(57)【要約】【課題】簡易な構成で微弱な光出力のレーザ光を連続的に可変して標本に照射できる顕微鏡装置を提供すること。【解決手段】レーザ光を出射する半導体レーザ４を有し、レーザ光を標本１０に照射し、標本１０が発する蛍光を観察する顕微鏡装置１において、レーザ光の光出力をレーザ発振領域内で可変制御する制御部２と、半導体レーザ４から出力された光出力を段階的に減衰させるＮＤフィルタ５と、を備え、制御部２による光出力の可変制御とＮＤフィルタ５による光出力の減衰との組み合わせによってＮＤフィルタ５を透過して標本１０に照射される光出力を連続可変する。【選択図】        図１
2006208589.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ光源を有し、前記レーザ光を標本に照射し、前記標本が発する蛍光を観察する顕微鏡装置において、
前記レーザ光の光出力をレーザ発振領域内で可変制御する可変制御手段と、
前記レーザ光源から出力された光出力を段階的に減衰させる減衰手段と、
を備え、前記可変制御手段による光出力の可変制御と前記減衰手段による光出力の減衰との組み合わせによって前記減衰手段を透過して前記標本に照射される光出力を連続可変することを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記レーザ光源は、半導体レーザであり、
前記可変制御手段は、前記半導体レーザの駆動電流を制御することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記減衰手段は、１つ以上の減光フィルタであることを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記１以上の減光フィルタは、前記レーザ光の光路に挿脱可能なフィルタホルダに収納されていることを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記フィルタホルダを駆動するホルダ駆動手段と、
前記可変制御手段による光出力の可変制御と前記減衰手段による光出力の減衰との組み合わせによって前記減衰手段を透過して前記標本に照射される光出力が連続可変出力するように前記ホルダ駆動手段を駆動制御して透過率の異なる前記減光フィルタを替える駆動制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項３または４に記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
前記減衰手段を透過した光出力をモニタするモニタ手段と、
前記モニタ手段によってモニタした光出力をもとに前記可変制御手段を制御し、光出力を安定化させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源が出射したレーザ光を標本に照射し、標本が発する蛍光を観察する顕微鏡装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、レーザ光を標本に照射し、標本が発する蛍光を観察する顕微鏡装置が多用されている。特に標本が生体である場合、標本への損傷を抑制するため、弱い光出力のレーザ光を標本に照射することが要求されている。レーザ光の光源として気体レーザを用いることが一般に知られているが、気体レーザは、出射するレーザ光の光出力を可変することができない。そのため、音響光学素子（ＡＯＴＦ）等を気体レーザの出射口に配置してレーザ光の光出力を可変する技術が開示されている（特許文献１参照）。また、１／４波長板を回転させてレーザ光の強度を連続的に変化させるものがある（特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１３９６７５号公報
【特許文献２】特開平１１−６９６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、レーザ光の光源として、気体レーザに比して小型で、かつ光出力を可変できる半導体レーザが注目されている。半導体レーザは、半導体レーザを駆動する駆動電流に対して線形な光出力のレーザ光を出射する。しかし、半導体レーザは、駆動電流が所定値以下となった場合、レーザ光を出射せず自然放出光としてのＬＥＤ光を出射する。そのため、半導体レーザを用いた場合、所定値以下の駆動電流に対応する微弱な光出力のレーザ光を標本に照射できない。また、所定値以上であっても微弱な光出力に比してノイズが大きいＳ／Ｎ比が低い光を標本に照射することになるという問題点があった。
