(57)【要約】 【構成】  ガラス基板８を載置するトレイ６の搬送システムに、ワーク洗浄装置２０を組み込む。トレイ６の底面の開口１７から支持体３２を上昇させて、トレイ底面の支持面１９と共に基板８を支持させる。ノズル２２を基板８の上部へ移動させ、クリーンエアを吹き付けて洗浄する。【効果】  搬送する過程で、ガラス基板を洗浄できる。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方が開口したトレイにワークを載置して搬送する搬送システムに組み込むためのワーク洗浄装置であって、前記トレイの上方からワークを除塵するための手段を設けたことを特徴とする、ワーク洗浄装置。
【請求項２】
前記除塵手段はワークの上面に気流を吹き付けるように構成され、かつトレイはその底面にワークをトレイからリフトするための開口を有し、さらにワークを前記気流に抗して支持するための力を前記開口を介してワークの底面に及ぼすための支持手段、を設けたことを特徴とする、請求項１のワーク洗浄装置。
【請求項３】
除塵時にトレイの上面を覆うための手段を設けたことを特徴とする、請求項１または２のワーク洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はトレイによる枚葉搬送に関し、特にトレイ内のガラス基板等のワークの洗浄に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板等の搬送は従来、数枚程度ずつカセットに収容してカセット単位で行われてきたが、液晶基板が２ｍ角程度まで大形化したことに伴い、カセット搬送には無理が生じている。そこで液晶基板をトレイに１枚ずつ載置し、トレイ単位で搬送することが考えられる。この場合に、トレイへのガラス基板の出し入れの便宜などのために、トレイの上面を開放しておくのが好ましい。しかしそのようにすると、搬送の過程でガラス基板の表面にパーティクルなどが付着することが考えられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の基本的課題は、トレイでの搬送中やストック中に、トレイ内のワークの上面を洗浄できるようにすることにある。
請求項２の発明での追加の課題は、ワークをより多数の位置で支持することにより、クリーンエアなどを強く吹き付けることを可能にすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、トレイ内のワークの表面に沿った流れを作り、より効率的に除塵できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明のワーク洗浄装置は、上方が開口したトレイにワークを載置して搬送する搬送システムに組み込むためのワーク洗浄装置であって、前記トレイの上方からワークを除塵するための手段を設けたことを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、前記除塵手段はワークの上面に気流を吹き付けるように構成され、かつトレイはその底面にワークをトレイからリフトするための開口を有し、さらにワークを前記気流に抗して支持するための力を前記開口を介してワークの底面に及ぼすための支持手段、を設ける。
【０００６】
また好ましくは、除塵時にトレイの上面を覆うための手段を設ける。
【発明の効果】
【０００７】
この発明のワーク洗浄装置では、トレイでの搬送中やストック中に、ワークの上面を洗浄できる。この発明では、搬送システム内でワークを洗浄できるので効率的で、また上面が開口したトレイを用いて、例えば長時間トレイを搬送システムで扱っても、ワークの汚染を防止できる。
【０００８】
請求項２の発明では、ワークを多数の位置で支持できるので、トレイの底面に開口が有っても、ワークに強い気流を吹き付けることができ、確実に洗浄できる。
【０００９】
