(57)【要約】【課題】  摩擦係数の変動を抑制可能とする。【解決手段】  記録再生装置のランプ・ブロックに摺動ガイドされるタブ１１を備え、摺動ガイドによりヘッド８をハード・ディスク上から退避位置へ離間移動可能なロード・アンロード用のヘッド・サスペンション１において、タブ１１に、摺動ガイドの摩擦係数の変動を抑制可能な微細な凹凸部を設け、微細な凹凸部の粗度は、凹凸の振幅に関する中心線平均あらさＲａが０．２μｍを上回り０．６μｍ以下であることを特徴とする。【選択図】  図１
2006196106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録再生装置のガイド部に摺動ガイドされる被ガイド部を備え、前記摺動ガイドによりヘッドが記録再生用媒体上から退避位置へ離間移動可能なロード・アンロード用のヘッド・サスペンションにおいて、
前記被ガイド部に、前記摺動ガイドにより前記ガイド部に接する微細な凹凸部を設けた
ことを特徴とするロード・アンロード用のヘッド・サスペンション。
【請求項２】
記録再生装置のガイド部に摺動ガイドされる被ガイド部を備え、前記摺動ガイドによりヘッドが記録再生用媒体上から退避位置へ離間移動可能なロード・アンロード用のヘッド・サスペンションにおいて、
前記被ガイド部に、前記摺動ガイドの摩擦係数の変動を抑制可能な微細な凹凸部を設けた
ことを特徴とするロード・アンロード用のヘッド・サスペンション。
【請求項３】
請求項１又は２記載のロード・アンロード用のヘッド・サスペンションであって、
前記微細な凹凸部は、前記被ガイド部を形成する材料の基材表面で構成した
ことを特徴とするロード・アンロード用のヘッド・サスペンション。
【請求項４】
請求項１〜３記載のロード・アンロード用のヘッド・サスペンションであって、
前記微細な凹凸部の粗度は、凹凸の振幅に関する中心線平均あらさＲａが０．２μｍを上回り０．６μｍ以下である
ことを特徴とするロード・アンロード用のヘッド・サスペンション。
【請求項５】
請求項３記載のロード・アンロード用のヘッド・サスペンションであって、
前記被ガイド部を、前記凹凸部を形成すべき箇所を逃がした型によりプレス成形する
ことを特徴とするロード・アンロード用のヘッド・サスペンションの加工方法。
【請求項６】
請求項１，２，４の何れかに記載のロード・アンロード用のヘッド・サスペンションであって、
前記被ガイド部を、前記凹凸部を形成すべき箇所に対応して微細な凹凸を有する型によりプレス成形する
ことを特徴とするロード・アンロード用のヘッド・サスペンションの加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばパーソナル・コンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスク装置のスライダを支持するロード・アンロード用のヘッド・サスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
ハード・ディスクを用いる磁気ディスク駆動装置（ＨＤＤ）のヘッド部においては、高速で回転するハード・ディスク上をスライダが僅かに浮上した状態となり、スライダに内蔵されたトランスジューサを介してハード・ディスクに対するデータの記録や再生を行う。このためスライダは、ヘッド・サスペンションによってハード・ディスクから浮上可能な状態に支持されている。
【０００３】
この種の磁気ディスク駆動装置は、ハード・ディスク停止時にスライダをトラック外に退避させるための手段として、従来よりコンタクト・スタート・ストップＣＳＳ（Contact start stop）方式と、ロード・アンロードＬＵＬ（Load unload ）方式が知られている。
【０００４】
