(57)【要約】【課題】  光学部品の設計に基づくシミュレーション結果と成膜結果とがマッチングする多層膜の層数及び層構造と提供する。【解決手段】  開示される光学部品である反射ミラー１は、光学基板２上に、高屈折率膜４ａ，４ｂと低屈折率膜５ａ，５ｂとの対を２２層〜３０層積層するとともに、最上層を低屈折率膜５ａとし、かつ、最上層としての低屈折率膜５ａの物理膜厚を１００ｎｍ〜１２７ｎｍとした多層膜３が成膜されて構成されている。【選択図】  図１
2006308705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学基板上に、ＴｉＯ２膜とＳｉＯ２膜との対を２２層〜３０層積層するとともに、最上層を前記ＳｉＯ２膜とし、かつ、前記最上層としての前記ＳｉＯ２膜の物理膜厚を１００ｎｍ〜１２７ｎｍとした多層膜を成膜したことを特徴とする光学部品。
【請求項２】
前記多層膜は、反射膜、透過膜又は反射防止膜であることを特徴とする請求項１記載の光学部品。
【請求項３】
請求項１又は２記載の光学部品を備えることを特徴とする光ヘッド。
【請求項４】
請求項３記載の光ヘッドを備えることを特徴とする光記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定波長帯の光を反射又は透過し、あるいはその反射を防止する光学部品、この光学部品を有する光ヘッド及びこの光ヘッドを用いて光ディスク等の光記録媒体にデータの記録又は再生を行う光記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光記録再生装置は、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）やＣＤ（Compact Disc）等の光ディスクに対して、光ヘッドによりデータの記録又は再生を行っている。この光ヘッドには、光源であるレーザダイオードとともに、反射ミラー、ビームスプリッタ又はハーフミラー、あるいは対物レンズ等の光学部品（部材）が用いられている。
【０００３】
例えば、従来のハーフミラーには、屈折率が１．４〜１．６の範囲内の値である透明なガラス基板と、このガラス基板に積層された多層薄膜とを有し、多層薄膜は、ガラス基板表面から順に積層した第１〜第９の薄膜からなり、各波長のレーザ光の主使用偏光をｓ偏光とし、主設計波長λを６５０ｎｍとすると、各薄膜は、表１に示す屈折率及び光学膜厚を備えているものがある（例えば、特許文献１参照。）。以下、この技術を第１の従来例と呼ぶ。ここで、光学膜厚とは、各薄膜の物理的な膜厚（物理膜厚）に当該薄膜の屈折率とを乗算したものをいう。
【０００４】
（表１）
薄膜         屈折率             光学膜厚
第１の薄膜  １．９〜２．５  ０．２８λ〜０．３１λ
第２の薄膜  １．３〜１．５  ０．３０λ〜０．３３λ
第３の薄膜  １．９〜２．５  ０．４６λ〜０．５１λ
第４の薄膜  １．３〜１．５  ０．０７λ〜０．０８λ
第５の薄膜  １．９〜２．５  ０．２０λ〜０．２２λ
第６の薄膜  １．３〜１．５  ０．１５λ〜０．１７λ
第７の薄膜  １．５〜１．７  ０．４０λ〜０．４４λ
第８の薄膜  １．９〜２．５  １．０１λ〜１．１２λ
第９の薄膜  １．３〜１．５  ０．２９λ〜０．３２λ
なお、ビームスプリッタは、ハーフミラーと機能が同一であるので、上記した第１の従来例がそのまま当てはまると思われる。
【０００５】
また、従来の光学部材には、可視域（波長４００〜７００ｎｍ）における所定の波長帯に対して反射防止効果を有した、テレビカメラ、ビデオカメラ、デジタルカメラ等の光学機器の光学系において用いられるレンズ，プリズム等の光学部材がある。この種の光学部材は、光学基板上に、二酸化チタン（ＴｉＯ２）膜と酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜との対を１４層〜１７層積層した多層膜からなる反射防止膜を成膜して構成されている。この多層膜は、空気面と直接触れ、最終成膜層に当たる層としてＳｉＯ２膜が形成され、レンズ等の光学基板に直接成膜され、第１層の成膜層に当たる層としてＴｉＯ２膜が形成されている（例えば、特許文献２参照。）。以下、この技術を第２の従来例と呼ぶ。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３１１２１５号公報（請求項１，［０００１］，［０００３］，［０００８］，［０００９］，［００１６］〜［００２０］、図２）
