(57)【要約】      （修正有）【課題】液中及び液外において電子部品を搬送できる、簡易な構成の電子部品吸着搬送装置及び電子部品吸着搬送方法を提供する。【解決手段】電子部品１０３を液中及び液外において吸着保持し移動するための電子部品吸着搬送装置１０１であって、吸引力を発生する第１の吸引源Ｐ１と、第１の吸引源Ｐ１からの吸引力を電子部品１０３に作用する第１の吸引回路１１５、１２９、１３１と、略密封した内部空間を有し、第１の吸引回路１１５、１２９、１３１の途中に配置されている液体トラップ手段１１９と、を備える。【選択図】図１
2006199380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を液中及び液外において吸着保持し移動するための電子部品吸着搬送装置であって、
吸引力を発生する第１の吸引源と、
前記第１の吸引源からの吸引力を前記電子部品に作用させる第１の吸引回路と、
略密封した内部空間を有し、前記第１の吸引回路の途中に配置されている液体トラップ手段と、を備えることを特徴とする電子部品吸着搬送装置。
【請求項２】
電子部品を液中及び液外において吸着保持し移動するための電子部品吸着搬送装置であって、
吸引孔を備え、前記電子部品が載置されるトレイと、
吸引力を発生する第１の吸引源と、前記トレイに連結可能であり、前記第１の吸引源と前記トレイとを連結させるとき、前記第１の吸引源と前記吸引孔とを連通することで吸引力を前記電子部品に作用させる第１の吸引回路と、を有する第１の吸引手段と、
略密封した内部空間を有し、前記第１の吸引回路の途中に配置される液体トラップ手段と、を備えることを特徴とする電子部品吸着搬送装置。
【請求項３】
吸引力を発生する第２の吸引源と、前記トレイに連結可能であり、前記第２の吸引源と前記トレイとを連結させるとき、前記第２の吸引源と前記吸引孔とを連通することで吸引力を前記電子部品に作用させる第２の吸引回路と、を有する第２の吸引手段を備え、
前記第１の吸引手段と前記第２の吸引手段は、選択的に使用可能であることを特徴とする請求項２に記載の電子部品吸着搬送装置。
【請求項４】
前記第１の吸引回路は、前記トレイから分離可能に前記トレイに連結することを特徴とする請求項２又は３に記載の電子部品吸着搬送装置。
【請求項５】
前記第２の吸引回路は、前記トレイから分離可能に前記トレイに連結することを特徴とする請求項３に記載の電子部品吸着搬送装置。
【請求項６】
前記第１の吸引源は気体ポンプであり、前記第２の吸引源は液体ポンプであることを特徴とする請求項２〜５の何れか一項に記載の電子部品吸着搬送装置。
【請求項７】
電子部品を液中若しくは液外において吸着保持して移動する電子部品吸着搬送方法であって、
液外において、第１の吸引源の吸引力を、前記第１の吸引源とトレイとを連結し、液体トラップを有する第１の吸引回路を介して前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持する工程と、
前記第１の吸引源の吸引力を前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持した状態で、液面から所定距離の液中の位置まで、前記トレイを降下させる工程と、
降下させる工程の後、前記第１の吸引回路を前記トレイから取り外す工程と、
第２の吸引源の吸引力を、前記第２の吸引源と前記トレイとを連結する第２の吸引回路を介して前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持する工程と、を備える電子部品吸着搬送方法。
【請求項８】
電子部品を液中若しくは液外において吸着保持して移動する電子部品吸着搬送方法であって、
液中において、第２の吸引源の吸引力を、前記第２の吸引源とトレイとを連結する第２の吸引回路を介して前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持する工程と、
液面から所定距離の液中の位置まで、前記トレイを上昇させる工程と、
上昇させる工程の後、前記第２の吸引回路をトレイから取り外す工程と、
第１の吸引源の吸引力を、前記第１の吸引源とトレイとを連結し、液体トラップを有する第１の吸引回路を介して前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持する工程と、
