(57)【要約】【課題】  Ｐｂフリーで、ＴＣＲに優れた厚膜抵抗体を実現し得る厚膜抵抗体用ガラス組成物及び厚膜抵抗体ペーストを提供する。【解決手段】  下記に組成を示すように、ＡｇやＰｄ等の貴金属元素を含有することを特徴とする厚膜抵抗体用ガラス組成物である。ガラス組成物は、導電性材料及び有機ビヒクルと混合されて厚膜抵抗体用ペーストとされ、これを例えば印刷して焼き付けることで、厚膜抵抗体とされる。  ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯから選択される１種若しくは２種以上：１３〜４５モル％  Ｂ２Ｏ３，ＳｉＯ２から選択される１種若しくは２種：３５〜８０モル％  ＺｒＯ２，Ａｌ２Ｏ３から選択される１種若しくは２種：０〜１１モル％  Ｔａ２Ｏ５，Ｎｂ２Ｏ５から選択される１種若しくは２種：０〜８モル％  ＭｎＯ：０〜１５モル％  貴金属元素から選択される１種若しくは２種以上：０．１〜１０モル％【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の組成を有することを特徴とする厚膜抵抗体用ガラス組成物。
ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯから選択される１種若しくは２種以上：１３〜４５モル％
Ｂ２Ｏ３，ＳｉＯ２から選択される１種若しくは２種：３５〜８０モル％
ＺｒＯ２，Ａｌ２Ｏ３から選択される１種若しくは２種：０〜１１モル％
Ｔａ２Ｏ５，Ｎｂ２Ｏ５から選択される１種若しくは２種：０〜８モル％
ＭｎＯ：０〜１５モル％
貴金属元素から選択される１種若しくは２種以上：０．１〜１０モル％
【請求項２】
前記貴金属元素が、Ａｇ、Ｐｄから選ばれる１種または２種であることを特徴とする請求項１記載の厚膜抵抗体用ガラス組成物。
【請求項３】
少なくともガラス組成物及び導電性材料を含み、これらが有機ビヒクルと混合されてなる厚膜抵抗体ペーストであって、前記ガラス組成物は、下記の組成を有することを特徴とする厚膜抵抗体ペースト。
ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯから選択される１種若しくは２種以上：１３〜４５モル％
Ｂ２Ｏ３，ＳｉＯ２から選択される１種若しくは２種：３５〜８０モル％
ＺｒＯ２，Ａｌ２Ｏ３から選択される１種若しくは２種：０〜１１モル％
Ｔａ２Ｏ５，Ｎｂ２Ｏ５から選択される１種若しくは２種：０〜８モル％
ＭｎＯ：０〜１５モル％
貴金属元素から選択される１種若しくは２種以上：０．１〜１０モル％
【請求項４】
前記貴金属元素が、Ａｇ、Ｐｄから選ばれる１種または２種であることを特徴とする請求項３記載の厚膜抵抗体ペースト。
【請求項５】
前記導電性材料として、ＣａＲｕＯ３、ＢａＲｕＯ３、ＳｒＲｕＯ３、Ｂｉ２Ｒｕ２Ｏ７、ＲｕＯ２から選ばれる１種若しくは２種以上を含有することを特徴とする請求項３または４記載の厚膜抵抗体ペースト。
【請求項６】
添加物としてチタン化合物を含むことを特徴とする請求項３から５のいずれか１項記載の厚膜抵抗体ペースト。
【請求項７】
前記チタン化合物が、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＭｇＴｉＯ３、ＣｏＴｉＯ３，ＮｉＴｉＯ３から選択される１種若しくは２種以上であることを特徴とする請求項６記載の厚膜抵抗体ペースト。
【請求項８】
添加物としてＣｕＯまたはＣｕ２Ｏを含むことを特徴とする請求項３から７のいずれか１項記載の厚膜抵抗体ペースト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、厚膜抵抗体の形成に用いて好適な厚膜抵抗体用ガラス組成物に関するものであり、さらには、係るガラス組成物を用いた厚膜抵抗体ペーストに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば抵抗体ペーストは、一般に、抵抗値の調節及び結合性を与えるためのガラス組成物と、導電性材料と、有機ビヒクルとを主たる成分として構成されており、これを基板上に印刷した後、焼成することによって、厚さ５〜２０μｍ程度の厚膜抵抗体が形成される。そして、この種の抵抗体ペースト（厚膜抵抗体）においては、通常、導電性材料として酸化ルテニウム（ＲｕＯ２）や鉛ルテニウム酸化物等が用いられ、ガラスとして酸化鉛（ＰｂＯ）系ガラス等が用いられている。
