(57)【要約】【課題】  近視野光ヘッドと光ファイバとの接続の信頼性を確保し、近接場光発生素子を記録媒体に近接させる構成を提供する。【解決手段】  近視野光ヘッド１０６は、光ファイバ１０３を固定するＶ溝２０８を有するミラー基板２０２と、近視野光発生素子２０５を有するスライダ基板２０１からなる。ミラー基板２０２は、スライダ基板２０１よりも面積が大きく、そのためにミラー基板２０２は、光ファイバ１０３の挿入側に第１の張り出し部２１０と、流出端２０４側に第２の張り出し部２１１を有する。Ｖ溝２０８およびミラー２０９は、第１の張り出し部２１０上および第２の張り出し部２１１上にも形成される。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
近視野光を発生する近視野光発生素子を有する第１の基板と、前記第１の基板上に設けられ、光ファイバを固定する支持溝を有する第２の基板とからなる近視野光ヘッドであって、前記第２の基板は前記第１の基板から張り出している張り出し部を有することを特徴とする近視野光ヘッド。
【請求項２】
前記張り出し部に、前記支持溝が一部もしくは全部設けられていることを特徴とする請求項１に記載の近視野光ヘッド。
【請求項３】
前記支持溝と前記光ファイバが接着剤を用いて固定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の近視野光ヘッド。
【請求項４】
前記支持溝がＶ溝であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【請求項５】
前記支持溝の１側面が反射面であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【請求項６】
前記反射面の一部もしくは全部が、前記張り出し部に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の近視野光ヘッド。
【請求項７】
空気浮上する近視野光ヘッドであって、流出端と流入端を結ぶ線と前記支持溝が略直交することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【請求項８】
空気浮上する近視野光ヘッドであって、流出端と流入端を結ぶ線と前記支持溝が略平行であることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【請求項９】
前記光ファイバの端面が、前記光ファイバの軸方向に略直角であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【請求項１０】
前記光ファイバの端面が、前記光ファイバの軸方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【請求項１１】
前記第２の基板の前記第１の基板と対向する面の面積が、前記第１の基板の前記第２の基板と対向する面の面積より大きいことを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【請求項１２】
前記第１の基板の前記第２の基板と対向する面の輪郭形状と、前記第２の基板の前記第１の基板と対向する面の輪郭形状が略同一で、前記第１の基板と前記第２の基板はオフセットして固定されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【請求項１３】
前記第１の基板の前記第２の基板と対向する面の輪郭形状と、前記第２の基板の前記第１の基板と対向する面の輪郭形状が異なることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の近視野光ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光の回折限界を超える記録密度での情報の記録再生を行う近視野光ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
大容量化・小型化の進む情報記録再生装置のため、より高い記録密度が得られる記録再生技術が求められている。近視野光を利用した情報記録再生技術は、光の回折限界を超える微小領域の光学情報を扱うことが出来るため、従来の光による記録再生技術では到達し得ない、高い記録密度を得られると期待されている。
【０００３】
