(57)【要約】【課題】ヘッド部の放熱性を改善し紫外線源である半導体素子の信頼性を向上させた紫外線照射装置を提供する。【解決手段】紫外線照射装置は、紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備えるヘッド部と、半導体素子に駆動電力を供給するための電源部を備えるコントローラ部と、ヘッド部とコントローラ部とを電気的に接続するための電気信号線を備えるケーブル部とを備えている。ヘッド部は、熱伝導性に優れた部材により、一方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部で構成され、ヘッド本体部の一端面に半導体素子が熱伝導可能な状態に接触され、かつヘッド本体部の断面方向において空間層を生じさせないよう密着した状態に成型している。これにより、ヘッド本体部が空気層などを介することなく熱伝導の良い状態で外部に表出されるので、ヘッド本体部で半導体素子の放熱部材を兼用することができる。【選択図】図５
2006116922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線硬化型樹脂を硬化するための紫外線を照射する紫外線照射装置であって、
紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備える一以上のヘッド部と、
前記半導体素子に駆動電力を供給するための電源部を備えるコントローラ部と、
前記ヘッド部とコントローラ部とを電気的に接続するための電気信号線を備えるケーブル部と、
を備えており、
前記ヘッド部は、熱伝導性に優れた部材により、一方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部で構成され、前記ヘッド本体部の一端面に前記半導体素子が熱伝導可能な状態に接触され、かつヘッド本体部の断面方向において空間層を生じさせないよう密着した状態に成型してなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
請求項１に記載の紫外線照射装置であって、前記ヘッド本体部は金属で一体に形成されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の紫外線照射装置であって、さらに、
前記ヘッド本体部の表面の少なくとも一部に複数条の凹凸条が形成されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項４】
請求項３に記載の紫外線照射装置であって、さらに、
前記凹凸条が、前記ヘッド本体部の延長方向に沿って形成されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記ヘッド部はさらに、
前記半導体素子の前面に配置される集光レンズを保持するためのレンズホルダを備え、
前記ヘッド本体部は、前記レンズホルダと略等しい外径で円柱状に形成され、一端に前記レンズホルダを装着可能に構成してなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記ケーブルはさらに、
前記電気信号線を被膜する被覆シールドを含んでおり、前記被覆シールドが前記ヘッド本体部と熱伝導するように接続されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項７】
請求項６に記載の紫外線照射装置であって、
前記被覆シールドが熱伝導性に優れた金属で構成されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、
前記ヘッド部はさらに、
前記ヘッド本体部の他端面に、前記ケーブルを接続するためのケーブルホルダを備え、前記ケーブルホルダを介して前記被覆シールドと前記ヘッド本体部とが熱伝導状態に接続されてなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、さらに、
前記ヘッド部を所望の姿勢で保持するためのヘッドホルダを備えてなり、前記ヘッドホルダが前記ヘッド部を保持する保持部を熱伝導性に優れた金属により構成してなることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載の紫外線照射装置であって、前記半導体素子が紫外線発光ダイオードであることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項１１】
紫外線硬化型樹脂を硬化するための紫外線を照射する紫外線照射装置に接続可能な紫外線照射装置用ヘッドであって、
紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備えるヘッド部と、
紫外線照射装置と前記ヘッド部とを電気的に接続し、紫外線照射装置から前記半導体素子に駆動電力を供給するための電気信号線を含むケーブル部と、
を備えており、
前記ヘッド部は、熱伝導性に優れた部材により、一方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部で構成され、前記ヘッド本体部の一端面に前記半導体素子が熱伝導可能な状態に接触され、かつヘッド本体部の断面方向において空間層を生じさせないよう密着した状態に成型してなることを特徴とする紫外線照射装置用ヘッド。
【請求項１２】
紫外線硬化型樹脂を硬化するための紫外線を半導体素子から照射する紫外線照射装置に、半導体素子に駆動電力を供給するための電気信号線を含むケーブル部を介して接続可能な紫外線照射装置用ヘッドであって、
紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子と、
熱伝導性に優れた部材により、一方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部と、
を備えており、
前記ヘッド本体部の一端面に前記半導体素子が熱伝導可能な状態に接触され、かつヘッド本体部の断面方向において空間層を生じさせないよう密着した状態に成型してなることを特徴とする紫外線照射装置用ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小物部品の接着等に使用される紫外線硬化型の樹脂を硬化させる等の用途で紫外線を照射する紫外線照射装置及び紫外線照射装置用ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、医療分野での生体内外部の紫外線照射による殺菌、治療、分光（発光）診断や、鉱物や古墳深部の観察等の分野、あるいは電子部品の組み立て作業における紫外線硬化型の樹脂を硬化させる目的等に、紫外線照射装置が利用されている。この内、紫外線硬化型の樹脂を硬化させる紫外線照射装置は、レジスト皮膜の形成や印刷の分野から光ピックアップ等の組立工程における小物部品の接着固定の分野まで広く使用されている紫外線硬化型の樹脂に対して紫外線を照射する目的で利用される。このタイプの紫外線照射装置は、電源回路等を内蔵した装置本体であるコントローラと、紫外線を照射するヘッドと、これらを接続するケーブルとを備えている。コントローラに紫外線源である高圧水銀ランプや水銀キセノンランプ、メタルハライドランプ等を内蔵し、コントローラとヘッドを接続するケーブルに内蔵された石英ガラス等の光ファイバでヘッドまで紫外線を伝達して、ヘッドから樹脂が塗布された接着部に照射される。このような紫外線照射装置を用いた小物部品の接着固定方法の従来例が特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開平１０−２０９４９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような高圧水銀ランプ等を使用したランプ式の紫外線照射装置では、紫外線源に高圧水銀ランプや水銀キセノンランプを使用しているため、発熱量及び消費電力も大きく、冷却機構が必要で装置が大型化し高価になる上、常時点灯している構造のためエネルギー消費量が大きい、立ち上がり、立ち下がりに時間がかかる、ランプの寿命が短くなる等の欠点があった。加えて、紫外線出力の調整は機械的なシャッタで行われる構造のため、微細な調整が困難である。さらに、ランプが劣化してくるとガラスにクラックが生じることがあり、ガラス管内部に封入した高圧ガスによってガラス管が破裂する危険がある。このため、一定時間経過したランプは必ず交換する必要があり、ランニングコストが高くなることに加えて毎日など定期的に交換の確認作業を行う必要があり、手間がかかっていた。
【０００４】
これに対し出願人は、このような問題点を解決するものとして、紫外線源として紫外線発光ダイオード（ＵＶＬＥＤ）のような半導体素子を使用し、かつ紫外線源を本体のコントローラでなくヘッド側に設けた紫外線照射装置を開発した（特願２００３−１５８９５８号、特願２００３−４２５５５２号等）。これらの紫外線照射装置は、半導体素子であるＵＶＬＥＤを使用しているため、出力の微調整が可能で高速に動作でき、長寿命で信頼性が高く、かつ低消費電力で使用できるといった優れた特長が得られる。
【０００５】
ＵＶＬＥＤのような半導体素子を紫外線源として使用する紫外線照射装置は、ヘッド側にＵＶＬＥＤを設ける構成であるため、ヘッド部はＵＶＬＥＤの発熱を十分に放熱するための放熱機構を備える必要がある。しかしながら、ヘッド部の小型化の要求のためヘッド構造部材を小型化すると、放熱面積が縮小するなど放熱性能が低下してＵＶＬＥＤの放熱性が低下するという問題がある。ＵＶＬＥＤの放熱性が不十分になると、熱によってＵＶＬＥＤの性能が低下し、出力低下を招いたり素子の寿命が短くなるという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものである。本発明の主な目的は、ヘッド部の放熱性を改善し紫外線源である半導体素子の信頼性を向上させた紫外線照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の紫外線照射装置は、紫外線硬化型樹脂を硬化するための紫外線を照射する紫外線照射装置であって、紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備える一以上のヘッド部と、半導体素子に駆動電力を供給するための電源部を備えるコントローラ部と、ヘッド部とコントローラ部とを電気的に接続するための電気信号線を備えるケーブル部とを備えている。ヘッド部は、熱伝導性に優れた部材により、一方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部で構成され、ヘッド本体部の一端面に半導体素子が熱伝導可能な状態に接触され、かつヘッド本体部の断面方向において空間層を生じさせないよう密着した状態に成型している。この構成により、ヘッド本体部が空気層などを介することなく熱伝導の良い状態で外部に表出されるので、ヘッド本体部で半導体素子の放熱部材を兼用することができる。この結果、ヘッド本体部に別途放熱部材を付加せずとも、半導体素子の発熱が熱伝導されてヘッド本体部表面から効率よく放熱でき、ヘッド部の小型化を維持しつつ放熱特性の改善により半導体素子の信頼性、安定性を増すことができる。
【０００８】
また、本発明の第２の側面に係る紫外線照射装置は、ヘッド本体部は金属で一体に形成されている。この構成により、ヘッド本体部の放熱性は極めてよくなり、半導体素子の発熱が効率よくヘッド本体部表面から放熱され、放熱特性を改善できる。
【０００９】
さらに、本発明の第３の側面に係る紫外線照射装置は、さらにヘッド本体部の表面の少なくとも一部に複数条の凹凸条が形成されている。この構成により、ヘッド本体部の表面積を増やして放熱性をさらに向上させることができる。
【００１０】
さらにまた、本発明の第４の側面に係る紫外線照射装置は、さらに凹凸条が、ヘッド本体部の延長方向に沿って形成されている。この構成により、ヘッド本体部の長手方向に凹凸条を沿わせることで、空気を凹凸条に沿って流すようにしてヘッド本体部の放熱性をさらに向上させることができる。
【００１１】
さらにまた、本発明の第５の側面に係る紫外線照射装置では、ヘッド部がさらに、半導体素子の前面に配置される集光レンズを保持するためのレンズホルダを備え、ヘッド本体部は、レンズホルダと略等しい外径で円柱状に形成され、一端にレンズホルダを装着可能に構成している。この構成により、集光レンズを備えるレンズホルダをヘッド本体部と別ユニットとして交換可能とし、用途に応じて異なるレンズに容易に変更できる。
