(57)【要約】【課題】スリム化及び軽量化され、動作が半永久的であり、把持される基板の損傷を最小化することができ、また、所定の工程前後の把持する際に起こる基板の汚染が低減することができる基板用グリッピング装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ２２にカムが連動するように装着されているカム駆動部２０と、カムが内蔵されている本体部４０と、本体部４０に放射状に装着され、カムと連動して直線運動をしながら基板を選択的に把持する多数個のグリッパを有するグリッパ部６０とが具備されている基板用グリッピング装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータにカムが連動するように装着されているカム駆動部と、
前記カムが内蔵されている本体部と、
前記本体部に放射状に装着され、前記カムと連動して直線運動をしながら基板を選択的に把持する複数のグリッパを有するグリッパ部と
を具備していることを特徴とする基板用グリッピング装置。
【請求項２】
前記カム駆動部が、前記カムと前記アクチュエータとが対をなし、該アクチュエータにより該カムが駆動するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板用グリッピング装置。
【請求項３】
前記基板が把持及び再把持される場合に利用する各グリッパが、二分化されて作動するように、２つのカムが１つの前記アクチュエータにより駆動することを特徴とする請求項１に記載の基板用グリッピング装置。
【請求項４】
前記基板が把持及び再把持される場合に利用する各グリッパが、二分化されて作動するように、２組のカムとアクチュエータとがそれぞれ分離して駆動することを特徴とする請求項１に記載の基板用グリッピング装置。
【請求項５】
前記本体部には、前記アクチュエータの駆動力が前記カムに伝達するように、該アクチュエータの駆動軸が固定されて該カムと接触結合しているカムボスを具備する結合部を含んでいることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置。
【請求項６】
前記アクチュエータは、前記グリッパが基板との間隔に応じてその運動速度を変えるように、前記カムの回転速度を制御し、該グリッパが基板の広さに応じてその直線運動の間隔が可変するように該カムの回転角度を制御することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置。
【請求項７】
前記グリッパの一端部が接触してグリッパの直線運動を誘導するために、前記カムの外縁には凹凸が連続して形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置。
【請求項８】
前記凹凸は、急な傾斜と緩やかな傾斜とからなる形状であることを特徴とする請求項７に記載の基板用グリッピング装置。
【請求項９】
前記凹凸は、緩やかな上・下向きの傾斜からなる形状であることを特徴とする請求項７に記載の基板用グリッピング装置。
【請求項１０】
前記グリッパの直線運動は、前記カムの周辺部に形成された溝に前記グリッパの一端部がスライド可能に挟まれてなされることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置。
【請求項１１】
前記本体部は、前記カムが回転可能に装着され、このカムと接触するように前記グリッパの一部が側部に挿入・装着しているボディと、該カムと前記アクチュエータとの間に介在するカバーとが締結されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置。
【請求項１２】
前記グリッパは、前記カムに接触するローラが装着されて前記ボディの内部に位置しているローラブラケットと、基板を把持するようにコンタクタが突出固定されて該ボディの外部に位置しているアームとがシャフトにより連結固定され、前記ローラブラケットと該ボディとの内壁間に、前記ローラと前記カムとの接触を維持するための弾性体が位置し、前記シャフトが貫通しているスリーブが前記ボディに固着され、該スリーブと前記アームとの先端部間の干渉を回避するように該シャフトにベローズが装着されていることを特徴とする請求項１１に記載の基板用グリッピング装置。
【請求項１３】
