(57)【要約】【課題】評価対象の微小凹凸歪みが測定できる十分な精度を実現するとともに、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの評価を可能にすること。【解決手段】３次元形状測定器１０によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークＷの３次元形状を測定する３次元形状測定装置および方法において、ステージ２に沿って上下方向に移動する測定ヘッド１と、前記測定ヘッド１および前記ステージ機構2に接続され、前記ステージ機構2の駆動により得られた３次元の点群データから凹凸歪みを評価する制御処理装置３とから成り、異なる角度における一定距離毎に平行にずらした各断面において、基準点と前後の２点からなる傾斜の変化角度を基準点をずらしながらそれぞれデータを求めて、凹凸歪みの評価を行うものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測方法において、
３次元の点群データのうち、ワークの所定断面における外形形状を表す点群データのうちの１つを基準点とし、該基準点に隣接する２点に対して、その断面における基準線とのなす角を変化角度として求め、
前記点群データの中で前記基準点をずらしながらそれぞれの基準点における変化角度を求め、
該基準点における変化角度の大きさからワークに形成される凹凸を計測する
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項２】
請求項１において、
ある角度における測定が終了したら、
異なった角度において同様に一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群において、それぞれの基準点における変化角度を求める
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
平面の最小自乗法によりデータの面の向きを修正する
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかにおいて、
凹評価の場合は、前後ｎ点の平均傾斜角度を求めて、その変化角度を求める
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項５】
請求項２において、
ある基準点が、異なる角度において既に評価されている場合は、その値と比較して変化角度の最大値と最小値を基準点の傾斜変化量として保存する
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記傾斜変化量がある基準値以上の隣接した点をグルーピングし、該グルーピングされたエリアを凸部として認定する
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項７】
請求項５において、
前記傾斜変化量がある基準値以下の隣接した点をグルーピングし、該グルーピングされたエリアを凹部として認定する
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項８】
請求項６又は請求項７において、
グルーピングしたエリアの面積と、各点の傾斜変化量から平均傾斜変化量を求める
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項９】
請求項８において、
得られた値に基づき、凹凸歪みを個別に評価する
ことを特徴とする３次元形状計測方法。
【請求項１０】
３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測装置において、
ワークの３次元の点群データを取得する測定ヘッドと、
得られた３次元の点群データのうち、ある所定角度で一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群データにおいて、基準点と該基準点の前後２点により形成される傾斜角度を該基準点における変化角度とし、前記点群の中で前記基準点をずらしながらそれぞれの基準点における変化角度を求め、該基準点における変化角度の大きさからワークに形成される凹凸を計測する処理装置と、を有する
ことを特徴とする３次元形状計測装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記処理装置は、前記測定ヘッドにより得られた３次元の点群データのうち、前記所定角度とは異なる角度で一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群データにおいて、それぞれの基準点における変化角度を求めるものである
ことを特徴とする３次元形状計測装置。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記処理装置は、異なる角度の点群データから得られる複数の変化角度のうち、最大値あるいは最小値をその基準点における傾斜変化量として保存する
ことを特徴とする３次元形状計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測方法および装置に関するもので、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの評価を可能にするものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の外観歪み検査方法は、検査員の官能量（目視、手感）により検査されており、検査員に高いスキルが求められ高技能工の確保が困難であることと、定量化されていないため判定基準がまちまちであることが問題であった。
