(57)【要約】【課題】  ステージに対して着脱可能とされるとともに、ワークに対して容易に位置決めでき、反りが発生してしまうような厚さのワークでも、そのステージ上に確実に固定できるクランプ装置と方法及びそのクランプ装置を備えた画像形成装置の提供を課題とする。【解決手段】  板状のワーク１００が載置され、ステージ２０上に着脱可能に装着されるベース３２と、ベース３２にスライド可能に設けられ、ワーク１００の縁端部１００Ａをクランプするクランプ部３４と、クランプ部３４に設けられ、クランプ部３４をワーク１００に対して位置決めする位置決め手段７０とを備えたクランプ装置３０とする。そして、このクランプ装置３０を備えた画像形成装置１０とする。【選択図】        図１
2006201516.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状のワークが載置され、ステージ上に着脱可能に装着されるベースと、
前記ベースにスライド可能に設けられ、前記ワークの縁端部をクランプするクランプ部と、
前記クランプ部に設けられ、該クランプ部を前記ワークに対して位置決めする位置決め手段と、
を備えたことを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
前記位置決め手段が、前記クランプ部に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、前記クランプ部の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴とする請求項１に記載のクランプ装置。
【請求項３】
前記ベースには、該ベース上面側と前記ステージ側との間を連通させる複数の連通孔が穿設されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクランプ装置。
【請求項４】
前記連通孔の少なくとも一部が、前記ステージに設けられた複数の吸着孔の少なくとも一部と同じ配置とされることを特徴とする請求項３に記載のクランプ装置。
【請求項５】
前記クランプ部は、前記ベースの１つの辺に対してそれぞれ複数設けられるクランプ部材を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のクランプ装置。
【請求項６】
前記クランプ部は、
前記ベースにスライド可能かつ固定可能に設けられ、抜け止め部が形成された案内手段が立設されたスライド部材と、
前記案内手段に遊嵌される取付孔が穿設され、前記縁端部に当接する当接部が形成されたクランプ部材と、
前記クランプ部材に設けられ、前記抜け止め部に係合して、該クランプ部材を前記案内手段から脱落不能とする係止部材と、
前記クランプ部材の前記当接部とは反対側の基部に穿設された貫通孔に、脱落不能に挿通された支持手段と、
前記支持手段に挿嵌され、該支持手段を下方に向かって付勢する付勢部材と、
前記スライド部材に設けられ、前記支持手段を支持する支持部と、
を有し、
前記位置決め手段は、
前記スライド部材に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、該スライド部材の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載のクランプ装置。
【請求項７】
前記クランプ部は、
前記ベースにスライド可能かつ固定可能に設けられ、頭部にフランジが形成された支柱が立設されたスライド部材と、
前記支柱に遊嵌される取付孔が穿設され、前記縁端部に上方から当接する爪部が形成されたクランプ部材と、
前記クランプ部材の上面にスライド可能に設けられ、前記フランジに係合して、該クランプ部材を前記支柱から脱落不能とする係止プレートと、
前記クランプ部材の前記爪部とは反対側の基部に穿設された貫通孔に、脱落不能に挿通された支持ロッドと、
前記支持ロッドに挿嵌され、該支持ロッドを下方に向かって付勢するコイルばねと、
前記スライド部材に設けられ、前記支持ロッドの下端部を支持する支持部と、
を有し、
前記位置決め手段は、
前記スライド部材に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、該スライド部材の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載のクランプ装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の何れか１項に記載のクランプ装置におけるベースが装着されるステージを所定の搬送路に沿って搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送されるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、
前記測定部の検出結果に基づくアライメント後のワークに対して画像を形成する描画部と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項７の何れか１項に記載のクランプ装置におけるベースが装着されるステージを所定の搬送路に沿って搬送する搬送機構と、
前記搬送機構によって搬送されるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、
前記測定部の検出結果に基づくアライメント後のワークの描画領域を画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該描画領域に画像を形成する露光部と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項１０】
ベースにワークを載置し、出入可能な位置決め部材を備えた位置決め手段において、その位置決め部材を突出させ、クランプ部をスライドさせつつ、該位置決め部材を前記ワークに当接させることで、前記クランプ部の前記ワークに対する位置決めをし、その後、前記ワークの縁端部を前記クランプ部でクランプすることを特徴とするクランプ方法。
【請求項１１】
前記クランプ部で前記ワークの縁端部をクランプする前に、前記位置決め部材を退避させることを特徴とする請求項１０に記載のクランプ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ上に載置されたプリント配線基板等のワークをクランプするクランプ装置と方法に関し、更には、画像情報に基づいて変調された光ビームにより、そのクランプされたプリント配線基板等のワークの描画領域を露光して画像を形成する画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばプリント配線基板（以下「基板」又は「基板材料」ともいう）等に配線パターンを形成する画像形成装置としてのレーザー露光装置が知られている。このレーザー露光装置には、画像露光の対象となるプリント配線基板を載置する（ロードする）ステージ部材が備えられ、そのステージ部材を所定の搬送経路に沿って移動させるようになっている。
