(57)【要約】      （修正有）【課題】液中及び液外において電子部品を搬送できる、簡易な構成の電子部品移動装置及び電子部品移動方法を提供する。【解決手段】電子部品１０３を保持するための電子部品収容凹部１３９を備えるトレイ１０９を用いて、電子部品１０３を液中及び液外において移動するための電子部品移動装置１０１であって、トレイ１０９が取り外し可能に装着されるトレイ保持部材１１１と、トレイ保持部材１１１を移動する移動手段１３５と、を備え、トレイ１０９の電子部品収容凹部１３９に収容されている電子部品１０３が液面１４７上及び液面１４７近傍に位置する際、液面１４７と、液面１４７と交差する電子部品１０３の面と、が所定の傾斜角度αを形成する。【選択図】図１
2006199400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を収容保持するための電子部品収容凹部を備えるトレイを用いて、前記電子部品を液中及び液外において移動するための電子部品移動装置であって、
前記トレイが取り外し可能に装着されるトレイ保持部材と、
前記トレイ保持部材を移動する移動手段と、を備え、
前記トレイの電子部品収容凹部に収容されている前記電子部品が液面上及び液面近傍に位置する際、液面と、液面と交差する前記電子部品の面と、が所定の傾斜角度を形成することを特徴とする電子部品移動装置。
【請求項２】
前記トレイを前記所定の傾斜角度に保持した状態で、前記移動手段により前記液面に対して略鉛直方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の電子部品移動装置。
【請求項３】
前記トレイを前記所定の傾斜角度に保持した状態で、前記移動手段により前記液面に対して前記所定の傾斜角度で移動させることを特徴とする請求項１に記載の電子部品移動装置。
【請求項４】
前記所定の傾斜角度は、約５度〜約２０度の範囲であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子部品移動装置。
【請求項５】
前記移動手段により前記トレイ保持部材を約１６ｍｍ／ｓ〜約４８ｍｍ／ｓの速度で移動することを特徴とする請求項２又は４に記載の電子部品移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品移動装置に関する。具体的には、積層チップ部品や薄膜ヘッド等の微小な電子部品が載置された略平板状のトレイを液中と液外の間を移動する際に、電子部品をトレイに確実に保持できる電子部品移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子部品を洗浄するために洗浄液外から液中に電子部品を搬送したり、洗浄後に電子部品を洗浄液中から液外に搬送するために、種々の電子部品移動装置が利用されている。
【０００３】
例えば、ウエハ状の部材から切り出された磁気ヘッドスライダ等の電子部品は、その切断面に加工残渣や、接着材等が付着している。このような状態の電子部品を用いて作製した完成品は、寸法誤差、不純物等の混入により所望の性能を発揮しない場合がある。そこで、切り出された電子部品が、次の工程に移る前に洗浄することが行われている。
【０００４】
以下に具体例を説明する。図７は、従来の電子部品の洗浄用治具の断面図である。洗浄用治具７０１は、上治具７０３と、下治具７０５とからなる。下治具７０５には、キャビティ７０７が形成され、このキャビティ７０７内に洗浄される電子部品７０９が配置される。上治具７０３を下治具７０５に組み付けると、電子部品７０９がキャビティ７０７内に固定される。
【０００５】
キャビティ７０７は、洗浄液を供給するための供給通路７１１と、洗浄液を排出するための排出通路７１３とに連通している。よって、洗浄液タンク（不図示）から送液ポンプ（不図示）により供給通路７１１に供給された洗浄液が、キャビティ７０７内に流入し電子部品７０９が洗浄される。使用した洗浄液は、排出通路７１３を介して洗浄用治具７０１の外部に排出される（例えば、特許文献１）。
【０００６】
