(57)【要約】  【課題】  空間光変調素子を所定の走査方向に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてフレームデータを空間光変調素子に順次入力して露光面上に画像を形成する露光装置において、上記フレームデータをより簡易な制御により作成する。  【解決手段】  フレームデータの画素データが第１のメモリ６１ａの第１の分割露光画像データと第２のメモリ６１ｂの第２の分割露光画像データとに跨って属している場合には、第１および第２のメモリ６１ａ,６１ｂにそれぞれダミー領域を設け、第１のメモリ６１ａにおいては第１の分割露光画像データを読み出した後ダミー領域を読み出して第１のダミー描画点データ群を取得し、第２のメモリ６１ｂにおいてはダミー領域を読み出した後第２の分割露光画像データを読み出して第２のダミー描画点データ群を取得し、第１のダミー描画点データ群と第２のダミー描画点データ群の論理和をとって上記フレームデータを作成する。【選択図】          図１１
2006272854.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、前記描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、前記画像を表わす画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、
前記画像を分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データを生成し、
該各分割画像データを複数の記憶部にそれぞれ記憶し、
隣接する前記分割画像データが記憶される２つの前記記憶部における、前記隣接する分割画像データの境界部分に所定の記憶領域をそれぞれ設け、
前記フレームデータの各描画点データが、前記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、
前記２つの記憶部のうち一方の分割画像データが記憶された記憶部からは前記一方の分割画像データを読み出した後前記所定の記憶領域を読み出して第１の描画点データ群を取得するとともに、他方の分割画像データが記憶された記憶部からは前記所定の記憶領域を読み出した後前記他方の分割画像データを読み出して第２の描画点データ群を取得し、
前記第１の描画点データ群と前記第２の描画点データ群に基づいて前記フレームデータを作成すること特徴とするフレームデータ作成方法。
【請求項２】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、前記描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、前記画像を表わす画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、
前記画像を分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データを生成し、
該各分割画像データを複数の記憶部にそれぞれ記憶し、
隣接する前記分割画像データが記憶される２つの前記記憶部における、前記隣接する分割画像データの境界部分にクリア領域をそれぞれ設け、
前記フレームデータの各描画点データが、前記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、
前記記憶部の各々から読み出したデータの論理和に基づいて前記フレームデータを作成すること特徴とするフレームデータ作成方法。
【請求項３】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、前記描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、前記画像を表わす画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、
前記画像を前記走査方向について分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データを生成し、
該各分割画像データを複数の記憶部にそれぞれ記憶するとともに、
隣接する前記分割画像データのうちの上流側の分割画像データにおける下流側の一部の部分画像データを、下流側の分割画像データが記憶された記憶部に記憶し、
前記フレームデータの各描画点データが、前記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、
前記下流側の分割画像データが記憶された記憶部から前記部分画像データを読み出した後前記下流側の分割画像データを読み出すことによって前記フレームデータを作成することを特徴とするフレームデータ作成方法。
【請求項４】
請求項１から３いずれか１項記載のフレームデータ作成方法を用いて前記各フレームデータを取得し、
前記描画点形成部を前記描画面に対して前記走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画点形成部に順次前記各フレームデータを入力して前記描画点群を時系列に形成し、前記描画面上に前記画像を形成することを特徴とする描画方法。
【請求項５】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、前記描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成するフレームデータ作成装置であって、前記画像を表わす画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成部を備えたフレームデータ作成装置において、
前記画像を分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データをそれぞれ記憶する複数の記憶部と、
隣接する前記分割画像データが記憶される２つの前記記憶部における、前記隣接する分割画像データの境界部分に所定の記憶領域をそれぞれ設ける記憶制御部とを備え、
前記フレームデータ作成部が、前記フレームデータの各描画点データが、前記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、前記２つの記憶部のうち一方の分割画像データが記憶された記憶部においては前記一方の分割画像データを読み出した後前記所定の記憶領域を読み出して第１の描画点データ群を取得するとともに、他方の分割画像データが記憶された記憶部においては前記所定の記憶領域を読み出した後前記他方の分割画像データを読み出して第２の描画点データ群を取得し、前記第１の描画点データ群と前記第２の描画点データ群に基づいて前記フレームデータを作成するものであることを特徴とするフレームデータ作成装置。
