(57)【要約】【課題】  接着剤層への水分の透過を抑制し、接着剤の水分による劣化を防止でき、信頼性が向上した磁気エンコーダ、及び転がり軸受ユニットを提供する。【解決手段】  磁気エンコーダ２６は、内輪１６ａに外嵌可能な円筒部２５ａと、円筒部２５ａから半径方向外方に広がるように形成されるフランジ部２５ｃとを有するスリンガ２５と、スリンガ２５のフランジ部２５ｃの外側面に接着剤によって取り付けられ、円周方向に多極着磁された略円環状の磁極形成リング２７と、を備える。磁極形成リング２７とスリンガ２５との接合部の境界部分３０，３１の表面を少なくとも覆うように防湿被膜４０が形成される。【選択図】  図２
2006214920.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体に外嵌可能な円筒部と、該円筒部から半径方向外方に広がるように形成されるフランジ部とを有するスリンガと、該スリンガのフランジ部の外側面に接着剤によって取り付けられ、円周方向に多極着磁された略円環状の磁石部と、を備える磁気エンコーダであって、
前記磁石部と前記スリンガとの接合部の境界部分の表面を少なくとも覆うように被膜が形成されることを特徴とする磁気エンコーダ。
【請求項２】
前記被膜は、非晶性フッ素樹脂、硬化型ウレタン樹脂、硬化型アクリル樹脂、硬化型エポキシ樹脂、ポリパラキシリレン誘導体から選ばれる少なくとも一つからなることを特徴とする請求項１に記載の磁気エンコーダ。
【請求項３】
前記接着剤は、フェノール樹脂系接着剤、エポキシ樹脂系接着剤の群から選ばれる少なくとも一つであることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気エンコーダ。
【請求項４】
前記磁石部が、磁性体粉と、バインダーとして熱可塑性樹脂を含有するプラスチック磁石材料からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
【請求項５】
固定輪と、回転輪と、前記固定輪と前記回転輪との間で周方向に転動自在に配置される複数の転動体と、前記回転輪に固定される請求項１〜４のいずれかに記載の磁気エンコーダとを備えることを特徴とする転がり軸受ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転体の回転数を検出するために用いられる磁気エンコーダ及び磁気エンコーダを備える転がり軸受ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車のスキッド（車輪が略停止状態で滑る現象）を防止するためのアンチスキッド、又は有効に駆動力を路面に伝えるためのトラクションコントロール（発進や加速時に生じやすい駆動輪の不要な空転の制御）などに用いられる回転数検出装置としては、Ｎ極とＳ極とを円周方向に交互に着磁された円環状のエンコーダと、エンコーダの近傍における磁場の変化を検出するセンサとを有し、車輪を支持する軸受を密封するための密封装置にエンコーダを併設して配置することにより車輪の回転と共にエンコーダを回転せしめ、車輪の回転に同期した磁場変化をセンサにより検出するものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１に記載のシール付回転数検出装置は、図６に示すように、外輪１０１ａに取り付けられたシール部材１０２と、内輪１０１ｂに嵌合されたスリンガ１０３と、スリンガ１０３の外側面に取り付けられて磁気パルスを発生するエンコーダ１０４と、エンコーダ１０４に近接して配置されて磁気パルスを検出するセンサ１０５とから構成されている。このシール付回転数検出装置が取付けられた軸受ユニットでは、シール部材１０２とスリンガ１０３とにより、埃、水等の異物が軸受内部に侵入することを防止し、軸受内部に充填された潤滑剤が軸受外部に漏洩することを防止している。また、エンコーダ１０４は、内輪１０１ｂが１回転する間に、極数に対応した数の磁気パルスを発生させ、この磁気パルスをセンサ１０５により検出することで内輪１０１ｂの回転数を検出している。