前記アームの下面は、基板側に一部位が傾くように形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の基板用グリッピング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を把持するための基板用グリッピング装置に関し、より詳細には、半導体用ウエハタイプの物品を把持するためのカムと連動するグリッパを備えた基板用グリッピング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、カセットから引き出された半導体用ウエハタイプの基板を洗浄する洗浄工程では、チャックによりウエハを把持して移送するための、ウエハの周りを把持して予め設定されている動作を実行するグリッピング装置或いはチャッキング装置が洗浄工程に配置されている。
【０００３】
従来のグリッピング装置は、ウエハが載置される略円錐台形状の駆動部材から構成され、駆動部材がモータ及びスプリング（弾発スプリング）を含む手段により上・下（放射方向）に往復運動し、この駆動部材によりグリッピングクロー（チャッキングアーム）が直線往復運動し、このグリッピングクロー（チャッキングアーム）の外側端部（チャッキング爪等）により基板の周辺部位が把持されるように形成されていた。（例えば、特許文献１参照）
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１６３０９４号公報（明細書段落〔００２３〕〜〔００２６〕，〔００３６〕〜〔００３９〕、図面図３〜図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のグリッピング装置（チャッキング装置）では、駆動部材の上・下運動のためのスペースを確保するために、グリッピング装置の形状が全体的に厚くなる欠点がある。また、駆動部材の往復運動は、モータによる加圧力及びスプリングの復元力によって運動が行われるため、持続的に繰り返される運動に伴いスプリングに疲労が蓄積され、正確な運動範囲を長時間維持することが難しくなり、このため、部品交換などの整備作業を頻繁に行わなければならず、正確な整備作業をする際の復旧のためのデータ取りに膨大な時間を要するという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上述のような問題点を勘案して案出したものであり、装置をスリム化及び軽量化することができ、カム及びグリッパ部による正確な運動範囲を確保して半永久的に使用することができ、また、基板との設定した間隔に応じてグリッパの運動速度を可変するようにカムの回転速度を調節し、把持される基板の損傷を最小化することができる基板用グリッピング装置を提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明の他の目的は、上記目的を達成し、かつ２つのカムを１つ以上のアクチュエータと連動するように設置し、グリッピング装置により基板が把持される場合、各グリッパが二分化されて互いに別々に動作することにより、所定の工程前後の把持による基板の汚染を低減することができる基板用グリッピング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述のような目的を達成するしたものであり、請求項１の発明による基板用グリッピング装置は、アクチュエータにカムが連動するように装着されているカム駆動部と、前記カムが内蔵されている本体部と、前記本体部に放射状に装着され、前記カムと連動して直線運動をしながら基板を選択的に把持する複数のグリッパを有するグリッパ部とを具備していることを特徴とする基板用グリッピング装置である。
【０００９】
また、請求項２の発明は、前記カム駆動部が、前記カムと前記アクチュエータとが対をなし、該アクチュエータにより該カムが駆動するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板用グリッピング装置である。
【００１０】
また、請求項３の発明は、前記基板が把持及び再把持される場合に利用する各グリッパが、二分化されて作動するように、２つのカムが１つの前記アクチュエータにより駆動することを特徴とする請求項１に記載の基板用グリッピング装置である。
【００１１】
また、請求項４の発明は、前記基板が把持及び再把持される場合に利用する各グリッパが、二分化されて作動するように、２組のカムとアクチュエータとがそれぞれ分離して駆動することを特徴とする請求項１に記載の基板用グリッピング装置である。
【００１２】
また、請求項５の発明は、前記本体部には、前記アクチュエータの駆動力が前記カムに伝達するように、該アクチュエータの駆動軸が固定されて該カムと接触結合しているカムボスを具備する結合部を含んでいることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置である。
