(57)【要約】【課題】  大きさの異なる電気光学装置であっても容易に正しい位置に位置決めできるようにする。【解決手段】  アーム２０は位置決め部材１２の方向へ付勢され、アーム３０は位置決め部材１３の方向へ付勢されている。連結部材４０が位置決め部材１３と反対方向へ移動すると、アーム２０とアーム３０が付勢力に抗して開き、透明窓１１上に液晶パネル１を載置するスペースが生じる。連結部材４０が位置決め部材１３の方向へ移動すると、アーム２０とアーム３０とが液晶パネル１を位置決め部材１２と位置決め部材１３に押し当て、液晶パネル１の位置決めがされる。液晶パネル１の位置決めがされると、プローブ５０が下降し、位置決めされた液晶パネル１に当接する。【選択図】            図１
2006208900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学装置が載置されるとともに、載置された電気光学装置の位置決めの基準となる
第１基準面と、前記第１基準面へ略直交する方向に沿って設けられた第２基準面とを有す
るステージと、
前記ステージ上で前記第１基準面に対向して移動可能に配置され、前記ステージ上に載
置された電気光学装置の一側面に当接する第１アームと、
前記ステージ上で前記第２基準面に対向して移動可能に配置され、前記第１アームが当
接する側面と略直交する電気光学装置の側面に当接する第２アームと、
前記第１アームを前記第１基準面の方向へ付勢する第１付勢手段と、
前記第２アームを前記第２基準面の方向へ付勢する第２付勢手段と、
前記第１アームに固定されると共に前記第２アームに摺接し、前記第１基準面と反対方
向へ移動した場合、前記第１アームを前記第１基準面と反対方向へ移動させると共に、前
記第２アームを前記第２基準面と反対の方向へ移動させ、前記第１付勢手段の付勢力によ
って付勢された第１アームと共に前記第１基準面の方向へ移動した場合、前記第２アーム
を前記第２基準面の方向へ移動可能な状態にする連結部材と、
外部からの操作に応じて前記連結部材を前記第１基準面の方向または前記第１基準面と
は反対の方向へ移動させる移動手段と
を有する位置決め機構。
【請求項２】
電気光学装置が載置されるとともに、載置された電気光学装置の位置決めの基準となる
第１基準面とを有するステージと、
前記ステージ上で前記第１基準面に対向して移動可能に配置され、前記第１基準面と略
平行な電気光学装置の側面に当接する第１アームと、
前記ステージ上で前記第１基準面と略直交する方向に移動可能に配置され、前記第１ア
ームが当接する側面と略直交する電気光学装置の側面に当接する第２アームと、
前記ステージ上で前記第２アームに対向して移動可能に配置された第３アームと、
前記第１アームを前記第１基準面の方向へ付勢する第１付勢手段と、
前記第２アームを前記第１基準面と略直交する方向へ付勢する第２付勢手段と、
前記第３アームを前記第２アームの方向へ付勢する第３付勢手段と、
前記第１アームに固定されると共に前記第２アームおよび前記第３アームに摺接し、前
記第１基準面と反対方向へ移動した場合、前記第１アームを前記第１基準面と反対方向へ
移動させると共に、前記第２アームを前記第３アームと反対方向へ移動させつつ、前記第
３アームを前記第２アームと反対方向へ移動させ、前記第１付勢手段の付勢力によって付
勢された第１アームと共に前記第１基準面の方向へ移動した場合、前記第２アームを前記
第３アームの方向へ移動可能な状態にすると共に、前記第３アームを前記第２アームの方
向へ移動可能な状態にする連結部材と、
外部からの操作に応じて前記連結部材を前記第１基準面の方向または前記第１基準面と
は反対の方向へ移動させる移動手段と
を備える位置決め機構。
【請求項３】
電気光学装置が載置されるとともに、載置された電気光学装置の位置決めの基準となる
第１基準面と、前記第１基準面へ略直交する方向に沿って設けられた第２基準面とを有す
るステージと、
前記ステージ上に移動可能に配置され、前記第１基準面と前記第２基準面とを延長した
際に交差する交点の方向へ付勢されたベース部材と、
前記ベース部材に対して回動可能に配置され、前記ステージ上に載置された電気光学装
置の一側面に当接する第１アームと、
前記ベース部材に対して回動可能に配置され、前記第１アームが当接する側面と略直交
する電気光学装置の側面に当接する第２アームと、
前記第１アームを前記第１基準面の方向へ付勢する第１付勢手段と、
前記第２アームを前記第２基準面の方向へ付勢する第２付勢手段と、
外部からの操作に応じて、前記ベース部材を前記第１基準面と前記第２基準面とを延長
した際に交差する交点の方向、またはこの方向と反対の方向へ移動させる移動手段と
を備える位置決め機構。
【請求項４】
電気光学装置が載置されるとともに、載置された電気光学装置の位置決めの基準となる
第１基準面と、前記第１基準面へ略直交する方向に沿って設けられた第２基準面とを有す
るステージと、
前記ステージ上に移動可能に配置され、前記第１基準面と前記第２基準面とを延長した
際に交差する交点の方向へ付勢されたベース部材と、
前記ステージ上に載置された電気光学装置の一側面に当接する第１アームと、前記第１
アームに対して所定の角度で設けられ、前記電気光学装置において前記第１アームが当接
する側面と略直交する側面に当接する第２アームとを有する押圧部材と、
前記押圧部材を前記ベース部材に対して回動可能に支持する支持手段と、
