(57)【要約】 【課題】  光学部品を固定するときに不所望な変形を防止して、所望の位置に検出用の光を入射させることができる光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供する。【解決手段】  保持機構１４によって、光学部品１５の一表面部１５ａを端部１５ｂに沿って均一に押圧されて、光照射手段１１に対する光学部品１５の位置が固定されることによって、保持機構１４によって押圧された端部１５ｂは、不所望に変形することが防止され、光学部品１５を高精度に位置決めすることができ、検出用の光１７を所望の位置に入射させることができる。【選択図】      図１
2006337267.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性を有する複数の層が積層されて構成される光学部品の欠陥を検出する装置であって、
光学部品の端部に検出用の光を入射させる入射手段と、
光学部品の一表面部から出射される光を検出する光検出手段と、
入射手段に対する光学部品の位置を固定する固定手段とを含み、
前記固定手段は、光学部品の一表面部を端部に沿って均一に押圧して固定する機能を有することを特徴とする光学部品の欠陥検出装置。
【請求項２】
前記固定手段は、
光学部品を載置支持するベース部材と、
該ベース部材に設けられる押圧部材であって、ベース部材に載置支持される光学部品に押圧力を与える押圧部材とを有することを特徴とする請求項１に記載の光学部品の欠陥検出装置。
【請求項３】
押圧部材は、光学部品に当接されてこの光学部品に押圧力を与える第１部材と、
第１部材を光学部品に向かって押圧し、前記端部に沿って配設される複数の第２部材と、
第２部材を保持し、前記ベース部材に対して可動に設けられる第３部材とを含むことを特徴とする請求項２に記載の光学部品の欠陥検出装置。
【請求項４】
前記第２部材は、弾性体から成ることを特徴とする請求項２または３に記載の光学部品の欠陥検出装置。
【請求項５】
前記入射手段は、検出用の光を光学部品を構成する複数の層のうち予め定める層に入射させることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の光学部品の欠陥検出装置。
【請求項６】
透光性を有する複数の層が積層されて構成される光学部品の欠陥を検出する方法であって、
光学部品の端部に検出用の光を入射させる入射工程と、
光学部品の一表面部から出射される光を検出する光検出工程と、
光学部品の位置を固定する固定工程とを含み、
前記固定工程では、光学部品の一表面部を端部に沿って均一に押圧して固定する段階を有することを特徴とする光学部品の欠陥検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透光性を有する光学部品の欠陥を検出する光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は、典型的な従来の技術の欠陥検出装置１を示す正面図である。この欠陥検出装置１は、透明な板材２の端部２ａから検査光を板材２内に入射させて欠陥を検出する装置であって、板材２を支える支持部３と、板材２の厚さの変化に対応して、板材２の入射側端部２ａを両側から挟み固定し、かつ、検査光の漏れを防止するための適当間隔おきに配設される複数のガイド部４と、板材２内を導光する検査光に対し平行に保持され、検査光吸収性を有する平行保持部５とを含んで構成される。これらガイド部４によって、板材２の各種サイズ、および各種板厚にも対応でき、ガイド部４および平行保持部５によって、欠陥を検出する際は、検査する人の目に入る光の量を可及的に少なくしている。これによって検査効率を高めることができる（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−５０１０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査対象が多層構造を有する光学部品である場合、充分な光量の検査光を光学部品の検査目的の層に入射させる必要がある。検査目的の層の層厚が小さくなるに従って、光学部品における検査光の集光位置の位置ずれの影響を受けやすくなるので、集光位置の位置決め精度を高精度にする必要がある。
【０００５】
