(57)【要約】【課題】  洗浄後の洗浄物への溶剤の残留を有効に抑制し、洗浄による清浄度の向上を図ること。【解決手段】  洗浄物を保持し、洗浄槽に浸漬される洗浄物保持具１であって、洗浄物を配置するトレイ１０と、このトレイの洗浄物配置面に立設され洗浄物の周囲を囲う囲い部材１１と、洗浄物がトレイから離間して離脱することを規制する離脱規制部材２０と、を備え、囲い部材１１に囲まれた洗浄物５の周囲に、当該洗浄物に対して洗浄時に用いられる溶剤を流出入させる開口部を形成した。【選択図】図６
2006116403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの洗浄物を保持し、洗浄槽に浸漬される洗浄物保持具であって、
前記洗浄物を配置するトレイと、このトレイの洗浄物配置面に立設され前記洗浄物の周囲を囲う囲い部材と、前記洗浄物が前記トレイから離間して離脱することを規制する離脱規制部材と、を備え、
前記囲い部材に囲まれた前記洗浄物の周囲に、当該洗浄物に対して洗浄時に用いられる溶剤を流出入させる開口部を形成した、ことを特徴とする洗浄物保持具。
【請求項２】
前記囲い部材を複数本の突起にて形成した、ことを特徴とする請求項１記載の洗浄物保持具。
【請求項３】
前記洗浄物一つに対して、
前記囲い部材として、少なくとも４つの突起を設けた、ことを特徴とする請求項１又は２記載の洗浄物保持具。
【請求項４】
前記突起は円柱であることを特徴とする請求項２又は３記載の洗浄物保持具。
【請求項５】
前記トレイの洗浄物配置面に、当該トレイを貫通する貫通孔を設けた、ことを特徴とする請求項１，２，３又は４記載の洗浄物保持具。
【請求項６】
前記離脱規制部材を前記洗浄物に当接させて配設した、ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載の洗浄物保持具。
【請求項７】
前記洗浄物が、記録再生素子を有する磁気ヘッドスライダである場合に、
前記離脱規制部材を、前記磁気ヘッドスライダの記録再生素子に直接接触しない位置に配置した、ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５又は６記載の洗浄物保持具。
【請求項８】
前記離脱規制部材は線状部材である、ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６又は７記載の洗浄物保持具。
【請求項９】
１つの前記洗浄物に対して少なくとも２本以上の前記線状部材を交差して設けた、ことを特徴とする請求項８記載の洗浄物保持具。
【請求項１０】
１つの前記洗浄物に対して所定の方向に沿って少なくとも一対の略平行な前記線状部材を設けた、ことを特徴とする請求項８又は９記載の洗浄物保持具。
【請求項１１】
前記線状部材を格子状に形成した、ことを特徴とする請求項９又は１０記載の洗浄物保持具。
【請求項１２】
前記トレイにＸ行×Ｙ列（Ｘ，Ｙは共に整数）の複数個の前記洗浄物が配置されている場合に、
前記離脱規制部材を、前記各行ごと及び前記各列ごとにそれぞれ少なくとも１本の線状部材を備えた、前記トレイの前記洗浄物配置面全面に一括装着可能な線状部材装着枠体にて構成した、ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０又は１１記載の洗浄物保持具。
【請求項１３】
前記トレイと前記線状部材装着枠体とを狭持する狭持部材を設けた、ことを特徴とする請求項１２記載の洗浄物保持具。
【請求項１４】
前記狭持部材を少なくとも一対個設け、当該一対個の狭持部材はお互いに前記トレイの前記洗浄物配置面の中心に対して対称となる位置に配置した、ことを特徴とする請求項１３記載の洗浄物保持具。
【請求項１５】
前記線状部材を四フッ化エチレン樹脂加工した、ことを特徴とする請求項８，９，１０，１１，１２，１３又は１４記載の洗浄物保持具。
【請求項１６】
洗浄物を保持する洗浄物保持工程と、保持した前記洗浄物を洗浄槽内の洗浄溶剤に浸漬する工程と、前記洗浄物を前記洗浄溶剤中で洗浄する洗浄工程と、前記洗浄物の洗浄溶剤を取り除く工程と、を備えた洗浄物洗浄方法であって、
前記洗浄物保持工程は、前記請求項１乃至１５のいずれか一つの洗浄物保持具を用いることを特徴とする洗浄物洗浄方法。
【請求項１７】
前記洗浄工程は、超音波洗浄又はブラシ洗浄であることを特徴とする請求項１６記載の洗浄物洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品や微細部品などの洗浄物を洗浄する際に当該洗浄物を保持する保持具にかかり、特に、洗浄物を洗浄溶剤内に浸漬して洗浄する際に使用する保持具に関する。また、かかる保持具を用いて洗浄物を洗浄する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップにて構成される電子部品やサイズの小さい精密部品などは、その用途によっては高い清浄度が求められ、製造された後であって、製品として出荷あるいは装置に組み込まれる前に洗浄が行われる。特に、磁気ディスクに対して低浮上化が要求されている磁気ヘッドスライダは、磁気ディスク装置に組み込まれることから高い清浄度が要求されると共に、その位置決め精度も高度に要求される部品であるため、確実な洗浄が要求される。
