(57)【要約】【課題】  インターポーザーのアンテナ形成済シートへの実装作業を短時間で連続的かつ確実に行うことができ、しかもこの実装作業で用いられる実装装置を長期間連続で使用することができるインターポーザーの実装方法およびこの実装方法により得られるインターポーザー実装済シートを提供すること。【解決手段】  第１非導電層１１と、拡大電極１２，１２と、ＩＣチップ１３とを有するインターポーザー１０を準備する。第２非導電層２１と、アンテナ２２とを有するアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２上にインターポーザー１０を載置する。インターポーザー１０上からレーザ光を照射し、レーザ光が照射される一部分１０ａにおける第１非導電層１１を加熱除去する。同時に、レーザ光の照射により加熱除去された第１非導電層１１の近傍の拡大電極１２を融解してアンテナ２２に融着させて電気的に接続する。【選択図】  図３
2006209395.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、
アンテナ形成済シート上にインターポーザーを載置する工程と、
インターポーザー上からレーザ光を照射し、当該インターポーザーのうちレーザ光が照射される部分における第１非導電層を加熱除去するとともにこのインターポーザーのうちレーザ光により加熱除去された第１非導電層の近傍の拡大電極を融解してアンテナ形成済シートのアンテナに融着させて電気的に接続する工程と、
を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法。
【請求項２】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、
インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとを向き合わせ、このアンテナ形成済シートとインターポーザーとの間に絶縁シートを設け、アンテナ形成済シート上に前記絶縁シートを介してインターポーザーを載置する工程と、
インターポーザー上からレーザ光を照射し、当該インターポーザーのうちレーザ光が照射される部分における絶縁シートを加熱除去するとともにこのインターポーザーのうちレーザ光により加熱除去された絶縁シートの近傍の拡大電極を融解してアンテナ形成済シートのアンテナに融着させて電気的に接続する工程と、
を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法。
【請求項３】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、
インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとを向き合わせ、このアンテナ形成済シートとインターポーザーのＩＣチップとの間に絶縁シートを設け、アンテナ形成済シート上に前記絶縁シートを介してインターポーザーを載置する工程と、
インターポーザー上からレーザ光を照射し、このインターポーザーのうちレーザ光により照射される部分の拡大電極を融解してアンテナ形成済シートのアンテナに融着させて電気的に接続する工程と、
を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法。
【請求項４】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、
アンテナ形成済シート上にインターポーザーを載置する工程と、
アンテナ形成済シート上のインターポーザーの端縁部にレーザ光を照射し、インターポーザーの端縁部の拡大電極を融解してアンテナ形成済シートのアンテナに融着させて電気的に接続する工程と、
を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法。
【請求項５】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装したインターポーザー実装済シートであって、
インターポーザーの一部分において、第１非導電層の一部が除去されており、この除去された第１非導電層の近傍の拡大電極がアンテナ形成済シートのアンテナまで引き延ばされ、当該拡大電極が前記アンテナに融着して電気的に接続していることを特徴とするインターポーザー実装済シート。
【請求項６】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装したインターポーザー実装済シートであって、
インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとが向き合っており、このアンテナ形成済シートとインターポーザーとの間には絶縁シートが設けられ、
絶縁シートの一部が除去されており、この除去された絶縁シートの近傍の拡大電極がアンテナ形成済シートのアンテナまで引き延ばされ、当該拡大電極が前記アンテナに融着して電気的に接続していることを特徴とするインターポーザー実装済シート。
【請求項７】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装したインターポーザー実装済シートであって、
インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとが向き合っており、このアンテナ形成済シートとインターポーザーのＩＣチップとの間には絶縁シートが設けられ、
拡大電極がアンテナ形成済シートのアンテナまで引き延ばされ、当該拡大電極が前記アンテナに融着して電気的に接続していることを特徴とするインターポーザー実装済シート。
【請求項８】
第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装したインターポーザー実装済シートであって、
インターポーザーの端縁部において、拡大電極がアンテナ形成済シートのアンテナまで引き延ばされ、当該拡大電極が前記アンテナに融着して電気的に接続していることを特徴とするインターポーザー実装済シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部のリーダ・ライタと非接触でデータの授受を行うことができる非接触ＩＣタグを有するインターポーザー実装済シート（非接触ＩＣタグ付きシート）を製造するためのインターポーザーの実装方法およびこの実装方法により得られるインターポーザー実装済シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より外部のリーダ・ライタと非接触でデータの授受を行う非接触ＩＣタグは、ＩＣチップとアンテナを有しており、このような非接触ＩＣタグは基材シートに設けられ、このようにして非接触ＩＣタグ付きシートが得られる。この場合、予めＩＣチップと一対の拡大電極とを有するインターポーザーを準備しておき、このインターポーザーを基材シートのアンテナ上に実装することにより非接触ＩＣタグ付きシートを製造する方法がある（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
上述のように、インターポーザーは一対の拡大電極と、これらの拡大電極に接合されたＩＣチップとを有しており、インターポーザーの各拡大電極はアンテナの異なる位置にそれぞれ電気的に接続されている。また、アンテナの形状は、ＩＣタグとリーダ・ライタとの間でデータの送受信を行う際の電磁波の周波数によって決定される。
【０００４】
なお、リーダ・ライタとデータを送受信する際に用いられる電磁波の周波数によっては、インターポーザー自体を非接触ＩＣタグとして用いることができる。この場合、一対の拡大電極がアンテナとして機能するが、最終的な製品または製品を包装する包装体への実装を容易にするため、一対の拡大電極をアンテナ形成済シートのアンテナに接合することもある。本願におけるインターポーザーという用語は、このようにそれ自体が非接触ＩＣタグとして機能するインターポーザーを含んだ概念である。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２８１４９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した特許文献１に記載の製造方法においては、インターポーザーを作製した後、第１搬送装置および第２搬送装置の２段階の搬送ステップを経てインターポーザーをアンテナ形成済シート（基材シート）のアンテナ上に載置して当該インターポーザーをアンテナ上に実装している。
【０００７】
このような場合、インターポーザーをアンテナ形成済シートのアンテナ上に迅速かつ確実に実装することが求められている。
【０００８】
また、アンテナ形成済シートに対するインターポーザーの実装方法としては、アンテナ形成済シート上にインターポーザーを載置した後、このインターポーザーの拡大電極に対して上方からカシメ刃を強く押圧し、当該拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとを接合させるカシメ方法が知られている。
しかしながら、カシメ刃によりインターポーザーをアンテナ形成済シートに実装する方法においては、カシメ刃の先端が摩耗してしまいインターポーザーの実装装置を長期間連続で使用することができず、カシメ刃の交換等のメンテナンスが必要となるという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、インターポーザーのアンテナ形成済シートへの実装作業を短時間で連続的かつ確実に行うことができ、しかもこの実装作業で用いられる実装装置を長期間連続で使用することができるインターポーザーの実装方法およびこの実装方法により得られるインターポーザー実装済シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、アンテナ形成済シート上にインターポーザーを載置する工程と、インターポーザー上からレーザ光を照射し、当該インターポーザーのうちレーザ光が照射される部分における第１非導電層を加熱除去するとともにこのインターポーザーのうちレーザ光により加熱除去された第１非導電層の近傍の拡大電極を融解してアンテナ形成済シートのアンテナに融着させて電気的に接続する工程と、を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法である。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、レーザ光の照射によりインターポーザーの拡大電極をアンテナ形成済シートのアンテナに融着させているので非常に短時間でインターポーザーをアンテナ形成済シートに実装することができ、インターポーザーの実装作業を連続的に行うことができる。また、拡大電極をアンテナに融着させているので、この拡大電極とアンテナとの接着強度を大きくすることができ、拡大電極がアンテナから剥離することを確実に防止することができる。さらに、レーザ照射装置はアンテナ形成済シートおよびインターポーザーから離間した場所でインターポーザー上にレーザ光を照射しているので、当該レーザ照射装置が摩耗することはなく、このレーザ照射装置を長期間連続で使用することができる。
