(57)【要約】【課題】磁気ヘッドの走行面は、ガラスや磁性体などの硬度や磨耗性が異なる材料で構成されており、通常のテ−プ研摩では、それらの境界面で段差が発生する。この段差により、ヘッド／テ−プ間でスペ−スが存在し、出力ダウンの原因となる。特に記録密度が大きくなればなるほど、記録波長が短くなり、スペ−スによる出力ダウンの影響が大きくなる。【解決手段】研摩ディスクに磁気ヘッドを任意の方向に傾斜させる機構を設けることで、様々な仕様の磁気ヘッドの研摩時の走行方向を所望の方向にセットすることが出来、段差の発生を抑えることが出来る。研摩時の磁気ヘッドの走行方向は、ディスクの回転方向と磁気ヘッドのトラック幅を規制する溝とが略平行方向になるようにセットすることで、異種材料間での段差の発生を最小化する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドを固定する研磨ディスクと、前記磁気ヘッドと研摩ディスクが所定の角度をなすように調整できる機構と、前記研摩ディスクを高速で回転させるスピンドルと、前記磁気ヘッドを研摩する研摩テ−プの走行方向を決めるガイドシャフトを有したことを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。
【請求項２】
磁気ヘッドのテ−プ走行面研摩時に、研摩ディスクの回転方向とトラック幅を規制する溝の方向とが略同一方向であることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高密度記録においても優れたヘッド出力を有する、ＶＴＲおよびテープストリーマ用の磁気ヘッドの製造装置および磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＶＴＲ等の回転シリンダ−に搭載される磁気ヘッドの最終の製造工程ではテ−プ走行面を非常に面粗さの細かい研摩テ−プを用いて研磨し、磁気テ−プとのスム−ズなコンタクトを得られるように所定の形状に研摩を行う。
【０００３】
このテ−プ研摩の一般的な方法としては、図４に示すように、磁気ヘッドチップ３１をヘッドベ−ス３２の所定の位置に貼り付け、その磁気ヘッドの先端面（以下、テ−プ走行面３３）を研摩テ−プ等で研摩し、所定のギャップデプス３４、所望の前面の曲率半径３５（長手方向、幅方向）、表面粗さなどが得られるようにする方法がある。
【０００４】
このテ−プ走行面の研磨方法としては、図５に示すように、研摩テ−プ４３を、研摩ディスク４１の円盤面に対してある角度を持たせ、その長手方向４５に微速で送りながら、研摩ディスク４１を高速回転４６させ、その外周上にセットされた磁気ヘッド４２先端のテ−プ走行面３３を研摩する。この研摩テ−プを円盤面に対してある角度を持たせるのは、平行状態では研磨テ−プの使用領域が狭くなり、研摩テ−プの同じ部分で研摩が行われるので研摩効率が悪いこと、研摩紛がテ−プ走行面を傷つけたりするためである。
【０００５】
このような走行面の最終形状に要望されることとして、ギャップデプスを所定の値にする、表面の円弧形状を所定の値にするなどがあげられる（例えば、特許文献１又は２参照。）。
【０００６】
またプロセス的には、通常は一個、多くても数個単位で処理することが多いため、時間や工数がかかりやすい工程であるので、作業性を高めるための発明も考案されている（例えば、特許文献３参照。）。
【０００７】
しかしながら、ヘッド性能を考えた場合には、磁気ヘッドのテ−プ走行面の段差を小さくすると言ったミクロな観点での取組が非常に重要である。というのは、今後さらに記録密度が大きくなると、記録波長が短くなる。一般的には磁気ヘッドの出力損失は下記の数式１で表される。
【０００８】
【数１】
2006202363.tif 000003
【０００９】
この式から、スペ−スｄが同じでも、記録波長が短くなるほど、出力損失は大きくなることがわかり、線記録密度が高くなるほど、スペ−スｄを小さくすることが必要となり、このためには、ヘッドの表面の凹凸をさらに小さくすることが必要となる。
【００１０】
磁気ヘッドの場合にはテープ走行面には例えば図２に示すように、単結晶フェライト２１、ガラス２２、金属磁性膜２３、などの硬さや磨耗性が異なった材料が存在し、表面を研磨した場合に、その研磨条件により境界面で発生する段差に大きな影響があることがわかっている。
