(57)【要約】【課題】  本発明は、安定した確実な剥離作業が可能で、位置決め精度が高く、安価なフィルム貼着装置、および、フィルム貼着方法を提供することにある。【解決手段】  吸着台３１０に吸着，保持された粘着フィルム２０から剥離シート２２を巻き取りリール３４４で剥離する際に、前記粘着フィルム２０から剥離シート２２が剥離する直前部分の直上に常時位置するようにスライド移動しながら前記剥離シート２２をガイドする腕部３６３を、フィルム引き出し機構３５０に設けた。【選択図】図１０
2006159488.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面の粘着層に剥離シートを剥離可能に貼り合わせた粘着フィルムを供給するフィルム供給機構と、
前記フィルム供給機構から所定長さの粘着フィルムを引出すフィルム引き出し機構と、
前記フィルム引き出し機構が引き出した粘着フィルムを吸着，保持する吸着台を有する吸着保持機構と、
前記吸着台に吸着，保持された前記粘着フィルムから剥離シートを剥離して巻き取るシート巻き取り機構と、
前記剥離シートを剥離した粘着フィルムを所定長さに切断して粘着フィルム片を切り出すフィルム切断機構と、
前記粘着フィルム片の直上に基板を搬送して貼着一体化する基板搬送機構と、からなるフィルム貼着装置であって、
前記吸着台に吸着，保持された粘着フィルムから剥離シートをシート巻き取り機構で剥離する際に、前記粘着フィルムから剥離シートが剥離する直前部分の直上に常時位置するようにスライド移動しながら前記剥離シートをガイドする腕部を、前記フィルム引き出し機構に設けたことを特徴とするフィルム貼着装置。
【請求項２】
フィルム供給機構が、スライド移動することにより、ロール状に巻いた粘着フィルムから所定長さの粘着フィルムを引き出す引出用テンションローラーを有することを特徴とする請求項１に記載のフィルム貼着装置。
【請求項３】
フィルム供給機構が、引き出した粘着フィルムに一定の張力を常時付与する張力用テンションアームを備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルム貼着装置。
【請求項４】
フィルム供給機構の引出用テンションローラーがスライド移動して粘着フィルムに一定の張力を常時付与することを特徴とする請求項２ないし３のいずれか１項に記載のフィルム貼着装置。
【請求項５】
フィルム引き出し機構が、ロール状に巻いた粘着フィルムから引き出した先頭部分を吸着孔で吸着保持しながら吸着台に引き出す腕部を、有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のフィルム貼着装置。
【請求項６】
フィルム引き出し機構が、吸着台に吸着，保持した粘着フィルムから剥離シートを剥離した後、フィルム切断機構によって前記粘着フィルムを切断する前に、引出用テンションローラーを引き戻すようにスライド移動させて前記粘着フィルムを張設することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のフィルム貼着装置。
【請求項７】
粘着フィルムを吸着，保持する吸着台の吸着孔を複数のエリアにそれぞれ配置し、前記吸着孔の吸引力をエリア毎に別々に制御することを特徴する請求項１ないし６のいずれか１項に記載のフィルム貼着装置。
【請求項８】
フィルム切断機構が、吸着台の表面に設けた切断溝に沿って往復移動可能に支持されたカッターを、有することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載のフィルム貼着装置。
【請求項９】
カッターの切り刃が、粘着フィルムの裏面を切断した後、粘着層を切断するように傾斜していることを特徴とする請求項８に記載のフィルム貼着装置。
【請求項１０】
表面の粘着層に剥離シートを剥離可能に貼り合わせた粘着フィルムを有するフィルム供給機構から所定長さの粘着フィルムをフィルム引き出し機構で引き出す工程と、
引き出した前記粘着フィルムを吸着保持機構の吸着台に吸着，保持する工程と、
吸着，保持した粘着フィルムから剥離シートをシート巻き取り機構で剥離する工程と、
剥離シートを剥離した粘着フィルムをフィルム切断機構で所定の長さに切断して粘着フィルム片を得る工程と、
前記粘着フィルム片の直上に基板を基板搬送機構で搬送して貼着一体化する工程と、からなるフィルム貼着方法であって、
前記吸着台に吸着，保持された粘着フィルムから剥離シートをシート巻き取り機構で剥離する際に、前記フィルム引き出し機構に設けた腕部が、前記粘着フィルムから剥離シートが剥離する直前部分の直上に常時位置するようにスライド移動し、前記剥離シートをガイドすることを特徴とするフィルム貼着方法。
【請求項１１】
フィルム供給機構から所定長さの粘着フィルムをフィルム供給機構で引き出す工程において、
フィルム供給機構に設けた引出用テンションローラーが、スライド移動することにより、ロール状に巻いた粘着フィルムから所定長さの粘着フィルムを引き出すことを特徴とする請求項１０に記載のフィルム貼着方法。
【請求項１２】
フィルム供給機構から所定長さの粘着フィルムをフィルム供給機構で引き出す工程において、
フィルム供給機構が、引き出した粘着フィルムに一定の張力を常時付与する張力用テンションアームを、有することを特徴とする請求項１０または１１に記載のフィルム貼着方法。
【請求項１３】
引き出した粘着フィルムを吸着台に吸着，保持する工程において、
粘着フィルムを吸着，保持する吸着台の吸着孔を複数のエリアにそれぞれ配置し、前記吸着孔の吸引力をエリア毎に別々に制御することを特徴する請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載のフィルム貼着方法。
【請求項１４】
引き出した粘着フィルムを吸着台に吸着，保持する工程において、
粘着フィルムを吸着，保持する吸着台の吸着孔を、基板内の半導体装置の隅部に対応する部分と、基板内の半導体装置の中央に対応する部分と、にそれぞれ配置し、前記吸着孔の吸引力を別々に制御することを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれか１項に記載のフィルム貼着方法。
