(57)【要約】【課題】  転写サイクルタイムの短縮が図れ、ワーク上面の平滑精度が低くとも接着剤層を容易に転写できる接着剤の転写方法、および装置の小型化が図れ、運搬が容易な転写装置を提供する。【解決手段】  フィルム２２の長手方向に配置した２つの挟持部材３２，３３によりフィルム２２を下方に弛みループ部６１を形成した状態で挟持し、両挟持部材３２，３３と共にフィルム２２を相対的に下降して弛みループ部６１の下端を、両挟持部材３２，３３の下方に位置させたスキージ台４１上の接着剤層４２に接触させ、接触後、さらに両挟持部材３２，３３を相対的に下降して弛みループ部６１の接着剤層４２に対する接触面積をフィルム２２の長手方向に増加させ、その後、両挟持部材３１，３２を相対的に上昇させてフィルム２２をスキージ台４１から離隔して接着剤層４２をフィルム下面に転写する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムの長手方向に配置した２つの挟持部材によりフィルムを下方に弛みループ部を形成した状態で挟持し、
両挟持部材と共に当該フィルムを相対的に下降して上記弛みループ部の下端を、両挟持部材の下方に位置させたスキージ台上の接着剤層に接触させ、
接触後、さらに両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の上記接着剤層に対する接触面積をフィルムの長手方向に増加させ、
その後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをスキージ台から離隔して上記接着剤層をフィルム下面に転写することを特徴とする接着剤の転写方法。
【請求項２】
フィルムの長手方向に配置した２つの挟持部材により、下面に接着剤層が形成されたフィルムを下方に弛みループを形成した状態で挟持し、
このフィルムをワークの上方に位置させた状態で、両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の下端をワーク上面に接触させ、
接触後、さらに両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部のワークに対する接触面積をフィルムの長手方向に増加させ、
その後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをワークから離隔して接着剤層をワーク上面に転写することを特徴とする接着剤の転写方法。
【請求項３】
フィルムの長手方向に配置した２つの挟持部材によりフィルムを下方に弛みループ部を形成した状態で挟持し、
両挟持部材と共に当該フィルムを相対的に下降して上記弛みループ部の下端を、両挟持部材の下方に位置させたスキージ台上の接着剤層に接触させ、
接触後、さらに両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の上記接着剤層に対する接触面積をフィルムの長手方向に増加させ、
その後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをスキージ台から離隔して上記接着剤層をフィルム下面に転写し、
このフィルムをワークの上方に位置させた状態で、両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の下端をワーク上面に接触させ、
接触後、さらに両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部のワークに対する接触面積をフィルムの長手方向に増加させ、
その後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをワークから離隔して接着剤層をワーク上面に転写することを特徴とする接着剤の転写方法。
【請求項４】
フィルムの長手方向に配設され、フィルムを挟持する少なくとも２つの挟持部材と、
該挟持部材を挟持状態と開放状態とに切り換える挟持・開放機構と、
上記挟持部材をフィルムの長手方向に移動させる移動機構と、
上記挟持部材の下方に配置され、上面に接着剤層を形成するスキージ台と、
該スキージ台と上記挟持部材との上下距離を変化させて、上記挟持部材をスキージ台に対して相対的に昇降する昇降機構と、
を備え、
２つの挟持部材によりフィルムを下方に弛みループ部を形成した状態で挟持し、両挟持部材を相対的に下降して上記弛みループ部をスキージ台上の接着剤層に接触させた後、両挟持部材を相対的に上昇させて上記接着剤層をフィルム下面に転写し、
