(57)【要約】【課題】  基板に塗布された溶媒の乾燥を管理し得るインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】  インクジェット塗布装置１において、液滴を噴射するための開口であるノズル５０から液滴を噴射し、塗布対象３０に液滴を塗布する塗布部２ａと、液滴が塗布された塗布対象３０をカバー１４１で覆い、搬出する搬出部５とを備える。またインクジェット塗布装置１において、液滴を噴射する開口であるノズル５０から液滴を噴射し、塗布対象３０に液滴を塗布する塗布装置２と、液滴が塗布された塗布対象３０を乾燥させる乾燥装置４ａ、４ｂと、液滴が塗布された塗布対象３０を収納する収納装置３と、塗布装置２と乾燥装置４ａ、４ｂと収納装置３との間の塗布対象３０の搬送を行う搬送機構５と、塗布装置２と乾燥装置４ａ、４ｂとの間において搬送機構５により搬送される塗布対象３０をカバー１４１で覆う溶媒雰囲気保持機構とを備える。【選択図】      図１
2006159035.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するための開口であるノズルから前記液滴を噴射し、塗布対象に前記液滴を塗布する塗布部と、
前記液滴が塗布された塗布対象をカバーで覆い、搬出する搬出部と、
を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記搬出部は、
前記液滴が塗布された塗布対象を載せる搬送アームと、
前記搬送アームに前記カバーを載せるカバー移動機構と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
液滴を噴射するための開口であるノズルから前記液滴を噴射し、塗布対象に前記液滴を塗布する塗布装置と、
前記液滴が塗布された塗布対象を乾燥させる乾燥装置と、
前記液滴が塗布された塗布対象を収納する収納装置と、
前記塗布装置と前記乾燥装置と前記収納装置との間の前記塗布対象の搬送を行う搬送機構と、
前記塗布装置と前記乾燥装置との間において前記搬送機構により搬送される前記塗布対象をカバーで覆う溶媒雰囲気保持機構と、
を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項４】
前記搬送機構は、前記塗布対象を載せる搬送アームを備え、
前記溶媒雰囲気保持機構は、前記搬送アームに前記カバーを載せるカバー移動機構を備えることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項５】
前記塗布装置及び前記乾燥装置は、前記カバーを保持する保持機構を備えることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクの液滴を噴射させて塗布対象に塗布するインクジェット塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等においては、その表示装置として液晶ディスプレイが用いられている。この液晶ディスプレイの製造工程においては、ノズルから微小な液滴を噴射するようになされたいわゆるインクジェット塗布装置（特許文献１参照）を用いて、透明基板上にR（赤）、G（緑）、B（青）の各色のインクを順次塗布することにより、これら各色のドットが順次配列されてなるカラーフィルタを作成するようになされている。
【０００３】
カラーフィルタの周囲には、バックライトからの光を遮光するための遮光領域が設けられている。このような遮光領域においては、例えば黒色のインクを領域内の全面に塗布することにより、表示領域の周囲においてバックライトからの不要な光を遮光するようになされている。
【０００４】
カラーフィルタに各色のドットを塗布する場合やカラーフィルタの遮光領域に黒色のインクを塗布する場合には、インクジェット塗布装置が用いられている。インクジェット塗布装置においては、インクを噴射するためのノズルが複数設けられたインクジェットヘッドと塗布対象である基板とを相対的に移動させながらインクの塗布位置においてインクを噴射させるようになされている。
【特許文献１】特開２００４−１１１０７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
インクジェット塗布装置においては、塗布部においてインクが塗布されたカラーフィルタ等の基板を排出経路を介してカセットステーションと呼ばれる基板収納部に収納した後、乾燥工程に係る乾燥装置に搬送するようになされている。
【０００６】
このようにインクジェット塗布装置においては、塗布部から乾燥装置に至る移動経路上に基板収納部が配置されており、この基板収納部に塗布済みの基板を一時保管するようになされていることにより、塗布部においてインクが塗布された後、乾燥工程に至るまでの時間が長くなる。
【０００７】
塗布部においてインクが塗布された基板は、乾燥工程に至るまでの間においては外気に触れた状態となっており、この間にインクの自然乾燥が徐々に進み、乾燥装置によるインク乾燥処理の管理を難しくしていた。
【０００８】
本発明は、このような技術的課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、インクの乾燥を容易に管理し得るインクジェット塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の実施の形態に係る特徴は、インクジェット塗布装置において、液滴を噴射するための開口であるノズルから液滴を噴射し、塗布対象に液滴を塗布する塗布部と、液滴が塗布された塗布対象をカバーで覆い、搬出する搬出部とを備えることである。
【００１０】
また本発明の実施の形態に係る特徴は、インクジェット塗布装置において、液滴を噴射する開口であるノズルから液滴を噴射し、塗布対象に液滴を塗布する塗布装置と、液滴が塗布された塗布対象を乾燥させる乾燥装置と、液滴が塗布された塗布対象を収納する収納装置と、塗布装置と乾燥装置と収納装置との間の塗布対象の搬送を行う搬送機構と、塗布装置と乾燥装置との間において搬送機構により搬送される塗布対象をカバーで覆う溶媒雰囲気保持機構とを備えることである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、インクジェット塗布装置においてインクの乾燥を容易に管理することを可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
