(57)【要約】【課題】  リング状の薄刃砥石の外周に形成された刃先を好適に修正できるツルーイング砥石及びこれを用いたツルーイング方法を提供する。【解決手段】  リング状の薄刃砥石２の外周に形成された刃先２ｂの形状を修正するためのツルーイング砥石１であって、ツルーイング砥石１の表面１ｃに、表面１ｃに対向する平面視に線状方向に延設され、かつ突端面１ｆが平坦面とされた凸部１ｄが複数並列に形成されている。この凸部１ｄは、突端面１ｆの幅寸法Ｙが、薄刃砥石２の刃先２ｂにおける厚さ寸法Ｘの６０％以上で１２０％以下とされ、隣り合う凸部１ｄの間に画成される凹溝部１ｉの幅寸法Ｚが３０μｍ以上とされている。【選択図】    図３
2006255799.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リング状の薄刃砥石の外周に形成された刃先の形状を修正するためのツルーイング砥石であって、
前記ツルーイング砥石の表面に、該表面に対向する平面視に線状方向に延設され、かつ突端面が平坦面とされた凸部が複数並列に形成されていることを特徴とするツルーイング砥石。
【請求項２】
請求項１記載のツルーイング砥石において、
前記凸部は、前記突端面の幅寸法が、前記薄刃砥石の前記刃先における厚さ寸法の６０％以上で１２０％以下とされていることを特徴とするツルーイング砥石。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載のツルーイング砥石において、
隣り合う前記凸部の間に画成される凹溝部の幅寸法が３０μｍ以上とされていることを特徴とするツルーイング砥石。
【請求項４】
リング状の薄刃砥石を軸線回りに回転させつつ、該薄刃砥石の外周に形成された刃先を請求項１から請求項３のいずれか記載のツルーイング砥石に接触させて切り込ませ、前記刃先の形状を修正するツルーイング方法において、
前記平面視に前記軸線を前記ツルーイング砥石の前記凸部が延設される方向に直交させ、該凸部の前記突端面に、前記刃先を接触させて切り込ませ、前記ツルーイング砥石と前記薄刃砥石を前記凸部の延設方向に相対移動させることで、前記刃先の形状を修正することを特徴とするツルーイング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子材料や半導体製品などの精密切断や溝切り加工に用いられる薄刃砥石の刃先の形状を修正するためのツルーイング砥石及びこれを用いたツルーイング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子材料や半導体製品等の精密切断や溝切り加工には、リング状薄板の少なくとも外周に砥粒層が形成された薄刃砥石が使用されている。この種の薄刃砥石は、例えば電子材料や半導体製品等の被削材の切断や溝切りを繰り返すと被削材と接触させ切断や溝切りに供される外周の砥粒層（刃先）が徐々に劣化し、次第にその効率と精度が低下してゆく。未使用の薄刃砥石の刃先の形状は、外周面と軸線に直交する両側面とが略直交し、隅角部が鋭利に顕在化しているのに対し、劣化が進んだ薄刃砥石では、隅角部が損耗され不明瞭となり、外周面が断面凸の曲面形状を呈する刃先形状となる。このように刃先形状が断面凸の曲面形状を呈する薄刃砥石を精密切断や溝切り加工に用いた場合には、その効率が悪く作業性を悪化させるばかりか、被削材のチッピングの増加やバリの発生、切断チップの寸法不良を招くという問題があった。このため、一般に、切断や溝切りの効率と精度が低下したと判断された段階で、外周に形成された砥粒層を若干量削り取り、隅角部を顕在化させる刃先形状の修正（ツルーイング）が施され、薄刃砥石の切断や溝切りの効率と精度の回復が図られている。
