(57)【要約】  【課題】  ノズルを配置できる領域を広く確保することができ、複数のノズルをより高密度に配置することが可能な液体噴射装置を提供すること。  【解決手段】  インクジェットヘッド１は、マニホールド１７と、平面に沿って配置された複数の圧力室１６と、マニホールド１７から圧力室１６を経てインクを噴射するノズル２０に至る複数の個別インク流路２と、複数の圧力室１６に対向して配置され、複数の圧力室１６の容積を選択的に変化させる圧電アクチュエータ３とを備えており、マニホールド１７は、圧電アクチュエータ３に関してノズル２０と反対側に配置され、圧電アクチュエータ３は、個別インク流路２を貫通させる貫通孔３ａを有する。【選択図】  図３
2006116954.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体噴射装置であって、
共通液室と、
平面に沿って配置された複数の圧力室と、
液体を噴射する複数のノズルと、
前記共通液室から前記圧力室を経てノズルに至る複数の個別液体流路と、
前記複数の圧力室に対向して配置され、前記複数の圧力室の容積を選択的に変化させるアクチュエータとを備え、
前記共通液室は、前記アクチュエータに関して前記ノズルと反対側に配置され、
前記アクチュエータは、前記個別液体流路の一部を形成する第１の貫通孔を有する液体噴射装置。
【請求項２】
前記アクチュエータは、前記平面に沿って延在している請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記共通液室は、前記平面に直交する方向から見て、前記ノズル及び前記圧力室と重なる領域に配置されている請求項１又は２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記アクチュエータは、前記複数の圧力室に跨って配置された振動板と、この振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層と、前記振動板の前記圧力室と反対側において前記複数の圧力室に夫々対応して配置された複数の個別電極とを有する請求項１〜３の何れかに記載の液体噴射装置。
【請求項５】
前記共通液室は、前記アクチュエータに関して前記圧力室と反対側に配置され、前記圧電層と前記共通液室との間に、前記アクチュエータを保護する保護プレートが配設され、前記保護プレートは、前記個別液体流路の一部を形成する第２の貫通孔を有する請求項４に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記保護プレートは、前記アクチュエータに接合される厚肉部と前記アクチュエータから離間する薄肉部とを有し、前記薄肉部は、前記アクチュエータの前記圧力室と対向する部分との間に空間を空けて配設されている請求項５に記載の液体噴射装置。
【請求項７】
前記保護プレートの前記薄肉部は、前記共通液室内の圧力変動を吸収するダンパー部として機能する請求項６に記載の液体噴射装置。
【請求項８】
前記保護プレートの前記薄肉部が、前記共通液室の内壁の一部を構成している請求項７に記載の液体噴射装置。
【請求項９】
前記薄肉部は、複数の前記圧力室に跨って連続的に形成されている請求項７に記載の液体噴射装置。
【請求項１０】
前記アクチュエータは、前記振動板の前記圧力室と反対側において前記複数の個別電極との間で前記圧電層を挟む共通電極を有し、この共通電極は前記複数の個別電極に跨って連続的に延在し、この共通電極に前記第１の貫通孔の一部を構成する第１流路形成孔が形成されている請求項１〜９の何れかに記載の液体噴射装置。
【請求項１１】
前記圧電層は、前記複数の圧力室に跨って設けられ、前記圧電層には前記第１の貫通孔の一部を構成する第２流路形成孔が形成され、この第２流路形成孔の内面に、前記圧電層に液体が浸透するのを防止する保護膜が形成されている請求項１〜１１の何れかに記載の液体噴射装置。
【請求項１２】
前記圧電層は、前記複数の圧力室に夫々対応して個別に設けられており、各圧力室に対応する前記圧電層は、前記振動板と前記保護プレートとの間で前記個別液体流路から隔離された状態で収容されている請求項５に記載の液体噴射装置。
【請求項１３】
前記ノズルが下方に向いており、前記共通液室が前記ノズルよりも上方に配置されている請求項１〜１２の何れかに記載の液体噴射装置。
【請求項１４】
液体噴射装置であって、
液体を噴射する複数のノズルと、
複数のノズルに連通する複数の圧力室と、
複数の圧力室に共通の共通液室と、
複数の圧力室の容積を選択的に変化させる圧電層とを備え、
圧力室に関して共通液室と圧電層とがノズルと反対側に設けられている液体噴射装置。
【請求項１５】
さらに、複数の圧力室を覆う振動板を備え、振動板に圧力室と共通液室を連通する貫通孔が形成されている請求項１４に記載の液体噴射装置。
【請求項１６】
圧電層に圧力室と共通液室を連通する貫通孔が形成されている請求項１４に記載の液体噴射装置。
【請求項１７】
共通液室が形成されている領域内に、全ての複数の圧力室が存在している請求項１４に記載の液体噴射装置。
【請求項１８】
さらに、ノズルが形成されたノズルプレートを備え、圧電層の分極方向に、ノズルプレート、圧力室、圧電層及び共通液体室がこの順に配置されている請求項１４に記載の液体噴射装置。
【請求項１９】
さらに、複数の圧力室を覆う振動板を備え、振動板に圧力室とノズルを連通する貫通孔が形成されている請求項１４に記載の液体噴射装置。
【請求項２０】
圧電層に圧力室とノズルを連通する貫通孔が形成されている請求項１４に記載の液体噴射装置。
【請求項２１】
さらに、ノズルが形成されたノズルプレートを備え、圧電層の分極方向に、ノズルプレート、圧電層、圧力室及び共通液体室がこの順に配置されている請求項１４に記載の液体噴射装置。
【請求項２２】
液体噴射装置の製造方法であって、
液体噴射装置が、共通液室と、平面に沿って配置された複数の圧力室と、液体を噴射する複数のノズルと、前記共通液室から前記圧力室を経て前記ノズルに至る複数の個別液体流路と、前記複数の圧力室に跨って配置された振動板とこの振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層とを有し且つ前記複数の圧力室の容積を選択的に変化させるアクチュエータとを備えており、
上記方法が、
前記振動板に、前記個別液体流路の一部を形成する流路形成孔を形成する孔形成工程と、
この振動板の前記圧力室と反対側の表面に圧電材料の粒子を堆積させて、振動板の前記流路形成孔が形成されていない領域にのみ前記圧電層を形成する圧電層形成工程と、を含み、
圧電層形成工程により前記個別液体流路が前記アクチュエータを貫通するように形成される液体噴射装置の製造方法。
【請求項２３】
前記圧電材料の粒子を、エアロゾルデポジション法で堆積させる請求項２２に記載の液体噴射装置の製造方法。
【請求項２４】
記録媒体にインクを噴射して記録するインクジェットプリンタであって、
前記記録媒体にインクを噴射するインクジェットヘッドを備え、
前記インクジェットヘッドは、共通インク室と、平面に沿って配置された複数の圧力室と、インクを噴射するノズルと、前記共通インク室から前記圧力室を経て前記ノズルに至る複数の個別インク流路と、前記複数の圧力室に対向して配置され、前記複数の圧力室の容積を選択的に変化させるアクチュエータとを有し、
前記共通インク室は、前記アクチュエータに関して前記ノズルと反対側で、且つ、前記平面に直交する方向から見て前記圧力室と重なる領域に配置され、前記個別インク流路が前記アクチュエータを貫通するように形成されており、
前記ノズルが下方に向いており、前記共通インク室が前記ノズルよりも上方に配置されているインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射装置、液体噴射装置の製造方法、及び、インクを噴射するインクジェットプリンタに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を噴射する液体噴射装置として、特許文献１に開示されているように、ノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドがあるが、その中でも、マニホールドから圧力室を経てノズルに至る個別インク流路と、圧力室内のインクに圧力を付与するアクチュエータとを有するものが知られている。このインクジェットヘッドにおいては、アクチュエータは圧力室を覆うように配設され、一方、マニホールドとノズルは共に圧力室に関してアクチュエータと反対側に形成されている。そして、アクチュエータにより圧力室内のインクに圧力が付与されたときに、その圧力室に連通するノズルからインクが噴射される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１３６６６３号公報（図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、印刷画像の高品質化及びインクジェットヘッドの小型化を目的として、複数のノズルをより高密度に配置することが求められている。特に、インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタの筐体内でキャリッジにより移動するためにヘッドの寸法はプリンタの設計や筐体の寸法に影響を及ぼす。
【０００５】