（第１の実施の形態）
[インクジェット塗布装置の全体構成]
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係るインクジェット塗布装置１は、基板に対してインク液滴を塗布する塗布装置２と、塗布装置２に対して前工程から基板を搬入して一時保管すると共に、インク液滴が塗布された基板を後工程に搬出する基板収納部（収納装置）３と、インク液滴が塗布された基板を乾燥させる乾燥装置４ａ、４ｂと、塗布装置２、基板収納部３及び乾燥装置４ａ、４ｂの間で基板を搬送する搬送装置５とを備えている。
【００１４】
[塗布装置の構成]
図２に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る塗布装置２は、ノズルからインクの液滴を噴射するインクジェットヘッド４２を用いて基板３０にインクを塗布するインク塗布部２ａと、インクジェットヘッド４２のノズルの乾燥を防止すると共に、常に安定してインク液滴を噴射する状態にノズルを維持するメンテナンス部２ｂと、インク液滴の噴射位置を調整する塗布位置調整部２ｃと、インク液滴が塗布される基板３０を覆って基板３０に塗布されたインクの乾燥を抑制する溶媒雰囲気保持部２ｄと、インク塗布部２ａにおいて基板３０を保持する基板保持テーブルをＸＹ平面内で移動させると共にθ方向に回転させる移動機構２ｆとを備えている。
【００１５】
塗布装置２においては、全体を遮蔽カバー２ｇによって覆うことにより、外気から遮蔽し、ヒータや加湿器によって内部の温度、湿度を調整し得るようになされている。
【００１６】
図３に示すように、移動機構２ｆは、架台２ｈ（図１）の上面にＹ軸方向ガイド板２０が固定されており、このＹ方向ガイド板２０の上面には、Ｙ方向に複数のガイドレール２１が延設されている。このガイドレール２１にはＹ方向移動テーブル２２の下面に設けられたガイド部材２３が係合され、これによりＹ方向移動テーブル２２は、ガイドレール２１にガイドされてＹ方向に移動自在に支持されている。このＹ方向移動テーブル２２の下面には突起部２４が設けられ、この突起部２４に螺合された送りねじ２５をＹ方向移動モータ（図示せず）により回転駆動することにより、Ｙ方向移動テーブル２２をガイド溝２１に沿ってＹ方向に移動するようになされている。
【００１７】
またＹ方向移動テーブル２２の上面には、Ｘ方向に複数のガイドレール（図示せず）が延設されている。このガイドレールには、Ｘ方向移動テーブル２６の下面に設けられたガイド部材（図示せず）が係合され、これによりＸ方向移動テーブル２６は、このガイドレールにガイドされてＸ方向に移動自在に支持されている。このＸ方向移動テーブル２６の下面には突起部２７が設けられ、この突起部２７に螺合された送りねじ２８をＸ方向移動モータ２９により回転駆動することにより、Ｘ方向移動テーブル２６をガイドレールに沿ってＸ方向に移動するようになされている。
【００１８】
Ｘ方向移動テーブル２６の上面には、ベアリングを用いたθ方向回転機構３１が設けられており、Ｘ方向移動テーブル２６に対して筐体３２をθ方向に回転自在に支持している。θ方向回転機構３１の筐体３２は、θ方向回転モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりθ方向に回転駆動される。筐体３２の上面には、基板保持テーブル３３が設けられており、筐体３２の回転に伴ってθ方向に回転する。
【００１９】
基板保持テーブル３３は、真空吸着機構（図示せず）により、インクの塗布対象である基板３０を吸着保持するようになされている。
【００２０】
基板保持テーブル３３のＸ方向への移動量は、Ｘ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができ、基板保持テーブル３３のＹ方向への移動量は、Ｙ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができ、基板保持テーブル３３のθ方向への回転量はθ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００２１】
塗布装置２の背面側においては、基板収納部（図示せず）から塗布前の基板３０を受け入れて基板保持テーブル３３に載置すると共に、インク塗布済みの基板３０を基板収納部に排出するための導入排出部９が設けられている。
【００２２】
図２に示すインク塗布部２ａにおいて、架台２の上方には、インクジェットヘッドユニット４０がＸ方向、Ｙ方向及び上下方向であるＺ方向に移動自在に支持されている。
【００２３】
すなわちインク塗布部２ａにおいて、架台２の上面には、Ｙ方向ガイド板２０を挟む位置に１組のコラム３４ａ、３４ｂが立設されており、このコラム３４ａ、３４ｂの上部にはＸ方向ガイド板３５が横架されている。
【００２４】
Ｘ方向ガイド板３５の前面には、Ｘ方向にガイド機構３６が延設されており、このガイド機構３６には、複数のインクジェットヘッドユニット４０がＸ方向に移動自在に支持されている。
【００２５】
図４に示すように、インクジェットヘッドユニット４０において、このインクジェットヘッドユニット４０を垂設するベース板４１がガイド機構３６に係合されている。このベース板４１は、ヘッドユニット移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド機構３６に沿ってＸ方向に移動される。このＸ方向への移動量は、Ｘ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００２６】
インク塗布部２ａにおいては、塗布装置２の動作を制御する制御部１０により、Ｙ方向移動テーブル２２のＹ方向への移動、Ｘ方向移動テーブル２６のＸ方向への移動及びベース板４１のＸ方向への移動をそれぞれ制御し、これにより基板保持テーブル３３に保持された基板３０とベース板４１に垂設されたインクジェットヘッドユニット４０との相対位置を種々に変化させることができる。
【００２７】
ベース板４１には、複数のインクジェットヘッドユニット４０が垂設されており、このインクジェットヘッドユニット４０において、その下端部に設けられたインクジェットヘッド４２により下方にインクを噴射するようになされている。これら複数のインクジェットヘッドユニット４０は、それぞれ同一の構成を有する。