【０００３】
この薄刃砥石の刃先形状を修正するツルーイング方法には、例えば板状の砥石（ツルーイング砥石）に薄刃砥石を回転させつつ刃先を押圧する方法や放電ツルーイング法と称される方法がある（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。放電ツルーイング法は、例えばメタルボンド砥石など導電性を有する薄刃砥石に一方の電極を取り付け、他方の電極を薄刃砥石の砥粒層に近接させ、直流パルス電源またはパルス状の直流電源により導電性砥石と他方の電極との間に直流パルス電圧を印加し、両者間に水溶性研削液を放出することで、導電性砥石の砥粒層の修正を行うものである。
【特許文献１】特開平１１−３４７９３２号公報
【特許文献２】特許第２６０１７５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、放電ツルーイング法は、装置が大掛かりであるとともに、例えばメタルボンド砥石などの導電性を有する薄刃砥石を対象としたものであるため、例えばレジンボンド砥石など電気的に絶縁性である薄刃砥石には使用できず、その汎用性に問題があった。
【０００５】
また、放電ツルーイング方法では、特許文献２に記載のように、機上ツルーイングするものでなければ、切断装置の回転軸から薄刃砥石を取り外してツルーイングを行わなければならず、ツルーイングに時間を要するうえ、取付後の振れどりドレスを行う必要が生じ、作業性、しいては生産性に影響を及ぼすという問題があった。
【０００６】
他方、板状のツルーイング砥石に刃先を押圧する方法では、断面凸の曲面形状を呈する刃先をツルーイング砥石の表面に切り込ませると、図９に示すように、刃先２ｂが研削される一方で、ツルーイング砥石１の表面１ｃも削られ、表面１ｃに底部が断面凹の曲面形状を呈する溝１ａが形成されてしまう。このため、溝１ａ内に薄刃砥石２の外周側が挿入され、軸線直交方向の側面２ａ側もツルーイング砥石１に研削されることとなり、刃先２ｂの砥粒層をいくら研削しても凹曲面状の溝１ａの内壁面によって、外周面２ｃと側面２ａとの隅角部２ｄを鋭利にさせることができず、刃先２ｂの形状を好適に修正できないという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記事情を鑑み、リング状の薄刃砥石の外周に形成された刃先を好適に修正できるツルーイング砥石及びこれを用いたツルーイング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【０００９】
本発明のツルーイング砥石では、リング状の薄刃砥石の外周に形成された刃先の形状を修正するためのツルーイング砥石において、前記ツルーイング砥石の表面に、該表面に対向する平面視に線状方向に延設され、かつ突端面が平坦面とされた凸部が複数並列に形成されている。
【００１０】
また、本発明のツルーイング砥石では、前記凸部は、前記突端面の幅寸法が、前記薄刃砥石の前記刃先における厚さ寸法の６０％以上で１２０％以下とされていることが望ましい。
【００１１】
さらに、本発明のツルーイング砥石では、隣り合う前記凸部の間に画成される凹溝部の幅寸法が３０μｍ以上とされていることが望ましい。
【００１２】
