(57)【要約】【課題】  所望の波長を効率良く出力することができるとともに所望の波長光の光強度を変化させることができるレーザ装置、レーザ装置の制御装置、レーザ装置の制御方法、レーザ装置の制御データ、レーザ制御方法および波長切換方法を提供する。【解決手段】  レーザ装置１００は、光増幅器（１１）、透過波長範囲が可変である波長選択手段（１４）およびミラー（１５）を備える共振器（１０）と、波長選択手段（１４）の透過波長範囲が所定の範囲に変化するように波長選択手段（１４）を制御する制御手段（５０）とを備え、制御手段（５０）は、共振器（１０）が所望の発振波長を出力するように波長選択手段（１４）を制御した後、共振器（１０）が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段（１４）を制御する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光増幅器、透過波長範囲が可変である波長選択手段およびミラーを備える共振器と、
前記波長選択手段の透過波長範囲が所定の範囲に変化するように前記波長選択手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記共振器が所望の発振波長を出力するように前記波長選択手段を制御した後、前記共振器が前記所望の発振波長を出力しつつ前記所望の発振波長の光強度が所定の値になるように前記波長選択手段を制御することを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
前記波長選択手段は、与えられる電気信号に応じて入射光に対する屈折率が可変である第１のエタロンであることを特徴とする請求項１記載のレーザ装置。
【請求項３】
前記共振器は、前記波長選択手段の透過波長範囲内に周期的な複数の透過波長範囲を有する第２のエタロンをさらに備え、
前記所望の発振波長は、前記第２のエタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つに含まれることを特徴とする請求項１または２記載のレーザ装置。
【請求項４】
周期的に複数の透過波長範囲を有する第３のエタロンと、
前記第３のエタロンを透過した光の光強度を検知する光検知手段をさらに備え、
前記共振器から出力される光は前記第３のエタロンに入射され、
前記制御手段は、前記光検知手段の検知結果に基づいて、前記共振器が前記所望の波長光を出力するように前記波長選択手段を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のレーザ装置。
【請求項５】
光増幅器、透過波長範囲が可変である波長選択手段およびミラーを備える共振器と、
前記透過波長範囲が所定の範囲に変化するように前記波長選択手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記共振器の発振波長が前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側の波長になるように前記波長選択手段を制御することを特徴とするレーザ装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において前記共振器が所望の発振波長を出力するように前記波長選択手段を制御した後、前記共振器が前記所望の発振波長を出力しかつ前記共振器の出力光強度が所望の光強度になるように前記波長選択手段を制御することを特徴とする請求項５記載のレーザ装置。
【請求項７】
前記波長選択手段は、与えられる電気信号に応じて入射光に対する屈折率が可変である第１のエタロンであることを特徴とする請求項６記載のレーザ装置。
【請求項８】
前記共振器は、前記波長選択手段の透過波長範囲内に周期的な複数の透過波長範囲を有する第２のエタロンをさらに備え、
前記所望の発振波長は、前記第２のエタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つに含まれることを特徴とする請求項６または７記載のレーザ装置。
【請求項９】
周期的に複数の透過波長範囲を有する第３のエタロンと、
前記第３のエタロンを透過した光の光強度を検知する光検知手段をさらに備え、
前記共振器から出力される光は前記第３のエタロンに入射され、
前記制御手段は、前記光検知手段の検知結果に基づいて、前記共振器が前記所望の波長光を出力するように前記波長選択手段を制御することを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載のレーザ装置。
【請求項１０】
透過波長範囲が可変である波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器を備えるレーザ装置を制御するレーザ装置の制御装置であって、
前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において前記共振器の発振波長の光強度が所定の値になるように前記波長選択手段を制御することを特徴とするレーザ装置の制御装置。
【請求項１１】
前記共振器は、前記共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、
前記共振器を共振する光の位相を前記位相調整手段によりさらに制御することを特徴とする請求項１０記載のレーザ装置の制御装置。
【請求項１２】
前記レーザ装置は、前記共振器の温度を制御する温度制御装置をさらに備え、
前記温度制御装置により前記共振器の温度をさらに制御することを特徴とする請求項１０または１１記載のレーザ装置の制御装置。
【請求項１３】
前記レーザ装置は、前記共振器から出力される光の外部への出力を制御する外部出力制御手段をさらに備え、
前記波長選択手段は、複数の透過波長範囲を有し、
前記波長選択手段の透過波長範囲を切り替える際に、前記共振器から出力される光の外部への出力が停止するように前記外部出力制御手段をさらに制御することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載のレーザ装置の制御装置。
【請求項１４】
透過波長範囲が可変である波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器を備えたレーザ装置の制御方法であって、
前記共振器の発振波長が前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側の波長になるように前記波長選択手段を制御する第１のステップと、
前記第１のステップの後に、前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において前記共振器が所望の発振波長を出力しつつ前記所望の発振波長の光強度が所定の値になるように前記波長選択手段を制御する第２のステップとを含むことを特徴とするレーザ装置の制御方法。
【請求項１５】
