(57)【要約】【課題】  研磨加工時に加工変質層が発生することを抑え、研磨加工時間を短縮して高品質でかつ量産性のよい薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法を提供する。【解決手段】  磁気センサ部を成膜して形成したウエハ基板を短冊状に切り出ししたロウバー２２の端面を、前記磁気センサ部の端面が浮上面に露出するよう研磨加工を施す薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法において、前記ロウバー２２を研磨加工する研磨加工工程の初期においては、加工レートを速く設定し、研磨加工工程のより後期においては、より遅い加工レートに設定して加工することを特徴とする。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気センサ部を成膜して形成したウエハ基板を短冊状に切り出ししたロウバーの端面を、前記磁気センサ部の端面が浮上面に露出するよう研磨加工を施す薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法において、
前記ロウバーを研磨加工する研磨加工工程の初期においては、加工レートを速く設定し、研磨加工工程のより後期においては、より遅い加工レートに設定して加工することを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項２】
前記研磨加工工程を、段階的に加工レートを変更する複数段階に区分して設定し、
初期の段階においては加工レートを速く設定し、より後期の段階においては、より遅い加工レートに設定して加工することを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項３】
前記研磨加工工程を、連続的に加工レートを変更して加工する工程として設定し、
研磨加工工程の初期においては加工レートを速く設定し、研磨加工工程のより後期においては、より遅い加工レートに設定して加工することを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項４】
加工レートを変更する方法として、研磨定盤とロウバーとの加工相対速度を変更し、あるいは研磨定盤に対するロウバーの加工圧を変更し、あるいは研磨定盤に対してロウバーを動かす速度を変更することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項５】
ロウバーを研磨加工する際に、同一の研磨加工機を用いて研磨加工工程の全工程を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法に関し、より詳細には薄膜磁気ヘッドスライダの浮上面の研磨加工方法を特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜磁気ヘッドスライダの製造工程では、ウエハ基板にリードおよびライト用の磁気センサ部を形成した後、ウエハ基板に形成された素子の配列にしたがってウエハ基板を短冊状に切り出し、切り出ししたロウバーの端面を研磨する加工が施される。このロウバーの端面を研磨する加工は、浮上面に磁気センサ部を露出させるための加工であるが、同時に、磁気センサ部が所定の特性を発揮することができるように研磨することを目的としている。
【０００３】
図４は、複合型薄膜磁気ヘッドスライダの磁気センサ部の構成を示す説明図である。リードヘッドとして、下部シールド層１０と上部シールド層１２との間にＭＲ素子１１が形成され、ライトヘッドとして、下部磁極として作用する上部シールド層１２と上部磁極１４との間に導体コイル１３が巻回され、下部磁極と上部磁極の先端に先端磁極１２ａ、１４ａが形成されている。
ロウバーの端面を研磨して浮上面に磁気センサ部を露出させる工程では、上述したように磁気センサ部の特性を併せ管理する必要があり、磁気センサ部（ＭＲ素子）の抵抗値をモニターしながら研磨加工を行い、磁気センサ部の抵抗値が所定の抵抗値になったところで研磨を停止するといった加工方法も行われている。
【特許文献１】特開昭６２−１９９３５４号公報
【特許文献２】特開平１１−１２１４１０号公報
【特許文献３】特開平６−２４６６０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
薄膜ヘッドスライダの製造工程では、磁気センサ部の抵抗値をモニターしてスライダの浮上面を研磨するといったように、きわめて高精度の研磨加工精度が求められる。また、薄膜磁気ヘッドはその構造上、磁気センサ部で電気的な短絡が発生しやすかったり、加工変質層（研磨によって微小な傷が形成された部位）、加工歪が形成されることで磁気センサ部の出力が劣化するという問題があることから、一般的には加工レートをできるだけ遅くして研磨加工している。
【０００５】
しかしながら、研磨加工の加工レートを下げると処理時間が長くかかるから、製品を量産しなければならない場合には、加工レートを下げるといっても限界がある。また、きわめて高密度の情報の記録、再生に使用される薄膜磁気ヘッドスライダでは、より加工変質層の少ない処理が必要とされることから、加工レートをさらに下げて加工することが求められる。したがって、このような製品を製造する際においては、加工時間がさらに長くなり、量産性を阻害するという問題があった。