一般に近視野光を利用した記録再生装置の構成は、磁気ディスク装置（ＨＤＤ）とほぼ同様であるが、ＧＭＲ素子やコイルといった磁気素子の代わりに、光学的微小開口や微小突起などから構成される近視野光発生素子を、浮上ヘッドスライダーに搭載し、また電気配線の代わりに、光ファイバや光導波路を組み込む点が異なる。（例えば、特許文献１参照。）電気配線に比べて配線の自由度が低い光ファイバや光導波路を用いて、いかに効率よく光を近視野光発生素子および記録媒体に導くかが、近視野光記録再生技術の重要な要素である
このような近視野光ヘッドにおいて、光ファイバもしくは光導波路をヘッド側面に接続し、メディア面に水平な方向に伝搬している光ファイバもしくは光導波路からの光を反射させて伝搬方向を開口方向に向ける光反射面をもちいて、微小なビームスポットを光学的微小開口に入射させる手法が考案されている。（特許文献１参照。）
図７は従来技術による近視野光ヘッド１０００の代表的な構造の三面図である。近視野光ヘッド１０００はミラー基板１００１とスライダ基板１００２が接着された構造であり、光ファイバ１０３が上記２枚の基板の間に挟まれている。ミラー基板１００１はシリコンから成り、Ｖ溝１００３とミラー１００４を持つ。Ｖ溝１００３とミラー１００４はともにシリコンの結晶異方性エッチングによって形成された、基板表面から約５５度の角度を持つ面から成る。光ファイバ１０３はＶ溝１００３に固定され、接着される。スライダ基板１００２はガラスから成り、上面にレンズ１００５を持ち、下面にエアベアリングサーフェス（ＡＢＳ）１００６と、近視野光発生素子１００７を持つ。
【０００４】
近視野光発生素子１００７は光学的微小開口、微小突起、厚さ数ｎｍから数百ｎｍの金属薄膜、微小散乱体といった要素を１つ以上、有している。図示を略したレーザからの光は光ファイバ１０３によって近視野光ヘッド１０００内部に導入され、光ファイバ１０３端面から、ミラー面１００４で反射した後、レンズ１００５で集光され、近視野光発生素子１００７に至る。光エネルギーの一部は近視野光発生素子１００７から近視野光となって分布する。この近視野光を、図示を略した記録媒体表面のデータマークと相互作用させ、その結果発生した散乱光を検出することで、高密度な情報の記録再生を可能とする。
【特許文献１】国際特許公開第００／２８５３６号パンフレット（第４１−４６頁、第５-６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来技術による近視野光ヘッドでは、光ファイバ１０３とＶ溝１００３は接着されているが、接着しろが必ずしも十分でなく、特に近視野光ヘッドのサイズを小さくした場合には深刻な問題となる。図７に示す近視野光ヘッド１０００においては、接着しろは近視野光ヘッド１０００の一辺に対して半分以下である。接着しろが十分でないと、光ファイバ１０３が近視野光ヘッド１０００から剥がれやすく、その場合、情報記録再生装置の動作に致命的な影響を与える。
【０００６】
また、回転するディスクからの空気浮上力によって浮上する近視野光ヘッドは実際にはわずかに傾いており、空気の流入端よりも流出端の方がディスク表面に近接している。近視野光は開口からの距離によって指数関数的に減衰するので、近視野光発生素子１００７はなるべくディスク表面に近接させることが望ましい。つまり、近視野光発生素子１００７を流出端に近づけると良い。近視野光発生素子１００７がディスク表面から離れた位置にあると、近視野光発生素子１００７からの近視野光が記録媒体であるディスク上では弱く広がってしまい、検出信号Ｓ／Ｎが劣化する、また高密度化が困難になる、という問題点を生む。
【０００７】
しかしながら、従来技術による近視野光ヘッドでは、近視野光発生素子１００７を流出端に近づけることは困難であった。図７で示したように、Ｖ溝１００３およびミラー１００４はミラー基板１００２内の構造であるから、それらは近視野光ヘッド１０００に内包されている。そのため、Ｖ溝１００３に固定された光ファイバ１０３から、ミラー１００４およびレンズ１００５を介して開口基板１００１表面に至る光のスポットは、近視野光ヘッド１０００の端部からは、少なくともＶ溝１００３の半幅程度は離れており、そのスポットに設ける近視野光発生素子１００７を流出端に近づけることは出来ない。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、近視野光を発生する近視野光発生素子を有する第１の基板と、第１の基板上に設けられ、光ファイバを固定する支持溝を有する第２の基板とからなる近視野光ヘッドであって、第２の基板は第１の基板から張り出している張り出し部を有することを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【０００９】
