(57)【要約】【課題】磁気ヘッドのローバーに含まれる再生素子の寸法だけでなく、主磁極の寸法を正確に制御でき、記録性能のばらつきを抑えることができるラッピング方法を提供する。【解決手段】再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングするにあたり、前記再生素子に隣接して第１のラッピングガイドを形成するとともに、前記主磁極に隣接して第２のラッピングガイドを形成したローバーを用意し、前記ローバーをラッピング装置に取り付けて前記ローバーのラッピング面をラッピング板に対向させて設置し、前記第１および前記第２のラッピングガイドの抵抗値に基づいて前記ローバーに加える圧力を制御しながらラッピングを行うことを特徴とするラッピング方法。【選択図】図６
2006209905.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングするにあたり、
前記再生素子に隣接して第１のラッピングガイドを形成するとともに、前記主磁極に隣接して第２のラッピングガイドを形成したローバーを用意し、
前記ローバーをラッピング装置に取り付けて前記ローバーのラッピング面をラッピング板に対向させて設置し、
前記第１および前記第２のラッピングガイドの抵抗値に基づいて前記ローバーに加える圧力を制御しながらラッピングを行う
ことを特徴とするラッピング方法。
【請求項２】
再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングするにあたり、
前記再生素子に隣接して第１のラッピングガイドを形成するとともに、前記リターンヨークのトレーリング側に第３のラッピングガイドを形成したローバーを用意し、
前記ローバーをラッピング装置に取り付けて前記ローバーのラッピング面をラッピング板に対向させて設置し、
前記第１および前記第３のラッピングガイドの抵抗値に基づいて前記ローバーに加える圧力を制御しながらラッピングを行う
ことを特徴とするラッピング方法。
【請求項３】
再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングするにあたり、
前記再生素子に隣接して第１のラッピングガイドを形成するとともに、前記主磁極に隣接して第２のラッピングガイドを形成し、かつ前記リターンヨークのトレーリング側に第３のラッピングガイドを形成したローバーを用意し、
前記ローバーをラッピング装置に取り付けて前記ローバーのラッピング面をラッピング板に対向させて設置し、
前記第１、前記第２および前記第３のラッピングガイドの抵抗値に基づいて前記ローバーに加える圧力を制御しながらラッピングを行う
ことを特徴とするラッピング方法。
【請求項４】
再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドと、前記再生素子に隣接する第１のラッピングガイドと、前記主磁極に隣接する第２のラッピングガイドおよび前記リターンヨークのトレーリング側の第３のラッピングガイドのうち少なくとも一方が形成されたローバーをラッピングする装置であって、
ラッピング板と、
前記ローバーのラッピング面を前記ラッピング板に対向させて保持する治具と、
前記治具を介して前記ローバーを押圧する複数のピストンと、
前記第１のラッピングガイド、および前記第２のラッピングガイドおよび前記第３のラッピングガイドのうち少なくとも一方、ならびに前記複数のピストンに接続され、前記第１のラッピングガイドの抵抗値ならびに前記第２のラッピングガイドおよび前記第３のラッピングガイドのうち少なくとも一方の抵抗値に基づいて前記複数のピストンの動作を制御する制御装置と
を有することを特徴とするラッピング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングする方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
垂直磁気ヘッドを含むヘッドスライダを製造するにあたっては、再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングする工程が実施される。
