(57)【要約】【課題】高アルカリインクを用いた場合や極小オリフィスを作製した場合においても、インク流路構成部材の吸インクによるオリフィスの変形を生じにくく、長時間安定した吐出が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、インク吐出口と、該インク吐出口に連通すると共に前記インク吐出圧力発生素子が作用できる位置に該インクを導入可能なインク流路と、を有し、前記基板に接合されたインク流路構成部材により少なくとも前記インク流路が形成されているインクジェットヘッドであって、前記インク流路構成部材を、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物で形成する。【選択図】図７
2006159764.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、インク吐出口と、該インク吐出口に連通すると共に前記インク吐出圧力発生素子が作用できる位置に該インクを導入可能なインク流路と、を有し、前記基板に接合されたインク流路構成部材により少なくとも前記インク流路が形成されているインクジェットヘッドであって、
前記インク流路構成部材が、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物を含有することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂が、水酸基を有するエポキシ樹脂とアルコキシシラン化合物とを縮合反応させて得られるアルコキシシリル基含有エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記アルコキシシラン化合物が、下記一般式（１）で表されるアルコキシシラン類及びその縮合物の少なくとも１種である請求項２記載のインクジェットヘッド。
ＲaqＳｉ（ＯＲb）4-q    （１）
（式（１）中、ｑは０〜２の整数を示し、Ｒaは炭素数１〜８のアルキル基または炭素数６〜８のアリール基を示し、Ｒbは炭素数１〜４のアルキル基を示す。）
【請求項４】
（ａ）インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク流路となるパターンを形成する工程と、
（ｂ）前記パターンが形成された基板上に、インク流路構成部材により被覆樹脂層を形成する工程と、
（ｃ）前記インク吐出圧力発生素子の上方に位置する被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程と、
（ｄ）前記溶解可能な樹脂を溶出し、インク流路を形成する工程と、
を有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記インク流路構成部材が、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物を含有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂が、水酸基を有するエポキシ樹脂とアルコキシシラン化合物とを縮合反応させて得られるアルコキシシリル基含有エポキシ樹脂であることを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記アルコキシシラン化合物が、下記一般式（１）で表されるアルコキシシラン類及びその縮合物の少なくとも１種である請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
ＲaqＳｉ（ＯＲb）4-q    （１）
（式（１）中、ｑは０〜２の整数を示し、Ｒaは炭素数１〜８のアルキル基または炭素数６〜８のアリール基を示し、Ｒbは炭素数１〜４のアルキル基を示す。）
【請求項７】
前記樹脂組成物が光カチオン重合開始剤をさらに含有することを特徴とする請求項４ないし６のいずれか記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記工程（ｃ）をフォトリソグラフィーにより行うことを特徴とする請求項４ないし７のいずれか記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェット記録方式に用いる記録液小滴を発生するためのインクジェットヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録方式（液体噴射記録方式）に適用されるインクジェットヘッドは、一般に微細な記録液吐出口（以下、オリフィスと称することがある）、液流路および該液流路の一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部を複数備えている。従来、このようなインクジェットヘッドを作製する方法としては、例えば特許文献１記載の次のような工程が知られている。
【０００３】
まず、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成し、このインク流路パターン上に、インク流路壁となるエポキシ樹脂及び光カチオン重合開始剤を含む被覆樹脂層を形成し、フォトリソグラフィーによりインク吐出圧力発生素子の上方に位置する被覆樹脂層にオリフィスを形成し、次いで前記溶解可能な樹脂を溶出してインク流路を形成し、インク流路壁となる被覆樹脂層を硬化する。
