(57)【要約】【課題】  機能液が吐出された画素形成領域の濡れ不足を効率よく解消することができる電気光学装置の製造方法、電気光学装置及び電子機器を提供する。【解決手段】  複数の陽極１４が形成された表示領域を備えた基板１０に、複数の画素形成領域５を区画形成するための隔壁４を表示領域上に形成する。また、区画形成された各画素形成領域５に、第２液滴吐出ヘッド４５のノズルから、発光層用の機能液の微小液滴を吐出し、画素形成領域５に機能液の液滴１７を付着する。続いて、第２液滴吐出ヘッド４５の第４ノズルＮ４から、各画素形成領域５の濡れ不足を補うための第２補修液の微小液滴Ｄ４をそれぞれ吐出する。【選択図】      図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に区画形成された複数の画素形成領域に、第１の液滴吐出ヘッドのノズルから、電気光学層材料と、分散媒又は溶媒とを含有した機能液の液滴を吐出して、前記各画素形成領域に前記機能液の液滴を付着した後、
前記各画素形成領域に付着した前記機能液の液滴に対して、第２の液滴吐出ヘッドのノズルから、前記各画素形成領域に対する濡れ不足を補うための補修液の液滴をそれぞれ吐出することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記各画素形成領域の濡れ不足を補うための前記補修液は、前記機能液を構成する分散媒又は溶媒であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記複数の画素形成領域を、前記基板上に形成した隔壁にて区画形成し、前記隔壁を撥液化することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記機能液に含まれる前記電気光学層材料は、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する発光層を形成するための発光層材料であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記機能液に含まれる前記電気光学層材料は、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する正孔層輸送層を形成するための正孔輸送層材料であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の製造方法、電気光学装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、有機エレクトロルミネッセンス装置（以下、有機ＥＬディスプレイと言う）は、その表示領域上に、陽極と、陽極に対向する陰極と、電気光学層を有する画素とを複数備えている。電気光学層は、陽極と陰極との間に設けられ、少なくとも発光層を備えている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイの電気光学層の製造方法の一つに、電気光学材料を分散媒に分散（又は溶媒に溶解）した機能液を、複数のノズルを備えた液滴吐出ヘッドから液滴状にして陽極上に吐出する方法がある。この方法では、表示領域上に、各画素を区画するための隔壁を形成し、各隔壁によって区画形成された画素形成領域に、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する。そして、画素形成領域内に吐出された液体を乾燥して、液体の分散媒（又は溶媒）を除去することにより電気光学層を形成する。
【０００４】
しかし、画素形成領域によっては、吐出された機能液が、画素形成領域全体に濡れ拡がらないことがある。その結果、機能液の乾燥処理により形成された電気光学層に隙間が生じたり、膜圧が不均一になったりして、表示不良が発生してしまう可能性がある。
【０００５】
この問題に対し、特許文献１では、機能液の吐出不良を検査するセンサを使用した液晶表示装置の製造方法が提案されている。この方法では、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出した後、センサにより吐出不良の画素形成領域が検出されたとき、修復ヘッドにより液滴を吐出して、その吐出不良を修復する。