前記レーザ装置は、周期的に複数の透過波長範囲を有するエタロンをさらに備え、
前記第１のステップは、前記波長選択手段の透過波長範囲が前記エタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つと重複するように前記波長選択手段の透過波長範囲を設定することにより、前記共振器から所望の波長光を出力させるステップであることを特徴とする請求項１４記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項１６】
前記レーザ装置は、前記共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、
前記第１のステップは、前記共振器を共振する光の位相を前記位相調整手段により調整することによって前記共振器から所望の波長光を出力させるステップであることを特徴とする請求項１４記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項１７】
前記第２のステップの後に、前記共振器が前記所望の波長光を出力し、かつ、前記所望の波長光の光強度が所定値になるように前記光増幅器の出力強度を変化させる第３のステップをさらに含むことを特徴とする請求項１４〜１６のいずれかに記載のレーザ装置の制御方法。
【請求項１８】
透過波長範囲が可変である波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器と、前記共振器から出力される光の外部への出力を制御する外部出力制御手段とを備えたレーザ装置の波長切換方法であって、
前記共振器の発振波長が前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側である第１の範囲の波長になるように前記波長選択手段を制御する第１のステップと、
前記第１のステップの後に、前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において前記共振器が所望の発振波長を出力しつつ前記所望の発振波長の光強度が所定の値になるように前記波長選択手段を制御する第２のステップと、
前記共振器から出力される光の外部への出力が停止するように前記外部出力制御手段を制御する第３のステップと、
前記共振器の発振波長が前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側である第２の範囲の波長になるように前記波長選択手段を制御する第４のステップと、
前記第４のステップの後に、前記透過波長範囲のピーク波長または前記透過波長範囲内かつ前記透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において前記共振器が所望の発振波長を出力しつつ前記所望の発振波長の光強度が所定の値になるように前記波長選択手段を制御する第５のステップとを含むことを特徴とするレーザ装置の波長切換方法。
【請求項１９】
前記レーザ装置は、周期的に複数の透過波長範囲を有するエタロンをさらに備え、
前記第１のステップは、前記波長選択手段の透過波長範囲が前記第２のエタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つと重複するように前記波長選択手段の透過波長範囲を設定することにより、前記共振器から所望の波長光を出力させるステップであることを特徴とする請求項１８記載のレーザ装置の波長切換方法。
【請求項２０】
前記レーザ装置は、前記共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、
前記第１のステップは、前記共振器を共振する光の位相を前記位相調整手段により調整することによって前記共振器から所望の波長光を出力させるステップであることを特徴とする請求項１８記載のレーザ装置の波長切換方法。
【請求項２１】
前記第３のステップの後に、前記共振器が前記所望の波長光を出力し、かつ、前記所望の波長光の光強度が所定値になるように前記光増幅器の出力強度を変化させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１８〜２０のいずれかに記載のレーザ装置の波長切換方法。
【請求項２２】
透過波長範囲が変化する波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器と、前記波長選択手段の透過波長範囲を制御する制御手段とを備えたレーザ装置が所望の発振波長を出力するように前記制御手段が前記波長選択手段を制御するために用いる第１の制御値と、
前記レーザ装置が所望の発振波長を出力した後に、前記共振器が前記所望の発振波長を出力しつつ前記所望の発振波長の光強度が所定の値になるように前記制御手段が前記波長選択手段を制御するための第１の目標値とを含むことを特徴とするレーザ装置の制御データ。
【請求項２３】
前記波長選択手段の透過波長範囲は複数あり、
前記第１の制御値および前記第１の目標値は、前記波長選択手段の透過波長範囲ごとに設定されていることを特徴とする請求項２２記載のレーザ装置の制御データ。
【請求項２４】
前記レーザ装置は前記レーザ装置の温度を所定の値に保持するための温度制御装置をさらに備え、前記制御手段は前記温度制御装置の温度を制御し、
前記制御手段が前記温度制御装置の温度を制御するために用いる第２の制御値をさらに含むことを特徴とする請求項２２または２３記載のレーザ装置の制御データ。
【請求項２５】
前記レーザ装置は前記共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、
前記制御手段が前記位相調整手段を制御するために用いる第２の目標値をさらに含むことを特徴とする請求項２２〜２４のいずれかに記載のレーザ装置の制御データ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ装置、レーザ装置の制御装置、レーザ装置の制御方法、レーザ装置の波長切換方法およびレーザ装置の制御データに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体レーザを応用した情報処理機器等が開発されている。この半導体レーザには、波長の可変性、安定性等の高品質な特性が要求される。そこで、外部共振器系に、透過波長を制御することができる波長可変手段を備える外部共振器付波長可変レーザが開発されている（例えば、非特許文献１参照）。この外部共振器付波長可変レーザは、グレーティングによって特定の波長の光をゲイン媒体（レーザダイオード）へ反射させる。これにより、発振波長が可変となる。
【０００３】
