(57)【要約】  【課題】安定した中間調を記録可能とするインナードラム露光装置を提供すること。  【解決手段】支持体の円弧状の内周面に保持された記録材料に対し、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動される走査手段の全反射鏡面で偏向し走査することによって画像を記録するインナードラム露光装置であって、前記走査手段が、入射する光ビームをこの光ビームの光軸を含む１面に沿って集光する第１のシリンドリカルレンズと、前記光ビームを前記光軸を含む１面に直交する１面に沿って散光する第２のシリンドリカルレンズとを備え、前記第１のシリンドリカルレンズと第２のシリンドリカルレンズとにより、前記入射する光ビームを、前記光軸方向に長軸を有する楕円形状に整形されたビームスポットにするインナードラム露光装置。【選択図】図１
2006208976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体の円弧状の内周面に保持された記録材料に対し、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動される走査手段の全反射鏡面で偏向し走査することによって画像を記録するインナードラム露光装置であって、
前記光ビームを出射する光源を有するとともに、
前記走査手段が、入射する光ビームをこの光ビームの光軸を含む１面に沿って集光する第１のシリンドリカルレンズと、前記光ビームを前記光軸を含む１面に直交する１面に沿って散光する第２のシリンドリカルレンズとを備え、
前記第１のシリンドリカルレンズと第２のシリンドリカルレンズとにより、前記入射する光ビームを、ビームの偏向走査方向と直交する方向に長軸を有する楕円形状に整形されたビームスポットにすることを特徴とするインナードラム露光装置。
【請求項２】
前記第１のシリンドリカルレンズが凸型のシリンドリカルレンズであり、前記第２のシリンドリカルレンズが凹型のシリンドリカルレンズである請求項１に記載のインナードラム露光装置。
【請求項３】
前記第１のシリンドリカルレンズが凹型のシリンドリカルレンズであり、前記第２のシリンドリカルレンズが凸型のシリンドリカルレンズである請求項１に記載のインナードラム露光装置。
【請求項４】
前記走査手段の全反射鏡面がプリズムで構成され、前記シリンドリカルレンズの少なくとも一方が、このプリズムの入出射面上に直接形成されている請求項１〜３のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
【請求項５】
前記第１のシリンドリカルレンズおよび第２のシリンドリカルレンズの少なくとも一方が、フレネル型のシリンドリカルレンズである請求項１〜４のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
【請求項６】
前記フレネル型のシリンドリカルレンズが、前記走査手段の有するプリズム面上に貼り付けられたものである請求項５に記載のインナードラム露光装置。
【請求項７】
前記フレネル型のシリンドリカルレンズが、前記走査手段の有するプリズム面上に直接形成されているものである請求項５に記載のインナードラム露光装置。
【請求項８】
前記走査手段が、前記第２のシリンドリカルレンズの前記光軸に関して反対の面に、前記第２のシリンドリカルレンズと略同質量のバランス調整部材を有する請求項１〜７のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は支持体の円弧状の内周面に保持された記録材料に対し、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動される走査手段の全反射鏡面で偏向し走査することによって画像を記録するインナードラム露光装置に関し、より具体的には、安定した中間調を記録可能とするインナードラム露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、円筒ドラム状の支持体の内周面に保持された記録材料の感光面にレーザ等の光ビームを導いて走査露光を行うインナードラム露光装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。露光により画像が記録された記録材料は、必要に応じて自動現像機にかけられ、記録材料上に形成された潜像が顕像に変換される。
