(57)【要約】【課題】  表示領域内に配置された複数の間隔保持部材（スペーサ）を備えた画像表示装置で、前記スペーサの帯電防止を図り、長寿命で高輝度、高信頼性の画像表示装置を得る。【解決手段】スペーサ１２の底面１２１に導電膜１４を配置した。【選択図】    図４
2006202553.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光体層及び陽極電極を内面に有する前面基板と、
電子源を内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、
前記前面基板と背面基板との間で表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、
前記前面基板と背面基板間の前記表示領域内に配置された複数の間隔保持部材と、
この間隔保持部材の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ接着する接着部材と、
前記支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置であって、
前記間隔保持部材は前記背面基板側に導電膜を備え、この導電膜は前記接着部材で覆われていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】
前記背面基板は、一方向に延在し該一方向と直交する他方向に並設されて前記他方向に走査信号が順次印加される複数の走査信号配線と、
前記他方向に延在し前記走査信号配線に交差する如く前記一方向に並設された複数の画像信号配線と、前記走査信号配線と前記画像信号配線の各交差部に設けられた電子源と、
この電子源と前記走査信号及び画像信号両配線とをそれぞれ接続する給電電極と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項３】
前記間隔保持部材は前記走査信号配線と重畳してこの走査信号配線と同一方向に延在配置されていることを特徴とする請求項２に記載の画像表示装置。
【請求項４】
前記接着部材は導電性を有することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項５】
前記導電膜は前記間隔保持部材の前記背面基板に対向する底面に配置したことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項６】
前記導電膜は前記底面から側面に亘って配置したことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項７】
前記導電膜は前記底面の一部に配置したことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項８】
前記導電膜は１〜１００Ωの抵抗値を有することを特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項９】
前記導電膜はアルミニウムからなることを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項１０】
前記間隔保持部材は１０8〜１０9Ω・ｃｍの抵抗値を有することを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項１１】
前記間隔保持部材はセラミックス材からなり、かつ全長が２００ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至１０の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項１２】
前記接着部材はフリットガラスを含むことを特徴とする請求項１乃至１１の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項１３】
前記間隔保持部材の前記前面基板に対向する頂面に前記導電膜より低導電性の薄膜層を配置したことを特徴とする請求項１乃至１２の何れかに記載の画像表示装置。
【請求項１４】
蛍光体層及び陽極電極を内面に有する前面基板と、
電子源を内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、
前記前面基板と背面基板との間で表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、
前記前面基板と背面基板間の前記表示領域内に配置された複数の間隔保持部材と、
この間隔保持部材の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ接着する接着部材と、
前記支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着し、前記表示領域を真空に保持してなる画像表示装置の製造方法であって、
