(57)【要約】【課題】  弾性基材に貼り付ける作業性が向上し、しかも弾性基材から剥離し難く、研磨不良の発生を抑制し、歩留まり良く研磨を行うことができる研磨パッド及び研磨方法を提供する。【解決手段】  研磨パッド１を貫通する多数の穴の列からなる切れ目１ｃが、多数の多角形の輪郭を並設した形状に、研磨パッド１の中央部から外周部に亘って形成された研磨パッド１が、ドーム状の弾性基材２の表面に貼着された弾性ポリシャ３を、研磨装置に装着し、弾性ポリシャ３と研磨装置との間に形成された密閉空間に、０．１〜２．０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を加えて弾性ポリシャ３に張りを与えることで、研磨パッド１が切れ目１ｃに沿って張り裂けて、多数のパッドに分離すると共に、通水溝として機能する溝を形成する。そして弾性ポリシャ３を被研磨物の被研磨面に押し当てて研磨する。【選択図】      図１
2006272466.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドーム状の弾性基材の内側に圧力流体を導入し、被研磨物の被研磨面に当接して研磨する弾性ポリシャの、前記ドーム状の弾性基材表面に貼着される研磨パッドにおいて、
前記研磨パッドは、パッド基材を有し、前記パッド基材のどちらか一方の面に前記パッド基材を前記弾性基材表面へ貼着する両面テープが粘着され、かつ、前記研磨パッドを貫通する多数の穴の列からなる切れ目を備えたことを特徴とする研磨パッド。
【請求項２】
ドーム状の弾性基材の内側に圧力流体を導入し、被研磨物の被研磨面に当接して研磨する弾性ポリシャの、前記ドーム状の弾性基材表面に貼着される研磨パッドにおいて、
前記研磨パッドは、パッド基材を有し、前記パッド基材のどちらか一方の面に前記パッド基材を前記弾性基材表面へ貼着する両面テープが粘着され、かつ、前記パッド基材を貫通すると共に前記両面テープを貫通することなく形成された多数の穴の列からなる切れ目を備えたことを特徴とする研磨パッド。
【請求項３】
請求項２に記載の研磨パッドにおいて、
前記切れ目の形状が、連続した溝形状であることを特徴とする研磨パッド。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の研磨パッドにおいて、
前記切れ目が、多数の多角形の輪郭を並設した形状に前記研磨パッドの中央部から外周部に亘って形成されていることを特徴とする研磨パッド。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の前記研磨パッドが前記ドーム状の弾性基材の表面に貼着された前記弾性ポリシャを研磨装置に装着し、
前記弾性ポリシャと前記研磨装置との間に形成された密閉空間に、
０．１〜２．０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を加えて前記弾性ポリシャに張りを与え、
該弾性ポリシャを、被研磨物の被研磨面に押し当てて研磨することを特徴とする研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨パッド及び研磨方法に関し、特に、レンズ等の曲面の平滑化又は鏡面化に適した研磨パッド及び研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、眼鏡レンズ等の凹面は、切削等により、球面、軸対称非球面、非球面乱視面、累進面、あるいはトーリック面と累進面とが合成された曲面等の、いわゆる自由曲面が形成され、最終的に光学面となるよう鏡面研磨される。球面やトーリック面等の単純な曲面形状の鏡面研磨には、剛体の研磨皿を用いた擦り合わせ研磨が用いられる。研磨皿を用いる鏡面研磨方法は、研磨皿の面形状を被研磨面に転写する方法であるため、自由曲面を研磨することができない。そのため、自由曲面の研磨には、弾性研磨工具を用いる方法が一般的に行われている。
【０００３】
弾性研磨工具を用いる方法としては、風船型研磨や、部分研磨が知られている。
