(57)【要約】【課題】  高密度に配置しても複数のワークを短時間で着脱することができる、ホルダユニットを提供する。【解決手段】  ベース板２２と、ベース板２２にそれぞれが互いに平行かつ並列に固定された、複数個の固定部材２４と、各固定部材２４とそれぞれ対になり各固定部材２４と平行に配置されて各固定部材２４に対向する、複数個の可動部材２６と、固定部材２４と可動部材２６との各対において、可動部材２６を固定部材２４に対して大略固定部材２４と可動部材２６とが対向する方向に接離させる、駆動部材２８とを備える。各対の固定部材２４と可動部材２６との間に、一列に並んだ状態で結合された複数個のワーク２を着脱可能に保持するワーク挿入空間２３が形成される。ワーク挿入空間２３は、固定部材２４及可動部材２６が延在する方向の少なくとも片側の端部が外部に連通している。【選択図】  図４
2006214918.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース板と、
前記ベース板にそれぞれが互いに平行かつ並列に固定された、複数個の固定部材と、
前記各固定部材とそれぞれ対になり前記各固定部材と平行に配置されて前記各固定部材に対向する、複数個の可動部材と、
前記固定部材と前記可動部材との各対において、前記可動部材を前記固定部材に対して大略前記固定部材と前記可動部材とが対向する方向に接離させる、駆動部材とを備え、
前記各対の前記固定部材と前記可動部材との間に、一列に並んだ状態で結合された複数個のワーク（以下、「ワーク列」という。）を着脱可能に保持するワーク挿入空間が形成され、
該ワーク挿入空間は、前記固定部材及び前記可動部材が延在する方向の少なくとも片側の端部が外部に連通していることを特徴とする、ホルダユニット。
【請求項２】
前記ワーク挿入空間、前記固定部材及び前記可動部材が延在する方向の両側の端部が外部に連通していることを特徴とする、請求項１記載のホルダユニット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された複数のホルダユニットが間隔を設けて配置されたことを特徴とする、ラック。
【請求項４】
請求項３に記載のラックが、内部にのみ、又は、内部と外部との間を所定経路に沿ってのみ移動可能に、配置されたことを特徴とする、恒温槽。
【請求項５】
請求項１又は２に記載のホルダユニットとの間で、前記ワーク列の受け渡しを行うための中継ユニットであって、
前記ホルダユニットの前記ベース板に隣接して配置することができる台板を備え、
該台板に、前記ホルダユニットの前記ワーク挿入空間のピッチと同一ピッチで、互いに平行に複数の溝が形成されたことを特徴とする、中継ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ホルダユニットに関し、特にレーザダイオードのエージング検査に好適な、ホルダユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザダイオードは、製品出荷前に恒温槽内でエージング検査が行われている。例えば、一定温度下で一定の光出力になるように各レーザダイオードの駆動電流を制御しつつ連続発振させ、所定時間経過後における上記駆動電流の変化率を計測する。レーザダイオードは、通電時の発熱が大きく、温度の影響で特性が変化するため、エージング検査の際には、レーザダイオードはワークホルダに保持され、ワークホルダのヒートシンクに圧接した一定の熱伝達状態に保たれる。
【０００３】
従来のレーザダイオードは、略筒状の本体の下部に径方向外側に広がったフランジ部を有し、本体から下方にリードが延在する形状であった。このようなレーザダイオードは、ホルダ上面にリードが挿入された状態で配置され、レーザダイオードの本体が挿通する貫通穴を有する押さえ板を用いてレーザダイオードのフランジ部がホルダ上面に押圧された状態で保持され、エージング検査が行われている。（特許文献１、２参照）
【特許文献１】特開昭６１−１０５４７３号公報