本発明の目的は、ノズルを配置できる領域を広く確保することができ、複数のノズルをより高密度に配置することが可能な液体噴射装置及びインクジェットプリンタを提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、液体噴射装置であって、共通液室と、平面に沿って配置された複数の圧力室と、液体を噴射するノズルと、前記共通液室から前記圧力室を経てノズルに至る複数の個別液体流路と、前記複数の圧力室に対向して配置され、前記複数の圧力室の容積を選択的に変化させるアクチュエータとを備え、前記共通液室は、前記アクチュエータに関して前記ノズルと反対側に配置され、前記アクチュエータは、前記個別液体流路の一部を形成する第１の貫通孔を有する液体噴射装置が提供される。
【０００７】
この液体噴射装置は、アクチュエータにより複数の圧力室の容積を選択的に変化させることにより、圧力室内の液体に圧力を付与して、圧力室に連通するノズルから液体を噴射する。ここで、個別液体流路を構成する共通液室とノズルは、アクチュエータに関して反対側に配置され、個別液体流路は、第１の貫通孔においてアクチュエータを貫通している。このように、共通液室とノズルとがアクチュエータに関して反対側に配置されていると、従来のインクジェットへッドのようにノズルと共通液室とが同じ側に配置されている場合と比較して、ノズルを配置することができる領域を広く確保することができることから、ノズルをより高密度に配置することが可能になる。
【０００８】
本発明の液体噴射装置において、前記アクチュエータは、前記平面に沿って延在し得る。従って、共通液室とノズルが、平面に沿って延在するアクチュエータを挟んで両側に配置され、第１の貫通孔において個別液体流路がアクチュエータを貫通することになる。
【０００９】
本発明の液体噴射装置において、前記第１又は第２の発明において、前記共通液室は、前記平面に直交する方向から見て、前記ノズル及び前記圧力室と重なる領域に配置され得る。アクチュエータにより、ある圧力室内の液体に圧力が付与されたときには、圧力波が共通液室を介して別の圧力室に伝播されてしまう現象（いわゆる、流体的クロストーク）が生じて、複数のノズルからの噴射特性がばらついてしまう場合がある。しかし、本発明では、共通液室がノズル及び圧力室と重なる領域に配置されているため、共通液室の面積（複数の圧力室が配置された平面に直交する方向からの投影面積）を広くすることができる。そのため、共通液室の容積をより大きくして、圧力室から共通液室に伝播する圧力波を共通液室で効果的に減衰させてクロストークを抑制することができるようになる。あるいは、共通液室の面積が大きくなると、同じ容積を確保しつつその高さを低くすることもできるため、液体噴射装置を小型化することが可能になる。
【００１０】
本発明の液体噴射装置において、前記アクチュエータは、前記複数の圧力室に跨って配置された振動板と、この振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層と、同じく前記振動板の前記圧力室と反対側において前記複数の圧力室に夫々対応して配置された複数の個別電極とを有し、前記共通液室は、前記アクチュエータに関して前記圧力室と反対側に配置され、前記圧電層と前記共通液室との間に、前記アクチュエータを保護する保護プレートが配設され、前記保護プレートは、前記個別液体流路の一部を形成する第２の貫通孔を有し得る。このように、保護プレートによりアクチュエータが保護されているため、アクチュエータが共通液室内の液体に直接接触しない。また、特に、液体が導電性を有する場合には、この導電性の液体がアクチュエータ内に浸透して複数の個別電極の間で短絡が生じるのを極力防止できる。さらに、共通液室は、アクチュエータに関して圧力室と反対側に配置されており、圧力室とノズルが同じ側に配置されているため、圧力室からノズルまでの距離を短くすることができる。この場合、圧電層及び振動板を変形させて圧力室の容積を変化させる際に個別電極に印加される駆動電圧を下げることができるため、アクチュエータの駆動効率が向上する。
【００１１】
本発明の液体噴射装置において、前記保護プレートは、前記アクチュエータに接合される厚肉部と前記アクチュエータから離間する薄肉部とを有し、前記薄肉部は、前記アクチュエータの前記圧力室と対向する部分との間に空間を空けて配設され得る。このように、保護プレートの薄肉部が個別電極との間に空間を空けて配設されているため、ある個別電極に駆動電圧が印加されて、この個別電極に対応する圧電層の部分が変形するときに、この圧電層の変形が保護プレートにより妨げられない。従って、保護プレートによりアクチュエータを保護しつつ、アクチュエータの駆動効率が低下するのを防止できる。
【００１２】
本発明の液体噴射装置において、前記保護プレートの前記薄肉部は、前記共通液室内の圧力変動を吸収するダンパーとして機能し得る。従って、保護プレートの薄肉部により共通液室内の圧力変動（圧力室から伝播する圧力波）を吸収して、流体的クロストークを低減できる。また、保護プレートにダンパー部を兼ねる薄肉部が設けられているため、部品点数を減らすことができる。
【００１３】
本発明の液体噴射装置において、前記保護プレートの前記薄肉部が、前記共通液室の内壁の一部を構成し得る。従って、保護プレートの薄肉部が共通液室内の圧力変動を吸収するダンパー部の機能を兼ね備えることができるようになる。
【００１４】
本発明の液体噴射装置において、前記薄肉部は、複数の前記圧力室に跨って連続的に形成され得る。ダンパー部としての薄肉部が複数の圧力室に跨って形成されているため、薄肉部の面積が大きくなり、圧力変動の吸収効果が高まる。
【００１５】
本発明の液体噴射装置において、前記アクチュエータは、前記振動板の前記圧力室と反対側において前記複数の個別電極との間で前記圧電層を挟む共通電極を有し、この共通電極は前記複数の個別電極に跨って連続的に延在し、この共通電極に前記第１の貫通孔の一部を構成する第１流路形成孔が形成され得る。このように、共通電極が複数の個別電極に跨って連続的に延在している場合でも、個別液体流路が第１流路形成孔において共通電極を貫通することになり、共通液室とノズルをアクチュエータに関して互いに反対側に配置することができるようになる。
【００１６】
本発明の液体噴射装置において、前記圧電層は、前記複数の圧力室に跨って設けられ、前記圧電層には前記第１の貫通孔の一部を構成する第２流路形成孔が形成され、この第２流路形成孔の内面に、前記圧電層に液体が浸透するのを防止する保護膜が形成され得る。従って、この保護膜により、液体が圧電層に浸透してしまうのを防止することができる。特に、液体が導電性を有する場合に、この導電性の液体による個別電極間の短絡を防止できる。
【００１７】
本発明の液体噴射装置において、前記圧電層は、前記複数の圧力室に夫々対応して個別に設けられており、各圧力室に対応する前記圧電層は、前記振動板と前記保護プレートとの間で前記個別液体流路から隔離された状態で収容され得る。このように、圧電層が、複数の圧力室に夫々対応して個別に設けられている場合には、個別液体流路が圧電層を避けてアクチュエータを貫通するようにすれば、圧電層に貫通孔を形成するのを省略することができることから、圧電層を形成する方法の選択の自由度が高まる。また、圧電層が振動板と保護プレートとの間で個別液体流路から隔離された状態で収容されているため、圧電層に液体が接触せず、液体が浸透することがない。
【００１８】
本発明の液体噴射装置において、前記ノズルが下方に向いており、前記共通液室が前記ノズルよりも上方に配置され得る。この場合には、液体流路内に混入した気泡を共通液室側へ排出することが容易になる。
【００１９】
本発明の第２の態様に従えば、液体噴射装置であって、液体を噴射する複数のノズルと、複数のノズルに連通する複数の圧力室と、複数の圧力室に共通の共通液室と、複数の圧力室の容積を選択的に変化させる圧電層とを備え、圧力室に関して共通液室と圧電層とがノズルと反対側に設けられている液体噴射装置が提供される。
【００２０】
本発明の液体噴射装置では、圧力室に関して共通液室と圧電層とがノズルと反対側に設けられているので、ノズルの配置設計の自由度が増し、ノズルを高密度に配置することができる。この結果、液体噴射装置を小型化できる。また、圧力室と共通液室は独立して設計することができるため、それらの容積も従来よりも増すことができる。例えば、共通液室が形成されている平面領域内に、全ての複数の圧力室を存在させ得る。
【００２１】
本発明の第３の態様に従えば、液体噴射装置の製造方法であって、液体噴射装置が、共通液室と、平面に沿って配置された複数の圧力室と、液体を噴射するノズルと、前記共通液室から前記圧力室を経て前記ノズルに至る複数の個別液体流路と、前記複数の圧力室に跨って配置された振動板とこの振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層とを有し且つ前記複数の圧力室の容積を選択的に変化させるアクチュエータとを備えており、上記方法が、前記振動板に、前記個別液体流路の一部を形成する流路形成孔を形成する孔形成工程と、この振動板の前記圧力室と反対側の表面に圧電材料の粒子を堆積させて、振動板の前記流路形成孔が形成されていない領域にのみ前記圧電層を形成する圧電層形成工程と、を含み、圧電層形成工程により前記個別液体流路が前記アクチュエータを貫通するように形成される液体噴射装置の製造方法が提供される。
【００２２】
この液体噴射装置の製造方法では、振動板に流路形成孔を形成してから、圧電材料の粒子を振動板に堆積させることにより、流路形成孔が形成されていない領域にのみ圧電層を形成するため、圧電層に、個別液体流路を貫通させる孔を形成する工程を別に行う必要がなく、製造工程を簡素化できる。前記圧電材料の粒子を、エアロゾルデポジション法で堆積させるのが有利である。
