(57)【要約】【課題】  窓枠形状のフレームにテンションを付加した状態のメタルマスクを固定した構造のマスクユニットにおいて、フレームに生じている反りを矯正するように、フレーム裏面にテンションを加えた金属テープを、反りを確認しながらテンション調整して取り付ける方法を提供する。【解決手段】  窓枠形状のフレーム１３の裏面に取り付ける金属テープ１７の両端に、テンション付加用治具４１を用いて、フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態でフレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように金属テープに付加するテンションを調整し、金属テープをフレームに固定する構成とする。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
窓枠形状のフレームに金属テープを、テンションを付加した状態で取り付ける方法であって、前記金属テープを前記フレームの金属テープ取り付け位置に配置する工程と、前記金属テープの両端近傍を把持し、前記フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態で前記フレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように前記金属テープに付加するテンションを調整する工程と、前記金属テープの両端近傍をそれぞれ前記フレームに固定する工程を有することを特徴とする金属テープの取り付け方法。
【請求項２】
窓枠形状のフレームに金属テープを、テンションを付加した状態で取り付ける方法であって、前記金属テープを前記フレームの金属テープ取り付け位置に配置する工程と、前記金属テープの一端近傍を前記フレームに固定する工程と、前記金属テープの他端近傍を把持し、前記フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態で前記フレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように前記金属テープに付加するテンションを調整する工程と、前記金属テープの他端近傍を前記フレームに固定する工程を有することを特徴とする金属テープの取り付け方法。
【請求項３】
窓枠形状のフレームの表面に、メタルマスクを、該メタルマスクに縦方向及び横方向の少なくとも一方のテンションを付加した状態で取り付ける工程と、前記フレームの裏面に、請求項１又は２記載の金属テープの取り付け方法を用いて金属テープを前記メタルマスクに付加したテンションの方向に平行に取り付ける工程を有することを特徴とするマスクユニットの製造方法。
【請求項４】
支持台と、該支持台に直線状に移動可能に保持され、金属テープをその長手方向が移動方向に平行となるように把持可能なテープ把持部材と、該テープ把持部材に取り付けられたテンション付加用ねじを備え、該テンション付加用ねじは、前記テープ把持部材に把持させた金属テープに近接した位置で該金属テープの長手方向に平行に且つ先端を前記テープ把持部材から突出させた形態で取り付けられていることを特徴とするテンション付加用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、有機ＥＬ素子製造における蒸着工程で蒸着マスクとして用いるのに好適なマスクユニットの製造方法に関し、また、その製造方法に用いるのに好適な金属テープの取り付け方法及びテンション付加用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子製造において真空蒸着が行われており、その蒸着マスクとして、蒸着を許容する多数の細長い微少な開口部を備えたマスク部を有するメタルマスクが使用されている。そして蒸着に当たってはそのメタルマスクを、前記マスク部よりも大きい開口を備えた剛性の大きい窓枠形状のフレームに磁石等によって取り付けていた。しかしながら、近年、パターニングの微細化が進み、マスク部に形成している開口部が微細になり且つメタルマスクの板厚自体も薄くなってくると、メタルマスクを単に窓枠形状のフレームに磁石等を用いて固定しただけでは、マスク部にゆがみやたるみが生じ、開口部の精度が維持できなくなるという問題が生じた。
【０００３】
