(57)【要約】【課題】  レーザ光源と受光素子との相対位置を調整するのに、大掛かりな設備や多大な手間を必要とせず、かつ、常に信頼性の高い調整を行うことのできる光ヘッド装置の製造方法およびその製造装置を提供すること。【解決手段】  光ヘッド装置１の製造工程において、第２のレーザ光源１２を基準に受光素子２５の位置を調整する場合でも、実際の光記録ディスクを用いず、光記録ディスク４に相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置し、擬似ディスク１４３からの戻り光の受光素子２５での検出結果に基づいて、第２のレーザ光源１２と受光素子２５との相対位置を調整する。【選択図】    図１
2006209906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、前記レーザ光源からの出射光をコリメート光として前記対物レンズに導くコリメートレンズを含み、前記対物レンズを経てくる前記光記録ディスクからの戻り光を前記受光素子に導く導光系とを有する光ヘッド装置の製造方法において、
前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整する調整工程では、前記光記録ディスクに相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置するとともに、当該擬似ディスクと前記導光系との間に結像レンズを配置した状態で前記レーザ光源からレーザ光を出射して前記擬似ディスクにスポットを形成するとともに、前記擬似ディスクからの戻り光の前記受光素子での検出結果に基づいて、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、前記調整工程を行う際、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズよりも焦点の長いレンズを前記結像レンズとして配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１において、前記調整工程を行う際、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズを前記結像レンズとして配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３において、前記調整工程を行う際、前記光記録ディスクにおいて記録層表面に形成されている透明保護層の厚さに相当する厚さの透光板を前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
【請求項５】
請求項３において、前記光ヘッド装置は、前記レーザ光源として、記録層表面に形成されている透明保護層の厚さが厚い第１の光記録ディスクの記録および／または再生を行うための長波長のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、前記第１の光記録ディスクと比較して前記透明保護層の厚さが薄い第２の光記録ディスクの記録および／または再生を行うための短波長のレーザ光を出射する第２のレーザ光源とを備えるとともに、前記対物レンズには、前記第１の光記録ディスクおよび前記第２の光記録ディスクの前記透明保護層の厚さに対応する収差が付されており、
前記調整工程を行う際、前記第１のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第２のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、厚さの異なる透光板を前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
【請求項６】
請求項３において、前記光ヘッド装置は、前記レーザ光源として、記録層表面に形成されている透明保護層の厚さが厚い第１の光記録ディスクの記録および／または再生を行うための長波長のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、前記第１の光記録ディスクと比較して前記透明保護層の厚さが薄い第２の光記録ディスクの記録および／または再生を行うための短波長のレーザ光を出射する第２のレーザ光源とを備えるとともに、前記対物レンズには、前記第１の光記録ディスクおよび前記第２の光記録ディスクの前記透明保護層の厚さに対応する収差が付されており、
前記調整工程を行う際、複数枚の透光板を準備しておき、前記第１のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第２のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に異なる枚数の前記透光板を配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
【請求項７】
請求項３において、前記光ヘッド装置は、前記レーザ光源として、記録層表面に形成されている透明保護層の厚さが厚い第１の光記録ディスクの記録および／または再生を行うための長波長のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、前記第１の光記録ディスクと比較して前記透明保護層の厚さが薄い第２の光記録ディスクの記録および／または再生を行うための短波長のレーザ光を出射する第２のレーザ光源とを備えるとともに、前記対物レンズには、前記第１の光記録ディスクおよび前記第２の光記録ディスクの前記透明保護層の厚さに対応する収差が付されており、
