(57)【要約】【課題】  表面実装型電子部品をその電気的特性を検査するためにソケットに装着し、ソケット内で位置を横にずらすことなく、一様な圧力で良好に押圧固定できる検査用治具を提供する。【解決手段】  電子部品検査用治具１０は、左右の垂直なコラム１７と、その上側及び下側位置にそれぞれ回動自在に取り付けられた左右の上側及び下側アーム１９，２１と、両上側アームの先端を連結する水平な上側ロッド２３と、両下側アームの先端を連結する水平な下側ロッド２４と、上側及び下側アームを連結する垂直ロッド２５とからなる平行リンク機構からなる押え機構１６を備える。押え機構は、電子部品１５をソケット１４内に押圧固定する押圧位置と電子部品上面から開放されて電子部品をソケットから出入可能にする開放位置ての間で、押え具２７をその押圧面を水平に維持しつつ移動させる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の電極端子をソケットのプローブに直接接触させて電気的に接続し、前記電子部品を検査するために、前記電子部品を前記ソケット内に押圧固定する押え具と、
前記押え具を、その押圧面が前記電子部品の上面に当接して前記ソケット内に押圧固定する押圧位置と前記押圧面が前記電子部品の上面から開放されて前記電子部品を前記ソケットから出し入れ可能にする開放位置との間で、選択的に移動可能な押え機構とを備え、
前記押え機構が、前記押圧位置と前記開放位置との間を移動する前記押え具の押圧面を水平に維持するように動作する平行リンク機構からなることを特徴とする電子部品検査用治具。
【請求項２】
前記押え機構の前記平行リンク機構が、垂直なコラムと、前記コラムの上側位置に回動自在に取り付けられた上側アームと、前記コラムの下側位置に回動自在に取り付けられた下側アームと、前記上側及び下側アームを連結する垂直ロッドとからなることを特徴とする請求項１に記載の電子部品検査用治具。
【請求項３】
前記押え機構の前記平行リンク機構が、互いに離隔された左右１対の垂直なコラムと、前記各コラムの上側位置にそれぞれ回動自在に取り付けられた左右１対の上側アームと、前記各コラムの下側位置にそれぞれ回動自在に取り付けられた左右１対の下側アームと、左右の前記上側アームの先端を連結する水平な上側ロッドと、左右の前記下側アームの先端を連結する水平な下側ロッドと、前記上側及び下側アームを連結する垂直ロッドとからなることを特徴とする請求項１に記載の電子部品検査用治具。
【請求項４】
前記押え機構が、前記上側又は下側アームを前記押え具の押圧位置に向けて付勢する手段を有することを特徴とする請求項１記載の電子部品検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置や圧電デバイスなどの表面実装型電子部品の電気的特性を検査するための治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や圧電デバイスなどの電子部品の製造工程では、その良否を判定するために電気的特性の検査が行われる。表面実装型の電子部品はソケットに装着し、その中にプローブを突出するプローブに電子部品の電極端子を接触させて、テスタと電気的に接続して検査する。このとき、電極端子をプローブに十分な圧力で接触させるために、電子部品を押圧治具でソケット内に固定する方法が一般に採用されている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−６２３３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に従来の押圧治具は、パッケージ化された表面実装型の電子部品を上下方向に揺動する押え具で上方からソケット内に押圧し固定するように構成されている。押え具は、平坦な面で電子部品を一様に加圧して、全ての電極端子を各プローブに十分な圧力で接触させる。図５は、このような従来の押え具で電子部品をソケット内に押圧する状態を例示している。
【０００５】
同図に示すように、ベース１上に配置されたソケット２は、その底面２ａから出没可能に突出するプローブ３を有し、電子部品４は、その下面に設けられた各電極端子（図示せず）を対応するプローブに整合させてソケット内に配置する。押え具５は、図５に想像線で示すように、電子部品４をソケット３の底まで押し込んだ状態で、その下面５ａが電子部品上面４ａを一様に加圧するように設定する。しかしながら、押え具５が上下方向に揺動する従来の構造では、同図に実線で示すように、ソケット内に突出するプローブ先端３ａに載せた電子部品の上面４ａに当接する押え具の下面５ａは水平にならない。そのため、電子部品４は斜め下向きに押圧されてソケット３内で位置が横にずれ易いという問題がある。その結果、電子部品４はその底面がプローブ先端で損傷したり、電極端子とプローブとの接触が外れて検査できなくなる虞がある。
【０００６】
そこで本発明は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、電気的特性を検査するためにソケットに装着した表面実装型の電子部品を、その位置をソケット内で横にずらすことなく、一様な圧力で押圧し固定することができる検査用治具を提供することにある。