【非特許文献１】Ｂｒｏａｄ−Ｂａｎｄ  Ｔｕｎａｂｌｅ  Ｔｗｏ−Ｓｅｃｔｉｏｎ  Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ  ｗｉｔｈ  Ｅｘｔｅｒｎａｌ  Ｇｒａｔｉｎｇ  Ｆｅｅｄｂａｃｋ（ＩＥＥＥ  ＰＨＯＴＯＮＩＣＳ  ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ  ＬＥＴＴＥＲＳ，ＶＯＬ．２，ＮＯ．２，ＦＥＢＲＵＡＲＹ  １９９０  Ｐ８５〜Ｐ８７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記外部共振器付波長可変レーザは、所望のレーザ発振を行うためには、波長可変手段の最適な制御を行う必要がある。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、所望のレーザ発振を安定的に行うことができるレーザ装置、レーザ装置の制御装置、レーザ装置の制御方法、レーザ装置の制御データ、レーザ制御方法および波長切換方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るレーザ装置は、光増幅器、透過波長範囲が可変である波長選択手段およびミラーを備える共振器と、波長選択手段の透過波長範囲が所定の範囲に変化するように波長選択手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は、共振器が所望の発振波長を出力するように波長選択手段を制御した後、共振器が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段を制御することを特徴とするものである。
【０００６】
本発明に係るレーザ装置においては、波長選択手段の透過波長範囲の波長光が共振器において共振し、共振器が所望の発振波長を出力するように制御手段により波長選択手段が制御され、その後、共振器が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段の透過波長範囲が制御手段により制御される。したがって、所望の波長になるように出力光の波長を効率よく調整することができるとともに、出力光の光強度を変化させることができる。その結果、所望のレーザ発振を安定的に行うことができる。
【０００７】
波長選択手段は、与えられる電気信号に応じて入射光に対する屈折率が可変である第１のエタロンであってもよい。この場合、第１のエタロンに与える電気信号を制御することにより、共振器において共振する光の波長を制御することができる。
【０００８】
共振器は、波長選択手段の透過波長範囲内に周期的な複数の透過波長範囲を有する第２のエタロンをさらに備え、所望の発振波長は、第２のエタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つに含まれていてもよい。この場合、波長選択手段の透過波長範囲と第２のエタロンの透過波長範囲とが重複する波長範囲の光が出力される。したがって、本発明に係るレーザ装置は、所望の波長を選択することができる。
【０００９】
周期的に複数の透過波長範囲を有する第３のエタロンと、第３のエタロンを透過した光の光強度を検知する光検知手段をさらに備え、共振器から出力される光は第３のエタロンに入射され、制御手段は、光検知手段の検知結果に基づいて、共振器が所望の波長光を出力するように波長選択手段を制御してもよい。この場合、共振器から出力される光の波長と第３のエタロンを透過した光の光強度とが所定の対応関係を有するようになる。したがって、光検知手段により検知される光強度に基づいて波長選択手段の透過波長範囲を制御することができる。
【００１０】
本発明に係る他のレーザ装置は、光増幅器、透過波長範囲が可変である波長選択手段およびミラーを備える共振器と、透過波長範囲が所定の範囲に変化するように波長選択手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は、共振器の発振波長が透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側の波長になるように波長選択手段を制御することを特徴とするものである。
【００１１】
本発明に係るレーザ装置においては、波長選択手段の透過波長範囲の波長光が共振器において共振し、共振器が所望の発振波長を出力するように制御手段により波長選択手段が制御され、共振器の発振波長が透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側の波長になるように波長選択手段の透過波長範囲が制御手段により制御される。この場合、ピーク波長よりも長波長側の光透過度が低下することから、ピーク波長よりも長波長側の不所望な発振波長の出力が防止される。また、光増幅器のゲインは発振波長の短波長側において小さくなることから、ピーク波長よりも短波長側の不所望な発振波長の出力が防止される。したがって、本発明に係るレーザ装置は、所望の発振波長を安定的に出力することができる。
【００１２】
制御手段は、透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において共振器が所望の発振波長を出力するように波長選択手段を制御した後、共振器が所望の発振波長を出力しかつ共振器の出力光強度が所望の光強度になるように波長選択手段を制御してもよい。この場合、本発明に係るレーザ装置は、発振波長を所望の波長に維持しつつ、出力光強度を所望の光強度に制御することができる。
【００１３】
波長選択手段は、与えられる電気信号に応じて入射光に対する屈折率が可変である第１のエタロンであってもよい。この場合、第１のエタロンに与える電気信号を制御することにより、共振器において共振する光の波長を制御することができる。
【００１４】
共振器は、波長選択手段の透過波長範囲内に周期的な複数の透過波長範囲を有する第２のエタロンをさらに備え、所望の発振波長は、第２のエタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つに含まれていてもよい。この場合、波長選択手段の透過波長範囲と第２のエタロンの透過波長範囲とが重複する波長範囲の光が出力される。したがって、本発明に係るレーザ装置は、所望の波長を選択することができる。
【００１５】
周期的に複数の透過波長範囲を有する第３のエタロンと、第３のエタロンを透過した光の光強度を検知する光検知手段をさらに備え、共振器から出力される光は第３のエタロンに入射され、制御手段は、光検知手段の検知結果に基づいて、共振器が所望の波長光を出力するように波長選択手段を制御してもよい。この場合、共振器から出力される光の波長と第３のエタロンを透過した光の光強度とが所定の対応関係を有するようになる。したがって、光検知手段により検知される光強度に基づいて波長選択手段の透過波長範囲を制御することができる。
【００１６】
