(57)【要約】【課題】  停電時におけるタッチダウン軸受の損傷を小さくできるターボ分子ポンプ装置を提供すること。【解決手段】  ＤＳＰ制御装置１４は、ターボ分子ポンプ１のロータ４の変位を表すロータ変位信号を位置検出センサ５から受けると、磁気軸受６の各電磁石に流す制御電流値を演算する制御電流演算部２２を有し、かつ、ＤＳＰ制御装置１４は、バイアス電流値を設定するバイアス電流設定部２３を有する。上記バイアス電流設定部２３は、停電検出回路２５から停電を表す停電信号を受けると、停電でないときの停止時におけるバイアス電流値よりも小さなバイアス電流値を設定するようになっている。【選択図】  図１
2006009758.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータを磁気的に非接触支持する磁気軸受と上記ロータを機械的に支持するタッチダウン軸受とを有するターボ分子ポンプ本体と、上記ロータを駆動するモータとを有するターボ分子ポンプと、
停電を検出する停電検出回路と、
上記ロータの変位を検出するロータ変位検出手段と、
上記ロータ変位検出手段からの変位信号に基づいて、上記磁気軸受の各電磁石に流す制御電流値を演算する制御電流演算部と、バイアス電流値を設定するバイアス電流設定部とを有し、上記制御電流演算部が演算した制御電流値に上記バイアス電流設定部が設定したバイアス電流を加算した励磁電流値に対応する励磁電流を、上記磁気軸受に出力する磁気軸受制御装置と
を備え、
上記バイアス電流設定部は、上記停電検出回路から停電を表す停電信号を受けると、停電でないときの停止時におけるバイアス電流値よりも小さなバイアス電流値を設定することを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプ装置において、
上記バイアス電流設定部は、停電時において設定するバイアス電流を、上記ロータの回転速度が減少するに従って減少するように設定することを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターボ分子ポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ターボ分子ポンプ装置としては、ターボ分子ポンプと、コントローラとを備えるものがある。
【０００３】
上記ターボ分子ポンプは、ロータと、ロータを駆動するモータと、ラジアル磁気軸受と、タッチダウン軸受と、変位検出センサとを有する。
【０００４】
上記ラジアル磁気軸受は、上記ロータの稼働時に上記ロータを磁気的に非接触支持することによって、上記ロータのラジアル方向を制御している。また、上記タッチダウン軸受は、例えば、停電等で上記ラジアル磁気軸受が制御不能になったときに、上記ロータを機械的に支持するようになっている。また、上記変位検出センサは、上記ラジアル磁気軸受のラジアル変位を検出するようになっている。
【０００５】
上記コントローラは、変位演算回路と、ＤＳＰ（デジタル・シグナル・プロセッサ）制御装置と、磁気軸受駆動回路とを有する。
【０００６】
上記変位演算回路は、上記変位センサの出力に基づいて上記ロータのラジアル方向位置を演算し、このラジアル方向位置に対応する位置信号を上記ＤＳＰ制御装置に出力するようになっている。
【０００７】
上記ＤＳＰ制御回路は、いかなるモータの回転速度においても、また、停電でないか否かに拘わらす、常に一定の値のバイアス電流を設定するようになっている。また、上記ＤＳＰ制御回路は、上記変位演算回路からの位置信号に基づいてラジアル磁気軸受の各電磁石に対する励磁電流値を演算し、これに対応する励磁電流信号を磁気軸受駆動回路に出力するようになっている。さらに詳しく説明すると、上記ＤＳＰ制御回路は、ロータのラジアル方向位置の位置信号に基づいて、ラジアル磁気軸受の１対の電磁石（計２個）に対する制御電流値を演算するようになっている。
【０００８】
