(57)【要約】【課題】  光学性能や光の利用効率が良好で、ヘッド部分を小型化した、近接場光を用いた光記録／再生用光学装置を得る。【解決手段】  光源としてのレーザダイオード２と、コリメータ光学系３と、該コリメータ光学系３から出射された平行光のビーム径を変換する第１レンズ４１と第２レンズ４２からなるビーム径変換光学系４と、該ビーム径変換光学系４から出射されたほぼ平行光を集光して集光点付近に集光スポットより小さい近接場光を発生させる単一の光学素子からなる集光素子６と、を備えた光記録／再生用光学装置。ビーム径変換光学系４はその倍率βが０．２＜｜β｜＜０．８に設定されている。【選択図】  図１
2006099902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接場光を用いた光記録／再生用光学装置において、
光源と、
コリメータ光学系と、
前記コリメータ光学系から出射された平行光のビーム径を変換する少なくとも二つのレンズからなるビーム径変換光学系と、
前記ビーム径変換光学系から出射されたほぼ平行光を集光して集光点付近に集光スポットより小さい近接場光を発生させる単一の光学素子からなる集光素子と、を備え、
前記ビーム径変換光学系の倍率βが０．２＜｜β｜＜０．８であること、
を特徴とする光記録／再生用光学装置。
【請求項２】
前記ビーム径変換光学系の倍率βが０．３＜｜β｜＜０．６であることを特徴とする請求項１に記載の光記録／再生用光学装置。
【請求項３】
前記集光素子の集光部分には集光スポットよりも小さい近接場光を発生させる微小構造が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光記録／再生用光学装置。
【請求項４】
集光素子の集光部分に前記微小構造が複数個マトリックス状に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の光記録／再生用光学装置。
【請求項５】
前記ビーム径変換光学系のレンズを光軸と垂直方向に移動させる移動手段を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項４に記載の光記録／再生用光学装置。
【請求項６】
前記ビーム径変換光学系のレンズを光軸方向に移動させる移動手段を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項５に記載の光記録／再生用光学装置。
【請求項７】
前記ビーム径変換光学系は二つのレンズを有し、いずれのレンズも片面は非球面で平行光のほうの曲率が強いことを特徴とする請求項１〜請求項６に記載の光記録／再生用光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録／再生用光学装置、詳しくは、近接場光による情報の記録及び／又は再生に用いられる光記録／再生用光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光記録再生技術において、微小な光スポットを得るために近接場光発生構造を用いることが種々提案されている。近接場光による記録／再生を実現するためには、固浸レンズ（Solid Immersion Lens）や固浸ミラー（Solid Immersion Mirror）を集光素子として用い、微小スポットと記録媒体とを近接させ、エバネッセント波と記録媒体とを相互作用させている。これにて、情報の記録又は再生における高密度化が図られる。
【０００３】
特許文献１，２，３では、集光素子として固浸レンズを用いた光記録／再生用光学装置が開示されている。ところで、従来の固浸レンズでは対物レンズが必要であり、両者の調整が困難で、調整後にあっても温度などの環境変化で調整ずれが発生してしまうという問題点を有していた。また、この種の対物レンズは固浸レンズに比べて大型であるためヘッド部分が大型化してしまうという問題点をも有していた。そして、集光性能や光の利用効率の向上のため、集光素子へほぼ平行光を導く光学系をどのように構成するかが大きな課題となっている。
【０００４】
即ち、特許文献１では、コンデンサレンズとコリメータレンズの焦点距離比を用いて輪帯照明用の遮光板（絞り）の大きさを規定しているが、具体的な焦点距離比は開示されていない。
