(57)【要約】【課題】  構造簡易で、施工に伴う粉塵を生じず、かつ施工の手間も大幅に軽減できる。【解決手段】  水平面を出した石膏製の基台４を建屋床面ＦＬ上に設け、当該基台４上に積層ゴム体５と制振合金板６を介して床板７を設ける。基台４と建屋床面ＦＬとの間には床面保護用のシート３を介設する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬化性流動材料が硬化して水平面の出た基台を建屋床面上に設け、当該基台上に振動減衰材料よりなる床板を設けたことを特徴とする免震床構造。
【請求項２】
前記基台と建屋床面との間に床面保護用のシートを介設した請求項１に記載の免震床構造。
【請求項３】
前記床板の上方ないし下方に振動吸収材層を設けた請求項１または２に記載の免震床構造。
【請求項４】
前記床板の上方ないし下方に振動減衰材層を設けた請求項１ないし３のいずれかに記載の免震床構造。
【請求項５】
前記床板を、ポリマー複合材の成形体で構成した請求項１ないし４のいずれかに記載の免震床構造。
【請求項６】
前記振動吸収材層を積層ゴム体で構成した請求項１ないし５のいずれかに記載の免震床構造。
【請求項７】
前記振動減衰材層を制振合金板で構成した請求項１ないし６のいずれかに記載の免震床構造。
【請求項８】
建屋床面の所定領域を囲んで堰枠を設け、前記所定領域内に硬化性の流動材料を流し込んで硬化させて前記基台となし、当該基台上に振動減衰材料よりなる床板を載置したことを特徴とする免震床構造の製造方法。
【請求項９】
前記硬化性の流動材料を流し込む前に、前記所定領域の建屋床面上に床面保護用のシートを敷設した請求項８に記載の免震床構造の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は精密加工機械や精密測定器等を設置するのに適した免震床構造とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の免震床構造は以下に説明するような施工によって実現されている。すなわち、図７に示すように、既存の建屋床面ＦＬを地盤８１まで掘り下げてピットＰＴを形成し（図７（１））、当該ピットＰＴ内に鉄筋フレーム８２を組んで（図７（２））これをコンクリートで固めて建屋床面ＦＬから離間した独立の、精密加工機械等を載置するコンクリート床８３を設ける（図８（１））。コンクリート床８３の周囲空間は、建屋床面ＦＬからの振動伝達を防止する振動吸収用のゴム層８４（図８（２））と、下地材８５および仕上げコンクリート８６で埋める。なお、特許文献１には、上下免震装置と水平免震装置を介して、精密機器類を載せる免震床を構造床上に支持するようにした免震床構造が示されている。
【特許文献１】特開平１０−２３８０９０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記従来の免震床構造では、ピットの形成やコンクリート打ち、ゴム層の施工等に多大な手間と時間を要する上に、施工に伴い粉塵を生じるという問題があった。また、上記公報に記載の免震装置は、上下免震装置と水平免震装置を必要とする等、機構が複雑であるという問題があった。
【０００４】
そこで、本発明はこのような課題を解決するもので、構造簡易で、施工に伴う粉塵を生じず、かつ施工の手間も大幅に軽減できる免震床構造とその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本第１発明の免震床構造では、硬化性流動材料が硬化して水平面の出た基台（４）を建屋床面（ＦＬ）上に設け、当該基台（４）上に振動減衰材料よりなる床板（７）を設ける。なお、上記硬化性流動材料としては例えば石膏スラリーやシリコンシーラント、あるいは速乾性コンクリートやエポキシ樹脂等が使用できる。また、上記床板はポリマー複合材の成形体で構成するのが好適である。本第１発明の免震床構造においては、基台上に床板を設けるだけの簡易な構造で、床板上に載置した精密加工機械等の振動低減を実現できるとともに、施工に伴う粉塵を生じず、かつ施工の手間も大幅に軽減することができる。
【０００６】
本第２発明の免震床構造では、上記基台（４）と建屋床面（ＦＬ）との間に床面保護用のシート（３）を介設する。本第２発明においては、床面保護用シートを設けることによって建屋床面の損傷が防止される。
【０００７】
本第３発明の免震床構造では、上記床板（７）の上方ないし下方に振動吸収材層（５）を設ける。この振動吸収材層は積層ゴム体で構成するのが好適である。本第３発明においては、振動吸収材層の存在によって、床板上に載置した精密加工機械等のへの振動伝達がより効果的に防止される。
【０００８】
本第４発明の免震床構造では、上記床板（７）の上方ないし下方に振動減衰材層（６）を設ける。この振動減衰材層は制振合金板で構成するのが好適である。制振合金板は振動の対数減衰率が０．３以上１．０以下のものが好ましい。本第４発明においては、振動減衰材層の存在によって、床板上に載置した精密加工機械等の振動低減がより効果的になされる。
【０００９】
本第５発明の免震床構造の製造方法では、建屋床面の所定領域（ＳＡ）を囲んで堰枠（１）を設け、上記所定領域（ＳＡ）内に硬化性の流動材料を流し込んで硬化させて基台（４）となし、当該基台（４）上に振動減衰材料よりなる床板（７）を載置する。本第５発明の免震床構造の製造方法では、本第１発明の効果を有する免震床構造を、少ない施工の手間で実現することができる。特に、硬化性の流動材料として自己水平性のある石膏スラリーやシリコンシーラント等を使用すると、基台の水平面を容易に出すことができるから、さらに施工の手間が軽減される。
