(57)【要約】【課題】電気的特性が良く、モールディングが曲がる状態がなくて、ドロップテストの時はんだボールがパッドから落ちないハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ及びその製造方法を提供する。【解決手段】回路パターン及びワイヤーボンディングパッドパターンを含み、チップがワイヤーボンディングパッドにワイヤーボンディングされている第１外層と、回路パターン、切断されたメッキラインパターン及びハーフエッチングされた段差形状のはんだボールパッドパターンを含み、はんだボールパッドの上にチップが実装されている第２外層と、及び前記第１外層及び第２外層の間に形成されているし、前記１外層及び第２外層の間の電気的導通のために導通ホールを含んだ絶縁層等で構成される。【選択図】図７
2006190960.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路パターン及びワイヤーボンディングパッドパターンを含み、チップがワイヤーボンディングパッドにワイヤーボンディングされている第１外層と、
回路パターン、切断されたメッキラインパターン及びハーフエッチングされた段差形状のはんだボールパッドパターンを含み、はんだボールパッドの上にチップが実装されている第２外層と、及び
前記第１外層及び第２外層の間に形成されているし、前記１外層及び第２外層の間の電気的導通のために導通ホールを含んだ絶縁層を含むことを特徴とするハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージ。
【請求項２】
前記ワイヤーボンディングパッドパターン及び前記はんだボールパッドパターン上に形成される第１メッキ層をさらに含むことを特徴とする請求項１記載のＢＧＡパッケージ。
【請求項３】
前記ワイヤーボンディングパッドパターンと金メッキ層の間及び前記はんだボールパッドパターンと第１メッキ層の間に形成される第２メッキ層をさらに含むことを特徴とする請求項２記載のＢＧＡパッケージ。
【請求項４】
前記ハーフエッチングされたボンディングパッドに附着するはんだボールははんだマスクが被覆されたボンディングパッドの側面領域まで形成された鳥の嘴の形状であることを特徴とする請求項１記載のハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ。
【請求項５】
前記ハーフエッチングされたボンディングパッドとはんだボールの間に形成される金属間化合物ははんだマスクが被覆されたボンディングパッドの側面領域まで形成されることを特徴とする請求項１記載のハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ。
【請求項６】
（Ａ）第１外層、第２外層及び前記第１外層と第２外層の間に形成される絶縁層を含む原板を提供する工程と、
（Ｂ）前記第１外層及び第２外層の電気的導通のために導通ホールを形成する段階と、
（Ｃ）前記第１外層に回路パターン及びワイヤーボンディングパッドパターンを含むパターンを形成して、前記第２外層に回路パターン、切断されたメッキラインパターン及びはんだボールパッドパターンを含むパターンを形成する段階と、
（Ｄ）前記第１外層及び第２外層にはんだレジストを塗布した後、前記第２外層のはんだボールパッドパターンにハーフエッチングをする段階と、及び
（Ｅ）前記第１外層のワイヤーボンディングパッドパターンに金メッキをして、前記第２外層のはんだボールパッドパターンに段差模様のはんだボールパッドを形成して表面処理する段階と、を含むことを特徴とするハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法。
【請求項７】
前記（Ｅ）段階以後に、（Ｆ）前記第１外層上にチップを積層して、前記ワイヤーボンディングパッド及び前記チップにワイヤーボンディングする段階と、
（Ｇ）前記第２外層のはんだボールパッドパターン上にチップを積層する段階と、
（Ｈ）密封を利用してモールディングする段階をもっと含むことを特徴とする請求項６記載のＢＧＡパッケージの製造方法。
【請求項８】
前記絶縁層は内層が多層であることを特徴とする請求項６記載のハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法。
【請求項９】
前記段差形状のボンディングパッドに塗布される表面処理部材は有機はんだ付け性保存剤（ＯＳＰ）である請求項６記載のＢＧＡパッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ及びその製造方法に関することで、特に、設計段階からメッキラインを切断させてハーフエッチングによる所定形状の段差が形成されたボンディングパッドを具現することで、ボンディングパッドとはんだボールの間の接着面積を増加させてボンディングパッドに対する優秀な表面特性及び良好なドロップテスト特性を具現することができるＢＧＡパッケージ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＯＳＰ(Organic Solderability Preservatives)表面処理工法は既存のニッケル／金表面処理を取り替えることができる技術としてセルラー(cellular)フォン、ポータブルの電子部品に使われ、ドロップテスト（drop test）の時優秀な特性を具現することができる。しかし、銅パッド上に有機物をコーティングするＯＳＰ工法は既存のパッケージ工程に適用するには困難がある。