【０００３】
近年、環境問題が盛んに議論されてきており、例えばはんだ材料等においては、鉛を除外することが求められている。厚膜抵抗体も例外ではなく、したがって、環境に配慮した場合、ＰｂＯ系ガラスは勿論のこと、導電性材料であるＰｂ２Ｒｕ２Ｏ６の使用も避けなければならない。このような状況から、使用するガラスや導電性材料等から鉛を排除した鉛フリーの厚膜抵抗体ペーストについての研究がなされている（例えば、特許文献１〜特許文献５等を参照）。
【特許文献１】特開平８−２５３３４２号公報
【特許文献２】特開平１０−２２４００４号公報
【特許文献３】特開２００１−１９６２０１号公報
【特許文献４】特開平１１−２５１１０５号公報
【特許文献５】特許第３０１９１３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述の特許文献１〜特許文献５記載の発明では、例えば温度特性（ＴＣＲ）に優れた厚膜抵抗体を提供するという観点からは、その効果は不十分と言わざるを得ない。前記各特許文献記載の発明は、これらの特性の改善を目的とするものではなく、前記効果の不足は当然とも言える。
【０００５】
厚膜抵抗体の鉛フリー化における課題の一つとして、例えば低抵抗（１０ｋΩ／□以下程度）の厚膜抵抗体において、抵抗値が温度によって大きく変動し、温度特性の低下が顕著になることが挙げられる。低抵抗化に伴い導電性材料の割合が増加するが、導電性材料は温度特性をプラス（＋）側にシフトさせる方向に作用し、厚膜抵抗体全体で見たときに、ＴＣＲ値が大きくなり、温度特性の低下が問題になる。
【０００６】
本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、温度特性（ＴＣＲ）に優れた厚膜抵抗体を形成することが可能な厚膜抵抗体用ガラス組成物及び厚膜抵抗体ペーストを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、前述の目的を達成するために、長期に亘り鋭意研究を重ねてきた。その結果、厚膜抵抗体に使用するガラス組成物の組成を見直すことで、ＴＣＲを大幅に改善し得ることを見出すに至った。
【０００８】
本発明は、このような知見に基づいて完成されたものである。すなわち、本発明の厚膜抵抗体用ガラス組成物は、下記の組成を有することを特徴とする。
ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯから選択される１種若しくは２種以上：１３〜４５モル％
Ｂ２Ｏ３，ＳｉＯ２から選択される１種若しくは２種：３５〜８０モル％
ＺｒＯ２，Ａｌ２Ｏ３から選択される１種若しくは２種：０〜１１モル％
Ｔａ２Ｏ５，Ｎｂ２Ｏ５から選択される１種若しくは２種：０〜８モル％
ＭｎＯ：０〜１５モル％
貴金属元素から選択される１種若しくは２種以上：０．１〜１０モル％
【０００９】
また、本発明の厚膜抵抗体ペーストは、少なくともガラス組成物及び導電性材料を含み、これらが有機ビヒクルと混合されてなる厚膜抵抗体ペーストであって、前記ガラス組成物は、下記の組成を有することを特徴とする。
ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯから選択される１種若しくは２種以上：１３〜４５モル％
Ｂ２Ｏ３，ＳｉＯ２から選択される１種若しくは２種：３５〜８０モル％
ＺｒＯ２，Ａｌ２Ｏ３から選択される１種若しくは２種：０〜１１モル％
Ｔａ２Ｏ５，Ｎｂ２Ｏ５から選択される１種若しくは２種：０〜８モル％
ＭｎＯ：０〜１５モル％
貴金属元素から選択される１種若しくは２種以上：０．１〜１０モル％
【００１０】