【特許文献２】特開２００２−１４２０３号公報（請求項１，請求項４，請求項８，［００１９］〜［００２５］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記したレーザダイオードは、通常、その発振波長にバラツキがあるものである。また、上記レーザダイオードや反射ミラー、対物レンズ、ビームスプリッタ等を組み合わせて光ヘッド等の光学機器を製作した場合、製作当時はもちろん、光学機器の使用時においても、光ビームの光路の角度にズレが生じることがある。従って、反射ミラー等の光学部品は、上記レーザダイオードの発振波長のバラツキや光学機器の光路角度のズレ等を見込んで仕様を決定し、その仕様を満足するように設計され、製作されている。
【０００８】
しかし、実際に製作される光学部品を構成する多層膜は、設計し、シミュレーションした通りには、形成できないことが多いため、試行錯誤を繰り返し、経験的に多層膜の層数、層構造及び成膜条件等を決定しているのが現状である。このため、特性が良好で仕様を満足する多層膜を安定的に成膜できるまで時間が長くかかり、このことが光学部品の出荷時期及びコストに影響を及ぼすことになる。
上記した第１及び第２の従来例は、光学部品の設計に基づくシミュレーション結果と成膜結果とがマッチングする多層膜の層構造及び成膜条件等については、何ら開示も示唆もするものではない。
【０００９】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、上述のような課題を解決することができる光学部品、光ヘッド及び光記録再生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明に係る光学部品は、光学基板上に、ＴｉＯ２膜とＳｉＯ２膜との対を２２層〜３０層積層するとともに、最上層を前記ＳｉＯ２膜とし、かつ、前記最上層としての前記ＳｉＯ２膜の物理膜厚を１００ｎｍ〜１２７ｎｍとした多層膜を成膜したことを特徴としている。
【００１１】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の光学部品に係り、前記多層膜は、反射膜、透過膜又は反射防止膜であることを特徴としている。
また、請求項３記載の発明に係る光ヘッドは、請求項１又は２記載の光学部品を備えることを特徴としている。
また、請求項４記載の発明に係る光記録再生装置は、請求項３記載の光ヘッドを備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、請求項１記載の発明に係る光学部品を、光学基板上に、ＴｉＯ２膜とＳｉＯ２膜との対を２２層〜３０層積層するとともに、最上層を前記ＳｉＯ２膜とし、かつ、前記最上層としての前記ＳｉＯ２膜の物理膜厚を１００ｎｍ〜１２７ｎｍとした多層膜を成膜して構成することによって、この光学部品は、設計に基づくシミュレーション結果と成膜結果とをマッチングさせることができる。
【００１３】
また、本発明によれば、請求項３記載の発明に係る光ヘッドは、請求項１又は２記載の光学部品を備えている。従って、安価に構成することができる。
また、本発明によれば、請求項４記載の発明に係る光記録再生装置は、請求項３記載の光ヘッドを備えている。従って、安価に構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る光学部品の１つである反射ミラー１の外観構成を示す概略断面図である。この例の反射ミラー１は、光学基板２上に、多層膜３が成膜されて構成されている。この例の反射ミラー１は、光記録再生装置において、レーザダイオードから出射される２種類の光ビームを反射するために用いられるものである。２種類の光ビームは、ＤＶＤを記録再生するために中心波長が６５０ｎｍのレーザ光（以下、「短波長レーザ光」と称する。）と、ＣＤを記録再生するために中心波長が７８０ｎｍのレーザ光（以下、「長波長レーザ光」と称する。）とである。多層膜３は、高屈折率膜４ａ又は４ｂと、低屈折率膜５ａ又は５ｂとが交互に積層されて構成されている。多層膜３の層数は、２２層〜３０層であることが好ましい。光学基板２は、例えば、ホウケイ酸クラウン光学ガラスやシリコン等からなり、低熱膨張係数（例えば、７．５×１０−６／℃）を有する。光学基板２は、略直方体状を呈している。
