(57)【要約】【課題】観察対象物が試料の凹部内に配置されている場合でも観察対象物の周縁部のより近くまで観察可能な固浸レンズホルダを提供する。【解決手段】  固浸レンズホルダ８Ａは、対物レンズ２１の先端部に取り付けられるベース部５０と、ベース部５０に設けられており、対物レンズ２１の光軸Ｌ方向に延在すると共に先端部において固浸レンズ６を保持するレンズ保持部６０とを備える。レンズ保持部は、固浸レンズからベース部側に出力される光がレンズ保持部の外側を通ってベース部に向かうように固浸レンズを保持しており、ベース部は、その光を対物レンズ側に通過させる透光部５３を有する。レンズ保持部が対物レンズの光軸Ｌ方向に延在しているので、凹部１３下面に位置する観察対象物１１を観察する際、凹部の側壁１３ａとレンズ保持部とが接触することが抑制されている。その結果、観察対象物の周縁部１１ａのより近傍まで観察可能である。【選択図】図２
2006201407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズの先端部に取り付けられるベース部と、
前記ベース部に設けられており、前記対物レンズの光軸方向に延在すると共に先端部において固浸レンズを保持するレンズ保持部とを備え、
前記レンズ保持部は、前記固浸レンズから前記ベース部側に出力される光が、前記レンズ保持部の外側を通って前記ベース部に向かうように前記固浸レンズを保持しており、
前記ベース部は、前記固浸レンズから前記ベース部側に出力される前記光を前記対物レンズ側に通過させる透光部を有することを特徴とする固浸レンズホルダ。
【請求項２】
前記レンズ保持部は、
前記光軸方向に延在すると共に、前記固浸レンズを受ける保持部材と、
前記保持部材の先端部に設けられると共に、前記固浸レンズの底面を外側に露出させるための開口を有するレンズカバーとを有し、
前記レンズ保持部は、前記保持部材と前記レンズカバーとの間に前記固浸レンズを収容することを特徴とする請求項１に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項３】
前記保持部材は、前記固浸レンズを受ける複数のレンズ受け部を有していることを特徴とする請求項２に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項４】
複数の前記レンズ受け部は、前記保持部材の中心線に対して放射状に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項５】
複数の前記レンズ受け部は、前記保持部材の前記中心線から互いに離れて配置されていることを特徴とする請求項４に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項６】
前記レンズ保持部は、前記固浸レンズとの間に隙間を有することを特徴とする請求項２〜５の何れか一項に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項７】
前記透光部は、開口であることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項８】
前記レンズ保持部の前記ベース部側の端部は前記開口内に配置されており、
前記ベース部は、前記レンズ保持部と前記ベース部とを連結する連結部を有することを特徴とする請求項７に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項９】
前記レンズ保持部は、前記ベース部に一体的に設けられていることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項１０】
前記透光部は、透光部材を有することを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載された固浸レンズホルダ。
【請求項１１】
前記ベース部に設けられると共に、前記透光部を通る光束を制限する絞りを更に備えることを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載された固浸レンズホルダ。
【請求項１２】
前記固浸レンズに加わる応力に応じて前記固浸レンズで観察する観察対象物を保護するように構成されていることを特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項１３】
前記固浸レンズに加わる応力を検知する応力検知センサを更に備えることを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の固浸レンズホルダ。
【請求項１４】
試料の凹部内に配置された観察対象物の観察に利用される固浸レンズを保持する固浸レンズホルダであって、
対物レンズの先端部に取り付けられると共に、前記観察対象物の周縁部を観察するときに前記凹部の側壁に接触しないように前記固浸レンズを保持し、前記固浸レンズから前記対物レンズ側に出力される光を前記対物レンズ側に通すことを特徴とする固浸レンズホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固浸レンズのホルダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
観察対象物の画像を拡大するレンズとして固浸レンズ（ＳＩＬ：Solid Immersion Lens）が知られている。この固浸レンズは、半球形状又はワイエルストラス球と呼ばれる超半球形状のレンズで、その大きさが１ｍｍ〜５ｍｍ程度の微小レンズである。そして、この固浸レンズを観察対象物の表面に密着させて設置すると、開口数（ＮＡ）及び倍率が共に拡大されるため、高い空間分解能での観察が可能となる。
【０００３】
この固浸レンズを観察対象物に確実に密着させる技術として、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。特許文献１に記載の半導体検査装置では、対物レンズの前方（観察対象物側）に固浸レンズホルダを介して固浸レンズを取り付けている。固浸レンズホルダの先端部には、バルブが取り付けられたチャンバーを有しており、チャンバー内に固浸レンズを収容している。このバルブを通してチャンバー内の圧力を調節することで、固浸レンズを固浸レンズの光軸方向に移動させて観察対象物と固浸レンズとの光学的結合を実現している。
【０００４】
この固浸レンズホルダの外形は、対物レンズ側から固浸レンズ側に向かって内径が小さくなったテーパ形状であって、固浸レンズからの光束は、固浸レンズホルダ内を通って対物レンズに入射するようになっている。