前記調整工程を行う際、領域によって厚さの異なる透光板を準備しておき、前記第１のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第２のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に位置する前記透光板の領域を相違させることを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかにおいて、前記擬似ディスクとして、レーザ光を部分透過するハーフミラーを用いるとともに、前記擬似ディスクに形成されるスポットを当該擬似ディスクの背面側から観察する擬似ディスク観察装置を配置し、
該擬似ディスク観察装置での観察結果に基づいて、前記擬似ディスクと前記結像レンズとの相対位置を調整することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
【請求項９】
レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、前記レーザ光源からの出射光をコリメート光として前記対物レンズに導くコリメートレンズを含み、前記対物レンズを経てくる前記光記録ディスクからの戻り光を前記受光素子に導く導光系とを有する光ヘッド装置の製造工程のうち、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整する調整工程で用いられる光ヘッド装置製造装置であって、
前記光記録ディスクに相当する位置で前記レーザ光源から出射されたレーザ光のスポットが形成されるミラーからなる擬似ディスクを有し、
前記擬似ディスクからの戻り光が前記受光素子で検出されることを特徴とする光ヘッド装置製造装置。
【請求項１０】
請求項９において、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズよりも焦点の長いレンズを前記結像レンズとして配置されることを特徴とする光ヘッド装置製造装置。
【請求項１１】
請求項９において、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズが前記結像レンズとして配置されることを特徴とする光ヘッド装置製造装置。
【請求項１２】
請求項９ないし１１のいずれかにおいて、前記擬似ディスクとして、レーザ光を部分透過するハーフミラーが用いられ、前記擬似ディスクに形成されるスポットを当該擬似ディスクの背面側から観察する擬似ディスク観察装置を有することを光ヘッド装置製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ヘッド装置の製造方法およびその製造装置に関するものである。さらに詳しくは、光ヘッド装置で用いるレーザ光源と受光素子の相対位置調整技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ヘッド装置は、一般に、レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、レーザ光源からの出射光を対物レンズに導くとともに、対物レンズを経てくる光記録ディスクからの戻り光を受光素子に導く導光系とを有している。ここで、導光系には、コリメートレンズが含まれており、レーザ光源からの出射光は、コリメート光として対物レンズに導かれる。
【０００３】
このような構成の光ヘッド装置を製造するにあたっては、レーザ光源と受光素子との相対位置を調整する必要があり、そのための調整工程では、従来、完成品としての光ヘッド装置と同様、レーザ光源からレーザ光を出射して、回転している光記録ディスクの記録面上にスポットを形成するとともに、光記録ディスクからの戻り光を受光素子で検出し、その検出結果に基づいて、レーザ光源と受光素子との相対位置を調整している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のように、光記録ディスクを回転させて光ヘッド装置を実動状態にしてレーザ光源と受光素子との相対位置を調整する方法では、光記録ディスクの駆動装置、光ディスクのチルト（傾き）調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路を光ヘッド装置の機種毎に準備する必要があり、多大な設備投資を必要とする。また、サーボ回路については、光ヘッド装置の機種を変更する度に多大な手間をかけてチューニングする必要がある。