(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、長期にわたって使用しても気密性能の低下や整圧性能の低下を抑制して良好な性能を確保する整圧器及びその処理方法を提供する点にある。【解決手段】  整圧器１００において、ダイヤフラム５０が、フランジ接続部３ａに圧縮状態で挟持される挟持部５２を、均圧室１０と二次側圧力室２０とを区画する受圧部５１よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料で形成してなる。また、かかる整圧器１００の処理方法において、整圧器１００を組み立てた状態で設定温度に加熱して一定時間保持する保持工程を実行する。また、バルブ機構３０の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構がばね部材４０からなる整圧器１００の処理方法において、整圧器１００を組み立てた状態で一定時間保持する保持工程を実行し、保持工程を実行した後に、ばね部材４０の付勢力を調整する調整工程を実行する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に均圧室が形成される上部ケーシングと内部に二次側圧力室が形成される下部ケーシングとをフランジ接続してなる本体ケーシングと、前記均圧室と前記二次側圧力室とを区画する受圧部と前記上部ケーシングと前記下部ケーシングとのフランジ接続部に圧縮状態で挟持される挟持部とからなるダイヤフラムと、一次側流路から前記二次側圧力室に連通する二次側流路へのガスの流量を調整可能且つ前記ダイヤフラムの受圧部が前記二次側圧力室側から前記均圧室側に向けて変位するほど開度が減少するバルブ機構と、前記バルブ機構の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構とを備えた整圧器であって、
前記ダイヤフラムが、前記挟持部を前記受圧部よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料で形成してなる整圧器。
【請求項２】
前記フランジ接続部の前記ダイヤフラムの挟持部よりも外側に、Ｏリングによりシールされるシール部を備えた請求項１に記載の整圧器。
【請求項３】
内部に均圧室が形成される上部ケーシングと内部に二次側圧力室が形成される下部ケーシングとをフランジ接続してなる本体ケーシングと、前記均圧室と前記二次側圧力室とを区画する受圧部と前記上部ケーシングと前記下部ケーシングとのフランジ接続部に圧縮状態で挟持される挟持部とからなるダイヤフラムと、一次側流路から前記二次側圧力室に連通する二次側流路へのガスの流量を調整可能且つ前記ダイヤフラムの受圧部が前記二次側圧力室側から前記均圧室側に向けて変位するほど開度が減少するバルブ機構と、前記バルブ機構の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構とを備えた整圧器の使用前に実行される処理方法であって、
前記整圧器が請求項１又は２に記載の整圧器として構成され、
前記整圧器を組み立てた状態で設定温度に加熱して一定時間保持する保持工程を実行することを特徴とする処理方法。
【請求項４】
内部に均圧室が形成される上部ケーシングと内部に二次側圧力室が形成される下部ケーシングとをフランジ接続してなる本体ケーシングと、前記均圧室と前記二次側圧力室とを区画する受圧部と前記上部ケーシングと前記下部ケーシングとのフランジ接続部に圧縮状態で挟持される挟持部とからなるダイヤフラムと、一次側流路から前記二次側圧力室に連通する二次側流路へのガスの流量を調整可能且つ前記ダイヤフラムの受圧部が前記二次側圧力室側から前記均圧室側に向けて変位するほど開度が減少するバルブ機構と、前記バルブ機構の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構とを備えた整圧器の使用前に実行される処理方法であって、
前記付勢手段がばね部材からなり、
前記整圧器を組み立てた状態で一定時間保持する保持工程を実行し、
前記保持工程を実行した後に、前記ばね部材の付勢力を調整する調整工程を実行することを特徴とする処理方法。
