(57)【要約】    【課題】  簡潔な機構で複数の波長のレーザ光線を射出することが可能な固体レーザ装置を提供する。    【解決手段】  共有光軸部分２０ａを有すると共に光軸分離手段３４によって分離される第１光軸２０と第２光軸２９と、前記第１光軸上に構成された第１共振器３０と、前記第２光軸上に構成された第２共振器３７と、前記第１共振器に励起光λを入射させる第１発光器２７と、前記第２共振器に励起光を入射させる第２発光器３５と、前記共有光軸部分に設けられた波長変換部２５と、該波長変換部の射出側に設けられた出力鏡２６とを具備し、前記波長変換部は複数の波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃを有し、前記出力鏡は複数の個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅを有し、前記第１発光器、前記第２発光器の点灯状態の選択、前記第１発光器、前記第２発光器の点灯状態に応じた前記波長変換用光学結晶及び前記個別出力鏡の選択により、射出されるレーザ光線の波長が決定される様構成された。    【選択図】          図２
2006196866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共有光軸部分を有すると共に光軸分離手段によって分離される第１光軸と第２光軸と、前記第１光軸上に構成された第１共振器と、前記第２光軸上に構成された第２共振器と、前記第１共振器に励起光を入射させる第１発光器と、前記第２共振器に励起光を入射させる第２発光器と、前記共有光軸部分に設けられた波長変換部と、該波長変換部の射出側に設けられた出力鏡とを具備し、前記波長変換部は複数の波長変換用光学結晶を有し、前記出力鏡は複数の個別出力鏡を有し、前記第１発光器、前記第２発光器の点灯状態の選択、前記第１発光器、前記第２発光器の点灯状態に応じた前記波長変換用光学結晶及び前記個別出力鏡の選択により、射出されるレーザ光線の波長が決定される様構成されたことを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項２】
前記複数の波長変換用光学結晶は波長切換え手段により前記共有光軸部分上に選択位置決めされ、前記複数の個別出力鏡は出力鏡切換え手段により前記共有光軸部分上に選択位置決めされる請求項１の固体レーザ装置。
【請求項３】
射出されるレーザ光線の種類に適合する前記複数の個別出力鏡、前記複数の波長変換用光学結晶は対応する個別出力鏡と一体的に設けられ、波長切換え手段により前記共有光軸部分上に前記個別出力鏡、前記波長変換用光学結晶が選択位置決めされる請求項１の固体レーザ装置。
【請求項４】
前記波長切換え手段は前記共有光軸部分に対して交差する方向からスライドして前記波長変換用光学結晶の選択位置決めを行う請求項２の固体レーザ装置。
【請求項５】
前記出力鏡切換え手段は回転板に設けられた前記個別出力鏡を、前記回転板を回転することで前記個別出力鏡の選択位置決めを行う請求項２の固体レーザ装置。
【請求項６】
前記波長切換え手段は前記共有光軸部分に対して交差する方向からスライドして、前記個別出力鏡、前記波長変換用光学結晶の選択位置決めを行う請求項３の固体レーザ装置。
【請求項７】
前記出力鏡切換え手段は前記回転板に設けられた前記波長変換用光学結晶、前記個別出力鏡を、前記回転板を回転することで前記個別出力鏡の選択位置決めを行う請求項３の固体レーザ装置。
【請求項８】
前記共有光軸部分上にＱ−ＳＷ素子が設けられた請求項１の固体レーザ装置。
【請求項９】
前記Ｑ−ＳＷ素子が、前記個別出力鏡の少なくとも１つに対応して一体的に設けられた請求項１、請求項２、請求項３、請求項５、請求項７のいずれか１つの固体レーザ装置。
【請求項１０】
分離した前記第１光軸、前記第２光軸のいずれか一方にＱ−ＳＷ素子が設けられた請求項１の固体レーザ装置。
【請求項１１】
前記波長変換用光学結晶の入射側に変換波長に対して高反射の個別中間鏡をそれぞれ一体的に設けた請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項６、請求項７のいずれか１つの固体レーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数の波長を持つレーザ光線を射出可能とした固体レーザ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年では医学治療の分野でのレーザ光線の利用が普及し、例えばレーザ光線を患部に照射し治療する医療用レーザ手術装置がある。
【０００３】
レーザ光線を利用した医療機械は、非接触で治療部位の光凝固、除去、切開等に供せられており、又治療の種類により使用されるレーザ光線の色、即ち波長が異なっており、医療機械のレーザ光線射出源であるレーザ装置では複数の波長のレーザ光線を医療機械に供給することが望まれる。
【０００４】
又、レーザ光源としては、従来のＫｒレーザ、色素レーザから小型でメンテナンスフリーのＬＤ励起固体レーザへの代替が望まれている。
【０００５】
ＬＤ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ）を励起光源とし、複数の波長のレーザ光線を射出可能な従来の固体レーザ装置として特許文献１に示されるものがある。
【０００６】
図１５に於いて説明する。
【０００７】
図１５中、１はレーザ発振器、２は制御部、３は操作部を示しており、前記制御部２は前記レーザ発振器１から発せられるレーザ光線の波長の変更、レーザ光線の強度等の制御を行い、前記操作部３は波長を選択するスイッチ、レーザ光線照射条件を設定入力する為の各種スイッチが設けられている。
【０００８】
前記レーザ発振器１は励起光源である半導体レーザ４を有し、該半導体レーザ４から発せられるレーザ光線は第１共振部５、第２共振部６、第３共振部７に導かれる様になっている。
【０００９】
前記第１共振部５は第１光軸８ａ上に配設された第１反射鏡９、レーザ結晶１１、半透過鏡である出力鏡１２、該出力鏡１２の反射光軸１３上に設けられた第１波長変換用光学部材（非線形結晶）１４ａ、第２反射鏡１５ａとから構成されている。
【００１０】
前記第２共振部６は、第２光軸８ｂを有し、該第２光軸８ｂには該第２光軸８ｂ上を移動可能に設けられた第２共振部用反射鏡１６、前記第２光軸８ｂ上に設けられた第２波長変換用光学部材（非線形結晶）１４ｂ、第３反射鏡１５ｂを有し、前記第２共振部用反射鏡１６は第２共振部用駆動部１７によって移動され、前記反射光軸１３と前記第２光軸８ｂとの交点に位置決めされる様になっている。
【００１１】
前記第３共振部７は、第３光軸８ｃを有し、該第３光軸８ｃには該第３光軸８ｃ上を移動可能に設けられた第３共振部用反射鏡１８、前記第３光軸８ｃ上に設けられた第３波長変換用光学部材（非線形結晶）１４ｃ、第４反射鏡１５ｃを有し、前記第３共振部用反射鏡１８は第３共振部用駆動部１９によって移動され、前記反射光軸１３と前記第３光軸８ｃとの交点に位置決めされる様になっている。
【００１２】
上記レーザ装置に於いて、第１の波長を有するレーザ光線を射出する場合は、前記第２共振部用反射鏡１６、前記第３共振部用反射鏡１８を前記反射光軸１３から後退させる。前記第１共振部５に入射したレーザ光線は、前記第１反射鏡９と前記第２反射鏡１５ａとの間で増幅され、前記出力鏡１２を透過して射出される。
【００１３】
