(57)【要約】【課題】  同一試料上の異なる場所のマーキングを容易に識別可能とする。【解決手段】  二次電子像を観察する電子顕微鏡で試料を観察する前に該試料を光学顕微鏡で観察し前記電子顕微鏡で観察対象とする箇所の近傍にマーキングを施すマーキングにおいて、第１元素（例えば炭素）を混入した第１インク１９ａと、第１元素と異なる二次電子像が得られる第２元素（例えばタングステン）を混入した第２インク１９ｂとを用意し、少なくとも２箇所にマーキングを施す場合には、一方に第１インク１９ａを用いてニードル１１ａから試料上にマーキングを施し、他方に第２インク１９ｂを用いてニードル１１ｂから試料上にマーキングを施す。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
二次電子像を観察する電子顕微鏡で試料を観察する前に該試料を光学顕微鏡で観察し前記電子顕微鏡で観察対象とする箇所の近傍にマーキングを施すマーキング方法において、第１元素を混入した第１インクと、該第１元素と異なる二次電子像が得られる第２元素を混入した第２インクとを用意し、少なくとも２箇所にマーキングを施す場合には、一方に第１インクを用いてマーキングを施し他方に第２インクを用いてマーキングを施すことを特徴とするマーキング方法。
【請求項２】
前記第１元素が軽元素であり、前記第２元素が重元素であることを特徴とする請求項１に記載のマーキング方法。
【請求項３】
前記軽元素が炭素であり、前記重元素がタングステンであることを特徴とする請求項２に記載のマーキング方法。
【請求項４】
二次電子像を観察する電子顕微鏡で試料を観察する前に該試料を光学顕微鏡で観察し前記電子顕微鏡で観察対象とする箇所の近傍にマーキングを施すマーキング装置において、第１元素を混入した第１インクを収納する第１容器と、該第１元素と異なる二次電子像が得られる第２元素を混入した第２インクを収納する第２容器と、前記第１容器内の前記第１インクを試料上に滴下する第１滴下手段と、前記第２容器内の前記第２インクを試料上に滴下する第２滴下手段とを備えることを特徴とするマーキング装置。
【請求項５】
前記第１元素が軽元素であり、前記第２元素が重元素であることを特徴とする請求項４に記載のマーキング装置。
【請求項６】
前記軽元素が炭素であり、前記重元素がタングステンであることを特徴とする請求項５に記載のマーキング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡で標本（試料）を観察する前に光学顕微鏡で標本を観察しながら観察個所にマーキングを施すマーキング方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のマーキング装置として、下記特許文献１記載のものがある。この従来のマーキング装置は、試料を載置したスライドガラスの下側にインクを出すニードル等のマーキング部材を配置し、スライドガラスの裏面にインクによってマーキングを施す様になっている。また同様に、下記特許文献２は、マーキング部材を試料の上側に配置したマーキング装置を紹介している。
【０００３】
特許文献１に記載のマーキング装置は、光学顕微鏡で試料を観察することだけを目的としているため、スライドガラスの裏面にマーキングを施せば目的を達する。しかし、試料を電子顕微鏡（透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）や走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ））で観察したり、収束イオンビーム加工観察装置（ＦＩＢ）の電子顕微鏡機能で観察することを目的とした場合、電子顕微鏡は倍率が大きいため、観察対象箇所を探し出すのが困難である。
【０００４】
例えば、固体撮像素子等の半導体素子に異常が発生した場合、異常の原因を特定するために固体撮像素子を走査型電子顕微鏡等で観察する必要が生じる。このとき、倍率の大きい電子顕微鏡で固体撮像素子の表面全てを観察すると時間がかかるため、予め倍率の低い光学顕微鏡を用いて異常原因箇所と思われる箇所を特定してマーキングしておき、電子顕微鏡で固体撮像素子を観察するときマーキング箇所を探して詳細に観察するという方法が採られる。
【０００５】
この様な目的でマーキングを施す装置として、レーザビームを用い半導体素子表面の該当個所に直接マーキングを施すものがある。しかし、このレーザマーキング装置を使用すると、マーキング箇所から溶けた半導体粒子が飛散し、観察対象である半導体素子を汚してしまう。この汚れを、マーキング前に付いていた異常原因の汚れなのか、マーキング後に付いた汚れなのかを判断するのは困難である。
【０００６】
【特許文献１】特開平７―３３３５１３号公報
【特許文献２】特開平９―１７９０３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した理由により、電子顕微鏡で試料を観察する前に光学顕微鏡で試料を観察してマーキングを施す場合、試料を汚さずにマーキングを施す必要がある。また、マーキングすべき箇所、すなわち、電子顕微鏡で観察すべき箇所が複数存在したとき、同一のマーキングを施すと、電子顕微鏡で観察したときどの位置に施したマーキングなのかを識別できないという問題もある。