しかも、テストに用いる光記録ディスクについては、傷や埃が付着することを常に防止するための管理が必要であり、光記録ディスクが損傷すると、調整の信頼性が低下するという問題点がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、レーザ光源と受光素子との相対位置を調整するのに、大掛かりな設備や多大な手間を必要とせず、かつ、常に信頼性の高い調整を行うことのできる光ヘッド装置の製造方法およびその製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では、レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、前記レーザ光源からの出射光をコリメート光として前記対物レンズに導くコリメートレンズを含み、前記対物レンズを経てくる前記光記録ディスクからの戻り光を前記受光素子に導く導光系とを有する光ヘッド装置の製造方法において、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整する調整工程では、前記光記録ディスクに相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置するとともに、当該擬似ディスクと前記導光系との間に結像レンズを配置した状態で前記レーザ光源からレーザ光を出射して前記擬似ディスクにスポットを形成するとともに、前記擬似ディスクからの戻り光の前記受光素子での検出結果に基づいて、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整することを特徴とする。
【０００７】
本発明では、レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、前記レーザ光源からの出射光をコリメート光として前記対物レンズに導くコリメートレンズを含み、前記対物レンズを経てくる前記光記録ディスクからの戻り光を前記受光素子に導く導光系とを有する光ヘッド装置の製造工程のうち、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整する調整工程で用いられる光ヘッド装置製造装置であって、前記光記録ディスクに相当する位置で前記レーザ光源から出射されたレーザ光のスポットが形成されるミラーからなる擬似ディスクを有し、前記擬似ディスクからの戻り光が前記受光素子で検出されることを特徴とする。
【０００８】
本発明では、実際の光記録ディスクを用いず、光記録ディスクに相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置し、擬似ディスクからの戻り光の受光素子での検出結果に基づいて、レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整するため、かかる調整工程を行う際には、光記録ディスクの駆動装置、光ディスクのチルト調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路が不要である。従って、光ヘッド装置の機種が変更した場合でも、多大な手間をかけてサーボ回路をチューニングする必要もない。しかも、傷や埃が付着しやすい光記録ディスクを調整工程で使用する必要がないので、常に信頼性の高い調整を行うことができる。
【０００９】
本発明において、前記調整工程を行う際、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズよりも焦点の長いレンズを前記結像レンズとして配置することが好ましい。
【００１０】
本発明において、前記調整工程を行う際、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズを前記結像レンズとして配置することが好ましい。
【００１１】
この場合、前記調整工程を行う際、前記光記録ディスクにおいて記録層表面に形成されている透明保護層の厚さに相当する厚さの透光板を前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に配置することが好ましい。
【００１２】
ここで、前記光ヘッド装置は、前記レーザ光源として、記録層表面に形成されている透明保護層の厚さが厚い第１の光記録ディスクの記録および／または再生を行うための長波長のレーザ光を出射する第１のレーザ光源と、前記第１の光記録ディスクと比較して前記透明保護層の厚さが薄い第２の光記録ディスクの記録および／または再生を行うための短波長のレーザ光を出射する第２のレーザ光源とを備える場合、前記対物レンズには、前記第１の光記録ディスクおよび前記第２の光記録ディスクの前記透明保護層の厚さに対応する収差が付されている。
【００１３】
従って、前記調整工程を行う際、前記第１のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第２のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、厚さの異なる透光板を前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に配置することが好ましい。あるいは、前記調整工程を行う際、複数枚の透光板を準備しておき、前記第１のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第２のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に異なる枚数の前記透光板を配置してもよい。あるいは、前記調整工程を行う際、領域によって厚さの異なる透光板を準備しておき、前記第１のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第２のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に位置する前記透光板の領域を相違させてもよい。
【００１４】