【０００３】
かかる部品を洗浄する方法の一例が特許文献１に開示されている。この特許文献１においては、磁気ヘッドスライダを保持器にて保持した状態で洗浄槽内に浸し、かかる状態で超音波洗浄を行うというものである。そして、上記保持器は、磁気ヘッドスライダを収納する格子状の貫通孔を形成してその下端開口を覆う網を備えた部材と、当該貫通孔の上端開口を覆う網を備えた部材と、により構成されている。これにより、貫通孔に磁気ヘッドスライダを収納し、当該貫通孔の壁面と、貫通孔の両端開口を覆う一対の網と、に囲むことで、外部に飛び出すことを抑制している。さらには、貫通孔の開口寸法及び厚みは磁気ヘッドスライダの縦、横寸法及び厚みよりも１．１〜２．５倍に設定されており、かかる貫通孔内を磁気ヘッドスライダが自由に移動可能な状態となり、これにより洗浄槽内において超音波洗浄が効果的に行われる。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１０３５１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１における保持器を用いた部品の洗浄においては、以下のような不都合が生じる。まず、洗浄物が貫通孔を形成する壁面に囲まれていることから、洗浄終了時に洗浄液の溶剤が洗浄物から取り除かれにくく、特に四隅（角部）においては残留し易くシミが生じうる、という問題が生じる。また、洗浄物の両面を網にて保持していることから、ＥＳＤ破壊が発生しやすいという問題が生じる。さらに、網による保持により保持が安定しないことから、超音波振動などによる洗浄中に洗浄物が移動することによって壁面に衝突し、その衝撃によって洗浄物にヒビや欠けなどが生じ破損する、という問題が生じやすい。
【０００６】
このため、本発明では、上記従来例に有する不都合を改善し、特に、洗浄後の洗浄物への溶剤の残留を有効に抑制し、洗浄による清浄度の向上を図る洗浄物保持具及び洗浄方法、を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明の一形態である洗浄物保持具は、
少なくとも１つの洗浄物を保持し、洗浄槽に浸漬される洗浄物保持具であって、
洗浄物を配置するトレイと、このトレイの洗浄物配置面に立設され洗浄物の周囲を囲う囲い部材と、洗浄物がトレイから離間して離脱することを規制する離脱規制部材と、を備え、
囲い部材に囲まれた洗浄物の周囲に、当該洗浄物に対して洗浄時に用いられる溶剤を流出入させる開口部を形成した、ことを特徴としている。
【０００８】
上記構成によると、トレイの洗浄物配置面とこの洗浄物配置面に立設された囲い部材とによって囲まれた領域に洗浄物が収容され、その上方に離脱規制部材を配置することで、洗浄物がトレイから離脱しないよう保持される。このとき、洗浄物の一面はトレイにて支持されているため、安定して保持具にて保持することができ、洗浄の安定化を図ることができる。そして、保持された洗浄物の周囲に開口部を形成することで、トレイの洗浄物配置面に対して水平方向（Ｘ−Ｙ方向）にも溶剤を流出入できるので、かかる開口部から囲い部材に囲まれた洗浄物に対する溶剤の循環が促進されるため、洗浄が効率よく行われると共に、洗浄後に洗浄槽から取り出した際にも溶剤を迅速にトレイ上から排出できる。従って、洗浄後の洗浄物への溶剤の残留を抑制して、シミなどの発生を抑制することができ、清浄度の向上を図ることができる。
【０００９】
また、上記構成において、囲い部材を複数本の突起にて形成すると望ましい。さらに、洗浄物一つに対して、囲い部材として、少なくとも４つの突起を設けると望ましい。このとき、突起は円柱であるとなお望ましい。
【００１０】
これにより、複数の突起にて洗浄物の周囲を囲うため、上述同様に洗浄物を保持することができると同時に、複数の突起の隙間によって開口部が広く形成され、上述同様にトレイ上から溶剤の流出を促進させ、洗浄物への溶剤の残留を抑制することができる。従って、簡易な構成にて保持具を形成できると共に、開口部を広く形成でき洗浄後の溶剤の流出もより促進される。さらに、囲い部材として４つ以上の突起を設けることで、洗浄物を適切に保持することが可能となると共に、周囲の開口部がより広く形成されるため、さらに溶剤の残留を抑制することができる。そして、囲い部材を円柱形状にすることで、溶剤の残留がさらに抑制されると共に、洗浄時に洗浄物が衝突しても当該洗浄物への衝撃が軽減され、洗浄物の損傷を抑制することができる。
【００１１】
