(57)【要約】【課題】  駆動コイルに通電して可動側部材を駆動した際の電流感度を容易に最適化することのできる光学装置の製造方法、および光学装置を提供すること。【解決手段】  所定厚のスペーサ１９を複数枚準備しておき、組立工程において、コイル７、８を一方側部材に配置するとともに、マグネット１７、１８を他方側部材に配置し、この状態で、感度検査工程では、コイル７、８に通電して電流感度を検査する。感度補正工程では、電流感度の計測結果に基づいて、マグネット１７、１８のコイル７、８と対向する表面側、およびその反対側の裏面側とヨーク１７０、１８０との間のうちの少なくとも一方にスペーサ１９を所定の枚数、積層する。【選択図】    図２
2006209832.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置の製造方法において、
所定厚のスペーサを複数枚準備しておき、
前記駆動コイルを前記一方側部材に配置するとともに、前記駆動マグネットを前記他方側部材に配置する組立工程と、
前記駆動コイルに通電して前記可動側部材を駆動した際の電流感度を検査する感度検査工程と、
前記電流感度の計測結果に基づいて、前記駆動マグネットの前記駆動コイルと対向する表面側、およびその反対側の裏面側と前記固定側部材との間のうちの少なくとも一方に前記スペーサを所定の枚数、積層する感度補正工程と
を有することを特徴とする光学装置の製造方法。
【請求項２】
光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置の製造方法において、
前記駆動マグネットは、前記駆動コイルを挟む両側位置に第１の駆動マグネットおよび前記第２の駆動マグネットとして配置され、
前記駆動コイルは、前記第１の駆動マグネットと前記第２の駆動マグネットとの間で前記第１の駆動マグネットに対向する第１の駆動コイル、および前記第２の駆動マグネットに対向して前記第１の駆動コイルとは異なる方向に前記可動側部材を駆動する第２の駆動コイルとして配置され、
厚さが等しいスペーサを複数枚準備しておき、
前記第１の駆動コイルおよび前記第２の駆動コイルを前記一方側部材に配置するとともに、前記第１の駆動マグネットおよび前記第２の駆動マグネットを前記他方側部材に配置する組立工程と、
前記駆動コイルに通電して前記可動側部材を駆動した際の電流感度を検査する感度検査工程と、
前記電流感度の計測結果に基づいて、前記第１の駆動マグネットの前記第１の駆動コイルと対向する表面側、その反対側の裏面側と前記固定側部材との間、前記第２の駆動マグネットの前記第２の駆動コイルと対向する表面側、およびその反対側の裏面側と前記固定側部材との間のうちの少なくとも１箇所に前記スペーサを所定の枚数、積層する感度補正工程と
を有することを特徴とする光学装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２において、前記他方側部材は、前記駆動コイルと対向するヨークを備え、
前記組立工程では、前記ヨークの前記駆動コイルと対向する面側に前記駆動マグネットを取り付けることを特徴とする光学装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記感度補正工程では、前記駆動マグネットの裏面側と前記固定側部材との間に前記スペーサとして磁性材料あるいは非磁性材料からなるスペーサを積層して前記電流感度を上昇させることを特徴とする光学装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記感度補正工程では、前記駆動マグネットの表面側に前記スペーサとして磁性材料からなるスペーサを積層して前記電流感度を低下させることを特徴とする光学装置の製造方法。
【請求項６】
光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置において、
前記駆動マグネットの前記駆動コイルと対向する表面側とは反対側の裏面側には、前記固定側部材との間に複数枚のスペーサが積層されていることを特徴とする光学装置。
【請求項７】
光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置において、
前記駆動マグネットの前記駆動コイルと対向する表面側にスペーサが少なくとも一枚以上設けられていることを特徴とする光学装置。
【請求項８】
請求項７において、前記駆動マグネットの前記駆動コイルと対向する表面側には、同一厚の前記スペーサが複数枚、積層されていることを特徴とする光学装置。
【請求項９】
光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置において、
前記駆動マグネットは、前記駆動コイルを挟む両側位置に第１の駆動マグネットおよび前記第２の駆動マグネットとして配置され、
前記駆動コイルは、前記第１の駆動マグネットと前記第２の駆動マグネットとの間で前記第１の駆動マグネットに対向する第１の駆動コイル、および前記第２の駆動マグネットに対向して前記第１の駆動コイルとは異なる方向に前記可動側部材を駆動する第２の駆動コイルとして配置され、
前記第１の駆動マグネットの前記第１の駆動コイルと対向する表面側、その反対側の裏面側と前記固定側部材との間、前記第２の駆動マグネットの前記第２の駆動コイルと対向する表面側、およびその反対側の裏面側と前記固定側部材との間のうちの少なくとも１箇所にスペーサが配置され、かつ、
前記第１の駆動マグネットの表面側と前記第２の駆動マグネットの表面側との間、および前記第１の駆動マグネットの裏面側と前記第２の駆動マグネットの裏面側との間のうちの少なくとも一方では前記スペーサの枚数が相違していることを特徴とする光学装置。
【請求項１０】
請求項６または９において、前記駆動マグネットの裏面側には、前記スペーサとして磁性材料あるいは非磁性材料からなるスペーサが配置されることを特徴とする光学装置。
【請求項１１】
請求項６ないし９のいずれかおいて、前記駆動マグネットの表面側には、前記スペーサとして磁性材料からなるスペーサが配置されることを特徴とする光学装置。