【特許文献１】米国特許第６６２１２７５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の半導体検査装置のように、固浸レンズを頂点とするテーパ形状の固浸レンズホルダで保持すると、観察対象物としてのＩＣ（半導体デバイス）がソケット内に収容されている場合やＩＣが樹脂でモールドされたモールド型ＩＣを検査する場合には、以下のような問題が生じる。
【０００６】
すなわち、例えば、モールド型ＩＣ（試料）内のＩＣを観察する場合を例にして説明すると、半導体デバイスとしてのＩＣは、プラスチックモールド内に埋設されているため、ＩＣを観察する場合には、モールド部分を切除してＩＣの裏面を露出させる。この場合、観察対象物としてのＩＣは、凹部の底面に位置することになる。そのため、固浸レンズホルダがテーパ形状を有していると、ＩＣの周縁部近傍では、凹部の側壁と固浸レンズホルダの外周面とが接触（干渉する）場合が生じる。その結果として、ＩＣの周縁部近傍を観察できないという問題点がある。
【０００７】
そこで、本発明は、観察対象物が試料の凹部内に配置されている場合でも観察対象物の周縁部のより近くまで観察可能な固浸レンズホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る固浸レンズホルダは、対物レンズの先端部に取り付けられるベース部と、ベース部に設けられており、対物レンズの光軸方向に延在すると共に先端部において固浸レンズを保持するレンズ保持部とを備え、レンズ保持部は、固浸レンズからベース部側に出力される光が、レンズ保持部の外側を通ってベース部に向かうように固浸レンズを保持しており、ベース部は、固浸レンズからベース部側に出力される光を対物レンズ側に通過させる透光部を有することを特徴とする。
【０００９】
この場合、ベース部には透光部が形成されているので、固浸レンズからの光束を確実に対物レンズに入射できる。そのため、固浸レンズをレンズ保持部で保持していても観察対象物を観察することが可能である。また、対物レンズの光軸方向に延在するレンズ保持部で固浸レンズを保持しているので、例えば凹部の下面に位置する観察対象物を観察する際、固浸レンズを観察対象物の周縁部近傍まで移動させても凹部の側壁とレンズ保持部とが接触することが抑制されている。その結果、観察対象物の周縁部を観察可能である。
【００１０】
また、本発明に係る固浸レンズホルダでは、レンズ保持部は、光軸方向に延在すると共に、固浸レンズを受ける保持部材と、保持部材の先端部に設けられると共に、固浸レンズの底面を外側に露出させるための開口を有するレンズカバーとを有し、レンズ保持部は、保持部材とレンズカバーとの間に固浸レンズを収容することが好適である。なお、固浸レンズの底面とは、観察対象物に接触する側の面を意味する。
【００１１】
この構成では、保持部材が有するレンズ受け部とレンズカバーとの間に固浸レンズが収容されるので、固浸レンズがレンズ保持部から離脱することが防止されている。
【００１２】
また、本発明に係る固浸レンズホルダの保持部材は、固浸レンズを受ける複数のレンズ受け部を有していることが好ましい。これによって、固浸レンズをより安定した状態で保持することができる。また、複数のレンズ受け部で受けることによって、レンズ受け部の間において、固浸レンズからベース部側に向かって光を伝搬させることが可能である。
【００１３】
そして、本発明に係る固浸レンズホルダが有する複数のレンズ受け部は、保持部材の中心線に対して放射状に配置されていることが好ましい。この構成では、複数のレンズ受け部は、周方向に離れているので、固浸レンズの保持部材側の面を部分的に受けることになる。そのため、レンズ受け部で固浸レンズを受けた状態でも確実に固浸レンズからベース部側に光を出力させることができる。
【００１４】
更に、複数のレンズ受け部は、保持部材の中心線から互いに離れて配置されていることが好適である。これによって、保持部材の中心線に沿った光も対物レンズに入射させることが可能であり、固浸レンズからベース部側に出力される光を有効に利用できる。
【００１５】
また、本発明に係る固浸レンズホルダでは、レンズ保持部は、固浸レンズとの間に隙間を有することが好ましい。これによって、観察対象物の表面形状に固浸レンズを倣わせることが可能となり、その結果として、固浸レンズがより観察対象物に密着する。
【００１６】
更に、本発明に係る固浸レンズホルダが有する透光部としては、開口とすることができる。この場合、レンズ保持部のベース部側の端部は開口内に配置されており、ベース部は、レンズ保持部とベース部とを連結する連結部を有することが好ましい。この構成では、レンズ保持部が開口内に配置されていても、レンズ保持部とベース部とは連結部によって確実に連結される。
【００１７】
また、本発明に係る固浸レンズホルダが有するレンズ保持部は、ベース部に一体的に設けられていることが好ましい。この場合、固浸レンズホルダの製造が容易になる。
【００１８】
更に、本発明に係る固浸レンズホルダが有する透光部は、透光部材を有していてもよい。
【００１９】
また、本発明に係る固浸レンズホルダでは、ベース部に設けられると共に、透光部を通る光束を制限する絞りを更に備えることが好ましい。この場合、所望の大きさの光束を利用して観察対象物を観察できる。また、絞りは、例えば、対物レンズから出力され固浸レンズに入射させる光束の大きさを変更できるので、観察対象物に入射する光束の開口数（ＮＡ）を調整できることなり、その結果として、所望のＮＡで観察対象物を観察できる。
【００２０】
また、本発明に係る固浸レンズホルダでは、固浸レンズに加わる応力に応じて固浸レンズで観察する観察対象物を保護するように構成されていることが好ましい。
【００２１】
固浸レンズで観察対象物を観察する際には、固浸レンズを観察対象物に密着させる必要があるが、固浸レンズを観察対象物に押しつけすぎると、観察対象物に損傷を加える虞がある。固浸レンズを観察対象物に押しつけると、固浸レンズは、反作用によって力をうけるので、その結果として、固浸レンズを保持しているレンズ保持部に応力が係る。そのため、レンズ保持部に加わる応力に応じて観察対象物を保護することで、観察対象物に損傷を加えることなく固浸レンズホルダで保持された固浸レンズを利用して観察対象物を観察することができる。
【００２２】
更にまた、本発明に係る固浸レンズホルダでは、固浸レンズに加わる応力を検知する応力検知センサを更に備えることが好適である。
【００２３】
この場合、応力検知センサによってレンズ保持部に加わる応力を検知できるので、観察対象物に損傷を与えないように固浸レンズを観察対象物に密着させることができる。
【００２４】
