(57)【要約】【課題】  対物レンズの鏡筒に設けた純水供給流路及び純水回収流路の内壁に熱を加えたり又は薬液を流したりすること無く、直接紫外線を照射してＵＶ殺菌を行うこと。【解決手段】  明視野観察時には、ハーフミラー７は、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置にあり、照明光源２の紫外光の略半分はウエハＷに落射させる。殺菌時には、反射ミラー３０を、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置に移動させる。照明光源２の紫外光は、反射ミラー３０の丸穴３０ａのため、中央部の紫外光は、液浸対物レンズ８の方向に行かない。一方、その周辺部のミラー面３０ｂで反射された紫外光は、純水供給・回収流路２１，２２の中心軸（Ｌ２）に沿って進み、カバーガラス２５を介して、純水供給・回収流路２１，２２に入射して、この内部の純水ＰＷを殺菌する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズの鏡筒に設けてあり、対物レンズの焦点位置近傍に純水を供給する純水供給流路と、
前記鏡筒に設けてあり、当該焦点位置近傍から純水を回収する純水回収流路と、
紫外線を発する光源と、
当該光源から、少なくとも純水供給流路に、当該紫外線を案内して照射する案内手段と、を具備することを特徴とする顕微鏡観察装置。
【請求項２】
前記案内手段は、前記光源から前記純水回収流路に前記紫外線を案内して照射することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡観察装置。
【請求項３】
前記案内手段は、
明視野観察のためのハーフミラーと、
中央部に開口を有し、周辺部に反射部を有する反射ミラーと、
明視野観察時には、前記光源からの紫外線を明視野観察のハーフミラーにより反射して、観察対象に案内する一方、殺菌時には、前記光源からの紫外線を前記反射ミラーにより反射して、前記純水供給流路又は純水回収流路に案内するように、前記両ミラーを切り替えるミラー切替手段と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の顕微鏡観察装置。
【請求項４】
前記案内手段は、
前記鏡筒に設けてあり、前記ミラーにより反射された紫外線を前記純水供給流路又は純水回収流路内に透過して導く透過部材を有することを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡観察装置。
【請求項５】
前記案内手段は、
前記鏡筒の先端部に設けてあり、前記純水供給流路又は純水回収流路内に案内された紫外線を、前記対物レンズの焦点位置近傍の純水に向けて反射する反射部材を有することを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡観察装置。
【請求項６】
前記案内手段は、
紫外線を透過する材質から形成した対物レンズの透過性鏡筒を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の顕微鏡観察装置。
【請求項７】
前記光源は、前記透過性鏡筒の周囲に配置してあることを特徴とする請求項６に記載の顕微鏡観察装置。
【請求項８】
前記案内手段は、
前記光源からの紫外線を導く光ファイバーと、
当該光ファイバーにより導かれた紫外線を、前記透過性鏡筒の周囲から、前記純水供給流路又は純水回収流路に向けて照射する照射部材と、を有することを特徴とする請求項６に記載の顕微鏡観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体の液浸観察に用いられる顕微鏡観察装置に関し、特に、半導体ウエハや液晶基板などの液浸観察に好適な顕微鏡観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路素子や液晶表示素子の製造工程では、半導体ウエハや液晶基板（総じて「基板」という）に形成された回路パターンの欠陥や異物などの観察には、液浸観察の顕微鏡観察装置を用いている。
【０００３】
対物レンズの周辺の構造を簡素化しつつ、純水の供給・回収機構を配置することができるように、対物レンズの鏡筒の外部に、純水供給流路及び純水回収流路を形成し、対物レンズの先端部と基板の間に、純水を供給して回収するようにした純水の供給・回収機構が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
