(57)【要約】【課題】浮上型ヘッドの浮上量とヘッド感度の変化を独立かつ正確に測定・監視するヘッド浮上量測定方法とともに、極めて信頼性の高い超低浮上ヘッドを用いたディスク装置を提供する。【解決手段】ディスク装置において表面から磁性層面までの深さが異なる２種類以上の磁性層エリア１２、１２を有したディスク１を具備し、それぞれの深さの差Ｔｎｍが既知であるとともに、それぞれの磁性層から再生される再生信号の振幅差でもってヘッド浮上量の絶対量の変化と、リードヘッドの感度変化とを求める相関関数を導出し、それを用いてそれぞれを独立に測定する。【選択図】図１
2006196073.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク表面から各磁性層面までの深さがＴ１，Ｔ２，・・・・Ｔｎであるｎ種類以上（ｎ≧２の整数）の異なる磁性層エリアを有したディスクと、前記ディスクからデータを再生する浮上型のヘッドとを有するディスク装置におけるヘッド浮上量測定方法であって、前記各磁性層面の深さの差がＴ２１（＝Ｔ２−Ｔ１），Ｔ３２（＝Ｔ３−Ｔ２），・・・・Ｔｎ（ｎ−１）（＝Ｔｎ−Ｔｎ−１）のように既知であるとともに、深さの異なる各磁性層から再生される再生信号の特性差を検出し、前記再生信号の特性差でもって制御されることを特徴とするヘッド浮上量測定方法。
【請求項２】
深さが異なったｎ種類の前記磁性層エリアがディスク回転方向に順次繰り返し形成された浮上量測定エリアを有したディスクと、前記浮上量測定エリアに記録されたデータの再生振幅値を、各磁性層エリアに対応させＶ１，Ｖ２，・・・・Ｖｎとして検出する再生振幅検出手段と、前記各再生振幅値の差分をＶ２１（＝Ｖ２−Ｖ１），Ｖ３２（＝Ｖ３−Ｖ２），・・・・Ｖｎ（ｎ−１）（＝Ｖｎ−Ｖｎ−１）として求める再生振幅差分検出手段と、各磁性層エリアに対応した再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）をそれぞれで記憶する再生振幅差分記憶手段とを有し、初期に記憶された再生振幅差分と現在の再生振幅差分を比較することで、前記浮上型ヘッドの感度変化のみを独立に検出することを特徴とする請求項１に記載のヘッド浮上量測定方法。
【請求項３】
あらかじめ浮上量がｘとして既知である第１の浮上型ヘッドを用いて、前記各磁性層エリアに対応させた再生振幅値Ｖｎと再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）を測定し、前記Ｖｎとそれに対応した実効的な浮上量であるＴｎ＋ｘを用いて、再生振幅値と浮上量との第１の相関関数を導出し、さらに、浮上量が不明な第２の浮上型ヘッドにおける再生振幅値Ｖｎ´と再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）´を測定し、Ｖｎ（ｎ−１）´をＶｎ（ｎ−１）で割ることによって第１の浮上型ヘッドと第２の浮上型ヘッドとの感度差の比率αを求め、前記第１の相関関数にαを乗じることで第２の浮上型ヘッドに対応した第２の相関関数を導出し、前記第２の相関関数にＶｎを代入することによって浮上型ヘッドの浮上量の絶対量を求めるとともに、初期浮上量と現在の浮上量との変化を浮上量変化とし、初期αと現在のαとの変化をヘッド感度変化として監視することを特徴とするヘッド浮上量測定方法。
【請求項４】
ディスクに形成された浮上量測定エリアがコンタクトスタートストップエリアになっており、浮上量がほぼゼロと見なせるほどの低回転でディスク回転させるとともに、その時点での前記各磁性層エリアに対応させた再生振幅値Ｖ０ｎと再生振幅差分Ｖ０ｎ（ｎ−１）を測定し、前記Ｖ０ｎとそれに対応した実効的な浮上量であるＴｎを用いて、再生振幅値と浮上量との第３の相関関数を導出し、前記第３の相関関数に通常回転時の再生振幅値を代入することによって浮上型ヘッドの浮上の絶対量を求めるとともに、初期浮上量と現在の浮上量との変化を浮上量変化とし、初期Ｖ０ｎ（ｎ−１）と現在のＶ０ｎ（ｎ−１）との変化をヘッド感度変化として監視することを特徴とするヘッド浮上量測定方法。
【請求項５】
前記浮上量変化とヘッド感度変化が、それぞれ所定のレベルを超えた場合に、ディスクの回転数を通常とは異なる回転数で回転させることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のヘッド浮上量測定方法。
【請求項６】
前記浮上量変化とヘッド感度変化が、それぞれ所定のレベルを超えた場合に、浮上型ヘッドに流すバイアス電流を通常とは異なる電流に可変することを特徴とした請求項３または請求項４に記載のヘッド浮上量測定方法。
【請求項７】
前記浮上量変化とヘッド感度変化が、それぞれ所定のレベルを超えた場合に、浮上量がゼロと見なせる低回転でディスクを回転させた状態で、前記コンタクトスタートストップエリア上を浮上型ヘッドが摺動するように制御することを特徴とする請求項４に記載のヘッド浮上量測定方法。
【請求項８】
前記浮上量変化とヘッド感度変化が、それぞれ所定のレベルを超えた場合に、ホストシステムを通じて利用者にデータのバックアップまたはディスク装置の交換を促す警告を発することを特徴とする請求項３または請求項４に記載のヘッド浮上量測定方法。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載のヘッド浮上量測定方法を適用して製造されたことを特徴とするディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浮上型ヘッドを備えたディスク装置に適用するヘッド浮上量測定方法およびディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特にハードディスクドライブ（ＨＤＤとも略記する）等の磁気ディスク装置では、リードヘッド素子（以下、リードヘッドとも記す）およびライトヘッド素子（以下、ライトヘッドとも記す）が一体に成形されたヘッドスライダー（以下単にヘッドとも記す）がディスク上を浮上した状態で、データの記録動作または再生動作（リード動作またはライト動作ともいう）を行う方式が採用されている。ここでは、リードヘッドあるいはライトヘッドそれぞれとディスク表面間の距離はヘッドスライダの浮上量を意味している。