【請求項１５】
粘着フィルム片の直上に基板を基板搬送機構で搬送して貼着一体化する工程において、
粘着フィルム片と基板とを貼着一体化する直前に、前記基板内の半導体装置の中央に対応する部分を、前記半導体装置の隅部に対応する部分よりも小さい吸引力で吸引することを特徴とする請求項１０ないし１４のいずれか１項に記載のフィルム貼着方法。
【請求項１６】
粘着フィルム片の直上に基板を基板搬送機構で搬送して貼着一体化する工程において、
吸着台に吸着，保持された粘着フィルム片の直上に、基板搬送機構で搬送した基板を位置決めして重ね合わせた後、吸着台に設けた吸着孔の吸引を負圧から正圧に切り換えることにより、粘着フィルム片と基板とを貼着一体化することを特徴とする請求項１０ないし１５のいずれか１項に記載のフィルム貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の下面に、剥離シート付きの粘着フィルムを自動的に貼着するフィルム貼着装置に関する。特に、本発明は、ＱＦＮ（Quad Flat Non-Leaded Package）、ＳＯＮ（Small Outline Non-Leaded Package）と呼ばれる半導体パッケージの上面を樹脂封止するため、その下面縁部から露出するリードをフィルムで被覆するために使用されるフィルム貼着装置およびフィルム貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パッケージの側方に突出するアウターリードをなくし、前記パッケージの下面縁部に母基板との電気接続を行うリードを露出させたＱＦＮタイプの半導体装置が知られている。前記半導体装置の上面を樹脂封止する場合、樹脂注入の際に樹脂圧によって前記リードが持ち上げられやすい。このため、前記リードの下面に前記樹脂が回り込み、リードの下面が樹脂で覆われてしまうことにより、母基板に前記半導体装置を電気接続できないという不具合があった。
【０００３】
このような不具合を解消すべく、前記パッケージの下面に粘着フィルムを貼着一体化して被覆した後、樹脂封止することが提案されている。例えば、剥離シート付きの粘着フィルムを基板の下面に貼着する手段としては、鋭角なガイド部材を介して折り返すように案内することで、剥離シートから粘着フィルムを剥離しつつ、前記粘着フィルムを被貼付物品の表面に貼着する方法、または、真空吸引パッドで吸着しつつ、粘着フィルムを剥離シートから剥離した後、前記粘着フィルムを被貼付物品の片面に貼着する方法が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、粘着フィルムＴｆを基板Ｗに貼着する別の方法としては、粘着フィルムＴｆの位置を画像処理装置で撮像し、粘着フィルムＴｆのズレを検出する。そして、その検出結果に基づいて粘着フィルムＴｆと基板Ｗとの相対位置および相対角度を補正することにより、基板Ｗと粘着フィルムＴｆとを貼着一体化する方法が提案されている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特公昭６４−４９０４
【特許文献２】特許第３３７７８４７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１における２つの方法のうち、前者の方法によれば、剥離シートである帯状体１１を鋭角なガイド部材２９で折り返すように案内し、帯状体１１から粘着フィルム１２を剥離しているにすぎず、剥離した粘着フィルム１２を確実に支持する支持手段がない。このため、帯状体１１に粘着フィルム１２が付着したままの状態で折り返す場合もあり、安定した剥離作業が困難であるという不具合がある。
【０００６】
また、前者の方法では、被貼着物品１６と粘着フィルム１２とを貼着する際の位置決め方法として、剛性のない粘着フィルム１２をストッパー３３に機械的に当てて位置決めしている。このため、粘着フィルム１２の位置決め精度にバラツキが生じやすく、粘着フィルム１２と被貼付物品１６との間に位置ずれが生じ、高い位置決め精度で正確に貼着できない。
【０００７】
さらに、特許文献１の後者の方法によれば、帯状体１１に貼り付けられた粘着フィルム１２を真空吸引パッド４０で吸着するとともに、鋭角なガイド部材２９で前記帯状体１１を折り返すことにより、粘着フィルム１２を帯状体１１から剥離した後、被貼付物品１６に貼着一体化する。しかし、後者の方法においては、真空吸引パッド４０と粘着フィルム１２とを相互に位置決めする手段が無く、粘着フィルム１２と被貼付物品１６との間に位置ずれが生じやすいので、粘着フィルム１２を被貼付物品１６に正確に貼着できないという不具合がある。
【０００８】
一方、特許文献２によれば、画像処理装置等が必要であるとともに、装置全体が複雑になり、コストアップになるという問題点がある。
【０００９】
本発明は、前記問題点に鑑み、安定した確実な剥離作業が可能で、位置決め精度が高く、安価なフィルム貼着装置、および、フィルム貼着方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明にかかるフィルム貼着装置は、前記課題を解決すべく、表面の粘着層に剥離シートを剥離可能に貼り合わせた粘着フィルムを供給するフィルム供給機構と、前記フィルム供給機構から所定長さの粘着フィルムを引出すフィルム引き出し機構と、前記フィルム引き出し機構が引き出した粘着フィルムを吸着，保持する吸着台を有する吸着保持機構と、前記吸着台に吸着，保持された前記粘着フィルムから剥離シートを剥離して巻き取るシート巻き取り機構と、前記剥離シートを剥離した粘着フィルムを所定長さに切断して粘着フィルム片を切り出すフィルム切断機構と、前記粘着フィルム片の直上に基板を搬送して貼着一体化する基板搬送機構と、からなるフィルム貼着装置であって、前記吸着台に吸着，保持された粘着フィルムから剥離シートをシート巻き取り機構で剥離する際に、前記粘着フィルムから剥離シートが剥離する直前部分の直上に常時位置するようにスライド移動しながら前記剥離シートをガイドする腕部を、前記フィルム引き出し機構に設けた構成としてある。
【００１１】
