(57)【要約】【課題】保存されている複数のティーチングファイルから、各被検物に適合するティーチングファイルの選択を画像処理により行う技術を提供。【解決手段】  被検物の画像を取得する測定装置１０と、取得した画像を処理する情報処理装置２０と、を有する。情報処理装置２０は、被検物の特徴を示す情報を取得して登録する被検物の特徴を登録する手段３１と、被検物の測定手順を示す情報を登録する手段３２と、登録された被検物の特徴を示す情報と前記登録された測定手順を示す情報とを対応づけて登録する対応手段３３と、測定対象被検物について、特徴を示す情報を取得して、前記登録された特徴を示す情報の中から近似するものを検索し、対応する測定手順を示す情報を選択する手段３４と、測定装置に対して、選択した測定手順を示す情報に基づいて画像取得することを指示する手段３８と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物の画像を取得する測定装置と、取得した画像を処理する情報処理装置と、を有し、画像により被検物の測定を行う画像測定機において、
前記情報処理装置は、
前記被検物の特徴を示す情報を取得して登録する被検物の特徴を登録する手段と、
前記被検物の測定手順を示す情報を登録する手段と、
前記登録された被検物の特徴を示す情報と前記登録された測定手順を示す情報とを対応づけて登録する対応手段と、
測定対象被検物について、特徴を示す情報を取得して、前記登録された特徴を示す情報の中から近似するものを検索し、対応する測定手順を示す情報を選択する手段と、
前記測定装置に対して、選択した測定手順を示す情報に基づいて画像取得することを指示する手段と、を有することを特徴とする画像測定機。
【請求項２】
請求項１に記載の画像測定機において、
前記測定手順を示す情報を選択する手段は、
前記測定対象被検物から、その特徴を示す情報を取得して、前記登録されている特徴を示す情報との近似度を判定して、近似度が最も高い、被検物の特徴を示す情報を検索する処理と、
前記検索された前記被検物の特徴を示す情報と関連づけられた測定手順を示す情報を選択する処理と、を行うことを特徴とする画像測定機。
【請求項３】
請求項２に記載の画像測定機において、
前記近似度の判定は、特徴を示す情報のパターンマッチングにより行うことを特徴とする画像測定機。
【請求項４】
請求項３に記載の画像測定機において、
前記近似度の判定は、各測定値でのパターンマッチングの近似度を加算して、最も加算値が大きくなった特徴を示す情報について、近似度が最も高いと判定することを特徴とする画像測定機。
【請求項５】
請求項１、２、３および４のいずれか一項に記載の画像測定装置において、
前記被検物の特徴を登録する手段は、被検物の指定された複数箇所で前記被検物の特徴を示す情報を取得して、登録すること、を特徴とする画像測定機。
【請求項６】
請求項１、２、３、４および５のいずれか一項に記載の画像測定機において、
前記特徴を示す情報が画像であることを特徴とする画像測定機。
【請求項７】
請求項１、２、３、４、５および６のいずれか一項に記載の画像測定機において、
前記測定装置は、
被検物の画像を取得する撮像装置と、
被検物と前記撮像装置との相対位置関係を変位させる変位機構と、
前記撮像装置および前記変位機構の動作を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記情報処理装置による測定指示に応じて、選択された測定手順を示す情報に基づいて測定を行う制御を行う手段を有することを特徴とする画像測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像よる測定を行う画像測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検物の形状や寸法を高精度に測定する技術に光学測定技術およびコンピュータによる画像処理技術を用いた画像測定機がある。特許文献１には、画像測定機の一例が示されている。
【０００３】