【００２３】
本発明の第４の態様に従えば、記録媒体にインクを噴射して記録するインクジェットプリンタであって、前記記録媒体にインクを噴射するインクジェットヘッドを備え、前記インクジェットヘッドは、共通インク室と、平面に沿って配置された複数の圧力室と、インクを噴射するノズルと、前記共通インク室から前記圧力室を経て前記ノズルに至る複数の個別インク流路と、前記複数の圧力室に対向して配置され、前記複数の圧力室の容積を選択的に変化させるアクチュエータとを有し、前記共通インク室は、前記アクチュエータに関して前記ノズルと反対側で、且つ、前記平面に直交する方向から見て前記圧力室と重なる領域に配置され、前記個別インク流路が前記アクチュエータを貫通するように形成されており、前記ノズルが下方に向いており、前記共通インク室が前記ノズルよりも上方に配置されているインクジェットプリンタが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の第１実施形態について説明する。この第１実施形態はノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。
まず、インクジェットヘッド１を備えたインクジェットプリンタ１００について説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、図１の左右方向に移動可能なキャリッジ１０１と、このキャリッジ１０１に設けられて記録用紙Ｐに対してインクを噴射するシリアル式のインクジェットヘッド１と、記録用紙Ｐを図１の前方へ搬送する搬送ローラ１０２等を備えている。インクジェットヘッド１は、キャリッジ１０１と一体的に左右方向（走査方向）へ移動して、その下面のインク噴射面に形成されたノズル（図２〜図６参照）の出射口から記録用紙Ｐに対してインクを噴射する。そして、インクジェットヘッド１により記録された記録用紙Ｐは、搬送ローラ１０２により前方（紙送り方向）へ排出される。
【００２５】
次に、インクジェットヘッド１について図２〜図６を参照して説明する。このインクジェットヘッド１は積層された複数枚のプレートにより構成されており、インクジェットヘッド１は、インクを噴射する複数のノズル２０とこれら複数のノズル２０に夫々に連通する複数の圧力室１６とを夫々含む複数の個別インク流路２と、複数の圧力室１６の容積を選択的に変化させる圧電アクチュエータ３とを備えている。
【００２６】
図３に示すように、複数の個別インク流路２は、圧電アクチュエータ３の振動板３０及び圧電層３１を含む複数枚のプレートにより形成されている。これら複数枚のプレートは、上方から、マニホールドプレート１０，１１、保護プレート１２、圧電アクチュエータ３（振動板３０及び圧電層３１）、圧力室プレート１３、ディセンダプレート１４、そして、ノズルプレート１５の順に積層されている。ここで、マニホールドプレート１０，１１、保護プレート１２、圧力室プレート１３及びディセンダプレート１４は夫々ステンレス鋼等の金属材料からなる板であり、後述するマニホールド１７や圧力室１６等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。一方、ノズルプレート１５は、可撓性を有する合成樹脂材料、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成されている。あるいは、このノズルプレート１５も、他のプレートと同様に金属材料で形成されていてもよい。尚、ノズルプレート１５を金属材料が形成されている場合には、このノズルプレート１５の剛性が比較的高いものとなるため、主に剛性確保の目的で設けられている、ノズルプレート１５と圧力室プレート１３との間のディセンダプレート１４を省略することも可能である。
【００２７】
２枚のマニホールドプレート１０，１１には、複数の圧力室１６に連なるマニホールド１７（共通液室、共通インク室）が形成されている。図２、図３に示すように、このマニホールド１７は、平面視で複数のノズル２０及び複数の圧力室１６の全てと重なる領域に形成されており、マニホールド１７には、図示しないインク供給源からインク供給孔１８を介してインクが供給される。また、２枚のマニホールドプレート１０，１１の間には、マニホールド１７内でインクに混ざった塵等を除去するフィルタ１９が設けられている。
【００２８】
保護プレート１２は、圧電アクチュエータ３の上方を覆うように配設されてこの圧電アクチュエータ３を保護しており、この保護プレート１２には、マニホールド１７に連通する貫通孔２１（第２の貫通孔）が形成されている。また、この保護プレート１２には、圧電アクチュエータ３と接合される厚肉部４１と、圧電アクチュエータ３から離間する薄肉部４２を有する。そして、後述する圧電アクチュエータ３の圧電層３１の変形を保護プレート１２が妨げないように、薄肉部４２は、圧電アクチュエータ３の圧力室１６と対向する部分との間に空間４０を空けて配設されている。その一方で、薄肉部４２はマニホールド１７の底壁部の一部を構成しているため、この薄肉部４２は、マニホールド１７内の圧力変動を吸収するダンパー部としての機能も兼ね備えている。さらに、薄肉部４２の平面積を極力大きくして、薄肉部４１のダンパー部としての圧力変動吸収効果が高めるために、この薄肉部４２は、紙送り方向に配列された複数の圧力室１６（図２の上下方向に１列に配列された５つの圧力室１６）に亙って連続的に形成されている、
【００２９】
圧力室プレート１３には、図２に示すように平面に沿って（同一平面上に）配列された複数の圧力室１６が形成されている。図２にはマニホールドプレート１０の上面だけが見えるが、複数の圧力室１６は、マニホールドプレート１０の上面と平行な圧力室プレート１３の表面上に配列して形成されている。これら複数の圧力室１６は圧電アクチュエータ３に関して上側のマニホールド１７と反対側（下側）に配置されている。また、これら複数の圧力室１６は、紙送り方向（図２の上下方向）に２列に配列されている。各圧力室１６は、平面視で略楕円形状に形成されており、その長軸方向が走査方向（図２の左右方向）となるように配置されている。この圧力室プレート１３の上面には、この圧力室プレート１３に沿って延在する圧電アクチュエータ３が複数の圧力室１６を覆うように配設されている。また、各圧力室１６は、図２における右端部において、保護プレート１２に形成された貫通孔２１、及び、圧電アクチュエータ３に形成された貫通孔３ａ（第１の貫通孔）を介してマニホールド１７に連通している。
【００３０】
ディセンダプレート１４の、平面視で複数の圧力室１６の図２における左端部と夫々重なる位置には、複数の連通孔２２が形成されている。さらに、ノズルプレート１５の、平面視で複数の圧力室１６の図２における左端部と夫々重なる位置には、下方へ向いた複数のノズル２０が形成されている。
【００３１】
そして、図３、図４に示すように、インクジェットヘッド１内に、マニホールド１７から、貫通孔３ａにおいて圧電アクチュエータ３を貫通し、さらに、圧力室１６を経て、ノズル２０に至る、複数の個別インク流路２が形成されている。このように、マニホールド１７が圧電アクチュエータ３に関してノズル２０と反対側に配置されているため、ノズル２０を配置できる領域が広くなり、ノズル２０をより高密度に配置することが可能になる。また、マニホールド１７は、平面視で複数のノズル２０及び複数の圧力室１６と重なる領域に配置されている（特に、この実施形態では、図２に示したように、平面視で、共通液室が形成されている領域内に、全ての複数の圧力室が存在している）ため、マニホールド１７の面積（上からの投影面積）を広く確保でき、マニホールド１７の容積をより大きくすることができる。あるいは、マニホールド１７の面積が大きくなる分だけ、同じ容積を確保しつつその高さを低くすることもできるため、マニホールドプレート１０，１１の厚さを薄くすることにより、インクジェットヘッド１を小型化することも可能になる。
【００３２】
また、ノズル２０は鉛直方向における下方に向いており、マニホールド１７はノズル２０よりも鉛直方向における上方に配置されているため、個別インク流路２内に混入した気泡がそれ自身の浮力によりマニホールド１７へ移動しやすくなり、気泡をマニホールド１７側へ排出することが容易になる。さらに、図４に示すように、図３の状態からインクジェットヘッド１が矢印ａの方向に９０度未満の角度で傾斜して配置されて、ノズル２０が斜め下方へ向いていてもよく、この場合には、破線の矢印で示すように、個別インク流路２内の気泡がさらにマニホールド１７まで移動しやすくなる。このように、マニホールド１７がノズル２０よりも鉛直方向における上方側に配置されていると、個別インク流路２内に混入した気泡をその浮力によってマニホールド１７へ移動させやすくなるが、特に、図４に示すように、個別インク流路２がインクの流れの上流側ほど鉛直方向における上方側に向かって延在するように形成されていれば、個別インク流路２内に混入した気泡をより確実にマニホールド１７へ移動させることができる。
【００３３】
次に、圧電アクチュエータ３について説明する。
圧電アクチュエータ３は、複数の圧力室１６の上側を覆う振動板３０と、この振動板３０の上面（圧力室１６と反対側の面）に形成された絶縁層３３と、この絶縁層３３上に複数の圧力室１６に夫々対応して形成された複数の個別電極３２と、絶縁層３３の上面に形成された圧電層３１と、この圧電層３１の上面に複数の個別電極３２に亙って共通に形成された共通電極３４とを備えている。
【００３４】