前述の従来の技術では、各ガイド部が互いに離間した位置にあるので、各ガイド部の押さえ圧を互いに等しくすることが困難である。また各ガイド部によって押さえ圧が作用する部位と、押さえ圧が作用しない部位とが混在する。このような各ガイド部による押さえ圧のずれが大きくなると、光学部品に不均一な応力が作用することによって、光学部品が撓むなど不所望に変形して目的の層へ検査光を入射するためには、変形を考慮して入射位置を制御する必要があり、制御が複雑となる。
【０００６】
したがって本発明の目的は、光学部品を固定するときに不所望な変形を防止して、所望の位置に検出用の光を入射させることができる光学部品の欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、透光性を有する複数の層が積層されて構成される光学部品の欠陥を検出する装置であって、
光学部品の端部に検出用の光を入射させる入射手段と、
光学部品の一表面部から出射される光を検出する光検出手段と、
入射手段に対する光学部品の位置を固定する固定手段とを含み、
前記固定手段は、光学部品の一表面部を端部に沿って均一に押圧して固定する機能を有することを特徴とする光学部品の欠陥検出装置である。
【０００８】
本発明に従えば、固定手段によって、光学部品の一表面部が端部に沿って均一に押圧されて、入射手段に対する光学部品の位置が固定される。したがって固定手段によって押圧された端部は、不所望に変形、たとえば自重による撓みなどが生じることを防ぐことができる。これによって既存の技術のように光学部品を部分的に押圧して固定すると、光学部品に与えられる押圧力の違いによって光学部品が変形して、検出用の光を所望の位置に入射させることが困難であるが、本発明の固定手段のように均一に押圧することによって、光学部品を高精度に位置決めすることができ、検出用の光を所望の位置に入射させることができる。
【０００９】
また本発明は、前記固定手段は、
光学部品を載置支持するベース部材と、
該ベース部材に対し可動に設けられる押圧部材であって、ベース部材に載置支持される光学部品に押圧力を与える押圧部材とを有することを特徴とする。
【００１０】
本発明に従えば、光学部品は、ベース部材によって載置支持され、ベース部材に設けられる押圧部材が、ベース部材に載置支持される光学部品に押圧力を与える。これによって光学部品をベース部材に載置支持された位置から、不所望に変位することを防ぐことができ、また光学部品の端部が不所望に変形することを防ぐことができる。これによって本発明を実現することができる。
【００１１】
さらに本発明は、押圧部材は、光学部品に当接されてこの光学部品に押圧力を与える第１部材と、第１部材を光学部品に向かって押圧し、前記端部に沿って配設される複数の第２部材と、第２部材を保持し、前記ベース部材に対して可動に設けられる第３部材とを含むことを特徴とする。
【００１２】
本発明に従えば、前記端部に沿って配設される複数の第２部材によって、第１部材を光学部品に向かって押圧し、第１部材が光学部品に当接して、光学部品に押圧力を与える。第２部材は、前記端部に沿って複数配設されるので、第１部材の端部に沿う方向に全域にわたって部分的に押圧力を与えることができる。この結果、第１部材が変形しやすい樹脂部材などを利用した場合でも、光学部品に与える押圧力を均等に制御することができる。
【００１３】
さらに本発明は、第２部材は、弾性体から成ることを特徴とする。
本発明に従えば、第２部材は、弾性体から成ることで、光学部品へ押圧する際に、第３部材が多少変形しても、弾性体部分が押圧力を光学部品にかけ続けることができるので、よりコンパクトに光学部品への押圧機構が形成できる。
【００１４】
さらに本発明は、入射手段は、検出用の光を光学部品を構成する複数の層のうち予め定める層に入射させることを特徴とする。
【００１５】
本発明に従えば、入射手段によって、検出用の光を光学部品を構成する複数の層のうち予め定める層に入射させるので、欠陥のある層を特定することができる。また検出用の光が不所望に光学部品の端部に入射せずに漏れることを防ぐことができる。
【００１６】
さらに本発明は、透光性を有する複数の層が積層されて構成される光学部品の欠陥を検出する方法であって、
光学部品の端部に検出用の光を入射させる入射工程と、
光学部品の一表面部から出射される光を検出する光検出工程と、
光学部品の位置を固定する固定工程とを含み、
前記固定工程では、光学部品の一表面部を端部に沿って均一に押圧して固定する段階を有することを特徴とする光学部品の欠陥検出方法である。
【００１７】
