(57)【要約】【課題】  チャンバー同士を互いに接続するためのチャンバー接続装置において、各チャンバー同士の接続を容易に行なうことを目的とする。【解決手段】  第１のチャンバー５と第２のチャンバー９とを互いに接続するチャンバー接続装置１において、前記各チャンバー５、９のうちの少なくとも一方のチャンバー５、９の開口部を囲むように設置された環状の弾性部材１５、１７と、前記弾性部材１５、１７の外周または内周に接触する筒状の連結部材１９とを用いて、前記第１のチャンバー５と前記第２のチャンバー９とを互いに接続する。【選択図】図１
2006210370.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のチャンバーと第２のチャンバーとを互いに接続するチャンバー接続装置において、
前記各チャンバーのうちの少なくとも一方のチャンバーの開口部を囲むように設置された環状の弾性部材と、前記の弾性部材の外周または内周に接触する筒状の連結部材とを用いて、前記第１のチャンバーと前記第２のチャンバーとを互いに接続するように構成されていることを特徴とするチャンバー接続装置。
【請求項２】
第１のチャンバーと第２のチャンバーとを互いに接続するチャンバー接続装置において、
前記第１のチャンバーの開口部を囲むように設置された第１の弾性部材と；
前記第２のチャンバーの開口部を囲むように設置された第２の弾性部材と；
前記第１の弾性部材の外周または内周に一端部側が接触し、前記第２の弾性部材の外周または内周に他端部側が接触する筒状の連結部材と；
を有することを特徴とするチャンバー接続装置。
【請求項３】
請求項２に記載のチャンバー接続装置において、
前記第１のチャンバーの開口部は、前記第１のチャンバーを構成している筐体から突出している第１の筒状部位の先端部に形成されており、
前記第１の弾性部材は、前記第１の筒状部位の先端部側で前記第１の筒状部位の外周を囲むように設けられており、
前記第２のチャンバーの開口部は、前記第２のチャンバーを構成している筐体から突出している第２の筒状部位の先端部に形成されており、
前記第２の弾性部材は、前記第２の筒状部位の先端部側で前記第２の筒状部位の外周を囲むように設けられており、
前記連結部材は、前記第１の弾性部材の外周に一端部側の内周が接触し、前記第２の弾性部材の外周に他端部側の内周が接触すると共に、第１の部材と第２の部材とに容易に分離可能に構成されていることを特徴とするチャンバー接続装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のチャンバー接続装置において、
前記開口部にはシャッターが設けられていることを特徴とするチャンバー接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバー接続装置に係り、特に、弾性部材を用いて、チャンバー同士を互いに接続するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルームを形成しているチャンバー同士を互いに接続する装置として、各チャンバーの開口部にフランジ部を設け、これらの各フランジ部同士をボルト等を用いて互いに接続するものが知られている。
【０００３】
また、前記チャンバーが真空処理室として使用される場合には、各フランジ部同士を、ゲートバルブを介して互いに接続する構成のものが知られている（たとえば特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３４５３２２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記従来の接続装置では、各チャンバーの開口部同士（各チャンバー同士）を互いに接続するために、前記各チャンバーの開口部同士の相対的な位置関係を正確なものにしておく必要があり、各チャンバー同士の接続作業が煩雑であるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、チャンバー同士を互いに接続するためのチャンバー接続装置において、各チャンバー同士の接続を容易に行なうことができるチャンバー接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、第１のチャンバーと第２のチャンバーとを互いに接続するチャンバー接続装置において、前記各チャンバーのうちの少なくとも一方のチャンバーの開口部を囲むように設置された環状の弾性部材と、前記の弾性部材の外周または内周に接触する筒状の連結部材とを用いて、前記第１のチャンバーと前記第２のチャンバーとを互いに接続するように構成されているチャンバー接続装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、チャンバー同士を互いに接続するためのチャンバー接続装置において、各チャンバー同士の接続を容易に行なうことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
