(57)【要約】【課題】  無鉛および高濃度鉛を使用しても、クラックが発生し難い、フリップ・チップ用バンプ・パッドを提供する。【解決手段】  半導体パッケージ・アセンブリ23は、半導体基板2上の第１の導電性パッド8と、パッケージ基板12上の第２の導電性パッド16と、第１の導電性パッド8と第２の導電性パッド16間に物理的に結合されるバンプ10から構成される。この構成において、バンプ10は、無鉛、さもなければ高濃度鉛を実質的に含有するとともに、第１の導電性パッド8との第１の接触面を有し、この第１の接触面は第１の直線寸法を有し、またバンプ10は、第２の導電性パッド16との第２の接触面を有し、第２の接触面は第２の直線寸法を有する。第１の直線寸法と第２の直線寸法の比率は、約0.7から約1.7の間にある。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上の第１の導電性パッドと、
パッケージ基板上の第２の導電性パッドと、
前記第１の導電性パッドと前記第２の導電性パッド間を物理的に結合するほぼ無鉛のバンプと、から構成される半導体パッケージ・アセンブリにおいて、
前記バンプが、前記第１の導電性パッドとの第１の接触面を有し、前記第１の接触面が第１の直線寸法を有し、
前記バンプが、前記第２の導電性パッドとの第２の接触面を有し、前記第２の接触面が第２の直線寸法を有し、
前記第１の直線寸法に対する前記第２の直線寸法の比率が、約0.7と約1.7の間にあることを特徴とする半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項２】
前記半導体基板が、約3.3未満のｋ値を有する少なくとも１つの低誘電率体層から成ることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項３】
前記第２の導電性パッドが、銅，アルミニュウム，およびこれらの組み合わせから主として成るグループから選択された材料から構成されることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項４】
前記第２の導電性パッドが、ニッケル，金，およびこれらの組み合わせから主として成るグループから選択された材料から構成される保護層であることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項５】
前記第１の直線寸法と前記第２の直線寸法が、約30μmと約200μmの間にそれぞれあることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項６】
前記半導体基板と前記パッケージの間に複数のバンプをさらに備え、前記複数のバンプが、約100μmと約300μmの間のピッチを有することを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項７】
前記バンプが、約30μmと約200μmの間の高さを有し、前記高さと前記第１の直線寸法が、約0.5と約1.0の間の比率を有し、前記高さの前記第２の直線寸法に対する比率が、約0.5と約1.0の間であることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項８】
前記第１の導電性パッドが、アンダー・バンプ・メタライゼーション（UBM）であることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項９】
前記パッケージ基板表面上に複数のボール・グリッド・アレイ（BGA）ボールをさらに備え、前記BGAボールは、主として共晶合金から構成されるグループから選択される材料と、約５％未満の鉛濃度を有する材料とから成ることを特徴とする請求項１記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項１０】
半導体基板上の第１の導電性パッドと、
パッケージ基板上の第２の導電性パッドと、
前記半導体基板と前記パッケージ基板間を物理的に結合する大幅な高濃度鉛を含有するバンプと、から構成される半導体パッケージ・アセンブリにおいて、
前記バンプが、前記第１の導電性パッドが第１の接触面を有し、前記第１の接触面は第１の直線寸法有し、
前記バンプが、前記第２の導電性パッドが第２の接触面を有し、前記第２の接触面は第２の直線寸法を有し、さらに
第１の直線寸法に対する第２の直線寸法の比率が、約0.7と約1.7の間にあることを特徴とする半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項１１】
前記半導体基板が、約3.3未満のｋ値を有する少なくとも１つの低誘電率体層から成ることを特徴とする請求項10記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項１２】