【請求項６】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、前記描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成するフレームデータ作成装置であって、前記画像を表わす画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成部を備えたフレームデータ作成装置において、
前記画像を分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データをそれぞれ記憶する複数の記憶部と、
隣接する前記分割画像データが記憶される２つの前記記憶部における、前記隣接する分割画像データの境界部分にクリア領域をそれぞれ設ける記憶制御部とを備え、
前記フレームデータ作成部が、前記フレームデータの各描画点データが、前記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、前記記憶部の各々から読み出したデータの論理和に基づいて前記フレームデータを作成するものであることを特徴とするフレームデータ作成装置。
【請求項７】
描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、前記描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を前記描画面上に形成する際に用いられる前記フレームデータを作成するフレームデータ作成装置であって、前記画像を表わす画像データに基づいて前記複数の描画点データを取得して前記フレームデータを作成するフレームデータ作成部を備えたフレームデータ作成装置において、
前記画像を前記走査方向について分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データをそれぞれ記憶する複数の記憶部と、
隣接する前記分割画像データのうちの上流側の分割画像データにおける下流側の一部の部分画像データを、下流側の分割画像データが記憶された記憶部に記憶する記憶制御部とを備え、
前記フレームデータ作成部が、前記フレームデータの各描画点データが、前記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、前記下流側の分割画像データが記憶された記憶部から前記部分画像データを読み出した後前記下流側の分割画像データを読み出すことによって前記フレームデータを作成するものであることを特徴とするフレームデータ作成装置。
【請求項８】
請求項５から７いずれか１項記載のフレームデータ作成装置と、
入力された前記フレームデータに基づいて複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する描画点形成部と、
該描画点形成部を前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させる移動手段と、
該移動手段による走査方向への移動に応じて前記フレームデータ作成装置において作成されたフレームデータを前記描画点形成部に順次入力し、前記描画点形成部に前記描画点群を時系列に順次形成させることにより前記所定の画像を前記描画面上に形成させる画像形成制御手段とを備えたことを特徴とする描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空間光変調素子などの描画点形成部を、描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させて画像を形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成方法および装置並びに上記フレームデータ作成方法および装置を用いて作成されたフレームデータを用いて描画を行う描画方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像データが表す所望の２次元パターンを描画面上に形成する描画装置が種々知られている。
【０００３】
上記のような描画装置として、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下、ＤＭＤという）等の空間光変調素子を利用し、画像データに応じて空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。ＤＭＤは、シリコン等の半導体基板上のメモリセル（ＳＲＡＭアレイ）に、微小なマイクロミラーが２次元状に多数配置されて構成されたものである。そして、メモリセルに蓄積される電荷による静電気力を制御することによってマイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させることができ、この反射面の角度変化により所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができるものである。
【０００４】
そして、上記のようなＤＭＤを用いた露光装置としては、たとえば、ＤＭＤを露光面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてＤＭＤのメモリセルに多数のマイクロミラーに対応した多数の描画点データからなるフレームデータを入力し、ＤＭＤのマイクロミラーに対応した描画点群を時系列に順次形成することにより所望の画像を露光面に形成する露光装置が提案されている。
【０００５】
また、一般に、ＤＭＤのマイクロミラーは、各行の並び方向と各列の並び方向とが直交するように配列されている。そして、このようなＤＭＤを走査方向に対して所定の角度だけ傾けて上記のような露光を行うことによって、マイクロミラーにより走査される走査線の間隔を密にし、露光面上に形成される画像の解像度を向上させた露光装置も提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
ここで、上記のような露光装置を用いて露光を行う際には、上述したようにＤＭＤの走査方向への相対的な移動に応じてフレームデータをＤＭＤに順次入力する必要がある。したがって、露光の前に予め露光面に対するＤＭＤの位置に対応したフレームデータを作成しておく必要がある。
【０００７】
したがって、たとえば、露光面に露光されるべき画像を表す画像データをＤＲＡＭなどのメモリに一旦記憶し、露光面に対するＤＭＤの各位置について、ＤＭＤの各マイクロミラーに対応する画素データを上記メモリから順次読み出すことによってＤＭＤの各マイクロミラーに入力される各描画点データを取得し、その取得された描画点データにより各フレームデータが作成される。