画像測定機は、例えば、ステージ上に載置された被検物の像を、光学系を介して撮像し、得られた画像について、コンピュータシステムにより処理を行う。通常、被検物の複数箇所について測定を行う。また、共通の被検物について測定を行うことから、測定位置を含む手順を示す情報を予め定めたデータを作成しておき、これをティーチングファイルとして保存し、このティーチングファイルに基づいて測定を行っている（リプレイ測定）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１９８２５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、被検物は、多数種類あり、それぞれに異なる測定手順を有する。そのため、測定手順を示す情報を登録したティーチングファイルが多数設けられることとなる。従来、ティーチングファイルは、人がリストを表示させて、その中から目視で選んでいた。
【０００６】
しかし、多数の候補の中から選ぶには手間がかかるという問題がある。また、見間違えることも起こり得る。そこで、目視によらず機械的に選択できることが望まれている。
【０００７】
本発明の目的は、保存されている複数のティーチングファイルから、各被検物に適合するティーチングファイルの選択を自動的に行う画像測定機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、
被検物の画像を取得する測定装置と、取得した画像を処理する情報処理装置と、を有し、画像により被検物の測定を行う画像測定機において、
前記情報処理装置は、
前記被検物の特徴を示す情報を取得して登録する被検物の特徴を登録する手段と、
前記被検物の測定手順を示す情報を登録する手段と、
前記登録された被検物の特徴を示す情報と前記登録された測定手順を示す情報とを対応づけて登録する対応手段と、
測定対象被検物について、特徴を示す情報を取得して、前記登録された特徴を示す情報の中から近似するものを検索し、対応する測定手順を示す情報を選択する手段と、
前記測定装置に対して、選択した測定手順を示す情報に基づいて画像取得することを指示する手段と、を有することを特徴とする画像測定機が提供される。
【０００９】
前記測定手順を示す情報を選択する手段は、測定対象被検物から、その特徴を示す情報を取得して、前記登録されている特徴を示す情報との近似度を判定して、近似度が最も高い、被検物の特徴を示す情報を検索する処理と、前記検索された前記被検物の特徴を示す情報と関連づけられた測定手順を示す情報を選択する処理と、を行うことを特徴とする。
【００１０】
前記近似度の判定は、特徴を示す情報のパターンマッチングにより行うことを特徴とする。
【００１１】
前記近似度の判定は、各測定値でのパターンマッチングの近似度を加算して、最も加算値が大きくなった特徴を示す情報について、近似度が最も高いと判定することを特徴とする。
【００１２】
前記被検物の特徴を登録する手段は、被検物の指定された複数箇所で前記被検物の特徴を示す情報を取得して、登録することを特徴とする。
【００１３】
前記特徴を示す情報が画像であることを特徴とする。
【００１４】
また、前記測定装置は、被検物の画像を取得する撮像装置と、被検物と前記撮像装置との相対位置関係を変位させる変位機構と、前記撮像装置および前記変位機構の動作を制御する制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記情報処理装置による測定指示に応じて、選択された測定手順を示す情報に基づいて測定を行う制御を行う手段を有することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。以下の実施形態では、被検物の特徴を示す情報として、画像を用いる場合を例として説明する。後述するように、本発明はこれに限定されない。
【００１６】
図１に本発明の一実施形態である画像測定機のハードウェア構成を示す。図１に示すように、本実施形態の画像測定機は、被検物の画像を撮る測定装置１０と、撮られた画像を処理する情報処理装置２０とを有する。被検物Ｗとしては、例えば、機械部品、基板、電子部品等が挙げられる。
【００１７】