【０００５】
なお、特許文献１に記載されたものはＡＯＴＦを用いるため、装置が複雑かつ高価になるという問題点を有し、特許文献２に記載されたものは、波長毎に透過率と回転角との関係が線形でなく、しかも１／４波長板に波長依存性があるため、使い勝手が悪いという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で微弱な光出力のレーザ光を連続的に可変して標本に照射できる顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１にかかる顕微鏡装置は、レーザ光を出射するレーザ光源を有し、前記レーザ光を標本に照射し、前記標本が発する蛍光を観察する顕微鏡装置において、前記レーザ光の光出力をレーザ発振領域内で可変制御する可変制御手段と、前記レーザ光源から出力された光出力を段階的に減衰させる減衰手段と、を備え、前記可変制御手段による光出力の可変制御と前記減衰手段による光出力の減衰との組み合わせによって前記減衰手段を透過して前記標本に照射される光出力を連続可変することを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記レーザ光源は、半導体レーザであり、前記可変制御手段は、前記半導体レーザの駆動電流を制御することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記減衰手段は、１つ以上の減光フィルタであることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記１以上の減光フィルタは、前記レーザ光の光路に挿脱可能なフィルタホルダに収納されていることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項５にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記フィルタホルダを駆動するホルダ駆動手段と、前記可変制御手段による光出力の可変制御と前記減衰手段による光出力の減衰との組み合わせによって前記減衰手段を透過して前記標本に照射される光出力が連続可変出力するように前記ホルダ駆動手段を駆動制御して透過率の異なる前記減光フィルタを替える駆動制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項６にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記減衰手段を透過した光出力をモニタするモニタ手段と、前記モニタ手段によってモニタした光出力をもとに前記可変制御手段を制御し、光出力を安定化させる制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明にかかる顕微鏡装置は、レーザ光の光源に半導体レーザと複数のＮＤフィルタとを組合わせることによって、連続的に微弱な光出力のレーザ光を標本に照射できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる顕微鏡装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１にかかる顕微鏡装置１の概要構成を示すブロック図である。図１に示すように、この顕微鏡装置１は、レーザ光を出射する半導体レーザ４と、所定の透過率を有し、透過するレーザ光の光出力を減衰させる減光フィルタ（ＮＤフィルタ）５と、光出力が減衰されたレーザ光を反射するダイクロイックミラー６と、ダイクロイックミラー６で反射されたレーザ光を標本１０上に走査するガルバノミラー７と、ガルバノミラー７を介したレーザ光を対物レンズ９に導光する瞳リレーレンズ８と、瞳リレーレンズ８によって導光されたレーザ光を標本１０に集光する対物レンズ９と、標本１０が発した蛍光の波長を選択的に透過させるバリアフィルタ１１と、バリアフィルタ１１を透過した蛍光を集光するレンズ１２と、レーザ光と蛍光との共焦点を検出するピンホール１３と、ピンホール１３を通過した蛍光を受光して光電変換する光電子増倍管（ＰＭＴ）１４と、ＰＭＴ１４が出力した電流信号Ｓ３を増幅するアンプ１５と、アンプ１５が増幅した電気信号Ｓ４を入力する制御部２と、制御部２の指示信号Ｓ１をもとに半導体レーザ４を駆動するレーザドライバ３とを有する。なお、制御部２は、光出力を制御する光出力制御部２１を有する。
