(57)【要約】【課題】オフセット電圧や電気ノイズが発生しても磁界の回転角の検出精度が劣化し難い回転角検出装置を提供する。【解決手段】２ｎ個の磁電変換素子と、３ｎ個の差動増幅器を有してなり、２個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂおよび１２ａ，１２ｂと３個の差動増幅器２１ａ，２１ｂ，３１および２２ａ，２２ｂ，３２をそれぞれ一組とし、第１段で、２個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂおよび１２ａ，１２ｂからの出力信号を、それぞれ、２個の差動増幅器２１ａ，２１ｂおよび２２ａ，２２ｂの入力端子に互いに反転して入力し、第２段で、２個の差動増幅器２１ａ，２１ｂおよび２２ａ，２２ｂからの出力信号を、それぞれ、残る１個の差動増幅器３１および３２の入力端子に互いに反転して入力し、各組の第２段の差動増幅器３１および３２からの出力信号を演算することによって、磁界Ｂの回転角を検出する。【選択図】        図２
2006208049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面内で回転する磁界を磁電変換素子により検出し、前記磁電変換素子の出力信号を差動増幅器により増幅して前記磁界の回転角を検出する回転角検出装置であって、
２ｎ個（ｎは１以上の整数）の前記磁電変換素子と、３ｎ個の前記差動増幅器を有してなり、
２個の前記磁電変換素子と３個の前記差動増幅器を一組とし、
各組において、
前記２個の磁電変換素子が同じ変換特性を有すると共に、前記２個の磁電変換素子が前記磁界に対して同じ信号を出力するように前記平面内で同じ向きに配置され、
前記３個の差動増幅器のうち少なくとも２個の差動増幅器が同じ増幅特性を有すると共に、
第１段で、前記２個の磁電変換素子からの出力信号を、それぞれ、前記同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器の入力端子に、互いに反転して入力し、
第２段で、２個の前記差動増幅器からの出力信号を、それぞれ、残る１個の前記差動増幅器の入力端子に、互いに反転して入力し、
各組の前記第２段の差動増幅器からの出力信号を演算することによって、前記磁界の回転角を検出することを特徴とする回転角検出装置。
【請求項２】
前記２ｎ個の磁電変換素子が、前記磁界の回転中心に隣接して配置されてなることを特徴とする請求項１に記載の回転角検出装置。
【請求項３】
前記２ｎ個の磁電変換素子が、前記平面内にリング状に配置されてなることを特徴とする請求項１または２に記載の回転角検出装置。
【請求項４】
前記２ｎ個の磁電変換素子が、前記磁界の回転中心の周りに、リング状に配置されてなることを特徴とする請求項３に記載の回転角検出装置。
【請求項５】
前記回転角検出装置が、４個の前記磁電変換素子と、６個の差動増幅器を有してなり、
２組の前記磁電変換素子が同じ変換特性を有すると共に、前記２組の磁電変換素子が前記磁界に対して９０度位相の異なる信号を出力するように前記平面内で互いに９０度回転した向きに配置され、
２組の前記第２段の差動増幅器が同じ増幅特性を有すると共に、各組の前記第２段の差動増幅器からの出力信号をａｒｃｔａｎ演算することによって、前記磁界の回転角を検出することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の回転角検出装置。
【請求項６】
前記磁電変換素子が、ホール素子であり、
前記２ｎ個のホール素子と３ｎ個の差動増幅器が、同じ半導体基板に形成されてなり、
前記平面が、前記半導体基板面であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の回転角検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面内で回転する磁界を磁電変換素子により検出し、磁電変換素子の出力信号を差動増幅器により増幅して磁界の回転角を検出する回転角検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
平面内で回転する磁界を磁電変換素子により検出し、磁電変換素子の出力信号を演算することによって磁界の回転角を検出する回転角検出装置が、例えば、特開２００４−２７１４９５号公報（特許文献１）に開示されている。
【０００３】
図３に、特許文献１に開示された従来の回転角検出装置を示す。
