(57)【要約】【課題】  圧電素子などの部品を小さくすることなく、パッケージを小型に形成して、デバイス全体の小型化を図るようにしても、パッケージ側と干渉するおそれのない吸着治具を提供すること。【解決手段】  本体５２下端に部品３２を吸着するための部品の吸着治具５１であって、前記本体の内部を貫通する通気路５８とを有しており、前記本体の前記通気路が開口する下端面が、複数の傾斜面５４，５４，５７，５７で構成される所定の開き面とされていて、かつ前記本体の下端に前記部品３２を吸着した状態において、前記本体の少なくとも下端部においてその外周の少なくとも一部が、前記部品の外縁よりも内側に配置されるように、前記本体に外形除去部５６を設けた。【選択図】  図３
2006261209.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体下端に部品を吸着するための部品の吸着治具であって、
前記本体の内部を貫通する通気路と
を有しており、
前記本体の前記通気路が開口する下端面が、複数の傾斜面で構成される所定の開き面とされていて、
かつ前記本体の下端に前記部品を吸着した状態において、前記本体の少なくとも下端部においてその外周の少なくとも一部が、前記部品の外縁よりも内側に配置されるように、前記本体に外形除去部を設けた
ことを特徴とする部品の吸着治具。
【請求項２】
前記部品の吸着治具が、圧電素子を吸着して、パッケージ内に移載する治具であり、前記本体の前記外形除去部は、前記パッケージ内の電極パッドを設けるための段部に対応して形成されていることを特徴とする請求項１に記載の部品の吸着治具。
【請求項３】
前記部品の吸着治具が、前記パッケージの矩形の収容部内に前記圧電素子を移載する治具であり、前記本体がほぼ矩形に形成されており、前記本体の下端部の少なくとも一対の対角位置に前記外形除去部が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の部品の吸着治具。
【請求項４】
前記本体の下端部の各角部に前記外形除去部が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の部品の吸着治具。
【請求項５】
前記部品の吸着治具が、前記パッケージの矩形の収容部内に前記圧電素子を移載する治具であり、前記本体がほぼ矩形に形成されており、該本体の下端部の互いに対向する一対の辺の中間部に前記外形除去部が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の部品の吸着治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装工程などにおいて、ワークである部品を吸着するための吸着治具に係り、特にパッケージ内の狭い収容部に部品を移載するのに適した部品の吸着治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やテレビ受像機等の電子部品や通信部品において、パッケージ内に圧電振動片や弾性表面波チップなどの圧電素子を収容した圧電デバイスが広く使用されている。このような圧電デバイスでは、矩形のパッケージ内に圧電素子を収容して気密に封止した構造が採用されている。
そして、このような圧電デバイスの製造工程においては、パッケージ内に圧電素子などの電子部品を収容して固定する際には、「コレット」と呼ばれる部品の吸着治具が用いられている（特許文献１参照）。
【０００３】
図１１は、上記特許文献１に記載された圧電デバイスのパッケージとほぼ同じパッケージを小型に形成して、圧電素子を収容した例を示しており、従来の圧電デバイス１の概略平面図である。
図において、圧電デバイス１は、例えば、共振子や帯域フィルタ等の弾性表面波装置（ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ）デバイス）を構成した例である。
この圧電デバイスは、セラミックス製の矩形のパッケージ２に形成した矩形の収容部３内に、圧電素子である例えば弾性表面波チップ５を収容している。
弾性表面波チップ５は、圧電基板８の一面（能動面）に、一対のすだれ状電極もしくは櫛型電極（以下、「ＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）」という）６，６と、ＩＤＴ６，６を両側から挟む位置に配置される反射器７，７が形成されている。
【０００４】
図１１および図１２に示すように、パッケージ２の矩形の収容部３の幅方向の両端部には、該収容部３の長さ方向に延びる段部４，４が形成されており、各段部４，４の上面は、図５に示すようにいくつかに区分して電極パッドが設けられている。
各段部４，４の電極パッドは、弾性表面波チップ５のＩＤＴ６，６の端子に対して、ワイヤボンディングにより接続されることができる。
