(57)【要約】 【課題】  異なる用途に使用する光電センサのアンプ部を共通化することができる光電センサ及びその距離測定用ヘッド部を提供する。【解決手段】  光電センサは、ＰＳＤ１３の両端に出力された複数の受光信号を距離測定用ヘッド部１０部のヘッド側ＣＰＵ１５が受けると、ＰＳＤ１３上の受光位置に応じた幅のパルス信号を出力する。そして、この受光位置に応じた幅のパルス信号を積分して、受光位置に応じた波高値のパルス信号とし、ＦＥＴ１７のオフによりアンプ部２０のサンプルホールド回路２１に出力する。【選択図】  図１
2006208337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を投光する投光手段と、
前記投光手段から投光された光のうち測定対象物で反射した光を受光面にて受光し当該受光面における受光位置に応じた複数の受光信号を出力する１次元位置検出手段とを備え、
前記１次元位置検出手段における前記受光位置に基づいて測定対象物までの距離を測定する光電センサであって、
ヘッド部とアンプ部とから構成され、
前記ヘッド部は、
前記アンプ部から出力される投光パルス信号に基づいて光を投光する前記投光手段と、
前記投光パルス信号に同期して前記受光位置に応じたパルス信号を出力する前記１次元位置検出手段と、
前記１次元位置検出手段から出力される複数の受光信号を受けて前記受光位置に応じたパルス信号を出力するパルス化信号出力手段と、を備え、
前記アンプ部は、
前記パルス化信号出力手段からのパルス信号を距離に応じた測定値に変換して出力する変換手段を備えることを特徴とする光電センサ。
【請求項２】
前記パルス化信号出力手段は、
前記１次元位置検出手段における受光位置に応じた幅のパルス信号を出力するパルス化手段と、
前記パルス化手段からのパルス信号を積分する積分手段と、
前記積分手段により積分された積分信号をパルス信号として前記アンプ部に送出する送出手段とを備えて構成されることを特徴とする請求項１記載の光電センサ。
【請求項３】
前記１次元位置検出手段は、前記受光面における受光位置に応じた電流を両端の電極から出力するＰＳＤであることを特徴とする請求項１または請求項２記載の光電センサ。
【請求項４】
前記アンプ部の変換手段は、前記ヘッド部から出力されたパルス信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器からなることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の光電センサ。
【請求項５】
前記アンプ部は、
少なくとも請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のヘッド部と、投光された光の物体での透過光又は反射光に基づいて前記物体の検出を行うためのヘッド部とを含む複数のヘッド部のうちのいずれかを択一的に接続可能に構成されていることを特徴とする光電センサ。
【請求項６】
光を投光する投光手段と、
前記投光手段から投光された光のうち測定対象物で反射した光を受光面にて受光し当該受光面における受光位置に応じた複数の受光信号を出力する１次元位置検出手段とを備え、
前記１次元位置検出手段における前記受光位置に基づいて測定対象物までの距離を測定し、ヘッド部とアンプ部とから構成される光電センサのヘッド部であって、
前記アンプ部から出力される投光パルス信号に基づいて光を投光する前記投光手段と、
前記投光パルス信号に同期して前記受光位置に応じたパルス信号を出力する前記１次元位置検出手段と、
前記１次元位置検出手段から出力される複数の受光信号を受けて前記受光位置に応じたパルス信号を前記アンプ部に出力するパルス化信号出力手段と、を備えたことを特徴とするヘッド部。
【請求項７】
前記パルス化信号出力手段は、
前記１次元位置検出手段における受光位置に応じた幅のパルス信号を出力するパルス化手段と、
前記パルス化手段からのパルス信号を積分する積分手段と、
前記積分手段により積分された積分信号をパルス信号として前記アンプ部に送出する送出手段とを備えて構成されることを特徴とする請求項６記載のヘッド部。