又、第２の波長を有するレーザ光線を射出する場合は、前記第２共振部用反射鏡１６を前記反射光軸１３と前記第２光軸８ｂとの交点に移動させ、前記第１反射鏡９と前記第３反射鏡１５ｂ間で構成される前記第２共振部６でレーザ光線を増幅させ、前記出力鏡１２を透過して射出させる。
【００１４】
又、第３の波長を有するレーザ光線を射出する場合は、前記第２共振部用反射鏡１６を前記反射光軸１３から後退させ、前記第３共振部用反射鏡１８を前記反射光軸１３と前記第３光軸８ｃとの交点に移動させ、前記第１反射鏡９と前記第４反射鏡１５ｃ間で構成される前記第３共振部７でレーザ光線を増幅させ、前記出力鏡１２を透過して射出させる。
【００１５】
而して、前記第２共振部用反射鏡１６、前記第３共振部用反射鏡１８の位置を選択することで、複数の波長を有するレーザ光線を射出することができる。
【００１６】
上記した従来のレーザ装置では、射出する波長毎に個別の光軸８ａ，８ｂ，８ｃ及びこれら光軸８ｂ，８ｃ上に個別に配設された前記第２共振部用反射鏡１６、前記第３共振部用反射鏡１８、及び前記第２共振部用反射鏡１６、前記第３共振部用反射鏡１８を個別にガイドするガイド機構、更に個別に駆動する前記第２共振部用駆動部１７、前記第３共振部用駆動部１９を必要とする等、部品点数が多く、機構が複雑であった。又、前記２共振部用反射鏡１６、前記第３共振部用反射鏡１８の調整は、挿入位置の調整と角度の調整が必要であり、調整が複雑であった。
【００１７】
更に又、射出するレーザ光線の波長の種類を多くしようとすると、１波長毎に共振部用反射鏡、及び該反射鏡に関してガイド機構、共振部用駆動部が個別に必要となる等、更に構造が複雑になり装置も大掛りなものとなり、製作コストが掛るという問題があった。
【００１８】
【特許文献１】特開２００２−１５１７７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は斯かる実情に鑑み、簡潔な機構で複数の波長のレーザ光線を射出することが可能な固体レーザ装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、共有光軸部分を有すると共に光軸分離手段によって分離される第１光軸と第２光軸と、前記第１光軸上に構成された第１共振器と、前記第２光軸上に構成された第２共振器と、前記第１共振器に励起光を入射させる第１発光器と、前記第２共振器に励起光を入射させる第２発光器と、前記共有光軸部分に設けられた波長変換部と、該波長変換部の射出側に設けられた出力鏡とを具備し、前記波長変換部は複数の波長変換用光学結晶を有し、前記出力鏡は複数の個別出力鏡を有し、前記第１発光器、前記第２発光器の点灯状態の選択、前記第１発光器、前記第２発光器の点灯状態に応じた前記波長変換用光学結晶及び前記個別出力鏡の選択により、射出されるレーザ光線の波長が決定される様構成された固体レーザ装置に係り、又前記複数の波長変換用光学結晶は波長切換え手段により前記共有光軸部分上に選択位置決めされ、前記複数の個別出力鏡は出力鏡切換え手段により前記共有光軸部分上に選択位置決めされる固体レーザ装置に係り、又射出されるレーザ光線の種類に適合する前記複数の個別出力鏡、前記複数の波長変換用光学結晶は対応する個別出力鏡と一体的に設けられ、波長切換え手段により前記共有光軸部分上に前記個別出力鏡、前記波長変換用光学結晶が選択位置決めされる固体レーザ装置に係り、又前記波長切換え手段は前記共有光軸部分に対して交差する方向からスライドして前記波長変換用光学結晶の選択位置決めを行う固体レーザ装置に係り、又前記出力鏡切換え手段は回転板に設けられた前記個別出力鏡を、前記回転板を回転することで前記個別出力鏡の選択位置決めを行う固体レーザ装置に係り、又前記波長切換え手段は前記共有光軸部分に対して交差する方向からスライドして、前記個別出力鏡、前記波長変換用光学結晶の選択位置決めを行う固体レーザ装置に係り、又前記出力鏡切換え手段は前記回転板に設けられた前記波長変換用光学結晶、前記個別出力鏡を、前記回転板を回転することで前記個別出力鏡の選択位置決めを行う固体レーザ装置に係り、又前記共有光軸部分上にＱ−ＳＷ素子が設けられた固体レーザ装置に係り、又前記Ｑ−ＳＷ素子が、前記個別出力鏡の少なくとも１つに対応して一体的に設けられた固体レーザ装置に係り、又分離した前記第１光軸、前記第２光軸のいずれか一方にＱ−ＳＷ素子が設けられた固体レーザ装置に係り、更に又前記波長変換用光学結晶の入射側に変換波長に対して高反射の個別中間鏡をそれぞれ一体的に設けた固体レーザ装置に係るものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、共有光軸部分を有すると共に光軸分離手段によって分離される第１光軸と第２光軸と、前記第１光軸上に構成された第１共振器と、前記第２光軸上に構成された第２共振器と、前記第１共振器に励起光を入射させる第１発光器と、前記第２共振器に励起光を入射させる第２発光器と、前記共有光軸部分に設けられた波長変換部と、該波長変換部の射出側に設けられた出力鏡とを具備し、前記波長変換部は複数の波長変換用光学結晶を有し、前記出力鏡は複数の個別出力鏡を有し、前記第１発光器、前記第２発光器の点灯状態の選択、前記第１発光器、前記第２発光器の点灯状態に応じた前記波長変換用光学結晶及び前記個別出力鏡の選択により、射出されるレーザ光線の波長が決定される様構成されたので、簡単な構成により多種多様なレーザ光線の射出が可能となる。
【００２２】
又本発明によれば、射出されるレーザ光線の種類に適合する前記複数の個別出力鏡、前記複数の波長変換用光学結晶は対応する個別出力鏡と一体的に設けられ、波長切換え手段により前記共有光軸部分上に前記個別出力鏡、前記波長変換用光学結晶が選択位置決めされるので、波長、態様の切換えで前記個別出力鏡、前記波長変換用光学結晶との関係が崩れることがなく、高精度で切換えが可能となる。
【００２３】
又本発明によれば、前記波長切換え手段は前記共有光軸部分に対して交差する方向からスライドして前記波長変換用光学結晶の選択位置決めを行うので、共振軸の光軸に影響を及さないので高精度で切換えが可能となる。
【００２４】
又本発明によれば、前記出力鏡切換え手段は回転板に設けられた前記個別出力鏡を、前記回転板を回転することで前記個別出力鏡の選択位置決めを行い、回転機構による位置決めであるので、高精度が得られ、機構も簡単になる。
【００２５】
又本発明によれば、前記出力鏡切換え手段は前記回転板に設けられた前記波長変換用光学結晶、前記個別出力鏡を、前記回転板を回転することで前記個別出力鏡の選択位置決めを行い、回転機構による位置決めであるので、高精度が得られ、機構も簡単になる。
【００２６】
又本発明によれば、前記共有光軸部分上にＱ−ＳＷ素子が設けられたので、複数の波長のパルスレーザ光線を射出することができる。
【００２７】
又本発明によれば、分離した前記第１光軸、前記第２光軸のいずれか一方にＱ−ＳＷ素子が設けられたので、Ｑ−ＳＷ素子は一方のレーザ光線のみ対応していればよく、構成、光軸の調整等が簡単になる。
【００２８】
又本発明によれば、前記波長変換用光学結晶の入射側に変換波長に対して高反射の個別中間鏡をそれぞれ一体的に設けたので、構成が簡略化され、小型化が可能となる等の優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
【００３０】
先ず、図１に於いて、本発明に係る固体レーザ装置の基本的な光学系について略述する。
【００３１】