【請求項５】
前記保持工程において、前記整圧器を設定温度に加熱する請求項４に記載の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に均圧室が形成される上部ケーシングと内部に二次側圧力室が形成される下部ケーシングとをフランジ接続してなる本体ケーシングと、前記均圧室と前記二次側圧力室とを区画する受圧部と前記上部ケーシングと前記下部ケーシングとのフランジ接続部に圧縮状態で挟持される挟持部とからなるダイヤフラムと、一次側流路から前記二次側圧力室に連通する二次側流路へのガスの流量を調整可能且つ前記ダイヤフラムの受圧部が前記二次側圧力室側から前記均圧室側に向けて変位するほど開度が減少するバルブ機構と、前記バルブ機構の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構とを備えた整圧器、及び、その整圧器の使用前に実行される処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような整圧器は、ダイヤフラムの受圧部が二次側流路に連通する二次側圧力室の圧力を感知して変位し、その変位に伴ってバルブ機構の開度を調整することで、二次側流路の圧力を設定圧力に安定させるように構成されている（例えば、特許文献１及び２を参照。）。
【０００３】
従来の整圧器に設けられるダイヤフラムとしては、一般的に、基布を覆う形態で合成ゴム材料（例えばニトリルゴム（ＮＢＲ））を一体成形したものが利用されている（例えば、特許文献３を参照。）。
そして、上記ダイヤフラムの外周縁部に形成される挟持部が上部ケーシングのフランジ面と下部ケーシングのフランジ面とにより圧縮状態で挟持されることにより、本体ケーシング内の気密性能を得ることができ、更に、ダイヤフラムの中央部の受圧部により本体ケーシング内が均圧室と二次側圧力室とに区画される。
【０００４】
また、上記バルブ機構の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構については、一般的にコイルばね等のばね部材が利用されている。
そして、このような整圧器では、二次側流路の圧力が変動した場合に、ダイヤフラムの受圧部が均圧室側と二次側流路側との間で変位して、その変位に伴ってバルブ機構の開度及びガスの流量が調整されて、二次側流路の圧力を安定させる整圧性能を得ることができる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２８８１２４号公報
【特許文献２】特開２０００１２０８９５４号公報
【特許文献３】実開平５−６６３６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のような従来の整圧器では、特に長期にわたる使用により、その性能が低下し、補修又は交換を要する場合があった。
このような整圧器の性能低下としては、気密性能の低下、即ち上部ケーシングと下部ケーシングとのフランジ接続部におけるシール性の低下や、整圧性能の低下、即ち二次側流路の圧力の設定圧力に対する変動や低下がある。
【０００７】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、長期にわたって使用しても、上記のような気密性能の低下や整圧性能の低下を抑制して、良好な性能を確保することができる整圧器及びその処理方法を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明に係る整圧器は、内部に均圧室が形成される上部ケーシングと内部に二次側圧力室が形成される下部ケーシングとをフランジ接続してなる本体ケーシングと、前記均圧室と前記二次側圧力室とを区画する受圧部と前記上部ケーシングと前記下部ケーシングとのフランジ接続部に圧縮状態で挟持される挟持部とからなるダイヤフラムと、一次側流路から前記二次側圧力室に連通する二次側流路へのガスの流量を調整可能且つ前記ダイヤフラムの受圧部が前記二次側圧力室側から前記均圧室側に向けて変位するほど開度が減少するバルブ機構と、前記バルブ機構の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構とを備えた整圧器であって、その第１特徴構成は、前記ダイヤフラムが、前記挟持部を前記受圧部よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料で形成してなる点にある。