前記第２の導電性パッドが、銅，アルミニュウム，およびこれらの組み合わせから主として成るグループから選択される材料で構成されることを特徴とする請求項10記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項１３】
前記第１の直線寸法と前記第２の直線寸法が、約30μmと約200μmの間にそれぞれあることを特徴とする請求項10記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項１４】
前記バンプが、約30μmと約200μmの間の高さを有し、前記高さの前記第１の直線寸法に対する比率が、約0.5と約1.0の間にあり、前記高さの前記第２の直線寸法に対する比率が、約0.5と約1.0の間にあることを特徴とする請求項10記載の半導体パッケージ・アセンブリ。
【請求項１５】
半導体基板上にあって、第１の直線寸法を有する導体パッドと、
パッケージ基板上にあって、第２の直線寸法を有するバンプ・パッドと、
前記導体パッドと前記バンプ・パッドを物理的に接続し、約５％未満の鉛から成り、ほぼ無鉛であるか、さもなければ約80％を超える鉛から成り、ほぼ高濃度の鉛を含有するバンプと、から構成されるとともに、
前記第１の直線寸法に対する前記第２の直線寸法の比率が、約0.7と約1.7の間にあることを特徴とする半導体パッケージ・アセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、広く集積回路のパッケージ化に関するものであり、特にフリップ・チップ・パッケージ用の導電性バンプの形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フリップ・チップ超小型電子部品は、表面を下に向けた（すなわち、反転された）電子部品を、基板上に直接電気的接続をするものであり、この基板は、チップの導電性バンプ・ボンド・パッドを使用するセラミック基板，回路基板，或いは基材（キャリア）などである。フリップ・チップ技術は、配線がチップ上の各パッドに接続された状態で、上を向いたチップを使用する旧式のワイヤー・ボンディング技術に対して、急速に取って代わりつつある。
【０００３】
フリップ・チップ超小型電子部品に使用されるフリップ・チップ部品は、大部分が半導体デバイスであるが、受動型フィルタや検出器アレイなどの部品や記憶装置も、またフリップ・チップ形式で使用されつつある。フリップ・チップは、他の組立方法の場合と比較した場合に、その高速電気性能の故に、有利性がある。ボンデイング・ワイヤを排除したことにより、配線のインダクタンスおよびキャパシタンスにおける遅れを減少させるとともに、電流経路を大幅に短縮して、高速のチップ外（オフ−チップ）配線を実現することになる。
【０００４】
フリップ・チップは、また最も厳格な機械的接続法を提供する。エポキシなどの接着剤でアンダーフィルされた場合、フリップ・チップは、最も厳しい耐久力テストに耐えることができる。さらに、フリップ・チップは、自動式大量生産の場合に、最低のコストで配線が可能である。
【０００５】
フリップ・チップは、一般的に、ソルダー・バンプをシリコン・チップ上に設置することより作成される。ソルダー・バンプ・フリップ・チップ工程は、一般的に、四つの連続する段階から成っている。１）ソルダー・バンプの作成のためのチップの用意、２）チップ上へソルダー・バンプの形成、或いは設置、３）ソルダー・バンプを形成されたチップの、ボード，基板，或いは基材への取り付け、４）接着用アンダーフィルの使用による部品の完成。フリップ・チップ部品のバンプは、数種の機能を有する。バンプは、チップ（またはダイ）から、チップが搭載される基板へ至る導電経路を提供する。熱伝導経路もまた、バンプにより設けられて、チップから基板に熱を伝達する。バンプはまた、チップの基板への機械的な取り付け部の一部を提供する。最終的に、バンプはリード線長が短いので、チップと基板間の機械的歪みを軽減する。
【０００６】
通常、鉛（Pb）と錫（Sn）を含む共晶ソルダー材が、ソルダー・バンプとして使用される。共晶ソルダーを含んでいる通常使用される鉛は、約63％の錫（Sn）と37％の鉛（Pb）を有する。この組み合わせにより、適切な融点と低い電気抵抗を有するソルダー材が得られる。
【特許文献１】特開２００５−１２９９５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、鉛は有毒材料である。法規および産業上の要件では、無鉛ソルダー・バンプを要求している。電子配線工業のサプライ・チェーンの会社は、Sn−Pbソルダーの代替を積極的に求めている。しかしながら、Sn―Ag、Sn―Ag―Cu、および、これらの金属間部材などの、一般的に既知となっている無鉛ソルダーは、非常に脆弱で、クラックに悩まされる。一方、高濃度鉛バンプは、また、高度の電子泳動性能における応用面で、業界で歓迎されている。鉛を追加すると、耐食性が増加し、純粋な錫におけるリフロー温度を下げ、純粋な錫の表面張力を下げる。高濃度鉛バンプは、また、脆弱で、それぞれクラックが生じ易い。
