(57)【要約】【課題】簡単な構成で、容量調整機構のアンロード特性に向上させる空気圧縮機を提供する。【解決手段】圧縮機本体１１と、吸気調整弁１４と、戻し流路５４とを備えた空気圧縮機１Ａであって、戻し流路５４に介設され、上記一端及び他端を別個に大気圧状態の空間に連通させる状態１と、戻し流路５４の両端を連通させ、外部とは遮断する状態２との切換えを行う四方切換弁５３と、吐出流路１５の圧力を検出し、この検出した圧力を示す信号或いはこの圧力と設定圧力との差圧を示す信号を出力する圧力検出手段１８と、この圧力検出手段１８からの信号に基づき、圧縮機本体１１の作動中における上記圧力が設定上限圧力ＰＨを上回った場合には、四方切換弁５３を上記状態１にし、上記圧力が設定下限圧力ＰＬを下回った場合には、四方切換弁５３を上記状態２にするとともに、圧縮機本体１１の停止時には、四方切換弁５３を上記状態１にする制御手段５５とが設けられている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮機本体と、
その吸込流路に流路開閉可能に介設され、この吸込流路を閉じる方向に常時ばね力により付勢された弁体を内蔵する吸気調整弁と、
一端が吐出流路に、他端が上記弁体とは遮断された上記吸気調整弁内の空間にそれぞれ連通し、この空間に上記圧縮機本体からの吐出空気を導き、上記弁体が上記吸込流路を開く力を生じさせるための戻し流路と
を備えた空気圧縮機であって、
上記戻し流路に介設され、上記一端及び他端を別個に大気圧状態の空間に連通させる状態１と、上記戻し流路の両端を連通させ、外部とは遮断する状態２との切換えを行う切換え手段と、
吐出流路の圧力を検出し、この検出した圧力を示す信号或いはこの圧力と設定圧力との差圧を示す信号を出力する圧力検出手段と、
この圧力検出手段からの信号に基づき、上記圧縮機本体の作動中における上記圧力が予め設定された許容上限圧力を上回った場合には、上記切換え手段を上記状態１にし、上記圧力が予め設定された許容下限圧力を下回った場合には、上記切換え手段を上記状態２にするとともに、上記圧縮機本体の停止時には、上記切換え手段を上記状態１にする制御手段と
を設けたことを特徴とする空気圧縮機。
【請求項２】
上記吸込流路における上記弁体の一次側と二次側とを連通させるバイパス流路を設けたことを特徴とする請求項１に記載の空気圧縮機。
【請求項３】
上記吸気調整弁の一次側の上記吸込流路に設けられた吸込みフィルタと、
上記状態１において、上記吸込みフィルタを介して大気に連通する上記吸込みフィルタと上記圧縮機本体との間の上記吸込流路の部分に上記一端及び他端を上記切換え弁を介して連通させるパージ流路とを備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の空気圧縮機。
【請求項４】
上記パージ流路により上記一端及び他端を上記切換え弁を介して連通させる上記吸込流路の部分が、上記吸込流路における上記弁体の二次側であることを特徴とする請求項３に記載の空気圧縮機。
【請求項５】
上記パージ流路により上記一端及び他端を上記切換え弁を介して連通させる上記吸込流路の部分が、上記吸込流路における上記弁体の一次側であることを特徴とする請求項３に記載の空気圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部の動力源に頼ることなく、自前の吐出圧力を利用して作動させる吸気調整弁を備えた空気圧縮機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、自前の吐出圧力を利用して作動させる吸気調整弁を備えた空気圧縮機は公知である（例えば、特許文献１，２参照）。
【特許文献１】特開平６−６６２８４号公報（図１）
【特許文献２】特開平８−３１２５６４号公報（図１）
【０００３】