本発明に従えば、固定工程にて、光学部品の一表面部を端部に沿って均一に押圧されて、光学部品の位置が固定される。したがって押圧された端部は、不所望に変形、たとえば自重による撓みなどが生じることを防ぐことができる。これによって既存の技術のように光学部品を部分的に押圧して固定すると、光学部品に与えられる押圧力の違いによって光学部品が変形して、検出用の光を所望の位置に入射させることが困難であるが、本発明の固定工程にて、均一に押圧することによって、光学部品を高精度に位置決めすることができ、検出用の光を所望の位置に入射させることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、固定手段によって、光学部品の一表面部が端部に沿って均一に押圧して固定されるので、光学部品を高精度に位置決めすることができ、検出用の光を所望の位置に入射させることができる。これによって光学部品を構成する層が比較的薄い層であって、この層に検出用の光を入射させる場合であっても、本発明のように光学部品が高精度に位置決めされ固定されているので、不所望な層に検出用の光が入射することを防いで、確実に所望の層に検出用の光を入射させることができる。これによって入射手段によって光学部品の端部に検出用の光が所望の位置に入射され、光検出手段によって光学部品の一表面部から出射される光であって、欠陥に起因して散乱する光が検出されるので、欠陥を検出することができる。
【００１９】
また本発明によれば、光学部品をベース部材に載置支持された位置から、不所望に変位することを防ぐことができ、また光学部品の端部が不所望に変形することを防ぐことができる。これによって本発明を実現することができる。
【００２０】
さらに本発明によれば、第１部材が樹脂材料のように変形しやすい部材であっても光学部品に与える押圧力を均等にすることができる。
【００２１】
さらに本発明によれば、第３の部材が多少変形しても、複数の第２部材から第１部材に与える押圧力が互いに等しくなるようにすることができる。これによって第１部材は確実に光学部品に端部に沿って均一に押圧することができる。
【００２２】
さらに本発明によれば、検出用の光が不所望に光学部品の端部に入射せずに漏れることを防ぐことができる。これによって検出用の光を可及的に多く光学部品に入射させることができ、検出用の光を効率的に用いることができる。
【００２３】
さらに本発明によれば、光学部品を高精度に位置決めすることができ、検出用の光を所望の位置に入射させることができる。これによって光学部品を構成する層が比較的薄い層であって、この層に検出用の光を入射させる場合であっても、本発明のように光学部品が高精度に位置決めされ固定されているので、不所望な層に検出用の光が入射すること防いて、確実に所望の層に検出用の光を入射させることができる。これによって入射工程にて光学部品の端部に検出用の光が所望の位置に入射され、光検出工程にて光学部品の一表面部から出射される光であって、欠陥に起因して散乱する光が検出されるので、欠陥を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態を、複数の形態について説明する。各形態で先行する形態で説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する場合がある。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、先行して説明している形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。
【００２５】
図１は、本発明の実施の第１の形態の光学部品の欠陥検出装置１０を側面から見て示す断面図である。図２は、光学部品の欠陥検出装置１０の要部を拡大して示す断面図である。図３は、光学部品の欠陥検出装置１０を図２のＳ３−Ｓ３切断面線から見た断面図である。光学部品の欠陥検出装置（以下、単に「欠陥検出装置」ということがある）１０は、光照射手段１１、光検出手段１２、判定部１３および保持機構１４を含んで構成され、光学部品１５の内部の欠陥１６を検出する装置である。
【００２６】
