(57)【要約】【課題】  透明性フィルム表面に付着した異物を少なくした透明性フィルムの異物検査用試料を提供し、少なくとも付着異物を検出して除く操作が必要なくなる分、異物検査を容易にすること。【解決手段】  異物検査用透明性フィルムを水中で洗浄し、そのまま水中で透明性フィルムの両面を透明ガラス板で挟持した後、空気中で透明性フィルムを挟持したガラス板の周囲を耐水性テープで封止することを特徴とする異物検査用試料の作製方法であり、作製した異物検査用試料を用いて透明性フィルムの異物を光学的に検査する方法である。【選択図】  図１
2006208203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異物検査用透明性フィルムを水中で洗浄し、そのまま水中で透明性フィルムの両面を透明ガラス板で挟持した後、空気中で透明性フィルムを挟持したガラス板の周囲を耐水性テープで封止することを特徴とする透明性フィルムの異物検査用試料の作製方法。
【請求項２】
透明性フィルムの異物を光学的に検査する方法において、透明性フィルムの異物検査用試料として、透明性フィルムを水中で洗浄し、そのまま水中で透明性フィルムの両面を２枚の透明ガラス板で挟持した後、空気中で透明性フィルムを挟持した２枚の透明ガラス板の周囲を耐水性テープで封止して作製したガラス板で挟持した透明性フィルムを用いることを特徴とする透明性フィルムの異物検査方法。
【請求項３】
異物を光学的に検査する方法が、透明性フィルムに光を透過せて異物を検査する方法である請求項２記載の方法。
【請求項４】
異物を光学的に検査する方法が、光源とカメラの間にクロスニコルに配置した２枚の偏光板の間を透明性フィルムを移動させ、透過してくる光源からの光をカメラで撮影し、その画像処理によって透明性フィルム中の異物を検査する方法である請求項２記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明性フィルムの異物を検査する際の検査用試料の作成方法および異物検査方法に関する。詳しくは取り扱い中に付着する異物が少ない異物検査用試料の作成方法および異物検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ポリカーボネートフィルム、ポリメタクリレートフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、トリアセチルセルロースフィルム、ポリオレフィンフィルム等の透明性フィルム、特に光学用途の透明性フィルムは異物が問題になる。
これらの透明性フィルムは、単独または積層して用いられる。これらのフィルムまたは積層フィルムは、製造後、少なくともその片面に保護フィルムを貼合した状態で取り扱われることが多い。
【０００３】
透明性フィルムの異物は製品の欠陥となるため検査が欠かせない。検査は、例えば、２枚の偏光板をクロスニコル、すなわちそれらの偏光軸方向が直交する状態に配置し、検査しようとする透明性フィルムを２枚の偏光板の間に配置し、光源から光を照射し、透過光の画面をカメラで観察する方法によって行われる。
検査しようとする透明性フィルムが保護フィルム粘着偏光板の場合、検査用の偏光板に対して検査しようとする保護フィルム粘着偏光板をクロスニコル状態に配置して行われる。検査しようとする保護フィルム粘着偏光板を透過する光は、検査用偏光板により完全に遮断されるが、検査しようとする偏光板の検査用偏光板側に異物等があるとそれ明るい部分として観察され、これにより異物を検査することができる。反対側の異物は検査しようとする偏光板を裏返して同様に検査することにより行うことができる（例えば、特許文献１および特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開２０００−２０６３２７号公報
【特許文献２】特開２００１−３４９８３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このクロスニコルに配置した２枚の偏光板の間に検査しようとする透明性フィルムを配置して行う方法は優れた方法であるが、検査しようとする透明性フィルムの内部の異物なのか、表面に付着した異物なのかは判別し難い。
透明性フィルムは接触、摩擦や貼合されている保護フィルムを剥離した時などに静電気が発生し、表面に塵埃が付着し易く、透明性フィルムの異物を検査する場合に、表面に付着した塵埃をエアーブロー等で除去して行うけれども、完全に除去できるわけではなく、付着異物の把握に手間を要している。
【０００５】
本発明の目的は、付着異物の少ない透明性フィルムの検査用試料を提供し、少なくとも付着異物を検出して除く操作が必要なくなる分、異物検査を容易にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者はかかる課題を解決するために透明性フィルムの異物検査方法について鋭意検討した結果、透明性フィルムを水中で洗浄し、そのまま水中で透明性フィルムの両面を２枚の透明ガラス板で挟持した後、空気中で透明性フィルムを挟持した２枚の透明ガラス板の周囲を耐水性テープで封止して作製したガラス板で挟持して作製した異物検査用試料は付着異物が少なくなり、付着異物を検出して除く操作が必要なくなり、異物検査が容易になることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
