(57)【要約】【課題】  幅規制部材の近傍における塗布液の回り込みを防いで塗布液を精度良く吐出させる技術を提供する。【解決手段】  スロットダイ１８の先端面のうちスロットよりも下流側の下流側ダイ先端面１６Ｂは、上流側ダイ先端面１６Ａよりも支持体１４に近接した位置に配置される。スロットには幅規制部材６０が挿入され、スロットから支持体１４に向かって吐出される塗布液の塗布幅が規制される。幅規制部材６０の先端面６２は、上流側ダイ先端面１６Ａと略連続するとともに下流側ダイ先端面１６Ｂと略連続する。【選択図】 図３
2006272270.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バックアップローラにより支持された状態で連続走行する支持体の表面に向かってスロットダイのスロットから塗布液を吐出させるとともに、前記スロットダイと前記支持体との間に架設される塗布液のビードの支持体上流側を減圧チャンバーによって減圧し、当該ビードによって前記支持体の表面に前記塗布液を塗布する塗布液の塗布方法において、
前記スロットダイの先端面のうち前記スロットよりも下流側の下流側ダイ先端面は、上流側の上流側ダイ先端面よりも前記支持体に近接した位置に配置され、
前記スロットには、当該スロットから前記支持体に向かって吐出される塗布液の塗布幅を規制する幅規制部材が挿入され、
前記幅規制部材の先端面は、上流側ダイ先端面と略連続するとともに下流側ダイ先端面と略連続することを特徴とする塗布液の塗布方法。
【請求項２】
前記上流側ダイ先端面の前記幅規制部材側の端部と前記幅規制部材の先端面の前記上流側ダイ先端面側の端部との距離は０μｍ以上１０μｍ以下であり、前記下流側ダイ先端面の前記幅規制部材側の端部と前記幅規制部材の先端面の前記下流側ダイ先端面側の端部との距離は０μｍ以上１０μｍ以下であるとともに、前記上流側ダイ先端面のうち前記幅規制部材側の端部は、前記幅規制部材の先端面のうち前記上流側ダイ先端面側の端部に対して塗布液の吐出方向に関して同等もしくは突出することを特徴とする請求項１に記載の塗布液の塗布方法。
【請求項３】
前記幅規制部材の先端面は、前記下流側ダイ先端面に垂直方向に対して、前記幅規制部材の先端面の前記下流側ダイ先端面側の端部よりも突出しないとともに、前記上流側ダイ先端面に垂直方向に対して、前記幅規制部材の先端面の前記上流側ダイ先端面側の端部よりも引っ込んでいないことを特徴とする請求項１または２に記載の塗布液の塗布方法。
【請求項４】
前記塗布液の表面張力は３０ｍＮ／ｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の塗布液の塗布方法。
【請求項５】
前記幅規制部材に対する前記塗布液の接触角は３０度以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の塗布液の塗布方法。
【請求項６】
前記幅規制部材のうち少なくとも前記塗布液が接する部分は、ポリマーによってコーティングされていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の塗布液の塗布方法。
【請求項７】
前記請求項１〜６のいずれか１項に記載の塗布液の塗布方法によって得られる塗布層を少なくとも１層有することを特徴とする光学フィルム。
【請求項８】
バックアップローラにより支持された状態で連続走行する支持体の表面に向かってスロットダイのスロットから塗布液を吐出させるとともに、前記スロットダイと前記支持体との間に架設される塗布液のビードの支持体上流側を減圧チャンバーによって減圧し、当該ビードによって前記支持体の表面に前記塗布液を塗布する塗布液の塗布装置において、
前記スロットダイの先端面のうち前記スロットよりも下流側の下流側ダイ先端面は、上流側の上流側ダイ先端面よりも前記支持体に近接した位置に配置され、
前記スロットには、当該スロットから前記支持体に向かって吐出される塗布液の塗布幅を規制する幅規制部材が挿入され、
前記幅規制部材の先端面は、上流側ダイ先端面と略連続するとともに下流側ダイ先端面と略連続することを特徴とする塗布液の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液の塗布方法、塗布液の塗布装置、および光学フィルムに係り、特に塗布液を精度良く吐出させる技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ウェブ（支持体）の表面に所望の厚さの塗布膜を塗布する塗布装置として、バーコータ方式、リバースロールコータ方式、グラビアロールコータ方式、エクストルージョンコータなどのスロットダイコータ方式、等が知られている。この中でもスロットダイコータ方式の塗布装置は、他の方式と比較して、高速で薄層の塗布が可能であることから多用されている。
【０００３】
エクストルージョンコータに代表されるスロットダイコータ方式では、ウェブとスロットダイとの間に架設される塗布液のビードによってウェブ上に塗布液が塗布されるが、装置の製造誤差、外乱などの因子が塗布精度に大きな影響を及ぼすことがある。特に、薄層の塗布膜を生成する場合のように高精度な塗布液の塗布が要求される場合には、そのような因子の影響を無視することができない。このような事情を背景に、塗布不良を防いで均一な塗布膜を得るための手法がいくつか提案されている。
【０００４】
例えば特許文献１では、上流リップおよび下流リップの両側面に設けられる塗布幅規制部材の面のうちウェブと相対する面が、リップ部の面のうちウェブと相対する面と面一に形成された塗布装置が開示されている。この塗布装置は、スロットギャップを高精度に再現し、組立作業性が良好で且つ塗布膜異常の発生を防止することを目的としている。
【０００５】
また、特許文献２では、先端リップとウェブの隙間が調整されるとともに、幅規制部材の先端位置と先端リップの先端位置との相対位置関係が調整された塗布装置が開示されている。この塗布装置は、ビードの耳部を安定にし、良好な面状の塗布膜を形成することを目的としている。
【０００６】
また、特許文献３では、塗布幅を規制するスペーサーの上縁部に凹状部または凸状部が形成された塗布装置が開示されている。この塗布装置は、塗れ広がり現象を抑制することを目的としている。