測定装置１０は、被検物の画像を取得する撮像装置１１と、被検物Ｗと撮像装置１１との相対位置関係を変位させる変位機構１２と、撮像装置１１および変位機構１２の動作を制御する制御装置１３とを備える。
【００１８】
撮像装置１１は、顕微鏡と、ディジタル画像を取得するカメラとにより構成される。ディジタル画像を取得するカメラは、例えば、ＣＣＤ撮像素子を有し、画像を取得する。画像の取得は、制御装置１３の制御に基づいて行われる。取得した画像は制御装置１３に取り込まれる。
【００１９】
変位機構１２は、撮像装置１１と被検物Ｗとの相対位置関係を変位させる。例えば、Ｘ−Ｙステージ、Ｘ−Ｙ−Ｚステージ等により構成される。この変位機構１２の変位、位置決め制御は、制御装置１３の変位制御処理により行われる。
【００２０】
制御装置１３は、図示していないが、中央処理ユニット（ＣＰＵ）、メモリ、インタフェース等を有するコンピュータにより構成される。情報処理装置２０からの指示に従って被検物Ｗ上の測定動作を制御する。具体的には、撮像装置１１を被検物Ｗの測定位置に相対移動させる制御を行うと共に、測定手順にしたがって測定が行われるように制御を行う。制御装置１３は、情報処理装置２０との間で、指示、測定結果等の情報の授受を行う。
【００２１】
図２に、機能構成の一例を示す。図２に示すように、制御装置１３は、撮像制御１４と変位制御１５とを実行する。このため、制御装置１３には、内蔵する記憶装置（図示せず）に、撮像制御１４および変位制御１５のためのプログラムがインストールされている。
【００２２】
情報処理装置２０は、コンピュータ本体２１と、ハードディスク装置などにより構成される記憶装置２４と、フラットパネルディスプレイ等を用いる表示装置２５と、キーボード、マウス等を有する入力装置２６とを有する。コンピュータ本体２１は、中央処理ユニット（ＣＰＵ）２２と、メモリ２３とを有する。ＣＰＵ２２は、記憶装置２４にインストールされたプログラムをメモリ２３にロードして、画像測定のための各種機能を実現する。入力装置２６を介して各種指示を入力することができる。また、表示装置２５に、測定のための設定ガイド、測定結果などが表示される。プログラムとしては、後述する図３から図５のそれぞれにおいて、フローチャートに示す手順を実行するプログラムが挙げられる。
【００２３】
図２に、情報処理装置２０が実現する各種機能構成を示す。情報処理装置２０は、コンピュータ本体２１により、プログラムを実行して、被検物の特徴を示す情報を登録する手段３１と、測定手順を示す情報を登録する手段３２と、被検物の特徴を示す情報と測定手順を示す情報とを対応づける関連情報を登録する手段３３と、測定手順を示す情報を選択する手段３４と、測定することを指示する手段３８と、測定結果を処理する測定結果処理手段３９と、を機能させる。言い換えると、情報処理装置２０は、これらの手段、特に、３１から３８を有することにより、画像測定における位置決めを機械化する処理を行うことができる。
【００２４】
被検物の特徴を示す情報を登録する手段３１は、被検物について、被検物の特徴を示す情報を少なくとも一箇所から取得して、取得した特徴を示す情報を登録する。本実施形態では、例えば、図３に示す準備のための処理と、図４において、ステップ５１からステップ５３までの画像登録処理を行う。準備するための処理は、被検物の特徴を示す情報を登録するために行う。被検物の特徴を示す情報を登録する手段３１は、本実施形態では、特徴を示す情報として画像を用いるので、まず、ユーザーの指示に従って、画像登録に必要な設定と、フォルダの設定とを行う。フォルダの設定に際しては、登録すべき画像の名称として、例えば、後述する図６に示す“Image1.bmp”のような画像データ名８２が付される。画像登録を行う処理は、画像を被検物の特徴を示す情報として、後の測定において、利用することができるように、前述した画像登録フォルダに登録するための処理である。被検物の特徴を示す情報を登録する手段３１は、前述した設定に従って、この画像登録処理において、画像の取得から登録までの一連の手順を実行する。
【００２５】
