(57)【要約】【課題】  比較的簡易な配管構成であり、かつメンテナンス性の良い機能液供給装置等を提供する。【解決手段】  機能液タンク１６１に対して機能液補充ユニット２２２を相対移動させることにより、機能液タンク１６１に各補充タンク２２２を対峙させ、接続手段２３２を介して補充タンク２２２と各機能液タンク１６１とを接続するタンク移動手段２２３と、を備え、機能液補充ユニット２２２は、補充タンク２３１と、機能液タンク１６１に連通する送液流路が形成されていると共に、送液流路の下流側に連通し、補充口に対して液密かつ離接自在に接続する接続具が形成された接続手段２３２と、接続手段２３２を介して、補充タンク１６１の機能液を機能液タンクに送液する送液手段と、を有する。【選択図】  図６
2006116437.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジに搭載された複数の機能液滴吐出ヘッドから吐出される機能液を供給する機能液供給装置において、
前記キャリッジに搭載され、かつ機能液を前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するための供給口と機能液を補充するための補充口とがそれぞれ形成された複数の機能液タンクと、
前記各機能液タンクに補充される機能液を貯留した補充タンクを有する機能液補充ユニットと、
前記機能液タンクに対して前記機能液補充ユニットを相対移動させることにより、前記機能液タンクに各補充タンクを対峙させ、前記補充タンクと前記各機能液タンクとを接続するタンク移動手段と、を備え、
前記機能液補充ユニットは、前記補充タンクに前記各機能液タンクを連通させる送液流路が形成されていると共に、前記送液流路の下流側に連通し、前記補充口に対して液密かつ離接自在に接続する接続具が形成された接続手段と、
前記接続手段を介して、前記補充タンクの前記機能液を前記各機能液タンクに送液する送液手段と、を有することを特徴とする機能液供給装置。
【請求項２】
前記各機能液タンク内の減液状態を検出する減液検出手段と、
前記減液検出手段の検出に基づいて、前記機能液補充ユニットおよび前記タンク移動手段を制御することにより、前記機能液の量が所定量に満たない前記各機能液タンクに前記機能液を補充する補充制御手段と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
【請求項３】
前記補充口は、前記接続手段と離接自在に接続する補充接続部を有し、
前記接続具および前記補充接続部は、一方を雄型とし、他方を雌型としたワンタッチジョイントであることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液供給装置。
【請求項４】
前記接続手段は、前記接続具と前記補充接続部との接続を解除する接続解除機構をさらに有していることを特徴とする請求項３に記載の機能液供給装置。
【請求項５】
前記接続具は、前記送液流路に連なる接続針を具え、
前記補充口は、前記接続針を抜差し自在に受容する弾性部材で閉栓されていることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液供給装置。
【請求項６】
前記機能液補充ユニットは、前記各機能液タンクに前記補充タンクを接続した状態で、当該補充タンクを前記各機能液タンクの前記補充口の高さ位置よりも高い位置に保持する保持フレームをさらに有すると共に、
前記送液手段は、前記送液流路を開閉する送液流路開閉弁を有し、前記補充タンクに貯留した前記機能液の自然水頭により構成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項７】
前記送液手段は、前記補充タンクを外部から加圧することにより、前記機能液を加圧送液する加圧送液手段で構成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項８】
前記加圧送液手段は、前記補充タンクを挟むように配設された一対の加圧板と、
一対の加圧板の少なくとも一方を離接させる加圧シリンダと、
前記加圧シリンダにエアーを供給するエアー供給手段と、を有していることを特徴とする請求項７に記載の機能液供給装置。
【請求項９】
前記加圧送液手段は、前記補充タンクを密閉状態で収容する密閉ケースと、
前記密閉手段内にエアーを供給するエアー供給手段と、を有していることを特徴とする請求項７に記載の機能液供給装置。
【請求項１０】
前記複数の機能液タンクと前記複数の機能液滴吐出ヘッドとを接続する複数の供給流路には、前記送液手段による前記機能液の送液と同期して閉弁制御される供給流路開閉弁がそれぞれ介設されていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１１】
前記複数の機能液タンクと前記複数の機能液滴吐出ヘッドとを接続する複数の供給流路には、圧力調整弁がそれぞれ介設されており、
前記各圧力調整弁は、前記機能液タンクから１次室に導入した機能液を、２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１つの面を構成すると共に大気に面した円形のダイヤフラムが受ける大気圧を基準調整圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路を弁体により開閉することを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１２】
前記各機能液タンクの満液状態を検出する満液検出手段と、
前記満液検出手段の満液信号に基づいて、前記送液手段を制御する送液制御手段と、をさらに備え、
前記送液制御手段は、送液中の前記各機能液タンクの前記満液状態が検出されると、前記送液手段による前記機能液の送液を停止させることを特徴とする請求項６ないし１０のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１３】
前記満液検出手段は、前記補充タンクの圧力を検出する圧力センサおよび流量を検出する流量センサのいずれかを有することを特徴とする請求項１１に記載の機能液供給装置。
【請求項１４】
前記機能液補充ユニットは、前記前記送液流路に連通する吸引流路を介して、前記送液流路を吸引する吸引手段と、
前記吸引手段により吸引された前記機能液を貯留する回収タンクと、
前記吸引手段を制御する吸引制御手段と、をさらに備え、
前記吸引制御手段は、前記各機能液タンクと前記補充タンクとを接続後、前記機能液の送液が開始される前に前記吸引手段を駆動し、前記送液流路を前記各機能液タンクの前記機能液で充填することを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１５】
前記吸引制御手段は、前記各機能液タンクに対する前記補充タンクの接続が解除された直後に、前記吸引手段を駆動することを特徴とする請求項１４に記載の機能液供給装置。
【請求項１６】
前記各機能液タンクは、タンク内の気泡をトラップする気泡トラップ部と、
前記気泡トラップ部に連通するエアー排気口と、を有しており、
前記機能液補充ユニットは、前記エアー排気口に接続される吸引手段と、
前記吸引手段により前記各機能液タンクから吸引された前記機能液を貯留する回収タンクと、
前記吸引手段を制御する吸引制御手段と、をさらに備えており、
前記吸引制御手段は、前記機能液の送液終了後に前記吸引手段を駆動することを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項１７】
前記吸引手段には、前記送液流路に連通する吸引流路が接続されており、
前記吸引制御手段は、前記各機能液タンクに対する前記補充タンクの接続が解除された直後に、前記吸引手段を駆動することを特徴とする請求項１６に記載の機能液供給装置。
【請求項１８】
前記補充口は、前記気泡トラップ部に形成され、前記エアー排気口を兼ねていることを特徴とする請求項１６または１７に記載の機能液供給装置。
【請求項１９】
前記機能液タンクの形状は、前記気泡トラップ部に対して上り傾斜となるように形成されていることを特徴とする請求項１６ないし１８のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項２０】
前記機能液タンクの補充口は、前記供給口の高さ位置よりも高い位置に形成されていることを特徴とする請求項１ないし１９のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項２１】
前記機能液タンクの前記補充口は、当該機能液タンクの高さ寸法に対して、上から約３分の１よりも高い位置に形成されていることを特徴とする請求項１ないし２０のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項２２】
前記機能液補充ユニットを複数備えると共に、前記タンク移動手段は、前記複数の各機能液補充ユニットを個別に移動可能に支持していることを特徴とする請求項１ないし２１のいずれかに記載の機能液供給装置。
【請求項２３】
請求項１ないし２２のいずれかに記載の機能液供給装置に接続されることを特徴とする機能液タンク。
【請求項２４】
請求項１ないし２２のいずれかに記載の機能液供給装置に用いられることを特徴とする機能液補充ユニット。
【請求項２５】
ワークに対して、前記機能液を導入した前記機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、前記ワーク上に前記機能液を吐出して描画を行う描画装置と、
請求項１ないし２２のいずれかに記載の機能液供給装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２６】
請求項２５に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２７】
請求項２５に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２８】
請求項２６に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項２７に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリッジに搭載された複数の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置、これに用いられる機能液タンクおよび機能液補充ユニット、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置に適用される従来の機能液供給装置は、キャリッジに搭載された機能液滴吐出ヘッドに配管接続され、水頭差により機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する給液タンク（機能液タンク）と、給液タンクに配管接続され、機能液を給液タンクに供給する加圧タンク（補充タンク）と、を備えている。そして、機能液滴吐出ヘッドからの消費により給液タンクが減液状態となると、加圧タンクの機能液が加圧送液されて給液タンクに機能液が補給される。これにより、給液タンク内の機能液量を一定にして、機能液滴吐出ヘッドと給液タンクとの水頭差を所定値とし、機能液滴吐出ヘッドに安定した状態で機能液を供給できるようになっている。
【特許文献１】特開２００３−２６６７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、工業応用の液滴吐出装置では、機能液滴吐出ヘッドから機能液タンクに至る機能液流路の長さを削減することにより、精度の良い描画処理を可能にすると共に、高価な機能液を効率的に利用するため、複数の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するための複数の給液タンクをキャリッジ上に搭載されることが考えられている。しかしながら、従来の機能液供給装置のように給液タンクと加圧タンクとを配管接続する構成の場合、給液タンクの数が複数になると、加圧タンクに接続するための配管数が複数必要となるため、配管が複雑になるといった問題が生じる。また、装置組み立て時や、メンテナンス時などにおいては、キャリッジ上の限られたスペースで、複雑な配管接続やメンテナンスを行わなければならないため、メンテナンス性が悪く、作業効率も低下する。
【０００４】
そこで、本発明は、キャリッジに搭載された機能液タンクに対して、比較的簡易な配管構成で、補充タンクを接続可能であると共に、メンテナンス性の良い機能液供給装置、これに用いられる機能液タンクおよび機能液補充ユニット、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、キャリッジに搭載された複数の機能液滴吐出ヘッドから吐出される機能液を供給する機能液供給装置において、キャリッジに搭載され、かつ機能液を機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するための供給口と機能液を補充するための補充口とがそれぞれ形成された複数の機能液タンクと、各機能液タンクに補充される機能液を貯留した補充タンクを有する機能液補充ユニットと、機能液タンクに対して機能液補充ユニットを相対移動させることにより、機能液タンクに各補充タンクを対峙させ、補充タンクと前記各機能液タンクとを接続するタンク移動手段と、を備え、機能液補充ユニットは、補充タンクに各機能液タンクを連通させる送液流路が形成されていると共に、送液流路の下流側に連通し、補充口に対して液密かつ離接自在に接続する接続具が形成された接続手段と、接続手段を介して、補充タンクの前記機能液を各機能液タンクに送液する送液手段と、を有することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、機能液タンクに機能液を補充する補充タンクは、機能液タンクに対して離接自在に構成され、機能液タンクと補充タンクとが、チューブにより配管接続されていない。したがって、キャリッジに搭載した複数の機能液タンクに複数のチューブが繋ぎ込まれることがなく、配管構成を簡易なものとすることができる。また、機能液タンクと補充タンクとの接続はタンク移動手段を用いて行われるため、複数の機能液タンクに機能液を補充する場合であっても容易にこれを行うことができ、ユーザの利便性を高めることができる。特に、機能液タンク数が多い場合には有効である。さらに、機能液タンクが補充タンクにチューブ接続されていないため、機能液タンクの交換を行う場合には、迅速にタンク交換を行うことができる。
なお、補充ユニットにより機能液を補充することができるので、大型の機能液タンクを用いる必要がなく、比較的小型な機能液タンクを用いて、キャリッジの重量を軽減させることができる。また、機能液タンクが空とならないため、機能液タンクの交換頻度を低減させることができ、メンテナンス効率を高めることができる。
【０００７】
なお、機能液タンクに機能液を補充する方法としては、全ての機能液タンクに対して機能液補充ユニットを順に接続させてゆき、各機能液タンクに必要な（所定量の）機能液を供給するようにしてもよいし、減液状態の機能液タンクを検出し、減液状態の機能液タンクに対して選択的に機能液を供給するようにしてもよい。
【０００８】
この場合、各機能液タンク内の減液状態を検出する減液検出手段と、減液検出手段の検出に基づいて、機能液補充ユニットおよびタンク移動手段を制御することにより、機能液の量が所定量に満たない各機能液タンクに前記機能液を補充する補充制御手段と、をさらに備えることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、減液状態が検出された機能液タンクに対してのみ機能液補充ユニットが接続されるので、全ての機能液タンクに対して機能液補充ユニットを接続させる場合に比して、短時間で効率的に機能液の補充を行うことができる。