そして、上記ＤＳＰ制御回路は、上記常に一定の値に設定されているバイアス電流値に、上記制御電流値を加算した値を一方の電磁石に対する励磁電流値とすると共に、上記バイアス電流値から制御電流値を減算した値を他方の電磁石に対する励磁電流値とし、この２つの各励磁電流値に対応する励磁電流信号を磁気軸受駆動回路に出力するようになっている。
【０００９】
また、上記磁気軸受駆動回路は、ＤＳＰ制御回路から励磁電流信号を受けると、磁気軸受制御信号をラジアル磁気軸受に出力するようになっている。また、上記ラジアル磁気軸受は、磁気軸受駆動回路から磁気軸受制御信号を受けると、ロータを指令位置に位置決めするようになっている。
【００１０】
また、上記従来のターボ分子ポンプ装置では、上記モータは、停電や電源異常等により電源側からの電力の供給が停止されて電源電圧が低下すると、発電機として回生電力を出力するようになっている。また、上記コントローラは、電源電圧が低下すると、電源に代わってモータから回生電力を供給されるようになっている。
【００１１】
そして、上記モータから供給される回生電力が、磁気軸受制御回路とラジアル磁気軸受の駆動を行うことができる間、この回生電力によって磁気軸受の磁気浮上制御を行う一方、上記モータから供給される回生電力が、磁気軸受制御回路とラジアル磁気軸受の駆動を行うことができないようになると、磁気軸受の替わりにタッチダウン軸受で上記ロータを支持して、上記ラジアル磁気軸受や上記ロータの損傷を防止するようになっている。
【００１２】
しかしながら、上記従来のターボ分子ポンプ装置では、上記バイアス電流の値が、停電の時でも停電以外の時でも常に一定の値になっているので、ラジアル磁気軸受を駆動させるために必要な電力が常時大きくなって、停電時において回生電力が低下すると磁気制御がすぐに不可能になるという問題がある。このため、停電時において、上記ロータの回転速度が大きい段階で、上記タッチダウン軸受がタッチダウンすることになって、上記タッチダウン軸受の損傷が大きいという問題がある。
【特許文献１】特開２００３−６５３３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
そこで、本発明の課題は、停電時におけるタッチダウン軸受の損傷を小さくできるターボ分子ポンプ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、この発明のターボ分子ポンプ装置は、
ロータを磁気的に非接触支持する磁気軸受と上記ロータを機械的に支持するタッチダウン軸受とを有するターボ分子ポンプ本体と、上記ロータを駆動するモータとを有するターボ分子ポンプと、
停電を検出する停電検出回路と、
上記ロータの変位を検出するロータ変位検出手段と、
上記ロータ変位検出手段からの変位信号に基づいて、上記磁気軸受の各電磁石に流す制御電流値を演算する制御電流演算部と、バイアス電流値を設定するバイアス電流設定部とを有し、上記制御電流演算部が演算した制御電流値に上記バイアス電流設定部が設定したバイアス電流を加算した励磁電流値に対応する励磁電流を、上記磁気軸受に出力する磁気軸受制御装置と
を備え、
上記バイアス電流設定部は、上記停電検出回路から停電を表す停電信号を受けると、停電でないときの停止時におけるバイアス電流値よりも小さなバイアス電流値を設定することを特徴としている。
【００１５】
上記ロータの変位とは、ロータのラジアル変位であっても良いし、ロータのアキシアル変位であっても良い。また、上記ロータの変位は、ロータのラジアル変位と、ロータのアキシアル変位の両方であっても良い。
【００１６】
本発明によれば、上記バイアス電流設定部が、上記停電検出回路から停電を表す停電信号を受けると、上記バイアス電流設定部が、停電でないときの停止時におけるバイアス電流値よりも小さなバイアス電流値を設定するので、停電時における上記磁気軸受の制御電力を、停電でないときの停止時における上記磁気軸受の制御電力よりも小さくすることができる。したがって、停電時にモータが回生電力を供給する場合、停電時において、上記モータが出力する回生電力によって、バイアス電流値が一定である場合のときと比較して、ロータがより低い回転速度になるまで磁気軸受による磁気制御を行うことができる。したがって、停電時において上記タッチダウン軸受がタッチダウンするときのロータの回転速度を低くできるので、停電時におけるタッチダウン軸受の損傷を小さくできる。
