(57)【要約】【課題】ニアフィールド記録再生方式に好適な光記録媒体の提供。【解決手段】  光記録媒体において物理構造として例えば幅や深さが異なる第１、第２の溝構造ＧＶ１，ＧＶ２を形成するようにし、その第１，第２の溝構造の間の２つのランドＬＤ１，ＬＤ２部を記録再生トラックとする。即ち２つの記録再生トラックＴＫ１，ＴＫ２が並走するものとする。この場合、並走する記録再生トラックに対してそれぞれ１つづつ、つまり２つのレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２を照射して記録再生を行うことで、光記録媒体をより高速に回転させなくても、転送レートの向上を実現できる。また第２の溝構造ＧＶ２を挟んだ２つのランドが記録再生トラックとすることで、クロスライト、クロスイレーズ、クロストークの各特性を向上させる。【選択図】      図３
2006190371.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ニアフィールド記録再生で用いられる光記録媒体であって、
第１の溝構造と、該第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造が形成されていることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造とが、二重螺旋状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項３】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、同心円状に交互に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項４】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、その物理構造の違いとして溝の幅が異なるものとされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項５】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、その物理構造の違いとして溝の深さが異なるものとされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項６】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が連続溝とされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項７】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、一方が連続溝、他方が間欠溝とされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項８】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が非蛇行溝とされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項９】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が蛇行溝とされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項１０】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、一方が蛇行溝、他方が非蛇行溝とされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項１１】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間が、１つの記録再生トラックとされることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項１２】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間が、１つの記録再生トラックとされるとともに、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の一方が、１つの記録再生トラックとされることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項１３】
上記間欠溝により、再生専用の情報が記録されていることを特徴とする請求項７に記載の光記録媒体。
【請求項１４】
上記蛇行溝により、再生専用の情報が記録されていることを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の光記録媒体。
【請求項１５】
上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされ、上記第２の溝構造の両側の記録再生トラックに共有される再生専用の情報が、上記蛇行溝又は間欠溝により記録されていることを特徴とする請求項１１に記載の光記録媒体。
【請求項１６】
上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされ、上記第２の溝構造の両側の記録再生トラックと上記第２の溝構造による記録再生トラックに共有される再生専用の情報が、上記蛇行溝又は間欠溝により記録されていることを特徴とする請求項１２に記載の光記録媒体。
【請求項１７】
上記第１，第２の溝構造は、記録又は再生のためのレーザ光の入射面側からみて凸状又は凹状とされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項１８】
基板に対して上記第１，第２の溝構造が形成された記録層が積層され、該記録層表面が記録媒体表面とされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項１９】
基板に対して上記第１，第２の溝構造が形成された記録層と、保護層が順に積層され、該保護層の表面が記録媒体表面とされていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項２０】
上記第１，第２の溝構造を有する記録層が、複数形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項２１】
ニアフィールド記録再生に用いられる光記録媒体を製造するための記録媒体原盤を製造する原盤製造装置において、
レジスト層が形成された記録媒体原盤上に、第１の溝構造を形成するための第１の露光用レーザを照射する第１の光学系手段と、
上記記録媒体原盤上に、上記第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造を形成するための第２の露光用レーザとして、上記第１の露光用レーザとはレーザ光量又はレーザスポット径の異なる露光用レーザを照射する第２の光学系手段と、
を備えたことを特徴とする原盤製造装置。
【請求項２２】
上記第１、第２の光学系手段には、１つのレーザ光源手段からのレーザ光が入射されるとともに、
上記第１，第２の光学系手段の一方に、レーザ光量又はレーザスポット径を変化させる光学フィルタ手段が設けられていることを特徴とする請求項２１に記載の原盤製造装置。
【請求項２３】
上記第１、第２の露光用レーザを、上記記録媒体原盤上に同時に照射して螺旋状の露光パターンを形成していくことで、上記記録媒体原盤上に、二重螺旋状の上記第１，第２の溝構造を形成することを特徴とする請求項２１に記載の原盤製造装置。
【請求項２４】
レジスト層が形成された記録媒体原盤上に、第１の溝構造を形成するための第１の露光用レーザと、上記第１の露光用レーザとはレーザ光量又はレーザスポット径の異なる第２の露光用レーザを照射することで、上記第１の溝構造と、上記第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造としての露光パターンを形成して記録媒体原盤を製造し、
上記記録媒体原盤を元にして、上記第１の溝構造と、上記第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造を有する、ニアフィールド記録再生に用いられる光記録媒体を製造する光記録媒体製造方法。
【請求項２５】
第１の溝構造と、該第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造が、それらの溝構造の方向に対する直交方向に交互に形成されている光記録媒体に対して、
上記直交方向の上記第１の溝構造の形成ピッチとなる区間内に、ニアフィールド光学系により複数のレーザスポットを照射することで、複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行うことを特徴とする記録又は再生方法。
【請求項２６】
上記光記録媒体は、ディスク状記録媒体であり、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造とが、二重螺旋状に形成され、上記直交方向とは、ディスク半径方向であることを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項２７】
上記光記録媒体は、ディスク状記録媒体であり、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造とが、同心円状に交互に形成され、上記直交方向とは、ディスク半径方向であることを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項２８】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、その物理構造の違いとして溝の幅が異なるものとされていることを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項２９】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、その物理構造の違いとして溝の深さが異なるものとされていることを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３０】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が連続溝とされていることを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３１】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、一方が連続溝、他方が間欠溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記間欠溝によって記録された情報も同時的に再生することを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３２】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が非蛇行溝とされていることを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３３】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が蛇行溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記第１，第２の溝構造の蛇行によって記録された情報も同時的に再生することを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３４】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、一方が蛇行溝、他方が非蛇行溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記第１，第２の溝構造の一方の蛇行によって記録された情報も同時的に再生することを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３５】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間のランドを、１つの記録再生トラックとして１つのレーザスポットを照射することを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３６】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間のランドを、１つの記録再生トラックとして１つのレーザスポットを照射するとともに、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の一方も１つの記録再生トラックとして、１つのレーザスポットを照射することを特徴とする請求項２５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３７】
