(57)【要約】      （修正有）【課題】ミニエンシステム等のプリアライメントステージでの位置決め処理時間を短縮することができ、高い精度でウエハをプリアライメントすることができるウエハのカセット格納方法およびウエハのカセット格納装置を提供する。【解決手段】カセット１２に収納されたウエハ４に対してプリアライメントにおいて角度を正規の位置になるように補正しただけでカセット１２の同じ収納位置から取り出したウエハ４をカセット１２におて収納されていた元の同じ位置に戻す。そのため、ウエハ４押えバー５との関係ではウエハ４が接触する外周と押えバー５との位置関係がほとんど変化しない。ウエハ押えバー５を後にウエハ４に接触させてカセット側壁に押さえてもウエハ４の移動がほとんどないので、ウエハ４の位置ずれがほとんど生じず、収納されたウエハ４の角度が正規の位置に設定されているのでその角度は高い精度に位置決めされた状態が維持されている。【選択図】図１
2006190861.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送時にウエハがウエハ押えバーによりカセットの内壁に押圧された状態となる前記カセットにおいて押圧収納収納された前記ウエハを前記カセットから取り出して元の前記ウエハの収納位置に再収納するウエハのカセット格納方法であって、
前記カセットから取出したウエハに対してプリアライメントステージにおいてＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正と角度補正とをしてプリアライメントをした後に、前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正について前記ウエハを補正前の状態に戻して前記ウエハを前記カセットの元の収納位置に再収納するウエハのカセット格納方法。
【請求項２】
前記カセットは、ミニエンバイロメントハンドリングシステムに使用されるポッドであり、前記ウエハはＶノッチウエハであり、前記プリアライメントは、前記ウエハの中心に対する端縁の距離を前記ウエハを回転させることにより測定して前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正値と前記角度補正値とを算出することで行われる請求項１記載のウエハのカセット格納方法。
【請求項３】
搬送時にウエハがウエハ押えバーによりカセットの内壁に押圧された状態となる前記カセットにおいて押圧収納収納された前記ウエハを前記カセットから取り出して元の前記ウエハの収納位置に再収納するウエハのカセット格納装置であって、
前記カセットから取出したウエハに対してＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正と角度補正とをするためのプリアライメントステージと、
前記カセットから取り出した前記ウエハを保持して前記プリアライメントステージにロードし、前記プリアライメントステージ上の前記ウエハを前記プリアライメントステージから取り出して前記カセットの前記ウエハを取り出した位置に収納するウエハハンドリングユニットと、
前記プリアライメントステージを制御して前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正と前記角度補正とをした後に前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正について前記ウエハを補正前の状態に戻す制御をする制御装置とを備え、
前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正について補正前の状態に戻された前記ウエハが前記カセットの元の収納位置に再収納されるウエハのカセット格納装置。
【請求項４】
前記カセットは、ミニエンバイロメントハンドリングシステムに使用されるポッドであり、前記ウエハはＶノッチウエハであり、前記プリアライメントは、前記ウエハの中心に対する端縁の距離を前記ウエハを回転させることにより測定して前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正値と前記角度補正値とを算出することで行われる請求項３記載のウエハのカセット格納装置。
【請求項５】