外部からの操作に応じて、前記ベース部材を前記第１基準面と前記第２基準面とを延長
した際に交差する交点の方向、またはこの方向と反対の方向へ移動させる移動手段と
を備える位置決め機構。
【請求項５】
請求項１に記載の位置決め機構と、
前記電気光学装置を駆動する信号を前記電気光学装置に供給するプローブと、
前記電気光学装置が前記第１アームと、前記第２アームと、前記第１基準面および前記
第２基準面とに当接して位置決めされた後、前記プローブを前記電気光学装置に当接させ
るプローブ移動手段と
を備える検査装置。
【請求項６】
請求項２に記載の位置決め機構と、
前記電気光学装置を駆動する信号を前記電気光学装置に供給するプローブと、
前記電気光学装置が前記第１アームと前記第２アームと前記第３アームと前記第１基準
面とに当接して位置決めされた後、前記プローブを前記電気光学装置に当接させるプロー
ブ移動手段と
を備える検査装置。
【請求項７】
請求項３に記載の位置決め機構と、
前記電気光学装置を駆動する信号を前記電気光学装置に供給するプローブと、
前記電気光学装置が前記第１アームと、前記第２アームと、前記第１基準面および前記
第２基準面とに当接して位置決めされた後、前記プローブを前記電気光学装置に当接させ
るプローブ移動手段と
を備える検査装置。
【請求項８】
請求項４に記載の位置決め機構と、
前記電気光学装置を駆動する信号を前記電気光学装置に供給するプローブと、
前記電気光学装置が前記第１アームと、前記第２アームと、前記第１基準面および前記
第２基準面とに当接して位置決めされた後、前記プローブを前記電気光学装置に当接させ
るプローブ移動手段と
を備える検査装置。
【請求項９】
請求項５乃至８のいずれかに記載の検査装置を使用することを特徴とする電気光学装置
の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置を検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機やＰＤＡ（Personal Digital Assistance）等で表示手段として用いられる
液晶パネルは、製造工程での不具合により画素欠陥や色度欠陥などの様々な欠陥が生じる
。このため、検査装置を用いて液晶パネルを駆動させ、各種欠陥の有無を確認する作業が
製造の後工程で行われている。液晶パネルを検査するための検査装置は、液晶パネルを駆
動する信号を液晶パネルへ供給するプローブを備えており、検査者が検査装置に液晶パネ
ルを載置し、位置決め機構により液晶パネルの位置決めが行われると、液晶パネルに設け
られた複数の端子にプローブが正しく接触するようになっている（例えば、特許文献１〜
３参照）。このプローブから液晶パネルを駆動する信号が供給されると、液晶パネルは供
給される信号に応じて各種パターンを表示するので、検査者は、表示されたパターンを観
察して欠陥の有無を確認する。
【特許文献１】特開２００２−２６８０４４号公報
【特許文献２】特開２００２−１８１８６６号公報
【特許文献３】特開２００２−１９６０２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
さて、液晶パネルは、使用される機器に応じてその仕様が異なり、例えば、携帯電話機
に使用される液晶パネルであっても、搭載される機種によってその大きさが異なる。この
ため液晶パネルの製造者は、顧客の要望に応じて様々な種類の液晶パネルを製造し、各種
液晶パネルの検査することとなるが、パネルの種類毎に検査装置を設けるのは非効率的で
あるため、一台の検査装置で様々な大きさの液晶パネルを効率良く検査できるのが望まし
い。
【０００４】
特許文献１に開示された検査装置においては、まず、位置決めピンにより大まかな位置
決めが行われる。そして、液晶パネルを挟んで対向するアームにより、液晶パネルの対角
を挟んで細かな位置決めが行われる。この装置においては、様々な大きさの液晶パネルを
検査するためには、液晶パネルのサイズ毎に位置決めピンの位置やアームの位置を変えな
ければならず、容易に様々なサイズの液晶パネルを位置決めすることができない。
また、特許文献２に開示された装置においては、液晶パネルの上下方向に関しては、検
査者が上下方向における位置決めの基準となる面に液晶パネルの端部を当接させることに
より位置決めが行われる。また、液晶パネルの左右方向に関しては、バネにより押圧され
る押圧部材によって液晶パネルの左右の端面を挟むことにより大まかな位置決めが行われ
、一方の押圧部材の位置を調整することにより、左右方向の細かな位置決めが行われる。
この装置においては、上下方向と左右方向とで別々に位置決めを行い、さらに、左右方向
に関しては、一方の押圧部材の位置を調整して細かな位置決めを行うという煩雑な作業を
検査者が行う必要があるため、効率良く様々なサイズの液晶パネルを位置決めすることが
できない。
また、特許文献３に開示された装置においては、液晶パネルの１対の対角に対応して設
けられた部材により液晶パネルが付勢され、液晶パネルが付勢されると、もう１対の対角
に対応した部材に液晶パネルの端部が当接して位置決めされる。この装置においては、様
々な大きさの液晶パネルを検査するためには、液晶パネルのサイズ毎に液晶パネルの対角
に対応して設けられた部材の位置を変えなければならず、容易に様々なサイズの液晶パネ