観察光の波長を短く変更すること無く、分解能を向上させる技術として、液浸法が一般的である。
【０００５】
分解能は、一般に、以下の式で定義される。
【０００６】
分解能  ＝  ｋ×λ／ＮＡ
但し、λは観察波長、ＮＡは対物開き角（ｓｉｎθ）、ｋは定数である。
【０００７】
ｋの値は、２線間の分解能を議論する場合は０．５を使用する。
【０００８】
従って、対物ＮＡを大きくすることは、分解能の向上に有効である。ところが、空気中では、屈折率１のため、ＮＡ≦１までしか実現出来ない。
【０００９】
ここで、対物先端とワーク間に屈折率ｎの媒質を充填すれば、ＮＡは、媒質の屈折率ｎ倍だけ向上する。例えば、水ならｎ＝１．３程度（但し、波長に依存して変化する）なので、ＮＡを１以上にすることが可能である。
【００１０】
半導体ウエハ観察、あるいは投影露光時に液浸法を適用する場合には、純水製造装置内部及び全配管路内での微生物の発生や繁殖を防止する必要がある。微生物に対する殺菌法としては、従来から、以下のような方法が採用されている。
【００１１】
常時殺菌法としては、「ＵＶ殺菌法」が挙げられる。純水製造装置内部の水循環路中に２６０ｎｍ近辺の波長をピークパワーとするＵＶ殺菌灯を取付け、殺菌を行う方法である（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開１１−８４９５０４号公報
【特許文献２】特開平８−６６６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ＵＶ殺菌法は、大変有効な殺菌方法であるが、管路内全てをくまなく殺菌するには不十分である。
【００１３】
本発明は、上述したような事情に鑑みてなされたものであって、対物レンズの鏡筒に設けた純水供給流路及び純水回収流路の内壁に熱を加えたり又は薬液を流したりすること無く、直接紫外線を照射してＵＶ殺菌を行うことができる顕微鏡観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の目的を達成するため、本発明の請求項１に係る顕微鏡観察装置は、対物レンズの鏡筒に設けてあり、対物レンズの焦点位置近傍に純水を供給する純水供給流路と、
前記鏡筒に設けてあり、当該焦点位置近傍から純水を回収する純水回収流路と、
紫外線を発する光源と、
当該光源から、少なくとも純水供給流路に、当該紫外線を案内して照射する案内手段と、を具備することを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項２に係る顕微鏡観察装置は、前記案内手段は、前記光源から前記純水回収流路に前記紫外線を案内して照射することを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項３に係る顕微鏡観察装置は、前記案内手段は、
明視野観察のためのハーフミラーと、
中央部に開口を有し、周辺部に反射部を有する反射ミラーと、
明視野観察時には、前記光源からの紫外線を明視野観察のハーフミラーにより反射して、観察対象に案内する一方、殺菌時には、前記光源からの紫外線を前記反射ミラーにより反射して、前記純水供給流路又は純水回収流路に案内するように、前記両ミラーを切り替えるミラー切替手段と、を有することを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項４に係る顕微鏡観察装置は、前記案内手段は、
前記鏡筒に設けてあり、前記ミラーにより反射された紫外線を前記純水供給流路又は純水回収流路内に透過して導く透過部材を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項５に係る顕微鏡観察装置は、前記案内手段は、
前記鏡筒の先端部に設けてあり、前記純水供給流路又は純水回収流路内に案内された紫外線を、前記対物レンズの焦点位置近傍の純水に向けて反射する反射部材を有することを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項６に係る顕微鏡観察装置は、前記案内手段は、
紫外線を透過する材質から形成した対物レンズの透過性鏡筒を有することを特徴とする。
【００２０】