これにより、パッケージ２の図示しない外部端子から段部４，４の電極パッドに駆動電圧が印加され、ＩＤＴ６，６に伝えられるようになっている。
【０００５】
ここで、このような圧電デバイス１の製造工程においては、パッケージ２の収容部３に弾性表面波チップ５を接合する場合に、収容部３の内側の露出した底部に接着剤などを適用し、その上から弾性表面波チップ５を載置して、接着剤を硬化させることにより行っている。
弾性表面波チップ５をパッケージ２に収容するために、弾性表面波チップ５を移載するためには、図１２に示すような吸着治具としてのコレット１０が用いられている。
このコレット１０は、その本体１１の下端に弾性表面波チップ５を負圧により吸着して保持するものであるが、弾性表面波チップ５は、上述したように、圧電基板の一面（能動面）にＩＤＴなどの電極を形成した構造であるため、圧電素子の上面に本体１１を当接させた状態で吸着すると、電極が破損するおそれがある。
【０００６】
そこで、コレット１０においては、本体１１を以下のような構造としている。
すなわち、本体１１の内部には、縦方向に通気路１２が延びており、矢印方向に空気を吸引するようになっている。本体１１の下端には、通気路１２の開口１３が形成されることによって、本体１１の下端に弾性表面波チップ５を吸着するようにされている。
この本体１１の下端は、水平な面ではなく、傾斜面１４，１４とされており、この傾斜面１４，１４が、吸着対象である弾性表面波チップ５の上端の稜部に当接することで、電極部を損傷しないようになっている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−２５７２２１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、圧電デバイス１は、近年、小型、薄型化が進展しており、圧電素子を納めるパッケージのサイズは、従来４．８ｍｍ×５．２ｍｍ程度であったものが、３．８ｍｍ×３．８ｍｍ程度に小型化しており、さらに小さくする要請がある。
このため、上述のように、コレットを用いてパッケージ２の収容部３内に圧電素子を収容する上では、以下のような制約が生じている。
【０００９】
すなわち、パッケージサイズを小型化しても、上述した弾性表面波チップや圧電振動片といった圧電素子においては、簡単に小型化することは難しい。
例えば、弾性表面波チップ５は、周波数によりＩＤＴ６，６の櫛歯状の電極指の本数が決められるので、チップ長さ方向の寸法を小さくすることは困難である。
特に、図１１および図１２の構成においては、パッケージ２の収容部３内には、パッケージの壁面から段部４，４が内方に張り出している。
このため、図１２に示すように、コレット１０の下端において、符号Ｋ１で示すように突出部分があると、段部４と干渉するおそれがある。
したがって、パッケージ２の小型化が進展すると、その分クリアランスは図１２の場合よりも小さくなるので、従来の吸着治具では、パッケージ側と干渉してしまい、使用することができないという問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、上記課題を解消して、圧電素子などの部品を小さくすることなく、パッケージを小型に形成して、デバイス全体の小型化を図るようにしても、パッケージ側と干渉するおそれのない吸着治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の目的は、第１の発明にあっては、本体下端に部品を吸着するための部品の吸着治具であって、前記本体の内部を貫通する通気路とを有しており、前記本体の前記通気路が開口する下端面が、複数の傾斜面で構成される所定の開き面とされていて、かつ前記本体の下端に前記部品を吸着した状態において、前記本体の少なくとも下端部においてその外周の少なくとも一部が、前記部品の外縁よりも内側に配置されるように、前記本体に外形除去部を設けた部品の吸着治具により、達成される。
第１の発明の構成によれば、この発明の吸着治具は、本体を貫通する通気路で空気を吸引し、吸着対象となる部品を本体の下端に負圧により吸着保持するものである。本体の下端面は、水平な面ではなく、複数の傾斜面により開き面とされているので、部品の表面に本体の下端面が当接することなく、部品の稜部で当接保持される。このため、部品表面の電極などは損傷を受けることがない。しかも部品の吸着状態において、本体の下端の少なくとも一部は前記外形除去部となっていて、前記部品の外縁よりも内側に配置されるから、本体がパッケージの収容部などに入り込んだ際には、周囲にクリアランスが十分存在しなくても、パッケージ側などと干渉することがない。
かくして、圧電素子などの部品を小さくすることなく、パッケージを小型に形成して、デバイス全体の小型化を図るようにしても、パッケージ側と干渉するおそれのない吸着治具を提供することができる。
