(57)【要約】      （修正有）【課題】干渉変調器と電気部品、装置を含む設計柔軟性の高い様々な利点を備えることができるディスプレイパネル及びディスプレイ装置の製造方法。【解決手段】ディスプレイパネルは、干渉変調器のアレイと透明基板との間に配置した透明基板および透明電気装置の上に配置した干渉変調器のアレイを含み、透明電気装置は、干渉変調器のアレイまたはディスプレイパネルの他の部分に電気的に接続してもよく、適切な透明電気装置の例はコンデンサー、抵抗器、インダクターおよびフィルターを含み、そのような透明電気装置が、視野領域を含むアレイの様々な部分に利用されることを可能にする。【選択図】図７
2006099078.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記を具備するディスプレイ装置：  
透明基板上に配列された干渉変調器のアレイと；および
前記干渉変調器のアレイと前記透明基板との間に配置された実質的に透明な電気装置、前記透明な電気装置は、前記干渉変調器のアレイに電気的に接続されている。
【請求項２】
前記透明電気装置は、コンデンサー、抵抗器、誘導子およびフィルターを含むグループから選択される、請求項１のディスプレイ装置。
【請求項３】
前記透明電気装置は、コンデンサーである、請求項２のディスプレイ装置。
【請求項４】
前記コンデンサーは記憶コンデンサーである、請求項３のディスプレイ装置。
【請求項５】
前記透明電気装置は抵抗器である、請求項２のディスプレイ装置。
【請求項６】
前記透明電気装置は、インダクターである、請求項２のディスプレイ装置。
【請求項７】
前記透明電気装置は、フィルターである、請求項２のディスプレイ装置。
【請求項８】
前記フィルターは、コンデンサーと抵抗器とを具備する、請求項７のディスプレイ装置。
【請求項９】
前記フィルターはさらにインダクターを具備する、請求項８のディスプレイ装置。
【請求項１０】
前記干渉変調器のアレイは、少なくとも第１の干渉変調器を具備し、前記第１の干渉変調器は、第１の電極、前記第１の電極に機械的に接続された第１のミラー、第２の電極、および前記第２の電極に機械的に接続された第２のミラーを具備する、請求項１のディスプレイ装置。
【請求項１１】
前記透明電気装置は前記第１の電極に電気的に接続されている、請求項１０のディスプレイ装置。
【請求項１２】
前記第２のミラーは、前記第１のミラーに対して移動可能である、請求項１０のディスプレイ装置。
【請求項１３】
前記第１のミラーは、前記第１の電極の反射面である、請求項１２のディスプレイ装置。
【請求項１４】
前記透明電気装置は、受動電気装置である、請求項１のディスプレイ装置。
【請求項１５】
下記を具備するディスプレイ装置：
アレイ領域を具備する基板；
前記アレイ領域内の基板に取り付けられた干渉変調器；および
前記アレイ領域内の前記基板に取り付けられた透明受動電気装置。
【請求項１６】
前記透明受動電気装置は、前記アレイ領域内の前記基板の視野側から前記干渉変調器に光を送信するように構成される、請求項１５のディスプレイ装置。
【請求項１７】
前記アレイ領域内の前記基板に取り付けられた第２の干渉変調器をさらに具備する、請求項１５のディスプレイ装置。
【請求項１８】
前記透明受動電気装置は、前記基板と、前記アレイ領域内の前記第２の干渉変調器との間に配置される、請求項１７のディスプレイ装置。
【請求項１９】
前記第１の干渉変調器および前記第２の干渉変調器に電気的に接続された前記アレイ領域内の行ラインをさらに具備する、請求項１７のディスプレイ装置。
【請求項２０】
前記透明受動電気装置は、前記行ラインに電気的に接続される、請求項１９のディスプレイ装置。
【請求項２１】
下記を具備するディスプレイ装置を作る方法：
基板上に透明電気装置を形成する；
透明電気装置上に絶縁層を堆積する；
絶縁層の上に干渉変調器を形成する；および
前記透明電気装置と前記干渉変調器との間に電気接続を形成する。
【請求項２２】
前記透明電気装置を形成することは、導電層および誘電体層を堆積することを具備する、請求項２１の方法。
【請求項２３】
前記透明電気装置を形成することは、第２の導電層を堆積することを具備する、請求項２２の方法。
【請求項２４】
前記導電層および前記誘電体層の少なくとも一方をパターニングすることをさらに具備する、請求項２２の方法。
【請求項２５】
前記電気接続を形成することは、前記絶縁層内にビアホールを形成することを具備する、請求項２１の方法。
【請求項２６】
前記干渉変調器を形成することは、第１の電極を形成することを具備する、請求項２１の方法。
【請求項２７】
前記第１の電極は、前記絶縁層により前記透明電気装置から絶縁されている、請求項２６の方法。
【請求項２８】
前記干渉変調器のアレイと電気通信するプロセッサー、前記プロセッサーは、画像データを処理するように構成される；および
前記プロセッサーと電気通信するメモリ装置。
【請求項２９】
前記干渉変調器のアレイに少なくとも１つの信号を送信するように構成された第１のコントローラー；および
前記第１のコントローラーに前記画像データの少なくとも一部を送信するように構成された第２のコントローラーをさらに具備する、請求項２８のディスプレイ装置。
【請求項３０】
前記画像データを前記プロセッサーに送信するように構成された画像ソースモジュールをさらに具備する、請求項２８のディスプレイ装置。
【請求項３１】
前記画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバー、および送信機の少なくとも１つを具備する、請求項３０のディスプレイ装置。
【請求項３２】
入力データを受信し、前記入力データを前記プロセッサーに通信するように構成された入力装置。
【請求項３３】
請求項２１の方法により製造されたディスプレイ装置。
【請求項３４】
下記を具備するディスプレイ装置：
変調手段を支持する手段の上に配置された光を干渉的に変調する手段；および
前記変調手段と前記支持手段との間に堆積された電気を導電する手段、前記導電手段は、実質的に透明であり、前記変調手段は、前記導電手段に電気的に接続される。
【請求項３５】
前記変調手段は、干渉変調器のアレイを具備する、請求項３４のディスプレイ装置。
【請求項３６】
前記支持手段は、基板を具備する、請求項３４または３５のディスプレイ装置。
【請求項３７】
前記電気導電手段は、透明電気装置を具備する請求項３４、または３５、または３６のディスプレイ装置。
【請求項３８】
下記を具備する干渉変調器を動作させる方法：
実質的に透明な基板上に配置された干渉変調器と電気通信する実質的に透明な電気装置に電圧を印加する、前記実質的に透明な電気装置は、前記干渉変調器と前記実質的に透明な基板との間に堆積される；および