本発明において、前記擬似ディスクとして、レーザ光を部分透過するハーフミラーが用いられ、前記擬似ディスクに形成されるスポットを当該擬似ディスクの背面側から観察する擬似ディスク観察装置を有することが好ましい。すなわち、前記擬似ディスクとして、レーザ光を部分透過するハーフミラーを用いるとともに、前記擬似ディスクに形成されるスポットを当該擬似ディスクの背面側から観察する擬似ディスク観察装置を配置し、該擬似ディスク観察装置での観察結果に基づいて、前記擬似ディスクと前記結像レンズとの相対位置を調整することが好ましい。
【００１５】
なお、本発明では、収差を考慮して、擬似ディスクをレーザ光の合焦位置からずらした状態で調整工程を行ってもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、光記録ディスクに相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置し、擬似ディスクからの戻り光の受光素子での検出結果に基づいて、レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整するため、かかる調整工程を行う際には、光記録ディスクの駆動装置、光ディスクのチルト（傾き）調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路が不要である。従って、光ヘッド装置の機種が変更した場合でも、多大な手間をかけてサーボ回路をチューニングする必要もない。しかも、傷や埃が付着しやすい光記録ディスクを調整工程で使用する必要がないので、常に信頼性の高い調整を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
［光ヘッド装置の概略構成］
図１は、光ヘッド装置の光学系の要部を示す説明図である。図１において、本形態の光ヘッド装置１は、ＣＤ、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤなど、基板厚さや記録密度が異なる複数種類の光記録ディスク４に対して情報の再生、記録を行うものである。そのために、光ヘッド装置１は、ＣＤなどの第１の光記録ディスクの記録再生に用いる中心波長が７８５ｎｍの第１のレーザＬ１を出射する第１のレーザ光源１１と、ＤＶＤなどの第２の光記録ディスクの記録再生に用いる波長が６５５ｎｍの第２のレーザＬ２を出射する第２のレーザ光源１２とを備えている。各レーザ光Ｌ１、Ｌ２は共通の導光系Ｌｏを介して共通の対物レンズ３に導かれ、対物レンズ３によって、光記録ディスク４に集光すると共に、光記録ディスク４で反射された各レーザ光束の戻り光は、対物レンズ３および導光系Ｌｏを経て共通の受光素子２５に導かれる。このように構成した光ヘッド装置１において、各光学素子は、共通の装置フレーム（図示せず）に搭載されている。なお、対物レンズ３は、対物レンズ駆動装置（図示せず）を介して装置フレームに搭載されている。
【００１９】
導光系Ｌｏには、第１のレーザＬ１を直進させ、第２のレーザＬ２を反射させて双方の光を共にシステム光軸Ｌ（対物レンズの光軸）に一致させる第１のビームスプリッタ２１と、システム光軸Ｌに沿って進むレーザＬ１、Ｌ２を通過させる第２のビームスプリッタ２２と、この第２のビームスプリッタ２２を通過したレーザ光Ｌ１、Ｌ２を平行光化するコリメートレンズ２３とが含まれている。なお、対物レンズ３の前段にはアパーチャ２６が配置されている。
【００２０】
このような導光系Ｌｏによって、各レーザ光束Ｌ１、Ｌ２は、対物レンズ３に導かれる。そして、対物レンズ３によって、第１の光記録ディスク４としてのＣＤ４１の記録面４１ａに対して第１のレーザ光Ｌ１のビームスポットが形成され、第２の光記録ディスク４としてのＤＶＤ４２の記録面４２ａに対して第２のレーザ光Ｌ２のビームスポットがＤＶＤ４２の記録面上に形成される。
【００２１】
また、光記録ディスク４（ＣＤ４１、ＤＶＤ４２）に集光された第１および第２のレーザ光Ｌ１、Ｌ２はそれぞれ、光記録ディスク４で反射された後、共通の集光光学系Ｌｏを戻り光として逆に辿り、第２のビームスプリッタ２２において反射されて受光素子２５に集光する。そして、受光素子２５で検出された信号により光記録ディスク４（ＣＤ４１、ＤＶＤ４２）の情報再生等が行われる。なお、受光素子２５と第２のビームスプリッタ２２との間にはセンサーレンズ２７が配置されている。また、第１のビームスプリッタ２１と第１のレーザ光源１１との間にはグレーティング２８が配置され、第１のビームスプリッタ２１と第２のレーザ光源１２との間にはグレーティング２９が配置されている。
【００２２】
本形態の光ヘッド装置１において、対物レンズ３は、第１のレーザ光源１１および第２のレーザ光源１２から出射されたレーザ光Ｌ１、Ｌ２が入射する正のパワーを備えた入射側屈折面と、光記録ディスク４に向けてレーザ光束を出射する出射側屈折面を備えた凸レンズである。対物レンズ３においては、例えば、入射側屈折面は、光軸Ｌを中心にして同心円状に光軸Ｌを含む円形の中心側屈折面領域と、この中心側屈折面領域の外周を環状に囲んでいる外周側屈折面領域とに二分割されており、中心側屈折面領域と外周側屈折面領域との境界部分は、ＮＡ＝０．４５〜０．５５に相当する位置である。また、中心側屈折面領域の全域に亘っては、同心円状の複数の微細な段差によって中心側回折格子が形成されており、この中心側回折格子は、当該領域を通過する第１のレーザ光Ｌ１の回折光束のビームスポットをＣＤ４１の記録面上に形成する回折特性を備えているとともに、当該領域を通過する第２のレーザ光Ｌ２の回折光束のビームスポットをＤＶＤ４２の記録面上に形成する回折特性を備えている。これに対して、対物レンズ３の外周側屈折面領域は、第２のレーザ光Ｌ２における当該領域を通る光束部分のビームスポットをＤＶＤ４２の記録面上に形成する屈折力を有している。