【０００８】
バンプのクラックは、主として、ストレスにより生じる。パッケージ・アセンブリにおける材料間の熱膨張係数（CTE）の不整合が、ストレス発生の主原因の１つである。例えば、シリコン基板は、通常、約３ppm/℃より高いCTEを有し、低誘電率体は、約20ppm/℃より高いCTEを有し、一方、パッケージ基板は約17ppm/℃より高いCTEを有する。CTEが著しく相違する場合に温度変化が起きると、構造に対してストレスを生じる。この問題に対する一つの解答は、チップと基板間の隙間を埋めるため、チップの片側または両側に液状エポキシを施す、アンダーフィル処理による方法がある。エポキシ・アンダーフィルは、ストレスを分散させ、ソルダー・バンプを保護する助けをする。
【０００９】
低誘電率体が集積回路に使用される場合、バンプと低誘電率体との両者を保護するにはジレンマが存在する。脆弱なバンプの保護には、強度の大きなアンダーフィルが必要とされる。しかし、低誘電率体は、強度の大きなアンダーフィル材料により悪影響を受け、層間剥離などの問題を生じる。
【００１０】
従って、低誘電率体が使用される場合には、好ましくは強度の大きなアンダーフィルを使用せずに、無鉛バンプと高濃度鉛バンプを保護する必要がある。バンプのクラック発生の問題に対する従来の解決法は、材料を中心に行われていた。従って、構造の観点からの解決法の検討は価値あるものとなる。本発明の好ましい実施例は、構造の変更による解決方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一つの特徴によれば、半導体パッケージアセンブリは、半導体基板上の導体パッド（第１の導電性パッド）或いはアンダー・バンプ・メタラージ（UBM）と、導体パッドの下部にあって、パッケージ基板の上部にあるバンプとから成り、このバンプは、このバンプと接触するバンプ・パッド（第２の導電性パッド）を有する。導体パッド／UBMとこのバンプ間には、上部接触面が存在し、このバンプとパッケージ基板のバンプ・パッド間に下部接触面が存在する。上部接触面および下部接触面の寸法は、ほぼ同程度である。バランスの取れた構造は、バンプ，中間金属部品と隣接材料に及ぼすストレスを軽減する。この結果得られるアセンブリの信頼性は、著しく改善される。
【００１２】
本発明の好ましい実施例には、無鉛および高濃度鉛含有バンプに対するクラック発生問題を解決するパッケージによる解決法を示すものである。この解決法は、現行のパッケージング処理と両立可能である。現行のパッケージング処理で行われている以上の取り組み、或いは、それ以上のコストは発生しない。また、バンプ保護のために、強度の高いアンダーフィルの使用を必要としないので、チップにおける低誘電率材料の損傷が回避される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
好ましい本実施例の製造および利用について、下記に詳述する。しかしながら、本発明は、さまざまな状況において具現され得る多くの発明の概念を、提供するものであることを理解されたい。検討する特定の実施例は、本発明を構成し利用するための特定の方法を、単に説明しているに過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
【００１４】
本発明の好ましい実施例は、無鉛または高濃度鉛を含有するバンプを使用するパッケージ・アセンブリ構造を提示するものである。本発明の好ましい実施例は、図１から図４で説明する。本発明の種々の図および実施例の説明においては、一貫して同じ参照番号は同じ要素を示している。
【００１５】
好ましい実施例において、ソルダー・バンプは、集積回路を有しているチップ上に形成される。この他の実施例においては、ソルダー・バンプは、パッケージ基板上に形成される。図１は、導電性パッド上に形成されたソルダー・バンプ10を有する半導体基板２を示す。導電性パッドは、通常、アンダー・バンプ・メタライゼーション（UBM）８と称する。半導体基板２は、時には、チップ２と呼ぶ。半導体基板２は、通常、強度の低い低誘電率体から構成されるのが好ましい。約3.3未満のk値を有する少なくとも１つの低誘電率体層が、半導体基板２に含まれていることが好ましい。保護層４は、窒化物，酸化物，ポリイミドなどの誘電体材料から形成されるのが好ましく、これはチップ２の表面に形成される。導体パッド６は、半導体基板２における集積回路（図示なし）に電気的に接続され、銅、アルミニュウム、或いは、これらの合金などで形成されるのが好ましい。アンダー・バンプ・メタライゼーション層とも称せられ、導電性パッドであるアンダー・バンプ・メタライゼーション（UBM）８は、導体パッド６上に形成されるのが好ましい。UBM８は、導体パッド６とバンプ10間の良好な接着性を提供する。