(57)【要約】【課題】  高濃度の酸化剤を注入してもスケールの発生を起こさせることなく、精密ろ過膜または限外ろ過膜の膜面に付着、堆積した有機系汚濁物質を、効率的に洗浄除去する膜分離装置の洗浄方法および膜分離装置を提供することを目的とする。【解決手段】  原水を精密ろ過膜モジュールまたは限外濾過膜モジュールで処理して得られた処理水を、第１の逆浸透膜モジュールで処理し、さらに前記第１の逆浸透膜モジュールで処理された透過水を第２の逆浸透膜モジュールで処理する膜分離装置において、前記第２の逆浸透膜モジュールで得られた濃縮水の少なくとも一部を、前記精密ろ過膜または前記限外ろ過膜の洗浄水とする。【選択図】図２
2006272135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原水を精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールで処理して得られた処理水を、第１の逆浸透膜モジュールで逆浸透処理し、さらに前記第１の逆浸透膜モジュールで逆浸透処理された透過水を第２の逆浸透膜モジュールで逆浸透処理する膜分離方法において、前記第２の逆浸透膜モジュールで得られた濃縮水の少なくとも一部を、前記精密ろ過膜モジュールに用いられる精密ろ過膜または前記限外ろ過膜モジュールに用いられる限外ろ過膜の洗浄水とする洗浄工程を有する膜分離方法。
【請求項２】
前記第１の逆浸透膜モジュールに用いられる逆浸透膜は、３５，７００ｍｇ／Ｌの食塩水を用いて、５．５ＭＰａ、２５℃、ｐＨ６．５で測定したときの塩排除率が９０％以上の性能を有する逆浸透膜であり、かつ、前記第２の逆浸透膜モジュールに用いられる逆浸透膜は、１５００ｍｇ／Ｌの食塩水を用いて、１．５ＭＰａ、２５℃、ｐＨ６．５で測定したときの透過流束が０．８ｍ３／ｍ２・日以上の性能を有する逆浸透膜である請求項１に記載の膜分離方法。
【請求項３】
前記精密ろ過膜モジュールに用いられる精密ろ過膜または前記限外ろ過膜モジュールに用いられる限外ろ過膜が中空糸膜である請求項１または２に記載の膜分離方法。
【請求項４】
原水を処理する精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールを備え、前記精密ろ過膜モジュールまたは前記限外ろ過膜モジュールで得られた処理水を逆浸透処理する第１の逆浸透膜モジュールを有し、さらに前記第１の逆浸透膜モジュールで得られた透過水を逆浸透膜処理する第２の逆浸透膜モジュールを有する膜分離装置において、前記第２の逆浸透膜モジュールで得られた濃縮水の少なくとも一部を、前記精密ろ過膜モジュールに用いられる精密ろ過膜または前記限外ろ過膜モジュールに用いられる限外ろ過膜の洗浄水として返送する手段を有する膜分離装置。
【請求項５】
前記第１の逆浸透膜モジュールに用いられる逆浸透膜は、３５，７００ｍｇ／Ｌの食塩水を用いて、５．５ＭＰａ、２５℃、ｐＨ６．５で測定したときの塩排除率が９０％以上の性能を有する逆浸透膜であり、かつ、前記第２の逆浸透膜モジュールに用いられる逆浸透膜は、１５００ｍｇ／Ｌの食塩水を用いて、１．５ＭＰａ、２５℃、ｐＨ６．５で測定したときの透過流束が０．８ｍ３／ｍ２・日以上の性能を有する逆浸透膜である請求項４に記載の膜分離装置。
【請求項６】
前記精密ろ過膜モジュールに用いられる精密ろ過膜または前記限外ろ過膜モジュールに用いられる限外ろ過膜が中空糸膜である請求項４または５に記載の膜分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュール、および逆浸透膜モジュールを用いた膜分離方法および膜分離装置に関する。さらに詳しくは、膜分離装置を構成する２段目の逆浸透膜モジュールで得られた濃縮水の少なくとも一部を、精密ろ過膜または限外ろ過膜の洗浄水とする膜分離方法、およびそのような手段を有する膜分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