【０００４】
従来、車輪用軸受に使用するエンコーダ１０４は、ゴムあるいは樹脂等の弾性素材に磁性粉を混入させた弾性磁性材料で形成されており、型内で接着剤の塗布されたスリンガ１０３のフランジ部１０３ａへプレス造形されることで、接合されている。一般的に、エンコーダ用として用いられるのは、磁性粉としてフェライトを含有したニトリルゴムが用いられており、ロールで練られることで、機械的に磁性粉が配向された状態になっている。
【０００５】
尚、接着剤として使用されているものは、ゴム磁石との加硫接着性を考慮して、レゾールタイプのフェノール樹脂系接着剤が一般的であり、場合によっては、フェノール樹脂系接着剤に耐水性が高いエポキシ樹脂が混合されたものや、さらにこれらの接着剤を上塗り接着剤とし、下塗り接着剤としてシランカップリング剤、エポキシ樹脂等からなるものを組み合わせて使用して、更に耐水性を向上させて使用している例もある。
【特許文献１】特開２００１−２５５３３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、接着剤層にはフェノール系樹脂が含有されているので、塩水や熱水などがかかる厳しい条件で長期間使用すると、フェノール系樹脂に吸水による膨潤・加水分解が起き、接着剤としての機能が低下し、最悪の場合磁石部がスリンガから脱着し、磁気エンコーダとして機能しなくなる虞があった。
【０００７】
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、接着剤層への水分の透過を抑制し、接着剤の水分による劣化（変質）を防止でき、信頼性が向上した磁気エンコーダ、及び転がり軸受ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の上記目的は、以下の構成により達成される。
（１）  回転体に外嵌可能な円筒部と、該円筒部から半径方向外方に広がるように形成されるフランジ部とを有するスリンガと、該スリンガのフランジ部の外側面に接着剤によって取り付けられ、円周方向に多極着磁された略円環状の磁石部と、を備える磁気エンコーダであって、
前記磁石部と前記スリンガとの接合部の境界部分の表面を少なくとも覆うように被膜が形成されることを特徴とする磁気エンコーダ。
（２）  前記被膜は、非晶性フッ素樹脂、硬化型ウレタン樹脂、硬化型アクリル樹脂、硬化型エポキシ樹脂、ポリパラキシリレン誘導体から選ばれる少なくとも一つからなることを特徴とする（１）に記載の磁気エンコーダ。
（３）  前記接着剤は、フェノール樹脂系接着剤、エポキシ樹脂系接着剤の群から選ばれる少なくとも一つであることを特徴とする（１）又は（２）に記載の磁気エンコーダ。
（４）  前記磁石部が、磁性体粉と、バインダーとして熱可塑性樹脂を含有するプラスチック磁石材料からなることを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の磁気エンコーダ。
（５）  固定輪と、回転輪と、前記固定輪と前記回転輪との間で周方向に転動自在に配置される複数の転動体と、前記回転輪に固定される（１）〜（４）のいずれかに記載の磁気エンコーダとを備えることを特徴とする転がり軸受ユニット。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の磁気エンコーダによれば、磁石部とスリンガとの接合部の境界部分の表面を少なくとも覆うように被膜が形成されるので、接合部における接着剤層への水分の浸透が最小限に抑制され、塩水がかかるような厳しい環境で使用しても、磁石部の剥れが発生せず、信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る磁気エンコーダ及び転がり軸受ユニットの一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