【００２３】
［光ヘッド装置１の製造方法］
このように構成した光ヘッド装置１を製造するにあたって、本形態では、まず、装置フレーム上に導光系Ｌｏを搭載した後、第２のレーザ光源１２を搭載し、次に、第１の位置調整工程において、第２のレーザ光源１２を基準にセンサーレンズ２７および受光素子２５の位置調整を行った後、第２の位置調整工程において、第２のレーザ光源１２を基準に第１のレーザ光源１１の位置調整を行う。そこで、以下に、第１の位置調整工程でのセンサーレンズ２７および受光素子２６の位置調整方法、およびそれに用いる第１の位置調整装置（光ヘッド装置製造装置）を説明した後、第２の位置調整工程での第２のレーザ光源１２の位置調整方法、およびそれに用いる第２の位置調整装置（光ヘッド装置製造装置）を説明する。なお、以下の説明においては、レーザ光の光軸Ｌに沿う方向をＺ方向とし、このＺ方向に対して垂直な２方向をＸＹ方向としてある。
【００２４】
（第１の位置調整装置および第１の位置調整工程）
図２および図３はそれぞれ、本発明を適用した第１の位置調整装置（光ヘッド装置製造装置）の構成を示す説明図、およびその要部を示す説明図である。図４は、図２に示す第１の位置調整装置で位置調整作業を行う際の製造途中品の様子を示す説明図である。
【００２５】
図２において、本形態の第１の位置調整装置１００は、装置フレーム上に導光系Ｌｏおよび第２のレーザ光源１２を搭載した製造途中品１′を設置するための試料台１１０と、第２のレーザ光源１２を駆動するための電源１９０と、受光素子２５からの出力信号を処理するための信号処理回路１８０と、製造途中品１′に向けて配置された低倍率撮像装置１２０、高倍率撮像装置１３０、および擬似ディスク撮像装置１４０と、これらから得られたデータを画像処理する画像処理装置１５０とを有している。
【００２６】
まず、低倍率撮像装置１２０は、コリメート光源１２１およびアパーチャ１２２を備えたレーザオートコリメータであって、コリメート光源１２１から出射されたレーザ光を基準に約±２°の光線角度で平行度を計測して試料台１１０の向きなどを調整するのに用いられる。また、低倍率撮像装置１２０は、フィルタ１２３、レンズ１２４、および撮像素子１２５を備えており、各光路を構成するミラーやハーフミラーなどの偏向素子１２６も備えている。なお、低倍率撮像装置１２０に対しては、コリメート光源１２１を駆動するための電源１２８が設けられている。
【００２７】
高倍率撮像装置１３０は、フィルタ１３１、結像レンズ１３２、モニタ用受光素子１３３、および撮像素子１３４を備えており、略コリメート光の角度や平行度を確認するためのコリメータである。なお、高倍率撮像装置１３０は、ハーフミラーからなる偏向素子１３６も備えている。
【００２８】
図２および図３に示すように、擬似ディスク撮像装置１４０（擬似ディスク観察装置）は、ビームスプリッタ１４１、アパーチャ１４９を備えた結像レンズ１４２、擬似ディスク１４３、顕微鏡対物レンズ１４４、フィルタ１４５、顕微鏡結像レンズ１４６、および撮像素子１４７を備えている。ここで、擬似ディスク１４３は、レーザ光を部分透過可能なハーフミラーから構成されている。結像レンズ１４２としては、後述するように、光ヘッド装置１の対物レンズ３を用いることができるが、本形態では、対物レンズ３より焦点距離の長いレンズが用いられている。
【００２９】
このように構成した第１の位置調整装置１００において、撮像装置１２０、１３０、１５０での撮像結果は、画像処理装置１５０に出力されるようになっており、画像処理装置１５０は、ＲＯＭなどに格納された所定のプログラムに基づいてデータ処理などの動作を行うデータ処理装置１５９と、このデータ処理装置１５９での処理結果などを表示する表示装置１５５とを備えている。ここで、表示装置１５５は、４つの表示領域１５１、１５２、１５３、１５４を備えており、第１の表示領域１５１では、高倍率撮像装置１３０で得られた高倍率画像などが表示され、第２の表示領域１５２では、低倍率撮像装置１２０で得られた低倍率画像などが表示され、第３の表示領域１５３では、信号処理回路１８０での信号処理結果（ＰＤＩＣ信号）が表示され、第４の表示領域１５４では、擬似ディスク撮像装置１４０で得られた画像などが表示される。なお、画像処理装置１５０は、撮像装置１２０、１３０、１５０に対するカメラ電源１６１、１６２、１６３も備えている。
【００３０】
このように構成した第１の位置調整装置１００を用いて、第２のレーザ光源１２と、センサーレンズ２７および受光素子２５との相対位置を調整するにあたって、本形態では、まず、図４に示すように、装置フレーム上に導光系Ｌｏおよび第２のレーザ光源１２を搭載した製造途中品１′を試料台１１０に設置するとともに、低倍率撮像装置１２０のコリメート光源１２１から出射されたコリメート光を基準に試料台１１０の向きなどを調整する。この時点では、センサーレンズ１２７および受光素子２５を所定の治具に保持されているだけであり、装置フレーム上に固定されていない。
【００３１】
