(57)【要約】【課題】スロットタイプシャドウマスクの孔径ＤとブリッジＢの寸法検査を効率良く、精度良く検査するためのスロットタイプシャドウマスクの検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】孔径Ｄの寸法規格をＤS、ブリッジＢの寸法規格をＢSとしたとき、少なくとも孔径ＤとブリッジＢの寸法と透過率Ｔを測定し、ブリッジＢの寸法規格ＢSを満足する孔径Ｄの検査用規格ＤS1を設定する工程と、孔径Ｄの検査用規格ＤS1を満足する透過率規格ＴDSを設定する工程と、ブリッジＢの寸法規格ＢSを満足するブリッジＢの透過率規格ＴBSを設定する工程とにより、孔径Ｄの寸法規格ＤS及びブリッジＢの寸法規格ＢSを満足する透過率検査用規格ＴSを設定し、透過率検査用規格ＴSを検査公差として、スロットの孔径ＤとブリッジＢの良否を判定することを特徴とするスロットタイプシャドウマスクの検査方法。【選択図】図２
2006210165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直方向に一定の垂直ピッチで配列された長方形のスロット列が、ほぼ並行に多数列配列されてなるスロットタイプシャドウマスクの検査方法であって、
長方形のスロットの長辺の直径を孔径Ｄ、長方形のスロットの垂直方向の各スロット間の間隙をブリッジＢとし、孔径Ｄの寸法規格をＤS、ブリッジＢの寸法規格をＢSとしたとき、
少なくとも孔径ＤとブリッジＢの寸法と透過率Ｔを測定し、ブリッジＢの寸法規格ＢSを満足する孔径Ｄの検査用規格ＤS1を設定する工程と、孔径Ｄの検査用規格ＤS1を満足する透過率規格ＴDSを設定する工程と、ブリッジＢの寸法規格ＢSを満足するブリッジＢの透過率規格ＴBSを設定する工程とにより、孔径Ｄの寸法規格ＤS及びブリッジＢの寸法規格ＢSを満足する透過率検査用規格ＴSを設定し、透過率検査用規格ＴSを検査公差として、スロットの孔径ＤとブリッジＢの良否を判定することを特徴とするスロットタイプシャドウマスクの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は民生用カラーテレビに搭載され、高解像度表示が可能なシャドウマスク型カラー陰極線管に用いられるスロットタイプシャドウマスクの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シャドウマスク型カラー陰極線管５０では、図５に示すように、画像が表示されるパネル５１の内面には、電子銃５２から放射される電子ビームの走査線に対して垂直方向に縦長の連続した３色蛍光体ストライプを多数列配設した蛍光面５３が被着形成されている。そして、パネル５１には、管状のネック部５７を有する略錐体形のファンネル部５５が接続されて真空容器を形成している。また、ネック部５７内には３つの電子銃５２がインライン状に装着され、ファンネル部５５の外周には電子ビームを偏向する偏向ヨーク５６が装着され、パネル５１の内面の蛍光面５３に対抗して電子ビームを選択透過させるスロットタイプのシャドウマスク４０が装着されている。
【０００３】
上記シャドウマスク型カラー陰極線管５０は、電子銃５２から放射された３本の電子ビームが偏向ヨーク５６により形成される水平磁界と垂直磁界とで偏向され、蛍光面５３の全面にわたって走査されシャドウマスク４０のスロット４１を通して、それぞれ対応する色の蛍光体に射突し、蛍光体を励起発光させてカラー画像を表示させている。
【０００４】
通常、スロットタイプシャドウマスク４０は、図４に示すように、長方形状のスロット４１が画面の垂直方向に一定の縦ピッチＰｖ（例えばＰｖ＝０．５ｍｍから１．０ｍｍ）で配置されたスロット列を、ほぼ平行に横ピッチＰｈで多数列規則正しく水平方向に配列してモザイク状に配列したものである。そして、垂直方向の各スロット４１間にブリッジＢが形成され、シャドウマスク４０の機械的強度を保持している。
【０００５】
また、各スロット４１の垂直方向開口寸法は全て一定であり、かつ各スロット列は、相隣り合うスロット列のブリッジＢの位置が他のスロット４１を垂直方向に互いに２等分するように配列されている。このブリッジＢは、電子ビームの非透過部となるため、表示画面に影部分を発生させるので、その部分は輝度が低下し、更に電子ビームのスポット径を小さくすればするほど、表示画面に明暗の差が大きくなりモアレ縞の影響が顕著となる。
【０００６】
シャドウマスク型カラー陰極線管の場合、テレビ用としては、シャドウマスクのピッチの粗いストライプ状蛍光面とスロットタイプシャドウマスクの組み合わせが多く用いられているが、高解像度表示用としては、シャドウマスクのピッチの細かいドット状蛍光面と丸孔タイプシャドウマスクの組み合わせが多く用いられている。