前記電圧が所定の閾値を越えると前記干渉変調器の第２のコンポーネントに対して前記干渉変調器の第１のコンポーネントを移動する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明の分野は、微小電気機械システム(microelectromechanical systems)(ＭＥＭＳ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
微小電気機械システム(ＭＥＭＳ）は、微小機械素子、アクチュエータ、および電子機器を含む。微小機械素子は、堆積、エッチング、及び、あるいは、基板及び／又は堆積された材料の一部分をエッチングして取り除く、若しくは電子装置及び電子機械装置を形成するために複数の層を付加する、その他のマイクロマシニング・プロセスを使用して創り出されることができる。ＭＥＭＳ装置の１つのタイプは、干渉変調器と呼ばれる。
【０００３】
ここに使用されるように、干渉変調器または干渉光変調器という用語は、光干渉の原理を用いて選択的に光を吸収および／または反射する装置を指す。ある実施形態において干渉変調器は１対の導電性プレートを含んでいてもよい。１対の導電性プレートの一方または両方は、全体においてまたは一部分において透明および／または反射してもよく、適切な電気信号が印加されると相対的動きが可能である。特定の実施形態において、一方のプレートは、基板上に堆積された静止層を含み、他方のプレートは、エアーギャップにより静止層から分離された金属膜を含んでいてもよい。ここにより詳細に記述されるように、他方に関して一方のプレートの位置は、干渉変調器に入射する光の光学干渉を変化させることができる。そのような装置は広範囲のアプリケーションを有し、それらの特徴が既存の製品を改良しおよびまだ開発されていない新製品を製作するのに利用できるように、これらのタイプの装置の特性を利用および／または変更することは技術的に有益であろう。
【発明の概要】
【０００４】
ここに記載されたシステム、方法、および装置は、各々いくつかの観点を有し、それらの観点の単一の観点は、もっぱらその望ましい特性に関与しない。この発明の範囲を制限せずに、そのより顕著な特徴について簡潔に議論されるだろう。この議論を考慮した後に、また、特に「好適実施形態の詳細な説明」というタイトがたつけられたセクションを読んだ後で、ここに記載したさまざまな実施形態がどのようにして他の方法およびディスプレイ装置に対して利点を供給するかを理解するであろう。
【０００５】
一実施形態は、透明基板上に配置された干渉変調器のアレイ、および干渉変調器と透明基板との間に配置された透明電気装置を含むディスプレイパネルを提供する。透明電気装置は、電気的に干渉変調器のアレイに接続される。
【０００６】
他の実施形態は、アレイ領域、アレイ領域の基板に取り付けられた干渉変調器、およびアレイ領域の基板に取り付けられた透明な受動の電気装置を含んでいる基板を含んでいるディスプレイ装置を提供する。
【０００７】
他の実施形態は、ディスプレイ装置を作る方法を提供する。
【０００８】
方法は基板上に透明な電気装置を形成すること、透明な電気装置上に絶縁層を堆積すること、絶縁層上に干渉変調器を形成すること、透明電気装置と干渉変調器との間に電気接続を形成することを含む。
【０００９】
他の実施形態はディスプレイ装置を提供する。
【００１０】
ディスプレイ装置は、変調手段を支持する手段上に配置された光を干渉的に変調する手段、変調手段とサポート手段との間に配置された導電手段を含み、前記導電手段は、実質的に透明であり、前記変調手段は、前記導電手段に電気的に接続されている。
【００１１】
これらおよび他の実施形態は、より非常に詳しく以下に記述される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
この発明のこれらの観点および他の観点は、この発明を限定するのではなく、図示することを意図した（ノンスケールの)好適実施形態の図面を参照して記載されるであろう。
【００１３】
以下の詳細な記載は、この発明のある特定の実施形態に向けられる。しかしながら、発明は、多数の異なる方法で具体化されることができる。この明細書では、参照符合が、図面に与えられ、全体を通して同様の部分が類似の数字を用いて表される。下記の説明から明らかになるように、発明は、動画（例えば、ビデオ）であるか固定画面（例えば、静止画）であるかに係らず、及びテキストであるか画像であるかに係らず、画像を表示するために構成された任意の装置で実行されることができる。より詳しくは、本発明が種々の電子装置で実行される若しくは電子装置に関連付けられることができることが、予想される。電子装置は、携帯電話機、無線装置、パーソナルディジタルアシスタンツ（ＰＤＡｓ）、ハンド−ヘルド又は携帯型コンピュータ、ＧＰＳ受信機／ナビゲータ、カメラ、ＭＰ３プレーヤ、カムコーダ、ゲームコンソール、腕時計、時計、計算機、テレビモニタ、フラットパネルディスプレイ、コンピュータモニタ、自動車ディスプレイ（例えば、走行距離計ディスプレイ、等）、コクピット制御装置及び／又はディスプレイ、カメラファインダのディスプレイ（例えば、自動車の後方監視カメラのディスプレイ）、電子写真、電子ビルボード又はサイン、プロジェクタ、建築上の構造、パッケージング、及び芸術的な構造（例えば、宝石１個の画像のディスプレイ）のようなものであるが、限定されない。ここに説明されたものに類似の構造のＭＥＭＳ装置も、電子スイッチング装置のような、非−ディスプレイアプリケーションで使用されこともできる。
【００１４】
一実施形態は、透明電気装置が基板と干渉変調器のアレイとの間に配置されたディスプレイパネルを提供する。適切な透明電気装置の例はコンデンサー、抵抗器、インダクターおよびフィルターを含む。そのような透明電気装置の使用は、電気装置が、視野領域を含むアレイの様々な部分に含まれることを可能にすることにより、増加した設計柔軟性のような様々な利点を提供するかもしれない。
【００１５】
干渉ＭＥＭＳディスプレイエレメントを含む１つの干渉変調器ディスプレイ実施形態は、図１に図解される。これらのデバイスにおいて、ピクセルは、明または暗状態のいずれかである。明（"オン"又は"開路（open）"）状態では、ディスプレイ素子は、入射可視光の大部分をユーザーに反射する。暗（"オフ"又は"閉路（close）"）状態にある場合は、ディスプレイ素子は、入射可視光をユーザーにほとんど反射しない。実施形態に依存して、"オン"及び"オフ"状態の光反射率特性は、逆になることがある。ＭＥＭＳピクセルは、選択された色を主に反射するように構成されることができ、白黒に加えてカラー表示を可能にする。
【００１６】
図１は、視覚によるディスプレイ装置の一連のピクセル中の２つの隣接するピクセルを図示する等測図であり、ここでは、各ピクセルは、ＭＥＭＳ干渉変調器を具備する。複数の実施形態では、干渉変調器ディスプレイは、これらの干渉変調器の行／列アレイを具備する。各干渉変調器は、互いに可変であり制御可能な距離に位置する１対の反射層を含み、少なくとも１つの可変の大きさを有する共鳴光学的キャビティを形成する。１つの実施形態において、反射層の１つは、２つの位置の間を移動することができる。第１の位置では、ここでは弛緩（relaxed）と呼ぶ、可動層は、固定された部分反射層から比較的離れた距離に位置する。第２の位置では、可動層は、部分反射層により近くに隣接して位置する。２つの層から反射する入射光は、可動反射層の位置に依存して、積極的に（constructively）又は消極的に（destructively）干渉して、各ピクセルに対して全体が反射状態又は非反射状態のいずれかを作る。