【００１３】
また、請求項６の発明は、前記アクチュエータが、前記グリッパが基板との間隔に応じてその運動速度を変えるように、前記カムの回転速度を制御し、該グリッパが基板の広さに応じてその直線運動の間隔が可変するように該カムの回転角度を制御することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置である。
【００１４】
また、請求項７の発明は、前記グリッパの一端部が接触してグリッパの直線運動を誘導するために、前記カムの外縁には凹凸が連続して形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置である。
【００１５】
また、請求項８の発明は、前記凹凸が、急な傾斜と緩やかな傾斜とからなる形状であることを特徴とする請求項７に記載の基板用グリッピング装置である。
【００１６】
また、請求項９の発明は、前記凹凸が、緩やかな上・下向きの傾斜からなる形状であることを特徴とする請求項７に記載の基板用グリッピング装置である。
【００１７】
また、請求項１０の発明は、前記グリッパの直線運動が、前記カムの周辺部に形成された溝に前記グリッパの一端部がスライド可能に挟まれてなされることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置である。
【００１８】
また、請求項１１の発明は、前記本体部が、前記カムが回転可能に装着され、このカムと接触するように前記グリッパの一部が側部に挿入・装着しているボディと、該カムと前記アクチュエータとの間に介在するカバーとが締結されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板用グリッピング装置である。
【００１９】
また、請求項１２の発明は、前記グリッパが、前記カムに接触するローラが装着されて前記ボディの内部に位置しているローラブラケットと、基板を把持するようにコンタクタが突出固定されて該ボディの外部に位置しているアームとがシャフトにより連結固定され、前記ローラブラケットと該ボディとの内壁間に、前記ローラと前記カムとの接触を維持するための弾性体が位置し、前記シャフトが貫通しているスリーブが前記ボディに固着され、該スリーブと前記アームとの先端部間の干渉を回避するように該シャフトにベローズが装着されていることを特徴とする請求項１１に記載の基板用グリッピング装置である。
【００２０】
また、請求項１３の発明は、前記アームの下面が、基板側に一部位が傾くように形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の基板用グリッピング装置である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、上記のように構成されており、本発明によれば、基板の把持及び解除がカムの水平回転運動により行われるため、グリッピング装置がスリム化及び軽量化されて、半永久的に使用可能であり、グリッパがカムにより作動することで、運動範囲に対する精密度が向上し、基板との間隔に応じてグリッパの運動速度が可変するように、カムの回転速度が調節されると共に、把持時に基板の所定の周辺部がアームの一部傾いている下面を滑るように把持されることで、把持される基板の損傷を最小化すると同時に基板を保護する効果がある。
【００２２】
また、カムとアクチュエータの数を追加して基板の把持に使用される各グリッパが二分化されて互いに別々に動作することで、所定の工程の前・後の把持及び再把持による基板の汚染が明らかに低減する更なる効果もある。
【００２３】
さらに、請求項毎に説明すると、請求項１の発明によれば、カムがアクチュエータにより駆動し、連基板の把持及び解除がカムの水平回転運動により行われるため、グリッピング装置がスリム化及び軽量化されて、半永久的に使用可能であり、グリッパがカムにより作動することで、運動範囲に対する精密度が向上し、また、アクチュエータの駆動により基板との設定間隔（接近距離）に応じてカムの回転速度を調節することによって、グリッパの運動速度を可変することができ、把持される基板の損傷を最小化すると同時に基板を保護する効果がある。
また、請求項２の発明によれば、カムの水平回転運動が容易であり、スリム化及び軽量化に貢献する。