【００１５】
高屈折率膜４ａ及び４ｂは、例えば、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、一酸化チタン（ＴｉＯ）、五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、二酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）、酸化セリウム（ＣｅＯ２）、五酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）等からなる。高屈折率膜４ａ及び４ｂの屈折率は、光の波長や成膜条件によって異なるが、例えば、２．００〜２．６０である。高屈折率膜４ａと高屈折率膜４ｂとは、光学膜厚が異なるだけであり、反射ミラー１が４５度の入射角で入射する所定波長帯の光を反射するための設計波長をλ０とした場合、高屈折率膜４ａの光学膜厚は、λ０／４であるのに対し、高屈折率膜４ｂの光学膜厚は、λ０／２である。
【００１６】
低屈折率膜５ａ及び５ｂは、例えば、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）等からなる。低屈折率膜５ａ及び５ｂの屈折率は、光の波長や成膜条件によって異なるが、例えば、１．４０〜１．５０である。低屈折率膜５ａの光学膜厚は、λ０／４である。一方、低屈折率膜５ｂは、中間調整層であり、膜の積層数や設計に応じて、設けても設けなくても良く、またその光学膜厚についても、λ０／４とほぼ同じに設定しても、やや薄く設定しても良い。
【００１７】
次に、高屈折率膜４ａ及び４ｂの材料としてＴｉＯ２を用いる（屈折率：２．２０〜２．４０）とともに、低屈折率膜５ａ又は５ｂの材料としてＳｉＯ２を用いた（屈折率：１．４４〜１．４８）場合において、シミュレーション結果と成膜結果とがマッチングする多層膜３の層数、層構造及び成膜条件等を鋭意検討した結果について説明する。以下では、光学基板２として、１．５２の屈折率を有するホウケイ酸クラウン光学ガラスを用い、その厚さは、例えば、約２ｍｍとする。まず、成膜方法は、イオンアシスト蒸着（ＩＡＤ：Ion Assisted Deposition）法を用いる。このイオンアシスト蒸着法の詳細については、例えば、特開平８−２５４６１２号公報に開示されている。光学基板２の基板温度を３００度程度に加熱・保持しつつ、各膜を成膜する。
【００１８】
（１）多層膜３の層数を２２層とした場合
図２は、本発明の実施の形態１に係る反射ミラー１において、２２層の多層膜３を構成する各膜を成膜するための条件を示している。この例では、設計波長λ０を７８０ｎｍとしている。図２において、設計膜厚とは、光学部品、今の場合、反射ミラー１として要求される所定の性能を満たすために設計され、シミュレーションした当該膜の物理膜厚をいう。この設計膜厚の意義は、以下でも同様である。また、制御膜厚とは、対応する設計膜厚を得るために目標（ターゲット）とされる当該膜の物理膜厚をいう。この制御膜厚の意義は、以下でも同様である。
【００１９】
また、図３は、図２に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示している。図３において、反射率は、多層膜のｐ偏光及びｓ偏光のそれぞれに対する反射率Ｒｐ及びＲｓの平均で示している。この反射率の意義は、以下でも同様である。また、破線ＳＬはＤＶＤの記録再生を可能とするために図２に示す設計膜厚によってシミュレーションした結果、破線ＳＨはＣＤの記録再生を可能とするために図２に示す設計膜厚を用いてシミュレーションした結果である。そして、実線で示すサンプルｓｍｐ１は、図２に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の特性である。図３から分かるように、サンプルｓｍｐ１は、ＤＶＤ側もＣＤ側もいずれも、反射率が十分に確保されていることが分かる。
【００２０】
（２）多層膜３の層数を２９層とし、かつ、最上層をＴｉＯ２膜とした場合
