(57)【要約】【課題】  端面からの水の侵入防止が図られ、半導体素子の性能劣化を防止でき、かつ、ボンディングパッドの剥離防止が十分に達成され、しかも上記二つの目的達成の為のコストアップを出来るだけ小さくする技術を提供することである。【解決手段】      ボンディングパッド１１と、不透水性層１３とを具備する半導体装置であって、  前記不透水性層１３は縦壁状に構成されたものであり、  前記縦壁状の不透水性層１３の上に前記ボンディングパッド１１が設けられてなる。【選択図】    図１
2006261369.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディングパッドと、不透水性層とを具備する半導体装置であって、
前記不透水性層は縦壁状に構成されたものであり、
前記縦壁状の不透水性層の上に前記ボンディングパッドが設けられてなる
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
縦壁状の不透水性層は絶縁層を遮るように設けられてなることを特徴とする請求項１の半導体装置。
【請求項３】
縦壁状の不透水性層は半導体装置の周縁部に沿って内側を囲むように設けられたものであることを特徴とする請求項１又は請求項２の半導体装置。
【請求項４】
不透水性層は機械的強度に富む材料で構成されてなることを特徴とする請求項１〜請求項３いずれかの半導体装置。
【請求項５】
不透水性層は金属、窒化金属、及び炭化金属の群の中から選ばれる何れかの材料で構成されてなることを特徴とする請求項１〜請求項４いずれかの半導体装置。
【請求項６】
不透水性層が複数設けられてなることを特徴とする請求項１〜請求項５いずれかの半導体装置。
【請求項７】
縦壁状の不透水性層の幅Ｌａとボンディングパッドの幅Ｌｂとの比（Ｌａ／Ｌｂ）が０．１以上であるよう構成されてなることを特徴とする請求項１〜請求項６いずれかの半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスにおける演算処理速度の高速化を実現する為には、デバイスにおける信号遅延を低減することが重要である。このデバイスにおける信号遅延は、半導体素子における信号遅延と配線遅延との和で表される。ところで、配線ピッチの縮小が急速に進むにつれて、信号遅延より配線遅延の影響の方が大きくなって来ている。この配線遅延はＲＣの積（（抵抗）×（層間容量））に比例する為、配線遅延の低減の為には、配線抵抗や層間絶縁膜の容量を低減することが必要である。そこで、低誘電率層間膜の検討が盛んに行われており、Ｐroceedings of theInternational
Interconnect Technology Conference 1998には、低誘電率層間膜を適用した埋込み配線プロセスによる多層配線構造が示されている。埋込み配線プロセスとは層間膜となる絶縁層に配線溝や接続孔を形成し、その中に金属配線を埋め込むことにより配線構造を形成するものである。そして、従来の埋込み配線プロセスによる多層配線構造のダイシングライン部の構造では、ダイシングライン部の切断面に層間絶縁膜を構成している低誘電率膜が露出している。この低誘電率膜を構成している低誘電率材料は、密度が小さく、ポーラスな構造である為、膜中に外気からの水が侵入し易い。特に、ダイシング時には外部から内部に水が侵入する恐れが高い。従って、ダイシングライン部の露出した低誘電率膜の切断端面を通って、外気中の水が半導体装置の内部に侵入し、半導体装置に内在するトランジスタ素子の特性変動を引き起こしたり、金属配線を腐食すると言った問題点が有る。
【０００３】
このような問題点を解決することを目的として、即ち、外気中の水の侵入を防止し、低誘電率膜からなる層間絶縁膜を用いた半導体装置においても、良好な特性を有する半導体装置を提供することを目的として、図６に示される如く、シリコン基板上に素子部および配線部を設け、上記配線部が絶縁膜と上記絶縁膜中に埋め込まれた金属とを備え、上記シリコン基板をダイシングラインに沿って切断し、上記素子部および配線部を含む半導体チップに分割する半導体装置において、上記配線部の絶縁膜の延長部で、上記ダイシングラインと上記配線部との間に上記金属からなるバリア層を備えたことを特徴とする半導体装置が提案（特開２０００−１５０４２９号公報）された。尚、図６中、５１は第１の層間絶縁膜、５２は第２の層間絶縁膜、５３は第３の層間絶縁膜、５５は第１の金属配線、５６は第２の金属配線、５７はコンタクトホール、５８はＳｉ基板、５９は素子を含む下部絶縁層、６０はダイシングライン、６１ａ，６１ｂ，６１ｃは金属バリア層である。すなわち、金属バリア層６１ａ，６１ｂ，61ｃが縦壁状に設けられたことから、ポーラスな層間絶縁膜５１，５２，５３の端面から内部に水分が侵入し難いものとなっている。