海水・かん水からの淡水の生成や、河川・湖沼水からの上水の生成等には、たとえば逆浸透膜モジュールを備えた膜ろ過装置が用いられる。この種の膜ろ過装置は、基本的には図１に示すように、殺菌や濁質成分除去等の前処理を施した原水（海水等）を高圧ポンプ２によって所定の圧力（例えば６．０ＭＰａ程度）に高めて逆浸透膜モジュール３に供給し、逆浸透作用により透過した透過水と濃縮水とを得るように構成される。得られる透過水は、ＷＨＯ水質ガイドライン値をほぼ満たす水質を有しているが、唯一ホウ素については、問題が残されている。
【０００３】
ホウ素は海水中ではホウ酸として存在し、およそ４〜５ｍｇ／Ｌ含まれている。ホウ酸は解離定数ｐＫａが９であり、海水中ではほとんど非解離状態である。しかしながら、逆浸透膜として代表的な架橋全芳香族ポリアミドを分離機能層に持つ複合逆浸透膜は、分離機能層に未反応のカルボキシル基およびアミノ基を末端基として有するので、中性物質よりもイオン性物質をよく排除するという特性を有しており、海水淡水化用逆浸透膜モジュールでは海水淡水化条件によってはホウ酸の排除率を十分満足できない場合がある。そのためＷＨＯ水質ガイドラインで定められているホウ素濃度の暫定値（０．５ｍｇ／Ｌ）以下にすることが困難な場合がある。
【０００４】
そこで、特許文献１には、逆浸透膜モジュールで得られた透過水中に残留したホウ素を除去することを目的として、逆浸透膜モジュールの後段に透過水中のホウ素を除去するための第２の逆浸透膜モジュールを設ける水処理方法が開示されている。
【０００５】
一方で、このような逆浸透膜分離装置の供給水を処理する方法としては、特許文献１に、例えば、砂ろ過、活性炭ろ過、膜ろ過などが挙げられており、特に膜ろ過が好ましく用いられることが開示されている。しかし、膜ろ過は、継続して運転していると膜面に有機系汚濁物質などが付着し、膜モジュール７による圧力損失が高くなり、また得られるろ過水量が低下する。そこで、処理水に次亜塩素酸ナトリウムといった酸化剤を添加して膜モジュール７に逆流させ、物理的作用に加えて酸化剤による化学的洗浄作用で膜面を洗浄（逆洗）するのが一般的である。化学的洗浄に使用する酸化剤は、膜の劣化を起こさない範囲において濃度が高いほど洗浄効果が良いが、海水処理の場合は、高い濃度の次亜塩素酸ナトリウムで逆洗すると部分的にｐＨが高くなるため海水中のスケール成分が析出する可能性がある。このような逆洗水で逆洗すると膜の内面にスケールが付着し目詰まりを起こす可能性があるため、次亜塩素酸ナトリウムの濃度を高くすることができないといった問題があった。
【特許文献１】特開平１１−２５３７６１号公報（［００２０］，［００２２］，［００５６］段落など）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点を解決し、高濃度の酸化剤を注入してもスケールを発生させることなく、膜面に付着、堆積した有機系汚濁物質を、効率的に洗浄除去する膜分離装置および膜分離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明は、次の（１）〜（６）の構成を特徴とするものである。
【０００８】
（１）原水を精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールで処理して得られた処理水を、第１の逆浸透膜モジュールで逆浸透処理し、さらに前記第１の逆浸透膜モジュールで逆浸透処理された透過水を第２の逆浸透膜モジュールで逆浸透処理する膜分離方法において、前記第２の逆浸透膜モジュールで得られた濃縮水の少なくとも一部を、前記精密ろ過膜モジュールに用いられる精密ろ過膜または前記限外ろ過膜モジュールに用いられる限外ろ過膜の洗浄水とする洗浄工程を有する膜分離方法。
【０００９】