【００１２】
さらにまた、本発明の第６の側面に係る紫外線照射装置では、ケーブルがさらに、電気信号線を被膜する被覆シールドを含んでおり、被覆シールドがヘッド本体部と熱伝導するように接続されている。この構成により、ケーブルに含まれる被覆シールドを、ノイズ対策のシールドとして利用するのみならず、半導体素子の発熱の一部を熱伝導してケーブル側に導き、ケーブルを介して放熱性を高めることができる。
【００１３】
さらにまた、本発明の第７の側面に係る紫外線照射装置は、被覆シールドが熱伝導性に優れた金属で構成されている。この構成により、さらにケーブルによる放熱性を向上させることができる。
【００１４】
さらにまた、本発明の第８の側面に係る紫外線照射装置は、ヘッド部はさらに、ヘッド本体部の他端面に、ケーブルを接続するためのケーブルホルダを備え、ケーブルホルダを介して被覆シールドとヘッド本体部とが熱伝導状態に接続されている。この構成により、ケーブルの被覆シールドとヘッド本体部とを確実に熱伝導状態に接続して放熱性の向上に寄与させることができる。
【００１５】
さらにまた、本発明の第９の側面に係る紫外線照射装置は、さらに、ヘッド部を所望の姿勢で保持するためのヘッドホルダを備えてなり、ヘッドホルダがヘッド部を保持する保持部を熱伝導性に優れた金属により構成している。この構成により、ヘッドホルダの保持部とヘッド部との接触面からも効率よく熱伝導できるので、さらに放熱性を高めて安定して使用できる利点が得られる。
【００１６】
さらにまた、本発明の第１０の側面に係る紫外線照射装置は、半導体素子が紫外線発光ダイオードである。紫外線発光ダイオードはその出力光の波長が比較的急峻なピーク値を持ち、熱線などの成分を殆ど含まないため、対象物を加熱することなく紫外線を効果的に照射できる。また紫外線発光ダイオードは小型、低消費電力であり、しかも反応が高速であるためパルス制御によるＯＮ／ＯＦＦ等を電気的に行うことができ、従来の紫外線源に高圧水銀ランプ等を使用した紫外線照射装置に比べてシャッタの開閉といった機械的動作がないため劣化や寿命の問題を解消し、信頼性高く安定して使用できる利点が得られ、正確な制御が可能となる。
【００１７】
さらにまた、本発明の第１１の側面に係る紫外線照射装置用ヘッドは、紫外線硬化型樹脂を硬化するための紫外線を照射する紫外線照射装置に接続可能な紫外線照射装置用ヘッドであって、紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子を備えるヘッド部と、紫外線照射装置とヘッド部とを電気的に接続し、紫外線照射装置から半導体素子に駆動電力を供給するための電気信号線を含むケーブル部とを備えている。ヘッド部は、熱伝導性に優れた部材により、一方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部で構成され、ヘッド本体部の一端面に半導体素子が熱伝導可能な状態に接触され、かつヘッド本体部の断面方向において空間層を生じさせないよう密着した状態に成型している。この構成により、ヘッド本体部が空気層などを介することなく熱伝導の良い状態で外部に表出されるので、ヘッド本体部で半導体素子の放熱部材を兼用することができる。この結果、ヘッド本体部に別途放熱部材を付加せずとも、半導体素子の発熱が熱伝導されてヘッド本体部表面から効率よく放熱でき、ヘッド部の小型化を維持しつつ放熱特性の改善により半導体素子の信頼性、安定性を増すことができる。
【００１８】
さらにまた、本発明の第１２の側面に係る紫外線照射装置用ヘッドは、紫外線硬化型樹脂を硬化するための紫外線を半導体素子から照射する紫外線照射装置に、半導体素子に駆動電力を供給するための電気信号線を含むケーブル部を介して接続可能な紫外線照射装置用ヘッドであって、紫外線源として紫外線を照射可能な一以上の半導体素子と、熱伝導性に優れた部材により、一方向に延長された形状に形成されたヘッド本体部とを備えており、ヘッド本体部の一端面に半導体素子が熱伝導可能な状態に接触され、かつヘッド本体部の断面方向において空間層を生じさせないよう密着した状態に成型している。この構成により、ヘッド本体部が空気層などを介することなく熱伝導の良い状態で外部に表出されるので、ヘッド本体部で半導体素子の放熱部材を兼用することができる。この結果、ヘッド本体部に別途放熱部材を付加せずとも、半導体素子の発熱が熱伝導されてヘッド本体部表面から効率よく放熱でき、ヘッド部の小型化を維持しつつ放熱特性の改善により半導体素子の信頼性、安定性を増すことができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように本発明の紫外線照射装置及び紫外線照射装置用ヘッドによれば、ヘッド部の放熱性を向上させて半導体素子で発生した熱を効率よく放熱できるので、半導体素子を保護して信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ただし、以下に示す実施の形態は、本発明の技術思想を具体化するための紫外線照射装置及び紫外線照射装置用ヘッドを例示するものであって、本発明は紫外線照射装置及び紫外線照射装置用ヘッドを以下のものに特定しない。また本明細書は、特許請求の範囲に示される部材を実施の形態の部材に特定するものでは決してない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため誇張していることがある。さらに以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており、詳細説明を適宜省略する。さらに、本発明を構成する各要素は、複数の要素を同一の部材で構成して一の部材で複数の要素を兼用する態様としてもよいし、逆に一の部材の機能を複数の部材で分担して実現することもできる。
（実施の形態１）
【００２１】
図１に、本発明の実施の形態１に係る紫外線照射装置のブロック図を示す。この図に示す紫外線照射装置１００は、コントローラ部１１０とヘッド部１２０とがケーブル部１３０で接続される。ヘッド部１２０には、紫外線硬化型樹脂を硬化させるための紫外線を発する紫外線源として半導体素子１５０であるＵＶＬＥＤ１５１、紫外線を集光、偏光するためのレンズ部１２６０、ヘッド部１２０の種別に関するヘッド種別情報を保持するメモリ部１２２７及びヘッド部１２０を他のヘッド部と区別するための識別情報を表示する識別部１２１が内蔵されている。コントローラ部１１０は、ヘッド部１２０の紫外線源を駆動するための電源部１１２及び制御部１１４、記憶部１１６、並びに設定内容等を表示させる表示部１４２、紫外線照射条件等を設定する設定部１４０（後述）を備え、ケーブル部１３０を介して紫外線源の駆動信号（電気信号）をヘッド部１２０に送信する。
（ヘッド部１２０）
【００２２】
図２７〜図２８に、出願人が先に開発したヘッド部９２０の外観を示す。図２７はヘッド部９２０の正面図であり、図２８は分解図をそれぞれ示している。これらの図に示すヘッド部９２０は、基端側にケーブル部９３０が接続されたヘッド本体部９２２と、その先端側に着脱自在に結合した冷却ブロック９２４と、その先端側に着脱自在に結合した交換可能なレンズホルダ９２６とを備えている。ヘッド本体部９２２はユーザが把持できる程度の大きさとし、図２８に示すように、上下に分かれるケース部材９２２１及び９２２２と、基端部材９２２３とが組み合わされた中空箱形のケースを備え、その内部に基板９２２４が収容されている。基端部材９２２３にはケーブル部９３０が接続されるケーブル用コネクタ９２２５が取り付けられ、ケーブル用コネクタ９２２５を介してケーブル部９３０と基板９２２４が電気的に接続される。
【００２３】
このヘッド部９２０は、紫外線源としてＵＶＬＥＤ９５１を内蔵すると共に、これを駆動するための回路や識別情報を保持するメモリを備えているため、従来の高圧水銀ランプ等を使用した紫外線照射装置のヘッド部に比べて若干大型化していた。特に半導体素子は、従来の高圧水銀ランプ等に比べれば発熱量は圧倒的に少ないものの、駆動の際の損失は依然として熱として生じるため、何らかの放熱機構が必要となる。しかしながら、ヘッド部の大きさ、特に外径を従来と同程度まで小型化しようとすれば、放熱できる面積が小さくなり放熱性能が低下するという問題があり、放熱性をさらに向上させる必要が生じた。放熱を妨げる要因を検討したところ、空気層の介在が熱伝導性を妨げていることが判明した。例えばケーシング等の外装部材にＵＶＬＥＤを保持するためのＵＶＬＥＤホルダを挿入する構成では、ＵＶＬＥＤホルダとケーシングとの間に隙間が生じるため、この部分で熱伝導が極めて悪くなる。そこで、ＵＶＬＥＤホルダの周囲を覆う外装部材を使用せず、ＵＶＬＥＤホルダ自体をヘッド本体部として外部に表出させることにより、空気層の介在を無くして直接放熱させ、熱伝導を向上させることに成功とした。この構成に係るヘッド部を図２〜図６に示す。これらの図において、図２はヘッド部１２０の外観を示す斜視図、図３はヘッド部１２０の側面図、図４は断面図、図５は図４の分解断面図、図６は図５のＶＩ−ＶＩ’線における断面図を、それぞれ示している。これらの図に示すヘッド部１２０は、レンズホルダ１２６と、ヘッド本体部１２２と、ケーブルホルダ１３２とで構成される。
（ヘッド本体部１２２）
【００２４】
ヘッド本体部１２２は、円柱状に形成され、細長く延長されることで表面積を増して放熱性の向上を図っている。このヘッド部１２０は、ＵＶＬＥＤ１５１を保持するためのＵＶＬＥＤホルダをそのままヘッド本体部１２２として利用し、これによってヘッド本体部１２２にＵＶＬＥＤ１５１の放熱部材としての機能を持たせている。ヘッド本体部１２２の先端面には、図４および図５に示すようにＵＶＬＥＤ１５１が載置される。ここではＵＶＬＥＤ基板１５１ａ上に半導体層が積層されてパッケージされたＵＶＬＥＤ１５１を使用し、ＵＶＬＥＤ基板１５１ａの裏面が放熱面となる。ヘッド本体部１２２の先端面は平滑面として、ＵＶＬＥＤ基板１５１ａの全面と密着するように接着される。ＵＶＬＥＤ基板１５１ａとヘッド本体部１２２との接触面積は可能な限り大きくする。これにより、ＵＶＬＥＤ１５１の駆動により発生される熱は、ヘッド本体部１２２に確実に熱伝導される。好ましくはヘッド本体部１２２の先端面にＵＶＬＥＤ基板１５１ａの外形に応じた段差を形成してＵＶＬＥＤ１５１を位置決めする。また、熱伝導シートやグリース等を接触面に介在させて、熱結合を向上させても良い。
【００２５】
ヘッド本体部１２２の外径は、好ましくは従来のランプ型紫外線照射装置のヘッドとほぼ等しい外径に設計され、例えばφ１０〜１５ｍｍ、好ましくは１２ｍｍとする。ヘッド部１２０の外径を従来タイプとほぼ同じとすることで、既存のヘッド部固定治具などのヘッドホルダ１２０２と寸法上の互換性を維持してそのまま利用できる。また外径を小さくすることで、狭い部位にヘッド部を挿入し易くでき、あるいは複数のヘッド部を並べて配置する際に干渉しないといった利点が得られる。ヘッド本体部１２２の長手方向の長さは、長いほど表面積が広くなり放熱性が向上するが、使用条件や設置場所などから求められるサイズを考慮して設定され、例えば５０〜１５０ｍｍとする。
【００２６】
ヘッド本体部１２２は、熱伝導性に優れた金属製とする。例えばアルミニウムや銅、鉄等とする。特にアルミニウムは熱の表面放射率が高く、また軽量かつ安価にできる利点があるので好ましい。この例では、ヘッド本体部１２２はアルミニウムによる一体成形としている。ただ、複数の部材を組み合わせて一体的にヘッド本体部を構成することもできる。複数部材でヘッド本体部を構成する場合は、各部材同士の接合面に隙間が生じないようにできる限り密着させることが好ましい。これによって空気層による熱伝導の悪化を阻止できる。
【００２７】
以上のようにＵＶＬＥＤホルダでヘッド本体部を構成して外装及び基板収納の役割を持たせることで、放熱部材を外気に直接触れるようにして熱伝導の効率を悪くする空気層を排除し、さらに熱を放出する経路を短くできるため、放熱の効率を向上させることができる。本発明者が試作したところ、ＵＶＬＥＤを使用したヘッド部（外径２０×２０ｍｍの矩形状、長さ１００ｍｍ）を小型化した際（外径φ１２ｍｍ、長さ１１０ｍｍ）、約３５℃の温度上昇が生じたが、上記構成によって温度上昇を２５℃程度まで抑えることに成功した。なお要求される放熱性能は、使用されるＵＶＬＥＤの仕様や個数、使用環境に依存する。例えば、ＵＶＬＥＤの出力パターンをパルス照射とすれば発熱量を抑えられる。したがって、これらに応じて十分な放熱性が得られるように、ヘッド部の構造や材質、形状等を設計する。