本発明によれば、粘着フィルムが吸着台に吸着，保持されているとともに、前記腕部が剥離シートをガイドすることにより、粘着フィルムに対する剥離シートの粘着力のバラツキを小さくでき、剥離シートを安定かつ確実に剥離できる。
また、吸着台に粘着フィルムが吸着，保持されたままの状態で剥離シートが剥離されるので、粘着フィルムに位置ずれが生じず、粘着フィルムの位置決め精度が高い。このため、従来例のような高価な画像処理装置が不要であり、安価なフィルム貼着装置が得られる。
【００１２】
本発明にかかる実施形態としては、フィルム供給機構が、スライド移動することにより、ロール状に巻いた粘着フィルムから所定長さの粘着フィルムを引き出す引出用テンションローラーを有する構成であってもよい。
本実施形態によれば、スライド移動する引出用テンションローラーで所定長さの粘着フィルムを正確に引き出せるので、粘着フィルムの寸法精度，位置決め精度が高くなる。
【００１３】
本発明にかかる他の実施形態としては、フィルム供給機構が、引き出した粘着フィルムに一定の張力を常時付与する張力用テンションアームを備えていてもよい。
本実施形態によれば、粘着フィルムが弛むことがなく、粘着フィルムの寸法精度，位置決め精度がより一層高くなる。また、過負荷による粘着フィルムの損傷や塑性変形を防止できる。
【００１４】
本発明にかかる別の実施形態としては、フィルム供給機構の引出用テンションローラーがスライド移動して粘着フィルムに一定の張力を常時付与してもよい。
本実施形態よれば、粘着フィルムに一定の張力が付与されて弛むことがなく、張力用テンションアームを省力でき、構造が簡単になる。
【００１５】
本発明にかかる異なる実施形態としては、フィルム引き出し機構が、ロール状に巻いた粘着フィルムから引き出した先頭部分を吸着孔で吸着保持しながら吸着台に引き出す腕部を、有する構成であってもよい。
本実施形態によれば、前記腕部が粘着フィルムを確実に保持しながら吸着台の所定の位置に位置決めできるので、高い位置決め精度が得られる。
【００１６】
本発明にかかる新たな実施形態としては、フィルム引き出し機構が、吸着台に吸着，保持した粘着フィルムから剥離シートを剥離した後、フィルム切断機構によって前記粘着フィルムを切断する前に、引出用テンションローラーを引き戻すようにスライド移動させて前記粘着フィルムを張設する構成であってもよい。
本実施形態によれば、吸着台上の粘着フィルムに弛みが生じていても、引出用テンションローラーで粘着フィルムを引き戻すように引っ張ることにより、前記弛みを解消でき、貼着作業のバラツキを解消できる。
【００１７】
本発明にかかる実施形態としては、粘着フィルムを吸着，保持する吸着台の吸着孔を複数のエリアにそれぞれ配置し、前記吸着孔の吸引力をエリア毎に別々に制御してもよい。  本実施形態によれば、必要に応じて吸引力を変更でき、使い勝手の良いフィルム貼着装置が得られる。
【００１８】
本発明にかかる実施形態としては、フィルム切断機構に、吸着台の表面に設けた切断溝に沿って往復移動可能に支持されたカッターを、設けておいてもよい。特に、カッターの切り刃は、粘着フィルムの裏面を切断した後、粘着層を切断するように傾斜していることが好ましい。
本実施形態によれば、カッターの切り刃に粘着剤が付着しにくくなるので、粘着剤が切断時に影響を及ぼさず、正確な切断が可能となるとともに、カッターの寿命が延びる。
【００１９】
本発明にかかるフィルム貼着方法は、表面の粘着層に剥離シートを剥離可能に貼り合わせた粘着フィルムを有するフィルム供給機構から所定長さの粘着フィルムをフィルム引き出し機構で引き出す工程と、引き出した前記粘着フィルムを吸着保持機構の吸着台に吸着，保持する工程と、吸着，保持した粘着フィルムから剥離シートをシート巻き取り機構で剥離する工程と、剥離シートを剥離した粘着フィルムをフィルム切断機構で所定の長さに切断して粘着フィルム片を得る工程と、前記粘着フィルム片の直上に基板を基板搬送機構で搬送して貼着一体化する工程と、からなるフィルム貼着方法であって、前記吸着台に吸着，保持された粘着フィルムから剥離シートをシート巻き取り機構で剥離する際に、前記フィルム引き出し機構に設けた腕部が、前記粘着フィルムから剥離シートが剥離する直前部分の直上に常時位置するようにスライド移動し、前記剥離シートをガイドする工程からなるものである。
【００２０】
本発明によれば、前記腕部が剥離シートをガイドすることにより、粘着フィルムに対する剥離シートの粘着力のバラツキを小さくでき、安定した確実な剥離作業可能となる。
また、吸着台に粘着フィルムが保持された状態のままで剥離シートが剥離されるので、粘着フィルムに位置ずれが生じず、粘着フィルムの位置決め精度が高い。このため、従来例のような高価な画像処理装置は不要であり、フィルム貼着作業のコストを低減できる。
【００２１】
本発明にかかる実施形態としては、フィルム供給機構から所定長さの粘着フィルムをフィルム供給機構で引き出す工程において、フィルム供給機構に設けた引出用テンションローラーが、スライド移動することにより、ロール状に巻いた粘着フィルムから所定長さの粘着フィルムを引き出す工程からなるものである。
本実施形態によれば、スライド移動する引出用テンションローラーで所定長さの粘着フィルムを正確に引き出せるので、粘着フィルムの寸法精度が高い。
【００２２】
本発明にかかる他の実施形態としては、フィルム供給機構から所定長さの粘着フィルムをフィルム供給機構で引き出す工程において、フィルム供給機構が、引き出した粘着フィルムに一定の張力を常時付与する張力用テンションアームを、有する工程からなるものであってもよい。
本実施形態によれば、粘着フィルムが弛むことがないので、粘着フィルムの寸法精度がより一層高くなる。また、過負荷による粘着フィルムの損傷や塑性変形を防止できる。
【００２３】
本発明にかかる別の実施形態としては、引き出した粘着フィルムを吸着台に吸着，保持する工程において、粘着フィルムを吸着，保持する吸着台の吸着孔を複数のエリアにそれぞれ配置し、前記吸着孔の吸引力をエリア毎に別々に制御する工程からなるものであってもよい。
本実施形態によれば、必要に応じて吸引力を変更でき、使い勝手の良いフィルム貼着方法が得られる。
【００２４】