第１光軸２０上に第１集光レンズユニット２１、第１凹面鏡２２、第１固体レーザ媒質（第１レーザ結晶）２３、中間鏡２４、非線形光学媒質から構成される波長変換部(ＮＬＯ)２５、出力鏡２６を配設する。前記第１集光レンズユニット２１と対向してＬＤ発光器２７が配設され、該ＬＤ発光器２７から発せられるレーザ光線４１は前記第１集光レンズユニット２１に入射される。
【００３２】
前記第１固体レーザ媒質２３と中間鏡２４との間で前記第１光軸２０と、例えば９０°で交差する第２光軸２９上に第２集光レンズユニット３１、第２凹面鏡３２、第２固体レーザ媒質（第２レーザ結晶）３３を配設し、前記第１光軸２０と前記第２光軸２９とが交差する位置には偏光ビームスプリッタ３４が配設される。前記第２光軸２９は前記偏光ビームスプリッタ３４により屈曲され、該偏光ビームスプリッタ３４と前記出力鏡２６との間を前記第１光軸２０と共用している。
【００３３】
前記波長変換部２５は前記第１光軸２０と前記第２光軸２９の共有光軸部分２０ａに配置され、前記波長変換部２５は波長変換用光学結晶を具備し、該波長変換用光学結晶は入射されるレーザ光線を２次高調波に変換し、或は入射される２つのレーザ光線を和周波（或は差周波）に変換する。又、前記偏光ビームスプリッタ３４は前記第１光軸２０と前記第２光軸２９の光軸分離手段として機能する。
【００３４】
前記第２集光レンズユニット３１と対向してＬＤ発光器３５が配設され、該ＬＤ発光器３５から発せられるレーザ光線４２は前記第２集光レンズユニット３１に入射される。
【００３５】
前記第１凹面鏡２２と前記出力鏡２６間で第１基本波の波長λ1 の第１共振器３０が構成され、前記第２凹面鏡３２と前記出力鏡２６間で第２基本波の波長λ2 の第２共振器３７が構成される。
【００３６】
前記第１固体レーザ媒質２３及び前記第２固体レーザ媒質３３は発振される第１基本波、第２基本波が直線偏光で偏光方向が異なる様に結晶軸の方向が調整され、例えば前記第１固体レーザ媒質２３ではＰ偏光が発振され、前記第２固体レーザ媒質３３ではＳ偏光が発振される様になっており、前記偏光ビームスプリッタ３４はＰ偏光を透過し、Ｓ偏光を反射する様になっている。
【００３７】
前記第１凹面鏡２２は励起光である波長λを高透過で、第１基本波の波長λ1 については高反射であり、前記第２凹面鏡３２は、励起光である波長λについては高透過で、第２基本波の波長λ2 については高反射となっている。
【００３８】
前記中間鏡２４は第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 について高透過であり、波長変換光の波長λ3 ［（和周波（ＳＦＭ）或は差周波（ＤＦＭ）、又はＳＨＧ1 （λ1 ／２）、ＳＨＧ2 （λ2 ／２）］については高反射であり、前記出力鏡２６は第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 については高反射であり、波長変換光の波長λ3 ［（和周波（ＳＦＭ）或は差周波（ＤＦＭ）、又はＳＨＧ1 （λ1 ／２）、ＳＨＧ2 （λ2 ／２）］については高透過である。
【００３９】
上記構成に於いて、前記ＬＤ発光器２７、ＬＤ発光器３５が発するレーザ光線４１，４２は励起光としてλ＝８０９ｎｍの波長を有し、前記第１固体レーザ媒質２３、前記第２固体レーザ媒質３３として１３４２ｎｍ、１０６４ｎｍの発振線を有するＮｄ：ＹＶＯ4 が使用される。
【００４０】
尚、レーザ結晶としては、Ｎｄ：ＹＶＯ4 の他に、Ｎｄ3+イオンをドープしたＹＡＧ（イットリウム  アルミニウム  ガーネット）等が採用され、ＹＡＧは、９４６ｎｍ、１３４２ｎｍ、１３１９ｎｍ等の発振線を有している。又、発振線が７００ｎｍ〜９００ｎｍのＴｉ（Ｓａｐｐｈｉｒｅ）等を使用することもできる。
【００４１】
前記波長変換部２５に用いられる波長変換用光学結晶としてＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4   リン酸チタニルカリウム）が使用される。前記波長変換用光学結晶は要求されるレーザ光線の波長に対応して、和周波ＳＦＭ（又は差周波ＤＦＭ）、ＳＨＧ1 （λ1 ／２）、ＳＨＧ2 （λ2 ／２）用に光軸に対する結晶軸の角度が調整される。
【００４２】
尚、前記波長変換用光学結晶としてはＫＴＰの他に、ＢＢＯ（β−ＢａＢ2 Ｏ4   β型ホウ酸バリウム）、ＬＢＯ（ＬｉＢ3 Ｏ5   トリホウ酸リチウム）、ＫＮｂＯ3 （ニオブ酸カリウム）等も採用される。又、周期分極反転素子（ＰＰＬＮ；Ｐｅｒｉｏｄｉｃａｌｌｙ  Ｐｏｌｅｄ  Ｌｉｔｈｉｕｍ  Ｎｉｏｂａｔｅ）等でも構わない。
【００４３】
上記した固体レーザ装置の構成で、前記第１共振器３０と第２共振器３７とは前記中間鏡２４、前記波長変換部２５、前記出力鏡２６以外は分離した構成となっているので、前記ＬＤ発光器２７から前記第１共振器３０内に入射したレーザ光線４１は図中では前記第１凹面鏡２２と前記偏光ビームスプリッタ３４との間に集光点を形成し、この集光点が前記第１固体レーザ媒質２３内又は近傍となる位置に設けられる。又、同様に前記ＬＤ発光器３５から前記第２共振器３７に入射したレーザ光線４２は図中では前記第２凹面鏡３２と偏光ビームスプリッタ３４との間に集光点を形成し、この集光点が前記第２固体レーザ媒質３３内又は近傍となる位置に設けられる。
【００４４】
前記第１固体レーザ媒質２３、前記第２固体レーザ媒質３３の励起効率は、レーザ光線のエネルギ密度、或は偏光方向に影響されるが、前記第１固体レーザ媒質２３、前記第２固体レーザ媒質３３の位置調整は個々に行えるので、最適な位置に設定でき、又偏光方向の調整についても、前記ＬＤ発光器２７、ＬＤ発光器３５それぞれ個別に行えるので、調整が容易である。又、光学部材の位置調整、例えば前記第１凹面鏡２２、前記第２凹面鏡３２の光軸合せについても、一方の調整が他方に影響しないので、一方の調整を完了した後、他方が調整できる等調整が容易である。更に、２つの励起光の偏光を平行或は直交させることが可能な為、波長変換用光学結晶に制限はなく、全ての波長変換用光学結晶の使用が可能である。
【００４５】
又、前記偏光ビームスプリッタ３４により偏向された前記第２光軸２９の光軸共有部分は前記第１光軸２０と完全、又は略完全に合致させることが可能であり、完全、又は略完全に合致させることで、前記波長変換部２５の変換効率が向上する。
【００４６】
前記第１固体レーザ媒質２３には前記ＬＤ発光器２７からのレーザ光線４１、前記第２固体レーザ媒質３３には前記ＬＤ発光器３５からのレーザ光線４２が単独で入射するので、前記第１固体レーザ媒質２３、前記第２固体レーザ媒質３３に掛る負荷が少なく、又２組のＬＤ発光器２７、ＬＤ発光器３５からのレーザ光線４１，４２により波長変換光が得られるので高出力となる。
【００４７】
上記した構成で前記波長変換部２５の波長変換用光学結晶をＳＦＭ（或はＤＦＭ）用に設定し、前記ＬＤ発光器２７、前記ＬＤ発光器３５から励起光である波長λを同時に入射させることでＳＦＭ（或はＤＦＭ）のレーザ光線が前記出力鏡２６より射出される。
【００４８】
又、前記波長変換用光学結晶をＳＨＧ1 （λ1 ／２）用に設定し、前記ＬＤ発光器２７を点灯し、前記ＬＤ発光器３５を消灯して、前記ＬＤ発光器２７からの励起光のみを入射させると、前記出力鏡２６からはＳＨＧ1 のレーザ光線が射出される。
【００４９】
更に、前記波長変換用光学結晶をＳＨＧ2 （λ2 ／２）用に設定し、前記ＬＤ発光器３５を点灯し、前記ＬＤ発光器２７を消灯して、前記ＬＤ発光器３５からの励起光のみを入射させると、前記出力鏡２６からはＳＨＧ2 のレーザ光線が射出される。
