(57)【要約】【課題】フッ化カルシウム法によるフッ素含有水の処理において、薬品使用量の低減、発生汚泥量の低減、処理水質の向上を図るフッ素含有水の処理方法を提供する。【解決手段】原水に消石灰を添加した後、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤を添加し、中和後、固液分離するフッ素含有水の処理方法。酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤を添加することにより、消石灰の添加によってアルカリ性になった被処理水を中性付近に戻すことができ、このことにより、硫酸などの中和剤の使用量を削減することができる。酸性ＡＣ系凝集剤であれば、そのアルミニウム成分により、イオン状のフッ素を共沈させて除去することにより、処理水質を高めることもできる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素含有水を処理する方法において、原水に消石灰を添加した後、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤を添加し、中和後、固液分離することを特徴とするフッ素含有水の処理方法。
【請求項２】
請求項１において、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤が、ｐＨ４以下であることを特徴とするフッ素含有水の処理方法。
【請求項３】
請求項２において、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤が、ＬＡＣであることを特徴とするフッ素含有水の処理方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤を、フッ素濃度１５ｍｇ／ｌ以下の希薄排水で稀釈した後、消石灰を添加した原水に添加することを特徴とするフッ素含有水の処理方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、固液分離により得られた分離汚泥を前記消石灰と混合して原水に添加することを特徴とするフッ素含有水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフッ素含有水の処理方法に係り、特にフッ化カルシウム法によるフッ素含有水の処理において、少ない薬品使用量で効率的な処理を行って高水質の処理水を得る方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体部品製造におけるシリコンウェハ製造工程から排出されるフッ素含有排水、ステンレス鋼板製造工程から排出される酸洗排水、アルミニウム表面処理排水、フッ酸製造排水、肥料製造排水、ゴミ焼却排水等のフッ素含有排水は、排水基準を満たすようにフッ素の除去処理を行った後排出する必要がある。フッ素含有排水については、その排水基準が平成１３年度にフッ素濃度１５ｍｇ／Ｌから８ｍｇ／Ｌに強化されたことに伴い、処理水のフッ素濃度をより一層低減することができる処理技術の開発が望まれている。
【０００３】
従来、フッ素含有水の処理方法として、フッ化カルシウム法と高度処理としての水酸化物共沈法とが知られており、図４に示す如く、一段目にフッ化カルシウム法で処理を行った後、二段目に水酸化物共沈法で高度処理を行う二段処理法も知られている（非特許文献１）。即ち、フッ化カルシウム法では、フッ化カルシウムの溶解度以下に処理水のフッ素濃度を低減することができず、排水基準を満たすことはできないため、このような二段処理が採用されている。
【０００４】
フッ化カルシウム法は、原水槽１１からの原水（フッ素含有水）にカルシウム化合物を添加した後（第１反応槽１２）、中和剤を添加してｐＨ中性付近に調整し（第２反応槽１３）、フッ素とカルシウムとの反応によりフッ化カルシウムの不溶性塩を生成させ、高分子凝集剤を添加して凝集処理し（凝集槽１４）、その後固液分離する（沈殿槽１５）方法である。この方法において、カルシウム化合物としては一般に消石灰が用いられており、中和剤としては、通常、安価な硫酸が用いられているが、塩酸が用いられる場合もある。