また、トレイの洗浄物配置面に、当該トレイを貫通する貫通孔を設けた、ことを特徴としている。これにより、洗浄物の配置箇所にてトレイの裏面側にも貫通孔から溶剤が流出するため、洗浄終了後の溶剤の流出量の増加を図ることができ、より溶剤の残留を抑制することができる。
【００１２】
また、離脱規制部材を洗浄物に当接させて配設した、ことを特徴としている。このように、洗浄部材を洗浄物に当接させることにより、洗浄時に洗浄物が囲い部材にて囲まれた領域内で動くことを抑制、あるいは、その移動速度を抑制でき、当該囲い部材に洗浄物が衝突することによる当該洗浄物の損傷を抑制することができる。
【００１３】
また、洗浄物が、記録再生素子を有する磁気ヘッドスライダである場合に、離脱規制部材を、磁気ヘッドスライダの記録再生素子に直接接触しない位置に配置した、ことを特徴としている。これにより、データ記録再生を行う記録再生素子に離脱規制部材が触れることが抑制されるため、洗浄時における記録再生素子の損傷を抑制でき、洗浄物である磁気ヘッドスライダの品質保持を図ることができる。
【００１４】
また、離脱規制部材は線状部材である、ことを特徴としている。これにより、洗浄物がトレイから離脱しないよう線状部材にて留められているため、洗浄物のトレイ側とは反対側はほぼ開口しており、溶剤の流出入が促進され、さらなる洗浄効率の向上、及び、溶剤の残留を抑制することができる。
【００１５】
また、１つの洗浄物に対して少なくとも２本以上の線状部材を交差して設けた、ことを特徴としている。また、１つの洗浄物に対して所定の方向に沿って少なくとも一対の略平行な線状部材を設けてもよい。そして、上記線状部材を格子状に形成してもよい。
【００１６】
これにより、洗浄物を複数本の部材にてその上方を覆うため保持が安定する。特に、線状部材を交差させた箇所で保持することで、洗浄物の上方を複数方向から押さえることができ、より安定して保持することができる。さらに、格子状とすることで、複数箇所にて同時に保持することが可能となる。また、ブラシによる洗浄時にかかるブラシの洗浄方向に沿って略平行の複数本からなる線状部材を設置することで、当該線状部材が洗浄時の妨げとなることが抑制され、保持力を維持しつつ、安定した洗浄が可能となる。
【００１７】
また、トレイにＸ行×Ｙ列（Ｘ，Ｙは共に整数）の複数個の洗浄物が配置されている場合に、離脱規制部材を、各行ごと及び各列ごとにそれぞれ少なくとも１本の線状部材を備えた、トレイの洗浄物配置面全面に一括装着可能な線状部材装着枠体にて構成した、ことを特徴としている。このとき、トレイと線状部材装着枠体とを狭持する狭持部材を設けた、ことを特徴としている。さらに、狭持部材を少なくとも一対個設け、当該一対個の狭持部材はお互いにトレイの洗浄物配置面の中心に対して対称となる位置に配置した、ことを特徴としている。
【００１８】
これにより、洗浄物がトレイから離脱することを規制する線状部材を、トレイ上に配列された洗浄物にそれぞれ対応するよう配置して枠体に装着した状態で、かかる枠体をトレイに一括装着することができるため、容易に複数の洗浄物の保持を行うことができる。このとき、装着枠体とトレイとを狭持部材にて留めることで装着でき、複数の洗浄物の保持がより容易となる。さらには、装着枠体を止める狭持部材をトレイの中心に対して対称に配置しているため、均等の圧力で押さえることができる。
【００１９】
さらに、上述した離脱規制部材である線状部材を四フッ化エチレン樹脂加工した、ことを特徴としている。これにより、線状部材から溶剤の離脱がよくなり、洗浄後に洗浄物から溶剤が残留することが抑制され、さらにシミ等の発生を抑制することができる。
【００２０】
また、本発明では、洗浄物洗浄方法をも提供しており、
上述した洗浄物保持具を用いて洗浄物を保持する洗浄物保持工程と、保持した洗浄物を洗浄槽内の洗浄溶剤に浸漬する工程と、洗浄物を洗浄溶剤中で洗浄する洗浄工程と、洗浄物の洗浄溶剤を取り除く工程と、を備えたことを特徴としている。そして、上記洗浄工程は、超音波洗浄又はブラシ洗浄であることを特徴としている。
【００２１】
上記構成の洗浄物洗浄方法によると、洗浄物が上述した洗浄物保持具にて保持されているため、超音波洗浄やブラシ洗浄などの洗浄工程において安定した洗浄が実行されると共に、洗浄物の破損を抑制し、さらに、洗浄溶剤を取り除く工程にて洗浄物への溶剤の残留を抑制して、シミなどの発生を抑制することができる。従って、上述同様に、清浄度の高い洗浄を行うことができる、という本発明の目的を達成することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、洗浄物がトレイに配置されることにより、保持の安定性が増すと共に、洗浄物の周囲から溶剤の循環が促進されるため洗浄が効率よく行われ、また、洗浄後に洗浄槽から取り出した際にも溶剤を迅速にトレイ上から排出でき、洗浄物への溶剤の残留を抑制して、シミなどの発生を抑制することができる、という従来にない優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明は、特に、洗浄後の溶剤の残留を抑制すべく、洗浄物を配置するトレイと当該トレイに洗浄物を押さえるメッシュ（離脱規制部材）とに特徴を有する。以下、具体的な構成と作用を、実施例を参照して説明する。なお、実施例では、洗浄物を磁気ヘッドスライダ５として説明するが、これに限定されるわけではなく、あらゆる部品等の洗浄物を保持して、洗浄することに利用可能である。
