(57)【要約】【課題】  保管、搬送等に好適であり、大容量化にも対応することができるような収容物保管搬送装置を実現する。【解決手段】  例えば電動ファン２２のような送風手段と、送風手段から送られる気体のパーティクルを除去する高密度フィルタ２３Ａ等の脱塵手段とを有する送風ユニット２と、例えば基板１００のような収容物を収容するための空間を形成する筐体１１及び上蓋１２の箱体に、送風ユニット２との接合する部分となり、送風ユニット２から送られる気体が流入する給気口部１３を少なくとも設けた清浄空間ユニット１とを備え、送風ユニット２に対して清浄空間ユニット１を脱着可能にするものである。【選択図】        図１
2006202809.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送風手段と、該送風手段により送られる気体のパーティクルを除去する脱塵手段を有す
る送風ユニットと、
収容物を収容するための空間を形成する箱体に、前記送風ユニットとの接合する部分と
なり、前記送風ユニットから送られる気体が流入する給気口部を少なくとも設けた清浄空
間ユニットとを備え、
前記送風ユニットに対して前記清浄空間ユニットを脱着可能にすることを特徴とする収
容物保管搬送装置。
【請求項２】
前記送風ユニットに載置した前記清浄空間ユニットを、前記収容物の保管庫とすること
を特徴とする請求項１に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項３】
清浄空間ユニット単体を収容物搬送用のボックスとすることを特徴とする請求項１に記
載の収容物保管搬送装置。
【請求項４】
前記送風ユニットの前記送風手段は電動ファンであることを特徴とする請求項１に記載
の収容物保管搬送装置。
【請求項５】
前記電動ファンに、前記送風ユニット外部の電源から電力を供給することを特徴とする
請求項４に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項６】
前記送風ユニットは、前記電動ファンに電力を供給するための内部電源をさらに備える
ことを特徴とする請求項４に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項７】
前記送風ユニットの前記送風手段から圧縮気体により気体を送ることを特徴とする請求
項１に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項８】
前記送風ユニットの前記送風手段は、前記送風ユニット外部から供給された前記圧縮気
体により気体を送ることを特徴とする請求項７に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項９】
前記送風ユニットの前記送風手段は、前記送風ユニット内に蓄えた又は得た圧縮気体に
より気体を送ることを特徴とする請求項７に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項１０】
前記送風ユニットの前記脱塵手段を高密度フィルタとすることを特徴とする請求項１〜
９のいずれかに記載の収容物保管搬送装置。
【請求項１１】
前記高密度フィルタを前記送風ユニット本体から脱着可能とすることを特徴とする請求
項１０に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項１２】
前記清浄空間ユニットの種類に関わらず、前記清浄空間ユニットと前記送風ユニットと
が接合する部分の形状及び大きさを共通にすることを特徴とする請求項１記載の収容物保
管搬送装置。
【請求項１３】
前記送風ユニットは、前記清浄空間ユニットが載置されている間だけ前記送風手段に気
体を送らせる検知手段をさらに有することを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載
の収容物保管搬送装置。
【請求項１４】
前記収容ユニットと前記送風ユニットとの前記接合する部分に、外部からの気体の流入
を防ぐための気密手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項１５】
前記気密手段はＯリングであることを特徴とする請求項１４に記載の収容物保管搬送装
置。
【請求項１６】
前記清浄空間ユニットが形成する前記空間において、前記箱体底部に設けた前記給気口
部から収容物を通過させ、頂部に流れた気体を前記給気口部とは別に前記箱体底部に設け
た排気部から前記送風ユニットに前記気体を循環させることを特徴とする請求項１記載の
収容物保管搬送装置。
【請求項１７】
前記清浄空間ユニットは、前記給気口部及び前記排気口部に高密度フィルタを設けるこ
とを特徴とする請求項１６に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項１８】
前記清浄空間ユニットが形成する前記空間に、前記収容物を固定するためのガイドをさ