本発明に係るレーザ装置の制御装置は、透過波長範囲が可変である波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器を備えるレーザ装置を制御するレーザ装置の制御装置であって、透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において共振器の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段を制御することを特徴とするものである。この場合、ピーク波長よりも長波長側の光透過度が低下することから、ピーク波長よりも長波長側の不所望な発振波長の出力が防止される。また、光増幅器のゲインは発振波長の短波長側において小さくなることから、ピーク波長よりも短波長側の不所望な発振波長の出力が防止される。したがって、本発明に係るレーザ装置の制御装置は、所望の波長になるようにレーザ装置の出力光の波長を効率よく調整することができるとともに、レーザ装置の出力光の光強度を変化させることができる。その結果、所望のレーザ発振を安定的に行うことができる。
【００１７】
共振器は、共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、共振器を共振する光の位相を位相調整手段によりさらに制御してもよい。この場合、位相調整手段により、共振器を共振する光の波長を調整することができる。したがって、所望の波長を選択することができる。
【００１８】
レーザ装置は、共振器の温度を制御する温度制御装置をさらに備え、温度制御装置により共振器の温度をさらに制御してもよい。この場合、温度制御装置により共振器の温度を一定に保持することができる。それにより、共振器を共振する光の波長を所定の波長に維持することができる。
【００１９】
レーザ装置は、共振器から出力される光の外部への出力を制御する外部出力制御手段をさらに備え、波長選択手段は複数の透過波長範囲を有し、波長選択手段の透過波長範囲を切り替える際に、共振器から出力される光の外部への出力が停止するように外部出力制御手段をさらに制御してもよい。この場合、波長選択手段の透過波長範囲が切り替わる際には本発明に係るレーザ装置から外部への光出力が停止される。したがって、不安定な光の外部出力を防止することができる。
【００２０】
本発明に係るレーザ装置の制御方法は、透過波長範囲が可変である波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器を備えたレーザ装置の制御方法であって、共振器の発振波長が透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側の波長になるように波長選択手段を制御する第１のステップと、第１のステップの後に透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において共振器が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段を制御する第２のステップとを含むことを特徴とするものである。
【００２１】
本発明に係るレーザ装置の制御方法においては、共振器の発振波長が透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側の波長になるように波長選択手段が制御され、共振器により所望の波長光が出力されつつ所望の波長光の光強度が変化するように波長選択手段の透過波長範囲が変化する。この場合、ピーク波長よりも長波長側の光透過度が低下することから、ピーク波長よりも長波長側の不所望な発振波長の出力が防止される。また、光増幅器のゲインは発振波長の短波長側において小さくなることから、ピーク波長よりも短波長側の不所望な発振波長の出力が防止される。したがって、所望の波長になるようにレーザ装置の出力光の波長を効率よく調整することができるとともに、レーザ装置の出力光の光強度を変化させることができる。その結果、所望のレーザ発振を安定的に行うことができる。
【００２２】
レーザ装置は、周期的に複数の透過波長範囲を有するエタロンをさらに備え、第１のステップは、波長選択手段の透過波長範囲がエタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つと重複するように波長選択手段の透過波長範囲を設定することにより共振器から所望の波長光を出力させるステップであってもよい。この場合、波長選択手段の透過波長範囲とエタロンの透過波長範囲とが重複する波長範囲の光が出力される。したがって、本発明に係るレーザ装置は、所望の波長を選択することができる。
【００２３】
レーザ装置は、共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、第１のステップは、共振器を共振する光の位相を位相調整手段により調整することによって共振器から所望の波長光を出力させるステップであってもよい。この場合、位相調整手段により、共振器を共振する光の波長を調整することができる。したがって、所望の波長を選択することができる。
【００２４】
第２のステップの後に、共振器が所望の波長光を出力し、かつ、所望の波長光の光強度が所定値になるように光増幅器の出力強度を変化させる第３のステップをさらに含んでいてもよい。この場合、本発明に係るレーザ装置は、所望の光強度の光を出力することができる。
【００２５】
本発明に係るレーザ装置の波長切換方法は、透過波長範囲が可変である波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器と、共振器から出力される光の外部への出力を制御する外部出力制御手段とを備えたレーザ装置の波長切換方法であって、共振器の発振波長が透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側である第１の範囲の波長になるように波長選択手段を制御する第１のステップと、第１のステップの後に、透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において共振器が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段を制御する第２のステップと、共振器から出力される光の外部への出力が停止するように外部出力制御手段を制御する第３のステップと、共振器の発振波長が透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側の波長である第２の範囲の波長になるように波長選択手段を制御する第４のステップと、第４のステップの後に、透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において共振器が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段を制御する第５のステップとを含むことを特徴とするものである。
【００２６】