風船型研磨は、風船型弾性研磨工具の内側に圧力気体を送り、内圧で風船型弾性研磨工具を膨らませ、その内圧を変更することによって被研磨面の曲面形状に合った曲率を設定し、被研磨面全体を、回転する風船型弾性研磨工具に当接しながら走査させることによって研磨する方法である。また、部分研磨は、被研磨面の形状から算出される平均曲率半径より小さく、被研磨面の一部に当接する小さいドーム状の弾性研磨工具を用い、弾性研磨工具を回転等させながら被研磨面に当接し、被研磨面全体に走査させることによって研磨する方法である。
【０００４】
何れの研磨方法も、弾性研磨工具がレンズの凹面の形状に追随して変形しながら擦り合わせることで、自由曲面を研磨することができる。
なお、弾性研磨工具は、弾性基材の表面には研磨パッドが貼り付けられて弾性ポリシャを構成し、被研磨面に研磨液を供給しながら弾性ポリシャを当接して、研磨が行われる。
【０００５】
こうした弾性研磨工具を用いた研磨方法において、弾性基材に接着した研磨パッドが、研磨加工中に剥離し難く、研磨不良を発生させないことを目的に、０．１〜５ｍｍ幅の通水溝が設けられた研磨パッドが、弾性基材の表面を覆って貼り付けられたポリシャを、研磨する被研磨物の被研磨面に押し当てて研磨する、研磨方法および弾性ポリシャが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２６３９９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に示される研磨パッドは、通水溝の幅を狭くする（０．１〜５ｍｍ幅）ために、幅の広い切欠部を備えた花びら形状の切欠部に別の研磨パッドを弾性基材に接着する、あるいは複数の多角形の研磨パッドを、一枚ずつ互いの辺を近接させて弾性基材に接着することで通水溝が形成される。こうした複数の多角形の研磨パッドを、一枚一枚弾性基材に貼り付ける作業は、煩雑であり、しかも接着作業に熟練を必要とする。また、貼り付け作業に長い作業時間を要することから作業コストが高くなる等の課題がある。
そこで本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、弾性基材に貼り付ける作業性が向上し、しかも弾性基材から剥離し難く、研磨不良の発生を抑制し歩留まり良く研磨を行うことができる研磨パッド及び研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の研磨パッドは、ドーム状の弾性基材の内側に圧力流体を導入し、被研磨物の被研磨面に当接して研磨する弾性ポリシャの、前記ドーム状の弾性基材表面に貼着される研磨パッドにおいて、前記研磨パッドは、パッド基材を有し、前記パッド基材のどちらか一方の面に前記パッド基材を前記弾性基材表面へ貼着する両面テープが粘着され、かつ、前記研磨パッドを貫通する多数の穴の列からなる切れ目を備えたことを特徴とする。
【０００９】
これによれば、研磨パッドを貫通する多数の穴の列からなる切れ目を備え、ドーム状の弾性基材の表面に粘着層を介して貼着されていることにより、ドーム状の弾性基材の内側に圧力流体を導入されると、一枚であった研磨パッドが、弾性基材の伸縮による変形に追従して伸縮し、研磨パッドを貫通する多数の穴の列からなる切れ目に沿って張り裂かれ、溝を形成する。形成された溝は、研磨する際の通水溝として機能することができる。したがって、弾性基材上に多数の研磨パッドを一枚一枚貼り付けることなく、一枚からなる研磨パッドを貼り付ける容易な貼着作業で、通水溝が形成された研磨パッドが得られる。
【００１０】
また、本発明の研磨パッドは、ドーム状の弾性基材の内側に圧力流体を導入し、被研磨物の被研磨面に当接して研磨する弾性ポリシャの、前記ドーム状の弾性基材表面に貼着される研磨パッドにおいて、前記研磨パッドは、パッド基材を有し、前記パッド基材のどちらか一方の面に前記パッド基材を前記弾性基材表面へ貼着する両面テープが粘着され、かつ、前記パッド基材を貫通すると共に前記両面テープを貫通することなく形成された多数の穴の列からなる切れ目を備えたことを特徴とする。
