(57)【要約】【課題】吸着力を低下させる異常がワークに存在するか否かをコストの大幅な上昇等を招くことなく検出することのできる露光装置を提供する。【解決手段】ワークステージ１２上に露光すべきワークＷを吸着して露光を行う露光装置は、ワーク吸引孔１６の吸引圧が−３０ｋＰａを超えるとＯＮ状態になり且つ−３０ｋＰａを下回るとＯＦＦ状態になる第１のバキュームセンサ２０と、ワーク吸引孔１６の吸引圧が０ｋＰａを超えるとＯＮ状態になり且つ０ｋＰａを下回るとＯＦＦ状態になる第２のバキュームセンサ２１と、バキュームセンサ２０，２１のＯＮ／ＯＦＦ状態に基づいて吸着力を低下させる異常がワークＷに存在するか否かを検出する異常検出手段２２とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吸引孔を有する吸着面に露光すべきワーク又はフォトマスクを吸着して露光を行う露光装置において、
前記吸引孔の吸引圧が定常状態より小さい第１の基準吸引圧以上になるとＯＮ状態になり且つ第１の基準吸引圧を下回るとＯＦＦ状態になる第１のバキュームセンサと、前記第１の基準吸引圧より小さい第２の基準吸引圧を超えるとＯＮ状態になり且つ第２の基準吸引圧を下回るとＯＦＦ状態になる第２のバキュームセンサと、前記第１のバキュームセンサ及び前記第２のバキュームセンサのＯＮ／ＯＦＦ状態に基づいて吸着力を低下させる異常が前記ワーク又は前記フォトマスクに存在するか否かを検出する異常検出手段と、を備えたことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ装置の製造工程などで用いられる露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ装置等の製造工程で用いられる露光装置として、例えば露光すべきワークをフォトマスクに近接させて露光を行うもの（以下「プロキシミティ露光装置」と称す）が知られている（特許文献１参照）。このプロキシミティ露光装置は、図４に示すように、マスクホルダ１１を介してフォトマスクＭを支持するマスクステージ１２を備えており、マスクステージ１２の下方には、ワークステージ１３が設けられていると共にワークステージ１３を昇降駆動するワークステージ昇降機構１４が設けられ、さらにワークステージ１３を図中Ｘ及びＹ方向に送り駆動するワークステージ送り機構１５が設けられている。
【０００３】
ワークステージ１３の上面部には、ワークＷをワークステージ１３上に吸着してプロキシミティ露光を行うために、複数のワーク吸引孔１６（図５参照）が設けられている。これらのワーク吸引孔１６は吸引管路１７を介して真空ポンプ１８に連通しており、吸引管路１７には、ワークステージ１３上にワークＷが吸着された否かを検出するために、バキュームセンサ１９が設けられている。
【０００４】
なお、フォトマスクＭも吸引孔、吸引管路及び真空ポンプを有する吸引機構によりマスクステージ１２の下面に保持されている。
このような露光装置では、露光すべきワークやフォトマスクをワークステージあるいはマスクステージに吸着した状態でプロキシミティ露光を行うことができるため、ワークステージ昇降機構やワークステージ送り機構によりワークステージを動かしたときにワークやフォトマスクが位置ずれを起こすことを防止できるという利点を有している。
【特許文献１】特開２００２−３６５８１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えば吸着力を低下させる異常（例えば欠け等の損傷や異物付着など）がワークに存在すると、ワーク吸引孔の吸引圧が一時的には安全に吸着していると見做せる圧力値（例えばゲージ圧で−３０ｋＰａ）を越える負圧力となるが、時間の経過と共に−３０ｋＰａを下回る数値となり（すなわち負圧力が小さくなり、ゲージ圧で０ｋＰａ）に近づく）、ワークが位置ずれを起こし易くなる。これを防止するために、異常と判断する基準値として通常の安定使用状態（定常状態）に相当する十分大きな値（例えば−９０ｋＰａ）を設定すると、実際にはワークの位置ずれのおそれのない負圧力で吸着しているにも拘わらず、「異常」と判断されてしまったり、「正常」と判断されるまでに時間を要することになったりする。また、吸着力を低下させる異常がワークに存在するか否かを検出するのに光学的なセンサを用い、例えばワークステージ上に吸着されるワークの下面をＣＣＤカメラ等で撮像して異常の有無を検出する方法も考えられるが、このような方式で確実な検出を行うのは困難を伴うだけでなく、コストの大幅な上昇を招くという問題がある。