【００１０】
この場合、補充口は、接続手段と離接自在に接続する補充接続部を有し、接続具および補充接続部は、一方を雄型とし、他方を雌型としたワンタッチジョイントであることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、補充口（補充接続部）と接続具とを容易かつ迅速に接続することができ、機能液の補充効率を高めることができる。
【００１２】
この場合、接続手段は、接続具と補充接続部との接続を解除する接続解除機構をさらに有していることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、補充口（補充接続部）と接続具との接続を容易かつ迅速に解除することができ、機能液の補充効率を高めることができる。
【００１４】
この場合、接続具は、送液流路に連なる接続針を具え、補充口は、接続針を抜差し自在に受容する弾性部材で閉栓されていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、接続針を弾性部材に差し込むことにより、補充口と送液流路とを容易に液密状態で接続することができる。
【００１６】
この場合、機能液補充ユニットは、各機能液タンクに前記補充タンクを接続した状態で、補充タンクを各機能液タンクの補充口の高さ位置よりも高い位置に保持する保持フレームをさらに有すると共に、送液手段は、送液流路を開閉する送液流路開閉弁を有し、補充タンクに貯留した機能液の自然水頭により構成されていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、送液流路を開弁させると、補充タンク内の機能液が自然流下して機能液タンクに供給されるため、簡易な構成で補充タンクの機能液を送液することができる。
【００１８】
この場合、送液手段は、補充タンクを外部から加圧することにより、機能液を加圧送液する加圧送液手段で構成されていることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、加圧送液手段を用いることにより、補充タンクの高さ位置に関わらず、補充タンクの機能液を機能液タンクに送液することができる。
【００２０】
この場合、加圧送液手段は、補充タンクを挟むように配設された一対の加圧板と、一対の加圧板の少なくとも一方を離接させる加圧シリンダと、加圧シリンダにエアーを供給するエアー供給手段と、を有していることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、一対の加圧板を接近させると、補充タンクがこれに挟まれて加圧され、補充タンク内の機能液を機能液タンクに加圧送液することができる。
【００２２】
この場合、加圧送液手段は、補充タンクを密閉状態で収容する密閉ケースと、密閉手段内にエアーを供給するエアー供給手段と、を有していることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、密閉ケースに供給したエアーにより補充タンクが加圧され、補充タンク内の機能液を機能液タンクに加圧送液することができる。
【００２４】
この場合、複数の機能液タンクと複数の機能液滴吐出ヘッドとを接続する複数の供給流路には、送液手段による機能液の送液と同期して閉弁制御される供給流路開閉弁がそれぞれ介設されていることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、機能液タンクに対して機能液が補充されている間は、供給流路が閉塞されるので、機能液タンクに補充した機能液が機能液滴吐出ヘッドから排出されることを防止することができ、機能液タンクに効率よく機能液を補充することができる。
【００２６】
この場合、複数の機能液タンクと複数の機能液滴吐出ヘッドとを接続する複数の供給流路には、圧力調整弁がそれぞれ介設されており、各圧力調整弁は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を、２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１つの面を構成すると共に大気に面した円形のダイヤフラムが受ける大気圧を基準調整圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路を弁体により開閉することが好ましい。
【００２７】
この構成によれば、機能液タンクに対して機能液が補充されている間は、1次室側の圧力が高まるため、圧力調整弁が閉弁状態となる。すなわち、供給流路が閉塞されるため、機能液タンクに補充した機能液が機能液滴吐出ヘッドから排出されることがなく、機能液タンクに効率よく機能液を補充することができる。
【００２８】
この場合、各機能液タンクの満液状態を検出する満液検出手段と、満液検出手段の満液信号に基づいて、送液手段を制御する送液制御手段と、をさらに備え、送液制御手段は、送液中の各機能液タンクの満液状態が検出されると、送液手段による機能液の送液を停止させることが好ましい。
【００２９】
この構成によれば、各機能液タンクの満液状態が検出されると、機能液の送液が停止されるため、各機能液タンクに対して必要量の機能液を効率よく補充することができる。また、満液検出手段は、機能液補充ユニットに設けられているため、複数の機能液タンクのそれぞれに満液検出手段を持たせる構成に比べて、装置構成を簡易なものとすることができる。
【００３０】
この場合、満液検出手段は、補充タンクの圧力を検出する圧力センサおよび流量を検出する流量センサのいずれかであることが好ましい。
【００３１】
この構成によれば、機能液タンクが満液状態となることにより変化する機能液の圧力または機能液の流量を検出して、機能液タンクの満液状態を把握することができる。圧力センサでは、機能液タンクが満液状態と、機能液タンクに供給する機能液の圧力が急激に高まることを利用し、これを検出する。一方、流量センサでは、機能液タンクが満液状態と、機能液タンクに供給する機能液量が急激に低下することを利用し、これを検出する。
【００３２】
この場合、機能液補充ユニットは、送液流路に連通する吸引流路を介して、送液流路を吸引する吸引手段と、吸引手段により吸引された機能液を貯留する回収タンクと、を有しており、吸引手段を制御する吸引制御手段、をさらに備え、吸引制御手段は、各機能液タンクと補充タンクとを接続後、機能液の送液が開始される前に吸引手段を駆動し、送液流路を各機能液タンクの機能液で充填することが好ましい。
【００３３】
この構成によれば、機能液の送液が開始される前に、吸引手段が駆動されるため、送液流路内のエアーが吸引され、送液流路が機能液タンクの機能液で満たされる。したがって、機能液を送液したときに、送液流路内のエアーが機能液タンクに混入することを有効に防止することができる。
【００３４】
この場合、吸引制御手段は、各機能液タンクに対する補充タンクの接続が解除された直後に、吸引手段を駆動することが好ましい。
【００３５】
この構成によれば、機能液タンクに対する補充タンクの接続が解除された直後に、吸引手段を駆動され、送液流路内に残る機能液が回収タンクに回収される。したがって、接続解除後に送液流路内の機能液が接続具を介して液垂れすることを有効に防止することができる。
【００３６】
この場合、各機能液タンクは、タンク内の気泡をトラップする気泡トラップ部と、気泡トラップ部に連通するエアー排気口と、を有しており、機能液補充ユニットは、エアー排気口に接続される吸引手段と、吸引手段により各機能液タンクから吸引された機能液を貯留する回収タンクと、吸引手段を制御する吸引制御手段と、をさらに備えており、吸引制御手段は、機能液の送液終了後に吸引手段を駆動することが好ましい。
【００３７】
この構成によれば、機能液タンク内で既に発生していたエアー（気泡）と共に、機能液を送液することに起因して機能液タンク内に混入した送液流路内のエアーを、機能液の送液終了後に排気させることができ、機能液タンク内のエアー量を最小限に止めることができる。
【００３８】
この場合、吸引手段には、送液流路に連通する吸引流路が接続されており、吸引制御手段は、各機能液タンクに対する補充タンクの接続が解除された直後に、吸引手段を駆動することが好ましい。
【００３９】
この構成によれば、機能液タンクに対する補充タンクの接続が解除された直後に、吸引手段を駆動され、送液流路内に残る機能液が回収タンクに回収される。したがって、接続解除後に送液流路内の機能液が接続具を介して液垂れすることを有効に防止することができる。
【００４０】
この場合、補充口は、気泡トラップ部に形成され、エアー排気口を兼ねていることが好ましい。
【００４１】
この構成によれば、補充口とエアー排気口とが兼用となっているため、機能液タンク自体の構成だけではなく、機能液供給装置の装置構成も簡易なものとすることができる。
【００４２】
この場合、各機能液タンクの形状は、気泡トラップ部に対して上り傾斜となるように形成されていることが好ましい。
【００４３】
この構成によれば、タンク本体の形状が気泡トラップ部に対して上り傾斜となっているため、タンク本体内のエアーが、傾斜部をつたって気泡トラップ部に効率よく回収される。
【００４４】
この場合、各機能液タンクの補充口は、供給口の高さ位置よりも高い位置に形成されていることが好ましい。なお、この場合、補充口は、タンク本体の高さ寸法に対して、上から約３分の１よりも高い位置に形成されることが好ましい。
【００４５】
この構成によれば、補充口を介してタンク本体にエアーが混入したとしても、供給口からエアーが排出され難くなっており、機能液滴吐出ヘッドにエアーが混じった機能液を供給することを防止することができる。
【００４６】
この場合、機能液補充ユニットを複数備えると共に、タンク移動手段は、複数の各機能液補充ユニットを個別に移動可能に支持していることが好ましい。
【００４７】
この構成によれば、複数の補充ユニットを用いて、複数の機能液タンクに対して同時に機能液を補充することができるので、機能液の補充に要する時間を短縮することができる。
【００４８】
本発明の機能液タンクは、上記のいずれかに記載の機能液供給装置に接続されることを特徴とする。
【００４９】
この構成によれば、機能液補充ユニットから機能液の補充を受けているため、比較的小型に構成しても、機能液滴吐出ヘッドに対して長時間に亘り安定的に機能液を供給することができる。また、機能液が空となることに起因して、機能液タンクを交換する必要がなく、メンテナンス性の向上を図ることができる。
【００５０】
本発明の機能液補充ユニットは、上記のいずれかに記載の機能液供給装置に用いられることを特徴とする。
【００５１】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに連なる機能液タンクに機能液を補充することができる。
【００５２】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対して、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、ワーク上に機能液を吐出して描画を行う描画装置と、上記のいずれかに記載の機能液供給装置と、を備えたことを特徴とする。
【００５３】
この構成によれば、メンテナンス性の良い機能液供給装置が備えられているので、装置の稼動効率がよく、ワークに効率的に描画を行うことができる。
【００５４】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。また、本発明の電気光学装置は、上記に記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００５５】
これらの構成によれば、上記の液滴吐出装置を用いているため、描画処理により効率よく成膜部を形成することができ、電気光学装置を効率よく製造することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００５６】
本発明の電子機器は、上記に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置、または上記に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００５７】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５８】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、ワーク（基板）上に、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するためのものである。
【００５９】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、複数の機能液滴吐出ヘッド６３（図示省略）を搭載したヘッドユニット２６を有し、ワークＷに機能液滴による描画を行う描画装置２と、機能液滴吐出ヘッド６３の機能維持・保守に供するメンテナンス装置３と、描画装置２（機能液滴吐出ヘッド６３）に機能液を供給する機能液供給装置４と、を備えている。また、液滴吐出装置には、液滴吐出装置１全体を制御する図外の制御装置５の他、各装置に駆動・制御用の圧縮エアーを供給するエアー供給装置（図示省略）や、ワークＷを後述の吸着テーブルに吸着セットするためにエアー吸引を行うエアー吸引装置（図示省略）、ワークＷをセット（位置補正）する際に用いられるワーク認識カメラ１１、ヘッドユニット２６の位置補正を行うためのヘッド認識カメラ（図示省略）等、各種付帯装置が備えられている。
【００６０】
以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１および図２に示すように、描画装置２は、Ｘ軸支持ベース２１（石定盤）上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル２２と、複数本の支柱２３を介してＸ軸テーブル２２を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース２４上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル２５と、複数の機能液滴吐出ヘッド６３（図示省略）が搭載された７つのキャリッジユニット６１から成り、Ｙ軸テーブル２５にＹ軸方向（副走査方向）に移動自在に支持されたヘッドユニット２６と、を備えている。図中の符号９４は、メンテナンス装置３の吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３（いずれも後述する）を支持するメンテナンス架台である。なお、Ｘ軸テーブル２２とＹ軸テーブル２５とが交わる領域が、ワークＷに対して描画を行う描画領域となっている。
【００６１】
図１および図２に示すように、Ｘ軸テーブル２２は、ワークＷをセットするセットテーブル３１と、セットテーブル３１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ３２と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル３１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸エアースライダ３２の移動を案内する一対（２本）のＸ軸ガイドレール３３と、を備えている。一対のＸ軸リニアモータを（同期させて）駆動すると、一対のＸ軸ガイドレール３３にガイドされた状態で、Ｘ軸エアースライダ３２がＸ軸方向に移動し、セットテーブル３１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する。
