂ）に示した搬送装置によれば、例えば、ＴＡＢテープ１の上方への跳ね上がりを防止することができるものの、仮に上方向に反りが発生すると押さえプレート８により、下方に反りが発生すればテープガイド３により、製品であるＴＡＢテープ１に傷がついてしまうことになる。
【００１７】
また、図７（Ａ），（Ｂ）の搬送装置では、製品テープの滑走面の上方に押えプレート８を追加し、この押えプレート８によりテープのバタツキは押え込むことができるが、仮にテープ１が上または下方向に反った状態にあると、テープ１がガイド溝７から外れてしまう虞れがある。
【００１８】
さらに、図７（Ａ），（Ｂ）の場合、押えプレート８とテープ滑走面との間隔を、製品テープの厚さ（３０μｍ〜１５０μｍ）に対応させる為には、テープ厚さの最大値を想定した間隔に設定する必要がある。さもなくば、テープ厚が変わる度にその厚みも考慮した
間隔としなければ、製品テープの端部同士を接着テープで貼り合わせたスプライス部分が送られてきた場合に、そのスプライス部分が押えプレート８を通過することができずに、詰まってしまうことになる。
【００１９】
特に、電子部品実装フィルムキャリアテープでは、フィルムキャリアテープの接合すべき端部同士を、または、フィルムキャリアテープとリードテープの端部同士を、接着テープによって相互に接合することが行われている。なお、接着テープで接合する場合、接合部分の表面あるいは裏面の一面のみに貼る方法と、表面および裏面の両面に貼る方法の二通りがあるが、このようなテープのスプライス部分がガイド溝７を通過しようとする場合に詰まりが発生し易い。
【００２０】
特に、搬送路の途中にセンサを設け、このセンサによりスプロケットホール５の通過を検知して、ＴＡＢテープ１の搬送長さを測ったり、搬送速度を測定したり、あるいは再検査実施等の為に逆方向に搬送した場合に巻き戻し長さを測定したりする場合には、テープ１が安定して搬送されないと、スプロケットホールの検出を飛ばしてしまい、正しく検出することができないという問題がある。仮に、スプロケットホール５の不確かな検出が行われてしまうと、製品の編集長さの管理等を損なうことになる。
【００２１】
本発明は、このような従来の問題に鑑み、例えば、ＴＡＢテープのような電子部品実装用フィルムキャリアテープをテープガイドに沿って搬送するにあたり、そのフィルムキャリアテープがテープガイドから外れてしまうことや、搬送途中でのバタツキの発生を防止し、加えて、異物の付着や、傷の発生といった不具合を防止するフィルム搬送装置を提供することを目的としている。
【００２２】
さらに、これに加えて、スプロケットホールを検出して、搬送長さ、搬出速度等のデータを正しく検出することのできるフィルム搬送装置およびフィルム搬送方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明に係るフィルム搬送装置は、
両側縁部に所定のピッチでスプロケットホールが形成された長尺状のフィルムを、送り出しリールおよび巻取りリール間に差し渡すとともに、これら２つのリール間に構成される搬送路の途中に、前記フィルムの幅方向への移動を規制しながら案内する位置決めガイド手段を配置したフィルム搬送装置において、
前記位置決めガイド手段は、クッション性を備えた押圧ローラを具備し、この押圧ローラにより前記フィルムの上面側の移動を規制していることを特徴としている。
【００２４】
ここで、前記位置決めガイド手段は、
前記フィルムの一方の側縁部に形成された第１のスプロケットホール形成領域の幅方向への移動を規制する第１の位置決めガイド手段と、
前記フィルムの他方の側縁部に形成された第２のスプロケットホール形成領域の幅方向への移動を規制する第２の位置決めガイド手段と、から構成され、
これら第１の位置決めガイド手段および第２の位置決めガイド手段は、それぞれ、前記フィルムの一方の側縁部または他方の側縁部を捕捉しつつ該当する側縁部の幅方向への移動を規制する断面略Ｌ字状の位置決め部を備えた第１の下方位置決めブロック部分または第２の下方位置決めブロック部分と、
これら第１の下方位置決めブロック部分または前記第２の下方位置決めブロック部分の上方に配置され、弾性部材の付勢力により前記第１の下方位置決めブロック部分または前記第２の下方位置決めブロック部分に、常時接近する方向に付勢される第１の上方位置決めブロック部分または第２の上方位置決めブロック部分と、