らに有することを特徴とする請求項１６に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項１９】
前記清浄空間ユニットは、前記空間内に複数の基板搬送用キャリアを収容できることを
特徴とする請求項１６に記載の収容物保管搬送装置。
【請求項２０】
収容物を収容するための空間を形成する箱体の底部に、流入した気体を前記収容物の下
部から上部に向けて送るための給気口部を有し、
前記給気口部に清浄な気体を流入させるための送風ユニットと着脱可能にすることを特
徴とする清浄空間ユニット。
【請求項２１】
送風手段と、該送風手段による気体からパーティクルを除去した気体を、収容物が収容
される清浄空間ユニットに送るための脱塵手段とを有し、
前記清浄空間ユニットと着脱可能にすることを特徴とする送風ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板（ウェハ）等の収容物を保管、搬送等をするための収容物保管搬送装置
に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体、その他の微細加工物の製造工程において、加工対象となるシリコン、ガラス等
の基板を保管、搬送等をすることがある。基板にパーティクル（粉塵等）が付着すると歩
留りを低下させる大きな要因となるため、保管、搬送の際、パーティクルが付着しないよ
うに、箱体内の清浄な空間に基板を収容し、保管等を行うための装置が提供されている（
例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−２５３８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上述した装置は、装置重量の大半を占める送風手段（機構）を有したまま搬送
を行わなければならず、不便であった。また、紫外線照射の熱による対流で送風をおこな
っており、その熱エネルギの大きさから考えると、収容容量の小さな装置に対しては適し
ているが、基板の収容枚数、大きさが増える等、将来的に空間容量が大容量化した場合に
はそれに対応することができない。また、紫外線源に液体等、異物が入り込むと危険であ
る。
【０００４】
そこで、本発明は、保管、搬送等に好適であり、大容量化にも対応することができるよ
うな収容物保管搬送装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る収容物保管搬送装置は、送風手段と、送風手段から送られる気体のパーテ
ィクルを除去する脱塵手段とを有する送風ユニットと、収容物を収容するための空間を形
成する箱体に、送風ユニットとの接合する部分となり、送風ユニットから送られる気体が
流入する給気口部を少なくとも設けた清浄空間ユニットとを備え、送風ユニットに対して
清浄空間ユニットを脱着可能にするものである。
本発明によれば、清浄空間ユニットと送風ユニットとを脱着可能にしたので、収容物周
囲の気体を外部よりもさらに清浄な状態にし、保管、搬送を行うことができる。特に搬送
の際、清浄空間ユニットだけを小型で軽量なキャリアボックスにして運ぶことができる。
【０００６】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置は、送風ユニットに載置した清浄空間ユニット
を、収容物の保管庫とする。
本発明によれば、収容物周囲の気体を外部よりもさらに清浄な状態にし、保管すること
ができる。
【０００７】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置は、清浄空間ユニット単体を収容物搬送用のボ
ックスとする。
本発明によれば、収容物周囲の気体を外部よりもさらに清浄な状態にし、搬送すること
ができる。
【０００８】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の送風ユニットの送風手段は電動ファンである
。
本発明によれば、送風手段を容易に構成することができ、また運転費用を抑えることが
できる。また、気体を送る量を容易に変更することができるので、装置の大容量化にも容
易に追従させることができる。
【０００９】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置では、電動ファンに外部の電源から電力を供給
する。
本発明によれば、商用電源等から電力を供給することで、バッテリ切れ等の時間を考慮
することなく運転を継続することができる。
【００１０】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の送風ユニットは、電動ファンに電力を供給す
るための内部電源をさらに備える。
本発明によれば、商用電源等のある場所に限定することなく装置を移動または設置する
ことができる。
【００１１】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の送風ユニットの送風手段から圧縮気体により