【００５０】
上述した様に、上記光学系に於いて、前記波長変換部２５の波長変換用光学結晶の設定状態を変更し、又前記ＬＤ発光器２７、前記ＬＤ発光器３５の点灯状態を選択することで、基本的な光学構成を変更することなく、複数の波長のレーザ光線の射出が可能となる。
【００５１】
次に、上記基本光学系を有する第１の実施の形態について、図２〜図５に於いて説明する。
【００５２】
図２は第１の実施の形態の基本構成を示しており、図２中、図１中で示したものと同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００５３】
前記波長変換部２５は波長切換え手段３６に支持され、該波長切換え手段３６は前記波長変換部２５を共有光軸部分２０ａに対して直角方向に移動可能であり、波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃを個別に前記共有光軸部分２０ａ上に位置決め可能となっており、第１基本波、第２基本波が発振されている状態で、前記波長変換用光学結晶２５ａが前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めされることで和周波ＳＦＭが発振され、第１基本波（λ1 ）のみが発振されている状態で前記波長変換用光学結晶２５ｂが前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めされることで、第１の２次高調波ＳＨＧ1 （λ1 ／２）が発振され、第２基本波（λ2 ）のみが発振されている状態で前記波長変換用光学結晶２５ｃが前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めされることで、第２の２次高調波ＳＨＧ2 （λ2 ／２）が発振される様になっている。
【００５４】
前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃに対応して、個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃが設けられ、該個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃは前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃと一体に移動する様になっている。
【００５５】
又、前記個別中間鏡２４ａは、励起光（λ）、第１基本波（λ1 ）、第２基本波（λ2 ）に対して高透過、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 が前記波長変換光学結晶２５ａに入射して発振される波長変換光の波長λ3 ［和周波（ＳＦＭ）或は差周波（ＤＦＭ）］に対して高反射となっており、前記個別中間鏡２４ｂは、励起光λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対して高透過、前記波長変換光学結晶２５ｂによって発振する第１基本波の波長λ1 の波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ1 ）に対して高反射となっており、前記個別中間鏡２４ｃは、励起光λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対して高透過、前記波長変換光学結晶２５ｃによって発振する第２基本波の波長λ2 の変換光の波長λ3 （ＳＨＧ2 ）に対して高反射となっている。
【００５６】
前記出力鏡２６は複数（図中では５）の個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅから構成され、その内、個別出力鏡２６ｄ，２６ｅについては該個別出力鏡２６ｄ，２６ｅの射出側にＱ−ＳＷ素子３８ａ，３８ｂが一体的に設けられている。前記個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅ、及び前記Ｑ−ＳＷ素子３８ａ，３８ｂは回転板３９に設けられ、該回転板３９は出力鏡切換え手段４０により回転され、又前記各個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅは前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めされる様になっている。
【００５７】
前記個別出力鏡２６ａは、励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 については高反射で、波長変換光の波長λ3 ［和周波（ＳＦＭ）或は差周波（ＤＦＭ）、又はＳＨＧ1 （λ1 ／２）、ＳＨＧ2 （λ2 ／２）］については高透過となっている。前記個別出力鏡２６ｂは励起光の波長λについては高反射、第１基本波の波長λ1 については高透過となっており、又前記個別出力鏡２６ｃは励起光の波長λについては高反射、第２基本波の波長λ2 については高透過となっている。前記個別出力鏡２６ｄは励起光の波長λについては高反射、第１基本波の波長λ1 については高透過となっており、又前記個別出力鏡２６ｅは励起光の波長λについては高反射、第２基本波の波長λ2 については高透過となっている。
【００５８】
前記Ｑ−ＳＷ素子３８ａ，３８ｂとしては、ＥＯ；Ｅｌｅｃｔｒｏ−ｏｐｔｉｃ，ＡＯ；Ａｃｏｕｓｔｏ−ｏｐｔｉｃ（過飽和吸収材料）、例えばＣｒ：ＹＡＧが用いられ、該Ｑ−ＳＷ素子３８ａ，３８ｂは入射される連続レーザ光線を高出力のパルスレーザ光線にパルス発振させる。
【００５９】
図３〜図５に於いて、第１の実施の形態の作用について説明する。
【００６０】
図３は前記波長切換え手段３６により、前記個別中間鏡２４ａ、前記波長変換用光学結晶２５ａが前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めされた場合を示しており、前記出力鏡切換え手段４０により、前記個別出力鏡２６ａが前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めされた状態を示している。
【００６１】
前記ＬＤ発光器２７、前記ＬＤ発光器３５を同時に点灯し、励起光である波長λ例えば波長８０９ｎｍの前記レーザ光線４１，４２を入射させることで、前記第１共振器３０により第１基本波の波長λ1 （波長１３４２ｎｍ）が発振され、前記第２共振器３７により第２基本波の波長λ2 （波長１０６４ｎｍ）が発振され、更に第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 が前記波長変換用光学結晶２５ａに入射することで、ＳＦＭ（波長５９３ｎｍ）が発振され、前記個別出力鏡２６ａより射出される。
【００６２】
次に、該個別出力鏡２６ａの状態を維持して、前記波長切換え手段３６により前記個別中間鏡２４ｂ、前記波長変換用光学結晶２５ｂを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器２７を点灯し、前記ＬＤ発光器３５を消灯し、前記レーザ光線４１のみを前記第１共振器３０に入射させる。該第１共振器３０で第１基本波の波長λ1 （波長１３４２ｎｍ）が発振され、前記波長変換用光学結晶２５ｂによりＳＨＧ1 （波長６７１ｎｍ）が発振され、ＳＨＧ1 が前記個別出力鏡２６ａより射出される。
【００６３】
