(57)【要約】      （修正有）【課題】可動子の移動方向と直交する方向の厚み寸法を小さくすることができるリニアモータを提供する。【解決手段】第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂは、第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの複数の第１の極歯１５と第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの複数の第２の極歯１７とが対向し、第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの複数の第２の極歯１７と第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの複数の第１の極歯１５とが対向するように配置する。永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃのそれぞれを、永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃの両側面が、第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂの複数の第１の極歯１５及び第２の複数の極歯１７と対向するように、対応するコイルユニット７Ａ〜７Ｃの第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａと第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂとの間に配置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の永久磁石が列をなるように形成された２以上の永久磁石列と、前記２以上の永久磁石列を平行に並んだ状態で支持する支持体とを有し、前記永久磁石列を構成する前記複数の永久磁石が、前記２以上の永久磁石列が並ぶ方向の両側面にそれぞれ磁極が現れ且つ前記永久磁石列が延びる方向に交互に異なる極性の磁極が現れるように着磁されている永久磁石列ユニットと、
前記２以上の永久磁石列にそれぞれ対応して設けられた２以上のコイルユニットを備えて、前記永久磁石列ユニットと組み合わされる電機子ユニットとを備え、
前記電機子ユニットの前記２以上のコイルユニットは、それぞれ、巻線導体が環状に巻回されて構成されたコイルと、前記コイルに対して配置された第１及び第２のクローポール型ヨークユニットとを備え、前記内部空間の主要部が前記第１のクローポール型ヨークユニットと前記第２のクローポール型ヨークユニットとの間に形成されるように、第１及び第２のクローポール型ヨークユニットが前記コイルに対して装着された構造を有しており、
前記コイルは、直線状に延び且つ間隔をあけて対向する一対の直線部と前記一対の直線部をつなぐ一対の連結部とを備えており、
前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、前記コイルの前記一対の直線部にそれぞれ対応し且つ内部を対応する１つの前記直線部が延びるように、前記コイルに対して配置されており、
前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、それぞれ前記電機子ユニットから前記永久磁石列ユニットに向かう一方の方向に向かって延び且つ前記直線部に沿って列をなすように並ぶ複数の第１の極歯と、前記一方の方向と反対の他方の方向に向かって延び且つ前記直線部に沿って列をなすように並ぶ複数の第２の極歯と、前記複数の第１の極歯と前記複数の第２の極歯とを磁気的に連結するヨークとを備えており、
前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、前記第１のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第１の極歯と前記第２のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第２の極歯とが対向し、前記第１のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第２の極歯と前記第２のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第１の極歯とが対向するように前記コイルの前記一対の直線部に対してそれぞれ配置されており、
前記２以上の永久磁石列のそれぞれは、前記永久磁石列の前記両側面が、前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第１の極歯及び前記第２の複数の極歯と対向するように、対応する前記コイルユニットの前記第１のクローポール型ヨークユニットと前記第２のクローポール型ヨークユニットとの間に配置されており、
前記永久磁石列ユニット及び前記電機子ユニットの一方が可動子を構成し、他方が固定子を構成するリニアモータ。
【請求項２】
前記第１及び第２の極歯は、前記ヨークから離れるに従って、横断面積が小さくなる形状を有している請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記電機子ユニットが固定子となり、前記永久磁石ユニットが可動子となり、
前記２以上のコイルユニットは、電気角で１２０°ずつずれた３相の第１〜第３のコイルユニットからなり、
前記２以上の永久磁石列は、前記第１〜第３のコイルユニットにそれぞれ対応して設けられた第１〜第３の永久磁石列からなり、
前記第１〜第３の永久磁石列の前記永久磁石の着磁方向が、前記第１〜第３のコイルユニットの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれていることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記第１〜第３のコイルユニットが非磁性体の基台上に平行に並んで配置されており、
前記第１〜第３の永久磁石列が前記支持体上にほぼ平行に並んで配置されている請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記第１のコイルユニットは、第１の基台上に配置されており、
前記第２及び第３のコイルユニットは、第２の基台上に配置されており、
前記第１及び第２の基台は、平行に対向して配置されており、
前記第１の永久磁石列が前記支持体の一方の面上に配置され、
前記第２及び第３の永久磁石列が前記支持体の他方の面上に配置されている請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記第１〜第３のコイルユニットは、第１〜第３の基台上にそれぞれ配置されており、
前記第１〜第３の基台は、前記第１の基台と前記第３の基台とが平行に対向し、前記第２の基台が前記第１及び第３の基台とそれぞれ直交するように配置されており、
前記支持体は前記可動子の移動方向に延びる形状を有しており、