このフィルムをワークの上方に位置させて、両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の下端をワーク上面に接触させた後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをワーク上面に転写することを特徴とする接着剤の転写装置。
【請求項５】
両挟持部材の下方に、スキージ台とワークホルダを交換可能に配設したことを特徴とする請求項４に記載の接着剤の転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムの下面にスキージ台から接着剤層を転写し、該接着剤層をワークの上面に転写する接着剤層の転写方法、およびこれに使用する転写装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品表面に接着剤層を転写し、その上に他の部品を接着接合して製品を組み立てることは一般的に行われており、例えば、インクジェット式プリンタの記録ヘッドを作製する場合、スキージ台上面に形成された接着剤層をフィルム下面に転写して、該フィルム下面の接着剤層を複数の圧力室が列設された流路基板の両面に転写し、一方の面にノズルプレートを他方の面に振動板を貼り合わせている。
【０００３】
従来、この接着剤の転写方法は、接着剤層が塗布されたスキージ台上に、該スキージ台の一方から他方へ向けてフィルムロールからフィルムを繰り出しながら水平に移動させ、フィルム下面の空気を追い出すように被せて、接着剤層表面の全体にフィルムが行き渡ったら、被せた方向と逆方向へフィルムを引き剥がすことにより、接着剤層をフィルム下面に転写していた。そして、このフィルム下面に転写した接着剤層をワークの上面に被せて、フィルムを引き剥がすことにより、接着剤層をワーク上面に転写していた。このフィルムを水平方向移動させて転写を行う転写方法は、例えば、特開平５−１６３７４号公報（特許文献１）や特開平５−２９４０９８号公報（特許文献２）に開示されている。
【特許文献１】特開平５−１６３７４号公報
【特許文献２】特開平５−２９４０９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の転写方法は、フィルムを水平方向移動させて行う転写方法であるので、転写装置の長手方向長さが増大し、装置が大型化するため、運搬が困難であり、また、工場における占有面積が大きくスペース効率が悪いという問題があった。また、フィルムの動きが大きいので転写サイクルタイムが増大し、ワーク上面の平滑精度が高くなければ接着剤層をムラなく転写することは困難であるという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、転写サイクルタイムの短縮を図ることができ、ワーク上面の平滑精度が低くとも接着剤層を容易に転写することができる接着剤の転写方法、および小型化を図ることができる転写装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、フィルムの長手方向に配置した２つの挟持部材によりフィルムを下方に弛みループ部を形成した状態で挟持し、
両挟持部材と共に当該フィルムを相対的に下降して上記弛みループ部の下端を、両挟持部材の下方に位置させたスキージ台上の接着剤層に接触させ、
接触後、さらに両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の上記接着剤層に対する接触面積をフィルムの長手方向に増加させ、
その後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをスキージ台から離隔して上記接着剤層をフィルム下面に転写することを特徴とする。
【０００７】
ここで、「相対的に下降」とは、両挟持部材とスキージ台とが近接するように、スキージ台に対して両挟持部材が下降となる状態を、「相対的に上昇」とは、両挟持部材とスキージ台とが離間するように、スキージ台に対して両挟持部材が上昇となる状態をいい、両挟持部材とスキージ台とのいずれを昇降させてもよい。
【０００８】
この方法によれば、スキージ台に対して、両挟持部材と共に当該フィルムを相対的に下降させて上昇させるという操作で、フィルム下面にスキージ台上の接着剤層を転写することができるので、フィルムを水平方向に移動させてフィルム下面にスキージ台上の接着剤層を転写する方法に比べて、フィルム下面への転写サイクルタイムの短縮を図ることができ、転写装置の小型化を図ることができる。