【特許文献１】特開平８−２９２３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記した方法では、吐出不良が生じた領域のみを修復できる利点を有するものの、吐出不良の検査工程に長時間を要してしまう。また、装置に、センサと修復ヘッドとを設けるため、装置の簡易化の点では有利でない。さらに、吐出不良が検出されて修復ヘッドから機能液の液滴が吐出された画素形成領域と、吐出不良が検出されない画素形成領域とによって、電気光学材料の量が異なることが想定されるため、発光輝度が均一にならない可能性もある。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、機能液が吐出された画素形成領域の濡れ不足を効率よく解消することができる電気光学装置の製造方法、電気光学装置及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電気光学装置の製造方法は、基板上に区画形成された複数の画素形成領域に、第１の液滴吐出ヘッドのノズルから、電気光学層材料と、分散媒又は溶媒とを含有した機能液の液滴を吐出して、前記各画素形成領域に前記機能液の液滴を付着した後、前記各画素形成領域に付着した前記機能液の液滴に対して、第２の液滴吐出ヘッドのノズルから、前記各画素形成領域に対する濡れ不足を補うための補修液の液滴をそれぞれ吐出する。
【０００９】
これによれば、電気光学層を形成するための機能液の液滴を吐出して、各画素形成領域
に機能液の液滴を付着させる。続いて、機能液の液滴が付着した画素形成領域に対して、濡れ不足を補うための補修液の液滴を吐出する。このため、画素形成領域内又は機能液の液滴に着弾する液滴により、画素形成領域内の濡れ不足を解消し、画素形成領域に機能液を塗れ拡げることができる。従って、画素形成領域内に、偏りのない電気光学層を形成することができる。このため、電気光学装置の表示不良の発生を防止できる。
【００１０】
この電気光学装置の製造方法において、前記各画素形成領域の濡れ不足を補うための前記補修液は、前記機能液を構成する分散媒又は溶媒である。
これによれば、濡れ不足を生じた画素形成領域においても、濡れ不足が生じていない画素形成領域に形成された電気光学層と、同様な膜厚等を有する電気光学層を形成することができる。
【００１１】
この電気光学装置の製造方法において、前記複数の画素形成領域を、前記基板上に形成した隔壁にて区画形成し、前記隔壁を撥液化する。
これによれば、画素形成領域を区画する隔壁は撥液化されるので、液滴吐出ヘッドから、吐出対象の画素形成領域に吐出された液滴が、吐出対象でない領域に付着するのを防止できる。この場合、画素形成領域の濡れ不足が生じやすくなるため、補修液の液滴の吐出動作によって、濡れ不足解消の効果を特に発揮できる。
【００１２】
この電気光学装置の製造方法において、前記機能液に含まれる前記電気光学層材料は、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する発光層を形成するための発光層材料である。
【００１３】
これによれば、機能液は、発光層材料を含む。このため、画素形成領域に、補修液の微小液滴を吐出することにより、偏りのない発光層を形成することができる。
この電気光学装置の製造方法において、前記機能液に含まれる前記電気光学層材料は、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する正孔層輸送層を形成するための正孔輸送層材料である。
【００１４】
これによれば、機能液は、正孔輸送層材料を含む。このため、画素形成領域に、補修液の微小液滴を吐出することにより、偏りのない正孔輸送層を形成することができる。
本発明の電気光学装置は、上記の電気光学装置の製造方法を用いて製造された。
【００１５】
これによれば、電気光学層を形成するための機能液が吐出された各画素形成領域に、濡れ不足を補うための補修液の液滴を吐出して製造された電気光学装置を提供することができる。従って、電気光学装置の表示不良の発生を防止できる。
【００１６】
本発明の電子機器は、上記に記載の電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置を備えた。