本発明の厚膜抵抗体用ガラス組成物において特徴的なのは、ＡｇやＰｄ等の貴金属元素を含むことである。貴金属元素は、通常、導電性材料として抵抗体ペーストに含有されるが、予めガラス組成に含ませておくことで、抵抗体とした時のＴＣＲ特性が大幅に改善される。
【００１１】
なお、ガラス組成物においては、各酸化物はそのままの形で含有されるわけではなく、例えば複合酸化物の形態となっているものと推測される。しかしながら、本明細書においては、ガラス組成物における組成の表記は、通例にしたがい、各酸化物に換算したときの含有量として表記する。例えば、厚膜抵抗体ペーストや厚膜抵抗体に含まれるガラス組成物は、厳密に言えばＣａをＣａＯの形態のまま含有するわけではない。また、Ｃａ原料は、通常はＣａＣＯ３の形で原料組成に添加される。したがって、「ＣａＯ１３〜４５モル％」とは、ガラス組成物を構成する複合酸化物がＣａをＣａＯ換算で１３〜４５モル％含有するという意味である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、厚膜抵抗体としたときにＴＣＲ特性を大幅に改善することが可能な厚膜抵抗体用ガラス組成物及び厚膜抵抗体用ペーストを実現することができ、したがって、これらを用いることにより品質に優れた厚膜抵抗体を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を適用した厚膜抵抗体用ガラス組成物及びこれを用いた厚膜抵抗体ペーストについて詳細に説明する。
【００１４】
先ず、本発明の厚膜抵抗体用ガラス組成物は、環境保全上、鉛を実質的に含まない鉛フリーのガラス組成物である。なお、本発明において、「鉛を実質的に含まない」とは、不純物レベルを越える鉛を含まないことを意味し、不純物レベルの量（例えば、ガラス組成物中の含有量が０．０５質量％以下程度）であれば含有されていてもよい趣旨である。鉛は、不可避不純物として極微量程度、含有されることがある。
【００１５】
そして、本発明の厚膜抵抗体ペースト用ガラス組成物は、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯのいずれかを主たる修飾酸化物成分とし、Ｂ２Ｏ３やＳｉＯ２を網目形成酸化物成分とするとともに、第２の修飾酸化物成分としてＺｒＯ２やＡｌ２Ｏ３を、第３の修飾酸化物成分としてＴａ２Ｏ５やＮｂ２Ｏ５を含有するものであり、さらにはＡｇやＰｄ等の貴金属元素を含有することを特徴とするものである。
【００１６】
ここで、ガラス組成物における各成分の含有量について説明すると、先ず、主たる修飾酸化物成分は、ガラス組成物中に１３モル％〜４５モル％含有されることが好ましい。主たる修飾酸化物成分の含有量が前記範囲を下回る場合、ＴＣＲやＳＴＯＬ等の特性を劣化させるおそれがある。逆に、主たる修飾酸化物成分の含有量が前記範囲を越える場合、厚膜抵抗体を形成した時に、過剰な修飾酸化物成分の析出が起こり、特性、信頼性を劣化させるおそれがある。
【００１７】
網目形成酸化物成分であるＢ２Ｏ３とＳｉＯ２は、ガラス組成物中に３５モル％〜８０モル％含有されることが好ましい。Ｂ２Ｏ３とＳｉＯ２の比率は任意である。網目形成酸化物成分の含有量が少ない場合、ガラス組成物の軟化点が高くなるため、所定の焼成温度にて厚膜抵抗体を形成した場合、厚膜抵抗体の焼結が不十分となり、信頼性を低下させるおそれがある。逆に、網目形成酸化物成分の含有量が多すぎる場合、ガラス組成物の耐水性が低下するため、厚膜抵抗体としたときの信頼性を低下させるおそれがある。
【００１８】
第２の修飾酸化物成分は、ガラス組成物中に１１モル％以下の範囲で含有されることが好ましい。第２の修飾酸化物成分の含有量が１１モル％を越える場合、厚膜抵抗体を形成した時に、過剰な金属酸化物の析出が起こり、特性、信頼性を劣化させるおそれがある。
【００１９】
第３の修飾酸化物成分は、ガラス組成物中に８モル％以下の範囲で含有されることが好ましい。第３の修飾酸化物成分の含有量が８モル％を越えると、ＴＣＲやＳＴＯＬ等の特性が劣化するおそれがある。
【００２０】