【０００５】
水酸化物共沈法は、アルミニウムが水酸化アルミニウムとして沈殿する際の共沈作用を利用するものであり、一般的には、高度処理に用いられている。この方法では、原水（図４では一段目の処理水）にポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）を添加した後（第１反応槽１６）、中和剤で中和し（第２反応槽１７）、高分子凝集剤を添加して凝集処理し（凝集槽１８）、その後固液分離する（沈殿槽１９）。この方法では、ＰＡＣを添加することによって処理水ｐＨは酸性になるが、中性付近での処理が最も効率良く行えるため、中和のためのアルカリ剤として苛性ソーダなどを添加している。
【非特許文献１】「公害防止の技術と法規」第２８８頁〜第２８９頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
フッ素含有水に消石灰を添加した後、硫酸、塩酸などの中和剤を用いてｐＨ中性に調整するフッ化カルシウム法では、フッ素の除去性を高めて処理水質を向上させるために、消石灰を多量に添加すると、中和に必要な中和剤量も多くなり、薬品コストが高くつく。また、中和剤として特に硫酸を用いた場合には、消石灰と硫酸との反応で石膏を生成し、フッ素含有水に添加された消石灰がフッ素除去に有効に使用されなくなり、また、石膏の生成で発生汚泥量が増大するといった問題もあった。
【０００７】
また、フッ化カルシウム法と水酸化物共沈法との二段処理により処理水質の向上を図ることができるが、この場合には、装置設備が大型化し、特に設置面積の大きい沈殿槽を二槽必要とし、好ましくない。
【０００８】
本発明は上記従来の問題点を解決し、フッ化カルシウム法によるフッ素含有水の処理において、薬品使用量の低減、発生汚泥量の低減、処理水質の向上を図るフッ素含有水の処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明（請求項１）のフッ素含有水の処理方法は、フッ素含有水を処理する方法において、原水に消石灰を添加した後、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤を添加し、中和後、固液分離することを特徴とする。
【００１０】
請求項２のフッ素含有水の処理方法は、請求項１において、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤が、ｐＨ４以下であることを特徴とする。
【００１１】
請求項３のフッ素含有水の処理方法は、請求項２において、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤が、ＬＡＣであることを特徴とする。
【００１２】
請求項４のフッ素含有水の処理方法は、請求項１ないし３のいずれか１項において、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤を、フッ素濃度１５ｍｇ／ｌ以下の希薄排水で稀釈した後、消石灰を添加した原水に添加することを特徴とする。
【００１３】
請求項５のフッ素含有水の処理方法は、請求項１ないし４のいずれか１項において、固液分離により得られた分離汚泥を前記消石灰と混合して原水に添加することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、酸性度が高い塩化アルミニウム系凝集剤（以下「酸性ＡＣ系凝集剤」と称す場合がある。）を添加することにより、消石灰の添加によってアルカリ性になった被処理水を中性〜弱アルカリ性に戻すことができ、このことにより、硫酸などの中和剤の使用量を削減することができる。また、中和剤として硫酸を用いた場合には、前述の如く、石膏生成による消石灰の消費や汚泥量の増大の問題があったが、本発明では酸性ＡＣ系凝集剤の添加により中和剤使用量を低減できることから、このような問題を起こすことのない硫酸添加量で、十分にｐＨ中性に調整することが可能となり、石膏生成による消石灰の消費や汚泥量の増大の問題が防止される。