【０００３】
このような原因は、ベイキング(baking)、ワイヤーボンディング(wire bonding)、ダイアタッチキュア(die attach cure)、及びポストモールドキュアリング(post mold curing)などのパッケージ条件を経る間に銅パッド上のＯＳＰ層に致命的な熱物理的な損傷を現わすからはんだ接合工程のポストフラックス(post flux)によって易しく除去されないからである。このような欠陷ははんだ面非濡れゾーン(non-wetting zone)形成、境界面特性の減少等の不良を発生させるので必ず解決しなければならない。
【０００４】
最近、このような問題点を解決するためにＯＳＰ工程前に銅パッドをハーフエッチングさせることで、ＯＳＰ製品の特性を向上させた事がある。しかし、ハーフエッチングのような厳しい化学反応は製品のデザインに依存して非常に異なるように作用する特性がある。
【０００５】
図１は従来の第１実試例によって金メッキで表面処理されたＢＧＡパッケージの構成断面図である。
【０００６】
図１に示すように、絶縁層（１０１）上部に回路パターン（１０３ａ）及び金メッキ（１０５ａ）されたワイヤーボンディングパッドパターンを含んで、実装されるチップ（１１０）がワイヤーボンディングパッドにワイヤ（１０６）にポンディングされており、絶縁層（１０１）下部に回路パターン（１０３ｂ）、金メッキ（１０５ｂ）されたボンディングパッドを含むはんだボールパッドパターンが設けられ、具備されたボールパッドの上にはんだボール（１０７）が実装されている。また、絶縁層（１０１）上部及び下部を電気的に導通させるための導通ホールが絶縁層（１０１）に含まれている。
【０００７】
ここではんだボールパッド部が金メッキ層（１０５ｂ）で表面処理されたことを分かり、はんだボールパッドに金メッキ層（１０５ｂ）で表面処理をすれば金メッキ層（１０５ｂ）形成の時メッキラインがインピーダンスの役割をして電気的特性が良好で、モールディングが曲がる物理的特性が現われる問題点があり、ドロップテストの時にはんだボールが落ちる問題点があった。
【０００８】
このような問題点を解決するために図２のようにＯＳＰ表面処理をする。図２は従来の第２実施例によってＯＳＰ表面処理されたＢＧＡパッケージの構成断面図である。図２のように、絶縁層（２０１）上部に回路パターン（２０３ａ）及び金メッキ（２０５）されたワイヤーボンディングパッドパターンを含んで、実装されるチップ（２１０）がワイヤーボンディングパッドにワイヤ（２０７）でポンディングされており、絶縁層（２０１）下部に回路パターン（２０３ｂ）、ＯＳＰ（２０６）処理されたボンディングパッドを含むはんだボールパッドパターンが具備されて、具備されたボールパッドの上にはんだボール（２０８）が実装されている。また、絶縁層（２０１）上部及び下部を電気的に導通させるための導通ホールが絶縁層（２０１）に含まれている。
【０００９】
しかし、図３のように、有機はんだ保存剤（ＯＳＰ）を利用したＢＧＡパッケージ工程において、はんだボールパッドが形成されるメッキ層に塗布される有機はんだ保存剤（ＯＳＰ）はイン-ラインプロセス又はバック-エンドプロセスを経る過程で熱的ダメージを受けることになる。特に１７５℃以上の高温で遂行されるバック-エンドプロセスの完全硬化（ＰＭＣ）過程で致命的な熱的ダメージを受けるようになる。
【００１０】
即ち、図４と同じのように、ＢＧＡパッケージ基板のポンディングフィンガー又ははんだボールパッドが形成されるメッキ層にはボールシェアテスト（ball shear test）に図示されたように、前記イン-ライン工程又はバック-エンド工程の間に熱的ダメージを受けた有機はんだ保存剤（ＯＳＰ）が残留することになる。
【００１１】
この時、図５と同じのように、銅メッキ層（２０３ｂ）の垂直方向である程度深くエッチングされていない平面形状の銅メッキ層（２０３ｂ）に熱的ダメージを受けた有機はんだ保存剤（ＯＳＰ）（２０６）が残留状態ではんだボールが接合される場合、残留する有機はんだ保存剤（２０６）によって銅メッキ層（２０３ｂ）とはんだボール（２０８）の間の接着面積が減少されし、また銅メッキ層（２０３ｂ）を構成する銅とはんだボール（２０８）に含有された錫の金属間相互作用を防止して金属間化合物（１２００）の形成に妨害を受ける。
【００１２】
従って、図６のように、はんだボール（２０８）が銅メッキ層（２０３ｂ）に接着されないとか又は外部衝撃によって簡単に落ちる等のはんだ面非濡れゾーン（non-wetting zone）形成、界面特性減少等の信頼性を低下させるという問題点が発生した。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の技術的課題は電気的特性が良く、モールディングが曲がる状態がなくて、ドロップテストの時はんだボールがパッドから落ちないハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ及びその製造方法を提供するのである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、回路パターン及びワイヤーボンディングパッドパターンを含んで、チップがワイヤーボンディングパッドにワイヤーボンディングされている第１外層と、回路パターン、切断されたメッキラインパターン及びハーフエッチングされた段差形状のはんだボールパッドパターンが具備されて、具備されたボールパッドの上にチップが実装されている第２外層と、及び前記第１外層及び第２外層の間に形成されているし、前記１外層及び第２外層の間の電気的導通のため導通ホールを含んだ絶縁層を含むことを特徴とする。
