(57)【要約】【課題】気体を気密室に一時貯蔵して常に一定の量及び圧力の気体を噴出し、基板の側面を均等な密着力で保持することができる基板支持用チャックを提供することを目的とするものである。【解決手段】選択的に回転する中空のスピンドルが連動するように装着されているベース部２０と、ベース部２０の上部に設けられ、スピンドル１２を通して気体が流入する気密室が設けられ、該気密室に気体を一時貯蔵し、該気密室から多数のノズル４２を通って気体を噴出して基板を浮揚し、浮揚した基板を保持するようにしたグリップ部３０とを具備する基板支持用チャックである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
選択的に回転する中空のスピンドルが連動するように装着されているベース部と、
前記ベース部の上部に設けられ、前記スピンドルを通して気体が流入する気密室に気体を一時貯蔵し、該気密室から多数のノズルを通って気体を噴出させて基板を浮揚させ、浮揚した該基板を保持するようにしたグリップ部とを具備することを特徴とする基板支持用チャック。
【請求項２】
前記グリップ部は、一定圧で気体を噴出する多数のノズルが形成されている上部ボディと、
前記上部ボディに固着して前記ノズルと連通し、一定圧の気体を一時貯蔵する前記気密室を形成する中央部位を陥没させた下部ボディと、
前記下部ボディの下面と前記ベース部の上面間に一定角度の回転が可能に設けられているカム・ホイールと、
前記カム・ホイールにより回転して前記上部ボディの上面に浮揚する基板の側面と密着して該基板を把持するように、前記ベース部と前記上部ボディとに回転可能に装着されている固定部材とを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の基板支持用チャック。
【請求項３】
前記ノズルは、前記気密室に充填されている気体が一定圧となるように、回転軸中心より上方に開いた傾斜の流路が列状に形成され、かつ異なる位置に配列された前記流路の傾斜を異ならせることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板支持用チャック。
【請求項４】
前記ノズルを構成する流路の気密室側端部には、前記気密室に充填されている気体が一定圧になると該流路を開放するための開閉手段が備えられていることを特徴とする請求項１，２又は３に記載の基板支持用チャック。
【請求項５】
前記固定部材は、前記ベース部と前記上部ボディとに回転可能に装着される円筒体と、
前記円筒体の下部に形成され、前記カム・ホイールの側面に偏心するように形成されている側面溝に嵌入している突起と、
前記円筒体の上部に突出し、回転する前記カム・ホイールと連動して回転しながら基板と斥力によって密着するピンと、
前記円筒体の内部に挿入され、前記下部ボディと前記円筒体の下側内面に両端部が固定されて前記突起の原状復帰力を提供する弾性部材とを含むことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の基板支持用チャック。
【請求項６】
前記ピンの一部位は、回転しながら選択的に基板の周辺部の一部を斥力で把持することができる弾性体からなることを特徴とする請求項５に記載の基板支持用チャック。
【請求項７】
前記ピンの一部位には、回転しながら選択的に基板の周辺部の一部を挟んで把持することができる溝が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の基板支持用チャック。
【請求項８】
前記上部ボディの略中央部に基板の有無を検出するセンサを設けたことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の基板支持用チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板支持用チャックに関し、詳しくは、気密室からノズルを通して一定圧で噴出した気体により基板を浮揚させ、固定部材により基板の側面を加圧して把持するようにした基板支持用チャックに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体用ウエハのような基板は、エッチング及び洗浄などの表面処理が行われており、このような表面処理工程には、基板を固定して回転させるためのチャックが必要である。従来のチャックは、上部体と下部体とが結合するほぼ環状部材の境界面に外向きに漸減する流動路が形成され、かつ円盤状の多孔質体が設けられ、この流動路の端部と多孔質体がノズルの機能を果たすようになっており、結合した上部体と下部体とからなる環状部材の中心に流動路を形成する中空の回転軸が配置・固定され、この回転軸を介して所定のガスが噴出するようになっている。
【０００３】
