(57)【要約】【課題】  任意のチャンネルに任意のグループの電源電圧を選択的に対応させることを可能とする半導体試験装置を実現する。【解決手段】  複数の被試験対象に同時に電源電圧を供給し、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置において、複数の異なる電源電圧を生成する電源電圧生成手段と、この電源電圧生成手段により生成された複数の電源電圧の夫々を、更に複数チャンネルの電源電圧に分配する分配手段と、この分配手段からの複数チャンネルの電源電圧を、前記被試験対象に選択的に接続する選択手段と、この選択手段を制御する選択制御手段と、を備える。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被試験対象に同時に電源電圧を供給し、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置において、
複数の異なる電源電圧を生成する電源電圧生成手段と、
この電源電圧生成手段により生成された複数の電源電圧の夫々を、更に複数チャンネルの電源電圧に分配する分配手段と、
この分配手段からの複数チャンネルの電源電圧を、前記被試験対象に選択的に接続する選択手段と、
この選択手段を制御する選択制御手段と、
を備えることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記電源電圧生成手段は、ディジタル値をアナログ電圧に変換する複数のＤ／Ａコンバータを備えることを特徴とする請求項１に記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記選択手段により選択的に接続される前記複数チャンネルの電源電圧と前記被試験対象との接続関係を示す接続データを保持する保持部を備え、前記保持部の接続データに基づいて、複数の被試験対象の試験を行なうことを特徴とする請求項１または２に記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記複数チャンネルの電源電圧の少なくとも１個を、前記被試験対象の電源電圧以外に用いることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の被試験対象に同時に電源電圧を供給し、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置の電源部に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１４８２６５号公報
【０００４】
図４は、従来の電源部を備えた半導体試験装置の構成例を示す機能ブロック図である。１は試験制御装置であり、試験全体のシーケンスを管理する。鎖線のブロック２は電源電圧生成手段であり、複数の被試験対象（以下、ＤＵＴ（Device Under Test））に同時に電源電圧を供給するための複数グループの異なる電源電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４を発生させる。
【０００５】
電源電圧生成手段２において、３はＤ／Ａコントローラであり、試験制御装置１からの指令ｄｓを受けて、４個のＤ／Ａコンバータ４１，４２，４３，４４にディジタル値の電圧ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４を与え、４グループのアナログ値の電圧ｖ１，ｖ２，ｖ３，ｖ４を発生させる。
【０００６】
５１，５２，５３，５４はバッファ手段であり、夫々４グループのアナログ値の電圧ｖ１，ｖ２，ｖ３，ｖ４を入力し、電力増幅した４グループの電源電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４を発生させる。
【０００７】
６１，６２，６３，６４は分配手段であり、電源電圧生成手段２よりの４グループの電源電圧Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４の夫々を、更に６４個の電源電圧のチャンネルに分配する。分配手段６１は、第１グループの電源電圧Ｖ１を入力し、これをチャンネルＣＨ１乃至チャンネルＣＨ６４に分配してＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４に供給する。分配手段６２は、第２グループの電源電圧Ｖ２を入力し、これをチャンネルＣＨ６５乃至チャンネルＣＨ１２８に分配してＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４に供給する。
【０００８】
分配手段６３は、第３グループの電源電圧Ｖ３を入力し、これをチャンネルＣＨ１２９乃至チャンネルＣＨ１９２に分配してＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４に供給する。分配手段６４は、第４グループの電源電圧Ｖ４を入力し、これをチャンネルＣＨ１９３乃至チャンネルＣＨ２５６に分配してＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４に供給する。
【０００９】
一度に試験されるＤＵＴ数は、この構成例ではＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４の６４個までである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来の半導体試験装置の電源部構成では、次のような問題点がある。
（１）チャンネルＣＨ１乃至ＣＨ２５６と、電源電圧Ｖ１乃至Ｖ４の関係が１：１に固定されているので、任意のチャンネルに任意のグループの電源電圧を選択的に供給することができない。
【００１１】
（２）試験のためにロードされるＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４の配置に対して、チャンネルＣＨ１乃至ＣＨ６４を介して供給される電源電圧Ｖ１乃至Ｖ４の関係が１：１に固定されているので、ＤＵＴの電源電圧ピンを決められた位置に配置する必要があり、任意の場所に任意の電源電圧を供給することができない。
【００１２】
従って本発明が解決しようとする課題は、任意のチャンネルに任意のグループの電源電圧を選択的に対応させることを可能とする半導体試験装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明の構成は次の通りである。