【０００３】
また従来の形状評価方法としては、基準となる正しい形状のＣＡＤデータと実際にワークを測定したデータとを比較したり、マスターワークを正しい形状としてこれらとの相違量を定量化して検査を行うものであった。
【特許文献１】特開２０００−１２２９９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし上記従来の形状評価方法は、本発明が対象とする検査対象物のような溶接ビード部の仕上げなど、図面寸法より見た目の仕上がりが重視され滑らかな平面形状へ仕上げられるワークの場合、ワーク毎に形状の違いがあり、このようなワークの検査では上記の様な正しい形状と比較する検査手段を適用することが出来ないため、以下のような問題点があった。
【０００５】
評価対象面の正とする形状にバラツキがある場合は、形状を特定できないため、比較評価ができない。
評価対象面が完全な平面ではなく３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的に凹凸歪みを評価しなければならない。
評価対象面がヤスリがけにより粗くなっており、微小な評価対象の緩やかな凹凸歪みが粗さの中に埋もれてしまっている。
【０００６】
そこで本発明者は、３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測方法において、３次元の点群データのうち、ワークの所定断面における外形形状を表す点群データのうちの１つを基準点とし、該基準点に隣接する２点に対して、その断面における基準線とのなす角を変化角度として求め、前記点群データの中で前記基準点をずらしながらそれぞれの基準点における変化角度を求め、該基準点における変化角度の大きさからワークに形成される凹凸を計測するという本発明の技術的思想に着眼し、さらに研究開発を重ねた結果、評価対象の微小凹凸歪みが測定できる十分な精度を実現するとともに、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの評価を可能にするという目的を達成する本発明に到達した。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明（請求項１に記載の第１発明）の３次元形状計測方法は、
３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測方法において、
３次元の点群データのうち、ワークの所定断面における外形形状を表す点群データのうちの１つを基準点とし、該基準点に隣接する２点に対して、その断面における基準線とのなす角を変化角度として求め、
前記点群データの中で前記基準点をずらしながらそれぞれの基準点における変化角度を求め、
該基準点における変化角度の大きさからワークに形成される凹凸を計測する
ものである。
【０００８】
本発明（請求項２に記載の第２発明）の３次元形状計測方法は、
前記第１発明において、
ある角度における測定が終了したら、
異なった角度において同様に一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群において、それぞれの基準点における変化角度を求める
ものである。
【０００９】
本発明（請求項３に記載の第３発明）の３次元形状計測方法は、
前記第１発明または第２発明において、
平面の最小自乗法によりデータの面の向きを修正する
ものである。
【００１０】
本発明（請求項４に記載の第４発明）の３次元形状計測方法は、
前記第１発明ないし第３発明のいずれかにおいて、
凹評価の場合は、前後ｎ点の平均傾斜角度を求めて、その変化角度を求める
ものである。
【００１１】
本発明（請求項５に記載の第５発明）の３次元形状計測方法は、
前記第２発明において、
ある基準点が、異なる角度において既に評価されている場合は、その値と比較して変化角度の最大値と最小値を基準点の傾斜変化量として保存する
ものである。
【００１２】
本発明（請求項６に記載の第６発明）の３次元形状計測方法は、
前記第５発明において、
前記傾斜変化量がある基準値以上の隣接した点をグルーピングし、該グルーピングされたエリアを凸部として認定する
ものである。
【００１３】
本発明（請求項７に記載の第７発明）の３次元形状計測方法は、
前記第５発明において、
前記傾斜変化量がある基準値以下の隣接した点をグルーピングし、該グルーピングされたエリアを凹部として認定する
ものである。
【００１４】
本発明（請求項８に記載の第８発明）の３次元形状計測方法は、
前記第６発明または第７発明において、
グルーピングしたエリアの面積と、各点の傾斜変化量から平均傾斜変化量を求める
ものである。
【００１５】
本発明（請求項９に記載の第９発明）の３次元形状計測方法は、
前記第８発明において、
得られた値に基づき、凹凸歪みを個別に評価する
ものである。
【００１６】
本発明（請求項１０に記載の第１０発明）の３次元形状計測装置は、
３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測装置において、
ワークの３次元の点群データを取得する測定ヘッドと、
得られた３次元の点群データのうち、ある所定角度で一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群データにおいて、基準点と該基準点の前後２点により形成される傾斜角度を該基準点における変化角度とし、前記点群の中で前記基準点をずらしながらそれぞれの基準点における変化角度を求め、該基準点における変化角度の大きさからワークに形成される凹凸を計測する処理装置と、を有する