これによれば、電子機器は、電気光学層を形成するための機能液が吐出された各画素形成領域に、濡れ不足を補うための補修液の液滴を吐出して製造された電気光学装置を備えることができる。従って、電気光学装置の表示不良の発生を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の電気光学装置を有機ＥＬディスプレイに適用した実施形態について、図１〜１１に従って説明する。図１は、有機ＥＬディスプレイの平面図である。
図１に示すように、有機ＥＬディスプレイ１は、表示基板２と、フレキシブル回路基板３とから構成されている。フレキシブル回路基板３は、表示基板２の下側に接続されている。
【００１８】
また、表示基板２は、その略中央に表示領域２ａを備えている。この表示領域２ａには、隔壁４によって、ｎ行ｍ列の画素形成領域５が升目状に区画形成されている。各画素形成領域５には、赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ及び青色用画素Ｂがそれぞれ形成されている。赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ、青色用画素Ｂは、Ｘ矢印方向の１組で１つの画素Ｐを形成するとともに、各色ごとにＹ矢印方向に一列に配置されている。即ち、図１に示すように、表示領域２ａに、ｎ個の赤色用画素Ｒからなる列と、ｎ個の緑色用画素Ｇからなる列と、ｎ個の青色用画素Ｂからなる列とが形成されている。また、各色の列が、所定の順番（本実施形態では、赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ、青色用画素Ｂ）で繰り返されて配置されることにより、表示領域２ａにはｍ個の列が形成されている。
【００１９】
表示基板２の非表示領域２ｂには、一対の走査線駆動回路６が形成されている。各走査線駆動回路６は、表示領域２ａを挟むようにして設けられ、図示しない走査線を介して１行の赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ及び青色用画素Ｂからなる画素群ごとに接続されている。そして、各走査線駆動回路６は、ｎ行の画素群を、１行ごとに順次選択する走査信号を出力するようになっている。
【００２０】
また、非表示領域２ｂであって、表示領域２ａの上側には、検査回路７が形成されている。検査回路７は、赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ、青色用画素Ｂと図示しない信号線を介して接続されている。この検査回路７は、各画素Ｐが正常に駆動するか否かを判断するようになっている。
【００２１】
フレキシブル回路基板３上には、データ線駆動回路８と、制御回路９とが形成されている。データ線駆動回路８は、表示基板２上に形成された図示しない各データ線を介して１列の赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ、青色用画素Ｂ毎にそれぞれ接続されている。そして、データ線駆動回路８は、走査線駆動回路６によって選択された１行の画素Ｐ群の各赤色用画素Ｒ、各緑色用画素Ｇ、各青色用画素Ｂの発光輝度を決定するデータ信号を出力する。
【００２２】
制御回路９は、各走査線駆動回路６及びデータ線駆動回路８に図示しない制御線を介して接続され、走査線駆動回路６及びデータ線駆動回路８の駆動を制御するための各種制御信号を生成し、その制御信号を走査線駆動回路６及びデータ線駆動回路８に出力する。そして、制御回路９から出力される各種制御信号によって、走査線駆動回路６が走査信号を出力するとともに、走査信号の出力のタイミングで、データ線駆動回路８からデータ信号が出力される。このような構成により、各画素Ｐの各赤色用画素Ｒ、各緑色用画素Ｇ、各青色用画素Ｂは、出力されたデータ信号に応じた輝度で、各色の光を出射し、その結果、表示領域２ａに画像が表示される。
【００２３】
次に、有機ＥＬディスプレイ１の製造方法について説明する。図２は、製造工程を説明するための、各工程での表示基板２の要部断面図であって、図１におけるａ−ａ線での断面を示している。
【００２４】
図２に示すように、表示基板２は、ガラスや高分子フィルム等の光透過性を有する基板１０を備えている。まず、この基板１０に対し、公知の方法を用いて、薄膜トランジスタ１１等の各種回路素子を形成する。この薄膜トランジスタ１１は、データ線駆動回路８からのデータ信号に応じた駆動電流を制御する。
【００２５】