そこで、本出願人はこの問題を解決すべく検討の結果、図１１に示すように、極く薄い金属板で製作し且つ複数のマスク部２を形成した構造の多面付けのメタルマスク１でも、そのメタルマスク１の４辺のそれぞれを、複数のクランプで把持し、各クランプによってメタルマスク１に矢印で示すようにテンションを付加し、且つそのテンションを各クランプごとに調整することで、メタルマスク１をゆがみやたるみの無い平坦な状態とし且つ各マスク部２の開口部を一定ピッチに保持でき、しかも、その状態で、開口４を備えた窓枠形状のフレーム３にスポット溶接等によって取り付け、周縁の不要部分を除去することで、図１２に示すように、メタルマスク１をテンションが付加され平坦となった状態に保持した構造のマスクユニット８を形成しうることを見出し、メタルマスクをゆがみやたるみの無い状態で窓枠形状のフレームに固定する方法及び装置を開発した（特開２００４−３１１３３５号公報参照）。
【０００４】
ところが、このように形成したマスクユニット８においても更に改良すべき点のあることが判明した。すなわち、マスクユニット８はフレーム３の片面にテンションを付加した状態のメタルマスク１を取り付けているため、図１３に誇張して示すように、メタルマスク１側が凹面となるように反りが発生する。このような反りのあるマスクユニット８を蒸着マスクとして使用する場合、ガラス基板などの被蒸着基材とメタルマスクとの密着性が悪くなり、蒸着のパターン位置精度が低下してしまう。このため、反りの大きさ（図１３における寸法ｅ）を、適当な許容値（例えば、縦５００ｍｍ×横５００ｍｍのマスクユニット８において０．１ｍｍ程度）以下に抑える必要がある。マスクユニット８に生じる反りを抑制するには、フレームの厚さを大きくして剛性を増せばよいが、そうすると重量が大きくなって取り扱いにくくなり、また、コストも高くなる。
【特許文献１】特開２００４−３１１３３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明者らは、窓枠形状のフレームにテンションを付加した状態のメタルマスクを固定した構造のマスクユニットにおいて、フレームの厚さを増大させて剛性を大きくしなくても、マスクユニットに生じる反りを抑制して平面度を高めることを可能とする構造を種々検討の結果、メタルマスクの裏面に長手方向にテンションを付加した金属テープを取り付けることで、メタルマスクのテンションによる反りを矯正でき、平面度の高いマスクユニットを形成できることを見出した。
【０００６】
ところが、メタルマスクのテンションによってマスクユニットに生じている反りの大きさは、必ずしも一定ではなく、マスクユニット間にばらつきがあることから、金属テープに加えるテンションは必ずしも一定とは限らず、マスクユニット毎に適正に調整することが必要であるが、金属テープに付加したテンションによる反り矯正量は、金属テープをフレームに取り付けた後でなければ確認できないため、金属テープをフレームに取り付ける前に適正なテンションを見出すことが困難であるという問題が生じた。また、適正なテンションが予め判明したとしても、金属テープにその適正なテンションが付加されているか否かを検出する手段を設ける必要があることから、金属テープにテンションを付加するための機構が複雑となるといった問題も生じた。
【０００７】
本発明は係る状況に鑑みてなされたもので、窓枠形状のフレームに金属テープを、テンションを付加した状態で取り付けるに当たって、金属テープのテンションによってフレームに生じる反りを確認しながらテンション調整を行うことを可能とした金属テープの取り付け方法並びにその方法を利用したマスクユニットの製造方法を提供することを課題とする。また、本発明は、その方法の実施に用いるのに好適なテンション付加用治具を提供することも課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明は、窓枠形状のフレームに金属テープを、テンションを付加した状態で取り付ける方法において、金属テープのテンションによってフレームに生じる反りを確認しながらテンション調整を行うことを可能とするため、前記金属テープを前記フレームの金属テープ取り付け位置に配置する工程と、前記金属テープの両端近傍を把持し、前記フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態で前記フレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように前記金属テープに付加するテンションを調整する工程と、前記金属テープの両端近傍をそれぞれ前記フレームに固定する工程を備えるという構成としたものである。
【０００９】