【特許文献１】特開平７−８０３８０号公報
【特許文献２】特開２００３−２６０４０２号公報
【特許文献３】特開２００１−１７０５４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のように、エクストルージョンコータなどが用いられる一般の塗布装置では、幅規制部材（スペーサー）によって塗布液の塗布幅を規制することで、所望の幅の塗布膜をウェブ上に形成することが多い。
【０００８】
図１３乃至図１５は、オーバーバイト構造のスロットダイ１８および幅規制板６０の典型的な配置関係を示す図であり、スロットダイ１８および幅規制板６０の先端部分を側方から見た状態を示す。従来の幅規制板６０の多くは、スロットダイ１８のリップランド１６と略平行に先端面６２が形成されていた。例えば、オーバーバイト構造のスロットダイ１８に用いられる幅規制板６０の先端面６２は、下流側リップランド１６Ｂと略面一に形成されたり（図１３参照）、上流側リップランド１６Ａと略面一に形成されたり（図１４参照）、あるいは上流側リップランド１６Ａと下流側リップランド１６Ｂとの中間に形成されていた（図１５参照）。
【０００９】
しかしながら、図１３乃至図１５に代表される従来の幅規制板６０は、上流側リップランド１６Ａおよび／または下流側リップランド１６Ｂとの間に段差部を形成してしまう。そのため、スロットダイ１８から吐出される塗布液の一部がこの段差部に回り込んでしまい、ウェブ上に形成される塗布膜のエッジ部分（幅縁部分）が乱されてしまうことがある。
【００１０】
これに対して、幅規制部材に凹凸状部を設けることによって塗布液の回り込みを防ぐ技術が提案されている（特許文献２参照）。しかしながら、スロットダイとリップランドとの間隔が非常に狭い場合には、幅規制部材に形成される凸状部がウェブ上の塗布膜を乱してしまうことがある。一方、幅規制部材に凹状部が形成される場合には、塗布液の回り込み量を減少させることはできるが、塗布液の回り込みを十分に防ぐことができない場合がある。そのため、塗布液の回り込みを防ぐ新たな手法の提案が望まれている。
【００１１】
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、塗布液の回り込みを防いで塗布液を精度良く吐出させることができる塗布液の塗布方法および塗布装置と、そのような塗布方法や塗布装置によって得られる塗布層を含む光学フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するために請求項１に記載の発明は、バックアップローラにより支持された状態で連続走行する支持体の表面に向かってスロットダイのスロットから塗布液を吐出させるとともに、前記スロットダイと前記支持体との間に架設される塗布液のビードの支持体上流側を減圧チャンバーによって減圧し、当該ビードによって前記支持体の表面に前記塗布液を塗布する塗布液の塗布方法に関する。この塗布液の塗布方法は、前記スロットダイの先端面のうち前記スロットよりも下流側の下流側ダイ先端面は、上流側の上流側ダイ先端面よりも前記支持体に近接した位置に配置され、前記スロットには、当該スロットから前記支持体に向かって吐出される塗布液の塗布幅を規制する幅規制部材が挿入され、前記幅規制部材の先端面は、上流側ダイ先端面と略連続するとともに下流側ダイ先端面と略連続する。
【００１３】
本発明によれば、スロットダイの上流側ダイ先端面および下流側ダイ先端面と幅規制部材の先端面とが略連続するので、幅規制部材の先端面とスロットダイの先端面との間で形成される段差部を解消もしくは段差の大きさを低減させることができる。これにより、塗布液の回り込みを防いで、良好な品質の塗布膜を生成することができる。なお、ここでいう「略連続」とは、例えば、段差がほとんど無く、ほとんど途切れることなく繋がっている状態を指す。
【００１４】
また、請求項２に記載のように、前記上流側ダイ先端面の前記幅規制部材側の端部と前記幅規制部材の先端面の前記上流側ダイ先端面側の端部との距離は０μｍ以上１０μｍ以下であり、前記下流側ダイ先端面の前記幅規制部材側の端部と前記幅規制部材の先端面の前記下流側ダイ先端面側の端部との距離は０μｍ以上１０μｍ以下であるとともに、前記上流側ダイ先端面のうち前記幅規制部材側の端部は、前記幅規制部材の先端面のうち前記上流側ダイ先端面側の端部に対して塗布液の吐出方向に関して同等もしくは突出してもよい。
【００１５】
「上流側ダイ先端面の端部」および「下流側ダイ先端面の端部」と、「幅規制部材の先端面の端部」とをこのように配置することによって、前記幅規制部材の先端面を、上流側ダイ先端面と略連続させるとともに下流側ダイ先端面と略連続させることができる。なお、ここでいう、「塗布液の吐出方向に関して同等もしくは突出する」とは、本発明では、支持体に対して、同じ距離もしくは近接して配置されることを意味し、塗布液の吐出方向に関して引っ込んでいない状態を指す。したがって、上流側ダイ先端面のうち幅規制部材側の端部を基準（０）とし、支持体に近接する方向を「＋」側とし、支持体から遠ざかる方向を「−」側とすると、上流側ダイ先端面のうち幅規制部材側の端部は、０μｍ〜＋１０μｍで規定される範囲に配置される。同様に、下流側ダイ先端面のうち幅規制部材側の端部を基準（０）とし、支持体に近接する方向を「＋」側とし、支持体から遠ざかる方向を「−」側とすると、下流側ダイ先端面のうち幅規制部材側の端部は、−１０μｍ〜＋１０μｍで規定される範囲に配置される。
【００１６】
また、請求項３に記載のように、前記幅規制部材の先端面は、前記下流側ダイ先端面に垂直方向に対して、前記幅規制部材の先端面の前記下流側ダイ先端面側の端部よりも突出しないとともに、前記上流側ダイ先端面に垂直方向に対して、前記幅規制部材の先端面の前記上流側ダイ先端面側の端部よりも引っ込んでいなくてもよい。幅規制部材の先端面をこのように形成することによって、幅規制部材の先端面に塗布液が回り込むのを効果的に防ぐことができる。
【００１７】
また、請求項４に記載のように、前記塗布液の表面張力は３０ｍＮ／ｍ以下であってもよい。塗布液の吐出が比較的乱れやすいこのような低粘度の塗布液を使用する場合に、塗布液の回り込みを防ぐ上述の塗布方法が特に有効であり、塗布液を安定的に吐出させることができる。