【特許文献２】実開平１−１２４５８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のワークホルダは、レーザダイオードの着脱に時間がかかり、また、ワークの着脱作業のために上方に広いスペースが必要であった。
【０００５】
そのため、ワークホルダへのレーザダイオードの着脱を恒温槽の外で行い、恒温槽内には、恒温槽の外で予めレーザダイオードを装着したワークホルダを高密度に配置することによって、生産性を向上している。ワークホルダは、恒温槽に自由に取り付け、取り外しができ、「カセット」と呼ばれることもある。
【０００６】
例えば図１１に示すように、複数の恒温槽８４が用いる場合、前工程用マガジン９０に収納されたレーザダイオードを、セット機８０を用いてホルダユニット９１に移し替える。そして、ホルダユニット９１を恒温槽８４まで搬送し、恒温槽８４内に取り付けた状態９２でエージング検査を行う。検査終了後、恒温槽８４からホルダユニット９２を取り出してリセット機８２まで搬送し、リセット機８２を用いて、ホルダユニット９３から後工程用マガジン９４にレーザダイオードを移し替える。ホルダユニット９１〜９３は、例えば搬送ロボット８６を用いて、セット機８０から恒温槽８４に、また、恒温槽８４からリセット機８２に搬送する。各恒温槽８４に取り付けるホルダユニット９２以外に、セット機８０やリセット機８２で用いるホルダユニット９１，９３を用いることにより、段取り時間を短縮し、恒温槽８４の稼動率を高め、生産性を向上することができる。
【０００７】
しかし、恒温槽８４への取り付け・取り外しの段取りのために用いる予備のホルダユニット９１，９３は、恒温槽８４に取り付けるホルダユニット９２と同様に複雑な構成であり、設備コストが増加する要因となる。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑み、高密度に配置しても複数のワークを短時間で着脱することができる、ホルダユニットを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したホルダユニットを提供する。
【００１０】
ホルダユニットは、ベース板と、複数の固定部材と、複数の稼動部材と、駆動部材とを備える。前記複数の固定部材は、前記ベース板にそれぞれが互いに平行かつ並列に固定される。前記複数個の可動部材は、前記各固定部材とそれぞれ対になり前記各固定部材と平行に配置されて前記各固定部材に対向する。前記駆動部材は、前記固定部材と前記可動部材との各対において、前記可動部材を前記固定部材に対して大略前記固定部材と前記可動部材とが対向する方向に接離させる。前記各対の前記固定部材と前記可動部材との間に、一列に並んだ状態で結合された複数個のワーク（以下、「ワーク列」という。）を着脱可能に保持するワーク挿入空間が形成される。該ワーク挿入空間は、前記固定部材及び前記可動部材が延在する方向の少なくとも片側の端部が外部に連通している。
【００１１】
上記構成において、可動部材が固定部材に接離すると、可動部材と固定部材の互いに対向する対向面の間隔が変化する。このような対向面の間隔の変化を利用して、ワーク挿入空間においてワーク列を着脱可能に保持する。
【００１２】
上記構成によれば、例えばベース板を水平に配置した場合、ワーク列をワーク挿入空間に沿って水平方向に移動して、ワーク挿入空間の少なくとも片側の端部からワーク挿入空間にワーク列を挿脱することができる。このとき、ホルダユニットの上方には、ワーク列を挿脱するための空間が不要である。したがって、複数のホルダユニットを例えば垂直方向に高密度に配置しても、水平方向にワーク列を移動することにより、ワーク列を着脱することができる。
【００１３】
また、１つのワーク列で、一度に複数個のワークを同時に着脱することができる。さらに、複数のワーク挿入空間にワーク列を同時に挿脱し、駆動部材により各可動部材を同時に駆動して、複数のワーク列の保持・解除を同時に行うことができる。したがって、複数のワーク列を短時間で着脱することができる。
