(57)【要約】【課題】安価で簡単な構造を有し、高度のクリーン度を必要とする環境下と通常の環境下とに適合できる各仕様に任意に選択可能とすること。【解決手段】カバー４０に設けられた開口部４７に蓋４３を装着するか又は空気を負圧吸引するための配管チューブ４５を設けた配管継手４４を装着する。【選択図】      図２
2006154463.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡本体に連結固定される固定部材と、複数の対物レンズを装着し、前記固定部材に対して回転可能に支持された回転部材と、前記回転部材及び前記固定部材との間に一部隙間を開けて前記回転部材及び前記固定部材を覆う覆い体とを有し、前記回転部材を回転させて観察に必要な前記対物レンズを前記顕微鏡本体の光軸上に配置する顕微鏡のレボルバにおいて、
前記レボルバに設けられた少なくとも１つの開口部と、
前記開口部に着脱可能な前記開口部の遮蔽部材と、
前記開口部に着脱可能なエアー吸引用の配管と、
を具備し、
前記開口部に前記遮蔽部材又は前記配管を装着する、
ことを特徴とする顕微鏡のレボルバ。
【請求項２】
前記エアー吸引用配管は、発塵対策が要求される環境下において前記開口部に装着し、
前記遮蔽部材は、前記発塵対策が要求される環境下以外の通常の環境下において前記開口部に装着する、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項３】
前記回転部材の外周縁に連結部材を介して設けられた回転駆動源を有し、
前記覆い体は、前記回転駆動源を覆う、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項４】
前記回転部材は、円盤状に形成されてその中心部を中心として回転し、
前記覆い体は、前記回転部材の外周縁の全周に亘って前記隙間を開けて設けられた、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項５】
前記エアー吸引用配管の一端部に前記顕微鏡本体の光軸上に配置する光学素子を保持する光学ユニットが連結され、
前記光学ユニットは、前記エアー吸引用配管に連通するエアー流通用の開口部が設けられ、前記覆い体の前記開口部を通して前記顕微鏡本体の光軸上に挿脱可能である、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項６】
前記光学ユニットは、前記顕微鏡本体に装着する先頭側に前記光学素子を保持し、後側に前記エアー吸引用配管が接続されると共に前記エアー流通用開口部が設けられた、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項７】
前記エアー流通用開口部は、前記顕微鏡本体に装着したとき、前記覆い体により覆われた雰囲気内に配置される、
ことを特徴とする請求項６記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項８】
前記開口部は、前記回転部材に設けられた前記対物レンズ装着用の取付孔であり、前記取付孔に前記遮蔽部材又は前記エアー吸引用配管を装着する、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項９】
前記開口部は、前記回転部材に設けられた既存のネジ孔であり、前記ネジ孔に前記遮蔽部材又は前記エアー吸引用配管を装着する、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項１０】
前記エアー吸引用配管は、弾性材料により形成されたチューブである、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【請求項１１】
