(57)【要約】【課題】          本発明の目的は、効率良く安定に圧電振動子の封止をすることが出来る容器を蓋で封止する封止方法、及び封止装置を提供すること。【解決手段】          上記の目的を達成する為に本発明は、シーム封止時のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータを保存する記録媒体部から出力される同データが統計的に解析された統計的解析データと、封止装置内で封止されている同データを比較・演算して、シーム封止電流値、またはシーム電圧値を設定する工程（Ｓ１０１）と、設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値で実際にシーム封止をする封止（Ｓ１０２）工程と、シーム封止を終えた圧電振動子の気密の具合といった封止状態を検査する検査工程（Ｓ１０３）より成ることで課題を解決する。【選択図】  図１
2006157667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動子の容器を蓋で封止する封止方法において、
シーム封止時のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータを保存する記録媒体部から出力される該データが統計的に解析された統計的解析データと、封止装置内で封止されている該データを比較・演算して、シーム封止電流値、またはシーム電圧値を設定する工程（Ｓ１０１）と、
設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値で実際にシーム封止をする封止工程（Ｓ１０２）と、
該圧電振動子の封止状態を検査する検査工程（Ｓ１０３）と、により成る圧電振動子の封止方法。
【請求項２】
圧電振動子の容器を蓋で封止する封止装置において、
シーム封止時のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータを保存する記録媒体部と、
該記録媒体部から出力される該データを統計的に解析して統計的解析データを作成し、該統計的解析データと該封止装置内で封止されている該圧電振動子の該データを比較・演算して異常品の発生の有無を検出し該封止装置の運転の停止/継続の状態を決める信号と、それぞれ設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値を決める信号を出力する演算部と、
設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値で実際にシーム封止をする封止部と、
により成ることを特徴とする圧電振動子の封止装置。
【請求項３】
請求項２に記載の圧電振動子の容器を蓋で封止する封止装置を搭載することを特徴とする圧電発振器の封止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、効率良く安定に圧電振動子の容器を蓋で封止することが出来る封止方法、及び封止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品のひとつである圧電振動子は圧電素板を圧電振動子内部において片持ち支持の状態で、圧電素板の支持構造を構成して気密封止したものが一般的となっており、また、前記の圧電振動子をその容器内部に搭載し、加えて半導体部品などから成る発振回路を搭載した構成の水晶発振器は、より安定な周波数の制御基準信号発生器として、近年では特に移動体通信の携帯電話といった端末や基地局、及び画像処理などの分野で需要が増大し、その用途も急速に拡大しているのが現状である。
【０００３】
一方、最近の傾向では通信分野の伝送系装置等を中核として、その搭載部品についての非常に急激な市場からの小型化や低背化、更に加えて軽量化や低価格化などの要求があるのが現状であるが、そのために先の圧電素板を圧電振動子の容器内部において、片持ち支持の状態で支持構造を構成して気密封止した圧電振動子の外形形状をより小さく薄くできた圧電振動子、及びそれを搭載した小型の圧電発振器を製造することが一般的と成ってきている。
【０００４】
従来から表面実装型を含めて圧電振動子の圧電素板とそれを収納するセラミックなどから成る容器に蓋体を被せてシーム封止する封止装置には、一般的に次のような工法が在った。即ち、ひとつめには交流定電圧にてシーム封止する方法があり、二つめには交流定電流にてシーム封止する方法、そして三つめはインバータ式にてシーム封止する方法がある。
【０００５】
同じく従来から、一般的にその容器を蓋で封止した封止後の圧電振動子の特性と品質、及び生産歩留まりには製品のシーム封止の具合が大きく影響していた。先述の工法でのそれぞれのシーム封止電流値、またはシーム電圧値といった設定条件によっては、製品の気密不良や、積層セラミックといった容器に割れが発生する不具合が発生するおそれがあった。また、従来においてはこの封止工程全体における製品の管理項目は、封止工程を終えた時点での製品の生産歩留まり管理や、抜き取り検査によるものに限られるものであった。
【特許文献１】特開平０７−２８３６７５号公報
【０００６】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、先述の従来の圧電振動子の封止方法、及び封止装置では、製品の封止を終えて最終的なその製品の特性検査を行うまで、圧電振動子の特性検査までを含めた実質の生産歩留まりが判らない。この為に工程中において封止装置に問題が生じても、その問題の発生が、先述の最終的な特性検査の実施に至るまで判らず、その結果、例えば投入した生産ロット品の全てといった大量の封止不具合品が最終的に製造されてしまうおそれがあるという問題があった。
【０００８】
また、従来の圧電振動子の封止方法、及び封止装置では、その封止工程の生産歩留まりが、例えば生産ロット毎に大きく変動し不安定と成るおそれがあるといった問題があった。
【０００９】
本発明は、以上のような技術的背景のもとで成されたものであり、従ってその目的は、効率良く安定に圧電振動子の容器を蓋で封止することが出来る封止方法、及び封止装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本発明は、シーム封止時のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータを保存する記録媒体部から出力される同データが統計的に解析された統計的解析データと、封止装置内で封止されている同データを比較・演算して、シーム封止電流値、またはシーム電圧値を設定する工程（Ｓ１０１）と、設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値で実際にシーム封止をする封止工程（Ｓ１０２）と、シーム封止を終えた圧電振動子の気密の具合といった封止状態を検査する検査工程（Ｓ１０３）により成る圧電振動子の封止方法であることを特徴とする。
【００１１】