前記第１〜第３の永久磁石列が前記支持体から前記移動方向と直交する方向に放射状に突出するように配置されている請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項７】
前記電機子ユニットが固定子となり、前記永久磁石ユニットが可動子となり、
前記２以上のコイルユニットは、電気角で１２０°ずつずれた３相の第１〜第３のコイルユニットと電気角で１２０°ずつずれた３相の第４〜第６のコイルユニットからなり、
前記２以上の永久磁石列は、前記第１〜第６のコイルユニットにそれぞれ対応して設けられた第１〜第６の永久磁石列からなり、
前記第１〜第３の永久磁石列の前記永久磁石の着磁方向が、前記第１〜第３のコイルユニットの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれており、
前記第４〜第６の永久磁石列の前記永久磁石の着磁方向が、前記第４〜第６のコイルユニットの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれており、
前記第１〜第３のコイルユニットが第１〜第３の基台上にそれぞれ配置されており、
前記第４〜第６のコイルユニットが前記第１の基台、第４の基台及び前記第３の基台上にそれぞれ配置されており、
前記第１〜第４の基台は、前記第１の基台と前記第３の基台とが対向し、前記第２の基台と前記第４の基台とが対向し、前記第１の基台と前記第２の基台とが直交し、前記第２の基台と前記第３の基台とが直交し、前記第３の基台と前記第４の基台とが直交し、前記第４の基台と前記第１の基台とが直交するように配置されており、
前記支持体は前記可動子の移動方向に延びる第１及び第２の本体部と前記第１及び第２の本体部を連結する連結部とを有しており、
前記第１〜第３の永久磁石列が前記第１の本体部から前記移動方向と直交する方向に放射状に突出するように配置されており、
前記第４〜第６の永久磁石列が前記第２の本体部から前記移動方向と直交する方向に放射状に突出するように配置されている請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項８】
前記支持体がアルミニウムからなる請求項３〜７のいずれか一つに記載のリニアモータ。
【請求項９】
前記支持体と前記永久磁石列とは、両者に亘って配置された金属カバー部材に覆われている請求項４〜８のいずれか一つに記載のリニアモータ。
【請求項１０】
前記カバー部材がステンレスからなる請求項９に記載のリニアモータ。
【請求項１１】
前記２以上のコイルに配置された複数の前記第１のクローポール型ヨークユニットと複数の前記第２のクローポール型ヨークユニットとは、１枚の第１の磁性体板と、１枚の第２の磁性体板と、前記第１の磁性体板と第２の磁性体板とを接続する複数の磁性体接続板とが組み合わされて構成されており、
相互に対抗する前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットのそれぞれの前記複数の第１の極歯は、前記第１の磁性体板に形成した切り込みが起立されて形成されており、
相互に対抗する前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットのそれぞれの前記複数の第２の極歯は、前記第２の磁性体板に形成した切り込みが起立されて形成されており、
前記複数の磁性体接続板は、前記第１の磁性体板と前記第２の磁性体板と前記複数の磁性体接続板の隣接する２つの磁性体接続板との間に前記コイルが位置するように配置されている請求項１に記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリニアモータに関するものであり、特にクローポール型ヨークユニットを用いるリニアモータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特開平１−１６０３４８号公報（特許文献１）には、電機子ユニットからなる固定子と永久磁石列ユニットからなる可動子とを備えたリニアモータが示されている。電機子ユニットは、巻線導体が環状に巻回されて構成されたコイルと、このコイルに対して配置されたクローポール型ヨークユニットとを備えている。コイルは、直線状に延び且つ間隔をあけて対向する一対の直線部と一対の直線部をつなぐ一対の連結部とを備えている。クローポール型ヨークユニットは、一方の方向に向かって延び且つコイルの直線部に沿って列をなすように並ぶ複数の第１の極歯と、前述の一方の方向と反対の他方の方向に向かって延び且つコイルの直線部に沿って列をなすように並ぶ複数の第２の極歯と、複数の第１の極歯と複数の第２の極歯とを磁気的に連結するヨークとを備えている。クローポール型ヨークユニットは、複数の第１の極歯と複数の第２の極歯とがコイルの外側に向かって露出するように配置されている。永久磁石列ユニットは、複数の永久磁石が列をなるように形成された永久磁石列と、この永久磁石列を平行に並んだ状態で支持する磁気材料からなるバックヨークとを有している。そして、永久磁石列ユニットは、永久磁石列の磁極面が、クローポール型ヨークユニットの複数の第１の極歯及び複数の第２の複数の極歯と対向するように、コイルに隣接して配置されている。
【特許文献１】特開平１−１６０３４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種のリニアモータでは、可動子の移動方向と直交する方向の厚み寸法を小さくすることが求められている。しかしながら従来のリニアモータでは、厚み寸法を小さくするのに限界があった。また、従来のリニアモータでは、永久磁石列に磁気材料からなるバックヨークを用いなければならなかった。また、厚み寸法が小さい軸受は、許容耐荷重が小さく、リニアモータの有する磁気吸引力により、軸受の寿命が短くなる問題があった。
【０００４】
本発明の目的は、可動子の移動方向と直交する方向の厚み寸法を小さくすることができるリニアモータを提供することにある。
【０００５】
本発明の他の目的は、永久磁石列ユニットに磁気材料からなるバックヨークを用いる必要がなく、軽量で推力の大きいリニアモータを提供することにある。
【０００６】
本発明の他の目的は、軸受の寿命を延ばすことができるリニアモータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のリニアモータは、永久磁石列ユニットと電機子ユニットとを備えている。永久磁石列ユニットは、複数の永久磁石が列をなるように形成された２以上の永久磁石列と、２以上の永久磁石列を平行に並んだ状態で支持する支持体とを有している。永久磁石列を構成する複数の永久磁石は、２以上の永久磁石列が並ぶ方向の両側面にそれぞれ磁極が現れ且つ永久磁石列が延びる方向に交互に異なる極性の磁極が現れるように着磁されている。電機子ユニットは、２以上の永久磁石列にそれぞれ対応して設けられた２以上のコイルユニットを備えて、永久磁石列ユニットと組み合わされている。
【０００８】
電機子ユニットの２以上のコイルユニットは、それぞれ、巻線導体が環状に巻回されて構成されたコイルと、コイルに対して配置された第１及び第２のクローポール型ヨークユニットとを備えている。そして、コイルユニットは、コイルユニットの内部空間の主要部が第１のクローポール型ヨークユニットと第２のクローポール型ヨークユニットとの間に形成されるように、第１及び第２のクローポール型ヨークユニットがコイルに対して装着された構造を有している。