ＣＳＳ方式は、ハード・ディスク停止時にサスペンションの先端部分がハード・ディスクの内周部のＣＳＳを行う領域まで移動するようにしている。このＣＳＳ方式では、停止したディスク表面にスライダが吸着することを避けるために、ハード・ディスクのＣＳＳ領域の表面をある程度粗いものとしている。このためハード・ディスクの内周部を記録部として使用することができず、記録容量の点で不利である。記録容量を上げるためにはスライダのフライ・ハイトを低くするのも一つの手段である。しかしながら上記ＣＳＳ方式では、ハード・ディスク内周部の表面粗度を粗くしていることがフライ・ハイトを下げる妨げとなっている。
【０００５】
ＬＵＬ方式はランプ・ロード方式とも呼ばれ、ハード・ディスク側方に合成樹脂製のランプ・ブロックを備えている。ハード・ディスク停止時には、ヘッド・サスペンションが退避位置まで移動する間に、ヘッド・サスペンションの先端部分の被ガイド部である所謂タブ（ロード・バー、ランプ接触部、角部等とも称される。）がランプ・ブロックの斜面に摺動ガイドされ、スライダがハード・ディスク上から離間する。
【０００６】
従って、ＬＵＬ方式では、持ち運び中の衝撃などによる振動があってもヘッドのスライダが破損したりディスクが傷つけられることもなくなる。また、ハード・ディスク表面を極限まで一様に平滑にすることが可能なため、フライ・ハイトを下げることができ、記録容量を上げることができる。さらに、ハード・ディスクの内周部も記録部として利用できるという利点があり、高容量化を図る上で有利である。また、コンピュータを使用中であってもハード・ディスクを使用していないときはハード・ディスクを停止させることができ、消費電力をセーブすることができる。
【０００７】
かかるＬＵＬ方式では、アンロードを円滑に行わせるためにアンロード時にタブに働くアンロード力ｆ（UL Force）の大きさが重要となる。
【０００８】
図２４は、ランプ・ブロックによるタブの摺動ガイド時にタブに働く力の関係を示す説明図である。図２４のように、タブ１０１には、ランプ・ブロック１０３の傾斜面１０５を滑り上がるのに必要なアンロード力ｆの他に、タブ１０１をランプ・ブロック１０３側に押し付ける荷重Ｆによる垂直抗力Ｎが働き、タブ１０１とランプ・ブロック１０３との間の摩擦係数をμとすると傾斜面１０５に沿って摩擦力μＮが働く。
【０００９】
前記傾斜面１０５の傾斜角をθとすると、荷重Ｆ，アンロード力ｆの比αは、
α＝ｆ／Ｆ＝（sinθ＋μcosθ）／（cosθ−μsinθ）
となる。この式から明らかなように、アンロード力ｆは、傾斜角θ、荷重Ｆ、摩擦係数μがパラメータとなる。
【００１０】
図２５は、摩擦係数と傾斜角とアンロード力との関係を示すグラフである。
【００１１】
ハード・ディスクの記録領域を広げるため、ディスクの外周ぎりぎまで記録領域として使うことが要求される。また、ハード・ディスクの容積にも制限がある。このため、アンロードに際してはハード・ディスクからスライダを短い移動距離のあいだに素早く引き剥がす必要がある。このため、ランプ・ブロック１０３の傾斜角θは、大きく設定するのが有利である。しかし、図２５から明らかなように、傾斜角θ＝２５°前後からは、アンロード力ｆが非線形に増大するため、一般には傾斜角θ＝１５°〜２５°が採用されている。一方、ヘッド・サスペンションのディンプル荷重は、持ち運び時の衝撃を考慮すると高い荷重を必要とするが、一般的には３gfが上限であり、荷重Ｆはそれ以下である。摩擦係数μは、小さいほど有利である。
【００１２】
そこで、一般的なディンプル荷重３gfのヘッド・サスペンションのアンロード力ｆを計算した。傾斜角θ＝１８．５°、荷重Ｆ＝２．３gf、タブ１０１のばね定数ｋ＝１．９gf/mmとした。
【００１３】
図２６は、摩擦係数の変化によるアンロード力ｆの変化を計算した結果を示すグラフである。この図２６において、左寄りの右上がりの傾斜部分は、タブ１０１が傾斜面１０５を滑っているときの変化であり、傾斜面１０５を過ぎるとアンロード力ｆは急激に減少し、その後、摩擦係数のみに関係する大きさとなっているのが分かる。この図２６から明らかなように、摩擦係数の変化によりアンロード力ｆは大きく変化する。例えば、摩擦係数が０．１から０．３に変化するとアンロード力ｆが１gfから１．５gfに変化し、１．５倍にもなった。このため、１台の磁気ディスク駆動装置全体で例えば４本のヘッド・サスペンションを備えた場合には、４gfから６gfへと増大することになり、摩擦係数の変化がヘッド・サスペンションの円滑なアンロードを阻害する恐れがある。