【００１７】
図１のピクセルアレイの図示された部分は、２つの隣接する干渉変調器１２ａ及び１２ｂを含む。左の干渉変調器１２ａでは、可動かつ高反射層１４ａは、固定された部分反射層１６ａから所定の距離のリリースされた位置に図示される。右の干渉変調器１２ｂでは、可動高反射層１４ｂは、固定された部分反射層１６ｂに隣接するアクチュエートされた位置に図示される。
【００１８】
固定層１６ａ，１６ｂは、電気的に導電性であり、部分的に透明であり、部分的に反射する、そして、例えば、透明基板２０上にクロムとインジウム−スズ−酸化物のそれぞれの１又はそれより多くの層を堆積することにより製作されることができる。複数の層は、平行なストライプにパターニングされ、下記にさらに説明されるようにディスプレイ装置中の行電極を形成できる。可動層１４ａ，１４ｂは、支柱１８の頂上及び複数の支柱１８の間に介在する犠牲材料上に堆積された（行電極１６ａ，１６ｂに直交する）１層の堆積された金属層又は複数の層の一連の平行なストライプとして形成されることができる。犠牲材料がエッチされて除去されるときに、変形可能な金属層は、決められたエアーギャップ１９だけ固定金属層から分離される。アルミニウムのような非常に電導性があり反射する材料が、変形可能な層として使用されることができ、そして、これらのストライプは、ディスプレイ装置において列電極を形成できる。
【００１９】
印加電圧がないと、キャビティ１９は、２つの層１４ａ，１６ａの間に維持され、変形可能な層は、図１のピクセル１２ａに図示されたように機械的に弛緩(relax)した状態にある。しかしながら、電位差が選択された行及び列に印加されると、対応するピクセルにおいて行及び列電極の交差点に形成されたコンデンサーは、充電され、静電力が電極を強制的に引きつける。電圧が十分に高ければ、可動層は、変形され、図１に右のピクセル１２ｂにより図示されたように、固定層に対して押し付けられる（この図に図示されていない誘電材料が、固定層上に堆積されることがあり、短絡することを防止し、分離距離を制御する）。この動きは、印加される電位差の極性に拘わらず同じである。このようにして、反射対非反射ピクセル状態を制御できる行／列アクチュエーションは、従来のＬＣＤ及びその他のディスプレイ技術において使用される多くの方法に類似している。
【００２０】
図２から図４Ｂは、ディスプレイ応用において干渉変調器のアレイを使用するための１つの具体例としてのプロセス及びシステムを説明する。
【００２１】
図２は、本発明の態様を組み込むことができる電子装置の１実施形態を説明するシステムブロック図である。具体例としての実施形態において、電子装置は、プロセッサー２１を含む。そのプロセッサー２１は、いずれかの汎用のシングルチップ又は複数チップマイクロプロセッサ、例えば、ＡＲＭ、ペンティアム（登録商標）、ペンティアムＩＩ（登録商標）、ペンティアムＩＩＩ（登録商標）、ペンティアムＩＶ（登録商標）、ペンティアム（登録商標）プロ、８０５１、ＭＩＰＳ（登録商標）、パワーＰＣ（登録商標）、ＡＬＰＨＡ（登録商標）、若しくはディジタルシグナルプロセッサ、マイクロコントローラー、又はプログラム可能なゲートアレイのようないずれかの特殊用途マイクロプロセッサ、であることができる。本技術において通常であるように、プロセッサー２１は、１若しくはそれより多くのソフトウェアモジュールを実行するために構成されることができる。オペレーティングシステムを実行することに加えて、プロセッサーは、ウェブブラウザ、電話アプリケーション、電子メールプログラム、若しくはいずれかのその他のソフトウェアアプリケーションを含む、１若しくはそれより多くのソフトウェアアプリケーションを実行するように構成されることができる。
【００２２】
１実施形態では、プロセッサー２１は、また、アレイコントローラ２２と通信するように構成される。１実施形態では、アレイコントローラ２２は、ピクセルアレイ３０に信号を供給する行ドライバー回路２４及び列ドライバー回路２６を含む。図１に図示されたアレイの断面は、図２に線１−１により示される。ＭＥＭＳ干渉変調器に関して、行／列アクチュエーションプロトコルは、図３に説明されたこれらの装置のヒステリシス特性を利用することができる。これは、例えば、可動層をリリースされた状態からアクチュエートされた状態へ変形させるために１０ボルトの電位差を必要とすることがある。しかしながら、電圧がその値から減少される場合に、１０ボルトより下に電圧が降下して戻るとしても、可動層はその状態を維持する。図３Ａの例示実施形態において、可動層は、電圧が２ボルト未満に降下するまで完全には弛緩しない。従って、図３Ａに説明された例では、約３から７Ｖの電圧の範囲があり、そこでは、その範囲内で装置が弛緩された状態又はアクチュエートされた状態のいずれかで安定である、印加電圧のウィンドウが存在する。これは、ここでは"ヒステリシスウィンドウ"又は"安定ウィンドウ"として呼ばれる。図３Ａのヒステリシス特性を有するディスプレイアレイの場合、行／列アクチュエーションプロトコルは、行ストロービング（strobing）の期間に、アクチュエートされるべきストローブされた行のピクセルは、約１０ボルトの電圧差を受け、そして弛緩されるべきピクセルは、零ボルトに近い電圧差を受ける。ストローブの後で、ピクセルは、約５ボルトの定常状態電圧差を受け、その結果、ピクセルは、行ストローブがピクセルを置いたどんな状態にでも留まる。書き込まれた後で、各ピクセルは、電位差がこの例では３−７ボルトの"安定ウィンドウ"の範囲内であると判断する。この特徴は、アクチュエートされた又は弛緩された事前に存在する状態のいずれかに同じ印加された電圧条件の下で、図１に説明されたピクセル設計を安定にさせる。アクチュエートされた状態又は弛緩された状態であるかに拘わらず、干渉変調器の各ピクセルが、基本的に固定反射層と移動反射層とにより形成されたキャパシタであるので、この安定状態は、ほとんど電力消費なしにヒステリシスウィンドウの範囲内の電圧に保持されることができる。印加された電位が一定であるならば、基本的に電流は、ピクセルに流れ込まない。
【００２３】