【００１１】
本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとを向き合わせ、このアンテナ形成済シートとインターポーザーとの間に絶縁シートを設け、アンテナ形成済シート上に前記絶縁シートを介してインターポーザーを載置する工程と、インターポーザー上からレーザ光を照射し、当該インターポーザーのうちレーザ光が照射される部分における絶縁シートを加熱除去するとともにこのインターポーザーのうちレーザ光により加熱除去された絶縁シートの近傍の拡大電極を融解してアンテナ形成済シートのアンテナに融着させて電気的に接続する工程と、を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法である。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、絶縁シートを介してインターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとが対向しているので、レーザ光の照射により絶縁シートの一部を加熱除去することのみによってこの加熱除去された部分の周りの拡大電極をアンテナに融着させることができ、より容易かつ確実にインターポーザーをアンテナ形成済シート上に実装することができる。
【００１２】
本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとを向き合わせ、このアンテナ形成済シートとインターポーザーのＩＣチップとの間に絶縁シートを設け、アンテナ形成済シート上に前記絶縁シートを介してインターポーザーを載置する工程と、インターポーザー上からレーザ光を照射することにより、このインターポーザーのうちレーザ光により照射される部分の拡大電極を融解してアンテナ形成済シートのアンテナに融着させて電気的に接続する工程と、を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法である。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとを向き合わせ、このアンテナ形成済シートとインターポーザーのＩＣチップとの間に絶縁シートを設けているので、インターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとの間には何も設けられておらず、レーザ光の照射により拡大電極をアンテナに直接的に融着させることができるので、より容易かつ確実にインターポーザーをアンテナ形成済シート上に実装することができる。
【００１３】
本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装するインターポーザーの実装方法において、アンテナ形成済シート上にインターポーザーを載置する工程と、アンテナ形成済シート上のインターポーザーの端縁部にレーザ光を照射し、インターポーザーの端縁部の拡大電極を融解してアンテナ形成済シートのアンテナに融着させて電気的に接続する工程と、を備えたことを特徴とするインターポーザーの実装方法である。
このようなインターポーザーの実装方法によれば、レーザ光の照射によりインターポーザーの拡大電極をアンテナ形成済シートのアンテナに融着させているので非常に短時間でインターポーザーをアンテナ形成済シートに実装することができ、インターポーザーの実装作業を連続的に行うことができる。また、拡大電極をアンテナに融着させているので、この拡大電極とアンテナとの接着強度を大きくすることができ、拡大電極がアンテナから剥離することを確実に防止することができる。また、レーザ照射装置はアンテナ形成済シートおよびインターポーザーから離間した場所でインターポーザー上にレーザ光を照射しているので、当該レーザ照射装置が摩耗することはなく、このレーザ照射装置を長期間連続で使用することができる。さらに、インターポーザーの端縁部にレーザ光を照射しているので、インターポーザーの第１非導電層が完全に除去されない場合であっても拡大電極を確実にアンテナに融着させることができ、このためより容易かつ確実にインターポーザーをアンテナ形成済シート上に実装することができる。
【００１４】
本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装したインターポーザー実装済シートであって、インターポーザーの一部分において、第１非導電層の一部が除去されており、この除去された第１非導電層の近傍の拡大電極がアンテナ形成済シートのアンテナまで引き延ばされ、当該拡大電極が前記アンテナに融着して電気的に接続していることを特徴とするインターポーザー実装済シートである。
