(57)【要約】【課題】  ウェハの周縁部を観察する際に、観察している位置の確認を容易に行える外観検査装置を提供する。【解決手段】  外観検査装置１は、ウェハＷを載置してＸＹＺθに移動自在なステージ２と、ウェハＷの周縁部を撮像する周縁部撮像部６とを有し、ステージ２及び周縁部撮像部６は制御装置１０に接続されている。周縁部撮像部６で撮像した画像は表示部１２に出力されるようになっており、表示部１２は、実際の観察画像Ｉ１を表示する画像表示部２０と、ウェハＷの全体画像Ｉ２を表示する観察位置全体表示部２１と、ウェハＷの周縁部画像Ｉ５を表示する観察位置周縁表示部２２と、観察位置を数値で示す座標表示部２３とを有し、観察位置全体表示部２１及び観察位置周縁表示部２２には、観察位置を示す観察位置マークＩ３，Ｉ６が表示される。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体であるワークを載置するステージを移動させて画像取得部で取得した前記ワークの周縁部の画像を制御装置の制御によって表示手段に表示させる外観検査装置において、
前記表示手段は、前記画像取得部で取得した画像を表示する画像表示部と、前記ワークの全体画像を表示する全体表示部とを有し、前記制御装置は、前記画像表示部に表示される画像の位置を示す観察位置マークを前記全体表示部に表示させるように構成したことを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記表示手段は、前記ワークの周縁部の画像である周縁部画像を表示する周縁表示部を有し、前記制御装置は、前記周縁表示部に前記ワークの上下方向と、前記周縁部画像の上下方向とを一致させて表示させると共に、前記画像表示部に表示される画像の位置を示す観察位置マークを表示させるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記全体表示部内で指定された座標を取得し、この座標に対応する観察位置の画像を前記画像取得部で取得可能に前記ステージを移動させるように構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記制御装置は、前記周縁表示部内で指定された座標を取得し、この座標に対応する観察位置の画像を前記画像取得部で取得可能に前記ステージを移動させるように構成したことを特徴とする請求項２に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記画像取得部で取得した観察位置の画像を保存可能な記憶装置を有し、前記制御装置は、前記記憶装置に保存した画像の観察位置を示す保存位置マークを前記表示手段に表示させるように構成したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記記憶装置に保存される観察位置の画像のデータは、前記保存位置マークの選択によって出力されるように、前記保存位置マークと関連付けて前記記憶装置に保存されていることを特徴とする請求項５に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハなどの欠陥検査に用いられる外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハ上に回路などを製造する際には、熱処理などによってウェハに反りや内部応力が発生することがある。このような場合には、回路の製造途中でウェハに割れが生じることがあるので、ウェハの周縁部を拡大して観察することで、将来的に割れに進行するおそれのあるヒビの有無を検査することが知られている。ここで、ウェハの周縁部を観察するために用いられる外観検査装置としては、ウェハを回転可能に支持する支持部と、ウェハの周縁部を連続的に撮像する周縁部撮像部と、周縁部を照明する周縁部照明部とを備えるものがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に開示されている外観検査装置では、周縁部撮像部は、ウェハに対して前後左右及びウェハの厚さ方向に移動可能に３つ設けられており、それぞれの周縁部撮像部で撮像されたウェハ周縁部の画像は、表示部に同時に並んで表示される。さらに、表示部には、この他に欠陥位置の座標や、種類が数値で表示される。
