(57)【要約】【課題】吸引・保持ヘッドの吸引孔からの吸引による湾曲変形が残留する吸引部分が同じ位置に重ならないようにセラミックグリーンシートを剥離、積層して、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造する。【解決手段】吸引・保持面１４ａに、セラミックグリーンシートを吸引・保持するための複数の吸引孔１３が配設され、かつ、吸引孔１３が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッド１４を用い、セラミックグリーンシート１１を一枚もしくは複数枚積層するごとに、吸引・保持ヘッド１４を回転させて、平面視した場合に、吸引孔１３がセラミックグリーンシート１１の、前回に吸引した領域（吸引部分）１９とは異なる領域を吸引する。【選択図】図５
2006196620.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを繰り返して実施することにより、複数枚のセラミックグリーンシートからなる積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造装置であって、
セラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、前記複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドと、
前記吸引・保持ヘッドを、その吸引孔が、セラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように所定の角度だけ回転させる吸引・保持ヘッド回転手段とを備え、
前記吸引・保持ヘッドを回転させることにより、剥離工程を一回もしくは複数回経るごとに、平面視した場合に、前記吸引・保持ヘッドの吸引孔が、セラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように構成されていること
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項２】
基材から剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程と、該積層工程に続く、次回に積層されるべきセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程との間に、前記吸引・保持ヘッドが回転するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項３】
カード状のセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離したカード状のセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを繰り返して実施することにより、複数枚のセラミックグリーンシートからなる積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造装置であって、
カード状のセラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、前記複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドと、
積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートが剥離された後、次回に剥離・積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートを所定の角度だけ回転させるセラミックグリーンシート回転手段と、
カード状のセラミックグリーンシートを積層するごとに、前回までの積層工程で形成された積層体を所定の角度だけ回転させる積層体回転手段と
を備え、
カード状のセラミックグリーンシートを一枚もしくは複数枚積層するごとに、次回に積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された積層体を所定の角度だけ回転させることにより、平面視した場合に、前記吸引・保持ヘッドの吸引孔が、カード状のセラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように構成されていること
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項４】
前記セラミックグリーンシート回転手段によりカード状のセラミックグリーンシートを回転させる角度と、前記積層体回転手段により前記積層体を回転させる角度とが同一であることを特徴とする請求項３記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項５】
前記吸引・保持ヘッドがセラミックグリーンシートを所定の形状に打ち抜く打ち抜き手段を備えており、前記剥離工程において、前記打ち抜き手段により打ち抜かれたセラミックグリーンシートが剥離されるように構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項６】
前記剥離工程および前記積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正ｎ角形である場合において、
(ａ)前記吸引・保持ヘッドを、前記吸引・保持ヘッド回転手段により、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させるか、または、
(ｂ)前記セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された前記積層体を、前記セラミックグリーンシート回転手段および前記積層体回転手段により、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させること
を特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項７】
前記剥離工程および前記積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正方形である場合において、前記吸引・保持ヘッド、または、前記セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された前記積層体を、０°、９０°、１８０°および２７０°の回転角度で順に回転させることを特徴とする請求項１〜５記載の積層セラミック電子部品の製造装置。
【請求項８】
セラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを繰り返して行うことにより、複数枚のセラミックグリーンシートからなる積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造方法であって、
セラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、前記複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドを用い、
剥離工程を一回もしくは複数回経るごとに、前記吸引・保持ヘッドを回転させて、平面視した場合に、前記吸引・保持ヘッドの吸引孔がセラミックグリーンシートの、前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するような態様で、セラミックグリーンシートを吸引・保持し、基材から剥離するとともに、剥離したセラミックグリーンシートを積層することにより積層体を形成すること
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項９】
基材から剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程と、該積層工程に続く、次回に積層されるべきセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程との間に、前記吸引・保持ヘッドを回転させることを特徴とする請求項８記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１０】
カード状のセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離したカード状のセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを繰り返して行うことにより、複数枚のセラミックグリーンシートからなる積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造方法であって、