本発明に係るレーザ装置の波長切換方法においては、共振器の発振波長が透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側である第１の範囲の波長になるように波長選択手段が制御され、その後、透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において共振器が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段が制御され、共振器から出力される光の外部への出力が停止するように外部出力制御手段が制御され、共振器の発振波長が透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側である第１の範囲の波長になるように波長選択手段が制御され、その後、透過波長範囲のピーク波長または透過波長範囲内かつ透過波長範囲のピーク波長よりも長波長側において共振器が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように波長選択手段が制御される。この場合、波長選択手段の透過波長範囲が切り替わる際にはレーザ装置の外部への光出力が停止される。したがって、不安定な光の外部出力を防止することができる。また、所望の波長になるようにレーザ装置の出力光の波長を効率よく調整することができるとともに、レーザ装置の出力光の光強度を変化させることができる。その結果、所望のレーザ発振を安定的に行うことができる。
【００２７】
レーザ装置は、周期的に複数の透過波長範囲を有するエタロンをさらに備え、第１のステップは、波長選択手段の透過波長範囲が第２のエタロンの複数の透過波長範囲のいずれか１つと重複するように波長選択手段の透過波長範囲を設定することにより、共振器から所望の波長光を出力させるステップであってもよい。この場合、波長選択手段の透過波長範囲とエタロンの透過波長範囲とが重複する波長範囲の光が出力される。したがって、本発明に係るレーザ装置は、所望の波長を選択することができる。
【００２８】
レーザ装置は、共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、第１のステップは、共振器を共振する光の位相を位相調整手段により調整することによって共振器から所望の波長光を出力させるステップであってもよい。この場合、位相調整手段により、共振器を共振する光の波長を調整することができる。したがって、所望の波長を選択することができる。
【００２９】
第３のステップの後に、共振器が所望の波長光を出力し、かつ、所望の波長光の光強度が所定値になるように光増幅器の出力強度を変化させるステップをさらに含んでいてもよい。この場合、本発明に係るレーザ装置は、所望の光強度の光を出力することができる。
【００３０】
本発明に係るレーザ装置の制御データは、透過波長範囲が変化する波長選択手段が光増幅器とミラーとの間に設けられた共振器と、波長選択手段の透過波長範囲を制御する制御手段とを備えたレーザ装置が所望の発振波長を出力するように制御手段が波長選択手段を制御するために用いる第１の制御値と、レーザ装置が所望の発振波長を出力した後に、共振器が所望の発振波長を出力しつつ所望の発振波長の光強度が所定の値になるように制御手段が波長選択手段を制御するための第１の目標値とを含むことを特徴とするものである。
【００３１】
本発明に係るレーザ装置においては、共振器により波長選択手段の透過波長範囲の波長光が共振し、共振器が所望の波長光を出力するように第１の制御値に基づいて制御手段により波長選択手段が制御され、その後、共振器が所望の波長光を出力しかつ所望の波長光の光強度が変化するように第１の目標値に基づいて波長選択手段の透過波長範囲が制御手段により制御される。したがって、所望の波長になるように出力光の波長を効率よく調整することができるとともに、出力光の光強度を変化させることができる。その結果、所望のレーザ発振を安定的に行うことができる。
【００３２】
波長選択手段の透過波長範囲は複数あり、第１の制御値および第１の目標値は、波長選択手段の透過波長範囲ごとに設定されていてもよい。この場合、波長選択手段の透過波長範囲ごとに出力光の波長を調整することができるとともに、出力光の光強度を変化させることができる。
【００３３】
レーザ装置はレーザ装置の温度を所定の値に保持するための温度制御装置をさらに備え、制御手段は温度制御装置の温度を制御し、制御手段が温度制御装置の温度を制御するために用いる第２の制御値をさらに含んでいてもよい。この場合、第３の制御値に基づいて、レーザ装置の温度が所定の温度になるように温度制御装置により制御される。したがって、レーザ装置の出力光が安定化する。
【００３４】
レーザ装置は共振器を共振する光の位相を調整する位相調整手段をさらに備え、制御手段が位相調整手段を制御するために用いる第２の目標値をさらに含んでいてもよい。この場合、第２の目標値に基づいて位相調整手段により共振光の位相が調整されることによって共振光の波長を調整することができる。したがって、出力光の波長選択精度がさらに向上する。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、所望の波長になるように出力光の波長を効率よく調整することができるとともに、出力光の光強度を変化させることができる。その結果、所望のレーザ発振を安定的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【実施例１】
【００３７】
図１は、第１実施例に係るレーザ装置１００の全体構成を示す模式図である。図１に示すように、レーザ装置１００は、外部共振器部１０、出力部２０、波長モニタ部３０、温度制御装置４０および制御部５０を備える。
【００３８】
外部共振器部１０は、半導体光増幅器１１、位相調整器１２、固定エタロン１３、液晶エタロン１４およびミラー１５を含む。位相調整器１２は、半導体光増幅器１１の後部に固定されている。固定エタロン１３、液晶エタロン１４およびミラー１５は、半導体光増幅器１１および位相調整器１２の後方に順に配置されている。
【００３９】
半導体光増幅器１１は、制御部５０の指示に従って、所定の有効波長帯域を有する入力光にゲインを与えてレーザ光を出力する。半導体光増幅器１１の前部にはミラー１６が設けられている。位相調整器１２の屈折率は、制御部５０から与えられる電気信号に応じて変化する。位相調整器１２の屈折率が変化すると、外部共振器部１０の縦モードの位相が変化する。位相調整器１２を透過した透過光は、固定エタロン１３に入射される。
【００４０】
固定エタロン１３は、所定の波長周期で光を透過するバンドパスフィルタからなる。それにより、固定エタロン１３に入射された光は、所定のピークを有する光となって固定エタロン１３から液晶エタロン１４に対して射出される。また、固定エタロン１３は、半導体光増幅器１１からの光に対して傾斜するように配置されている。本実施例においては、固定エタロン１３は、８８チャネル以上のエタロンピークを有する。以下、エタロンが透過光に与える波長ピークのことをエタロンピークと呼ぶ。なお、固定エタロンとは、入射光に対する屈折率が一定であるエタロンのことをいう。
【００４１】
