(57)【要約】【目的】  内部空間と外気との間の通気を制限する多孔質体を有するガスセンサにおいて、多孔質体の通気性をより正確に調整できるガスセンサの製造方法を提供すること。【構成】  空燃比センサ１００の製造方法は、調整成分を溶解した含浸液を用いて多孔質体１３５の通気性を低下させて調整するトリミング工程を備える。この工程は、含浸液を多孔質体１３５内に含浸させると共に多孔質体１３５の外部表面１３５ｈ上に含浸液の液滴ＥＴが溜まった状態とする含浸工程と、含浸液の液滴ＥＴを除去する液滴除去工程と、加熱により、多孔質体１３５内に含浸された含浸液に含まれる調整成分を多孔質体１３５をなす構造材に付着等させて、その通気性を低下させる付着結合工程とを含む。【選択図】        図３
2006201060.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス濃度を検出可能な検出素子の内部に内部空間が形成され、
前記内部空間と外気との間の通気を制限する多孔質体を有する
ガスセンサの製造方法であって、
前記多孔質体をなす構造材に加熱または乾燥により付着または結合する調整成分を溶解した含浸液を用い、前記多孔質体の通気性を低下させて調整するトリミング工程を備え、
前記トリミング工程は、
前記含浸液を前記多孔質体の外部表面に接触させて、前記含浸液を前記多孔質体内に含浸させると共に、前記多孔質体の外部表面上に前記含浸液の液滴が溜まった状態とする含浸工程と、
前記多孔質体の外部表面上に溜まった前記含浸液の液滴を除去する液滴除去工程と、
少なくとも前記多孔質体を加熱または乾燥させ、前記多孔質体内に含浸された前記含浸液に含まれる前記調整成分を前記多孔質体をなす構造材に付着または結合させて、前記多孔質体の通気性を低下させる付着結合工程と、
を含む
ガスセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス濃度を検出可能な検出素子を有するガスセンサの製造方法に関し、特に、検出素子に内部空間が形成され、この内部空間と外気との間の通気を制限する多孔質体を有するガスセンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ガス濃度を検出可能な検出素子に内部空間を有すると共に、この内部空間と外気との間の通気を制限する多孔質体を有するガスセンサが知られている。具体的には、例えば、酸素イオンを伝導する固体電解質体の両面に電極が形成されたポンプ素子を有し、このポンプ素子の一方の電極側に内部空間が接して設けられ、更に、この内部空間と外部との間に外気の通気を制限する多孔質体が設けられた検出素子を備えるガスセンサが知られている。更に、このようなガスセンサには、ポンプ素子に電圧をかけることによって内部空間内の酸素を内部空間外へ排出し、このときの限界電流等により外気中の被測定ガス濃度を測定する限界電流方式のガスセンサや、ポンプ素子に加えて、ポンプ素子と同様の構造の濃淡電池素子を内部空間に接して設け、この濃淡電池素子の出力が一定となるようにポンプ素子の電流を調節することで、その電流値から外気中の被測定ガス濃度を測定するガスセンサなどがある。
【０００３】
これらのガスセンサの被測定ガス濃度と出力特性の関係は、多孔質体の通気性（ガス拡散制限作用の程度）によって規定される。従って、ガス拡散制限作用の程度を所望の値に対しできる限り正確に調整する必要がある。
ガス拡散制限作用の程度を調整する方法として、例えば、特許文献１に開示された方法が知られている。即ち、まず、ガスセンサ（検出素子）を製造し、その多孔質体のガス拡散制限作用の程度を測定する。その後、測定されたガス拡散作用の程度に応じて、多孔質体をなす構造材に加熱または乾燥により付着または結合する調整成分を溶解した含浸液を、多孔質体に含浸または滴下する。その後、多孔質体を加熱または乾燥し、含浸液中の調整成分を多孔質体をなす構造材に付着または結合させて、ガス拡散作用の程度を低下させて調整する（特許文献１の特許請求の範囲の記載等を参照）。このようにして多孔質体の通気性を調整する方法を、一般にトリミングと呼んでいる。