欠陥検出対象の光学部品１５は、たとえば半導体基板、ガラス基板、および機能性フィルム等が積層されて成る透光性を有する光学部品１５が適用される。本実施の形態では、光学部品１５は、異なる光学的性質を有する厚さが数μｍから数十μｍの光学フィルムが複数、本実施の形態では５つの層が積層されて構成され、積層されるフィルム、および積層数によって光学部品１５全体の光学的性質を制御することができる。ここで光学部品１５の幅方向をＹ、厚み方向をＺ、これら幅および厚み方向に垂直な長さ方向をＸと定義し、各図においてＹ、Ｚ、Ｘと表記する。ＸおよびＹ方向を含む仮想平面をＸＹ平面と称す。
【００２７】
光照射手段１１は、入射手段としての機能を有し、光学部品１５の端部１５ｂに検出用の光１７を入射させる。光照射手段１１は、検出用の光１７を出射する光源２０、検出用の光１７を平行光に変換するカップリングレンズ１８、カップリングレンズ１８からの平行光を光学部品１５の端部１５ｂで集光させる集光レンズ１９を含んで構成される。光照射手段１１によって、検出用の光１７の光学部品１５の端部１５ｂにおける入射領域および入射位置が制御される。光源２０は、たとえば半導体レーザ装置によって実現される。集光レンズ１９によって検出用の光１７を点状に集光しても、線状に集光してもどちらでもよい。
【００２８】
光検出手段１２は、光学部品１５の厚み方向一方に配設され、光学部品１５の一表面部１５ａから出射される光を検出する。光検出手段１２は、光学部品１５の一表面部１５ａをそのＸＹ平面に沿って走査するように構成され、これによって光学部品１５の全域にわたって散乱光を検出することができる。光検出手段１２は、たとえば受光素子および電荷結合素子（Charge Coupled Device：略称ＣＣＤ）によって実現される。光検出手段１２は、検出した光に基づく情報を判定部１３に与える。
【００２９】
判定部１３は、光検出手段１２から与えられる情報に基づいて、光学部品１５の欠陥１６の有無を判定する。判定部１３は、判定した結果を示す情報を報知手段、たとえば表示装置または音発生手段に与えて、欠陥１６の有無に基づく情報を報知させる。判定部１３は、たとえばマイクロコンピュータなどの処理回路によって実現される。
【００３０】
保持機構１４は、固定手段であって、光照射手段１１に対する光学部品１５の位置を固定する。保持機構１４は、光学部品１５の一表面部１５ａを端部１５ｂに沿って均一に押圧して固定する機能を有する。
【００３１】
図２を参照して、光学部品１５を構成する層のうち、所定の層に光を集光する状態を説明する。以下、本実施の形態では、説明を容易にするため、光学部品１５の最も厚み方向一端寄りの層を第１層２１と表記することがあり、積層方向他端に向けて、順次、第２層２２、第３層２３、第４層２４、および第５層２５と表記することがある。光学部品１５の積層構造のうち、欠陥１６が、たとえば第１層２１と第２層２２との境界にあるとすると、検出用の光１７を導光させて欠陥検出に好適な層としては、第１層２１のみの場合、第２層２２のみの場合、第１層２１と第２層２２との双方の場合など、複数ある。この際の導光させる層の選択基準は、層間の屈折率の大小関係によって選ばれる。
【００３２】
第１層２１の屈折率をｎａ，第２層２２の屈折率をｎｂ、第３層２３の屈折率をｎｃとすると、これらの屈折率の関係が、ｎｂ＞ｎｃ、およびｎｂ＞ｎａであれば、第２層２２に検出用の光１７を入射させることによって、第２層２２を導光する検出用の光１７は隣接する層との境界にて、反射を繰り返す。したがって第２層２２が導光層として選ばれる。
【００３３】
また、第４層２４の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｂ＞ｎｄ、ｎｂ＞ｎａ、およびｎｂ≒ｎｃの関係にあれば、第２層２２および第３層２３に検出用の光１７を入射させることによって、第１層２１と第２層２２との境界、および第３層２３と第４層２４との境界にて、検出用の光１７は反射を繰り返し、第２層２２および第３層２３を主に導光する。したがって第２層２２および第３層２３の両方が導光層として選ばれる。このとき、欠陥１６は、どちらの場合も導光を遮ることになるので、欠陥１６に基づく散乱が起こり、光検出手段１２によって散乱光が検出され、欠陥１６が検出される。このように光学部品１５の導光層の選択を精度よく行うためには、光学部品１５の保持機構１４にも安定した保持能力が必要である。
【００３４】
図３を参照して、保持機構１４の構成を説明する。保持機構１４は、光学部品１５を載置支持するベース部材２６と、このベース部材２６に設けられる押圧部材２７とを含んで構成される。押圧部材２７は、ベース部材２６に載置支持される光学部品１５に押圧力を与える。
【００３５】