代表的なアプリケーションでは、ディスプレイフレームは、第１行中のアクチュエートされたピクセルの所望のセットにしたがって列電極のセットを示すこと（asserting）によって創り出される。行パルスは、それから行１の電極に印加されて、示された列ラインに対応するピクセルをアクチュエートする。列電極の示されたセットは、その後、第２行中のアクチュエートされたピクセルの所望のセットに対応するように変更される。パルスは、それから、行２の電極に印加されて、示された列電極にしたがって行２中の適切なピクセルをアクチュエートする。行１ピクセルは、行２パルスに影響されず、行１ピクセルは、行１パルスの間に設定された状態に留まる。これは、連続した方式で一連の行全体に対して繰り返され、フレームを生成する。一般に、フレームは、１秒当たり所望のフレームの数でこのプロセスを連続的に繰り返すことにより、新たなディスプレイデータでリフレッシュされる及び／又は更新される。ディスプレイフレームを生成するためにピクセルアレイの行及び列電極を駆動するための広範なプロトコルも、周知であり、本発明とともに使用されることができる。
【００２４】
図３Ｂ、図４Ａ及び図４Ｂは、図２の３×３アレイでディスプレイフレームを創り出すための１つの可能性のあるアクチュエーションプロトコルを説明する。図３Ｂは、ピクセルが図３Ａのヒステリシス曲線を表すために使用されることがある、列及び行電圧レベルの可能性のあるセットを説明する。図３Ｂの実施形態では、ピクセルをアクチュエートすることは、適切な列を−Ｖbiasに、そして適切な行を＋ΔＶに設定することを含む。これは、それぞれ−５Ｖ及び＋５Ｖに対応することができる。ピクセルを弛緩させることは、適切な列を＋Ｖbiasに、そして適切な行を同じ＋ΔＶに設定することにより達成され、ピクセル間で零ボルトの電位差を生成する。そこでは行電圧が零ボルトに保持されるこれらの行では、列が＋Ｖbias又は−Ｖbiasであるかに拘らず、ピクセルが元々あった状態がどうであろうとも、ピクセルは、その状態で安定である。また、図３Ｂに示すように、上に記載した電圧とは異極性の電圧を使用することができる。例えば、ピクセルをアクチュエートすることは、適切な列を＋Ｖbiasに、そして適切な行を−ΔＶに設定することを含むことができる。この実施形態において、ピクセルをリリースすることは、適切な列を−Ｖbiasに設定し、適切な行を同じ−ΔＶに設定し、ピクセルの全域でゼロボルトの電位差を生成することにより達成される。
【００２５】
図４Ｂは、そこではアクチュエートされたピクセルが反射しない図４Ａに説明されたディスプレイ配列に結果としてなる、図２の３×３アレイに印加される一連の行及び列信号を示すタイミング図である。図４Ａに説明されたフレームを書き込むことに先立って、ピクセルは、任意の状態であることができ、そしてこの例では、全ての行が０ボルトであり、全ての列が＋５ボルトである。これらの印加電圧で、全てのピクセルは、自身の現在のアクチュエートされた状態又は弛緩された状態で安定である。
【００２６】
図４Ａのフレームでは、ピクセル（１，１）、（１，２）、（２，２）、（３，２）及び（３，３）がアクチュエートされている。これを実現するために、行１に対する"ライン時間"の期間に、列１及び２は、−５ボルトに設定され、そして列３は、＋５ボルトに設定される。全てのピクセルが３−７ボルトの安定ウィンドウの中に留まるため、これは、どのピクセルの状態も変化させない。行１は、その後、０から５ボルトまで上がり、零に戻るパルスでストローブされる。これは、（１，１）及び（１，２）ピクセルをアクチュエートし、（１，３）ピクセルを弛緩する。アレイ中のその他のピクセルは、影響されない。望まれるように行２を設定するために、列２は、−５ボルトに設定され、そして列１及び３は、＋５ボルトに設定される。行２に印加された同じストローブは、その後、ピクセル（２，２）をアクチュエートし、ピクセル（２，１）及び（２，３）を弛緩する。再び、アレイのその他のピクセルは、影響されない。行３は、列２及び３を−５ボルトに、そして列１を＋５ボルトに設定することより同様に設定される。行３ストローブは、図４Ａに示されたように行３ピクセルを設定する。フレームを書き込んだ後、行電位は零に、そして列電位は＋５又は−５ボルトのいずれかに留まることができ、ディスプレイは、その後、図４Ａの配列で安定である。同じ手順が数十から数百の行及び列のアレイに対して採用されることができることが、理解されるであろう。しかも、行及び列アクチュエーションを実行するために使用された電圧のタイミング、シーケンス、及びレベルが、上記に概要を示された一般的な原理の範囲内で広範囲に変化されることができ、そして、上記の例は、具体的な例だけであり、任意のアクチュエーション電圧方法は、本発明とともに使用されることができる。
【００２７】
図５Ａおよび５Ｂは、ディスプレイ装置４０の一実施形態を図示するシステムブロック図である。ディスプレイ装置４０は、例えば、セルラー電話またはモバイル電話であり得る。しかしながら、ディスプレイ装置４０の同じコンポーネントまたはその多少の変形物もまた種々のタイプのテレビおよびポータブルメディアプレイヤーを例証する。
【００２８】
ディスプレイ装置４０は、ハウジング４１、ディスプレイ３０、アンテナ４３、スピーカー４４、入力装置４８、およびマイクロフォン４６を含む。ハウジング４１は、一般的に、射出成形および真空成形を含む、当業者によく知られた様々な製造プロセスのいずれかから成形される。さらに、ハウジング４１は、これらに限定されないが、プラスチック、金属、ガラス、ゴム、および陶器またはそれらの組み合わせから成形してもよい。一実施形態において、ハウジング４１は、異なる色のまたは異なるロゴ、画像、またはシンボルを含む他の取り外し可能な部分と交換してもよい取り外し可能な部分（図示せず)を含む。
【００２９】
例示ディスプレイ装置４０のディスプレイ３０は、ここに記述されるように、双安定ディスプレイを含む様々なディスプレイのいずれかであってよい。他の実施形態において、ディスプレイ３０は、当業者によく知られているように、上述したプラズマ、ＥＬ、ＯＬＥＤ、ＳＴＮ、ＬＣＤまたはＴＦＴ  ＬＣＤのようなフラットパネルディスプレイ、またはＣＲＴまたは他の管デバイスのような非フラットパネルディスプレイを含む。しかしながら、この実施形態について記述する目的のために、ここに記述されるように、ディスプレイ３０は干渉変調器ディスプレイを含む。
【００３０】
例示ディスプレイ装置４０の一実施形態のコンポーネントは、概略的に図５Ｂに図解される。図解される例示ディスプレイ装置４０は、ハウジングを含み、少なくとも一部がその中に入れられるさらなるコンポーネントを含むことができる。例えば、一実施形態において、例示ディスプレイ装置４０は、トランシーバー４７に接続されたアンテナ４３を含むネットワークインターフェース２７を含む。トランシーバー４７はプロセッサー２１に接続される。プロセッサー２１は調整ハードウェア５２に接続される。調整ハードウェア５２は信号を条件付ける（例えば、信号をフィルターする）ように構成してもよい。調整ハードウェア５２は、スピーカー４４およびマイクロフォン４６に接続される。プロセッサー２１はまた、入力装置４８およびドライバーコントローラー２９に接続される。ドライバーコントローラー２９は、フレームバッファー２８およびアレイドライバー２２に接続される。アレイドライバー２２は、ディスプレイアレイ３０に接続される。電源５０は、特定の例示ディスプレイ装置４０設計により必要とされるすべてのコンポーネントに電力を供給する。