本実施形態では、被検物の特徴を示す情報は、測定装置１０を介して被検物から得られる特徴により、当該被検物について設定されている測定手順を示す情報を選択するために使用される。特徴を示す情報は、本実施形態の場合、被検物の複数箇所から取得する。また、ユニークな特徴を示すものを取得する。このようにすることにより、被検物を特定してそれに対応する測定手順を示す情報を選択する際の精度を上げることが期待できる。特徴を示す情報としては、例えば、画像、さらには、画像から抽出される特徴量、具体的には、図形パターン、文字パターン、線を示すベクトルパターン、色パターン、それらの組合せ等が挙げられる。本実施形態では、前述したように、被検物の複数箇所での画像を、特徴を示す情報として用いる。また、本実施形態では、画像の他、その画像を撮像したい位置、すなわち、画像登録位置を示す情報も併せて登録しておく。このようにしておくことにより、後に、実際に測定を行うべき被検物についての測定手順を示す情報を選択する際の処理において、画像マッチングするための画像の位置を合わせることによって、選択処理を容易にすることができる利点がある。
【００２６】
測定手順を示す情報を登録する手段３２は、被検物について作成した、測定手順を示す情報を登録する。すなわち、測定装置１０により測定すべき位置（測定位置）、測定順、測定事項、測定方法などの指示を、被検物について行って、測定手順を示す情報として作成する処理と、作成された測定手順を示す情報を登録する処理とを行う（図４のステップ５４、５５参照）。この処理は、後に、同一種類の被検物についての測定（リプレイ測定）を行う際、測定手順の指示を個別に行わず、登録した情報に基づいて機械的に実行できるようにするための処理である。前述した各種指示を含む測定手順を示す情報の登録は、本実施形態では、被検物に対応して設けられる測定手順ファイル（ＴＣＨ：ティーチング・ファイルともいう）に格納する。各測定手順ファイルにはファイル名が付けられる。
【００２７】
ここで、測定手順を示す情報として作成する処理は、表示装置２５上に入力項目が表示され、それぞれの項目について、ユーザーが入力装置２６を介して行う入力操作を受け付けることにより行う。もちろん、すべての測定手順をゼロから入力する場合もあるが、既に入力されているデータの一部を利用して再入力する形で入力することも可能である。また、定型的な測定手順については、被検物の形状および大きさの指定を受け付けて、指定されたサイズに応じた測定手順を算出する構成としてもよい。さらに、予め複数の測定手順を用意しておいて、サイズがマッチするものを選択する構成としてもよい。
【００２８】
被検物の特徴を示す情報と測定手順を示す情報とを対応付ける関連情報を登録する手段３３は、登録された特徴を示す情報と測定手順を示す情報とを対応づけて登録する手段として機能し、具体的には、対応づけるための関連情報を生成して登録する。すなわち、測定すべき被検物から、その被検物についての測定手順を示す情報を選択するために用いる情報を生成して、登録するための処理を行う。関連情報としては、例えば、図６に示すようなデータが挙げられる。図６に示す例では、測定手順ファイル名８１と、画像ファイルに登録されている画像のうち、各測定手順ファイル名８１に対応づけられる画像を特定する画像データ名８２が、画像取得回数分登録されている。本実施形態では、“Image1.bmp”のような画像データ名が付される。この関連情報は、関連ファイル８０として記憶装置２４に格納される（図４ステップ５６参照）。
【００２９】
ここでは、特徴を示す情報として画像を用いている。従って、登録されている各画像には画像データ名８２が付される。しかし、画像以外の特徴を示す情報を用いることができる。その場合には、特徴を示す情報の名称が付される。例えば、“Vector1.txt”のような特徴データ名を示す名称が付される。
【００３０】
画像データ名８２は、前述したように、画像登録フォルダに画像データ名を付して登録されている。本実施形態では、ビットマップデータの形式で保存されている。画像データ８２は、例えば、プリント基板であれば、特徴が表れる領域について撮像して取得することができる。具体的には、凹凸等の基板の構造的特徴、配線パターン、素子パターン等の基板上に表れるパターン的特徴などが挙げられる。
【００３１】
