(57)【要約】【課題】  アクチュエータユニットと配線部材との接合部分の接合強度をより向上させることが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】  フレキシブルケーブル１８は、駆動信号の供給には関与しない接点端子４９を有し、アクチュエータユニット４には、フレキシブルケーブル１８の接点端子４９に対応する位置にダミー端子４２を設け、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８との接合時には、駆動端子に配線端子を重ね、共通接地端子４１に接地端子４７を重ねると共に、ダミー端子４２に接点端子４９を重ねた状態でフレキシブルケーブル１８の表面側からヒートツール５０を押圧し、これらの端子間を同時に半田付けする。【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ得る圧力発生素子、及び、該圧力発生素子に導通する駆動端子を有するアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータユニットの駆動端子に接合される配線端子を有し、前記圧力発生素子に駆動信号を供給するための配線部材とを備え、
前記配線部材を通じて駆動信号を供給して圧力発生素子を駆動させることによりノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッドであって、
前記配線部材は、駆動信号の供給には関与しない鑞付け部を有し、
前記アクチュエータユニットには、前記配線部材の鑞付け部に対応する位置に接合補強部を設け、
前記駆動端子と前記配線端子とを接合すると共に、前記鑞付け部と前記接合補強部とを接合したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記接合補強部は、前記アクチュエータユニットにおける駆動端子の列設方向の両側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記接合補強部は、前記駆動端子から離隔した位置に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記接合補強部は、前記駆動端子と同一の工程において且つ同一の材料で形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに係り、特に、圧力発生素子の作動によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
【０００３】
このような液体噴射ヘッドの一種に、振動板の表面に形成された圧電振動子（圧力発生素子の一種）を駆動、具体的には、撓み変形させることで液滴を吐出させるようにしたものがある。この液体噴射ヘッドは、例えば、圧力室と圧電振動子とを備えたアクチュエータユニットと、ノズル開口や共通液室を備えた流路ユニットとから構成される。この液体噴射ヘッドでは、駆動信号を供給して圧電振動子を駆動させることで圧力室容積を変化させ、圧力室内に貯留された液体に圧力変動を生じさせる。そして、この圧力変動を利用することでノズル開口から液滴を吐出させる。
【０００４】
上記圧電振動子は個別に駆動端子を有しており、この駆動端子に配線部材が接続され、この配線部材を通じて駆動信号が供給されるようになっている。この配線部材としては、例えば、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式におけるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）等のフィルム状のものが好適に用いられる。
この配線部材は、ポリイミドやポリエステル等の絶縁性フィルムの表面に、銅箔で導体パターン（リードパターン）が形成され、配線端子（アウターリード）以外の部分をレジストで覆って構成されている。この配線部材の配線端子の部分には、予めハンダメッキが施されており、この配線端子を圧電振動子の駆動端子にハンダ付けすることによって、配線部材がアクチュエータユニットに取り付けられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２９１３３７号公報（第７図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来、配線部材に施されるハンダメッキとしては、鉛ハンダメッキが主に使用されていたのだが、近年、環境保全の要請に鑑み、このハンダメッキを、錫ハンダ等の無鉛のものに切り替える必要性が生じてきた。
ところが、無鉛のハンダは、接合強度の面で鉛ハンダに劣る。そのため、この無鉛ハンダを使用する場合、配線部材をアクチュエータユニットに取り付けた後の工程で駆動端子と配線端子との接合部分に何らかの要因で外力が加わったときに、剥離が生じやすいという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、アクチュエータユニットと配線部材との接合部分の接合強度をより向上させることが可能な液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体貯留部材は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル開口に連通する圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ得る圧力発生素子、及び、該圧力発生素子に導通する駆動端子を有するアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータユニットの駆動端子に接合される配線端子を有し、前記圧力発生素子に駆動信号を供給するための配線部材とを備え、