【００２８】
図４に示すように、インクジェットヘッドユニット４０においては、ベース板４１に支持され、移動部４４ａをＺ方向（上下方向）に移動自在に支持するＺ方向移動機構４４と、このＺ方向移動機構４４の移動部４４ａに支持され、移動部４５ａをＹ方向に移動自在に支持するＹ方向移動機構４５と、このＹ方向移動機構４５の移動部４５ａに支持され、回転部４６ａをＺ方向周りの回転方向であるθ方向に回転自在に支持するθ方向回転機構４６と、このθ方向回転機構４６の回転部４６ａに垂下されるインクジェットヘッド４２とを有し、Ｚ方向移動機構４４によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＺ方向に高さ調整することができると共に、Ｙ方向移動機構４５によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＹ方向に調整することができる。また、θ方向回転機構４６によりインクジェットヘッド４２の向きを基板３０に対してθ方向に回転させることができる。なお、Ｙ方向移動機構４５及びＺ方向移動機構４４には、それぞれモータ等を用いたＹ方向ヘッド調整用アクチュエータ４５ｂ及びＺ方向ヘッド調整用アクチュエータが設けられ、これらによりインクジェットヘッド４２をＹ方向、Ｚ方向へ移動させることができる。また、θ方向回転機構４６には、モータ等を用いたθ方向回転アクチュエータ４６ｂが設けられており、これによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってθ方向に回転させることができる。またインクジェットヘッド４２のＹ方向への移動量、Ｚ方向への移動量及びθ方向への回転量は、それぞれＹ方向エンコーダ（図示せず）、Ｚ方向エンコーダ（図示せず）及びθ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００２９】
このようにインクジェットヘッドユニット４０においては、基板保持テーブル２６に対するインクジェットヘッド４２の位置を種々に調整することができる。
【００３０】
図５に示すように、このインクジェットヘッドユニット４０の下端部に設けられたインクジェットヘッド４２において、その下方に向けられたノズル面４８には複数のノズルがそれぞれノズル噴射口５０を下方に向けるようにして一定の間隔を隔てて直列に穿設されている。
【００３１】
インクジェットヘッド４２の内部には、各ノズルに連通してなるインク室が設けられており、このインクタンクの上面には各ノズル毎にダイアフラム及び圧電素子が設けられている。制御部１０からの噴射制御信号によってこの圧電素子を駆動させることにより、インク室内の圧力を変化させて該インク室内のインクをノズルより噴射させるようになされている。インクジェットヘッドユニット４０では、このようにしてノズル噴射口から下方にインクを噴射させることにより、インクジェットヘッド４２の下方において基板保持テーブル２６に保持された基板３０の上面にインクを塗布する。
【００３２】
溶媒雰囲気保持部２ｄ（図１）は、インク塗布部２ａにおいて基板保持テーブル３３の上方に配設され、基板保持テーブル３３に保持される基板３０を上方から間隙を隔てて覆うカバー５１と、このカバー５１の内部に載置される不織布等の溶剤保持体５２（図５）と、この溶剤保持体５２に溶剤を供給する溶剤供給部５３とを備える。
【００３３】
図６及び図７に示すように、溶媒雰囲気保持部２ｄにおいて、カバー５１は、全体が箱形状で構成されており、支持部材（図示せず）によって塗布装置２の架台２に固定されている。カバー５１の上面には開口部５５が形成されており、この開口部５５の上方に溶剤供給部５３が設けられている。溶剤供給部５３は、複数の中空円管形状の溶剤供給管５４を有し、各溶剤供給管５４には、下方に向く滴下口５４ａが形成されている。溶剤供給管５４に溶剤を供給することにより、滴下口５４ａから溶剤を滴下させるようになされている。滴下口５４ａから滴下された溶剤は、カバー５１の開口部５５を介してカバー５１の内部に供給される。
【００３４】
箱形状のカバー５１は、その内部に例えば不織布等の溶剤保持体５２を収納する収納部を構成し、内底面に溶剤保持体５２を載置する。この溶剤保持体５２の上部には平板５６が載置される。この平板５６には、一方の面から他方の面に貫通する複数の貫通孔５６ａが形成されている。溶剤供給管５４から滴下された溶剤は、平板５６の貫通孔５６ａを通って溶剤保持体５２に至り、この溶剤保持体５２に吸収される。溶剤保持体５２の上部に載置された平板５６によって、溶剤保持体５２に吸収された溶剤の蒸発を抑制する。
【００３５】
カバー５１の底面にはカバー５１の内部と外部とを連通させる複数の貫通孔５１ａが形成されている。溶剤保持体５２に吸収されている溶剤は、カバー５１の貫通孔５１ａを介して、カバー５１の下方に蒸発する。カバー５１の下方の空間では、基板３０に塗布されたインク液滴の溶媒雰囲気が上方から下方に蒸発する溶剤によって保たれることになる。これにより、基板３０に塗布されたインク液滴の乾燥を抑制することができる。
【００３６】
図８に示すように、カバー５１においては、インクジェットヘッド４２に対向する位置に開口部５７が形成されており、この開口部５７にはアダプタ５８が挿入されて保持される。アダプタ５８にはその周囲にフランジ５８ｂが形成されており、このフランジ５８ｂをカバー５１の上面に載せることにより、アダプタ５８をカバー５１の開口部５７に保持することができる。カバー５１の上面には、位置決めピン５９が設けられており、この位置決めピン５９によってアダプタ５８を位置決めすることができる。
【００３７】
アダプタ５８には、インクジェットヘッド４２から噴射されたインク液滴を下方に通過させるための開口部５８ａが形成されており、この開口部５８ａの形状はアダプタ毎に異なっている。すなわちインク液滴を塗布する基板３０の大きさ及びその塗布位置には種々のものがあり、これらに対応するためインクジェットヘッド４２をＸ方向移動機構（Ｘ方向ガイド板３５）によってＸ方向に移動させる必要がある。複数のインクジェットヘッド４２をそれぞれの間隔を広げて配置する場合、アダプタ５８の開口部５８ａは、それに応じて大きな開口が必要となり、これに対して複数のインクジェットヘッド４２の間隔を狭くして配置する場合、アダプタ５８の開口部５８ａは、狭い範囲のみですむことになる。開口部５８ａの大きさは、インクジェットヘッド４２の位置に合わせて、インク液滴を通過させるための最小限の大きさで形成することにより、カバー５１の下方の溶媒雰囲気を効果的に保つことができる。従って種々の大きさ開口部５８ａを有する複数のアダプタ５８を用意しておき、塗布対象である基板３０に応じたアダプタ５８を選択してカバー５１に装着することにより、基板３０に応じて効果的に溶媒雰囲気を保つことができる。