【０００５】
特許文献２では、二つの変換レンズを備えたビーム径変換光学系が開示され、具体的な焦点距離の数値例としてｆ１＝ｆ２＝６ｍｍとすることが示されているが、ビーム径の縮小を行っていないために光学系が大型化してしまう。
【０００６】
特許文献３では、リレーレンズとイメージングレンズとの組合せによってビーム径を縮小させることが開示されているが、レンズに関する具体的な数値例の記載がなく、対物レンズと固浸レンズの組合せである点で前述した調整の困難性や大型化といった問題点を解決するものではない。
【特許文献１】特開平１１−２０３７０８号公報
【特許文献２】特開２０００−２４２９６３号公報
【特許文献３】特開２０００−１３２８５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明の目的は、光学性能や光の利用効率が良好で、ヘッド部分を小型化した、近接場光を用いた光記録／再生用光学装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上の目的を達成するため、本発明は、近接場光を用いた光記録／再生用光学装置において、光源と、コリメータ光学系と、該コリメータ光学系から出射された平行光のビーム径を変換する少なくとも二つのレンズからなるビーム径変換光学系と、該ビーム径変換光学系から出射されたほぼ平行光を集光して集光点付近に集光スポットより小さい近接場光を発生させる単一の光学素子からなる集光素子と、を備え、前記ビーム径変換光学系の倍率βが０．２＜｜β｜＜０．８であること、を特徴とする。
【０００９】
本発明に係る光記録／再生用光学装置は、まず、近接場光を発生させる集光素子が単一（接合又は複合されたものを含む）の光学素子にて構成されている。従来から知られている対物レンズと固浸レンズとの組合せに起因する大型化、調整の困難性、調整後のずれなどが解消され、良好な光学性能を達成できる。
【００１０】
また、ビーム径変換光学系はその倍率βが０．２＜｜β｜＜０．８である、即ち、縮小光学系として構成されている。コリメータ光学系から出射されるビーム径との関係では、ビーム径を縮小させる光学系を介在させることで光の効率利用を図ることができ、ヘッド部分の小型化に寄与する。倍率βが０．２以下であると集光素子の感度が高くなりすぎるために好ましくはなく、０．８以上であるとヘッド部分の小型化に効果的ではなくなる。より好ましい倍率βの範囲は０．３＜｜β｜＜０．６である。
【００１１】
本発明に係る光記録／再生用光学装置において、集光素子の集光部分には集光スポットよりも小さい近接場光を発生させる微小構造が形成されていることが好ましい。集光部分に微小構造を設けることで、集光スポットよりもさらに小さなビーム径にて光記録／再生を行うことが可能となる。具体的には、金属薄膜に形成するパターンの形状を工夫することで、表面励起プラズモンポラリトンによる電場増幅を起こし、微小な近接場光の発生でありながら非常に高効率の光記録／再生が可能となる。
【００１２】
このような微小構造は集光素子の集光部分に複数個マトリックス状に配置されていることが好ましい。集光素子による集光スポットと微小構造とを正確に合わせることは困難である。しかし、微小構造をマトリックス状に配置しておけば、集光スポットをそのいずれかに合わせればよく、調整が容易になる。なお、微小構造は従来知られている微細プロセス加工にて複数個のものを同時に高精度にかつ容易に形成することができる。
【００１３】
また、本発明に係る光記録／再生用光学装置において、ビーム径変換光学系のレンズを光軸と垂直方向に移動させる移動手段及び／又は光軸方向に移動させる移動手段を備えていてもよい。このような移動手段を備えることによって、集光素子と集光スポットとの位置調整を容易に行うことができる。即ち、ビーム径変換光学系のレンズを光軸と垂直方向に移動させることで、集光素子に入射するビームの角度が変化し、それにより集光スポットの位置を調整することができる。また、ビーム径変換光学系のレンズを光軸方向に移動させることで、集光素子に入射するビームの波面の曲率半径（入射物体距離）が変化し、フォーカス位置を調整することができる。
【００１４】