【００１１】
これによれば、研磨パッドが一枚からなり、研磨パッド上にパッド基材を貫通すると共に両面テープを貫通することなく延長された多数の穴の列からなるような一定厚みを残した多数の穴の列からなる切れ目を備え、ドーム状の弾性基材の表面に粘着層を介して貼着されたことにより、ドーム状の弾性基材の内側に圧力流体を導入されると、一枚であった研磨パッドが、弾性基材の伸縮による変形に追従して伸縮し、両面テープの一定厚みを残した多数の穴の列からなる切れ目に沿って張り裂かれ、溝を形成する。形成された溝は、研磨する際の通水溝として機能することができる。したがって、弾性基材上に多数の研磨パッドを一枚一枚貼り付けることなく、一枚からなる研磨パッドを貼り付ける容易な貼着作業で、通水溝が形成された研磨パッドが得られる。
【００１２】
また、本発明の研磨パッドは、パッド基材を有し、前記パッド基材のどちらか一方の面に前記パッド基材を前記弾性基材表面へ貼着する両面テープが粘着され、かつ、前記パッド基材を貫通すると共に前記両面テープを貫通することなく形成された、前記切れ目の形状が、連続した溝形状であることを特徴とする。
これによれば、連続した溝形状の切れ目を備えた研磨パッドをドーム状の弾性基材の表面に粘着層を介して貼着することにより、切れ目が予め溝状に形成されているため、溝を形成する際の外力をあまり加えなくても通水溝を容易に得ることができる。
【００１３】
また、本発明の研磨パッドは、前記切れ目が、多数の多角形の輪郭を並設した形状に前記研磨パッドの中央部から外周部に亘って形成されていることを特徴とする。
これによれば、研磨パッドが一枚からなり、研磨パッド上に形成された切れ目が、多数の多角形の輪郭を並設した形状に、研磨パッドの中央部から外周部に亘って形成され、ドーム状の弾性基材の表面に粘着層を介して貼着されたことにより、ドーム状の弾性基材の内側に圧力流体を導入されると、一枚であった研磨パッドが、弾性基材の伸縮による変形に追従して伸縮し、切れ目に沿って張り裂かれ、多数の多角形のパッドに分離して、張り裂かれた切れ目が研磨パッドの中央部から外周部に連通した溝を形成し、スラリーの供給および研磨屑を効率良く排出し、研磨不良の発生を抑制した研磨パッドが得られる。
【００１４】
また、本発明の研磨方法は、一枚の研磨パッドからなり、研磨パッドを貫通する多数の穴の列からなる切れ目、または両面テープの一定厚みを残した連続する切れ目が、多数の多角形の輪郭を並設した形状に、研磨パッドの中央部から外周部に亘って形成された研磨パッドが、ドーム状の弾性基材の表面に貼着された弾性ポリシャを、研磨装置に装着し、前記弾性ポリシャと前記研磨装置との間に形成された密閉空間に、０．１〜２．０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を加えて前記弾性ポリシャに張りを与え、該弾性ポリシャを、被研磨物の被研磨面に押し当てて研磨することを特徴とする。
【００１５】
この研磨方法によれば、一枚のシートからなり、研磨パッドの上下面に貫通する多数の穴の列からなる切れ目、あるいは両面テープの一定厚みを残した連続する切れ目が、多数の多角形の輪郭を並設した形状に、研磨パッドの中央部から外周部に亘って形成されている研磨パッドが、弾性を有する弾性基材の表面に粘着層を介して貼着された弾性ポリシャと、研磨装置との間に形成された密閉空間に、０．１〜２．０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を加えることで、一枚の研磨パッドが、切れ目に沿って張り裂け、多数のパッドに分離される。分離された各パッドは、弾性基材の伸縮による変形に追従して伸縮し、弾性基材から剥離し難くなる。そのため、研磨パッドの剥離による研磨不良の発生を抑制し、歩留まり良い研磨加工を行うことができる。
【００１６】
