(57)【要約】【課題】  インクジェットヘッドの吐出面に付着した溶液の除去性能を向上させて、溶液の吐出を安定させること。【解決手段】  基板Ｗに溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズル１４を有するヘッド７を備えたインクジェット塗布装置１０において、複数のノズル１４が開口するヘッド７の吐出面５に沿う清掃方向に対して傾斜配置された弾性ブレード３０と、ヘッド７と弾性ブレード３０のいずれか一方を他方に対して清掃方向に移動させる移動装置３１と、弾性ブレード３０を洗浄する洗浄装置３２を有するもの。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッドを備えたインクジェット塗布装置において、
前記複数のノズルが開口する前記ヘッドの吐出面に沿う清掃方向に対して傾斜配置された弾性ブレードと、
該ヘッドと該弾性ブレードのいずれか一方を他方に対して前記清掃方向に移動させる移動装置と、
該弾性ブレードを洗浄する洗浄装置を有することを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記清掃方向に直交する回転軸を中心に前記弾性ブレードを間欠回転する間欠回転機構を有し、
該間欠回転機構は該弾性ブレードを前記ヘッドの吐出面側と対向する第１の位置から前記洗浄装置と対向する第２の位置に移動させる請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
前記洗浄装置は前記間欠回転機構の回転軸の下方に溶剤を貯溜した洗浄槽を有し、
前記弾性ブレードは前記間欠回転機構の第２の位置で該洗浄槽に浸漬される請求項２に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項４】
前記間欠回転機構は前記弾性ブレードを前記第２の位置と前記第１の位置との間であって前記弾性ブレートが前記溶剤中から離脱する第３の位置に移動させる請求項３に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項５】
前記弾性ブレードは、前記ヘッドの吐出面に溶剤を吐出する吐出孔を有する請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット塗布装置。
【請求項６】
基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッドの吐出面を清掃するインクジェットヘッドのクリーニング方法において、
前記ヘッドの吐出面に沿う清掃方向に対して弾性ブレードを傾斜配置し、
該弾性ブレードにて該ヘッドの吐出面を清掃し、
該吐出面を清掃した該弾性ブレードを洗浄装置で洗浄することを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【請求項７】
前記弾性ブレードを、前記清掃方向に直交する回転軸を中心に回転させて、前記ヘッドの吐出面を清掃する第１の位置から前記洗浄装置で洗浄する第２の位置に移動させる請求項６に記載のインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【請求項８】
前記弾性ブレードが前記回転軸の直下に位置する下限位置にて、該弾性ブレードを前記洗浄装置の洗浄槽内の溶剤にて洗浄し、該下限位置から更に90度回転した位置にて待機させる請求項７に記載のインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【請求項９】
前記弾性ブレードは、前記ヘッドの吐出面に溶剤を吐出する吐出孔を有し、該ヘッドの吐出面に対して前記溶剤を吐出させながら前記弾性ブレードによる清掃を行なう請求項６〜８のいずれかに記載のインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布するインクジェットヘッド塗布装置及びインクジェットヘッドを清掃するインクジェットヘッドのクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パターンを形成するための成膜プロセスがある。この成膜プロセスでは、基板の板面に例えば配向膜やレジストなどの機能性薄膜が形成される。
【０００３】
基板に機能性薄膜を形成する場合、この機能性薄膜を形成する溶液をノズルから噴射して基板の板面に塗布するインクジェット方式の塗布装置が用いられることがある。
【０００４】
特許文献１には、インクジェットヘッド方式で溶液を基板上に噴射塗布するヘッドを備えた塗布装置が開示されている。ヘッドはヘッド本体を備え、ヘッド本体の下面開口は可撓板によって閉塞され、可撓板はノズルプレートによって覆われ、ノズルプレートと可撓板との間に液室が形成されている。ノズルプレートには、基板の移動方向に直交する方向に沿って複数のノズルが穿設されている。ノズルから溶液が、搬送される基板の上面に噴射塗布される。
【０００５】
そして、特許文献１の図５には、ゴム等の弾性材からなるブレード状のワイピング部材をノズルプレートの吐出面に接触させ、その状態でワイピング部材を移動させて、ノズルプレートの吐出面に付着した溶液を除去するものが示されている。
【特許文献１】特開2004-223394