上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされ、上記蛇行溝又は間欠溝により記録されている、上記第２の溝構造の両側のランドの記録再生トラックに共有される再生専用の情報を再生することを特徴とする請求項３５に記載の記録又は再生方法。
【請求項３８】
上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされ、上記蛇行溝又は間欠溝により記録されている、上記第２の溝構造の両側のランド記録再生トラックと上記第２の溝構造による記録再生トラックに共有される再生専用の情報を再生することを特徴とする請求項３６に記載の記録又は再生方法。
【請求項３９】
第１の溝構造と、該第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造が、それらの溝構造の方向に対する直交方向に交互に形成されている光記録媒体に対して、
上記直交方向の上記第１の溝構造の形成ピッチとなる区間内に、ニアフィールド光学系により複数のレーザスポットを照射することで、複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行うことを特徴とする記録又は再生装置。
【請求項４０】
上記光記録媒体は、ディスク状記録媒体であり、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造とが、二重螺旋状に形成され、上記直交方向とは、ディスク半径方向であることを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４１】
上記光記録媒体は、ディスク状記録媒体であり、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造とが、同心円状に交互に形成され、上記直交方向とは、ディスク半径方向であることを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４２】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、その物理構造の違いとして溝の幅が異なるものとされていることを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４３】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、その物理構造の違いとして溝の深さが異なるものとされていることを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４４】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が連続溝とされていることを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４５】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、一方が連続溝、他方が間欠溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記間欠溝によって記録された情報も同時的に再生することを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４６】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が非蛇行溝とされていることを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４７】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が蛇行溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記第１，第２の溝構造の蛇行によって記録された情報も同時的に再生することを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４８】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、一方が蛇行溝、他方が非蛇行溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記第１，第２の溝構造の一方の蛇行によって記録された情報も同時的に再生することを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項４９】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間のランドを、１つの記録再生トラックとして１つのレーザスポットを照射することを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項５０】
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間のランドを、１つの記録再生トラックとして１つのレーザスポットを照射するとともに、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の一方も１つの記録再生トラックとして、１つのレーザスポットを照射することを特徴とする請求項３９に記載の記録又は再生装置。
【請求項５１】
上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされ、上記蛇行溝又は間欠溝により記録されている、上記第２の溝構造の両側のランドの記録再生トラックに共有される再生専用の情報を再生することを特徴とする請求項４９に記載の記録又は再生装置。
【請求項５２】
上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされ、上記蛇行溝又は間欠溝により記録されている、上記第２の溝構造の両側のランド記録再生トラックと上記第２の溝構造による記録再生トラックに共有される再生専用の情報を再生することを特徴とする請求項５０に記載の記録又は再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光記録媒体と、光記録媒体の製造のための原盤を製造する原盤製造装置、及び光記録媒体製造方法に関する。さらに、本発明の光記録媒体に対して情報の記録又は再生を行うための記録又は再生方法、記録又は再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】特開２００３−２７２１７６号公報
【０００３】
コンパクトディスク（ＣＤ）、ミニディスク（ＭＤ）、デジタルビデオディスク（ＤＶＤ）に代表される光（もしくは光磁気）記録媒体は、音楽情報、映像情報、データ、プログラム等の格納媒体として広く利用されている。しかしながら、更なる音楽情報、映像情報、データ、プログラム等の高音質化、高画質化、長時間化、大容量化により、さらに大容量の光記録媒体、およびそれを記録再生する光記録再生装置が望まれている。
【０００４】
そこで、これらに対応するため、光記録再生装置では、その光源、例えば半導体レーザの短波長化や、集光レンズの開口数の増大化が図られ、集光レンズを介して収束する光スポットの小径化が図られている。
例えば、半導体レーザに関しては、発振波長が従来の赤色レーザの６３５ｎｍから４００ｎｍ帯に短波長化されたＧａＮ半導体レーザが実用化され、これにより光スポットの小径化が図られつつある。また、例えばそれ以上の短波長化については、ソニー株式会社製の２６６ｎｍの単一波長の光を連続発振する遠紫外固体レーザＵＷ−１０１０などが発売されており、更なる光スポットの小径化も図られつつある。また、これ以外にもＮｄ：ＹＡＧレーザの２倍波レーザ（２６６ｎｍ帯）、ダイヤモンドレーザ（２３５ｎｍ帯）、ＧａＮレーザの２倍波レーザ（２０２ｎｍ帯）などの研究、開発が進められている。
【０００５】
また、例えば、ソリッドイマ―ジョンレンズに代表される開口数の大なる光学レンズを使って、例えば開口数１以上の集光レンズを実現するとともに、この集光レンズの対物面を光記録媒体と、その光源波長の１０分の１程度まで近接させることにより記録再生を行う、いわゆるニアフィールド光記録再生方式が検討されている。
このニアフィールド光記録再生方式の高転送レート化では、光記録媒体と集光レンズとの距離を如何にして光学的なコンタクト状態に維持しながら高速にディスクを回転させるかが重要である。
【０００６】
例えば図３０は、光記録媒体９０がある対物側から順に、第１の光学レンズ（ソリッドイマージョンレンズ）１０１と第２の光学レンズ１０２とを配置してニアフィールド集光レンズを構成したときの概略断面図である。
第１の光学レンズ（ソリッドイマージョンレンズ）１０１を超半球形状で構成した場合、光学レンズの曲率半径をｒ、光学レンズの屈折率をｎ、光学レンズの厚さをｔとすると、ｔ＝ｒ（１＋１／ｎ）の関係がある。また、第１の光学レンズ（ソリッドイマージョンレンズ）を半球形状で構成した場合、光学レンズの曲率半径をｒ、光学レンズの屈折率をｎ、光学レンズの厚さをｔとすると、ｔ＝ｒの関係がある。
【０００７】
これら第１の光学レンズ１０１と第２の光学レンズ１０２は、光記録再生に使用される光ピックアップ装置に装着され、光記録媒体と集光レンズとの距離を光学的なコンタクト状態に維持する。あるいは、これら第一の光学レンズと第２の光学レンズは、光磁気記録再生に使用される光磁気ヘッド装置に装着され、光記録媒体と集光レンズとの距離を光学的なコンタクト状態に維持する。
図面上では表現が困難なため、第１の光学レンズ１０１は光記録媒体９０の表面にほぼ接しているように示されているが、実際は非常に僅かな距離のギャップ（例えば数１０ｎｍ程度）を保つように制御される。
そしてレーザ光１０３は、このような第１，第２の光学レンズ１０１，１０２によるニアフィールド集光レンズによって光記録媒体９０の記録面に集光され、記録又は再生が行われる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ニアフィールド光記録再生方式の高転送レート化のためには、光記録媒体９０（例えば光ディスク）を高速に回転させる必要がある。そしてその際に、光記録媒体９０の表面と、集光レンズとの距離を光学的なコンタクト状態に維持しなければならない。
ところが、第１の光学レンズ１０１（ソリッドイマージョンレンズ）の対物面が、高速で回転する光記録媒体９０の面ぶれに追従できなくなると、第１の光学レンズ１０１と光記録媒体９０が接触し、その双方に傷や磨耗などの損傷を受けてしまう。
