(57)【要約】【課題】ダイシング用リングフレームからダイシングシートを迅速且つ確実に剥離させる。【解決手段】外周縁よりも内側で内孔を含む片面全領域を被うようにシートを貼着されたリングフレームの前記片面の外周縁を水平状に支持する支持台部１２と、該支持台部１２に支持されたリングフレームの内孔内を上下方向へ通過するように往復駆動される移動支持体１１とを備え、該移動支持体１１には針部材１１ｆと、該針部材１１ｆの近傍に位置された押圧部材１１ｇとが上下方向の相対変位作動可能に装設され、移動支持体１１が特定高さよりも高い位置にあるときには押圧部材１１ｇが針部材１１ｆの先端よりも上側に位置され、一方、移動支持体１１が特定高さよりも低い位置に降下されたときには押圧部材１１ｇが針部材１１ｆの先端よりも下側に位置される構成である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周縁よりも内側で内孔を含む片面全領域を被うようにシートを貼着されたリングフレームの前記片面の外周縁を水平状に支持する支持台部と、該支持台部に支持された前記リングフレームの内孔内を上下方向へ通過するように往復駆動される移動支持体とを備え、該移動支持体には下向きとなされた針部材と、該針部材の近傍に位置された押圧部材とが上下方向の相対変位作動可能に装設されており、前記移動支持体が特定高さよりも高い位置にあるときには前記押圧部材が前記針部材の先端よりも上側に位置され、一方、前記移動支持体が特定高さよりも低い位置に降下されたときには前記押圧部材が前記針部材の先端よりも下側に位置されることを特徴とするリングフレーム貼着シート剥離装置。
【請求項２】
外周縁よりも内側で内孔を含む片面全領域を被うようにシートを貼着されたリングフレームの前記片面の外周縁を水平状に支持する支持台部と、該支持台部に支持された前記リングフレームの内孔内を上下方向へ通過するように往復駆動される移動支持体とを備え、該移動支持体には上方視で前記内孔の特定直径の各端部近傍となる箇所から下方へ突出された針部材と、これら針部材の近傍に位置された押圧部材とが上下方向の相対変位作動可能に装設されており、前記移動支持体が特定高さよりも高い位置にあるときには前記押圧部材がぞれぞれの前記針部材の先端よりも上側に位置され、一方、前記移動支持体が特定高さよりも低い位置に降下されたときには前記押圧部材がそれぞれの前記針部材の先端よりも下側に位置されることを特徴とするリングフレーム貼着シート剥離装置。
【請求項３】
前記移動支持体が上方視で前記内孔の外周囲近傍となる範囲内でしかも前記押圧部材の存在している範囲の外方となる領域において周方向へ適当に離れて配置された複数の下向き押面を具備しており、これら下向き押面と前記押圧部材とがシートを下方へ押圧する構成となされていることを特徴とする請求項１又は２記載のリングフレーム貼着シート剥離装置。
【請求項４】
前記複数の下向き押面と、前記押圧部材の両端箇所とが上方視で欠円形状の前記内孔の外周縁近傍を押圧するように配置されていることを特徴とする請求項３記載のリングフレームの貼着シート剥離装置。
【請求項５】
前記リングフレームが前記支持台部に支持される前に、前記シートに紫外線が照射されることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載されたリングフレーム貼着シート剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、リングフレームにその内孔を閉鎖するように貼着されたシートを剥離させるためのリングフレーム貼着シート剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  半導体製造現場では、ダイシング用リングフレームにこれの外周縁よりも内側でこれの内孔を含む下面全領域を被うようにダイシングシートが貼着されるのであり、また前記内孔の内方に位置したダイシングシートの上面にウエハ又は半導体回路パッケージなどが貼着されるのであり、またこのように貼着された状態のウエハや半導体回路パッケージなどをダイサーでダイシングして微少細片となす処理が行われている（特許文献１参照）。【０００３】  ダイシングされた後のウエハ又は半導体回路パッケージなどの微少細片は良品質のもののみがダイシングシートから剥離されて搬出されるのであり、該搬出の終了したとき、ダダイシングシート上には不良品質の微少細片が搬出されることなく付着した状態で残留する。