【００１７】
また、一実施形態のターボ分子ポンプ装置は、上記バイアス電流設定部が、停電時において設定するバイアス電流を、上記ロータの回転速度が減少するに従って減少するように設定する。
【００１８】
上記実施形態によれば、上記バイアス電流設定部が、停電時において設定するバイアス電流を、上記ロータの回転速度が減少するに従って減少するように設定するので、停電時において上記タッチダウン軸受がタッチダウンするときのロータの回転速度を更に低くできて、停電時におけるタッチダウン軸受の損傷を更に小さくできる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のターボ分子ポンプ装置によれば、バイアス電流設定部が、停電検出回路から停電を表す停電信号を受けると、上記バイアス電流設定部が、停電でないときの停止時におけるバイアス電流値よりも小さなバイアス電流値を設定するので、停電時における上記磁気軸受の制御電力を、停電でないときの停止時における上記磁気軸受の制御電力よりも小さくすることができる。したがって、モータが停電のとき回生電力を供給する場合、停電時に、上記モータが出力する回生電力によって、ロータの回転速度が低いときまで磁気軸受による磁気制御を行うことができて、タッチダウン時のロータの回転速度を低くできる。したがって、停電時におけるタッチダウン軸受の損傷を小さくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を図示の形態により詳細に説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態のターボ分子ポンプ装置の概略構成図である。
【００２２】
このターボ分子ポンプ装置は、ターボ分子ポンプ１と、コントローラ２とを備える。
【００２３】
上記ターボ分子ポンプ１は、ロータ４と、ロータ４を駆動するモータ７と、ロータ４を磁気的に非接触支持する磁気軸受６と、磁気軸受６が制御不能になったときにロータ４を機械的に支持する転がり軸受であるタッチダウン軸受２０と、ロータ４の回転速度を検出する回転速度センサ８と、ロータ４のラジアル位置およびアキシアル位置を検出する位置検出センサ５とを有する。
【００２４】
上記モータ７は、電源異常や停電等により電源側からの電力の供給が停止されて電源電圧が低下すると、発電機として電圧を出力するようになっている。また、上記位置検出センサ５、磁気軸受駆動回路１０およびモータドライバ１１は、電源電圧が低下すると、電源に代わって発電機としてのモータ７から回生電力を供給されるようになっている。そして、上記モータ７から供給される回生電力が磁気軸受６を駆動できる間、この回生電力によって磁気軸受７の磁気浮上制御を行うようになっている。
【００２５】
上記位置検出センサ５は、図示は省略したが、アキシアル変位検出部とラジアル変位検出部が含まれている。アキシアル変位検出部は、ロータ４のアキシアル方向の変位を検出する１つのアキシアル変位センサを備えている。また、ラジアル変位検出部は、ロータ４のラジアル方向の変位を検出するラジアル変位センサを、軸方向に２つ備えている。
【００２６】
上記磁気軸受６は、図示は省略したが、ロータ４を磁気的に非接触支持する一個のアキシアル磁気軸受と、ロータ４を磁気的に非接触支持する二個のラジアル磁気軸受とを有する。上記アキシアル磁気軸受は、ロータ４のアキシアル方向の両端面を、アキシアル方向の両側から挟むように配置された１対の電磁石（数は２個）を備えている。また、上記各ラジアル磁気軸受は、ロータ４をラジアル方向の両側から挟むように配置された互いに直交する２対の電磁石（各ラジアル磁気軸受において、電磁石の数は４個）を備えている。