本発明にかかる異なる実施形態としては、引き出した粘着フィルムを吸着台に吸着，保持する工程において、粘着フィルムを吸着，保持する吸着台の吸着孔を、基板内の半導体装置の隅部に対応する部分と、基板内の半導体装置の中央に対応する部分と、にそれぞれ配置し、前記吸着孔の吸引力を別々に制御してもよい。
本実施形態によれば、必要に応じて吸引力を変更できるので、使い勝手の良いフィルム貼着方法が得られる。
【００２５】
本発明にかかる新たな実施形態としては、粘着フィルム片の直上に基板を基板搬送機構で搬送して貼着一体化する工程において、粘着フィルム片と基板とを貼着一体化する直前に、前記基板内の半導体装置の中央に対応する部分を、前記半導体装置の隅部に対応する部分よりも小さい吸引力で吸引してもよい。
本実施形態によれば、粘着フィルムのうち、半導体装置の中央に対応する部分に凹部が生ぜず、粘着フィルムと基板との間に空気が残留することがないので、半導体装置の上面を樹脂封止する場合における樹脂漏れを防止できる。
【００２６】
本発明にかかる実施形態としては、粘着フィルム片の直上に基板を基板搬送機構で搬送して貼着一体化する工程において、吸着台に吸着，保持された粘着フィルム片の直上に、基板搬送機構で搬送した基板を位置決めして重ね合わせた後、吸着台に設けた吸着孔の吸引を負圧から正圧に切り換えることにより、粘着フィルム片と基板とを貼着一体化してもよい。
本実施形態によれば、粘着フィルムを吸着，保持するための吸着孔を貼着作業に兼用できるとともに、貼着作業を連続して行うことができるので、生産効率の高い粘着フィルムの貼着方法が得られるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明にかかるフィルム貼着装置の実施形態を図１ないし図１５の添付図面に従って説明する。
本実施形態にかかるフィルム貼着装置１００は、図１に図示するように、平面短冊状の基板１０の裏面に粘着フィルム２０を自動的、かつ、連続的に貼り付けるためのものである。このため、前記フィルム貼着装置１００は、ベースプレート１０１の上面隅部に配置された基板供給ユニット２００と、前記基板供給ユニット２００から供給された基板１０を粘着フィルム２０に貼り付けるフィルム貼着ユニット３００と、基板１０および粘着フィルム貼着済み基板３０を搬送する基板搬送機構４００と、前記基板搬送機構４００で搬送された前記貼着済み基板３０を収納する基板収納ユニット５００と、で構成されている。
【００２８】
基板１０は、図１４に示すように、複数個の半導体装置１１を格子状に配置してある。前記半導体装置１１は、図１５に示すように、ダイパッド１２に実装したチップ１３と、タイバー１４から延在するリード１５とをワイヤ１６で接続して形成される。
【００２９】
粘着フィルム２０は帯状であり、図３および図６に示すように、その表面に設けた粘着層２１に剥離シート２２を剥離可能に貼り合わせたものであり、使用前はロール状に巻き取られている。
【００３０】
基板供給ユニット２００は、図１に示すように、多数枚の基板１０を所定のピッチで上下に積み上げて収納した複数台のマガジン２０１をマガジン台２０２にスライド移動可能に並べてある。前記マガジン２０１は１台ずつ前記マガジン２０２台から押し出され、上下動可能なマガジンエレベーターユニット２０３に順次載置される。そして、前記マガジンエレベーターユニット２０３が最高位置に移動した後、前記マガジンエレベーターユニット２０３に載置したマガジン２０１から最下段に位置する前記基板１０を図示しない突き出し手段が内側側方に１枚ずつ押し出す。このように、最下段に位置する基板１０から押し出すのは、押し出す基板１０に付着していた塵埃が押し出す際に落下しても、他の基板１０に付着しないようにするためである。
なお、図１においては図示していないが、前記マガジン台２０２の上方に、基板１０を排出し終えた空のマガジン２０１を並設するマガジン回収台を配置してある。
【００３１】
押し出された前記基板１０の一端部は基板引き出し機構２１０のチャック爪２１１に把持された後、ガイドレール２１２に沿って前記マガジン２０１から引き出され、待機台２０４の所定の位置に位置決めされる。その後、前記マガジンエレベーターユニット２０３が所定のピッチずつ下降し、前記突き出し手段と位置合わせされ、前述と同様の操作を繰り返すことにより、基板１０が１枚ずつ前記待機台２０４に供給される。そして、マガジン２０１が空になった場合には、前記マガジンエレベーターユニット２０３が一気に上昇する。ついで、前記マガジンエレベーターユニット２０３から空になったマガジン２０１が図示しない押圧手段に押されてスライド移動し、前記マガジン２０１が前記マガジン台２０２の上方に設けたマガジン回収台（図示せず）に順次並べられる。さらに、前記マガジンエレベーターユニット２０３が所定の位置に下降すると、前記マガジン台２０２から基板１０を収納したマガジン２０１が押されてスライド移動し、これを前記マガジンエレベーターユニット２０３が受け取り、以後、同様な作業を行う。
【００３２】
フィルム貼着ユニット３００は、粘着フィルム２０の粘着層２１に前記基板１０の裏面を１枚ずつ貼り付けるためのユニットである。このため、前記フィルム貼着ユニット３００は、図２および図３に示すように、吸着台３１０と、この吸着台３１０の一端側に配置されたフィルム供給機構３３０と、前記吸着台３１０の片側に配置されたフィルム引出し機構３５０とからなるものである。
【００３３】
