(57)【要約】【課題】固定装置及び／又は管端部カバーが、材料接続的又は形状接続的に支持体ボディと結合されていることによって、さもなければ必要なスパッタ材料と支持体管との間のろう接過程を生ぜしめる問題を回避する。【解決手段】固定装置及び／又は管端部カバーが、材料接続的又は形状接続的にターゲットボディと結合されているようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状のスパッタターゲットであって、ターゲットボディと、少なくとも一方の管端部に配置された固定装置とが設けられている形式のものにおいて、
固定装置及び／又は管端部カバーが、材料接続的又は形状接続的にターゲットボディと結合されていることを特徴とする、管状のスパッタターゲット。
【請求項２】
ターゲットボディがほぼ完全に管横断面を覆って延在している、請求項１記載の管状のスパッタターゲット。
【請求項３】
ターゲットボディが金属から、殊にチタン、モリブデン、ニオブ、クロム、タングステン、アルミニウム、銅、ジルコニウム、タンタル、ニッケル、銀又はこれらの金属の内の少なくとも１つを有する合金から形成されている、請求項１又は２記載の管状のスパッタターゲット。
【請求項４】
固定装置及び／又は管端部カバーが、チタン、モリブデン、タングステン、クロム、アルミニウム、銀、ニッケル、亜鉛、銅、ジルコニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル又はこれらの金属の内の少なくとも１つを有する合金から形成されている、請求項１から３までのいずれか１項記載の管状のスパッタターゲット。
【請求項５】
チタン合金が、チタンと、アルミニウム、すず、銅、ジルコニウム、バナジウム、モリブデンのグループの内の１金属又は複数金属とから形成されている、請求項４記載の管状のスパッタターゲット。
【請求項６】
ターゲットボディ及び固定装置及び／又は管端部カバーが同一材料から形成されている、請求項１から５までのいずれか１項記載の管状のスパッタターゲット。
【請求項７】
固定装置及び／又は管端部カバーがターゲットボディにろう接又は溶接、特に電子ビーム溶接されている、請求項１から６までのいずれか１項記載の管状のスパッタターゲット。
【請求項８】
固定装置がフランジとして形成されている、請求項１から７までのいずれか１項記載の管状のスパッタターゲット。
【請求項９】
ターゲットボディが約０．５〜約５重量％のクロム及び／又はタングステンを有している、請求項１から８までのいずれか１項記載の管状のスパッタターゲット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、管状のスパッタターゲットであって、ターゲットボディと、少なくとも一方の管端部に配置された固定装置とが設けられている形式のものに関する。
【背景技術】
【０００２】
このようなスパッタターゲットは、例えば国際公開第９７／１５６９７号パンフレット、ドイツ連邦共和国特許第１００４３７４８号明細書又はドイツ連邦共和国特許第１００６３３８３号明細書から多数が公知である。このような公知の管状のスパッタターゲットは、スパッタしようとする材料から自己支持式で形成されているか、又は支持体管に設けられた、スパッタしようとする材料のコーティングから形成されていてよい。
【０００３】
実地において、光学的な機能層のためのモリブデン又はモリブデン合金から成る薄膜は、特に大面積のガラスコーティング及びフラットスクリーンのコーティングにおいて重要性が増している。このようなコーティングは一般にスパッタによって製作され、しかも、管状のターゲットの使用が増えている。それというのも、この管状のターゲットは、より良好な産出量及び一様なスパッタ成果を可能にするからである。この場合、正にモリブデン又はモリブデン合金（特にモリブデンベース合金）も使用される。モリブデン又はモリブデン合金は、スパッタターゲット材料として支持体管に被着され且つこの支持体管にろう接され、これにより、管状のスパッタターゲットの十分な安定性が得られる。一般に特殊鋼が支持体管材料として使用されるこの構造は、制限された熱吸収能力及び熱導出能力を有している。それというのも、ろう接結合はしばしば熱的な負荷に耐えられないからである。ろうが溶融して縁部ギャップから外部へ流出すると、スパッタターゲットは最早使用不能である。
【特許文献１】国際公開第９７／１５６９７号パンフレット
【特許文献２】ドイツ連邦共和国特許第１００４３７４８号明細書
【特許文献３】ドイツ連邦共和国特許第１００６３３８３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、公知の欠点を回避することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題を解決するために本発明では、固定装置及び／又は管端部カバーが、材料接続的又は形状接続的にターゲットボディと結合されているようにした。
【発明の効果】
【０００６】