また、眼鏡レンズの被研磨面の一部に当接する小さいドーム状の弾性研磨工具を用いる部分研磨を用いた場合には、前記研磨パッドの切れ目が、前記パッド基材を貫通すると共に前記両面テープを貫通することなく延長される溝状の連続する切れ目である研磨パッドを用いると、弾性ポリシャと、研磨装置との間に形成された密閉空間に加圧を行わなくても、同様な効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお本実施形態は、被研磨面全体を研磨する風船型弾性研磨工具を用いた場合で説明する。
図１（ａ）は、本発明の研磨パッドが貼着された弾性ポリシャの上面図であり、同図（ｂ）は研磨パッドが貼着された弾性ポリシャの断面図である。図２は、研磨パッド上に形成された切り取り線の部分拡大図を示し、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は、断面図である。
【００１８】
図１において、研磨パッド１は、パッド基材１ａと両面テープ１ｂとで構成され、両面テープ１ｂを介して弾性基材２に貼着されて、弾性ポリシャ３を形成している。
研磨パッド１は、例えば不織布からなるパッド基材１ａの一方の面に、ポリエステルからなるテープ基材の両面に強接着性粘着剤が塗布された両面テープ１ｂが、貼着されている。
【００１９】
また、研磨パッド１は、図２の研磨パッド上に形成された切れ目の部分拡大図に示すように、研磨パッド１（パッド基材１ａと両面テープ１ｂ）を貫通する細長い長方形の穴１ｄと、ブリッジ状のつなぎ部１ｅからなる切り取り線状の切れ目１ｃが、多数の正六角形を蜂の巣状に並べた形状（図１（ａ）参照）に、研磨パッド１の中央部から外周部に亘って形成されている。
【００２０】
なお、研磨パッド１を弾性基材２の表面に設ける領域として、被研磨物を研磨する際に、少なくとも被研磨物が摺り合わせ運動する範囲Ａ（二点鎖線で示す）をカバーする広さに設定される。また、切れ目１ｃを形成する細長い長方形の穴１ｄの幅αは、研磨時に砥粒を加工液中に分散させたスラリーの供給や研磨屑を排出する通水溝として機能する幅を持っている必要があり、０．１〜５ｍｍ、好ましくは０．２〜３ｍｍ程度に設定される。
【００２１】
また、パッド基材１ａの素材としては、不織布の他にフェルト、ポリウレタン等の多孔質素材で構成されるシート、合成樹脂のシートに短繊維が植毛されたもの等を用いることができる。さらに、一般に市販されている、不織布の一面にプライマー層（バインダー層）と弱粘着性接着剤層が積層された構成を有する研磨パッド、あるいはプライマー層のみ、または弱粘着性接着剤層のみを有する不織布からなる研磨パッドを用いても良い。
【００２２】
弾性基材２は、弾性を有するシートからなり、ドーム状に成形されたドーム状部２ａと、ドーム状部２ａの周縁に外周方向に突き出たリング状のフランジ部２ｂが一体に成形された形状を有する。
【００２３】
ドーム状部２ａのドーム面の形状は、研磨するレンズのほぼ被研磨面（凹面）の形状に沿った曲面に形成されている。ドーム状部２ａの直径は、研磨するレンズの直径の１．１〜１０倍、好ましくは１．５〜５倍程度の大きさとすることが望ましい。また、ドーム状部２ａの表面積は、研磨するレンズの被研磨面の面積よりも大きな面積となるように設定される。
【００２４】
これにより、被研磨面のほぼ全面にドーム状部２ａを当接させて研磨することが可能となる。また、ドーム状部２ａの面積が研磨されるレンズの被研磨面の面積よりも大きな面積とすることにより、弾性基材２の自転の周速度を速くして研磨速度を向上させると共に、弾性基材２の形状追随性を向上させることができる。
【００２５】
なお、弾性シートの材質は、天然ゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、シリコンゴム、フッ素ゴム等のゴム、ポリエチレン、ナイロン等の熱可塑性樹脂、スチレン系、ウレタン系等の熱可塑性樹脂エラストマーを例示することができる。また、弾性シートの厚さは、０．１〜１０ｍｍ、特に０．２〜５ｍｍの範囲が好ましく、ＪＩＳ−Ａ硬さ（タイプＡデュロメータ）１０〜１００、ヤング率１０2〜１０3Ｎｃｍ-2の物性値を備えるものが好ましい。
