(57)【要約】【課題】    ガラス基板表面の保護やパーティクル付着防止に有利な、半密閉箱型容器であって、且つガラス基板を収容した状態での保持力に優れた半密閉箱型容器を提供する。【解決手段】    上部に開口を有し、ガラス基板を収容する容器本体と該容器本体の開口に結合する蓋とを備えた半密閉箱型容器であって、ガラス基板を収容し、前記蓋を結合させた状態で、ガラス基板の４辺を支持する支持機構を備える。【選択図】  図４
2006240723.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に開口を有し、ガラス基板を収容する容器本体と該容器本体の開口に結合する蓋とを備えた半密閉箱型容器であって、
ガラス基板を収容し、前記蓋を結合させた状態で、ガラス基板の４辺を支持する支持機構を備えた半密閉箱型容器。
【請求項２】
前記支持機構は、前記収容箱の底面上に配置された弾力を有する収容溝と、前記蓋の内部上面に配置された弾力を有する収容溝と、前記容器本体内に備えられ、前記蓋の挿入によって駆動され、ガラス基板両側部を保持する一対の可動機構とを有する請求項１記載の半密閉箱型容器。
【請求項３】
前記一対の可動機構が、ガラス基板両側部を案内する案内溝も有する請求項２記載の半密閉箱型容器。
【請求項４】
前記一対の可動機構が、下方で前記収容箱に対して回転可能に支持され、前記蓋の挿入により互いに近づくように変位する請求項２または３記載の半密閉箱型容器。
【請求項５】
前記一対の可動機構が、蓋を外した状態では自重により互いに離れた状態になる請求項２〜４のいずれか１項記載の半密閉箱型容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板用半密閉箱型容器に関し、特に液晶表示装置用等の大型のガラス基板を収容し、梱包、運搬できるガラス基板用半密閉箱型容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、半導体ウエハや、ガラス基板を複数枚まとめて、搬送したり、保管するには、ガラス基板収納用のカセットや容器（以下容器と呼ぶ）を用いる。容器は、ガラス基板の縁部を溝内に支持する構造が多い。一部が常に開放された開放型容器と、容器本体と蓋との組み合わせで、半密閉空間を画定する半密閉箱型容器とがある。ガラス基板を横に（水平方向に）収容する容器や、縦に（垂直方向に）収容する容器が知られている。
ディスプレーの寸法は年々大型化される傾向があり、生産効率向上のためにもガラス基板も大型化される傾向にある。ガラス基板が大型化し、薄型化すると、水平支持したときの撓量も大きくなる。撓みに対して対策をとったカセットや、撓みを積極的に利用した梱包容器も提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３-１５２０６９号公報
【特許文献２】特開２００２−１２８１８２号公報  ガラス基板を横に収容し、開口をストッパで塞ぎ、縦に回転して搬送する容器も提案されている。
【特許文献３】特開２００３−６８８４０号公報
【特許文献４】特開平１０−１４２７７３号公報  ガラス基板の大型化により、ガラス基板の短辺を上下方向とするか長辺を上下方向とするかで、占有面積が無視できない程度変わり、運搬、保管の面積効率が変わる。容器内にガラス基板を収容する代わりに整列させた複数枚のガラス基板の４頂部に、溝付のＬ型パットを配置し、ベルトで締める梱包も知られている。
【０００４】
図１Ａ，１Ｂに、Ｌ型パットを用いた梱包例を示す。図１Ａに示すように、内面にガイド用溝が形成された一対のＬ型パットＬ１、Ｌ２を対向配置し、溝内に複数のガラス基板ＧＳを配置する。各ガラス基板の長辺を水平方向にして収容する場合を示す。所望数のガラス基板を並べ終わったら、上方からもＬ型パットＬ３，Ｌ４を当て、溝内にガラス基板を案内する。Ｌ型パットＬ１〜Ｌ４を各ガラス基板の４隅に押し当てるようにし、ベルトＢ１，Ｂ２でＬ型パットＬ１〜Ｌ４を固定する。各ガラス基板ＧＳは上下、左右をＬ型パットＬ１〜Ｌ４に押し当てて、相対的位置が固定され、Ｌ型パットに対して変位することは防止される。Ｌ型パットが突出するので、ガラス基板を水平方向にして保管するには適さないが、ガラス基板を垂直に立てた状態であれば、ガラス基板の長辺を上下方向にしても、短辺を上下方向にしても、運搬、保管に問題は生じない。
【０００５】