【００２７】
上記回転速度センサ８は、ロータ４の回転速度を検出するためのものであり、例えば、ロータ４の１回転当り一定数（例えば１つ）のパルス信号を出力するようになっている。
【００２８】
電源異常時や停電時等に、上記モータ７の回転速度が下がり、モータ７からの回生電力が磁気軸受６の駆動に必要な電力よりも低下すると、磁気軸受６の磁気浮上制御が停止するようになっている。上記磁気軸受６の磁気浮上制御が停止すると、タッチダウン軸受２０が、磁気軸受６の替わりにロータ４を機械的に支持するようになっている。上記タッチダウン軸受２０は、磁気軸受６が制御不能になったときに、ロータ４を支持することによって、磁気軸受６とロータ４との接触や、ロータ４とステータとの接触等を防止している。
【００２９】
上記コントローラ２は、変位演算回路９と、Ａ／Ｄ変換器１７と、ＤＳＰ制御装置１４と、停電検出回路２５と、Ｄ／Ａ回路１８と、磁気軸受駆動回路１０と、モータドライバ１１と、発熱制動用回路２７とを備える。
【００３０】
上記位置検出センサ５、変位演算回路９およびＡ／Ｄ変換器１７は、ロータ変位検出手段を構成し、上記ＤＳＰ制御装置１４、Ｄ／Ａ変換器１８および磁気軸受駆動回路は、磁気軸受制御装置を構成している。尚、上記ＤＳＰ制御装置１４、Ａ／Ｄ変換器１７およびＤ／Ａ変換器１８は、ＤＳＰボード１２を構成している。
【００３１】
上記変位演算回路９は、上記アキシアル変位センサの出力に基づいてロータ４のアキシアル方向の変位を演算するとともに、２つのラジアル変位センサの出力に基づいてロータ４のラジアル方向の変位を演算し、これらの変位演算値に対応する変位信号をＡ／Ｄ変換器１７を介してＤＳＰ制御装置１４に出力するようになっている。
【００３２】
上記停電検出回路２５は、図示しないモータ７駆動用電源（磁気軸受制御用電源でも良い）からの電圧を常時検出し、電源電圧が低下していない場合に、停電が起こっていないことを示す停電無信号を、ＤＳＰ制御装置１４に出力する一方、電源電圧が所定の電圧以下に低下した場合に、停電を表す停電信号をＤＳＰ制御装置１４に出力するようになっている。
【００３３】
上記ＤＳＰ制御装置１４は、制御電流演算部２２と、バイアス電流設定部２３とを有する。上記制御電流演算部２２は、変位演算回路９からの信号をＡ／Ｄ変換器１７を介して受けて、上記アキシアル軸受の各電磁石に流す制御電流を演算すると共に、上記２つのラジアル軸受の各電磁石に流す制御電流を演算するようになっている。また、上記バイアス電流設定部２３は、停電検出回路２５から停電無信号を受けている時には、第１のパターンのバイアス電流を設定する一方、停電検出回路２５から停電信号を受けた時には、上記第１のパターンのバイアス電流よりも小さい第２のパターンのバイアス電流（同じロータ４の回転速度で比較したときに小さいという意味）を設定するようになっている。また、上記ＤＳＰ制御装置１４は、バイアス電流設定部が設定したバイアス電流値に、制御演算部２２が演算した各電磁石に対する制御電流値を加算または減算した励磁電流を表す励磁電流信号を、Ｄ／Ａ変換器１８を介して磁気軸受駆動回路１０に出力するようになっている。
【００３４】
詳細には、ＤＳＰ制御装置１４は、ロータ４のアキシアル方向の変位信号に基づいて、アキシアル磁気軸受の１対の電磁石に対する制御電流値を演算し、バイアス電流値に制御電流値を加算した値を一方の電磁石に対する励磁電流値とし、バイアス電流値から制御電流値を減算した値を他方の電磁石に対する励磁電流値としている。また、各ラジアル軸受について、ロータ４のラジアル方向の変位信号に基づいて、各ラジアル磁気軸受における二対の電磁石（各にラジアル磁気軸受で都合４つの電磁石）対する制御電流値を演算し、バイアス電流値に制御電流値を加算した値を各対の一方の電磁石に対する励磁電流値とし、バイアス電流値から制御電流値を減算した値を各対の他方の電磁石に対する励磁電流値としている。
【００３５】