該状態のダイシングシートはダイシング用リングフレームから剥離されて廃棄されるのであり、一方、ダイシング用リングフレームは洗浄された後、再使用されるのである（特許文献２参照）。【０００４】  ウエハや半導体回路パッケージなどのダイシングの生産性を向上させる上では、ダイシング用リングフレームからダイシングシートを剥離する処理を能率的且つ的確に行うことが重要である。【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３３２２６７号公報
【特許文献２】特開平８−２１３３４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  本発明は、ダイシング用リングフレームからダイシングシートを迅速且つ確実に剥離させることを可能としたリングフレーム貼着シート剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  上記目的を達成するため、本発明は、請求項１に記載したように、外周縁よりも内側で内孔を含む片面全領域を被うようにシートを貼着されたリングフレームの前記片面の外周縁を水平状に支持する支持台部と、該支持台部に支持された前記リングフレームの内孔内を上下方向へ通過するように往復駆動される移動支持体とを備え、該移動支持体には下向きとなされた針部材と、該針部材の近傍に位置された押圧部材とが上下方向の相対変位作動可能に装設されており、前記移動支持体が特定高さよりも高い位置にあるときには前記押圧部材が前記針部材の先端よりも上側に位置され、一方、前記移動支持体が特定高さよりも低い位置に降下されたときには前記押圧部材が前記針部材の先端よりも下側に位置される構成としている。【０００８】  さらに詳細には、請求項２に記載したように、外周縁よりも内側で内孔を含む片面全領域を被うようにシートを貼着されたリングフレームの前記片面の外周縁を水平状に支持する支持台部と、該支持台部に支持された前記リングフレームの内孔内を上下方向へ通過するように往復駆動される移動支持体とを備え、該移動支持体には上方視で前記内孔の特定直径の各端部近傍となる箇所から下方へ突出された針部材と、これら針部材の近傍に位置された押圧部材とが上下方向の相対変位作動可能に装設されており、前記移動支持体が特定高さよりも高い位置にあるときには前記押圧部材がぞれぞれの前記針部材の先端よりも上側に位置され、一方、前記移動支持体が特定高さよりも低い位置に降下されたときには前記押圧部材がそれぞれの前記針部材の先端よりも下側に位置される構成としている。【０００９】  上記発明は次のように具体化することができる。
即ち、請求項３に記載したように、前記移動支持体が上方視で前記内孔の外周囲近傍となる範囲内でしかも前記押圧部材の存在している範囲の外方となる領域において周方向へ適当に離れて配置された複数の下向き押面を具備しており、これら下向き押面と前記押圧部材とがシートを下方へ押圧する構成となす。【００１０】  また請求項４に記載したように、前記複数の下向き押面と、前記押圧部材の両端箇所とが上方視で欠円形状の前記内孔の外周縁近傍を押圧するように配置されている構成となす。【００１１】  さらには請求項５に記載したように、外周縁よりも内側で内孔を含む片面側全領域を被うようにシートを貼着されたリングフレームが前記支持台部に支持される前に、前記シートに紫外線が照射される構成となす。
【発明の効果】
【００１２】  本発明によれば次のような効果が得られる。
