(57)【要約】      （修正有）【課題】被洗浄物を複数の洗浄槽間で移送を行う洗浄方法において、各洗浄槽から被洗浄物を取り出す際に乾燥状態にして洗浄液を確実に除去し、溶剤蒸気が外部に拡散して環境を汚染する事がなく、作業効率の良い洗浄方法を提供する。【解決手段】被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽１、２、３を直列に配置する。この複数の洗浄槽１、２、３を順次移動させながら被洗浄物の洗浄を行う。この移動のために被洗浄物を洗浄槽１、２、３から取り出す際に、何れの洗浄槽１、２、３から取り出す場合も被洗浄物を乾燥状態にする。【選択図】図１
2006116386.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽を直列に配置し、この複数の洗浄槽を順次移動させながら被洗浄物の洗浄を行うものに於いて、この移動のために被洗浄物を洗浄槽から取り出す際に、何れの洗浄槽から取り出す場合も被洗浄物を乾燥状態として行うことを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】
被洗浄物を順次移動させながら洗浄を行うための直列に配置した複数の洗浄槽と、この複数の洗浄槽と各々接続する乾燥機構とから成り、被洗浄物を各洗浄槽から取り出す際に乾燥機構を作動して被洗浄物を乾燥した後に取り出し可能とした事を特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽の一つ又は複数に、洗浄液又は洗浄蒸気を充填して被洗浄物の液洗浄又は蒸気洗浄を行い、この液洗浄又は蒸気洗浄の完了後、液洗浄を行った洗浄槽では洗浄液を液タンクに移送して洗浄槽から洗浄液を排除し、蒸気洗浄を行った洗浄槽では蒸気の供給を停止した後、これらの洗浄槽内を減圧機構によって減圧し、被洗浄物を減圧乾燥した後、この洗浄槽から被洗浄物を取り出し、次の作業工程に被洗浄物を移送することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
【請求項４】
減圧機構に接続し被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽と、この複数の洗浄槽に接続した蒸気発生機構と、複数の洗浄槽に接続し洗浄槽内の洗浄液を移送し得る液タンクとから成り、複数の洗浄槽のいずれか一つ又は複数に洗浄液又は洗浄蒸気を供給し、洗浄槽内で液洗浄又は蒸気洗浄を行った被洗浄物を、液洗浄を行った洗浄槽では洗浄液を液タンクに移送し、蒸気洗浄を行った洗浄槽では蒸気の供給を停止し、この洗浄槽内で、被洗浄物の減圧乾燥を行なった後に、この洗浄槽から被洗浄物を取り出し、次の作業工程に被洗浄物を移送することを特徴とする被洗浄物の洗浄装置。
【請求項５】
複数の洗浄槽と液タンクとの間には、洗浄液の清浄化機構を配置した事を特徴とする請求項３の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項６】
複数の洗浄槽と液タンクとの間には、洗浄液の清浄化機構を配置した事を特徴とする請求項４の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項７】
次の作業工程は、再度の洗浄工程である事を特徴とする請求項３の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項８】
次の作業工程は、再度の洗浄工程である事を特徴とする請求項４の被洗浄物の洗浄装置。
【請求項９】
次の作業工程は、洗浄工程ではない被洗浄物の加工工程である事を特徴とする請求項３の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項１０】