しかしながら、最近になってストライプ状蛍光面のほうがドット状蛍光面よりも文字や図をよりシャープに映し出せることがわかり、民生用テレビに採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
スロットタイプシャドウマスクを用いたシャドウマスク型カラー陰極線管で十分な明るさをと細かい文字や図形を表示しようとすると、スロットタイプシャドウマスクのスロット４１の孔径ＤとブリッジＢは細かくなり、許容されるバラツキ範囲も小さいことが要求され、孔径ＤとブリッジＢの寸法についてそれぞれ寸法規格が設定されている。
【０００８】
スロットタイプシャドウマスクメーカーとしては、この寸法規格を満足したシャドウマスクを納入しなければならない。
スロットタイプシャドウマスクは、主としてフォトエッチングプロセスで作製されるため
、工程管理を行えば、上記寸法規格を満足したスロットタイプシャドウマスクが得られるはずであるが、寸法規格からはずれたスロットタイプシャドウマスクが混入する。
【０００９】
このため、従来は、シート状に断裁したスロットタイプシャドウマスクを投影機で拡大した状態で寸法測定して、寸法規格を満足しているかどうかを検査していた。
この検査は、全数検査であることと、投影機で寸法測定を行うため、測定誤差が大きく、手作業で時間と手間がかかるという問題を有している。
この問題を多少解消するために、抜き取り検査等を試みているが、規格外の製品（寸法不良品）が混入すこともあり問題となっている。
【特許文献１】特開平９−２１３２２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたもので、スロットタイプシャドウマスクの孔径ＤとブリッジＢの寸法検査を効率良く、精度良く検査するためのスロットタイプシャドウマスクの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に於いて上記課題を達成するために、本発明では、垂直方向に一定の垂直ピッチで配列された長方形のスロット列が、ほぼ並行に多数列配列されてなるスロットタイプシャドウマスクの検査方法であって、
前記長方形のスロットの長辺の直径を孔径Ｄ、長方形のスロットの垂直方向の各スロット間の間隙をブリッジＢとし、孔径Ｄの寸法規格をＤS、ブリッジＢの寸法規格をＢSとしたとき、
少なくとも孔径ＤとブリッジＢの寸法と透過率Ｔを測定し、ブリッジＢの寸法規格ＢSを満足する孔径Ｄの検査用規格ＤS1を設定する工程と、孔径Ｄの検査用規格ＤS1を満足する透過率規格ＴDSを設定する工程と、ブリッジＢの寸法規格ＢSを満足するブリッジＢの透過率規格ＴBSを設定する工程とにより、孔径Ｄの寸法規格ＤS及びブリッジＢの寸法規格ＢSを満足する透過率検査用規格ＴSを設定し、透過率検査用規格ＴSを検査公差として、スロットの孔径ＤとブリッジＢの良否を判定することを特徴とするスロットタイプシャドウマスクの検査方法
【発明の効果】
【００１２】
本発明のスロットタイプシャドウマスクの検査方法によれば、スロットタイプシャドウマスクのスロットの透過率を測定することにより、スロットの孔径ＤとブリッジＢの寸法の良否を判定することが可能になり、孔径ＤとブリッジＢの寸法規格からはずれたスロットタイプシャドウマスクの混入を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
本発明のスロットタイプシャドウマスクの検査方法は、
まず、スロットタイプシャドウマスクの測定位置を決めて、投影機にて図４に示すスロット４１の孔径Ｄ、ブリッジＢの寸法を測定し、スロットの孔径ＤとブリッジＢの寸法規格に対する検査用規格を設定する。
本来であれば、品種ごとにスロットの孔径ＤとブリッジＢの寸法規格が設定されているため、その寸法規格を検査規格として、スロットの孔径ＤとブリッジＢの良、不良を判定すれば良いが、実際は、シャドウマスクの製造ラインのプロセス条件によって、予め設定された寸法規格と社内検査規格に微妙な差を生じる。そのため、品種、製造ラインごとに寸法規格に対する社内検査規格を設定する必要がある。
【００１４】
図１は、フォトエッチングプロセスにて作製されたある品種のスロットタイプシャドウマスクについて、投影機にてスロットの孔径ＤとブリッジＢの寸法を測定した結果を示す。
ここで、この品種に設定されているスロットの孔径Ｄの寸法規格ＤSは、ＤS＝１４２±１０μｍ、ブリッジＢの寸法規格ＢSは、ＢS＝１０５±１５μｍである。