【００３１】
例示ディスプレイ装置４０がネットワーク上で１つ以上の装置と通信することができるように、ネットワークインターフェース２７は、アンテナ４３およびトランシーバー４７を含む。一実施形態において、ネットワークインターフェース２７は、また、プロセッサー２１の必要条件を軽減するためにいくつかの処理能力を有していてもよい。アンテナ４３は、信号を送信し受信する当業者に知られた任意のアンテナである。一実施形態において、アンテナは、ＩＥＥＥ  ８０２．１１（ａ）、（ｂ）または(ｇ)を含むＩＥＥＥ８０２．１１規格に従ってＲＦ信号を送信し受信する。他の実施形態において、アンテナはＢＬＵＥＴＯＯＴＨ規格に従ってＲＦ信号を送信し受信する。携帯電話の場合には、アンテナは、ＣＤＭＡ，ＧＳＭ、ＡＭＰＳまたは無線携帯電話内で通信するために使用される他の周知の信号を受信するように設計される。トランシーバー４７は、信号がプロセッサー２１により受信され、さらにプロセッサー２１によりさらに操作されるように、アンテナ４３から受信した信号を前処理する。トランシーバー４７は、また、信号がアンテナ４３を介して例示ディスプレイ装置４０から送信されるように、プロセッサー２１から受信した信号を処理する。
【００３２】
他の実施例において、トランシーバー４７は受信機と交換することができる。さらに他の実施形態において、ネットワークインターフェース２７は任意の画像ソースと交換することができる。画像ソースは、プロセッサー２１に送られる画像データを記憶または発生することができる。例えば、画像ソースは、デジタルビデオディスク(ＤＶＤ）または画像データを含むハードディスクドライブ、または画像データを発生するソフトウェアモジュールであり得る。
【００３３】
プロセッサー２１は、一般に例示ディスプレイ装置４０の全体動作を制御する。
【００３４】
プロセッサー２１は、ネットワークインターフェース２７あるいは画像ソースからの圧縮画像データのようなデータを受信し、データを生の画像データまたは生の画像データに直ちに処理できるフォーマットに処理する。次に、プロセッサー２１は処理されたデータを記憶のためにドライバーコントローラー２９またはフレームバッファー２８に送信する。生データは、典型的には画像内の各場所における画像特性を識別する情報を指す。例えば、そのような画像特性は、色、飽和およびグレイスケールレベルを含むことができる。
【００３５】
一実施形態において、プロセッサー２１はマイクロコントローラー、ＣＰＵあるいは例示ディスプレイ装置４０の動作を制御するための論理装置を含む。調整ハードウェア５２は、一般に信号をスピーカー４４に送信するため、およびマイクロフォン４６からの信号を受信するために増幅器およびフィルターを含む。調整ハードウェア５２は、例示ディスプレイ装置４０内のディスクリートコンポーネントであってもよいし、またはプロセッサーまたは他のコンポーネント内に組み込んでもよい。
【００３６】
ドライバーコントローラー２９は、プロセッサー２１によって発生された生の画像データを、直接プロセッサー２１からまたはフレームバッファー２８から取り、アレイドライバー２２への高速送信のために適切に生の画像データを再フォーマットする。具体的には、ドライバーコントローラー２９は、ディスプレイアレイ３０全域で走査するのに適した時間オーダーを有するように、ラスター状のフォーマットを持つデータフローへ生の画像データを再フォーマットする。次に、ドライバーコントローラー２９はアレイドライバー２２にフォーマットされた情報を送る。ＬＣＤコントローラーのようなドライバーコントローラー２９はしばしばスタンドアロン集積回路(ＩＣ）としてシステムプロセッサー２１に関連するが、そのようなコントローラーは、多くの方法で実施してもよい。それらはハードウェアとしてプロセッサー２１に埋め込んでもよいし、あるいはソフトウェアとしてプロセッサー２１に埋め込んでもよいし、またはハードウェアで、アレイドライバー２２に完全に一体化してもよい。
【００３７】
典型的に、アレイドライバー２２は、ドライバーコントローラー２９からフォーマットされた情報を受信し、ディスプレイのｘ−ｙのピクセルのマトリクスから来る何百ときには何千のリード線に毎秒多くの回数印加される波形の並列セットにビデオデータを再フォーマットする。
【００３８】
一実施形態において、ドライバーコントローラー２９、アレイドライバー２２およびディスプレイアレイ３０は、ここに記述されたディスプレイのタイプのうちのどれにも適切である。例えば、一実施形態において、ドライバーコントローラー２９は、従来のディスプレイコントローラーまたは双安定ディスプレイコントローラー（例えば、干渉変調器コントローラー)である。他の実施形態において、アレイドライバー２２は、従来のドライバーあるいは双安定ディスプレイドライバー（例えば干渉変調器ディスプレイ）である。一実施形態において、ドライバーコントローラー２９はアレイドライバー２２と一体化される。そのような実施形態は、高度に集積されたシステム、例えば携帯電話、時計、および他の小型面積のディスプレイに一般的である。さらに他の実施形態において、ディスプレイアレイ３０は、典型的なディスプレイアレイまたは双安定アレイ（例えば、干渉変調器のアレイを含むディスプレイ)である。
【００３９】
入力装置４８は、ユーザーが典型的なディスプレイ装置４０の動作を制御することを可能にする。一実施形態において、入力装置４８は、ＱＷＥＲＴＹキーボードあるいは電話キーパッド、ボタン、スイッチ、タッチセンシティブスクリーン、圧力または熱感知可能な薄膜のようなキーパッドを含む。一実施形態において、マイクロフォン４６は例示ディスプレイ装置４０のための入力装置である。データを装置に入力するためにマイクロフォン４６が使用されるとき、例示ディスプレイ装置４０の動作を制御するためにユーザーにより音声コマンドが供給されてもよい。
【００４０】
技術的によく知られているように、電源５０は、様々なエネルギー記憶装置を含むことができる。例えば、一実施形態において、電源５０は、ニッケルカドミウム電池またはリチウムイオン電池のような２次電池である。他の実施形態において、電源５０は、再生可能エネルギーソース、コンデンサー、またはプラスチック太陽電池および太陽電池ペイントを含む太陽電池である。他の実施形態において、電源５０は壁コンセントから電力を受信するように構成される。
【００４１】
いくつかの実施において、上述したように、コントロールプログラマビリティ(control programmability)は、電子ディスプレイシステム内のいくつかの場所に位置することができるドライバーコントローラー内に存在する。いくつかの場合、コントロールプログラマビリティは、アレイドライバー２２に存在する。当業者は、成就した最適化は、任意の数のハードウェアおよび／またはソフトウェアコンポーネントおよび様々な構成において実施してもよいことを認識するであろう。