【００１２】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記部品の吸着治具が、圧電素子を吸着して、パッケージ内に移載する治具であり、前記本体の前記外形除去部は、前記パッケージ内の電極パッドを設けるための段部に対応して形成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、パッケージ内に部品を搭載する場合において、パッケージに段部が形成されていても、吸着治具の本体の外形除去部が、この段部に対応して設けられていれば、パッケージ内部で突出している段部と干渉することがない。
【００１３】
第３の発明は、第２の発明の構成において、前記部品の吸着治具が、前記パッケージの矩形の収容部内に前記圧電素子を移載する治具であり、前記本体がほぼ矩形に形成されており、前記本体の下端部の少なくとも一対の対角位置に前記外形除去部が形成されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、吸着治具の矩形の本体の下端部の少なくとも一対の対角位置に前記外形除去部が形成されていることにより、該外形除去部に対応する箇所に、例えば、パッケージ内の段部などの突出箇所をあわせれば、本体はパッケージ側と干渉することなく、部品を吸着してパッケージ内に入り込むことができる。
【００１４】
第４の発明は、第３の発明の構成において、前記本体の下端部の各角部に前記外形除去部が形成されていることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、吸着治具の矩形の本体の各角部に残らず外形除去部を形成することで、該本体は、一層パッケージ側と干渉するおそれがなくなる。
【００１５】
第５の発明は、第２の発明の構成において、前記部品の吸着治具が、前記パッケージの矩形の収容部内に前記圧電素子を移載する治具であり、前記本体がほぼ矩形に形成されており、該本体の下端部の互いに対向する一対の辺の中間部に前記外形除去部が形成されていることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、パッケージの矩形の収容部の中間付近に段部が形成突出されていても、吸着治具の本体の下端部の互いに対向する一対の辺の中間部に前記外形除去部が形成されていることにより、パッケージの段部と本体とが干渉することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、本発明の実施形態に係る後述する吸着治具を用いて製造する製造対象としての圧電デバイスの実施形態を示す蓋体を除去した概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線切断端面図であり、蓋体が加えられている。
これらの図に示されているように、圧電デバイス３０は、収容体である矩形のパッケージ３１内に収容された部品である圧電素子としての弾性表面波チップ３２を備えている。弾性表面波チップ３２は、図１に示されているように、圧電基板３７と、すだれ状電極であるＩＤＴ（櫛形電極）のＩＤＴ電極３５，３５及び反射器を備えている。
【００１７】
図１および図２において、パッケージ３１は、例えば、絶縁材料であるセラミックグリーンシートを成形して形成される箱状の容器である。
具体的には、図２に示すように、グリーンシートから得られる複数の基板、この実施形態では、下から順に、第１の基板４１、第２の基板４２，第３の基板４３を積層した後、焼結して形成されている。
パッケージ３１は、矩形の収容部３８を有しており、パッケージ３１の上端には、シームリング４７を介して、蓋体３９が接合されて気密に封止されている。
パッケージ３１の内周に形成した（上向き）段部３３，３３には、導通金属による被膜を形成するなどの手法により、電極パッド３４，３４が形成されており、この電極パッド３４，３４は、例えば、導電スルーホールなどにより、パッケージ３１の底面に露出させて形成した実装電極４５，４５（外部電極）と接続されている。
【００１８】
また、図２に示されているように、パッケージ３１の矩形の収容部３８の内側底面には、例えば、接着剤４６を用いて、部品としての弾性表面波チップ３２が接合されている。そして、弾性表面波チップ３２の各電極端子３５ａ，３５ａは、パッケージ３１の電極パッド３４，３４と図示するようにワイヤボンディングされて電気的に接続されている。
図１ないし図３に示すように、矩形の収容部３８内には、積層基板のうちの第２の基板４２により段部３３，３３が形成されている。
【００１９】
すなわち、矩形の収容部３８は、第２の基板４２と第３の基板４３の内側の材料を除去することにより形成されている。この場合、第２の基板４２については、矩形の収容部３８のひとつの対角部（対角位置）に段部３３，３３を形成するようにしている。