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の図５に示すものは、平板状の弾性ブレードからなるワイピング部材を、ワイピング部材の移動方向に対して直角に交差する方向に配置している。その結果、ワイピング部材の前進時には、ヘッドの吐出面に付着した溶液は、横方向へはあまり流れないで、前方に押し出される。ヘッドの吐出面に付着した溶液を専ら前方に押し出すことにより、ワイピング部材の先端部が挫屈して、ヘッドの吐出面とワイピング部材の接触状態が変化することがある。その結果、溶液が完全に拭き取れずに僅かに吐出面に残る場合がある。この拭き取った溶液が時間の経過に伴い、ノズルプレートの吐出面で固着状態となる。このように、僅かに残った溶液の固着現象の繰り返しにより、固着した溶液の堆積が進行するとヘッドの吐出面を清浄に拭き取ることができなくなり、ノズルが目詰まりして溶液の塗布抜け等が発生し、溶液の吐出が安定しなくなる。
【０００７】
本発明の課題は、インクジェットヘッドの吐出面に付着した溶液の除去性能を向上させて、溶液の吐出を安定させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッドを備えたインクジェット塗布装置において、前記複数のノズルが開口する前記ヘッドの吐出面に沿う清掃方向に対して傾斜配置された弾性ブレードと、該ヘッドと該弾性ブレードのいずれか一方を他方に対して前記清掃方向に移動させる移動装置と、該弾性ブレードを洗浄する洗浄装置を有するものである。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、ヘッドの清掃方向に直交する回転軸を中心に弾性ブレードを間欠回転する間欠回転機構を有し、間欠回転機構は弾性ブレードをヘッドの吐出面側と対向する第１の位置から洗浄装置と対向する第２の位置に移動させるものである。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項２の発明において更に、洗浄装置は間欠回転機構の回転軸の下方に溶剤を貯溜した洗浄槽を有し、弾性ブレードは間欠回転機構の第２の位置で洗浄槽に浸漬されるものである。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項３の発明において更に、前記間欠回転機構は前記弾性ブレードを前記第２の位置と前記第１の位置との間であって前記弾性ブレートが前記溶剤中から離脱する第３の位置に移動させるものである。
【００１２】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかの発明において更に、弾性ブレードは、ヘッドの吐出面に溶剤を吐出する吐出孔を有するものである。
【００１３】
請求項６の発明は、基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッドの吐出面を清掃するインクジェットヘッドのクリーニング方法において、ヘッドの吐出面に沿う清掃方向に対して弾性ブレードを傾斜配置し、弾性ブレードにてヘッドの吐出面を清掃し、吐出面を清掃した弾性ブレードを洗浄装置で洗浄するものである。
【００１４】
請求項７の発明は、請求項６の発明において更に、弾性ブレードを、清掃方向に直交する回転軸を中心に回転させて、ヘッドの吐出面を清掃する第１の位置から洗浄装置で洗浄する第２の位置に移動させるものである。
【００１５】
請求項８の発明は、請求項７の発明において更に、前記弾性ブレードが前記回転軸の直下に位置する下限位置にて、該弾性ブレードを前記洗浄装置の洗浄槽内の溶剤にて洗浄し、該下限位置から更に90度回転した位置にて待機させるものである。
【００１６】
請求項９の発明は、請求項６〜８のいずれかの発明において更に、弾性ブレードは、ヘッドの吐出面に溶剤を吐出する吐出孔を有し、ヘッドの吐出面に対して溶剤を吐出させながら弾性ブレードによる清掃を行なうものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ヘッドの吐出面に沿う清掃方向に対して弾性ブレードが傾斜配置され、ヘッドと弾性ブレードのいずれか一方を他方に対して清掃方向に移動させるので、弾性ブレードがヘッドの吐出面に沿って移動するに従い、弾性ブレードがヘッドの吐出面に付着した溶液を弾性ブレードの傾斜面に沿って横後方へ押し流す。その結果、従来技術の如く、弾性ブレードの移動方向の前面に溶液が滞留して弾性ブレードが挫屈し、溶液がヘッドの吐出面に残ることを少なくできる。
【００１８】
また、弾性ブレードの移動方向前方に位置する前端部から、弾性ブレードの傾斜面に沿って横後方へ溶液を順次押し退けることにより、清掃方向の終端側のヘッドの側面に溶液が付着することを減少できる。
【００１９】
また、インクジェットヘッド塗布装置は、インクジェットヘッドの吐出面に付着した溶液を拭き取った弾性ブレードを溶解する洗浄装置を有するので、ヘッドの吐出面を拭き取った後、弾性ブレードに付着した溶液を溶解して除去することができる。その結果、ヘッドを拭き取った後、弾性ブレードには溶液が残っていないので、次回の拭き取り時に、逆に、弾性ブレード自体がヘッドの吐出面に溶液を付着するようなことがない。