【０００４】
前記インク流路壁となる被覆樹脂に含まれるエポキシ樹脂としては、特許文献２に記載のビスフェノールＡ、Ｆ、Ｓ骨格を有するエポキシ樹脂、ｏ−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂が挙げられる。また、特許文献３、特許文献４、特許文献５、特許文献６に記載のオキシシクロヘキサン骨格を有するエポキシ樹脂等が知られている。
【０００５】
ところで、近年の記録技術の進展に伴い、インクジェット記録技術にはより高精細な記録が求められている。このような要求を満たす一つの方法としてインクジェットヘッドより吐出されるインク滴の極小化、すなわちインクジェットヘッドの極小オリフィス化が挙げられる。しかし、従来の製造方法で極小オリフィスを有するインクジェットヘッドを作成すると、インク流路壁となるインク流路構成部材の吸インクによる体積膨潤の影響が無視できなくなり、オリフィスの変形を生じるおそれがある。その結果、吐出されるインク滴の吐出方向がばらつき出力される画像にムラを生じる場合がある。
【０００６】
また、インクジェット記録技術による画像記録への高度な要求に伴ってインクに要求される性能も高度なものとなってきており、インク中に保湿剤としての尿素が含有されるようになってきている。さらに記録物の耐水性を向上させるために色材としても水難溶性染料を用いるようになり、この染料を溶解させるためにインク中にアルカリ塩を含有させる構成をとっている。このようにインク中に尿素やアルカリ塩が含有されているとインクは比較的高いアルカリ性を示すものとなるが、高アルカリインクは極性溶媒と同様にインク流路構成部材を膨潤させやすい。従って、高アルカリインクを用いた上述の製造方法で作成された従来のインクジェットにおいては、インク流路壁となるインク流路構成部材の吸インクによる体積膨潤でインク流路が変形し所望の吐出状態を得られない虞や、インク流路壁構成部材の基板からの剥離のおそれがあり、インクジェットヘッドの信頼性の観点からも必ずしも充分とは言えないものである。
【０００７】
このように、上述のインクジェット製造方法では極小オリフィスを作成した場合や、高アルカリインクを用いた際のインク流路壁の吸インクによる体積膨潤量の低減という技術課題がある。
【特許文献１】特開平６−２８６１４９号公報
【特許文献２】特開平０３−１８４８６８号公報
【特許文献３】特開昭６０−１６１９７３号公報
【特許文献４】特開昭６３−２２１１２１号公報
【特許文献５】特開昭６４−９２１６号公報
【特許文献６】特開平２−１４０２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は前述した従来技術における問題点を解決し、高アルカリインクを用いた場合や極小オリフィスを作製した場合においても、インク流路構成部材の吸インクによるオリフィスの変形を生じにくく、長時間安定した吐出が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは前述した従来技術における問題点を解決して上記課題を達成すべく鋭意研究した結果、従来のインクジェットヘッドにおけるインク流路構成部材として、例えば、水酸基を有するエポキシ樹脂とアルコキシシラン化合物とを縮合反応させて得られるようなアルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を用いた場合、インク流路構成部材の吸インクによる体積膨潤量が低減され、所望の安定した吐出が可能なインクジェットヘッドが製造可能である知見を得た。
【００１０】
アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂は、硬化時にエポキシ環の開環重合と共にアルコキシシリル基が縮合し、硬化物中にシロキサン結合を形成する。樹脂硬化物中に形成されたシロキサン結合は優れた耐インク性、耐熱性、金属基板に対する高密着性を硬化物に付与させると考えられる。すなわち、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物を用いて、アルコキシシリル基が縮合して形成されたシロキサン結合をインク流路構成部材中に導入することで、吸インク量が低く、その結果樹脂硬化物の体積膨潤量を低減することが可能となり前記課題を解決できることを見出した。
【００１１】
本発明は、
インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、インク吐出口と、該インク吐出口に連通すると共に前記インク吐出圧力発生素子が作用できる位置に該インクを導入可能なインク流路と、を有し、前記基板に接合されたインク流路構成部材により少なくとも前記インク流路が形成されているインクジェットヘッドであって、
前記インク流路構成部材が、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物を含有することを特徴とするインクジェットヘッドである。
【００１２】
また、本発明は、
（ａ）インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク流路となるパターンを形成する工程と、