ルを位置決めすることができない。
【０００５】
本発明は、上述した背景の下になされたものであり、その目的は、大きさの異なる電気
光学装置であっても容易に正しい位置に位置決めすることができる技術を提供することに
ある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために本発明は、電気光学装置が載置されるとともに、載置さ
れた電気光学装置の位置決めの基準となる第１基準面と、前記第１基準面へ略直交する方
向に沿って設けられた第２基準面とを有するステージと、前記ステージ上で前記第１基準
面に対向して移動可能に配置され、前記ステージ上に載置された電気光学装置の一側面に
当接する第１アームと、前記ステージ上で前記第２基準面に対向して移動可能に配置され
、前記第１アームが当接する側面と略直交する電気光学装置の側面に当接する第２アーム
と、前記第１アームを前記第１基準面の方向へ付勢する第１付勢手段と、前記第２アーム
を前記第２基準面の方向へ付勢する第２付勢手段と、前記第１アームに固定されると共に
前記第２アームに摺接し、前記第１基準面と反対方向へ移動した場合、前記第１アームを
前記第１基準面と反対方向へ移動させると共に、前記第２アームを前記第２基準面と反対
の方向へ移動させ、前記第１付勢手段の付勢力によって付勢された第１アームと共に前記
第１基準面の方向へ移動した場合、前記第２アームを前記第２基準面の方向へ移動可能な
状態にする連結部材と、外部からの操作に応じて前記連結部材を前記第１基準面の方向ま
たは前記第１基準面とは反対の方向へ移動させる移動手段とを有する位置決め機構を提供
する。
また、本発明は、この位置決め機構と、前記電気光学装置を駆動する信号を前記電気光
学装置に供給するプローブと、前記電気光学装置が前記第１アームと、前記第２アームと
、前記第１基準面および前記第２基準面とに当接して位置決めされた後、前記プローブを
前記電気光学装置に当接させるプローブ移動手段とを備える検査装置を提供する。
この位置決め機構によれば、第１アームが第１基準面と反対方向に移動すると共に、第
２アームが第２基準面と反対方向に移動するので、様々な大きさの電気光学装置を載置す
るスペースが平面上に生じる。そして、第１アームにより電気光学装置が第１基準面の方
向に付勢されつつ、第２アームにより電気光学装置が第２基準面の方向に付勢され、電気
光学装置が第１基準面と第２基準面とに当接して位置決めされる。
また、この検査装置によれば、位置決めがされると、プローブが電気光学装置に当接す
るので、容易に電気光学装置の検査を始めることができる。
【０００７】
また、本発明は、電気光学装置が載置されるとともに、載置された電気光学装置の位置
決めの基準となる第１基準面とを有するステージと、前記ステージ上で前記第１基準面に
対向して移動可能に配置され、前記第１基準面と略平行な電気光学装置の側面に当接する
第１アームと、前記ステージ上で前記第１基準面と略直交する方向に移動可能に配置され
、前記第１アームが当接する側面と略直交する電気光学装置の側面に当接する第２アーム
と、前記ステージ上で前記第２アームに対向して移動可能に配置された第３アームと、前
記第１アームを前記第１基準面の方向へ付勢する第１付勢手段と、前記第２アームを前記
第１基準面と略直交する方向へ付勢する第２付勢手段と、前記第３アームを前記第２アー
ムの方向へ付勢する第３付勢手段と、前記第１アームに固定されると共に前記第２アーム
および前記第３アームに摺接し、前記第１基準面と反対方向へ移動した場合、前記第１ア
ームを前記第１基準面と反対方向へ移動させると共に、前記第２アームを前記第３アーム
と反対方向へ移動させつつ、前記第３アームを前記第２アームと反対方向へ移動させ、前
記第１付勢手段の付勢力によって付勢された第１アームと共に前記第１基準面の方向へ移
動した場合、前記第２アームを前記第３アームの方向へ移動可能な状態にすると共に、前
記第３アームを前記第２アームの方向へ移動可能な状態にする連結部材と、外部からの操
作に応じて前記連結部材を前記第１基準面の方向または前記第１基準面とは反対の方向へ
移動させる移動手段とを備える位置決め機構を提供する。
また、本発明は、この位置決め機構と、前記電気光学装置を駆動する信号を前記電気光
学装置に供給するプローブと、前記電気光学装置が前記第１アームと前記第２アームと前
記第３アームと前記第１基準面とに当接して位置決めされた後、前記プローブを前記電気
光学装置に当接させるプローブ移動手段とを備える検査装置を提供する。
この位置決め機構によれば、第１アームが第１基準面と反対方向に移動すると共に、対
向する第２アームと第３アームとが離れる方向に移動するので、様々な大きさの電気光学
装置を載置するスペースが平面上に生じる。そして、第１アームにより電気光学装置が第
１基準面の方向に位置決めされつつ、第２アームと第３アームにより、第１基準面に直交
する方向の位置決めがされる。
また、この検査装置によっても、位置決めがされると、プローブが電気光学装置に当接
するので、容易に電気光学装置の検査を始めることができる。
【０００８】
また、本発明は、電気光学装置が載置されるとともに、載置された電気光学装置の位置
決めの基準となる第１基準面と、前記第１基準面へ略直交する方向に沿って設けられた第
２基準面とを有するステージと、前記ステージ上に移動可能に配置され、前記第１基準面
