(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハを切断して得られたＩＣチップからウエハの製造ロットを判別することができるウエハを提供する。【解決手段】ウエハ１０は、切断されることにより多数のＩＣチップを形成するウエハ本体１２と、ウエハ本体１２の製造ロットを判別可能にするロット表示部２０と、を備えている。ウエハ本体１２は、回路が設けられた回路面と、回路面の反対側の面からなる非回路面１８とを有している。ロット表示部２０はウエハ本体１２の非回路面１８上に形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路が設けられた回路面を有し、切断されることにより多数のＩＣチップを形成するウエハ本体と、
ウエハ本体の回路面の反対側の面からなる非回路面上に形成され、ウエハ本体の製造ロットを判別可能にするロット表示部と、を備えたことを特徴とするウエハ。
【請求項２】
ロット表示部は、ウエハ本体の非回路面に形成された粗面、ウエハ本体の非回路面へ形成された着色部、およびウエハ本体の非回路面上であって各ＩＣチップに対応する部分にそれぞれ設けられた判別マークのうちの少なくともいずれか一つを有することを特徴とする請求項１に記載のウエハ。
【請求項３】
回路が形成されたウエハを切断することによって得られるＩＣチップにおいて、
回路が設けられた表面と、
ウエハの製造ロットを判別可能にするロット表示部を設けられた裏面と、を備えたことを特徴とするＩＣチップ。
【請求項４】
ロット表示部は、裏面に形成された粗面、裏面へ形成された着色部、および裏面に設けられた判別マークのうちの少なくともいずれか一つを有することを特徴とする請求項３に記載のＩＣチップ。
【請求項５】
請求項３または４に記載のＩＣチップを備えたことを特徴とするＩＣタグ。
【請求項６】
請求項３または４に記載のＩＣチップを備えたことを特徴とするインターポーザー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切断されることにより多数のＩＣチップを形成するウエハに係り、とりわけ、ウエハ本体の製造ロットを判別することができるウエハに関する。また、本発明は、ウエハを切断することにより形成されたＩＣチップに係り、とりわけ、ウエハの製造ロットを判別することができるＩＣチップに関する。さらに、このようなＩＣチップを備えたＩＣタグおよびインターポーザーに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、所定の機能を発揮することができる回路を有したＩＣチップが、広い分野にわたって用いられるようになっている。近年、ＩＣチップが広く用いられるようになった分野として、ＩＣタグが挙げられる。また、ＩＣチップの回路は複雑化していく傾向にある。このようなＩＣチップは、シリコン等からなる円盤状のウエハに回路を形成し、次に、このウエハを切断（ダイシング）することによって一度に多数製造される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ウエハの製造段階に生じた不具合を原因とするＩＣチップの不良が、ウエハを切断して多数のＩＣチップが形成された後に発見されることもある。この場合、同一ウエハから得られるＩＣチップのうちの多数が不良品であったり、さらには同一条件で製造された複数のウエハから得られるＩＣチップのうちの多数が不良品であったりすることも考えられる。
【０００４】
したがって、ウエハを切断して多数のＩＣチップが形成された後であったとしても、ＩＣチップをウエハの製造ロットに基づいて分別することができれば都合がよい。
【０００５】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ウエハを切断して得られたＩＣチップからウエハの製造ロットを判別することができるウエハおよびＩＣチップを提供することを目的とする。また、本発明はウエハの製造ロットを判別することができるＩＣチップを備えたＩＣタグおよびインターポーザーに関する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、回路が設けられた回路面を有し、切断されることにより多数のＩＣチップを形成するウエハ本体と、ウエハ本体の回路面の反対側の面からなる非回路面上に形成され、ウエハ本体の製造ロットを判別可能にするロット表示部と、を備えたことを特徴とするウエハである。
【０００７】
本発明は、ロット表示部は、ウエハ本体の非回路面に形成された粗面、ウエハ本体の非回路面へ形成された着色部、およびウエハ本体の非回路面上であって各ＩＣチップに対応する部分にそれぞれ設けられた判別マークのうちの少なくともいずれか一つを有することを特徴とするウエハである。
