(57)【要約】【課題】  ブランキング電極と電圧印加回路とを、ケーブルを介することなく接続することにより、装置の小型化等を実現する。【解決手段】  偏向機構２１は、荷電粒子ビーム６を偏向するための偏向機構２１であって、相対向する一対の偏向電極２３ａ，２３ｂと該偏向電極２３ａ，２３ｂに偏向電圧を印加する電圧印加回路２５ａ，２５ｂとが同一基板２２に設けられており、当該一対の偏向電極２３ａ，２３ｂの間を通過する荷電粒子ビーム６を、各偏向電極２３ａ，２３ｂに印加された偏向電圧に応じて偏向する。これにより、偏向電極と電圧印加回路とを接続するためのケーブルを用いる必要がなく、装置の小型化を実現することができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビームを偏向するための偏向機構であって、相対向する一対の偏向電極と該偏向電極に偏向電圧を印加する電圧印加回路とが同一基板に設けられており、当該一対の偏向電極間を通過する荷電粒子ビームを、各偏向電極に印加された偏向電圧に応じて偏向することを特徴とする偏向機構。
【請求項２】
前記基板には荷電粒子ビームが通過する開口部が形成されており、該開口部の相対向する内側面に前記一対の偏向電極が設けられていることを特徴とする請求項１記載の偏向機構。
【請求項３】
荷電粒子ビームを偏向するための偏向機構であって、第１の偏向電極と第１の偏向電極に偏向電圧を印加する第１の電圧印加回路とが設けられた第１の基板と、第１の偏向電極と対向する第２の偏向電極と第２の偏向電極に偏向電圧を印加する第２の電圧印加回路とが設けられた第２の基板とを具備し、第１及び第２の偏向電極間を通過する荷電粒子ビームを、各偏向電極に印加された偏向電圧に応じて偏向することを特徴とする偏向機構。
【請求項４】
前記電圧印加回路は、偏向電極への偏向電圧の印加若しくは非印加の切換を行うスイッチング手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至３何れかに記載の偏向機構。
【請求項５】
請求項１乃至４何れかに記載の偏向機構を備えた荷電粒子ビーム装置であって、当該偏向機構による偏向作用により荷電粒子ビームのブランキングを行うことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
【請求項６】
請求項１乃至４何れかに記載の偏向機構を備えた荷電粒子ビーム装置であって、当該偏向機構による偏向作用により荷電粒子ビームの走査を行うことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子ビームの偏向機構及び荷電粒子ビーム装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査形電子顕微鏡や電子ビーム描画装置等の荷電粒子ビーム装置においては、必要時以外に電子ビーム（荷電粒子ビーム）が試料に照射されないように、試料への電子ビームの照射が不要な期間には、電子ビームのブランキング（遮断）を行っている。以下、走査形電子顕微鏡において、試料に電子ビームを走査し、これにより試料の走査像を取得する場合を例にして説明する。
【０００３】
図１に、試料の観察面における走査領域上での電子ビームの走査時における電子ビームの動きを示す。同図において、図中紙面を貫く方向に、上方から下方に向けて電子ビームが走査領域に照射される。このとき、電子ビームはこの走査領域を走査する。
【０００４】
ここで、図中の実線による各矢印Ａは、電子ビームの水平走査期間における動きを示す。また、点線による各矢印Ｂは、電子ビームの水平走査切り返し期間における動きを示す。さらに、一点鎖線による矢印Ｃは、電子ビームの垂直走査切り返し期間における動きを示す。
【０００５】
走査形電子顕微鏡において試料の走査像を取得する場合、電子ビームの走査時における水平走査期間に取得された情報に基づいて画像が作成される。また、電子ビームの水平走査切り返し期間及び垂直走査切り返し期間は、画像の作成に寄与しない。よって、電子ビームの水平走査切り返し期間及び垂直走査切り返し期間の各期間においては、電子ビームが試料に照射されないように電子ビームのブランキングを行い、電子ビームの照射による試料の損傷（ダメージ）が発生することを防いでいる。