前記エアー吸引用配管は、エアー吸引を行うことにより、少なくとも前記隙間からエアーが前記覆い体内に流入し、前記覆い体により覆われた雰囲気中に浮遊する浮遊体を前記覆い体の外部に排出する、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡のレボルバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高度のクリーン度を必要とする環境下又はそれ程高度なクリーン度を必要としない環境下で使用される顕微鏡のレボルバに関する。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡のレボルバは、複数の対物レンズを装着した回転部材を回転させることによって試料の観察に必要な対物レンズを顕微鏡の光軸上に選択配置するが、その時のレボルバの回転に伴って粉塵等の微細なゴミが発生することは避けられない。このゴミは、レボルバの外部に飛散して試料上に落下したり、又は浮遊しながら周辺の空気の気流に流されて試料上に付着して顕微鏡による観察を妨害する。
【０００３】
このような事が起こらないようにレボルバに対して各種の発塵対策が施されている。特に半導体製造工場等のクリーンルーム内で使用される顕微鏡のレボルバは、高度な発塵対策が要求される。
【０００４】
図９は特許文献１に開示されている顕微鏡用レボルバの構成図である。回転部材１は、複数の対物レンズ２を装着する取付孔３が設けられている。この回転部材１は、固定部４に対して回転軸５により回転可能に取付けられ、各取付孔３を顕微鏡の光軸６上に配置可能である。回転部材１と回転軸５及び固定部４との接触位置には、回転部材１の回転の際に生じる摩擦を軽減するために各ボール７、８が設けられている。レボルバは、動力による回転部材１の回転駆動機構９を備えている。この回転駆動機構９は、電動の原動機１０を備えている。この原動機１０は、支持部材１１により固定部４に取付けられている。回転駆動機構９の駆動歯車１２は、原動機１０の駆動軸１３に取付けられたピニオンにより構成される。回転駆動機構９の従動歯車１４は、回転部材１の周囲に形成された内歯歯車により構成され、ピニオンを下側から覆い、このピニオンと噛み合って回転部材１を回転可能にしている。
【０００５】
カバー１５は、固定部４に設けられている。このカバー１５及び回転部材１は、駆動歯車１２及び従動歯車１４を覆っている。このカバー１５は、回転部材１との間の異物を取り除くために吸引パイプ１６及び接続用の吸引パイプ接続口１７を有している。回転部材１は、周縁部に、回転部材１の回転中心を中心とした上向きの環状溝１８を有している。カバー１５は、環状溝１８と係合した環状縁１９を有している。これにより、回転部材１は、カバー１５に対し回転可能である。
【０００６】
このような構成であれば、カバー１５及び回転部材１によって駆動歯車１２及び従動歯車１４を覆う空間が形成される。この空間によって駆動歯車１２及び従動歯車１４の接触部から発生するゴミやほこりなどの異物は、カバー１５及び回転部材１の空間内部に受け止められる。カバー１５は、顕微鏡の振動や空気の対流によってレボルバ内部のゴミが舞い上がって、外部に散乱したり浮遊したりすることを防止する。
【０００７】
回転部材１の周囲に内歯歯車を形成したので、回転部材１とカバー１５とは、環状溝１８と環状縁１９との係合位置の内側でかつ内歯歯車の一部を形成する壁より内側で、駆動歯車１２と従動歯車１４との接触部を覆う。これにより、駆動歯車１２及び従動歯車１４から磨耗等により発生した金属粉や潤滑油の飛沫等のゴミやほこりなどの異物は、カバー１５及び回転部材１の空間内部に受け止められる。
【０００８】
また、環状溝１８と環状縁１９とによって異物がレボルバから落下して飛散するのを二重に防止している。
【０００９】
さらに、吸引パイプ接続口１７に吸引パイプ１６を接続し、ポンプでカバー１５と回転部材１との間を吸引するので、その間の異物を取り除くことができる。
【００１０】
このように特許文献１では、ゴミをレボルバの外部に出さず、レボルバ内部に閉じ込めておく構造である。さらに、吸引パイプ１６を接続してレボルバ内部の空気を吸引することによってゴミを取り除く構成である。このような構成によって高度のクリーン度を要求される環境下での使用に適合するようにしている。