前記液中の位置から液外まで、前記第１の吸引源の吸引力を前記電子部品に作用させることにより前記トレイに前記電子部品を吸着保持した状態で前記トレイを上昇させる工程と、を備える電子部品吸着搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品吸着搬送装置及び電子部品吸着搬送方法に関する。具体的には,
積層チップ部品等の微細な電子部品が載置された略平板状のトレイを液中と液外の間を搬送する際に、電子部品をトレイに対して吸着保持し搬送するための電子部品吸着搬送装置及び電子部品吸着搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子部品を洗浄するために液外から洗浄液中に電子部品を搬送したり、洗浄後に電子部品を洗浄液等の液体中から液外に搬送するために、種々の電子部品吸着搬送装置及び電子部品吸着搬送方法が利用されている。
【０００３】
例えば、ウエハから切り出された積層チップといった電子部品は、その切断面に加工残渣や、接着材等が付着している。このような状態の積層チップ等を用いて作製した完成品は、寸法誤差、不純物等の混入により所期の性能を発揮しない場合がある。そこで、切り出された積層チップが、次の工程に移る前に洗浄することが行われている。
【０００４】
以下に具体例を説明する。図６は、従来の電子部品の洗浄用治具の断面図である。洗浄用治具７０１は、上治具７０３と、下治具７０５とからなる。下治具７０５には、キャビティ７０７が形成され、このキャビティ７０７内に洗浄される電子部品７０９が配置される。上治具７０３を下治具７０５に組み付けると、電子部品７０９がキャビティ７０７内に固定される。
【０００５】
キャビティ７０７は、洗浄液を供給するための供給通路７１１と、洗浄液を排出するための排出通路７１３とに連通している。よって、洗浄液タンク（不図示）から送液ポンプ（不図示）により供給通路７１１に供給された洗浄液が、キャビティ７０７内に流入し電子部品７０９が洗浄される。使用した洗浄液は、排出通路７１３を介して洗浄用治具７０１の外部に排出される（例えば、特許文献１）。
【０００６】
また、図７は、他の従来の電子部品の被洗浄物保持具の分解図である。被洗浄物保持具８０１は、第１保持部８０７、第２保持部８０９、及び第３保持部８１１とからなる。第１保持部８０７は、電子部品８０３を収納するための複数の貫通孔８０５を備える。第１保持部８０７の下面には網状部材８１３が貼付され、電子部品８０５が落下することを防止する。第１保持部８０７の上面側には、第２保持部８０９が装着されている。第２保持部８０９は、枠体に網状部材８１５が貼付されたものであり、第１保持部８０７の電子部品８０５が上方から飛び出さないようにしてある。第３保持部８１１は、第２保持部８０９の枠体と同じ寸法、同じ形状であり、第１保持部８０７が第２保持部８０９と第３保持部８１１との間で挟持される。
【０００７】
電子部品８０３を洗浄するために、被洗浄物保持具８０１を洗浄液が入った槽内に浸漬する。洗浄液は、第１保持部８０７及び第２保持部８０９の網状部材８１３等を介して電子部品８１３に到達し、被洗浄物保持具８０１を回転等することにより電子部品８０３が洗浄される（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開平９−２９８１７９号公報（段落番号〔０００９〕〜段落番号〔００１２〕、第５図）
【特許文献２】特開平６−１０３５１１号公報（段落番号〔０００８〕、第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記特許文献１及び２の構成では、治具や保持具に電子部品が挟持された状態で洗浄される。治具、保持具等は何度も使用するものであるから、使用される度に治具も洗浄される。しかしながら、特許文献１の治具の網状部材や、特許文献２の保持具は、その構造の複雑さから完全に洗浄することが困難である。よって、加工残渣、ゴミ等が治具、保持具自体に付着して残ってしまう恐れがある。そうすると、次に治具等を使用した場合、電子部品を汚染する恐れがある。
【０００９】
さらに、引用文献１のように電子部品を挟持するために、電子部品を治具に取り付ける際、特許文献２のように保持具内で電子部品が自由に動き、電子部品と保持具が接触する際、電子部品にごみ等が発生し汚染される恐れがある。