前記配線部材を通じて駆動信号を供給して圧力発生素子を駆動させることによりノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッドであって、
前記配線部材は、駆動信号の供給には関与しない鑞付け部を有し、
前記アクチュエータユニットには、前記配線部材の鑞付け部に対応する位置に接合補強部を設け、
前記駆動端子と前記配線端子とを接合すると共に、前記鑞付け部と前記接合補強部とを接合したことを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、アクチュエータユニット上の、配線部材の鑞付け部に対応する位置に、圧力発生素子の駆動に関与しない接合補強部を設け、アクチュエータユニットと配線部材との接合の際に接合補強部と鑞付け部を接合するようにしたので、接合面積をより多く確保することができる。これにより、アクチュエータユニットと配線部材との接合強度を向上させることができ、アクチュエータユニットと配線部材の接合部分における剥離を抑制することができる。その結果、歩留りを向上させることが可能となる。
【００１０】
上記構成において、前記接合補強部は、前記アクチュエータユニットにおける駆動端子の列設方向の両側に配置されていることが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、アクチュエータユニットにおける駆動端子列設方向の中央側に接合補強部を配置する場合と比較して、外力をより分散させることができるので、アクチュエータユニットと配線部材の接合部分における剥離をより抑えることが可能となる。
【００１２】
また、上記構成において、前記接合補強部は、前記駆動端子から離隔した位置に設けられていることが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、接合補強部と駆動端子が離隔しているので、接合補強部と駆動端子との間でこれらの端子に含まれる金属イオンが移動することで短絡状態となる所謂マイグレーションを抑制して絶縁不良を防止することができる。
【００１４】
また、上記各構成において、前記接合補強部は、前記駆動端子と同一の材料で、且つ、同一の工程で形成されていることが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、簡単な仕様の変更のみで、且つ、工数を増加させることなく容易に接合補強部を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００１７】
図１は、記録ヘッド１の構成の一例を説明する分解斜視図である。この記録ヘッド１は、図示しないインクカートリッジ内に貯留されたインクをヘッド内部に導入するインク供給針２が複数配設された供給針ユニット３と、圧電振動子３０（図２等参照）を有するアクチュエータユニット４及び流路ユニット５から成るヘッドユニット６とを、ヘッドケース９に備えて概略構成される。また、この記録ヘッド１において、ヘッドケース９の先端側（供給針ユニット３の接合面とは反対側）には、ヘッドユニット６を保護すると共に、ノズルプレート８を接地電位に調整するための金属製のカバー１０が取り付けられるようになっている。
【００１８】
供給針ユニット３は、インク供給針２がヘッド主走査方向（ノズル列直交方向）に横並びに配設された合成樹脂製の部材である。この供給針ユニット３に配設されるインク供給針２の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針２の内外を連通する導入孔が複数穿設されており、これらの導入孔を通じてインクカートリッジ内のインクがヘッド内に導入される。そして、本実施形態の記録ヘッド１は４種類のインクを吐出可能であるため、供給針ユニット３には、合計４本のインク供給針２が先端を上方に突出した姿勢で配設されている。
【００１９】
ヘッドケース９は、上記供給針ユニット３や配線基板１１が取り付けられるベース部１２と、このベース部１２の底部から下方に向けて延出し、開口面にヘッドユニット６が取り付けられる中空箱体状のケース部１３とにより構成される部材である。本実施形態においては、このヘッドケース９と上記供給針ユニット３は、例えば、変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂等の合成樹脂によって作製されている。そして、ヘッドケース９のベース部１２には、ヘッドユニット６側にインクを供給する収束流路（図示せず）の上部開口１４が、供給針ユニット３の各インク供給針２に対応した位置にそれぞれ開設されている。また、ベース部１２には、配線基板１１を配設するための基板配設部１５が区画されている。
【００２０】