【００１４】
好ましくは、前記ワーク挿入空間、前記固定部材及び前記可動部材が延在する方向の両側の端部が外部に連通している。
【００１５】
上記構成によれば、例えば、ワーク挿入空間の一方側の端部からワーク列を挿入し、この挿入したワーク列によって、ワーク挿入空間に配置されているワーク列を他方側の端部から外部に押し出することができる。ワーク列の挿入とワーク列の取り出しを同時に行うことにより、ワーク挿入空間へのワーク列の着脱に要する時間を短縮することができる。
【００１６】
また、本発明は、上記各構成の複数のホルダユニットが間隔を設けて配置されたことを特徴とする、ラックを提供する。また、このラックが、内部にのみ、又は、内部と外部との間を所定経路に沿ってのみ移動可能に、配置されたことを特徴とする、恒温槽を提供する。
【００１７】
上記構成によれば、恒温槽に備えるホルダユニット以外に、恒温槽に備えるホルダユニットと同一構成のホルダユニットを準備しなくても、恒温槽の稼動率を高めることができる。
【００１８】
また、本発明は、上記各構成のホルダユニットとの間で、前記ワーク列の受け渡しを行うための中継ユニットを提供する。中継ユニットは、前記ホルダユニットの前記ベース板に隣接して配置することができる台板を備える。該台板に、前記ホルダユニットの前記ワーク挿入空間のピッチと同一ピッチで、互いに平行に複数の溝が形成されている。
【００１９】
上記構成によれば、中継ホルダの台板の各溝とホルダユニットの各ワーク挿入空間の端部とが揃った状態で、中継ユニットとホルダユニットとの間で、ワーク列の受け渡しを行うことができる。中継ホルダは、ホルダユニットよりも簡単な構成とすることができる。なお、溝は、有底溝であっても、貫通溝であってもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のホルダユニットは、高密度に配置しても複数のワークを短時間で着脱することができる。ホルダユニットは、恒温槽内に高密度に配置した状態のまま、ワークを着脱することができ、恒温槽から取り外す必要がない。恒温槽内のワークホルダへのワークの供給、回収は、恒温槽内に配置するワークホルダよりも簡単な構成の中継ホルダを用いることができる。そのため、設備コストの削減が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態として実施例について、図１〜図１０を参照しながら説明する。
【００２２】
（実施例１）
まず、実施例１について、図１〜図９を参照しながら説明する。
【００２３】
図１に示すように、複数個のレーザダイオード（すなわち、ワーク）２が一列に並んだ状態で結合されたフレームレーザ（すなわち、ワーク列）１の状態で、個々のレーザダイオード２についてエージング検査を行う。レーザダイオード２は、それぞれ、本体３から延在するリード５の先端がフレーム６に結合されている。各レーザダイオード２は、それぞれ、少なくとも一つのリード５がフレーム６に接続されていればよく、フレーム６との間が結合されていないリードがあってもよい。
【００２４】
図３は、ホルダユニット２０の平面図である。ホルダユニット２０は、ベース板２２に、複数対の固定部材２４及び可動部材２６と、単独の固定部材２５とが配置されている。各固定部材２４，２５は、ベース板２２上に、互いに平行かつ並列に固定されている。可動部材２６は、それぞれ対になる固定部材２４に対向しかつ固定部材２４と平行に配置される。可動部材２６と固定部材２４との各対において、可動部材２６と固定部材２４との間に、ワーク挿入空間２３が形成される。台板２２の端部には、エージング検査を行うための回路に接続するためのコネクタ２１が設けられている。
【００２５】