【０００３】
具体的に説明すると、まず、プリント配線基板は、ステージ部材の上面に設けられた複数（多数）の孔部からエアーが吸引されることによって、そのステージ部材上に吸着された状態で位置決め載置される。ステージ部材上に位置決め載置され、吸着・保持されたステージ部材は、所定の速度で副走査方向へ移動し、所定の測定位置において、そのプリント配線基板に設けられた位置合わせ孔（以下「アライメントマーク」という）がＣＣＤカメラによって撮像される。そして、その撮像によって得られたプリント配線基板の位置に合わせて、描画座標系中の描画対象領域を座標変換することにより、画像情報に対するアライメント処理が実行される。
【０００４】
アライメント処理の実行後、ステージ部材上のプリント配線基板は、所定の露光位置において、画像情報に基づいて変調され、ポリゴンミラーにより主走査方向へ偏向されたレーザービームによって、その上面に形成された感光性塗膜が走査、露光処理される。これにより、プリント配線基板上の所定の領域（描画領域）に、画像情報に基づく（配線パターンに対応する）画像（潜像）が形成される。
【０００５】
そして、画像（潜像）が形成されたプリント配線基板は、ステージ部材が初期位置に復帰移動した後、ステージ部材から取り出され（アンロードされ）、プリント配線基板が取り除かれたステージ部材は、次のプリント配線基板を露光する工程に移行するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３３８４３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、プリント配線基板の厚さが、例えば１．５ｍｍ以下のように薄い場合は、エアーの吸引力によって、その基板をステージ部材上に充分に吸着・保持できるが、例えば３．０ｍｍ以上のように厚い場合は、基板自体に反りが発生することがあるため、エアーの吸引力だけでは、その基板を充分にステージ部材上に吸着・保持（固定）することが困難となる不具合があった。
【０００７】
そのため、基板を補助的にクランプできるクランプ装置が必要とされるが、プリント配線基板は、上記のように厚さが異なるため、常にクランプ装置がステージ部材に取り付けられている必要はなく、むしろ、クランプ装置はステージ部材に対して着脱可能とされる方が望ましい。また、そのクランプ装置は基板に対して容易に位置決めできるように構成されていることが好ましい。
【０００８】
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、ステージに対して着脱可能とされるとともに、ワークに対して容易に位置決めでき、反りが発生してしまうような厚さのワークでも、そのステージ上に確実に固定できるクランプ装置と方法、及び、そのクランプ装置を備えた画像形成装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載のクランプ装置は、板状のワークが載置され、ステージ上に着脱可能に装着されるベースと、前記ベースにスライド可能に設けられ、前記ワークの縁端部をクランプするクランプ部と、前記クランプ部に設けられ、該クランプ部を前記ワークに対して位置決めする位置決め手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１０】
また、請求項２に記載のクランプ装置は、請求項１に記載のクランプ装置において、前記位置決め手段が、前記クランプ部に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、前記クランプ部の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴としている。
【００１１】
請求項１及び請求項２に記載の発明によれば、クランプ部が設けられ、ワークが載置されるベースをステージに対して着脱可能としたので、クランプ部をステージに対して着脱可能とでき、かつ、突出時にワークの端面に当接して位置決めする位置決め部材をクランプ部に出入可能に設けたので、クランプ部をワークに対して容易に位置決めすることができる。また、ステージ上でワークのクランプ作業（位置決め作業を含む）をする必要がないため（ベース上でワークのクランプ作業をすればよいため）、そのクランプ作業が容易にできる。
【００１２】
また、請求項３に記載のクランプ装置は、請求項１又は請求項２に記載のクランプ装置において、前記ベースには、該ベース上面側と前記ステージ側との間を連通させる複数の連通孔が穿設されていることを特徴としている。
【００１３】
そして、請求項４に記載のクランプ装置は、請求項３に記載のクランプ装置において、前記連通孔の少なくとも一部が、前記ステージに設けられた複数の吸着孔の少なくとも一部と同じ配置とされることを特徴としている。
【００１４】
請求項３及び請求項４に記載の発明によれば、ワークが載置されるベースに、ステージの吸着孔と連通する連通孔を複数穿設したので、反りが発生してしまうような厚さのワークでも、ベースを介してステージ上に確実に固定することができる。
【００１５】
また、請求項５に記載のクランプ装置は、請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のクランプ装置において、前記クランプ部が、前記ベースの１つの辺に対してそれぞれ複数設けられるクランプ部材を備えることを特徴としている。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、ワークのサイズが変更になっても、柔軟に対応することができる。
【００１７】
また、請求項６に記載のクランプ装置は、請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載のクランプ装置において、前記クランプ部が、前記ベースにスライド可能かつ固定可能に設けられ、抜け止め部が形成された案内手段が立設されたスライド部材と、前記案内手段に遊嵌される取付孔が穿設され、前記縁端部に当接する当接部が形成されたクランプ部材と、前記クランプ部材に設けられ、前記抜け止め部に係合して、該クランプ部材を前記案内手段から脱落不能とする係止部材と、前記クランプ部材の前記当接部とは反対側の基部に穿設された貫通孔に、脱落不能に挿通された支持手段と、前記支持手段に挿嵌され、該支持手段を下方に向かって付勢する付勢部材と、前記スライド部材に設けられ、前記支持手段を支持する支持部と、を有し、前記位置決め手段が、前記スライド部材に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、該スライド部材の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴としている。
【００１８】
そして、請求項７に記載のクランプ装置は、請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載のクランプ装置において、前記クランプ部が、前記ベースにスライド可能かつ固定可能に設けられ、頭部にフランジが形成された支柱が立設されたスライド部材と、前記支柱に遊嵌される取付孔が穿設され、前記縁端部に上方から当接する爪部が形成されたクランプ部材と、前記クランプ部材の上面にスライド可能に設けられ、前記フランジに係合して、該クランプ部材を前記支柱から脱落不能とする係止プレートと、前記クランプ部材の前記爪部とは反対側の基部に穿設された貫通孔に、脱落不能に挿通された支持ロッドと、前記支持ロッドに挿嵌され、該支持ロッドを下方に向かって付勢するコイルばねと、前記スライド部材に設けられ、前記支持ロッドの下端部を支持する支持部と、を有し、前記位置決め手段が、前記スライド部材に出入可能に設けられ、突出時に前記ワークの端面に当接して、該スライド部材の前記ワークに対する位置決めを行う位置決め部材を有することを特徴としている。
【００１９】
請求項６又は請求項７に記載の発明によれば、ベースに設けられたスライド部材に対して、クランプ部を容易に装着することができる。また、クランプ部の基部を下から突き上げることで、基部とは反対側に設けられた当接部（爪部）がワークをクランプする（押圧する）構成になっているので、クランプ部の薄型化を図ることができる。更に、位置決め部材はスライド部材に出入可能に設けられているので、ワークに対して位置決めした後、その位置決め部材を邪魔にならないように退避させることができる。
【００２０】
また、本発明に係る請求項８に記載の画像形成装置は、請求項１乃至請求項７の何れか１項に記載のクランプ装置におけるベースが装着されるステージを所定の搬送路に沿って搬送する搬送機構と、前記搬送機構によって搬送されるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、前記測定部の検出結果に基づくアライメント後のワークに対して画像を形成する描画部と、を有することを特徴としている。
【００２１】
そして更に、本発明に係る請求項９に記載の画像形成装置は、請求項１乃至請求項７の何れか１項に記載のクランプ装置におけるベースが装着されるステージを所定の搬送路に沿って搬送する搬送機構と、前記搬送機構によって搬送されるステージ上のワークのアライメントマークを検出する測定部と、前記測定部の検出結果に基づくアライメント後のワークの描画領域を画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該描画領域に画像を形成する露光部と、を有することを特徴としている。
【００２２】
請求項８又は請求項９に記載の発明によれば、反りが発生してしまうような厚さのワークでも、ステージ上に確実に固定することができる。したがって、そのワークに好適に画像を形成することができる。
【００２３】
また、本発明に係る請求項１０に記載のクランプ方法は、ベースにワークを載置し、出入可能な位置決め部材を備えた位置決め手段において、その位置決め部材を突出させ、クランプ部をスライドさせつつ、該位置決め部材を前記ワークに当接させることで、前記クランプ部の前記ワークに対する位置決めをし、その後、前記ワークの縁端部を前記クランプ部でクランプすることを特徴としている。
【００２４】
請求項１０に記載の発明によれば、クランプ部をワークに対して容易に位置決めすることができ、そのワークをクランプ部で好適にクランプできる。
【００２５】
そして、請求項１１に記載のクランプ方法は、請求項１０に記載のクランプ方法において、前記クランプ部で前記ワークの縁端部をクランプする前に、前記位置決め部材を退避させることを特徴としている。
【００２６】
請求項１１に記載の発明によれば、クランプ部でワークをクランプしたときに、反りが矯正されることによって発生するワークの伸びを許容することができる。
【発明の効果】
【００２７】
以上のように、本発明によれば、ステージに対して着脱可能とされるとともに、ワークに対して容易に位置決めでき、反りが発生してしまうような厚さのワークでも、そのステージ上に確実に固定できるクランプ装置と方法、及び、そのクランプ装置を備えた画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の最良な実施の形態について、図面に示す実施例を基に詳細に説明する。図１は本発明に係る画像形成装置としての一例を示すレーザー露光装置１０の概略斜視図であり、図２乃至図１０はクランプ装置の構成を示す概略図である。なお、図１、図２において、矢印Ａを搬送方向、矢印Ｂを幅方向とし、矢印ＦＲを「前」、矢印ＲＥを「後」、矢印ＲＩを「右」、矢印ＬＥを「左」として、各部の位置を前後左右の表現を用いて説明する場合がある。
【００２９】
［レーザー露光装置の構成］
まず最初に、レーザー露光装置１０について説明する。図１で示すように、このレーザー露光装置１０は、６本の脚部１２に支持された矩形厚板状の設置台１４を備えている。設置台１４の上面には、長手方向（搬送方向）に沿って２本のガイドレール１６が配設されており、これら２本のガイドレール１６上には、ガイド部１９を介して矩形平板状のステージ部材２０が設けられている。
【００３０】
ステージ部材２０は、長手方向がガイドレール１６の延設方向（搬送方向）を向くように配置され、ガイドレール１６及びガイド部１９によって設置台１４上を往復移動可能に支持されている。すなわち、例えばモーター１８及びボールネジ２２等の搬送機構によって、ガイドレール１６に沿って所定の速度で往復移動するように構成されている。
【００３１】
ステージ部材２０の上面には、露光対象物となる矩形平板状の基板材料１００が、図示しない位置決め手段により、所定の位置に位置決めされた状態で載置される。このステージ部材２０の上面には、複数（多数）の孔部２０Ａが穿設されており、そのステージ部材２０の内部が負圧供給源（図示省略）によって負圧とされることにより、孔部２０Ａからエアーが吸引され、その吸引力によって基板材料１００がステージ部材２０の上面に吸着・保持されるようになっている。
【００３２】
なお、基板材料１００が、所定の厚さ以上で、反りが発生している場合には、エアーの吸引力だけでは充分に吸着・保持できないので（確実に固定することが困難であるため）、後述するクランプ装置３０によって、基板材料１００がステージ部材２０の上面に確実に吸着・保持（固定）されるように補助する。
【００３３】
また、基板材料１００には、その被露光面上の描画領域における露光位置の基準を示すアライメントマーク（図示省略）が複数設けられている。このアライメントマークは、例えば円形の貫通孔によって構成され、基板材料１００の四隅（以下「コーナー部」という）近傍にそれぞれ１個ずつ計４個配設されている。