カード状のセラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、前記複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドを用い、カード状のセラミックグリーンシートを前記吸引・保持ヘッドにより吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、
積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートが剥離された後、前記吸引・保持ヘッドを回転させることなく、次回に剥離・積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートを所定の角度だけ回転させるセラミックグリーンシート回転工程と、
カード状のセラミックグリーンシートを一枚もしくは複数枚積層するごとに、形成された積層体を所定の角度だけ回転させる積層体回転工程と、
前記剥離工程で剥離したカード状のセラミックグリーンシートを前記積層体回転工程で回転させた積層体上に積層する積層工程と
を具備することを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１１】
前記セラミックグリーンシート回転工程でセラミックグリーンシートを回転させる角度と、前記積層体回転工程で前記積層体を回転させる角度とを同一とすることを特徴とする請求項１０記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１２】
前記吸引・保持ヘッドとして、セラミックグリーンシートを所定の形状に打ち抜く打ち抜き手段を備えた吸引・保持ヘッド回転手段を用い、前記剥離工程において、前記打ち抜き手段により所定の形状に打ち抜いたセラミックグリーンシートを基材から剥離することを特徴とする請求項８〜１１のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１３】
前記剥離工程および前記積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正ｎ角形である場合において、前記吸引・保持ヘッド、または、前記セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された前記積層体を、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°および、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させることを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項１４】
前記剥離工程および前記積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正方形である場合において、前記吸引・保持ヘッド、または、前記セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された前記積層体を、０°、９０°、１８０°および２７０°の回転角度で順に回転させることを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、電子部品の製造装置および製造方法に関するものであり、詳しくは、複数のセラミックグリーンシートを積み重ねる工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品の製造方法として、キャリアフィルムにより支持され、表面に内部電極パターンが印刷されたマザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを打ち抜き、吸引・保持ヘッドにより吸引してキャリアフィルムから剥離し、これを積層することにより積層体を形成し、この積層体をカットして個々の素子に分割した後、焼成し、外部電極を形成して積層セラミック電子部品を得る方法が広く用いられている。
【０００３】
ところで、セラミックグリーンシートを吸引・保持ヘッドにより吸引して、キャリアフィルムから剥離した後、積層して積層体を形成する場合、図１０に示すように、吸引・保持ヘッド５０には、通常、セラミックグリーンシート５１を吸引するための複数の吸引孔５２が配設されており、吸引孔５２から吸引されたセラミックグリーンシート５１の吸引部分５３は、吸引によりたわみが生じ、吸引が解除された後も、湾曲変形が残留する。また、セラミックグリーンシート５１の厚みが薄い場合には、吸引部分５３に破れが発生する場合がある。
【０００４】
そして、この湾曲変形が残留する吸引部分５３が同じ位置に重なるような態様でセラミックグリーンシート５１を積層して、積層体を形成した場合、最終製品の特性にばらつきが生じたり、層間剥離が生じたりして、信頼性の高い積層セラミック電子部品を得ることができなくなる場合がある。
また、吸引・保持ヘッド５０により吸引・保持したセラミックグリーンシート５１を、吸引・保持ヘッド５０により、それまでにセラミックグリーンシート５１を積層することにより形成された積層体に仮圧着しながら積層して行く場合、吸引・保持ヘッド５０の吸引孔５２の位置が積層体の同一位置に重なると、吸引孔５２のエッジによるセラミックグリーンシート（積層体）のダメージが大きくなり、製品の特性に悪影響を与えるという問題点がある。
【０００５】
そこで、このような問題点を解消する方法として、図１１に示すように、積層すべきセラミックグリーンシート５１が供給される供給テーブル６０に供給された、セラミックグリーンシート５１を吸引・保持ヘッド５０により吸引・保持して基材（キャリアフィルム）（図示せず）から剥離し、積層テーブル５４に積層をすることにより積層体を形成するにあたって、吸引・保持ヘッド５０の吸引孔５２（図１２）が同じ位置にもたらされないように、吸引・保持ヘッド５０と積層テーブル５４との位置関係を所定のずらし量Ｚ（図１２）だけずらせるとともに、マザーセラミックグリーンシートから打ち抜き手段５５により、所定の寸法を有するセラミックグリーンシート５１を切り出す工程では、上記ずらし量Ｚに応じた大きさの「ずれ」をもってセラミックグリーンシート５１が切り出されるようにした積層セラミック電子部品の製造方法が提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
この方法によれば、セラミックグリーンシート５１を積層した場合に、湾曲変形が残留する吸引部分５３が各吸引毎に交互にずらし量Ｚだけずれた位置となり、吸引部分５３が連続して同じ位置に重なることを防止して、特性にばらつきや層間剥離などの構造欠陥のない積層セラミック電子部品を得ることが可能になる。
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の方法では、吸引・保持ヘッド５０により保持されたセラミックグリーンシート５１と、積層テーブル５４との位置関係をずらせる方法として、具体的には、図１１および図１２に示されているように、セラミックグリーンシートの幅方向（あるいは長さ方向）にずらせる方法を採用しているが、この方法の場合、セラミックグリーンシート５１と積層テーブル５４との位置関係を、複数段階（３段階以上）にわたってずらせようとすると、セラミックグリーンシート５１を保持する吸引・保持ヘッド５０と積層テーブル５４の動作が複雑になり、設備コストが増大したり、積層工程が複雑化したりするという問題点がある。
【０００８】
また、セラミックグリーンシート５１を、幅方向（あるいは長さ方向）に位置をずらせて積層した場合、形成される積層体の端部に、セラミックグリーンシート５１のずらし量に対応する不揃いが発生し、このシート不揃いに起因する積層体の不均一な変形が発生し、この変形に起因して特性にばらつきなどが生じたり、歩留まりが低下したりするなどの問題点がある。
【特許文献１】特開２０００−２９９２４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、吸引孔を備えた吸引・保持ヘッドを用いて基材からセラミックグリーンシートを剥離して積層するにあたって、吸引孔からの吸引による湾曲変形が残留する吸引部分が同じ位置に重ならないようにセラミックグリーンシートを積層して、吸引時や積層時（仮圧着時）などにおけるセラミックグリーンシートや積層体へのダメージを軽減して、特性のばらつきが少なく、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能な積層セラミック電子部品の製造装置および製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）の積層セラミック電子部品の製造装置は、
セラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを繰り返して実施することにより、複数枚のセラミックグリーンシートからなる積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造装置であって、
セラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、前記複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドと、
前記吸引・保持ヘッドを、その吸引孔が、セラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように所定の角度だけ回転させる吸引・保持ヘッド回転手段とを備え、
前記吸引・保持ヘッドを回転させることにより、剥離工程を一回もしくは複数回経るごとに、平面視した場合に、前記吸引・保持ヘッドの吸引孔が、セラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように構成されていること
を特徴としている。
【００１１】
また、請求項２の積層セラミック電子部品の製造装置は、請求項１記載の発明の構成において、基材から剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程と、該積層工程に続く、次回に積層されるべきセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程との間に、前記吸引・保持ヘッドが回転するように構成されていることを特徴としている。
【００１２】
また、本願発明（請求項３）の積層セラミック電子部品の製造装置の発明は、
カード状のセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離したカード状のセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを繰り返して実施することにより、複数枚のセラミックグリーンシートからなる積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造装置であって、
カード状のセラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、前記複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドと、
積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートが剥離された後、次回に剥離・積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートを所定の角度だけ回転させるセラミックグリーンシート回転手段と、
カード状のセラミックグリーンシートを積層するごとに、前回までの積層工程で形成された積層体を所定の角度だけ回転させる積層体回転手段と
を備え、
カード状のセラミックグリーンシートを一枚もしくは複数枚積層するごとに、次回に積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された積層体を所定の角度だけ回転させることにより、平面視した場合に、前記吸引・保持ヘッドの吸引孔が、カード状のセラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように構成されていること
を特徴としている。
【００１３】
また、請求項４の積層セラミック電子部品の製造装置の発明は、請求項３記載の発明の構成において、前記セラミックグリーンシート回転手段によりカード状のセラミックグリーンシートを回転させる角度と、前記積層体回転手段により前記積層体を回転させる角度とが同一であることを特徴としている。
【００１４】
また、請求項５の積層セラミック電子部品の製造装置の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明の構成において、前記吸引・保持ヘッドがセラミックグリーンシートを所定の形状に打ち抜く打ち抜き手段を備えており、前記剥離工程において、前記打ち抜き手段により打ち抜かれたセラミックグリーンシートが剥離されるように構成されていることを特徴としている。
【００１５】
また、請求項６の積層セラミック電子部品の製造装置の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の発明の構成において、
前記剥離工程および前記積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正ｎ角形である場合において、
(ａ)前記吸引・保持ヘッドを、前記吸引・保持ヘッド回転手段により、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させるか、または、
(ｂ)前記セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された前記積層体を、前記セラミックグリーンシート回転手段および前記積層体回転手段により、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させること
を特徴としている。
【００１６】
また、請求項７の積層セラミック電子部品の製造装置の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の発明の構成において、前記剥離工程および前記積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正方形である場合において、前記吸引・保持ヘッド、または、前記セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された前記積層体を、０°、９０°、１８０°および２７０°の回転角度で順に回転させることを特徴としている。
【００１７】
また、本願発明（請求項８）の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は
セラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを繰り返して行うことにより、複数枚のセラミックグリーンシートからなる積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造方法であって、
セラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、前記複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドを用い、
剥離工程を一回もしくは複数回経るごとに、前記吸引・保持ヘッドを回転させて、平面視した場合に、前記吸引・保持ヘッドの吸引孔がセラミックグリーンシートの、前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するような態様で、セラミックグリーンシートを吸引・保持し、基材から剥離するとともに、剥離したセラミックグリーンシートを積層することにより積層体を形成すること
を具備することを特徴としている。
【００１８】
また、請求項９の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は、請求項８記載の発明の構成において、基材から剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程と、該積層工程に続く、次回に積層されるべきセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程との間に、前記吸引・保持ヘッドを回転させることを特徴としている。
【００１９】
また、本願発明（請求項１０）の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は、
カード状のセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、前記剥離工程で剥離したカード状のセラミックグリーンシートを積層する積層工程とを繰り返して行うことにより、複数枚のセラミックグリーンシートからなる積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造方法であって、
カード状のセラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、前記複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドを用い、カード状のセラミックグリーンシートを前記吸引・保持ヘッドにより吸引・保持して基材から剥離する剥離工程と、
