(57)【要約】【課題】高い精度で角速度を検出することができるジャイロ用出力補正システムの提供。【解決手段】振動子の共振周波数の変化に対応するように出力補正をおこなうことを特徴とするジャイロ用出力補正システム。特に、バイアスおよび／またはスケールファクタの補正をおこなうのがよい。これらの補正は、三点の直線近似によりおこなうのが望ましい。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子の共振周波数の変化に基づいて出力補正を行うことを特徴とするジャイロ用出力補正システム。
【請求項２】
振動子の共振周波数の変化に基づいて、バイアスおよび／またはスケールファクタの補正をおこなうことを特徴とする請求項１に記載のジャイロ用出力補正システム。
【請求項３】
下記の(1)式または(2)式により算出される補正後のバイアス出力B(f)を用いることを特徴とする請求項２に記載のジャイロ用出力補正システム。
B(f)＝BR(f)−｛BR(f0 )＋KBH×（f−f0）｝（但し、f＞f0の場合）  ・・・(1)
B(f)＝BR(f)−｛BR(f0 )＋KBL×（f0−f）｝（但し、f≦f0の場合）  ・・・(2)
ここで、
KBH＝｛BR(fH )−BR(f0 )｝／（fH−f0）  ・・・(3)
KBL＝｛BR(f0 )−BR(fL )｝／（f0−fL）  ・・・(4)
但し、(1)〜(4)式中の各記号の意味は下記のとおりである。
f：観測された共振周波数（Hz）
f0：基準環境における共振周波数(Hz) 
fL：環境の変化に起因して変化する共振周波数の下限値 (Hz)
fH：環境の変化に起因して変化する共振周波数の上限値 (Hz)
B(f)：共振周波数がfの場合における補正後のバイアス出力（Ｖ）
BR(f)：共振周波数がfの場合における実際のバイアス出力（Ｖ）
BR(f0)：共振周波数がf0の場合における実際のバイアス出力（Ｖ）
BR(fL)：共振周波数がfLの場合における実際のバイアス出力（Ｖ）
BR(fH)：共振周波数がfHの場合における実際のバイアス出力（Ｖ）
KBH：高周波数領域におけるバイアスの補正係数
KBL：低周波数領域におけるバイアスの補正係数
【請求項４】
下記の(5)式または(6)式により算出される補正後のスケールファクタ出力S(f)を用いることを特徴とする請求項２または請求項３に記載のジャイロ用出力補正システム。
S(f)＝B(f)×｛KS0−KSH×（f−f0）｝（但し、f＞f0の場合）  ・・・(5)
S(f)＝B(f)×｛KS0−KSL×（f−f0）｝（但し、f≦f0の場合）  ・・・(6)
ここで、
KS0＝STY／SR (f0)  ・・・(7)
KSH＝｛（STY／SR (f0)）−（STY／SR (fH)）｝／（fH−f0）  ・・・(8)
KSL＝｛（STY／SR (fL)）−（STY／SR (f0)）｝／（f0−fL）  ・・・(9)
但し、(5)〜(9)式中の各記号の意味は下記のとおりである。
f：観測された共振周波数（Hz）
f0：基準環境における共振周波数(Hz) 
fL：環境の変化に起因して変化する共振周波数の下限値 (Hz)
fH：環境の変化に起因して変化する共振周波数の上限値 (Hz)
S(f)：共振周波数がfの場合における補正後のスケールファクタ（V/deg/s）
B(f)：共振周波数がfの場合における補正後のバイアス出力（Ｖ）
KS0：基準環境におけるスケールファクタの補正係数
KSH：高周波数領域におけるスケールファクタの補正係数
KSL：低周波数領域におけるスケールファクタの補正係数
STY：使用が想定される環境の範囲内におけるスケールファクタの代表値（V/deg/s）
SR(f0)：共振周波数がf0の場合における実際のスケールファクタ（V/deg/s）
SR(fL)：共振周波数がfLの場合における実際のスケールファクタ（V/deg/s）
SR(fH)：共振周波数がfHの場合における実際のスケールファクタ（V/deg/s）
【請求項５】