すなわち本発明は、異物検査用透明性フィルムを水中で洗浄し、そのまま水中で透明性フィルムの両面を透明ガラス板で挟持した後、空気中で透明性フィルムを挟持したガラス板の周囲を耐水性テープで封止することを特徴とする透明性フィルムの異物検査用試料の作製方法である。
また、透明性フィルムの異物を光学的に検査する方法において、透明性フィルムの異物検査用試料として、透明性フィルムを水中で洗浄し、そのまま水中で透明性フィルムの両面を２枚の透明ガラス板で挟持した後、空気中で透明性フィルムを挟持した２枚の透明ガラス板の周囲を耐水性テープで封止して作製したガラス板で挟持した透明性フィルムを用いることを特徴とする透明性フィルムの異物検査方法である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の方法によれば、透明性フィルムの検査用試料の付着異物を少なくすることができ、少なくとも付着異物を検出して除く操作が必要なくなり、異物検査が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の透明性フィルムは、特に制限されるものではなく、例えば、ポリカーボネートフィルム、ポリメタクリレートフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、トリアセチルセルロースフィルム、ポリオレフィンフィルム等が挙げられる。
【００１０】
図１は、本発明の透明性フィルムの異物検査用試料を作製する方法の概要を示す図である。異物検査を行う透明性フィルム（１）を水（蒸留水）中で洗浄し、表面の付着物を除去する。洗浄した透明性フィルムを蒸留水中で、洗浄して付着異物のない２枚の透明ガラス板（２）の間に挿入し、気泡を除きながら透明性フィルムを挟み合わせる。挟み合わせた透明ガラス板を水中から取り出し、周囲を耐水性テープ（３）で封止する。透明ガラス表面をワイピングクロス（４）で拭き、水分を除き、検査用試料を作製する。
２枚のガラス板で挟んだ内部には水の薄膜が形成されているが、異物検査に支障きたすものではない。
水中で行うため、静電気の発生がなく、またガラス板の表面は樹脂フィルムに比べて帯電性が低い。従って、異物が洗浄除去できると共に、その後の異物の付着が抑えられる。
【００１１】
図２は透明性フィルムに光を透過せて異物を検査する装置の一例を示す模式図である。
光源（１０）とカメラ（２０）の間に、２枚の偏光板（５）、（６）が配置され、その間に水中で２枚の透明ガラス板で挟持された検査しようとする透明性フィルム（７）が配置されている。ここで、２枚の偏光板は相互にクロスニコルに、すなわちそれらの偏光軸方向が互いに直交する状態に配置されている。カメラからの画像信号は画像処理装置（３０）で処理され、異物を検出し、モニターに出力される。なお、検査しようとする透明性フィルムが偏光板の場合には、上記２枚の偏光板は一方のみを配置して行う。
【００１２】
光源（１０）からの光は偏光板（５）の偏光軸方向の偏光成分を選択的に透過し、透明性フィルム（７）に異物がなければ、透明性フィルムを透過してくる光は偏光板（６）で阻止されてカメラの撮影画像は暗い色を呈している。透明性フィルムに異物があると、その部分の偏光方向が変わり、偏光板（５）を通過し、暗い撮影画像中に明るい部分（輝点）が現れる。
【００１３】
カメラとしては、通常ＣＣＤカメラが使用され、撮影して得られる画像信号は、画像処理装置でコンピュータシステムを利用して画像処理し、異物が検出される。通常、その信号強度から異物の大小が把握される。
用いるＣＣＤカメラの解像度にもよるが、ＣＣＤカメラの代わりに顕微鏡を用いて異物を目視検査した場合、焦点の関係でより小さい異物を検出することが可能であるが検出範囲は狭く、全体を検査するには時間を要し、多くの試料を迅速に検査するには好ましい方法とは言えない。
【００１４】
透明性フィルムに付着する異物は種々の形状、大きさのものがあるが、典型的な例として、図３に示す糸屑状のものが挙げられる。
このような異物は、フィルムの移動方向に平行方向の異物の長さ成分と垂直方向の長さ成分のうちの長い成分に対する短い成分の比が設定値以下、平行方向の異物の長さ成分と垂直方向の長さ成分を乗算して求められる面積に対する異物の面積の比が設定値以下、異物の最大長さを対角線とする正方形の面積に対する異物の面積比が設定値以下、または異物の最大長さを直径とする円の面積に対する異物の面積比が設定値以下である異物として検出することが可能である。
【００１５】
図４はこれを説明する図である。異物は細長い楕円状に模式的に示してあり、（Ａ）において白抜き矢印はフィルムの移動方向を表し、平行方向の異物の長さ成分をＸ、垂直方向の長さ成分をＹで示す。異物のフィルムの移動方向に対する傾きの程度によって平行方向の長さ成分および垂直方向の長さ成分の大きさは変わる。本発明においては長い成分に対する短い成分の比が設定値以下の異物を表面に付着した異物と判定される。設定値は、フィルムの種類、付着環境にある異物によるが、トリアセチルセルロースフィルムの場合、通常、約０．２〜０．４、好ましくは約０．３とすることによって判定される。