【００１４】
従って、ロード・アンロード用のヘッド・サスペンションでは、タブ１０１の摩擦係数を小さくすることは勿論のこと、その変動を極小にすることが重要な要素となる。
【００１５】
【特許文献１】特開平１１−９６５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
解決しようとする問題点は、摩擦係数の変動により円滑なアンロードが阻害される恐れがある点である。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、摩擦係数の変動を抑制可能とするため、被ガイド部に、摺動ガイドによりガイド部に接する微細な凹凸部を設けたことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のロード・アンロード用のヘッド・サスペンションは、被ガイド部に、摺動ガイドによりガイド部に接する微細な凹凸部を設けたため、平滑化して凹凸部がない場合に比較して、ヘッド・サスペンションのロード、アンロードを円滑に行わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
ガイド部及び被ガイド部間の摩擦係数の変動を抑制するという目的を、微細な凹凸部を設けることにより実現した。
【実施例１】
【００２０】
［ヘッド・サスペンション］
図１，図２は、本発明の実施例１に係るロード・アンロード用のヘッド・サスペンションを示し、図１は、一面側から見た斜視図、図２は他面側から見た斜視図である。
【００２１】
図１，図２のように、ヘッド・サスペンション１は、ステンレス鋼などの精密な薄板からなり、ばね部２を含むロード・ビーム３と、ロード・ビーム３に固定した極薄いステンレス鋼板等のばね性のあるフレキシャ（flexure ）５などを有し、フレキシャ５にスライダ７が固定され、ヘッド８が構成されている。フレキシャ５はレーザ溶接等によってロード・ビーム３に固定されている。ロード・ビーム３の基部にベース・プレート９が設けられている。ロード・ビーム３はベース・プレート９を介してキャリッジのアームに固定される。
【００２２】
ロード・ビーム３の材料としては、例えばＳＵＳ３０４あるいはＳＵＳ３０５などのオーステナイト系ステンレス鋼からなる金属板が推奨される。ＳＵＳ３０４の成分は、Ｃ：0.08％以下、Ｓｉ：1 ％以下、Ｍｎ：2 ％以下、Ｐ：0.04％以下、Ｓ：0.03％以下、Ｎｉ：8-10.5％、Ｃｒ：18-20 ％、残りがＦｅである。
【００２３】
ロード・ビーム３の先端部分に、ロード・アンロード用の被ガイド部としてタブ１１が一体に形成されている。タブ１１は、ヘッド・サスペンション１の長手方向、すなわちロード・ビーム３の延出方向に突出している。このタブ１１は、ハード・ディスクに対するヘッド・サスペンション１のロード・アンロード時に、ガイド部であるランプ・ブロックに摺動ガイドされる。ランプ・ブロックは、記録再生装置である磁気ディスク駆動装置のハード・ディスクの外周部側に備えられ、ハード・ディスクの停止時に前記摺動ガイドによりヘッド・サスペンション１のヘッド８がハード・ディスクの側方に設定された退避位置へ離間移動することができる。ランプ・ブロックは、合成樹脂の成形品であり、必要に応じて繊維強化合成樹脂（FRP）が使われる場合もある。
［タブの詳細］
図３〜図６は、タブ及びその周辺又はタブを示し、図３は、他面側から見た斜視図、図４は、一面側から見た斜視図、図５は、側面図、図６は、タブの断面図である。
【００２４】
図３〜図６に示すように、ロード・アンロード用のタブ１１は、カヌーイング（Canoeing）形状をなしている。タブ１１は、ロード・ビーム３の延出方向（矢印Ｘで示す方向）に段差部１３を介して突設されている。タブ１１は他面側が凹面１５、一面側が凸面１７に形成され、ロード・ビーム３の延出方向へ細長い形状となっている。タブ１１の横断面は、図６に示すように円弧状をなしている。そしてこのタブ１１の少なくとも外面側、すなわちランプ・ブロックと接する側の凸面１７に微細な凹凸部１９が設けられている。