また、ウエハ等の基板は、上部体の周辺部に形成されて外向きに傾斜しているノズルを通って噴出したガス圧によりチャックの上面に位置する基板が臨時に保持され、この保持された基板の側面が回転する多数のカムと密着して基板が固定されている。（例えば、特許文献１参照）
【０００４】
また、このようなチャックには、基板が載置される基板支持装置の中央にノズル孔を設けたノズル部材が配置され、このノズル部材を上下動させる機構を備えたものがあり、この上下動させる機構に備えるノズル部材に基板を保持して上方に移動させ、フォークで基板を保持して搬送するような機構を備えたものがある。（例えば、特許文献２参照）
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−８６５６６号公報（明細書段落〔００３８〕〜〔００４８〕，図１，図２）
【特許文献２】特開２００５−５１０２８号公報（明細書段落〔００１０〕，図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記従来例では、基板を浮揚させるためのノズルを多孔質体としており、多孔質体に異物が付着すると、気体の噴射量にバラツキが生じ、基板が所定位置に浮揚しないことがあったり、また、ノズルの先端部を先鋭に形成したものでは、ガスの噴出圧及び工程の状況に応じたガス噴出温度、及び局部部位ごとのガス圧と温度の差などにより変形することがあった。このような場合、ノズルの機能が喪失することがある上、基板の位置の離脱による破損の恐れがあり、継続的な使用に伴う異物の付着などの様々な理由により、前記流動路の局所的に気体の吹き出しに差が生じることでノズルの機能が甚だしく低下することがあり、また、基板を固定するための多数のカムによる加圧位置の加圧力の差、及び過度の加圧力により基板が損傷することもあるという問題点があった。
【０００７】
本発明は、上述のような問題点に鑑み案出されたものであり、気体の噴出量及び圧力が一定であり、気体の噴出圧や温度によりノズルの先端部が変形することがなく、基板の広い範囲に均等圧の気体を噴射させて基板表面の損傷と基板の局部の圧力差による極小な歪みを最小化し、かつ固定部材が均等な密着力により基板を把持するようにして基板の損傷を防止することができる基板支持用チャックを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を達成したものであり、請求項１の発明は、選択的に回転する中空のスピンドルが連動するように装着されているベース部と、
前記ベース部の上部に設けられ、前記スピンドルを通して気体が流入する気密室に気体を一時貯蔵し、該気密室から多数のノズルを通って気体を噴出させて基板を浮揚させ、浮揚した該基板を保持するようにしたグリップ部とを具備することを特徴とする基板支持用チャックである。
【０００９】
また、請求項２の発明は、前記グリップ部は、一定圧で気体を噴出する多数のノズルが形成されている上部ボディと、
前記上部ボディに固着して前記ノズルと連通し、一定圧の気体を一時貯蔵する前記気密室を形成する中央部位を陥没させた下部ボディと、
前記下部ボディの下面と前記ベース部の上面間に一定角度の回転が可能に設けられているカム・ホイールと、
前記カム・ホイールにより回転して前記上部ボディの上面に浮揚する基板の側面と密着して該基板を把持するように、前記ベース部と前記上部ボディとに回転可能に装着されている固定部材とを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の基板支持用チャックである。
【００１０】
また、請求項３の発明は、前記ノズルが、前記気密室に充填されている気体が一定圧となるように、回転軸中心より上方に開いた傾斜の流路が列状に形成され、かつ異なる位置に配列された前記流路の傾斜を異ならせることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板支持用チャックである。
【００１１】
また、請求項４の発明は、前記ノズルを構成する流路の気密室側端部には、前記気密室に充填されている気体が一定圧になると該流路を開放するための開閉手段が備えられていることを特徴とする請求項１，２又は３に記載の基板支持用チャックである。
【００１２】
また、請求項５の発明は、前記固定部材は、前記ベース部と前記上部ボディとに回転可能に装着される円筒体と、
前記円筒体の下部に形成され、前記カム・ホイールの側面に偏心するように形成されている側面溝に嵌入している突起と、
前記円筒体の上部に突出し、回転する前記カム・ホイールと連動して回転しながら基板と斥力によって密着するピンと、
前記円筒体の内部に挿入され、前記下部ボディと前記円筒体の下側内面に両端部が固定されて前記突起の原状復帰力を提供する弾性部材とを含むことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の基板支持用チャックである。