【特許文献１】実開平５−４１２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１の顕微鏡レボルバは、ゴミをレボルバ内部に閉じ込めるために回転部材１やカバー１５等のために特殊な形状を必要とする。通常の環境で使用される顕微鏡のレボルバと比較すると、特許文献１の顕微鏡レボルバは、部品のコストが高くなることが予想される。
【００１２】
特許文献１の顕微鏡レボルバの構造は、高度のクリーン度が要求される環境下での使用に適合するための専用の構造である。このため、通常の環境下では、通常の環境下用の顕微鏡レボルバを独自に別途用意するものとなっている。顕微鏡レボルバを高度のクリーン度に適合させるためには、なるべく簡単な構造で、かつ安価にその機能を実現し、通常の環境下でも流用できることが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、顕微鏡本体に連結固定される固定部材と、複数の対物レンズを装着し、固定部材に対して回転可能に支持された回転部材と、回転部材及び固定部材との間に一部隙間を開けて回転部材及び固定部材を覆う覆い体とを有し、回転部材を回転させて観察に必要な対物レンズを顕微鏡本体の光軸上に配置する顕微鏡のレボルバにおいて、レボルバに設けられた開口部と、開口部に着脱可能な開口部の遮蔽部材と、開口部に着脱可能なエアー吸引用の配管とを具備し、開口部に遮蔽部材又は配管を装着する顕微鏡のレボルバである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、安価で簡単な構造を有し、高度のクリーン度を必要とする環境下と通常の環境下とに任意に選択でき適合することができる顕微鏡のレボルバを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は顕微鏡の全体構成図である。顕微鏡の本体フレーム２０には、上下動可能なステージ２１が設けられている。このステージ２１には、試料２２が載置される。本体フレーム２０の上部アーム２０ａの下面には、レボルバ２３が取り付けられている。このレボルバ２３には、対物レンズ２４を装着する複数の取付孔２５が設けられている。これら取付孔２５は、一般的にはネジ孔である。上部アーム２０ａの上面には、観察鏡筒２６が設けられている。この観察鏡筒２６に接眼レンズ２７が装着されている。
【００１７】
図２は顕微鏡のレボルバ２３の構成図である。レボルバ２３の固定部材３０は、観察光路用の円筒状の孔３１が設けられている。この孔３１内には、顕微鏡本体の光軸Ｐが通る。固定部材３０には、光軸Ｐに対して傾斜する円盤体３２が設けられている。この円盤体３２の外周縁には、ボール３３を介して回転部材３４が軸３５を中心に回転可能に取り付けられている。これら固定部材３０の円盤体３２と回転部材３４との間には、僅かな空間３６が形成されている。回転部材３４の外周縁には、従動歯車３７が設けられている。この従動歯車３７には、各歯車３８を介してモータ３９が連結されている。モータ３９の回転力は、各歯車３８を介して従動歯車３７に伝達される。これにより、回転部材３４は回転する。回転部材３４は、図示しない回転位置決め機構によって回転量が制御され、複数の対物レンズ２４の中から例えば観察に必要な倍率を有する対物レンズ２４を顕微鏡本体の光軸Ｐ上に配置する。
【００１８】
固定部材３０に設けられているカバー４０は、回転部材３４における複数の対物レンズ２４をそれぞれ装着する各取付孔２５及び軸３５を含む中心部分以外を除いて、固定部材３０、回転部材３４、従動歯車３７、各歯車３８及びモータ３９を覆う。このカバー４０は、従動歯車３７の付近において上方に向いて折り曲がり、かつ従動歯車３７との間に隙間４１を開けている。
【００１９】
このカバー４０における光軸Ｐを介してモータ３９側とは反対側には、開口ネジ部４２が設けられている。この開口ネジ部４２に形成されたネジは、例えば市販部品のネジ仕様と共通である。この開口ネジ部４２には、遮蔽部材としての蓋４３又はエアー吸引用配管としての配管継手４４が選択的に装着可能である。これら蓋４３、配管継手４４は、共に開口ネジ部４２に対応するネジが形成されている。