尚、本願において、圧縮永久ひずみとは、日本工業規格ＪＩＳ  Ｋ  ６２６２に規定されている試験方法により測定されるものであり、詳しくは、ゴム材料において圧縮変形を起こさせた場合に、その圧縮力を完全に除去した後も残存する変形の上記圧縮変形に対する割合で示される。
【０００９】
上記整圧器の第１特徴構成によれば、ダイヤフラムの挟持部を、受圧部を形成する材料とは異なり、受圧部よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料で形成することで、上部ケーシングと下部ケーシングとのフランジ接続部において、圧縮状態で挟持された挟持部の圧縮永久ひずみが抑制され、挟持部の復元力が良好に確保されるので、長期にわたって使用しても、挟持部の夫々のフランジ面に対する密着性を良好なものとして気密性能の低下を抑制し、良好な性能を確保することができる。
【００１０】
本発明に係る整圧器の第２特徴構成は、前記フランジ接続部の前記ダイヤフラムの挟持部よりも外側に、Ｏリングによりシールされるシール部を備えた点にある。
【００１１】
上記整圧器の第２特徴構成によれば、フランジ接続部において、ダイヤフラムの挟持部を圧縮状態で挟持することによるシール性に加えて、上記シール部によるシール性を持たせることができ、一方側のシール性が低下した場合でも他方のシール性が確保されていることにより、長期使用による気密性能の低下を一層抑制することができる。
【００１２】
本発明に係る整圧器の処理方法は、内部に均圧室が形成される上部ケーシングと内部に二次側圧力室が形成される下部ケーシングとをフランジ接続してなる本体ケーシングと、前記均圧室と前記二次側圧力室とを区画する受圧部と前記上部ケーシングと前記下部ケーシングとのフランジ接続部に圧縮状態で挟持される挟持部とからなるダイヤフラムと、一次側流路から前記二次側圧力室に連通する二次側流路へのガスの流量を調整可能且つ前記ダイヤフラムの受圧部が前記二次側圧力室側から前記均圧室側に向けて変位するほど開度が減少するバルブ機構と、前記バルブ機構の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構とを備えた整圧器の使用前に実行される処理方法であって、その特徴構成は、前記整圧器が、上述した第１又は第２特徴構成の何れかを備えた整圧器として構成され、前記整圧器を組み立てた状態で設定温度に加熱して一定時間保持する保持工程を実行する点にある。
【００１３】
上記整圧器の処理方法の特徴構成によれば、整圧器を組み立てた状態で上記保持工程を実行して、その整圧器を設定温度に加熱して一定時間保持することで、その受圧部よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料で形成された挟持部の外表面が夫々のフランジ面に圧着された状態で若干塑性変形することにより、塑性変形による復元力の低下が極力抑制された状態で、挟持部の夫々のフランジ面に対する密着性を一層向上させることができる。よって、組み立てた状態の整圧器に対して使用前に上記のような処理方法を実行することにより、その後長期にわたって使用しても、挟持部の夫々のフランジ面に対する密着性を良好なものとして気密性能の低下を抑制して良好な性能を確保することができる整圧器を製造することができる。
【００１４】
尚、上記設定温度は、上記挟持部のフランジ面に対する密着性を向上し得る温度以上に設定され、且つ、整圧器に設けられた各種部品が熱により機能低下する最低温度以下、特に、上記挟持部の塑性変形が促進されすぎてフランジ接続部の気密性能が低下する最低温度以下に設定することが望ましく、例えば、４０℃〜１００℃程度の範囲内に設定することができる。
【００１５】
本発明に係る整圧器の処理方法の別の特徴構成は、前記付勢手段がばね部材からなり、
前記整圧器を組み立てた状態で一定時間保持する保持工程を実行し、