【０００６】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、研磨加工時に加工変質層が発生することを抑えるとともに、研磨加工時間が長くなることを防止して、高品質でかつ量産性のよい薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、磁気センサ部を成膜して形成したウエハ基板を短冊状に切り出ししたロウバーの端面を、前記磁気センサ部の端面が浮上面に露出するよう研磨加工を施す薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法において、前記ロウバーを研磨加工する研磨加工工程の初期においては、加工レートを速く設定し、研磨加工工程のより後期においては、より遅い加工レートに設定して加工することを特徴とする。
【０００８】
また、前記研磨加工工程を、段階的に加工レートを変更する複数段階に区分して設定し、初期の段階においては加工レートを速く設定し、より後期の段階においては、より遅い加工レートに設定して加工することを特徴とする。
また、前記研磨加工工程を、連続的に加工レートを変更して加工する工程として設定し、研磨加工工程の初期においては加工レートを速く設定し、研磨加工工程のより後期においては、より遅い加工レートに設定して加工することを特徴とする。
また、前記加工レートを変更する方法として、研磨定盤とロウバーとの加工相対速度を変更し、あるいは研磨定盤に対するロウバーの加工圧を変更し、あるいは研磨定盤に対してロウバーを動かす速度を変更することを特徴とする。
また、ロウバーを研磨加工する際に、同一の研磨加工機を用いて研磨加工工程の全工程を行うことにより、効率的な研磨加工を行うことが可能になる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法によれば、薄膜磁気ヘッドスライダを効率的に研磨加工することが可能であり、加工変質層や加工歪が生じることを抑えて、高品質の研磨加工を行うことができ、薄膜磁気ヘッドスライダの良品を生産することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付図面とともに詳細に説明する。
本発明に係る薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法においては、磁気センサ部を成膜して形成したウエハ基板から、短冊状に切り出ししたロウバーの端面を研磨加工する際に、研磨段階に応じ、あるいは研磨加工が進むとともに連続的に加工条件（加工相対速度、加工圧）を変えて研磨加工することを特徴とする。
【００１１】
図１は、研磨定盤２０に被加工品２２としてのロウバーを加圧して研磨する状態を示す。研磨定盤２０を使用して被加工品２２を研磨加工する際には、図のように、研磨定盤２０を一方向に回転させ、被加工品２２を研磨定盤２０の研磨面に所定の加工圧を加えて押圧するとともに、被加工品２２を研磨面上で移動させて研磨する。
被加工品２２を研磨定盤２０上で移動させるようにするのは、被加工品２２を均一に研磨するためである。ロウバーを研磨する場合は、研磨定盤２０上で一定の回転半径の円を描くようにロウバーを動かすようにする。
【００１２】
研磨定盤を用いて被加工品を研磨する場合、研磨定盤の回転速度が速いほど加工レートは速くなり、被加工品を研磨定盤に押圧する加工圧が大きくなればなるほど加工レートは速くなる。
研磨定盤と被加工品との相対速度をν（m/min)、被加工品に作用させる加工圧をｐ(kgf/cm2)、加工時間をｔ(min)、としたとき、ラップ加工量ｈ(μm)はPrestonの法則に従う。すなわち、
ｈ＝ηw・ν・ｐ・ｔ     (ただし、ηwは比例定数とする）
加工レートは、ｈ／ｔ＝ηw・ν・ｐ  となる。すなわち、加工レートは、研磨定盤と被加工品との相対速度ν、加工圧ｐに比例することになる。そして、加工量については、加工レートを時間について積分することによって算出することができる。
【００１３】
図２は、加工圧を変えた場合に、加工に要する時間がどのように変わるかを示したグラフ、図３は、加工相対速度を変えた場合に、加工に要する時間がどのように変わるかを示したグラフである。図２は、加工圧を小さくすることによって加工時間が長くなること、図３は加工相対速度を小さくすると加工時間が長くなることを示す。
【００１４】
本実施形態の薄膜磁気ヘッドスライダの製造方法においても、研磨定盤２０と被加工品との加工相対速度を調節し、被加工品２２を研磨定盤２０に押圧する圧力を調節することによって加工時間を制御することが可能になる。
本実施形態において実際に被加工品２２としてのロウバーを研磨加工した方法は、まず第１段階として加工レートの速い条件で研磨加工を行い、次いで、第２段階として加工レートの遅い条件で研磨加工を行う方法である。
【００１５】
表１に、実際にロウバーを研磨加工した場合の研磨条件と、研磨加工後の薄膜磁気ヘッドスライダの品質特性を評価するためにＭＲ比を測定した結果を示す。