従って、インクジェットヘッドの吐出面に付着した溶液の拭き取り状態を向上させて、溶液の吐出を安定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は実施例１のインクジェット塗布装置を示す正面図、図２はインクジェットヘッドの正面の断面図、図３はインクジェットヘッドの下面図、図４は図１の塗布装置の要部の上部を示す模式図、図５は取付ブロックを示し、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線の断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線の断面図、図６は弾性ブレードを示し、（Ａ）は弾性ブレードの一部正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線の断面図、図７は弾性ブレードの取付高さ設定用の治具を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は取付け状態を示す模式図、図８は洗浄槽の一側面の模式図、図９は間欠回転機構の回転位置を示し、（Ａ）は第１の位置を示す模式図、（Ｂ）は第２の位置を示す模式図、（Ｃ）は第３の位置を示す模式図、図１０はヘッドの吐出面の清掃行程を示す模式図で、（Ａ）は清掃行程の開始段階を示す模式図、（Ｂ）は清掃行程の中段階を示す模式図、（Ｃ）は清掃行程の終了段階を示す模式図、図１１は実施例２を示し、（Ａ）はヘッドの吐出面の清掃を示す模式図、（Ｂ）は弾性ブレードの先端面の模式図、図１２は実施例３を示す模式図である。
【実施例】
【００２１】
（実施例１）
以下、図面を参照しながらこの発明の一実施例を説明する。
図１に示すこの発明の溶液のインクジェット塗布装置１０はベ一ス１を有する。べ一ス１の上面には所定間隔で離間した一対のレール２がベ一ス１の長手方向に沿って敷設されている。上記レール２には搬送テーブル３が走行可能に設けられ、不図示の駆動源によって走行駆動されるようになっている。搬送テーブル３の上面には多数の支持ピン４が設けられ、これら支持ピン４には例えば液晶表示装置に用いられるガラス製の基板Ｗが供給支持される。
【００２２】
上記搬送テーブル３とともに駆動される基板Ｗの上方には、上記基板Ｗに配向膜やレジストなどの機能性薄膜を形成するための溶液、例えばポリイミド溶液をインクジェット方式で噴射塗布する複数のヘッド７、この実施例では６つのヘッド７が、図１、図４に示すように、基板Ｗの移動方向（図１、図４の矢印Ｓ）に間隔（Ｄ）を置いて２列に配設され、各列には、それぞれ３つのヘッド７が基板Ｗの移動方向Ｓと直交する方向に沿って、図４に示すように、間隔（Ｐ）をおいて配設されている。一方の列のヘッド７は他方の列のヘッド７の中間に位置して、一方の列のヘッド７の端部と隣り合う他方の列のヘッド７の端部は基板Ｗの移動方向Ｓから見て、僅かに重なった状態で配置されている。
【００２３】
上記ヘッド７は図２に示すようにヘッド本体８を備えている。ヘッド本体８は筒状に形成され、その下面開口は可撓板９によって閉塞されている。この可撓板９はノズルプレート１１によって覆われており、このノズルプレート１１と上記可撓板９との間に複数の液室１２が形成されている。
【００２４】
各液室１２は、ノズルプレート１１内に形成された主管１１Ａに対し、それぞれ不図示の枝管を介して連通される。主管１１Ａは、一端が後述する供給孔１３に接続され、他端が後述する回収孔１７に接続される。これにより、主管１１Ａは、液室１２内を供給孔１３から供給される溶液で満たすことができるようになっている。
【００２５】
上記ヘッド本体８の長手方向一端部には主管１１Ａの一端に連通する供給孔１３が形成されている。この供給孔１３からは例えば配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成する溶液が供給される。それによって、上記液室１２内は溶液で満たされるようになっている。
【００２６】
図３に示すように、ノズルプレート１１には、基板Ｗの移動方向Ｓに直交する方向に沿って複数のノズル１４からなる２つのノズル列１８Ａ、１８Ｂが並列に形成されている。各列１８Ａ、１８Ｂのノズル１４は互いに等ピッチとなるように、一方の列１８Ａのノズル１４は他方の列１８Ｂのノズル１４の中間（ノズル列１８Ａ、１８Ｂのノズル１４のピッチの半分の位置）に位置している。ノズルプレート１１の表面は上記複数のノズル１４が開口する平坦な吐出面５を形成している。ヘッド７は吐出面５を下側にして、吐出面５が基板に対して平行となる状態で配設される。上記可撓板９の上面には、図２に示すように上記各ノズル１４にそれぞれ対向して複数の圧電素子１５が設けられている。
【００２７】
また、液室５５も、各ノズル５６にそれぞれ一対一に対応して設けられる。
【００２８】
各圧電素子１５は上記ヘッド本体８内に設けられた駆動部１６によって駆動電圧が供給される。それによって、圧電素子１５は伸縮し、可撓板９を部分的に変形させるから、その圧電素子１５に対向位置するノズル１４から溶液が搬送される基板Ｗの上面に噴射塗布される。
【００２９】
尚、上述したように、一方の列のヘッド７の端部と他方の列のヘッド７の端部は、移動方向Ｓから見て互いに重なり合うように配置されている。これにより、移動方向Ｓから見て隣接して位置するヘッド７間の隣接する各端部に設けられたノズル１４間の間隔を各ノズル列１８Ａ、１８Ｂにおけるノズル１４のピッチの半分と等しくすることができる。従って、６つのヘッド７によって溶液を移動方向Ｓに直交する方向に沿って直線上に噴射塗布したときに、噴射塗布された溶液によって形成されるドットを、その直線上において等ピッチ（各ノズル列１８Ａ、１８Ｂにおけるノズルの半分のピッチ）に配置することができる。
【００３０】
図２に示すように、上記ヘッド本体８の長手方向の他端部には上記液室１２に連通する回収孔１７が形成されている。供給孔１３から液室１２に供給された溶液は、上記回収孔１７から回収することができるようになっている。即ち、上記ヘッド７は上記液室１２に供給された溶液をノズル１４から噴射させるだけでなく、主管１１Ａを通じて上記回収孔１７から回収することが可能となっている。