【００１８】
また、請求項５に記載のように、前記幅規制部材に対する前記塗布液の接触角は３０度以上であってもよい。幅規制部材が塗布液によって濡らされにくい場合、特に幅規制部材に対する塗布液の接触角が３０度以上の場合に、塗布液の回り込みを防ぐ上述の塗布方法が有効であり、塗布液を安定的に吐出させることができる。
【００１９】
また、請求項６に記載のように、前記幅規制部材のうち少なくとも前記塗布液が接する部分はポリマーによってコーティングされていてもよい。ポリマーによりコーティングされた幅規制部材を使用して、塗布液による幅規制部材の濡らしにくさを調整する場合に、塗布液の回り込みを防ぐ上述の塗布方法が有効であり、塗布液を安定的に吐出させることができる。
【００２０】
また、前記目的を達成するために請求項７に記載の発明は、上述の塗布液の塗布方法によって得られた塗布層を少なくとも１層有することを特徴とする光学フィルムに関する。
【００２１】
本発明によれば、塗布液の回り込みが低減された状態で得られる塗布層が用いられ、高品質の光学フィルムが提供される。
【００２２】
また、前記目的を達成するために請求項８に記載の発明は、バックアップローラにより支持された状態で連続走行する支持体の表面に向かってスロットダイのスロットから塗布液を吐出させるとともに、前記スロットダイと前記支持体との間に架設される塗布液のビードの支持体上流側を減圧チャンバーによって減圧し、当該ビードによって前記支持体の表面に前記塗布液を塗布する塗布液の塗布装置に関する。この塗布液の塗布装置は、前記スロットダイの先端面のうち前記スロットよりも下流側の下流側ダイ先端面は、上流側の上流側ダイ先端面よりも前記支持体に近接した位置に配置され、前記スロットには、当該スロットから前記支持体に向かって吐出される塗布液の塗布幅を規制する幅規制部材が挿入され、前記幅規制部材の先端面は、上流側ダイ先端面と略連続するとともに下流側ダイ先端面と略連続する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の塗布液の塗布方法および塗布装置によれば、スロットダイの上流側ダイ先端面および下流側ダイ先端面と幅規制部材の先端面とが略連続するので、幅規制部材の先端面とスロットダイの先端面との間で形成される段差部が縮小もしくは解消され、幅規制部材近傍における塗布液の回り込みを効果的に防ぐことができる。
【００２４】
また、本発明の光学フィルムおよび反射防止フィルムは、塗布液の回り込みを防いで安定的に吐出された塗布液によって生成された塗布層を含み、良好な品質を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施の形態について説明する。
【００２６】
図１は、本発明の一実施の形態におけるスロットダイコータ式塗布システム１０の構成図である。また、図２は、スロットダイ１８の一部を切断した状態を示す斜視図である。なお、図中のバックアップローラ１２およびウェブ１４の近傍の矢印は、本実施の形態の「バックアップローラ１２によるウェブ１４の搬送方向」、すなわち「ウェブ１４の走行方向」を示す。
【００２７】
本実施の形態のエクトルージョン型のスロットダイコータ式塗布システム１０では、バックアップローラ１２により支持された状態で連続走行するウェブ（支持体）１４の表面に向かってスロットダイ１８のスロット２４から塗布液が吐出され、スロットダイ１８とウェブ１４との間に塗布液のビード２０が液架橋される。そして、ビード２０のウェブ上流側が減圧チャンバー２６によって減圧された状態で、連続走行するウェブ１４の表面にビード２０の塗布液が塗布され、ウェブ１４上に塗布膜（塗布層）が生成される。
【００２８】
なお、スロットダイ１８によって塗布液が塗布される位置（以下、「塗布位置」とも称する）を基準にして、ウェブ１４の走行方向に関し塗布位置よりも前段の部分を「ウェブ上流」と称し、後段の部分を「ウェブ下流」と称する。したがって、図１に示す横型のスロットダイ１８では、ビード２０の下側は「ウェブ上流側」となり、ビード２０の上側は「ウェブ下流側」となる。また、ウェブの搬送方向と垂直を成すウェブの幅方向を「ウェブ幅方向」と称する。
【００２９】
スロットダイ１８は、本体５０の内部に設けられたマニホールド２２と、マニホールド２２からスロットダイ１８の先端部に延在するスロット２４とを有する。また、スロットダイ１８は、上流側ダイブロック１８Ａおよび下流側ダイブロック１８Ｂの二つのブロックによって構成されており、マニホールド２２およびスロット２４が上流側ダイブロック１８Ａおよび下流側ダイブロック１８Ｂの境界の一部となっている。このように、スロットダイ１８を多ブロック構造とすることで、スロットダイ１８の製造精度を高め、洗浄などの後処理を容易にする。なお、スロットダイ１８の具体的な形状やサイズは、自重、使用時の環境や塗布液の温度、製作仕様限界、等に基づいて決定される。
【００３０】
スロットダイ１８の先端部分は先細り状に形成され、その先端はリップランド１６と呼ばれる。スロット２４のウェブ上流側（図１の下側）のリップランド１６を上流側リップランド１６Ａと称し、ウェブ下流側（図１の上側）のリップランド１６を下流側リップランド１６Ｂと称する。
【００３１】
一般的に上流側リップランド部１６Ａの塗布幅に垂直方向の長さは１００μｍ〜１ｍｍの範囲で用いられており、また、下流側リップランド部１６Ｂの長さは３０μｍ〜１００μｍの範囲で用いられる。また、上流側リップランド部１６Ａの長さは特に限定はされないが２００μｍ〜１ｍｍが好ましく用いられる。また、リップの先端の真直度は、幅方向に対して上流側および下流側ともに１ｍ当たり１０μｍ以下、好ましくは５μｍ以下に設定可能である。
【００３２】
本実施の形態のスロットダイ１８はオーバーバイト構造を有し、上流側リップランド１６Ａよりも下流側リップランド１６Ｂのほうが、バックアップローラ１２に巻き掛けられたウェブ１４に近い位置に配置される。このようなオーバーバイト構造は、スロットダイ１８のウェブ幅方向の全長に亘って略均一に形成されている。なお、塗布液の吐出方向（矢印Ａ参照）に関する上流側リップランド１６Ａと下流側リップランド１６Ｂとの距離Ｌを「オーバーバイト量」と称する。