本発明の請求項７に係る顕微鏡観察装置は、前記光源は、前記透過性鏡筒の周囲に配置してあることを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項８に係る顕微鏡観察装置は、前記案内手段は、
前記光源からの紫外線を導く光ファイバーと、
当該光ファイバーにより導かれた紫外線を、前記透過性鏡筒の周囲から、前記純水供給流路又は純水回収流路に向けて照射する照射部材と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、紫外線を発する光源から、純水供給流路又は純水回収流路に、当該紫外線を案内して照射するように構成してあることから、純水供給流路又は純水回収流路の内壁に熱を加えたり又は薬液を流したりすること無く、直接紫外線を照射してＵＶ殺菌を行うことができる。
【００２３】
また、顕微鏡観察をしない時間を利用してＵＶ殺菌を行うため、装置のスループットを落とすことなく、殺菌が難しい対物レンズの純水供給・回収流路の洗浄を頻繁に行い、細菌の繁殖を防止させ、純水の品質を高く維持することが出来る。
【００２４】
別言すれば、最も殺菌しにくい対物レンズ周囲の純水供給・回収流路を、容易に殺菌出来る。従って、微生物に起因する微粒子汚染を大幅に軽減出来、半導体デバイスの歩留まりを向上させることが出来る。また、ウエハ概観検査装置のようにスループットを重視する装置においては、処理速度を落とすことなく、常時ＵＶ殺菌を行うことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態に係る顕微鏡観察装置を図面を参照しつつ説明する。
【００２６】
（第１実施の形態）
図１は、本発明の第１実施の形態に係る顕微鏡観察装置の模式図である。
【００２７】
顕微鏡装置１には、波長が２００〜３００ｎｍの紫外線の照明光源２が搭載されている。照明光源２より発せられた紫外光は、コレクタレンズ３、開口絞（ＡＳ）４、視野絞（ＦＳ）５、コンデンサレンズ６を経由して、明視野のハーフミラー７で折り曲げられ、液浸対物レンズ８を通過して、ウエハＷ上に平行光として照射される（ケーラー照明の状態）。
【００２８】
ウエハＷに照射された紫外光は、液浸対物レンズ８を経由して、ハーフミラー７を透過し、第２対物レンズ９、及び折り曲げミラー１０を経由して、折り曲げミラー１０と接眼レンズ１１との間に出来る像を、接眼レンズ１１で観察者の眼（又はＣＣＤ１２）に結像させる。
【００２９】
顕微鏡装置１には、ＸＹステージ１３が設けてあり、このＸＹステージ１３上に、Ｚステージ１４が搭載してある。Ｚステージ１４上には、真空吸着等の手段でウエハＷを保持するウエハ保持部材１５が搭載してある。ウエハＷは、このウエハ保持部材１５上に、不図示のウエハ搬送手段により搬送される。
【００３０】
液浸対物レンズ８の鏡筒２０には、後に詳述するように、液浸対物レンズ８の焦点位置近傍に純水ＰＷを供給する純水供給流路２１と、当該焦点位置近傍から純水ＰＷを回収する純水回収流路２２とが形成してある。
【００３１】
純水源（純水製造装置など）１６から発生した純水ＰＷは、定量吐出ポンプ１７等の手段により、供給配管２３を通り、鏡筒２０の純水供給流路２１を経由して、一定量試料（ウエハＷ）面に供給される。また、液浸観察後の純水ＰＷは、真空源１８で発生する負圧によって、鏡筒２０の純水回収流路２２及び回収配管２４を経由して、排水回収槽１９に集められる。
【００３２】
図２（ａ）は、図１に示した液浸対物レンズの断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の矢印ｂの矢視図である。
【００３３】
液浸対物レンズ８の鏡筒２０は、レンズ素子を所定の間隔で固定する金物２０ａと、金物２０ａの外側を覆うように形成した金属製の筒状部材２０ｂと、筒状部材２０ｂの下方に取り付けた環状部材２０ｃと、から構成してある。
【００３４】
筒状部材２０ｂには、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）と略平行になるように、液浸対物レンズ８の焦点位置近傍に純水ＰＷを供給する純水供給流路２１と、当該焦点位置近傍から純水ＰＷを回収する純水回収流路２２とが形成してある。
【００３５】