【０００６】
この電子ビームのブランキングは、走査形電子顕微鏡の鏡筒内に設けられた一対のブランキング電極に電圧を印加することにより行う。これにより、当該電極間を通過する電子ビームの軌道を大きく振ることによって、電子ビームが試料に到達しないようにする。
【０００７】
ここで、図２に、ブランキング機構を備えた走査形電子顕微鏡の構成を示す。同図において、１は電子顕微鏡本体である。この電子顕微鏡本体１には、鏡筒８と試料室９とが備えられている。
【０００８】
鏡筒８には、電子ビーム６を試料室８内に配置された試料７に向けて放出するための電子銃２が設けられている。この電子銃２から放出された電子ビーム６は、鏡筒８内において相対向して配置された一対のブランキング電極（ブランキング電極対）３の間を通過する。
【０００９】
このとき、ブランキング電極３に所定のブランキング用電圧が印加されていない状態では、ブランキング電極３間を通過する電子ビーム６は、そのまま直進してアパーチャ板４の開口４ａを通過し、試料７の観察面を照射する。
【００１０】
そして、偏向器５の駆動により、電子ビーム６は試料７の観察面における所定領域（走査領域）を走査する。なお、電子ビーム６は、細く集束された状態で当該観察面に照射されることとなるが、電子ビーム６を集束するための集束作用を有するレンズ（集束レンズ、対物レンズ等）は図示していない。
【００１１】
電子ビーム６が走査された試料７の観察面からは、２次電子等の被検出電子が試料情報として検出される。走査形電子顕微鏡は、検出された情報に基づいて、試料７の走査像を取得する。
【００１２】
この試料７の走査像の取得においては、上述したごとく、電子ビーム６の走査時における水平走査期間に取得された情報に基づいて画像が作成される。また、電子ビーム６の走査における水平走査切り返し期間及び垂直走査切り返し期間は、画像の作成に寄与しない。
【００１３】
従って、電子ビーム６の水平走査切り返し期間及び垂直走査切り返し期間の各期間においては、電子ビーム６が試料７に照射されないようにブランキング動作を行う。
【００１４】
当該ブランキング動作を行う際には、一対のブランキング電極３にブランキング用電圧を印加し、ブランキング電極３間を通過する電子ビーム６を偏向させる。これにより電子ビーム６の軌道は曲げられることとなり、図２において図示する６ａの方向に進む。この結果、当該電子ビームはアパーチャ板４により遮断され、試料７に到達することはない。
【００１５】
このブランキング電極３には、シールドケーブル１１を介して電圧印加回路１３が接続されている。すなわち、シールドケーブル１１の一端側が、鏡筒８に設けられたフィードスルー端子１０を介して一対のブランキング電極３に接続されている。また、シールドケーブル１１の他端側は、電圧印加回路１３の出力端子１２に接続されている。なお、シールドケーブル１１は、２芯構造とされ、ケーブル内に設けられた２本の芯線が対応するブランキング電極３に接続される。
【００１６】
電圧印加回路１３には、外部から電源電圧Ｖ１，Ｖ２が供給されている。図中の例においては、Ｖ１は＋１００Ｖとされ、またＶ２は−１００Ｖとされている。各電源電圧Ｖ１，Ｖ２は、電圧印加回路１３内において、それぞれ対応するスイッチング素子１８，１９及び抵抗１６，１７を介して出力端子１２に接続されている。また、出力端子１２に接続されている抵抗１６，１７の出力側は、それぞれ抵抗１４，１５を介して接地されている。
【００１７】
なお、スイッチング素子１８，１９は、それぞれトランジスタから構成されており、これらスイッチング素子１８，１９には外部から制御信号が供給される。これにより、当該制御信号に基づいて各スイッチング素子１８，１９の開閉が制御される。
【００１８】
すなわち、一対のブランキング電極３によるブランキング動作を行う際には、各スイッチング素子１８，１９をそれぞれ閉状態とすることにより、電圧印加回路１３からシールドケーブル１１を介してブランキング電極３にブランキング用電圧を印加する。また、ブランキング動作を行わないときには、各スイッチング素子１８，１９をそれぞれ開状態とすることにより、電圧印加回路１３からのブランキング用電圧の印加を停止する。