【０００４】
又、半導体装置は、半導体チップにある集積回路を外部の回路に接続する為、ボンディングパッドが設けられている。さて、従来のボンディングパッドの構造は、コンタクトホールが金属間絶縁膜により電気的に連結された第１配線膜と第２配線膜との間に形成されている。そして、第１配線膜はコンタクトホールの下方に位置すべく大きさが調節され、後続段階にて第２配線膜と金属結合される時に、ボンディングパッドの位置にて、三つの層が機械的に結合されて剥離特性を改善できる構造を提供している。ところで、半導体チップの小型化に伴い、ボンディングパッドも小さくなっている。例えば、ボンディングパッドの大きさは、集積度が高まるにつれ、約８０μｍ×８０μｍ以下の大きさまで小さくなっている。従って、ボンディングパッドの下部構造を形成する第１配線膜と第４層間絶縁膜との間のコンタクト表面積が狭まり、第１配線膜が境界部分にて第４層間絶縁膜から分離され易くなっている。このような剥離現象を克服する為、即ち、後続する製造工程が進められる間にボンディングパッドが剥離することを防止する為、ボンディングパッド下部にポリシリコン膜を形成することが提案されている。つまり、金属ボンディングパッドと層間絶縁膜との間にポリシリコン膜が設けられると、界面における接着性が改善され、剥離現象や浮き上り現象が防止される。しかしながら、ポリシリコン膜は、一般的に、金属材料により形成された膜上でと言うより絶縁膜上で直接蒸着され、接着特性が適切ではない。更に、従来の改善されたボンディングパッド形成技術の超過工程段階を短縮する為に、キャパシタを形成する為の新しい技術は、一般的に、下部ボンディングパッドと同時に下部キャパシタ電極を形成する段階と、その間に単一の誘電体膜を介在させて上部ボンディングパッドと同時に上部キャパシタ電極を形成する段階とを含む。工程段階の削除は、三つの蒸着膜を利用することにより、ボンディングパッドを改善すると同時に、集積回路（ＩＣ）の生産能力を向上させる一方で、改善された生産能力は信頼性あるボンディングパッド構造を犧牲にし、剥離抵抗の為の固定器具を準備する為に、前述の埋没及び充填されたビアホールを利用して得られる特別な構造的な長所を犧牲にすると言われている。
【０００５】
そこで、上記の問題点を解決する為、図７に示される如く、複数の電気装置と複数の蒸着層とを有する半導体集積回路のボンディングパッド構造において、相互結合された少なくとも一つの第１層間連結層と第２層間連結層とを有するボンディングパッドと、前記構造がボンディングパッド上で物理的ストレスの分布を改善するだけではなく複数の蒸着層間での結合力を向上可能とするように、前記ボンディングパッドと結合され、かつ前記ボンディングパッド下部に配された半導体装置の一つまたは二つ以上の蒸着層の少なくとも一部を垂直に横切る少なくとも一つのクサビを含むことを特徴とする半導体装置のボンディングパッド構造が提案（特開２００３−２８２５７３号公報）された。尚、図７中、Ａ１はメモリセル領域、Ａ２はボンディングパッド領域、２１０，２４０は電極、２０８はキャパシタ、１３０，１４０，１７０，２８０は絶縁膜、２４５はダミーパターン、２９０は柱状のクサビ、３５０はボンディングパッド、３００は第１アルミニウム層間連結膜、２９０はプラグ、３１０は金属間絶縁膜、３４０は不動態膜である。
【特許文献１】特開２０００−１５０４２９号公報
【特許文献２】特開２００３−２８２５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
さて、上記特開２０００−１５０４２９号公報にあっては、ボンディングパッドに関する知恵が全く認められず、逆に、上記特開２００３−２８２５７３号公報にあっては、膜中に外気からの水の侵入防止の知恵が全く認められない。
【０００７】
又、本発明者により、ボンディング時や樹脂モールドなどのプロセスにおけるボンディングパッドの剥離防止についての更なる検討が進められて行った結果、特開２００３−２８２５７３号公報の如きの柱状クサビ構造による技術では、ボンディングパッドの剥離防止が十分で無いことが判って来た。
【０００８】
従って、本発明が解決しようとする課題は、端面からの水の侵入防止が図られ、半導体素子の性能劣化を防止でき、かつ、ボンディングパッドの剥離防止が十分に達成され、しかも上記二つの目的達成の為のコストアップを出来るだけ小さくする技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の課題は、ボンディングパッドと、不透水性層とを具備する半導体装置であって、
前記不透水性層は縦壁状に構成されたものであり、
前記縦壁状の不透水性層の上に前記ボンディングパッドが設けられてなる
