(57)【要約】【課題】簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】検査装置１は、Ｏリング１００の開口部１００ａの開口方向に配置されたカメラ４と、Ｏリング１００とカメラ４との間において、カメラ４から見て開口部１００ａの外周側に配置され、開口部１００ａの内周面１００ｂの鏡像を映し出す鏡部２と、カメラ４により撮像された鏡像の画像に基づいてＯリング１００の欠陥の有無を判別する処理部５とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物（１００）の開口部（１００ａ）の開口方向に配置された撮像手段（４）と、
前記検査対象物と前記撮像手段との間において、前記撮像手段から見て前記開口部の外周側に配置され、前記開口部の内周面（１００ｂ）の鏡像を映し出す鏡部（２）と、
前記撮像手段により撮像された前記鏡像の画像（Ｇ３）に基づいて前記検査対象物の欠陥の有無を判別する判別手段（５）と、
を備えた外観検査装置（１）。
【請求項２】
前記内周面は開口方向の中央側が縮径している
請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記鏡部は、前記撮像手段から見て前記開口部を囲むように配置され、前記内周面の鏡像を映し出す複数の平面鏡（３４）を備えている
請求項１又は２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記検査対象物と前記撮像手段との間において、前記検査対象物側へ光を照射する第１の照明手段（４２）と、
前記第１の照明手段と前記検査対象物との間において、前記第１の照明手段側へ光を照射する第２の照明手段（４３）と、
前記第１の照明手段と前記第２の照明手段との間に設けられ、前記第１の照明手段からの光を前記検査対象物側へ拡散しつつ透過させ、前記第２の照明手段からの光を前記検査対象物側へ反射する拡散手段（４４）と、
を更に備えた請求項１〜３のいずれか１項に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記第１の照明手段及び前記第２の照明手段は、前記撮像手段から見て前記開口部を囲む位置から光を照射するリング照明手段である
請求項４に記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記判別手段は、前記鏡像の画像において、所定の輝度閾値よりも輝度の低い面積が、所定の面積閾値よりも大きいときに、前記検査対象物に欠陥が発生したと判別する
請求項１〜５のいずれか１項に記載の外観検査装置。
【請求項７】
前記撮像手段から見て前記検査対象物の背後に設けられ、前記検査対象物を、前記撮像手段による前記鏡像の撮像が可能な位置に対して、搬入及び搬出する搬送手段（２６）を更に備えた
請求項１〜６のいずれか１項に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
Ｏリング等の開口部を有する製品の内周面の外観を検査する外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１では、Ｏリングの開口部が開口する方向に配置されたカメラによりＯリングの内周面を撮像し、撮像した画像に基づいて欠陥を検出する技術が開示されている。
【０００３】
特許文献２では、円筒状の検査対象部の貫通孔に円錐状のミラーを挿入し、当該ミラーに映し出された鏡像を貫通孔の軸方向に設けられたカメラにより撮像し、撮像した画像に基づいて欠陥を検出する技術が開示されている。
【０００４】
なお、検査対象物の内周面の検査を行うものではないが、円柱状の検査対象物の外周側に反射機構を配置し、反射機構に映し出された複数の鏡像を一の画像として撮像することにより、複数視点からの外観検査を一の視点からの画像により可能とする技術もある（特許文献３）。
【特許文献１】特開平０３−２０７１６９号公報
【特許文献２】特開２００４−２０５２１８号公報
【特許文献３】特開平１１−５１６２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