特許文献１には、圧縮機本体と、その吸込流路に介設され、ばね力と吐出圧力を利用して弁体を作動させ、吸込流路を開閉する吸気調整弁と、一端が吐出流路に、他端が上記弁体とは遮断された上記吸気調整弁内の空間にそれぞれ連通し、この空間に圧力調整弁を介して上記圧縮機本体からの吐出空気を導く吸気調整弁制御用流路と、放気弁、開閉弁、消音器を介して吐出空気を大気に放出する放気流路とを備えた空気圧縮機が開示されている。そして、吐出圧力が高くなり過ぎると上記圧力調整弁を開いて吸気調整弁の開度を縮小し、吐出圧力を調整するようにしてある。また、例えば圧縮機の再起動時のように、圧縮機本体の負荷軽減のために、その吐出側の圧力を下げておく必要がある場合には、上記放気弁及び開閉弁を開にして、上記放気流路からこの吐出側における圧縮空気の大気放出がなされるようになっている。
【０００４】
特許文献２には、圧縮機本体と、その吸込流路に介設され、ばね力と吐出圧力を利用して弁体を作動させ、吸込流路を開閉する吸気調整弁と、一端が吐出流路に、他端が上記弁体とは遮断された上記吸気調整弁内の空間にそれぞれ連通し、この空間に電磁弁及び流路抵抗調節弁を介して上記圧縮機本体からの吐出空気を上流放気路と、上記空間から放気絞り、サイレンサを介して吐出空気を大気に放出する下流放気路とを備えた空気圧縮機が開示されている。そして、アンロード状態に移行させる場合には、上記電磁弁を開にして、上記流路抵抗調節弁を介して吐出流路の圧縮空気を上記空間に導き、放気するとともに、上記吸気調整弁を閉にするようにしてある。この場合、上記流路抵抗調節弁は、吐出流路の圧力に応じて上記上流放気路の抵抗を調整し、起動アンロードと放気アンロードに対応させている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の空気圧縮機の場合、放気弁と圧力調整弁のそれぞれを別個に有しているため、配管が複雑になるとともに、部品点数が増大するという問題がある。
【０００６】
特許文献２に記載の空気圧縮機の場合、流路抵抗調節弁の構造が複雑になり、アンロード機構が複雑になるという問題がある。
【０００７】
本発明は、斯かる従来の問題をなくすことを課題としてなされたもので、簡単な構成の容量調整機構を有する空気圧縮機を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、第１発明は、圧縮機本体と、その吸込流路に流路開閉可能に介設され、この吸込流路を閉じる方向に常時ばね力により付勢された弁体を内蔵する吸気調整弁と、一端が吐出流路に、他端が上記弁体とは遮断された上記吸気調整弁内の空間にそれぞれ連通し、この空間に上記圧縮機本体からの吐出空気を導き、上記弁体が上記吸込流路を開く力を生じさせるための戻し流路とを備えた空気圧縮機であって、上記戻し流路に介設され、上記一端及び他端を別個に大気圧状態の空間に連通させる状態１と、上記戻し流路の両端を連通させ、外部とは遮断する状態２との切換えを行う切換え手段と、吐出流路の圧力を検出し、この検出した圧力を示す信号或いはこの圧力と設定圧力との差圧を示す信号を出力する圧力検出手段と、この圧力検出手段からの信号に基づき、上記圧縮機本体の作動中における上記圧力が予め設定された許容上限圧力を上回った場合には、上記切換え手段を上記状態１にし、上記圧力が予め設定された許容下限圧力を下回った場合には、上記切換え手段を上記状態２にするとともに、上記圧縮機本体の停止時には、上記切換え手段を上記状態１にする制御手段と
を設けた構成とした。
【０００９】
第２発明は、第１発明の構成に加えて、上記吸込流路における上記弁体の一次側と二次側とを連通させるバイパス流路を設けた構成とした。
【００１０】
第３発明は、第１または第２発明の構成に加えて、上記吸気調整弁の一次側の上記吸込流路に設けられた吸込みフィルタと、上記状態１において、上記吸込みフィルタを介して大気に連通する上記吸込みフィルタと上記圧縮機本体との間の上記吸込流路の部分に上記一端及び他端を上記切換え弁を介して連通させるパージ流路とを備えた構成とした。
【００１１】
第４発明は、第３発明の構成に加えて、上記パージ流路により上記一端及び他端を上記切換え弁を介して連通させる上記吸込流路の部分が、上記吸込流路における上記弁体の二次側である構成とした。