【０００９】
また、これら第１の光学レンズ１０１と第２の光学レンズ１０２から成る集光レンズが装着された２軸ピックアップ装置や光磁気ヘッド装置では、これら第１の光学レンズ１０１と光記録媒体９０の間隔（ギャップ）や、その相対的な角度を精密に制御し、保持する必要があり、このためいわゆる二軸機構によるギャップサーボ制御が行われる。
しかしながら、光記録媒体９０が高速で回転する場合、その光記録媒体９０の面ぶれに対するサーボ追従性を高くすることができない。
すなわち、ニアフィールド光記録再生方式では、集光レンズは一般的に対物側から順に配置された第１の光学レンズ１０１と第２の光学レンズ１０２との２枚の光学レンズの組み合わせにより、開口数１以上を実現しているが、第１の光学レンズ１０１と光記録媒体９０との位置精度は、光記録媒体９０が高速回転になるほど、それらの間隔やその相対的な角度に高精度が求められ、かつ環境の変化に対してもこの精度を維持することが求められるが、その制御は非常に困難である。このため、高転送レートに対応したニアフィールド光記録再生装置の実現は困難であった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そこで本発明は、ニアフィールド記録再生方式で用いられる光記録媒体として、特に高転送レート化に好適な光記録媒体を提供する。またそのような光記録媒体を製造するための原盤製造装置や記録媒体製造方法を提供する。さらに本発明の光記録媒体に対してニアフィールド記録再生を行うための記録又は再生方法、記録又は再生装置を提供する。
【００１１】
本発明の光記録媒体は、ニアフィールド記録再生で用いられる光記録媒体であって、第１の溝構造と、該第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造が形成されているものである。
また、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、二重螺旋状に形成されている。
或いは、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、同心円状に交互に形成されている。
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の物理構造の違いとしては、溝の幅が異なるか、或いは溝の深さが異なるものとされている。
また上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が連続溝とされているか、或いは一方が連続溝、他方が間欠溝（ピット列）とされている。間欠溝や蛇行溝によっては再生専用の情報が記録される。
また上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が非蛇行溝とされているか、或いは両方が蛇行溝とされているか、さらに或いは、一方が蛇行溝、他方が非蛇行溝とされている。
また、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間が、１つの記録再生トラックとされる。さらには、加えて上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の一方も１つの記録再生トラックとされる場合もある。これらの場合、上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされ、その蛇行溝又は間欠溝により上記第２の溝構造の両側の記録再生トラックに共有される再生専用の情報（例えばアドレス情報）が記録される。
また上記第１，第２の溝構造は、記録又は再生のためのレーザ光の入射面側からみて凸状又は凹状とされている。
また基板に対して上記第１，第２の溝構造が形成された記録層が積層され、該記録層表面が記録媒体表面とされている。或いは、基板に対して上記第１，第２の溝構造が形成された記録層と、保護層が順に積層され、該保護層の表面が記録媒体表面とされている。
また上記第１，第２の溝構造を有する記録層が、複数形成されている。
【００１２】
本発明の原盤製造装置は、ニアフィールド記録再生に用いられる光記録媒体を製造するための記録媒体原盤を製造する原盤製造装置である。そして、レジスト層が形成された記録媒体原盤上に、第１の溝構造を形成するための第１の露光用レーザを照射する第１の光学系手段と、上記記録媒体原盤上に、上記第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造を形成するための第２の露光用レーザとして、上記第１の露光用レーザとはレーザ光量又はレーザスポット径の異なる露光用レーザを照射する第２の光学系手段とを備える。
また上記第１、第２の光学系手段には、１つのレーザ光源手段からのレーザ光が入射されるとともに、上記第１，第２の光学系手段の一方に、レーザ光量又はレーザスポット径を変化させる光学フィルタ手段が設けられている。
また上記第１、第２の露光用レーザを、上記記録媒体原盤上に同時に照射して螺旋状の露光パターンを形成していくことで、上記記録媒体原盤上に、二重螺旋状の上記第１，第２の溝構造を形成する。
【００１３】
本発明の光記録媒体製造方法は、レジスト層が形成された記録媒体原盤上に、第１の溝構造を形成するための第１の露光用レーザと、上記第１の露光用レーザとはレーザ光量又はレーザスポット径の異なる第２の露光用レーザを照射することで、上記第１の溝構造と、上記第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造としての露光パターンを形成して記録媒体原盤を製造し、上記記録媒体原盤を元にして、上記第１の溝構造と、上記第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造を有する、ニアフィールド記録再生に用いられる光記録媒体を製造する。
【００１４】
本発明の記録又は再生方法は、第１の溝構造と、該第１の溝構造とは物理構造が異なる第２の溝構造が、それらの溝構造の方向に対する直交方向に交互に形成されている光記録媒体に対して、上記直交方向の上記第１の溝構造の形成ピッチとなる区間内に、ニアフィールド光学系により複数のレーザスポットを照射することで、複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う。
この場合において上記光記録媒体は、ディスク状記録媒体であり、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造とが、二重螺旋状、もしくは交互の同心円状に形成され、上記直交方向とは、ディスク半径方向である。
上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、その物理構造の違いとして溝の幅、或いは溝の深さが異なる。
また上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が連続溝とされている。
或いは上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、一方が連続溝、他方が間欠溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記間欠溝によって記録された情報も同時的に再生する。
或いは上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が非蛇行溝とされている。
或いは、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、両方が蛇行溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記第１，第２の溝構造の蛇行によって記録された情報も同時的に再生する。
或いは上記第１の溝構造と上記第２の溝構造は、一方が蛇行溝、他方が非蛇行溝とされているとともに、上記複数のレーザスポットにより複数の並走する記録再生トラックから同時的に情報の記録又は再生を行う際に、上記第１，第２の溝構造の一方の蛇行によって記録された情報も同時的に再生する。
また上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間のランドを、１つの記録再生トラックとして１つのレーザスポットを照射する。ここで上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされている場合、上記蛇行溝又は間欠溝により記録されている、上記第２の溝構造の両側のランドの記録再生トラックに共有される再生専用の情報を再生する。
又は、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の間のランドを、１つの記録再生トラックとして１つのレーザスポットを照射するとともに、上記第１の溝構造と上記第２の溝構造の一方も１つの記録再生トラックとして、１つのレーザスポットを照射する。ここで上記第２の溝構造が蛇行溝又は間欠溝とされている場合、上記蛇行溝又は間欠溝により記録されている、上記第２の溝構造の両側のランド記録再生トラックと上記第２の溝構造による記録再生トラックに共有される再生専用の情報を再生する。
【００１５】
本発明の記録又は再生装置は、上記記録又は再生方法を実現する記録装置、再生装置、或いは記録再生装置である。
【００１６】
以上の本発明では、光記録媒体は、物理構造として例えば幅や深さが異なる第１、第２の溝構造が形成されており、その第１，第２の溝構造が二重螺旋状又は同心円状に形成されている。すると、溝構造に対して直交する方向（光ディスクの半径方向）にみると、第１の溝構造、第２の溝構造、第１の溝構造、第２の溝構造・・・と交互にあらわれることになるが、その第１の溝構造と第２の溝構造の間のランド部分を記録再生トラックとする。
つまり、第１の溝構造から、次の周の第１の溝構造までのディスク半径方向区間には、その中間に第２の溝構造が存在し、第１の溝構造と第２の溝構造の間のランドでの記録再生トラックと、その第２の溝構造と次の第１の溝構造の間のランドでの記録再生トラックが形成される。この場合、２つの記録トラックが並走するものとなり、これらの２つの記録再生トラックに対して記録再生装置は２つのレーザスポットを同時に照射して記録再生を行うようにすれば、高速回転させることなく、高転送レート化が可能となる。
これは、光学レンズの屈折率が大なる材料を用いて、光学レンズの開口数を大にして、光記録媒体に記録再生を行う、いわゆるニアフィールド光記録再生方式に好適な高転送レート化の手法となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ニアフィールド記録再生が行われる光記録媒体において、物理構造として例えば幅や深さが異なる第１、第２の溝構造を形成するようにし、その第１，第２の溝構造の間の２つのランド部或いは加えて一方の溝構造を記録再生トラックとする。即ち２本又は３本の記録再生トラックが並走するものとする。この場合、２本又は３本の並走する記録再生トラックに対してそれぞれ１つづつ、つまり２本又は３本のレーザスポットを照射して記録再生を行うことで、光記録媒体（光ディスク）をより高速に回転させなくても、転送レートの向上を実現できる。高速回転することなく高転送レート化が可能であることで、高速回転時のレンズ制御（ギャップや角度制御）が困難なニアフィールド記録再生方式に非常に好適な光記録媒体となる。また今後の高密度大容量化に伴う高転送レート化への適応も可能となる。
【００１８】
また、第２の溝構造を設けないで、第１の溝構造と次の第１の溝構造の間のランドに２つのレーザスポットを同時に照射する（つまり幅広のランド上に２つの記録再生トラックが形成される）という方式が考えられ、その場合は、本発明と同様に高転送レート化に有利となるが、その場合、２つの記録再生トラック間の干渉によるクロスライト、クロスイレーズ、クロストークの点で不利となる。