【００３４】
設置台１４の中央部には、ステージ部材２０の移動経路を跨ぐように略「コ」字状のゲート２４が設けられている。ゲート２４は、両端部がそれぞれ設置台１４に固定されており、ゲート２４を挟んで、一方の側（後側）には、基板材料１００を露光する露光部（描画部）としての露光ヘッド２８が設けられ、他方の側（前側）には、基板材料１００に設けられたアライメントマークを撮影する測定部としての複数（例えば２台）のＣＣＤカメラ２６が設けられている。
【００３５】
したがって、基板材料１００がステージ部材２０の移動に伴ってＣＣＤカメラ２６の下方を通過する際に、そのＣＣＤカメラ２６によるアライメントマークの測定が行われる。すなわち、各ＣＣＤカメラ２６は、基板材料１００のアライメントマークが所定の撮影位置に至ったタイミングで、ストロボ光源を発光させ、基板材料１００へ照射したストロボ光の基板材料１００上面での反射光を、レンズを介してカメラ本体に入力させることにより、そのアライメントマークを撮影する。
【００３６】
また、ステージ部材２０を移動させるための搬送機構（モーター１８及びボールネジ２２）、ＣＣＤカメラ２６、露光ヘッド２８等は、これらを制御するコントローラー（図示省略）に接続されている。このコントローラーにより、ステージ部材２０は所定の速度で移動するように制御され、ＣＣＤカメラ２６は所定のタイミングで基板材料１００のアライメントマークを撮影するように制御され、露光ヘッド２８は所定のタイミングで基板材料１００を露光するように制御される。
【００３７】
露光ヘッド２８は、ｍ行ｎ列（例えば２行４列）の略マトリックス状に配列されている。そして、図１１で示すように、露光ヘッド２８による露光エリア２８Ａは、例えば搬送方向を短辺とする矩形状に構成されている。したがって、基板材料１００には、その搬送方向（前側から後側）への移動動作に伴って、露光ヘッド２８毎に帯状の露光済み領域１０２が形成される。
【００３８】
また、帯状の露光済み領域１０２が搬送方向と直交する幅方向（左右方向）に隙間無く並ぶように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド２８の各々は、配列方向に所定間隔（露光エリア２８Ａの長辺の自然数倍）ずらして配置されている。このため、例えば第１行目の露光エリア２８Ａと第２行目の露光エリア２８Ａとの間の露光できない部分は、第２行目の露光エリア２８Ａにより露光することができる。
【００３９】
各露光ヘッド２８は、それぞれ入射されたレーザービームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子としてのデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）（図示省略）を備えている。このＤＭＤは、データ処理部とミラー駆動制御部を備えた上記コントローラーに接続されている。
【００４０】
コントローラーのデータ処理部では、入力された画像データに基づいて、各露光ヘッド２８毎にＤＭＤの制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。また、ミラー駆動制御部では、データ処理部で生成した制御信号に基づいて、各露光ヘッド２８毎にＤＭＤにおける各マイクロミラーの反射面の角度を制御する。
【００４１】
各露光ヘッド２８におけるＤＭＤの光入射側には、マルチビームをレーザー光として出射する照明装置から引き出されたバンドル状の光ファイバーが接続されている。照明装置は、その内部に複数の半導体レーザーチップから出射されたレーザー光を合波して光ファイバーに入力する合波モジュールが複数個設置されている。各合波モジュールから延びる光ファイバーは、合波したレーザー光を伝搬する合波光ファイバーであって、複数の光ファイバーが１つに束ねられてバンドル状の光ファイバーとして形成されている。
【００４２】
［レーザー露光装置の作用］
次に、以上のような構成のレーザー露光装置１０の作用について説明する。なお、レーザー露光装置１０により画像露光を行う基板材料１００としては、プリント配線基板や液晶表示素子等のパターンを形成（画像露光）する材料としての基板や、ガラスプレート等の表面に感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、又はドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。
【００４３】
まず、図示しないローダーによって基板材料１００がステージ部材２０の上面に載置され、図示しない位置決め手段によって位置決めされると、その基板材料１００は、孔部２０Ａからのエアーの吸引によりステージ部材２０の上面に吸着・保持される。
【００４４】
このとき、基板材料１００が、例えば３ｍｍ以上の厚い基板で、反りが発生している場合には、エアーの吸引力だけでは充分に吸着・保持できないので（確実に固定することが困難であるため）、後述するクランプ装置３０のベース部材３２に基板材料１００を載置し、そのベース部材３２に設けられているクランプ部３４で基板材料１００をクランプし、そのベース部材３２ごとステージ部材２０に取り付ける。このとき、ベース部材３２にはステージ部材２０と同様の孔部３２Ａが複数（多数）穿設されているので、ベース部材３２を介して基板材料１００がステージ部材２０上に吸着・保持（固定）される。
【００４５】
こうして、基板材料１００をステージ部材２０の上面に吸着・保持（固定）したら、ステージ部材２０が搬送方向（後側から前側）へ移動し始め、基板材料１００がＣＣＤカメラ２６によるアライメント検出工程へ搬送される。すなわち、オペレーターがコントローラーの指示入力手段から露光開始の入力操作を行うことにより、レーザー露光装置１０の露光動作が開始される。
【００４６】
まず、コントローラーにより搬送機構（モーター１８及びボールネジ２２）が制御され、基板材料１００を上面に吸着・保持したステージ部材２０が、ガイドレール１６に沿って搬送方向（後側から前側）に一定速度で移動を開始する。このステージ部材２０の移動開始に同期して、又は基板材料１００の先端が各ＣＣＤカメラ２６の真下に達する少し手前のタイミングで、各ＣＣＤカメラ２６はコントローラーにより制御されて作動を開始する。
【００４７】
すなわち、例えば基板材料１００の各コーナー部近傍に設けられた４個のアライメントマークが、各ＣＣＤカメラ２６におけるレンズの光軸上（ＣＣＤカメラ２６の真下）にそれぞれ達すると、各ＣＣＤカメラ２６は、所定のタイミングでストロボ光源を発光し、各アライメントマークを撮影する。そして、撮影された画像データ（基準位置データ）は、コントローラーのデータ処理部へ出力される。
【００４８】