【００１５】
しかも、酸性ＡＣ系凝集剤であれば、そのアルミニウム成分により、イオン状のフッ素を共沈させて除去することにより、処理水質を高めることもできる。従って、従来の水酸化物共沈法による高度処理を不要とすることができ、この場合には、処理効率を向上させると共に高度処理のための沈殿槽等を削減して装置設置面積を大幅に低減することができる。
【００１６】
従って、本発明によれば、少ない薬品使用量でフッ素含有水を効率的に処理し、発生汚泥量を低減した上で、フッ素を高度に除去し、高水質の処理水を得ることができる。
【００１７】
本発明において、酸性ＡＣ系凝集剤は、ｐＨ４以下の凝集剤であることが好ましく（請求項２）、とりわけ、電解アルミニウムの廃棄物から生産されるＬＡＣ：Liquid Aluminium Chlorideが好ましい（請求項３）。
【００１８】
このような酸性ＡＣ系凝集剤は、フッ素濃度１５ｍｇ／ｌ以下の希薄排水で稀釈した後、消石灰を添加した原水に添加しても良く、この場合には、他の希薄排水の同時処理を行った上で、良好な処理効果を得ることができる（請求項４）。
【００１９】
また、消石灰は、固液分離により得られた分離汚泥の一部と混合して原水に添加しても良く、この場合には、汚泥の結晶性の向上、沈降性の向上、含水率の低下を図ることができ、より一層処理水質を良好なものとすると共に、発生汚泥量を低減することができる（請求項５）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に本発明のフッ素含有水の処理方法の実施の形態を詳細に説明する。
【００２１】
まず、本発明で用いる酸性ＡＣ系凝集剤について説明する。
【００２２】
本発明で用いる酸性ＡＣ系凝集剤は、ｐＨ４以下、特にｐＨ２．５以下、とりわけｐＨ１．５以下、好ましくはアルミニウム濃度が８重量％以下の条件において、ｐＨ４以下、特にｐＨ２．５以下、とりわけｐＨ１．５以下の強酸性の塩化アルミニウム系凝集剤であることが好ましい。このｐＨ値が４を超えるものであると、これを添加することによる中和作用を十分に得ることができず、消石灰添加後の中和剤としての酸添加量の低減効果を十分に得ることができない。また、ｐＨが４を超えるときは、アルミニウムイオンが高分子様の形態をとるのに対し、ｐＨが４以下のときにはアルミニウムイオンが分散するようになる。分散状のアルミニウムイオンは添加時に網目状に凝集するため、処理効率が向上する。なお、ここで酸性ＡＣ系凝集剤のｐＨとは、酸性ＡＣ系凝集剤を原水に添加する直前において測定した値であり、本発明では、このときにおいて、アルミニウム濃度８重量％以下でｐＨ４以下を示すものであることが好ましい。
【００２３】
本発明で用いる酸性ＡＣ系凝集剤はまた、カルシウムと不溶性塩を形成するアニオンを多く含まないものであることが好ましく、特に硫酸を多く含まず、硫酸含有量２０００ｍｇ／Ｌ以下であって、水以外の成分中の硫酸の割合が５０重量％以下であるものが好ましい。これは、消石灰と酸性ＡＣ系凝集剤中の硫酸との反応で、消石灰が石膏の生成に消費されることにより、消石灰とフッ素との反応が阻害され、また石膏の生成で発生汚泥量が増大することを防止するためである。なお、本発明において「塩化アルミニウム系」とは、水以外の成分中の塩化アルミニウムの割合が５０重量％以上であるものをさす。
【００２４】
本発明で用いる酸性ＡＣ系凝集剤としては、塩化アルミニウムを１０％程度含み、かつ、酸性度の高いＬＡＣが好ましい。
【００２５】