積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートが剥離された後、前記吸引・保持ヘッドを回転させることなく、次回に剥離・積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートを所定の角度だけ回転させるセラミックグリーンシート回転工程と、
カード状のセラミックグリーンシートを一枚もしくは複数枚積層するごとに、形成された積層体を所定の角度だけ回転させる積層体回転工程と、
前記剥離工程で剥離したカード状のセラミックグリーンシートを前記積層体回転工程で回転させた積層体上に積層する積層工程と
を具備することを特徴としている。
【００２０】
また、請求項１１の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は、請求項１０記載の発明の構成において、前記セラミックグリーンシート回転工程でセラミックグリーンシートを回転させる角度と、前記積層体回転工程で前記積層体を回転させる角度とを同一とすることを特徴としている。
【００２１】
また、請求項１２の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は、請求項８〜１１のいずれかに記載の発明において、前記吸引・保持ヘッドとして、セラミックグリーンシートを所定の形状に打ち抜く打ち抜き手段を備えた吸引・保持ヘッド回転手段を用い、前記剥離工程において、前記打ち抜き手段により所定の形状に打ち抜いたセラミックグリーンシートを基材から剥離することを特徴としている。
【００２２】
また、請求項１３の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は、請求項８〜１２のいずれかに記載の発明において、前記剥離工程および前記積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正ｎ角形である場合において、前記吸引・保持ヘッド、または、前記セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された前記積層体を、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°および、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させることを特徴としている。
【００２３】
また、請求項１４の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は、請求項８〜１２のいずれかに記載の発明の構成において、前記剥離工程および前記積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正方形である場合において、前記吸引・保持ヘッド、または、前記セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された前記積層体を、０°、９０°、１８０°および２７０°の回転角度で順に回転させることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２４】
本願発明（請求項１）の積層セラミック電子部品の製造装置は、セラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドと、吸引・保持ヘッドを、その吸引孔が、セラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように所定の角度だけ回転させる吸引・保持ヘッド回転手段とを備え、吸引・保持ヘッドを回転させることにより、剥離工程を一回もしくは複数回経るごとに、平面視した場合に、吸引・保持ヘッドの吸引孔が、セラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように構成されているので、この製造装置を用いることにより、吸引孔から吸引されて湾曲変形が残留する吸引部分が同じ位置に重ならないようにセラミックグリーンシートを積層することが可能になり、吸引時や積層時（仮圧着時）などにおけるセラミックグリーンシートや積層体へのダメージを軽減し、層間剥離などの構造欠陥の発生を抑制、防止して、特性のばらつきが少なく、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
なお、本願発明において、剥離工程を一回もしくは複数回経るごとにとは、
(ａ)一枚のセラミックグリーンシートを剥離するごとに、吸引・保持ヘッドを回転させる場合、および、
(ｂ)剥離を複数回繰り返して複数枚のセラミックグリーンシートを剥離して吸引・保持した時点で吸引・保持ヘッドを回転させる場合
を含む概念である。
なお、吸引・保持ヘッドを同じ回転位置とした状態で複数枚（例えば３〜４枚程度）のセラミックグリーンシートを吸引、剥離した後、複数枚のセラミックグリーンシートをまとめて積層するようにした場合にも、吸引・保持ヘッドを回転させた状態で行われる次の剥離工程で剥離したセラミックグリーンシートが、吸引部分が同じ位置に重ならないように積層、仮圧着されることにより、前回の剥離工程で生じた吸引部分の湾曲状態が仮圧着のためのプレスにより解消されるので、製品の特性劣化を防止することができる。
【００２５】
また、従来の方法（特許文献１の方法）の場合、セラミックグリーンシートを保持する吸引・保持ヘッドとセラミックグリーンシートを積層する積層テーブルの位置関係を、複数段階（３段階以上）にわたってずらせようとすると、セラミックグリーンシートを保持する吸引・保持ヘッドとセラミックグリーンシートを積層する積層テーブルの動作が複雑になり、設備コストが増大したり、積層工程が複雑化したりするという問題点があるのに対して、本願発明においては、吸引・保持ヘッドを回転させる方法により、吸引・保持ヘッドの吸引孔が、セラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するようにしているので、従来の方法（特許文献１の方法）に比べて簡単な設備構成とすることが可能になるとともに、位置関係をずらせる段階数の自由度を向上させて、生産性を向上させることが可能になる。
【００２６】
また、請求項２の積層セラミック電子部品の製造装置のように、基材から剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程と、該積層工程に続く、次回に積層されるべきセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程との間に、吸引・保持ヘッドを回転させるようにした場合、剥離、積層工程の自由度が向上し、剥離後から積層前までのタイミングで吸引・保持ヘッドを回転させるようにした場合には、任意の積層構造を得ることが困難なような特定のパターンが配置されたセラミックグリーンシートを積層する場合にも、上記請求項１の発明において得られる効果を確保しつつ、所望の積層構造を有する積層体を効率よく製造することが可能になる。
【００２７】
また、本願発明（請求項３）の積層セラミック電子部品の製造装置の発明は、カード状のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造装置において、積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートが剥離された後、次回に剥離・積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートを所定の角度だけ回転させるセラミックグリーンシート回転手段と、カード状のセラミックグリーンシートを積層するごとに、前回までの積層工程で形成された積層体を所定の角度だけ回転させる積層体回転手段とを備え、カード状のセラミックグリーンシートを一枚もしくは複数枚積層するごとに、次回に積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された積層体を所定の角度だけ回転させることにより、平面視した場合に、吸引・保持ヘッドの吸引孔が、カード状のセラミックグリーンシートの前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように構成されているので、この請求項３の製造装置を用いることにより、吸引・保持ヘッドの吸引孔から吸引されて湾曲変形が残留する吸引部分が同じ位置に重ならないようにセラミックグリーンシートを積層して、層間剥離などの構造欠陥の発生を抑制、防止して、特性のばらつきが少なく、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００２８】
