(57)【要約】【課題】ウェハ挿入用の溝の識別性を高めて、ウェハ挿入ミスを確実に防止すると共に、ウェハ挿入作業の迅速・容易化を図る。【解決手段】ウェハ用キャリア１は、その対向する一対の側壁２，２の内壁面に、ウェハＷ縁辺部を案内し支持する溝３が互いに対向させて多数形成されている。各溝３は、所定ピッチで側壁２の内壁面から突出形成された凸部４によって形成され、側壁２，２の各対向する一対の溝３，３間にウェハＷを挿入して収納する。白色の凸部４と黒色の凸部４とが交互に内壁面に配置され、且つ、二つの内壁面で互いに対向する一対の凸部４，４同士が、同じ色の白色の凸部４，４同士または黒色の凸部４，４同士となるように配置されている。このため、対向する内壁面の互いに対応する一対の溝３，３同士を容易に識別できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する側壁の互いに平行な内壁面のそれぞれに、ウェハ縁辺部を案内し支持する溝を形成するための凸部が、所定ピッチで互いに対向させて複数設けられており、各対向する一対の溝間にウェハを挿入して収納するウェハ用キャリアにおいて、
上記内壁面に所定ピッチで並ぶ上記各凸部の色が、所定の順番で複数の色によって区別されていることを特徴とするウェハ用キャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数枚のウェハを収納するウェハ用キャリア、特にウェハを挿入する溝の識別性を高めたウェハ用キャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハの製造においては、複数枚（例えば、２５枚）のウェハを収納する収納容器としてウェハ用キャリア（ないしカセット）が用いられている。ウェハ用キャリアは、半導体製造の各工程において各処理装置とのウェハの出し入れやウェハ処理の際、あるいは別の工程へのウェハ搬送の際などに使用される。
【０００３】
従来のウェハ用キャリアの一例を図５に示す。このウェハ用キャリア１は、対向する一対の側壁２，２の内壁面のそれぞれに、ウェハＷ縁辺部を案内し支持する溝３が所定ピッチで互いに対向させて多数形成されている。各溝３は、図５または図６に一部拡大示するように、所定ピッチで側壁２の内壁面２ａから突出させて形成された凸部４によって形成されており、側壁２，２の各対向する一対の溝３，３間にウェハＷを挿入して収納する構造となっている。ウェハ用キャリア１は、一般に樹脂等によって一体的に成形されており、全ての凸部４の色は同一となっている。
【０００４】
このようなウェハ用キャリア１にあっては、ウェハＷを所望の位置の溝３に挿入するときには、対向する一方の側壁２の溝３と、これに対応するもう一方の側壁２の溝３とを目視により確認して行う。しかし、側壁２，２の対向する溝３，３間は離れていて、一方、側壁２の隣接する溝３，３間は非常に近接しており、対向する一対の溝３，３を短時間で確認することは容易ではない。殊に、ウェハ製造工程などでは、ウェハＷをウェハ用キャリア１の一番端の溝３からではなく、中間の溝３から収納することがあり、図６中，鎖線で示すように、ウェハＷを対向する溝３の隣の溝３に差し込んでしまうことがあった。このように、ウェハＷを誤って斜めに挿入してしまうと、ウェハＷ表面と凸部３とが接触し、ウェハＷ表面にキズを付けてしまうことがある。また、対向する溝３，３の識別が難しいために、慎重に対向する溝３，３を確認しなければならず、作業性が悪いという問題があった。
【０００５】
そこで、ウェハ用キャリアの溝の識別性を高めるために、溝を識別する目印（記号又は色のマーク）を付けた枠状体をウェハカセット（キャリア）の上面（鍔部）に載置したり（例えば、特許文献１参照）、溝識別印（形状、模様又は色彩）を溝の近傍の鍔に付したものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】実開平６−７０２４１号公報
【特許文献２】特開平５−１２１５３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
確かに、特許文献１，２の目印や溝識別印により溝の識別性は改善されるものの、これら目印・溝識別印は溝のすぐ外周にではなく、溝から少し離れたキャリア上面鍔部に付されているため、視認性・識別性が十分ではなかった。
【０００７】
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消し、溝の識別性が極めてよく、ウェハの挿入ミスを確実に防止できると共に、容易に且つ迅速にウェハの挿入を行うことができるウェハ用キャリアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明に係るウェハ用キャリアは、対向する側壁の互いに平行な内壁面のそれぞれに、ウェハ縁辺部を案内し支持する溝を形成するための凸部が、所定ピッチで互いに対向させて複数設けられており、各対向する一対の溝間にウェハを挿入して収納するウェハ用キャリアであって、上記内壁面に所定ピッチで並ぶ上記各凸部の色が、所定の順番で複数の色によって区別されていることを特徴とする。