又、該個別出力鏡２６ａの状態を維持して、前記波長切換え手段３６により前記個別中間鏡２４ｃ、前記波長変換用光学結晶２５ｃを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器３５を点灯し、前記ＬＤ発光器２７を消灯し、前記レーザ光線４２のみを前記第２共振器３７に入射させる。該第２共振器３７で第２基本波の波長λ2 （波長１０６４ｎｍ）が発振され、前記波長変換用光学結晶２５ｃによりＳＨＧ2 （波長５３２ｎｍ）が発振され、ＳＨＧ2 が前記個別出力鏡２６ａより射出される。
【００６４】
前記波長切換え手段３６により前記波長変換部２５を前記共有光軸部分２０ａ上から外し、前記出力鏡切換手段４０により前記個別出力鏡２６ｂを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めする。前記ＬＤ発光器２７を点灯し、前記ＬＤ発光器３５を消灯し、前記レーザ光線４１のみを前記第１共振器３０に入射させる。該第１共振器３０で第１基本波の波長λ1 （波長１３４２ｎｍ）が発振され、該第１基本波の波長λ1 が前記個別出力鏡２６ｂより射出される（図４参照）。
【００６５】
又、前記出力鏡切換手段４０により前記個別出力鏡２６ｃを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めする。前記ＬＤ発光器３５を点灯し、前記ＬＤ発光器２７を消灯し、前記レーザ光線４２のみを前記第２共振器３７に入射させる。該第２共振器３７で第２基本波の波長λ2 （波長１０６４ｎｍ）が発振され、該第２基本波の波長λ2 が前記個別出力鏡２６ｃより射出される。
【００６６】
前記波長変換部２５が前記共有光軸部分２０ａ上から外れた状態で、前記出力鏡切換え手段４０により前記回転板３９を回転させ、前記個別出力鏡２６ｄ、前記Ｑ−ＳＷ素子３８ａを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めする。前記ＬＤ発光器２７を点灯し、前記ＬＤ発光器３５を消灯し、前記レーザ光線４１のみを前記第１共振器３０に入射させる。該第１共振器３０で第１基本波の波長λ1 （波長１３４２ｎｍ）が発振される。該第１基本波の波長λ1 が前記個別出力鏡２６ｄより射出され、更に前記Ｑ−ＳＷ素子３８ａによりパルス発振され、第１基本波の波長λ1 のパルスレーザ光線が射出される（図５参照）。
【００６７】
同様に、前記波長変換部２５が前記共有光軸部分２０ａ上から外れた状態で、前記出力鏡切換え手段４０により前記回転板３９を回転させ、前記個別出力鏡２６ｅ、前記Ｑ−ＳＷ素子３８ｂを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めする。前記ＬＤ発光器３５を点灯し、前記ＬＤ発光器２７を消灯し、前記レーザ光線４２のみを前記第２共振器３７に入射させる。該第２共振器３７で第２基本波の波長λ2 （波長１０６４ｎｍ）が発振される。該第２基本波の波長λ2 が前記個別出力鏡２６ｅより射出され、更に前記Ｑ−ＳＷ素子３８ｂによりパルス発振され、第２基本波の波長λ2 のパルスレーザ光線が射出される。
【００６８】
尚、前記個別出力鏡２６ｂと前記個別出力鏡２６ｃ、及び前記個別出力鏡２６ｄと前記個別出力鏡２６ｅについてはそれぞれ励起光の波長λについては高反射、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 については高透過とすれば、前記個別出力鏡２６ｂと前記個別出力鏡２６ｃのいずれか一方、又前記個別出力鏡２６ｄ、Ｑ−ＳＷ素子３８ａと前記個別出力鏡２６ｅ、Ｑ−ＳＷ素子３８ｂのいずれか一方は省略することができる。
【００６９】
前記Ｑ−ＳＷ素子３８ａ，３８ｂが設けられる位置は、前記個別出力鏡２６ｄ，２６ｅの前記偏光ビームスプリッタ３４側であってもよい。又、前記Ｑ−ＳＷ素子３８は、前記出力鏡２６ａに対して設けられてもよい。
【００７０】
又、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 の射出効率を向上する為、前記波長変換用光学結晶２５ａの前記偏光ビームスプリッタ３４側の端面に前記中間鏡２４ａを前記波長変換用光学結晶２５ａと一体に設けてもよく、或は前記波長変換用光学結晶２５ａの前記偏光ビームスプリッタ３４側の端面に前記中間鏡２４ａと同等の誘電反射膜、即ち励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 については高透過、ＳＦＭ（波長５９３ｎｍ）、ＳＨＧ1 、ＳＨＧ2 については高反射の誘電反射膜を形成してもよい。前記中間鏡２４を一体化することで、該中間鏡２４による第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 による反射がなくなり、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 の射出効率が向上する。
【００７１】
同様に他の前記中間反射鏡２４ｂ，２４ｃも前記波長変換光学結晶２５ｂ，２５ｃと一体化してもよい。
【００７２】
而して、第１の実施の形態では、５波長、７態様のレーザ光線の射出が可能となる。
【００７３】
尚、特に図示していないが、前記ＬＤ発光器２７、前記ＬＤ発光器３５の点灯状態、前記波長切換え手段３６による前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃの選択、前記出力鏡切換え手段４０による出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅの選択は制御部により制御され、図示しない操作部から波長の選択、態様の選択を入力することで、前記制御部により前記ＬＤ発光器２７、前記ＬＤ発光器３５の点灯、前記波長切換え手段３６、前記出力鏡切換え手段４０が制御され、所望の波長、態様のレーザ光線が射出される様になっている。
【００７４】
図６、図７により第２の実施の形態について説明する。
【００７５】
図６、図７中、図２〜図５中に示したものと同等のものには同符号を付し、その説明を省略する。
【００７６】
第２の実施の形態では、出力鏡２６及び中間鏡２４を前記波長変換部２５に組込んだものであり、前記波長切換え手段３６によって前記波長変換部２５の波長変換用光学結晶が切換ると共に一体的に前記出力鏡２６及び前記中間鏡２４が切換る様にしたものである。
【００７７】
前記波長変換部２５は前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃを具備すると共に射出されるレーザ光線の種類に対応した個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅを具備し、前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃ個々に対応してレーザ光線の射出側に前記個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃが設けられると共に入射側に個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃが一体的に設けられたものである。又、Ｑ−ＳＷ素子３８と共に前記個別出力鏡２６ｄ、更に前記個別出力鏡２６ｅが前記波長変換部２５に設けられ、前記個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅの光軸はそれぞれ前記共有光軸部分２０ａと平行となっている。