【００４２】
上で述べた原理に従って動作する干渉変調器の構造の詳細は、広範囲に変化してもよい。
【００４３】
例えば、図６Ａ−図６Ｃは、移動鏡構造の３つの異なる実施形態を図示する。図６Ａは、図１の実施形態の断面であり、そこでは金属材料１４のストライプが、直角に延びている支柱１８上に堆積される。図６Ｂでは、可動反射材料１４は、連結部（tether）３２上に、角だけで支柱に取り付けられる。図６Ｃでは、可動反射材料１４は、変形可能な層３４から吊り下げられる。反射材料１４に使用される構造的な設計及び材料が光学的特性に関して最適化されることができるため、及び変形可能な層３４に使用される構造的な設計及び材料が所望の機械的特性に関して最適化できるため、この実施形態は、利点を有する。種々のタイプの干渉装置の製造は、例えば、米国公開出願２００４／００５１９２９を含む、種々の公開された文書に記載されている。多種多様な周知の技術が、一連の材料堆積、パターニング、及びエッチング工程を含む、上記に説明された構造を製造するために使用されることができる。
【００４４】
図１および図２に示すように、および上で議論したように、ピクセルアレイ３０の各キャビティは、行ドライバー回路２４によりチャージされるコンデンサーを形成する。列電極１４ｂが行電極１６ｂに非常接近するように移動するので、容量値は、任意の特別な作動されたピクセル１２ｂに対して相対的に大きい。異なる数のキャビティは、所定の行パルス期間中に作動してもよいので、行ドライバー回路が見るそのインピーダンスは、高度に可変かもしれない。
【００４５】
図７は、フィルター回路３２５ａ、３２５ｂ、３２５ｃが、行電極１６ａ、１６ｂ、１６ｃおよび行ドライバー回路２４との間の基板２０上に配置される一実施形態を示す。そのようなフィルター回路３２５ａ、３２５ｂ、３２５ｃは、行ドライバー回路２４により駆動されるインピーダンスを制御するために有用であることがわかった。例えばそのようなフィルター回路３２５ａ、３２５ｂ、３２５ｃは、インピーダンスの安定性を制御するために使用してもよいし、インピーダンスが異なる行パルスに対して変更可能にするために使用してもよい。図示した実施形態において、フィルター回路３２５ａ、３２５ｂ、３２５ｃの各々は、それぞれコンデンサー３２８ａ、３２８ｂ、３２８ｃおよび抵抗器３２９ａ、３２９ｂ、３２９ｃを含む。フィルター回路３２５ａ−ｃ、コンデンサー３２８ａ−ｃおよび抵抗器３２９ａ−ｃは、ピクセルアレイ３０に組み込んでもよい電気装置の例である。電気装置の他の例はインダクター（図７には示されない)を含む。例えば、一実施形態において、フィルターは少なくとも１つのコンデンサー、少なくとも１つの抵抗器および少なくとも１つのインダクターを含む。そのような電気装置は、ピクセルアレイ３０の様々な領域に組み込んでもよいし種々の目的のために使用してもよい。例えば、フィルター回路、コンデンサー、抵抗器および／またはインダクターのような電気装置は、列ドライバー回路２６と列電極１４（図７に示していない）の間に配置してもよい。図７は、干渉変調器の３×３アレイ３０を図示するけれども、ここに記載されるディスプレイパネルまたは装置は、数百、数千あるいは数百万の個々の干渉変調器を含むアレイを構成してもよい。
【００４６】
一実施形態において、電気装置は、基板２０のエッジまたは周辺領域３６においてまたはその付近でピクセルアレイ３０に組み込んでもよい。しかしながら、ある場合には、基板２０の周辺の領域３６での、あるいはその領域の近くの電気装置の組み込みは、不便または望ましくない。例えば、比較的大きな容量値があるコンデンサーは、ある配置で利用してもよい。そのようなコンデンサーは比較的大きなコンデンサプレートエリアを持っているかもしれないし、および／または比較的多数の中で使用されるかもしれないし、従って、ピクセルアレイ３０に利用可能な基板２０のエリアを縮小するある場合に、基板２０の周辺領域３６で、あるいはその領域の近くに相応に広い面積を占有してもよい。
【００４７】
ここに記述された様々な実施形態は、特に基板２０とピクセルアレイ３０の間で、アレイによって占有される基板の同じ領域または設置面積内の場所を含むデバイス内の、様々な場所で組込んでもよい、１つ以上の透明な電気装置を含むディスプレイ装置を提供する。したがって、例えば、干渉変調器を含むディスプレイ装置の設計は、装置のエッジで、またはエッジの近くでのみフィルター、抵抗器、コンデンサーおよびインダクターのような電気装置を置くように制約される必要はない。代わりに、種々の実施形態は、デバイスの視野領域に含まれていてもよい透明な電気装置を供給することにより設計の柔軟性を増大させることができる。
【００４８】
「透明な」電気装置がすべての可視光線で入射光の１００％を送信する必要がないことが理解されるだろう。ディスプレイ装置の視野領域に組み込まれるとき、視野領域内の透明電気装置を含まない別の類似する装置に比べて、一般的に類似のまたは改良された方法で装置が機能できるように十分な入射光を送信することができるならば電気装置は「透明である」と考えられる。多くの場合、透明な電気装置は、入射光照射の少なくとも約８０％、より望ましくは約９０％送信する。従って、上述の記載から透明な電気装置を作るために使用されるすべての材料がそれ自体透明である必要は無いということになる。例えば、（金属のような）種々の材料はそのような少量の中で使用されおよび／またはそのような薄層に堆積されるかもしれないし、および／または別の材料中で非常に微細に分散される。従って、バルク材が通常それ自体透明であると考えられない場合においても、透明性は、達成される。
【００４９】
フィルター、抵抗器、コンデンサーおよびインダクターを含む種々の電気装置がここに記載される。特に指定の無い限り、ここに使用されるようにこれらの用語は、当業者により理解される通常の意味を持つ。例えば、コンデンサーは記憶コンデンサーであってもよい。好ましいコンデンサーの例は、約１０ピコファラッド乃至約０．１マイクロファラッドのレンジのキャパシタンスを持つコンデンサーを含む。好ましい抵抗器の例は、約１００オーム乃至約１ギガオームのレンジの抵抗値を持つ抵抗器を含む。好ましいインダクターの例は、約１ナノヘンリー乃至約１０マイクロヘンリーのインダクタンスを持つインダクターを含む。ここに記述された電気装置の各々は、以下に記載するすべての実施形態において、単独で、グループまたは２以上の類似の装置で、または異なる２以上の装置からなるグループで使用してもよい。同様に、特定の実施形態のコンテキストで図示されるけれども、種々の特徴はまた他の実施形態において、利用してもよいことは理解されるであろう。
【００５０】
一実施形態は、透明な基板上に配置した干渉変調器のアレイ、および干渉変調器のアレイと透明基板の間に配置した透明電気装置からなるディスプレイパネルを提供する。透明電気装置は、電気的に干渉変調器のアレイに接続される。透明な電気装置は、コンデンサー、抵抗器のような受動の電気装置、インダクターおよび／またはフィルターであってよい。透明な電気装置は、個々の電装品の様々な組合せを含んでもよいことが理解されるだろう。例えば、フィルターは抵抗器および図７に示すようなコンデンサーを含んでいてもよい。