ものである。
【００１７】
本発明（請求項１１に記載の第１１発明）の３次元形状計測装置は、
前記第１０発明において、
前記処理装置は、前記測定ヘッドにより得られた３次元の点群データのうち、前記所定角度とは異なる角度で一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群データにおいて、それぞれの基準点における変化角度を求めるものである
ものである。
【００１８】
本発明（請求項１２に記載の第１２発明）の３次元形状計測装置は、
前記第１１発明において、
前記処理装置は、異なる角度の点群データから得られる複数の変化角度のうち、最大値あるいは最小値をその基準点における傾斜変化量として保存する
ものである。
【発明の効果】
【００１９】
上記構成より成る第１発明の３次元形状計測方法は、３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測方法において、３次元の点群データのうち、ワークの所定断面における外形形状を表す点群データのうちの１つを基準点とし、該基準点に隣接する２点に対して、その断面における基準線とのなす角を変化角度として求め、前記点群データの中で前記基準点をずらしながらそれぞれの基準点における変化角度を求め、該基準点における変化角度の大きさからワークに形成される凹凸を計測するので、評価対象の微小凹凸歪みが測定できる十分な精度を実現するとともに、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの評価を可能にするという効果を奏する。
【００２０】
上記構成より成る第２発明の３次元形状計測方法は、前記第１発明において、ある角度における測定が終了したら、異なった角度において同様に一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群において、それぞれの基準点における変化角度を求めるので、評価対象の微小凹凸歪みが測定できる一層十分な精度を実現するとともに、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの正確な評価を可能にするという効果を奏する。
【００２１】
上記構成より成る第３発明の３次元形状計測方法は、前記第１発明または第２発明において、平面の最小自乗法によりデータの面の向きを修正するので、一層精度の高い測定を実現するという効果を奏する。
【００２２】
上記構成より成る第４発明の３次元形状計測方法は、前記第１発明ないし第３発明のいずれかにおいて、凹評価の場合は、前後ｎ点の平均傾斜角度を求めて、その変化角度を求めるので、前後ｎ点の平均傾斜角度に基づく測定を実現するという効果を奏する。
【００２３】
上記構成より成る第５発明の３次元形状計測方法は、前記第２発明において、ある基準点が、異なる角度において既に評価されている場合は、その値と比較して傾斜変化角度の最大値と最小値を基準点の傾斜変化量として保存するので、保存された前記最大値および最小値に基づく測定を実現するという効果を奏する。  
【００２４】
上記構成より成る第６発明の３次元形状計測方法は、前記第５発明において、傾斜変化角度の最大値を凸とした場合、傾斜変化量がある基準値以上の隣接した点をグルーピングするので、一層精度の高い測定を実現するという効果を奏する。
【００２５】
上記構成より成る第７発明の３次元形状計測方法は、前記第５発明において、前記傾斜変化量がある基準値以下の隣接した点をグルーピングし、該グルーピングされたエリアを凹部として認定するので、一層精度の高い測定を実現するという効果を奏する。
【００２６】
上記構成より成る第８発明の３次元形状計測方法は、前記第６発明または第７発明において、グルーピングしたエリアの面積と、各点の傾斜変化量から平均傾斜変化量を求めるので、微少な凹凸歪みの精度の高い測定を実現するという効果を奏する。
【００２７】
上記構成より成る第９発明の３次元形状計測方法は、前記第８発明において、得られた値に基づき、凹凸歪みを個別に評価するので、個別評価を可能にするという効果を奏する。
【００２８】
上記構成より成る第１０発明の３次元形状計測装置は、３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測装置において、前記測定ヘッドがワークの３次元の点群データを取得し、前記処理装置が、得られた３次元の点群データのうち、ある所定角度で一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群データにおいて、基準点と該基準点の前後２点により形成される傾斜角度を該基準点における変化角度とし、前記点群の中で前記基準点をずらしながらそれぞれの基準点における変化角度を求め、該基準点における変化角度の大きさからワークに形成される凹凸を計測するので、評価対象の微小凹凸歪みが測定できる十分な精度を実現するとともに、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの評価を可能にするという効果を奏する。
【００２９】
上記構成より成る第１１発明の３次元形状計測装置は、前記第１０発明において、前記処理装置が、前記測定ヘッドにより得られた３次元の点群データのうち、前記所定角度とは異なる角度で一定距離毎に平行にずらした各断面の該断面形状を構成する点群データにおいて、それぞれの基準点における変化角度を求めるので、評価対象の微小凹凸歪みが測定できる一層十分な精度を実現するとともに、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から定量的な凹凸歪みの正確な評価を可能にするという効果を奏する。