また、請求項４の積層セラミック電子部品の製造装置の発明のように、セラミックグリーンシート回転手段によりカード状のセラミックグリーンシートを回転させる角度と、積層体回転手段により積層体を回転させる角度とが同一となるように、カード状のセラミックグリーンシートおよび積層体を回転させることにより、各セラミックグリーンシートを所定の位置関係を保ちつつ積層することが可能になり、所望の積層構造を備えた積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００２９】
また、請求項５の積層セラミック電子部品の製造装置の発明のように、吸引・保持ヘッドがセラミックグリーンシートを所定の形状に打ち抜く打ち抜き手段を備えた構成とした場合、剥離工程において、打ち抜き手段により所定の形状に打ち抜かれたセラミックグリーンシートを剥離することが可能になり、このセラミックグリーンシートを積層することにより、端部にセラミックグリーンシートの位置ずれ（不揃い）によるはみ出しや、変形などのない積層体を形成することが可能になる。その結果、形成される積層体の端部に不均一な変形が発生することを防止して、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく、しかも確実に製造することが可能になる。
【００３０】
また、請求項６の積層セラミック電子部品の製造装置の発明のように、剥離工程および積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正ｎ角形である場合において、(ａ)吸引・保持ヘッドを、吸引・保持ヘッド回転手段により、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させるか、または、(ｂ)セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された積層体を、セラミックグリーンシート回転手段および積層体回転手段により、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させることにより、ｎ回の剥離工程を繰り返すまで、吸引部分が同じ位置に重ならないようにすることが可能になるとともに、積層体を構成する各セラミックグリーンシートを位置ずれなく正対するように積層することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００３１】
また、請求項７の積層セラミック電子部品の製造装置の発明のように、剥離工程および積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正方形である場合において、吸引・保持ヘッド、または、セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された積層体を、０°、９０°、１８０°および２７０°の回転角度で順に回転させることにより、連続する４回の剥離工程において、吸引部分が同じ位置に重ならないようにすることが可能になるとともに、積層体を構成する各セラミックグリーンシートを位置ずれなく正対するように積層することが可能になり、直方体形状または立方体形状の積層セラミック電子部品を効率よく、しかも確実に製造することが可能になる。
【００３２】
また、本願発明（請求項８）の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は、  セラミックグリーンシートを吸引・保持する吸引・保持面に複数の吸引孔が配設され、かつ、複数の吸引孔が回転非対称となる位置に配置された吸引・保持ヘッドを用い、剥離工程を一回もしくは複数回経るごとに、吸引・保持ヘッドを回転させて、平面視した場合に、吸引・保持ヘッドの吸引孔がセラミックグリーンシートの、前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するような態様で、セラミックグリーンシートを吸引・保持し、基材から剥離するとともに、剥離したセラミックグリーンシートを積層することにより積層体を形成するようにしているので、吸引・保持ヘッドを用いて基材からセラミックグリーンシートを剥離して積層するにあたって、吸引孔からの吸引により湾曲変形が発生し、残留する吸引部分が同じ位置に重ならないようにセラミックグリーンシートを積層することが可能になり、吸引時や積層時（仮圧着時）などにおけるセラミックグリーンシートや積層体へのダメージを軽減し、層間剥離などの発生を防止して、特性のばらつきが少なく、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００３３】
また、請求項９の積層セラミック電子部品の製造方法のように、基材から剥離したセラミックグリーンシートを積層する積層工程と、該積層工程に続く、次回に積層されるべきセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程との間に、吸引・保持ヘッドを回転させるようにした場合、剥離、積層工程の自由度が向上し、剥離後から積層前までのタイミングで吸引・保持ヘッドを回転させるようにした場合には、任意の積層構造を得ることが困難なような特定のパターンが配置されたセラミックグリーンシートを積層する場合にも、上記請求項１の発明において得られる効果を確保しつつ、所望の積層構造を有する積層体を効率よく製造することが可能になる。
【００３４】
また、本願発明（請求項１０）の積層セラミック電子部品の製造方法の発明は、積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートが剥離された後、吸引・保持ヘッドを回転させることなく、次回に積層されるべきカード状のセラミックグリーンシートを回転させるセラミックグリーンシート回転工程と、セラミックグリーンシートを一枚もしくは複数枚積層するごとに、前回までの積層工程で形成された積層体を所定の角度だけ回転させる積層体回転工程と、剥離したセラミックグリーンシートを積層体回転工程で回転させた積層体上に積層する積層工程とを具備しているので、吸引・保持ヘッドの吸引孔から吸引されて湾曲変形が残留する吸引部分が同じ位置に重ならないようにセラミックグリーンシートを積層することが可能になり、層間剥離などの発生を防止して、特性のばらつきが少なく、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００３５】
また、請求項１１の積層セラミック電子部品の製造方法の発明のように、セラミックグリーンシート回転工程でセラミックグリーンシートを回転させる角度と、積層体回転工程で積層体を回転させる角度とが同一となるように、セラミックグリーンシートおよび積層体を回転させることにより、各セラミックグリーンシートを所定の位置関係を保ちつつ積層することが可能になり、所望の積層構造を備えた積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【００３６】
また、請求項１２の積層セラミック電子部品の製造方法のように、吸引・保持ヘッドとして、セラミックグリーンシートを所定の形状に打ち抜く打ち抜き手段を備えた吸引・保持ヘッド回転手段を用い、剥離工程において、打ち抜き手段により所定の形状に打ち抜いたセラミックグリーンシートを基材から剥離して、このセラミックグリーンシートを積層することにより、端部にセラミックグリーンシートの位置ずれ（不揃い）によるはみ出しや、変形などのない積層体を効率よく形成することが可能になる。その結果、形成される積層体の端部に不均一な変形が発生することを防止して、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく、しかも確実に製造することが可能になる。
【００３７】
また、請求項１３の積層セラミック電子部品の製造方法の発明のように、剥離工程および積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正ｎ角形である場合において、吸引・保持ヘッド、または、セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された積層体を、（０×３６０／ｎ）°、（１×３６０／ｎ）°、（２×３６０／ｎ）°、（３×３６０／ｎ）°および、……（（ｎ−１）×３６０／ｎ）°の回転角度で順に回転させることにより、ｎ回の剥離工程を繰り返すまで、吸引部分が同じ位置に重ならないようにすることが可能になるとともに、積層体を構成する各セラミックグリーンシートを位置ずれなく正対するように積層することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。
【００３８】