【００３３】
一般に、ウェブ（支持体）１４と下流側リップランド１６Ｂとの距離は２０μｍ〜２００μｍ程度が好ましく、オーバーバイト量は３０μｍ〜１２０μｍの範囲で用いられる。
【００３４】
以上の形状を満たすため、リップ先端の強度や表面状態の向上対策として、少なくともこの箇所を含むスロットダイ１８の材質をタングステンカーバイト（以下ＷＣと称す）を主成分とする超硬材質とする。超硬材質を用いることにより、表面形状の均質性とあわせ、常に吐出される塗布液によるリップの磨耗への対策にもなる。塗布液として、研磨剤を含む磁性体液等を塗布する場合は特に有効である。超硬材質としては平均粒径５μｍのＷＣ炭化物結晶に、Ｃｏをはじめとする結合金属で結合してなる材質を使用するが、結合金属はこれに限定されず、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂをはじめとする各種金属を使用することもできる。なお、ＷＣ結晶の平均粒径は５μｍ以下であれば任意の平均粒径のものを用いてよい。
【００３５】
一般に、これらのオーバーバイト構造は、リップランド１６とウェブ１４の間隔が狭い低リップクリアランス構造を採用する場合、ビード２０の下流側塗布液の圧損を小さくして、減圧チャンバー２６における減圧値を小さくすることができる。そのため、これらの構造を採用する場合には、ビード２０の変動が抑えられ、塗布液をウェブ１４上に安定塗布することが可能となって、高精度な面状を有する塗布膜を提供することができる。
【００３６】
マニホールド２２は、スロットダイ１８に供給された塗布液を塗布幅方向（ウェブ幅方向）へ拡流する液溜め部であり、ウェブ幅方向（長手方向）へ延びる。このマニホールド２２は、略円形の断面形状を有し、ウェブ幅方向に沿って略同一の断面形状をもつ空洞部を構成する。マニホールド２２のウェブ幅方向への有効長さは、ウェブ１４に対する塗布幅と同等又は若干長く設定される。なお、マニホールド２２は、「ポケット」とも称される。
【００３７】
このマニホールド２２には、塗布液を貯留する塗布液タンク４４が塗布液供給管４６を介して接続され、塗布液供給管４６には、塗布液タンク４４からマニホールド２２に塗布液を送る塗布液ポンプ４２が設けられている。
【００３８】
図２に示すように、本体５０のウェブ幅方向の両端部には閉鎖板５４が設けられている。また、マニホールド２２には、マニホールド２２から塗布液を引き抜くための塗布液排出管５２が接続されている。なお、塗布液供給管４６および塗布液排出管５２は、閉鎖板５４を貫通して、マニホールド２２と連通する。
【００３９】
マニホールド２２への塗布液の供給方式は、マニホールド２２に塗布液を適切に供給することができればどのような手法であってもよい。例えば、マニホールド２２の一端側から塗布液を供給する方式だけではなく、マニホールド２２の中央部から塗布液を供給する方式、マニホールド２２の両端部に塗布液が漏れ出ることを防止する栓を設けて、マニホールド２２の一方端から新規な塗布液を供給するとともに、他方端から抜き取られた一部の塗布液を再び一方端に循環させる方式、等も用いられうる。また、マニホールド２２の断面形状は、略円形に限定されるものではなく、例えば半円形、台形などの矩形、あるいはそれらに類似する形状であってもよい。
【００４０】
スロット２４は、マニホールド２２からスロット先端に至る狭隘な塗布液の流路を構成し、スロットダイ１８の先端部分における開口部２４Ａから塗布液を吐出させて、スロットダイ１８とウェブ１４との間にビード２０を架設する。このスロット２４は、通常、０. ０１〜０. ５ｍｍ程度の開口幅をもち、ウェブ幅方向（長手方向）に関してウェブ１４に対する塗布液の塗布幅よりも大きい長さを有する。なお、マニホールド２２からウェブ１４に向かって延びるスロット２４の流路長は、塗布液の液組成、物性、供給流量、供給液圧、等の諸条件を考慮して設定可能であり、スロット２４の開口部２４Ａから吐出される塗布液がウェブ幅方向に亘って略均一な流量および液圧をもつように、スロット２４の流路長を設定することが好ましい。
【００４１】
上述のような構成を有するスロットダイ１８の先端部分の下方には、図１に示すように、ビード２０のウェブ上流側を減圧するための減圧チャンバー２６が設けられている。減圧チャンバー２６は、内部に空間形成するバックプレート２６Ａ、サイドプレート２６Ｂ、リアプレート２６Ｃ、およびボトムプレート２６Ｄを有し、減圧状態を保持する箱形形状となっている。
【００４２】
バックプレート２６Ａは、減圧チャンバー２６のうちウェブ搬送方向の最も上流側に位置し、ウェブ１４の幅方向に沿って配置される。サイドプレート２６Ｂは、バックプレート２６Ａと垂直を成すように配置されて減圧チャンバー２６の両側壁を構成し、バックアップローラ１２と近接する縁部分（図示省略）がバックアップローラ１２とほぼ同じ曲率を有する。リアプレート２６Ｃは、スロットダイ１８の下方において、バックプレート２６Ａとほぼ平行に配置されている。ボトムプレート２６Ｄは、減圧チャンバー２６の底部分を構成し、バックプレート２６Ａ、サイドプレート２６Ｂ、およびリアプレート２６Ｃと縁部分において接合する。そして、「バックプレート２６Ａとウェブ１４の間」および「サイドプレート２６Ｂとウェブ１４の間」の各々には、所定の大きさの隙間が存在する。なお、バックプレート２６Ａには吸引口４０が形成されており、吸引口４０にはエア配管２８が接続されている。
【００４３】
減圧チャンバー２６は、吸引口４０およびエア配管２８を介してブロア３０に接続され、エア配管２８の途中には、バルブ３２およびバッファ装置３４が設けられている。ブロア３０は、吸引口４０およびエア配管２８を介して減圧チャンバー２６内を吸引し、減圧チャンバー２６内を負圧にする。バルブ３２は、その開度に応じて減圧チャンバー２６内の減圧度を調整する。バッファ装置３４は、減圧チャンバー２６内の圧力変動を小さくするための緩衝部としての役割を果たす。
【００４４】