【００１５】
また、本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装したインターポーザー実装済シートであって、インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとが向き合っており、このアンテナ形成済シートとインターポーザーとの間には絶縁シートが設けられ、絶縁シートの一部が除去されており、この除去された絶縁シートの近傍の拡大電極がアンテナ形成済シートのアンテナまで引き延ばされ、当該拡大電極が前記アンテナに融着して電気的に接続していることを特徴とするインターポーザー実装済シートである。
【００１６】
また、本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装したインターポーザー実装済シートであって、インターポーザーの拡大電極と、アンテナ形成済シートのアンテナとが向き合っており、このアンテナ形成済シートとインターポーザーのＩＣチップとの間には絶縁シートが設けられ、拡大電極がアンテナ形成済シートのアンテナまで引き延ばされ、当該拡大電極が前記アンテナに融着して電気的に接続していることを特徴とするインターポーザー実装済シートである。
【００１７】
また、本発明は、第１非導電層と、この第１非導電層上に設けられた拡大電極と、拡大電極上に設けられたＩＣチップとを有するインターポーザーを、第２非導電層と、この第２非導電層上に設けられたアンテナとを有するアンテナ形成済シート上に実装したインターポーザー実装済シートであって、インターポーザーの端縁部において、拡大電極がアンテナ形成済シートのアンテナまで引き延ばされ、当該拡大電極が前記アンテナに融着して電気的に接続していることを特徴とするインターポーザー実装済シートである。
【００１８】
このようなインターポーザー実装済シートによれば、拡大電極がアンテナに融着されているので、この拡大電極とアンテナとの接着強度を大きくすることができ、拡大電極がアンテナから剥離することを確実に防止することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のインターポーザーの実装方法によれば、レーザ光の照射によりインターポーザーの拡大電極をアンテナ形成済シートのアンテナに融着させているので非常に短時間でインターポーザーをアンテナ形成済シートに実装することができ、インターポーザーの実装作業を連続的に行うことができる。また、拡大電極をアンテナに融着させているので、この拡大電極とアンテナとの接着強度を大きくすることができ、拡大電極がアンテナから剥離することを確実に防止することができる。さらに、レーザ照射装置はアンテナ形成済シートおよびインターポーザーから離間した場所でインターポーザー上にレーザ光を照射しているので、当該レーザ照射装置が摩耗することはなく、このレーザ照射装置を長期間連続で使用することができる。
【００２０】
本発明のインターポーザー実装済シートによれば、拡大電極がアンテナに融着されているので、この拡大電極とアンテナとの接着強度を大きくすることができ、拡大電極がアンテナから剥離することを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
第１の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。
図１乃至図４は、本発明によるインターポーザーの実装方法およびインターポーザー実装済シートの第１の実施の形態を示す図である。
【００２２】
このうち図１は、インターポーザーをアンテナ形成済シート上に載置したときのインターポーザーおよびアンテナ形成済シートの縦断面図であり、図２は、レーザ照射装置ならびにこのレーザ照射装置に送られるインターポーザーおよびアンテナ形成済シートを示す斜視図であり、図３は、本実施の形態におけるレーザ照射装置によるインターポーザー上からのレーザ光の照射を示す縦断面図であり、図４は、インターポーザーをレーザ照射装置のレーザ光によりアンテナ形成済シートに実装した後のインターポーザー実装済シートの縦断面図である。
【００２３】
まず、図４において、本実施の形態によるインターポーザーの実装方法によって得られるインターポーザー実装済シート（非接触ＩＣタグ付シート）１について簡単に説明する。
図４に示すように、インターポーザー実装済シート１は、第２非導電層２１と、この第２非導電層２１上に設けられたアンテナ（第２導電層）２２とを有するアンテナ形成済シート２０と、このアンテナ形成済シート２０上に実装され、第１非導電層１１と、この第１非導電層１１上に設けられた一対の拡大電極（第１導電層）１２，１２と、拡大電極１２，１２上に設けられたＩＣチップ１３とを有するインターポーザー１０とを備えている。図４に示すように、インターポーザー１０の一部分１０ａにおいて、第１非導電層１１および各拡大電極１２が除去されており、この除去された部分の周りの拡大電極１２がアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２まで引き延ばされ、各拡大電極１２がアンテナ２２に融着して電気的に接続している。