前記保持工程を実行した後に、前記ばね部材の付勢力を調整する調整工程を実行する点にある。
【００１６】
上記整圧器の処理方法の特徴構成によれば、上記付勢手段がばね部材からなる場合には、整圧器を組み立てた状態で上記保持工程を実行して、その整圧器を一定時間保持することで、そのばね部材に比較的大きな初期へたりを発生させることができるので、その後の使用時にばね部材に発生するへたりを低減させることができる。そして、この保持工程を実行した後に、そのばね部材のバルブ機構に対する付勢力を調整することで、その後長期にわたって使用しても、ばね部材に発生するへたりが低減されることから、その調整した付勢力を良好に維持して、整圧性能の低下を抑制することができる整圧器を製造することができる。
【００１７】
更に、上記特徴構成において、前記保持工程において、前記整圧器を設定温度に加熱することにより、上述したように、挟持部の夫々のフランジ面に対する密着性を一層向上させ、その後長期にわたって使用しても、挟持部の夫々のフランジ面に対する密着性を良好なものとして気密性能の低下を抑制して良好な性能を確保することができる整圧器を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明に係る整圧器及びその処理方法の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
【００１９】
〔整圧器〕
図１に示す整圧器１００は、内部に均圧室１０が形成される上部ケーシング１と内部に二次側圧力室２０が形成される下部ケーシング２とをフランジ接続してなる本体ケーシング３を備える。
また、この本体ケーシング３は、上部ケーシング１の下方側のフランジ面１ａと、下部ケーシング２の上方側のフランジ面２ａとを重ね合わせた状態でボルト・ナット（図示せず）により螺合される所謂フランジ接続されることで一体化されている。
【００２０】
更に、上部ケーシング１と下部ケーシング２との間には、均圧室１０と二次側圧力室２０とを区画する受圧部５１と、上部ケーシング１と下部ケーシング２とのフランジ接続部３ａに圧縮状態で挟持される挟持部５２とからなるダイヤフラム５０が設けられている。
【００２１】
このダイヤフラム５０は、略円盤状に形成されており、その外周縁部に形成された挟持部５２の内側に円形の受圧部５１が形成されている。また、この受圧部５１の挟持部５２に対する境界部には、受圧部５１を上下方向に容易に変位させるための可撓部５３が形成されている。
【００２２】
また、ダイヤフラム５０の受圧部５１は、基布に含浸させた形態のニトリルゴムにより形成されており、一方、フランジ接続部３ａに圧縮状態で挟持される挟持部５２は、その受圧部５１を形成する材料とは異なり受圧部５１よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料、例えば、エピクロルヒドリンゴム、ブチルゴム、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、クロロプレンゴム、フッ素系ゴム等で形成されている。
よって、フランジ接続部３ａにおいて、圧縮状態で挟持された挟持部５２の圧縮永久ひずみが抑制されることで、挟持部５２の復元力が良好に確保される。よって、長期にわたって使用しても、挟持部５２の夫々のフランジ面１ａ，２ａに対する密着性が良好なものに維持され、特に二次側圧力室２０の外部に対する気密性能の低下が抑制される。
【００２３】
尚、このようなダイヤフラム５０については、上記受圧部５１に対して挟持部５２を上記受圧部５１とは異なる材料で一体成形することで製造することができる。
また、受圧部５１の均圧室１０側には、その受圧部５１の形状を略平面状に保持するための保持板部材５４が貼り付けられている。
【００２４】
更に、このダイヤフラム５０の挟持部５２は、図２に示すように、ダイヤフラム５０の外周縁部を、円形断面を有する環状、即ちＯリング状に形成してなる。
そして、この挟持部５２が、下部ケーシング２側のフランジ面２ａに環状に形成された溝部２ｃに上下方向において圧縮状態で嵌合されることで、二次側圧力室２０の気密性能が一層向上されている。
【００２５】