次に、形成した薄膜トランジスタ１１等の各種回路素子上に、さらに層間絶縁膜１２を成膜する。この層間絶縁膜１２は、光透過性を有する酸化珪素等の材質からなる。そして、形成した薄膜トランジスタ１１のソース又はドレインに至るまで開口するコンタクトホール１３を形成する。さらに、コンタクトホール１３と、下側に薄膜トランジスタ１１が形成されていない領域とを含む位置に、略矩形状の陽極１４を形成する。各陽極１４は、
インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、酸化インジウム・酸化亜鉛系アモルファスといった透明導電材料を、例えば化学気相成長法（ＣＶＤ法）を用いてパターニングして形成する。このとき、陽極１４の一部がコンタクトホール１３を埋め込むようにして形成されることで、陽極１４が薄膜トランジスタ１１のソース又はドレインに電気的に接続される。このようにして、各種素子が形成された回路形成層１２ａが形成される。
【００２６】
次に、表示領域２ａに画素形成領域５を区画形成するため、前記した隔壁４を形成する。即ち、層間絶縁膜１２の上に、感光性ポリイミド樹脂を塗布し、露光・現像により、例えば２μｍの隔壁４を形成する。このようにして、隔壁４の側壁面と陽極１４とによって、凹状の画素形成領域５が形成される。
【００２７】
そして、この画素形成領域５内の陽極１４に酸素プラズマ処理を行い、陽極１４の上面の改質処理（親液化処理）を行う。その後、隔壁４全面を撥液化処理する。本実施形態では、フッ素系ガスによるプラズマ処理によって行う。
【００２８】
次に、画素形成領域５内に、液滴吐出法（インクジェット法）により正孔輸送層を形成する。図３は、正孔輸送層用の第１液滴吐出装置３０の要部を模式的に示す平面図である。図３に示すように、第１液滴吐出装置３０は、搬送体３１を備え、搬送体３１は、Ｘ軸方向（主走査方向、図３中Ｘ矢印方向及び反Ｘ矢印方向）に延びる搬送レール３２に沿って移動可能になっている。搬送体３１には、撥液化された基板１０が載置される。
【００２９】
また、第１液滴吐出装置３０は、キャリッジ３３を備え、このキャリッジ３３は、Ｙ軸方向（副走査方向、図３中Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向）に延びるガイドレール３４に沿って往復動可能に支持されている。キャリッジ３３には、第１の液滴吐出ヘッド及び第２の液滴吐出ヘッドとしての第１液滴吐出ヘッド３５が設けられている。第１液滴吐出ヘッド３５は、複数ノズルを備えた吐出ヘッドがユニット化されることにより構成されている。
【００３０】
第１液滴吐出ヘッド３５には、正孔輸送層材料を含む機能液を吐出する複数の第１ノズルＮ１が一方向（図３中Ｙ矢印方向）に列設されている。また、第１液滴吐出ヘッド３５には、第１補修液を吐出する複数の第２ノズルＮ２が同じく一方向（図３中Ｙ矢印方向）に列設されている。そして、第１液滴吐出ヘッド３５には、各第１ノズルＮ１及び第２ノズルＮ２に対して圧電素子が設けられており、それらの圧電素子が駆動することにより、各第１ノズルＮ１及び第２ノズルＮ２から、液滴としての微小液滴Ｄ１，Ｄ２（図４及び図５参照）が吐出される。
【００３１】
また、第１液滴吐出ヘッド３５には、図示しないタンクから、正孔輸送層材料を含む機能液が供給され、第１液滴吐出ヘッド３５内の図示しない流路内に一時貯留されるようになっている。機能液は、ポリチオフェン誘導体、ポリピロール誘導体等の、電気光学層材料としての正孔輸送層材料と、その材料を分散した分散媒又は溶解した溶媒とから構成される。そして、機能液を一時貯留した流路は、機能液を吐出する各第１ノズルＮ１（図４参照）に連通している。従って、第１ノズルＮ１に対応する前記圧電素子が駆動することにより、第１ノズルＮ１から機能液の微小液滴Ｄ１が吐出されるようになっている。
【００３２】
同様に、第１液滴吐出ヘッド３５には、図示しないタンクから、機能液の分散媒又は溶媒（以下、第１補修液と言う）が供給され、機能液の流路とは別に設けられた流路（図示せず）に一時貯留されるようになっている。この流路は、各第２ノズルＮ２に連通している。従って、各第２ノズルＮ２に対応する前記圧電素子が駆動することにより、第２ノズルＮ２から、第１補修液の微小液滴Ｄ２が吐出されるようになっている。つまり、第１液滴吐出ヘッド３５には、複数の第１ノズルＮ１と、複数の第２ノズルＮ２とが設けられ、