【０００３】
インナードラム露光装置では、記録材料に露光して中間調を表現する場合に、ＡＭスクリーン（網点画像により濃淡画像を形成する手法）を用いて網形状で中間調を表現するのが普通である。ＡＭスクリーンは、最小単位の網点画像が、一例として１４（水平方向ドット数）×１４（垂直方向ドット数）の合計１９６ドット等、多数のドットで構成されており、この網点画像を２次元平面状に並べて記録することにより、濃淡画像を記録するようにしている。但し、ＡＭスクリーンを用いて中間調を表現する場合には、モアレ縞を生じたり、またトーンジャンプ（階調の不連続な変化）が発生したりすることがある。
【０００４】
これに対して、網点画像により濃淡画像を形成する手法として、ＦＭスクリーンを用いる方法がある。ＦＭスクリーンは、規則性を持たない不定形ドットの集合密度によって記録画像の濃淡を表現するものであり、例えば２×２の合計４ドット等、比較的少数のドットで構成された画像を２次元平面状に分散配置して階調表現を行うものである。このＦＭスクリーンでは、原理的にモアレ縞の発生を抑えることができるという利点がある。
【０００５】
このような理由から、高い生産性を得ることが可能なインナードラム露光装置においても、ＦＭスクリーンを用いて、小さな網形状で中間調を表現することが望まれている。
【０００６】
しかしながら、通常のインナードラム露光装置では、単一横モードのレーザ光源から出射した光ビームを、記録材料の被走査面上に結像させて画像を形成するように構成されているため、ビームスポットの形状はガウス分布を有している。このようなガウス分布を有しているビームスポットを用いて露光して画素を記録する場合には、通常、走査線間に隙間ができないように、ビームスポットの半値幅を、画素サイズと同じサイズか、画素サイズ以上のサイズとするように設計する。
【０００７】
これは、エッジ部が比較的なだらかなビームスポットにより露光してＦＭスクリーンを記録した場合の画像は、光パワーの変動や自動現像機による現像の度合い等によって記録画素の大きさが変化すると、網点画像の割合（網点面積率特性）が急激に変化し、濃淡の変動が大きく現われるのを抑止するためである。
【０００８】
しかし、このような配慮を行っても、ビームスポットの形状がガウス分布を有している以上、インナードラム露光装置でＦＭスクリーンを用いて、小さな網形状で中間調を表現することは困難であるという問題は解決されない。
【０００９】
これに対して、特許文献２には、線状の発光面を保つ光源の光源像を直接結像する技術が開示されている。しかしながら、この技術を、インナードラム露光装置に適用しようとすると、偏向器上に光源まで搭載し回転させなければ、インナードラム上の任意の位置で走査方向に直交する線状のスポットを形成することはできず、結果的に、偏向器が大型化して、走査速度があげられないという問題がある。
【００１０】
【特許文献１】特開平１０−１３３１３２号公報
【特許文献２】米国特許第６１２１９９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、前記従来技術に基づく問題点を解消した、安定した中間調を記録可能とするインナードラム露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明に係るインナードラム露光装置は、支持体の円弧状の内周面に保持された記録材料に対し、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動される走査手段の全反射鏡面で偏向し走査することによって画像を記録するインナードラム露光装置であって、前記光ビームを出射する光源を有するとともに、前記走査手段が、入射する光ビームをこの光ビームの光軸を含む１面に沿って集光する第１のシリンドリカルレンズと、前記光ビームを前記光軸を含む１面に直交する１面に沿って散光する第２のシリンドリカルレンズとを備え、前記第１のシリンドリカルレンズと第２のシリンドリカルレンズとにより、前記入射する光ビームを、ビームの偏向走査方向と直交する方向に長軸を有する楕円形状に整形されたビームスポットにすることを特徴とする。
【００１３】