【請求項８】
前記１次元位置検出手段は、前記受光面における受光位置に応じた電流を両端の電極から出力するＰＳＤであることを特徴とする請求項６又は請求項７記載のヘッド部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電センサ及びそのヘッド部に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ヘッド部とアンプ部とが分離され、ヘッド部に光を投光する投光手段と、投光手段から投光された光のうち測定対象物で反射した光を受光する１次元位置検出素子とを備えた光電センサが知られている。
【０００３】
この種の光電センサには、投光した光のうち測定対象物で反射した光の受光量に基づいて物体の有無を検出する検出センサや、斜め方向から投光した光のうち測定対象物で斜め方向に反射した光の受光面における受光位置に基づいて測定対象物までの距離を測定する距離測定用センサなどがある。
【０００４】
ここで、距離測定用センサにおいて、１次元位置検出素子として、例えば、ＰＳＤ（Position Sensitive Detector）等の１次元の位置検出素子が用いられているものがあり、受光位置に応じた電流を両端の電極から出力されるようになっている。そして、両端の電極から出力された電流が２つの出力端子及びケーブルを介してアンプ部側に送られて、両電流値に基づいてアンプ部にて測定対象物までの距離を測定するように構成されている。
【０００５】
一方、物体の有無を検出する検出センサ等においては、物体の有無に応じた電流が１つの電極から出力されるようになっており、当該電極から出力された電流が１つの出力端子及びケーブルを介してアンプ部側に送られて、電流値に基づいて物体の有無等を検出するように構成されている。
【特許文献１】特開平６−２８１４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、距離測定用センサのヘッド部と、物体の有無を検出する検出センサ等のヘッド部とでは、出力端子の数が異なるため、それら出力端子の数に応じた数の入力端子を有する専用のアンプ部を用意しなければならず、その分の製造コスト等の負担が生じていた。
【０００７】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、異なる用途に使用する光電センサのアンプ部を共通化することができる光電センサ及びそのヘッド部を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、光を投光する投光手段と、
前記投光手段から投光された光のうち測定対象物で反射した光を受光面にて受光し当該受光面における受光位置に応じた複数の受光信号を出力する１次元位置検出手段とを備え、
前記１次元位置検出手段における前記受光位置に基づいて測定対象物までの距離を測定する光電センサであって、
ヘッド部とアンプ部とから構成され、
前記ヘッド部は、
前記アンプ部から出力される投光パルス信号に基づいて光を投光する前記投光手段と、
前記投光パルス信号に同期して前記受光位置に応じたパルス信号を出力する前記１次元位置検出手段と、
前記１次元位置検出手段から出力される複数の受光信号を受けて前記受光位置に応じたパルス信号を出力するパルス化信号出力手段と、を備え、
前記アンプ部は、
前記パルス化信号出力手段からのパルス信号を距離に応じた測定値に変換して出力する変換手段を備える構成としたところに特徴を有する。
【０００９】
なお、アンプ部側に、所定の投光パルス信号のタイミングで投光手段を投光させる投光パルス信号出力手段と、前記投光タイミングから所定の遅延時間経過後のタイミングで受信したパルス信号を前記投光パルス信号のタイミングで投光された光により受光された光に基づくパルス信号であるとして距離の測定を行う測定手段とを備える構成としてもよい。この場合に、アンプ部側のＣＰＵに投光パルス信号出力手段と測定手段としての機能を持たせるようにしてもよい。また、遅延時間は予め実験等により求められる遅れ時間をメモリ等からなる記憶手段に記憶させるようにしてもよい。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記パルス化信号出力手段は、