【００７８】
而して、前記個別中間鏡２４ａは励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対しては高透過であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ）については高反射となっており、前記個別出力鏡２６ａは励起光λ、第１基本波λ1 、第２基本波λ2 に対しては高反射であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ）に対しては高透過となっている。
【００７９】
又、前記個別中間鏡２４ｂは励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 に対しては高透過であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ1 （λ1 ／２））については高反射となっており、前記個別出力鏡２６ｂは励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 に対しては高反射であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ1 （λ1 ／２））に対しては高透過となっている。
【００８０】
又、前記個別中間鏡２４ｃは励起光の波長λ、第２基本波の波長λ2 に対しては高透過であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ2 （λ2 ／２））については高反射となっており、前記個別出力鏡２６ｃは励起光の波長λ、第２基本波の波長λ2 に対しては高反射であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ2 （λ2 ／２））に対しては高透過となっている。
【００８１】
又、前記個別出力鏡２６ｄ，２６ｅは励起光の波長λに対しては高反射であるが、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対しては高透過となっている。
【００８２】
尚、前記個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃについては、励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対しては高透過であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ、又はＳＨＧ1 （λ1 ／２）、ＳＨＧ2 （λ2 ／２））については高反射、前記個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃは励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対しては高反射であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ、又はＳＨＧ1 （λ1 ／２）、ＳＨＧ2 （λ2 ／２））に対しては高透過とし、同一の性能のものを使用してもよい。
【００８３】
又、前記個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃは前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃの入射側の端面に形成した誘電反射膜としてもよい。
【００８４】
図７に於いて、前記波長切換え手段３６により前記波長変換用光学結晶２５ａ及び前記個別中間鏡２４ａ、前記個別出力鏡２６ａを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器２７、前記ＬＤ発光器３５を点灯し、前記レーザ光線４１、レーザ光線４２を入射させると、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 が発振し、前記波長変換用光学結晶２５ａによりＳＦＭが発振され、前記個別出力鏡２６ａよりＳＦＭのレーザ光線が射出される。
【００８５】
又、前記波長変換用光学結晶２５ｂ、前記個別中間鏡２４ｂ、前記個別出力鏡２６ｂを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器２７のみを点灯し、前記レーザ光線４１を入射させると、前記第１共振器３０により第１基本波の波長λ1 が発振し、前記波長変換用光学結晶２５ｂによりＳＨＧ1 に変換されたレーザ光線が前記個別出力鏡２６ｂより射出される。
【００８６】
又、前記波長変換用光学結晶２５ｃ、前記個別中間鏡２４ｃ、前記個別出力鏡２６ｃを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器３５のみを点灯し、前記レーザ光線４２を入射させると、前記第２共振器３７により第１基本波の波長λ2 が発振し、前記波長変換用光学結晶２５ｃによりＳＨＧ2 に変換されたレーザ光線が前記個別出力鏡２６ｃより射出される。
【００８７】
又、前記個別出力鏡２６ｄ及び前記Ｑ−ＳＷ素子３８を前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器２７を点灯すると、前記第１共振器３０で第１基本波の波長λ1 が発振し、前記Ｑ−ＳＷ素子３８でパルス発振して、前記個別出力鏡２６ｄからは第１基本波の波長λ1 のパルスレーザ光線が射出される。又、前記ＬＤ発光器３５を点灯すると、第２基本波の波長λ2 が発振し、前記Ｑ−ＳＷ素子３８でパルス発振して、前記個別出力鏡２６ｄからは第２基本波の波長λ2 のパルスレーザ光線が射出される。
【００８８】
更に、前記個別出力鏡２６ｅを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器２７を点灯すると前記個別出力鏡２６ｅからは第１基本波の波長λ1 の連続レーザ光線が射出され、前記ＬＤ発光器３５を点灯すると前記個別出力鏡２６ｅからは第２基本波λの波長2 の連続レーザ光線が射出される。
【００８９】
第２の実施の形態に於いても、５波長、７態様のレーザ光線の射出が可能となる。
【００９０】
図８は第３の実施の形態を示しており、図８中、図７中で示したのと同等のものには同符号を付しその説明を省略する。
【００９１】
該第３の実施の形態では、前記Ｑ−ＳＷ素子３８を基本光学系に組込んだものであり、該Ｑ−ＳＷ素子３８は前記共有光軸部分２０ａ上の前記中間鏡２４と前記偏光ビームスプリッタ３４との間に設けられている。
【００９２】
前記波長変換用光学結晶２５ａを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器２７、前記ＬＤ発光器３５を同時に点灯すると、ＳＦＭのパルスレーザ光線が射出され、前記波長変換用光学結晶２５ｂを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器２７のみを点灯すると、ＳＨＧ1 に変換されたパルスレーザ光線が射出され、前記波長変換用光学結晶２５ｃを前記共有光軸部分２０ａ上に位置決めし、前記ＬＤ発光器３５のみを点灯することで、ＳＨＧ2 に変換されたパルスレーザ光線が射出され、前記波長変換部２５を前記共有光軸部分２０ａから外して前記ＬＤ発光器２７のみを点灯することで、第１基本波の波長λ1 のパルスレーザ光線が射出され、前記ＬＤ発光器３５のみを点灯することで第２基本波の波長λ2 のパルスレーザ光線が射出される。