気体を送る。
本発明によれば、簡便な構造で送風手段を容易に構成することができ、小型化、軽量化
を図ることができる。また、気体を送る量を容易に変更することができるので、装置の大
容量化にも容易に追従させることができる。
【００１２】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の送風ユニットの送風手段は、送風ユニット外
部から供給された圧縮気体により気体を送る。
本発明によれば、大きな供給源から供給させることにより、時間を考慮することなく運
転を継続することができる。
【００１３】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の送風ユニットの送風手段は、送風ユニット内
に蓄えた又は得た圧縮気体により気体を送る。
本発明によれば、圧縮気体の供給源のある場所に限定することなく装置を移動または設
置することができる。
【００１４】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置では、送風ユニットの脱塵手段を高密度フィル
タとする。
本発明によれば、除去能力の高い脱塵手段を容易に構成することができる。
【００１５】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の高密度フィルタを送風ユニット本体から脱着
可能とする。
本発明によれば、高密度フィルタの交換等、メンテナンスを容易に行うことができる。
【００１６】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置は、清浄空間ユニットの種類に関わらず、清浄
空間ユニットと送風ユニットとが接合する部分の形状及び大きさを共通にする。
本発明によれば、清浄空間ユニットの種類に関係なく共通にすることにより、送風ユニ
ットを共通して利用できるので、１対１で組み合わせて購入する等の必要がなく投資を抑
えることができる。
【００１７】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の送風ユニットは、清浄空間ユニットが載置さ
れている間だけ送風手段に気体を送らせる検知手段をさらに有する。
本発明によれば、清浄空間ユニットが載置されている間だけ送風手段を動作させるよう
にしたので、運転動作に係る費用を抑えることができる。
【００１８】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置は、清浄空間ユニットと送風ユニットとが接合
する部分に、外部からの気体の流入を防ぐための気密手段を備える。
本発明によれば、気密手段により外部からの気体の流入を防ぐようにしたので、清浄な
気体を清浄空間ユニットに送ることができる。また、逆に外部への気体の流出を防ぐので
、効率よく清浄な気体を送ることができる。
【００１９】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置において気密手段はＯリングである。
本発明によれば、容易に、安価に気密手段を構成することができる。
【００２０】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置は、清浄空間ユニットが形成する空間において
、箱体底部に設けた給気口部から収容物を通過させ、頂部に流れた気体を給気口部とは別
に箱体底部に設けた排気部から送風ユニットに気体を循環させる。
本発明によれば、収容物の下方から上方に向けて気体の流れを制御するようにしたので
、収容物にパーティクルが落下せず、より清浄度の高い状態に保つことができる。
【００２１】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の清浄空間ユニットは、給気口部及び排気口部
に高密度フィルタを設ける。
本発明によれば、搬送時等、清浄空間ユニットを送風ユニットから切り離した場合でも
、接合する部分からパーティクル等を含む非清浄気体の流入を防ぐことができる。
【００２２】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置は、清浄空間ユニットが形成する空間に、収容
物を固定するためのガイドをさらに有する。
本発明によれば、搬送時等、収容物と箱体とが擦れることがなく、箱体内部での発塵を
防ぐことができる。
【００２３】
また、本発明に係る収容物保管搬送装置の清浄空間ユニットは、空間内に複数の基板搬
送用キャリアを収容できる。
本発明によれば、複数の基板搬送用キャリアを収容できるようにしたので、基板の収容
数を増やすことができる。
【００２４】
また、本発明に係る清浄空間ユニットは、収容物を収容するための空間を形成する箱体
の底部に、流入した気体を収容物の下部から上部に向けて送るための給気口部を有し、給
気口部に清浄な気体を流入させるための送風ユニットと着脱可能にする。