【０００８】
そこで、異なる箇所に異なるマーキングを施すことになるが、電子顕微鏡では、インクの色等は識別できないため、異なるマーキングの識別を容易に行えるようにする必要もある。
【０００９】
本発明の目的は、電子顕微鏡で観察したとき容易にマーキングを識別することができ、また、試料を汚さずにマーキングを施すことができるマーキング方法及びその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のマーキング方法は、二次電子像を観察する電子顕微鏡で試料を観察する前に該試料を光学顕微鏡で観察し前記電子顕微鏡で観察対象とする箇所の近傍にマーキングを施すマーキング方法において、第１元素を混入した第１インクと、該第１元素と異なる二次電子像が得られる第２元素を混入した第２インクとを用意し、少なくとも２箇所にマーキングを施す場合には、一方に第１インクを用いてマーキングを施し他方に第２インクを用いてマーキングを施すことを特徴とする。
【００１１】
本発明のマーキング方法の前記第１元素が軽元素であり、前記第２元素が重元素であることを特徴とする。
【００１２】
本発明のマーキング方法の前記軽元素が炭素であり、前記重元素がタングステンであることを特徴とする。
【００１３】
本発明のマーキング装置は、二次電子像を観察する電子顕微鏡で試料を観察する前に該試料を光学顕微鏡で観察し前記電子顕微鏡で観察対象とする箇所の近傍にマーキングを施すマーキング装置において、第１元素を混入した第１インクを収納する第１容器と、該第１元素と異なる二次電子像が得られる第２元素を混入した第２インクを収納する第２容器と、前記第１容器内の前記第１インクを試料上に滴下する第１滴下手段と、前記第２容器内の前記第２インクを試料上に滴下する第２滴下手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明のマーキング装置の前記第１元素が軽元素であり、前記第２元素が重元素であることを特徴とする。
【００１５】
本発明のマーキング装置の前記軽元素が炭素であり、前記重元素がタングステンであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、二次電子像が異なる見え方をする第１元素を混入した第１インクによるマーキングと第２元素を混入した第２インクによるマーキングとを同一試料上に施すため、電子顕微鏡によって観察される二次電子像によってどちらのマーキングであるかを容易に識別することができる。また、インクを用いたマーキングのため、試料の観察箇所を汚すこともない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係るマーキング装置を装着した光学顕微鏡の側面図であり、図２は要部正面図である。本実施形態のマーキング装置１０は、光学顕微鏡１に着脱自在に装着される。
【００１９】
光学顕微鏡１には、観察対象となる試料、例えば固体撮像素子３を載置するスライド可能なステージ４が設けられると共に、固体撮像素子３の上側には、対物レンズ５や接眼レンズ６が装備された光学レンズ部７が配置される。
【００２０】
マーキング装置１０は、光学レンズ部７を支える架台８に着脱自在に懸架され、後述する異なる種類のインクを夫々固体撮像素子３の異なる観察対象箇所に滴下する複数のニードル１１ａ，１１ｂが設けられている。
【００２１】
図３は、マーキング装置１０の支持部を示す図である。マーキング装置１０の支持部は、光学顕微鏡１の架台８に嵌合される嵌合部１２と、該嵌合部１２から側方に延出される支持腕部１３と、支持腕部１３の先端に取り付けられたインク滴下装置支持部１４とを備えて構成される。インク滴下装置支持部１４は、第１支持部１４ａと、第２支持部１４ｂとを備え、各支持部１４ａ，１４ｂは、上下方向の位置調整可能となっている。
【００２２】
図４は、各支持部１４ａ，１４ｂに夫々支持されるインク滴下装置１５ａ，１５ｂを示す図である。
【００２３】
第１支持部１４ａによって支持されるインク滴下装置１５ａは、インクを収納するインク容器１６ａと、インク容器１６ａに設けられインク容器１６ａ内のインク１９ａに手動で圧力が付与されたとき内部のインク１９ａを所要量押し出すプッシュボタン１７ａと、インク容器１６ａに連設された配管１８ａと、該配管１８ａに連通する上述のニードル１１ａとを備えて構成される。
【００２４】
このインク滴下装置１５ａは、配管１８ａの所要部が第１支持部１４ａによって支持されることで、インク滴下装置１５ａの全体が第１支持１４ａによって支持される。
【００２５】
第２支持部１４ｂによって支持されるインク滴下装置１５ｂもインク滴下装置１４ａと同一構成でなり、インクを収納するインク容器１６ｂと、インク容器１６ｂに設けられインク容器１６ｂ内のインク１９ｂに手動で圧力が付与されたとき内部のインク１９ｂを所要量押し出すプッシュボタン１７ｂと、インク容器１６ｂに連設された配管１８ｂと、該配管１８ｂに連通する上述のニードル１１ｂとを備える。