図３（ａ）は、回転角センサの側面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＩ−Ｉ矢視断面図及びこの回転角センサを具備した回転角検出装置である。
【０００４】
図３（ａ），（ｂ）に示す回転角検出装置１は、回転軸２の外周側に設けられる回転角センサと回転角演算部６とから構成され、回転角センサで検出した信号に基づいて、回転角演算部６が演算することで、回転軸２の回転角を検出している。
【０００５】
回転角センサは、硬磁性体を成す磁石３、軟磁性体を成すヨーク４及び磁束密度検出器を成す磁気センサ（磁電変換素子）５から構成されている。
【０００６】
磁石３は、リング状であって、回転軸２の外周に連結され、且つ磁気極性の異なる第１の磁極を成すＮ極３ａと第２の磁極を成すＳ極３ｂとから成っている。このＮ極３ａとＳ極３ｂとは、周方向の略１８０度間隔に連結されている。
【０００７】
ヨーク４は、磁石３の外周に近接して配置される環状体であって、第１から第４のヨーク４ａ〜４ｄから構成されている。この第１から第４のヨーク４ａ〜４ｄは、それぞれ周方向の略９０度間隔にギャップ４ｇを介して設けられている。
【０００８】
磁気センサ５は、第１及び第２の磁気センサ５ａ、５ｂとから構成されている。第１の磁気センサ５ａは、第１及び第４のヨーク４ａ、４ｄとの周方向の間のギャップ４ｇ内に、第２の磁気センサ５ｂは、第１及び第２のヨーク４ａ、４ｂとの周方向の間のギャップ４ｇ内に挿入されており、それぞれ挿入されたギャップ４ｇに生じる磁束量を磁束密度として検出する。但し、この第１及び第２の磁気センサ５ａ、５ｂは、ヨーク４と非接触に設けられている。また、磁気センサ５としては、例えばホール素子及び磁気抵抗素子等を使用することができ、検出した磁束密度を電気信号（例えば電圧信号）に変換して回転角演算部６に出力する。
【０００９】
回転角演算部６は、第１及び第２の磁気センサ５ａ、５ｂで変換された電気信号に基づいて、回転軸２の回転角（絶対角）を演算する。具体的には、第１及び第２の磁気センサ５ａ、５ｂで変換された２つの電気信号をそれぞれつなぎ合わせることで、９０ｄｅｇ以上の連続した回転軸２の回転角を演算する。
【００１０】
図４は、回転軸２が周方向に回転した場合の磁気センサ５が検出する磁束密度の変化について説明する図である。図４（ａ）は、磁石が周方向に回転した状態を示した図、図４（ｂ）は、磁気センサが変換した電気信号の周期波形を示したグラフである。
【００１１】
図４（ａ）に示す（Ｉ）の状態（０ｄｅｇ）の場合、第１のヨーク４ａと第４のヨーク４ｄとの間のギャップ４ｇには、磁束が流れず磁束密度としては０となる。また、第１のヨーク４ａと第２のヨーク４ｂとの間のギャップ４ｇには、負の極性の磁束密度の最大値が生じる。このことから、第１及び第２の磁気センサ５ａ、５ｂは、図４（ｂ）の点線（Ｉ）に示す電圧信号に変換する。
【００１２】
そして、図４（ａ）に示す（Ｉ）の状態から回転軸２が周方向に９０度右回転し、（ＩＩ）の状態（９０ｄｅｇ）になった場合、第１のヨーク４ａと第４のヨーク４ｄとの間のギャップ４ｇには、正の極性の磁束密度の最大値が生じる。また、第１のヨーク４ａと第２のヨーク４ｂとの間のギャップ４ｇには、磁束が流れず磁束密度としては０となる。このことから、第１及び第２の磁気センサ５ａ、５ｂは、図４（ｂ）の点線（ＩＩ）に示す電圧信号に変換する。
【００１３】
さらに、図４（ａ）に示す（ＩＩ）の状態から回転軸２が周方向に９０度右回転し、（ＩＩＩ）の状態（１８０ｄｅｇ）になった場合、第１のヨーク４ａと第４のヨーク４ｄとの間のギャップ４ｇには、磁束が流れず磁束密度としては０となる。また、第１のヨーク４ａと第２のヨーク４ｂとの間のギャップ４ｇには、正の極性の磁束密度の最大値が生じる。このことから、第１及び第２の磁気センサ５ａ、５ｂは、図４（ｂ）の点線（ＩＩ）に示す電圧信号に変換する。
【００１４】
また、磁石３のＮ極３ａ及びＳ極３ｂの周方向中央付近のいずれの部分から発生する磁束量がほぼ一定であることから、回転軸２が周方向に回転している際の第１及び第４のギャップ４ｇと第１及び第２のギャップ４ｇとに生じる磁束の磁束密度は、一定の割合で変化する。このことから、第１及び第２の磁気センサ５ａ、５ｂは、図４（ｂ）の太線のように、一定の割合で変化する電圧信号に変換する。
【００１５】
図５は、回転角演算部で演算された電気信号の周期波形を示したグラフである。
【００１６】
回転角演算部６が演算することで、Ｖｏｕｔは、図５に示すように、回転軸２の回転角３６０度（−１８０ｄｅｇ〜１８０ｄｅｇ）の範囲で一定の割合で変化させることができるため、回転軸２の３６０度の絶対角を検出することができる。
