(57)【要約】  【課題】  半導体チップの出力側から入力側へ空間を伝播する電磁波の正帰還ループを効果的に減衰することが容易な半導体パッケージを提供する。  【解決手段】  半導体チップ３を搭載した半導体パッケージ基部１と、半導体チップを密封するように半導体パッケージ基部に被せる半導体パッケージ蓋２とより構成された半導体パッケージにおいて、半導体パッケージ蓋に複数の電波吸収体片１０，１１が貼付されたことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップを搭載した半導体パッケージ基部と、前記半導体チップを密封するように前記半導体パッケージ基部に被せる半導体パッケージ蓋とより構成された半導体パッケージにおいて、前記半導体パッケージ蓋に複数の電波吸収体片が貼付されたことを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項２】
請求項１記載の半導体パッケージにおいて、前記複数の電波吸収体片は、前記半導体パッケージ蓋の内側面に貼付されたことを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項３】
請求項１または２記載の半導体パッケージにおいて、前記複数の電波吸収体片は、前記半導体チップの動作周波数帯における実質１波長の間隔で貼付されたことを特徴とする半導体パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体パッケージの構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップおよびアルミナ、セラミック等の誘電体基板を実装した半導体パッケージ基部に半導体パッケージ蓋を被せることで構成した，従来の半導体モジュールの断面図を、図２に示す（文献公知発明に係るものではない）。
【０００３】
半導体パッケージ基部１に誘電体基板４、誘電体基板５および半導体チップ３を実装し、入力端子８と誘電体基板４を接続し、誘電体基板４と半導体チップ３をボンディングワイヤ６によって接続し、半導体チップ３と誘電体基板５をボンディングワイヤ７によって接続し、誘電体基板５と出力端子９を接続し、半導体パッケージ蓋２を半導体パッケージ基部１に被せることで、半導体モジュールを構成する。
【０００４】
この構成では、半導体チップ３が高出力かつ高利得の増幅器を構成する場合、発振状態になりやすい。実際に動作周波数帯が５５ＧＨｚから６５ＧＨｚの範囲においては信号未入力で発信状態になった。
【０００５】
これを防止するために、半導体パッケージ蓋２に一つの電波吸収体１２を試行錯誤的に位置を調整して、半導体パッケージ蓋２の内側面に貼付して、半導体チップ３の出力側から入力側へ空間を伝播する電磁波の正帰還ループを減衰することで発振を停止させる。
【０００６】
なお、半導体パッケージの内側面に１つの電波吸収体を貼付した特許文献としては、特許文献１、特許文献２等が挙げられる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２２６８５号公報
【特許文献２】特開２００３−３１９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記に記載の従来技術の構成では、半導体パッケージ蓋に貼付する一つの電波吸収体の位置を、空間を伝播する電磁波の正帰還ループを減衰することが可能となる位置に調整する必要があり、時間および労力を要する。
【０００９】
なお、上記記載の特許文献１、特許文献２では、上記に記載の従来技術とは逆に、半導体パッケージ２の内側面の全面に亘って一つの電波吸収体を貼付してなるので、電波吸収体自体が大きく、したがって貼付するのに、時間および労力を要する。なお、特許文献１、特許文献２には、空間を伝播する電磁波の正帰還ループを分断することについてはなんらふれていない。
【００１０】
本発明の目的は、半導体チップの出力側から入力側へ空間を伝播する電磁波の正帰還ループを効果的に減衰することが容易な半導体パッケージを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、半導体チップを搭載した半導体パッケージ基部と、前記半導体チップを密封するように前記半導体パッケージ基部に被せる半導体パッケージ蓋とより構成された半導体パッケージにおいて、前記半導体パッケージ蓋に複数の電波吸収体片が貼付されたことを特徴とする半導体パッケージである。
【００１２】
また本発明は、上記に記載の半導体パッケージにおいて、前記複数の電波吸収体片は、前記半導体パッケージ蓋の内側面に貼付されたことを特徴とする半導体パッケージである。
【００１３】
また本発明は、上記に記載の半導体パッケージにおいて、前記複数の電波吸収体片は、前記半導体チップの動作周波数帯における実質１波長の間隔で貼付されたことを特徴とする半導体パッケージである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、半導体チップの出力側から入力側へ空間を伝播する電磁波の正帰還ループを効果的に減衰することが容易な半導体パッケージを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
発明を実施するための最良の形態では、半導体パッケージ内部で増幅器を構成する半導体チップの入力側先端の実質真上における，半導体パッケージ蓋の内側面に第一の電波吸収体を貼付し、出力側から空間を伝播してくる電磁波の電界が半導体パッケージ内部で増幅器を構成する半導体チップの入力端で最大となる正帰還ループを減衰させる。