測定手順を示す情報を選択する手段３４は、測定すべき被検物の特徴を示す情報を取得して、登録されている特徴を示す情報の中から近似するものを見つけ、関連情報に基づいて対応する測定手順を示す情報を選択する。具体的には、三つの手段を有する。第１は、前述した測定装置１０に対して、画像登録位置、正確にいうと、画像を取得したときの位置を指示し、被検物のそれぞれの画像登録位置での特徴を示す情報として画像を取得させる特徴取得処理３５である。第２は、取得した画像について、登録されている特徴を示す情報である画像と比較して近似度を判定すると共に、近似度の高い特徴を示す情報について、その特徴を特定する情報、例えば、前述した画像データ名８２をキーとして、前述した関連情報を検索して、関連する測定手順を示す情報を取り出す処理を行う関連情報検索処理３６である。第３は、最も近似度の高い特徴を測定位置が関連づけられている測定手順ファイルに保存される測定手順を示す情報を選択する手段３７である。これらの手段を順に実行することによって、測定手順を示す情報を含むファイルを特定して、測定手順を示す情報を選択することが可能となる。
【００３２】
ここで、近似度の判定は、特徴を示す情報、本実施形態の場合は、画像について、パターンマッチングをすることにより行うことができる。より具体的には、近似度の判定は、各測定値でのパターンマッチングの近似度を加算して、最も加算値が大きくなった特徴を示す情報について、近似度が最も高いと判定する構成とすることができる。例えば、登録画像と取得画像（被検物の測定対象画像）との相関係数を計算する正規化相関によるパターンマッチング処理を行って、算出した相関係数をパターンマッチングスコアとする構成とすることができる。算出されたパターンマッチングスコアを、加算して最もスコアが高い値となる登録画像について近似度が最も高いと判定することになる。もちろん、この判定方法に限られない。例えば、画像の輪郭を抽出し、輪郭の近似度を判定する構成とすることもできる。
【００３３】
測定することを指示する手段３８は、測定装置１０に対して、選択した測定手順を示す情報に基づいて測定することを指示する。具体的には、測定位置への相対変位と、撮像とを行うよう指示する。指示は、情報処理装置２０から選択した測定手順を示す情報を、測定装置１０の制御装置１３に送り、制御装置１３において、送られた測定手順にしたがって測定を実行することにより実現することができる。制御装置１３は、変位制御１５および撮像制御１４の各機能により、変位機構１２および撮像装置１１の動作を制御して、測定を実行する。
【００３４】
測定結果処理手段３９は、測定装置１０において行った測定結果を受け取って、情報処理装置１０において、目的のデータ形式に変換して、結果を蓄積すること、表示装置２５により表示させること等の処理を行う。
【００３５】
次に、本実施形態の動作について図面を参照して説明する。この例では、前述した画像を、特徴を示す情報として用いる場合について説明する。
【００３６】
動作は大きく分けると、準備、特徴を示す画像取得、測定手順を示す情報登録（ティーチングファイル作成）、関係情報の登録、および、測定手順を示す情報の選択に分けられる。
【００３７】
準備では、測定すべき被検物毎に、特徴を示す画像取得のための準備を行う。情報処理装置２０において、コンピュータ本体２１、より具体的には、ＣＰＵ２２は、ユーザーの操作を受け付けて、図３に示すように、準備処理を行う。
【００３８】
先ず、表示装置２５の表示画面に、画像登録回数の設定を求めるメッセージと、回数を入力する領域とを表示させて、画像登録回数の設定のための処理を行う（ステップ４１）。ユーザーが入力装置２６を介して画像登録回数を表さす数値を入力すると、入力された数値を受け付けて、一次的に保存する。この画像登録回数は、測定位置の数とは直接関係しない。被検物を特定するために必要な情報を取得する位置の数により決める。画像取得位置を測定位置に対応させてもよい。
【００３９】