【００１６】
ここで、この顕微鏡装置１が微弱な光出力のレーザ光を標本１０に照射する過程を説明する。まず、制御部２の光出力制御部２１は、レーザドライバ２に指示信号Ｓ１を出力する。この指示信号Ｓ１は、レーザ光の光出力に関する信号である。レーザドライバ２は、指示信号Ｓ１を入力すると、指示信号Ｓ１が指示した光出力に対応した駆動電流Ｓ２を半導体レーザ４に出力し、半導体レーザ４は、駆動電流Ｓ２に対応した光出力のレーザ光を出射する。半導体レーザ４が出射したレーザ光は、ＮＤフィルタ５に入射し、ＮＤフィルタ５は、入射したレーザ光の光出力を所定の割合で減衰させて透過する。ＮＤフィルタ５を透過したレーザ光は、ダイクロイックミラー６に入射する。
【００１７】
ダイクロイックミラー６は、入射したレーザ光を反射し、ダイクロイックミラー６で反射されたレーザ光は、ガルバノミラー７に入射する。ガルバノミラー７は、１対のミラーを連動させて動かすことによって入射したレーザ光を標本１０上に走査し、レーザ光を瞳リレーレンズ８に入射させる。瞳リレーレンズ８は、入射したレーザ光を対物レンズ９に入射させる。対物レンズ９は、入射したレーザ光を標本１０に集光して所定の点を照射する。
【００１８】
レーザ光によって照射された標本１０は、励起されて蛍光を発する。蛍光は、標本１０を照射したレーザ光と同じ光路をダイクロイックミラー６まで逆行し、ダイクロイックミラー６を透過する。ダイクロイックミラー６を透過した蛍光は、バリアフィルタ１１に入射する。バリアフィルタ１１は、蛍光波長を有する光のみを選択的に透過させ、蛍光をレンズ１２に入射させる。レンズ１２は、対物レンズ９の共焦点を検出するピンホール１３を介して入射した蛍光をＰＭＴ１４に入射させる。
【００１９】
ＰＭＴ１４は、入射した蛍光を光電変換し、蛍光の光出力に対応した電流信号Ｓ３をアンプ１５に出力する。アンプ１５は、入力した電流信号Ｓ３を電圧に変換すると共に所定の割合で増幅した電気信号Ｓ４を制御部２に出力する。制御部２の光出力制御部２１は、入力した電気信号Ｓ４によって蛍光画像を取得する。
【００２０】
ここで、図２を参照して半導体レーザ４の入出力特性について説明する。図２に示すように、半導体レーザ４が出射する光は、駆動電流Ｉｔｈに対応する光出力Ｌｔｈを堺として、光出力Ｌｔｈ未満である場合、誘導放出光でなく自然放出光であるＬＥＤ光となり、光出力Ｌｔｈ以上である場合、誘導放出光であるレーザ光となる。
【００２１】
ＬＥＤ光は、レーザ光の特性を有さず、インコヒーレントであり、波長が一定でないため、所定の励起光のみを標本１０照射できないだけでなく、波面が揃わないため、光を標本１０の１点に集光することができない。また、駆動電流が小さくなった場合、半導体レーザ４に対するノイズは一定であるため、半導体レーザ４が出射する光のＳ／Ｎ比は悪くなる。つまり、半導体レーザ４に対して閾値Ｉｔｈ未満の駆動電流を入力した場合、蛍光観察を行うのに十分な光を標本１０に照射することができない。
【００２２】
そこで、たとえば、光出力Ｌｔｈ未満の光出力０．１（ｍＷ）のレーザ光を標本１０に照射する場合、半導体レーザ４に駆動電流Ｉ２を入力し、光出力１（ｍＷ）のレーザ光を出射させ、この光出力１（ｍＷ）のレーザ光を透過率０．１のＮＤフィルタ５によって光出力を減衰させると、ＮＤフィルタ５を透過した後のレーザ光の光出力は、０．１（ｍＷ）となり、光出力０．１（ｍＷ）のレーザ光を標本１０に照射できる。
【００２３】
図３―１は、透過率が異なる複数のＮＤフィルタ５を配置した場合の半導体レーザ４に対する駆動電流とＮＤフィルタ５を透過するレーザ光の光出力との特性を示すグラフである。図３―１に示すように、半導体レーザ４に駆動電流Ｉ２〜Ｉ３を入力し、光出力１〜１０（ｍＷ）のレーザ光を出射させ、透過率０．０１のＮＤフィルタ５を配置すると、ＮＤフィルタ５を透過後のレーザ光の光出力０．０１〜０．１となる。また、半導体レーザ４に駆動電流Ｉ２〜Ｉ３を入力し、光出力１〜１０（ｍＷ）のレーザ光を出射させ、透過率０．１のＮＤフィルタ５を配置すると、ＮＤフィルタ５を透過後のレーザ光の光出力０．１〜１となる。同様に、半導体レーザ４に駆動電流Ｉ２〜Ｉ３を入力し、光出力１〜１０（ｍＷ）のレーザ光を出射させ、透過率１のＮＤフィルタ５を配置すると、ＮＤフィルタ５を透過後のレーザ光の光出力１〜１０（ｍＷ）となる。なお、光出力１〜１０（ｍＷ）を照射する場合、通常は、ＮＤフィルタ５を用いない。