【特許文献１】特開２００４−２７１４９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
図６に、図３の回転角検出装置を一般化した、従来の別の回転角検出装置を示す。
【００１８】
図６に示す回転角検出装置９０は、平面Ｈ内で回転する磁界Ｂを磁電変換素子９１，９２により検出し、磁電変換素子９１，９２の出力信号を演算して磁界Ｂの回転角を検出する回転角検出装置である。
【００１９】
図６の回転角検出装置９０は、図３の回転角検出装置１と同様に、２個の磁電変換素子９１，９２を有している。また、２個の磁電変換素子９１，９２は、磁界Ｂの回転中心Ｐに近接して、互いに９０度位相の異なる信号を出力するように配置されている。従って、２個の磁電変換素子９１，９２の出力端子Ａ−ＢおよびＣ−Ｄには、それぞれ、磁界Ｂの回転に伴ってｓｉｎ波およびｃｏｓ波の電圧信号が出力され、これをａｒｃｔａｎ演算することにより、図５と同様のリニア出力が得られる。
【００２０】
図６に示す回転角検出装置９０では、２個の磁電変換素子９１，９２が互いに近接して配置されているため、磁気ノイズがある場合にも、磁気ノイズは２個の磁電変換素子９１，９２に等しく作用して、磁界Ｂの回転角の検出精度は劣化し難い。このため、図６の回転角検出装置９０は、磁気ノイズに対して強い構造となっている。一方、図６の回転角検出装置９０は、磁電変換素子からの信号を増幅する増幅器のオフセット電圧や電気ノイズの影響を低減する有効な手段を有していない。
【００２１】
そこで本発明は、平面内で回転する磁界を磁電変換素子により検出し、磁界の回転角を検出する回転角検出装置であって、増幅器のオフセット電圧や電気ノイズが発生しても磁界の回転角の検出精度が劣化し難い回転角検出装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
請求項１に記載の発明は、平面内で回転する磁界を磁電変換素子により検出し、前記磁電変換素子の出力信号を差動増幅器により増幅して前記磁界の回転角を検出する回転角検出装置であって、２ｎ個（ｎは１以上の整数）の前記磁電変換素子と、３ｎ個の前記差動増幅器を有してなり、２個の前記磁電変換素子と３個の前記差動増幅器を一組とし、各組において、前記２個の磁電変換素子が同じ変換特性を有すると共に、前記２個の磁電変換素子が前記磁界に対して同じ信号を出力するように前記平面内で同じ向きに配置され、前記３個の差動増幅器のうち少なくとも２個の差動増幅器が同じ増幅特性を有すると共に、第１段で、前記２個の磁電変換素子からの出力信号を、それぞれ、前記同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器の入力端子に、互いに反転して入力し、第２段で、２個の前記差動増幅器からの出力信号を、それぞれ、残る１個の前記差動増幅器の入力端子に、互いに反転して入力し、各組の前記第２段の差動増幅器からの出力信号を演算することによって、前記磁界の回転角を検出することを特徴としている。
【００２３】
これによれば、第１段の同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器からの出力信号が、それぞれ、第２段の残る１個の前記差動増幅器の入力端子に互いに反転して入力されるために、第１段の同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器にオフセット電圧が発生していも、それらは第２段の差動増幅器で打ち消される。また、第１段の２個の差動増幅器からの出力信号にコモンモードの電気ノイズが重畳した場合も同様に、それら電気ノイズが第２段の差動増幅器で打ち消される。
【００２４】
以上のようにして、上記回転角検出装置は、平面内で回転する磁界を磁電変換素子により検出し、磁界の回転角を検出する回転角検出装置であって、増幅器のオフセット電圧や電気ノイズが発生しても磁界の回転角の検出精度が劣化し難い回転角検出装置となっている。
【００２５】
請求項２に記載のように、上記回転角検出装置においては、前記２ｎ個の磁電変換素子が、前記磁界の回転中心に隣接して配置されてなることが好ましい。これにより、各磁電変換素子に印加される磁界が均等になって、磁界の回転角の高い検出精度を得ることができる。
【００２６】
請求項３に記載のように、前記２ｎ個の磁電変換素子は、前記平面内にリング状に配置されてなることが好ましく、特に請求項４に記載のように、前記磁界の回転中心の周りにリング状に配置されてなることが好ましい。
【００２７】
これによっても、各磁電変換素子に印加される磁界が均等になって、磁界の回転角の高い検出精度を得ることができる。