【００１３】
また、請求項６の発明は、前記ピンの一部位は、回転しながら選択的に基板の周辺部の一部を斥力で把持することができる弾性体からなることを特徴とする請求項５に記載の基板支持用チャックである。
【００１４】
また、請求項７の発明は、前記ピンの一部位には、回転しながら選択的に基板の周辺部の一部を挟んで把持することができる溝が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の基板支持用チャックである。
【００１５】
また、請求項８の発明は、前記上部ボディの略中央部に基板の有無を検出するセンサを設けたことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の基板支持用チャックである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明では、選択的に回転する中空のスピンドルが連動するように装着されているベース部と、前記ベース部の上部に設けられ、前記スピンドルを通して気体が流入する気密室が設けられ、該気密室に気体を一時貯蔵し、該気密室から多数のノズルを通って気体を噴出させて基板を浮揚させ、浮揚した該基板を保持するようにしたグリップ部とを具備することを特徴とする基板支持用チャックであるので、気密室に一時充填された気体が、一定圧で多数のノズルを通って噴射され、基板の広い範囲に安定した均等圧の気体が供給され、基板表面の損傷を防止すると共に基板の中心と周辺部の圧力差に伴う極小な歪みを最小化することができる。また、気体を気密室に一時貯蔵することによって、ベース上部の温度が安定し、一定の直径を有するノズルの先端部が気体の噴出圧や温度により変形するのを防止し、基板を把持するための固定部材による均等な密着力を提供することができる利点がある。
【００１７】
また、請求項２の発明では、前記グリップ部は、一定圧で気体を噴出する多数のノズルが形成されている上部ボディと、
前記上部ボディに固着して前記ノズルと連通し、一定圧の気体を一時貯蔵する前記気密室を形成する中央部位を陥没させた下部ボディと、
前記下部ボディの下面と前記ベース部の上面間に一定角度の回転が可能に設けられているカム・ホイールと、
前記カム・ホイールにより回転して前記上部ボディの上面に浮揚する基板の側面と密着して該基板を把持するように、前記ベース部と前記上部ボディとに回転可能に装着されている固定部材とを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の基板支持用チャックであるので、ベース部とグリップ部との間の気密室に気体を一時貯蔵して気密室から多数のノズルを通って気体が噴出し、基板の広い範囲に安定した均等圧の気体を噴射させて基板を浮揚させ、回転可能のカム・ホイールが回転することによって、固定部材が回動し、基板側面を弾性的に密着して保持することができ、基板表面の損傷を防止することができる。
【００１８】
また、請求項３の発明では、前記ノズルが、前記気密室に充填されている気体が一定圧となるように、回転軸中心より上方に開いた傾斜の流路が列状に形成され、かつ異なる位置に配列された前記流路の傾斜を異ならせることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板支持用チャックであるので、気密室に一時貯蔵している気体が気密室から多数のノズルを通って噴出し、基板の広い範囲に安定した均等圧として基板を浮揚させることをができ、基板の中心と周辺部の圧力差に伴う極少な歪みが最小化できる利点がある。また、外周のノズルから噴射される気体の圧力によって、基板処理用の媒質が基板に回り込まないように遮断する効果を有する。
【００１９】
また、請求項４の発明では、前記ノズルを構成する流路の気密室側端部には、前記気密室に充填されている気体が一定圧になると該流路を開放するための開閉手段が備えられていることを特徴とする請求項１，２又は３に記載の基板支持用チャックであるので、基板の状態を開閉手段により素早く切り替えて、基板の損傷等の発生を防止したり、フォークにより基板を他の工程に搬送する際の搬送速度を高めることができる利点がある。
【００２０】
また、請求項５の発明では、前記固定部材は、前記ベース部と前記上部ボディとに回転可能に装着される円筒体と、
前記円筒体の下部に形成され、前記カム・ホイールの側面に偏心するように形成されている側面溝に嵌入している突起と、
前記円筒体の上部に突出し、回転する前記カム・ホイールと連動して回転しながら基板と斥力によって密着するピンと、