【００２０】
配管継手４４は、例えば一般に市販されている空気配管用の部品を用いる。この配管継手４４には、エアー吸引用配管としての配管チューブ４５が装着されている。この配管チューブ４５は、例えば市販品のポリウレタンやナイロンなどの樹脂の弾性部材により形成されている。この配管チューブ４５の他端には、ポンプ等の負圧発生装置４６が接続されている。開口ネジ部４２は、カバー４０に設けられている既存の孔やネジ孔を用いてもよく、又はレボルバ２３に設けられている既存のネジ孔を用いてもよい。
【００２１】
次に上記の如く構成された顕微鏡のレボルバ２３の作用について説明する。
【００２２】
通常の環境下では、レボルバ２３のカバー４０に設けられた開口ネジ部４２に蓋４３が装着される。回転部材３４の回転に伴って発生するゴミの大部分は、レボルバ２３の内部に溜まる。通常の環境下で使用される顕微鏡では、実用上の問題は無い。
【００２３】
一方、半導体製造工場などのクリーンルーム内等の環境下で使用される顕微鏡は、高度な発塵対策が要求される。このような環境下では、回転部材３４の回転に伴って発生する粉塵などの固体状のゴミがレボルバ２３の外部に飛散しないようにすることは当然であり、さらにレボルバ２３の内部で発生したオイルミストなど霧状のゴミもレボルバ２３の外部に漏れ出さないようにする対策が必要である。
【００２４】
図３は半導体製造工場などのクリーンルーム内等の高度のクリーン度を必要とする環境下で使用される顕微鏡のレボルバ２３を示す。カバー４０の開口ネジ部４２には、配管チューブ４５を設けた配管継手４４が装着される。この配管チューブ４５に接続されたポンプ等の負圧発生装置４６が作動すると、配管チューブ４５内には負圧気流Ｆが発生する。この負圧気流Ｆが発生すると、レボルバ２３内部に気圧分布の偏りが生じる。これにより、レボルバ２３内部の空気は、気圧の低い方に導かれて流れ、吸引気流Ｑが生じる。なお、図３において吸引気流Ｑを示す矢印は、レボルバ２３内の一部にのみ示し、実際には固定部材３０の円盤体３２と回転部材３４との隙間にも吸引気流Ｑは生じる。
【００２５】
この吸引気流Ｑは、レボルバ２３のカバー４０と回転部材３４との隙間４１などから侵入して回転部材３４の周囲を通過した後、開口ネジ部４２に装着された配管継手４４内及び配管チューブ４５内を経てレボルバ２３の外部に流出する空気の流れである。この吸引気流Ｑによりレボルバ２３の内部に浮遊している霧状のゴミは、吸引気流Ｑに導かれてレボルバ２３の外部に排出される。従動歯車３７、各歯車３８及びモータ３９から発生するゴミも吸引気流Ｑに導かれてレボルバ２３の外部に排出される。この結果、レボルバ２３の内部に浮遊している霧状のゴミは、レボルバ２３の周囲に漏れ出すことが防止される。
【００２６】
このように上記第１の実施の形態によれば、カバー４０に設けられた開口ネジ部４２に蓋４３を装着するか又は空気を負圧吸引するための配管チューブ４５を設けた配管継手４４を装着する構成としたので、通常の環境下と半導体製造工場などのクリーンルーム内等の高度のクリーン度を必要とする環境下との２つの環境下で使用可能な各仕様に適合できるレボルバ２３とすることができる。
【００２７】
これら環境下の各仕様に変更するには、既存の顕微鏡のカバー４０に開口ネジ部４２を設けたり、又はカバー４０に設けられている既存の孔やネジ孔、レボルバ２３に設けられている既存のネジ孔になどに配管チューブ４５を設けた配管継手４４を装着すればよいので、安価でかつ簡単な構成で、通常の環境下で使用される既存の顕微鏡を高度のクリーン度を必要とする環境下で使用できる仕様に変えることができる。
【００２８】
従って、配管継手４４と蓋４３とは、それぞれカバー４０に開口ネジ部４２に対して簡単な作業で容易に脱着、交換できるので、一つのレボルバで、通常の環境下における使用に適合する仕様と高度のクリーン度を必要とする環境下での使用に適合する仕様との２種の仕様を容易に選択できる。
【００２９】