また、本発明のガラス組成物は、前記各成分に加えて、ＭｎＯを含んでいてもよい。ＭｎＯを含有することで、１ｋΩ程度の比較的抵抗値の低い厚膜抵抗体を実現することができる。ただし、この場合のＭｎＯの含有量は、１５モル％以下とすることが好ましい。ＭｎＯの含有量が１５モル％を越えると、ＴＣＲに悪影響を及ぼす可能性がある。
【００２１】
本発明のガラス組成物は、前記各酸化物成分の他、貴金属元素を含有する。貴金属元素としては、任意の元素を用いることができるが、ＡｇやＰｄにおいて効果が高い。前記貴金属元素のガラス組成物中における含有量としては、０．１〜１０モル％とすることが好ましい。貴金属元素は、比較的少量の添加でＴＣＲ改善に大きな効果を発揮する。逆に、貴金属元素の含有量が１０モル％を越えると、却ってＴＣＲが劣化するおそれがある。
【００２２】
なお、前記貴金属元素は、ガラス組成物中に析出した状態で分散しているのではなく、元素レベルで溶け込んでいる必要がある。したがって、ガラス組成物を調製する際に、予め原料組成として添加することが好ましい。勿論、これに限らず、例えば前記酸化物成分により調製したガラスに貴金属を加え、これを加熱溶融することで加えた貴金属元素をガラス中に溶け込ませることで調製することも可能である。
【００２３】
以上のことから、本発明の厚膜抵抗体用ガラス組成物の組成は、下記のように表すことができる。
ＣａＯ，ＳｒＯ，ＢａＯから選択される１種若しくは２種以上：１３〜４５モル％
Ｂ２Ｏ３，ＳｉＯ２から選択される１種若しくは２種：３５〜８０モル％
ＺｒＯ２，Ａｌ２Ｏ３から選択される１種若しくは２種：０〜１１モル％
Ｔａ２Ｏ５，Ｎｂ２Ｏ５から選択される１種若しくは２種：０〜８モル％
ＭｎＯ：０〜１５モル％
貴金属元素から選択される１種若しくは２種以上：０．１〜１０モル％
【００２４】
前記組成範囲を外れると、前述のような効果を十分に得ることができなくなり、ＴＣＲの改善が不十分になるおそれがある。
【００２５】
次に、本発明の厚膜抵抗体ペーストについて説明する。本発明の厚膜抵抗体ペーストは、ガラス組成物、導電性材料、及び必要に応じて添加物を含み、これらが有機ビヒクルと混合されてなるものである。そして、ガラス組成物として、前述のようなガラス組成物を用いる。なお、ガラス組成物は、厚膜抵抗体とされたとき、厚膜抵抗体中で導電性材料及び添加物を基板と結着させる役割を持つ。
【００２６】
導電性材料は、絶縁体であるガラス中に分散されることで、構造物である厚膜抵抗体に導電性を付与する役割を持つ。導電性材料は、特に限定されないが、環境保全上、やはり鉛を実質的に含まない導電性材料を用いることが好ましい。具体的な鉛を実質的に含まない導電性材料としては、ルテニウム酸化物の他、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｇ−Ｐｔ合金、ＴａＮ、ＷＣ、ＬａＢ６、ＭｏＳｉＯ２、ＴａＳｉＯ２、及び金属（Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏなど）が挙げられる。これらの物質は、それぞれ単独で使用しても良いし、２種類以上組み合わせても良い。この中でも、ルテニウム酸化物が好ましい。ルテニウム酸化物としては、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２、ＲｕＯ４等）の他、ルテニウム系パイロクロア（Ｂｉ２Ｒｕ２Ｏ７、Ｔｌ２Ｒｕ２Ｏ７等）やルテニウム複合酸化物（ＳｒＲｕＯ３、ＢａＲｕＯ３、ＣａＲｕＯ３、ＬａＲｕＯ３等）なども含まれる。中でもＲｕＯ２、ＣａＲｕＯ３、ＳｒＲｕＯ３、ＢａＲｕＯ３、Ｂｉ２Ｒｕ２Ｏ７が好ましい。
【００２７】
厚膜抵抗体ペーストには、前記ガラス組成物、導電性材料の他、抵抗値及び温度特性の調整等を目的として、添加物が含まれていてもよい。添加物としては、チタン化合物や金属酸化物等を挙げることができ、適宜選択して使用すればよい。
【００２８】
特に、導電性材料としてＲｕＯ２、ＣａＲｕＯ３、ＳｒＲｕＯ３、ＢａＲｕＯ３、Ｂｉ２Ｒｕ２Ｏ７から選択される１種若しくは２種以上を用いた場合に、チタン化合物としてアルカリ土類金属のチタン酸化合物を添加物として使用することにより、前記ガラス組成物の効果と相俟って、ＴＣＲが大幅に改善される。