請求項２に係る発明は、窓枠形状のフレームに金属テープを、テンションを付加した状態で取り付ける方法において、金属テープのテンションによってフレームに生じる反りを確認しながらテンション調整を行うことを可能とするため、前記金属テープを前記フレームの金属テープ取り付け位置に配置する工程と、前記金属テープの一端近傍を前記フレームに固定する工程と、前記金属テープの他端近傍を把持し、前記フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態で前記フレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように前記金属テープに付加するテンションを調整する工程と、前記金属テープの他端近傍を前記フレームに固定する工程を備えるという構成としたものである。
【００１０】
請求項３に係る発明は、上記した金属テープの取り付け方法をマスクユニットの製造に用いたものである。すなわち、請求項３に係る発明は、窓枠形状のフレームの表面に、メタルマスクを、該メタルマスクに縦方向及び横方向の少なくとも一方のテンションを付加した状態で取り付ける工程と、前記フレームの裏面に、請求項１又は２記載の金属テープの取り付け方法を用いて金属テープを前記メタルマスクに付加したテンションの方向に平行に取り付ける工程を有することを特徴とするマスクユニットの製造方法である。
【００１１】
請求項４に係る発明は、上記した金属テープの取り付け方法或いはマスクユニットの製造方法に用いるのに好適なテンション付加用治具を提供するものであり、該テンション付加用治具は、支持台と、該支持台に直線状に移動可能に保持され、金属テープをその長手方向が移動方向に平行となるように把持可能なテープ把持部材と、該テープ把持部材に取り付けられたテンション付加用ねじを備え、該テンション付加用ねじは、前記テープ把持部材に把持させた金属テープに近接した位置で該金属テープの長手方向に平行に且つ先端を前記テープ把持部材から突出させた形態で取り付けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の金属テープの取り付け方法は、金属テープをフレームに取り付けるに当たって、該金属テープに、フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加する構成としているので、金属テープのテンションが、該金属テンションをフレームに固定した場合と同様にフレームに作用しており、その状態で前記フレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように、例えば、許容範囲内となるように、前記金属テープに付加するテンションを調整することで、金属テープをフレームに固定した後での反り量を所望の範囲内とすることができ、簡単な操作で金属テープをフレームに取り付けてフレームの反り量を所望の範囲内とすることができる。
【００１３】
本発明のマスクユニット製造方法は、メタルマスクを固定したフレームの裏面に金属テープを取り付けるに際し、上記した本発明の金属テープの取り付け方法を適用したものであるので、フレームの反りが所望の範囲内、例えば、許容範囲内となるように、金属テープのテンションを調整してフレームに取り付けることができ、簡単な操作によって平面度の高いマスクユニットを製造できる。
【００１４】
本発明のテンション付加用治具では、支持台をフレームに隣接した位置に配置し、テープ把持部材に金属テープを把持させ、テンション付加用ねじをねじ込んでその先端をフレームに突き当て、更にねじ込むことで、フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取って金属テープにテンションを付加することができ、且つそのねじ込み量を調整することで金属テープへのテンションを任意に調整することができる。かくして、フレームに対して金属テープを固定した状態と同様に、金属テープのテンションを作用させることができ、且つそのテンションを容易に且つ自在に調整でき、上記した本発明の金属テープの取り付け方法及びマスクユニットの製造方法の実施に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、有機ＥＬ素子製造における多面付けの蒸着マスクとして使用するマスクユニットの製造を例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。図１（ａ）は本発明方法で製造するマスクユニットの１例を、表面側から見た概略斜視図、図１（ｂ）はそのマスクユニットを裏面側から見た概略斜視図、図２はそのマスクユニットを構成する部品を組立前の状態で示す概略斜視図である。図１、図２において、全体を参照符号１０で示すマスクユニットは、窓枠形状のフレーム１３と、その表面にテンションを付加された状態でスポット溶接部３０によって取り付けられたメタルマスク１１と、フレーム１３の裏面にテンションを付加された状態でスポット溶接部３４によって取り付けられた金属テープ１７、１８を備えている。