また、本発明に係る固浸レンズホルダは、試料の凹部内に配置された観察対象物の観察に利用される固浸レンズを保持する固浸レンズホルダであって、対物レンズに取り付けられると共に、観察対象物の周縁部を観察するときに凹部の側壁に接触しないように固浸レンズを保持し、固浸レンズから対物レンズ側に出力される光束を対物レンズ側に通すことを特徴ととする。
【００２５】
この構成では、固浸レンズホルダで固浸レンズを保持しながら固浸レンズから対物レンズ側に出力される光を通すことが可能であるので、観察対象物を観察することができる。そして、固浸レンズホルダは、観察対象物の周縁部を観察するときに、凹部の側壁に接触しないように固浸レンズを保持しているので凹部内に配置された観察対象物の周縁部を確実に観察することが可能である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明による固浸レンズホルダによれば、観察対象物が凹部内に配置されている場合でも観察対象物の周縁部のより近くまで観察可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面と共に本発明に係る固浸レンズホルダの好適な実施形態について説明する。なお、各図において、同一の要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２８】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る固浸レンズホルダを備えた半導体検査装置を示す構成図である。図２は、固浸レンズホルダの構成を示す構成図である。また、図３は、固浸レンズホルダの分解斜視図である。図４（ａ）は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示した固浸レンズホルダが有するレンズ保持部の先端部の拡大図である。図２では、固浸レンズホルダを対物レンズに装着し試料の観察時の状態を示している。図３、図４（ａ）及び図４（ｂ）では、固浸レンズホルダが固浸レンズを保持した状態を示している。また、図４（ｂ）は、固浸レンズが観察対象物に押しつけられた状態を示している。
【００２９】
図１及び図２に示すように、半導体検査装置１は、例えば、試料１０であるモールド型半導体デバイスが有する半導体デバイス１１（図２参照）を観察対象物とし、半導体デバイス１１の画像を取得しその内部情報を検査する検査装置である。
【００３０】
「モールド型半導体デバイス」とは、半導体デバイスが１１が樹脂１２によってモールドされたものである。また、「内部情報」としては、半導体デバイスの回路パターンや半導体デバイスからの微弱発光が含まれる。この微弱発光としては、半導体デバイスの欠陥に基づく異常個所に起因するものや、半導体デバイス中のトランジスタのスイッチング動作に伴うトランジェント発光などが挙げられる。さらには、半導体デバイスの欠陥に基づく発熱も含まれる。
【００３１】
試料１０は、樹脂１２内に埋設された半導体デバイス１１の裏面が露出するように樹脂１２が切削された状態で、観察部Ａに設けられたステージ２上に半導体デバイス１１の裏面が上を向くように載置される。このように、試料１０の一部を切削して半導体デバイス１１の裏面を露出させているので、半導体デバイス１１は、樹脂１２が切削されてなる凹部１３の底面に位置することになる。そして、検査装置１は、本実施形態にあっては、半導体デバイス１１の図示下面（半導体デバイス１１の基板表面に形成された集積回路等）を検査する。
【００３２】
半導体検査装置１は、半導体デバイス１１の観察を行う観察部Ａと、観察部Ａの各部の動作を制御する制御部Ｂと、半導体デバイス１１の検査に必要な処理や指示等を行う解析部Ｃと、を備えている。
【００３３】
観察部Ａは、半導体デバイス１１からの画像を取得する画像取得手段としての高感度カメラ３及びレーザスキャン光学系（ＬＳＭ：Laser Scanning Microscope）ユニット４と、高感度カメラ３及びＬＳＭユニット４と半導体デバイス１１との間に配置される顕微鏡５の対物レンズ２１を含む光学系２０と、半導体デバイス１１の拡大観察画像を得るための固浸レンズ６（図２参照）と、これらを直交するＸ−Ｙ−Ｚ方向に各々移動させるＸ−Ｙ−Ｚステージ７と、を具備している。
【００３４】
光学系２０は、上記対物レンズ２１に加えて、カメラ用光学系２２と、ＬＳＭユニット用光学系２３と、を備えている。対物レンズ２１は、倍率が異なるものが複数設けられ、切り換え可能とされている。また、対物レンズ２１は、補正環２４を有しており、補正環２４を調整することで観察したい箇所に確実に焦点を合わせることが可能となっている。カメラ用光学系２２は、対物レンズ２１を通した半導体デバイス１１からの光を高感度カメラ３に導き、高感度カメラ３は半導体デバイス１１の回路パターン等の画像を取得する。
【００３５】
一方、ＬＳＭユニット用光学系２３は、ＬＳＭユニット４からの赤外レーザ光をビームスプリッタ（不図示）で対物レンズ２１側に反射し半導体デバイス１１に導くと共に、対物レンズ２１を通し高感度カメラ３に向かう半導体デバイス１１からの反射レーザ光をＬＳＭユニット４に導く。
【００３６】
このＬＳＭユニット４は、赤外レーザ光をＸ−Ｙ方向に走査し半導体デバイス１１側に出射する一方で、半導体デバイス１１からの反射光を光検出器（不図示）で検出する。この検出光の強度は、半導体デバイス１１の回路パターンを反映した強度となっている。従って、ＬＳＭユニット４は、赤外レーザ光が半導体デバイス１１をＸ−Ｙ走査することで、半導体デバイス１１の回路パターン等の画像を取得する。
【００３７】
Ｘ−Ｙ−Ｚステージ７は、高感度カメラ３、ＬＳＭユニット４、光学系２０及び固浸レンズ６等を、Ｘ−Ｙ方向（水平方向；観察対象物である半導体デバイス１１に対して平行を成す方向）及びこれに直交するＺ方向（垂直方向）の各々に、必要に応じて移動するためのものである。
【００３８】
図２に示すように、固浸レンズ６は、半球形状の微小レンズであり、外部（例えば、顕微鏡の対物レンズ）に対する光の入出力面となると共に球面形状に形成された上面６ａを備えた半球状部６ｂを有する。また、固浸レンズ６は、固浸レンズ６の中央部であって上面ａ側と反対方向に凸となすと共に、平面形状に形成された底面６ｃを備えた凸部６ｄを有する。この底面６ｃが半導体デバイス１１に対する取付面となる。固浸レンズ６は、観察するための観察位置（図示上面）に、底面６ｃが密着することで、裏側となる半導体デバイス１１の表面（図示下面）の拡大観察画像を得る。具体的には、半導体検査装置において使用される固浸レンズは、半導体デバイスの基板材料と実質的に同一またはその屈折率に近い、高屈折率材料からなる。その代表的な例としては、Ｓｉ、ＧａＰ、ＧａＡｓなどが挙げられる。
【００３９】