なお、無機凝集剤として一般に用いられているポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）も、本発明に係る酸性ＡＣ系凝集剤に該当するが、ＰＡＣはアルミニウム濃度８重量％の条件でｐＨ４〜５を示す。これに対して、ＬＡＣは、ＰＡＣよりも水酸化アルミニウムの割合が少なく、ほぼ１００％が塩化アルミニウムであり、水等で希釈してアルミニウム濃度８重量％としたときのｐＨは約０．５と強酸性であるため、本発明に有効である。ただし、ＰＡＣであっても、塩酸、硫酸等の鉱酸を加えてアルミニウム濃度が８重量％以下の条件においてｐＨ４以下、特にｐＨ２．５以下、とりわけｐＨ１．５以下となるように調整することにより、本発明に好適に用いることができるようになる。また、ＬＡＣとＰＡＣとを混合して酸性ＡＣ系凝集剤としても良い。
【００２６】
このような酸性ＡＣ系凝集剤は、その取り扱い上、希釈して添加しても良い。ここで水溶液の調製に用いる水は、市水、工水、或いは本発明による処理で得られる処理水のいずれであっても良く、後述の如く、他の排水であっても良いが、ｐＨ４以下の水溶液として添加することが、高い中和作用を得る上で好ましい。
【００２７】
本発明においては、フッ素含有水に消石灰を添加した後、このような酸性ＡＣ系凝集剤を添加し、必要に応じて中和剤（酸）を添加して中和し、その後好ましくは高分子凝集剤を添加して凝集処理した後固液分離する。
【００２８】
消石灰の添加量は、原水（フッ素含有水）中のフッ素濃度によって決定され、原水のフッ素濃度に対して反応当量の１〜１０倍、特に１．１〜３倍程度とすることが好ましい。消石灰の添加量が少な過ぎると原水中のフッ素を十分に除去し得ず、多過ぎると消石灰のみならず、その後の中和のための酸添加量も増大し、好ましくない。本発明では、前述の如く、酸性ＡＣ系凝集剤の添加により中和剤としての酸の添加量を低減することができる。このため、中和剤として硫酸を用いる場合の石膏生成による消石灰の無駄な消費の問題がないため、消石灰の添加量を反応当量よりも大過剰に添加することなく、フッ素含有水中のフッ素を効率的に除去することができる。
【００２９】
原水に消石灰を添加した後の液は通常ｐＨ１０．０〜１３．０程度のアルカリ性となるため、次いで、この液に酸性ＡＣ系凝集剤と中和剤としての酸を添加してｐＨ６．０〜７．５、好ましくはｐＨ約７．０の中性にｐＨ調整する。
【００３０】
ここで、酸性ＡＣ系凝集剤の添加量が少な過ぎると、酸性ＡＣ系凝集剤を添加することによる本発明の効果を十分に得ることができず、多過ぎると汚泥量が増大し、また、処理水のｐＨが下がりすぎることから、酸性ＡＣ系凝集剤の添加量は、酸性ＡＣ系凝集剤添加前のフッ素濃度（ｍｇ／Ｌ）に対して５〜１００倍、特に５〜２０倍程度とすることが好ましい。
【００３１】
中和剤としての酸としては、従来と同様、塩酸、硫酸等の鉱酸、好ましくは硫酸が用いられ、酸は液ｐＨが中性となるような量添加される。
【００３２】
なお、酸性ＡＣ系凝集剤と酸とは同時に添加しても良く、別々に添加しても良い。また、酸性ＡＣ系凝集剤と酸とを予め混合して添加することもできる。別々に添加する場合、酸性ＡＣ系凝集剤添加後に酸を添加してｐＨ調整することが好ましい。
【００３３】
酸性ＡＣ系凝集剤添加後は、所定時間、例えば５〜２０分程度攪拌して凝集処理することが好ましい。
【００３４】
酸性ＡＣ系凝集剤と酸を添加してｐＨ中性に調整し、所定時間凝集処理した後は、好ましくは、更に高分子凝集剤を添加して凝集処理する。この高分子凝集剤としては、ポリアクリルアミド部分加水分解物、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリビニルアミジン等の１種又は２種以上を用いることができ、その添加量は、処理対象原水の水質や用いる高分子凝集剤によっても異なるが、通常０．１〜５ｍｇ／Ｌ程度である。
【００３５】
凝集処理液は次いで固液分離して処理水を得る。この固液分離には沈殿槽、膜分離装置等を用いることができる。
【００３６】