前記表示領域の排気時に前記間隔保持部材の前記背面基板と対向する部分を局部加熱することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記局部加熱は前記間隔保持部材の前記背面基板側に配置した導電膜の自己加熱によることを特徴とする請求項１４に記載の画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、前面基板と背面基板の間に形成される真空中への電子放出を利用した平面型の画像表示装置に係り、特に前記両基板間の前記真空中に複数の間隔保持部材を備えた画像表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高輝度、高精細に優れたディスプレイデバイスとして、従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、省スペースの平面型画像表示装置（フラット・パネル・ディスプレイ、ＦＰＤ）の要求が高まっている。
【０００３】
その典型例として液晶表示装置、プラズマ表示装置などが実用化されている。又、特に、高輝度化が可能なものとして、電子源から真空への電子放出を利用した自発光型表示装置として、電子放出型画像表示装置、又は電界放出型画像表示装置と呼ばれるものや、低消費電力を特徴とする有機ＥＬディスプレイなど、種々の平面型画像表示装置の実用化も図られている。
【０００４】
平面型画像表示装置の中、自発光型のフラット・パネル・ディスプレイでは、電子源をマトリクス状に配置した構成が知られており、その一つとして、微少で集積可能な冷陰極を利用する前述した電子放出型画像表示装置も知られている。
【０００５】
又、自発光型のフラット・パネル・ディスプレイでは、その冷陰極に、スピント型、表面伝導型、カーボンナノチューブ型、金属―絶縁体―金属を積層したＭＩＭ（Metal-Insulator-Metal）型、金属―絶縁体―半導体を積層したＭＩＳ（Metal-Insulator-Semiconductor）型、あるいは金属―絶縁体―半導体−金属型等の薄膜型電子源などが用いられる。
【０００６】
ＭＩＭ型電子源については、例えば特許文献１、特許文献２に開示されたものが知られている。また、金属―絶縁体―半導体型電子源については非特許文献１で報告されたＭＯＳ型、金属―絶縁体―半導体−金属型電子源に関しては、非特許文献２などで報告されたＨＥＥＤ型電子源、非特許文献３などで報告されたＥＬ型電子源、非特許文献４などで報告されたポーラスシリコン型電子源などが知られている。
【０００７】
電子放出型ＦＰＤは、上記のような電子源を備えた背面基板と、蛍光体層とこの蛍光体層に電子源から放出される電子を射突させるための加速電圧を形成する陽極を備えた前面基板とを対向させ、両基板の対向する内部空間を所定の真空状態に封止する封止枠となる支持体とで構成される表示パネルが知られている。この表示パネルに駆動回路を組み合わせて動作させる。
【０００８】
ＭＩＭ型電子源を有する画像表示装置では、前記背面基板は絶縁材からなる基板を有し、この基板上には一方向に延在し該一方向と直交する他方向に並設されて前記他方向に走査信号が順次印加される複数の走査信号配線が形成されている。又、この基板上には、前記他方向に延在し前記走査信号配線に交差する如く前記一方向に並設された複数の画像信号配線が形成されている。走査信号配線と画像信号配線の各交差部に上記の電子源が設けられ、これら両配線と電子源とは給電電極で接続され、電子源に電流が供給される。
【０００９】
個々の電子源は対応する蛍光体層と対になって単位画素を構成する。通常は、赤（R）、緑（G）、青（B）の３色の単位画素で一つの画素（カラー画素、ピクセル）が構成される。なお、カラー画素の場合、単位画素は副画素（サブピクセル）とも呼ばれる。
【００１０】
前述したような平面型の画像表示装置では、一般的に背面基板と前面基板間の前記支持体で囲繞された表示領域内に複数の間隔保持部材（以下スペーサと言う）が配置固定され、前記両基板間の間隔を前記支持体と協働して所定間隔に保持している。このスペーサは、一般にはガラスやセラミックスなどの絶縁材で形成した板状体からなり、通常、複数の画素ごとに画素の動作を妨げない位置に設置される。
【００１１】
又、平面型画像表示装置で、半導電性を有するスペーサを電極に接触させて接続した構成の表示用パネルが特許文献３に提案されている。
更に、平面型画像表示装置で、壁体の側面から底面に亘り導電性物質を溶解する導電膜を形成した構成が特許文献４に提案されている。
【００１２】
【特許文献１】特開平７−６５７１０号公報
【特許文献２】特開平１０−１５３９７９号公報
【特許文献３】特許第３３０３１６６号公報
【特許文献４】米国特許第６２２５７３７号明細書