前記第１の上方位置決めブロック部分または前記第２の上方位置決めブロック部分に支持され、その外周面が前記第１の下方位置決めブロック部分または前記第２の下方位置決めブロック部分の、平坦なフィルム搬送面に臨むように配置される第１の押圧ローラまたは第２の押圧ローラと、から構成され、
前記長尺状のフィルムは、前記第１の位置決めガイド手段と前記第２の位置決めガイド手段とにより、一方の側縁部に形成された第１のスプロケット形成領域または他方の側縁部に形成された第２のスプロケット形成領域の上面側および下面側が、それぞれ第１の押圧ローラと第１の位置決めブロック部分、または第２の押圧ローラと第２の位置決めブロック部分との間に挟持される態様で案内されることが好ましい。
【００２５】
このような構成の本発明によれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープが搬送されると、両側縁部が第１の位置決めガイド手段と第２の位置決めガイド手段との独立して作用する手段により案内されるとともに、フィルムキャリアテープの上方域が、第１の押圧ローラと第２の押圧ローラとにより規制されているので、仮に反りが発生していたとしても、その反りを矯正することができる。また、これにより、ガイド溝からの外れが防止される。さらに、押圧ローラは、製品テープとの接触によって回転しながら反りを矯正するため、製品テープとは摺動することは無く，傷の発生を極力防止することができる。さらに、異物の付着も防止できる。また、この押圧ローラの外周面によりフィルムの摺接される部分はスプロケット形成領域部分なので、この部分が擦られたとしても製品自体に何ら影響が及ぶことはない。
【００２６】
また、押圧ローラは、弾性部材が収縮することで、仮に増加した厚みのテープ部分が搬送されてきたとしても、詰まりを発生させることなく、搬送することができる。
また、押圧ローラと下方位置決めブロック部分のテープ滑走面との間に、適宜なクリアランスを確保することにより、テープ表面に傷がつくことを防止することができる。
【００２７】
ここで、本発明では、前記第１の位置決めガイド手段または前記第２の位置決めガイド手段のうち、少なくとも一方の位置決めガイド手段は、他方の位置決めガイド手段に対して接近又は離反する方向に移動調整可能に配置されていることが好ましい。
【００２８】
このような構成であれば、幅の異なる電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送にも容易に適用することができる。
また、本発明では、前記第１の下方位置決めブロック部分または前記第２の下方位置決めブロック部分の少なくとも一方には、前記スプロケットをカウントするセンサを設けることもできる。
【００２９】
このような構成であれば、例えば、搬送の途中で、上記センサでスプロケットホールを計測することにより、搬送速度、搬送長さなどを正しく検知することができる。
ここで、前記センサは、スプロケット規格のスーパーワイド、あるいはスプロケット規格のワイドに対応する位置にそれぞれ設けられることが好ましい。
【００３０】
このような位置にセンサを設ければ、スプロケットの規格がスーパーワイドであれワイドであれ、いずれの場合であっても、単に、切り替えるだけで対応することができる。
さらに、上記したようなフィルム搬送装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの外観検査に取り付けることができる。
【００３１】
また、本発明に係るフィルム搬送方法は、
両側縁部に所定のピッチでスプロケットホールが形成された長尺状のフィルムを、送り出しリールおよび巻取りリール間に差し渡すとともに、これら２つのリール間に構成される搬送路の途中に、前記フィルムの幅方向への移動を規制しながら案内する位置決めガイ
ド手段を配置したフィルム搬送方法において、
前記位置決めガイド手段は、クッション性を備えた押圧ローラを具備し、この押圧ローラにより前記フィルムの上面側の移動を規制していることを特徴としている。
【００３２】
このような方法によれば、フィルムに傷を付けることなく搬送することができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明に係るフィルム搬送装置およびフィルム搬送方法によれば、フィルムを上下両方向から押えることにより、反り等の影響を緩和することができる。また、これにより反りなどに起因するガイド溝からの脱落を防止することができる。さらに、反り等の影響を緩和することができ垂れ下がりも防止できることから、ゴミの付着や傷がついてしまうことがなくる。また、押圧ローラはフィルムと当接した際に回転するので、傷などが付き難い。なお、仮に押圧ローラなどにより、摺接部分に傷がついたとしても、その部分は、スプロケット形成領域であり、製品の品質に何ら影響を及ぼすことはないので，製品価値が損なわれることもない。