【０００４】
【特許文献１】特公平６−２３７２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、トリミングで必要な多孔質体中に含浸すべき含浸液の量はごく微量であるため、この液量だけを正確に供給することは困難である。そこで、含浸液を多孔質体に接触させて、含浸液の一部を多孔質体中に含浸させるのであるが、多孔質体の外部表面上にも含浸液が液滴として溜まった状態になりがちである。しかも、多孔質体の外部表面上に溜まる含浸液の液量は、製品毎に大きなバラツキが生じる。このようにバラツキのある状態で多孔質体を加熱または乾燥し、含浸液中の調整成分を多孔質体をなす構造材に付着または結合させると、多孔質体に付着等する調整成分の量も製品毎に大きなバラツキが生じるため、多孔質体の通気性（ガス拡散作用の程度）にも製品毎に大きなバラツキが生じる。従って、前述のようにトリミングを行っても、多孔質体の通気性を正確に調整するのが困難であり、製品の特性を揃えることが難しかった。
【０００６】
本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、検出素子に内部空間が形成され、この内部空間と外気との間の通気を制限する多孔質体を有するガスセンサにおいて、トリミングにより、多孔質体の通気性をより正確に調整できるガスセンサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
その解決手段は、ガス濃度を検出可能な検出素子の内部に内部空間が形成され、前記内部空間と外気との間の通気を制限する多孔質体を有するガスセンサの製造方法であって、前記多孔質体をなす構造材に加熱または乾燥により付着または結合する調整成分を溶解した含浸液を用い、前記多孔質体の通気性を低下させて調整するトリミング工程を備え、前記トリミング工程は、前記含浸液を前記多孔質体の外部表面に接触させて、前記含浸液を前記多孔質体内に含浸させると共に、前記多孔質体の外部表面上に前記含浸液の液滴が溜まった状態とする含浸工程と、前記多孔質体の外部表面上に溜まった前記含浸液の液滴を除去する液滴除去工程と、少なくとも前記多孔質体を加熱または乾燥させ、前記多孔質体内に含浸された前記含浸液に含まれる前記調整成分を前記多孔質体をなす構造材に付着または結合させて、前記多孔質体の通気性を低下させる付着結合工程と、を含むガスセンサの製造方法である。
【０００８】
本発明によれば、多孔質体の通気性を低下させて調整するトリミング工程を備える。このトリミング工程では、まず、含浸液を多孔質体の外部表面に接触させて、含浸液を多孔質体内に含浸させると共に、前記多孔質体の外部表面上に前記含浸液の液滴が溜まった状態とする（含浸工程）。その後、多孔質体の外部表面上に溜まった含浸液の液滴を除去する（液滴所除去工程）。その後更に、多孔質体を加熱または乾燥させ、多孔質体内に含浸された含浸液に含まれる調整成分を多孔質体をなす構造材に付着または結合させて、多孔質体の通気性を低下させる（結合付着工程）。
【０００９】
このように本発明では、液滴除去工程において、含浸工程で多孔質体の外部表面上に溜まった含浸液の液量に大きなバラツキがあっても、この外部表面上に溜まった余分な含浸液の液滴を除去するので、多孔質体内に含浸される含浸液の液量をほぼ一定にすることができる。従って、その後、結合付着工程を行う際、多孔質体内に含浸された含浸液の液量にバラツキが少ないので、それに含まれる調整成分の量のバラツキも少なく、多孔質体をなす構造材にほぼ一定量の調整成分を付着または結合させることができる。よって、多孔質体の通気性（ガス拡散作用の程度）を、従来のトリミング法に比して、より正確に所望の値に調整できる。
【００１０】