【００２６】
以上の様に構成された弾性ポリシャ３は、研磨装置の取付治具に固定されて、弾性研磨工具として用いられる。
図３は、レンズの凹面を風船型研磨する態様を示す研磨装置の研磨部の断面模式図であり、図３を参照して、取付治具の構成および弾性ポリシャの取付治具への装着方法を説明する。
【００２７】
取付治具４は、弾性ポリシャ３を保持すると共に、弾性ポリシャ３（ドーム状部２ａ）の内面側に密閉空間２１を形成し、密閉空間２１内に圧力流体を導入する流路として機能する。また、取付治具４は、取付治具本体４１とリング状の押さえ部材４２を備えている。
【００２８】
取付治具本体４１は、円筒状の筒状部４１１と、筒状部４１１の中心軸と直交する方向に張り出した上端部の外周部に、筒状部４１１の中心軸を同軸とするフランジ状の弾性ポリシャ取付部４１２とを有する。筒状部４１１の下端部には、テーパー状の装着部４１３が外方に突出して設けられている。なお、装着部４１３が研磨装置の回転台（図示せず）に装着して固定されている。
押さえ部材４２は、下面が平坦で弾性ポリシャ取付部４１２の外周とほぼ同じ外周を有するリング状の部材である。
【００２９】
このように構成された取付治具４に弾性ポリシャ３が固定される。固定方法は、弾性ポリシャ３のフランジ部２ｂを弾性ポリシャ取付部４１２上に載置し、載置されたフランジ部２ｂ上に、押さえ部材４２を重ねて載置する。そして、図示しないボルト等を用いて、フランジ部２ｂを弾性ポリシャ取付部４１２と押さえ部材４２との間に挟んで固定する。その結果、弾性ポリシャ３のドーム状部２ａの内面と弾性ポリシャ取付部４１２上面との間にドーム状の密閉空間２１が形成される。密閉空間２１は筒状部４１１の内部空隙を介して外部と連通している。この筒状部４１１の内部空隙を介して、密閉空間２１に後述する所定の圧力が導入される。
【００３０】
次に、取付治具４に弾性ポリシャ３が固定された弾性研磨工具を用いて、被研磨物を研磨する研磨方法について説明する。なお、研磨方法は、被研磨物として眼鏡レンズの凹面を研磨する場合を一例として説明する。
図３は、眼鏡レンズの凹面を風船型研磨する態様を示す研磨装置の研磨部の断面模式図であり、図４は、切れ目に沿って張り裂けた研磨パッドの部分拡大図を示し、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は、断面図である。
【００３１】
図３において、被研磨物としての眼鏡レンズ５は、被研磨面の凹面の他方の凸面側を、低融点金属からなるブロック部６を介して取付治具７に位置決め固定されている。取付治具７に位置決め固定された眼鏡レンズ５は、研磨装置のチャック（図示せず）に装着される。
なお、チャックは、チャックの中心軸を中心に回転（自転）すると共に、弾性ポリシャ３のドーム状部２ａの頂点近傍と端部側とを往復する揺動運動を行う。またチャックは、例えば空気圧が加えられることにより、取付治具４方向に移動し、眼鏡レンズ５の被研磨面を所定の圧力で取付治具４に固定された弾性ポリシャ３（弾性基材２）に押し当てる機構を備えている。
【００３２】
研磨に際して、取付治具４と取付治具４に固定された弾性ポリシャ３との間に形成されたドーム状の密閉空間２１に、筒状部４１１の内部空隙を介して、所定の圧力の圧縮空気を送り込む。圧縮空気が送り込まれ、密閉空間２１が所定の圧力に達することで、弾性ポリシャ３（弾性基材２）のドーム状部２ａに張りが与えられ、弾性基材２に貼付けられた研磨パッド１が、弾性基材２（ドーム状部２ａ）と共に伸びる。
【００３３】
この伸びにより、図４の切れ目に沿って張り裂けた研磨パッドの部分拡大図に示すように、研磨パッド１上に形成された切れ目１ｃのブリッジ状のつなぎ部１ｅが、圧力による弾性基材２の伸びに耐えきれずに、切れ目１ｃに沿って張り裂ける。その結果、研磨パッド１は、多数の正六角形が蜂の巣状に形成された切れ目１ｃに沿って分かれ、多数の正六角形のパッドに分離する。なお、ドーム状の密閉空間２１に送り込まれる圧縮空気の所定の圧力は、０．１〜２ｋｇｆ／ｃｍ2程度である。