【請求項１２】
請求項６ないし１１のいずれかにおいて、前記他方側部材は、前記駆動コイルと対向するヨークを備え、前記ヨークの前記駆動コイルと対向する面側に前記駆動マグネットが取り付けられていることを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＤやＤＶＤなどの光記録媒体の再生等に用いられる光ヘッド装置や、光ファイバの交換機に用いられる光導波路切り換え装置、あるいは光入力を適宜減衰させるための可変光減衰器といった光スイッチ装置などの光学装置の製造方法、および光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤやＤＶＤなどの光記録媒体の再生等に用いられる光ヘッド装置や、光ファイバの交換機に用いられる光導波路切り換え装置、あるいは光入力を適宜減衰させるための可変光減衰器といった光スイッチ装置などの光学装置では、光学素子を所定位置に駆動する必要があるため、光学装置を備えた可動側部材を移動可能に固定側部材に搭載するとともに、可動側部材および固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイルと、この駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットとによって、可動側部材を駆動する磁気駆動装置が構成されている。
【０００３】
ここで、駆動コイルと駆動マグネットの対向距離は、駆動コイルに通電して可動側部材を駆動した際の電流感度に大きな影響を及ぼす。しかしながら、従来は、各部材の加工精度や組み付け精度のばらつきが原因で、駆動コイルと駆動マグネットとの隙間に０．３ｍｍ〜０．４ｍｍ程度の余裕を持たせる必要があり、駆動コイルと駆動マグネットの対向距離を狭めることが不可能である。
【０００４】
そこで、光ヘッド装置を製造する際、厚さの異なる複数のスペーサを準備しておき、複数のスペーサのうち、最適な厚さのスペーサを選択して駆動マグネットの裏面側と固定側部材のヨークとの間に配置することにより、駆動コイルと駆動マグネットの対向距離を狭めることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−１８４６９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の技術のように、厚さの異なる複数のスペーサを準備しておき、複数のスペーサのうち、最適な厚さのスペーサを選択して駆動マグネットの裏面側と固定側部材のヨークとの間に配置するのは多大な手間がかかる作業であり、生産性を低下させるという問題点がある。
【０００６】
また、特許文献１に記載の技術では、駆動コイルと駆動マグネットの対向距離を狭めることを目的としているが、現実的には、駆動コイルに通電して可動側部材を駆動した際の電流感度が高すぎるため、電流感度を低下させたい場合があるが、このような場合に特許文献１に記載の技術では対応できないという問題点がある。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、駆動コイルに通電して可動側部材を駆動した際の電流感度を容易に最適化することのできる光学装置の製造方法、および光学装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明では、光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルを対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置の製造方法において、厚さが等しいスペーサを複数枚準備しておき、前記駆動コイルを前記一方側部材に配置するとともに、前記駆動マグネットを前記他方側部材に配置する組立工程と、前記駆動コイルに通電して前記可動側部材を駆動した際の電流感度を検査する感度検査工程と、前記電流感度の計測結果に基づいて、前記駆動マグネットの前記駆動コイルと対向する表面側、およびその反対側の裏面側と前記固定側部材との間のうちの少なくとも一方に前記スペーサを所定の枚数、積層する感度補正工程とを行うことを特徴とする。
【０００９】
本発明では、厚さが等しいスペーサを複数枚準備しておき、感度検査工程で駆動コイルに通電して可動側部材を駆動した際の電流感度を検査し、その結果に基づいて、感度補正工程では、駆動マグネットの駆動コイルと対向する表面側、およびその反対側の裏面側と固定側部材との間に所定枚数のスペーサを積層する。従って、本発明によれば、厚さの異なる複数種類のスペーサを準備しておく必要が無く、かつ、最適なスペーサを選択する必要もないので、電流感度の調整に多大な手間がかからない。また、本発明では、電流感度の検査結果に応じて、駆動マグネットの駆動コイルと対向する表面側にスペーサを配置するので、電流感度を低下させることもできる。
【００１０】
本発明の別の形態では、光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置の製造方法において、前記駆動マグネットは、前記駆動コイルを挟む両側位置に第１の駆動マグネットおよび前記第２の駆動マグネットとして配置され、前記駆動コイルは、前記第１の駆動マグネットと前記第２の駆動マグネットとの間で前記第１の駆動マグネットに対向する第１の駆動コイル、および前記第２の駆動マグネットに対向して前記第１の駆動コイルとは異なる方向に前記可動側部材を駆動する第２の駆動コイルとして配置される場合がある。この場合には、厚さが等しいスペーサを複数枚準備しておき、前記第１の駆動コイルおよび前記第２の駆動コイルを前記一方側部材に配置するとともに、前記第１の駆動マグネットおよび前記第２の駆動マグネットを前記他方側部材に配置する組立工程と、前記駆動コイルに通電して前記可動側部材を駆動した際の電流感度を検査する感度検査工程と、前記電流感度の計測結果に基づいて、前記第１の駆動マグネットの前記第１の駆動コイルと対向する表面側、その反対側の裏面側と前記固定側部材との間、前記第２の駆動マグネットの前記第２の駆動コイルと対向する表面側、およびその反対側の裏面側と前記固定側部材との間のうちの少なくとも１箇所に前記スペーサを所定の枚数、積層する感度補正工程とを行うことを特徴とする。