また、本発明のツルーイング方法では、リング状の薄刃砥石を軸線回りに回転させつつ、該薄刃砥石の外周に形成された刃先を上述のようなツルーイング砥石に接触させて切り込ませ、前記刃先の形状を修正するツルーイング方法において、前記平面視に前記軸線を前記ツルーイング砥石の前記凸部が延設される方向に直交させ、該凸部の前記突端面に、前記刃先を接触させて切り込ませ、前記ツルーイング砥石と前記薄刃砥石を前記凸部の延設方向に相対移動させることで、前記刃先の形状を修正する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のツルーイング砥石によれば、ツルーイング砥石の表面に、表面に対向する平面視に線状方向に延設され、かつ突端面が平坦面とされた凸部が形成され、この凸部の突端面に薄刃砥石の刃先を接触させて切り込ませることによって、断面凸の曲面形状を呈する外周面のみ凸部の突端面に接触させ研削することができる。これにより、薄刃砥石の刃先に鋭利な隅角部を形成させることができ、薄刃砥石の切れ味を回復させることができるため、切断効率や切断精度を向上させることができる。
【００１４】
また、凸部の突端面が平坦面とされ、突端面の幅寸法が、薄刃砥石の刃先の厚さ寸法の６０％以上で１２０％以下とされ、突端面の幅と薄刃砥石の刃先の厚さを概ね同等とすることによって、突端面に、底部が断面凹の曲面形状を呈する溝が形成されず、常に断面凸の曲面形状を呈する外周面のみ研削することができる。ここで、突端面の幅寸法が、刃先の厚さ寸法の６０％以上とされていることによって、刃先の外周面が局部的に研削されて、外周面が凹状となることを防止できる。また、突端面の幅寸法が、刃先の厚さ寸法の１２０％以下とされていることによって、突端面に、底部が断面凹の曲面形状を呈する溝が形成されることを防止できる。
【００１５】
これにより、断面凸の曲面形状を呈する外周面を確実に平面化し、鋭利な隅角部を形成することができ、確実に切断や溝切りの効率や精度が回復される好適な状態に刃先形状を修正することができる。
【００１６】
さらに、隣り合う前記凸部の間に画成される凹溝部の幅寸法が３０μｍ以上とされていることによって、刃先を１条の凸部の突端面に設置する際に、薄刃砥石と、凸部との多少のずれを許容することができ、１条の凸部を使用して刃先の形状の修正を行っている間に、例えば薄刃砥石が隣り合う凸部に接触するなど、干渉を生じさせずに刃先形状を修正することができる。
【００１７】
また、凸部が線状方向に延設されているため、薄刃砥石が装着された切断装置を切断作業同様に操作することで刃先形状の修正を行うことが可能である。このため、ツルーイングを行う際に薄刃砥石を切断装置から取り外す必要がなく、取付後の振れどりドレスを行う必要がないため、ツルーイングに要する時間を短縮することができ、作業性、しいては生産性の向上を図ることが可能となる。
【００１８】
さらに、例えばレジンボンド砥石やメタルボンド砥石、電鋳砥石など各種薄刃砥石のツルーイングに使用することができ、大掛かりな装置を必要としないため、汎用性の高いツルーイング砥石を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の一実施形態に係るツルーイング砥石を図１から図５を参照して説明する。
【００２０】
本発明の一実施形態に係るツルーイング砥石１の構成について説明する。
このツルーイング砥石１は、ツルーイングする薄刃砥石に応じて例えばダイヤモンドなどの砥粒を結合材で結合させたものであり、図１から図２に示すように、平面視矩形の砥石本体１ｂと、砥石本体１ｂの表面１ｃに垂直に突設する断面矩形の凸部１ｄとが一体に形成されて構成されている。凸部１ｄは、表面１ｃに対向する平面視に、砥石本体１ｂの短辺１ｅと平行する線状方向に延設されており、その突端面１ｆは平坦面とされ、砥石本体１ｂの一方の長辺１ｇから他方の長辺１ｈまでの間に連続して形成されている。また、このような凸部１ｄが長辺方向に複数条、等間隔で並列となるように形成されており、隣り合う凸部との間に凹溝部１ｉが画成されている。
【００２１】