（２）前記第１の逆浸透膜モジュールに用いられる逆浸透膜は、３５，７００ｍｇ／Ｌの食塩水を用いて、５．５ＭＰａ、２５℃、ｐＨ６．５で測定したときの塩排除率が９０％以上の性能を有する逆浸透膜であり、かつ、前記第２の逆浸透膜モジュールに用いられる逆浸透膜は、１５００ｍｇ／Ｌの食塩水を用いて、１．５ＭＰａ、２５℃、ｐＨ６．５で測定したときの透過流束が０．８ｍ３／ｍ２・日以上の性能を有する逆浸透膜である（１）に記載の膜分離方法。
【００１０】
（３）前記精密ろ過膜モジュールに用いられる精密ろ過膜または前記限外ろ過膜モジュールに用いられる限外ろ過膜が中空糸膜である（１）または（２）に記載の膜分離方法。
【００１１】
（４）原水を処理する精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールを備え、前記精密ろ過膜モジュールまたは前記限外ろ過膜モジュールで得られた処理水を逆浸透処理する第１の逆浸透膜モジュールを有し、さらに前記第１の逆浸透膜モジュールで得られた透過水を逆浸透膜処理する第２の逆浸透膜モジュールを有する膜分離装置において、前記第２の逆浸透膜モジュールで得られた濃縮水の少なくとも一部を、前記精密ろ過膜モジュールに用いられる精密ろ過膜または前記限外ろ過膜モジュールに用いられる限外ろ過膜の洗浄水として返送する手段を有する膜分離装置。
【００１２】
（５）前記第１の逆浸透膜モジュールに用いられる逆浸透膜は、３５，７００ｍｇ／Ｌの食塩水を用いて、５．５ＭＰａ、２５℃、ｐＨ６．５で測定したときの塩排除率が９０％以上の性能を有する逆浸透膜であり、かつ、前記第２の逆浸透膜モジュールに用いられる逆浸透膜は、１５００ｍｇ／Ｌの食塩水を用いて、１．５ＭＰａ、２５℃、ｐＨ６．５で測定したときの透過流束が０．８ｍ３／ｍ２・日以上の性能を有する逆浸透膜である（４）に記載の膜分離装置。
【００１３】
（６）前記精密ろ過膜モジュールに用いられる精密ろ過膜または前記限外ろ過膜モジュールに用いられる限外ろ過膜が中空糸膜である（４）または（５）に記載の膜分離装置。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、原水を膜分離する処理を継続しつつ、精密ろ過膜もしくは限外ろ過膜に高濃度の酸化剤を注入してもスケールを発生させることなく、精密ろ過膜もしくは限外ろ過膜の膜面に付着、堆積した有機系汚濁物質を効率的に洗浄除去することが可能となる。そのため、逆浸透膜を用いた膜分離装置の長期安定運転が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】
図２は、本発明の一実施形態を示す膜分離装置の概略フロー図である。図２において、１は前処理済みの処理水タンク、２は６〜１０ＭＰａまで昇圧可能な高圧ポンプ、３は第１の逆浸透膜モジュール、４は第１の逆浸透膜モジュール３で得られた透過水を昇圧して第２の逆浸透膜モジュール５に送水する０．５ＭＰａまで昇圧可能な低圧ポンプ、５は第２の逆浸透膜モジュール、６は原水を精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールに送水するための供給ポンプ、７は精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュール、９は酸化剤タンク、１０は酸化剤を注入するための薬注ポンプ、１１は第２の逆浸透膜モジュール５の濃縮水を貯める濃縮水タンク、１２は濃縮水を逆洗水として精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールに送水するための逆洗ポンプ、Ｖ１、Ｖ２、Ｖ４はバルブである。また、図２においては、説明の便宜上、ろ過時の配管を実線で示し、逆洗時の配管を破線で示してある。
【００１７】
