(57)【要約】【課題】蒸着すべき材料の使用効率が低下するのを防止し得る蒸発装置を提供する。【解決手段】所定の真空度下で所定の材料を蒸発させる蒸発装置４であって、真空ポンプ１２に接続されるとともに上壁部１１ｃに蒸発された蒸発材料Ｂを放出し得る材料放出穴１７が設けられた蒸発用容器１１と、この蒸発用容器１１内に昇降用シリンダ装置１３により昇降自在に設けられるとともに蒸着材料Ａを収納した材料収納容器１４を載置し得る載置台１５とを具備し、上記蒸発用容器１４の材料放出穴１７の周囲に、材料収納容器１４が載置台１５を介して上昇された際にその外周を覆うことにより蒸発材料の当該蒸発用容器１１内への放出を抑制する筒状の隔壁部材１９を設け、且つ上記載置台１５および隔壁部材１６に材料収納容器１４を加熱する加熱手段２１を設けたものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の真空度下で所定の材料を蒸発させる蒸発装置であって、
排気手段に接続されるとともに上部に蒸発された蒸発材料を放出し得る材料放出穴が設けられた蒸発用容器と、この蒸発用容器内に昇降手段により昇降自在に設けられるとともに材料を収納した材料収納容器を載置し得る載置台とが具備され、
上記蒸発用容器の材料放出穴の周囲に、上記材料収納容器が載置台を介して上昇された際にその外周を覆うことにより蒸発材料の当該蒸発用容器内への放出を抑制する筒状の隔壁部材を設け、
上記載置台および隔壁部材に上記材料収納容器を加熱する加熱手段を設けたことを特徴とする蒸発装置。
【請求項２】
載置台側に、当該載置台が昇降手段により上昇された際に、隔壁部材の下端部に当接して当該隔壁部材内の蒸発材料の排出を阻止し得る当接部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の蒸発装置。
【請求項３】
請求項１または２のいずれかに記載された少なくとも２台の蒸発装置と、所定の真空度下で配置された被蒸着部材に蒸発材料を蒸着させる１個の蒸着用容器と、この蒸着用容器と上記各蒸発装置の材料放出穴との間に亘って設けられた材料移送管路とを具備した蒸着装置であって、
上記材料移送管路の一端側を上記蒸着用容器側に接続するとともに、他端側を分岐させて上記各蒸発装置の材料放出穴に接続し、
且つこの分岐された材料移送管路の途中に開閉弁を配置したことを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】
少なくとも２台の蒸発装置を用いて１個の蒸着用容器に蒸発材料を供給して蒸着を行うようにした請求項３に記載の蒸着装置において使用する蒸発装置を切り替える方法であって、
一方の蒸発装置において材料が不足状態になる前に、他方の蒸発装置の材料収納容器を隔壁部材内に上昇させて、加熱手段で材料の蒸発温度より低い所定温度に加熱する予備加熱ステップと、
所定温度に加熱された材料収納容器を隔壁部材から下降させて、当該材料収納容器内で気化した不純物を排気手段で外部に排出する不純物排出ステップと、
不純物の排出後に、再び隔壁部材内に材料収納容器を上昇させて材料の蒸発温度に加熱する本加熱ステップと、
上記一方の蒸発装置の材料移送管路に設けられた開閉弁を閉鎖するとともに他方の蒸発装置の材料移送管路に設けられた開閉弁を開放するステップとを具備したことを特徴とする蒸着装置における蒸発装置の切替方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空容器内に配置された基板に所定の材料を蒸着させる蒸着装置および所定の材料を蒸発させる蒸発装置、並びに蒸着装置にて使用する蒸発装置の切替方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空下に置かれた基板の表面に、所定の材料を蒸着させて薄膜を形成する蒸着装置においては、真空下に配置された材料の蒸発源を加熱して材料を蒸発させるとともに、この蒸発した蒸発材料を、同じく真空下に置かれた基板の表面に付着させることにより薄膜が形成されている。