即ち、請求項１記載のものによれば、針部材がシートに突き刺さったまま押圧部材がシートを押し下げるようになるため、シートは押圧部材から外れることなく確実に下方へ押し下げられてリングフレームから剥離されるものとなり、またこうして剥離されたシートがたとえ針部材に突き刺さってシートの自重で抜け落ちないときにも、押圧部材が針部材よりも下側へ相対変位されることにより、シートは針部材から確実に抜き落とされるものとなり、リングフレームからシートを剥離させる処理を能率的且つ確実に行わせることのできるものである。【００１３】  請求項２記載のものによれば、請求項１記載の発明と同様の効果が得られる上に次のような効果が得られるのであって、即ち、針部材が上方視でリングフレームの内孔の特定直径の各端部近傍となる箇所から下方へ突出されているため、移動支持体の下降時に一対の針部材がシートの略両端部に突き刺さり且つ押圧部材がシートの特定直径の略両端近傍となる箇所を下方へ押圧するようになり、従って押圧部材に対するシートの水平方向滑りが生じ難くなり、シートをリングフレームから一層的確に剥離させることができるものである。【００１４】  請求項３記載のものによれば、下向き押し面と前記押圧部材とがシートを下方へ押圧するため、シートの外周囲に比較的均等に下向き力が付与されるようになり、シートをリングフレームから一層的確に剥離させることができるものとなる。【００１５】  請求項４記載のものによれば、リングフレームの欠円形状の内孔を覆うように貼着されたシートであっても、該シートの外周囲に比較的均等に下向き力が付与されるようになり、シートに過大な応力を発生させることなく確実に剥離させることができるものとなる。【００１６】  請求項５記載のものによれば、シートが紫外線照射により接着力を低下されるものである場合に、シートをリングフレームから一層確実に剥離させることができるものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】  次に本発明の実施例について説明する。
図１は本発明に係るリングフレーム貼着シート剥離装置を備えたダイシング用リングフレーム洗浄機の平面図、図２は前記ダイシング用リングフレーム洗浄機の正面図、図３は前記ダイシング用リングフレーム洗浄機の右側面図、図４は前記ダイシング用リングフレーム洗浄機の左側面図、図５はダイシングシートの貼着されたダイシング用リングフレーム（被処理物）を示す平面図、図６は前記リングフレーム貼着シート剥離装置を示す側面図、図７は前記リングフレーム貼着シート剥離装置の支持台周辺を示す平面図、図８は前記リングフレーム貼着シート剥離装置の要部の作動状態を示す側方視説明図、図９は前記リングフレーム貼着シート剥離装置の変形使用例を示す平面視説明図である。【００１８】  図１〜図４において、１は概ね方形状のケーシングであり、該ケーシング１は前壁面部１ａの左端部と右壁面部１ｂの中央部のそれぞれに被処理物載置台車２の荷台部２ａをケーシング１内に押し入れるための台車押入用開口ａ１、ａ２が形成され、一方の台車押入用開口ａ１の上側の前壁面部１ａ箇所に操作パネル３が設けられており、必要箇所には透視板で覆われた窓ａ３や開閉可能部ａ４が形成されている。【００１９】  被処理物載置台車２の荷台部２ａには被処理物ｗが載置されるのであり、この例における被処理物ｗは図５に示すようなものであって、即ち、ダイシング用リングフレーム４の下面にダイシングシート４ａが貼着されダイシングシート４ａ上面にダイシングされたウエハなどの不良品質細片が付着している状態のものであり、この際、ダイシング用リングフレーム４はステンレス材や樹脂材などで形成されるのであり、またダイシングシート４ａは、紫外線を照射されることにより硬化し接着力を低下される接着剤層を上面に形成されており、紫外線を照射される前には該接着剤層が比較的大きい接着力を発揮し該接着力でダイシング用リングフレーム４に貼着されるものである。【００２０】  上記ケーシング１内には、被処理物供給部５、紫外線照射部６、シート除去部７、洗浄部８、及び、被処理物搬出部９などが形成されている。
被処理物供給部５は、被処理物載置台車２の荷台部２ａを台車押入用開口ａ１を通じてケーシング１内に押し込まれたとき、該荷台部２ａを図１などに示した状態で位置決めする位置決め手段を具備しており、特定位置に位置決めされた荷台部２ａ上に段重ね状に載置された被処理物ｗを昇降受台５ａで持ち上げつつ一枚づつを取り上げてその水平姿勢を維持させて紫外線照射部６に移動させるものとなされている。