（１）複数の被試験対象に同時に電源電圧を供給し、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置において、
複数の異なる電源電圧を生成する電源電圧生成手段と、
この電源電圧生成手段により生成された複数の電源電圧の夫々を、更に複数チャンネルの電源電圧に分配する分配手段と、
この分配手段からの複数チャンネルの電源電圧を、前記被試験対象に選択的に接続する選択手段と、
この選択手段を制御する選択制御手段と、
を備えることを特徴とする半導体試験装置。
【００１４】
（２）前記電源電圧生成手段は、ディジタル値をアナログ電圧に変換する複数のＤ／Ａコンバータを備えることを特徴とする（１）に記載の半導体試験装置。
【００１５】
（３）前記選択手段により選択的に接続される前記複数チャンネルの電源電圧と前記被試験対象との接続関係を示す接続データを保持する保持部を備え、前記保持部の接続データに基づいて、複数の被試験対象の試験を行なうことを特徴とする（１）または（２）に記載の半導体試験装置。
【００１６】
（４）前記複数チャンネルの電源電圧の少なくとも１個を、前記被試験対象の電源電圧以外に用いることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の半導体試験装置。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
（１）チャンネルＣＨ１乃至ＣＨ２５６と、４グループの電源電圧Ｖ１乃至Ｖ４の関係をユーザの設定で任意に選択できるので、任意のチャンネルに任意のグループの電源電圧を選択的に供給することが可能となる。
【００１８】
（２）試験装置３にロードされるＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４の配置に対して、チャンネルＣＨ１乃至ＣＨ２５６を介して供給される４グループの電源電圧Ｖ１乃至Ｖ４の関係を、ユーザの設定で任意に選択できるので、電源電圧が異なるＤＵＴを任意の場所に配置することができる。
【００１９】
（３）選択手段により選択的に接続される複数チャンネルの電源電圧とＤＵＴとの接続データを保持する保持部を備えることで、この接続データに基づいて、任意の位置に配置された複数のＤＵＴの試験を実行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図１は本発明を適用した電源部を備える半導体試験装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。図４で説明した従来装置と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。
【００２１】
図１において、１００は選択手段であり、分配手段６１乃至６４で発生するチャンネルＣＨ１乃至ＣＨ２５６の電源電圧を入力し、ＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４との接続関係を任意に選択可能とする。
【００２２】
２００は本発明が適用された試験制御装置である。２０１は選択制御手段であり、選択手段１００に指令Ｓを与えて複数チャンネルの電源電圧とＤＵＴとの接続関係を任意に設定することができる。この設定操作は、マンマシン手段３００を介してユーザ４００により実行される。
【００２３】
２０２は、選択手段１００により選択的に接続される複数チャンネルの電源電圧とＤＵＴとの接続関係を示す接続データを保持するレジスタであり、このレジスタの接続データに基づいて、複数のＤＵＴの試験が実行される。
【００２４】
２０３は電圧設定手段であり、Ｄ／Ａコントローラ３に指令ｄｓを与え、４個のＤ／Ａコンバータ４１，４２，４３，４４に、ディジタル値の電圧ｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４を入力させる。
【００２５】
図２は、レジスタ２０２の接続データの例を示すテーブルである。テーブルＴ１のチャンネルＣＨ１乃至ＣＨ２５６の夫々に対応して、テーブルＴ２にそのチャンネルに選択的に接続されるＤＵＴデータが記入されている。このテーブルを参照すれば、任意のＤＵＴにどのチャンネルの電源電圧が接続されているかが一意に特定されるので、試験管理に混乱を生ずるおそれはない。
【００２６】
以上説明した実施形態では、電源電圧のチャンネルＣＨ１乃至ＣＨ２５６とＤＵＴ１乃至ＤＵＴ６４の電源電圧の数が一致している場合を示したが、ＤＵＴの電源電圧の総数がチャンネル数よりも少ない場合には、余ったチャンネルの電源電圧をＤＵＴの電源電圧以外の電源電圧、例えばウェハに共通電位を与える電源や検査結果で不良となったＤＵＴを切り離すカッター電源等として利用する接続を選択することが容易にできる。
【００２７】
図３は、選択手段１００により電源電圧をＤＵＴ以外の電源電圧として利用する形態を示す機能ブロック図である。選択手段１００に入力されるチャンネルＣＨ１乃至ＣＨＩの内、Ｊチャンネル分をＤＵＴ１乃至ＤＵＴＪに選択接続し、（Ｉ−Ｊ）チャンネル（ただし、Ｉ＞Ｊとする）分をウェハ電源として利用する接続が選択されている。
【００２８】
図１の実施形態では、電源電圧生成手段２内にバッファ手段５１乃至５４を設ける例を示したが、これらバッファ手段の機能を、分配手段６１乃至６４内に備える構成にすることも可能である。
【００２９】
なお、レジスタ２０２を示したが、メモリ等でもよい。つまり、接続データを保持できる保持部であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明を適用した電源部を備える半導体試験装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。
【図２】保持部の接続データの例を示すテーブルである。
【図３】選択手段より電源電圧をＤＵＴ以外の電源電圧として利用する形態を示す機能ブロック図である。
【図４】従来の電源部を備えた半導体試験装置の一例を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００３１】
２  電源電圧生成手段
３  Ｄ／Ａコントローラ
４１乃至４４  Ｄ／Ａコンバータ
５１乃至５４  バッファ手段
６１乃至６４  分配手段
１００  選択手段
２００  試験制御装置
２０１  選択制御手段
２０２  レジスタ
２０３  電圧設定手段
３００  マンマシン手段
４００  ユーザ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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