【００１０】
上記したような汚染された電子部品から作製された製品は、所期の性能を発揮しないことが考えられ好ましくない。
【００１１】
そこで、本発明者等は、上記事象を鑑みて、個々の電子部品を収容する凹部を備え、略板状部材のトレイの使用を鋭意検討した。しかし、電子部品を単に凹部に収容しただけでは、液外と液中との間を搬送する際に、電子部品が凹部から脱落することがある。
【００１２】
また、発明者等は、液面近傍に電子部品が存在する場合に、電子部品に対して表面張力が働き電子部品がトレイから脱落するという知見を得た。図４を参照して表面張力ついて簡単に説明する。図４は、トレイ１０９に載置された電子部品である磁気ヘッドのスライダ１０３の上面１０３ａが、液面１４７より僅かに低い状態を示す。スライダ１０３に対して右側液面１４７ａの表面張力により矢印１４９方向へ引っ張る力が働き、さらに、左側液面１４７ｂの表面張力により矢印１５１方向へ引っ張る力が働く。結果として、引っ張り力１４９、１５１の合力、上向きの合成引っ張り力１５３がスライダに生じる。引っ張り力１５３によりスライダ１０３がトレイ１０９から引き上げられ、液面にばらまかれてしまう恐れがある。
【００１３】
よって、スライダ１０３に加わる合成引っ張り力１５３に抗する大きさの吸引力を、スライダ１０３に適切に付与できるように電子部品吸着搬送装置を制御する必要がある。
【００１４】
そこで、本発明は、洗浄工程において電子部品を汚染する恐れがなく、液中及び液外において電子部品をトレイ上に確実に吸着保持できる電子部品吸着搬送装置及び電子部品吸着搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するための本発明の電子部品吸着搬送装置は、吸引力を発生する第１の吸引源と、前記第１の吸引源からの吸引力を前記電子部品に作用する第１の吸引回路と、略密封した内部空間を有し、前記第１の吸引回路の途中に配置される液体トラップ手段と、を備えることを特徴とする電子部品吸着搬送装置である。
【００１６】
また、本発明の電子部品吸着搬送装置は、吸引孔を備え、前記電子部品が載置されるトレイと、前記トレイに連結可能であり吸引力を発生する第１の吸引源と、前記第１の吸引源と前記トレイとを連結させるとき、前記第１の吸引源と前記吸引孔とを連通することで吸引力を前記電子部品に作用させる第１の吸引回路と、を有する第１の吸引手段と、略密封した内部空間を有し、前記第１の吸引回路の途中に配置される液体トラップ手段と、を備えることを特徴とする電子部品吸着搬送装置である。
【００１７】
上記構成によれば、トレイ上に電子部品を吸着保持した状態で液中及び液外に電子部品を搬送できる。また、第１の吸引回路に、液体を溜めておくための液体トラップ手段を介在させているので、第１の吸引源に液体が侵入することを防止できる。よって、複雑な液体ポンプを使用することなく、また、耐水性、耐食性処理を第１の吸引源に施す必要がない簡易な構成の第１の吸引源を使用できる。
【００１８】
また、本発明の電子部品吸着搬送装置は、トレイに連結可能であり吸引力を発生する第２の吸引源と、前記第２の吸引源と前記トレイとを連結させるとき、前記第２の吸引源と前記吸引孔とを連通することで吸引力を前記電子部品に作用させる第２の吸引回路と、を有する第２の吸引手段を備え、前記第１の吸引手段と前記第２の吸引手段は、選択的に使用可能である。
【００１９】
上記構成により、電子部品が置かれた環境（液中又は液外）に合わせて第１の吸引源及び第２の吸引源を適切に選択して利用できるので、電子部品吸着搬送装置の耐久性、信頼性を向上できる。
【００２０】
さらに、本発明の電子部品吸着搬送装置は、前記第１の吸引回路は、前記トレイから分離可能に前記トレイに連結する。
【００２１】
さらに、本発明の電子部品吸着搬送装置は、前記第２の吸引回路は、前記トレイから分離可能に前記トレイに連結する。
【００２２】
なお、本発明の電子部品吸着搬送装置は、前記第１の吸引源は気体ポンプであり、前記第２の吸引源は液体ポンプである。
【００２３】