また、図８は、他の従来の電子部品の被洗浄物保持具の分解図である。被洗浄物保持具８０１は、第１保持部８０７、第２保持部８０９、及び第３保持部８１１とからなる。第１保持部８０７は、電子部品８０３を収納するための複数の貫通孔８０５を備える。第１保持部８０７の下面には網状部材８１３が貼付され、電子部品８０５が落下することを防止する。第１保持部８０７の上面側には、第２保持部８０９が装着されている。第２保持部８０９は、枠体に網状部材８１５が貼付されたものであり、第１保持部８０７の電子部品８０５が上方から飛び出さないようにしてある。第３保持部８１１は、第２保持部８０９の枠体と同じ寸法、同じ形状であり、第１保持部８０７が第２保持部８０９と第３保持部８１１との間で挟持される。
【０００７】
電子部品８０３を洗浄するために、被洗浄物保持具８０１を洗浄液が入った槽内に浸漬する。洗浄液は、第１保持部８０７及び第２保持部８０９の網状部材８１３等を介して電子部品８０３に到達し、被洗浄物保持具８０１を回転等することにより電子部品８０３が洗浄される（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開平９−２９８１７９号公報（段落番号〔０００９〕〜段落番号〔００１２〕、第５図）
【特許文献２】特開平６−１０３５１１号公報（段落番号〔０００８〕）、第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記特許文献１及び２の構成では、治具や保持具に電子部品が挟持された状態で洗浄される。治具、保持具等は何度も使用するものであるから、使用される度に治具も洗浄される。しかしながら、特許文献１の治具の網状部材や、特許文献２の保持具は、その構造の複雑さから完全に洗浄することが困難である。よって、加工残渣、ゴミ等が治具、保持具自体に付着して残ってしまう恐れがある。そうすると、次に治具等を使用した場合、電子部品を汚染する恐れがある。
【０００９】
さらに、引用文献１のように電子部品を挟持するために、電子部品を治具に取り付ける際、特許文献２のように保持具内で電子部品が自由に動き、電子部品と保持具が接触する際、電子部品にごみ等が発生し汚染される恐れがある。
【００１０】
上記した汚染された電子部品から作製された製品は、所望の性能を発揮しないことが考えられ好ましくない。
【００１１】
そこで、本発明者等は、上記事象を鑑みて、液中及び液外において電子部品がトレイと接触、非接触を繰り返すことによりごみの発生のないような構成、すなわち、個々の電子部品を収容する電子部品収容凹部を備える、略板状部材のトレイの使用を鋭意検討した。しかし、電子部品を単に電子部品収容凹部に収容しただけでは、液外と液中との間を搬送する際に、電子部品が電子部品収容凹部から脱落することがある。
【００１２】
また、発明者等は、液面近傍に電子部品が存在する場合に、電子部品に対して表面張力が働き電子部品がトレイから脱落するという知見を得た。図６を参照して表面張力について簡単に説明する。図６は、トレイ１０９の電子部品収容凹部すなわちスライダ収容凹部１３９内に載置された電子部品である磁気ヘッドスライダ１０３の上面１０３ａが、液面１４７より僅かに低い状態を示す。スライダ１０３の上面１０３ａは液面１４７ａ、ｂと略平行になるように載置されている。スライダ１０３の上面１０３ａに対して右側液面１４７ａの表面張力による矢印１４９方向へ引っ張る力が働き、さらに、スライダ１０３の上面１０３ａに対して左側液面１４７ｂの表面張力による矢印１５１方向へ引っ張る力が働く。すなわち、スライダ１０３には、引っ張り力１４９、１５１の鉛直成分１４９ａ、１５１ａの力がかかることで、スライダ１０３が鉛直方向にスライダ収容凹部１３９から引き上げられ、液面にばらまかれてしまうことがある。
【００１３】
よって、スライダ１０３等の電子部品に加わる引っ張り力の鉛直成分１４９ａ、１５１ａが生じてもスライダがトレイから分離することを防止し、電子部品を確実に保持できる電子部品移動装置を提供する必要がある。
【００１４】
そこで、本発明は、洗浄工程において電子部品を汚染する恐れがなく、電子部品を確実に保持しつつ、液中と液外との間の電子部品の移動を可能とする電子部品移動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するための本発明の電子部品移動装置は、電子部品を保持するための電子部品収容凹部を備えるトレイを用いて、前記電子部品を液中及び液外において移動するための電子部品移動装置であって、前記トレイが取り外し可能に装着されるトレイ保持部材と、前記トレイ保持部材を移動する移動手段と、を備え、前記トレイの電子部品収容凹部に収容されている前記電子部品が液面上及びを液面近傍に位置する際、液面と、液面と交差する前記電子部品の面と、が所定の傾斜角度を形成する。