【特許文献１】特開２００３−２４３４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、ウェハの周縁部の拡大像と座標の数値では、実際に観察している部分がウェハ上のどこにあるのかを確認することが難かった。また、同じウェハの他の場所や、他のウェハで前に観察した場所などを参照したい場合には、そのウェハや場所を探して、再度画像を取得しなければならないが、このような場合には観察したい場所を特定することはさらに困難になる。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ウェハの周縁部を観察する際に、観察している位置の確認を容易に行えるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の課題を解決する本発明は、被検体となるワークを載置するステージを移動させて画像取得部で取得した前記ワークの周縁部の画像を制御装置の制御によって表示手段に表示させる外観検査装置において、前記表示手段は、前記画像取得部で取得した画像を表示する画像表示部と、前記ワークの全体画像を表示する全体表示部とを有し、前記制御装置は、前記画像表示部に表示される画像の位置を示す観察位置マークを前記全体表示部に表示させるように構成したことを特徴とする外観検査装置とした。
【０００５】
この外観検査装置では、観察画像を画像表示部に表示する際に、観察位置を示す観察位置マークをワークの全体画像を表示する全体表示部に表示させる。例えば、観察位置を移動させた場合には、これに伴って観察位置マークの位置が移動するので、観察者は、観察位置マークを確認すれば、現在の観察位置がワークの全体中でどこにあるのかを瞬時に把握できるようになる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、画像取得部で取得したワーク上の特定の観察位置の画像を表示すると共に、ワークの全体画像に観察位置を示す観察位置マークを表示させるようにしたので、観察位置マークを確認することで、観察位置を目視で容易に確認することができる。したがって、外観検査が容易になり、作業効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の実施の形態について図面を参照して以下に説明する。
図１にこの実施の形態に係る外観検査装置の概略構成を示す。この外観検査装置１は、被検体であるワークとして、半導体ウェハＷの周縁部の外観検査を行う装置として説明するが、ワークは半導体ウェハＷに限定されない。
【０００８】
外観検査装置１は、半導体ウェハ（以下、ウェハとする）Ｗを保持するステージ２を有している。ステージ２は、ウェハＷを吸着保持する略円板形の保持板３を有している。保持板３の外径は、ウェハＷの外径よりも小さくなっている。保持板３の下面部からは、回転軸４が鉛直下向きに延設されている。この回転軸４は、ＸＹＺθ駆動機構５に連結されており、ステージ２をＸＹＺ方向に移動可能及び回転可能になっている。なお、Ｘ方向及びＹ方向は、水平方向であり、Ｚ方向は上下方向、θは回転軸４回りの回転角度を示している。
【０００９】
また、ステージ２から所定距離だけ離れた位置には、周縁部観察部６が設けられている。周縁部観察部６は、ウェハＷの周縁部に合わせて凹部７ａが形成されたベース部７を有し、この凹部７ａにウェハＷの周縁部の上面、側面、下面を撮像する撮像部８が配設されている。撮像部８は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）を備える画像取得部であるが、画像取得部の構成はウェハＷの画像を取得するできるものであればＣＣＤに限定されない。図１には、撮像部８を３つ備える３視野タイプの周縁部観察部が図示されているが、１つの撮像部８を移動自在に備える１視野タイプや、５つの撮像部８が配設される５視野タイプなど種々のタイプを使用することが可能である。
【００１０】
ステージ２のＸＹＺθ駆動機構５と、周縁部観察部６の各撮像部８とは、制御装置１０に接続されている。制御装置１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）や、メモリを備え、後に説明する処理を実現するように構成されている。さらに、制御装置１０には、入力部１１と、出力部である表示部１２とが接続されている。入力部１１としては、マウスなどのポインティングデバイスや、キーボードがあげられる。さらに、制御装置１０は、ステージ２の制御を行う位置制御部１５と、周縁部観察部６の制御を行う撮像制御部１６と、画像処理を行う画像処理部１７と、メモリなどの記憶装置１８とに機能分割することができる。なお、制御装置１０は、入力部１１及び表示部１２を備えるコンピュータであっても良い。