図１は、本発明の実施形態の一例として、独立懸架式のサスペンションに支持する、非駆動輪を支持するためのハブユニット軸受２ａに、本発明を適用した場合について示している。尚、本発明の特徴以外の構成及び作用については、従来から広く知られている構造と同等であるから、説明は簡略にし、以下、本発明の特徴部分を中心に説明する。
【００１２】
ハブユニット軸受２ａは、固定輪である外輪５ａと、車輪（図示せず）を固定するための取付フランジ１２と一体回転する回転輪（回転体）であるハブ７ａ及び内輪１６ａと、外輪５ａとハブ７ａ及び内輪１６との間で形成される環状隙間で周方向に転動自在に配置され、保持器１８によって案内される複数の転動体である玉１７ａ，１７ａとを備え、内輪１６には磁気エンコーダ２６が固定されている。
【００１３】
ハブ７ａの内端部に形成した小径段部１５に外嵌した内輪１６ａは、このハブ７ａの内端部を径方向外方にかしめ広げる事により形成したかしめ部２３によりその内端部を抑え付ける事で、ハブ７ａに結合固定されている。また、車輪は、このハブ７ａの外端部で、外輪５ａの外端部から突出した部分に形成した取付フランジ１２に円周方向に所定間隔で植設されたスタッド８によって、結合固定自在としている。これに対して外輪５ａは、その外周面に形成した結合フランジ１１により、懸架装置を構成する、図示しないナックル等に結合固定自在としている。
【００１４】
更に、外輪５ａの両端部内周面と、ハブ７ａの中間部外周面及び内輪１６ａの内端部外周面との間には、それぞれ密封装置であるシールリング２１ａ、２１ｂが設けられる。これら各シールリング２１ａ、２１ｂは、外輪５ａの内周面とハブ７ａ及び内輪１６ａの外周面との間で、各玉１７ａ、１７ａを設けた環状隙間と外部空間とを遮断している。
【００１５】
各シールリング２１ａ、２１ｂは、それぞれ軟鋼板を曲げ形成して、断面Ｌ字形で全体を円環状とした芯金２４ａ、２４ｂにより、弾性材２２ａ、２２ｂを補強してなる。この様な各シールリング２１ａ、２１ｂは、それぞれの芯金２４ａ、２４ｂを外輪５ａの両端部に締り嵌めで内嵌し、それぞれの弾性材２２ａ、２２ｂが構成するシールリップの先端部を、ハブ７ａの中間部外周面、或は内輪１６ａの内端部外周面に外嵌固定したスリンガ２５に、それぞれの全周に亙り摺設させている。
【００１６】
また、図２に示すように、磁気エンコーダ２６は、内輪１６ａに外嵌可能な円筒部２５ａと、円筒部２５ａの軸方向端部に湾曲部２５ｂを介して連設され半径方向外方に広がるように形成されるフランジ部２５ｃとを有するスリンガ２５と、スリンガ２５のフランジ部２５ｃの外側面にインサート成形時に硬化反応が進む接着剤によって取り付けられ、円周方向に多極着磁された略円環状の磁石部である磁極形成リング２７と、磁極形成リング２７とスリンガ２５との接合部の境界部分３０，３１の表面を少なくとも覆うように形成された防湿被膜４０とを備える。
【００１７】
図３に示すように、磁極形成リング２７は多極磁石であり、その周方向には、交互にＮ極とＳ極が形成されている。そして、この磁極形成リング２７に磁気センサ２８が対面配置される（図１参照。）。
【００１８】
本発明では、磁気エンコーダ２６の磁極形成リング２７の磁石材料としては、特に限定されないが、スリンガ２５への接合性を考慮すると、磁性粉を５０〜８０体積％程度含有し、熱可塑性樹脂あるいはゴムをバインダーとした磁石コンパウンドを好適に用いることができる。磁性粉としては、ストロンチウムフェライトやバリウムフェライト等のフェライト、ネオジウム−鉄−ボロン、サマリウム−コバルト、サマリウム−鉄等の希土類磁性粉を用いることができ、更にフェライトの磁気特性を向上させるためにランタン等の希土類元素を混入させたものであってもよい。磁性粉の含有量が５０体積％未満の場合は、磁気特性が劣ると共に、細かいピッチで円周方向に多極磁化させるのが困難になり、好ましくない。それに対して、磁性粉の含有量が８０体積％を越える場合は、バインダー量が少なくなりすぎて、磁石全体の強度が低くなると同時に、成形が困難になり、実用性が低下する。
【００１９】