前記１次元位置検出手段における受光位置に応じた幅のパルス信号を出力するパルス化手段と、
前記パルス化手段からのパルス信号を積分する積分手段と、
前記積分手段により積分された積分信号をパルス信号として前記アンプ部に送出する送出手段とを備えて構成されるところに特徴を有する。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載のものにおいて、前記１次元位置検出手段は、前記受光面における受光位置に応じた電流を両端の電極から出力するＰＳＤであるところに特徴を有する。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記アンプ部の変換手段は、前記ヘッド部から出力されたパルス信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器からなるところに特徴を有する。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のものにおいて、前記アンプ部は、
少なくとも請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のヘッド部と、投光された光の物体での透過光又は反射光に基づいて前記物体の検出を行うためのヘッド部とを含む複数のヘッド部のうちのいずれかを択一的に接続可能に構成されているところに特徴を有する。
【００１４】
請求項６の発明は、光を投光する投光手段と、
前記投光手段から投光された光のうち測定対象物で反射した光を受光面にて受光し当該受光面における受光位置に応じた複数の受光信号を出力する１次元位置検出手段とを備え、
前記１次元位置検出手段における前記受光位置に基づいて測定対象物までの距離を測定し、ヘッド部とアンプ部とから構成される光電センサのヘッド部であって、
前記アンプ部から出力される投光パルス信号に基づいて光を投光する前記投光手段と、
前記投光パルス信号に同期して前記受光位置に応じたパルス信号を出力する前記１次元位置検出手段と、
前記１次元位置検出手段から出力される複数の受光信号を受けて前記受光位置に応じたパルス信号を前記アンプ部に出力するパルス化信号出力手段と、を備えた構成としたところに特徴を有する。
【００１５】
請求項７の発明は、請求項６に記載のものにおいて、前記パルス化信号出力手段は、
前記１次元位置検出手段における受光位置に応じた幅のパルス信号を出力するパルス化手段と、
前記パルス化手段からのパルス信号を積分する積分手段と、
前記積分手段により積分された積分信号をパルス信号として前記アンプ部に送出する送出手段とを備えて構成されるところに特徴を有する。
【００１６】
請求項８の発明は、請求項６又は請求項７に記載のものにおいて、前記１次元位置検出手段は、前記受光面における受光位置に応じた電流を両端の電極から出力するＰＳＤであるところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１７】
＜請求項１の発明及び請求項６の発明＞
１次元位置検出手段により異なる位置から出力される複数の受光信号を直接アンプ部に送信しようとする場合には、受光信号に応じた数の出力端子がヘッド部に設けられるため、距離測定のためのヘッド部と、例えば受光信号に応じた出力端子が１つ設けられる物体（の有無）検出のためのヘッド部と、で出力端子の数が異なることになり、アンプ部を共通化することができない。また、受光信号に応じた数のケーブルが必要になるため、その分部品点数が増加してしまう。
【００１８】
しかしながら、本構成によれば、パルス化信号出力手段は、異なる位置から出力される複数の受光信号を１次元位置検出手段から受けると、受光面における受光位置に応じた（１つの）パルス信号をアンプ部側に出力する。したがって、部品点数を増加させることなく、距離測定のためのヘッド部と他の検出等に用いられるヘッド部とで、アンプ部を共通化することができる。