振動板３０は、平面視で略矩形状の金属材料からなる板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板３０は、複数の圧力室１６を塞ぐように圧力室プレート１３の上面に接合されている。この振動板３０の表面には、アルミナ、ジルコニア、あるいは、窒化ケイ素等の、弾性率が高いセラミックス材料からなる絶縁層３３が形成されている。このように、絶縁層３３が弾性率の高いセラミックス材料で形成されているため、圧電アクチュエータ３の剛性が上がりその応答性が高くなる。この振動板３０（及び絶縁層３３）には、個別インク流路２の一部を形成する貫通孔３０ａが形成されている。
【００３５】
絶縁層３３の上面には、圧力室１６よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が形成されている。個別電極３２は、平面視で対応する圧力室１６の中央部に重なる位置に形成されている。個別電極３２は金などの導電性材料からなり、隣接する個別電極３２は絶縁層３３により互いに電気的に絶縁されている。さらに、絶縁層３３の上面において、複数の個別電極３２の長手方向一端部（図２における右端部）からは、夫々、個別電極３２の長手方向（走査方向）に平行に複数の配線部３５が延びており、これら複数の配線部３５は、複数の個別電極３２に対して選択的に駆動電圧を供給するドライバＩＣ（図示省略）に接続されている。
【００３６】
絶縁層３３の上面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電層３１が、複数の個別電極３２に跨って連続的に形成されている。さらに、この圧電層３１の上面には、複数の個別電極３２に共通の共通電極３４が圧電層３１の全面に亙って形成されている。この圧電層３１及び共通電極３４には、個別インク流路２の一部を形成する貫通孔３１ａ（第２流路形成孔）及び貫通孔３４ａ（第１流路形成孔）が夫々形成されている。そして、振動板３０の貫通孔３０ａ、圧電層３１の貫通孔３１ａ及び共通電極３４の貫通孔３４ａにより、圧電アクチュエータ３を貫通させる貫通孔３ａ（第１の貫通孔）が構成されている。貫通孔３ａは個別インク流路２の一部を形成している。また、図２に示すように、共通電極３４からはドライバＩＣに接続された１本の配線部３６が延びており、共通電極３４は、配線部３６及びドライバＩＣを介してグランド電位に保持されている。
【００３７】
尚、圧電層３１が貫通孔３１ａにおいて個別インク流路２に露出していると、導電性を有するインクが圧電層３１に浸透して、このインクにより複数の個別電極３２同士が短絡してしまう虞がある。そこで、本実施形態のインクジェットヘッドでは、貫通孔３ａの内面に、個別インク流路２を流れるインクが圧電層３１に浸透するのを防止する保護膜３７が形成されている。この保護膜３７は、例えば、酸化ケイ素や窒化ケイ素などからなる。
【００３８】
次に、インク噴射時における圧電アクチュエータ３の作用について説明する。
ドライバＩＣから配線部３４を介して複数の個別電極３２に選択的に駆動電圧が供給されると、駆動電圧が供給された圧電層３１下側の個別電極３２とグランド電位に保持されている圧電層３１上側の共通電極３４の電位が異なった状態となり、両電極３２，３４の間に挟まれた圧電層３１に上下方向の電界が生じる。すると、圧電層３１のうち、駆動電圧が印加された個別電極３２と共通電極３４の間に挟まれた部分が、分極方向である上下方向と直交する水平方向に収縮する。ここで、圧電層３１の下側の振動板３０が圧力室プレート１３に固定されているため、両電極３２，３４の間に挟まれた圧電層３１の部分が圧力室１６側に凸となるように変形し、この圧電層３１の部分的な変形に伴い、振動板３０の圧力室１６を覆う部分も圧力室１６側に凸となるように変形する。すると、圧力室１６内の容積が減少してインクに圧力が付与されるため、この圧力室１６に連通するノズル２０からインクが噴射される。
【００３９】
ところで、この圧電アクチュエータ３により、ある圧力室１６内のインクに圧力が付与されたときに、その圧力波がマニホールド１７を介して別の圧力室１６に伝播されてしまう現象（いわゆる、流体的クロストーク）が生じて、複数のノズル２０からの噴射特性がばらついてしまう場合がある。しかし、この第１実施形態では、前述したように、マニホールド１７が複数のノズル２０及び複数の圧力室１６と重なる領域に配置されているため（図２〜図５参照）、マニホールド１７の面積を広くしてその容積を大きくすることができ、マニホールド１７内の圧力変動（圧力室１６からマニホールド１７に伝播する圧力波を含む）を効果的に減衰させてクロストークを抑制することが可能になる。
【００４０】
また、圧電アクチュエータ３は保護プレート１２により保護されているため、圧電アクチュエータ３にマニホールド１７内のインクが直接接触しない。さらに、圧電層３１に形成された貫通孔３１ａの内面に、個別インク流路２を流れるインクが圧電層３１に浸透するのを防止する保護膜３７が形成されている。そのため、導電性のインクが圧電層３１に浸透することがなく、複数の個別電極３２間の短絡を防止できる。
【００４１】
保護プレート１２の薄肉部４２が、圧電アクチュエータ３の圧力室１６に対向する部分との間に空間４０を空けて配設されているため、個別電極３２に駆動電圧が印加されて、この個別電極３２に対応する圧電層３１の部分が変形するときに、この圧電層３１の変形が保護プレート１２により妨げられず、圧電アクチュエータ３の駆動効率が低下するのを防止できる。また、この薄肉部４２は、マニホールド１７の底壁部の一部を構成しており、マニホールド１７内のインクの圧力変動を吸収するダンパー部の機能も兼ね備えているため、圧力室１６からマニホールド１７に伝播する圧力波をより効果的に減衰させることができ、クロストークを効果的に抑制できる。尚、紙送り方向に配列された複数の圧力室（図２の上下方向に１列に配列された５つの圧力室）に亙って連続的に形成されているため、薄板部４２の面積が大きくなり、ダンパー部としての圧力変動吸収効果がより高められている。
【００４２】
また、図３〜図５に示すように、マニホールド１７は、圧電アクチュエータ３に関して圧力室１６と反対側に配置されており、圧力室１６とノズル２０とが同じ側に配置されているため、圧力室１６からノズル２０までの距離を短くして、圧電層３１及び振動板３０を変形させて圧力室の容積を変化させるために個別電極３２に印加される駆動電圧を下げることができ、圧電アクチュエータ３の駆動効率が向上する。さらに、ノズルプレート１５が金属材料で形成されている場合には、このノズルプレート１５の剛性が比較的高いものとなり、ノズルプレート１５と圧力室プレート１３との間のディセンダプレート１４を省略することも可能になるため、圧力室１６からノズル２０までの距離がさらに短くなり、圧電アクチュエータ３の駆動効率をより高めることができる。
【００４３】
次に、インクジェットヘッド１の製造方法について図７、図８を参照して説明する。
図７（ａ）に示すように、まず、振動板３０に個別インク流路２の一部を形成する貫通孔３０ａをエッチング等により形成し（孔形成工程）、圧力室１６が形成された圧力室プレート１３と振動板３０とを、金属拡散接合、あるいは、接着材等により接合する。
【００４４】
次に、図７（ｂ）に示すように、振動板３０の圧力室１６と反対側の面に、セラミックス材料の粒子を堆積させて、絶縁層３３を形成する。ここで、セラミックス材料を振動板３０に堆積させる方法としては、例えば、超微粒子材料を高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）を用いて形成できる。その他、スパッタ法、あるいは、ＣＶＤ（化学蒸着）法を用いることもできる。そして、図７（ｃ）に示すように、この絶縁層３３の表面の圧力室１６と対向する領域に、スクリーン印刷や蒸着法等により個別電極３２を形成する。
【００４５】
さらに、図７（ｄ）に示すように、絶縁層３３の圧力室プレート１３と反対側の表面に、圧電素子の粒子を堆積させて熱処理を施すことにより、振動板３０の貫通孔３０ａが形成されていない領域にのみ圧電層３１を形成する（圧電層形成工程）。ここで、圧電素子を振動板３０に堆積させる方法としては、ＡＤ法や、スパッタ法、あるいは、ＣＶＤ法を用いることもできる。尚、振動板３０に圧電素子の粒子を堆積させて圧電層３１を形成すると、圧電層３１の、振動板３０の貫通孔３０ａに対応する位置に、貫通孔３０ａと同じく個別インク流路２の一部を形成する貫通孔３１ａが同時に形成されることになり、圧電層３１に貫通孔３１ａを形成する工程を別に行う必要がなく、製造工程を簡素化できる。
そして、図７（ｅ）に示すように、圧電層３１の表面に、スクリーン印刷や蒸着法等により、貫通孔３４ａを有する共通電極３４を複数の個別電極３２に亙って連続的に形成する。
【００４６】
次に、図８（ａ）に示すように、圧電アクチュエータ３の貫通孔３ａ（振動板３０の貫通孔３０ａ、圧電層３１の貫通孔３１ａ及び共通電極３４の貫通孔３４ａ）の内面に、ＡＤ法、スパッタ法、あるいは、ＣＶＤ法等を用いて、インクが圧電層３１に浸透するのを防止する保護膜３７を形成する。そして、図８（ｂ）に示すように、圧力室プレート１３の下面にディセンダプレート１４とノズルプレート１５を接着材等により接合する。さらに、図８（ｃ）に示すように、保護プレート１２の薄肉部４２と、圧電アクチュエータ３の圧力室１６と対向する部分との間に、空間４０が介在するように、保護プレート１２を圧電アクチュエータ３の共通電極３４の表面に接着材等により接合し、この保護プレート１２にマニホールドプレート１０，１１を接合して、インクジェットヘッド１の製造を完了する。
【００４７】
以上説明したインクジェットヘッド１及びその製造方法によれば、次のような効果が得られる。