このような張り出し部は、第２の基板の第１の基板と対向する面の面積を第１の基板の第２の基板と対向する面の面積より大きくする、第１の基板と第２の基板をオフセットして固定する、第１の基板の第２の基板と対向する面の輪郭形状と第２の基板の第１の基板と対向する面の輪郭形状とを異なったものにする、といった手法を用いて構成することを特徴とする。
【００１０】
本発明の第２の態様は、第１の態様において、張り出し部に支持溝が一部もしくは全部設けられていることを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【００１１】
本発明の第３の態様は、第１または第２の態様において、支持溝と光ファイバが接着剤を用いて固定されていることを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【００１２】
本発明の第４の態様は、第１から第３のいずれかの態様において、支持溝がＶ溝であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【００１３】
本発明の第５の態様は、第１から第４のいずれかの態様において、支持溝の１側面が反射面であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【００１４】
本発明の第６の態様は、第５の態様において、反射面の一部もしくは全部が、張り出し部に設けられていることを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【００１５】
本発明の第７の態様は、第１から第６のいずれかの態様において、空気浮上する近視野光ヘッドであって、流出端と流入端を結ぶ線と支持溝が略直交することを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【００１６】
本発明の第８の態様は、第１から第６のいずれかの態様において、空気浮上する近視野光ヘッドであって、流出端と流入端を結ぶ線と支持溝が略平行であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【００１７】
本発明の第９の態様は、第１から第８のいずれかの態様において、光ファイバの端面が、光ファイバの軸方向に略直角であることを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【００１８】
本発明の第１０の態様は、第１から第８のいずれかの態様において、光ファイバの端面が、光ファイバの軸方向に対して傾斜していることを特徴とする近視野光ヘッドにある。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、近視野光ヘッドが張り出し部を有することで、支持溝の長さを十分に確保、つまり支持溝と光ファイバの固定しろを十分に確保することが出来る。これにより、特に近視野光ヘッドを小型化した場合に問題となる、近視野光ヘッドと光ファイバの接続の信頼性を、容易に確保することが出来る。
【００２０】
また、本発明によれば、近視野光ヘッドが張り出し部を有し、支持溝が張り出し部にかかることで、光ファイバを流出端に近づけることができる。これにより、近視野光発生素子を流出端近傍に設けることができるため、近視野光発生素子を記録ディスク表面により近接させることが可能となり、高い強度でしかも微細に局在化された近視野光を介して記録ディスクと相互作用させることで、検出信号のＳ／Ｎが良好で、高い記録密度に対応した近視野光ヘッドを実現できる。
【００２１】
また、反射面の一部もしくは全部を張り出し部に設けることができる。これによっても近視野光発生素子を流出端近傍におくことができる。
【００２２】
また、本発明によれば、支持溝と光ファイバの固定に接着剤を用いることができるため、容易に近視野光ヘッドが作製できる。
【００２３】
また、本発明によれば、支持溝をＶ溝とすることで、高い位置精度で光ファイバの固定を容易におこなうことができる。
【００２４】
また、本発明によれば、光ファイバの端面を加工の容易な垂直面とすることができるため、容易に高性能な近視野光ヘッドを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、この発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