前記円筒体の内部に挿入され、前記下部ボディと前記円筒体の下側内面に両端部が固定されて前記突起の原状復帰力を提供する弾性部材とを含むことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の基板支持用チャックであるので、カム・ホイールが回転することによって、固定部材が弾性部材により規制されて回動し、固定部材に設けたピンが回動し、基板の側面に密着し、基板を側面から密着して保持することができ、弾性部材による原状復帰力により、ピンの位置を元の位置に戻すようになされており、基板表面を損傷することがない利点がある。
【００２１】
また、請求項６の発明では、前記ピンの一部位が、回転しながら選択的に基板の周辺部の一部を斥力で把持することができる弾性体からなることを特徴とする請求項５に記載の基板支持用チャックであるので、弾性体により基板を弾性的に把持して基板の中心と周辺部の圧力差に伴う歪みを最小化して基板表面の損傷を防止することができる利点がある。
【００２２】
また、請求項７の発明では、前記ピンの一部位には、回転しながら選択的に基板の周辺部の一部を挟んで把持することができる溝が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の基板支持用チャックであるので、基板の中心と周辺部の圧力差に伴う歪みを最小化して基板表面の損傷を防止することができる利点がある。
【００２３】
また、請求項８の発明では、前記上部ボディの略中央部に基板の有無を検出するセンサを設けたことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の基板支持用チャックであるので、基板の有無を検出して基板支持用チャックの動作を高速に制御することができる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明に係る基板支持用チャックの実施形態について、図面を参照し詳細に説明する。本発明の基板支持用チャックについて、概略を説明すると、基板の表面処理などに使用されるものであり、選択的に回転する中空のスピンドルが貫通して連動するように装着されているベース部と、ベース部の上部に設けられ、スピンドルを通じて気体が流入して気密室に一時貯蔵され、気密室から多数のノズルを通って噴出された気体により基板が浮揚して保持されるように形成されたグリップ部とからなるものである。
【００２５】
なお、図１は本発明の一実施形態を示す概略斜視図であり、図２はその分解斜視図である。図３は図１のＩ−Ｉ断面図である。図４は上部ボディの斜視図、図５（ａ）は他の実施形態の上部ボディの斜視図、（ｂ）は図５（ａ）のII−II断面図、図６は他の実施形態を示す断面図、図７は本実施形態のチャックの下部ボディの斜視図、図８はカム・ホイールの斜視図、図９は下部ボディの斜視図、図１０（ａ）〜（ｃ）は基板を把持する固定部材の種々実施形態を示す要部断面図である。
【００２６】
本実施形態は、図１に示すように、基板支持用チャック１０が、中空のスピンドル１２を貫通・装着させたベース部２０と、ベース部２０の上部に設けられ、スピンドル１２から流入する気体が後述の気密室３２に一時貯蔵されてノズル４２を通って斜め上方に噴出し、噴射された気体により基板を浮揚させて固定部材６０により基板を把持するようにしたグリップ部３０とから構成されている。
【００２７】
ベース部２０は、図１〜図３に示すように、別途駆動源により回転するスピンドル１２が貫通しているベースボディ２２と、このベースボディ２２に装着されてスピンドル１２の位置を固定し、さらにスムーズな回転を保障するクランプ部材２４とを含んで構成されている。
【００２８】
グリップ部３０は、図１〜図３に示すように、入出力の直径が同一の多数のノズル（流路）４２が一定の間隔に形成されている上部ボディ４０と、この上部ボディ４０と締結されてノズル４２と連通する気密室３２が形成できるように中央部位が陥没した形状の下部ボディ５０と、下部ボディ５０とベースボディ２２間に一定の角度の回転が可能なように配置されているカム・ホイール５２と、このカム・ホイール５２により回転するように配置され、上部ボディ４０の上面に浮揚している基板と密着して基板を固定するための固定部材６０とを含んで形成されている。
【００２９】
上部ボディ４０は、図４に示すように、ほぼ環形状であり、その周辺側にノズル（流路）４２が環状に配置されて形成されている中央ボディ４４と、固定部材６０の上部が貫通する周辺ボディ４６と、中央ボディ４４の中央部位に基板の有無と大体の位置を感知するセンサを有する感知部材４８とを含んで形成されている。
【００３０】