個別インク流路２が貫通孔３ａにおいて圧電アクチュエータ３を貫通して、マニホールド１７が圧電アクチュエータ３に関してノズル２０と反対側に配置されているため、ノズル２０とマニホールド１７が同じ側に配置されている場合と比較して、ノズル２０を配置できる領域を広く確保することができ、ノズル２０をより高密度に配置することが可能になる。また、マニホールド１７は、平面視で複数のノズル２０及び複数の圧力室１６と重なる領域に配置されているため、マニホールド１７の面積を広くして、その容積を大きくすることができる。従って、圧力室１６からマニホールド１７に伝播する圧力波を効果的に減衰させてクロストークを抑制することが可能である。あるいは、マニホールド１７の面積が大きくなることから、マニホールド１７の面積が大きくなる分だけ、同じ容積を確保しつつその高さを低くすることもできるため、マニホールドプレート１０，１１の厚さを薄くすることにより、インクジェットヘッド１を小型化することも可能になる。
【００４８】
圧電アクチュエータ３は保護プレート１２により保護されているため、圧電アクチュエータ３にマニホールド１７内のインクが直接接触せず、導電性のインクにより複数の個別電極３２の間で短絡が生じるのを極力防止できる。また、この保護プレート１２の薄肉部４２が、圧電アクチュエータ３の圧力室１６に対向する部分との間に空間４０を空けて配設されているため、個別電極３２に駆動電圧が印加されて圧力室１６に対向する圧電層３１の部分が変形するときに、この圧電層３１の変形が保護プレート１２により妨げられない。さらに、この薄肉部４２は、マニホールド１７の底壁部の一部を構成しており、マニホールド１７内のインクの圧力変動を吸収するダンパー部の機能も兼ね備えているため、圧力室１６からマニホールド１７に伝播する圧力波をより効果的に減衰させてクロストークを抑制することができる。
【００４９】
次に、前記第１実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記第１実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
第１変更形態
図９に示すように、保護プレート１２Ａが厚肉部４１Ａと薄肉部４２Ａを有し、薄肉部４２Ａ（ダンパー部）が、複数の圧力室１６の夫々に対して個別に形成されていてもよい。
【００５０】
第２変更形態
第１実施形態では、圧電層３１の変形が保護プレート１２により妨げられないようにするために、保護プレート１２に薄肉部４２が形成されているが、圧電アクチュエータ３Ｂ側に凹部が形成されて、保護プレート１２Ｂと圧電アクチュエータ３Ｂとの間に隙間が形成されていてもよい。例えば、図１０に示すように、圧電アクチュエータ３Ｂの振動板３０Ｂ（及び絶縁層３３Ｂ）に凹部４６が形成され、圧電層３１Ｂに、振動板３０Ｂの凹部３０ａに対応する凹部４７が形成されていてもよい。この場合、凹部４６が形成された振動板３０Ｂ（絶縁層３３Ｂ）の面に、ＡＤ法やＣＶＤ法等により一様な厚さで圧電層３１Ｂを形成することにより、圧電層３１Ｂの凹部４７も同時に形成することができる。
【００５１】
第３変更形態
図１１、図１２に示すように、圧電層３１Ｃが、複数の圧力室１６に夫々対応して個別に形成されており、各圧力室１６に対応する圧電層３１Ｃが、振動板３０と、厚肉部４１Ｃ及び薄肉部４２Ｃを有する保護プレート１２Ｃとの間に形成された空間内に、個別インク流路２から隔離された状態で収容されていてもよい。尚、この変更形態３では、共通電極３４Ｃが複数の圧力室１６に夫々対応する複数の圧電層３１Ｃの上面に形成され、共通電極３４Ｃは絶縁層３３の上面に形成された配線部３６Ｃを介してグランド電位に保持されている。
【００５２】
このように、圧電層３１Ｃが、複数の圧力室１６に夫々対応して個別に設けられている場合には、個別インク流路２が圧電層３１Ｃを避けて圧電アクチュエータ３Ｃを貫通するようにすれば、圧電層３１Ｃに貫通孔を形成するのを省略することができる。そのため、例えば、ＰＺＴのグリーンシートを焼成することにより形成された圧電シートを振動板３０（絶縁層３３）の表面に貼り付けて圧電層３１Ｃを形成するなど、他の圧電層形成方法を採用することができ、圧電層形成方法の選択の自由度が高まる。また、圧電層３１Ｃが振動板３０と保護プレート１２Ｃとの間に収容されているため、圧電層３１Ｃにインクが接触せず、インクが浸透することがない。
【００５３】
第４変更形態
個別電極と共通電極の配置は、前記第１実施形態の配置に限られるものではない。例えば、図１３に示すように、金属製の振動板３０が共通電極を兼ねており、保護プレート１２Ｄと振動板３０との間の空間内に、振動板３０の上面に形成された圧電層３１Ｄが配置され、この圧電層３１Ｄの上面に個別電極３２Ｄが形成されていてもよい。この場合に、個別電極３２Ｄとこの個別電極３２Ｄに駆動電圧を供給するドライバＩＣ（図示省略）との電気的接続には、例えば、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）等の配線部材４５を用いることができる。この変形形態では、アクチュエータは、圧電層３１Ｄと振動板３０を備えているが、振動板３０のみに貫通孔が形成されている。このように、アクチュエータの一部（振動板）にのみ個別液体流路を形成する貫通孔が形成されているアクチュエータも本発明でいう「個別液体流路を形成する第１の貫通孔を有する」アクチュエータに含まれることを意図する。
【００５４】
次に、本発明の第２実施形態について図１４〜図２４を参照して説明する。この第２実施形態のインクジェットヘッド５０１は、前述の第１実施形態のインクジェットヘッド１と比較して、特に、圧電アクチュエータに関して圧力室がノズルと反対側に配置されている（即ち、圧力室がマニホールドと同じ側に配置されている）点で異なる。すなわち、第１実施形態のインクジェットヘッド１では、圧電層の分極方向に、ノズルプレート、圧力室、圧電層及び共通液室がこの順に配置されていたが、第２実施形態のインクジェットヘッド５０１では、圧電層の分極方向に、ノズルプレート、圧電層、圧力室及び共通液室がこの順に配置されている。
【００５５】
次に、この実施形態におけるインクジェットヘッド１について図１４〜図１９を参照して説明する。このインクジェットヘッド１は積層された複数枚のプレートにより構成されており、インクジェットヘッド５０１は、インクを噴射する複数のノズル５２０とこれら複数のノズル５２０に夫々に連通する複数の圧力室５１６とを夫々含む複数の個別インク流路５０２と、複数の圧力室５１６の容積を選択的に変化させる圧電アクチュエータ５０３とを備えている。
【００５６】
図１５に示すように、複数の個別インク流路５０２は、圧電アクチュエータ５０３の振動板５３０及び圧電層５３１を含む複数のプレートにより形成されている。これら複数のプレートは、上方から、マニホールドプレート５１０，５１１、ベースプレート５１２、圧力室プレート５１３、圧電アクチュエータ５０３の振動板５３０及び圧電層５３１、そして、ノズルプレート５１４の順に積層されている。ここで、マニホールドプレート５１０，５１１、ベースプレート５１２及び圧力室プレート５１３は夫々ステンレス鋼等の金属板であり、後述するマニホールド５１７や圧力室５１６等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができる。一方、ノズルプレート５１４は、可撓性を有する合成樹脂材料、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成される。
【００５７】
まず、圧電アクチュエータ５０３以外のプレートについて順に説明する。２枚のマニホールドプレート５１０，５１１には、複数の圧力室５１６に連なるマニホールド５１７が形成されている。図１４、図１５に示すように、このマニホールド５１７は、平面視で複数の圧力室５１６の全てと重なるように形成されており、マニホールド５１７には、図示しないインク供給源からインク供給孔５１８を介してインクが供給される。また、２枚のマニホールドプレート５１０，５１１の間には、マニホールド５１７内でインクに混ざった塵等を除去するフィルタ５１９が設けられている。ベースプレート５１２には、マニホールド５１７と複数の圧力室５１６とを夫々連通させる複数の連通孔５２１が形成されている。
【００５８】
圧力室プレート５１３には、図１４に示すように平面に沿って配列された複数の圧力室５１６が形成されている。これら複数の圧力室５１６は、紙送り方向（図１４の上下方向）に２列に配列されている。各圧力室５１６は、平面視で略楕円形状に形成されており、その長軸方向が左右方向（走査方向）となるように配置されている。また、各圧力室５１６は、図１４における右端部においてベースプレート５１２に形成された連通孔５２１を介してマニホールド５１７に連通している。
【００５９】
