(57)【要約】【課題】引火性のある液体を検出する場合にあっても、微少電流が流れることにより発火するおそれのないようにする。【解決手段】漏液検出装置は、被検出面９に載置されるガイド部材２と、ガイド部材２に上下動自在に設けられ被検出面９に載置されるフロート３と、フロート３へ光を照射しフロート３からの反射光を検出する距離限定反射型光電センサ５と、距離限定反射型光電センサ５の検出出力により作動する報知部としてのアラーム８と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出面に載置されるガイド部材と、
前記ガイド部材に上下動自在に設けられ、前記被検出面に載置されるフロートと、
前記フロートへ光を照射するとともに前記フロートからの反射光を検出する距離限定反射型光電センサと、
前記距離限定反射型光電センサの検出出力により作動し、前記被検出面における漏液を報知する報知部と、を備えたことを特徴とする漏液検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の漏液検出装置において、
前記ガイド部材と前記距離限定反射型光電センサとの間に、前記漏液のない状態では前記フロートからの反射光が到達しない位置に前記距離限定反射型光電センサを配置するスペーサを介在させたことを特徴とする漏液検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、面上を伝わる油、水等の液体を瞬時に検出して液漏れを報知する漏液検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、各種装置のアクチュエータとして利用している油圧シリンダより油漏れが生じ、装置内に漏れた油がチャンバ内に進入し製品被害を発生させることを防止するため、漏液センサが用いられている。
【０００３】
図４に、従来の漏液センサの原理を示している。すなわち、一対の電極２０，２１を電源２２およびリレー２３に接続し、漏液２４により両電極２０，２１間が導通するとリレー２３より出力が出て液漏れがあったことを検出するものである。
【０００４】
このように、液漏れ検出に電極を用いたものとして、フレキシブル基板の面部に一対の電極を形成した漏液検出装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１６８７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図４に示すような漏液検出装置では、電極２０，２１間に電流が流れることで液漏れを検出しているが、引火性のある液体を検出する場合、液漏れ部分に微少電流が流れることにより発火するおそれがあり、安全性の点で改善の余地があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、被検出面に載置されるガイド部材と、前記ガイド部材に上下動自在に設けられ、前記被検出面に載置されるフロートと、前記フロートへ光を照射し前記フロートからの反射光を検出する距離限定反射型光電センサと、前記距離限定反射型光電センサの検出出力により作動し、前記被検出面の漏液を報知する報知部と、を備えたことを特徴とする漏液検出装置が提供される。
【０００７】
本発明の漏液検出装置においては、液漏れが生じて被検出面に液体が流入すると、液体によりフロートが上昇し、フロートと距離限定反射型光電センサの距離が縮小する。そして、この距離が距離限定反射型光電センサが感応する範囲となると、距離限定反射型光電センサがＯＮし、その出力により報知部が作動して液漏れを報知する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、距離限定反射型光電センサを利用することにより、液漏れ部分に電流が流れないため、安全性の高い漏液検出装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
図１は本発明の一実施形態を示す漏液検出装置の一部切欠き側面図、図２は漏液検出装置の上面図である。
【００１０】
本実施形態の漏液検出装置は、被検出面９に載置されるガイド部材２と、ガイド部材２に上下動自在に設けられ被検出面９に載置されるフロート３と、フロート３へ光を照射しフロート３からの反射光を検出する距離限定反射型光電センサ５と、距離限定反射型光電センサ５の検出出力により作動する報知部としてのアラーム８と、を備える。
この漏液検出装置は、左右一端部に切欠部１aを有する平面円形のガイド孔１が上下方向へ延びるよう形成された板状のガイド部材２と、このガイド孔１に上下方向へ移動自在に案内される検出物体としてのフロート３と、ガイド部材２の上面に固定されたスペーサ４と、スペーサ４上に取り付けられた距離限定反射型光電センサ５とを備えている。距離限定反射型光電センサ５はファイバケーブル６を介してセンサアンプ７と接続され、センサアンプ７は、アラーム８と接続されている。
【００１１】
ガイド部材２は板面を上下に向けて形成され、略平坦な被検出面９の上面に載置される。また、図２に示すように、フロート３は、ガイド孔１と嵌合する略円筒状に形成される。そして、スペーサ４は、液漏のない状態ではフロート３からの反射光が到達しない位置に距離限定反射型光電センサ５が配置されるように、ガイド部材２と距離限定反射型光電センサ５との間に介在している。
【００１２】
すなわち、図１に示すように、距離限定反射型光電センサ５とフロート３間の検出距離はスペーサ４により決められる。同図に示すように、距離限定反射型光電センサ５の検出範囲を、例えば、０〜１０ｍｍとした場合、距離限定反射型光電センサ５とフロート３間の検出距離Ｈを１０ｍｍより若干大きい、例えば１１ｍｍになるようにスペーサ４を寸法出しする。この例では、フロート３の厚さｈが３ｍｍ、ガイド部材２の厚さＴが８ｍｍの場合、スペーサ４の厚さｔを６ｍｍにすればよいことになる。図１の状態では、距離限定反射型光電センサ５がＯＦＦしており、漏液を監視している。
【００１３】
図３は液漏れ時の動作を示す漏液検出装置の一部切欠き側面図である。
いま、図３に示すように、液漏れが生じて床面などの被検出面９に液体が流入すると、液体によりフロート３が上昇し、フロート３と距離限定反射型光電センサ５の距離が縮小する。フロート３が１ｍｍ浮くと、検出距離Ｈが１０ｍｍとなるので、その時点で反射型光電センサ５はＯＮし、その信号はファイバケーブル６によりセンサアンプ７に伝えられ、その出力によりアラーム８のブザーあるいはライト点滅で液漏れを報知する。
【００１４】
以上のように、距離限定反射型光電センサ５を使用することにより、漏液のとき赤色ＬＥＤの光量が変化するだけであり、その光もファイバケーブル６を通り、遠く離れたセンサアンプ７に送られ、漏液部分でのスパークは発生することがないので、安全性が高く、かつ、被検出面９を伝わる少量の液漏れでもフロート３は動作するので、検出精度が高く、しかも、複雑な機構を有しないので安価である。
【００１５】
以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。
【００１６】
例えば、フロート３と距離限定反射型光電センサ５との間に、正常時にフロート３を検出しない検出距離Ｈが確保できればスペーサ４は用いなくてもよい。但し、スペーサ４を使用することにより、検出範囲の異なる種々の距離限定反射型光電センサに対処することができる。
【００１７】
また、前記実施形態においては、報知部としてアラーム８を用いたものを示したが、例えば、漏液検出装置の表示部分を報知部とし、表示部分に液漏れが生じたことを表示するようにしてもよく、被検出面９の漏液を報知するものであれば報知部の構成は任意である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態を示す漏液検出装置の一部切欠き側面図である。
【図２】漏液検出装置の上面図である。
【図３】液漏れ時の動作を示す漏液検出装置の一部切欠き側面図である。
【図４】従来の漏液検出装置の説明図である。
【符号の説明】
【００１９】
１  ガイド孔
１ａ  切欠部
２  ガイド部材
３  フロート
４  スペーサ
５  距離限定反射型光電センサ
６  ファイバケーブル
７  センサアンプ
８  アラーム
９  被検出面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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