【０００３】
ところで、真空下すなわち真空容器内に基板および蒸発源が配置された蒸着装置において、蒸発源を追加しまたは交換する際に、真空容器内を大気に戻した後、再び、真空容器内を真空にする必要があり、時間のロスが発生する。
【０００４】
この時間のロスを解消するものとして、特許文献１に示すものがある。
この特許文献１に開示された蒸着装置は、真空チャンバの下部に、真空弁がそれぞれ設けられた有機ＥＬ材料の材料放出口が２個配置されるとともに、これら各放出口に材料を加熱するセル（蒸発源）がそれぞれ配置されたセル室（蒸発室）が接続されたものである。
【０００５】
この構成により、例えば一方のセル室内のセルからの蒸発により薄膜の形成（成膜）が行われており、例えば材料を交換する場合には、他方のセル室内に材料が入ったセルを配置して加熱しそして当該セル室を真空にした状態で待機させておき、その交換時に、一方のセル室側の真空弁を閉じた後、他方のセル室側の真空弁を開き、蒸発材料（蒸気）を真空チャンバ内に導くことにより、材料交換時における作業時間のロスが発生しないようにされていた。
【０００６】
ところで、この特許文献１に係る蒸着装置の構成によると、蒸発源が２個（２回分）までは問題はないが、さらに連続して蒸着を行う場合には、下記のような構成にする必要がある。
【０００７】
すなわち、２個の蒸発源を設けるとともに、これら各蒸発源にて蒸発された蒸発材料を蒸着室に導く導入路をそれぞれ設け、さらに各導入路の途中に開閉弁を設けておき、一方の蒸発源から蒸発材料を導入している間に、他方の導入路の開閉弁を閉じておき、この状態で、他方の蒸発源を交換する必要がある（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−２９７５６５
【特許文献２】特許第２９１２７５６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上記特許文献２の構成によると、１個の真空チャンバ（真空槽）に対して、セル室（蒸発源容器）が２個接続されていることになり、すなわち蒸発材料（蒸気）の放出管が２系統設けられるとともに真空チャンバ内での接続位置がが異なるため、例えば材料（蒸発源）を交換した場合、特に、成膜途中で材料切れとなり他方のセル室からの蒸発材料を導き蒸着を再開する場合は、前の蒸着条件と現在の蒸着条件とが異なり、すなわち成膜状態が異なり、したがって基板表面に形成された薄膜の品質にばらつきが生じるという問題がある。
【０００９】
また、このような高い真空度を必要とする系においては、完全なシールを得ることが困難となり、どうしても僅かではあるが外気が侵入して所定の真空度を維持することができないこと、および容器等の加熱によりその構成材料内部から不純成分ガスが発生するということから、真空ポンプを常時作動させる必要があり、例えば特許文献２に示した構成においては、蒸発材料の一部が蒸発室に導かれる前に真空ポンプにて外部に排出されてしまう可能性があり、材料の使用効率が低下するという問題がある。
【００１０】
さらに、一部を回収可能なトラップを設けているが、一度、加熱・冷却した材料の再利用については、初めて、加熱・蒸発させる材料と必ずしも同じ品質であるとは言えないため、使用する際の材料が限られることもありえ、またトラップには加熱手段を必要とするなど、付帯設備も増える。
【００１１】
そこで、本発明は、蒸着すべき材料の使用効率の低下を防止し得る蒸発装置およびこの蒸発装置を用いるとともに複数箇所から蒸発材料を蒸着室に導く際に蒸着条件を変化させることのない蒸着装置、並びに蒸着装置における蒸発装置の切替方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る蒸発装置は、
所定の真空度下で所定の材料を蒸発させる蒸発装置であって、排気手段に接続されるとともに上部に蒸発された蒸発材料を放出し得る材料放出穴が設けられた蒸発用容器と、この蒸発用容器内に昇降手段により昇降自在に設けられるとともに材料を収納した材料収納容器を載置し得る載置台とが具備され、