バインダーとして熱可塑性樹脂を用いる場合は、射出成形可能なものが好適であり、具体的には、ポリアミド６、ポリアミド１２、ポリアミド６１２、ポリアミド１１、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリアミド１２成分からなるソフトセグメントを有する変性ポリアミド１２樹脂、ポリエーテル成分あるいはポリエステル成分からなる変性ポリエステル樹脂等を用いることができる。尚、エンコーダに融雪剤として使用される塩化カルシウムが水と一緒にかかる可能性があるので、吸水性が少ないポリアミド１２、ポリアミド６１２、ポリアミド１１、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、変性ポリアミド１２樹脂、変性ポリエステル樹脂を樹脂バインダーとする方が、より好ましい。
【００２０】
更に、エンコーダの使用環境で想定される急激な温度変化（熱衝撃）による亀裂発生を防止するバインダーとしては、添加することで、曲げたわみ性、耐亀裂性が向上する変性ポリアミド１２樹脂、変性ポリエステル樹脂、あるいは変性ポリアミド１２樹脂とポリアミド１２との混合物、変性ポリエステル樹脂とポリエステル樹脂との混合物としたものが最も好適である。
【００２１】
バインダーとしてゴムを用いる場合は、耐油性と耐熱性を兼ね備えたニトリルゴム、アクリルゴム、水素添加ニトリルゴム、フッ素ゴム等が好適である。
【００２２】
また、磁性粉として、コスト、耐酸化性を考慮すると、フェライト系が最も好適であるが、磁気特性を優先して希土類系を使用した場合、フェライト系に比べて、耐酸化性が低いので、長期間に渡って安定した磁気特性を維持させるために、露出した磁石表面に、更に表面処理層を設けてもよい。表面処理層としては、電気あるいは無電解ニッケルメッキ、エポキシ樹脂塗膜、シリコン樹脂塗膜、フッ素樹脂塗膜等を具体的に用いることができる。
【００２３】
スリンガ２５の材質としては、磁石材料の磁気特性を低下させず、尚且つ使用環境からいって、一定レベル以上の耐食性を有するフェライト系ステンレス（ＳＵＳ４３０等）、マルテンサイト系ステンレス（ＳＵＳ４１０等）等の他、更にＭｏ等を添加して耐食性を向上させたＳＵＳ４３４、ＳＵＳ４４４等の高耐食性フェライト系ステンレスなどの磁性材料が好適である。
【００２４】
本実施形態で用いられるスリンガ２５の磁極形成リング２７との接合面は、接着剤との接合力を向上させるために微細な凹凸を設けたほうが好適であり、凹凸の設ける方法としては、ショットブラスト処理やプレス成形時の金型表面の凹凸の転写による方法などの機械的なものの他、一度表面処理した表面を酸などによって化学エッチングするものであってもよい。磁石接合面に凹凸を設けると、そこに接着剤が入り込み、アンカー効果により磁極形成リング２７とスリンガ２５との接合力が強固になり、より好適である。
【００２５】
本実施形態の磁気エンコーダに用いられる接着剤は、インサート成形時に、溶融した高圧のプラスチック磁石材料やゴム磁石材料の流動物によって、脱着して流失しない程度まで半硬化状態になっており、溶融樹脂・流動ゴムからの熱、あるいはそれに加えて成形後の２次加熱によって完全に硬化状態となる。使用可能な接着剤としては、溶剤での希釈が可能で、２段階に近い硬化反応が進むフェノール樹脂系接着剤、エポキシ樹脂系接着剤等が、耐熱性、耐薬品性、ハンドリング性を考慮して好ましい。
【００２６】
また、本実施形態の磁気エンコーダでは、磁極形成リング２７とスリンガ２５との接合部の境界部分３０，３１を少なくとも覆うように、防湿被膜４０が設けられており、接着剤層への水分の浸透を最小限に抑制している。防湿被膜４０を形成する材料としては、非晶性フッ素樹脂、硬化型ウレタン樹脂、硬化型アクリル樹脂、硬化型エポキシ樹脂、ポリパラキシリレン誘導体などである。この中で、特に樹脂自体に撥水性がある非晶性フッ素樹脂被膜、ポリパラキシリレン誘導体が水分の透過を抑える効果が高く特に好適である。
【００２７】