【０００９】
また、フィルムの長手方向に配置した２つの挟持部材により、下面に接着剤層が形成されたフィルムを下方に弛みループを形成した状態で挟持し、
このフィルムをワークの上方に位置させた状態で、両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の下端をワーク上面に接触させ、
接触後、さらに両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部のワークに対する接触面積をフィルムの長手方向に増加させ、
その後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをワークから離隔して接着剤層をワーク上面に転写することを特徴とする。
【００１０】
この方法によれば、ワークに対して、両挟持部材と共に当該フィルムを相対的に下降させて上昇させるという操作で、フィルム下面の接着剤層をワーク上面に転写することができるので、フィルムを水平方向に移動させてフィルム下面の接着剤層をワーク上面に転写する方法に比べて、ワーク上面への転写サイクルタイムの短縮を図ることができ、ワーク上面の平滑精度が低くとも接着剤層を容易に転写することができ、さらに転写装置の小型化を図ることができる。
【００１１】
ここで、「相対的に下降」とは、両挟持部材とワークとが近接するように、ワークに対して両挟持部材が下降となる状態を、「相対的に上昇」とは、両挟持部材とワークとが離間するように、ワークに対して両挟持部材が上昇となる状態をいい、両挟持部材とワークとのいずれを昇降させてもよい。
【００１２】
さらに、フィルムの長手方向に配置した２つの挟持部材によりフィルムを下方に弛みループ部を形成した状態で挟持し、
両挟持部材と共に当該フィルムを相対的に下降して上記弛みループ部の下端を、両挟持部材の下方に位置させたスキージ台上の接着剤層に接触させ、
接触後、さらに両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の上記接着剤層に対する接触面積をフィルムの長手方向に増加させ、
その後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをスキージ台から離隔して上記接着剤層をフィルム下面に転写し、
このフィルムをワークの上方に位置させた状態で、両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の下端をワーク上面に接触させ、
接触後、さらに両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部のワークに対する接触面積をフィルムの長手方向に増加させ、
その後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをワークから離隔して接着剤層をワーク上面に転写することを特徴とする。
【００１３】
この方法によれば、スキージ台に対して、両挟持部材と共に当該フィルムを相対的に下降させて上昇させるという操作で、フィルム下面にスキージ台上の接着剤層を転写することができるので、フィルムを水平方向に移動させてフィルム下面にスキージ台上の接着剤層を転写する方法に比べて、フィルム下面への転写サイクルタイムの短縮を図ることができる。また、ワークに対して、両挟持部材と共に当該フィルムを相対的に下降させて上昇させるという操作で、フィルム下面の接着剤層をワーク上面に転写することができるので、フィルムを水平方向に移動させてフィルム下面の接着剤層をワーク上面に転写する方法に比べて、ワーク上面への転写サイクルタイムの短縮を図ることができ、ワーク上面の平滑精度が低くとも接着剤層を容易に転写することができる。したがって、転写装置の小型化を図ることができる。
【００１４】
転写装置に係る本発明は、フィルムの長手方向に配設され、フィルムを挟持する少なくとも２つの挟持部材と、
該挟持部材を挟持状態と開放状態とに切り換える挟持・開放機構と、
上記挟持部材をフィルムの長手方向に移動させる移動機構と、
上記挟持部材の下方に配置され、上面に接着剤層を形成するスキージ台と、
該スキージ台と上記挟持部材との上下距離を変化させて、上記挟持部材をスキージ台に対して相対的に昇降する昇降機構と、
を備え、
２つの挟持部材によりフィルムを下方に弛みループ部を形成した状態で挟持し、両挟持部材を相対的に下降して上記弛みループ部をスキージ台上の接着剤層に接触させた後、両挟持部材を相対的に上昇させて上記接着剤層をフィルム下面に転写し、
