(57)【要約】【課題】簡略な工程で、効率よくウエハを立て替えする装置を提供する。【解決手段】  複数のウエハ収納溝を有する送り側キャリア１２を載置する第１の載置台１と、送り側キャリア１２と同一形状の受け側キャリア１３を送り側キャリア１２と対向して載置する、第１の載置台１より高く、かつ送り側キャリア１２の上面より低い位置に形成された第２の載置台２と、第１の載置台１に載置されている送り側キャリア１２に収納されたウエハＷのうちの複数枚を第２の載置台２に載置されている受け側キャリア１３に向けて押し出して立て替える押出手段３とを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウエハ収納溝を有する送り側キャリアを載置する第１の載置台と、
前記送り側キャリアと同一形状の受け側キャリアを前記送り側キャリアと対向して載置する、前記第１の載置台より高く、かつ前記送り側キャリアの上面より低い位置に形成された第２の載置台と、
前記第１の載置台に載置されている送り側キャリアに収納されたウエハのうちの複数枚を前記第２の載置台に載置されている受け側キャリアに向けて押し出して立て替える押出手段と、を備えたことを特徴とするウエハ立替装置。
【請求項２】
前記押出手段は、前記第１の載置台上であって、前記送り側キャリアの後方に設けられた支柱部に前進後退自在に取り付けられた押出棒と、この押出棒の先端に取り付けられた垂直方向の押出板と、前記押出板を前記支柱方向に引き寄せて前記送り側キャリアに接触しない位置に保持する引張りばねとを備えたことを特徴とする請求項１記載のウエハ立替装置。
【請求項３】
前記送り側キャリアに収納されているウエハのうちの複数枚を分離して前記受け側キャリアに立て替えることを特徴とする請求項１または２記載のウエハ立替装置。
【請求項４】
前記送り側キャリアに収納されているウエハを、前記受け側キャリアに移し替えてこの受け側キャリアにウエハを統合することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のウエハ立替装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の製造工程において、一つのキャリアに収納したウエハを別のキャリアに立て替える（移し替える）際に使用するウエハ立替装置に関する。
に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程、特にウエハの製造工程では、ウエハに対し熱処理、エッチング、薄膜形成などの物理的あるいは化学的な種々の工程があり、これらの処理工程を経てウエハの表面に回路パターンが形成される。この処理工程の際には、複数枚のウエハをロットごとにキャリアに収納し、ウエハを収納した状態でこのキャリアを次工程に搬送している。しかし、ロットの分離、統合など、処理工程の途中でウエハを別のキャリアに立て替える必要がある。
【０００３】
このような立て替えには種々の場合が考えられる。例えば、立て替え元のキャリアと立て替え先のキャリアのピッチが同じ場合には、元のキャリア内のウエハを分離して別々のキャリアに立て替えるのか、あるいは逆に別々のキャリアから一つのキャリアに統合するのかなどによって、その都度、立替装置を使い分けなければならない。また、キャリアのピッチが異なる場合には、ウエハをバッチ処理できないため一枚ずつ立て替えなければならず、大掛かりな設備と時間を必要とする。
【０００４】
従来、ウエハのロットを一括収納したキャリアから取り出して移し替えるウエハ立替装置であって、コンピュータによりウエハ単位での自動認識を行うウエハ管理方法がある（例えば、特許文献１参照）。この装置では、チャック手段により１枚ずつウエハを吸着して移送アームにより移送している。
【０００５】
また、受け側キャリアを設置する載置台が、回転可能な多角柱の側面に形状の異なるキャリア固定ガイドを設けた載置面を有する構造となっているものもある（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
