(57)【要約】 【課題】  回転する測定対象物の回転軸傾き量を正確に測定可能な光学測定装置及び光学測定方法並びに回転軸傾き検査システムを提供する。【解決手段】  投光素子２１から出射され回転装置１０にて回転されるディスクＷの上面で反射した光のうち所定のタイミングで電子シャッタ２４を開いて通過した光が二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射され、制御部２６は、複数回転に分けて二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射される複数の光の少なくとも３つの照射ポイントに基づいて生成される座標データのＸ軸方向とＹ軸方向の差（ｘ１ーｘ２，ｙ１ーｙ２）からディスクＷの回転軸傾き量を測定する。【選択図】  図１
2006208336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転装置にて回転される円盤状の測定対象物の回転軸傾き量を測定する光学測定装置であって、
光を出射する投光手段と、
前記投光手段から出射され前記測定対象物で反射した光のうち所定のタイミングでシャッタを開くことにより通過した光を撮像面に照射させる撮像手段と、
前記撮像手段の撮像面に照射される光の照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する測定手段とを備え、
前記測定手段は、前記測定対象物の複数回転に分けて取得する少なくとも３つの異なる前記照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定することを特徴とする光学測定装置。
【請求項２】
連続して得られる少なくとも３つの異なる照射ポイントにおける前記測定対象物の回転角度は、先に連続する２つの照射ポイントを得るのに回転した前記測定対象物の回転経路上の回転角度が、次に連続して得られる照射ポイントの回転角度とされていることを特徴とする請求項１記載の光学測定装置。
【請求項３】
前記回転装置は、前記測定対象物を回転させる回転駆動手段と、前記回転駆動手段により回転する測定対象物の回転角度に応じた角度信号を出力する角度信号出力手段とを備えて構成されているものにおいて、
請求項１又は請求項２記載の光学測定装置は、
前記角度信号出力手段から出力される角度信号を入力する入力手段と、
前記シャッタを開くタイミングを制御するシャッタ制御手段とを備え、
前記シャッタ制御手段は、前記入力手段を介して前記角度信号が入力されるように構成されるとともに、前記回転角度が所定角度変化するごとに前記シャッタを開くように制御することを特徴とする光学測定装置。
【請求項４】
前記測定手段は、前記撮像手段の撮像面に照射される異なる照射ポイントのうち、略９０度ごとに異なる４つの角度に対応する照射ポイントに基づき前記測定対象物の回転軸傾き量を測定するものであって、
前記各角度の近傍の照射ポイントを補助データとし、当該補助データに基づき前記測定対象物の回転軸傾き量を測定することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光学測定装置。
【請求項５】
前記投光手段から出射された光を平行光にするコリメータレンズが備えられており、このコリメータレンズを透過した平行光は前記測定対象物の面と直交する方向から照射されるように構成されるとともに、前記測定対象物の面で反射した正反射光を前記撮像手段に向けて分岐させる分岐手段を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の光学測定装置。
【請求項６】
前記測定対象物で反射した正反射光を収束させる収束レンズを備え、この収束レンズで収束された光が前記撮像手段の撮像面に照射されることを特徴とする請求項５に記載の光学測定装置。
【請求項７】
前記コリメータレンズは、前記収束レンズを兼ねる構成とされており、前記投光手段から出射された光は前記分岐手段で分岐されて前記コリメータレンズを透過して平行光となり前記測定対象物に照射されるとともに、前記測定対象物で反射した正反射光は前記コリメータレンズを透過して収束されつつ前記分岐手段で前記撮像手段に向けて分岐されることを特徴とする請求項６に記載の光学測定装置。
【請求項８】
前記測定手段により測定された前記回転軸傾き量と所定の閾値とを比較し、この比較結果に基づいて異常状態識別信号を出力する異常判別手段を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の光学測定装置。
【請求項９】
前記シャッタを開くタイミングを可変可能に設定できるシャッタタイミング設定手段を備えることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の光学測定装置。
【請求項１０】
前記測定対象物の回転速度を変更可能に設定できる回転速度設定手段を備え、
前記測定手段は、
前記回転速度設定手段に入力された回転速度に基づき、前記シャッタを開くタイミングを算出することを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の光学測定装置。
【請求項１１】
所定の回転速度で回転する円盤状の測定対象物の回転軸傾き量を測定する光学測定方法であって、
投光手段から出射され前記測定対象物で反射した光のうち所定のタイミングでシャッタを開くことにより通過した光を撮像面に照射させるとともに、
前記撮像面に照射された少なくとも３つの異なる前記照射ポイントを前記測定対象物の複数回転に分けて取得し、当該複数回転に亘る照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定することを特徴とする光学測定方法。
【請求項１２】
円盤状の測定対象物を回転させる回転駆動手段と、前記回転駆動手段により回転する測定対象物の回転角度に応じた角度信号を出力する角度信号出力手段とを備えた回転装置と、
前記回転装置にて回転される前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する光学測定装置と、から構成される回転軸傾き検査システムであって、
前記光学測定装置は、
光を出射する投光手段と、
前記投光手段から出射され前記測定対象物で反射した光のうち所定のタイミングでシャッタを開くことにより通過した光を撮像面に照射させる撮像手段と、
前記角度信号出力手段から出力される角度信号を入力する入力手段と、
前記入力手段に入力される角度信号に応じた複数の回転角度と、
前記撮像手段の撮像面に照射される光の照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する測定手段とを備え、