（レンズホルダ１２６）
【００２８】
ヘッド本体部１２２の先端面には、レンズホルダ１２６が装着される。レンズホルダ１２６は、半導体素子であるＵＶＬＥＤ１５１の前面に配置されるレンズ部１２６０を保持するための部材である。レンズホルダ１２６は、ヘッド本体部１２２の外径とほぼ等しい外径の円筒状とする。この例では、円筒状のレンズホルダ１２６の後端を開口し、ここにヘッド本体部１２２の先端を挿入して固定する。図４及び図５の断面図に示すように、レンズホルダ１２６をヘッド本体部１２２の先端に装着した状態でほぼ外径が等しくなるように、ヘッド本体部１２２の先端の外径を、レンズホルダ１２６の肉厚に相当する厚さ分だけ小さくし、レンズホルダ１２６をヘッド本体部１２２の先端に被せた状態でほぼ同一平面となるように設計している。レンズホルダ１２６とヘッド本体部１２２との固定は、図の例ではレンズホルダ１２６にヘッド本体部１２２の先端を挿入した状態で止めネジ１２２９で固定する方法が採用される。この構成では、接触面積を大きくとることができ、かつ止めネジ１２２９で円周上の左右からヘッド本体部１２２をレンズホルダ１２６側に引き寄せることで、接触面で確実に接触できる利点が得られる。なお、止めネジの螺合は専用の工具で操作するようにすれば、ユーザによる分解を制限して意図しない設定を未然に防止できる。あるいは、他の接続方法としてレンズホルダの内面とヘッド本体部先端の表面にネジ山を形成する方法なども利用できる。このようにヘッド本体部とレンズホルダの熱伝導をよくすることで、レンズホルダの表面積に相当する分の放熱性能を加算できる。特にレンズホルダ１２６はＵＶＬＥＤ１５１に近い位置にあるため、放熱の経路が短くなり放熱の効率が良い。
（レンズユニット１２８）
【００２９】
レンズホルダ１２６は、先端にレンズユニット１２８を固定している。レンズユニット１２８は、レンズホルダ１２６が収納する光学系レンズ１２６１を保持するための部材である。図５の例では、レンズユニット１２８をレンズホルダ１２６から脱着式として、レンズユニット１２８とレンズホルダ１２６との間に形成される空間で光学系レンズ１２６１を保持している。この構成では、レンズユニット１２８をレンズホルダ１２６から分離することで光学系レンズ１２６１を交換できる。レンズユニット１２８とレンズホルダ１２６との固定も、レンズホルダ１２６とヘッド本体部１２２との固定と同様に、例えば止めネジで固定する。
（光学系レンズ１２６１）
【００３０】
レンズホルダ１２６には、レンズ部１２６０として、ＵＶＬＥＤ１５１から発した紫外線を集光するための１又は複数の光学系レンズ１２６１が収容されている。図７に、ＵＶＬＥＤと光学系レンズ１２６１を構成を示す。図４及び図５にも示すように、この例では光学系レンズ１２６１を第１のレンズ１２６１Ａと第２のレンズ１２６１Ｂとの２枚で構成している。第１のレンズ１２６１Ａはレンズホルダ１２６に収納し、第２のレンズ１２６１Ｂはレンズユニット１２８に収納している。レンズは１枚で構成することもできるが、屈折率の関係から１枚のレンズではレンズサイズが大きくなる傾向がある。そこで実施の形態１では、光学系レンズ１２６１を２枚として第１のレンズ１２６１Ａと第２のレンズ１２６１ＢでＵＶＬＥＤ１５１からの紫外線を外部に照射する構造とすることで、レンズ自体のサイズを小型化でき、ひいてはレンズホルダ１２６やヘッド部１２０の小型化に貢献する。
【００３１】
第１のレンズ１２６１Ａとしては、製造の容易さを考慮すれば球面レンズを使用することが好ましいが、サイズなどの面から図７の例では半球状レンズを使用している。半球状レンズによってＵＶＬＥＤ１５１から拡散されて出射された紫外光をほぼ平行光とする。また第２のレンズ１２６１Ｂは対物レンズとして、曲率の異なるレンズを使用することでスポット径や中心照度を調整することができる。特に実施の形態１では、レンズユニット１２８を脱着式としており、レンズユニット１２８を分解して異なる対物レンズに変更することができ、これによってユーザが容易にスポット径や照度を変更できる。またレンズホルダ１２６も分解可能とし、レンズの合成焦点距離が異なる複数種類のレンズに交換可能とすることにより、同一のヘッド部１２０を使用しながら、ヘッド部１２０の先端と紫外線照射対象（紫外線硬化型樹脂による接着固定部）との距離が変化する場合に対応することができる。
【００３２】
本実施の形態で説明したヘッド部において、ＵＶ光の出射方向は図２等の例では、ヘッド本体部１２２の端面から長手方向に沿って出射される（ストレートタイプ）。ただ、この構成に限られず、例えばヘッド本体部の端面に配置されたＵＶＬＥＤの出射面をヘッド本体部の側面方向に向け、ＵＶ光をヘッド本体部の側面方向に出射させるアングル状のタイプとすることもできる。
（ケーブルホルダ１３２）
【００３３】
一方、ヘッド本体部１２２の後端にはケーブルホルダ１３２が固定される。ケーブルホルダ１３２は、ケーブル部１３０とヘッド部１２０とを接続するための部材である。ケーブル部１３０を固定したケーブルホルダ１３２とヘッド本体部１２２との接合面は、可能な限り接触面積を大きくして熱伝導性をよくしている。ケーブルホルダ１３２の断面図を、図８〜図１０に示す。図８はケーブルホルダ１３２の斜視図を、図９はケーブルホルダ１３２の縦断面図を、図１０は図９のＸ−Ｘ’線における断面図を、それぞれ示している。
（基板の収納空間１２３）
【００３４】
ヘッド本体部１２２は、図５及び図６の断面図に示すように、ケーブルホルダ１３２と対向する面に、基板１２２４を収納するための空間１２３を設けている。基板１２２４は、ヘッド部１２０の識別情報を記録するためのメモリ部１２２７と、ＵＶＬＥＤ１５１の動作状態を示すインジケータＬＥＤ１２２６を備えている。また図５及び図６に示すように、基板１２２４とＵＶＬＥＤ１５１とはリード線１２２５等によって電気接続されている。このため、ヘッド本体部１２２には長手方向に沿ってリード線１２２５を通すためのリード用穴１２４が貫通されている。また配線はコネクタやハーネスなどを使用しない直付けとすることで、さらに小型化を図ることができる。基板の収納空間１２３をヘッド本体部１２２に設けることによって熱伝導が低下するのを抑えるために、収納空間は可能な限り狭くする。図５及び図６の断面図に示すように、実施の形態１では基板１２２４が収納できる大きさのスリット状に収納空間を形成している。また基板１２２４を収納後、収納空間に樹脂等を充填して封止することで、基板１２２４を確実に固定すると共に、空気層を排除して熱伝導を向上させることができる。同様に、リード用穴１２４にも樹脂などを充填してもよい。
（ケーブル部１３０）
【００３５】
ケーブル部１３０は電源線と信号線を束ねたワイヤーハーネスが使用される。このケーブル部１３０は、光ファイバ等の光路を含まないシンプルな電気信号線であるため、折曲角の制限や光減衰等に起因する全長の制約を受けず、従来の紫外線照射装置で使用されていたフレキシブルケーブルに比して細くて軽くでき、柔軟性が高く取り扱いが極めて容易となる。また全長の制約もなく、長くすることもできる。図１０の断面図に示すケーブル部１３０は、内部に複数の電気信号線や電源線の芯線１３０１を通し、周囲をフッ素樹脂などの絶縁材１３０２で被膜し、さらに被覆シールド１３０３、編組線１３０４で周囲を覆い、最後に外被シース１３０５としてＰＶＣなどで被膜されている。
【００３６】
更に、ケーブル部１３０については、図２９に示すように、ヘッド本体部１２２Ａに直接連結している部分１３０Ａと、コントローラ部側から伸びている部分１３０Ｂとを、コネクタ等の連結部材１３４によって着脱可能な構成とすることもできる。この際、コネクタを設ける位置は、ケーブル部全長としてはヘッド本体部１２２に近い側の位置に設けることが好ましい。図２９の例では、ヘッド本体部１２２Ａの端部より約３００ｍｍの位置にコネクタを設けている。この構成により、本紫外線照射装置本体を設備に組み込んだ際の、コントローラ部へのヘッド部の装着が容易になると共に、ヘッド部の交換の際にもヘッド本体部近傍のみで作業を行うことができ、作業性の向上を図ることができる。
（被覆シールド１３０３）
【００３７】
ケーブル部１３０として、好ましくは図１０の断面図に示すように芯線１３０１を被膜する被覆シールド１３０３を含むタイプを使用する。被覆シールド１３０３は、ケーブル内に専用に設ける他、ケーブルのノイズ特性を向上させるために外被シース１３０５の裏面にアルミ箔等をコーティングしてシールド性を高めた既存のケーブルを用いて、アルミ箔を被覆シールド１３０３として利用できる。この被覆シールド１３０３は、電気伝導のみならず熱伝導性に優れたアルミニウムや銅などの金属で構成されていると、放熱経路として利用することもできる。すなわち、被覆シールド１３０３がヘッド本体部１２２と熱伝導するように熱結合される。具体的には、ケーブルホルダ１３２に被覆シールド１３０３を熱伝導状態に接続することによって、ＵＶＬＥＤ１５１で発生した熱の一部を被覆シールド１３０３に伝達してケーブル側に放熱できる。この接続状態は図９の断面図に示される。この例では、ケーブル部１３０の端面から被覆シールド１３０３を引き出し、外被シースを固定リング１３０６でかしめや圧着により固定した後、被覆シールド１３０３を外側に折り返して固定リング１３０６と接触させる。この状態で被覆シールド１３０３の上からケーブルホルダ１３２をケーブル部１３０に固定して、被覆シールド１３０３とケーブルホルダ１３２とを熱伝導可能な状態に熱結合する。ケーブルホルダ１３２は、図８に示すように側面に開口された止めネジ１３０７により、ケーブル部１３０と固定される。止めネジ１３０７は、ケーブルホルダ１３２の側面１カ所で固定する他、２カ所以上で固定することによって確実に固定できる。さらにケーブルホルダ１３２は、固定ネジ１３０８によりヘッド本体部１２２の後端面と確実に面接触を得る状態に固定される。これによって被覆シールド１３０３とヘッド本体部１２２とを確実に熱伝導状態に接続して、放熱性の向上に寄与させることができる。
【００３８】
さらに、コントローラ部側で被覆シールド１３０３をヒートシンク等のコントローラ側放熱部材に熱結合すれば、より一層放熱性を高めることもできる。さらに放熱力を高めるために放熱手段としてヒートパイプを設けたり、冷却ファン等による空冷、水冷、ペルチェ素子などをコントローラ側に付加することもできる。なおヘッド部側に放熱部材を付加することもできるが、ヘッド部のサイズが大型化するため小型化とのバランスを考慮して設計される。
（ヘッドホルダ１２０２）
【００３９】
また、ヘッド部１２０を所望の姿勢で保持するためのスタンドといったヘッドホルダに熱伝導させることで、放熱性をさらに向上させることもできる。ヘッドホルダ１２０２の一例を、図１１〜図１２に示す。図１１に示すヘッドホルダ１２０２は、ヘッド本体部１２２の側面を両側から狭持してヘッド部１２０を所定の姿勢にて固定する保持部１２０３を備える。また図１２に示すヘッドホルダ１２０２Ｂの保持部１２０３Ｂは、ブロック状に形成され、ヘッド本体部１２２の外径とほぼ等しい開口部を形成し、かつ開口部の内径を調整するために開口部の長さ方向に表出させた切り欠きを形成している。これらのヘッドホルダ１２０２は、ヘッド部１２０を所望の位置、姿勢に保持して固定する機構である保持部１２０３を熱伝導性に優れた金属で構成することで、ヘッド部１２０との接触面からヘッドホルダ１２０２側に熱伝導して放熱性を向上できる。
（凹凸条１２０４）
【００４０】
さらにヘッド本体部の外部表面には、複数条の凹凸条１２０４を形成することもできる。図１３および図１４に、各々異なる凹凸条１２０４を形成したヘッド部２２０、３２０の外観を示す。これらの図に示すように、ヘッド本体部２２２の表面に溝状に凹凸を形成することにより、表面積を増すことで外気との接触面積を増やし、放熱性をさらに向上させることができる。図１３に示すヘッド部２２０は、ヘッド本体部２２２の一部に、長手方向に沿って凹凸条１２０４を形成している。図１３の例では、レンズホルダ１２６と面する位置から、断面矩形状の凹凸条１２０４をほぼ等間隔に平行に形成している。この構成によって外気が凹凸条１２０４に沿ってヘッド本体部２２２の長手方向に流れ易くなり、ヘッド本体部２２２の放熱性をさらに向上させることができる。また図１４のヘッド部３２０では、ヘッド本体部３２２の円周方向に凹凸条１２０４Ｂを形成している。この構成では、凹凸パターンが放熱効率の向上に加えてヘッド部３２０を把持する際の滑り止めとしても機能する。さらに円周方向の凹凸パターンは、蛇腹状のフレキシブルパイプを利用することでも実現できる。この場合、パイプ内部に空隙が生じると放熱性能が低下するため、弾性を備える樹脂などで充填することが好ましい。