ここで本発明のように、第１、第２の溝構造の幅や深さが異なることは、上記の方式に対して、トラックピッチの拡大を招かずに、記録再生トラック間の干渉を低減する効果が得られるものとなる。例えば、並走する記録再生トラックとなる２つの並走するランド間となる第２の溝構造の幅を、第１の溝構造よりも幅が小さいものとすれば、上記のように幅広のランド上に２つの記録再生トラックを形成する方式と比較して、第１の溝構造で見た場合のトラックピッチをほぼ同等としたまま、２つの記録再生トラック間の第２の溝構造により干渉を低減でき、クロスライト、クロスイレーズ、クロストークの各特性を向上できる。
さらには、逆に並走する記録再生トラックとなる２つの並走するランド間となる第２の溝構造の幅を、第１の溝構造よりも幅が大きいものとすれば、その第２の溝構造を３つ目の並走する記録再生トラックとしつつ、各トラック間での干渉を低減し、さらに、第１の溝構造の幅を狭くすることで、第１の溝構造のピッチの拡大を招かない。
【００１９】
これらのことから、本発明の光記録媒体は、ニアフィールド記録再生方式において高密度大容量化、高転送レート化に対応する好適な記録媒体となり、また本発明の記録又再生方法、記録又は再生装置は、ニアフィールド記録再生に適したものとなる。
また本発明の原盤製造装置、記録媒体製造方法によれば、以上のようにニアフィールド記録再生方式に好適な記録媒体を容易に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について説明するが、まず本発明の記録又再生方法、記録又は再生装置の実施の形態のとなるニアフィールド記録再生方式の記録再生装置の構成を説明する。次に、本発明の実施の形態の光記録媒体（光磁気記録媒体を含む）に対する比較例としての光記録媒体を説明し、その後、各種実施の形態としての光記録媒体の構造と記録又は再生のためのレーザスポット照射方式を述べる。さらに原盤製造装置及び記録媒体製造方法を説明する。即ち説明は次の順序で行う。
［１．実施の形態のニアフィールド記録再生装置の光学系の構成］
［２．比較例としての光記録媒体］
［３．実施の形態の光記録媒体の溝構造（ディスク構造例１〜ディスク構造例１０）］
［４．実施の形態の光記録媒体の層構造］
［５．実施の形態の原盤製造装置（装置例１〜装置例６）］
【００２１】
［１．実施の形態のニアフィールド記録再生装置の光学系の構成］
まず、実施の形態としてのニアフィールド記録再生を行う記録再生装置のピックアップにおける光学系を説明する。
図１は、ニアフィールド光記録再生装置の光学系の概略構成図である。記録又は再生の対象となるニアフィールド光記録媒体は、たとえば光ディスク（又は光磁気ディスク）９０であり、記録再生装置内において図示しないスピンドルモータに装着され、所定の回転数で回転される。
レーザ光源３１は、いわゆるマルチビームレーザとされ、例えば波長４０５ｎｍの複数のレーザ光を出力する。例えば２系統又は３系統のレーザ光を出力する。
レーザ光源３１から出力された複数系統のレーザ光は、コリメータレンズ３２で平行光とされた後、ビームスプリッタ３３，偏光ビームスプリッタ３４、１／４波長板３５を通過してビームエキスパンダ３６に達する。そしてビームエキスパンダで焦点調整された後、ミラー３７で反射され、集光レンズ３８によりディスク９０に対して複数系統の近接場光として照射される。集光レンズ３８は二軸アクチュエータ３９によりトラッキング方向及びギャップ調整方向に移動可能に保持されている。
２系統又は３系統のレーザ光によるレーザスポットのディスク９０上の照射位置については、後述するディスク構造例において述べる。
【００２２】
ディスク９０からの複数系統の反射光（戻り光）は、集光レンズ３８，ミラー３７，ビームエキスパンダ３６，１／４波長板３５を介して偏光ビームスプリッタ３４に達し、一部が反射されてレンズ４０によってフォトディテクタ４１に集光される。
フォトディテクタ４１は、反射光量に応じた電気信号（検出信号）を図示しない再生系回路及びサーボ系回路に供給する。このフォトディテクタ４１での検出信号から再生情報信号（ＲＦ信号）が得られ、所定のデコード処理が行われる。またフォトディテクタ４１による検出信号からトラッキングエラー信号も生成され、これがトラッキングサーボ回路において処理されてトラッキングサーボ駆動信号とされ、二軸アクチュエータ３９のトラッキングサーボ駆動が行われる。
一方、偏光ビームスプリッタ３４を通過した各系統の戻り光の一部は、ビームスプリッタ３３で反射され、レンズ４２によってフォトディテクタ４３に集光される。このフォトディテクタ４３での検出信号からはギャップ検出信号が得られる。このギャップ検出信号に基づいてギャップ制御のための駆動信号が生成され二軸アクチュエータ３９のギャップサーボ駆動が行われる。
【００２３】
ニアフィールド光記録媒体であるディスク９０に対して近接場光を照射する集光レンズ３８は、図２に概略構成を示すように、ディスク９０側からみて順に第１の光学レンズ（ソリッドイマージョンレンズ）３８ａと第２の光学レンズ３８ｂで構成されている。
そして第１の光学レンズ（ソリッドイマージョンレンズ）３８ａと第２の光学レンズ３８ｂは、二軸アクチュエータ３９のホルダ３９ａに固定保持される。
ホルダ３９ａは、図示しない二軸アクチュエータ３９の基台上でディスク半径方向及びディスク９０に接離する方向に移動可能に取り付けられている。そしてホルダ３９ａの周囲にはギャップ制御コイル３９ｂとトラッキングコイル３９ｃがホルダ３９上のマグネットとの間で作用するように配置されている。従って上記トラッキング駆動信号に基づく駆動電流がトラッキングコイル３９ｃに流されることにより、集光レンズ３８はディスク半径方向に移動制御され、またギャップ駆動信号に基づく駆動電流はギャップ制御コイル３９ｂに流されることで、集光レンズ３８はディスク９０に対して接離する方向に移動制御される。
即ち、この２軸アクチュエータ３９は、フォトディテクタ４３で検出された戻り光量のモニタ結果に基づいてフィードバック制御されることで、ディスク９０と第１の光学レンズ３８ａとの距離（ギャップ）を一定に保つことが可能であり、且つ第１の光学レンズ３８ａとディスク９０の衝突を避けることが可能である。また、この２軸アクチュエータ３９は、フォトディテクタ４１で検出されたトラッキング方向のエラー情報に基づくフィードバック制御により、集光レーザスポットを所望の記録再生トラックに移動させ、また記録再生トラック上をトレースさせることが可能である。
【００２４】
なお、ビームエキスパンダ３６によっては、その２枚のレンズの間隔を調整することで、ニアフィールド光記録媒体の面振れに対して、２軸アクチュエータ３９、もしくはピックアップ全体をディスク半径方向に移動させるスライダが追従した残りのギャップエラー成分や、集光レンズ３８の組み立て工程時に発生した誤差成分を補正することが行われる。
【００２５】
次に、第１の光学レンズ（ソリッドイマージョンレンズ）３８ａの形状について説明する。第１の光学レンズ３８ａの形状は超半球状もしくは、半球状であり、ディスク９０と対向面である対物面が平面であり、この対物面の反対面は凸球面となっている。また周側面は２軸アクチュエータ３９、もしくはスライダとの固着面となる。
また、第１の光学レンズ３８ａと、ディスク９０のギャップ間隔が数十ｎｍ程度であるので、第１の光学レンズ３８ａとディスク９０の間の機械的な傾きマージンを確保するために、第１の光学レンズ３８ａのレーザ入射角度に対して、これを遮らない範囲で、円錐形状等に加工されていると好適である。
また、光磁気記録媒体に対するニアフィールド光記録再生方式においては、記録時及び／又は再生時に磁界が必要になることから、例えばディスク９０が光磁気ディスクであるような場合、第１の光学レンズ３８ａの対物面の一部に磁気コイル等を取り付けて構成してもよい。
【００２６】
次に、第１の光学レンズ（ソリッドイマージョンレンズ）３８ａの材料について説明する。第１の光学レンズ３８ａは、上記に述べたように、その光記録再生装置の装備するレーザ光源の波長に対して、屈折率が大きく、透過率が大きく、光吸収が小さいものが材料として好適である。
たとえば、高屈折率ガラスであるオハラ株式会社製のＳ−ＬＡＨ７９や、高屈折率セラミックス、高屈折率単結晶材料であるＢｉ4Ｇｅ3Ｏ12，ＳｒＴｉＯ3，ＫＴａＯ3、ＺｒＯ2，ＨｆＯ2，ＳｉＣ，ダイヤモンドなどが好適である。
また、これら光学レンズ材料は、アモルファス構造、もしくは単結晶の場合には立方晶構造であることが望ましい。光学レンズ材料がアモルファス構造、もしくは立方晶構造である場合、従来のボール研磨方法や装置が利用可能である。
さらに、材料の方位を気にすることなく、光学レンズ作製のためのエッチングプロセスやポリッシングプロセスを用意に適用できる。
【００２７】
［２．比較例としての光記録媒体］
続いて、本発明には相当しない、比較例としての光記録媒体（ここでは例えば光ディスク、光磁気ディスク）について説明する。
後述する本発明の実施の形態は、ニアフィールド記録再生方式においてマルチビーム記録再生を考えてディスク回転を高速化することなく転送レートを向上させることを第１の目的とするが、さらに、ここで説明する比較例においての問題をも解決するものである。
【００２８】
比較例としてディスクのトラック構造を図２９に示す。図２９はディスク上のランド及びグルーブ（溝）によって形成されるトラック構造を模式的に示している。
この比較例は、ディスク回転を高速化することなく転送レートを向上させることを目的として想定された例であり、つまりニアフィールド記録再生方式においてマルチビームによる記録再生を考慮したものである。
図２９に示すように、ディスク上には、例えば螺旋状に形成した１本のグルーブＧＶに挟まれた部分、即ちランドＬＤに、２つの記録再生トラックＴＫ１，ＴＫ２（以下、単に「トラック」という）を形成する。つまり、幅ｗ１のグルーブＧＶが図示するグルーブピッチで形成されることで、グルーブＧＶに対して幅広のランドＬＤが形成され、このランドＬＤに２つのレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が照射されるようにすることで、並走する２本のトラックが形成されるようにするものである。いうまでもなく、並走する２本のトラックは、ランド上面を半径方向に分け合う形となる。
【００２９】
このような構造は、グルーブピッチを余り狭くしなくともトラックピッチ方向の密度が上げられるため、特に高密度記録媒体としては有利なものとなる。
例えばディスクを製造するための原盤のマスタリングにおいて、グルーブを形成する露光パターンのピッチ（即ちマスタリング時のトラックピッチ）が、幅広のランドＬＤの分だけ余裕ができる。
一方、通常のランド記録もしくはグルーブ記録を採用する場合、狭トラックピッチ化のためには、マスタリング時にその求められるトラックピッチで露光パターンを形成していかなければならない。そして狭トラックピッチ化が進むと、電子線マスタリング装置など、非常に解像度の高い高価な装置が必要となってしまう。
つまり、比較例のように１つのランドに複数トラックが乗るものとすることで、マスタリング時にトラックピッチ方向の余裕ができ、比較的低解像度のマスタリング装置でも製造可能となる利点がある。
【００３０】
図１で述べたピックアップを備えた記録再生装置によって、このようなディスクに対して２系統のレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２を同時に照射し、２系統のトラックＴＫ１，ＴＫ２に対して同時に記録再生するようにすれば、１本のトラックに対して記録再生する装置に比べて２倍程度の転送レート向上が可能となることは言うまでもない。
ところが、この比較例の構造の場合、同一のランドＬＤ上で並走する２本のトラックＴＫ１，ＴＫ２の間に溝や段差がなく、平坦な形状で連続しているため、クロスライトやクロスイレーズ、クロストークによる信号の劣化が生じやすく、信号再生時の復号誤り率を高める原因となっていた。
【００３１】