前記測定手段は、前記測定対象物の複数回転に分けて取得する少なくとも３つの異なる前記照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定することを特徴とする回転軸傾き検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学測定装置、光学測定方法及び回転軸傾き検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスク等のように円盤状のディスクを回転装置により回転させてデータの読み書きを行うものは、回転装置の回転軸傾き（回転軸の垂直方向から側方へのずれ）が生じると正確なデータの読み書きを行うことができない。そこで、かかる回転軸傾き量を測定するための光学測定装置が知られている（下記特許文献１参照）。
【０００３】
この種のものには、例えば、回転する測定対象物（光ディスク等）上にレーザ光を照射するとともに、その反射レーザ光のうち所定のタイミングで開動作を行うシャッタを通過した光をＣＣＤ等からなる撮像手段の撮像面で受光させるものがある。そして、回転軸傾きが生じていると、レーザ光の照射される測定対象物上の面の位置や傾斜（角度）による反射光の方向の変化に起因して撮像手段の撮像面における照射ポイントが変わるから（例えば、回転軸が傾いた場合には、測定対象物上におけるレーザ光の照射ポイントが回転軸傾き量に応じて中心からずれる）、当該撮像面上における照射ポイントに基づいて回転軸傾き量を測定することができる。
【特許文献１】特開２００３−１３２５９１公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、測定対象物の正確な（最大の）回転軸傾き量を測定するためには、最も回転軸傾きの大きい位置（回転角度）に照射した光を撮像手段の撮像面で受光し、この撮像面における受光位置に基づいて回転軸傾き量を測定する必要がある。一方、上記構成では、所定のタイミングの光のみを撮像手段の撮像面で受光する構成であるため、かかるタイミングで受光された光が最大の回転軸傾き量を生じる位置（回転角度）に照射された光でないと、正確な（最大の）回転軸傾き量が測定されない。
【０００５】
そこで、シャッタの開動作の時間を長くすることで、最大の回転軸傾き量を生じる位置に照射された光が必ず撮像面に受光されるようにすることも考えられるが、シャッタの開動作の時間を長くすると、その長くなった時間だけ外乱光が入射しやすくなる。そして、この外乱光が撮像面上における回転軸傾きを示す受光位置とは異なる位置に受光された場合には、正確な回転軸傾き量を測定できなくなってしまう。
一方、連続するシャッタの間隔を短くすることで、一回転中に回転軸傾き量の測定に必要な数の照射ポイントを得ることも考えられるが、円盤状のディスクを回転装置により回転させてデータの読み書きを行うものは、一般に、非常に高速で回転しているため、一回転中に回転軸傾き量の測定に必要な数の照射ポイントを得ることが困難である。
【０００６】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、回転する測定対象物の回転軸傾き量を正確に測定可能な光学測定装置及び光学測定方法並びに回転軸傾き検査システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の光学測定装置に係る発明は、回転装置にて回転される円盤状の測定対象物の回転軸傾き量を測定する光学測定装置であって、
光を出射する投光手段と、
前記投光手段から出射され前記測定対象物で反射した光のうち所定のタイミングでシャッタを開くことにより通過した光を撮像面に照射させる撮像手段と、
前記撮像手段の撮像面に照射される光の照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する測定手段とを備え、
前記測定手段は、前記測定対象物の複数回転に分けて取得する少なくとも３つの異なる前記照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する構成としたところに特徴を有する。
測定手段の構成としては、次のようにしてもよい。
「前記測定手段は、前記測定対象物の複数回転に分けて取得する少なくとも３つの異なる前記照射ポイントと、各照射ポイントに光が照射されるときの前記測定対象物の複数の回転角度とに基づき、前記複数の回転角度に対応して複数回転に分けて得られた前記照射ポイントが閉ループ（１回転中（３６０度分））を描くように補間データを作成し、当該作成した補間データに基づいて予測される回転軸傾き量を前記測定対象物の回転軸傾き量として測定する」構成としてもよい。
なお、「シャッタには、シャッタの開閉が電気的に行われる電子シャッタと、シャッターの開閉が機械的に行われる機械シャッタ（メカニカルシャッタ）とが含まれる。したがって、シャッタを「開く」とは、物理的に空間を生じさせて当該空間に光を通過させることのみを意味するのではなく、光を通過させない状態（遮光状態）から光を通過させる状態にすることを意味する」。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、連続して得られる少なくとも３つの異なる照射ポイントにおける前記測定対象物の回転角度は、先に連続する２つの照射ポイントを得るのに回転した前記測定対象物の回転経路上の回転角度が、次に連続して得られる照射ポイントの回転角度とされているところに特徴を有する。
【０００９】
請求項３の発明は、前記回転装置は、前記測定対象物を回転させる回転駆動手段と、前記回転駆動手段により回転する測定対象物の回転角度に応じた角度信号を出力する角度信号出力手段とを備えて構成されているものにおいて、
請求項１又は請求項２記載の光学測定装置は、
前記角度信号出力手段から出力される角度信号を入力する入力手段と、
前記シャッタを開くタイミングを制御するシャッタ制御手段とを備え、
前記シャッタ制御手段は、前記入力手段を介して前記角度信号が入力されるように構成されるとともに、前記回転角度が所定角度変化するごとに前記シャッタを開くように制御するところに特徴を有する。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記測定手段は、前記撮像手段の撮像面に照射される異なる照射ポイントのうち、略９０度ごとに異なる４つの角度に対応する照射ポイントに基づき前記測定対象物の回転軸傾き量を測定するものであって、