前記プリアライメントステージと前記ウエハハンドリングユニットと前記制御装置とは、前記ミニエンバイロメントハンドリングシステムの装置に内蔵されたものであり、前記カセットのウエハの取り出し位置と前記プリアライメントステージのウエハのセット位置とが実質的に９０°回転した位置になっている請求項４記載のウエハのカセット格納装置。
ウエハのカセット格納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ウエハのカセット格納方法およびウエハのカセット格納装置に関し、詳しくは、局所的に清浄空間を作る局所クリーン化において半導体を処理し、あるいは半導体を検査する、いわゆるミニエンバイロメントハンドリングシステム（以下ミニエンシステム）において使用されるウエハ収納カセットにおけるプリアライメントステージでの位置決め処理時間を短縮することができ、高い精度でウエハをプリアライメントすることができるようなウエハのカセット格納方法およびウエハのカセット格納装置に関する。
なお、この明細書および特許請求の範囲におけるカセットは、ウエハを収納するポッドを含む上位概念として使用する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハに形成される配線パターンが微細化されて、それが０．２５μｍ以下のプロセスになり、かつ、ウエハの径が３００ｍｍ程度の大口径になると、異物の影響もそれだけ大きくなる。その分、ウエハ自体と、ウエハに形成されたチップの歩留まりも低下する。そのため、従来の半導体製造装置が設置されている部屋だけのクリーン化では済まなくなり、現在ではミニエンシステムで半導体ウエハの多くが処理されている（特許文献１）。
ミニエンシステムにでは、処理対象ウエハの装置への搬入、装置からの搬出は、通常、密閉されたポッド（カセット）に収納されて行われ、ポッドは、独立では密閉状態にあって、装置に機密装着されて蓋が開く機構ＦＯＵＰ（FRONT OPENING UNIFIED PAD）が装備されている。
【０００３】
図４は、特許文献１に記載されているミニエンシステムのウエハ検査装置１０の外観図である。上部には、装置内に風を送るファンユニット１１が装備されていて、その空気吹出し側の前面には空気を浄化するフィルタが設けられている。１２ａ，１２ｂは、１３枚あるいは２５枚のウエハを収納したポッドであり、ＦＯＵＰオープナ１３ａ，１３ｂの上に載置される。
なお、ポッド１２ａ，１２ｂは、装置正面側にある開口に機密性の蓋がある。この蓋は、ポッド１２ａ，１２ｂがＦＯＵＰオープナ１３ａ，１３ｂに装着されたときにそれぞれのオープナにより開放される。
図面においてポッド１２ａが載置された装置右側のＦＯＵＰオープナ１３ａは、ウエハロード位置（ロードポート）にあって、装置内部のプリアライメントステージに収納されたウエハがロードされる。ポッド１２ｂが載置された左側のＦＯＵＰオープナ１３ｂはウエハアンロード位置（アンロードポート）にある。
図５は、その装置１０の内部の状態を説明する概略図である。１４は、ウエハハンドリングユニットであり、検査が終了したウエハを検査ステージ１６から取出してポッド１２ｂへと移送し、次の検査ウエハをポッド１２ａから取出してプリアライメントステージ１５へと送り、プリアライメント後にウエハを検査ステージ１６へと移送する。
【０００４】
プリアライメントステージ１５は、テーブルにウエハを載置して中心の位置決め（中心出し）とＶノッチあるいはオリフラ（ＯＦ）の方向の位置決め（θ位置決め）をするステージであり、Ｘ−Ｙ移動機構を有するＸ−Ｙステージ１５ａと、回転するθステージ１５ｂとを有している。ウエハの中心位置決め処理としてはウエハをθステージ１５ｂにおいて回転させて回転中心から特定方向のウエハの端縁を測定して偏心量（Δｘ，Δｙ）と偏心方向（偏心角Δθ）とを検出するものが公知である（特許文献２）。
ところで、前記した検査ステージ１６は、局所クリーン化装置として独立したウエハ検査装置の中にある場合がある。図４，図５の符号２０は、この場合を示すものであって、点線枠部分がそのウエハ検査装置２０であり、独立に局所クリーン化されている。この場合には、ウエハ検査装置は、局所クリーン化装置として独立したウエハハンドリング装置１０となり、独立した単体のウエハハンドリング装置１０が独立したウエハ検査装置２０とドッキングして装置全体がウエハ検査装置となる。