このような微小な光学素子を半導体デバイスの基板表面に光学密着させることにより、半導体基板自身を固浸レンズの一部として利用する。固浸レンズを利用した半導体デバイスの裏面解析によれば、対物レンズの焦点を半導体基板表面に形成された集積回路に合わせた際に、固浸レンズの効果により、基板中にNAの高い光束を通すことが可能となり、高分解能化が期待できる。
【００４０】
このような固浸レンズ６のレンズ形状は、収差がなくなる条件によって決まるものである。半球形状を有する固浸レンズ６では、その球心が焦点となる。このとき、開口数（ＮＡ）および倍率はともにｎ倍となる。なお、固浸レンズ６の形状は、半球形状に限定されず、例えば、ワイエルストラス形状のものでもよい。
【００４１】
固浸レンズホルダ８Ａは、対物レンズ２１に対して固浸レンズ６を好適に保持するもので、対物レンズソケット９を介して対物レンズ２１に取り付けられる。この固浸レンズホルダ８Ａについては詳しくは後述する。対物レンズソケット９は、対物レンズ２１の先端部に設けられており、固浸レンズホルダ８Ａを対物レンズ２１に取り付けるために利用される。そして、対物レンズ２１に対して固浸レンズホルダ８Ａを装着した状態で、半導体デバイス１１の観察ができるように対物レンズソケット９は、その内側を光が通るようになっている。
【００４２】
制御部Ｂは、カメラコントローラ３１と、レーザスキャン（ＬＳＭ）コントローラ３２と、ペリフェラルコントローラ３３と、を備えている。カメラコントローラ３１及びＬＳＭコントローラ３２は、高感度カメラ３及びＬＳＭユニット４の動作を各々制御することで、観察部Ａで行われる半導体デバイス１１の観察の実行（画像の取得）や観察条件の設定等を制御する。
【００４３】
ペリフェラルコントローラ３３は、Ｘ−Ｙ−Ｚステージ７の動作を制御することで、半導体デバイス１１の観察位置に対応する位置への高感度カメラ３、ＬＳＭユニット４及び光学系２０等の移動、位置合わせ、焦点合わせ等を制御する。また、ペリフェラルコントローラ３３は、対物レンズ２１に取り付けられた補正環調整用モータ２５を駆動して、補正環２４を調整する。
【００４４】
解析部Ｃは、画像解析部４１と指示部４２とを備え、コンピュータにより構成されている。画像解析部４１は、カメラコントローラ３１及びＬＳＭコントローラ３２からの画像情報に対して必要な解析処理等を実施し、指示部４２は、操作者からの入力内容や画像解析部４１による解析内容等を参照し、制御部Ｂを介して、観察部Ａにおける半導体デバイス１１の検査の実行に関する必要な指示を行う。また、解析部Ｃにより取得又は解析された画像、データ等は、必要に応じて解析部Ｃに接続された表示装置４３に表示される。
【００４５】
次に、特に本実施形態の特徴をなす固浸レンズホルダ８Ａについて詳説する。なお、以下では、説明の簡略化のため、固浸レンズ６に対して対物レンズ２１側を上側とし、試料１０側を下側としている。
【００４６】
図３及び図４に示すように、固浸レンズホルダ８Ａは、円板状のベース部５０の中心からベース部５０に略直交する方向にレンズ保持部６０が延在したものであり、図３に示した矢印Ａ１の方向からみた場合、その外形は略Ｔ字状である。
【００４７】
ベース部５０は、対物レンズソケット９（図２参照）に螺合する周壁５１を有しており、ベース部５０を対物レンズソケット９に嵌め合わせることで、固浸レンズホルダ８Ａは、対物レンズ２１の光軸Ｌ上にベース部５０の中心が位置するように取り付けられる。これによって、固浸レンズホルダ８Ａに保持される固浸レンズ６の位置は、Ｘ−Ｙ−Ｚステージ７を駆動することで調整できることになる。なお、周壁５１の外面には、ベース部５０を対物レンズソケット９に取り付けやすいようにローレットが形成されている。
【００４８】
また、ベース部５０が有する底板５２は、光束を通過させる透光部としての３つの開口５３，５３，５３を有する。各開口５３は、ＬＳＭユニット４から出力された光を固浸レンズ６側に通すと共に、半導体デバイス１１によって反射され固浸レンズ６から出力された光を対物レンズ２１側に通す。
【００４９】
各開口５３は、略扇状であり、ベース部５０の中心に対して互いに同心状であって周方向に等間隔に配置されている。これによって、隣り合う開口５３，５３間には、レンズ保持部６０と底板５２とを連結する３つの連結部５４，５４，５４が等間隔で形成されることなる。言い換えれば、ベース部５０は、底板５２の中心に同心的に形成された円形の開口を横断し、底板５２とレンズ保持部６０とを連結する連結部５４，５４，５４を有している。この３つの連結部５４，５４，５４は、ベース部５０の中心から放射状に延びている。
【００５０】
レンズ保持部６０は、連結部５４，５４，５４の交差部分からベース部５０に略直交する方向に延在する保持部材６１を有する。保持部材６１は、各連結部５４，５４，５４上に位置すると共に、固浸レンズ６を受けるレンズ受け部としての３つの保持片６２，６２，６２からなる。
【００５１】
保持片６２，６２，６２は、保持部材６１の中心線に対して放射状（より具体的には、Ｙ字状）に配置されており、各保持片６２は、その幅ｄが保持部材６１の中心線に向かうにつれて（言い換えれば、内側に向かうにつれて）狭くなるテーパ形状を有している。これによって、固浸レンズ６の上面６ａに入出力される光のうち保持片６２によって遮られる光量をより少なくすることができる。また、保持片６２の光軸Ｌ方向の長さは、試料１０の凹部１３の深さ（光軸Ｌ方向の長さ）よりも長くなっいる。これにより、固浸レンズホルダ８Ａは、固浸レンズ６を保持した状態で、試料１０の凹部１３下面に配置された半導体デバイス１１を観察できる。
【００５２】
この保持片６２，６２，６２とベース部５０とは、例えば樹脂によって、保持部材６１の中心線がベース部５０の中心を通るように一体成形されている。これによって、対物レンズ２１の光軸Ｌと保持部材６１の中心線とは一致することになる。そのため、以下の説明では、保持部材６１の中心線にも符号Ｌを付すものとする。
【００５３】
各保持片６２，６２，６２は、その先端部（ベース部５０と反対側の端部）に固浸レンズ６の上面６ａの曲率と同じ曲率を有するレンズ受け面６２ａ，６２ａ，６２ａが形成されており、保持部材６１は、３つのレンズ受け面６２ａによって固浸レンズ６を受けることになる。このため、保持部材６１は、固浸レンズ６を安定的に受けることができる。また、各保持片６２，６２，６２の先端部には、円筒形状のレンズカバー６３を固定するための爪部６２ｂが形成されている。
【００５４】
レンズカバー６３は、底板６４を有しており、底板６４の周縁部には、爪部６２ｂに嵌め合わされる周壁６５が設けられている。周壁６５の内径は、固浸レンズ６の外径よりも大きくなっている。底板６４は、固浸レンズ６の底面６ｃを外側（試料１０側）に突出させるための開口６４ａを有し、この開口６４ａ（図４（ｂ）参照）の直径は、固浸レンズ６における底面６ｃ部分の外径よりも大きい。
