(57)【要約】【課題】  本発明は、マスクパターンデータ圧縮方法及びプログラムに関し、繰り返しパターンを有するマスクパターンデータの中に異なるパターンが存在しても、高いデータ圧縮効率でマスクパターンデータを圧縮することを目的とする。【解決手段】  マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとして基準パターンに関する基準情報を取得し、基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得し、基準情報及び排他情報に基づいて基準パターンを圧縮するように構成する。【選択図】  図７
2006072133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとし、基準パターンに関する基準情報を取得する第１のステップと、
基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得する第２のステップと、
該基準情報及び該排他情報に基づいて、該基準パターンを圧縮する圧縮ステップとを含むことを特徴とする、マスクパターンデータ圧縮方法。
【請求項２】
コンピュータにマスクパターンデータを圧縮させるプログラムであって、
該コンピュータに、マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとし、基準パターンに関する基準情報を取得させる第１の手順と、
該コンピュータに、基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得させる第２の手順と、
該コンピュータに、該基準情報及び該排他情報に基づいて、該基準パターンを圧縮させる圧縮手順とを行わせることを特徴とする、プログラム。
【請求項３】
該第１の手順は、該コンピュータに、サイズ及び形状に加え、間隔が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとさせることを特徴とする、請求項２記載のプログラム。
【請求項４】
該第１の手順は、該コンピュータに、サイズ、形状及び間隔の誤差が許容範囲内のパターンを該同じパターンとみなさせることを特徴とする、請求項３記載のプログラム。
【請求項５】
該圧縮手順は、該コンピュータに、該マスクパターンデータの各行内で、圧縮パターンの情報が同じもの同士を更に圧縮させることを特徴とする、請求項２〜４のいずれか1項記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクパターンデータ圧縮方法及びプログラムに関し、半導体集積回路等の基本図形に分解されたマスクパターンデータを圧縮するマスクパターンデータ圧縮方法、及び、コンピュータにそのようなマスクパターンデータ圧縮方法でマスクパターンデータの圧縮を行わせるプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の高精度な半導体集積回路パターンには、高精度パターン形成技術が必要であり、高精度パターン形成においては補正処理（ＯＰＣ：Optical Proximity Correction）等が用いられている。補正されたマスクパターンデータは、矩形分割数の増加に伴い膨大なデータ量となり、マスクパターンデータを圧縮する技術が採用されている。
【０００３】
従来のマスクパターンデータ圧縮方法は、マスクパターンデータに同一サイズ、同一間隔及び同一形状からなる繰り返しパターンが存在する場合には、データ量を削減するためにマスクパターンデータに対して圧縮処理を施している。
【特許文献１】特開平５−３４２３０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のマスクパターンデータ圧縮方法は、マスクパターンデータに繰り返しパターンが存在する場合には、マスクパターンデータを圧縮する。しかし、繰り返しパターンを有するマスクパターンデータの中に異なるサイズ、間隔、形状等の異なるパターンが存在すると、その異なるパターンのマスクパターンデータの前で圧縮が途切れてしまうので、データ圧縮効率が低下してしまうという問題があった。又、補正処理等によりグリッドずれが発生すると、データ圧縮効率が更に低下してしまうという問題もあった。