【００１２】
第５発明は、第３発明の構成に加えて、上記パージ流路により上記一端及び他端を上記切換え弁を介して連通させる上記吸込流路の部分が、上記吸込流路における上記弁体の一次側である構成とした。
【発明の効果】
【００１３】
第１発明に係る空気圧縮機によれば、単一の切換え手段の切換え動作のみで、吸気調整弁の開閉、及び吐出流路からの放気ができ、構造の簡単化、コンパクト化、部品点数の削減、メンテナンスの負担軽減等が可能になるという効果を奏する。
【００１４】
第２発明に係る空気圧縮機によれば、第１発明による効果に加えて、起動時に、圧縮機本体からの必要最低限の空気量が確保され、上記状態１から上記状態２への移行が促進されるという効果を奏する。
【００１５】
第３及び第４発明に係る空気圧縮機によれば、第１または第２発明による効果に加えて、吐出流路からの放気の際に機外に漏れ出る放気音を小さくすることができ、この放気音を抑制するための消音器が不要になるという効果を奏する。
【００１６】
第５発明に係る空気圧縮機によれば、第１または第２発明による効果に加えて、吐出流路からの放気の際に機外に漏れ出る放気音を小さくすることができ、この放気音を抑制するための消音器が不要になるとともに、第４発明の場合に比して、ドレン析出量を減少させることが可能になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１〜４は、本発明の第１実施形態に係る空気圧縮機１Ａを示し、この空気圧縮機１Ａは、圧縮機本体１１の吸込流路１２に吸込みフィルタ１３及び吸気調整弁１４と、吐出流路１５に油分離回収器１６、保圧逆止弁１７及び圧力検出手段１８と、油分離回収器１６の底部から圧縮機本体１１内のロータ室、軸受・軸封部等の給油箇所に通じる油流路１９に油フィルタ２０、三方切換弁２１及び油冷却器２２とを備えている。
【００１８】
圧縮機本体１１は互いに噛み合う雌雄一対のスクリュロータ３１を有し、このスクリュロータ３１の一方に形成された吸込口３２に吸込流路１２が接続され、他方に形成された吐出口３３に吐出流路１５が接続されている。
【００１９】
吸気調整弁１４は、ケーシング３５と弁体３６とこの弁体３６にピストンロッド３７を介して一体作動可能に結合したピストン３８とばね３９とを有している。ケーシング３５は、吸込みフィルタ１３と吸込口３２とを連通させる吸込流路１２の部分を形成するとともに、弁体３６により開閉される流路空間４１と、この流路空間４１とは隔壁４２により仕切られ、ピストン３８及びばね３９を収容したピストン室４３を形成し、ピストンロッド３７は隔壁４２を貫通している。ばね３９はピストン３８と隔壁４２との間に介在し、常時ピストン３８に対して隔壁４２から離す方向に、即ちピストンロッド３７を介して弁体３６に対して吸込流路１２を閉じる方向に力を作用させている。従って、ばね力に打ち勝つ力がピストンロッド３７とは反対側のピストン３８の受圧面に作用しない場合には、吸気調整弁１４は閉状態となっている（図１）。これに対して、ばね力に打ち勝つ力が上記受圧面に作用する場合には、吸気調整弁１４は開状態となる（図２）。なお、一端が吸込流路１２における弁体３６の一次側に通じ、他端が弁体３６の二次側に通じるバイパス流路４４が設けられ、このバイパス流路４４に、例えばオリフィスのような絞り手段４５が介設されており、吸込みフィルタ１３と吸込口３２とが完全に非連通状態になることはない。
【００２０】