【０００３】
近年のＨＤＤにおける大容量化の要求に伴い、浮上量が低下すれば記録再生帯域の広帯域化や記録再生効率の向上といった性能を改善できるので、ますます低浮上量化が図られてきている。しかしながら、低浮上量化を進めると、ディスク表面にヘッドが衝突するヘッドクラッシュ等の障害発生のリスクが増加するため、浮上量の変動許容値をできる限り小さくするよう制限されている。例えば、変動許容値を±５％とすると、浮上量の標準平均設計値が１００ｎｍ（ナノメータ）であれば、変動許容値は±５ｎｍであり、浮上量が一段と低い１０ｎｍであれば、変動許容値は±０．５ｎｍとなり、低浮上量化の実現には極めて厳しい浮上量の変動制限が要求されている。このことは、製造工程および出荷後においても浮上量を正確に測定し管理することが求められることを意味している。以下に、従来の浮上量測定方法の具体例について説明する。
【０００４】
最もよく知られている例は、ＨＤＤの製造工程において、ガラス製の疑似ディスクを使用した光学式浮上量測定装置（フライハイトテスタ装置）により、ヘッド毎の浮上量を測定して許容範囲内のヘッドを選定する方法が挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
次の例として挙げられるのは、ディスク装置の出荷後もヘッドの浮上量を監視するため、浮上量の変化に伴ってリードヘッドからの再生信号の特性が変化する現象に着目した方法がある（例えば、特許文献２参照）。この方法は、再生信号を検出特性に等化するフィルタのタップ係数の変化量から浮上量の変動量を検出するものである。
【０００６】
さらに別の方法として、図９に示すようにライトヘッド９２から発生する漏洩記録磁界をリードヘッド９３から検出し、その出力振幅値でもってヘッドの浮上量を測定する方法も提案されている（例えば、特許文献３参照）。この方法では、浮上量が低いほど（ヘッド素子とディスクの距離が短いほど）ディスク９１からの磁気的干渉を受けやすくなるため、ライトヘッド９２からリードヘッド９３への漏洩磁界は減少する現象を利用している。すなわち、浮上量と再生信号振幅値との関係のテーブルをあらかじめ測定しておくことで、浮上量を測定するものである。
【特許文献１】特開平５−３２２５２２号公報（第３頁−第４頁、第１図）
【特許文献２】米国特許第５１６８４１３号明細書
【特許文献３】特開平１１−３４５４７２号公報（第３頁−第５頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、フライハイトテスタ装置を用いる第１の方法では、ヘッドアセンブリの製造工程でのみ測定可能であり、ディスク装置にヘッドが組み込まれた後で、浮上量を直接測定したり、監視したりすることは不可能である。さらに、近年のように低浮上化が進むと、測定時にヘッドクラッシュしたり、潤滑層のないガラス製の疑似ディスクを使用するためにヘッド素子が静電気破壊を起こしたりするような問題があり、現実的には抜き取り検査にとどまる場合が多い。
【０００８】
次に、再生信号を検出特性に等化するフィルタのタップ係数の変化量から浮上量の変動量を検出するという第２の方法では、その信号を記録した時点のヘッド（ライトヘッド素子）の浮上量にも依存して再生特性が変化するため、ヘッドの浮上量が変動している状態で記録再生動作を繰り返した場合に、正確な浮上量の監視は不可能となる。また、近年のようにリードヘッド素子にＭＲ素子が用いられる場合では、装置へのヒートショックやサーマルアスペリティーノイズ（ｔｈｅｒｍａｌ  ａｓｐｅｒｉｔｙ  ｎｏｉｓｅ）、ライトヘッド素子からの熱伝導等によって、リードヘッド素子の感度および周波数特性が劣化することが知られている。このため、リードヘッド素子の経時変化があった場合、リードヘッド素子の再生特性が劣化したのか浮上量が変化したのかが分離できなくなり、正確な浮上量が測定できない問題がある。
【０００９】
さらに、ライトヘッド素子からの漏洩記録磁界をリードヘッド素子から検出し、その出力振幅値でもってヘッドの浮上量を測定するという第３の方法では、上記第２の方法と同様に、リードヘッド素子の経時変化があった場合、製造工程で作成した浮上量の相関テーブルでは再生感度が劣化したのか浮上量が変化したのかが分離できなくなり、正確な浮上量が測定できない問題が発生する。
【００１０】
また、第２および第３の方法では、リードヘッド素子の経時変化があった場合、製造工程で作成した浮上量と再生信号特性との相関テーブルでは、リードヘッド素子の再生特性が劣化したのか浮上量が変化したのかが分離できなくなり、正確な浮上量が測定できない問題が発生することを述べたが、これは再生信号の変化に対し、浮上量の変化とリードヘッド素子の特性変化の要因が分離できた測定方法になっていないためである。このことは、浮上量の絶対値を再生信号から検出する方法が必要であることを意味している。
【００１１】
本発明は、上述した従来の課題を解決するもためになされたものであり、再生信号の変化量におけるヘッド素子特性の劣化と浮上量の劣化とを分離して、浮上量の絶対量を測定するヘッド浮上量測定方法とともに、正確な浮上量管理によって信頼性の高いディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明のヘッド浮上量測定方法は、ディスク表面から各磁性層面までの深さがＴ１，Ｔ２，・・・・Ｔｎであるｎ種類以上（ｎ≧２の整数）異なる磁性層エリアを有したディスクと、ディスクからデータを再生する浮上型のヘッドとを有するディスク装置におけるヘッド浮上量測定方法であって、各磁性層面の深さの差がＴ２１（＝Ｔ２−Ｔ１），Ｔ３２（＝Ｔ３−Ｔ２），・・・・Ｔｎ（ｎ−１）（＝Ｔｎ−Ｔｎ−１）のように既知であるとともに、深さの異なる各磁性層から再生される再生信号の特性差を検出し、再生信号の特性差でもって制御されることを特徴としている。