［第１の実施形態］
図1は、本発明の第１の実施形態に係るチャンバー接続装置１の概略構成を示す斜視図であり、図２は、チャンバー接続装置１の概略構成を示す断面図であり、図３は、図２に示すチャンバー接続装置１をより簡素化して示した図である。
【０００９】
チャンバー接続装置１は、第１の筐体３内に形成された第１のチャンバー５と、第２の筐体７内に形成された第２のチャンバー９とを互いに接続する装置である。より具体的には、前記チャンバー接続装置１は、たとえば、前記第１のチャンバー５の開口部１１と、この開口部１１に対向している前記第２のチャンバー９の開口部１３とを互いに接続するときに使用されるものである。
【００１０】
なお、前記各チャンバー５、９は、たとえばウェハ等を保管し搬送しまたは加工等するために使用されるものであり、前記各筐体３、７のたとえば上部には、クリーンユニット（図示せず）が設置され、前記各チャンバー５、９内のクリーン度を高い状態に維持することができるようになっている。前記クリーンユニットは、フィルターとこのフィルターを通過した空気を前記各チャンバー５、９内に送り込むためのファンとを備えている。
【００１１】
前記チャンバー接続装置１は、前記第１のチャンバー５の開口部１１を囲むように設置された環状の第１の弾性部材１５と、前記第２のチャンバー９の開口部１３を囲むように設置された環状の第２の弾性部材１７と、前記第１の弾性部材１５の外周の全周に一端部側の内周の全周が接触し、前記第２の弾性部材１７の外周の全周に他端部側の内周の全周が接触する筒状の連結部材１９とを用いて、前記第１のチャンバー５と前記第２のチャンバー９とを互いに接続するように構成されている。
【００１２】
ここで、チャンバー接続装置１について例を掲げて詳しく説明する。
【００１３】
前記第１のチャンバー５の開口部１１は、前記第１のチャンバー５を構成している筐体３から突出している第１の筒状部位２１の先端部に形成されており、前記第１の弾性部材１５は、前記第１の筒状部位２１の先端部側で前記第１の筒状部位２１の外周を囲むように設けられている。
【００１４】
前記第２のチャンバー９の開口部１３も、同様に、第２の筒状部位２３の先端部に形成されており、前記第２の弾性部材１７も、前記第２の筒状部位２３の先端部側で前記第２の筒状部位２３の外周を囲むように設けられている。
【００１５】
また、前記連結部材１９は、前記第１の弾性部材１５の外周に一端部側が接触し、前記第２の弾性部材１７の外周に他端部側が接触すると共に、第１の部材２５と第２の部材２７とに容易に分離可能に構成されている。
【００１６】
より詳しく説明すると、前記第１の筒状部位２１は、前記第１の筐体３のたとえば側壁から突出して設けられていると共に、矩形状の筒状に形成されている。したがって、前記第１のチャンバー５の開口部は矩形状に形成されていることになる。
【００１７】
また、前記弾性部材１５として、たとえばＯリングのような部材が使用される。前記第１の筒状部位２１の先端部側の外壁には、環状の溝２１Ａが形成されており、この環状の溝２１Ａに前記環状の弾性部材１５の一部（内周側の部位）が嵌り込んでいる。
【００１８】
前記第２の筒状部位２３も前記第１の筒状部位２１と同様に形成されており、環状の溝２３Ａに環状の弾性部材１７が嵌りこんでいる。
【００１９】
前記連結部材１９は、この軸方向（前記各開口部１１、１３を互いに結ぶ方向）の中間部で、前述したように第１の部材２５と第２の部材２７とに分離可能に構成されている。
【００２０】
また、前記第１の部材２５側の前記第２の部材２７の端部には、フランジ部２７Ａが設けられており、同様に前記第１の部材２５にもフランジ部２５Ａが設けられている。前記第２の部材２７のフランジ部２７Ａの面（前記第１の部材２５のフランジ部２５Ａと対向する面）には、前記筒状の第２の部材２７の開口部を囲むように環状の溝２７Ｂが形成されており、この環状の溝２７Ｂに、Ｏリング等の環状の弾性部材２９の一部が嵌りこんでいる。
【００２１】
そして、前記各フランジ部２５Ａ、２７Ａの同士をボルト等の締結具を用いて互いに接合することによって、前記各部材２５、２７が接合され連結部材１９が形成されるようになっており、各チャンバー５、９を互いに接続すべく、前記連結部材１９を前記各筒状部位２１、２３に設置したときに、前記第１の弾性部材１５の外周の全周に前記第２の部材２７の内周の全周が接触し、前記第２の弾性部材１７の外周の全周に前記第１の部材２５の内周の全周が接触するようになっている。