【００１６】
更に発振周波数の自由空間において第一の電波吸収体から実質一波長離れた位置の内側に第二の電波吸収体を貼付することで、出力側から空間を伝播してくる電磁波のうち半導体パッケージ内部で増幅器を構成する半導体チップの入力端部で電界が最大となる正帰還ループを減衰させる。
【００１７】
また第一の電波吸収体と第二の電波吸収体に間隔を与えることで、実質一波長の半分の位置で電磁波の電界が強くなる逆移相のループは減衰させないようにして出力側から入力側へ空間を伝播させ、発振状態となる正帰還ループを分断する。
【００１８】
図１は本発明の実施の形態の半導体パッケージの断面図である。
【００１９】
半導体パッケージ基部１に誘電体基板４、誘電体基板５および半導体チップ３を実装し、入力端子８と誘電体基板４を接続し、誘電体基板４と半導体チップ３をボンディングワイヤ６によって接続し、半導体チップ３と誘電体基板５をボンディングワイヤ７によって接続し、誘電体基板５と出力端子９を接続し、第一の電波吸収体１０および第二の電波吸収体１１を内側面に貼付した半導体パッケージ蓋２を、半導体パッケージ基部１に被せることで、半導体モジュールを構成する。
【００２０】
この構成において、第一の電波吸収体１０および第二の電波吸収体１１を内側面に貼付してない場合は、半導体チップ３が高出力かつ高利得の増幅器を構成する場合、発振状態になり易い。実際、動作周波数が５５ＧＨｚから６５ＧＨｚの範囲の高出力かつ高利得の半導体チップ３を用いたとき、前述動作周波数の５５ＧＨｚから６５ＧＨｚの範囲において信号未入力で発振状態になった。
【００２１】
それに対して、本発明の実施の形態では、図１に図示のように、半導体パッケージ蓋２の内側面に第一の電波吸収体１０と第二の電波吸収体１１が貼付されてなる。第一の電波吸収体１０は、その入力側端が半導体チップ３の信号入力側の先端の実質真上に位置して、信号出力側に向かって貼付されている。第二の電波吸収体１１は、その出力側端が第一の電波吸収体１０の入力側端から，半導体チップ３の動作周波数帯における実質１波長の間隔を離した位置の内側で、信号入力側に向かって貼付されている。
【００２２】
図１において、間隔Ａは半導体チップ３の入力側の先端から第一の電波吸収体１０までの間隔、幅Ｂは第一の電波吸収体１０の幅、間隔Ｃは第一の電波吸収体１０と第二の電波吸収体１１の間隔、幅Ｄは第二の電波吸収体１２の幅を示す。また間隔Ａは信号の流れる方向を正の値とする。
【００２３】
図３は図１において実施して発振停止した電波吸収体の間隔Ａ、幅Ｂ、間隔Ｃおよび幅Ｄの値を示す図である。図１において、第一の電波吸収体１０および第二の電波吸収体１１を半導体パッケージ蓋２の内側面に貼付してない場合は、動作周波数が５５ＧＨｚから６５ＧＨｚの範囲の高出力かつ高利得の半導体チップ３を用いたとき、前述動作周波数の５５ＧＨｚから６５ＧＨｚの範囲において信号未入力で発振状態になった。
【００２４】
それに対して、第一の電波吸収体１０および第二の電波吸収体１１を、図３に示す間隔Ａ、幅Ｂ、間隔Ｃおよび幅Ｄの値に従って、半導体パッケージ蓋２の内側面に貼付したところ、発振が停止した。サンプル１，２，３のいずれでも発振が停止した。
【００２５】
図３中の間隔Ａから、第一の電波吸収体１０は、その入力側端が、半導体チップ３の信号入力側の先端から−０．１６［ｍｍ］から０．２４［ｍｍ］の範囲、即ち半導体チップ３の信号入力側の先端と同じ位置の実質真上に位置して、半導体パッケージ蓋２に貼付されているといえる。
【００２６】
図４は、図３に示す幅Ｂ、間隔Ｃおよび幅Ｄを合計した値を示す図である。前述の動作周波数の５５ＧＨｚから６５ＧＨｚの中で最高周波数である６５ＧＨｚの自由空間における一波長は４．６［ｍｍ］と算出できるが、図４中の値は、４．２６［ｍｍ］から４．４８［ｍｍ］と、実質一波長の範囲なので、第一の電波吸収体１０および第二の電波吸収体１１は実質一波長の間隔を離した位置の内側に貼付されているといえる。
【００２７】
このように、本発明の実施の形態では、半導体チップ３の入力側先端の実質真上に、入力側端が位置した第一の電波吸収体１０が貼付され、半導体チップ３の動作周波数帯における実質１波長の間隔を離した位置の内側に第二の電波吸収体１１が貼付されることで、第一の電波吸収体１０および第二の電波吸収体１１の貼付位置が予め決められるので、半導体チップの出力側から入力側へ空間を伝播する電磁波の正帰還ループを効果的に減衰し且つ分断することが容易で、発振状態を停止するための調整にかかる時間および労力を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態の半導体パッケージの断面図である。
【図２】従来の半導体パッケージの断面図である。
【図３】図１において実施して発振停止した電波吸収体の間隔Ａ、幅Ｂ、間隔Ｃおよび幅Ｄの値を示す図である。
【図４】図３に示す幅Ｂ、間隔Ｃおよび幅Ｄを合計した値を示す図である。
【符号の説明】
【００２９】
１：半導体パッケージ基部、２：半導体パッケージ蓋、３：半導体チップ、４：誘電体基板、５：誘電体基板、６：ボンディングワイヤ、７：ボンディングワイヤ、８：入力端子、９：出力端子、１０：第一の電波吸収体、１１：第二の電波吸収体、１２：電波吸収体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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