有利な構成は従属請求項に記載されている。
【０００７】
固定装置及び／又は管端部カバーが、材料接続的又は形状接続的に支持体ボディと結合されていることによって、一方ではさもなければ必要なスパッタ材料と支持体管との間のろう接過程を生ぜしめる問題が回避され、他方では管端部の安定化によって所要の機械的な強度が得られ、特にターゲットボディがほぼ完全に管横断面を覆って延在している場合は、材料接続的又は形状接続的な結合によって所要の真空密も得られる。
【０００８】
特に有利には、ターゲットボディが金属から、有利にはチタン、モリブデン、ニオブ、クロム、タングステン、アルミニウム、銅、ジルコニウム、タンタル、ニッケル、銀又はこれらの金属の内の少なくとも１つを有する合金から形成されている。更に、固定装置（有利にはフランジとして形成される）及び／又は管端部カバーがチタン、モリブデン、タングステン、クロム、アルミニウム、銀、ニッケル、亜鉛、銅、ジルコニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル又はこれらの金属の内の少なくとも１つを有する合金から形成されていると有利である。それというのも、これらの金属は一方ではターゲット材料と良好に結合され得、他方では所要の安定性及び熱導出を保証するからである。特に適しているのは、アルミニウム、すず、銅、ジルコニウム、バナジウム、モリブデンのグループの１金属又は複数金属を有するチタン合金である。有利には、チタン・アルミニウム・すず合金、チタン・銅合金、チタン・アルミニウム・ジルコニウム合金、チタン・アルミニウム・バナジウム合金又はチタン・アルミニウム・モリブデン合金が使用される。ターゲットボディの材料は、有利には約０．５〜約５重量％のクロム又はタングステンを有していてよい。更に有利には、ターゲットボディ及び固定装置及び／又は管端部カバーは同一材料から形成されている。更に有利には、固定装置及び／又は管端部カバーはターゲットボディにろう接又は溶接、特に電子ビーム溶接されている。ターゲットボディは変形加工によって、例えば素材ボディの押出し成形又はフローフォーミングによって製作され得る。
【０００９】
このようなスパッタターゲットは、上で説明した公知の支持体管‐スパッタ薄膜構造よりも高いエネルギで負荷可能である。それというのも、当該のスパッタターゲットはより良好な熱伝導率を有しているからである。公知の管と比較して、当該のスパッタターゲットは約１．５倍以上エネルギ負荷可能である。本発明によるスパッタターゲットにより製作される薄膜は、良好な透過、反射及び薄膜抵抗の値を有している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明を実施するための最良の形態を図面につき詳しく説明する。
【００１１】
管ターゲットは、スパッタ装置において片側又は両側を支承され得る。管の内部は周辺環境に対して真空密に閉鎖されている。ターゲットボディ１はモリブデンから、場合によっては約０．５〜約５重量％のクロム又はタングステンを備えて形成されている。片側を支承された管ターゲットの場合（図１）、固定フランジ２は管の一方の端部だけに、電子ビーム溶接法によって真空密に溶接されている一方で、他方の端部は管端部カバー３と真空密に電子ビーム溶接によって結合されている。
【００１２】
管ターゲットの両側が支承されている場合（図２）は、ターゲットボディ１の両端部に固定フランジ２が溶接されている。この場合も、結合部は真空密に、有利には電子ビーム溶接法によって製作されている。管端部カバー３又は固定フランジ２のための材料としては、特に上で述べたチタン合金が適している。
【００１３】
モリブデンは、例えば光電池における背面コンタクトのためのスパッタ材料（大面積コーティング）として使用されるか、又はディスプレイコーティングにおけるアルミニウムとシリコンとの間の拡散バリヤとして使用され得る。チタンは、例えば高度に屈折する二酸化チタン層を形成するために使用されるか、又は拡散バリヤとして使用され得る。クロムは、例えばガラスコーティング又は「ブラックマトリックスディスプレイ」におけるリフレクタ又はＣｒＮ吸収体として使用され得る。ニオブは、例えばガラスコーティングにおいて高度に屈折するＮｂ２Ｏ５層を形成するために使用され得る。タングステンはスパッタ材料として、とりわけエレクトロクロミック用途における酸化タングステンとして使用される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】片側を支承された管ターゲットを示した図である。
【図２】両側を支承された管ターゲットを示した図である。
【符号の説明】
【００１５】
１  ターゲットボディ、  ２  固定フランジ、  ３  管端部カバー
【図１】
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【図２】
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