【００５１】
図８Ａは、ディスプレイパネルまたは装置の実施形態８００を図示する断面概略図である。ディスプレイパネル８００は、透明基板２０上に配置した干渉変調器８０５を含む。ディスプレイパネル８００は、干渉変調器８０５と透明基板２０の間に配置した透明コンデンサー８１５を含む。干渉変調器８０５は、上で記載した干渉変調器１２ｂと類似しており、(作動位置に示される)可動層１４ｂ、固定層１６ｂ、および支柱１８を含む。干渉変調器８０５はまた、固定層１６ｂ上に配置した誘電体層８２０を含み、短絡を防止するとともに、作動位置にある可動層１４ｂと固定層１６ｂとの間の分離距離を制御する。誘電体層８２０は、酸化シリコンのような誘電材料から形成してもよい。固定層１６ｂは、望ましくは、クロミウムおよびインジウム錫オキサイド（ＩＴＯ）の副層（図示せず）を含む。また、可動層１４は望ましくはアルミニウムからなる。干渉変調器８０５は、透明基板２０を通して見える、従って透明基板２０は、ディスプレイパネル８００の視界側にあると考えられる。従って、固定層１６ｂの厚みは、固定層がディスプレイパネル８００の動作中に透明であるように選択される。
【００５２】
図８Ａにおいて、透明コンデンサー８１５は、透明絶縁層８２５により干渉変調器８０５の固定層１６ｂから分離されている。透明絶縁層は酸化シリコンを含んでいてもよい。透明コンデンサー８１５はコンデンサー誘電体層８４０によって互いから分離された、第１のコンデンサー層８３０と第２のコンデンサー層８３５を含む。第１と第２のコンデンサー層８３０および８３５は、望ましくは、ＩＴＯのような透明な電気コンダクターから形成される。コンデンサー誘電体層８４０は、望ましくはむしろ酸化シリコン（ｋ〜４．１）のような透明な誘電材料を含む。コンタクト(contacts)（図示せず）は、透明なコンデンサー８１５を一般的にアレイ（例えば、重なる干渉変調器８０５および／またはアレイ内の干渉変調器)に電気的に接続し、およびドライバーのような他の回路網に接続する。
【００５３】
上述するように、図示した実施形態において、透明基板２０は、ディスプレイパネル８００の視界側にあると考えられる。したがって、透明なコンデンサー８１５は、透明基板２０の視界側から干渉変調器８０５に光を送信するように構成された透明な受動電気装置の一例である。図示した構成において、透明コンデンサー８１５および干渉変調器８０５は、それらが組み込まれるディスプレイ装置のアレイ領域内の基板２０に（直接または間接的に)取り付けられる。
【００５４】
図８Ｂは、ディスプレイパネル実施形態８５０を図示する横断面の概略図である。
【００５５】
ディスプレイパネルは、それが図８Ａに図示したコンデンサー８１５の代わりにフィルター３２５を含むことを除いて、ディスプレイパネル８００と同様である。フィルター３２５はコンデンサー８１５ａおよび抵抗器３２９を含む。コンデンサー８１５ａは、両方が第１のコンデンサー層８３０および第２のコンデンサー層８３５を含むという点において図８Ａに図示したコンデンサー８１５と類似している。しかしながら、コンデンサー８１５ａでは、第１と第２のコンデンサー層８３０および８３５は、透明な抵抗器３２９を含むコンデンサー誘電体層８４０ａによって互いに分けられる。透明な抵抗器３２９は電気的に第１と第２のコンデンサー層８３０および８３５を接続する。図示する実施形態において、透明な抵抗器３２９は、約１０ｋΩの抵抗を有する。
【００５６】
抵抗器がコンデンサーに取り付けられていない実施形態および／またはディスプレイパネルがコンデンサーを含ない実施形態を含む、他の実施形態において、抵抗器は、上述したように、約１００オーム乃至約１ギガオームのレンジの抵抗値を有する。抵抗器は、絶縁体の抵抗値とコンダクターとの間の中間である抵抗値を有した抵抗器を供給するのに効果的な（金属のような)電気的導電材料の量を用いてドーピングされた（透明ポリマーまたは酸化シリコンのような)透明絶縁体を含んでいてもよい。
【００５７】
図９はインダクター実施形態９００を図示する概略斜視図である。インダクター９００は、一般に、第２コンダクター９２０に接続されたスパイラルコンダクター９１０を含む。一般的にスパイラルコンダクター９１０は、第１の平面内に形成され、第２コンダクター９２０は、一般的に第１平面と平行である第２平面内に形成される。一般的にスパイラルコンダクター９１０は、一般的に第１平面９０５と第２平面９１５に垂直な横コンダクター９１２を介して第２コンダクター９２０に接続される。インダクター９００は、当業者に知られた方法により形成してもよい。例えば、平面９０５は、ＩＴＯのような透明な導電性金属が堆積され、一般的にスパイラル形状にパターン化される透明基板を含んでいてもよい。第２平面９１５は、既知の方法を使用して、第１平面９０５の上に堆積される酸化シリコンのような絶縁材の層を含んでいてもよい。次に、ビアホールが第２平面９１５を介して第２コンダクター９２０に形成され、次に、ＩＴＯのような導電材が充填され横コンダクター９１２を形成する。次に、横コンダクター９１２に接触させるために、第２平面９１５上にＩＴＯのような透明な金属を堆積してパターニングすることにより第２コンダクター９２０を形成してもよい。当業者に既知の他の方法も使用されてもよい、例えば米国特許第６，５３１，９４５、第６，２４９，０３９、および第６，１６６，４２２を参照されたい。インダクター９００のようなインダクターは、図８Ａおよび８Ｂのために上に記述された方法類似の方法でディスプレイパネルに組み込んでもよい。
【００５８】
ディスプレイパネル実施形態８００および８５０は、望ましくは、例えば図７に図示するアレイ３０に送信されたさらなる干渉変調器（図８Ａおよび８Ｂに示していない)を含むことが理解されるであろう。ディスプレイパネル内の透明電気装置（例えば、コンデンサー８１５およびフィルター３２５)は、種々の方法で干渉変調器のアレイに動作可能に接続してもよい。一実施形態において、透明コンデンサー８１５は、図７に示すように、第２コンデンサー層８３５を固定層１６ｂに電気的に接続し、第１コンデンサー層８３０を行ドライバー回路２４に電気的に接続することにより、干渉変調器のアレイに電気的に接続される。行ドライバー回路２４は、基板２０の周囲上にあるかまたは基盤２０から離れてある。そのような電気接続は様々な方法で遂行してもよい。例えば、図８Ａおよび図８Ｂに関して、第２のコンデンサー層８３５は、ビアホールに充填される電気的導電材は、第２コンデンサー層８３５と固定層１６ｂとの間の電気的接続を形成するように、例えば、透明絶縁層８２５内にビアホールを形成し、ビアホールを金属のような電気的導電材で充填し、次に、透明絶縁層８２５の上にＩＴＯの薄層を堆積し、そしてビアホールに充填されて固定層１６ｂを形成することにより、固定層１６に電気的に接続してもよい。