また、ビーム径変換光学系を二つのレンズで構成する場合、いずれのレンズも片面は非球面で平行光のほうの曲率が強いことが好ましい。収差の補正には非球面が有利であり、また、平行方向に凸のパワーの強いレンズを用いることが必要となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る光記録／再生用光学装置の実施形態及び実施例について、添付図面を参照して説明する。
【００１６】
（第１実施形態、図１及び図２参照）
第１実施形態である光記録用光学装置１Ａは、図１に示すように、光源であるレーザダイオード２と、コリメータ光学系３と、ビーム径変換光学系４と、平面ミラー５と、集光素子６とで構成されている。
【００１７】
レーザダイオード２は所定波長の発散光を光軸方向Ｚに放射する。コリメータ光学系３はレーザダイオード２から放射された拡散光をほぼ平行光に変換するものであり、その具体的な構成例は図５及び図６を参照して以下に説明する。
【００１８】
ビーム径変換光学系４は凸レンズである第１レンズ４１と凸レンズである第２レンズ４２と絞り４３とで構成され、前記コリメータ光学系３から出射された平行光のビーム径を変換する。具体的なコンストラクションについては実施例１〜５として後述する。
【００１９】
平面ミラー５は前記ビーム径変換光学系４から出射されたビームを折り返して集光素子６に導くものである。集光素子６は、ミラー５で反射された平行ビームを集光して集光点付近に集光スポットより小さい近接場光を発生させるもので、その具体的な構成例は図７及び図８を参照して以下に説明する。
【００２０】
さらに、図２に示すように、ビーム径変換光学系４の第１レンズ４１は圧電アクチュエータ４５によって光軸方向Ｚに位置調整可能とされている。また、第２レンズ４２はムービングコイル４６によって光軸方向Ｚと直交する方向Ｘ，Ｙに位置調整可能とされている。
【００２１】
（第２実施形態、図３及び図４参照）
第２実施形態である光記録用光学装置１Ｂは、図３に示すように、前記第１実施形態と同様に、レーザダイオード２、コリメータ光学系３、ビーム径変換光学系４、平面ミラー５、集光素子６とで構成されている。異なるのは、ビーム径変換光学系４を凸レンズである第１レンズ４１と凹レンズである第２レンズ４２とで構成した点にある。他の構成は第１実施形態と同様であり、同じ部材には同じ符号を付し、重複した説明は省略する。また、ビーム径変換光学系４の具体的なコンストラクションについては実施例６〜１０として後述する。
【００２２】
（コリメータ光学系の構成例、図５及び図６参照）
コリメータ光学系３は種々の構成を採用することができる。例えば、図５に示すように、ビームを整形して拡散させる光学素子３１と、コリメータレンズ３２との組合せであってもよい。あるいは、図６に示すように、さらにプリズム３３を組み合わせた構成であってもよい。また、図示しないが、単一の非球面レンズのみで構成したり、アナモフィック光学素子で構成したり、一対のアナモフィックプリズムを付加してもよい。
【００２３】
一般的に、レーザダイオードからの出射角度は方向によって異なるため、球面、非球面のコリメータレンズでは平行光に変換しても、円形にはならない。円形に近づけるためにはビーム整形素子をコリメータ光学系３に組み込む必要があり、前記アナモフィックプリズム３３やプリズム対、アナモフィックレンズ、シリンドリカルレンズなどが用いられる。
【００２４】
（ビーム径変換光学系の実施例）
ビーム径変換光学系４は、第１実施形態では正のパワーを持つ第１及び第２レンズ４１，４２の組合せであり、第２実施形態では正のパワーを持つ第１レンズ４１と負のパワーを持つ第２レンズ４２との組合せである。
【００２５】
入射ビーム径をφ１、出射ビーム径をφ２、第１レンズ４１の焦点距離をｆ１、第２レンズ４２の焦点距離をｆ２とすると（単位はいずれもｍｍ）、以下の表１，２に示す種々の組合せを例示することができる。表１に示す実施例１〜５は第１実施形態の例であり、表２に示す実施例６〜１０は第２実施形態の例である。
【００２６】
【表１】
2006099902.tif 000003
【００２７】
【表２】
2006099902.tif 000004
【００２８】
このようなビーム径変換光学系４において、第１及び第２レンズ４１，４２の距離は主点間隔がレンズ４１，４２の焦点距離の和になるようにする。倍率βの絶対値は焦点距離の比で決まる。その倍率βは０．２＜｜β｜＜０．８の範囲に設定されており、縮小光学系として構成されている。