本発明の電子部品吸着搬送方法の第１の態様は、電子部品を液中若しくは液外において吸着保持して移動する電子部品吸着搬送方法であって、液外において、第１の吸引源の吸引力を、前記第１の吸引源とトレイとを連結し、液体トラップを有する第１の吸引回路を介して前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持する工程と、前記第１の吸引源の吸引力を前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持した状態で、液面から所定距離の液中の位置まで、前記トレイを降下させる工程と、降下させる工程の後、前記第１の吸引回路を前記トレイから取り外す工程と、第２の吸引源の吸引力を、前記第２の吸引源と前記トレイとを連結する第２の吸引回路を介して前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持する工程と、を備える。
【００２４】
本発明の電子部品吸着搬送方法の第２の態様は、電子部品を液中若しくは液外において吸着保持して移動する電子部品吸着搬送方法であって、液中において、第２の吸引源の吸引力を、前記第２の吸引源とトレイとを連結する第２の吸引回路を介して前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持する工程と、液面から所定距離の液中の位置まで、前記トレイを上昇させる工程と、上昇させる工程の後、前記第２の吸引回路をトレイから取り外す工程と、第１の吸引源の吸引力を、前記第１の吸引源とトレイとを連結し、液体トラップを有する第１の吸引回路を介して前記電子部品に作用させることにより前記電子部品を前記トレイに吸着保持する工程と、前記液中の位置から液外まで、前記第１の吸引源の吸引力を前記電子部品に作用させることにより前記トレイに前記電子部品を吸着保持した状態で前記トレイを上昇させる工程と、を備える。
【００２５】
本明細書において、吸引手段は吸引源と吸引回路からなり、吸引源は吸引力を発生する部材を意味し、吸引回路は吸引源で発生した吸引力を電子部品に導き作用させるための経路を構成する部材を意味する。具体的には、後述の実施形態及び実施例おける気体ポンプや液体ポンプが吸引源に対応し、第１吸引アタッチメント、第１チューブ、第２チューブが第１の吸引回路に対応し、第２吸引アタッチメント、導管、第３チューブが第２の吸引回路に対応する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の電子部品吸着搬送装置及び電子部品吸着搬送方法によれば、吸引手段を用いて電子部品をトレイ上に吸着保持する構成であるので、液中及び液外に拘わらず電子部品を確実に保持できる。さらに、液中及び液外において電子部品がトレイと接触、非接触を繰り返すことがないので、ごみ等が発生することを防止でき、結果として電子部品の汚染を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明による電子部品吸着搬送装置の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、図面において、同じ符号は同一部材を示す。
【００２８】
図１は、本発明の実施形態である電子部品吸着搬送装置１０１の部分断面図である。図１中、電子部品吸着搬送装置１０１が、被洗浄物（電子部品）すなわちスライダ１０３を洗浄するための洗浄液１０５が満たされた貯留槽１０７に配置されている。
【００２９】
電子部品吸着搬送装置１０１は、主として、スライダ１０３が配置された略平板状トレイ１０９を保持するためのトレイ保持手段、すなわちトレイ受け部材１１１と、トレイ受け部材１１１と連結され、スライダ１０３を吸着保持するための第１吸引手段１１３と、液体を貯留するための液体トラップ手段すなわち貯留漕１１９と、から構成される。
【００３０】
トレイ１０９は、複数の断面略矩形状のスライダ収容溝１３９をトレイの一面（図１中において上面）に備え、各スライダ収容溝１３９内にスライダ１０３が収容される。また、スライダ収容溝１３９の底面１３９ａには、トレイ１０９を図中上下方向（矢印１３３）に貫通する吸引孔１４１が連続している。吸引孔１４１の径１４１ａ（図４参照。）は、底面１３９ａの図４中における横方向長さより小さくなるように寸法付けされ、スライダ１０３がスライダ収容溝１３９に収容されると、吸引孔１４１がスライダ１０３により塞がれた状態となる。
【００３１】