【００３４】
この切れ目１ｃに沿って分かれた正六角形からなる多数のパッドの間隔部分が、互いに連通する溝１ｆを形成し、研磨する際の通水溝として機能する。通水溝として機能する溝１ｆの幅は、切れ目１ｃを形成する細長い長方形の穴１ｄの幅α程度になる。なお、切れ目１ｃの伸びによる裂けやすさは、切れ目１ｃを形成するブリッジ状のつなぎ部１ｅの長さ（長方形の穴１ｄ間の間隔部）を選択することで、調節することができる。
【００３５】
そして、研磨パッド１を多数の正六角形のパッドに分離した後、密閉空間２１内の圧力を維持してドーム状部２ａに張りを与えながら、取付治具４の筒状部４１１の中心軸を回転軸として所定の回転数で回転させる。
そして、研磨装置のチャックが回転駆動され、取付治具７に位置決め固定された眼鏡レンズ５を所定の回転数で回転（自転）させる。そして、研磨装置のチャックを所定の研磨圧力で回転する弾性研磨工具の弾性ポリシャ３（研磨パッド１）に押し付けると共に、被研磨物に揺動運動を与えて、眼鏡レンズ５の凹面の研磨が行われる。研磨の際には、ノズル８から砥粒を加工液中に分散させたスラリー９が弾性ポリシャ３（研磨パッド１）表面に供給される。
【００３６】
こうした眼鏡レンズ５の凹面の研磨加工時に、切れ目１ｃに沿って分かれた０．１〜５ｍｍ幅の互いに連通する溝１ｆが、ノズル８から供給されるスラリー９や研磨屑を排出する通水溝として機能する。
【００３７】
以上に説明した本実施形態の研磨パッドおよび研磨方法によれば、弾性ポリシャ３（密閉空間２１）に、０．１〜２．０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を加えることで、弾性基材２に貼付けられた研磨パッド１が、多数のパッドに分離される。分離された各パッドは、弾性基材２の伸縮による変形に追従して伸縮し、弾性基材２から、より剥離し難くなる。そのため、研磨パッド１の剥離による研磨不良の発生を抑制し、歩留まり良く研磨を行うことができる。
【００３８】
また、弾性ポリシャ３（密閉空間２１）に、０．１〜２．０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力を加えることで、弾性基材２に貼付けられた研磨パッド１が、切れ目１ｃに沿って張り裂け、研磨パッド１が多数のパッドに分離して、分離した各パッドの間隔部分が互いに連通する溝１ｆを形成し、溝１ｆが研磨する際にスラリー９の供給や研磨屑を排出する通水溝として機能する。そのため、弾性基材２に多数の研磨パッドを一枚一枚貼り付けることなく、研磨パッド１を貼り付ける容易な貼着作業で、研磨パッド１の中央部から外周部に連通する通水溝が形成された弾性ポリシャ３（弾性研磨工具）が得られる。
【００３９】
また、研磨パッド１が分離されたことにより、弾性基材２の伸縮に追従し、剥離し難くなると共に、研磨パッド１が強接着性粘着剤により弾性基材２に貼着されていることにより、研磨パッド１を弾性基材２に一回貼着することで、弾性ポリシャ３（弾性研磨工具）を繰り返し研磨加工に用いることが可能となり、製造コストを低減することができる。
【００４０】
また、研磨パッド１が多数のパッドに分離して、研磨パッド１の中央部から外周部に連通して形成された溝１ｆの幅が０．１〜５ｍｍと狭いことから、スラリー９の供給や研磨屑を排出する通水溝として機能しつつ、研磨の際に研磨される眼鏡レンズ５の周縁によって研磨パッド１が剥ぎ取られることが抑制され、剥離による研磨不良の発生を防止することできる。
【００４１】
さらに、研磨パッド１が弾性基材２の表面に貼着される領域が、少なくとも研磨される眼鏡レンズ５が摺り合わせ運動（揺動）する範囲Ａをカバーするように設定されることから、眼鏡レンズ５の周縁が研磨パッド１の端縁を捲ることがなく、研磨パッド１の剥離防止効果がより高まる。
以上は、研磨パッド１（パッド基材１ａおよび両面テープ１ｂ）を貫通する多数の穴の列からなる切れ目を備えた研磨パッド１について説明したが、パッド基材１ａを貫通し両面テープ１ｂを貫通しない断面形状（後述する図６（ｂ）に示すような断面形状）を有する、多数の穴の列からなる切れ目が形成された研磨パッドを用いた場合にも上記と同様の効果を得ることが可能である。