また、請求項３又は４の発明によれば、カムとアクチュエータの数を追加して基板の把持に使用される各グリッパが二分化されて互いに別々に動作することで、所定の工程の前と後の基板を異なったグリッパで把持することによって、処理前と処理後のグリッパを変えることができ基板の汚染が明らかに低減する更なる効果がある。
また、請求項５又は６の発明によれば、カムの回転速度を調節するのが容易であって、グリッパの運動速度を可変することができ、把持される基板の損傷を最小化すると同時に基板を保護する効果がある。
また、請求項７，８又は９の発明によれば、グリッパがカムにより作動することで、運動範囲に対する精密度が向上し、把持される基板の損傷を最小化すると同時に基板を保護する効果を高めるのに貢献する。
また、請求項１０の発明によれば、グリッパの運動範囲に対する精密度が向上し、把持される基板の損傷を最小化すると同時に基板を保護する効果を高めるのに貢献する。
また、請求項１１の発明によれば、スリム化及び軽量化に貢献する。
また、請求項１２の発明によれば、スリム化及び軽量化に貢献し、グリッパの運動範囲に対する精密度が向上し、把持される基板の損傷を最小化すると同時に基板を保護する効果を高めるのに貢献する。
請求項１３の発明によれば、把持時に基板の所定の周辺部がアームの一部傾いている下面を滑るように把持されることで、把持される基板の損傷を最小化すると同時に基板を保護する効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明に係る基板用グリッピング装置の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、図１は、本発明の好適な実施の形態による基板型グリッピング装置を示す概略斜視図であり、図２は本実施形態の分解斜視図であり、図３乃至図７は、図１に示した各部材及び他の形態を示す平面図及び斜視図である。
【００２５】
本実施形態について図１及び図２を参照して説明すると、基板型グリッピング装置１０は、アクチュエータ２２に連動して水平回転するようにカム２４が装着されているカム駆動部２０と、アクチュエータ２２とカム２４とを締結するカムボス３２とが具備されている結合部３０と、カム２４を内蔵するボディ４２とカバー４４とを締結した本体部４０と、カム２４により直線運動するように、一部位がボディ４２の側部に装着されて放射状に配置されている複数のグリッパ５０を有するグリッパ部６０とを含んで形成されている。
【００２６】
カム駆動部２０は、ボディ４２に回転可能に内蔵されているカム２４と、カム２４に回転力を提供するためにカム２４と連動するように締結されているアクチュエータ２２とを含んで形成されている。
【００２７】
カム２４は、図５に示すように、グリッパ５０の一端部が密着する外縁部に凹凸２４’が連続して形成され、凹凸２４’はグリッパ５０の数と一致するように形成されている。この凹凸２４’は、急な傾斜と緩やかな傾斜からなる略波形状のものである。グリッパ５２の一端部、即ち、後述のローラ５１は緩やかな傾斜と接触するように位置する。この時、カム２４の回転は、ローラ５１が一区画の緩やかな傾斜から離脱しないように制限する。これは、急な傾斜を通過するローラ５１及びグリッパ５０全体での衝撃による異常な作動を未然に防止できるようにするためである。
【００２８】
また、図６に示す凹凸２４’は、図５と異なり、緩やかな傾斜が上・下向き傾斜からなる、概してウエーブ状に形成したものであり、このような形態であってもよい。このような形態の場合、グリッパ５０のローラ５１は、いずれの面に接触しても差し支えなく、このようなウエーブ形状の凹凸は、カム２４が一方向に回転したとしてもグリッパ５０の直線運動が円滑に行えることを保障するためである。
【００２９】
上記アクチュエータ２２とは、カム２４を回転させることができる動力源として、モータ及びシリンダを含む装置を称し、カム２４の回転力を提供するとともに、回転速度及び回転角度を調整するための部材である。アクチュエータ２２は、カム２４とローラ５１の接触部位の制限に応じてカム２４の回転角度を制御し、カム２４の回転により直線運動するグリッパ５０の外側先端部、即ち、後述のコンタクタ５４が基板に近接する距離に応じて、その進行速度を変えるようにカム２４の回転速度を制御することができる。
【００３０】
アクチュエータ２２とカム２４の締結は、図２，図７に示すカムボス３２により行われてアクチュエータ２２の回転軸２２ａによりカム２４が回転するように構成することや、アクチュエータ２２の直線往復運動する軸によりカム２４が回転するように構成することも可能であり、このような構成に関する多様な実施形態は、公知の技術が利用できる。
