(57)【要約】【課題】  従来の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置では、ブロードな共鳴吸収スペクトルしか得られず、従って表面プラズモン共鳴吸収波長を計測、解析をすることが困難である。【解決手段】  本発明では、光ファイバを全反射条件を満たす所定角度に屈曲させ、その屈曲部分の、少なくとも山側のコアをクラッドから露出させて平面部を形成すると共に、平面部に表面プラズモン共鳴を生じさせるための金属薄膜を形成した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成することにより、このような課題を解決した。【選択図】    図２
2006201115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバを全反射条件を満たす所定角度に屈曲させ、その屈曲部分の、少なくとも山側のコアをクラッドから露出させて平面部を形成すると共に、平面部に表面プラズモン共鳴を生じさせるための金属薄膜を形成した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ
【請求項２】
コアは、平面部のみをクラッドから露出させて金属薄膜を形成した請求項１に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ
【請求項３】
コアは、屈曲部分と、その近傍をクラッドから露出させた請求項１に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ
【請求項４】
光ファイバの屈曲部分及びその近傍を、金属薄膜を形成した部分を除いて遮光性膜により覆った請求項１〜３までのいずれか１項に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ
【請求項５】
遮光性膜は金属膜である請求項４に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ
【請求項６】
遮光性膜は有機物膜である請求項４に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ
【請求項７】
遮光性膜は無機物膜である請求項４に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ
【請求項８】
請求項１〜７までのいずれか１項に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成する光ファイバの一端側に白色光を入射する光源部を配置すると共に、他端側に、上記屈曲部分を通った光を検出する検出部を配置した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置
【請求項９】
請求項１〜７までのいずれか１項に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成する光ファイバの一端側に赤外光を入射する光源部を配置すると共に、他端側に、上記屈曲部分を通った光を検出する検出部を配置した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置
【請求項１０】
請求項１〜７までのいずれか１項に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成する光ファイバの一端側にレーザなどの単色光を入射する光源部を配置すると共に、他端側に、上記屈曲部分を通った光を検出する検出部を配置した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置
【請求項１１】
光源部を配置した一端側から検出部を配置した他端側に至る光ファイバの複数個所に請求項１〜７までのいずれか１項に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成した請求項８，９又は１０に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置
【請求項１２】
複数個所に構成する光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサは、単体の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサの複数を直列に接続して構成した請求項１１に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置
【請求項１３】
