(57)【要約】【課題】  吸引処理の終了後における吸引流路の圧力の安定時間を極力短縮することができると共に、機能液の消費量を極力少なくすることができるヘッドキャップ等を提供することを課題とする。【解決手段】  機能液滴吐出ヘッド２７のノズル面５３に離接自在に密着してノズル面５３に形成したノズルを封止することで、ノズルから機能液滴吐出ヘッド２７内の機能液を吸引する吸引処理に供するヘッドキャップ１２１であって、ノズル面５３に密着してノズルを封止する封止部１４１と、封止部１４１を支持すると共に、吸引処理を行う吸引手段１０２に連通するキャップ内流路１６１を内部に形成したキャップ本体１４２と、キャップ内流路１６１に介設され、キャップ内流路１６１を開閉する流路開閉手段１４３とを備えた。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密着して前記ノズル面に形成したノズルを封止することで、前記ノズルから前記機能液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引する吸引処理に供するヘッドキャップであって、
前記ノズル面に密着して前記ノズルを封止する封止部と、
前記封止部を支持すると共に、前記吸引処理を行う吸引手段に連通するキャップ内流路を内部に形成したキャップ本体と、
前記キャップ内流路に介設され、前記キャップ内流路を開閉する流路開閉手段と、
を備えたことを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項２】
前記キャップ本体は、前記キャップ内流路に面して立体的に切り欠かれており、
前記流路開閉手段は、前記キャップ本体の切欠き部と相補的形状のバルブケーシングを有していることを特徴とする請求項１に記載のヘッドキャップ。
【請求項３】
前記流路開閉手段は、
前記キャップ内流路を閉塞する弁体と、前記弁体を開閉動作させる駆動部と、を有する開閉弁で構成されていることを特徴とする請求項２に記載のヘッドキャップ。
【請求項４】
前記キャップ内流路は、前記弁体を開閉動作可能に収容すると共に、前記切欠き部に面した弁体収容室を有し、
前記バルブケーシングは、前記駆動部を収容すると共に、前記弁体収容室を閉蓋するように、前記キャップ本体に対して着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項３に記載のヘッドキャップ。
【請求項５】
前記キャップ内流路は、
前記弁体収容室と、
前記弁体収容室から上流側の上流側流路と、
前記弁体収容室から下流側の下流側流路と、から構成され、
前記弁体収容室に対する前記上流側流路からの流入口部および前記下流側流路への流出口部のいずれかにより、前記弁体が密接する弁座が構成されていることを特徴とする請求項４に記載のヘッドキャップ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドキャップと、
前記機能液滴吐出ヘッドに対して前記ヘッドキャップを相対的に昇降させ、前記機能液滴吐出ヘッドと前記ヘッドキャップとを離接させる昇降手段と、
前記吸引手段と、
を備えたことを特徴とするヘッド吸引装置。
【請求項７】
請求項６に記載のヘッド吸引装置と、
前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画処理を行う描画手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密着してノズル面に形成したノズルを封止することで、ノズルから機能液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引する吸引処理に供するヘッドキャップ、ヘッド吸引装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液滴吐出ヘッドのノズル面にヘッドキャップ（キャップ）を密着させ、ヘッドキャップに接続した吸引手段（エゼクタ）を駆動することで、給液タンクに貯留された機能液を機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に導入する初期充填処理や、吐出機能保全のためのクリーニング処理を行うヘッド吸引装置（吸引ユニット）が知られている。
【０００３】
この場合、ヘッドキャップと吸引手段とは、吸引チューブで接続されており、吸引チューブには開閉弁が介設されている。吸引手段を駆動停止する際に、開閉弁を「閉」とすることで、無駄に消費される機能液を少なくするようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−２０９４６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ヘッド内流路に機能液が充填されて吸引手段を駆動停止させた後も、開閉弁から上流側の吸引流路に負圧が残っているため、機能液滴吐出ヘッドから吸引流路に機能液が流れ込み続け、機能液が無駄に消費されることとなる。そのため、ヘッドキャップに対し、開閉弁を可能な限り下流側近傍に設けることが考えられる。しかしながら、開閉弁をヘッドキャップの近傍に設けると、ヘッドキャップが複数ある場合等には、開閉弁が邪魔になって、ヘッドキャップの周辺における吸引流路（吸引チューブ）の取り廻しが困難となってしまう。また、開閉弁は流入・流出側共にチューブ接続となることから、開閉弁をヘッドキャップの近傍に設けると、チューブ接続のための作業スペースが確保できなくなってしまう。そのため、現実には、開閉弁はヘッドキャップから下流側に相当距離（１ｍ以上）離れた位置に介設されている。したがって、吸引処理の終了後における吸引流路の負圧を短時間で解消することができず、その間、かなりの量の機能液を無駄に消費していた。
【０００５】