ここで、図３から図４に示すように、刃先２ｂ形状の修正が施される薄刃砥石２の刃先２ｂの軸線Ｏ１方向における厚さ寸法Ｘに対し、凸部１ｄの突端面１ｆの線状方向（延設方向）に直交する幅寸法Ｙは、刃先２ｂの厚さ寸法Ｘの６０％以上で１２０％以下とされ、垂直に突出する凸部１ｄの高さ寸法Ｔは、０．１ｍｍ以上とされている。また、隣り合う凸部１ｄによって画成された凹溝部１ｉの線状方向に直交する幅寸法Ｚは、３０μｍ以上とされている。なお、複数設けられた凸部１ｄ、凹溝部１ｉは、全て上述の寸法とされている。
【００２２】
ついで、上記の構成からなるツルーイング砥石１による本発明のツルーイング方法の一実施形態について説明する。
このツルーイング砥石１は、例えば図４に示すような切断装置３に薄刃砥石２を装着したままで使用することができるものである。図４に示す切断装置３は、円柱棒状の回転軸３ａと、回転軸３ａを軸支する支持部材３ｂと、回転軸３ａを軸線Ｏ１回りに回転させるとともに、軸線Ｏ１方向および軸線Ｏ１直交方向に水平または垂直移動可能とする図示せぬ回転駆動手段と、回転軸３ａに環装されたリング状薄刃砥石２の両側面２ａを挟持するリング状の２つのフランジ３ｃと、両フランジ３ｃを挟持しつつ回転軸３ａに締結される２つの保持部材３ｄとから構成されている。一方、ツルーイング砥石１は、ツルーイング砥石１を保持可能とする基台４に載置され、ツルーイング時に、例えば図示せぬ昇降駆動手段によって基台４を昇降させて、薄刃砥石２の刃先２ｂの近傍に設置可能とされている。
【００２３】
図３から図５に示すように、このツルーイング砥石１を用いて薄刃砥石２のツルーイングを行う場合には、ツルーイング砥石１を昇降手段によって薄刃砥石２の刃先２ｂの近傍に位置させ、ついで、ツルーイング砥石１の凸部１ｄの突端面１ｆに薄刃砥石２の刃先２ｂが当接可能となるように切断装置３の回転駆動手段によって位置合わせを行う。このとき、薄刃砥石２の軸線Ｏ１に直交して刃先２ｂの厚さ方向中心を通る中心平面Ｏ２と、凸部１ｄの幅方向の中心平面Ｏ３とが一致するよう位置合わせを行うが、所定範囲内でのずれは凹溝部１ｉが画成されていることにより許容されている。切断装置３の回転軸３ａを回転させるとともに薄刃砥石２を回転させ、ツルーイング砥石１の凸部１ｄの突端面１ｆに薄刃砥石１の外周面２ｃを接触させつつ所定の圧力で押圧させて切り込ませる。ついで、回転軸の軸線Ｏ１直交方向の線状方向に延設された凸部１ｄの突端面１ｆに、常に薄刃砥石２の外周面２ｃが接触され所定の圧力で押圧した状態としつつ、回転駆動手段を軸線Ｏ１直交方向に水平移動して送りを与え、ツルーイング砥石１と薄刃砥石２とを相対移動させる。ここで、薄刃砥石２の刃先２ｂの形状が所定の形状となるまで研削が継続されるが、例えば図５に示すように、ツルーイング砥石１に延設された１条の凸部１ｄを使用して研削を行い、この凸部１ｄが消耗しその消耗された形状において刃先２ｂの修正が困難と判断される場合には、隣接する凸部１ｄの突端面１ｆに刃先２ｂを再設置し、研削作業を続行する。
【００２４】
したがって、上記の構成によれば、ツルーイング砥石１の表面１ｃに、表面１ｃに対向する平面視に線状方向に延設され、かつ突端面１ｆが平坦面とされた凸部１ｄが形成され、この凸部１ｄの突端面１ｆに薄刃砥石２の刃先２ｂを接触させて切り込ませることによって、断面凸の曲面形状を呈する外周面２ｃのみ凸部１ｄの突端面１ｆに接触させ研削することができる。これにより、薄刃砥石２の刃先２ｂに鋭利な隅角部２ｄを形成させることができ、薄刃砥石の切れ味を回復させることができるため、切断効率や切断精度を向上させることができる。
【００２５】