図１Ｂに示すように、ガラス基板の短辺を上下方向にして梱包後、水平に配置されていたガラス基板ＧＳの長辺を９０度回転させて垂直に立てる。占有面積の小さい状態で搬送、保管することにより、搬送、保管する場所の面積効率を向上できる。ガラス基板とＬ型パットとの関係は強固に固定されており、ガラス基板の長辺、短辺のいずれを上下方向にしても、回転させても何ら問題は生じない。
【０００６】
Ｌ型パットを用いた梱包では、複数枚整列させたガラス基板の最外基板表面は外気に開放されており、また隣接するＬ型パット間も外気に開放されている。このため、ガラス基板表面の保護と、搬送／保管時のパーティクル等の異物の付着防止に劣る。これらの点を考慮すると、容器本体の開口を蓋で閉じる半密閉の箱型容器を用いることが好ましい。
【０００７】
図２Ａ，２Ｂは、半密閉箱型容器の構成例を示す。図２Ａは、容器本体５０の上面図を示す。容器本体５０は、開口を上にして配置される。ハウジング５１の対向する一対の内側面にガラス基板ＧＳをガイドする溝部材５２を備えている。溝部材５２は、平面から羽根５３が突出した形状を有し、左右一対の溝部材で上方から進入するガラス基板ＧＳを案内する。溝部材５２はハウジング５１と一体化されていてもよい。ハウジング５１の底面には、弾性を有する溝付支持部がある。
【０００８】
図２Ｂは、図２Ａの一点破線ＩＩＢ−ＩＩＢに沿う断面図を示す。開口を上にして容器本体が配置され、上方から搬送されるガラス基板ＧＳを立てた状態で収容する。図中、左側では羽根５３のある部分、右側では羽根５３のない溝部分を示す。容器本体５１の底面には弾性のある溝付支持部５５を備える。基板ロボットハンドのチャックに保持されたガラス基板ＧＳが、左右の溝部材５２にガイドされて、上から容器本体５０内に収容され、弾性支持部５５上に保持される。ガラス基板ＧＳは、羽根５３の間の溝内に収容され、溝付支持部５５の溝上に収まる。所望数のガラス基板ＧＳを収容した後、蓋６０を容器本体５０の開口上に配置し、容器本体５０と組み合わせる。蓋６０の内側上面には弾性のある溝付支持部６５が備えられている。上下の溝付支持部６５，５５でガラス基板ＧＳの上下の辺を押さえ込む。上下の２辺のみを押さえて固定するため、収納したときの上下関係を維持したまま、開口を上にした方位でのみ運搬、保管を行う。収納後、箱型容器を回転させて任意の方向とし、運搬保管することは、一般的に行わない。従って、運搬、保管時の占有面積は制約を受ける。
【０００９】
また、ガラス基板の厚さが同じでも、ガラス基板が大型化すると、ガラス基板の反り量は増大し、割れ、欠けの発生する確率も高くなる。上下２辺のみでガラス基板ＧＳを固定する箱型容器を用いた場合、あまり大きな力をかけると、割れ欠けの確率も高くなる。上下２辺にかける力を弱くすると、運搬時の加速度や振動によりガラス基板ＧＳが箱型容器５０，６０に対して相対的に変位するようになる。例えば、ガラス基板ＧＳの横方向端面が箱型容器の溝部材５２の溝底面に接触する。この状態のまま、ロボットハンドでガラス基板ＧＳを取り出そうとすると、ガラス基板ＧＳの横端面と溝部材５２の溝底面とが干渉しながら相対的移動をすることになり、ガラス基板ＧＳの横端面や溝部材５２の溝底面にダメージを与えることにもなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、ガラス基板表面の保護やパーティクル付着防止に有利な、半密閉箱型容器であって、且つガラス基板を収容した状態での保持力に優れた半密閉箱型容器を提供することである。
【００１１】
本発明の他の目的は、ガラス基板表面の保護やパーティクル付着防止に有利な、半密閉箱型容器であって、且つガラス基板を収容した状態で回転等の方位変更動作を行うことも可能な、面積効率に優れた半密閉箱型容器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の１観点によれば、
上部に開口を有し、ガラス基板を収容する容器本体と該容器本体の開口に結合する蓋とを備えた半密閉箱型容器であって、
ガラス基板を収容し、前記蓋を結合させた状態で、ガラス基板の４辺を支持する支持機構を備えた半密閉箱型容器
が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
半密閉箱型容器において、上下２辺のみでなく、左右２辺も加え、４辺を支持することにより、保持力が増大する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、実施例による半密閉箱型容器を説明する。なお、「半密閉」とは、真空を保てるほどの完全な密閉ではなく、内部が容器で囲まれた状態であり、外部から直線的に内部に達することが可能な開口、孔などを有さない状態を指す。