【０００６】
フォトマスクの場合も同様である。
本発明は、このような問題点に着目してなされたもので、吸着力を低下させる異常がワークやフォトマスクに存在するか否かをコストの大幅な上昇等を招くことなく検出することのできる露光装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明は、複数の吸引孔を有する吸着面に露光すべきワーク又はフォトマスクを吸着して露光を行う露光装置において、前記吸引孔の吸引圧が定常状態より小さい第１の基準吸引圧以上になるとＯＮ状態になり且つ第１の基準吸引圧を下回るとＯＦＦ状態になる第１のバキュームセンサと、前記第１の基準吸引圧より小さい第２の基準吸引圧を超えるとＯＮ状態になり且つ第２の基準吸引圧を下回るとＯＦＦ状態になる第２のバキュームセンサと、前記第１のバキュームセンサ及び前記第２のバキュームセンサのＯＮ／ＯＦＦ状態に基づいて吸着力を低下させる異常が前記ワーク又は前記フォトマスクに存在するか否かを検出する異常検出手段と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る露光装置によれば、吸着力を低下させる異常がワーク又はフォトマスクに存在するか否かを異常検出手段により検出することが可能となるので、ワークやフォトマスクをＣＣＤカメラ等で撮像して異常の有無を検出する場合と比較して、吸着力を低下させる異常がワークやフォトマスクに存在するか否かをコストの大幅な上昇等を招くことなく検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図１〜図３を参照して本発明の一実施形態について説明するが、図４及び図５に示したものと同一部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は割愛する。
図１は本発明の一実施形態に係るプロキシミティ露光装置の要部を示す図であり、同図に示されるように、本実施形態に係るプロキシミティ露光装置は、第１のバキュームセンサ２０、第２のバキュームセンサ２１及び異常検出装置２２を備えている。
【００１０】
第１のバキュームセンサ２０は吸引管路１７に設けられており、図２に示すように、ワーク吸引孔１６の吸引圧が第１の基準吸引圧として設定される−３０ｋＰａを超えると信号出力がＯＦＦ状態からＯＮ状態に切り替わり、−３０ｋＰａを下回ると信号出力がＯＮ状態からＯＦＦ状態に切り替わるようになっている。
本実施形態の条件では、ワークＷを安全に吸着できる最低限の吸引圧が−３０ｋＰａであったので、この値を第１の基準吸引圧とした。
【００１１】
第２のバキュームセンサ２１は、第１のバキュームセンサ２０と同様に、吸引管路１７に設けられている。また、このバキュームセンサ２１は、図２に示すように、ワーク吸引孔１６の吸引圧が第２の基準吸引圧として設定される０ｋＰａ（大気圧）を超える（負圧になる）と信号出力がＯＦＦ状態からＯＮ状態に切り替わり、０ｋＰａになると信号出力がＯＮ状態からＯＦＦ状態に切り替わるようになっている。
【００１２】
第２の基準吸引圧としては、前記第１の基準吸引圧との差が例えばチャタリングなどの影響による誤動作を防ぐのに十分な値であればよい。
異常検出装置２２は第１のバキュームセンサ２０及び第２のバキュームセンサ２１のＯＮ／ＯＦＦ状態に基づいて吸着力を低下させる異常がワークに存在するか否かを検出するように構成されており、この異常検出装置２２の検出結果は図示しない表示装置に表示されるようになっている。
【００１３】