ノズルプレート５１４の、平面視で複数の圧力室５１６の図１４における左端部と夫々重なる位置には、鉛直方向において下方へ向いた複数のノズル５２０が形成されている。図１５〜図１７に示すように、このノズルプレート５１４は、圧電アクチュエータ５０３の圧力室５１６と反対側の面に、圧縮された状態で導電性を有する異方性導電材料からなる接着材５２２により接着されている。そして、圧電アクチュエータ５０３は、圧力室プレート５１３とノズルプレート５１４の間に配設されており、マニホールド５１７及び圧力室５１６とノズル５２０とが圧電アクチュエータ５０３を挟んで互いに反対側に配置されている。このように、マニホールド５１７が圧電アクチュエータ５０３に関してノズル５２０と反対側に配置されているため、ノズル５２０を配置できる領域が広くなってその配置自由度が高まり、ノズル５２０をより高密度に配置することが可能になる。また、ノズル５２０は鉛直方向において下方に向いており、マニホールド５１７はノズル５２０よりも鉛直方向における上方に配置されているため、個別インク流路５０２内に混入した気泡がそれ自身の浮力によりマニホールド５１７へ移動しやすくなり、気泡をマニホールド５１７側へ排出することが容易になる。さらに、図１６に示すように、インクジェットヘッド５０１がインクジェットプリンタ１００が設置される面（水平面）に対して、矢印ａの方向に僅かに傾斜して配置されて、ノズル５２０が斜め下方へ向いている場合には、破線の矢印で示すように、個別インク流路５０２内の気泡がさらにマニホールド５１７まで移動しやすくなる。
【００６０】
このように、マニホールド５１７がノズル５２０よりも鉛直方向における上方側に配置されていると、個別インク流路５０２内に混入した気泡をその浮力によってマニホールド５１７へ移動させやすくなるが、特に、図１６に示すように、個別インク流路５０２がインクの流れの上流側ほど鉛直方向における上方側に向かって延在するように形成されていれば、個別インク流路５０２内に混入した気泡をより確実にマニホールド５１７へ移動させることができる。すなわち、インクジェットヘッド１を水平面に対して傾斜して配置すれば、個別インク流路５０２内に混入した気泡をより確実にマニホールド５１７へ移動させることができる。
【００６１】
そして、圧力室プレート５１３に形成された圧力室５１６とノズルプレート５１４に形成されたノズル５２０は、圧電アクチュエータ５０３の振動板５３０及び圧電層５３１に夫々形成された貫通孔５３５，５３６を介して連通している。また、ノズルプレート５１４の圧電アクチュエータ５０３側の面には、複数の個別電極５３２と夫々接続され且つ走査方向の一方（図１４の右方）へ延びる複数の配線部５３４が形成され、さらに、ノズルプレート５１４の複数の配線部５３４が形成された面には、これら複数の配線部５３４に接続されたドライバＩＣ５３８が配置されている。配線部５３４及びドライバＩＣ５３８については、後ほど詳しく説明する。そして、図１５、図１７に示すように、インクジェットヘッド５０１内に、マニホールド５１７から圧力室５１６を経て、圧電アクチュエータ５０３を貫通してノズル５２０に至る、個別インク流路５０２が形成されている。
【００６２】
次に、圧電アクチュエータ５０３について説明する。図１４〜図１９に示すように、圧電アクチュエータ５０３は、複数の圧力室５１６の下側を覆う振動板５３０と、この振動板５３０の複数の圧力室５１６と反対側の面に設けられた圧電層５３１と、この圧電層５３１の振動板５３０と反対側の面において複数の圧力室５１６と夫々対向する位置に形成された複数の個別電極５３２とを有する。
【００６３】
振動板５３０は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板５３０は、複数の圧力室５１６を塞ぐように圧力室プレート５１３の下面に接合されている。また、この振動板５３０は、複数の個別電極５３２に対向して個別電極５３２と振動板５３０との間の圧電層５３１に電界を作用させる共通電極を兼ねており、配線部５４０（図１４参照）を介してグランド電位に保持されている。振動板５３０の下面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電層５３１が形成されている。この圧電層５３１は、複数の圧力室５１６に跨って連続的に形成されている。
【００６４】
振動板５３０と圧電層５３１の、平面視で圧力室５１６の図１４における左端部と重なる位置には、夫々個別インク流路５０２の一部を構成する貫通孔５３５，５３６が形成されており、これら貫通孔５３５，５３６において個別インク流路５０２が圧電アクチュエータ５０３を貫通して、圧力室５１６とノズル５２０が連通している。ここで、圧電層５３１が貫通孔５３６において個別インク流路５０２に露出していると、導電性を有するインクが圧電層５３１に浸透して、このインクにより複数の個別電極５３２同士が短絡してしまう虞がある。そこで、本実施形態のインクジェットヘッドでは、貫通孔５３５，５３６の内面に、個別インク流路５０２を流れるインクが圧電層５３１に浸透するのを防止する保護膜５３７が形成されている。この保護膜５３７は、例えば、酸化ケイ素や窒化ケイ素からなる。
【００６５】
圧電層５３１の下面には、圧力室５１６よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極５３２が形成されている。これら複数の個別電極５３２は、平面視で、対応する圧力室５１６の中央部に重なる位置に夫々形成されている。また、個別電極５３２は金などの導電性材料からなる。さらに、図１４〜図１７及び図１９に示すように、複数の個別電極５３２の長手方向端部（図１４〜図１７及び図１９の右端部）からは、夫々、ノズルプレート５１４に形成された複数の配線部５３４を介してドライバＩＣ５３８と電気的に接続される複数の接点部５３２ａが、平面視で圧力室５１６と重ならない領域まで延びている。そして、複数の配線部５３４と接点部５３２ａを介してドライバＩＣ５３８から複数の個別電極５３２に対して選択的に駆動電圧が印加される。
【００６６】
次に、圧電アクチュエータ５０３の作用について説明する。複数の個別電極５３２に対してドライバＩＣ５３８から選択的に駆動電圧が印加されると、駆動電圧が供給された圧電層５３１上側の個別電極５３２とグランド電位に保持されている圧電層５３１下側の共通電極としての振動板５３０の電位が異なる状態となり、個別電極５３２と振動板５３０の間に挟まれた圧電層５３１の部分に上下方向の電界が生じる。すると、駆動電圧が印加された個別電極５３２の直下の圧電層５３１の部分が分極方向である上下方向と直交する水平方向に収縮する。このとき、この圧電層５３１の収縮に伴って振動板５３０が圧力室５１６側に凸となるように変形するため、圧力室５１６内の容積が減少して圧力室５１６内のインクに圧力が付与され、圧力室５１６に連通するノズル５２０からインクが噴射される。
【００６７】
ところで、ノズルプレート５１４は可撓性を有する絶縁材料で形成され、図１４〜図１７及び図１９に示すように、このノズルプレート５１４の圧電アクチュエータ５０３側の面に、端部（図１４の左端部）に複数の個別電極５３２の接点部５３２ａと夫々接続される端子部５３４ａを有し、走査方向の一方向（図１４の右方）へ延びる複数の配線部５３４が形成されている。これら複数の配線部５３４の個別電極５３２と反対側の端部はドライバＩＣ５３８に接続され、ドライバＩＣ５３８はノズルプレート５１４に配置されている。このように、複数の個別電極５３２とドライバＩＣ５３８とが、ノズルプレート５１４に形成された複数の配線部５３４を介して電気的に接続されているため、従来は必要であったＦＰＣ等の配線部材が不要になり、部品点数を減らしてインクジェットヘッド５０１の製造コストを低減することができる。また、ノズルプレート５１４は、可撓性を有する絶縁材料で形成されているため、従来から使用されているＦＰＣ等の可撓性を有する配線部材と同様に、図１５、図１６に示すようにノズルプレート５１４を引き回すことが可能になり、ドライバＩＣ５３８等の配置自由度が高まる。
【００６８】
尚、図１４に示すように、ノズルプレート５１４の複数の配線部５３４が形成された面には、さらに、共通電極としての振動板５３０をドライバＩＣ５３８を介してグランド電位に保持する為の配線部４０が形成されている。さらに、図１４、図１５に示すように、ノズルプレート５１４には、インクジェットプリンタ１００の制御装置（図示省略）とドライバＩＣ５３８とを接続する複数の配線部５４１も形成されている。
【００６９】
ここで、ノズルプレート５１４は、異方性導電フィルム（Anisotropic Conductive Film：ＡＣＦ）、あるいは、異方性導電ペースト（Anisotropic Conductive Paste：ＡＣＰ）からなる接着材５２２により接着されている。この異方性導電材料は、例えば、熱硬化性のエポキシ樹脂の中に導電性粒子を分散させたものであり、圧縮されていな状態では絶縁性を有し、圧縮された状態では導電性を有する。そして、この接着材５２２は、個別電極５３２の接点部５３２ａと配線部５３４の端子部５３４ａの間の接続エリアでは圧縮されて導電性を有し、接着材５２２により接点部５３２ａと端子部５３４ａとが電気的に接続されている。しかし、接点部５３２ａと端子部５３４ａの電気接続部以外の部分では接着材５２２は圧縮されておらず絶縁性を有する。従って、この接点部５３２ａと端子部５３４ａの電気接続部以外の部分で、配線部５３４と振動板５３０との間に挟まれる圧電層５３１に不必要な静電容量が発生するのを抑制できるため、圧電アクチュエータ５０３の駆動効率が向上する。
【００７０】
また、図１７に示すように、個別電極５３２の接点部５３２ａと、ノズルプレート５１４に形成された配線部５３４の端子部５３４ａとの間の離隔距離（図１７のＤ１）は、それ以外の部分におけるノズルプレート５１４と圧電層５３１との間の離隔距離（図１７のＤ２）よりも小さくなっている。そのため、ノズルプレート５１４を圧電層５３１へ押しつけてノズルプレート５１４と圧電層５３１を接着する際に、個別電極５３２の接点部５３２ａと配線部５３４の端子部５３４ａの間の接着材５２２のみを圧縮して、個別電極５３２と配線部５３４とを電気的に接続することが容易になる。
【００７１】