【００１１】
本発明において、前記他方側部材は、前記駆動コイルと対向するヨークを備える場合、前記組立工程では、前記ヨークの前記駆動コイルと対向する面側に前記駆動マグネットを取り付ける。
【００１２】
本発明において、前記感度補正工程では、前記駆動マグネットの裏面側と前記固定側部材との間に前記スペーサとして磁性材料あるいは非磁性材料からなるスペーサを積層して前記電流感度を上昇させる。また、前記感度補正工程では、前記駆動マグネットの表面側に前記スペーサとして磁性材料からなるスペーサを積層して前記電流感度を低下させてもよい。
【００１３】
本発明では、光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置において、前記駆動マグネットの前記駆動コイルと対向する表面側とは反対側の裏面側には、前記固定側部材との間に複数枚のスペーサが積層されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明の別の形態では、光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置において、前記駆動マグネットの前記駆動コイルと対向する表面側にスペーサが少なくとも一枚以上設けられていることを特徴とする。
【００１５】
この場合、前記駆動マグネットの前記駆動コイルと対向する表面側には、同一厚の前記スペーサが複数枚、積層されている構成を採用してもよい。
【００１６】
本発明のさらに別の形態では、光学素子を備えた可動側部材と、該可動側部材を移動可能に支持する固定側部材と、前記可動側部材および前記固定側部材のうちの一方側部材に配置された駆動コイル、および該駆動コイルと対向するように他方側部材に配置された駆動マグネットを備え、前記可動側部材を駆動する磁気駆動手段とを有する光学装置において、前記駆動マグネットは、前記駆動コイルを挟む両側位置に第１の駆動マグネットおよび前記第２の駆動マグネットとして配置され、前記駆動コイルは、前記第１の駆動マグネットと前記第２の駆動マグネットとの間で前記第１の駆動マグネットに対向する第１の駆動コイル、および前記第２の駆動マグネットに対向して前記第１の駆動コイルとは異なる方向に前記可動側部材を駆動する第２の駆動コイルとして配置され、前記第１の駆動マグネットの前記第１の駆動コイルと対向する表面側、その反対側の裏面側と前記固定側部材との間、前記第２の駆動マグネットの前記第２の駆動コイルと対向する表面側、およびその反対側の裏面側と前記固定側部材との間のうちの少なくとも１箇所にスペーサが配置され、かつ、前記第１の駆動マグネットの表面側と前記第２の駆動マグネットの表面側との間、および前記第１の駆動マグネットの裏面側と前記第２の駆動マグネットの裏面側との間のうちの少なくとも一方では前記スペーサの枚数が相違していることを特徴とする。
【００１７】
本発明において、前記駆動マグネットの裏面側には、前記スペーサとして磁性材料あるいは非磁性材料からなるスペーサが配置すれば、スペーサを用いない場合と比較して、電流感度を上昇させることができる。
【００１８】
本発明において、前記駆動マグネットの表面側には、前記スペーサとして磁性材料からなるスペーサが配置すれば、スペーサを用いない場合と比較して、電流感度を低下させることができる。
【００１９】
本発明において、前記他方側部材は、前記駆動コイルと対向するヨークを備えている場合、前記ヨークの前記駆動コイルと対向する面側に前記駆動マグネットを取り付ければよい。
【００２０】
本発明において、スペーサは、例えば、駆動マグネットの側に接着剤により固定される。ここで、スペーサの平面サイズは、駆動マグネットの平面サイズと同一であることが好ましい。
【００２１】
本発明に係る光学装置は、例えば、ＣＤやＤＶＤなどの光記録媒体の再生等に用いられる光ヘッド装置や、光ファイバの交換機に用いられる光導波路切り換え装置、あるいは光入力を適宜減衰させるための可変光減衰器といった光スイッチ装置などとして構成される。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の光学装置およびその製造方法では、厚さが等しいスペーサを複数枚準備しておき、感度検査工程で駆動コイルに通電して可動側部材を駆動した際の電流感度を検査し、その結果に基づいて、感度補正工程では、駆動マグネットの駆動コイルと対向する表面側、およびその反対側の裏面側と固定側部材との間に所定枚数のスペーサを積層する。従って、本発明によれば、厚さの異なる複数種類のスペーサを準備しておく必要が無く、かつ、最適なスペーサを選択する必要もないので、電流感度の調整に多大な手間がかからない。また、本発明では、電流感度の検査結果に応じて、駆動マグネットの駆動コイルと対向する表面側にスペーサを配置するので、電流感度を低下させることもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した光学装置として、光ヘッド装置および光スイッチ装置を説明する。
【００２４】
［実施の形態１］
（全体構成）
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用した光ヘッド装置（光学装置）を斜め上方からみた斜視図、および斜め下方からみた斜視図である。図２（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用した光ヘッド装置のフォーカシング駆動用・トラッキング駆動用の磁気駆動回路を抜き出して示す平面図および斜視図である。
【００２５】