【００１６】
上記の構成によれば、液面と交差する電子部品の面（例えば、上面と左側面）に表面張力が作用するものの、上面及び左側面に作用する表面張力の水平方向成分は、互いに対向する方向へ作用するので相殺され、液面に対して鉛直方向の成分のみが上面及び左側面に働く。他方、電子部品の左側面が当接する側壁は、垂直方向に対して所定の傾斜角度だけ傾いている。よって、電子部品に対して略鉛直方向の力が作用すると、電子部品が側壁に対して押し付けられ、電子部品収容凹部から離脱する方向への電子部品の移動を妨げる。この様に、電子部品に作用する表面張力の鉛直方向成分と、電子部品収容凹部の底壁から開口部への側壁の延在する方向とをずらすことにより、スライダが液面近傍に位置する場合及び液面上に位置する場合において表面張力によりトレイから外れることを防止できる。
【００１７】
また、本発明の電子部品移動装置の第１の態様では、前記トレイを前記所定の傾斜角度に保持した状態で、前記移動手段により前記液面に対して略鉛直方向に移動させる。
【００１８】
また、本発明の電子部品移動装置の第２の態様では、前記トレイ保持手段を前記所定の傾斜角度に保持した状態で、前記移動手段により前記液面に対して前記所定の傾斜角度で移動させる。
【００１９】
この第２の態様では、液面に対する電子部品の面の傾斜角度の方向と、トレイの移動方向と、を一致させることにより、液面に対して垂直方向にトレイを移動させる場合に比較して液体からの抵抗が少ないので効率的にトレイの移動を可能にすることができる。
【００２０】
さらに、本発明の電子部品移動装置は、前記所定の傾斜角度は、約５度〜約２０度の範囲である。
【００２１】
傾斜角度が５度より小さいと、トレイに収容された電子部品が液面を通過する際、液面と交差する面に生じる引っ張り力の鉛直方向成分によっては、電子部品を壁面に当接する方向への力が十分に生じず（側壁と引っ張り力の鉛直方向成分とが略整合するため）、トレイから離脱する恐れがある。傾斜角度が２０度より大きい場合でも、液面と交差する面にのみ表面張力が加わっている状態であるが、表面張力により電子部品の重心回りのモーメントが生じ、電子部品がトレイの電子部品収容凹部から離脱する恐れがある。
【００２２】
さらに、本発明の電子部品移動装置の第１の態様では、前記移動手段により前記トレイ保持部材を約１６ｍｍ／ｓ〜約４８ｍｍ／ｓの速度で前記液面に対して略鉛直方向に移動する。
【００２３】
速度が１６ｍｍ／ｓより低速であると、電子部品が液面を横切るために要る時間が長くなることにより、電子部品が表面張力を受ける時間も長くなり、外乱等によって電子部品がトレイから分離する可能性が増す。
【００２４】
速度が４８ｍｍ／ｓより高速の場合には、電子部品に対する流体抵抗が大きくなり、そのために発生する液体中の乱流によってトレイから電子部品が脱落する恐れがある。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の電子部品移動装置によれば、液面に対して、トレイ受け部材を所定の傾斜角度を以って移動させるので、液中から液外への移動、若しくは液外から液中への移動に拘わらず、液面の表面張力の影響を受けることなく、電子部品を確実にトレイに保持できる。さらに、前述の特許文献２のように液中及び液外において電子部品がトレイと接触、非接触を繰り返すことがないので、こみ等が発生することを防止でき、結果として電子部品の汚染を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明による電子部品移動装置の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、図面において、同じ符号は同一部材を示す。
【００２７】
図１は、本発明の第１実施形態の電子部品移動装置の正面図である。図５は、第１の実施形態の電子部品移動装置を適用した洗浄装置を示す部分断面図である。図１中、電子部品移動装置１０１が、被洗浄物（電子部品）すなわちスライダ１０３を洗浄するための洗浄液１０５が満たされた貯留槽（不図示）内に配置されている。
【００２８】