【０００５】
そこで、本発明は、繰り返しパターンを有するマスクパターンデータの中に異なるパターンが存在しても、高いデータ圧縮効率でマスクパターンデータを圧縮することのできるマスクパターンデータ圧縮方法及びプログラムを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題は、マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとし、基準パターンに関する基準情報を取得する第１のステップと、基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得する第２のステップと、該基準情報及び該排他情報に基づいて、該基準パターンを圧縮する圧縮ステップとを含むことを特徴とするマスクパターンデータ圧縮方法によって達成できる。
【０００７】
上記の課題は、コンピュータにマスクパターンデータを圧縮させるプログラムであって、該コンピュータに、マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとし、基準パターンに関する基準情報を取得させる第１の手順と、該コンピュータに、基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得させる第２の手順と、該コンピュータに、該基準情報及び該排他情報に基づいて、該基準パターンを圧縮させる圧縮手順とを行わせることを特徴とするプログラムによっても達成できる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、繰り返しパターンを有するマスクパターンデータの中に異なるパターンが存在しても、高いデータ圧縮効率でマスクパターンデータを圧縮することのできるマスクパターンデータ圧縮方法及びプログラムを実現することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に、本発明になるマスクパターンデータ圧縮方法及びプログラムの各実施例を、図面と共に説明する。
【実施例】
【００１０】
先ず、マスクパターンデータの基準情報と排他情報とについて、図１と共に説明する。図１は、マスクパターンデータの基準情報と排他情報を説明する図である。
【００１１】
図１は、マスクパターンデータが示すパターンを示す。この場合、パターンａ−１，ａ−２，ａ−３，ａ−４は同一サイズ、同一間隔（ピッチ）及び同一形状を有し、パターンｂ−1、ｂ−２、ｂ−３、ｂ−４、ｂ−５は同一サイズ、同一間隔及び同一形状を有するものとする。以下の説明では、同一サイズ、同一間隔及び同一形状を有するパターンを、便宜上「同一パターン」と呼ぶ。基準情報とは、数の多い方の同一パターンに関する情報を言い、この場合、基準情報はパターンｂに関する情報である。又、この場合のパターンｂを、基準パターンと言う。他方、排他情報とは、基準パターンｂ以外のパターンに関する情報を言い、この場合、排他情報はパターンａに関する情報である。尚、以下の説明において、パターンの形状は矩形及び三角形に限定されるものではなく、パターンの形状は任意であることは言うまでもない。
【００１２】
図２は、排他情報の第１の設定方法を説明する図である。図２の場合、パターンａが基準パターンであり、基準情報には基準パターンａの基準座標（又は原点）（Ｘ１，Ｙ１）、パターン寸法（Ｘ２，Ｙ２）、間隔（Ｚ）、個数（Ｙ）等の行情報が含まれる。他方、排他情報は、パターンｂに関する情報であり、何番目のパターンを抜くか（α）等が含まれる。図２の場合、パターンａ−１，ａ−２，ａ−３が同一パターンであり圧縮の対象となるが、パターンｂ−１は同一パターンではないので排他情報として設定することで、後続のパターンａ−４，ａ−５も同一パターンとして扱って圧縮の対象とできる。この場合、基準パターンａのパターンａ−１〜ａ−５が圧縮処理の対象となり、パターンｂ−１に関する情報を排他情報とすることで、図２に示すパターンのマスクパターンデータを、パターンａ−１〜ａ−５の圧縮データとパターンｂ−１に関する排他情報とからなる１つの情報に圧縮することができ、高いデータ圧縮効率を実現できる。