ここで、本発明の適用を受ける「ガスセンサ」は、検出素子に内部空間が形成され、この内部空間と外気との間の通気を制限する多孔質体を有するものであれば、いずれのガスセンサであってもよい。具体的には、限界電流型のガスセンサやポンプ素子に濃淡電池素子が併設された形態のガスセンサ（より具体的には、全領域空燃比センサやＮＯｘセンサ等）などが挙げられる。
「多孔質体」は、内部空間と外気との間の通気を制限できるものであればよく、例えば、アルミナ、ムライト、スピネル、リン酸カルシウム等を用いて形成できる。これらの原料の粒度、耐火度等、或いは多孔質体自身の体積を調整すれば気孔率が変化するため、通気性（ガス拡散制限作用の程度）をある程度調整できる。
【００１１】
なお、トリミング工程を行う前に、多孔質体の通気性（ガス拡散制限作用の程度）を測定し（通気性測定工程）、その測定された通気性に応じて、トリミング工程を行うのが好ましい。通気性測定工程では、例えば、ガスセンサや検出素子等を被測定ガスが所定量含まれるガス中に晒して、そのときのセンサ出力と目標とするセンサ出力とに基づき、通気性（ガス拡散制限作用の程度）を測定できる。酸素センサの場合には、大気中の酸素分圧が既知であるから、このときのセンサ出力を測定することにより、多孔質体の通気性を測定できる。
【００１２】
そして、トリミング工程のうち含浸工程では、多孔質体の通気性を所望の値とするために、通気性測定工程で測定された通気性と所望の通気性との差に応じた濃度の調整成分を含む含浸液を使用することが好ましい。また、トリミング工程は、通気性測定工程で測定された通気性と所望の通気性との差に応じて、複数回行うようにしてもよい。また、含浸工程で含浸液を多孔質体内に含浸させる時間も適宜変更できる。
【００１３】
「調整成分」の多孔質体をなす構造材への付着または結合は、調整成分の加熱による分解反応、焼結反応、または、乾燥時の化学反応などを経てなされる。
「調整成分」は、ガスセンサの使用が通常高温下であるため、多孔質体に付着または結合した後に耐熱性に優れたものとなるものが好ましい。このような調整成分を含む「含浸液」としては、溶解度の高い金属の塩の溶液や金属のアルコキシド等の有機金属化合物の溶液などが挙げられる。金属塩としては、金属元素の硝酸塩、硫酸塩、塩化物等を用いることができる。中でもＡｌ（ＮＯ3）3 は溶解度が高く、また、多孔質体をなす構造材への付着または結合後Ａｌ2Ｏ3 となって安定であるため好ましい。また、ＣａＣｌ2 やＣａ（ＣＨ3ＣＯＯ）2 も溶解度が比較的大きく、結合後ＣａＯとなる。また、塩化白金酸（Ｈ2［ＰｔＣｌ6］）は付着あるいは結合後Ｐｔとなるため、多孔質体に触媒性を付与できる。
含浸液を多孔質体の外部表面に接触させる方法としては、刷毛や筆、フェルトなどを利用して多孔質体の外部表面に含浸液を塗布したり、ディスペンサーなどを利用して多孔質体の外部表面に含浸液を滴下する方法などが挙げられる。
【００１４】
「液滴除去工程」は、多孔質体の外部表面上に溜まった含浸液の液滴を除去できる方法であれば、いずれの方法を利用するもできる。例えば、多孔質体の外部表面にエアーを吹き付けて液滴を吹き飛ばしたり、フェルトやセーム皮など吸水性（吸液性）のある布等で液滴を吸い取ったり、ゴムベラのエッジを多孔質体の外部表面に滑らせることで、液滴をはじき取るなどの方法が挙げられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。図１に本実施形態に係る空燃比センサ（ガスセンサ）１００の内部構造を示す。なお、空燃比センサ１００のうち、図１中、下方を先端側とし、上方を後端側とする。
この空燃比センサ１００は、自動車や各種内燃機関におけて空燃比フィードバック制御を行うために排気管中に装着され、測定対象となる排気ガス中の酸素濃度を検出するものである。空燃比センサ１００は、自身の先端側が排気管内に配置され、酸素濃度を検出可能な板状のセンサ素子１０１を備える。
【００１６】
まず、このセンサ素子１０１について説明する（図１参照）。センサ素子１０１は、ガス濃度（酸素濃度）を検出可能な板状の検出素子１１０と、この検出素子１１０を加熱可能な板状のヒータ素子１０３とが、図示しない貼り合わせ層を介して互いに接合されることにより、一体化されている。