図４は、本発明の実施の形態１に係る反射ミラー１において、層数が２９層であって、最上層がＴｉＯ２膜である多層膜３を構成する各膜を成膜するための条件を示している。この例では、設計波長λ０を７８０ｎｍとしている。
【００２１】
また、図５は、図４に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示している。図５において、破線ＳＬはＤＶＤの記録再生を可能とするために図４に示す設計膜厚によってシミュレーションした結果、破線ＳＨはＣＤの記録再生を可能とするために図４に示す設計膜厚を用いてシミュレーションした結果である。そして、１点鎖線で示すサンプルｓｍｐ１及び実線で示すサンプルｓｍｐ２は、それぞれ図４に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の特性である。なお、図５における各曲線の意義は、以下に示す図７、図９及び図１１において同様である。
【００２２】
図４から分かるように、各膜の膜厚は、ＳｉＯ２膜の場合、すべての層について制御膜厚と設計膜厚とが同一である一方、ＴｉＯ２膜の場合、１層目は制御膜厚と設計膜厚とが同一、他の層では制御膜厚を設計膜厚に対して数％だけ薄く設定している。これは、以下に示す理由による。即ち、制御膜厚は予め各制御波長において光学基板上に成膜される単層膜の物理膜厚を測定して求めているが、ＳｉＯ２膜上に設計膜厚で定められた物理膜厚を有するＴｉＯ２膜を成膜しようとした場合、実際に成膜されたＴｉＯ２膜の物理膜厚は、ガラス基板上に直接成膜したＴｉＯ２膜の物理膜厚よりも、数％程度厚くなった。一方、ＴｉＯ２膜上にＳｉＯ２膜を成膜した場合、実際に成膜された物理膜厚はガラス基板上に直接成膜したＳｉＯ２膜の物理膜厚とほぼ等しくなった。これは、ＳｉＯ２膜上にＴｉＯ２膜を成膜した場合、ＳｉＯ２膜の表面は、アモルファス状を呈しており、光学基板のように表面処理が施されていないため、ＴｉＯ２膜の成膜初期段階においてＳｉＯ２膜上にＴｉＯ２が結晶化しやすいためと思われる。この結果、表面がアモルファス状を呈しているＳｉＯ２膜上にＴｉＯ２膜を成膜した場合のＴｉＯ２膜の膜厚は、表面処理された光学基板上に直接ＴｉＯ２膜を成膜した場合のＴｉＯ２膜の膜厚よりも、数％程度厚く成膜されたものと思われる。そこで、上記のように設定しているのである。このことは、後述する（３）〜（５）の成膜条件においても同様である。
図３と図５とを比較して分かるように、サンプルｓｍｐ１及びｓｍｐ２は、反射帯域の波長範囲がいずれもシミュレーション結果に近づいているが、ＤＶＤ側にリップルが発生しており、反射率が低下している。
【００２３】
（３）多層膜３の層数を３０層とするとともに、最上層をＳｉＯ２膜とし、かつその膜厚を６６ｎｍとした場合
図６は、本発明の実施の形態１に係る反射ミラー１において、層数が３０層であって、最上層がＳｉＯ２膜であり、かつ、その膜厚を６６ｎｍとした多層膜３を構成する各膜を成膜するための条件を示している。この例では、設計波長λ０を７７５ｎｍとしている。
【００２４】
また、図７は、図６に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示している。図５と図７とを比較して分かるように、サンプルｓｍｐ１及びｓｍｐ２は、最上層をＳｉＯ２膜とすることにより、ＤＶＤ側に発生していたリップルは認められないが、ＣＤ側に比べてＤＶＤ側の反射率が低下していることが分かる。
【００２５】
（４）多層膜３の層数を３０層とするとともに、最上層をＳｉＯ２膜とし、かつその膜厚を１００ｎｍとした場合
図８は、本発明の実施の形態１に係る反射ミラー１において、層数が３０層であって、最上層がＳｉＯ２膜であり、かつ、その膜厚を１００ｎｍとした多層膜３を構成する各膜を成膜するための条件を示している。この例では、設計波長λ０を７７５ｎｍとしている。
【００２６】
また、図９は、図８に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示している。この場合の総膜厚の実測値は、３３５０．００ｎｍであり、図７と図９を比較して分かるように、サンプルｓｍｐ１及びｓｍｐ２は、最上層のＳｉＯ２膜の膜厚を１００ｎｍとすることにより、ＤＶＤ側の反射率が改善されており、その形状がいずれもシミュレーション結果に近づいている。
【００２７】