【０００３】
このラッピング工程では、再生素子に隣接してラッピングガイド（抵抗素子）を形成したローバーを用意し、ラッピングガイドの抵抗値をモニタしながら、ラッピング深さを制御している（たとえば特許文献１および特許文献２参照）。このようにラッピングガイドの抵抗値をモニタすることにより、再生素子のストライプハイト（ラッピング面からの再生素子の高さ）の加工精度を向上することができる。
【０００４】
しかし、従来は、再生素子に隣接してラッピングガイドを形成しているだけなので、再生素子から離れるに従ってラッピング深さのずれが大きくなり、ラッピング面全体を均一にラッピングすることが困難であった。特に、再生素子と主磁極（またはリターンヨーク）との間でラッピング面に傾きが生じると、記録性能に寄与する最重要パラメータである主磁極およびリターンヨークの寸法制御が困難となるため、記録性能にばらつきが生じるという問題があった。
【特許文献１】特開２００４−４７０７９号公報
【特許文献２】特開２００１−１４６１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、磁気ヘッドのローバーに含まれる再生素子の寸法だけでなく、主磁極またはリターンヨークの寸法を正確に制御できるラッピング方法およびラッピング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態に係るラッピング方法は、再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングするにあたり、前記再生素子に隣接して第１のラッピングガイドを形成するとともに、前記主磁極に隣接して第２のラッピングガイドを形成したローバーを用意し、前記ローバーをラッピング装置に取り付けて前記ローバーのラッピング面をラッピング板に対向させて設置し、前記第１および前記第２のラッピングガイドの抵抗値に基づいて前記ローバーに加える圧力を制御しながらラッピングを行うことを特徴とする。
【０００７】
本発明の他の実施形態に係るラッピング方法は、再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングするにあたり、前記再生素子に隣接して第１のラッピングガイドを形成するとともに、前記リターンヨークのトレーリング側に第３のラッピングガイドを形成したローバーを用意し、前記ローバーをラッピング装置に取り付けて前記ローバーのラッピング面をラッピング板に対向させて設置し、前記第１および前記第３のラッピングガイドの抵抗値に基づいて前記ローバーに加える圧力を制御しながらラッピングを行うことを特徴とする。
【０００８】
本発明のさらに他の実施形態に係るラッピング方法は、再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されたローバーをラッピングするにあたり、前記再生素子に隣接して第１のラッピングガイドを形成するとともに、前記主磁極に隣接して第２のラッピングガイドを形成し、かつ前記リターンヨークのトレーリング側に第３のラッピングガイドを形成したローバーを用意し、前記ローバーをラッピング装置に取り付けて前記ローバーのラッピング面をラッピング板に対向させて設置し、前記第１、前記第２および前記第３のラッピングガイドの抵抗値に基づいて前記ローバーに加える圧力を制御しながらラッピングを行うことを特徴とする。
【０００９】