図１を参照し、さらに説明すると、トレイ受け部材１１１は、開口部１１２ａを備える略矩形状の枠体１１２と、枠体１１２から図中において矢印１３３方向に延在する柱状の支持部１３７とを備える。枠体１１２の開口部１１２ａは、トレイ１０９の吸引孔１４１の存在する領域全てを上回る大きさであって、トレイ１０９がトレイ受け部材１１１に装着された状態では各吸引孔１４１と開口部１１２ａは直接連通する構成である。なお、枠体１１２は、４つの枠体構成部材を矩形状に連結することにより形成される。一方の対向する枠体構成部材１１２ｂ、１１２ｃの幅（図１中の横方向長さ）は互いに異なり、枠体構成部材１１２ｂの幅は枠体構成部材１１２ｃの幅より小さく寸法付けされている。他方の対向する枠体構成部材１１２ｄの幅は、同寸法である。枠体構成部材１１２ｂには支持部１３７が接続している。支持部１３７には駆動部１３５が連結し、駆動部１３５を駆動すると支持部１３７が昇降しトレイ受け部材１１１が上下方向（矢印１３３方向）に移動する。
【００３２】
さらに、トレイ受け部材１１１の下方には、第１の吸引手段すなわち第１吸引手段１１３が配置されている。第１吸引手段１１３は、第１の吸引源と第１の吸引回路を備える。本実施形態における第１の吸引源は、気体ポンプ（Ｐ１）１１７である。第１の吸引回路は、気体ポンプ（Ｐ１）により発生した吸引力をスライダ１０３に導く経路を構成する部材であり、トレイ受け部材１１１に装着される吸引アタッチメント１１５と、第１チューブ１２９と、第２チューブ１３１と、から構成される。
【００３３】
一面が開放した箱形の第１吸引アタッチメント１１５は、略矩形状の開口１４３をトレイ受け部材１１１と連結する上面側に備えている。開口１４３の幅方向長さ（図１における横方向長さ）は、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａの幅方向長さ（図１における横方向長さ）より僅かに長くなるように寸法付けされている。そして、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａと第１吸引アタッチメント１１５の開口１４３とが略同心となる位置関係でトレイ受け部材１１１と第１吸引アタッチメント１１５とが連結される。第１吸引アタッチメント１１５は、トレイ受け部材１１１に装着された状態では、駆動部１３５により支持部１３７が上下方向（矢印１３３）に移動可能となる。
【００３４】
また、吸引アタッチメント１１５の側壁１１５ａには、側壁１１５ａを貫通する貫通路１４５が設けられている。さらに、吸引アタッチメント１１５は、液体を捕集するためのトラップとして機能する略密閉された内部空間を有する液体トラップ手段すなわち貯留槽１１９に連結されている。吸引アタッチメント１１５の貫通路１４５には第１チューブ１２９の一端が連結され、第１チューブ１２９の他端は、貯留槽１１９の導入口１２５に連結されている。
【００３５】
さらに、貯留槽１１９は、気体ポンプ（Ｐ１）１１７と連結されている。貯留槽１１９の導出口１２７は、第２チューブ１３１の一端が連通し、第２チューブの他端は、気体ポンプ（Ｐ１）１１７と連結している。
【００３６】
このように、トレイ１０９の吸引孔１４１、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａ、第１吸引アタッチメントの内部空間１１５ｂ、貫通路１４５、第１チューブ１２９、貯留漕１１９の内部空間、第２チューブ１３１を連通させることにより、気体ポンプ（Ｐ１）１１７による吸引力が、スライダ１０３に作用する。
【実施例】
【００３７】
図２は、本発明の実施形態である電子部品吸着搬送装置１０１を適用した洗浄装置の実施例の部分断面図である。本実施例は、実施形態の電子部品吸着搬送装置１０１に第２吸引手段２０１を付加したものである。そこで、第２吸引手段２０１の構成について説明する。
【００３８】
第２吸引手段２０１は、第２の吸引源と第２の吸引回路から構成される。第２の吸引源は、液体ポンプ（Ｐ２）２０７である。第２の吸引回路は、液体ポンプ（Ｐ２）２０７により発生した吸引力をスライダ１０３に導き作用させるための経路を構成する部材であり、第２吸引アタッチメント２０３と、第２吸引アタッチメント２０３と液体ポンプ（Ｐ２）を連結する導管２０５と、から構成される。第２吸引アタッチメント２０３は、図２中において上面側が開放した開口２０３ａを備える箱形状である。また、第２吸引アタッチメント２０３は、貯留槽１０７内に固定的に配置されている。