前処理としては、原水中に含まれる懸濁物質が除去できればよく、例えば、砂ろ過、活性炭ろ過、膜ろ過が採用できるが、コンパクトかつ効率的に分離できる点から、本発明では精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールを用いた膜ろ過を行うことを必須とする。かかるろ過膜の形態には、中空糸膜、平膜があり、平膜を用いる膜モジュールとしてはスパイラル型が、中空糸膜を用いる膜モジュールとしては円筒型が好ましく用いられる。本発明においては、原水を直接、ろ過膜モジュールでろ過するため、高濃度の濁質を含む液の分離にも適する中空糸膜を用いる円筒型の膜モジュールが好ましく用いられる。
【００１８】
本発明において、精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールは、たとえば複数本の中空糸膜が筒状ケースに収納されてなるが、その中空糸膜としては多孔質であれば特に限定されるものではなく、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテル−エーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリフェニレンスルフィドスルホン（ＰＰＳＳ）、ポリフェニレンスルホン（ＰＰＳＯ）、ポリビニルアルコール、セルロースアセテート、ポリアクリロニトリル、ポリアミド、ポリイミドなどの有機物、セラミック、金属などの無機物その他の材質を選定することができる。特に、耐薬品性に優れているポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）膜が好ましい。
【００１９】
このような膜のうち、その平均孔径が０．００１〜１０μｍの膜が好ましく、平均孔径０．０５〜１μｍの膜がさらに好ましい。平均孔径が０．００１μｍ未満では、目詰まりが早くなり、１０μｍを超えると汚濁物質を除去しにくくなる。
【００２０】
本発明において、逆浸透膜モジュール３、５に用いられる逆浸透膜とは、被分離混合液中の一部の成分、例えば溶媒を透過させ他の成分を透過させない、実質的に逆浸透分離が可能な半透性の膜であって、その素材には酢酸セルロース系ポリマー、ポリアミド、ポリエステル、ポリイミド、ビニルポリマーなどの高分子素材がよく使用されている。またその膜構造は膜の少なくとも片面に緻密層を持ち、緻密層から膜内部あるいはもう片方の面に向けて徐々に大きな孔径の微細孔を有する非対称膜、非対称膜の緻密層の上に別の素材で形成された非常に薄い分離機能層を有する複合膜がある。膜形態には中空糸、平膜がある。本発明は、これら膜素材、膜構造や膜形態によらず実施することができいずれも効果があるが、代表的な膜としては、例えば酢酸セルロース系やポリアミド系の非対称膜およびポリアミド系、ポリ尿素系の分離機能層を有する複合膜などがあり、造水量、耐久性、塩排除率の観点から、酢酸セルロース系の非対称膜、ポリアミド系の複合膜を用いることが好ましい。
【００２１】
本発明において、第１の逆浸透膜モジュール３に用いられる逆浸透膜は、２５℃、ｐＨ６．５、濃度３５，７００ｍｇ／Ｌの食塩水を５．５ＭＰａで供給したときの塩排除率が９０％以上の性能を有することが好ましい。塩排除率が高いほど透過水中の塩素イオンの濃度が低くなるので好ましいので、より好ましくは該塩排除率が９５％以上、さらに好ましくは同塩排除率が９９％以上の性能を有するものである。該塩排除率が９０％よりも小さいと透過液中の塩素イオンの量が多くなり透過液をそのまま飲料水や工業用水として使用することが難しい。
【００２２】
また、本発明において、第２の逆浸透膜モジュール５に用いられる逆浸透膜は、２５℃、ｐＨ６．５、濃度１５００ｍｇ／Ｌの食塩水を１．５ＭＰａで供給したときの透過流束が０．８ｍ３／ｍ２・日以上の性能を有することが好ましい。また、単位エレメントあたりの流量をより多く確保するため、該透過流束が１．０ｍ３／ｍ２・日以上がより好ましい。さらに、２５℃、ｐＨ６．５、濃度１，５００ｍｇ／Ｌの食塩水を１．５ＭＰａ供給したときの塩排除率が９０％以上、さらには９８％以上で、かつ、２５℃、ｐＨ６．５、濃度１５００ｍｇ／Ｌの硫酸マグネシウム水溶液を１．５ＭＰａで供給したときの塩排除率が９０％以上、さらには９８％以上の性能を有することであることが好ましい。