本発明の別の実施形態に係るラッピング装置は、再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドと、前記再生素子に隣接する第１のラッピングガイドと、前記主磁極に隣接する第２のラッピングガイドおよび前記リターンヨークのトレーリング側の第３のラッピングガイドのうち少なくとも一方が形成されたローバーをラッピングする装置であって、ラッピング板と、前記ローバーのラッピング面を前記ラッピング板に対向させて保持する治具と、前記治具を介して前記ローバーを押圧する複数のピストンと、前記第１のラッピングガイド、および前記第２のラッピングガイドおよび前記第３のラッピングガイドのうち少なくとも一方、ならびに前記複数のピストンに接続され、前記第１のラッピングガイドの抵抗値ならびに前記第２のラッピングガイドおよび前記第３のラッピングガイドのうち少なくとも一方の抵抗値に基づいて前記複数のピストンの動作を制御する制御装置を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、磁気ヘッドのローバーに含まれる再生素子の寸法だけでなく、主磁極またはリターンヨークの寸法を正確に制御でき、記録性能のばらつきを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は磁気ディスク装置を示す斜視図である。磁気ディスク１はスピンドル２に回転可能に装着されている。磁気ディスク１近傍のピボット３にはアクチュエータアーム４が取り付けられ、アクチュエータアーム４にはサスペンション５が取り付けられ、サスペンション５の下面にはヘッドスライダ６が支持されている。このヘッドスライダ６の先端に、磁気ディスク１に対向するように、再生素子ならびに主磁極およびリターンヨークを含む垂直磁気ヘッドが形成されている。磁気ヘッドからの信号は、内蔵されている信号処理系によって処理される。
【００１２】
図２に垂直磁気ヘッドの断面図の一例を示す。なお、以下に示すいくつかの図において、ｘは磁気ディスクの周方向（トラック方向）、ｙは磁気ディスクの径方向、ｚは磁気ディスクから見た高さ方向をそれぞれ示している。図２では垂直磁気ヘッド１０を構成する再生ヘッド２０と記録ヘッド３０を示している。再生ヘッド２０は、一対のシールド２１、２３の間に再生素子（ＧＭＲ素子）２２を挟んだ構造を有する。記録ヘッド３０は、主磁極３１、リターンヨーク３２、コイル３３を含む。ここで示した記録ヘッド３０は、リターンヨーク３２が主磁極３１に対してトレーリング側に位置するタイプ（一般にシールディッドポールと呼ばれる）である。ただし、リターンヨークが主磁極に対してリーディング側に位置するモノポール（単磁極）タイプの記録ヘッドを用いてもよい。また、コイル３３の形状などが図２と異なっていてもよい。図２において、Ｌはラッピング面すなわちＡＢＳ（媒体対向面）を示している。ラッピング面からの再生素子２２の高さをストライプハイト（ＳＨ）と呼ぶ。
【００１３】
図３（ａ）は主磁極３１の膜面を見た正面図である。主磁極３１は、フレアヨーク３１ａと、フレアヨーク３１ａの絞込み部分から先端までの先端部３１ｂを有する。先端部３１ｂの高さをネックハイト（ＮＨ）、先端部３１ｂの幅をトラック幅（ＴＷ）と呼ぶ。
【００１４】
図３（ｂ）はリターンヨーク３２のみを図２と同じ方向から見た側面図である。リターンヨーク３２は、リターンヨーク本体３２ａと、主磁極３１とのギャップを規定する絞り込み部分３２ｂを有する。絞り込み部分３２ｂの高さをスロートハイト（ＴＨ）と呼ぶ。
【００１５】
次に、本発明に係るラッピング工程について説明する。  
図４に示すように、まずウエハ４０の表面に各種材料の薄膜を堆積して所望のパターンに加工することにより、再生ヘッドおよび記録ヘッドの構造を形成する。ウエハ４０上には、磁気ヘッドのアレイを含む、複数の領域４１が形成されている。この領域４１を切り出して棒状の部材を作製する。この棒状の部材はローバー（Row Bar）と呼ばれる。ローバーの一断面がラッピングされる（図２に示すラッピング面Ｌに相当する）。
【００１６】
図５に本発明に係るラッピングマシンの概略図を示す。このラッピングマシン５０では、ラッピング板５１の上方に、ローバー４５を保持するための治具５２が配置され、治具５２の上部にはピストン５３が接触している。ピストン５３はローバー４５に含まれる各素子の上部に配置されていることが好ましい。ピストン５３の動作は制御装置５５によって調整される。ピストン５３はローバー４５に対して圧力印加面の位置を自由に変更できる機構を有している。ローバー４５は切断面（ラッピング面）がラッピング板５１の上面に対して実質的に平行に位置するように配置される。ローバー４５とラッピング板５１の間に、例えばダイヤモンドスラリのような砥粒材料を供給してラッピングを行う。このラッピング工程では、再生素子のストライプハイト（ＳＨ）調整のために、電子ラッピングガイド（ＥＬＧ）と呼ばれる抵抗素子の抵抗をモニタしながらラッピングを行う。