【００３１】
図１に示すように、搬送テーブル３の移動方向の前面部には、以下に説明するように、上記インクジェットヘッド７の吐出面５に付着した溶液を清掃する弾性ブレード３０と、その移動装置３１と、弾性ブレード３０に付着した溶液を洗浄するための洗浄装置３２と、図９に示すように、弾性ブレード３０をヘッド７の吐出面５側に対向する位置と洗浄装置３２の洗浄槽４２に対向する位置に移動させる間欠回転機構３３（図４、図８）が設けられる。
【００３２】
（移動装置３１）
上記搬送テーブル３の前端面には、以下に述べる如く、スライドテーブル３６と上下シリンダ４０からなる移動装置３１が設けられる。
【００３３】
図１に示すように、側面形状がＬ字状の取付部材３４が垂直な一辺を上記搬送テーブル３の端面に固定して設けられている。この取付部材３４の水平な他辺には２本のスライドガイド３５が上記基板Ｗの移動方向Ｓ（ヘッド７の吐出面５の清掃方向）に沿って敷設され、モータ３７駆動のスライドテーブル３６がスライドガイド３５上を左右方向に移動可能に設けられる。尚、スライドガイド３５とスライドテーブル３６の代わりに、搬送テーブル３を移動させても良い。
【００３４】
スライドテーブル３６上には上下シリンダ４０が設けられ、上下シリンダ４０のピストンロッド４１の上端部に洗浄槽４２が昇降可能に設けられる。洗浄槽４２はピストンロッド４１の上端部に固定されている。
【００３５】
（洗浄装置３２）
上下シリンダの上部には、以下に述べる如く、洗浄槽４２と、洗浄槽４２に回転軸４４を介して固定された弾性ブレード３０取付用の取付ブロック４５と、取付ブロック４５をヘッド７の清掃位置と弾性ブレードの洗浄位置に移動させる間欠回転機構３３を有してなる洗浄装置３２が設けられる。
【００３６】
洗浄槽４２は、図４に示すように、基板Ｗの移動方向Ｓと直交する前後方向に長い箱型の形状をなし、上方を開放している。洗浄槽４２の下部には塗布液を溶解する溶媒としての溶剤４３が一定の液面レベルで貯溜されている。
【００３７】
洗浄槽４２の上部には、図４に示すように、２本の回転軸４４、４４が、その両端部を洗浄槽４２の前後両側の側壁部４２Ａ（一側のみ示す）に軸受を介して支持されている。２本の回転軸４４、４４は上記基板Ｗの移動方向Ｓに直交し、上記基板Ｗの移動方向Ｓに２列に配設されたヘッド７と同一の間隔（Ｄ）を置いて設けられている。
【００３８】
各回転軸４４、４４には、図４、図５に示すように、概ね、四角柱体状の３つの取付ブロック４５がそれぞれ固定される。取付ブロック４５は、図５に示すように、一対のブロック体４５Ａ、４５Ｂからなり、それぞれ上記回転軸４４、４４に嵌合する半円状の嵌合部４５Ｃ、４５Ｄが長手方向に形成され、一対のブロック体４５Ａ、４５Ｂは４つのボルト５０にて回転軸４４、４４上に固定される。３つの取付ブロック４５は、図４に示すように、それぞれ上記３つのヘッド７に対応して上記ヘッド７の取付間隔（Ｐ）に対応する間隔（Ｐ）で固定される。取付ブロック４５には弾性ブレード３０が取付けられる。
【００３９】
図５（Ｃ）の側面図に示すように、上側の一方のブロック体４５Ａは、矢印Ｓで示す基板の移動方向に面する前面側が削切されて、弾性ブレード３０を取付けるための垂直な取付面５１が長手方向に沿って形成される。取付面５１面は基板Ｗの移動方向Ｓに対して傾斜しており、（Ａ）の上面図に示すように、両側の短辺部と交差して、取付面５１の一辺５１Ａが他辺５１Ｂよりも移動方向に長い傾斜面となっている。
【００４０】
ブロック体４５Ａ、４５Ｂの取付面５１には弾性ブレード３０が取付けられる。弾性ブレード３０は、図５（Ｃ）、図６に示すように、金属製の固定板５２と、固定板５２に一体に成形されたゴム等の弾性部材５３からなる。弾性ブレード３０は、全体として、幅が長い扁平な形状をしている。弾性部材５３は固定板５２の両側面に一体に成形された基部５３Ａと、基部５３Ａから先端に向かって漸次厚みが小さくなる接続部５３Ｂと、接続部５３Ｂに連設する先端部５３Ｃとからなる。先端部５３Ｃは所定の高さにわたり厚みが一定で、先端面は平坦に形成され、上記ヘッド７の吐出面５に接触する。
【００４１】
固定板５２の長手方向の両側部に、図６に示すように、高さ方向に長い２つの長孔５２Ａが形成され、この長孔５２Ａの周縁部は弾性部材５３が成形されないで、固定板５２が露出している。図５（Ａ）に示すように、２つの長孔５２Ａにそれぞれボルト５４が挿入され、弾性ブレード３０がブロック体４５Ａの傾斜した取付面５１に取付けられる。
【００４２】
弾性ブレード３０は、基板Ｗの移動方向Ｓに対して傾斜して取付ブロック４５に取付けられるので、弾性ブレード３０は、図１０に示すように、上記ヘッド７の吐出面５に対しても基板Ｗの移動方向Ｓに対して傾斜した状態となり、弾性ブレード３０の移動方向の前面側は移動方向Ｓに対する傾斜面３０Ａとなっている。
【００４３】
弾性ブレード３０を取付ける上記一方のブロック体４５Ａには、図５（Ａ）に示すように、上記取付面５１の反対側面に、長手方向の両側に２つの孔５５、５５が形成されている。この２つの孔５５、５５には、図７に示すように、側面形状がＬ字状の治具５７の垂直な一辺に設けた２つのピン６０が挿入される。この治具の水平な他辺は弾性ブレード３０の取付面５１に対する取付高さを設定して、上記ヘッド７の吐出面５に対する弾性ブレード３０の接触高さを設定する。
【００４４】