【００１９】
なお、このようなブランキング機構において、ブランキング電極対のうちの一方の電極にブランキング用電圧を印加し、他方の電極に電子ビームのアライメント用電圧を印加するようにしたものもある（例えば、特許文献１参照）。
【００２０】
【特許文献１】特開２０００−２６０３８２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
従来の走査形電子顕微鏡等の荷電粒子ビーム装置においては、上述のごとく、ブランキング動作用の電圧印加回路を装置の鏡筒外に配置し、鏡筒内のブランキング電極対と電圧印加回路とをケーブルにより接続していた。このため、ブランキング電極の駆動による荷電粒子ビーム（電子ビーム）のブランキング動作を行う際には、ブランキング電極対の容量及びケーブル（２芯ケーブル）の容量に対して電圧印加回路による帯電（電圧印加）と放電（電圧非印加）とを繰り返すこととなる。
【００２２】
この場合、ブランキング電極対の容量は比較的小さいが、ケーブルの容量はケーブルの長さに比例して大きくなるため、以下のような要改善点が生じている。
【００２３】
（ａ）ブランキング電極対の帯電、放電を短時間行うには大電流を流す必要がある。従って、スイッチング素子に用いられるトランジスタや抵抗素子は、大電流用の素子を使用する必要があり、電圧印加回路の小型化が困難である。また、これらスイッチング素子や抵抗素子からの発熱量が多くなるので、放熱板を設置する必要があり、これによっても電圧印加回路の小型化が困難となっている。
【００２４】
（ｂ）ケーブルの容量を小さくするために、ケーブルの長さを短くする必要があるが、その場合には電圧印加回路を鏡筒の近くに配置することとなる。この場合、荷電粒子ビーム装置の設置スペースもその分確保しなければならなくなり、荷電粒子ビーム装置の設置にさらなる制約が生じることとなる。
【００２５】
（ｃ）荷電粒子ビームの試料上での走査の高速化に伴い、ブランキング動作のＯＮ／ＯＦＦのスイッチング速度のさらなる高速化が要求された場合に、電圧印加回路にプッシュプル回路等を用いる必要が発生し、部品点数が増えて回路が複雑化するとともにコストアップとなる。
【００２６】
（ｄ）ケーブルの長さが微妙に変化しただけでブランキング動作のＯＮ／ＯＦＦのスイッチング速度に影響が出てしまう。これにより、同一の装置であっても、装置（製品）ごとの個体差が発生する。
【００２７】
（ｅ）外乱によるノイズがケーブルに入ってしまうことにより、荷電粒子ビームは不要に振られることとなり、取得される試料の走査像に当該ノイズの影響が発生する。なお、上記例では、ケーブルとしてシールドケーブルを用いているが、ケーブルの長さが長くなると当該ノイズが入りやすくなる。
【００２８】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、上記要改善点を解決することのできる荷電粒子ビームの偏向機構及び荷電粒子ビーム装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
本発明に基づく偏向機構は、荷電粒子ビームを偏向するための偏向機構であって、相対向する一対の偏向電極と該偏向電極に偏向電圧を印加する電圧印加回路とが同一基板に設けられており、当該一対の偏向電極間を通過する荷電粒子ビームを、各偏向電極に印加された偏向電圧に応じて偏向することを特徴とする。
【００３０】
また、本発明に基づく他の偏向機構は、荷電粒子ビームを偏向するための偏向機構であって、第１の偏向電極と第１の偏向電極に偏向電圧を印加する第１の電圧印加回路とが設けられた第１の基板と、第１の偏向電極と対向する第２の偏向電極と第２の偏向電極に偏向電圧を印加する第２の電圧印加回路とが設けられた第２の基板とを具備し、第１及び第２の偏向電極間を通過する荷電粒子ビームを、各偏向電極に印加された偏向電圧に応じて偏向することを特徴とする。
【００３１】