また、深さが異なったｎ種類の磁性層エリアがディスク回転方向に順次繰り返し形成された浮上量測定エリアを有したディスクと、浮上量測定エリアに記録されたデータの再生振幅値を、各磁性層エリアに対応させＶ１，Ｖ２，・・・・Ｖｎとして検出する再生振幅検出手段と、各再生振幅値の差分をＶ２１（＝Ｖ２−Ｖ１），Ｖ３２（＝Ｖ３−Ｖ２），・・・・Ｖｎ（ｎ−１）（＝Ｖｎ−Ｖｎ−１）として求める再生振幅差分検出手段と、各磁性層エリアに対応した再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）をそれぞれで記憶する再生振幅差分記憶手段とを有し、初期に記憶された再生振幅差分と現在の再生振幅差分を比較することで、浮上型ヘッドの感度変化のみを独立に検出する測定方法、また、あらかじめ浮上量がｘとして既知である第１の浮上型ヘッドを用いて、各磁性層エリアに対応させた再生振幅値Ｖｎと再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）を測定し、Ｖｎとそれに対応した実効的な浮上量であるＴｎ＋ｘを用いて、再生振幅値と浮上量との第１の相関関数を導出し、さらに、浮上量が不明な第２の浮上型ヘッドにおける再生振幅値Ｖｎ´と再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）´を測定し、Ｖｎ（ｎ−１）´をＶｎ（ｎ−１）で割ることによって第１の浮上型ヘッドと第２の浮上型ヘッドとの感度差の比率αを求め、第１の相関関数にαを乗じることで第２の浮上型ヘッドに対応した第２の相関関数を導出し、第２の相関関数にＶｎを代入することによって浮上型ヘッドの浮上量の絶対量を求めるとともに、初期浮上量と現在の浮上量との変化を浮上量変化とし、初期αと現在のαとの変化をヘッド感度変化として監視する測定方法、また、ディスクに形成された浮上量測定エリアがコンタクトスタートストップエリアになっており、浮上量がほぼゼロと見なせるほどの低回転でディスク回転させるとともに、その時点での各磁性層エリアに対応させた再生振幅値Ｖ０ｎと再生振幅差分Ｖ０ｎ（ｎ−１）を測定し、Ｖ０ｎとそれに対応した実効的な浮上量であるＴｎを用いて、再生振幅値と浮上量との第３の相関関数を導出し、第３の相関関数に通常回転時の再生振幅値を代入することによって浮上型ヘッドの浮上量の絶対量を求めるとともに、初期浮上量と現在の浮上量との変化を浮上量変化とし、初期Ｖ０ｎ（ｎ−１）と現在のＶ０ｎ（ｎ−１）との変化をヘッド感度変化として監視する測定方法、また、浮上量変化とヘッド感度変化が、それぞれ所定のレベルを超えた場合に、ディスクの回転数を通常とは異なる回転数で回転させる測定方法、また、浮上量変化とヘッド感度変化が、それぞれ所定のレベルを超えた場合に、浮上型ヘッ���に流すバイアス電流を通常とは異なる電流に可変する測定方法、また、浮上量変化とヘッド感度変化が、それぞれ所定のレベルを超えた場合に、浮上量がゼロと見なせる低回転でディスクを回転させた状態で、コンタクトスタートストップエリア上を浮上型ヘッドが摺動するように制御する測定方法に加えて、浮上量変化とヘッド感度変化が、それぞれ所定のレベルを超えた場合に、ホストシステムを通じて利用者にデータのバックアップまたはディスク装置の交換を促す警告を発する測定方法であってもよい。
【００１３】
これらの方法により、ディスクの所定のエリアにおいて磁性層面とディスク表面からの距離が少なくとも２種類以上有しており、それぞれの深さの差が既知であり、それぞれの磁性層から再生される再生号の振幅差でもってヘッド浮上量の絶対量を測定できる。さらに、低浮上量の領域では浮上量と再生出力の関係は一次関数Ａで近似でき、浮上量が既知のヘッドと浮上量が未知のヘッドとの再生出力の比を用いれば再生感度の較正が行えるので、得られた再生振幅値から浮上量の絶対量が正確に求めることができ、このヘッド浮上量測定方法により、信頼性の極めて高い超低浮上量のディスク装置を実現できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のヘッド浮上量測定方法によれば、ＨＤＤ等のディスク装置に備わるディスクの表面からの深さが異なる２種類以上の磁性層からの再生信号を用いて、ヘッド浮上量の絶対量が正確に計測でき、リードヘッドの感度劣化が発生しても、その感度劣化を分離した浮上量測定が可能となり、ディスク装置が市場に出荷された後でも高精度な浮上量とヘッド素子感度の監視が行えるので、信頼性の極めて高い超低浮上量のディスク装置を提供することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１において適用するＨＤＤ等のディスク装置に用いる記録媒体となるディスクの構成を概略的に説明する図である。図１（ａ）においてディスク１は、外周部にある通常のデータ記録再生に用いるエリアでは磁性層ａのエリア１１のみが存在する記録再生領域と、内周部にある周方向に対し交互に磁性層ｂのエリア１２と磁性層ａのエリア１１が存在する浮上量測定領域とからなっている。図１（ｂ）は図１（ａ）に示したディスク１の浮上量測定領域のＡ−Ａ´線部断面を拡大して示す図である。この図に示されるようにディスク１にはガラス基板１５上にディスク表面からの深さが異なる磁性層ａのエリア１１と磁性層ｂのエリア１２が設けられている。また、磁性層ａのエリア１１と磁性層ｂのエリア１２の深さの差をＴｎｍ（ナノメータ）としている。
【００１７】
詳細な説明は省略するが、このような磁性層の深さを精度良く変えたディスクは周知の方法により製造される。例えば、あらかじめＴｎｍの凹凸をつけた金型を加熱・減圧環境下でガラス基板１５に押し当て、同様な深さＴｎｍの凹凸をガラス基板１５にプリントし、そのガラス基板１５に磁性層を蒸着することで正確にＴｎｍの深さの差がついた磁性層を形成し、磁性層の上に保護膜を蒸着およびエッチングにより平坦な保護膜層１３を形成し、さらに、潤滑膜層１４を塗布形成する方法が用いられる。
【００１８】
本発明では、このようにして製造したディスク１をディスク装置に供し、装置として組み立てた後に浮上量を測定するが、各装置毎の浮上量を測定する前に、あらかじめレファレンスとなる再生信号と浮上量との相関を測定する必要がある。以下に、その方法について説明する。
【００１９】