【０００８】
本発明は、回路が形成されたウエハを切断することによって得られるＩＣチップにおいて、回路が設けられた表面と、ウエハの製造ロットを判別可能にするロット表示部を設けられた裏面と、を備えたことを特徴とするＩＣチップである。
【０００９】
本発明は、ロット表示部は、裏面に形成された粗面、裏面へ形成された着色部、および裏面に設けられた判別マークのうちの少なくともいずれか一つを有することを特徴とするＩＣチップである。
【００１０】
本発明は、上述したＩＣチップを備えたことを特徴とするＩＣタグである。
【００１１】
本発明は、上述したＩＣチップを備えたことを特徴とするインターポーザーである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ウエハを切断して得られたＩＣチップからウエハ本体の製造ロットを判別することができる。これにより、個々のＩＣチップに対してウエハ本体の製造ロットに基づいた管理を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１４】
図１乃至図９は本発明によるウエハ、ＩＣチップ、ＩＣタグ、およびインターポーザーの一実施の形態を示す図である。
【００１５】
このうち図１乃至図４を用いて、まず、本実施の形態によるウエハ１０について説明する。ここで、図１は本実施の形態によるウエハ１０を回路面１４側から示す斜視図であり、図２はウエハ１０を非回路面１８側から示す斜視図であり、図３はウエハ本体１２を回路面１４側から示す斜視図であり、図４はウエハ１０の製造方法を示す斜視図である。
【００１６】
図１および図２に示すように、本実施の形態によるウエハ１０は、回路１５が設けられた回路面１４と回路面１４の反対側の面からなる非回路面１８とを有するウエハ本体１２と、ウエハ本体１２の非回路面１８上に形成され、ウエハ本体１２の製造ロットを判別可能にするロット表示部２０と、を備えている。そして、このウエハ１０を切断（ダイシング）することによって、多数のＩＣチップ３０が得られる。
【００１７】
なお、ここでウエハ本体１２の製造ロットとはウエハ本体１２の製造に基づいたウエハ本体１２の一単位であり、ウエハ１枚ずつを一単位としてもよいし、連続して同条件で製造されるウエハ１０を一単位としてもよいし、同一日に製造されるウエハ１０を一単位としてもよいし、同一装置を用いて製造されるウエハ１０を一単位としてもよいし、また、これら以外にも、ウエハ１０あるいはウエハ１０から得られるＩＣチップ３０を管理する上で有用となるウエハ１０の製造段階に基づいた一まとまりを、一単位として適宜設定することができる。
【００１８】
回路１５は、最終的なＩＣチップ３０の用途に対応した所定の機能を発揮するように形成されている。例えば、アンテナ回路１５に導通させて、外部のリーダ・ライタと非接触でデータの送受信を行うＩＣタグの一部品としてＩＣチップ３０を用いる場合、回路１５は、アンテナ回路１５との接続端子となるバンプ（電極）１５ａやデータを記録するためのメモリ等を含むように形成される。
【００１９】
また、本実施の形態において、ロット表示部２０は、ウエハ本体１２の非回路面１８に形成された粗面２２からなっている。そして、粗面２２の粗さ、粗面２２の目の方向、あるいは粗面２２の粗さおよび目の方向の組み合わせ等が、ウエハ１０の製造ロット毎に異なるようになっており、これにより、粗面２２からなるロット表示部２０によりウエハ本体１２の製造ロットを判別することができるようになっている。
【００２０】
このようなウエハ１０は、まず、回路１５が設けられた回路面１４と回路面１４の反対側の面からなる非回路面１８とを有するウエハ本体１２（図３）を準備し、次に、回路面１４を介してウエハ本体１２を固定手段４２に固定し、ウエハ本体１２を非回路面１８側から研磨手段４４により研磨することによって得られる（図４）。なお、研磨手段４４によりウエハ本体１２を研磨する際に、研磨手段４４の先端に設けられた所定の粗さのエメリー紙４４ａで非回路面１８を仕上げ研磨して非回路面１８を所望の粗さとすることにより、あるいは仕上げ研磨を所定の方向に沿って行うことにより、ウエハ本体１２の非回路面１８にロット表示部２０を形成することができる。
【００２１】
また、研磨工程において、研磨量を調整してウエハ本体１２の厚みを調整することも行われ得る。
【００２２】
次に、図５乃至図７を用いて、本実施の形態によるＩＣチップ３０について説明する。ここで図５はＩＣチップ３０を裏面３４側から示す斜視図であり、図６はＩＣチップ３０を表面３２側から示す斜視図であり、図７はウエハ１０からＩＣチップ３０を製造する方法を示す斜視図である。