ことを特徴とする半導体装置によって解決される。
【００１０】
特に、ボンディングパッドと、不透水性層とを具備する半導体装置であって、
前記不透水性層は縦壁状に構成されたものであり、
前記縦壁状の不透水性層は絶縁層を遮るように設けられ、
前記縦壁状の不透水性層の上に前記ボンディングパッドが設けられてなる
ことを特徴とする半導体装置によって解決される。
【００１１】
本発明における縦壁状の不透水性層は、特に、半導体装置の周縁部に沿って内側を囲むように設けられたものである。すなわち、縦壁状の不透水性層によって、その内外が分離され、内側には水分が侵入できないようになっている。
【００１２】
上記縦壁状の不透水性層は、例えば金属材料の如き機械的強度に富む材料で構成される。
【００１３】
ところで、ボンディングパッドの下層には脆弱なポーラス層からなる層間絶縁膜が存在しており、この脆弱な層間絶縁膜が存在しているが故に、ボンディングパッドが剥離し易い特徴が有る。そこで、ボンディングパッドの下側に機械的強度に富む層（上記縦壁状不透水性層）を設けるようにしたのである。そして、ボンディングパッドの下側に設けられた機械的強度に富む層（上記縦壁状不透水性層）が、ボンディングパッドの剥離を抑制する機能を奏することになる。この剥離抑制層（機械的強度に富む層：上記縦壁状不透水性層）は、例えば金属、窒化金属あるいは炭化金属などの稠密な材料を用いることにより構成できる。従って、上記縦壁状の層を、例えば金属材料で構成させれば、一つの層が不透水性と剥離抑制性との二つの機能を奏するようになり、非常に好都合である。
【００１４】
又、本発明にあっては、縦壁状の不透水性層の幅Ｌａとボンディングパッドの幅Ｌｂとの比（Ｌａ／Ｌｂ）は、特に、０．１以上（更には、０．３以上。２以下、特に１．５以下、更には１．２以下。）であるよう構成されている。これは、縦壁の幅（厚さ）がボンディングパッドの幅に比べて薄すぎる場合には、剥離抑制機能が低下したからである。
【００１５】
縦壁状の不透水性層は一つでも良いが、複数重のものでも良い。例えば、二重、三重の形態の場合でも、その厚さ（幅）の合計値が上記の条件を満たすようにしておけば良い。そして、このような複数重の形態の場合にあっては、ＣＭＰ加工に際して、デッシングやエロージョンの発生が抑制されると言う特長が奏されるので、好都合である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、ボンディングパッドも、水の侵入防止のバリア層も、半導体装置（基板）の周縁部に設けられていることに着目してなされたものである。
【００１７】
すなわち、水の侵入防止のバリア層は基板の周縁部（周辺部）に設けられなければ、意味が少ない。又、水の侵入防止のバリア層はポーラスな層間絶縁膜を遮る（横切る）ように設けられるのが通常である。かつ、バリア層は水の侵入防止の為に設けられるのであるから、通常、縦壁状に設けられる。
【００１８】
一方、ボンディングパッドは、通常、基板の周縁部（周辺部）に設けられる。又、層間絶縁膜の上に設けられるのが通常である。
【００１９】
従って、上記バリア層もボンディングパッドも、共に、基板の周縁部に設けられるものであるから、縦壁状のバリア層の上にボンディングパッドを設けることは可能である。
【００２０】
そして、縦壁状のバリア層の上にボンディングパッドを設ければ、バリア層は脆弱な層間絶縁膜を遮る（横切る）ように設けられていること、かつ、バリア層は幅広い範囲に亘って設けられていることから、機械的強度に優れ、それだけボンディングパッドの剥離抑制機能が向上する。
【００２１】
すなわち、水の侵入防止の為に設けられていたバリア層がボンディングパッドの剥離抑制効果を奏すると言う大きな特長が奏される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１〜図４は本発明になる半導体装置の一実施形態を示すもので、図１は概略平面図、図２は一部拡大平面図、図３は図２のＡ−Ａ線断面図、図４は図２のＢ−Ｂ線断面図である。
【００２３】
各図中、１はＳｉ基板である。２はＳｉ基板１の上に設けられた絶縁膜である。３は絶縁膜２の上に設けられたバリア膜である。４はバリア膜３の上に設けられたポーラス状低誘電率膜である。５はポーラス状低誘電率膜４の上に設けられたキャップ膜である。６はキャップ膜５の上に設けられたバリア膜である。７はバリア膜６の上に設けられたポーラス状低誘電率膜である。８はポーラス状低誘電率膜７の上に設けられたキャップ膜である。９はキャップ膜８の上に設けられたバリア膜である。１０はバリア膜９の上に設けられたパッシベーション膜である。１１はパッシベーション膜１０の上に設けられたボンディングパッドである。１２はボンディングパッドに接続された金属配線膜を絶縁する為に設けたパッシベーション膜である。そして、１〜１2の符号を付した積層されている層については、周知な事柄であるから、詳細な説明は省略される。