【０００９】
コイルは、直線状に延び且つ間隔をあけて対向する一対の直線部と一対の直線部をつなぐ一対の連結部とを備えている。
【００１０】
第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、コイルの一対の直線部にそれぞれ対応し且つ内部を対応する１つの直線部が延びるように、コイルに対して配置されている。
【００１１】
また、第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、それぞれ電機子ユニットから永久磁石列ユニットに向かう一方の方向に向かって延び且つ直線部に沿って列をなすように並ぶ複数の第１の極歯と、一方の方向と反対の他方の方向に向かって延び且つ直線部に沿って列をなすように並ぶ複数の第２の極歯と、複数の第１の極歯と複数の第２の極歯とを磁気的に連結するヨークとを備えている。
【００１２】
更に、第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、第１のクローポール型ヨークユニットの複数の第１の極歯と第２のクローポール型ヨークユニットの複数の第２の極歯とが対向し、第１のクローポール型ヨークユニットの複数の第２の極歯と第２のクローポール型ヨークユニットの複数の第１の極歯とが対向するようにコイルの一対の直線部に対してそれぞれ配置されている。
【００１３】
２以上の永久磁石列のそれぞれは、永久磁石列の両側面が、第１及び第２のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第１の極歯及び前記第２の複数の極歯と対向するように、対応するコイルユニットの第１のクローポール型ヨークユニットと第２のクローポール型ヨークユニットとの間に配置されている。
【００１４】
そして、永久磁石列ユニット及び電機子ユニットの一方が可動子を構成し、他方が固定子を構成いている。
【００１５】
本発明のリニアモータでは、２以上のコイルにそれぞれ位相の異なる電流が流れると、各コイルに対して配置された第１のクローポール型ヨークユニットの極歯と第２のクローポール型ヨークユニットの極歯との間に磁束が流れる。例えば、第１のクローポール型ヨークユニットの第１の極歯→対向する第２のクローポール型ヨークユニットの第２の極歯→第２のクローポール型ヨークユニットのヨーク→前述した第２のクローポール型ヨークユニットの第２の極歯に隣接する第１の極歯→対向する第１のクローポール型ヨークユニットの第２の極歯→第１のクローポール型ヨークユニットのヨーク→前述した第１のクローポール型ヨークユニットの第２の極歯に隣接する第１の極歯の順で磁束が流れる。これにより、２以上のコイルに対してそれぞれ配置された第１のクローポール型ヨークユニットと第２のクローポール型ヨークユニットとの間に配置された永久磁石列に推力が生じる。
【００１６】
本発明のように、永久磁石列を第１のクローポール型ヨークユニットと第２のクローポール型ヨークユニットとの間に配置すれば、永久磁石列は、コイルユニットの内部空間の中に配置されることになる。そのため、永久磁石列と第１のクローポール型ヨークユニットとが引き合う磁力と、永久磁石列と第２のクローポール型ヨークユニットとが引き合う磁力とが相互に打ち消される。その結果、永久磁石列とクローポール型ヨークユニットとの間に両者を引き合う無理な力が発生せず、可動子を安定して配置することができる。また、リニアモータの可動子の移動方向と直交する方向の厚み寸法を小さくすることができる。また、磁気吸引力を小さくして、軸受の寿命を延すことができる。
【００１７】
更に、本発明のリニアモータでは、各コイルユニットに設けられた第１のクローポール型ヨークユニットの極歯と第２のクローポール型ヨークユニットの極歯との間に磁束が流れて磁束の環流が行われる。そのため、従来のように、永久磁石列に磁気材料からなるバックヨークを設ける必要がない。その結果、永久磁石列の支持体の材質の選択の幅を広げることができる。
【００１８】
第１及び第２の極歯は、ヨークから離れるに従って、横断面積が小さくなる形状を有しているのが好ましい。このようにすれば、コギングトルクを小さくすることができる。
【００１９】
電機子ユニットが固定子となり、永久磁石列ユニットが可動子となり、２以上のコイルユニットのコイルは、電気角で１２０°ずつずれた３相の第１〜第３のコイルから構成することができる。この場合、２以上の永久磁石列は、第１〜第３のコイルにそれぞれ対応して設けられた第１〜第３の永久磁石列から構成し、第１〜第３の永久磁石列の永久磁石の着磁方向は、第１〜第３のコイルの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれるようにすればよい。このように、２以上のコイルを３相のコイルから構成すれば、比較的少ない数のコイルで必要な推力及び速度を得ることができる。
【００２０】
このように３相のコイルユニットを用いる場合、コイルユニット及び永久磁石列ユニッの種々の配置を採用して、リニアモータの寸法を適宜に設定することができる。例えば、第１〜第３のコイルユニットを非磁性体の基台上に平行に並んで配置し、第１〜第３の永久磁石列を支持体上にほぼ平行に並んで配置することができる。このようにすれば、リニアモータの厚み寸法を小さくすることができる。
【００２１】
また、第１のコイルを第１の基台上に配置し、第２及び第３のコイルユニットを第２の基台上に配置することができる。この場合、記第１及び第２の基台は、平行に対向して配置する。そして、第１の永久磁石列を支持体の一方の面上に配置し、第２及び第３の永久磁石列を支持体の他方の面上に配置すればよい。
【００２２】
また、第１〜第３のコイルユニットを第１〜第３の基台上にそれぞれ配置することができる。この場合、第１〜第３の基台は、第１の基台と第３の基台とが平行に対向し、第２の基台が第１及び第３の基台とそれぞれ直交するように配置する。そして、支持体は可動子の移動方向に延びる形状を有しており、第１〜第３の永久磁石列を支持体から移動方向と直交する方向に放射状に突出するように配置すればよい。
【００２３】