本発明は、吸引処理の終了後における吸引流路の圧力の安定時間を極力短縮することができると共に、機能液の消費量を極力少なくすることができるヘッドキャップ、ヘッド吸引装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のヘッドキャップは、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に離接自在に密着してノズル面に形成したノズルを封止することで、ノズルから機能液滴吐出ヘッド内の機能液を吸引する吸引処理に供するヘッドキャップであって、ノズル面に密着してノズルを封止する封止部と、封止部を支持すると共に、吸引処理を行う吸引手段に連通するキャップ内流路を内部に形成したキャップ本体と、キャップ内流路に介設され、キャップ内流路を開閉する流路開閉手段と、を備えたことを特徴とする。
さらに、この場合、流路開閉手段は、キャップ内流路を閉塞する弁体と、弁体を開閉動作させる駆動部と、を有する開閉弁で構成されていることが好ましい。
【０００７】
この構成によれば、キャップ内流路に流路開閉手段を介設したことで、流路開閉手段の上流側の吸引流路の長さが極端に短くなる。このため、流路開閉手段の上流側に負圧が残っていたとしても、機能液滴吐出ヘッドから極少量の機能液が流れ込むだけで、その負圧が解消される。したがって、吸引処理の終了後における吸引流路の圧力の安定時間を極力短縮することができると共に、機能液の消費量を極力少なくすることができる。また、流路開閉手段がキャップ内流路に介設されているため、ヘッドキャップの周辺における吸引流路の取り廻しの自由度を制約することもない。
【０００８】
この場合、キャップ本体は、キャップ内流路に面して立体的に切り欠かれており、流路開閉手段は、キャップ本体の切欠き部と相補的形状のバルブケーシングを有していることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、バルブケーシングがキャップ本体の切欠き部と相補的形状に形成されていることで、流路開閉手段とキャップ本体とを、一体的に構成することができる。このため、従来のヘッドキャップと比較して、ヘッドキャップ全体の形状が変化することなく、ヘッドキャップをスペース効率良く配置することができる。
【００１０】
この場合、キャップ内流路は、弁体を開閉動作可能に収容すると共に、切欠き部に面した弁体収容室を有し、バルブケーシングは、駆動部を収容すると共に、弁体収容室を閉蓋するように、キャップ本体に対して着脱自在に取り付けられていることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、駆動部のメンテナンスに際し、これをキャップ本体から簡単に取り外すことができる。また、バルブケーシングを取り外すことで、切欠き部に面した弁体収容室の開口部を介して、弁体を取り出すことができ、これを容易に交換することができる。
【００１２】
この場合、キャップ内流路は、弁体収容室と、弁体収容室から上流側の上流側流路と、弁体収容室から下流側の下流側流路と、から構成され、弁体収容室に対する上流側流路からの流入口部および下流側流路への流出口部のいずれかにより、弁体が密接する弁座が構成されていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、弁体を流入口部および流出口部のいずれかと適切に密接させることができ、キャップ内流路を確実に閉塞することができる。
【００１４】
本発明のヘッド吸引装置は、上記したヘッドキャップと、機能液滴吐出ヘッドに対してヘッドキャップを相対的に昇降させ、機能液滴吐出ヘッドとヘッドキャップとを離接させる昇降手段と、吸引手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、吸引処理の終了後における吸引流路の圧力の安定時間を極力短縮することができると共に、機能液の消費量を極力少なくすることができるヘッドキャップを備えたことで、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の初期充填処理やクリーニング処理における処理時間を短くすることができると共に、機能液の消費量を削減することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置は、上記したヘッド吸引装置と、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画処理を行う描画手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の初期充填処理やクリーニング処理における処理時間を短くすることができると共に、機能液の消費量を削減することができるヘッド吸引装置を備えたことで、ワークに対する描画処理を効率良く行うことができる。
【００１８】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２０】
これらの構成によれば、ワークに対する描画処理を効率良く行うことができる液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２１】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２２】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付の図面を参照して、本発明のヘッドキャップを適用した液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた印刷技術（インクジェット法）により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２４】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台１１と、機台１１上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド２７を搭載した描画装置１２と、機能液滴吐出ヘッド２７に機能液を供給する機能液供給機構１３と、機台１１上の端部に設置されたメンテナンス装置１４とを備え、メンテナンス装置１４により機能液滴吐出ヘッド２７のメンテナンス処理を行うと共に、描画装置１２により基板Ｗ上に機能液滴を吐出・着弾させる描画処理を行うようにしている。また、図示しないが、液滴吐出装置１には、各構成部品への駆動・制御用等の圧縮エアーを供給するエアー供給装置や、パソコン等で構成され、液滴吐出装置１の各部を制御する制御装置（コントローラ）等が組み込まれている。