【００１５】
さらに、前記ワイヤーボンディングパッドパターン及び前記はんだボールパッドパターン上に形成される第１メッキ層と、前記ワイヤーボンディングパッドパターンと金メッキ層の間及び前記はんだボールパッドパターンと第１メッキ層の間に形成される第２メッキ層をもっと含むことを特徴とする。特に、前記ハーフエッチングされたボンディングパッドとはんだボールの間に形成される金属間化合物ははんだマスクが被覆されたボンディングパッドの側面領域まで形成されることを特徴とする。
【００１６】
また、第１外層、第２外層及び前記第１外層と第２外層の間に形成される絶縁層を含む原板を提供する段階と、前記第１外層及び第２外層の電気的導通のために導通ホールを形成する段階と、前記第１外層に回路パターン及びワイヤーボンディングパッドパターンを含むパターンを形成して、前記第２外層に回路パターン、切断されたメッキラインパターン及びはんだボールパッドパターンを含むパターンを形成する段階と、前記第１外層及び第２外層にはんだレジストを塗布した後、前記第２外層のはんだボールパッドパターンにハーフエッチングをする段階と、及び前記第１外層のワイヤーボンディングパッドパターンに金メッキをして、前記第２外層のはんだボールパッドパターンに段差模様のはんだボールパッドを形成して表面処理する段階と、を含むことを特徴とする。
【００１７】
さらに、前記第１外層上にチップを積層して、前記ワイヤーボンディングパッド及び前記チップにワイヤーボンディングする段階と、前記第２外層のはんだボールパッドパターン上にチップを積層する段階と、密封を利用してモールディングする段階をもっと含むことを特徴とする。また、前記絶縁層は内層が多層であり、前記段差形状のボンディングパッドに塗布される表面処理部材は有機はんだ保存剤（ＯＳＰ）であるのを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ及びその製造方法はＯＳＰを利用して表面はんだボールパッド部位に表面処理をすることでモールディングが曲がらない效果がある。また、ハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ及びその製造方法は亜鈴模様の段差形状によってはんだボールの接着面積が増加してドロップテスト時はんだボールが落ちない效果がある。
【００１９】
また、本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ及びその製造方法は設計の時にメッキラインを切断して形成することで、すぐ商用化できる效果がある。さらに、ハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージ及びその製造方法はメッキラインを切断させることによってガルバーニ腐食が発生しないのでハーフエッチングの時銅メッキ層が一定にエッチング（１０〜１５μｍ）される效果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付された図面を参照しつつ、本発明を詳しく説明する。図７は本発明の製造方法によって製造され切断されたメッキラインを持つＢＧＡパッケージの完成図である。図７のように、絶縁層（８０１）の上部に回路パターン（８０３ａ）及びワイヤーボンディングパッドパターンを含んで、チップ（８２０）がワイヤーボンディングパッドにワイヤ（８０９）を利用してポンディングされていて、絶縁層（８０１）の下部には回路パターン（８０３ｂ）、切断されたメッキラインパターン（Ｂ）及びハーフエッチングされた段差形状のはんだボールパッドパターンが形成されていて、ボールパッドの上にはんだボール（８０８）が実装されている。
【００２１】
また、絶縁層（８０１）の上部と下部を電気的に導通させるための導通ホールが形成されている。ワイヤーボンディングパッドパターンには金メッキ層（８０６）が形成されていて、はんだボール（８０８）ははんだマスクが被覆されたボンディングパッドの側面領域まで形成された鳥の嘴の形状をしている。このような構造的特徴によってドロップテストの時はんだボール（８０８）がはんだボールパッドから落ちない效果がある。
【００２２】
また、図８ａないし図８ｎは本発明による切断されたメッキラインを持つＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わす断面図である。図８ａのように、絶縁樹脂層（８０１）の両面に銅箔（８０２ａ、８０２ｂ）が加えられた銅箔積層板である原板（８００）を準備する。ここで銅箔積層板の種類にはその用途によって、ガラス／エポキシ銅箔積層板、耐熱樹脂銅箔積層板、紙／フェノール銅箔積層板、高周波用銅箔積層板、フレキシブル銅箔積層板（ポリイミドフィルム）及び複合銅箔積層板など様々なものがあるが、両面印刷回路基板及び多層印刷回路基板の製作には主にガラス／エポキシ銅箔積層板が使われている。