【００１１】
表示部１２は、周縁部観察部６で撮像された観察画像や、その他の情報を表示するものである。図１に例示されるように、表示部１２には、周縁部観察部６で撮像した実際の観察画像Ｉ１がリアルタイムで表示される画像表示部２０と、周縁部観察部６がウェハＷ全体のどの位置を撮像しているのかを示す表示であって、ウェハＷの上方又は下方から観察したときの形状を表現する観察位置全体表示部２１と、観察画像Ｉ１がウェハＷの周縁部のどの位置についての画像であるのかを示す表示であって、ウェハＷを側方から観察したときの断面形状を表現する観察位置周縁表示部２２と、観察位置の座標を示す座標表示部２３とが表示され、その他に操作用のメニューボタン領域２４や、ボタン２５なども設けられている。
【００１２】
画像表示部２０は、他の表示部２１，２２，２３に比べて大きい領域を占めており、観察者が詳細な検査をしやすくなっている。また、観察位置全体表示部２１は、制御装置１０において作成されたウェハＷの全体画像Ｉ２と、観察位置マークＩ３とを有し、観察位置マークＩ３によって、観察位置つまり観察画像Ｉ１の座標に相当する位置が、外周側から示されるようになっている。なお、この観察位置全体表示部２１には、ウェハＷにオリエンテーションフラットやノッチがある場合に、これらが常に下側になるように表示されることが好ましい。さらに、欠陥位置を示すイメージＩ４を全体画像Ｉ２上に表示しても良い。このイメージＩ４は、他の検査装置で予め取得された欠陥位置及び欠陥の種類の情報を制御装置１０で処理することによって作成される。
【００１３】
観察位置周縁表示部２２は、制御装置１０において作成されるウェハＷの周縁部画像Ｉ５と、周縁部画像Ｉ５に対して観察画像Ｉ１の観察位置と観察方向とを示す観察位置マークＩ６とからなる。観察位置周縁表示部２２における周縁部画像Ｉ５の上下方向は、ステージ２上の実際のウェハＷの上下方向と一致するように作成される。つまり、撮像部８で上方からウェハを観察しているときには、観察位置マークＩ６は、周縁部が周縁部像Ｉ５の上側で、下向きの矢印として表示される。なお、観察位置マークＩ３，Ｉ６の形状は、図１に示すような矢印形状に限定されない。
【００１４】
座標表示部２３は、ステージ２が基準位置から水平移動した量を示すＸ座標及びＹ座標と、ステージ２が基準位置から上下方向に移動した量を示すＺ座標と、ステージ２が基準位置から回転した角度を示すθとが並んで表示されている。
【００１５】
この実施の形態の作用について、画像表示部２０と他の表示部２１，２２，２３とを連動させる処理を中心にして図２のフローチャートを参照して説明する。
制御装置１０は、位置制御部１５でＸＹＺθ駆動機構５を制御してウェハＷの位置合わせを行う。例えば、図示しない搬送アームでステージ２の上方にウェハＷを移動させて、ステージ２のウェハＷの周縁部に配置された図示しない複数の位置検出センサによってウェハＷの中心と、ステージ２の回転中心とのずれを検出し、このずれを補正するようにステージ２を移動させてから、搬送アームを下降させることにより、基準位置に位置合わせする（ステップＳ１０１）。基準位置には、この場合、ステージ２の中心が用いられている。次に、ウェハＷがステージ２に吸着保持によって搭載されたら（ステップＳ１０２）、周縁部を観察できる位置までステージ２を移動させる（ステップＳ１０３）。なお、ステージ２の代わりに、周縁部観察部６が移動しても良い。
【００１６】
次に、制御装置１０は、画像処理部１７によってグラフィック表示処理を実行する（ステップＳ１０４）。具体的には、観察を開始するにあたり、ウェハＷの全体像をイメージした全体画像Ｉ２を作成し、表示部１２の観察位置全体表示部２１に表示させる。また、ウェハＷの周縁部をイメージした周縁部画像Ｉ５を作成し、観察位置周縁表示部２２に表示させる。そして、全体画像Ｉ２及び周縁部画像Ｉ５のそれぞれに対して、予め定められた位置（デフォルト位置）に観察中の位置を示す観察位置マークＩ３，Ｉ６を作成し、表示させる。また、座標表示部２３においては、観察位置マークＩ３，Ｉ６によって示される観察位置のＸ座標、Ｙ座標、Ｚ座標及び回転角度θの値を表示させる。
【００１７】
ここで、入力部１１の操作によって、例えば、座標表示部２３のθの値をメニューボタン領域２４に配置された角度変更ボタン（不図示）等により操作し、ステージ２を角度θ回転させた場合には（ステップＳ１０５でＹｅｓ）、観察位置全体表示部２１における観察位置マークＩ３を元の位置から角度θだけ全体画像Ｉ２の中心を基準にして相対的に回転移動させ（ステップＳ１０６）、この位置でグラフィック表示を行う（ステップＳ１０４）。これによって、観察位置マークＩ３は、常に実際の観察位置を示すようになる。また、この際に、座標表示部２３の座標も実際の観察位置に合わせて更新する。