本発明によれば、清浄空間ユニットを送風ユニットと脱着可能にするようにしたので、
搬送の際、清浄空間ユニットだけを小型で軽量なキャリアボックスにし、かつ箱体内の気
体を外部よりも清浄な状態にして運ぶことができる。
【００２５】
また、本発明に係る送風ユニットは、送風手段と、送風手段による気体からパーティク
ルを除去した気体を、収容物が収容される清浄空間ユニットに送るための脱塵手段とを有
し、清浄空間ユニットと着脱可能にする。
本発明によれば、送風ユニットを清浄空間ユニットと脱着可能にするようにしたので、
送風ユニットだけの機械のメンテナンス等も容易に行うことができる。また、脱塵手段に
より、パーティクルを除去し、清浄空間ユニットの箱体内の気体を外部よりも清浄な状態
にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
実施の形態１．
図１は本発明の第１の実施の形態に係る収容物保管搬送装置を表す図である。図１は配
置関係を長手方向から見た図である。本実施の形態の収容物保管搬送装置は、例えば基板
（代表的なものとしてシリコンウェハ）１００を収容するための清浄空間ユニット１と清
浄空間ユニット１の箱体内に気体を送風する送風ユニット２で構成される。
【００２７】
図２は配置関係を短手方向から見た図である。清浄空間ユニット１は、さらに筐体１１
、上蓋１２、給気口部１３、排気口部１４、キャリアガイド１５、導風板１６で構成され
、２つのウェハキャリア（以下、キャリアという）１００Ａを同時に収容することができ
る。筐体１１及び上蓋１２は基板１００を収容するための箱体（ボックス）となる。箱体
内は、搬送時、保管時等において、剥き出しにすることなく基板１００を収容し、パーテ
ィクル等から基板１００を保護する清浄な空間が形成される。上蓋１２を取り外し可能と
することにより、キャリア１００Ａ（基板１００）を出し入れすることができる。ここで
、上蓋１２と筐体１１との（接面部分）には、外気が流入出しないように気密機構が施さ
れている。特に本実施の形態の装置では、キャリアガイド１５及び上蓋１２により仕切り
、２つのキャリア１００Ａを収容できる２つの空間を形成している。そこで、一方の空間
側から他方の空間側への気体の流入出により、特にキャリア１００Ａに収納された基板１
００の直上部分の気体の流れを乱さないように、また、パーティクルを流入出させないよ
うにするため、上蓋１２とキャリアガイド１５とが接する部分について、Ｏリング等の気
密手段を用いて気体がリークしない（漏れない）ようにする。さらに本実施の形態では、
上蓋１２の内側に導風壁１２Ａが形成されており、空間形成の内壁の一部となる。導風壁
１２Ａは気体の流れを排気口部１４に導きやすくするために曲面状を成している。
【００２８】
図３は筐体１１内の配置関係を上側から見た図である。給気口部１３は、送風ユニット
２からの気体を基板１００の下方から上方に向けて送るため、筐体１１の底面で、キャリ
ア１００Ａ（基板１００）が載置される直下部分に設けられている（本実施の形態では、
底面の内側部分に設けている）。給気口部１３には、パーティクルの流入を防ぐための脱
塵手段となる、例えばＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air ）フィルタ等の高密
度フィルタ１３Ａが設けられており、清浄な気体を基板１００に送ることができる。排気
口部１４は、送風ユニット２に気体を循環させるため、筐体１１の底面で、給気口部１３
ではない部分に設けている（本実施の形態では、底面外側部分に設けている）。排気口部
１４にも高密度フィルタ１４Ａが設けられている。給気口部１３及び排気口部１４の下部
は送風ユニット２の送風口部２３、吸気口部２４との接合部分となる。ここで、例えば、
清浄空間ユニット１の箱体又は送風ユニット２の筐体の大きさ等に関わらず、供給口部１
３及び送風口部２３、排気口部１４及び吸気口部２４の接合部分については、それぞれ共
通して同じ形状、同じ大きさとする。これにより、異なる大きさの清浄空間ユニット１、
送風ユニット２間での組み合わせを構成することができ、常に１対１の組み合わせを揃え
る必要はなくなる（例えば１つの送風ユニット２に対し、複数の空間ユニット１を組み合
わせて用いることができる）。また、接合部分には外部から気体が入り込まないようにす
るため、気密手段となるＯリング１７が設けられている。Ｏリング１７により、容易にか
つ安価に接合部分の気密を保持することができる。本実施の形態ではＯリング１７を清浄
空間ユニット１側に設けているが、送風ユニット２側に設けるようにしてもよい。また、
清浄空間ユニット１の筐体１１と送風ユニット２側との接合部分についても気密手段を設
けるようにしてもよい。
【００２９】
キャリアガイド１５は、キャリア１００Ａを載置する位置を固定するために設けた手段
である。キャリア１００Ａがうまく固定されず、内部で擦れあうことによる発塵を防ぎ、
また、基板１００が動いて傷等がついてしまわないようにするために設けている。そして