【実施例１】
【００２４】
本発明の第１の実施例を、図１乃至６を参照して説明する。図１は、洗浄物を洗浄する洗浄装置の概略を示す図である。図２乃至図６は、洗浄物保持具の構成を示す図である。
【００２５】
［構成］
＜洗浄装置＞
まず、図１を参照して、洗浄物を洗浄する洗浄装置の全体構成について説明する。洗浄装置は、洗浄槽１００内に後述する洗浄物保持具１が浸るほどの深さを形成するよう溶剤１０２が充填されており、この溶剤１０２の中であって洗浄槽１００の内底面に超音波振動子１０１を備えている。この超音波振動子１０１は溶剤１０２中に超音波振動を発生させるものであり、溶剤１０２の中に洗浄物が保持された洗浄物保持具１を浸漬して超音波振動を発生させることで、洗浄物の超音波洗浄を実現することができる。また、溶剤１０２は、例えば、純水（ＤＩ）、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、グレーコールフタレート（ワックス）、中性洗剤（約０．５％）から成る。
【００２６】
＜洗浄物保持具＞
次に、洗浄物保持具１について詳述する。洗浄物保持具１は、洗浄物である磁気ヘッドスライダ５を保持し、洗浄槽１００の溶剤１０２内に浸漬される保持具であって、磁気ヘッドスライダ５を配置するトレイ１０と、当該磁気ヘッドスライダ５がトレイ１０から離間して離脱することを規制するメッシュ２０（離脱規制部材）と、により構成されている。すなわち、後述する図５に示すように、磁気ヘッドスライダ５をトレイ１０上に複数配置し、当該トレイ１０とメッシュ２０とにより挟むことによって、洗浄物である磁気ヘッドスライダ５を保持する、というものである。以下、さらに詳細に構成を説明する。
【００２７】
＜トレイ＞
図２乃至図３にトレイ１０の構成を示す。まず、図２に示すように、トレイ１０は所定の厚みを有する一枚の板状部材にて構成されており、略長方形状である。また、その大きさは、後に説明するメッシュ２０の枠体２１の内側空間部とほぼ同一の大きさとなっている。そして、トレイ１０の一面には、多数の突起１１と貫通孔１２，１３が形成されており、磁気ヘッドスライダ５を配置する洗浄物配置面を構成している。この洗浄物配置面の構成について、図３を参照して説明する。
【００２８】
図３（ａ）は、トレイ１０の洗浄物配置面の一部である図２の領域Ｒの拡大図である。また、図３（ｂ）は、図（ａ）おけるＡ−Ａ断面図である。かかる領域Ｒが連続してトレイ１０に形成されている。例えば、トレイ１０にＸ行×Ｙ列（Ｘ，Ｙは共に整数）の行列状に上記領域Ｒが形成され、後述するように各領域Ｒに１つの磁気ヘッドスライダ５を配置するため、最大でＸ×Ｙ個の洗浄物である磁気ヘッドスライダ５を配置可能である。
【００２９】
図３（ａ）に示すように、トレイ１０の領域Ｒには、まず、中心に洗浄物である磁気ヘッドスライダ５が配置されることとなるが、その周囲に洗浄物配置面から突出する突起１１（囲い部材）が形成されている。この突起１１は、略円柱形上であり、略長方形状であるスライダ５の４辺の中心付近にそれぞれ１つずつ配置して形成されている。これにより、４つの突起１１は磁気ヘッドスライダ５がトレイ１０の洗浄物配置面に沿った方向に移動することを制限する役割を有している。すなわち、磁気ヘッドスライダ５の周囲を囲って配置されている。
【００３０】
このように、洗浄物の形状に合わせて当該洗浄物を囲うよう配置された突起１１が少なくとも４カ所あれば、磁気ヘッドスライダに限らず他の形状であっても移動制限の役割を果たす。また、突起１１の形状は、特に円柱に限定されるものではなく、他の角柱でも構わないが、溶剤１０２の流れ易さや、洗浄物衝突時のショック軽減を考慮すると円柱がもっとも好ましい。また、トレイ１０全体では突起１１の数が少ないほど後述するように溶剤１０２の流出入が良くなるので、複数の洗浄物を同時に洗浄する場合は、隣接する洗浄物の保持に対して共有できる部分の突起１１は共有してその数を減らすように突起立設位置を設定する。
【００３１】
また、上記突起１１の詳細な配置位置としては、例えば、図３（ａ）に示すように理想的に磁気ヘッドスライダ５を各突起１１の中央に配置した場合に、磁気ヘッドスライダ５の各側面との間隔（Ｘｃ，Ｙｃ）がそれぞれ約０．０５ｍｍほど形成される。また、図３（ｂ）に示すように、突起１１の高さ１２ａは約０．４ｍｍ、磁気ヘッドスライダ５の高さ５ａ（厚み）は約０．３ｍｍである。但し、かかる寸法は一例であって、上記寸法に限定されるものではない。