【００２５】
前記微細な凹凸部１９は、タブ１１のランプ・ブロックによる摺動ガイドの摩擦係数を小さくすると共に、その変動を抑制可能にするものである。本実施例において、微細な凹凸部１９は、タブ１１を形成する材料の基材表面で構成されている。タブ１１を形成する材料は、前記ロード・ビーム３の材料である前記金属板の基材である。
【００２６】
前記微細な凹凸部１９の粗度は、凹凸の振幅に関する中心線平均あらさＲａが０．２μｍを上回り０．６μｍ以下に設定されている。
［ヘッド・サスペンションの加工方法］
図７は、プレス加工機の要部断面図を示している。図７のように、プレス加工機２１は、型として上型２３及び下型２５を備えている。上型２３は、パンチ２７を有し、下型２５は、逃がし用の長穴２９を有している。長穴２９は、図７において紙面直交方向に長く設定されている。パンチ２７の幅は、タブ１１の幅よりも小さく形成され、長穴２９の幅は、タブ１１の幅と同等に設定されている。下型２５は、微細な凹凸部１９を形成すべき箇所を長穴２９により逃がしている。
【００２７】
前記プレス加工機２１により、ロード・ビーム３の材料である金属板の基材３１をプレス加工することで、タブ１１に材料の結晶粒径に応じた微細な凹凸部１９が形成される。凹凸部１９の表面粗度は、Ｒａが０．２μｍを上回り０．６μｍ以下となる。
【００２８】
プレス加工に際しては、金属板基材３１がロード・ビーム３の形状に合わせて予め所定形状にトリミングされる。
【００２９】
前記基材３１を下型２５上にセットし、上型２３が下降し、ロード・ビーム３の被加工部を所定形状に成形する。同時にパンチ２７が基材３１を長穴２９内へ押圧してタブ１１に対応した湾曲部３３を形成し、図６のようにタブ１１の部分が成形される。
【００３０】
従って、タブ１１の凸面１７は、下型２５による押圧力を受けないから、凸面１７に、基材３１の表面にプレス曲げにより露出した微細な凹凸がそのまま残り、タブ１１に材料の結晶粒径に応じた微細な凹凸部１９が設けられる。
［アンロード力の変化の比較］
（使用試験機）
図８は、アンロード力ｆを計測する試験機の簡略図である。この試験機は、ヘッド・サスペンション１を取り付けるアーム３５とアーム３５にロードセルを介して回転力を付与する駆動部３６とヘッド・サスペンション１を摺動ガイドするガイド部としてのランプ・ブロック３７とからなっている。
【００３１】
前記駆動部３６によりアーム３５に回転力を付与し、アーム３５が回転してヘッド・サスペンション１がランプ・ブロック３７の傾斜面を滑って乗り上げるときのアンロード力ｆをロードセルにより検出した。
【００３２】
（使用ヘッド・サスペンション）
図９は、試験に用いたヘッド・サスペンションのタブを数例示したもので、(a)は、コイニング処理０μｍの本実施例に係るヘッド・サスペンション１のタブ１１を示し、(b)は、１５μｍコイニング処理をしたタブ、(c)は、１９μｍコイニング処理をしたタブをそれぞれ示した。(a)では、タブ１１の表面にＲａが０．２μｍを上回り０．６μｍ以下の微細な凹凸部が存在する。(b)(c)は、何れもＲａが０．０１μｍ以上０．２μｍ以下の範囲のものであり、(c)は、(b)よりもＲａの値がより小さくなっている。その他、５μｍ、１０μｍ、１２μｍコイニング処理をしたタブについても比較対象とした。１０μｍコイニング処理以上のものは、Ｒａが０．０１μｍ以上０．２μｍ以下の範囲となる。
【００３３】
図１０〜図１４は、前記数例のタブを有するヘッド・サスペンションを用い、各種条件による試験結果を示すグラフである。
【００３４】
（条件：アンロード・スピードの変化）
図１０は、アンロード・スピードの変化によるアンロード力ｆの変化を示し、(a)は、２０mm/sec、(b)は、０．４mm/secの結果のグラフである。なお、ヘッド・サスペンションは、ロード・ビームの板厚が、ｔ＝７６μｍのものを用いた。
【００３５】