【００３１】
また、カム２４の回転速度について説明すれば、コンタクタ５４と基板との設定されている設定間隔（接近距離）内ではゆっくりと進行し、この設定間隔から外れると急速に進行するようにし、基板の把持工程の全体的な処理時間は、概して同一にしながらも、コンタクタ５４の把持による基板の損傷を最小化するようにするためである。
【００３２】
また、結合部３０は、アクチュエータ２２の駆動軸２２ａが貫通し、この駆動軸２２ａを固着するように、カム２４と面接触して締結されるカムボス３２と、このカムボス３２とアクチュエータ２２間に、カバー４４と駆動軸２２ａの干渉を回避するように設置されるカムブッシュ３４ａやレンチ、ワッシャなどの締結補助部材３４とを含んで形成されている。
【００３３】
一方、本体部４０は、カム２４が回転可能なように内蔵されており、このカム２４とローラ５１が接触するように、グリッパ５０の一部が側方に挿入・装着されているボディ４２と、カム２４と結合部３０が内蔵されている位置が安定するように、ボディ４２と締結するカバー４４とを含んで形成されている。
【００３４】
ボディ４２には、図２，図３に示すように、中央部にカム２４を収容するための溝４２ａが形成されており、この溝４２ａは、挿入されるグリッパ５０の一部とボディフレーム４２ｂとの干渉が回避できるように、放射状に延長部位を形成したものが望ましく、カム２４の回転が円滑になるように、回転部材４２ｃがボディフレーム４２ｂに回転可能に装着されてカム２４と固着配置されている。
【００３５】
一方、グリッパ５０は、図４の分解斜視図に示すように、回転するカム２４の外縁と接触するローラ５１が装着されてボディ４２の内部に位置しているローラブラケット５２と、基板を把持するようにコンタクタ５４がボディ４２の外部に突出固定されて位置しているアーム５３と、ローラブラケット５２とアーム５３とが両端部にそれぞれ固着されてボディフレーム４２ｂの側部を貫通しているシャフト５５と、ローラブラケット５２とボディフレーム４２ｂとの間に位置し、シャフト５５が通過し、ローラ５１とカム２４とが密着するように設けられた弾性体５６とを含んで形成されている。
【００３６】
アーム５３は、その下面の一部が基板側に傾いており、基板がコンタクタ５４とアーム５３の下面との間に挟まれて把持される場合、基板を把持する局所部位がアーム５３の傾斜面を滑りながら固定位置に位置されることで、把持される基板の衝撃を緩和することができる。
【００３７】
また、グリッパ５０は、シャフト５５とボディフレーム４２ｂとの干渉が回避されるように、シャフト５５の一部がボディフレーム４２ｂに挿入・固定されており、シャフト５５が貫通しているスリーブ５７と、この固定されているスリーブ５７の先端部と往復運動するアーム５３の先端部との干渉を回避するように装着されたベローズ５８とを更に含んで形成されている。
【００３８】
次に、本発明に係る基板用グリッピング装置の他の実施形態について、図８及び図９，図１０，図１１を参照して説明する。これらの実施形態は、基板で実行される工程の処理前と処理後に利用されるグリッパを区分して作動するように案出したものであり、例えば洗浄工程前と後のグリッパを区別することによって、グリッパによる基板の汚染を防止することを意図するものである。以下、本発明による上記第１実施形態と同一の機能を果たす同一の構成要素については、同一の参照符合を付与し、その説明を省略する。
【００３９】
まず、図８及び図９に示す他の実施形態のグリッピング装置１０ａは、上・下部カム２４，２４ａと、この上・下部カム２４，２４ａとは個別に連動するように設置される２つのアクチュエータからなるカム駆動部２０ａから形成されており、各グリッパ５０に周方向に連続番号を付与した場合、上部カム２４には偶数番グリッパ５０のローラ５１が密着し、下部カム２４ａには奇数番グリッパ５０のローラ５１が密着するように配置されて形成されている。
【００４０】
アクチュエータ２６は、図９に示すように、内蔵されている２つのシリンダ２６ａ，２６ｂが、互いに重畳するように配置されている２つの駆動軸２６ｃ，２６ｄにそれぞれ連動するように装着されており、この２つの駆動軸２６ｃ，２６ｄは、それぞれ上部カム２４又は下部カム２４ａと連動するように配置されている。この時、１つの駆動軸２６ｃは上部カム２４の下側に位置し、上部カム２４と締結されるカムボス３２ａと結合することで、上部カム２４の回転を制御し、もう１つの駆動軸２６ｄは下部カム２４ａの下側に位置し、下部カム２４ａと締結されるフランジ３２ｂと結合することで、下部カム２４ａの回転を制御する。
【００４１】