共振運動をする振動子と、振動子に振動を生じさせる駆動手段と、振動子の動きを感知する感知手段と、感知した振動子の動きを出力する出力手段と、請求項１から請求項４までのいずれかに記載のジャイロ用出力補正システムとを有する振動ジャイロシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度変化などの環境の変化による振動ジャイロの出力誤差を補正して、測定精度を向上できるジャイロ用出力補正システムおよび振動ジャイロシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ジャイロには、機械式、光学式、流体式、振動式等のさまざまな方式のものがあるが、これらの方式の中で振動ジャイロは、小型で低価格という特徴を有しているため、ヨーレートセンサー、テレマティクス、ＧＰＳコンパス、モバイル衛星アンテナなど多くの分野で利用されている。
【０００３】
振動ジャイロには、音叉やビーム棒を振動子として使用した圧電ジャイロと呼ばれるものの他、リング型振動ジャイロ（例えば、特許文献１参照）のような、宙吊り状態の振動子リングに楕円振動を与える構造の振動ジャイロもある。これらの振動ジャイロでは、コリオリ力によって励起される二次振動などを観測することにより角速度を検出する構造を有している。
【０００４】
図１は、リング型振動ジャイロの角速度検出原理を説明する図である。図１に示すように、リング型振動ジャイロにおいて、振動子リングは、その上下方向には磁場を受け、周方向には交流電流が流されるため、ローレンツ力により楕円形状に振動する（振動モード１）。この振動子リングの楕円振動に角速度を与えると、振動モード１に対してコリオリ力が働き、新たに振動モード１から４５°ずれた位置に振動モード２が発生する。振動モード２が発生する振動モード１の不働点（ノード）をモニターすることにより角速度を知ることができる。しかし、リング型振動ジャイロに限らず、振動ジャイロにおいては共振振動の周波数がジャイロの環境、特に温度条件による影響を受けやすい。
【０００５】
図２は、温度と共振周波数との関係を示す図である。図２に示すように、振動子の共振周波数は、ジャイロの使用温度が上昇すると低下するという一定の相関関係がある。この相関関係は、振動子を構成する材料によって変わるが、いずれの材料を用いた場合でもジャイロの使用温度が変化すると振動子の共振周波数も変化する。一方、ジャイロ出力も使用温度によって変化する。これは、共振周波数、Ｑなどの温度変化のほか、構造体または接着剤の歪みなどが温度によって変化することによる。
【０００６】
特許文献２には、温度補償回路を備えるジャイロが開示されている。しかし、このような回路によって温度変化に対応させたジャイロでは、基板面積が拡大すると共に、部品点数が増え、製造コストが増加するという問題がある。また、このジャイロでは、サーミスタ（感温抵抗）の温度による抵抗値の変化を用いて振動子の共振周波数を補正しており、振動子自体の温度を計測できないので、誤差が生じる。さらに、環境変化、経年変化などにより素子の特性が変化し、しかも、ジャイロの精度を変更する場合に部品を換える必要がある。
【０００７】
【特許文献１】特開平10-267667号公報
【特許文献２】特開2002-31533号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
温度変化に代表される環境の変化による測定精度の低下を防止する方法としては、温度検出素子などによりジャイロの振動子の温度変化を測定して、その結果に基づいて振動子の振動条件を調整する（いわゆる、温度補正をする）ことが考えられる。しかし、温度検出素子を別途設けることはコストの増加を招き、また実装面積が増加して軽量化、小型化の要請に対応できない。さらに、温度検出素子では、振動子自体の温度を正確に検出できないため、測定精度の低下防止方法としては不十分である。
【０００９】
振動ジャイロの性能を評価する指標に、バイアス（ゼロ点）およびスケールファクタがある。バイアスとは、ジャイロが静止している状態での出力(V)である。バイアスは、どのような振動ジャイロであっても環境変化による出力変動が存在し、出力変動は角速度が与えられたときのそれと見分けがつかないから、バイアスの温度による変動はセンサの検出誤差そのものになってしまう。従って、バイアスに環境変化による変動があるかどうかは、ジャイロの性能を把握する上で重要な指標となる。
【００１０】
また、スケールファクタとは、単位角速度(deg/s)あたりのセンサ出力変動値(V)を示す値である。また、ジャイロ出力ダイナミックレンジ内でどの程度の角速度まで検出できるか、即ち、ジャイロの感度を示すことにもなる。例えば、出力ダイナミックレンジが0.5〜4.5Ｖ（中点出力：2.5Ｖ）で、スケールファクタが20mV/(deg/s)の場合、計測できる範囲は-100〜100deg/sということになる。