複数個所に構成する光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサは、屈曲部分の角度と、金属薄膜の素材と、金属薄膜の厚さの、少なくとも一つを異ならせた構成とした請求項１１に記載の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ及び光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属中においては、自由電子が集団的に振動して、プラズマ波と呼ばれる粗密波が生じる。この金属表面に生じる粗密波を量子化したものは表面プラズモンと呼ばれている。
【０００３】
この表面プラズモンが光波によって励起される現象を利用して、試料中の物質を検出する表面プラズモン共鳴センサ装置が、従来から種々提案されている。
【０００４】
それらの中で特に良く知られているものとして、例えば図８に概念図を示している、クレッチマン（Kretschmann）配置として称される光学系を用いたものが挙げられる。
【０００５】
この系では、図８に示すようにプリズムａの表面に、金や銀等の金属薄膜ｂを形成し、プリズムａの側から金属薄膜ｂとの界面に向かって、全反射条件を満たす角度、即ち入射角度θで入射光ｃを照射すると、ある特定の入射角度θspの時に金属薄膜ｂに表面プラズモンｆが励起されるというものである。
【０００６】
金属薄膜ｂに表面プラズモンが励起されると、それに光エネルギが共鳴吸収されるため、例えば図９に示すように、プリズムａと金属薄膜ｂの界面で全反射する反射光ｄの強度が著しく低下する。尚、図９は、図３の構成における入射角度θと反射光ｄの強度、この場合は反射率との関係を示すものである。
【０００７】
ここで、表面プラズモン共鳴が生じる入射角度θは、金属薄膜ｂと接触している測定部ｅの媒質密度に依存する関係があるため、この光学系から反射される反射光ｄの強度が特異的に低下する反射角度を求めることにより、表面プラズモン共鳴現象の有無と、この現象が生じているときの入射角度θを求めることが可能となり、従って測定部ｅの媒質の密度、即ち金属薄膜ｂの表面の質量の変化を検出することができる。
【０００８】
このように表面プラズモン共鳴現象を利用することにより、金属薄膜ｂの表面の質量の微少な変化を、金属薄膜ｂの表面プラズモン共鳴吸収による光の強度の変化又は表面プラズモン共鳴吸収が生じる入射角度θの変化を鋭敏に検出することができ、例えば１ピコグラムレベルの非常に微少な量の質量変化をも検出することが可能となる。
【０００９】
このため表面プラズモン共鳴センサは、一般的な計測方法では計測が困難な微少量変化を扱う生化学分野に応用されている。
【００１０】
表面プラズモン共鳴センサとしては、種々の型式のものが提案されているが、その一つとして光ファイバを利用したものがある。
【００１１】
例えば特許文献１及び特許文献２は光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを使用した装置の一例を示すものであり、その構成を図１０を参照して説明すると次の通りである。
【００１２】
符号ｇは光ファイバ、例えばステップインデックス型マルチモード光ファイバであり、図中拡大して示しているように、その先端において、クラッドｈを除去してコアｉを露出させ、その露出したコアｉの表面に金属薄膜ｊを形成して、センサを構成している。そして先端にセンサ部ｋを構成した光ファイバｇは、ビームスプリッタｌを介して光源ｍ側の光ファイバｎと検出器ｏ側の光ファイバｐに接続して光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置を構成している。尚、符号ｑは集光レンズである。
【００１３】
このような光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置では、センサ部ｋに対して試料を所定位置に置き、光源ｍから集光レンズｑを経て光ファイバｎに白色光を導入し、ビームスプリッタｌを介して光ファイバｇに導入する。そして、センサ部ｋからの反射光をビームスプリッタｌから光ファイバｐを経て検出器ｏに導入し、その波長特性を検出する。即ち、これは、表面プラズモン共鳴センサの光の波長依存性を利用したもので、センサ部ｋのコアｉと金属薄膜ｊとの界面の入射角度θが一定であるとき、波長分散に関する共鳴吸収スペクトルが得られる。こうして表面プラズモン共鳴吸収波長を計測、解析することで、試料の微少量の質量変化を検出することを図るものである。
【特許文献１】特許第２９３８９７３号公報
【特許文献２】特開平１１−２２３５９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