純水供給流路２１には、上述した純水源（純水製造装置など）１６に連通した供給配管２３が接続してあり、純水回収流路２２には、上述した排水回収槽１９に連通した回収配管２４が接続してある。
【００３６】
なお、純水供給流路２１及び供給配管２３と、純水回収流路２２及び回収配管とは、互いに対に構成してあるが、その個数等は、図示例に限定されず、適宜選択可能である。
【００３７】
純水供給流路２１と、純水回収流路２２との上方には、紫外線を透過するリング状のカバーガラス２５（透過部材）が装着してあり、これにより、後述するように、紫外線だけを透過して純水供給流路２１と純水回収流路２２に紫外線を照射する一方、隙間を塞いで純水ＰＷが漏れないようにしている。
【００３８】
図３（ａ）は、図１に示した液浸対物レンズの断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の矢印ｂの矢視図であり、（ｃ）は、（ａ）の矢印ｃの矢視図である。
【００３９】
図４（ａ）は、明視野観察のハーフミラーと反射ミラーの切替状態を示す模式図（図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った図）であり、（ｂ）は、明視野観察のハーフミラーと反射ミラーの光の反射状態を示す模式図である。
【００４０】
明視野観察のためのハーフミラー７と、中央部に丸穴３０ａを有し周辺部に反射部（ミラー面３０ｂ）を有する反射ミラー３０とは、切替可能に構成してある。
【００４１】
即ち、明視野観察のハーフミラー７と、反射ミラー３０とは、可動ステージ（図示略）上に配置され、一定の移動距離（Ｘ）だけ、精度良く移動可能な構造になっている。
【００４２】
通常の明視野観察時には、ハーフミラー７は、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置にある。この場合、照明光源２から来た紫外光の略半分は、液浸対物レンズ８経由でウエハＷに落射させ、また、ウエハＷからの反射光の略半分は、接眼レンズ１１方向に導く構造になっている。
【００４３】
また、本実施の形態では、暗視野観察は、原則として行わない。後述するように、ウエハＷのロード／アンロード時等に、純水ＰＷを殺菌するように構成してある。
【００４４】
すなわち、殺菌時には、反射ミラー３０を、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置に移動させる。
【００４５】
照明光源２から照射された紫外光は、反射ミラー３０の中央の丸穴３０ａのため、中央部の紫外光は、液浸対物レンズ８の方向に行かない。
【００４６】
一方、その周辺部のミラー面３０ｂで反射された紫外光は、図２（ａ）及び図３（ａ）に示すように、純水供給・回収流路２１，２２の中心軸（Ｌ２）に沿って進み、カバーガラス２５（透過部材）を介して、純水供給・回収流路２１，２２に入射して、この内部の純水ＰＷを殺菌する。
【００４７】
また、図３（ａ）に示すように、鏡筒２０の筒状部材２０ｂの下方には、純水供給・回収流路２１、２２内に案内された紫外線を、液浸対物レンズ８の焦点位置近傍の純水ＰＷに向けて反射する凹面鏡３１（反射部材）が設けてある。
【００４８】
なお、通常の明視野観察時にも、ハーフミラー７の周辺部で反射された紫外線は、その光量は上記の殺菌時より少ないが、純水供給・回収流路２１，２２に入射して、純水ＰＷを殺菌する。この周辺部を全反射ミラーに構成しても良い。この場合も、本発明の適用範囲内であることは、勿論である。
【００４９】
本実施の形態では、次の動作順序により、顕微鏡観察と殺菌を行うようになっている。
【００５０】
不図示のウエハ搬送手段により、ウエハＷが顕微鏡装置１のＸＹステージ１３及びＺステージ１４上のウエハ保持部材１５上に搭載される。ウエハＷは、真空吸着等の手段で、ウエハ保持部材１５に固定される。ＸＹステージ１３で、ウエハＷ中の観察したいポイントを、対物直下に移動させる。
【００５１】
純水供給流路２１から、純水ＰＷを所定量ウエハＷ上に吐出した後、Ｚステージ１４が移動して、対物が焦点を結ぶようにしてから、ウエハＷの明視野観察を行う。
【００５２】
なお、この明視野観察の際、上述したように、ハーフミラー７の周辺部で反射された紫外線は、その光量は殺菌時より少ないが、純水供給・回収流路２１，２２に入射して、純水ＰＷを殺菌することができる。
【００５３】