【００６２】
なお、セットテーブル３１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル４１と、吸着テーブル４１を回動自在に支持するθテーブル（図示省略）等を有している。吸着テーブル４１は、厚板状の石盤で構成され、その表面には、ワークＷを吸引するための吸引溝４３が複数形成されている。そして、各吸引溝４３には、上記したエアー吸引手段に連なる吸引孔（図示省略）が貫通形成されており、吸引溝４３を介して、ワークＷに十分な吸引力を作用させることができるようになっている。キャリッジに搭載された複数の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、キャリッジに搭載され、かつ機能液を貯留するタンク本体に、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するための供給口と機能液を補充するための補充口とがそれぞれ形成された複数の機能液タンクと、機能液タンクに補充する機能液を貯留した補充タンクを有する機能液補充ユニットと、機能液タンクに対して機能液補充ユニットを相対移動させることにより、機能液θテーブルは、ワーク認識カメラ１１による撮像結果に基づいて回動し、吸着テーブル４１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正する。
【００６３】
Ｙ軸テーブル２５は、ヘッドユニット２６を構成する７つの各キャリッジユニット６１をそれぞれ挿通して固定した７つのブリッジプレート５１と、７つのブリッジプレート５１を両持ちで支持する７組１４個のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース２４上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５１をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸リニアモータと並んでＹ軸支持ベース２４上に設置され、７組１４個のＹ軸スライダを支持して、各Ｙ軸スライダの移動を案内する一対のＹ軸ガイドレール（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータを（同期させて）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸ガイドレールを案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５１が両持ち状態でＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット６１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各ブリッジプレート５１（キャリッジユニット６１）を独立させて個別に移動させることも可能であるし、７つの全ブリッジプレート５１をヘッドユニット２６として一体に移動させることも可能である。
【００６４】
図３に示すように、ヘッドユニット２６は、同様に構成された７つのキャリッジユニット６１をＹ軸方向に整列させて構成されている。各キャリッジユニット６１は、ヘッドプレート６２にヘッド保持プレート（図示省略）を介して１２個の機能液滴吐出ヘッド６３を搭載し、これをキャリッジ６５に支持させて構成されている。
【００６５】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド６３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２を有する機能液導入部７１と、機能液導入部７１に連なる２連のヘッド基板７３と、機能液導入部７１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体７４と、を備えている。接続針７２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部７１に機能液を供給する。ヘッド本体７４は、キャビティ７５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル７８が開口したノズル面７７を有するノズルプレート７６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド６３を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ７５のポンプ作用により、吐出ノズル７８から機能液滴が吐出される。
【００６６】
なお、多数の吐出ノズル７８は、等ピッチ（２ドットピッチ間隔）に整列して、２列の分割ノズル列が形成されていると共に、２列の分割ノズル列同士は、相互に１ドットピッチ分位置ずれしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド６３には、２列の分割ノズル列により１ドットピッチ間隔のノズル列が形成され、１ドットピッチ（高解像度）の描画が可能となっている。
【００６７】
図３に示すように、ヘッドプレート６２は、ステンレス等の厚板で平面視略平行四辺形に形成されている。ヘッドプレート６２には、ヘッド保持プレートを介して機能液滴吐出ヘッド６３を位置決め・装着するための開口（図示省略）が設けられており、各ヘッドプレート６２に１２個の機能液滴吐出ヘッド６３を搭載すると、１２個の機能液滴吐出ヘッド６３のノズル列がＹ軸方向（ノズル列方向）において連続（一部重複）して、１本の分割描画ラインが形成されるようになっている。
【００６８】
キャリッジ６５は、ヘッドプレート６２を支持するキャリッジ本体８０と、キャリッジ本体８０を介して（１２個の）機能液滴吐出ヘッド６３を搭載したヘッドプレート６２をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構（図示省略）と、θ回転機構を介して、ヘッドプレート６２をＹ軸テーブル２５（各ブリッジプレート５１）に支持させる吊設部材８２と、を備えている。
【００６９】
キャリッジ本体８０には、ヘッドプレート６２と共に、機能液供給装置４のタンクユニット１５１およびバルブユニット１５２（いずれも後述する）が支持されている。θ回転機構は、キャリッジ本体８０を回転可能に支持しており、分割描画ラインがＹ軸方向と平行になるように、ヘッドプレート６２の水平面内における位置を補正する。図示省略したが、吊設部材８２には、θ回転機構を介してヘッドプレート６２を昇降させるヘッド昇降機構（図示省略）が組み込まれており、ヘッドプレート６２（機能液滴吐出ヘッド６３のノズル面７７）の高さ位置を調整可能に構成されている。
【００７０】
そして、７つの各キャリッジ６５を７つの各ブリッジプレート５１にそれぞれ支持させ、７つのキャリッジユニット６１をＹ軸方向に整列させることにより、ヘッドユニット２６が構成される。この場合、ヘッドユニット２６では、１２×７個の全機能液滴吐出ヘッド６３がＹ軸方向に連続し、各キャリッジユニット６１の７本の分割描画ラインがＹ軸方向に連続して１描画ラインが形成される。
【００７１】
ここで、ワークＷに描画処理を行うときの描画装置２の一連の動作について説明する。先ず、Ｘ軸テーブル２２が駆動され、セットテーブル３１を介してワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往動する。このワークＷの往動と同期して、描画領域に臨むヘッドユニット２６の（複数の）機能液滴吐出ヘッド６３が駆動され、ワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出（描画）が行われる。ワークＷの往動が終了すると、Ｙ軸テーブル２５が駆動され、ヘッドユニット２６が所定距離だけＹ軸方向に移動する。そして、再度、Ｘ軸テーブル２２が駆動されると共に、これと同期して機能液滴吐出ヘッド６３の吐出駆動が為され、ワークＷの復動とワークＷに対する機能液滴の選択的な吐出が行われる。このように、描画装置２では、ワークＷの主走査方向への移動とこれに同期した機能液滴吐出ヘッド６３の吐出駆動（主走査）と、ヘッドユニット２６の副走査方向への移動（副走査）と、を交互に繰り返すことにより、ワークＷに対する描画処理を行ってゆく。
【００７２】
なお、本実施形態では、ワークＷの往動時および復動時において機能液滴吐出ヘッド６３を吐出駆動するようになっているが、往動時のみに吐出駆動させるようにしてもよい。また、本実施形態の主走査では、ヘッドユニット２６に対してワークＷを主走査方向に移動させる構成であるが、ヘッドユニット２６を移動させる構成とすることも可能である。同様に、副走査でも、ヘッドユニット２６の副走査方向への移動に代えて、ワークＷを移動させる構成とすることも可能である。
【００７３】
次に、メンテナンス装置３について説明する。メンテナンス装置３は、機能液滴吐出ヘッド６３からの捨て吐出を受けるフラッシングユニット９１と、機能液滴吐出ヘッド６３から機能液を強制的に排出させるための吸引ユニット９２と、機能液滴吐出ヘッド６３のノズル面７７を払拭するワイピングユニット９３と、を備えている。そして、フラッシングユニット９１は、描画装置２のＸ軸テーブル２２に支持されていると共に、吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３は、Ｘ軸テーブル２２から外れ、かつＹ軸テーブル２５によりヘッドユニット２６が移動可能である位置に配設されたメンテナンス架台９４上に支持されている。なお、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド６３の吐出不良を検査する吐出不良検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド６３から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等をメンテナンス装置３としてさらに備えることが好ましい。
【００７４】
フラッシングユニット９１は、描画動作中において、ワークＷに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット２６の全機能液滴吐出ヘッド６３を吐出駆動して行う、描画前フラッシングの機能液を受ける描画前フラッシングユニット９１と、ワークＷの載せ換え時等にように、描画動作が一時的に休止される時にヘッドユニット２６の全機能液滴吐出ヘッド６３を吐出駆動して行う、定期フラッシングの機能液を受ける定期フラッシングユニット９１と、を備えている。
【００７５】
描画前フラッシングユニット９１は、セットテーブル３１に支持され、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス１０１を有している。各描画前フラッシングボックス１０１は、底部に吸収材１１２が敷設された平面視長方形の細長い箱状に形成されている。そして、各描画前フラッシングボックス１０１は、図外のボックス支持部材を介して、その長辺部分が吸着テーブル４１のＹ軸方向に平行な一対の辺（周縁）に沿うようにそれぞれセットテーブル３１（キャリッジに搭載された複数の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、キャリッジに搭載され、かつ機能液を貯留するタンク本体に、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するための供給口と機能液を補充するための補充口とがそれぞれ形成された複数の機能液タンクと、機能液タンクに補充する機能液を貯留した補充タンクを有する機能液補充ユニットと、機能液タンクに対して機能液補充ユニットを相対移動させることにより、機能液θテーブル）に支持されている。この場合、描画前フラッシングボックス１０１の上面は、吸着テーブル４１の上面と略面一となっている。したがって、吸着テーブル４１を介してワークＷをＸ軸方向に往復動させると、ヘッドユニット２６の全機能液滴吐出ヘッド６３が、ワークＷに臨む直前に順次描画前フラッシングボックス１０１に臨み、描画前フラッシングを行うことができるようになっている。
【００７６】
定期フラッシングユニット９１は、上面が開放され、機能液を受ける定期フラッシングボックス１０２と、上記のＸ軸エアースライダ３２に搭載され、定期フラッシングボックス１０２を支持する一対のボックス支柱部材（図示省略）と、を有している。定期フラッシングボックス１０２は、上面が開放された平面視長方形のボックス状に形成されており、その底面には機能液の吸収材（図示省略）が敷設されている。そして、定期フラッシングボックス１０２は、ヘッドユニット２６の全機能液滴吐出ヘッド６３からの定期フラッシングを受けられるように、ヘッドユニット２６の全機能液滴吐出ヘッド６３を包含し得る大きさに構成されている。
適切な状態に維持することができる。
【００７７】
一対のボックス支柱部材は、定期フラッシングボックス１０２の上端面が、ヘッドユニット２６に搭載された機能液滴吐出ヘッド６３のノズル面７７の高さ位置よりも僅かに（２〜３ｍｍ程度）低い位置となるように、定期フラッシングボックス１０２を高さ調整可能に支持している。なお、図１および図２において、図示手前側の位置がワーク載せ換え位置となっており、一対のボックス支柱部材は、セットテーブル３１をワーク載せ換え位置に臨ませたときに、定期フラッシングボックス１０２がヘッドユニット２６に臨むようにこれを支持している。これにより、ワークＷの載せ換え中において、ヘッドユニット２６の全機能液滴吐出ヘッド６３に定期フラッシングを行わせることができ、機能液滴吐出ヘッド６３を適切な状態に維持することができる。
【００７８】
吸引ユニット９２は、ヘッドユニット２６を構成する７個のキャリッジユニット６１に対応して７個設けられており、これらは、上記メンテナンス架台９４上に整列配置されている。各吸引ユニット９２は、キャリッジユニット６１に搭載された１２個の各機能液滴吐出ヘッド６３に対応する１２個のキャップ１３２を有し、吸引を行うキャリッジユニット６１に対して下側から臨んで、各機能液滴吐出ヘッド６３のノズル面７７に、対応する各キャップ１３２をそれぞれ密着させるキャップユニット１３１と、キャップユニット１３１を昇降させ、機能液滴吐出ヘッド６３（ノズル面７７）に対してキャップを離接させるキャップ昇降機構（図示省略）と、密着させたキャップ１３２を介して各機能液滴吐出ヘッド６３に吸引力を作用させる吸引手段（エゼクタ：図示省略）と、を備えている。
【００７９】
機能液の吸引（機能液の強制排出）は、機能液滴吐出ヘッド６３（吐出ノズル７８）の目詰まりを解消／防止するために、所定数のワークＷを描画処理する（または所定時間）毎に行われる。また、液滴吐出装置１を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド６３のヘッド交換を行った場合などに、機能液供給装置４（機能液タンク１６１：後述する）から機能液滴吐出ヘッド６３に至る機能液流路に機能液を充填するために吸引が行われる。また、吸引ユニット９２のキャップ１３２は、液滴吐出装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド６３を保管するためにも用いられる。この場合、吸引ユニット９２にヘッドユニット２６を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド６３のノズル面７７にキャップ１３２を密着させることにより、ノズル面７７を封止して、機能液滴吐出ヘッド６３（吐出ノズル７８）の乾燥を防止する。