次の作業工程は、洗浄工程ではない被洗浄物の加工工程である事を特徴とする請求項４の被洗浄物の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄物の液洗浄と蒸気洗浄とを、環境に与える影響を少なくしながら、廉価で迅速に行う事が出来る洗浄方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、被洗浄物の洗浄方法としては、大別して洗浄液を直接被洗浄物に接触して洗浄を行う液洗浄方法と、洗浄液を蒸気化して被洗浄物と接触し、被洗浄物の表面で蒸気を凝縮する事により行う蒸気洗浄方法とが存在する。通常この二つの方法は併用される場合が多いものであった。その方法の一つは、特許文献１に示す如く、複数の洗浄槽を用意し、その一つを液洗浄槽とし、他の１つを蒸気洗浄槽とし、液洗浄槽で液洗浄の終了した被洗浄物を、蒸気洗浄槽に移動して蒸気洗浄を行う方法が用いられている。
【０００３】
又、他の方法は、被洗浄物を移動することなく定位置に配置したまま液洗浄と蒸気洗浄を行う方法である。この方法は一つの槽で液洗浄を行った後、洗浄液を液タンクに抜き取り、この洗浄液抜き取り後の洗浄槽内に洗浄蒸気を導入して被洗浄物の蒸気洗浄を行うものである。
【特許文献１】特開２００２−１７７９０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、複数の洗浄槽を用意し、第１の洗浄槽で洗浄の終了した被洗浄物を、第２の洗浄槽に移動して洗浄を行う場合に、移動の際に被洗浄物を外気に曝すため、洗浄液である溶剤が揮発拡散して環境汚染を生じたり、洗浄液が可燃性溶剤である場合には、引火の危険を伴う等の欠点を有している。
【０００５】
本発明は上述の如き課題を解決しようとするものであって、複数の洗浄槽を用いた洗浄作業、例えば被洗浄物の洗浄に於いて液洗浄と蒸気洗浄とを併用したり、複数の液洗浄槽を移動させながら被洗浄物を洗浄しようとする場合に、一つの洗浄槽から被洗浄物を取り出す際に、必ず乾燥状態で取り出し、溶剤蒸気を外部に拡散して環境を汚染する事がないと共に廉価で迅速な洗浄作業を効率良く行うことを可能にしようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上述の如き課題を解決するため、被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽を直列に配置し、この複数の洗浄槽を順次移動させながら被洗浄物の洗浄を行うものに於いて、この移動のために被洗浄物を洗浄槽から取り出す際に、何れの洗浄槽から取り出す場合も被洗浄物を乾燥状態として行うことを特徴として成るもである。
【０００７】
また、上記方法を実施するための装置は、被洗浄物を順次移動させながら洗浄を行うための直列に配置した複数の洗浄槽と、この複数の洗浄槽と各々接続する乾燥機構とから成り、被洗浄物を各洗浄槽から取り出す際に乾燥機構を作動して被洗浄物を乾燥した後に取り出し可能として成るものである。
【０００８】
また、被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽の一つ又は複数に、洗浄液又は洗浄蒸気を充填して被洗浄物の液洗浄又は蒸気洗浄を行い、この液洗浄又は蒸気洗浄の完了後、液洗浄を行った洗浄槽では洗浄液を液タンクに移送して洗浄槽から洗浄液を排除し、蒸気洗浄を行った洗浄槽では蒸気の供給を停止した後、これらの洗浄槽内を減圧機構によって減圧し、被洗浄物を減圧乾燥した後、この洗浄槽から被洗浄物を取り出し、次の作業工程に被洗浄物を移送することを特徴として成るものである。
【０００９】