【０００７】
また、このような電子部品の電気的特性検査では、検査員が電子部品を１個ずつ手作業で交換するのが通例である。そのため、押え具を外したときにソケットの上方には、電子部品の交換を妨げないように十分な作業スペースが必要である。
【０００８】
そこで、本発明の別の目的は、ソケットの上方に十分な作業スペースを確保することができる検査用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、上記目的を達成するために、電子部品の電極端子をソケットのプローブに直接接触させて電気的に接続し、該電子部品を検査するために、電子部品をソケット内に押圧固定する押え具と、該押え具を、その押圧面が電子部品の上面に当接してソケット内に押圧固定する押圧位置と押圧面が電子部品の上面から開放されて該電子部品をソケットから出し入れ可能にする開放位置との間で、選択的に移動可能な押え機構とを備え、押え機構が、例えば垂直なコラムと、コラムの上側位置に回動自在に取り付けられた上側アームと、コラムの下側位置に回動自在に取り付けられた下側アームと、上側及び下側アームを連結する垂直ロッドとからなり、押圧位置と開放位置との間を移動する押え具の押圧面を水平に維持するように動作する平行リンク機構からなる電子部品検査用治具が提供される。
【００１０】
このような平行リンク機構を用いることによって、下側アームを回転させて押え具を押圧位置と開放位置間で移動させたとき、その押圧面を常に水平に維持することができる。そのため、押え具の押圧面を電子部品の上面に面対面で当接させ、かつ電子部品をソケット内で位置を横にずらせることなく、そのままソケットの底まで押し込むことができる。従って、電子部品を上から一様に加圧し、全ての電極端子を対応するプローブに十分な圧力で良好に接触させることができる。
【００１１】
或る実施例では、押え機構の平行リンク機構が、左右に離隔された１対の垂直なコラムと、各コラムの上側位置にそれぞれ回動自在に取り付けられた左右１対の上側アームと、各コラムの下側位置にそれぞれ回動自在に取り付けられた左右１対の下側アームと、左右の上側アームの先端を連結する水平な上側ロッドと、左右の下側アームの先端を連結する水平な下側ロッドと、上側及び下側アームを連結する垂直ロッドとから構成される。このような構成では、押え具を下側ロッドに取り付けることができるので、より大きな作業スペースをソケットの上方に確保することができる。
【００１２】
別の実施例では、押え機構が、上側又は下側アームを押え具の押圧位置に向けて付勢する手段を有することにより、全ての電子部品を同じ圧力で加圧し、その電極端子を一定の良好な状態でプローブと接触させて検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明の好適実施例について添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１及び図２は、本発明による表面実装型電子部品の検査用治具の好適な実施例を示している。検査用治具１０は、ベース１１の上面にスペーサ１２を介して透明な保護板１３が取り付けられ、その略中央に設けた開口（図示せず）内にソケット１４が配置されている。ソケット１４内には、パッケージ化された表面実装型の電子部品１５が装着されている。
【００１４】
検査用治具１０は、電子部品１５をソケット内に押圧し固定するための押え機構１６を有する。押え機構１６は、ベース１１後端部の左右両端に離隔して垂設された左右１対のコラム１７を有する。両コラム１７の上端には、水平な上側固定ロッド１８が回動自在に挿通され、その左右コラム１７の直ぐ内側には、左右１対の上側アーム１９がその一端で一体に回動するように取り付けられている。両コラム１７の基端付近には、水平な下側固定ロッド２０がその一端で回動自在に挿通され、その左右コラム１７の直ぐ内側には、上側アーム１９と同じ長さを有する左右１対の下側アーム２１が、その一端で一体に回動するように取り付けられている。
【００１５】
両上側アーム１９の先端には、水平な上側可動ロッド２３が回動自在に挿通され、かつ両下側アーム２１の先端には、水平な下側可動ロッド２４が回動自在に連結されている。上側アーム１９と下側アーム２１とは長さが同じで、それらが平行をなすように、上側及び下側可動ロッド２３，２４は垂直ロッド２５で連結されている。このように押え機構１６は、左右１対のコラム１７と左右１対の上側及び下側アーム１９，２１と垂直ロッド２５とからなる平行リンクを構成する。
【００１６】
垂直ロッド２５は、その下端が下側可動ロッド２４と一体に回動するように結合されている。下側可動ロッド２４には、その略中央にアタッチメント２６が下側可動ロッドと一体に回動するように取り付けられ、かつその先端には押え具２７が、その下面即ち押圧面を水平にして固定されている。上述したように押え機構１６は平行リンクを構成しているので、下側アーム２１を回転させたとき、押え具２７は常に水平な押圧面を維持し得るようになっている。