押圧部材２７は、光学部品１５を押圧する第１部材としての押さえバー２８、押さえバー２８を光学部品１５に向かって押圧する第２部材としての加圧ばね２９、加圧ばね２９を光学部品１５に向かって押圧する第３部材としての加圧バー３０、加圧バー３０を可動に支持する支柱３１、および押さえバー２８と加圧バー３０との位置関係を規定する結合部材３２を含んで構成される。
【００３６】
支柱３１は、ベース部材２６と一体に構成され、加圧バー３０の軸線方向両端部を支持し、加圧バー３０を厚み方向Ｚに変位駆動する。加圧バー３０は、支柱３１に対して厚み方向Ｚに変位駆動される。加圧バー３０は、光学部品１５の長さ方向Ｘに沿って延びる長手状部材であって、厚み方向Ｚの光学部品１５に臨む端面部に、第２部材として複数の加圧ばね２９が設けられる。
【００３７】
加圧ばね２９は、弾性体、本実施の形態では圧縮コイルばねによって実現される。加圧ばね２９は、加圧バー３０の前記光学部品１５に臨む端面部に、長さ方向Ｘに互いに間隔をあけて、複数、配設される。加圧ばね２９は、軸線方向が厚み方向Ｚと略平行となるように配設され、加圧ばね２９の軸線方向一端部は加圧バー３０と一体に設けられ、軸線方向他端部は押さえバー２８と一体に設けられる。
【００３８】
図４は、光学部品の欠陥検出装置１０の保持機構１４の動作を説明するための図である。図５は、光学部品の欠陥検出装置１０の保持機構１４の一部を拡大して示す正面図である。図３、図４および図５では、理解を容易にするため、結合部材３２に斜線を施して示す。
【００３９】
図１から図３も参照して、押さえバー２８は、光学部品１５に当接されて、この光学部品１５に押圧力を与える。押さえバー２８は、光学部品１５の長さ方向Ｘに沿って延びる長手状部材であって、図４に示すように、厚み方向Ｚに変位可能に構成される。押さえバー２８が厚み方向Ｚに変位することによって、光学部品１５と当接および離間する。押さえバー２８は、光学部品１５の幅方向Ｙ一端部であって厚み方向Ｚ一端部に当接して、光学部品１５に押圧力を与える。
【００４０】
結合部材３２は、加圧ばね２９と同様に、加圧バー３０の前記光学部品１５に臨む端面部に、長さ方向Ｘに互いに間隔をあけて、複数、本実施の形態では３つ配設される。結合部材３２は、棒状であって、軸線方向が厚み方向Ｚと略平行となるように配設され、結合部材３２の軸線方向一端部は加圧バー３０と一体に設けられ、軸線方向他端部は押さえバー２８とは、図５に示すように、押さえバー２８に設けられるガイド部４５によってＺ方向には可動に取り付けられている。このような結合部材３２によって、押さえバー２８と加圧バー３０とは位置関係がＺ方向以外に互いに変位すること防止される。また、押さえバー２８と加圧ばね２９と加圧バー３０とが全体で光学部品１５に対してＺ方向に変位可能である。
【００４１】
加圧バー３０は、光学部品１５を押圧する方向に変位駆動されると、押圧力が加圧ばね２９の変形、および結合部材３２がガイド部４５の底面４６に当接することによって、押さえバー２８に伝達され、押さえバー２８が光学部品１５を押圧する。押さえバー２８は、長さ方向Ｘに配設された加圧ばね２９によって均等加重される。この均等加重によって、押さえバー２８と加圧バー３０との隙間は一定に保たれる。この隙間の幅によって、加圧ばね２９の加重を調整して、光学部品１５に必要な加重を与えることができる。したがって保持機構１４は、光学部品１５の一部を線状の領域で押圧し、押圧するための加圧点を押圧する領域の線上に沿って配置した構造である。
【００４２】
たとえば、押さえバー２８を樹脂で構成して、光学部品１５を押圧する押圧部分が軸線方向両端部だけであるとすると、押さえバー２８が長いほど、その軸線方向中央部付近では押さえバー２８自身の変形によって、光学部品１５と押さえバー２８との間に大きな隙間が生じる。具体的には、アクリル製の押さえバー２８で、サイズが２０ｍｍ×５０ｍｍ×９００ｍｍ（Ｙ方向長×Ｚ方向長×Ｘ方向長）のとき、軸線方向中央部付近の変形は０．４ｍｍ程度にもなる。この変形をそのままにすると、光学部品１５の導光させる層の層厚が０．１ｍｍ程度あっても、Ｚ方向の位置ずれが光学部品１５の長さ方向Ｘ中央部で大きくなり、一様な強度での光学部品１５への入射することが困難になる。
【００４３】
本実施の形態のように、加圧ばね２９を押さえバー２８の長さ方向Ｘに複数配設して、押圧力を分散して押さえバー２８に加重することによって、光学部品１５はベース部材２６に対して安定して保持されることになる。さらに、分散加重する加圧ばね２９の数が多いほど、ベース部材２６に載置支持される光照射手段１１からの検出用の光１７を目的の導光層に確実に入射させることができる。