UBM８は、通常は、多数層から成る複合構造を有し、拡散阻止（バリア），ソルダー可溶性層，および酸化阻止としての機能を果たすものである。さらに、UBM８は、スパッタリング法，蒸発法，エレクトロ・プランティング法，或いはそれらに代わる方法で形成される。UBM８の多数層は、順次、蒸着により形成され、UBM８の最外部である可溶性層は、銅，ニッケル，パラディウム，或いはこれらの合金から成る導電性材料で、通常形成される。UBM８は、長さと幅がほぼ等しい正方形または長方形であるのが好ましい。UBM８における任意の２点間の最長距離は、直線寸法W1とも称し、約30μmと約200μmの間にあるのが好ましいが、約100μmであるのが、さらに好ましい。直線寸法を使用する場合、バンプ・パッドまたはUBMの形状は、正方形および長方形に限定はされず、任意の形状が可能である。直線寸法は、円の直径である。チップは、通常、多数の導体パッドと多数のバンプで構成される。バンプ間のピッチ、すなわち距離は、約100μmと300μmの間にあるのが好ましいが、約150μmと250μmであるのがさらに好ましい。
【００１６】
UBM８を蒸着した後、ソルダー・バンプ10が、UBM８上に形成される。ソルダー・バンプ10は、蒸発法，エレクトロ・プランティング法，印刷法，ソルダー・トランスファー法，ボール・プレイスメント法などの、通常使用されている方法により形成できる。好ましい一実施例においては、無鉛バンプ10は、錫，銀と、状況によっては銅から成る。典型的な実施例においては、無鉛バンプ10は、約95％から約97％までの錫、約３％から約４％までの銀と、約0.5％から1.5％までの銅から成る。高濃度鉛バンプは、約95％から約97％の鉛、約３％から約５％の錫から成るのが好ましいが、約95％の鉛と５％の錫から成るのが、さらに好ましい。
【００１７】
図２は、パッケージ基板12を示す。パッケージ基板12は、ポリマー，セラミックおよびプリント基板などの材料から形成されるのが好ましい。バンプ・パッド16は、銅，アルミニュウムとこれらの合金から成るのが好ましい。ソルダー停止層14は、パッケージ基板12の好ましくない部分にソルダーが付着するのを防止するため、パッケージ基板12上に形成される。バンプ・パッド16を露出させるソルダー停止開口部（SRO）24が、ソルダー停止層14を貫通して形成される。SRO 24は、長さと幅がほぼ同じ正方形または長方形であることが好ましい。SRO 24の最長の長さ、すなわち直線寸法W2は、約 30μmと約200μmの間にあるのが好ましく、約100μmであればさらに好ましい。導電性パッドである保護層18は、バンプ・パッド16上に任意に形成される。保護層18は、約100Åから約10000Å間の厚さであるのが好ましく、ニッケル，金，または、これらの合金などの導電性材料から形成される。導電線22は、バンプ・パッド16ともう一つのバンプ・パッド20を電気的に結合する。バンプ・パッド20の機能は、以下の段落で検討する。
【００１８】
図１で参照される半導体基板２と図２で参照されるパッケージ基板12は、一体化され、図３に示す半導体パッケージ・アセンブリ23を形成する。半導体基板２は、表面を裏返しにして組み立てられる。両者を合体する前に、半導体基板２またはパッケージ基板12の何れか一方の表面に、フラックスが塗布される。ソルダー・バンプ10は、リフローして、２個の導電性パッド８，16間を結合する。好ましい実施例においては、導電性パッド８，16は、それぞれUMB８とバンプ・パッド16である（多分、保護層18と称せられる別の導電性パッドを介して）。
【００１９】
リフロー後、バンプ10は再成形され、バンプの直線寸法Wmは、約100μmと約300μmの間にあるのが好ましくなる。最大幅Wmに対する高さHの比率は、約0.5と1.0の間にあるのが好ましい。バンプ10とUBM８間の接触面である上部の接合部分26の寸法は、通常、UBM８の寸法により規定される。バンプ10と保護層18間の接触面である下部の接合部分28の寸法は、通常、SRO 24の寸法で規定される。上部の接合部分26と下部の接合部分28の寸法が大幅に異なる場合、バンプは不平衡であると考えられる。不平衡バンプ10は、寸法の小さな端部において、ストレスが高いので（上部の接合部分26か下部の接合部分28のどちらかで）、さらにクラックが生じ易い。従って、UBM８は、バランスが取れていることが好ましく、UBM８の寸法W1がSRO 24の寸法W2に十分に近ければ、バランスが取れていることになる。W1／W2の比率は、約0.7と1.7の間にあることが好ましく、約0.8と約1.5の間にあることがさらに好ましく、約0.9と約1.3の間にあることが、さらになお好ましい。バンプのリフロー後、金属間部分が（IMC）（図示なし）接合部分26，28で形成される。
【００２０】