【００１０】
本第６発明の免震床構造の製造方法では、上記硬化性の流動材料を流し込む前に、上記所定領域（ＳＡ）の建屋床面（ＦＬ）上に床面保護用のシート（３）を敷設する。本第６発明においては、床面保護用シートによって、硬化性流動材料と建屋床面との固着が防止されるから、免震床構造が不要となった場合等に建屋床面が容易に復元できる。
【００１１】
なお、上記カッコ内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明の免震床構造とその製造方法によれば、構造簡易であるとともに、施工に伴う粉塵を生じず、かつ施工の手間も大幅に軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１には本発明の免震床構造の一例を示す。図１において、建屋床面ＦＬ上には平面視で矩形状の（図２参照）堰枠１が設置されており、堰枠１の外周面は安全性確保のために一定厚のゴム等の緩衝材２で覆ってある。堰枠１で囲まれた矩形領域ＳＡの建屋床面ＦＬ上と堰枠１の内周面および上面にはこれらを覆って一定厚の床面保護用シート３が配置されている。そして、シート３で覆われた堰枠の空間内に石膏製の基台４が形成され、その上面４ａは水平面となっている。
【００１４】
基台４上には振動吸収材層として一定厚の板状積層ゴム体５が配設されている。積層ゴム体５は数ミリ厚のゴムと鋼板を交互に複数積層したものである。積層ゴム体５の上面には振動減衰材層として制振合金板６が配設されている。制振合金板６上には、精密加工機械等を載せるための一定厚の床板７が設けられており、本実施形態では床板７は振動減衰機能を有するポリマー複合材を板状に成形したものである。ここで、上記制振合金材としては、マンガンをベースにした双晶型制振合金Ｍ２０５２を使用することができ、また、ポリマー複合材としては、非金属ポリマー複合材であるロックウェル・オートメーション社の「Anocast」（商標）を使用することができる。
【００１５】
このような免震床構造は例えば以下の工程で製造される。最初に図２に示すように、建屋床面ＦＬ上の所定の矩形領域ＳＡを、外周を緩衝材２で覆った堰枠１で囲む。続いて上記矩形領域ＳＡの上面と、堰枠１の内周面および上面に沿って床面保護用のシート３を配してこれらを覆う（図３）。次に、シート３で覆われた堰枠空間内に石膏スラリー４´を流し込み（図４）、堰枠１の高さと同程度となった表面４ａを水平にならし硬化させて基台４とする。この場合、石膏材として例えばＳＬプラスター（吉野石膏（株）製  商品名）を使用すると、その自己水平性によって、簡単にならすだけで精度の高い水平面が得られる。
【００１６】
一方、図５に示すように、ポリマー複合材を型成形した床板７を用意し、その下面に、制振合金板６と積層ゴム体５をこの順で接合ないし機械的結合で固着しておく。本実施形態では、床板７の上面には三箇所にナット７１が埋設してあり、これらに吊りボルト７２をねじ込み固定する（図６）。吊りボルト７２に吊りワイヤ７３を掛け、制振合金板６および積層ゴム体４を一体化した床材７を吊り上げて、図１に示すように硬化させた基台４上に載置する。このようにして容易に免震構造が実現され、水平面の出た床板７上に載置された精密加工機械等に対して、床板７および制振合金板６による制振機能と積層ゴム体５による防振機能が有効に発揮されて、精密加工機械等への振動伝達が効果的に低減させられる。免震構造を移設する必要がある場合等には、床材７等を吊り上げて新たに成形した基台４上に載置するだけで、容易に移設等が完了する。保護用シート３が敷設してある場合には、基台４が建屋床面ＦＬと固着していないから、建屋床面ＦＬを損傷することなく基台４を撤去することができる。
【００１７】
なお、床板としてはポリマー複合材の成形体以外に、ポリマーコンクリート材やグラナイト材を使用することができる。また、上記実施形態において、振動吸収剤層と振動減衰材層の積層順序を入れ替え、あるいは、これら振動吸収剤層と振動減衰材層を床板上に設けて、その上に精密加工機械等を載置するようにしても良い。また、振動吸収剤層や振動減衰材層は床板と一体にする必要は無く、それぞれ分離されたものを載積するようにしても良い。さらに、振動吸収剤層と振動減衰材層はいずれか一方、ないし両方を省略することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態を示す免震床構造の断面図である。
【図２】免震床構造の施工工程を示す部分破断斜視図である。
【図３】免震床構造の施工工程を示す断面図である。
【図４】免震床構造の施工工程を示す断面図である。
【図５】免震床構造の施工工程を示す斜視図である。
【図６】免震床構造の施工工程を示す斜視図である。
【図７】従来の免震床構造の施工工程を示す斜視断面図である。
【図８】従来の免震床構造の施工工程を示す斜視断面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１…堰枠、３…シート、４…基台、５…積層ゴム体、６…制振合金板、７…床板、ＦＬ…建屋床面、ＳＡ…所定領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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