【００５９】
透明コンデンサー８１５から配列への電気接続は、様々な方法で行ってもよいし、透明コンデンサー８１５は、複数の干渉変調器に接続してもよいことは理解されるであろう。例えば、固定層１６ｂは、図７に示すアレイ内の複数の干渉変調器のために行ラインを形成してもよい。固定層１６ｂへの第２のコンデンサー層８３５の電気接続は、固定層１６ｂの長さに沿った様々な場所に作っても良い。透明なフィルター３２５は、同様のやり方で干渉変調器のアレイに電気的に接続してもよい。
【００６０】
干渉変調器のアレイ内の特定の透明電気装置は、そうである必要はないが、特定の透明電気装置に最も近い個々の干渉変調器に電気的に接続してもよいことは、上記記載から理解されるであろう。同様に、干渉変調器に特定の透明電気装置が電気的に接続される必要がないことも理解されるであろう。例えば、特定の透明電気装置は、干渉変調器に関連する（例えば、パッケージ化されるまたは機械的に接続される)他の装置に電気的に接続してもよい。一実施形態は、アレイ領域を含む基板；アレイ領域内の基板に取り付けられた干渉変調器；およびアレイ領域内の基板に取り付けられた透明受動電気装置を含むディスプレイ装置を提供する。適切な透明受動電気装置の例はフィルター、抵抗器、コンデンサーおよび上に記述されるようなインダクターを含む。透明受動電気装置（複数の場合もある)は、干渉変調器と基板との間のようにアレイ領域の種々の部分に位置していてもよいし、または周辺に形成してもよい。一実施形態において、１つ以上の透明な受動電気装置は、光をアレイ領域内の基板の視野側から１つ以上の干渉変調器に送信するように構成される。そのような構成の例は上に記載され、図８Ａおよび８Ｂに図示される。
【００６１】
他の実施形態は、基板上に透明電気装置を形成し、透明電気装置の上に絶縁層を堆積し、絶縁層の上に干渉変調器を形成し、および透明電気装置と干渉変調器との間に電気接続を形成することを含む、ディスプレイ装置を作る方法を提供する。図１０は、そのような方法において、あるステップを図示するプロセスフロー図である。図１０に示されたステップの各々は、ＭＥＭＳ製作の当業者に周知の種々の方法で行ってもよい。例えば、種々様々の技術は、化学蒸着法（プラズマ化学蒸着法および熱の化学蒸着法を含む）、スピンオン(spin-on)堆積、リソグラフィー、エッチング、パターニング、クリーニング、はんだ付けおよびパッケージング技術を含む当業者に知られている。
【００６２】
一実施形態において、透明電気装置は、化学蒸着法、パターニングおよび除去ステップの組合せによって形成される。透明電気装置の形成は望ましくは導電層および誘電体層を堆積する、例えば、上述したように第１のコンデンサー層８３０とコンデンサー誘電体層８４０を堆積することを含む。透明電気装置の形成は、図８Ｂに図示するように、さらに、パターニング、例えば、堆積されたコンデンサー誘電体層８４０をパターニングして、除去される領域を定義し、透明抵抗器３２９で充填してコンデンサー誘電体層８４０を形成することをさらに含む。
【００６３】
透明電気装置の上に絶縁層を堆積することは、例えば、酸化シリコンの化学蒸着法、シリコンの化学蒸着堆積の後に酸化により酸化シリコンを形成することにより、またはスピンオングラス(spin-on glass)プロセスにより実行してもよい。そのような方法の詳細は当業者に知られている。絶縁層の上に干渉変調器を形成することは、干渉変調器の構成に応じて種々の方法で行ってもよい。例えば、図６を参照されたい。干渉変調器を作る多くの既知のプロセスがガラス基板上に堆積ステップを含んでいるので、以前に堆積された絶縁層は干渉変調器を形成する適切な基板である。
【００６４】
透明な電気装置と干渉変調器の間の電気接続を形成する多数の方法がある。例えば、上に記述されるように、第２のコンデンサー層８３５は、充填されたビアホール内の電気導電材が第２のコンデンサー層８３５と固定層１６ｂとの間の電気接続を形成するように、干渉変調器を形成する前に透明絶縁層８２５内にビアホールを形成し、ビアホールを金属のような電気導電材で充填し、次に、透明絶縁層８２５および充填されたビアホールの上にＩＴＯの薄層を堆積し、固定層１６ｂを形成することにより固定層１６ｂに電気的に接続してもよい。側面の電気接続は、導電性金属を使用する堆積とパターニングによって形成してもよい。
【００６５】
本発明の精神から逸脱することなく、種々さまざまな変更を行うことができることは、当業者により理解されるであろう。したがって、本発明の方法が例示に過ぎず、本発明の範囲を限定することを意図したものでなないことが明瞭に理解されなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】図１は、第１の干渉変調器の移動可能な反射層が弛緩位にあり、第２の干渉変調器の可動反射層が作動位置にある干渉変調器ディスプレイの一実施形態の一部を描画する等角投影図である。
【図２】図２は、３ｘ３の干渉変調器ディスプレイを組み込んだ電子装置の一実施形態を図示するシステムブロック図である。
【図３Ａ】図３Ａは、図１の干渉変調器の一例示実施形態のための印加電圧に対する可動ミラーの図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、干渉変調器ディスプレイを駆動するために使用してもよい行電圧および列電圧のセットの説明図である。
【図４Ａ】図４Ａは、図２の３×３干渉変調器内のディスプレイデータの一例示フレームを図解する。
【図４Ｂ】図４Ｂは、図４Ａのフレームを書くために使用してもよい、行信号および列信号のための一例示タイミング図を図解する。
【図５Ａ】図５Ａはディスプレイ装置の一実施形態を図解するシステムブロック図である。
【図５Ｂ】図５Ｂはディスプレイ装置の一実施形態を図解するシステムブロック図である。
【図６Ａ】図６Ａは図１の装置の断面である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、干渉変調器の他の実施形態の断面である。
【図６Ｃ】図６Ｃは、干渉変調器の他の実施形態の断面である。
【図７】図７は、フィルター回路が行電極と行ドライバー回路との間に配置された一実施形態を図解する。
【図８Ａ】図８Ａは、透明コンデンサー８１５を含むディスプレイパネルの実施形態を図解する断面概略図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、透明フィルター３２５を含むディスプレイパネルの実施形態を図解する断面概略図である。
【図９】図９はインダクターの実施形態を図解する略斜視図である。
【図１０】図１０は、ディスプレイ装置を作る方法におけるあるステップを図解するプロセスフロー図である。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【外国語明細書】
2006099078000001.pdf