さらに、図１４〜図１７に示すように、ノズルプレート５１４の、複数の個別電極５３２と対向する部分には、夫々、矩形の平面形状を有する複数の凹部５１４ａが形成されている。従って、個別電極５３２に駆動電圧が印加されて圧電層５３１が変形したときに、この圧電層５３１の変形が、ノズルプレート５１４やこのノズルプレート５１４と圧電層５３１とを接着する接着材５２２により妨げられず、圧電アクチュエータ５０３の駆動効率が向上する。尚、凹部５１４ａは複数の個別電極５３２に亙って共通に形成されているわけではなく、図１４に示すように、複数の個別電極５３２に対して夫々複数の凹部５１４ａが個別に形成されているため、凹部５１４ａの間の部分によってノズルプレート５１４の剛性がある程度確保されている。そのため、例えば、ノズル５２０からのパージ動作（気泡排出動作）後にワイパー等でインク噴射面（ノズルプレート５１４の下面）を拭く場合などに、ノズルプレート５１４が撓んでしまうのを防止できる。さらに、図１４に示すように、これら複数の凹部５１４ａの間の領域、即ち、複数のノズル５２０及び複数の圧力室５１６と対向しない領域に、複数の配線部５３４が形成されている。そのため、配線部５３４に導電性のインクが付着することがなく、配線部５３４同士の短絡を防止できる。また、個別電極５３２に駆動電圧が印加されたときに、配線部５３４が圧電層５３１の変形を妨げることもない。
【００７２】
次に、前述したインクジェットヘッド５０１を製造する方法について説明する。まず、ノズルプレート５１４以外の複数のプレート（圧電アクチュエータ５０３の振動板５３０及び圧電層５３１を含む）を積層させる工程について図２０を参照して説明する。図２０（ａ）に示すように、まず、振動板５３０に個別インク流路５０２の一部を構成する貫通孔５３５をエッチング等により形成し（孔形成工程）、圧力室５１６が形成された圧力室プレート５１３と振動板５３０とを、金属拡散接合、あるいは、接着材等により接合する。
【００７３】
次に、図２０（ｂ）に示すように、振動板５３０の圧力室プレート５１３と反対側の表面に、圧電素子の粒子を堆積させて熱処理を施すことにより、振動板５３０の貫通孔５３５が形成されていない領域にのみ圧電層５３１を形成する（圧電層形成工程）。ここで、圧電素子を振動板５３０に堆積させる方法としては、例えば、超微粒子材料を高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）を用いて形成できる。その他、スパッタ法、あるいは、ＣＶＤ（化学蒸着）法を用いることもできる。尚、振動板５３０に圧電素子の粒子を堆積させて圧電層５３１を形成すると、圧電層５３１の、振動板５３０の貫通孔５３５に対応する位置に、貫通孔５３５と同じく個別インク流路５０２の一部を構成する貫通孔５３６が同時に形成されることになる。
【００７４】
そして、図２０（ｃ）に示すように、圧電層５３１の振動板５３０と反対側の面において、圧力室５１６と対向する領域に、スクリーン印刷や蒸着法等を用いて、個別電極５３２を形成し、さらに個別電極５３２に連なる接点部５３２ａを形成する。さらに、図２０（ｄ）に示すように、振動板５３０と圧電層５３１に形成された貫通孔５３５，５３６の内面に、ＡＤ法、スパッタ法、あるいは、ＣＶＤ法等を用いて、インクが圧電層５３１に浸透するのを防止する保護膜５３７を形成する（保護膜形成工程）。そして、圧力室プレート５１３の圧電アクチュエータ５０３と反対側の面に、ベースプレート５１２と２枚のマニホールドプレート５１０，５１１を接合する。尚、２枚のマニホールドプレート５１０，５１１、ベースプレート５１２、圧力室プレート５１３、及び、振動板５３０の、５枚の金属製プレートを先に拡散接合等により一度に接合してから、振動板５３０の圧力室５１６と反対側の面に圧電層５３１を形成してもよい。
【００７５】
次に、ノズルプレート５１４を形成する工程について図２１を参照して説明する。図２１（ａ）に示すように、ノズルプレート５１４を圧電層５３１に接着したときに、複数の個別電極５３２に夫々対向することになる領域に複数の凹部５１４ａを形成するとともに、エキシマレーザー加工等により複数のノズル５２０を形成する。次に、図２１（ｂ）に示すように、凹部５１４ａよりも右側の部分に右方へ延びる配線部５３４（及び端子部５３４ａ）を形成する。そして、図２１（ｃ）に示すように、圧電層５３１に接着されるノズルプレート５１４の上面に、スクリーン印刷等により異方性導電材料からなる接着材５２２をスクリーン印刷等により付着させる（付着工程）。この付着工程においては、接着材５２２を、ノズルプレート５１４の圧電層５３１と接着される部分にのみパターニングして付着させてもよいが、接着材５２２をノズルプレート５１４の全面に付着させてもよい。この場合でも、ノズルプレート５１４の個別電極５３２に対向する部分に凹部５１４ａが形成されているため、個別電極５３２に駆動電圧が印加されたときの圧電層５３１の変形が、ノズルプレート５１４やこのノズルプレート５１４に付着した接着材５２２により妨げられない。
【００７６】
そして、図２２に示すように、ノズルプレート５１４を圧電アクチュエータ５０３の圧電層５３１に接着材５２２により接着する（接着工程）。このとき、個別電極５３２の接点部５３２ａを、配線部５３４の端子部５３４ａの表面に付着した接着材５２２に接触させ、この部分の接着材５２２を圧縮して個別電極５３２と前記配線部５３４とを導通状態で接続するとともに、配線部５３４のその他の部分を圧縮されていない接着材５２２により絶縁状態で圧電層５３１に接着する。同時に、ノズルプレート５１４の配線部５３４以外の部分に付着した接着材５２２により、ノズルプレート５１４と圧電層５３１とを接着する。尚、個別電極５３２と配線部５３４は５μｍ程度の厚みを有するため、個別電極５３２の接点部５３２ａと、ノズルプレート５１４に形成された配線部５３４の端子部５３４ａとの間の離隔距離（図１７のＤ１）は、それ以外の部分におけるノズルプレート５１４と圧電層５３１との間の離隔距離（図１７のＤ２）よりも小さい。そのため、ノズルプレート５１４と圧電アクチュエータ５０３の圧電層５３１を接着する際に、ノズルプレート５１４を圧電層５３１に対して均等に押圧するだけで、個別電極５３２の接点部５３２ａと配線部５３４の端子部５３４ａの間の接着材５２２のみを圧縮することができ、個別電極５３２と配線部５３４を電気的に接続することが容易になる。
【００７７】
尚、ノズル５２０の周辺部の厚さ（ノズルプレート５１４の図２１における左端部）を、配線部５３４が形成される部分（ノズルプレート５１４の図２１における右端部）の厚さよりも僅かに薄くすることにより、個別電極５３２の接点部５３２ａと、ノズルプレート５１４に形成された配線部５３４の端子部５３４ａとの間の離隔距離（図１７のＤ１）を、それ以外の部分におけるノズルプレート５１４と圧電層５３１との間の離隔距離（図１７のＤ２）よりも小さくしてもよい。
【００７８】
以上説明したインクジェットヘッド５０１及びその製造方法によれば、次のような効果が得られる。圧電アクチュエータ５０３の複数の個別電極５３２とこれら複数の個別電極５３２に駆動電圧を供給するドライバＩＣ５３８とを接続する複数の配線部５３４が、絶縁材料からなるノズルプレート５１４に形成されており、ノズルプレート５１４にＦＰＣ等の配線部材の機能を持たせてこの配線部材を省略することができるため、部品点数を減らしてインクジェットヘッド５０１の製造コストを低減することができる。また、ノズルプレート５１４上にドライバＩＣ５３８を配置することができる。さらに、ノズルプレート５１４は可撓性を有するため、ＦＰＣ等と同様に引き回すことができ、ドライバＩＣ５３８の配置自由度が高まる。さらに、ノズルプレート５１４を圧電アクチュエータ５０３に接着すると同時に、複数の個別電極５３２と複数の配線部５３４とを電気的に接続することが可能になり、インクジェットヘッド５０１の製造工程を簡素化できる。
【００７９】
また、圧電アクチュエータ５０３の圧電層５３１とノズルプレート５１４の接着工程において、圧電層５３１とノズルプレート５１４を異方性導電材料からなる接着材５２２により接着するため、個別電極５３２と配線部５３４との電気的接続を１種類の接着材５２２により一度に行うことができ、さらに製造工程を簡素化して、製造コストを低減できる。さらに、個別電極５３２と配線部５３４との間の接着材５２２は圧縮されて導電性を有するが、その他の部分の接着材５２２は圧縮されず絶縁性を有するため、個別電極５３２と配線部５３４との電気接続部以外の部分で、配線部５３４と振動板５３０との間に挟まれる圧電層５３１に不必要な静電容量が発生するのを抑制することができるため、圧電アクチュエータ５０３の駆動効率が向上する。
【００８０】
次に、前記第２実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記第２実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００８１】
［第１変更形態］
前記第２実施形態では、ノズルプレートの個別電極５３２と対向する部分に凹部が形成されているが、圧電層側に凹部が形成されていてもよい。例えば、図２３に示すように、振動板５３０Ａの複数の個別電極５３２と対向する部分に夫々複数の凹部５３０ａが形成され、圧電層５３１Ａに、振動板５３０Ａの凹部５３０ａに対応する凹部５３１ａが形成されていてもよい。この場合、凹部５３０ａが形成された振動板５３０Ａの面に、ＡＤ法やＣＶＤ法等により一様な厚さで圧電層５３１Ａを形成することにより、圧電層５３１Ａの凹部５３１ａも同時に形成することができる。尚、この場合には、圧電層５３１Ａ側に接着材５２２を付着させてから、ノズルプレート５１４Ａを圧電層５３１Ａに接着することになる。