ここで、本発明に係るインナードラム露光装置においては、前記第１のシリンドリカルレンズが凸型のシリンドリカルレンズであり、前記第２のシリンドリカルレンズが凹型のシリンドリカルレンズであるか、または、前記第１のシリンドリカルレンズが凹型のシリンドリカルレンズであり、前記第２のシリンドリカルレンズが凸型のシリンドリカルレンズであることが好ましい。
なお、前記走査手段の全反射鏡面をプリズムで構成し、前記シリンドリカルレンズの少なくとも一方を、このプリズムの入出射面上に直接形成するようにしてもよい。
【００１４】
また、本発明に係るインナードラム露光装置においては、前記第１のシリンドリカルレンズおよび第２のシリンドリカルレンズの少なくとも一方が、フレネル型のシリンドリカルレンズであることが好ましい。
また、前記フレネル型のシリンドリカルレンズが、前記走査手段の有するプリズム面上に貼り付けられたものであるか、または、前記走査手段の有するプリズム面上に直接形成されているものであることが好ましい。
【００１５】
また、本発明に係るインナードラム露光装置においては、前記走査手段が、前記第２のシリンドリカルレンズの前記光軸に関して反対の面に、前記第２のシリンドリカルレンズと略同質量のバランス調整部材を有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、安定した中間調を記録可能とするインナードラム露光装置を実現できるという顕著な効果を奏する。
【００１７】
より具体的には、本発明によれば、比較的簡単な構成で、ビームスポットの形状を、主走査方向のビーム径が副走査方向のビーム径より小さなスポットにすることにより、主走査方向のエッジ部が急峻にできるので、このようなビームスポットを用いて露光することにより、安定した中間調を記録可能とするという効果が得られるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明を詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係るインナードラム露光装置の概略構成を示す図である。本実施形態に係るインナードラム露光装置は、前述のように、インナードラム露光装置において、ＦＭスクリーンを用いて、小さな網形状で中間調を表現可能とするために、ビームスポットの形状を、主走査方向のビーム径が副走査方向のビーム径より小さなスポットにすることを特徴とするものである。
【００２０】
図１に示すように、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０は、円筒内周面の一部を構成する形状の支持体１２を母体として構成されており、この支持体１２の内周面に沿って記録材料１４（フォトポリマー版もしくは通常のＰＳ版等）を支持するように構成されるものである。
【００２１】
なお、このインナードラム露光装置１０では、図示されていない記録材料１４の供給・排出装置によって未記録の記録材料１４を供給し、支持体１２の内周面に確実に密着させた状態に装着して露光処理を行い、また、露光処理済みの記録材料１４を支持体１２から外部に排出する操作を行う。
【００２２】
また、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０には、支持体１２の円弧中心位置に、走査手段としてのスピナーミラー装置１６が配設されている。このスピナーミラー装置１６は、円柱状の回転軸１８を、その中心軸を回転軸（支持体１２の円弧中心軸と一致する）として駆動源であるモータ２０によって回転可能に構成されている。
【００２３】
そして、このスピナーミラー装置１６の回転軸１８の先端部には、回転軸１８に対して４５度の角度をなす、後述する全反射ミラー面１９Ｂを備えたキューブプリズム１９が配設されており、このキューブプリズム１９のビーム入射側とビーム出射側に、それぞれ、凸面形状の断面を有するシリンドリカルレンズ２１Ａおよび凹面形状の断面を有するシリンドリカルレンズ２１Ｂを備えている。この構成の詳細については、後述する。
【００２４】
上述のスピナーミラー装置１６は、図示されていない副走査移動手段によって、支持体１２の円弧中心軸の軸線方向（図１中で、矢印Ｃ方向）に等速度で移動走査される。このスピナーミラー装置１６は、スピナードライバ２２によって、そのモータ２０の回転速度が制御され、上記副走査移動手段によって副走査方向に移動制御される。
【００２５】