電機子ユニットが固定子となり、永久磁石ユニットが可動子となり、２以上のコイルユニットを、電気角で１２０°ずつずれた３相の第１〜第３のコイルユニットと電気角で１２０°ずつずれた３相の第４〜第６のコイルユニットとから構成することができる。この場合、２以上の永久磁石列は、第１〜第６のコイルユニットにそれぞれ対応して設けられた第１〜第６の永久磁石列から構成すればよい。そして、第１〜第３の永久磁石列の永久磁石の着磁方向は、第１〜第３のコイルユニットの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずらし、第１〜第３の永久磁石列の永久磁石の着磁方向は、第１〜第３のコイルユニットの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずらせばよい。そして、第１〜第３のコイルユニットを第１〜第３の基台上にそれぞれ配置し、第４〜第６のコイルユニットを第１の基台、第４の基台及び第３の基台上にそれぞれ配置する。第１〜第４の基台は、第１の基台と第３の基台とが対向し、第２の基台と第４の基台とが対向し、第１の基台と第２の基台とが直交し、第２の基台と第３の基台とが直交し、第３の基台と第４の基台とが直交し、第４の基台と第１の基台とが直交するように配置する。また、支持体は可動子の移動方向に延びる第１及び第２の本体部と第１及び第２の本体部を連結する連結部とを有するように構成する。そして、第１〜第３の永久磁石列を第１の本体部から移動方向と直交する方向に放射状に突出するように配置し、第４〜第６の永久磁石列を第２の本体部から移動方向と直交する方向に放射状に突出するように配置配置すればよい。このようにすれば、比較的単純な構成で、６つのコイルユニットを用いて推力及び速度を高めることができる。
【００２４】
電機子ユニットが固定子となり、永久磁石列ユニットが可動子となる場合、支持体を非磁性体のアルミニウムで形成するのが好ましい。このようにすれば、支持体の重量を軽くでき、リニアモータの加速度を高めることができる。
【００２５】
支持体と永久磁石列とは、両者に亘って配置された金属カバー部材で覆うのが好ましい。このようにすれば、カバー部材により永久磁石列を支持体にしっかりと固定することができる。カバー部材は、磁性体であっても非磁性体であっても構わない。カバー部材としてステンレスを用いれば、カバー部材の腐食を防止できる。
【００２６】
第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、種々の構造のものを採用できる。例えば、１枚の第１の磁性体板と、１枚の第２の磁性体板と、第１の磁性体板と第２の磁性体板とを接続する複数の磁性体接続板とが組み合わせて構成することができる。この場合、相互に対抗する第１及び第２のクローポール型ヨークユニットのそれぞれの複数の第１の極歯は、第１の磁性体板に形成した切り込みを起立して形成し、相互に対抗する第１及び第２のクローポール型ヨークユニットのそれぞれの複数の第２の極歯は、第２の磁性体板に形成した切り込みを起立して形成する。そして、複数の磁性体接続板は、第１の磁性体板と第２の磁性体板と複数の磁性体接続板の隣接する２つの磁性体接続板との間にコイルが位置するように配置すればよい。このようにすれば、第１の磁性体板と第２の磁性体板と複数の接続板とにより、複雑な形状の第１及び第２のクローポール型ヨークユニットを簡単に形成することができる。特に、磁性体板に形成した切り込みを起立するという単純な作業で第１の極歯及び第２の極歯を同時に容易に形成することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、永久磁石列を第１のクローポール型ヨークユニットと第２のクローポール型ヨークユニットとの間に配置するので、永久磁石列は、コイルの内部空間の中に配置されることになる。そのため、永久磁石列と第１のクローポール型ヨークユニットとが引き合う磁力と、永久磁石列と第２のクローポール型ヨークユニットとが引き合う磁力とが相互に打ち消される。その結果、永久磁石列とクローポール型ヨークユニットとの間に両者を引き合う無理な力が発生せず、可動子を安定して配置することができる。また、リニアモータの可動子の移動方向と直交する方向の厚み寸法を小さくすることができる。また、磁気吸引力を小さくして、軸受の寿命を延すことができる。
【００２８】
更に、本発明のリニアモータでは、各コイルに設けられた第１のクローポール型ヨークユニットの極歯と第２のクローポール型ヨークユニットの極歯との間に磁束が流れて磁束の環流が行われる。そのため、従来のように、永久磁石列に磁気材料からなるバックヨークを設ける必要がない。その結果、永久磁石列の支持体の材質の選択の幅を広げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の第１の実施の形態のリニアモータの斜視図であり、図２は図１のII−II線断面図であり、図３は図１の一部を分解した図である。各図に示すように、本例のリニアモータは、固定子を構成する電機子ユニット１と可動子を構成する永久磁石列ユニット３と鉄またはアルミニウムの板部からなる基台５とを有している。電機子ユニット１は、３つの第１〜第３のコイルユニット７Ａ〜７Ｃを備えている。コイルユニット７Ａ〜７Ｃは、コイル９と該コイル９に対してそれぞれ配置された第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂとをそれぞれ有している。図３に示すように、コイル９は、いずれも巻線導線が環状に巻回されて構成されており、直線状に延び且つ間隔をあけて対向する一対の直線部９ａと一対の直線部９ａをつなぐ一対の連結部９ｂとを備えている。コイル９は、各コイルの一対の直線部９ａが平行になるように基台５上に並んで配置されている。そして、コイルユニット７Ａ〜７Ｃのコイル９には、電気角で１２０°ずつずれた３相（Ｕ相、Ｖ相，Ｗ相）の電流がそれぞれ流れている。
【００３０】
コイル９の一対の直線部９ａには、該一対の直線部９ａが内部に延びるように第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂがそれぞれ配置されている。第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂは、いずれもケイ素鋼板からなる磁性体の板が加工されて形成されており、複数の第１の極歯１５と、複数の第２の極歯１７と、複数の第１の極歯と複数の第２の極歯とを磁気的に連結する断面がコの字型のヨーク１８とを備えている。複数の第１の極歯１５は、電機子ユニット１から永久磁石列ユニット３に向かう一方の方向に向かって延び且つコイルの直線部９ａに沿って列をなすように並んでいる。複数の第２の極歯１７は、前述の一方の方向と反対の他方の方向に向かって延び且つコイル直線部９ａに沿って列をなすように並んでいる。そして、複数の第１の極歯１５と複数の第２の極歯１７は、非接触状態で相互に噛み合うように所定のピッチτｓで並んでいる。また、第１の極歯１５及び第２の極歯１７は、いずれも三角形の面を有している。これにより、第１の極歯１５及び第２の極歯１７は、ヨーク１８から離れるに従って、横断面積が小さくなる形状を有していることになる。
【００３１】
図４に示すように、第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂは、第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの第１の極歯１５（図４では１５Ａ，１５Ｃ）と第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの第２の極歯１７（図４では１７Ａ，１７Ｃ）とが対向し、第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの第２の極歯１７（図４では１７Ｂ，１７Ｄ）と第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの第１の極歯１５（図４では１５Ｂ，１５Ｄ）とが対向するように配置されている。