【００２４】
図３―２は、図３―１に示すグラフを等価的に示したグラフであり、図３―２に示すように、半導体レーザ４に対して駆動電流Ｉ２〜Ｉ３を入力して光出力１〜１０（ｍＷ）のレーザ光を出射させ、透過率の異なるＮＤフィルタ５を配置することによって、レーザ光の光出力０．０１〜１０（ｍＷ）を連続的に可変することができる。
【００２５】
半導体レーザ４は、レーザ光を安定して出射する領域である駆動電流Ｉ２〜Ｉ３が入力されるため、レーザ光の特性が生かされたＳ／Ｎ比の良いレーザ光を出射でき、またＮＤフィルタ５を透過する光は、微弱なレーザ光であるため、標本１０に対する損傷を少なくでき、かつ鮮明な蛍光画像が取得できる。
【００２６】
この実施の形態１では、半導体レーザ４が常にレーザ光を出射するように駆動制御を行い、透過率の異なるＮＤフィルタ５をレーザ光の光路上に配置することによって、微弱なレーザ光の光出力を連続的に可変して標本１０に照射し、鮮明な蛍光画像を取得することができる。
【００２７】
なお、この実施の形態１では、レーザ光の光出力０．０１〜１０（ｍＷ）で可変していたが、光出力０．０１（ｍＷ）未満で可変するようにしてもよいし、光出力１０（ｍＷ）以上で可変するようにしてもよい。また、ＮＤフィルタ５は、透過率１、０．１、および０．０１を用いていたが、これ以外の透過率のＮＤフィルタ５を用いてもよい。
【００２８】
また、たとえば、光出力０．０１,０．１,１（ｍＷ）のように、光出力が重複する可変領域については、光出力とＮＤフィルタ５との組合わせを予め決めておいてもよいし、半導体レーザ４の光出力の可変量を少なくする方を優先してもよいし、ＮＤフィルタ５の変更を行わない方を優先するようにしてもよい。
【００２９】
（実施の形態２）
つぎに、この実施の形態２にかかる顕微鏡装置について説明する。実施の形態１では、制御部２の指示信号Ｓ１による半導体レーザ４に対する駆動電流Ｓ２とＮＤフィルタ５の透過率とにより光出力が決まっていたが、この実施の形態２では、透過率がばらついたＮＤフィルタ５を配置しても正確に所望の光出力のレーザ光を標本１０に照射するようにしている。
【００３０】
図４は、この実施の形態２にかかる顕微鏡装置２０の概要構成を示すブロック図である。図４に示すように、この顕微鏡装置２０は、実施の形態１で示した顕微鏡装置１のＮＤフィルタ５とダイクロイックミラー６との間にビームスプリッタ１６と、ビームスプリッタ１６によって分岐されたレーザ光の光出力を検出するフォトディテクタ（ＰＤ）１７とを有し、レーザドライバ３をレーザドライバ３Ａに代えている。なお、その他の構成は、実施の形態１で示した顕微鏡装置１と同一であり、同一の構成部分には同一の符号を付している。
【００３１】
制御部２は、レーザドライバ３Ａに指示信号Ｓ１を出力し、レーザドライバ３Ａは、指示信号Ｓ１をもとに半導体レーザ４に駆動電流Ｓ２Ａを出力する。半導体レーザ４は、駆動電流Ｓ２Ａを入力してレーザ光を出射する。
【００３２】
半導体レーザ４が出射したレーザ光は、ＮＤフィルタ５によって光出力が減衰され、ビームスプリッタ１６に入射する。ビームスプリッタ１６は、レーザ光を所定の割合によって分割し、一方は透過してダイクロイックミラー６に導光し、他方は反射してＰＤ１７に導光する。ＰＤ１７は、ビームスプリッタ１６で反射されたレーザ光を受光して光電変換し、受光したレーザ光の光出力に対応した電気信号Ｓ５をレーザドライバ３Ａに出力する。
【００３３】
たとえば、光出力０．１（ｍＷ）のレーザ光を標本１０に照射する場合、半導体レーザ４から光出力１（ｍＷ）のレーザ光を出力させ、透過率０．１のＮＤフィルタ５を配置すればよいが、ＮＤフィルタ５の透過率がばらついて、透過率０．０９である場合、透過率が９０％、反射率が１０％のビームスプリッタ１６をＮＤフィルタ５とダイクロイックミラー６との間に挿入すると、ビームスプリッタ１６で反射された光出力０．００９（ｍＷ）のレーザ光がＰＤ１７で受光され、０．００９（ｍＷ）に対応した電気信号Ｓ５がレーザドライバ３Ａに入力される。
【００３４】