【００２４】
１３はＳｉ基板１の周縁に沿って設けられた縦壁状の不透水性バリア膜である。この不透水性バリア膜１３についても、その内容は周知な事柄であるから、詳細な説明は省略される。
【００２５】
しかしながら、本発明においては、不透水性バリア膜１３が、図１〜図４からも判る通り、ボンディングパッド１１の下側に設けられている点に大きな特徴が有る。すなわち、家の柱の位置にのみ設けられた礎石（点）の如きのものではなく、コンクリートでライン状にぐるりと設けられた布基礎の如くに設けられている。つまり、不透水性バリア膜１３は、その内側に水が侵入するのを防止する為のものであるから、水が侵入し易いポーラス（脆弱）な絶縁膜（誘電膜）を遮る縦壁（塀：面）の如くに設けられている。そして、この不透水性バリア膜１３は、例えばＡｌ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｗ，Ａｇ，Ａｕ，Ｔａ等の金属やＴａＮ等の窒化金属などのセラミックスと言った機械的強度に富む材料で構成される。かつ、ボンディングパッド１１の幅をＬｂとし、縦壁状の不透水性バリア膜１３の幅（厚さ）をＬａとすると、Ｌａ／Ｌｂ≧０．１を満たすように構成されている。特に、Ｌａ／Ｌｂが０．３以上、そして２以下、特に１．５以下、更には１．２以下であるように構成されている。これは、ボンディングパッド１１の下に設けた不透水性バリア膜１３の厚さによってボンディング時におけるボンディングパッド１１の剥離がどのような影響を受けるかを調べた処、下記の表−１に示される通り、Ｌａ／Ｌｂが０．１以上で大幅な改善が認められたからである。
【００２６】
表−１
Ｌａ／Ｌｂ            ボンディング時における剥離現象の発生率
０                                ５／１００
０．１                              ２／１００
０．３                              ０／１００
０．５                              ０／１００
１．０                              ０／１００
１．２                              ０／１００
１．５                              ０／１００
尚、上記の実施の形態では、不透水性バリア膜１３は、Ｓｉ基板１表面からバリア膜９の間に亘って縦壁状に設けられたものであるが、Ｓｉ基板１に埋め込まれるような形態であっても良い。又、水の侵入が問題なければ、Ｓｉ基板１より上の層までであっても良い。又、不透水性バリア膜１３は一重のものであったが、二重、三重（図５参照）に重なった形態のものでも良い。そして、このような複数が重なった形態のものにあっては、各々の厚さの総和の値を上記Ｌａとし、この総和になるＬａが上記条件を満たすものであれば良い。又、一周に亘って設けられた不透水性バリア膜１３は、水の侵入が問題なければ、その途中において、連続性が欠けた不連続なものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明になる半導体装置の一実施形態の概略平面図
【図２】図１の一部拡大平面図
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図
【図４】図２のＢ−Ｂ線断面図
【図５】本発明になる半導体装置の他の実施形態の断面図
【図６】従来の半導体装置の概略断面図
【図７】従来の半導体装置の概略断面図
【符号の説明】
【００２８】
１            Ｓｉ基板
２            絶縁膜
３            バリア膜
４            ポーラス状低誘電率膜
５            キャップ膜
６            バリア膜
７            ポーラス状低誘電率膜
８            キャップ膜
９            バリア膜
１０          パッシベーション膜
１１          ボンディングパッド
１３          縦壁状の不透水性バリア膜
代  理  人  宇  高  克  己
【図１】
2006261369.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006261369.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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