【００３８】
図１及び図６に示すように、塗布装置２の架台２上には、溶媒雰囲気保持部２ｄに隣接して気体噴射機構であるブローユニット４９が支持部（図示せず）により支持されている。ブローユニット４９は、基板保持テーブル３３の移動領域上に配置されており、ブローユニット４９の下方に移動された基板保持テーブル３３上の基板３０に対して、気体供給源（図示せず）から供給される窒素等の気体を噴射ノズル４９ａから噴射するようになされている。この噴射ノズル４９ａは、基板保持テーブル３３の寸法を含む範囲で複数配設されていることにより、基板３０全体に対して気体を噴射することができる。これにより、ブローユニット４９は、インク液滴が塗布された基板３０上に気体を噴射してインク液滴を全体的に短時間で乾燥させる。なお、このブローユニット４９による乾燥処理は、後述する乾燥装置４ａによる乾燥処理の前処理として実行されるものであり、乾燥速度の遅い溶媒は、短時間では乾燥できないため、この前処理としての乾燥処理においてある程度膜形状を決定する程度の乾燥を行うようになされている。
【００３９】
図２に示すように、塗布装置２の架台２の上面に配置されたメンテナンス部２ｂは、インクジェットヘッド４２のノズル面４８をインクの溶媒に浸漬する浸漬部６０と、ノズル面４８に液滴の溶剤を噴射する溶剤噴射部７０と、ノズル面４８を拭き取る拭き取り部８０と、インクジェットヘッド４２にインク溶媒を供給すると共にノズル内に滞留した気泡を除去する気泡除去部９０とが設けられている。
【００４０】
塗布装置２においては、Ｘ方向ガイド板３５（図２）及びヘッドユニット移動用モータによるＸ方向移動機構と、Ｙ方向移動機構４５（図４）と、Ｚ方向移動機構４４（図４）とによってメンテナンス部２ｂの上部においてインクジェットヘッド４２をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動させることでインクジェットヘッド４２を浸漬部６０、溶剤噴射部７０、拭き取り部８０又は気泡除去部９０のいずれかに位置決めすることができる。
【００４１】
浸漬部６０は、内部に溶媒を貯留した溶媒槽を有し、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図４）によって溶媒槽の上部開口の上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、Ｚ方向移動機構４４（図４）により降下させることにより、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を溶媒槽の溶媒に浸漬する。これによりノズル面４８に設けられたノズル噴射口５０が乾燥することを防止することができる。
【００４２】
溶剤噴射部７０は、溶剤を上方に噴射する溶剤噴射ユニットを有し、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図４）によって溶剤噴射ユニットの上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、溶剤噴射ユニットから溶剤を噴射させる。これによりノズル面４８を洗浄することができる。
【００４３】
拭き取り部８０は、繰り出しローラと巻き取りロータとの間で不織布を移動させるようになされており、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図４）によって不織布の上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、Ｚ方向移動機構４４（図４）によりインクジェットヘッド２４を降下させることにより、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を不織布に接触させ、この状態で不織布を移動させることにより、不織布によってノズル面４８を拭き取る。これによりノズル面４８に付着した溶剤や異物を除去するようになされている。
【００４４】
気泡除去部９０は、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を塞ぐ圧力容器を有し、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図４）によって圧力容器の上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、Ｚ方向移動機構４４（図４）によりインクジェットヘッド４２を効果させることにより、圧力容器によってノズル面４８を封止する。この状態において、送液ユニット（図示せず）によってインクジェットヘッド４２のインク室に溶媒を一定の圧力で送液することにより、インク室の内部の圧力を高める。これにより溶媒内の気泡の体積を収縮させ、溶媒と共にこの気泡をノズル５０から排出させることができる。
【００４５】
塗布装置２においては、インクジェットヘッド４２にインク溶媒を充填する際に、気泡除去部９０によってインクジェットヘッド４２のインク室を高圧にすることで溶媒内の気泡を除去する。これによりノズル５０において気泡による噴射不良を未然に防止することができる。
【００４６】
また浸漬部６０、溶剤噴射部７０及び拭き取り部８０によってインク塗布前や塗布中等において適宜インクジェットヘッド４２のノズル面４８を洗浄することにより、ノズル５０の目詰まりを防止して、常にインク液滴を安定して噴射することができるようになされている。
【００４７】
図１に示すように、塗布位置調整部２ｃは、インク液滴を試し打ちする仮塗布ステージ１２１と、仮塗布ステージ１２１に塗布されたインク液滴を撮像する撮像ユニット１２２とを備えている。
【００４８】