第１の実施形態の電子部品移動装置１０１は、主として、スライダ１０３が配置された略平板状トレイ１０９を保持するためのトレイ保持手段、すなわちトレイ受け部材１１１と、トレイ受け部材１１１に連結した駆動部１３５と、を備える。
【００２９】
さらに、図５を参照して、トレイ１０９及び電子部品移動装置１０１について説明する。トレイ１０９は、複数の断面略矩形状の電子部品収容凹部すなわちスライダ収容凹部１３９をトレイの一面（図５中において上面）に備え、各スライダ収容凹部１３９内に略直方体のスライダ１０３が収容される。また、スライダ収容凹部１３９の底面１３９ａには、トレイ１０９を図中上下方向に貫通する吸引孔１４１が連続している。吸引孔１４１の径１４１ａは、底面１３９ａの図中における左右方向長さ１３９ｂより小さくなるように寸法付けされ、スライダ１０３がスライダ収容凹部１３９に収容されると、吸引孔１４１がスライダ１０３により塞がれた状態となる。
【００３０】
トレイ１０９の下面側に装着されるのは、トレイ受け部材１１１である。トレイ受け部材１１１は、開口部１１２ａを備える略矩形状の枠体１１２と、枠体１１２から図中において矢印１１５方向に延在する柱状の支持部１３７とを備える。トレイ受け部材１１１の枠体１１２と支持部１３７とは、後述するように軸を用いる軸結合で連結されている（図１参照。）。枠体１１２の開口部１１２ａは、トレイ１０９の吸引孔１４１の存在する領域全てを上回る大きさであって、トレイ１０９がトレイ受け部材１１１に装着された状態では各吸引孔１４１と開口部１１２ａは直接連通する構成である。なお、枠体１１２は、４つの枠体構成部材を矩形状に連結することにより形成される。一方の対向する枠体構成部材１１２ｂ、１１２ｃの幅（図５中の横方向長さ）は互いに異なり、枠体構成部材１１２ｂの幅は枠体構成部材１１２ｃの幅より小さく寸法付けされている。他方の対向する枠体構成部材１１２ｄ（図１参照）の幅は、同寸法である。枠体構成部材１１２ｃには支持部１３７が接続している。支持部１３７には駆動部１３５が連結し、駆動部１３５を駆動すると支持部１３７が昇降しトレイ受け部材１１１が上下方向（矢印１１５方向）に移動する。
【００３１】
さらに、トレイ受け部材の構成について図１を参照して説明する。図２は、電子部品移動装置が液中から液外へ移動する状態を示す正面図である。
【００３２】
トレイ受け部材１１１の枠体１１２と支持部１３７とは、軸１１９を用いる軸結合で連結されている。軸１１９は、後述する中心線１１１ａと直交し、枠体１１２の枠体構成部材１１２ｃと支持部１３７を直線上に貫通する（図１の紙面に対して表裏方向）不図示の穴に装着されている。この構成により、軸１１９を中心として枠体１１２が支柱部１３７に対して枢動可能（矢印１５５方向）となっている。
【００３３】
また、トレイ１０９がトレイ受け部材１１１が装着された状態では、トレイ１０９のスライダ収容凹部１３９の底面１３９ａと、トレイ受け部材１１１の枠体１１２の枠体構成部材１１２ｄを高さ方向（上面１１２ｅと下面１１２ｆに鉛直な方向）に略２等分する中心線１１１ａとは略平行となる構成である。よって、トレイ受け部材１１１を枢動させることにより、枠体１１２の中心線１１１ａと液面１４７との間の傾斜角度αを変化させることができる。
【００３４】
次に電子部品移動装置の第２の実施形態について説明する。図４は、第２の実施形態の電子部品移動装置を示す正面図である。
【００３５】
第２実施形態の電子部品移動装置３０１は、主として、スライダ３０３が配置されたトレイ３０９を保持するためのトレイ保持手段、すなわちトレイ受け部材３１１と、トレイ受け部材３１１を所定方向に移動させるためのトレイガイド部材３１３と、トレイガイド部材３１３を所定の方向に移動させるためのトレイ駆動部３３５と、を備える。
【００３６】
スライダ３０３を載置するためのトレイ３０９と、トレイ３０９が装着されるトレイ受け部材３１１は、第１実施形態のトレイ及びトレイ受け部材と同じ構成である。従って、図５に示した第１実施形態のトレイ受け部材１１１の開口部１１２ａと同様に、トレイ受け部材３１１には開口部３１２が設けられている。すなわち、トレイ受け部材３１１の開口部３１２は、トレイ３０９の吸引孔３４１の存在する領域全てを上回る大きさであって、トレイ３０９がトレイ受け部材３１１に装着された状態では、各吸引孔３４１と開口部３１２は直接連通する構成である。
【００３７】