それぞれ対応する圧電素子が駆動することにより、機能液の微小液滴Ｄ１と、第１補修液の微小液滴Ｄ２とを打ち分けるようになっている。
【００３３】
第１液滴吐出装置３０は、第１液滴吐出ヘッド３５をＹ軸方向に沿って移動させながら、液滴吐出データに基づいて、第１液滴吐出ヘッド３５の前記各圧電素子を駆動し、第１ノズルＮ１から基板１０上の各画素形成領域５に機能液の微小液滴Ｄ１をそれぞれ吐出する。これにより、図４に示すように、各画素形成領域５内に、機能液の液滴１５が付着する。
【００３４】
このとき、隔壁４は撥液化されているため、各画素形成領域５の中には、画素形成領域５全体に正孔輸送層用の液滴１５が塗れ拡がらず、隙間等が生じてしまう、いわゆる濡れ不足の状態になることがある（図４中、左端の画素形成領域５参照）。特に、端部の画素形成領域５は、中央に配置された画素形成領域５に比べて、濡れ不足が生じやすい。これは、液滴吐出動作の際に、表示領域２ａの中央部は、周囲に画素形成領域５が配置されているため湿度が高い状態になり濡れ不足が生じにくいが、端部の画素形成領域５は、湿度が低いため、比較的濡れ不足が生じやすいと考えられる。
【００３５】
続いて、図５に示すように、搬送体３１のＸ軸方向の移動等により、機能液の液滴１５が付着した各画素形成領域５の上方に、第１液滴吐出ヘッド３５の第２ノズルＮ２が配置される。そして、前記圧電素子を駆動して、各第２ノズルＮ２から、第１補修液の微小液滴Ｄ２を吐出する。これにより、濡れ不足の有無に関係なく、全ての画素形成領域５に微小液滴Ｄ２を吐出させることで、この工程を短時間で行うことができる。その結果、濡れ不足が生じていた画素形成領域５では、図５中２点鎖線で示すように、隔壁４と液滴１５との隙間がなくなり、濡れ不足が解消される。即ち、第１補修液の微小液滴Ｄ２が画素形成領域５内の正孔輸送層用の機能液の液滴１５に着弾することにより、液滴１５の体積が増加するとともに、微小液滴Ｄ２と液滴１５との衝突により、液滴１５が押され、機能液が画素形成領域５全体内に偏りなく行き渡る。
【００３６】
このとき、機能液の微小液滴Ｄ１ではなく、第１補修液の微小液滴Ｄ２を吐出するので、画素形成領域５に対する微小液滴Ｄ２の吐出量が異なったとしても、各画素形成領域５ごとの正孔輸送層材料の量は、一定となる。このため、濡れ不足を解消するための微小液滴Ｄ２の吐出動作は、大きな精度が要求されない。また、表示領域２ａの端部に配置された画素形成領域５のみに吐出しても、各画素形成領域５内の輸送層材料の量が不均一にならない。
【００３７】
その後、各画素形成領域５内の液滴１５を乾燥させる。この乾燥は、真空、熱処理、又は窒素ガスフローにより行われる。これにより、液滴１５内の分散媒又は溶媒が除去される。このとき、陽極１４上に正孔輸送層用の液滴１５が均一に濡れ広がっているので、乾燥処理後の陽極１４上には、図６に示すように、正孔輸送層１６が陽極１４全体に亘って形成される。
【００３８】
次に、正孔輸送層１６が形成された画素形成領域５内に、発光層を液滴吐出法（インクジェット法）により形成する。発光層用の第２液滴吐出装置４０は、第１液滴吐出装置３０と同様の構成をしている。即ち、第２液滴吐出装置４０は、図３に示すように、搬送レール４２に沿って移動する搬送体４１を備えている。搬送体４１には、正孔輸送層１６が形成された基板１０（表示基板２）が載置される。
【００３９】
また、第２液滴吐出装置４０は、第１液滴吐出装置３０と同様に、ガイドレール４４に沿って移動するキャリッジ４３を備えている。キャリッジ４３には、第１の液滴吐出ヘッド及び第２の液滴吐出ヘッドとしての第２液滴吐出ヘッド４５が設けられている。第２液
滴吐出ヘッド４５には、発光層を形成するための機能液を吐出する複数の第３ノズルＮ３が一方向（図３においてＹ矢印方向）に列設されているとともに、第２補修液を吐出する複数の第４ノズルＮ４が同じく一方向（第３ノズルＮ３の列と同方向）に列設されている。そして、第２液滴吐出ヘッド４５には、各第３及び第４ノズルＮ３，Ｎ４に対して圧電素子が設けられており、それらの圧電素子が駆動することにより、第３及び第４ノズルＮ３，Ｎ４から、液滴としての微小液滴Ｄ３，Ｄ４（図７及び図８参照）が吐出される。
【００４０】