図１０の横軸は、タブがランプ・ブロック上を滑り初めてからの移動距離（Ramp Position）［ｍｍ］を示し、縦軸は、アンロード力（UL Force）ｆ［gf］を示している。図１０(a)のグラフにおいて、左端の右上がりの傾斜は、タブがランプ・ブロックの傾斜面を滑り上っている時の変化である。タブがランプ・ブロックの傾斜面を上り終わり、水平部に移行するとｆが右下がりに急減し、次いで摩擦係数のみに応じたｆの変化となる。
【００３６】
図１０から、アンロード・スピードに係わらず、タブ１１に微細な凹凸部１９を設けた本実施例のヘッド・サスペンション１は、タブに微細な凹凸のないコイニング処理したヘッド・サスペンション（比較例）に比べて、摩擦係数が明らかに小さなものであることが確認できた。
【００３７】
すなわち、図１０(a)のグラフから明らかなように、タブの表面粗度Ｒａが０．０１μｍ以上０．２μｍ以下の範囲にある１０μｍ、１５μｍ、１９μｍコイニング処理のものは、本実施例のコイニング０μｍのものに比較してアンロード力ｆが明らかに増加している。例えば、タブがランプ・ブロックの傾斜面を上り切った位置で比較すると、本実施例のヘッド・サスペンション１は、ｆ＝１．２gf弱であるのに対し、比較例は、ほぼｆ＝１．６gfまで上昇し、その差がほぼ０．４gfとなった。図１０(b)のグラフにおいても、アンロード力ｆの差は同様の傾向が現れた。
【００３８】
（条件：温度環境変化）
図１１，図１２は、温度環境変化によるアンロード力ｆの変化を示し、図１１(a)，(b)は、本実施例のヘッド・サスペンション１の結果を示し、図１２(a)，(b)は、１５μｍ，１２μｍコイニング処理のヘッド・サスペンション（比較例）の結果を示している。
【００３９】
また、図１１(a)，図１２(a)は、同一構造でロード・ビームの板厚が、例えばｔ＝７６μｍのヘッド・サスペンションの結果のグラフであり、図１１(b)，図１２(b)は、相互に同一構造であるが、図１１(a)，図１２(a)に対しては異なる構造でロード・ビームの板厚が例えばｔ＝５１μｍのヘッド・サスペンションの結果のグラフである。アンロード・スピードは、０．４mm/secとした。図１１，図１２において、縦軸、横軸の関係は、図１０と同様であり、ランプ・ブロックの傾斜面及び水平部でのアンロード力の変化傾向もほぼ対応している。
【００４０】
図１１，図１２では、ランプ・ブロックの温度環境を、−１℃，＋２０℃の二段階に変化させてそれぞれ比較した。例えば、図１１(a)のグラフで二種のデータが現れているのは、一方が−１℃，他方が＋２０℃の時の結果であり、他も同様である。温度環境は、それぞれの温度の冷気をランプ・ブロックに吹き付けることで設定した。
【００４１】
一般に、プラスチック材は、温度が低くなると摩擦力が増大することが知られている。しかし、図１１，図１２から、温度環境の変化に係わらず、本実施例のヘッド・サスペンション１は、比較例に比べて、アンロード力ｆにあまり変化がないことが確認できた。
【００４２】
すなわち、図１１(a),(b)のグラフから明らかなように、本実施例のヘッド・サスペンション１では、板厚の異なる二種の構造の何れの結果においてもアンロード力ｆの変化がほとんど見られなかったのに対し、図１２(a),(b)のグラフから明らかなように、比較例では、板厚の異なる二種の構造の何れの結果においても温度変化により０．１〜０．２gf程度のアンロード力ｆの増大があった。
【００４３】
（条件：ランプ・ブロックの材質）
図１３，図１４は、ランプ・ブロックの材質を代えた場合のアンロード力ｆの変化結果を示している。図１３(a)，図１４(a)は、本実施例のヘッド・サスペンション１の一例である潰し量０μｍの結果のグラフを示し、図１３(b)，図１４(b)は、２０％（１０μｍ）潰すコイニング処理を施したヘッド・サスペンション（比較例）の結果のグラフを示している。図１３(a),(b)は、同材質のランプ・ブロックによる結果であり、図１４(a)，(b)は、相互に同材質であるが、図１３(a)，(b)に対しては異なる材質のランプ・ブロックによる結果である。なお、異なる材質といっても、何れもポリアセタールであり、その中で種類を代えて比較した。