吸着台３１０は、引き出した粘着フィルム２０を所定の位置に吸着，保持し、前記粘着層２１から剥離シート２２を剥離した後、基板１０を貼着一体化するためのものである。このため、図３に示すように、吸着台３１０は、基台３１１に下ベースプレート３１２および上ベースプレート３１３を順次積み重ね、着脱可能に組み付けてある。なお、前記下ベースプレート３１２および上ベースプレート３１３を着脱可能としたのは、基板１０の品種に応じて交換する必要があるからである。前記上ベースプレート３１３は、図１３に示すように、その上面を横切るように切断溝３２０を形成してある。また、切断溝３２０の片側に位置する前記下ベースプート３１２の内部には、櫛歯状に形成した一対の連通孔３２１，３２２をそれぞれ形成してある。そして、前記連通孔３２１，３２２に連通する吸着孔３２３，３２４が前記下，上ベースプレート３１２，３１３に所定のピッチでそれぞれ形成されている。さらに、前記上ベースプレート３１３の上面には、後述する搬送台４０１の係止爪４０２が下降した際に嵌合する逃げ凹部３２５（図２，１３および１４参照）が形成されている。さらに、図１３および図１４に示すように、前記切断溝３２０の残る片側に位置する下ベースプレート３１２の内部には、連通孔３２６が形成されている。そして、前記連通孔３２６に連通する吸着孔３２７が下ベースプレート３１２および上ベースプレート３１３に所定のピッチで形成されている。なお、前記連通孔３２１，３２２および３２６は独立した真空発生源（図示せず）にそれぞれ接続され、独立して制御可能となっている。
【００３４】
図１４および図１５に示すように、吸着孔３２３は貼着する基板１０に搭載したチップ１１（図１５）の直下に位置し、吸着孔３２４は樹脂封止後に個々に切り離される半導体装置１１の各隅部の直下に位置している。したがって、粘着フィルム２０のうち、前記半導体装置１１の４隅および中央部の直下に位置する部分が重点的に吸引されて貼着一体化される。また、図１４に示すように、前記吸着孔３２７は、粘着フィルム２０のカットライン３２０ａよりもフィルム供給側に設置され、粘着フィルムを吸着保持している。このため、粘着フィルム２０を切断した後も、粘着フィルム２０の切断縁部が後述するカッター３７５の切り刃３７６に付着することはない。
なお、エア漏れを防止するため、上ベースプレート３１３と下ベースプレート３１２との接合面に図示しないパッキン等を設けておいてもよい。
【００３５】
フィルム供給機構３３０は、図３に示すように、ロール状に巻かれた粘着フィルム２０をフィルム供給リール３３１から第１テンションローラー３３３、テンションアーム３３４に設けた第２テンションローラー３３６、および、第３テンションローラー３３７を介してフィルム引出し機構３５０に供給する。そして、前記粘着フィルム２０から剥離した剥離シート２２は巻き取りリール３４４に巻き取られる。
【００３６】
フィルム供給リール３３１は、ロール状に巻いた粘着フィルム２０をシャフト３３２に挿入し、回転自在に支持してある。このため、前記粘着フィルム２０の一端部を引っ張ると、前記粘着フィルム２０を回転させながら引き出せる。なお、前記フィルム供給リール３３１のシャフト３３２には、図示しないトルクリミット機構が設けられている。このため、粘着フィルム２０を展開する際に一定のトルクが常時作用し、粘着フィルム２０がフィルム供給リール３３１の慣性で引き出される不具合を防止できる。
【００３７】
前記テンションアーム３３４は一端部３３５を回動可能に支持され、その他端部に設けた第２テンションローラー３３６を介して粘着テープ２０に一定の張力を付与する。
【００３８】
第３テンションローラー３３７は、図３および図４に示すように、ベアリング３３８を介してシャフト３３９に回動可能に支持されている。そして、前記シャフト３３９の一端は、ガイドユニット３４０のブラケット３４１に固定されている。前記ブラケット３４１は、リニアレール３４２に沿って摺動自在に移動可能であるとともに、エアーシリンダー３４３に連結されている。このため、前記シリンダー３４３が作動することにより、第３テンションローラー３３７が左右方向にスライド移動し、一定の張力を付与しつつ、粘着テープ２０を引き出す。
【００３９】
さらに、粘着フィルム２０から剥離した剥離シート２２をロール状に巻き取る巻き取りリール３４４は、図２に示すように、その回転軸であるシャフト３４５が電動モーター３４６に連結されている。このため、電動モーター３４６が半時計方向に回転することにより、剥離した剥離シート２２を巻き取って回収する。前記シャフト３４５には、図示しないトルクリミット機構が設けられ、巻き取りリール３４４を一定トルクで保持する。剥離シート２２に対する張力を一定に保つとともに、巻き取りリール３４４が慣性で回転し、剥離シート２２が展開することを防止するためである。
【００４０】
フィルム引出し機構３５０は、フィルム供給機構３３０から所定量の粘着フィルム２０を吸着台３１０に引き出し、剥離シート２２を剥離するとともに、前記粘着フィルム２０を所定の長さで切断して粘着フィルム片２３を得るためのものである。このため、フィルム引出し機構３５０は、スタンド３５１（図３）に固定した電動モーター３５２のローラー３５３と、スタンド３５４（図２）に設けたローラー３５５との間に架け渡されたベルト３５６を介して往復移動可能に支持されたスライダー３５７（図３および図５参照）から構成されている。
【００４１】
前記スライダー３５７は、図５に示すように、前記基台３１１の側面に設けたリニアレール３４２に沿って摺動自在なガイドユニット３５８に取り付けられている。このため、スタンド３５１に設けた電動モーター３５２が回転すると、ベルト３５６を介し、前記スライダー３５７は前記ガイドユニット３５８と一体にスライド移動する。そして、前記スライダー３５７は、その上面片側に突設したガイドピン３５９に、吸着ヘッド３６０の底面に埋設したガイドブッシュ３６１を嵌合することにより、前記吸着ヘッド３６０を上下動可能に支持してあるとともに、残る上面片側にカッター台３７０（図２および図３）が水平方向に往復移動可能に取り付けられている。
【００４２】
前記吸着ヘッド３６０は、粘着フィルム２０を引き出すためのものであり、図５に示すように、前記スライダー３５７の側面に取り付けた駆動用シリンダー３６２を介して上下方向に往復移動可能となっている。さらに、前記吸着ヘッド３６０は、図７に示すように、水平方向に延在した腕部３６３の下面に粘着フィルム２０を吸着保持する吸着孔３６４を設けてある。前記吸着孔３６４は連通孔３６５を介して図示しない真空発生源に連通している。また、前記腕部３６３は、その進行方向の上面先端部が３０°から５５°程度のテーパ面に形成され、剥離シート２２をスムーズにガイドできる断面形状を有している。なお、前記粘着フィルム２０の保持は、吸着方式だけでなく、チャック装置を用いて把持する方式でもよい。
【００４３】