（実施の形態１）
図１に本発明の実施の形態１における近視野光ヘッドを用いた情報記録再生装置の概略を示す。本実施の形態における情報記録再生装置は、従来の磁気ディスク装置と基本構成は類似であり、近視野光を発生する近視野光発生素子（図示略）を有する近視野光ヘッド１０６を記録媒体１０７の表面に数ｎｍから数十ｎｍ程度まで近接した状態で記録媒体１０７を高速に回転させ、近視野光ヘッド１０６が記録媒体１０７と常に一定の相対配置で浮上するために、フレクシャ１０５をサスペンションアーム１０４の先端部に形成している。サスペンションアーム１０４はボイスコイルモータ（図示略）によって記録媒体１０７の半径方向に移動可能である。ここで、近視野光ヘッド１０６は、記録媒体１０７に近視野光発生素子が対面するように配置されている。
【００２６】
レーザ１０１からの光束を近視野光ヘッド１０６まで導く光伝搬部は、レンズ１０２とサスペンションアーム１０４に固定された光ファイバ１０３から構成されている。
【００２７】
必要に応じて、レーザ１０１は回路系１０８により強度変調などをかけることもできる。概略をわかりやすくするために、サスペンションアーム１０４とフレクシャ１０５と近視野光ヘッド１０６はそれぞれ分解した形で示してあるが、実際には、それぞれは接続され必要に応じて固定されている。
【００２８】
図２に本発明の実施の形態１における近視野光ヘッド１０６と、それに固定された光ファイバ１０３およびフレクシャ１０５の三面図を示す。近視野光ヘッド１０６は、ガラスからなるスライダ基板２０１と、シリコンからなるミラー基板２０２によって構成される。
【００２９】
スライダ基板２０１は長方形の基板であり、その下面の一辺を流入端２０３とし、これと対向する一辺を流出端２０４とする。また、スライダ基板２０１は、その下面に、近視野光発生素子２０５と、平行に並んだ２本の短冊形状のＡＢＳ（エアベアリングサーフェス）２０６を有している。ＡＢＳ２０６の長手方向と、流入端２０３および流出端２０４は直交している。ＡＢＳ２０４の形状は、２本の短冊形状に限るものではなく、トライパッド形状などでも良い。近視野光発生素子１０２は光学的微小開口、微小突起、厚さ数ｎｍから数百ｎｍの金属薄膜、微小散乱体といった要素を１つ以上、有している。さらにスライダ基板２０１は、その上面に、近視野光発生素子２０３と対置したレンズ２０７を有する。
【００３０】
ミラー基板２０２は、その下面にＶ溝２０８を有する。Ｖ溝２０８はミラー基板２０２の１側面を起点とし、ミラー基板２０２内に終端を有しており、この終端の面がミラー２０９となっている。Ｖ溝２０６およびミラー２０７は結晶異方性エッチングにより形成されているため、ミラー基板２０２面に対して、ミラー２０７は約５５度の角度をなしている。Ｖ溝２０８には光ファイバ１０３が固定されている。流入端２０３および流出端２０４が、光ファイバ１０３と平行となるように、スライダ基板２０１の上面とミラー基板２０２の下面が接合されている。光ファイバ１０３の端面は、光ファイバ１０３の軸に対して約５５度の平面をなしている。そのため、光ファイバ１０３より出射した光は、ミラー２０９により曲げられて、ミラー基板２０２に対して垂直に出射する。ミラー２０９で曲げられた光は、レンズ２０７を介して、近視野光発生素子２０５に導かれる。
また、ミラー基板２０２の上面にはフレクシャ１０５が接合されている。
【００３１】
ミラー基板２０２は、スライダ基板２０１よりも面積が大きく、そのためにミラー基板２０２は、光ファイバ１０３の挿入側に第１の張り出し部２１０と、流出端２０４側に第２の張り出し部２１１を有する。Ｖ溝２０８およびミラー２０９は、第１の張り出し部２１０上および第２の張り出し部２１１上にも形成されていることが重要な点である。
【００３２】
本実施の形態では、近視野光ヘッド１０６が第１の張り出し部２１０を有することで、Ｖ溝２０８の長さを十分に確保、つまりＶ溝２０８と光ファイバ１０３の接着しろを十分に確保することが出来る。これにより、特に近視野光ヘッド１０６を小型化した場合に問題となる、近視野光ヘッド１０６と光ファイバ１０３の接続の信頼性を、容易に確保することが出来る。
【００３３】