【００１９】
＜請求項２及び請求項７の発明の発明＞
本構成によれば、複数の出力信号がパルス化手段により受光位置に応じた幅のパルス信号に変換されて出力されるとともに、積分手段により積分されて送出手段によりアンプ部に送出されるから、アンプでは積分されたパルス信号に基づき測定対象物までの距離を測定することができる。
【００２０】
＜請求項３及び請求項８の発明の発明＞
２つの受光素子を並列配置し、それぞれの受光素子からの出力に基づいて反射光を受光する場合には、高い精度で距離を測定することができない。また、２次元素子を用いると、構成や処理が複雑になっていしまう。しかしながら、本構成によれば、簡易な構成で精度の高い距離検出が可能になる。
【００２１】
＜請求項４の発明＞
本構成によれば、ヘッド部から出力されたパルス信号がＡ／Ｄ変換器によりデジタル信号に変換されるから、かかるデジタル信号により測定対象物までの距離を測定することができる。
【００２２】
＜請求項５の発明＞
本構成によれば、距離測定用のヘッド部と物体検出用のヘッド部とを択一的にアンプ部に接続することができるから、距離測定時と物体検出時おいてアンプ部を共通化することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図４を参照して説明する。
実施形態１の光電センサは、投光された光の物体Ｗ（測定対象物）での反射光を受光面にて受光し、この受光位置に基づいて物体Ｗまでの距離測定が可能とされている。この光電センサは距離測定用ヘッド部１０とアンプ部２０とから構成されており、距離測定用ヘッド部１０とアンプ部２０とがケーブル（図示しない）により接続されて信号の送受信が可能となっている。また、アンプ部２０は、上記距離測定用ヘッド部１０に代えて反射する光により物体の検出が可能な物体検出用ヘッド部３０をケーブルを介して接続することができるようになっている。
【００２４】
１．距離測定用ヘッド部の構成
距離測定用ヘッド部１０は、ＬＥＤ（発光ダイオード）からなる投光素子１１と、投光素子１１を駆動させる投光回路１２と、複数の受光信号を両端から出力するＰＳＤ１３（Position Sensitive Detector，本発明の「１次元位置検出手段」に相当）と、ＰＳＤ１３から出力される受光信号を増幅する差動増幅回路１４と、ヘッド側ＣＰＵ１５と、を備えて構成されている。なお、図１の回路図についてＰＳＤ１３は、説明上２つのダイオードから構成されるものとして図示されている。
【００２５】
投光回路１２は、アンプ部２０のアンプ側ＣＰＵ２３からの投光パルス信号ａを受けて駆動し投光素子１１を投光させる。投光素子１１から投光された光は投光レンズＬを透過して物体Ｗ上に照射されるとともに、物体Ｗ上で反射した光は受光レンズ（図示しない）で集光されてＰＳＤ１３の受光面上にスポット光として照射される。
【００２６】
ここで、ＰＳＤ１３の受光面上でのスポット光の位置は、距離測定用ヘッド部１０と物体Ｗとの間の距離により変化する。物体Ｗが光電センサに近づくと、図２に示すように、光スポットはＰＳＤ１３受光面の一端部ｘ１側に形成され、物体Ｗが光電センサから離れると、光スポットはＰＳＤ１３の受光面上の他端部ｘ２側に形成される。そして、ＰＳＤ１３は、受光面上での受光位置に応じた２つの受光信号を出力し、共に差動増幅回路１４にて所定の増幅率だけ増幅された受光信号ｂ，ｃがヘッド側ＣＰＵ１５に出力される。
【００２７】
具体的には、一端部ｘ１側の電極から出力される受光信号はＰＳＤ１３の受光面の一端部ｘ１から受光位置ｘまでの距離に反比例したレベル（電流値）を有し、他端部ｘ２側の電極から出力される受光信号は受光面の他端部から受光位置までの距離に反比例したレベル（電流値）を有する。したがって、ＰＳＤ１３上の受光位置（スポット位置）に応じて両端部の電極からそれぞれ出力される複数の受光信号（電流値）に基づき物体Ｗまでの距離を測定できるようになっている。