油分離回収器１６は上部に油分離エレメント５１を有し、油分離回収器１６の下部が油溜まり部５２になっており、油分離エレメント５１の上部から上述した保圧逆止弁１７及び圧力検出手段１８が介在する吐出流路１５の部分と、四方切換弁５３を介してピストン室４３内のピストンロッド３７及びばね３９を含まない空間、即ち弁体３６とは遮断された加圧空間４３ａに通じる戻し流路５４とが延び、油溜まり部５２からは上述した油流路１９が延びている。四方切換弁５３は、油分離回収器１６内の油分離エレメント５１の箇所に通じるＰポートと大気に通じるＢポート，ＥＡポート、ピストン室に通じるＡポートを有し、Ｐ，Ｂポートのそれぞれが連通し、かつＥＡポート，Ａポートのそれぞれが連通するか（図３）、Ｐ，Ａポートのそれぞれが連通し、かつＥＡポート，Ｂポートのそれぞれが閉鎖されるか（図４）のいずれか一方の状態となる。そして、このいずれの状態になるように、四方切換弁５３は圧力検出手段１８から圧力信号が入力される制御部５５により後述するように制御される。なお、Ｂポートには、例えばオリフィスのような絞り手段５６が介設され、大気に開口した端部を有するパージ流路５７が接続され、ＥＡポートには、大気に開口した端部を有するパージ流路５８が接続されている。油流路１９の三方弁Ｘポート，Ｙポート，Ｚポートを有し、Ｘポートは油フィルタ２０を介して油溜まり部５２に通じ、Ｙポートは直接に上記給油箇所に通じ、Ｚポートには、Ｙポートから上記給油箇所まで延びる油流路１９の部分に合流する油冷却器２２が介設された油冷却用バイパス流路１９ａが接続している。そして、油温度が設定温度以下の場合には、Ｘポート，Ｙポートのそれぞれが連通し、Ｚポートが閉鎖され、油は冷却されることなく上記給油箇所に供給され、油温度が設定温度を超えた場合には、Ｘポート，Ｚポートのそれぞれが連通し、Ｙポートが閉鎖され、油は油冷却器１９で冷却されて、上記給油箇所に供給される。
【００２１】
次に、上記構成からなる空気圧縮機１Ａのパターン１の作動について説明する。
空気圧縮機１Ａの起動前においては、四方切換弁５３は、図３に示すように、Ｐ，Ｂポートのそれぞれが連通し、かつＥＡポート，Ａポートのそれぞれが連通する状態にあり、吐出流路１５及び加圧空間４ａが別個に大気に連通する状態１になっている。従って、ばね３９により吸気調整弁１４内の弁体３６は閉方向に移動し、吸込流路１２は閉じられ、吐出流路１５及び油分離回収器１６内は大気圧の状態にある。
【００２２】
空気圧縮機１Ａが起動され、圧縮機本体１１が作動し始めると同時に、制御部５５により四方切換弁５３はＰ，Ａポートのそれぞれが連通し、かつＥＡポート，Ｂポートのそれぞれが閉鎖された状態にされ、吐出流路１５と加圧空間４３ａとが連通するとともに、外部から遮断された状態２となる。従って、図１において実線の矢印Iで示すように加圧空間４３ａに圧縮空気が導入される。しかし、圧縮機本体１１の作動開始後、暫くは吐出流路１５における吐出圧力は低く、加圧空間４３ａ内の圧力はばね力に打ち勝つまでには上昇せず、弁体３６は状態１から変わらず、吸気調整弁１４は閉じたままの過渡的運転状態が続く。その代わり、この過渡的運転状態下では、バイパス流路４４を介して、吸込流路１２から圧縮機本体１１への吸気はなされるため、徐々に吐出圧力は上昇してゆく。
【００２３】
吐出圧力が上昇してゆき、加圧空間４３ａ内の圧力もばね力に打ち勝つまでに上昇すると、ピストン３８が作動し、これとともに弁体３６も作動して吸気調整弁１４が開状態となる。この結果、吸込流路１２から圧縮機本体１１への十分な吸気がなされ、吐出圧力が急激に上昇して所望の範囲に達し、空気圧縮機１Ａは過渡的運転状態からロード運転状態に移行する。
【００２４】
その後、吐出圧力がさらに上昇し、この吐出圧力が予め設定された許容上限圧力ＰＨを超えた場合には、吐出圧力を検出する圧力検出手段１８からの圧力信号を入力される制御部５５により圧力信号に基づき四方切換弁５３が制御され、状態１に切換えられ、空気圧縮機１Ａはアンロード運転状態に移行する。この結果、吐出流路１５、油分離回収器１６がＰポート，Ｂポート、パージ流路５７を介して大気に連通し、かつ加圧空間４３ａがＡポート，ＥＡポート，パージ流路５８を介して大気に連通し、吐出流路１５内は減圧され、加圧空間４３ａは大気圧になる。従って、図１において、破線の矢印IIで示すように圧縮空気が流れ、吸気調整弁１４は閉じられる。