尚、本実施形態では、ダイヤフラム５０の外周縁部を構成する円形断面部分のみを挟持部５２として受圧部５１よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料により構成しているが、その円形断面部分に加えてその内側のフランジ接続部３ａに挟持される平面部分を挟持部５２として上記圧縮永久ひずみが小さいゴム材料により構成しても構わない。
【００２６】
更に、フランジ面２ａの上記溝部２ｃよりも外側には、ダイヤフラム５０の挟持部５２とは別のＯリング５６が上下方向に圧縮状態で嵌合する環状の溝部２ｂが形成されている。
即ち、フランジ接続部３ａは、挟持部５２よりも外側において、Ｏリング５６によりシールされるシール部を備えることで、ダイヤフラム５０の挟持部５２によるシール性に加えて２重のシール性を有することになり、例えば、一方側のシール性が低下した場合でも他方のシール性が確保されていることにより、長期使用による気密性能の低下が一層抑制される。
尚、このＯリング５６は、上記挟持部５２と同様に、圧縮永久ひずみが小さい材料で形成することが望ましい。
【００２７】
図１を参照して、上部ケーシング１の内部に形成された均圧室１０は、均圧孔１１により外部に連通し、その均圧孔１１を大気などの圧力が一定に保たれる部分に接続することで、均圧室１０の圧力が一定に保たれる。
【００２８】
下部ケーシング２には、ガスＧが流入する流入口２１とガスＧが流出する流出口２４とが形成され、更にその内部には、その流入口２１から流入したガスＧを後述する弁座口３３に導く一次側流路２２と、その一次側流路２２から同弁座口３３を通じて流入したガスＧを流出口２４に導く二次側流路２３とが形成されている。
尚、上記弁座口３３は、上方側の一次側流路２２と下方側の二次側流路２３とを仕切る開口部として形成されている。
【００２９】
また、下部ケーシング２の内部に形成された二次側圧力室２０は、導圧路２５を通じて二次側流路２３に連通することで、二次側流路２３の圧力と同等の圧力とされている。
【００３０】
下部ケーシング２内には、一次側流路２２から二次側流路２３へのガスＧの流量を調整可能なバルブ機構３０が設けられており、更にこのバルブ機構３０は、ダイヤフラム５０の受圧部５１が二次側圧力室２０側から均圧室１０側に向けて変位するほど開度が減少するように構成されている。
【００３１】
即ち、バルブ機構３０は、一次側流路２２と二次側流路２３との間に形成された弁座口３３と、その弁座口３３の下方で上下方向に変位することでその弁座口３３との間の開度を調整可能な弁体３１と、ダイヤフラム５０における受圧部５１の上下方向の変位をその弁体３１の上下方向の変位として伝達する軸部３２とからなる。
また、上記軸部３２の側部には、上記二次側圧力室２０と一次側流路２２とを仕切るための可撓膜２６が設けられている。
【００３２】
そして、ダイヤフラム５０の受圧部５１が二次側圧力室２０側から均圧室１０側に向けて即ち上方に向けて変位することで、弁体３１が上方に変位して弁座口３３と弁体３１との間の開度が減少し、一次側流路２２から二次側流路２３へのガスの流量が減少され、逆に、同受圧部５１が均圧室１０側から二次側圧力室２０側に向けて即ち下方に向けて変位することで、弁体３１が下方に変位して弁座口３３と弁体３１との間の開度が増加し、一次側流路２２から二次側流路２３へのガスの流量が増加される。
【００３３】
上部ケーシング１の内部には、バルブ機構３０の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構として、ダイヤフラム５０の受圧部５１を均圧室１０側から二次側圧力室２０側に向けて付勢する形態で配置されたばね部材４０が設けられている。
【００３４】
更に、このばね部材４０の上端部は、上部ケーシング１に対して上下方向に変位自在に設けられたばね調整部４１に当接されており、このばね調整部４１が上下方向に調整されることで、ばね部材４０のばね長さが変更されてばね部材４０の受圧部５１に対する付勢力が調整される。
【００３５】
次に、整圧器１００による二次側流路２３の圧力を安定させる性能、所謂整圧性能について説明を加える。