【特許文献１】特開２００４−９５９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、たとえば、上記画像データの容量が数ギガバイト程度あって非常に大きい場合には、ＤＲＡＭの最大記憶容量は現在のところ１ギガバイト程度であるため、画像データを分割し、その分割された画像データを複数のＤＲＡＭに分けて記憶させる必要がある。そして、たとえば、１つのフレームデータに属する描画点データが２つのＤＲＡＭに跨って記憶されているような場合には、その境界部分をうまく繋げて１つのフレームデータを作成する必要があり、これを実現するには各ＤＲＡＭからの描画点データの読出しを制御する制御部において非常に複雑な制御を行わなければいけない場合がある。
【０００９】
具体的には、たとえば、ＤＭＤを走査方向に対して所定の角度だけ傾けて露光を行う露光装置のフレームデータを作成する際、マイクロミラー１ライン分に対応する描画点データ群の各描画点データが、上記のように２つのＤＲＡＭに跨って記憶されている場合があり、このような描画点データ群を読み出すため、従来は、各ＤＲＡＭを制御する各制御部によって上記描画点データ群の各描画点データを特定するためのアドレスを指定するとともに、各ＤＲＡＭから読み出された部分描画点データ群をうまく繋ぎ合わせるため、各制御部同士で互いに読み出しタイミングの同期をとる必要があり、非常に複雑な制御が必要であった。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑み、上記のように１つのフレームデータに属する描画点データが２つの記憶部に跨って記憶されているような場合においても、簡単な制御によって描画点データを取得してフレームデータを作成することができるフレームデータ作成方法および装置並びに上記フレームデータ作成方法等を利用した描画方法および装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１のフレームデータ作成方法は、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、上記画像を表わす画像データに基づいて複数の描画点データを取得してフレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、上記画像を分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データを生成し、その各分割画像データを複数の記憶部にそれぞれ記憶し、隣接する分割画像データが記憶される２つの記憶部における、上記隣接する分割画像データの境界部分に所定の記憶領域をそれぞれを設け、上記フレームデータの各描画点データが、上記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、２つの記憶部のうち一方の分割画像データが記憶された記憶部からは上記一方の分割画像データを読み出した後上記所定の記憶領域を読み出して第１の描画点データ群を取得するとともに、他方の分割画像データが記憶された記憶部からは上記所定の記憶領域を読み出した後上記他方の分割画像データを読み出して第２の描画点データ群を取得し、第１の描画点データ群と第２の描画点データ群に基づいて上記フレームデータを作成することを特徴とする。
【００１２】
本発明の第２のフレームデータ作成方法は、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、画像を表わす画像データに基づいて複数の描画点データを取得してフレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、画像を分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データを生成し、その各分割画像データを複数の記憶部にそれぞれ記憶し、隣接する分割画像データが記憶される２つの記憶部における、上記隣接する分割画像データの境界部分にクリア領域をそれぞれ設け、フレームデータの各描画点データが、隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、記憶部の各々から読み出したデータの論理和に基づいてフレームデータを作成すること特徴とする。
【００１３】
本発明の第３のフレームデータ作成方法は、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、上記画像を表わす画像データに基づいて複数の描画点データを取得してフレームデータを作成するフレームデータ作成方法において、上記画像を走査方向について分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データを生成し、その各分割画像データを複数の記憶部にそれぞれ記憶するとともに、隣接する分割画像データのうちの上流側の分割画像データにおける下流側の一部の部分画像データを、下流側の分割画像データが記憶された記憶部に記憶し、上記フレームデータの各描画点データが、上記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、下流側の分割画像データが記憶された記憶部から部分画像データを読み出した後上記下流側の分割画像データを読み出すことによって上記フレームデータを作成することを特徴とする。
【００１４】
本発明の描画方法は、上記フレームデータ作成方法を用いて前記各フレームデータを取得し、描画点形成部を描画面に対して上記走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画点形成部に順次各フレームデータを入力して描画点群を時系列に形成し、描画面上に画像を形成することを特徴とする。
【００１５】
本発明の第１のフレームデータ作成装置は、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成装置であって、上記画像を表わす画像データに基づいて複数の描画点データを取得してフレームデータを作成するフレームデータ作成部を備えたフレームデータ作成装置において、上記画像を分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データをそれぞれ記憶する複数の記憶部と、隣接する分割画像データが記憶される２つの記憶部における、上記隣接する分割画像データの境界部分に所定の記憶領域をそれぞれ設ける記憶制御部とを備え、フレームデータ作成部が、上記フレームデータの各描画点データが、上記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、２つの記憶部のうち一方の分割画像データが記憶された記憶部からは上記一方の分割画像データを読み出した後所定の記憶領域を読み出して第１の描画点データ群を取得するとともに、下流側の分割画像データが記憶された記憶部からは所定の記憶領域を読み出した後上記他方の分割画像データを読み出して第２の描画点データ群を取得し、第１の描画点データ群と第２の描画点データ群に基づいてフレームデータを作成するものである。