【００２９】
前記アルカリ土類金属のチタン酸塩としては、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣａＴｉＯ３、ＭｇＴｉＯ３、ＣｏＴｉＯ３，ＮｉＴｉＯ３等を挙げることができる。これらチタン酸化合物は、抵抗値に応じて選択することが好ましく、また、その場合、組成もそれぞれ最適化することが好ましい。
【００３０】
金属酸化物としては、特に、ＣｕＯやＣｕ２Ｏ等を使用することで、ＳＴＯＬをより一層改善することが可能である。なお、ＣｕＯやＣｕ２Ｏの添加量は、抵抗値に応じて最適範囲が異なり、１ｋΩ／□〜１０ＭΩ／□の厚膜抵抗体を作製するための厚膜抵抗体ペースト用抵抗体組成物においては、０〜５質量％とすることが好ましく、０．１ｋΩ／□〜５００ｋΩ／□の厚膜抵抗体を作製するための厚膜抵抗体ペースト用抵抗体組成物においては、０〜６質量％とすることが好ましい。
【００３１】
前述の抵抗体組成物（ガラス組成物、導電性材料、及び添加物）は、有機ビヒクル中に分散することで厚膜抵抗体ペーストとされるが、厚膜抵抗体ペースト用の有機ビヒクルとしては、この種の厚膜抵抗体ペーストに用いられるものがいずれも使用可能であり、例えば、エチルセルロース、ポリビニルブチラール、メタクリル樹脂、ブチルメタクリレート等のバインダ樹脂と、ターピネオール、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、トルエン、各種アルコール、キシレン等の溶剤とを混合して用いることができる。このとき、各種の分散剤や活性剤、可塑剤等を用途等に応じて適宜併用することも可能である。
【００３２】
前記有機ビヒクルの配合比率であるが、抵抗体組成物の質量（Ｗ１）と、有機ビヒクルの質量（Ｗ２）の比率（Ｗ２／Ｗ１）が、０．２５〜４（Ｗ２：Ｗ１＝１：０．２５〜１：４）であることが好ましい。より好ましくは、前記比率（Ｗ２／Ｗ１）が０．５〜２である。前記比率を外れると、厚膜抵抗体を例えば基板上に形成するのに適した粘度の厚膜抵抗体ペーストを得ることができなくなるおそれがある。
【００３３】
前記厚膜抵抗体ペーストを用いて厚膜抵抗体を形成するには、前述の成分を含む厚膜抵抗体ペーストを例えば基板上にスクリーン印刷等の手法で印刷（塗布）し、８５０℃程度の温度で焼成すればよい。基板としては、Ａｌ２Ｏ３基板やＢａＴｉＯ３基板の誘電体基板や、低温焼成セラミック基板、ＡｌＮ基板等を用いることができる。基板形態としては、単層基板、複合基板、多層基板のいずれであってもよい。多層基板の場合、厚膜抵抗体は、表面に形成してもよいし、内部に形成してもよい。形成された厚膜抵抗体においては、前記厚膜抵抗体ペーストに含まれる抵抗体組成物の組成が、ほぼそのまま維持される。
【００３４】
厚膜抵抗体の形成に際しては、通常、基板に電極となる導電パターンを形成するが、この導電パターンは、例えば、ＡｇやＰｔ，Ｐｄ等を含むＡｇ系の良導電材料を含む導電ペーストを印刷することにより形成することができる。また、形成した厚膜抵抗体の表面に、ガラス膜等の保護膜（オーバーグレーズ）を形成してもよい。
【００３５】
作製される厚膜抵抗体は、各種電子部品等に適用可能であり、例えば単層または多層の回路基板、チップ抵抗器等の抵抗器、アイソレータ素子、Ｃ−Ｒ複合素子、モジュール素子の他、積層チップコンデンサ等のコンデンサやインダクタ、さらにはコンデンサやインダクタ等の電極部分等にも適用することができる。
【実施例】
【００３６】
以下、本発明の具体的な実施例について、実験結果を基に説明する。
【００３７】
＜ガラス組成物の作製＞
ガラス原料としては、ＣａＣＯ３、Ｂ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、ＭｎＯ、及びＡｇを用いた。これらの中から所定の成分を選択して所定量秤量し、白金るつぼに投入して１３５０℃で１時間溶融させた。そして、溶融物を水中に投入することによって急冷し、ガラス化した。得られたガラス化物をボールミルにて湿式粉砕し、ガラス組成物１〜２１を得た。作製したガラス組成物の組成を表１に示す。なお、表１に示す組成において、数値は各成分の割合（モル％）を表し、＊印は本発明で規定する範囲を外れた値である。