【００１５】
図３Ａ，３Ｂは、容器本体１０へのガラス基板ＧＳの収納状態を示す。図３Ａが上面図、図３Ｂが縦断面図である。容器本体１０のハウジング１１は上方に開口を有する箱型であり、対向する左右側面に下部を軸として回動可能な溝部材１２を備える。ハウジング１１は、溝部材１２の下端を受け、軸受けとして機能する断面円弧状の軸受けを形成している。ハウジング１１、溝部材１２は、樹脂、例えば発泡性ポリプロピレン等で形成することができる。特に滑り係合する面を面処理して滑りを良くすることもできる。
溝部材１２は、平面状部材の内側面に羽根１３を備え、羽根１３間に溝を画定する。また、溝部材１２は、平面状部材背面にバランサ１４を備え、外力の働かない状態では外側に傾くように重み付けされている。バランサも樹脂などで形成できる。バランサに代え、他のバイアス手段を用いても良い、バランサなしでも溝部材が外側に倒れる構成ならバランサは省略できる。溝部材１２の上端は円弧状に滑らかな面を形成している。ハウジング１１の内側底面上には弾性を有する溝付支持部１５を備える。溝付支持部１５は、上方に突出する羽根または段１６を有し、その間に溝１６を画定する。溝付支持部１５の溝１６と溝部材１２の羽根１３間の溝は位置を整合されている。
【００１６】
ロボットハンドでガラス基板ＧＳを立てた状態で搬送し、容器本体に上から搬入する。溝部材１２の溝底面とは干渉しないように挿入し、溝付支持部１５の溝内にガラス基板を収容する。ガラス基板ＧＳは、溝部材１２の羽根１３に案内され、溝付支持部１５の溝１６に支持される。
【００１７】
図４Ａ，４Ｂは、ガラス基板ＧＳを収納後、蓋を閉じる動作を示す。蓋２０は、ハウジング２１の内側上面に弾性を有する溝付支持部２５を備える。蓋２０の容器本体１０との係合部には溝部材１２と係合し、溝部材１２を内側に駆動する斜面を有するアクチュエータ２２が形成されている。蓋２０を降ろしていくと、アクチュエータ２２が回動可能な溝部材１２の頂部に接触し、滑り降りるとともに、溝部材１２を横方向に駆動する。溝部材１２はガラス基板ＧＳに押し付けられるようになる。蓋２０及び溝付支持部は、滑りの良い樹脂、例えば発泡性ポリプロピレン等で形成できる。なお、溝部材の回動部には図示のように回転軸１７を設けてもよい。
【００１８】
図４Ｃは、蓋を閉め終わった状態を示す。蓋２０が閉じた状態では、アクチュエータ１２に押された溝部材１２の平面状部材がガラス基板ＧＳの横端面に押し付けられ、両横端面を支持する。溝付支持部２５，１５が上下から上端面、下端面を支持するので、ガラス基板ＧＳは４辺全てを支持される。支持力が増強されるので、梱包後、箱型容器を回転させて面積効率を高めることも可能となる。
【００１９】
ガラス基板を取り出すときは、蓋２０を取り除く。溝部材１２をガラス基板に押し付ける力が解放され、溝部材１２は、ハウジング１１に凭れ掛かるように変位し、ガラス基板ＧＳの横端面と、溝部材１２の溝底面とは離れる。溝部材１２と干渉することなく、ロボットハンドでガラス基板を取り出せる。
【００２０】
以上、実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、修正、組み合わせ、などが可能なことは当業者に自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１Ａ，１Ｂは、従来技術によるＬ型パットを用いた梱包例を示す斜視図である。
【図２】図２Ａ，２Ｂは、従来技術による半密閉箱型容器を用いた梱包例を示す上面図及び断面図である。
【図３】図３Ａ，３Ｂは、実施例による半密閉箱型容器を用いたガラス基板の収納を示す上面図及び断面図である。
【図４】図４Ａ，４Ｂ，４Ｃは、実施例による半密閉箱型容器を用いたガラス基板の梱包を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０      容器本体
１１      ハウジング
１２      溝部材
１３      羽根
１４      バランサ
１５      溝付支持部
２０      蓋
２２      アクチュエータ
２５      溝付支持部
ＧＳ      ガラス基板
【図１】
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【図２】
2006240723.tif 000004
【図３】
2006240723.tif 000005
【図４】
2006240723.tif 000006