【００１８】
また、入力部１１の操作によって、撮像部８を変更して視点の切り替えを行ったり、ステージ２をＸＹＺ方向に移動させたりしたときには（ステップＳ１０７においてＹｅｓ）、ステージ２の移動量に応じて観察位置周縁表示部２２の観察位置マークＩ６を周縁部画像Ｉ５に対して相対的に移動させて（ステップＳ１０８）、この位置でグラフィック表示を行う（ステップＳ１０４）。これによって、観察位置マークＩ６は、常に実際の観察位置を示すようになる。なお、上側の撮像部８から下側の撮像部８に視点が切り替えられた場合には、観察位置周縁表示部２２の観察位置マークＩ６は、下側から上向きに周縁部画像Ｉ５を指し示すように表示される。同様に、側方からの視点に切り替えられた場合には、観察位置マークＩ６は、側方から周縁部画像Ｉ５を指し示すように表示される。また、この際に、座標表示部２３の座標も実際の観察位置に合わせて更新する。
【００１９】
このようにして、入力部１１の操作に応じて画像表示部２０、観察位置全体表示部２１、観察位置周縁表示部２２、座標表示部２３を連動して更新させながらウェハＷの周縁部の検査を行う。検査を終了する場合には（ステップＳ１１０でＹｅｓ）、ここでの処理を終了する。検査を継続する場合には（ステップＳ１１０でＮｏ）、グラフィック表示（ステップＳ１０４）に戻る。
【００２０】
この実施の形態によれば、ステージ２を移動させて観察位置を変更した場合に、観察位置全体表示部２１と、観察位置周縁表示部２２とに実際の観察位置と連動する観察位置マークＩ３、Ｉ６を表示するようにしたので、ウェハＷのどの部分を観察中であるかを一目で確認することが可能になる。これによって、検査の作業効率を向上させることができる。
また、観察位置周縁表示部２２に表示されるウェハＷの周縁部画像Ｉ５が、実際のウェハＷの上下方向と一致させてあるので、視点モードの確認や、選択が容易になる。
【００２１】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態は、装置構成は第１の実施の形態と同様であり、制御のみが異なることを特徴とする。したがって、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
【００２２】
図３に示すように、この実施の形態においては、ウェハＷの位置合わせを行い（ステップＳ２０１）、ウェハＷがステージ２に搭載されたら（ステップＳ２０２）、周縁部観察位置までステージ２を移動する（ステップＳ２０３）。さらに、グラフィック表示（ステップＳ２０４）を行う。
【００２３】
ここで、観察位置全体表示部２１に表示されているウェハＷの全体画像Ｉ２の周縁部がマウスでクリックされたら（ステップＳ２０５でＹｅｓ）、画像処理部１７がクリックされた場所の座標と全体画像Ｉ２の中心とから、現在の観察位置に対する角度θを算出し、位置制御部１５が角度θだけステージ２を回転移動させ（ステップＳ２０６）、グラフィック表示（ステップＳ２０４）を再度実行する。この場合には、ステージ２の回転軸４を回転させたら、観察位置全体表示部２１における観察位置マークＩ３を、全体画像Ｉ２に対して現在の観察位置から角度θだけ回転させた位置に表示させ、観察位置マークＩ３が常に実際の観察位置を指し示すように更新処理を行う。この際に、座標表示部２３の座標の更新処理を行う。
【００２４】
また、観察位置周縁表示部２２に表示されているウェハＷの周縁部画像Ｉ５がマウスでクリックされたら（ステップＳ２０７でＹｅｓ）、画像処理部１７がクリックされた場所に相当する観察位置を撮像できる撮像部８を選択し、撮像制御部１６によって選択された撮像部８による視点モードに切り替えを行う（ステップＳ２０８）。具体的には、クリックされた座標と、周縁部画像Ｉ５との関係を観察位置周縁表示部２２中の上下関係及び左右関係で演算し、クリックされた位置が周縁部画像Ｉ５の上側であれば、上方からの視点モードとして、上部の撮像部８が選択される。クリックされた位置が周縁部画像Ｉ５の下側であれば、下方からの視点モードとして、下部の撮像部８が選択される。クリックされた位置が周縁部画像Ｉ５の側方であれば、側方からの視点モードとして、側部の撮像部８が選択される。そして、クリックされた位置の座標に対応する実際のＸＹＺθ座標を演算し、このＸＹＺθ座標で特定される新しい観察位置が、選択された撮像部８の視野に入るようにステージ３を移動させる（ステップＳ２０９）。