さらに、本発明基づく荷電粒子ビーム装置は、上記偏向機構を備えた荷電粒子ビーム装置であって、当該偏向機構による偏向作用により荷電粒子ビームのブランキングを行うことを特徴とする。
【００３２】
そして、本発明に基づく他の荷電粒子ビーム装置は、上記偏向機構を備えた荷電粒子ビーム装置であって、当該偏向機構による偏向作用により荷電粒子ビームの走査を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３３】
本発明における一の例においては、相対向する一対の偏向電極と該偏向電極に偏向電圧を印加する電圧印加回路とが同一基板に設けられており、当該一対の偏向電極間を通過する荷電粒子ビームを、各偏向電極に印加された偏向電圧に応じて偏向する。
【００３４】
また、本発明における他の例においては、第１の偏向電極と第１の偏向電極に偏向電圧を印加する第１の電圧印加回路とが設けられた第１の基板と、第１の偏向電極と対向する第２の偏向電極と第２の偏向電極に偏向電圧を印加する第２の電圧印加回路とが設けられた第２の基板とを具備し、第１及び第２の偏向電極間を通過する荷電粒子ビームを、各偏向電極に印加された偏向電圧に応じて偏向する。
【００３５】
よって、偏向電極と当該偏向電極に偏向電圧を印加する電圧印加回路とが同じ基板に一体的に設けられている。これにより、偏向電極と電圧印加回路とを接続するためのケーブルを用いる必要がなく、当該ケーブルが存在することに起因する上記要改善点を解決することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、図面を参照して本発明に基づく実施の形態について説明する。図３は、本発明における荷電粒子ビーム装置を示す。この荷電粒子ビーム装置は、走査形電子顕微鏡の構成を備えている。なお、同図において、図１に示す構成要素と同一のものには同じ番号を付している。
【００３７】
図３において、１は電子顕微鏡本体である。この電子顕微鏡本体１には、鏡筒８と試料室９とが備えられている。これら鏡筒８内部と試料室９内部は、それぞれ図示しない真空排気手段により真空排気される。試料室９内部には、試料７が配置されている。
【００３８】
鏡筒８には、電子ビーム（荷電粒子ビーム）６を試料７に向けて放出するための電子銃（荷電粒子ビーム源）２が設けられている。この電子銃２から放出された電子ビーム６は、鏡筒８内において相対向して配置された一対のブランキング電極（偏向電極）２３ａ，２３ｂの間を通過する。ここで、この一対のブランキング電極対２３ａ，２３ｂによりブランキング電極対２３が構成される。
【００３９】
このとき、ブランキング電極対２３に所定のブランキング用電圧が印加されていない状態では、ブランキング電極２３ａ，２３ｂ間を通過する電子ビーム６は、そのまま直進してアパーチャ板４の開口４ａを通過し、試料７の観察面を照射する。
【００４０】
そして、偏向器５の駆動により、電子ビーム６は試料７の観察面における所定領域（走査領域）を走査する。なお、電子ビーム６は、細く集束された状態で当該観察面に照射されることとなるが、電子ビーム６を集束するための集束作用を有するレンズ（集束レンズ、対物レンズ等）は図示していない。
【００４１】
電子ビーム６が走査された試料７の観察面からは、２次電子等の被検出電子が試料情報として検出される。走査形電子顕微鏡は、検出された情報に基づいて、試料７の走査像を取得する。
【００４２】
この試料７の走査像の取得においては、電子ビーム６の走査時における水平走査期間に取得された情報に基づいて画像が作成される。また、電子ビーム６の走査における水平走査切り返し期間及び垂直走査切り返し期間は、画像の作成に寄与しない。
【００４３】
従って、電子ビーム６の水平走査切り返し期間及び垂直走査切り返し期間の各期間においては、電子ビーム６が試料７に照射されないようにブランキング動作を行う。
【００４４】
ここで、電子ビーム６のブランキング動作を行うための偏向機構２１の構成について説明する。この偏向機構２１は、ブランキング電極２３ａ，２３ｂ及び基板２２を備えており、鏡筒８内において、電子銃２とアパーチャ板４との間に設けられている。
【００４５】