【００４２】
以上の実施形態の変形例を以下に示す。
（１）弾性ポリシャ３と研磨装置（取付治具４）との間に形成されたドーム状の密閉空間２１に、所定の圧力の圧縮空気を導入した場合で説明したが、他の圧力流体、あるいは弾性素材で充填する場合であっても良い。
【００４３】
（２）研磨パッド１上に形成される切れ目１ｃが、細長い長方形の穴１ｄと、ブリッジ状のつなぎ部１ｅからなる場合で説明したが、円形の穴の列がミシン目状に形成される場合であっても良い。この場合の穴径は、ミシン目状の穴に沿ってブリッジ状のつなぎ部１ｅが張り裂けて、互いに連通した溝１ｆが、ノズル８から供給されるスラリー９や研磨屑を排出する通水溝として機能する幅を持っている必要があり、０．１〜５ｍｍ、好ましくは０．２〜３ｍｍ程度に設定される。
【００４４】
（３）研磨パッド１上に、切れ目１ｃが多数の正六角形を蜂の巣状に並べた形状に形成された場合で説明したが、三角形以上の多角形の各辺を互いに並べた形状に形成しても良い。また、切れ目１ｃが研磨パッド１の中央部から外周端部に亘って互いに連通して形成されるどんな形状であっても良い。例えば、図５の研磨パッド１１が貼着された弾性ポリシャ３１の上面図に示すように、輪の形がひろがる波紋状の円形の切れ目１１ａと中央部から外周端部に伸びる放射状の切れ目１１ｂを組み合わせた形状であっても良い。
【００４５】
（４）研磨パッド１上に切れ目１ｃが形成された場合で説明したが、図６の切れ目が形成された研磨パッドの部分拡大図（（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図）に示すように、研磨パッド１に厚みβを残した連続的な切れ目１ｇを形成しても同様な効果が得られる。切れ目１ｇの残される厚みβは、研磨パッド１のパッド基材１ａの一部を残す、あるいは両面テープ１ｂ全ての厚さに設定される。これにより、連続的な切れ目１ｇが形成された一枚からなる研磨パッド１を弾性基材２に容易に貼着することができると共に、切れ目１ｇがノズル８から供給されるスラリー９や研磨屑を排出する通水溝として機能することができる。この場合の切れ目１ｇの幅は、０．１〜５ｍｍ、好ましくは０．２〜３ｍｍ程度に設定される。なお、切れ目１ｇが形成された研磨パッド１は、予め連続的な溝が形成されていることから、ドーム状の密閉空間２１に圧縮空気が送り込まれて切れ目１ｇに沿って張り裂ける際、全ての切れ目１ｇが張り裂けなくても同様な効果が得られる。
【００４６】
（５）研磨パッド及び研磨方法は、眼鏡レンズ５の被研磨面全体を研磨する風船型弾性研磨の場合で説明したが、眼鏡レンズ５の被研磨面の一部に当接する小さいドーム状の弾性研磨工具を用いる部分研磨であっても、同様な効果が得られる。
部分研磨方法における研磨パッド及び研磨方法を、図７に示す弾性研磨工具を用いてレンズの凹面を部分研磨する態様を示す研磨装置の研磨部の断面模式図に基づいて説明する。
【００４７】
弾性研磨工具５３は、研磨パッド５１、弾性研磨体５２、研磨体基材５４を備え、研磨体基材５４の上面に弾性研磨体５２が取り付けられ、さらに弾性研磨体５２の上面に研磨パッド５１が取り付けられている。
弾性研磨体５２は、眼鏡レンズ５５の被研磨面（凹面）５５ａに倣って形状を変えることが可能なシリコンゴム等の弾性を有する材料で形成され、円筒形の一方の面（凸面）に眼鏡レンズ５５の研磨面形状に近い所定の曲率半径を有するドーム状の曲面が形成されている。弾性研磨体５２の直径は、眼鏡レンズ５５の被研磨面５５ａの光学面形状を崩さずに研磨するために、眼鏡レンズ５５の最外径よりも小さく設定される。
【００４８】
研磨パッド５１は、円形の不織布からなるパッド基材とテープ基材の両面に粘着剤が塗布された両面テープとで構成され、研磨パッド５１上に研磨パッドの厚みβを一定に残した連続的な溝状の切れ目１ｇが形成されている（図６参照）。この研磨パッド５１は、両面テープを介して弾性研磨体５２のドーム状の曲面に貼着されている。なお、円形の研磨パッド５１の外径は、弾性研磨体５２のドーム状曲面の全面をカバーし、弾性研磨体５２が有する円筒形の外径程度の大きさが好ましい。