まず、レファレンスとなる第１のヘッドの浮上量ｘｎｍを従来の光学式浮上量測定装置であるフライハイトテスタ装置で測定する。この第１のヘッドを図１に示したディスク１の内周付近に設けられた浮上量測定エリアの上で浮上させ、記録再生を行い磁性層ａのエリア１１からの再生信号振幅値ＶａｍＶと、磁性層ｂのエリア１２からの再生信号振幅値ＶｂｍＶを測定し、それぞれの出力差Ｖａ−Ｖｂ＝ＶａｂｍＶを算出する。今、保護膜層１３と潤滑膜層１４は極めて薄く、無視できるレベルであるとすると、磁性層ａのエリア１１でのヘッド浮上量は、事前に測定したレファレンスとなる第１のヘッドの浮上量ｘｎｍになる。さらに、磁性層ｂのエリア１２は磁性層ａのエリア１１に対しディスク表面からの深さがＴｎｍだけ深いため、磁性層ｂのエリア１２上の浮上量は事実上、（ｘ＋Ｔ）ｎｍに相当する。この関係を横軸に再生出力振幅値、縦軸に浮上量をとってグラフにプロットすると、図２示す本発明の実施の形態１におけるレファレンスヘッドの再生出力と浮上量との関係を表すグラフが得られる。一般に、再生振幅値と浮上量との関係は低浮上領域では線形近似でき、前記したｘ、Ｔ、Ｖａ、Ｖｂを用いて、線形近似した下記の一次相関関数（式１）を導出できる。
【００２０】
【数１】
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【００２１】
次に、浮上量が不明な第２のヘッドについて前記ディスク１と同仕様のディスクを用いてディスク装置を組み立て、ディスク１の内周付近に設けられた浮上量測定エリアの上で浮上させ、記録再生を行うことで、同様な再生出力値Ｖａ´ｍＶと、Ｖｂ´ｍＶと、再生出力差Ｖａｂ´ｍＶとを測定する。ところで、一般にリードヘッド素子毎に再生感度が異なるため、一次相関関数（式１）では第１のヘッドと異なるヘッドの浮上量は求められない。しかし、本発明のディスク１から得られるＶａｂ´とＶａｂとの比α（Ｖａｂ´／Ｖａｂ）を用いれば再生感度の較正が行える。すなわち、Ｖａｂ´とＶａｂは、あらかじめ既知である等しい磁性層の深さの違いで発生した出力差であるためヘッド素子の浮上量に依存せず、純粋にリードヘッド素子の感度差を表している。したがって、本発明のヘッド浮上量測定方法を用いれば一次相関関数（式１）をα倍した下記の別の一次相関関数（式２）を用いることで、装置毎に得られた再生振幅値からリードヘッド素子のゲインのばらつきを較正した浮上量の絶対量を正確に求めることができる。
【００２２】
【数２】
2006196073.tif 000004
【００２３】
したがって、上述した本発明の実施の形態１における方法を用いれば、再生信号の振幅値から浮上量に起因する変化と、リードヘッド素子の感度に起因する変化とを分離することができ、浮上量とヘッド感度とを、それぞれ独立に測定することができる。このため、市場にディスク装置が出荷された後でも、浮上量とヘッド感度の劣化を個別に監視し、その劣化に応じた信号処理のモード設定が行え、極めて信頼性の高い超低浮上量のディスク装置を提供できることになる。
【００２４】
なお、本発明の実施の形態１では磁性層深さを２種類とし、図２におけるサンプル点を２点のグラフとしたが、これに限定されず、２種類よりも多い複数の磁性層の深さを有するディスクを形成し、再生出力と浮上量の関係のサンプル点を増やしても何ら問題なく、より高精度な較正が行える。
【００２５】
具体的には、ディスクからデータを再生する浮上型のヘッドを有するディスク装置のディスク表面から磁性層面までの深さがＴ１，Ｔ２，・・・・Ｔｎのように、ｎ種類以上（ｎ≧２の整数）異なるような磁性層エリアを有したディスクとし、各磁性層面の深さの差がＴ２１（＝Ｔ２−Ｔ１），Ｔ３２（＝Ｔ３−Ｔ２），・・・・Ｔｎ（ｎ−１）（＝Ｔｎ−Ｔｎ−１）のように既知であって、磁性層エリアがディスク回転方向に順次繰り返し形成された浮上量測定エリアを有して浮上量測定エリアに記録されたデータの再生振幅値を、各磁性層エリアに対応させＶ１，Ｖ２，・・・・Ｖｎとして検出する再生振幅検出手段と、前記各再生振幅値の差分をＶ２１（＝Ｖ２−Ｖ１），Ｖ３２（＝Ｖ３−Ｖ２），・・・・Ｖｎ（ｎ−１）（＝Ｖｎ−Ｖｎ−１）として求める再生振幅差分検出手段と、各磁性層エリアに対応した再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）をそれぞれで記憶する再生振幅差分記憶手段とを有し、初期に記憶された再生振幅差分と現在の再生振幅差分を比較する。また、あらかじめ浮上量がｘとして既知である第１の浮上型ヘッドを用いて、各磁性層エリアに対応させた再生振幅値Ｖｎと再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）を測定する。Ｖｎとそれに対応した実効的な浮上量であるＴｎ＋ｘとを用いて、再生振幅値と浮上量との第１の相関関数を導出する。さらに、浮上量が不明な第２の浮上型ヘッドにおける再生振幅値Ｖｎ´と再生振幅差分Ｖｎ（ｎ−１）´を測定する。Ｖｎ（ｎ−１）´をＶｎ（ｎ−１）で割ることによって第１の浮上型ヘッドと第２の浮上型ヘッドとの感度差の比率αを求め、前記第１の相関関数にαを乗じることで第２の浮上型ヘッドに対応した第２の相関関数を導出する。第２の相関関数にＶｎ´を代入することによって浮上型ヘッドの浮上量の絶対量を求めるとともに、初期浮上量と現在の浮上量との変化を浮上量変化とし、初期αと現在のαとの変化をヘッド感度変化として監視する。このとき、図２のグラフに相当する相関関数は折れ線近似等を用いてもよい。また、記録再生に用いる信号の周波数はディスク装置のシステムに応じて最適に決定されるが、一般に記録時に浮上量のばらつきによる影響が少ない長波長記録になるように決定される。
【００２６】
また、図１では浮上量測定エリアとしてディスク内周の一部のエリアを用いたが、これに限定されるものでなく、ディスク外周や各トラックの一部のエリアとしても何ら問題ない。さらに、上述した本発明の実施の形態１における方法で説明したように内周の浮上量測定エリアで相関関数（式２）を導出できれば、ディスク半径方向に移動した浮上量測定エリア外でも同じ相関関数（式２）を用いて浮上量を測定できる。このとき、記録再生する信号の記録波長は共通にすることが望ましい。
【００２７】
また、測定される再生信号振幅はヘッドスライダの揺れや浮上量の微小な変化等で変動する。このため相関関数の導出に用いる再生信号振幅値は所定の回数平均化された振幅値を用いるのが好ましい。