トレイ受け部材３１１の下側には、トレイガイド部材３１３が装着されている。トレイガイド部材３１３は、矩形状の板状部材であり、トレイ受け部材３１１の開口部３１２と連通する開口部３１３ｅを備えている。開口部３１３ｅの幅方向寸法（中心線３１３ｄ方向に沿った長さ）とトレイ３０９の開口部３１２の幅方向寸法とは略同じである。また、開口部３１３ｅは、吸引アタッチメント（図５の２０３参照。）の内部空間（図５の２０９参照。）と連通する構成である。
【００３８】
さらに、トレイガイド部材３１３は、突起部３１３ａをトレイガイド部材３１３の上面３１３ｃに備える。突起部３１３ａの内面３１３ｂと、上面３１３ｃとは略直角に連続し角部を構成する。他方、トレイ受け部材３１１の側面３１１ｂと底面３１１ｃとが略直角に連続している。よって、トレイ受け部材３１１の側面３１１ｂ及び底面３１１ｃにより構成される角部が、トレイガイド部材３１３の突起部３１３ａにより形成される角部で係止される。
【００３９】
また、トレイガイド部材３１３は、トレイガイド部材３１３の側面３１３ｇを高さ方向（上面３１３ｃ及び下面３１３ｆに対して鉛直な方向）に略２等分する中心線３１３ｄが液面３４７に対して傾斜角度αとなるように配置されている。また、トレイガイド部材３１３の中心線３１３ｄとスライダ３０３の上面３０３ａとは、略平行であるので、トレイガイド部材３１３の液面３４７に対する傾斜角度αを設定すると、スライダ３０３の上面３０３ａと液面３４７に対する傾斜角度が規定される。
【００４０】
さらに、トレイガイド部材３１３は、突起部３１３ａに関して中心線３１３ｄ方向に対向する側面３１３ｈにおいて、トレイガイド部材３１３を移動させるためのトレイ駆動部３３５が連結している。このトレイ駆動部３３５により、トレイガイド部材３１３をその中心線３１３ｄに沿って移動する（矢印３４１方向）。よって、中心線３１３ｄと液面３４７とが傾斜角度αを保持した状態でスライダが液中から液外へ移動される。
【００４１】
なお、トレイガイド部材３１３とトレイ駆動部３３５との間には、角度変更機構が介在しており、トレイガイド部材３１３を吸引アタッチメント２０３に装着するために、トレイガイド部材３１３の中心線３１３ｄが略水平状態になるようにトレイガイド部材３１３を回転揺動できる。
【００４２】
第２実施形態の電子部品移動装置は、トレイを液面に対して傾斜角度を有した状態で、かつ、液面に対する当該傾斜角度方向にトレイを移動するので、第１実施形態の電子部品移動装置と比較して、移動に際する流体抵抗が少ない。よって、電子部品移動装置の移動速度などの制御が容易になる。
【実施例１】
【００４３】
次に本発明の第１実施形態である電子部品移動装置１０１を洗浄装置に適用した実施例について図５を参照して説明する。図５は、第１の実施形態の電子部品移動装置を適用した洗浄装置の部分断面図である。
【００４４】
電子部品移動装置１０１の下方には、吸引部２０１が配置されている。吸引部２０１は、液中においてスライダ１０３を固定的に配置するための部材であり、主として、吸引アタッチメント２０３と、吸引アタッチメント２０３に連結する導管２０５と、吸引源すなわち液体ポンプ２０７と、を備える。吸引アタッチメント２０３は、図５中において上面側が開放した開口２０３ａを備える箱形状である。また、吸引アタッチメント２０３は、液体１０５が満たされている貯留槽（不図示）内に固定的に配置されている。なお、本実施例では、液体（洗浄液）１０５として純水を用い、スライダ１０３として、酸化アルミニウム及び炭化チタンを主成分とするセラミック材料からなる薄膜ヘッドスライダを用いた。
【００４５】
吸引アタッチメント２０３の開口２０３ａの幅方向長さ（図５における左右方向長さ）は、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａの幅方向長さ（図５における左右方向長さ）より僅かに長くなるように寸法付けされている。そして、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａと吸引アタッチメント２０３の開口２０３ａとが略同心となる位置関係でトレイ受け部材１１１と吸引アタッチメント２０３とが連結される。
【００４６】