荷台部２ａ上の被処理物ｗが無くなったときには、その対応する被処理物載置台車２をケーシング１から引き出して、代わりに別の被処理物載置台車２を押し込むようにする。【００２１】  紫外線照射部６は、紫外線を上方へ向けて発出する紫外線発生手段６ａを被処理物ｗの移送経路よりも下側に設けられており、被処理物供給部５が１枚の被処理物ｗを紫外線発生手段６ａの真上に移動させたとき、紫外線発生手段６ａが紫外線を被処理物ｗの下面に予め定められた一定時間照射し、該一定時間が経過したとき該被処理物ｗをシート除去部７へ移動させるものとなされている。この際、紫外線発生手段６ａによる紫外線の照射はダイシングシート４ａの接着剤層を硬化させてダイシングシート４ａとダイシング用リングフレーム４との間の接着力を減少させる。【００２２】  シート除去部７は、被処理物ｗであるダイシング用リングフレーム４からダイシングシート４ａを剥離させて落下させるものとした本発明に係るリングフレーム貼着シート剥離装置７ａを備えており、該シート剥離装置７ａがダイシングシート４ａを剥離させた後にダイシング用リングフレーム４を洗浄部８に移動させるようになされると共に、該シート剥離装置１２によりダイシング用リングフレーム４から剥離されて落下する使用済みのダイシングシート４ａをビニール袋などの容器内に受け入れるためのシート収容部７ｂを形成されるほか、該シート収容部７ｂ近傍の前壁面部１ａ箇所の開閉可能部ａ４から容器を出し入れできるようになされている。【００２３】  上記リングフレーム貼着シート剥離装置７ａについてさらに詳細に説明すると、図６及び図７に示すように、駆動部１０で上下方向へ往復駆動される移動支持体１１と、被処理物ｗを上面で支持する支持台部１２とを備えている。【００２４】  駆動部１０は出力ロッド１０ａを比較的大きなストロークで上下移動させる縦向きの空気圧シリンダ装置となされており、該空気圧シリンダ装置１０はケーシング１と同体状に固定された起立状支持フレーム部材１３ａに前後向き支持部材１３ｂを固定し、該前後向き支持部材１３ｂに結合部材１３ｃを介して固定されている。【００２５】  移動支持体１１は、空気圧シリンダ装置１０の出力ロッド１０ａから左側へ片持ち状に張り出された張出部材１４の先端部に固定されており、該張出部材１４の先端部下面に固着された保持筒部材１１ａと、該保持筒部材１１ａに内嵌され押しボルトで固定された中心筒部材１１ｂと、該中心筒部材１１ｂの外周面から略水平方向へ放射状に張り出された６本の腕部材１１ｃ、１１ｄ、１１ｅと、腕部材１１ｃ、１１ｄを介して固定された一対の針部材１１ｆと、該針部材１１ｆに関連して配置された押圧部材１１ｇとを備えるほか、針部材１１ｆと押圧部材１１ｇとを上下方向へ相対変位させるための駆動手段１１ｈを形成したものとなされている。【００２６】  この際、上記６本の腕部材１１ｃ、１１ｄ、１１ｅのうちの、４本の腕部材１１ｃ、１１ｄは中心筒部材１１ｂの左右各側へそれぞれ２本づつ比較的長く延出されており、また他の２本の腕部材１１ｅは中心筒部材１１ｂの前後側へそれぞれ１本づつ比較的短く延出されている。そして６本の腕部材１１ｃ、１１ｄ、１１ｅのそれぞれは先部を下方へ突出させてその下端面にダイシングシート４との剥離性を容易となすための樹脂材からなる剥離容易化部材ｃ１を固定しており、該剥離容易化部材ｃ１の下面がダイシングシート４を下方へ押圧するための下向き押面ｃとなされている。【００２７】  中心筒部材１１ｂの左側の２本の腕部材１１ｃ、１１ｃの先部間と、中心筒部材１１ｂの右側の２本の腕部材１１ｄ、１１ｄの先部間のそれぞれは連結板１１ｉで結合されており、それぞれの連結板１１ｉの下面からは中心筒部材１１ｂから離れる側へ針支持部材１１ｊが張り出され、それぞれの針支持部材１１ｊの先部に針部材１１ｆが下方への突出状に固着されている。