【００２８】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法について図３を用いて説明する。図３は、本発明の実施の形態２において適用するＨＤＤ等のディスク装置に用いる記録媒体となるディスクの構成を概略的に説明する図である。図３（ａ）において、データを記録再生するためのディスク１は、外周部にある通常のデータ記録再生に用いるエリアは磁性層ａのエリア１１だけが存在する記録再生領域と、内周部にある周方向に対し交互に磁性層ｂのエリア１２と磁性層ａのエリア１１が存在する浮上量測定領域とからなっているのは、本発明の実施の形態１における場合と同様であるが、ディスクの回転方向の位相を決定する位置決め切りかき４がさらに内周側に設けられているところが異なっている。図３（ｂ）は、図３（ａ）の磁性層ｂのエリア１２近傍を点線で囲んで示す選択部Ｂの部分拡大図である。
【００２９】
本発明の実施の形態１では浮上量を計測するためにディスク装置に組み込まれたリードおよびライトヘッド素子を用いて信号を記録再生して行った。一般に、浮上量は記録特性と再生特性の両方に影響をおよぼしている。例えば、浮上量が上昇すれば記録効率と再生感度の両方が劣化する。既に実施の形態１で説明した相関関数（式２）には、記録と再生の両方を含めたトータルの感度変化が係数αで補正されるため、浮上量の絶対量を求める方法としては問題がないものの、浮上量の変化が再生信号の振幅値に与える影響は、記録特性の変化と再生特性の変化の積となるため、再生信号の振幅値の変化に対する浮上量の変化の傾きは急峻になる。通常、再生信号の振幅値は浮上量が高くなるほど線形近似からずれてくる。このため、本発明の実施の形態１の例では、線形近似からずれ始める浮上高さが低くなってしまい、正確に浮上量の絶対量が測定できる範囲が狭まってしまう問題が残る。
【００３０】
そこで、本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法は、この問題点を改善するものである。本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法では図３（ｂ）に示すようにディスク製造工程で周知の方法である磁気転写により、あらかじめサーボ情報パターン３１と浮上量測定パターン３２が転写されている。ここで、磁気転写について、簡単に説明しておく。例えば、シリコンウエハ上にレジストを塗布し、所定のパターンを形成したフォトマスクにより、そのパターンのエッチングを行うとともに、コバルトを蒸着し、マスクされたレジストをコバルトとともに剥離させることで所定のパターンに応じたシリコンとコバルトのパターンがウエハ上に形成されるので、このウエハをマスタディスクとして、装置用として用いる磁気ディスクに密着させ、外部磁界を均一にかけることにより、シリコンとコバルトのパターンに応じた磁化パターンがディスクに転写される。
【００３１】
ところで、位置決め切りかき４でディスクの回転方向の位相を決定することは、上述した磁気転写におけるマスタディスクと装置用として用いる磁気ディスクのそれぞれに切りかき４を設けることを想定すれば容易に理解できる。ディスク１に形成されている磁性層ｂの各エリア１２の回転方向の位置は、位置決め切りかき４との位相関係が常に一定になるように配置される。また、同様に磁気転写によってディスク１に転写される磁化パターンの位相も位置決め切りかき４によって、常に一定になるように転写される。したがって、磁性層ｂのエリア１２と磁気転写による磁化パターンとの位相関係は常に一定になっている。
【００３２】
引き続き、上述のように転写された磁化パターンを用いて浮上量の絶対量を測定する信号処理の流れについて図４に示した本発明の実施の形態２における浮上量測定方法の信号処理のブロック図を用いて説明する。図４において、ヘッドアセンブリ１０はヘッド６、サスペンション７、回動軸８、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）９からなり、サスペンション７の一端にヘッド６が取り付けられ、他端に取り付けられたＶＣＭ８が磁気ディスク１上の半径方向にヘッド６を駆動させる。ヘッド６から検出された信号ＳＨはプリアンプ４１により増幅され、プリアンプ４１から出力される再生信号ＳＲはＡ／Ｄ変換器４２によりアナログ・ディジタル変換され、ＰＬＬ（Ｐｈａｓｅ  Ｌｏｃｋ  Ｌｏｏｐ）回路４３はＡ／Ｄ変換器４２から出力されるデータ信号ＳＤに同期させるクロック信号ＳＣを生成する。そして、この同期クロック信号ＳＣのサンプリング周期でもって再生信号ＳＲはＡ／Ｄ変換器４２によりディジタル信号化されるのである。Ａ／Ｄ変換器４２からの出力信号であるデータ信号ＳＤはサーボ情報検出手段４４に入力され、トラッキング誤差信号ＳＴＥとトラック番号信号ＳＴＮおよび各トラックのサーボセクタ毎に付加されたセクタ番号信号ＳＳＮにデコードして出力される。フラッシュメモリ等からなるメモリ４８にはプログラムソフトと各種処理に必要なパラメータが格納されており、マイコン等で構成されるシステムコントローラ４５が、前記メモリ４８からソフトウェアをロードし、そのプログラムに従ってディスク装置を制御する。また、必要に応じてメモリに格納されたパラメータを呼び出すとともに、新たに検出・更新されたパラメータをメモリに記憶する。ＶＣＭドライバ４６はシステムコントローラ４５の指示に従い、ＶＣＭ９に駆動電流ＩＶＣＭを流し、駆動する。ＳＰＭドライバ４７はシステムコントローラ４５の指示に従い、ディスク１の回転をつかさどるスピンドルモータ（ＳＰＭ：図示せず）に電流ＩＳＰＭを流し、所定の回転数で回転させる。プリアンプ４１、Ａ／Ｄ変換器４２、サーボ情報検出手段４４、システムコントローラ４５、ＶＣＭドライバ４６、ヘッドアセンブリ１０は、所定のトラックでトラッキング誤差信号が最小になるようにフィードバックループをつくり、トラッキングサーボ制御がかけられる。トラッキングサーボ制御に関しては周知の技術であるので詳細な説明は省略する。Ａ／Ｄ変換器４２の出力信号であるデータ信号ＳＤから再生信号ＳＲの振幅値を検出する再生信号振幅検出手段４９はサーボ情報検出手段４４から入力される検出タイミング信号ＳＤＴの立ち上がりタイミングで再生信号ＳＲの振幅値を検出し、この検出振幅値信号ＳＤＡをシステムコントローラ４５に出力する。検出タイミング信号ＳＤＴはサーボ情報に含まれるサーボシンクデータを基準に所定の時間遅延させたタイミングでトリガパルスが出力される信号となっている。
【００３３】