この問題は、例えばグルーブピッチを広げ、ランドＬＤの幅をより広くする事により回避できるが、その場合には記録密度が低下してしまう問題が生じる。
また記録時のレーザパワーを弱くして記録マークの幅を狭めることにより問題の回避を計る事も出来るが、この場合は例えば信号強度が低下するために信号対雑音比が悪化して、信号再生時の復号誤り率が高くなってしまうおそれがあった。
【００３２】
［３．実施の形態の光記録媒体の溝構造（ディスク構造例１〜ディスク構造例１０）］
上記のように比較例として考慮された図２９の構造の場合、マルチビーム記録再生によってディスク回転速度を上げなくても高転送レートを図ることが可能であるが、トラック間干渉により再生信号品質の低下という欠点が生ずる。
以下説明していく実施の形態としての各種ディスク構造例（ディスク構造例１〜１０）は、マルチビーム記録再生により転送レート向上を実現し、かつトラック間干渉を低減し、再生信号品質を向上させることのできるものである。
実施の形態の各ディスク構造例１〜１０は全て、ディスク９０上に第１のグルーブＧＶ１と第２のグルーブＧＶ２が形成され、かつその第１のグルーブＧＶ１と第２のグルーブＧＶ２は、物理的な構造が異なるようにされているものである。
【００３３】
＊＊＊  ディスク構造例１  ＊＊＊
図３に、実施の形態としてのディスク構造例１を示す。
この場合、図示するようにディスク上には凹状が連続する連続溝としてグルーブＧＶ１とグルーブＧＶ２が形成される。そしてグルーブＧＶ１は、幅ｗ１の溝構造とされ、グルーブＧＶ２は、より狭い幅ｗ２の溝構造とされている点で物理構造が異なる。
そしてグルーブＧＶ１、ＧＶ２は、例えば図４（ａ）に実線と破線で示すように、並走する２重螺旋状（ダブルスパイラル状）に形成されている。
なお、図４（ｂ）のように、グルーブＧＶ１、ＧＶ２は、それぞれ同心円状に交互に形成されるようにしてもよい。
【００３４】
ここで、各グルーブＧＶ１、ＧＶ２の幅ｗ１，ｗ２の設定により、図３にグルーブＧＶ１のピッチとして示す第１グルーブピッチは、図２９に示した比較例におけるグルーブピッチとほぼ同等とすることができる。
そして、このグルーブＧＶ１と１周回したグルーブＧＶ１の間に、幅の狭いグルーブＧＶ２が形成されることで、グルーブＧＶ１とグルーブＧＶ２の間の領域として、ランドＬＤ１、ＬＤ２が形成される。
図１に示した記録再生装置（光ピックアップ）によっては、ランドＬＤ１にレーザスポットＳＰ１が照射され、ランドＬＤ２にレーザスポットＳＰ２が照射されるようにする。つまりランドＬＤ１，ＬＤ２がそれぞれ記録再生トラックＴＫ１，ＴＫ２となる。
従って、図示する第１グルーブピッチとしての半径方向の範囲内に、２本のトラックＴＫ１，ＴＫ２が並走するものとなる。
【００３５】
このような構造によれば、第１グルーブピッチを余り狭くしなくともトラックピッチ方向のトラック密度が上げられるため高密度化に有利である。
なお、グルーブＧＶ１、ＧＶ２を形成するマスタリング工程については後述するが、２系統の露光用レーザをディスク原盤に同時に照射していけば。例えば図４（ａ）のようなダブルスパイラル状のグルーブを形成でき、その際の動作としては第１グルーブピッチを基準にすればよいため、マスタリング時に、グルーブ用の露光パターンとしてのピッチについて著しい狭トラックピッチ化は不要であり、製造上の困難はない。例えば電子線マスタリング装置など、非常に解像度の高い高価な装置を用いなくても良い。
【００３６】
また、２つのビームスポットＳＰ１，ＳＰ２が、それぞれグルーブＧＶ１、ＧＶ２の間のランドＬＤ１，ＬＤ２にそれぞれ照射されるため、その両側のグルーブＧＶ１、ＧＶ２を利用してトラッキング制御することで、安定してトラックＴＫ１，ＴＫ２に追従できる。
また、２重螺旋状となるトラックＴＫ１，ＴＫ２に同時に記録／再生できるので、ディスク９０を高速に回転させなくても、記録再生の高転送レート化が可能となる。すなわち、従来ニアフィールド記録再生方式において、ディスク回転速度の高速化が困難であったために難しかった、高転送レートの記録再生が可能となる。
【００３７】
そしてその上で、トラック間の干渉を低減し、クロスライト、クロスイレーズ、クロストークを軽減し、再生信号品質を向上させ、復号誤りを低減できるものとなる。
図２９の比較例の場合は連続する同一平面上にトラックＴＫ１，ＴＫ２が配置されるが、本例の場合、トラックＴＫ１，ＴＫ２の間にはグルーブＧＶ２が設けられ、隣接するトラックＴＫ１，ＴＫ２の間には常に段差があるため、熱伝導の観点から見た隣接トラック間の距離は、同一平面上に隣接して記録トラックを配置した場合と比較して、グルーブＧＶ２による高低差の分だけ長くできる。その結果、隣接して並走するトラックＴＫ１，ＴＫ２の間での熱の干渉を抑制し、クロスライト、クロスイレーズ、クロストークを低減することができるものである。
【００３８】
＊＊＊  ディスク構造例２  ＊＊＊
図５にディスク構造例２を示す。
この場合も、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。またランドＬＤ１，ＬＤ２がレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２となる。
そしてこの場合は、グルーブＧＶ１、ＧＶ２の物理構造の違いとして、グルーブ幅とグルーブ深さが異なるものとされている。
即ちグルーブＧＶ１は幅ｗ１で深さがｄ１とされ、グルーブＧＶ２は幅ｗ２で深さがｄ２とされている。ｗ１＞ｗ２であり、ｄ１＜ｄ２である。
このようなディスク構造例２でも、上記ディスク構造例１と同様の効果が得られる。そして加えて、この場合トラックＴＫ１，ＴＫ２の間の段差となるグルーブＧＶ２は、より深い溝とされていることから、トラックＴＫ１，ＴＫ２の間の熱干渉の点で、より有利となり、再生信号品質をより向上させ、エラーレートを良好にできる。
【００３９】
＊＊＊  ディスク構造例３  ＊＊＊
図６にディスク構造例３を示す。
この場合も、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。またランドＬＤ１，ＬＤ２がレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２となる。そしてこの場合は、グルーブＧＶ１、ＧＶ２の物理構造の違いとして、グルーブ幅が異なるものとされている。即ちグルーブＧＶ１は幅ｗ１でグルーブＧＶ２は幅ｗ２（ｗ１＞ｗ２）とされる。
そしてさらに、グルーブＧＶ１は非蛇行溝であるが、グルーブＧＶ２は、いわゆるウォブリンググルーブ（蛇行溝）とされる。
このようなディスク構造例３でも、上記ディスク構造例１と同様の効果が得られる。加えて、この場合グルーブＧＶ２のウォブリングを、データの変調信号に基づくものとすることで、各種の再生専用の情報を記録することができる。例えばアドレス情報やディスクの物理情報その他の管理情報を記録することができる。このグルーブＧＶ２のウォブリングによって記録された情報は、トラックＴＫ１，ＴＫ２に対するレーザスポットＳＰ１、ＳＰ２による記録又は再生時に、レーザスポットＳＰ１、ＳＰ２の反射光情報によって同時に読み出すことができる。つまりトラックＴＫ１，ＴＫ２に対する記録時にはレーザスポットＳＰ１、ＳＰ２によってトラックＴＫ１，ＴＫ２に情報を記録しながら、その際の反射光情報からウォブル信号を生成し、ウォブリングによって記録された情報を再生する。またトラックＴＫ１，ＴＫ２に対する再生時にはレーザスポットＳＰ１、ＳＰ２の反射光情報からトラックＴＫ１，ＴＫ２に記録された情報の再生信号を得るとともに、同じく反射光情報からウォブル信号を生成し、ウォブリングによって記録された情報を再生する。この場合、ウォブリンググルーブによる情報も、トラックＴＫ１，ＴＫ２に記録された情報と同時に再生できることになるため、その点で一層の再生時の高転送レート化が可能となる。
また、グルーブＧＶ２のウォブリングによって例えばアドレス情報を記録すると、そのアドレス情報はトラックＴＫ１，ＴＫ２に共用されるアドレスとすることができる。
なお、このディスク構造例３の変形例として、上記ディスク構造例２のようにグルーブＧＶ１、ＧＶ２の深さが異なるようにしてもよい。
【００４０】
＊＊＊  ディスク構造例４  ＊＊＊
図７にディスク構造例４を示す。
この場合も、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。またランドＬＤ１，ＬＤ２がレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２となる。そしてグルーブＧＶ１、ＧＶ２の物理構造の違いとして、グルーブ幅が異なるものとされている。即ちグルーブＧＶ１は幅ｗ１でグルーブＧＶ２は幅ｗ２（ｗ１＞ｗ２）とされる。
そしてこの場合は、グルーブＧＶ１は、ウォブリンググルーブ（蛇行溝）とされ、グルーブＧＶ２は非蛇行溝とされる。
このようなディスク構造例４でも、上記ディスク構造例１と同様の効果が得られる。またこの場合は、グルーブＧＶ１のウォブリングを、データの変調信号に基づくものとすることで、アドレス情報や管理情報など各種の再生専用の情報を記録することができ、上記ディスク構造例３で述べた効果を得ることもできる。
また、ウォブリンググルーブによる情報も、トラックＴＫ１，ＴＫ２に記録された情報と同時に再生できることになるため、その点で一層の再生時の高転送レート化が可能となる。
なお、このディスク構造例４の変形例として、上記ディスク構造例２のようにグルーブＧＶ１、ＧＶ２の深さが異なるようにしてもよい。
【００４１】
＊＊＊  ディスク構造例５  ＊＊＊
図８にディスク構造例５を示す。
この場合も、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。またランドＬＤ１，ＬＤ２がレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２となる。そしてグルーブＧＶ１、ＧＶ２の物理構造の違いとして、グルーブ幅が異なるものとされている。即ちグルーブＧＶ１は幅ｗ１でグルーブＧＶ２は幅ｗ２（ｗ１＞ｗ２）とされる。
そしてこの場合は、グルーブＧＶ１、ＧＶ２の両方がウォブリンググルーブ（蛇行溝）とされる。
このようなディスク構造例５でも、上記ディスク構造例１と同様の効果が得られる。またこの場合は、グルーブＧＶ１、ＧＶ２のウォブリングを、それぞれデータの変調信号に基づくものとすることで、アドレス情報や管理情報など各種の再生専用の情報を記録することができ、上記ディスク構造例３と同様の効果を得ることもできる。
さらに２系統のウォブリンググルーブであることから、より大量な管理情報等を記録したり、或いは同じ情報を記録することで管理情報等の再生確度を向上させることなどが可能となる。
また、複数のウォブリンググルーブによる情報も、トラックＴＫ１，ＴＫ２に記録された情報と同時に再生できることになるため、その点で一層の再生時の高転送レート化が可能となる。
なお、このディスク構造例５の変形例として、上記ディスク構造例２のようにグルーブＧＶ１、ＧＶ２の深さが異なるようにしてもよい。
【００４２】
＊＊＊  ディスク構造例６  ＊＊＊
図９にディスク構造例６を示す。
この場合は、第１の溝構造として連続溝のグルーブＧＶ１が形成され、一方第２の溝構造としては間欠的な溝、即ちピットＰＴが並ぶピット列が形成されるようにしている。
グルーブＧＶ１は幅ｗ１とされ、ピット列を構成するピットＰＴの幅はｗ２（ｗ１＞ｗ２）とされる。そしてグルーブＧＶ１とピット列が、ダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。またランドＬＤ１，ＬＤ２がレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２となる。
このようなディスク構造例６でも、上記ディスク構造例１と同様の効果が得られる。またこの場合は、ピット列としてアドレス情報や管理情報など各種の再生専用の情報を記録することができる。
また、ピット列による情報も、トラックＴＫ１，ＴＫ２に記録された情報と同時に再生できることになるため、その点で一層の再生時の高転送レート化が可能となる。