このため、図１に示すように、パッケージ３１の矩形の収容部３８においては、圧電素子３２を収容する場合に、上記段部３３に近接する箇所においては、クリアランスＣ１がきわめて小さい。
【００２０】
本実施形態の吸着治具は、このような場合に、吸着対象部品である圧電素子３２を好適に移載することができるものである。
吸着治具としてのコレット５１は、図３に示すように、圧電素子３２を吸着した状態で、矢印Ｂに示す方向に回動されることで、パッケージ３１に対して、水平な面内で圧電素子３２の向きを調整したうえで、下降され、図２で説明した接着剤４６の上に搭載されて、接着剤が硬化されることにより、接合される。
その後、上述したように、圧電素子３２のＩＤＴの端子部３５ａ，３５ａはワイヤボンディングによりパッケージ側の段部３３，３３の電極パッド３４，３４と電気的に接続される。接着剤が硬化されることで、圧電素子３２が実装された後においては、例えば窒素雰囲気下で、図２の蓋体３９が気密に接合される。
【００２１】
ここで、上記工程では、圧電素子３２を吸着する吸着治具の第１の実施形態としてのコレット５１は、図３のように構成されている。
ここで、圧電素子３２は、図１で説明したように、圧電基板３７の能動面にＩＤＴなどの電極を形成している関係から、当該能動面に接触あるいは当接するようにして、吸着する治具を用いると、圧電素子３２の電極が損傷してしまう。
そのため、コレット５１は、矩形の圧電素子３２の外周の稜部に当接する構成とされている。
【００２２】
この第１の実施形態のコレット５１は、図３にその概略斜視図が示されている。
図において、コレット５１は、例えば超鋼、ないしは超硬合金（Ｗｃ−Ｃｏ系合金など）の金属で形成した矩形、すなわち、多角形の本体５２と、本体５２の中心に接続される通気管５３と、通気管５３に連通し、本体５２を縦方向に貫通して本体５２の底部に開口５９を有する通気路５８とを備えている。通気管５３の他端には、真空ポンプなどの真空引き手段が接続されている。
さらに、本体５２の底部には、複数の傾斜面が形成されている。
このうち傾斜面５４，５４は、上辺をそれぞれ開口５９の位置とし、それぞれ本体５２の幅方向に沿って互いに離間する方向に次第に傾斜しながら各下辺に達するようにされている。
傾斜面５７，５７は、上端がそれぞれ開口５９の高さであり、それぞれ本体５２の長さ方向に沿って互いに離間する方向に次第に傾斜しながら各下辺に達するようにされている。これにより、本体５２の下端面は、中央部が凹状、すなわち、図３においては高い位置であり、周辺にいくに従って下方へ突出する開き面とされている。
また、本体５２の下端の一対の対角部は、斜めに切除されることで、外形として突出する箇所を除去した面取り部もしくは外形除去部５６，５６とされている。なお、図３において、理解の便宜のため、鎖線で示した箇所が矩形を基本とする本体５２から除去された領域を仮想的に示した領域である。
【００２３】
これにより、コレット５１は、通気管５３を介して通気路５８から空気を吸引することにより、本体５２の下端に開口５９を中心として負圧領域を形成する。これにより、本体５２の下端に圧電素子３２を吸着するが、この際、本体５２の下面は中央部に向かって内側に傾斜する複数の傾斜面５４，５４，５７，５７で形成されているため、圧電素子３２の図において上面である能動面に当接もしくは接触することがない。
すなわち、各傾斜面の下辺の箇所が、圧電素子３２の外縁の稜線の箇所と当接するので、圧電素子３２の能動面に形成されたＩＤＴなどの電極に触れることがなく、該電極を損傷するおそれがない。
【００２４】
また、本体５２の下端の一対の対角部は、斜めに切除されることで、外形除去部または面取り部５６，５６とされているから、この対角部が圧電素子３２の外方に突出することがない。
このため、図３から理解されるように、パッケージ３１の矩形の収容部３８内で突出している段部３３に対して、本体５２の図において手前側の外形除去部５６が位置することで、当該段部３３に干渉することがない。このように、コレット５１は、パッケージ３１の図１で説明した狭小なクリアランスＣ１しかない箇所では、吸着した部品である圧電素子３２の外側に突出することがないから、該段部３３に干渉することなく、圧電素子３２をパッケージ３１の矩形の収容部３８に好適に収容することができる。
かくして、第１の実施形態によれば、部品である圧電素子３２を小さくすることなく、パッケージ３１側を小型化した場合においても、コレット５１は、パッケージ３１内に突出した段部３３を避けて圧電素子３２を移載することができる。
【００２５】
図４は、吸着治具の第２の実施形態を示している。
図４（ａ）は、第２の実施形態としてのコレット５１−１の概略平面図、図４（ｂ）はその概略正面図、図４（ｃ）はその概略底面図、図４（ｄ）はその概略側面図である。