【００１６】
本発明の第２のフレームデータ作成装置は、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成装置であって、画像を表わす画像データに基づいて複数の描画点データを取得してフレームデータを作成するフレームデータ作成部を備えたフレームデータ作成装置において、画像を分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データをそれぞれ記憶する複数の記憶部と、隣接する分割画像データが記憶される２つの前記記憶部における、上記隣接する分割画像データの境界部分にクリア領域をそれぞれ設ける記憶制御部とを備え、フレームデータ作成部が、フレームデータの各描画点データが、上記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、記憶部の各々から読み出したデータの論理和に基づいてフレームデータを作成するものであることを特徴とする。
【００１７】
本発明の第３のフレームデータ作成装置は、描画面上に描画点を形成する複数の描画素子を有する描画点形成部を、描画面に対し、所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画素子に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを描画点形成部に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することにより画像を描画面上に形成する際に用いられるフレームデータを作成するフレームデータ作成装置であって、上記画像を表わす画像データに基づいて複数の描画点データを取得してフレームデータを作成するフレームデータ作成部を備えたフレームデータ作成装置において、上記画像を走査方向について分割した複数の分割画像に対応した複数の分割画像データをそれぞれ記憶する複数の記憶部と、隣接する上記分割画像データのうちの上流側の分割画像データにおける下流側の一部の部分画像データを、下流側の分割画像データが記憶された記憶部に記憶する記憶制御部とを備え、フレームデータ作成部が、上記フレームデータの各描画点データが、上記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、下流側の分割画像データが記憶された記憶部から部分画像データを読み出した後上記下流側の分割画像データを読み出すことによって上記フレームデータを作成するものであることを特徴とする。
【００１８】
本発明の描画装置は、上記フレームデータ作成装置と、入力されたフレームデータに基づいて複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する描画点形成部と、描画点形成部を描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させる移動手段と、移動手段による走査方向への移動に応じてフレームデータ作成装置において作成されたフレームデータを描画点形成部に順次入力し、描画点形成部に描画点群を時系列に順次形成させることにより所定の画像を描画面上に形成させる画像形成制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００１９】
ここで、上記「クリア領域」とは、０の値のデータが格納されている領域、または、読み出されたデータが全て０の値に制御される領域、つまり、結果的には０の値のみが得られる領域のことを意味する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の第１のフレームデータ作成方法および装置によれば、複数の分割画像に対応した複数の分割画像データを生成し、その各分割画像データを複数の記憶部にそれぞれ記憶し、隣接する分割画像データが記憶される２つの記憶部における、上記隣接する分割画像データの境界部分に所定の記憶領域を設け、フレームデータの各描画点データが、上記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、２つの記憶部のうち一方の分割画像データが記憶された記憶部からは上記一方の分割画像データを読み出した後上記所定の記憶領域を読み出して第１の描画点データ群を取得するとともに、他方の分割画像データが記憶された記憶部においては上記所定の記憶領域を読み出した後上記他方の分割画像データを読み出して第２の描画点データ群を取得し、第１の描画点データ群と第２の描画点データ群に基づいてフレームデータを作成するようにしたので、従来のような複雑な制御を行うことなく、ただ単に２つの記憶部のデータをそれぞれ読み出すという簡易な制御を行うことによって、２つの記憶部に跨って記憶された描画点データをそれぞれ取得してフレームデータを作成することができる。
【００２１】
本発明の第２のフレームデータ作成方法および装置についても上記本発明の第１のフレームデータ作成方法および装置と同様の効果を得ることができる。
【００２２】
本発明の第３のフレームデータ作成方法および装置によれば、複数の分割画像に対応した複数の分割画像データを生成し、その各分割画像データを複数の記憶部にそれぞれ記憶するとともに、隣接する分割画像データのうちの上流側の分割画像データにおける下流側の一部の部分画像データを、下流側の分割画像データが記憶された記憶部に記憶し、フレームデータの各描画点データが、上記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、下流側の分割画像データが記憶された記憶部から部分画像データを読み出した後上記下流側の分割画像データを読み出すことによってフレームデータを作成するようにしたので、従来のような複雑な制御を行うことなく、ただ単に１つの記憶部に記憶された部分画像データと分割画像データとを読み出すという簡易な制御を行うことによって、２つの記憶部に跨って記憶された描画点データをそれぞれ取得してフレームデータを作成することができる。