【００２４】
このようなインターポーザー実装済シート１は、以下のような工程を順次経ることにより製造される。
【００２５】
まず、インターポーザー１０およびアンテナ形成済シート２０の準備工程について図１を用いて説明する。
【００２６】
この準備工程においては、非導電性の第１非導電層１１上に、接着剤（図示せず）を介してアルミニウム、銅等からなる金属箔の導電性の一対の拡大電極（第１導電層）１２，１２を形成し、さらに、これらの拡大電極１２，１２上にＩＣチップ１３を実装することにより、第１非導電層１１と、拡大電極１２，１２と、ＩＣチップ１３とを有するインターポーザー１０を製造する。第１非導電層１１としては、レーザ光を透過する光透過性樹脂材料が用いられることが好ましい。
【００２７】
一方、非導電性の第２非導電層２１上に、接着剤（図示せず）を介してアルミニウム、銅等からなる金属箔の導電性のアンテナ（第２導電層）２２を形成することにより、第２非導電層２１と、アンテナ２２とを有するアンテナ形成済シート２０を製造する。第２非導電層２１としては、レーザ光を吸収する光吸収性樹脂材料が用いられることが好ましい。また、アンテナ２２は、耐熱性材料からなることが好ましい。
【００２８】
なお、拡大電極１２およびアンテナ２２は金属箔からなるものに限られず、例えば印刷やエッチングで形成されるものであってもよい。
【００２９】
次に、図２を用いてインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に実装する実装工程について説明する。
【００３０】
はじめに本実施の形態におけるインターポーザーの実装工程で用いられるレーザ照射装置３０について説明する。
【００３１】
レーザ照射装置３０は、図２に示すように、インターポーザー１０を載置したアンテナ形成済シート２０が送られる場所よりも上方に離間して設けられており、インターポーザー１０に向かってレーザ光を下方に照射するようになっている。
具体的には、レーザ照射装置３０は、図３に示すように、アンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とインターポーザー１０の第１非導電層１１との間の境界面近傍を焦点としてレーザ光のスポット照射を行うよう構成されている。
レーザ照射装置３０から照射されるレーザ光としては、例えばＹＡＧレーザ（イットリウム・アルミニウム・ガーネット結晶レーザ）が用いられる。ＹＡＧレーザは、その励起にレーザダイオードを用いているので、集光性が良く、また波長の安定性が高くなっている。
【００３２】
次に、本実施の形態の実装方法について述べる。
まず、図１および図２に示すようにインターポーザー１０がアンテナ形成済シート２０上に載置される。次に、このインターポーザー１０を載置したアンテナ形成済シート２０が図２の矢印方向に示す水平方向に搬送され、レーザ照射装置３０に送られる。ここで、インターポーザー１０を載置したアンテナ形成済シート２０は、移動と停止とを繰り返す間欠搬送ではなく連続搬送によりレーザ照射装置３０に送られるようになっている。
【００３３】
アンテナ形成済シート２０およびインターポーザー１０がレーザ照射装置３０の真下に達すると、図３に示すようにレーザ照射装置３０はインターポーザー１０の一部分１０ａにレーザ光を照射する。
このレーザ光はインターポーザー１０の第１非導電層１１を透過し、アンテナ形成済シート２０の第２非導電層２１の表面でこのレーザ光の大部分が吸収される。このときに、第１非導電層１１および拡大電極１２がレーザ光の照射により加熱されて融解する。具体的には、レーザ光の照射により構成部材の分子運動が活性化されてこの構成部材が発熱する。このようにして、インターポーザー１０のうちレーザ光が照射される一部分１０ａにおける第１非導電層１１および拡大電極１２が加熱除去され、図４に示すようなクレーター状の開口部分がインターポーザー１０に形成される。
【００３４】
また、インターポーザー１０のうちレーザ光により加熱除去された部分の周りの拡大電極１２も加熱されることにより融解され、アンテナ形成済シート２０のアンテナ２２まで引き延ばされる。このことにより、図４に示すように拡大電極１２がアンテナ２２に融着して電気的に接続する。
【００３５】
レーザ照射装置３０からのレーザ光の照射によりインターポーザー１０が実装されたアンテナ形成済シート２０は図２の矢印方向に停止することなく更に搬送され、次のインターポーザー１０およびアンテナ形成済シート２０に対して同様の実装工程が繰り返される。
【００３６】
このようにして、図４に示すような、インターポーザー１０の拡大電極１２がアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２に融着して電気的に接続しているインターポーザー実装済シート１が得られる。
【００３７】