上記配線基板１１は、コネクタ１６を備えており、このコネクタ１６には、プリンタ本体側からのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線ケーブル（図示せず）が装着されるようになっている。また、配線基板１１には、接続用端子１７が形成されており、この接続用端子１７には、ＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等のフィルム状のフレキシブルケーブル１８（本発明における配線部材の一種に相当）が電気的に接続される。そして、この配線基板１１は、プリンタ本体側からの駆動信号をＦＦＣを通じて受けると共に、この駆動信号をフレキシブルケーブル１８を介してアクチュエータユニット４の圧電振動子３０に供給するようになっている。
【００２１】
ノズルプレート８は、流路ユニット５を構成する部材の１つであり、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材をプレス加工することで作製されている。このノズルプレート８には、ドット形成密度に応じたピッチで複数のノズル開口１９が列状に開設されており、本実施形態においては、このノズル開口１９の列（ノズル列）が、主走査方向に複数条（４列）並設されている。そして、このノズルプレート８は、流路ユニット５において、アクチュエータユニット４の接合面側とは反対側に配置される。
【００２２】
図２は、上記ヘッドユニット６の構成を説明する要部断面図である。同図に示すヘッドユニット６は、アクチュエータユニット４と流路ユニット５を重ね合わせた状態で一体化して構成されている。
流路ユニット５は、オリフィスとして機能するインク供給口２２及びノズル連通口２３の一部となる通孔が形成された供給口プレート２４と、インク供給針２側からのインクが供給されるリザーバ２５（共通液体室）及びノズル連通口２３の一部となる通孔が形成されたリザーバプレート２６と、上記ノズルプレート８とから構成されている。そして、流路ユニット５は、リザーバプレート２６の一方の面にノズルプレート８を、他方の面に供給口プレート２４をそれぞれ配置し、これらの部材の間を熱溶着フィルム等によって接合して構成されている。この流路ユニット５は、リザーバ２５からノズル開口１９に至るまでのインク流路（液体流路）を形成している。
【００２３】
アクチュエータユニット４は、圧力室２８となる通孔を開設した圧力室プレート２９、圧電振動子３０が複数横並びに実装されると共に、圧力室２８の一部を区画する振動子プレート３１、及び、供給側連通口３２となる通孔及びノズル連通口２３となる通孔を形成した連通口プレート３４を積層した状態で備えている。これらの圧力室プレート２９、振動子プレート３１、及び、連通口プレート３４は、アルミナや酸化ジルコニウム等のセラミックスで作製されており、焼成によって一体化される。
【００２４】
上記の圧力室２８は、ノズル列とは直交する方向に細長い空部となっており、ノズル開口１９に対応して複数形成されている。そして、各圧力室２８の一端側は、供給側連通口３２及びインク供給口２２を通じてリザーバ２５に連通している。また、供給側連通口３２とは反対側の圧力室２８の他端側は、ノズル連通口２３を通じてノズル開口１９に連通している。この圧力室２８の一部、即ち、連通口プレート３４とは反対側となる面は、振動子プレート３１によって区画されている。
【００２５】
本実施形態において、圧力発生素子の一種として機能する圧電振動子３０は、付与された電界に応じて撓み振動を行う所謂撓みモードの圧電振動子であり、駆動電極３６と共通電極３７で圧電体層３８を挟んだ状態に形成されている。この圧電振動子３０は、圧力室２８とは反対側の振動子プレート３１の表面に、圧力室２８を覆い隠す状態に形成されている。即ち、各圧電振動子３０は、各圧力室２８に対応してノズル列方向に列設されている。
なお、圧電振動子列の端部に位置するものは、インク滴の吐出に関与しない、つまり、駆動信号が供給されず駆動しないダミー振動子となっている。
【００２６】
上記圧電振動子３０の長手方向の一側には、圧電振動子３０毎に個別の駆動端子３９が形成されている。この駆動端子３９は、圧電振動子３０の駆動電極３６に導通すると共に、フレキシブルケーブル１８の配線端子４４（図６参照）と電気的に接続される部分である。また、共通電極３７は、図示しない共通幹電極を介して共通接地端子４１（図４，５参照）に導通している。
【００２７】
図３は、アクチュエータユニット４における駆動端子３９の配設状態を説明する平面図、図４は図３における領域Ａの拡大図、図５は図３における領域Ｂの拡大図である。なお、図３〜５においては、駆動端子３９を主に示しており、便宜上、圧電振動子３０は図示していない。これらの図に示すように、各駆動端子３９は、ノズル列方向に列設されて駆動端子列４０を構成しており、この駆動端子列４０は、アクチュエータユニット４の幅方向（ノズル列方向に直交する方向）の中心寄りに２列形成されている。
【００２８】
図４，５に示すように、駆動端子列方向の両側には、共通接地端子４１が設けられている。この共通接地端子４１は、共通幹電極を介して圧電振動子３０の共通電極３７と導通すると共に、フレキシブルケーブル１８の接地端子４７（図７，８参照）が接続される部分である。本実施形態においては、各駆動端子列４０の一側（領域Ｂ）の端から１番目と２番目、他側（領域Ａ）の端から１〜３番目の端子が、それぞれ共通接地端子４１となっている。これらの駆動端子３９及び共通接地端子４１は、銀等の金属材料によって作製されており、本実施形態においては、スクリーン印刷によって、アクチュエータユニット４の表面に形成されている。