【非特許文献１】ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｏｎｏｌ．Ｂ１１（２）ｐ．４２９−４３２（１９９３）
【非特許文献２】ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ−ｅｌｅｃｔｒｏ−ｅｍｉｓｓｉｏｎ  ｄｅｖｉｃｅ、Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．、ｖｏｌ３６、ｐＬ９３９
【非特許文献３】Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ、応用物理  第６３巻、第６号、５９２頁
【非特許文献４】応用物理  第６６巻、第５号、４３７頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
背景技術において、電子放出型ＦＰＤは両基板間の間隔保持を担うものとして枠状の支持体と、この支持体に囲まれた表示領域内に配置された複数枚のスペーサとを有する構成が提案され、このスペーサは表示領域内で例えば走査信号配線に平行に配置されている。
この様なスペーサの配置において、電子源から放射された電子は陽極印加電圧に因って加速されて蛍光体層に衝突して発光させるが、電子の一部はスペーサを帯電させ、この帯電により、電子源から放射された電子の軌道が歪曲され、蛍光体層に十分な電子を射突させることができず、励起不十分となる問題がある。その結果、輝度不足や色再現性が劣化する。
又、スペーサの帯電は両基板間の耐電圧特性劣化を引き起こし、長寿命化の阻害要因となる問題があった。
【００１４】
更に、この種の画像表示装置では両基板間が数ｍｍ程度の狭小間隔に設定されているため、スペーサを固定する接着部材の排気ガス出しが不十分となり易く、このことは高真空維持を困難にする要因の一つで、この点でも長寿命化の阻害要因となる問題があった。
このスペーサの帯電による問題の解決策の１つとして、特許文献３ではスペーサ表面に半導電性を持たせ、この半導電性膜をスペーサの頂面及び底面に設けた導電性膜に電気的に接続して解決する構成が開示されているが、底面側の導電性膜が真空領域内に露呈しており、この導電性膜が陽極と対向して一つの電極として動作する恐れがあり、電子放射の抑制、電子軌道の歪曲等種々の問題を内在し、更なる対策が求められている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題は、低電圧側の電極背面基板に接着部材を介して固定されるスペーサの底面に導電膜を配置し、この導電膜を前記接着部材で覆うことで解決される。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に係る発明によると、低電圧側である背面基板側に導電膜を配置したことでスペーサの帯電防止を図ることが出来、又、排気効率を高め、しかも排出されたガスがパネル内に再吸着され難くなって高真空を確保でき、長寿命で高輝度、高信頼性の画像表示装置を得ることが出来る。
【００１７】
請求項２に係る発明によると、薄膜電子源を備えたことにより、ビーム収束性に優れ、また電子源の表面汚染の問題も解決でき、電子放出特性に優れると共に、長寿命で信頼性の高い画像表示装置を得ることが出来る。
【００１８】
請求項３に係る発明によると、電子源や画像信号配線等の電極類の損傷を防止できる。
【００１９】
請求項４に係る発明によると、導電膜が接着部材で覆われ表示領域内に露呈しないことで高圧側との短絡を阻止でき、ガス放出を促進して排気効率を高め長寿命化を図ることが出来る。更に、スパークの発生を防止でき、耐電圧特性の向上が図れる。
【００２０】
請求項５に係る発明によると、スペーサの帯電を防止して耐電圧特性の優れた画像表示装置を得ることが出来る。
【００２１】
請求項６及び７に係る発明によると、前記導電膜を低電圧側の背面基板に近接した位置に配置したことで両基板間の所望の導通を確保して、スペーサの帯電防止を図ることが出来、又、脱ガス効果を高め、しかも排出されたガスがパネル内に再吸着され難くなって高真空を確保でき、長寿命で高輝度、高信頼性の画像表示装置を得ることが出来る。
【００２２】
請求項８に係る発明によると、前記請求項６及び７に係る発明の効果に加え廉価である。
【００２３】
請求項９に係る発明によると、スペーサの有無に係わらず配線抵抗値を略均一とすることが出来、配線抵抗値の差に起因する特性の変動を抑制出来る。
【００２４】
請求項１０に係る発明によると、性状が安定して取り扱いが容易であると共に廉価である。
【００２５】
請求項１１に係る発明によると、両基板間の耐電圧特性の確保が図れる。
【００２６】
請求項１２に係る発明によると、スペーサ取り扱いの容易さ及び機械的強度の確保が可能となる。
【００２７】
請求項１３に係る発明によると、ガス放出量が他の接着材料に比べて少なく、又、温度管理も容易である。
【００２８】