【００１１】
図３は、ジャイロの出力と角速度との関係を示す図である。図３に示すように、環境が変化しない場合には、ジャイロ出力と角速度との間には比例関係があり、この直線の傾きがスケールファクタであり、出力軸における切片がバイアスである。
【００１２】
図４は、バイアスと共振周波数との関係を示す図であり、図５は、スケールファクタと共振周波数との関係を示す図である。なお、図４および５において、共振周波数の最小値はfL、最大値はfHとし、これらに対応するバイアスはBR(fL)、BR(fH)、スケールファクタはSR(fL)、SR(fH)とした。共振周波数の変化は、主として温度変化によるものであるため、fLとして振動ジャイロの最低使用温度（例えば、−30℃）のときの共振周波数を用い、fHとして振動ジャイロの最高使用温度（例えば80℃）のときの共振周波数を用いることができる。
【００１３】
環境（例えば、使用温度）が変化すると、共振周波数も、バイアスおよびスケールファクタも変動するので、図４および図５に示すように、共振周波数とバイアスおよびスケールファクタとの間には一定の対応関係がある。バイアスの変化により図３における出力軸の切片が変動し、スケールファクタの変化により図３における傾きが変動するため、ジャイロから出力される電圧値に誤差が生じる。
【００１４】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、共振周波数の変化量に基づいて、出力補正をおこなうことにより、角速度の検出精度を向上させた振動ジャイロシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、下記の(a)〜(d)に示すジャイロ用出力補正システムおよび下記の(e)に示す振動ジャイロシステムを要旨とする。
【００１６】
(a)   振動子の共振周波数の変化に基づいて出力補正を行うことを特徴とするジャイロ用出力補正システム。
【００１７】
(b)  振動子の共振周波数の変化に基づいて、バイアスおよび／またはスケールファクタの補正をおこなうことを特徴とする上記の(a)に記載のジャイロ用出力補正システム。
【００１８】
(c)  下記の(1)式または(2)式により算出される補正後のバイアス出力B(f)を用いることを特徴とする上記の(b)に記載のジャイロ用出力補正システム。
B(f)＝BR(f)−｛BR(f0 )＋KBH×（f−f0）｝（但し、f＞f0の場合）  ・・・(1)
B(f)＝BR(f)−｛BR(f0 )＋KBL×（f0−f）｝（但し、f≦f0の場合）  ・・・(2)
ここで、
KBH＝｛BR(fH )−BR(f0 )｝／（fH−f0）  ・・・(3)
KBL＝｛BR(f0 )−BR(fL )｝／（f0−fL）  ・・・(4)
但し、(1)〜(4)式中の各記号の意味は下記のとおりである。
f：観測された共振周波数（Hz）
f0：基準環境における共振周波数(Hz) 
fL：環境の変化に起因して変化する共振周波数の下限値 (Hz)
fH：環境の変化に起因して変化する共振周波数の上限値 (Hz)
B(f)：共振周波数がfの場合における補正後のバイアス出力（Ｖ）
BR(f)：共振周波数がfの場合における実際のバイアス出力（Ｖ）
BR(f0)：共振周波数がf0の場合における実際のバイアス出力（Ｖ）
BR(fL)：共振周波数がfLの場合における実際のバイアス出力（Ｖ）
BR(fH)：共振周波数がfHの場合における実際のバイアス出力（Ｖ）
KBH：高周波数領域におけるバイアスの補正係数
KBL：低周波数領域におけるバイアスの補正係数
【００１９】
(d)  下記の(5)式または(6)式により算出される補正後のスケールファクタ出力S(f)を用いることを特徴とする上記の(b)または(c)に記載のジャイロ用出力補正システム。
S(f)＝B(f)×｛KS0−KSH×（f−f0）｝（但し、f＞f0の場合）  ・・・(5)
S(f)＝B(f)×｛KS0−KSL×（f−f0）｝（但し、f≦f0の場合）  ・・・(6)
ここで、
KS0＝STY／SR (f0)  ・・・(7)
KSH＝｛（STY／SR (f0)）−（STY／SR (fH)）｝／（fH−f0）  ・・・(8)
KSL＝｛（STY／SR (fL)）−（STY／SR (f0)）｝／（f0−fL）  ・・・(9)
但し、(5)〜(9)式中の各記号の意味は下記のとおりである。