次に、第２のレーザ光源１２を点灯させると、第２のレーザ光源１２から出射された光は、導光系Ｌｏを介して擬似ディスク撮像装置１４０の擬似ディスク１４３に向けて出射される。この時点では、対物レンズ３が搭載されていないため、製造途中品１′から出射される光は、コリメートレンズ２３から出射された略コリメート光であるが、このコリメート光は、結像レンズ１４２によって擬似ディスク１４３に収束する。なお、コリメートレンズ２３から出射される略コリメート光は、その角度や平行度が高倍率撮像装置１３０によって観察され、その観察結果に基づいて、第２のレーザ光源１２の位置などが調整される。
【００３２】
次に、擬似ディスク撮像装置１４０では、撮像素子１４７が、擬似ディスク１４３に形成されたスポットを擬似ディスク１４３の背面側から撮像し、その撮像結果は、表示装置１５５の第４の表示領域１５４に表示される。そこで、本形態では、第４の表示領域１５４で表示された画像をみながら、結像レンズ１４２と擬似ディスク１４３との相対位置を調整し、コリメートレンズ２３から出射されたコリメート光を擬似ディスク１４３上で合焦させる。
【００３３】
このようにして、第２のレーザ光源１２と擬似ディスク１４３とを共役状態に配置すると、光記録ディスク４に相当する位置に擬似ディスク１４３が位置することになり、この状態は、光ヘッド装置１で光記録ディスク４の記録や再生を行う状態と同様である。従って、擬似ディスク１４３からの戻り光は、受光素子２５に収束しながら導かれる。
【００３４】
それ故、受光素子２５の位置（Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向）を調整して受光素子２５での検出信号が所定の条件（光軸からのずれを表す信号Ｐｘ、Ｐｙ、および光軸方向のずれを表す信号ＥＦのいずれもが０）となるように、センサーレンズ２７および受光素子２５の位置を調整すると、光軸方向において、第２のレーザ光源１２、擬似ディスク１４３、および受光素子２５が共役状態に配置されたことになり、この状態は、光ヘッド装置１が完成した状態と同様である。従って、かかる調整を行った後、センサーレンズ２７および受光素子２５を装置フレームに接着固定する。
【００３５】
以上説明したように、本形態では、第２のレーザ光源１２を基準に受光素子２５の位置を調整する場合でも、実際の光記録ディスク４を用いず、光記録ディスク４に相当する位置にミラーからなる擬似ディスク１４３を配置し、擬似ディスク１４３からの戻り光の受光素子２５での検出結果に基づいて、第２のレーザ光源１２と受光素子２５との相対位置を調整する。このため、かかる調整工程を行う際には、光記録ディスク４の駆動装置、光記録ディスク４のチルト調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路が不要である。それ故、光ヘッド装置１の機種が変更した場合でも、多大な手間をかけてサーボ回路をチューニングする必要もない。しかも、傷や埃が付着しやすい光記録ディスク４を調整工程で使用する必要がないので、常に信頼性の高い調整を行うことができる。
【００３６】
また、本形態では、結像レンズ１４２としては、光ヘッド装置１の対物レンズ３を用いることができるが、本形態では、焦点距離の長いレンズが用いられているため、ＮＡが小さい状態で光束を扱える。それ故、擬似ディスク１４３や他の光学素子の収差の影響を受けにくい。また、スポットの焦点深度が深いので、焦点の調整精度を落とすことができるので、収差位相差板が不要である。また、第２のレーザ光源１２の調整を行う場合も第１のレーザ光源１１の調整を行う場合も同様な構成で対応できるという利点がある。
【００３７】
（第２の位置調整装置および第２の位置調整工程）
図５は、本発明を適用した第２の位置調整装置の構成を示す説明図である。図６は、図５に示す第２の位置調整装置で位置調整作業を行う際の製造途中品の様子を示す説明図である。
【００３８】
図５において、本形態の第２の位置調整装置２００は、図２を参照して説明した第１の位置調整装置１００に部品を追加して、あるいは全く別体の装置として構成されるが、その基本的な構成は、第１の位置調整装置１００と同様である。すなわち、第２の位置調整装置２００は、装置フレーム上に導光系Ｌｏ、第２のレーザ光源１２および第１のレーザ光源１１を搭載した製造途中品１″を設置するための試料台２１０と、第１のレーザ光源１１を駆動するための電源２９１と、第２のレーザ光源１２を駆動するための電源２９２と、受光素子２５からの出力信号を処理するための信号処理回路２８０と、製造途中品１″に向けて配置された低倍率撮像装置２２０、高倍率撮像装置２３０、パワー分布撮像装置２７０および擬似ディスク撮像装置２４０と、これらから得られたデータを画像処理する画像処理装置２５０とを有している。なお、試料台２１０上にはアパーチャ２１２が配置されている。
【００３９】
低倍率撮像装置２２０は、コリメート光源２２１およびアパーチャ２２２を備えたレーザオートコリメータであって、コリメート光源２２１から出射されたレーザ光を基準に約±２°の光線角度で平行度を計測して試料台２１０の向きなどを調整するのに用いられる。また、低倍率撮像装置２２０は、フィルタ２２３、レンズ２２４、および撮像素子２２５を備えており、各光路を構成するミラーやハーフミラーなどの偏向素子２２６も備えている。なお、低倍率撮像装置２２０に対しては、コリメート光源２２１を駆動するための電源２２８が設けられている。
【００４０】