【００１６】
また、図４の（Ａ）は、平行方向の異物の長さ成分Ｘと垂直方向の長さ成分Ｙを乗算して求められる面積ＸＹに対する異物の面積比を説明する図である。図４の（Ｂ）は、異物の最大長さを対角線とする正方形の面積に対する異物の面積比を説明する図である。図４の（Ｃ）は、異物の最大長さを直径とする円の面積に対する異物の面積比を説明する図である。
設定値は、フィルムの種類、付着環境にある異物によるが、トリアセチルセルロースフィルムの場合、通常、平行方向の異物の長さ成分と垂直方向の長さ成分を乗算して求められる面積に対する異物の面積の比の設定値は約０．２〜０．４、好ましくは約０．３であり、異物の最大長さを対角線とする正方形の面積に対する異物の面積比の設定値は約０．２〜０．４、好ましくは約０．３であり、異物の最大長さを直径とする円の面積に対する異物の面積比の設定値は約０．１〜０．３、好ましくは約０．２とすることによって判定される。
【００１７】
通常、画像信号は画素または画素群毎に求められ、画素が占める長さからそれぞれの長さが、異物が占める画素の数から面積が容易に求められる。
【００１８】
このようにして図３に示す糸屑状の付着異物が把握されるが、透明性フィルム内の異物は、信号強度の大小によって検出することができる。
【００１９】
本発明の方法で作製した透明性フィルムの異物検査用試料には、上記の方法で検出される付着異物は殆ど見られず、この付着異物を検出する操作を省略することが可能になる。
【実施例】
【００２０】
以下、実施例により本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００２１】
実施例１
トリアセチルセルロースフィルム（ＴＡＣフィルム）（Ａ−１）の異物検査を行った。
図１に示すように、２５×１７ｃｍに切り出したＴＡＣフィルムを蒸留水中で洗浄し、表面の付着物を除去した。洗浄したＴＡＣフィルムを蒸留水中で、洗浄して付着異物のない２枚のガラス板（３０×２０ｃｍ）の間に挿入し、気泡を除きながらＴＡＣフィルムを挟み合わせた。挟み合わせたガラス板を水中から取り出し、周囲を耐水性テープで封止した。ガラス表面をワイピングクロスで拭き、水分を除き、検査用ＴＡＣフィルムのサンプルを作製した。
【００２２】
図２に示すように、光源（１０）とカメラ（２０）の間に、２枚の偏光板（５）、（６）をクロスニコルに配置し、その間に作製した上記の検査用ＴＡＣフィルム（７）を配置した。光源として１８０Ｗのメタハラ伝送ライト、カメラとして５５ｍｍマクロレンズを備えた５０００画素ラインカメラを用いた。
サンプルを３ｍ／ｍｉｎで移動させながら異物検査を行った。カメラからの画像信号は画像処理装置（３０）で処理した。
【００２３】
フィルムの移動方向に平行方向の異物の長さ成分と垂直方向の長さ成分のうちの長い成分に対する短い成分の比が０．３以下、平行方向の異物の長さ成分と垂直方向の長さ成分を乗算して求められる面積に対する異物の面積の比が０．３以下、異物の最大長さを対角線とする正方形の面積に対する異物の面積比が０．３以下、または異物の最大長さを直径とする円の面積に対する異物の面積比が０．２以下の異物は検出されなかった。
ＴＡＣフィルムの他のサンプルについて同様に異物検査を行った。結果を表１に示す。
【００２４】
比較例１
２５×１７ｃｍに切り出したＴＡＣフィルム（Ａ−１）を、そのままガラス板（３０×２０ｃｍ）に粘着剤Ｐ３１３２（リンテック（株）製）で接着してサンプルを作製した。このサンプルを用いて実施例１と同様にして異物検査を行った。１ｍ2当たり４８０個の異物が検出された。
ＴＡＣフィルムの他のサンプルについて同様に異物検査を行った。結果を表１に示す。
【００２５】
【表１】
2006208203.tif 000003
本発明の方法で作製した異物検査試料には図３で示す付着異物が検出されず、異物検査する際に付着異物を検出する操作を省略できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の透明性フィルムの異物検査用試料を作製する方法の概要を示す図である。
【図２】透明性フィルムに光を透過せて異物を検査する装置の一例を示す模式図である。
【図３】透明性フィルムに付着した異物の例を示す図である。
【図４】異物の形状を規定する方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００２７】
１  透明性フィルム
２  ガラス板
３  耐水性テープ
４  ワイピングクロス
５  偏光板
６  偏光板
７  透明性フィルム
１０  光源
２０  カメラ
３０  画像処理装置
【図１】
2006208203.tif 000004
【図２】
2006208203.tif 000005
【図３】
2006208203.tif 000006
【図４】
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