【００２８】
ＰＳＤ１３の両端の電極はそれぞれコンデンサＣ１の一端に接続されており、ＰＳＤ１３の両端からそれぞれ出力される受光量に応じた各受光信号は、共にコンデンサＣ１を介して直流（低周波）成分が除去された後、異なる差動増幅回路１４にそれぞれ出力される。なお、各電極とコンデンサＣ１の一端とは抵抗を介して接地されている。
【００２９】
差動増幅回路１４は、ＰＳＤ１３からの出力電流が微弱であるため、これを増幅するため設けられるものであり、抵抗とオペアンプとを備えて構成される。そして、各差動増幅回路１４からの出力は、電圧波形が反転されてヘッド側ＣＰＵ１５に出力される。
【００３０】
ヘッド側ＣＰＵ１５は、両差動増幅回路１４からの受光信号ｂ，ｃを受けると、受光信号レベルの差（ｂ−ｃ）を全受光量レベルに相当する（ｂ＋ｃ）で除算することにより、位置信号｛（ｂ−ｃ）／（ｂ＋ｃ）｝を得る。そして、得られた位置信号を当該位置信号の大きさに比例した（受光面上の位置に応じた）パルス幅のパルス信号ｄ（ＰＷＭ信号）として後述する積分回路１６に出力する。具体的には、例えば、受光位置がＰＳＤ１３の受光面の一端部ｘ１に近づくほどパルス信号ｄのパルス幅が大きくなり、ＳＤ１３の受光面の他端部ｘ２に近づくほどパルス信号ｄのパルス幅が小さくなる。したがって、ヘッド側ＣＰＵ１５が本発明のパルス化手段に相当する。
【００３１】
また、ヘッド側ＣＰＵ１５は、アンプ側ＣＰＵ２３からの投光パルス信号ａを受けており、この投光パルス信号ａに基づき、後述するＦＥＴ１７のオンオフタイミングを制御するようになっている。
【００３２】
さらに、本実施形態では、距離測定用ヘッド部１０には、積分回路１６と、ＦＥＴ１７とが備えられている。
【００３３】
積分回路１６（本発明の「積分手段」に相当）は、ヘッド側ＣＰＵ１５から出力されるパルス信号ｄを積分するＣＲ回路１６Ａと、ＣＲ回路１６Ａからの出力を受けるボルテージフォロア１６Ｂとから構成されている。
【００３４】
ＣＲ回路１６Ａは、抵抗Ｒ４の一端側がヘッド側ＣＰＵ１５に接続されており、他端側がボルテージフォロア１６ＢのオペアンプＯＰ３の正入力端子に接続されている。コンデンサＣ２は、一端側が接地されており、他端側が抵抗Ｒ４の出力側（オペアンプＯＰ３側）と接続されている。そして、ＣＲ回路１６Ａは受光位置に応じたパルス幅のパルス信号ｄを受けると、受光位置に応じた波高値（電圧値）の電圧信号ｅに変換し、オペアンプＯＰ３の正入力端子に出力する。
【００３５】
ボルテージフォロア１６Ｂは、測定時の出力電圧の低下を防止するために設けられており、このボルテージフォロア１６Ｂから出力される電圧信号ｅが、アンプ部２０側に与えられるようになっている。
したがって、積分回路１６は、ヘッド側ＣＰＵ１５からのＰＷＭ出力を電圧レベル出力に変換している。
【００３６】
ＦＥＴ１７（本発明の「送出手段」に相当）は、Ｐチャネル型のＦＥＴであって、ゲートがヘッド側ＣＰＵ１５に接続されるとともに、ドレインが積分回路１６からの出力信号線に接続されている。また、ソースは、接地されている。
【００３７】
これにより、ヘッド側ＣＰＵ１５からパルス信号ｆのローレベルがゲートに出力されたときに積分回路１６からの電圧信号ｅが出力端子Ａを介してアンプ部２０側に送出されるようになるとともに、ヘッド側ＣＰＵ１５からハイレベルの電圧がゲートに出力されたときには、積分回路１６からのパルス信号ｇがアンプ部２０側に送出されないようになっている。これにより、電圧信号ｅは、受光位置に応じた波高値（電圧値）のパルス信号ｇとして、アンプ部２０側に送出される。このように、波高値のパルス信号ｇがアンプ部２０側に送出されることで、アンプ部２０側への伝送時にノイズ等の影響を受けないようになっている。
【００３８】
なお、ヘッド側ＣＰＵ１５の演算（処理）等により、積分回路１６から出力される信号は、投光パルス信号ａのタイミングよりも所定時間（例えば、複数パルス周期に亘って）遅れる場合には、ヘッド側ＣＰＵ１５がパルス信号ｆのローレベルを出力するタイミングは、投光パルス信号ａのタイミングから所定の遅延時間経過（例えば、パルス周期を変更することで、複数周期後の投光パルス信号のタイミングに同期させてもよい）後に行われるようにしてもよい。