高倍率撮像装置２３０は、フィルタ２３１、結像レンズ２３２、モニタ用受光素子２３３、および撮像素子２３４を備えており、略コリメート光の角度や平行度を確認するためのコリメータである。なお、高倍率撮像装置２３０は、ハーフミラーからなる偏向素子２３６も備えている。
【００４１】
パワー分布撮像装置２７０は、ビームスプリッタ２７１、モニタ用受光素子２７２、フィルタ２７３、結像レンズ２７４、エクステンションチューブ２７５、および撮像素子２７６を備えている。なお、パワー分布撮像装置２７０は、ハーフミラーからなる偏向素子２７７も備えている。
【００４２】
擬似ディスク撮像装置２４０は、ビームスプリッタ２４１、アパーチャ（図３参照）を備えた結像レンズ２４２、擬似ディスク２４３、顕微鏡対物レンズ２４４、フィルタ２４５、顕微鏡結像レンズ２４６、および撮像素子２４７を備えている。ここで、擬似ディスク２４３は、レーザ光を部分透過可能なハーフミラーから構成されている。結像レンズ２４２としては、後述するように、光ヘッド装置１の対物レンズ３を用いることができるが、本形態では、対物レンズ３より焦点距離の長いレンズが用いられている。
【００４３】
このように構成した第２の位置調整装置２００において、撮像装置２２０、２３０、２５０、２７０での撮像結果は、画像処理装置２５０に出力されるようになっており、画像処理装置２５０は、ＲＯＭなどに格納された所定のプログラムに基づいてデータ処理などの動作を行うデータ処理装置２５９と、このデータ処理装置２５９での処理結果などを表示する表示装置２５５とを備えている。ここで、表示装置２５５は、４つの表示領域２５１、２５２、２５３、２５４を備えており、第１の表示領域２５１では、高倍率撮像装置２３０で得られた高倍率画像などが表示され、第２の表示領域２５２では、低倍率撮像装置２２０で得られた低倍率画像などが表示され、第３の表示領域２５３では、信号処理回路２８０での信号処理結果（ＰＤＩＣ信号）が表示され、第４の表示領域２５４では、擬似ディスク撮像装置２４０で得られた画像などが表示される。なお、画像処理装置１５０は、撮像装置２２０、２３０、２５０、２７０に対するカメラ電源２６１、２６２、２６３、２６４も備えている。
【００４４】
このように構成した第２の位置調整装置２００を用いて、第１のレーザ光源１１と受光素子２５との相対位置を調整するにあたって、本形態では、図６に示すように、装置フレーム上に導光系Ｌｏ、第１のレーザ光源１１、および第２のレーザ光源１２を搭載した製造途中品１″を試料台２１０に設置するとともに、低倍率撮像装置２２０のコリメート光源２２１から出射されたコリメート光を基準に試料台２１０の向きなどを調整する。この時点では、第２のレーザ光源１２、センサーレンズ２２７および受光素子１２などは装置フレーム上に固定されているが、第１のレーザ光源１１は、治具などに保持されているだけであり、装置フレーム上に固定されていない。
【００４５】
次に、第１のレーザ光源１１を点灯させると、第１のレーザ光源１１から出射された光は、導光系Ｌｏを介して擬似ディスク撮像装置２４０の擬似ディスク２４３に向けて出射される。この時点では、対物レンズ３が搭載されていないため、製造途中品１″から出射される光は、コリメートレンズ２３から出射された略コリメート光であるが、このコリメート光は、結像レンズ２４２によって擬似ディスク２４３に収束する。
【００４６】
次に、擬似ディスク撮像装置２４０では、撮像素子２４７が、擬似ディスク２４３に形成されたスポットを擬似ディスク２４３の背面側から撮像し、その撮像結果は、表示装置２５５の第４の表示領域２５４に表示される。そこで、本形態では、第４の表示領域２５４で表示された画像をみながら、結像レンズ２４２と擬似ディスク２４３との相対位置を調整し、コリメートレンズ２３から出射されたコリメート光を擬似ディスク２４３上で合焦させる。その際、第１のレーザ光源１１については、パワー分布を調整する必要があるので、アパーチャ２１２を介して出射された光束を高倍率撮像装置２３０、低倍率撮像装置２２０およびパワー分布撮像装置２７０で撮像し、その撮像結果（スポットやパワー分布）を第２の表示領域２５２および第３の表示領域２５３に表示しながら、高倍率撮像装置２３０で撮像した第１の表示領域２５１の画像内にスポットが出現するようにパワー分布を調整する。
【００４７】
このようにして、第１のレーザ光源１１と擬似ディスク１４３とを共役状態に配置すると、光記録ディスク４に相当する位置に擬似ディスク２４３が位置することになり、この状態は、光ヘッド装置１で光記録ディスク４の記録や再生を行う状態と同様である。従って、擬似ディスク２４３からの戻り光は、受光素子２５に収束しながら導かれる。
【００４８】
それ故、受光素子２５での検出信号が所定の条件となるように、第１のレーザ光源１１の位置（Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、Ｘ方向における傾き角θxやＹ方向の傾き角θy）を調整すると、光軸方向において、第１のレーザ光源１１、第２のレーザ光源１２、擬似ディスク１４３、および受光素子２５が共役状態に配置されたことになり、この状態は、光ヘッド装置１が完成した状態と同様である。従って、かかる調整を行った後、第１のレーザ光源１１を装置フレームに接着固定する。
【００４９】