【００２３】
また、内層がない原板（８００）を使ったが、使用目的や用途によって内層が２階、４階、及び６階などの多層の構造の原板を使うこともできる。次に、図８ｂのように、内層コア資材であるＣＣＬの上部及び下部面を電気的に連結するために機械的導通ホール（Ａ）を加工して形成する。
【００２４】
ここで導通ホール（Ａ）を貫く時は原板の上部及び下部が正確に垂直になるように貫くと配線を電気的に連結する機能が発揮される。また、ドリルリング時発生する銅箔のバール及びホール内壁のほこり粒子と銅箔表面のほこり、指紋などをとり除くばり取りを行う。
【００２５】
さらに、ドリルリングの時、熱が多く発生して樹脂がとけてホールの内壁に附着する汚れが発生するので、これはホール内壁に対する銅メッキの品質を落とす決定的な作用をなすので必ず汚れをとり除く。
【００２６】
その次、図８ｃのように、原板（８００）の表面及び導通ホール（Ａ）内壁に無電解メッキ及び電解メッキをして電気的に導通させる銅メッキ層（８０３ａ、８０３ｂ）を形成する。
【００２７】
ここで無電解銅メッキを先に行って、その次電解銅メッキを行う。電解銅メッキの先に無電解銅メッキを実施する理由は絶縁層上では電気が必要な電解銅メッキを実施することができないからである。即ち、電解銅メッキに必要な導電性膜を形成させてくれるためにその前処理として薄く無電解銅メッキをする。無電解銅メッキは処理が難しくて経済的ではない短所があるから、導電性部分は電解銅メッキで形成するのが望ましい。
【００２８】
以後、図８ｄのように、所定のパターンが形成されたドライフィルム（８０４ａ、８０４ｂ）を塗布する。ここでドライフィルムはカバーフィルム、フォトレジストフィルム及びマイラーフィルムの３層で構成されて、実質的にレジストの役割をする層はフォトレジストフィルムである。
【００２９】
そして、図８ｅのように、所定のパターンが形成された外層回路（８０３ａ、８０３ｂ）を形成する。ここで、外層回路を形成するためにはまず、所定のパターンが印刷されたドライフィルム（８０４ａ、８０４ｂ）を露光及び現像することで、ドライフィルムに所定のパターンを形成する。
【００３０】
次に、所定のパターンが形成されたドライフィルム（８０４ａ、８０４ｂ）をエッチングレジストとして使って、原板（８００）にエッチング液を噴霧させることで、ドライフィルム（８０４ａ、８０４ｂ）の所定のパターンに対応する部分を除いた残り部分の上下銅箔（８０２ａ、８０２ｂ）及び銅メッキ層（８０３ａ、８０３ｂ）をエッチングしてとり除く。以後、原板（８００）の上下両面に塗布されたドライフィルム（８０４ａ、８０４ｂ）を剥離して、とり除いて外層回路（８０３ａ、８０３ｂ）を形成する。また、メッキライン（Ｂ）が所定のパターンによって切断される。
【００３１】
このように、メッキライン（Ｂ）を切断させず、後でハーフエッチングをすればガルバーニ腐食（galvanic corrosion）によるオーバーエッチングが発生する。ガルバーニ腐食はお互いに違う性質の二つの金属が接触して片方金属の酸化を促進させることで起きる腐食として、ここではＡｕ／Ｃｕの二つの金属が接触する。なぜなら、設計段階で従来の金メッキのためのメッキライン（Ｂ）が存在するから銅メッキで成り立ったはんだボールパッド部位をハーフエッチングする時、ガルバーニ腐食が起きる。
【００３２】
従って、メッキライン（Ｂ）を切断させればガルバーニ腐食によるオーバーエッチングを防止することができ、そして、エッチングレジストにドライフィルム（８０４ａ、８０４ｂ）を使ったが、液体状態の感光材をエッチングレジストで使うことができる。
【００３３】
以後、図８ｆのように、はんだレジスト（８０５ａ、８０５ｂ）を塗布した後仮乾燥させる。ここで銅箔（８０２ａ、８０２ｂ）及び銅メッキ層（８０３ａ、８０３ｂ）に回路パターンが形成された原板（８００）に指紋、油、ほこり等がついている場合、以後工程で形成されるはんだレジストと原板が完全に密着されない問題が発生することがある。従って、はんだレジストを塗布する前に、はんだレジストと原板との密着力を進めるために基板の表面を洗浄して基板表面に粗さを付与する前処理を遂行するのが望ましい。
【００３４】
次に、図８ｇのように、ワイヤーボンディングパッドに対応する部分の開口部（Ｃ）及びはんだボールパッドに対応する部分の開口部（Ｄ）をレーザーを利用して形成する。ここで、レーザーを利用すれば高速で加熱して加工するので熱変形層が狭くて、とても堅い材料の加工が簡単にできる。また、非接触式なので工具の摩耗がない等の長所があって、複雑な模様の部品を微細に加工することができるし、作業の時騷音と震動がない。
【００３５】
また、レーザービームを物体の表面に照射すれば、材料表面の温度が急激に上がって表面辺りが溶融されることと同時に蒸発されることで物質が除去されて加工が成り立つ。ここで、原板（８０１）のはんだレジスト層（８０５ａ、８０５ｂ）が除去された部分に残存するはんだレジスト層の残渣、異物などをプラズマなどを利用してとり除く工程を遂行するのが望ましい。
【００３６】