明視野観察の終了後、真空源１８を起動するか、あるいは不図示の電磁弁等の開閉手段により、純水回収流路２２に真空を供給する。この真空により、ウエハＷ上の純水ＰＷが周囲の空気と一緒に純水回収流路２２から吸い込まれて回収される。
【００５４】
なお、この顕微鏡は、明視野観察専用であるため、ハーフミラー７は、殺菌時以外は、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）上にある。
【００５５】
明視野観察の完了後、ウエハＷをウエハ保持部材１５へアンロードし、次に、ウエハＷをロードする時間を利用して、反射ミラー３０を、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置に移動させる。
【００５６】
この際、上記のように、照明光源２から照射された紫外光は、反射ミラー３０の中央の丸穴３０ａのため、中央部の紫外光は、液浸対物レンズ８の方向に行かない。
【００５７】
一方、その周辺部のミラー面３０ｂで反射された紫外光は、図２（ａ）及び図３（ａ）に示すように、純水供給・回収流路２１，２２の中心軸（Ｌ２）に沿って進み、カバーガラス２５（透過部材）を介して、純水供給・回収流路２１，２２に入射して、この内部の純水ＰＷを殺菌する。また、図３（ａ）に示すように、鏡筒２０の筒状部材２０ｂの下方に設けた凹面鏡３１（反射部材）によって、純水供給・回収流路２１、２２内に案内された紫外線を液浸対物レンズ８の焦点位置近傍の純水ＰＷに向けて反射して、この純水ＰＷを殺菌する。
【００５８】
以上から、本実施の形態では、顕微鏡観察をしない時間を利用してＵＶ殺菌を行うため、装置のスループットを落とすことなく、殺菌が難しい液浸対物レンズ８の純水供給・回収流路２１，２２の洗浄を頻繁に行い、細菌の繁殖を防止させ、純水の品質を高く維持することが出来る。
【００５９】
別言すれば、最も殺菌しにくい液浸対物レンズ８周囲の純水供給・回収流路２１，２２を、容易に殺菌出来る。従って、微生物に起因する微粒子汚染を大幅に軽減出来、半導体デバイスの歩留まりを向上させることが出来る。また、ウエハＷの概観検査装置のようにスループットを重視する装置においては、処理速度を落とすことなく、常時ＵＶ殺菌を行うことが出来る。
【００６０】
（第２実施の形態）
図５は、本発明の第２実施の形態に係り、液浸対物レンズの断面図である。
【００６１】
本実施の形態は、その基本的構成が上述した第１実施の形態と同様であり、主として相違する点を説明する。
【００６２】
液浸対物レンズ８の鏡筒２０は、レンズ素子を所定の間隔で固定する金物２０ａと、金物２０ａの外側を覆うように形成した筒状部材２０ｂと、から構成してある。
【００６３】
筒状部材２０ｂには、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）と略平行になるように、液浸対物レンズ８の焦点位置近傍に純水ＰＷを供給する純水供給流路２１と、当該焦点位置近傍から純水ＰＷを回収する純水回収流路２２とが形成してある。
【００６４】
本実施の形態では、鏡筒２０の筒状部材２０ｂは、光源波長に対して高い透過率を有する材質から形成してある。例えば、２４８ｎｍ紫外光には、透明石英が適する。但し、紫外線を透過する材質であれば、これに限定されるものではない。
【００６５】
鏡筒２０の筒状部材２０ｂの外周囲には、紫外線殺菌灯４０が配置してある。この紫外線殺菌灯４０は、２６０ｎｍ近傍をピークとする波長を持っている。なお、この紫外線殺菌灯４０は、複数個を筒状部材２０ｂの外周囲に設けてあってもよく、また、環状に構成してあってもよい。
【００６６】
紫外線殺菌灯４０は、一連の明視野観察中、筒状部材２０ｂの周囲で点灯し続けているので、純水供給・回収流路２１，２２の内壁にバクテリアが付着して繁殖するのを防止できる。
【００６７】
また、明視野観察中に、紫外線殺菌灯４０の光が迷光となって邪魔な場合には、ウエハＷのロード／アンロード中のように、ウエハＷを観察していない時を利用して点灯させれば良い。
【００６８】
以上から、本実施の形態では、最も殺菌しにくい液浸対物レンズ８の周囲の純水供給・回収流路２１，２２を、容易に殺菌出来る。従って、微生物に起因する微粒子汚染を大幅に軽減出来、半導体デバイスの歩留まりを向上させることが出来る。
【００６９】
また、明視野観察中にリアルタイムな殺菌を行うことができるため、ウエハＷの概観検査装置のようにスループットを重視する装置においては、処理速度を落とすことなく、常時ＵＶ殺菌を行うことが出来る。