【００４１】
以上のようにヘッド本体部表面に凹凸状を形成する場合、ヘッドホルダと固定する際の接触面積を大きくするために、凹凸条を設けていない位置でヘッドホルダにて把持したり、あるいは凹凸条の位置で把持する場合はヘッドホルダの保持部の形状を凹凸条に合致する形状に形成したり、保持部とヘッド本体部との間に弾性変形する熱伝導シートを介在させる、あるいは保持部の保持面にこのような熱伝導シートを固定しておく等の構成を採用することが好ましい。
【００４２】
さらに以上の構成に限られず、凹凸条のパターンや形成する位置は、ヘッド部の大きさや要求される冷却能力に応じて適宜変更できる。例えば凹凸条を斜めに形成したり、交差させた網目状に形成する方法や、円柱状、角柱状に突出させるパターンとしたり、これらを組み合わせる等の方法により、ヘッド本体部の外部表出面積を増やすこともできる。またヘッド本体部のみならず、例えばレンズホルダやケーブルホルダ等にも凹凸条のパターンを形成してもよい。
（メモリ部１２２７）
【００４３】
一方、ヘッド部１２０では、ケーブル部１３０を介して駆動素子とＵＶＬＥＤ１５１が接続される。またメモリ部１２２７は、ヘッド部１２０の種別に関するヘッド種別情報を保持する。ヘッド種別情報とは、スポットタイプや面発光タイプといったヘッド部１２０の種別、あるいは各ヘッド部１２０に採用されるＬＥＤ素子の光量ばらつきに対する駆動電流の補正値等のＬＥＤ素子別の固有情報である。ここでは、ヘッド部１２０の駆動電圧が４．０Ｖであることを保持している。メモリ部１２２７及びＵＶＬＥＤ１５１は、それぞれ個別の電気信号線により同一のケーブル部１３０を介してコントローラ部１１０と接続される。メモリ部１２２７は制御部１１４とケーブル部１３０を介して接続され、制御部１１４がメモリ部１２２７にアクセスして記録内容を読み取り可能としている。メモリ部１２２７は不揮発性メモリであるＥ２ＰＲＯＭが好適に利用できる。またこのメモリ部１２２７は、ヘッド部１２０の稼働時間を記憶したり、ＵＶＬＥＤ１５１のＬＥＤ素子の光量ばらつきに対する駆動電流の補正値等のＬＥＤ素子別の固有情報（初期特性）を記録することもできる。このようなメモリ部１２２７は、既存のヘッド部に備えられているため、実施の形態１では既存のメモリ部を使用してヘッド部の種別をコントローラ部に通知できるので、新たな部材を付加することなくヘッド部の判別機能を低コストで容易に実現できる。
【００４４】
さらに半導体素子は使用するにつれて出力が低下する傾向がある。また半導体素子毎に特性のばらつきなども存在する。したがって各ヘッド部３２０で同一の紫外線出力が得られるよう、ヘッド部３２０が備える半導体素子の出力に関する情報を保持しておく必要がある。特に複数のヘッド部３２０を使用する場合、各ヘッド部３２０の仕様が共通であればヘッド部３２０の交換が可能であり、一のヘッド部が異なるコントローラ部の異なるヘッド接続部に接続されることがある。このような場合でも各ヘッド部を正しく制御できるように、各ヘッド部の半導体素子の特性に関する情報をヘッド部側に持たせておく必要がある。このため、各ヘッド部３２０は半導体素子に関する情報を保持するメモリ部を備えている。メモリ部は好ましくは半導体メモリで構成され、例えばＥ２ＰＲＯＭなどの不揮発性メモリが利用される。メモリ部は、半導体素子の使用時間、例えば駆動時間の積算値や、紫外線出力と駆動時間の積分値等の情報を保持する。このメモリ部は、上述したヘッド種別情報を保持するメモリ部１２２７と共用することができ、これよりコントローラ部でヘッド部の種別を検出して、これに応じた電源出力に設定される。このように、メモリ部はヘッド部に固定されていればよく、ヘッド部本体またはケーブル部のいずれに設けることも可能である。したがって、ヘッド種別情報を保持するメモリ部１２２７と別部材としてもよい。
【００４５】
次に、紫外線照射装置の動作について図１に戻って説明する。紫外線照射装置は、紫外線照射条件を設定する設定モードと、実際に紫外線を照射する照射モードとを切替可能である。設定モードにおいて設定部１４０（後述）で設定された紫外線照射条件は、記憶部１１６に保存される。設定部１４０は、複数の紫外線照射条件を設定して記憶部１１６に保存する。照射モード時に制御部１１４が記憶部１１６から必要な紫外線照射条件設定を呼び出し、この設定に従って制御部１１４は電源部１１２からヘッド部１２０に駆動電流を供給し、ヘッド部１２０の半導体素子１５０を制御する。紫外線照射条件は、各ヘッド部毎に独立して設定可能である。
【００４６】
コントローラ部１１０は、ヘッド部１２０を接続するためのヘッド部接続部１６０を複数設けている。複数のヘッド部接続部１６０に各々スポットタイプまたは面発光タイプのヘッド部を接続し、一台のコントローラ部で複数のヘッド部を制御することができる。各ヘッド部接続部１６０は、それぞれ固有のチャンネル番号を割り当てられており、チャンネル番号によって他のヘッド部接続部と区別される。図１の例では、チャンネル１〜４の４チャンネルのヘッド部接続１６０が設けられており、各ヘッド部接続部１６０にはヘッド部１２０が接続される。
【００４７】
各ヘッド部１２０は、コントローラ部１１０から駆動電流を受けて紫外線源を動作させ、紫外線Ｕを外部に照射する。さらにヘッド部１２０は、図１に示すように各ヘッド部１２０をチャンネル毎に区別する識別情報を表示可能な識別部１２１を設けている。識別情報は、チャンネル番号に関する情報を表示することで、ユーザがヘッド部毎に割り当てられたチャンネル番号を理解し、これによって複数のヘッド部を相互に区別する。識別情報の表示は、直接的にチャンネル番号を表示する他、複数の点灯の組み合わせや点灯パターン等が利用できる。したがって、ここでいう表示には、数字や文字情報の表示のみならず、点灯による情報表示も含む。また点灯には、連続的な灯火表示の他、点滅や強弱を付けた点灯表示も含む。ヘッド部１２０の識別を行うときは、紫外線照射装置に対して識別動作の実行をコントローラ部１１０の設定部１４０から指示する。識別動作が指示されると、コントローラ部１１０の制御部１１４は識別信号を生成し、ヘッド部１２０側に送出する。ヘッド部１２０は、識別信号を受けると識別部１２１に識別情報を表示する。ユーザはヘッド部１２０の識別部１２１に表示される識別情報を見てチャンネル番号を把握し、これに基づいてヘッド部１２０を区別できる。識別部１２１は、識別情報を示すための表示を行う部材であり、点灯部を備える。点灯部は発光素子で構成され、例えば電球や半導体発光素子が使用できる。好適にはＬＥＤが使用される。
（紫外線源）
【００４８】
紫外線源である半導体素子１５０には、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ（ＬＤ）等の半導体発光素子が利用できる。これらの半導体素子は高圧水銀ランプ等に比して小型で高効率であり発熱量も少なく、長寿命で機械的振動にも強いといった優れた特長を備えており、理想的に使用できる。実施の形態１においては、半導体素子として直接紫外光を照射する紫外線発光ダイオード（ＵＶＬＥＤ）１５１を使用する。ＵＶＬＥＤ１５１は、例えば活性層（発光層）に一般式がＩｎｘＡｌｙＧａ１−ｘ−ｙＮ（０≦ｘ、０≦ｙ、ｘ＋ｙ≦１）で表される窒化物系化合物半導体を使用したものが利用できる。また発光層にはダブルへテロ構造や単一量子井戸構造（ＳＱＷ）、多重量子井戸構造（ＭＱＷ）等を適宜採用できる。なお、紫外線を直接照射するＵＶＬＥＤに限られず、例えば波長変換素子等を使ってＬＥＤの照射光を紫外光に変換する構成も適宜採用できることは言うまでもない。ＵＶＬＥＤは必要時のみ点灯し、言い換えると常時点灯させないことで、電力消費を抑え、ＵＶＬＥＤの寿命を長くできる。半導体素子から出力される紫外線の波長としては、３００〜４００ｎｍ近傍、例えば波長３８０ｎｍ付近、あるいは３６５ｎｍ付近の近紫外線が利用でき、使用される紫外線硬化型樹脂に応じて波長が決定される。本実施の形態では、ＵＶＬＥＤとして底面が略正方形のパッケージタイプを使用し、パッケージに内蔵されたＵＶＬＥＤチップから所定の波長の紫外線が照射される。ここでは中心ピーク波長が３６５ｎｍのＵＶＬＥＤチップを使用した。ＵＶＬＥＤ１５１の裏面に位置するＵＶＬＥＤ基板１５１ａに接触させることにより、ＵＶＬＥＤ１５１にて発生される発熱はＵＶＬＥＤ基板１５１ａを介してヘッド本体部１２２へ容易に伝達させることができる。
（紫外線硬化型樹脂）
【００４９】
紫外線硬化型樹脂としては、紫外線を照射されると硬化するあらゆる樹脂が採用でき、例えば脂環式エポキシ樹脂及びグリシジル基含有エポキシ樹脂を含むエポキシ樹脂や紫外線活性化カチオン重合触媒、カチオン重合抑制剤を含む樹脂等が利用できる。このような紫外線硬化型樹脂組成物を対象物の表面に塗布した後、紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂組成物の硬化皮膜を形成する。
（ケーブル部１３０）
【００５０】
ケーブル部１３０は、コントローラ部１１０のヘッド接続部と接続するためのケーブル側インターフェース１３１を備えている。ケーブル側インターフェース１３１は例えばコネクタやソケット、ピンなどが利用できる。このケーブル側インターフェース１３１に、ヘッド部の種別を判別する機構を設け、電源切替部として機能させることもできる。例えば、ケーブル部のコネクタ部分の形状をヘッド部毎に変更し、いずれのヘッド部もヘッド接続部に物理的に接続可能な構成とする一方で、ヘッド部に応じて専用のピンや切り欠き等の判別機構を設けて、これに基づいてヘッド部を区別する。判別機構には端子などの電気信号によりヘッド部を判別する他、物理的に検出する機構を採用しても良い。例えばコネクタを接続するとピンがスイッチを押し込むようにしてヘッド部に応じてスイッチを切り替えるようにしたり、ピンの有無やピンの長さなどによってスイッチの押し込み深さを変更し、この段階に応じてヘッド部を判定する構成等が採用できる。さらに、実施の形態１ではケーブル部１３０はヘッド部１２０と一体的に構成されている。具体的にはケーブル部１３０の一端でケーブル側インターフェース１３１を設けていない側をヘッド部と固定している。ただ、ヘッド部をケーブル部と着脱式にして別部材とすることも可能である。
【００５１】
ヘッド部に内蔵される基板１２２４は、ケーブル部１３０から受けた駆動電流をＵＶＬＥＤ１５１に供給して駆動制御するための電子部品を備える。基板１２２４上には、紫外線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を表示するインジケータとして、インジケータＬＥＤ１２２６が実装されている。図５の例では、基板１２２４上に配置されたインジケータＬＥＤ１２２６がヘッド部の外部から確認できるように、ヘッド本体部１２２の対応する位置に開口窓１２２６Ａを開口している。インジケータＬＥＤ１２２６は輝度や要求される光量に応じて、１または２以上配置する。
【００５２】
基板１２２４上には、コントローラ部１１０の制御部１１４で生成された駆動信号を受けて、ＵＶＬＥＤ１５１に駆動電流を供給するための各種電子部品や、メモリ部１２２７、調整回路等が実装されている。メモリ部１２２７は、ヘッド部１２０の稼働時間を記憶し、またＵＶＬＥＤ１５１の初期特性を記録するため等に使用され、不揮発性メモリであるＥ２ＰＲＯＭが好適に利用できる。
（ＵＶＬＥＤ１５１の調整作業）
【００５３】
ＵＶＬＥＤ１５１等の半導体素子は、駆動電流に対する出力のリニアリティが良いが、使用時間と共に出力が低下する傾向にある。駆動電流の調整は、電流調整用トリマ等の半固定抵抗等で構成された調整回路によって、各ヘッド部１２０毎に行う。調整回路はヘッド部１２０内の基板１２２４に実装して外部から調整できないよう構成することで、調整回路の意図しない操作によって駆動電流が変更される事態を回避している。ただ、外部から駆動電流の調整作業を行えるような構成を採用することも可能である。例えば、特殊な形状の工具で抵抗値を調整できるようにする、あるいは小さな孔をヘッド部１２０のケースに開口して、この孔から抵抗値を調整可能とする、あるいはまたコントローラ部１１０やヘッド部１２０に設けられた個別設定スイッチの長押し等、特定の操作により調整回路の調整機能を呼び出せるようにする等の方法が採用できる。
【００５４】