【００２３】
本発明の描画方法および装置の効果については、上記第１から第３のフレームデータ作成方法および装置の効果と同様である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明のフレームデータ作成方法および装置の第１の実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。
【００２５】
本発明の第１の実施形態を用いた露光装置は、本発明における描画点形成部としてＤＭＤを用いた露光装置であって、そのＤＭＤへ入力されるフレームデータの作成方法に特徴を有するものであるが、まず、本露光装置の全体の構成について説明する。図１は、本発明の第１の実施形態を用いた露光装置１０の概略構成を示す斜視図である。
【００２６】
露光装置１０は、図１に示すように、感光材料１２を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。そして、４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。
【００２７】
設置台１８の中央部には、移動ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側にはスキャナ２４が設けられ、他方の側には感光材料１２の先端および後端を検知する複数（たとえば２個）のセンサ２６が設けられている。スキャナ２４およびセンサ２６はゲート２２に各々取り付けられて、移動ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ２４およびセンサ２６は、これらを制御する、後述する全体制御部に接続されている。
【００２８】
スキャナ２４は、図２および図３（Ｂ）に示すように、２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０を備えている。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド３０ｍｎと表記する。
【００２９】
各露光ヘッド３０は、空間光変調素子であるＤＭＤ３６を備えている。ＤＭＤ３６は、描画素子としてのマイクロミラーが一列に配置されたマイクロミラー列が、複数平行に配列されたものであり、そのマイクロミラー列の配列方向が走査方向と所定の傾斜角度θをなすように露光ヘッド３０に取り付けられている。したがって、各露光ヘッド３０による露光エリア３２は、図２および図３（Ｂ）に示すように、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア３２ｍｎと表記する。
【００３０】
ＤＭＤ３６の光入射側には、光ファイバの発光点が露光エリア３２の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたファイバアレイ光源（図示省略）とファイバアレイ光源から出射されたレーザ光を平行光化し、その平行光化されたレーザ光の光量分布が均一になるように補正してＤＭＤ３６上に集光する集光レンズ系（図示省略）とが設けられている。
【００３１】
また、ＤＭＤ３６の光反射側には、ＤＭＤ３６で反射されたレーザ光を感光材料１２０の描画面に結像する結像レンズ系（図示省略）が配置されている。
【００３２】
そして、図３（Ａ）に示すように、ステージ１４の移動に伴い、感光材料１２には露光ヘッド３０ごとに帯状の露光済み領域３４が形成されるが、その帯状の露光済み領域３４のそれぞれが、隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド３０の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア３２１１と露光エリア３２１２との間の露光できない部分は、２行目の露光エリア３２２１により露光することができる。
【００３３】
ＤＭＤ３６は、図４に示すように、ＳＲＡＭアレイ（メモリセル）５６上に、マイクロミラー５８が支柱により支持されて配置されたものであり、多数の（例えば、ピッチ１３．６８μｍ、１０２４個×７６８個）のマイクロミラー５８が、直交する方向に２次元状に配列されて構成されたミラーデバイスである。そして、上述したようにマイクロミラー５８の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭアレイ５６が配置されている。
【００３４】
ＤＭＤ３６のＳＲＡＭアレイ５６に制御信号としてのデジタル信号が書き込まれると、そのデジタル信号に応じた制御電圧が、マイクロミラー５８毎に設けられた電極部（図示せず）に印加され、その制御電圧の印加により発生した静電気力によって支柱に支えられたマイクロミラー５８が、対角線を中心として±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図５（Ａ）は、マイクロミラー５８がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図５（Ｂ）は、マイクロミラー５８がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。そして、マイクロミラー５８がオン状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２に向けて反射され、マイクロミラー５８がオフ状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２以外の光吸収材料に向けて反射される。そして、１つのマイクロミラー５８により反射された光Ｂが感光材料１２に照射されることによって、露光対象である画像を構成する１つの描画点が感光材料１２上に露光される。
【００３５】
また、露光装置１０においては、上述したようにＤＭＤ３６が、そのマイクロミラー列３６ａの配列方向が走査方向と所定の傾斜角度θ（ただし、０°＜θ＜９０°）をなすように露光ヘッド３０に取り付けられているので（図６参照）、各マイクロミラー５８の露光軌跡のピッチをマイクロミラー５８の配列ピッチよりも狭くすることができる。
【００３６】
次に、露光装置１０の電気的構成について説明する。
【００３７】
露光装置１０は、図７に示すように、感光材料１２上に露光される露光対象画像を表す露光画像データを出力する画像データ出力装置７０から出力された露光画像データを記憶する露光画像データ記憶手段６１と、露光画像データ記憶手段６１に記憶された露光画像データに基づいてフレームデータを作成するフレームデータ作成部６２と、フレームデータ作成部６２から出力されたフレームデータに基づいてＤＭＤ３６に制御信号を出力するＤＭＤコントローラ６３と、露光装置全体を制御する全体制御部６０とを備えている。また、全体制御部６０は、ステージ１４を駆動するステージ駆動装置８０とファイバアレイ光源９０の動作を制御するものである。