【００９３】
尚、前記Ｑ−ＳＷ素子３８は前記共有光軸部分２０ａに対して挿脱可能としてもよい。前記Ｑ−ＳＷ素子３８を挿脱可能な構成にすると、５波長、１０態様のレーザ光線の射出が可能となる。
【００９４】
図９〜図１４は第４の実施の形態を示しており、図中、図７中で示したのと同等のものには同符号を付しその説明を省略する。
【００９５】
該第４実施の形態では、第３実施の形態と同様前記Ｑ−ＳＷ素子３８を基本光学系に組込んだものであり、該Ｑ−ＳＷ素子３８は前記第２光軸２９上の前記第２固体レーザ媒質３３と前記偏光ビームスプリッタ３４との間に設けられている。
【００９６】
中間鏡２４は個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃを有し、波長変更部２５は波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃを有し、出力鏡２６は個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅを有し、前記個別中間鏡２４ａと前記個別出力鏡２６ａとは前記波長変換用光学結晶２５ａを挾んで設けられ、前記個別中間鏡２４ｂと前記個別出力鏡２６ｂは前記波長変換用光学結晶２５ｂを挾んで設けられ、前記個別中間鏡２４ｃと個別出力鏡２６ｃは前記波長変換用光学結晶２５ｃを挾んで設けられている。
【００９７】
前記個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃ、前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃ、前記個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅは一体的に設けられ、波長切換え手段３６によって、択一的に前記共有光軸部分２０ａ上に配置される様になっている。
【００９８】
前記個別中間鏡２４ａは励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対しては高透過であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ）については高反射となっており、前記個別出力鏡２６ａは励起光λ、第１基本波λ1 、第２基本波λ2 に対しては高反射であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ）に対しては高透過となっている。
【００９９】
又、前記個別中間鏡２４ｂは励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 に対しては高透過であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ1 （λ1 ／２））については高反射となっており、前記個別出力鏡２６ｂは励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 に対しては高反射であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ1 （λ1 ／２））に対しては高透過となっている。
【０１００】
又、前記個別中間鏡２４ｃは励起光の波長λ、第２基本波の波長λ2 に対しては高透過であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ2 （λ2 ／２））については高反射となっており、前記個別出力鏡２６ｃは励起光の波長λ、第２基本波の波長λ2 に対しては高反射であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＨＧ2 （λ2 ／２））に対しては高透過となっている。
【０１０１】
又、前記個別出力鏡２６ｄは励起光の波長λに対しては高反射であるが、第１基本波の波長λ1 に対しては高透過となっている。又、前記個別出力鏡２６ｅは励起光の波長λに対しては高反射であるが、第２基本波の波長λ2 に対しては高透過となっている。
【０１０２】
尚、前記個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃについては、励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対しては高透過であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ、又はＳＨＧ1 （λ1 ／２）、ＳＨＧ2 （λ2 ／２））については高反射、前記個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃは励起光の波長λ、第１基本波の波長λ1 、第２基本波の波長λ2 に対しては高反射であるが、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ、又はＳＨＧ1 （λ1 ／２）、ＳＨＧ2 （λ2 ／２））に対しては高透過とし、同一の性能のものを使用してもよい。又、同一性能のものを使用する場合、前記中間鏡２４は前記波長切換え手段３６から分離し、前記共有光軸部分２０ａに固定的に設けることができる。
【０１０３】
又、前記個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃは前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃの入射側の端面に形成した誘電反射膜としてもよい。同様に、前記個別出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃは、前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃの射出側の端面に形成した誘電反射膜としてもよい。
【０１０４】
図１０〜図１４に於いて、第４の実施の形態の作用について説明する。
【０１０５】
図１０は、波長変換光の波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ）のパルスレーザ光線を射出する場合を示している。前記波長切換え手段３６によって前記個別中間鏡２４ａ、前記波長変換用光学結晶２５ａ、前記個別出力鏡２６ａが前記共有光軸部分２０ａ上に配置される。
【０１０６】
前記ＬＤ発光器２７と前記ＬＤ発光器３５とを点灯し、前記第１共振器３０に前記レーザ光線４１を入射させ、前記第２共振器３７に前記レーザ光線４２を入射させる。
【０１０７】
前記第１共振器３０では波長λ1 の第１基本波が発振され、前記第２共振器３７では前記Ｑ−ＳＷ素子３８が設けられていることから、波長λ2 の第２基本波がパルス発振される。第１基本波、第２基本波が前記波長変換用光学結晶２５ａに入射することで波長変換され、波長λ3 （ＳＦＭ或はＤＦＭ）の波長変換光がパルス光として射出される。
【０１０８】
図１１は第１基本波が波長変換され、波長λ3 （ＳＨＧ1 （λ1 ／２）の連続波長変換光が射出される場合を示している。
【０１０９】
前記波長切換え手段３６によって前記個別中間鏡２４ｂ、前記波長変換用光学結晶２５ｂ、前記個別出力鏡２６ｂが前記共有光軸部分２０ａ上に配置され、前記ＬＤ発光器２７のみが点灯され、前記レーザ光線４１が前記第１共振器３０に入射される。