【００３９】
２．アンプ部の構成
アンプ部２０は、サンプルホールド回路２１と、アンプ側ＣＰＵ２３とを備えて構成されている。
サンプルホールド回路２１は、距離測定用ヘッド部１０からの波高値のパルス信号ｇが入力端子Ａ’を介して入力されると、パルス信号ｇを所定時間ごとにホールドし、アンプ側ＣＰＵ２３に出力する。
【００４０】
アンプ側ＣＰＵ２３には、Ａ／Ｄ変換器２２が備えられており、ホールドされた最大値がデジタル信号に変換されてアンプ側ＣＰＵ２３に取り込まれる。したがって、Ａ／Ｄ変換器２２が本発明の変換手段に相当する。
【００４１】
ここで、通常、光電センサ（距離センサ）においては、距離測定用ヘッド部１０から出力される波高値のパルス信号ｇのタイミングは、投光パルス信号ａのタイミングよりも複数周期（パルス周期）分遅れる（例えば、図３のａの最初のタイミングで投光パルス信号を送出したときの応答が図３のｇの３番目のパルス波形であるときはほぼ２周期分の遅延）。これは、ヘッド側ＣＰＵ１５にて２つの受光量から比を求めるなどして距離を算出するために、この距離の算出等を行う演算処理に時間がかかってしまうからである。
【００４２】
そこで、本実施形態では、投光パルス信号ａのタイミングよりも所定時間（例えば、複数パルス周期に亘って）遅れる場合には、投光パルス信号ａのタイミングから演算処理による遅延時間経過後にアンプ側ＣＰＵ２３が入力した信号を投光パルス信号ａのタイミングで投光された光により受光された光に基づくパルス信号であるとして距離の測定を行うようにしている。即ち、遅延時間を加味して光電センサの応答速度が決められているので、この応答速度範囲内で、同期しているものとみなすことができる。
【００４３】
そして、取り込んだ最大値はＰＳＤ１３の受光面における位置に応じた値となっているから、アンプ側ＣＰＵ２３では、かかる最大値から距離測定用ヘッド部１０から物体Ｗまでの距離に対応した測定値を、アンプ部２０に設けられるデジタル表示器等からなる表示手段（図示しない）に表示させる。
【００４４】
３．物体検出用ヘッド部の構成
物体検出用ヘッド部３０は、図４に示すように、距離測定用ヘッド部１０の構成のうち、ヘッド側ＣＰＵ１５と積分回路１６とＦＥＴ１７は設けられておらず、また、ＰＳＤ１３に代えて１出力のフォトダイオード３３が設けられているため、差動増幅回路３４は１つだけ設けられている。
【００４５】
これにより、アンプ側ＣＰＵ２３から投光パルス信号ａが送出されると、投光回路３２が駆動して投光素子３１が投光する。投光された光のうち物体Ｗで反射した光は、フォトダイオード３３に受光され、受光信号がコンデンサを介して差動増幅回路３４にて増幅される。そして、増幅された受光信号は、距離測定用ヘッド部１０と同様に１本の信号線（１つの出力端子Ａ）を介してアンプ側ＣＰＵ２３のサンプルホールド回路２１に出力される。
【００４６】
これにより、ハイレベル又はローレベルの信号がアンプ側ＣＰＵ２３に取り込まれ、アンプ側ＣＰＵ２３は、ハイレベル又はローレベルの信号に基づいて物体の有無を検出できるようになっている。
【００４７】
このように、距離測定に用いる距離測定用ヘッド部１０と、物体検出用ヘッド部３０とは、アンプ部２０に接続される信号線の数が同じになるため、アンプ部２０には、距離測定に用いる距離測定用ヘッド部１０と物体検出用ヘッド部３０とを択一的に接続可能となっている。なお、物体検出用ヘッド部３０以外についても、アンプ部２０を共通化してもよい。例えば、投光素子と受光素子とを対向対置し、透過光の有無により物体を検出するいわゆる透過型光電センサのヘッド部を接続することもできる。
なお、物体検出時の投光パルス信号ａの周期を、距離測定用ヘッド部１０にて生じる遅延時間が複数周期後の投光パルス信号ａのタイミングに一致する周期とすれば、距離測定用ヘッド部１０に取り替えた場合であっても、アンプ側ＣＰＵ２３において距離測定時に遅延させる処理を省略することができる。