ウエハを受け渡すそれぞれのドッキング位置には開閉される窓がそれぞれに設けられていて、これらの窓を通してウエハの受け渡しが装置相互間で行われる。それぞれの装置が独立状態では、それぞれの窓は閉じられていて、これによりそれぞれの装置は機密性を確保する。
【特許文献１】特開２００３−２５８０６１号公報
【特許文献２】特開平８−２３０３２号公報
【０００５】
図４，図５に示すポッド１２ａ，１２ｂには、ウエハ押えバーが設けられていてウエハがポッドの内壁に押圧された状態で固定された状態で搬送される。それによりウエハの位置ずれや搬送中の衝撃による周辺部の欠けなどが防止される。このウエハ押えバーとウエハとの関係について図６を参照して説明する。
なお、図６では、背面湾曲型のポッドではなく、図面を簡略化して箱形のカセット（ポッド１２）としてある。図６（ａ）は、その外観図（ただし、ポッドの前面の扉は省略）であり、図６（ｂ）は、その断面平面図である。
図６（ａ），（ｂ）に示すように、ウエハ４は、搬送時に内部に収納されたウエハ４が位置ずれしないように、両側に設けられたウエハ押えバー５によりポッド１２の内壁に押圧されてウエハ４が片側壁面１２ｃ，１２ｄに固定された状態で搬送される。
なお、ウエハ押えバー５は、ＦＯＵＰオープナ１３ａ，１３ｂのいずれかにポッド１２ａ，１２ｂがセットされ、その開口部にある機密性の蓋が開放されたときに同時に外側に大きく開き、このときウエハ４の押圧が解除され、収納ウエハ４が取り出し可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このようなミニエンシステムで扱われるウエハにあっては、配線パターンが微細化されている関係で、ＦＯＵＰ機構を持つポッドから装置内に取出したウエハについては、ハンドリングする際の位置決め精度に対して高いものが要求される。
検査ステージ自体の位置決め精度を高くしても、その分、位置決め範囲を狭くしないと、位置決め効率が落ちる。そのため、プリアライメントステージでの位置決め精度も高くせざるを得ない。そこで、ポッドに収納されているウエハの精度が高くないと、プリアライメントステージでの位置決め処理を繰り返し行うことになって、処理時間がかかることになる。
【０００７】
一方、図６（ａ），（ｂ）に示すようなポッド１２にあっては、ウエハ４をポッド１２に収納後にウエハ押えバー５によりウエハ４をポッドの壁面に押える。そのために、ウエハ４がこのとき片側に移動するので、高い精度でポッド１２にウエハを収納しても中心ずれや位置移動が発生し易い。その結果、ポッドに収納されているウエハの精度を高く保てない問題がある。
図６（ａ），（ｂ）のウエハ押えバー５を低速移動させてずれが生じないような状態でウエハ４をポッド側壁に固定するようにすることも可能であるが、問題のないほどのずれ量にするには非常に低速での移動による押しつけが必要になり、時間がかかる上にウエハ外周とのこすれによる発塵発生の問題が生じる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ミニエンシステム等のプリアライメントステージでの位置決め処理時間を短縮することができ、高い精度でウエハをプリアライメントすることができるウエハのカセット格納方法およびウエハのカセット格納装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するためのこの発明のウエハのカセット格納方法およびウエハのカセット格納装置の特徴は、搬送時にウエハがウエハ押えバーによりカセットの内壁に押圧された状態となるカセットにおいて押圧収納収納されたウエハをカセットから取り出して元のウエハの収納位置に再収納するウエハのカセット格納方法であって、
カセットから取出したウエハに対してプリアライメントステージにおいてＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正と角度補正とをしてプリアライメントをした後に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の位置補正についてウエハを補正前の状態に戻してウエハをカセットの元の収納位置に再収納するものである。
【発明の効果】
【０００９】