前記各角度の近傍の照射ポイントを補助データとし、当該補助データに基づき前記測定対象物の回転軸傾き量を測定するところに特徴を有する。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のものにおいて、前記投光手段から出射された光を平行光にするコリメータレンズが備えられており、このコリメータレンズを透過した平行光は前記測定対象物の面と直交する方向から照射されるように構成されるとともに、前記測定対象物の面で反射した正反射光を前記撮像手段に向けて分岐させる分岐手段を備えるところに特徴を有する。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項５に記載のものにおいて、前記測定対象物で反射した正反射光を収束させる収束レンズを備え、この収束レンズで収束された光が前記撮像手段の撮像面に照射されるところに特徴を有する。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項６に記載のものにおいて、前記コリメータレンズは、前記収束レンズを兼ねる構成とされており、前記投光手段から出射された光は前記分岐手段で分岐されて前記コリメータレンズを透過して平行光となり前記測定対象物に照射されるとともに、前記測定対象物で反射した正反射光は前記コリメータレンズを透過して収束されつつ前記分岐手段で前記撮像手段に向けて分岐されるところに特徴を有する。
【００１４】
請求項８の発明は、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のものにおいて、前記測定手段により測定された前記回転軸傾き量と所定の閾値とを比較し、この比較結果に基づいて異常状態識別信号を出力する異常判別手段を備えるところに特徴を有する。
【００１５】
請求項９の発明は、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のものにおいて、前記シャッタを開くタイミングを可変可能に設定できるシャッタタイミング設定手段を備えるところに特徴を有する。
【００１６】
請求項１０の発明は、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のものにおいて、前記測定対象物の回転速度を変更可能に設定できる回転速度設定手段を備え、
前記測定手段は、
前記回転速度設定手段に入力された回転速度に基づき、前記シャッタを開くタイミングを算出するところに特徴を有する。
【００１７】
請求項１１の発明は、所定の回転速度で回転する円盤状の測定対象物の回転軸傾き量を測定する光学測定方法であって、
投光手段から出射され前記測定対象物で反射した光のうち所定のタイミングでシャッタを開くことにより通過した光を撮像面に照射させるとともに、
前記撮像面に照射された少なくとも３つの異なる前記照射ポイントを前記測定対象物の複数回転に分けて取得し、当該複数回転に亘る照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する構成としたところに特徴を有する。
【００１８】
請求項１２の回転軸傾き検査システムの発明は、円盤状の測定対象物を回転させる回転駆動手段と、前記回転駆動手段により回転する測定対象物の回転角度に応じた角度信号を出力する角度信号出力手段とを備えた回転装置と、
前記回転装置にて回転される前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する光学測定装置と、から構成される回転軸傾き検査システムであって、
前記光学測定装置は、
光を出射する投光手段と、
前記投光手段から出射され前記測定対象物で反射した光のうち所定のタイミングでシャッタを開くことにより通過した光を撮像面に照射させる撮像手段と、
前記角度信号出力手段から出力される角度信号を入力する入力手段と、
前記入力手段に入力される角度信号に応じた複数の回転角度と、
前記撮像手段の撮像面に照射される光の照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する測定手段とを備え、
前記測定手段は、前記測定対象物の複数回転に分けて取得する少なくとも３つの異なる前記照射ポイントに基づいて前記測定対象物の回転軸傾き量を測定する構成としたところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１９】
＜請求項１,請求項１１,請求項１２の発明＞
例えば、測定対象物が高速回転するものであると、１回転中に回転軸傾き量の測定に必要な数の照射ポイントを得ることが困難である。
そこで、本構成によれば、測定手段は、測定対象物の複数回転に分けて取得する照射ポイントに基づいて測定対象物の回転軸傾き量を測定するから、１回転中に回転軸傾き量の測定に必要な数の照射ポイントを得ることができない場合であっても、測定対象物の回転軸傾き量を測定することができる。
【００２０】
＜請求項２の発明＞
連続して３つの異なる照射ポイントを得る場合に、測定対象物が高速回転するものであると、例えば、回転角度の小さいものから順番に測定することが困難である。しかしながら、本構成によれば、測定対象物が高速回転する場合であっても、所望の照射ポイントに基づき測定対象物の回転軸傾き量を測定することができる。
【００２１】
＜請求項３の発明＞
本構成によれば、効率よく複数の回転角度における異なる照射ポイントを得ることができる。
【００２２】
＜請求項４の発明＞
単に複数の回転角度において回転軸傾き量を測定するだけでは、それらの回転角度のうちに最大の回転軸傾き量を有する回転角度が含まれていない場合には、正確な（最大の）回転軸傾き量が測定されない。しかしながら、本構成によれば、シャッタを開いたタイミングが最大の回転軸傾きを生じる回転角度が含まれないタイミングであるために最大の回転軸傾き量を検出できない場合であっても、補助データに基づいて最大の回転軸傾き量を測定することができる。
また、撮像手段の撮像面に照射される異なる照射ポイントのうち、略９０度ごとに異なる４つの角度の近傍の照射ポイントを補助データとし、当該補助データに基づき測定対象物の回転軸傾き量を測定するから、各角度の近傍以外の照射ポイントのデータについても最大の回転軸傾き量を得るために使用する場合と比較して、測定手段が行う処理を減少させることができる。
【００２３】
＜請求項５の発明＞
本構成によれば、測定対象物の面に直交方向から照射する構成なので、投光手段又は撮像手段のいずれかを測定位置の上方に配することができる。したがって、例えば、投光手段により斜め方向から測定対象物に照射させた光の反射光を、投光手段の対称位置に配された撮像手段により斜め方向から受光する構成のように、投光手段及び撮像手段の両方について幅方向の所定距離が必要な構成と比較して幅方向に小型化することができる。
【００２４】
＜請求項６発明＞