【００８０】
さらに、吸引ユニット９２のキャップ１３２は、機能液滴吐出ヘッド６３の捨て吐出（予備吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、吸引ユニット９２に臨んだ一部のキャリッジユニット６１に対してのみ吸引を行うような場合には、吸引を行わない他のキャリッジユニット６１から、キャップ１３２に対して捨て吐出を行わせるようになっている。この場合、キャップ１３２は、キャップ昇降機構により、その上面が機能液滴吐出ヘッド６３のノズル面７７から僅かに離間する位置まで移動させられる。
【００８１】
ワイピングユニット９３は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１４１で機能液滴吐出ヘッド６３のノズル面７７を拭き取る（ワイピングを行う）ものであり、ロール状に巻回したワイピングシート１４１を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット１４２と、繰り出したワイピングシート１４１に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット１４４と、洗浄液が散布されたワイピングシート１４１でノズル面７７を拭取る拭取りユニット１４３と、を備えている。ワイピング動作は、吸引ユニット９２による吸引後等に行われ、ノズル面７７に付着した汚れを払拭する。そして、図１および図２に示すように、ワイピングユニット９３は、吸引ユニット９２よりも描画装置２側に配設されており、吸引ユニット９２による吸引後に描画領域に戻るヘッドユニット２６（各キャリッジユニット６１）に臨んで、効率よくワイピング動作を行えるようになっている。
【００８２】
なお、図示省略したが、７つの各吸引ユニット９２、およびワイピングユニット９３は、メンテナンス架台９４に組み込まれたユニット昇降機構に昇降自在に支持されており、これらの両ユニット９２、９３を所定の退避位置まで下降させることにより、ユニット自身のメンテナンスやキャリッジユニット６１に搭載したヘッドプレート６２を交換する（ヘッド交換）ための作業領域をユニット９２、９３上に確保できるようになっている。
【００８３】
次に、機能液供給装置４について説明する。機能液供給装置４は、７つのキャリッジユニット６１に対応して構成され、機能液タンク１６１を有して機能液滴吐出ヘッド６３に機能液を供給するための７つのタンクユニット１５１と、各タンクユニット１５１（機能液タンク１６１）から機能液滴吐出ヘッド６３に供給される機能液の圧力を調整するための７つのバルブユニット１５２と、各タンクユニット１５１の各機能液タンク１６１に機能液を補充するための機能液補充装置１５３と、を備えている。
【００８４】
各タンクユニット１５１は、各キャリッジユニット６１の１２個の機能液滴吐出ヘッド６３にそれぞれ対応した１２個の機能液タンク１６１と、上記したキャリッジ本体８０に支持されると共に、１２個の機能液タンク１６１を支持したタンクプレート１６２と、を備えている。
【００８５】
各機能液タンク１６１は、カートリッジ形式のもので構成され、機能液を貯留する機能液パック１７１と、機能液パック１７１を収容する樹脂製のカートリッジケース１７２と、を有している。機能液パック１７１は、可撓性を有する方形の２枚のフィルムシート１８２を重ね合わせて熱溶着した袋状のタンク本体１８１に、機能液滴吐出ヘッド６３に機能液を供給する供給口１８３と、機能液を補充するための補充口１８４と、を取り付けたものである。補充口１８４は、機能液補充装置１５３の補充ユニット２２２（後述する）が接続できるように、水平方向に延在している。供給口１８３は、機能液パック１７１の側部や底部等に設けることが可能であるが、この場合、（タンクセット時に）補充口１８４が、供給口１８３よりも高い位置となるように構成することが好ましい。これによれば、補充口１８４から機能液を補充する際に気泡がタンク内に入り込んだとしても、気泡が供給口１８３から排出されることを有効に防止することができる。なお、供給口１８３からの機能の排出をより有効に防止するために、補充口１８４は、機能液パック１７１の縦寸法の上から約３分の１よりも高い位置に構成することが好ましい。
【００８６】
フィルムシート１８２は、パック内に貯留された機能液の劣化を防止するために、機能液に対する耐食性や気体非透過性、防水性等を有する複数の素材を積層した積層構造のものが採用されている。供給口１８３には、パック内に連通する供給開口（図示省略）が形成されており、供給開口１８３ａは、機能液耐食性を有するブチルゴム等の弾性材で構成した閉塞部材（図示省略）で閉栓されている。補充口１８４は、雄型のカプラで構成された補充接続部１８４ａを有している。
【００８７】
なお、詳細は後述するが、各機能液タンク１６１の機能液貯留量（残量）は、制御装置５によりそれぞれ把握されており、減液状態が検出された機能液タンク１６１には、機能液補充装置１５３により適宜機能液が補充されるようになっている。
【００８８】
カートリッジケース１７２は、１つの面を開口した扁平な箱状のケース本体１９１と、ケース本体１９１の開口を閉塞する蓋ケース（図示省略）とで形成され、内部に機能液パック１７１を収容する収容空間が構成されている。そして、ケース本体１９１には、機能液パック１７１の供給口１８３に係合する供給口係合部１９２と、補充口１８４に係合する補充口係合部１９３と、が形成されており、これらを外部に突出させた状態で係止する。
【００８９】
タンクプレート１６２には、１２個の機能液タンク１６１が６個ずつ上下２段に整列配置されており、機能液タンク１６１の全補充口１８４は、それぞれ同一方向を向いている。そして、タンクプレート１６２は、搭載した機能液タンク１６１の補充口１８４がＸ軸方向を向くように、キャリッジ本体８０に支持されている。なお、本実施形態では、補充口１８４がワーク載せ換え位置側に位置している。
【００９０】
７つのバルブユニット１５２は、タンクユニット１５１と同様、７つのキャリッジユニット６１に対応しており、各キャリッジユニット６１のキャリッジ６５（キャリッジ本体８０）に1つずつ支持されている。各バルブユニット１５２は、各キャリッジユニット６１に搭載された１２個の機能液タンク１６１と１２個の機能液滴吐出ヘッド６３とを１対１で接続する１２本の給液チューブ２０１（給液流路）に介設された１２個の圧力調整弁２０２と、上記下ヘッドプレート６２に立設され、１２個の圧力調整弁２０２を支持する１２個のバルブ支持部材２０３と、で構成されている。
【００９１】
図５に示すように、圧力調整弁２０２は、流入ポート２１１を介して機能液タンク１６１に連なる１次室２１２と、流出ポート２１３を介して機能液滴吐出ヘッド６３に連なる２次室２１４と、１次室２１２および２次室２１４を連通する連通流路２１５と、をバルブハウジング２１６内に形成したものである。そして、２次室２１４の１の面には外部に面してダイヤフラム２１７が設けられていると共に、連通流路２１５にはダイヤフラム２１７により当該連通流路２１５を開閉動作する弁体２１８が設けられている。機能液タンク１６１から１次室２１２に導入された機能液は、２次室２１４を介して機能液滴吐出ヘッド６３に供給されるが、その際、所定の調整基準圧力（ここでは大気圧）でもって、ダイヤフラム２１７が変位する。これにより、連通流路２１５に設けた弁体２１８が開閉動作し、２次室２１４の機能液圧力が所定の圧力（僅かに負圧）となるよう、２次室２１４内の圧力が調整される。
【００９２】
このような圧力調整弁２０２を機能液タンク１６１と機能液滴吐出ヘッド６３との間に介設することにより、機能液タンク１６１の水頭に影響されることなく、機能液滴吐出ヘッド６３に機能液を安定して供給することが可能となる。すなわち、機能液滴吐出ヘッド６３（ノズル面７７）の位置と、圧力調整弁２０２（ダイヤフラム２１７の中心）の位置との高低差を所定の値とすることで、機能液の供給圧を所定圧に保つことができるようになっている。なお、弁体２１８の閉弁時において１次室２１２および２次室２１４は縁切りされており、圧力調整弁２０２は、機能液タンク側（１次側）で発生した脈動等を吸収するダンパー機能を有している。また、詳細は後述するが、機能液タンク１６１には、加圧送液された機能液が補充されるが、この場合、（１次室２１２内の圧力が高まって）圧力調整弁２０２が閉弁状態となるため、機能液補充時に機能液滴吐出ヘッド６３から機能液が（無駄に）排出されないようになっている。
【００９３】
各バルブ支持部材２０３は、機能液滴吐出ヘッドと圧力調整弁とが予め設定された所定の高低差となり、かつ、圧力調整弁２０２の１次室２１２に対して、自然流下により機能液タンク１６１から機能液が供給されるように、流入ポート２１１が機能液タンク１６１の供給口１８３よりも低い位置となるように圧力調整弁２０２を支持している。
【００９４】
機能液補充装置１５３は、メンテナンス架台９４からＸ軸方向に外れた位置（ワーク載せ換え位置側）に設置されたリフィル架台２２１上に設置されており、（減液状態が検出された）機能液タンク１６１に補充するための補充ユニット２２２と、ヘッドユニット２６に搭載された７つのタンクユニット１５１の全機能液タンク１６１に対して、補充ユニット２２２をアクセス可能に支持するユニット移動手段２２３と、を備えている。本実施形態では、メンテナンス架台９４（吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３）の上部が機能液タンク１６１に対する補充ユニット２２２のアクセス位置となっており、機能液タンク１６１に機能液を補充するときには、ヘッドユニット２６を移動させてタンクユニット１５１をこのアクセス位置に臨ませるようになっている。
【００９５】
図６に示すように、補充ユニット２２２は、機能液を貯留する大容量の補充タンク２３１と、補充タンクを支持するタンク支持フレーム（図示省略）と、補充タンク２３１と機能液タンク１６１とを接続する補充流路を有し、これらを接続するための接続手段２３２と、接続手段２３２を介して、補充タンク２３１の機能液を機能液タンク１６１に加圧送液するための加圧送液機構２３３と、補充流路を吸引するための吸引手段２３４と、吸引手段２３４により吸引された機能液を回収するための回収タンク２３５と、これらを支持すると共に収容する収容ケース２３６と、を備えている。
【００９６】
図６に示すように、補充タンク２３１は、機能液パック１７１と同様に、可撓性のフィルムシート２４１を２枚重ねて熱溶着させたパック形式のものに、機能液を送液するための送液口２４２（カプラ）を取り付けて構成されている。
【００９７】
タンク保持フレームは、補充タンク２３１の送液口２４２を係止する送液口係止部を有しており、補充タンク２３１の送液口２４２を下向きにして補充タンク２３１を支持している（図７参照）。したがって、補充タンク２３１内の機能液を最後まで効率よく利用することができるようになっている。
【００９８】
接続手段２３２は、機能液タンク１６１の補充口１８４（補充接続部１８４ａ）に対して、着脱自在に接続可能な接続具２５１と、接続具２５１と補充タンク２３１の送液口２４２とを接続させる補充チューブ２５２（補充流路）と、補充口１８４と接続具２５１との接続状態を解除するための接続解除機構２５３と、を有している。
【００９９】
接続具２５１は、雌型のカプラで構成されている。すなわち、補充口１８４の補充接続部１８４ａと接続具２５１とは、ワンタッチジョイントで構成されている。なお、接続具２５１と補充口１８４との接続形態は、ワンタッチジョイントに限定されるものではなく、接続具２５１を補充流路に連通する接続針で構成すると共に、補充口１８４を液密に閉栓し、かつ接続針を抜き差し自在な弾性部材で構成することにより、接続具２５１と補充口１８４とを接続させる構成としてもよい。
【０１００】
補充チューブ２５２は、耐機能液性のものが用いられており、上流側の端部には、補充タンク２３１の送液口２４２が接続され、下流側の端部には、接続具２５１が固定されている。図７に示すように、補充チューブ２５２には、当該補充チューブ２５２の補充流路を開閉させる補充流路開閉バルブ２６１（電磁弁）と、送液される機能液の圧力を検出する圧力検出センサ２６２と、が介設されている。補充流路開閉バルブ２６１は、通常閉弁制御されており、加圧送液機構２３３を駆動して補充タンク２３１から機能液を補充するときに開弁される。圧力検出センサ２６２は、機能液タンク１６１が満液状態になると補充流路の機能液圧力が高くなることを利用して、機能液タンク１６１の満液状態を検出する。なお、補充ユニット２２２に圧力検出センサ２６２を設けることに代えて、８４個の各機能液タンク１６１に満液状態を検出する満液検出センサを設けることにより、各機能液タンク１６１の満液状態を検出することも当然に可能である。
【０１０１】
接続解除機構２５３は、接続具２５１を接続解除方向（Ｘ軸方向）にスライド自在に支持する接続具支持部材２７１と、エアー供給手段に接続されて、接続具支持部材２７１を接続解除方向にスライドさせる解除シリンダ２７２と、を備えている。そして、解除シリンダ２７２に圧縮エアーを供給して、接続具支持部材２７１を接続解除方向にスライド移動させると、ワンタッチジョイントである接続具２５１と機能液タンク１６１の補充口１８４との接続状態が解除される。
【０１０２】
加圧送液機構２３３は、タンク保持フレームに支持された補充タンク２３１（フィルムシート部）を挟持するように配設された一対の加圧板２８１と、一対の加圧板２８１を相互に離接させる加圧シリンダ２８２と、を有している。一対の加圧板２８１のうち、一方の加圧板２８１の内側（補充タンク側）には、減液検出センサ２８３が設けられており、補充タンク２３１に対する加圧板２８１の押圧力を検出することにより、補充タンク２３１の減液状態を検出できるようになっている。加圧シリンダ２８２は、上記したエアー供給手段により圧縮エアーの供給を受けるエアーシリンダで構成されている。本実施形態では、加圧板２８１を均一に離接させ、補充タンク２３１を均一に加圧するために、２個の加圧シリンダ２８２が設けられている。そして、補充タンク２３１から機能液を送液するときには、（２個の）加圧シリンダ２８２に圧縮エアーを供給して、一対の加圧板を接近させる。なお、本実施形態では、加圧シリンダ２８２により、一対の加圧板２８１を移動させる構成となっているが、一方のみを移動させる構成としてもよい。この場合、一対の加圧板２８１の一方を収容ケース２３６の壁部に代用させることも可能である。
【０１０３】
また、加圧送液機構としては、加圧シリンダを用いた構成に限定されるものではない。例えば、エアー供給手段に接続された密閉ケースに補充タンク２３１を収容し、密閉タンクに圧縮エアーを供給することにより補充タンク２３１を外部から加圧して、機能液を加圧送液する構成としてもよい。また、補充タンク２３１と共に、エアー供給手段に接続された密閉のパックを同一ケース内に収容する構成を採用することも可能である。この場合、補充タンク２３１から機能液を送液するときには、パックに圧縮エアーを供給して膨らませ、補充タンク２３１を加圧するようにする。
【０１０４】