このように、この発明にあっては、カセット（ポッド）に収納されたウエハに対してプリアライメントにおいて角度を正規の位置になるように補正しただけでカセット（ポッド）の同じ収納位置から取り出したウエハをカセット（ポッド）におて収納されていた元の同じ位置に戻す。そのため、ウエハ押えバーとの関係ではウエハが接触する外周と押えバーとの位置関係がほとんど変化しない。ウエハ押えバーを後にウエハに接触させてカセット側壁に押さえてもウエハの移動がほとんどないので、ウエハの位置ずれがほとんど生じず、収納されたウエハの角度が正規の位置に設定されているので、その角度は、高い精度に位置決めされた状態が維持されている。
この状態でウエハを収納したカセット（ポッド）が移動してウエハが搬送されて、例えば、図５のウエハ検査装置に対してカセット（ポッド）がセットされると、ウエハ検査装置のプリアライメントステージでは、実質的に角度位置決めのずれ量がほとんどない状態のウエハを受け取るので、偏心量Δｘ，Δｙによる中心位置決めだけで済む。これにより、プリアライメントステージで何度も位置決め処理を行なわなくても高い精度でウエハをプリアライメントすることが可能になる。
その結果、ミニエンシステム等のプリアライメントステージでの位置決め処理時間を短縮することができ、高い精度でウエハをプリアライメントすることができるウエハのカセット格納方法およびウエハのカセット格納装置を容易に実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、この発明のウエハのカセット格納方法を適用したウエハのカセット格納装置の一実施例の説明図、図２は、カセット格納装置のウエハのカセット格納方法の説明図、そして、図３は、プリアライメントステージのウエハ位置決め処理の説明図である。なお、図４〜図６と同一の構成要素は同一の符号で示し、それらの説明を割愛する。
図１図において、１は、ウエハのカセット格納装置であって、図５において検査装置２０とドッキングしない、独立したウエハハンドリング装置１０に相当するである。検査ステージ１６がない単体の装置である。その内部には、ウエハをカセットに再収納するためにのみ使用されるウエハハンドリングユニット１４とプリアライメントステージ２とが設けられ、ＦＯＵＰオープナ１３が１個設けられている。
ＦＯＵＰオープナ１３にセットされているポッド１２は、ローダであるとともにアンローダになっていて、ポッド１２に収納されたカセット４は、図６（ａ），（ｂ）に示されるように、ウエハ押えバー５によりポッド１２の内壁にウエハ４が押圧されて固定された状態でウエハ４が搬送されてきたものである。
前記したように、ウエハ押えバー５によるウエハ４への押圧は、ＦＯＵＰオープナ１３にポッド１２がセットされ、その開口部にある機密性の蓋が開放されたときに同時に解除される。このとき、図示するように、ウエハ押えバー５は、ウエハ４の取り出し、収納に影響しない位置まで外側に開いて待避する。
【００１１】
図１に示すように、ウエハハンドリングユニット１４がポッド１２からウエハ４を取り出す方向およびポッド１２へウエハ４を装填する方向と、ウエハハンドリングユニット１４がプリアライメントステージ２へウエハ４をセットする方向とが９０°ずれているので、ウエハハンドリングユニット１４は、ハンドリングアーム１４ｃを９０°回転させてウエハ４をハンドリングする。そこで、ハンドリングアーム１４ｃの進退移動方向は、ポッド１２とプリアライメントステージ２とではＸ軸方向とＹ軸方向とが入れ換わる。なお、この場合のハンドリングアーム１４ｃの９０°の回転は、ウエハの搬送途中で行われてもよい。
そこで、偏心量Δｘ，Δｙについてのウエハ４のＸ軸とＹ軸方向の位置補正（元の状態への偏心量の設定）は、９０°回転してＸ軸，Ｙ軸とが入れ換わって行われる。
【００１２】
ウエハハンドリングユニット１４は、Ｘ軸に沿って配置されたガイドレール１４ａと、このガイドレール１４ａ上を移動する移動台１４ｂ、この移動台１４ｂに回転可能に取付けられ、ウエハチャック部１４ｄを進退するハンドリングアーム１４ｃ、そして、このハンドリングアーム１４ｃの先端側に設けられたウエハチャック部１４ｄとからなる。