前記カッター台３７０には、図２に示すように、２本のガイド軸３７１，３７２に支持され、かつ、エアーシリンダー３７３で水平方向に往復移動可能に支持されたカッターブラケット３７４が設けられている。前記カッターブラケット３７４の側面にはカッター３７５がボルト止めされている（図５）。前記カッター３７５の切り刃３７６は、図６に示すように、円弧形状であり、粘着フィルム２０の下面から切断を開始するので、前記切り刃３７６に粘着フィルム２０の粘着剤が付着しにくくなっている。このため、切り刃３７６の寿命が長いという利点がある。
【００４４】
基板搬送ユニット４００は、その搬送台４０１を、図示しないガイドレールおよび駆動機構を介し、上下に昇降可能としてある。さらに、前記搬送台４０１は、図１に示すように、前記基板供給ユニット２００の待機台２０４と前記フィルム貼着ユニット３００との間、および、前記フィルム貼着ユニット３００と後述する基板収納ユニット５００の待機台５０７との間を往復移動可能としてある。そして、前記搬送台４０１は、その両側縁部に開閉可能に設けた複数対の係止爪４０２（図３）で、粘着フィルム貼着前の基板１０、あるいは、粘着フィルム貼着済みの基板３０の両側縁部を係止して吊り上げ、所定の位置に搬送する。
【００４５】
基板収納ユニット５００は、図１に示すように、テープ貼着済みの基板３０をマガジン５０２に所定のピッチで上下に積み上げて収納するユニットである。このため、基板収納ユニット５００は、マガジン台５０１から空のマガジン５０２が図示しない押し出し機構でマガジンエレベーター５０３に１台ずつ押し出される。そして、ガイドレール５０４に沿ってスライド移動可能な基板収納機構５０５のチャック爪５０６が、待機台５０７に位置決めされた貼着済み基板３０の一端部を把持する。ついで、前記チャック爪５０６が前記ガイドレール５０４に沿ってスライド移動し、待機台５０７からマガジンエレベーター５０３に載置されたマガジン５０２の最上段に、前記基板３０を挿入する。前記基板３０が挿入されるたびに前記マガジンエレベーター５０３が所定のピッチずつ上昇し、前記チャック爪５０６と位置合わせされ、以後、同様な操作が繰り返される。そして、前記マガジン５０２が一杯になると、前記マガジンエレベーター５０３が所定の位置まで上昇し、前記マガジン５０２を前記マガジン台５０１の上方に設けた前記マガジン回収台（図示せず）に押圧してスライド移動させる。ついで、前記マガジンエレベーター５０３が下降し、前記マガジン台５０１から空のマガジン５０２を受け取り、前述と同様な操作を繰り返す。
【００４６】
なお、粘着フィルム貼着済みの基板３０を前記基板収納ユニット５００に収納せず、樹脂封止装置６００（図１）に直接供給して樹脂封止を行ってもよい。その場合には、待機台２０４の下流側に基板３０を予熱するプレヒート装置６０１を設けておき、前記基板３０を予熱した後、直ちに樹脂封止装置６００に搬送してもよい。基板３０を樹脂封止装置６００に直接供給する場合には、勿論、前記基板収納ユニット５００を設置する必要はない。
【００４７】
次に、フィルム貼着ユニット３００を構成する吸着台３１０の所定の位置に粘着フィルム２０を吸着，保持し、前記粘着フィルム２０から剥離シート２２を剥離した後、前記粘着フィルム２０を所定の長さに切断して粘着フィルム片２３を得、ついで、前記粘着フィルム片２３に基板１０を貼着一体化する作業工程について説明する。
なお、最初の粘着フィルム２０の切断は、手動もしくは所定の頭出し動作にて行なわれている。このため、粘着フィルム２０は所定の頭出し動作を終え、上ベースプレート３１３と吸着ヘッド３６０の腕部３６３とで挟持された状態（図７）から説明を行う。
【００４８】
まず、図３に示す第３テンションローラー３３７が図中の左方向に移動することにより、基板一枚分の粘着フィルム２０がフィルム供給リール３３１から引き出される。これと同時に、第２テンションローラー３３６が引き上げられてテンションアーム３３４が一端部３３５を支点として上方に回動する。その後、第３テンションローラー３３７が元の位置に復帰する。しかし、テンションアーム３３４がその自重によって下方側に回動し、粘着フィルム２０に一定の張力が付与されるので、粘着フィルム２０が弛むことはない。
【００４９】
なお、テンションアーム３３４は自重ではなく、軽度の荷重を持つバネで下方向に張って張力を与えてもよい。また、第３テンションローラー３３７によるフィルム供給リール３３１からの粘着フィルム２０の引き出し量は、１サイクルで基板一枚分としたが、１サイクルで基板二枚分以上であってもよい。
【００５０】
次に、吸着ヘッド３６０の腕部３６３に設けた吸着孔３６４で粘着フィルム２０の吸着を行うと同時に、上ベースプレート３１３の吸着孔３２７による吸引を停止する。そして、吸着ヘッド３６０がエアーシリンダー３６２で一定距離だけ押し上げられ、粘着フィルム２０が上ベースプレートから離れる（図８）。なお、説明の便宜上、図８ないし図１２の腕部３６３の上昇量は誇張して図示されているが、実際は粘着テープの厚さに０．５ｍｍ〜２．０ｍｍ程度の隙間を加えた上昇量である。
【００５１】
そして、電動モーター３５２を駆動し、ベルト３５６を介してスライダー３５７を図３中の右方向に移動させると、予め定められた基板一枚分の長さの粘着フィルム２０が上ベースプレート３１３上に引き出されて停止する（図９）。なお、前記電動モーター３５２は、位置決め精度が良好なステッピングモーター、サーボモーター等を用いてもよいが、エアーシリンダー等の駆動機器を用いて移動させ、ストッパーで前記スライダー３５７を停止させてもよい。
【００５２】
前記スライダー３５７の停止後、吸着ヘッド３６０が下降して粘着フィルム２０を上ベースプレート３１３上に載置する（図１０）。そして、吸着孔３２３，３２４および３２７で吸引を開始した後、吸着孔３６４の吸引を停止する。これら一連の工程は、前述のテンションアーム３３４の第２テンションローラー３３６が常に張力を与えた状態で行われるので、粘着フィルム２０に弛みが生じず、基板一枚分に必要な長さの粘着フィルム２０を高い寸法精度で供給できる。
【００５３】
なお、吸着孔３２３，３２４，３２７に作用する吸引力は、剥離シート２２を剥がすときに位置ずれしないように、粘着フィルム２０から剥離シート２２を剥がす際の剥離力よりも大きくする必要がある。例えば、吸着孔３２３，３２４，３２７による吸引は、真空発生装置の７０〜１００％の吸引力で行ってもよい。