【００３２】
また、上記突起１１に囲まれて磁気ヘッドスライダ５がトレイ１０上に配置されることで、各突起１１間は開放された状態になっており、これにより、磁気ヘッドスライダ５の周囲側に当該スライダ５に対して溶剤を流出入させる開口部を形成された状態になっている。すなわち、各突起１１間は磁気ヘッドスライダ５の側面が溶剤１０２に対して露出した状態になっているため、トレイの洗浄物配置面に対して水平方向（Ｘ−Ｙ方向）にも溶剤を流出入できるので、当該磁気ヘッドスライダ５に対する溶剤１０２の循環が促進される。さらに言うと、洗浄槽１００から取り出した際には、スライダ５の側面が露出しているため、溶剤１０２を迅速にトレイ１０上から排出することができる。
【００３３】
さらに、トレイ１０には、洗浄物配置面から裏面へと貫通する貫通孔１２，１３が形成されている。具体的には、突起１１にて囲まれる領域である磁気ヘッドスライダ５の配置箇所には比較的小さな貫通孔として第１の溶剤抜き穴１２が５つ形成されており、突起１１の外側には比較的大きな貫通孔として第２の溶剤抜き穴１３が４つ形成されている。これら貫通孔１２，１３は、溶剤１０２を循環させる役割を果たし、特に、磁気ヘッドスライダ５の背面に位置する第１の溶剤抜き穴１２は、洗浄後のトレイ１０の洗浄物配置箇所から迅速に溶剤１２を排出するよう作用する。また、溶剤抜き穴はその口径が多きいほど溶剤の排出効果が大きくなるが、あまり大きすぎると洗浄物の安定保持ができなくなるので、洗浄物のサイズによってより多くの効果がでるように口径を決定することが望ましい。
【００３４】
なお、上記トレイ１０は、ＥＳＤ問題に対応するためのＰｅｅｋ樹脂（ポリアリーレンエーテルケトン系樹脂）とカーボンの混合樹脂にて形成されている。但し、かかる材料は一例であって、これに限定されず、例えば、耐ＥＳＤ及び耐溶剤性のある熱可塑性プラスチックでもよい。
【００３５】
＜メッシュ＞
次に、図４を参照してメッシュ２０（線状部材装着枠体）について説明する。メッシュ２０は、上記トレイ１０よりも一回り大きい内部が空洞の枠体２１と、その枠体２１の空間部に張り巡らせた格子状のワイヤー２２（線状部材、離脱規制部材）と、により構成される。
【００３６】
具体的には、枠体２１の周囲にはワイヤー２２を挿通する多数の貫通孔が形成されている。そして、対向する枠に形成された貫通孔にワイヤー２２を挿通することで、縦横のメッシュ状（格子状）に形成される。このとき、各ワイヤー２２の間隔は、上述したトレイ１０に配置される磁気ヘッドスライダ５に対応して設定されており、各ワイヤーの各交点がそれぞれ１つの磁気ヘッドスライダ５の上方に位置するようになっている。すなわち、トレイ１０の領域Ｒに配置であるＸ行×Ｙ行の行列に対応して、各行、各列ごとに少なくとも１本のワイヤー２２を備える。なお、この様子は後に図５を参照して説明する。
【００３７】
また、ワイヤー２２は、例えば、直径０．１ｍｍのカーボン入りナイロンにて形成されており、特に、その表面が四フッ化エチレン樹脂加工（テフロン（登録商標）加工）してある。これにより、溶剤１０２から引き上げた後のワイヤー２２から溶剤１０２の離脱がよくなり、洗浄後に洗浄物から溶剤が残留することが抑制することができる。なお、上記ワイヤー２２の材質は一例であって、これに限定されるものではなく、例えば、耐ＥＳＤ、耐溶剤性を有するものであればよい。さらに、磁気ヘッドスライダ５である洗浄物を押さえる部材（離脱規制部材）としてはワイヤー形状のものに限定されない。
【００３８】
［動作］
以上のようにトレイ１０とメッシュ２０とが構成されており、磁気ヘッドスライダ５を保持すべくこれらを組み付けるときの動作、及び、保持状態、さらには、洗浄動作すなわち洗浄方法を、図５乃至図６を参照して説明する。
【００３９】
まず、洗浄物保持工程として、トレイ１０の洗浄物配置面の各突起１１にて囲まれた各配置箇所にそれぞれ磁気ヘッドスライダ５を収容するよう配置し、その上方からメッシュ２０を被せる。このとき、メッシュ２０の枠体２１の内側にトレイ１０が収まるよう配置し、周囲に複数のクリップ３０（狭持部材）を装着し、トレイ１０とメッシュ２０とを狭持して一体化する。なお、クリップ３０は、バネ性を有する略コの字状の狭持部材であって、特に、図５に示す例では、図示されている側とは反対側に位置する部分は、トレイ１０の一部に接触するよう図示面側の部分よりも長く形成されている（点線部分参照）。
【００４０】
このようにして、磁気ヘッドスライダ５が保持された状態を、図６の拡大図にて説明する。図６（ａ）は、図５で符号Ｒにて示した領域を示しており、図２に示した領域Ｒに磁気ヘッドスライダ５が保持されている状態を示す図である。そして、そのＢ−Ｂ断面図を図６（ｂ）に示す。まず、図６（ａ）に示すように、磁気ヘッドスライダ５はトレイ１０の洗浄物配置面に一方の面を支持されていると共に、その側面（周囲）を突起１１にて囲まれている。また、他方の面（図示されている面）はその上方にメッシュ２０のワイヤー２２ａ，２２ｂが交差して位置しており、洗浄物配置面から離間する方向に飛び出して離脱することが規制されている。