ノズル４２は、図５（ａ）に例示したように、環状に配列して２列に形成されており、この場合、ノズル４２から噴出する気体が基板の広い範囲にわたって噴射されて接触するようにし、図５（ｂ）に示したように、配列位置によりノズル４２の傾きを変えることにより、低い噴出圧で安定して基板を保持することができる。また、ノズル４２の傾き、即ち、中心側と周辺側のノズル４２の異なる傾きにより、気密室３２の気体貯蔵圧を一定に維持することができ、傾斜したノズル４２を通って噴出する気体圧により基板がある程度保持される。即ち、基板の周辺部に、所定の気体圧にて外向きに噴出されて上向き圧力が提供されると、中心部に下向き圧力が発生するベルヌーイの定理により基板が保持される。
【００３１】
また、ノズル４２は、環状に１列又は２列以上を形成しても差し支えない。ノズル４２が多数環状に配列されている場合、一番外側の列の各ノズル４２から噴出される気体は、基板の周辺に沿って下面に流動して、基板処理用の媒体が基板底面に流入するのを遮断し、残りの列の各ノズル４２から噴出される気体は、ベルヌーイの定理により基板を浮揚させて保持するために利用することができる。
【００３２】
なお、本実施形態の他の形態としては、図６に示すように、気密室３２からノズル４２に流入される気体圧が位置毎に同一になるようにするため、ノズル４２の流入口に開閉手段４２ａを配置することができる。
【００３３】
また、この開閉手段４２ａは、気密室３２の気体が予め設定されている圧力に上昇するまでノズル４２に流入する気体を制限するためのものであり、この実施形態では、気密室３２の気体の圧力により漸次開放しながら一定の圧力以上になれば完全解放し、一定の圧力以下になれば漸次閉鎖するような弁として作用する弾性体を設置することができる。また、気密室３２が一定の圧力に到達すれば一斉に完全解放されるように、電気的に開放する開閉ドアを設置することができる。開閉手段４２ａは種々多様な方法が利用できる。
【００３４】
前記下部ボディ５０は、図３，図７に示すように、上部ボディ４０と締結してノズル４２と連通する気密室３２が形成できるように中央部位が陥没した形状である。気密室３２は、下部ボディ５０の中央部位を貫通したスピンドル１２から排出された気体を一時貯蔵する所で、気体の供給源から供給される予期しない気体圧及び気体量の変化により基板が直接影響を受けることを排除するためであり、気密室３２に充填されている気体が所定の圧に上昇してから貯蔵気体をノズル４２に流入されるのが望ましい。
【００３５】
一方、カム・ホイール５２は、図８に示すように、側面溝６３が形成され、また、カム・ホイール５２は、図２，図３に示すように、回転するスピンドル１２により所定の角度まで回転し、スピンドル１２による回転力が解除されると原状復帰するようにして、カム・ホイール５２の回転角度と関係なく一定のピン６４の斥力が基板に作用するように、カム・ホイール５２と下部ボディ５０の突起とにそれぞれ両端部が固着された復帰スプリング５４が設置される。
【００３６】
固定部材６０は、図１〜図３に示すように、上部ボディ４０の上面に気体により浮揚している基板を固定するための部材であり、上部ボディ４０の周辺ボディ４６に環状に配置され、基板の周囲を加圧しながら互いの斥力により基板を固定する。この固定部材６０は、ベースボディ２２と上部ボディ４０に回転可能に装着される円筒体６１と、この円筒体６１の下部に形成され、カム・ホイール５２の側面に偏心するように形成されている側面溝６３に陥入するカム形状の突起６２と、円筒体６１の上部に突出し、回転するカム・ホイール５２と連動して回転しながら基板と斥力により密着するピン６４と、円筒体６１の内側に挿入されて下部ボディ５０と円筒体６１の周辺部位に形成されている溝に両端部が固定されて突起６２の原状復帰力を提供する弾性部材６５とを含んで形成されている。
【００３７】
ピン６４は、円筒体６１に偏心するように突出している部材で、回転するカム・ホイール５２により側面溝６３、突起６２、円筒体６１などと共に連動・回転しながら、上部ボディ５０の上面に、気体圧により浮揚している基板の側面に密着して加圧し、基板をしっかりと固定するための部材である。
【００３８】
また、カム・ホイール５２の側面溝６３は、図８に示すように、中央で低点を有するように形成されており、側面溝６３に陥入した突起６２と密着してカム・ホイール５２の回転とにより、突起６２の一方向回転及び原状復帰が行なわれる。
【００３９】
一方、図１０（ａ）〜（ｃ）は、基板支持用チャックの他の実施形態である。これらの形態は、上記実施形態の傾斜したノズル４２による気体の噴出圧により基板が保持される場合とは異なり、ノズル４２の傾きとは関係なく、図１０（ａ）に示すように、垂直方向に一つ以上のノズル４２から噴出されるようにしてもよい、このようなノズル４２から噴射される気体は、基板表面処理用の媒質が基板下面に流入するのを防止する働きがあり、また、単純に基板が浮揚している状態を維持することができ、固定部材６０により浮揚位置がしっかりと固定されることができる。この時、基板の固定は、固定部材６０に依存することになり、固定部材６０のピン６４が基板の側面を加圧してしっかりと固定することができる。また、図１０（ｂ）に示すように、ピン６４に基板の極少周辺部を挟んで把持できるように溝６４ａを形成することもでき、また、図１０（ｃ）に示すように、ピン６４の一部位に基板側面との接触面積を広げつつ斥力により把持できるように弾性体６４ｂを設けることができる。