【００１６】
メタルマスク１１は、金属薄板製のもので、複数のマスク部１２を縦横に並べて形成している。各マスク部１２は、エッチング等によって形成した多数の微少な開口部を備えたものである。各マスク部１２における開口部は、蒸着時に蒸気の通過を許容するためのものであり、その開口部の形状、配列は任意であり、例えば、細長いスリット状の開口部を平行に並べたもの、スロット状の開口部を縦方向に並べると共に平行にも並べたもの等を挙げることができる。フレーム１３に取り付ける前のメタルマスク１１は、フレーム１３よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作られており、フレーム１３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線１５をハーフエッチングなどによって形成している。なお、易切断線１５は、メタルマスク１１に加えるテンションには耐え得る強度を備えたものである。メタルマスク１１の厚さ、マスク部１２の寸法、それに形成した多数の微少な開口部の寸法等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、メタルマスク１１の厚さは３０〜２００μｍ、マスク部１２の寸法は長さが５０〜７０ｍｍ、幅が３０〜５０ｍｍ、開口部の幅が４０〜１００μｍ、平行に配列された開口部間の無孔部分の幅が８０〜２００μｍ等を例示できる。
【００１７】
フレーム１３は、メタルマスク１１の多数のマスク部１２を形成した領域を包含する大きさの開口１４を備えた窓枠形状のものである。このフレーム１３は、テンションを付加した状態のメタルマスク１１を取り付けた後においても、そのメタルマスク１１のテンションによってたわんでメタルマスクにゆがみやたるみが生じることがないよう、また、保管時、蒸着機への取付時、蒸着操作時などの取り扱い時においても、メタルマスク１１を平坦な状態に保持しうる剛性を備えたものである。なお、テンションを付加したメタルマスク１１を取り付けた時点（金属テープを取り付ける前の時点）において多少の反り（例えば、縦５００ｍｍ×横５００ｍｍのフレーム１３において０．２〜０．５ｍｍ程度の反り）が生じても、後で金属テープ１７、１８を取り付けて矯正しうるので、そのような小さい反りまで生じさせないような大きい剛性を持たせる必要はない。フレーム１３の厚さとしては、２ｍｍ〜３０ｍｍ程度を例示でき、幅（開口１４の内周面とフレーム外周面との距離）としては、５ｍｍ〜５０ｍｍ程度を例示できる。フレーム１３の裏面には、金属テープ１７、１８を取り付けるエリアに溝状の掘り込み２０を入れている。
【００１８】
金属テープ１７、１８は、それに長手方向のテンションを付加した状態でフレーム１３に取り付けることでマスクユニット１０の反りを許容範囲内に抑えるためのものである。金属テープ１７、１８の幅及び厚さは、弾性領域内で必要な大きさのテンションを加えることができるように選定されるものであり、例えば、幅は５〜５０ｍｍ、厚さは５０〜２００μｍ程度に選定される。フレーム１３に取り付ける前の金属テープ１７、１８の長さは、フレーム１３よりも長くしておく。この金属テープ１７、１８にも、フレーム１３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線１９をハーフエッチングなどによって形成している。
【００１９】
次に、金属テープ１７、１８をフレーム１３に取り付ける際に用いるテンション付加用治具を説明する。図３はテンション付加用治具４１を、フレーム１３に金属テープ１７を取り付ける時の状態で示す概略斜視図、図４は図３に示す部分の概略断面図、図５はテンション付加用治具４１を、図４の矢印Ａ−Ａ方向に見た概略断面図である。テンション付加用治具４１は、支持台４２と、その支持台４２に直動案内４３を介して直線状に移動可能に保持されたテープ把持部材４４と、そのテープ把持部材４４に取り付けられたテープ付加用ねじ４６等を備えている。支持台４２は、テンション付加用治具４１の使用時にフレーム１３の端面の所定位置にボルト等によって固定しうる構造となっている。なお、支持台４２は、フレーム１３に固定する代わりに、フレーム１３を支持させる定盤等の支持装置に固定する構造としてもよい。