また、第２液滴吐出ヘッド４５には、図示しないタンクから、発光層を形成するための機能液が供給され、図示しない各流路内に一時貯留されるようになっている。この機能液は、蛍光又は燐光を発光することが可能な電気光学層材料としての有機物発光材料と、その材料を分散した分散媒又は溶解した溶媒とからなる。また、この機能液は、赤色用画素Ｒを形成するための機能液、緑色用画素Ｇを形成するための機能液、青色用画素Ｂを形成するための機能液である。また、各種機能液が一時貯留される流路は、各第３ノズルＮ３と連通している。そして、各第３ノズルＮ３からは、赤色用画素用の機能液、緑色用画素用の機能液又は青色用画素Ｂ用の機能液の各種微小液滴Ｄ３がそれぞれ吐出される。
【００４１】
尚、有機発光材料は、（ポリ）フルオレン誘導体、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ポリジアルキルフルオレン、ポリフルイオレンベンゾチアジアゾール、ポリアルキルチオフェン、ポリメチルフェニルシラン等のポリシラン系等が好適である。また、これらの材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素等の高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いても良い。
【００４２】
また、第１液滴吐出ヘッド３５と同様に、第２液滴吐出ヘッド４５には、発光層用の機能液の分散媒又は溶媒（以下、第２補修液と言う）が供給されるようになっている。第２補修液は、機能液の流路とは別に設けられた流路（図示せず）に一時貯留される。この流路は、各第４ノズルＮ４と連通し、各第４ノズルＮ４に対応する圧電素子が駆動することにより、第４ノズルＮ４から、第２補修液の微小液滴Ｄ４が吐出される。
【００４３】
第２液滴吐出装置４０は、第２液滴吐出ヘッド４５を搭載したキャリッジ４３をＹ軸方向に移動させながら、液滴吐出データに基づいて、第２液滴吐出ヘッド４５の前記各圧電素子を駆動し、各第３ノズルＮ３から、所定の画素形成領域５に微小液滴Ｄ３を吐出する。即ち、赤色用画素Ｒを形成するための画素形成領域５には、赤色用画素Ｒを形成するための機能液の微小液滴Ｄ３が吐出される。また、緑色用画素Ｇを形成するための画素形成領域５には、緑色用画素Ｇを形成するための機能液の微小液滴Ｄ３が吐出される。さらに、青色用画素Ｂを形成するための画素形成領域５には、青色用画素Ｂを形成するための機能液の微小液滴Ｄ３が吐出される。
【００４４】
これにより、図７に示すように正孔輸送層１６上に、赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ及び青色用画素Ｂを形成するための機能液の液滴１７（以下、液滴１７と言う）が付着する。
各画素形成領域５に発光層用の機能液を吐出した後、搬送体４１のＸ軸方向の移動等により、図８に示すように、機能液の液滴１７が付着した各画素形成領域５の上方に、第２液滴吐出ヘッド４５の第４ノズルＮ４が配置される。そして、各第４ノズルＮ４から、第２補修液の微小液滴Ｄ４を吐出する。これにより、全ての画素形成領域５に微小液滴Ｄ４が吐出される。その結果、濡れ不足が生じていた画素形成領域５では、図８中２点鎖線で示すように、隔壁４と液滴１７との隙間がなくなり、濡れ不足が解消される。即ち、微小液滴Ｄ４が画素形成領域５内の液滴１７に着弾することにより、画素形成領域５内の液滴１７の体積が増加するとともに、微小液滴Ｄ４と液滴１７との衝突により、液滴１７が押
され、画素形成領域５全体内に偏りなく液滴１７が行き渡る。このとき、前記圧電素子に印加する電圧を制御することにより、第４ノズルＮ４から吐出する微小液滴Ｄ４の径を大きくして、液滴１７に加わる力を大きくしてもよい。
【００４５】
また、機能液の微小液滴Ｄ３ではなく、第２補修液の微小液滴Ｄ４が吐出されるので、各画素形成領域５に対する微小液滴Ｄ４の吐出量が異なっていても、各画素形成領域５の発光層材料の量は一定となる。このため、濡れ不足を解消するための微小液滴Ｄ４の吐出動作は、発光層用の機能液の吐出動作に比べて高い精度が要求されない。このため、第２補修液の吐出動作を比較的高速で行うことができる。また、表示領域２ａの端部に配置された画素形成領域５のみに吐出しても、各画素形成領域５内の発光層材料の量が不均一にならないので、制御の自由度が大きくなる。
【００４６】