【００２５】
そして、この処理に応じてグラフィック表示（ステップＳ２０４）を再度実行する。つまり、観察位置周縁表示部２２において、観察位置マークＩ６がＸＹＺ座標の変化に連動して周縁部画像Ｉ５に対して相対的に移動し、観察位置マークＩ６が常に実際の観察位置を指し示すように更新処理を行う。そして、この場合も、座標表示部２３の座標の更新処理を行う。
【００２６】
このようにして、画面上でクリックされた位置に合わせて画像表示部２０、観察位置全体表示部２１、観察位置周縁表示部２２、座標表示部２３を連動して更新させながらウェハＷの周縁部の検査を行う。検査を終了する場合には（ステップＳ２１０でＹｅｓ）、ここでの処理を終了する。検査を継続する場合には（ステップＳ２１０でＮｏ）、グラフィック表示（ステップＳ１０４）に戻る。
【００２７】
この実施の形態によれば、画面上で新しい観察位置が指定された場合に、その位置に合わせてステージ２を移動させ、撮像部８を選択することが可能になる。また、被検体であるウェハＷの全体像や、断面像を見ながら観察したい位置を指定することができるので、検査の作業効率を向上させることができる。その他の効果は第１の実施の形態と同様である。
【００２８】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態は、観察画像が保存可能に構成されている他は、第１の実施の形態と同様の装置構成になっている。したがって、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
【００２９】
図４に示すように、外観検査装置３０の表示部１２には、保存ボタン３１が設けられると共に、観察位置全体表示部２１及び観察位置周縁表示部２２には保存した観察画像Ｉ１の位置を示す保存位置マークＩ７，Ｉ８が表示可能になっている。保存位置マークＩ７，Ｉ８は、観察位置マークＩ３，Ｉ６と目視で区別できるように異なる形のマーク（図４においては菱形）が用いられており、複数表示可能であると共に、観察位置マークＩ３，Ｉ６と一緒に表示させることもできる。なお、保存位置マークＩ７，Ｉ８は、観察位置マークＩ３，Ｉ６と異なる色で表示させても良い。
また、制御装置１０の記憶装置１８には、観察画像Ｉ１の画像データが保存される。記憶装置１８に保存される画像データは、観察位置を示す座標データと関連付けられて保存されており、この座標データを介して保存位置マークＩ７，Ｉ８と関連付けられている。さらに、保存される画像データは、表示部２１，２２に表示される画像情報や位置情報に関連付けられて保存されている。つまり、１つの画像データのファイル名に対して、保存を行ったときの画像データと、それがウェハＷのどの位置かを表示する観察位置全体表示部２１と観察位置周縁表示部２２の観察位置マークＩ３，Ｉ６の情報と、保存位置マークＩ７，Ｉ８の情報とが関連付けられて保存される。
【００３０】
この実施の形態の作用について説明する。
まず、図２又は図３に示すフローチャートに従って検査を行っているときに、保存したい観察画像Ｉ１があった場合には、その観察画像Ｉ１が画像表示部２０に表示されている状態で保存ボタン３１をクリックする。すると、画像処理部１７は、その観察画像Ｉ１を保存画像ＳＩ１とし、保存画像ＳＩ１の画像データとその観察位置の座標データとを関連付けて、記憶装置１８に保存させる。そして、観察位置全体表示部２１と、観察位置周縁表示部２２とにおいて、観察位置マークＩ３，Ｉ６を保存位置マークＩ７，Ｉ８に更新する。この後に、観察位置が変更された場合には、観察位置マークＩ３，Ｉ６は、実際の観察位置に合わせて表示位置が変更されるが、保存位置マークＩ７，Ｉ８は、保存画像ＳＩ１の座標データに対応した位置に常に表示される。
【００３１】
保存画像ＳＩ１を参照する場合の処理について図５に示す。
まず、観察位置全体表示部２１に表示されている保存位置マークＩ７１をマウスでクリックする。保存位置マークＩ７１の座標データから観察位置の座標データが換算され、観察位置の座標データで記憶装置１８が検索される。その場所に対応する保存画像が、１つの保存画像ＳＩ２のみである場合には、観察位置周縁表示部２２にその位置を示す保存位置マークＩ８１が表示される。これと共に、画像表示部２０には、現在観察中の観察画像Ｉ１の代わりに、記憶装置１８から抽出された保存画像ＳＩ２が表示される。