また、上記ＤＳＰ制御装置１４は、回転速度センサ８のパルス信号からロータ４の回転速度を演算し、これに基づいて、モータ７の回転速度を制御するための回転速度指令信号をモータドライバ１１に出力するようになっている。上記モータドライバ１１は例えばインバータ駆動式のものであり、ＤＳＰ制御装置１４からの回転速度指令信号に基づいて、モータ７の回転速度を制御するようになっている。これにより、定常運転状態において、ロータ４の回転速度がほぼ一定に保たれるようになっている。
【００３６】
上記磁気軸受駆動回路１０は、磁気軸受６の各電磁石に対応する複数の電力増幅器を備えており、Ｄ／Ａ変換器１８から出力される励磁電流信号に比例する励磁電流を磁気軸受６の対応する各電磁石に供給するようになっている。これにより、ロータ４が所定の目標位置に位置決めされるようになっている。
【００３７】
上記発熱制動用回路２７は、ロータ４がタッチダウン軸受２０にタッチダウンすると、モータ７からの回生電力の全てを受けるようになっている。詳細には、上記発熱制動用回路２７は、ロータ４がタッチダウン軸受２０にタッチダウンすると、モータ７からの回生電力を上記発熱制動用回路の抵抗に流すことによって、発熱制動を行うようになっている。
【００３８】
図２は、上記実施形態の上記磁気軸受駆動回路１０を詳細に示す図である。
【００３９】
図２において、上記ＤＳＰ制御装置１４から出力される信号５１は、第１のラジアル磁気軸受のラジアル方向の一つ目の軸であるＸ軸のロータ４の一方の側の電磁石Ｘ１の制御電流を表す制御電流指令信号であり、信号７１は、この一方の側の電磁石Ｘ１のバイアス電流を表すバイアス電流指令信号である。また、上記ＤＳＰ制御装置１４から出力される信号５２は、第１のラジアル磁気軸受の上記Ｘ軸のロータ４の他方の側の電磁石Ｘ１’の制御電流を表す制御電流指令信号であり、信号７２は、この他方の側の電磁石Ｘ１’のバイアス電流を表すバイアス電流指令信号である。
【００４０】
また、上記ＤＳＰ制御装置１４から出力される信号５３は、第１のラジアル磁気軸受のラジアル方向の二つ目の軸であるＹ軸（ロータ４と垂直な平面においてロータ４の略中心軸上で上記Ｘ軸と略垂直に交わる軸）のロータ４の一方の側の電磁石Ｙ１の制御電流を表す制御電流指令信号であり、信号７３は、この一方の側の電磁石Ｙ１のバイアス電流を表すバイアス電流指令信号である。
【００４１】
また、上記ＤＳＰ制御装置１４から出力される６０は、アキシアル磁気軸受のロータ４のアキシアル方向の一方の側の電磁石Ｚ’の制御電流を表す制御電流指令信号であり、信号８０は、この一方の側の電磁石Ｚ’のバイアス電流を表すバイアス電流指令信号である。
【００４２】
このように、上記ＤＳＰ制御装置１４は、第１および第２のラジアル磁気軸受が有する合計８個の電磁石、および、アキシアル磁気軸受が有する合計２個の電磁石、都合１０個の電磁石の夫々に、御電流指令信号５１，５２，・・・６０を出力すると共に、バイアス電流指令信号７１，７２，・・・８０を出力するようになっている。尚、この実施形態では、バイアス電流指令信号７１，７２，・・・，７９および８０は、全て略同一の電流値を表す指令信号になっている。
【００４３】
上記御電流指令信号５１とバイアス電流指令信号７１、御電流指令信号５２とバイアス電流指令信号７２、・・・、御電流指令信号６０とバイアス電流指令信号８０は、夫々、加算または減算部１３１、１３２、・・・、１４０で加算または減算され、Ｄ／Ａ変換器９１、９２、・・・、１００を介して、磁気軸受駆動パワーアンプ回路１１１、１１２、・・・、１２０に出力されるようになっている。
【００４４】
また、上記磁気軸受駆動パワーアンプ回路１１１は、Ｄ／Ａ変換器９１からのアナログ信号を増幅した後、増幅したアナログ増幅信号を電磁石Ｘ１に出力することによって、電磁石Ｘ１の位置を制御するようになっている。また、同様な方法で、磁気軸受駆動パワーアンプ回路１１２は、電磁石Ｘ１’の位置を制御し、磁気軸受駆動パワーアンプ回路１１３は、電磁石Ｙ１の位置を制御し、・・・、磁気軸受駆動パワーアンプ回路１２０は、電磁石Ｚ’の位置を制御するようになっている。