【００２０】
直動案内４３は、支持台４２をフレーム１３に対する所定位置に取り付けた状態の時に、テープ把持部材４４がフレーム１３の掘り込み２０の長手方向に移動可能となるように配置されている。テープ把持部材４４は、テープ把持本体４８とテープ押え４９を備えており、テープ把持本体４８の上面には、金属テープ１７をその長手方向がテープ把持部材４４の移動方向に平行となるように装着可能な溝４８ａが形成されている。この溝４８ａは、テンション付加用治具４１をフレーム１３に対する所定位置に取り付けた状態において、フレーム１３の掘り込み２０の延長上に位置するように形成されており、掘り込み２０内にセットした金属テープ１７を曲げることなく溝４８ａ内に受け入れることが可能である。テープ押え４９は、ボルト５０によってテープ把持本体４８に固定することで、溝４８ａ内にセットした金属テープ１７をテープ把持本体４８に押し付けて把持するためのものである。なお、金属テープ１７をテープ把持本体４８とテープ押え４９で確実に把持することができるようにするため、テープ押え４９の下面には、かしめ用の凸条４９ａが形成されている。この凸条４９ａはテープ把持本体４６側に設けてもよい。
【００２１】
テンション付加用ねじ４６は、テープ把持部材４４に把持させた金属テープ１７に近接した位置で該金属テープの長手方向に平行に且つ先端をテープ把持部材４４から突出させた形態で取り付けられている。この構造としたことにより、テンション付加用ねじ４６をねじ込んで、その先端をフレーム１３に突き当て、更にねじ込むことで、フレーム１３の金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取って金属テープ１７にテンションを付加することができる。ここで、テンション付加用ねじ４６のテープ把持部材４４に対する取り付け位置は、テープ把持部材４４に把持させた金属テープ１７に近接した位置であれば、金属テープ１７の側方でもよいが、図示した実施の形態では金属テープ１７の中央の直ぐ下としている。この位置とすることで、金属テープ１７の全幅にテンションを安定して付加することができる。
【００２２】
次に、上記構成のテンション付加用治具４１を用いた金属テープ取り付け方法及び、その金属テープ取り付け方法を用いたマスクユニット１０の製造方法を説明する。あらかじめ、図２に示すメタルマスク１１、フレーム１３、金属テープ１７、１８を用意しておく。まず、図６、図７に示すように、フレーム１３にメタルマスク１１をテンションを付加した状態で取り付けるためのマスク貼り装置において、フレーム１３を所定位置にセットし、その上にメタルマスク１１を乗せ、そのメタルマスク１１の４辺のそれぞれを、複数のクランプ２３で把持させ、各クランプ２３に連結しているエアシリンダ等の駆動手段２４を作動させて、各クランプ２３を矢印で示すように縦横方向に引っ張り、メタルマスク１１にテンションを付加する。
【００２３】
ここで、メタルマスク１１の４辺にそれぞれ設けている複数のクランプ２３は、マスク部１２の列と、マスク部の無い領域とに合わせて配置しており、従って、メタルマスク１１のマスク部１２を形成した領域と、マスク部の無い領域とをそれぞれ別個のクランプ２３で引っ張ってテンションを付加することが可能であり、これによって、メタルマスク１１の剛性の異なる領域をそれぞれ別個のクランプ２３でテンション付加することができる。そして、メタルマスク１１の各辺を複数のクランプ２３で把持して引っ張った状態で、メタルマスク１１の表面状態を目視検査し、ゆがみやたるみがあれば、その領域を引っ張っているクランプ２３に加える引張力を調整し、メタルマスク１１をゆがみやたるみのない平坦な状態で且つマスク部１２の開口部が平行に引き揃えられた状態に調整する。また、メタルマスク１１に形成している各マスク部１２の位置を検査し、各マスク部が所定の寸法精度内の位置に入るように、各クランプ２３の引張力を調整する。以上により、メタルマスク１１をゆがみやたるみの無い状態で且つ各マスク部１２が所定の寸法精度範囲内に位置する状態とすることができる。その後、この状態で、メタルマスク１１の周縁部分をフレーム１３に、レーザ光を用いてスポット溶接し（スポット溶接部３０参照）、固定する。その後、クランプ２３を外し、メタルマスク１１の周縁の不要部分を易切断線１５を利用して除去する。
【００２４】