【００１３】
図３は、排他情報の第２の設定方法を説明する図である。図３の場合、パターンａの間隔と、パターンｂの間隔とが異なる。この場合、パターンａが基準パターンであり、基準情報には図２の場合と同様に基準パターンａの原点（Ｘ１，Ｙ１）、パターン寸法（Ｘ２，Ｙ２）、間隔（Ｚ）、個数（Ｙ）等の行情報が含まれる。他方、排他情報は、パターンｂに関する情報であり、何番目のパターンを抜くか（α）等が含まれる。図３の場合、パターンａ−１，ａ−２が同一パターンであり圧縮の対象となるが、パターンｂ−１は同一パターンではないので排他情報として設定することで、後続のパターンａ−３，ａ−４も同一パターンとして扱って圧縮の対象とできる。この場合、基準パターンａのパターンａ−１〜ａ−４が圧縮処理の対象となり、パターンｂ−１に関する情報を排他情報とすることで、図３に示すパターンのマスクパターンデータを、パターンａ−１〜ａ−４の圧縮データとパターンｂ−１に関する排他情報とからなる１つの情報と、パターンｂ−２のデータ（非圧縮データ）からなる１つの情報との、２つの情報に圧縮することができる。図３では、パターンａの間隔と、パターンｂの間隔とが異なるため、パターン間隔が同一であることが前提の従来のマスクパターンデータ圧縮方法ではマスクパターンデータの圧縮が行えないが、上記の如く排他情報を設定することで、マスクパターンデータの圧縮が可能となり、高いデータ圧縮効率を実現できる。
【００１４】
図４は、排他情報の第３の設定方法を説明する図である。図４の場合、パターンａが基準パターンであり、基準情報には図２の場合と同様に基準パターンａの原点（Ｘ１，Ｙ１）、パターン寸法（Ｘ２，Ｙ２）、間隔（Ｚ）、個数（Ｙ）等の行情報が含まれる。他方、排他情報は、パターンｂに関する情報であり、何番目のパターンを抜くか（α）等が含まれる。図４の場合、パターンａ−１，ａ−２，ａ−３が同一パターンであり圧縮の対象となるが、パターンｂ−１，ｂ−２は同一パターンではないので排他情報として設定することで、後続のパターンａ−４，ａ−５，ａ−６も同一パターンとして扱って圧縮の対象とできる。更に、圧縮されたパターンａ−１，ａ−２，ａ−３と圧縮されたパターンａ−４，ａ−５，ａ−６とを比較し、同一情報であればこれらを同一パターンとみなして更に圧縮、即ち、二重圧縮することができる。この場合、基準パターンａのパターンａ−１〜ａ−３の圧縮情報とパターンａ−４〜ａ−６の圧縮情報が一致するので圧縮処理の対象となり、パターンｂ−１，ｂ−２に関する情報を排他情報とすることで、図４に示すパターンのマスクパターンデータを、パターンａ−１〜ａ−３の圧縮データとパターンａ−１〜ａ−３の圧縮データが更に圧縮された圧縮情報と、パターンｂ−１，ｂ−２に関する排他情報とからなる１つの情報に圧縮することができ、高いデータ圧縮効率を実現できる。
【００１５】
又、排他情報の第３の設定方法の変形として、図４に示すパターンのマスクパターンデータを、パターンａ−１〜ａ−３の圧縮データとパターンａ−１〜ａ−３の圧縮データが更に圧縮された圧縮情報と、パターンｂ−１，ｂ−２のデータからなる情報（排他情報）とからなる２つの情報に圧縮するようにしても良い。
【００１６】
図５は、排他情報の第４の設定方法を説明する図である。図５の場合、パターンがグリッド単位で扱われるものとし、各パターンＡ〜Ｉの左側及び上側に示されている数字はグリッド数を表すものとする。図５（ａ）は、比較のために従来のマスクパターンデータ圧縮方法を説明する図であり、図５（ｂ）は、排他情報の第４の設定方法を説明する図である。
【００１７】
図５（ａ）の場合、パターンＡ，Ｂ，Ｃが同一パターンであり圧縮の対象となるが、パターンＤ，Ｅ，Ｆは同一パターンではないので圧縮できず、パターンＧ，Ｈ，Ｉは同一パターンであり圧縮の対象となる。従って、圧縮処理を行うと、パターンＡ〜Ｃの圧縮データＰ１、パターンＤ，Ｅ，Ｆの非圧縮データＰ２，Ｐ３，Ｐ４、及びパターンＧ〜Ｉの圧縮データＰ５が得られる。
【００１８】