ここで、図５に示す本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法で使用する再生信号振幅検出手段４９のタイミングチャートを用いて再生信号振幅検出手段４９の動作について説明する。図５において、図５（ａ）はプリアンプ４１から出力される再生信号ＳＲの波形、図５（ｂ）は再生信号振幅検出手段４９で処理されるエンベロープ検出波形、図５（ｃ）はサーボ情報検出手段４４から出力される検出タイミング信号ＳＤＴの波形である。図５（ａ）で明らかなように、磁性層ａのエリア１１からの再生信号に比べ、磁性層ｂのエリア１２からの再生信号の振幅が小さくなっているのが判かる。また、磁性層の各エリア毎にサーボ情報パターンと浮上量測定パターンが納められており、磁性層の各エリアの境界付近にはパターンが無いようにギャップが設けられている。このギャップの長さは、上述した位置決め切りかき４の位置精度と、それに対する磁性層の各エリア位置の形成精度と磁気転写による転写パターンの位置精度の全てのばらつきを吸収するのに充分なギャップ長が設けられる。図５（ｂ）に示したようなエンベロープ検出波形の処理方法は周知の技術であるので詳細な説明は省略するが、例えばディジタル化された各サンプルデータの絶対値をとり、所定のローパスフィルタでフィルタリングすることにより簡単にエンベロープ検出波形を得ることができる。さらに、図５（ｂ）に示したエンベロープ検出波形は、図５（ｃ）の検出タイミング波形の立ち上がりエッジでもって、そのレベルがホールドされ、システムコントローラ４５に送られる。システムコントローラ４５はサーボ情報検出手段４４から入力されるトラック番号信号ＳＴＮと前記のホールドされたレベル（再生信号ＳＲの振幅値）とを関連づけて、磁性層ａのエリア１１からの振幅値であればＶａ´、磁性層ｂのエリア１２からの振幅値であればＶｂ´、そしてＶａ´とＶｂ´の差分をＶａｂ´としてメモリ４８に記憶する。また、本発明の実施の形態１におけるディスク装置で説明したようにメモリ４８には、あらかじめレファレンスのヘッドで測定したＶａ、Ｖｂ、Ｖａｂと前述の一次相関関数（式１）の各係数が記憶されている。システムコントローラ４５は、前記Ｖａｂ´とＶａｂを読み出し、Ｖａｂ´／Ｖａｂの演算によって補正係数αを求める。前述の一次相関関数（式１）の各係数に補正係数αを乗じ、現在の装置における一次相関関数（式２）の係数を求め、この一次相関関数（式２）にＶａ´を代入して、現時点のヘッド浮上量の絶対量を正確に求める。
【００３４】
また、各ディスク装置は工場出荷時の検査工程で同じ測定が行われ、そのときのαを初期αとし、浮上量を初期浮上量としてメモリ４８に記憶するとともに、初期αと初期浮上量が設計仕様範囲に入っていなければ不良として排除される。そして、現在のαと初期αとの比率（すなわち、（現時点α）／（初期α）、以降この比率をΔαとする）を求めることで、出荷初期からリードヘッド素子の感度が、どの程度変化したかを監視することができる。さらに、現在の浮上量から初期浮上量を引き算して差分（すなわち、（（現在浮上量）−（初期浮上量））、以降この差分をΔ浮上量とする）を求めることで、出荷初期から浮上量が、どの程度変化したかを監視することができる。
【００３５】
上述したΔαはリードヘッド素子の感度変化を表し、Δ浮上量が浮上量の絶対量の変化を表しているので、それぞれ所定の制限値を設けることで、各変化に応じた適切なモード処理を行うことができ、装置寿命の延命化やヘッドクラッシュの前にバックアップ警告を出す等、様々な安全対策が行え、極めて信頼性の高いディスク装置を実現できることになる。
【００３６】
以下に、ΔαとΔ浮上量の変化に応じたモード処理の具体的ないくつかの例について説明する。
【００３７】
Ａ．（Δ浮上量が所定の範囲を超えて低下した場合）
（１）処理モード１：ヘッドクラッシュを避けるため、ディスク回転数を信号処理が対応可能な所定の量だけ上昇させる。
【００３８】
（２）処理モード２：処理モード１で浮上量が所定の範囲に回復しない場合は、ホストシステムを通じてユーザーにデータのバックアップ等の警告を発する。
【００３９】
Ｂ．（Δ浮上量が所定の範囲を超えて上昇した場合）
（３）処理モード３：ヘッドスライダに付着したゴミ等を除くため、ディスクの最内周と最外周との間を高速に繰り返しシーク動作させる。または、ディスクへのロード・アンロードを繰り返し行う。
【００４０】
（４）処理モード４：処理モード３で浮上量が所定の範囲に回復しない場合で、データのエラーレートが所定の量だけ悪化した場合は、ディスク回転数を信号処理が対応可能な所定の量だけ減少させる。
【００４１】
（５）処理モード５：処理モード４でデータのエラーレートが所定の量だけ回復しない場合は、ホストシステムを通じてユーザーにデータのバックアップ等の警告を発する。
【００４２】
Ｃ．（Δαが所定の範囲を超えて上昇した場合）
（６）処理モード６：リードヘッド素子にＭＲ素子を用いていて、データのエラーレートが所定の量だけ悪化した場合は、所定のヘッド感度になるようにバイアス電流を減少させる。
【００４３】
（７）処理モード７：処理モード６でデータのエラーレートが所定の量だけ回復しない場合は、ホストシステムを通じてユーザーにデータのバックアップ等の警告を発する。
【００４４】
Ｄ．（Δαが所定の範囲を超えて低下した場合）
（８）処理モード８：リードヘッドが危険な状態にあるためホストシステムを通じてユーザーにデータのバックアップ等の警告を発する。
【００４５】
以上説明したように、ΔαとΔ浮上量の変化を基礎に種々の処理モードが考えられるが、起こりうる変化の組み合わせは上記に限定されるものでなく、必要に応じて組み合わせ、段階を追って処理される。例えば、Δ浮上量とΔαの両方が低下した場合は、リードヘッドが極めて危険な状態にあるため、ユーザーに対し速やかにデータのバックアップの指示とディスク装置の交換を促すと同時に、ディスク回転数を所定の量だけ上昇させて浮上量を回復させ、これとともに、データのエラーレートが所定の範囲内になるようヘッドバイアスを調整するといった複合的なモード処理によってディスク装置の延命をはかることが望ましい。
【００４６】