次に、メタルマスク１１を取り付けたフレーム１３を、図１０（ａ）に示すように、金属テープを取り付けるために用いる定盤等の支持装置（図示せず）の上に、メタルマスク１１側を下にして置き、そのフレーム１３に生じている反りを、支持スタンド等の適当な支持手段（図示せず）で保持したダイアルゲージ５５によって測定する。次いで、図３〜５、図８及び図１０（ｂ）に示すように、そのフレーム１３の裏面に縦方向に形成している溝状の掘り込み２０の両端に位置するように、テンション付加用治具４１を取り付け、掘り込み２０内に金属テープ１７をセットすると共にその両端をテープ把持部材４４に把持させる。その後、テンション付加用ねじ４６をねじ込んで、その先端をフレーム１３の端面に押し付け、更にねじ込むことで、フレーム１３に反力を取って金属テープ１７にテンションを付加する。この状態で図１０（ｂ）に示すようにフレーム１３の反り量をダイアルゲージ５５で測定する。そして、測定して得た反り量が所望の許容範囲内（例えば、縦５００ｍｍ×横５００ｍｍのフレーム１３において０．１ｍｍ以下の反り）となるように、テンション付加用ねじ４６のねじ込みを調整して金属テープ１７に付加するテンションを調整する。その後、図１０（ｃ）に示すように、フレーム１３の反り量が所望の許容範囲内に入り、フレーム１３に要求される平面度が確保されると、図９に示すように、金属テープ１７の両端近傍をレーザ溶接装置５６を用いてフレーム１３にスポット溶接し（符号３４参照）、固定する。その後、テープ付加用治具４１を取り外し、金属テープ１７の両端の不要部分を易切断線１９を利用して切断、除去する。
【００２５】
ここで、金属テープ１７にテンション付加用治具４１を用いてテンションを付加した際、フレーム１３に対する金属テープ１７の取り付け位置近傍に反力を取ってテンションを付加していたため、金属テープ１７をフレーム１３にスポット溶接で固定し、テンション付加用治具４１を取り外した状態においても、金属テープ１７がフレーム１３に作用させていたテンションの状態はほとんど変化せず、このため、フレーム１３は先に調整した平面度に保たれたままである。かくして、単にテンション付加用ねじ４６を調整してフレーム１３を所望の平面度とし、その状態で金属テープ１７をフレーム１３に固定することで、フレーム１３に生じていた反りを矯正して所望の平面度とすることができる。
【００２６】
以上の操作を、フレーム１３の裏面に横方向に形成している溝状の掘り込み２０についても実施し、その掘り込み２０に金属テープ１８を取り付ける。これによって、横方向における反りを矯正して所望の平面度とすることができる。以上により、図１に示すマスクユニット１０が製造される。
【００２７】
以上のようにして製造されたマスクユニット１０では、メタルマスク１１がゆがみやたるみの無い状態で且つマスク部１２の開口部が正確に平行に揃った状態に保たれており、且つ各マスク部１２の位置も所定の寸法精度内に保たれている。また、マスクユニット１０の反りも微少な許容範囲内に保たれている。その後、このマスクユニット１０を用いて、所定の蒸着操作を行う。すなわち、このマスクユニットにガラス基板等の被蒸着基材を取り付け、蒸着機にセットし、有機ＥＬ素子の有機層又はカソード電極の蒸着を行う。これにより、微細なパターンの蒸着を位置精度良く行うことができ、高品質の有機層又はカソード電極を形成できる。
【００２８】
以上の実施の形態では、金属テープ１７或いは１８をフレーム１３に取り付けるに際し、金属テープ１７或いは１８の両端に、それぞれテンション付加用治具４１を取り付けているが、本発明はこの構成に限らず、金属テープ１７或いは１８の一端側をあらかじめフレーム１３にスポット溶接等によって固定し、他端側のみにテンション付加用治具４１を配置し、そのテンション付加用治具４１を用いてテンションを付加する構成としてもよい。この構成によっても、同様にフレーム１３の反りを矯正した状態で金属テープ１７或いは１８をフレーム１３に固定することができる。
【００２９】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこれに限らず、特許請求の範囲の記載内で適宜変更可能である。例えば、上記した実施の形態では、金属テープ１７、１８を、メタルマスク１１を固定した後のフレーム１３に取り付けており、メタルマスク１１の取り付けによってフレーム１３に生じた反りを矯正しているが、本発明の金属テープの取り付け方法は、メタルマスクを取り付ける前のフレームに金属テープを取り付ける場合にも適用可能である。この場合には、後工程でメタルマスク１１を取り付ける際に生じる反りを見越して、フレーム１３に反対方向の所望の反りが生じるように金属テープのテンションを調整して金属テープを取り付ければよい。また、金属テープ１７、１８の固定方法としては、レーザ光によるスポット溶接に限らず、抵抗溶接、接着剤、ねじ止め等に変更してもよい。ただし、実施の形態のようにレーザ光によるスポット溶接を用いると、ねじ止め等に比べて作業が簡単で且つ固定が確実であり、固定後の構造が単純であるといった利点が得られる。金属テープ１７、１８の固定位置も、両端のみに限らず、中間の適当な位置の固定を併用してもよい。また、メタルマスク１１の周縁部分のフレーム１３に対する固定方法も、レーザ光によるスポット溶接に限らず、抵抗溶接、接着剤、ねじ止め等に変更してもよい。