【００２５】
描画装置１２は、Ｘ軸テーブル２２およびＸ軸テーブル２２に直交するＹ軸テーブル２３から成るＸＹ移動機構２１と、Ｙ軸テーブル２３に移動自在に取り付けられ、ヘッドθ軸テーブル２８を有するメインキャリッジ２４と、メインキャリッジ２４に垂設したヘッドユニット２５とを有している。そして、ヘッドユニット２５には、サブキャリッジ２６を介して、機能液滴吐出ヘッド２７が搭載されている。一方、基板Ｗは、Ｘ軸テーブル２２の端部に臨む一対の基板認識カメラ（図示省略）により、Ｘ軸テーブル２２に位置決めされた状態で搭載されている。なお、図１では、機能液滴吐出ヘッド２７を単一のものとして模式的に表示しているが、その個数は任意であって、本実施形態では、１２個の機能液滴吐出ヘッド２７が搭載されている。
【００２６】
Ｘ軸テーブル２２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ３１を有し、これに吸着テーブル３３および基板θ軸テーブル３４等から成るセットテーブル３２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３６を有し、これに上記のメインキャリッジ２４を介してヘッドユニット２５を移動自在に搭載して、構成されている。
【００２７】
Ｘ軸テーブル２２は、機台１１上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル２３は、機台１１上に立設した左右の支柱３７に支持されている。Ｘ軸テーブル２２とメンテナンス装置１４のメンテナンス系移動テーブル６３（後述する）とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル２３は、Ｘ軸テーブル２２とメンテナンス系移動テーブル６３とを跨ぐように延在している。
【００２８】
そして、Ｙ軸テーブル２３は、これに搭載したヘッドユニット２５を、Ｘ軸テーブル２２の直上部に位置する描画エリア８１と、メンテナンス系移動テーブル６３の直上部に位置するメンテナンスエリア８２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル２３は、Ｘ軸テーブル２２に導入した基板Ｗに描画を行う場合には、ヘッドユニット２５を描画エリア８１に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド２７のメンテナンス処理を行う場合には、ヘッドユニット２５をメンテナンスエリア８２に臨ませる。
【００２９】
図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド２７は、インクジェット方式で機能液を吐出するものであって、２連の接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４とを備えている。接続針４２は、給液チューブ４７を介して機能液供給機構１３（給液タンク４６）に接続され、機能液滴吐出ヘッド２７のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド本体４４は、ピエゾ素子等で構成されたポンプ部５１と、２本のノズル列を相互に平行に形成したノズル面５３を有するノズルプレート５２とを備えている。各ノズル列５４は、複数のノズル５５が等ピッチで並べられて構成されている。そして、フレキシブルフラットケーブルにより制御装置に接続されたコネクタ５６を介して、ポンプ部５１に駆動波形を印加することにより、各ノズル５５から機能液滴が吐出される。
【００３０】
メンテナンス装置１４は、機能液滴吐出ヘッド２７のノズル５５から機能液を吸引するヘッド吸引装置６１のキャップユニット１０１と、洗浄液を染み込ませたワイピングシート７３により機能液滴吐出ヘッド２７のノズル面５３を払拭するワイピングユニット６２と、両ユニットを一括載置して機台１１上を移動させるメンテナンス系移動テーブル６３とを備えている。
【００３１】
キャップユニット１０１（ヘッド吸引装置６１）は、詳細は後述するが、機能液滴吐出ヘッド２７のノズル面５３に密着するヘッドキャップ１２１を有し、機能液供給機構１３に貯留された機能液を機能液滴吐出ヘッド２７のヘッド内流路に導入する初期充填処理や、機能液滴吐出ヘッド２７内で増粘した機能液を除去するための吸引処理（クリーニング）を行うものである。なお、このヘッドキャップ１２１は、機能液滴吐出ヘッド２７からのフラッシング（捨て吐出）の受けとしても用いられる。
【００３２】
ワイピングユニット６２は、シート供給ユニット７１と、拭取りユニット７２とを備えており、ワイピングシート７３が繰出し且つ巻取り自在に設けられている。シート供給ユニット７１と拭取りユニット７２とは、メンテナンス系移動テーブル６３上に、拭取りユニット７２を上記のヘッド吸引装置６１側に位置させてＸ軸方向に並べて配置されており、メンテナンスエリア８２に存するヘッドユニット２５に向けてのメンテナンス系移動テーブル６３の動きにより、拭取りユニット７２がシート供給ユニット７１と一体に払拭方向たるＸ軸方向の一方（図１では上方）に移動し、洗浄液噴射ノズル７４から洗浄液を噴射してこれを染み込ませたワイピングシート７３を介して、機能液滴吐出ヘッド２７のノズル面５３を払拭する。