【００４４】
また、加圧バネ２９を設けることによって、加圧バー３０を光学部品を保持する際の所定の位置に配置すれば、押さえバー２８と加圧バー３０とは、結合部材３２によって、押さえバー２８と加圧バー３０とのそれぞれが変形した場合にも、押さえバー２８から光学部品１５への押圧力を一定化することができる。これによって押さえバー２８と加圧バー３０との材質に影響されずに均等加重を発生させることができる。さらに、この加圧状態を保持するには図４に示すように加圧する際の所定の位置に加圧バー３０を保持するストッパー４０を設ければよい。
【００４５】
図６は、光学部品１５の欠陥検出方法を示すフローチャートである。ステップａ０にて、光学部品１５が欠陥検出装置１０のベース部材２６の予め定める位置に載置され、ステップａ１に進む。
【００４６】
ステップａ１は、固定工程であって、保持機構１４を構成する押さえバー２８を光学部品１５に当接させて、光学部品１５の一表面部１５ａを端部１５ｂに沿って均一に押圧してベース部に固定し、ステップａ２に進む。
【００４７】
ステップａ２は、入射工程であって、光学素子の端面に、検出用の光１７を入射させ、ステップａ３に進む。光照射手段１１によって、検出用の光１７を、光学部品１５を構成する層の内、予め定める層に入射させる。
【００４８】
ステップａ３は、光検出工程であって、光検出手段１２によって、光学部品１５の一表面部１５ａから出射される散乱光を検出し、ステップａ４に進む。ステップａ４では、判定部１３は、光検出手段１２が検出した散乱光強度に基づいて、欠陥１６の有無を判定し、ステップａ５に進む。ステップａ５にて、ステップａ０からの一連の検出手順を終了する。このような検出手順によって、欠陥１６が検出される。
【００４９】
以上説明したように、本実施の形態の欠陥検出装置１０によれば、保持機構１４によって、光学部品１５の一表面部１５ａを端部１５ｂに沿って均一に押圧されて、光照射手段１１に対する光学部品１５の位置が固定される。したがって保持機構１４によって押圧された端部１５ｂは、不所望に変形、たとえば自重による撓みなどが生じることを防ぐことができる。これによって既存の技術のように光学部品１５を部分的に押圧して固定すると、光学部品１５に与えられる押圧力の違いによって光学部品１５が変形して、検出用の光１７を所望の位置に入射させることが困難であるが、本実施の形態の保持機構１４のように均一に押圧することによって、光学部品１５を高精度に位置決めすることができ、検出用の光１７を所望の位置に入射させることができる。
【００５０】
これによって光学部品１５を構成する層が比較的薄い層であって、この層に検出用の光１７を入射させる場合であっても、本実施の形態のように光学部品１５が高精度に位置決めされ固定されているので、不所望な層に検出用の光１７が入射すること防いて、確実に所望の層に検出用の光１７を入射させることができる。これによって光照射手段１１によって光学部品１５の端部１５ｂに検出用の光１７が所望の位置に入射され、光検出手段１２によって光学部品１５の一表面部１５ａから出射される光であって、欠陥１６に起因して散乱する光が検出されるので、欠陥１６を検出することができる。
【００５１】
また本実施の形態では、光学部品１５は、ベース部材２６によって載置支持され、ベース部材２６に可動に設けられる押圧部材２７が、ベース部材２６に載置支持される光学部品１５に押圧力を与える。これによって光学部品１５をベース部材２６に載置支持された位置から、不所望に変位することを防ぐことができ、また光学部品１５の端部１５ｂが不所望に変形することを防ぐことができる。
【００５２】
また本実施の形態では、前記端部１５ｂに沿って配設される複数の加圧ばね２９によって、押さえバー２８を光学部品１５に向かって押圧し、押さえバー２８が光学部品１５に当接して、光学部品１５に押圧力を与える。加圧ばね２９は、前記端部１５ｂに沿って複数配設されるので、押さえバー２８の端部１５ｂに沿う方向に全域にわたって部分的に押圧力を与えることができる。従って、押さえバーが樹脂のような場合でも光学部品１５に対して均一に押圧することができる。また押さえバー２８は、光学部品１５に当接して押圧力を与えるので、加圧ばね２９から押さえバー２８に与えられる押圧力を均一に光学部品１５に与えることができる。これによって光学部品１５に不所望に押圧力が作用して、破損することを防ぐことができる。