【００５５】
この構成では、レンズ受け面６２ａとレンズカバー６３との間に固浸レンズ６を配置してから、接着剤などによってレンズカバー６３を保持部材６１に固定することによって、固浸レンズ６は、レンズ受け面６２ａとレンズカバー６３との間に底面６ｃを開口６４ａから突出した状態で収容されることになる。これにより、固浸レンズ６がレンズ保持部６０から離脱することが防止されている。
【００５６】
そして、レンズカバー６３が保持部材６１に固定された状態では、底板６４と３つのレンズ受け面６２ａで形成される固浸レンズ６の収容空間は、固浸レンズ６の半球状部６ｂよりも大きくなっている。したがって、レンズ保持部６０は、固浸レンズ６に対してガタ、言い換えれば、クリアランス（隙間）を有する。
【００５７】
そのため、半導体デバイス１１の観察時、固浸レンズ６は半導体デバイス１１の表面形状に倣って固浸レンズ６が揺れ動くことが可能であり、例えば、半導体デバイス１１が光軸Ｌに対して傾斜している場合でも半導体デバイス１１の観察が可能である。また、固浸レンズ６と半導体デバイス１１との密着度が向上する。また、このように固浸レンズ６が揺れ動いたとしても、固浸レンズ６で観察する位置は、球心と一致しているため、観察への影響はない。
【００５８】
次に、半導体検査装置１を利用して半導体デバイス１１の画像を取得する方法の一例について説明する。
【００５９】
先ず、顕微鏡５が有する複数の対物レンズ２１のうち、固浸レンズ６を付けていない対物レンズ２１で固浸レンズ６によって半導体デバイス１１を観察する位置を特定する。この観察位置の特定は、指示部４２によってペリフェラルコントローラ３３を介してＸ−Ｙ−Ｚステージ７を駆動して行う。
【００６０】
観察位置を特定したら固浸レンズホルダ８Ａが取り付けられた対物レンズ２１に切り替えて観察を行う。この際、指示部４２は、固浸レンズホルダ８Ａが保持している固浸レンズ６の特性（固浸レンズ６の厚さや、屈折率など）、半導体デバイス１１の基板厚さ、基板材質などに応じて、ペリフェラルコントローラ３３を介して補正環調整用モータ２５を駆動することで補正環２４を適正な位置に合わせる。
【００６１】
また、指示部４２は、上記固浸レンズ６の特性などに応じてペリフェラルコントローラ３３を介して、Ｘ−Ｙ−Ｚステージ７を駆動することで固浸レンズ６を半導体デバイス１１に押しつけて密着させる。また、指示部４２は、ペリフェラルコントローラ３３を介してＸ−Ｙ−Ｚステージ７を駆動することで対物レンズ２１の焦点合わせを実施する。このように、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に密着しているときには、固浸レンズ６は、半導体デバイス１１によってレンズ受け面６２ａ側に押圧されることになるので、上面６ａは、レンズ受け面６２ａに当接することになる（図４（ｂ）参照）。
【００６２】
そして、対物レンズ２１の焦点が合った状態で、指示部４２は、ＬＳＭコントローラ３２及びカメラコントローラ３１を介して、ＬＳＭユニット４及び高感度カメラ３等を利用して半導体デバイス１１の観察を実施する。
【００６３】
この観察において、ＬＳＭユニット４から出力された赤外レーザ光は、対物レンズ２１を通して試料１０側に出力される。対物レンズ２１から出力された光は、ベース部５０の開口５３を通過して固浸レンズ６の上面６ａから固浸レンズ６に入射して半導体デバイス１１に向けて出力される。そして、赤外レーザ光によって照射されて半導体デバイス１１から反射した光（反射光）は、再度固浸レンズ６に入射して固浸レンズ６の上面６ａから出力される。より具体的には、半導体デバイス１１からの反射光は、上面６ａのうち、レンズ受け面６２ａに当接していない部分から出力される。
【００６４】
この固浸レンズ６から出力された反射光は、レンズ保持部６０の外側（隣り合う保持片６２の間を含む）を通ってベース部５０側に伝搬する。そして、ベース部５０の開口５３を通過して、対物レンズ２１に入射する。対物レンズ２１に入射された反射光は、カメラ用光学系２２によって高感度カメラ３に導かれ、高感度カメラ３は、半導体デバイス１１の回路パターン等の画像を取得する。この半導体検査装置１において、固浸レンズ６の交換は、固浸レンズホルダ８Ａを取り変えることで実施すればよい。この場合、微小な固浸レンズ６を直接取り扱わなくてもよいので、レンズ交換が容易である。
【００６５】
このようにレンズ交換の際には、固浸レンズホルダ８Ａごと変えるため、保持部材６１が有する保持片６２には、レンズ保持部６０が保持している固浸レンズ６を区別するための印として切り欠き等を形成しておくことが好ましい。これによって、固浸レンズホルダ８Ａを見ただけで固浸レンズホルダ８Ａで保持されている固浸レンズ６の特性（屈折率、厚さなど）を容易に知ることができる。固浸レンズ６を識別するための印としては、例えば、レンズ保持部６０の色を変えることなども考えらえる。
【００６６】
以上説明したように、試料１０が有する半導体デバイス１１を半導体検査装置１を利用して検査する場合、固浸レンズホルダ８Ａのレンズ保持部６０が、対物レンズ２１の光軸Ｌ方向（ベース部５０に略直交する方向）に延在しており、固浸レンズホルダ８Ａが略Ｔ字形状を有していることが重要である。
【００６７】
すなわち、レンズ保持部６０が対物レンズ２１の光軸Ｌ方向に延在していることから、レンズ保持部６０と凹部１３（図２参照）の側壁１３ａとは略平行になる。そのため、凹部１３の下面に設けられた半導体デバイス１１の周縁部近くまで固浸レンズ６を移動させても、レンズ保持部６０と凹部１３の側壁１３ａとが干渉（換言すれば、接触）しにくい。その結果として、固浸レンズ６を凹部１３内に位置する半導体デバイス１１の周縁部により近づけて観察することができる。なお、レンズ保持部６０を凹部１３の側壁１３ａ近傍までより近づけられるように、レンズ保持部６０の外径は、固浸レンズ６の外径より僅かに大きい程度が好ましい。
【００６８】
また、固浸レンズホルダ８Ａでは、保持部材６１の中心線Ｌに対して放射状に配置された３つの保持片６２によって固浸レンズ６の上面６ａを部分的に受けるので、光軸Ｌ方向に延在するレンズ保持部６０が固浸レンズ６を保持していても、固浸レンズ６の上面６ａのうち保持片６２に当接していない部分から光を確実に入出力することが可能である。
【００６９】
そして、ベース部５０が開口５３を有していることから、固浸レンズホルダ８Ａを対物レンズ２１に取り付けていても、ＬＳＭユニット４から出力された光（赤外レーザ光）を、固浸レンズ６に入射でき、且つ、固浸レンズ６から出力される光も対物レンズ２１に入射させることができている。
【００７０】