【００２９】
コリメータ光学系３から出射されるビーム径φ１との関係では、ビーム径φ２に縮小させる光学系を介在させることで光の効率利用を図ることができ、ヘッド部分の小型化に寄与する。倍率βが０．２以下であると集光素子６の感度が高くなりすぎるために好ましくはなく、０．８以上であるとヘッド部分の小型化に効果的ではなくなる。より好ましい倍率βの範囲は０．３＜｜β｜＜０．６である。
【００３０】
（フォーカス調整）
ところで、第１及び第２レンズ４１，４２の間隔を変化させることで、出射光の波面の曲率半径をコントロールすることができる。この種のコントロールの必要性は、本発明では単一（接合又は複合構造を含む）の集光素子６を用いているため、集光素子６自体にフォーカス機能がないことによる。つまり、集光素子６の製造誤差でフォーカス位置が若干変化して集光スポットが設計上の集光位置からずれた場合、単一構造の集光素子６ではフォーカス位置を変化させることができない。
【００３１】
そこで、ビーム径変換光学系４によって集光素子６の入射光をコントロールする必要がある。レンズ４１，４２の間隔の調整は第１レンズ４１を圧電アクチュエータ４５（図２及び図４参照）で光軸方向Ｚに駆動することが好ましく、その理由は後述する。但し、第２レンズ４２を光軸方向Ｚに駆動することを排除するものではない。
【００３２】
また、レンズ４１，４２は非球面レンズを使用することが好ましい。球面であると集光の際に残存収差が発生するが、非球面を最適に設計することで、軸上収差を満足し、さらに、正弦条件を満足することで軸外収差もある程度補正することができる。設計の自由度の点で両面を非球面とすることが好ましい。また、軸上収差及び軸外収差の性能を満足するためには、大きな共役側の曲率が小さな共役側の曲率よりも大きいということが従来から知られており、平行光側の曲率が強いということも必要となる。
【００３３】
集光素子６の集光スポットは単一素子であることから、ビームの入射角度によって決まる。第１及び第２実施形態では、ミラー５の角度や集光素子６の保持に誤差がある場合は集光スポットの位置が所定位置（集光素子６の光軸）からずれてしまう。
【００３４】
集光スポットの光軸上からのずれに対処するには、集光素子６に対するビームの入射角度を調整すればよい。具体的には、第１又は第２レンズ４１，４２を光軸に対して直交するＸ方向及びＹ方向に移動させればよい。つまり、第１レンズ４１（又は第２レンズ４２）を光軸と垂直方向に移動させることで集光素子６への入射角度を調整することができる。
【００３５】
この移動量（偏心量）をｙとすると、ｙ＝ｆ・ｔａｎθの式で（ｆは移動させるレンズの焦点距離）で角度θが決定される。第１及び第２実施形態の各実施例１〜１０では、第２レンズ４２の焦点距離が第１レンズ４１よりも小さく設定されているため、同じ角度を変化させるには、第２レンズ４２を光軸と垂直方向に移動させるほうが移動距離が小さくて済む。それゆえ、レンズ４１，４２の間隔調整は第１レンズ４１の移動で行うこととしている。なお、第１又は第２レンズ４１，４２のみでフォーカス位置の調整及び入射角度の調整を行うようにしてもよい。
【００３６】
レンズ４１，４２に関して、第１実施形態ではいずれも正パワーのレンズを使用し、第２実施形態では正パワーと負パワーのレンズを使用している。ビーム径の変換に関しては同等であるが、収差補正の面では２枚の正パワーのレンズを使用するほうが有利である。
【００３７】
（集光素子の構成、図７及び図８参照）
集光素子６としては、固浸ミラーや固浸レンズと透光性平板との接合素子を用いる。ミラータイプの集光素子６に関してその具体的構成例を図７（Ａ）〜（Ｄ）に示し、レンズタイプの集光素子６に関してその具体的構成例を図８（Ａ），（Ｂ）に示す。なお、図７の各図において、１００は記録媒体である。
【００３８】
図７（Ａ）に示す集光素子６は、固浸ミラー６ａであり、平面状の第１面輪帯部分からの入射光を非球面である第２面で反射させ、さらに、第１面の反射面で反射させて集光スポット６１に集光させて近接場光を発生させる。
【００３９】
図７（Ｂ）に示す集光素子６は、固浸ミラー６ｂと透光性平板６５を接合したもので、正のパワーを有する第１面を透過した入射光を正のパワーを有する第２面で反射させ、第２面の中央平面部に接合された透光性平板６５の第２面付近の集光スポット６１に集光させて近接場光を発生させる。