【００１７】
このうち、検出素子１１０について、図２の分解斜視図を参照しつつ説明する。なお、検出素子１１０のうち、図２中、左前方を先端側、右後方を後端側とする。
検出素子１１０は、それぞれ板状をなす第１素子（濃淡電池素子）１１１と第２素子（ポンプ素子）１２１とが板状のスペーサ１３１を介して積層され、更に第１素子１１１側に板状の遮断体１４１が積層されることによって一体的に構成されている。
【００１８】
第１素子１１１は、イットリアを安定化剤として固溶させたジルコニアを主体として形成され、板状で長方形状をなす固体電解質層１１２を有する。そして、この固体電解質層１１２の第１面（図中、上方の、スペーサ１３１側の面）１１２ｐには、Ｐｔを主体とし多孔質で長方形状をなし、先端側（図中、左下側）に位置する第１電極部１１３と、この第１電極部１１３に繋がり後端側（図中、右上側）に延びる第１リード部１１４とが形成されている。更に、この第１面１１２ｐの後端側には、短い第３リード部１１９が所定位置に形成されている。また、固体電解質層１１２の第２面（図中、下方の、遮断体１４１側の面）１１２ｑには、Ｐｔを主体とし多孔質で長方形状をなし、先端側に位置する第２電極部１１５と、この第２電極部１１５に繋がり後端側に延びる第２リード部１１６とが形成されている。更に、この第２面１１２ｑの後端側には、固体電解質体１１２の短辺方向に延び、一端が第２リード部１１６に繋がると共に、他端が固体電解質体１１２を貫通する貫通孔１１８の位置まで延びる多孔質の多孔質部１１７が形成されている。この多孔質部１１７は、多孔質のアルミナから形成されている。
【００１９】
第２素子１２１は、イットリアを安定化剤として固溶させたジルコニアを主体として形成され、板状で長方形状をなす固体電解質層１２２を有する。そして、この固体電解質層１２２の第１面（図中、上方の面）１２２ｐには、Ｐｔを主体とし多孔質で長方形状をなし、先端側に位置する第１電極部１２３と、この第１電極部１２３に繋がり後端側に延びる第１リード部１２４とが形成されている。第１リード部１２４は、固体電解質層１２２の後端側の所定位置に固体電解質層１２２を貫通して形成されたビア導体１２７と電気的に接続されている。また、固体電解質層１２２の第２面（図中、下方の、スペーサ１３１側の面）１２２ｑには、Ｐｔを主体とし多孔質で長方形状をなし、先端側に位置する第２電極部１２５と、この第２電極部１２５に繋がり後端側に延びる第２リード部１２６とが形成されている。
【００２０】
スペーサ１３１は、ジルコニアを主体として形成され、先端側に長方形状の開口１３３を有する。この開口１３３は、スペーサ１３１が第１素子１１１と第２素子１２１との間に挟まれて積層されることによって、測定ガス室（内部空間）１３３を構成する。開口１３３の両側壁の一部は、測定ガス室１３３と外気との間の通気を制限する多孔質体１３５によって形成されている。この多孔質体１３５は、多孔質のアルミナから形成されている。また、このスペーサ１３１の後端側の所定位置には、スペーサ１３１を貫通する２つのビア導体１３６，１３７が形成されている。一方のビア導体１３６は、第１素子１１１の第１リード部１１４と第２素子１２１の第２リード部１２６とを電気的に接続している。もう一方のビア導体１３７は、第１素子１１１の第３リード部１１９と第２素子１２１のビア導体１２７とを電気的に接続している。
【００２１】
遮断体１４１は、ジルコニアを主体に形成されている。
更に、検出素子１１０は、その後端側から延びる３本のＰｔ線１４５，１４６，１４７を有する。このうち、Ｐｔ線１４５は、その一端が第１素子１１１とスペーサ１３１との間に介在し、第１素子１１１の第１リード部１１４の後端及び第２素子１２１の第２リード部１２６の後端と電気的に接続されている。また、Ｐｔ線１４６も、その一端が第１素子１１１とスペーサ１３１との間に介在し、第１素子１１１の第３リード部１１９と電気的に接続されている。また、Ｐｔ線１４７は、その一端が第１素子１１１と遮断体１４１との間に介在し、第１素子１１１の第２リード部１１６の後端と電気的に接続されている。
