(57)【要約】【課題】 被加工物の外周面に微細凹部を形成する際に、被加工物の外周面に対して加工ローラを常に一定荷重で押し付けることができ、被加工物の輪郭形状の詳細を把握できていない場合であったとしても、一定深さの微細な凹部を形成することができるようにする。【解決手段】外周面３ａに微細な凹凸３ｂを具備してローラ軸２周りに回転する加工ローラ３又はローラ軸２と平行を成す主軸４回りに回転する被加工物Ｗを回転させた状態で、加工ローラ３を被加工物Ｗの外周面Ｗａに押し付けながら被加工物ＷをＺ軸方向に移動させて微細凹部を形成するに際して、被加工物ＷをＺ軸方向に移動させつつ、加工ローラ３の押し付け荷重に基づいて加工ローラ３と被加工物ＷとのＸ軸方向の相対位置を変化させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に微細な凹凸を具備してローラ軸周りに回転する加工ローラ又は上記ローラ軸と平行を成す回転軸回りに回転する被加工物を回転させた状態で、上記加工ローラを被加工物の外周面に押し付けながら加工ローラ及び被加工物をローラ押し付け方向とは異なる方向に相対的に移動させて微細凹部を形成するに際して、上記加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に加工ローラと被加工物とを相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重に基づいて加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対位置を変化させることを特徴とする微細凹部加工方法。
【請求項２】
加工ローラの押し付け荷重が所定値に達した時点で、被加工物を回転させると同時に上記加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に加工ローラと被加工物とを相対的に移動させて微細形状の加工を開始する請求項１に記載の微細凹部加工方法。
【請求項３】
加工ローラの押し付け荷重の上限値及び下限値を設定し、加工ローラの押し付け荷重が上限値を超えた場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が下限値を下回った場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める請求項１又は２に記載の微細凹部加工方法。
【請求項４】
加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に対して、予めプログラムした直線経路に沿って加工ローラと被加工物とを相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重が上限値を超えた場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が下限値を下回った場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める請求項３に記載の微細凹部加工方法。
【請求項５】
加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に対して、任意の経路に沿って加工ローラと被加工物とを相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重が上限値を超えた場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が下限値を下回った場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める請求項３に記載の微細凹部加工方法。
【請求項６】
外周面に微細な凹凸を具備してローラ軸周りに回転する加工ローラと、この加工ローラ及び上記ローラ軸と平行を成す回転軸回りに回転する被加工物を相対的に接近離間させて加工ローラの外周面を上記被加工物の外周面に押し付け可能とした押圧機構と、上記加工ローラ及び被加工物をローラ押し付け方向とは異なる方向に相対的に移動させる駆動機構と、上記加工ローラの被加工物に対する押し付け荷重を測る押し付け荷重測定部と、この押し付け荷重測定部で測定された荷重に基づいて上記押圧機構に位置補正信号を出力して上記加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対位置を変化させる制御部を備えたことを特徴とする微細凹部加工装置。
【請求項７】
押圧機構は、加工ローラを被加工物から離間する方向に移動可能に被加工物の外周面に押し付け付勢する付勢手段を具備している請求項６に記載の微細凹部加工装置。
【請求項８】
押し付け荷重測定部で測定された加工ローラの押し付け荷重が予め設定した荷重に達した時点で、制御部からの指令により被加工物を回転させると同時に駆動機構が作動して、上記加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に加工ローラと被加工物とを相対的に移動させて微細形状の加工を開始する請求項６又は７に記載の微細凹部加工装置。