また、固定部材２４と可動部材２６とが対向する方向に、かつ、ベース板２２と平行に、一対のねじ軸（すなわち、駆動部材）２８が配置されている。一対のねじ軸２８は、固定部材２４と可動部材２６のそれぞれの両端部に形成された貫通穴（図示せず）に、隙間を設けて挿通されている。可動部材２６の貫通穴の近傍には、内ねじが形成されたナット部材２７が固定され、ナット部材２７の内ねじと、ねじ軸２８の外ねじとが螺合するようになっている。ベース板２２の一方の端部には、１対のねじ軸２８の軸方向の移動を阻止する移動阻止部材２５が固定されている。一対のねじ軸２８には、それぞれ、プーリー２８ａ，２８ｂが固定されている。プーリー２８ａ，２８ｂにはタイミングベルト２９がかみ合っている。
【００２６】
一対のねじ軸２８の一方は、ホルダユニット２０の外部から回転駆動される。この回転駆動に伴って、一対のねじ軸２８が同期して回転する。ねじ軸２８にナット部材２７が螺合しているため、各可動部材２６は同方向に同じ距離だけ平行移動する。これによって、可動部材２６と固定部材２４との各対において、可動部材２６は固定部材２４に対して、可動部材２６と固定部材２４とが対向する方向に接離する。
【００２７】
図４は、一対の固定部材２４および可動部材２６の要部斜視図である。図５は、一対の固定部材２４および可動部材２６の要部断面図である。
【００２８】
固定部材２４の上部２４ｂは、可動部材２６側に突出している。固定部材２４の上部２４ｂはヒートシンクであり、レーザダイオード２の本体３の背面４が圧接される。放熱性を高めるため、例えば固定部材２４の上部２４ｂにフィンを形成してもよい。なお、可動部材２６側をヒートシンクとすることも可能である。
【００２９】
可動部材２６の下部には、固定部材２４側に、ベース板２２と平行に延在する段面２６ｔが形成され、段面２６ｔの上方に、ワーク挿入空間２３が形成される。段面２６ｔからは、コンタクト８が上向きに延在している。コンタクト８の下端は、図示を省略しているが、コネクタ２１に電気的に接続されている。
【００３０】
可動部材２６の上方には、ばね部材３０が配置されている。ばね部材３０の一端側３４（すなわち、自由端側３４）は、固定部材２４の上部２４ｂの対向面２４ｓに対向し、他端側３２（すなわち、固定端側３２）は、可動部材２６の固定部材２４とは反対側の面２６ａに固定されている。図４に示すように、ばね部材３０の自由端側３４は、スリット３３よって複数ばね片３４ａに分割されている。各ばね片３４ａは、それぞれ、レーザダイオード２の本体３を弾力的に付勢し、レーザダイオード２の本体３が無理な力の作用で破損することを防止している。なお、ばね部材を固定部材２４側に固定することも可能である。
【００３１】
固定部材２４および可動部材２６の各対において、ねじ軸２８の回転に伴い、可動部材２６は、固定部材２４に接近した接近位置と、固定部材２４から離れた退避位置との間を移動する。可動部材２６の段面２６ｔは、可動部材２６が移動しても、常に、固定部材２４の上部２４ｂの対向面２４ｓの下方（すなわち、ベース板２２側）に配置されるようになっている。
【００３２】
退避位置では、固定部材２４の対向面２４ｓと、可動部材２６に固定されたばね部材３０の自由端側３４との間隔が広くなる。この状態で、フレームレーザ１を可動部材２６の段面２６ｔの上に載置する。このとき、固定部材２４の対向面２４ｓとばね部材３０の自由端側３４との間に、フレームレーザ１の各レーザダーオード２の本体２が配置され、フレーム６の下面７は、段面２６ｔに当接する。
【００３３】
ねじ軸２８の回転により接近位置になると、フレームレーザ１の各レーザダイオード２の本体３に、それぞれ、ばね部材３０の自由端３４側のばね片３４ａが当接し、本体３を固定部材２４側に付勢する。これによって、フレームレーザ１の各レーザダイオード２の本体３は、それぞれの背面４が固定部材２４の上部２４ｂの対向面２４ｓに圧接した状態で保持される。また、フレームレーザ１の各レーザダイオード２のリード５は、それぞれ、コンタクト８に圧接し、コネクタ２１を介して、エージング検査を行うための回路に電気的に接続される。エージング検査は、このようにホルダユニット２０を用いてフレームレーザ１を保持した状態で、恒温槽内において行う。
【００３４】