以上に説明した従来の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置では、光ファイバｇに入射した光は、その光ファイバｇの特性により、様々な入射角度成分を持っており、得られる表面プラズモン共鳴吸収スペクトルは、夫々の入射角度成分の足し合わせになるため、ブロードな共鳴吸収スペクトルしか得られず、従って表面プラズモン共鳴吸収波長を計測、解析をすることが困難である。
【００１５】
一方、光ファイバｇに導入された光がセンサ部ｋにおいて反射するためには、一定以上の長さが必要であり、それ以下では表面プラズモン共鳴吸収による光強度の変化を検出することができないのに対して、従来のものでは、一定以上の長さのコアの露出した表面、即ち曲面に金属薄膜を形成しなければならないため、均一な金属薄膜を形成するのが非常に困難である。
【００１６】
また、表面プラズモン共鳴センサ装置は、主な用途として生化学反応を対象とした計測に用いられるのであるが、この際には、生化学反応以外の物質がセンサ部に物理的に吸着する等の要因によっても共鳴吸収スペクトルに変化を生じてしまうため、目的の生化学反応を検出するセンサと、参照とするセンサの、最低限２つ以上のチャンネルが必要である。
【００１７】
しかしながら上述した従来のものでは、２チャンネル以上のセンサを構成しようとすると、装置全体が２つ以上必要となってしまい、スペースやコスト等の観点から現実的ではない。
本発明は、このような課題を解決することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上述した課題を解決するために、本発明では、まず光ファイバを全反射条件を満たす所定角度に屈曲させ、その屈曲部分の、少なくとも山側のコアをクラッドから露出させて平面部を形成すると共に、平面部に表面プラズモン共鳴を生じさせるための金属薄膜を形成した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを提案する。
【００１９】
そして本発明では、上記センサにおいて、コアは、平面部のみをクラッドから露出させて金属薄膜を形成すること、又はコアは、屈曲部分と、その近傍をクラッドから露出させた構成とすることを提案する。
【００２０】
また本発明では、以上のセンサにおいて、光ファイバの屈曲部分及びその近傍を、金属薄膜を形成した部分を除いて遮光性膜により覆った構成とすることを提案する。
【００２１】
そして本発明では、上記のセンサにおいて、遮光性膜は金属膜、有機物膜、又は無機物膜とすることを提案する。
【００２２】
次に本発明では、以上に説明した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成する光ファイバの一端側に白色光又は赤外光又はレーザなどの単色光を入射する光源部を配置すると共に、他端側に、上記屈曲部分を通った光を検出する検出部を配置した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置を提案する。
【００２３】
また本発明では、上記の装置において、光源部を配置した一端側から検出部を配置した他端側に至る光ファイバの複数個所に、上述した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成することを提案する。
【００２４】
また本発明では、上記装置において、複数個所に構成する光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサは、単体の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサの複数を直列に接続して構成することを提案する。
【００２５】
さらに本発明では、上記装置において、複数個所に構成する光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサは、屈曲部分の角度と、金属薄膜の素材と、金属薄膜の厚さの、少なくとも一つを異ならせた構成とすることを提案する。
【発明の効果】
【００２６】
以上の本発明によれば、光ファイバ中を導波する光の最も強い光成分を、上述したクレッチマン配置における入射角度θとすることができ、表面プラズモン共鳴吸収の強度が大きいため、先鋭な共鳴吸収スペクトルを得ることができる。
【００２７】
また表面プラズモン共鳴を起こさせる金属薄膜は、光ファイバのコアに形成した平面部に形成するため、膜厚の均一性を得やすい。
【００２８】
光ファイバの屈曲部分及びその近傍を、金属薄膜を形成した部分を除いて遮光性膜により覆った構成とすれば、金属薄膜を形成した平面部以外での表面プラズモン共鳴の生成を抑制することができる。このため、平面部での表面プラズモン共鳴のみを測定することとなり、共鳴吸収スペクトルがブロードとなることを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明では、光源部を配置した一端側から検出部を配置した他端側に至る光ファイバの複数個所に、上述した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成することにより、光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサの多チャンネル化を容易に実現できる。この多チャンネル化では、複雑な光学系の調整を必要とせず、装置コストも安価である。