仮塗布ステージ１２１は、Ｙ方向移動テーブル２２上においてＸ方向に延設されたガイドレールに沿ってＸ方向に移動自在に支持されており、Ｘ方向移動モータ２９によってＸ方向に移動させることができる。インクジェットヘッド４２と仮塗布ステージ１２１とを相対的に移動させることにより、仮塗布ステージ１２１上に配置された用紙（図示せず）に対してインクジェットヘッド４２によってインク液滴を塗布するようになされている。
【００４９】
撮像ユニット１２２は、Ｘ方向ガイド板３５の前面に設けられたガイド機構３６によってＸ方向に移動自在に支持されており、ガイド機構３６に設けられたヘッドユニット移動モータを駆動することによってＸ方向に移動させることができる。
【００５０】
制御部１０においては、仮塗布ステージ１２１にインク液滴を塗布する基準位置情報がメモリ装置１７に格納されており、制御部１０は、仮塗布ステージ１２１とインクジェットヘッド４２を相対移動させることにより、この基準位置にインクジェットヘッド４２を移動させてインク液滴を噴射させることにより、仮塗布ステージ１２１に配置された用紙においては、基準位置で噴射されたインク液滴が塗布される。
【００５１】
制御部１０は、撮像ユニット１２２を移動させて仮塗布ステージ１２１の用紙に塗布されたインク液滴を撮像する。制御部１０は、この撮像ユニット１２２によって撮像された画像に基づいて、インク液滴が塗布された位置を検出し、この検出結果に基づいて、インクジェットヘッド４２のＸ方向、Ｙ方向及びθ方向の位置を調整する。
【００５２】
塗布装置２においては、このような塗布位置の調整と共に、各ノズル５０からのインク液滴の噴射量を調整するようになされている。すなわち、制御部１０は、仮塗布ステージ１２１に塗布されたインク液滴の着弾径を撮像ユニット１２２によって撮像する。制御部１０は、この撮像結果を基に着弾径を計測し、この計測結果に基づいて各ノズル５０の圧電素子に印加する電圧値を変化させることにより、着弾径を変化させることができる。また制御部１０は、撮像ユニット１２２において撮像された画像に基づいて、インク液滴が噴射されていないノズル５０を確認する。
【００５３】
次に、塗布装置２に対する基板３０の導入及び排出を行う導入排出部９（図２）について説明する。図９に示すように、塗布装置２の導入排出部９には、搬送装置５によって搬送される基板３０を覆う溶媒雰囲気保持カバー１４１を支持するカバー支持部１３０が設けられている。このカバー支持部１３０においては、コラム３４ａ、３４ｂに支持された支持部材３４ｃにＺ方向に上下動自在に支持されると共に左右に開閉自在に支持された支持アーム１３１が設けられており、この支持アーム１３１によって溶媒雰囲気保持カバー１４１を支持するようになされている。
【００５４】
図１０に示すように、カバー支持部１３０は、塗布装置２の支持部材３４ｃにおいてＺ方向（上下方向）にガイドレール１３２が延設されており、このガイドレール１３２に沿って上下移動板１３３が上下動自在に支持されている。この上下移動板１３３には、支持部材３４ｃとの対向面にねじ孔を有する突起部が形成されており、この突起部を送りねじ１３４を螺合している。モータ等のアクチュエータ（図示せず）によって送りねじ１３４を回転駆動することにより、上下移動板１３３を上下動させるようになされている。
【００５５】
上下移動板１３３には、Ｘ方向（左右方向）にガイドレール１３５が延設されており、このガイドレール１３５に沿って左右移動板１３６が左右方向に移動自在に支持されている。この左右移動板１３６には、上下移動板１３３との対向面にねじ孔を有する突起部が形成されており、この突起部を送りねじ１３７を螺合している。モータ等のアクチュエータ（図示せず）によって送りねじ１３７を回転駆動することにより、左右移動板１３６を左右方向に移動させるようになされている。
【００５６】
左右移動板１３６には、支持アーム１３１が支持されており、この支持アーム１３１にはＬ字形状の支持爪１３８が設けられている。この支持爪１３８によって溶媒雰囲気保持カバー１４１のＬ字形状の爪部１４２を支持することにより、溶媒雰囲気保持カバー１４１を支持することができる。
【００５７】
すなわち図１１に示すように、搬送装置５の搬送アーム１６１にベース板１６２を載せ、このベース板１６２上に基板３０と溶媒雰囲気保持カバー１４１を載せた状態で搬送アーム１６１を駆動し、溶媒雰囲気保持カバー１４１をカバー支持部１３０の２つの支持アーム１３１間に移動させる（図１１（ａ））。
【００５８】
２つの支持アーム１３１をそれぞれ接近する方向に移動させることにより、支持アーム１３１の支持爪１３８を溶媒雰囲気保持カバー１４１の爪部１４２の下方に移動させる（図１１（ｂ））。この状態において、搬送アーム１６１を下方に移動させることにより、溶媒雰囲気保持カバー１４１のみが支持アーム１３１の支持爪１３８に支持され、搬送アーム１６１と、搬送アーム１６１に載せられたベース板１６２と、ベース板１６２に載せられた基板３０が下方に移動する（図１１（ｃ））。
【００５９】
また図９に示すように、塗布装置２の導入排出部９には、カバー支持部１３０の下方にリフトアップ機構部１５０が設けられている。このリフトアップ機構部１５０は、塗布装置２の架台２ｈに設けられた上下方向移動機構１５１によってＺ方向（上下方向）に移動される支持板１５２と、この支持板１５２において上方に突出した支持ピン１５３を有する。
【００６０】
図１２に示すように、リフトアップ機構部１５０は、一対の上下方向移動機構１５１とこの上下方向移動機構１５１に支持された一対の支持板１５２を有し、各指示板１５２に複数の支持ピン１５３が設けられている。
【００６１】
基板保持テーブル３３には、支持ピン１５３の位置に対応した位置に上下方向に貫通する貫通孔が形成されており、Ｙ方向移動テーブル２２を導入排出部９に移動させた状態において、支持板１５２を上方に移動させることにより、図１３に示すように、支持ピン１５３が基板保持テーブル３３の貫通孔を通って上方に突き出るようになされている。
【００６２】
図１４に示すように、搬送アーム１６１に載置されるベース板１６２には、リフトアップ機構部１５０の支持ピン１５３に対応した位置にスリット１６２ａが形成されており、搬送アーム１６１をリフトアップ機構部１５０に位置決めした状態において、スリット１６２ａを介して下方から支持ピン１５３を上方に貫通させることができる。また、支持ピン１５３がスリット１６２ａを貫通した状態において、搬送アーム１６１をＹ方向に後退させることにより、図１５に示すように、支持ピン１５３はスリット１６２ａに沿ってこのスリット１６２ａから抜き取られる。