【０１１０】
前記第１固体レーザ媒質２３によって第１基本波が発振され、該第１基本波は前記波長変換用光学結晶２５ｂによって波長λ3 （ＳＨＧ1 （λ1 ／２））の波長変換光に変換され、連続光の波長変換光（λ3 ）が前記個別出力鏡２６ｂより射出される。
【０１１１】
図１２は第２基本波が波長変換され、波長λ3 （ＳＨＧ2 （λ2 ／２）のパルス波長変換光が射出される場合を示している。
【０１１２】
前記波長切換え手段３６によって前記個別中間鏡２４ｃ、前記波長変換用光学結晶２５ｃ、前記個別出力鏡２６ｃが前記共有光軸部分２０ａ上に配置され、前記ＬＤ発光器３５のみが点灯され、前記レーザ光線４２が前記第２共振器３７に入射される。
【０１１３】
前記第２固体レーザ媒質３３によって第２基本波が発振され、該第２基本波は前記波長変換用光学結晶２５ｃによって波長λ3 （ＳＨＧ2 （λ2 ／２））の波長変換光に変換される。更に、前記Ｑ−ＳＷ素子３８によってパルス発振され、パルス光の波長変換光（λ3 ）が前記個別出力鏡２６ｃより射出される。
【０１１４】
図１３は波長λ1 の連続第１基本波が射出される場合を示している。
【０１１５】
前記波長切換え手段３６によって前記個別出力鏡２６ｄが前記共有光軸部分２０ａ上に配置され、前記ＬＤ発光器２７のみが点灯され、前記レーザ光線４１が前記第１共振器３０に入射される。前記第１固体レーザ媒質２３によって第１基本波が発振され、該第１基本波の連続光が前記個別出力鏡２６ｄより射出される。
【０１１６】
図１４は波長λ2 の第２基本波のパルス光が射出される場合を示している。
【０１１７】
前記波長切換え手段３６によって前記個別出力鏡２６ｅが前記共有光軸部分２０ａ上に配置され、前記ＬＤ発光器３５のみが点灯され、前記レーザ光線４２が前記第２共振器３７に入射される。前記第２固体レーザ媒質３３によって第２基本波が発振され、更に前記Ｑ−ＳＷ素子３８によってパルス発振され、第２基本波のパルス光が前記個別出力鏡２６ｅより射出される。
【０１１８】
第４の実施の形態に於いては５波長のレーザ光線の射出が可能となる。尚、前記Ｑ−ＳＷ素子３８は前記第２光軸２９上に配設したが、前記第１光軸２０上に配設してもよく、或は前記Ｑ−ＳＷ素子３８は前記第２光軸２９或は前記第１光軸２０に挿脱可能としてもよい。挿脱可能とすることで、パルスレーザ光線と連続レーザ光線とを適宜選択することができる。
【０１１９】
尚、上記第１の実施の形態に於いて、前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃを回転板に設け、回転により前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃの切換えを行い、前記出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅを共有光軸部分２０ａに対して交差する方向に移動するスライド板に設け、該スライド板をスライドさせることで前記出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅの切換えを行ってもよい。尚、この場合、前記回転板にはレーザ光線が通過する通過孔が更に穿設される。
【０１２０】
更に、第２の実施の形態に於いて、個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃ、波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃ、出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅ、Ｑ−ＳＷ素子３８の組合わせを回転板に取付け、該回転板の回転により前記出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅ等の切換えが行われてもよい。
【０１２１】
又、第４の実施の形態に於いて、個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃ、波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃ、出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅの組合わせを回転板に取付け、該回転板の回転により前記個別中間鏡２４ａ，２４ｂ，２４ｃ、前記波長変換用光学結晶２５ａ，２５ｂ，２５ｃ、前記出力鏡２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅの切換えが行われてもよい。
【０１２２】
第４の実施の形態では、第１共振器３０、第２共振器３７のいずれか一方に単独にＱ−ＳＷ素子３８を設けるので、Ｑ−ＳＷ素子３８は一方のレーザ光線のみ対応すればよく、構成、光軸の調整等が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明の基本光学系を示す概略構成図である。
【図２】（Ａ）は、本発明の第１の実施の形態を示す基本構成図であり、（Ｂ）は、回転板の斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す基本構成図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態を示す説明図であり、（Ａ）は波長変換されたパルスレーザ光線の射出を示し、（Ｂ）は基本波のパルスレーザ光線の射出を示している。
【図９】本発明の第４の実施の形態を示す基本構成図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図１１】本発明の第４の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態の作用を示す説明図である。
【図１５】従来の固体レーザ装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１２４】
２０            第１光軸
２０ａ          共有光軸部分
２３            第１固体レーザ媒質
２４            中間鏡
２５            波長変換部
２５ａ          波長変換用光学結晶
２５ｂ          波長変換用光学結晶
２５ｃ          波長変換用光学結晶
２６            出力鏡
２６ａ          個別出力鏡
２６ｂ          個別出力鏡
２６ｃ          個別出力鏡
２６ｄ          個別出力鏡
２６ｅ          個別出力鏡
２７            ＬＤ発光器
２９            第２光軸
３０            第１共振器
３３            第２固体レーザ媒質
３４            偏光ビームスプリッタ
３５            ＬＤ発光器
３６            波長切換え手段
３７            第２共振器
３８            Ｑ−ＳＷ素子
３９            回転板
４０            出力鏡切換え手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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