尚、図７（Ｂ）に示すように、回転軸４４、４４には回転軸４４、４４に対する取付ブロック４５の位置決め用のピン６１が設けられている。このピン６１に取付ブロック４５に形成された孔６２を嵌め込むと、回転軸４４、４４に対する取付ブロック４５の位置が決まり、更に取付ブロック４５とヘッド７との相対位置が決まるように、ピンが回転軸４４、４４に固定されている。
【００４５】
（間欠回転機構３３）
上記弾性ブレード３０を取付けた取付ブロック４５は以下に述べる間欠回転機構３３により、間欠回転される。
【００４６】
図４、図８に示すように、取付ブロック４５を固定した回転軸４４、４４の一側には、それぞれギア６３、６３が固定され、これらの２つのギア６３、６３はこれらの２つのギア６３、６３より小径のアイドルギア６４を介して駆動ギア６５に連結される。駆動ギア６５は不図示のサーボモータの回転軸６６に固定されている。サーボモータは回転軸４４（以下、一方の回転軸についてのみ説明する）を間欠回転させて、弾性ブレード３０を図９（Ａ）に示すように、回転軸４４の真上の上限位置（第１の位置）と、第１の位置から時計方向に180度回転した、図９（Ｂ）に示すように、回転軸４４の真下の下限位置（第２の位置）と、第２の位置から更に時計方向に90度回転した、図９（Ｃ）に示すように、第２の位置と第１の位置との間であって弾性ブレード３０が溶剤４３中から離脱する位置（第３の位置）に停止させる。
【００４７】
第１の位置では、弾性ブレード３０が上記ヘッド７の吐出面５側に対向する。第２の位置では、弾性ブレード３０が洗浄装置３２の洗浄槽４２と対向して弾性ブレード３０の先端部５３Ｃが洗浄槽４２内の溶剤４３中に浸漬する。弾性ブレード３０に付着した溶液は洗浄槽４２内に貯溜された溶剤４３によって溶解される。この溶解工程においてはヘッド７に付着した溶液の溶解を促進させるために、回転軸４４を一定角度揺動させるようにすることもできる。
【００４８】
第２の位置から更に90度回転した第３の位置では、間欠回転機構３３は一定の時間待機して弾性ブレード３０に付着した溶液を乾燥させる。乾燥は自然乾燥でも良いし、エア、窒素ガス等を吹付けて溶剤４３の乾燥を促進することも可能である。この第３の位置では、取付ブロック４５の取付面５１が上方に面し、弾性ブレード３０の取付面５１は上下方向に傾斜することになる。その結果、弾性ブレード３０面上に付着した溶剤４３は、図９（Ｃ）に示すように、低い方の手前側へ流れる。弾性ブレード３０が上下に傾斜しているために溶剤４３が流れ易くなり溶剤４３の乾燥時間が短縮されるともに、乾燥効率が向上する。
【００４９】
ついで、乾燥が終了すると、不図示のサーボモータは回転軸４４、４４を間欠回転させて、上記第３の位置から第１の位置に回転し、再度弾性ブレード３０が上記ヘッド７の吐出面５側に対向する位置に戻る。
【００５０】
次に、上記構成のインクジェット塗布装置１０によって基板Ｗに溶液を噴射塗布する前に、ヘッド７の吐出面５の清掃を行なう手順について説明する。
【００５１】
図１は、ベース１上に敷設されたレール２の左側の移動端に搬送テーブル３が移動して停止した状態を示す。また、Ｌ字状の取付部材３４に取付けられた移動装置３１のスライドテーブル３６は、左端の移動端で停止している。
【００５２】
この状態で、弾性ブレード３０は、移動方向Ｓにおいてヘッド７の手前の位置に位置付けられる。
【００５３】
この状態から、上記移動装置３１のスライドテーブル３６上に固定された上下シリンダ４０が駆動され、上下シリンダ４０のピストンロッド４１が伸張して洗浄槽４２を上昇させる。洗浄槽４２が上昇すると、洗浄槽４２に支持されている回転軸４４、４４と弾性ブレード３０の取付ブロック４５が一体に上昇する（図１に示す状態）。この状態において、弾性ブレード３０の先端面は、後述する清掃工程においてヘッド７の吐出面５に確実に当接することができるように、吐出面５よりも上方に位置される。
【００５４】
ついで、Ｌ字状の取付部材３４上に設けられた移動装置３１のモータ３７が駆動され、スライドテーブル３６がスライドガイド３５上を、図１に示す状態から右方向に移動して各ヘッド７の吐出面５を清掃する。弾性ブレード３０は基板Ｗの移動方向（清掃方向）Ｓに対して傾斜して取付ブロック４５に取付けられているので、図１０（Ａ）に示すように、清掃行程の開始段階では、基板Ｗの清掃方向Ｓに対して傾斜配置された弾性ブレード３０の清掃方向の前方に位置する前端部側の部分がヘッド７のノズルプレートの吐出面５に先に接触を開始する。図１０（Ｂ）に示すように、弾性ブレード３０の先端部５３Ｃの先端面がヘッド７の吐出面５に沿って移動し、吐出面５に付着した溶液を拭き取ってヘッド７の吐出面５を清掃する。清掃行程の終了段階では、図１０（Ｃ）に示すように、弾性ブレード３０の後端部側の部分のみがヘッド７の吐出面５に接触している。
【００５５】
ついで、清掃行程の終端、即ち、弾性ブレード３０がヘッド７の前方に移動して、弾性ブレード３０の後端部がヘッド７の吐出面５から離れたところで、スライドテーブル３６が移動を停止する。
【００５６】
スライドテーブル３６が停止すると、上下シリンダ４０のピストンロッド４１が収縮し、洗浄槽４２に回転軸４４、４４を介して固定されている弾性ブレード３０の取付ブロック４５が一体に下降する。この後、スライドテーブル３６を左側の移動端に移動させる。
【００５７】