【００３３】
メンテナンス系移動テーブル６３は、機台１１本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、キャップユニット１０１およびワイピングユニット６２を分散して載置する共通ベース７６と、共通ベース７６をＸ軸方向にスライド自在に支持する一対のガイドレール７７と、モータ駆動のＸ軸移動機構（図示省略）とを備えており、各ユニットをＸ軸方向に移動してメンテナンスエリア８２に位置させる。
【００３４】
このように構成された液滴吐出装置１は、メンテナンス装置１４により機能液滴吐出ヘッド２７に対し適宜メンテナンス処理を行うと共に、描画装置１２により基板Ｗに描画処理を行うようにしている。すなわち、描画装置１２は、制御装置による制御を受けながら、基板ＷをＸ軸テーブル２２によりＸ軸方向に往動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド２７を選択的に駆動させて、基板Ｗに対する機能液の主走査が行われる。そして、Ｙ軸テーブル２３によりヘッドユニット２５をＹ軸方向に副走査させた後、基板ＷをＸ軸方向に復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド２７を選択的に駆動させて、再度主走査が行われる。このような基板Ｗの往復動に伴う主走査およびヘッドユニット２５の副走査を複数回繰り返すことで、基板Ｗの端から端まで機能液の吐出（描画）が行われる。
【００３５】
続いて、ヘッド吸引装置６１について詳細に説明する。図３に示すように、ヘッド吸引装置６１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド２７にそれぞれ密着させる１２個のヘッドキャップ１２１を有するキャップユニット１０１と、密着させたヘッドキャップ１２１を介して機能液滴吐出ヘッド２７内の機能液を吸引するエゼクタ１０２と、ヘッドキャップ１２１とエゼクタ１０２とを接続する吸引チューブ１０３と、吸引チューブ１０３に介設された廃液タンク１０４とを備えている。キャップユニット１０１は、上記のメンテナンス系移動テーブル６３上に設置されており、エゼクタ１０２および廃液タンク１０４は他の場所（例えば、機台１１に形成された収容室内）に設置されている。
【００３６】
吸引チューブ１０３は、ヘッドキャップ１２１と廃液タンク１０４とを接続する上流側吸引チューブ１１１と、廃液タンク１０４とエゼクタ１０２とを接続する下流側吸引チューブ１１２とから構成されている。図３では、ヘッドキャップ１２１を１個のみ示したが、実際には、ヘッドキャップ１２１は１２個設けられており、上流側吸引チューブ１１１も、これに対応して１２本設けられている。もっとも、廃液タンク１０４、エゼクタ１０２および下流側吸引チューブ１１２は、各１個で構成されている。
【００３７】
上流側吸引チューブ１１１の下流端は、廃液タンク１０４の底部位に達するように深く差し込まれ、下流側吸引チューブ１１２の上流端は、廃液タンク１０４に貯留されている機能液に浸漬しないように浅く差し込まれている。これにより、気液分離し、機能液がエゼクタ１０２側に流れないようになっている。なお、廃液タンク１０４には、廃液タンクの満液状態（液面が下流側吸引チューブ１１２の上流端まで達しない状態）を検出するための液位センサが設けられている。
【００３８】
上流側吸引チューブ１１１は、透明な樹脂チューブで構成されており、各ヘッドキャップ１２１の下流側直近には、上流側吸引チューブ１１１内を通過する機能液を外部から検出する通液検出センサ１１３が設けられている。これにより、機能液滴吐出ヘッド２７の初期充填処理の際に、機能液が各ヘッドキャップ１２１に達したこと、つまり各機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路に機能液が満たされたことを、機能液滴吐出ヘッド２７毎に検出することができる。
【００３９】
エゼクタ１０２は、上記のエアー供給装置から圧縮エアー（作動流体）の供給を受け、その随伴流を利用して各ヘッドキャップ１２１を密着させた各機能液滴吐出ヘッド２７内の機能液に吸引力を作用させる。このエゼクタ１０２に供給される圧縮エアーの流量（ＯＮ／ＯＦＦ）は、上記の制御装置により制御されている。
【００４０】
キャップユニット１０１は、１２個のヘッドキャップ１２１と、１２個の機能液滴吐出ヘッド２７に対応して１２個のヘッドキャップ１２１を配置したキャップベース１２２と、１２個のヘッドキャップ１２１をキャップベース１２２を介して昇降させることで、各ヘッドキャップ１２１を各機能液滴吐出ヘッド２７に離接させる昇降機構１２３と、これらをメンテナンス系移動テーブル６３上に支持するキャップスタンド１２４（図１参照）とを有している。
【００４１】
昇降機構１２３は、キャップベース１２２の下面に接続したエアーシリンダ１３１と、キャップベース１２２の上下動を案内する一対の昇降ガイド１３２とで構成され、各ヘッドキャップ１２１の上面と各機能液滴吐出ヘッド２７のノズル面５３とが当接（密接）する位置と、各ヘッドキャップ１２１と各機能液滴吐出ヘッド２７との間に間隙が生ずる位置とで、キャップベース１２２を介してヘッドキャップ１２１を昇降させる。また、キャップベース１２２の左右両端には、キャップベース１２２（ヘッドキャップ１２１）の上昇位置を度当たりで規制する規制部材１３３が設けられている。なお、上記のメインキャリッジ２４にヘッドユニット２５を昇降させるＺ軸移動機構を設け、これにより各ヘッドキャップ１２１を各機能液滴吐出ヘッド２７に離接させてもよい。
【００４２】
図３および図４に示すように、各ヘッドキャップ１２１は、機能液滴吐出ヘッド２７のノズル面５３に密着して２列のノズル列５４を包含するように封止する環状のシールパッキン１４１（封止部）と、シールパッキン１４１を支持すると共に、内部にエゼクタ１０２に連通するキャップ内流路１６１を形成したキャップ本体１４２と、キャップ本体１４２に組み込むようにしてキャップ内流路１６１に介設した流路開閉バルブ１４３（流路開閉手段）と、キャップ本体１４２の上面に形成した凹部１６２（後述する）に連通する大気開放弁１４４と、キャップ本体１４２をキャップベース１２２に固定するためのキャップホルダ１４５とを有している。