【００２６】
このインク滴下装置１５ｂは、配管１８ｂの所要部が第２支持部１４ｂによって支持されることで、インク滴下装置１５ｂの全体が第２支持１４ｂによって支持される。
【００２７】
本実施形態では、インク容器１６ａ内に入れるインク１９ａと、インク容器１６ｂ内に入れるインク１９ｂの成分を異ならせていることを特徴とする。インク１９ａは、インク材料に炭素（Ｃ）等の軽元素を混入した結着材を混合して製造し、インク１９ｂには、インク材料にタングステン（Ｗ）等の重金属元素を混入した結着材を混合して製造する。
【００２８】
斯かるマーキング装置１０を用い、試料例えば固体撮像素子３にマーキングを施す場合には、光学顕微鏡１で固体撮像素子３を観察し、異常原因箇所と思われる箇所が２箇所存在したとする。
【００２９】
この場合には、検査員は、ニードル１１ａの先端が異常原因箇所と思われる１番目の箇所（第１箇所）の近傍に合うように、ステージ４を調整したり、第１支持部１４ａの上下位置を調整する。そして、検査員がプッシュボタン１６ａを押すと、所要量のインク１９ａが該当箇所に滴下され、マーキングが為される。
【００３０】
次に、検査員は、ニードル１１ｂの先端が異常原因箇所と思われる２番目の箇所（第２箇所）の近傍に合うように、ステージ４を調整したり、第２支持部１４ｂの上下位置を調整する。そして、検査員がプッシュボタン１６ｂを押すと、所要量のインク１９ｂが該当箇所に滴下され、マーキングが為される。
【００３１】
次に、検査員は、第１箇所と第２箇所とにマーキングが施された固体撮像素子３を走査型電気顕微鏡の試料台に設置し、真空引きし、固体撮像素子３の表面を観察する。そして、第１箇所のマーキングを探し出し、その近傍位置の異常原因箇所を拡大して観察し、次に第２箇所のマーキングを探し出し、その近傍位置の異常原因箇所を拡大して観察する。
【００３２】
このとき、検査員は、探し出したマーキングが第１箇所のマーキングであるか、それとも第２箇所のマーキングであるかを判断しなければならない。走査型電子顕微鏡で試料を観察する場合、試料から発生した二次電子像を観察することになるため、マーキングに使用したインク材料では二次電子像の区別は付かない。
【００３３】
しかし、本実施形態のマーキング装置１０では、インク１９ａ内に炭素Ｃが混入されており、インク１９ｂ内にはタングステンＷが混入されている。炭素ＣとタングステンＷとは、二次電子像の見え方が異なるため、検査員は、第１箇所のマーキングと第２箇所のマーキングとを容易に識別することができる。
【００３４】
以上説明したように、本実施形態によれば、二次電子像の見え方が異なる元素をマーキング用のインク内に混入したため、異なるインクによるマーキングの識別が容易となり、また、インク滴下によるマーキングのためマーキングによって試料を汚すことが無くなる。
【００３５】
尚、上述した実施形態では、軽元素を混入したインクと重元素を混入したインクの２種類のインクを使ってマーキングを行ったが、３種類以上のインクを使ってマーキングの二次電子像の区別を行う構成とすることも可能である。
【００３６】
また、図示する例では、インク滴下装置を光学顕微鏡に２台設けたが、３台以上のインク滴下装置を光学顕微鏡に装着する構成にしてもよく、また、１台のインク滴下装置を光学顕微鏡に装着し、インク滴下装置を異なるインクのインク滴下装置に交換して使用する構成とすることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明に係るマーキング装置は、複数箇所に付けたマーキングを電子顕微鏡による画像として夫々容易に識別できるため、電子顕微鏡で観察する試料に光学顕微鏡で事前にマーキングを施すマーキング装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係るマーキング装置を装着した光学顕微鏡の側面図である。
【図２】図１に示す光学顕微鏡の要部正面図である。
【図３】図１に示すマーキング装置の支持部を示す図である。
【図４】図３に示すインク滴下装置支持部に支持される２台のインク滴下装置の構成図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  光学顕微鏡
２  ステージ
３  固体撮像素子等の試料（標本）
７  光学レンズ部
８  架台
１０  マーキング装置
１１ａ，１１ｂ  ニードル
１５ａ，１５ｂ  インク滴下装置
１６ａ，１６ｂ  インク容器
１７ａ，１７ｂ  プッシュボタン
１９ａ  炭素を混入したインク
１９ｂ  タングステンを混入したインク
【図１】
2006337324.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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