図１（ａ）、（ｂ）に示す光ヘッド装置１は、ＣＤやＤＶＤなどの光記録媒体の再生等に用いられるものであり、この光ヘッド装置１では、光源からの出射光を光記録媒体に収束させる対物レンズ２０（光学素子）を保持した樹脂製のレンズホルダ２（可動側部材）をワイヤ６１、７１、８１で固定側部材５で支持したワイヤサスペンション方式が採用されている。すなわち、レンズホルダ２と固定側部材５との間には、レンズホルダ２をチルト方向に駆動するためのコイル給電線を兼ねた左右一対のチルト駆動用のワイヤ６１、レンズホルダ２をフォーカシング方向に駆動するためのコイル給電線を兼ねた左右一対のフォーカシング駆動用のワイヤ７１と、レンズホルダをトラッキング方向に駆動するためのコイル給電線を兼ねた左右一対のトラッキング駆動用のワイヤ８１とが配置されている。
【００２６】
チルト駆動用のワイヤ６１、フォーカシング駆動用のワイヤ７１、およびトラッキング駆動用のワイヤ８１は、上段から下段に向けてこの順に多段に配置され、かつ、平面的には重なった位置に配置されている。また、チルト駆動用のワイヤ６１、フォーカシング駆動用のワイヤ７１、およびトラッキング駆動用のワイヤ８１はいずれも、レンズホルダ２の左右側面に先端側が接続され、基端側は固定側部材５に対して接続されている。固定側部材５は、回路基板（図示せず）が搭載される基台５１とヨーク４とから構成され、基台５１には、チルト駆動用のワイヤ６１、フォーカシング駆動用のワイヤ７１、およびトラッキング駆動用のワイヤ８１に対するゲルポット５０が配置されている。
【００２７】
本形態の光ヘッド装置１においては、レンズホルダ２の側に搭載されたコイル６、７、８と、ベースとしてのヨーク４の各部分に直接、あるいは間接的に搭載されたマグネット１６、１７、１８とによって、レンズホルダ２をフォーカシング方向、トラッキング方向、およびチルト方向に駆動するための磁気駆動回路が構成されている。すなわち、レンズホルダ２には、固定側部材５の側から先端側に向かって、チルト駆動用のコイル６、トラッキング駆動用のコイル８（第２の駆動コイル）、フォーカシング駆動用のコイル７（第１の駆動コイル）がこの順に配置され、これらのコイル６、７、８はいずれも空芯コイルである。
【００２８】
これらのコイルのうち、チルト駆動用のコイル６は、レンズホルダ２において、基台５１と対向する位置に配置されている。従って、基台５１においてレンズホルダ２と対向する位置にチルト駆動用のマグネット１６が配置されている。なお、チルト駆動用のマグネット１６は、ヨーク１６０を介して固定側部材５に保持されている。
【００２９】
また、トラッキング駆動用のコイル８は、レンズホルダ２の幅方向における中央位置に形成された第１の開口部２１に配置され、フォーカシング駆動用のコイル７は、第１の開口部２１に対して対物レンズ２０が搭載されている側で隣接する第２の開口部２２の内側に開口を上下方向に向けて配置されている。
【００３０】
図１（ａ）、（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）に示すように、レンズホルダ２の第１の開口部２１の内側では、ヨーク４（固定側部材５）の側からトラッキング駆動用のコイル８の内側に向けてヨーク１８０が突き出ており、このヨーク１８０の一方側端面に対して、左右方向に分極着磁されたトラッキング駆動用のマグネット１８（第２の駆動マグネット）が固定されている。このようにして、トラッキング駆動用のマグネット１８は、トラッキング駆動用のコイル８と対向するように配置されている。
【００３１】
また、レンズホルダ２の第２の開口部２２の内側では、ヨーク４（固定側部材５）の側からフォーカシング駆動用のコイル７の内側に向けてヨーク１７０が突き出ており、このヨーク１７０において、対物レンズ２０が位置する側とは反対側の一方側端面に対して、上下方向に分極着磁されたフォーカシング駆動用のマグネット１７（第１の駆動マグネット）が固定されている。このようにして、フォーカシング駆動用のマグネット１７は、フォーカシング駆動用のコイル７と対向するように配置されている。その結果、フォーカシング駆動用のコイル７のうち、フォーカシング駆動用のマグネット１７と直接、対向する部分が有効辺７０１として機能し、ヨーク１７０と直接、対向する部分が無効辺７０２となる。なお、ヨーク４は、レンズホルダ２の第１の開口部２１を貫通してレンズホルダ２を覆う磁性材料からなる上面部４１を備えており、ヨーク４と磁気的に接続された状態となっている。
【００３２】
このようにして、本形態では、トラッキング駆動用のマグネット１８（第２の駆動マグネット）とフォーカシング駆動用のマグネット１７（第１の駆動マグネット）との間で、トラッキング駆動用のコイル８（第２の駆動コイル）はマグネット１８に対向し、フォーカシング駆動用のコイル７（第１の駆動コイル）はマグネット１７に対向している。
【００３３】
また、本形態では、図２（ａ）、（ｂ）に例示するように、マグネット１８の裏面とヨーク１８０との間に１枚のスペーサ１９が配置され、マグネット１７の裏面とヨーク１７０との間には２枚のスペーサ１９が配置されている。ここで、マグネット１８の裏面とヨーク１８０との間に配置されたスペーサ１９と、マグネット１７の裏面とヨーク１７０との間に配置されたスペーサ１９は厚さが等しく、例えば、５０μｍ程度のＳＰＰＣ板である。また、スペーサ１９は、いずれも接着剤によりマグネット１７、１８やヨーク１７０、１８０に積層されている。また、スペーサ１９の平面サイズは、マグネット１７、１８の平面サイズと同一である。
【００３４】
（製造方法）
このような構成の光ヘッド装置１を製造するにあたって、本形態では、厚さが等しいスペーサ１９を複数枚、準備しておき、組立工程で、コイル７、８をレンズホルダ２の側に配置するとともに、マグネット１７、１８をヨーク１７０、１８０に配置する。
【００３５】
次に、感度検査工程で、例えば、コイル７、８に通電してレンズホルダ２を駆動した際の電流感度を検査する。
【００３６】
次に、感度補正工程において、電流感度の計測結果に基づいて、マグネット１７、１８の駆動コイル７、８と対向する表面側、およびその反対側の裏面側とヨーク１７０、１８０との間のうちの少なくとも一方にスペーサ１９を所定の枚数、積層する。すなわち、光ヘッド装置１の場合には、通常、センサによってレンズホルダ２の位置が検出されて、その結果がフィードバックされるものの、振動などの面から電流感度を適正な範囲に設定した場合がある。