また、上記方法を実現する装置としては、減圧機構に接続し被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽と、この複数の洗浄槽に接続した蒸気発生機構と、複数の洗浄槽に接続し洗浄槽内の洗浄液を移送し得る液タンクとから成り、複数の洗浄槽のいずれか一つ又は複数に洗浄液又は洗浄蒸気を供給し、洗浄槽内で液洗浄又は蒸気洗浄を行った被洗浄物を、液洗浄を行った洗浄槽では洗浄液を液タンクに移送し、蒸気洗浄を行った洗浄槽では蒸気の供給を停止し、この洗浄槽内で、被洗浄物の減圧乾燥を行なった後に、この洗浄槽から被洗浄物を取り出し、次の作業工程に被洗浄物を移送して成るものである。
【００１０】
また、複数の洗浄槽と液タンクとの間には、洗浄液の清浄化機構を配置したものであっても良い。
【００１１】
また、次の作業工程は、再度の洗浄工程であっても良い。
【００１２】
また、次の作業工程は、洗浄工程ではない被洗浄物の加工工程であっても良い。  
【発明の効果】
【００１３】
本発明の洗浄装置は、被洗浄物の洗浄に於いて洗浄槽から被洗浄物を取り出す場合に被洗浄物の乾燥を行うものであるから、被洗浄物から洗浄液を確実に除去した状態で取り出すことを可能とし、溶剤蒸気を外部に拡散して環境を汚染する事がない。そして、この洗浄液を確実に除去した被洗浄物を次の洗浄工程に移送したり、洗浄作業を完了して被洗浄物の次の加工工程に移送することを可能とする。
【００１４】
また、複数の洗浄槽を用いることにより、比較的量の多い被洗浄物を小型の装置で効率的に洗浄し、廉価で迅速な洗浄作業を可能にするものである。
【実施例】
【００１５】
以下本発明の実施例を図１に於いて説明すれば、(１)(２)(３)は複数の洗浄槽で、直列に配置し内部に被洗浄物を収納して洗浄を行うものである。この複数の洗浄槽(１)(２)(３)は複数であれば任意個数配置して使用する事が可能であるが、本実施例では３個の洗浄槽(１)(２)(３)を用いた場合に於いて説明する。そして、この３個の洗浄槽(１)(２)(３)に、第１、第２、第３の制御弁(５)(６)(７)を介して蒸気発生機構(８)を蒸気配管(１０)により各々接続している。また、この蒸気配管(１０)と蒸気発生機構(８)との間に開閉弁(９)を設けている。
【００１６】
また、上記の蒸気発生機構(８)には、バキュームポンプ、エゼクター機構等で構成する減圧機構(１１)を第４制御弁(１２)、第５制御弁(１３)を介して減圧配管(１４)により接続している。この減圧機構(１１)は、蒸気発生機構(８)の内部の減圧を行い、低沸点での蒸気発生を可能としている。
【００１７】
また、減圧機構(１１)は、蒸気発生機構(８)の減圧により回収した凝縮液を移送するための凝縮液戻配管(１８)を介して回収液予備タンク(１６)に接続している。また、この回収液予備タンク(１６)は、第６制御弁(１７)を介して液タンク(１５)に接続している。この液タンク(１５)は洗浄槽(１)(２)(３)の下端と第８、第９、第１０制御弁(２０)(２１)(２２)を介して洗浄液配管(２３)により接続する。そして、液タンク(１５)内を減圧機構(１１)によって一定限度まで減圧した後、液抜きを行う洗浄槽(１)(２)(３)の第８、第９、第１０制御弁(２０)(２１)(２２)のいずれか１つ又は複数を開弁すれば、この開弁した洗浄槽(１)(２)(３)内の洗浄液は、洗浄液配管(２３)を介して一気に液タンク(１５)に移送される。この、洗浄液配管(２３)には、移送される洗浄液を浄化するための清浄化機構(２４)を配置し、洗浄槽(１)(２)(３)で被洗浄物の洗浄を行い汚染された洗浄液の浄化を可能としている。この清浄化機構(２４)は、フイルター、イオン交換器、油水分離器、蒸留再生機等を用いることが出来る。
【００１８】
液タンク(１５)には真空解除弁(２５)を設ける。また、洗浄液配管(２３)と液タンク(１５)との間には、第７制御弁(１９)を設け、この第７制御弁(１９)と清浄化機構(２４)の前後には第１１，第１２制御弁(２６)(２７)を設けると共に、この第１１，第１２制御弁(２６)(２７)の上流側と下流側を連通するバイパス管(２８)を洗浄液配管(２３)に形成し、このバイパス管(２８)に第１４制御弁(３０)を設けている。