【００３４】
さらに、押圧ローラは弾性部材により所定の力が作用した場合に、フィルムから離れる方向に移動可能であるため、仮に厚みの厚い部分が搬送されてきたとしても、その厚みにより詰まりが発生することもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説明する。
図１は、本発明の一実施例による電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置を示したもので、図２〜図４は図１の搬送装置に採用された位置決めガイド手段を示したものである。
【００３６】
このフィルム搬送装置１０では、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を送り出す送り出しリール１４と、送り出しリール１４から送り出された電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を巻き取る巻取りリール１６とを備え、送り出しリール１４から送り出されたテープ１２が巻取りリール１６に巻き取られる間に、所定の処理、例えば、導体配線パターンなどに形成された不良の判別（目視外観検査やＡＯＩ）などが行われている。このような不良を検査するには、テープ１２に反りや弛みなどのないフラットな状態にすることが重要である。
【００３７】
このような２つのリール１４，１６間に、所定の処理を行うために構成された位置決めガイド手段２０が配置されている。
なお、図１において、符号２２，２４は案内ロールを示したもので、これらの案内ロール２２，２４により、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２が位置決めガイド手段２０に対し略水平方向に搬送される。また、符号２１，２３も案内ロールを示したものである。符号２５，２７は、それぞれ自重により電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２に対して、送り出しリール１４側または巻取りリール１６側へのテンションを付与するダンサロールを示したものである。
【００３８】
図１において、送り出し側のダンサロール２５は、送り出しリール１４と案内ロール２２との間に位置するフィルムキャリテープ１２に対して、上側からロール面で当接して自重を与えている。これにより、案内ロール２２と案内ロール２１との間に位置するキャリアテープ１２に対して送り出し側、すなわち搬送方向と逆方向へのテンションを付与している。
【００３９】
また、巻取り側ダンサロール２７は、巻取りリール１６と案内ロール２４との間に位置
するフィルムキャリアテープ１２に対して、上側からロール面で当接して自重を与えている。これにより、案内ロール２３と案内ロール２４との間に位置するキャリアテープ１２に対して巻取り側すなわち搬送方向へのテンションを付与している。
【００４０】
そして、巻取り側のダンサロール２７の自重が、送り出し側のダンサロール２５の自重よりも重く構成されている。したがって、フィルムキャリアテープ１２には、各ダンサロールによる自重で互いに逆方向へかかるテンション（引っ張り力）の差し引きとして、巻取り側、すなわち搬送方向へのテンションが付与されることとなる。
【００４１】
一方、位置決めガイド手段２０の下流側には、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２を所定の速度で引き出すための搬送駆動部４２が設置され、この搬送駆動部４２は、ドライブギア４４と押えロール４６とから構成されている。ドライブギア４４は、そのドライブロール面がフィルムキャリアテープ１２に対して、下側から当接するように配置される。また、ドライブギア４４の両端部に所定のピッチで突起が形成され、これらの突起が長尺状のテープ１２の両側端部に形成されたスプロケットホール５と順次係合される。
【００４２】