【００３８】
露光画像データ記憶手段６１は、図８に示すように、第１のメモリ６１ａと第２のメモリ６１ｂとを備えている。そして、第１のメモリ６１ａには、感光材料１２に露光される露光対象画像のうちの上流側半分の部分露光対象画像に対応する第１の分割露光画像データが記憶され、第２のメモリ６１ｂには、感光材料１２に露光される露光対象画像のうちの下流側半分の部分露光対象画像に対応する第２の分割露光画像データが記憶される。なお、全体制御部６０は、画像データ出力装置７０から出力された露光画像データを、上記第１の分割露光画像データと上記第２の分割露光データとに分割し、それぞれの分割露光画像データを上記のように第１のメモリ６１ａと第２のメモリ６１ｂに記憶するよう制御する記憶制御部６０ａを備えている。
【００３９】
そして、記憶制御部６０ａは、上記のように第１のメモリ６１ａに第１の分割露光画像データを記憶し、第２のメモリ６１ｂに第２の分割露光画像データを記憶するが、その際、図８に示すように、第１の分割露光画像データと第２の分割露光画像データとの境界部分に対応するメモリの記憶領域にダミー領域を設けるものである。そして、このダミー領域には０のデータが記憶される。なお、露光画像データは２値データであり、露光する点については１、露光しない点ついては０として構成されている。そして、上記のようにして第１のメモリ６１ａと第２のメモリ６１ｂとに記憶された第１の分割露光画像データおよび第２の分割画像データがフレームデータ作成部６２により読み出されてフレームデータが作成される。
【００４０】
ここで、図９に、各メモリに記憶された各分割露光画像データＤの各画素データｄとその各画素データｄが入力される各マイクロミラー５８との対応関係を表す模式図を示す。図９における丸１〜丸２４は、ＤＭＤ３６のマイクロミラー５８を模式的に示したものである。なお、本実施形態においては、図９に示すように、露光画像データＤの解像度は、ＤＭＤ３６のマイクロミラー５８の解像度よりも高いものとする。
【００４１】
フレームデータ作成部６２は、図９における丸１〜丸２４に対応する画素データｄを順次メモリから読み出すことによって１つのフレームデータを作成し、その後順次丸１〜丸２４を走査方向に１画素ずつずらす毎に、それぞれ丸１〜丸２４に対応する画素データｄを順次読み出すことによって、感光材料１２に対するＤＭＤ３６の位置に対応した各フレームデータを作成していくものである。フレームデータ作成部６２の作用については、後に詳述する。
【００４２】
第１のメモリ６１ａおよび第２のメモリ６１ｂとしては、たとえば、ＤＲＡＭを用いることができるが、高速読出しが可能なＤＤＲメモリを用いることが望ましい。
【００４３】
次に、露光装置１０の作用について詳細に説明する。
【００４４】
まず、コンピュータなどの画像データ出力装置７０において、感光材料１２に露光される露光対象画像に応じた露光画像データが作成され、その露光画像データが露光装置１０に出力される。
【００４５】
そして、露光装置１０に入力された露光画像データは、上述したように記憶制御部６０ａによって第１の分割露光画像データと第２の分割露光画像データとに分割され、それぞれ第１のメモリ６１ａと第２のメモリ６１ｂとにダミー領域を設けて記憶される。
【００４６】
ここで、図１０に、フレームデータ作成部６２により読み出されるフレームデータを矢印で表した模式図を示す。
【００４７】
フレームデータ作成部６２は、まず、読み出されるフレームデータの画素データが全て第１のメモリ６１ａに記憶された第１の分割露光画像データに属する場合には、図１０に示すように、第１のメモリ６１ａに記憶された第１の分割露光画像データの画素データを上述したように順次読み出すことによって描画点データを取得して各フレームデータを作成していく。
【００４８】
そして、フレームデータ作成部６２は、読み出されるフレームデータの一部の画素データが第１のメモリ６１ａに記憶された第１の分割露光画像データに属し、上記一部以外の画素データが第２のメモリ６１ｂに記憶された第２の分割露光画像データに属する場合には、つまり、フレームデータの画素データが第１のメモリ６１ａと第２のメモリ６１ｂとに跨って記憶されている場合には、図１１に示すように、第１のメモリ６１ａにおいては、第１の分割露光画像データにおける上記一部の画素データを読み出した後、上記一部以外の画素データに対応するダミー領域の０データを読み出す。そして、第２のメモリ６１ｂにおいては、上記一部の画素データに対応するダミー領域の０データを読み出した後、第２の分割露光画像データにおける上記一部以外の画素データを読み出す。
【００４９】
より具体的には、たとえば、図９における丸１〜丸２１に対応する画素データが第１の分割露光画像データに属し、丸２２〜丸２４に対応する画素データが第２の分割露光画像データに属する場合には、フレームデータ作成部６２は、第１のメモリ６１ａからは、第１の分割露光画像データにおける丸１〜丸２１に対応する画素データを読み出した後、丸２２〜丸２４に対応するダミー領域における０データを読み出す。そして、第２のメモリ６１ｂからは、丸１〜丸２１に対応するダミー領域における０データを読み出した後、第２の分割露光画像データにおける丸２２〜丸２４に対応する画素データを読み出す。
【００５０】
そして、図１２に示すように、上記のようにして第１のメモリ６１ａから読み出された丸１〜丸２１に対応する画素データおよび丸２２〜丸２４に対応する０データからなる第１のダミー描画点データ群をフレームデータ作成部６２における第１のバッファ６２ａに記憶するとともに、上記のようにして第２のメモリ６１ｂから読み出された丸１〜丸２１に対応する０データおよび丸２２〜丸２４に対応する画素データからなる第２のダミー描画点群を第２のバッファ６２ｂに記憶する。そして、フレームデータ作成部６２は、第１のバッファ６２ａと第２のバッファ６２ｂに記憶されたデータを同期してそれぞれ１つずつ読み出し、その読み出されたデータの論理和（ｏｒ）を演算することにより丸１〜丸２４に対応する描画点データを取得してフレームデータを作成する。
【００５１】
そして、次に、フレームデータ作成部６２は、読み出されるフレームデータの画素データが全て第２のメモリ６１ｂに記憶された第２の分割露光画像データに属する場合には、図１３に示すように、第２のメモリ６１ｂに記憶された第２の分割露光画像データの画素データを上述したように順次読み出すことによって描画点データを取得して各フレームデータを作成していく。
【００５２】