【００４５】
図３は、上記モータ７の回転速度と、その回転速度で出力される総回生電力との関係の一例、および、モータ７の回転速度と、その回転速度のモータ７が磁気軸受６に供給可能な電力との関係の一例を示す図である。
【００４６】
図３において、１３０は、総回生電力を示す直線であり、１３１は、磁気軸受供給可能電力を示している。
【００４７】
図３に示すように、この実施形態のターボ分子ポンプにおいては、モータ７の回転速度が２７０Ｈｚのとき、モータ７の総回生電力は、略１１４Ｗであり、回転速度が２７０Ｈｚのモータ７が磁気軸受６に供給できる消費電力は、略３５Ｗである。また、モータ７の回転速度が３６０Ｈｚのとき、モータ７の総回生電力は、略１４８Ｗであり、回転速度が３６０Ｈｚのモータ７が磁気軸受６に供給できる消費電力は、略７５Ｗである。
【００４８】
表１は、上記ＤＳＰ制御回路１４のメモリに予め記憶されており、かつ、上記バイアス電流設定部２２が設定できる、モータ７の回転速度に対するバイアス電流パターンを示す表であり、図４（Ａ）は、表１をグラフにした図である。尚、図４（Ａ）において、１４０は、停電でない場合におけるモータの回転速度に対する第１のバイアス電流のパターンを示し、１４１は、停電時におけるモータの回転速度に対する第２のバイアス電流のパターンを示している。
［表１］
2006009758.tif 000003
【００４９】
表１および図４（Ａ）に示すように、上記バイアス電流設定部２３は、停電でないときの停止時におけるバイアス電流を一定値（０.３Ａ）に設定する一方、停電時におけるバイアス電流を、モータ７の回転速度が低下するにしたがって、低下するように設定している。詳細には、上記バイアス電流設定部２３は、図４（Ａ）に示すように、停電時におけるバイアス電流を、モータ７の回転速度が低下するにしたがって、階段状に低下するように設定している。
【００５０】
図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に対応する図であり、モータ７の回転速度と、磁気軸受で消費されている消費電力を示す図である。
【００５１】
図４（Ｂ）において、１５０は、停電でないときの停止時における磁気軸受６の消費電力を示し、１５１は、停電時における磁気軸受６の消費電力を示している。
【００５２】
図４（Ｂ）に示すように、停電でないときの停止時においては、電源は、モータ７が停止するまで、バイアス電流０.３Ａ（図４（Ａ）参照）に対応する７０Ｗ以上の消費電力を磁気軸受６に供給し続けなければならないことがわかる。
【００５３】
一方、停電時、すなわち、モータ７による回生電力の供給が行われる場合には、モータ７の回転速度が低下するにしたがってバイアス電流が低下するように設定されていることに起因して、モータ７の回転速度が低下するにしたがって磁気軸受６の消費電力が、７０Ｗから３５Ｗまで階段状に低下している。
【００５４】
この発明のターボ分子ポンプ装置の磁気軸受は、このように、停電時において、小さな電力（消費電力が小さいから）でも駆動できることから、このターボ分子ポンプ装置では、停電時において、モータ７の回転速度が下がって回生電力がより小さくなっても磁気軸受６を駆動させることができて、モータ７の回転速度、すなわち、ロータ４の回転速度が、より低い段階まで、磁気軸受６による制御を行うことができる。
【００５５】
したがって、このターボ分子ポンプ装置は、どのような場合でも（停電時でも停電時でない場合にも）、同一のバイアス電流を用いるターボ分子ポンプ装置と比較して、停電時におけるタッチダウン軸受２０へのタッチダウン回転速度（タッチダウン軸受が駆動するときのロータ４の回転速度）を大幅に小さくすることができて、停電時におけるタッチダウン軸受２０の損傷を大幅に軽減できる。
【００５６】