【００６３】
図１６〜図１８に示すように、カバー支持部１３０によって溶媒雰囲気保持カバー１４１を支持した状態において（図１６（ａ））、支持ピン１５３を上方に移動させることにより、支持ピン１５３が基板保持テーブル３３の貫通孔を介して基板保持テーブル３３の上方に突出した状態となる（図１６（ｂ））。この状態において、搬送アーム１６１を下方に移動させることにより、支持ピン１５３は、搬送アーム１６１及びベース板１６２を介して基板３０の下面に当接する。そしてさらに搬送アーム１６１を下方に移動させることにより、ベース板１６２の上方において、支持ピン１５３によって基板３０が支持された状態となる（図１７（ａ））。この状態において搬送アーム１６１をＹ方向に後退させることにより、図１４、図１５について上述したスリット１６２ａを介してベース板１６２が搬送アーム１６１と共にＹ方向に後退する。そして支持ピン１５３を下方に移動させることにより、基板３０が基板保持テーブル３３上に載置される（図１８）。
【００６４】
図１９に示すように、基板保持テーブル３３上に基板３０が載置された後、基板位置決め機構部１６９（図１）によって基板３０の位置を調整し、Ｙ方向移動テーブル２２をＹ方向に移動させることにより、図２０に示すように、基板３０をインクジェットヘッド４２の下方に位置決めする。
【００６５】
これにより、基板３０に対してインクジェットヘッド４２によりインク液滴を塗布する。インク液滴の塗布が終了すると、Ｙ方向移動テーブル２２を移動させることにより、基板３０を図１９に示した導入排出部９に移動させる。そして支持ピン１５３を上方に移動させることにより基板３０を持ち上げ、基板３０の下方に搬送アーム１６１を挿入すると共に、搬送アーム１６１を上方に移動させることにより、搬送アーム１６１上のベース板１６１に基板３０を載せる。この状態において、カバー支持部１３０の支持アーム１３１を下方に移動させることにより、支持アーム１３１に支持されている溶媒雰囲気保持カバー１４１をベース板１６１に載せる。これによりインク液滴が塗布された基板３０を溶媒雰囲気保持カバー１４１によって覆うことができる。このようにカバー支持部１３０は、インク塗布済みの基板３０に溶媒雰囲気保持カバー１４１を被せる機構を構成する。
【００６６】
[搬送装置の構成]
搬送装置５は、基板収納部３と乾燥装置４ａ、４ｂと、塗布装置２とによって取り囲まれた位置に配置され、図２１に示すように、搬送装置本体１６３に回動可能に支持されたリンク１６４と、このリンク１６４の先端部に回動可能に支持されたリンク１６５と、このリンク１６５の先端に回動可能に支持された搬送アーム１６１とを有し、リンク１６４、１６５及び搬送アーム１６１を回動させることによって搬送アーム１６１を種々の方向に向けて移動させることができると共に、リンク１６４は、搬送装置本体１６３に上下動可能に支持されていることにより、リンク１６５を介して搬送アーム１６１を上下動させることができる。リンク１６４、１６５及び搬送アーム１６１は、それぞれモータを用いた駆動機構により回動動作するようになされ、またリンク１６４は、モータを用いた駆動機構により上下動するようになされている。
【００６７】
搬送アーム１６１にはベース板１６２が載置されており、このベース板１６２には基板３０が載置されると共に、この基板３０を覆う溶媒雰囲気保持カバー１４１が載置される。ベース板１６２上には、位置決めピン１６６が設けられており、この位置決めピン１６６によって溶媒雰囲気保持カバー１４１を位置決めするようになされている。
【００６８】
搬送装置本体１６３は、Ｘ方向移動機構１６７によってＸ方向に移動自在に支持されており、モータを用いた駆動機構により移動するようになされている。
【００６９】
[乾燥装置の構成]
乾燥装置４ａ、４ｂは同一の構成を有しており、ここでは乾燥装置４ａの構成について説明する。図２２に示すように、乾燥装置４ａは、内部を外気から遮蔽する真空チャンバー１７１と、この真空チャンバー１７１の内部を真空状態にする真空ポンプ１７２と、この真空チャンバー１７１の側面において、基板３０の出し入れ口１７３のゲート１７４を開閉するゲート機構１７６とを備える。真空チャンバー１７１の内部の底面には搬入された基板３０を下方から支持しながら持ち上げるリフトアップ機構１７７が設けられている。このリフトアップ機構１７７においては、モータ等を駆動源として上下動する複数の支持ピン１７８が設けられ、真空チャンバー１７１内に導入された基板３０を下方から支持するようになされている。
【００７０】
ゲート機構１７６によってゲート１７４を開くことにより、基板３０を真空チャンバー１７１内に挿入することができ、搬送アーム１６１によって基板３０が真空チャンバー１７１内に挿入された状態において、ゲート１７４を閉じて真空ポンプ１７２によって真空チャンバー１７１内を真空状態とすることにより、基板３０を乾燥させる。
【００７１】
真空チャンバー１７１のゲート機構１７６の両側部には、溶媒雰囲気保持カバー１４１を支持するカバー支持部１８０が設けられている。カバー支持部１８０は、ゲート機構１７６の側面においてＺ方向（上下方向）にガイドレールが延設されており、このガイドレールに沿って上下移動板１８３が上下動自在に支持されている。この上下移動板１８３は、モータを駆動源とする駆動機構により上下動するようになされている。
【００７２】
上下移動板１８３の下端部には、Ｙ方向に開閉する支持アーム１８４が支持されている。この支持アーム１８４は、モータを駆動源とする駆動機構によりＹ方向に開閉動作する。
【００７３】
支持アーム１８４には、Ｌ字形状の支持爪１８５が設けられている。この支持爪１８５によって溶媒雰囲気保持カバー１４１のＬ字形状の爪部１４２を支持することにより、溶媒雰囲気保持カバー１４１を支持することができる。
【００７４】
搬送アーム１６１によって基板３０及びこの基板３０を覆う溶媒雰囲気保持カバー１４１がゲート１７４の前方に搬送されると、支持アーム１８４を閉じることによって支持爪１８５を溶媒雰囲気保持カバー１４１の爪部１４２の下方に移動させた後、支持アーム１８４を上方に移動させることにより、溶媒雰囲気保持カバー１４１を上方に持ち上げることができる。溶媒雰囲気保持カバー１４１が持ち上げられると、ベース板１６２上の基板３０が露出した状態となり、この状態において、ゲート１７４を開いて基板３０を真空チャンバー１７１内に挿入する。