液晶エタロン１４は、所定の波長周期で光を透過する液晶型バンドパスフィルタからなる。液晶エタロン１４の屈折率は、制御部５０から印加される電圧に応じて変化する。液晶エタロン１４のエタロンピークの位相は、液晶エタロン１４の屈折率が変化することにより変化する。また、液晶エタロン１４は、半導体光増幅１１からの光に対して傾斜するように配置されている。ミラー１５は、液晶エタロン１４を透過する光を反射する。ミラー１５は、入射光の一部を反射する一部反射ミラーであってもよく、全反射ミラーであってもよい。
【００４２】
半導体光増幅器１１により増幅された光は、半導体光増幅器１１のミラー１６により反射され、位相調整器１２、固定エタロン１３および液晶エタロン１４を透過してミラー１５に入射される。ミラー１５に入射される光は、ミラー１５により反射され、液晶エタロン１４、固定エタロン１３および位相調整器１２を透過し、半導体光増幅器１１のミラー１６により反射される。このように、半導体光増幅器１１により増幅された光は、ミラー１５とミラー１６との間で共振し、外部共振器部１０の外部に出力される。
【００４３】
出力部２０は、ビームスプリッタ２１およびシャッタ２２を含む。ビームスプリッタ２１は、外部共振器部１０から与えられた光の一部を透過してシャッタ２２に与えるとともに、外部共振器部１０から与えられた光の一部を反射して波長モニタ部３０に与える。シャッタ２２は、制御部５０の指示に従って、ビームスプリッタ２１から与えられた光の外部への出力を制御する。それにより、レーザ装置１００が出力する光の波長、出力パワー、位相等の調整を行う際に不安定な光の外部出力を停止することができる。
【００４４】
波長モニタ部３０は、ビームスプリッタ３１、ロッカ用エタロン３２および光検知素子３３，３４，３５を含む。ビームスプリッタ３１は、ビームスプリッタ２１から与えられた光の一部を透過してロッカ用エタロン３２に与えるとともに、ビームスプリッタ２１から与えられた光の一部を反射して光検知素子３４に与える。ロッカ用エタロン３２に与えられた光は、所定の周期の波長ピークを有する光となって光検知素子３３に与えられる。
【００４５】
光検知素子３３は、ロッカ用エタロン３２から与えられた光の光強度を測定し、制御部５０に測定結果を与える。光検知素子３４は、ビームスプリッタ３１から与えられた光の光強度を測定し、制御部５０に測定結果を与える。また、液晶エタロン１４が半導体光増幅器１１からの光に対して傾斜していることから、ミラー１５により反射される光の一部は、液晶エタロン１４により反射される。光検知素子３５は、液晶エタロン１４により反射される光の光路上に配置されている。光検知素子３５は、液晶エタロン１４により反射される光の光強度を測定し、制御部５０に測定結果を与える。
【００４６】
外部共振器部１０、出力部２０および波長モニタ部３０は、温度制御装置４０上に配置されている。温度制御装置４０は、制御部５０の指示に従って、一定の温度を保持する。それにより、外部共振器部１０、出力部２０および波長モニタ部３０の温度が一定に保持され、レーザ装置１００から出力される光の波長が安定化する。また、温度制御装置４０は、内部に温度センサ（図示せず）を備える。この温度センサは、温度制御装置４０の温度を制御部５０に与える。なお、温度制御装置４０の温度を制御することにより、液晶エタロン１４およびロッカ用エタロン３２のエタロンピークを調整することもできる。
【００４７】
制御部５０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）等から構成される。制御部５０のＲＯＭには、レーザ装置１００の制御データ２００が格納されている。制御部５０は、制御データ２００に基づいて、半導体光増幅器１１、位相調整器１２、液晶エタロン１４、光検知素子３３，３４，３５、シャッタ２２および温度制御装置４０の制御を行う。
【００４８】
次に、レーザ装置１００の制御データ２００について説明する。図２は、レーザ装置１００の制御データ２００を説明する図である。図２（ａ）は制御データ２００のテーブルを示し、図２（ｂ）は制御データ２００が格納される記録媒体を示し、図２（ｃ）は制御データ２００が利用者に送信される様子を示す図である。
【００４９】
図２（ａ）に示すように、制御データ２００は、初期データ２００ａおよび目標データ２００ｂを含む。初期データ２００ａは、温度制御装置４０が所定の温度である場合における半導体光増幅器１１の制御電流値、位相調整器１２の制御電気信号、液晶エタロン１４の制御電圧値、光検知素子３３，３４，３５のターゲット電流値および温度制御装置４０の温度を含む。目標データ２００ｂは、目標値１，２を含む。それぞれの電圧値、電流値および目標値１，２は、固定エタロン１３の各チャネルごとに設定されている。目標値１はレーザ装置１００の目標出力光強度であり、目標値２はレーザ装置１０００の出力光の目標位相である。
【００５０】
初期データ２００ａは、図１の制御部５０が半導体光増幅器１１、位相調整器１２および液晶エタロン１４の初期化を行う際に用いられる。このように、あらかじめ設定されている制御データ２００に基づいてレーザ装置１００の出力光の初期化を行うことができる。また、目標データ２００ｂの目標値１，２は、レーザ装置１００の出力光の初期化後に制御部５０がレーザ装置１００の出力光強度および位相を制御する際に用いられる。
【００５１】
次に、制御データ２００の作成方法について説明する。まず、温度制御装置４０の温度が所定の温度になるように、制御部５０により温度制御装置４０を制御する。次いで、ビームスプリッタ２１から出力されるレーザ光のピーク波長および光強度が所定の値になるように、制御部５０により外部共振器部１０および波長モニタ部３０を制御する。この場合の半導体光増幅器１１の制御電流値、位相調整器１２の制御電気信号、液晶エタロン１４の制御電圧値、光検知素子３３，３４，３５のターゲット電流値および温度制御装置４０のサーミスタによる検知結果を制御部５０のＲＯＭに記録する。また、レーザ装置１００の目標出力光強度およびレーザ装置１００の出力光の目標位相を制御部５０のＲＯＭに記録する。以上の作業を固定エタロン１３の各チャネルごとに行う。以上の作業により、制御データ２００が作成される。
【００５２】
また、図２（ｂ）に示すように、制御データ２００は、記録媒体２０１に格納されている。記録媒体２０１としては、半導体メモリ、磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体を用いることができる。制御部５０は、記録媒体２０１に格納されている制御データ２００を用いて、レーザ装置１００が出力する光の波長の制御を行う。また、図２（ｃ）に示すように、制御データ２００は、インターネット２０２等の電子的送信手段により利用者があらかじめ準備する記録媒体に記録される。
【００５３】