請求項１４に係る発明によると、両基板間の電位分布が滑らかとなり、所望の電子軌道を確保できる。
【００２９】
請求項１５及び１６に係る発明によると、ガス放出効果を高めると共に放出ガスの再吸着を防止して高真空を確保でき、長寿命で高輝度、高信頼性の画像表示装置を得ることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００３１】
図１乃至図４は本発明の画像表示装置の一実施例を説明するための図で、図１（ａ）は前面基板側から見た平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ方向から見た側面図、図２は図１の前面基板を取り去って示す背面基板の模式平面図、図３は図２のＢ−Ｂ線に沿った背面基板の模式断面図とその背面基板と対応する部分の前面基板の模式断面図、図４は図３の要部拡大して示す模式断面図である。
【００３２】
これら図１乃至図４において、参照符号１は背面基板、２は前面基板で、これら両基板１、２は厚さ数ｍｍ、例えば３ｍｍ程度のガラス板から構成されている。３は支持体で、この支持体３は厚さ数ｍｍ、例えば３ｍｍ程度のガラス板或はフリットガラスの燒結体から構成されている。４は排気管で、この排気管４は前記背面基板１に固着されている。前記支持体３は前記両基板１、２間の周縁部に周回して介挿され、両基板１、２とフリットガラスのような封着部材５を介して気密封着されている。
【００３３】
この支持体３と両基板１、２及び封着部材５で囲まれた空間は前記排気管４を介して排気され例えば１０-3〜１０-5Ｐａの真空を保持して表示領域６を構成している。又前記排気管４は前述のように前記背面基板１の外表面に取り付けられてこの背面基板１を貫通して穿設された貫通孔７に連通しており、排気完了後前記排気管４は封止される。８は画像信号配線で、この画像信号配線８は背面基板１の内面にＹ方向に延在しＸ方向に並設されている。９は走査信号配線で、この走査信号配線９は前記画像信号配線８上でこれと交差するＸ方向に延在しＹ方向に並設されている。１０は電子源で、この電子源１０は前記走査信号配線９と画像信号配線８の各交差部に設けられ、走査信号配線９及び前記画像信号配線８と電子源１０とは接続電極１１、１１Ａでそれぞれ接続されている。又、前記画像信号配線８と、電子源１０及び前記走査信号配線９間には層間絶縁膜ＦＴＲが配置されている。
【００３４】
ここで、前記画像信号配線８は例えばＡｌ／Ｎｄ膜、走査信号配線９は例えばＩｒ／Ｐｔ／Ａｕ膜等が用いられる。
【００３５】
次に、参照符号１２はスペーサで、このスペーサ１２はセラミックス材から構成されており、長方形の薄板形状に整形され、この実施例では走査信号配線９上に１本おきに直立配置され、接着部材１３で両基板１、２と固定している。このスペーサ１２は通常、複数の画素毎に画素の動作を妨げない位置に設置される。
【００３６】
このスペーサ１２の寸法は基板寸法、支持体３の高さ、基板素材、スペーサの配置間隔、スペーサ素材等により設定されるが、一般的には高さは前述した支持体３と略同一寸法、厚さは数十μｍ〜数ｍｍ以下、長さは２０ｍｍ乃至２００ｍｍ程度、好ましくは８０ｍｍ乃至１２０ｍｍ程度が実用的な値となる。
又、このスペーサ１２は１０8〜１０9Ω・ｃｍ程度の抵抗値を有している。
【００３７】
次に、前記接着部材１３は導電性を備えたもので、例えば接着用フリットガラス又はガラス化成分と例えば銀とを含有した導電性の接着材等からなり、前記スペーサ１２を両基板１、２と接着固定している。この接着部材１３はその組成にもよるが厚さは接着固定の確保の点から十数μｍ以上、望ましくは２０〜４０μｍ程度の厚さに設定される。
【００３８】
又、参照符号１４はアルミニウム膜からなる導電膜で、この導電膜１４は図５にその一例を示すように前記スペーサ１２の底面１２１の全長に亘って全面に設けられており、この導電膜１４が前記走査信号配線９と対向配置され、高電圧側の前面基板２から低電圧側の背面基板１側へ放電回路が形成されるのを容易にする構成とされている。
更に、この導電膜１４は前記接着部材１３で覆われ、表示領域６内で高電圧側から導電膜１４を遮蔽する構成の配置とされている。
この導電膜１４は例えば蒸着或いは印刷等の手段で形成され、１〜１００Ω程度の抵抗値を有している。構成材料としては、前記アルミニウムが取り扱いの容易さ、廉価等の点から賞用されるが、他に例えばクローム（Ｃｒ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）等も同様に使用できる。
【００３９】
ここで、図５は本発明の画像表示装置に用いられるスペーサの一例の斜視図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
【００４０】
又、前記スペーサ１２の頂面１２２側は前記導電膜１４を持たない構成で、後述する前面基板２の陽極電極に前記接着部材１３を介して固定している。