（ｂ）前記パターンが形成された基板上に、インク流路構成部材により被覆樹脂層を形成する工程と、
（ｃ）前記インク吐出圧力発生素子の上方に位置する被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程と、
（ｄ）前記溶解可能な樹脂を溶出し、インク流路を形成する工程と、
を有するインクジェットヘッドの製造方法において、前記インク流路構成部材が、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物を含有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、高アルカリインクを用いた場合や極小オリフィスを作製した場合においても、インク流路構成部材の吸インクによるオリフィスの変形を生じにくく、長時間安定した吐出が可能なインクジェットヘッドを提供できるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、インク吐出口と、該インク吐出口に連通すると共に前記インク吐出圧力発生素子が作用できる位置に該インクを導入可能なインク流路と、を有し、前記基板に接合されたインク流路構成部材により少なくとも前記インク流路が形成されているインクジェットヘッドに関するものである。
【００１５】
さらには、
（ａ）インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク流路となるパターンを形成する工程と、
（ｂ）前記パターンが形成された基板上に、インク流路構成部材により被覆樹脂層を形成する工程と、
（ｃ）前記インク吐出圧力発生素子の上方に位置する被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程と、
（ｄ）前記溶解可能な樹脂を溶出し、インク流路を形成する工程と、
を有するインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。特に、より高精細なオリフィス（インク吐出口）を得るために、前記工程（ｃ）をフォトリソグラフィーにて行うインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。
【００１６】
本発明では、上記インクジェットヘッドにおけるインク流路構成部材を、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物で形成するものである。
【００１７】
本発明におけるアルコキシシリル基含有エポキシ樹脂は、例えば水酸基を有するエポキシ樹脂とアルコキシシラン化合物とを縮合反応させて得ることができる。この縮合反応によれば、有機錫、有機酸錫等の触媒を用いてエポキシ環を開環させずに、エポキシ樹脂の水酸基と、アルコキシシラン化合物のアルコキシ基（または加水分解後の水酸基）とを縮合して、位置選択的に化学結合させることができる。
【００１８】
前記アルコキシシラン化合物は、下記一般式（１）で表されるアルコキシシラン類及びその縮合物の少なくとも１種であることが好ましい。
【００１９】
ＲaqＳｉ（ＯＲb）4-q    （１）
（式（１）中、ｑは０〜２の整数を示し、Ｒaは炭素数１〜８のアルキル基または炭素数６〜８のアリール基を示し、Ｒbは炭素数１〜４のアルキル基を示す。）
なお、Ｒa及び／又はＲbが一分子中に複数ある場合、それぞれ独立して上記から選ばれる基である。Ｒaとしては、炭素数１〜４のアルキル基またはフェニル基が好ましい。Ｒbとしては、炭素数１〜３のアルキル基が好ましい。
【００２０】
アルコキシシラン化合物の具体例としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラブトキシシラン等のテトラアルコキシシラン類；メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルトリエトキシシラン、ｎ−ブチルトリメトキシシラン、ｎ−ブチルトリエトキシシラン、ｎ−ヘキシルトリメトキシシラン、ｎ−ヘキシルトリエトキシシラン、ｎ−オクチルトリメトキシシラン、ｎ−オクチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、４−メチルフェニルトリメトキシシラン、４−メチルフェニルトリエトキシシラン、４−エチルフェニルトリメトキシシラン、４−エチルフェニルトリエトキシシラン等のトリアルコキシシラン類；ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジプロポキシシラン、ジメチルジブトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジ−ｎ−プロピルジメトキシシラン、ジ−ｎ−プロピルジエトキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシラン、ジイソプロピルジエトキシシラン、ジ−ｎ−ブチルジメトキシシラン、ジ−ｎ−ブチルジエトキシシラン、ジ−ｎ−ヘキシルジメトキシシラン、ジ−ｎ−ヘキシルジエトキシシラン、ジ−ｎ−オクチルジメトキシシラン、ジ−ｎ−オクチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ビス（４−メチルフェニル）ジメトキシシラン、ビス（４−メチルフェニル）ジエトキシシラン、ビス（４−メチルフェニル）ジメトキシシラン、ビス（４−メチルフェニル）ジエトキシシラン等のジアルコキシシラン類；またはこれらの部分縮合物等があげられるが、これらに限定されるものではない。テトラアルコキシシラン類、トリアルコキシシラン類、及びそれらの部分縮合物であることが好ましい。これらは単独で使用することもでき、適宜選択した複数を組み合わせて使用することもできる。