【００２８】
請求項５に記載のように、上記回転角検出装置は、４個の前記磁電変換素子と、６個の差動増幅器を有してなり、２組の前記磁電変換素子が同じ変換特性を有すると共に、前記２組の磁電変換素子が前記磁界に対して９０度位相の異なる信号を出力するように前記平面内で互いに９０度回転した向きに配置され、２組の前記第２段の差動増幅器が同じ増幅特性を有すると共に、各組の前記第２段の差動増幅器からの出力信号をａｒｃｔａｎ演算することによって、前記磁界の回転角を検出するように構成することができる。
【００２９】
上記磁電変換素子と差動増幅器の最小限の組み合わせにより、磁界の回転角に対して線形な出力電圧を、簡単なａｒｃｔａｎ演算により得ることができる。従って、上記回転角検出装置は、オフセット電圧や電気ノイズが発生しても磁界の回転角の検出精度が劣化し難い回転角検出装置であって、安価な回転角検出装置とすることができる。
【００３０】
請求項６に記載のように、上記回転角検出装置は、前記磁電変換素子が、ホール素子であり、前記２ｎ個のホール素子と３ｎ個の差動増幅器が、同じ半導体基板に形成されてなり、前記平面が、前記半導体基板面であるように構成することができる。
【００３１】
これにより、小型で安価な回転角検出装置とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図に基づいて説明する。
【００３３】
図１は、本発明の回転角検出装置１００における磁電変換素子の配置を模式的に示す図である。図２は、本発明の回転角検出装置１００における差動増幅器の接続配置と各差動増幅器の入出力信号を示す図である。
【００３４】
図１，２に示す回転角検出装置１００は、図１に示す４個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂと、図２に示す６個の差動増幅器２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２とを有している。回転角検出装置１００では、図１に示すように平面Ｈ内で回転する磁界Ｂを磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂにより検出し、図２に示すように磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの出力信号を差動増幅器２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２により増幅する。これによって、図１に示す磁界Ｂの平面Ｈ内における回転角を検出する。
【００３５】
図１，２に示す回転角検出装置１００では、磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂとして、例えばホール素子を用いることができ、４個のホール素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂと６個の差動増幅器２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２が、同じ半導体基板に形成され、図１に示す平面Ｈが半導体基板面であるように構成することができる。これにより、小型で安価な回転角検出装置とすることができる。尚、図１は配置関係を模式的に示す図であり、磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂとしてホール素子を用いる場合には、ホール素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂは、半導体基板面Ｈ内で回転する磁界Ｂに対して出力電圧を得るため、例えば半導体基板面Ｈに対して９０度傾いた面に形成されて用いられる。
【００３６】
回転角検出装置１００における４個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂは、図１に示すように、磁界Ｂの回転中心Ｐに隣接して配置されている。これにより、各磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂに印加される磁界Ｂが均等になって、磁界Ｂの回転角の高い検出精度を得ることができる。また、回転角検出装置１００における４個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂは、平面Ｈ内に磁界Ｂの回転中心Ｐの周りにリング状に配置されている。これによっても、各磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂに印加される磁界Ｂが均等になって、磁界Ｂの回転角の高い検出精度を得ることができる。