【００３２】
図１に示すように、永久磁石列ユニット３は、第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃと、第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃを平行に並んだ状態で支持する支持体２１とを有している。図３に示すように、第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃのそれぞれは、クローポール型ヨークユニットの隣接する第１の極歯１５と第２の極歯１７のピッチτｓとほぼ同じピッチτｐで複数の永久磁石２３が交互に並んで構成されている。複数の永久磁石２３は、第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃが並ぶ方向の両側面にそれぞれ磁極が現れ且つ永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃが延びる方向に交互に異なる極性の磁極が現れるように着磁されている。そして、３つの第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃは、電気角で１２０°ずつずれて配置された状態で支持体２１上に配置されている。具体的には、第１の永久磁石列１９Ａの永久磁石２３が第２の永久磁石列１９Ｂの隣接する２つの永久磁石２３の一方の永久磁石２３の半部と他方の永久磁石２３の半部とに対向するように配置されている。また、第２の永久磁石列１９Ｂの永久磁石２３が第３の永久磁石列１９Ｃの隣接する２つの永久磁石２３の一方の永久磁石２３の半部と他方の永久磁石２３の半部とに対向するように配置されている。そして、第１の永久磁石列１９Ａは、第１の永久磁石列１９Ａの両側面が、第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂのそれぞれの複数の第１の極歯１５及び複数の第２の複数の極歯１７と対向するように、コイルユニット７Ａの第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａと第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂとの間に配置されている。第２の永久磁石列１９Ｂは、第２の永久磁石列１９Ｂの両側面が、第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂのそれぞれの複数の第１の極歯１５及び複数の第２の複数の極歯１７と対向するように、コイルユニット７Ｂの第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａと第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂとの間に配置されている。第３の永久磁石列１９Ｃは、第３の永久磁石列１９Ｃの両側面が、第１及び第２のクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂのそれぞれの複数の第１の極歯１５及び複数の第２の複数の極歯１７と対向するように、コイルユニット７Ｃの第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａと第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂとの間に配置されている。
【００３３】
図１及び図２に示すように、支持体２１は、アルミニウム等の非磁性体からなり、第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃが固定されたステージ本体２１ａとステージ本体２１ａに固定された一対の直線軸受２１ｂとを有している。本例では、図２に示すように、ステージ本体２１ａに深さ０．５〜２ｍｍの３つの溝２１ｃを形成し、これらの３つの溝２１ｃに第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃを嵌合し、接着剤を用いて第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃをステージ本体２１ａに固定した。また、支持体２１と第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃとは、両者に亘って配置された金属カバー部材２５で覆われている。金属カバー部材２５は、磁性体でも非磁性体でも構わない。本例では、ステンレス板等が加工して金属カバー部材２５を作った。また、金属カバー部材２５と支持体２１及び永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃの表面とは、接着剤により接合すればよい。この支持体２１は、第１のコイルユニット７Ａ及び第３のコイルユニット７Ｃの両側に配置された基台５の一対の側壁５ａに直線軸受２１ｂを介して摺動可能に支持されている。このため、第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃは、第１〜第３のコイルユニット７Ａ〜７Ｃの内部空間内において、コイル９の一対の直線部９ａが延びる方向（矢印Ａの方向）に移動可能に配置されることになる。また、本例では、基台５に位置検出装置２７のセンサヘッド２７ａを配置し、支持体２１にセンサヘッド２７ａと所定の間隔を隔てて対向するスケール２７ｂを配置している。これにより、第１〜第３のコイルユニット７Ａ〜７Ｃに対する第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃの位置検出を行っている。
【００３４】
本例のリニアモータでは、第１〜第３のコイルコイルユニット７Ａ〜７Ｃの各コイル９に電流が流れると、各コイル９に対して配置された第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａと第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂとの間に磁束が流れる。例えば、図４の矢印Ｍに示すように、コイル９に電流が流れると、第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの第１の極歯１５Ａ→第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの第２の極歯１７Ａ→第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂのヨーク１８→第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの第１の極歯１５Ｂ→第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの第２の極歯１７Ｂ→第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａのヨーク１８→第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの第１の極歯１５Ｃ→第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの第２の極歯１７Ｃ→第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂのヨーク１８→第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの第１の極歯１５Ｄ→第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの第２の極歯１７Ｄの順で磁束が流れる。