（５）多層膜３の層数を３０層とするとともに、最上層をＳｉＯ２膜とし、かつその膜厚を１２５ｎｍとした場合
図１０は、本発明の実施の形態１に係る反射ミラー１において、層数が３０層であって、最上層がＳｉＯ２膜であり、かつ、その膜厚を１２５ｎｍとした多層膜３を構成する各膜を成膜するための条件を示している。この例では、設計波長λ０を７７５ｎｍとしている。
【００２８】
また、図１１は、図１０に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示している。図７と図１１を比較して分かるように、サンプルｓｍｐ１及びｓｍｐ２は、最上層のＳｉＯ２膜の膜厚を１２５ｎｍとすることにより、ＤＶＤ側の反射率は改善されており、光ヘッドに使用可能なレベルの特性を有している。
【００２９】
このように、本発明の実施の形態１によれば、光学基板２上に、ＴｉＯ２膜とＳｉＯ２膜との対を２２層〜３０層積層するとともに、最上層をＳｉＯ２膜とし、かつその物理膜厚を１００ｎｍ〜１２５ｎｍとした多層膜３を形成して反射ミラー１を構成している。これにより、この反射ミラー１は、ＤＶＤを記録再生するための中心波長が６５０ｎｍのレーザ光と、ＣＤを記録再生するための中心波長が７８０ｎｍのレーザ光のそれぞれの波長帯域における反射特性がシミュレーション結果通りに良好に作製されている。
【００３０】
実施の形態２．
図１２は、本発明の実施の形態２に係る光ヘッド１１の構成を示す概略図である。光ヘッド１１は、上記した実施の形態１に係る反射ミラー１と、光源１２と、回折格子１３と、ビームスプリッタ１４と、対物レンズ１５と、レンズ１６と、光検出器１７及び１８とから概略構成されている。なお、なお、ビームスプリッタ１４と反射ミラー１との間に、コリメータレンズを設けても良い。また、光ヘッド１１は、以上説明した光学系の他、駆動系、回路系も有するが、これらは本発明と直接関係しないので、その説明を省略する。
【００３１】
レーザダイオード等の光源１２から出射された光ビームは、回折格子１３で３ビームに分離された後、ビームスプリッタ１４で直進する光ビームと反射する光ビームに分離される。次に、ビームスプリッタ１４を直進する光ビームは、反射ミラー１で上方に立ち上げられる。反射ミラー１は、実施の形態１の（４）で説明した成膜条件を用いて、図１に示すように、光学基板２上に高屈折率膜４ａ又は４ｂと低屈折率膜５ａ又は５ｂとが交互に、仕様を満足した膜厚で、積層されて構成されている。従って、ビームスプリッタ１４を直進した光ビームは、ＣＤを記録再生するための波長７８０ｎｍの光ビーム又はＤＶＤを記録再生するための波長６５０ｎｍの光ビームのいずれであっても、反射ミラー１で上方に立ち上げられる際、各波長が仕様の範囲内である限り、それぞれ所定の反射率で反射される。
【００３２】
次に、反射ミラー１で上方に立ち上げられた光ビームは、対物レンズ１５で収束され、光ディスク１９上に集光する。その後、光ディスク１９上で反射された光ビームは、対物レンズ１５を透過して反射ミラー１に到達する。この場合、上記したように、多層膜３が仕様を満足した膜厚で積層されて構成されているので、対物レンズ１５を透過した光ビームは、ＣＤを記録再生するための波長７８０ｎｍの光ビーム又はＤＶＤを記録再生するための波長６５０ｎｍの光ビームのいずれであっても、反射ミラー１において、所定の反射率で反射された後、ビームスプリッタ１４に入射される。ビームスプリッタ１４に入射された光ビームは、ビームスプリッタ１４で反射され、レンズ１６を透過した後に光検出器１７に達し、電気信号に変換される。光検出器１７から出力された電気信号は、音楽データ等を再生するために用いられる。
【００３３】
一方、レーザダイオード等の光源１２から出射され、回折格子１３で３ビームに分離された後、ビームスプリッタ１４で反射された光は、ビームスプリッタ１４の近傍に配置された光検出器１８に達し、電気信号に変換される。光検出器１８から出力された電気信号は、光源１２の出力を一定値に保持するフィードバック回路（図示略）によって光源１２に供給される電流を制御するために用いられる。
【００３４】
このように、本発明の実施の形態２によれば、光ヘッド１１を構成する反射ミラーとして、上記した実施の形態１に係る（４の成膜条件で多層膜３が成膜されてなる反射ミラー１を用いている。従って、光源１２を構成するレーザダイオードの発振波長が仕様の範囲内である限り、反射ミラー１は、設計通りの反射率で当該光ビームを反射する。この結果、光源１２として、その発振波長に関して厳選したものを用いる必要がなく、光ヘッド１１を安価に構成することができる。