フレームデータ作成部６２は、上記のようにして第１のメモリ６１ａおよび第２のメモリ６２ｂからそれぞれ画素データを順次読み出していくことによって全てのフレームデータを作成する。
【００５３】
なお、上記のように第１のメモリ６１ａおよび第２のメモリ６２ｂから読み出した複数の画素データをそのまま描画点データとして取得してフレームデータを作成するようにしてもよいが、これに限らず、上記取得した描画点データに所定の処理、たとえば、画質向上のための種々の調整処理などを施してフレームデータを作成するようにしてもよい。
【００５４】
そして、フレームデータ作成部６５は、上記のようにして作成した各フレームデータを順次ＤＭＤコントローラ６６に出力し、ＤＭＤコントローラ６６は入力されたフレームデータに応じた制御信号を生成する。なお、上記のようなフレームデータは各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６毎に作成され、ＤＭＤ３６毎に制御信号が生成される。
【００５５】
そして、上記のようにして各露光ヘッド３０毎の制御信号が生成されるとともに、全体制御部６０からステージ駆動装置８０にステージ駆動制御信号が出力され、ステージ駆動装置８０はステージ駆動制御信号に応じて移動ステージ１４をガイド２０に沿ってステージ移動方向へ所望の速度で移動させる。そして、移動ステージ１４がゲート２２下を通過する際、ゲート２２に取り付けられたセンサ２６により感光材料１２の先端が検出されると、ＤＭＤコントローラ６５から各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６に制御信号が出力され、各露光ヘッド３０毎の描画が開始される。
【００５６】
そして、感光材料１２が移動ステージ１４とともに一定速度で移動し、感光材料１２がスキャナ２４によりステージ移動方向と反対の方向に走査され、露光ヘッド３０毎に帯状の露光済み領域３４が形成される。
【００５７】
上記のようにして、スキャナ２４による感光材料１２の走査が終了し、センサ２６で感光材料１２の後端が検出されると、移動ステージ１４は、ステージ駆動装置７２により、ガイド２０に沿ってゲート２２の最上流側にある原点に復帰し、新たな感光材料１２が設置された後、再度、ガイド２０に沿ってゲート２２の上流側から下流側に一定速度で移動する。
【００５８】
本発明の第１の実施形態を用いた露光装置によれば、フレームデータの画素データが第１のメモリ６１ａに記憶されている第１の分割露光画像データと第２のメモリ６１ｂに記憶されている第２の分割露光画像データとに跨って属している場合には、上記のように第１および第２のメモリ６１ａ,６１ｂにそれぞれダミー領域を設け、第１のメモリ６１ａにおいては第１の分割露光画像データを読み出した後上記ダミー領域を読み出して第１のダミー描画点データ群を取得するとともに、第２のメモリ６１ｂにおいては上記ダミー領域を読み出した後第２の分割露光画像データを読み出して第２のダミー描画点データ群を取得し、第１のダミー描画点データ群と第２のダミー描画点データ群に基づいて上記フレームデータを作成するようにしたので、従来のような複雑な制御を行うことなく、ただ単に２つのメモリのデータをそれぞれ読み出すという簡易な制御を行うことによって、２つのメモリに跨って記憶された画素データをそれぞれ取得してフレームデータを作成することができる。なお、上記第１の実施形態においては、第１の分割露光画像データと第２の分割露光画像データととともに、０データからなるダミー領域を第１のメモリ６１ａと第２のメモリ６１ｂとにそれぞれ設けるようにしたが、必ずしも０データからなる記憶領域を設ける必要はなく、その他の画素データからなる所定の記憶領域（クリア領域）を設けるようにしてもよい。その場合には、たとえば、第１のメモリ６１ａと第２のメモリ６１ｂとからそれぞれ順次読み出される各第１の描画点データ群および各第２の描画点データ群に対し、上記第１の分割露光画像データおよび第２の分割露光画像データから読み出された画素データについては有効とし、上記所定の記憶領域から読み出された画素データについては強制的に０にするようなマスク処理を施し、そのマスク処理の施された第１の描画点データ群と第２の描画点データ群との論理和を演算することによって、フレームデータを取得するようにしてもよい。なお、上記マスク処理を施すためのマスクについては、各第１の描画点データ毎および各第２の描画点データ毎に設定すればよい。そして、たとえば、読み出されるフレームデータの数をカウントし、そのカウント数に応じたマスクを順次選択し、その選択されたマスクを用いて第１の描画点データ群および第２の描画点データ群にマスク処理を順次行うようにすればよい。
【００５９】
また、上記第１の実施形態においては、感光材料１２に露光される露光対象画像を走査方向に分割し、その分割された部分露光対象画像に対応する第１の分割露光画像データおよび第２の分割露光画像データを２つのメモリにそれぞれ記憶した場合におけるフレームデータの作成方法について説明したが、走査方向に分割する場合に限らず、たとえば、走査方向に直交する方向に露光対象画像を分割し、その分割された部分露光対象画像に対応する第１の分割露光画像データおよび第２の分割露光画像データを２つのメモリにそれぞれ記憶した場合においても、本発明のフレームデータ作成方法を利用することができる。その場合においても、隣接する分割露光画像データが記憶される２つのメモリにおける、上記隣接する分割露光画像データの境界部分にダミー領域などの所定の記憶領域をそれぞれ設け、フレームデータに属する画素データが、上記隣接する分割画像データにそれぞれ属する場合には、２つのメモリのうち一方の分割露光画像データが記憶されたメモリからは上記一方の分割画像データを読み出した後上記所定の記憶領域を読み出して第１の描画点データ群を取得するとともに、他方の分割画像データが記憶されたメモリからは上記所定の記憶領域を読み出した後上記他方の分割画像データを読み出して第２の描画点データ群を取得し、第１の描画点データ群と第２の描画点データ群に基づいて上記と同様にしてフレームデータを作成するようにすればよい。
【００６０】
次に、本発明のフレームデータ作成方法および装置の第２の実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。
【００６１】
本発明の第２の実施形態を用いた露光装置は、その構成はほぼ上記第１の実施形態を用いた露光装置と同様であるが、第１の実施形態を用いた露光装置とは、第１のメモリ６１ａと第２のメモリ６１ｂへの記憶するデータとその読み出し方法が異なる。
【００６２】
