(57)【要約】【課題】  生産ライン全体で検査結果データを共有してより効率的な生産管理ができるとともに、欠陥検査で検出された欠陥の詳細を容易に認識できる欠陥検査システムを実現する。【解決手段】  検査対象の欠陥を検査する欠陥検査システムにおいて、検査を特定する検査情報と、検査で検出した欠陥の詳細を示す欠陥情報を含む検査結果情報を所定の統一フォーマットで生成し、生成した検査結果情報をデータベースに登録するデータ生成手段とを有する。【選択図】                    図１
2006072409.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の欠陥を検査する欠陥検査システムにおいて、
検査を特定する検査情報と、検査で検出した欠陥の詳細を示す欠陥情報を含む検査結果情報を所定の統一フォーマットで生成し、生成した検査結果情報をデータベースに登録するデータ生成手段と、
を有することを特徴とする欠陥検査システム。
【請求項２】
前記データ生成手段は、検出した欠陥についてそれぞれ欠陥情報を生成することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査システム。
【請求項３】
前記欠陥情報は、欠陥番号、検査名称、判定結果、欠陥の位置情報、欠陥の特徴量の少なくとも一つ以上からなることを特徴とする請求項１または２に記載の欠陥検査システム。
【請求項４】
前記検査情報は、検査装置名称、検査実行日、検査対象画像名、検査プログラムバージョン、検査パラメータバージョン、総合判定値、欠陥個数の少なくとも一つ以上からなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の欠陥検査システム。
【請求項５】
前記欠陥の位置情報として、前記検査対象上における欠陥の位置情報、前記検査対象の撮像画面上における欠陥の位置情報を設けたことを特徴とする請求項３に記載の欠陥検査システム。
【請求項６】
前記データベースはネットワークに接続されていて、このネットワークに接続された検査結果閲覧装置は、前記データベースにアクセスして前記検査結果情報を検索することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の欠陥検査システム。
【請求項７】
前記検査結果閲覧装置は、検索した検査結果情報の分析、検索した検査結果情報のグラフ化表示の少なくともいずれかを行うことを特徴とする請求項６に記載の欠陥検査システム。
【請求項８】
前記検査結果情報と前記検査対象を撮像して得た画像データとは紐付けされていて、前記検査結果閲覧装置は検索した検査結果情報から画像データを呼び出すことを特徴とする請求項６に記載の欠陥検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の欠陥を検査する欠陥検査システムに関するものである。特に、ファイル等のデータとして出力される検査結果を、データ解析したり生産現場で問題解析するときに有効な欠陥検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
欠陥検査システムとしては、例えば、液晶表示デバイスをマトリクス状に配列したフラット・パネル・ディスプレイ（ＦＰＤ）、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices）をマトリクス状に配列したイメージセンサ等を検査対象とするものがある。
【０００３】
ＦＰＤを検査するときは、パネル全面が発光するように液晶表示デバイスを駆動する。この状態でパネル面をカメラで撮像する。撮像したパネル面の画像を画像処理する。画像処理の結果、パネル面の画像に発光していない箇所があるときは、発光していない箇所にある液晶表示デバイスを欠陥と判定する。
【０００４】
ＣＣＤをマトリクス状に配列したイメージセンサを検査するときは、受光面の全面に光を照射する。このときにイメージセンサの出力をチェックする。チェックの結果、受光なしの信号を出力しているＣＣＤを欠陥と判定する。
【０００５】
図８は従来における欠陥検査システムの構成例を示した図である。
図８で、欠陥検査装置１は、画像処理により検査対象の欠陥検査を行う。検査結果は独自のフォーマットデータ２で出力する。
欠陥検査装置１では、検査結果はテキストファイル等の形式で出力され検査装置内に保存されていた。保存されたデータは、コピーされて別のパソコンで閲覧されたり、別のデータ形式に変換されて分析されていた。
【０００６】
特許文献１には、異なる画像発生装置からの多種多様な画像フォーマットを持つ画像情報の保管、検索を行う画像情報保管検索システムが記載されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平８−２８７１６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、図８の従来例では次の問題点があった。
（ａ）検査結果として出力されるデータは、欠陥検査装置内にのみ存在しており、フォーマットも独自のもので統一していないため、再利用できない。検査結果データは客先の要求に応じた形式になっているため、不統一であった。
（ｂ）他の欠陥検査装置との通信手段が存在しないため、生産ライン全体での検査結果データの閲覧やデータの共有化が困難である。
（ｃ）欠陥検査で検出された欠陥の詳細が分からない。例えば、検出された欠陥が検査対象のどの位置にあり、どのようなレベルの欠陥であるか等について容易に認識できない。