また、請求項１４の積層セラミック電子部品の製造方法のように、剥離工程および積層工程で剥離、積層されるセラミックグリーンシートの形状が正方形である場合において、吸引・保持ヘッド、または、セラミックグリーンシートおよび前回までの積層工程で形成された積層体を、０°、９０°、１８０°および２７０°の回転角度で順に回転させることにより、連続する４回の剥離工程において、吸引部分が同じ位置に重ならないようにすることが可能になるとともに、積層体を構成する各セラミックグリーンシートを位置ずれなく正対するように積層することが可能になり、直方体形状または立方体形状の積層セラミック電子部品を効率よく、しかも確実に製造することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００４０】
図１は本願発明の一実施例（実施例１）にかかる積層セラミック電子部品の製造装置の要部構成を示す図、図２は、本願発明の積層セラミック電子部品の製造装置を構成する吸引・保持ヘッドの下面を示す図である。
また、図３は、本願発明の一実施例（実施例１）にかかる積層セラミック電子部品の製造方法の一工程において、セラミックグリーンシートを基体上から剥離する工程を示す図、図４は、剥離したセラミックグリーンシートを積層する工程を示す図である。
さらに、図５は、吸引・保持ヘッドの回転の状態とセラミックグリーンシートの吸引部分の関係を説明する図である。
【００４１】
なお、この実施例１では、積層セラミック電子部品として、図６に示すような積層セラミックコンデンサを製造する場合を例にとって説明する。すなわち、この積層セラミックコンデンサは、図６に示すように、誘電体セラミックからなる積層セラミック素子（電子部品素子）１中に、複数の内部電極２ａ，２ｂがセラミック層３を介して積層、配設され、かつ、セラミック層３を介して互いに対向する内部電極２ａ，２ｂが交互に積層セラミック素子１の互いに逆側の端面４ａ，４ｂに引き出されて、積層セラミック素子１の両端面に形成された一対の外部電極５ａ，５ｂに接続された構造を有している。
【００４２】
そして、この実施例１で用いられている積層セラミック電子部品（積層セラミックコンデンサ）の製造装置は、図１〜５に示すように、供給テーブル１６上に供給された、下面がキャリアフィルム１８（図３）により保持された長尺状のセラミックグリーンシート（マザーセラミックグリーンシート）１１Ｍから、正方形のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き、打ち抜いたセラミックグリーンシート１１を吸引・保持するとともに、吸引・保持したセラミックグリーンシート１１を積層テーブル１７上に積層するための吸引・保持ヘッド１４と、吸引・保持ヘッド１４を、その吸引孔１３（図２〜図５）が、セラミックグリーンシート１１の前回に吸引した領域とは異なる領域と対向するように回転させる吸引・保持ヘッド回転手段１５（図１，図３）とを備えている。
【００４３】
そして、吸引・保持ヘッド１４は、図２に示すように、下面（セラミックグリーンシート１１を吸引・保持する吸引・保持面）１４ａに、複数の吸引孔１３を備えている。そして、複数の吸引孔１３は、図２に示すように、セラミックグリーンシートが吸引孔１３からの吸引により湾曲変形が残留する吸引部分１９（図５）が同じ位置に重ならないように、複数の吸引孔１３が回転非対称となる位置に配置されている。すなわち、吸引・保持ヘッド１４にてセラミックグリーンシート１１を吸引・保持するにあたって、セラミックグリーンシート１１を一枚もしくは所定の複数枚積層するごとに、吸引・保持ヘッド１４を回転させることにより、平面視した場合に、吸引・保持ヘッド１４の吸引孔１３が、セラミックグリーンシート１１の前回に吸引した領域（吸引部分）１９とは異なる領域を吸引することができるように構成されている。
【００４４】
また、吸引・保持ヘッド１４は、マザーセラミックグリーンシート１１Ｍから正方形のセラミックグリーンシート１１を打ち抜くための打ち抜き手段２０を備えており、剥離工程において、打ち抜き手段２０により打ち抜かれた平面形状が正方形のセラミックグリーンシート１１が剥離されるように構成されている。すなわち、この実施例１では、長尺状のセラミックグリーンシート（マザーセラミックグリーンシート）１１Ｍから正方形のセラミックグリーンシート１１を打ち抜いて、剥離、積層することができるように構成されている。
【００４５】
また、本願発明においては、吸引・保持ヘッド１４を回転させる場合の回転角度が、剥離（積層）を繰り返すごとに順に、０°、９０°、１８０°、２７０°、３６０°（すなわち０°）となるように構成されている。
次に、上記の装置を用いて積層セラミックコンデンサを製造する方法について説明する。
【００４６】
(１)１枚目のセラミックグリーンシート１１を剥離するにあたっては、まず、吸引・保持ヘッド１４の回転角度を０°にした状態（図５参照）で、画像処理により位置の補正を行なう。それから、打ち抜き手段２０により平面形状が正方形のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き、打ち抜いたセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により、吸引・保持して、基材（キャリアフィルム）１８から剥離させる（図３）。
(２)それから、剥離した１枚目のセラミックグリーンシート１１を、吸引・保持ヘッド１４により吸引・保持して、剥離したときの回転角度のまま積層する。
(３)続いて、上記(２)の積層工程と、次回の剥離工程（すなわち、この(３)の剥離工程）の間に、吸引・保持ヘッド１４を時計回りの方向に９０°回転させ（図５参照）、画像処理で位置の補正を行なった後、２枚目のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き手段２０により打ち抜き、打ち抜いた平面形状が正方形のセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により、吸引・保持して、基材（キャリアフィルム）１８から剥離させる。
(４)それから、剥離した２枚目のセラミックグリーンシート１１を、剥離した回転角度のまま積層し、仮圧着する。
(５)続いて、吸引・保持ヘッド１４をさらに時計回りの方向に９０°（計１８０°）回転させ（図５参照）、画像処理で位置の補正を行なった後、３枚目のセラミックグリーンシートを打ち抜き手段２０により打ち抜き、打ち抜いた平面形状が正方形のセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により、吸引・保持して、基材（キャリアフィルム）１８から剥離させる。
(６)それから、剥離した３枚目のセラミックグリーンシート１１を、剥離した回転角度のまま積層し、仮圧着する。
(７)続いて、吸引・保持ヘッド１４をさらに９０°（計２７０°）回転させ、画像処理で位置の補正を行った後、４枚目のセラミックグリーンシートを打ち抜き手段２０により打ち抜き、打ち抜いた平面形状が正方形のセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により、吸引・保持して、基材（キャリアフィルム）１８から剥離させる。
(８)それから、剥離した４枚目のセラミックグリーンシート１１を、剥離した回転角度のまま積層し、仮圧着する。
(９)続いて、吸引・保持ヘッド１４をさらに９０°（計３６０°＝０°）回転させ（図５参照）、画像処理で位置の補正を行なった後、５枚目のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き手段２０により打ち抜き、打ち抜いた平面形状が正方形のセラミックグリーンシート１１を剥離させる。なお、このとき、吸引・保持ヘッド１４の吸引孔１３は、上記(１)の工程でセラミックグリーンシート１１を吸引した領域（吸引部分）１９と同じ位置を吸引することになる。
(１０)それから、剥離した５枚目のセラミックグリーンシート１１を、剥離した回転角度のまま積層し、仮圧着する。
【００４７】
なお、図５において、積層体１０の吸引部分１９に関する符号である「１９(0°)」、「１９(90°)」、「１９(180°)」、「１９(270°)」は、吸引・保持ヘッド１４の回転角度をそれぞれ、０°、９０°、１８０°、２７０°とした場合における吸引部分１９を示している。
【００４８】
そして、上述の剥離工程および積層工程を、積層したいセラミックグリーンシートの数に応じて繰り返して実施した後、本圧着することにより積層体を形成する。
そして得られた積層体をカットして個々の素子に分割した後、焼成し、外部電極を形成することにより、図６に示すような構造を有する積層セラミックコンデンサが得られる。
【００４９】
この実施例１の方法によれば、積層工程と、次回の剥離工程の間に、吸引・保持ヘッド１４を時計回りの方向に９０°回転させ、正方形のセラミックグリーンシート１１を１枚毎に９０°回転させて剥離し、剥離したときの回転角度のまま積層するようにしているので、連続して同じ位置に吸引孔１３がもたらされることがなく（同じ位置に吸引孔がもたらされる割合はセラミックグリーンシート４枚に１枚となる）、同じ位置に吸引孔１３がもたらされる割合がセラミックグリーンシート２枚に１枚の割合である前述の特許文献１の方法の場合に比べて、ダメージを半分に軽減することが可能になる。