上記蒸発用容器の材料放出穴の周囲に、上記材料収納容器が載置台を介して上昇された際にその外周を覆うことにより蒸発材料の当該蒸発用容器内への放出を抑制する筒状の隔壁部材を設け、
上記載置台および隔壁部材に上記材料収納容器を加熱する加熱手段を設けたものである。
【００１３】
また、請求項２に係る蒸発装置は、請求項１に記載の蒸発装置の載置台側に、載置台側に、当該載置台が昇降手段により上昇された際に、隔壁部材の下端部に当接して当該隔壁部材内の蒸発材料の排出を阻止し得る当接部を設けたものである。
【００１４】
また、請求項３に係る蒸着装置は、請求項１または２のいずれかに記載された少なくとも２台の蒸発装置と、所定の真空度下で配置された被蒸着部材に蒸発材料を蒸着させる１個の蒸着用容器と、この蒸着用容器と上記各蒸発装置の材料放出穴との間に亘って設けられた材料移送管路とを具備した蒸着装置であって、
上記材料移送管路の一端側を上記蒸着用容器側に接続するとともに、他端側を分岐させて上記各蒸発装置の材料放出穴に接続し、
且つこの分岐された材料移送管路の途中に開閉弁を配置したものである。
【００１５】
さらに、請求項４に係る蒸着装置における蒸発装置の切替方法は、少なくとも２台の蒸発装置を用いて１個の蒸着用容器に蒸発材料を供給して蒸着を行うようにした請求項３に記載の蒸着装置において使用する蒸発装置を切り替える方法であって、
一方の蒸発装置において材料が不足状態になる前に、他方の蒸発装置の材料収納容器を隔壁部材内に上昇させて、加熱手段で材料の蒸発温度より低い所定温度に加熱する予備加熱ステップと、
所定温度に加熱された材料収納容器を隔壁部材から下降させて、当該材料収納容器内で気化した不純物を排気手段で外部に排出する不純物排出ステップと、
不純物の排出後に、再び隔壁部材内に材料収納容器を上昇させて材料の蒸発温度に加熱する本加熱ステップと、
上記一方の蒸発装置の材料移送管路に設けられた開閉弁を閉鎖するとともに他方の蒸発装置の材料移送管路に設けられた開閉弁を開放するステップとを具備した切替方法である。
【発明の効果】
【００１６】
上記請求項１の構成によれば、排気手段にて蒸発用容器内を清浄に維持しつつ、材料放出穴に連通された隔壁部材内に材料収納容器を上昇させて加熱手段で加熱するようにしているため、蒸発材料の殆どを材料放出穴に導くことができ、したがって排気手段による蒸発材料の排出を極力少なくすることができるので、材料を有効に利用することができる。すなわち、材料の使用効率が低下するのを防止することができる。
【００１７】
また、請求項２の構成によれば、隔壁部材と載置台との間の隙間をなくすことができるため、排気手段にて排出される蒸発材料を極力少なくすることができる。
また、請求項３の構成によれば、少なくとも２台の蒸発装置を交互に用いて連続して蒸着を行わせる際に、各蒸発装置から蒸着用容器に蒸発材料を導く材料移送管路の蒸着室側の接続箇所が一箇所にされているため、蒸着条件が変化することがなく、したがって被蒸着部材に形成される薄膜の品質にばらつきが生じるのを防止することができる。
【００１８】
さらに、請求項４の構成によれば、予備加熱の段階で、材料収納容器におよび材料に含まれている不純物を気化させるとともに、隔壁部材から材料収納容器を一旦下降させて排気手段によりその不純物を外部に排出するようにしたので、連続蒸着時に使用する少なくとも２台の蒸発装置を切り替える際に、被蒸着部材に形成される薄膜の品質が低下するのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
［実施の形態］
以下、本発明に係る蒸発装置およびこの蒸発装置を用いた蒸着装置並びにこの蒸着装置における蒸発装置の切替方法を、図１〜図６に基づき説明する。
【００２０】
まず、全体構成である蒸着装置について説明する。