また、近視野光ヘッド１０６が第２の張り出し部２１１を有し、Ｖ溝２０８が第２の張り出し部２１１にかかることで、光ファイバ１０３を流出端２０４に近づけることができる。これにより、近視野光発生素子２０５を流出端２０４近傍に設けることができるため、近視野光発生素子２０５を記録ディスク表面により近接させることが可能となり、高い強度でしかも微細に局在化された近視野光を介して記録ディスクと相互作用させることで、検出信号のＳ／Ｎが良好で、高い記録密度に対応した近視野光ヘッドを実現できる。
（実施の形態２）
図３は本発明の実施の形態２にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。上図が本近視野光ヘッドの側面図、下図が平面図である。
【００３４】
ここでの近視野光ヘッドは、実施の形態１にかかわる近視野光ヘッドとほぼ同一なものである。ただし、ミラー基板３０１を構成する第１の張り出し部３０２が、Ｖ溝２０８、ミラー２０９およびその近傍を残して切り欠かれている点が異なる。
【００３５】
本実施の形態では、実施の形態１の効果に加えて、第１の張り出し部３０２が小さくなっていることにより、近視野光ヘッド全体の質量が小さくなる。そのため、高速に近視野光ヘッドを移動させることができ、より高いデータ転送速度を有する情報記録再生装置を実現できる。
（実施の形態３）
図４は本発明の実施の形態３にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。上図が本近視野光ヘッドの側面図、下図が平面図である。
【００３６】
本実施の形態における近視野光ヘッドは、実施の形態１と同様に、ガラスからなるスライダ基板４０１と、シリコンからなるミラー基板４０２によって構成される。
【００３７】
また、実施の形態１と同様に、スライダ基板４０１は長方形の基板であり、流入端４０３および流出端４０４を有し、さらに同様に、近視野光発生素子２０５と、平行に並んだ２本の短冊形状のＡＢＳ４０６と、レンズ２０５を有している。
【００３８】
ミラー基板４０２は、実施の形態１と同様に、Ｖ溝４０８およびミラー４０９を有し、Ｖ溝４０８には光ファイバ４００が固定されている。
【００３９】
ここで、流入端４０３および流出端４０４が、光ファイバ４００と直交するように、スライダ基板４０１の上面とミラー基板４０２の下面が接合されている点が、実施の形態１と異なっている。
【００４０】
光ファイバ４００の端面は、光ファイバ４００の軸に対して垂直である。また、Ｖ溝４０８およびミラー４０９は結晶異方性エッチングにより形成されているため、ミラー基板４０２面に対して、ミラー４０９は約５５度の角度をなしている。そのため、光ファイバ４００より出射した光は、ミラー４０９により曲げられると、垂直よりも約２０度ファイバ４０１方向に傾斜する。ミラー４０９で曲げられた光は、レンズ４０７を介して、近視野光発生素子４０５に導かれる。
また、実施の形態１と同様に、ミラー基板４０２の上面にはフレクシャ１０５が接合されている。
【００４１】
ミラー基板４０２は、スライダ基板４０１よりも面積が大きく、そのためにミラー基板４０２は、流出端４０４側に張り出し部４１０を有する。ここで、Ｖ溝４０８およびミラー４０９、またはその近傍が、張り出し部４１０上にあることが重要な点である。
【００４２】
また、実施の形態２と同様に、張り出し部４１０が、Ｖ溝４０８、ミラー４０９およびその近傍を残して切り欠かれた形状であってもよい。
【００４３】
本実施の形態では、近視野光ヘッドが張り出し部４１０を有し、Ｖ溝４０８およびミラー４０９、またはそれらの近傍が張り出し部４１０にかかることで、光ファイバ４００を流出端４０４に近づけることができる。これにより、近視野光発生素子４０５を流出端４０４近傍に設けることができるため、近視野光発生素子４０５を記録ディスク表面により近接させることが可能となり、高い強度でしかも微細に局在化された近視野光を介して記録ディスクと相互作用させることで、検出信号のＳ／Ｎが良好で、高い記録密度に対応した近視野光ヘッドを実現できる。
【００４４】
また、光ファイバ４００の端面を、加工の容易な垂直面としていることから、容易に高性能な近視野光ヘッドを実現できる。
（実施の形態４）
図５は本発明の実施の形態４にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。上図が本近視野光ヘッドの側面図、下図が平面図である。
【００４５】
ここでの近視野光ヘッドは、実施の形態１にかかわる近視野光ヘッドとほぼ同一なものであるが、より小さいヘッドサイズを実現している点が異なる。本実施の形態におけるスライダ５０１は実施の形態１におけるスライダ２０１よりも小さい