【００３９】
図３を参照してさらに、第２吸引手段２０１について説明する。図３は、第２吸引手段が作動している状態を示す電子部品吸着搬送装置の部分断面図である。
【００４０】
第２吸引アタッチメント２０３は、略矩形状の開口２０３ａをトレイ受け部材１１１と連結する上面側に備えている。開口２０３ａの幅方向長さ（図３における横方向長さ）及び奥行き方向長さ（図３の表裏方向長さ）は、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａの幅方向長さ（図３における横方向長さ）及び奥行き方向長さ（図３の表裏方向長さ）より僅かに長くなるように寸法付けされている。そして、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａと第２吸引アタッチメント２０９の開口２０３ａとが略同心となる位置関係でトレイ受け部材１１１と第２吸引アタッチメント２０９とが連結される。
【００４１】
さらに、第２吸引アタッチメント２０３の底部２０３ｂには導管２０５が連結し、内部空間２０９が導管２０５と連通している。また、導管２０５は、液体ポンプ（Ｐ２）２０７に対して第３チューブ２１１により連結している。このように、トレイ１０９の貫通孔１４１、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａ、第２吸引手段２０１の吸引アタッチメントの内部空間２０９、導管２０５、第３チューブ２１１を連通させ、液体ポンプ（Ｐ２）２０７により発生する吸引力をスライダ１０３に対して作用させる。
【００４２】
次に電子部品吸着搬送装置１０１の作動について本実施例の洗浄装置に関連させて図２〜５を参照して説明する。図３に示されるように、はじめに、第２吸引アタッチメント２０３の上面側に、トレイ受け部材１１１が連結し、前述の第２の吸引回路とトレイ受け部材１１１の開口部１１２ａが連通する。この状態では、スライダ１０３に対してトレイ受け部材１１１方向（矢印２１３）への吸引力が働いているので、スライダは確実に保持されている。また、液体ポンプ（Ｐ２）２０７による吸引力で液体が導管内部２１９を矢印２１５、２１７方向に進み、最終的にポンプ２０７に導かれる。ポンプ２０７内に導かれた液体は不図示の排出口からポンプ外部へ排出される。
【００４３】
次に、第２吸引手段２０１の液体ポンプ（Ｐ２）２０７を駆動させたまま、駆動部１３５によりトレイ受け部材１１１を上昇させる（図５参照。）。この時、第２吸引手段２０１がトレイ受け部材１１１から分離、すなわち第２吸引源２０７と各吸引孔１４１とが分離される。その結果、液体ポンプ（Ｐ２）２０７の吸引力により、第２吸引アタッチメント２０３の周りの液体が内部空間２０９内へ流入（矢印２１３，２１５、２１７）する。結果として、スライダ１０３にはトレイ１０９に対して押し付けられる方向の吸引力が生じ、スライダ１０３がトレイ１０９に保持された状態が維持される。
【００４４】
さらに、前述した表面張力（図４の矢印１４９、１５１）の影響を受けない深さまでトレイ１０９を上昇させる。ここで、第１吸引手段１１３の吸引アタッチメント１１５を矢印１５５右方向（図２中において右方向）に移動させ、第１吸引手段１１３をトレイ受け部材１１１に連結する。その状態が図２に示されている。
【００４５】
このように、スライダ１０３を液内から液外へ搬送する際には、液体ポンプ（Ｐ２）２０７に過負荷を与えることを防止するため、第１吸引手段１１３の気体ポンプ（Ｐ１）１１７を使用する。従って、第１吸引アタッチメント１１５がトレイ受け部材１１１に摺動自在に装着されている。
【００４６】
スライダ１０３を吸着保持した状態で、駆動部１３５を駆動し、支持部１３７を上昇させる（矢印１３３上方向）。スライダ１０３は液面１４７より下方に位置する場合、液体が第１の吸引回路に入り込む場合があるが、吸引回路の途中に配置された貯留槽１１９により液体１２３が貯留槽１１９内に溜められる（トラップ機能）。よって、液体が気体ポンプ（Ｐ１）に導入されることを防止できる。
【００４７】
第１吸引手段１１３を作動させると、気体ポンプ（Ｐ１）１１７の吸引力は、貯留槽１１９、前記第１の吸引回路、トレイ受け部材、トレイを介してスライダ１０３に吸引力が作用する。引かれた気体は、矢印１４９，１５１に沿って進み、貯留槽１１９へと導かれる。さらに、貯留槽１１９の気体が矢印１５３に沿って気体ポンプ（Ｐ１）１１７に導かれ、不図示の排出口から気体ポンプ（Ｐ１）１１７外へと排出される。