【０００９】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、検査を特定する検査情報と、欠陥の詳細情報を含む検査結果情報を所定の統一フォーマットで生成してデータベースに登録することによって、生産ライン全体で検査結果データを共有してより効率的な生産管理ができるとともに、欠陥検査で検出された欠陥の詳細を容易に認識できる欠陥検査システムを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を解決するために、本発明は次のとおりの構成になっている。
【００１１】
（１）検査対象の欠陥を検査する欠陥検査システムにおいて、
検査を特定する検査情報と、検査で検出した欠陥の詳細を示す欠陥情報を含む検査結果情報を所定の統一フォーマットで生成し、生成した検査結果情報をデータベースに登録するデータ生成手段と、
を有することを特徴とする欠陥検査システム。
【００１２】
（２）前記データ生成手段は、検出した欠陥についてそれぞれ欠陥情報を生成することを特徴とする（１）に記載の欠陥検査システム。
【００１３】
（３）前記欠陥情報は、欠陥番号、検査名称、判定結果、欠陥の位置情報、欠陥の特徴量の少なくとも一つ以上からなることを特徴とする（１）または（２）に記載の欠陥検査システム。
【００１４】
（４）前記検査情報は、検査装置名称、検査実行日、検査対象画像名、検査プログラムバージョン、検査パラメータバージョン、総合判定値、欠陥個数の少なくとも一つ以上からなることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の欠陥検査システム。
【００１５】
（５）前記欠陥の位置情報として、前記検査対象上における欠陥の位置情報、前記検査対象の撮像画面上における欠陥の位置情報を設けたことを特徴とする（３）に記載の欠陥検査システム。
【００１６】
（６）前記データベースはネットワークに接続されていて、このネットワークに接続された検査結果閲覧装置は、前記データベースにアクセスして前記検査結果情報を検索することを特徴とする（１）乃至（５）のいずれかに記載の欠陥検査システム。
【００１７】
（７）前記検査結果閲覧装置は、検索した検査結果情報の分析、検索した検査結果情報のグラフ化表示の少なくともいずれかを行うことを特徴とする（６）に記載の欠陥検査システム。
【００１８】
（８）前記検査結果情報と前記検査対象を撮像して得た画像データとは紐付けされていて、前記検査結果閲覧装置は検索した検査結果情報から画像データを呼び出すことを特徴とする（６）に記載の欠陥検査システム。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
（１）欠陥検査を特定する検査情報と、欠陥の詳細情報を含む検査結果情報を統一フォーマットで生成してデータベースに登録している。これによって、これまでは検査結果が検査装置内の閉じたデータとして保持されていたのが、生産現場での工程や、検査対象物の不良の状況を把握するためのデータとして再利用できる。このため、生産ラインにおける上流の製造装置の不具合の発見や、生産個数の状況を把握することができ、より効率的な生産管理や、問題点の早期発見に利用することが見込める。
【００２０】
（２）検査結果情報は、検査を特定する検査情報と、欠陥の詳細情報を含むデータ構成になっている。
検査情報は、検査装置名称、検査実行日等を含む。
欠陥情報は検出した欠陥個数分だけ生成され、それぞれの欠陥情報は、欠陥番号、判定結果、欠陥の位置情報、欠陥の特徴量等を含む。
このような検査結果情報により、欠陥検査で検出された欠陥の詳細を容易に認識できる。
【００２１】
（３）統一されたフォーマットの検査結果情報により、日付や装置単位での生産ラインの分析、グラフ表示が容易になる。また、判定に使用した特徴量がデータとして保持されている。このため、判定基準を変えたときに合格率がどれくらいになるかを予想する判定シミュレーションや品質管理のフィードバックデータとして再利用が容易になる。
【００２２】
（４）データベースサーバの検査結果情報を利用することで、欠陥検査装置のシミュレーションデータとして再利用が可能になる。
【００２３】
このように本発明によれば、生産ライン全体で検査結果データを共有してより効率的な生産管理ができるとともに、欠陥検査で検出された欠陥の詳細を容易に認識できる欠陥検査システムを実現した。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例を示す構成図、図２は図１のシステムの構成ブロック図である。
図１及び図２で、ネットワーク１０上には欠陥検査装置２０、データベースサーバ３０、検査結果閲覧装置４０が接続されている。
【００２５】
欠陥検査装置２０は、画像処理により検査対象の欠陥検査を行う。
検査が完了する都度、欠陥検査装置２０の検査結果データはデータベースサーバ３０にあるデータベース３１に登録されていく。
データ生成手段２１は、欠陥検査を特定する検査情報と、欠陥検査で検出した欠陥の詳細を示す欠陥情報を含む検査結果情報を統一フォーマットで生成する。生成した検査結果情報をデータベース３１に登録する。
【００２６】
検査結果閲覧装置４０は、データベース３１に登録された検査結果情報を呼び出し、呼び出した情報を分析したり、グラフ化して表示する。これによって、検査結果情報を生産ラインや日常点検等に再利用する。