更に、固浸レンズホルダ８Ａは、対物レンズ２１に取り付けられているので、Ｘ−Ｙ−Ｚステージ７で対物レンズ２１を移動させることで、固浸レンズ６の位置を調整できる。そして、半導体デバイス１１を観察するときには、対物レンズ２１の光軸Ｌ方向に対物レンズ２１を移動させることによって、固浸レンズ６を半導体デバイス１１に密着させることになる。したがって、例えば、固浸レンズホルダ８Ａを、図１に示したような正立型の顕微鏡５に限らず、倒立型の顕微鏡に適用しても、固浸レンズ６を半導体デバイス１１に確実に密着させることができる。
【００７１】
（第２の実施形態）
図５は、第２の実施形態に係る固浸レンズホルダ８Ｂの底面図である。図５では、固浸レンズホルダ８Ｂが固浸レンズ６を保持した状態を示している。
【００７２】
固浸レンズホルダ８Ｂの構成は、連結部８１の延在方向（すなわち、ベース部５０の径方向）において、連結部８１，８１，８１の一部の幅が細くなっている点で、図３に示した固浸レンズホルダ８Ａの構成と相違する。この点を中心として、固浸レンズホルダ８Ｂについて説明する。
【００７３】
連結部８１の一部の幅が細くなっていることで、固浸レンズ６等を介して保持部材６１に所定の応力が加わると連結部８１が折れるようになっている。
【００７４】
固浸レンズ６で半導体デバイス１１を観察する際には、固浸レンズ６を半導体デバイス１１に密着させる必要があるため、固浸レンズ６を半導体デバイス１１に押しつけることになる。この場合、例えば、固浸レンズ６を押しつけすぎると、半導体デバイス１１が損傷する虞がある。これは、固浸レンズ６を半導体デバイス１１上で走査する場合も同様である。
【００７５】
これに対して、固浸レンズホルダ８Ｂの構成では、連結部８１の一部の幅が細くなっているので、固浸レンズ６が半導体デバイス１１に押し付けられたとき、半導体デバイス１１が損傷する前に連結部８１，８１，８１が折れ、固浸レンズホルダ８Ｂの方が先に壊れるようになっている。
【００７６】
より詳細に説明すると、固浸レンズ６を押しつけたとき、固浸レンズ６は、半導体デバイス１１から反作用として力を受ける。その結果、固浸レンズ６の上面６ａに当接した保持部材６１に応力が加わり、保持部材６１に一体的に設けられている連結部８１に応力が加わる。そして、その応力が所定の応力以上になったときに連結部８１が折れる。そのため、半導体デバイス１１の検査時、半導体デバイス１１に一定以上の負荷が加わらないので、半導体デバイス１１が損傷することが抑制されている。
【００７７】
すなわち、固浸レンズホルダ８Ｂは、連結部８１の一部の幅を細くすることで、観察のときにレンズ保持部６０に加わる応力に応じて観察対象物としての半導体デバイス１１を保護する構成を備えていることになる。なお、連結部８１において、細くなっている部分の幅は、連結部８１に加わる応力に応じて半導体デバイス１１に損傷を与える前に連結部８１が折れるようになっていればよい。
【００７８】
保持部材６１が対物レンズ２１の光軸Ｌ方向に延在していることの効果は、第１の実施形態の場合と同様である。すなわち、凹部１３（図２参照）の側壁１３ａとレンズ保持部６０とが接触しにくいので、凹部１３の側壁１３ａ近傍までレンズ保持部６０を移動させることが可能となる。その結果、半導体デバイス１１の周縁部を観察可能である。
【００７９】
本実施形態では、連結部８１の幅が細くなっているとしたが、例えば、連結部８１の厚さ（底板５２に直交する方向の長さ）を一部薄くしていてもよい。
【００８０】
（第３の実施形態）
図６は、第３の実施形態に係る固浸レンズホルダ８Ｃの底面図である。図６では、固浸レンズホルダ８Ｃが固浸レンズ６を保持した状態を示している。
【００８１】
固浸レンズホルダ８Ｃの構成は、固浸レンズホルダ８Ｃが３つの応力検知センサＳ，Ｓ，Ｓを有する点で、図３に示した固浸レンズホルダ８Ａの構成と相違する。この点を中心にして、固浸レンズホルダ８Ｃについて説明する。
【００８２】
各応力検知センサＳは、各連結部５４上にそれぞれ貼付されており、第３の実施形態で説明したように、半導体デバイス１１の観察のときに、レンズ保持部６０を介して連結部５４に加わる応力を検知する。応力検知センサＳとしては、歪ゲージなどが例示される。
【００８３】
応力検知センサＳは、ペリフェラルコントローラ３３を介して指示部４２（図１参照）に電気的に接続されており、指示部４２は、応力検知センサＳによって検知された応力が所定の応力以上になったとき、半導体検査装置１による検査を停止する。より具体的には、指示部４２は、ペリフェラルコントローラ３３によるＸ―Ｙ―Ｚステージ７の操作を中止し、観察位置の調整や焦点合わせなどを停止する。
【００８４】
これによって、固浸レンズ６の押し付けなどによって半導体デバイス１１に損傷が生じる前に、固浸レンズ６の位置調整などの操作を中止することができるので、第３の実施形態の場合と同様に、半導体デバイス１１の保護を図ることができている。すなわち、固浸レンズホルダ８Ｃは、応力検知センサＳを有することで、観察対象物としての半導体デバイス１１を保護する構成を備えていることになる。
【００８５】
なお、レンズ保持部６０が、対物レンズ２１の光軸Ｌ方向に延在していることの効果は、第１の実施形態の場合と同様である。また、応力検知センサＳの設置場所は、レンズ保持部６０に加わる応力を検知できれば特に限定されない。
【００８６】
（第４の実施形態）
図７は、第４の実施形態に係る固浸レンズホルダ８Ｄの分解側面図である。図７では、固浸レンズホルダ８Ｄが固浸レンズ６を保持した状態を示している。
【００８７】
固浸レンズホルダ８Ｄの構成は、レンズ保持部９０が、ベース部１００が有する底板５２を介してベース部１００に着脱自在である点で、図３に示した固浸レンズホルダ８Ａの構成と主に相違する。この点を中心にして、固浸レンズホルダ８Ｄについて説明する。
【００８８】
レンズ保持部９０を構成する保持部材９１は、ベース部１００の底板５２側に突起部９２を有する。そして、底板５２は３つの連結部５４，５４，５４（図３参照）の交差部分に突起部９２と螺合する隆起部１０１を有している。したがって、固浸レンズホルダ８Ｄでは、突起部９２を隆起部１０１に螺合させることによって、レンズ保持部９０をベース部１００に接続できる。
【００８９】
この構成では、レンズ保持部９０をベース部１００に着脱できることから、ベース部１００を対物レンズソケット９を介して対物レンズ２１に取り付けた状態で、固浸レンズ６を容易に変えることが可能である。
【００９０】
なお、保持部材９１は、図３に示した保持部材６１と同様に光軸Ｌ方向に延在しており、保持部材９１が光軸Ｌ方向に延在していることの効果は、第１の実施形態の場合と同様であり、半導体デバイス１１の周縁部１１ａのより近くまで観察可能である。