本構成によれば、撮像手段に照射される光の照射ポイントが捉えやすくなる。
【００２５】
＜請求項７の発明＞
本構成によれば、コリメータレンズは収束レンズを兼ねる構成とされているから、部分点数を削減することができる。
【００２６】
＜請求項８の発明＞
本構成によれば、異常状態識別信号に基づいて、回転軸傾き量が通常状態又は異常状態にあるかを認識することができる。
【００２７】
＜請求項９の発明＞
本構成によれば、シャッタ速度を異ならせて測定することができる。
【００２８】
＜請求項１０の発明＞
本構成によれば、回転速度を設定することにより、シャッタを開くタイミングが算出されるから、種々の回転速度に対応する回転軸傾き測定が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図３を参照して説明する。
本実施形態の回転軸傾き検査システム１は、光ディスクや磁気ディスク等からなるディスクＷ（本発明の「円盤状の測定対象物」に相当）を回転させる回転装置１０と、回転するディスクＷの回転軸傾き量（回転装置１０の中心軸１０Ａの傾き。図１のディスクＷのディスク面の上下の面振れ量Ａでもよい）を測定する光学測定装置２０とから構成されている。
【００３０】
１．回転装置の構成
回転装置１０は、ディスクＷを回転させる回転駆動機構１１（本発明の「回転駆動手段」に相当）と、回転駆動機構１１により回転するディスクＷの回転角度に応じた角度信号を出力するエンコーダ１２（本発明の「角度信号出力手段」に相当）とを備えて構成されている。
【００３１】
回転駆動機構１１は、駆動モータ（図示しない）により、回転装置１０の中心に垂直に起立した中心軸１０Ａを回転させるようになっている。この中心軸１０Ａの上端部は、ディスクＷの中心部に嵌め合わされてディスクＷがほぼ水平に固定されるようになっており、駆動モータにより中心軸１０Ａが時計回りに回転することでディスクＷが回転するようになっている。
【００３２】
ディスクＷ（中心軸１０Ａ）の回転速度は、後述する光学測定装置２０の操作部２７にて回転速度が設定されると、光学測定装置２０の制御部２６から駆動信号が駆動モータに与えられ、駆動モータが設定された回転速度（周期）でディスクＷを回転させるようになっている。
【００３３】
エンコーダ１２は、回転駆動機構１１の中心軸１０Ａと同軸上に備えられており、中心軸１０Ａの回転に応じた周期のパルス信号（角度信号）を出力する。このパルス信号は、光学測定装置２０の制御部２６に出力されるようになっており、このパルス信号に基づいて制御部２６がディスクＷの回転速度及び回転角度を検出する。
【００３４】
２．光学測定装置の構成
光学測定装置２０は、図１に示すように、投光素子２１から出射されたレーザ光を、その前方に配されたコリメータレンズ２２を透過させることで平行光とし、この平行光を斜め方向からディスクＷの上面に照射させるとともに、ディスクＷの上面で斜め方向に反射した正反射光が収束レンズ２３で収束されるようになっている。また、収束レンズ２３の後方にはシャッタ２４及び二次元ＣＣＤ２５（本発明の「撮像手段」に相当）が配されており、収束レンズ２３で収束された正反射光のうちシャッタ２４を通過した光が二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａ上に照射されるようになっている。
【００３５】
シャッタ２４は、いわゆる電子シャッタと称されるものであり、制御部２６からの信号によりシャッタ２４が開かれて光を透過する状態と、シャッタ２４が閉じられて光が遮られる状態とに切り替えられえるようになっている。
ここで、シャッタ２４を開くタイミングは、コンソール等からなる操作部２７を操作することにより可変可能に設定できるようになっており、ディスクＷの回転速度や回転軸傾き量の測定時間等に応じて最も適切なタイミングを設定できるようになっている。したがって、操作部２７がシャッタタイミング設定手段に相当する。
【００３６】
また、シャッタ２４の開かれる時間（シャッタ速度）は、操作部２７にて設定された回転速度（周期）から読み取り可能なシャッタ速度が制御部２６により算出されるようになっており、制御部２６は、かかるシャッタ速度でシャッタの開閉動作を行わせる。具体的には、例えば、回転速度が早くなるにしたがってシャッタ速度が速くなる（シャッタ２４が開く時間が短くなる）ようになっている。このようにシャッタ速度が変えられることでディスクが回転角度回転するごとに二次元ＣＣＤ２５に撮像させることができる。したがって、制御部２６が本発明の「シャッタ制御手段」に相当する。
【００３７】
なお、シャッタ２４で二次元ＣＣＤ２５に照射させるタイミングを制御することとしたのは、例えば、パルスレーザ光のオンオフタイミングの制御や、二次元ＣＣＤ２５自体のオンオフタイミングを制御する方法よりも、受光量レベルの変動が少なく、安定した受光量が得られるからである。
【００３８】
二次元ＣＣＤ２５はその撮像面２５Ａが収束レンズ２３の後方焦点位置に配されており、二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａ上において各画素での受光量に応じた受光信号は、各画素の位置情報とともにメモリ２８に一旦格納され、デジタル信号列からなる照射ポイントの位置データとして制御部２６に取り込まれる。
【００３９】
なお、二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａ上に形成されるスポットは、図２に示すように、シャッタ２４の開期間に照射され続けるが、所定時間だけ光量が蓄積された後にサンプリングされるようになっている。そして、ここでサンプリングされたデータは、その重心位置が求められ、かかる重心位置の座標データが照射ポイントの座標データとされる。
具体的には、予めメモリ２８に記憶されている以下の演算式（1）を制御部２６が読み出し、読み出された演算式（1）と撮像信号に基づいて集光の中心位置を算出する。ここで、集光の中心位置は面積重心或いは体積重心等に基づいて算出出来るが実施形態では、面積重心に基づいて中心位置（面積重心位置）を算出する。
【００４０】
［面積重心位置の重心算出式］
面積重心位置＝{Σ（ＭＩ）／ΣＭ}
Ｉ：二次元ＣＣＤの受光面上における任意の領域内の各画素の位置ベクトル
Ｍ：上記各画素の受光量レベルが所定レベル以上であるときには例えば１、そうでないときには０
［体積重心位置の重心算出式］
体積重心位置＝{Σ（ｍＩ）／Σｍ}
Ｉ：上記面積重心位置の場合と同じ
ｍ：上記各画素の受光量レベルに応じた係数
【００４１】
そして、この中心位置を照射ポイントとし、シャッタ２４の開かれたタイミングごとの照射ポイントをメモリ２８に記憶する。また、制御部２６はこの照射ポイントにおける回転角度をエンコーダ１２から送信される角度信号によって検出し、各回転角度を照射ポイントと対応付けてメモリ２８に記憶する。