Ｏリングは断面略円形の環状部材であり、内周面は開口方向の中央側が縮径していることから、特許文献１の技術のような開口方向に設定された一の視点からの撮像では、カメラから見て内周面の背後側などについて検査に必要充分な画像を取得することができない。すなわち、十分な検査精度が得られない。
【０００６】
しかし、Ｏリングとカメラとの相対位置を変化させつつ複数視点からの画像を撮像したり、一のＯリングに対して複数のカメラを配置して複数視点からの画像を撮像することとすれば、構成の複雑化、コスト増大、検査速度の低下等の不都合を招く。
【０００７】
特許文献２の技術は、円錐状のミラーに映し出された鏡像を撮像することにより、開口方向に設定された一の視点からの撮像により、貫通孔内側からの内周面の撮像を実質的に行うとともに、３６０度の視野を実現している。しかし、ミラーは開口部よりも小径の円錐状であり、鏡像は実際の内周面よりも小さく映し出される。従って、鏡像が小さくなる分だけ検査精度が低下する。また、ミラーを開口部に出し入れすることから、そのための駆動機構が必要であり、ミラーと検査対象物との接触の可能性も生じる。
【０００８】
本発明は、簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上可能な外観検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の外観検査装置は、検査対象物の開口部の開口方向に配置された撮像手段と、前記検査対象物と前記撮像手段との間において、前記撮像手段から見て前記開口部の外周側に配置され、前記開口部の内周面の鏡像を映し出す鏡部と、前記撮像手段により撮像された前記鏡像の画像に基づいて前記検査対象物の欠陥の有無を判別する判別手段と、を備える。
【００１０】
好適には、前記内周面は開口方向の中央側が縮径している。
【００１１】
好適には、前記鏡部は、前記撮像手段から見て前記開口部を囲むように配置され、前記内周面の鏡像を映し出す複数の平面鏡を備えている。
【００１２】
好適には、前記検査対象物と前記撮像手段との間において、前記検査対象物側へ光を照射する第１の照明手段と、前記第１の照明手段と前記検査対象物との間において、前記第１の照明手段側へ光を照射する第２の照明手段と、前記第１の照明手段と前記第２の照明手段との間に設けられ、前記第１の照明手段からの光を前記検査対象物側へ拡散しつつ透過させ、前記第２の照明手段からの光を前記検査対象物側へ反射する拡散手段と、を更に備える。
【００１３】
好適には、前記第１の照明手段及び前記第２の照明手段は、前記撮像手段から見て前記開口部を囲む位置から光を照射するリング照明手段である。
【００１４】
好適には、前記判別手段は、前記鏡像の画像において、所定の輝度閾値よりも輝度の低い面積が、所定の面積閾値よりも大きいときに、前記検査対象物に欠陥が発生したと判別する。
【００１５】
好適には、前記撮像手段から見て前記検査対象物の背後に設けられ、前記検査対象物を、前記撮像手段による前記鏡像の撮像が可能な位置に対して、搬入及び搬出する搬送手段を更に備える。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、本発明の実施形態の検査装置１の全体構成を示す概略図である。検査装置１は、検査対象としてのＯリング１００の内周面１００ｂの外観を検査する装置として構成されている。なお、Ｏリング１００は、流体等を密封するための断面が略円形（Ｏ形）の環状パッキンであり、例えばゴムにより形成されている。図１は、検査のためにＯリング１００が撮像位置Ｐに配置された状態を示している。
【００１８】
検査装置１は、Ｏリング１００の鏡像を映し出す鏡部２と、Ｏリング１００を照明する照明部３と、鏡部２に映し出されたＯリング１００の鏡像を撮像するカメラ４と、カメラ４の撮像した画像に基づくＯリング１００の欠陥の検出等の種々の処理を行う処理部５と、Ｏリング１００を搬送する搬送部６とを備えている。
【００１９】
カメラ４は、例えばカメラ本体１１と、カメラ本体１１に取り付けられるＣマウント型のレンズ１２とを備え、撮像位置ＰのＯリング１００の開口部１００ａの開口方向（紙面上下方向）において、撮影方向（レンズ１２の光軸方向）が開口方向と一致し、視野の中心（レンズ１２の光軸ＬＬ）にＯリング１００の開口部１００ａの中心が位置するように配置されている。
【００２０】