このような駆動電流の調整を定期的に行うため、各ヘッド部１２０の使用時間が一定時間に達する毎に、ユーザに報告し、駆動電流の調整作業を促す。各ヘッド部１２０に設けられたメモリ部１２２７は、ＵＶＬＥＤ１５１の駆動時間の積算値、すなわち駆動積算時間を更新記憶する。コントローラ部１１０の制御部１１４は、Ｄ／Ａ変換部及び駆動回路等を介してヘッド部１２０のＵＶＬＥＤ１５１の駆動を制御すると共に、その駆動時間の積算値をヘッド部１２０のメモリ部１２２７に書き込む。この書き込み（更新記憶）は、所定時間ごと（例えば１分ごと）に行われる。そして、制御部１１４は、メモリ部１２２７から読み出した駆動積算時間が所定の要調整時間に達すれば、ＵＶＬＥＤ１５１の調整作業を行うよう報知出力を行う。報知出力として、例えばＬＥＤの点滅表示やブザー鳴動等が使用される。あるいは、コントローラ部１１０にメッセージ表示可能な表示器が備えられている場合は、それを用いてＵＶＬＥＤ１５１の調整作業を促すメッセージの表示を行ってもよい。ユーザは報知出力によって調整作業が必要な時期に達したことを把握し、上述の通り調整回路を使って電流補正を行う。例えば、基準となる駆動電流に対する出力の低下分を考慮し、駆動電流が多くなるように調整する。さらに、駆動積算時間がＵＶＬＥＤ１５１の寿命に達すると、ＵＶＬＥＤ１５１の交換を促す報知出力を行うようにしても良い。
【００５５】
またメモリ部１２２７は、ＵＶＬＥＤ１５１の初期特性に関するデータを記憶して、駆動電流の調整にも利用できる。一般にＵＶＬＥＤ１５１の初期輝度には個体差（ばらつき）があるため、通常はＵＶＬＥＤ１５１のヘッド部１２０側の駆動回路に初期輝度調整回路が必要となる。初期輝度調整回路には、半固定抵抗等が利用され、例えば調整回路を併用できる。そして、ヘッド部１２０毎に紫外線照射パワーが所定値となるように、各々のヘッド部１２０で初期輝度調整回路により初期調整を行う必要がある。
【００５６】
実施の形態１に係る紫外線照射装置では、各ヘッド部１２０に実装されたＵＶＬＥＤ１５１の予め測定された初期輝度に関する初期特性データをメモリ部１２２７に記憶させておくことにより、上記のような初期輝度調整回路やこれを用いた初期調整作業が不要になる。つまり、制御部１１４がメモリ部１２２７から初期特性データを読み出し、初期特性データに応じた適切な基本駆動電流（正確にはそれに対応するデジタル値）を決定する。
【００５７】
制御部１１４から出力される駆動電流に対応するデジタル値は、Ｄ／Ａ変換部でアナログ電圧に変換され、駆動回路に与えられる。駆動回路は、与えられたアナログ電圧に対応する駆動電流でヘッド部１２０のＵＶＬＥＤ１５１を駆動する。なお、この駆動電流は、設定部によって増減調節することができるので、これによって紫外線照射出力を調整できる。
【００５８】
以上のように、ヘッド部１２０側にメモリ部１２２７を設けることで、ヘッド部１２０に備えられたＵＶＬＥＤ１５１の特性に応じた正確な調整が実現できる。例えば、ヘッド部１２０を接続するコントローラ部１１０のヘッド接続部の一形態であるヘッド接続部１６０のチャンネルを一意的に固定する場合は、コントローラ部１１０側にメモリ部を設けても上記のような調整は可能である。コントローラ部１１０側のメモリ部がチャンネル毎に駆動積算時間や初期特性データを記憶できるからである。ただ、ヘッド部１２０の接続先のチャンネルが変更される場合は、上記の方法では対応できず、必ずヘッド部１２０毎に接続先の紫外線照射装置及びそのチャンネル番号を何らかの手段でユーザ側が記憶しておく必要があり、手間がかかって使い勝手が悪くなる。従って、上記のようにヘッド部１２０側にメモリ部１２２７を設けることで、いずれの紫外線照射装置のいずれのチャンネル番号にヘッド部１２０が接続されても、ヘッド部１２０の特性に応じた正確な駆動電流調整が実現され、使い勝手も向上する。
（コントローラ部１１０）
【００５９】
次に本発明の実施の形態１として、紫外線照射装置に使用するコントローラ部を図１５の正面図に基づいて説明する。この例では、４台のヘッド部１２０を接続可能な４チャンネルのコントローラ部１１０を示している。ヘッド部１２０を接続可能な台数はチャネル数で決定されるが、チャンネル数は３以下とすることも、あるいは５以上とすることもできることはいうまでもない。この図に示すコントローラ部１１０は、前面パネルにＵＶＬＥＤ１５１の紫外線照射条件を個別に設定するための設定部１４０として、表示部１４２及び操作パネル１４４を設けている。図１５において表示部１４２は前面パネルの上部に配置し、その下に操作パネル１４４を配置している。
（操作パネル１４４）
【００６０】
設定部１４０を構成する操作パネル１４４は、上下左右の選択スイッチである＜、＞、∧、∨スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂ、１４４Ｃ、１４４Ｄと、エスケープスイッチ１４４Ｅ、エンタースイッチ１４４Ｆが各々配置されている。ユーザは、これらのスイッチを操作して所定の手順に従い、ＵＶＬＥＤ１５１の紫外線照射条件を設定する。なお、この例に限られず、操作パネル１４４には十字キーやテンキー、ジョグダイヤル等の各種の入力デバイスが利用できる。また、操作パネルを表示部と一体化したタッチパネルとしても良い。操作パネル１４４に設けた各種スイッチは、各ヘッド部１２０の操作に共通して利用でき、各ヘッド部１２０を接続したチャンネルを切り替えて設定できる。
【００６１】
なお、設定部１４０のスイッチ類は、コントローラ部１１０上に固定する必要はなく、コントローラ部１１０と個別の部材として設けても良い。例えばコンソールやリモートコントローラ、フットスイッチ等、コントローラ部と別体とした設定部にスイッチ類を設け、これらをコントローラ部と有線あるいは無線で接続して操作する形態も本発明の範囲内である。また後述するように、紫外線照射装置に接続された外部接続機器から設定や操作を行えるよう構成してもよい。
【００６２】
また、本明細書において設定部には、紫外線照射条件の設定時以外に使用する態様も包含し、例えば紫外線照射装置の動作時に使用する照射スイッチも、設定部に含む。なお、例えば照射スイッチとしてフットスイッチをコントローラ部１１０と接続する場合は、外乱によるチャタリングを防止するためにＯＮ／ＯＦＦ入力の遅延を設定することもできる。紫外線のオンタイミング（遅延設定）及びオフタイミング（遅延設定）は、設定部を用いて個別に、あるいは一括して設定することができる。
（表示部１４２）
【００６３】
また設定部１４０を構成する表示部１４２には、ＬＥＤや液晶表示器を使用した７セグメント表示器を備える。操作パネル１４４で設定された紫外線の出力や照射時間等の紫外線照射条件を、表示部１４２で表示、確認しながらユーザは設定作業を行う。表示部１４２は、一の画面で各ヘッド部１２０の設定条件を切り替えて表示する。また、後述するように各ヘッド部１２０毎に個別に複数の表示部を設けることもできる。なお紫外線出力は、相対的な強度値、例えばＵＶＬＥＤ１５１の駆動デューティファクタで設定、表示しているが、絶対的な出力値（ｍＷ等）で表示してもよい。なお、表示部１４２は液晶や有機ＥＬで構成してアイコン表示等のグラフィカルな表示を可能とできる。またカラー表示可能としても良い。
【００６４】
また、表示部１４２の下部には、各チャンネル毎にチャンネル表示ランプ１４５を設けている。これによって、現在選択されて表示部１４２に表示されているチャンネルが区別できる。図の例では１〜４チャンネルの４つのチャンネル表示ランプ１４５が設けられる。さらに、これらのチャンネル表示ランプ１４５に隣接して、紫外線照射ランプ１４６が配置される。紫外線照射ランプ１４６は、いずれかのヘッド部１２０から紫外線が照射（エミッション）状態であることを示すパイロットランプとして機能し、例えばＬＥＤ等で構成される。すなわち、紫外線照射ランプ１４６のＬＥＤが点灯しているときは、紫外線が照射中であることがユーザに通知される。
【００６５】
操作パネル１４４の下部には、電源スイッチ１４７と一括照射スイッチ１４８を備える。電源スイッチ１４７は紫外線照射装置の電源をＯＮ／ＯＦＦするスイッチである。例えば電源スイッチ１４７にキースイッチを採用することで、不意にスイッチがＯＮになる事態を回避できる。
（一括照射スイッチ１４８）
【００６６】
一括照射スイッチ１４８は、これを押下することで、設定部１４０で予めヘッド部１２０毎に設定された各々の紫外線照射条件に従い、すべてのヘッド部１２０から紫外線を独立して照射できる。
（ヘッド接続部１６０）
【００６７】
さらに、前面パネルの下部には、各ヘッド部１２０毎にヘッド接続部１６０、個別照射ランプ１７０、個別照射スイッチ１８０をそれぞれ設けている。図１５において左側に縦並びに配置されるヘッド接続部１６０は、ヘッド部１２０のケーブルを接続するためのコネクタであってヘッド接続部を構成する。上述の通り、図１５のコントローラ部１１０は４台のヘッド部１２０を接続可能なように４チャンネルのヘッド接続部１６０を設けている。もちろん、すべてのチャンネルを使用する必要はなく、使用条件に応じてこの内の任意のチャンネルのみを使用可能であることはいうまでもない。
（個別照射ランプ１７０）
【００６８】
また、各ヘッド接続部１６０の右側に隣接して、個別照射ランプ１７０が配置される。個別照射ランプ１７０は、各チャンネルに接続されたヘッド部１２０のＵＶＬＥＤ１５１から紫外線が照射されていることを示すためのランプである。これによってユーザは、どのヘッド部１２０から現在紫外線が照射されているかを確認できる。個別照射ランプ１７０にもＬＥＤ等が利用できる。なお、一括照射スイッチ１４８を押下すると、すべての個別照射ランプ１７０が点灯することとなる。
（個別照射スイッチ１８０）
【００６９】
さらに、個別照射ランプ１７０の右側に個別照射スイッチ１８０を配置している。個別照射スイッチ１８０は、各チャンネルに接続されたヘッド部１２０の紫外線出力を個別にＯＮ／ＯＦＦするスイッチである。個別照射スイッチ１８０をチャンネル毎に設けることで、各々のチャンネルに接続されたヘッド部１２０の紫外線出力を個別に操作でき、特に専用スイッチを設けることにより少ない操作回数（例えばボタンを押すのみ）で各ヘッド部１２０の出力をＯＮ／ＯＦＦできるので、より便利に紫外線照射装置を使用できる。ただ、個別照射スイッチを設けることなく、操作パネル１４４で各チャンネルのＯＮ／ＯＦＦを操作するように構成することも可能である。
【００７０】
以上、設定部１４０のレイアウト配置を図１５に基づき説明したが、これらの配置は任意に変更できることはいうまでもない。例えば、図１５の例では複数のチャンネルを縦に配置し、横方向にチャンネル毎のヘッド接続部１６０、個別照射ランプ１７０、個別照射スイッチ１８０を配置しているが、他の実施の形態として、横方向にチャンネルを配置し、縦方向にチャンネル毎のヘッド接続部、個別照射ランプ、個別照射スイッチ等を配置することもできる。また、上記実施の形態では照射ランプと照射スイッチを個別に設けたが、オン状態で点灯するバックライト付のスイッチを使用すれば、これらを一部材に統合することもできる。
【００７１】
コントローラ部１１０は、図１に示すように電源部１１２及び制御部１１４を備える。ＡＣインレットから供給される商用電源が、ラインフィルタ、ヒューズ及び電源スイッチ１４７を経て電源部１１２に供給され、電源部１１２で生成された直流安定化電圧が制御部１１４に供給される。制御部１１４は、ヘッド判別部としても機能する。また制御部１１４はメモリを備え、予め記憶している設定プログラムとユーザの設定操作にしたがって各ヘッド部１２０からの近紫外線の強さ、照射タイミング等を制御する。制御部１１４には、端子台基板及び通信用コネクタが接続されており、これらのインターフェイスを用いてコンピュータやＰＬＣ（プログラマブル・ロジック・コントローラ）等の外部制御機器をコントローラ部１１０に接続することができる。外部接続機器は、後述するように紫外線照射条件の設定や紫外線照射装置のＯＮ／ＯＦＦ操作に使用できる。すなわち、紫外線照射装置のコントローラ部１１０に設けられた設定部１４０で設定や操作を行う他、外部接続機器からのトリガ入力によって紫外線照射装置のＯＮ／ＯＦＦを操作することもできる。
【００７２】
例えば、一台のコントローラ部１１０に４個のヘッド接続部１６０が制御部１１４に接続され、これらのヘッド接続部１６０を介して各ヘッド部１２０がコントローラ部１１０の制御部１１４に接続される。そして、制御部１１４は各ヘッド部１２０のＵＶＬＥＤ１５１の駆動制御のための電気信号を各ヘッド部１２０に与え、各ヘッド部１２０からの近紫外線の強さや照射タイミングを制御する。さらに、制御部１１４にはフロントパネル基板が接続されている。フロントパネル基板には、コントローラ部１１０の前面パネルに設けられた表示部１４２及び設定部１４０を構成する表示器や各種スイッチ類が実装されている。ユーザは表示部１４２及び設定部１４０を用いて４個のヘッド部１２０の近紫外線の強さ、照射タイミング等を個別に設定することができる。