と前記第２基準面とを延長した際に交差する交点の方向へ付勢されたベース部材と、前記
ベース部材に対して回動可能に配置され、前記ステージ上に載置された電気光学装置の一
側面に当接する第１アームと、前記ベース部材に対して回動可能に配置され、前記第１ア
ームが当接する側面と略直交する電気光学装置の側面に当接する第２アームと、前記第１
アームを前記第１基準面の方向へ付勢する第１付勢手段と、前記第２アームを前記第２基
準面の方向へ付勢する第２付勢手段と、外部からの操作に応じて、前記ベース部材を前記
第１基準面と前記第２基準面とを延長した際に交差する交点の方向、またはこの方向と反
対の方向へ移動させる移動手段とを備える位置決め機構を提供する。
また、本発明は、この位置決め機構と、前記電気光学装置を駆動する信号を前記電気光
学装置に供給するプローブと、前記電気光学装置が前記第１アームと、前記第２アームと
、前記第１基準面および前記第２基準面とに当接して位置決めされた後、前記プローブを
前記電気光学装置に当接させるプローブ移動手段とを備える検査装置を提供する。
この位置決め機構によれば、ベース部材と共に第１アームおよび第２アームが第１基準
面と第２基準面から離れる方向に移動するので、様々な大きさの電気光学装置を載置する
スペースが平面上に生じる。そして、第１アームにより電気光学装置が第１基準面の方向
に付勢されつつ、第２アームにより電気光学装置が第２基準面の方向に付勢され、電気光
学装置が第１基準面と第２基準面とに当接して位置決めされる。
また、この検査装置によっても、位置決めがされると、プローブが電気光学装置に当接
するので、容易に電気光学装置の検査を始めることができる。
【０００９】
また、本発明は、電気光学装置が載置されるとともに、載置された電気光学装置の位置
決めの基準となる第１基準面と、前記第１基準面へ略直交する方向に沿って設けられた第
２基準面とを有するステージと、前記ステージ上に移動可能に配置され、前記第１基準面
と前記第２基準面とを延長した際に交差する交点の方向へ付勢されたベース部材と、前記
ステージ上に載置された電気光学装置の一側面に当接する第１アームと、前記第１アーム
に対して所定の角度で設けられ、前記電気光学装置において前記第１アームが当接する側
面と略直交する側面に当接する第２アームとを有する押圧部材と、前記押圧部材を前記ベ
ース部材に対して回動可能に支持する支持手段と、外部からの操作に応じて、前記ベース
部材を前記第１基準面と前記第２基準面とを延長した際に交差する交点の方向、またはこ
の方向と反対の方向へ移動させる移動手段とを備える位置決め機構を提供する。
また本発明は、この位置決め機構と、前記電気光学装置を駆動する信号を前記電気光学
装置に供給するプローブと、前記電気光学装置が前記第１アームと、前記第２アームと、
前記第１基準面および前記第２基準面とに当接して位置決めされた後、前記プローブを前
記電気光学装置に当接させるプローブ移動手段とを備える検査装置を提供する。
この位置決め機構によれば、ベース部材と共に第１アームおよび第２アームが第１基準
面と第２基準面から離れる方向に移動するので、様々な大きさの電気光学装置を載置する
スペースが平面上に生じる。そして、第１アームにより電気光学装置が第１基準面の方向
に付勢されつつ、第２アームにより電気光学装置が第２基準面の方向に付勢され、電気光
学装置が第１基準面と第２基準面とに当接して位置決めされる。
また、この検査装置によっても、位置決めがされると、プローブが電気光学装置に当接
するので、容易に電気光学装置の検査を始めることができる。
また、本発明は、上記検査装置を使用した検査方法を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
［第１実施形態］
まず、図面を参照しつつ本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本発明の実
施形態に係る検査装置の平面図である。ステージ１０には、ガラスまたはアクリル等の透
明な素材で形成され、検査対象となる液晶パネル１が載置される透明窓１１がはめ込まれ
ている。なお、透明窓１１の下方には、図示せぬ光源が設けられており、光源から出力さ
れて透明窓１１を透過した光は、液晶パネル１の背面に照射される。透明窓１１の近傍に
は、Ｘ軸方向の位置決めの基準となる位置決め部材１２と、Ｙ軸方向の位置決めの基準と
なる位置決め部材１３とが配設されている。また、ステージ１０の上面には、位置決め部
材１２に対向して固定壁２２が配設されており、また位置決め部材１３に対向して固定壁
３２が配設されている。
【００１１】
固定壁２２においては、コイルバネ２３と、コイルバネ２３の中心部分に貫装された案
内軸２４とがＸ軸方向に沿って固定されている。また、固定壁３２においては、コイルバ
ネ３３と、コイルバネ３３の中心部分に貫装された案内軸３４とがＹ軸方向に沿って固定
されている。
【００１２】
アーム３０は、液晶パネル１をＹ軸方向へ位置決めする部材である。アーム３０におい
て、液晶パネル１に当接する先端部には、弾性を有するローラ３１が回転自在に取り付け
られている。また、アーム３０のもう片方の端部には、案内軸３４が挿入される挿入孔３
５が、端部から長手方向に沿って設けられており、アーム３０は、挿入される案内軸３４
に沿って移動する。また、アーム３０において、液晶パネル１に当接する端部と反対方向