図において、コレット５１−１は、図３で説明したコレット５１と近似しており、同一の構成部分には共通の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００２６】
このコレット５１−１は、図３のコレット５１と比較すると、本体５２の下端面を構成する傾斜面の数が異なる。すなわち、図３のコレット５１は該傾斜面が２種類以上ある（傾斜面５４，５７など）のに対して、このコレット５１−１では、本体５２の下端面が２つの対となった傾斜面５４，５４だけで構成されている。
したがって、このコレット５１−１は、図４（ｄ）に示されているように、本体５２の側面部が大きく切りかかれていることから、部品を吸着して移載する場合に、周囲に対して干渉する可能性がその分だけ低くなる。そのような作用効果を除き、コレット５１−１は第１の実施形態と同様の作用効果を発揮することができるものである。
【００２７】
次に図５のような圧電デバイス３０−１を製造する際に好適な第３の実施形態に係る吸着治具について説明する。
図５の圧電デバイス３０−１は、図１の圧電デバイス３０とほぼ同じ構成であり、同一の符号を付した箇所は共通する構成である。図５の圧電デバイス３０−１が図１の圧電デバイス３０と相違しているのは、圧電デバイス３０−１の場合、矩形のパッケージ３１の矩形の収容部３８内で、互いに対向する一対の辺に関してそのほぼ中央部に段部３３，３３が形成されて、その上面に電極パッド３４，３４が設けられている点である。
【００２８】
このため、第３の実施形態に係る吸着治具としてのコレット６１は、図６に示すように構成されている。図６において、図３のコレット５１と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
図６（ａ）は、第３の実施形態としてのコレット６１の概略平面図、図６（ｂ）はその概略正面図、図６（ｃ）はその概略底面図、図６（ｄ）はその概略側面図である。
【００２９】
図において、コレット６１の本体５２の下端面を構成する傾斜面５４，５４，５７，５７は第１の実施形態と同じであるが、この実施形態では、図６（ａ）や図６（ｃ）から明らかなように、矩形の本体５２の互いに対向する一対の辺６３，６３の各中央部に、コレット６１の本体５２の幅を縮めるように、切欠き状の外形除去部６６，６６が形成されている。外形除去部６６，６６は、本体５２の長辺に設けられているが、長辺には限らない。外形除去部６６，６６が設けられる位置は、吸着対象となる部品を図５のパッケージ３１に移載する際に、その段部３３，３３と対応する位置である。
かくして、本実施形態のコレット６１も第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。
【００３０】
図７は、吸着治具の第４の実施形態を示している。
図７（ａ）は、第４の実施形態としてのコレット６１−１の概略平面図、図７（ｂ）はその概略正面図、図７（ｃ）はその概略底面図、図７（ｄ）はその概略側面図である。
図において、コレット６１−１は、図６で説明したコレット６１と近似しており、同一の構成部分には共通の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００３１】
このコレット６１−１は、図６のコレット６１と比較すると、本体５２の下端面を構成する傾斜面の数が異なる。すなわち、図６のコレット６１は該傾斜面が２種類以上ある（傾斜面５４，５７など）のに対して、このコレット６１−１では、本体５２の下端面が２つの対となった傾斜面５４，５４だけで構成されている。
したがって、このコレット６１−１は、図７（ｄ）に示されているように、本体５２の側面部が大きく切りかかれていることから、部品を吸着して移載する場合に、周囲に対して干渉する可能性がその分だけ低くなる。そのような作用効果を除き、コレット６１−１は第３の実施形態と同様の作用効果を発揮することができるものである。
【００３２】
次に図８のような圧電デバイス３０−２を製造する際に好適な第５の実施形態に係る吸着治具について説明する。
図８の圧電デバイス３０−２は、図１の圧電デバイス３０とほぼ同じ構成であり、同一の符号を付した箇所は共通する構成である。図８の圧電デバイス３０−２が図１の圧電デバイス３０と相違しているのは、圧電デバイス３０−２の場合、矩形のパッケージ３１の矩形の収容部３８内で、その４隅の全ての箇所に段部３３，３３，３３，３３が形成されて、その一部もしくは全部の上面に電極パッドが設けられている点である。煩雑にわたるので、電極パッドの図示は省略されている。
【００３３】
このため、第５の実施形態に係る吸着治具としてのコレット７１は、図９に示すように構成されている。図９において、図３のコレット５１と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