測定プロット図をもとにスロットの孔径ＤとブリッジＢの関係を近似すると、図1に示すように近似直線１０として表せる。
この近似直線１０から、ブリッジＢの寸法規格ＢS＝１０５±１５μｍを満足する孔径Ｄの検査用規格ＤS1は１３６．１〜１４７．９μｍとなり、これは、寸法規格ＤSの１３２〜１５２μｍとは若干異なった値となる。
【００１５】
図２は、フォトエッチングプロセスにて作製されたある品種のスロットタイプシャドウマスクについて、投影機にて測定したスロットの孔径Ｄと透過率測定機にて測定した透過率Ｔの測定プロット図及び測定プロット図をもとに作成した近似直線２０を示す。
この近似直線２０から、上記で求めたスロットの孔径Ｄの検査用規格ＤS1（１３６．１〜１４７．９μｍ）を満足する透過率規格ＴDSは、１７．８〜２０．６％となる。
【００１６】
同様に、図３は、フォトエッチングプロセスにて作製されたある品種のスロットタイプシャドウマスクについて、投影機にて測定したブリッジＢと透過率測定機にて測定し透過率Ｔの測定プロット図及び測定プロット図をもとに作成した近似直線３０を示す。
この近似直線３０から、ブリッジＢの寸法規格ＢS（９０〜１２０μｍ）を満足する透過率規格ＴBSは、１７．８〜２０．５％となる。
これは、上記スロットの孔径Ｄの検査用規格ＤS1（１３６．１〜１４７．９μｍ）を満足する透過率規格ＴDSとほぼ同じ値になる。
【００１７】
上記の結果からスロットの孔径Ｄの検査用規格ＤS1（１３６．１〜１４７．９μｍ）とブリッジＢの寸法規格ＢS（９０〜１２０μｍ）とを満足する透過率検査用規格ＴSは、１７．８〜２０．５％となる。
さらに、透過率検査用規格ＴSに対して寸法測定誤差を加味した９５％信頼区間を設定し、透過率測定機間での機差合わせ込みを行うことにより、スロットの孔径ＤとブリッジＢの寸法検査精度を向上させることができる。
このことから、スロットタイプシャドウマスクの透過率検査用規格ＴSを設定することにより、スロットタイプシャドウマスクのスロットの孔径ＤとブリッジＢの寸法の良否を容易に検査することが可能になり、スロットタイプシャドウマスクの孔径ＤとブリッジＢの寸法の検査を効率的に、且つ精度を落とさないで行うことができる。
【実施例１】
【００１８】
ある品種のスロットタイプシャドウマスクのセンター部とコーナー部でそれぞれ測定位置を設定して、透過率自動測定機を用いて、それぞれ透過率を測定し、上記で設定した透過率検査用規格ＴDSを適用し、全数選別検査を実施した。
この結果、透過率を測定し上記で設定した透過率検査用規格ＴDSを適用することにより、スロットタイプシャドウマスクのスロットの孔径ＤとブリッジＢの寸法の良否を検査することができた。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】フォトエッチングプロセスにて作製されたある品種のスロットタイプシャドウマスクについて、投影機にてスロットの孔径ＤとブリッジＢの寸法を測定した結果を示すグラフである。
【図２】フォトエッチングプロセスにて作製されたある品種のスロットタイプシャドウマスクについて、投影機にて測定したスロットの孔径Ｄと透過率測定機にて測定した透過率Ｔの結果を示すグラフである。
【図３】フォトエッチングプロセスにて作製されたある品種のスロットタイプシャドウマスクについて、投影機にて測定したスロットのブリッジＢと透過率測定機にて測定し透過率Ｔの測定結果を示すグラフである。
【図４】スロットタイプシャドウマスクのスロット４１の孔径ＤとブリッジＢの関係を示す説明図である。
【図５】シャドウマスク型カラー陰極線管の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２０】
１０、２０、３０……近似直線
４０……スロットタイプシャドウマスク
４１……スロット
孔径Ｄ……スロットの長辺の直径
ブリッジＢ……スロット間の間隙
５０……シャドウマスク型カラー陰極線管
５１……パネル
５２……電子銃
５３……蛍光面
５５……ファンネル部
５６……偏向ヨーク
５７……ネック部
Ｐｖ……スロットの縦ピッチ
Ｐｈ……スロットの横ピッチ
【図１】
2006210165.tif 000003
【図２】
2006210165.tif 000004
【図３】
2006210165.tif 000005
【図４】
2006210165.tif 000006
【図５】
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