このような状態で搬送駆動部４２が駆動されると、巻取りリール１６側のテープ先端側が引っ張られるので、両端部のスプロケットホール５が突起に係止されたテープ１２は、安定した姿勢でかつ所定の速度で送られることになる。
【００４３】
以下に、本実施例の主要構成要素である位置決めガイド手段２０について説明する。
位置決めガイド手段２０は、図２の状態で右側半部に構成された第１の位置決めガイド手段２６と、左側半部に構成された第２の位置決めガイド手段２８との２つのガイド手段から構成され、これら２つの位置決めガイド手段２６，２８により、電子部品実装用フィルムキャリアテープ１２の両端部が挟持される態様で案内される。
【００４４】
これら第１の位置決めガイド手段２６と第２の位置決めガイド手段２８とは、略同一の構成を有しているので、以下、第１の位置決めガイド手段２６について説明する。
第１の位置決めガイド手段２６は、上面に略Ｌ字状の位置決め部３０を備えた第１の下方位置決めブロック部分３２を有し、この第１の下方位置決めブロック部分３２は、フィルム搬送路の長さ方向に沿って片側の下側部分を構成している。また、この第１の下方位置決めブロック部分３２の上方に、これより高さの低い小形の第１の上方位置決めブロック部分３４が配置されている。この第１の上方位置決めブロック部分３４には、上面側から圧縮状態のスプリング３８が介装されてピン部材４０が挿通され、このピン部材４０の先端側が第１の下方位置決めブロック部分３２の下面に貫通してナット４１が螺合されている。これにより、第１の上方位置決めブロック部分３４と第１の下方位置決めブロック部分３２は、スプリング３８の付勢力により常時当接するように押圧されている。しかしながら、第１の上方位置決めブロック部分３４にスプリング３８の付勢力より大きな力が下方から作用すると、第１の下方位置決めブロック部分３２から離反される。
【００４５】
一方、この第１の上方位置決めブロック部分３４の内側面には、第１の押圧ローラ３６が軸３９により回転可能に支持されている。この第１の押圧ローラ３６の外周面３６ａは、上記した第１の下方位置決めブロック部分３２の上面に形成された断面Ｌ字状の位置決め部３０における平坦なフィルム搬送面３０ａに対向して配置され、搬送面３０ａとの間に、フィルムキャリアテープ１２を軽く挟持できる程度の隙間（３５μｍ〜７５μｍ）が介在されている。
【００４６】
図２において左側半部に形成された第２の位置決めガイド手段２８も前記第１の位置決めガイド手段２６と同様に、第２の下方位置決めブロック３３と、弾性部材、例えばスプリング３８の付勢力により下方に押圧された第２の上方位置決めブロック３５と、軸３９
に支持された第２の押圧ローラ３７などから構成され、これらは第１の位置決めガイド手段２６側の各構成要素と同様の作用効果を奏する。
【００４７】
さらに、本実施例では、図４に例示したように、第１の下方位置決めブロック部分３２および第２の下方位置決めブロック部分３３の途中に、スプロケットホール５の通過を検出する非接触型のセンサ５０がそれぞれ取り付けられている。
【００４８】
これらスプロケットセンサ５０、５０のうち、例えば、一方の位置決めガイド手段２６側に設置したセンサ５０は、スーパーワイドのスプロケット規格に対応させ、他方の位置決めガイド手段２８側に設置したセンサ５０は、ワイドのスプロケット規格に対応させた位置に、配置することが好ましい。
【００４９】
このような位置に２つのセンサ５０，５０をそれぞれ配置することにより、いずれかのセンサ５０を選択して用いることで、スーパーワイドにも、ワイドにも対応することができる。すなわち、スプロケットの規格に対してセンサの位置を変更することなく、そのままの状態で切り替えて使用することが可能になる。
【００５０】
このように両側にセンサ５０を設置することにより、両端部に形成されたスプロケットホール５の通過が検知される。すなわち、フィルムキャリアテープ１２の移動した距離が判別される。そして、このようにスプロケットホール５の通過数をセンサで検知することにより、搬送した長さや、搬送速度等を測定することもできる。
【００５１】
本実施例によるフィルム搬送装置は、上記のように構成されているが、以下にその作用について説明する。
今、送り出しリール１４に、多数の配線パターンが形成された長尺のフィルムキャリアテープ１２が巻回され、このフィルム１２に対して外観検査などの所定の処理が行われる。例えば、フィルムキャリアテープ１２は、その半導体配線パターンなどに生じた不良の判別を検査するために、送り出しリール１４から位置決めガイド手段２０側に繰り出され、搬送の途中で一旦停止し、ＣＣＤカメラなどにより配線パターンを撮像することにより、パターン不良の判別がなされた後、再び搬送され巻取りリール１６に巻き取られる。