【００２９】
また、上記アクチュエータユニット４には、駆動端子３９及び共通接地端子４１の他に、圧電振動子３０の駆動に関与しないダミー端子４２（本発明における接合補強部の一種に相当）が設けられている。本実施形態においては、駆動端子列方向の両側であって、アクチュエータユニット４幅方向の両側の共通接地端子４１の間に、合計２つのダミー端子４２ａ，４２ｂが配置されている。このダミー端子４２も、駆動端子３９及び共通接地端子４１と同様に、銀を用いてスクリーン印刷によって形成されている。つまり、ダミー端子４２は、駆動端子３９や共通接地端子４１と同一工程において、且つ、同一の材料で形成される。これにより、例えば、マスクパターンの変更等の簡単な仕様の変更のみで、工数を増加させることなく容易にダミー端子４２を形成することができる。このダミー端子４２の機能については後述する。
【００３０】
上記駆動端子３９を通じて駆動電極３６に駆動信号が供給されると、駆動電極３６と共通電極３７との間には電位差に応じた電界が発生する。この電界は圧電体層３８に付与され、圧電体層３８は付与された電界の強さに応じて撓み変形する。即ち、駆動電極３６に供給する駆動信号の電位を高くする程、圧電体層３８は、流路ユニット５に近づく方向に変位し、圧力室３０の容積２８の容積を減少するように圧力室プレート２９を変形させる。一方、駆動電極３６に供給する駆動信号の電位を低くする程、圧電体層３８は、流路ユニット５よりも遠ざかる方向に変位し、圧力室２８の容積を増加させるように圧力室プレート２９を変形させる。このような圧電振動子３０の駆動により、圧力室２８が収縮又は膨張し、これにより、圧力室２８内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することで、圧力室２８内のインクをノズル開口１９からインク滴として吐出させることができる。
【００３１】
図６は、上記フレキシブルケーブル１８の構成を説明する平面図であり、圧電振動子３０に接続される先端側部分を示している。また、図７は、図６における領域Ａの拡大図、図８は、図６における領域Ｂの拡大図である。このフレキシブルケーブル１８は、ポリイミド等の絶縁フィルムから成るベースフィルム４３の表面に、銅箔等の導体材料で導体パターン（配線パターン）が形成され、配線端子４４以外の部分がレジスト４５で覆われて構成されている。また、このフレキシブルケーブル１８には、配線基板１１側からの駆動信号を圧電振動子３０に対して選択的に供給する制御を行うＩＣチップ４６が実装されている。
【００３２】
フレキシブルケーブル１８の各配線端子４４は、アクチュエータユニット４の駆動端子３９毎に対応させて列設されており、これらの配線端子４４の列設方向の両側には、アクチュエータユニット４の共通接地端子４１と接続されて圧電振動子３０の共通電極３７を接地電位に調整するための接地端子４７が設けられている。具体的には、図７，８に示すように、フレキシブルケーブル１８の先端側（領域Ｂ）に１本、基端側（領域Ａ）に２本の接地端子４７が、配線端子列毎に設けられている。基端側の接地端子４７に関し、通常１本で足りるところを２本としたのは、基端側はアクチュエータユニット４との接合後、配線基板１１との接合工程が行われる際に基端側の一部を折り曲げることで引っ張られる等して外力が加わりやすいため、この外力を分散するためである。即ち、このようにすると、基端側の接合部分で剥離が生じるのを抑制することができる。
【００３３】
これらの配線端子４４及び接地端子４７の表面には、アクチュエータユニット４側の各端子と接続するために、予めハンダメッキが予め施されている。具体的には、金属材料（金属イオン）を含む電解質溶液（メッキ液）中にフレキシブルケーブル１８を浸漬し、端子部分に通電することで電気ハンダメッキが施される。この電気ハンダメッキの金属材料としては、環境保護の観点から、鉛以外の材料を用いるのが望ましい。本実施形態においては、錫等が用いられる。そして、図７，８中、符号４９（４９ａ，４９ｂ）で示すものは、電気ハンダメッキを施す際の通電に用いられる接点端子である。この接点端子４９は、ハンダメッキが施されるが、駆動信号の供給には関与しない部分であり、本発明における鑞付け部の一種に相当する。
【００３４】
ところで、本実施形態のように、鉛以外の金属材料を用いたハンダメッキは、接合強度の面で、鉛を用いたハンダメッキに劣る。そのため、この無鉛ハンダメッキを使用する場合、配線部材をアクチュエータユニットに取り付けた後の工程でアクチュエータユニット４側の駆動端子３９と、フレキシブルケーブル１８側の配線端子４４との接合部分に何らかの要因で外力が加わったときに、剥離が生じやすいという問題がある。
そこで、本実施形態では、アクチュエータユニット４上の、フレキシブルケーブル１８の接点端子４９に対応する位置にダミー端子４２を設け、フレキシブルケーブル１８との接合の際には、駆動端子３９（及び共通接地端子４１）と配線端子４４（及び接地端子４７）とを接合すると同時に、ダミー端子４２に接点端子４９を接合することで、接合強度を向上させている。
【００３５】