また、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０においては、その特徴的動作として、ビーム整形（ここでは、楕円形化）を行ってこの整形されたビームにより、支持体１２の内周面上に配置（セット）した記録材料１４の記録面上を、図１中で矢印Ｘ方向に主走査するように構成されている。
【００２６】
上述の、全反射ミラー面１９Ｂを有するプリズム１９Ｃとプリズム１９Ａから構成されるキューブプリズム１９は、光源側の集光レンズ２８の後方（光源から遠い方）に配設されており、前述のようにそのビーム入射側には凸状シリンドリカルレンズ２１Ａが、また、ビーム出射側には凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂが、それぞれ備えられている。
【００２７】
図２に、キューブプリズム１９の具体的構成例を示した。前述の凸面形状の断面を有するシリンドリカルレンズ（以下、凸状シリンドリカルレンズと略称する）２１Ａ，凹面形状の断面を有するシリンドリカルレンズ（以下、凹状シリンドリカルレンズと略称する）２１Ｂを備えたキューブプリズム１９は、スピナーミラー装置１６の回転軸１８と一体的に回転するように固着された回転軸１８に嵌合されたホルダ２４によって、強固に保持されている。
【００２８】
ここでは、前述のように、ビームスポットの形状を、主走査方向のビーム径が副走査方向のビーム径より小さなスポット（すなわち、副走査方向に長い楕円形状のスポット）にするため、入射される光ビームの主走査方向のビーム径を前述の凸状シリンドリカルレンズ２１Ａによって縮小し、その後、前述の凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂによって拡大するものである。
【００２９】
より具体的には、キューブプリズム１９は、全反射ミラー面１９Ｂを有するプリズム１９Ｃと、これと対称の形状を有するプリズム１９Ａからなる立方体形状ブロックの入射面側に上記凸状シリンドリカルレンズ２１Ａを、また、この凸状シリンドリカルレンズ２１Ａから入射した光ビームが全反射ミラー面１９Ｂで反射されて進む方向に、上記凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂとが配設されて構成されている。
【００３０】
上記各部材は全体として強固に一体的に張り合わされており、さらに、このキューブプリズム１９は回転軸１８に固定されたホルダ２４に固着されている。また、ここで、上記各部材は、スピナーミラー装置１６の高速回転に十分に対応できるよう、入射ビーム光軸と一致する回転軸中心に対して、極めて正確な対称性を持つように構成されている。
【００３１】
入射ビームがこのように配設された光路を通ることにより、本実施形態に係るキューブプリズム１９においては、入射される光ビームの副走査方向のビーム径については、図２の上部に示すように、当初のビーム形状（図２中の、破線で示される形状）に対して広がった形状（図２中の、実線で示される形状）に整形される。
【００３２】
なお、上述の凸状シリンドリカルレンズ２１Ａ並びに凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂの焦点距離は、光ビームのこれらのレンズによる縮小・拡大後の焦点位置が、光ビームが（これらの凸状シリンドリカルレンズ２１Ａ並びに凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂを透過せずに、直接）集光レンズ２８のみを透過した場合の焦点位置に一致させるように設計されている。
【００３３】
また、上記光ビームの主走査方向のビーム径については、ここでは、入射される光ビームが、２つのシリンドリカルレンズのいずれも軸方向に当たることから、全く変化することなく、広がらずにシャープなまま維持される。この結果、本実施例においては、キューブプリズム１９から出射される光ビームの形状は、主走査方向のビーム径が縮小された扁平楕円形状となる。なお、これについては、図３並びに図６を用いて後に詳述する。
【００３４】
まず、図３は、本実施形態に係るキューブプリズム１９の構成をより詳細に示した斜視図である。図において、２１Ａは凸状シリンドリカルレンズ、２１Ｂは凹状シリンドリカルレンズ、そして２１Ｃは凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂと同じ質量を有するバランス調整用のダミー（プリズム）である。