【００４１】
このとき、ワイヤー２２ａ，２２ｂは突起１１に支持されているため、突起１１の高さと磁気ヘッドスライダ５との高さの差によって、当該磁気ヘッドスライダ５とワイヤー２２ａ，２２ｂの間には隙間Ｚｃが約０．１ｍｍ生じる。但し、ワイヤー２２ａ，２２ｂがたるんで下方に移動したり、縦方向のワイヤー２２ｂによって横方向のワイヤー２２ａが下方に押圧されることにより、その隙間Ｚｃは約０．０５ｍｍ程度に設定されうる。また、場合によっては、上記たるみや交差する他のワイヤーの押圧により、磁気ヘッドスライダ５にワイヤー２２ａが当接することもあり、これにより、磁気ヘッドスライダ５がトレイ１０に押さえつけられることとなり、かかる場合には、スライダ５の保持がさらに安定する。特に、後述するように超音波洗浄による洗浄工程においては、磁気ヘッドスライダ５とワイヤー２２ａが当接していても、振動により隙間Ｚｃが発生するので、洗浄漏れが発生することもなくなる。
【００４２】
次に、洗浄時の動作を説明する。図５、図６に示すように洗浄物である磁気ヘッドスライダ５を保持した状態で、洗浄物保持具１を洗浄槽１００の溶剤１０２中に浸漬する。このとき、磁気ヘッドスライダ５は、図１に示すように、溶剤１０２中でその姿勢が定まらないものの、上述したようにトレイ１０、突起１１、メッシュ２０にて囲まれていることから、保持具１に安定して保持されているおり、特に、トレイ１０の洗浄物配置面にて支持されているため、従来例と比較してより安定して支持されていることから、スライダ５自体が動くことが抑制されている。そして、さらに、磁気ヘッドスライダ５にワイヤー２２が当接していてトレイ１０に押さえられている場合には、スライダ５がトレイ１０上で動くこと自体、あるいは、動いたとしてのその移動速度を抑制でき、周囲を囲っている突起１１にスライダ５が衝突すること抑制し、あるいは、衝突速度を減速させることができ、衝撃によって磁気ヘッドスライダ５にヒビが生じるなど、損傷を抑制することができる。
【００４３】
その後、洗浄工程では、洗浄槽１００の底面に設置された超音波振動子１０１にて超音波振動を溶剤中に発生させることにより、磁気ヘッドスライダ５の超音波洗浄を行う。このとき、磁気ヘッドスライダ５の一方の面にはワイヤー２２が存在するだけであって、ほぼ全面が外部に露出しており、また、磁気ヘッドスライダ５の側面側は、突起１１が４本存在するだけであって、その近辺を除いて外部に露出し、さらに、磁気ヘッドスライダ５のトレイ１０面側にも第１、第２の溶剤抜け穴１２，１３が形成されていることにより、当該スライダ５の外面を溶剤１０２が効率よく循環するため、超音波振動による洗浄が効率よく行われる。
【００４４】
そして、洗浄が終了し、洗浄槽１００から洗浄物保持具１を引き上げる際には、上述したように、磁気ヘッドスライダ５のメッシュ２０側と側面側とは、ほぼ開口しており、また、メッシュ２０がテフロン（登録商標）加工されていること、さらに、トレイ１０側にも各溶剤抜け穴１２，１３が形成されていることから、溶剤１０２を迅速にトレイ１０上から排出することができ、磁気ヘッドスライダ５への溶剤１０２の残留を抑制して、シミなどの発生を抑制することができる。
【００４５】
ここで、上記では、洗浄物である磁気ヘッドスライダ５の周囲を囲う部材（囲い部材）として円柱状の突起１１を用いているが、かかる形状に限定されない。例えば、トレイ１０の洗浄物配置面上に断続的に立設する壁面を有する部材であってもよい。かかる場合には、断続的に立設された部材の途切れ箇所が、洗浄後に洗浄槽から引き上げた際に溶剤を逃がす開口部として作用するため、上記同様の効果を有する。また、囲い部材は上記形状であることにも限定されず、洗浄物の周囲を完全に囲う連続する壁面にて形成して、その壁面に開口部となる貫通孔を形成して、囲い部材を構成してもよい。
【実施例２】
【００４６】
次に、本発明の第２の実施例を、図７乃至図９を参照して説明する。図７乃至図８は、それぞれ洗浄物保持具１によって洗浄物である磁気ヘッドスライダ５を保持しているときの様子を示す図であり、図２に示した領域Ｒ部分を示す拡大図である。また、図９は、ブラシ洗浄による洗浄装置の構成を示す概略図である。なお、本実施例においては、上記実施例１の場合とはメッシュ２０のワイヤー２２の配置がそれぞれ異なる。
【００４７】