【実施例１】
【００３０】
次に本発明を、実施例を示す図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明を適用した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置の実施例を模式的に示す系統図である。
符号１は光ファイバであり、２はこの光ファイバ１に形成したセンサ部を示すものである。センサ部２は、図２又は図３に拡大して示すように、光ファイバ１を全反射条件を満たす所定角度θに屈曲させ、その屈曲部分３の、少なくとも山側のコア４をクラッド５から露出させて平面部６を形成すると共に、平面部６に表面プラズモン共鳴を生じさせるための金属薄膜７を形成した構成である。
【００３１】
コア４のクラッド５からの露出の仕方は、図２に示すように、平面部６のみをクラッド５から露出させて金属薄膜７を形成しても良いし、また図３に示すように、平面部６のみならず、屈曲部分３と、その近傍をクラッド５から露出させても良い。
【００３２】
また図３に２点鎖線で示すように、屈曲部分３及びその近傍の光ファイバ１を、金属薄膜を形成した部分を除いて、金属膜、有機物膜又は無機物膜等の材質の遮光性膜８により覆うのが好ましい。
【００３３】
また平面部６に形成する金属薄膜７は、金、銀、銅又はアルミニウム等の適宜の金属を、既知の成膜方法により形成することができる。
【００３４】
このようにセンサ部２を形成した光ファイバ１の一端側に光を入射する光源部９を配置すると共に、他端側に、上記センサ部２、即ち屈曲部分３を通った光を検出する検出部１０を配置して光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置を構成する。
【００３５】
図において光源部９は、光源１１と集光レンズ１２とから構成しているが、光源部９の構成は適宜である。例えば、光源部９は、光ファイバ１に白色光を入射させるものとする他、赤外光や単色光を入射させるものとすることができる。
【００３６】
また図において検出部１０は、光強度の検出器１３と、検出器１３によって検出した光強度から、共鳴吸収スペクトルを生成するコンピュータ１４とから構成している。検出器１３は光強度を検出する適宜の構成を適用できるが、例えば分光器やプリズムやグレーティングを介してＣＣＤ素子やＰＤ（フォトダイオード）アレイ等で構成することができる。
【００３７】
以上の構成において、光源１１から出射した光、例えば白色光や赤外光あるいは単色光は、集光レンズ１２を経て光ファイバ１に入射し、この光ファイバ１を伝搬して屈曲部分３、即ちセンサ部２に至る。
【００３８】
センサ部２に至った光は、所定の角度θで屈曲させられた屈曲部分３において、平面部６により全反射して通過し、この際、平面部６に形成された金属薄膜７に表面プラズモンを励起する。次いで検出器１３まで伝搬して、そこで光強度が測定されると共にコンピュータ１４により共鳴吸収スペクトルが生成される。
【００３９】
センサ部２は、このように上述したクレッチマン配置における入射角度θに相当する角度で屈曲されているため、光ファイバ中を導波する光の最も強い光成分を、上述したクレッチマン配置における入射角度θとすることができ、表面プラズモン共鳴吸収の強度が大きいため、先鋭な共鳴吸収スペクトルを得ることができる。
【００４０】
こうして本発明では、表面プラズモン共鳴現象を利用して、金属薄膜７の表面の質量の微少な変化を、金属薄膜７の表面プラズモン共鳴吸収による光の強度の変化又は表面プラズモン共鳴吸収が生じる入射角度θの変化を鋭敏に検出することができる。
【００４１】
また本発明では、表面プラズモン共鳴を起こさせる金属薄膜７は、光ファイバ１のコア４に形成した平面部６に形成するため、膜厚の均一性を得やすく、従って高精度の測定を可能とする。
【００４２】
そして本発明では、光ファイバ１の屈曲部分３及びその近傍を、金属薄膜７を形成した部分を除いて遮光性膜８により覆った構成とすれば、金属薄膜７を形成した平面部６以外での表面プラズモン共鳴の生成を抑制することができ、このため、平面部６での表面プラズモン共鳴のみを測定することとなり、共鳴吸収スペクトルがブロードとなることを防ぐことができる。
【００４３】
以上の装置の具体的測定方法を説明すると次の通りである。
まず、光源部９により光ファイバ１に白色光を入射して導波させ、センサ部２を透過した光の波長スペクトルを検出部１０にて測定する。