【００４４】
図１３，図１４のグラフで、それぞれ二種のデータが現れているのは、同材質のランプ・ブロック（＃１，＃２は同材質）について２回の実測の結果を示した。
【００４５】
また、図１３，図１４は、同一構造のサスペンションでロード・ビームの板厚が、例えばｔ＝５１μｍのものを用いた。アンロード・スピードは、１５mm/secとした。図１３，図１４において、縦軸、横軸の関係は、図１０と同様である。但し、図１３，図１４の場合は、図１０で使用したハード・ディスクドライブとは別のものを用いた。
【００４６】
図１３，図１４から、ランプ・ブロックの材質に係わらず、本実施例のヘッド・サスペンション１は、比較例に比べて、アンロード力ｆにあまり変化がないことが確認できた。
【００４７】
すなわち、図１３(a)，図１４(a)のグラフから明らかなように、本実施例のヘッド・サスペンション１では、ランプ・ブロックの材質に変化があってもアンロード力ｆの変化はほとんど無かったのに対し、図１３(b)のグラフでは、材質の変化により摩擦抵抗が増大しアンロード力ｆの増大が見られ、図１４(b)のグラフでは、図１３(a)，図１４(a)のグラフと比較して材質の変化により摩擦抵抗が増大し全体的にアンロード力ｆが大きくなった。
【００４８】
結果的に、２０％（１０μｍ）潰すコイニング処理を施した比較例は、潰し量０μｍの結果の実施例に対し、摩擦抵抗が増加しているとと同時に、コイニング加工することでランプ・ブロックの材質による摩擦力の違いが顕著になることが分かる。
［耐久後の摩耗］
図１５，図１６は、耐久後のランプ・ブロックの傾斜面の摩耗状態を示したもので、(a)は、ランプ・ブロックの傾斜面を示す要部斜視図であり、(b)は、要部の拡大斜視図、(c)は、摩耗変化を示すグラフである。図１５は、本実施例のヘッド・サスペンション１の結果のグラフを示し、図１６は、２０％コイニング処理のヘッド・サスペンション（比較例）の結果のグラフを示している。図１５(c)，図１６(c)において、横軸は傾斜面上の移動距離（mm）、縦軸は表面の高さ(μｍ)を示している。耐久回数は、７０万回とした。
【００４９】
図１５，図１６から明らかなように、本実施例のヘッド・サスペンション１では、耐久後もランプ・ブロック３７の傾斜面３９に目立った摩耗がないのに対し、比較例では、傾斜面３９の摩耗が大きく進行し、表面の荒れていることが確認できた。
［耐久後のアンロード力の変化］
図１７〜図２１は、耐久前後の変化に係り、図１７(a)〜図２１(a)は、耐久前後のアンロード力の変化、図１７(b)〜図２１(b)は、耐久後のタブの表面粗度Ｒａを示している。
【００５０】
図１７，図１９は、本実施例のヘッド・サスペンションの結果のグラフを示し、図１８，図２０，図２１は、研磨処理のヘッド・サスペンション（比較例）の結果のグラフを示している。耐久回数は、何れも７０万回とした。
【００５１】
図１７，図１８と図１９，図２０と図２１とは、それぞれ異なるヘッド・サスペンションについての結果であり、図１７，図１８は、ロード・ビームの板厚が例えばｔ＝７６μｍのヘッド・サスペンション、図１９，図２０は、同ｔ＝３８μｍのヘッド・サスペンション、図２１は、同ｔ＝３０μｍのヘッド・サスペンションであり、アンロード・スピードは、何れも１５mm/secとした。
【００５２】
図１７では、同一材質のランプ・ブロックについて耐久前後の２回のデータを比較した。例えば、図１７(a)のグラフで四種のデータが現れているのは、耐久前後の２回の結果をそれぞれ示した結果である。図１８(a)〜図２１(a)は、耐久前後の１回の結果を示した。
【００５３】
図１７(a)〜図２１(a)において、縦軸、横軸の関係は、図１０と同様であり、ランプ・ブロックの傾斜面及び水平部でのアンロード力の変化傾向もほぼ対応している。
【００５４】