すなわち、本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法を用いれば、磁気転写によって、あらかじめ浮上量測定パターンがディスク上に記録されているため、記録ヘッド素子の浮上量の影響による記録特性の変化が測定結果に含まれず、再生信号振幅値と浮上量との関係において線形近似できる範囲が増加し、結果的に本発明の実施の形態１におけるディスク装置よりも広い範囲の浮上量について高精度に測定ができる。さらに、近年のようなリードヘッド素子に極めて高い感度が望まれ、ＭＲ素子のような静電気やヒートショックに対して脆弱なヘッドが使用される場合、ライトヘッド素子よりもリードヘッド素子に不具合を起こすことが多い。このため、本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法のように、リードヘッド素子に限定した感度変化と浮上量を独立に測定・監視し、その変化に応じた適切なモード処理を行うことで、極めて信頼性の高いディスク装置を実現できることになる。
【００４７】
なお、本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法の例では、プリアンプ４１の出力をＡ／Ｄ変換してディジタル信号処理により再生信号振幅値の検出を行ったが、この方法に限定されるものでなく、例えば、アナログ回路でエンベロープ検波した後、Ａ／Ｄ変換して振幅値を測定してもよい。また、振幅値の測定は１回で決定するのでなくて、その精度を改善するために複数回測定し、その平均値を採用してもよい。
【００４８】
なお、本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法の例では、磁気転写によりサーボ情報パターンもディスク上に形成した例で説明したが、実際の測定に用いるディスク装置では磁気転写のサーボ情報を仮のサーボ情報としてトラッキングし、ディスク装置のライトヘッドを用いて最終のサーボ情報パターンを記録する方法が一般的である。この場合、ユーザーデータの記録エリアと浮上量測定エリアのサーボ情報とは、仕様が異なるためユーザーデータエリアから連続して浮上量測定エリアにシークすることは困難である。したがって、浮上量を測定するモードになれば、一旦、内周のクラッシュストップにヘッドアセンブリ１０を押し当て、サーボ制御の処理モードを浮上量測定エリアのサーボ制御モードに切り替えてから行うことが望ましい。
【００４９】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３におけるヘッド浮上量測定方法について図６を用いて説明する。図６は、本発明の実施の形態３において適用するＨＤＤ等のディスク装置に用いる記録媒体となるディスクの構成を概略的に説明する図である。図６（ａ）において、データを記録再生するためのディスク１は、外周部にある通常のデータ記録再生に用いるエリアは磁性層ａのエリア１１だけが存在する記録再生領域と、内周部にある周方向に対し交互に磁性層ｂのエリア１２と磁性層ａのエリア１１が存在する浮上量測定領域とからなり、ディスクの回転方向の位相を決定する位置決め切りかき４がさらに内周側に設けられているのは、本発明の実施の形態２における場合と同様であるが、コンタクトスタートストップ（以降、ＣＳＳと略記する）エリア２０が設けられているところが異なっている。図６において図３と同じ構成要素には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。また、図６（ｂ）は図６（ａ）の磁性層ｂのエリア１２の近傍を点線で囲んで示す選択部Ｃの部分拡大図である。
【００５０】
ＣＳＳエリアについては、周知の技術（例えば、特開平７−２５４１４８号公報参照）であるので詳細な説明は省略するが、ディスク回転が停止してもヘッドスライダがディスクに吸着しないようにするために、ディスクの表面粗さが通常よりも粗く形成されている。すなわち、ＣＳＳエリア２０にヘッドがある場合はディスク１の停止および起動を行うことができ、ディスク１の非動作時に別途ヘッドスライダを格納するランプは不要である。なお、特に図示していないが、ディスク１には本発明の実施の形態２における場合と同様に磁気転写によりサーボ情報パターンと浮上量測定パターンの磁化パターンが転写されているものとする。
【００５１】
さて、本発明の実施の形態３におけるヘッド浮上量測定方法では、ディスク装置が停止状態にあるとき、ヘッドスライダは前記ＣＳＳエリア２０にある。ディスク回転が起動し始めて最初に得られるか、あるいは浮上量がゼロと見なせるほど低回転数で得られる磁性層ａのエリア１１からの再生信号振幅値をＶ０ａとし、磁性層ｂのエリア１２からの再生信号振幅値をＶ０ｂとする。これにより、図７に本発明の実施の形態３における再生出力振幅と浮上量との関係を表すグラフに示すように浮上量ゼロのときの振幅値と浮上量Ｔｎｍのときの振幅値が求められ、この２点を用いて、次に示す一次相関関数（式３）が得られる。
【００５２】
【数３】
2006196073.tif 000005
【００５３】
この一次相関関数（式３）に、通常回転数で得られた磁性層ａのエリア１１からの出力（以降、Ｖ０ｎとする）を代入することにより、浮上量の絶対値を測定することができる。
【００５４】
すなわち、本発明の実施の形態３におけるヘッド浮上量測定方法を用いれば、あらかじめレファレンスヘッドによって光学的に浮上量を求めてから再生信号振幅との相関関係を導出しておく必要が無く、極めて効率的に高精度なヘッド浮上量の絶対量を測定することができる。
【００５５】
なお、ＣＳＳエリア２０は表面粗さが粗いため磁気転写で磁化パターンを転写するときに、マスターディスクとの密着性が悪く、磁化効率が他のエリアと異なる場合がある。この場合は浮上量測定エリア内に、ＣＳＳエリアと、ＣＳＳエリアと異なるエリアを設けて、それぞれの出力差の相関をとることで解決できる。
【００５６】
また、本発明の実施の形態３では磁性層を２種類とし、図７におけるサンプル点を２点のグラフとしたが、これに限定されず、２種類よりも多い複数の磁性層を有するディスクを形成し、再生出力と浮上量の関係のサンプル点を増やしても何ら問題なく、より高精度な較正が行える。この場合、実施の形態１において複数の磁性層について説明したのと同様な処理をすればよく、ここでは重複を避けるため詳しい説明は省略する。