（モード切替）
【００７３】
上述の通り、本発明の各実施の形態に係る紫外線照射装置は、コントロール部によって紫外線照射条件を設定する設定モードと、紫外線を照射する照射モードとを切替可能である。設定モードと照射モードの切替は、専用の切替スイッチを設けたり、特定のスイッチの組み合わせや長押し等が利用できる。本実施の形態においては、図１５に示す操作パネル１４４の内、エスケープスイッチ１４４Ｅの長押し（例えば３秒以上）によって、設定モードと照射モードを相互に切り替える。
（照射モード）
【００７４】
以下、照射モードの詳細について説明する。まず、本実施の形態においては、紫外線照射装置の照射モード時において、すべてのヘッド部１２０から紫外線を照射する一括照射モードと、一のヘッド部１２０から紫外線を照射する個別照射モードとを備えている。そして上述の通り、一括照射スイッチ１４８を操作すると一括照射モードが実行され、個別照射スイッチ１８０を操作すると個別照射モードが実行される。
【００７５】
さらに、各照射モードはそれぞれ自動モードと手動モードに区別できる。自動モードとは、予め設定された紫外線照射条件に従って、照射出力や照射時間を変更可能なモードである。すなわち、自動モードにおいては照射開始指令を受けると、事前に各ヘッド部１２０毎に登録された照射パターンで照射を開始し、終了後は自動的に紫外線照射を停止する。一方、手動モードとは、指定されたタイミングで紫外線照射のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるモードである。すなわち、照射開始指令を受けると、照射停止指令を受けるまで一定の出力にて照射し続ける。照射スイッチをＯＮすると出力が開始され、ＯＦＦすると終了する。なお、後述するように手動モードにおいても紫外線出力値は変更可能である。
【００７６】
照射モード時における紫外線の照射開始、及び停止の指令は、上述の通りコントローラ部１１０に設けた照射スイッチや端子台１６４からのトリガ入力によって実現される。なお、本実施の形態においては、照射スイッチを一度押下すると照射モードが実行され、再度押下すると中断もしくは停止される。中断の場合は、一時停止状態を維持し、再度スイッチを押下することで照射モードが再開される。
（手動照射モード）
【００７７】
紫外線照射装置は、設定部１４０で設定される複数の紫外線照射条件を記憶部１１６に保存できる。さらに、各紫外線照射条件設定毎に動作モードを保存できる。手動モードにおいては、紫外線出力値は各ヘッド部１２０毎に保存できる。従って、個別手動照射モードでは複数のヘッド部１２０を異なる紫外線出力で各々照射できる。また一括手動照射モードでは、各ヘッド部１２０で同時に異なる紫外線出力を開始し、同時に照射終了させることができる。また、各ヘッド部１２０毎に照射許可／不許可を設定できるので、ヘッド部１２０が紫外線照射装置に接続されていても、所望のヘッド部１２０のみから照射することができる。従来の紫外線照射装置では、同一の装置に接続されたヘッドはすべて同じ出力及びタイミングで出力されていたため、装置にヘッドを接続している限り、他のヘッドの出力と共に必ず出力が生じ、照射を停止することができなかった。これに対して、本実施の形態では各ヘッド部１２０が独立しているため、紫外線照射の許可／不許可を容易に設定できるという利点がある。
（自動照射モード）
【００７８】
また、自動モードにおいても、照射パターンを各ヘッド毎に保存できる。従って、一括自動照射モードでは複数のヘッド部１２０にて異なる照射パターンで同時に照射を開始して、異なるタイミングで照射を終了させることができる。上述の通り、このような動作も従来の紫外線照射装置では実現できなかった。特にヘッド毎に異なる照射パターン、異なるタイミングで停止することができなかったが、本実施の形態により、独立して各ヘッド部１２０毎に出力やタイミングを変化させた出力が可能となり、極めて自由度の高い紫外線照射が実現される。上述の通り、各ヘッド部１２０毎に照射許可／不許可を設定できるため、ヘッド部１２０が紫外線照射装置に接続されていても、所望のヘッド部１２０のみから照射させることができる。さらに、照射開始指令をヘッド部毎に入力できるようにすれば、ヘッド部毎に異なるタイミングで紫外線照射を開始させることもできる。例えば、個別照射スイッチをヘッド部の数だけ設けたり、あるいはヘッド部の台数分の端子台トリガ入力を用意すればよい。
【００７９】
以上説明した動作モードをまとめると、一括自動照射モードにおいては、各ヘッド部１２０毎に予め設定された紫外線出力、照射時間等の紫外線照射条件で、すべてのヘッド部１２０で紫外線照射を実行する。一括照射スイッチを押下すると、各ヘッド部１２０から紫外線照射が開始され、様々な異なる出力、時間で独立して紫外線照射が実行される。なお紫外線照射の終了は、各々の設定に応じてヘッド部１２０毎に異なり、設定が終了するとヘッド部１２０毎に自動的に終了する。
【００８０】
また一括手動照射モードにおいては、実行するとすべてのヘッド部１２０から一定値で紫外線が出力される。一括照射スイッチを押下すると、各ヘッド部１２０から紫外線照射が開始され、再度一括照射スイッチを押下すると各ヘッド部１２０の紫外線照射が停止される。この場合においても各ヘッド毎に紫外線出力値を変更することはできる。
【００８１】
さらに、個別手動照射モードは、各々のヘッド部１２０で実行されると、該ヘッド部１２０から一定値で紫外線が出力される。この場合においても各ヘッド毎の紫外線出力値を変更することはできる。
（個別自動照射モード）
【００８２】
個別自動照射モードは、ヘッド部１２０毎に紫外線照射条件を設定するモードである。個別自動照射モードに相当する機能は、特に設けなくとも、一括自動照射モードを利用して実質的に実現できる。すなわち、特定のＵＶＬＥＤについてのみ照射を行い、他のＵＶＬＥＤの照射を行わないことで、該特定のＵＶＬＥＤの照射時間や出力等の紫外線照射条件を設定することにより、一括自動照射モード実行時に該ＵＶＬＥＤのみが自動的に設定されたパターンで紫外線照射を実行できる。ただ、この場合は特定のＵＶＬＥＤのみしか紫外線照射を実行できず、他のＵＶＬＥＤに個別自動照射モードに相当する動作を実行させるには、複数の一括自動照射モードを並列して実行可能とする必要がある。一方、複数のＵＶＬＥＤを動作させるように一括自動照射モードを設定することは可能である。ただ、ＵＶＬＥＤ毎の動作タイミングが変化する場合には対応が困難となる。一方、ユーザによっては各ヘッド部毎に自動照射を設定、実行する方が便利である場合も考えられるので、個別自動照射モードを別途設けることもできる。
（紫外線照射条件の設定方法）
【００８３】
次に、紫外線照射条件の設定方法について、図１６に基づき説明する。ここでは、各ヘッド部１２０から照射される紫外線が、図１７（ｂ）に示すように時間と共にステップ状に変化するパターンを得るために、図１７（ａ）に示すように複数の矩形波の組み合わせとして、個々の矩形波の条件を設定する例を考える。なお、図１７に示す各矩形波、すなわち一定の照射出力及び照射時間の組み合わせからなる紫外線照射条件のセットを、ここではステップと呼ぶことにする。
（矩形波状照射パターン）
【００８４】
図１６は、ヘッド部１２０が一のＵＶＬＥＤ１５１を備える場合の設定方法の概要を示している。図１６において、まず工程Ｓ１００１でヘッド部１２０の番号を選択する。上述のように本実施の形態ではヘッド部１２０はチャンネル１〜４まで４台接続されており、どのチャンネルについて設定を行うかをここで選択する。次に工程Ｓ１００２でステップの番号を選択する。ステップは、１から順に設定され、本実施の形態では一の紫外線照射条件設定において２０個までステップを設定可能としている。次に選択されたステップにつき、工程Ｓ１００３で紫外線の照射時間を設定する。ここでは、秒数で指定する。さらに工程Ｓ１００４で紫外線の照射出力を指定する。ここではデューティ比で設定する。そして工程Ｓ１００５で設定を一時保存すると共に、ステップ番号の選択ステップに戻り、必要なすべてのステップについて設定が完了するまでループする。このようにして図１７のような紫外線照射パターンが設定されると、紫外線照射条件設定が保存される。なお、上記の各工程は、順序を適宜入れ替えることもできる。例えば、先に照射出力を設定した後、照射時間を設定してもよい。
【００８５】
上記工程を、より詳細に示したフローチャートを図１８に示す。まず工程Ｓ１２０１で紫外線照射条件設定の番号（設定番号）を選択する。本実施の形態では、ｎｏ０〜ｎｏ１９まで２０個の紫外線照射条件設定を記録できる。次に工程Ｓ１２０２で照射モードを選択する。照射モードは、Ｕ０〜２の３通りであり、一括手動照射モード、個別手動照射モード、一括自動照射モードの別を指定する。なお、本実施の形態では個別自動照射モードに相当するモードを採用していない。次に工程Ｓ１２０３で紫外線照射条件を設定するヘッド部１２０を接続したチャンネル番号を選択する。ここではチャンネル番号ＣＨ１〜４の４個から選択する。
【００８６】
次に工程Ｓ１２０４では、選択されたチャンネル番号に接続されたヘッド部１２０に対して、紫外線出力を許可するかどうかを設定する。ヘッド部１２０毎に紫外線照射の許可／不許可を設定可能とすることで、従来のように接続されたヘッド部１２０すべてから紫外線が出力されることなく使用することが可能となる。出力を許可する場合は、工程Ｓ１２０５に進み、許可しない場合は工程Ｓ１２０４−１ですべてのヘッド部１２０の設定が終了したか否かを判定し、未だの場合は工程Ｓ１２０３に戻り他のヘッド部１２０の設定を継続し、すべてのヘッド部１２０の設定が終了した場合は工程Ｓ１２１１にジャンプする。なお一のヘッド部に複数のＵＶＬＥＤを備える場合は、各ＵＶＬＥＤ毎に紫外線照射の許可／不許可を設定することもできる。
【００８７】
次に工程Ｓ１２０５で、工程Ｓ１２０２で選択された照射モードが自動モードか否かを判定する。自動モードの場合は、次工程Ｓ１２０６でステップ番号を選択する。ステップ番号は、Ｓ０〜Ｓ１９まで、最大２０個設定できる。自動モードでない場合はステップ番号の選択が不要であるから工程Ｓ１２０７にジャンプする。工程Ｓ１２０７では照射時間を設定する。ここでは秒数を入力する。次に工程Ｓ１２０８で照射出力を設定する。ここではデューティ比で入力する。次に工程Ｓ１２０９で必要なステップ番号の設定をすべて完了したか否かを判定し、未だの場合は工程Ｓ１２０６に戻り、次のステップ番号の設定を繰り返す。終了した場合は工程Ｓ１２１０に進み、すべてのヘッド部１２０の設定が終了したか否かを判定し、未だの場合は工程Ｓ１２０３に戻り他のヘッド部１２０の設定を繰り返す。終了した場合は工程Ｓ１２１１に進み、上記の設定を記憶部１１６に保存して終了する。
（階層メニュー）
【００８８】
次に、コントローラ部１１０に設けた表示部１４２における表示の切り替えについて説明する。本実施の形態においては、階層メニュー方式を採用している。図１９に、階層メニューの一例を示す。この図に示すように、紫外線照射装置は照射モードと設定モード、および上述したテスト照射モードに切替可能であり、各々のモードにおいて、さらに各種のメニュー項目が選択できる。また選択されたメニュー項目についても様々な設定項目が存在し得、図１９において下方向に示すように各階層に下って各項目を設定する。
（照射モードにおける表示）
【００８９】
次に、図２０に基づいて照射モードにおける表示部１４２の表示例を説明する。照射モードにおいては、図２０に示すように運転中設定番号表示、現タイマ値表示、現照射パワー値表示、累積照射時間表示等の項目が切り替えて表示される。項目の切替は、左右の＜、＞スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂで行われる。また、最上位階層を表示中にエスケープスイッチ１４４Ｅを長押しすると、上述の通り照射モード、設定モード間のモードが変更される。一方、最上位以外の階層からエスケープスイッチ１４４Ｅを長押しすると、そのモードの最上位階層へ遷移する。
（運転中設定番号表示）
【００９０】