【００３７】
図１，２に示す回転角検出装置１００では、２個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂと３個の差動増幅器２１ａ，２１ｂ，３１を第１組がとして構成されており、２個の磁電変換素子１２ａ，１２ｂと３個の差動増幅器２２ａ，２２ｂ，３２が第２組として構成されている。
【００３８】
図１，２に示す回転角検出装置１００では、４個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂおよび１２ａ，１２ｂが同じ変換特性を有すると共に、各組では、２個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂおよび１２ａ，１２ｂが、磁界Ｂに対して同じ信号を出力するように、平面Ｈ内で同じ向きに配置されている。２組の磁電変換素子１１ａ，１１ｂおよび１２ａ，１２ｂは、磁界Ｂに対して９０度位相の異なる信号を出力するように、平面Ｈ内で互いに９０度回転した向きに配置されている。
【００３９】
また、図１，２に示す回転角検出装置１００では、６個の差動増幅器２１ａ，２１ｂ，３１および２２ａ，２２ｂ，３２のうち、４個の差動増幅器２１ａ，２１ｂおよび２２ａ，２２ｂが同じ増幅特性を有し、２個の差動増幅器３１および３２が同じ増幅特性を有する。図２に示すように、第１段では、２個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂおよび１２ａ，１２ｂからの出力信号を、それぞれ、同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器２１ａ，２１ｂおよび２２ａ，２２ｂの入力端子に、互いに反転して入力する。第２段では、２個の差動増幅器２１ａ，２１ｂおよび２２ａ，２２ｂからの出力信号を、それぞれ、残る１個の差動増幅器３１および３２の入力端子に、互いに反転して入力している。最後に、各組の第２段の差動増幅器３１および３２からの出力信号を、演算器４０でａｒｃｔａｎ演算することによって、磁界Ｂの平面Ｈ内での回転角を検出する。
【００４０】
図１，２に示す回転角検出装置１００では、第１段の同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器２１ａ，２１ｂおよび２２ａ，２２ｂからの出力信号が、それぞれ、第２段の残る１個の差動増幅器３１および３２の入力端子に互いに反転して入力される。このため、第１段の同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器２１ａ，２１ｂおよび２２ａ，２２ｂにオフセット電圧が発生していも、それらは第２段の差動増幅器３１および３２で打ち消される。また、第１段の２個の差動増幅器２１ａ，２１ｂおよび２２ａ，２２ｂからの出力信号にコモンモードの電気ノイズが重畳した場合も、同様に、それら電気ノイズが第２段の差動増幅器３１および３２で打ち消される。
【００４１】
以上のようにして、図１，２に示す回転角検出装置１００は、平面Ｈ内で回転する磁界Ｂを磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂにより検出し、磁界Ｂの回転角を検出する回転角検出装置であって、差動増幅器２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２のオフセット電圧や電気ノイズが発生しても磁界Ｂの回転角の検出精度が劣化し難い回転角検出装置となっている。
【００４２】
図１，２では、４個の磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂと６個の差動増幅器２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２とを有する回転検出装置１００を例にして、本発明による回転検出装置を説明した。図１，２に示す回転検出装置１００では、磁電変換素子１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂと差動増幅器２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２の最小限の組み合わせにより、磁界Ｂの回転角に対して線形な出力電圧を、簡単なａｒｃｔａｎ演算により得ることができる。従って、図１，２の回転検出装置１００は、オフセット電圧や電気ノイズが発生しても磁界Ｂの回転角の検出精度が劣化し難い回転角検出装置であって、安価な回転角検出装置とすることができる。