まず、図７（ａ）に示す例を説明する。洗浄物の上方（トレイ１０側とは反対側）を押さえるワイヤー２２は、必ずしもトレイ１０上に配置される洗浄物の縦、あるいは、横の中心を通る必要はなく、この図に示すように、ずらして配置してもよい。すなわち、この図に示すようにワイヤー２２ａ，２２ｂが位置するよう、予めメッシュ２０を構成しておく（メッシュ２０は図示せず）。具体的には、この図の場合には、縦方向のワイヤー２２ｂが磁気ヘッドスライダ５の短辺の中心を通らないよう配置されている。これは、磁気ヘッドスライダ５の一端部の中央には、データの記録再生を行う記録再生素子５１が装備されているため、かかる部分にワイヤー２２ｂが直接接触しないよう、素子５１上を避けて配置している。このようにメッシュ２０を構成することで、洗浄時における記録再生素子５１の損傷を抑制でき、磁気ヘッドスライダ５の品質保持を図ることができる。
【００４８】
ここで、記録再生素子５１の横方向の幅は、約０．０３ｍｍであるので、上述した磁気ヘッドスライダ５と突起１１との隙間Ｘｃ（約０．０５ｍｍ）を考慮すると、約０．０８ｍｍ以上、横方向の中心からずらして配置するとよい。
【００４９】
なお、縦方向のワイヤー２２ｂが図６（ａ）に示すように磁気ヘッドスライダ５の短辺の中心に位置する配置であっても、この図６（ａ）に示すように素子５１側にかかるワイヤー２２ｂを、交差する他のワイヤー２２ａの上部に来るように交差させるとよい。これにより、素子５１とワイヤー２２ｂにできる隙間Ｚｃを大きくすることができ、ワイヤー２２ｂが接触する割合を軽減できるため、素子５１の損傷発生を抑制できる。
【００５０】
また、図７（ｂ）に示すように、縦方向のワイヤー２２ｂを、磁気ヘッドスライダ５の横方向の中心からずらして２本設けてもよい。これにより、スライダ５の保持具１による保持が安定する。特に、図９に示すように、ロールブラシ１０４を用いた洗浄装置による洗浄時には、２本のワイヤー２２ｂを洗浄具であるロールブラシ１０４の移動方向、すなわち、ブラッシング方向に沿って配置することで、ロールブラシ１０４により加わる力によって洗浄物が大きく動いてしまうことを抑制することができる。
【００５１】
ここで、図９のロールブラシ１０４を用いた洗浄装置について説明する。洗浄装置は、洗浄槽１００内に洗浄物を保持する洗浄物保持具１を上部に設置する基台１０３を備えており、当該基台１０３の上部が漬かるほどの溶剤１０２が充填されている。また、洗浄物を洗浄するロールブラシ１０４が上方に備え付けられている。具体的には、基台１０３はその上部に略長方形状の洗浄物保持具１を設置する凹部を形成しており（図示せず）、かかる凹部に収容した洗浄物保持具１を固定支持する。但し、基台１０３は他の構成にて洗浄物保持具を支持してもよい。また、ロールブラシ１０４は、ブラシ部分を回転するモータ等の駆動手段や、当該ロールブラシ１０４の位置を移動する可動手段も備えており、洗浄物保持具１の表面にブラシの先端が接触する位置で回転及び移動し、一方向に沿ったブラッシング洗浄を行う。
【００５２】
さらに、ワイヤー２２の配置の変形例を図８に示す。図８（ａ）では、さらにワイヤー２２ａ，２２ｂによる格子間隔を狭めてメッシュ２０を構成している。このとき、例えば、格子間隔は０．０８〜０．１０ｍｍであり、磁気ヘッドスライダ５の記録再生素子５１上に縦、横、それぞれのワイヤー２２ｂ，２２ａが位置しないよう配置されるよう、予めメッシュ２０が形成されている。これにより、複数の格子状のワイヤー２２ａ，２２ｂにて磁気ヘッドスライダ５を上方からトレイ１０に対して押さえることができ、さらに保持の安定性が増す。
【００５３】
逆に、図８（ｂ）には、ワイヤー２２の本数を減らして、一方向からのみのワイヤー２２ｂにて押さる構成を図示している。このように２本の同一方向に配設されたワイヤー２２ｂであっても、トレイ１０上に磁気ヘッドスライダ５を安定して保持することができる。そして、図９に示すように、ロールブラシ１０４等のブラシを用いる場合は、ブラシにより直接大きな力がワイヤー２２ａ，２２ｂにかかるため、洗浄物が大きく動いてしまう恐れがあるため、ワイヤー２２の本数を増やすことが望ましい。なお、特に力が加わる時間が長くなるブラシの進行方向に沿って延びるワイヤーを複数本にすることが好ましい。
【００５４】
ここで、図９に示す洗浄装置を用いたときの洗浄時の様子を説明する。まず、上述同様に、トレイ１０とメッシュ２０にて磁気ヘッドスライダ５を保持し、洗浄槽１００内の基台１０３に載置する。そして、ロールブラシ１０４を回転かつ移動させ、洗浄物保持具１のメッシュ面側をブラッシング洗浄する。このとき、ロールブラシ１０４が接触する磁気ヘッドスライダ５の面にはワイヤー２２が存在するだけであるので、ほぼ全面が外部に露出しており、ブラッシングが確実に実行可能である。また、磁気ヘッドスライダ５の側面側は、突起１１が４本存在するだけであって、その近辺を除いて外部に露出しており、磁気ヘッドスライダ５のトレイ１０面側にも第１、第２の溶剤抜け穴１２，１３が形成されていることにより、当該スライダ５の周囲を溶剤１０２が効率よく循環される。従って、かかる溶剤による洗浄も効率よく行われる。そして、洗浄後は、上述したように洗浄槽１００から引き上げることで、磁気ヘッドスライダ５のメッシュ２０側と側面側とは、ほぼ開口しており、また、メッシュ２０がテフロン（登録商標）加工されていること、さらに、トレイ１０側にも各溶剤抜け穴１２，１３が形成されていることから、溶剤１０２を迅速にトレイ１０上から排出することができ、磁気ヘッドスライダ５への溶剤１０２の残留を抑制して、シミなどの発生を抑制することができる。