カメラ本体１１は、例えば受光した光に応じた電気信号を出力するＣＣＤ（撮像素子）１３を備えている。レンズ１２はＣＣＤ１３上に光像を結像し、ＣＣＤ１３は結像された光像に応じた電気信号を出力する。ＣＣＤ１３からの電気信号はカメラ本体１１に内蔵された不図示の画像処理部を介して画像データとして処理部５に出力される。なお、カメラ４は、例えば不図示の制御部を備え、制御部は処理部５からの指示に従って、ＣＣＤ１３の動作を制御する。
【００２１】
処理部５は、例えばパーソナルコンピュータにより構成され、本体部１５、モニタ（表示手段）１６、キーボード（入力手段）１７を備えている。
【００２２】
本体部１５は、例えば不図示のＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を含んで構成されており、ＣＰＵがＲＯＭ等に記録されたプログラムを読み出して実行することにより、本体部１５には、カメラ４の動作を制御する不図示のカメラ制御部、カメラ４から出力された画像データを画像処理する不図示の画像処理部、カメラ４から出力された画像データ又は当該画像データを画像処理したデータに基づいてＯリング１００の欠陥の有無を判別する不図示の判別部、搬送部６の動作を制御する不図示の搬送制御部等の種々の手段が構築される。
【００２３】
モニタ１６は、例えばＣＲＴにより構成され、本体部１５からの指示に従って画像を表示する。例えば、本体部１５によりＯリング１００に欠陥が発生した場合に、欠陥の発生をユーザに報知するための画像を表示する。また、キーボード１７は、ユーザの入力操作を受け付けて、入力操作に応じた電気信号を本体部１５に出力する。例えば、欠陥の有無の判断基準の変更、カメラ４の露出量の補正等を行うための操作を受け付けて本体部１５に出力する。
【００２４】
搬送部６は、例えば送り機構２１と、送り機構２１を駆動するためのモータ２２と、モータ２２の動作を制御するためのモータ駆動部２３とを備えている。
【００２５】
送り機構２１は、例えば、Ｏリング１００が載置される搬送テーブル２６を含んで構成されている。搬送テーブル２６は、カメラ４から見て鏡部２及び照明部３の背後側に配置され、カメラ４の撮影方向に直交する方向に移動する。搬送テーブル２６の移動は、例えば、搬送テーブル２６を保持する不図示の可動アームにより、あるいは、搬送テーブル２６下に複数配列され、回転可能な不図示のローラにより行われる。Ｏリング１００は、搬送テーブル２６の移動に伴って、カメラ４から見て鏡部２に鏡像が映し出される範囲に搬入されるとともに、当該範囲から搬出される。
【００２６】
なお、搬送テーブル２６は例えば金属により形成され、搬送テーブル２６のカメラ４側の面はＯリング１００よりも輝度が高くなるように形成されている。搬送テーブル２６は搬送経路に沿って複数設けられてもよいし、一つでもよい。また、一の搬送テーブル２６上に複数のＯリング１００が搬送方向に沿って複数配置されてもよいし、一の搬送テーブル２６上に一のＯリング１００が配置されてもよい。
【００２７】
モータ２２は例えばサーボモータあるいはステッピングモータにより構成され、モータ駆動部２３からの指示に従って適宜な速度で適宜な回転量だけ不図示の出力軸を回転させ、搬送テーブル２６を移動させる。モータ駆動部２３は、処理部５からの指示に基づいてモータ２２の動作を制御する。
【００２８】
図２は、鏡部２の外観を示す斜視図であり、図３（ａ）は鏡部２の上面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ線矢視方向における断面図である。なお、図２及び図３では、Ｏリング１００が載置される送り機構２１を簡略化して図示している。
【００２９】
鏡部２は、環状のミラー用基体３１と、ミラー用基体３１に複数配置されるミラーユニット３２とを備えている。
【００３０】
ミラー用基体３１は、例えば金属により形成され、カメラ４から見てＯリング１００が露出するように開口している。具体的には、ミラー用基体３１の開口部の内径はＯリング１００の外径よりも大きく、カメラ４の視野よりも広い。また、Ｏリング１００の撮影位置Ｐは、例えばカメラ４から見てミラー用基体３１の開口部中央である。
【００３１】