非晶性フッ素樹脂は、主鎖に含フッ素脂肪族エーテル環構造を有する重合体であり、具体的には、パーフルオロ（アリルビニルエーテル）やパーフルオロ（ブテニルビニルエーテル）等のアルケニルビニルエーテルからなるモノマーを環化重合したり、又はこれらのモノマーをテトラフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン、パーフルオロ（メチルビニルエーテル）等のラジカル重合性モノマーと共重合することによって得られる。
【００２８】
この非晶性フッ素樹脂は、基材との接着性を向上させるために、カルボキシル基等の官能基を末端等に導入した構造のものが好ましい。また、この非晶性フッ素樹脂は、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）などのパーフルオロ溶媒に溶解する性質を有しているので、実際に磁気エンコーダの表面に被膜を有する場合、この溶媒に１〜１０ｗｔ％程度溶解させた溶液中に浸漬後、乾燥することで行うことができる。
【００２９】
被膜の厚さは、溶液濃度に依存しており、所望の厚みを得るように適宜濃度調整を行う。十分な防湿性を維持するための被膜の膜厚は、０．１〜１０μｍ、好ましくは０．３〜２μｍである。膜厚が０．１μｍ未満の場合は、膜厚を安定して成膜するのが難しく、十分な防湿性を確保するのが困難である。それに対して、膜厚が１０μｍを越える場合は、防湿性が変わらないと共に、膜厚を均一にするのが難しく、コスト高になり好ましくない。尚、被膜と磁気エンコーダとの接着性（密着性）を向上されるために、１００〜１２０℃程度で０．５〜２ｈｒ程度熱処理を行ったり、プライマー処理を行うと更に好適である。
【００３０】
硬化型ウレタン樹脂、硬化型アクリル樹脂、硬化型エポキシ樹脂は、構造中に熱あるいは紫外線（ＵＶ）で硬化する官能基を有するものである。膜厚は、非晶性フッ素樹脂と同程度である。硬化型ウレタン樹脂、硬化型アクリル樹脂、硬化型エポキシ樹脂は、樹脂自体に撥水性がなく、湿度を遮断する能力が優れているわけではないので、樹脂層の間に、金属蒸着被膜を介在させ、防湿性能を向上させる被膜構成としてもよい。この金属蒸着被膜は、磁石材料等の表面に直接成膜させて、十分な膜強度と接着性を出すことは難しいので、下地被膜として、硬化型ウレタン樹脂、硬化型アクリル樹脂、硬化型エポキシ樹脂が必要である。金属の種類としては、アルミニウムの他、クロム、ニッケル等である。
【００３１】
金属蒸着被膜の厚さは、０．００８〜０．１μｍ、好ましくは０．０１〜０．０５μｍである。膜厚が０．００８μｍ未満の場合は、膜厚を安定して成膜するのが難しく、十分な防湿性を確保するのが困難である。それに対して、膜厚が０．１μｍを越える場合は、防湿性が変わらないと共に、コストアップ、質量増加も想定され、好ましくない。
【００３２】
ポリパラキシリレン誘導体は以下の化学式１で表され、化学式２に表される（２，２）−パラシクロファン化合物の化学蒸着法により、成膜される。
【００３３】
【化１】
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【００３４】
（化学式１中、Ｘ１、Ｘ２は水素、低級アルキル、または塩素等のハロゲン元素を表し、Ｘ１、Ｘ２は同一でも異なっていてもよい）
【００３５】
【化２】
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【００３６】
（化学式２中、Ｘ１、Ｘ２は化学式１と同じである）
【００３７】
化学式１も具体例としては、ポリパラキシリレン、ポリモノクロロパラキシリレン、ポリジクロロパラキシリレン等であり、耐熱性としては、塩素置換基が多いものの方がより高く、磁気エンコーダの使用温度を想定すると、常用最高使用温度が１２０℃程度のポリモノクロロパラキシリレンと、１５０℃程度のポリジクロロパラキシリレンがより好適である。
【００３８】