上記実施形態のターボ分子ポンプ装置によれば、上記バイアス電流設定部２３が、停電検出回路２５から停電を表す停電信号を受けると、バイアス電流設定部２３が、停電でないときの停止時におけるバイアス電流１４０よりも小さなバイアス電流１４１を設定するので、停電時における磁気軸受６の制御電力（消費電力）１５１を、停電でないときの停止時における磁気軸受６の制御電力（消費電力）１５０よりも小さくすることができる。したがって、停電時においては、モータ７が出力する回生電力によって、バイアス電流値が一定である場合のときと比較して、よりロータ４の回転速度が低いときまで磁気軸受６による磁気制御を行うことができる。したがって、停電時においてロータ４がタッチダウン軸受２０にタッチダウンするときのロータ４の回転速度を低くできるので、停電時におけるタッチダウン軸受２０の損傷を小さくできる。
【００５７】
また、上記実施形態のターボ分子ポンプ装置によれば、バイアス電流設定部２３が、停電時において設定するバイアス電流１４１を、ロータ４の回転速度が減少するに従って減少するように設定するので、停電時においてロータ４がタッチダウン軸受２０にタッチダウンするときのロータ４の回転速度を更に低くできて、停電時におけるタッチダウン軸受２０の損傷を更に小さくできる。
【００５８】
また、上記実施形態のターボ分子ポンプ装置によれば、バイアス電流設定部２３が、停電時において設定するバイアス電流１４１を、ロータ４の回転速度が減少するに従って階段状に減少するように設定しているので、バイアス電流１４１を減少させる箇所を限定できて、停電時におけるバイアス電流１４１の減少の制御を容易に行うことができる。
【００５９】
尚、上記実施形態のターボ分子ポンプ装置においては、停電時において、バイアス電流設定部２３が、モータ７の回転速度が低下するにしたがって階段状に低下するバイアス電流１４１を設定したが、この発明のバイアス電流設定部は、停電時において、モータの回転速度が低下するにしたがって低下する微分可能（端の点以外）な曲線形状のバイアス電流を設定しても良く、モータの回転速度が低下するにしたがって低下する直線形状のバイアス電流を設定しても良い。停電時におけるバイアス電流値は、停電でないときの停止時におけるバイアス電流値よりも小さく、かつ、モータの回転速度が小さくなるにしたがって、減少（局所的には同じであっても良い）するものであればいかなるものであっても良いことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の一実施形態のターボ分子ポンプ装置の概略構成図である。
【図２】上記実施形態のターボ分子ポンプ装置が備える磁気軸受駆動回路を示す図である。
【図３】モータの回転速度と、その回転速度で出力される総回生電力との関係の一例、および、モータの回転速度と、その回転速度のモータが磁気軸受に供給可能な電力との関係の一例を示す図である。
【図４】図４（Ａ）は、停電時におけるモータの回転速度とバイアス電流との関係、および、停電時以外の停止時におけるモータの回転速度とバイアス電流との関係を示す図であり、図４（Ｂ）は、停電時におけるモータの回転速度と磁気軸受の消費電力との関係、および、停電時以外の停止時におけるモータの回転速度と磁気軸受の消費電力との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  ターボ分子ポンプ
２  コントローラ
４  ロータ
５  位置検出センサ
６  磁気軸受
７  モータ
８  回転速度センサ
９  変位演算回路
１０  磁気軸受駆動回路
１１  モータドライバ
１４  ＤＳＰ制御装置
２２  制御電流演算部
２３  バイアス電流設定部
２５  停電検出回路
１４０  停電でないときの停止時におけるバイアス電流
１４１  停電時におけるバイアス電流
１５０  停電でないときの停止時における磁気軸受の消費電力
１５１  停電時における磁気軸受の消費電力
【図１】
2006009758.tif 000004
【図２】
2006009758.tif 000005
【図３】
2006009758.tif 000006
【図４】
2006009758.tif 000007