【００９１】
（第５の実施形態）
図８は、第５の実施形態に係る固浸レンズホルダ８Ｅの底面図である。図９は、図８のＩＸ―ＩＸ線に沿った断面図である。図８及び図９では、固浸レンズホルダ８Ｅが固浸レンズ６を保持した状態を示している。
【００９２】
固浸レンズホルダ８Ｅの構成は、固浸レンズホルダ８Ｅが、ベース部５０を通過する光束を制限する絞り１１０を有する点で、図３に示した固浸レンズホルダ８Ａの構成と主に相違する。この点を中心にして、固浸レンズホルダ８Ｅについて説明する。
【００９３】
絞り１１０の外形は、円板形状であり、絞り１１０の底面（ベース部５０側の面）に設けられた３つの略Ｌ字状のフック１１１，１１１，１１１を対応する連結部５４，５４，５４にそれぞれ嵌め合わせることによってベース部５０に取り付けられている。絞り１１０は、ベース部５０の中心に同心的に配置されており、底板５２の上面側に位置する。絞り１１０は、その中央部に形成された円形の開口１１２によってベース部５０の開口５３を通過する光束を制限する。
【００９４】
前述したように、絞り１１０は、フック１１１を連結部５４に掛けることでベース部５０に取り付けられるので、ベース部５０に着脱自在である。そのため、開口１１２の大きさの異なる絞り１１０を複数用意することで、ベース部５０を通過する光束の大きさを調整できる。このように絞り１１０の開口１１２の大きさを調整することによって、半導体デバイス１１に入射する光束のＮＡが変えられる結果、所望のＮＡで半導体デバイス１１を観察できる。
【００９５】
例えば、半導体デバイスにおいて、例えば、固浸レンズ６が接触する面と、固浸レンズ６での観察位置との間に屈折率の異なる複数の層が積層されている場合、半導体デバイスに入射する光束のＮＡによっては、層間で全反射が生じ所望の観察位置まで光を十分到達させることができない場合がある。また、全反射した光が固浸レンズ６及び対物レンズ２１を通って高感度カメラ３に入射して画像を劣化させる場合がある。
【００９６】
これに対して、前述したように、絞り１１０によって半導体デバイス１１に入射する光束のＮＡを調整することによって、層間で全反射を生じさせることなく、所望の観察位置まで光を確実に到達させることができる。この場合、層間で全反射した光などが再度固浸レンズ６を通して対物レンズ２１に入射されることがないため、半導体デバイス１１をより鮮明に観察することができる。なお、絞り１１０に替えて液晶絞りを設けても良い。
【００９７】
また、レンズ保持部６０が光軸Ｌ方向に延在していることの効果は、第１の実施形態の場合と同様であり、半導体デバイス１１の周縁部１１ａのより近くまで観察可能である。
【００９８】
（第６の実施形態）
図１０は、第６の実施形態に係る固浸レンズホルダ８Ｆの分解斜視図である。図１０では、固浸レンズホルダ８Ｆが固浸レンズ６を保持する場合を示している。
【００９９】
固浸レンズホルダ８Ｆの構成は、保持部材１２０が有する３つの保持片１２１，１２１，１２１が、保持部材１２０の中心線Ｌから離れて配置されている点で、図３に示した固浸レンズホルダ８Ａの構成と主に相違する。この点を中心にして、固浸レンズホルダ８Ｆについて説明する。
【０１００】
各保持片１２１は、ベース部１３０の中心を通る保持部材１２０の中心線Ｌに対して放射状に配置されると共に、中心線Ｌから等距離離して配置されている。また、各保持片１２１は、各連結部１３１の端部からベース部１３０に略直交する方向（光軸Ｌ方向）に延びている。そして、隣り合う保持片１２１同士は、保持片１２１と一体成形された円弧状の連結部材１２２によって連結されている。このため、３つの保持片１２１，１２１，１２１の配置関係は、確実に固定されている。また、保持片１２１は、その先端部に図３に示した保持片６２と同様にレンズ受け面６２ａ及び爪部６２ｂを有している。
【０１０１】
この構成では、３つの保持片１２１は、中心線Ｌ上で繋がっておらず、また、連結部１３１もベース部１３０が有する底板５２の中心（ベース部５０の中心）で交差していない。そのため、図３に示した３つの開口５３は、底板５２の中心（ベース部１３０の中心）で互いに繋がり、１つの開口を形成することになる。言い換えれば、固浸レンズホルダ８Ｆは、底板５２の中心を中心として形成された円形の開口１３２を有し、開口１３２の周縁部から中心に向かって延びると共に、開口１３２の半径よりも短い連結部１３１によって、開口１３２内に位置する保持片１２１の端部と底板５２とが連結されることで構成されている。
【０１０２】
以上説明した構成を有する固浸レンズホルダ８Ｆでは、固浸レンズ６の上面６ａに入出力する光が保持片１２１によって遮られることが更に抑制されるので、光束を有効に利用できる。そして、ベース部５０の中心及びその近傍や、保持部材１２０内でも光が通過可能であることから、半導体デバイス１１からの画像情報をより多く取得することができる。
【０１０３】
このように、固浸レンズホルダ８Ｆではレンズ保持部６０の中心線Ｌ近傍も光を通過させるので、光束を有効に利用する観点から、図１０に示すように、中心線Ｌから各保持片１２１までの距離が、ベース部１３０側から固浸レンズ６側に向かって短くなるように、保持片１２１が形成されていることが好ましい。
【０１０４】
ここでは、隣り合う保持片１２１同士は、連結部材１２２によって連結されているとしたが、隣り合う保持片１２１同士は、保持片１２１に形成された爪部６２ｂに固定されるレンズカバー６３によっても連結されることになるので、連結部材１２２は、無くてもよい。
【０１０５】
なお、保持部材１２０とレンズカバー６３とを有するレンズ保持部６０が光軸Ｌ方向に延在していることの効果は、第１の実施形態の場合と同様であり、半導体デバイス１１の周縁部１１ａのより近くまで観察可能である。
【０１０６】
（第７の実施形態）
図１１は、第７の実施形態に係る固浸レンズホルダ８Ｇを対物レンズ２１側からみた図である。図１２は、図１１のＸＩＩ―ＸＩＩ線に沿った断面図である。図１３は、固浸レンズホルダ８Ｇを図１２の矢印Ａ２方向から見た図である。図１１〜図１３では、固浸レンズホルダ８Ｇが固浸レンズ６を保持した状態を示している。
【０１０７】
固浸レンズホルダ８Ｇの構成は、固浸レンズホルダ８Ｇが有する透光部１４０が、透光部材としてのガラス板１４１を有する点で図３に示した固浸レンズホルダ８Ａの構成と主に相違する。この点を中心として、固浸レンズホルダ８Ｇについて説明する。
【０１０８】
透光部１４０は、ベース部５０の中心と同心的に形成された円形の開口１４２と、ベース部５０の上面に設けられたガラス板１４１とからなる。ガラス板１４１は、円板状のガラス板本体１４３とガラス板本体１４３の周縁部から径方向に突出した取付片１４４とを有している。ガラス板１４１が有するガラス板本体１４３の直径は、開口１４２の直径よりも大きい。そのため、開口１４２を覆うようにガラス板１４１を配置したとき、取付片１４４は、ベース部５０の底板５２上に位置することになる。