図４に、本発明における偏向機構２１の斜視図を示す。同図に示すごとく、偏向機構２１を構成する基板２２の中央には開口部２２ｃが形成されている。基板２２は、絶縁基板からなり、その上面に必要な配線が形成されている。この開口部２２ｃにおける相対向する内側面には、互いに対向するようにブランキング電極２３ａ，２３ｂが設けられている。また、基板２２上には、電圧印加回路２５ａ，２５ｂが形成されている。これら電圧印加回路２５ａ，２５ｂは、それぞれブランキング電極２３ａ，２３ｂを駆動するためのものである。
【００４６】
さらに、ブランキング電極２３ａ，２３ｂには、開口部２２ｃの上記内側面から基板２２上に延長された延長部２３ｃ，２３ｄが備えられている。そして、基板２２上には、ブランキング電極２３ａ，２３ｂの延長部２３ｃ，２３ｄと、電圧印加回路２５ａ，２５ｂとを接続するための接続配線２４ａ，２４ｂが設けられている。これにより、ブランキング電極２３ａ，２３ｂは、接続配線２４ａ，２４ｂを介して、それぞれ対応する電圧印加回路２５ａ，２５ｂに接続される。
【００４７】
電圧印加回路２５ａ，２５ｂの双方により、図２に示す電圧印加回路１３と同様の回路が構成される。すなわち、電圧印加回路２５ａ，２５ｂを合わせた回路を電圧印加回路部２５とすると、この電圧印加回路部２５には、上述した各抵抗及びスイッチング素子が配置されていることとなる。ここで、当該スイッチング素子は、ブランキング電極２３ａ，２３ｂへの偏向電圧の印加若しくは非印加の切換を行う。
【００４８】
図４においては、電圧印加回路２５ａ側に配置された抵抗２９及びスイッチング素子２８が図示されている。なお、電圧印加回路２５ｂ側にも、同様に抵抗及びスイッチング素子が配置されているが、同図においてはその図示を省略している。また、基板２２上に設けられ、電圧印加回路２５ａと電圧印加回路２５ｂとを接続する配線の図示も省略している。
【００４９】
電圧印加回路部２５には、外部から電源電圧Ｖ１，Ｖ２が供給されているとともに、制御信号Ｓが供給される。図４においては、基板２２上に設けられた入力端子３０を介して、電圧印加回路部２５に電源電圧Ｖ１，Ｖ２及び制御信号Ｓが供給される。
【００５０】
電子銃２から放出された電子ビーム６は、開口部２２ｃを通過する。このとき、ブランキング電極２３ａ，２３ｂ（ブランキング電極対２３）にブランキング用電圧が印加されると、ブランキング電極対２３の間を通過する電子ビーム６を偏向させる。これにより、電子ビーム６の軌道は曲げられることとなり、図３において図示する６ａの方向に進む。この結果、当該電子ビームはアパーチャ板４により遮断され、試料７に到達しない。これにより、電子ビーム６のブランキング動作が行われる。
【００５１】
このような偏向機構２１においては、相対向する一対の偏向電極２３ａ，２３ｂと該偏向電極２３ａ，２３ｂに偏向電圧を印加する電圧印加回路２５ａ，２５ｂとが同一基板２２に設けられており、当該一対の偏向電極２３ａ，２３ｂの間を通過する荷電粒子ビーム６を、各偏向電極２３ａ，２３ｂに印加された偏向電圧に応じて偏向する。
【００５２】
従って、偏向電極２３ａ，２３ｂと当該偏向電極２３ａ，２３ｂに偏向電圧を印加する電圧印加回路２５ａ，２５ｂとが同じ基板に一体的に設けられているので、偏向電極２３ａ，２３ｂと電圧印加回路２５ａ，２５ｂとを接続するためのケーブルが不要となり、当該ケーブルが存在することに起因する上記要改善点（「発明が解決しようとする課題」の欄を参照）を解決することができる。
【００５３】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。図５は、本発明での第２の実施の形態における荷電粒子ビーム装置を示す。この荷電粒子ビーム装置も、走査形電子顕微鏡の構成を備えている。ここで、同図において、図３に示す構成要素と同一のものには同じ番号を付している。
【００５４】
この第２の実施の形態においては、偏向機構２１は、第１の基板２２ａと第２の基板２２ｂとを備えている。第１の基板２２ａと第２の基板２２ｂは、鏡筒８内において、所定の間隙３０を介して対向して配置されている。
【００５５】