データ処理部は、入力された各アライメントマークの画像データ（基準位置データ）から判明する画像内におけるアライメントマークの位置及びアライメントマーク間のピッチ等と、そのアライメントマークを撮影したときのステージ部材２０の位置及びＣＣＤカメラ２６の位置から、演算処理によって、ステージ部材２０上における基板材料１００の位置ずれ、移動方向に対する傾き、寸法精度誤差等を把握し、基板材料１００の被露光面に対する適正な露光位置を算出する。
【００４９】
ここで、露光パターンに応じた画像データは、コントローラー内のメモリーに一旦記憶されている。したがって、露光ヘッド２８による画像露光時に、そのメモリーに記憶されている露光パターンの画像データに基づいて生成する制御信号を、上記した適正な露光位置に合わせ込んで画像露光する補正制御（アライメント）を実行する。なお、この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。
【００５０】
こうして、各ＣＣＤカメラ２６によるアライメントマークの測定（撮影）が完了すると、ステージ部材２０は搬送機構（モーター１８及びボールネジ２２）の駆動により、露光ヘッド２８による露光工程へと搬送される。すなわち、ステージ部材２０はガイドレール１６に沿って上記とは逆の方向（前側から後側）へ移動を開始する。そして、基板材料１００の被露光面における描画領域が、露光ヘッド２８下方の露光開始位置に達すると、各露光ヘッド２８はレーザービームを照射して基板材料１００の被露光面（描画領域）に対する画像露光を開始する。
【００５１】
すなわち、コントローラーのメモリーに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、データ処理部で読み出された画像データに基づいて各露光ヘッド２８毎に制御信号が生成される。この制御信号には、補正制御（アライメント）により、アライメント測定した基板材料１００に対する露光位置ずれの補正が加えられている。そして、ミラー駆動制御部は、生成及び補正された制御信号に基づいて各露光ヘッド２８毎にＤＭＤのマイクロミラーの各々をオン・オフ制御する。
【００５２】
照明装置の光ファイバーから出射されたレーザー光がＤＭＤに照射されると、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザー光が、レンズ系により基板材料１００の被露光面上に結像される。こうして、照明装置から出射されたレーザー光が画素毎にオン・オフされて、基板材料１００がＤＭＤの使用画素数と略同数の画素単位（露光エリア２８Ａ）で露光される。
【００５３】
そして、基板材料１００がステージ部材２０と共に一定速度で移動されることにより、基板材料１００が露光ヘッド２８によってステージ部材２０の移動方向と反対の方向（図１１（Ａ）において矢印Ｓで示す走査方向）に露光され、各露光ヘッド２８毎に帯状の露光済み領域１０２が形成される（図１１（Ａ）参照）。
【００５４】
こうして、露光ヘッド２８による基板材料１００への画像露光が完了すると、ステージ部材２０は、基板材料１００が載置された初期位置に復帰するので、エアーの吸引による吸着、更にはクランプ装置３０によるクランプが解除され、図示しないアンローダーによってステージ部材２０（ベース部材３２）上から基板材料１００が取り除かれる。そして、ステージ部材２０上から取り除かれた基板材料１００は、図示しない機外の搬送コンベアへ搬送され、次工程へ搬送される。
【００５５】
［クランプ装置の構成］
次に、以上のようなレーザー露光装置１０等の画像形成装置において使用されるクランプ装置３０について、図２乃至図１０を基に詳細に説明する。図２で示すように、このクランプ装置３０は、ステージ部材２０上に載置され、図示しない位置決め手段によって位置決めされる矩形板状の（当然ながら基板材料１００よりも表面積が大きい）ベース部材３２と、ベース部材３２に設けられるクランプ部３４とを有している。
【００５６】
ベース部材３２には、ステージ部材２０上に載置・位置決めしたときに、孔部２０Ａと同位置になって連通する孔部３２Ａが複数（多数）穿設されており、ベース部材３２上に載置される基板材料１００を、ベース部材３２を介して（ベース部材３２ごと）ステージ部材２０が吸着・保持（固定）できるように構成されている。
【００５７】
クランプ部３４は、固定タイプのクランプ部３４Ａと可動タイプのクランプ部３４Ｂの２種類設けられ、例えば、ステージ部材２０の前側と左側が固定タイプのクランプ部３４Ａとされ、右側と後側が可動タイプのクランプ部３４Ｂとされる。
【００５８】
固定タイプのクランプ部３４Ａは、後述するスライド部材３６が固定部材３８とされ、そのために、図６で詳細に示す位置決め手段７０が設けられていない点、及び基板材料１００をベース部材３２に載置したときに、最初に位置決めする位置決め手段、例えば位置決めピン３３が、後述する固定プレート４６の内方側近傍に複数（図示のものは前側に２個、左側に１個の計３個）立設されている点が、可動タイプのクランプ部３４Ｂとは異なっている。したがって、以下、可動タイプのクランプ部３４Ｂについて主に説明し、固定タイプのクランプ部３４Ａについては、各図において、可動タイプのクランプ部３４Ｂと同等の機能を有するものに同じ符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００５９】
図３、図４で示すように、可動タイプのクランプ部３４Ｂは、ベース部材３２に載置された基板材料１００に対して接近・離間するように、スライド可能かつ固定可能に設けられる細長いプレート状のスライド部材３６と、スライド部材３６に対して着脱可能に取り付けられる略矩形板状の複数（図示のものは基板材料１００の各辺に対して３個ずつ）のクランプ部材４０とを有している。なお、固定タイプのクランプ部３４Ａにおいては、固定部材３８に対してクランプ部材４０が着脱可能に複数（図示のものは基板材料１００の各辺に対して３個ずつ）取り付けられる。
【００６０】
スライド部材３６の両端部には、その長手方向と直交する方向に長い長孔３６Ａが穿設されており、その長孔３６Ａに、手指で螺合できる固定ネジ９０が挿通されてベース部材３２にネジ止めされている。したがって、スライド部材３６は、ベース部材３２上を基板材料１００に対して接近・離間する方向に、手動によってスライド可能かつ固定可能となる構成である。なお、固定部材３８は、取付ネジ９４によってベース部材３２に固定されている。
【００６１】
また、スライド部材３６の上面には、クランプ部材４０を取り付けるための略円柱状の支柱４４が取付プレート４２を介して立設されている。取付プレート４２は二股状に形成された基部４２Ａ側が、スライド部材３６に取付ネジ９６によって取り付けられ、先端４２Ｂ側の所定位置に支柱４４が立設されている。
【００６２】
この支柱４４は、スライド部材３６の長手方向に所定間隔を隔てて複数（図示のものはクランプ部材４０が１つに対して３個ずつ）取付プレート４２を介して立設されており、各支柱４４の上部には、支柱４４よりも大径とされた略円板状のフランジ４４Ａが一体に形成されている。そして、支柱４４の下端部には、図９で示すように、取付ネジ９２が螺合されている。