このピット列によって記録された情報は、トラックＴＫ１，ＴＫ２に対するレーザスポットＳＰ１、ＳＰ２による記録又は再生時に、レーザスポットＳＰ１、ＳＰ２の反射光情報によって同時に読み出すことができる。つまりトラックＴＫ１，ＴＫ２に対する記録時にはレーザスポットＳＰ１、ＳＰ２によってトラックＴＫ１，ＴＫ２に情報を記録しながら、その際の反射光情報からピット列の再生信号を生成し、ピット列によって記録された情報を再生する。またトラックＴＫ１，ＴＫ２に対する再生時にはレーザスポットＳＰ１、ＳＰ２の反射光情報からトラックＴＫ１，ＴＫ２に記録された情報の再生信号を得るとともに、同じく反射光情報からピット列の再生信号を生成し、ピット列によって記録された情報を再生する。
また、ピット列によって例えばアドレス情報を記録すると、そのアドレス情報はトラックＴＫ１，ＴＫ２に共用されるアドレスとすることができる。
なお、このディスク構造例６の変形例として、グルーブＧＶ１とした第１の溝構造をピット列とし、ピット列とした第２の溝構造を連続溝（グルーブＧＶ２）としてもよい。さらに、第１，第２の溝構造の両方をピット列としても良い。
またこれらにおいて、第１の溝構造と第２の溝構造の深さが異なるようにしてもよい。
【００４３】
＊＊＊  ディスク構造例７  ＊＊＊
図１０にディスク構造例７を示す。
この場合も、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。そしてグルーブＧＶ１、ＧＶ２は、幅が異なるものとされているが、第１の溝構造であるグルーブＧＶ１の幅ｗ１が狭く、第２の溝構造であるグルーブＧＶ２の幅ｗ２が広いものとされる。このグルーブＧＶ２の幅ｗ２は、ランドＬＤ１，ＬＤ２の幅とほぼ同等なものとされる。
そしてこの場合、ランドＬＤ１，ＬＤ２に加えて、グルーブＧＶ２も記録再生トラックとして利用される。即ちランドＬＤ１，グルーブＧＶ２，ランドＬＤ２が、それぞれレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２，ＳＰ３が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３となる。
グルーブＧＶ１の幅ｗ１を小さくすることで、図示する第１グルーブピッチは、図３のディスク構造例１の第１グルーブピッチとほぼ同等とすることができる。
このようなディスク構造例７でも、上記ディスク構造例１と同様の効果が得られる。特には、この場合、３つのトラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３が同時に記録再生されるトラックとなるため、ディスク回転速度を同じとした場合、ディスク構造例１〜６の場合より、さらに転送レートを高くすることが可能となる。
さらには第１グルーブピッチの間に３本のトラックが形成されることで、より高密度記録が可能となる。
また、各トラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３の間にはグルーブＧＶ２の壁面としての段差が形成されているため、相互干渉の低減によるクロスライト、クロスイレーズ、クロストークの低減効果も、同様に得ることができる。
なお、このディスク構造例７の変形例として、上記ディスク構造例２のようにグルーブＧＶ１、ＧＶ２の深さが異なるようにしてもよい。
【００４４】
＊＊＊  ディスク構造例８  ＊＊＊
図１１にディスク構造例８を示す。
この場合も、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。またランドＬＤ１，グルーブＧＶ２，ランドＬＤ２がレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２，ＳＰ３が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３となる。そして、グルーブＧＶ１は幅ｗ１でグルーブＧＶ２は幅ｗ２（ｗ１＜ｗ２）とされる。
さらに、グルーブＧＶ１は非蛇行溝であるが、グルーブＧＶ２は、いわゆるウォブリンググルーブ（蛇行溝）とされる。
このようなディスク構造例８でも、上記ディスク構造例７と同様の効果が得られる。加えて、この場合グルーブＧＶ２のウォブリングを、データの変調信号に基づくものとすることで、アドレス情報や管理情報などの再生専用の情報を記録することができ、上記ディスク構造例３と同様の効果を得ることもできる。
また、ウォブリンググルーブによる情報も、トラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３に記録された情報と同時に再生できることになるため、その点で一層の再生時の高転送レート化が可能となる。
なお、このディスク構造例８の変形例として、上記ディスク構造例２のようにグルーブＧＶ１、ＧＶ２の深さが異なるようにしてもよい。
【００４５】
＊＊＊  ディスク構造例９  ＊＊＊
図１２にディスク構造例９を示す。
この場合も、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。またランドＬＤ１，グルーブＧＶ２，ランドＬＤ２がレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２，ＳＰ３が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３となる。そして、グルーブＧＶ１は幅ｗ１でグルーブＧＶ２は幅ｗ２（ｗ１＜ｗ２）とされる。
さらに、グルーブＧＶ２は非蛇行溝であるが、グルーブＧＶ１は、いわゆるウォブリンググルーブ（蛇行溝）とされる。
このようなディスク構造例９でも、上記ディスク構造例７と同様の効果が得られる。加えて、この場合グルーブＧＶ１のウォブリングを、データの変調信号に基づくものとすることで、アドレス情報や管理情報などの再生専用の情報を記録することができ、上記ディスク構造例３と同様の効果を得ることもできる。
また、ウォブリンググルーブによる情報も、トラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３に記録された情報と同時に再生できることになるため、その点で一層の再生時の高転送レート化が可能となる。
なお、このディスク構造例９の変形例として、上記ディスク構造例２のようにグルーブＧＶ１、ＧＶ２の深さが異なるようにしてもよい。
【００４６】
＊＊＊  ディスク構造例１０  ＊＊＊
図１３にディスク構造例１０を示す。
この場合も、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がダブルスパイラル状もしくは交互の同心円状に形成される。またランドＬＤ１，グルーブＧＶ２，ランドＬＤ２がレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２，ＳＰ３が照射されるトラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３となる。そして、グルーブＧＶ１は幅ｗ１でグルーブＧＶ２は幅ｗ２（ｗ１＜ｗ２）とされる。
さらに、グルーブＧＶ１，グルーブＧＶ２は、共にウォブリンググルーブ（蛇行溝）とされる。
このようなディスク構造例１０でも、上記ディスク構造例７と同様の効果が得られる。またこの場合は、グルーブＧＶ１、ＧＶ２のウォブリングを、それぞれデータの変調信号に基づくものとすることで、アドレス情報や管理情報など各種の再生専用の情報を記録することができ、上記ディスク構造例３と同様の効果を得ることもできる。
さらに２系統のウォブリンググルーブであることから、より大量な管理情報等を記録したり、或いは同じ情報を記録することで管理情報等の再生確度を向上させることなどが可能となる。
また、複数のウォブリンググルーブによる情報も、トラックＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３に記録された情報と同時に再生できることになるため、その点で一層の再生時の高転送レート化が可能となる。
なお、このディスク構造例１０の変形例として、上記ディスク構造例２のようにグルーブＧＶ１、ＧＶ２の深さが異なるようにしてもよい。
【００４７】
［４．実施の形態の光記録媒体の層構造］
上記した実施の形態のディスク構造例１〜１０，及びそれらの変形例において適用できるディスク９０の層構造について図１４〜図１９で説明する。なお図１４〜図１９では、図３のディスク構造例１をモデルとして各種層構造を示している。
図１４（ａ）（ｂ）は、基板１０上に記録層１１が形成され、この記録層１１に、上述した構造のグルーブＧＶ１、ＧＶ２、ランドＬＤ１、ＬＤ２が形成されている例である。そして、記録層１１の表面がディスク表面１４となっている。
図１４（ａ）は、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がディスク表面１４側、つまりレーザ光の入射面側から見て凹状とされている例であり、図１４（ｂ）はグルーブＧＶ１、ＧＶ２がレーザ光の入射面側から見て凸状とされている例である。
なお、記録層１１の詳細については図２０，図２１で述べる。
【００４８】
図１５（ａ）（ｂ）は、基板１０上に記録層１１が形成され、この記録層１１に、上述した構造のグルーブＧＶ１、ＧＶ２、ランドＬＤ１、ＬＤ２が形成されている例である。さらに記録層１１の上に保護層（平坦化層）１２が形成され、保護層１２の表面がディスク表面１４となっている。
図１５（ａ）は、グルーブＧＶ１、ＧＶ２がディスク表面１４側、つまりレーザ光の入射面側から見て凹状とされている例であり、図１５（ｂ）はグルーブＧＶ１、ＧＶ２がレーザ光の入射面側から見て凸状とされている例である。
【００４９】
なお、上記図１４とこの図１５の例は保護層１２の有無という点で異なるが、両者にそれぞれ利点がある。例えば、ＮＡ＝２程度の高ＮＡ化を行うニアフィールド記録再生方式の場合、保護層の厚さの許容誤差が非常に小さく、製造は困難である。一方、誘電体層はある程度は保護層としても機能する。このような観点からは、図１４の層構造はディスク製造を容易化できるという利点がある。
一方、図１５のように保護層１２を設ければ、製造の困難性は高まるが、当然、記録層１１に対する保護能力は高くなるという利点がある。
以下説明する図１６と図１７、及び図１８と図１９の例もこの点は同様である。
【００５０】
図１６（ａ）（ｂ）は、基板１０上に２つの記録層１１ａ、１１ｂが中間層１３を介して形成され、この記録層１１ａ、１１ｂに、それぞれ上述した構造のグルーブＧＶ１、ＧＶ２、ランドＬＤ１、ＬＤ２が形成されている例である。記録層１１ａの表面がディスク表面１４となっている。
図１６（ａ）は、各記録層１１ａ、１１ｂにおいてグルーブＧＶ１、ＧＶ２がディスク表面１４側、つまりレーザ光の入射面側から見て凹状とされている例であり、図１６（ｂ）はグルーブＧＶ１、ＧＶ２がレーザ光の入射面側から見て凸状とされている例である。
なお、記録層が３層以上となる層構造も考えられる。
【００５１】
図１７（ａ）（ｂ）は、基板１０上に２つの記録層１１ａ、１１ｂが中間層１３を介して形成され、この記録層１１ａ、１１ｂに、それぞれ上述した構造のグルーブＧＶ１、ＧＶ２、ランドＬＤ１、ＬＤ２が形成されている例である。さらに記録層１１ａの上に保護層（平坦化層）１２が形成され、保護層１２の表面がディスク表面１４となっている。
図１７（ａ）は、各記録層１１ａ、１１ｂにおいてグルーブＧＶ１、ＧＶ２がディスク表面１４側、つまりレーザ光の入射面側から見て凹状とされている例であり、図１７（ｂ）はグルーブＧＶ１、ＧＶ２がレーザ光の入射面側から見て凸状とされている例である。なお、記録層が３層以上となる層構造も考えられる。
これら図１６，図１７のような記録層が複数形成された層構造とすることで、ディスク９０の大容量化が実現できることは言うまでもない。
【００５２】