【００２２】
一方、センサ素子１０１を構成するもう一方のヒータ素子１０３は、アルミナを主体とする板状の絶縁層間に、Ｐｔを主体とする発熱抵抗体（図示しない）が挟み込まれることにより一体的に構成されている。
【００２３】
次に、図１に戻って、空燃比センサ１００のうち、センサ素子１０１以外の部分について説明する。空燃比センサ１００は、センサ素子１０１の他、センサ素子１０１を内挿して保持するセラミックホルダ１５１、このセラミックホルダ１５１を内挿して保持する主体金具１５３、主体金具１５３の先端側に接合されたプロテクタ１５５、主体金具１５３の後端側に接合された外筒１５７、この外筒１５７の後端側に配置されたセパレータ１５９及びセパレータ１５９の外周に配置された保護外筒１６１等から構成されている。
【００２４】
センサ素子１０１には、支持碍管１６３と絶縁碍管１６５が装着されている。支持碍管１６３は、アルミナからなり、センサ素子１０１の軸線方向と平行に延設され、その軸線方向と直交する方向の断面が略コ字形状をなす。そして、支持碍管１６３は、その凹面側をセンサ素子１０１のうち検出素子１１０の後端側の側面に向けて、図示しない耐熱性セメントを介して検出素子１１０に接合されている。一方、絶縁碍管１６５は、セラミックからなり、略円筒形状をなす。そして、絶縁碍管１６５は、センサ素子１０１の中央よりもやや先端側に装着されている。絶縁碍管１６５とセンサ素子１０１とは、絶縁碍管１６５の内側に接着体１６７が充填されることにより接合されている。
【００２５】
セラミックホルダ１５１は、アルミナを主体として形成され、略円筒形状をなし、その先端側には内側に突出するフランジ部１５１ｆを有する。セラミックホルダ１５１には、支持碍管１６３及び絶縁碍管１６５を装着したセンサ素子１０１が内挿され、絶縁碍管１６５の先端側がセラミックホルダ１５１のフランジ部１５１ｆに係合している。また、セラミックホルダ１５１とセンサ素子１０１との隙間には、滑石粉末等とガラス粉末とを混合した混合粉末を充填した第１充填層１７１が形成されている。更に、この第１充填層１７１の後方には、結晶化ガラス粉末を充填した第２充填層１７２が形成されている。
【００２６】
主体金具１５３は、ＳＵＳ４３０からなり、略円筒状をなす。主体金具１５３は、センサ素子１０１を内挿・保持したセラミックホルダ１５１を、その内側に内挿して保持している。主体金具１５３とセラミックホルダ１５１との隙間には、滑石粉末を圧縮充填した滑石層１７３が形成されている。また、滑石層１７３の後方には、略円筒形状のセラミックスリーブ１７５が挿入されている。
【００２７】
主体金具１５３の先端側には、主体金具１５３から先端側に向けて突出するセンサ素子１０１の先端側を覆うように、二重の有底筒状のプロテクタ１５５が固設されている。プロテクタ１５５には、排ガスをプロテクタ１５５の内部に導入するための導入孔１５５ｋが複数形成されている。
一方、主体金具１５３の後端側においては、主体金具１５３とセラミックスリーブ１７５との間に、ＳＵＳ３０４からなり略円筒形状をなす外筒１５７の先端部分が嵌め込まれている。外筒１５７は、主体金具１５３の後端側を内側に向けて加締めることにより主体金具１５３に固定されている。この外筒１５７は、セラミックホルダ１５１の中央から後端側を保護している。
【００２８】
保護外筒１６１は、ＳＵＳ４３０からなり、略円筒形状をなす。保護外筒１６１は、外筒１５７の後端側に嵌着することにより取り付けられている。そして、外筒１５７と保護外筒１６１との嵌着部分（重なり部分）１６２を径方向内側に向かって加締めることにより、外筒１５７と保護外筒１６１とが互いに固定されている。
保護外筒１６１の内側には、セパレータ１５９が配置されている。セパレータ１５９は、センサ素子１０１に電気的に接続する複数のリード端子１７９と複数のリード線１８１との接続部分を互いに絶縁しつつ収容している。