また、圧電振動子の容器を蓋で封止する封止装置において、シーム封止時のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータを保存する記録媒体部と、この記録媒体部から出力される同データを統計的に解析して統計的解析データを作成し、統計的解析データと封止装置内で封止されている圧電振動子の同データを比較・演算して異常品の発生の有無を検出し封止装置の運転の停止/継続の状態を決める信号と、それぞれ設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値を決める信号を出力する演算部と、設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値で実際にシーム封止をする封止部により成る圧電振動子の容器を蓋で封止する封止装置であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の圧電振動子の容器を蓋で封止する封止方法、及びその装置によれば、非常に効率良く、また生産歩留まりの高い圧電振動子の封止を行うことが出来る。
【００１３】
また、ロット毎での変動の少ない、著しく安定した生産歩留まりの圧電振動子の封止を実現することが出来る。
【００１４】
また、稼働中の封止装置での不具合を、従来に比べて著しく早期に発見することが出来、先の不具合の発生による被害の拡大を防ぐことが出来る。
【００１５】
また、圧電振動子の製造工程のひとつである封止工程の管理を著しく容易にすることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１７】
図１は本発明の圧電振動子の容器を蓋で封止する封止方法の工程図である。即ち、まずシーム封止時のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータを保存する記録媒体部から出力される同データが統計的に解析された統計的解析データと、封止装置内で封止されている同データを比較・演算して、適切なシーム封止電流値、またはシーム電圧値を設定する工程（Ｓ１０１）が行われ、次に設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値で実際にシーム封止をする封止工程（Ｓ１０２）が行われ、最後にシーム封止を終えた圧電振動子の気密の具合といった封止状態を検査する検査工程（Ｓ１０３）が行われる圧電振動子の封止方法である。ここで、封止を終えた圧電振動子の封止状態を検査し、その検査データを保存する記録媒体部１は、本発明の封止装置２内に組み込まれていなくても構わず、この場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
【００１８】
図２は本発明の容器を蓋で封止する封止装置２の正面模式図である。即ち、シーム封止時のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータを保存する記録媒体部１と、この記録媒体部１から出力される同データを統計的に解析して統計的解析データを作成し、統計的解析データと封止装置２内で封止されている圧電振動子の同データを比較・演算して異常品の発生の有無を検出し封止装置２の運転の停止/継続の状態を決める信号と、それぞれ設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値を決める信号を出力する演算部３と、設定されたシーム封止電流値、またはシーム電圧値で実際にシーム封止をする封止部４により成る圧電振動子の封止装置２である。
【００１９】
図３は本発明の容器を蓋で封止する封止装置２の概念図である。即ち、ハードディスクといった記録媒体部１と演算部３を封止装置２に有し、シーム封止時のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータの分布など統計的に解析して統計的解析データを作成し、この統計的解析データと封止装置２内で実際に封止されている圧電振動子のシーム電流値、またはシーム電圧値のデータとを常時、比較・演算することによって、実際に封止装置２において稼働中の圧電振動子の封止の状態、及び封止装置の不具合を早期に検出し発見して、封止装置２の運転の停止/継続の状態を決定し、また、それぞれ設定されたシーム電流値、またはシーム電圧値を決めることが出来るために、先の設定された条件とは異なる封止が成されてしまうといった不具合の発生による被害の拡大を確実に防ぐことが出来るものである。
【００２０】
図４は本発明の容器を蓋で封止する封止装置２の動作を示すブロックダイアグラムである。なお、図中のＨＤはハードディスクといった記録媒体の略称である。本発明の封止装置２により、著しく安定した生産歩留まりの圧電振動子の封止を実現することが出来、また、稼働中の封止装置２の不具合を早期に発見することが出来、従来発生のおそれがあった生産ロット品全ての不具合による損害の発生を無くし、不具合の発生による被害の拡大を確実に防ぐことが出来、また、圧電振動子の主要な製造工程のひとつである封止工程の管理を、封止装置２に直接携わる作業者の管理業務を削減することが出来るなどその管理を著しく容易にすることが出来る。
【００２１】
なお、本発明の圧電振動子の容器を蓋で封止する封止装置は、圧電発振器の容器を蓋で封止する封止装置に搭載しても構わず、この場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。また、設定される項目が、実施例１の場合のシーム電流値、またはシーム電圧値に限られるものでは無く、更に項目を増しても構わず、これらの場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。また、圧電発振器以外のＳＡＷフィルタなどのシーム封止を用いる電子部品の容器を蓋で封止する封止装置にも本発明の封止装置を搭載しても構わずこの場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
【００２２】
図５は従来の封止装置２の動作を示すブロックダイアグラムである。従来は封止装置２に投入する生産ロット品全ての同一の不具合による損害の発生のおそれがあった。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の容器を蓋で封止する封止方法の工程図である。
【図２】本発明の容器を蓋で封止する封止装置の正面模式図である。
【図３】本発明の容器を蓋で封止する封止装置の概念図である。
【図４】本発明の容器を蓋で封止する封止装置の動作を示すブロックダイアグラムである。
【図５】本発明の従来の容器を蓋で封止する封止装置の動作を示すブロックダイアグラムである。
【符号の説明】
【００２４】
１  記録媒体部
２  封止装置
３  演算部
４  封止部
【図１】
2006157667.tif 000003
【図２】
2006157667.tif 000004
【図３】
2006157667.tif 000005
【図４】
2006157667.tif 000006
【図５】
2006157667.tif 000007