【００６３】
また、スライド部材３６よりも内方側（基板材料１００側）には、固定プレート４６が、スライド部材３６と平行に、かつ所定間隔を隔てて、取付ネジ９４によって取り付けられている。この固定プレート４６には、長手方向と直交する方向（基板材料１００に対して接近・離間する方向）に長い長孔４６Ａが、支柱４４の取付ネジ９２を含む下端部を挿入可能に穿設されており、スライド部材３６が長孔３６Ａに沿って移動するときに、支柱４４の下端部が長孔４６Ａに沿って移動するように構成されている。
【００６４】
なお、固定部材３８側にも同様の固定プレート４６が、固定部材３８と平行に、かつ所定間隔を隔てて、取付ネジ９４によって取り付けられるが、この固定プレート４６には長孔４６Ａは穿設されない。つまり、固定部材３８側には、取付プレート４２が取り付けられず、支柱４４は固定プレート４６に直接取り付けられている（図１０参照）。
【００６５】
したがって、基板材料１００は、固定プレート４６よりも内側に配置され、スライド部材３６は、固定プレート４６よりも外方側で、固定プレート４６に対して接近・離間するようにスライドする。つまり、可動タイプのクランプ部３４Ｂは、スライド部材３６が固定プレート４６に対して接近・離間することにより、固定プレート４６の内側に配置された基板材料１００の描画領域外である縁端部１００Ａに対するクランプ部材４０の位置が調整できる構成になっている。
【００６６】
一方、図５で示すように、クランプ部材４０の幅方向（矢印Ｄで示す）略中央部には、支柱４４（フランジ４４Ａを含む）が遊挿可能な取付孔４０Ａが、長手方向に沿って、かつ所定間隔を隔てて複数（図示のものは３個）穿設されており、クランプ部材４０の上面略中央部には、その長手方向に摺動可能に構成された係止プレート５０が、クランプ部材４０の長手方向の長さよりも少し短い長さ（長手方向に摺動させてもクランプ部材４０から突出しない程度の長さ）で設けられている。
【００６７】
また、この係止プレート５０には、長手方向（摺動方向）に長い長孔５０Ａが、所定間隔を隔てて２つ穿設され、その長孔５０Ａを通して、取付ネジ９４がそれぞれクランプ部材４０の上面に取り付けられている。これにより、係止プレート５０が長手方向に、その長孔５０Ａの範囲内で摺動可能となる構成である。
【００６８】
また、この係止プレート５０には、フランジ４４Ａと同径か、又はそれよりも若干大径で、取付孔４０Ａよりも小径とされた大径部５２Ａと、支柱４４と同径で、かつ摺動方向に長孔状とされた小径部５２Ｂとが連通して形成された係止孔５２が、取付孔４０Ａに連通可能に２個、図示のものは中央と右側に穿設されている。そして、係止プレート５０の左端部には、小径部５２Ｂと略同一とされた切欠部５３が形成されている。
【００６９】
したがって、支柱４４のフランジ４４Ａが取付孔４０Ａ及び大径部５２Ａに挿通されて係止プレート５０の上面から突出した後、その係止プレート５０を長手方向（図示のものは左方向）に摺動させて支柱４４に小径部５２Ｂ及び切欠部５３を係合させることにより、図５（Ｂ）で示すように、クランプ部材４０がスライド部材３６から脱落防止に取り付けられる構成である。
【００７０】
また、図３、図９、図１０で示すように、クランプ部材４０の一方の長辺部における下面には、断面視略円弧状に突出して、基板材料１００の縁端部１００Ａに上方から当接する爪部５４が形成されている。そして、クランプ部材４０の他方の長辺部が基部５６とされ、その基部５６には、取付孔４０Ａに対応する（並列する）貫通孔５６Ａが、長手方向に沿って、かつ所定間隔を隔てて複数（図示のものは３個）穿設されている。
【００７１】
貫通孔５６Ａには、下端部が略半球状に突出した略円柱状の支持ロッド５８が挿通されるようになっており、その支持ロッド５８の上端部近傍及び下端部近傍には、支持ロッド５８よりも大径なフランジ６２Ａ、６２Ｂが嵌着されている。これにより、支持ロッド５８のクランプ部材４０からの脱落が防止される構成である。
【００７２】
また、図９、図１０で示すように、支持ロッド５８には、クランプ部材４０（基部５６）の下面側において、コイルばね６０が挿嵌されている。すなわち、クランプ部材４０（基部５６）の下面と、支持ロッド５８の下側のフランジ６２Ｂとの間にコイルばね６０が挿嵌されている。これにより、支持ロッド５８をクランプ部材４０の下面から、常時下方に向かって突出するように付勢する構成である。
【００７３】
また、図３、図４で示すように、スライド部材３６において、二股状とされた取付プレート４２の基部４２Ａ間には、支持ロッド５８の下端部を支持する支持部４８が形成されている。この支持部４８は、支持ロッド５８の下端部よりも曲率の小さい略半球状に凹設され、支持ロッド５８の下端部が摺動可能に当接するように構成されている。
【００７４】
また、スライド部材３６の内方側（基板材料１００側）端面には、基板材料１００に対する位置決め手段７０が複数（図示のものは各スライド部材３６に対し、所定間隔を隔てて２個ずつ）設けられている。そして、この位置決め手段７０が設けられる部位における固定プレート４６は、適宜切り欠かれて、その位置決め手段７０の取付を許容する構成とされている。
【００７５】
位置決め手段７０は、図６、図７で示すように、スライド部材３６に対して出入可能に設けられるピン状の位置決め部材７２を有しており、この位置決め部材７２を基板材料１００の端面１００Ｂに当接させて、スライド部材３６（クランプ部材４０）の基板材料１００に対する位置決めを行うようになっている。
【００７６】
すなわち、スライド部材３６の内方側（基板材料１００側）端面には、略矩形扁平状のケーシング６４が取付ネジ９６によって取り付けられ、そのケーシング６４の天板６４Ａには、第１スリット６６Ａが、スライド部材３６の長手方向と平行に、その天板６４Ａの略中央まで穿設されている。そして、ケーシング６４の一方の側壁６４Ｂには、その第１スリット６６Ａと連通する第２スリット６６Ｂが、基板材料１００から離間する方向（スライド部材３６側）へ所定長さ穿設されている。
【００７７】
位置決め部材７２は、所定長さの円柱状のピンが略「Ｌ」字状に屈曲形成され、その短い方の一端部（以下「操作部」という）７２Ａが第１スリット６６Ａ又は第２スリット６６Ｂから外方へ突出されている。また、ケーシング６４の基板材料１００と対向する前壁６４Ｃには、位置決め部材７２の径と同じか、それより若干大径とされた円形の開孔６８が穿設されており、位置決め部材７２の他端部（以下「当接部」という）７２Ｂが、その開孔６８から出入可能とされている。
【００７８】
そして、その位置決め部材７２の屈曲部７２Ｃよりも当接部７２Ｂ側には、コイルばね７４が挿嵌されている。コイルばね７４の一端は、屈曲部７２Ｃと当接部７２Ｂの略中間に嵌着された係止フランジ７６に当接し、コイルばね７４の他端は、前壁６４Ｃの内面に固着されるとともに当接部７２Ｂが挿通可能とされた係止フランジ７８に当接している。したがって、位置決め部材７２は、コイルばね７４の付勢力により、常時基板材料１００から離間する方向（スライド部材３６側）へ付勢される構成である。