吸引手段２３４は、分岐継手を介して補充チューブ２５２に接続された（補充流路に連通する）吸引チューブ２９１（吸引流路）と、吸引チューブ２９１を介して補充流路に吸引力を作用させる真空発生手段２９２と、で構成されている。本実施形態では、真空発生手段２９２を、エゼクタで構成しているが、これに代えてエアーポンプ等を用いることも可能である。吸引チューブ２９１には、吸引流路を開閉させるための吸引バルブ２９３が介設されている。
【０１０５】
回収タンク２３５は、真空発生手段２９２により吸引された補充流路内の機能液を回収するためのものであり、真空発生手段２９２がエゼクタで構成される場合には、その下流側に設けられ、真空発生手段２９２がエアーポンプで構成される場合には、その上流側に配設される。図中の符号２９４は、回収タンク２３５の満液状態を検出する満液検出センサである。
【０１０６】
収容ケース２３６は、接続手段２３２の接続具２５１および接続具支持部材２７１を外部に突出させた状態で保持すると共に、補充ユニット２２２の各要素を一体に収容している。
【０１０７】
ユニット移動手段２２３は、いわゆるロボットであり、補充ユニット２２２を移動させることにより、機能液を補充する機能液タンク１６１に補充ユニット２２２を対峙させてこれらを接続させるものであり、リフィル架台２２１上に設置されたＹ軸移動機構３０１と、Ｙ軸移動機構３０１に支持されたＺ軸移動機構３０２と、補充ユニット２２２を支持すると共に、Ｚ軸移動機構３０２に支持されたＸ軸移動機構３０３と、で構成されている（図２および図１１参照）。
【０１０８】
Ｙ軸移動機構３０１は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダを有し、Ｚ軸移動機構３０２およびＸ軸移動機構３０３を介して補充ユニット２２２をＹ軸方向に移動させる。Ｙ軸スライダの移動範囲は、ヘッドユニット２６のＹ軸方向における幅に対応しており、これに搭載された７つのタンクユニット１５１の各機能液タンク１６１に対して、補充ユニット２２２の位置を合わせることが可能である。
【０１０９】
Ｚ軸移動機構３０２は、Ｙ軸スライダに搭載されており、Ｚ軸（高さ）方向の駆動系を構成するＺ軸モータ（図示省略）駆動のＺ軸スライダを有している。略同様に、Ｘ軸移動機構３０３は、Ｚ軸スライダに搭載され、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダをしている。Ｚ軸移動機構３０２は、（タンクプレート１６２に）上下２段に配置された機能液タンク１６１のいずれに対しても、補充ユニット２２２をアクセスさせることができるように、補充ユニット２２２をＺ軸方向に移動させる。Ｘ軸移動機構３０３は、Ｘ軸方向を向いた機能液タンク１６１の補充口１８４に、補充ユニット２２２の接続具２５１を接続させることができるよう、接続具をＸ軸方向に向けて補充ユニット２２２を支持している。そして、Ｘ軸移動機構３０３は、Ｙ軸移動機構３０１およびＺ軸移動機構３０２により機能液供給対象となる機能液タンク１６１と対峙した状態の補充ユニット２２２をＸ軸方向に移動させ、補充ユニット２２２の接続具２５１と機能液タンク１６１の補充口１８４とを接続させると共に、機能液タンク１６１に対する機能液の補充終了後は、補充ユニット２２２をＸ軸方向に移動させて、機能液タンク１６１から補充ユニット２２２を離間させる。
【０１１０】
次に、図７を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。液滴吐出装置１は、描画装置２を有する描画部３１１と、メンテナンス装置３を有するメンテナンス部３１２と、機能液供給装置４を有する機能液供給部３１３と、描画装置２やメンテナンス装置３の各種センサを有し、各種検出を行う検出部３１４と、各部を駆動する各種ドライバを有する駆動部３１５と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部３１６（制御装置５）と、を備えている。
【０１１１】
制御部３１６には、描画装置２およびメンテナンス装置３を接続するためのインタフェース３２１、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ３２２、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ３２３、ワークＷに描画を行うための描画データや、描画装置２およびメンテナンス装置３からの各種データ、上記した補充ユニット２２２を各機能液タンク１６１にアクセス（接続）させるために必要な各機能液タンクの位置データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク３２４、ＲＯＭ３２３やハードディスク３２４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ３２５、これらを互いに接続するバス３２６、が備えられている。
【０１１２】
そして、制御部３１６は、描画装置２、メンテナンス装置３等からの各種データを、インタフェース３２１を介して入力すると共に、ハードディスク３２４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ３２５に演算処理させ、その処理結果を、インタフェース３２１を介して描画装置２やメンテナンス装置３等に出力することにより、各手段を制御している。
【０１１３】
例えば、制御部３１６では、機能液滴吐出ヘッド６３の吐出駆動および吸引ユニット９２の駆動による機能液の消費量に基づいて、7つのタンクユニット１５１の各機能液タンク１６１の機能液貯留量を演算処理によって求めるようになっており、機能液貯留量が所定量を下回り、減液状態の機能液タンク１６１が検出されると、機能液補充装置１５３を用いて当該機能液タンク１６１に機能液を補充するようになっている。
【０１１４】
以下、機能液補充処理について説明する。機能液補充処理先ず、８４個の各機能液タンク１６１について機能液貯留量（機能液残量）が算出され、機能液タンク１６１毎に機能液の補充が必要か否かについての判断が為される。
【０１１５】
上述したように、機能液タンク１６１は、機能液滴吐出ヘッド６３と1対1で対応しており、各機能液滴吐出ヘッド６３から消費される機能液量から、対応する機能液タンク１６１の機能液貯留量を演算処理により算出することが可能である。そこで、制御部３１６（ＲＡＭ３２２）には、1滴の吐出により消費（吐出）される機能液量ｖ１と、1回の吸引処理により各機能液滴吐出ヘッド６３から消費（吸引）される機能液量ｖ２と、満液状態の機能液タンク１６１の機能液量に基づき、機能液の消費可能量として設定された許容消費量Ｖと、が記憶されていると共に、各機能液滴吐出ヘッド６３の吐出液滴数ｎ１をそれぞれカウントする液滴数カウンタ３３１と、各機能液滴吐出ヘッド６３が受ける吸引処理回数ｎ２をカウントする吸引回数カウンタ３３２と、が各機能液タンク１６１に付されたタンクＩＤに対応して設けられている。なお、液滴吐出装置１の可動停止時には、液滴数カウンタ３３１および吸引回数カウンタ３３２のカウンタ値がハードディスク３２４にバックアップされるようになっている。
【０１１６】
そして、機能液貯留量の算出では、各機能液タンク１６１について、演算式（ｎ１×ｖ１）＋（ｎ２×ｖ２）に従って機能液タンク１６１の実消費量ｖを算出した後、算出した実消費量ｖと許容消費量Ｖとを比較して、機能液の補充が必要か否かを判断する。ここで、実消費量ｖ＜許容消費量Ｖならば、十分な機能液があると判断して、次の機能液タンク１６１に対する処理（実消費量ｖの算出と、機能液補充の必要性の判断）を開始する。一方、実消費量ｖ≧許容消費量Ｖならば、判断中の機能液タンク１６１が減液状態であるとして、当該機能液タンク１６１のタンクＩＤをＲＡＭ３２２（ＩＤ記憶領域３３３）に記憶させると共に、機能液補充要求フラグをＯＦＦからＯＮに書き換えた後、次の機能液タンク１６１の処理を開始する。この場合、既に機能液補充要求フラグがＯＮとなっているときには、機能液補充要求フラグの書き換えは行わない。
【０１１７】
上記処理を（全機能液タンク分、８４回）繰り返して、機能液補充の必要性の判断が全機能液タンク１６１について終了すると、機能液補充フラグの値を確認する。そして、機能液補充フラグがＯＦＦである場合には、（８４個の）全機能液タンク１６１にまだ十分な機能液があると判断して、一連の処理を終了させる。一方、機能液補充フラグがＯＮである場合には、リフィル処理を開始して、減液状態の機能液タンク１６１に機能液を補充する。
【０１１８】
リフィル処理では、先ず、ＩＤ記憶領域３３３に記憶されたタンクＩＤから、機能液の補充を行う減液状態の機能液タンク１６１の位置データを（ハードディスク３２４から）抽出する。そして、抽出した位置データに基づいて、ユニット移動手段２２３を制御し、上記アクセス位置に臨み、かつ減液状態の機能液タンク１６１に、補充ユニット２２２をアクセスさせる。これにより、接続具２５１を介して、機能液タンク１６１と補充タンク２３１とが液密に接続され、機能液タンク１６１に対して機能液補充可能状態となる。
【０１１９】
次に、上記した補充流路開閉バルブ２６１を閉弁させたまま、吸引バルブ２９３を開弁させる。そして、吸引手段２３４を駆動して補充流路を吸引し、補充流路内を補充ユニット２２２を接続した機能液タンク１６１の機能液で充填する。この場合、吸引手段２３４の駆動時間は、タイマー制御によって制御されており、所定時間が経過すると、その駆動が停止される。
【０１２０】
吸引手段２３４の駆動が停止すると、吸引バルブ２９３が閉弁制御されると共に、補充流路開閉バルブ２６１が開弁制御される。続いて、加圧送液機構２３３が駆動され、補充ユニット２２２を接続した機能液タンク１６１に機能液が加圧送液される。そして、上記した圧力検出センサ２６２により、機能液タンク１６１の満液状態が検出されると、加圧送液機構２３３の駆動が停止されると共に、補充流路開閉バルブ２６１が閉弁制御されて、当該機能液タンク１６１に対する機能液の補充が終了する。
【０１２１】
このように、本実施形態では、補充流路を機能液で満たしてから、機能液タンク１６１に機能液が補充されるため、補充流路内のエアーが機能液タンク１６１に混入することを極めて有効に削減することができる。したがって、機能液タンク１６１に対する機能液補充処理後、機能液タンク１６１から機能液滴吐出ヘッド６３に機能液を供給する際に、給液チューブ２０１（給液流路）にエアー（気泡）が混入することを有効に防止でき、機能液滴吐出ヘッド６３から安定して機能液滴を吐出させることができる。
【０１２２】
また、給液チューブ２０１には、上記の圧力調整弁２０２が介設されているため、補充した機能液を給液チューブ２０１から排出させることなく、機能液を機能液タンク１６１に補充することができる。なお、この圧力調整弁２０２に代えて、給液流路を開閉する電磁弁を用いても同様の効果を得ることが可能である。この場合、加圧送液機構２３３の駆動と同期して電磁弁を開閉制御し、機能液の加圧送液を行う場合には、電磁弁を閉弁制御し、機能液の加圧送液を停止する場合には、電磁弁を開弁制御すればよい。
【０１２３】
機能液の補充が終了すると、接続解除機構２５３が駆動され、機能液タンク１６１と補充ユニット２２２との接続状態が解除される。この後、ユニット移動手段２２３が駆動され、機能液タンク１６１から補充ユニット２２２が離間させられる。そして、この直後に、吸引バルブ２９３が再度開弁制御されると共に、吸引手段２３４が再度駆動され、補充流路内の機能液が回収タンク２３５に回収される。これにより、機能液タンク１６１から離間後に、補充ユニット２２２の送液口２４２から機能液が液垂れすることを防止してから、一連の機能液補充処理を終了する。
【０１２４】
なお、ＩＤ記憶領域３３３に複数のタンクＩＤが記憶されている場合には、以上の動作を繰り返し行い、ＩＤ記憶領域３３３にタンクＩＤが記憶された全機能液タンク１６１に機能液を補充する。この場合、機能液タンク１６１と補充ユニット２２２とを離間させた後に行う液垂れ防止のための吸引は、各機能液タンク１６１に対して、機能液の補充を終了する毎に行ってもよいし、全機能液タンク１６１に対して機能液の補充が終了してから（最後の機能液タンク１６１に対する補充が終了してから）行うようにしてもよい。
【０１２５】
また、機能液補充処理におけるリフィル処理を開始するまでの処理は、吸引ユニット９２による機能液滴吐出ヘッド６３の定期的な吸引を開始する前に終了させておくことが好ましい。これによれば、機能液滴吐出ヘッド６３の吸引処理時間を有効に利用して、機能液補充処理を行うことができる。したがって、機能液を補充するためだけに、ヘッドユニット２６を敢えて移動させる必要が無くなり、全体の処理時間（サイクルタイム）を削減することが可能である。
【０１２６】
次に、本実施形態の機能液補充装置１５３の変形例について説明する。図８に示すように、変形例の機能液補充装置１５３は、上記した機能液補充装置１５３と略同様の構成であるが、補充ユニット２２２の一部が上記したものとは異なっており、変形例の補充ユニット２２２には、加圧送液機構２３３が設けられていない。そして、収容ケース２３６（タンク保持フレーム）には、補充タンク２３１の送液口２４２が接続具２５１よりも高い位置に位置するように補充タンク２３１が保持されており、補充タンク２３１に貯留した機能液が、自然水頭により補充ユニット２２２の接続具２５１まで流下するようになっている。
【０１２７】
変形例の機能液補充装置１５３を用いた機能液補充処理では、リフィル処理における動作が上記の場合とは異なっている。具体的には、補充流路内に機能液を充填した後、吸引バルブ２９３を閉弁してから補充流路開閉バルブ２６１を開弁し、自然流下により補充タンク２３１から機能液タンク１６１に機能液を送液する。そして、上記した圧力検出センサ２６２により、機能液タンク１６１の満液状態が検出されると、補充流路開閉バルブ２６１が閉弁され、機能液タンク１６１に対する機能液の補充が終了する。すなわち、変形例では、請求項に言う送液手段が自然水頭によって構成されると共に、補充流路開閉バルブ２６１を開閉制御することにより、機能液タンク１６１に対する機能液の送液が制御される。なお、この場合、補充タンク２３１をパック形式のもので構成する必要はなく、大気開放口を有する開放タンクで構成することも可能である。
【０１２８】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態の液滴吐出装置は、機能液供給装置４の一部の構成を除いて、第1実施形態の液滴吐出装置１と略同様に構成されているため、ここでは機能液供給装置４の第1実施形態とは異なる点を中心に説明する。図９に示すように、機能液タンク１６１には、カートリッジケースが設けられておらず、機能液パック１７１は、パック支持フレーム３４１により支持されている。
【０１２９】
図９に示すように、機能液パック１７１は、斜辺部を上方に向けた側面視直角台形に形成されており、機能液を貯留する貯留部３５１と、貯留部３５１の上方に連なり、貯留部３５１（パック）内の気泡（エアー）を貯留するための気泡トラップ部３５２と、を有している。そして、気泡トラップ部３５２には、当該気泡トラップ部３５２に連通し、エアーを排出するためのエアー排気口３５３が取り付けられている。このように、本実施形態では、貯留部３５１の上部が、気泡トラップ部３５２に向かって上り傾斜に形成されているため、貯留部３５１内の気泡を効率よく気泡トラップ部３５２に集めることができる。エアー排気口３５３は、補充口１８４と同様に、雄型のカプラで構成されている。気泡トラップ部３５２のエアーを効率よく排気させるために、エアー排気口３５３は、可能な限り気泡トラップ部３５２の上方に設けることが好ましい。補充口１８４は、エアー排気口３５３の下側かつ近傍に取り付けられている。
【０１３０】