【００２３】
このような性能を有する逆浸透膜は、実際に使用するためにスパイラル、チューブラー、プレート・アンド・フレーム等のエレメントに組み込まれ、また中空糸は束ねた上でエレメントに組み込まれて使用されるが、本発明はこれらの逆浸透膜エレメントの形態に左右されるものではない。
【００２４】
また、本発明において、逆浸透膜モジュール３、５は、前記逆浸透膜エレメントを１〜数本圧力容器の中に収めたモジュールはもちろんであるが、このモジュールを複数本並列に配置したものをも含むものである。組合せ、本数、配列は目的に応じて任意に行うことができる。
【００２５】
次に、本発明にかかる膜ろ過装置における水の流れを説明する。
【００２６】
本発明の膜分離装置において、処理水を得るための原水の膜ろ過は、たとえば図２に示すように、バルブＶ１、Ｖ２を開、Ｖ４を閉として、供給ポンプ６を作動させ、原水を精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュール７に導入して行う。精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールを透過した処理水は、前処理済みの処理水タンク１に貯められる。
【００２７】
膜ろ過方式としては、全量膜ろ過方式でもクロスフロー膜ろ過方式でもよい。また、加圧膜ろ過方式でも陰圧膜ろ過方式でもよいが、加圧膜ろ過方式がより高い膜ろ過流束が得られるため好ましい。また、内圧膜ろ過、外圧膜ろ過のどちらでもよいが、外圧膜ろ過のほうが、エアスクラビングの効果が大きいので好ましい。
【００２８】
膜ろ過流束は、特に制限するものではないが、０．１〜５ｍ３／ｍ２・ｄとするのが好ましい。この膜ろ過流束が０．１ｍ３／ｍ２・ｄ未満では、生産水の回収率が低下し、５ｍ３／ｍ２・ｄを超えると膜モジュールの差圧上昇が高くなるおそれがある。
【００２９】
また、膜ろ過時間は、特に制限するものではないが、５〜６０分とし、その後、後述の逆洗を行うことが好ましい。この膜ろ過時間が５分未満では、生産水の回収率が低下し、６０分を超えると膜モジュールの差圧上昇が高くなる。
【００３０】
原水を膜ろ過処理した処理水は、次に、高圧ポンプ２によって昇圧され第１の逆浸透膜モジュール３に供給される。供給された処理水は、塩分などの溶質が除去された第１の透過水と、塩分などの溶質が濃縮された第１の濃縮水とに分離され、第１の濃縮水は排出口から排出される。そして、第１の逆浸透膜モジュール３で得られた第１の透過水は、さらに低圧ポンプ４で昇圧されたのち第２の逆浸透膜モジュール５に供給される。供給された第１の透過水は、微量の塩分などの溶質がさらに除去された第２の透過水と、微量の塩分などの溶質が濃縮され低濃度の塩分を含んだ第２の濃縮水とに分離され、第２の濃縮水は濃縮水タンク１１に貯留される。第２の濃縮水が精密ろ過膜または限外ろ過膜の逆洗に必要な量より多い場合には、第２の濃縮水は前処理済みの処理水タンク１に導入することも好ましい。
【００３１】
次に、この膜ろ過装置における精密ろ過膜または限外ろ過膜の逆洗方法を説明する。
【００３２】
精密ろ過膜または限外ろ過膜の逆洗においては、図２に示すように、供給ポンプ６を停止してからバルブＶ１、Ｖ２を閉、バルブＶ４を開として、逆洗ポンプ１２を作動させ濃縮水タンク１１から第２の濃縮水を精密ろ過膜または限外ろ過膜７の処理水側から導入させる。このとき、酸化剤タンク９に貯留された酸化剤を薬注ポンプ１０を作動させることにより逆洗水に添加する。逆洗水に添加される酸化剤は、次亜塩素酸ナトリウムに限らず、二酸化塩素、過酸化水素なども好ましい。なお、精密ろ過膜または限外ろ過膜の逆洗時においても逆浸透膜は連続して運転していることが望ましい。
【００３３】