レーザドライバ３Ａは、光出力０．００９（ｍＷ）に対応する電気信号Ｓ５を入力すると、光出力０．０１（ｍＷ）に対応する電気信号Ｓ５が入力されるように駆動電流Ｓ２Ａを可変して半導体レーザ４に出力する。
【００３５】
すなわち、透過率がばらついたＮＤフィルタ５が配置されてもビームスプリッタ１６とＰＤ１７とを用いてレーザドライバ３Ａがフィードバック制御を行ことによって、所望の光出力のレーザ光を安定的に標本１０に照射することができる。
【００３６】
この実施の形態２では、ビームスプリッタ１６とＰＤ１７とを用いて半導体レーザ４が出射するレーザ光の光出力をモニタし、半導体レーザ４に対してフィードバック制御を行うようにした。このフィードバック制御によれば、半導体レーザ４の発熱等のＮＤフィルタ５の透過率のばらつき以外の要因による光出力の変動も制御できる。
【００３７】
（実施の形態３）
つぎに、この実施の形態３について説明する。実施の形態１,２では、透過率の異なる複数のＮＤフィルタ５を手動で可変するようにしていたが、この実施の形態３では、ＮＤフィルタをモータ駆動によって可変して短時間に所望の光出力のレーザ光を標本に照射するようにしている。
【００３８】
図５は、この実施の形態３にかかる顕微鏡装置３０の概要構成を示すブロック図である。図５に示すように、この顕微鏡装置３０は、実施の形態２で示した顕微鏡装置２０のＮＤフィルタ５に代えてＮＤフィルタ５０１,５０２,５０３を収納するフィルタホルダ５０と、フィルタホルダ５０を駆動するモータ１９と、モータ１９を駆動するモータドライバ１８とを有し、制御部２に代えてモータドライバ１８を制御する光出力領域制御部２２とテーブル２３とを内蔵した制御部２Ａを有している。なお、その他の構成は、実施の形態２で示した顕微鏡装置２０と同一であり、同一の構成部分には同一の符号を付している。
【００３９】
制御部２Ａは、レーザドライバ３Ａに指示信号Ｓ１を出力し、レーザドライバ３Ａは、指示信号Ｓ１を入力して駆動電流Ｓ２Ａを半導体レーザ４に出力するとともに電気信号Ｓ５を入力して半導体レーザ４に対してフィードバック制御を行う。このフィードバック制御によって半導体レーザ４が出射するレーザ光の光出力は、制御部２Ａが指示した所定値に保たれる。
【００４０】
ここで、レーザ光の光出力の可変領域を変更する場合、制御部２Ａは、テーブル２３を参照して、変更された可変領域に該当するＮＤフィルタを選択し、この選択したＮＤフィルタが光路上に配置されるように指示信号Ｓ６をモータドライバ１８に出力する。モータドライバ１８は、指示信号Ｓ６をもとに駆動信号Ｓ７をモータ１９に出力し、モータ１９は、駆動信号Ｓ７によってフィルタホルダ５０を駆動し、制御部２Ａが選択したＮＤフィルタをレーザ光の光路上に配置する。
【００４１】
図６に示すように、フィルタホルダ５０は、矩形状の板に透過率１のＮＤフィルタ５０１、透過率０．１のＮＤフィルタ５０２、透過率０．０１のＮＤフィルタ５０３を収納している。モータドライバ１８は、指示信号Ｓ６をもとにフィルタホルダ５０を駆動させ、制御部２Ａが指示したＮＤフィルタを光路上に配置する。
【００４２】
また、図７に示すように、テーブル２３には、光出力Ｌの可変領域に対応したＮＤフィルタが記憶され、光出力領域制御部２２は、可変領域に対応したＮＤフィルタを選択し、制御部２Ａは、この選択したＮＤフィルタが光路上に配置されるように指示信号Ｓ６を出力する。
【００４３】
たとえば、光出力０．０５（ｍＷ）のレーザ光から光出力０．２（ｍＷ）に変更する場合、光出力制御部２１は、光出力５（ｍＷ）から光出力２（ｍＷ）への変更指示を出して制御部２Ａは、指示信号Ｓ１を出力し、光出力領域制御部２２は、透過率０．０１のＮＤフィルタ５０３から透過率０．１のＮＤフィルタ５０２への変更指示を出して制御部２Ａは、指示信号Ｓ６を出力する。
【００４４】
上述したように、制部御２Ａの光出力制御部２１が半導体レーザ４が出射するレーザ光の光出力を制御し、光出力領域制御部２２がテーブル２３をもとにＮＤフィルタを選択制御することによって、レーザ光の光出力を短時間に変更して安定することができる。
【００４５】
なお、図７に示したテーブルは、光出力Ｌの可変領域が重複しないように記憶されているが、実施の形態１で説明したように、予め可変領域が重複した場合について決めておけば、可変領域が重複してもよい。
【００４６】