パック支持フレーム３４１は、機能液タンク１６１の供給口１８３、補充口１８４およびエアー排気口３５３を係止することによりこれを保持しており、各キャリッジユニット６１に搭載する１２個の機能液タンク１６１を、ヘッドプレート６２の略直上部で６個ずつ上下２段に整列させて支持している。
【０１３１】
図９に示すように、補充ユニット２２２は、第１実施形態と略同様に構成されているが、吸引手段２３４に接続する吸引チューブ２９１には二分岐継手（Ｙ字継手）が介設されており、２つの分岐吸引流路が形成されている。一方の分岐吸引流路（第１分岐吸引流路３６１）には、補充流路が連通している。もう一方の分岐吸引流路（第２分岐吸引流路３６２）には、その端に、雌型のカプラで構成された吸引用接続具３７１が固定されている。すなわち、エアー排気口３５３および吸引用接続具３７１もワンタッチジョイントで構成されている。なお、第１分岐吸引流路３６１および第２分岐吸引流路３６２には、それぞれ第１吸引バルブ３８１および第２吸引バルブ３８２が介設されている（いずれも電磁弁で構成されている）。
【０１３２】
そして、接続解除機構２５３の接続具支持部材２７１は、接続具２５１と共に吸引用接続具３７１をスライド自在に支持しており、（解除シリンダ２７２により）接続具支持部材２７１を接続解除方向にスライド移動させると、接続具２５１と機能液タンク１６１の補充口１８４との接続が解除されると共に、エアー排気口３５３と吸引用接続具３７１との接続も同時に解除されるようになっている。
【０１３３】
第２実施形態の機能液補充処理では、第１実施形態におけるリフィル処理の動作が異なっている。具体的には、機能液タンク１６１に補充タンク２３１を接続して、機能液補充可能状態にした後、第１吸引バルブ３８１および第２吸引バルブ３８２を閉弁させると共に、補充流路開閉バルブ２６１を開弁させる。続いて、加圧送液機構２３３を駆動して、補充ユニット２２２から機能液タンク１６１に機能液を加圧送液する。そして、上記した圧力検出センサ２６２により、機能液タンク１６１の満液状態が検出されると、加圧送液機構２３３の駆動を停止させると共に、補充流路開閉バルブ２６１を閉弁させ、機能液タンクに対する機能液の補充を終了させる。
【０１３４】
次に、第２吸引バルブ３８２を開弁させてから、吸引手段２３４を駆動させる。これにより、第２分岐吸引流路３６１を介して、エアー排気口３５３に吸引力が作用して、気泡トラップ部３５２にトラップされたエアーが排出される。この場合、タイマー制御により、吸引手段２３４を駆動してから所定時間が経過すると吸引手段２３４の駆動を停止させてもよいし、第２分岐吸引流路３６２に機能液の有無を検出する機能液検出センサを介設し、機能液検出センサにより機能液が検出されるまで吸引手段２３４を駆動するようにしてもよい。
【０１３５】
エアー排気のための吸引手段２３４の駆動が終了すると、第２吸引バルブ３８２を閉弁させる。次に、接続解除機構２５３を駆動して、補充口１８４と接続具２５１との接続、およびエアー排気口３５３と吸引用接続具３７１との接続を解除させる。そして、ユニット移動手段２２３を制御して、機能液タンク１６１から補充ユニット２２２を離間させる。機能液タンク１６１から補充ユニット２２２を離間させた直後に、第１吸引バルブ３８１を開弁させ、吸引手段２３４を再度駆動させ、補充流路内に残った機能液を回収タンク２３５に回収する。
【０１３６】
このように、第２実施形態のリフィル処理では、機能液タンク１６１に対する機能液の補充が終了した後、気泡トラップ部３５２のエアーが排出される構成となっているため、機能液を補充することにより機能液タンク１６１内に混入したエアーを排出することができると共に、機能液タンク１６１内で経時的に発生したエアーも排出することができる。したがって、機能液滴吐出ヘッド６３に対して、エアーの混入がない機能液を供給することができ、エアーに起因したドット抜け等を防止することが可能である。
【０１３７】
次に、第２実施形態の機能液供給装置４の変形例について説明する。図１０に示すように、第２実施形態の変形例では、補充口１８４がエアー排気口３５３を兼ねており、気泡トラップ部３５２の上方に補充口１８４が設けられている。そして、第１実施形態と同様、吸引手段２３４は、補充タンク２３１の送液口２４２と接続具２５１とを接続する補充チューブ２５２に一端を接続された吸引チューブ２９１に接続されていると共に、吸引チューブ２９１には、吸引バルブ２９３が介設されている。そして、リフィル処理は、第２実施形態と略同様の手順で行われる。この場合、第１吸引バルブ３８１および第２吸引バルブ３８２と同じ開閉タイミングで吸引バルブ２９３を開閉させればよい。
【０１３８】
このように、第２実施形態の変形例では、補充口１８４がエアー排気口３５３を兼ねているため、機能液タンク１６１廻りの装置構成を簡易なものとすることが可能である。
【０１３９】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、機能液補充装置１５３の構成が第１実施形態および第２実施形態のものとは異なっている。図１１に示すように、液滴吐出装置１には、複数（本実施形態では２つ）の補充ユニット２２２と、複数の補充ユニット２２２を移動自在に支持するユニット移動手段２２３と、を有している。
【０１４０】
ユニット移動手段２２３は、上記の実施形態と略同様に構成されているが、Ｙ軸移動機構３０１には、複数（２つ）のＺ軸移動機構３０２がＹ軸方向にスライド自在に支持されており、各Ｚ軸移動機構３０２には、各補充ユニット２２２をＸ軸方向にスライド自在に支持したＸ軸移動機構３０３が高さ調整可能に支持されている。Ｙ軸移動機構３０１は、独立して移動させることができる複数（２つ）のＹ軸スライダを有しており、各Ｙ軸スライダには、Ｚ軸移動機構３０２が支持されている。なお、Ｙ軸移動機構３０１の具体的な構成としては、複数のＹ軸スライダの移動を個別に制御可能なＹ軸リニアモータを用いることも可能であるし、モータ駆動により独立して回転し、複数のＹ軸スライダを個別に移動可能な複数本（２本）のボールねじを備えたねじ機構を用いることも可能である。
【０１４１】
このように、ユニット移動手段２２３は、複数の補充ユニット２２２を独立して移動させることができるように構成されているため、リフィル処理で複数の機能液タンク１６１に機能液を補充する場合に、複数の機能液タンク１６１に対して同時に機能液を補充することができる。したがって、補充が必要な複数の機能液タンク１６１に効率よく短時間で機能液を補充することができる。特に、機能液タンク数が多い場合には有効である。
【０１４２】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【０１４３】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１２は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１３は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ６００（フィルタ基体６００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１３（ａ）に示すように、基板（Ｗ）６０１上にブラックマトリクス６０２を形成する。ブラックマトリクス６０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス６０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１４４】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス６０２上に重畳する状態でバンク６０３を形成する。即ち、まず図１３（ｂ）に示すように、基板６０１及びブラックマトリクス６０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層６０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム６０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１３（ｃ）に示すように、レジスト層６０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層６０４をパターニングして、バンク６０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク６０３とその下のブラックマトリクス６０２は、各画素領域６０７ａを区画する区画壁部６０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド６３により着色層（成膜部）６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１４５】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体６００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク６０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）６０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク６０３（区画壁部６０７ｂ）に囲まれた各画素領域６０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【０１４６】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１３（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド６３によって機能液滴を吐出して区画壁部６０７ｂで囲まれた各画素領域６０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド６３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１４７】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成する。着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１３（ｅ）に示すように、基板６０１、区画壁部６０７ｂ、および着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂの上面を覆うように保護膜６０９を形成する。
即ち、基板６０１の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜６０９が形成される。
そして、保護膜６０９を形成した後、カラーフィルタ６００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１４８】
図１４は、上記のカラーフィルタ６００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置６２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ６００は図１３に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１４９】
この液晶装置６２０は、カラーフィルタ６００、ガラス基板等からなる対向基板６２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層６２２により概略構成されており、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板６２１およびカラーフィルタ６００の外面（液晶層６２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板６２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１５０】
カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層側）には、図１４において左右方向に長尺な短冊状の第１電極６２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６２３のカラーフィルタ６００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜６２４が形成されている。
一方、対向基板６２１におけるカラーフィルタ６００と対向する面には、カラーフィルタ６００の第１電極６２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極６２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極６２６の液晶層６２２側の面を覆うように第２配向膜６２７が形成されている。これらの第１電極６２３および第２電極６２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１５１】
液晶層６２２内に設けられたスペーサ６２８は、液晶層６２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材６２９は液晶層６２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極６２３の一端部は引き回し配線６２３ａとしてシール材６２９の外側まで延在している。
そして、第１電極６２３と第２電極６２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１５２】
通常の製造工程では、カラーフィルタ６００に、第１電極６２３のパターニングおよび第１配向膜６２４の塗布を行ってカラーフィルタ６００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板６２１に、第２電極６２６のパターニングおよび第２配向膜６２７の塗布を行って対向基板６２１側の部分を作成する。その後、対向基板６２１側の部分にスペーサ６２８およびシール材６２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材６２９の注入口から液晶層６２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１５３】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板６２１側の部分にカラーフィルタ６００側の部分を貼り合わせる前に、シール材６２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材６２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド６３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜６２４，６２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド６３で行うことも可能である。
【０１５４】