また、化学式１に示すポリパラキシリレン誘導体は、一部水素をフッ素化し、耐熱性を向上された化学式３の化学構造のものであってもよい。尚、化学式３の被膜の常用最高使用温度は約２５０℃と非常に高い。
【００３９】
【化３】
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【００４０】
ポリパラキシリレン誘導体の被膜の膜厚も、上記説明したものと同様であり、０．５〜５μｍ程度が適当である。膜厚が０．５μｍ未満の場合は、十分な防湿性を確保するのが困難であり、好ましくない。それに対して、膜厚が５μｍを越える場合は、防湿性が変わらないと共に、化学蒸着法による処理コストが高くなり好ましくない。
【００４１】
磁石材料が熱可塑性プラスチックをバインダーとするプラスチック磁石の場合、エンコーダ部の成形は、内径厚み部から溶融したプラスチック磁石材料が同時に金型中に高圧で流れ込み、金型中で急冷され固形化する、ディスクゲート方式の射出成形が好ましい。溶融樹脂はディスク状に広がってから、内径厚み部にあたる部分の金型に流入することで、中に含有する燐片状の磁性粉が面に対して平行に配向する。特に、内径厚み部近傍の、回転センサの検出する内径部と外径部との間の部分はより配向性が高く、厚さ方向に配向させたアキシアル異方性に非常に近い状態になっている。成形時に金型に、厚さ方向に磁場をかけるようにすると、異方性はより完全に近いものとなる。尚、磁場成形を行っても、ゲートをディスクゲート以外の、例えばピンゲートとした場合、徐々に固形化に向って樹脂粘度が上がって行く過程で、ウェルド部での配向を完全に異方化するのは困難であり、それによって、磁気特性が低下すると共に、機械的強度が低下するウェルド部に長期間の使用によって、亀裂等が発生する可能性があり好ましくない。
【００４２】
磁石材料がゴム磁石の場合、エンコーダ部の成形は、射出成形で行うのであれば、プラスチック磁石と同じようにディスクゲート方式とすることが好ましい。圧縮成形で行うのであれば、金型中（下型）にまずスリンガを配設した状態で、シート状にした未加硫のゴム磁石、金型（上型）をかぶせて加硫接着を行うことで、成形される。
【００４３】
例えば、磁石材料がプラスチック磁石の場合、粗面化されたスリンガ２５の表面に、フェノール系樹脂とエポキシ系樹脂の群からなる少なくとも一方を含有する熱硬化性接着剤を半硬化状態で塗布し、この接着剤が塗布されたスリンガをコアにしてプラスチック磁石材料の射出成形（インサート成形）を、磁場射出成形機８０を用いて行なう。
【００４４】
磁場射出成形機８０は、図４に示されるように、支持台８１上に型締め装置８２と射出装置８３とを備える。型締め装置８２は、トグル機構等の可動機構８４により、支持台８１に固定されたハウジング８５に対して移動可能な可動部８６と、支持台８１に固定された固定部８７と、可動部８６をハウジング８５と固定部８７間で案内する４本のタイバー８８とを有する。可動部８６と固定部８７は、可動側金型８９と固定側金型９０をそれぞれ備える。また、可動部８６及び固定部８７の側面には、コイル９１，９２が配置されており、電源装置９３によって通電される。制御装置９４は、可動機構８４、電源装置９１、射出装置８３に接続されており、これらを制御するように構成される。
【００４５】
図５（ａ）に示されるように、可動側金型８９は、当板９５にボルト固定された複数の可動側金型片８９ａ〜８９ｃからなり、固定側金型９０も、複数の固定側金型片９０ａ〜９０ｃからなる。そして、可動側金型８９と固定側金型９０との対向面間には、キャビティ９６とディスクゲート９７が形成される。これにより、射出装置８３のノズル９８から射出された溶融したプラスチック磁石材料は、スプルー部９９からディスクゲート９７を介してキャビティ９６内に充填される。図５（ｂ）に示されるように、可動側金型片８９ａ，８９ｂ間には、スリンガ２５の円筒部２５ａを収容する環状空間が構成されており、中央に位置する固定側金型片９０ａは、その外径側に位置する固定側金型片９０ｂよりも可動側金型８９に向けて突出しており、固定側金型片９０ａは、収容されたスリンガ２５と径方向に重なって位置する。