【００３７】
図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、マグネット１８の裏面とヨーク１８０との間に１枚のスペーサ１９を配置し、マグネット１７の裏面とヨーク１７０との間には２枚のスペーサ１９を配置したが、感度補正工程において、電流感度を上昇させたい場合、マグネット１７、１８の裏面側とヨーク１７０、１８０との間に磁性材料あるいは非磁性材料からなるスペーサ１９を所定の枚数、積層する。これに対して、電流感度を低下させたい場合には、マグネット１７、１８の表面側に磁性材料からなるスペーサ１９を必要枚数、積層する。なお、磁性材料からなるヨーク４の上面部４１は、閉磁路を形成してヨーク４自身と磁気的に接続された状態となっているため、マグネット１７、１８の表面に磁性材料のスペーサ１９を挿入した場合、スペーサ１９の磁束は上面部４１を通ることになるから、結果として磁性材料のスペーサ１９を挿入しても電流感度が下がるという効果が得られる。
【００３８】
従って、本形態では、例えば、電流感度の計測結果に基づいて、変位の安定点が±２５μｍの規格内に入るように、例えば、以下に示す形態
マグネット１７  マグネット１７  マグネット１８  マグネット１８
の表面          とヨーク１７０  の表面          とヨーク１８０
との間                          との間
〔変位の平均値〕
−１５μｍ      ＋２０μｍ      −２０μｍ      ＋２５μｍ
計算値
例１    ０枚            ０枚            ０枚            １枚          +25μｍ
例２    ０枚            ０枚            ０枚            ２枚          +50μｍ
例３    ０枚            １枚            ０枚            ０枚          +20μｍ
例４    ０枚            ２枚            ０枚            ０枚          +40μｍ
例５    ０枚            １枚            ０枚            １枚          +45μｍ
例６    ０枚            ２枚            ０枚            ２枚          +90μｍ
例７    ０枚            １枚            ０枚            ２枚          +70μｍ
例８    ０枚            ２枚            ０枚            １枚          +65μｍ
例９    ０枚            ０枚            １枚            ０枚          -20μｍ
例１０  ０枚            ０枚            ２枚            ０枚          -40μｍ
例１１  １枚            ０枚            ０枚            ０枚          -15μｍ
例１２  ２枚            ０枚            ０枚            ０枚          -30μｍ
例１３  １枚            ０枚            １枚            ０枚          -35μｍ
例１４  ２枚            ０枚            ２枚            ０枚          -70μｍ
例１５  １枚            ０枚            ２枚            ０枚          -55μｍ
例１６  ２枚            ０枚            １枚            ０枚          -50μｍ
のように変位させたい値に対応する枚数のスペーサ１９を上記の例から選択して所定位置に積層すれば、電流感度が最適な光ヘッド装置１を構成することができる。
【００３９】
（本形態の主な効果）
このように本形態では、厚さが等しいスペーサ１９を複数枚準備しておき、感度検査工程でコイル７、８に通電してレンズホルダ２を駆動した際の電流感度を検査し、その結果に基づいて、感度補正工程では、マグネット１７、１８のコイル７、８と対向する表面側、およびその反対側の裏面側とヨーク１７０、１８０との間に所定枚数のスペーサ１９を積層する。従って、本発明によれば、厚さの異なる複数種類のスペーサを準備しておく必要が無く、かつ、最適なスペーサを選択する必要もないので、フォーカシング方向への駆動の際、およびトラッキング方向への駆動の際の電流感度の調整に多大な手間がかからない。また、本発明では、電流感度の検査結果に応じて、マグネット１７、１８のコイル７、８と対向する表面側にスペーサ１９を配置するので、電流感度を低下させることもできる。
【００４０】
なお、本形態では、チルト駆動用、フォーカシング駆動用、トラッキング駆動用の３本のワイヤ６１、７１、８１を備えた光ヘッド装置に本発明を適用したが、ワイヤが２本の光ヘッド装置に本発明を適用してもよい。
【００４１】
［実施の形態２］
（原理）
図３は、本発明の実施の形態２に係る光学装置（光導波路切り換え装置／光スイッチ装置）の基本原理を模式的に示す説明図である。なお、以下の説明では、互いに直交する方向をそれぞれ、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向として説明する。
【００４２】
図３において、本形態の光導波路切り換え装置５００（光スイッチ装置）は、Ｚ方向に延びた１本の入力側光ファイバ５２０、および８本の出力側光ファイバ５２１がＸ方向に沿って並列配置された８チャンネルの光導波路切り換え装置であり、入力側光ファイバ５２０から出力された光を８本の出力側光ファイバ５２１のいずれかに導くことができる。ここで、入力側光ファイバ５２０と出力側光ファイバ５２１とからなる光ファイバアレイ５０３は、光ファイバが、Ｘ方向で１２５μmのピッチで等間隔に並んでいる。