これにより、３相のコイルユニット７Ａ〜７Ｃのコイル９にそれぞれ設けられた第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａと第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂとの間に配置された永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃに推力Ｐが生じる。
【００３５】
本例のリニアモータでは、永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃのそれぞれを第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａと第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂとの間に配置するので、永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃは、コイルユニット７Ａ〜７Ｃの内部空間の中にそれぞれ配置されることになる。そのため、永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃのそれぞれと第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａとが引き合う磁力と、永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃのそれぞれと第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂとが引き合う磁力とが相互に打ち消される。その結果、永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃとクローポール型ヨークユニット１１Ａ，１１Ｂとの間に両者を引き合う無理な力が発生せず、可動子（永久磁石列ユニット３）を安定して配置することができる。また、リニアモータの可動子（永久磁石列ユニット３）の移動方向と直交する方向の厚み寸法（図１に示すＴ）を小さくすることができる。また、磁気吸引力を小さくして、直線軸受２１ｂの寿命を延すことができる。また。各コイルユニット７Ａ〜７Ｃに設けられた第１のクローポール型ヨークユニット１１Ａの極歯１５，１７と第２のクローポール型ヨークユニット１１Ｂの極歯１５，１７との間に磁束が流れて磁束の環流が行われる。そのため、従来のように、永久磁石列に磁気材料からなるバックヨークを設ける必要がない。その結果、永久磁石列の支持体の材質の選択の幅を広げることができる。なお、本例では、支持体２１を非磁性体のアルミニウムで形成しているので、支持体２１の重量を軽くでき、リニアモータの加速度を高めることができる。
【００３６】
上記の実施の形態では、第１〜第３のコイルユニット７Ａ〜７Ｃが基台５上に平行に並んで配置されており、第１〜第３の永久磁石列１９Ａ〜１９Ｃが支持体２１上にほぼ平行に並んで配置されているが、コイルと永久磁石列とは、種々の位置関係を有するものを採用することができる。例えば、図５に示す第２の実施の形態のリニアモータは、相互に対向して平行に並ぶ第１及び第２の基台１０５Ａ，１０５Ｂを有している。そして、第１のコイルユニット１０７Ａを第１の基台１０５Ａ上に配置している。また、第２及び第３のコイルユニット１０７Ｂ，１０７Ｃを第２の基台１０５Ｂ上に並んで配置している。そして、第１の永久磁石列１１９Ａを支持体１２１の一方の面上に配置し、第２及び第３の永久磁石列１１９Ｂ，１１９Ｃを支持体１２１の他方の面上に並んで配置している。第２の永久磁石列１１９Ｂは、支持体１２１を介して第１の永久磁石列１１９Ａと対向する位置に配置されている。本例では、第１の基台１０５Ａに位置検出装置１２７のセンサヘッド１２７ａを配置し、支持体１２１の第３の永久磁石列１１９Ｃと対向する部分にセンサヘッド１２７ａと所定の間隔を隔てて対向するスケール１２７ｂを配置している。
【００３７】
また、図６に示す第３の実施の形態のリニアモータは、第１〜第３の基台２０５Ａ〜２０５Ｃと蓋部２１６とを有している。第１〜第３の基台２０５Ａ〜２０５Ｃは、第１の基台２０５Ａと第３の基台２０５Ｃとが平行に対向し、第２の基台２０５Ｂが第１及び第３の基台２０５Ａ，２０５Ｃとそれぞれ直交するように配置されている。蓋部２１６は、第１の基台２０５Ａと第３の基台２０５Ｃとに接続された状態で、第２の基台２０５Ｂと平行に対向して配置されている。そして、第１〜第３のコイルユニット２０７Ａ〜２０７Ｃは、第１〜第３の基台２０５Ａ〜２０５Ｃ上にそれぞれ配置されている。支持体２２１は、可動子の移動方向に延びる円柱形状に近い形状を有している。第１〜第３の永久磁石列２１９Ａ〜２１９Ｃは、支持体２２１から移動方向と直交する方向に９０°の角度を隔てて放射状に突出するように配置されている。本例では、蓋部２１６に位置検出装置２２７のセンサヘッド２２７ａを配置し、支持体２２１を介して第２の永久磁石列２１９Ｂと対向する部分にセンサヘッド２２７ａと所定の間隔を隔てて対向するスケール２２７ｂを配置している。
【００３８】
また、図７に示す第４の実施の形態のリニアモータは、６つの第１〜第６のコイルユニット３０７Ａ〜３０７Ｆと、第１〜第４の基台３０５Ａ〜３０５Ｄとを有しいる。第１〜第４の基台３０５Ａ〜３０５Ｄは、第１の基台３０５Ａと第３の基台３０５Ｃとが対向し、第２の基台３０５Ｂと第４の基台３０５Ｄとが対向し、第１の基台３０５Ａと第２の基台３０５Ｂとが直交し、第２の基台３０５Ｂと第３の基台３０５Ｃとが直交し、第３の基台３０５Ｃと第４の基台３０５Ｄとが直交し、第４の基台３０５Ｄと第１の基台３０５Ａとが直交するように配置されている。そして、第１〜第３のコイルユニット３０７Ａ〜３０７Ｃが第１〜第３の基台３０５Ａ〜３０５Ｃ上にそれぞれ配置されており、第４〜第６のコイルユニット３０７Ｄ〜３０７Ｆが第１の基台３０５Ａ、第４の基台３０５Ｄ及び第３の基台３０５Ｃ上にそれぞれ配置されている。第１〜第３のコイルユニット３０７Ａ〜３０７Ｃには、電気角で１２０°ずつずれた３相（Ｕ相、Ｖ相，Ｗ相）の電流がそれぞれ流れており、第４〜第６のコイルユニット３０７Ｄ〜３０７Ｆにも電気角で１２０°ずつずれた３相（Ｕ相、Ｖ相，Ｗ相）の電流がそれぞれ流れている。
【００３９】