その後、画素形成領域５内の液滴１７を乾燥させる。この乾燥は、前記した乾燥工程と同様に、真空、熱処理、又は窒素ガスフローにより行われる。これにより、図９に示すように、正孔輸送層１６上に、赤色用の発光層１８、緑色用の発光層１８、青色用の発光層１８が形成される。この正孔輸送層１６及び各発光層１８により、電気光学層Ｌが形成される。また、各電気光学層Ｌ及び各種素子により、赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ及び青色用画素Ｂがそれぞれ形成される。
【００４７】
続いて、図１０に示すように、隔壁４、赤色用画素Ｒ、緑色用画素Ｇ及び青色用画素Ｂ上全面に亘って、陰極１９を形成する。この陰極１９は、２ｎｍのＬｉＦ層、２０ｎｍのＣａ層及び２０ｎｍのＡｌ層を、真空蒸着等で積層形成する。陽極１４、正孔輸送層１６、発光層１８及び陰極１９で、有機エレクトロルミネッセンス素子が形成される。
【００４８】
その後、乾燥した空間２０を介して、エポキシ樹脂で構成された封止部材２１により封止する。これにより、表示基板２が製造される。最後に、表示基板２と、別途作製されたデータ線駆動回路８及び制御回路９を備えたフレキシブル回路基板３とを接続する。このように形成された有機ＥＬディスプレイ１の赤色用画素Ｒは赤色の光を、緑色用画素Ｇは緑色の光を、青色用画素Ｂは青色の光を、それぞれ対応する正孔輸送層１６から注入されたキャリア密度に応じた輝度で出射する。出射された各色の光は、回路形成層１２ａ及び基板１０を介して外部に出射される。また、有機ＥＬディスプレイ１は、図１１に示す携帯電話５０、モバイル型のパーソナルコンピュータ、デジタルカメラ等の電子機器に用いられる。
【００４９】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、有機ＥＬディスプレイ１の製造方法において、基板１０上の隔壁４によって区画形成された各画素形成領域５内に、液滴吐出方法（インクジェット方法）によって正孔輸送層１６を形成した。そして、各画素形成領域５の正孔輸送層１６上に、同じく液滴吐出方法（インクジェット方法）により、発光層材料を含む機能液の微小液滴Ｄ３を吐出して、機能液の液滴１７を画素形成領域５内に付着した。さらに、その微小液滴Ｄ３が吐出された各画素形成領域５内に、機能液の分散媒又は溶媒（第２補修液）の微小液滴Ｄ４を第２液滴吐出ヘッド４５から吐出するようにした。このため、画素形成領域５内の液滴１７の濡れ不足を解消し、画素形成領域５の隅部まで機能液を濡れ拡げることができる。従って、正孔輸送層１６上に、隙間が無く、膜厚が均一な発光層１８を形成することができるので、有機ＥＬディスプレイ１の表示不良の発生を防止できる。また、検査等を行うことなく、全ての画素形成領域５に微小液滴Ｄ４を吐出するようにしたので、濡れ不足を解消するための工程を効率よく行うことができる。
【００５０】
（２）上記実施形態では、有機発光材料を含む機能液の微小液滴Ｄ３を吐出した後に、画素形成領域５全てに、機能液の分散媒又は溶媒（第２補修液）の微小液滴Ｄ４を吐出す
るようにした。即ち、各画素形成領域５に吐出された発光層材料の量は一定となるので、濡れ不足を生じた画素形成領域５においても、濡れ不足が生じていない画素形成領域５に形成された発光層１８と同様な厚みを有する発光層１８を形成することができる。さらに、発光層材料を含有しない液体を吐出するので、発光層用の機能液の吐出動作よりも、吐出量等の精度が要求されない。このため、発光層用の機能液の吐出動作は、高い精度且つ低速で行い、第２補修液の吐出動作は、比較的低い精度且つ高速で行う等の制御を行うことができるので、第２補修液の吐出動作を短時間で行うことができる。
【００５１】
（３）上記実施形態では、正孔輸送層１６を形成する際に、第１液滴吐出ヘッド３５から、正孔輸送層用の機能液の微小液滴Ｄ１を、各画素形成領域５の陽極１４上に吐出するようにした。さらに、第１液滴吐出ヘッド３５から、画素形成領域５の濡れ不足を補うための機能液の分散媒又は溶媒（第１補修液）の微小液滴Ｄ２を、画素形成領域５に吐出するようにした。このため、画素形成領域５内の濡れ不足を解消し、画素形成領域５の隅部まで機能液を濡れ拡げることができるので、陽極１４を、膜厚が均一な正孔輸送層１６によって隙間無く被覆することができる。従って、有機ＥＬディスプレイ１の表示不良の発生を防止できる。
【００５２】