【００３５】
実施の形態３．
図１３は、本発明の実施の形態３に係る光記録再生装置の構成を示す概略図である。この光記録再生装置は、上記した実施の形態２に係る光ヘッド１１と、スピンドルモータ３１と、コントローラ３２と、レーザ駆動回路３３と、レンズ駆動回路３４とから概略構成されている。
【００３６】
スピンドルモータ３１は、コントローラ３２の制御の下、光ディスク１９を回転駆動する。コントローラ３２は、光ヘッド１１から供給されるフォトディテクタ検出信号に基づいて、スピンドルモータ３１、レーザ駆動回路３３及びレンズ駆動回路３４を制御する。レーザ駆動回路３３は、コントローラ３２の制御の下、光ヘッド１１を構成する光源１２（図１２参照）であるレーザダイオードを駆動するためのレーザ駆動信号を生成し、光ヘッド１１に供給する。レンズ駆動回路３４は、コントローラ３２の制御の下、光ヘッド１１を構成する対物レンズ１５（図１２参照）のフォーカシング及びトラッキングを制御するためのレンズ駆動信号を生成し、光ヘッド１１に供給する。
【００３７】
コントローラ３２は、フォーカスサーボ追従回路３５と、トラッキングサーボ追従回路３６と、レーザコントロール回路３７とを有している。フォーカスサーボ追従回路３５は、光ヘッド１１から供給されるフォトディテクタ検出信号に基づいて、回転している光ディスク１９の情報記録面に光ヘッド１１から出射された光ビームのフォーカスをかけるためのフォーカスサーボ信号を生成し、レンズ駆動回路３４に供給する。
【００３８】
トラッキングサーボ追従回路３６は、光ヘッド１１から供給されるフォトディテクタ検出信号に基づいて、光ディスク１９の偏芯している信号トラックに対して、光ヘッド１１から出射された光ビームのビームスポットを追従させるためのトラッキングサーボ信号を生成し、レンズ駆動回路３４に供給する。レーザコントロール回路３７は、光ヘッド１１から供給されるフォトディテクタ検出信号から抽出された光ディスク１９に記録されている記録条件設定情報に基づいて、適切なレーザ駆動信号の生成を行う。
【００３９】
このように、本発明の実施の形態３によれば、上記した実施の形態１に係る反射ミラー１を用いた光ヘッド１１を用いて光記録再生装置を構成している。従って、光記録再生装置は、安価に構成することができる。
【００４０】
実施の形態４．
上述の各実施の形態では、本発明を反射ミラーに適用する例を示したが、これに限定されない。本発明は、例えば、入射光の一部を透過するとともに、残りの一部を反射するハーフミラー、透過膜又は反射防止膜が成膜された各種光学部品、ビームスプリッタ、ダイクロイックプリズムに適用することができる。何故なら、透過膜又は反射防止膜は、反射膜と同一の成膜方法において、高屈折率膜と低屈折率膜との各膜厚を変更することにより成膜することができるからである。
【００４１】
実施の形態５．
上述した各実施の形態では、反射ミラー１は、２波長の光を反射する例を示したが、これに限定されるものではない。即ち、この発明は、１波長の光を反射する反射ミラーその他の光学部品に適用することができる。この場合、高屈折率膜４ａ及び４ｂは、同一の光学膜厚λ０／４とし、低屈折率膜５ａ及び５ｂも同一の光学膜厚λ０／４とする。
【００４２】
実施の形態６．
上述の実施の形態２〜５では、光源が１個だけ設けられている光ヘッドや光ヘッドが１個だけ設けられている光記録再生装置の例を示したが、これに限定されない。本発明は、光源が複数個設けられている光ヘッドや光ヘッドが複数個設けられている光記録再生装置にも適用することができる。このような光ヘッド及び光記録再生装置は、例えば、特開２００４−２９５９８２号公報に開示されている。
【００４３】
以下、この実施の形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
例えば、上述した各実施の形態では、光記録媒体が円盤状の光ディスクである例を示したが、これに限定されず、光記録媒体は、矩形状であっても良い。