以上のように、上下シリンダ４０とスライドテーブル３６からなる移動装置３１は、弾性ブレード３０の先端部５３Ｃを上昇させ、次いで、弾性ブレード３０の先端部５３Ｃをヘッド７の吐出面５に沿って移動させて、ヘッド７の吐出面５を清掃し、次いで、弾性ブレード３０の先端部５３Ｃがヘッド７の吐出面５の前方に移動して清掃が終了すると弾性ブレード３０をもとの位置まで下降させることにより、ヘッド７の吐出面５に付着した溶液を清掃する。尚、清掃方向の終端位置から弾性ブレード３０の先端部５３Ｃをそのまま移動方向に後退させて、後退時にも、ヘッド７の吐出面５を清掃するようにしても良い。
【００５８】
間欠回転機構３３は上記弾性ブレード３０を取付けた取付ブロック４５を以下のように間欠回転して上記弾性ブレード３０に付着した溶液を洗浄する。
【００５９】
上記ヘッド７の吐出面５の上記清掃行程の終端では、弾性ブレード３０はヘッド７の吐出面５側に対向する第１の位置にある。
【００６０】
この状態から、間欠回転機構３３が駆動されて、回転軸４４が時計方向に180度回転すると、弾性ブレード３０は上記洗浄槽４２と対向する第２の位置に移動される。弾性ブレード３０の先端部５３Ｃが洗浄槽４２内の溶剤４３に浸漬して、弾性ブレード３０に付着した溶液は洗浄槽４２内に貯溜された溶剤４３で溶解される。
【００６１】
この第２の位置から、回転軸４４を時計方向に更に時計方向に90度回転させて、弾性ブレード３０を第３の位置に移動させる。この第３の位置では弾性ブレード３０に付着した溶剤４３を乾燥させる。この第３の位置では、弾性ブレード３０は上下に傾斜しているので、第２の位置で弾性ブレード３０に付着した溶液が弾性ブレード３０の傾斜面３０Ａに沿って流れ落ちる。
【００６２】
ついで、第３の位置から時計方向に90度回転して上記第１の位置に戻る。
【００６３】
以上のように、弾性ブレード３０はヘッド７の吐出面５の清掃→吐出面５に付着した溶液の溶解→弾性ブレード３０に付着した溶液の乾燥→ヘッド７の吐出面５の清掃を間欠的に繰り返す。
【００６４】
ヘッド７の清掃が終了すると、図１、図４に示すように、搬送テーブル３は更に、右方向に移動して、複数のヘッド７が搬送テーブル３上の基板Ｗ上に位置するまで移動する。この位置から更に搬送テーブル３が右方向に移動しながら、複数のヘッド７が基板Ｗ上に溶液を噴射塗布する。
【００６５】
基板Ｗ上への溶液の噴射塗布を終えたならば、搬送テーブル３は左方向に移動して、図１に示す左側の移動端に戻る。
【００６６】
尚、上述の弾性ブレード３０に付着した溶液を洗浄する工程は、溶液を基板Ｗ上に噴射塗布する工程と並行して行なうようにしても良い。
【００６７】
また、基板Ｗに対して溶液を噴射塗布する工程は、搬送テーブル３の右方向への移動と左方向への移動との往復動作によって行なうようにしても良い。
【００６８】
本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)インクジェット塗布装置によれば、ヘッド７の吐出面５に沿う清掃方向に対して傾斜配置された弾性ブレード３０と、弾性ブレード３０を清掃方向に移動させる移動装置３１を有するので、弾性ブレード３０がヘッド７の吐出面５に沿って移動するに従い、ヘッド７の吐出面５に付着した溶液の弾性ブレード３０の傾斜方向３０Ａに沿う清掃方向後方、つまり、横後方向への流れを発生させる。そして、弾性ブレード３０が弾性ブレード３０の傾斜面３０Ａに沿って溶液を横後方へ押し流し、弾性ブレード３０の後端部から洗浄槽４２に落下させる。その結果、従来技術の如く、弾性ブレード３０の前面に溶液が滞留して弾性ブレード３０が挫屈し、溶液がヘッド７の吐出面５に残ることを減少できる。
【００６９】
(b)弾性ブレード３０の傾斜面３０Ａに沿って横後方へ溶液を順次押し退けることにより、清掃方向の終端側のヘッド７の側面に溶液が付着することを防止できる。即ち、吐出面５に付着した溶液は、弾性ブレード３０の移動に従い、吐出面５上を弾性ブレード３０の傾斜面３０Ａに沿う横後方へと移動して、弾性ブレード３０の横後方の端部へと集められる。溶液は、集合することでその重さが増すので、増した重さによって吐出面５から引き離され、弾性ブレード３０を伝って洗浄槽へと落下する。
【００７０】
このように、溶液は、ヘッド７の側面に付着する前に落下するので、掻き取った溶液が再び吐出面５に付着することが防止され、溶液の除去性能を向上させることができる。
【００７１】
(c)インクジェット塗布装置１０は、清掃によって弾性ブレード３０に付着した溶液を溶解する洗浄装置３２を有するので、ヘッド７の吐出面５を拭き取った後、弾性ブレード３０に付着した溶液を溶解して除去することができる。ヘッド７を清掃した後、弾性ブレード３０には溶液が残っていないので、次回の清掃時に、弾性ブレード３０自体がヘッド７の吐出面５に溶液を付着させることがない。従って、インクジェットヘッド７の吐出面５に付着した溶液の除去性能を向上させて、溶液の吐出を安定させることができる。
【００７２】
(d)弾性ブレード３０を清掃方向に対して傾斜配置したので、弾性ブレード３０は、ノズルプレート１１の吐出面５と清掃方向の前方に位置する前端部から接触するので、弾性ブレード３０は吐出面５と接触した前端部側の部分から徐々に撓む。その結果、従来の如く、清掃の開始時に弾性ブレード３０全体がヘッド７に一度に接触するものに比べて、清掃の開始時に、弾性ブレード３０に急激に機械的抵抗が作用することが防止できる。そのため、ボルト５４等の弾性ブレード３０の固定部や回転軸４４の軸受け等に、上記機械的抵抗に起因するガタが発生することが防止できる。また、清掃の終端では、弾性ブレード３０が清掃方向の前端部側から徐々に吐出面５から離れるので、弾性ブレード３０全体が一気に弾性復帰することがない。そのため、弾性復帰の反動で、弾性ブレード３０に付着した溶液が飛び散ることが抑制できる。従って、従来の全面接触する弾性ブレード３０に比べゴム硬度の大きいものを使用することができることになり、弾性ブレード３０の除去性能を向上することができる。