（４）上記実施形態では、正孔輸送層材料を含む機能液の微小液滴Ｄ１を吐出した後に、画素形成領域５全てに、その機能液の分散媒又は溶媒（第１補修液）の微小液滴Ｄ２を吐出するようにした。即ち、各画素形成領域５に吐出された正孔輸送層材料は一定となるので、濡れ不足を生じた画素形成領域５においても、濡れ不足が生じていない画素形成領域５に形成された正孔輸送層１６と同様な厚みを有する正孔輸送層１６を形成することができる。さらに、正孔輸送層材料を含有しない液体を吐出するので、正孔輸送層用の機能液の吐出動作よりも、吐出量等の精度が要求されない。このため、機能液の吐出動作は、高い精度且つ低速で行い、第１補修液の吐出動作は、比較的低い精度且つ高速で行う等の制御を行うことができるので、第１補修液の吐出動作を短時間で効率よく行うことができる。
【００５３】
（５）上記実施形態では、正孔輸送層用の機能液及び発光層用の機能液を吐出してから、第１及び第２補修液の微小液滴Ｄ２，Ｄ４を第１及び第２液滴吐出ヘッド３５，４５からそれぞれ吐出するようにした。このため、各微小液滴Ｄ３，Ｄ４の各液滴１５、１７への着弾時の衝撃により、各機能液を濡れ拡げることができる。また、吐出する微小液滴Ｄ３，Ｄ４の特性（大きさ等）を制御することにより、画素形成領域５内に付着した液滴１５，１７に与える力等を最適化し、画素形成領域５内の濡れ不足を解消することができる。
【００５４】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、正孔輸送層１６を形成する際に、画素形成領域５の濡れ不足を補うために、第１補修液として正孔輸送層用の機能液の分散媒又は溶媒を吐出するようにしたが、正孔輸送層材料に影響を与えない液体であれば、他の液体でもよい。
【００５５】
・上記実施形態では、発光層１８を形成する際に、画素形成領域５の濡れ不足を補うために、第２補修液として発光層用の機能液の分散媒又は溶媒を吐出するようにしたが、発光層材料に影響を与えない液体であれば、他の液体でもよい。
【００５６】
・上記実施形態では、第１液滴吐出ヘッド３５から第１補修液の微小液滴Ｄ２を吐出する工程と、第２液滴吐出ヘッド４５から第２補修液の微小液滴Ｄ４を吐出する工程とを両方行うようにしたが、各工程のいずれか一方のみを行うようにしてもよい。
【００５７】
・上記実施形態では、電気光学層Ｌは、正孔輸送層１６と、各発光層１８とで構成され
ていたが、これに限定されるものではなく、例えば、正孔注入層、電子輸送層又は電子注入層を加えた電気光学層Ｌに応用しても良い。
【００５８】
・上記実施形態では、第１液滴吐出ヘッド３５が、機能液及び第１補修液を吐出するようにしたが、それぞれ別の吐出ヘッドを設けてもよい。また、第２液滴吐出ヘッド４５が、機能液及び第２補修液を吐出するようにしたが、それぞれ別の吐出ヘッドを設けてもよい。
【００５９】
・上記実施形態では、３色の画素を有する有機ＥＬディスプレイ１に具体化したが、単色の有機ＥＬディスプレイに具体化してもよい。
・上記実施形態では、電気光学装置を有機ＥＬディスプレイ１に具体化したが、液滴吐出方法（インクジェット方法）を用いて製造される装置であれば、カラーフィルタ等、他の電気光学装置に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本実施形態の有機ＥＬディスプレイの正面図。
【図２】同ディスプレイの表示基板の要部断面図。
【図３】同ディスプレイを製造するための液滴吐出装置の平面図。
【図４】同表示基板の要部断面図。
【図５】同表示基板の要部断面図。
【図６】同表示基板の要部断面図。
【図７】同表示基板の要部断面図。
【図８】同表示基板の要部断面図。
【図９】同表示基板の要部断面図。
【図１０】同表示基板の要部断面図。
【図１１】同ディスプレイが搭載される携帯電話の斜視図。
【符号の説明】
【００６１】
１…電気光学装置としての有機ＥＬディスプレイ、２ａ…表示領域、４…隔壁、５…画素形成領域、１０…基板、１４…画素電極、１５…機能液の液滴、１６…正孔輸送層、１７…機能液の液滴、１８…電気光学層を構成する発光層、３５…第１の液滴吐出ヘッド及び第２の液滴吐出ヘッドとしての第１液滴吐出ヘッド、４５…第１の液滴吐出ヘッド及び第２の液滴吐出ヘッドとしての第２液滴吐出ヘッド、５０…電子機器としての携帯電話、Ｄ１〜Ｄ４…微小液滴、Ｌ１…電気光学層、Ｎ…ノズル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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