【００４０】
これらの基板を保持する形態は、基板側面を加圧するピン６４が、基板に斥力を提供するものであり、局所部位に対する過多な斥力、及び全般的に基板に提供される過多な斥力は、基板に歪みなどによる微細な損傷をもたらすことがあり、これを防止するために基板の周辺部にパターン化されていない極少余裕部位を挟めるように溝６４ａを形成したり、或いは復帰スプリング５４と共に、基板の全体に対して各ピン６４から提供される斥力を均一にすることができる上、ピン６４からの基板を固定するための過剰な斥力を防止できる一部弾性体６４ｂを設けたものであり、固定部材が基板表面に損傷を与えるといった問題を解消することができる。
【００４１】
また、本実施形態では、ピン６４の弾性体６４ｂによる固定により、単に基板側面を加圧して固定するより更に強力で安定した固定力を提供することができ、溝６４ａは、内向きに狭くなる形状に形成されるのが好ましい。
【００４２】
以下、本実施形態の基板支持用チャックの作動を簡略に説明する。先ず、気体がスピンドル１２を通じて、上・下部ボディ４０，５０の締結により形成されている気密室３２に流入されて一定圧となるように一時充填され、上部ボディ４０に基板が位置すると、気密室３２の気体が多数のノズル４２を通って均等な圧力で基板に噴出され、上部ボディ４０の上面から所定の間隔だけ浮揚した状態で基板が存在する。
【００４３】
この時、回転したカム・ホイール５２により固定部材６０が回転してピン６４が基板の側壁部を把持するように動作し、基板はピン６４により確実に固定される。
【００４４】
基板は、ノズル４２から噴出された気体に、ベルヌーイの定理が適用されて所定の固定力が発生するように浮揚することも、単純に浮揚することもあり、これにはノズル４２の傾きが大いに関係している。即ち、ノズル４２が外向きに傾いて形成されるとベルヌーイの定理が適用され、ノズル４２が基板の噴射面とほぼ直角に形成されると単純に基板が浮揚する。
【００４５】
また、図１０（ａ）〜（ｃ）に示したように、ピン６４は、硬いピン６４が基板の側面を加圧して把持することもあり、また、基板の周辺部の極少余裕部位がピン６４に形成されている溝６４ａに挟まれて把持することもあり、さらには、基板の側面をピン６４に形成されている弾性体６４ｂが加圧して把持することもある。
【００４６】
また、ノズルの傾斜及び直角に形成されていることにかかわらず、２列以上に配置されているノズルの内、一番外側の列は基板処理媒質が下面に流入するのを遮断し、その他の列は基板を浮揚させて保持するように気体を噴出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る基板支持用チャックの一実施形態を示す概略斜視図である。
【図２】本実施形態の分解底面斜視図である。
【図３】図１のI−I線の部分断面図である。
【図４】本実施形態の上部ボディを概略的に示した斜視図である。
【図５】（ａ）は上部ボディの他の実施形態を示した斜視図であり、（ｂ）はそのII−II線の部分断面図である。
【図６】他の実施形態の上部ボディを示した部分断面図である。
【図７】本実施形態の下部ボディを概略的に示した斜視図である。
【図８】本実施形態のカム・ホイールを概略的に示した斜視図である。
【図９】本実施形態のベースボディを概略的に示した斜視図である。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の他の実施形態の上部ボディを概略的に示した部分断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  基板支持用チャック
１２  スピンドル
２０  ベース部
２２  ベースボディ
３０  グリップ部
３２  気密室
４０  上部ボディ
４２  ノズル
４８  感知部材
５０  下部ボディ
５２  カム・ホイール
６０  固定部材
６１  円筒体
６２  突起
６３  側面溝
６４  ピン
６５  弾性部材 
【図１】
2006157008.tif 000003
【図２】
2006157008.tif 000004
【図３】
2006157008.tif 000005
【図４】
2006157008.tif 000006
【図５】
2006157008.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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