バルブ機構３０の軸部３２にかかる下向きの力の大きさは、受圧部５１に対して下向きにかかるばねの付勢力と、可撓膜２６に対して下向きにかかる二次側圧力室２０の圧力による力との合計となる。一方、同軸部３２にかかる上向きの力の大きさは、受圧部５１に対して上向きにかかる二次側圧力室２０の圧力による力と、可撓膜２６に対して上向きにかかる一次側流路２２の圧力による力との合計となる。
【００３６】
そして、整圧器１００は、二次側流路２３の圧力が略設定圧力となるときには、バルブ機構３０の軸部３２にかかる上向きの力と下向きの力とが略同等となって、軸部３２が変位せずに安定して、バルブ機構３０の開度及びガスＧの流量が安定し、結果、二次側流路２３の圧力が設定圧力に安定する。
【００３７】
また、二次側流路２３の圧力が設定圧力よりも大きくなった場合には、バルブ機構３０の軸部３２にかかる上向きの力が下向きの力に打ち勝って、軸部３２が上方に変位し、バルブ機構３０の開度及びガスＧの流量が減少されて、結果、二次側流路２３の圧力が設定圧力となるように低下される。
逆に、二次側流路２３の圧力が設定圧力よりも小さくなった場合には、バルブ機構３０の軸部３２にかかる下向きの力が上向きの力に打ち勝って、軸部３２が下方に変位し、バルブ機構３０の開度及びガスＧの流量が増加されて、結果、二次側流路２３の圧力が設定圧力となるように上昇される。
【００３８】
また、この整圧器１００には、二次側圧力室２０の過剰な圧力上昇を回避するべく、その過剰に上昇した圧力を均圧室１０に放出するリリーフ機構が設けられており、その具体的構成について説明を加える。
かかるリリーフ機構は、バルブ機構３０の軸部３２がダイヤフラム５０の中央部に形成された開口部５５を貫通する形態で配置され、更に、その軸部３２に設けられたリリーフ弁部３４が、受圧部５１の下面に対して下方側から当接するように構成されている。
更に、上記バルブ機構３０の軸部の均圧室１０側に上下方向に変位自在に設けられたリリーフばね調整部３６が設けられ、このリリーフ弁部３４を上記開口部５５側に付勢するためのリリーフばね部材３５が、このリリーフばね調整部３６と受圧部５１の上面との間に圧縮状態で介装されている。
【００３９】
よって、二次側流路２３の圧力が過剰に上昇すると、二次側圧力室２０の過剰な圧力上昇に伴って、先ずバルブ機構３０が全閉状態となった後に、二次側圧力室２０の圧力が上記リリーフばね部材３５の付勢力に押し勝って、リリーフ弁部３４に対してダイヤフラム５０の受圧部５１が更に上昇することで、上記開口部５５が開放され、二次側圧力室２０の過剰に上昇した圧力が均圧室１０側に放出されることになる。
尚、本実施形態では、上記リリーフ機構を設けた例について説明したが、別にこのリリーフ機構を省略しても構わない。
【００４０】
〔整圧器の処理方法〕
（第１処理方法）
先ず、上記のように構成された整圧器１００に対して使用前に実行される処理方法として、特に長期使用による気密性能の低下を抑制するための第１処理方法について説明する。
【００４１】
第１処理方法では、これまで説明してきた整圧器１００を組み立てた状態、即ち、ダイヤフラム５０の挟持部５２が上部ケーシング１と下部ケーシング２とのフランジ接続部３ａに圧縮状態で挟持された状態で、設定温度に加熱して一定時間保持する保持工程を実行する。
すると、挟持部５２の外表面が夫々のフランジ面１ａ，２ａに圧着された状態で若干塑性変形して良好に密着し、更には、上記挟持部５２の圧縮永久ひずみが小さいことから、その復元力の低下が極力抑制されているので、挟持部５２の夫々のフランジ面１ａ，２ａに対する密着性が一層向上され、結果、整圧器１００のフランジ接続部３ａにおける気密性能が向上される。
また、Ｏリング５６についても、上記挟持部５２と同様に、圧縮永久ひずみが小さい材料で形成すれば、フランジ接続部３ａにおける気密性能が一層向上される。
【００４２】
例えば、図３に示すように、上記保持工程における加熱温度を５０℃とした場合には、この保持工程を開始してからの保持時間を１５０時間程度以上とすることで、その気密性能が極めて向上する。一方、上記保持工程における加熱温度を９０℃とした場合には、上記のように５０℃とした場合と比較して、保持時間を１０時間程度以上と比較的短い保持時間で、その気密性能が極めて向上される。