他方、図５（ｂ）の場合、パターンＤ，ＦとパターンＡとの誤差が許容範囲内（この場合、1グリッド以内）であるため、パターンＤ，ＦはパターンＡと同一であるとみなして圧縮処理を行う。これにより、全てのパターンＡ〜Ｉを圧縮の対象として、パターンＡ〜Ｉの圧縮データＰＸが得られる。この場合、図５（ａ）の場合と比較すると、高いデータ圧縮効率を実現できる。つまり、排他情報の第４の設定方法では、パターンの誤差が許容範囲内であれば、排他情報を設定しないようにする。
【００１９】
図６は、露光データ生成手順を説明するフローチャートである。図６に示す処理は、汎用のコンピュータを構成するＣＰＵ等のプロセッサにより実行可能であり、本発明になるマスクパターンデータ圧縮方法の一実施例を採用するものである。又、本発明になるプログラムは、コンピュータに本発明になるマスクパターンデータ圧縮方法を用いたマスクパターンデータの圧縮を行わせるものであり、汎用コンピュータの記憶装置にインストールされていても、可搬型記憶媒体に格納されているものか、或いは、ネットワークを介して転送されたものが記憶装置にインストールされるものであっても良い。
【００２０】
図６において、設計データ１１は、半導体集積回路等のパターンが必要に応じてサイジング等の図形処理を施されると共に、矩形や三角形等の予め定義された基本図形に分解されたマスクパターンデータからなる。処理パラメータ１２は、ステップＳ１〜Ｓ３の各処理で用いる各種処理パラメータからなる。
【００２１】
ステップＳ１は、処理パラメータ１２に基づいて、設計データ１１にＯＰＣ等の周知の補正処理を施す。ステップＳ２は、補正処理を施された設計データに周知のフォーマット変換処理を施し、描画フォーマットの設計データに変換する。ステップＳ３は、描画フォーマットの設計データにマスクパターンデータ圧縮方法の本実施例を採用する圧縮処理を施すことにより、露光データ１３を生成する。
【００２２】
図７は、排他情報の第１〜第３の設定方法を用いる場合のステップＳ３の圧縮手順を説明するフローチャートである。図７において、ステップＳ１１は、フォーマット変換を施された設計データから、原点（Ｘ１，Ｙ１）に一番近いパターンの情報を取得し、ステップＳ１２は、現在処理中のパターンが原点（Ｘ１，Ｙ１）に一番近いパターンであるか否かを判定する。ステップＳ１２の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ１３は、同じ行内で同一パターンが最も多いパターンを基準パターンとみなして、基準パターンの基準情報を取得する。ステップＳ１３の後、或いは、ステップＳ１２の判定結果がＮＯであると、ステップＳ１４は、現在処理中のパターンが基準パターンと同一であるか否かを判定する。ステップＳ１４の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ１５は、現在処理中のパターンの情報を圧縮対象の情報として取得し、処理はステップＳ１６へ進む。他方、ステップＳ１４の判定結果がＮＯであると、現在処理中のパターンの情報を排他情報として取得し、処理はステップＳ１６へ進む。ステップＳ１６は、上記フォーマット変換を施された設計データから、次のパターンの情報を取得し、処理はステップＳ２１へ進む。
【００２３】
ステップＳ２１は、現在処理中のパターンが、現在処理中の行内の最終パターンであるか否かを判定し、判定結果がＮＯであると、処理はステップＳ１２へ進む。ステップＳ２１の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ２２は、現在処理中の行に対して取得された圧縮対象の情報と排他情報をまとめ、ステップＳ２３はまとめられた圧縮対象の情報に周知の圧縮アルゴリズムに従った圧縮処理を施す。圧縮処理が用いる圧縮アルゴリズム自体は、特に限定されない。ステップＳ２４は、圧縮処理を施された情報と排他情報とを出力し、処理はステップＳ２５へ進む。ステップＳ２５は、上記フォーマット変換を施された設計データの次の行のパターンがあるか否かを判定し、判定結果がＹＥＳであると、処理はステップＳ２１へ戻る。
【００２４】