、キャリアガイド１５の上には導風板１６が設けられている。導風板１６は、気体の流れ
に沿って箱内の空間を給気側と排気側に区分けするために設けられている。導風板１６は
、キャリア１００Ａの載置又は取り出しを容易に行えるようにするために上部に向かって
開いている。ここではキャリアガイド１５と導風板１６とをそれぞれ区別して設けている
が、一体形成させてもよい。
【００３０】
キャリア１００Ａでは、基板１００は、その側面（円盤状をなしていない面）が上下方
向となるように載置される（いわゆる縦置きにされる）。キャリア１００Ａの底部は開口
されており、給気口部１３から基板１００間を抜けて頂部に向かう気体の流れを形成する
ことができる。これにより、清浄な気体が基板１００の下方から上方に向かって吹き上げ
る上昇気流となる流れを形成するので、パーティクルが落ちてきて基板１００に付着する
のを防ぐことができる。
【００３１】
一方、送風ユニット２は、筐体２１、電動ファン２２、バッテリ２２Ａ、送風口部２３
、吸気口部２４、検知手段２５で構成される。送風ユニット２は清浄空間ユニット１が載
置される基台（ベース）の役割も果たす。筐体２１内に設けられた送風手段となる電動フ
ァン２２は、清浄空間ユニット１の給気口部１３から、基板１００の下方から上方に向け
て上昇気流を形成するような位置にファンを配置し、運転を行わせる。電動ファン２２に
は、例えば調節用つまみ等の調節手段（図示せず）を設けてファンの回転数を可変制御す
ることにより、風量調節できるようにしてもよい。ここで、本実施の形態においては、筐
体２１（送風ユニット２）内に設置したバッテリ２２Ａが電源となり、電動ファン２２に
電力を供給するものとする。これにより、場所を選ばずに装置を移動および設置すること
ができる。ただ、これには限定されず、図２のように、電源ファン２２に例えばコード２
２Ｂを介して、商用電源等の外部電源１１０から電力を供給するようにしてもよい。この
場合にはバッテリ切れ等、運転時間を考慮する必要がなくなる。
【００３２】
電動ファン２２の動作により、気体は送風口部２３を通り、清浄空間ユニット１側に送
られる。送風口部２３にも脱塵手段となる高密度フィルタ２３Ａが設けられている。清浄
空間ユニット１が載置されると、前述したように、清浄空間ユニット１の供給口部１３と
送風口部２３とが接合される。清浄空間ユニット１側の高密度フィルタ１４Ａ及び送風ユ
ニット２側の高密度フィルタ２３Ａと二重に脱塵手段を設け、しかも、Ｏリング１７のよ
うな気密手段を用いて接合部分での外部からの気体の流入を防ぐことにより、基板１００
間を流そうとする気体に対し、パーティクルの混入を防止することができる。また、清浄
空間ユニット１側の排気口部１４から出た気体は吸気口部２４を通過する。この吸気口部
２４にも高密度フィルタ２４Ａが設けられている。したがって、送風口部２３から送られ
た気体は、給気口部１３、排気口部１４及び吸気口部２４を通り、電動ファン２２により
送風口部２３から送られることになる。これが続くことにより清浄な気体が循環する。こ
こで、高密度フィルタ２３Ａ、２４Ａを送風ユニット２から着脱可能にすることにより、
フィルタ交換を含めたメンテナンスを容易に行うことができる（清浄空間ユニット１の高
密度フィルタ１３Ａ、１４Ａについても、着脱可能にするようにしてもよい）。
【００３３】
検知手段２５は、清浄空間ユニット１が載置されたかどうかを検知し、電動ファン２１
を動作させるための手段である。本実施の形態の検知手段２５は、清浄空間ユニット１を
載置されている間、スイッチが押下され、電動ファン２１に電力の供給を行う機構となっ
ている。清浄空間ユニット１が載置されていなければ、電動ファン２１に電力が供給され
ないので、電力消費を抑えることができる。本実施の形態では、機械的なスイッチを検知
手段２５に用いているが、例えばセンサ等を用いて、清浄空間ユニット１が載置されてい
るかどうかを検知及び判断し、電動ファン２１への電力供給を制御するようにしてもよい
。
【００３４】
以上のように、第１の実施の形態の収容装置によれば、互いに脱着可能な清浄空間ユニ
ット１と送風ユニット２とで構成されており、清浄空間ユニット１を送風ユニット２の上
に載置することで、基板１００をより清浄な状態で保管庫として利用することができ、ま
た、清浄空間ユニット１だけを送風ユニット２から切り離して、より清浄な状態で搬送用
のキャリアボックスとして利用することができる。清浄空間ユニット１と送風ユニット２
とを分離した装置構成とすることで、特に搬送の際、清浄空間ユニット１だけを小型で軽
量なキャリアボックスにして運ぶことができる。そして、送風ユニット２の上に清浄空間
ユニット１を載置することで、清浄な気体が筐体１１底部に設けた供給口部１３を通って
上昇気流を形成して基板１００を流れることにより、基板１００にパーティクルが落下せ
ず、より清浄度の高い状態に保つことができる。
【００３５】
その際、清浄空間ユニット１の供給口部１３、送風ユニット２の送風口部２３に、ＨＥ