ミラーユニット３２は、例えば、カメラ４から見てＯリング１００を囲むように８個設けられている。各ミラーユニット３２は、Ｏリング１００の鏡像を映し出すミラー３４と、ミラー３４を保持するための保持ブロック３５、保持板３６及びねじ３７とを備えている。
【００３２】
ミラー３４は、例えば反射面が平面に形成された平面鏡により構成されている。ミラー３４の平面形状は例えば矩形である。ミラー３４は、撮像位置ＰのＯリング１００とカメラ４との間において、カメラ４から見てＯリング１００の外周を囲むように配置されている。図３（ｂ）に示すように、ミラー３４は少なくとも一部がカメラ４の視野内に位置し、反射面３４ａが光軸ＬＬに対して傾斜するとともに反射面３４ａがカメラ４側に向くように配置されている。従って、カメラ４は、ミラー３４に映し出されたＯリング１００の内周面１００ｂの鏡像を撮像可能である。
【００３３】
なお、図１に示すように、反射面３４ａの傾斜角θ１は、Ｏリング１００とカメラ４との相対位置、カメラ４の視野角、Ｏリング１００の大きさ、内周面１００ｂに対する要求される撮像角度等の種々の条件に応じて適宜に設定される。例えば、図１では、載置面に対して角度θ２で見た内周面１００ｂの像が光軸ＬＬに略平行な方向へ反射されるように反射面３４ａの傾斜角θ１を設定した場合を例示しており、例えばθ２＝４０度では、θ１＝２５度である。また、この場合、幅Ｗは例えば３０ｍｍである。
【００３４】
図２及び図３（ａ）に示すように、ミラー３４は、Ｏリング１００側が密になるように配列されている。ミラー３４のカメラ４側は、ミラー３４が外周側へ傾いている分だけミラー３４間に隙間が生じている。なお、ミラー３４の平面形状を、カメラ４側の端部よりもＯリング１００側の端部が幅広となる台形とし、カメラ４側のミラー３４間の隙間がなくなるようにしてもよい。
【００３５】
保持ブロック３５は、図３（ｂ）に示すように、例えば金属により形成され、全体として断面が略Ｌ字を横にした形状である。保持ブロック３５は、ミラー用基体３１に取り付けられる取付部３５ａと、ミラー３４を保持する保持部３５ｂとを備えている。取付部３５ａがＬ字の一辺を、保持部３５ｂがＬ字の他の一辺を構成している。
【００３６】
取付部３５ａは、例えば略直方体状に形成されており、ミラー用基体３１上に載置され、取付部３５ａに設けられた不図示の貫通孔に挿入されたねじ３８等の締結手段がミラー用基体３１に設けられた不図示のねじ穴に螺合されることにより、ミラー用基体３１に対して固定されている。
【００３７】
保持部３５ｂは、断面が略台形状に形成されており、ミラー３４が配置される傾斜面３５ｃを有している。傾斜面３５ｃの幅（図３（ｂ）の紙面奥手方向）はミラー３４の幅と同等の大きさであり、傾斜面３５ｃの高さ方向の長さ（図３（ｂ）の紙面上下方向）はミラー３４の高さ方向の長さよりも若干短い。
【００３８】
保持板３６及びねじ３７は、保持ブロック３５のカメラ４側及びＯリング１００側の光端面に設けられている。保持板３６は、平板状の平板部３６ａと、突条部を形成するように湾曲する湾曲部３６ｂとを備えている。
【００３９】
平板部３６ａは、保持ブロック３５のカメラ４側又はＯリング１００側の端面に沿って配置されている。平板部３６ａに設けられた不図示の貫通孔にねじ３７が挿通され、ねじ３７が保持ブロック３５に設けられた不図示のねじ穴に螺合されることにより保持板３６は保持ブロック３５に対して固定される。
【００４０】
湾曲部３６ｂは、ミラー３４の外方に凸となっている。具体的には、保持ブロック３５のカメラ４側の保持板３６は、湾曲部３６ｂがカメラ４側に凸となるように、保持ブロック３５のＯリング１００側の保持板３６は、湾曲部３６ｂがＯリング１００側に凸となるように配置されている。
【００４１】
湾曲部３６ｂの凹となっている部分には、保持ブロック３５の傾斜面３５ｃから突出したミラー３４の端部が挿入されている。湾曲部３６ｂは、ミラー３４の端部に当接して上下方向においてミラー３４を支持している。また、湾曲部３６ｂは、湾曲部３６ｂを平板状に伸ばす方向に歪が与えられた状態でミラー３４の端部が挿入されており、弾性力により光軸ＬＬに直交する方向（図３（ｂ）の紙面左右方向）においてもミラー３４を支持している。
【００４２】