の端部には、コイルバネ３３が当接する。アーム３０は、この当接するコイルバネ３３の
付勢力により、図１中の矢印Ｃ方向へ付勢される。
【００１３】
アーム２０は、液晶パネル１をＸ軸方向へ位置決めする部材である。アーム２０におい
て、液晶パネル１に当接する先端部には、弾性を有するローラ２１が回転自在に取り付け
られている。また、アーム２０のもう片方の端部には、案内軸２４が挿入される挿入孔２
５が、端部から長手方向に沿って設けられており、アーム２０は、この挿入された案内軸
２４に沿って移動する。また、アーム２０において、液晶パネル１に当接する端部と反対
方向の端部には、コイルバネ２３が当接する。アーム２０は、このコイルバネ２３の付勢
力により、図１中の矢印Ａ方向へ付勢される。なお、本実施形態においては、アーム２０
とアーム３０を付勢するためにコイルバネを用いているが、各アームを付勢できるのであ
れば、コイルバネに限定されず他の弾性部材を用いるようにしてもよい。
【００１４】
次に図２に示したように、ステージ１０に対して段差をつけて設けられた台座５３には
、図示せぬボタン操作により電動で上下方向に移動する可動部５１が設けられている。
可動部５１の上面には、液晶パネル１を駆動する電力や各種信号を液晶パネル１へ供給
するプローブ５０が設けられており、可動部５１の側面には、側面から見て直角三角形の
形状をした案内部材５２が固定されている。
【００１５】
連結部材４０は、アーム２０とアーム３０とを連動させて移動させる部材であり、矩形
の部材を直交させた形状をしている。連結部材４０のＸ軸方向に沿った部分には、図１に
示したようにアーム３０が固定されている。また、連結部材４０のＹ軸方向に沿った部分
には、連結部材４０を貫通する案内溝４２がＹ軸方向に対して斜めに設けられている。そ
して、この案内溝４２には、アーム２０に固定されているピン２６が挿入されている。ア
ーム２０は、コイルバネ２３により矢印Ａ方向へ付勢されているため、案内溝４２の端面
には、ピン２６が押し付けられることとなる。また、連結部材４０のＹ軸方向に沿った部
分の端部には、案内部材５２の上方へ位置するように突出した摺動アーム４１が設けられ
ている。
【００１６】
次に、この検査装置の動作について説明する。検査者が図示しないボタンを操作して可
動部５１を上昇させると、案内部材５２の斜めになった摺動面５２Ａに摺動アーム４１が
当接する。摺動アーム４１が摺動面５２Ａに当接した後、可動部５１と共に案内部材５２
がさらに上昇すると、摺動アーム４１が摺動面５２Ａ上を摺動する。摺動アーム４１が摺
動面５２Ａ上を摺動すると、摺動アーム４１が設けられている連結部材４０が図２（ａ）
中の矢印Ｄ方向へ移動する。
【００１７】
連結部材４０が矢印Ｄ方向へ移動すると、連結部材４０に固定されているアーム３０は
、コイルバネ３３の付勢力に抗して連結部材４０と共に矢印Ｄ方向へ移動する。また、連
結部材４０が矢印Ｄ方向に移動すると、案内溝４２の端面に押し付けられているピン２６
が案内溝４２の端面に沿って摺動し、ピン２６を備えたアーム２０がコイルバネ２３の付
勢力に抗して矢印Ｂ方向へ移動する。そして図３に示したように、摺動アーム４１が摺動
面５２Ａの下端に達すると、アーム２０とアーム３０とが開いた状態となっており、液晶
パネル１を載置するスペースが透明窓１１の上面に生じている。
【００１８】
次に、検査者は液晶パネル１を位置決め部材１２と位置決め部材１３とに突き当てるよ
うにして載置した後、図示しないボタンを操作して可動部５１を下降させる。可動部５１
が下降すると、アーム３０がコイルバネ３３により付勢されているため、アーム３０の動
きに連動して連結部材４０が矢印Ｃ方向に移動し、摺動アーム４１が摺動面５２Ａに沿っ
て摺動する。また連結部材４０が矢印Ｃ方向へ移動すると、案内溝４２の端面に押し付け
られているピン２６が案内溝４２の端面に沿って摺動し、コイルバネ２３の付勢力により
矢印Ａ方向へ移動する。
【００１９】
そして、アーム２０の先端部に設けられているローラ２１と、アーム３０の先端部に設
けられているローラ３１とが液晶パネル１に当接する。アーム２０はコイルバネ２３によ
り付勢され、アーム３０はコイルバネ３３により付勢されているため、液晶パネル１は、
ローラ２１により矢印Ａ方向へ付勢されつつ、ローラ３１により矢印Ｃ方向へ付勢され、
図４に示したように、位置決め部材１２と位置決め部材１３とに押し当てられて位置決め
される。
【００２０】
アーム２０とアーム３０とにより液晶パネル１が固定されると、連結部材４０は例えば
図４に示した位置でＹ軸方向への移動を停止するが、可動部５１は下方へ移動を続ける。
液晶パネル１は、位置決め部材１２，１３と、アーム２０およびアーム３０とにより高精
度に位置決めされているため、可動部５１が下降すると、位置の微調整を行わなくとも、
図２（ｂ）に示したように、可動部５１に設けられているプローブ５０が、液晶パネル１
に配設された端子に当接する。
【００２１】
以上説明したように本実施形態によれば、Ｘ軸方向とＹ軸方向とで同時に液晶パネル１
の位置決めが行われ、位置決めが終了すると、プローブ５０が液晶パネル１を駆動可能に
接触する。検査者は液晶パネル１を透明窓１１の上面に載置するだけで検査を開始するこ
とが可能となり、作業時間が短くなって効率よく液晶パネル１の検査を行うことが可能と
なる。また、縦横比が同じ液晶パネルであれば、アーム２０とアーム３０とが同時に液晶