図２に、ホルダユニット２０のワーク挿入空間２３にフレームレーザ１を挿脱するときに用いる中継ホルダ１０の構成例を示す。中継ユニット１０は、台板１２の上面に、フレームレーザ１のフレーム６が嵌りこむ溝１６が形成されている。溝１６は、ホルダユニット２０のワーク挿入空間２３のピッチに対応して、所定本数が所定間隔を設けて互いに平行に形成されている。溝１６の底面は、台板１２の段面１４に連続する。例えばフレームレーザ１のフレーム６を段面１４に載せた状態で、フレームレーザ１を段面１４に沿って滑らせて、フレーム６を溝１６に導く。溝１６の溝幅は、段面１４側が大きく広がるようにすれば、フレームレーザ１のフレーム６を溝１６に導くことが容易になる。段面１４は溝１６の両側に設けてもよい。段面１４を無くしてもよい。
【００３５】
次に、フレームレーザ１の受け渡しについて説明する。中継ホルダ１０の各溝１６にフレームレーザ１のフレーム６を嵌め込み、中継ホルダ１０をホルダユニット２０に隣接する位置に配置する。そして、中継ホルダ１０の各溝１６とホルダユニット２０の各ワーク挿入空間２３とを一列に揃え、中継ホルダ１０の各溝１６の底面とホルダユニット２０の各可動部材２６の段面２６ｔとの高さを揃えた状態で、フレームレーザ１をホルダユニット２０側に移動させる。このとき、フレームレーザ１は、中継ユニット１０の溝１６が延在する方向、すなわちホルダユニット２０の固定部材２４と可動部材２６とが対向する方向に対して直角方向（図５において、紙面垂直方向）に移動し、フレームレーザ１のフレーム６は、中継ホルダ１０の溝１６から、ホルダユニット２０の可動部材２６の段面２６ｔに乗り移り、フレームレーザ１の各レーザダイオード２の本体３は、固定部材２４の上部２４ｂとばね部材３０の自由端側３４との間に挿入される。
【００３６】
ホルダユニット２０から中継ホルダ１０にフレームレーザ１を移し替える場合、上記と同様に、中継ホルダ１０をホルダユニット２０に隣接する位置に配置し、中継ホルダ１０の各溝１６とホルダユニット２０の各ワーク挿入空間２３とを揃え、フレームレーザ１を、ホルダユニット２０の固定部材２４と可動部材２６とが対向する方向に対して直角方向（図５において、紙面垂直方向）、すなわち中継ユニット１０の溝１６が延在する方向に移動させる。これによって、フレームレーザ１のフレーム６は、ホルダユニット２０の可動部材２６の段面２６ｔから中継ホルダ１０の溝１６に乗り移り、フレームレーザ１の各レーザダイオード２の本体３は、固定部材２４の上部２４ｂとばね部材３０の自由端側３４との間の空間から出る。
【００３７】
次に、ホルダユニット２０を用いるエージング検査システムの構成例について、図６〜図９を参照しながら説明する。
【００３８】
図６に示すように、エージング検査システム４０は、恒温槽４１と、供給用の中継ラック４４と、回収用の中継ラック４６と、セット機４５と、リセット機４７とを備える。
【００３９】
恒温槽４１には、槽内ラック４２が内蔵されている。槽内ラック４２には、複数の前述したホルダユニット２０が所定間隔で棚状に固定され一体的に移動するようになっている。槽内ラック４２は、恒温槽４１の内部と恒温槽４１の外部との間を、矢印４３で示すよう移動する。槽内ラック４２は、レールなどの案内機構によって、所定経路のみを移動可能である。
【００４０】
供給用の中継ラック４４は、恒温槽４１から出ている槽内ラック４２に隣接する位置と、セット機４５に隣接する位置との間を移動する。図７に示すように、供給用の中継ラック４４は、自走台車４４ｃの上に、槽内ラック４２のホルダユニット４２の各段に対応する複数の台板４４ａを備える。各台板４４ａには、前述した中継ユニット１０と同様に、ホルダユニット４２のワーク挿入空間２３のピッチと同じピッチで、複数の溝４４ｂが互いに平行に形成され、溝４４ｂにフレームレーザ１を立てた状態で載置することができる。
【００４１】
セット機４５は、前工程用マガジン５０から供給用の中継ラック４４に、フレームレーザ１を移し替える。供給用の中継ラック４４は、恒温槽４１から出ている槽内ラック４２に隣接する位置に配置された状態で、フレームレーザ１を槽内ラック４２に移し替える。
【００４２】