本発明において、酸性ＡＣ系凝集剤は、前述の如く、希釈したのち添加することができるが、この水は必ずしもｐＨ中性のものである必要はなく、他系統の排水であっても良い。ただし、この希釈水は、酸性ＡＣ系凝集剤を溶解した状態で、酸性ＡＣ系凝集剤による中和効果を損なうことがないようなｐＨ及び量であることが必要であり、用いる排水量にもよるが、ｐＨ１０以下の排水であることが好ましく、このような排水で溶解した酸性ＡＣ系凝集剤液のｐＨが６以下、好ましくはｐＨ４程度であることが好ましい。また、この排水は、フッ素を含むものであっても良いが、その含有量は１５ｍｇ／Ｌ以下の希薄排水であることが好ましい。このような希薄排水に酸性ＡＣ系凝集剤を混合して用いることにより、酸性ＡＣ系凝集剤の凝集作用をこの希薄排水に作用させることもでき、フッ素含有水と希薄排水とを同時に効率的に処理することができる。
【００３７】
また、固液分離により得られた汚泥の一部を原水側に返送し、返送汚泥の種晶効果で汚泥の結晶性の向上、含水率の低下、沈降性の向上を図ることもできる。この場合、返送汚泥を消石灰と混合し、混合物（以下「改質汚泥」と称す場合がある。）を原水に添加するようにすることもでき、これにより、より一層の処理水質の向上と発生汚泥量の低減を図ることができる。
【００３８】
なお、この場合の返送汚泥量は、少な過ぎると汚泥返送を行うことによる上記効果を十分に得ることができず、多過ぎると沈殿槽の負荷が増大するため、生成する汚泥量に対して５〜３０倍程度とし、特に消石灰と返送汚泥とを混合する場合、改質汚泥のｐＨが１０以上であるような量とすることが好ましい。
【００３９】
このような本発明の方法によれば、酸性ＡＣ系凝集剤により、中和作用のみならず、凝集作用をも得ることができ、また、前述の如く、共沈作用によるフッ素除去効果も得ることができる。このため、上記固液分離により得られる処理水は高度にフッ素が除去されたものであり、従来法のように水酸化物共沈法による高度処理を行うことなく、一段の処理で図４に示す従来の二段処理による処理水と同等、あるいはそれ以上の水質の処理水を得ることができる。
【００４０】
本発明の方法では、従来のフッ化カルシウム法と比べて硫酸等の酸添加量は大幅に低減できるものの、酸性ＡＣ系凝集剤が必要となるが、このように二段処理を必要とせず、従って二段目の処理で用いるＰＡＣ等の凝集剤を必要とせず、また、二段目で添加するＰＡＣよりも少ない酸性ＡＣ系凝集剤量で良く、この結果、全体の薬品使用量を大幅に低減し、発生汚泥量を低減した上で良好な処理水を得ることができる。
【００４１】
次に、このような酸性ＡＣ系凝集剤を用いる本発明のフッ素含有水の処理方法の具体的な処理法を、図面を参照して説明する。図１〜３は本発明のフッ素含有水の処理方法の実施の形態を示す系統図である。
【００４２】
図１の方法では、原水槽１の原水を第１反応槽２に導入して消石灰を添加して反応させてた後、第２反応槽３に導入して酸性ＡＣ系凝集剤と中和剤（酸）を添加して所定時間凝集処理する。次いで、凝集槽４で高分子凝集剤を添加して凝集処理し、凝集処理液を沈殿槽５で固液分離し、上澄液を処理水として系外に排出すると共に、分離汚泥を排出する。
【００４３】
図２の方法は、酸性ＡＣ系凝集剤を他系統の希薄排水と混合して用いるものであり、この混合液を第１反応槽２に添加すること以外は、図１に示す方法と同様に処理が行われる。
【００４４】
図３の方法は、沈殿槽５の分離汚泥の一部を消石灰と混合し、改質汚泥を原水に添加する方法であり、調整槽６を設け、この調整槽６に分離汚泥の一部を導入すると共に消石灰を添加混合して改質し、改質汚泥を第１反応槽２への原水導入配管に注入すること以外は図１の方法と同様に処理が行われる。なお、調整槽６からの改質汚泥は第１反応槽２に直接添加しても良い。
【００４５】
図１〜３に示す方法は、本発明の実施の形態の一例であって、本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示の方法に限定されるものではない。例えば、酸性ＡＣ系凝集剤と中和剤（酸）とは別々の反応槽で添加しても良く、そのための反応槽を個別に設けるようにしても良い。
【００４６】