有機物基板を使用して形成される高濃度鉛バンプ体に対して、予備半田付け層を形成することが好ましい。図４は、別の好ましい実施例を示し、この実施例では、半田付け事前層36は、バンプ10とバンプ・パッド16間に形成される。予備半田付け層36は、63％の錫と37％の鉛などで構成される合金のような、共晶材料から形成されるのが好ましい。バンプ10の下部接合部は、従って、予備半田付け層36の寸法によって、通常は規定される。この前に検討した実施例と同様に、予備半田付け層36の直線寸法W2は、約30μmと約200μmの間にあるのが好ましく、約100μmであればさらに好ましい。バンプの平衡を取り、従って、上部接合部26と下部接合部28におけるストレスを低減するために、W1/W2の比率は、約0.7と約1.7の間にあるのが好ましく、約0.8と約1.5の間にあるのが、さらに、好ましく、約0.9と約1.3の間にあるのが、さらになお、好ましい。
【００２１】
前に戻って図３を参照すると、パッケージ基板12は、通常、層状構造を有する。パッケージ基板12を通る金属線22を経由して、バンプ10は、ボール・グリッド・アレイ（BGA）ボール30の１つに電気的に接続されている。BGAボール30は、パッケージ基板12の下部に形成されており、プリント基板40のような外部部品に、基板上の集積回路（図示なし）を電気的に結合するために使用される。好ましい実施例においては、BGAボール 30は、ほとんど無鉛であり、鉛濃度が約５％未満のソルダー材から成る。代わりの実施例では、BGAボール30は、鉛と錫から成る共晶合金から構成される。
【００２２】
低誘電率材料が、金属間誘電体として集積回路に広く使用される。低誘電率体は、通常、強度が低く、時に多孔質であるので、強度の高い材料と併用される場合においては、特に破損または層間剥離を起こし易い。低誘電率体をチップ２に使用すると、強度の高いアンダーフィル材料の使用が制限され、このことは、バンプ10がアンダーフィルから受ける保護機能を制限することになる。この保護無しには、無鉛および高濃度鉛バンプとバンプのIMCは、さらにクラックを生じ易くなる。無鉛および高濃度鉛材料の信頼性に関する試験が実施された。この結果、バンプが不平衡である場合は、熱サイクル試験中にかなりの数のサンプルが不合格であった。クラックは、通常、接合部分の寸法が小さな端部に近い部分に発生する。不適切なアンダーフィル材料が使用された場合、障害は低誘電率体の層間剥離の原因、或いは、アンダーフィルの層間剥離の原因でも発生する。十分にバランスをとったバンプのサンプルで試験をおこなった場合は、著しい改善効果が見られた。熱サイクル試験中には、不合格のサンプルは、全く出なかった。
【００２３】
本発明の好ましい実施例では、無鉛および高濃度鉛のバンプに対するクラック発生の問題を解決するパッケージングによる解決法を示した。無鉛および高濃度鉛のバンプはクラックを発生し易いという従来の教唆に反して、得られた結果は、無鉛および高濃度鉛のバンプはクラックを発生し易く無いことを実証し、本発明の好ましい実施例で特定される寸法バランス要件が満たされたのである。本解決法は、現行のパッケージング工程と十分に一致し、特別な試みの必要が無く、或いは、余分なコストは発生しない。低誘電率体の破損を避けるために、バンプを保護する目的で、強度の大きなアンダーフィル材料は必要が無い。
【００２４】
本発明とその利点を詳細に説明したが、添付の請求項で規定するように、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、種々の変形、代替と代案が可能であることを理解されたい。
さらに、本願の範囲を、明細書で説明した工程、機械、製造、材料の組合せ、手段および方法について、この特別な実施例に限定する意図はない。本発明の開示から当業者が容易に理解するように、現存する、或いは、将来開発される、同一の機能を当業者が十分に実行し、或いは、ここに、説明した実施例に相当するとものと同じ機能を実行し、同じ結果を実現する工程、機械、製造、材料の組合せ、手段および方法は、本発明により利用される。従って、添付の請求項は、工程、機械、製造、材料の組合せ、手段および方法などの範囲内を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】ソルダー・バンプを有するチップを説明する図である。
【図２】パッケージ基板を説明する図である。
【図３】チップとパッケージ基板が一体化されたパッケージ・アセンブリの図である。
【図４】チップとパッケージ基板が一体化されたパッケージ・アセンブリの図である。
【符号の説明】
【００２６】
2  半導体基板
8  UBM（第１の導電性パッド）
10  バンプ
12  パッケージ基板
16  バンプ・パッド（第２の導電性パッド）
23  半導体パッケージ・アセンブリ
30  BGAボール
【図１】
2006261641.tif 000003
【図２】
2006261641.tif 000004
【図３】
2006261641.tif 000005
【図４】
2006261641.tif 000006