ウエハハンドリングユニット１４は、ポッド１２から取り出したウエハ４を保持してハンドリングアーム１４ｃを反時計方向に９０°回転させ、移動台１４ｂをガイドレール１４ａに沿ってプリアライメントステージ２の方向に移動させてあらかじめ決められた所定の位置で移動台１４ｂを停止させ、プリアライメントステージ２上にウエハ４をセットする。これにより、ウエハ４を図２のＡの状態から図２のＢの状態に設定する。
【００１３】
同様にプリアライメントステージ２からピックアップしたウエハ４を保持して移動台１４ｂをガイドレール１４ａに沿ってポッド１２の方向に移動させてポッド１２に対応するあらかじめ決められた所定の位置で移動台１４ｂを停止させ、ハンドリングアーム１４ｃを時計方向に９０°回転させてウエハ４をポッド１２の元の位置に収納する。これにより、ウエハ４は、図２のＤの状態から図２のＥの状態になる。
なお、図２の各状態Ａ〜Ｅにおいて、Ｐ1は、ウエハハンドリングユニット１４におけるポッド１２からプリアライメントステージ２までのウエハ４のハンドリング際のピックアップの中心点であり、Ｐ2は、プリアライメントステージ２からポッド１２までのウエハ４のハンドリング際のピックアップの中心点である。Ｏは、ウエハ４の中心、Ｖは、Ｖノッチの位置である。
【００１４】
図１において、コントローラ３は、ウエハハンドリングユニット１４を制御してウエハ４のハンドリング処理をし、プリアライメントステージ２を制御してプリアライメントステージ２にセットされたウエハ４のプリアライメント処理をする。
プリアライメント処理は、図１、図３に示すように、プリアライメントステージ２に設けられたＸ−Ｙステージ２ａとθステージ２ｂ（回転テーブル）とをθ・ＸＹ駆動回路６により駆動し、エッジの飛び出し量検出センサ７からウエハ４の端縁を飛び出し量を得てウエハの回転中心から特定方向のウエハの端縁を測定する。すなわち、偏心量Δｘ，Δｙ，Δθは、プリアライメントステージ２においてウエハ４を１回転して測定されるウエハ４のエッジの距離変化特性から算出される。
これによりプリアライメントステージ２上のウエハ４の偏心量Δｘ，Δｙ，Δθをそれぞれ検出し、ウエハ４の偏心量Δｘ，Δｙについての位置補正をするとともに、θテーブル２ｂに対してウエハ４のＶノッチの位置が、決められた正規の角度位置になるようにΔθ分の角度補正処理を行うものである。これによりウエハ４は、プリアライメントステージ２上でプリアライメントされる。
【００１５】
その結果、ウエハ４は、図２のＢの状態から図２のＣの状態に設定される。
さらに、コントローラ３は、図２のＣの状態に設定したウエハ４に対してΔθをそのままにした状態（正規の角度にした状態）で偏心量Δｘ，Δｙだけ加えて偏心量を元のポッド１２に収納された状態に戻す。その上で、ウエハハンドリングユニット１４を駆動してポッド１２の元のウエハ収納位置に戻す。これにより、ウエハ４は、図２のＡの状態で収納されていたものがＥの状態でポッド１２の元の位置に収納されることになる。
このＥの状態は、プリアライメントステージ２上で実質的に角度偏心Δθ＝０となっていて、Ｖノッチ１ａの位置が正規の角度位置になっているものである。
ところで、前記の偏心量Δｘ，Δｙの戻し補正は、ウエハハンドリングユニット１４の移動制御で行ってもよい。この制御は、プリアライメントステージ２からθ補正されたウエハ４をΔｘ補正された位置でピックアップして、Δｙ補正された位置でポッド１２へウエハ４を収納することで行われる。
【００１６】
カセット格納装置１は、ウエハ検査装置１０等で使用されるウエハハンドリングユニット１４とは独立の装置であって、検査工程等の手前の処理工程に置かれ、この角度偏心Δθ＝０となっているウエハ４を収納したポッド１２が後に図５に示すウエハ検査装置１０等にポッド１２ａ，１２ｂとしてセットされる。
。
【００１７】
以上のような制御を行うコントローラ３には、図１に示すように、ＭＰＵ３１とメモリ３２、インタフェース３３等が設けられていて、これらがバス３４により相互に接続されている。そして、メモリ３２には、ウエハロード・アンロード処理プログラム３２ｂ、プリアライメント処理プログラム３２ｂ、偏心量戻し処理プログラム３２ｃ等が記憶され、作業領域３２ｄ等が設けられている。
ウエハロード・アンロード処理プログラム３２ｂがＭＰＵ３１により実行されると、ＭＰＵ３１は、ポッド１２からウエハ４をハンドリングアーム１４ｃによりピックアップしてプリアライメントステージ２のθテーブル２ｂに載置してウエハをロードし、プリアライメント処理プログラム３２ｂをコールする。このときウエハ４は、前記したように図２のＡの状態から図２のＢの状態になる。