【００４０】
図７（Ｃ）に示す集光素子６は、固浸ミラー６ｃと透光性平板６５を接合したもので、第１面の凹所（非球面）からの入射光を該凹所で屈折させ、平面である第２面で反射させるとともに第１面（非球面）で反射させ、第２面の中央部に接合された透光性平板６５の第２面付近の集光スポット６１に集光させて近接場光を発生させる。
【００４１】
図７（Ｄ）に示す集光素子６は、固浸ミラー６ｄであり、垂直平面である第１面を透過した入射光を、例えば放物面として形成された反射面で反射させ、水平平面である第２面の集光スポット６１に集光させて近接場光を発生させる。このような固浸ミラー６ｄを用いれば、ミラー５が不要である。
【００４２】
図８（Ａ）に示す集光素子６は、入射面が凸形状の連続非球面であり、出射面が平面である固浸レンズ（非球面レンズ）６ｅと、該固浸レンズ６ｅの平面に接合された透光性平板６５とで構成されている。固浸レンズ６ｅに入射したビームは入射面（非球面）で屈折され、接合面である平面を透過し、透光性平板６５の出射面付近の集光スポット６１に集光し、近接場光を発生する。
【００４３】
図８（Ｂ）に示す集光素子６は、固浸レンズ６ｆと透光性平板６５を接合したものである。固浸レンズ６ｆは、屈折率Ｎ１を有する第１の材料からなる第１レンズ６ｆ1と、屈折率Ｎ２を有する第２の材料からなる第２レンズ６ｆ2とで構成され、レンズ６ｆ1，６ｆ2の対向面は同形状で接合されている。第１レンズ６ｆ1に入射したビームは入射面（非球面）で屈折され、第２レンズ６ｆ2を透過するとともに透光性平板６５の出射面付近の集光スポット６１に集光し、近接場光を発生する。
【００４４】
この固浸レンズ６ｆにおいては、第１レンズ６ｆ1の入射面のパワーをＰ１とし、第２レンズ６ｆ2との接合面のパワーをＰ２としたとき、以下の式を満足することが好ましい。なお、ＣＲ１は第１レンズ６ｆ1の入射面の曲率半径、ＣＲ２は第１レンズ６ｆ1の接合面の曲率半径である。
【００４５】
０．１＜Ｐ１／Ｐ２＜５
Ｐ１＝（Ｎ１−１）／ＣＲ１
Ｐ２＝（Ｎ２−Ｎ１）／ＣＲ２
【００４６】
図８（Ｂ）に示す集光素子６にあっては、第１レンズ６ｆ1と第２レンズ６ｆ2とを接合又は複合して一つの非球面レンズとすることにより、二つの光学面によって収差をより自由に補正することができ、軸上収差のみならず軸外収差をも効果的に補正することができる。レンズ６ｆ1，６ｆ2のパワー比を規定する前記式は、良好な収差補正を確保するためのものである。
【００４７】
Ｐ１／Ｐ２が５を超えると、パワーＰ１でのパワー配分が大きくなりすぎ、接合レンズあるいは複合レンズ（モールド一体型）で構成する効果が発揮されなくなる。Ｐ１／Ｐ２が０．１を下回ると、接合面のパワーが大きくなりすぎ、レンズの製作が困難になる。より好ましい範囲は、０．３＜Ｐ１／Ｐ２＜３である。
【００４８】
集光素子６をレンズ又はミラーと透光性平板６５との接合タイプとすれば、接合されているので外乱に強いという利点を有する。また、集光素子６を無限遠物体に対して設計すれば、入射光との相対的な位置ずれに対して、フォーカス位置が変動しにくいという利点も生じる。
【００４９】
レンズ又はミラーと平板６５とを接合する目的は、微小構造の量産が可能な点にある。即ち、平板６５の出射面には以下に説明するように近接場光発生のための微小構造が形成されており、この種の微小構造はウエハに対する微細プロセス加工が一般的であり、マザー基板上にプロセス加工で微小構造を形成し、所定サイズの平板６５にカットすることで安価に量産が可能となる。
【００５０】
（近接場光発生構造、図９及び図１０参照）
ところで、前記集光素子６の集光スポット６１には、入射波長以下の寸法を有する近接場光発生用の微小構造が形成されている。このような微小構造は表面励起プラズモンを発生させる微小構造であること、特に、プラズモン共鳴を発生する金属により作製されることが好ましい。
【００５１】
波長以下の寸法を有する微小構造であっても、効率よく微小スポットにエネルギーを集める必要があり、表面励起プラズモン共鳴による電場増幅効果を利用すると、良好な集光効率を得ることができる。例えば、波長７８０ｎｍでは金や銀が、波長４０５ｎｍではアルミニウムやマグネシウムが大きな電場増幅効果を有することが知られている。そこで、入射波長に応じた金属材料と微小構造パターン、その厚みを選択することで、プラズモン共鳴を有効に利用することができ、効率よく微小スポットを得ることができる。