【００２８】  押圧部材１１ｇは短冊形状となされ左右両端部に一対の針挿通孔ｄ１、ｄ１を形成されており、各針挿通孔ｄ１にはその対応する側の針部材１１ｆがこれの先端側から内挿されており、また押圧部材１１ｇの各端部の下面に既述の剥離容易化部材ｃ１と同様な剥離容易化部材ｃ２が固定されたものとなされており、該剥離容易化部材ｃ２のそれぞれはその対応する針部材１１ｆの挿通される針挿通孔ｄ２（図８参照）を具備し、下端面がダイシングシート４に当接される下向き押面ｃとなされている。【００２９】  駆動手段１１ｈは、張出部材１４に比較的小さい上下向きの空気圧シリンダ装置１５を固定し、一方では押圧部材１１ｇの左右長さ中央箇所から上方へ延出させた支持摺動棒１６を設け、該支持摺動棒１６を中心筒部材１１ｂの上下向き中心孔に内挿し、該支持摺動棒１６の上端と空気圧シリンダ装置１５の出力ロッドの下端とを上下方向長さ調製可能な結合手段１７を介して連結させ、空気圧シリンダ装置１５の短縮状態では図６中の符号ｅ１箇所に示すように押圧部材１１ｇが針部材１１ｆの先端よりも上側に位置した状態となり、一方、空気圧シリンダ装置１５の伸張状態では図６中の符号ｅ２箇所に示すように押圧部材１１ｇが針部材１１ｆの先端よりも下側に位置した状態になるものとなされている。【００３０】  支持台部１２は、起立状支持フレーム部材１３ａと同体状に支持され上表面がダイシング用リングフレーム４に対する摩擦抵抗を低減させる樹脂材などの摩擦低減化材で被われ上方視略中央箇所にダイシング用リングフレーム４の外径よりも僅かに小さい径の透孔ｆ１を形成された水平台１２ａを備え、該水平台１２ａの上側に、水平台１２ａ上面で支持されたダイシング用リングフレーム４の外周縁の上面を任意時に押圧するものとした一対の空気圧押圧手段１２ｂを形成されている。該空気圧押圧手段１２ｂはダイシング用リングフレーム４を水平台１２ａに載せるとき、透孔ｆ１から横外方へ離れるように退避移動し、水平台１２ａの透孔ｆ１の真上にダイシング用リングフレーム４が載置された後に進出移動してダイシング用リングフレーム４の外周縁を水平台１２ａ上に押圧するものとなされている。【００３１】  洗浄部８は、シート除去部７から移送された被処理物ｗであるダイシング用リングフレーム４を左側へ送り移動させる過程で、その上下側からダイシング用リングフレーム４に洗浄液を供給しつつ上下側からブラシロール８ａで摺擦して残留した接着剤などをダイシング用リングフレーム４から分離させ、次��多数の噴射ノズル８ｂから水を散水状に噴出させて洗浄液を洗い流し、次に乾燥手段８ｃによりダイシング用リングフレーム４に付着した水分を吸引分離させ真空圧下で蒸発させるようにしてダイシング用リングフレーム４を乾燥させ、このように処理されたダイシング用リングフレーム４を被処理物搬出部９に送り出すものとなされている。なお、８ｄは乾燥手段８ｃに真空圧を付与すると共に吸引分離させた水分を溜めるための真空付与液収容部である。【００３２】  被処理物搬出部９は、被処理物載置台車２の荷台部２ａを台車押入用開口ａ２を通じてケーシング１内に押し込まれたとき、該荷台部２ａを図１などに示した状態に位置決めする位置決め手段を具備しており、洗浄部８から順次に荷台部２ａの真上位置に１枚づつ送り出される被処理物ｗを継送手段９ａが受けとって昇降台９ｂ上に載せていき、昇降台９ｂ上に被処理物ｗが満載されたとき昇降台９ｂの下降により被処理物ｗが荷台部２ａに移載されるものとなされている。
該移載の後、作業者はその被処理物載置台車２をケーシング１から引き出し、代わりに別の被処理物載置台車２を押し入れるようにする。【００３３】  次に前記リングフレーム貼着シート剥離装置１２の作動などについてさらに詳細に説明する。
紫外線照射部６で紫外線を照射された被処理物ｗは、空気圧シリンダ装置１０の出力ロッド１０ａが最上位置に移動された状態の下で、移動支持体１１よりも低い位置を図１中の水平左方向へ移動されて水平台１２ａ上面に到達し透孔ｆ１の真上位置に位置した状態となされる。