この場合、油分離回収器１６における急激な減圧は、油溜まり部５２からのフォーミング（泡立ち）現象を発生させ、この結果、油分離エレメント５１に多量の油が付着し、圧縮空気からの油分離効率の低下を引き起こすため、図１に示すように、パージ流路５７に絞り手段５６を介設し、油分離回収器１６における急激な減圧を防ぐことが望ましい。また、パージ流路５７及び５８からの圧縮空気の放出による騒音を抑制するためにパージ流路５７及び５８の開口端部に消音器を設けてもよい。なお、吐出流路１５、油分離回収器１６が大気に連通し、いわゆるパージがなされることにより圧縮機本体１１に作用する負荷が減り、圧縮機本体１１の所要動力の低減、即ち、アンロード特性の向上が見込まれる。また、アンロード運転状態における油分離回収器１６内の圧力については、バイパス流路４４における絞り手段４５での流路径とパージ流路５７における絞り手段５６での流路径との相互関係に依存し、両流路径を適宜設定することによりアンロード運転状態における油分離回収器１６内の圧力を所望範囲内に保つことができる。
【００２５】
アンロード運転状態が続き、吐出圧力が降下してゆき、予め設定された許容下限圧力ＰＬより降下した場合には、圧力検出手段１８からの圧力信号に基づき、制御部５５により四方切換弁５３が制御され、状態２に切換えられ、空気圧縮機１Ａは再びロード運転状態に移行する。
【００２６】
このように、空気圧縮機１Ａでは、制御部５５による四方切換弁５３を介してのロード運転状態、アンロード運転状態の切換え制御により吐出圧力は、許容下限圧力ＰＬと許容上限圧力ＰＨとの間の範囲内に維持される。即ち、空気圧縮機１Ａの運転中、吐出圧力は許容下限圧力ＰＬと許容上限圧力ＰＨとの間において、上昇し、下降することになる。
【００２７】
空気圧縮機１Ａの運転を停止させる場合、動力供給源と圧縮機本体１１との間が遮断されるとともに、制御部５５により四方切換弁５３は状態１にされ、アンロード運転状態の場合と同様の状態に保たれる。但し、空気圧縮機１Ａの運転停止の結果、吐出流路１５における圧力が降下し、許容下限圧力ＰＬに達しても、ロード運転状態への移行はなされない。
【００２８】
次に、空気圧縮機１Ａのパターン２の作動について説明する。
パターン２の場合、上述したパターン１の場合と殆ど同一であり、異なる過渡的運転状態及び過渡的運転状態からロード運転状態への移行についてのみ説明する。
【００２９】
空気圧縮機１Ａが起動され、圧縮機本体１１が作動し始める一方、四方切換弁５３は、Ｐ，Ｂポートのそれぞれが連通し、かつＥＡポート，Ａポートのそれぞれが連通する状態１のまま保たれる過渡的運転状態が続けられる。従って、圧縮機本体１１の吸気はバイパス流路４４を介してのみ行われる。
【００３０】
バイパス流路４４からの吸気により吐出圧力が上昇してゆき、許容下限圧力ＰＬを超えた場合には、圧力検出手段１８からの圧力信号に基づき制御部５５により四方切換弁５３はＰ，Ａポートのそれぞれが連通し、かつＥＡポート，Ｂポートのそれぞれが閉鎖された状態にされ、吐出流路１５と加圧空間４３ａとが連通するとともに、外部から遮断された状態２となり、過渡的運転状態からロード運転状態に移行する。
【００３１】
図５（横軸：時間、縦軸：油分離回収器１６の内圧）は、上述したパターン１及び２の場合において、空気圧縮機１Ａの油分離回収器１６の内圧が推移する傾向を示したものである。図５中、Iは停止状態、IIは過渡的運転状態、IIIはロード運転状態、IVはアンロード運転状態、Vはアンロード運転状態から停止状態への移行状態のそれぞれを示し、ロード運転状態及びアンロード運転状態の間、上記内圧は許容下限圧力ＰＬと許容上限圧力ＰＨとの間の範囲内に維持される。
【００３２】
図５中、IIの過渡的運転状態における線分の傾斜は、具体的にはパターン１とパターン２では必ずしも同一にはならないが、漸増傾向という点では変わらない。
【００３３】
なお、吸気調整弁１４は弁体３６を作動させるのにピストン３８を利用する構造のものであるが、図６に示すようにピストン３８に代えてダイヤフラム６１を利用した構造の吸気調整弁１４ａであってもよい。図６において、図１及び２と互いに共通する部分については、同一番号を付してあり、ダイヤフラム６１の中心部がピストン３８と同様に図において上下に作動する。また、圧力検出手段１８は検出圧力に相当する圧力信号を出力する圧力センサ、或いは検出圧力と予め設定された圧力との差圧に相当する圧力信号を出力する圧力スイッチのいずれであってもよい。