このような本発明のフッ素含有水の処理方法は、半導体部品製造におけるシリコンウェハ製造工程から排出されるフッ素含有排水、ステンレス鋼板製造工程から排出される酸洗排水、アルミニウム表面処理排水、フッ酸製造排水、肥料製造排水、ゴミ焼却排水等の各種フッ素含有水の処理に有効である。
【実施例】
【００４７】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。なお、以下において、フッ素濃度の測定はＪＩＳ  Ｋ０１０２  ３４．１に従って行った。また、高分子凝集剤としてはポリアクリルアミド部分加水分解物を用いた。
【００４８】
実施例１
フッ素１３０ｍｇ／Ｌを含有する電子産業排水を原水として図１に示す方法で処理を行った。
【００４９】
まず、原水に消石灰５５０ｍｇ／Ｌを添加し、その後、ＬＡＣ（ｐＨ１．５）３００ｍｇ／Ｌを添加すると共に硫酸を添加してｐＨ７に調整した。３０分撹拌して凝集処理した後、高分子凝集剤を１ｍｇ／Ｌ添加して凝集処理し、次いで沈殿槽で固液分離した。
【００５０】
得られた処理水（上澄水）中のフッ素濃度と硫酸濃度を測定すると共に、発生汚泥量を調べ、結果を表１に示した。なお、表１には、高分子凝集剤以外の薬品使用量を併記した。
【００５１】
実施例２
実施例１において、ＬＡＣの代りに、塩酸を用いてｐＨ３に調整したＰＡＣを３００ｍｇ／Ｌ添加したこと以外は同様にして処理を行い、処理水のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を薬品使用量と共に表１に示した。
【００５２】
実施例３
実施例１において、ＬＡＣの代りに、硫酸を用いてｐＨ３に調整したＰＡＣを３００ｍｇ／Ｌ添加したこと以外は同様にして処理を行い、処理水のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を薬品使用量と共に表１に示した。
【００５３】
比較例１
実施例１において、消石灰添加後、ＬＡＣを添加せず、硫酸のみでｐＨを７に調整したこと以外は同様にして処理を行い、処理水のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を薬品使用量と共に表１に示した。
【００５４】
比較例２
実施例１において、消石灰添加後、ＬＡＣを添加せず、硫酸のみでｐＨを７に調整し、３０分撹拌して凝集処理した後、１０重量％ＰＡＣを４５０ｍｇ／Ｌ添加し、次いで水酸化ナトリウムを添加してｐＨ７に調整した後、高分子凝集剤による凝集処理に供したこと以外は同様にして処理を行い、処理水のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を薬品使用量と共に表１に示した。
【００５５】
比較例３
実施例１において、ＬＡＣの代りに１０重量％塩化第二鉄水溶液を３００ｍｇ／Ｌ（ＦｅＣｌ３換算）添加したこと以外は同様にして処理を行い、処理水のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を薬品使用量と共に表１に示した。
【００５６】
比較例４
実施例１において、ＬＡＣの代りに１０重量％塩化マグネシウム水溶液を３００ｍｇ／Ｌ（ＭｇＣｌ２換算）添加したこと以外は同様にして処理を行い、処理水のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を薬品使用量と共に表１に示した。
【００５７】
【表１】
2006159129.tif 000003
【００５８】
表１より、酸性ＡＣ系凝集剤を添加することにより、薬品使用量の低減、処理水質の向上、発生汚泥量の低減を図ることができることが分かる。
【００５９】
即ち、消石灰と硫酸で処理した比較例１では、発生汚泥量は少ないが、処理水質が悪い。また、比較例２では、この比較例１に対して、ＰＡＣを添加する高度処理を行って、処理水質を高めているが、この場合には発生汚泥量が著しく増大する。また、比較例３，４のように、鉄系又はマグネシウム系凝集剤を添加しても効果は得られない。
【００６０】