【００４３】
しかしながら本発明の回転検出装置はこれに限らず、増幅器のオフセット電圧や電気ノイズが発生しても磁界の回転角の検出精度が劣化し難い回転角検出装置として、次のように一般化することができる。すなわち、本発明による回転検出装置は、平面内で回転する磁界を磁電変換素子により検出し、前記磁電変換素子の出力信号を差動増幅器により増幅して前記磁界の回転角を検出する回転角検出装置であって、２ｎ個（ｎは１以上の整数）の前記磁電変換素子と、３ｎ個の前記差動増幅器を有してなり、２個の前記磁電変換素子と３個の前記差動増幅器を一組とし、各組において、前記２個の磁電変換素子が同じ変換特性を有すると共に、前記２個の磁電変換素子が、前記磁界に対して同じ信号を出力するように、前記平面内で同じ向きに配置され、前記３個の差動増幅器のうち少なくとも２個の差動増幅器が同じ増幅特性を有すると共に、第１段で、前記２個の磁電変換素子からの出力信号を、それぞれ、前記同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器の入力端子に、互いに反転して入力し、第２段で、２個の前記差動増幅器からの出力信号を、それぞれ、残る１個の前記差動増幅器の入力端子に、互いに反転して入力し、各組の前記第２段の差動増幅器からの出力信号を演算することによって、前記磁界の回転角を検出する回転角検出装置であればよい。
【００４４】
これによれば、第１段の同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器からの出力信号が、それぞれ、第２段の残る１個の前記差動増幅器の入力端子に互いに反転して入力されるために、第１段の同じ増幅特性を有する２個の差動増幅器にオフセット電圧が発生していも、それらは第２段の差動増幅器で打ち消される。また、第１段の２個の差動増幅器からの出力信号にコモンモードの電気ノイズが重畳した場合も同様に、それら電気ノイズが第２段の差動増幅器で打ち消される。
【００４５】
また、磁電変換素子は、ホール素子に限らず、磁気抵抗素子等であってもよい。
【００４６】
以上のようにして、上記本発明の回転角検出装置は、平面内で回転する磁界を磁電変換素子により検出し、磁界の回転角を検出する回転角検出装置であって、増幅器のオフセット電圧や電気ノイズが発生しても磁界の回転角の検出精度が劣化し難い回転角検出装置となっている。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の回転角検出装置における磁電変換素子の配置を模式的に示す図である。
【図２】本発明の回転角検出装置における差動増幅器の接続配置と各差動増幅器の入出力信号を示す図である。
【図３】従来の回転角検出装置を示す図で、（ａ）は回転角センサの側面図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ矢視断面図及びこの回転角センサを具備した回転角検出装置である。
【図４】図３の回転角検出装置において、回転軸が周方向に回転した場合の磁気センサが検出する磁束密度の変化について説明する図で、（ａ）は磁石が周方向に回転した状態を示した図、（ｂ）は磁気センサが変換した電気信号の周期波形を示したグラフである。
【図５】図３の回転角検出装置において、回転角演算部で演算された電気信号の周期波形を示したグラフである。
【図６】図３の回転角検出装置を一般化した、従来の別の回転角検出装置を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１，９０，１００  回転角検出装置
５ａ，５ｂ，９１，９２，１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ  磁電変換素子
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１，３２  差動増幅器
４０  演算器
Ｈ  平面
Ｂ  磁界
Ｐ  回転中心
【図１】
2006208049.tif 000003
【図２】
2006208049.tif 000004
【図３】
2006208049.tif 000005
【図４】
2006208049.tif 000006
【図５】
2006208049.tif 000007
【図６】
2006208049.tif 000008