減圧チャンバー２６内には、減圧チャンバー２６内の圧力を測定する圧力計３６が設けられており、圧力計３６の測定結果はコントローラ３８に送られる。コントローラ３８は、圧力計３６の測定結果に基づいてバルブ３２の開度を調節し、減圧チャンバー２６内の圧力を所定の圧力に保つ。なお、本実施の形態において「減圧チャンバー２６内の圧力」は「ビード２０のウェブ上流側の圧力」に対応する。
【００４５】
なお、ウェブ１４や塗布液は、目的に応じた各種成分を含むものが使用されうる。一例として、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等の公知の各種プラスチックフィルム、紙、紙にポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が２〜１０のα−ポリオレフィン類を塗布またはラミネートした各種積層紙、アルミニウム、銅、スズ等の金属箔等、帯状基材の表面に予備的な加工層を形成させたもの、その他の可撓性部材、あるいはこれらを積層した各種複合材料を、ウェブ１４の材質として使用することができる。
【００４６】
また、塗布液の溶媒として、水、各種のハロゲン化炭化水素、アルコール、エーテル、エステル、ケトンなどを単独あるいは複数混合したものを使用することができる。
【００４７】
また、塗布液として、光学補償シート塗布液、反射防止フィルム塗布液、防眩性付与液磁性塗布液、写真感光性塗布液、磁性塗布液、視野角拡大塗布液、表面保護液、帯電防止液、滑性用塗布液、カラーフィルタ用顔料液、あるいはその他の光学フィルム用塗布液を使用することができる。
【００４８】
なお、下述する[実施例]で示唆されているように、スロットダイ１８からウェブ１４に向かって吐出させる塗布液として、「表面張力が３０ｍＮ／ｍ以下の塗布液」や「幅規制板６０に対する接触角が３０度以上の塗布液」を使用することが好ましい。
【００４９】
図２に示すように、スロット２４のウェブ幅方向の両端部には、幅規制板６０が、スロット２４の壁部を構成する上流側ダイブロック１８Ａおよび下流側ダイブロック１８Ｂに接触した状態で挿入されている。幅規制板６０は、詳細については後述するが（図３参照）、スロットダイ１８のスロット２４の開口部２４Ａから吐出される塗布液の塗布幅を規制する部材である。
【００５０】
幅規制板６０は、下述する[実施例]で示唆されているように、幅規制板６０の近傍の塗布液の塗布状態を安定化させる観点から、特定の材料や表面加工を採用して、塗布液の濡れ性が調整されることが好ましい。例えば、テフロンやニューライトなどの材料によって幅規制板６０を形成したり、フッ素樹脂などのポリマーによってコーティングされた金属板を幅規制板６０として使用することで、幅規制板６０の塗布液に対する接触角が３０度以上となるように調整されることが好ましい。
【００５１】
次に、幅規制板６０について説明する。本件発明者は、鋭意研究した結果、下述する[実施例]で示唆されているように、以下の知見を得た。
【００５２】
すなわち、幅規制板６０の先端面（以下、「幅規制部材先端面」とも称する）６２を、上流側リップランド１６Ａと略連続するように設定するとともに下流側リップランド１６Ｂと略連続するように設定することによって、幅規制板６０の周辺における塗布液の回り込みを効果的に防ぐことができる。
【００５３】
特に、スロットダイ１８および幅規制板６０を以下の条件に設定した場合に、幅規制板６０の周辺における塗布液の回り込みを効果的に防ぐことができることを本件発明者は突き止めた。すなわち、上流側リップランド１６Ａのうち幅規制板６０側の端部である幅規制側上流リップエッジが、塗布液の吐出方向（矢印Ａ参照）に関して、幅規制部材先端面６２のうち上流側リップランド１６Ａ側の端部である上流リップ側幅規制エッジと同等もしくは突出するように調整されることが好ましい。そして、上流リップ側幅規制エッジ６４と幅規制側上流リップエッジとの距離を０μｍ以上１０μｍ以下の範囲に設定し、下流側リップランド１６Ｂのうち幅規制板６０側の端部である幅規制側下流リップエッジと幅規制部材先端面６２のうち下流側リップランド１６Ｂ側の端部である下流リップ側幅規制エッジとの距離を０μｍ以上１０μｍ以下の範囲に設定することが好ましい。
【００５４】
更に、幅規制部材先端面６２が、塗布液の吐出方向（矢印Ａ参照）に関して、下流側リップランド１６Ｂよりも突出しないようにするとともに、上流側リップランド１６Ａよりも引っ込まないように設定することも好ましい。以下に、本件発明者が突き止めた好適な実施の形態の一例について説明する。
【００５５】
図３は、本実施の形態のスロットダイ１８および幅規制板６０の配置関係の一例を示す図であり、スロットダイ１８および幅規制板６０の先端部分を側方から見た状態を示す。図３に示す例では、上流側リップランド１６Ａの幅規制側上流リップエッジ１７Ａが、塗布液の吐出方向（図３の矢印Ａ参照）に関して、幅規制部材先端面６２の上流リップ側幅規制エッジ６４と同等の位置となるように設けられている。同様に、下流側リップランド１６Ｂの幅規制側下流リップエッジ１７Ｂが、塗布液の吐出方向（矢印Ａ参照）に関して、幅規制部材先端面６２の下流リップ側幅規制エッジ６６と同等の位置となるように設けられている。
【００５６】
したがって、幅規制側上流リップエッジ１７Ａと上流リップ側幅規制エッジ６４との距離が０μｍとなるように、上流側リップランド１６Ａおよび幅規制部材先端面６２が調整されている。また、幅規制側下流リップエッジ１７Ｂと下流リップ側幅規制エッジ６６との距離が０μｍとなるように、下流側リップランド１６Ｂおよび幅規制部材先端面６２が調整されている。そして、幅規制部材先端面６２は、上流リップ側幅規制エッジ６４と下流リップ側幅規制エッジ６６とを含む平面構造を有し、塗布液の吐出方向に関して（矢印Ａ参照）、下流側リップランド１６Ｂよりも突出せず（図３の点線部Ｂ参照）且つ上流側リップランド１６Ａよりも引っ込んでいない（図３の点線部Ｃ参照）形状を有する。
【００５７】