f：観測された共振周波数（Hz）
f0：基準環境における共振周波数(Hz) 
fL：環境の変化に起因して変化する共振周波数の下限値 (Hz)
fH：環境の変化に起因して変化する共振周波数の上限値 (Hz)
S(f)：共振周波数がfの場合における補正後のスケールファクタ（V/deg/s）
B(f)：共振周波数がfの場合における補正後のバイアス出力（Ｖ）
KS0：基準環境におけるスケールファクタの補正係数
KSH：高周波数領域におけるスケールファクタの補正係数
KSL：低周波数領域におけるスケールファクタの補正係数
STY：使用が想定される環境の範囲内におけるスケールファクタの代表値（V/deg/s）
SR(f0)：共振周波数がf0の場合における実際のスケールファクタ（V/deg/s）
SR(fL)：共振周波数がfLの場合における実際のスケールファクタ（V/deg/s）
SR(fH)：共振周波数がfHの場合における実際のスケールファクタ（V/deg/s）
【００２０】
(e)共振運動をする振動子と、振動子に振動を生じさせる駆動手段と、振動子の動きを感知する感知手段と、感知した振動子の動きを出力する出力手段と、上記の(a)から(d)までのいずれかに記載のジャイロ用出力補正システムとを有する振動ジャイロシステム。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、環境の変化、特に温度変化による測定精度低下を防止することができるので、高い精度で角速度を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明のジャイロ用出力補正システムおよび振動ジャイロシステムを説明する。
【００２３】
本発明の振動ジャイロシステムは、少なくとも、共振運動をする振動子と、振動子に振動を生じさせる駆動手段と、振動子の動きを感知する感知手段と、感知した振動子の動きを出力する出力手段と、出力補正を行う演算手段を有する。この演算手段は、振動子の共振周波数の変化に基づいて出力補正を行い、以下の説明においてジャイロ用出力補正システムと呼ぶ。
【００２４】
前掲の図４および図５に示すように、環境変化に応じて共振周波数が変化し、同時にバイアス、スケールファクタ等のセンサ出力も変動する。従って、ジャイロ用出力補正システムでは、共振周波数の変化をモニターして、その変化に対応するように出力補正をする。具体的には下記のように補正すればよい。
【００２５】
１．バイアスの補正について
図６は、バイアスの補正を説明する図である。図６に示すように、バイアスの補正は、環境の変化に起因して変化する共振周波数の上限値fH (Hz)および下限値fL (Hz)ならびに基準環境における共振周波数f0(Hz) の３点についての直線近似によりおこなうことができる。なお、共振周波数に最も影響を及ぼす因子は、温度であるので、指標環境の変化とは、例えば−30℃〜80℃の範囲、このときの基準環境（基準温度）は25℃と表すことができる。
【００２６】
ここで、共振周波数がfH、fL、f0である場合における実際のバイアス出力をそれぞれBR(fH)、 BR(fL)、BR(f0)とするとき、高周波数領域におけるバイアスの補正係数（傾き）KBH、および低周波数領域におけるバイアスの補正係数（傾き）KBLは、それぞれ以下のように示される。
KBH＝｛BR(fH )−BR(f0 )｝／（fH−f0）  ・・・(a)
KBL＝｛BR(f0 )−BR(fL )｝／（f0−fL）  ・・・(b)
【００２７】
従って、振動ジャイロにより観測された共振周波数fが、f＞f0の関係を満たすとき、即ち、高周波領域にあるときは、下記の(c)式により、また、f≦f0の関係を満たすとき、即ち、低周波領域にあるときは、下記の(d)式により、補正後のバイアスを求めることができる。但し、(c)式または(d)式中の「KBH」、「KBL」は、それぞれ(a)式または(b)式により求められる値である。  
B(f)＝BR(f)−｛BR(f0 )＋KBH×（f−f0）｝  ・・・(c)
B(f)＝BR(f)−｛BR(f0 )＋KBL×（f0−f）｝  ・・・(d)
【００２８】
このようにして補正されたバイアスを図６中の２点鎖線で示すが、この図に示すように、補正後のバイアスは、共振周波数の変化に対してほとんど変化しないため、環境の変化による影響を受けにくく、出力誤差を低減できる。
【００２９】