【００４８】
４．本実施形態の効果
（１）ＰＳＤ１３（１次元位置検出手段）により異なる位置から出力される複数の受光信号を直接アンプ部２０に送信しようとする場合には、受光信号に応じた数の出力端子が距離測定用ヘッド部に設けられるため、距離測定のための距離測定用ヘッド部１０と、例えば受光信号に応じた出力端子が１つ設けられる物体（の有無）検出のための物体検出用ヘッド部３０と、で出力端子の数が異なることになり、アンプ部２０を共通化することができない。また、受光信号に応じた数のケーブルが必要になるため、その分部品点数が増加してしまう。
しかしながら、本実施形態によれば、ヘッド側ＣＰＵ１５と積分回路１６とＦＥＴ１７とから構成されるパルス化信号出力手段は、異なる位置（両端の電極）から出力される複数の受光信号ｂ，ｃを受けると、ＰＳＤ１３の受光面における受光位置に応じた（１つの）パルス信号を（１つの）出力端子を介してアンプ部２０側に出力する。したがって、部品点数を増加させることなく、距離測定のための距離測定用ヘッド部１０と他の検出等に用いられるヘッド部とで、アンプ部２０を共通化することができる。
【００４９】
（２）２つの受光素子を並列配置し、それぞれの受光素子からの出力に基づいて反射光を受光する場合（分割ダイオード等）には、高い精度で距離を測定することができない。また、２次元素子を用いると、構成や処理が複雑になっていしまう。しかしながら、本実施形態のようにＰＳＤ１３を用いることで、簡易な構成で精度の高い距離検出が可能になる。
【００５０】
（３）距離測定用ヘッド部１０から出力されたパルス信号がＡ／Ｄ変換器２２によりデジタル信号に変換されるから、かかるデジタル信号により物体Ｗ（測定対象物）までの距離を測定することができる。
【００５１】
（４）距離測定用ヘッド部１０と物体検出用ヘッド部３０とを択一的にアンプ部２０に接続することができるから、距離測定時と物体検出時おいてアンプ部２０を共通化することが可能になる。
【００５２】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００５３】
（１）上記実施形態では、１次元位置検出素子としてＰＳＤ１３を用いたが、これに限られない。例えば、２つのダイオード（受光素子）から構成される分割ダイオードであってもよい。また、ＰＳＤ１３に代えて、Ｃ-ＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor ）や１次元ＣＣＤ等を用いてもよい。
（２）上記実施形態では、ＦＥＴ１７は、Ｐチャネル型のＦＥＴとしたが、Ｎチャネル型のＦＥＴとしてもよい。この場合には、ヘッド側ＣＰＵ１５からパルス信号ｆのハイレベルがゲートに出力されたときに積分回路１６からのパルス信号ｇが出力端子Ａを介してアンプ部２０側に送出される。
（３）上記実施形態では、サンプルホールド回路２１により波高値のパルス信号ｇを所定時間ごとにホールドする構成としたが、ピークホールド回路によりパルス信号ｇの最大値又は最小値をホールドし、アンプ側ＣＰＵ２３に出力する構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】距離測定用の光電センサの構成を概略的に示す図
【図２】ＰＳＤの概略図
【図３】各位置におけるパルス波形を示すタイミングチャート
【図４】物体検出用の光電センサの構成を概略的に示す図
【符号の説明】
【００５５】
１０…ヘッド部
１１…投光素子（投光手段）
１３…ＰＳＤ （１次元位置検出素子）
１５…ヘッド側ＣＰＵ（パルス化手段）
１６…積分回路（積分手段）
１６Ａ…ＣＲ回路
１６Ｂ…ボルテージフォロア
１７…ＦＥＴ（送出手段）
２０…アンプ部
２１…サンプルホールド回路
２２…Ａ／Ｄ変換器
２３…アンプ側ＣＰＵ
３０…物体検出用ヘッド部
３３…フォトダイオード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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