【００５４】
ついで、吸着ヘッド３６０が上昇した後、巻き取りリール３４４の電動モーター３４６が巻き取り方向に回転し、粘着フィルム２０から剥離シート２２を剥離し、巻き取りリール３４４に回収する。これと同時に、剥離シート２２の回収作業に追従してスライダー３５７が左方向に移動する。この時、吸着ヘッド３６０の腕部３６３と上ベースプレート３２３との隙間は、０．８〜２．５ｍｍ程度であるので、粘着フィルム２０を擦ることがない。また、スライダー３５７に設けられた吸着ヘッド３６０の腕部３６３が剥離フィルム２２を剥離する際のガイド板の役目を果たし、吸着ヘッド３６０の腕部３６３の移動につれて剥離フィルム２２が連続的に剥がされる。
【００５５】
粘着フィルム２０の粘着層２１の粘着力にはバラツキがあり、単に剥離シート２２を引っ張るだけでは、剥離に要する引張力にバラツキが生じる。また、剥離シート２２の回収過程において、巻き取った剥離シート２２の量の違いにより、巻き取りリール３４４に巻き取った剥離シート２２の直径が変化し、引張力が増大する。このため、吸着ヘッド３６０の腕部３６３のようなガイド板が無いと、上ベースプレート３１３上に吸着保持された粘着フィルム２０に、剥離シート２２に作用する引張力が直接作用する。この結果、粘着フィルム２０に位置ズレが生じやすく、高い位置決め精度で粘着フィルム２０を基板１０に貼着できない。
しかし、吸着ヘッド３６０の腕部３６３をガイド板として使用すると、巻き取りリール３４４から受ける引張力を腕部３６３が受けて吸収，緩和する。このため、吸着ヘッド３６０が一定速度で移動しつつ、剥離シート２２を剥離できる。この結果、粘着フィルム２０の高精度な位置決め作業を確保しつつ、剥離シート２２の剥離作業にバラツキが生じないという利点がある。
【００５６】
剥離シート２２の剥離を行い、１枚の基板１０に必要な長さの粘着フィルム分だけ後退して停止すると同時に、巻き取りリール３４４のシャフト３４５に設けたトルクリミット機構が働き、巻き取りリール３４４の巻取作業も停止する。これは、剥離シート２２を引っ張りすぎることによる剥離シート２２の破断と、粘着フィルム２０からの剥離シート２２の不要な剥離とを防止するためである。
【００５７】
次に、吸着孔３２７の吸引のみを停止し、第３テンションローラー３３７が、図３および図１１中の左側に若干の距離だけ移動し、粘着フィルム２０を引っ張って調整する。この調整動作は、スライダー３６０が停止した反動で、吸着ヘッド３６０の腕部３６３の直下に位置する粘着フィルム２０が部分的に弛み（図１１）を生じることがあるが、前記弛みを解消して基板一枚分の粘着フィルム片２３の寸法精度を保つための動作である。
【００５８】
次に、吸着孔３２７の吸引を再開し、吸着ヘッド３６０が下降し、腕部３６３と上ベースプレート３１３とで粘着フィルム２０を挟持した後、シリンダー３７３（図５）が作動する。したがって、吸着孔３２７による吸引と腕部３６３による挟持とによって、粘着フィルム２０が上ベースプレート３１３上に確実に固定される。そして、カッターブラケット３７４がスライド移動すると、前記カッターブラケット３７４に取り付けたカッター３７５が切断溝３２０に沿って移動する。このため、前記カッター３７５の切り刃３７６が粘着フィルム２０を所定の長さの粘着フィルム片２３に切断する。図６に示すように、前記切り刃３７６は略円弧面を有し、粘着フィルム２０の裏面から粘着層２１に向けて切り出すので、前記切り刃３７６に粘着剤が付着しにくく、切断能力を長期間保持できるという利点がある。なお、切断刃３７５の切り刃３７６は、前記切断刃３７５を両方向から使用できるように形成してある。
【００５９】
なお、粘着フィルム２０には、切断の際に大きなせん断力が作用する。このため、上ベースプレート３１３の吸着孔３２７の吸引力は、位置ずれを防止するため、吸着孔３２３，３２４と同等の吸引力であることが好ましい。例えば、前述した真空発生装置全体の７０〜１００％の吸引力にて吸着孔３２３，３２４，３２７から吸引を行うことが好ましい。
【００６０】
次に、基板１０と粘着フィルム片２３との貼着作業の前に、上ベースプレート３１３の吸着孔３２３，３２４の吸引力の制御を行う。吸着孔３２３，３２４の大きさは、半導体装置１１、チップ１３の大きさによって変わる（図１５）。例えば、切断された粘着フィルム片２３の厚さは一般的に約３０μm程度と薄い。このため、吸着孔３２３，３２４の大きさがφ０．５ｍｍ〜φ１．０ｍｍ程度であれば、吸着孔３２３，３２４で前述の吸引力にて吸引動作を行なうと、粘着フィルム片２３のうち、吸着孔３２３，３２４が対応する部分に凹部が発生してしまう。この結果、粘着フィルム片２３が部分的に凹んだままの状態で、基板１０と貼着一体化されると、前記凹部に空気が残存する可能性があり、結果的に樹脂封止装置で樹脂封止する際に樹脂漏れをおこす原因となる。このため、帯状フィルム２０の切断作業が終了した時点で、吸着孔３２３，３２４の吸引力を弱めることが好ましい。最適値としては、例えば、粘着フィルム２０の切断時点の吸引力よりも３〜３０％程度、低く調整することが好ましい。これにより、粘着フィルム片２３の位置ずれを防止できるとともに、粘着フィルム片２３に凹部が発生せず、樹脂封止装置で成形を行う際の樹脂漏れを防止できる。
【００６１】
また、別の実施形態として、サイズが比較的小さい半導体装置の場合、もしくは、粘着フィルムの厚さが厚い場合、吸着孔３２４の吸引力は、粘着フィルム２０の切断時と同じ吸引力として、吸着孔３２３の吸引力のみを弱めるように制御してもよい。吸着孔３２４は、タイバー１４の直下に位置している。このため、仮に粘着フィルム片２３を強く吸引することにより、粘着フィルム片２３に凹部が形成されても、基板１０の肉部が欠けている部分があり、その欠けている部分からエアが抜けて凹部が消失するからである。
しかし、吸着孔３２３の場合は、比較的サイズが小さい半導体装置でもダイパッド１２の占める割合は比較的広く、少なくとも４ｍｍ×２ｍｍ程度はある。このため、吸引力を強くすることにより、粘着フィルム片２３に凹部が発生したままの状態で基板１０に貼着一体化すると、空気が粘着フィルム片２３とダイパッド１２との間に残存する。したがって、吸着孔３２３の吸引力のみを制御して凹部の発生を防止してもよい。