半導体製造工場などのクリーンルーム内等の高度のクリーン度を必要とする環境下の仕様に変更すれば、カバー４０に設けられた開口ネジ部４２に装着した配管継手４４及び配管チューブ４５を通してレボルバ２３内部の空気を負圧吸引することによって吸引気流Ｑを発生させ、従動歯車３７、各歯車３８及びモータ３９から発生するゴミなどのレボルバ２３内部の霧状のゴミをレボルバ２３外部に排出できる。
【００３０】
配管チューブ４５は、配管継手４４を介してカバー４０に開口ネジ部４２に接続されるので、配管チューブ４５が開口ネジ部４２から簡単に抜けることはなく、高度のクリーン度を必要とする環境下での使用の信頼性が高い。
【００３１】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３２】
図４は顕微鏡のレボルバ２３の構成図であり、図５は同レボルバ２３の外観図である。顕微鏡の観察方法には、例えば微分干渉観察法や簡易偏光観察法などのように顕微鏡の光軸Ｐ上にアナライザなどの所定の光学素子５０、５１を配置することがある。これら光学素子５０、５１を顕微鏡の光軸Ｐ上に配置させるためにレボルバ２３には、オプションユニット（光学ユニット）を挿入可能とする光学素子挿入用の装着開口部５２が設けられている。
【００３３】
この装着開口部５２には、オプションユニットとして例えば２種類のスライダ（第１のスライダ、第２のスライダ）５３、５４が挿脱可能である。この装着開口部５２と開口部４７は、第１のスライダ５３又は第２のスライダ５４を挿脱するための移動方向の軸上に設けられている。
【００３４】
第１のスライダ５３は、通常の環境下で使用される。この第１のスライダ５３には、光学素子５０が収納されて保持されている。この光学素子５０の収納位置は、第１のスライダ５３を装着開口部５２内に装着したときに光学素子５０が光軸Ｐ上に配置される箇所である。
【００３５】
第２のスライダ５４は、半導体製造工場などのクリーンルーム内等の高度のクリーン度を必要とする環境下で使用される。この第２のスライダ５４は、開口部４７を通して装着開口部５２内に装着するときの先頭側に収納室５５が設けられ、この収納室５５内に光学素子５１が収納されて保持されている。この光学素子５１の収納位置は、第２のスライダ５４を装着開口部５２内に装着したときに光学素子５１が光軸Ｐ上に配置される箇所である。
【００３６】
この第２のスライダ５４の後側には、エアー吸引室５６が設けられ、このエアー吸引室５６に配管継手４４を介して配管チューブ４５が連結されている。エアー吸引室５６には、エアー流通用開口部５７が設けられている。このエアー流通用開口部５７は、第２のスライダ５４を開口部４７から装着開口部５２内に装着したときに対物レンズ２４側となるスライダ面側で、かつカバー４０により覆われた雰囲気内すなわちカバー４０と固定部材３０との間の空間中に配置される箇所である。
【００３７】
次に上記の如く構成された顕微鏡のレボルバ２３の作用について説明する。
【００３８】
通常の環境下で使用する場合は、第１のスライダ５３がレボルバ２３のカバー４０に設けられた開口部４７から挿入される。この第１のスライダ５３は、装着開口部５２内に挿入され、光学素子５０を光軸Ｐ上に配置する。この状態で、回転部材３４の回転に伴って発生するゴミの大部分は、レボルバ２３の内部に溜まる。通常の環境下で使用される顕微鏡では、実用上の問題は無い。
【００３９】
一方、半導体製造工場などのクリーンルーム内等の環境下で使用する場合は、第２のスライダ５４が図６に示すようにレボルバ２３のカバー４０に設けられた開口部４７から挿入される。この第２のスライダ５４は、装着開口部５２内に挿入され、光学素子５１を光軸Ｐ上に配置すると共に、エアー流通用開口部５７をカバー４０により覆われた雰囲気内すなわちカバー４０と固定部材３０との間の空間中に配置する。
【００４０】
ポンプ等の負圧発生装置４６が作動すると、配管チューブ４５内には負圧気流Ｆが発生する。この負圧気流Ｆが発生すると、レボルバ２３内部に気圧分布の偏りが生じる。これにより、上記第1の実施の形態と同様に、レボルバ２３内部の空気は、気圧の低い方に導かれて流れ、吸引気流Ｑが生じる。この吸引気流Ｑによりレボルバ２３の内部に浮遊している霧状のゴミは、吸引気流Ｑに導かれてレボルバ２３の外部に排出される。従動歯車３７、各歯車３８及びモータ３９から発生するゴミも吸引気流Ｑに導かれてレボルバ２３の外部に排出される。この結果、レボルバ２３の内部に浮遊している霧状のゴミは、レボルバ２３の周囲に漏れ出すことが防止される。