この蒸着装置は、図１に示すように、大きく分けて、ガラス基板（被蒸着部材の一例）１がその蒸着面が下方となるように水平方向で挿入されるとともに保持具２により保持されるように構成された蒸着用容器（容器内を蒸着室３ａといい、また図示しないが、容器の側壁部にはガラス基板の搬入出用開口部が設けられるとともに他に真空ポンプなどの排気手段が備されている）３と、この蒸着用容器３の下方に配置されて所定の材料（有機ＥＬ画面用の場合には、有機材料が用いられる）の蒸発（以下、所定の材料（原料）を蒸着材料Ａといい、蒸発した材料を蒸発材料Ｂという）が行われる２台の蒸発装置４（４Ａ，４Ｂ）と、これら各蒸発装置４と上記蒸着用容器３とを接続して蒸発材料を蒸着室３ａに移送するための材料移送管５とから構成されている。
【００２１】
上記各蒸発装置４は、内部に蒸発室１１ａを有する蒸発用容器１１と、この蒸発用容器１１の壁部に接続されて当該蒸発室１１ａ内を所定の真空度（例えば、１×１０−４Ｐａ程度）下にするとともにその真空度を維持するための真空ポンプ（排気手段の一例）１２と、同じく蒸発室１１ａ内に昇降用シリンダ装置（昇降手段の一例）１３に連結されて昇降自在に設けられるとともに蒸着材料を収納し且つ上面が開放された円筒状の材料収納容器（るつぼともいう）１４を載置し得る円板状の載置台１５とから構成されている。
【００２２】
上記蒸発用容器１１の側面には、材料収納容器１４を搬入出するための搬入出用開口部１１ｂおよび当該搬入出用開口部１１ｂを開閉する開閉扉１６が設けられている。
また、上記各蒸発用容器１１の上壁部１１ｃには、蒸発材料を放出するための材料放出穴１７が形成されるとともに、この材料放出穴１７の途中には、当該放出穴を開閉またはその開口面積を調節可能なニードルバルブ（開閉弁の一例）１８が設けられている。
【００２３】
さらに、蒸発用容器１１の上壁部１１ｃの材料放出穴１７の周囲下面には、載置台１５を介して上昇された材料収納容器１４の周囲を覆うことにより当該材料収納容器１４から放出される蒸発材料が蒸発室１１ａ側に移動するのを極力少なく（抑制）するための筒状の隔壁部材１９が垂下して設けられるとともに、載置台１５が上昇した際に、少なくとも、その上面の周縁部が隔壁部材１９の下端部（下縁部）に接触して隙間ができないような環状の当接部（密着部）１５ａにされている。なお、寸法的には、隔壁部材１９と材料収納容器１４との隙間ができるだけ小さくされる。
【００２４】
そして、蒸発用容器１１内の蒸着材料Ａを所定の蒸発温度に加熱するために、載置台１５の内部および隔壁部材１９の外周面には、電気ヒータなどの加熱手段２０，２１が設けられている。
【００２５】
また、上記材料移送管５は１個の蒸着用容器３に２台の蒸発装置４を接続するためのもので、その上端部５ａが蒸着用容器３の底壁部３ｂに一箇所で接続（連通）され、またその下端側は２本に分岐されてＹ字状の管路にされるとともに各分岐下端部５ｂ，５ｃは、それぞれの蒸発用容器１１の材料放出穴１７に接続（連通）される。
【００２６】
なお、図示していないが、蒸発材料が移動する経路（管路でもある）については、全て、電熱ヒータなどの加熱手段が設けられて、その蒸発温度が維持されている。また、材料移送管５および蒸発用容器１１側に設けられた材料放出穴１７により材料移送管路が構成される。
【００２７】
次に、上記蒸着装置での蒸着方法について、特に蒸発装置における蒸発動作でしかも２台の蒸発装置を切り替える際の動作に着目して説明する。
まず、一台（一方）の蒸発装置４Ａにより、蒸着用容器３に保持されたガラス基板１の表面に蒸発材料を蒸着させる場合について簡単に説明しておく。
【００２８】
図１に示すように、蒸発用容器１１内の載置台１５に蒸着材料Ａが収納された材料収納容器１４を載置した後、真空ポンプ１２を作動させて所定の真空度にするとともに、その真空度を維持する。なお、蒸着が行われている間は、例えば蒸発装置４Ａの各構成機器における接続部から侵入する空気、構成機器自体から放出される不純物（不純ガス成分である）などを排出するために、真空ポンプ１２が連続運転されている。
【００２９】