【００４３】
各キャップ本体１４２は、２つのキャップばね１４６（コイルばね）で上方に付勢され且つ僅かに上下動可能な状態でキャップホルダ１４５に保持されている。すなわち、上記のエアーシリンダ１３１によりヘッドキャップ１２１を機能液滴吐出ヘッド２７に当接させたときの衝撃が、２つのキャップばね１４６により吸収されるようになっている。
【００４４】
シールパッキン１４１は、機能液に対して耐食性を有するシリコンゴムやフッ素系ゴム等で構成され、ノズル面５３に密着する環状凸部１４１ａと、環状凸部１４１ａを支える環状基部１４１ｂとで、一体に形成されている。一方、キャップ本体１４２の凹部１６２の周縁部には、環状のパッキン押さえ１４７が取り付けられており、シールパッキン１４１は、その環状基部１４１ｂでパッキン押さえ１４７により押さえられるようにして、キャップ本体１４２に固定されている。
【００４５】
大気開放弁１４４は、上記凹部１６２に連通する弁座１５１と、上端部に弁座に離接する弁体を有し下端部に操作コマ１５３を有するロッド状操作部１５２とから成り、ロッド状操作部１５２は、キャップ本体１４２に内蔵した開放ばね１５４（コイルばね）で閉じ側（上方）に付勢されている。また、キャップベース１２２の下方には、各操作コマ１５３に係合するフック１５６を１２個配設した操作プレート（図示省略）と、操作プレートを介して１２個のフック１５６を昇降させるフック昇降機構（エアーシリンダ）とが設けられている。そして、フック昇降機構により操作プレートを上昇・下降させることで、ロッド状操作部１５２が上下させて、大気開放弁１４４が閉弁・開弁する。
【００４６】
キャップ本体１４２は、耐食性のステンレス等でブロック状に形成されると共に、キャップ内流路１６１に面して直方体に切り欠かれており、この切欠き部に嵌め合わせるようにして、流路開閉バルブ１４３のバルブケーシング１８３（後述する）が着脱自在に装着されている。キャップ本体１４２の上面には、シールパッキン１４１の環状凸部１４１ａの内側に沿うように長方形の凹部１６２が形成され、また、凹部１６２に充填するようにして、機能液を吸収する吸収材１６３が敷設されている。そして、凹部１６２の底部には、キャップ内流路１６１の上流端が開口しており、キャップ内流路１６１の下流端は、上記の上流側吸引チューブ１１１が接続されるキャップ継手１６４に連通している。すなわち、機能液滴吐出ヘッド２７から吸引された機能液は、凹部１６２の吸収材１６３に吸収された後、キャップ内流路１６１を通って、吸引チューブ１０３へと導かれるようになっている。
【００４７】
キャップ内流路１６１は、流路開閉バルブ１４３の弁体１８１（後述する）を開閉動作可能に収容すると共に、キャップ本体１４２の切欠き部に面した断面長方形の弁体収容室１７１と、弁体収容室１７１から上流側にＬ字に屈曲して延びる上流側流路１７２と、弁体収容室１７１から下流側に逆Ｌ字に屈曲して延びる下流側流路１７３とから構成されている。上流側流路１７２は、上流端近傍の細径部１７４と、その下流端に連なる太径部１７５とから成り、また、下流側流路１７３の下流端には、螺子接合により上記のキャップ継手１６４が取り付けられている。
【００４８】
流路開閉バルブ１４３は、上記の弁体収容室１７１に突出して、キャップ内流路１６１を閉塞する弁体１８１と、弁体１８１を保持すると共にこれを開閉動作させる駆動部１８２と、内部に駆動部１８２を組み込んだバルブケーシング１８３とを有している。
【００４９】
バルブケーシング１８３は、キャップ本体１４２の切欠き部と相補的な形状に形成されており、図示では省略したがシール部材を介在した状態で、キャップ本体１４２に対し、螺子止め等により着脱自在に装着されている。そして、キャップ本体１４２の切欠き部に面した弁体収容室１７１の開口部は、装着したバルブケーシング１８３により、閉止されるようになっている。これにより、キャップ本体１４２からバルブケーシング１８３を取り外すことで、弁体１８１の交換等が可能となる。
【００５０】
バルブケーシング１８３は、キャップ本体と同材質となる耐食性のステンレス等で構成され、キャップ本体１４２の切欠き部に取り付けられた状態で、キャップ内流路１６１の弁体収容室１７１を閉塞すると共に、弁体１８１を上記の上流側流路１７２からの流入口部１７６に密接させる。これにより、流路開閉バルブ１４３とキャップ本体１４２とを一体的に構成することができる。したがって、従来のヘッドキャップ１２１、つまり流路開閉バルブ１４３がキャップ内流路１６１でなく吸引チューブ１０３に介設されたものと比べて、ヘッドキャップ１２１の全体の形状が変化することなく、ヘッドキャップ１２１をスペース効率良く配置することができる。
【００５１】
駆動部１８２は、バルブケーシング１８３に組み込まれたエアーオペレートバルブの形態を有し、シリンダ１９１と、シリンダ１９１の軸心に設けられたピストンロッド１９２と、ピストンロッド１９２の一方の端部に固設されると共に、圧力調整によりシリンダ１９１内を摺動するピストン１９３と、ピストン１９３のピストンロッド１９２とは反対側に設けられ、ピストン１９３をピストンロッド１９２の先端側に付勢するピストンばね１９４（コイルばね）とを有している。また、シリンダ１９１には、上記のエアー供給装置からシリンダ１９１内に圧縮エアーを供給する給気ポート１９６が形成され、給気ポート１９６に導入した圧縮エアーによりピストンばね１９４に抗してピストン１９３を後退（開弁）させるようになっている。なお、ピストンばね１９４は、バルブケーシング１８３に対して外側から螺合したキャップ状部材１９８に当接しており、キャップ状部材１９８を取り外すことにより、ピストンばね１９４を容易に交換することができる。