図９は、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８の接合部分を拡大して示した図であり、ダミー端子４２の形成位置における断面図である。アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８との接合時には、共通接地端子４１に接地端子４７を重ね、駆動端子３９に配線端子４４を重ねると共に、ダミー端子４２に接点端子４９を重ねた状態でフレキシブルケーブル１８の表面側からヒートツール（加熱部材）５０を押圧し、これらの端子間を同時に半田付けする。
【００３６】
この際、アクチュエータユニット４の一側に配設されている２つの共通接地端子４１のうち、最も端の共通接地端子４１のみが接点端子４７と接続され、他方は接続されないようになっている。また、アクチュエータユニット４の他側の３つの共通接地端子４１のうち、端から１番目と２番目の共通接地端子４１のみが接点端子４７と接続され、３番目の共通接地端子４１は接続されないようになっている。即ち、実際にグラウンドとして使用する共通接地端子４１は、駆動端子３９から少なくとも１端子分離隔することになる。上記ダミー端子４２も、実際に使用する共通接地端子４１の近傍に配設しているため、駆動端子３９から離隔する。これにより、駆動端子３９と、共通接地端子４１或いはダミー端子４２との間で金属イオンが移動してこれらの端子間が短絡状態となる所謂マイグレーションを抑制することができ、その結果、絶縁不良を防止することができる。
【００３７】
このように、上記記録ヘッド１では、アクチュエータユニット４上の、フレキシブルケーブル１８の接点端子４９に対応する位置に、圧電振動子３０の駆動に関与しないダミー端子４２を設け、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８との接合の際に、ダミー端子４２と接点端子４９とを接合するようにしたので、接合面積をより多く確保することができる。これにより、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８との接合強度を向上させることができる。具体的には、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８との接合部分の引っ張り強度が、従来と比較して、７０％〜８０％程度向上することが実験的に分かった。このように接合強度を向上させることで、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８の接合部分における剥離を抑制することができ、その結果、歩留りを向上させることが可能となる。
【００３８】
また、本実施形態では、ダミー端子４２は、アクチュエータユニット４における駆動端子列設方向の両側に配置されているので、駆動端子列設方向の中央側にダミー端子４２を配置する場合と比較して、外力をより分散させることができる。その結果、アクチュエータユニット４とフレキシブルケーブル１８との接合部分における剥離をより抑えることが可能となる。
【００３９】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００４０】
上記ダミー端子４２に関し、上記実施形態においては、駆動端子列方向の両側に合計２つ設けるようにしたが、これには限定されず、フレキシブルケーブル１８のハンダメッキが施されている部分に対応する位置であれば、上記実施形態とは異なる位置に設けることができる。また、ダミー端子４２を１つ或いは３つ以上設けるようにしても良い。
【００４１】
また、以上では、液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図３】アクチュエータユニットの構成を説明する平面図である。
【図４】図３における領域Ａの拡大図である。
【図５】図３における領域Ｂの拡大図である。
【図６】フレキシブルケーブルの構成を説明する平面図である。
【図７】図６における領域Ａの拡大図である。
【図８】図６における領域Ｂの拡大図である。
【図９】アクチュエータユニットとフレキシブルケーブルの接合部分を拡大して示した図であり、ダミー端子の形成位置における断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  記録ヘッド，２  インク供給針，３  供給針ユニット，４  アクチュエータユニット，５  流路ユニット，６  ヘッドユニット，８  ノズルプレート，９  ヘッドケース，１０  カバー，１１  配線基板，１２  ベース部，１３  ケース部，１４  上部開口，１５  基板配設部，１６  コネクタ，１７  接続用端子，１８  フレキシブルケーブル，１９  ノズル開口，２２  インク供給口，２３  ノズル連通口，２４  供給口プレート，２５  リザーバ，２６  リザーバプレート，２８  圧力室，２９  圧力室プレート，３０  圧電振動子，３１  振動子プレート，３２  供給側連通口，３４  連通口プレート，３６  駆動電極，３７  共通電極，３８  圧電体層，３９  駆動端子，４０  駆動端子列，４１  共通接点端子，４２  ダミー端子，４３  ベースフィルム，４４  配線端子，４５  ソルダーレジスト，４６  ＩＣチップ，４７  接地端子，４９  接点端子，５０  ヒートツール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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