また、２個の載置台のそれぞれを独立に上下させるようにし、複数枚のウエハが収納された一方のキャリアと空の他方のキャリアをそれぞれの載置台に載置し、一方のキャリアを所定の高さ上昇させて空の他方のキャリアとの位置をずらし、ずらした残りのウエハを押し出し板によって一方のキャリアから空の他方のキャリアに一括して移し替えるようにしたウエハ移し替え装置もある（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平３−２９３０９号公報
【特許文献２】特開平４−３０７７５４号公報
【特許文献３】特開２００４−３５６４１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載されているウエハ立替装置では、ウエハを移載する手段がウエハを１枚ずつ吸着し移送するアーム移送であるため、複数のウエハを同時に移し替えできず、ウエハの移し替えに必要な時間は、移し替えるウエハ数に比例して長くなり、ウエハ移し替え作業に余分な時間を取られるとともに、コンピュータを使用して制御を行うので、複雑かつ高価な設備を必要とする。
【０００８】
また、特許文献２に記載されているウエハ立替装置は、移載元と移載先のキャリアの上下位置がそれぞれ固定され、また、対応するそれぞれのキャリアの溝同士も固定されているため、上下位置の異なる溝同士間のウエハ移載ができない。例えば、移載元キャリアの上から４、５、６番目の溝に収納したウエハを、移載先のキャリアの上から１、２、３番目の溝に移し替えることはできない。このように、一括移し替えはできるものの、ウエハ半数の移し替えはできないため、ロットの分離、統合ができず、ウエハ処理時間が必要以上に長くかかる。
【０００９】
さらに、特許文献３に記載されているウエハ移し替え装置は、キャリアの高さ調整をモータによる駆動機構により行うため、装置のコストおよび電力使用により運転コストも高くなる。ウエハを隙間無く詰めて入れるために、枚数によって高さ調整するので、枚数にあった番号のボタンを押すなど、作業が複雑である等の課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、
複数のウエハ収納溝を有する送り側キャリアを載置する第１の載置台と、
前記送り側キャリアと同一形状の受け側キャリアを前記送り側キャリアと対向して載置する、前記第１の載置台より高く、かつ前記送り側キャリアの上面より低い位置に形成された第２の載置台と、
前記第１の載置台に載置されている送り側キャリアに収納されたウエハのうちの複数枚を前記第２の載置台に載置されている受け側キャリアに向けて押し出して立て替える押出手段と、を備えたことを特徴とするウエハ立替装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、送り側キャリアと受け側キャリアを載置する第１の載置台と第２の載置台の高さの差を予め固定的に設定しているため、載置台を駆動するモータ等の動力伝達機構が不要なため、構成が簡略化されるとともに電力を使わないので、運転コストも低減される。さらに、キャリアをセットした後、押出手段を手で押すだけでウエハの立て替え（移載）が可能となり、ウエハ枚数にあった番号のボタンを押すなどの作業が不要となり、操作が簡単である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
図１は、本発明のウエハ立替装置の側面図、図２は、第１の載置台１および第２の載置台２上にキャリアを載置した、ウエハ分離前の側面図である。
【００１３】
図１に示すように、このウエハ立替装置は、下部に設置された第１の載置台１と、この第１の載置台１の前部（図１の右側）に支柱４を介して取り付けられた第２の載置台２と、第１の載置台１の後部（図１の左側）に取り付けられた押出部３とを備えている。この押出部３は、支柱部５に前後移動可能に支持されている押出棒６と、この押出棒６の後端に設けられた把手部６ａと、押出棒６の前端に固着された押出板７と、押出板７と支柱部５との間に連結された引張りばね８とを備えたものである。この引張りばね８は、ぜんまいばねまたは引張りコイルばねからなり、常時は支柱部５の近傍に押出板７が戻された状態にあるように弾性的に引き寄せている。
【００１４】
第１の載置台１には、前後に間隔をおいて位置決め部材１０が設けられ、第２の載置台２には、前後に間隔をおいて位置決め部材１１が設けられている。図２に示すように、第１の載置台１の位置決め部材１０上には送り側キャリア１２が載置され、第２の載置台２の位置決め部材上には受け側キャリア１３が載置される。これらキャリア１２，１３は同一形状のもので、内部にはウエハＷを収納する複数のウエハ収納溝（図示せず）を有し、上部にはキャリア把手１２ａ，１３ａを有している。