ステップＳ２５の判定結果がＮＯであると、ステップＳ２６は、2以上の行同士の圧縮が可能であれば圧縮処理を施す。例えば、１つの行の圧縮データと他の行の圧縮データが同じであれば、図４に示した1行内における二重圧縮の場合と同様の手順で列方向の圧縮を周知の圧縮アルゴリズムに従って行う。この場合の二重圧縮処理で用いる圧縮アルゴリズム自体も、特に限定されない。ステップＳ２７は、二重圧縮を施された情報と排他情報（又は、非圧縮情報）とを出力し、処理は終了する。尚、ステップＳ２６及びＳ２７は省略しても良い。
【００２５】
図８は、ステップＳ２３における圧縮処理の詳細を説明するフローチャートである。ステップＳ３１は、現在処理中の行内のパターンが同じ間隔（ピッチ）であるか否かを判定し、判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ３２は、原点に一番近いパターンの座標を取得する。ステップＳ３３は、現在処理中の行内のパターンの個数を取得し、ステップＳ３４は、基準パターンのサイズを取得する。ステップＳ３５は、ステップＳ３２〜Ｓ３４で取得した座標、個数及びサイズと、現在処理中の行内のパターンのピッチとに基づいて、基本圧縮を行う。この場合の基本圧縮は、本実施例では図２と共に説明した基準パターンと同じパターンのデータに対して行われる。
【００２６】
ステップＳ３１の判定結果がＮＯであると、ステップＳ３６は、現在処理中の行内のパターンの間隔（ピッチ）が全て最小間隔（ピッチ）であるか否かを判定し、判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ３７は、原点に一番近いパターンの座標を取得する。ステップＳ３８は、現在処理中の行内のパターンの個数を取得し、ステップＳ３９は、基準パターンのサイズを取得する。ステップＳ４０は、ステップＳ３７〜Ｓ３９で取得した座標、個数及びサイズと、最小ピッチとに基づいて、基本圧縮を行う。この場合の基本圧縮は、本実施例では図３と共に説明した基準パターンと同じパターンのデータに対して行われる。
【００２７】
ステップＳ３６の判定結果がＮＯであると、ステップＳ４１は、現在処理中の行内のパターンをグループ化することが可能であるか否かを判定する。ステップＳ４１の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ４２は、各パターングループ内でパターンのデータの圧縮を行う。図４の場合、パターンａ−１〜ａ−３がグループ化されて圧縮されると共に、パターンａ−４〜ａ−６がグループ化されて圧縮される。又、ステップＳ４３は、現在処理中の行内のパターングループ同士で圧縮が可能であれば、圧縮する。図４の場合、パターンａ−１〜ａ−３の圧縮されたデータと、パターンａ−４〜ａ−６の圧縮されたデータが圧縮（二重圧縮）される。ステップＳ４２及びＳ４３の圧縮処理で用いる圧縮アルゴリズム自体も、特に限定されない。他方、ステップＳ４１の判定結果がＮＯであると、ステップＳ４４は、現在処理中の行内のパターンのデータを、例えば周知のマスクパターンデータ圧縮方法により圧縮する。
【００２８】
図９は、排他情報の第４の設定方法を用いる場合の圧縮手順を説明するフローチャートである。図９において、ステップＳ５１は、図６に示すステップＳ２でフォーマット変換を施された設計データから取得したデータが、現在処理中の行内の最終パターンであるか否かを判定する。ステップＳ５１の判定結果がＮＯであると、ステップＳ５７は、取得したデータが示すパターンが、現在処理中の行内の1つ目のパターンと同一であるか否かを判定する。ステップＳ５７の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ５８は、取得したデータのパターンが1つ目のパターンと同一であると判断して、1つ目のパターンのデータを同一パターン情報と設定し、処理はステップＳ５１へ戻る。
【００２９】