【００２２】
ここで、連結部材１９の各部材２５、２７の締結について説明する。
【００２３】
前記第１の部材２５と前記第２の部材２７とを互いに締結する締結具３０は、前記第１の部材２５と前記第２の部材２７とが互いに分離された状態においても、前記第１の部材２５に支持されており、前記第１の部材２５から容易には離れないようになっている。
【００２４】
前記締結具３０は、たとえば、前記第１の部材２５のフランジ部２５Ａの周辺であって前記第２の部材２７とは反対側の部位に一体的に設けられた締結具支持部材３１に、基端部側が回動自在に支持されている棒状の部材３３を備えている。
【００２５】
前記棒状の部材３３の先端部の端面には、雌ネジが形成されており、この雌ネジに、短い円柱状のつまみ部３５Ａを備えたボルト３５が螺合している。
【００２６】
前記締結具３０として、前記棒状の部材３３に前記ボルト３５が螺合しているものが、前記第１の部材２５のフランジ部２５Ａの周辺で互いに離れた箇所に複数個設けられている。
【００２７】
第２の部材２７のフランジ部２７Ａの外形は、前記第１の部材２５のフランジ部２５Ａの外形よりも大きく形成されており、回動する前記棒状の部材３３や前記ボルト３５のネジ部が入り込むための細長い切り欠き３７が、前記棒状の部材３３や前記ボルト３５に応じて、外周部に複数設けられている。
【００２８】
また、前記第１の部材２５のフランジ部２５Ａには、この第１の部材２５と前記第２の部材２７とを互いに接合するときに前記第１の部材２５と前記第２の部材２７との相対的な位置関係を出すための（芯出しをするための）凸部２５Ｂが形成されており、また、前記第２の部材２７のフランジ部２７Ａには、前記芯出しのために前記凸部２５Ｂと係合する凹部２７Ｃが設けられている。
【００２９】
そして、互いに離れている前記第１の部材２５と前記第２の部材２７とを互いに接合する場合には、前記凹部２７Ｃに前記凸部２５Ｂが嵌りこむように、前記各部材２５、２７の各フランジ部２５Ａ、２５Ｂを対向させ、ボルト３５が螺合している前記棒状の部材３３を回動し、前記棒状の部材３３や前記ボルト３５のネジ部が、第２の部材２７のフランジ部２７Ａに設けられた細長い切り欠き３７に嵌りこむようにして、前記ボルト３５を締め付けると、前記ボルト３５のつまみ３５Ａが前記第２の部材２７のフランジ部２７Ａに接触し、前記棒状の部材３３と前記ボルト３５とによって前記第１の部材２５のフランジ部２５Ａと前記第２の部材２７のフランジ部２７Ａとが互いに接近するように付勢され、前記各部材２５、２７が互いに接合される。
【００３０】
なお、前記ボルト３５を締め付けることによって、前記各フランジ部２５Ａ、２７Ａが互いに接触すると共に、前記フランジ部２７Ａに設けられている環状の弾性部材２９が弾性変形し、この弾性変形によって、前記第１の部材２５と前記第２の部材２７との接合部のシール性を保つことができる。
【００３１】
また、前記開口部１１には、シャッター３９が設けられている。
【００３２】
ここで、シャッター３９について、図２、図４（図２におけるＩＶＡ―ＩＶＢ矢視を示す図）および図５（図４におけるＶＡ―ＶＢ断面を示す図）を参照して説明する。
【００３３】
前記第１のチャンバー５を形成している筐体３には、窓４１が形成されている。この窓４１を覆うように前記筐体３には、前記シャッター３９を形成するシャッター部材４３と、前記第１の筒状部位２１を構成している部材を支持する板状の支持部材４５が、ボルト等の締結具を用いて取り付けられている。
【００３４】
前記支持部材４５には、前記筒状部位２１の開口部とほぼ同じ大きさの窓４５Ａと、前記窓４５Ａよりも僅かに大きな板状の前記シャッター部材４３をガイドするための凹部４５Ｂとが形成されている。また、前記第１の筒状部位２１を構成している部材の一端部には、前記支持部材４５とほぼ同じ大きさのフランジ部２１Ｂが設けられている。
【００３５】
そして、前記支持部材４５に前記筒状部位２１を構成している部材のフランジ部２１Ｂを、ボルト等の締結具を用いて取り付けることによって、前記凹部４５Ｂと前記フランジ部２１Ｂとで薄い板状の空間が形成され、この空間が前記シャッター部材４３のガイド部になる。
【００３６】
このガイド部で、前記シャッター部材４３が直線的に移動することにより、前記支持部材４５の窓４５Ａが開閉され、したがって前記筒状部位２１の開口部（チャンバー３の開口部１１）が開閉されるようになっている。
【００３７】
また、前記シャッター部材４３には、ナット４７が一体的に設けられており、このナット４７には、つまみ部４９Ａを備えたボルト４９が螺合している。前記ボルト４９を締めることによって、シャッター部材４３の位置を固定し、前記ボルト４９を緩めることによって、前記シャッター部材４３が移動することができるようになっている。