以上のように本実施の形態のインターポーザー１０の実装方法によれば、レーザ光の照射によりインターポーザー１０の拡大電極１２をアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２に融着させているので非常に短時間（例えば、５００分の１秒）でインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０に実装することができ、インターポーザー１０の実装作業を連続的に行うことができる。また、拡大電極１２をアンテナ２２に融着させているので、この拡大電極１２とアンテナ２２との接着強度を大きくすることができ、拡大電極１２がアンテナ２２から剥離することを確実に防止することができる。さらに、レーザ照射装置３０はアンテナ形成済シート２０およびインターポーザー１０から離間した場所でインターポーザー１０上にレーザ光を照射しているので、当該レーザ照射装置３０が摩耗することはなく、このレーザ照射装置３０を長期間連続で使用することができる。
【００３８】
また、このようなインターポーザー１０の実装方法により得られるインターポーザー実装済シート１によれば、拡大電極１２がアンテナ２２に融着されているので、この拡大電極１２とアンテナ２２との接着強度を大きくすることができ、拡大電極１２がアンテナ２２から剥離することを確実に防止することができる。
【００３９】
第２の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。図５は、本実施の形態におけるレーザ照射装置によるインターポーザー上からのレーザ光の照射を示す縦断面図であり、図６は、インターポーザーをレーザ照射装置のレーザ光によりアンテナ形成済シートに実装した後のインターポーザー実装済シートの縦断面図である。
【００４０】
図５に示すインターポーザーの実装方法は、アンテナ形成済シート上にインターポーザーを載置する工程においてインターポーザーの拡大電極とアンテナ形成済シートのアンテナとを向き合わせた点が異なるのみであり、他は実質的に図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同様の構成を有している。
図５および図６に示す本実施の形態において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４１】
本実施の形態の実装方法について以下に詳述する。
インターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０上に載置する際に、図５に示すように、アンテナ形成済シート２０とインターポーザー１０との間に絶縁シート４０を設ける。この絶縁シート４０は、拡大電極１２とアンテナ２２との接触を防止するためのものであり、その厚さは、インターポーザー１０の第１非導電層１１の厚さあるいはアンテナ形成済シート２０の第２非導電層２１の厚さに比べて非常に小さなものとなっている。そして、インターポーザー１０の拡大電極１２と、アンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とを向き合わせるよう、アンテナ形成済シート２０上に絶縁シート４０を介してインターポーザー１０を載置する。
【００４２】
次に、このインターポーザー１０を載置したアンテナ形成済シート２０がレーザ照射装置３０に送られ、インターポーザー１０上の一部分１０ａにレーザ光が照射される。
【００４３】
このレーザ光はインターポーザー１０の第１非導電層１１を透過し、アンテナ形成済シート２０の第２非導電層２１の表面または絶縁シート４０でこのレーザ光の大部分が吸収される。このときに、絶縁シート４０の一部分４０ａがレーザ光の照射により加熱されて融解する。そして、図６に示すように、絶縁シート４０の融解された一部分４０ａが除去されて、この近傍の融解された拡大電極１２がアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２まで引き延ばされる。このことにより、拡大電極１２がアンテナ２２に融着して電気的に接続する。
【００４４】
以上のように本実施の形態のインターポーザー１０の実装方法によれば、絶縁シート４０を介してインターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とが対向しているので、レーザ光の照射により絶縁シート４０の一部分４０ａを加熱除去することのみによってこの加熱除去された一部分４０ａの周りの拡大電極１２をアンテナ２２に融着させることができ、より容易かつ確実にインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０上に実装することができる。
【００４５】
本実施の形態によるインターポーザー１０の実装方法は、上記の態様に限定されるものではなく、様々の変更を加えることができる。
例えば、絶縁シート４０はアンテナ形成済シート２０とインターポーザー１０のＩＣチップ１３との間のみに設けられ、インターポーザー１０の拡大電極１２のうちレーザ光により照射される部分とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２との間にはこの絶縁シート４０が設けられないようにしてもよい。
この場合には、インターポーザー１０上からレーザ光を照射することにより、このインターポーザー１０のうちレーザ光により照射される部分の拡大電極１２を融解して直接的にアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２に融着させて電気的に接続している。
【００４６】