また、上下グリッパ５０のローラ５１は、上部カム２４又は下部カム２４ａにそれぞれ密着するように、ローラブラケット５２ａの上側又は下側に偏った位置に配置するのが望ましい。
【００４２】
また、図１０に示す他の実施形態のグリッピング装置１０ｂは、２つのカム２４，２４ａが分離されて重畳配置されており、２つのカム２４，２４ａが１つのアクチュエータ２２により同時回転するように形成されている。また、カム２４，２４ａは、同一波形状のものが使用されているが、カム２４，２４ａの波形状の凹凸の傾斜が逆になるように装着されている。
【００４３】
また、図１１に示す他の実施形態のグリッピング装置１０ｃは、それぞれカムとアクチュエータからなる２組のカム駆動部２０，２０ｂが、それぞれ対称的に分離して配置される。即ち、図１のグリッピング装置１０に、新しいカム駆動部２０ｂが、予め装着されているカム駆動部２０の反対側に対称になるように装着される。この時カバー４４ａ及び結合部（図示せず）も更に具備・装着しなければならないのは当然のことである。
【００４４】
ここで、図８，図１０，図１１に示した他の実施形態のように、２つのカム２４，２４ａを配置する場合、それぞれのカム２４，２４ａが任意の偶数番又は奇数番のグリッパ５０のローラ５１と密着するように配置するのが望ましい。
【００４５】
アクチュエータ２２が、順・逆回転、回転角度、回転速度などの作動により偶数番のグリッパ５０が内向きに移動して基板を把持すると、基板の把持を解錠するように、奇数番のグリッパ５０は外向きに位置する。また、反対に、奇数番のグリッパ５０が内向きに移動して基板を把持すると、偶数番のグリッパ５０は外向きに位置する。即ち、奇数番と偶数番のグリッパ５０が交互に把持動作或いは把持解除動作を行うことになる。
【００４６】
更に、図８，図１０，図１１の実施形態では、グリッパ５０が図１の実施形態より約２倍の数が装着されるのが望ましく、例えば、図１の実施形態ではグリッパ５０が６本であるのに対し、他の実施形態では１２本である。また、図１１の実施形態のグリッパ５０は、カムとの連動が容易なようにジグザグ形状に配置することができ、この時、前記カムと密着するために偶数番又は奇数番のグリッパ５０に応じてローラ５１の大きさが調整されることで、上側又は下側に偏るように位置してローラブラケット５２に装着することができるし、偶数番のグリッパと奇数番のグリッパのアーム５３の上・下の長さが互いに異なるようにすることで、一定の高さに位置されている基板を把持することができる。
【００４７】
また、図８，図１０，図１１の実施形態の２つのカム２４，２４ａは、それぞれ基板の把持、再把持に使用されるものであり、時間差をおいて個別に機能することは説明するまでもなく、当然である。
【００４８】
一方、各グリッパ５０は、基板の把持状態或いは把持状態を解錠する際のそれぞれの動作が全ての実施形態において共通するが、該当カムにより同時に動作し、同一の進行方向、進行速度、進行距離なども一緒である。
【００４９】
ここで、カムの外縁に形成された凹凸に関して説明を加えると、この凹凸はグリッパの一端部が密着してカムが回転することによりグリッパが直線運動するように設けられたものであり、この凹凸の構成のカムとは異なり、図面に示さなかったが、カムの周辺部の上面又は下面に溝を形成し、この溝にグリッパの一端部がスライドするように挟まれた構成とすることもできる。本実施形態では、カムの回転運動によりグリッパが直線運動を行うようにする一例を記載したものであって、このような実施形態は、既に公知の多様な技術を利用することができるのは当然のことである。
【００５０】
以下、本実施形態による基板用グリッピング装置の作用を簡略に説明する。
【００５１】
まず、図１の実施形態を参照して説明すると、グリッピング装置１０に載置する、又は載置している基板を把持するためにボディ４２のほぼ中央部に基板が位置されると、アクチュエータ２２が作動してカム２４が水平回転する。このカム２４の可変する回転角度及び回転速度により各グリッパ５０は、進行速度の制御を行いながら内向きに移動し、グリッパ５０の外側端部に装着されているコンタクタ５４とアーム５３との間に、基板の最小周辺部が接触して把持される。
【００５２】
このようにして把持された基板が、処理工程のために所定の場所に位置すると、アクチュエータ２２が作動してカム２４が水平逆回転し、各グリッパ５０は外向きに移動して基板の把持状態が解除される。この状態で基板は所定の処理工程が施される。
【００５３】
上記処理工程の後に基板は、グリッピング装置１０により再把持される。この動作は把持動作と同じである。
【００５４】