【００３０】
上記構成より成る第１２発明の３次元形状計測装置は、前記第１１発明において、前記処理装置は、異なる角度の点群データから得られる複数の変化角度のうち、最大値あるいは最小値をその基準点における傾斜変化量として保存するので、保存された前記最大値および最小値に基づく測定を実現するという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下本発明の最良の実施の形態につき実施例に基づき、図面を用いて具体的に説明する。
【実施例】
【００３２】
本実施例の３次元形状計測装置および方法は、図１に示されるように３次元形状測定器１０によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークＷの３次元形状を測定する３次元形状計測装置において、ステージ２に沿って上下方向に移動する測定ヘッド１と、前記測定ヘッド１に接続され、前記ステージ機構２の駆動により得られた３次元の点群データから凹凸歪みを評価する画像処理装置３とから成り、異なる角度における一定距離毎に平行にずらした各断面において、基準点と前後の２点からなる傾斜の変化角度を基準点をずらしながらそれぞれを求めて、凹凸歪みの評価を行うものである。
【００３３】
本実施例の３次元形状計測装置は、図１に示されるように評価対象の微小凹凸歪みが測定できる十分な精度を持っている３次元的形状測定器１０と、測定された３次元データから凹凸歪みを評価する画像処理装置３からなっている。
【００３４】
すなわち、前記測定ヘッド１は、測定台１００にセットされた測定対象物であるワークＷの３次元形状を測定するものであるが、レンジファインダセンサ１１によって構成されている。
【００３５】
測定ヘッド１を移動させるステージ２は、図１に示されるように測定ヘッド１を上下に移動させる上下ステージ２１とから成る。
【００３６】
レンジファインダセンサ１１は、図１に示されるようにレーザスリット光を対象物であるワークＷに照射するレーザ投光器１１１と、前記ワークＷから反射される反射光を検出し画像データを出力するカメラ１１２と、出力された画像データを格納する画像メモリ１１３とから成り、前記画像処理部３は、出力される画像データに基づき断面形状測定するものである。
【００３７】
ある角度の断面においては、図２に示されるようにＡラインは、断面を取得するラインを等ピッチで平行にずらしながら検査エリア全体をみるものである。異なった角度の断面を測定するためのＢラインは、断面を取得するラインを等角度でずらしながら検査エリア全体をみるものである。
【００３８】
本実施例の３次元形状計測装置は、動作手順について、図３を用いて説明する。
【００３９】
ステップ１０１において、測定対象物であるワークＷを測定台１００にセットする。
【００４０】
ステップ１０２において、前記レーザ投光器１１より、レーザスリット光を測定対象物であるワークＷに照射する。
ステップ１０３において、前記カメラ１２により前記ワークＷから反射される反射光を検出し画像データを出力して、前記画像メモリ１３に出力された画像データを格納する。
【００４１】
ステップ１０４において、出力された画像データに基づき前記画像処理部３により前記ワークＷの断面形状を測定する。
【００４２】
次に本実施例の前記画像処理部３における具体的な３次元検査方法の手順について、図４ないし図９を用いて順に述べる。
【００４３】
ステップ２０１において、前記測定対象物であるワークＷを３次元測定器にて評価面の形状を測定し、３次元点群データとして得る。
【００４４】
ステップ２０２において、上記測定で得られたデータは、測定時のワークの設置の仕方により多少評価面の向きが傾く可能性があるため、図５に示されるように平面の最小自乗法により面の法線方向を求め、法線がＺ軸に平行に成るようデータを回転させデータの面の向きを修正する。
【００４５】
ステップ２０３において、このデータを、評価対象の細かい凹凸である表面粗さに影響されているためこれを取り除く目的と、データ量がそのままでは非常に多く評価時間が掛かってしまうためデータ量を減らす目的でデータを間引く。
【００４６】
データを間引く方法は、図６に示されるように緩やかな凹凸歪みデータと細かい凹凸である表面粗さが分離できる程度の粗いＸＹメッシュでデータを区切り、各メッシュ内の高さデータから平均値をとるなどして各メッシュの高さを求める。
【００４７】
ステップ２０４において、図７に示されるように評価面の１断面の高さデータを取得する。
ステップ２０５において、図８に示されるように基準点と前後の点からなる傾斜の変化角度を求める。
【００４８】
凹評価の場合、図９に示されるように前後ｎ点の平均傾斜角度を得、その変化角度を求める。
ステップ２０６において、基準点が以前違う角度から評価されていれば、ステップ２０７において、その値と比較して、ステップ２０８において、傾斜変化角度の最大値と最小値を基準点の傾斜変化量として保存する。
【００４９】
ステップ２０９において、基準点をずらして上述の処理を繰り返して１断面分の傾斜変化量を得る。
【００５０】
ステップ２１０において、断面を平行にずらして上述の処理を繰り返し１方向から見たワーク全体を評価する（図２におけるＡ）。
【００５１】
ステップ２１１において、画像処理装置３内で、ステップ１０４で得た前記ワークＷの断面の角度を変えて上述の処理を繰り返してワークを１８０°から評価する（図２におけるＢ）。
【００５２】