【００３８】
なお、前記開口部１３にも同様なシャッターが設けられている。
【００３９】
ここで、チャンバー接続装置１を設置する場合の手順について説明する。
【００４０】
図６は、チャンバー接続装置１を用いて、各チャンバー５、９を互いに接続する場合について説明する図である。
【００４１】
まず図６（ａ）に示すように、第１の筒状部位２１の先端部側に連結部材１９の第２の部材２７を設置し、第２の筒状部位２３の先端部側に連結部材１９の第１の部材２５を設置した状態にする。このときシャッター３９は閉じている。
【００４２】
続いて、図６（ａ）の矢印に示すように、筐体７に対して筐体３を相対的に上下方向に移動し開口部１１と開口部１３とを互いに対向させる。この後、図６（ｂ）に示すように、筐体３や筐体７を移動することなく、矢印で示すように、第１の部材２５と第２の部材２７とを、前記筒状部位２１、２３に対して軸方向に移動し、互いに接近させる。
【００４３】
続いて、図６（ｃ）に矢印で示すように、棒状の部材３３とボルト３５とを回動し、これらを、フランジ部２７Ａの切り欠き３７の溝に挿入し、ボルト３５を締め付けると、図６（ｄ）に示すように、開口部１１と開口部１３とが（各チャンバー５、９同士が）接続される。この後、シャッター３９を開く。
【００４４】
なお、チャンバー接続装置１を取り外す場合には、前記操作とは逆の操作を行う。
【００４５】
チャンバー接続装置１によれば、開口部１１、１３を囲むように設置された環状の弾性部材１５、１７の外周に接触する連結部材１９を用いて、各チャンバー５、９同士を互いに接続するので、前記各チャンバー５、９同士を互いに接続するときに、開口部１１、１３同士（筐体３、７同士）の相対的な位置がずれていても、それに対応して前記弾性部材１５、１７がある程度変形するため、開口部１１、１３同士（筐体３、７同士）の相対的な位置が若干ずれていても、各チャンバー５、９同士を接続することができ、各チャンバー５、９同士の接続作業が容易になる。
【００４６】
また、各弾性部材１５、１７を介してチャンバー５、９同士を互いに接続するように構成されているので、接続装置自体の構成が簡素になっている。
【００４７】
詳しくは、チャンバー接続装置１によれば、各チャンバー５、９の各開口部１１、１３に各弾性部材１５、１７が設置され、これらの弾性部材１５、１７に連結部材１９（連結部材１９の各端部側の部位）を接触させて、各チャンバー５、９同士を互いに接続するようにしているので、２つの弾性部材１５、１７のそれぞれにおいて、各チャンバー５、９の開口部１１、１３の相対的な位置ずれ（アライメントのくるい等）を吸収することができ、各チャンバー５、９の開口部１１、１３同士の相対的な位置関係の位置ずれが存在しても、各チャンバー５、９同士を接続することができる。
【００４８】
また、チャンバー接続装置１によれば、各開口部１１、１３が各筒状部位２１、２３の先端部に形成されており、連結部材１９が容易に分離可能（結合可能）に構成されているので、チャンバー５、９同士を互いに接続する場合、前記各開口部１１、１３を対向させた後、これらの開口部１１、１３を覆うように、連結部材１９を構成している各部材２５、２７を設置し互いに接続すればよく、各チャンバー５、９同士の接続作業が一層容易になる。
【００４９】
さらに、チャンバー接続装置１によれば、シャッター３９が設けられているので、チャンバー５、９同士が接続されていないときや接続作業を行っているときに、シャッター３９で開口部を閉じて置くことによって、チャンバー５、９内に塵やダスト等の異物が入り込むことを防止できる。
【００５０】
［第２の実施形態］
図７は、本発明の第２の実施形態に係るチャンバー接続装置１ａの概略構成を簡素化して示す図であり、図７（ａ）は、図３に対応した図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）におけるＶＩＩＡ―ＶＩＩＢ断面を示す図である。
【００５１】
チャンバー接続装置１ａは、連結部材の形態が前記第１の実施形態に係るチャンバー接続装置１とは異なり、その他の点は第１の実施形態に係るチャンバー接続装置１とほぼ同様に構成され、ほぼ同様の効果を奏する。
【００５２】
チャンバー接続装置１ａでは、チャンバー接続装置１の場合に筒状の連結部材１９がその長手軸に垂直な平面で分離可能に構成されているのと異なり、筒状の連結部材５１が、その長手軸を含む平面で、第１の部材５３と第２の部材５５とに分離可能になっている。また、このように分離可能になっていることに応じて、チャンバー接続装置１ａでは、棒状の弾性部材５７が前記各部材５３、５５の間に設置されている。