また、凸部１ｄの突端面１ｆの幅寸法Ｙが薄刃砥石２の刃先２ｂの厚さ寸法Ｘの６０％以上で１２０％以下とされているため、薄刃砥石２の外周面２ｃが凹状となることがなく、また、図９に示したように、凸部１ｄの突端面１ｆに形成された平坦面に断面凹の曲面形状を呈する溝１ａが形成されることがないため、薄刃砥石２の断面凸の曲面形状を呈する外周面２ｃが、凸部１ｄの突端面１ｆに形成された平坦面に当接されて押圧されつつ切り込まれ、確実に刃先２ｂを修正することができる。これにより、薄刃砥石２の切断や溝切りの効率や精度を確実に回復させることができる。
【００２６】
さらに、隣り合う凸部１ｄの間に画成された凹溝部１ｉの線状方向に直交する幅寸法Ｚが３０μｍ以上とされているため、薄刃砥石２の中心平面Ｏ２と、凸部１ｄの中心平面Ｏ３との多少のずれが許容され、容易に刃先２ｂを凸部１ｄの突端面１ｆに設置することができる。また、薄刃砥石２を回転させつつ凸部１ｄの突端面１ｆに沿って送り出す際に、隣接する凸部１ｄに干渉させずに刃先２ｂの修正を行うことができる。これにより、ツルーイングの作業性を向上させることができる。
【００２７】
また、切断装置３に装着させた状態で薄刃砥石２のツルーイングを行うことができるため、薄刃砥石２を切断装置３から取り外す必要がなく、ツルーイングに要する時間を短縮することができ、作業性、しいては生産性の向上を図ることができる。
【００２８】
以上、本発明に係るツルーイング砥石及びツルーイング方法の一実施形態について説明したが、本発明は上記の一実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記の一実施形態では、ツルーイング砥石１の表面１ｃに延設された凸部１ｄは、平面視矩形の砥石本体１ｂの短辺１ｅと平行する一方向に線状に延設され、砥石本体１ｂの一方の長辺１ｇから他方の長辺１ｈまでの間に連続して形成されているものとしたが、砥石本体１ｂは平面視矩形に形成されていなくてもよいものであり、また、凸部１ｄは、線状方向に突設されていればよいものであるため、砥石本体１ｂの短辺１ｅに平行して突設されても、長辺１ｇ、１ｆに平行して突設されてもよく、その形成方向が特に限定されるものではない。さらに、凸部１ｄは、連続して形成されていなくてもよいものである。
【００２９】
また、本実施形態では、ツルーイング砥石１を固定し、薄刃砥石２を移動するものとしたが、ツルーイング砥石２が固定されることに限定する必要はなく、薄刃砥石２を定位置で回転させ、ツルーイング砥石１を薄刃砥石２の刃先２ｂに押圧しつつ、水平移動させてもよいものである。つまり、ツルーイング砥石１は、ツルーイング砥石１と薄刃砥石２とが相対移動されて使用されればよいものである。
【００３０】
さらに、ツルーイング砥石１の凸部１ｄは等間隔で並列して形成されているものとしたが、この限りではなく、隣り合う凸部１ｄによって画成される凹溝部１ｉの幅寸法Ｚが３０μｍ以上であればよいため、１つのツルーイング砥石１に形成されるそれぞれの凹溝部１ｉの幅寸法Ｚは異なる幅寸法Ｚとされてもよいものである。
【００３１】
また、凸部１ｄの高さ寸法Ｔは、０．１ｍｍ以上として必要な切り込み量が確保されるようになされているが、これに限定されるものではない。
【実施例１】
【００３２】
以下に本発明の実施例１を図１から図４および図６を参照して具体的に説明する。但し、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
【００３３】
実施例１では、従来使用されている平板状のツルーイング砥石Ａと、本発明の凸部１ｄが表面１ｃに形成された板状のツルーイング砥石Ｂとを用意し、両ツルーイング砥石Ａ、Ｂを用いて、切断や溝切りの効率や精度が低下した薄刃砥石２のツルーイングを行い、ツルーイング後に、薄刃砥石２の断面凸の曲面形状を呈する外周面２ｃの形状比較を行って、ツルーイング砥石Ｂの表面１ｃに凸部１ｄを形成することによる優位性を明らかにするものである。