【００７９】
［クランプ装置の作用］
次に、以上のような構成のクランプ装置３０の作用について説明する。まず最初に、位置決め手段７０による位置決め方法について、主に図７、図８を基に説明する。まず、ベース部材３２に基板材料１００を載置し（Ｐ１）、固定タイプのクランプ部３４Ａにおける固定プレート４６の内方側（基板材料１００側）近傍に設けられた位置決めピン３３に、基板材料１００の一方である前端面１００Ｂと左端面１００Ｂをそれぞれ当接させる（Ｐ２）。
【００８０】
その後、可動タイプのクランプ部３４Ｂにおいて、まず手動により、第２スリット６６Ｂのスライド部材３６側端部から突出し、コイルばね７４の付勢力によって付勢された状態で係止・保持されている各操作部７２Ａを、そのコイルばね７４の付勢力に抗して基板材料１００側へ移動させる（図７（Ａ）参照）。
【００８１】
そして、第２スリット６６Ｂの基板材料１００側端部まで達したら、そのまま第１スリット６６Ａ内へ移動させるように上方に向かって回動する（図７（Ｂ）参照）。これにより、各位置決め部材７２の操作部７２Ａは、第１スリット６６Ａの天板６４Ａ側端部（天板６４Ａの略中央）において、コイルばね７４の付勢力によって、その天板６４Ａに当接・係止され、各位置決め部材７２の当接部７２Ｂは、開孔６８から所定長さ突出する（Ｐ３）。
【００８２】
こうして、開孔６８から各当接部７２Ｂを突出させたら、その各当接部７２Ｂが基板材料１００の他方である右端面１００Ｂ及び後端面１００Ｂに当接するまで、各スライド部材３６を長孔３６Ａ及び長孔４６Ａに沿って基板材料１００側に接近（スライド）させる（図７（Ｃ）参照）（Ｐ４）。そして、基板材料１００の右端面１００Ｂ及び後端面１００Ｂに各当接部７２Ｂを当接させたら、その位置において、各スライド部材３６を固定ネジ９０によって固定する（Ｐ５）。
【００８３】
こうして、可動タイプのクランプ部３４Ｂにおいて、基板材料１００に対するスライド部材３６の位置決めが完了したら（各スライド部材３６を固定したら）、各操作部７２Ａを第１スリット６６Ａ内において、上記とは逆方向に回動させ、第２スリット６６Ｂ内まで回動させたら手指を放す。
【００８４】
すると、各位置決め部材７２は、コイルばね７４の付勢力により、基板材料１００から離間する方向（スライド部材３６側）へ自動的に移動し、開孔６８から突出していた各当接部７２Ｂがケーシング６４内へ引っ込む（図７（Ｄ）参照）。これにより、基板材料１００に対するスライド部材３６の位置決め作業が完了する（Ｐ６）。
【００８５】
なお、位置決め手段７０による位置決め後、固定部材３８及びスライド部材３６には、クランプ部材４０が複数個（図示のものは各辺に対して３個ずつ）取り付けられる。したがって、次にクランプ部材４０の取付方法について、主に図３を基に説明する。
【００８６】
各クランプ部材４０は、位置決め手段７０によってスライド部材３６が位置決めされた後、各スライド部材３６及び各固定部材３８に設けられている支持部４８に、支持ロッド５８の下端部を当接させるとともに、支柱４４のフランジ４４Ａを取付孔４０Ａに挿通させる。
【００８７】
なお、このとき、ケーシング６４の天板６４Ａから操作部７２Ａが突出しない状態となっているので、スライド部材３６に対してクランプ部材４０を取り付けることができる。すなわち、位置決め部材７２の操作部７２Ａが、天板６４Ａから突出した状態であると、クランプ部材４０を取り付けることができない構造になっているので、可動タイプのクランプ部３４Ｂにおいて、位置決め部材７２の位置決め後の操作忘れを防止することができる。
【００８８】
何れにしても、支柱４４のフランジ４４Ａを取付孔４０Ａに挿通させたら、その状態のままクランプ部材４０の上面をコイルばね６０の付勢力に抗して手指で押圧し、支柱４４のフランジ４４Ａを取付孔４０Ａ及び係止孔５２（大径部５２Ａ）に挿通させつつ、係止プレート５０を図５における左方向に摺動（スライド）させる。
【００８９】
つまり、支持ロッド５８にはコイルばね６０が挿嵌されているので、支柱４４のフランジ４４Ａはクランプ部材４０の自重だけでは、取付孔４０Ａ及び係止孔５２の大径部５２Ａから上方に突出しない。したがって、クランプ部材４０の上面を手動により押圧し、支柱４４のフランジ４４Ａを取付孔４０Ａ及び係止孔５２の大径部５２Ａから上方に突出させる。そして、この状態を維持したまま、係止プレート５０を図５における左方向に長孔５０Ａの範囲内で摺動（スライド）させる。
【００９０】
すると、係止プレート５０に穿設されている係止孔５２の小径部５２Ｂ及び切欠部５３が支柱４４の周面に当接するので、コイルばね６０の付勢力により、フランジ４４Ａの下面に係止プレート５０の上面を当接・係合させることができる。つまり、各クランプ部材４０を支柱４４に対して、その脱落が防止された状態で取り付けることができる。こうして、各クランプ部材４０がスライド部材３６及び固定部材３８に取り付けられることにより、基板材料１００の縁端部１００Ａが各クランプ部材４０によってクランプされる（Ｐ７：図８参照）。
【００９１】
すなわち、クランプ部材４０は、その基部５６側が、コイルばね６０の付勢力により、上方に向かって下から（ベース部材３２から）突き上げられ、かつ支柱４４と取付孔４０Ａとの間には、所定の間隙が形成されているので、その支柱４４が挿嵌されている取付孔４０Ａ付近を支点にして、爪部５４側が下方に向かって回動される。したがって、その爪部５４が、コイルばね６０の付勢力により、基板材料１００の縁端部１００Ａを押圧・保持することが可能となり、クランプ部材４０が基板材料１００の縁端部１００Ａをクランプすることが可能となる。
【００９２】
ここで、固定部材３８側は、基板材料１００の前端面１００Ｂ及び左端面１００Ｂを位置決めピン３３に当接させることにより、その各縁端部１００Ａに対するクランプ部材４０の位置決めが既に完了している。そして、スライド部材３６側も、位置決め手段７０により、基板材料１００の各縁端部１００Ａに対するクランプ部材４０の位置決めが完了しているので、基板材料１００に反り（変形）があっても、描画領域外である縁端部１００Ａを確実にクランプすることができる。
【００９３】
すなわち、反りがある基板材料１００をクランプ部材４０でクランプしたときには、その基板材料１００が若干広がるように変形するが、スライド部材３６側の固定プレート４６と基板材料１００との間には、位置決め部材７２によって、所定の間隙が形成されるようになっている、換言すれば、この位置決め部材７２は、反りを矯正したときに生じる基板材料１００の伸びを考慮した位置決めになっているので、そのような変形が生じても充分に許容することができる。
【００９４】