運転中設定番号表示は現在選択中の設定番号を表示している。この例ではＪ０が選択されている。設定番号はｎｏ０〜Ｊ１９まで最大２０個の設定を保存することが可能であり、この内から任意の設定番号を選択する。また図２０に示すように、表示部１４２の下方に設けられたチャンネル表示ランプ１４５が、現在表示中の設定番号において照射が設定されているヘッド部１２０を表示する。これによって、選択中の設定番号において紫外線が照射されるヘッド部１２０がいずれであるかをユーザが容易に把握できる。この例においては、チャンネル１〜４すべてのヘッド部１２０でＵＶＬＥＤ１５１が動作することを示している。
【００９１】
なお設定番号の変更は、本実施の形態では後述するように設定モードで行う。ただ、照射モードにおいて設定番号を変更できるようにしても良い。例えば図２０の画面からエンタースイッチ１４４Ｆを押下して設定番号の選択メニューに移行する方法や、図２０の画面から∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄを押下して設定番号を変更する方法等が適宜採用できる。
（現タイマ値表示）
【００９２】
現タイマ値表示は、紫外線の照射時間を表示する。図の例では、チャンネル１に接続されたヘッド部１２０から１２秒間照射するよう設定されていることを示している。該設定番号の紫外線照射条件設定の実行時には、設定された照射時間からカウントダウン式に残りの照射時間が秒数で表示され、ユーザは残り時間を容易に知ることができる。また、照射時間が設定されていないチャンネルを表示する場合は、停止時は−−−で表示し、実行時はカウントアップ式に経過時間を秒数で表示する。これによって、照射時間が現在どの程度経過したかをユーザが確認できる。以上のように、照射時間の設定の有無によって時間の表示方式をカウントダウン式とカウントアップ式に自動切り替えすることにより、ユーザは照射時間の設定の有無、および経過時間、残り時間を知ることができ、紫外線硬化型樹脂の接着状態に際して状況把握等に便利に使用できる。また時間の表示単位は、秒数の他、粉数、時間数あるいは進捗状況の割合での表示等を適宜採用できる。
【００９３】
図２０の例では、チャンネル１の照射時間が表示されているが、この状態で∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄを押下すると、その他のチャンネルの情報に切り替えて表示できる。このように、本実施の形態では、＜、＞スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂはメニューの切替に、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄは、項目値の選択、変更にそれぞれ使用される。図２０の例では、∧スイッチ１４４Ｃを押下するとチャンネル２→３→４→１の順に切り替えられる。同時に、チャンネル表示ランプ１４５の点灯が該当チャンネルに切り替わって、現在表示中の項目（ここでは照射時間）がいずれのチャンネルに接続されたヘッド部１２０の情報であるかが判別できる。なお照射が設定されていないチャンネルの情報を表示させると、表示部１４２に「−−−」と表示される。なお、これらのスイッチ操作を行わず、設定されたチャンネルの情報を自動的に切り替えて順次表示するように構成してもよい。
（現照射パワー値表示）
【００９４】
現照射パワー値表示は、紫外線照射の出力値を表示する。この例ではチャンネル１のＵＶＬＥＤの駆動デューティ比により相対的な強度を表示しているが、最大出力を１００とするパーセント表示や出力ワット数等、その他の単位による表示も適宜採用できる。ここでも上記と同様、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄを押下することで、他のチャンネルの情報を切り替えて表示できる。
（累積照射時間表示）
【００９５】
累積照射時間表示は、紫外線の照射時間の累積値、すなわちＵＶＬＥＤのトータルの使用時間を表示する。これによってＵＶＬＥＤがどのくらい使用されているか、寿命の把握や駆動電流の調整作業の目安を得ることができる。ここでも∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄで他のチャンネルの情報を切り替えて表示できる。なお図２０において、単位を区別するために「ｈ」と「Ｈ」の表示を使い分けており、「ｈ」は×１０時間、「Ｈ」は×１００時間をそれぞれ示している。このように、記号の大文字、小文字の使い分けによって単位の大小等の意味合いを持たせ、少ない表示画面で多くの情報量を表示できるようにしている。
【００９６】
以上、照射モードにおける表示部１４２の表示例を説明した。もちろん、これ以外の表示項目を追加したり、任意の項目のみを表示するよう構成できることはいうまでもない。
【００９７】
なお図１９の例では、照射モードにおいてはメニュー項目は基本的に表示部１４２の切替として機能するため、更なる階層構造は設けていない。もちろん、表示項目等を階層構造で切り替えるよう構成してもよいことはいうまでもない。
（設定モード）
【００９８】
次に、図２１および図２２を参照しながら、設定モードにおける紫外線照射条件を設定する方法の詳細を説明する。図２１に示すように、設定モードでは運転中設定番号メニューと、設定編集メニューと、通信条件メニューと、その他条件メニューの４つの項目が、＜、＞スイッチ１４４Ａ、１４４Ｂにより切り替えられる。メニューの選択は、エンタースイッチ１４４Ｆを押下することで実行され、選択された項目の設定モードに移行できる。なお、エスケープスイッチ１４４Ｅを押下すれば、上位の階層に戻ることができる。
【００９９】
もちろん、複数の項目をまとめたり、他の項目を追加したりしてもよい。例えば通信条件メニューとその他条件メニューを一つにまとめたり、あるいは編集設定メニューを２つに分けても良い。
（運転中設定番号メニュー）
【０１００】
運転中設定番号メニューは、照射モードにおいて使用する紫外線照射条件設定の設定番号を選択する。ここでは、既に設定され保存された紫外線照射条件設定の中から、所望の設定番号を∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄにて選択する。選択後、エンタースイッチ１４４Ｆを押下すると表示部１４２に「Ｅｎｄ」と表示され、選択された設定番号が保存されると共に、運転中設定番号メニューに戻る。
【０１０１】
なお本実施の形態では、運転中設定番号メニューと後述する設定編集メニューとを個別に設けているが、これらを統合してもよい。この場合は、前回の設定作業の際に選択された番号を保持し、照射モードにおいてこの番号の設定が選択されているものとして扱う。
（設定編集メニュー）
【０１０２】
設定編集メニューは、紫外線照射条件を設定するメニューである。設定編集メニューの詳細を図２２に示す。設定編集メニューに含まれる大項目としては、編集設定番号選択、照射モード選択の設定画面がある。各々の設定画面での設定が完了しエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、次の設定画面に移行する。
（編集設定番号選択）
【０１０３】
まず、編集設定番号選択では、設定番号を選択する。本実施の形態では、上述の通りｎｏ０〜１９まで最大２０個の設定を保存できる。もちろん、これ以上あるいは以下の数を設定可能とすることもできる。
（照射モード選択）
【０１０４】
次に、選択された設定番号について、照射モードを選択する。照射モードは、上述の通りＵ０〜２の３通り、すなわち一括手動照射モード、個別手動照射モード、一括自動照射モードのいずれかを選択する。照射モードを選択してエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、表示部１４２に「Ｅｎｄ」と表示されて上記の設定を一時保存すると共に、編集チャンネル選択に移行する。
【０１０５】
編集チャンネル選択では、設定の対象となるヘッド部１２０が接続されたチャンネル番号をＣＨ１〜４の中から選択する。次に、出力許可選択に進み、上記で選択されたチャンネル番号のヘッド部１２０につき、紫外線出力を許可するか否かを選択する。許可の場合は「ｏｎ」、不許可の場合は「ｏｆｆ」と表示部１４２に表示される。この状態でエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、照射モード選択画面にて選択した照射モードに応じて、ステップ番号選択画面、もしくはステップ番号選択不可表示に進む。
（一括自動照射モードの詳細設定）
【０１０６】
照射モード選択画面において一括自動照射モードを選択した場合は、ステップ番号選択画面に進み、ステップ番号を選択する。上述の通りステップ番号はＳ０〜１９まで最大２０個設定可能であり、必要な数だけ順番に設定していく。ステップ番号を選択すると、照射時間設定画面となり、紫外線照射時間を入力する。次に照射出力を同様に入力する。これらの入力値は、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄで増減させる。入力の便宜のため、前回の設定値をコピーしてデフォルト値として入力したり、長押しで高速増減を可能にすることもできる。以上の設定が終了すると、エンタースイッチ１４４Ｆを押下して設定を一時保存すると共に、ステップ番号選択画面に戻る。このとき、設定されたステップ番号に１を増加させた値がデフォルト値として入力される。すべてのステップ番号の設定が終了すると、エスケープスイッチ１４４Ｅを押下すれば、編集設定番号選択画面に戻る。
（一括手動照射モード、個別手動照射モードの詳細設定）
【０１０７】
一方、照射モード選択画面において一括手動照射モードまたは個別手動照射モードを選択した場合は、一定値での出力となり、出力を可変とするステップを選択できないので、出力許可選択画面からステップ番号選択不可表示に進む。このとき表示部１４２には「ｓ．−−−」と表示され、ステップ番号が選択できないことを表示する。手動照射モードでは照射時間も設定しないので、この状態でエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、照射出力設定画面となる。上記と同様にデューティ比で出力を設定後、エンタースイッチ１４４Ｆを押下すると設定が保存され、編集チャンネル番号選択画面に戻る。以上のようにして、編集設定メニューで紫外線照射条件が設定される。
（通信条件メニュー）
【０１０８】
通信条件メニューでは、紫外線照射装置と外部接続機器とをＲＳ−２３２Ｃインターフェースで接続する際の通信条件を設定する。図２１の例では、通信条件メニューからボーレート選択、ストップビット・パリティ選択、デリミタ・チェックサム選択がそれぞれ設定できる。各々の設定画面での設定が完了しエンタースイッチ１４４Ｆを押下すると、次の設定画面に移行する。まずボーレート選択では、予め設定された１２００ｂｐｓ、２４００ｂｐｓ、４８００ｂｐｓ、９６００ｂｐｓ、１９２００ｂｐｓ、３８４００ｂｐｓの選択肢から、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄにて選択し、エンタースイッチ１４４Ｆで決定する。表示部１４２においては、「ｂ．３８４」等、×１００にて表示することで表示桁数を節約している。なお、ハードウェア的に対応しておれば、上記以外のボーレート値を設定することもできる。ストップビット・パリティ選択では、ストップビットが１または２、パリティがなし、偶数、奇数をそれぞれ選択できる。図の例では、これらの組み合わせを予め選択肢として提示し、ストップビット１・パリティなし（表示部１４２における表示「ｙ．１ｎ」）、ストップビット１・パリティ偶数（「ｙ．１Ｅ」）、ストップビット１・パリティ奇数（「ｙ．１ｏ」）、ストップビット２・パリティなし（「ｙ．２ｎ」）、ストップビット２・パリティ偶数（「ｙ．２Ｅ」）、ストップビット２・パリティ奇数（「ｙ．２ｏ」）の中から∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄにて選択し、エンタースイッチ１４４Ｆで決定する。同様にデリミタ・チェックサム選択では、デリミタとしてＣＲもしくはＥＴＸ、チェックサムのあり・なしをそれぞれ選択できる。図の例では、これらの組み合わせとしてデリミタＣＲ・チェックサムなし（表示部１４２における表示「ｄ．Ｃ０」）、デリミタＣＲ・チェックサムあり（「ｄ．Ｃ１」）、デリミタＥＴＸ・チェックサムなし（「ｄ．Ｅ０」）、デリミタＥＴＸ・チェックサムあり（「ｄ．Ｅ１」）の中から、∧、∨スイッチ１４４Ｃ、１４４Ｄにて選択し、エンタースイッチ１４４Ｆで決定する。
（その他条件メニュー）
【０１０９】