そして、第１及び第２の基板２２ａ，２２ｂの各対向面（対向する側面）には、それぞれブランキング電極２３ａ，２３ｂ（第１の偏向電極２３ａ，第２の偏向電極２３ｂ）が設けられている。これらブランキング電極２３ａ，２３ｂは、間隙３０を介して相対向するように配置されており、ブランキング電極対２３を構成する。
【００５６】
また、図６に示すように、第１及び第２の基板２２ａ，２２ｂの上面には、それぞれ第１の電圧印加回路２５ａ及び第２の電圧印加回路２５ｂが設けられている。ここで、ブランキング電極２３ａ，２３ｂは、それぞれの基板２２ａ，２２ｂ上に形成された接続配線２４ａ，２４ｂを介して第１及び第２の電圧印加手段２５ａ，２５ｂに接続されている。
【００５７】
第１の電圧印加回路２５ａには、入力端子３０ａを介して外部から電源電圧Ｖ１及び制御信号Ｓが入力される。また、第２の電圧印加回路２５ｂには、入力端子３０ｂを介して外部から電源電圧Ｖ２及び制御信号Ｓが入力される。
【００５８】
電子銃２から放出された電子ビーム６は、ブランキング電極２３ａ，２３ｂの間の間隙３０を通過する。このとき、ブランキング電極２３ａ，２３ｂ（ブランキング電極対２３）にブランキング用電圧が印加されると、ブランキング電極対２３の間を通過する電子ビーム６を偏向させる。これにより、電子ビーム６の軌道は曲げられることとなり、図３において図示する６ａの方向に進む。この結果、当該電子ビームはアパーチャ板４により遮断され、試料７に到達しない。これにより、電子ビーム６のブランキング動作が行われる。
【００５９】
このような偏向機構２１においては、第１の偏向電極２３ａと第１の偏向電極２３ａに偏向電圧を印加する第１の電圧印加回路２５ａとが設けられた第１の基板２２ａと、第１の偏向電極２３ａと対向する第２の偏向電極２３ｂと第２の偏向電極２３ｂに偏向電圧を印加する第２の電圧印加回路２５ｂとが設けられた第２の基板２２ｂとを具備し、第１及び第２の偏向電極２３ａ，２３ｂの間を通過する荷電粒子ビーム６を、各偏向電極２３ａ，２３ｂに印加された偏向電圧に応じて偏向する。
【００６０】
従って、この例においても、偏向電極と当該偏向電極に偏向電圧を印加する電圧印加回路とが同じ基板に一体的に設けられているので、偏向電極と電圧印加回路とを接続するためのケーブルが不要となり、当該ケーブルが存在することに起因する上記要改善点を解決することができる。
【００６１】
なお、上述した各偏向機構は、荷電粒子ビームのブランキング動作を行うために荷電粒子ビーム装置に設けられる例であったが、これに限定される必要はない。上記例の他に、当該偏向機構を、試料上での荷電粒子ビームの走査を行うために荷電粒子ビーム装置に設けられるようにしてもよい。この場合、当該荷電粒子ビーム装置は、上記偏向機構を備えるものであって、当該偏向機構による偏向作用により荷電粒子ビームの走査を行う装置となる。当該装置においても、上記要改善点を解決することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】試料における走査領域上での電子ビームの走査時における電子ビームの動きを示す図である。
【図２】ブランキング機構を備えた走査形電子顕微鏡の構成を示す図である。
【図３】本発明における荷電粒子ビーム装置の構成を示す図である。
【図４】本発明における偏向機構を示す斜視図である。
【図５】本発明での第２の実施の形態における荷電粒子ビーム装置の構成を示す図である。
【図６】本発明での第２の実施の形態における偏向機構を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…電子顕微鏡本体、２…電子銃、４…アパーチャ板、６…電子ビーム（荷電粒子ビーム）、７…試料、２１…偏向機構、２２…基板、２３…ブランキング電極対、２３ａ，２３ｂ…ブランキング電極（偏向電極）、２５ａ，２５ｂ…電圧印加回路
【図１】
2006196260.tif 000003
【図２】
2006196260.tif 000004
【図３】
2006196260.tif 000005
【図４】
2006196260.tif 000006
【図５】
2006196260.tif 000007
【図６】
2006196260.tif 000008