図１７(a)のグラフから明らかなように、本実施例のヘッド・サスペンション１で、耐久前後のアンロード力ｆの変化は、例えランプ・ブロックの材質に変化があってもほとんど無かったのに対し、図１８(a)のグラフでは、耐久前後でアンロード力ｆの大幅な増大が見られた。なお、タブの耐久後の表面粗度は、本実施例のヘッド・サスペンション１で、図１７(b)のようにＲａ＝０．２１６を維持し、比較例では、図１８(b)のようにＲａ＝０．１３４となっていた。
【００５５】
図１９(a)のグラフから明らかなように、本実施例のヘッド・サスペンション１では、耐久前後のアンロード力ｆの変化は、あまり無かったのに対し、図２０(a)の比較例のグラフでは、耐久前後でアンロード力ｆの大幅な増大が見られた。なお、タブの耐久後の表面粗度は、本実施例のヘッド・サスペンション１では、図１９(b)のようにＲａ＝０．２２８を維持し、比較例では、図２０(b)のようにＲａ＝０．１４８となっていた。
【００５６】
図２１(a)の比較例のグラフにおいても、耐久前後でアンロード力ｆの大幅な増大が見られた。なお、比較例のタブの耐久後の表面粗度は、図２１(b)のようにＲａ＝０．１５５となっていた。
【００５７】
以上、本実施例のヘッド・サスペンション１のようにタブ１１に微細な凹凸部１９を設けた場合と、コイニング処理あるいは研磨処理を施して凹凸部を無くした場合とでは、明らかに区別され、本実施例のものでは、ランプ・ブロックとの間の摩擦係数を低減し、摩擦係数の変動を抑制することができた。
【００５８】
従って、本実施例のヘッド・サスペンション１では、ランプ・ブロックの材質、アンロード・スピード、温度環境等に係わらず、アンロード力ｆ及びランプ・ブロックの摩耗等を抑制することができ、ヘッド・サスペンションのアンロードを円滑に行わせることができる。
【実施例２】
【００５９】
図２２は、本発明の実施例２に係り、(a)は、ロード・ビームの要部側面図、（ｂ）は、同要部斜視図である。
【００６０】
本実施例のロード・ビーム３Ａは、段差部１３Ａを介してタブ１１Ａを有している。タブ１１Ａの凸面１７Ａは球面状とされ、凸面１７Ａに微細な凹凸部１９Ａが設けられている。凹凸部１９Ａの粗度は、Ｒａが０．２μｍを上回り０．６μｍ以下に設定されている。
【００６１】
本実施例においても、微細な凹凸部１９Ａにより、上記実施例と同様な作用効果を奏することができる。
【実施例３】
【００６２】
図２３は、本発明の実施例３に係り、プレス加工機の要部断面図を示している。図２３のように、プレス加工機２１Ｂは、型として上型２３Ｂ及び下型２５Ｂを備えている。上型２３Ｂは、パンチ２７Ｂを有し、下型２５Ｂは、タブ１１Ｂの凹凸部１９Ｂを形成すべき箇所に対応して微細な凹凸４１を有している。凹凸４１の粗度は、Ｒａが０．２μｍを上回り０．６μｍ以下に調整されている。
【００６３】
前記プレス加工機２１Ｂによりロード・ビームを成形することで、タブ１１Ｂの凸面１７Ｂに微細な凹凸部１９Ｂを設けることができる。
【００６４】
従って、本実施例においても、実施例１とほぼ同様な作用効果を奏することができる。また、本実施例では、下型２５Ｂの凹凸４１の粗度の調整により、タブ１１Ｂの凹凸部１９Ｂの粗度の設定を的確に行わせることができる。
【００６５】
なお、タブの微細な凹凸部は、電解研磨、レーザーなどを用いて形成することもできる。
【実施例４】
【００６６】
図２３の金型において、下型２５Ｂに凹凸４１を特に設けずに、プレス加工時に、下型がワークから離れていない状態〜（５／７６×１００％）までのコイニングによりタブにＲａが０．２μｍを上回り０．６μｍ以下の凹凸部を形成することも可能である。
【００６７】
この実施例でも、実施例１等とほぼ同様な作用効果を奏することができる。
【００６８】
なお、ガイド部であるランプ・ブロックに接する被ガイド部であるタブの微細な凹凸部は、タブを形成する材料の表面の圧延痕（結晶粒径程度の表面粗度）を利用することにより基材表面で構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】ヘッド・サスペンションを一面側から見た斜視図である（実施例１）。
【図２】ヘッド・サスペンションを他面側から見た斜視図である（実施例１）。
【図３】タブ及びその周辺を示す一面側から見た斜視図である（実施例１）。