【０１０９】
そして、ガラス板１４１は、この取付片１４４を介して、保持部材１５１の中心線Ｌ上にベース部５０の中心が位置するように固定される。この取付片１４４の幅は、ガラス板本体１４３との連結部分で細くなっている。
【０１１０】
また、ガラス板１４１の中心には、レンズ保持部１５０の保持部材１５１が有する突起部１５２と螺合する円柱状の取付部１６０が埋め込まれている。そして、この取付部１６０と突起部１５２とを螺合させることで、レンズ保持部１５０は、ガラス板１４１に取り付けられる。この突起部１５２を有する保持部材１５１と、取付部１６０との関係は、第４の実施形態の固浸レンズホルダ８Ｄが有する保持部材９１と隆起部１０１との関係と同様である。
【０１１１】
この固浸レンズホルダ８Ｇの構成では、ベース部５０とレンズ保持部１５０とが着脱自在であるので、ベース部５０を対物レンズ２１に固定した状態でも容易に固浸レンズ６を取り替えることが可能である。
【０１１２】
また、取付片１４４の幅は、ガラス板本体１４３側で細くなっているので、固浸レンズ６の位置調整や焦点合わせ等のときに、図５に示した固浸レンズホルダ８Ｄと同様の理由によって、半導体デバイス１１に損傷を与える前に、ガラス板１４１が壊れるようになっている。その結果、半導体デバイス１１の保護が図られていることになる。
【０１１３】
更に、ベース部５０では、開口１４２において、取付部１６０以外の領域で光束を通すことが可能であるので、固浸レンズ６からの光束が遮られることが更に抑制されることになる。その結果、固浸レンズ６からの光束をより有効に利用して半導体デバイス１１の画像を形成することができる。
【０１１４】
ここでは、ガラス板１４１は、ベース部５０の対物レンズ２１側に設けられているとしたが、例えば、開口１４２とほぼ同一形状として、開口１４２に嵌め合わせることも可能である。また、レンズ保持部１５０は、取付部１６０を介してベース部５０に着脱できるとして説明したが、ベース部５０に常に固定された状態としてもよい。また、各保持片６２を直接ガラス板１４１に埋め込むようにしてもよい。
【０１１５】
なお、レンズ保持部１５０が光軸Ｌ方向に延在していることの効果は、第１の実施形態の場合と同様であり、半導体デバイス１１の周縁部１１ａのより近くまで観察可能である。
【０１１６】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。第１〜第７の実施形態に係る固浸レンズホルダ８Ａ〜８Ｇの構成は、互いに組み合わせることも可能である。
【０１１７】
例えば、第４〜第６の実施形態に係る固浸レンズホルダ８Ｄ〜８Ｆは、それらがそれぞれ有する連結部の一部の幅を細くしたり、連結部上に応力検知センサを貼付することなどによって、観察対象物を保護するように構成されていてもよい。更に、固浸レンズホルダ８Ｂ〜８Ｃ、８Ｅ，８Ｆは、固浸レンズホルダ８Ｄのように、レンズ保持部がベース部に対して着脱自在となっていてもよい。更にまた、固浸レンズホルダ８Ｂ〜８Ｄ，８Ｆ，８Ｇは、固浸レンズホルダ８Ｅのように、絞り１１０を有することも好適である。
【０１１８】
また、保持部材６１，９１，１２０，１５１は３つの保持片６２，１２１から構成されるとしているが、保持片６２，１２１の数は特に限定されず、固浸レンズ６を安定に受けられればよい。更に、第１〜第７の実施形態の固浸レンズホルダ８Ａ〜８Ｇを半導体検査装置１に適用した際、レンズ保持部６０，９０，１５０の中心線は、対物レンズ２１の光軸Ｌと一致するとしたが、必ずしも一致しなくてもよく、レンズ保持部６０，９０，１５０は、光軸Ｌ方向に延在しており、例えば、レンズ保持部６０，９０，１５０の中心線と光軸Ｌとは平行でもよい。
【０１１９】
更にまた、第１〜第７の実施形態では、レンズ受け部は保持片としたが板状のものに限らない。また、第１〜第７の実施形態の固浸レンズホルダ８Ａ〜８Ｇは、例えば、ウェハ状のものを観察する際にも好適に利用できる。更に、第１〜第７の実施形態の固浸レンズホルダ８Ａ〜８Ｇは、半導体検査装置１に適用しているが、半導体以外のものを観察する際に利用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１２０】
【図１】本発明に係る固浸レンズホルダの一実施形態を適用した半導体検査装置の構成図である。
【図２】図２は、固浸レンズホルダの構成を示す構成図である。
【図３】図２に示した固浸レンズホルダの分解斜視図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である
【図５】第２の実施形態に係る固浸レンズホルダの底面図である。
【図６】第３の実施形態に係る固浸レンズホルダの底面図である。
【図７】第４の実施形態に係る固浸レンズホルダの分解側面図である。
【図８】第５の実施形態に係る固浸レンズホルダの底面図である。
【図９】図８のＩＸ―ＩＸ線に沿った断面図である。
【図１０】第６の実施形態に係る固浸レンズホルダの分解斜視図である。
【図１１】第７の実施形態に係る固浸レンズホルダを対物レンズ側からみた図である。
【図１２】図１１のＸＩＩ―ＸＩＩ線に沿った断面図である
【図１３】図１２に示した固浸レンズホルダを図１２の矢印Ａ２方向から見た図である。
【符号の説明】
【０１２１】
６…固浸レンズ、８Ａ〜８Ｇ…固浸レンズホルダ、１０…試料、１１…半導体デバイス（観察対象物）、１１ａ…周縁部、１３…凹部、１３ａ…側壁、２１…対物レンズ、５０，１００，１３０…ベース部、５３，１３２，１４２…開口（透光部）、６０，９０，１５０…レンズ保持部、６１，９１，１２０，１５１…保持部材、６２，１２１…保持片（レンズ受け部）、６３…レンズカバー、６４ａ…レンズカバーの開口、１１２…絞りの開口、１４０…透光部、１４１…ガラス板（透光部材）、Ｌ…対物レンズの光軸（保持部材の中心線）、Ｓ…応力検知センサ。
【図１】
2006201407.tif 000003
【図２】
2006201407.tif 000004
【図３】
2006201407.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006201407.tif 000009
【図８】
2006201407.tif 000010
【図９】
2006201407.tif 000011
【図１０】
2006201407.tif 000012
【図１１】
2006201407.tif 000013
【図１２】
2006201407.tif 000014
【図１３】
2006201407.tif 000015