【００４９】
このように構成された弾性研磨工具５３は、研磨装置の研磨軸（図示せず）に装着される。なお、研磨装置の研磨軸は、例えば空気圧力が加えられることにより、弾性研磨工具５３を眼鏡レンズ５５の被研磨面５５ａに所定の研磨圧力で圧接する機構を備えている。
【００５０】
一方、被研磨物としての眼鏡レンズ５５は、被研磨面５５ａの反対側の面（凸面）が、低融点金属等からなるブロック部５６を介して、取付治具５７に位置決め固定されている。眼鏡レンズ５５が位置決め固定された取付治具５７は、研磨装置のチャック（図示せず）に装着して固定される。なお、研磨装置のチャックは、自転（回転）機構と揺動機構を備えている。
また、研磨装置は、弾性研磨工具５３と眼鏡レンズ５５の被研磨面５５ａの間に砥粒を加工液中に分散させたスラリー５９を供給するノズル５８を備えている。
【００５１】
眼鏡レンズ５５の被研磨面５５ａの研磨方法は、先ず、研磨装置の研磨軸を回転駆動し、研磨軸に装着された弾性研磨工具５３を回転させる。そして、研磨軸を被研磨面５５ａに圧接する機構に空気圧力を加えて、弾性研磨工具５３を所定の圧力で眼鏡レンズ５５の被研磨面５５ａに圧接させると共に、チャックを回転機構により所定の回転数で回転（自転）させつつ、揺動機構が稼動して、眼鏡レンズ５５が弾性研磨工具５３（研磨パッド５１）上を揺動する。
チャック及び研磨軸の回転と共に、ノズル５８からスラリー５９が弾性研磨工具５３と被研磨面５５ａの間に供給されて眼鏡レンズ５５の被研磨面５５ａの研磨が行われる。
【００５２】
（６）弾性ポリシャを用いた研磨方法は、被研磨物として眼鏡レンズの凹面を研磨する場合を一例としたが、被研磨物としては、平滑化または鏡面研磨を必要とするものであれば制限はない。例えば、カメラレンズ、望遠鏡用レンズ、顕微鏡用レンズ、ステッパー用集光レンズ等に代表される光学レンズの他に、プラスチックレンズを注型重合するためのガラス型、携帯機器のカバーガラス等の光学部品を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】（ａ）は、本発明の研磨パッドが貼着された弾性ポリシャの上面図、（ｂ）は研磨パッドが貼着された弾性ポリシャの断面図。
【図２】研磨パッド上に形成された切れ目の部分拡大図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図。
【図３】レンズの凹面を風船型研磨する態様を示す研磨装置の研磨部の断面模式図。
【図４】切れ目に沿って張り裂けた研磨パッドの部分拡大図を示し、（ａ）は上面図、（ｂ）は、断面図。
【図５】別の研磨パッドが貼着された弾性ポリシャの上面図。
【図６】別の切れ目が形成された研磨パッドの部分拡大図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図。
【図７】レンズの凹面を部分研磨する態様を示す研磨装置の研磨部の断面模式図。
【符号の説明】
【００５４】
１，１１，５１…研磨パッド、１ａ…パッド基材、１ｂ…両面テープ、１ｃ，１ｇ，１１ａ，１１ｂ…切れ目、１ｆ…溝、２…弾性基材、２ａ…ドーム状部、２ｂ…フランジ部、３，３１…弾性ポリシャ、４,７,５７…取付治具、５，５５…眼鏡レンズ、６，５６…ブロック部、８，５８…ノズル、９，５９…スラリー、２１…密閉空間、４１…取付治具本体、４２…押さえ部材、５２…弾性研磨体、５３…弾性研磨工具、５４…研磨体基材、５５ａ…被研磨面、４１１…筒状部、４１２…弾性ポリシャ取付部、４１３…装着部、Ａ…被研磨物が摺り合わせ運動する範囲。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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