【００４２】
したがって、ディスクＷの回転時に回転軸傾きが生じた場合には、ディスクＷの面が水平位置から上下方向に振れるため、回転軸傾き量の大きさに応じてディスクＷの位置（高さ）及びディスクＷの傾斜（角度）が変わり、二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａ上に形成される正反射光の照射ポイントが移動する。従って、二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａ上における正反射光の照射ポイントに基づき、ディスクＷの回転軸傾き量が測定されるようになっている。
【００４３】
また、光学測定装置２０には、コンソール等からなる操作部２７と、回転軸傾き量を表示する表示部３１とが備えられている。
操作部２７（本発明の「回転速度設定手段」に相当）は、ディスクＷ（中心軸１０Ａ）の回転速度（周期）を設定可能となっており、回転速度が設定されると光学測定装置２０の制御部２６から駆動信号が駆動モータに与えられる。
また、操作部２７は、ディスクＷ上におけるレーザ光が照射されるディスクＷの回転角度を設定できるようになっており、回転角度が設定されると、その設定された回転角度とディスクＷの回転速度とに基づいて、シャッタ２４を開くタイミングが可変するようになっている。
【００４４】
次に、最大の回転軸傾き量を測定するための構成について説明する。
上記構成のみでは、二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａには、シャッタ２４の開いたタイミングでしか光が照射されないため、この照射ポイントからは、当該照射ポイントの形成された回転角度（タイミング）における回転軸傾き量しか測定することができない。
【００４５】
そこで、制御部２６は、予め記憶した所定数（例えば、３個）の照射ポイントが得られると、メモリ２８に記憶したエンコーダ１２から送信される角度信号に応じた複数の回転角度と、各回転角度における撮像面２５Ａ上の照射ポイントの位置データとを読み出し、次に示す処理を行う。
【００４６】
制御部２６は、二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａ上の照射ポイントを通る円（各照射ポイントを頂点とする多角形の外接円）の中心座標を求め、この中心座標を原点とした円のＸ軸及びＹ軸の交差する点の座標データ（ｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２）を生成する（図３参照）。
そして、生成した座標データのうちの最大のＸ座標（原点からの正の最大距離の座標）と最小のＸ座標（原点からの負の最大距離の座標）との差（Ｘ軸方向の差）を算出するとともに、最大のＹ座標と最小のＹ座標との差（Ｙ軸方向の差）を算出する。この算出された差が予測される最大の回転軸傾き量に対応する値であるから、かかる差から回転軸傾き量を測定する。ここで、上記した差と実際の回転軸傾き量との関係は、予め実験データから得られた係数がメモリ２８に記憶されており、この係数を用いて実際の回転軸傾き量を測定する。なお、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のみの差から回転軸傾き量を求めてもよい。
【００４７】
また、制御部２６は、測定された回転軸傾き量と、予めメモリ２８に記憶されている所定の閾値とを比較し、この比較結果を示す異常状態識別信号を表示部３１に出力する。したがって、制御部２６は、本発明の「異常状態判別手段」としての機能も備えている。これにより、回転軸傾き量が閾値よりも大きい場合には、異常状態であることが表示灯等からなる表示部３１に表示されるから、作業者等はこの表示により回転軸傾き量がディスクの読み取り等に支障を来たす程の異常状態にあるか又は通常の読み取り等の可能な通常状態にあるかを認識することができる。
【００４８】
３．回転軸傾き検査システムの動作
回転軸傾き検査システム１の動作について、図３を参照しつつ説明する。
操作部２７の操作して測定を開始させると、制御部２６は駆動信号を回転装置１０に送信する（図１参照）。すると、操作部２７にて設定された回転速度（周期）でディスクＷが回転するとともに、エンコーダ１２からディスクＷの回転速度に応じた角度信号が光学測定装置２０の入力端子２９（入力手段）を介して制御部２６に送信される。
【００４９】
また、制御部２６は、投光素子２１の投光動作を行わせるとともに、所定のタイミング（シャッタ速度）でシャッタ２４を開く動作を繰り返させる。これにより、当該シャッタ２４が開かれたタイミングで二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａにスポットが形成されるから、各タイミングにおけるシャッタ２４の開期間ごとに、このスポット位置に応じたディジタル信号列からなる撮像信号が制御部２６に出力される。そして、制御部２６は、上記した演算式をメモリ２８から読み出し、スポット位置の重心位置である照射ポイントを算出し、この照射ポイントの座標データ及び各照射ポイントにおいてエンコーダ１２から送信される角度信号より得られる回転角度をメモリ２８に記憶する。
【００５０】
具体的には、ディスクＷが回転すると、制御部２６は、例えば、所定の回転角度（図３では、４８０度）ごとに照射ポイント（図３の一回転目の点Ａ，二回転目の点Ｂ，三回転目の点Ｃ）の位置データ（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の位置座標データ）及び各照射ポイントにおける回転角度が順次メモリ２８に記憶される。そして、所定の回転数（３回転）だけ回転すると、記憶した照射ポイントの位置データ（点Ａ，Ｂ，Ｃ）をメモリ２８から読み出し、各照射ポイントを通る円（各照射ポイントを頂点とする多角形の外接円。図３の点線）の中心座標を求め、この中心座標を原点としたＸ軸及びＹ軸と円の交差する点（図３のｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２）の座標データを生成する。
そして、生成した座標データ（ｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２）のうちの最大のＸ座標と最小のＸ座標との差（ｘ１ーｘ２）を算出するとともに、最大のＹ座標と最小のＹ座標との差（ｙ１ーｙ２）を算出する。
算出された差（ｘ１ーｘ２，ｙ１ーｙ２）に予めメモリ２８に記憶されている実際の回転軸傾き量と対応付けられた係数を用いて回転軸傾き量を測定する。
【００５１】