さらに、吸引アタッチメント２０３の底部２０３ｂには導管２０５が連結し、内部空間２０９が導管２０５と連通している。また、導管２０５は、液体ポンプ２０７に対してチューブ２１１により連結している。このように、トレイ受け部材１１１の開口部１１２ａ、吸引部２０１の吸引アタッチメント２０３の内部空間２０９、導管２０５、チューブ２１１は、吸引回路を構成する。よって、液体ポンプ２０７により発生する吸引力は、吸引回路及びトレイ１０９の吸引孔１４１を介してスライダ１０３に対して伝達される。
【００４７】
上記構成において、液体ポンプ２０７を駆動させると、スライダ１０３に対して矢印２１３方向への吸引力が働き、トレイ１０９のスライダ収容凹部１３９に保持される。また、液体ポンプ２０７による吸引力で液体が導管内部２１９を矢印２１５、２１７方向に進み、最終的にポンプ２０７に導かれる。ポンプ２０７内に導かれた液体は不図示の排出口からポンプ外部へ排出される。
【００４８】
さらに、洗浄装置の作動について図１、図２、図５を参照して説明する。
図５に示すように、はじめに電子部品移動装置１０１は液中において吸引部２０１と連結している。すなわち、吸引アタッチメント２０３の上面側にトレイ受け部材１１１が連結し、前述の吸引回路が形成されている。この状態では、吸引部２０１の液体ポンプ２０７を駆動しているので、スライダ１０３に対してトレイ受け部材１１１方向（矢印２１３）への吸引力が働いているので、スライダ１０３は確実に保持される。
【００４９】
さらに、吸引部２０１の液体ポンプ２０７を駆動させたまま、駆動部１３５によりトレイ受け部材１１１を上昇させると、吸引アタッチメント２０３とトレイ受け部材１１１とが分離する。この時、液体ポンプ２０７の吸引力により、吸引アタッチメント２０３の周りの液体が、内部空間２０９内へ流入する。結果として、スライダ１０３にはトレイ１０９に対して押し付けられる方向（矢印２１３）の吸引力が維持され、スライダ１０３がトレイ１０９に保持されている。
【００５０】
次に、図１に示されるように、駆動部１３５を駆動させてトレイ１０９が液面１４７に対して所定の傾斜角度αとなるようにトレイ受け部材１１１の枠体１１２を軸１１９周りに（矢印１５５方向）枢動させる。
【００５１】
さらに、駆動部１３５を駆動させてトレイ１０９を上昇させていくと液面１４７近傍にスライダ１０３が達し、液面１４７の表面張力がスライダ１０３に作用する。この状態が図２に示されている。
【００５２】
図２は、電子部品移動装置１０１の上昇工程を示す部分断面図である。図３は、図２のIII部分の拡大図である。以下に、本実施形態における電子部品移動装置を使用する場合におけるスライダに生じる表面張力について説明する。
【００５３】
図３は、スライダ１０３の上面１０３ａと左側面１０３ｃとが形成する角部１０３ｅより僅かに上側に液面１４７がある状態を示す。スライダ１０３の上面１０３ａには、右側液面１４７ａの表面張力により矢印１４９方向へ引っ張る力が働き、さらに、スライダ１０３の左側面１０３ｃには、左側液面１４７ｂの表面張力により矢印１５１方向へ引っ張る力が働く。結果として、上向きの引っ張り力１５３がスライダ１０３の上面１０３ａと左側面１０３ｃに作用する。上向きの引っ張り力１５３により、スライダ１０３をスライダ収容凹部１３９の側壁１３９ｂに当接するような力が作用する。このように、側壁１３９ｂが、トレイ１０９の上面１０９ａを直交する方向に延在する構成において、側壁の延在する方向を、液面に対する垂直方向に対してずらした関係とすることで、スライダ収容凹部から離脱することを防止できる。
【００５４】
このように、トレイ受け部材１１１を所定角度αだけ傾斜させて、スライダ１０３を移動することにより、吸引力を吸引孔に付与できない区間があっても、トレイから取り外そうとする表面張力に抗してスライダを確実に保持できる。
【００５５】
なお、上記傾斜角度αが約５度〜約２０度の範囲内である場合には、スライダ１０３がトレイ１０９から離脱することはなかった。また、トレイ受け部材１１１の速度が、液面に対して略鉛直方向に約１６ｍｍ／ｓ〜約４８ｍｍ／ｓの範囲内である場合には、スライダ１０３がトレイ１０９から離脱することはなかった。
【実施例２】
【００５６】
第２実施形態である電子部品移動装置１０１を洗浄装置に適用した実施例２について簡単に説明する。なお、実施例２においても、上述の実施例１と同様に、液体（洗浄液）として純水を用い、スライダ３０３として、酸化アルミニウム及び炭化チタンを主成分とするセラミック材料からなる薄膜ヘッドスライダを用いた。