また、保護外筒１６１の後端側には、その開口を閉塞するように略円柱状のゴムキャップ１８３が配設されている。ゴムキャップ１８３は、保護外筒１６１の後端側の外周を径方向内側に向けて加締めることにより保護外筒１６１に固定されている。
【００２９】
次いで、上記空燃比センサ１００の製造方法について説明する。
まず、公知の手法により、図２に示した検出素子１０１を製造する。そして、得られた検出素子１０１における多孔質体１３５の通気性（ガス拡散制限作用の程度）を測定する（通気性測定工程）。本実施形態では、検出素子１０１を被測定ガスが所定量含まれるガス中に晒して、この被測定ガスの濃度を測定し、そのときのガスセンサの出力（即ち、ポンプ素子への通電電流量）に対応すべき被測定ガスの濃度値と、実際の被測定ガスの濃度との差から、通気性（ガス拡散制限作用の程度）を測定する。具体的には、大気中の酸素ガス分圧を測定することにより、多孔質体１３５の通気性を測定する。
【００３０】
次に、通気性測定工程で得られた測定値に基づいて、検出素子１０１に対し、多孔質体１３５をなす構造材に加熱または乾燥により付着または結合する調整成分を溶解した含浸液を用い、多孔質体１３５の通気性を低下させて調整するトリミング工程を行う。本実施形態では、このトリミング工程は、含浸工程と液滴除去工程と付着結合工程とからなる。
【００３１】
まず、含浸工程では、含浸液を多孔質体１３５の外部表面１３５ｈに接触させて、図３に示すように、含浸液を多孔質体１３５内に含浸させると共に、多孔質体１３５の外部表面１３５ｈ上に含浸液の液滴ＥＴが溜まった状態とする。この含浸工程は、多孔質体１３５の通気性を所望値とするために、通気性測定工程で測定された通気性と所望の通気性との差に応じた濃度の調整成分を含む含浸液を使用するのが好ましい。本実施形態では、硝酸アルミニウム水溶液を含浸液として用いた。具体的には、純水１００ｍｌに対しＡｌ（ＮＯ3）3・９Ｈ2Ｏを９０ｇ溶解して含浸液とした。そして、この含浸液を含ませたフェルトを用いて多孔質体１３５の外部表面１３５ｈに含浸液を塗布した。含浸液を塗布した後は、一定時間放置して、塗布された含浸液の一部を多孔質体１５３内に含浸させる。本実施形態では、塗布後３０分間放置した。
【００３２】
その後、液滴除去工程において、図４に示すように、多孔質体１３５の外部表面１３５ｈ上に溜まった含浸液の液滴ＥＴを除去する。本実施形態では、拭き取り用の乾いたフェルトを用いて、外部表面１３５ｈ上に残存する液滴ＥＴを拭き取った。
【００３３】
その後、付着結合工程において、検出素子１０１を加熱または乾燥させ、多孔質体１３５内に含浸された含浸液に含まれる調整成分を多孔質体１３５をなす構造材に付着または結合させて、多孔質体１３５の通気性を低下させる。本実施形態では、検出素子１０１を約１２５０℃で２時間加熱し、多孔質体１３５をなす構造体に含浸液中の調整成分を焼き付けた。
【００３４】
このように本実施形態では、含浸工程で多孔質体１３５の外部表面上１３５ｈに溜まった含浸液の液量に大きなバラツキがあっても、液滴除去工程において、多孔質体１３５の外部表面１３５ｈ上に溜まった含浸液の液滴ＥＴを除去するので、多孔質体１３５内に含浸させた含浸液の液量をほぼ一定にすることができる。従って、その後、結合付着工程を行う際、多孔質体１３５内に含浸させた含浸液の液量にバラツキが少ないので、それに含まれる調整成分の量のバラツキも少なく、多孔質体１３５をなす構造材にほぼ一定量の調整成分を付着または結合させることができる。よって、多孔質体１３５の通気性（ガス拡散作用の程度）を、従来のトリミング法に比して、より正確に所望の値に調整できる。
【００３５】
次に、公知の手法により、ヒータ素子１０３も製造する。そして、検出素子１１０とヒータ素子１０３とを貼り合わせ層を介して接着してセンサ素子１０１を形成する。そして、センサ素子１０１の検出素子１１０の後端側面を覆うように、耐熱性セメントを介して支持碍管１６３を接着する。その後、センサ素子１０１の中央よりやや先端側にその周囲を覆うようにして、接着体１６７を介して絶縁碍管１６５を固定する。