近視野光発生素子５０５は、平行に並んだ２本の短冊形状のＡＢＳ５０６ａおよびＡＢＳ５０６ｂの間、それも一方のＡＢＳ５０６ａにより近く設けられている。このため、スライダ５０１は実施の形態１におけるスライダ２０１よりも小さいにもかかわらず、Ｖ溝５０８の長さを十分に確保、つまりＶ溝５０８と光ファイバ１０３の接着しろを十分に確保することが出来る。
この場合においても、近視野光ヘッド５０６が第１の張り出し部５１０を有することから、上記の構成に加えて、Ｖ溝５０８と光ファイバ１０３の接着しろを十分に確保することに貢献していることはもちろんである。
（実施の形態５）
図６は本発明の実施の形態５にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。上図が本近視野光ヘッドの側面図、下図が平面図である。
【００４６】
ここでの近視野光ヘッドは、実施の形態１にかかわる近視野光ヘッドとほぼ同一なものであるが、ミラー基板６０２の面積とスライダ基板６０１の面積が等しい点が異なる。ミラー基板６０２とスライダ基板６０１はオフセットして接着されているために、ミラー基板６０２は、光ファイバ１０３の挿入側に第１の張り出し部６１０と、流出端６０４側に第２の張り出し部６１１を有する。これにより、Ｖ溝６０８と光ファイバ１０３の接着しろを十分に確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態１にかかわる近視野光ヘッドを用いた情報記録再生装置の概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１にかかわる近視野光ヘッド、それに固定された光ファイバおよびフレクシャの三面図である。
【図３】本発明の実施の形態２にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態３にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態４にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態５にかかわる近視野光ヘッドの構成を示す図である。
【図７】従来技術による近視野光ヘッドの構成を示す三面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０１  レーザ
１０２  レンズ
１０３  光ファイバ
１０４  サスペンションアーム
１０５  フレクシャ
１０６  近視野光ヘッド
１０７  記録媒体
１０８  回路系
２０１  スライダ基板
２０２  ミラー基板
２０３  流入端
２０４  流出端
２０５  近視野光発生素子
２０６  ＡＢＳ
２０７  レンズ
２０８  Ｖ溝
２０９  ミラー
２１０  第１の張り出し部
２１１  第２の張り出し部
３０１  ミラー基板
３０２  第１の張り出し部
４００  光ファイバ
４０１  スライダ基板
４０２  ミラー基板
４０３  流入端
４０４  流出端
４０５  近視野光発生素子
４０６  ＡＢＳ
４０７  レンズ
４０８  Ｖ溝
４０９  ミラー
４１０  張り出し部
５０１  スライダ基板
５０２  ミラー基板
５０３  流入端
５０４  流出端
５０５  近視野光発生素子
５０６ａ、ｂ  ＡＢＳ
５０７  レンズ
５０８  Ｖ溝
５０９  ミラー
５１０  第１の張り出し部
５１１  第２の張り出し部
６０１  スライダ基板
６０２  ミラー基板
６０３  流入端
６０４  流出端
６０５  近視野光発生素子
６０６  ＡＢＳ
６０７  レンズ
６０８  Ｖ溝
６０９  ミラー
６１０  第１の張り出し部
６１１  第２の張り出し部
１０００  近視野光ヘッド
１００１  ミラー基板
１００２  スライダ基板
１００３  Ｖ溝
１００４  ミラー
１００５  レンズ
１００６  ＡＢＳ
１００７  近視野光発生素子
【図１】
2006099938.tif 000003
【図２】
2006099938.tif 000004
【図３】
2006099938.tif 000005
【図４】
2006099938.tif 000006
【図５】
2006099938.tif 000007
【図６】
2006099938.tif 000008
【図７】
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