【００７０】
図６は、本発明の第２実施の形態の変形例に係る顕微鏡観察装置の模式図である。
【００７１】
照明光源２は、少なくとも２００〜３００ｎｍの波長帯を含む顕微鏡観察用光源である。照明光源２から出た紫外光は、ハーフミラー、ＵＶブロッキングフィルタ等の光分離手段４１により、一部を分離されて、光ファイバー４２に導入され、液浸対物レンズ８の鏡筒２０の筒状部材２０ｂの周囲に導かれる。
【００７２】
光ファイバー４２の他端は、紫外線照射口４３（照射部材）に連結してあり、これにより、光ファイバー４２により導かれた紫外線は、紫外線照射口４３から、紫外線透過可能な筒状部材２０ｂの純水供給・回収流路２１，２２の周囲に照射される。なお、紫外線照射口４３は、複数個を筒状部材２０ｂの外周囲に設けてあってもよく、また、環状に構成してあってもよい。
【００７３】
照明光源２から分離して光ファイバー４２を介して鏡筒２０の筒状部材２０ｂの周囲の紫外線照射口４３に導入された紫外光は、液浸対物レンズ８でウエハＷを観察している間中、純水供給・回収流路２１，２２の周囲で点灯し続けている。そのため、純水供給・回収流路２１，２２の内壁にバクテリアが付着して繁殖するのを防止できる。
【００７４】
また、観察中に、殺菌用の紫外光が迷光となって邪魔な場合には、ウエハＷのロード／アンロード中のように、ウエハＷを観察していない時を利用して、光ファイバー４２の光源側端部に設けた不図示のシャッターをＯＰＥＮすれば良い。
【００７５】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されず、純水供給流路及び回収流路のいずれか一方にのみ紫外線を照射する構成にしてもよいし、種々変形可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１実施の形態に係る顕微鏡観察装置の模式図である。
【図２】（ａ）は、図１に示した液浸対物レンズの断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の矢印ｂの矢視図である。
【図３】（ａ）は、図１に示した液浸対物レンズの断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の矢印ｂの矢視図であり、（ｃ）は、（ａ）の矢印ｃの矢視図である。
【図４】（ａ）は、明視野観察のハーフミラーと反射ミラーの切替状態を示す模式図（図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った図）であり、（ｂ）は、明視野観察のハーフミラーと反射ミラーの光の反射状態を示す模式図である。
【図５】本発明の第２実施の形態に係り、液浸対物レンズの断面図である。
【図６】本発明の第２実施の形態の変形例に係る顕微鏡観察装置の模式図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  顕微鏡装置
２  紫外線の照明光源
３  コレクタレンズ
４  開口絞（ＡＳ）
５  視野絞（ＦＳ）
６  コンデンサレンズ
７  明視野のハーフミラー
８  液浸対物レンズ
９  第２対物レンズ
１０  折り曲げミラー
１１  接眼レンズ
１２  ＣＣＤ
１３  ＸＹステージ
１４  Ｚステージ
１５  ウエハ保持部材
１６  純水源（純水製造装置など）
１７  定量吐出ポンプ
１８  真空源
１９  排水回収槽
２０  鏡筒
２０ａ  金物
２０ｂ  筒状部材
２０ｃ  環状部材
２１  純水供給流路
２２  純水回収流路
２３  供給配管
２４  回収配管
２５  カバーガラス（透過部材）
３０  反射ミラー
３０ａ  丸穴
３０ｂ  周辺部のミラー面（反射部）
３１  凹面鏡（反射部材）
４０  紫外線殺菌灯
４１  光分離手段４１
４２  光ファイバー
４３  紫外線照射口（照射部材）
【図１】
2006201288.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006201288.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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