逆洗の時間は、特に制限するものではないが、１〜１２０秒の範囲内とするのが好ましい。１回の逆洗時間が１秒未満では、十分な洗浄効果が得られず、１２０秒を超えると精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールの稼働効率が低くなる。
【００３４】
逆洗流束は、特に制限するものではないが、０．１〜１０ｍ３／ｍ２・ｄの範囲内であることが好ましい。逆洗流束が０．１ｍ３／ｍ２・ｄ未満では、膜面に付着、堆積した有機系汚濁物質を十分に除去することが難しくなり、１０ｍ３／ｍ２・ｄを超えると、精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールの機械的劣化をまねき易くなる。
【００３５】
さらにまた、逆洗の際に、精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュール７の原水側に気体を送り込み、精密ろ過膜または限外ろ過膜の膜面を振動させることにより膜の洗浄を行うことも好ましい。精密ろ過膜または限外ろ過膜の膜面に吸着した有機物が逆洗水に含まれる酸化剤により分解されて非吸着性物質となるため、精密ろ過膜または限外ろ過膜の孔を閉塞する非吸着性物質が、気体の導入により有効にふるい落とされ、洗浄効果が高くなる。
【００３６】
この第２の逆浸透膜モジュール５で得られた第２の濃縮水による洗浄により、以下の効果が得られる。すなわち、精密ろ過膜または限外ろ過膜の処理水で逆洗する従来の技術では、次亜塩素酸などの酸化剤を高濃度で注入するとｐＨが高くなりスケールが発生するため、高濃度で注入できなかったのに対し、第２の逆浸透膜モジュール５で得られた第２の濃縮水を洗浄水として使用することにより、塩濃度が１／１０以下にすることができ、スケールが発生することがなくなり、次亜塩素酸などの酸化剤を高濃度で注入することができるようになった。また、第２の逆浸透膜モジュール５で得られた第２の濃縮水は、高圧ポンプ２や低圧ポンプ４で昇圧されているため、精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュール７の処理水に比べて水温が２〜３℃ほど上昇している。次亜塩素酸などの酸化剤は水温が高くなるほど反応速度が速くなるため、精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュール７の処理水を洗浄水として使用する場合に比べて洗浄効率が高くなる利点も兼ね備えている。
【００３７】
このように、本発明によれば、原水を逆浸透膜分離する処理を継続しつつ、精密ろ過膜もしくは限外ろ過膜に高濃度の酸化剤を注入してもスケールの発生を起こさせることなく、精密ろ過膜もしくは限外ろ過膜の膜面に付着、堆積した有機系汚濁物質を効率的に洗浄除去することが可能となる。そのため、逆浸透膜を用いた膜分離装置の長期安定運転が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、例えば、海水淡水化やかん水淡水化など塩分を含む原水を逆浸透膜分離する装置の前処理用途として用いられる精密ろ過膜または限外ろ過膜の洗浄に好適に利用される。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】従来技術を示す膜分離装置のろ過・逆洗工程を示す概略フロー図である。
【図２】本発明の一実施形態を示す膜分離装置のろ過・逆洗工程を示す概略フロー図である。
【符号の説明】
【００４０】
１：前処理済みの処理水タンク
２：高圧ポンプ
３：第１の逆浸透膜モジュール
４：低圧ポンプ
５：第２の逆浸透膜モジュール
６：供給ポンプ
７：精密ろ過膜モジュールまたは限外濾過膜モジュール
８：逆洗ポンプ(1)
９：酸化剤タンク
１０：薬注ポンプ
１１：濃縮水タンク
１２：逆洗ポンプ(2)
【図１】
2006272135.tif 000003
【図２】
2006272135.tif 000004