図１８（ａ）（ｂ）は、基板１０の両面に記録層１１ａ、１１ｂが形成され、この記録層１１ａ、１１ｂに、それぞれ上述した構造のグルーブＧＶ１、ＧＶ２、ランドＬＤ１、ＬＤ２が形成されている例である。記録層１１ａ、１１ｂの表面が、それぞれ表裏のディスク表面１４ａ、１４ｂとなっている。
図１８（ａ）は、各記録層１１ａ、１１ｂにおいてグルーブＧＶ１、ＧＶ２がディスク表面１４ａ側（又はディスク表面１４ｂ側）、つまりレーザ光の入射面側から見て凹状とされている例であり、図１８（ｂ）はグルーブＧＶ１、ＧＶ２がレーザ光の入射面側から見て凸状とされている例である。
なお、ディスク表面１４ａ側からレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が入射される記録層として複数の記録層が構成され、またディスク表面１４ｂ側からレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が入射される記録層として複数の記録層が構成されることも考えられる。
【００５３】
図１９（ａ）（ｂ）は、基板１０の両面に記録層１１ａ、１１ｂが形成され、この記録層１１ａ、１１ｂに、それぞれ上述した構造のグルーブＧＶ１、ＧＶ２、ランドＬＤ１、ＬＤ２が形成されている例である。さらに記録層１１ａ上に保護層（平坦化層）１２ａが形成され、保護層１２ａの表面が表側のディスク表面１４ａとなり、また記録層１１ｂ上に保護層（平坦化層）１２ｂが形成され、保護層１２ｂの表面が裏側のディスク表面１４ｂとなっている。
なお、ディスク表面１４ａ側からレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が入射される記録層として複数の記録層が構成され、またディスク表面１４ｂ側からレーザスポットＳＰ１，ＳＰ２が入射される記録層として複数の記録層が構成されることも考えられる。
これら図１８，図１９のような記録層がディスク９０の両面に形成された層構造とすることでも、ディスク９０の大容量化を実現できる。
【００５４】
これら図１４〜図１９のような層構造において、記録層１１の構造は、その記録媒体の種別により、例えば図２０，図２１のようになる。
なお、図２０，図２１には、基板１０と保護層１２の間の記録層１１の構造例を示しているが、これは図１５の例に準じて示している。
他の図１４，図１６、図１７、図１８，図１９の場合、その層構造における記録層１１（１１ａ、１１ｂ）が、記録媒体の種別により図２０，図２１の記録層１１のようになっていればよい。
【００５５】
図２０（ａ）は、ディスク９０が相変化記録媒体とされるときの例である。記録層１１は、基板１０側から順に反射層、誘電体層、相変化記録層、誘電体層が形成されて成る。
図２０（ｂ）は、ディスク９０が光磁気記録媒体とされるときの例である。記録層１１は、基板１０側から順に反射層、誘電体層、光磁気記録層、誘電体層が形成されて成る。
図２１（ａ）は、ディスク９０が色素変化記録媒体とされるときの例である。記録層１１は、基板１０側から順に反射層、誘電体層、色素記録層、誘電体層が形成されて成る。
図２１（ｂ）は、ディスク９０が再生専用記録媒体とされるときの例である。記録層１１は、基板１０側から順に反射層、誘電体層が形成されて成る。
【００５６】
［５．実施の形態の原盤製造装置（装置例１〜装置例６）］
続いて、上述した実施の形態のディスク構造例１〜１０、或いはそれらの変形例としてのディスク９０の製造方法、特にディスク製造に用いる原盤の製造について説明する。
ディスクの製造プロセスは、大別すると、いわゆる原盤工程（マスタリングプロセス）と、ディスク化工程（レプリケーションプロセス）に分けられる。
原盤工程はディスク化工程で用いるスタンパーを完成するまでのプロセスであり、ディスク化工程はスタンパーを用いて、その複製である光ディスクを大量生産するプロセスである。
【００５７】
具体的には、原盤工程は、研磨した硝子基板にフォトレジスト（有機レジスト）或いは無機レジストを塗布し、このレジスト膜にレーザビームによる露光によってピットやグルーブを形成する、いわゆるマスタリングを行なう。このマスタリングによって上述したグルーブＧＶ１、ＧＶ２、ランドＬＤ１，ＬＤ２を有する原盤が製造される。具体的には、フォトレジストに対してグルーブＧＶ１、ＧＶ２に相当する露光パターンを形成し、現像を行って、グルーブＧＶ１、ＧＶ２（又はピット列）に相当する溝構造が形成された原盤を作成する。
この原盤が製造されたら、例えば電鋳によって金属表面上への情報の転送を行ない、ディスクの複製を行なう際に必要なスタンパーを作成する。
次に、このスタンパーを用いて例えばインジェクション法等によって、樹脂基板上に情報を転写し、その上に反射膜を生成した後、必要なディスク形態に加工する等の処理を行なって、最終製品であるディスク９０を完成する。
【００５８】
従って、マスタリング工程において原盤上に上述したディスク構造例１〜１０に相当する溝構造が形成されることで、最終的に製造されるディスク９０として、ディスク構造例１〜１０のようなディスク９０を得ることができる。
以下では、上記溝構造を有する原盤を作成するためのマスタリング装置の例を装置例１〜装置例６として説明する。
【００５９】
＊＊＊  装置例１  ＊＊＊
マスタリング装置の光学系構成としての装置例１を図２２に示す。
これは、上記ディスク構造例１のディスク製造のためのマスタリング装置構成である。
原盤９１は、その表面にレジスト膜９２が塗布されている。そして図示しない回転機構により回転されながら、対物レンズ７６から２系統の露光用レーザスポット（ＲＳＰ１，ＲＳＰ２）が同時に照射されることで、図２３に示すように、グルーブＧＶ１、ＧＶ２に相当する露光パターンが形成されていく。このとき、原盤９１が回転されながら、対物レンズ７６と原盤９１の相対位置が徐々にスライドされている（つまり原盤９１を載置したターンテーブル側が徐々にスライド移動されるか、あるいは対物レンズ７６側が徐々にスライド移動されていく）ことで、原盤９１上にダブルスパイラル状の露光パターンが形成されることになる。
【００６０】
露光用レーザ光源５０からのレーザ光はコリメータレンズ５１で平行光とされてビームスプリッタ５２に達し、一部が反射され、一部が透過される。またビームスプリッタ５２を透過したレーザ光は、さらにビームスプリッタ５３に達し、一部が反射され、一部が透過される。
ビームスプリッタ５３を透過したレーザ光はレンズ５４で集光されてフォトディテクタ５５に照射される。フォトディテクタ５５で検出された光量信号は、レーザパワーのモニタ信号として用いられ、図示しないパワー制御回路により、露光用レーザ光源５０の出力パワー調整がおこなわれる。
【００６１】
ビームスプリッタ５２に反射されたレーザ光成分は、ミラー５６，ミラー５７で反射されて偏光ビームスプリッタ５８に達する。
またビームスプリッタ５３に反射されたレーザ光成分は、光学フィルタ６０においてパワー又はスポット径が調整される。例えば光学フィルタ６０としてＮＤフィルタを用いて光強度が減衰されたり、或いは光学フィルタとして複数のレンズや液晶パネルなどを用いて、スポット径が小径化される。そしてミラー６１で反射され、１／４波長板６２を通って偏光ビームスプリッタ５８に達する。
偏光ビームスプリッタ５８は、上記２つの光学経路で入射された２系統のレーザを、１／４波長板５９側に導く。このとき２系統のレーザ光の各光軸位置は、ランドＬＤの幅に相当する距離だけずれたものとなるように調整されている。そして２系統のレーザ光は、集光レンズ７４，コリメータレンズ７５を介して対物レンズ７６に達し、対物レンズ７６からグルーブＧＶ１、ＧＶ２のための露光用レーザスポットＲＳＰ１，ＲＳＰ２としてレジスト膜９２上に照射される。
なお、図においては露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路を一点鎖線で示し、露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路を破線で示している。
【００６２】
ここで、露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上では、光学フィルタ６０によりレーザーパワーが減衰され（或いはレーザスポット径が小径化され）ているため、図２３のようにグルーブＧＶ１用の露光パターン（現像により形成されるグルーブの幅）とグルーブＧＶ２用の露光パターンは幅が異なるものとなり、これによって、図３のディスク構造例１と同様に幅の異なる２つのグルーブＧＶ１、ＧＶ２を有する原盤が製造される。いうまでもなく、そのような原盤からスタンパが作成され、さらにスタンパからディスク９０が作成されることで、図３のようなディスク９０が製造される。
【００６３】
なお、原盤９１に対するマスタリングにおいて、レジスト膜９２をフォトレジスト（有機レジスト）とする場合、露光パターンの記録はいわゆる光記録であり、スポット照射部分が溝構造となるため、原盤９１上で幅の異なるグルーブＧＶ１，ＧＶ２を製造するためには、露光用レーザスポットＲＳＰ２のスポット径を小径化するようにする。
一方、近年知られているＰＴＭ（Phase Transition Mastering）のように、レジスト膜９２を無機レジストとし、熱記録として露光パターンを形成する場合は、原盤９１上で幅の異なるグルーブＧＶ１，ＧＶ２を製造するためには、露光用レーザスポットＲＳＰ２のパワーをＮＤフィルタ等により減衰させ、露光用レーザスポットＲＳＰ１のパワーよりも小さくすればよい。
【００６４】
また図５のディスク構造例２のようにグルーブＧＶ１、ＧＶ２の深さを異なるものとする場合は、レジスト膜９２の厚みを大きくし、深い方のグルーブに対応する露光用レーザスポットＲＳＰ２の光強度を大きくすることで、現像処理の際に溝の深さに差が出るようにする。
例えば図５のようにグルーブＧＶ１は幅広で浅いグルーブとし、グルーブＧＶ２は幅が狭く深いグルーブとする場合は、露光用レーザスポットＲＳＰ２は、露光用レーザスポットＲＳＰ１に対してスポット径を小さく、かつパワーを大きくすればよい。具体的には露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路上でＮＤフィルタ等によりレーザパワーを減衰させ、一方、露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上で、レーザスポット径を小径化させることが考えられる。
【００６５】
＊＊＊  装置例２  ＊＊＊
マスタリング装置の装置例２を図２４に示す。なお、以下説明する各装置例において、既に説明した装置例と同一の部分は同一の符号を付し、説明を省略する。
図２４の装置例２は、グルーブＧＶ２がウォブリングされた図６のディスク構造例３に対応するものである。
このためには図２４に示すように、グルーブＧＶ２のための露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上に集光レンズ６３，ＡＯＤ（音響光学偏向器）６４、コリメータレンズ６５を配置する。そしてＡＯＤ６４には、ウォブリングにより記録させるデータの変調信号Ｓwoを入力する。これによってＡＯＤ６４に入射されるレーザ光が変調信号Ｓwoに応じて偏向角度が制御され、これが光学フィルタ６０で例えばパワー減衰された上で、露光用レーザスポットＲＳＰ２としてレジスト膜９２上に照射されるため、グルーブＧＶ２に相当する蛇行する露光パターンが形成される。
一方、グルーブＧＶ１のための露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路の構成は上記図２２と同様とする。
これによって幅が広く非蛇行グルーブとしてのグルーブＧＶ１と、幅が狭くウォブリングされたグルーブＧＶ２によるダブルスパイラル状のグルーブが、原盤９１において形成され、そのような原盤９１から図６のようなディスク９０が製造できる。
【００６６】
＊＊＊  装置例３  ＊＊＊
マスタリング装置の装置例３を図２５に示す。この図２５の装置例３は、グルーブＧＶ１がウォブリングされた図７のディスク構造例４に対応するものである。