このとき、ダイシング用リングフレーム４はダイシングシート４ａの貼着された側である下面箇所でダイシングシート４貼着範囲の外方となる外周縁のうち図中の斜線範囲箇所ｓ１を水平台１２ａ上面で支持され、ダイシング用リングフレーム４の内孔ｆ２は透孔ｆ１と略同心に配置される。【００３４】  次に空気圧押圧手段１２ｂが水平台１２ａ上面に位置されたダイシング用リングフレーム４の斜線範囲箇所ｓ１内の複数位置を空気圧を介して水平台１２ａ上面に押さえ付けるのであり、これにより該ダイシング用リングフレーム４は水平台１２ａ上面に固定された状態となる。【００３５】  この後、空気圧シリンダ装置１０が作動して出力ロッド１０ａが下降作動し、移動支持体１１が出力ロッド１０ａと同体状に降下変位される。該降下変位中、先ず一対の針部材１１ｆがダイシング用リングフレーム４の内孔ｆ２の直径両端近傍のダイシングシート４ａ箇所に突き刺さり、押圧部材１１ｇの剥離容易化部材ｃ２の下向き押面ｃがダイシングシート４ａを押し下げ、次に各腕部材１１ｃ、１１ｄ、１１ｅの先端部の剥離容易化部材ｃ１の下向き押面ｃが内孔ｆ２の外周囲近傍の複数のダイシングシート４ａ箇所に当接してこれらダイシングシート４ａ箇所を押し下げるようになる。【００３６】  これによりダイシングシート４ａは移動支持体１１を介して比較的均等に下方へ押されていき、しかも一対の針部材１１ｆがダイシングシート４ａに突き刺さっているためダイシングシート４ａは何れの向きの水平移動をも規制され、移動支持体１１の降下距離の増大に伴ってダイシング用リングフレーム４から確実に剥離されていくのである。この際、ダイシングシート４ａが紫外線照射部６で紫外線を照射されて接着剤層の接着力を低下されていることが該剥離を円滑となす。【００３７】  移動支持体１１が図６中の符号ｅ２で示す位置の近傍に到達したときには、ダイシングシート４ａはダイシング用リングフレーム４から完全に剥離した状態となっており、このように剥離されたダイシングシート４ａは自重で針部材１１ｆから抜け落ちてシート収容部７ｂの容器内に落下したり或いは図８に示すように針部材１１ｆに引っ掛かって垂れ下がった状態となる。【００３８】  移動支持体１１が図６中の符号ｅ２で示す位置に到達したときは、空気圧シリンダ装置１５が伸張作動して支持摺動棒１６を降下させるのであり、これにより押圧部材１１ｇは降下して針部材１１ｆに引っ掛かっているダイシングシート４ａを押し下げるものとなり、押圧部材１１ｇが図６中の符号ｅ２箇所に示すように針部材１１ｆの先端よりも下側に移動されたとき、該ダイシングシート４ａは完全に針部材１１ｆから押し外され、以後は自重でシート収容部７ａの容器内に落下する。【００３９】  上記作動において、仮に移動支持体１１が針部材１１ｆを有しないものであれば、移動支持体１１がダイシングシート４ａを押し下げるとき、ダイシングシート４ａの接着力の弱い一部箇所が先行してダイシング用リングフレーム４から剥離されることから、移動支持体１１が図６中の符号ｅ２に示す位置に到達しても、未だダイシングシート４ａはこれの一部がダイシング用リングフレーム４に接着したままとなってダイシング用リングフレーム４から垂れ下がった状態で残存するような現象が生じ得るが、本発明においては針部材１１ｆの存在により該現象は確実に防止されるのである。【００４０】  また仮に移動支持体１１が複数の下向き押面ｃを有していないものであれば、針部材１１ｆ及び押圧部材１１ｇがダイシングシート４ａを押し下げるとき、針部材１１ｆ及び押圧部材１１ｇに近いダイシングシート４ａ箇所は針部材１１ｆ及び押圧部材１１ｇから下向きの効果的な剥離力を付与されるものの、針部材１１ｆ及び押圧部材１１ｇから遠いダイシングシート４ａ箇所は斜め向きの剥離力を付与される傾向が強くなって、ダイシングシート４ａが円滑に剥離されずダイシング用リングフレーム４に過大な外力が作用したり或いはダイシングシート４ａが引き裂かれてその一部がダイシング用リングフレーム４に残留するような現象の生じることもないとは言えないのであるが、本発明では移動支持体１１が均等に配置された下向き押面ｃを有するため、ダイシングシート４ａの全周囲に下向きの度合いの強い効果的な剥離力が付与され、該現象は確実に回避されるのである。【００４１】  次に該リングフレーム貼着シート剥離装置１２の他の使用例について説明する。
