(57)【要約】【課題】  粉塵の測定に際して、測定領域以外からの迷い光や、ノイズ要因の影響を受けることがなく、気流中の粉塵量を正しく検知することができるようにすること、つまり、不要な光の吸収を行う光トラップ装置の設置や、それらの維持管理を不要とし、常に正確な測定ができるように工夫した粉塵濃度検出装置を提供する。【解決手段】  含塵気流中の粉塵濃度を測定する粉塵濃度検出装置ＡＴを、発光素子から放射されるレーザ光線を所定の断面エリアを有する平行レーザ光束Ｓ１に形成する平行光線形成放射部１４Ｈと、放射されてくる平行レーザ光束Ｓ１を所定の角度に反射させる反射鏡２０と、含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光ＹＲを、受光素子に導く前方散乱光受光部２２Ｈとによって構成する。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子から放射されるレーザー光線を含塵気流中の計測位置に向けて照射することにより、該気流中の粉塵粒子に当たって反射される散乱光を受光素子で受光して電気信号に変換し、この電気信号に基づいて粉塵濃度を測定するように構成した粉塵濃度検出装置であって、
上記発光素子から放射されるレーザ光線を、所定の断面エリアを有する平行レーザ光束に形成して放射することができる光学系レンズを備えた平行光線形成放射部と、
当該放射部より放射される平行レーザ光束を、上記含塵気流中の計測位置に向けて所定の角度を以て反射させる反射鏡と、
光軸が上記平行光線形成放射部から放射される平行レーザ光束の光軸に対して平行になるように設置され、且つ、当該光軸上の前方焦点が、上記含塵気流中の計測位置で、且つ、上記反射鏡によって反射された平行レーザ光束を横切る平面内に合致するよう配置されていて、この平面を通過する含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光を、上記の受光素子に導いて集光させることができる複数の光学系レンズを備えた前方散乱光受光部と、
によって構成したことを特徴とする粉塵濃度検出装置。
【請求項２】
発光素子から放射されるレーザ光線をダクト管内を流れる含塵気流中の計測位置に向けて照射することにより、該気流中の粉塵粒子に当たって反射される散乱光を受光素子で受光して電気信号に変換し、この電気信号に基づいて粉塵濃度を測定するように構成した粉塵濃度検出装置であって、
該検出装置の全体を、ダクト管に設けた測定口の内部に取付けられる装置全体と、この装置全体に対して軸心を平行にした状態で、且つ、先端側を上記ダクト管内に向けた状態で取付けられる発光側と受光側の２本の通路筒体とによって構成し、
発光側通路筒体には、発光素子から放射されたレーザ光線を、所定の断面エリアを有する平行レーザ光束に形成して通路筒体内に放射することができる光学系レンズを備えた平行光線形成放射部と、通路筒体の先端部において、上記光学系レンズによって形成された平行レーザ光束を、上記ダクト管内を流れる含塵気流中の計測位置に向けて所定の角度を以て反射させる反射鏡と、反射された平行レーザ光束の通路となるスリット状の穴とを設ける一方、
受光側通路筒体には、上記発光側平行レーザ光束の光軸線に対して平行になるように設けた光軸線の前方焦点が、上記反射鏡によって反射されてスリット状の穴からダクト管内の計測位置に向けて放射される平行レーザ光束を横切る平面内に合致し、且つ、この平面を通過する含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光を、受光素子に導いて集光させることができる複数枚の光学系レンズを用いて構成された前方散乱光受光部を設けたことを特徴とする粉塵濃度検出装置。
【請求項３】
前記反射鏡によって反射される平行レーザ光束の前記前方散乱光受光部の光軸に対する角度を、１３５度〜１６０度の範囲内とし、好ましくは１５０度としたことを特徴とする請求項１又は２に記載の粉塵濃度検出装置。
【請求項４】
前記前方散乱光受光部を構成する複数枚の光学系レンズの中間部に、光を平行に導くことができる平行光領域を設けると共に、この平行光領域を伸縮調整可能に構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の粉塵濃度検出装置。
【請求項５】