【００５２】
このような検査を行う場合、検査を行う所定位置に被検出部が到達したことを検知する必要があるが、その場合に、フィルムキャリアテープ１２は、図４に示したセンサ５０により、スプロケットホール５が検出される。そして、フィルムキャリアテープ１２が所定長さ送られたときに駆動が一端停止され、例えば、図示しないＣＣＤカメラなどで不良の有無が識別される。
【００５３】
こうして、所定長さづつ送られたフィルムキャリアテープ１２は、検査を行いながら巻取りリール１６に巻き取られる。なお、搬送の途中において、フィルムキャリアテープ１２には、所定のテンションが作用されるので、弛みの発生がなく略緊張した状態で搬送することができる。
【００５４】
また、巻き出しリール１４から送り出されたフィルム１２が駆動搬送部４２の駆動力で位置決めガイド手段２０に送られてくると、そのフィルム１２は、両側縁部が位置決めガイド手段２０における第１の位置決めガイド手段２６と第２の位置決めガイド手段２８に捕捉され、幅方向への移動が規制されながら下流に搬送される。
【００５５】
このとき、図２に示したように、フィルムキャリアテープ１２は、スプロケットホール５を形成した両端部のスプロケット形成領域が上下に挟持される態様で搬送される。
例えば、第１の位置決めガイド手段２６側において、フィルム１２が下方位置決めブロ
ック部分３０の上面と第１の押圧ローラ３６との間に挟持されながら搬送される。また、第２の位置決めガイド手段２８側では、第２の下方位置決めブロック部分３３と第２の押圧ローラ３７との周面に挟持されながら搬送される。しかも、このとき、位置決めガイド手段２０の上流側と下流側では、図１から明らかなように、それぞれダンサロール２５、２７により、適宜なテンションが作用しているので、フィルム１２の搬送が弛みがなく安定した状態で搬送される。仮に、フィルム１２に反りが発生しているような場合に、反りの影響を緩和することができる。したがって、フィルム１２の表面に傷がついたり、フィルム１２が位置決め部３０から外れてしまうことはない。勿論、フィルム１２の搬送の途中でローラとフィルムが接触した場合は、押圧ローラ３６，３７は回転するので、フィルム１２の表面に傷が付くことが防止される。
【００５６】
また、仮に、テープ同士のつなぎ目などで、周囲に比べて厚くなったフィルムのスプライス部分が搬送されてきて、第１の押圧ローラ３６と第２の押圧ローラ３７とに所定の力が作用した場合も、これら第１のローラ３６および第２の押圧ローラ３７を、第１の下方位置決めブロック部分３２または第２の下方位置決めブロック部分３３から離反させることができる。すなわち、フィルム１２から加えられる圧力により押圧ローラ３６，３７が上方に押圧され、その押圧力がスプリング３８の下方への付勢力よりも大きい場合は、その付勢力に抗して上方位置決めブロック部分３４，３５が上方に移動されるので、フィルムの搬送が止まってしまうようなこともない。所定の速度で搬送することができる。
【００５７】
さらに、仮にスプロケット形成領域に擦れ傷などがついたとしても、この部分は、製品に影響を及ぼすことはないため、問題になることはない。
本実施例によれば、仮に傷が付いても良い両端部のスプロケット形成領域を利用して、フィルムを上下両側から挟持するとともに、所定以上の力が作用した場合に上側の押えである第１，第２の押圧ローラ３６，３７をフィルムから離反する方向に逃すようにしているので、テープに傷が付いたり、異物が付着してしまうことを防止できる。また、接着テープで接合部の厚さが厚くなったスプライス部が通過する場合にも、そのスプライス部の通過を許容することができる。
【００５８】
さらに、搬送中は、押圧ローラ３６，３７により、テープに反りが発生しても跳ね上がりが防止されるので、位置決めブロック部分から外れてしまうようなこともない。さらに、上下両方向からフィルムを押えながら搬送するので、フィルムキャリアテープ１２のバタツキの発生を防止することができる。
【００５９】
また、フィルムに反りがある場合に、押圧ローラでその反りを緩和することができる。
さらに、ＣＣＤカメラなどでフィルムの不良を検査するような場合に反りが緩和されるので、可及的にフラットな状態で検査を実施することができる。
【００６０】