なお、測定された最大の回転軸傾き量が計測されるディスクＷの回転角度については、例えば、単位回転角度（例えば、５度づつ）の回転軸傾き量を予めメモリ２８に記憶させておき、測定した回転軸傾き量と記憶されている回転軸傾き量との関係から回転角度を導き出すことができる。
【００５２】
４．本実施形態の効果
例えば、測定対象物が高速回転するものであると、１回転中に回転軸傾き量の測定に必要な数の照射ポイントを得ることが困難である。
そこで、本構成によれば、制御部２６（測定手段）は、ディスクＷ（測定対象物）の複数回転に分けて取得する照射ポイントに基づいてディスクＷの回転軸傾き量を測定するから、１回転中に回転軸傾き量の測定に必要な数の照射ポイントを得ることができない場合であっても、ディスクＷの回転軸傾き量を測定することができる。
【００５３】
また、シャッタ２４を開いたタイミングが最大の回転軸傾きを生じる回転角度が含まれないタイミングであるために、かかるタイミングの光の照射ポイントのみでは最大の回転軸傾き量を検出できない場合であっても、照射ポイントに基づいて生成する座標データ（ｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２）により最大の回転軸傾き量を予測することで、最大の（正確な）回転軸傾き量を測定することができる。
【００５４】
また、制御部２６は、回転角度が所定角度（４８０度）変化するごとにシャッタ２４を開くように制御するから、効率よく複数の回転角度における異なる照射ポイントを得ることができる。
【００５５】
さらに、ディスクＷで反射した正反射光を収束させる収束レンズ２３を備え、この収束レンズ２３で収束された光が二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射されるから、二次元ＣＣＤ２５に照射される光の照射ポイントが捉えやすくなる。
【００５６】
＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２（請求項２の発明に相当）を図４を参照して説明する。
実施形態１では、ディスクＷを３回転させることにより得られる３箇所の照射ポイントに基づいて回転軸傾き量を測定する構成としたが、実施形態２では、ディスクＷを２回転させることにより得られる３箇所の照射ポイントに基づいて回転軸傾き量を測定する構成とするものである。なお、上記実施形態と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
【００５７】
具体的には、制御部２６は、ディスクＷの回転速度から、例えばディスクＷが２４０度回転するごとに、照射ポイントが得られるシャッタ２４の開動作のタイミングを算出するとともに、当該タイミングでシャッタ２４の開動作を行わせる。
すると、図４に示すように、１回転目では、ディスクＷの回転角度が０度と２４０度のときの照射ポイントが順次得られ、２回転目では、ディスクＷの回転角度が１２０度（先に連続する２つの照射ポイントを得るのに回転した前記測定対象物の回転経路上の回転角度）のときの照射ポイントが得られる。
【００５８】
次に、ディスクＷの２回転により得られる３箇所の照射ポイントの位置データに基いて照射ポイントを通る円（図４の点線）の中心座標を求め、この中心座標を原点としたＸ軸及びＹ軸と円の交差する点（図４のｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２）の座標データを生成する。
そして、生成した座標データのうちの最大のＸ座標と最小のＸ座標との差（ｘ１ーｘ２）を算出するとともに、最大のＹ座標と最小のＹ座標との差（ｙ１ーｙ２）を算出する。
算出された差（ｘ１ーｘ２，ｙ１ーｙ２）に予めメモリ２８に記憶されている実際の回転軸傾き量と対応付けられた係数を用いて回転軸傾き量を測定する。
【００５９】
実施形態２によれば、連続して３つの異なる照射ポイントを得る場合に、ディスクＷ（測定対象物）が高速回転することにより、例えば、回転角度の小さいものから順番に測定することが困難であっても、回転角度の大きいものについて照射ポイントを得た後に、それよりも回転角度の小さいものについて照射ポイントを得ることができるから、所望の照射ポイントに基づきディスクＷ（測定対象物）の回転軸傾き量を測定することができる。
また、実施形態１の回転数（３回転）よりも少ない回転数（２回転）で、回転軸傾き量が測定されるから、回転軸傾き量の測定時間を短縮することができる。
【００６０】
＜実施形態３＞
次に、本発明の実施形態３（請求項４の発明に相当）を図５を参照して説明する。
上記実施形態では、照射ポイントの全て（３点）の座標データを用いて、回転軸傾き量を測定する構成としたが、所定の角度の近傍の照射ポイントの座標データのみを用いて回転軸傾き量を測定する構成とするものである。
【００６１】
具体的には、制御部２６（測定手段）は、二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射される多数の照射ポイント（図５の実線の丸と点線の丸の両方）のうち、０，９０，１８０，２７０度の角度（略９０度ごとに異なる４つの角度）から所定角度（例えば、左右１０度以内）以内の範囲（近傍）に存在する照射ポイントの座標データ（実線の丸Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４，Ｃ１〜Ｃ４，Ｄ１〜Ｄ４。本発明の「補助データ」に相当）を読み出す。
【００６２】
このうち、４つの角度（０，９０，１８０，２７０度）と略同一（所定角度（例えば、左右５度）以内としてもよい）の角度の座標データが、４つの角度全てについて存在する場合には、かかる角度の座標データを用いてＸ軸方向とＹ軸方向の差を算出する。
一方、４つの角度（０，９０，１８０，２７０度）と略同一の角度が存在しない場合には、各角度から所定角度（例えば、左右１０度以内）以内の範囲（近傍）に存在する照射ポイントの座標データ（補助データ）をメモリ２８からを読み出し、これら所定角度（例えば、左右１０度以内）以内の範囲（近傍）の各照射ポイントを通る楕円（各照射ポイントを頂点とする多角形の外接円。図５の点線）の２焦点座標を求め、この２焦点（２定点）の中点座標を原点としたＸ軸及びＹ軸と円の交差する点（図３のｘ１，ｘ２，ｙ１，ｙ２）の座標データを生成する。
そして、生成した座標データのうちの最大のＸ座標と最小のＸ座標との差（ｘ１ーｘ２）を算出するとともに、最大のＹ座標と最小のＹ座標との差（ｙ１ーｙ２）を算出する。
算出された差（ｘ１ーｘ２，ｙ１ーｙ２）に予めメモリ２８に記憶されている実際の回転軸傾き量と対応付けられた係数を用いて回転軸傾き量を測定する。
【００６３】