一方、図８，図１０，図１１の実施形態について説明すれば、図１での動作とほぼ似ているが、アクチュエータ２２とカム２４の構成の差によるグリッパ５０の作動関係において差がある。これは根本的な差が、所定の工程が実行される基板の把持する際に、区分されているグリッパ５０を使用するためで、以下、各実施形態の差について説明する。
【００５５】
まず、図８の実施形態では、基板が工程前に把持される場合、１つのアクチュエータ２６ａが作動して上部カム２４が回転し、この上部カム２４に密着している偶数番の各グリッパ５０が内向きに移動して基板を把持し、この時、下部カム２４ａと密着している奇数番の各グリッパ５０は外向きに位置する。
【００５６】
また、処理工程の後、基板が再把持される場合、他のアクチュエータ２６ｂが作動して、下部カム２４ａが回転し、この下部カム２４ａに密着している奇数番の各グリッパ５０が内向きに移動して基板を把持し、この時、上部カム２４と密着している偶数番の各グリッパ５０は外向きに位置する。
【００５７】
これ以外の他の動作は、対のカム２４とアクチュエータ２２で構成されているグリッピング装置１０の動作と同じである。
【００５８】
一方、図１０の実施形態では、処理工程前に基板が把持される場合、１つのアクチュエータ２２が作動し、カムの波形状が逆に装着された上・下部カム２４，２４ａは、それぞれ順回転及び逆回転して、上部カム２４と密着している偶数番の各グリッパ５０が内向きに移動して基板を把持すると同時に、下部カム２４ａと密着している奇数番の各グリッパ５０は外向きに移動して位置する。
【００５９】
また、処理工程の後、基板が再把持される場合、上・下部カム２４，２４ａが、それぞれ逆回転及び順回転し、上部カム２４と密着している偶数番の各グリッパ５０が外向きに移動して位置すると同時に、下部カム２４ａと密着している奇数番の各グリッパ５０は内向きに移動して薄板型の物を再把持する。
【００６０】
これ以外の他の動作は、対のカム２４とアクチュエータ２２で構成されているグリッピング装置１０の動作と同じである。
【００６１】
一方、図１１の実施形態では、基板が処理工程前に把持される場合と処理工程後に把持される場合に、それぞれ上側又は下側のアクチュエータが別途に作動し、これにより各カム及びこのカムに密着している偶数番又は奇数番のグリッパは、区分されている各機能に応じて作動し、基板を把持する。
【００６２】
また、図８，図１０，図１１の実施形態でも、前記カム２４の外縁に形成されている凹凸２４’の形状に応じて、即ち、図５の場合のように、カム２４が把持又は解除のために、順回転及び逆回転が交互に行われることもあり、図６の場合のように、カム２４が把持又は解除のために、一方向に回転が行われることもある。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明に係る基板用グリッピング装置の第１実施形態を示す概略斜視図である。
【図２】第１実施形態の基板用グリッパ装置を示した分解斜視図である。
【図３】第１実施形態のボディを示した斜視図である。
【図４】第１実施形態のグリッパを示した分解斜視図である。
【図５】第１実施形態のカムを示した平面図である。
【図６】カムの他の形態を示す平面図である。
【図７】第１実施形態のカムボスを示した斜視図である。
【図８】本発明の第２実施形態による基板型グリッピング装置を概略斜視図である。
【図９】第２実施形態の要部平面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態による基板型グリッピング装置を概略斜視図である。
【図１１】本発明の第４実施形態による基板型グリッピング装置を概略斜視図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０  グリッピング装置
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  グリッピング装置
２０，２０ａ  カム駆動部
２２  アクチュエータ
２４，２４ａ  カム
３０  結合部
３２  カムボス
４０  本体部
４２  ボディ
４２ａ  溝
４４  カバー
５０  グリッパ
５１  ローラ
５２  ローラブラケット
５３  アーム
５４  コンタクト
５５  シャフト
５６  弾性体
５７  スリーブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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