【００５２】
弁体１８１は、先端部をテーパー形状とした耐食性のシリコンゴム等で構成され、上記のピストンロッド１９２の先端に固定されている。そして、ピストンばね１９４によるピストン１９３の往動により弁体１８１を弁体収容室１７１に対する上流側流路１７２からの流入口部１７６に押し付けることにより、弁体１８１が流入口部１７６に密接し、キャップ内流路１６１を閉塞（閉弁）する。すなわち、流入口部１７６により、弁体１８１が密接する弁座が構成されている。一方、上述したように、給気ポート１９６に導入した圧縮エアーにより、ピストン１９３を介して弁体１８１を流入口部１７６から離間させ、キャップ内流路１６１を開放（開弁）する。なお、流入口部１７６に代えて、弁体収容室１７１に対する下流側流路１７３への流出口部１７７に対し、弁体１８１を押し付けることによって、キャップ内流路１６１を閉塞するようにしてもよい。
【００５３】
ここで、本実施形態のヘッド吸引装置６１による機能液滴吐出ヘッド２７の初期充填処理について説明する。まず、Ｙ軸テーブル２３により、交換した（新規の）機能液滴吐出ヘッド２７を搭載したヘッドユニット２５をメンテナンスエリア８２に臨ませると共に、メンテナンス系移動テーブル６３によりキャップユニット１０１をメンテナンスエリア８２に移動させる。
【００５４】
次に、キャップユニット１０１の昇降機構１２３によりヘッドキャップ１２１を上昇させて機能液滴吐出ヘッド２７に密着させ、ノズル５５を封止する。この状態で、エゼクタ１０２を駆動させることで、給液タンク４６からエゼクタ１０２に至る流路が負圧となり、給液タンク４６に貯留された機能液が給液チューブ４７を介してヘッド内流路に導入される。ヘッド内流路が機能液で満たされると、機能液は吸引流路、すなわちキャップ本体１４２の凹部１６２、キャップ内流路１６１および吸引チューブ１０３を経て、廃液タンク１０４へ導かれる。
【００５５】
各通液検出センサ１１３により上流側吸引チューブ１１１を通過する機能液が検出されると、制御装置は、機能液を検出した通液検出センサ１１３に対応するヘッドキャップ１２１に設けられた流路開閉バルブ１４３を閉塞する。このようにして、各機能液滴吐出ヘッド２７のヘッド内流路に機能液が充填されると、順次、対応するヘッドキャップ１２１の流路開閉バルブ１４３を閉塞し、１２本全ての上流側吸引チューブ１１１が閉塞されると、直ちにエゼクタ１０２の駆動を停止させる。なお、キャップ内流路１６１の閉塞数、すなわち閉塞している流路開閉バルブ１４３の個数に応じて、エゼクタ１０２の吸引力を制御するようにしてもよい。
【００５６】
エゼクタ１０２の駆動が停止させても、流路開閉バルブ１４３よりも上流側の流路における負圧が解消されるまで、機能液滴吐出ヘッド２７からの機能液の流入は続行する。この場合、キャップ内流路１６１に流路開閉バルブ１４３を介設したことで、流路開閉バルブ１４３の上流側の吸引流路の長さが極端に短くなっているため、機能液滴吐出ヘッド２７から極少量の機能液が流れ込むだけで、その負圧は解消される。したがって、吸引処理の終了後における吸引流路の圧力の安定時間を極力短縮することができると共に、機能液の消費量を極力少なくすることができる。
【００５７】
エゼクタ１０２の駆動停止から所定時間（数秒程度）経過後、吸引流路の負圧が略大気圧まで戻った状態で、ヘッドキャップ１２１の大気開放弁１４４を開放することで、吸引流路を完全に大気圧に回復させる。最後に、昇降機構１２３によりヘッドキャップ１２１を下降させて機能液滴吐出ヘッド２７から離し、一連の初期充填処理が終了する。
【００５８】
以上のように、本実施形態のヘッド吸引装置６１によれば、ヘッドキャップ１２１のキャップ内流路１６１に流路開閉バルブ１４３を介設したことで、機能液滴吐出ヘッド２７への機能液の初期充填処理における処理時間を短縮することができると共に、機能液の消費量を削減することができる。
【００５９】
さらに、機能液滴吐出ヘッド２７のクリーニング処理においても、初期充填処理の場合と同様に、流路開閉バルブ１４３の上流側の吸引流路の長さが極端に短くなっていることで、吸引処理の終了後における吸引流路の圧力の安定時間を短縮することができ、機能液の消費量を極力少なくすることができる。なお、クリーニング処理の場合は、各流路開閉バルブ１４３の閉塞のタイミングを、通液検出センサ１１３の検出に代えて、制御装置のタイマー（例えば、略１秒間）で管理してもよい。
【００６０】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６１】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６２】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図６（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図６（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド２７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００６３】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００６４】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド２７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド２７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００６５】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図６（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００６６】