検査結果情報と検査対象を撮像して得た画像データとは紐付けされている。検査結果閲覧装置４０は、データベース３１から検索した検査結果情報をもとに画像データを呼び出す。
【００２７】
図３は欠陥検査装置２０が画像処理により検出した欠陥を概念的に示した図である。
図３で、画像処理により検出した欠陥２１は立方体、欠陥２２は円柱の形状をなしている。欠陥検査装置２０は、画像処理により立方体と円柱の底面の面積、立方体と円柱の体積等の特徴量を算出する。
【００２８】
図４は検査結果閲覧装置４０が表示する欠陥の分布状態のグラフを示した図である。
グラフの縦軸には欠陥箇所の体積をとり、横軸には欠陥箇所の面積をとっている。グラフにプロットされた欠陥をもとにどのような大きさの欠陥が存在しているかを解析できる。
【００２９】
図５は検査結果情報のフォーマット例を示した図である。
図５で、検査結果情報は、ヘッダー部５０とデータ部６０とからなる。ヘッダー部５０には、検査を特定する検査情報が含まれている。データ部６０には、検査で検出した欠陥の詳細を示す欠陥情報が含まれている。
【００３０】
検査情報は、検査装置名称、検査実行日、検査対象画像名、検査プログラムバージョン、検査パラメータバージョン、総合判定値、欠陥個数等の情報からなる。
欠陥情報は、欠陥番号、検査名称、判定結果、サブ番号、判定レベル、カメラ欠陥座標、対象物欠陥座標、欠陥特徴量等の情報からなる。欠陥情報は検出した欠陥個数分だけ生成される。欠陥特徴量は、例えば、明るさ、面積、体積等であるため、可変サイズになっている。
カメラ欠陥座標は、検査対象の撮像画面上における欠陥の位置情報である。対象物欠陥座標は、検査対象上における欠陥の位置情報である。
【００３１】
サブ番号は検査で検出した欠陥毎に割り付ける番号である。例えば、白い点を見付ける欠陥検査をしたときに、見つかったそれぞれの白い点にサブ番号１、２、３・・・・を割り付けていく。このとき、白い点を見付ける欠陥検査の欠陥番号は「１００」で統一する。
【００３２】
図１のシステムの処理手順を説明する。
図６は欠陥検査の手順を示したフローチャートである。
図６で、まず、カメラ等の撮像手段により画像入力がされる。
次に、画像入力について画像処理を行い、処理結果から欠陥の特徴量を算出する。算出した特徴量をもとに合否判定を行う。合否判定結果と特徴量を検査結果として出力する。この検査結果を、データベース３１に図４のフォーマットに従い登録する。
【００３３】
図７は検査結果を閲覧する手順を示したフローチャートである。
図７で、まず、データベース３１へアクセスを行い、必要なデータを呼び出す。このとき、呼び出されるデータの閲覧項目や時間等は、図４で示すフォーマットになっているため、閲覧しやすくなっている。呼び出されたデータを分析したり、グラフ化して表示することで、生産ラインでの日常点検に使ったり、不良率がどの程度発生しているかを目で見ることができる。
【００３４】
データの分析は、例えば、一定の時間に欠陥が集中していたり、特定の欠陥が多く出てきている場合に行う。グラフ化した表示は、例えば、時間と欠陥個数の２次元グラフを表示するときに行う。
【００３５】
なお、実施例では欠陥検査装置は１台であるが、複数の欠陥検査装置からのデータを１つのデータベースサーバに集約することで、生産ライン全体のデータを再利用するようにしてもよい。
【００３６】
また、実施例では検査結果閲覧装置で分析、グラフ表示しているが、ここで分析されたデータを生産ラインの各装置に送信する機能を付加することで、自動的に情報がフィードバックされるシステムを構築してもよい。これにより、完全に自動化された生産ラインの構築が可能となる。
【００３７】
さらに、データベースに登録された検査結果情報を利用して、欠陥検査装置の合否判定基準を変更してもよい。これによって、合格率の変化をシミュレーションすることが可能となり、生産ラインでの製品の品質管理データとして利用することが可能となる。
例えば、特徴量の値が「１０」以下だと良、「１０」を超えるときは不良であるとして合格率が算出された場合に、合否判定基準を「１０」から「２０」に引き上げたときの合格率の変化を実際に検査を行わなくてもシミュレーションによって得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】図１のシステムの構成ブロック図である。
【図３】画像処理により検出した欠陥を概念的に示した図である。
【図４】欠陥の分布状態のグラフを示した図である。
【図５】検査結果情報のフォーマット例を示した図である。
【図６】欠陥検査の手順を示したフローチャートである。
【図７】検査結果を閲覧する手順を示したフローチャートである。
【図８】従来における欠陥検査システムの構成例を示した図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  ネットワーク
２０  欠陥検査装置
２１  データ生成手段
３０  データベースサーバ
３１  データベース
４０  検査結果閲覧装置
５０  ヘッダー部
６０  データ部
【図１】
2006072409.tif 000003
【図２】
2006072409.tif 000004
【図３】
2006072409.tif 000005
【図４】
2006072409.tif 000006
【図５】
2006072409.tif 000007
【図６】
2006072409.tif 000008
【図７】
2006072409.tif 000009
【図８】
2006072409.tif 000010