【００２３】
図５および図６に示すように、本実施の形態によるＩＣチップ３０は、回路１５が設けられた表面３２と、ウエハ本体１２の製造ロットを判別可能にするロット表示部２０を設けられた裏面３４と、を備えている。
【００２４】
図７に示すように、このようなＩＣチップ３０は、まず、上述したウエハ１０が非回路面１８を介してダイシングフィルム４８上に接着固定され、次に、ダイシング手段４６によりウエハ１０が回路面１４に形成された回路１５毎に切断（ダイシング）することによって得られる。したがって、ＩＣチップ３０のロット表示部２０は粗面２２から形成され、ウエハ本体１２の製造ロット毎、実質的にウエハ１０の製造ロット毎に、粗面２２の粗さ、粗面２２の目の方向、あるいは粗面２２の粗さおよび目の方向の組み合わせ等が異なるようになっている。このため、ＩＣチップ３０の裏面３４に形成されたロット表示部２０の粗さを粗さ測定器により測定すること等により、あるいは粗さの目の方向とＩＣチップ３０の一端縁とのなす角度θを測定することにより、ウエハ１０の製造ロットを判別することができる。
【００２５】
次に、図８および図９を用いて、本実施の形態によるＩＣタグ４０およびインターポーザー４２について説明する。なお、本願におけるＩＣタグ４０とは、ＩＣチップ３０を備え、外部のリーダ・ライタと非接触でデータの授受を行うことができるものをいう。
【００２６】
図８には、ＩＣタグ４０が示されている。図８に示すように、ＩＣタグ４０は、ロット表示部２０を有するＩＣチップ３０と、ＩＣチップ３０の一対の各電極１５ａ，１５ａにそれぞれ接続された一対の拡大電極４４，４４と、を備えている。拡大電極４４は導電性材料からなり、データを送受信する際にアンテナとして機能するものである。
【００２７】
一方、リーダ・ライタとデータを送受信する際の電磁波の周波数によっては、図９に示すように、ＩＣタグ４０ａが、ロット表示部２０を有するＩＣチップ３０と、ＩＣチップ３０の一対の各電極１５ａ，１５ａにそれぞれ接続された一対の拡大電極４４，４４と、拡大電極４４に電気的に接続されたアンテナ回路４６と、を備えるようにもなる。ここで、本願におけるインターポーザー４２とは、ＩＣチップ３０とＩＣチップ３０の一対の各電極１５ａ，１５ａにそれぞれ接続された一対の拡大電極４４，４４とを備え、図９に示されるような種類のＩＣタグ４０ａを形成するためにアンテナ回路４６に接続されるものを意味する。すなわち、インターポーザー４２は、図８に示されるＩＣタグ４０と同一の構成からなる。そしてインターポーザー４２の拡大電極はＩＣチップ３０の電極１５ａとアンテナ回路４６とを接続する部材として用いられる。
【００２８】
図８および図９に示す本実施の形態によるＩＣタグ４０，４０ａおよびインターポーザー４２は、ウエハ１０の製造ロットを判別することができるロット表示部２０を有したＩＣチップ３０を備えている。これにより、ＩＣタグ４０，４０ａおよびインターポーザー４２をウエハ１０の製造ロットに基づいて管理することができる。
【００２９】
以上のように本実施の形態によれば、ウエハ１０はウエハ本体１２の製造ロットを判別することができるロット表示部２０を非回路面１８側に備えている。したがって、このウエハ１０を切断して得られるＩＣチップ３０は、ウエハ本体１２の製造ロット、同様にウエハ１０の製造ロットを判別することができるロット表示部２０を、回路１５が設けられていない裏面３４に有することとなる。このため、個々のＩＣチップ３０からウエハ１０の製造ロットを判別することができ、これにより、個々のＩＣチップ３０に対してウエハ本体１２の製造ロットに基づいた管理を行うことができる。例えば、複数のウエハ１０を切断して個々のＩＣチップ３０を多数作製した後に、ＩＣチップ３０をウエハ１０毎に分別することができるので、不良品が大量に発生した製造ロットのＩＣチップ３０だけを回収する場合等に便利である。
【００３０】
また、ロット表示部２０を有するＩＣチップ３０を備えたＩＣタグ４０またはインターポーザー４２についても、ウエハ本体１２の製造ロットに基づいた管理を行うことができる。
【００３１】
なお、本実施の形態において、ウエハ１０およびＩＣチップ３０のロット表示部２０を粗面２２から形成する例を示したが、これに限れない。
【００３２】
図１０および図１１を用いてロット表示部の変形例を説明する。なお、図１０および図１１に示す変形例は、ロット表示部が異なるのみであり、他は図１乃至図９に示す実施の形態と略同一である。図１０および図１１において、図１乃至図９に示す実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３３】