【００１７】
図６に、従来技術による、電子ラッピングガイド（ＥＬＧ）を含んだローバーをラッピングマシンに取り付けた状態を概略的に示す。この図は、シールディッドポールタイプの垂直記録ヘッドが形成されたローバーをラッピングする場合を示している。この場合、再生素子２２（再生素子２２の両端にはリード２５が接続されている）のトレーリング側に主磁極３１およびリターンヨーク３２が配置される。再生素子２２の両側に隣接して２つのＥＬＧ６１が形成され、それぞれのＥＬＧ６１にリード７１が接続されている。それぞれのリード７１は制御装置５５に接続されている。制御装置５５はＥＬＧ６１の抵抗値をモニタし、ラッピング制御を行うことにより再生素子２２のＳＨを調整する。
【００１８】
図６に示す従来の方法では、ラッピング処理によって再生素子２２のＳＨを正確に加工することはできる。しかし、ＥＬＧ６１は再生素子２２に隣接して設けられているだけなので、再生素子２２から離れるに従ってラッピング深さのずれが大きくなる可能性がある。つまり、ラッピング面全体を均一にラッピングすることは困難である。特に、再生素子２２と主磁極３１（またはリターンヨーク３２）との間でラッピング面に傾きが生じると、記録ヘッドの記録性能に寄与する最重要パラメータである主磁極３１のＮＨおよびリターンヨーク３２のＴＨの制御が困難となり、記録性能にばらつきが生じる。
【００１９】
ここで、図２に示すように、再生素子２２中心から主磁極３１（またはリターンヨーク３２）中心までの距離をＳ、再生素子２２中心に対する主磁極３１（またはリターンヨーク３２）中心のｘ方向（周方向）のラッピング面の傾きをθ（再生素子２２よりもラッピングが深くなる向きに傾いている場合をプラスとする）とおくと、ＮＨ（またはＴＨ）はＳ×ｔａｎθだけずれることになる。
【００２０】
例えば、Ｓ＝７μｍとすると、ｘ方向にラッピング面が１度傾いただけでも０．１２μｍも高さがずれることになる。主磁極３１のＮＨおよびリターンヨーク３２のＴＨは０．１〜０．３μｍのオーダーであるため、数十ｎｍオーダーのばらつきでさえも記録性能に非常に大きな影響を及ぼす。
【００２１】
従来の方法によるラッピング工程を経た磁気ヘッドを用いて、磁気ディスクに記録した後、磁気ライト幅（ＭＷＷ）およびオーバーライト（ＯＷ）を評価した。ここで、ＯＷは高周波信号に低周波信号を上書きした時の高周波信号の消え残り分を測定している。
【００２２】
図７（ａ）にＴＨをパラメータとしてＮＨに対するＭＷＷの変化を、図７（ｂ）にＴＨをパラメータとしてＮＨに対するＯＷの変化をそれぞれ示す。各図の横軸はＮＨの実測値を示している。
【００２３】
これらの図に示されるように、ＮＨまたはＴＨが異なると、ＭＷＷおよびＯＷ特性に大きく影響を及ぼすことがわかる。従来の方法ではラッピング面の傾きによってＮＨまたはＴＨにばらつきが生じるため、所望のＭＷＷおよびＯＷ特性を得ることができなくなる可能性がある。再生素子よりも主磁極およびリターンヨークのラッピングが深すぎた場合にはＮＨおよびＴＨは短くなり、ラッピングが浅すぎた場合にはＮＨおよびＴＨは長くなる。ＮＨおよびＴＨが短くなると、ＯＷは向上するが、ＭＷＷは広くなる。この場合、ＮＨおよびＴＨが短い方が磁界強度は強いが、フリンジ特性は悪くなる。このため、得られる磁気ヘッドは所望の記録性能を満たさなくなる可能性があり、歩留まりに大きく影響を及ぼすことがわかる。
【００２４】
メディア特性、トラック密度、線密度などの様々な仕様によれば、ＭＷＷとＯＷのばらつきはそれぞれ５ｎｍ以下、５ｄＢ以下に抑えることが好ましい。ＭＷＷとＯＷのばらつきをこれらの範囲に収めるには、図７の結果より、ＮＨおよびＴＨの最大値と最小値の差が３０ｎｍ以下になるようにばらつきを制御しなければならない。したがって、図２を参照して説明した距離Ｓおよび傾きθを用いると、下記式の条件を満たすことが好ましい。  