【請求項９】
加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める請求項６〜８のいずれか一つの項に記載の微細凹部加工装置。
【請求項１０】
制御部からの指令により駆動機構が作動して、予めプログラムした直線経路に沿って加工ローラと被加工物とを加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める請求項９に記載の微細凹部加工装置。
【請求項１１】
制御部からの指令により駆動機構が作動して、任意の経路に沿って加工ローラと被加工物とを加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める請求項９に記載の微細凹部加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物の外周面、例えば、クランクピンやジャーナルやカムジャーナルの外周面に微細凹部を形成する際に用いられる微細凹部加工方法及び微細凹部加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、上記したようなクランクピンやジャーナルやカムジャーナル等の被加工物の外周面に微細な凹部を形成する場合には、外周面に微細な凹凸を有する加工ローラを被加工物の外周面に一定荷重で押し付けて微細な凹部を形成するようにしている。
【特許文献１】特開２０００−２３８２４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記した従来の微細凹部加工方法では、加工ローラを被加工物に一定荷重で押し付けて加工を行う際に、被加工物の輪郭形状の詳細を把握していないと、加工ローラを被加工物の外周面に一定荷重で押し付け続けることが困難であり、したがって、被加工物の外周面に一定深さの微細な凹部を形成することができないという問題があり、この問題を解決することが従来の課題となっていた。
【０００４】
本発明は、上記した従来の課題に着目してなされたものであり、被加工物の外周面に微細凹部を形成する際に、被加工物の外周面に対して加工ローラを常に一定荷重で押し付けることができ、被加工物の輪郭形状の詳細を把握できていない場合であったとしても、一定深さの微細な凹部を形成することが可能である微細凹部加工方法及び微細凹部加工装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、被加工物の外周面に微細凹部を形成するに際して、加工ローラを被加工物の外周面に追従させるようになすことで、上記目的が達成されることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００６】
すなわち、本発明の微細凹部加工方法は、外周面に微細な凹凸を具備してローラ軸周りに回転する加工ローラ又は上記ローラ軸と平行を成す回転軸回りに回転する被加工物を回転させた状態で、上記加工ローラを被加工物の外周面に押し付けながら加工ローラ及び被加工物をローラ押し付け方向とは異なる方向に相対的に移動させて微細凹部を形成するに際して、上記加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に加工ローラと被加工物とを相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重に基づいて加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対位置を変化させる構成としたことを特徴としており、この微細凹部加工方法の構成を前述した従来の課題を解決するための手段としている。
【０００７】
一方、本発明の微細凹部加工装置は、外周面に微細な凹凸を具備してローラ軸周りに回転する加工ローラと、この加工ローラ及び上記ローラ軸と平行を成す回転軸回りに回転する被加工物を相対的に接近離間させて加工ローラの外周面を上記被加工物の外周面に押し付け可能とした押圧機構と、上記加工ローラ及び被加工物をローラ押し付け方向とは異なる方向に相対的に移動させる駆動機構と、上記加工ローラの被加工物に対する押し付け荷重を測る押し付け荷重測定部と、この押し付け荷重測定部で測定された荷重に基づいて上記押圧機構に位置補正信号を出力して上記加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対位置を変化させる制御部を備えた構成としたことを特徴としており、この微細凹部加工装置の構成を前述した従来の課題を解決するための手段としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、上記した構成としているので、被加工物の外周面に微細凹部を形成する際に、被加工物の外周面に対して加工ローラを常に一定荷重で押し付けることができ、被加工物の輪郭形状の詳細を把握できているか否かにかかわらず、被加工物の外周面に一定深さの微細な凹部を形成することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