装置本体に、少なくとも発光素子と受光素子、及び、これ等の電子部品類を内側に収納することができ、且つ、外周部に冷却用のフィン又は外気取入口から成る冷却手段を備えた冷却部を設けて、前記平行光線形成放射部と前方散乱光受光部を冷却可能に構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の粉塵濃度検出装置。
【請求項６】
装置本体に、圧縮エアーを前記発行側通路筒体と受光側通路筒体を通して、夫々の各先端部より前記ダクト管内に排出させることができる圧縮気流通路を設けたことを特徴とする請求項１、２又は５に記載の粉塵濃度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工場等に設けた排気ダクト管に取付けることによって、排気ダクト管内を流れる排気空気中に含まれている粉塵の濃度を正確に測定することができる粉塵濃度検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の「粒子検出装置」には、空気中に漂う粉塵を検出する装置に関して、発光素子から検出空間に放射された光が、前記検出空間に漂っている粒子によって散乱し、その散乱光を受光素子で受光し、受光信号を増幅器で増幅し、増幅された出力信号をセンシングプロッサーで受信して処理することで、検出空間の粉塵濃度を検出することが記載されている。
【０００３】
また、特許文献２に記載の「ダスト測定装置及びこれを用いる校正ユニット」には、測定領域に向けて測定光を照射する照射手段と、測定領域からの被検知光を受光する受光手段と、照射手段又は受光手段の一方に光を反射する反射鏡を構成するものとがあり、構造的に小型化されたダスト測定装置が記載されている。
【特許文献１】特開平１−３０２１３７号公報
【特許文献２】特開２００３−２８７４９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前記特許文献１に記載の方式を用いた場合、受光される信号には、検出空間に於ける粒子によって散乱される散乱光とは別の光、例えば、発光素子の光が管壁に反射して混入する光や、光吸収体（散乱光トラップ）の汚れが原因で吸収できずに反射された光等がノイズ信号となったり、レンズや反射鏡等の汚れに基づく影響もあって、粉塵量を正しく検出することができない問題があった。
【０００５】
更に、上記特許文献１に記載の装置では、増幅器において信号の増幅率を変化させることで、高濃度のダストから低濃度のダストに至る広範囲に渡った濃度検知を可能に構成されているが、これを変化量の小さい散乱光の検出に用いると、当該散乱光以外の光（ノイズ信号）による影響や、信号増幅率を高くすることによるノイズ要因の増幅により正しい測定結果を得ることが出来なくなる問題がある。また、素子の温度特性による影響等も加わり、正しいダスト濃度を計測することができなくなる問題もあった。
【０００６】
また、前記特許文献２に記載の装置の場合は、測定領域を大きくとって、測定領域全体に渡る粒子の散乱光を検知するものであるため、前記段落０００４で述べたのと同様に、散乱光以外の光や、レンズ及び反射鏡等の汚れといったノイズ原因に基づく信号（迷い光）が混入して、粉塵量の検出に誤差が生じてしまう問題があった。
【０００７】
本発明は上述した各問題点を解決するために成されたものであって、その技術的課題は、粉塵の測定に際して、測定領域以外からの迷い光や、ノイズ要因の影響を受けることがなく、気流中の粉塵量を正しく検知することができるようにすること、つまり、不要な光の吸収を行う光トラップ装置の設置や、それらの維持管理を不要とし、常に正確な測定ができるように工夫した粉塵濃度検出装置を提供することである。
【０００８】
更に本発明の他の技術的課題は、ダクト内のダストを直接検知すると共に、ダクト内の高温な環境や、ほこり等の悪影響を最小限に抑える為の改良を加えた粉塵濃度検出装置を提供すること。及び、製造と組立に当たって、焦点合わせや精度等の維持を比較的簡単に行うことができるように工夫した粉塵濃度検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）  