【００７３】
(e)間欠回転機構３３は回転軸４４を中心に弾性ブレード３０を間欠回転して、弾性ブレード３０がヘッド７の吐出面５側に対向する第１の位置から洗浄装置３２の洗浄槽４２と対向する第２の位置に弾性ブレード３０を移動させることができる。弾性ブレード３０の下降と上昇を回転軸４４の回転により行なうので、構成が簡単となる。
【００７４】
(f)洗浄装置３２は間欠回転機構３３の回転軸４４の下方に溶剤４３を貯溜した洗浄槽４２を有し、間欠回転機構３３の第２の位置で弾性ブレード３０は洗浄槽４２に浸漬されるので、弾性ブレード３０に付着した溶液を溶解することができる。その結果、次回には、弾性ブレード３０は溶液の付着していない清浄な状態でヘッド７の吐出面５を拭き取ることができる。従って、従来の如く、弾性ブレード３０に付着した溶液を溶解しないものに比べ、ヘッド７の吐出面５の清掃を完全に行なうことができる。
【００７５】
溶剤４３を貯溜した洗浄槽４２は回転軸４４、４４の下方に位置するので、弾性ブレード３０に付着した溶液の溶解除去が容易となる。また、洗浄槽４２はヘッド７の吐出面５から離れた回転軸４４の下方に位置するのでヘッド７の吐出面５に洗浄時に溶液や溶剤４３が飛散してヘッド７に付着することがない。
【００７６】
また、弾性ブレード３０の先端を下向きにして溶剤４３に浸漬するので、溶液が弾性ブレード３０の基部５３Ａや固定板５２に付着することが極力防止できる。そのため、弾性ブレード３０を取付面５１に固定しているボルト５４に溶液が付着することが防止できるので、ボルト５４に付着して固化した溶液によってボルト５４が固定板５２等に固着してボルト５４の脱着が困難になることを防ぐことができる。よって、弾性ブレード３０のメンテナンス作業の作業性を向上させることができる。
【００７７】
(g)間欠回転機構３３は弾性ブレード３０を間欠回転機構３３の第２の位置から更に90度回転した位置に待機させるので、弾性ブレード３０は第３の位置で一定の時間待機することにより、第２の位置で弾性ブレード３０に付着した溶剤４３を乾燥して除去することができる。
【００７８】
また、第３の位置では、弾性ブレード３０の傾斜面３０Ａは上下に傾斜している。そのため、弾性ブレード３０に付着した溶剤４３を弾性ブレード３０の傾斜面３０Ａの傾斜に沿って流れ落ち易くすることができる。従って、弾性ブレード３０に付着した溶剤４３が弾性ブレード３０上に滞留し難いので、溶剤４３の乾燥時間を短縮することができる。
【００７９】
また、洗浄後の溶剤４３は、溶剤が混入するので、溶剤４３には、機能性薄膜材料が溶解している。そのため、溶剤４３が弾性ブレード３０に滞留する量が多いほど、固化物が弾性ブレード３０に残る可能性が高くなる。しかしながら、本実施例の弾性ブレード３０は、上述のように、溶剤４３が滞留し難いので、弾性ブレード３０の先端部に機能性薄膜材料などの固化物が付着して残ることが防止できる。
【００８０】
弾性ブレード３０への固化物の付着は、吐出面５からの溶液の除去性能を低下させる要因となるが、これが防止できるので、吐出面５の清掃をより確実に行なうことができ、溶液の除去性能が向上する。
【００８１】
(h)インクジェット塗布方法によれば、ヘッド７の吐出面５に沿う清掃方向に対して弾性ブレード３０を傾斜配置し、弾性ブレード３０にてヘッド７の吐出面５を清掃し、吐出面５を清掃した弾性ブレード３０を洗浄装置３２で洗浄するので、インクジェット塗布装置が奏する効果と同一の効果を奏することができる。
【００８２】
(i)弾性ブレード３０を清掃方向に直交する回転軸４４、４４を中心に回転させて、ヘッド７の吐出面５を清掃する第１の位置から洗浄装置３２で洗浄する第２の位置に移動させることができる。弾性ブレード３０の下降と上昇を回転軸４４、４４の回転により行なうので、構成が複雑化しない。
【００８３】
(j)洗浄装置３２は溶剤４３を貯溜した洗浄槽４２を有し、弾性ブレード３０が回転軸４４、４４の直下に位置する下限位置にて、弾性ブレード３０を洗浄槽４２内の溶剤４３にて洗浄し、下限位置から更に90度回転した位置にて待機させるので、ヘッド７の吐出面５に付着した溶液を溶解して除去し、更に、弾性ブレード３０に付着した溶剤４３を乾燥することができる。
【００８４】
（実施例２）
図１１は、実施例２を示し、上記実施例１と同様に構成した弾性ブレード１３０の先端面に洗浄液、例えば、溶液の溶媒を吐出する複数（実施例では５つ）の吐出孔１３１を設けたものである。弾性ブレード１３０の先端面がヘッド７の吐出面５に当接して、吐出面５に洗浄液を吐出しながら弾性ブレード１３０で拭き取る。吐出された洗浄液は弾性ブレード３０の下方に位置する洗浄槽内に落下する。
【００８５】
このものによれば、実施例１の効果に加え、弾性ブレード１３０はヘッド７の吐出面５に洗浄液を吐出する吐出孔１３１を有するので、ヘッド７の吐出面５に対して洗浄液を吐出させながら弾性ブレード１３０による清掃を行なう。その結果、仮に、ヘッド７の吐出面５に付着した溶液が乾燥によって硬化したとしても、洗浄液によってその溶液を軟化させて除去することができる。これにより、吐出面５の溶液の除去性能を向上させることができる。
【００８６】
（実施例３）