なお、最大と最小のＸ，Ｙ座標は、各角度から所定角度（例えば、左右１０度以内）以内の範囲（近傍）に存在する照射ポイントの座標データに基づいてスプライン補間法を用いて求めるようにしてもよい。
具体的には、制御部２６は、照射ポイントの座標データ（補助データ）と、各回転角度の座標データと前後して撮像された回転角度の座標データとのうちの、全ての座標データを所定の区間ごとに多項式で近似させる。これにより座標データから作られる多項式が閉ループを形成する（なお、閉ループを形成しなくても所定区間で連続するようにしてもよい）とともに、閉ループ上を通る多数の座標データを等間隔（等回転角度や等時間でもよい）に生成して当該座標データを補間データとしてメモリ２８に記憶する。
そして、制御部２６は、補間データを含めた全ての座標データのうち二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａの中心を原点とした場合に、当該原点からの正の最大距離の座標と原点からの負の最大距離の座標とのＸ軸方向とＹ軸方向の差を算出し、算出された差が予測される最大の回転軸傾き量に対応する値であるから、かかる差から回転軸傾き量を測定する。なお、上記した差と実際の回転軸傾き量との関係は、予め実験データから得られた係数がメモリ２８に記憶されており、この係数を用いて実際の回転軸傾き量を測定する。
【００６４】
実施形態３によれば、二次元ＣＣＤ２５（撮像手段）の撮像面２５Ａに照射される異なる照射ポイントのうち、略９０度ごとに異なる４つの角度の近傍の照射ポイントを補助データとし、当該補助データに基づきディスクＷの回転軸傾き量を測定するから、各角度の近傍以外の照射ポイントのデータについても最大の回転軸傾き量を得るために使用する場合と比較して、制御部２６（測定手段）が行う処理を減少させることができる。
【００６５】
＜実施形態４＞
次に、本発明の実施形態４を図６を参照して説明する。
実施形態４は、照射ポイントの座標データについて所定の角度で得られる場合には、照射ポイントを通る外接円を作成しない構成としたものである。
具体的には、制御部２６は、ディスクＷの回転速度から２７０度ごとの照射ポイントが得られるシャッタ２４の開動作のタイミングを算出するとともに、当該タイミングでシャッタ２４の開動作を行わせる。
【００６６】
すると、図６に示すように、１回転目では、２７０度の点Ｄのにおける照射ポイントが得られ、２回転目では、１８０度の点Ｃのにおける照射ポイントが得られ、３回転目では、９０度の点Ｂのにおける照射ポイントが得られ、４回転目では、０（３６０）度の点Ａのにおける照射ポイントが得られる。
即ち、４回転することで、回転角度９０度ごとに対応した照射ポイントが二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａ上に得られる。
【００６７】
そして、制御部２６は、撮像面２５Ａ上における０度に対応する照射ポイント（点Ａ）の座標データと１８０度に対応する照射ポイント（点Ｃ）の座標データとのＸ座標を比較し、Ｘ座標が等しければ照射ポイントを通る外接円の作成は行わずに、点ＡＣ間のＹ方向の差（ｙ１ーｙ２）を演算する。
【００６８】
同様に、撮像面２５Ａ上における９０度に対応する照射ポイント（点Ｂ）の座標データと２７０度に対応する照射ポイント（点Ｄ）の座標データとのＹ座標を比較し、Ｙ座標が等しければ補助データの作成は行わずに、点ＢＤ間のＸ方向の差（ｘ１ーｘ２）を演算する。
なお、点ＡＣのＸ座標及び点ＢＤのＹ座標の比較は、両座標が完全に一致していなくても、差が所定量以下であれば、一致しているとみなすことができる。
【００６９】
＜実施形態５＞
次に、本発明の実施形態５を図７を参照して説明する。
上記実施形態では、ディスクＷで反射した正反射光を収束レンズ２３で収束させて二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射させる構成としたが、実施形態３では、ディスクＷで反射した正反射光を収束レンズ２３で収束させずに、そのまま二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射させる構成としたものである。
【００７０】
ディスクＷで反射した正反射光のうちシャッタ２４を通過した光が二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射されると、制御部２６は、撮像面２５Ａに照射された光のうち所定の範囲について予め定められた閾値と比較し、受光量が閾値を超えるものについて、面積重心位置を測定し、この面積重心位置を受光位置としてメモリ２８に記憶する。
このようにすれば、収束レンズ２３が必要ないから、部品点数を削減することができる。
【００７１】
＜実施形態６＞
本発明の実施形態６を図８を参照して説明する。
上記実施形態の光学測定装置２０は、ディスクＷに斜め方向から平行光を照射し、斜め方向に正反射した正反射光を二次元ＣＣＤ２５が撮像する構成としたが、実施形態６の光学測定装置４０は、ディスクＷに直交する方向から平行光を照射し、直交する方向に正反射した正反射光を二次元ＣＣＤ２５が撮像する構成とするものである。
【００７２】
具体的には、図８に示すように、ディスクＷの回転軸傾きの測定位置の上方に配された投光素子２１から出射された光は、その下方に配されたコリメータレンズ２２により平行光とされた後、ビームスプリッタ４１（本発明の「分岐手段」に相当）を透過してディスクＷの上面に直交する角度で照射される。そして、ディスクＷの上面で直交する方向に反射した正反射光はビームスプリッタ４１で９０度向きを変えられて反射し、収束レンズ２３で収束されてシャッタ２４を介して二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射される。
【００７３】
本実施形態によれば、ディスクＷの面に直交方向から照射する構成なので、投光素子２１又は二次元ＣＣＤ２５のいずれかを測定位置の上方に配することができる。したがって、例えば、投光素子２１により斜め方向からディスクＷに照射させた光の反射光を、投光素子２１の対称位置に配された二次元ＣＣＤ２５により斜め方向から受光する構成のように、投光素子２１及び二次元ＣＣＤ２５の両方について幅方向の所定距離が必要な構成と比較して幅方向に小型化することができる。
【００７４】
＜実施形態７＞
実施形態６の光学測定装置４０は、コリメータレンズ２２と収束レンズ２３とを備える構成としたが、実施形態７の光学測定装置５０は、コリメータレンズが収束レンズを兼ねる構成とするものである。
【００７５】