このように、幅規制部材先端面６２が上流側リップランド１６Ａおよび下流側リップランド１６Ｂと略連続するように設定されることで、幅規制板６０の先端部分における塗布液の回り込みを非常に効果的に防ぐことができる。これにより、幅規制板６０が設けられるスロットダイ１８のウェブ幅方向の端部に塗布液が滞留してしまうことを回避することができ、幅規制板６０の近傍におけるビード２０（塗布液）のエッジ部を安定化させることができる。したがって、幅規制板６０の近傍から吐出される塗布液もウェブ１４に対し安定的に塗布され、良好な品質の塗布膜（塗布層）がウェブ１４上に生成される。そして、そのような塗布膜を用いて高度な製造精度が要求される光学フィルム等を製造することが可能となる。
【００５８】
上述の事項は本発明の一態様を例示したものであり、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形が加えられたり、公知の要素を応用したりすることも可能であり、そのような各種態様も本発明の範囲に含まれうる。
【００５９】
例えば、幅規制板６０は図３に図示されているものには限定されない。「上流側リップランド１６Ａの幅規制側上流リップエッジ１７Ａ」と「下流側リップランド１６Ｂの幅規制側下流リップエッジ１７Ｂ」とを実質的に結ぶ平面または曲面の幅規制部材先端面６２を有する幅規制板６０を好適に用いることが可能である。例えば、図４に示されるように、幅規制板６０の上流リップ側幅規制エッジ６４を上流側リップランド１６Ａの幅規制側上流リップエッジ１７Ａよりも突出させて、以下の式（１）を満たす範囲で、上流リップ側幅規制エッジ６４と幅規制側上流リップエッジ１７Ａとの距離ＤＡを適宜調整することもできる。
【００６０】
０μｍ≦ＤＡ≦１０μｍ      式（１）
また、図５に示されるように、幅規制板６０の下流リップ側幅規制エッジ６６を下流側リップランド１６Ｂの幅規制側下流リップエッジ１７Ｂよりも引っ込ませて、以下の式（２）を満たす範囲で、下流リップ側幅規制エッジ６６と幅規制側下流リップエッジ１７Ｂとの距離ＤＢ１を適宜調整することもできる。
【００６１】
０μｍ≦ＤＢ１≦１０μｍ      式（２）
また、図６に示されるように、幅規制板６０の下流リップ側幅規制エッジ６６を下流側リップランド１６Ｂの幅規制側下流リップエッジ１７Ｂよりも突出させて、以下の式（３）を満たす範囲で、下流リップ側幅規制エッジ６６と幅規制側下流リップエッジ１７Ｂとの距離ＤＢ２を適宜調整することもできる。
【００６２】
０μｍ≦ＤＢ２≦１０μｍ      式（３）
また、図７に示されるように、幅規制板６０の下流リップ側幅規制エッジ６６を下流側リップランド１６Ｂの幅規制側下流リップエッジ１７Ｂよりも引っ込ませるとともに、幅規制板６０の上流リップ側幅規制エッジ６４を上流側リップランド１６Ａの幅規制側上流リップエッジ１７Ａよりも突出させてもよい。その場合、上記の式（１）および式（２）を満たすように、上流リップ側幅規制エッジ６４と幅規制側上流リップエッジ１７Ａとの距離ＤＡおよび下流リップ側幅規制エッジ６６と幅規制側下流リップエッジ１７Ｂとの距離ＤＢ１を適宜調整することが好ましい。
【００６３】
また、図８に示されるように、幅規制板６０の下流リップ側幅規制エッジ６６を下流側リップランド１６Ｂの幅規制側下流リップエッジ１７Ｂよりも突出させるとともに、幅規制板６０の上流リップ側幅規制エッジ６４を上流側リップランド１６Ａの幅規制側上流リップエッジ１７Ａよりも突出させてもよい。その場合、上記の式（１）および式（３）を満たすように、上流リップ側幅規制エッジ６４と幅規制側上流リップエッジ１７Ａとの距離ＤＡおよび下流リップ側幅規制エッジ６６と幅規制側下流リップエッジ１７Ｂとの距離ＤＢ２を適宜調整することが好ましい。
【００６４】
また、図９乃至図１１に示されるように、幅規制板６０の幅規制部材先端面６２は、下流側リップランド１６Ｂに垂直方向に対して、幅規制部材先端面６２の下流側リップランド１６Ｂ側の端部である下流リップ側幅規制エッジ６６よりも突出しないとともに（点線部Ｂ参照）、上流側リップランド１６Ａに垂直方向に対して、幅規制部材先端面６２の上流側リップランド１６Ａ側の端部である上流リップ側幅規制エッジ６４よりも引っ込んでいない（点線部Ｃ参照）範囲で、様々な形状を採ることが可能である。例えば、「幅規制側上流リップエッジ１７Ａにおける上流側リップランド１６Ａの曲率」と「上流リップ側幅規制エッジ６４における幅規制部材先端面６２の曲率」とがほぼ等しい円弧状（図９参照）、「幅規制側下流リップエッジ１７Ｂにおける下流側リップランド１６Ｂの曲率」と「下流リップ側幅規制エッジ６６における幅規制部材先端面６２の曲率」とがほぼ等しい円弧状（図１０参照）、あるいは図９および図１０を組み合わせたような形状（図１１参照）に、幅規制部材先端面６２を設定することが可能である。
【００６５】
また、スロットダイコータ式塗布システム１０におけるバックアップローラ１２、スロットダイ１８、および減圧チャンバー２６は、ウェブ１４上に塗布液を適切に塗布することができれば、どのような配置関係であってもよい。例えば、ウェブ１４に対するスロットダイ１８の塗布液の吐出角度、マニホールド２２の断面形状、バックアップローラ１２に対するウェブ１４の巻き掛け状態、バックアップローラ１２に対するウェブ１４の巻き掛け部とスロットダイ１８や減圧チャンバー２６との相対位置関係、オーバーバイト量、等は、目的に応じて適宜調整可能である。
【実施例】
【００６６】
以下に上述のスロットダイコータ式塗布システム１０を用いた実施例について記述するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００６７】
（共通の塗布条件）
以下の各実施例（但し、実施例３を除く）で用いられた塗布液は、以下のようにして調製された。すなわち、「屈折率が１．４６の熱架橋性含フッ素ポリマー（ＪＮ−７２２１、ＪＳＲ（株）製）２００ｇ」に対し、「メチルイソプチルケトン２００ｇ」を添加して、攪拌する。そして、その攪拌された溶液を孔径１μｍのポリプロピレン製フィルタ（ＰＰＥ−０１）によって濾過することで調製される低屈折率層用溶液を塗布液として使用した。
【００６８】
また、各実施例における共通の塗布条件を以下の表１に示す。各実施例は、特に断りが無い限り、表１に示されている塗布条件に従って行われた。
【００６９】
【表１】
2006272270.tif 000003