このようなインターポーザー１０の実装方法によれば、インターポーザー１０の拡大電極１２とアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２との間には何も設けられておらず、レーザ光の照射により拡大電極１２をアンテナ２２に直接的に融着させることができるので、より容易かつ確実にインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０上に実装することができる。
【００４７】
第３の実施の形態
以下、図面を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。図７は、本実施の形態におけるレーザ照射装置によるインターポーザー上からのレーザ光の照射を示す縦断面図であり、図８は、インターポーザーをレーザ照射装置のレーザ光によりアンテナ形成済シートに実装した後のインターポーザー実装済シートの縦断面図である。
【００４８】
図７に示すインターポーザーの実装方法は、アンテナ形成済シート上のインターポーザーの端縁部にレーザ光を照射した点が異なるのみであり、他は実質的に図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同様の構成を有している。
図７および図８に示す本実施の形態において、図１乃至図４に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４９】
本実施の形態の実装方法について以下に詳述する。
レーザ照射装置３０によりインターポーザー１０上からレーザ光を照射する際に、図７に示すように、インターポーザー１０の端縁部１０ｂにレーザ光を照射する。このとき、レーザ処理装置３０は、インターポーザー１０の端縁部１０ｂにおけるアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２とインターポーザー１０の第１非導電層１１との間の境界面近傍を焦点としてレーザ光のスポット照射を行っている。
【００５０】
そして、レーザ光は端縁部１０ｂ近傍におけるアンテナ形成済シート２０の第２非導電層２１の表面で大部分が吸収され、第１非導電層１１および拡大電極１２がレーザ光の照射により加熱されて融解する。そして、図８に示すように融解された拡大電極１２がアンテナ２２まで引き延ばされる。このことにより、拡大電極１２がアンテナ２２に融着して電気的に接続する。
【００５１】
このようなインターポーザー１０の実装方法により、図８に示すインターポーザー実装済シート２が得られる。このインターポーザー実装済シート２は、図８に示すように、インターポーザー１０の端縁部１０ｂにおいて、拡大電極１２がアンテナ形成済シート２０のアンテナ２２まで引き延ばされ、この拡大電極１２が前述のアンテナ２２に融着して電気的に接続するような構成となっている。
【００５２】
以上のように本実施の形態のインターポーザー１０の実装方法によれば、インターポーザー１０の端縁部１０ｂにレーザ光を照射しているので、インターポーザー１０の第１非導電層１１が完全に除去されない場合であっても拡大電極１２を確実にアンテナ２２に融着させることができ、このためより容易かつ確実にインターポーザー１０をアンテナ形成済シート２０上に実装することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】インターポーザーをアンテナ形成済シート上に載置したときのインターポーザーおよびアンテナ形成済シートの縦断面図である。
【図２】レーザ照射装置ならびにこのレーザ照射装置に送られるインターポーザーおよびアンテナ形成済シートを示す斜視図である。
【図３】第１の実施の形態におけるレーザ照射装置によるインターポーザー上からのレーザ光の照射を示す縦断面図である。
【図４】インターポーザーをレーザ照射装置のレーザ光によりアンテナ形成済シートに実装した後のインターポーザー実装済シートの縦断面図である。
【図５】第２の実施の形態におけるレーザ照射装置によるインターポーザー上からのレーザ光の照射を示す縦断面図である。
【図６】インターポーザーをレーザ照射装置のレーザ光によりアンテナ形成済シートに実装した後のインターポーザー実装済シートの縦断面図である。
【図７】第３の実施の形態におけるレーザ照射装置によるインターポーザー上からのレーザ光の照射を示す縦断面図である。
【図８】インターポーザーをレーザ照射装置のレーザ光によりアンテナ形成済シートに実装した後のインターポーザー実装済シートの縦断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１      インターポーザー実装済シート
２      インターポーザー実装済シート
１０    インターポーザー
１０ａ  一部分
１０ｂ  端縁部
１１    第１非導電層
１２    拡大電極
１３    ＩＣチップ
２０    アンテナ形成済シート
２１    第２非導電層
２２    アンテナ
３０    レーザ照射装置
４０    絶縁シート
４０ａ  一部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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