【００７５】
また乾燥処理が終了した場合、リフトアップ機構１７７の支持ピン１７８を上方に移動させることにより基板３０を持ち上げ、さらにゲート１７４を開いて搬送アーム１６１を真空チャンバー１７１内に挿入する。搬送アーム１６１を基板３０の下方に挿入して持ち上げることにより搬送アーム１６１のベース板１６２によって基板３０を支持し、ゲート１７４を介して基板３０を真空チャンバー１７１から取り出す。
【００７６】
[基板収納部の構成]
基板収納部３は、塗布装置２に対するインク塗布前後の基板３０の搬入搬出部に設けられており、インク塗布前の基板３０が複数収納された収納棚１９１と、この収納棚１９１を載置する架台１９２とを備える。
【００７７】
基板収納部３においては、インク塗布前の基板３０が複数収納された収納棚１９１をインク塗布の前工程にかかる装置から搬入して架台１９２上に載置すると共に、インク塗布後の基板３０が収納された収納棚１９１をインク塗布及び乾燥処理の次の工程に係る装置に搬出するようになされている。
【００７８】
搬送装置５は、架台１９２上に載置された収納棚１９１から搬送アーム１６１によってインク塗布前の基板３０を取り出し、またインク塗布後の基板３０を搬送アーム１６１によって収納棚１９１に収納する。
【００７９】
[制御装置によるインクジェット塗布システムの制御]
図２４に示すように、インクジェット塗布装置１においては、制御装置２００によって塗布装置２、基板収納部３、乾燥装置４ａ、４ｂ、搬送装置５を制御する。
【００８０】
以下、図２５〜図３５を参照しながら、基板３０の搬入、インク塗布、乾燥及び基板３０の搬出処理の流れを説明する。なお図２６〜図３５においては、搬送アーム１６１上のベース板１６１（図２１）、搬送アーム１６１を支持するリンク１６４、１６５（図２１）を省略して示す。
【００８１】
図２５に示すように、制御装置２００は、ステップＳ１１において搬送アーム１６１によって基板収納部３からインク塗布前の基板３０を取り出す。これにより図２６に示すように、搬送アーム１６１に基板３０が載置される。なお溶媒雰囲気保持カバー１４１は、乾燥装置４ａのカバー支持部１８０によって乾燥装置４ａの前方に保持されている。
【００８２】
制御装置２００は、ステップＳ１２に移って、搬送アーム１６１を乾燥装置４ａの前方まで移動させて基板３０に溶媒雰囲気保持カバー１４１を被せる。これにより図２７に示すように、乾燥装置４ａの前方において、搬送アーム１６１上にインク塗布前の基板３０及び溶媒雰囲気保持カバー１４１が載置される。
【００８３】
制御部２００は、ステップＳ１３に移って、搬送アーム１６１を塗布装置２の導入排出部９の前方まで移動させ（図２８）、続くステップＳ１４において、導入排出部９のカバー支持部１３０によって溶媒雰囲気保持カバー１４１を持ち上げる。このように、インク塗布前の基板３０を基板収納部３から塗布装置２に搬入する際に、乾燥装置４ａのカバー支持部１８０に保持されている溶媒雰囲気保持カバー１４１を搬送アーム１６１に載せて搬送することにより、塗布装置２の導入排出部９に溶媒雰囲気保持カバー１４１を待機させることができる。
【００８４】
かくして図２９に示すように、塗布装置２の導入排出部９において、カバー支持部１３０により溶媒雰囲気保持カバー１４１を持ち上げて保持すると、制御装置２００は、ステップＳ１５に移り、基板保持テーブル３３にインク塗布前の基板３０を載せてインクジェットヘッド４２によるインク塗布位置まで移動させる。これにより図３０に示すように、塗布装置２の導入排出部９に溶媒雰囲気保持カバー１４１を待機させた状態で基板３０に対してインク液滴を塗布することができる。
【００８５】
インク塗布処理が終了すると、制御装置２００は、ステップＳ１６に移って、インク塗布済みの基板３０を保持した基板保持テーブル３３を導入排出部９まで移動させて、溶媒雰囲気保持カバー１４１を被せる。この場合、図３１に示すように、搬送アーム１６１によってインク塗布済みの基板３０を持ち上げると共に、この搬送アーム１６１上において溶媒雰囲気保持カバー１４１を被せる。
【００８６】
制御装置２００は、ステップＳ１７に移って、インク塗布済みの基板３０と溶媒雰囲気保持カバー１４１とを載せた搬送アーム１６１を乾燥装置４ａの前方に移動させる。これにより、インク塗布済みの基板３０を外気から遮蔽しながら乾燥装置４ａまで搬送することができ、基板３０に塗布されたインク液滴の搬送中の乾燥を抑制することができる。
【００８７】
図３２に示すように、搬送アーム１６１が乾燥装置４ａの前方に移動すると、制御装置２００は、ステップＳ１８に移って、乾燥装置４ａのカバー支持部１８０により搬送アーム１６１上の溶媒雰囲気保持カバー１４１を持ち上げて保持する。そして制御装置２００は、ステップＳ１９に移って、搬送アーム１６１によって基板３０を乾燥装置４ａに挿入した後、ステップＳ２０に移って乾燥装置４ａにより基板３０を乾燥させる（図３３）。
【００８８】
乾燥処理が終了すると、制御装置２００は、ステップＳ２１に移って、乾燥済みの基板３０を搬送アーム１６１によって基板収納部５に搬送する。この場合、図３４に示すように、カバー支持部１８０は溶媒雰囲気保持カバー１４１を保持した状態を維持することにより、図３５に示すように、搬送アーム１６１によって基板３０のみが搬送される。
【００８９】
乾燥済みの基板３０を基板収納部３の収納棚１９１に収納した後、制御装置２００は、ステップＳ２２に移って、収納棚１９１にインク塗布前の基板３０が収納されているか否かを判断する。この実施の形態の場合、制御装置２００は、予めインクを塗布する基板数を記憶しておき、１つの基板３０に対してインク塗布処理を終了する度に基板数を減算処理することにより、基板収納部３にインク塗布前の基板３０が残っているか否かを判断することができる。
【００９０】
従ってステップＳ２２において肯定結果が得られると、このことは、基板収納部３にインク塗布前の基板３０が残っていることを意味しており、制御装置２００は、ステップＳ２１から上述のステップＳ１１に戻って、インク塗布前の基板３０を基板収納部３から取り出して、以下同様の処理を繰り返す。
【００９１】
これに対してステップＳ２２において否定結果が得られると、このことは、基板収納部３にインク塗布前の基板３０が残っていないことを意味しており、制御装置２００は、このインク塗布に係る処理手順を終了する。