次に、図３に示すように、材料収納容器１４を隔壁部材１９内に上昇（移動）させた状態で、それぞれの加熱手段２０，２１により、当該材料収納容器１４を所定の蒸発温度まで加熱し、材料収納容器１４内の蒸着材料Ａの蒸発を開始させる。そして、ニードルバルブ１８を開放すると、蒸発した蒸発材料Ｂは材料放出穴１７から材料移送管５を介して蒸着用容器３の蒸着室３ａに導かれ、ガラス基板１の表面に付着して薄膜が形成される。勿論、蒸発材料の放出が行われている間は、その材料移送管路が加熱されて蒸発材料がその表面に付着しないように配慮されている。
【００３０】
そして、一方の蒸発装置４Ａにおける材料収納容器１４内の蒸着材料が減ってくると、他方の蒸着装置４Ｂからの蒸発材料の供給（導入）に切り替えるための準備が開始される。
【００３１】
この切り替えに際して、他方の蒸発装置４Ｂにおいては予備加熱が行われるとともに水分などの不純物（ガス成分として）を排出した後、本来の蒸発温度での本加熱が行われる。なお、例えば蒸発温度（本加熱での温度）が２００℃である場合には、予備加熱温度（材料が蒸発しない温度である）は、それよりも低い例えば１５０℃の温度とされるなど、本加熱より数度〜１０数度程度の低い範囲で任意に設定することができる。また、予備加熱温度が材料の蒸発温度に近い方が蒸発までの移行時間を短くすることができる。
【００３２】
以下、蒸発装置４の切替方法について詳しく説明する。
すなわち、図３に示すように、一方の蒸発装置４Ａにより蒸発材料Ｂの供給が行われている間に、他方の蒸発装置４Ｂの載置台１５に載置された材料収納容器１４は、昇降用シリンダ装置１３により隔壁部材１９内に上昇されるとともに、載置台１５および隔壁部材１９の外周に設けられた加熱手段２０，２１により、蒸着材料の蒸発温度より低い所定温度に加熱される。当然、この予備加熱時においても、真空ポンプ１２により排気が行われている（予備加熱ステップ）。
【００３３】
そして、所定温度に加熱されると、図４に示すように、一旦、昇降用シリンダ装置１３により載置台１５を下降させて、材料収納容器１４を隔壁部材１９から抜き出す。
すると、隔壁部材１９内に存在する水分などの不純物が、真空ポンプ１２により蒸発室１１ａを経て外部に排出される（不純物排出ステップ）。
【００３４】
この不純物の排出が済むと、図５に示すように、再度、載置台１５を上昇させて材料収納容器１４を隔壁部材１９内の加熱位置に上昇（移動）させる。このとき、載置台１５側に設けられた環状の当接部１５ａが隔壁部材１９の下端部に当接するため、隔壁部材１９内で蒸発した蒸発材料Ｂが引き出されて外部に排出されることはない。すなわち、不純物を排出するために常時運転されている真空ポンプ１２による、蒸発材料の外部への排出が防止されるため、蒸着材料の使用効率が低下するのを防止することができる。
【００３５】
次に、加熱手段２０，２１により、材料収納容器１４を蒸発温度に加熱して蒸発を行う（本加熱ステップ）とともに、図６に示すように、一方の蒸発装置４Ａに設けられたニードルバルブ１８を閉鎖し且つ他方の蒸発装置４Ｂに設けられた他方のニードルバルブ１８を開放すると、他方の蒸発装置４Ｂにて蒸発した蒸発材料Ｂが、材料移送管５を介して蒸着室３ａ内に導かれてガラス基板１への付着が引き続いて行われる。なお、この後、一方の蒸発装置４Ａの材料収納容器１４を下降させ、開閉扉１６を開いて取り出し、新しいものと交換すればよい。また、他方の蒸発装置４Ｂでの本加熱は、蒸発装置４Ａの材料使用状況から適切な時期に開始することで、この切り替え時間を数分レベルに短縮することができる。
【００３６】
ここで、上記蒸発装置の切替方法をステップで示すと下記のようになる。
すなわち、この切替方法は、少なくとも２台の蒸発装置を用いて１個の蒸着用容器に蒸発材料を供給して蒸着を行う際に使用する蒸発装置を切り替える方法であって、一方の蒸発装置において材料が不足状態になる前に、他方の蒸発装置の材料収納容器を隔壁部材内に上昇させて、加熱手段で材料の蒸発温度より低い所定温度に加熱する予備加熱ステップと、所定温度に加熱された材料収納容器を隔壁部材から下降させて、当該材料収納容器内で気化した不純物を真空ポンプで外部に排出する不純物排出ステップと、不純物の排出後に、再び隔壁部材内に材料収納容器を上昇させて材料の蒸発温度に加熱する本加熱ステップと、上記一方の蒸発装置の材料放出穴の途中に設けられたニードルバルブを閉鎖するとともに他方の蒸発装置の材料放出穴の途中に設けられたニードルバルブを開放する材料移送管路切替ステップとを具備している。