なお、４点以上の直線近似により出力補正をすることもでき、また、直線近似ではなく、二次以上の曲線近似を行うこともできる。数式による計算ではなく、マトリックスの表を用いて近似することも可能である。しかし、４点以上の直線近似、曲線近似等では、計測点数を増やす必要がある。即ち、上記の環境因子による挙動はジャイロ毎に異なるため、それぞれのジャイロについて計測する必要が生じ、これによって計測に要する時間が増加してしまう。従って、ジャイロに要求される性能を満足する範囲で、できるだけ簡単な近似を行うことが望ましく、後述の実施例に示すように、３点の直線近似によれば、バイアスのRMS値（０deg/sと出力値との差の二乗平均値）を0.112（deg/s RMS）以下にできる。
【００３０】
２．スケールファクタの補正について
図７は、スケールファクタの補正を説明する図である。図７に示すように、スケールファクタの補正は、バイアスの補正の場合と同様に、環境の変化に起因して変化する共振周波数の上限値fH (Hz)および下限値fL (Hz)ならびに基準環境における共振周波数f0(Hz) の３点についての直線近似によりおこなうことができる。
【００３１】
ここで、共振周波数がfH、fL、f0である場合における実際のスケールファクタ出力をそれぞれSR(fH)、 SR(fL)、SR(f0)、使用が想定される環境の範囲内におけるスケールファクタの代表値をSTYとするとき、基準環境におけるスケールファクタの補正係数KS0、高周波数領域におけるスケールファクタの補正係数KSH、および低周波数領域におけるスケールファクタの補正係数KSLは、それぞれ以下のように示される。
KS0＝STY／SR (f0)  ・・・(e)
KSH＝｛（STY／SR (f0)）−（STY／SR (fH)）｝／（fH−f0）  ・・・(f)
KSL＝｛（STY／SR (fL)）−（STY／SR (f0)）｝／（f0−fL）  ・・・(g)
【００３２】
従って、振動ジャイロにより観測された共振周波数fが、f＞f0の関係を満たすとき、即ち、高周波領域にあるときは、下記の(h)式により、また、f≦f0の関係を満たすとき、即ち、低周波領域にあるときは、下記の(i)式により、補正のスケールファクタを求めることができる。但し、(h)式または(i)式中の「KS0」、「KSH」、「KSL」は、それぞれ(e)〜(g)式により求められる値である。  
S(f)＝B(f)×｛KS0−KSH×（f−f0）｝  ・・・(h)
S(f)＝B(f)×｛KS0−KSL×（f−f0）｝  ・・・(i)
【００３３】
このようにして補正されたスケールファクタを図７中の２点鎖線で示すが、この図に示すように、補正後のスケールファクタは、共振周波数の変化に対してほとんど変化しないため、環境の変化による影響を受けにくく、出力誤差を低減できる。
【００３４】
なお、スケールファクタの定義には、正側の傾きをスケールファクタとする場合、各点での出力から最小自乗法で求めた直線の傾きをスケールファクタとする場合など、様々なものがあるが、本発明においては、スケールファクタを最大出力と最小出力を結んだ直線の傾きとして定義している。
【００３５】
ジャイロの角速度の検出範囲を-Ｒ〜Ｒ（deg/s）、使用が想定される環境の範囲内における検出最大角速度での出力代表値をVTY、基準環境における検出最大角速度での出力（Ｖ）をV-0およびV+0、共振周波数が最大値となる環境における検出最大角速度での出力（Ｖ）をV-HおよびV+H、共振周波数が最小値となる環境における検出最大角速度での出力（Ｖ）をV-LおよびV+Lとするとき、(e)〜(g)式の「KS0」、「KSH」、「KSL」は、以下のように書き換えることができる。
KS0＝｛（２×VTY）／（２×Ｒ）｝／｛（V+0−V-0）／（２×Ｒ）｝
KSH＝〔｛（２×VTY）／（２×Ｒ）｝／｛（V+0−V-0）／（２×Ｒ）｝
−｛（２×VTY）／（２×Ｒ）｝／｛（V+H−V-H）／（２×Ｒ）｝〕／（fH−f0）
KSL＝〔｛（２×VTY）／（２×Ｒ）｝／｛（V+L−V-L）／（２×Ｒ）｝
−｛（２×VTY）／（２×Ｒ）｝／｛（V+0−V-0）／（２×Ｒ）｝〕／（f0−fL）
【００３６】