【００６２】
次に、切断された前記粘着フィルム片２３に基板１０を貼着するには、まず、スライダー３５７が基板搬送台４０１に衝突しない位置まで移動する（図１２）。この場合も、吸着ヘッド３６０は、前工程に連続して粘着フィルム２０を切断した後、上昇した位置のままでスライド移動する。また、フィルム供給機構３３０によって一定の引張力が負荷されているので、粘着フィルム２０は弛むこともなく、上ベースプレート３１３上を引きずることもない。
【００６３】
そして、前記待機台２０４に位置決めした基板１０を基板搬送台４０１のチャック爪４０２で保持し、粘着フィルム片２３の直上まで搬送し、下降することにより、基板１０と粘着フィルム片２３とを貼着一体化する。この時、粘着フィルム片２３は、吸着孔３２３，３２４の吸引力によって前記上ベースプレート３１３に保持されているため、位置ずれを生じるおそれはない。ついで、基板搬送台４０１が下降して粘着フィルム片２３と基板１０とを貼着一体化した後、吸着孔３２３，３２４の吸引を停止する。
【００６４】
次に、基板搬送台４０１が上昇し、粘着フィルム片２３を貼着した基板３０を基板収納ユニット５００の待機台５０７に搬送し、チャック爪５０６が既述したようにマガジン５０２に１枚ずつ収納する。
【００６５】
最後に、スライダー３５７が初期の設定位置に復帰し、前述の工程を繰り返す。
【００６６】
なお、例えば、ＭＡＰタイプ（複数個の半導体チップを一括して封止するパッケージ）の基板１０であれば、半導体装置を設けた基板１０の外周縁部だけを押圧することにより、基板１０と粘着フィルム片２３とを貼着一体化してもよい。
また、基板搬送台４０１の下降後に、上ベースプレート３１３の吸着孔３２３，３２４において負圧吸引している状態を正圧に切り替え、粘着フィルム片２３を基板１０に押圧してもよい。これにより、貼着工程における作業効率が良くなるだけでなく、空気を使用して貼着一体化するので、基板に対する押圧ムラが無くなり、均一に貼着できる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本願発明にかかるフィルム貼着装置は、前述の基板に限らず、他の形状の基板にも適用できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明に係る実施形態を示すフィルム貼着装置全体の平面図である。
【図２】図１で示した実施形態に係るフィルム貼着ユニットの拡大平面図である。
【図３】図２で示したフィルム貼着ユニットの正面図である。
【図４】図２で示したフィルム貼着ユニットの要部拡大平面図である。
【図５】図２で示したフィルム貼着ユニットの部分拡大側面図である。
【図６】図５で示したフィルム貼着ユニットの要部拡大側面図である。
【図７】本発明に係るフィルム貼着工程の開始時を説明する正面図である。
【図８】本発明に係るフィルム貼着工程途中を説明する正面図である。
【図９】本発明に係るフィルム貼着工程途中を説明する正面図である。
【図１０】本発明に係るフィルム貼着工程途中を説明する正面図である。
【図１１】本発明に係るフィルム貼着工程途中を説明する正面図である。
【図１２】本発明に係るフィルム貼着工程の終了段階を説明する正面図である。
【図１３】上ベースプレートの部分拡大平面図である。
【図１４】上ベースプレートに粘着フィルムおよび基板を順次積み重ねた状態を示す部分拡大平面図である。
【図１５】図１４の更なる部分拡大平面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１０：基板
１１：半導体装置
１２：ダイパッド
１３：チップ
１４：タイバー
１５：リード
１６：ワイヤ
３０：貼着済み基板
【００７０】
２０：粘着フィルム
２１：粘着層
２２：剥離シート
２３：粘着フィルム片
【００７１】
１００：フィルム貼着装置
１０１：ベースプレート
【００７２】
２００：基板供給ユニット
２０１：マガジン
２０２：マガジン台
２０３：マガジンエレベーターユニット
２０４：待機台
２１０：基板引き出し機構
２１１：チャック爪
２１２：ガイドレール
【００７３】
３００：フィルム貼着ユニット
３１０：吸着台
３１１：基台
３１２：下ベースプレート
３１３：上ベースプレート
３２０：切断溝
３２０ａ：カットライン
３２１，３２２，３２６：連通孔
３２３，３２４，３２７：吸着孔
３２５：凹部
３２６：連通孔
【００７４】
３３０：フィルム供給機構
３３１：フィルム供給リール
３３２：シャフト
３３３：第１テンションローラー
３３４：テンションアーム
３３５：一端部
３３６：第２テンションローラー
３３７：第３テンションローラー
３３８：ベアリング
３３９：シャフト
３４０：ガイドユニット
３４１：ブラケット
３４２：リニアリール
３４３：シリンダー
３４４：巻き取りリール
３４５：シャフト
３４６：電動モーター
【００７５】
３５０：フィルム引出し機構
３５１：スタンド
３５２：電動モーター
３５３：ローラー
３５４：スタンド
３５５：ローラー
３５７：スライダー
３５８：ガイドユニット
３５９：ガイドピン
３６０：吸着ヘッド
３６１：ガイドブッシュ
３６２：駆動用シリンダー
３６３：腕部
３６４：吸着孔
３６５：連通孔
【００７６】
３７０：カッター台
３７１，３７２：ガイド軸
３７３：エアーシリンダー
３７４：カッターブラケット
３７５：カッター
３７６：切り刃
【００７７】
４００：基板搬送ユニット
４０１：基板搬送台
４０２：係止爪
【００７８】
５００：基板収納ユニット
５０１：マガジン台
５０２：マガジン
５０３：マガジンエレベーター
５０４：ガイドレール
５０５：基板収納機構
５０６：チャック爪
５０７：待機台
【００７９】
６００：樹脂封止装置
６０１：プレヒート装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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