【００３４】
はじめに、使用したツルーイング砥石Ａ、Ｂ及び刃先２ｂ形状の修正を行う薄刃砥石２について説明する。
【００３５】
ツルーイング砥石Ａは、粒度２００のＷＡ砥粒（ＷＡ２００）を集中度５０で、フェノール樹脂の結合材により結合したものであり、縦７５ｍｍ、横７５ｍｍ、厚さ１ｍｍの平面板状に形成されたものである。ツルーイング砥石Ｂは、ツルーイング砥石Ａと材質を同じとされ、その形状は、例えば図１から図３に示すような、板状の表面１ｃに等間隔の線状の溝を形成して凸部１ｄ及び凹溝部１ｉが画成されている。なお、凸部１ｄの幅寸法Ｙは０．２ｍｍ、高さ寸法Ｔは０．５ｍｍとされ、凹溝部１ｉの幅寸法Ｚは０．３ｍｍとされている。一方、薄刃砥石２は、粒度２３０のダイヤモンド砥粒を集中度１００で電着させた電鋳砥石（ＳＤ２３０−１００）であり、外径５８ｍｍ、厚さ０．３ｍｍ、内径４０ｍｍで形成されている。
【００３６】
ついで、ツルーイング条件について説明する。
【００３７】
図４に示すような切断装置３を使用し、ここでは、薄刃砥石２を環装した図示せぬ回転駆動手段の回転軸回転数を３００００（１／ｍｉｎ）とし、ツルーイング砥石Ａ、Ｂに対する送り速度（水平移動速度）を３０ｍｍ／ｓｅｃ、ツルーイング砥石Ａ、Ｂへの切り込み深さを０．５ｍｍとしている。
【００３８】
ついで、評価方法について説明する。
【００３９】
図６（ｂ）に示すように、刃先２ｂ形状が曲面形状を呈する薄刃砥石２の修正前における外周面２ｃの曲面起点２ｄから曲面頂点２ｅまでの軸線Ｏ１直交方向の長さＨ１をあらかじめ測定しておき、この修正前長さＨ１と、ツルーイング砥石Ａで修正を行った修正後の長さＨ２、およびツルーイング砥石Ｂで修正を行った修正後の長さＨ３とのそれぞれの長さＨ１、Ｈ２、Ｈ３を比較することによって、各ツルーイング砥石Ａ、Ｂのツルーイング力の評価を行うこととした。
【００４０】
上記のツルーイング砥石Ａ、Ｂを用いて薄刃砥石２の刃先２ｂ形状の修正を行った結果を図６に示す。
図６（ａ）は、未使用の薄刃砥石２の刃先２ｂ形状を示したもので、外周面２ｃが、断面で、軸線Ｏ１方向にほぼ沿った形の平面とされている。図６（ｂ）は、修正前の刃先２ｂ形状を示したものであり、図６（ａ）に示した未使用の外周面２ｃと比較すると、刃先２ｂ形状が断面凸の曲面形状に変形している。この曲面形状の曲面起点２ｄから曲面頂点２ｅまでの軸線Ｏ１直交方向の長さＨ１は、８０μｍと測定された。ついで、図６（ｃ）に、ツルーイング砥石Ａを用いて図６（ｂ）に示した薄刃砥石２をツルーイングした後の刃先２ｂ形状を示す。これより、断面凸の曲面形状はほとんど修正されていないことが外観からも確認でき、修正後の長さＨ２も９０μｍと測定された。ついで、図６（ｄ）に、ツルーイング砥石Ｂを用いて図６（ｂ）に示した薄刃砥石２をツルーイングした後の刃先２ｂ形状を示す。この結果より、曲面形状は、図６（ａ）に示した未使用の薄刃砥石２の刃先２ｂ形状に近い形状で修正されていることが確認され、また、修正後の長さＨ３も４０μｍと測定されていることから、ツルーイング砥石Ｂにより効果的に修正されていることが確認された。以上の結果から、従来使用されているツルーイング砥石Ａでは、曲面形状を呈する刃先２ｂ形状を効果的に修正できないのに対して、本発明のツルーイング砥石Ｂでは、未使用の刃先２ｂ形状に近い形状で修正することが可能であり、ツルーイング砥石表面１ｃに凸部１ｄを形成する優位性が実証された。
【実施例２】
【００４１】
ついで、本発明の実施例２を図１から図４および図７から図８を参照して具体的に説明する。