図７は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図６に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００６７】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００６８】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図７において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００６９】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７０】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７１】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド２７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド２７で行うことも可能である。
【００７２】
図８は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００７３】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００７４】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７５】
図９は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００７６】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００７７】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００７８】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００７９】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８０】
次に、図１０は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８１】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８２】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００８３】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００８４】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００８５】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００８６】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００８７】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００８８】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００８９】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９０】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９１】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９２】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１１〜図１９を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００９３】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１２に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１３に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００９４】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド２７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００９５】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル３２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００９６】
図１４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド２７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１５に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００９７】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００９８】
そして次に、図１６に示すように、各色のうちのいずれか（図１６の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００９９】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１７に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１００】
同様に、機能液滴吐出ヘッド２７を用い、図１８に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０１】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１０２】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図１９に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１０３】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１０４】
次に、図２０は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１０５】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１０６】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１０７】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０８】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル３２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド２７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１０９】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１０】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド２７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１１】
次に、図２１は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１２】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１１３】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１１４】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１５】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１１６】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２２（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２２（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１１７】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置に搭載した機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図３】ヘッド吸引装置の概念図である。
【図４】ヘッド吸引装置のヘッドキャップの外観斜視図である。
【図５】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図６】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１１】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１２】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１３】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１４】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１５】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１６】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１７】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１８】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２０】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２１】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２２】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１１９】
１…液滴吐出装置  １２…描画装置  ２７…機能液滴吐出ヘッド  ５３…ノズル面  ５５…ノズル  １０２…エゼクタ  １２１…ヘッドキャップ  １２３…昇降機構  １４１…シールパッキン  １４２…キャップ本体  １４３…流路開閉バルブ  １７１…弁体収容室  １７２…上流側流路  １７３…下流側流路  １７６…流入口部  １７７…流出口部  １８１…弁体  １８２…駆動部  １８３…バルブケーシング  Ｗ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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