微細凹部加工方法において用いる加工ローラには、例えば、図５に示すように、全体で円盤形状を成し、その外周面３１ａに断面Ｖ字形状を成す凸条３１ｂを有する加工ローラ３Ａや、図６に示すように、同じく全体で円盤形状を成し、その外周面３２ａに微細な凸部３２ｂを有する加工ローラ３Ｂがあり、上記加工ローラ３Ａを被加工物Ｗの外周面Ｗａにほぼ一定の荷重となるように押し付けながら回転させれば、被加工物Ｗの外周面Ｗａに微細な連続溝Ｗｂが形成され、上記加工ローラ３Ｂを被加工物Ｗの外周面Ｗａにほぼ一定の荷重となるように押し付けながら回転させれば、被加工物Ｗの外周面Ｗａに多数の窪みＷｃが形成される。
【００１０】
本発明の微細凹部加工方法において、押し付け荷重測定部などによって得られた加工ローラの押し付け荷重が所定値に達した時点で、被加工物を回転させると同時に上記加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に加工ローラと被加工物とを相対的に移動させて微細形状の加工を開始する構成を採用することができ、この場合には、上記押し付け荷重測定部からの測定値に基づいて、被加工物の外周面の位置を特定することができるようになり、したがって、被加工物の大きさや、輪郭形状にかかわりなく効率的な加工を行い得ることとなる。
【００１１】
また、本発明の微細凹部加工方法において、押し付け荷重測定部などによって得られた加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、一方、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める構成とすることが可能である。
【００１２】
この構成を採用すると、被加工物の輪郭形状の詳細を把握できていない場合であったとしても、加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に加工ローラと被加工物とを相対的に移動させて微細形状の加工を開始すると、上限値及び下限値の間の範囲において、押し付け荷重の変化に伴って加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を自動的に調節しながら加工が継続される、すなわち、被加工物の外周面に追従しながら一定の押し付け荷重で加工が継続されることとなる。
【００１３】
さらに、本発明の微細凹部加工方法において、加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に対して、予めプログラムした直線経路に沿って加工ローラと被加工物とを相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、一方、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める構成とすることができ、この場合には、被加工物の輪郭形状の詳細を把握できているか否かにかかわらず、被加工物の外周面に一定深さの微細な凹部を形成し得ることとなる。
【００１４】
一方、加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に対して、任意の経路に沿って加工ローラと被加工物とを相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、一方、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った場合は加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める構成とすることができ、この場合には、例えば、被加工物の輪郭形状の詳細を把握できていて、その輪郭形状に合わせて加工ローラと被加工物とを相対的に移動させるに際して、被加工物の微細凹部加工前の形状誤差が大きくても、上記と同様にして被加工物の外周面に追従しながら一定の押し付け荷重で加工がなされることとなる。
【００１５】
本発明の微細凹部加工装置において、押圧機構は、加工ローラを被加工物から離間する方向に移動可能に被加工物の外周面に押し付け付勢する付勢手段を具備している構成とすることが可能であり、この構成とすると、被加工物の外周面に対して、加工ローラの一部を常に接触させて、荷重を付与することができる。
【００１６】