支持体３２１は、可動子の移動方向に延びる第１及び第２の本体部３２１ａ，３２１ｂと、第１の本体部３２１ａと第２の本体部３２１ｂとを連結する連結部３２１ｃとを有している。そして、第１〜第３の永久磁石列３１９Ａ〜３１９Ｃが第１の本体部３２１ａから可動子の移動方向と直交する方向に９０°の角度を隔てて放射状に突出しており、第４〜第６の永久磁石列３１９Ｄ〜３１９Ｆが第２の本体部３２１ｂから可動子の移動方向と直交する方向に９０°の角度を隔てて放射状に突出している。第１〜第３の永久磁石列３１９Ａ〜３１９Ｃの永久磁石の着磁方向は、第１〜第３のコイルユニット３０７Ａ〜３０７Ｃの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれており、第４〜第６の永久磁石列３１９Ｄ〜３１９Ｆの永久磁石の着磁方向は、第４〜第６のコイルユニット３０７Ｄ〜３０７Ｆの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれている。
【００４０】
本例では、第１の基台３０５Ａに位置検出装置３２７のセンサヘッド３２７ａを配置し、支持体３２１の連結部３２１ｃにセンサヘッド３２７ａと所定の間隔を隔てて対向するスケール３２７ｂを配置している。
【００４１】
図８は、第５の実施の形態のリニアモータの分解斜視図である。本実施の形態のリニアモータでは、第１〜第３のコイルユニット４０７Ａ〜４０７Ｃのそれぞれのコイル４０９に配置された第１及び第２のクローポール型ヨークユニットが、１枚の第１の磁性体板４２３と１枚の第２の磁性体板４２５と第１〜第４の磁性体接続板４２７Ａ〜４２７Ｄとが組み合わされて構成されている。
【００４２】
相互に対抗する第１及び第２のクローポール型ヨークユニットのそれぞれの複数の第１の極歯（４３１Ａ，４３３Ａ）（４３１Ｂ，４３３Ｂ）（４３１Ｃ，４３３Ｃ）は、第１の磁性体板４２３に形成した切り込みが起立されて形成されている。具体的には、図９に示すように、波形の切り込みＫが起立されて形成されている。また、相互に対抗する第１及び第２のクローポール型ヨークユニットのそれぞれの複数の第２の極歯（４３７Ａ，４３９Ａ）（４３７Ｂ，４３９Ｂ）（４３７Ｃ，４３９Ｃ）は、第２の磁性体板４２５に形成した切り込みが起立されて形成されている。そして、第１〜第４の磁性体接続板４２７Ａ〜４２７Ｄは、第１の磁性体板４２３と第２の磁性体板４２５と第１〜第４の磁性体接続板４２７Ａ〜４２７Ｄの隣接する２つの磁性体接続板との間にコイル４０９がそれぞれ位置するように配置されている。具体的には、第１の磁性体板４２３と第２の磁性体板４２５と第１の磁性体接続板４２７Ａと第２の磁性体接続板４２７Ｂとの間に第１のコイルユニット４０７Ａのコイル４０９が位置し、第１の磁性体板４２３と第２の磁性体板４２５と第２の磁性体接続板４２７Ｂと第３の磁性体接続板４２７Ｃとの間に第２のコイルユニット４０７Ｂのコイル４０９が位置し、第１の磁性体板４２３と第２の磁性体板４２５と第３の磁性体接続板４２７Ｃと第４の磁性体接続板４２７Ｄとの間に第３のコイルユニット４０７Ｃのコイル４０９が位置しするように配置されている。本例によれば、第１の磁性体板４２３と第２の磁性体板４２５と第１〜第４の接続板４２７Ａ〜４２７Ｄとにより、複雑な形状の第１及び第２のクローポール型ヨークユニットを簡単に形成することができる。特に、磁性体板に形成した切り込みＫを起立するという単純な作業で第１の極歯４３７Ａ〜４３７Ｃ及び第２の極歯４３９Ａ〜４３９Ｃを同時に容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１の実施の形態のリニアモータの斜視図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】図１の一部を分解した図である。
【図４】第１の実施の形態のリニアモータの磁束の流れを説明するための図である。
【図５】第２の実施の形態のリニアモータの断面図である。
【図６】第３の実施の形態のリニアモータの断面図である。
【図７】第４の実施の形態のリニアモータの断面図である。
【図８】第５の実施の形態のリニアモータの電機子ユニットの分解斜視図である。
【図９】（Ａ）及び（Ｂ）は第５の実施の形態のリニアモータの第１または第２の磁歯を形成する態様を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  電機子ユニット
３  永久磁石列ユニット
５  基台
７Ａ〜７Ｃ  第１〜第３のコイルユニット
９  コイル
９ａ  直線部
９ｂ  連結部
１１Ａ  第１のクローポール型ヨークユニット
１１Ｂ  第２のクローポール型ヨークユニット
１５  第１の極歯
１７  第２の極歯
１８  ヨーク
１９Ａ〜１９Ｃ  第１〜第３の永久磁石列
２１  支持体
２３  永久磁石
【図１】
2006340492.tif 000003
【図２】
2006340492.tif 000004
【図３】
2006340492.tif 000005
【図４】
2006340492.tif 000006
【図５】
2006340492.tif 000007
【図６】
2006340492.tif 000008
【図７】
2006340492.tif 000009
【図８】
2006340492.tif 000010
【図９】
2006340492.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月14日(2006.7.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の永久磁石が列をなすように形成された２以上の永久磁石列と、前記２以上の永久磁石列を平行に並んだ状態で支持する支持体とを有し、前記永久磁石列を構成する前記複数の永久磁石が、前記２以上の永久磁石列が並ぶ方向の両側面にそれぞれ磁極が現れ且つ前記永久磁石列が延びる方向に交互に異なる極性の磁極が現れるように着磁されている永久磁石列ユニットと、
前記２以上の永久磁石列にそれぞれ対応して設けられた２以上のコイルユニットを備えて、前記永久磁石列ユニットと組み合わされる電機子ユニットとを備え、
前記電機子ユニットの前記２以上のコイルユニットは、それぞれ、巻線導体が環状に巻回されて構成されたコイルと、前記コイルに対して配置された第１及び第２のクローポール型ヨークユニットとを備え、内部空間の主要部が前記第１のクローポール型ヨークユニットと前記第２のクローポール型ヨークユニットとの間に形成されるように、第１及び第２のクローポール型ヨークユニットが前記コイルに対して装着された構造を有しており、
前記コイルは、直線状に延び且つ間隔をあけて前記内部空間の主要部に対向する一対の直線部と前記一対の直線部をつなぐ一対の連結部とを備えており、
前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、前記コイルの前記一対の直線部にそれぞれ対応し且つ内部を対応する１つの前記直線部が延びるように、前記コイルに対して配置されており、