このフィルムをワークの上方に位置させて、両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の下端をワーク上面に接触させた後、両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをワーク上面に転写することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、少なくとも２つの挟持部材の挟持・開放機構により間隔を隔ててフィルムを挟持し、移動機構により挟持部材の間隔を狭めることによりフィルムを下方に弛みループ部を形成した状態で挟持し、昇降機構によりスキージ台に対して両挟持部材を相対的に下降して上記弛みループ部をスキージ台上の接着剤層に接触させた後、昇降機構によりスキージ台に対して両挟持部材を相対的に上昇させて上記接着剤層をフィルム下面に転写し、このフィルムをワークの上方に位置させて、昇降機構によりワークに対して両挟持部材を相対的に下降して弛みループ部の下端をワーク上面に接触させた後、昇降機構によりワークに対して両挟持部材を相対的に上昇させてフィルムをワーク上面に転写するので、フィルムを水平方向に移動させて、フィルム下面の接着剤層を転写すると共に、該フィルム下面の接着剤層をワーク上面に転写する転写装置に比べて、転写サイクルタイムの短縮を図ることができ、ワーク上面の平滑精度が低くとも接着剤層を容易に転写することができ、さらに、装置の小型化を図ることができる。
【００１６】
上記構成において、両挟持部材の下方に、スキージ台とワークホルダを交換可能に配設することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、スキージ台とワークホルダを交換可能に配設することにより、転写装置自体を移動させる手段が不要となるので、より装置の小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１９】
本発明に係る接着剤の転写方法および転写装置は、フィルムの下面にスキージ台から接着剤層を転写して、該フィルム下面の接着剤層をワークの上面に転写する場合に適用されるが、例えば、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）の製造に用いることができ、以下に記録ヘッドの構造について簡単に説明する。なお、フィルムは、厚みが1.6〜2.1μｍのＰＥＴフィルムなどを使用することができる。
【００２０】
図３（ａ）は記録ヘッドの断面図、（ｂ）は一部を省略したノズルプレートの平面図である。図示するように、記録ヘッド１は、合成樹脂製のヘッドケース２と、このヘッドケース２内の収納空部８に収納される振動子ユニット３と、ヘッドケース２の先端（底面）に接合される流路ユニット４から概略構成されている。
【００２１】
上記振動子ユニット３は、櫛歯状に作製された複数の圧電振動子５と、各圧電振動子５の固定端部が接合される固定板６と、各圧電振動子５と駆動回路（図示せず）とを電気的に接合する導通線７等から構成されている。そして、圧電振動子５の自由端部の先端面は、収納空部８における流路ユニット４側の開口に臨み、流路ユニット４の圧力室９の上部に形成された島部１０に接合される。
【００２２】
この流路ユニット４は、複数のノズル開口１１が設けられたノズルプレート１３と、各ノズル開口１１と連通する複数の圧力室９が列設された流路形成基板１５と、各圧力室９の一部を区画する振動板１６とを備えている。そして、この流路ユニット４は、流路形成基板１５の一方の面にノズルプレート１３を、他方の面に振動板１６をそれぞれ接合した構成とされる。
【００２３】
流路形成基板１５は、例えば、シリコンウエハーによって作製され、エッチング加工することで、複数の圧力室９と、各圧力室９に導入されるインクを貯留するリザーバ１７と、各圧力室９とリザーバ１７を連通するインク供給口１８とを形成する。
【００２４】
ノズルプレート１３は、例えば、ステンレス鋼の薄板によって作製される。このノズルプレート１３には、例えば、図３（ｂ）に示すように、ドット密度に対応したピッチで複数のノズル開口１１が列設される。
【００２５】
振動板１６は、ステンレス鋼製の支持板にＰＰＳ膜等の弾性体膜を積層した二重構造を採り、各圧力室９に対応する部分の支持板が環状にエッチング加工されて、この環内に島部１０が形成され、この部分がダイヤフラム部として機能する。また、リザーバ１７に対応する部分は、支持板がエッチング加工によって排除されて弾性体膜だけのコンプライアンス部となっている。