【００４８】
最後に、電子部品吸着搬送装置１０１のトレイ受け部材１１１が、液面１４７より上に位置させた状態で、スライダ１０３をスライダ収容溝１３９に配置したトレイ１０９をトレイ受け部材１１１から取り外す。
【００４９】
本実施例ではトレイ１０９を保持するためにトレイ受け部材１１１を用い、吸引回路とトレイの吸引孔との間にトレイ受け部材１１１の開口部１１２ａを介在させる構成とした。しかし、トレイ受け部材１１１を用いることなく、例えば、トレイ１０９の両側方から押圧し、トレイ１０９を保持するチャック機構（不図示）を第１或いは第２吸引アタッチメントに設けた場合には、第１或いは第２の吸引手段における吸引源とトレイの分離は、トレイ１０９と、第１吸引アタッチメント１１５或いは第２吸引アタッチメント２０９との間で直接為される構成とできることは言うまでもない。
【００５０】
本実施例では、第１吸引手段において気体ポンプを使用し、第２吸引手段において液体ポンプを使用しているので、スライダが液外にある場合、若しくは液中にある場合それぞれに最も適した構成によりスライダを吸着保持することが可能となる。なお、本実施例で使用した液体ポンプを備える第２吸引手段は、付加的な構成要素である。よって、液中において長期間スライダ等の電子部品を保持する必要がなければ、液体ポンプを有する第２吸引手段を設けずに、第１吸引手段のみを使用する構成とすることができることは言うまでもない。
【００５１】
上記の構成により、液体ポンプ（Ｐ２）は、所定の流体抵抗が得られる状況でのみ使用されることとなり、液体ポンプ（Ｐ２）に過負荷による故障等を防止できる。
さらに、気体ポンプ（Ｐ１）は、スライダが表面張力の影響を受けない深さで使用するので、気体ポンプ（Ｐ１）と液体ポンプ（Ｐ２）との切り替えの際、吸引力の制御ができない区間があっても、表面張力や流体抵抗などに起因するトレイから取り外そうとする力に抗してスライダを確実に保持できる。
【００５２】
本実施形態及び本実施例において使用したトレイは、断面矩形状のスライダ収容溝としたが、この形状に限定されない。すなわち、トレイの表面にスライダが載置される領域を囲むように突起を形成した構成であっても良い。
【００５３】
本実施形態及び本実施例において、液外にあるスライダを液中に搬送する工程についてのみ説明したが、液中にあるスライダを液外に搬送する工程は、液外から液中への作動と逆の工程により作動させれば良いことは言うまでもない。
【００５４】
また、本実施例では、第２吸引アタッチメントを固定的に配置し、トレイ受け部材１１１のみを上下方向に移動可能としたが、第２吸引アタッチメントを上下方向に移動できる構成としても良いことは言うまでもない。
【００５５】
実施形態において、電子部品としてスライダを用いたが、他の積層チップ等の他の微細電子部品を使用できることは言うまでもない。
【００５６】
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施形態の電子部品吸着保持装置の部分断面図である。
【図２】本発明の実施形態の電子部品吸着保持装置を洗浄装置に適用した実施例の部分断面図である。
【図３】図２の第２吸引手段が作動している状態を示す部分断面図である。
【図４】図２のIV部分の拡大図である。
【図５】図２の第２吸引手段の稼動を開始した状態を示す図である。
【図６】従来の洗浄装置で使用される治具の断面図である。
【図７】他の従来の洗浄装置で使用される保持具の展開図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０１      電子部品吸着搬送装置
１０９      トレイ
１１１      トレイ受け部材
１１３      第１吸引手段
１１５      第１吸引アタッチメント
１１７      気体ポンプ（Ｐ１）
１１９      貯留槽
２０１      第２吸引手段
２０３      第２吸引アタッチメント
２０７      液体ポンプ（Ｐ２）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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