また、保存位置マークＩ７２をマウスでクリックした場合には、同様にして記憶装置１８から対応する保存画像のデータが抽出される。この場合には、ウェハＷの上面側と、下面側との２箇所の保存画像ＳＩ２，ＳＩ３が存在するので、観察位置周縁表示部２２にその位置を示す保存位置マークＩ８２と保存位置マークＩ８２が表示される。保存位置マークＩ８２がマウスでクリックされたら、これに対応する座標の保存画像ＳＩ３が現在観察中の観察画像Ｉ１に代わって画像表示部２０に表示される。一方、保存位置マークＩ８３がマウスでクリックされたら、これに対応する座標の保存画像ＳＩ４が現在観察中の観察画像Ｉ１に代わって画像表示部２０に表示される。
なお、先の記載では、画像の保存を行ったときの表示部２１，２２の情報が関連付けられて保存されるとしたが、同じウェハＷに対して新たな画像を保存する場合には、既に保存されている画像データのファイルにも新規に保存された画像の位置情報が関連付けされるようにしても良い。
【００３２】
ここで、観察位置周縁表示部２２の保存位置マークＩ８１〜Ｉ８３に対応して観察位置全体表示部２１の表示と、画像表示部２０の切り替えとを行っても良い。また、保存画像ＳＩ１〜ＳＩ４は、別の表示部に表示され、観察中の観察画像Ｉ１と並べて表示させても良い。
【００３３】
この実施の形態によれば、観察画像Ｉ１を保存することが可能になるので、観察中に他の場所の画像を確認することが可能になる。この場合において、保存位置マークＩ７，Ｉ８を用いて観察画像Ｉ１を保存した位置を目視で確認できる。また、保存位置マークＩ７，Ｉ８と保存画像ＳＩ１の画像データとを関連付けることで、観察中であっても画像が保存されている位置が表示されるので、保存位置マークＩ７，Ｉ８をクリックするなどの操作をすれば、保存画像ＳＩ１を見たいときに読み出して表示させ、確認することが可能になる。また、画像だけでなく、位置情報も関連付けて保存しているので、ウェハＷのどの位置の画像かを確認することができ、作業効率が向上する。その他の効果は、第１の実施の形態又は第２の実施の形態と同様である。
【００３４】
なお、本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、第３の実施の形態において、記憶装置１８に保存した保存画像ＳＩ１のデータを他の基板検査装置の表示部に表示させたり、データ管理用のサーバに保存したりしても良い。この場合には、ウェハＷに予め付与されている基板ＩＤなどと保存画像ＳＩ１のデータを関連づけることで、ウェハＷの特定と場所の特定とが可能になる。保存画像ＳＩ１のデータの受け渡しは、ネットワークを介在させても良いし、記録媒体を利用しても良い。この場合に、外観検査装置は、ステージ３及び周縁部観察部６を備えずに、他で取得された観察画像を表示させることで外観検査を行う装置であっても良い。
また、マウスでクリックする代わり、観察位置マークＩ３，Ｉ６をマウスでドラッグしたり、キーボードのテンキーなどのカーソルを用いたりして移動させても良い。
【００３５】
ウェハＷの全体像を撮像可能な撮像装置を設け、観察位置全体表示部２１に表示されるウェハＷの全体画像を実際の画像にしても良い。同様に、観察位置周縁表示部２２で表示されるウェハＷの周縁部の画像を実際の画像としても良い。
そして、外観検査装置は、第１、第２、第３の実施の形態の機能を２つ以上組み合わせて構成されても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態に係る外観検査装置の構成を示す図である。
【図２】外観検査装置の処理を示すフローチャートである。
【図３】外観検査装置の処理を示すフローチャートである。
【図４】外観検査装置の構成を示す図である。
【図５】保存位置マークに基づく保存画像の表示制御処理を説明する図である。
【符号の説明】
【００３７】
１，３０      外観検査装置
２      ステージ
８      撮像部（画像取得部）
１０    制御装置
１２    表示部
１８    記憶装置
２０    画像表示部
２１    観察位置全体表示部（全体表示部）
２２    観察位置周縁表示部（周縁表示部）
Ｉ１    観察画像（画像）
Ｉ２    全体画像
Ｉ３，Ｉ６    位置マーク
Ｉ５    周縁部画像
Ｉ７，Ｉ８，Ｉ７２，Ｉ７２，Ｉ８１〜Ｉ８３    保存位置マーク
ＳＩ１〜ＳＩ４    保存画像（保存した観察画像）
【図１】
2006308360.tif 000003
【図２】
2006308360.tif 000004
【図３】
2006308360.tif 000005
【図４】
2006308360.tif 000006
【図５】
2006308360.tif 000007