半導体パッケージのような長方形板部材をダイシングするときは図９に示すような欠円形状の内孔ｆ２を有するダイシング用リングフレーム４が使用されることがある。この場合にはダイシングシート４ａはダイシング用リングフレーム４の欠円形状の内孔ｆ２の外周囲を取り巻くものとなるフレーム箇所の内方範囲（点線ｓ２で囲まれた範囲）のみを覆うように貼着される。【００４２】  このようなものとなされたダイシング用リングフレーム４からダイシングシート４ａを剥離させる場合には、水平台１２ａの透孔ｆ１を内孔ｆ２よりも僅かに小さい相似欠円形状になし、またダイシング用リングフレーム４は内孔ｆ２の長径方向が水平台１２ａの左右向き方向に合致するように水平台１２ａ上面に位置決めされて固定されるのである。【００４３】  該固定状態の下で移動支持体１１が降下されると、中心筒部材１１ｂの前後箇所に設けられた２本の腕部材１１ｅが他の腕部材１１ｃ、１１ｄに較べて比較的短くなされているため、複数の腕部材１１ｃ、１１ｄ、１１ｅに形成された下向き押面ｃが欠円形状の内孔ｆ２の外周囲近傍に比較的均等に存在した状態となるのであり、従ってダイシングシート４ａは欠円形状の内孔ｆ２の外周囲近傍箇所を比較的均等に下方へ押圧されて、全周囲に下向きの度合いの強い剥離力を付与されるものとなり、ダイシング用リングフレーム４に過大な外力を及ぼすことなく円滑且つ確実に剥離されるのである。【００４４】  次に上記実施例の変形例について言及する。
上記実施例では、中心筒部材１１ｂと同体状となした針部材１１ｆに対して、押圧部材１１ｇを空気圧シリンダ装置１５で上下移動させるようになしたが、これに代えて、中心筒部材１１ｂと同体状となした押圧部材１１ｇに対して、針部材１１ｆを空気圧シリンダ装置１５で上下駆動させるようになすことも差し支えない。【００４５】  また上記実施例ではダイシングシート４ａが紫外線を照射されることによりダイシング用リングフレーム４に対する接着力が低下する接着剤層を形成されたものとなされていたが、紫外線を照射されても接着力が低下しない接着剤層を形成されたものであってもよいのであり、この場合は、紫外線照射部６による紫外線照射処理は省略する。
また腕部材１１ｃ、１１ｄ、１１ｅの数や針部材１１ｆの数は任意に増減して差し支えないのであり、例えば針部材１１ｆは移動支持体１１の平面視中央に１本だけ設けてもよい。【００４６】  さらに上記実施例では押圧部材１１ｇの針挿通孔ｄ１に針部材１１ｆを挿通させる構成としたが、これに限定するものではなく、針部材１１ｆの横近傍に押圧部材１１ｇを存在させることで足りるのであり、例えば押圧部材１１ｇの端部に平面視Ｕ字状の切欠を形成し、該切欠内に針部材１１ｆを挿通させることも差し支えない。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係るリングフレーム貼着シート剥離装置を備えたダイシング用リングフレーム洗浄機の平面図である。
【図２】前記ダイシング用リングフレーム洗浄機の正面図である。
【図３】前記ダイシング用リングフレーム洗浄機の右側面図である。
【図４】前記ダイシング用リングフレーム洗浄機の左側面図である。
【図５】ダイシングシートの貼着されたダイシング用リングフレーム（被処理物）を示す平面図である。
【図６】前記リングフレーム貼着シート剥離装置を示す側面図である。
【図７】前記リングフレーム貼着シート剥離装置の支持台周辺を示す平面図である。
【図８】前記リングフレーム貼着シート剥離装置の要部の作動状態を示す側方視説明図である。
【図９】前記リングフレーム貼着シート剥離装置の変形使用例を示す上方視説明図である。
【符号の説明】
【００４８】４ａ  ダイシングシート
６  紫外線照射部
１１  移動支持体
１１ｆ  針部材
１１ｇ  押圧部材
１２  支持台部
ｃ  下向き押面
ｗ  ダイシング用リングフレーム
【図１】
2006190724.tif 000003
【図２】
2006190724.tif 000004
【図３】
2006190724.tif 000005
【図４】
2006190724.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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