【００５７】
まず、電子部品移動装置３０１のトレイガイド部材３１３が、図５と同様に液体中に配置された吸引部２０１の吸引アタッチメント２０３に装着されている。トレイ受け部材３１１の開口部（図１の１１２ａ参照。）、吸引部の吸引アタッチメント（図１の２０３参照。）の内部空間（図１の２０９参照。）、トレイガイド部材３１３の開口部３１３ｅ、導管（図１の２０５参照。）、チューブ（図１の２１１参照。）から、吸引回路を構成する。この状態では、液体ポンプ（図１参照）等によりスライダ３０３に対してトレイ受け部材３１１方向への吸引力が働いているので、スライダ３０３は確実に保持される。
【００５８】
次に、トレイガイド部材３１３の中心線３１３ｄが液面３４７に対して所定の傾斜角度αとなるようにトレイガイド部材３１３を枢動させると共に、吸引アタッチメントとトレイガイド部材３１１の結合が解除される。
【００５９】
そして、図４に示すように、トレイガイド部材３１３は、その中心線３１３ｄに沿って、駆動部材３３５により移動し、スライダ３０３を液外へと移動させる。スライダ３０３と液面３４７との関係は、図３に示された関係と同様となる。すなわち、トレイガイド部材３１３を液面３４７に対して傾けて、スライダ３０３の上面３０３ａと液面３４７とが所定の傾斜角度αである場合には、スライダ３０３が液面にばらまかれてしまうことを回避できる。よって、スライダ３０３に生じる表面張力に抗して、スライダ３０３とスライダ収容凹部３３９との係合状態が確保される。
【００６０】
なお、上記傾斜角度αが約５度〜約２０度の範囲内である場合には、スライダ３０３がトレイ３０９から離脱することはなかった。
【００６１】
実施形態及び実施例において使用したトレイは、断面矩形状のスライダ収容凹部としたが、この形状に限定されない。すなわち、トレイの表面にスライダを載置する領域を囲むように突起を形成した構成であっても良い。
【００６２】
さらに、トレイには、吸引孔を設ける構成としているが、液中においてスライダを吸引する必要がない場合には備える必要はないことは言うまでもなく、スライダ等の電子部品と液面とが所定傾斜角度にできるトレイであればトレイの形状は適宜変更できる。
【００６３】
実施形態及び実施例において、液中にあるスライダを液外に搬送する工程についてのみ説明したが、液外にあるスライダを液中に搬送する工程は、液中から液外への作動と逆の工程により実施可能であることは言うまでもない。
【００６４】
また、実施形態及び実施例では、第２吸引アタッチメントを固定的に配置し、トレイ受け部材のみを上下方向に移動可能としたが、第２吸引アタッチメントを上下方向に移動できる構成としても良いことは言うまでもない。
【００６５】
実施形態及び実施例において、電子部品としてスライダを用いたが、他の積層チップ等の他の微細電子部品を使用できることは言うまでもない。
【００６６】
実施形態及び実施例において、駆動部が連結されたトレイ保持部材の上面側に連結された構成としたが、トレイ保持部材の下面側に装着され昇降する構成としてもよい。
【００６７】
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の第１実施形態の電子部品移動装置を示す正面図である。
【図２】図１の電子部品移動装置を上昇させている状態を示す図である。
【図３】図２のIII部分の拡大図である。
【図４】本発明の第２実施形態の電子部品移動装置を示す正面図である。
【図５】本発明の第１実施形態の電子部品移動装置を適用した実施例である洗浄装置の部分断面図である。
【図６】スライダに働く表面張力を示す図である。
【図７】従来の洗浄装置で使用される治具の断面図である。
【図８】他の従来の洗浄装置で使用される保持具の展開図である。
【符号の説明】
【００６９】
１０１、３０１        電子部品移動装置
１０３、３０３        スライダ
１０９、３０９        トレイ
１１１、３１１        トレイ受け部材
３１３                トレイガイド部材
１３５、３３５        駆動部
２０７                液体ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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