請求項３の発明では、トレイの上面を覆うカバーにより、ワークの表面に沿った流れを形成して、効率的に除塵できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図６に、実施例とその変形とを示す。図において、２は搬送システムで、例えばクリーンルーム内に設けられ、４は搬送用のコンベヤで、上方が開口したトレイ６にガラス基板８を載置して搬送するためのものである。１０は処理装置などの出入り口となるステーションで、駆動ローラ１３を多数配列したリフターからなる。１２は基板搬送コンベヤで、駆動ローラ１３を備えている。ステーション１０や基板搬送コンベヤ１２では、ガラス基板８の底面に駆動ローラ１３を接触させて搬送する。１４はリフター付コンベヤ、１５は分岐コンベヤで、リフター付コンベヤ１４を上昇させて、トレイ６の図１の左右方向の両フランジを支持して搬送し、分岐コンベヤ１５側との間で搬送する。ガラス基板８は例えば液晶用のガラス基板で、２ｍ角程度のサイズで数ｍｍ程度の厚さであり、重量は１０Ｋｇのオーダーで、処理装置はガラス基板８を用いて液晶ディスプレイを作成するための処理装置である。
【００１２】
２０はワーク洗浄装置で、搬送システム２に組み込んでその適宜の位置に設ける。例えば実施例では、トレイ６の搬送用のコンベヤ４上にワーク洗浄装置２０を設けるが、例えばステーション１０上に設けても良い。この場合は例えば、ガラス基板８を載置したトレイが、ステーション１０上で待機している間に、ガラス基板８を洗浄するようにしても良い。あるいはトレイ６と基板搬送コンベヤ１２との間で、ガラス基板８を駆動ローラ１３で搬送しながら洗浄しても良い。さらにステーション１０でガラス基板８を搬出すると、空のトレイが残るので、ガラス基板８のみでなく、空のトレイを洗浄しても良い。
【００１３】
分岐コンベヤ１５に洗浄装置２０を設ける場合、例えば分岐コンベヤ１５をガラス基板８を載置したトレイ６のバッファとして用い、分岐コンベヤ１５でトレイ６が待機している間に洗浄すると良い。さらに、図１の分岐コンベヤ１５の終端側に図示しないトレイのストッカなどを設けて、空のトレイやガラス基板を載置したトレイなどをストックし、ストッカへの出し入れ時に、特にストッカへの保管前に、トレイ６上のガラス基板８を洗浄しても良い。
【００１４】
以上のように、搬送システム２でのトレイ６の搬送中に、あるいは搬送システム２内でトレイ６をストックしている間に、トレイ６上のガラス基板８をワーク洗浄装置２０で洗浄する。このことを搬送システム２内でトレイのガラス基板８を洗浄するという。実施例では、搬送の途中でガラス基板８を洗浄できるので効率的で、また搬送システム２でガラス基板８を載置したトレイ６を長時間扱っても、ガラス基板８が汚染されることがない。
【００１５】
図２に、コンベヤ４上のワーク洗浄装置２０を、その上部カバーを取り外して示す。またワーク洗浄装置２０の断面を図３，図４に示す。コンベヤ４は例えばローラコンベヤからなり、搬送方向に沿ったトレイ６の両側のフランジを支持して搬送する。１６はコンベヤフレームで、コンベヤ４を支持する。トレイ６の底面には多数の開口１７があり、これは前記の駆動ローラ１３がガラス基板８の底面に接触できるようにするためのものである。またガラス基板８をトレイ６から出し入れするために、スカラアームやスライドフォークなどを用いる際にも、開口１７からこれらのものをガラス基板８の底面に作用させることができる。トレイ６には例えばその左右方向（コンベヤ４での搬送方向の前後）に、突き出し１８を設けて、トレイ６を積み重ねて保管できるようにする。トレイ６の底面の開口１７，１７間には支持面１９を設けて、ガラス基板８の底面を支持する。ここでは支持面１９で支持したが、この部分に図示しないピンなどを設けて、ピンなどで支持するようにしても良い。
【００１６】
２２はワーク洗浄装置２０のノズルで、クリーンエアなどの気流をガラス基板８の上面に吹き付けることにより除塵する。気流はガラス基板８の表面に垂直に吹き付けても、斜めに吹き付けても良く、またイオン化器で正負にイオン化したクリーンエアなどを吹き付けても良い。２４はクリーンエアの給気管で、２６は上部カバーで、トレイ６の上面を覆い、上部カバー２６に設けたスリット２８に沿って、ノズル２２が移動する。駆動部３０は、ノズル２２を支持して移動させると共に、給気管２４からクリーンエアを供給する。
【００１７】
クリーンエアなどを吹き付けると、ガラス基板８に大きな圧力が加わる。ガラス基板８は例えば２ｍ角で厚さは数ｍｍ程度で、その重量は１０kgのオーダーである。ガラス基板８の底面を支持面１９のみで支持した状態で、ノズル２２からクリーンエアを吹き付けると、開口１７の部分でガラス基板８が撓んで破損する恐れがある。そこで支持体３２により開口１７の部分でもガラス基板８の底面を支持し、より強いクリーンエアを吹き付けることができるようにする。支持体３２はここではピン状の部材であるが、その形状は任意で、また開口１７の下部にノズルを設けて上向きの気流を吹き付けて、クリーンエアからの圧力を支持しても良い。支持体３２はプレート３４に取り付けられ、リフター３５により昇降して、除塵時に上昇し、ガラス基板８の底面に接触する。実施例では、除塵時に支持体３２と支持面１９の双方でガラス基板８の底部を支持するが、支持体３２のみで支持しても良い。