【００８２】
［第２変更形態］
ノズルプレート５１４（又は圧電層５３１）に接着材５２２を付着させる付着工程において、接着材５２２をパターニングして付着させる場合には、接着材５２２によりノズルプレート５１４と圧電層５３１との間に隙間が形成され、この隙間により、圧電層５３１の変形がノズルプレート５１４やこのノズルプレート５１４に付着した接着材５２２により阻害されにくくなるため、図２４に示すように、ノズルプレート５１４Ｂ（又は圧電層５３１）の凹部を省略してもよい。尚、接着材５２２をパターニングして付着させるには、前述のスクリーン印刷の他に、ノズルプレート５１４（５１４Ｂ）の全面に接着材５２２を付着させてから、圧電層５３１と接着されない部分の接着材５２２をレーザー等により部分的に除去することによっても可能である。
【００８３】
［第３変更形態］
圧電層５３１に形成された個別電極５３２の接点部５３２ａとノズルプレート５１４に形成された配線部５３４の端子部５３４ａとの電気的接続と、この電気接続部以外の部分における圧電層５３１とノズルプレート５１４の接着を、別々の接着材料により行うこともできる。例えば、個別電極５３２と配線部５３４の電気的接続には導電性ペーストを用い、他の部分における圧電層５３１とノズルプレート５１４の接着には非導電性の接着材を用いてもよい。但し、この場合には、個別電極５３２と配線部５３４の電気的接続と、圧電層５３１とノズルプレート５１４の接着を、同時に行うことができるように、導電性ペーストと非導電性の接着材には、互いの硬化温度が近いものを使用することが好ましい。
【００８４】
［第４変更形態］
ノズルプレートをステンレス鋼等の金属材料で形成し、この金属プレートの一表面にＡＤ法、スパッタ法、あるいは、ＣＶＤ法などによりアルミナ等の絶縁性材料の薄膜を形成することにより、この薄膜が形成された面においてノズルプレートが絶縁性を有するようにしてもよい。この場合、ノズルプレートの薄膜が形成された面を、圧電アクチュエータ５０３に対向し且つ複数の配線部５３４が形成される面とすればよい。
【００８５】
［第５変更形態］
前記第２実施形態ではベースプレートを介して上方にマニホールドが形成され、下方に圧力室が形成されていたが、マニホールドの位置は圧力室の上方に限定されない。マニホールドの一部が圧力室と同じ高さに形成されていてもよく、例えば、圧力室の下面とマニホールドの下面が同じ高さであってもよい。図２５に示すインクジェットヘッド２００は、マニホールド１１７が形成されたマニホールドプレート１１２と、圧力室１１６が形成された圧力室プレート１１３と、振動板５３０及び圧電層５３１を有する圧電アクチュエータ５０３と、異方性導電層２２と、ノズルプレート５１４とを備える。圧電アクチュエータ５０３の振動板５３０側には圧力室プレート１１３を介してマニホールドプレート１１２が接合され、圧電アクチュエータ５０３の圧電層５３１側には異方性導電層２２を介してノズルプレート５１４が接合される。ここで、振動板５３０は圧力室１１６の下面を画成すると共に、マニホールド１１７の下面も画成している。すなわち、圧力室１１６の下面とマニホールド１１７の下面は同じ高さに形成されている。このように、マニホールドの一部が圧力室と同じ高さに形成されている場合には、インクジェットヘッドの厚さを薄くすることができる。
【００８６】
前記実施形態は、インクを噴射するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、インク以外の液体を噴射する他の液体噴射装置に本発明を適用することもできる。例えば、導電ペーストを噴射して基板上に配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に噴射して有機エレクトロルミッセンスディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の光学デバイスを形成したりする場合などに用いられる、種々の液体噴射装置にも本発明を適用できる。
【００８７】
上記実施形態では、アクチュエータ３，５０３が振動板３０，５３０及び圧電層３１，５３１を有していたが、これに限らず、アクチュエータは圧電層を持つが振動板を持たないタイプのアクチュエータであってもよい。
【００８８】
以上説明した第１実施形態とその変更形態、及び、第２実施形態とその変形形態は、本発明をインクジェットヘッド及びインクジェットプリンタに適用した例であるが、インク以外の液体を噴射する他の液体噴射装置に本発明を適用することも可能である。例えば、導電ペーストを噴射して基板上に配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に噴射して有機エレクトロルミッセンスディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の光学デバイスを形成したりする場合などに用いられる、種々の液体噴射装置にも本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のIII-III線断面図である。
【図４】傾斜して配置されたインクジェットヘッドの図３相当の断面図である。
【図５】図４の部分拡大図である。
【図６】図５のVI-VI線断面図である。
【図７】インクジェットヘッドの製造工程のうち、圧力室プレートに圧電アクチュエータを形成する工程を示す図であり、（ａ）は圧力室プレートと振動板の接合工程、（ｂ）は絶縁層形成工程、（ｃ）は個別電極の形成工程、（ｄ）は圧電層形成工程、（ｅ）は共通電極の形成工程を夫々示す。
【図８】圧電アクチュエータ形成後のインクジェットヘッドの製造工程を示す図であり、（ａ）は保護膜形成工程、（ｂ）はディセンダプレート及びノズルプレートの接合工程、（ｅ）は保護プレート及びマニホールドプレートの接合工程を夫々示す。
【図９】変更形態１の図６相当の断面図である。
【図１０】変更形態２の図５相当の断面図である。
【図１１】変更形態３の図５相当の断面図である。
【図１２】変更形態３の図６相当の断面図である。
【図１３】変更形態４の図５相当の断面図である。
【図１４】第２実施形態のインクジェットヘッドの平面図である。
【図１５】図１４のXV-XV線断面図である。
【図１６】傾斜して配置されたインクジェットヘッドの図１４相当の断面図である。
【図１７】図１６の部分拡大図である。
【図１８】図１７のXVIII-XVIII線断面図である。
【図１９】図１７の要部拡大図である。
【図２０】ノズルプレート以外の複数のプレートを積層させる工程を示す図であり、（ａ）は圧力室プレートと振動板の接合工程、（ｂ）は圧電層形成工程、（ｃ）は個別電極の形成工程、（ｄ）は保護膜形成工程、（ｅ）はマニホールドプレート及びベースプレートとの接合工程を夫々示す。
【図２１】ノズルプレートの形成工程を示す図であり、（ａ）はノズル及び凹部を形成する工程、（ｂ）は配線部を形成する工程、（ｃ）は接着材の付着工程を夫々示す。
【図２２】ノズルプレート以外の積層された複数のプレートにノズルプレートを接着した状態を示す図である。
【図２３】第２実施形態の第１変更形態の図１７相当の断面図である。
【図２４】第２実施形態の第２変更形態の図１７相当の断面図である。
【図２５】圧力室の隣にマニホールドが配置されたインクジェットヘッドの図１７相当の断面図である。
【符号の説明】
【００９０】
１，５１，２００，５０１  インクジェットヘッド
２  個別インク流路
３，３Ｂ，３Ｃ  圧電アクチュエータ
３ａ  貫通孔
１２，１２Ａ，１２Ｃ，１２Ｄ  保護プレート
１３  圧力室プレート
１５  ノズルプレート
１６  圧力室
１７  マニホールド
２０  ノズル
２１  貫通孔
３０，３０Ｂ  振動板
３０ａ  貫通孔
３１，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ  圧電層
３１ａ  貫通孔
３２，３２Ｄ  個別電極
３３  絶縁層
３３，３３Ｂ  絶縁層
３４，３４Ｃ  共通電極
３４ａ  貫通孔
３７  保護膜
４０  空間
４１，４１Ａ，４１Ｃ  厚肉部
４２，４２Ａ，４２Ｃ  薄肉部
５２  個別インク流路
５３  圧電アクチュエータ
５３ａ  貫通孔
６３  圧力室プレート
６４  ノズルプレート
６６  圧力室
６７  マニホールド
７０  ノズル
８０  振動板
８１  圧電層
８２  個別電極
１００  インクジェットプリンタ
５０２  個別インク流路
５０３  圧電アクチュエータ
５１３  圧力室プレート
５１４Ｂ  ノズルプレート
５１４，５１４Ａ，５１４Ｂ  ノズルプレート
５１４ａ  凹部
５１６  圧力室
５１７  マニホールド
５２０  ノズル
５２２  接着材
５３０，５３１Ａ  振動板
５３０ａ  凹部
５３１，５３１Ａ  圧電層
５３２  個別電極
５３２ａ  接点部
５３４  配線部
５３４ａ  端子部
５３５  貫通孔
５３６  貫通孔
５３７  保護膜
【図１】
2006116954.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006116954.tif 000009
【図８】
2006116954.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
2006116954.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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