異常検出装置２２に含まれる適宜のソフトウエアまたはハードウエアにより構成される判定手段は、異常か否かの判定を例えば以下のように行う。先ず、ワークＷの吸着開始後、０ｋＰａを超え、一旦、バキュームセンサ２１がＯＮになったら、以後バキュームセンサ２０がＯＮになる（すなわち−３０ｋＰａに達する）までは、バキュームセンサ２１の状態によらず、正常と判定する。但し、所定の時間内に−３０ｋＰａに達しない場合は異常と判断する。次に、一旦、バキュームセンサ２０がＯＮになったら、以後、第２の所定時間が経過するまでは、バキュームセンサ２０の状態によらず、第２のバキュームセンサ２１がＯＦＦにならない限り、正常と判定する。その後は、バキュームセンサ２０の状態に基づき判定を行う。前記第２の判定時間は、チャタリング等によりワークの異常に関係なくバキュームセンサ２０がＯＦＦとなるおそれのない吸引圧に達するまでの時間（予め正常なワークの場合で実験するなどにより求めておく）とする。
【００１４】
このような構成において、ワークステージ１２上にワークＷが無い場合には、ワーク吸引孔１６の吸引圧が０ｋＰａを超える負圧力になることがないので、図３に示すように、第１のバキュームセンサ２０及び第２のバキュームセンサ２１はその信号出力が共に「ＯＦＦ」となる。また、吸着力を低下させる異常がワークＷに存在しない場合には、ワーク吸引孔１６の吸引圧が−３０ｋＰａを超える負圧力となるので、図３に示すように、第１のバキュームセンサ２０及び第２のバキュームセンサ２１はその信号出力が共に「ＯＮ」となる。
【００１５】
一方、吸着力を低下させる異常がワークに存在する場合には、ワーク吸引孔１６の吸引圧が一時的には−３０ｋＰａを越える負圧力になり、時間の経過と共に０ｋＰａまでは下がらないものの安定な吸着状態とは言えない−３０ｋＰａを下回る負圧力になる場合があることが、実験の結果判明した。このような場合には、本実施の形態では、図３に示すように、第１のバキュームセンサ２０のみが「ＯＦＦ」になるので、第１のバキュームセンサ２０及び第２のバキュームセンサ２１のＯＮ／ＯＦＦ状態に基づいて吸着力を低下させる異常がワークに存在するか否かを異常検出装置２２によって検出することが可能となる。したがって、上述した実施形態ではワークの下面をＣＣＤカメラ等で撮像して異常の有無を検出する場合と比較して、吸着力を低下させる異常がワークに存在するか否かを容易かつ確実に、しかもコストの大幅な上昇等を招くことなく検出することができる。
【００１６】
ところで、１台のバキュームセンサを用い、第１の基準吸引圧以上でＯＮ、その後、第２の基準吸引圧まで下がってしまった場合、ＯＦＦとするようにすることも考えられる。このやり方でも、チャタリングの発生やそれに起因する誤認を避けることができる。しかし、異常のある場合で、一旦、−３０ｋＰａ以上になった後、０ｋＰａ以上−３０ｋＰａ未満に下がった場合を検出することはできない。
【００１７】
これに対し、本実施の形態によれば、上記の通り、このような異常も検出することができる。なお、本実施の形態では被吸着物がワークの場合について述べたが、被吸着物がフォトマスクの場合等にも本発明は適用可能である。また、本実施の形態では第１の基準吸引圧を−３０ｋＰａ、これより小さな第２の基準吸引圧を０ｋＰａと設定したが、被吸着物の種類や使用条件等により適宜定められる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係るプロキシミティ露光装置の要部を示す図である。
【図２】図１に示すバキュームセンサの信号出力波形を示す図である。
【図３】図１に示す異常検出装置の異常検出方法を説明するための説明図である。
【図４】プロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。
【図５】プロキシミティ露光装置のワークステージを示す図である。
【符号の説明】
【００１９】
Ｗ  ワーク
Ｍ  フォトマスク
１１  マスクホルダ
１２  マスクステージ
１３  ワークステージ
１４  ワークステージ昇降機構
１５  ワークステージ送り機構
１６  ワーク吸引孔
１７  吸引管路
１８  真空ポンプ
２０  第１のバキュームセンサ
２１  第２のバキュームセンサ
２２  異常検出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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