また、このクランプ部材４０は、基部５６側が下から上に向かって突き上げられることにより、その反対側の爪部５４が上から下に向かって押圧するような構成になっているので、クランプ部３４において薄型化を図ることができ、かつ図９、図１０で示すように、基板材料１００の厚さが異なっても（厚くなっても）充分に対応して確実にクランプすることができる。ちなみに、このクランプ装置３０においては、厚さが７ｍｍまでの基板材料１００をクランプすることが可能となっている。
【００９５】
また、このクランプ部３４は、基板材料１００の各コーナー部を確実にクランプできるように構成されている。すなわち、図２、図４で示すように、前側の固定タイプとされたクランプ部３４Ａ及び後側の可動タイプとされたクランプ部３４Ｂの爪部５４は、それぞれ左側の固定タイプとされたクランプ部３４Ａ及び右側の可動タイプとされたクランプ部３４Ｂの爪部５４の長手方向における延長線上にオーバーラップするように、更には、その延長線（図４において仮想線Ｋで示す）上にクランプ部材４０を取り付けるための支柱４４が来るように構成されている。
【００９６】
このような構成にすれば、基板材料１００に反り等が発生していても、その各コーナー部を確実にクランプすることができるので、充分にその反りを矯正する（解消する）ことができる。したがって、ステージ部材２０の孔部２０Ａ及びベース部材３２の孔部３２Ａを通って吸引されるエアーの吸引力により、基板材料１００を確実に吸着・保持することができる。
【００９７】
つまり、基板材料１００に対するクランプ装置３０のクランプが完了したら、ベース部材３２をステージ部材２０上に載置し（Ｐ８：図８参照）、図示しない位置決め手段によって位置決めするが、このとき、ベース部材３２に穿設された孔部３２Ａとステージ部材２０に穿設された孔部２０Ａが連通するので、その孔部２０Ａ、３２Ａからエアーを吸引することにより、クランプ装置３０によってクランプされた基板材料１００をステージ部材２０上に確実に吸着・保持することができる。
【００９８】
したがって、ＣＣＤカメラ２６によるアライメント処理と、露光ヘッド２８による露光処理を精度よく好適に実行することが可能となり、正確な画像を確実に形成することが可能となる。よって、レーザー露光装置１０等の画像形成装置における信頼性を向上させることができる。なお、このクランプ装置３０は、レーザー加工機のような基板材料１００に導電用の穴部を穿設する装置などにも適用が可能である。
【００９９】
以上、何れにしても、本発明によれば、クランプ部３４が設けられたベース部材３２をステージ部材２０に対して着脱可能とし、そのベース部材３２上に基板材料１００を載置する構成としたので、クランプ部３４をステージ部材２０に対して着脱可能とでき、反りが発生してしまうような厚さの基板材料１００を露光する場合でも、ベース部材３２を介してステージ部材２０上に確実に吸着・保持（固定）することができる。また、このクランプ作業は、ベース部材３２上で行えばよく、ステージ部材２０上で行う必要がないため、容易にできる利点もある。
【０１００】
更に、位置決め手段７０の出入可能とされた位置決め部材７２により、可動タイプのクランプ部３４Ｂを基板材料１００に対して容易に位置決めすることができるため、その基板材料１００をクランプ部３４で好適にクランプすることができる。また、その位置決め部材７２は出入可能に設けられていることから、基板材料１００に対して位置決めした後、その位置決め部材７２を邪魔にならないように退避させることができる。したがって、クランプ部３４で基板材料１００をクランプしたときに、反りが矯正されることによって発生する基板材料１００の伸びを許容することができる。
【０１０１】
また、クランプ部材４０は、係止プレート５０をスライドさせることにより、支柱４４に対して装着する構成になっているので、その着脱作業が容易にできる。そして、このクランプ部材４０は、基板材料１００の各辺、即ちスライド部材３６及び固定部材３８に対し、複数個設けられてクランプする（換言すれば、各スライド部材３６及び各固定部材３８に対し、分割されてクランプする）構成になっているので、基板材料１００のサイズが変更になっても、柔軟に対応することができる。但し、基板材料１００のサイズが大きく変更された場合には、ベース部材３２ごと、基板材料１００のサイズに合わせて交換される。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】レーザー露光装置を示す概略斜視図
【図２】クランプ装置を示す概略平面図
【図３】ベース部材に設けられたスライド部材とクランプ部材を示す概略斜視図
【図４】ベース部材に設けられたスライド部材を示す概略平面図
【図５】（Ａ）クランプ部材の係止プレート摺動前を示す概略平面図、（Ｂ）クランプ部材の係止プレート摺動後を示す概略平面図
【図６】位置決め手段の構成を示す概略斜視図
【図７】位置決め手段による位置決め方法を説明する概略平面図
【図８】位置決め手段による位置決め方法を説明するフローチャート
【図９】可動タイプのクランプ部で厚さの異なる基板材料をクランプしたときの様子を示す概略側面図
【図１０】固定タイプのクランプ部で厚さの異なる基板材料をクランプしたときの様子を示す概略側面図
【図１１】（Ａ）露光ヘッドによる露光領域を示す概略平面図、（Ｂ）露光ヘッドの配列パターンを示す概略平面図
【符号の説明】
【０１０３】
１０  レーザー露光装置（画像形成装置）
１８  モーター（搬送機構）
２０  ステージ部材（ステージ）
２０Ａ  孔部（吸着孔）
２２  ボールネジ（搬送機構）
２６  ＣＣＤカメラ（測定部）
２８  露光ヘッド（露光部、描画部）
３０  クランプ装置
３２  ベース部材
３２Ａ  孔部（連通孔）
３３  位置決めピン
３４  クランプ部
３６  スライド部材
３８  固定部材
４０  クランプ部材
４２  取付プレート
４４  支柱（案内手段）
４４Ａ  フランジ（抜け止め部）
４６  固定プレート
４８  支持部
５０  係止プレート（係止部材）
５２  係止孔
５３  切欠部
５４  爪部（当接部）
５６  基部
５８  支持ロッド（支持手段）
６０  コイルばね（付勢部材）
６６Ａ  第１スリット
６６Ｂ  第２スリット
６８  開孔
７０  位置決め手段
７２  位置決め部材
７４  コイルばね
７６  係止フランジ
７８  係止フランジ
１００  基板材料（ワーク）
１００Ａ  縁端部
１００Ｂ  端面
【図１】
2006201516.tif 000003
【図２】
2006201516.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006201516.tif 000009
【図８】
2006201516.tif 000010
【図９】
2006201516.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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