【００１１】
従来の発明の研磨方法では、一般的に高密度記録に使われるアジマス角度を有する磁気ヘッドを研磨する場合には、ディスクの回転方向がトラック幅を規制する溝と６〜３０度程度の角度を有するために、どうしても境界面で段差が発生しやすいという問題があった。
【特許文献１】特開平６−３１２３５９号公報
【特許文献２】特開昭６２−２８２８５９号公報
【特許文献３】特開平９−５２６６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
磁気ヘッドのテ−プ走行面は、フェライトやガラス等の異なった種類の材料で構成されており、走行面を研摩テ−プで研摩した場合に、その異種材料間の境界で段差が発生し、このことが原因となって磁気ヘッドと磁気テープの間にスペースが発生して、出力が低下することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
テープ走行面を研磨する際に、研磨ディスクに固定した磁気ヘッドのトラック幅を規制する溝と研磨ディスクの回転方向が略平行方向になるように研磨を行うことである。この方法を用いれば、硬さや磨耗性に最も大きな差があるフェライト材料とガラス材料の境界面に対して、研磨テープが横切る速度成分が非常に小さいために、この境界部で段差の発生を抑えることができる。
【００１４】
さらには研磨装置に、磁気ヘッドとそれを固定する研摩ディスクとが任意の角度をなすような調整機構を持たすことにより、磁気ヘッドのトラック幅を規制する溝とディスクの回転方向とを略平行方向になるようにセットでき、境界面での段差の発生を極力小さくできる磁気ヘッドの製造装置の実現が可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、磁気ヘッドのテープ走行面での凹凸を極力小さくすることができ、その結果、磁気ヘッドと磁気テ−プ間のスペ−スを小さくすることが出来、短波長領域においても出力損失の少ない、安定したヘッド出力を得ることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の請求項１に記載の発明は、磁気ヘッドを固定する研磨ディスクと、前記磁気ヘッドと研摩ディスクが所定の角度をなすように調整できる機構と、前記研摩ディスクを高速で回転させるスピンドルと、前記磁気ヘッドを研摩する研摩テ−プの走行方向を決めるガイドシャフトを有したことを特徴とする磁気ヘッドの製造装置であり、研摩ディスクと磁気ヘッドとの間の角度を調整する機構を設けることで、テ−プ走行面研摩時に磁気ヘッドのテ−プ走行面と研摩テ−プが所望の角度をなすように、設定することが可能になる。
【００１７】
本発明の請求項２に記載の発明は、磁気ヘッドのテ−プ走行面研摩時に、研摩ディスクの回転方向とトラック幅を規制する溝の方向とが略同一方向であることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法であり、テ−プ研摩時に磁気ヘッドと研摩ディスクとを所定の角度傾けることにより、研摩ディスクの回転方向と磁気ヘッドのトラック幅規制溝の方向を略同一方向にし、テ−プ走行面の凹凸を極力小さくするようにしている。
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図１〜図３を用いて詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは無い。
【００１９】
（実施の形態１）
図１（ａ）は、第１の発明の実施の形態の磁気ヘッドの製造装置の構成を示す図であり、図１（ｂ）は研摩ディスクと磁気ヘッドを固定する部分の拡大図である。
【００２０】
図１（ａ）は、磁気ヘッドを研摩テ−プで研摩するための装置であり、磁気ヘッド２をその先端が外周の所定の位置になるように取りつけた研摩ディスク１と、その研摩ディスク１を高速回転させるためのスピンドル４と、研摩ディスクの上下に保護部材３が取りつけられ、磁気ヘッドを研摩するための研摩テ−プ６の走行方向を決めるガイドシャフト５とから構成されている。７は研摩テ−プの走行方向であり、磁気ヘッドを研摩する部分では、研磨ディスクに対して斜め方向にテ−プが走行するように、ガイドシャフトの位置を調整している。研摩を行うときには、研摩テ−プを微速で送りながら、研磨ディスク１を高速で回転し、磁気ヘッドのテ−プ走行面を研磨する。