上記の技術的課題を解決するために、本発明の請求項１に係る発明は、発光素子から放射されるレーザー光線を含塵気流中の計測位置に向けて照射することにより、該気流中の粉塵粒子に当たって反射される散乱光を受光素子で受光して電気信号に変換し、この電気信号に基づいて粉塵濃度を測定するように構成した粉塵濃度検出装置であって、上記発光素子から放射されるレーザ光線を、所定の断面エリアを有する平行レーザ光束に形成して放射することができる光学系レンズを備えた平行光線形成放射部と、当該放射部より放射される平行レーザ光束を、上記含塵気流中の計測位置に向けて所定の角度を以て反射させる反射鏡と、光軸が上記平行光線形成放射部から放射される平行レーザ光束の光軸に対して平行になるように設置され、且つ、当該光軸上の前方焦点が、上記含塵気流中の計測位置で、且つ、上記反射鏡によって反射された平行レーザ光束を横切る平面内に合致するよう配置されていて、この平面を通過する含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光を、上記の受光素子に導いて集光させることができる複数の光学系レンズを備えた前方散乱光受光部と、によって構成したことを特徴としている。
【００１０】
（２）  また、請求項２に係る発明は、発光素子から放射されるレーザ光線をダクト管内を流れる含塵気流中の計測位置に向けて照射することにより、該気流中の粉塵粒子に当たって反射される散乱光を受光素子で受光して電気信号に変換し、この電気信号に基づいて粉塵濃度を測定するように構成した粉塵濃度検出装置であって、該検出装置の全体を、ダクト管に設けた測定口の内部に取付けられる装置全体と、この装置全体に対して軸心を平行にした状態で、且つ、先端側を上記ダクト管内に向けた状態で取付けられる発光側と受光側の２本の通路筒体とによって構成し、発光側通路筒体には、発光素子から放射されたレーザ光線を、所定の断面エリアを有する平行レーザ光束に形成して通路筒体内に放射することができる光学系レンズを備えた平行光線形成放射部と、通路筒体の先端部において、上記光学系レンズによって形成された平行レーザ光束を、上記ダクト管内を流れる含塵気流中の計測位置に向けて所定の角度を以て反射させる反射鏡と、反射された平行レーザ光束の通路となるスリット状の穴とを設ける一方、受光側通路筒体には、上記発光側平行レーザ光束の光軸線に対して平行になるように設けた光軸線の前方焦点が、上記反射鏡によって反射されてスリット状の穴からダクト管内の計測位置に向けて放射される平行レーザ光束を横切る平面内に合致し、且つ、この平面を通過する含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光を、受光素子に導いて集光させることができる複数枚の光学系レンズを用いて構成された前方散乱光受光部を設けたことを特徴としている。
【００１１】
（３）  また、請求項３に係る発明は、前記反射鏡によって反射される平行レーザ光束の前記前方散乱光受光部の光軸に対する角度を、１３５度〜１６０度の範囲内とし、好ましくは１５０度としたことを特徴としている。
【００１２】
（４）  また、請求項４に係る発明は、前記前方散乱光受光部を構成する複数枚の光学系レンズの中間部に、光を平行に導くことができる平行光領域を設けると共に、この平行光領域を伸縮調整可能に構成したことを特徴としている。
【００１３】
（５）  また、請求項５に係る発明は、装置本体に、少なくとも発光素子と受光素子、及び、これ等の電子部品類を内側に収納することができ、且つ、外周部に冷却用のフィン又は外気取入口から成る冷却手段を備えた冷却部を設けて、前記平行光線形成放射部と前方散乱光受光部を冷却可能に構成したことを特徴としている。
【００１４】
（６）  更に請求項６に係る発明は、装置本体に、圧縮エアーを前記発行側通路筒体と受光側通路筒体を通して、夫々の各先端部より前記ダクト管内に排出させることができる圧縮気流通路を設けたことを特徴としている。
【００１５】
前記（１）と（２）で述べた請求項１と２に係る発明によれば、発光素子から放射されたレーザ光線を平行光線形成放射部並びに反射鏡により、含塵空気流中の計測位置に向けて照射する一方、複数の光学系レンズで構成される前方散乱光受光部は、反射された上記平行レーザ光束を横切る平面内にその前方焦点を合致させるように配置されているから、レーザ光線の照射によって形成される粉塵粒子の前方散乱光をその平面内において正確に捉えることが可能であり、且つ、平面以外からの散乱光、つまり、前方散乱光以外のノイズをカットすることを可能にする。
【００１６】
更に上記（１）、（２）で述べた請求項１と２に係る発明によれば、反射鏡から反射された平行レーザ光束のいずれかの位置（平面）に対して、複数の光学系レンズで構成される前方散乱光受光部の前方焦点だけを結べばよいのであるから、焦点合せが容易であり、従って、製作がしやすいことになる。
【００１７】