なお、４点以上の直線近似により出力補正をすることもでき、また、直線近似ではなく、二次以上の曲線近似を行うこともできる。数式による計算ではなく、マトリックスの表を用いて近似することも可能である。しかし、４点以上の直線近似、曲線近似等では、計測点数を増やす必要がある。即ち、上記の環境因子による挙動はジャイロ毎に異なるため、それぞれのジャイロについて計測する必要が生じ、これによって計測に要する時間が増加してしまう。従って、ジャイロに要求される性能を満足する範囲で、できるだけ簡単な近似を行うことが望ましく、後述の実施例に示すように、３点の直線近似によれば、スケールファクタ誤差のRMS値（理論値と出力値との差の二乗平均値）を0.112（％ RMS）以下にできる。
【００３７】
３．計算方法の具体例
本発明の振動ジャイロシステムにおいては、以上の原理に従って出力補正をすればよい。より具体的には、共振周波数をカウントし、フィルター処理をした後に、バイアスおよびスケールファクタの補正処理をおこなえばよい。
【００３８】
共振周波数のカウント値は、下記の(j)式により共振周波数を分周され、プロセッサの動作クロックでカウントされる。ただし、(j)式中のＮfは共振周波数のカウント値、Ｎは分周数、fPはプロセッサ動作クロック、fは観測された共振周波数をそれぞれ意味する。
Ｎf＝Ｎ×fP／f    ・・・(j)
【００３９】
このように、共振周波数のカウント値の分解能を向上させる場合には、分周数およびプロセッサ動作クロックの少なくとも一方を大きくすればよい。例えば、動作クロックが8×106のプロセッサで、25℃における共振周波数が14000Hzであるリング型振動ジャイロの共振周波数をカウントする場合に、分周数Ｎを64とすれば、共振周波数のカウント値が1（count/℃）となり、分周数を128とすれば、共振周波数のカウント値が2（count/℃）となる。
【００４０】
このようにして得た共振周波数のカウント値から、環境の変化に起因して変化する共振周波数の上限値fH (Hz)および下限値fL (Hz)ならびに基準環境における共振周波数f0(Hz) の３点を求め、上記の方法によりバイアスおよびスケールファクタの一方または双方を補正すればよい。
【実施例】
【００４１】
本発明の効果を確認すべく、図１に示すリング型振動ジャイロを２個用意した。それぞれジャイロについて-30〜80℃の温度範囲でバイアスおよびスケールファクタを計測し、その後、同じ温度範囲で本発明による出力補正後のバイアスおよびスケールファクタを計測した。バイアスについての結果を図８および図９に、スケールファクタについての結果を図１０および図１１に示す。なお、図１０および図１１における「ＳＦ誤差」は（ＳＦ理論値−ＳＦ出力値）／ＳＦ理論値×１００（％）である。
【００４２】
図８に示す例では、1.146（deg/s RMS）であったバイアスのRMS値が本発明による出力補正後には0.112（deg/s RMS）になり、図９に示す例では、0.938（deg/s RMS）であったバイアスのRMS値が本発明による出力補正後には0.095（deg/s RMS）になった。
【００４３】
図１０に示す例では、0.486（％ RMS）であったスケールファクタ誤差のRMS値が本発明による出力補正後には0.092（％ RMS）になり、図１１に示す例では、1.000（％ RMS）であったスケールファクタ誤差のRMS値が本発明による出力補正後には0.112（％ RMS）になった。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明によれば、環境の変化、特に温度変化による測定精度低下を防止することができるので、高い精度で角速度を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】リング型振動ジャイロの角速度検出原理を説明する図である。
【図２】温度と共振周波数との関係を示す図である。
【図３】ジャイロの出力と角速度との関係を示す図である。
【図４】バイアスと共振周波数との関係を示す図である。
【図５】スケールファクタと共振周波数との関係を示す図である。
【図６】バイアスの補正を説明する図である。
【図７】スケールファクタの補正を説明する図である。
【図８】補正前後のバイアスを示す図である。
【図９】補正前後のバイアスを示す図である。
【図１０】補正前後のスケールファクタを示す図である。
【図１１】補正前後のスケールファクタを示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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