パネル１に当接するので、位置決め部材１２，１３や各アームの位置を調整することなく
、異なるサイズの液晶パネルを位置決めすることができる。
【００２２】
なお、本実施形態においては、位置決め部材１２と位置決め部材１３の位置をずらして
固定できるようにしてもよい。また、ローラ２１とローラ３１の大きさを変えたり、各ロ
ーラの取り付け位置をずらすようにしてもよい。このような態様によれば、さらに様々な
大きさのパネルを固定することが可能となる。また、より安価にするために、摩擦係数が
小さく、液晶パネル１の側面を傷つけにくい素材をローラに替えてアームの先端に設ける
ようにしてもよい。また、可動部５１は、電動により上下させるのではなく、レバー等に
より手動で上下させるようにしてもよい。
【００２３】
［第２実施形態］
次に本発明の第２実施形態について説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係わる
検査装置の平面図である。図５に示したように、本発明の第２実施形態は、位置決め部材
１２を備えていない点と、連結部材４０の形状が異なる点と、２本のアームによりＸ軸方
向の位置決めを行う点が第１実施形態と異なる。なお、他の部分の構成は、第１実施形態
と同じであるため、第１実施形態と同じ構成要素については第１実施形態と同じ符号を付
し、以下その説明を省略する。
【００２４】
アーム２０Ａは、液晶パネル１をＸ軸方向へ位置決めする部材であり、アーム２０に対
向して設けられている。アーム２０Ａにおいて、液晶パネル１に当接する先端部には、弾
性を有するローラ２１Ａが回転自在に取り付けられている。また、アーム２０Ａのもう片
方の端部には、案内軸２４Ａが挿入される挿入孔２５Ａが、端部から長手方向に沿って設
けられており、アーム２０Ａは、この挿入された案内軸２４Ａに沿って移動する。また、
アーム２０Ａにおいて、液晶パネル１に当接する端部と反対方向の端部には、コイルバネ
２３Ａが当接し、アーム２０Ａは、このコイルバネ２３Ａの付勢力により、図５中の矢印
Ｅ方向へ付勢される。
【００２５】
連結部材４０Ａは、アーム２０と、アーム２０Ａと、アーム３０とを連動させて移動さ
せる部材であり、矩形をした環状部材の一辺を取り除いた形状をしている。連結部材４０
ＡのＸ軸方向に沿った部分には、アーム３０が固定されている。また、連結部材４０Ａに
おいてアーム２０側に位置する部分には、連結部材４０Ａを貫通する案内溝４２が斜めに
設けられており、この案内溝４２には、アーム２０に固定されたピン２６が挿入されてい
る。アーム２０は、コイルバネ２３により矢印Ａ方向へ付勢されているため、案内溝４２
の端面には、ピン２６が押し付けられることとなる。また、連結部材４０Ａにおいてアー
ム２０Ａ側に位置する部分には、連結部材４０Ａを貫通する案内溝４２Ａが斜めに設けら
れており、この案内溝４２Ａには、アーム２０Ａに固定されたピン２６Ａが挿入されてい
る。アーム２０Ａは、コイルバネ２３Ａにより矢印Ｅ方向へ付勢されているため、案内溝
４２Ａの端面には、ピン２６Ａが押し付けられることとなる。また、連結部材４０Ａのア
ーム２０側の端部には、案内部材５２の上方へ位置するように突出した摺動アーム４１が
設けられている。
【００２６】
次に、この検査装置の動作について説明する。検査者が図示しないボタンを操作して可
動部５１を上昇させると、案内部材５２に摺動アーム４１が当接する。摺動アーム４１が
案内部材５２に当接した後、可動部５１と共に案内部材５２がさらに上昇すると、摺動ア
ーム４１が第１実施形態と同様に案内部材５２上を摺動する。摺動アーム４１が案内部材
５２上を摺動すると、摺動アーム４１が設けられている連結部材４０Ａが矢印Ｄ方向へ移
動する。
【００２７】
連結部材４０Ａが矢印Ｄ方向へ移動すると、連結部材４０Ａに固定されているアーム３
０は、コイルバネ３３の付勢力に抗して連結部材４０Ａと共に矢印Ｄ方向へ移動する。ま
た、連結部材４０Ａが矢印Ｄ方向に移動すると、案内溝４２の端面に押し付けられている
ピン２６が案内溝４２の端面に沿って摺動し、ピン２６を備えたアーム２０がコイルバネ
２３の付勢力に抗して矢印Ｂ方向へ移動する。また、案内溝４２Ａの端面に押し付けられ
ているピン２６Ａが案内溝４２Ａの端面に沿って摺動し、ピン２６Ａを備えたアーム２０
Ａがコイルバネ２３Ａの付勢力に抗して矢印Ｆ方向へ移動する。そして図６に示したよう
に、摺動アーム４１が案内部材５２の下端に達すると、アーム２０と、アーム２０Ａと、
アーム３０とが開いた状態となり、液晶パネル１を載置するスペースが透明窓１１の上面
に生じる。
【００２８】
次に、検査者は液晶パネル１を位置決め部材１３に突き当てるようにして載置した後、
図示しないボタンを操作して可動部５１を下降させる。可動部５１が下降すると、アーム
３０がコイルバネ３３により付勢されているため、アーム３０の動きに連動して連結部材
４０Ａが矢印Ｃ方向に移動し、摺動アーム４１が案内部材５２に沿って移動する。また連
結部材４０Ａが矢印Ｃ方向へ移動すると、案内溝４２の端面に押し付けられているピン２
６が案内溝４２の端面に沿って摺動し、コイルバネ２３の付勢力により矢印Ａ方向へ移動
する。また、案内溝４２Ａの端面に押し付けられているピン２６Ａが案内溝４２Ａの端面
に沿って摺動し、コイルバネ２３Ａの付勢力により矢印Ｅ方向へ移動する。
【００２９】