【００４１】
このように上記第２の実施の形態によれば、例えば微分干渉観察法や簡易偏光観察法などのように顕微鏡の光軸Ｐ上に配置するアナライザなどの光学素子５１を収納する第２のスライダ５４にエアー吸引室５６を設け、このエアー吸引室５６にエアー流通用開口部５７を設けると共に、配管継手４４を介して配管チューブ４５を連結してエアー吸引する構成としたので、上記第１の実施の形態と同様に、通常の環境下と半導体製造工場などのクリーンルーム内等の高度のクリーン度を必要とする環境下との２つの環境下で使用可能な各仕様に適合できるレボルバ２３とすることができる。すなわち、第１のスライダ５３と第２のスライダ５４とを簡単な作業で容易に挿脱、交換できるので、一つのレボルバ２３で通常の環境下と高度のクリーン度を必要とする環境下との各仕様に容易に選択できる。
【００４２】
第２のスライダ５４は、光学素子５１を収納する収納室５５とエアー流通用開口部５７を設けたエアー吸引室５６とをそれぞれ個別に設けているので、ポンプ等の負圧発生装置４６の作動によって負圧気流Ｆを発生させても、この負圧気流Ｆの影響を光学素子５１に与えることはない。
【００４３】
次に、本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００４４】
図７は顕微鏡のレボルバ２３の構成図である。レボルバ２２には、対物レンズ２４を装着する複数の取付孔２５が設けられている。これら取付孔２５は、一般的にはネジが用いられる。これら取付孔２５には、任意の倍率の対物レンズ２４を装着するが、顕微鏡の使用条件によっては、取付孔２５が余ることがある。
【００４５】
このような取付孔２５には、遮蔽部材としての蓋６０又は吸引ユニット６１がネジ締め又はネジを緩めることにより挿脱可能である。蓋６０は、取付孔２５に対してネジ締めにより装着することにより、レボルバ２３の内部に外部からの光の侵入を防止すると共に、レボルバ２３の内部で発生したゴミを余って開放状態になっている取付孔２５からレボルバ２３の外部に飛散することを防止する。
【００４６】
吸引ユニット６１は、取付孔２５に対してネジ締め可能なアダプタ６２を有する。このアダプタ６２は、環状に形成されている。このアダプタ６２の内壁には、ボールベアリング等の回転軸受け６３を介して配管部材６４の一端が接続されている。この配管部材６４は、回転軸受け６３を介してアダプタ６２に対して回転可能である。この配管部材６４は、例えばＬ字形状に湾曲している。この配管部材６４の他端には、配管継手４４を介して配管チューブ４５が接続されている。なお、配管部材６４は、Ｌ字形状に限らず、配管チューブ４５の配管位置に応じて直線に形成したり、湾曲する角度を変更してもよい。
【００４７】
次に上記の如く構成された顕微鏡のレボルバ２３の使用について説明する。
【００４８】
通常の環境下で使用する場合、蓋６０が取付孔２５に対してネジ締めにより装着される。これにより、上記の如くレボルバ２３の内部に外部からの光の侵入が防止されると共に、レボルバ２３の内部で発生したゴミが取付孔２５からレボルバ２３の外部に飛散することが防止される。この状態で、回転部材３４の回転に伴って発生するゴミの大部分は、レボルバ２３の内部に溜まる。通常の環境下で使用される顕微鏡では、実用上の問題は無い。
【００４９】
一方、半導体製造工場などのクリーンルーム内等の環境下で使用する場合、図８に示すように吸引ユニット６１が回転部材３４の取付孔２５に装着される。
【００５０】