【００２１】
また、水酸基を有するエポキシ樹脂は、アルコキシシラン化合物と縮合可能な水酸基を含有するエポキシ樹脂であれば、特に限定されない。
【００２２】
上記のように水酸基を有するエポキシ樹脂とアルコキシシラン化合物との縮合反応を行う際のアルコキシシラン化合物の使用量は、水酸基を有するエポキシ樹脂とアルコキシシラン化合物との合計に対して５質量％〜５０質量％であることが好ましい。すなわち、５質量％未満であると所望のインク耐性を得ることができない場合があり、また５０質量％を超えると、硬化物中に縮合されたシロキサン結合部位が増大することにより硬化物が脆くなってしまう恐れがある。
【００２３】
本発明で用いる樹脂組成物には、上記のアルコキシシリル基含有エポキシ樹脂以外に、他のエポキシ樹脂を併用することもできる。
【００２４】
本発明で用いる樹脂組成物は、さらに光カチオン重合開始剤を含有することが好ましい。このような樹脂組成物を用いることで、インク流路構成部材にインク吐出口を形成する際にフォトリソグラフィーの手法を利用できる。光カチオン重合開始剤としては、芳香族ヨウドニウム塩、芳香族スルホニウム塩、旭電化工業より上市されているＳＰ−１５０、ＳＰ−１７０、ＳＰ−１７２（以上商品名）、Ｒｈｏｄｉａ社より上市されているＲｈｏｄｏｒｓｉｌ２０７４（商品名）等が挙げられる。これら光カチオン重合開始剤は、紫外線の照射によりカチオン重合を開始できるものである。光カチオン重合開始剤は、樹脂組成物に含まれる樹脂成分１００質量％に対して０．５〜１０質量％の量を使用することが好ましい。
【００２５】
また、上記の樹脂組成物には、必要に応じて添加剤などを適宜添加することが可能である。たとえば、硬化物の弾性率を下げる目的で可撓性付与剤を添加したり、基板との更なる密着力を得るためにシランカップリング剤を添加することなどが挙げられる。その添加量は、目的とする効果を発現可能な量を適宜設定できる。
【実施例】
【００２６】
（実験例１）
本実験例においては、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂、及び該アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂の一部又は全部を他のエポキシ樹脂に変えた樹脂組成物により基板上にパターンを形成し、加速試験によって樹脂硬化物の吸インクによる体積膨潤によるパターン幅の変化量を確認する実験を行った。
【００２７】
まず、基板として６インチＳｉウエハを準備し、熱酸化によって１．０μｍのＳｉＯ2層を形成した。次いで表１記載の樹脂組成物（１）〜（４）及び（ｃ１）を適当な溶剤（メチルイソブチルケトン）にて溶解したものを用いて、スピンコートによって基板上に樹脂組成物層を成膜し、９０℃で５分のベークを行うことにより塗布溶媒を蒸発させて、２０μｍ厚の樹脂組成物層を得た。
【００２８】
次いでキヤノン製マスクアライナーＭＰＡ６００（商品名）を用い、露光量３０００ｍＪ／ｃｍ2で基板上の樹脂組成物層のパターニング（長さ５ｃｍ、幅５０μｍのライン＆スペースパターン）をおこない、露光後ホットプレート上で９０℃４分間加熱後にメチルイソブチルケトン／キシレン混合溶媒で現像し、さらに現像後に２００℃１時間加熱し本硬化を行った。こうして長さ５ｃｍ、幅５０μｍのライン＆スペースパターンを形成した。
【００２９】
次いでこれら試料を、エチレングリコール／尿素／イソプロピルアルコール／黒色染料／水からなるｐＨ１０の高アルカリインクに浸漬し、プレッシャークッカー（ＰＣＴ）試験（１２１℃、２気圧、１００時間）を行い、ライン＆スペースパターンの変化を観察した。なお、この加速試験をインク浸漬中で行ったのは、インク流路構成部材として用いる際の耐インク性も考慮したからである。
【００３０】
ＰＣＴ試験終了後、試料を水洗しブロー乾燥させた後、ラインパターン幅を測定したところ、樹脂組成物（１）及び（２）で作製したライン＆スペースパターンにおけるライン幅の増大率は２％であった。また、樹脂組成物（３）及び（４）で作製したライン＆スペースパターンにおけるライン幅の増大率は４％であった。一方、樹脂組成物（ｃ１）で作製したライン＆スペースパターンにおけるライン幅の増大率は１０％であった。なお、いずれの試料においても、ＰＣＴ試験終了後においてライン＆スペースパターンは基板へ密着していた。
【００３１】
この結果から、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物は、吸インクによる体積膨潤量が低く、且つ基板との密着性も良好である優れた材料であることが確認された。
【００３２】
【表１】
2006159764.tif 000003
【００３３】
表中の数値は質量部を表す。表中の略号は以下のとおりである。
【００３４】
【化１】
2006159764.tif 000004