【００４６】
また、磁場射出成形機８０に取り付けられた金型８９，９０中で溶融したプラスチック磁石材料の射出時に併せて、コイル電流を金型８９，９０の両端のコイル９１，９２に印加して、厚み方向に発生する一方向（極性同一）の磁界でプラスチック磁石材料を着磁し、磁性体粉を配向させる。その後、金型８９，９０中で冷却時に着磁方向と逆方向の磁界で脱磁する脱磁と、着磁時のコイル電流より高い初期コイル電流に始まって極性が交互に反転し振幅が徐々に小さくなる複数のパルス電流を金型両端のコイル９１，９２に印加して脱磁する反転脱磁の少なくとも一方の工程により脱磁を行なう。次に、ゲート部を除去してから、恒温槽等で一定温度、一定時間加熱することで、接着剤を完全に硬化させる。なお、場合によっては、高周波加熱等で高温、短時間加熱することで、完全に硬化させても良い。その後、周知のオイルコンデンサ式等の脱磁機を用いて、２ｍＴ以下、より好ましくは１ｍＴ以下の磁束密度まで、更に脱磁する。その後の工程で、周知の着磁ヨークと重ね合わせて多極着磁する。
【００４７】
さらに、接合された磁極形成リング２７とスリンガの全表面を覆うように、防湿被膜４０を形成する。なお、防湿被膜４０は、マスキング等を行い、磁極形成リング２７とスリンガ２５との接合部の境界部分３０，３１の表面を少なくとも覆うようにして、磁極形成リング２７とスリンガ２５の一部に形成してもよい。例えば、スリンガ２５のシール摺動部は、防湿被膜４０によりシールリップの磨耗が考えられる場合には、マスキングによってスリンガ２５のシール摺動部には被膜しない。
【００４８】
なお、このようにして形成された磁極成形リング２７の極数は７０〜１３０極程度、好ましくは９０〜１２０極である。極数が７０極未満の場合は、極数が少なすぎて回転数を精度良く検出することが難しくなる。それに対して、極数が１３０極を越える場合は、各ピッチが小さくなりすぎて、単一ピッチ誤差を小さく抑えることが難しく、実用性が低い。
【００４９】
従って、本実施形態の磁気エンコーダ２６によれば、磁極形成リング２７とスリンガ２５との接合部の境界部分３０，３１の表面を少なくとも覆うように防湿被膜４０が形成されるので、接合部における接着剤層への水分の浸透が最小限に抑制され、塩水がかかるような厳しい環境で使用しても、磁極形成リング２７の剥れが発生せず、信頼性を向上させることができる。
【００５０】
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものでなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
本実施形態では、接着剤が塗布されたスリンガをコアにして磁石材料をインサート成形することで磁石部を成形するが、磁石部をスリンガと別体に成形した後に、磁石部をスリンガに接着接合するようにしてもよい。
本実施形態では、磁気エンコーダが組み込まれたハブユニット軸受について説明したが、転がり軸受ユニットや主軸装置にも適用可能である。
【実施例】
【００５１】
ここで、実施例を挙げて本発明をさらに説明するが、本発明はこれによって何ら制限されるものではない。以下、実施例１，２及び比較例に示される磁石エンコーダを用いて耐塩水性評価試験を行った。なお、実施例１，２及び比較例では防湿被膜が異なるのみで、その他の部分は、以下の材料及び成形方法によって形成される。
【００５２】
成形試験用磁石材料としては、戸田工業製ストロンチウムフェライト含有１２ナイロン系異方性プラスチック磁石コンパウンド「ＦＥＲＯＴＯＰ  ＴＰ−Ａ２７Ｎ」（ストチウムフェライトの含有量７５体積％）が用いられ、磁場成形を行うことで、最大エネルギー積を２．１ＭＧＯｅとした。
【００５３】
また、スリンガとしては、Ｎｏ．２Ｂ仕上げ（Ｒａ ０．０６程度）が施された厚さ０．６ｍｍのＳＵＳ４３０を母材に使用した。そして、押付用金型の表面を放電によって、算術平均粗さＲａ ４．２μｍ、最大高さＲｙ １９．９μｍ、十点平均粗さＲｚ １６．０μｍに荒らして、これに、スリンガの磁石接合面を押し付けることによって、磁石接合面に深さ１０〜１５μｍの凹部を設けた。