【００４１】
この前面基板２の内面には、赤色、緑色、青色用の蛍光体層１５が遮光用のＢＭ（ブラックマトリクス）膜１６で区画されて配置され、これらを覆うように金属薄膜からなるメタルバック（陽極電極）１７が例えば蒸着方法で設けられて蛍光面を形成している。
【００４２】
これらの蛍光体としては、例えば赤色としてＹ2Ｏ2Ｓ：Ｅｕ（Ｐ２２−Ｒ）を、緑色としてＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ（Ｐ２２−Ｇ）、青色といてＺｎＳ：Ａｇ，Ｃｌ（Ｐ２２−Ｂ）を用いることができる。
この蛍光面構成で、前記電子源１０から放射される電子を加速し、対応する画素を構成する蛍光体層１５に射突させる。これにより、該蛍光体層１５が所定の色光で発光し、他の画素の蛍光体の発光色と混合されて所定の色のカラー画素を構成する。
又、陽極電極１７は面電極として示してあるが、走査信号配線９と交差して画素列ごとに分割されたストライプ状電極とすることもできる。
【００４３】
この実施例では蛍光体層１５はＢＭ膜１６の開口部１６１をほぼ中心にしてその外側のＢＭ膜上まで延在して配置されている。この蛍光体層１５はＸ、Ｙ両方向共にＢＭ膜１６で離隔されて前記各蛍光体層１５はドット状に配置されている。ここで、前記蛍光体層１５の寸法は三色間で異なる構成も可能である。
【００４４】
この実施例１の構成であれば、スペーサ１２の低電圧側に設けた導電膜１４により高電圧側から低電圧側にかけて放電回路が形成でき、スペーサ１２の帯電を無くして電子軌道を確保し、蛍光体層１５に励起に十分な電子を射突させることが出来、その結果、輝度向上と色再現性の優れた画像表示装置を可能にした。
しかも前記導電膜１４を接着部材１３で覆う構成とした事で高電圧側との不要な短絡を阻止でき、排気中のガス放出を促進して排気効率を高め長寿命化を図ることが出来る。            更に、スパークの発生を防止でき、耐電圧特性の向上が図れる。
又、スペーサ１２の帯電防止を図ったことで両基板１、２間の耐電圧特性を向上でき、長寿命化を可能にした。
更に、導電膜１４を配置したことで高電圧側から低電圧側に通電回路が構成でき、これにより導電膜１４近傍を局部的に加熱可能となり、該部分近傍のガス放出効果を高めると共に放出ガスの再吸着を阻止することが出来、高真空を確保して長寿命化を可能にした。
【実施例２】
【００４５】
図６は本発明の画像表示装置の他の実施例を示す図４に対応する模式断面図で、前述の図と同じ部分には同一記号を付してある。
図６において、スペーサ１２は背面基板１側の底面１２１に導電膜２４を備える構成は前述の実施例と同一であるが、この実施例２では前記導電膜２４がスペーサ１２の側壁１２３まで連続して延在して配置された構成となっている。
勿論、この実施例２でも導電膜２４は接着部材１３で覆われ、表示領域６内には露呈しない構成である。
【００４６】
この実施例２の構成であれば、前述した実施例１より更に導電膜２４の被着面積を広くしたことで実施例１と同等以上の優れた作用効果を奏する。
【００４７】
又、導電膜２４の形成は浸漬方法も利用可能で、この方法は廉価で量産性に優れている。勿論蒸着や印刷方法も可能である。
【実施例３】
【００４８】
図７は本発明の画像表示装置に用いられるスペーサの他の例の斜視図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
図７において、スペーサ１２は底面１２１の全長の略中央部の一部にのみ導電膜３４を備えた構成である。
又、一点差線で示す構成はスペーサ１２の底面１２１の幅の一部に導電膜４４を備えた構成である。
【００４９】
この実施例３の構成であれば、前述した実施例１、２と略同様な作用効果を奏すると共に廉価である。
【実施例４】
【００５０】
図８は本発明の画像表示装置の他の実施例を示す図４に対応する模式断面図で、前述の図と同じ部分には同一記号を付してある。
図８において、スペーサ１２は背面基板１側の底面１２１に導電膜１４を備える構成は前述の実施例と同一であるが、この実施例４では前面基板２側の頂面１２２に薄膜層５４を配置した構成である。
この薄膜層５４は底面側の導電膜１４に比べ導電性の低い特性を備えたもので、例えば絶縁膜を用いることも可能である。
勿論、この実施例４でも導電膜１４は接着部材１３で覆われ、表示領域６内には露呈しない構成である。
【００５１】
この実施例４の構成であれば、前述した実施例１〜３と略同様な作用効果を奏すると共に、電位勾配を滑らかにする効果を合わせ備えている。
【実施例５】
【００５２】
次に本発明の画像表示装置の製造方法を説明する。図９は本発明の画像表示装置の製造方法を説明するための工程図で、前述した図１乃至図８と同じ部分には同一参照符号を付してある。図９において、前面基板２は基板用ガラス上にＢＭ膜１６、蛍光体パタ−ン１５及びメタルバック（陽極）１７からなる蛍光面を備えた構成である。この構成の前面基板２に、非晶質フリットガラスと所定のバインダ−とを混練した封着部材５と、スペーサ１２の頂面１２２を固定する例えばフリットガラスと所定のバインダ−とを混練した接着部材１３とをそれぞれ所定のパターンに塗布形成し、前面基板仮組立体ＦＴＡとする。