【００３５】
【化２】
2006159764.tif 000005
【００３６】
【化３】
2006159764.tif 000006
【００３７】
ＥＨＰＥ−３１５０：ダイセル化学工業社製商品名
ＳＰ−１７２：旭電化工業社製商品名
Ａ−１８７：日本ユニカー社製商品名
なお、エポキシ樹脂（Ｉ）であるアルコキシ基含有シラン変性ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂は、一般的なビスフェノールＡ型エポキシ樹脂にメチルトリメトキシシランを溶解混合後、錫触媒下で脱メタノール反応させることで容易に合成することができる。エポキシ樹脂（ＩＩ）であるアルコキシ基含有シラン変性脂環式エポキシ樹脂は、水酸基を有する脂環式エポキシ樹脂にメチルトリメトキシシランを溶解混合後、錫触媒下で脱メタノール反応させることで容易に合成することができる。エポキシ樹脂（ＩＩＩ）は、ＥＰＯＮ−ＳＵ−８（商品名）として米国シェルケミカル社より上市されているものである。
【００３８】
（実施例１〜４及び比較例１）
実施例１〜４及び比較例１として、表１に記載の樹脂組成物（実施例１〜４：樹脂組成物（１）〜（４）、比較例１：樹脂組成物（ｃ１））をインク流路構成部材として使用し、以下の製造方法で極小オリフィスを有するインクジェットヘッドを作製し、吸インクによる体積膨潤がオリフィス形状安定性に及ぼす影響の評価を行った。以下、図面を参照しながら説明する。
【００３９】
図１に示すように背面にインク供給口形成用マスク３を設けた結晶軸（１００）のＳｉウエハー基板１上に、インク吐出圧力発生素子２として電熱変換素子（ＴａＮ）を配置し、更に保護層としてＳｉＮ層４、Ｔａ層５を形成した。なお、インク吐出圧力発生素子２にはその素子を動作させるための制御信号入力電極が接続されている（不図示）。図２に図１のＡ−Ａ’断面図を示す。
【００４０】
次いで基板１上に密着層６としてポリエーテルアミドからなる層を以下の方法で厚み２．０μｍにて形成した。ポリエーテルアミド層は日立化成工業（株）製ＨＩＭＡＬ１２００（商品名）を用い、スピナーで基板１上に塗布し、１００℃／３０分＋２５０℃／１時間ベークを行った。次いで密着層６上に東京応化工業（株）製ポジレジストＯＦＰＲ８００（商品名）のレジスト層を形成し、そのパターニングを行った。更にそのレジストパターンをマスクとしてＯ2プラズマアッシングにより密着層６のパターニングを行い、最後にマスクとして使用したレジストパターンを剥離することで、図３に示すような密着層６を形成した。
【００４１】
次いで図４に示すがごとく、基板１上に東京応化工業（株）製ポジレジストＯＤＵＲ（商品名）を用いてインク流路パターンを形成した（厚み１２μｍ）。
【００４２】
更に、表１記載の各樹脂組成物（１）〜（４）及び（ｃ１）を適当な溶剤（メチルイソブチルケトン）に溶解させたものを用いて基板１上に被覆樹脂層８を形成し、フォトリソグラフィーによって極小オリフィス９（インク吐出口、直径８μｍ）を形成した（図５参照）。
【００４３】
次いで基板１の背面をＳｉ異方性エッチングによりエッチングし、インク供給口１０を形成した。（図６参照）
次いでインク供給口１０上のＳｉＮ膜、及びインク流路パターン７を除去し、さらにインク流路壁となる被覆樹脂層８を構成する樹脂組成物を完全に硬化させるために、２００℃／１時間加熱を行い、インクジェットヘッドを得た（図７参照）。
【００４４】
次いで、作製したインクジェットヘッドで前述の高アルカリインクで１００００枚のテストプリントを行なったところ、比較例１のインクジェットヘッドでは、若干の画像の乱れを生じた。これに対して実施例１〜４のインクジェットヘッドでは、画像の乱れは生じなかった。
【００４５】
以上のように本発明で用いる、アルコキシシリル基含有エポキシ樹脂を含む樹脂組成物の硬化物は、吸インクによる体積膨潤が少なく、それをインク流路構成部材として用いることで信頼性の高いインクジェットヘッドが得られることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの製造に用いる基板の構成を示す斜視図である。
【図２】図１の基板の断面図である。
【図３】図２の基板に密着層を形成した状態の断面図である。
【図４】図３の基板にインク流路パターンを形成した状態の断面図である。
【図５】図４の基板に被覆樹脂層を形成し、極小オリフィスを形成した状態の断面図である。
【図６】図５の基板の背面にインク供給口を形成した状態の断面図である。
【図７】本発明のインクジェットヘッドの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  基板
２  インク吐出圧力発生素子
３  インク供給口形成用マスク
４  ＳｉＮ層
５  Ｔａ層
６  密着層
７  インク流路パターン
８  被覆樹脂層
９  インク吐出口
１０  インク供給口
【図１】
2006159764.tif 000007
【図２】
2006159764.tif 000008
【図３】
2006159764.tif 000009
【図４】
2006159764.tif 000010
【図５】
2006159764.tif 000011
【図６】
2006159764.tif 000012
【図７】
2006159764.tif 000013