ステップＳ５７の判定結果がＮＯであると、ステップＳ５９は、フォーマット変換を施された設計データ１５に基づいて、パターンが繰り返しパターンであるか否かを判定する。ステップＳ５９の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ６０は、繰り返しパターンを同一パターン情報と設定するための図形変更処理を行い、処理はステップＳ５８へ進む。他方、ステップＳ５９の判定結果がＮＯであると、ステップＳ６１は、サイズ、形状及び間隔の許容範囲を決定する情報１６に基づいて、繰り返しパターンではないパターンが、繰り返しパターンとみなせる許容範囲内であるか否かを判定する。許容範囲を決定する情報１６は、例えばパターン精度、テクノロジ情報等を含む。例えば図５（ｂ）のパターンＤ，ＦとパターンＡとの誤差は許容範囲内（この場合、1グリッド以内）であるため、パターンＤ，ＦはパターンＡと同一であるとみなす。ステップＳ６１の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ６０は、繰り返しパターンとみなせる許容範囲内のパターンを同一パターン情報と設定するための図形変更処理を行い、処理はステップＳ５８へ進む。ステップＳ６１の判定結果がＮＯであると、ステップＳ６２は、取得したデータを出力する。
【００３０】
ステップＳ５１の判定結果がＹＥＳになると、ステップＳ５２は、ステップＳ５８で設定された同一パターン情報に基づいて、圧縮するべきパターンのデータ（情報）を決定し、ステップＳ５３は、決定されたデータに対して周知の圧縮アルゴリズムに従った圧縮処理を施す。図５（ｂ）に示す場合、ステップＳ５８は取得したデータのパターンが1つ目のパターンＡと同一であると判断して、1つ目のパターンＡのデータを同一パターン情報と設定するので、ステップＳ５２は、パターンＡのデータを圧縮するべきパターンのデータに決定する。ステップＳ５４は、圧縮されたパターンのデータを出力し、ステップＳ５５は、上記フォーマット変換を施された設計データの次の行のパターンがあるか否かを判定し、判定結果がＹＥＳであると、処理はステップＳ５１へ戻る。ステップＳ５５の判定結果がＮＯであると、ステップＳ５６は、圧縮されたパターンのデータを出力し、処理は終了する。
【００３１】
図１０は、図９に示す圧縮手順を採用した場合の実験で用いたパターンを示す図であり、図１１は、図９に示す圧縮手順を採用した場合のデータ圧縮効率を説明する図である。
【００３２】
図９は、圧縮の対象となる５ｍｍ×５ｍｍの全領域（即ち、１セグメント）中、１グリッドが２ｎｍであり、1グリッド以内の誤差を有するパターンがこのセグメント内にランダムに配置されている場合を示す。図９中、右下側に一部拡大して示すように、破線で囲まれたパターンが、基準パターンに対して1グリッド以内の誤差を有するパターンである。
【００３３】
図１１（ａ）は、図１０に示すパターンを、図９に示す圧縮手順を採用して圧縮した場合に得られる圧縮データを示す。又、図１１（ｂ）は、比較用に、図１０に示すパターンを、異なるパターンのマスクパターンデータの前で圧縮が途切れてしまう従来の圧縮手順を採用して圧縮した場合に得られる圧縮データを示す。図１１中、「０００１」、「０００２」、…「０７０１」は、夫々圧縮の対象とした５ｍｍ×５ｍｍのセグメント中の各パターン領域を示す。図１１からもわかるように、従来の圧縮手順を採用した場合の圧縮データの出力バイト数（Bytes）は１０，２４０バイトであるが、図９に示す圧縮手順を採用した場合の圧縮データの出力バイト数は４，０９６バイトと大幅に減少しており、データ圧縮効率が向上していることがわかる。
【００３４】
尚、本発明は、以下に付記する発明をも包含するものである。
（付記１）  マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとし、基準パターンに関する基準情報を取得する第１のステップと、
基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得する第２のステップと、
該基準情報及び該排他情報に基づいて、該基準パターンを圧縮する圧縮ステップとを含むことを特徴とする、マスクパターンデータ圧縮方法。
（付記２）  該第１の取得ステップは、サイズ及び形状に加え、間隔が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとすることを特徴とする、付記1記載のマスクパターンデータ圧縮方法。