図１５は、本実施形態において製造したカラーフィルタ６００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置６３０が上記液晶装置６２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ６００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置６３０は、カラーフィルタ６００とガラス基板等からなる対向基板６３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層６３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板６３１およびカラーフィルタ６００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１５５】
カラーフィルタ６００の保護膜６０９上（液晶層６３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極６３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極６３３の液晶層６３２側の面を覆うように第１配向膜６３４が形成されている。
対向基板６３１のカラーフィルタ６００と対向する面上には、カラーフィルタ６００側の第１電極６３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極６３６が所定の間隔で形成され、この第２電極６３６の液晶層６３２側の面を覆うように第２配向膜６３７が形成されている。
【０１５６】
液晶層６３２には、この液晶層６３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ６３８と、液晶層６３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材６３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置６２０と同様に、第１電極６３３と第２電極６３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ６００の着色層６０８Ｒ、６０８Ｇ、６０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１５７】
図１６は、本発明を適用したカラーフィルタ６００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１５８】
この液晶装置６５０は、カラーフィルタ６００と、これに対向するように配置された対向基板６５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ６００の上面側（観測者側）に配置された偏光板６５５と、対向基板６５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ６００の保護膜６０９の表面（対向基板６５１側の面）には液晶駆動用の電極６５６が形成されている。この電極６５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極６６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極６５６の画素電極６６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜６５７が設けられている。
【０１５９】
対向基板６５１のカラーフィルタ６００と対向する面には絶縁層６５８が形成されており、この絶縁層６５８上には、走査線６６１及び信号線６６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた領域内には画素電極６６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極６６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１６０】
また、画素電極６６０の切欠部と走査線６６１と信号線６６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ６６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線６６１と信号線６６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ６６３をオン・オフして画素電極６６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１６１】
なお、上記の各例の液晶装置６２０，６３０，６５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１６２】
次に、図１７は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置７００と称する）の要部断面図である。
【０１６３】
この表示装置７００は、基板（Ｗ）７０１上に、回路素子部７０２、発光素子部７０３及び陰極７０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置７００においては、発光素子部７０３から基板７０１側に発した光が、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部７０３から基板７０１の反対側に発した光が陰極７０４により反射された後、回路素子部７０２及び基板７０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１６４】
回路素子部７０２と基板７０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜７０６が形成され、この下地保護膜７０６上（発光素子部７０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜７０７が形成されている。この半導体膜７０７の左右の領域には、ソース領域７０７ａ及びドレイン領域７０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域７０７ｃとなっている。
【０１６５】
また、回路素子部７０２には、下地保護膜７０６及び半導体膜７０７を覆う透明なゲート絶縁膜７０８が形成され、このゲート絶縁膜７０８上の半導体膜７０７のチャネル領域７０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極７０９が形成されている。このゲート電極７０９及びゲート絶縁膜７０８上には、透明な第１層間絶縁膜７１１ａと第２層間絶縁膜７１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜７１１ａ、７１１ｂを貫通して、半導体膜７０７のソース領域７０７ａ、ドレイン領域７０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール７１２ａ，７１２ｂが形成されている。
【０１６６】
そして、第２層間絶縁膜７１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極７１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極７１３は、コンタクトホール７１２ａを通じてソース領域７０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜７１１ａ上には電源線７１４が配設されており、この電源線７１４は、コンタクトホール７１２ｂを通じてドレイン領域７０７ｂに接続されている。
【０１６７】
このように、回路素子部７０２には、各画素電極７１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ７１５がそれぞれ形成されている。
【０１６８】
上記発光素子部７０３は、複数の画素電極７１３上の各々に積層された機能層７１７と、各画素電極７１３及び機能層７１７の間に備えられて各機能層７１７を区画するバンク部７１８とにより概略構成されている。
これら画素電極７１３、機能層７１７、及び、機能層７１７上に配設された陰極７０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極７１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極７１３の間にバンク部７１８が形成されている。
【０１６９】
バンク部７１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層７１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層７１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層７１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部７１８の一部は、画素電極７１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部７１８の間には、画素電極７１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部７１９が形成されている。
【０１７０】
上記機能層７１７は、開口部７１９内において画素電極７１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層７１７ａと、この正孔注入／輸送層７１７ａ上に形成された発光層７１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層７１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層７１７ａは、画素電極７１３側から正孔を輸送して発光層７１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層７１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１７１】
発光層７１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層７１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層７１７ａを再溶解させることなく発光層７１７ｂを形成することができる。
【０１７２】
そして、発光層７１７ｂでは、正孔注入／輸送層７１７ａから注入された正孔と、陰極７０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１７３】
陰極７０４は、発光素子部７０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極７１３と対になって機能層７１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極７０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１７４】
次に、上記の表示装置７００の製造工程を図１８〜図２６を参照して説明する。
この表示装置７００は、図１８に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１７５】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１９に示すように、第２層間絶縁膜７１１ｂ上に無機物バンク層７１８ａを形成する。この無機物バンク層７１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層７１８ａの一部は画素電極７１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層７１８ａを形成したならば、図２０に示すように、無機物バンク層７１８ａ上に有機物バンク層７１８ｂを形成する。この有機物バンク層７１８ｂも無機物バンク層７１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部７１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部７１８間には、画素電極７１３に対して上方に開口した開口部７１９が形成される。この開口部７１９は、画素領域を規定する。
【０１７６】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層７１８ａの第１積層部７１８ａａ及び画素電極７１３の電極面７１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極７１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層７１８ｂの壁面７１８ｓ及び有機物バンク層７１８ｂの上面７１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド６３を用いて機能層７１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部７１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１７７】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体７００Ａが得られる。この表示装置基体７００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル３１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１７８】
図２１に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド６３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部７１９内に吐出する。その後、図２２に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面７１３ａ）７１３上に正孔注入／輸送層７１７ａを形成する。
【０１７９】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層７１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層７１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層７１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層７１７ａと発光層７１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層７１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層７１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層７１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層７１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層７１７ａに均一に塗布することができる。
【０１８０】