表１に示されているように共通の塗布条件は、ウェブ１４の搬送速度を示す塗布速度が６０ｍ／ｍｉｎ、ウェブ１４上の塗布膜の膜厚を示す塗布膜厚が５ｍｌ／ｍ２、ウェブ１４上の塗布膜の幅を示す塗布幅が６００ｍｍ、下流側リップランド部１６Ｂとウェブ１４との間隔を示す下流側リップ間隙が５０μｍ、オーバーバイト量が５０μｍ、ウェブ１４の走行方向に関する上流側リップランド１６Ａの長さを示す上流側リップ長が２００μｍ、ウェブ１４の走行方向に関する下流側リップランド１６Ｂの長さを示す下流側リップ長が２００μｍ、ウェブ１４の走行方向に関するスロット幅が２００μｍ、幅規制板６０の材質がＳＵＳ６３０、ウェブ１４の走行方向に関する幅規制板６０の幅が１９５μｍ、塗布液の表面張力が２０ｍＮ／ｍ、減圧チャンバー２６による減圧度が１．０ｋＰａ、上下リップ先端面の真直度が塗布幅１ｍ当たり５μｍ、となっている。
【００７０】
また、幅規制板６０は、マイクロスコープ（ＶＨＸ−２００）により、上流側リップランド面方向の上流側および下流側、下流側リップランド面方向下流側、そして、ダイ側面から観察しリップランド面からの突出量を観察、測定することで位置調整を行っている。なお、マイクロスコープによる測定は±０．１μｍでの距離測定が可能である。
【００７１】
（実施例１）
本例では、スロットダイ１８の先端部に対する幅規制板６０の突出状態（引っ込み状態）を変えて、スロットダイ１８から塗布液を吐出させた。図１２は、実施例１で使用したスロットダイ１８および幅規制板６０と、塗布液の塗布結果とを示す。図１２において、（ａ）では、下流側リップランド１６Ｂよりも２５μｍだけ突出した位置に幅規制部材先端面６２を配置し、（ｂ）では、上流側リップランド１６Ａおよび下流側リップランド１６Ｂの中間であって上流側リップランド１６Ａよりも２５μｍだけ突出した位置に幅規制部材先端面６２を配置し、（ｃ）では、幅規制部材先端面６２の端部（エッジ）を上流側リップランド１６Ａおよび下流側リップランド１６Ｂの端部（エッジ）をほぼ一致させて、上流側リップランド１６Ａおよび下流側リップランド１６Ｂと略連続するように幅規制部材先端面６２を配置し（図３参照）、（ｄ）では、上流側リップランド１６Ａよりも２５μｍだけ引っ込んだ位置に幅規制部材先端面６２を配置した。
【００７２】
また、図１２において、「○」は、ビード２０が成立し、ウェブ１４上の塗布膜の幅方向端部（以下、「塗布膜エッジ」とも称する）のウェブ幅方向への幅振れが±１ｍｍ未満であることを示し、「△」は、ビード２０が成立し、塗布膜エッジのウェブ幅方向への幅振れが±３ｍｍ未満であることを示し、「×」は、ビード２０が成立しない、或いは塗布膜エッジのウェブ幅方向への幅振れが±３ｍｍ以上であることを示す。
【００７３】
図１２に示されているように、塗布膜エッジの幅振れを抑えて安定した塗布液の塗布を実施する観点からは、（ｃ）の「上流側リップランド１６Ａおよび下流側リップランド１６Ｂと略連続するように幅規制部材先端面６２を配置すること」が好ましい。
【００７４】
（実施例２）
本例では、スロットダイ１８の先端部に対する幅規制板６０の突出量（引っ込み量）を変えて、スロットダイ１８から塗布液を吐出させた。以下の表２は、上流側リップランド１６Ａおよび下流側リップランド１６Ｂに対する幅規制板６０（幅規制部材先端面６２）の突出量（引っ込み量）と、塗布液の塗布結果とを示す。
【００７５】
【表２】
2006272270.tif 000004
表２において、「下流側」は、下流側リップランド１６Ｂに対する幅規制板６０（幅規制部材先端面６２）の突出量を示し、「上流側」は、上流側リップランド１６Ａに対する幅規制板６０（幅規制部材先端面６２）の突出量を示す。「上流側」および「下流側」の欄における「０」は、上流側リップランド１６Ａあるいは下流側リップランド１６Ｂの位置を示し、「＋」は、幅規制板６０（幅規制部材先端面６２）が塗布液の吐出方向へ上流側リップランド１６Ａあるいは下流側リップランド１６Ｂよりも突出していることを示し、「−」は、幅規制板６０（幅規制部材先端面６２）が、塗布液の吐出方向とは逆方向へ、上流側リップランド１６Ａあるいは下流側リップランド１６Ｂよりも引っ込んでいることを示す。また、「◎」は、ビード２０が成立し、塗布膜エッジのウェブ幅方向への幅振れが±０．５ｍｍ未満であることを示し、「○」、「△」、および「×」は、上述した図１２の場合と同様の内容を示す。
【００７６】
表２に示されているように、塗布膜エッジの幅振れを抑えて安定した塗布液の塗布を実施する観点からは、下流側リップランド１６Ｂに対する幅規制板６０（幅規制部材先端面６２）の突出量（引っ込み量）を、「−１０μｍ〜＋１０μｍ」の範囲に設定することが好ましい。同様に、上流側リップランド１６Ａに対する幅規制板６０（幅規制部材先端面６２）の突出量（引っ込み量）を、「０μｍ〜＋１０μｍ」の範囲に設定することが好ましい。なお、上流側リップランド１６Ａおよび下流側リップランド１６Ｂに対する幅規制板６０（幅規制部材先端面６２）の突出量（引っ込み量）が、上記の好ましい範囲から逸脱すると、幅規制板６０の近傍のビード２０が不安定になって、塗布液の塗布状態が不安定になることが確認された。
【００７７】
（実施例３）
本例では、塗布液の表面張力を変えて、スロットダイ１８から塗布液を吐出させた。なお、有機溶剤系の塗布液では表面張力を変化させることが難しいので、本例では、水、エタノール、および染料の混合量を調節して表面張力を調整した溶液を塗布液として使用した。なお、本例で使用された染料は、以下の化学式で示される４，４’−（１，３−ペンタジエン−１−イル−５−イリデン）−ビス［３−カルボエトキシ−１−（ｐ−スルホ−フェニル）−５−ピラゾロン］２カリウム塩（Di-potassiumu Salt of 4,4'-(1,3-pentadien-1-yl-5-ylidene)-bis[3-carboethoxy-1-(p-sulfo-phenyl)-5-pyrazolone])が用いられた。
【００７８】
【化１】
2006272270.tif 000005
以下の表３は、塗布液の表面張力と、塗布液の塗布結果とを示す。
【００７９】
【表３】
2006272270.tif 000006