【００５０】
また、正方形のセラミックグリーンシート１１を回転角度０°、９０°、１８０°、２７０°、３６０°（＝０°）の順で回転させるようにしているので、上述のように、４回の剥離工程を繰り返すまで、吸引部分１９が同じ位置に重ならないようにすることが可能になるとともに、積層体を構成する各セラミックグリーンシート１１を位置ずれなく正対するように積層することが可能になり、直方体形状（または立方体形状）の積層セラミックコンデンサ（積層セラミック電子部品）を効率よく、しかも確実に製造することが可能になる。
また、積層体１０（図１，４）を構成する各セラミックグリーンシート１１を位置ずれなく正対させることが可能になるため、端部が不均一に変形した積層体１０が形成されてしまうことを防止して、特性の安定した積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
【００５１】
また、積層、圧着（仮圧着）を行う場合、吸引・保持ヘッドと積層テーブルの平行度が不均一な場合、積み倒れなどの積層不良や、積層体の厚みの不均一が発生する可能性があるが、その平行度の調整は困難な場合が多い。これに対し、本願発明では、吸引・保持ヘッドを回転させるようにしているので、積層テーブルとの回転方向の位置関係が各積層工程ごとに変化するため、平行度に不均一な部分がある場合にも、その影響を分散させることが可能になり、特性の良好な積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
【００５２】
なお、上記実施例１では、セラミックグリーンシートを積層する積層工程と、該積層工程に続く、次回に積層されるべきセラミックグリーンシートを吸引・保持して基材から剥離する剥離工程との間に、吸引・保持ヘッドを回転させるようにしているが、剥離工程と該剥離工程に続く積層工程の間に吸引・保持ヘッドを回転させるように構成することも可能である。
【実施例２】
【００５３】
この実施例２では、基材（キャリアフィルム）１８により保持された状態で供給される略正方形のカード状のセラミックグリーンシートを、剥離、積層して積層体を形成する工程を経て、図６に示すような積層セラミック電子部品（積層セラミックコンデンサ）を製造する場合について説明する。
【００５４】
この実施例２で用いられている積層セラミック電子部品の製造装置は、図７〜９に示すように、供給テーブル１６上に供給されたカード状のセラミックグリーンシート１１ａから、正方形のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き、打ち抜いたセラミックグリーンシート１１を吸引・保持するとともに、吸引保持したセラミックグリーンシート１１を積層テーブル１７上に積層するための吸引・保持ヘッド１４と、積層されるべきセラミックグリーンシート１１が剥離された後、次回に剥離・積層されるべきセラミックグリーンシート１１を所定の角度だけ回転させるセラミックグリーンシート回転手段２１と、セラミックグリーンシート１１を一枚（もしくは所定の複数枚）積層するごとに、前回までの積層工程で形成された、積層テーブル１７上の積層体１０を所定の角度だけ回転させる積層体回転手段２２とを備えている。
なお、図７〜９において、図１〜図５と同一符号を付した部分は同一または相当する部分を示している。
【００５５】
また、吸引・保持ヘッド１４は、カード状のセラミックグリーンシート１１ａを正方形の形状に打ち抜く打ち抜き手段２０を備えており、剥離工程において、打ち抜き手段２０により打ち抜かれた、平面形状が正方形のセラミックグリーンシート１１が剥離されるように構成されている。
【００５６】
また、吸引・保持ヘッド１４は、上記実施例１の吸引・保持ヘッド１４と同様に構成されており、セラミックグリーンシート１１を吸引・保持する吸引・保持面１４ａには、図８に示すように、複数の吸引孔１３を備えており、複数の吸引孔１３は、図２に示すように、セラミックグリーンシート１１が吸引孔１３から吸引されて湾曲変形が残留する吸引部分１９が同じ位置に重ならないように、複数の吸引孔１３が回転非対称となる位置に配置されている。
【００５７】
すなわち、吸引・保持ヘッド１４にてセラミックグリーンシート１１を吸引・保持するにあたって、セラミックグリーンシート１１を一枚（もしくは所定の複数枚）積層するごとに、次回に積層されるべきカード状のセラミックグリーンシート１１ａおよび前回までの積層工程で形成された積層体１０を所定の角度だけ回転させることにより、平面視した場合に、吸引・保持ヘッド１４の吸引孔１３が、セラミックグリーンシート１１の前回に吸引した領域とは異なる領域を吸引するように構成されている。
【００５８】
また、この実施例２では、一対の剥離工程と、積層工程において、セラミックグリーンシート回転手段２１によりカード状のセラミックグリーンシート１１ａを回転させる角度と、積層体回転手段２２により積層体１０を回転させる角度とが同一となるように構成されている。
【００５９】
また、供給テーブル１６上に供給されるカード状のセラミックグリーンシート１１ａと、前回までの積層工程で形成された積層テーブル１７上の積層体１０とが、セラミックグリーンシート回転手段２１、および積層体回転手段２２により回転させられる角度（回転角度）が、剥離（積層）を繰り返すごとに、順に、略９０°、１８０°、２７０°、３６０°（すなわち０°）となるように、構成されている。
【００６０】
次に、上記の装置を用いて積層セラミックコンデンサを製造する方法について説明する。
【００６１】
(１)まず、１枚目のセラミックグリーンシート１１を剥離するにあたって、吸引・保持ヘッド１４の回転角度を０°に固定した状態で、供給テーブル１６上に載置された、裏面が基材（キャリアフィルム）により支持されたカード状のセラミックグリーンシート１１ａから、打ち抜き手段２０により平面形状が正方形のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き、打ち抜いたセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により吸着し、キャリアフィルム１８から剥離させる。
なお、吸引・保持ヘッド１４を、画像処理による位置合わせ分だけ、すなわち微調整分だけ（例えば±３°程度）回転させるように構成することも可能である。
(２)それから、剥離したセラミックグリーンシート１１を、積層テーブル１７上に積層し、仮圧着する。
(３)上記(２)の積層工程と、次の剥離工程（この(３)の剥離工程）の間に、供給テーブル１６上に供給されたカード状のセラミックグリーンシート１１ａと、前回までの積層工程で形成された積層テーブル１７上の積層体１０とを９０°回転させ（図７参照）、画像処理で位置の補正を行なった後、打ち抜き手段２０により平面形状が正方形の２枚目のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き、打ち抜いたセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により吸着し、キャリアフィルム１８からセラミックグリーンシート１１を剥離させる。
(４)それから、剥離した２枚目のセラミックグリーンシート１１を、剥離した回転角度のまま積層し、仮圧着する。
(５)続いて、供給テーブル１６上に供給されたカード状のセラミックグリーンシート１１ａと、前回までの積層工程で形成された積層テーブル１７上の積層体１０とをさらに９０°（計１８０°）回転させ、画像処理で位置の補正を行なった後、打ち抜き手段２０により平面形状が正方形の３枚目のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き、打ち抜いたセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により吸着し、キャリアフィルム１８からセラミックグリーンシート１１を剥離させる。
(６)それから、剥離した３枚目のセラミックグリーンシート１１を、剥離した回転角度のまま積層し、仮圧着する。
(７)続いて、供給テーブル１６上に供給されたカード状のセラミックグリーンシート１１ａと、前回までの積層工程で形成された積層テーブル１７上の積層体１０とをさらに９０°（計２７０°）回転させ、画像処理で位置の補正を行なった後、打ち抜き手段２０により平面形状が正方形の４枚目のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き、打ち抜いたセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により吸着し、キャリアフィルム１８からセラミックグリーンシート１１を剥離させる。
(８)それから、剥離した４枚目のセラミックグリーンシート１１を、剥離した回転角度のまま積層し、仮圧着する。