図９（ａ）は、第５の実施形態としてのコレット７１の概略平面図、図９（ｂ）はその概略正面図、図９（ｃ）はその概略底面図、図９（ｄ）はその概略側面図である。
【００３４】
図において、コレット７１の本体５２の下端面を構成する傾斜面５４，５４，５７，５７は第１の実施形態と同じであるが、この実施形態では、図９（ａ）や図９（ｃ）から明らかなように、矩形の本体５２の４隅に突出する角部を面取りするように、外形除去部７６，７６，７６，７６が形成されている。すなわち、第１の実施形態と比較すると、第１の実施形態が、本体５２の一対の対角部にもに外形除去部を形成したのに対して、本実施形態では、全ての対角部について、外形除去部を形成している。各外形除去部は、図８の説明から明らかなように、パッケージ３１の矩形の収容部３８の各段部３３，３３，３３，３３に対応して設けられている。
かくして、本実施形態のコレット７１も第１の実施形態と同様の作用効果を発揮する。
【００３５】
図１０は、吸着治具の第６の実施形態を示している。
図１０（ａ）は、第６の実施形態としてのコレット７１−１の概略平面図、図１０（ｂ）はその概略正面図、図１０（ｃ）はその概略底面図、図１０（ｄ）はその概略側面図である。
図において、コレット７１−１は、図９で説明したコレット７１と近似しており、同一の構成部分には共通の符号を付して、重複する説明は省略する。
【００３６】
このコレット７１−１は、図９のコレット７１と比較すると、本体５２の下端面を構成する傾斜面の数が異なる。すなわち、図９のコレット７１は該傾斜面が２種類以上ある（傾斜面５４，５７など）のに対して、このコレット７１−１では、本体５２の下端面が２つの対となった傾斜面５４，５４だけで構成されている。
したがって、このコレット７１−１は、図１０（ｄ）に示されているように、本体５２の側面部が大きく切りかかれていることから、部品を吸着して移載する場合に、周囲に対して干渉する可能性がその分だけ低くなる。そのような作用効果を除き、コレット７１−１は第５の実施形態と同様の作用効果を発揮することができるものである。
【００３７】
本発明は上述の各実施形態に限定されない。各実施形態の各構成は実施形態相互に利用することができるし、個々の構成は、これらを適宜省略したり、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、上述の実施形態では、弾性表面波チップに一対のＩＤＴが形成され、その端子は一対であるが、複数対の端子部を備えるＩＤＴなどを備えた弾性表面波チップを用いることができる。その場合、パッケージの収容部に形成される段部も一対ではなく、例えば、図８のように４つ以上設けられ、それぞれ電極パッドを形成して、弾性表面波チップ側の端子と接続される場合もある。また、吸着対象となる部品には、弾性表面波チップに限らず、一方向に長い矩形のＡＴカット振動片や、コンベックスタイプ、あるいは逆メサタイプ、さらには音叉振動片などの各圧電振動片を用いることとしてもよい。さらには、これらと発振回路素子などを接続して、圧電発振器を製造する場合の各部品を移載する場合もある。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態に係る吸着治具を用いて製造する圧電デバイスの一例を示す概略平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線概略切断端面図。
【図３】図１の圧電デバイスのパッケージに第１の実施形態の吸着治具を用いて部品である圧電素子を搭載する様子を示す概略斜視図。
【図４】本発明の吸着治具の第２の実施形態を示す図。
【図５】製造対象となる圧電デバイスの他の例を示す概略平面図。
【図６】本発明の吸着治具の第３の実施形態を示す図。
【図７】本発明の吸着治具の第４の実施形態を示す図。
【図８】製造対象となる圧電デバイスの他の例を示す概略平面図。
【図９】本発明の吸着治具の第５の実施形態を示す図。
【図１０】本発明の吸着治具の第６の実施形態を示す図。
【図１１】従来の圧電デバイスの一例を示す概略平面図。
【図１２】図１１の圧電デバイスのパッケージに圧電素子を収容する様子を示す概略断面図。
【符号の説明】
【００３９】
３０、３０−１，３０−２・・・圧電デバイス、３１・・・パッケージ３１・・・圧電素子、３３・・・段部、３４・・・電極パッド、３５・・・ＩＤＴ電極、３７・・・圧電基板、５１，５１−１，６１，６１−１，７１，７１−１・・・コレット（吸着治具）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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