【００２１】
ここで、本発明のポイントになるのは、磁気ヘッド２を研摩ディスク１に固定する際に、図1（ｂ）に示すように両者が所定の角度θ１２となるように、所定のスペ−サ１１を挟み込んで固定できるような構成にすることで、角度θ１２を調整する機能を持った構成となっていることであり、このスペ−サ１１を挟み込むことが出来る構造にすることで、スペ−サ１１の角度を所望の角度にすることにより、磁気ヘッド２と研摩ディスク１とを所望の角度に傾けることが可能となる。
【００２２】
（実施の形態２）
図２は、磁気ヘッドのテ−プ走行面を表した図である。ここでは、磁気ギャップ２４近傍に金属磁性膜２３を設けた、いわゆるＭＩＧタイプのヘッドで代表させている。
【００２３】
２７、２８はこの磁気ヘッドのトラック幅を規制する溝（以下、トラック幅規制溝）であり、トラックの側面を構成している。このトラック幅規制溝により磁気ヘッドのトラック２６が構成されており、トラックの周りには、非磁性体であるガラス２２が構成されている。このガラス２２は、単結晶フェライト２１に比べて軟らかく、磨耗しやすいために、トラック幅規制溝の部分では、両者の境界でテ−プ研摩を行った際に段差が発生しやすい構成になっている。
【００２４】
従来のテ−プ研摩の方法では、図３（ａ）に示すように、研摩ディスクの回転方向２９がトラック３０を横切るように研摩される。一方、本発明の場合は、図３（ｂ）に示すように、研摩ディスクと磁気ヘッドを所定の角度で調整できるので、研摩ディスクの回転方向２９とトラック３０が略平行になるようにセットすることが可能になる。
【００２５】
図３の（ａ）、（ｂ）で示す方法で研摩を行った時のトラック幅規制溝で発生する段差について検討を行った。使用した仕上げ研摩テ−プは、研磨剤が酸化鉄、酸化クロム、ダイヤモンドから構成され（市販品）、面粗さが＃２００００、研摩ディスクの回転数は２０００ｒｐｍで行った。検討サンプル数は（ａ）、（ｂ）各１０個である。
【００２６】
これらの実験結果に関して、発生する段差の最大値を比較すると、（ａ）では最大で６ｎｍ程度あった段差が、（ｂ）３ｎｍであり、本発明の研摩手法を用いた場合に、テープ走行面での段差を小さくする効果があることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明の磁気ヘッドの製造装置および製造方法により、磁気ヘッドのテ−プ走行面の段差を極めて小さくすることが可能となり、デジタルＶＴＲやデータストリーマー等の磁気記録再生システムで今後さらに記録密度が高くなった場合にも、これらのシステムに用いられる磁気ヘッドに適用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態1による、磁気ヘッドの製造装置の構成を示す図（ｂ）研摩ディスクと磁気ヘッドを固定する部分の拡大図
【図２】磁気ヘッドのテ−プ走行面を表した図
【図３】（ａ）従来のテ−プ走行面のテ−プ研摩方法を表す図（ｂ）本発明のテ−プ走行面のテ−プ研摩方法を表す図
【図４】磁気ヘッドの構成を表す図
【図５】従来のテ−プ走行面のテ−プ研磨方法を表す図
【符号の説明】
【００２９】
１    研摩ディスク
２    磁気ヘッド
３    保護部材
４    スピンドル
５    ガイドシャフト
６    研摩テ−プ
７    研摩テ−プの走行方向
８    ディスクの回転方向
１１    スペ−サ
１２    角度θ
２１    単結晶フェライト
２２    ガラス
２３    金属磁性膜
２４    磁気ギャップ
２５    研摩方向
２６    トラック
２７    トラック幅規制溝
２８    トラック幅規制溝
２９    研摩ディスクの回転方向
３０    トラック
３１    磁気ヘッドチップ
３２    ヘッドベース
３３    テ−プ走行面
３４    ギャップデプス
３５    曲率半径
４１    研摩ディスク
４２    磁気ヘッド
４３    研摩テ−プ
４４    ガイドシャフト
４５    研摩テ−プ走行方向
４６    研摩ディスクの回転方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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