図１２は、実施例３を示し、上記実施例１の取付ブロック４５の取付面５１に複数枚（実施例では２つ）の弾性ブレード３０、３０を並列して取付けたものである。このものによれば、実施例１の効果に加え、更に１枚の弾性ブレード３０のものより拭き残しが減り、ヘッド７に付着した吐出液の固着を防ぐことができる。
【００８７】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、実施例では、弾性ブレード３０の移動装置３１と弾性ブレード３０の洗浄装置３２は搬送テーブル３の前端面に設けられているが、これらを搬送テーブル３の後端面に設けて、ヘッド７の塗布が終了した都度、弾性ブレード３０によるヘッド７の吐出面５の清掃及び弾性ブレード３０の洗浄を行なうようにしても良い。また、間欠回転機構３３は弾性ブレード３０が回転軸４４の真上に位置する第１の位置から180度回転した真下の位置に移動する必要はなく、要するに洗浄槽４２の溶剤中に浸漬する位置であれば良く、同様に第３の位置も溶剤の液面よりも上側の位置であれば良い。
【００８８】
また、ヘッド７を６つ配置した例で説明したが、ヘッドの数は、基板の大きさに応じて設定すれば良いので７つ以上でも、６つ未満であっても良い。
【００８９】
また、複数のヘッドを移動方向Ｓと直交する基板の幅方向全体を網羅するように配置して、それら複数のヘッドによって溶液を基板全体に一度に塗布するようにしても良いし、複数のヘッドを基板の幅方向の長さより短い長さに配置し、それら複数のヘッドによって溶液を基板全体に複数回に分けて塗布するようにしても良い。
【００９０】
また、弾性ブレード３０を一つの取付ブロック４５に、回転軸４４の軸周りに角度を変えて複数個取付けるようにしても良い。
【００９１】
また、洗浄装置は、溶剤を貯留する洗浄槽とした例で説明したが、弾性ブレードに洗浄液を噴射する洗浄ノズルであっても良い。
【００９２】
また、弾性ブレード３０に付着した溶剤４３を乾燥させる工程が、弾性ブレード３０を第２の位置から回転軸４４を90度回転させた第３の位置で行なわれる例で説明したが、弾性ブレード３０を第２の位置に停止させたまま、洗浄槽４２のみを下降させて弾性ブレード３０を溶剤４３中から離脱させ、この状態で行なわれるようにしても良い。この場合、洗浄槽４２と弾性ブレード３０とを独立して上下動できるように構成すると良い。
【００９３】
また、間欠回転装置３３は、回転軸４４を時計回り方向に回転させる例で説明したが、回転方向はこれに限らず、途中から反対方向に回転させるようにしても良い。例えば、回転軸４４を時計回り方向に180度回転させて弾性ブレード３０を第１の位置から第２の位置へ移動させる。その後、回転軸４４を反時計回り方向に90度ずつ回転させて、弾性ブレード３０を第３の位置及び第１の位置へ順次移動させるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】図１は実施例１のインクジェットヘッド塗布装置を示す正面図である。
【図２】図２はインクジェットヘッドの横断面図である。
【図３】図３はインクジェットヘッドの下面図である。
【図４】図４は図１の塗布装置の要部の上部を示す模式図である。
【図５】図５は取付ブロックを示し、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ線の断面図、（Ｃ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線の断面図を示す。
【図６】図６は弾性ブレードを示し、（Ａ）は弾性ブレードの一部正面図、（Ｂ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線の断面図である。
【図７】図７は弾性ブレードの取付高さ設定用の治具を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は取付状態を示す模式図である。
【図８】図８は洗浄槽の一側面の模式図である。
【図９】図９は間欠回転機構の各回転位置を示し、（Ａ）は第１の位置を示す模式図、（Ｂ）は第２の位置を示す模式図、（Ｃ）は第３の位置を示す模式図である。
【図１０】図１０はヘッドの吐出面の清掃行程を示す模式図で、（Ａ）は清掃行程の開始段階を示す模式図、（Ｂ）は清掃行程の中段階を示す模式図、（Ｃ）は清掃行程の終了段階を示す模式図である。
【図１１】図１１は実施例２を示し、（Ａ）はヘッドの吐出面の清掃状態を示す模式図、（Ｂ）は弾性ブレードの先端面の模式図である。
【図１２】図１２は実施例３を示す模式図である。
【符号の説明】
【００９５】
５  吐出面
７  ヘッド
１０  インクジェット塗布装置
１４  ノズル
３０  弾性ブレード
３１  移動装置
３２  洗浄装置
３３  間欠回転機構
４２  洗浄槽
４４  回転軸
１３１  吐出孔
Ｗ  基板
【図１】
2006272791.tif 000003
【図２】
2006272791.tif 000004
【図３】
2006272791.tif 000005
【図４】
2006272791.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006272791.tif 000008
【図７】
2006272791.tif 000009
【図８】
2006272791.tif 000010
【図９】
2006272791.tif 000011
【図１０】
2006272791.tif 000012
【図１１】
2006272791.tif 000013
【図１２】
2006272791.tif 000014