ＣＰＵ２２は、画像登録位置の設定を受け付ける処理を行う（ステップ４２）。設定は、前述した登録回数毎に行う。例えば、登録回数が５に指定されていれば、５箇所の画像登録のための取得位置を設定する。ここで、取得位置は、被検物の形状、大きさ等によって、定型的に定めることができる。例えば、長方形状の被検物であれば、四隅と中央の５箇所のように定めることができる。このように定めておくことによって、被検物をステージの一定の位置に配置することによって、画像登録位置を自動的に設定することを可能とすることができる。また、被検物毎に、画像登録位置をＣＡＤデータのアドレスから決める構成としてもよい。もちろん、表示装置２５の画面上に、被検物の画像を表示して、画面上で指定する構成としてもよい。この場合でも、指定する位置を、定型的にしておくことで、後に、測定手順を示す情報を選択する際に、被検物の画像を取得する位置の指定を容易にすることができる。
【００４０】
ＣＰＵ２２は、設定された位置を示す情報について、登録フォルダを設定して格納する（ステップ４３）。登録フォルダには、各撮像位置に対応して画像を登録するファイルが設定される。登録フォルダは、被検物の種類毎に設けられる。登録フォルダは、記憶装置２４に格納される。登録フォルダには、例えば、被検物の名称、型番等の被検物を特定することができる情報を表示する識別子が付される。
【００４１】
次に、特徴を示す画像取得においては、測定すべき被検物毎に、画像取得のための処理を行う。情報処理装置２０において、ＣＰＵ２２は、ユーザーの操作を受け付けて、図４に示すように、画像取得処理を行う。
【００４２】
まず、ＣＰＵ２２は、記憶装置２４に格納されている、画像を取得すべき被検物に関する登録フォルダから画像登録位置を示す情報を読み出して、測定装置１０に、撮像装置１１と被検物Ｗとを、画像登録位置に合わせて相対変位するよう指示を出す（ステップ５１）。具体的には、変位機構１２のＸ−Ｙステージ（図示せず）に対して、画像取得位置に移動するよう、制御装置１３に指示する。制御装置１３は、変位制御機能１５に基づいて、指定された位置に変位機構１２により、被検物Ｗと撮像装置１１とを相対変位させる。この後、制御装置１３は、撮像制御機能１４の制御下で、撮像装置１１により目的の位置の画像を取得する。制御装置１３は、この画像を情報処理装置２０に送る。情報処理装置２０において、ＣＰＵ２２は、取得した画像を、対応する登録ファイルに画像データ名、例えば、Image1.bmpのような名称を付して、記憶装置２４に保存する（登録する）（ステップ５２）。さらに、画像登録位置が複数あれば設定した回数分、画像登録処理を行う（ステップ５３）。これにより、例えば、Image1.bmp、Image2.bmp、Image3.bmp、…のように、画像データが保存される。
【００４３】
次に、測定手順を示す情報の登録（ティーチングファイル作成動作）について、図４を参照して説明する。ここでは、ＣＰＵ２２は、測定位置、測定順、測定事項、測定条件などを、測定位置毎に、ユーザーからの登録操作を受け付けて、被検物毎に、それぞれの被検物についての測定手順を示す情報を生成する。この測定手順を示す情報は、本実施形態では、ティーチングファイルと称されるファイルに収容される（ステップ５４）。ティーチングファイルに収容される、被検物についての測定手順を示す情報を、例えば、図６に示すように、測定手順ファイル名８１を付けて登録する。すなわち、ティーチングファイルとして記憶装置２４に保存する（ステップ５５）。
【００４４】
次に、前述した登録された被検物の特徴を示す情報と測定手順を示す情報とを対応づける関連情報を生成して登録する動作について説明する。ここでは、ＣＰＵ２２は、前述した測定手順ファイル名８１を取得すると共に、これに対応する特徴を示す情報を構成する画像を示す画像データ名を前述した画像登録ファイルから取得して、図６に示すような関係づけを行う。その後、この関係を示す情報を記憶装置２４に保存する（ステップ５６）。
【００４５】
次に、被検物についての実際の測定に当たって行うべき動作について、図５を参照して説明する。この動作では、被検物の画像取得、および、ティーチングファイルの選択、および、リプレイ開始指示の各動作が行われる。
【００４６】