【００１５】
押出板７の上下方向の長さＬは、キャリア１２，１３の総ピッチの約半分の長さであり、かつ、第１の載置台１の上面から押出板７の上端までの高さＨは、キャリア１２内の溝にセットされたウエハＷの最上段のものを含む上半分のものを押すことができる高さとなっている。また、第１の載置台１の上面と第２の載置台２の上面との間の高さｈは、各キャリア１２，１３の総ピッチの約半分の高さであり、かつ、図２に示すように、送り側キャリア１２の中央部のウエハ収納溝と受け側キャリア１３の下端部のウエハ収納溝とが同一平面１４にくる高さに設定されている。
図３および図４は、それぞれウエハ分離中および分離後の側面図である。
【００１６】
次に、図２〜図４により、送り側キャリア１２に収納されたウエハＷを、受け側キャリア１３に収納する分離動作を説明する。
【００１７】
図２において、押出板７は、引張りばね８により支柱部５の近傍に戻された状態にある。この状態で、第１の載置台１の上面に送り側キャリア１２、第２の載置台２の上面に受け側キャリア１３を各々セットする。ここでは説明の簡略化のため、送り側キャリア１２には１４枚のウエハＷが満杯に収納されており、また、受け側キャリア１３にはウエハ収納はなく空の状態とする。
【００１８】
図３に示すように、把手部６ａを持って、キャリアの方向に押すことにより、押出棒６を介して押出板７が送り側キャリア１２内のウエハＷのうち上半分の７枚に接触し、この７枚のウエハを受け側キャリア１３方向に平行移動させ、受け側キャリア１３内のウエハ収納溝に７枚のウエハＷｂを収納させる。送り側キャリア１２には下半分の７枚のウエハＷａが残る。
【００１９】
図４に示すように、把手部６ａから手の力を抜くと、押出板７は引張りばね８により元の位置に戻る。押出板７は送り側キャリア１２に接触しない位置に後退しているので、送り側キャリア１２と接触して傷をつけたりするおそれがなくなる。以上が、ウエハ立替装置による分離動作である。
【００２０】
次に、図５〜図７を用いて、送り側キャリア１２に収納された半数のウエハを受け側キャリア１３の半数のウエハ収納溝に収納する統合動作を説明する。
【００２１】
図５において、第１の載置台１の上面に送り側キャリア１２、第２の載置台２の上面に受け側キャリア１３を各々セットする。ここでは説明の簡略化のため、送り側キャリア１２には７枚のウエハＷｃがウエハ収納溝の上半部分に詰めて収納されており、また、受け側キャリア１３には７枚のウエハＷｄが上半部分のウエハ収納溝に詰めて収納されている状態とする。
【００２２】
把手部６ａを持って、送り側キャリア１２の方向に押すことにより、図６に示すように押出棒６を介して押出板７が送り側キャリア１２の７枚のウエハＷｃに接触し、これを受け側キャリア１３の方向に平行移動させ、受け側キャリア１３内の各ウエハ収納溝にウエハＷｃを収納させる。図７に示すように、把手部６ａから手の力を抜くと、押出板７は、引張りばね８により元の位置に戻る。以上が、ウエハ立替装置による統合動作である。
【００２３】
上記の説明では、ウエハを半分ずつ分離または統合する例を示したが、受け側キャリア２の高さｈ、あるいは押出板７の長さＬにより、一度に立て替える枚数は任意に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施形態に係わるウエハ立替装置の側面図である。
【図２】載置台上にキャリアを載置した、ウエハ分離前の側面図である。
【図３】ウエハ分離中の側面図である。
【図４】ウエハ分離後の側面図である。
【図５】ウエハ統合前の側面図である。
【図６】ウエハ統合中の側面図である。
【図７】ウエハ統合後の側面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  第１の載置台
２  第２の載置台
３  押出部（押出手段）
４  支柱
６  押出棒
７  押出板
８  引張りばね
１２  送り側キャリア
１３  受け側キャリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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