そして次に、図２３に示すように、各色のうちの何れか（図２３の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部７１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層７１７ａ上に広がって開口部７１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部７１８の上面７１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面７１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部７１９内に転がり込み易くなっている。
【０１８１】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２４に示すように、正孔注入／輸送層７１７ａ上に発光層７１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂが形成されている。
【０１８２】
同様に、機能液滴吐出ヘッド６３を用い、図２５に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層７１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層７１７ｂを形成する。なお、発光層７１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１８３】
以上のようにして、画素電極７１３上に機能層７１７、即ち、正孔注入／輸送層７１７ａ及び発光層７１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１８４】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２６に示すように、発光層７１７ｂ及び有機物バンク層７１８ｂの全面に陰極７０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極７０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極７０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１８５】
このようにして陰極７０４を形成した後、この陰極７０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置７００が得られる。
【０１８６】
次に、図２７は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置８００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される放電表示部８０３を含んで概略構成される。放電表示部８０３は、複数の放電室８０５により構成されている。これらの複数の放電室８０５のうち、赤色放電室８０５Ｒ、緑色放電室８０５Ｇ、青色放電室８０５Ｂの３つの放電室８０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１８７】
第１基板８０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極８０６が形成され、このアドレス電極８０６と第１基板８０１の上面とを覆うように誘電体層８０７が形成されている。誘電体層８０７上には、各アドレス電極８０６の間に位置し、且つ各アドレス電極８０６に沿うように隔壁８０８が立設されている。この隔壁８０８は、図示するようにアドレス電極８０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極８０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁８０８によって仕切られた領域が放電室８０５となっている。
【０１８８】
放電室８０５内には蛍光体８０９が配置されている。蛍光体８０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室８０５Ｒの底部には赤色蛍光体８０９Ｒが、緑色放電室８０５Ｇの底部には緑色蛍光体８０９Ｇが、青色放電室８０５Ｂの底部には青色蛍光体８０９Ｂが各々配置されている。
【０１８９】
第２基板８０２の図中下側の面には、上記アドレス電極８０６と直交する方向に複数の表示電極８１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層８１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜８１３が形成されている。
第１基板８０１と第２基板８０２とは、アドレス電極８０６と表示電極８１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極８０６と表示電極８１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極８０６，８１１に通電することにより、放電表示部８０３において蛍光体８０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１９０】
本実施形態においては、上記アドレス電極８０６、表示電極８１１、及び蛍光体８０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板８０１におけるアドレス電極８０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板８０１を液滴吐出装置１のセットテーブル３１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド６３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１９１】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極８０６が形成される。
【０１９２】
ところで、上記においてはアドレス電極８０６の形成を例示したが、上記表示電極８１１及び蛍光体８０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極８１１の形成の場合、アドレス電極８０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体８０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド６３から液滴として吐出し、対応する色の放電室８０５内に着弾させる。
【０１９３】
次に、図２８は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置９００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置９００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置９００は、互いに対向して配置された第１基板９０１、第２基板９０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部９０３を含んで概略構成される。電界放出表示部９０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部９０５により構成されている。
【０１９４】
第１基板９０１の上面には、カソード電極９０６を構成する第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ９０８を形成した導電性膜９０７が形成されている。すなわち、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７により複数の電子放出部９０５が構成されている。導電性膜９０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ９０８は、導電性膜９０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１９５】
第２基板９０２の下面には、カソード電極９０６に対峙するアノード電極９０９が形成されている。アノード電極９０９の下面には、格子状のバンク部９１１が形成され、このバンク部９１１で囲まれた下向きの各開口部９１２に、電子放出部９０５に対応するように蛍光体９１３が配置されている。蛍光体９１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部９１２には、赤色蛍光体９１３Ｒ、緑色蛍光体９１３Ｇおよび青色蛍光体９１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１９６】
そして、このように構成した第１基板９０１と第２基板９０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置９００では、導電性膜（ギャップ９０８）９０７を介して、陰極である第１素子電極９０６ａまたは第２素子電極９０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極９０９に形成した蛍光体９１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１９７】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂ、導電性膜９０７およびアノード電極９０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体９１３Ｒ，９１３Ｇ，９１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１９８】
第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７は、図２９（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２９（ｂ）に示すように、予め第１素子電極９０６ａ、第２素子電極９０６ｂおよび導電性膜９０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極９０６ａおよび第２素子電極９０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜９０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜９０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板９０１および第２基板９０２に対する親液化処理や、バンク部９１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１９９】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２００】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の説明図であり、セットテーブル（吸着テーブル）がワーク載せ換え位置に臨んだときの外観斜視図である。
【図２】セットテーブル（吸着テーブル）がワーク載せ換え位置に臨んだ状態で、ブリッジプレートを除いた液滴吐出装置の平面図である。
【図３】ヘッドユニット廻りの平面模式図である。
【図４】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図５】圧力調整弁の説明図であり、（ａ）は、圧力調整弁廻りの外観斜視図、（ｂ）は圧力調整弁の断面図である。
【図６】機能液供給装置廻りの説明図である。
【図７】液滴吐出装置の制御系について説明したブロック図である。
【図８】第１実施形態の変形例である補充ユニットの説明図である。
【図９】第２実施形態の機能液供給装置廻りの説明図である。
【図１０】第２実施形態の変形例を示す機能液供給装置廻りの説明図である。
【図１１】第３実施形態のユニット移動手段の説明図である。
【図１２】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１３】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１６】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１７】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１８】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１９】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２０】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２１】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２２】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２４】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２６】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２７】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２８】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２９】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０２０１】
１  液滴吐出装置  ２  描画装置  ４  機能液供給装置  ５  制御装置  ２２  Ｘ軸テーブル  ２５  Ｙ軸テーブル  ２６  ヘッドユニット  ６３  機能液滴吐出ヘッド  １５１  タンクユニット  １５２  バルブユニット  １５３  機能液補充装置  １６１  機能液タンク  １８３  供給口  １８４  補充口  １８４ａ  補充接続部  ２０１  給液チューブ  ２０２  圧力調整弁  ２１１  流入ポート  ２１２  １次室  ２１３  流出ポート  ２１４  ２次室  ２１５  連通流路  ２１７  ダイヤフラム  ２１８  弁体  ２２２  補充ユニット  ２２３  ユニット移動手段  ２３１  補充タンク  ２３２  接続手段  ２３３  加圧送液手段  ２３４  吸引手段  ２３５  回収タンク  ２４２  送液口  ２５１  接続具  ２５２  補充チューブ  ２５３  接続解除機構  ２６２  補充流路開閉バルブ  ２６２  圧力検出センサ  ２８１  加圧板  ２８２  加圧シリンダ  ２９１  吸引チューブ  ２９２  真空発生手段  ２９３  吸引バルブ  ３０１  Ｙ軸移動機構３０２  Ｚ軸移動機構  ３０３  Ｘ軸移動機構  ３５１  貯留部  ３５２  気泡トラップ部  ３５３  エアー排気口  ３６１  第１分岐吸引流路  ３６２  第２分岐吸引流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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