この実施の形態３では、透過率の異なる複数のＮＤフィルタ５０１,５０２,５０３を収納するフィルタホルダ５０をモータ駆動することによって、レーザ光の光出力の可変領域を短時間に変更することができる。
【００４７】
なお、この実施の形態３では、フィルタホルダ５０が３個のＮＤフィルタ５０１,５０２,５０３を収納するようにしていたが、この３個に限定する必要はない。
【００４８】
つぎに、この発明の実施の形態３の変形例について説明する。実施の形態３では、矩形状のフィルタホルダ５０をモータ１９が駆動するようにしていたが、この変形例では、円盤状のフィルタホルダを回転させ、円滑にＮＤフィルタを配置するようにしている。
【００４９】
図８は、この発明の実施の形態３の変形例にかかる顕微鏡装置４０の概要構成を示すブロック図である。図８に示すように、この蛍光顕微鏡装置４０は、実施の形態３で示した顕微鏡装置３０のフィルタホルダ５０に代えて円盤状のフィルタホルダ５１と、モータ１９に代えてフィルタホルダ５１を回転するモータ１９Ａを有している。その他の構成は、実施の形態３で示した顕微鏡装置３０と同一であり、同一の構成部分には同一の符号を付している。
【００５０】
このフィルタホルダ５１は、図９に示すように、透過率の異なる複数のＮＤフィルタ５０１,５０２,５０３を円周上に収納し、モータ１９Ａが駆動することによってフィルタホルダ５１が回転し、光出力領域制御部２２が指示したＮＤフィルタがレーザ光の光路上に配置されるようになっている。
【００５１】
この実施の形態３の変形例では、透過率の異なる複数のＮＤフィルタ５０１,５０２,５０３を円盤状のフィルタホルダ５１に収納することによって、円滑にＮＤフィルタを光路上に配置することができる。
【００５２】
なお、実施の形態３および変形例で示した透過率１のＮＤフィルタ５０１については、ＮＤフィルタ５０１を使用せず空洞にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】この発明の実施の形態１にかかる顕微鏡装置の概要構成を示すブロック図である。
【図２】この発明の実施の形態１にかかる半導体レーザの入出力特性を示すグラフである。
【図３−１】この発明の実施の形態１にかかる半導体レーザに入力する駆動電流とＮＤフィルタを透過したレーザ光の光出力との関係を示すグラフである。
【図３−２】この発明の実施の形態１にかかる半導体レーザに入力する駆動電流とＮＤフィルタを透過したレーザ光の光出力との関係を示すグラフである。
【図４】この発明の実施の形態２にかかる顕微鏡装置の概要構成を示すブロック図である。
【図５】この発明の実施の形態３にかかる顕微鏡装置の概要構成を示すブロック図である。
【図６】この発明の実施の形態３にかかるフィルタホルダを示す模式図である。
【図７】この発明の実施の形態３にかかるテーブルの内容を示す模式図である。
【図８】この発明の実施の形態３の変形例にかかるフィルタホルダの平面を示す模式図である。
【図９】この発明の実施の形態３の変形例にかかるフィルタホルダの平面を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５４】
１,２０,３０,４０  顕微鏡装置
２,２Ａ  制御部
３,３Ａ  レーザドライバ
４  半導体レーザ
５,５０１,５０２,５０３  ＮＤフィルタ
６  ダイクロイックミラー
７  ガルバノミラー
８  瞳リレーレンズ
９  対物レンズ
１０  標本
１１  バリアフィルタ
１２  レンズ
１３  ピンホール
１４  ＰＭＴ
１５  アンプ
１６  ビームスプリッタ
１７  ＰＤ
１８  モータドライバ
１９,１９Ａ  モータ
２１  光出力制御部
２２  光出力領域制御部
２３  テーブル
５０,５１  フィルタホルダ
【図１】
2006208589.tif 000003
【図２】
2006208589.tif 000004
【図３−１】
2006208589.tif 000005
【図３−２】
2006208589.tif 000006
【図４】
2006208589.tif 000007
【図５】
2006208589.tif 000008
【図６】
2006208589.tif 000009
【図７】
2006208589.tif 000010
【図８】
2006208589.tif 000011
【図９】
2006208589.tif 000012