【００１８】
ガラス基板８の上面は上部カバー２６で覆われ、ノズル２２からクリーンエアをガラス基板８の上面に吹き付ける。上部カバー２６の四方の端部には、トレイ６との間に隙間３６，３８があり、吹き付けられたエアは隙間３６，３８から周囲へと逃げていく。このため、ノズル２２からガラス基板８の上面に吹き付けられたクリーンエアは、ガラス基板８の表面に沿って層状に流れ、隙間３６，３８から外に逃げて、効率的に除塵できる。これに対して、例えばガラス基板８の上部から鉛直にクリーンエアを吹き付けても、ガラス基板８の上部の空気が移動せずに、ノズルから吹き付けられたクリーンエアがガラス基板８の上面に到達するのを妨害し、除塵が難しくなる。
【００１９】
以上のように、実施例では以下の作用が得られる。
(1)  搬送システム２での搬送中やストック中に、トレイ６上のガラス基板８の上面を洗浄できる。
(2)  トレイ６の底面には、駆動ローラ１３などでの搬送のために開口１７がある。開口１７の部分で、ガラス基板８の底面を支持体３２により支持するので、強い気流を吹き付けても、ガラス基板８が撓んで破損したりすることがない。なおピンなどの物理的な支持体３２に代えて、開口１７を介して上向きの気流をガラス基板８の底面に吹き付け、クリーンエアによる圧力を打ち消しても良い。トレイ６の上部は、洗浄時に上部カバー２６で覆われているので、ガラス基板８の上面に沿って隙間３６，３８へと逃げる層流が生じやすく、効率的に除塵できる。
(3)  スリット２８に沿ってノズル２２を移動させることにより、洗浄個所に集中的に強いクリーンエアを吹き付けることができる。
【００２０】
図５に、第１の変形例を示す。５６は新たな上部カバーで、その底部にノズル５２を多数、例えば格子状に配置してある。ノズル５２の位置は固定で、スリット２８は設けず、給気管２４からのクリーンエアはノズル５２を介してガラス基板８の上面に吹き付けられ、隙間３６，３８から外に逃げる。他の点では図１〜図４の実施例と同様である。
【００２１】
図６に、第２の変形例を示す。この変形例では、ノズル６２からエアナイフ状のクリーンエアをガラス基板８の上部に吹き付け、ノズル６２とガラス基板８との間隔は例えば数mm程度の僅かなものとし、吹き付けるクリーンエアの向きはガラス基板８の表面にほぼ並行なものにして、エアナイフとして作用させる。６４はイオン化器で、イオン化器６４からノズル６２を、ガラス基板８の上面と並行に移動させて除塵を行う。エアナイフを用いて基板に対して小さな角度でクリーンエアを吹き付けると、ガラス基板８を左右に移動させようとする力が働く。この力が問題になる場合、前記の突き出し１８によりガラス基板８の左右動を防止すると良い。他の点では図１〜図４の実施例と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施例のワーク洗浄装置を組み込んだ搬送システムの要部平面図
【図２】実施例のワーク洗浄装置を、上部カバーを外し、かつノズルへの給気管を切断して見た平面図
【図３】実施例のワーク洗浄装置の鉛直方向断面図
【図４】図３の部分拡大断面図
【図５】変形例のワーク洗浄装置の鉛直方向部分拡大断面図
【図６】第２の変形例のワーク洗浄装置の鉛直方向部分拡大断面図
【符号の説明】
【００２３】
２  搬送システム
４  コンベヤ
６  トレイ
８  ガラス基板
１０  ステーション
１２  基板搬送コンベヤ
１３  駆動ローラ
１４            リフター付コンベヤ
１５  分岐コンベヤ
１６  コンベヤフレーム
１７  開口
１８  突き出し
１９  支持面
２０  ワーク洗浄装置
２２，５２ ノズル
２４     給気管
２６，５６ 上部カバー
２８  スリット
３０  駆動部
３２  支持体
３４  プレート
３５  リフター
３６，３８ 隙間
６２  ノズル
６４  イオン化器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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