図２のＡの状態では、ピックアップの中心点Ｐ1は、ウエハ４の中心Ｏより斜め右上にあるが、図２のＢの状態ではウエハ４が９０°反時計方向に回転している。その関係で、ピックアップの中心点Ｐ1は、ウエハ４の中心Ｏより斜め左上に位置し、Ｖノッチの位置Ｖが９０°反時計方向に回転した位置にくる。
【００１８】
次に、プリアライメント処理プログラム３２ｂがＭＰＵ３１により実行されると、ＭＰＵ３１は、θテーブル２ｂ上のウエハ４の角度と位置についての偏心量Δｘ，Δｙと偏心角Δθとを算出して、ウエハ４を偏心量Δｘ，Δｙ補正をして中心をプリアライメントステージ２の中心に一致させ、その後に、偏心角θ分の補正値をθテーブル２ｂに送出して、ウエハ４の角度θ補正をしてウエハ４を正規の角度に位置決めし、プリアライメント処理を終了する。
これにより、ウエハ４は、図２のＢの状態から図２のＣの状態になる。図２のＣの状態では、ピックアップの中心点Ｐ1は、ウエハ４の中心Ｏより斜め左上に位置し、Ｖノッチの位置Ｖがプリアライメントステージ２上において正規の位置に設定され、ウエハ４の中心Ｏがθテーブル２ｂの中心に一致している。
この状態でＭＰＵ３１は、次に偏心量戻し処理プログラム３２ｃをコールする。
偏心量戻し処理プログラム３２ｃがＭＰＵ２１により実行されると、ＭＰＵ３１は、プリアライメント処理されたウエハ４に対して偏心量Δｘ，Δｙ補正に対して偏心量Δｘ，Δｙ分逆補正をして補正を取消して元の偏心状態にウエハ４の位置を戻す。
【００１９】
なお、この場合に、偏心量Δｘ，Δｙの戻し補正をウエハハンドリングユニット１４の移動制御で行う場合には、ＸＹ座標軸が入れ替わる。
これにより、ウエハ４は、図２のＣの状態から図２のＥの状態になる。図２のＥの状態では、ウエハ４の中心Ｏが図２のＢの状態に対応していてＶノッチの位置Ｖだけがプリアライメントステージ２上において正規の位置になるように反時計方向に所定量回転している。
ここで、偏心量戻し処理プログラム３２ｃからウエハロード・アンロード処理プログラム３２ｂにプログラム処理がリターンする。
次に、ＭＰＵ３１は、ウエハロード・アンロード処理プログラム３２ｂを実行に戻り、その実行を継続して、ＭＰＵ３１は、ウエハハンドリングユニット１４を制御し、プリアライメントステージ２のθテーブル２ｂからウエハ４をハンドリングアーム１４ｃによりピックアップしてポッド１２に収納してウエハを取り出した同じ位置にアンロードする。
このとき、ウエハ４は、図２のＥの状態においてＰ2点でピックアップされ、Ｐ2点でピックアップされたウエハ４は、ポッド１２において図２のＡの状態のＰ1点の位置にＰ2点が対応して収納される。図２のＤの状態においてウエハピックアップされた時のウエハのＰ2点は、図２のＢの状態のＰ1点の位置に対応している。収納されたときの図２のＥの状態のウエハ４の中心Ｏの位置は、図２のＡの状態の中心Ｏの位置に対応している。その結果として、Ｖノッチの位置Ｖだけがプリアライメントステージ２で上正規の位置になるように反時計方向に所定量回転してウエハ４がポッド１２に収納される。
【００２０】
このような状態で、例えば、２５枚のウエハについてポッド１２に再収納処理を行った後に収納されたウエハ４た対して、ウエハ押えバー５によりポッド１２の内壁に押圧されて図６に示すようにウエハを固定してもポッド１２の同じ収納位置から取り出したウエハ４を元の同じ位置に戻すので、ウエハ押えバー５との関係では、ウエハ４の外周が接触するウエハ押えバー５との位置関係にはほとんど変化がない。
ウエハ押えバー５は、ＦＯＵＰオープナ１３からポッド１２から取外されたときに動作してウエハ４を押圧する。このとき、ウエハ押えバー５を２５枚のウエハの再収納処理後に接触させてもウエハ４にはずれがほとんど生じず、角度θについては高い位置決め精度が確保されている。ポッド１２により各ウエハ４が他の場所へと搬送されてもポッド１２に収納された各ウエハ４の角度位置は実質的にずれることはない。