【００５２】
図９及び図１０に微小構造の具体例を示す。図９に示す第１例は、素子６の集光面に成膜した厚さ５０ｎｍ程度の金属薄膜７０にバタフライ形状の複数の開口７１をマトリックス状に形成したものである。微小突部７２，７２の対向間隔は、例えば、２０〜５０ｎｍであり、微小突部７２，７２の対向部分に集光するとこの対向部分付近のみに強い電場が生じ、近接場光が発生する。
【００５３】
図１０に示す第２例は、素子６の集光面に、厚さ５０ｎｍ程度の三角形状の複数の金属薄膜７５をマトリックス状に形成したものである。金属薄膜７５に集光するとその頂部付近のみに強い電場が生じ、近接場光が発生する。金属薄膜７５の周囲は空気又は誘電体である。
【００５４】
前記第１例及び第２例とも、薄膜７０，７５の厚みとパターンを最適化することで、微小な領域に電場を効率よく集中させることができ、近接場光を利用した微小領域での光記録／再生を行うことが可能になる。微小構造は一つだけ形成してもよいが、複数個をマトリックス状に配置することで、いずれかの微小構造に集光スポット位置を調整すればよく、調整が容易になる。
【００５５】
（非球面の定義式）
ここで、前述した種々の非球面の定義式を以下に示す。
【００５６】
【数１】
2006099902.tif 000005
【００５７】
（他の実施例）
なお、本発明に係る光記録／再生用光学装置は前記実施形態及び実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
【００５８】
特に、コリメータ光学系やビーム径変換光学系の詳細な構成は任意であり、集光素子としても種々の構成の単一素子（接合、複合タイプを含む）を用いることができる。また、近接場光を発生させる微小構造を示した図９及び図１０はあくまで例示であり、その構造、パターンの詳細は任意である。
【００５９】
また、図１及び図３において、光路中にハーフミラーを設け、記録媒体からの戻り光を該ハーフミラーから光検出素子に入射させれば、情報の再生を行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１実施形態である光記録／再生用光学装置を示す概略構成図である。
【図２】前記第１実施形態におけるビーム径変換光学系を示す説明図である。
【図３】本発明の第２実施形態である光記録／再生用光学装置を示す概略構成図である。
【図４】前記第２実施形態におけるビーム径変換光学系を示す説明図である。
【図５】コリメータ光学系の第１例を示す説明図である。
【図６】コリメータ光学系の第２例を示す説明図である。
【図７】集光素子の第１例〜第４例を示す説明図である。
【図８】集光素子の第５例及び第６例を示す説明図である。
【図９】微小構造の第１例を示す説明図である。
【図１０】微小構造の第２例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６１】
１Ａ，１Ｂ…光記録用光学素子
２…レーザダイオード
３…コリメータ光学系
４…ビーム径変換光学系
６…集光素子
４１…第１レンズ
４２…第２レンズ
４５…圧電アクチュエータ
４６…ムービングコイル
６１…集光スポット
７０…金属薄膜
７１…開口
７５…金属薄膜
【図１】
2006099902.tif 000006
【図２】
2006099902.tif 000007
【図３】
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【図４】
2006099902.tif 000009
【図５】
2006099902.tif 000010
【図６】
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【図７】
2006099902.tif 000012
【図８】
2006099902.tif 000013
【図９】
2006099902.tif 000014
【図１０】
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