そして、ローラ２１およびローラ２１Ａと、アーム３０の先端部に設けられているロー
ラ３１とが液晶パネル１に当接する。液晶パネル１は、Ｘ軸方向においては、コイルバネ
２３により付勢されているアーム２０と、コイルバネ２３Ａにより付勢されているアーム
２０Ａとにより位置決めされる。またアーム３０はコイルバネ３３により付勢されている
ため、液晶パネル１は、Ｙ軸方向においてはローラ３１により矢印Ｃ方向へ付勢され、位
置決め部材１３に押し当てられて位置決めされる。
【００３０】
アーム３０と、アーム２０およびアーム２０Ａにより液晶パネル１が位置決めされて固
定されると、連結部材４０ＡはＹ軸方向への移動を停止するが、可動部５１は下方への移
動を続ける。液晶パネル１は、アーム３０と、アーム２０およびアーム２０Ａとにより高
精度に位置決めされているため、可動部５１が下方へ移動すると、位置の微調整を行わな
くとも、プローブ５０が液晶パネル１に配設された端子に当接する。
【００３１】
以上説明したように本実施形態によれば、Ｘ軸方向とＹ軸方向とで同時に液晶パネル１
の位置決めが行われ、位置決めが終了すると、プローブ５０が液晶パネル１を駆動可能に
接触する。検査者は液晶パネル１を透明窓１１の上面に載置するだけで検査を開始するこ
とが可能となり、作業時間が短くなって効率よく液晶パネル１の検査を行うことが可能と
なる。
【００３２】
［第３実施形態］
次に本発明の第３実施形態について説明する。図７は、本発明の第３実施形態に係わる
検査装置の平面図である。図７に示したように、本発明の第３実施形態は、液晶パネル１
の位置決めを行うアームの構成と、アームを移動させる機構とが第１実施形態と異なる。
なお、本実施形態において第１実施形態と同じ構成要素については、第１実施形態と同じ
符号を付し、以下その説明を省略する。
【００３３】
ステージ１０の上面には、コイルバネ９１と案内軸９２とを備えた固定壁９０が配設さ
れている。このコイルバネ９１および案内軸９２の長手方向の中心軸は、位置決め部材１
２の基準面（液晶パネル１が当接する面）と、位置決め部材１３の基準面とを延長した時
に各面が交差する交点の方向（図７中の矢印Ａ方向）へ向けられている。また、可動部５
１においては、側面から見て直角辺三角形の形状をした案内部材５４が、図７に示したよ
うに、可動部５１に対して斜めになるように固定されている。
【００３４】
アーム６０は、液晶パネル１をＸ軸方向へ位置決めする部材である。アーム６０の先端
部には、弾性を有するローラ６１が回転自在に取り付けられている。また、アーム６０の
もう片方の端部は、ピン８３によりベース部材８０に回動自在に取り付けられている。ま
た、アーム７０は、液晶パネル１をＹ軸方向へ位置決めする部材である。アーム７０の先
端部には、弾性を有するローラ７１が回転自在に取り付けられている。また、アーム７０
のもう片方の端部は、ピン８４によりベース部材８０に回動自在に取り付けられている。
【００３５】
ベース部材８０は、アーム６０とアーム７０とを支持する部材である。ベース部材８０
において、固定壁９０に対向する端部には、案内軸９２が挿入される挿入孔８５が、ベー
ス部材８０の長手方向に沿って設けられている。また、この端部には、コイルバネ９１が
当接している。ベース部材８０は、このコイルバネ９１の付勢力によって図７中の矢印Ａ
方向へ付勢され、挿入孔８５に挿入された案内軸９２に沿って移動する。また、ベース部
材８０には、ねじりバネ１００Ａを固定するピン８１と、ねじりバネ１００Ｂを固定する
ピン８２とが設けられている。ねじりバネ１００Ａは、ねじりバネ１００Ａの中心軸を貫
装するピン８３と、ピン８１およびピン６２により固定され、アーム６０を図７中の矢印
Ｃ方向へ付勢する。また、ねじりバネ１００Ｂは、ねじりバネ１００Ｂの中心軸を貫装す
るピン８４と、ピン８２およびピン７２により固定され、アーム７０を図６中の矢印Ｅ方
向へ付勢する。また、ベース部材８０は、案内部材５４に向けて設けられた摺動アーム８
６を側面に備えている。
【００３６】
次に、この検査装置の動作について説明する。検査者が図示しないボタンを操作して可
動部５１を上昇させると、案内部材５４に摺動アーム８６が当接する。摺動アーム８６が
案内部材５４に当接した後、可動部５１と共に案内部材５４がさらに上昇すると、摺動ア
ーム８６が斜めに設けられた案内部材５４上を摺動する。摺動アーム４１が案内部材５４
上を摺動すると、摺動アーム８６が設けられているベース部材８０がコイルバネ９１の付
勢力に抗して矢印Ｂ方向へ移動する。
【００３７】
そして、ベース部材８０が矢印Ｂ方向に移動すると、ねじりバネ１００Ａの付勢力によ
りアーム６０が矢印Ｃ方向へ回動すると共に、ねじりバネ１００Ｂの付勢力によりアーム
７０が矢印Ｄ方向へ回動し、図８に示したように、液晶パネル１を載置するスペースが透
明窓１１の上面に生じる。
【００３８】
次に、検査者は液晶パネル１を位置決め部材１２と位置決め部材１３とに突き当てるよ
うにして載置した後、図示しないボタンを操作して可動部５１を下降させる。可動部５１
が下降すると、コイルバネ９１により付勢されているベース部材８０が矢印Ａ方向へ移動
し、ベース部材８０に設けられている摺動アーム８６も案内部材５４に沿って矢印Ａ方向
へ移動する。そして、アーム６０の先端部に設けられているローラ６１と、アーム７０の
先端部に設けられているローラ７１とが液晶パネル１の角の部分に当接する。