この状態でウエハ４を収納したポッド１２により複数枚のウエハ４が搬送されて、図５のウエハ検査装置１０等に対してポッド１２がセットされると、これのプリアライメントステージ２では、実質的に角度位置決めのずれ量がほとんどないので、偏心量Δｘ，Δｙによる中心位置決めだけで済み、高い精度を確保するために何度も位置決め処理を行なう必要がなく、しかも、角度位置決めのずれ量がほとんどない状態でのプリアライメントとなるので、高い精度でのプリアライメントすることが可能になる。
【００２１】
ところで、実施例では、ウエハのカセット格納装置をウエハハンドリングユニット１４に相当する単体装置とし、検査ステージ１６等とはドッキングしない単独の装置であると説明しているが、検査ステージ１６での検査時間に対して再格納する処理は、２５枚程度であっても２００秒程度のものである。そこで、図５のウエハ検査装置１０におけるウエハハンドリングユニット１４において、角度θを正規にする補正処理を行ってウエハを再格納から再びプリアライメント処理を実行して、その後に検査ステージ１６へウエハを持ち込みウエハの検査をすることも可能である。
この場合には、ウエハ検査装置１０において、検査の前処理としてポッド（カセット）への角度補正によるウエハ再格納処理をする場合と、検査中の空き時間を利用してポッド（カセット）にある取り出し前の残りのウエハに対してウエハ再格納処理をする場合との２者のうちのいずれか１つが選択可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
以上説明してきたが、実施例では、ミニエンバイロメントシステムにおいて、そのハンドリングシステムを中心に説明しているが、この発明は、ウエハを搬送する通常のカセット一般に適用できることはもちろんである。
さらに、Ｖノッチを有するウエハの例について実施例では説明しているが、Ｖノッチに換えてオリフラ等の方向性標識を有するウエハであってもこの発明が適用できることはもちろんである。
また、実施例では、ハンドリングアームがＸ軸方向のガイドレールに沿って移動するようになっているが、これはＹ軸方向に設けたガイドレールに沿って移動するようになっていてもよく、Ｘ軸とＹ軸との配置が入れ替わっていてもよいものである。
さらに、実施例では、ウエハを角度補正して再格納したポッド１２が使用されるものとしてウエハ検査装置の例を挙げているが、この発明において、ウエハを角度補正して再格納したカセット（ポッド）は、このような検査装置に限定されるものではなく、ウエハハンドリング装置とドッキングしたウエハの加工処理装置、その他の処理装置、ミニエンバイロメントシステムに限らず各種の半導体処理装置に適用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、この発明のウエハのカセット格納方法を適用したウエハのカセット格納装置の一実施例の説明図である。
【図２】図２は、カセット格納装置のウエハのカセット格納方法の説明図である。
【図３】図３は、プリアライメントステージのウエハ位置決め処理の説明図である。
【図４】図４は、従来のミニエンシステムのウエハ検査装置の外観図である。
【図５】図５は、図４のウエハ検査装置の内部の状態を説明する概略図である。
【図６】図６（ａ）は、その外観図（ただし、ポッドの前面の扉は省略）、図６（ｂ）は、その断面平面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１…ウエハのカセット格納装置、２…プリアライメントステージ、
２ａ…Ｘ−Ｙステージ、２ｂ…θテーブル（回転テーブル）、
３…コントローラ、４…ウエハ、
５…ウエハ押えバー、６…θ・ＸＹ駆動回路、
７…エッジの飛び出し量検出センサ、
１０…ウエハ検査装置、１１…ファンユニット、
１２…カセット、１２ｂ，１２ｂ…ポッド、
１３ａ，１３ｂ…ＦＯＵＰオープナ、
１４ａ…ガイドレール、１４ｃ…ハンドリングアーム、
１４ｄ…ウエハチャック部、
１４…ウエハハンドリングユニット、
１５…プリアライメントステージ、
１６…検査ステージ、
３１…ＭＰＵ、３２…メモリ、
３２ｂ…ウエハロード・アンロード処理プログラム、
３２ｂ…プリアライメント処理プログラム、
３２ｃ…偏心量戻し処理プログラム、
３３…インタフェース、３４…バス。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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