(９)続いて、供給テーブル１６上に供給されたカード状のセラミックグリーンシート１１ａと、前回までの積層工程で形成された積層テーブル１７上の積層体１０とをさらに９０°（計３６０°＝０°）回転させ、画像処理で位置の補正を行なった後、打ち抜き手段２０により平面形状が正方形の５枚目のセラミックグリーンシート１１を打ち抜き、打ち抜いたセラミックグリーンシート１１を吸引・保持ヘッド１４により吸着し、キャリアフィルム１８からセラミックグリーンシート１１を剥離させる。
(１０)それから、剥離した５枚目のセラミックグリーンシート１１を、剥離した回転角度のまま積層し、仮圧着する。
【００６２】
そして、上述の剥離工程および積層工程を、積層したいセラミックグリーンシートの数だけ繰り返して実施した後、本圧着することにより積層体を形成する。
そして得られた積層体をカットして個々の素子に分割した後、焼成し、外部電極を形成することにより、図６に示すような構造を有する積層セラミックコンデンサが得られる。
【００６３】
この実施例２の方法によれば、供給テーブル１６上に供給されたカード状のセラミックグリーンシート１１ａと、前回までの積層工程で形成された積層テーブル１７上の積層体１０とを９０°回転させて剥離および積層を行うようにしているので、連続して同じ位置に吸引孔１３がもたらされることがなく（同じ位置に吸引孔１３がもたらされる割合はセラミックグリーンシート４枚に１枚となる）、同じ位置に吸引孔１３がもたらされる割合がセラミックグリーンシート２枚に１枚の割合である前述の特許文献１の方法の場合に比べて、ダメージを半分に軽減することが可能になる。
【００６４】
また、供給テーブル１６上に供給されたカード状のセラミックグリーンシート１１ａと、前回までの積層工程で形成された積層テーブル１７上の積層体１０とを、回転角度９０°、１８０°、２７０°、３６０°の順で回転させるようにしているので、上述のように、４回の剥離工程を繰り返すまで、吸引部分１９が同じ位置に重ならないようにすることが可能になるとともに、積層体を構成する各セラミックグリーンシート１１を位置ずれなく正対するように積層することが可能になり、直方体形状（または立方体形状）の積層セラミックコンデンサ（積層セラミック電子部品）を効率よく、しかも確実に製造することが可能になる。
また、積層体１０を構成する各セラミックグリーンシート１１を位置ずれなく正対させることが可能になるため、端部が不均一に変形した積層体１０が形成されてしまうことを防止して、特性の安定した積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
【００６５】
また、積層、圧着（仮圧着）を行う場合、吸引・保持ヘッドと積層テーブルの平行度が不均一な場合、積み倒れなどの積層不良や、積層体の厚みの不均一が発生する可能性があるが、その平行度の調整は困難な場合が多い。これに対し、本願発明では、一つの積層工程を実施するたびに積層テーブルを回転させるようにしているので、吸引・保持ヘッドと積層テーブルとの回転方向の位置関係が各積層工程ごとに変化するため、平行度に不均一な部分がある場合にも、その影響を分散させることが可能になり、特性の良好な積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
【００６６】
また、この実施例２の場合、供給テーブルや積層テーブルよりも吸引・保持ヘッドの構造が複雑で、吸引・保持ヘッドを回転させるように構成した場合設備が複雑化し、コストの増大をもたらすような場合に、設備コストの削減、設備の小型化を図ることが可能になる。
【００６７】
なお、上記実施例では、積層セラミックコンデンサを製造する場合を例にとって説明したが、本願発明は積層セラミックコンデンサに限らず、積層ＬＣ複合部品、積層バリスタ、セラミック多層基板などの種々の積層セラミック電子部品を製造する場合に広く適用することが可能である。
【００６８】
また、上記実施例では、平面形状が正方形のセラミックグリーンシートを剥離、積層するようにした場合を例にとって説明したが、セラミックグリーンシートの形状は正方形の場合に限られるものではなく、正方形以外の種々の形状を有するセラミックグリーンシートを剥離、積層する場合にも広く適用することが可能である。
【００６９】
本願発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、吸引・保持ヘッドの具体的な構成、吸引・保持ヘッドの吸引・保持面に吸引孔を回転非対称となるように配設する態様、吸引・保持ヘッド回転手段や積層体回転手段の具体的な構成、セラミックグリーンシートを回転させる角度や積層体を回転させる角度、打ち抜き手段の具体的な構成などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
上述のように、本願発明によれば、吸引孔を備えた吸引・保持ヘッドを用いて基材からセラミックグリーンシートを剥離して積層するにあたって、吸引孔からの吸引による湾曲変形が残留する吸引部分が同じ位置に重ならないようにセラミックグリーンシートを積層して、特性のばらつきが少なく、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
したがって、本願発明は、積層セラミックコンデンサ、積層ＬＣ複合部品、積層バリスタ、セラミック多層基板などの種々の積層セラミック電子部品を製造する場合に広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本願発明の一実施例（実施例１）にかかる積層セラミック電子部品の製造装置の要部構成を示す図である。
【図２】本願発明の積層セラミック電子部品の製造装置を構成する吸引・保持ヘッドの下面を示す図である。
【図３】本願発明の一実施例（実施例１）にかかる積層セラミック電子部品の製造方法の一工程において、セラミックグリーンシートを基体上から剥離する工程を示す図である。
【図４】本願発明の一実施例（実施例１）にかかる積層セラミック電子部品の製造方法の一工程において、剥離したセラミックグリーンシートを積層する工程を示す図である。
【図５】本願発明の一実施例（実施例１）にかかる積層セラミック電子部品の製造方法における、吸引・保持ヘッドの回転の状態とセラミックグリーンシートの吸引部分の関係を説明する図である。
【図６】本願発明の一実施例（実施例１および２）にかかる積層セラミック電子部品の製造方法により製造される積層セラミック電子部品（積層セラミックコンデンサ）の構造を示す図である。
【図７】本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる積層セラミック電子部品の製造装置の要部構成を示す図である。
【図８】本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる積層セラミック電子部品の製造方法の一工程において、セラミックグリーンシートを基体上から剥離する工程を示す図である。
【図９】本願発明の他の実施例（実施例２）にかかる積層セラミック電子部品の製造方法の一工程において、剥離したセラミックグリーンシートを積層する工程を示す図である。
【図１０】従来の積層セラミック電子部品の製造方法を示す図である。
【図１１】従来の他の積層セラミック電子部品の製造方法を示す図である。
【図１２】従来の他の積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための拡大図である。
【符号の説明】
【００７２】
１        積層セラミック素子（電子部品素子）
２ａ，２ｂ    内部電極
３        セラミック層
４ａ，４ｂ    セラミック素子の端面
５ａ，５ｂ    外部電極
１０      積層体
１１      セラミックグリーンシート  
１１ａ    カード状のセラミックグリーンシート
１１Ｍ    セラミックグリーンシート（マザーセラミックグリーンシート）
１３      吸引孔
１４      吸引・保持ヘッド
１４ａ    吸引・保持ヘッドの吸引・保持面（下面）
１５      吸引・保持ヘッド回転手段
１６      供給テーブル
１７      積層テーブル
１８      基材（キャリアフィルム）
１９      吸引部分
１９(0°)      吸引・保持ヘッドを０°回転させたときの吸引部分
１９(90°)     吸引・保持ヘッドを９０°回転させたときの吸引部分
１９(180°)    吸引・保持ヘッドを１８０°回転させたときの吸引部分
１９(270°)    吸引・保持ヘッドを２７０°回転させたときの吸引部分
２０      打ち抜き手段
２１      セラミックグリーンシート回転手段
２２      積層体回転手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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