次に、このセンサ素子１０１の各端子にリード端子１７９を接続し、それをセラミックホルダ１５１の内側に挿入し、絶縁碍管１６５をセラミックホルダ１５１のフランジ部１５１ｆに係合させる。そして、センサ素子１０１とセラミックホルダ１５１との隙間に、公知の手法により第１充填層１７１と第２充填層１７３を形成する。
次に、センサ素子１０１を保持したセラミックホルダ１５１を主体金具１５３の内側に装着する。その後、セパレータ１５９や外筒１５７、保護外筒１６１、プロテクタ１５５等を公知の手法で組み付ければ、空燃比センサ１００が完成する。
【００３６】
（実施例）
本発明の効果を検証するために、本発明の製造方法で製造した実施例に係る空燃比センサ１００を２０ヶのサンプルを用意した。また、比較例に係る空燃比センサとして、トリミング工程において液滴除去工程を行わずに、それ以外は実施形態と同様にして製造した空燃比センサのサンプルも２０ヶ用意した。そして、それぞれの空燃比センサについて、トリミング工程前とトリミング工程後に、多孔質体の通気性（ガス拡散制限作用の程度）を測定した。
【００３７】
具体的には、各々の空燃比センサについて、大気中でヒータ素子をほぼ９００℃まで加熱し、検出素子の第１素子（濃淡電池素子）に定電流Ｉｓ＝１５μＡを流すと共に、第２素子（ポンプ素子）に第１素子（濃淡電池素子）の起電力Ｖｓが４５０ｍＶとなるように電流Ｉｐを流した。そして、この電流Ｉｐをもって多孔質体の通気性とした。Ｉｐ値が小さいほど通気性が小さいと言える。
その結果を、実施例については表１に、比較例については表２に示す。また、これらの結果をまとめたグラフを図５に示す。なお、図５において、各々の黒丸は測定したサンプルの平均値を示し、各々の高低線は測定したサンプルの最大値と最小値を示している。
【００３８】
【表１】
2006201060.tif 000003
【００３９】
【表２】
2006201060.tif 000004
【００４０】
まず、比較例の空燃比センサについて見ると（表２及び図５参照）、トリミング工程よって多孔質体の通気性（Ｉｐ値）を低下させることができるものの、トリミング工程後にはトリミング工程前よりも通気性（Ｉｐ値）に大きなばらつきが生じることが判る。
一方、実施例の空燃比センサ１００では（表１及び図５参照）、トリミング工程により多孔質体１３５の通気性（Ｉｐ値）を低下させることができ、なおかつ、トリミング工程後でも通気性（Ｉｐ値）のばらつきを小さく維持できていることが判る。
このような結果から、前述のように含浸工程後に液滴除去工程を行うことにより、多孔質体１３５の通気性をより正確に所望の値に調整できた。
【００４１】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】実施形態に係る空燃比センサの縦断面図である。
【図２】実施形態に係る空燃比センサのうち、センサ素子の検出素子を示す分解斜視図である。
【図３】実施形態に係る空燃比センサの製造方法のうち、検出素子に対しトリミング工程の含浸工程を行った状態を示す説明図である。
【図４】実施形態に係る空燃比センサの製造方法のうち、検出素子に対しトリミング工程の液滴除去工程を行った状態を示す説明図である。
【図５】実施形態に係る空燃比センサのガス拡散制限作用の程度を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４３】
１００  空燃比センサ
１０１  センサ素子
１０３  ヒータ素子
１１０  検出素子
１１１  第１素子（濃淡電池素子）
１２１  第２素子（ポンプ素子）
１３３  測定ガス室（内部空間）
１３５  多孔質体
１３５ｈ  （多孔質体の）外部表面
ＥＴ  （含浸液の）液滴
【図１】
2006201060.tif 000005
【図２】
2006201060.tif 000006
【図３】
2006201060.tif 000007
【図４】
2006201060.tif 000008
【図５】
2006201060.tif 000009