【０００９】
凸部を複数色で区別するのは、ウェハ挿入時等の各溝の識別性・視認性を高めることが目的であるから、区別するための色は、必ずしも凸部全面に施される必要はなく、少なくともウェハ用キャリアのウェハ挿入口側から識別可能な凸部の部位・箇所（好ましくは、見やすく目立つ凸部の部位・箇所）に施されるようにする。なお、凸部だけでなく、凸部周囲の側壁開口端面・内壁面などにも、区別するための色を施すようにしてもよい。
【００１０】
対向する内壁面の各対向する一対の凸部同士の色は同一であるのが望ましい。換言すれば、内壁面の一端から他端まで並ぶ凸部の色の配列が、対向する二つの内壁面で全く同じであるのが望ましい。このようにすると、対向する一対の凸部同士を容易に識別でき、したがって隣接する凸部間に形成される溝も、対向する一対の溝同士も容易に明確に識別でき、ウェハ挿入作業がわかりやすい。
【００１１】
内壁面に並ぶ凸部の色を、所定の順番で複数の色によって区別する配列（配色）には、例えば、赤色の凸部と黄色の凸部とが交互に繰り返される配列、白色の凸部、白色の凸部、黒色の凸部の順に凸部三個の周期で繰り返される配列、五個の凸部を１周期として五色に色分けするなど種々の配列が考えられ、使用状況などに合わせて適宜選定すればよい。
【００１２】
ここで言う色には、有彩色、無彩色だけでなく、金色・銀色等の金属色も含まれ、更に鏡面・光沢などの反射特性の相違も異なる色として区別する。複数の色は、明度、色相等が大きく異なるものなど、なるべく識別しやすいものを適宜組み合わせて用いるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、溝の外周を区画形成する凸部（言わば溝自体）を複数の色で区別しているので、溝の識別性が大幅に高まり、ウェハ挿入時等の溝の確認・識別が極めて容易となる。従って、ウェハ用キャリアにウェハが斜めに誤挿入されることを確実に阻止でき、ウェハ表面をキズ付ける等の問題を未然に防止できる。また、ウェハ挿入を容易に且つ迅速に行うことができ、ウェハ製造の作業効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
この実施形態のウェハ用キャリア１は、図１に示すように、上部が開口された矩形筒体状をなし、その対向する側壁２，２の互いに平行な内壁面のそれぞれには、ウェハ用キャリア１の上部開口より挿入されるウェハＷ縁辺部を案内する溝３が所定ピッチで互いに対向させて多数形成されている。これら溝３は、図１又は図１の一部を拡大した図２に示すように、所定ピッチで側壁２の内壁面２ａから突出させて形成された凸部４によって区画形成されている。凸部４は、その先端面側が次第に細くなった刃形状の形状をしており、したがって隣接する凸部４，４間に形成される溝３の断面形状は奥側（内壁面２ａ側）が狭くなった台形となっている。また、側壁２，２の下方はテーパー状に縮径されて、ウェハ用キャリア１内に収納されるウェハＷの下側縁辺部を支持する構造となっている。
【００１５】
内壁面２ａに所定ピッチで並ぶ凸部４の色は、異なる二つの色で交互に色分けされている。具体的には、白色の凸部４と、黒色（図中、黒みを帯びた塗りを付した）の凸部４とが交互に繰り返して配列されている。また、図２に示すように、白色の凸部４，４同士及び黒色の凸部４，４同士はそれぞれ互いに対向する位置に配置されている。従って、二つの内壁面２ａ，２ａで、対応する凸部４の白、黒の交互の配列・配置が全く同じになっている。
【００１６】
ウェハＷの挿入作業時には、一方の内壁面２ａの所望の溝３と、これに対応・対向する位置に設けられたもう一方の内壁面２ａの溝３とに、ウェハＷの両側の縁辺部を正確に合わせて差し込む（図２には、ウェハＷが正しく差し込まれ収納された状態を鎖線で示す）。
【００１７】
ウェハ用キャリアの一番端の溝から順番にウェハを差し込んで行く場合には、凸部が全て同一色である従来のウェハ用キャリアでも、次の溝を識別することは比較的容易であったが、いきなり中間の溝からウェハの差し込みを開始する場合には、溝の識別が難しく差し込みミスを生じやすく、ウェハの表面が凸部で擦られてキズを付けることが多かった。
【００１８】
これに対して、本実施形態においては、凸部４が異なる二つの色で、具体的には、白色の凸部４と黒色の凸部４とが交互に内壁面２ａに配置され、且つ、二つの内壁面２ａで互いに対向・対応する一対の凸部４，４同士が、同じ色の白色の凸部４，４同士または黒色の凸部４，４同士となるように配置されている。