【００１９】
この構成により、洗浄槽(１)(２)(３)の洗浄液を液タンク(１５)に導入する場合は、第７制御弁(１９)を開放し、第１４制御弁(３０)を閉止し、第１１，第１２制御弁(２６)(２７)を開放することにより、洗浄液を清浄化機構(２４)を介して清浄化した後、液タンク(１５)に導入することが可能となる。また、液タンク(１５)から洗浄槽(１)(２)(３)に洗浄液を分配するには、第７制御弁(１９)を開放し、第１１，第１２制御弁(２６)(２７)を閉止し、第１４制御弁(３０)を開放すれば、清浄化機構(２４)を介することなく洗浄液を洗浄槽(１)(２)(３)に導入することが可能となり、清浄化機構(２４)に付着している汚物の逆流を防止することが出来るものとなる。
【００２０】
また、液タンク(１５)は洗浄槽(１)(２)(３)と全く別個に形成しても良いし、洗浄槽(１)(２)(３)の上部や下部又は並列して設けたものでも、減圧乾燥作業時に洗浄槽(１)(２)(３)内に仕切板を挿入して形成しても良いものであって、洗浄槽(１)(２)(３)内の洗浄液を被洗浄物の減圧乾燥に支障のない位置に移送し得るものであればよい。また、洗浄槽(１)(２)(３)には各々真空解除弁(３２)(３３)(３４)を設置している。また、前記の液タンク(１５)には第１５制御弁(３１)を介して予備タンク(３５)を接続し、この予備タンク(３５)を蒸気発生機構(８)に接続している。またこの蒸気発生機構(８)は真空解除弁(３６)を設けている。
【００２１】
また、減圧機構(１１)は前述の如く１個のみ形成しても良いが、他の異なる実施例では第２減圧機構(３８)を配置しても良い。この第２減圧機構(３８)は、第３減圧配管(３９)により第１６、１７、１８制御弁(４０)(４１)(４２)を介して第１、第２、第３洗浄槽(１)(２)(３)に各々接続している。また、この第１６制御弁(４０)と第２減圧機構(３８)との間には第１９制御弁(４３)を配置する。また第２減圧機構(３８)は、第１９、第２０、第５制御弁(４３)(４４)(１３)を介して第４減圧配管(４５)により減圧機構(１１)に接続している。
【００２２】
また、この第２減圧機構(３８)は、第１９制御弁(４３)、第２１制御弁(４６)、第２２制御弁(４７)、第５制御弁(１３)を介して、第５減圧配管(４８)により減圧機構(１１)に接続している。また、第２１制御弁(４６)と第２２制御弁(４７)との間には、第６減圧配管(４９)を接続し、第２３制御弁(５１)を介して液タンク(１５)に接続している。更に第２減圧機構(３８)は、凝縮液戻配管(１８)を介して回収液予備タンク(１６)と接続している。
【００２３】
上述の如く構成した洗浄装置で、被洗浄物の洗浄を行うには、図１に示す如く、被洗浄物の洗浄を行う３つの洗浄槽(１)(２)(３)に被洗浄物を収納した後、任意の洗浄槽に洗浄液を、他の任意の洗浄槽に洗浄蒸気を供給して液洗浄と蒸気洗浄を並行して行う。この複数の洗浄槽(１)(２)(３)の液洗浄と蒸気洗浄の選択、又全ての洗浄槽(１)(２)(３)を液洗浄としたり、蒸気洗浄とすることも勿論可能であり、洗浄目的に応じた任意の選択が可能である。
【００２４】
まず、減圧機構(１１)を用いて第１、第２、第３の洗浄槽(１)(２)(３)を減圧利用するには第１９制御弁(４３)、第２１制御弁(４６)、第２２制御弁(４７)、第４制御弁(１２)を閉止し、第５制御弁(１３)、第２０制御弁(４４)を開放し第１６、第１７、第１８制御弁(４０)(４１)(４２)の任意の弁を必要に応じて開放すれば、第１、第２、第３洗浄槽(１)(２)(３)はその何れか、又は全部を任意に減圧できる。
【００２５】
更に、第２減圧機構(３８)を利用して減圧機構(１１)と併用して目的を果す場合は、第１９制御弁(４３)を開放して、第２０制御弁(４４)、第２２制御弁(４７)を閉止し、第２１制御弁(４６)、第２３制御弁(５１)を開放すれば液タンク(１５)を減圧することができる。