なお、図３（ｂ）に示すように、ミラー用基体３１は、カメラ４や搬送部６に対して固定的に設けられた支持台５５に対してねじ等の締結手段により固定されている。支持台５５は、例えば複数のコラム５５ａ、ビーム５５ｂを組み合わせて構成されている。各コラム５５ａとビーム５５ｂとは、例えば溶接又は締結手段により互いに固定されており、締結手段による締結位置の変更等により、ミラー用基体３１のカメラ４や搬送部６に対する相対位置を調整可能に構成されている。なお、支持台５５は例えば金属により構成されている。
【００４３】
図１及び図３（ｂ）に示すように、照明部３は、照明用基体４１と、Ｏリング１００を照明するための第１リング照明４２、第２リング照明４３と、これら照明部４２、４３からの光を拡散等するための拡散板４４とを備えている。
【００４４】
照明用基体４１は、例えば金属により形成され、カメラ４から見てＯリング１００が露出するようにミラー用基体３１と略同等の大きさの環状部材として構成されている。ミラー用基体３１と照明用基体４１とは例えば不図示の締結手段により互いに固定されている。なお、ミラー用基体３１と照明用基体４１とを一体的に形成してもよい。
【００４５】
第１リング照明４２は、図１に示すように、例えば、基板４６に点光源４７が環状に配列されることにより構成されている。基板４６は環状に形成されており、開口部の大きさはミラー３４のＯリング１００側の端部により構成される開口部の大きさと略同等である。基板４６は照明用基体４１のカメラ４側に例えば締結手段により固定されている。点光源４７は、例えば白色ＬＥＤにより構成され、基板４６のＯリング１００側に配列されている。
【００４６】
第２リング照明４３は、第１リング照明４２と同様の構成であり、基板４８及び点光源４９を備えている。ただし、基板４８は照明用基体４１のＯリング１００側に配置され、点光源４９は、基板４８のカメラ４側に配列されている。換言すれば、第１リング照明４３及び第２リング照明４３は、所定の間隔で互いに対向するように配置されている。なお、点光源４７、４９の動作は、光源駆動部５１を介して処理部５により制御される。
【００４７】
図４は、拡散板４４を示す拡大図である。拡散板４４は、例えば乳白色の樹脂により形成されている。拡散板４４は、第１リング照明４２の点光源４７と、第２リング照明４３の点光源４９との間に配置されるとともに、光軸ＬＬに対してθ５だけ傾斜するように配置されている。従って、拡散板４４は、第１リング照明４２からの光を拡散させつつＯリング１００へ透過させ、第２リング照明４３からの光をＯリング１００の方向へ反射する。なお、拡散板４４は、円錐体を輪切りにした形状でもよいし、平板状の拡散板をミラー３４のようにＯリング１００を囲むように配列して構成してもよい。
【００４８】
図５は、検査装置１の処理部５が実行する検査処理の手順を示すフローチャートである。検査装置１に電源が投入され、所定の検査開始を指示する操作がキーボード１７に対してなされると、処理部５は初期動作を行う（ステップＳ１）。例えば、処理部５は、光源駆動部５１を介して第１リング照明４２、第２リング照明４３を点灯する。また、不図示の検出センサ等により送り機構２１の位置検出を行う。
【００４９】
ステップＳ２では、処理部５は搬送部６を駆動する。すなわち、モータ駆動部２３に指示信号を出力してモータ２２を回転させ、送り機構２１によりＯリング１００を搬送する。なお、例えば不図示のＯリング製造装置から送り機構２１へ複数のＯリング１００が順次供給されることにより、送り機構２１には複数のＯリング１００が一定間隔で搬送テーブル２６の移動方向に沿って複数配列されている。
【００５０】
Ｏリング１００が撮像位置Ｐに到達すると、処理部５は搬送部６を停止させる（ステップＳ３）。具体的には、例えば処理部５はカメラ４から時々刻々出力される画像データに基づいてＯリング１００が鏡部２及び照明部３の開口部の略中央に位置したか否か判定し、略中央に位置したと判定した場合に搬送部６を停止させる。あるいは、初期位置から予め定められた量だけモータ２２を回転させたときに搬送部６を停止させる。
【００５１】
ステップＳ４では、カメラ４により鏡部２に映し出された撮像位置ＰのＯリング１００の鏡像を撮像する。なお、上述のようにカメラ４によりＯリング１００の位置検出を行い、検出結果に基づいて搬送部６を制御する場合、位置検出の場合の画質のレベルを当該ステップＳ４における画質のレベルよりも低くし、カメラ４や処理部５の負担を軽減してもよい。
【００５２】