【００３７】
上述したように、蒸着用容器３に材料移送管５を介して２台の蒸発装置４を接続するとともに、ニードルバルブ１８の開閉で蒸着に使用する蒸発装置４を切り替えるようにしたので、連続して蒸着を行い得るとともに、蒸着室３ａへの供給箇所（導入箇所）が１箇所であるため、例えば２台の蒸発装置を別個の材料移送管を用いて蒸着用容器にそれぞれ接続した（供給箇所が異なる）ものに比べて、蒸発装置を切り替えた際に、蒸着条件が変化しないため、ガラス基板１に形成される薄膜の品質がばらつくの防止することができる。
【００３８】
また、予備加熱の段階で、材料収納容器１４に付着しているおよび蒸着材料に含まれている不純物を気化させるとともに、材料収納容器１４を隔壁部材１９から一旦外側に抜き出してその不純物を真空ポンプ１２により外部へ排出するようにしたので、連続蒸着時に使用する２台の蒸発装置を切り替えた際に、ガラス基板１の表面に形成される薄膜の品質が低下するのを防止することができる。
【００３９】
さらに、本加熱時の段階では、材料収納容器１４は隔壁部材１９内に上昇されるとともに載置台１５によりほぼ密閉状態にされているため、蒸発装置４の構成機器系から侵入する空気、不純物などを排出するために真空ポンプ１２を駆動している場合でも、材料収納容器１４から放出される蒸発材料が外部に排出されるのを防止（抑制）することができ、したがって蒸発材料の使用効率が低下するのを防止することができる。
【００４０】
ところで、上記実施の形態においては、載置台１５の外周に材料収納容器１４の位置規制部を兼ねた環状の当接部１５ａを設けたが、例えば図７に示すように、載置台１５の当接部１５ａの隔壁部材１９の内側位置に、隔壁部材１９に対して正確に移動（案内）し得るように、環状の突状部（位置規制部の他の例）１５ｂを形成してもよい。この場合も、隔壁部材１９と材料収納容器１４との隙間ができるだけ小さくされる。
【００４１】
また、ニードルバルブ１８による閉鎖が不十分である場合には、材料移送管５の分岐下端部５ｂ，５ｃにさらに開閉弁を設けてもよい。
さらに、上記実施の形態においては、蒸発装置を２台具備したものとして説明したが、３台以上具備したものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施の形態に係る蒸着装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】同蒸着装置における蒸発装置の要部断面図である。
【図３】同蒸着装置における蒸着動作を説明する断面図である。
【図４】同蒸着装置における蒸着動作を説明する断面図である。
【図５】同蒸着装置における蒸着動作を説明する断面図である。
【図６】同蒸着装置における蒸着動作を説明する断面図である。
【図７】同蒸着装置における蒸発装置の変形例を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１      ガラス基板
３      蒸着用容器
３ａ    蒸着室
３ｂ    底壁部
４      蒸発装置
５      材料移送管
１１      蒸発用容器
１１ａ    蒸発室
１２      真空ポンプ
１３      昇降用シリンダ装置
１４      材料収納容器
１５      載置台
１５ａ    当接部
１７      材料放出穴
１８      ニードルバルブ
１９      隔壁部材
２０      加熱手段
２１      加熱手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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