ステップ２１２において、凸と凹の評価は別々で行い、たとえば傾斜変化量の最大値を凸とした場合、傾斜変化量がある基準値以上の隣接した点（凸）をグルーピングする。また傾斜変化量の最小値を凹とした場合、傾斜変化量がある基準値以下の隣接した点（凹）をグルーピングする。
【００５３】
ステップ２１３において、グルーピングしたエリアの面積と各点の傾斜変化量から平均傾斜変化量を求める。
【００５４】
ステップ２１４において、得られた値を元に凹凸歪みを凹凸別々に評価を行うものである。すなわち得られた図１０に示されるように凹凸の程度を濃淡で示す歪み抽出画像における濃淡に基づき前記ワークの微小凹凸歪みの評価が行われる。
【００５５】
上記動作の本実施例の３次元形状計測装置においては、３次元形状測定器で取得した計測データは、一般的な３次元の点群データとして得られる。測定で得られたデータは測定時のワークＷの設置の仕方により多少評価面の向きが傾く可能性があるため、同じ向きになるよう平面の最小自乗法により法線を求めてデータの面の向きを修正するので、ワークＷの測定台におけるセットの傾きの影響を解消するものである。
【００５６】
また本実施例の３次元形状計測装置は、このデータの面の向きが修正されたデータは、評価対象の表面粗さに影響されているため、これを取り除く目的と、データ量がそのままでは非常に多く、評価時間が掛かってしまうためデータ量を減らす目的で間引いて丸めるのである。
【００５７】
さらに本実施例の３次元形状計測装置は、この間引かれたデータをもとに断面ごとに凹凸を評価する、すなわち断面は図２に示される様にワークの正面から見て同じ角度で平行にずらし、さらに評価断面角度を変えて同じことを繰り返して評価面を１８０°全方向からみる。凹凸の評価方法は基準点と前後の点からなる傾斜の変化角度をラジアンで表し、基準点から１８０°の範囲を見たとき一番大きい値と小さい値をその基準点の傾斜変化量とする。
【００５８】
凹みの評価は、傾斜の変化が微小であるために前後数点の傾斜の平均値をとりその傾斜の変化角度をラジアンとし、この得られたデータから接している各点におけるある基準以上の傾斜変化量をグルーピングし、そのエリアの面積と平均傾斜変化量を求め、この値を基準に形状の評価を行うものである。
【００５９】
本実施例の３次元形状計測装置は、従来のように正とする形状データがなくても、測定データの傾斜変化の具合から表面の微小凹凸歪みを評価できるようにするという効果を奏する。
【００６０】
また本実施例の３次元形状計測装置は、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から滑らかな平面であるかどうか傾斜変化量を評価することを可能にするという効果を奏する。
【００６１】
さらに本実施例の３次元形状計測装置は、緩やかな凹凸歪みをみるため前工程で処理を行うことにより、粗さによる評価への影響を解消するという効果を奏する。
【００６２】
上述の実施例は、説明のために例示したもので、本発明としてはそれらに限定されるものではなく、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記載から当業者が認識することができる本発明の技術的思想に反しない限り、変更および付加が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
３次元形状測定器によって取得された３次元の点群データに基づき、ワークの３次元形状を測定する３次元形状計測装置および方法において、ステージに沿って上下方向に移動する測定ヘッドと、前記測定ヘッドおよび前記ステージ機構に接続され、前記ステージ機構の駆動により得られた３次元の点群データから凹凸歪みを評価する制御処理装置とから成り、異なる角度における一定距離毎に平行にずらした各断面において、基準点と前後の２点からなる傾斜の変化角度を基準点をずらしながらそれぞれデータを求めることにより、３次元的にうねった滑らかな凸平面形状から滑らかな平面であるかどうか傾斜変化量を評価することを可能にする３次元形状計測装置および方法。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施例の３次元形状計測装置および方法の全体を示す斜視図である。
【図２】本実施例の測定ヘッドにおける測定手順を示すチャート図である。
【図３】本実施例の測定における異なった角度におけるデータ取得ラインを説明するための説明図である。
【図４】本実施例の制御処理装置３における測定手順を示すチャート図である。
【図５】本実施例の測定における平面の最小自乗法による補正を説明するための説明図である。
【図６】本実施例の測定における点群データのＸＹメッシュとデータの間引きを説明するための説明図である。
【図７】本実施例の測定における評価面の１断面の高さデータを説明するための説明図である。
【図８】本実施例の測定における基準点と前後の点からなる傾斜の変化角度の演算を説明するための説明図である。
【図９】本実施例の測定における前後ｎ点の平均傾斜角度による変化角度を求める演算を説明するための説明図である。
【図１０】本実施例の測定によって得られた測定データを説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  測定ヘッド
２  ステージ
３  制御処理装置
４  回転機構
１０  ３次元形状測定器
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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