【００２６】
このように、第１洗浄槽(１)で蒸気洗浄を行いながら、第２洗浄槽(２)で減圧乾燥を行うことが可能となる。また、第１洗浄槽(１)で蒸気洗浄を行いながら、第２洗浄槽(２)で洗浄液による液洗浄を行い、同時に第３洗浄槽(３)で減圧乾燥を行うことも可能となる。更には、第１洗浄槽(１)で蒸気洗浄を行いながら、第２洗浄槽(２)で減圧乾燥を行うことも可能となる。このように第２減圧機構(３８)を用いることにより、複数の洗浄槽(１)(２)(３)を洗浄目的に応じて多様に変化させて使用することが可能となり、効率的な洗浄作業を可能とする。
【００２７】
以下に、本実施例の説明を容易とするため、第１、第２洗浄槽(１)(２)で液洗浄を行い、第３洗浄槽(３)で蒸気洗浄と被洗浄物の乾燥を行う場合について説明すれば、第１、第２、第３洗浄槽(１)(２)(３)に被洗浄物を収納した後、第８，第９、第７、第１４制御弁(２０)(２１)(１９)(３０)を開放して液タンク(１５)から洗浄液を第１、第２洗浄槽(１)(２)に充填する。この第１、第２洗浄槽(１)(２)内でシャワー洗浄、超音波洗浄、回転洗浄、揺動洗浄等の適宜の洗浄方法により被洗浄物の液洗浄を行う。同時に第３洗浄槽(３)には、開閉弁(９)、第３制御弁(７)を開放して蒸気発生機構(８)から蒸気を供給し、蒸気洗浄を行う。通常この蒸気洗浄は仕上げ洗浄として行われる場合が多いから、液洗浄の完了した被洗浄物について行われるのが好ましい。
【００２８】
次に、第１、第２洗浄槽(１)(２)の液洗浄が完了したら、第８，第９、第１４制御弁(２０)(２１)(３０)及び第１１、第１２制御弁(２６)(２７)を閉止し、第２３、第２２，第５制御弁(５１)(４７)(１３)を開放して減圧機構(１１)により液タンク(１５)内を減圧する。液タンク(１５)はこの状態で減圧機構(１１)とのみ接続しているから高い減圧度で内部を減圧することが可能となる。液タンク(１５)の減圧度が目標値まで達したら、第１４、第２３制御弁(３０)(５１)を閉止し、第７、第１１、第１２、第８，第９制御弁(１９)(２６)(２７)(２０)(２１)を開放すれば、第１、第２洗浄槽(１)(２)内の洗液浄は瞬間的に液タンク(１５)内に移送される。この移送の過程で洗浄作業により汚染された洗浄液は清浄化機構(２４)で清浄化される。
【００２９】
次に、蒸気発生機構(８)と第３洗浄槽(３)を接続していた開閉弁(９)、第３制御弁(７)を閉止し、第３洗浄槽(３)への蒸気の供給を停止すると共に第１８制御弁(４２)、第１９制御弁(４３)を開放して第２減圧機構(３８)を作動する。この第２減圧機構(３８)の作動により第３洗浄槽(３)内は減圧され、蒸気洗浄の完了した被洗浄物は減圧乾燥される。この減圧乾燥完了に因って被洗浄物を第３洗浄槽(３)から取り出すが、被洗浄物は乾燥され、洗浄液である溶剤を付着していないから、環境に与える影響は生じることがない。
【００３０】
又、同時に第１、第２洗浄槽(１)(２)の第１、第２制御弁(５)(６)を開放して蒸気発生機構(８)から洗浄蒸気を第１、第２洗浄槽(１)(２)に導入し蒸気洗浄を行う。また、同時に第３洗浄槽(３)には、第１０、第１４、第７制御弁(２２)(３０)(１９)を開放し、第１１、第１２制御弁(２６)(２７)を閉止して液タンク(１５)から洗浄液を導入し、被洗浄物の液洗浄を行う。そして、同時に進行している第１、第２洗浄槽(１)(２)の蒸気洗浄が完了すれば、第１、第２制御弁(５)(６)を閉止し、第１、第２洗浄槽(１)(２)への洗浄蒸気の供給を停止すると共に第１６、第１７制御弁(４０)(４１)を開放して第２減圧機構(３８)を作動する。この第２減圧機構(３８)の作動により第１、第２洗浄槽(１)(２)内は減圧され、内部の被洗浄物は減圧乾燥され、外部に取り出すことが可能となる。