【００３５】
図３においては、左側から入射される光ビームが、入出射面（入射光Ｌａと出射光Ｌｂを含む面）内で、まず、凸状シリンドリカルレンズ２１Ａにより縮小され、次いで、キューブプリズム１９の全反射ミラー面１９Ｂで上方に（ここでは、直角に）反射され、さらに、凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂにより拡大される。なお、この動作は、先に図２を用いて説明した通りである。
【００３６】
図３中に、出射面から出射される出射光の断面形状（整形されたビームの断面形状）を模式的に示した。本実施例においては、このように、主走査方向のビーム径が副走査方向のビーム径より小さな扁平楕円形状の断面を有するビームを得ることができ、これを用いてインナードラム露光装置において記録材料に画像記録を行うことにより、従来の露光装置より高画質な記録を行うことが可能になる。
【００３７】
これは、前述のように、光ビームをその主走査方向のビーム径が副走査方向のビーム径より小さな扁平楕円形状の断面を有するビームの場合には、図４に示すように、半値幅５μｍのガウス分布状ビームの副走査方向に沿った長さが拡大されるため、主走査方向に対してシャープな状態となるためである。
【００３８】
これを、従来のガウス分布状ビームスポット形状である半値幅８.８μｍ（１／ｅ２幅１５μｍ）にした場合を示す図５と比較すると、従来のガウス分布状ビームスポット形状が、主走査方向のビームスポット形状がなだらかに末広がりとなることからも、効果の相違が明白である。
【００３９】
また、本実施例においては、キューブプリズム１９の凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂとは反対の面（裏側に当たる面）に凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂと実質的に同質量のダミー２１Ｃを配設したことにより、キューブプリズム１９全体として、回転時における質量のバランスを確保するようにして、インナードラム露光装置１０におけるスピナーミラー装置１６を安定に高速回転させることを可能にしている。
【００４０】
本実施例における光源側の光学系は、レーザビームＬを出力する半導体レーザ光源（ＬＤ）３０と、この半導体レーザ光源３０から出射されたレーザビームＬを記録材料１４の露光面上に集光する集光光学系とを有している。半導体レーザ光源３０としては、中心光強度が高く、中心から離れるに従って光強度が徐々に低下する強度分布を有する単一横モード半導体レーザを用いることができる。
【００４１】
本実施形態に係るインナードラム露光装置１０では、上述の扁平楕円形状に整形されたビームがキューブプリズム１９から出射して、インナードラム露光装置１０の支持体１２の内周面にセットされた記録材料１４の露光面上の集光点に、副走査方向に対して扁平楕円形状のスポットとなって集光・照射され、露光処理が行われる。
【００４２】
また、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０では、図１に示したように、スピナーミラー装置１６と半導体レーザ光源３０とを、中央制御装置４０で制御しながら、記録材料１４に画像を記録する作業を行う。このインナードラム露光装置１０では、図示されていない入力装置から露光すべき画像情報を入力し、中央制御装置４０に露光開始指令を送信すると、中央制御装置４０が上記画像情報に基づいて画像信号をレーザドライバ４２に送信する。
【００４３】
レーザドライバ４２は、半導体レーザ光源３０を駆動制御して、画像信号に基づいて変調されたレーザビームＬを出射し、光源側の光学系によってスピナーミラー装置１６側に照射する。これと同時に、中央制御装置４０は、モータ２０を駆動制御して、光源側の光学系からスピナーミラー装置１６（キューブプリズム１９）に入射する光を支持体１２にセットされている記録材料１４に対して主走査方向への走査露光を行うとともに、スピナードライバ２２へ制御信号を送信する。
【００４４】