ステップＳ５では、処理部５は、ステップＳ４で得られた画像データに基づいてＯリング１００の欠陥の有無を判定する。欠陥が無いと判定した場合はステップＳ２に戻る。欠陥があると判定した場合は、所定の欠陥発生時処理を実行し（ステップＳ６）、ステップＳ２に戻る。
【００５３】
欠陥発生時処理では、例えば、欠陥が発生したと判定されたＯリング１００を他のＯリング１００と分別して回収するために、欠陥が発生したＯリング１００を特定するための情報が処理部５のＲＡＭ等に記録される。Ｏリング１００を特定する情報は、例えば欠陥が発生したＯリング１００が撮像位置Ｐにある時のモータ２２の回転位置等である。その後、欠陥が発生したＯリング１００が搬送部６により所定位置まで搬送されると、搬送部６の搬送先に設けられた不良品回収装置により欠陥のあるＯリング１００は回収される。
【００５４】
なお、ステップＳ３で搬送部６を停止させずに、搬送中のＯリング１００を撮像した画像に基づいて欠陥の有無を判別してもよい。
【００５５】
図６（ａ）はステップＳ４でカメラ４により撮像した画像を示す図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）の一部拡大図であり、図６（ｃ）及び図６（ｄ）は第１リング照明４２又は第２リング照明４３のみにより照明して撮像した場合の画像を、図６（ｂ）と同一の範囲で示す図である。
【００５６】
図６（ａ）に示すように、画像Ｇ１の中央には、Ｏリング１００からの反射光を撮像した画像、すなわち、Ｏリング１００を直接的に撮像した直接画像Ｇ２が含まれている。また、その周囲には、ミラー３４に映し出されたＯリング１００の鏡像を撮像した鏡像画像Ｇ３が含まれている。鏡像画像Ｇ３は、８枚のミラー３４に対応する８個の部分鏡像画像Ｇ３ａからなる。搬送テーブル２６のカメラ４側の表面は反射率が比較的高く設定されていることから、部分鏡像画像Ｇ３ａは、搬送テーブル２６の表面の画像Ｇ５よりも輝度が低くなっている。
【００５７】
処理部５は、画像Ｇ１に対して種々の画像処理を実行して欠陥の有無を判定する。例えば、まず、エッジ処理により各部分鏡像画像Ｇ３ａの輪郭を特定する。そして、各部分鏡像画像Ｇ３ａ内の輝度を特定し、輝度が所定の輝度閾値よりも低くなる画素数が所定の画素数閾値を超えたときに欠陥が発生したと判定する。図６（ｂ）では、領域Ａ５に凹状の欠陥が生じ、領域Ａ５に陰影が生じている場合を例示している。なお、輝度が輝度閾値よりも低くなる画素数が画素数閾値を超えたか否かの判定は、輝度が輝度閾値よりも低くなる面積が、所定の面積閾値よりも大きくなるか否かの判定の一例である。
【００５８】
なお、直接画像Ｇ２及び鏡像画像Ｇ３の双方に基づいて欠陥の有無を判定してもよい。例えば、直接画像Ｇ２に基づいて従来と同様に欠陥の有無を判定するとともに、上述のように鏡像画像Ｇ３に基づいて欠陥の有無を判定し、いずれにおいても欠陥が無いと判定された場合に、最終的に欠陥がないと判定するようにしてもよい。
【００５９】
Ｏリング１００を直接的に撮像した画像も用いて欠陥の有無を判定する場合、Ｏリング１００を直接的に撮像した画像及び鏡像の画像は、一の画像として取得してもよいし、それぞれ別の画像として取得してもよい。それぞれ別の画像として取得する場合には、Ｏリングを直接的に撮像する場合と鏡像を撮像する場合とで照明方法を切り換えて、それぞれの撮像に好適な照明条件としてもよい。
【００６０】
図６（ｃ）に示すように、第１リング照明４２のみによってＯリング１００を照明した場合、図６（ｂ）に比較して、全体的に暗くなるとともに、拡散光であるために欠陥が生じた領域Ａ５′の陰影が小さい。
【００６１】
図６（ｄ）に示すように、第２リング照明４３のみによってＯリング１００を照明した場合、図６（ｂ）に比較して、全体的に暗くなる。また、図６（ｃ）に比較して、全体的に暗い。ただし、Ｏリング１００のカメラ４側の部分（図６（ｄ）の紙面上方側）の領域Ａ７については、図６（ｃ）よりも広い範囲について明るくなっている。また、拡散板４４により反射した光は、拡散板４４を透過した光に比較して直接光に近いため、図６（ｃ）に比較して領域Ａ５″の陰影が大きい。
【００６２】