【００５３】
ここで、前記封着部材５は基板に形成することなく支持体３側に全部を設けることも可能である。この前面基板仮組立体ＦＴＡを、前記バインダ−中に含まれる溶媒を消失させる程度の温度の約１５０℃で乾燥した後、接着部材１３とスペ−サ１２とを治具（図示せず）等を用いて位置決めし、大気中で例えば４５０℃、１０分間加熱して前記スペ−サ１２の頂面１２２を、接着部材１３を介して前面基板２に固定して前面基板組立体ＦＰＡを形成する。
【００５４】
一方、背面基板１側は、先ず一方向例えばＹ方向に延在し前記一方向に交差する他方向、例えばＸ方向に並設された複数本の画像信号配線８と、前記他方向例えばＸ方向に延在し前記他方向に交差する前記一方向、例えばＹ方向に並設された複数本の走査信号配線９と、電子源１０等を形成した後、それぞれ所定のバインダ−と混練された前記接着部材１３及び封着部材５を所定のパタ−ンに塗布形成し、背面基板仮組立体ＢＴＡとする。
【００５５】
ここで、前記接着部材１３は、前記背面基板１側と前面基板２側とで異なる特性のものを用いても良い。この背面基板仮組立体ＢＴＡを、前記バインダ−中に含まれる溶媒を消失させる程度の温度の約１５０℃で乾燥して背面基板組立体ＢＰＡを形成する。
【００５６】
一方、支持体３の上下両端面のそれぞれに、前記封着部材５を塗布し、これを前記バインダ−中に含まれる溶媒を消失させる程度の温度の約１５０℃で乾燥して支持体組立ＳＰＡとする。
【００５７】
次に、スペ−サ１２の導電膜１４を配置した底面１２１を前面基板２に固定してなる前面基板組立体ＦＰＡと、背面基板組立体ＢＰＡ及び支持体組立ＳＰＡの三者をＺ方向に重ね合わせてパネル仮組立体ＰＳＡとし、これをＺ方向に加圧しながら例えば４３０℃、１０分間加熱して両基板１、２と支持体３とを封着部材５で気密封着する。この気密封着と共に前記スペ−サ１２の頂面１２１を接着部材１３を介して背面基板２に固定する。
【００５８】
次に、排気管４を介して両基板１、２と支持体３とで囲まれた表示領域６となる空間を排気ベーキングする。この排気ベーキングは例えばパネル仮組立体ＰＳＡを真空炉内に配置し最高温度が前記接合材の軟化温度より低い例えば３８０℃で数時間おこなう。又、排気管を有しない形式では、前記排気ベーキング工程を前記気密封着と同時に行うことも可能である。
この排気ベーキング中に両基板１、２間に動作電圧と略同一の電圧を印加する。
その後、排気管を備えた構成では排気完了後排気管をチップオフし、更にエ−ジング等所定の処理を経て画像表示装置を製造する。
【００５９】
このような製造方法によれば、スペーサの導電膜近傍が局部加熱されこの近傍のガス放出効率がたかまり、又一旦放出されたガスの再吸着が阻止されることから高真空が得られ、長寿命化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の画像表示装置の一実施例を説明するための図で、図１（ａ）は前面基板側から見た平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ方向から見た側面図である。
【図２】図１の前面基板を取り去って示す背面基板の模式平面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線に沿った背面基板及びこれと対応する前面基板の模式断面図である。
【図４】図３の要部拡大模式断面図である。
【図５】本発明の画像表示装置に用いられるスペーサの一例の斜視図である。
【図６】本発明の画像表示装置の他の実施例の図４に対応する模式断面図である。
【図７】本発明の画像表示装置に用いられるスペーサの他の例の斜視図である。
【図８】本発明の画像表示装置の他の実施例の図４に対応する模式断面図である。
【図９】本発明の画像表示装置の製造方法を説明するための一例の工程図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  背面基板、２  前面基板、３  支持体、４  排気管、５  封着部材、６  表示領域、
７  貫通孔、８  画像信号配線、９  走査信号配線、１０  電子源、１１，１１Ａ  接続電極、１２  間隔保持部材、１３  接着部材、１４,２４，３４,４４  導電膜、１５  蛍光体層、１６  ＢＭ膜、１６１  ＢＭ開口部、１７  メタルバック（陽極電極）、５４  薄膜層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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