【００３１】
また、液洗浄を行っている第３洗浄槽(３)の洗浄完了後は、第７、第１１，第１２，第１４制御弁(１９)(２６)(２７)(３０)を閉止して減圧機構(１１)を作動し、液タンク(１５)内が一定以上の減圧度となったときに第７、第１１、第１２、第１０制御弁(１９)(２６)(２７)(２２)を開放すれば、瞬間的に洗浄液は液タンク(１５)に移動するとともに第３制御弁(７)を開放して蒸気発生機構(８)の洗浄蒸気を第３洗浄槽(３)内に供給し、蒸気洗浄を行うことが出来る。
【００３２】
そして、上述の如く洗浄の完了した被洗浄物は、次の作業工程に送られるが、この作業工程は再度の洗浄工程であっても良いし、洗浄工程ではない、全く別個の加工工程であっても良い。また、被洗浄物の洗浄に於いては液洗浄の完了後に蒸気洗浄を行うことは必ずしも必須の条件では無く、洗浄目的に応じて蒸気洗浄は選択されるものである。また、蒸気洗浄を行わない場合は、被洗浄物の乾燥のため、加温した洗浄液により被洗浄物の液洗浄を行い、この加温液洗浄により蓄熱した被洗浄物を減圧乾燥するのが好ましいものである。何れの場合も、洗浄槽(１)(２)(３)から被洗浄物を取り出す以前に、洗浄液の付着がない被洗浄物のみが外部に取り出されることは、本発明に於いて必須の条件となる。
【００３３】
また、減圧機構(１１)、第２減圧機構(３８)は、第１、第２、第３洗浄槽(１)(２)(３)や液タンク(１５)を洗浄液の入れ替え時や、被洗浄物の乾燥時に減圧作動するのみではなく、蒸気洗浄中の洗浄槽(１)(２)(３)や、蒸気発生機構(８)内を減圧することにより、溶剤を低い温度で蒸気化する事が可能となり、引火の危険性、耐熱性の低い被洗浄物の加熱による変形等を防止する上でも有効なものとなる。
【００３４】
また、本実施例に於いては液タンク(１５)を利用して第１、第２、第３洗浄槽(１)(２)(３)に洗浄液を供給したり、抜き取ったりすることが自在に可能であるとともに各洗浄槽(１)(２)(３)に洗浄蒸気の供給も可能であるから、被洗浄物を洗浄槽(１)(２)(３)間の移送を行うことなく定位置に保ったまま、洗浄液による液洗浄と蒸気洗浄を行う事が出来る。そのため、溶剤蒸気が外部に漏れる事に因る危険、環境への悪影響を防止する事が可能となる。また、被洗浄物を洗浄槽(１)(２)(３)間で移動する場合に比較し、作業性を向上する事が出来る。
【００３５】
また、被洗浄物は洗浄槽(１)(２)(３)の間の位置移動を不可とするものではなく、洗浄目的によっては、洗浄槽(１)(２)(３)の間の位置移動を行うことも可能である。しかし、この場合も被洗浄物を洗浄槽(１)(２)(３)内で乾燥した後に行うことが必須の要件となる。
【００３６】
また、上記実施例では、複数の洗浄槽(１)(２)(３)に減圧機構(１１)、蒸気発生機構(８)等を接続して構成しているが、他の異なる実施例では、必ずしもこの機構を用いる必要はなく、任意構成の複数の洗浄槽(１)(２)(３)に直列に配置したものであっても良い。その場合、複数の洗浄槽(１)(２)(３)間で被洗浄物を移動する場合に、被洗浄物が必ず乾燥状態で第１の洗浄槽(１)から取り出されて第２の洗浄槽(２)に、また第３の洗浄槽(３)に移動されることが必須の要件となるもである。
【００３７】
また、上記実施例では被洗浄物の乾燥に真空乾燥を用いているが、他の任意の乾燥方法を用いることが可能である。例えば熱媒体に接触させて行う熱伝導による乾燥等が可能と成る。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施例を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    洗浄槽
２    洗浄槽
３    洗浄槽
８    蒸気発生機構
１１    減圧機構
１５    液タンク
２４    清浄化機構
【図１】
2006116386.tif 000003