第１リング照明４２によって照明できなかったＯリング１００のカメラ４側の部分が、第２リング照明４３により照明される様子を図４に示す。図４の矢印ｙ１で示すように第１照明リング４２から光軸ＬＬに平行な方向へ照射された光は、矢印ｙ２で示すように拡散板４４から拡散しつつＯリング１００へ照射される。矢印ｙ３で示す拡散光の中心と拡散板４４との角度はθ５である。一方、矢印ｙ４で示すように第２リング照明４３から光軸ＬＬに平行な方向へ照射された光は、矢印ｙ５で示すように拡散板４４により反射されてＯリング１００へ照射される。矢印ｙ５と拡散板４４との角度はθ６である。一般にθ６＞θ５であることから、第１照明リング４２では十分に照明できないＯリング１００のカメラ４側（紙面上方）の部分を第２リング照明４３により照明できる。
【００６３】
以上の実施形態によれば、Ｏリング１００の外周側に配置されたミラー３４により内周面１００ｂの鏡像を映し出し、鏡像を撮像した画像に基づいて欠陥の有無を判別することから、開口部にミラーを出し入れすることなく内周面１００ｂの画像を十分に得ることができ、簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上可能である。
【００６４】
特に、検査対象物がＯリングのように内周面の中央側が縮径しているものである場合には、開口方向に配置したカメラから内周面の広い範囲の画像を得ることが困難であることから、本実施形態の検査装置１は有効である。
【００６５】
鏡部２は、平面鏡としてのミラー３４がＯリング１００を囲むように複数配置されて構成されていることから、汎用性の高いミラー、すなわち、安価なミラーにより、内周面１００ｂの全周検査を実現できる。
【００６６】
第１リング照明４２と、第２リング照明４３とを対向させ、第１リング照明４２からの光をＯリング１００側へ拡散しつつ透過させ、第２リング照明４３からの光をＯリング１００側へ反射する拡散板４４を設けていることから、全体としてコンパクトな照明部３により、Ｏリング１００の内周面１００ｂを均等に且つ広い範囲に亘って照明できる。
【００６７】
鏡部２はカメラ４とＯリング１００との間に配置されるため、カメラ４から見てＯリング１００の背後側に設けられる送り機構２１の設計の自由度が高い。つまり、鏡部２が送り機構２１の設計の自由度に及ぼす影響が少ない。
【００６８】
本発明は以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施してよい。
【００６９】
例えば、検査対象物は開口部を有するものであればよく、Ｏリングに限定されない。開口部の径が開口方向に亘って一定のシール部材であってもよいし、軸受部材のように、他の部材が挿入される貫通孔を有する製品であってもよい。
【００７０】
鏡部は、検査対象物の開口部の外周側に配置されて当該開口部の内周面の鏡像を撮像手段へ映し出せるものであればよく、複数の平面鏡を開口部と同心状に配置して構成されるものに限定されない。例えば、一枚の平面鏡を配置して内周部の特定の部分についてのみ検査するようにしてもよいし、開口部を囲む環状の鏡を配置してもよい。
【００７１】
処理部により判定される欠陥は、検査対象物の外観に係わるものであればよく、内周面の凹凸（輪郭）に限定されない。例えば内周面の変色を検出してもよい。
【００７２】
リング照明は検査対象物の開口部を囲む位置から光を照射できるものであればよく、点光源を環状に配置するものに限定されず、例えば開口部を囲む位置から光ファイバにより光が出射されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の実施形態の検査装置を示す概略図である。
【図２】図１の検査装置の鏡部の斜視図である。
【図３】図１の検査装置の鏡部の平面図及び断面図である。
【図４】図１の検査装置の照明部の一部拡大断面図である。
【図５】図１の検査装置の処理部が実行する検査処理の手順を示すフローチャートである。
【図６】図１の検査装置のカメラにより撮像される画像を示す図である。
【符号の説明】
【００７４】
１００…Ｏリング（検査対象物）、１００ａ…内周面、４…カメラ（撮像手段）、２…鏡部、５…処理部（判別手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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