以後、図８ｈのように、ワイヤーボンディングパッド上に金メッキ層（８０６）を形成する。ここで、原板（８００）を金メッキ作業箱に侵食させた後、直流整流器を利用して電解金メッキを遂行し、金メッキ層（８０６）を形成する。この時、メッキされる面積を計算して直流整流器に適当な電流を加えて金を析出する方式を使うのがより望ましい。また、金と接着性を高めるために、先にニッケルを薄くメッキした後、金メッキ層を形成するのが望ましい。
【００３７】
次に、図８ｉのように、はんだボールパッド上にハーフエッチングをした後、ＯＳＰ（８０７）を処理する。ここで、ＯＳＰ（８０７）方式は印刷回路基板のはんだボールパッド表面に有機物を塗布して空気と銅表面が接触することを遮断して、銅の酸化を防止する役割をする。
【００３８】
ＯＳＰ（８０７）方式でＰＣＢパッド表面に有機物を塗布して空気と銅表面が漏れなく塗布されない場合、銅箔が酸化されて問題を起こすことがあるので真空包装を封切りした後、できれば早く使うのが望ましい。また、取り扱い時にも作業者の手が触れば手についている塩分によって酸化が早く進行されるので注意を傾けなければならない。
【００３９】
その次、図８jのように、はんだボールパッド上に所定の粘度を持つポストフレックス（post-flex）（１８０７）を塗布する。ここで、ポストフレックスはアルコール成分と酸性成分を含んでいるし、これに基づいてイミダゾールのＯＳＰ（８０７）を溶解させることで、完全硬化工程によって隋伴される高温によって熱的ダメージを受ける状態でボンディングパッドに残留するＯＳＰをとり除く役割を遂行する。
【００４０】
以後、図８ｋのように、ＢＧＡパッケージ基板を約２３０℃ないし２６０℃の温度で３０秒間紫外線リフロア（IR reflow）を遂行することで、形成される金属間化合物によって段差形状のはんだボールパッドにはんだボールが接着されたＢＧＡパッケージを形成する。
【００４１】
ここで、ボンディングパッドを段差形状で形成する場合、ボンディングパッドを構成する銅とはんだボール（８０８）に含有された錫の金属間相互作用によって形成される金属間化合物は段差形状のボンディングパッドだけではなく、前記ボンディングパッドをカバーしているはんだマスクの所定領域まで拡がって形成される。
【００４２】
また、段差形状のボンディングパッドにはんだ付けされるはんだボールは、はんだマスクが被覆されたボンディングパッドの所定の領域まで拡張形成された鳥の嘴の形状を持って、これによって外部衝撃によって前記ボンディングパッドから簡単に落ちない良好なドロップテスト特性を持つことになる。
【００４３】
次に、図８ｌのように、上部はんだレジスト（８０５ａ）上に接着剤（８１０）を利用して半導体チップ（８２０）を実装させる。その次、図８ｍのように、半導体チップ（８１０）及びワイヤーボンディングパッド上の金メッキ層（８０６）にワイヤ（８０９）を利用してポンディングさせる。最終的に、図８ｎのように、密封（８０３）を利用してモールディングすれば本発明によるＢＧＡパッケージが完成される。
【００４４】
次に、図９は本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージのメッキラインがないはんだボール部位の図面である。ここで、本発明の特徴であるメッキラインが切断されたことを分かる。
【００４５】
また、最終的に、図１０は本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージのハーフエッチングされたことを現わす光学写真である。ここで、絶縁層（８０１）上にはんだボールパッドを形成する銅メッキ層（８０３ｂ）がハーフエッチングされていて、はんだボールパッドを除いた部分ははんだレジスト（８０５ｂ）が塗布されている。
【００４６】
また、切断されたメッキラインによってガルバーニ腐食によるオーバーエッチングが発生しないからメッキラインが分離された状態ではんだボールパッドを形成する銅メッキ層（８０３ｂ）をハーフエッチングすれば１０〜１５μｍ位にハーフエッチングされたことが分かる。
【００４７】
以上で本発明に対して説明したが、これは一実施例に過ぎず、本発明の技術的思想を脱しない範囲内で当業者は多様な変化及び変形が可能である。このような変化及び変形は本発明の範囲内に属するということは特許請求範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】従来の第１実試例によって金メッキで表面処理されたＢＧＡパッケージの構成断面図。
【図２】従来の第２実試例によってＯＳＰ表面処理されたＢＧＡパッケージの構成断面図。
【図３】従来のＢＧＡパッケージ工程中に随伴される熱硬化処理によるボンディングパッドの熱的ダメージを順次に図示した図面。
【図４】従来のＢＧＡパッケージ工程中に随伴される熱硬化処理によって熱的ダメージを受けた有機はんだ付け性保存剤によるはんだボールとボンディングパッドの間の界面破壊を現わす図面。
【図５】従来のＢＧＡパッケージ工程によって形成された１次元形状を持つボンディングパッドの断面写真。
【図６】従来のＢＧＡパッケージ工程によって形成された１次元形状を持つボンディングパッドに附着されたはんだボールの拡大写真。
【図７】本発明のハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法によって完成された断面図。