【００４４】
次いで金属薄膜７を形成したコア４の平面部６を、基準とする溶液中に浸した後の透過光の波長スペクトルを検出部１０にて測定し、正規化して表面プラズモン共鳴吸収スペクトルを得ると共に最も吸収率の高い波長を共鳴波長とする。
【００４５】
次いで金属薄膜７を形成したコア４の平面部６を、測定する試料の溶液中に浸した後の透過光の波長スペクトルを検出部１０にて測定し、表面プラズモン共鳴吸収スペクトルを得ると共に最も吸収率の高い共鳴波長を求め、基準とする溶液における共鳴波長との差を解析することにより屈折率変化を検出して、これから試料の質量変化等を測定することができる。
【００４６】
また、上述した共鳴波長との差が極微小な場合、共鳴波長近傍での任意波長の光強度の変化より屈折率変化を算出して、これから試料の質量変化等を測定することができる。
【実施例２】
【００４７】
上述したように表面プラズモン共鳴センサ装置は、主な用途として生化学反応を対象とした計測に用いられるのであるが、この際には、生化学反応以外の物質がセンサ部に物理的に吸着する等の要因によっても共鳴吸収スペクトルに変化を生じてしまうため、目的の生化学反応を検出するセンサと、参照とするセンサの、最低限２つ以上のチャンネルが必要である。本発明は、この多チャンネル化を容易に行えるものであり、以下にその実施例を説明する。
【００４８】
図４は本発明を適用した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置の他の実施例を模式的に示す系統図である。この実施例では図１に示す装置において、光源部９を配置した一端側から検出部１０を配置した他端側に至る光ファイバ１の複数個所に上記センサ部２（２ａ，２ｂ，２ｃ，…）を構成したものであり、図１の構成と同様な構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００４９】
上記複数個所の上記センサ部２（２ａ，２ｂ，２ｃ，…）は、一つの光ファイバ１に一体に構成しても良いし、上記センサ部２を構成した単体としての複数の光ファイバ１を接続して構成することもできる。後者のものでは、共鳴波長の異なるセンサ部２を有する複数の光ファイバ１を、市販の光コネクタ１５等を介して簡易に直列に接続が可能であり、その個数や、夫々の共鳴波長の選択も容易であり、また複雑な光学系の調整を必要とせず、装置コストも安価である。
【００５０】
上述したとおり、表面プラズモン共鳴吸収のピーク波長は、入射角度θ、金属薄膜７の膜種及び金属薄膜７の膜厚の影響を受けるため、上記複数個所の上記センサ部２（２ａ，２ｂ，２ｃ，…）は、屈曲部分３の角度θと、金属薄膜７の素材と、金属薄膜７の厚さの、少なくとも一つを異ならせた構成とする。
【００５１】
このように共鳴波長の異ならせた、例えば２つのセンサ部２を、光源部９から検出部１０に至る光ファイバ１に構成することにより、図６に示すように、共鳴吸収スペクトルには、夫々に対応した２つの共鳴吸収ピークが現れ、２つのチャンネルを１つの光源部９と検出部１０によって測定することが可能となる。また３つのセンサ部２を、光源部９から検出部１０に至る光ファイバ１に構成することにより、図７に示すように、共鳴吸収スペクトルには、夫々に対応した３つの共鳴吸収ピークが現れ、３つのチャンネルを１つの光源部９と検出部１０によって測定することが可能となる。
【００５２】
図５は複数個所の上記センサ部２（２ａ，２ｂ，２ｃ，…）の夫々の屈曲部分３（３ａ，３ｂ，３ｃ，…）の角度θ（θ1，θ2，θ3，…）を変えることにより、共鳴吸収のピーク波長を異ならせた例を示すものである。
【００５３】
次に、マルチチャンネル化した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置を用いて、生化学反応の検出を行う手順を説明する。
まず、共鳴吸収波長の異なるセンサ部２を有する複数の光ファイバ１を上記光コネクタ１５等で直列に接続するのであるが、これらの光ファイバ１は、生化学反応を生じる生化学物質が上記平面部６の金属薄膜７上に配置して表面修飾した光ファイバ１と、表面修飾をしていない光ファイバ１を用いる。
【００５４】
金属薄膜７上に表面修飾した生化学物質は、試料中に特異的に反応する成分を有する場合、この成分と反応して金属薄膜７上に微少な質量をもたらす。この質量の変化は、対応するチャンネルの共鳴吸収のピーク波長の変化として検出される。この際、実際には、物理吸着等も同時に起こるため、表面修飾されていないセンサ部２を有する光ファイバに対応するチャンネルにおいて生じた共鳴吸収のピーク波長の変化を、検出目的の生化学反応以外の要因による変化として、波長変化の差を解析することで、目的の生化学反応の有無、特定成分の有無を判断することができる。
【００５５】