尚、この保持工程において、整圧器１００を加熱せずに室温で保持した場合には、殆ど変化することなく、あえて言うなら、挟持部５２の圧縮永久ひずみや劣化等により徐々に低下する。
尚、図３において、整圧性能は、フランジ接続部３ａにおいて二次側圧力室２０から外部にガスが漏洩することができる二次側圧力室２０の上限界圧力として求められている。
【００４３】
したがって、組み立てた状態の整圧器１００に対して使用前に上記のような処理方法を実行することにより、その後長期にわたって使用しても、挟持部５２の夫々のフランジ面１ａ，２ａに対する密着性を良好なものとして気密性能の低下を抑制して良好な性能を確保することができる整圧器が製造される。
【００４４】
尚、この第１処理方法においては、上記整圧器１００の付勢機構がばね部材４０である必要はなく、例えば、均圧室１０の圧力を上昇させたり、ダイヤフラム５０の上面に重りを設けるなど、別の付勢機構を設けても構わない。
【００４５】
（第２処理方法）
次に、上記のように構成された整圧器１００に対して使用前に実行される処理方法として、特に長期使用による整圧性能の低下を抑制するための第２処理方法について説明する。
【００４６】
第２処理方法では、これまで説明してきた整圧器１００を組み立てた状態、即ち、ばね部材４０をバルブ機構３０の開度を増加させる方向に付勢すべく圧縮状態で本体ケーシング３内に設置した状態で、一定時間保持する保持工程を実行し、更に、この保持工程を実行した後に、ばね部材４０の付勢力を調整する調整工程を実行する。
【００４７】
即ち、上記保持工程では、ばね部材４０が圧縮状態で保持されることから、そのばね部材４０に比較的大きな初期へたりが発生し、その後の使用時にばね部材４０に発生するへたりが低減される。
そして、その保持工程の後に、上記調整工程において、ばね調整部４１の上下方向の位置を調整して、ばね部材４０の受圧部５１に対する付勢力を調整することで、その後長期にわたって使用しても、ばね部材４０に発生するへたりが低減されていることから、その調整した付勢力が良好に維持され、整圧性能の低下が抑制される。
【００４８】
例えば、ばね部材４０はへたりによりその付勢力が低下するのであるが、図４に示すように、そのばね部材４０の初期時に対する付勢力の低下量は、保持工程を開始してからの保持時間を２０年（約１７５２００時間）とした場合に０．３５Ｎ程度となるのに対して、保持時間を５００時間とした場合では０．１８Ｎ程度、保持時間を２０００時間とした場合では０．２５Ｎ程度となる。即ち、保持時間を５００時間程度、好ましくは２０００時間程度とすることで、そのばね部材４０の２０年間で発生するへたりの約半分程度を発生させることができ、その後の使用において、ばね部材４０に発生するへたりが低減される。
【００４９】
また、この第２処理方法における保持工程で、整圧器を設定温度に加熱すれば、上記ばね部材４０のへたりの発生状態はあまり変化しないものの、上述した第１処理方法と同様に、挟持部５２の夫々のフランジ面１ａ，２ａに対する密着性を向上させて、気密性能を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明に係る整圧器及びその処理方法は、長期にわたって使用しても、上記のような気密性能の低下や整圧性能の低下を抑制して、良好な性能を確保することができる整圧器及びその処理方法として有効に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る整圧器の概略構成図
【図２】整圧器の部分断面図
【図３】保持時間と気密性能の関係を示すグラフ図
【図４】保持時間とばね部材の付勢力の変化量との関係を示すグラフ図
【符号の説明】
【００５２】
１：上部ケーシング
２：下部ケーシング
３：本体ケーシング
３ａ：フランジ接続部
１０：均圧室
２０：二次側圧力室
２２：一次側流路
２３：二次側流路
３０：バルブ機構
４０：ばね部材（付勢手段）
５０：ダイヤフラム
５１：受圧部
５２：挟持部
１００：整圧器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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