【００４２】
実施例２は、実施例１に示した図４の切断装置３と、図７（ａ）および図８（ａ）に示す修正前の２種類の薄刃砥石１０、２０とを用いて、ツルーイング砥石Ｂの凸部１ｄの幅寸法Ｙを変化させた場合におけるツルーイング効果の違いを示し、凸部１ｄの幅寸法Ｙを薄刃砥石１０、２０の厚さ寸法Ｘの６０％以上で１２０％以下とすることによる優位性を実証するものである。ここでは、切断装置３による薄刃砥石１０、２０の回転軸回転数を１５０００（１／ｍｉｎ）とし、ツルーイング砥石Ｂに対する送り速度（水平移動速度）および切り込み深さは、実施例１と同様に、それぞれ３０ｍｍ／ｓｅｃ、０．５ｍｍとしている。
【００４３】
また、実施例２で使用する２種類の薄刃砥石１０、２０のうち、一方の薄刃砥石１０は、実施例１に示した薄刃砥石２と同様に、粒度２３０のダイヤモンド砥粒を電着させた電鋳砥石（ＳＤ２３０）であり、外径５８ｍｍ、厚さ０．３ｍｍ、内径４０ｍｍで形成されている。他方の薄刃砥石２０は、粒度６００のダイヤモンド砥粒を電着させた電鋳砥石（ＳＤ６００）であり、外径５８ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ、内径４０ｍｍで形成されている。
さらに、各薄刃砥石１０、２０の修正前における外周面１０ｃ、２０ｃの曲面起点１０ｄ、２０ｄから曲面頂点１０ｅ、２０ｅまでの軸線Ｏ１直交方向の長さＨ１は、図７（ａ）および図８（ａ）に示すように、一方の薄刃砥石１０が８０μｍであり、他方の薄刃砥石２０が７０μｍとされている。
実施例２では、実施例１と同様に、この修正前長さＨ１と、各ツルーイング砥石Ｂで修正を行った修正後の長さＨ３とを比較することにより、ツルーイング砥石Ｂのツルーイング力の評価を行っている。
【００４４】
また、一方の薄刃砥石１０のツルーイングを行うツルーイング砥石Ｂは、凸部１ｄの幅寸法Ｙが異なる６種類用意され、各幅寸法Ｙは、薄刃砥石１０の厚さ寸法Ｘ（０．３ｍｍ）の５０％、６０％、８７％、１１０％、１２０％、１２７％とされている。
他方の薄刃砥石２０のツルーイングを行うツルーイング砥石Ｂも６種類用意され、それ各幅寸法Ｙは、薄刃砥石２０の厚さ寸法Ｘ（０．２ｍｍ）に対して、５０％、６０％、８０％、１１０％、１２０％、１３０％とされている。
ここで、全てのツルーイング砥石Ｂの凸部１ｄの高さ寸法Ｔは０．５ｍｍとされ、且つ凹溝部１ｉの幅寸法Ｚは、０．３ｍｍ以上とされている。
【００４５】
上記の凸部１ｄの幅寸法Ｙがそれぞれ異なるツルーイング砥石Ｂを用いて各薄刃砥石１０、２０の刃先１０ｂ、２０ｂ形状の修正を行った結果を表１および表２に示す。また、一方の薄刃砥石１０の修正前および修正後の刃先１０ｂ形状を図７に、他方の薄刃砥石２０の修正前および修正後の刃先２０ｂ形状を図８にそれぞれ示す。ここで、図７（ａ）は修正前の刃先１０ｂ形状を示し、図７（ｂ）から図７（ｇ）は、順に凸部１ｄの幅寸法Ｙが大きいツルーイング砥石Ｂを用いたときの修正後の刃先１０ｂ形状を示している。また、図８も同様に、図８（ａ）は修正前刃先２０ｂ形状、図８（ｂ）から図８（ｇ）は、順に凸部１ｄの幅寸法Ｙが大きいツルーイング砥石Ｂを用いたときの刃先２０ｂ形状を示している。
【００４６】
表１は、一方の薄刃砥石１０のツルーイング結果を示している。修正前長さＨ１に対して、薄刃砥石１０の厚さ寸法Ｘに対するツルーイング砥石Ｂの凸部１ｄの幅寸法Ｙの比率Ｒ（以下、比率という）が５０％の場合には、図７（ｂ）に示すように、刃先１０ｂ形状が断面凹となり、効果的に修正できないことが確認された。また、比率Ｒが１２７％の場合には、図７（ｇ）に示すように、修正後長さＨ３が９０μｍとなり、断面凸の曲面形状は全く修正されていないことが確認された。一方、比率Ｒが６０％、８７％、１１０％、１２０％の場合には、図７（ｃ）から図７（ｆ）に示すように、それぞれの修正後長さＨ３が５５μｍ、４０μｍ、４０μｍ、６０μｍとなり、ツルーイング砥石Ｂにより効果的に修正されていることが確認された。