上記（３）で述べた請求項３に係る発明によれば、反射された平行レーザ光束がそのまま受光部に入ることがないことは元より、前方散乱光が互いに重なりあって干渉しあう現象がないため、各粒子において生じた前方散乱光を受光素子が正確に受光することを可能にする。
【００１８】
上記（４）で述べた請求項４に係る発明によれば、発光素子から放射されたレーザ光線を平行光線形成放射部により平行レーザ光束に形成し、また、前方散乱光に導いて集光する複数の光学系レンズの中間に光を平行に導く平行光領域を構成したから、この部分を長くして製作しても、これら平行光領域における光強度の減衰が少なく、従って温度の高い環境下において使用される場合とか、メンテナンスを必要とする装置においては、発光素子や受光素子と言った大切な部品や制御関連部品を、必要に応じて高温の含塵空気が流れるダクトから遠ざけて設置できるように、伸縮調整することができる。
【００１９】
上記（５）、（６）で述べた請求項５、６に係る発明によれば、装置本体に冷却手段を設けたり、本体側から供給した圧縮エアーをダクト内に向けて送るようにしたこと、及び、上記（５）で述べた手段の特徴点である平行光線領域でのスペースの延長ができることから、本体側に設けてある発光素子、又は受光素子や、その他の電子部品が、ダクト管からの熱による影響を少なくして、破損したり、性能が変化したりすることを防止することができる。更に、上記と同様の理由から、ダクト管内のダストが本体部に向けて逆流することを防止することができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上述べた次第で、本発明によれば、前方散乱光以外のノイズをカットして、常に正確な測定を可能とすると共に、焦点合せが簡単で製造と組立てが容易な経済性を備え、且つ、破損や故障が少ない粉塵濃度検出装置を提供できるものであって、工場等から排出される含塵気流の監視用としてまことに好適なものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明に係る粉塵濃度検出装置の実施の形態を図面と共に説明すると、図１は例えば工場等の排気ダクト管内を流れる含塵空気中の粉塵濃度を測定するために設置された集塵システムの全体を示した構成図であって、図中、１は工場内に設置された集塵機、２は先端に集塵フード３を取付けた吸塵ダクト管、４は排気ダクト管、６は排気ダクト管４の途中に設けた排気用ファン、４Ａは排気口、ＡＴは排気ダクト管４の測定位置に取付けた本発明に係る粉塵濃度検出装置を示す。
【００２２】
粉塵濃度検出装置ＡＴが設置される測定位置は、排気ダクト管４の屈曲部分や、断面形状が急激に変化する部分を避け、速度変動が少なくて流れが一様に整流されている場所が選ばれる。目安として屈曲部よりダクト径Ｄの３倍以上の距離３Ｄの位置を、測定位置とすることが好ましい。
【００２３】
図２は本発明に係る粉塵濃度検出装置ＡＴの全体構成を示した側面図、図３はその拡大平断面図であって、図中、５は排気ダクト管４の測定装置に設けた断面円筒状の測定口（取付口）、５Ａは開放された測定口５の外端部に設けた固定フランジで、測定口５の内部は排気ダクト管４の通路４Ｈに連通している。１１は取付用フランジ１１Ａを用いて測定口５の外端部に取付けた装置本体、１０は装置本体１１の外端部側に連接した各種電子機器（装置）を収めたケース体であって、測定口５の内部に向けて突出した当該装置本体１１の内端部には、図３に示すようにスペーサ１５を介して装置中間部１６が連接され、更に、この装置中間部１６には排気ダクト管４の通路４Ｈに向けて装置内端部１６Ｔが連設されていて、装置内端部１６Ｔの発光部側には、上記通路４Ｈの中央部に向けてレーザ光線のガイド筒１８が突設されている。
【００２４】
同じく図３において、１４は上記装置本体１１とスペーサ１５及び装置中間部１６の内部に、これ等内部を貫いた状態で、且つ、先端側を排気ダクト管４の内部に向けるようにして取付けた平行光線形成放射筒体、１２はこの放射筒体１４の根端部側に設けた発光素子としてのレーザダイオード、１３は当該レーザダイオード１２と上記放射筒体１４の根端口との間に設けた非球面レンズで、レーザダイオード１２から発光されるレーザ光線は、非球面レンズ１３によって所定の断面エリアを有する平行レーザ光束Ｓ１に形成されて、放射筒体１４の内部からその窓板１７を通ってガイド筒１８の内部通路１８Ｈに向けて放射される仕組みに成っている。符号１４Ｈで全体的に示したのは、上述したレーザダイオード１２と非球面レンズ１３及び平行光線形成放射筒体１４とによって構成された平行光線形成放射部である。
【００２５】