また、本発明の微細凹部加工装置において、押し付け荷重測定部で測定された加工ローラの押し付け荷重が予め設定した荷重に達した時点で、制御部からの指令により被加工物を回転させると同時に駆動機構が作動して、上記加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に加工ローラと被加工物とを相対的に移動させて微細形状の加工を開始する構成を採用することができ、この場合には、上記押し付け荷重測定部からの測定値に基づいて、被加工物の外周面の位置を特定することができるようになり、したがって、被加工物の大きさや、輪郭形状にかかわりなく効率的な加工を行い得ることとなる。
【００１７】
さらに、本発明の微細凹部加工装置において、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める構成を用いることが可能であり、この構成を採用すると、被加工物の輪郭形状の詳細を把握できていない場合であったとしても、加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に加工ローラと被加工物とを相対的に移動させて微細形状の加工を開始すると、上限値及び下限値の間の範囲において、押し付け荷重の変化に伴って加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離が自動的に調節されて、被加工物の外周面に追従しながら一定の押し付け荷重で加工が継続されることとなる。
【００１８】
さらにまた、本発明の微細凹部加工装置において、制御部からの指令により駆動機構が作動して、予めプログラムした直線経路に沿って加工ローラと被加工物とを加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める構成とすることができるほか、制御部からの指令により駆動機構が作動して、任意の経路に沿って加工ローラと被加工物とを加工ローラの押し付け方向とは異なる方向に相対的に移動させつつ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した上限値を超えた時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を拡げ、加工ローラの押し付け荷重が予め設定した下限値を下回った時点で、制御部からの指令により押圧機構が作動して、加工ローラと被加工物とのローラ押し付け方向の相対距離を縮める構成とすることができる。
【００１９】
前者の場合には、被加工物の輪郭形状の詳細を把握できているか否かにかかわらず、被加工物の外周面に一定深さの微細な凹部を形成し得ることとなり、一方、後者の場合には、詳細を把握した被加工物の輪郭形状に合わせて加工ローラと被加工物とを相対的に移動させるに際して、被加工物の微細凹部加工前の形状誤差が大きくても、上記と同様にして被加工物の外周面に追従しながら一定の押し付け荷重で加工がなされることとなる。
【実施例】
【００２０】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００２１】
図１に示すように、この微細凹部加工装置１は、外周面３ａに微細な凹凸３ｂを具備してローラ軸２周りに回転する加工ローラ３と、この加工ローラ３を上記ローラ軸２と平行を成す主軸（回転軸）４回りに回転する被加工物Ｗに接近離間させて加工ローラ３の外周面３ａを上記被加工物Ｗの外周面Ｗａに押し付け可能とした押圧機構１０と、被加工物Ｗをローラ押し付け方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｚ軸方向）に移動させる可動ベッド（駆動機構）５と、上記加工ローラ３の被加工物Ｗに対する押し付け荷重を測る押し付け荷重測定部６と、この押し付け荷重測定部６で測定された荷重に基づいて押圧機構１０に位置補正信号を出力して加工ローラ３の被加工物Ｗに対するＸ軸方向の位置を変化させる制御部７を備えており、被加工物Ｗは主軸４に対してチャック８を介して取り付けられるようになっている。
【００２２】
押圧機構１０は、駆動源としてのステッピングモータ１１と、このステッピングモータ１１の正逆回転によりＸ軸方向に往復移動するボールねじ１２と、このボールねじ１２の先端（図示下端）に連結したスライダ１３に支持されるハウジング１４と、ローラ軸２を介して加工ローラ３を支持してハウジング１４に対してＸ軸方向に進退可能としたアーム１５を具備していて、ハウジング１４内には、アーム１５を介して加工ローラ３を被加工物Ｗに押し付け付勢するコイルばね（付勢手段）１６が設けてあり、ハウジング１４とコイルばね１６との間に上記した押し付け荷重測定部６が配置してある。
【００２３】
この場合、加工ローラ３を被加工物Ｗに押し付け付勢するコイルばね１６をハウジング１４内に設けたことにより、加工ローラ３は、ハウジング１４に対して被加工物Ｗから離間する方向に移動可能となっており、図２に示すように、点線矢印方向に設定した直線経路に沿ってハウジング１４が移動する場合において、加工ローラ３を実線矢印に沿って移動させつつ、すなわち、加工ローラ３を被加工物Ｗの外周面Ｗａに追従させつつ、一定の押し付け荷重で加工を継続させることができるようになっている。