ＰＡ等の高密度フィルタ１３Ａ、２３Ａを設けることにより、脱塵手段を容易に構成する
ことができ、清浄な気体を空間内に送ることができる。そして、装置内の高密度フィルタ
１３Ａ、１４Ａ、２３Ａ、２４Ａを、ユニット本体から着脱させるように構成することで
、フィルタ交換等、メンテナンスを容易に行うことができる。そして、清浄空間ユニット
１を送風ユニット２に載置したときの接合部分をＯリング１７で外部からの気体の流入を
防ぐことにより、容易にかつ安価に、清浄な状態に気密することができる。
【００３６】
また、電動ファン２２を用いることにより、送風手段を容易に構成し、運転費用を抑え
ることができる。そして、電動ファン２２の運転の際、内部に設けたバッテリ２２Ａから
電力を供給すれば、場所を限定することなく装置を移動または設置することができる。逆
に外部から電力を供給するようにすればバッテリ切れ等の時間を考慮せずに、基板１００
の保管等を続けることができる。さらに、複数のキャリア１００Ａを箱体内に収納するよ
うにしたので、基板１００収容数を増やすことができる。そして、キャリア１００Ａを固
定するキャリアガイド１５を設けることにより、キャリア１００Ａが内部で筐体１１等と
擦れることもなく、箱体内部での発塵を防ぐことができる。
【００３７】
実施の形態２．
図４は本発明の第２の実施の形態に係る送風ユニット２Ａを表す図である。本実施の形
態では、図４に示すように、電動ファン２２の代わりに、圧縮気体を蓄えたボンベ２６を
用いて、第１の実施の形態と同様に清浄空間ユニット１に送風する。ボンベ２６から送風
口２３の間には、調節手段となるレギュレータ２６Ａが設けられており、送風口から送る
風量を調節することができる。本実施の形態では、圧縮気体を供給する手段としてボンベ
２６を用いているが、図５に示すように、外部に設けたコンプレッサ１１１等から供給さ
れた気体を送るようにしてもよい。
【００３８】
例えば、上記のようなボンベ２６を用いて送風を行う場合には、送風ユニット２Ａ内部
に動力源を有していないため、送り出した気体を循環させることは困難である。したがっ
て、送風ユニット２Ａには実施の形態１のような吸気口部２４を特に設ける必要なはい。
また、清浄空間ユニット１についても、排気口部１４を底面部分に設ける必要もない。
【００３９】
以上のように、実施の形態２によれば、例えばボンベ２６のような圧縮気体を供給する
手段を用いるようにしたので、簡便な構造の手段により、送風ユニット２Ａを小型化、軽
量化することができる。また、ボンベ２６のように圧縮気体の供給手段を送風ユニット２
Ａ内に内蔵していれば、場所を限定することなく装置を移動または設置することができる
。逆に外部から供給するようにすれば時間を考慮せずに、基板１００の保管等を続けるこ
とができる。
【００４０】
実施の形態３．
上述の実施の形態では、送風する気体について言及しなかったが、例えば、窒素等の不
活性の気体を送風し、充満等をさせることにより、例えば基板１００がシリコンウェハ等
であった場合、ウェハ表面の酸化を防ぐこともできる。
【００４１】
実施の形態４．
上述の実施の形態では、収容物として基板１００を装置内に収容することを前提として
説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。他にもパーティクルを付着させた
くない製造物（製品）、サンプル、治具等を清浄空間ユニット１の箱体内に収容して保管
、搬送を行うことができる。また、基板１００についても、シリコン等のウェハ、ガラス
基板、金属基板、ディスク等、その種類を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る収容物保管搬送装置を表す図である。
【図２】配置関係を短手方向から見た図である。
【図３】筐体１１内の配置関係を上側から見た図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る送風ユニット２Ａを表す図である。
【図５】圧縮気体を外部に設けたコンプレッサ等から供給する図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  清浄空間ユニット、１１  筐体、１２  上蓋、１２Ａ  導風壁、１３  給気口部、
１４  排気口部、１５  キャリアガイド、１６  導風板、１７  Ｏリング、２，２Ａ  送
風ユニット、２１  筐体、２２  電動ファン、２２Ａ  バッテリ、２３  送風口部、２４
吸気口部、２５  検知手段、２６  ボンベ、２７Ａ  レギュレータ、１３Ａ，１４Ａ，
２３Ａ，２４Ａ  高密度フィルタ、１００  基板、１００Ａ  キャリア
【図１】
2006202809.tif 000003
【図２】
2006202809.tif 000004
【図３】
2006202809.tif 000005
【図４】
2006202809.tif 000006
【図５】
2006202809.tif 000007