【００４３】
本形態の光導波路切り換え装置５００では、Ｚ方向から入射してきた光を反射してＸ方向にずれた所定位置からＺ方向に向けて出射するための光反射部材として、Ｘ方向に駆動されるプリズムミラー５１０（光学素子）が用いられている。プリズムミラー５１０は、光がＺ方向から入出射する斜面６０１、この斜面６０１から入射してきた光をＸ方向に反射する第１の反射面６０２、およびこの第１の反射面６０２に対して直交し、第１の反射面６０２から反射してきた光を斜面６０１に向けて反射する第２の反射面６０３を備えた直角プリズムであり、斜面６０１（開口側）を光ファイバアレイ５０３に向けて正対している。また、入力側光ファイバ５２０から出射された光は、プリズムミラー５１０に入射する前に、コリメートレンズ５２２により、コリメートな光となっている。なお、図示を省略するが、８本の出力側光ファイバ５２１と、プリズムミラー５１０の斜面６０１との間にもコリメートレンズが配置されている。
【００４４】
このように構成した光導波路切り換え装置５００において、例えば、プリズムミラー５１０が実線で示す位置に固定されているとする。この状態では、入力側光ファイバ５２０から出射された光は、プリズムミラー５１０に入射し、プリズムミラー５１０内の第１の斜面６０２と第２の斜面６０３をそれぞれ９０度で反射する光路Ｌ１の経路を辿り、出力側光ファイバ５２１の最右端にある出力側光ファイバ５２１ａに導かれる。
【００４５】
次に、出力側の光導波路を出力側光ファイバ５２１ａから、右側から６番目に位置する出力側光ファイバ５２１ｆに切り換える場合には、プリズムミラー５１０をＸ方向に駆動して点線で示す位置に移動させる。このようにプリズムミラー５１０を移動させると、入力側光ファイバ５２０から出射された光は、プリズムミラー５１０内の第１の斜面６０２と第２の斜面６０３での反射位置が移動し、光路Ｌ２を辿って出力側光ファイバ５２１ｆに導かれることになる。
【００４６】
ここで、光ファイバアレイ５０３では、入力側光ファイバ５２０、および出力側光ファイバ５２１が１２５μｍのピッチで並んでいるので、プリズムミラー５１０については、入力側光ファイバ５２０、および出力側光ファイバ５２１のピッチに相当する１２５μｍ単位でＸ方向に移動させる。
【００４７】
（具体的な構成）
図４および図５は、本形態の光導波路切り換え装置の要部を斜め後方からみた斜視図、および斜め前方からみた斜視図である。図６は、図４に示す光導波路切り換え装置に構成した磁気駆動回路の説明図である。図３を参照して説明した原理を利用した光導波路切り換え装置５００は、例えば、図４および図５に示すように、斜面６０１をＺ方向に向けてプリズムミラー５１０が搭載された可動側部材５０２と、この可動側部材５０２をＸ方向およびＹ方向に移動可能に支持する固定側部材５１３とを有している。
【００４８】
可動側部材５０２には、プリズムミラー５１０に加えて、１つのＹ方向駆動用のコイル７（第１の駆動コイル）、および左右一対のＸ方向駆動用のコイル８（第２の駆動コイル）が搭載されている。これに対して、固定側部材５１３には、Ｙ方向駆動用のマグネット１７（第１の駆動マグネット）、およびＸ方向駆動用のマグネット１８（第２の駆動マグネット）が搭載され、マグネット１７は、コイル７の内側に位置している。また、マグネット１８は、コイル８に対向している。ここで、固定側部材５１３では、コイル７、８に対向するように、２つのヨーク１７０、１８０が起立しており、そのうち、ヨーク１７０がコイル７、８に対向する面にマグネット１７が取り付けられ、ヨーク１８０がコイル７、８に対向する面にマグネット１８が取り付けられている。なお、マグネット１７、１８の上方を覆うヨーク５０９も搭載されている。
【００４９】
固定側部材５１３の支持ベース５１２からは、可動側部材５０２をＸ方向の両側から挟んで片持ち状態で支持する左右２本ずつのサスペンションワイヤ５０４がＺ方向に水平に延びている。なお、可動側部材５０２に搭載されたコイル７、８に対する制御回路（図示せず）は、支持部材５１２の側に配置され、可動側部材５０２に搭載されたコイル７、８に対する給電はサスペンションワイヤ５０４を給電ラインとして行われる。
【００５０】
マグネット１７は、可動側部材５０２に搭載されたコイル７に対して鎖交する磁束を発生するものであり、コイル７と対になって、可動側部材５０２をＹ方向に駆動する磁気駆動回路を構成している。従って、コイル７に給電することより、可動側部材５０２にはＹ方向の推力が加わる。また、マグネット１８は可動側部材５０２に搭載されたコイル８に対して鎖交する磁束を発生するものであり、コイル８と対になって、可動側部材５０２をＸ方向に駆動する磁気駆動回路を構成している。従って、コイル８に給電することより、可動側部材５０２にはＸ方向の推力が加わる。
【００５１】
可動側部材５０２は、前方にプリズムミラー５１０が搭載されたプリズムミラー搭載部５１１と、コイル７、８が搭載されたフレーム部分５１６とからなる。ここで、プリズムミラー搭載部５１１のさらに前方には、図３を参照して説明した光ファイバアレイ５０３が配置されており、図４および図５には、光ファイバアレイ５０３の入力側光ファイバ５２０からの出射光、および光ファイバアレイ５０３の出力側光ファイバ５２１への出射の各光軸を、光軸Ｌｉｎおよび光軸Ｌｏｕｔで示してある。
【００５２】
このように構成した光導波路切り換え装置５００において、可動側部材５０２に対して、Ｚ方向側には、所定のタイミングで可動側部材５０２をＹ方向下方に押圧して固定側部材５１３に押し付け固定するクランプ機構（図示せず）が構成されている。
【００５３】
さらに、本形態では、可動側部材５０２において、プリズムミラー搭載部５１１の固定側部材５１３と対向する下面５１１ａには、Ｘ方向の全範囲にわたって、Ｖ字溝５３０が一定のピッチで連続的に形成されている。従って、可動側部材５０２の下面側には、断面Ｖ字状凹部と断面Ｖ字状凸部とが交互に形成されている。本形態では、光ファイバアレイ５０３のピッチが１２５μｍであるので、それに対応して、Ｖ字溝５３０のピッチは１２５μｍとしてある。