【００４７】
【表１】
2006255799.tif 000003
【００４８】
ついで、表２は、他方の薄刃砥石２０のツルーイング結果を示している。修正前の長さＨ１に対して、比率５０％の場合には、図８（ｂ）に示すように、前述の一方の薄刃砥石１０と同様、刃先２０ｂ形状が断面凹となり、効果的に修正できないことが確認された。また、比率Ｒが１３０％の場合には、図８（ｇ）に示すように、修正後長さＨ３が８５μｍとなり、断面凸の曲面形状は全く修正されていないことが確認された。さらに、一方の薄刃砥石１０と同様に、比率Ｒが６０％、８０％、１１０％、１２０％の場合には、図８（ｃ）から図８（ｆ）に示すように、それぞれの修正後長さＨ３が４５μｍ、３５μｍ、３５μｍ、５０μｍとなり、ツルーイング砥石Ｂにより効果的に修正されていることが確認された。
【００４９】
【表２】
2006255799.tif 000004
【００５０】
以上の結果から、凸部１ｄは、幅寸法Ｙが薄刃砥石１０、２０の刃先１０ｂ、２０ｂにおける厚さ寸法Ｘの６０％以上で１２０％以下とされている場合に、薄刃砥石１０、２０の刃先１０ｂ、２０ｂ形状を効果的に修正可能であることが実証された。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係るツルーイング砥石の一実施形態として示した平面図である。
【図２】図１に示したツルーイング砥石の側面図である。
【図３】図１に示したツルーイング砥石の凸部の拡大図である。
【図４】図１に示したツルーイング砥石を用いてツルーイングを行う一例として示した断面図である。
【図５】ツルーイング砥石に並列して形成された複数の凸部の使用前後の凸部の断面図である。
【図６】実施例１の薄刃砥石の断面形状を示す図である。
【図７】実施例２の薄刃砥石の断面形状を示す図である。
【図８】実施例２の薄刃砥石の断面形状を示す図である。
【図９】従来のツルーイング砥石による薄刃砥石のツルーイングの状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１      ツルーイング砥石
１ｂ    ツルーイング砥石本体（砥石本体）
１ｃ    表面
１ｄ    凸部
１ｆ    突端面
１ｉ    凹溝部
２      薄刃砥石
２ａ    側面
２ｂ    刃先
２ｃ    外周面
２ｄ    曲面起点（隅角部）
２ｅ    曲面頂点
１０    薄刃砥石（一方の薄刃砥石）
１０ｂ  刃先
１０ｄ  曲面起点（隅角部）
１０ｅ  曲面頂点
２０    薄刃砥石（他方の薄刃砥石）
２０ｂ  刃先
２０ｄ  曲面起点（隅角部）
２０ｅ  曲面頂点
Ｂ      ツルーイング砥石
Ｒ      凸部の幅寸法比率
Ｘ      薄刃砥石の厚さ寸法
Ｙ      凸部の幅寸法
Ｚ      凹溝部の幅寸法
【図１】
2006255799.tif 000005
【図２】
2006255799.tif 000006
【図３】
2006255799.tif 000007
【図４】
2006255799.tif 000008
【図５】
2006255799.tif 000009
【図６】
2006255799.tif 000010
【図７】
2006255799.tif 000011
【図８】
2006255799.tif 000012
【図９】
2006255799.tif 000013