表３において、「（ｂ）」および「（ｃ）」は、図１２の「（ｂ）」および「（ｃ）」に準じており（実施例１参照）、塗布液の表面張力以外の塗布条件は図１２の「（ｂ）」および「（ｃ）」と同様である。また、「◎」、「○」、「△」、および「×」は、上述の図１２および表２におけるのと同様の内容を示す。
【００８０】
表３に示されているように、塗布膜エッジの幅振れを抑えて安定した塗布液の塗布を実施する観点からは、特に表面張力が３０ｍＮ／ｍ以下の塗布液を使用する場合に、本発明に係るスロットダイ１８および幅規制板６０（表３の（ｃ）参照）が有効であることが確認された。これは、表面張力が３０ｍＮ／ｍよりも大きい塗布液のビード２０は本来的に安定度が高く、表面張力が３０ｍＮ／ｍ以下の塗布液を使用する場合に幅規制板６０の先端形状が塗布液の塗布に大きな影響を与えるからであると考えられる。
【００８１】
（実施例４）
本例では、幅規制板６０の塗布液に対する濡れ性を変えて、本発明に係る図１２の（ｃ）に示すスロットダイ１８から塗布液を吐出させた。具体的には、幅規制板６０の塗布液に対する濡れ性の指標として接触角を用い、幅規制板６０の表面の材質を「ＳＵＳ」「テフロン」および「ニューライト」に変えることで、幅規制板６０の塗布液に対する接触角を調整した。なお、「ＳＵＳ」はステンレス鋼（Stainless Used Steel）を意味し、「テフロン」はテトラフルオロエチレンを意味し、「ニューライト」はチグラー法により製造される平均分子量５５０万（光散乱法測定）以上の超高分子量ポリエチレンを意味する。以下の表４は、幅規制板６０の材質と、接触角と、塗布液の塗布結果とを示す。
【００８２】
【表４】
2006272270.tif 000007
表４において、「◎」、「○」、「△」、および「×」は、上述の図１２および表２の場合と同様の内容を示す。
【００８３】
表４に示されているように、塗布膜エッジの幅振れを抑えて安定した塗布液の塗布を実施する観点からは、接触角を上げて濡れにくい性質にした場合、特に幅規制板６０に対する塗布液の接触角を３０度以上に調整した場合に（表４の「テフロン」「ニューライト」参照）、本発明に係るスロットダイ１８および幅規制板６０（図１２の（ｃ）参照）が有効であることが確認された。
【００８４】
なお、幅規制板６０の塗布液に対する濡れ性は、塗布液と接触する部分の幅規制板６０の材質によって決定されるので、例えば金属板によって構成される幅規制板６０のうち少なくとも塗布液が接触する部分をフッ素樹脂などのポリマーによってコーティングして、接触角を３０度以上に調整した幅規制板６０を使用することも可能である。また、塗布液の塗布状態は、特にスロットダイ１８の先端部分の開口部２４Ａの近傍における「幅規制板６０の塗布液に対する濡れ性」が重要となる。したがって、幅規制板６０のうちスロット２４の開口部２４Ａの近傍箇所がフッ素樹脂などによってコーティングされていれば、塗布液の塗布の安定性を向上させることができると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスロットダイコータの構成図である。
【図２】スロットダイの一部を切断した状態を示す斜視図である。
【図３】スロットダイおよび幅規制板の配置関係の一例を示す図であり、スロットダイおよび幅規制板の先端部分を側方から見た状態を示す図である。
【図４】幅規制板の変形例を示す図である。
【図５】幅規制板の変形例を示す図である。
【図６】幅規制板の変形例を示す図である。
【図７】幅規制板の変形例を示す図である。
【図８】幅規制板の変形例を示す図である。
【図９】幅規制板の変形例を示す図である。
【図１０】幅規制板の変形例を示す図である。
【図１１】幅規制板の変形例を示す図である。
【図１２】実施例１で使用したスロットダイおよび幅規制板と、塗布液の塗布結果とを示す図である。
【図１３】オーバーバイト構造のスロットダイおよび幅規制板の典型的な配置関係の一例を示す図であり、スロットダイおよび幅規制板の先端部分を側方から見た状態を示す図である。
【図１４】オーバーバイト構造のスロットダイおよび幅規制板の典型的な配置関係の他の例を示す図である。
【図１５】オーバーバイト構造のスロットダイおよび幅規制板の典型的な配置関係の他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００８６】
１０・・・スロットダイコータ、１２・・・バックアップローラ、１４・・・ウェブ、１６・・・リップランド、１６Ａ・・・上流側リップランド、１６Ｂ・・・下流側リップランド、１７Ａ・・・幅規制側上流リップエッジ、１７Ｂ・・・幅規制側下流リップエッジ、１８・・・スロットダイ、１８Ａ・・・上流側ダイブロック、１８Ｂ・・・下流側ダイブロック、２０・・・ビード、２２・・・マニホールド、２４・・・スロット、２４Ａ・・・開口部、２６・・・減圧チャンバー、２６Ａ・・・バックプレート、２６Ｂ・・・サイドプレート、２６Ｃ・・・リアプレート、２６Ｄ・・・ボトムプレート、２８・・・エア配管、３０・・・ブロア、３２・・・バルブ、３４・・・バッファ装置、３６・・・圧力計、３８・・・コントローラ、４０・・・吸引口、４２・・・塗布液ポンプ、４４・・・塗布液タンク、４６・・・塗布液供給管、５０・・・本体、５２・・・塗布液排出管、５４・・・閉鎖板、６０・・・幅規制板、６２・・・幅規制部材先端面、６４・・・上流リップ側幅規制エッジ、６６・・・下流リップ側幅規制エッジ
【図１】
2006272270.tif 000008
【図２】
2006272270.tif 000009
【図３】
2006272270.tif 000010
【図４】
2006272270.tif 000011
【図５】
2006272270.tif 000012
【図６】
2006272270.tif 000013
【図７】
2006272270.tif 000014
【図８】
2006272270.tif 000015
【図９】
2006272270.tif 000016
【図１０】
2006272270.tif 000017
【図１１】
2006272270.tif 000018
【図１２】
2006272270.tif 000019
【図１３】
2006272270.tif 000020
【図１４】
2006272270.tif 000021
【図１５】
2006272270.tif 000022