表１で条件ａとあるのは、研磨開始から研磨完了まで、加工相対速度および加工圧を変えることなく加工した場合、条件ｂとあるのは、第１段階と第２段階の２段階に分けて、加工相対速度と加工圧を変えて研磨加工した場合を示す。
【表１】
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【００１６】
表１に示すように、条件ｂにおいては、第１段階の研磨条件を条件ａと同一とし、第２段階の研磨条件としては、研磨定盤の回転速度を遅くし、加工圧を１／１０程度に下げて加工を行った。
条件ａ、ｂの試験結果を比較すると、加工相対速度と加工圧を変えずに加工した場合（条件ａ）と、第１段階と第２段階とで加工相対速度と加工圧を変えて加工した場合（条件ｂ）とで、薄膜磁気ヘッドスライダのＭＲ比がはっきりと相違している。条件ｂの場合は条件ａの場合に比較して、薄膜磁気ヘッドスライダのＭＲ比が大きくなり、品質が向上した。
【００１７】
なお、表１において示してた条件ａは、従来の薄膜磁気ヘッドスライダの製造工程においてロウバーを研磨する際の通常の加工条件（加工変質層が生じないようにして加工する加工レート）である。条件ａ、ｂとも、被加工品を研磨定盤に対して動かす速度は不変とした。被加工品を研磨定盤に対して動かす速度を変えることによっても加工レートを変えることができる。
表１の試験結果は、研磨加工開始から研磨加工終了まで一定の加工条件で加工する場合にくらべて、第１段階においては速い加工レートを設定して研磨加工し、第２段階においては遅い加工レートを設定して加工することによって、薄膜磁気ヘッドスライダの特性を効果的に向上させることができることを示す。
すなわち、第１段階においては、比較的速い加工レートを設定して加工した場合でも、第２段階で遅い加工レートを設定することにより、良好な研磨加工結果を得ることが可能となる。これは、第２段階で遅い加工レートを設定することにより、速い加工レートで加工した場合に生じた加工変質層が除去されるようになるためと考えられる。
【００１８】
このように研磨工程の全工程について同一の研磨条件で加工するのではなく、研磨工程の進み具合に応じて、研磨初期工程では速い加工レートを設定し、研磨後期工程では遅い加工レートを設定して加工することにより、全工程を遅い加工レートで加工する場合にくらべて加工時間を短縮して効率的な加工を行うことが可能であり、加工品質を向上させることが可能になる。
薄膜磁気ヘッドスライダはきわめて微細な構造を有することから、研磨加工時に電気的短絡が生じやすく、加工変質層が形成されることによって特性の劣化が生じやすいものであり、高精度の研磨加工精度が求められる。本発明は、研磨加工時間を効率的に短縮し、研磨加工品の特性を向上させることができる点で薄膜磁気ヘッドスライダの加工方法として有効に利用することができる。
【００１９】
なお、上記実施形態においては、研磨加工工程を第１段階と第２段階の２段階に分けて加工を行ったが、研磨加工工程を３段階以上に区分して加工することも可能である。このように複数の段階に区分して加工する場合には、後工程に進むにしたがって加工レートを小さくするように設定する。
また、研磨加工条件を段階的に変更するのではなく、連続的に徐々に変更して加工することも可能である。この場合も後工程になるにしたがって加工レートが小さくなるように設定し、最終的には被加工品と研磨定盤とが停止（速度０になる）し、加工圧が０になるように加工するように設定して加工することができる。
本発明に係る加工方法は、同一の研磨加工機を使用して加工レートを変えながら加工するものである。同一の研磨加工機を使用して加工することにより、研磨加工工程に応じて加工レートを変えて加工することを効率的に行うことが可能となる。
【００２０】
なお、薄膜磁気ヘッドスライダの研磨加工では、前述したように磁気センサ部の抵抗値をモニターしながら加工量を制御する加工方法が行われている。この場合、磁気センサ部自体をモニター対象とする方法と、モニター用に金属膜などの抵抗体を組み込んで使用する方法がある。いずれの場合も、研磨加工が進むにしたがって抵抗値が小さくなっていくから、狙いとする抵抗値のうち、加工レートを速く設定して加工する範囲と、加工レートを遅く設定して加工する範囲を予め設定しておくことにより、抵抗のモニター値にしたがって研磨加工条件を制御して加工することができ、より精度の良い研磨加工を行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】研磨定盤を用いて被加工品を研磨する方法を示す説明図である。
【図２】加工圧を変えたときの加工に要する時間を示すグラフである。
【図３】加工相対速度を変えたときの加工に要する時間を示すグラフである。
【図４】薄膜磁気ヘッドスライダの磁気センサ部の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
１１  ＭＲ素子
１２ａ、１４ａ  先端磁極
２０  研磨定盤
２２  被加工品                                
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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