次に、レーザ装置１００の制御方法について説明する。図３は、レーザ装置１００の制御方法について説明する図である。図３（ａ）は液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域を示す図であり、図３（ｂ）は固定エタロン１３のエタロンピーク帯域を示す図であり、図３（ｃ）は外部共振器部１０の縦モードを示す図である。図３（ａ）〜図３（ｃ）の横軸は波長を示し、図３（ａ）〜図３（ｃ）の縦軸は透過光強度を示す。ここで、エタロンピーク帯域とは、エタロンピークを含みかつ相対的に高い透過性を有する波長帯域のことをいう。
【００５４】
図３（ａ）の実線は初期データ２００ａに基づいた液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域を示し、図３（ｃ）の実線は初期データ２００ａに基づいて発生した外部共振器部１０の縦モードを示す。図１の外部共振器部１０において共振する光の光強度は、液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域、固定エタロン１３のエタロンピーク帯域および外部共振器部１０の縦モードの合成ピークの光強度になる。
【００５５】
まず、制御部５０は、制御データ２００の初期データ２００ａを用いて、液晶エタロン１４に印加する電圧、位相調整器１２に与える電気信号および半導体光増幅器１１に与える電気信号を制御する。本実施例においては、液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域、固定エタロン１３のエタロンピーク帯域および位相調整器１２の縦モードが重なる波長域において、固定エタロン１３の所望のエタロンピークおよび位相調整器１２の所望の縦モードは液晶エタロン１４のエタロンピークよりも短波長側に存在する。この場合、外部共振器部１０において共振する光の光強度は、図３（ａ）の点Ｐで示される光強度になる。
【００５６】
次に、制御部５０は、外部共振器部１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピークに一致するように位相調整器１２の縦モードを制御する。この場合、固定エタロン１３を透過する透過光の光強度が増大するように外部共振器部１０の縦モードを制御する。なお、光検知素子３３，３４の検知結果を用いて位相調整器１２に与える電気信号を制御することにより、外部共振器部１０の縦モードを制御することができる。この場合、外部共振器部１０において共振する光の光強度は、図３（ａ）の点Ｒで示される光強度になる。
【００５７】
次いで、制御部５０は、液晶エタロン１４のエタロンピークが固定エタロン１３のエタロンピークに一致するように液晶エタロン１４のエタロンピークを制御する。この場合、液晶エタロン１４を透過する透過光の光強度が増大するように液晶エタロン１４のエタロンピークを制御する。なお、光検知素子３４，３５の検知結果を用いて液晶エタロン１４に印加する電圧を制御することにより、液晶エタロン１４のエタロンピークを制御することができる。この場合、外部共振器部１０において共振する光の光強度は、図３（ａ）の点Ｓで示される光強度になる。
【００５８】
次に、制御部５０は、制御データ２００ｂに基づいて半導体光増幅器１１に与える電流を制御することにより、レーザ装置１００から出力される光の光強度および位相を調整する。以上の行程により、レーザ装置１００から出力される光の波長および光強度が調整される。なお、制御部５０は、外部共振器部１０の縦モードを固定エタロン１３のエタロンピークに一致させた後、外部共振器部１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピークに常に一致するように、位相調整器１２に与える電気信号を制御する。
【００５９】
以上のように、本実施例に係るレーザ装置１００を用いることにより、外部に出力される光の波長が所望の波長になるように制御されるとともに、外部に出力される光の光強度を所望の強度に制御する際の電力効率が向上する。
【００６０】
なお、本実施例においては、液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域、固定エタロン１３のエタロンピーク帯域および外部共振器部１０の縦モードが重なる波長域において、固定エタロン１３のエタロンピークおよび外部共振器部１０の縦モードは液晶エタロン１４のエタロンピークよりも短波長側に存在するが、長波長側にあっても構わない。
【００６１】
また、本実施例においては、外部共振器部１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピークに一致するように位相調整器１２が制御されているが、位相調整器１２の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピーク側に変化するように位相調整器１２を制御すれば本発明の効果が得られる。同様に、液晶エタロン１４のエタロンピークが固定エタロン１３のエタロンピークに一致するように液晶エタロン１４のエタロンピークが制御されているが、液晶エタロン１４のエタロンピークが固定エタロン１３のエタロンピーク側に変化するように液晶エタロン１４を制御すれば本発明の効果が得られる。
【００６２】
続いて、波長切換方法について説明する。まず、制御部５０は、図３で説明したように、半導体光増幅器１１、位相調整器１２、液晶エタロン１４を制御する。次に、制御部５０は、シャッタ２２により、外部共振器部１０からの光の外部への出力を停止する。この場合、外部共振器部１０においては光の共振は常に行われている。
【００６３】
次いで、制御部５０は、制御データ２００の初期データ２００ａの他のチャネルになるように、液晶エタロン１４に印加する電圧、位相調整器１２に与える電気信号および半導体光増幅器１１に与える電気信号を制御する。それにより、液晶エタロン１４のエタロンピークおよび外部共振器部１０の縦モードが、固定エタロン１３の他のエタロンピークと重複するようになる。次に、制御部５０は、図３で説明したレーザ装置の制御方法に従って、半導体光増幅器１１、位相調整器１２、液晶エタロン１４を制御する。
【００６４】
以上のことから、レーザ装置１００が出力する光の波長、出力パワー、位相等の調整を行う際に不安定な光が外部に出力されるこことを停止することができるとともに、チャネル切換後に外部に出力される光の波長が所望の波長になるように効率よく制御される。
【００６５】
本実施例においては、液晶エタロン１４が波長選択手段に相当し、外部共振器部１０が共振器に相当し、制御部５０が制御手段およびレーザ装置の制御装置に相当し、固定エタロン１３がエタロンおよび第２のエタロンに相当し、ロッカ用エタロン３２が第３のエタロンに相当し、光検知素子３３が光検知手段に相当し、シャッタ２２が外部出力制御手段に相当し、位相調整器１２が位相調整手段に相当し、初期データ２００ａが第１の制御値および第２の制御値に相当し、目標データ２００ｂが第１の目標値および第２の目標値に相当し、エタロンピーク帯域が透過波長範囲に相当する。
【実施例２】
【００６６】