【００５４】
これに対して、固定側部材５１３において、可動側部材５０２のプリズムミラー搭載部５１１の下面５１１ａに対向する位置には、下面５１１ａよりもＸ方向に長い寸法を有する固定部５１５が形成され、固定部５１５の上面５１５ａには、可動側部材５０２の下面５１１ａに形成されたＶ字溝５３０（凹凸）と噛み合うＶ字溝５３１（凹凸）が連続的に形成されている。従って、固定側部材５１３には、断面Ｖ字状凹部と断面Ｖ字状凸部とが交互に形成されている。このＶ字溝５３１のピッチも１２５μｍである。
【００５５】
ここで、可動側部材５０２のＸ方向への移動経路、プリズムミラー搭載部５１１の下面５１１ａ、および固定側部材５１３に形成された固定部５１５の上面５１５ａは、互いに平行に形成されている。
【００５６】
このように構成した光導波路切り換え装置５００において、初期の固定位置では、可動側部材５０２は、クランプ機構により固定側部材５１３に押し付け固定されており、上下のＶ字溝５３０、５３１が係合した状態である。
【００５７】
この状態から、光導波路を切り換える動作を行うには、クランプ機構による拘束状態を解除する。次に、コイル７に給電して、可動側部材５０２をＹ方向上方に移動させ、可動側部材５０２を固定側部材５１３から浮かす。
【００５８】
次に、コイル８に給電して、可動側部材５０２をＸ方向に移動させる。そして、可動側部材５０２がＸ方向の所望の位置まで移動してきたとき、コイル７への給電を停止または下側に駆動して、サスペンションワイヤ５０４の弾性復帰力によって、可動側部材５０２をＹ方向下方に沈み込ませる。
【００５９】
次に、クランプ機構により、可動側部材５０２をＹ方向下方に押圧して固定側部材５１３に押し付け固定する。その際、可動側部材５０２に形成されたＶ字溝５３０と、固定側部材５１３に形成されたＶ字溝５３１が噛み合い、可動側部材５０２は、Ｘ方向に位置決めされる。
【００６０】
しかる後に、駆動コイル８への給電を停止する。これにより、光導波路の切り換え動作が完了する。従って、入射側光ファイバ５２０からプリズムミラー５１０に入射した光は、プリズムミラー５１０を介して、所定の出力側光ファイバ５２１に出射されることになる。
【００６１】
このような構成の光導波路切り換え装置５００においても、図６に示すように、マグネット１８（第２の駆動マグネット）とマグネット１７（第１の駆動マグネット）との間で、コイル８（第２の駆動コイル）はマグネット１８に対向し、コイル７（第１の駆動コイル）はマグネット１７に対向している。
【００６２】
また、本形態では、図６に例示するように、マグネット１８の裏面とヨーク１８０との間に１枚のスペーサ１９が配置され、マグネット１７の裏面とヨーク１７０との間には２枚のスペーサ１９が配置されている。マグネット１８の裏面とヨーク１８０との間に配置されたスペーサ１９と、マグネット１７の裏面とヨーク１７０との間に配置されたスペーサ１９は厚さが等しく、例えば、５０μｍ程度のＳＰＰＣ板である。また、スペーサ１９は、いずれも接着剤によりマグネット１７、１８やヨーク１７０、１８０に積層されている。また、スペーサ１９の平面サイズは、マグネット１７、１８の平面サイズと同一である。
【００６３】
（製造方法）
図７は、図６に示す磁気駆動回路にスペーサを用いたときの電流感度を示すグラフである。なお、図７に示す電流感度のグラフでは、横軸が電流、縦軸が可動側部材のＸ方向における移動距離である。
【００６４】
本形態の光導波路切り換え装置５００を製造するにあたって、本形態では、厚さが等しいスペーサ１９を複数枚、準備しておき、組立工程で、コイル７、８を可動側部材５０２の側に配置するとともに、マグネット１７、１８をヨーク１７０、１８０に配置する。
【００６５】
次に、感度検査工程で、例えば、コイル７、８に通電して可動側部材５０２をＸ方向に駆動した際の電流感度を検査する。
【００６６】
次に、感度補正工程において、電流感度の計測結果に基づいて、マグネット１７、１８の駆動コイル７、８と対向する表面側、およびその反対側の裏面側とヨーク１７０、１８０との間のうちの少なくとも一方にスペーサ１９を所定の枚数、積層する。すなわち、光導波路切り換え装置５００の場合には、Ｘ方向への駆動の際、位置検出やフィードバック制御が行われず、かつ、移動距離が長いため、電流感度はそのまま、光導波路切り換え装置５００の性能を決定するからである。
【００６７】
図６に示す例では、マグネット１８の裏面とヨーク１８０との間に１枚のスペーサ１９を配置し、マグネット１７の裏面とヨーク１７０との間には２枚のスペーサ１９を配置したが、感度補正工程において、電流感度を上昇させたい場合、マグネット１７、１８の裏面側とヨーク１７０、１８０との間に磁性材料あるいは非磁性材料からなるスペーサ１９を所定の枚数、積層する。これに対して、電流感度を低下させたい場合には、マグネット１７、１８の表面側に磁性材料からなるスペーサ１９を必要枚数、積層する。
【００６８】
例えば、スペーサ１９を一切用いない場合の電流感度は、図７に実線Ｌ１１で示されるが、マグネット１７とヨーク１７０との間にスペーサ１９を１枚、積層すると、図７に二点鎖線Ｌ１２で示すように、電流感度が上昇する。これに対して、マグネット１８の表面側にスペーサ１９を１枚積層すると、図７に点線Ｌ１３で示すように、電流感度が低下し、マグネット１７の表面側にスペーサ１９を１枚積層すると、図７に一点鎖線Ｌ１４で示すように、電流感度が低下する。なお、マグネット１７，１８の表面に磁性材料のスペーサ１９を挿入した場合、スペーサ１９の磁束は、上方のヨーク５０９を通ることになるから、結果として磁性材料のスペーサ１９を挿入しても電流感度が下がるという効果が得られる。
【００６９】
従って、本形態では、例えば、電流感度の計測結果に基づいて、変位の安定点が±２５μｍの規格内に入るように、例えば、以下に示す形態
マグネット１７  マグネット１７  マグネット１８  マグネット１８
の表面          とヨーク１７０  の表面          とヨーク１８０
との間                          との間