【００５５】
なお、上述した図７（ｂ）や図８（ａ），（ｂ）に示すメッシュ２０の構造は、あらゆる洗浄装置に対応可能であるが、特に、保持が安定することからブラシ洗浄において有効である。一方で、実施例１にて説明してきた超音波洗浄に用いるメッシュ構造としては、ブラシ洗浄とは異なり洗浄物に大きな力が加わることがないので、メッシュ２０の格子間隔を大きく取ることができる。このように格子間隔は大きく取ることで洗浄物の開口部分が広くなり、洗浄効果が高くなるが、あまり大きすぎると洗浄物の安定保持ができなくなるため、洗浄物のサイズによってより多くの効果がでるように格子間隔を決定することが望ましい。また、格子間隔を大きく取るために、超音波洗浄に用いるメッシュ２０においては、ブラシ洗浄にて使用するものよりもメッシュのワイヤー２２を細く形成することが可能である。
【実施例３】
【００５６】
次に、本発明の第３の実施例を、図１０を参照して説明する。図１０（ａ），（ｂ）は、それぞれトレイ１０とメッシュ２０とを狭持するクリップ３０の配置例を示している。これらの図における例では、いずれの場合も、４つのクリップ３０にて狭持しており、これらクリップ３０を、トレイ１０の中心Ｃに対して対称となるよう配置している。具体的には、図１０（ａ），（ｂ）にて点線矢印で対応付けた２つで１対を構成するクリップ３０が、略長方形状であるトレイ１０トレイメッシュ２０の対角線の交点を中心Ｃとしてかかる点Ｃを中心に点対称となるよう配置されている。すなわち、図１０（ａ），（ｂ）の場合には、２対のクリップ３０がそれぞれメッシュ２０の中心Ｃに点対称に配置されており、合計４つのクリップが配置されている。なお、点対称の中心は、保持具１の重心でもよい。
【００５７】
これにより、クリップ３０にて、トレイ１０とメッシュ２０とを均等の圧力で押さえることができる。なお、クリップ３０は４つ設ける例を示したが、かかる数に限定されない。但し、上述したように、均等の圧力で抑えるためには上述したように複数の対となるクリップ３０を設けると望ましいので、全体として偶数個であることが望ましい。そして、クリップ３０による汚れを抑制するためには、その個数が少ないほうが望ましい。従って、汚れが少なく、安定して均等の圧力で保持が可能となる４つを備えることが特に好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、洗浄槽にて溶剤を用いて行われる洗浄において利用可能な洗浄物保持具であるため、産業上の利用可能性を有する。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】洗浄装置の構成を示す概略図である。
【図２】洗浄物保持具を構成するトレイの構成を示す平面図である。
【図３】図３（ａ）はトレイの一部の拡大図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図４】洗浄物保持具を構成するメッシュの構成を示す平面図である。
【図５】洗浄物を保持したときの洗浄物保持具の構成を示す平面図である。
【図６】図６（ａ）は図５に示す洗浄物保持具の一部の拡大図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】図７（ａ），（ｂ）は、それぞれメッシュの他の構成を示す平面図であり、洗浄物を保持しているときの様子を表す。
【図８】図８（ａ），（ｂ）は、それぞれメッシュの他の構成を示す平面図であり、洗浄物を保持しているときの様子を表す。
【図９】洗浄装置の他の構成を示す概略図である。
【図１０】図１０（ａ），（ｂ）は、それぞれクリップの配置例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６０】
１  洗浄物保持具
５  磁気ヘッドスライダ（洗浄物）
１０  トレイ
１１  突起（囲い部材）
１２  第１の溶剤抜き穴（貫通孔）
１３  第２の溶剤抜き穴（貫通孔）
２０  メッシュ（線状部材装着枠体、離脱規制部材）
２１  枠体
２２，２２ａ，２２ｂ  ワイヤー（線状部材、離脱規制部材）
３０  クリップ（狭持部材）
５１  記録再生素子
１００  洗浄槽
１０１  超音波振動子
１０２  溶剤
１０３  基台
１０４  ロールブラシ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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