具体的には、図９に示すように、投光素子２１から出射された光はビームスプリッタ４１で直交方向に反射した後、コリメータレンズ５１を透過して平行光となりディスクＷに照射されるとともに、ディスクＷで反射した正反射光はコリメータレンズ５１を透過することで収束されつつビームスプリッタ４１を透過して二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射される。
【００７６】
本実施形態によれば、コリメータレンズ５１は収束レンズを兼ねる構成とされているから、部分点数を削減することができる。
【００７７】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）上記実施形態では、投光素子２１の前方にコリメータレンズ２２を備え、投光素子２１から出射された光がコリメータレンズ２２を透過することでディスクＷに平行光が照射される構成としたが、コリメータレンズ２２を有さない構成としてもよい。
【００７８】
（２）実施形態６では、収束レンズ２３で収束された光を二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射したが、図１０に示すように、収束レンズ２３で収束させずに二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射する構成としてもよい。また、二次元ＣＣＤ２５と投光素子２１の配置を入れ替えて、図１１に示すように、投光素子２１から投光された光がビームスプリッタ４１で直交方向に反射してディスクＷに照射されるとともに、ディスクＷで正反射した光がビームスプリッタ４１を透過してディスクＷの測定位置の上方に配された二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａに照射されるように構成してもよい。
【００７９】
（３）上記実施形態では投光素子２１から出射されるレーザ光を直接コリメートレンズに入光させたが、図１２の（Ａ）に示すように両間に発散レンズ並びに、スリット板を設けてもよい。係る構成とすることで、投光素子２１から出射された光は発散レンズにより発散光とされ、この発散光の一部がスリット板の光通過孔を通過してコリメートレンズにより平行光とされる。従って、投光素子２１からの光は、光軸付近の光（光束中心部分の光）のみがスリット板の光通過孔を通過してコリメートレンズへ入射されるから、光強度分布の偏りを排除できる。
【００８０】
（４）上記では投光素子２１から出射されるレーザ光を直接コリメートレンズに入光させたが、図１２の（Ｂ）に示すように両間に集光レンズ、ホログラフィックディフューザー及びスリット板を設けてもよい。係る構成とすることで、投光素子２１からの光は一旦集光レンズにて収束された後、ホログラフィックディフューザーの入射面に入射される。その後、ホログラフィックディフューザーを通過して拡散した光がスリット板を通過し、コリメートレンズにより平行光とされる。
【００８１】
（５）上記各実施形態では、各測定動作において、二次元ＣＣＤ２５の撮像面２５Ａ上における反射光の面積重心位置を算出する構成としたが、これに限らず、最大輝度位置（撮像面２５Ａ上において受光量が最大となる位置）を算出する構成であってもよい。
（６）上記各実施形態では、シャッタ２４は、シャッタ２４の開閉が電気的に行われる電子シャッタとしたが、これに限らず、シャッタ２４ーの開閉が機械的に行われる機械シャッタ（メカニカルシャッタ）であってもよい。
【００８２】
（７）上記実施形態では、照射された光のスポット位置を通る円（外接円）を生成する構成としたが、これに限られない。例えば、シャッタ速度やディスクＷの回転速度を調整することにより、複数回転に分けて照射される異なる照射ポイントが環状（円形）となるようにしてもよい。具体的には、例えば、図１３（Ａ）に示すように、１回転目ではＡの範囲（０〜１２０度まで）について照射させ、２回転目ではＢの範囲（１２０〜２４０度まで）について照射させ、３回転目ではＣの範囲（２４０〜３６０度まで）について照射させるようにしてもよい。そして、図１３（Ｂ）に示すように、３回転で照射した全ての地点を重ね合わせることで形成される円形の照射ポイントについて、上記実施形態の外接円と同様の処理を行うことにより回転軸傾き量を測定する構成としてもよい。
もちろん、実施形態２の順番のように、１回転目ではＡの範囲（０〜１２０度まで）について照射させ、２回転目ではのＣ範囲（２４０〜３６０度まで）について照射させ、３回転目ではＢの範囲（１２０〜２４０度まで）について照射させるように変更することも可能である。したがって、これらの場合には、Ａ，Ｂ，Ｃのそれぞれの範囲に弧状に照射される光の位置が、本発明の照射ポイントとなっている。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】実施形態１の回転軸傾き検査システムの全体的構成を示す概略図
【図２】二次元ＣＣＤの撮像面に照射された光のサンプリングのタイミングを示すタイミングチャート
【図３】ディスクの回転角度及び撮像面上における照射スポットの位置を示す図
【図４】実施形態２のディスクの回転角度及び撮像面上における照射スポットの位置を示す図
【図５】実施形態３のディスクの回転角度及び撮像面上における照射スポットの位置を示す図
【図６】実施形態４のディスクの回転角度及び撮像面上における照射スポットの位置を示す図
【図７】実施形態５の回転軸傾き検査システムの全体的構成を示す概略図
【図８】実施形態６の回転軸傾き検査システムの全体的構成を示す概略図
【図９】実施形態７の回転軸傾き検査システムの全体的構成を示す概略図
【図１０】他の実施形態の回転軸傾き検査システムの全体的構成を示す概略図
【図１１】他の実施形態の回転軸傾き検査システムの全体的構成を示す概略図
【図１２】他の実施形態の投光された光が平行光になる構成を示す図
【図１３】他の実施形態の二次元ＣＣＤの撮像面に照射される光の位置を示す図
【符号の説明】
【００８４】
１０…回転装置
１１…回転駆動機構
１２…エンコーダ
２０，４０，５０…光学測定装置
２１…  投光素子
２２，５１…コリメータレンズ
２３…収束レンズ
２４…電子シャッタ
２５…二次元ＣＣＤ
２５Ａ…撮像面
２６…制御部
２７…操作部
２８…メモリ
３１…表示部
４１…ビームスプリッタ
【図１】
2006208336.tif 000003
【図２】
2006208336.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2006208336.tif 000011
【図１０】
2006208336.tif 000012
【図１１】
2006208336.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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