【００５７】
（実施の形態４）
次に、本発明の実施の形態４におけるヘッド浮上量測定方法について図８を用いて説明する。図８は、本発明の実施の形態４において適用するＨＤＤ等のディスク装置およびディスク装置に用いる記録媒体となるディスクの構成を概略的に説明する図である。図８において、データを記録再生するためのディスク１の構成は、外周部にある通常のデータ記録再生に用いるエリアは磁性層ａのエリア１１だけが存在する記録再生領域と、内周部にある周方向に対し交互に磁性層ｂのエリア１２と磁性層ａのエリア１１が存在する浮上量測定領域とからなり、ディスクの回転方向の位相を決定する位置決め切りかき４がさらに内周側に設けられ、ＣＳＳエリア２０が設けられているのは、本発明の実施の形態３における場合と同様であるが、ディスク装置として回動軸８の周りに回動するサスペンション７の一端にヘッド６が搭載されたヘッドスライダ、他端にＶＣＭ９を備えるヘッドアセンブリ１０のヘッドスライダをディスク装置の非動作時にランプ２１に退避させるようにランプ２１が追加されているところが異なっている。なお、図８において図４、図６と同じ構成要素には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５８】
本発明の実施の形態３におけるヘッド浮上量測定方法の説明で述べたように、ＣＳＳエリア２０がある場合には、そのＣＳＳエリア２０にヘッドスライダを配置すればディスク１の起動・停止が行えることを説明した。しかし、ディスク装置に衝撃等が加わった場合、ディスク面にヘッドスライダが接触した状態では、その衝撃が直接ヘッドスライダに加わってヘッドスライダの破損が発生し、致命的な不具合が生ずることがある。このような場合に、本発明の実施の形態４における構成を用いれば、上述の不具合の発生を回避することができる。
【００５９】
また、浮上量測定時はヘッドスライダを浮上量測定エリアに移動させ、浮上量がほぼゼロと見なせる低回転までディスク回転数を低下させ、本発明の実施の形態３におけるヘッド浮上量測定方法で説明したのと同様の手順で浮上量を測定する。一般に浮上量が初期よりも高くなるのはヘッドスライダ表面にゴミ等が付着したことが原因となる場合が多い。そして、ＣＳＳエリア２０の表面粗さは通常より粗くなるよう施されているので、ＣＳＳエリア２０で浮上量がほぼゼロとなる状態でヘッドスライダを摺動させることは、ヘッドスライダ表面の研磨作用により、付着したゴミ等を剥離させる効果がある。したがって、浮上量測定の結果、既に説明したΔ浮上量が所定の範囲を超えて大きくなった場合、Δ浮上量が所定の範囲に入るよう繰り返し測定を行うことで、浮上量測定とゴミの除去が同時に行えるので好ましい。さらに、本発明の実施の形態４においては、非動作時にはランプ２１にヘッドスライダを退避させるため、ＣＳＳエリア２０上で剥離したゴミ等がヘッドスライダに再付着することがないといった効果も得られることになる。
【００６０】
なお、本発明の実施の形態３および４におけるヘッド浮上量測定方法で得られるΔαとΔ浮上量から本発明の実施の形態２におけるヘッド浮上量測定方法で説明したようなモード処理が同様に行えることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明にかかるヘッド浮上量測定方法およびディスク装置は、ヘッド素子の感度変化と、ヘッド浮上量の絶対量の変化とを分離し、それぞれ独立に測定および監視できる機能を有し、超低浮上量のディスク装置の実現に極めて有用である。また本発明は浮上型のヘッドを有するハードディスクおよび磁気光ディスク等の用途にも応用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態１において適用するＨＤＤ等のディスク装置に用いる記録媒体となるディスクの構成を概略的に説明する図
【図２】本発明の実施の形態１におけるレファレンスヘッドの再生出力振幅と浮上量との関係を表すグラフ
【図３】本発明の実施の形態２において適用するＨＤＤ等のディスク装置に用いる記録媒体となるディスクの構成を概略的に説明する図
【図４】本発明の実施の形態２における浮上量測定方法の信号処理の回路ブロック図
【図５】本発明の実施の形態２における浮上量測定方法で使用する再生信号振幅検出手段のタイミングチャート
【図６】本発明の実施の形態３において適用するＨＤＤ等のディスク装置に用いる記録媒体となるディスクの構成を概略的に説明する図
【図７】本発明の実施の形態３における再生出力振幅と浮上量との関係を表すグラフ
【図８】本発明の実施の形態４において適用するＨＤＤ等のディスク装置およびディスク装置に用いる記録媒体となるディスクの構成を概略的に説明する図
【図９】従来のヘッド浮上量測定法を説明する回路ブロック図
【符号の説明】
【００６３】
１    ディスク
４    位置決め切りかき
６    ヘッド
７    サスペンション
８    回動軸
９    ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）
１０    ヘッドアセンブリ
１１    磁性層ａのエリア
１２    磁性層ｂのエリア
１３    保護膜層
１４    潤滑膜層
１５    ガラス基板
２０    コンタクトスタートストップ（ＣＳＳ）エリア
２１    ランプ
３１    サーボ情報パターン
３２    浮上量測定パターン
４１    プリアンプ
４２    Ａ／Ｄ変換器
４３    ＰＬＬ（Ｐｈａｓｅ  Ｌｏｃｋ  Ｌｏｏｐ）回路
４４    サーボ情報検出手段
４５    システムコントローラ
４６    ＶＣＭドライバ
４７    ＳＰＭドライバ
４８    メモリ
４９    再生信号振幅検出手段
【図１】
2006196073.tif 000006
【図２】
2006196073.tif 000007
【図３】
2006196073.tif 000008
【図４】
2006196073.tif 000009
【図５】
2006196073.tif 000010
【図６】
2006196073.tif 000011
【図７】
2006196073.tif 000012
【図８】
2006196073.tif 000013
【図９】
2006196073.tif 000014