このため、対向する内壁面２ａ、２ａの互いに対応する白色の凸部同士４，４、又は黒色の凸部同士４，４を短時間で容易に見出すことができ、従って、内壁面２ａ上に隣接する白色と黒色の凸部４，４間に形成される溝３、並びに、対向する内壁面２ａ、２ａの互いに対応する一対の溝３，３同士も容易に識別することができる。そのため、ウェハＷの差し込みミスが未然に防止され、不良品の発生率が低下すると共に、作業効率を向上させることが可能となり、作業者のストレスも軽減できる。
【００１９】
凸部が色分けされたウェハ用キャリアの製造は、例えば、上記のように白色、黒色で塗り分ける場合には、白色系の樹脂等の素材でウェハ用キャリアを成形する際に、黒色の凸部部分を形成する素材に黒味を与える着色剤・添加剤などを添加したものを用いて成形する方法がある。或いは、白色系の素材でウェハ用キャリアを成形し、成形したウェハ用キャリアの黒色としたい凸部部分の表面に対して、ウェハ用キャリアの用途に適した耐久性、耐摩耗性、耐薬品性などを備えた黒色系塗料で着色したり、表面を黒味処理できる薬品などを塗布したり、或いはまた、黒色の薄板などを接着剤等で凸部表面に取り付けたりする方法が考えられる。
【００２０】
図３は他の実施形態を示したもので、この実施形態でも、凸部４が異なる二つの色で、例えば、白色の凸部４と黒色の凸部４とが交互に内壁面２ａに配置されるようにしているが、白色の凸部と区別するために、黒色の凸部としたい凸部に施される黒色の部分が、凸部全面ではなく、図３に示すように、凸部４の上端面４ａ及び先端面４ｂに限られている。このように、凸部全面に区別する色を施さなくても、上記実施形態と同等の識別性が得られる。黒色等の区別のための色づけは、黒色等の塗料などを凸部４の上端面４ａ及び先端面４ｂに塗布する方法などがある。
なお、凸部４の先端面４ｂになされる色づけは、先端面４ｂの全面でなく、先端面４ｂの上端面４ａ側に限定しても良い。また、凸部４に施される色づけを、凸部４の上端面４ａだけとしても良い。更にまた、この実施形態でも、二つの内壁面２ａ、２ａで互いに対向する一対の凸部４，４同士が、同じ色の白色の凸部４，４同士または黒色の凸部４，４同士となるように配置されているが（図示省略）、二つの内壁面２ａ、２ａで互いに対向する一対の凸部４，４が、白色の凸部４と黒色の凸部４との、異なる色の凸部４，４の組となるように配置してもよい。
【００２１】
図４に本発明の他の実施形態を示す。この実施形態では、凸部４の上端面及び側壁２の上端面を覆うように、クシ状の薄いシート５が設けられている。シート５は、凸部４の上端面及び側壁２の上端面を、異なる複数の色で、例えば白色と黒色の二色で色分けするためのものである。この実施形態では、内壁面２ａに所定ピッチで並ぶ凸部４の上端面部の色が、白色、白色、黒色、黒色の順に凸部四個の周期で繰り返し、且つ、隣接する白色、白色（または黒色、黒色）の凸部４，４間に位置する側壁２の上端面部の色が、白色（または黒色）になるように、シート５は白色の領域６と黒色の領域７との二つの領域が繰り返すように色分けされている。
このように色分けすると、隣接する白色、白色（または黒色、黒色）の凸部４，４間に形成される溝３は、溝の上端部外周が白色（または黒色）で取り囲まれるので、特に溝の視認性・識別性がよい。シート５の取り付けは、接着、融着などで固定したり、適当な固定具で固定したりすればよい。
【００２２】
上述した実施態様では、ウェハ用キャリア１の上部開口よりウェハＷを挿入し、ウェハＷを垂直状態でウェハ用キャリア１内に収納した態様であったが、上述したウェハ用キャリア１或いはこれらに類似した構造のウェハ用キャリアを倒した状態にして、これらウェハ用キャリアの側方開口よりウェハを水平に多段に挿入して収納する態様にも、本発明は有効である。また、本発明のウェハ用キャリアは、ウェハの挿入・取り出しを、作業者が目視により確認して行う場合だけではなく、凸部の色をセンサーで検知してロボットアーム等を用いて機械的に行う場合にも効果的である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るウェハ用キャリアの一実施形態を示す斜視図である
【図２】図１に示したウェハ用キャリアの要部を拡大して示した斜視図である。
【図３】本発明に係るウェハ用キャリアの他の実施形態を示す斜視図である。
【図４】本発明に係るウェハ用キャリアの他の実施形態を示す斜視図である。
【図５】従来のウェハ用キャリアを示す斜視図である。
【図６】図５に示したウェハ用キャリアの要部を拡大して示した斜視図である。
【符号の説明】
【００２４】
Ｗ    ウェハ
１    ウェハ用キャリア
２    側壁
２ａ  内壁面
３    溝
４    凸部
４ａ  上端面
４ｂ  先端面
５    シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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