【００３０】
更に、上記した実施の形態では、メタルマスク１１をフレーム１３に固定する際に、メタルマスク１１の４辺をそれぞれ、マスク部１２に対応する領域とマスク部のない領域に対応して設けた複数のクランプ２３で把持してテンションを付加しているが、メタルマスク１１にテンションを付加する手段はこの構成に限らず、メタルマスク１１をゆがみやたわみの無い平坦な状態に引っ張り、且つマスク部の開口部を平行に引き揃えることができれば、適宜変更可能である。例えば、メタルマスク１１の各辺に設ける複数のクランプの個数やクランプの幅を変更する等の変更を加えても良い。
【００３１】
更に、上記の実施の形態では、メタルマスク１１に縦横両方向にテンションを加えて平坦な状態としているが、メタルマスクによっては縦方向のみ或いは横方向のみにテンションを加えることで、メタルマスクをゆがみやたるみの無い状態に引き揃えることができる場合がある。本発明はその場合をも包含するものであり、その場合には、金属テープはフレームの４辺に設ける必要はなく、メタルマスクに付加したテンションの方向に平行な辺のみに、金属テープを取り付ければ良い。また、フレーム１３が縦方向に長い長方形の場合であって横方向にはあまり反りが生じない場合には、縦方向のみに金属テープを取り付ける構成としてもよい。更に、上記の実施の形態では、金属テープ１７、１８を、その全面がフレーム１３の開口１４を取り囲む枠の部分に重なるように取り付けているが、金属テープの取り付け位置はこれに限らず、フレーム１３に固定したメタルマスク１１のマスク部１２に干渉しない範囲で開口１４を横切るように金属テープを取り付ける構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】（ａ）は本発明方法で製造したマスクユニットの１例を表面側から見た概略斜視図、（ｂ）はそのマスクユニットを裏面側から見た概略斜視図
【図２】図１に示すマスクユニットを構成する部品を組立前の状態で示す概略斜視図
【図３】本発明の実施の形態に係るテンション付加用治具を、フレームに金属テープを取り付ける時の状態で示す概略斜視図
【図４】図３に示す部分の概略断面図
【図５】テンション付加用治具を図４の矢印Ａ−Ａ方向に見た概略断面図
【図６】メタルマスクにテンションを付加してフレームに取り付ける状態を示す概略平面図
【図７】メタルマスクにテンションを付加してフレームに取り付ける状態を示す概略斜視図
【図８】金属テープにテンションを付加してフレームに取り付ける状態を示す概略斜視図
【図９】テンションを付加した金属テープをフレームに固定する状態を示す概略斜視図
【図１０】（ａ）はメタルマスクを取り付けたフレームの反りを測定する状態を示す概略側面図、（ｂ）、（ｃ）は金属テープにテンションを付加してフレームの反りを矯正する状態を示す概略側面図
【図１１】従来技術においてメタルマスクにテンションを付加してフレームに取り付ける状態を示す概略平面図
【図１２】従来のマスクユニットの概略斜視図
【図１３】従来のマスクユニットを、それに生じている反りを誇張して示す概略側面図
【符号の説明】
【００３３】
１０  マスクユニット
１１  メタルマスク
１２  マスク部
１３  フレーム
１４  開口
１５  易切断線
１７、１８  金属テープ
１９  易切断線
２０  掘り込み
２３  クランプ
２４  駆動手段（エアシリンダ）
３０、３４  スポット溶接部
４１  テンション付加用治具
４２  支持台
４３  直動案内
４４  テープ把持部材
４６  テンション付加用ねじ
４８  テープ把持本体
４９  テープ押え
５０  ボルト
５５  ダイアルゲージ
５６  レーザ溶接装置
【図１】
2006310183.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006310183.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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