【００２４】
上記微細凹部加工装置１では、押し付け荷重測定部６で測定された加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した荷重Ｆ０に達した時点において、制御部７からの指令により被加工物Ｗを回転させると同時に可動ベッド５を作動させ、Ｚ軸方向に被加工物Ｗを移動させて微細形状の加工を開始するようにしている。
【００２５】
また、上記微細凹部加工装置１では、制御部７からの指令により可動ベッド５を作動させて、予めプログラムした直線経路に沿って被加工物ＷをＺ軸方向に移動させつつ、加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した上限値Ｆ１を超えた時点で、制御部７からの指令により押圧機構１０のステッピングモータ１１を作動させて、加工ローラ３を被加工物Ｗから遠ざけて加工ローラ３と被加工物ＷとのＸ軸方向の相対距離を拡げ、一方、加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した下限値Ｆ２を下回った時点で、制御部７からの指令により押圧機構１０のステッピングモータ１１を作動させて、加工ローラ３を被加工物Ｗに近づけて加工ローラ３と被加工物ＷとのＸ軸方向の相対距離を縮めるようにしている。
【００２６】
そして、上記微細凹部加工装置１では、被加工物ＷのＺ軸方向への移動量Ｚが所定の移動量Ｚ０を越えた段階で、制御部７からの指令により加工ローラ３を被加工物Ｗから遠ざけて微細形状の加工を終了するようにしている。
【００２７】
そこで、上記した微細凹部加工装置１を用いて被加工物Ｗの外周面Ｗａに微細凹部を形成する要領を説明する。
【００２８】
まず、図３に示すように、ステップ１０１において、制御部７から押圧機構１０のステッピングモータ１１に対して作動指令が出力され、これにより、ハウジング１４及びアーム１５とともに加工ローラ３が被加工物Ｗに接近し、そして押し付けられ、ステップ１０２において、押し付け荷重測定部６で測定される加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した荷重Ｆ０に達すると、次のステップ１０３に進み、押し付け荷重Ｆが設定荷重Ｆ０に達していない場合には、設定荷重Ｆ０になるまでさらに加工ローラ３を被加工物Ｗに押し付ける。
【００２９】
次いで、ステップ１０３において、制御部７からの指令により被加工物Ｗ又は加工ローラ３が回転を開始するのに続いて、ステップ１０４において、制御部７から可動ベッド５に対して作動指令が出力され、これにより、可動ベッド５とともに被加工物ＷがＺ軸方向に移動して微細形状の加工が開始される。
【００３０】
次に、ステップ１０５を経て、ステップ１０６において、可動ベッド５とともに被加工物ＷをＺ軸方向に移動させて微細形状の加工を行っている間に、ステップ１０７において、加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した上限値Ｆ１を超えると、ステップ１０８において、制御部７からの指令により押圧機構１０のステッピングモータ１１が作動して、ハウジング１４及びアーム１５とともに加工ローラ３を被加工物Ｗから遠ざけてステップ１０７に戻り、一方、ステップ１０７において、押し付け荷重Ｆが設定した上限値Ｆ１を超えていない場合にはステップ１０９に進む。
【００３１】
続けて、ステップ１０９において、加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した下限値Ｆ２を下回ると、ステップ１１０において、制御部７からの指令により押圧機構１０のステッピングモータ１１が作動して、ハウジング１４及びアーム１５とともに加工ローラ３を被加工物Ｗに近づけてステップ１０９に戻り、一方、ステップ１０９において、押し付け荷重Ｆが設定した下限値Ｆ２を下回っていない場合にはステップ１０４に戻って、微細形状の加工を継続して行う。
【００３２】
そして、ステップ１０５において、被加工物ＷのＺ軸方向への移動量Ｚが所定の移動量Ｚ０を越えた段階で、ステップ１１１において、ハウジング１４及びアーム１５とともに加工ローラ３を被加工物Ｗから遠ざけるのに続いて、ステップ１１２において、制御部７からの指令により被加工物Ｗ又は加工ローラ３の回転を停止させて微細形状の加工を終了する。
【００３３】
したがって、上記した微細凹部加工装置１を用いた微細凹部加工方法では、被加工物Ｗの外周面Ｗａに微細凹部を形成するに際して、被加工物Ｗの外周面Ｗａに対して加工ローラ３を常にほぼ一定荷重で押し付けることができ、被加工物Ｗの輪郭形状の詳細を把握できているか否かにかかわらず、被加工物Ｗの外周面Ｗａに一定深さの微細な凹部を形成し得ることとなる。
【００３４】