【００９２】
なおインクジェット塗布装置１においては、複数の乾燥装置４ａ、４ｂを設け、これら複数の乾燥装置４ａ、４ｂを交互に使用することにより、効率よくインク塗布処理を進めることができる。
【００９３】
[実施の形態の作用及び効果]
以上説明したインクジェット塗布装置１において、塗布装置２は、溶媒雰囲気保持部２ｄによって溶媒雰囲気を保持しながら基板３０に対してインク液滴を塗布する。溶媒雰囲気保持部２ｄにおいては、カバー５１の内部に保持された不織布（溶剤保持体５２）に対して溶剤が供給されることにより、基板３０の周辺を常に溶媒雰囲気に保つことができる。これにより、基板３０に塗布されたインク液滴の乾燥がインク塗布処理中に進むことを抑制することができる。
【００９４】
インク液滴の塗布が終了すると、インク塗布済みの基板３０は、溶媒雰囲気保持カバー１４１に覆われた状態で乾燥装置４ａまで搬送される。これによりインク塗布後から乾燥処理までの間においても、基板３０は外気から遮蔽された溶媒雰囲気の環境に保たれることになり、インク液滴の乾燥が抑制される。
【００９５】
このように乾燥装置４ａによる乾燥処理が開始されるまでの間、基板３０を外気から遮蔽された溶媒雰囲気下に保つことにより、自然乾燥による不確定な乾燥を抑制しつつ乾燥装置４ａによる管理された乾燥処理を施すことができ、その分、塗布されたインクの乾燥を乾燥装置４ａの乾燥処理により容易に管理することが可能となる。基板３０に塗布されたインク液滴の乾燥を管理することができることにより、均一なインク薄膜を形成することができる。
【００９６】
（その他の実施の形態）
上述の第１の実施の形態においては、インク塗布済みの基板３０を溶媒雰囲気保持カバー１４１によって覆う構成について述べたが、溶媒雰囲気保持カバー１４１に代えて、例えば箱形状の溶媒雰囲気保持カバーに基板３０を収納して搬送するようにしてもよい。
【００９７】
また上述の第１の実施の形態においては、塗布装置２、基板収納部３、乾燥装置４ａ、４ｂによって搬送装置５を取り囲む構成としたが、例えばこれらを一列に並べるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るインクジェット塗布装置を示す平面である。
【図２】図１の塗布装置を示す斜視図である。
【図３】図２の塗布装置における基板の移動機構を示す断面図である。
【図４】図２の塗布装置のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。
【図５】図２の塗布装置のインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図６】図２の塗布装置の溶媒雰囲気保持部を示す斜視図である。
【図７】図６の溶媒雰囲気保持部を示す断面図である。
【図８】図６の溶媒雰囲気保持部を示す断面図である。
【図９】図１の塗布装置の側面図である。
【図１０】図１の塗布装置のカバー支持部を示す斜視図である。
【図１１】図１０のカバー支持部の動作の説明に供する側面図である。
【図１２】図２の塗布装置のリフトアップ機構部を示す側面図である。
【図１３】図２の塗布装置のリフトアップ機構部を示す側面図である。
【図１４】図１３のリフトアップ機構及び搬送アームを示す平面図である。
【図１５】図１３のリフトアップ機構及び搬送アームを示す平面図である。
【図１６】リフトアップ機構及びカバー支持部の動作の説明に供する側面図である。
【図１７】リフトアップ機構及びカバー支持部の動作の説明に供する側面図である。
【図１８】リフトアップ機構及びカバー支持部の動作の説明に供する側面図である。
【図１９】図１の塗布装置及び搬送装置を示す側面図である。
【図２０】図１の塗布装置及び搬送装置を示す側面図である。
【図２１】図１の搬送装置を示す斜視図である。
【図２２】図１の乾燥装置を示す斜視図である。
【図２３】図１の基板収納部及び搬送装置を示す斜視図である。
【図２４】図１のインクジェット塗布装置の制御装置を示すブロック図である。
【図２５】図２４の制御装置のインク塗布処理に係る処理手順を示すフローチャートである。
【図２６】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図２７】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図２８】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図２９】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図３０】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図３１】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図３２】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図３３】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図３４】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【図３５】図１のインクジェット塗布装置の動作の説明に供する略線的平面図である。
【符号の説明】
【００９９】
１…インクジェット塗布装置、２…塗布装置、２ａ…インク塗布部、２ｂ…メンテナンス部、２ｃ…塗布位置調整部、２ｄ…溶媒雰囲気保持部、２ｆ…移動機構、２ｇ…遮蔽カバー、２ｈ…架台、９…導入排出部、１０…制御部、２２…Ｙ方向移動テーブル、３０…基板、３３…基板保持テーブル、４０…インクジェットヘッドユニット、４２…インクジェットヘッド、４８…ノズル面、５０…ノズル、５１…カバー、５２…溶剤保持体、６０…浸漬部、７０…溶剤噴射部、８０…拭き取り部、９０…気泡除去部、１３０、１８０…カバー支持部、１４１…溶媒雰囲気保持カバー、１６１…搬送アーム、１９１…収納棚、２００…制御装置
【図１】
2006159035.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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