〔変位の平均値〕
−１５μｍ      ＋２０μｍ      −２０μｍ      ＋２５μｍ
計算値
例１    ０枚            ０枚            ０枚            １枚          +25μｍ
例２    ０枚            ０枚            ０枚            ２枚          +50μｍ
例３    ０枚            １枚            ０枚            ０枚          +20μｍ
例４    ０枚            ２枚            ０枚            ０枚          +40μｍ
例５    ０枚            １枚            ０枚            １枚          +45μｍ
例６    ０枚            ２枚            ０枚            ２枚          +90μｍ
例７    ０枚            １枚            ０枚            ２枚          +70μｍ
例８    ０枚            ２枚            ０枚            １枚          +65μｍ
例９    ０枚            ０枚            １枚            ０枚          -20μｍ
例１０  ０枚            ０枚            ２枚            ０枚          -40μｍ
例１１  １枚            ０枚            ０枚            ０枚          -15μｍ
例１２  ２枚            ０枚            ０枚            ０枚          -30μｍ
例１３  １枚            ０枚            １枚            ０枚          -35μｍ
例１４  ２枚            ０枚            ２枚            ０枚          -70μｍ
例１５  １枚            ０枚            ２枚            ０枚          -55μｍ
例１６  ２枚            ０枚            １枚            ０枚          -50μｍ
のように変位させたい値に対応する枚数のスペーサ１９を上記の例から選択して所定位置に積層すれば、電流感度が最適な光導波路切り換え装置５００を構成することができる。
【００７０】
（本形態の効果）
このように本形態では、厚さが等しいスペーサ１９を複数枚準備しておき、感度検査工程でコイル７、８に通電してレンズホルダ２を駆動した際の電流感度を検査し、その結果に基づいて、感度補正工程では、マグネット１７、１８のコイル７、８と対向する表面側、およびその反対側の裏面側とヨーク１７０、１８０との間に所定枚数のスペーサ１９を積層する。従って、本発明によれば、厚さの異なる複数種類のスペーサを準備しておく必要が無く、かつ、最適なスペーサを選択する必要もないので、電流感度の調整に多大な手間がかからない。また、本形態では、電流感度の検査結果に応じて、マグネット１７、１８のコイル７、８と対向する表面側にスペーサ１９を配置するので、電流感度を低下させることもできる。それ故、光導波路切り換え装置５００の場合には、Ｘ方向への駆動の際、位置検出やフィードバック制御が行われず、かつ、移動距離が長いため、電流感度はそのまま、光導波路切り換え装置５００の性能を決定するが、本形態によれば、電流感度を適正な範囲に設定できるので、光導波路切り換え装置５００の性能を大幅に向上することができる。
【００７１】
なお、本形態は、光ファイバの交換機に用いられる光導波路切り換え装置に本発明を適用した例であったが、光入力を適宜減衰させるための可変光減衰器に本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る光学装置（光ヘッド装置）を斜め上方からみた斜視図、および斜め下方からみた斜視図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す光ヘッド装置のフォーカシング駆動用・トラッキング駆動用の磁気駆動回路を抜き出して示す平面図および斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る光学装置（光導波路切り換え装置）の原理を模式的に表した図である。
【図４】図３に示す原理を採用した光導波路切り換え装置を斜め後方からみた斜視図である。
【図５】図４に示す光導波路切り換え装置の要部を斜め前方からみた斜視図である。
【図６】図４に示す光導波路切り換え装置に構成した磁気駆動回路の説明図である。
【図７】図６に示す磁気駆動回路にスペーサを用いたときの電流感度を示すグラフである。
【符号の説明】
【００７３】
１  光ヘッド装置（光学装置）
２  レンズホルダ（可動側部材）
５  固定側部材
７  コイル（第１の駆動コイル）
８  コイル（第２の駆動コイル）
１７  マグネット（第１の駆動マグネット）
１８  マグネット（第２の駆動マグネット）
１９  スペーサ
２０  対物レンズ（光学素子）
１７０、１８０  ヨーク
５００  光導波路切り換え装置（光スイッチ装置／光学装置）
５０２  可動側部材
５０３  光ファイバアレイ
５１０  プリズムミラー（光学素子）
５１３  固定側部材
５２０  入力側光ファイバ
５２１  出力側光ファイバ
【図１】
2006209832.tif 000003
【図２】
2006209832.tif 000004
【図３】
2006209832.tif 000005
【図４】
2006209832.tif 000006
【図５】
2006209832.tif 000007
【図６】
2006209832.tif 000008
【図７】
2006209832.tif 000009