また、上記した実施例において、加工ローラ３を支持してハウジング１４に対してＸ軸方向に進退可能としたアーム１５とハウジング１４との間には、アーム１５を介して加工ローラ３を被加工物Ｗに押し付け付勢するコイルばね（付勢手段）１６を設けているので、図２に示す点線矢印方向に設定した直線経路に沿ってハウジング１４が移動する場合において、実線矢印に示すように、加工ローラ３を被加工物Ｗの外周面Ｗａに追従させつつ、一定の押し付け荷重で加工を継続して行い得ることとなる。
【００３５】
さらに、上記した微細凹部加工装置１では、押し付け荷重測定部６で測定された加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した荷重Ｆ０に達した時点において、被加工物Ｗを回転させると同時に可動ベッド５とともにＺ軸方向に被加工物Ｗを移動させて微細形状の加工を開始するようにしているので、押し付け荷重測定部６からの測定値に基づいて、被加工物Ｗの外周面Ｗａの位置を特定することができるようになり、したがって、被加工物Ｗの大きさや、輪郭形状にかかわりなく効率的な加工を行い得ることとなる。
【００３６】
また、上記した微細凹部加工装置１では、Ｚ軸方向に対して予めプログラムした直線経路に沿って被加工物Ｗを移動させつつ、加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した上限値Ｆ１を超えた時点で、押圧機構１０のステッピングモータ１１を作動させて、加工ローラ３を被加工物Ｗから遠ざけ、一方、加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した下限値Ｆ２を下回った時点で、押圧機構１０のステッピングモータ１１を作動させて、加工ローラ３を被加工物Ｗに近づけるようにしているので、被加工物Ｗの輪郭形状の詳細を把握できているか否かにかかわらず、Ｚ軸方向に被加工物Ｗを移動させて微細形状の加工を開始すると、上限値Ｆ１及び下限値Ｆ２の間の範囲において、加工ローラ３を被加工物Ｗの外周面Ｗａに追従させつつ、一定の押し付け荷重で加工を継続して行い得ることとなり、したがって、被加工物Ｗの外周面Ｗａに一定深さの微細な凹部を形成し得ることとなる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
上記した実施例では、Ｚ軸方向に対して、予めプログラムした直線経路に沿って被加工物Ｗを移動させる構成としたが、他の構成として、Ｚ軸方向に対して任意の経路に沿って加工ローラ３と被加工物Ｗとを相対的に移動させつつ、加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した上限値Ｆ１を超えた時点で、押圧機構１０のステッピングモータ１１を作動させて、加工ローラ３を被加工物Ｗから遠ざけ、一方、加工ローラ３の押し付け荷重Ｆが予め設定した下限値Ｆ２を下回った時点で、押圧機構１０のステッピングモータ１１を作動させて、加工ローラ３を被加工物Ｗに近づける構成とすることができる。
【００３８】
この場合には、図４に示すように、被加工物ＷＡの輪郭形状の詳細を把握できていて、その輪郭形状に合わせて加工ローラ３と被加工物ＷＡとを相対的に移動させるに際して、被加工物ＷＡの微細凹部加工前の形状誤差（図示点線部分）が大きくても、加工ローラ３を被加工物ＷＡの外周面ＷＡａに追従させつつ、一定の押し付け荷重で加工を行い得ることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の微細凹部加工装置の一実施例を示す平面説明図である。（実施例１）
【図２】図１の微細凹部加工装置の加工ローラ部分の拡大説明図である。（実施例１）
【図３】図１の微細凹部加工装置を用いて行う一実施例による微細凹部加工方法のフローチャートである。（実施例１）
【図４】図１の微細凹部加工装置を用いて他の実施例による微細凹部加工方法を行う際の加工ローラ部分の拡大説明図である。（実施例２）
【図５】加工ローラを用いて微細凹部加工を行う状況を示す側面説明図である。
【図６】他の加工ローラを用いて微細凹部加工を行う状況を示す側面説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１     微細凹部加工装置
２     ローラ軸
３     加工ローラ
３ａ   外周面
３ｂ   凹凸
４     主軸（回転軸）
５     可動ベッド（駆動機構）
６     押し付け荷重測定部
７     制御部
１０   押圧機構
１１   ステッピングモータ
１２   ボールねじ
１４   ハウジング
１５   アーム
１６   コイルばね（付勢手段）
Ｗ     被加工物
Ｗａ   被加工物の外周面
【図１】
2006116587.tif 000003
【図２】
2006116587.tif 000004
【図３】
2006116587.tif 000005
【図４】
2006116587.tif 000006
【図５】
2006116587.tif 000007
【図６】
2006116587.tif 000008