その他条件メニューにおいては、入力接点選択、点灯アラーム時間編集が設定できる。入力接点選択は、フットスイッチを接続する場合等、チャタリング防止のための遅延時間を設定する。点灯アラーム時間編集は、ＵＶＬＥＤの劣化による警告を行う時間を設定する。上記の階層メニューの構成は一例であって、他の構成も適宜採用できる。例えばメニューの選択には水平方向、選択された項目の設定には垂直方向のスイッチを使用したが、水平方向と垂直方向を入れ替えてもよいことはいうまでもない。
［実施の形態２］
【０１１０】
また上記実施の形態１のように設定部を共通とする構成の他、各ヘッド部毎に個別設定スイッチと個別表示部を設けることもできる。図２３に、本発明の実施の形態２に係る紫外線照射装置のコントローラ部８１０の正面図を示す。この図に示す個別設定スイッチ８９０は、各ヘッド部から照射される紫外線出力の設定や照射時間の増減に使用され、アップダウンスイッチ等が利用できる。この態様では、個別設定スイッチ８９０で各チャンネルの紫外線照射条件を設定できる他、上記の操作パネル８４４を用いて紫外線照射条件を設定することもできる。また、共通の操作パネルを省略して、個別設定スイッチ８９０のみで設定するよう構成することもできる。個別表示部８９２は７セグメント表示器等が利用でき、設定された出力や照射時間を表示する。また、個別設定スイッチ８９０のみ、あるいは個別表示部８９２のみを各チャンネル毎に設けても良い。また図示しないが、各ヘッド部の紫外線出力を調整する個別設定スイッチや個別照射スイッチは、コントローラ部でなくヘッド部に設けることもできる。
［実施の形態３］
【０１１１】
また、紫外線照射条件の設定は、上記のように照射時間と照射出力の組をステップ状に指定する方法の他、予め設定された照射パターンを選択することもできる。例えば、関数状の照射パターンを選択する方法や、さらに選択した関数の定数を入力することもできる。これらの設定は、関数番号や定数を数値で指定、選択する方法の他、グラフ図形をグラフィカルに表示して選択する方法等が採用できる。さらに前者の数値による選択方法においても、設定された関数をグラフ図形で確認可能としてもよい。このようなグラフ表示を可能にするには、図形表示が可能な表示部１４２を用意する。
（関数状照射パターン）
【０１１２】
図２４は、紫外線の照射時間と照射出力を関数で表示する３つのパターンを示した例を示すグラフである。この図に示すようなパターンでも、本発明の実施の形態は紫外線を照射可能である。図２４の例では、関数の例としてＦ１〜Ｆ３の３種類の示している。
【０１１３】
Ｆ１：Ｐ＝ａｔ＋ｃ
Ｆ２：Ｐ＝ａ＊（１−ＥＸＰ（−ｂ＊ｔ））＋ｃ
Ｆ３：Ｐ＝ａ＊（ＥＸＰ（ｂ＊ｔ）−１）＋ｃ
（ａ，ｂ，ｃは条件に応じて設定する定数）
【０１１４】
また、これら以外にもｎ次式の関数を利用することもできる。上記の関数のいずれかを選択した後、定数ａ，ｂ，ｃを設定すると照射パターンが決定される。定数は、紫外線照射装置の使用条件に応じて設定される。図２４に例示する関数Ｆ１〜Ｆ３では、紫外線の照射出力を照射時間１０秒で７０％まで上げる場合に設定される定数として、以下の値を設定している。
【０１１５】
Ｆ１：Ｐ＝７ｔ（ａ＝７、ｃ＝０）
Ｆ２：Ｐ＝７０＊（１−ＥＸＰ（−０．５＊ｔ））（ａ＝７０、ｂ＝０．５、ｃ＝０）
Ｆ３：Ｐ＝１０＊（ＥＸＰ（０．２１＊ｔ）−１）（ａ＝１０、ｂ＝０．２１、ｃ＝０）
【０１１６】
図２４のような照射パターンでの紫外線照射条件を設定する手順を、図２５に基づき説明する。まず工程Ｓ２６０１でヘッド番号を選択し、工程Ｓ２６０２でステップ番号を選択する工程は、図１６と同様である。次に工程Ｓ２６０２−１で、関数番号を選択する。ここでは関数Ｆの選択肢として、上述したＦ０〜Ｆ３が選択可能である。なおＦ＝０は、上記と同様に照射時間と照射出力を入力するステップ状関数である。工程Ｓ２６０２−１でＦ＝０を選択した場合は、工程Ｓ２６０３で照射時間、工程Ｓ２６０４で照射出力をそれぞれ入力し、工程Ｓ２６０５で設定を保存する。また工程Ｓ２６０２−１でＦ＝１を選択した場合は、工程Ｓ２６０３−１で定数ａ、工程Ｓ２６０４−１で定数ｂをそれぞれ入力し、工程Ｓ２６０５で設定を保存する。さらに工程Ｓ２６０２−１でＦ＝２または３を選択した場合は、工程Ｓ２６０３−２で定数ａ、工程Ｓ２６０４−２で定数ｂ、ｃをそれぞれ入力し、工程Ｓ２６０５で設定を保存する。
【０１１７】
上記以外にも、照射パターンを設定する方法として、例えば照射パターンの波形を選択後、照射時間を入力して自動的に関数の定数を演算し、設定する方法や、紫外線の総照射量や熱量で設定する方法等が適宜利用できる。
【０１１８】
従来の紫外線照射装置では、紫外線源として使用する高圧水銀ランプ等に機械的なシャッタを介することにより出力を変更していたため、紫外線出力の最小分解能が粗くなり離散的な変化となって微調整ができず、波形パターンに沿った出力の変更が極めて困難であった。これに対して、駆動電流に対するリニアリティの高い半導体素子を利用する本実施の形態によれば、入力電流を調整してほぼ連続的な出力の変化が実現される。駆動電流に応じて出力をリニアリティ良く変化できるので、上記のようなパターンにも対応できる。なお、紫外線出力と連続波形との近似性は、Ａ／Ｄ変換部の分解能に依存することはいうまでもない。
［実施の形態４］
【０１１９】
上記の各実施の形態では、紫外線照射条件の設定をコントローラ部の設定部で行っている。ただ、紫外線照射条件の設定は、紫外線照射装置に外部接続された機器にて行うことも可能である。例えば本発明の実施の形態４として、図２６に示すように紫外線照射装置７００のコントローラ部７１０を、コンピュータやＰＬＣ等の外部接続機器７１０１と接続し、外部接続機器７１０１側で設定した紫外線照射条件をコントローラ部１１０に転送することでも設定を行える。紫外線照射装置７００は外部接続機器７１０１と接続するためのインターフェースを備える。インターフェースはコントローラ部７１０の制御部７１４と接続され、制御部７１４で外部接続機器７１０１との電気信号のやりとりやデータ通信を行う。
【０１２０】
従来の紫外線照射装置では、紫外線源として使用する高圧水銀ランプ等に機械的なシャッタを介することにより出力を変更していたため、紫外線出力の最小分解能が粗くなり離散的な変化となって微調整ができず、波形パターンに沿った出力の変更が極めて困難であった。これに対して、駆動電流に対するリニアリティの高い半導体素子を利用する本実施の形態によれば、入力電流を調整してほぼ連続的な出力の変化が実現される。駆動電流に応じて出力をリニアリティ良く変化できるので、様々な照射パターンに対応できる。さらに半導体素子のＯＮ／ＯＦＦによる制御は反応速度が高く高速な動作が可能であり、しかも機械的な動作を伴わないため信頼性高く安定して使用できる。また、高圧水銀ランプ等を使用する従来の紫外線照射装置でのパルスによるプラズマを発生等の方式と比べて、大電流や複雑な駆動回路を要さず、簡易な回路で安価にかつ容易に実現でき、メンテナンスも容易といった優れた特長が実現される。さらに従来のように高周波を発生させる高周波点灯回路では、高電圧に対する絶縁対策が必要であったり回路構成が複雑で装置が大型化する等の問題があったが、本発明によれば安価にかつ小型化も可能であり、ヘッド部をユーザが手持ち可能なハンディタイプとして好適に利用できる。
【産業上の利用可能性】
【０１２１】
本発明の紫外線照射装置は、ピックアップ等の電子部品の組み立て作業において、紫外線硬化型樹脂による接着に好適に利用できる。また、半導体ステッパや光洗浄装置、光乾燥装置等の用途にも利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る紫外線照射装置を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る紫外線照射装置のヘッド部の外観を示す斜視図である。
【図３】図２に示すヘッド部の側面図である。
【図４】図３に示すヘッド部の断面図である。
【図５】図４に示すヘッド部の分解図である。
【図６】図５と直交するヘッド部の分解断面図である。
【図７】ＵＶＬＥＤと光学系レンズの構成を示す分解図である。
【図８】ケーブル部を接続したケーブルホルダを示す斜視図である。
【図９】ケーブルホルダの縦断面図である。
【図１０】図９に示すケーブルホルダのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図１１】ヘッドホルダの一例を示す斜視図である。
【図１２】ヘッドホルダの他の例を示す斜視図である。
【図１３】凹凸条を形成したヘッド部の外観の一例を示す斜視図である。
【図１４】凹凸条を形成したヘッド部の外観の他の例を示す斜視図である。
【図１５】本発明の実施の形態１に係る紫外線照射装置のコントローラ部の前面パネルに設けられた表示部及び設定部の配置例を示す正面図である。
【図１６】本発明の実施の形態１に係る紫外線照射装置で紫外線照射条件の設定方法を示すフローチャートである。
【図１７】紫外線の照射パターンがステップ状に変化する様子を示すグラフ図である。
【図１８】図１６の紫外線照射条件の設定方法を詳細に示すフローチャートである。
【図１９】紫外線照射装置に使用される階層メニューの一例を示す状態遷移図である。
【図２０】照射モードにおける階層メニューの一例を示す状態遷移図である。
【図２１】設定モードにおける階層メニューの一例を示す状態遷移図である。
【図２２】設定モードにおける設定編集メニューの詳細を示す状態遷移図である。
【図２３】本発明の実施の形態２に係る紫外線照射装置のコントローラ部の正面図である。
【図２４】本発明の実施の形態３に係る紫外線照射条件の設定方法において、関数状とした紫外線の照射パターンを示すグラフである。
【図２５】本発明の実施の形態３に係る紫外線照射条件を設定する手順を示すフローチャートである。
【図２６】本発明の実施の形態４に係る紫外線照射装置を示すブロック図である。
【図２７】本発明者が先に開発した紫外線照射装置のヘッド部を示す正面図である。
【図２８】図２７に示すヘッド部を上方から見た分解斜視図である。
【図２９】ケーブル部の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１００、７００…紫外線照射装置；１１０、７１０、８１０…コントローラ部
１１２、７１２…電源部；１１４、７１４…制御部；１１６、７１６…記憶部
１２０、２２０、３２０、７２０、９２０…ヘッド部
１２０２、１２０２Ｂ…ヘッドホルダ；１２０３、１２０３Ｂ…保持部
１２１、７２１…識別部；１２０４、１２０４Ｂ…凹凸条
１２２、１２２Ａ、２２２、３２２、９２２…ヘッド本体部
９２２１…上ケース部材；９２２２…下ケース部材
９２２３…基端部材；１２２４、９２２４…基板
１２２５…リード線；９２２５…ケーブル用コネクタ
１２２６…インジケータＬＥＤ；１２２６Ａ…開口窓
１２２７、７２２７…メモリ部
１２２９…止めネジ；１２３…基板の収納空間；１２４…リード用穴
９２４…冷却ブロック；１２６、９２６…レンズホルダ
１２６０、７２６０…レンズ部；１２６１…光学系レンズ
１２６１Ａ…第１のレンズ、１２６１Ｂ…第２のレンズ；１２８…レンズユニット
１３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、７３０、９３０…ケーブル部；
１３０１…芯線；１３０２…絶縁材；１３０３…被覆シールド；１３０４…編組線
１３０５…外被シース；１３０６…固定リング；１３０７…止めネジ
１３０８…固定ネジ；１３１、７３１…ケーブル側インターフェース
１３２…ケーブルホルダ；１３４…連結部材
１４０、７４０…設定部；１４２、７４２…表示部；１４４、８４４…操作パネル
１４４Ａ、１４４Ｂ、１４４Ｃ、１４４Ｄ…＜、＞、∧、∨スイッチ
１４４Ｅ…エスケープスイッチ；１４４Ｆ…エンタースイッチ
１４５…チャンネル表示ランプ；１４６…紫外線照射ランプ
１４７…電源スイッチ；１４８…一括照射スイッチ；１５０、７５０…半導体素子
１５１、７５１、９５１…ＵＶＬＥＤ；１５１ａ…ＵＶＬＥＤ基板
１６０、７６０…ヘッド接続部；１７０…個別照射ランプ
１８０…個別照射スイッチ；８９０…個別設定スイッチ；７１０１…外部接続機器
Ｕ…紫外線；Ｈ…固定対象；Ｔｒ…トランジスタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２３】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２４】
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