更に図３において、１９は前記ガイド筒１８の先端部を塞いだキャップ体、２０はキャップ体１９の内側に設けた反射鏡で、この反射鏡２０は上記平行光線形成放射部１４Ｈから放射されて来る平行レーザ光束Ｓ１を、上記排気ダクト管４内の測定装置に向けて所定の角度を以て反射できるように、上記キャップ体１９の内側に傾斜させた状態に取付けられている。尚、図中Ｓ２は上記の反射鏡２０によって反射された平行レーザ光束、２１は反射鏡２０によって反射された平行レーザ光束Ｓ２を通すために、ガイド筒１８の先端部底面に形成したスリット状の穴を示す。
【００２６】
図２と図３において、２２は前述した装置本体１１とスペーサ１５及び装置中間部１６の内部に、これ等内部を貫いた状態で、且つ、先端側を前記排気ダクト管４の内部に向けるようにして取付けると共に、前記平行光線形成放射筒体１４に対して平行に設けた前方散乱光受光筒体、２６はこの受光筒体２２の根端部側に設けた受光素子としてのフォトダイオードを示す。
【００２７】
また、２４と２５は、光軸が前記平行光線形成放射部１４Ｈから放射される平行レーザ光束Ｓ１に対して平行になるように、前方散乱光受光筒体２２の前部と後部とに前後に間隔をあけて取付けられた光学系レンズを示す。これ等の光学系レンズ２４，２５は、当該光軸上の前方焦点ＳＸが、前記反射鏡２０によって反射された平行レーザ光束Ｓ２を横切る平面内に合致するように配置され、更に、この平面を通過する含塵気流中の粉塵粒子に対するレーザ光線の照射による前方散乱光ＹＲを、上記のフォトダイオード２６に導いて集光させることができるように構成されている。
【００２８】
そして、以上の如く構成したフォトダイオード２６と光学系レンズ２４，２５及び前方散乱光受光筒体２２とによって、符号２２Ｈで全体的に示された前方散乱光受光部が構成される仕組みに成っている。
【００２９】
また、２３は前記装置内端部１６Ｔの部分に、前記排気ダクト管４の通路４Ｈに向けて取付けた前方散乱光受光部２２Ｈのガイド筒体で、２３Ａ，２３Ｂは前記前方散乱光ＹＲをガイド筒体２３の内部２３Ｈに取り入れる入光穴を示す。
【００３０】
尚、上記反射鏡２０によって反射された平行レーザ光束Ｓ２の、前記前方散乱光受光部２２Ｈの光軸に対する角度が、１３５度〜１６０度の範囲内で、好ましくは１５０度に設定されていて、前方散乱光ＹＲが互いに重なりあって干渉しあう現象をなくして、前方散乱光ＹＲを正確に受光できるように構成している。
【００３１】
前記装置本体１１に取付けるスペーサ１５は、予め幅寸法を違えたものが複数種用意されていて、取付けるスペーサ１５を交換することによって、平行光線領域でのスペースの延長（変更）を図って、装置本体１１側に設けられているレーザダイオード１２やフォトダイオード２６、或いは、その他の電子分品類が、排気ダクト管４内を流れる含塵空気流の熱によって影響を受けないように調整することを可能にしている。また、スペーサ１５の材質を変えることで、断熱効果を発揮させることも可能にしている。
【００３２】
更に図中、１０Ｔは粉塵濃度を検出するための各種電子部品類を取付けたメイン基板、４０は前記ケース体１０内に収めた検出部（後述する）によって検出された粉塵濃度を表示する表示部、３０は工場内のエアーを、フイルター３１及びスピコン３２を通して前記装置本体１１内に設けたエアー供給口３３（図３参照）に圧縮供給する空気圧縮供給装置を示す。
【００３３】
上記の空気圧縮供給装置３０からエアー供給口３３に供給される圧縮エアーは、図３に示したエアー通路３４から図５に示した各矢印ＰＡの如くケース体１０内を通ることによって、ケース体１０内に設けた各種電子機器類を冷却した後、各平行光線形成放射筒体１４及びガイド筒１８と、これに平行する前方散乱光受光筒体２２の内部を通って、夫々前述したスリット状の穴２１及び入光穴２３Ｂ，２３Ａから排気ダクト管４の内部４Ｈに排出（噴出）させることにより、排気ダクト管４内を流れる含塵空気流が、各筒体１４、２２を通ってケース体１０側に侵入（逆流）することを防止している。
【００３４】
尚、図６（Ａ）は上記図５のＸ視部分の詳細図であり、同図（Ｂ）は同じく図５のＹ視部分の詳細図である。また、図４は前記ケース体１０内に設けた検出部と、前記表示部４０の電気的構成を説明したブロック図である。
【００３５】
図４において、１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは検出部を構成する発光部と受光部とメイン処理部であって、発光部１０Ａは前述したレーザダイオード１２によって構成され、受光部１０Ｂは前述したフォトダイオード２６と増幅回路２７によって構成されている。