この制御信号を受信したスピナードライバ２２は、図示されていない副走査移動手段を制御し、スピナーミラー装置１６を等速度で移動走査する。これにより、スピナーミラー装置１６で主走査方向への走査露光を行いながら、スピナーミラー装置１６を副走査方向に移動させて、記録材料１４の記録面全面に対して２次元画像を記録する処理を行う。
【００４５】
次に、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０の作用および動作について詳細に説明する。
【００４６】
本実施形態に係るインナードラム露光装置１０では、中央制御装置４０およびレーザドライバ４２により制御された半導体レーザ光源３０から画像情報に応じて変調され出力されたレーザビームＬが、反射鏡３４と反射鏡３６とに反射され、集光レンズ２８により集光されて、スピナーミラー装置１６（キューブプリズム１９）に入射する。
【００４７】
入射したレーザビームＬは、キューブプリズム１９により主走査方向のビーム径が縮小された扁平楕円形状に整形される。キューブプリズム１９によって扁平楕円形状に整形された光ビームは、記録材料１４上の集光点に、副走査方向に対して扁平楕円形状のスポットとなって集光される。すなわち、このインナードラム露光装置１０では、ビーム整形されて扁平楕円形状のスポットとなり、エッジ部が急峻になったビームスポットが、副走査方向に細長くなる状態が常に維持されることとなる。
【００４８】
つまり、ビームスポットの扁平楕円形状となったスポットの長手方向が副走査方向に沿う状態を常に維持しながら露光を行うことになるので、前述のＦＭスクリーンを記録したときの画像が、光パワーの変動等があっても、記録画素の周長が少しも変動しないようになるとともに、網点画像の割合（網点面積率特性）が急激に変化するのを防止して、ＦＭスクリーンを用いた場合に安定して中間調を表現するよう記録することができる。
【００４９】
次に、本発明の他の実施形態に係るインナードラム露光装置について説明する。
本実施形態に係るインナードラム露光装置も、前述の実施形態と同様に、インナードラム露光装置において、ＦＭスクリーンを用いて、小さな網形状で中間調を表現可能とするために、平行な２つのビームスポットを、主走査方向のビーム径が縮小された扁平楕円形状ビームスポットにすることを特徴とするものである。
【００５０】
図１に示した実施形態に係るインナードラム露光装置１０との相違点は、本実施形態に係るインナードラム露光装置においては、図１に示した実施形態に係るインナードラム露光装置１０のスピナーミラー装置１６のキューブプリズム（図３参照）に代えて、図６に示すようなキューブプリズム２３を用いるようにした点にある。
【００５１】
図３に示したキューブプリズム１９が、光ビームの入射する側に凸状シリンドリカルレンズ２１Ａを、また、光ビームが出射する側に凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂを備えていたのに対して、図６に示したキューブプリズム２３は、光ビームの入射する側に凹状シリンドリカルレンズ２３Ａを、また、光ビームが出射する側に凸状シリンドリカルレンズ２３Ｂを備えている。
【００５２】
このように構成された本実施形態に係るキューブプリズム２３は、キューブプリズム１９とは凸状シリンドリカルレンズおよび凹状シリンドリカルレンズの配設位置を逆にしたものであるが、両者は略同等の作用を有するものである。
【００５３】
すなわち、図３に示したキューブプリズム１９では、一つの軸方向に一度縮小したビームを次にその方向に拡大して、結果として、副走査方向に拡大したビーム径とすることで、主走査方向のビーム径が副走査方向のビーム径より小さな扁平楕円形状の断面を有するビームを得ているが、図６に示したキューブプリズム２３では、一つの軸方向に一度拡大したビームを次にその方向に縮小することで、結果として、主走査方向のビーム径を縮小したビーム径とすることで、主走査方向のビーム径が副走査方向のビーム径より小さな扁平楕円形状の断面を有するビームを得ている。
【００５４】
なお、ここでも、図６に示したキューブプリズム２３においては、出射側の凸状シリンドリカルレンズ２３Ｂと実質的に同形状・同質量のダミー２３Ｃを配設して、スピナーミラー装置の高速回転における振動防止を図っている。
【００５５】
図７（ａ），（ｂ）に、本発明のさらに他の実施形態を示した。まず、図７（ａ）に示した実施形態は、凸状シリンドリカルレンズおよび凹状シリンドリカルレンズ（の少なくとも一方）を、フレネルレンズタイプ（２１ＡＡまたは２１ＢＢ）として形成し、これをキューブプリズム本体に貼り付けることで、質量低減を図ったものである。