Ｓ｜ｔａｎθ｜＜３０（ｎｍ）。
【００２５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例を説明する。  
図８に、本発明の第１の実施例において、第１および第２のＥＬＧを含んだローバーをラッピングマシンに取り付けた状態を概略的に示す。この図は、シールディッドポールタイプの垂直記録ヘッドが形成されたローバーをラッピングする場合を示している。この場合、再生素子２２（再生素子２２の両端にはリード２５が接続されている）のトレーリング側に主磁極３１およびリターンヨーク３２が配置される。再生素子２２の両側に隣接して２つの第１のＥＬＧ６１が形成され、それぞれの第１のＥＬＧ６１にリード７１が接続されている。また、主磁極３１の両側に隣接して２つの第２のＥＬＧ６２が形成され、それぞれの第２のＥＬＧ６２にリード７２が接続されている。それぞれのリード７１、７２は制御装置５５に接続されている。第１のＥＬＧ６１および第２のＥＬＧ６２は抵抗素子であり、再生素子２２と同じ構成の素子であること好ましい。また、リード７１、７２も同様に再生素子部のリード２５と同じ材料であることが好ましい。第１のＥＬＧ６１および第２のＥＬＧ６２の幅はばらつきを最小に抑えることが可能なレベルで、再生素子２２のＴＷに対してできるだけ広い方が好ましい。第１のＥＬＧ６１および第２のＥＬＧ６２の幅は既知であり、制御装置５５でモニタされる第１のＥＬＧ６１および第２のＥＬＧ６２の抵抗値に基づいてラッピング深さを計算することができる。制御装置５５は第１のＥＬＧ６１の抵抗値をモニタし、ラッピング制御を行うことにより再生素子２２のＳＨを調整する。また、制御装置５５は第１のＥＬＧ６１および第２のＥＬＧ６２の抵抗値をモニタし、両者の抵抗値に差が生じた場合に制御装置５５内部のフィードバック回路を作動させ、目標の抵抗値からのずれが大きいＥＬＧの上部に対してピストン５３（図５図示）により圧力を加え、ラッピング制御を行うことにより主磁極３１のＴＨを調整することができる。
【００２６】
図９に本実施例のラッピング工程のプロセスフローの概略を示す。ラッピング開始後（ｓ１）、各ＥＬＧの抵抗値を随時測定する（ｓ２）。各ＥＬＧの抵抗値Ｒnの目標値Ｒ0に対するずれを算出し（ｓ３）、所望の抵抗値が得られているかどうかを判定する（ｓ４）。所望の抵抗値が得られている場合には終了とする。所望の抵抗値が得られていない場合には、抵抗値のずれが大きいＥＬＧの上部にピストン２６により集中的に圧力を加え、ラッピング調整を行う（ｓ５）。最終的に、所望の抵抗値が得られるまで、必要なステップを繰り返す。
【００２７】
以上のプロセスにより、ローバーの最終的なラッピング面の傾きを、Ｓ｜ｔａｎθ｜＜１０（ｎｍ）という条件を満たすようにすることができる。ラッピング面の傾きθがこの条件を満たしているかどうかは断面ＳＥＭなどにより容易に確認することができる。
【００２８】
図１０に、本発明の第２の実施例において、第１および第３のＥＬＧを含んだローバーをラッピングマシンに取り付けた状態を概略的に示す。図８と同様に、垂直記録ヘッドはシールディッドポールタイプである。再生素子２２の両側に隣接して第１のＥＬＧ６１が形成され、それぞれの第１のＥＬＧ６１にリード７１が接続されている。また、リターンヨーク３２のトレーリング側に２つの第３のＥＬＧ６３が形成され、それぞれの第３のＥＬＧ６３にリード７３が接続されている。なお、第３のＥＬＧ３８は再生素子２２および主磁極９に対してダウントラック方向のセンターライン上に１つだけ配置してもよい。実施例１との違いは、主磁極３１の両側に隣接してＥＬＧを配置する場合に比べてプロセス面で容易になることである。それぞれのリード７１、７２は制御装置５５に接続されている。第３のＥＬＧ６３およびリード７３には、第１の実施例における第１のＥＬＧ６１およびリード７１ならびに第２のＥＬＧ６２およびリード７２と同様な構成および材料が用いられる。制御装置５５は第１のＥＬＧ６１の抵抗値をモニタし、ラッピング制御を行うことにより再生素子２２のＳＨを調整する。また、制御装置５５は第１のＥＬＧ６１および第３のＥＬＧ６３の抵抗値をモニタし、両者の抵抗値に差が生じた場合に制御装置５５内部のフィードバック回路を作動させ、目標の抵抗値からのずれが大きいＥＬＧの上部に対してピストン５３（図５図示）により圧力を加え、ラッピング制御を行うことによりリターンヨーク３２のＮＨの制御を調整することができる。このラッピング工程のプロセスフローは実施例１で説明した図９と同様である。本実施例でも、実施例１と同様な効果が得られる。