【００５４】
接着剤としては、ノボラック型フェノール樹脂を主成分とする固形分３０％のフェノール樹脂系接着剤（東洋化学研究所製メタロックＮ−１５）を、更にメチルエチルケトンで３倍希釈し、浸漬処理でスリンガ表面に塗布した。その後、室温で３０分乾燥してから、１２０℃で３０分乾燥器中に放置することで半硬化状態とした。
【００５５】
また、磁石部は、成形時厚み方向に磁場をかけて、接着剤が塗布されたスリンガをコアにしてディスクゲートで成形した。その後、金型での冷却時に反転脱磁を行い、磁石を完全に脱磁した後、着磁ヨークと一緒にして、９６極にＮＳ交互にして着磁を行った。接着剤を完全に硬化させる為に、１５０℃で１ｈｒ加熱した。なお、成形される磁石部の厚さは０．９ｍｍとした。
【００５６】
ここで、実施例１では、防湿被膜として、ポリジクロロパラキシリレン被膜（膜厚１μｍ）を化学蒸着法（ＣＶＤ）で、磁石部とスリンガの全表面を覆うように設けた。（岸本産業（株）製、ｄｉＸ  Ｄコーティング）
【００５７】
また、実施例２では、防湿被膜として、非晶性フッ素樹脂被膜（膜厚０．８μｍ）を浸漬処理で、磁石部とスリンガの全表面を覆うように設けた。非晶性フッ素樹脂被膜（旭硝子製サイトップＣＴＸ−１０７ＡＰ、樹脂濃度７ｗｔ％）のフッ素溶剤溶液に浸漬引き上げ後、１００℃で１ｈｒ熱処理を行って密着性を向上させた。尚、浸漬前にプライマーであるサイトップＣＴ−Ｐ１０をイソプロピルアルコールで１００倍希釈溶液に漬けて室温で乾燥してプライマー処理を実施した。
比較例には、防湿被膜が設けられていない。
【００５８】
ここで、耐塩水性評価は、以下の（１）〜（５）の手順で行われた。
（１）塩水噴霧（ＮａＣｌ濃度５ｗｔ％、５０℃）１ｈｒ
→（２）湿潤（５０℃、９０％ＲＨ）１６ｈｒ
→（３）強制乾燥（７０℃）４．５ｈｒ
→（４）塩水浸漬（ＮａＣｌ濃度５ｗｔ％、５０℃）５ｈｒ
→（５）自然乾燥（２０〜３０℃）１．５ｈｒ
（５）の工程が終了した後、（１）の工程に戻り、（１）〜（５）を１サイクルとする耐塩水性評価試験を実施した。１０サイクルごとに、磁石部の剥れを観察した。結果を表１に示す。
【００５９】
【表１】
2006214920.tif 000006
【００６０】
表１の耐塩水性評価試験の結果から、スリンガと磁石部との接合部の表面に防湿被膜を設けることで、塩水がかかるような厳しい環境で使用しても、磁石部の剥がれが発生せず、信頼性を向上させることができることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の一実施形態の転がり軸受ユニットを示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態の磁気エンコーダを備えた密封装置を示す断面図である。
【図３】エンコーダ磁石の円周方向に多極磁化された例を示す斜視図である。
【図４】磁場射出成形機を示す模式図である。
【図５】キャビティを形成する可動側金型と固定側金型の断面図である。
【図６】従来の転がり軸受ユニットを示す断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
２ａ    車輪支持用転がり軸受ユニット
５ａ    外輪
７ａ    ハブ
８      スタッド
１１    結合フランジ
１２    取付フランジ
１５    小径段部
１６ａ  内輪
１７ａ  玉
１８    保持器
２１ａ，２１ｂ  シールリング
２２ａ、２２ｂ  弾性材
２３    かしめ部
２４ｂ  芯金
２５    スリンガ
２６    磁気エンコーダ
２７    磁気形成リング
４０    防湿被膜（被膜）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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