【００２６】
したがって、このように構成された記録ヘッド１において、駆動信号が駆動回路（図示せず）から導通線７を介して圧電振動子５に入力されると、圧電振動子５の自由端部が素子長手方向に伸縮する。この自由端部の伸縮により、島部１０が圧力室９側に押されたり、その反対方向に引っ張られたりして、圧力室９の容積が変動する。この容積変動によってこの圧力室９内に貯留されているインクの圧力が変動するので、このインクの圧力を制御することで、ノズル開口１１からインク滴を吐出させることができる。
【００２７】
前述したように、流路形成基板１５は、従来はシリコンウエハーをエッチング加工することにより、複数の圧力室９、リザーバ１７およびインク供給口１８を形成しているが、近年、製造コストの低減を図るため、ステンレス鋼の薄板を打ち抜き加工して形成することが試みられている。しかし、流路形成基板１５を打ち抜き加工により形成する場合、シリコンウエハーをエッチング加工して形成する場合に比して、流路形成基板１５の平滑精度が低くなる。
【００２８】
このような平滑精度の低いワークへの接着剤層の転写に適するのが本発明の接着剤の転写方法であり、まず、図１に基づいて、この転写方法に使用する転写装置について説明する。
【００２９】
本実施形態の接着剤の転写装置２１は、図１に示すように、フィルム２２を挟持する少なくとも２つの挟持部材３１と、上記挟持部材３１をフィルム２２の長手方向に移動させる不図示の移動機構と、上面に接着剤層４２を形成するスキージ台４１と、上記挟持部材３１をスキージ台４１（またはワーク）に対して相対的に昇降する不図示の昇降機構と、を主に備えている。
【００３０】
挟持部材３１は、フィルム２２の長手方向に少なくとも２つ備えていればよいが、本実施形態では、フィルム２２の長手方向に沿って間隔を隔てて、図１において右側（フィルムの供給側、上流側）から第１の挟持部材３２、第２の挟持部材３３および第３の挟持部材３４の３つの挟持部材３１が順次配設されている。第１および第２の挟持部材３２，３３は昇降可能なセット台４０上に備えられており、第１の挟持部材３２はセット台４０の右端に固定した状態で、第２の挟持部材３３はセット台４０内においてフィルム２２の長手方向に移動可能な状態で配設されている。また、第３の挟持部材３４は、上記セット台４０の左側部分においてフィルム２２の長手方向に移動可能な状態で配設されている。移動機構としては、エアシリンダやラック・アンド・ピニオン、ボールネジ、ベルト駆動等の一般的な機構が挙げられる。
【００３１】
各挟持部材３２，３３，３４には、ロール状の挟持部材３１がフィルム２２を上下から挟持する挟持状態とフィルム２２を開放する開放状態とに切り換える不図示の挟持・開放機構が備えられており、挟持部材３１としては、例えば、エアシリンダを挟持・開放機構とするエアチャックが挙げられるが、ソレノイドにより電気的に作動させてもよい。
【００３２】
スキージ台４１は、第１および第２の挟持部材３２，３３が備えられたセット台４０の下方に位置するように配置され、上面は平滑に形成され、その上面には流動性を有する接着剤を塗布して不図示のスクレーパをスライド移動させて平滑な接着剤層４２が形成される。このスキージ台４１の配設位置には、ワークを支持する不図示のワークホルダが交換可能に配設される。
【００３３】
昇降機構は、上記スキージ台４１と第１および第２の挟持部材３２，３３との上下距離を変化させて、該挟持部材３２，３３をスキージ台４１（またはワーク）に対して相対的に昇降させる機構であり、例えば、エアシリンダやラック・アンド・ピニオン、ボールネジ等を採用することができる。本実施形態では、第１および第２の挟持部材３２，３３を備えたセット台４０に昇降機構を設けているが、これに限るものではなく、スキージ台４１（またはワーク）を載置するステージ側を昇降させるように構成してもよい。第１および第２の挟持部材３２，３３を備えるセット台４０を固定とし、スキージ台４１またはワークを昇降移動させる場合には、該スキージ台４１またはワークホルダを、例えば、昇降ステージ上に載置することが考えられる。即ち、本発明において、「相対的に下降」とは、第１および第２の挟持部材３２，３３とスキージ台４１（またはワーク）とが近接するように、スキージ台４１（またはワーク）に対して第１および第２の挟持部材３２，３３が下降となる状態を、「相対的に上昇」とは、第１および第２の挟持部材３２，３３とスキージ台４１（またはワーク）とが離間するように、スキージ台４１（またはワーク）に対して第１および第２の挟持部材３２，３３が上昇となる状態をいい、第１および第２の挟持部材３２，３３とスキージ台４１（またはワーク）とのいずれを昇降させてもよい。