まず、ＣＰＵ２２は、被検物について画像取得するための画像登録位置を測定装置１０に指示する（ステップ６１）。測定装置１０の制御装置１３は、これを受けて、変位機構１２により、被検物Ｗが目的の画像取得位置に位置するよう、変位させ、撮像装置１１により、被検物Ｗのその位置での撮像を行って、画像を情報処理装置２０に送る。情報処理装置２０は、画像を取得する（ステップ６２）。
【００４７】
ＣＰＵ２２は、取得した画像と同じ画像登録位置にある画像を記憶装置２４に保存されている画像から読み出して、登録画像と取得画像とのパターンマッチング処理を行う（ステップ６３）。この処理において、近似度を求め、パターンマッチングスコアを、登録画像が関係付けられているティーチングファイル対応にスコアを加算する（ステップ６４）。
【００４８】
ステップ６１から６４までの処理を、画像登録回数分繰り返したかを判定して、終了するまで繰り返す（ステップ６５）。なお、画像登録回数は、前述したように、被検物の形状および大きさによって予め統一しておくことにより、被検物の大きさに応じて、回数を決めることが可能となる。また、登録画像として選ばれるのは、同じ画像登録位置を指定されている画像を含む画像登録フォルダとなる。これにより、画像のパターンマッチングの総当たりをしなくて済むため、選択処理の時間を短くすることができる。もちろん、総当たりでパターンマッチングを行ってもよい。
【００４９】
次に、ＣＰＵ２２は、パターンマッチングの対象となったティーチングファイルが複数ある場合、前述したパターンマッチングスコアが最も高いものを選択する（ステップ６６）。ここで、ＣＰＵ２２は、最高スコアとなったティーチングファイルが一つかを判定する。一つであれば、それを選択する（ステップ６８）。一方、最高スコアとなったティーチングファイルが複数ある場合、候補のティーチングファイルを表示装置２５の画面に表示させる（ステップ７１）。この状態で、ユーザーによる入力装置２６からの選択指示を受け付けて、使用するティーチングファイルを決定する（ステップ７２）。
【００５０】
この後、ＣＰＵ２２は、選択したティーチングファイルから測定手順を示す情報を読み出して、測定装置１０に送り、測定を指示する（ステップ６９）。測定装置１０の制御装置１３は、測定手順を示す情報に従って、変位機構１２および撮像装置１１を変位制御１５と撮像制御１４とにより制御して、被検物Ｗについての画像測定を行う。これにより、リプレイ測定が開始される。
【００５１】
以上説明したが、本発明では、さらに種々の変形が可能である。例えば、被検物の特徴として、２種以上の特徴を用いて判定する構成としてもよい。複数種の特徴を用いることによって、判定の制度を向上することが期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態である画像測定機のハードウェア構成を示すブロック図。
【図２】図２は、情報処理装置および測定装置が実現する各種機能構成を示すブロック図。
【図３】図３は、被検物について画像登録を行うための準備処理の手順を示すフローチャート。
【図４】図４は、画像登録処理、ティーチングファイル登録処理、および、関連ファイル登録処理を示すフローチャート。
【図５】図５は、測定すべき被検物についての測定手順を示す情報を取得してリプレイを開始するまでの手順を示すフローチャート。
【図６】図６は、測定手順ファイルと登録されたか贈答を関係づける関連ファイルの構造の一例を模式的に示す説明図。
【符号の説明】
【００５３】
１０…測定装置、１１…撮像装置、１２…変位機構、１３…制御装置、２０…情報処理装置、２１…コンピュータ本体、２２…中央処理ユニット（ＣＰＵ）、２３…メモリ、２４…記憶装置、２５…表示装置、２６…入力装置、３１…被検物の特徴を示す情報を登録する手段、３２…測定手順を示す情報を登録する手段、３３…被検物の特徴を示す情報と測定手順を示す情報とを対応付ける関連情報を登録する手段、３４…測定手順を示す情報を選択する手段、３５…特徴取得処理、３６…関連情報検索処理、３７…選択処理、３８…測定することを指示する手段、３９…測定結果処理手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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