【００５６】
なお、図７（ｂ）に示すように、上述のフレネルレンズタイプの凸状シリンドリカルレンズおよび凹状シリンドリカルレンズを、キューブプリズム本体表面に直接形成（２１ＡＡＡまたは２１ＢＢＢ）することも可能であり、この場合には、さらに大きな質量低減効果が得られることはいうまでもない。
【００５７】
なお、図７（ａ），（ｂ）に示した２つの実施形態に係るキューブプリズムの作用については、先に説明した２つの実施形態に係るキューブプリズムの作用と、実質的に同じであるので、詳細な説明は省略する。
【００５８】
図８に、本発明のさらに他の実施形態を示した。本実施形態は、プリズムを変形した例を示すものである。
すなわち、本実施形態に示したスピナーミラー装置３２では、図２に示したキューブプリズム１９中のプリズム１９Ａと対称の形状を有するプリズム１９Ｃを排して、この代わりに全反射ミラー面２６Ｂを有するプリズム２６Ａを配設し、このプリズム２６Ａの周囲にレンズホルダ２４Ａを配設している。
【００５９】
このレンズホルダ２４Ａの前方（光ビーム入射側）には、前述の凸状シリンドリカルレンズ２１Ａを保持するための第１のレンズ保持部２５Ａが、また、レンズホルダ２４Ａの側面（光ビーム出射側）には、前述の凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂを保持するための第２のレンズ保持部２５Ｂが、それぞれ、形成されている。
【００６０】
本実施形態に示したスピナーミラー装置３２では、凸状シリンドリカルレンズ２１Ａおよび凹状シリンドリカルレンズ２１Ｂの保持機構の構成が異なるものの、作用としては、前述の各実施形態と略同様の作用を実現することができる。
なお、本実施形態に示したスピナーミラー装置３２では、バランス調整用のダミー（図３中の２１Ｃ等）は省略することが可能である。
【００６１】
なお、上記各実施形態は、いずれも本発明の一例を示したものであり、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更や改良を行ってもよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の一実施形態に係るインナードラム露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示したインナードラム露光装置のスピナーミラー装置の構成の詳細を示す図である。
【図３】図２に示したスピナーミラー装置に用いるキューブプリズムの詳細な構成を示す図である。
【図４】図１に示したインナードラム露光装置において形成される、扁平楕円形状に整形されたビームスポットを示す図である。
【図５】従来技術による、１つのビームスポットを示す図である。
【図６】他の実施形態に係るインナードラム露光装置のスピナーミラー装置の構成の詳細を示す図である。
【図７】他の実施形態に係るインナードラム露光装置のスピナーミラー装置に用いるキューブプリズムを示す図である。
【図８】他の実施形態に係るインナードラム露光装置のスピナーミラー装置に用いるキューブプリズムを示す図である。
【符号の説明】
【００６３】
１０  インナードラム露光装置
１２  支持体
１４  記録材料
１６  スピナーミラー装置
１８  回転軸
１９  キューブプリズム
１９Ａ  プリズム
１９Ｂ  全反射ミラー面
１９Ｃ  プリズム（ダミー）
２１Ａ  凸状シリンドリカルレンズ
２１ＡＡ，２１ＡＡＡ  凸状シリンドリカルレンズ（フレネルタイプ）
２１Ｂ  凹状シリンドリカルレンズ
２１ＢＢ，２１ＢＢＢ  凹状シリンドリカルレンズ（フレネルタイプ）
２１Ｃ  ダミー
２３  キューブプリズム
２３Ａ  凹状シリンドリカルレンズ
２３Ｂ  凸状シリンドリカルレンズ
２３Ｃ  ダミー
２４  ホルダ
２４Ａ  レンズホルダ
２６Ａ  プリズム
２６Ｂ  全反射ミラー面
２８  集光レンズ
３０  半導体レーザ光源
３４，３６  反射鏡
Ｌ  レーザビーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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