【００３９】
そして、可動部５１がさらに下降すると、アーム６０は矢印Ｄ方向へ回動し、ローラ６
１が液晶パネル１の側面を押圧する。また、アーム７０が矢印Ｆ方向へ回動し、ローラ７
１が、ローラ６１により押圧される側面に直交する側面を押圧する。液晶パネル１は、ロ
ーラ６１とローラ７１により押圧されると、図７に示したように、位置決め部材１２と位
置決め部材１３とに押し当てられて位置決めされる。
【００４０】
アーム６０とアーム７０とにより液晶パネル１が固定された後、可動部５１はさらに下
降を続ける。液晶パネル１は、位置決め部材１２，１３と、アーム６０およびアーム７０
とにより高精度に位置決めされているため、可動部５１が下方へ移動すると、可動部５１
に設けられているプローブ５０が、液晶パネル１に配設された端子に当接する。
【００４１】
以上説明したように本実施形態によっても、Ｘ軸方向とＹ軸方向とで同時に液晶パネル
１の位置決めが行われ、位置決めが終了すると、プローブ５０が液晶パネル１を駆動可能
に接触する。検査者は液晶パネル１を透明窓１１の上面に載置するだけで検査を開始する
ことが可能となり、作業時間が短くなって効率よく液晶パネル１の検査を行うことが可能
となる。
【００４２】
なお、本実施形態においては、図９に示したように、アーム６０Ａとアーム７０Ａとを
備えたＶ字状の押圧部材１１０を、ピン８７によってベース部材８０に回動自在に取り付
け、アーム６０Ａの先端部に取り付けられたローラ６１と、アーム７０Ａの先端部に取り
付けられたローラ７１とにより液晶パネル１の位置決めを行うようにしてもよい。この態
様によれば、ベース部材８０が矢印Ａ方向へ移動すると、ローラ６１とローラ７１のうち
、いずれか一方が先に液晶パネル１の側面に当接する（図１０参照）。そして、さらにベ
ース部材８０が矢印Ａ方向へ移動すると、Ｖ字状の押圧部材１１０が回動し、当接してい
なかったもう一方のローラが液晶パネル１の側面に当接する。ローラ６１とローラ７１と
が液晶パネル１の側面に当接すると、液晶パネル１は、ローラ６１とローラ７１とにより
位置決め部材１２と位置決め部材１３とに押し当てられて位置決めされる（図１１参照）
。
【００４３】
また、本実施形態においては、図１２に示したように、一方のアームを直線状にしてベ
ース部材８０に固定するようにしてもよい。このような態様でも、液晶パネル１は、ロー
ラ６１とローラ７１とにより位置決め部材１２と位置決め部材１３とに押し当てられて位
置決めされる。
【００４４】
［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定される
ことなく、他の様々な形態で実施可能である。例えば、上述の実施形態を以下のように変
形して本発明を実施してもよい。
【００４５】
上述した実施形態においては、液晶パネルを検査する場合を例に説明したが、検査対象
は、液晶パネルに限定されるものではなく、例えば、有機ＥＬパネルやプラズマパネルな
ど、他のパネルであってもよい。
【００４６】
可動部５１を上下方向に移動させつつ、連結部材４０を水平方向に移動させる構成とし
ては、例えば、ラックとピニオンを用いた構成を採用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る検査装置の平面図である。
【図２】第１実施形態に係わる検査装置の台座５３付近の側面図である。
【図３】同実施形態に係わる検査装置の動作を説明するための図である。
【図４】同実施形態に係わる検査装置の動作を説明するための図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る検査装置の平面図である。
【図６】同実施形態の動作を説明するための図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る検査装置の平面図である。
【図８】同実施形態の動作を説明するための図である。
【図９】同実施形態の変形例に係る検査装置の平面図である。
【図１０】同実施形態の変形例の動作を説明するための図である。
【図１１】同実施形態の変形例の動作を説明するための図である。
【図１２】同実施形態の他の変形例に係わる検査装置の平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１・・・液晶パネル、１０・・・ステージ、１２，１３・・・位置決め部材、２０，２
０Ａ，３０，６０，６０Ａ，７０，７０Ａ，７０Ｂ・・・アーム、４０，４０Ａ・・・連
結部材、５０・・・プローブ、５１・・・可動部、５２，５４・・・案内部材、８０・・
・ベース部材、１１０・・・押圧部材。
【図１】
2006208900.tif 000003
【図２】
2006208900.tif 000004
【図３】
2006208900.tif 000005
【図４】
2006208900.tif 000006
【図５】
2006208900.tif 000007
【図６】
2006208900.tif 000008
【図７】
2006208900.tif 000009
【図８】
2006208900.tif 000010
【図９】
2006208900.tif 000011
【図１０】
2006208900.tif 000012
【図１１】
2006208900.tif 000013
【図１２】
2006208900.tif 000014