第２の実施形態を用いた露光装置においては、図１４に示すように、第１のメモリ６１ａには第１の分割露光画像データが記憶され、第２のメモリ６１ｂには第２の分割露光画像データと第１の分割露光画像データの一部である部分露光画像データとが記憶される。この部分露光画像データは、第１の分割露光画像データのうち下流側の第１の分割露光画像データである。
【００６３】
より具体的には、たとえば、図１５に示す行Ｌｓ〜行Ｌｅの間の記憶領域に記憶された画素データが部分露光画像データとして読み出され、この読み出された部分露光画像データが第２のメモリ６１ｂにおける第２の分割露光画像データが記憶された記憶領域の直前の記憶領域に記憶される。なお、行Ｌｅは、第１のメモリ６１ａにおける第１の分割領域画像データが記憶された記憶領域の最後の行である。
【００６４】
そして、第２の実施形態のフレームデータ作成部６２は、まず、読み出されるフレームデータの画素データが全て第１のメモリ６１ａに記憶された第１の分割露光画像データに属する場合には、上記第１の実施形態と同様に、第１のメモリ６１ａに記憶された第１の分割露光画像データの画素データを順次読み出すことによって各フレームデータを作成していく。
【００６５】
そして、フレームデータ作成部６２は、丸２４に対応する最後の画素データが第１の分割露光画像データから読み出された後は、つまり図１５における丸１〜丸２４の画素データが読み出された後は、第２のメモリ６１ｂの部分露光画像データの読み出しを開始する。
【００６６】
具体的には、フレームデータ作成部６２は、上記のように丸２４に対応する最後の画素データを読み出した後、図１６に示すように、第２のメモリ６１ｂに記憶された部分露光画像データにおける丸１〜丸２３に対応する画素データを読み出した後、第２の分割露光画像データにおける丸２４に対応する画素データを読み出す。なお、このとき図１６に示すように、部分露光画像データの２行目からフレームデータの読出しが開始される。つまり、このとき読み出されたフレームデータは、第１のメモリ６１ａから読み出された最後のフレームデータの次のフレームデータということになる。
【００６７】
そして、その後順次丸１〜丸２４を走査方向に１画素ずつずらす毎に、それぞれ丸１〜丸２４に対応する画素データを部分露光画像データおよび第２の分割露光画像データから順次読み出すことによって各フレームデータが作成される。
【００６８】
フレームデータが作成された後の露光の作用については上記第１の実施形態を用いた露光装置と同様である。
【００６９】
本発明の第２の実施形態を用いた露光装置によれば、フレームデータの画素データが第１のメモリ６１ａに記憶されている第１の分割露光画像データと第２のメモリ６１ｂに記憶されている第２の分割露光画像データとに跨って属している場合には、上記のように第１の分割露光画像データにおける部分露光画像データを第２のメモリ６１ｂに記憶し、第２のメモリ６１ｂにおいて上記部分露光画像データを読み出した後第２の分割露光画像データを読み出すようにしたので、従来のような複雑な制御を行うことなく、ただ単に第２のメモリ６１ｂに記憶された部分露光画像データと分割露光画像データとを読み出すという簡易な制御を行うことによって、２つのメモリに跨って記憶された画素データをそれぞれ取得して上記フレームデータを作成することができる。
【００７０】
また、上記実施形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光装置について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。
【００７１】
また、上記実施形態では、いわゆるフラッドベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプの露光装置としてもよい。
【００７２】
また、上記実施形態の露光対象である感光材料１２は、プリント基板や、ディスプレイ用のフィルタであってもよい。また、感光材料１２の形状は、シート状のものであっても、長尺状のもの（フレキシブル基板など）であってもよい。
【００７３】
また、本発明における描画方法および装置は、インクジェット方式などのプリンタにおける描画制御にも適用することができる。たとえば、インクの吐出による描画点を、本発明と同様の方法で制御することができる。つまり、本発明における描画素子を、インクの吐出などによって描画点を打つ素子に置き換えて考慮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明のフレームデータ作成方法および装置の第１の実施形態を用いた露光装置の外観を示す斜視図
【図２】図１に示す露光装置のスキャナの構成を示す斜視図
【図３】感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図（Ａ）、各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図（Ｂ）
【図４】図１の露光装置のＤＭＤの構成を示す部分拡大図
【図５】ＤＭＤの動作を説明するための斜視図
【図６】ＤＭＤの各マイクロミラーの露光軌跡を示す図
【図７】図１に示す露光装置における電気的構成を示すブロック図
【図８】図７に示す画像データ記憶手段の構成を示す図
【図９】フレームデータ作成部の作用を説明するための図
【図１０】フレームデータ作成部の作用を説明するための図
【図１１】フレームデータ作成部の作用を説明するための図
【図１２】フレームデータ作成部の作用を説明するための図
【図１３】フレームデータ作成部の作用を説明するための図
【図１４】本発明のフレームデータ作成方法および装置の第２の実施形態の作用を説明するための図
【図１５】本発明のフレームデータ作成方法および装置の第２の実施形態の作用を説明するための図
【図１６】本発明のフレームデータ作成方法および装置の第２の実施形態の作用を説明するための図
【符号の説明】
【００７５】
１０    露光装置
１２    感光材料
１４    移動ステージ
２４    スキャナ
３０    露光ヘッド
３６    ＤＭＤ（描画点形成部）
３６ａ  マイクロミラー列（描画素子群）
５６    ＳＲＡＭアレイ
５８    マイクロミラー（描画素子）
６０    全体制御部（画像形成制御手段）
６１ａ  第１のメモリ（記憶部）
６１ｂ  第２のメモリ（記憶部）
６０ａ  記憶制御部
６２    フレームデータ作成部
８０    ステージ駆動装置（移動手段）
【図１】
2006272854.tif 000003
【図２】
2006272854.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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