したがって、正しい位置に配置されたフィルム１２に対してＣＣＤカメラなどによる所定の検査、処理などを精度良く行うことができる。
また、フィルム１２の幅は３５ｍｍ、４８ｍｍ、７０ｍｍ、その他など、様々な幅があるが、このように幅の違うテープを搬送する場合は、第１の位置決めガイド手段２６または第２の位置決めガイド手段２８の少なくとも一方の位置決めガイド手段を、他の位置決めガイド手段に対して移動調整可能に設置し、使用時にプランジャーピンで固定するようにすれば、どのような幅であっても搬送することができる。
【００６１】
以上、本発明の一実施例によるフィルム搬送装置について説明したが、本発明は上記実施例に何ら限定されない。
例えば，上記実施例では、センサ５０が位置決めガイド手段２０における第１，第２の下方位置決めブロック部分３２、３３内に設置しているが、これに代え、位置決めガイド
手段２０に対してその下流側あるいは上流側に設けることもできる。
【００６２】
また、上記実施例では、搬送されるフィルムとして、ＴＡＢテープを例示したが、例えば、ＣＯＦテープ、ＢＧＡテープ、ＣＳＰテープ、ＡＳＩＣテープなど様々なフィルムキャリアテープに適用することができる。
【００６３】
さらに、上記実施例では、ＣＣＤカメラで配線パターンの不良を検知する処理を行うようにしているが、搬送路の途中で他の処理、例えば、マーキングを行うような場合にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】図１は本発明の一実施例に係るフィルム搬送装置の概略構成図である。
【図２】図２は図１に示したフィルム搬送装置における位置決めガイド手段の側面図である。
【図３】図３は図２に示した位置決めガイド手段の上面図である。
【図４】図４は図２に示した位置決めガイド手段の第１の位置決めガイド手段側の断面図である。
【図５】図５は本発明の一実施例で採用されたフィルムキャリアテープの一部を示した概略図である。
【図６】図６は特開２００４−８７７９２号公報に開示された従来のフィルム搬送装置の断面図である。
【図７】図７（Ａ）、（Ｂ）は、従来の他のフィルム搬送装置を示したもので、図７（Ａ）は、その上面図、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の側面図である。
【符号の説明】
【００６５】
５                      スプロケットホール
１０                    フィルム搬送装置
１２                    フィルムキャリアテープ
１４                    送り出しリール
１６                    巻取りリール
２０                    位置決めガイド手段
２１、２２、２３、２４  案内ロール
２５、２７              ダンサロール
２６                    第１の位置決めガイド手段
２８                    第２の位置決めガイド手段
３０                    位置決め部
３０ａ                  フィルム搬送面
３２                    第１の下方位置決めブロック部分
３３                    第２の下方位置決めブロック部分
３４                    第１の上方位置決めブロック部分
３５                    第２の上方位置決めブロック部分
３６                    第１の押圧ローラ
３６ａ                  外周面
３７                    第２の押圧ローラ
３８                    スプリング
３９                    軸
４０                    ピン部材
４４                    ドライブギア
５０                    センサ
【図１】
2006190881.tif 000003
【図２】
2006190881.tif 000004
【図３】
2006190881.tif 000005
【図４】
2006190881.tif 000006
【図５】
2006190881.tif 000007
【図６】
2006190881.tif 000008
【図７】
2006190881.tif 000009