【００２９】
図１１に、本発明の第３の実施例において、第１、第２および第３のＥＬＧを含んだローバーをラッピングマシンに取り付けた状態を概略的に示す。図８と同様に、垂直記録ヘッドはシールディッドポールタイプである。再生素子２２の両側に隣接して第１のＥＬＧ６１が形成され、それぞれの第１のＥＬＧ６１にリード７１が接続されている。また、主磁極３１の両側に隣接して２つの第２のＥＬＧ６２が形成され、それぞれの第２のＥＬＧ６２にリード７２が接続されている。また、リターンヨーク３２のトレーリング側に２つの第３のＥＬＧ６３が形成され、それぞれの第３のＥＬＧ６３にリード７３が接続されている。それぞれのリード７１、７２、７３は制御装置５５に接続されている。制御装置５５は第１のＥＬＧ６１の抵抗値をモニタし、ラッピング制御を行うことにより再生素子２２のＳＨを調整する。また、制御装置５５は第１のＥＬＧ６１、第２のＥＬＧ６２および第３のＥＬＧ６３の抵抗値をモニタし、両者の抵抗値に差が生じた場合に制御装置５５内部のフィードバック回路を作動させ、目標の抵抗値からのずれが大きいＥＬＧの上部に対してピストン５３（図５図示）により圧力を加え、ラッピング制御を行うことによりリターンヨーク３２のＮＨの制御を調整することができる。このラッピング工程のプロセスフローは実施例１で説明した図９と同様である。本実施例でも、実施例１、２と同様な効果が得られる。
【００３０】
上述した実施例１〜３では、ＥＬＧの抵抗値をモニタして再生素子のＳＨを調整する場合について説明したが、ＥＬＧを用いず再生素子の抵抗値をモニタするか、またはＥＬＧの抵抗値および再生素子の抵抗値の両方をモニタしてラッピング制御を行うことにより再生素子のＳＨを調整することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る磁気ディスク装置を示す斜視図。
【図２】本発明に係る垂直記録ヘッドの断面図。
【図３】本発明に係る垂直記録ヘッドの主磁極の正面図およびリターンヨークの側面図。
【図４】本発明に係る磁気ヘッドの製造に用いられるウエハの平面図。
【図５】本実施例に係るラッピング装置の概略図。
【図６】従来のラッピング方法を説明する概略図。
【図７】ＮＨまたはＴＨに対するＭＷＷまたはＯＷの変化を示す図。
【図８】本発明の第１の実施例におけるラッピング方法を説明する概略図。
【図９】本発明に係るラッピング工程のフローチャート図。
【図１０】本発明の第２の実施例におけるラッピング方法を説明する概略図。
【図１１】本発明の第３の実施例におけるラッピング方法を説明する概略図。
【符号の説明】
【００３２】
１…磁気ディスク、２…スピンドル、３…ピボット、４…アクチュエータアーム、５…サスペンション、６…ヘッドスライダ、１０…垂直磁気ヘッド、２０…再生ヘッド、２１、２３…シールド、２２…再生素子、２５…リード、３０…記録ヘッド、３１…主磁極、３２…リターンヨーク、３３…コイル、４０…ウエハ、４５…ローバー、５０…ラッピングマシン、５１…ラッピング板、５２…治具、５３…ピストン、５５…制御装置、６１…第１の電子ラッピングガイド（ＥＬＧ）、６２…第２のＥＬＧ、６３…第３のＥＬＧ、７１、７２、７３…リード。
【図１】
2006209905.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006209905.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2006209905.tif 000013