【００３６】
また、メイン処理部１０Ｃは、レーザダイオード１２を駆動する駆動回路１２Ｋと、受光部１０Ｂが受光した前方散乱光を電気信号に変換（抽出）する信号抽出回路２８と、変換した電気信号を表示部４０に出力する出力回路２９とによって構成されている。更に表示部４０は、受け取った出力信号に基づいて粉塵濃度を演算するＣＰＵ４１と、ＣＰＵ４１が演算した粉塵濃度を表示する表示器４２と、演算された粉塵濃度に異常がある場合に、異常信号を出力して例えば警報器のような外部の連動機器４４を作動する異常出力回路４３と、電源回路４５とによって構成されている。
【００３７】
次に、図７は前記排気ダクト管４内を流れる含塵空気流が高温である場合に、本発明に係る装置全体を含塵空気流の熱から守る高温対策の一例を示した構成図である。高温対策に付いては、前記図３に示したスペーサ１５を幅の広いものに交換して、装置本体を排気ダクト管４から遠ざけるようにした構成と、図５に示すように圧縮空気を吹き込んで冷却するようにした構成に付いて説明済みであるが、図７では別の対策が講じられている。
【００３８】
即ち、図７において１２Ｋと２６Ｒは各ダイオード１２，２６（素子）をカバーする断熱材、３８は装置の前面をカバーする断熱材を示す。また、１５Ｓは上記交換した幅の広いスペーサで、ＬＢは装置本体（平行光領域）の延長幅、矢印ＬＡは測定点の移動方向を示している。更に図中、３７は装置本体の全体的温度を下げるために、装置本体の周囲に設けた放熱フイン、３６は放熱フイン３７による放熱効率を高めるための強制気流を作るファン、３５はファンカバー、３９は延長幅ＬＢによって生じた隙間を塞ぐカバー板であって、図７に示した高温対策によれば、ダクト内温度２００℃を、例えば４０℃に低下させることができた。
【００３９】
図８は、前記受光部１０Ｂ（図４）のフォトダイオード２６（受光素子）が受光した前方散乱光ＹＲの受光信号を、増幅回路２７及びメイン処理１０Ｃの信号抽出回路２８を用いて電気信号に変換して、表示部４０に出力する信号の流れを説明した説明図であって、変換された電気信号を元に粉塵濃度の測定が成され、測定値が表示器４２に表示される仕組みに成っている。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係る粉塵濃度検出装置が実施されている集塵装置の全体を説明した構成図。
【図２】本発明の全体を説明した側面図。
【図３】本発明の全体を拡大して示した平断面図。
【図４】本発明の電気的構成と制御の流れを説明したブロック図。
【図５】装置内に供給された圧縮空気の流れを説明した説明図。
【図６】（Ａ）は図５のＸ視部分の詳細図、（Ｂ）は図５のＹ視部分の詳細図。
【図７】本発明における高温対策の実施例を説明した構成図。
【図８】受光素子が受光した散乱光の受光信号の流れを説明した説明図。
【符号の説明】
【００４１】
ＡＴ            粉塵濃度検出装置
４              排気ダクト管
５              測定口
１０            ケース体
１１            装置本体
１２            レーザダイオード（発光素子）
１３            非球面レンズ
１４            平行光線形成放射筒体
Ｓ１，Ｓ２      平行レーザ光束
１４Ｈ          平行光線形成放射部
１５            スペーサ
１６            装置中間部
２０            反射鏡
２１            スリット状の穴
２２            前方散乱光受光筒体
２２Ｈ          前方散乱光受光部
２４，２５      光学系レンズ
２６            フォトダイオード（受光素子）
ＳＸ            前方焦点
ＹＲ            前方散乱光
３０            空気圧縮供給装置
４０            表示部
【図１】
2006208254.tif 000003
【図２】
2006208254.tif 000004
【図３】
2006208254.tif 000005
【図４】
2006208254.tif 000006
【図５】
2006208254.tif 000007
【図６】
2006208254.tif 000008
【図７】
2006208254.tif 000009
【図８】
2006208254.tif 000010