【００３４】
上記フィルム２２は、フィルムロール５０から繰り出されてガイドロール５１ａに案内されてセット台４０に供給され、セット台４０の下流側に配置された第３の挟持部材３４を通過してその下流側がガイドロール５１ｂに案内されて巻き取りロール５２に巻き取られるように成っており、上下に離間して開放状態の第１乃至第３の挟持部材３２，３３，３４の間（チャック間）を順に通過するように配置される。
【００３５】
本発明に係る接着剤の転写方法は、上記の転写装置２１を使用して実施され、以下に図２を用いて具体的に説明する。
【００３６】
まず、図２において、（Ａ）に示すように、挟持・開放機構により第１乃至第３の挟持部材（以下、第１乃至第３のエアチャックという）３２，３３，３４を上下に離間して開放状態とし、これらのチャック間を順に通過するように、フィルムロール５０から繰り出される新品のフィルム２２を通して、その先端側を巻き取りロール５２に巻き取るように配置する。この初期状態において、第１のエアチャック３２はセット台４０の右端に、第２のエアチャック３３はセット台４０の左端に位置し、第３のエアチャック３４はセット台４０の左側近傍に位置している。
【００３７】
次に、（Ｂ）に示すように、第３のエアチャック３４を挟持・開放機構により閉じてフィルム２２を挟持した状態とし、これを移動機構によりセット台４０から離隔する下流側（左側）へ移動させる。このとき、フィルムロール５０から新しいフィルム２２が１６０ｍｍ繰り出される。また、ガイドロール５１ｂと第３エアチャック３４との間の弛みはあえて巻き取らない。
【００３８】
また、（Ｃ）に示すように、第２のエアチャック３３を挟持・開放機構により閉じてフィルム２２を挟持した状態とし、挟持状態の第３のエアチャック３４を移動機構により上流側（右側）へ移動させる。これにより、ガイドロール５１ｂの弛みが第２のエアチャック３３と第３のエアチャック３４との間に移動し、下方にループ部６０を形成する。
【００３９】
次に、（Ｄ）に示すように、第１のエアチャック３２を挟持・開放機構により閉じてフィルム２２を挟持した状態とし、挟持状態の第２のエアチャック３３を移動機構により（上流側）右端へ移動させる。これにより、第１のエアチャック３２と第２のエアチャック３３との間に転写に用いる弛みループ部６１が形成される。また、上記第２のエアチャック３３と第３のエアチャック３４との間に形成されたループ部６０のフィルム長さは１６０ｍｍであるので、第２のエアチャック３３が１００ｍｍ移動した分を差し引いた６０ｍｍの弛みループ部６１が残っている。
【００４０】
そして、（Ｅ）に示すように、セット台４０を下降してフィルム２２の弛みループ部６１下面へスキージ台４１の接着剤を転写する。なお、セット台４０の第１および第２のエアチャック３２，３３の下方には、予めスキージ台４１が配設されている。
詳述すると、昇降機構によりセット台４０を下降することにより、第１および第２のエアチャック３２，３３と共にフィルム２２をスキージ台４１に対して下降して上記弛みループ部６１の下端をスキージ台４１上の接着剤層４２に接触させ、接触後、さらに第１および第２のエアチャック３２，３３をスキージ台４１に対して下降して、上記弛みループ部６１の上記接着剤層４２に対する接触面積をフィルム２２の長手方向に増加させる。このとき、第１のエアチャック３２の下降に合わせてフィルムロール５０からフィルム２２が繰り出される。
【００４１】
その後、（Ｆ）に示すように、第１および第２のエアチャック３２，３３をスキージ台４１と共に上昇させてフィルム２２をスキージ台４１から離隔して、上記接着剤層４２をフィルム２２の下面に転写する。
【００４２】
このようにフィルム２２の弛みループ部６１の下面に接着剤層４２を転写した後、上記スキージ台４１をワークホルダに交換し、該フィルム２２をワークの上方に位置させた状態で、昇降機構により、上記Ｅと同様に第１および第２のエアチャック３２，３３をセット台４０と共にワークに向けて下降して弛みループ部６１の下端をワークの上面に接触させ、接触後、さらに第１および第２のエアチャック３２，３３を下降して弛みループ部６１のワークに対する接触面積をフィルム２２の長手方向に増加させる。
【００４３】