（付記３）  該第１の取得ステップは、サイズ、形状及び間隔の誤差が許容範囲内のパターンを該同じパターンとみなすことを特徴とする、付記２記載のマスクパターンデータ圧縮方法。
（付記４）  該圧縮ステップは、該マスクパターンデータの各行内で、圧縮パターンの情報が同じもの同士を更に圧縮することを特徴とする、付記１〜３のいずれか1項記載のマスクパターンデータ圧縮方法。
（付記５）  該圧縮ステップは、該マスクパターンデータの異なる行間で、圧縮パターンの情報が同じもの同士を更に圧縮することを特徴とする、付記１〜３のいずれか1項記載のマスクパターンデータ圧縮方法。
（付記６）  コンピュータにマスクパターンデータを圧縮させるプログラムであって、
該コンピュータに、マスクパターンデータのうち、サイズ及び形状が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとし、基準パターンに関する基準情報を取得させる第１の手順と、
該コンピュータに、基準パターン以外のパターンに関する排他情報を取得させる第２の手順と、
該コンピュータに、該基準情報及び該排他情報に基づいて、該基準パターンを圧縮させる圧縮手順とを行わせることを特徴とする、プログラム。
（付記７）  該第１の手順は、該コンピュータに、サイズ及び形状に加え、間隔が同じパターンであって数の多い方のパターンを基準パターンとさせることを特徴とする、付記６記載のプログラム。
（付記８）  該第１の手順は、該コンピュータに、サイズ、形状及び間隔の誤差が許容範囲内のパターンを該同じパターンとみなさせることを特徴とする、付記７記載のプログラム。
（付記９）  該圧縮手順は、該コンピュータに、該マスクパターンデータの各行内で、圧縮パターンの情報が同じもの同士を更に圧縮させることを特徴とする、付記６〜８のいずれか1項記載のプログラム。
（付記１０）  該圧縮手順は、該コンピュータに、該マスクパターンデータの異なる行間で、圧縮パターンの情報が同じもの同士を更に圧縮させることを特徴とする、付記６〜８のいずれか1項記載のプログラム。
【００３５】
以上、本発明を実施例により説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形及び改良が可能であることは、言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】マスクパターンデータの基準情報と排他情報を説明する図である。
【図２】排他情報の第１の設定方法を説明する図である。
【図３】排他情報の第２の設定方法を説明する図である。
【図４】排他情報の第３の設定方法を説明する図である。
【図５】排他情報の第４の設定方法を説明する図である。
【図６】露光データ生成手順を説明するフローチャートである。
【図７】排他情報の第１〜第３の設定方法を用いる場合の圧縮手順を説明するフローチャートである。
【図８】圧縮処理の詳細を説明するフローチャートである。
【図９】排他情報の第４の設定方法を用いる場合の圧縮手順を説明するフローチャートである。
【図１０】図９に示す圧縮手順を採用した場合の実験で用いたパターンを示す図である。
【図１１】図９に示す圧縮手順を採用した場合のデータ圧縮効率を説明する図である。
【符号の説明】
【００３７】
ａ，ｂ      パターン
Ｓ１      補正処理
Ｓ２      フォーマット変換処理
Ｓ３      圧縮処理
【図１】
2006072133.tif 000003
【図２】
2006072133.tif 000004
【図３】
2006072133.tif 000005
【図４】
2006072133.tif 000006
【図５】
2006072133.tif 000007
【図６】
2006072133.tif 000008
【図７】
2006072133.tif 000009
【図８】
2006072133.tif 000010
【図９】
2006072133.tif 000011
【図１０】
2006072133.tif 000012
【図１１】
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