【図８ａ】図８ａは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｂ】図８ｂは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｃ】図８ｃは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｄ】図８ｄは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｅ】図８ｅは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｆ】図８ｆは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｇ】図８ｇは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｈ】図８ｈは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｉ】図８ｉは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｊ】図８ｊは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｋ】図８ｋは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｌ】図８ｌは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｍ】図８ｍは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図８ｎ】図８ｎは本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージの製造方法の流れを現わした断面図。
【図９】本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージのはんだボール部の図面。
【図１０】本発明によるハーフエッチングされたボンディングパッド及び切断されたメッキラインを具備するＢＧＡパッケージのハーフエッチングされたことを現わす光学写真。
【符号の説明】
【００４９】
８０１  絶縁樹脂層、  ８０２ａ、８０２ｂ  銅箔、  ８０３ａ、８０３ｂ  銅メッキ層、  ８０４ａ、８０４ｂ  ドライフィルム、  ８０５ａ、８０５ｂ  はんだレジスト、  ８０６  金メッキ層、  ８０７  ＯＳＰ、  ８０８  はんだボール、  ６０９  ワイヤーボンディング、  ８１０  接着剤、  ８２０  半導体チップ、  ８３０  密封
【図１】
2006190960.tif 000003
【図２】
2006190960.tif 000004
【図３】
2006190960.tif 000005
【図４】
2006190960.tif 000006
【図５】
2006190960.tif 000007
【図６】
2006190960.tif 000008
【図７】
2006190960.tif 000009
【図８ａ】
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【図８ｂ】
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【図８ｃ】
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【図８ｄ】
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【図８ｅ】
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【図８ｆ】
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【図８ｇ】
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【図８ｈ】
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【図８ｉ】
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【図８ｊ】
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【図８ｋ】
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【図８ｌ】
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【図８ｍ】
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【図８ｎ】
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【図９】
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【図１０】
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