【００５３】
また本実施の形態では、加圧ばね２９のような弾性体を用いることによって、加圧バー３０のＺ方向の厚さが薄くて、これが多少変形する場合であっても、押さえバー２８を介して、確実に光学部品１５に端部１５ｂに沿って均一に押圧することができる。
【００５４】
また本実施の形態では、光照射手段１１によって、検出用の光１７を光学部品１５を構成する複数の層のうち予め定める層に入射させるので、欠陥１６のある層を特定することができる。また検出用の光１７が不所望に光学部品１５の端部１５ｂに入射せずに漏れることを防ぐことができる。これによって検出用の光１７を可及的に多く光学部品１５に入射させることができ、検出用の光１７を効率的に用いることができる。また広範囲の入射位置においても、導光される光量を安定にする。
【００５５】
また本実施の形態の押圧部材２７による加重方法は、既存の技術のように光学部品１５を直接分散加重して押える方法に比べて、加圧部分による観測不能領域の発生を防いだり、あるいは押圧点での加圧ダメージが光学部品１５に直接影響を与えないようにするという効果がある。
【００５６】
また保持機構１４は、光学部品１５に対して均等加重することによって、押さえバー２８と光学部品１５との間に隙間はできないので、押さえバー２８を不透明体にすれば欠陥１６観測時に光照射手段１１側から光検出手段１２側に漏れてくる不要な光を遮ることができる。この際には、押さえバー２８の先端部１５ｂを細くできるので、押さえバー２８によって欠陥検出できる領域を減少することを可及的に少なくすることができる。
【００５７】
また押さえバー２８の光学部品１５に当接する部分は、押圧することによって光学部品１５を損傷しないような材料、たとえば樹脂などの柔軟材を用いることが好ましい。このように押さえバー２８を構成することによって、光学部品１５を押圧して固定しても、光学部品１５が不所望に損傷することを可及的に防ぐことができる。
【００５８】
また第２部材は加圧ばね２９によって実現されているが、これに限ることはなく、他の弾性体、たとえばゴムなどの樹脂によって実現してもよい。
【００５９】
次に、本発明の実施の第２の形態の光学部品の欠陥検出装置１０ａに関して説明する。図７は、本発明の実施の第２の形態の光学部品の欠陥検出装置１０の要部を拡大して示す断面図である。本実施の形態では、押さえバー２８ａの形状に特徴を有する。押さえバー２８ａの先端部を、光学部品１５の一表面部１５ａから出射される散乱光が可及的に光検出手段１２に検出することができるように構成する。本実施の形態では、押さえバー２８ａの先端部は、図７に示すように厚み方向Ｚに対して非対称構造に構成する。このように構成することによって、押さえバー２８ａの傾斜部分の隙間からも光学部品１５の表面を観察することができる。換言すると、押さえバー２８ａによって隠れる領域をさらに狭くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施の第１の形態の光学部品の欠陥検出装置１０を側面から見て示す断面図である。
【図２】光学部品の欠陥検出装置１０の要部を拡大して示す断面図である。
【図３】光学部品の欠陥検出装置１０を図２のＳ３−Ｓ３切断面線から見た断面図である。
【図４】光学部品の欠陥検出装置１０の保持機構１４の動作を説明するための図である。
【図５】光学部品の欠陥検出装置１０の保持機構１４の一部を拡大して示す正面図である。
【図６】光学部品１５の欠陥検出方法を示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施の第２の形態の光学部品の欠陥検出装置１０ａの要部を拡大して示す断面図である。
【図８】従来の技術の欠陥検出装置１を示す正面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０，１０ａ，１０ｂ  光学部品の欠陥検出装置
１１  光照射手段
１２  光検出手段
１３  判定部
１４  保持機構
１５  光学部品
１７  検出用の光
２６  ベース部材
２７  押圧部材
２８  押さえバー
２９  加圧ばね
３０  加圧バー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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