【００３８】
【表１】
2006225237.tif 000002
【００３９】
＜有機ビヒクルの作製＞
バインダとしてエチルセルロース、有機溶剤としてテルピネオールを用い、有機溶剤を加熱撹拌しながらバインダを溶かして、有機ビヒクルを作製した。
【００４０】
＜厚膜抵抗体ペーストの作製＞
導電性材料（ＣａＲｕＯ３粉末、ＳｒＲｕＯ３粉末、またはＲｕＯ２粉末）、ガラス組成物粉末及び有機ビヒクルを各組成となるように秤量し、３本ロールミルで混練し、厚膜抵抗体ペーストを得た。なお、導電性材料及びガラス組成物粉末の合計質量と有機ビヒクルの質量の比は、得られた抵抗体ペーストがスクリーン印刷に適した粘度となるように、質量比で１：０．２５〜１：４の範囲で調合し、抵抗体ペーストを作製した。また、導電性材料とガラス組成物の配合比率は、質量比で２０：８０とした。
【００４１】
＜抵抗体の作製＞
９６％のアルミナ基板上に、Ａｇ−Ｐｔ導体ペーストを所定形状にスクリーン印刷して乾燥させた。Ａｇ−Ｐｔ導体ペーストにおけるＡｇの割合は９５質量％、Ｐｔの割合は５質量％とした。このアルミナ基板をベルト炉に入れ、投入から排出まで１時間のパターンで焼き付けを行った。この時の焼き付け温度は８５０℃、その温度での保持時間は１０分間とした。
【００４２】
このようにして導体が形成されたアルミナ基板上に、先に作製した厚膜抵抗体ペーストをスクリーン印刷法にて所定の形状（１ｍｍ×１ｍｍの方形状）のパターンで塗布し、乾燥した。その後、導体焼き付けと同じ条件で厚膜抵抗体ペーストを焼き付け、厚膜抵抗体を得た。
【００４３】
＜抵抗体の特性評価＞
（１）抵抗値
Agilent Technologies 社製の製品番号 34401Aにより測定。試料数２４個の平均値を求めた。
【００４４】
（２）ＴＣＲ
室温２５℃を基準として、−５５℃及び１２５℃へ温度を変えた時の抵抗値変化率を求めた。試料数１０個の平均値である。−５５℃、２５℃、１２５℃の抵抗値をR-55、R25、R125（Ω／□）とおくと、ＴＣＲ（ppm／℃）＝［(R-55-R25)/R25/80］×1000000、あるいは、ＴＣＲ（ppm／℃）＝［(R125-R25)/R25/100］×1000000である。数値の大きい方をＴＣＲ値とした。
【００４５】
＜ガラス組成物の成分に関する検討＞
表１に示す各ガラス組成物を用いて厚膜抵抗体（試料１〜試料２３）を作製し、各厚膜抵抗体の特性（抵抗値、ＴＣＲ）を評価した。評価結果を表２に示す。なお、表２において、＊印を付した試料は、ガラス組成物の成分のいずれかの組成が本発明で規定する範囲を外れており、比較例に相当するものである。
【００４６】
【表２】
2006225237.tif 000003
【００４７】
表２から明らかなように、ガラス組成物の組成比を適正なものとした試料１０〜試料２３においては、ＴＣＲがほぼ±２００ｐｐｍ以下程度と小さくなっている。これに対して、本発明の組成範囲を外れるガラス組成物を用いた試料では、ＴＣＲが±４００ｐｐｍを越え、明らかな特性劣化が見られる。
【００４８】
＜添加物に関する検討＞
前記厚膜抵抗体ペーストの作製に際して、ガラス組成物として表１中のガラス組成物１６を用いるとともに、添加物としてＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＣｕＯ、Ｃｕ２Ｏから選択して用い、前記抵抗体の作製の項の記述にしたがって抵抗体（試料２４〜試料２８）を作製した。これら各試料における抵抗体ペーストの組成、及び特性評価結果を表３に示す。なお、表中における数値は、各成分の組成（質量％）を表す。前記添加物を添加することにより、ＴＣＲがより一層改善されることがわかる。
【００４９】
【表３】
2006225237.tif 000004