【００５３】
締結具３０を締め付けると、前記各部材５３、５５によって棒状の弾性部材５７が締め付けられて弾性変形し、この弾性変形によって、前記第１の部材５３と前記第２の部材５５との接合部のシール性を保つことができる。
【００５４】
［第３の実施形態］
図８は、本発明の第３の実施形態に係るチャンバー接続装置１ｂの概略構成を簡素化して示す図であり、図３に対応した図である。
【００５５】
本発明の第３の実施形態に係るチャンバー接続装置１ｂは、筒状部位が設けられておらず、各筐体の開口部を囲むように環状の各弾性部材１５、１７が設けられている点が、前記第１の実施形態に係るチャンバー接続装置１と異なり、その他の点は前記第１の実施形態に係るチャンバー接続装置１とほぼ同様に構成され、ほぼ同様の効果を奏する。
【００５６】
なお、前記チャンバー接続装置１ｂにおいて、前記第１の実施形態に係るチャンバー接続装置１や前記第２の実施形態に係るチャンバー接続装置１ａのように、連結部材６１を容易に分離可能な構成にしてもよい。
【００５７】
［第４の実施形態］
図９は、本発明の第４の実施形態に係るチャンバー接続装置１ｃの概略構成を簡素化して示す図であり、図３に対応した図である。
【００５８】
本発明の第４の実施形態に係るチャンバー接続装置１ｃは、連結部材６３の外周が、弾性部材６５、６７の内周に接触するようになっている点が、前記第１の実施形態〜前記第３の実施形態に係るチャンバー接続装置と異なり、その他の点は前記各実施形態に係るチャンバー接続装置とほぼ同様に構成され、ほぼ同様の効果を奏する。
【００５９】
［第５の実施形態］
図１０は、本発明の第５の実施形態に係るチャンバー接続装置１ｄの概略構成を簡素化して示す図であり、図３に対応した図である。
【００６０】
本発明の第５の実施形態に係るチャンバー接続装置１ｄは、一方の筐体６９の開口部に環状の弾性部材７１を設け、この弾性部材７１の内周に、他方の筐体７３に設けられた筒状部位７５の外周を接触させることにより連結部材の機能を持たせている点が、前記第４の実施形態に係るチャンバー接続装置１ｃと異なり、その他の点は前記第４の実施形態に係るチャンバー接続装置１ｃとほぼ同様に構成され、ほぼ同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るチャンバー接続装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】チャンバー接続装置の概略構成を示す断面図である。
【図３】図２に示すチャンバー接続装置１をより簡素化して示した図である。
【図４】図２におけるＩＶＡ―ＩＶＢ矢視を示す図である。
【図５】図４におけるＶＡ―ＶＢ断面を示す図である。
【図６】チャンバー接続装置を用いて、各チャンバーを互いに接続する場合について説明する図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るチャンバー接続装置の概略構成を簡素化して示す図であり、図３に対応した図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係るチャンバー接続装置の概略構成を簡素化して示す図であり、図３に対応した図である。
【図９】本発明の第４の実施形態に係るチャンバー接続装置の概略構成を簡素化して示す図であり、図３に対応した図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態に係るチャンバー接続装置の概略構成を簡素化して示す図であり、図３に対応した図である。
【符号の説明】
【００６２】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ  チャンバー接続装置
３、７  第１および第２の筐体
５、９  第１および第２のチャンバー
１１、１３  第１および第２の開口部
１５、１７  第１および第２の弾性部材
１９  連結部材
２１、２３  第１および第２の筒状部位
２５、２７  第１および第２の部材
３９  シャッター
【図１】
2006210370.tif 000003
【図２】
2006210370.tif 000004
【図３】
2006210370.tif 000005
【図４】
2006210370.tif 000006
【図５】
2006210370.tif 000007
【図６】
2006210370.tif 000008
【図７】
2006210370.tif 000009
【図８】
2006210370.tif 000010
【図９】
2006210370.tif 000011
【図１０】
2006210370.tif 000012