このためには図２５に示すように、グルーブＧＶ１のための露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路上に集光レンズ６６，ＡＯＤ（音響光学偏向器）６７、コリメータレンズ６８を配置する。そしてＡＯＤ６７には、ウォブリングにより記録させるデータの変調信号Ｓwoを入力する。これによってＡＯＤ６７に入射されるレーザ光が変調信号Ｓwoに応じて偏向角度が制御され、これが露光用レーザスポットＲＳＰ１としてレジスト膜９２上に照射されることで、グルーブＧＶ１に相当する蛇行する露光パターンが形成される。
一方、グルーブＧＶ２のための露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路の構成は上記図２２と同様とする。
これによって幅が広いウォブリンググルーブとしてのグルーブＧＶ１と、幅が狭い非蛇行のグルーブＧＶ２によるダブルスパイラル状のグルーブが、原盤９１において形成され、そのような原盤９１から図７のようなディスク９０が製造できる。
【００６７】
＊＊＊  装置例４  ＊＊＊
マスタリング装置の装置例４を図２６に示す。この図２６の装置例４は、グルーブＧＶ１、ＧＶ２が共にウォブリングされた図８のディスク構造例５に対応するものである。
このためには図２６に示すように、グルーブＧＶ１のための露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路上に集光レンズ６６，ＡＯＤ（音響光学偏向器）６７、コリメータレンズ６８を配置する。そしてＡＯＤ６７には、グルーブＧＶ１のウォブリングにより記録させるデータの変調信号Ｓwo１を入力する。
これによってＡＯＤ６７に入射されるレーザ光が変調信号Ｓwo１に応じて偏向角度が制御され、これが露光用レーザスポットＲＳＰ１としてレジスト膜９２上に照射されることで、グルーブＧＶ１に相当する蛇行する露光パターンが形成される。
また、グルーブＧＶ２のための露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上に集光レンズ６３，ＡＯＤ（音響光学偏向器）６４、コリメータレンズ６５を配置する。そしてＡＯＤ６４には、グルーブＧＶ２のウォブリングにより記録させるデータの変調信号Ｓwo２を入力する。これによってＡＯＤ６４に入射されるレーザ光が変調信号Ｓwo２に応じて偏向角度が制御され、これが光学フィルタ６０で例えばパワー減衰された上で、露光用レーザスポットＲＳＰ２としてレジスト膜９２上に照射されるようにし、グルーブＧＶ２に相当する蛇行する露光パターンが形成されるようにする。
これによって幅が広いウォブリンググルーブとしてのグルーブＧＶ１と、幅が狭いウォブリンググルーブとしてのグルーブＧＶ２によるダブルスパイラル状のグルーブが、原盤９１において形成され、そのような原盤９１から図８のようなディスク９０が製造できる。
【００６８】
＊＊＊  装置例５  ＊＊＊
マスタリング装置の装置例５を図２７に示す。この図２７の装置例５は、第１の溝構造がグルーブＧＶ１、第２の溝構造がピット列とされた図９のディスク構造例６に対応するものである。
このためには図２７に示すように、第２の溝構造としてのピット列のための露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上に集光レンズ７０，ＡＯＭ（音響光学変調器）７１、コリメータレンズ７２を配置する。そしてＡＯＭ７１には、ピット列により記録させるデータの変調信号Ｓpit（例えばＮＲＺ信号）を入力する。
これによってＡＯＭ７１に入射されるレーザ光が変調信号Ｓpitに応じて輝度変調され、これが光学フィルタ６０で例えばパワー減衰された上で、露光用レーザスポットＲＳＰ２としてレジスト膜９２上に照射されるため、ピット列に相当する露光パターンが形成される。
一方、グルーブＧＶ１のための露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路の構成は上記図２２と同様とする。
これによって幅が広いグルーブＧＶ１と、幅が狭いピット列によるダブルスパイラル状の溝構造が、原盤９１において形成され、そのような原盤９１から図９のようなディスク９０が製造できる。
なお、第１の溝構造をピット列とする場合は、露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路上に、集光レンズ７０，ＡＯＭ（音響光学変調器）７１、コリメータレンズ７２を配置し、変調信号Ｓpitによりピット列露光のための輝度変調を与えればよい。
【００６９】
＊＊＊  装置例６  ＊＊＊
マスタリング装置の装置例６を図２８に示す。この図２８の装置例６は、グルーブＧＶ２が幅の狭いグルーブで、グルーブＧＶ２が幅の広いグルーブとされた図１０のディスク構造例７に対応するものである。
このためには図２８に示すように、グルーブＧＶ１のための露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上に光学フィルタ７３を配置し、レーザ光のパワーが減衰（或いはスポット径が小径化）されるようにする。
一方、グルーブＧＶ２のための露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上には光学フィルタを配置しない。
これによって上述した装置例１の場合とは逆に、幅が広いグルーブＧＶ１と、幅が狭いグルーブＧＶ２によるダブルスパイラル状のグルーブが、原盤９１において形成され、そのような原盤９１から図１０のようなディスク９０が製造できる。
【００７０】
なお、図１１、図１２，図１３のディスク構造例８，９，１０に対応するマスタリング装置例については、図示を省略するが、以上の各装置例を応用すればよい。
即ち、図１１のディスク構造例８のディスク９０を製造する場合は、図２８の装置例６を基本として、グルーブＧＶ２のための露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上に集光レンズ、ＡＯＤ、コリメータレンズを配置すればよい。
また図１２のディスク構造例９のディスク９０を製造する場合は、図２８の装置例６を基本として、グルーブＧＶ１のための露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路上に集光レンズ、ＡＯＤ、コリメータレンズを配置すればよい。
さらに図１３のディスク構造例１０のディスク９０を製造する場合は、図２８の装置例６を基本として、グルーブＧＶ１のための露光用レーザスポットＲＳＰ１の光学経路上と、グルーブＧＶ２のための露光用レーザスポットＲＳＰ２の光学経路上との両方に、それぞれ集光レンズ、ＡＯＤ、コリメータレンズを配置すればよい。
【００７１】
以上、本発明の実施の形態として各種ディスク構造やマスタリング装置の構成例を説明してきたが、本発明はこれらの例に限定されるものではなく、要旨の範囲内でさらに多様に変形例が考えられるものである。
本発明の光記録媒体はディスク状のものに限られず、板状、立体状のメディアであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態のディスクに対してニアフィールド記録再生を行う記録再生装置の光学系の説明図である。
【図２】実施の形態のディスクに対する記録再生装置の集光レンズ及び二軸アクチュエータの説明図である。
【図３】実施の形態のディスク構造例１の説明図である。
【図４】実施の形態のディスクの二重螺旋状及び同心円状のグルーブ構造の説明図である。
【図５】実施の形態のディスク構造例２の説明図である。
【図６】実施の形態のディスク構造例３の説明図である。
【図７】実施の形態のディスク構造例４の説明図である。
【図８】実施の形態のディスク構造例５の説明図である。
【図９】実施の形態のディスク構造例６の説明図である。
【図１０】実施の形態のディスク構造例７の説明図である。
【図１１】実施の形態のディスク構造例８の説明図である。
【図１２】実施の形態のディスク構造例９の説明図である。
【図１３】実施の形態のディスク構造例１０の説明図である。
【図１４】実施の形態のディスクの層構造の説明図である。
【図１５】実施の形態のディスクの層構造の説明図である。
【図１６】実施の形態のディスクの層構造の説明図である。
【図１７】実施の形態のディスクの層構造の説明図である。
【図１８】実施の形態のディスクの層構造の説明図である。
【図１９】実施の形態のディスクの層構造の説明図である。
【図２０】実施の形態のディスクの記録層の構造の説明図である。
【図２１】実施の形態のディスクの記録層の構造の説明図である。
【図２２】実施の形態のマスタリング装置の装置例１のブロック図である。
【図２３】実施の形態のマスタリング装置による露光の様子の説明図である。
【図２４】実施の形態のマスタリング装置の装置例２のブロック図である。
【図２５】実施の形態のマスタリング装置の装置例３のブロック図である。
【図２６】実施の形態のマスタリング装置の装置例４のブロック図である。
【図２７】実施の形態のマスタリング装置の装置例５のブロック図である。
【図２８】実施の形態のマスタリング装置の装置例６のブロック図である。
【図２９】比較例としてのディスク構造の説明図である。
【図３０】ニアフィールド記録再生における集光レンズの説明図である。
【符号の説明】
【００７３】
１０  基板、１１，１１ａ，１１ｂ  記録層、１２  保護層、１３  中間層、１４，１４ａ，１４ｂ  ディスク表面、３１  レーザ光源、３８  集光レンズ、３８ａ  第１の光学レンズ（ソリッドイマージョンレンズ）、３８ｂ  第２の光学レンズ、３９  二軸アクチュエータ、５０  露光用レーザ光源、５２，５３  ビームスプリッタ、６０，７３  光学フィルタ、５８  偏光ビームスプリッタ、７６  対物レンズ、９０  ディスク、９１  原盤、９２  レジスト膜、ＧＶ１，ＧＶ２  グルーブ、ＬＤ１，ＬＤ２  ランド、ＳＰ１，ＳＰ２，ＳＰ３  レーザスポット、ＴＫ１，ＴＫ２，ＴＫ３  トラック、ＲＳＰ１，ＲＳＰ２  露光用レーザスポット
【図１】
2006190371.tif 000003
【図２】
2006190371.tif 000004
【図３】
2006190371.tif 000005
【図４】
2006190371.tif 000006
【図５】
2006190371.tif 000007
【図６】
2006190371.tif 000008
【図７】
2006190371.tif 000009
【図８】
2006190371.tif 000010
【図９】
2006190371.tif 000011
【図１０】
2006190371.tif 000012
【図１１】
2006190371.tif 000013
【図１２】
2006190371.tif 000014
【図１３】
2006190371.tif 000015
【図１４】
2006190371.tif 000016
【図１５】
2006190371.tif 000017
【図１６】
2006190371.tif 000018
【図１７】
2006190371.tif 000019
【図１８】
2006190371.tif 000020
【図１９】
2006190371.tif 000021
【図２０】
2006190371.tif 000022
【図２１】
2006190371.tif 000023
【図２２】
2006190371.tif 000024
【図２３】
2006190371.tif 000025
【図２４】
2006190371.tif 000026
【図２５】
2006190371.tif 000027
【図２６】
2006190371.tif 000028
【図２７】
2006190371.tif 000029
【図２８】
2006190371.tif 000030
【図２９】
2006190371.tif 000031
【図３０】
2006190371.tif 000032