その後、上記（Ｆ）と同様に、第１および第２のエアチャック３２，３３を上昇させてフィルム２２をワークから離隔して、上記接着剤層４２をワークの上面に転写する。例えば、上記記録ヘッド１のノズルプレート１３の上面に接着剤層４２を転写する場合には、転写厚みは１．３〜１．９μｍとする。
【００４４】
また、（Ｇ）に示すように、移動機構により第２のエアチャック３３をセット台４０の左端へ移動させ、さらに、（Ｈ）に示すように、移動機構により第３のエアチャック３４を左側へ移動させ、そして、（Ｉ）に示すように、生じた弛みをガイドロール５１ｂを介して巻き取りロール５２側に巻き取る。これにより、使用部分のフィルム２２がガイドロール５１ｂ側に移行される。
【００４５】
次に、（Ｊ）に示すように挟持・開放機構により第３のエアチャック３４を開放状態に変換し、移動機構により右側へ移動させ、（Ｋ）に示すように、挟持・開放機構により第３のエアチャック３４を閉じて挟持状態に変換する。さらに、（Ｌ）に示すように、挟持・開放機構により第１および第２のエアチャック３２，３３を開放状態に変換し、次いで、移動機構により第３のエアチャック３４を閉じた状態のまま左側へ移動させる。またさらに、（Ｍ）に示すように、挟持・開放機構により第２のエアチャック３３を閉じて挟持状態に変換し、移動機構により第３のエアチャック３４を閉じた状態で右側へ移動させる。そして、（Ｎ）に示すように、挟持・開放機構により第１のエアチャック３２を閉じて挟持状態に変換し、移動機構により第２のエアチャック３３を閉じた状態で右端へ移動させる。
【００４６】
そして、これ以降は、上記（Ｅ）の工程からのリピート操作を行うこととなる。
以上説明したように、本発明によれば、少なくとも２つの第１および第２のエアチャック３２，３３の挟持・開放機構により挟持状態に変換してフィルム２２を間隔を隔てて挟持し、移動機構により第１および第２のエアチャック３２，３３の間隔を狭めることによりフィルム２２を下方に弛みループ部６１を形成した状態で挟持し、昇降機構によりスキージ台４１に対して第１および第２のエアチャック３２，３３を相対的に下降して上記弛みループ部６１をスキージ台４１上の接着剤層４２に接触させた後、昇降機構によりスキージ台４１に対して第１および第２のエアチャック３２，３３を相対的に上昇させて上記弛みループ部６１のフィルム下面に上記接着剤層４２を転写している。そして、この弛みループ部６１をワークの上方に位置させて、昇降機構によりワークに対して第１および第２のエアチャック３２，３３を相対的に下降して弛みループ部６１の下端をワーク上面に接触させた後、昇降機構によりワークに対して第１および第２のエアチャック３２，３３を相対的に上昇させてフィルム下面の接着剤層４２をワーク上面に転写する。
【００４７】
したがって、従来の転写方法のように、フィルムを水平方向に移動させて、フィルム下面の接着剤層を転写すると共に、該フィルム下面の接着剤層をワーク上面に転写する転写装置に比べて、転写サイクルタイムの短縮を図ることができ、例えば、ステンレス鋼の薄板を打ち抜き加工して形成した上記流路形成基板１５のように、ワーク上面の平滑精度が低い部材に対しても接着剤層４２を容易に転写することができる。また、フィルム２２に弛みループ部６１を形成し、昇降機構により該弛みループ部６１を第１および第２のエアチャック３２，３３と共に昇降移動させるので、転写装置２１の長手方向長さを縮小して装置の小型化を図ることができ、海外移送等の運搬が容易となる。さらに、セット台４０に備えられた第１および第２のエアチャック３２，３３の下方に、スキージ台４１とワークホルダを交換可能に配設することにより、転写装置自体を移動させる手段が不要となるので、より装置の小型化を図ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の転写装置を説明する概略図である。
【図２】本発明の転写方法を説明する概略図である。
【図３】（ａ）は記録ヘッドの断面図、（ｂ）は一部を省略したノズルプレートの平面図である。
【符号の説明】
【００４９】
２１  転写装置，２２  フィルム，３１  挟持部材，３２  第１の挟持部材（第１のエアチャック），３３  第２の挟持部材（第２のエアチャック），３４  第３の挟持部材（第３のエアチャック），４１  スキージ台，４２  接着剤層，５０  フィルムロール，５１  繰り出しロール，５２  巻き取りロール，６１  弛みループ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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