【００３４】
図７は、本発明の第２実施形態に係る空気圧縮機１Ｂを示し、上述した空気圧縮機１Ａと互いに共通する部分については、同一番号を付して説明を省略する。
【００３５】
空気圧縮機１Ｂでは、上述したパージ流路５７及び５８に代えて、吸気調整弁１４と圧縮機本体１１との間における吸込流路１２の部分に合流するパージ流路５７ａ及び５８ａが設けられている。
【００３６】
そして、斯かる構成により、吐出流路１５及び加圧空間４３ａから逃がす圧縮空気を上記吸込流路１２の部分に導き、外部に漏れ出る騒音を抑制するようになっており、消音器を省くことが可能となっている。
【００３７】
図８は、本発明の第３実施形態に係る空気圧縮機１Ｃを示し、上述した空気圧縮機１Ａと互いに共通する部分については、同一番号を付して説明を省略する。
【００３８】
空気圧縮機１Ｃでは、上述したパージ流路５７及び５８に代えて、吸込みフィルタ１３と吸気調整弁１４との間における吸込流路１２の部分に合流するパージ流路５７ｂ及び５８ｂが設けられている。
【００３９】
そして、斯かる構成により、吐出流路１５及び加圧空間４３ａから逃がす圧縮空気を上記吸込流路１２の部分に導き、外部に漏れ出る騒音を抑制するようになっており、消音器を省くことが可能となっている。
【００４０】
以上、油冷式のものについて説明してきたが、本発明はこれに限るものでなく、水循環式のものでもよく、この場合、油分離回収器１６、油フィルタ２０，油冷却器２２を含む油流路１９は省かれ、それらに代えて、水を循環させるため流路が設けられる。
【００４１】
また、本発明はスクリュタイプの空気圧縮機に限定されるものでなく、容積形の空気圧縮機であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る空気圧縮機の全体構成を示す図である。
【図２】図１に示す空気圧縮機における吸気調整弁の開状態を示す図である。
【図３】図１に示す空気圧縮機の状態１における四方切換弁を示す図である。
【図４】図１に示す空気圧縮機の状態２における四方切換弁を示す図である。
【図５】図１に示す空気圧縮機における油分離回収器の内圧の推移傾向を示す図である。
【図６】図１に示す空気圧縮機における別の形態の吸気調整弁を示す図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る空気圧縮機の全体構成を示す図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る空気圧縮機の全体構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１Ａ  空気圧縮機
１１  圧縮機本体
１２  吸込流路
１３  吸込みフィルタ
１４，１４ａ  吸気調整弁
１５  吐出流路
１６  油分離回収器
１７  保圧逆止弁
１８  圧力検出手段
１９  油流路
２０  油フィルタ
２１  三方切換弁
２２  油冷却器
３１  スクリュロータ
３２  吸込口
３３  吐出口
３５  ケーシング
３６  弁体
３７  ピストンロッド
３８  ピストン
３９  ばね
４１  流路空間
４２  隔壁
４３  ピストン室
４３ａ  加圧空間
４４  バイパス流路
４５  絞り手段
５１  油分離エレメント
５２  油溜まり部
５３  四方切換弁
５４  戻し流路
５５  制御部
５６  絞り手段
５７，５８  パージ流路
６１  ダイヤフラム
Ａ，Ｂ，ＥＡ，Ｐ  ポート
Ｘ，Ｙ，Ｚ  ポート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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