次に、第２実施例に係るレーザ装置１００ａについて説明する。レーザ装置１００ａの構成は、図１のレーザ装置１００の構成と同様である。以下、レーザ装置１００ａの制御方法について説明する。図４は、レーザ装置１００ａの制御方法について説明するための図である。図４の縦軸は液晶エタロン１４の光透過度を示し、図４の横軸は波長を示す。
【００６７】
図４の実線は初期データ２００ａに基づいた液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域を示す。本実施例においては、外部共振器部１０の所望の縦モードは、液晶エタロン１４のエタロンピークよりも長波長側になるように設定されている。また、液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域に固定エタロン１３のエタロンピークが複数含まれる。
【００６８】
この場合、液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域と固定エタロン１３のエタロンピークとの重複ピークのうち出力光強度の許容値の下限を超えるピークの光がレーザ装置１００ａの外部に出力されるが、上記重複ピークのうち他のピークの光もレーザ装置１００ａの外部に出力されるおそれがある。そこで、本実施例においては、制御部５０は、以下の制御を行う。
【００６９】
まず、制御部５０は、制御データ２００の初期データ２００ａを用いて、液晶エタロン１４に印加する電圧、位相調整器１２に与える電気信号および半導体光増幅器１１に与える電気信号を制御する。本実施例においては、液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域、固定エタロン１３のエタロンピーク帯域および位相調整器１２の縦モードが重なる波長域において、固定エタロン１３のエタロンピークおよび位相調整器１２の縦モードは液晶エタロン１４のエタロンピークまたはエタロンピークよりも長波長側に存在する。
【００７０】
この場合、長波長側の液晶エタロン１４の光透過度が低下することから、長波長側の上記重複ピークの光強度が減少する。したがって、長波長側の上記重複ピークが外部に出力されることが抑制される。なお、所望の波長ピークの光強度は出力光強度の許容値の下限を下回らない範囲で低下することから、所望の波長光の出力が停止することはない。
【００７１】
一方、液晶エタロン１４のエタロンピークが短波長側に変化すると、短波長側の液晶エタロン１４の光透過度が増大する。しかしながら、半導体光増幅器１１のゲインが発振波長の短波長側において小さくなることから、短波長側の上記重複ピークの光強度の増大化は抑制される。したがって、短波長側の上記重複ピークが外部に出力されることが抑制される。
【００７２】
以上のように、液晶エタロン１４のエタロンピーク帯域に固定エタロン１３のエタロンピークが複数含まれる場合でも、液晶エタロン１４のエタロンピークを短波長側に変化させることにより、複数のピーク波長の光が外部に出力されることが防止される。
【００７３】
次に、制御部５０は、図３の制御方法と同様に、外部共振器部１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピークに一致するように位相調整器１２の縦モードを制御する。この場合、固定エタロン１３を透過する透過光の光強度が増大するように外部共振器部１０の縦モードを制御する。なお、光検知素子３３，３４の検知結果を用いて位相調整器１２に与える電気信号を制御することにより、外部共振器部１０の縦モードを制御することができる。
【００７４】
次いで、制御部５０は、液晶エタロン１４のエタロンピークが外部共振器部１０の発振波長よりも短波長側になる範囲で、液晶エタロン１４のエタロンピークを制御する。この場合、液晶エタロン１４のエタロンピークが長波長側に変化するように液晶エタロン１４を制御すれば、液晶エタロン１４を透過する透過光の光強度が増大する。一方、液晶エタロン１４のエタロンピークが短波長側に変化するように液晶エタロン１４を制御すれば、外部共振器部１０の発振状態が維持される。
【００７５】
次に、制御部５０は、半導体光増幅器１１に与える電気信号を制御することにより、レーザ装置１００ａから出力される光の光強度を調整する。以上の行程により、レーザ装置１００ａから出力される光の波長および光強度が調整される。なお、制御部５０は、外部共振器部１０の縦モードを固定エタロン１３のエタロンピークに一致させた後、外部共振器部１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピークに常に一致するように、位相調整器１２に与える電気信号を制御する。
【００７６】
以上のように、本実施例に係るレーザ装置１００ａを用いることにより、外部に出力される光の波長が所望の波長になるように制御されるとともに、外部に出力される光の光強度が所望の強度に制御される。また、複数のピーク波長の光が外部に出力されることが防止される。
【００７７】
また、本実施例においては、外部共振器部１０の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピークに一致するように位相調整器１２が制御されているが、位相調整器１２の縦モードが固定エタロン１３のエタロンピーク側に変化するように位相調整器１２を制御すれば本発明の効果が得られる。
【００７８】
また、本実施例においても、第１実施例の波長切換方法と同様の方法を用いれば、レーザ装置１００ａが出力する光の波長、出力パワー、位相等の調整を行う際に不安定な光が外部に出力されるこことを停止することができるとともに、チャネル切換後に外部に出力される光の波長が所望の波長になるように効率よく制御される。
【００７９】
なお、本発明に係るレーザ装置１００，１００ａは、出力光の波長選択精度を向上させるために位相調整器１２および固定エタロン１３を備えるが、必ずしも必要な構成部品ではない。例えば、液晶エタロン１４により出力光の波長を変化させることにより本発明の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】第１実施例に係るレーザ装置の全体構成を示す模式図である。
【図２】レーザ装置の制御データを説明する図である。
【図３】レーザ装置の制御方法について説明する図である。
【図４】レーザ装置の制御方法について説明する図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０  外部共振器部
１１  半導体光増幅器
１２  位相調整器
１３  固定エタロン
１４  液晶エタロン
１５  ミラー
２０  出力部
２２  シャッタ
３０  波長モニタ部
３２  ロッカ用エタロン
３３，３４，３５  光検知素子
４０  温度制御装置
５０  制御部
２００  制御データ
２００ａ  初期データ
２００ｂ  目標データ
【図１】
2006216791.tif 000003
【図２】
2006216791.tif 000004
【図３】
2006216791.tif 000005
【図４】
2006216791.tif 000006