前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、それぞれ前記電機子ユニットから前記永久磁石列ユニットに向かう一方の方向に向かって延び且つ前記直線部に沿って列をなすように並ぶ複数の第１の極歯と、前記一方の方向と反対の他方の方向に向かって延び且つ前記直線部に沿って列をなすように並ぶ複数の第２の極歯と、前記複数の第１の極歯と前記複数の第２の極歯とを磁気的に連結するヨークとを備えており、
前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットは、前記第１のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第１の極歯と前記第２のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第２の極歯とが対向し、前記第１のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第２の極歯と前記第２のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第１の極歯とが対向するように前記コイルの前記一対の直線部に対してそれぞれ配置されており、
前記２以上の永久磁石列のそれぞれは、前記永久磁石列の前記両側面が、前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットの前記複数の第１の極歯及び前記第２の複数の極歯と対向するように、対応する前記コイルユニットの前記第１のクローポール型ヨークユニットと前記第２のクローポール型ヨークユニットとの間に配置されており、
前記永久磁石列ユニット及び前記電機子ユニットの一方が可動子を構成し、他方が固定子を構成するリニアモータ。
【請求項２】
前記第１及び第２の極歯は、前記ヨークから離れるに従って、横断面積が小さくなる形状を有している請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記電機子ユニットが固定子となり、前記永久磁石ユニットが可動子となり、
前記２以上のコイルユニットは、電気角で１２０°ずつずれた３相の第１〜第３のコイルユニットからなり、
前記２以上の永久磁石列は、前記第１〜第３のコイルユニットにそれぞれ対応して設けられた第１〜第３の永久磁石列からなり、
前記第１〜第３の永久磁石列が、前記第１〜第３のコイルユニットの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれていることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記第１〜第３のコイルユニットが非磁性体の基台上に平行に並んで配置されており、
前記第１〜第３の永久磁石列が前記支持体上にほぼ平行に並んで配置されている請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記第１のコイルユニットは、第１の基台上に配置されており、
前記第２及び第３のコイルユニットは、第２の基台上に配置されており、
前記第１及び第２の基台は、前記支持体を間に介して平行に対向して配置されており、
前記第１の永久磁石列が前記支持体の一方の面上に配置され、
前記第２及び第３の永久磁石列が前記支持体の他方の面上に配置されている請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記第１〜第３のコイルユニットは、第１〜第３の基台上にそれぞれ配置されており、
前記第１〜第３の基台は、前記第１の基台と前記第３の基台とが平行に対向し、前記第２の基台が前記第１及び第３の基台とそれぞれ直交するように配置されており、
前記支持体は前記可動子の移動方向に延びる形状を有しており、
前記第１〜第３の永久磁石列が前記支持体から前記移動方向と直交する３つの方向に突出するように配置されている請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項７】
前記電機子ユニットが固定子となり、前記永久磁石ユニットが可動子となり、
前記２以上のコイルユニットは、電気角で１２０°ずつずれた３相の第１〜第３のコイルユニットと電気角で１２０°ずつずれた３相の第４〜第６のコイルユニットからなり、
前記２以上の永久磁石列は、前記第１〜第６のコイルユニットにそれぞれ対応して設けられた第１〜第６の永久磁石列からなり、
前記第１〜第３の永久磁石列が、前記第１〜第３のコイルユニットの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれており、
前記第４〜第６の永久磁石列が、前記第４〜第６のコイルユニットの電気角のずれに対応して電気角で１２０°ずつずれており、
前記第１〜第６のコイルユニットを配置するための第１〜第４の基台が設けられ、
前記第１〜第４の基台は、前記第１の基台と前記第３の基台とが対向し、前記第２の基台と前記第４の基台とが対向し、前記第１の基台と前記第２の基台とが直交し、前記第２の基台と前記第３の基台とが直交し、前記第３の基台と前記第４の基台とが直交し、前記第４の基台と前記第１の基台とが直交するように配置されており、
前記第１〜第３のコイルユニットが第１〜第３の基台上にそれぞれ配置されており、
前記第４〜第６のコイルユニットが前記第１の基台、前記第４の基台及び前記第３の基台上にそれぞれ配置されており、
前記支持体は前記可動子の移動方向に延びる第１及び第２の本体部と前記第１及び第２の本体部を連結する連結部とを有しており、
前記第１〜第３の永久磁石列が前記第１の本体部から前記移動方向と直交する３つの方向に突出するように配置されており、
前記第４〜第６の永久磁石列が前記第２の本体部から前記移動方向と直交する３つの方向に突出するように配置されている請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項８】
前記支持体がアルミニウムからなる請求項３〜７のいずれか一つに記載のリニアモータ。
【請求項９】
前記支持体と前記永久磁石列とは、両者に亘って配置された金属カバー部材に覆われている請求項４〜８のいずれか一つに記載のリニアモータ。
【請求項１０】
前記金属カバー部材がステンレスからなる請求項９に記載のリニアモータ。
【請求項１１】
前記２以上のコイルに配置された複数の前記第１のクローポール型ヨークユニットと複数の前記第２のクローポール型ヨークユニットとは、１枚の第１の磁性体板と、１枚の第２の磁性体板と、前記第１の磁性体板と第２の磁性体板とを接続する複数の磁性体接続板とが組み合わされて構成されており、
前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットのそれぞれの前記複数の第１の極歯は、前記第１の磁性体板に形成した切り込みが起立されて形成されており、
前記第１及び第２のクローポール型ヨークユニットのそれぞれの前記複数の第２の極歯は、前記第２の磁性体板に形成した切り込みが起立されて形成されており、
前記複数の磁性体接続板は、前記第１の磁性体板と前記第２の磁性体板と前記複数の磁性体接続板の隣接する２つの磁性体接続板との間に前記コイルが位置するように配置されている請求項１に記載のリニアモータ。