また、上述の実施の形態１では、ＳｉＯ２膜を成膜する際には設計膜厚と制御膜厚とを同一にするとともに、ＴｉＯ２膜を成膜する際に設計膜厚に対し制御膜厚を異ならせる例を示したが、これに限定されず、ＳｉＯ２膜を成膜する際にも、設計膜厚に対し制御膜厚を異ならせるように構成しても良い。
【００４４】
また、上述の実施の形態１では、光学基板２上に１層目として高屈折率膜４ａを成膜する例を示したが、これに限定されず、光学基板２上に１層目として低屈折率膜５ａを成膜した後、２層目として高屈折率膜４ａを成膜するというように、成膜する順番を異ならせても良い。
また、上述の実施の形態１では、中間調整層として成膜する高屈折率膜４ｂ、即ち、ＴｉＯ２膜の膜厚については特に言及していない。しかし、中間調整層として成膜するＴｉＯ２膜の膜厚は、図２の１１層目、図４の９層目及び２１層目、図６の９層目及び２１層目、図８の９層目及び２１層目、図１０の９層目及び２１層目のように、他の層のＴｉＯ２膜の膜厚の約２倍にしても良い。さらに、１層目として成膜するＴｉＯ２膜の膜厚を中間調整層以外の他の層の膜厚より薄く形成したり、最上層直下に成膜するＴｉＯ２膜の膜厚を中間調整層以外の他の層の膜厚より厚く形成しても良い。
また、上述の各実施の形態は、その目的及び構成等に特に矛盾や問題がない限り、互いの技術を流用することができる。例えば、上述した実施の形態２及び３では、本発明を光ヘッド１１の反射ミラー１だけに適用する例を示したが、これに限定されない。例えば、本発明は、図１２に示すビームスプリッタ１４、対物レンズ１５あるいはレンズ１６にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態１に係る光学部品の１つである反射ミラーの外観構成を示す概略断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る反射ミラーを構成する多層膜の層数を２２層とした場合の各膜の成膜条件の一例を示す図である。
【図３】図２に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る反射ミラーを構成する多層膜の層数を３１層とし、かつ、最上層をＴｉＯ２膜とした場合の各膜を成膜条件の一例を示す図である。
【図５】図４に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態１に係る反射ミラーを構成する多層膜の層数を３０層とするとともに、最上層をＳｉＯ２膜とし、かつその膜厚を６６ｎｍとした場合の各膜の成膜条件の一例を示す図である。
【図７】図６に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態１に係る反射ミラーを構成する多層膜の層数を３０層とするとともに、最上層をＳｉＯ２膜とし、かつその膜厚を１００ｎｍとした場合の各膜の成膜条件の一例を示す図である。
【図９】図８に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態１に係る反射ミラーを構成する多層膜の層数を３０層とするとともに、最上層をＳｉＯ２膜とし、かつその膜厚を１２５ｎｍとした場合の各膜の成膜条件の一例を示す図である。
【図１１】図１０に示す成膜条件に基づいて成膜された多層膜の光の波長に対する反射率の特性の一例を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態２に係る光ヘッドの光学系の構成を示す概略図である。
【図１３】本発明の実施の形態３に係る光記録再生装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  反射ミラー
２  光学基板
３  多層膜
４ａ，４ｂ  高屈折率膜
５ａ，５ｂ  低屈折率膜
１１  光ヘッド
１２  光源
１３  回折格子
１４  ビームスプリッタ
１５  対物レンズ
１６  レンズ
１７，１８  光検出器
１９  光ディスク
３１  スピンドルモータ
３２  コントローラ
３３  レーザ駆動回路
３４  レンズ駆動回路
３５  フォーカスサーボ追従回路
３６  トラッキングサーボ追従回路
３７  レーザコントロール回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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