ウエハ本体１２の非回路面１８を着色し、ロット表示部２０ａが非回路面１８に形成された着色部２４からなるようにしてもよい。この場合、着色部２４の色彩を製造ロット毎に異なるようにして、着色部２４からなるロット表示部２０ａによりウエハ本体１２の製造ロットを判別することができるようにすることができる。
【００３４】
また当然に、このようなウエハ１０から得られるＩＣチップ３０のロット表示部２０ａは、同様に、ＩＣチップ３０の裏面３４に形成された着色部２４からなり、着色部２４の色彩によって個々のＩＣチップ３０からウエハ１０の製造ロットを判別することができる（図１０）。
【００３５】
なお、着色処理はスピンコーティング等により施すことができる。また、着色は単色に限られず、例えば、複数色を縞状に着色してもよい。この場合、色彩だけでなく、色彩と縞状ラインの方向との組み合わせによっても製造ロットを表示することができので、製造ロット数が多い場合に有効である。
【００３６】
また、ウエハ本体１２の非回路面１８上であって各ＩＣチップ３０に対応する部分に記号等の組み合わせからなる判別マーク２６をそれぞれ設け、ロット表示部２０ｂが判別マーク２６によって形成されるようにしてもよい。この場合、記号等の組み合わせを製造ロット毎に異なるようにして、記号等の組み合わせからなる判別マーク２６によりウエハ本体１２の製造ロットを判別することができるようにすることができる。
【００３７】
また当然に、このようなウエハ１０から得られるＩＣチップ３０のロット表示部２０ｂは、同様に、ＩＣチップ３０の裏面３４に形成された判別マーク２６によって形成され、判別マーク２６を構成する記号等の組み合わせによって個々のＩＣチップ３０からウエハ１０の製造ロットを判別することができる（図１１）。
【００３８】
なお、判別マーク２６は、インクジェット等により記号等の組み合わせをウエハ本体１２の非回路面１８にマーキングすることによって形成することができる。
【００３９】
さらに、粗面２２からなるロット表示部２０、着色部２４からなるロット表示部２０ａ、および判別マーク２６からなるロット表示部２０ｂを説明してきたが、これらを組み合わせることによってもロット表示部２０を形成することができる。すなわち、ウエハ１０のロット表示部が、ウエハ本体１２の非回路面１８に形成された粗面２２、ウエハ本体１２の非回路面１８へ形成された着色部２４、およびウエハ本体１２の非回路面１８上であって各ＩＣチップ３０に対応する部分にそれぞれ設けられた判別マーク２６のうちの２つ以上を構成要素として含むようにすることができ、また同様に、ＩＣチップ３０のロット表示部が、裏面３４に形成された粗面２２、裏面３４へ形成された着色部２４、および裏面３４に設けられた判別マーク２６のうちの２つ以上を構成要素として含むようにすることができる。この場合、多数の要素の組み合わせにより製造ロットを表示することができるので、製造ロット数が多い場合に非常に有効である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明によるウエハの一実施の形態を回路面側から示す斜視図。
【図２】ウエハを非回路面側から示す斜視図。
【図３】ウエハ本体を回路面側から示す斜視図。
【図４】ウエハの製造方法を示す斜視図。
【図５】本発明によるＩＣチップの一実施の形態を裏面側から示す斜視図。
【図６】ＩＣチップを表面側から示す斜視図。
【図７】ウエハからＩＣチップを製造する方法を示す斜視図。
【図８】本発明によるＩＣタグおよびインターポーザーを示す斜視図。
【図９】本発明によるＩＣタグおよびインターポーザーを示す斜視図。
【図１０】ロット表示部の変形例を示す斜視図。
【図１１】ロット表示部の変形例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４１】
１０  ウエハ
１２  ウエハ本体
１４  回路面
１５  回路
１５ａ  バンプ
１８  非回路面
２０，２０ａ，２０ｂ  ロット表示部
２２  粗面
２４  着色部
２６  判別マーク
３０  ＩＣチップ
３２  表面
３４  裏面
４０  ＩＣタグ
４０ａ  ＩＣタグ
４２  インターポーザー
４４  拡大電極
４６  アンテナ回路
【図１】
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【図２】
2006196826.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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