【００１７】
更に、一方（図中右側）の下側アーム２１及びそれと同じ側のベース１１の側面には、それぞれ水平なピン２８，２９が突設され、かつそれらの間には引張コイルばね３０が張設されて、下側アーム２１を常に下向きに付勢している。また、一方（図中右側）のコラム１７から外側に突出する下側固定ロッド２０の外端には、押え機構１６を操作するためのハンドル３１が一体に回動するように固定されている。
【００１８】
使用時には、ハンドル３１を図２に想像線で示す位置から手前に回転させ、引張コイルばね３０の付勢力に抗して、下側アーム２１を上向きに回転させ、押え具２７をソケット１４上の押圧位置から、図中実線で示す開放位置へ持ち上げる。押え具２７は、前記平行リンクにより上方斜め後方へ移動するので、ソケット１４の上方は完全に開放され、電子部品１５の出し入れ作業が容易になる。更に本実施例では、図１に示すように、上側及び下側アーム１９，２１が左右に離隔して配置されかつそれらを連結する下側可動ロッド２４に押え具２７が取り付けられているので、より大きな作業スペースをソケット１４の上方に確保することができる。
【００１９】
検査対象の電子部品１５をソケット１４に装着した後、ハンドル３１を図中実線で示す開放位置から図中想像線で示す押圧位置へ回転させて、押え具２７で電子部品１５をソケット１４に押圧固定する。図３に示すように、ソケット１４内には、その底面から複数のプローブ３２が、例えば適当なばね手段により上向きに付勢されて出没可能に突出している。電子部品１５は、その下面に設けられた各電極端子（図示せず）を対応するプローブ３２に整合させかつその先端３２ａに接触させて配置する。
【００２０】
上述したように、押え具下面２７ａは、常に水平に維持されているので、電子部品上面１５ａに面対面で当接する。従って、電子部品１５は、ソケット１４内で位置を横にずらすことなく、そのままソケット底面１４ａまで押し込まれ、一様に加圧されるので、全電極端子を対応するプローブに十分な圧力で良好に接触させることができる。更に、下側アーム２１には、引張コイルばね３０により常に一定の付勢力が押え具２７の押圧位置に向けて作用しているので、各電子部品１５を同じ圧力で加圧することができる。
【００２１】
上記実施例では、検査用治具１０のベース１１にソケット１４を直接設けているが、別の実施例では、検査対象の電子部品を検査するための回路基板に設けたソケットを用いることができる。図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、検査用回路基板３３は、その略中央にソケット３４が取り付けられており、その各角部をボルト３５でスペーサ１２及び保護板１３を挟んでベース１１上に固定する。この実施例では、検査対象の電子部品に対応して回路基板３３を交換することができる。
【００２２】
検査用回路基板３３は、図１及び図２に関連して上述したように、保護板１３の前記開口内に配置されるソケット３４以外の部分が保護板１３で覆われている。そのため、電子部品の検査工程で、不用意に回路基板３３に接触して、その搭載部品や配線を損傷する虞がない。また、保護板１４が透明なため、常に回路基板３３をベース１１から取り外すことなく目視で確認することができる。
【００２３】
以上、本発明についてその好適な実施例を用いて説明したが、本発明はその技術的範囲内において上記実施例に様々な変形・変更を加えることができる。例えば、プローブは、ソケットの底面から上向きに突出するものに限定されず、電子部品の側面に電極端子が設けられている場合には、横向きに突出させることもできる。また、ベース又は検査用回路基板には、複数のソケットを配設することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明による電子部品検査用治具の好適な実施例を示す正面図。
【図２】図１に示す電子部品検査用治具の側面図。
【図３】電子部品をソケット内に押圧する状態を示す部分拡大側面断面図。
【図４】（Ａ）図はソケット付きの検査用基板を取り付けた状態を示す電子部品検査用治具の部分正面図、（Ｂ）図はその部分側面図。
【図５】従来技術において電子部品をソケット内に押圧する状態を示す部分拡大側面断面図。
【符号の説明】
【００２５】
１，１１…ベース、２，１４，３４…ソケット、３，３２…プローブ、３ａ，３２ａ…プローブ先端、４，１５…電子部品、４ａ…上面、５…押え具、５ａ…下面、１０…検査用治具、１２…スペーサ、１３…保護板、１６…押え機構、１７…コラム、１８…上側固定ロッド、１９…上側アーム、２０…下側固定ロッド、２１…下側アーム、２３…上側可動ロッド、２４…下側可動ロッド、２５…垂直ロッド、２６…アタッチメント、２７…押え具、２８，２９…ピン、３０…引張コイルばね、３１…ハンドル、３３…検査用回路基板、３５…ボルト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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