【図４】タブ及びその周辺を示す他面側から見た斜視図である（実施例１）。
【図５】タブ及びその周辺を示す側面図である（実施例１）。
【図６】タブの断面図である（実施例１）。
【図７】プレス加工機の要部断面図である（実施例１）。
【図８】アンロード力を計測する試験機の簡略図である（実施例１）
【図９】試験に用いたヘッド・サスペンションのタブを数例示したもので、(a)は、コイニング処理０μｍの本実施例に係るヘッド・サスペンションのタブ、(b)は、１５μｍコイニング処理をしたタブ、(c)は、１９μｍコイニング処理をしたタブをそれぞれ示した図である。
【図１０】アンロード・スピードによるアンロード力の変化を示し、(a)は、２０mm/sec、(b)は、０．４mm/secの結果を示すグラフである。
【図１１】温度環境変化によるアンロード力の変化を示し、(a)(b)共に構造板厚の異なる本実施例のヘッド・サスペンションの結果を示すグラフである（実施例１）。
【図１２】温度環境変化によるアンロード力の変化を示し、(a)(b)共に構造、板厚の異なる１５μｍ，１２μｍコイニング処理のヘッド・サスペンションの結果を示示すグラフである（比較例）。
【図１３】(a)は、潰し量０μｍのヘッド・サスペンションの結果を示すグラフ（実施例１）、(b)は、１０μｍコイニング処理のヘッド・サスペンション（比較例）の結果を示すぐラフである。
【図１４】(a)は、潰し量０μｍのヘッド・サスペンションの結果を示すグラフ（実施例１）、(b)は、１０μｍコイニング処理のヘッド・サスペンション（比較例）の結果を示すぐラフである。
【図１５】本実施例のヘッド・サスペンションの結果に係り、耐久後のランプ・ブロックの傾斜面の摩耗状態を示したもので、(a)は、ランプ・ブロックの傾斜面を示す要部斜視図であり、(b)は、同要部の拡大斜視図、(c)は、摩耗変化を示すグラフである（実施例１）。
【図１６】２０％コイニング処理のヘッド・サスペンションの結果に係り、耐久後のランプ・ブロックの傾斜面の摩耗状態を示したもので、(a)は、ランプ・ブロックの傾斜面を示す要部斜視図であり、(b)は、同要部の拡大斜視図、(c)は、摩耗変化を示すグラフである（比較例）。
【図１７】耐久前後の変化に係り、(a)は、耐久前後のアンロード力の変化、(b)は、耐久後のタブの表面粗度を示している（実施例１）。
【図１８】耐久前後の変化に係り、(a)は、耐久前後のアンロード力の変化、(b)は、耐久後のタブの表面粗度を示している（比較例）。
【図１９】耐久前後の変化に係り、(a)は、耐久前後のアンロード力の変化、(b)は、耐久後のタブの表面粗度を示している（実施例１）。
【図２０】耐久前後の変化に係り、(a)は、耐久前後のアンロード力の変化、(b)は、耐久後のタブの表面粗度を示している（比較例）。
【図２１】耐久前後の変化に係り、(a)は、耐久前後のアンロード力の変化、(b)は、耐久後のタブの表面粗度を示している（比較例）。
【図２２】(a)は、ロード・ビームの要部側面図、（ｂ）は、同要部斜視図である（実施例２）。
【図２３】プレス加工機の要部断面図である（実施例３）。
【図２４】ランプ・ブロックによるタブの摺動ガイド時にタブに働く力の関係を示す説明図である。
【図２５】摩擦係数と傾斜角とアンロード力との関係を示すグラフである。
【図２６】摩擦係数の変化によるアンロード力ｆの変化を計算した結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００７０】
１  ヘッド・サスペンション
１１  タブ（被ガイド部）
１９，１９Ｂ  凹凸部
２１，２１Ｂ  プレス加工機
２３，２３Ｂ  上型
２５，２５Ｂ  下型
３１  金属板の基材（被ガイド部を形成する材料の基材）
３７  ランプ・ブロック（ガイド部）
４１  微細な凹凸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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