ポンプ等の負圧発生装置４６が作動すると、配管チューブ４５内には負圧気流Ｆが発生する。この負圧気流Ｆが発生すると、レボルバ２３内部に気圧分布の偏りが生じる。これにより、上記第1の実施の形態と同様に、レボルバ２３内部の空気は、気圧の低い方に導かれて流れ、吸引気流Ｑが生じる。この吸引気流Ｑによりレボルバ２３の内部に浮遊している霧状のゴミは、吸引気流Ｑに導かれてレボルバ２３の外部に排出される。従動歯車３７、各歯車３８及びモータ３９から発生するゴミも吸引気流Ｑに導かれてレボルバ２３の外部に排出される。この結果、レボルバ２３の内部に浮遊している霧状のゴミは、レボルバ２３の周囲に漏れ出すことが防止される。
【００５１】
このように上記第３の実施の形態によれば、取付孔２５に対して蓋６０とネジ締め可能なアダプタ６２に対して配管部材６４及び回転軸受け６３を介して配管チューブ４５を接続した吸引ユニット６１とを装着可能としたので、上記第１の実施の形態と同様に、通常の環境下と半導体製造工場などのクリーンルーム内等の高度のクリーン度を必要とする環境下との２つの環境下で使用可能な各仕様に適合できるレボルバ２３とすることができる。すなわち、蓋６０と吸引ユニット６１とを簡単な作業で容易に挿脱、交換できるので、一つのレボルバ２３で通常の環境下と高度のクリーン度を必要とする環境下との各仕様に容易に選択できる。
【００５２】
又、観察に必要な倍率を有する対物レンズ２４を選択するために回転部材３４を回転しても、吸引ユニット６１の配管部材６４は、回転軸受け６３を介してアダプタ６２に対して回転するので、配管部材６４及び配管チューブ４５の配置位置を一定の方向に維持することができる。
【００５３】
なお、本発明は、上記第１乃至第３の実施の形態に限定されるものではなく、次の通りに変形してもよい。
【００５４】
例えば、配管部材６４に配管継手４４を介して配管チューブ４５を装着しているが、配管部材６４に対して配管チューブ４５を直接装着してもよい。
【００５５】
配管チューブ４５を装着する開口部４７の設置箇所は、吸引気流Ｑによりレボルバ２３の内部に浮遊している霧状のゴミをレボルバ２３の外部に排出可能であれば、カバー４０における如何なる箇所でも可能である。
【００５６】
又、開口部４７の設置数は、１箇所に限らず、複数箇所とし、それぞれの開口部４７に各配管チューブ４５を装着してエアーを吸引することも可能である。
【００５７】
各蓋４３、６０は、それぞれネジ閉めにより装着するのに限らず、例えばゴム等の弾性部材により形成し、開口部４７又は取付孔２５に対して嵌め込んで装着してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明に係る顕微鏡のレボルバの第１の実施の形態を適用した顕微鏡の全体構成図。
【図２】同顕微鏡のレボルバの構成図。
【図３】同顕微鏡のレボルバを高度のクリーン度を必要とする環境下で使用した場合の構成図。
【図４】本発明に係る顕微鏡のレボルバの第２の実施の形態の構成図。
【図５】同顕微鏡のレボルバの外観図。
【図６】同顕微鏡のレボルバを高度のクリーン度を必要とする環境下で使用した場合で同レボルバに第２のスライダを挿入した状態を示す図。
【図７】本発明に係る顕微鏡のレボルバの第３の実施の形態の構成図。
【図８】同顕微鏡のレボルバを高度のクリーン度を必要とする環境下で使用した場合でレボルバに吸引ユニットを装着した状態を示す図。
【図９】従来の顕微鏡用レボルバの構成図。
【符号の説明】
【００５９】
２０：本体フレーム、２１：ステージ、２０ａ：上部アーム、２３：レボルバ、２４：対物レンズ、２５：取付孔、２６：観察鏡筒、２７：接眼レンズ、３０：固定部材、３１：孔、３２：円盤体、３３：ボール、３４：回転部材、３５：軸、３６：空間、３７：従動歯車、３８：歯車、３９：モータ、４０：カバー、４１：隙間、４２：開口ネジ部、４３：蓋、４４：配管継手、４５：配管チューブ、４６：負圧発生装置、４７：開口部、５０，５１：光学素子、５２：装着開口部、５３：第１のスライダ、５４：第２のスライダ、５５：収納室、５６：エアー吸引室、５７：エアー流通用開口部、６０：蓋、６１：吸引ユニット、６２：アダプタ、６３：回転軸受け、６４：配管部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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