これに対して、ＬＡＣを用いた実施例１では、高度処理を行うことなく、一段の処理で、処理水質８ｍｇ−Ｆ／Ｌ以下を達成し、比較例１，２の場合の硫酸使用量は約１／５で良く、薬品使用量も汚泥発生量も少ない。実施例２，３のように、ＬＡＣではなく、酸でｐＨを下げたＰＡＣを用いても同様の効果が得られる。
【００６１】
実施例４
フッ素３００ｍｇ／Ｌを含有する排水（以下「フッ酸排水」と称す。）と、リン酸１００ｍｇ／Ｌを含有するｐＨ４の排水（以下「リン酸排水」と称す。）の二系統の排水を有する電子産業排水に対し、図２に示す方法で処理を行った。
【００６２】
フッ酸排水２Ｌに２２００ｍｇ（全排水に対する消石灰添加量７３３ｍｇ／Ｌ）の消石灰を添加した後、これにＬＡＣ９００ｍｇを添加したリン酸排水（ＬＡＣ添加後のｐＨは３．５）１Ｌを添加して混合し（全排水に対するＬＡＣ添加量３００ｍｇ／Ｌ）、次いで硫酸を添加してｐＨ７に調整した。３０ｍｉｎ撹拌して凝集処理した後、高分子凝集剤１ｍｇ／Ｌを添加して凝集処理し、次いで沈殿槽で固液分離した。
【００６３】
得られた処理水（上澄水）のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を高分子凝集剤以外の薬品使用量と共に表２に示した。
【００６４】
比較例５
実施例４と同様の電子産業排水の処理を行った。
【００６５】
フッ酸排水２Ｌにリン酸排水１Ｌを混合し、これに２２００ｍｇ（７３３ｍｇ／Ｌ）の消石灰を添加した後、硫酸を添加してｐＨ７に調整した。３０ｍｉｎ撹拌して凝集処理後、ＰＡＣ９００ｍｇ（３００ｍｇ／Ｌ）を添加し、水酸化ナトリウムを添加してｐＨ７に調整し、その後、高分子凝集剤１ｍｇ／Ｌを添加して凝集処理し、次いで沈殿槽で固液分離した。
【００６６】
得られた処理水（上澄水）のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を高分子凝集剤以外の薬品使用量と共に表２に示した。
【００６７】
【表２】
2006159129.tif 000004
【００６８】
表２より、希薄排水にＬＡＣを添加して用いた場合でも、著しく良好な処理水質の向上効果が認められ、また、発生汚泥量はほぼ同等ではあるが、薬品使用量を低減できることが分かる。
【００６９】
実施例５
実施例１で処理したものと同様の電子産業排水を図３に示す方法で処理した。
【００７０】
沈殿槽の分離汚泥（原水に対して１重量％）と、消石灰（原水に対して５５０ｍｇ／Ｌ）とを混合し、改質汚泥（ｐＨ１２．２）を原水に添加した後、硫酸でｐＨ３．０に調整した１０重量％塩化アルミニウム水溶液を３００ｍｇ／Ｌ（Ａｌ２Ｏ３換算）添加すると共に硫酸を添加してｐＨ７に調整した。３０分撹拌して凝集処理した後、高分子凝集剤１ｍｇ／Ｌを添加して凝集処理し、次いで沈殿槽で固液分離した。
【００７１】
得られた処理水（上澄水）のフッ素及び硫酸濃度と汚泥発生量を調べ、その結果を高分子凝集剤以外の薬品使用量と共に表３に示した。
【００７２】
なお、表３には、実施例１の結果を併記した。
【００７３】
【表３】
2006159129.tif 000005
【００７４】
表３より、分離汚泥を返送して原水に添加することにより、より一層の処理水質の向上及び発生汚泥量の低減が図れることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明のフッ素含有水の処理方法の実施の形態を示す系統図である。
【図２】本発明の他のフッ素含有水の処理方法の実施の形態を示す系統図である。
【図３】本発明の別のフッ素含有水の処理方法の実施の形態を示す系統図である。
【図４】従来法を示す系統図である。
【符号の説明】
【００７６】
１  原水槽
２  第１反応槽
３  第２反応槽
４  凝集槽
５  沈殿槽
【図１】
2006159129.tif 000006
【図２】
2006159129.tif 000007
【図３】
2006159129.tif 000008
【図４】
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