以上説明したように、本形態では、受光素子２５を基準に第１のレーザ光源１１の位置を調整する場合でも、実際の光記録ディスク実際の光記録ディスク４を用いず、光記録ディスク４に相当する位置にミラーからなる擬似ディスク２４３を配置し、擬似ディスク２４３からの戻り光の受光素子２５での検出結果に基づいて、第１のレーザ光源１１と受光素子２５との相対位置を調整する。このため、かかる調整工程を行う際には、光記録ディスク４の駆動装置、光記録ディスク４のチルト調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路が不要である。それ故、光ヘッド装置１の機種が変更した場合でも、多大な手間をかけてサーボ回路をチューニングする必要もない。しかも、傷や埃が付着しやすい光記録ディスク４を調整工程で使用する必要がないので、常に信頼性の高い調整を行うことができる。
【００５０】
また、本形態では、結像レンズ２４２としては、光ヘッド装置１の対物レンズ３を用いることができるが、本形態では、焦点距離の長いレンズが用いられているため、ＮＡが小さい状態で光束を扱える。それ故、擬似ディスク１４３や他の光学素子の収差の影響が受けにくい。また、スポットの焦点深度が深いので、焦点の調整精度を落とすことができるので、収差位相差板が不要である。また、第２のレーザ光源１２の調整を行う場合も第１のレーザ光源１１の調整を行う場合も同様な構成で対応できるという利点がある。
【００５１】
（位置調整装置および位置調整工程の変形例）
上記形態では、調整工程を行う際、擬似ディスク１４３と製造途中品１′、１″の導光系Ｌｏとの間には、対物レンズ３よりも焦点の長いレンズを結像レンズ１４２、２４２として配置したが、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、擬似ディスク１４３、２４３と製造途中品１′、１″の導光系Ｌｏとの間に対物レンズ３を結像レンズとして配置してもよい。このように、擬似ディスク１４３、２４３に対する結像レンズ１４２、２４２として対物レンズ３を用いると、実動作に近い状況で、第１のレーザ光源１１と受光素子２５との相対位置、および第２のレーザ光源１２と受光素子２５との相対位置を調整できる。
【００５２】
但し、対物レンズ３は、焦点が短く、かつ、ＣＤ４１とＤＶＤ４２との間で共用されているため、光記録ディスク４の透明保護層の厚さに相当する収差が付与されている。従って、対物レンズ３を擬似ディスク１４３、２４３に対する結像レンズとして用いる場合には、第２のレーザ光源１２と受光素子２５との相対位置の調整を行うときには、ＤＶＤ４２の透明保護層に対応する厚さの透光板を収差補正板５０として配置することが好ましい。また、第２のレーザ光源４２と受光素子２５との相対位置の調整を行うときと、第１のレーザ光源４１と受光素子２５との相対位置の調整を行うときとでは、厚さの異なる透光板（収差補正板５０）を対物レンズ３（結像レンズ）と擬似ディスク１４３、２４３との間に配置する。
【００５３】
また、調整工程を行う際、複数枚の透光板を準備しておき、第１のレーザ光源４１と受光素子２５との相対位置の調整を行うときと、第２のレーザ光源４２と受光素子２５との相対位置の調整を行うときとでは、対物レンズ３（結像レンズ）と擬似ディスク１４３、２４３との間に異なる枚数の透光板を配置し、それを収差補正板５０として配置してもよい。
【００５４】
さらには、領域によって厚さの異なる透光板（収差補正板５０）を準備しておき、第１のレーザ光源４１と受光素子２５との相対位置の調整を行うときと、第２のレーザ光源４２と受光素子２５との相対位置の調整を行うときとでは、対物レンズ３（結像レンズ）と擬似ディスク１４３との間に位置する透光板（収差補正板５０）の領域を相違させてもよい。
【００５５】
なお、上記形態では、擬似ディスクをレーザ光の合焦位置に配置したが、収差を考慮して、擬似ディスクをレーザ光の合焦位置からずらした状態で調整工程を行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】光ヘッド装置の要部を示す説明図である。
【図２】本発明を適用した第１の位置調整装置（光ヘッド装置製造装置）の構成を示す説明図である。
【図３】本発明を適用した第１の位置調整装置（光ヘッド装置製造装置）の要部を示す説明図である。
【図４】本発明を適用した第１の位置調整装置で位置調整作業を行う際の製造途中品の様子を示す説明図である。
【図５】本発明を適用した第２の位置調整装置（光ヘッド装置製造装置）の構成を示す説明図である。
【図６】本発明を適用した第２の位置調整装置で位置調整作業を行う際の製造途中品の様子を示す説明図である。
【図７】本発明を適用した別の位置調整装置の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  光ヘッド装置
１′、１″  製造途中品
３  対物レンズ
４  光記録ディスク
１１  第１のレーザ光源
１２  第２のレーザ光源１２
２５  受光素子
５０  収差補正板
１００  第１の位置調整装置（光ヘッド装置製造装置）
１２０、２２０  低倍率撮像装置
１３０、２３０  高倍率撮像装置
１４０、２４０  擬似ディスク撮像装置（擬似ディスク観察装置）
１４２、２４２  結像レンズ
１４３、２４３  擬似ディスク
２００  第２の位置調整装置（光ヘッド装置製造装置）
２７０  パワー分布撮像装置
Ｌｏ  導光系
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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