また本発明では、以上に述べたように、共通の光源部９と検出部１０により、複数のチャンネルに関して同時測定が可能であるため、用いた全ての共鳴波長変化を、間欠的に、例えば数十ミリ秒毎に連続的に測定することで、目的成分の有無だけでなく、目的の生化学反応に関する動力学的知見を得ることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサは、以上のとおり、光ファイバを全反射条件を満たす所定角度に屈曲させ、その屈曲部分の、少なくとも山側のコアをクラッドから露出させて平面部を形成すると共に、平面部に表面プラズモン共鳴を生じさせるための金属薄膜を形成している構成であるため、以下に示すような多くの特徴があり、産業上の利用可能性が大である。
【００５７】
１．光ファイバ中を導波する光の最も強い光成分を、上述したクレッチマン配置における入射角度θとすることができ、表面プラズモン共鳴吸収の強度が大きいため、先鋭な共鳴吸収スペクトルを得ることができる。
２．表面プラズモン共鳴を起こさせる金属薄膜は、光ファイバのコアに形成した平面部に形成するため、膜厚の均一性を得やすい。
３．光ファイバの屈曲部分及びその近傍を、金属薄膜を形成した部分を除いて遮光性膜により覆った構成とすれば、金属薄膜を形成した平面部以外での表面プラズモン共鳴の生成を抑制することができ、このため、平面部での表面プラズモン共鳴のみを測定することとなり、共鳴吸収スペクトルがブロードとなることを防ぐことができる。
４．光源部を配置した一端側から検出部を配置した他端側に至る光ファイバの複数個所に、上述した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサを構成することにより、光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサの多チャンネル化を容易に実現できる。この多チャンネル化では、複雑な光学系の調整を必要とせず、装置コストも安価である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明を適用した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置の実施例を模式的に示す系統図である。
【図２】図１のセンサ部の一例の拡大図である。
【図３】図１のセンサ部の他例の拡大図である。
【図４】本発明を適用した光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置の他の実施例を模式的に示す系統図である。
【図５】図４のセンサ部の一例の拡大図である。
【図６】多チャンネル化したセンサ部における共鳴吸収スペクトルの一例図である。
【図７】多チャンネル化したセンサ部における共鳴吸収スペクトルの他例図である。
【図８】表面プラズモン共鳴センサの動作の概念図を示すものである。
【図９】表面プラズモン共鳴吸収を示す入射角度と反射率の対応関係図である。
【図１０】従来の光ファイバ型表面プラズモン共鳴センサ装置の一例を示す系統図である。
【符号の説明】
【００５９】
１                            光ファイバ
２（２ａ，２ｂ，２ｃ，…）    センサ部
３（３ａ，３ｂ，３ｃ，…）    屈曲部分
４                            コア
５                            クラッド
６                            平面部
７                            金属薄膜
８                            遮光性膜
９                            光源部
１０                          検出部
１１                          光源
１２                          集光レンズ
１３                          検出器
１４                          コンピュータ
１５                          光コネクタ
【図１】
2006201115.tif 000003
【図２】
2006201115.tif 000004
【図３】
2006201115.tif 000005
【図４】
2006201115.tif 000006
【図５】
2006201115.tif 000007
【図６】
2006201115.tif 000008
【図７】
2006201115.tif 000009
【図８】
2006201115.tif 000010
【図９】
2006201115.tif 000011
【図１０】
2006201115.tif 000012