図７に示すように、セット機４５は、台板４５ａが矢印４５ｚで示すように昇降するリフタである。台板４５ａの上面には、供給用の中継ラック４４の台板４５ａに形成された溝４５ｂと対応して、同一ピッチ、同一本数の複数の溝４５ｂが互いに平行に形成されている。台板４５ａの溝４５ｂの一端に隣接して供給用の中継ラック４４が配置され、台板４５ａの溝４５ｂの他端に隣接して前工程用マガジン５０が配置される。
【００４３】
回収用の中継ラック４６は、恒温槽４１から出ている槽内ラック４２に隣接する位置と、リセット機４７に隣接する位置との間を移動する。図８に示すように、回収用の中継ラック４６は、自走台車４６ｃの上に、槽内ラック４２のホルダユニット２０の各段に対応する複数の台板４６ａを備える。各台板４６ａには、前述した中継ユニット１０と同様に、ホルダユニット２０のワーク挿入空間２３のピッチと同じピッチで、複数の溝４６ｂが互いに平行に形成され、フレームレーザ１を立てた状態で載置することができる。
【００４４】
回収用の中継ラック４６は、恒温槽４１から出ている槽内ラック４２に隣接する位置に配置された状態で、槽内ラック４２からフレームレーザを受け取り、リセット機に４７に渡す。
【００４５】
恒温槽４１から出ている槽内ラック４２の両側に、供給用の中継ラック４４と回収用の中継ラック４６とを配置することにより、槽内ラック４２に次のフレームレーザを供給すると同時に、槽内ラック４２からエージング検査済みのフレームレーザを回収することができる。すなわち、供給用の中継ラック４４から、槽内ラック４２のホルダユニット２０のワーク挿入空間２３の一方側の端部を介して、次のフレームレーザを挿入し、この挿入したフレームレーザによって、槽内ラック４２のホルダユニット２０のワーク挿入空間２３に配置されているエージング検査済みのフレームレーザ１を、ワーク挿入空間２３の他方側の端部から、回収用の中継ラック４６側に押し出す。
【００４６】
リセット機４７は、回収用の中継ラック４６に載置されたフレームレーザ１を回収し、エージング検査で不良と判定されたレーザダイオード２を除去した後、次工程に搬送するための後工程用マガジン５２に積み替える。
【００４７】
図８に示すように、リセット機４７は、取出リフタ６０と、ストレージテーブル６２と、フレームカットテーブル６４と、中継リフタ６６とが、一列に並べて配置されている。
【００４８】
取出リフタ６０は、セット機４５と同様に、台板６０ａが、矢印６０ｚで示すように昇降する。台板６０ａ上には、回収用の中継ラック４６の台板４６ａに形成された溝４６ｂと対応して、同一ピッチ、同一本数の複数の溝６０ｂが、互いに平行に形成されている。溝６０ｂには、フレームレーザを立てた状態で支持することができる。
【００４９】
ストレージテーブル６２の上面６２ａには、取出リフタ６０の台板６０ａの溝６０ｂと同一ピッチ、同一本数の複数の溝６２ｂが互いに平行に形成されている。溝６２ｂには、フレームレーザを立てた状態で支持することができる。
【００５０】
フレームカットテーブル６４は、上面に１本の溝６４ｂが形成された移動テーブル６４ａが、矢印６４ｙで示すように、溝６４ｂと直角方向に移動可能に配置されている。移動テーブル６４ａの溝６４ｂは、ストレージテーブル６２のいずれかの溝６２ｂと一直線に揃えることができる。フレームカットテーブル６４は、移動テーブル６４ａの溝６４ｂにフレームレーザ１を立てた状態で支持することができ、不図示の切断ユニットによって、フレームレーザ１から、エージング検査で不良と判定されたレーザダイオード２のリード５を切断して除去することができる。
【００５１】
中継リフタ６６は、セット機４５と同様に、台板６６ａが矢印６６ｚで示すように昇降する。台板６６ａ上には、後述する後工程用ラック５２の角材５４と同一ピッチ、同一本数の複数の溝６６ｂが、互いに平行に形成されている。
【００５２】
次に、リセット機４７の動作について説明する。
【００５３】
回収用の中継ホルダ４６がワーク取出リフタ６０に隣接して配置されると、ワーク取出リフタ６０の台板６０ａが、回収用の中継ホルダ４６の台板４６ａに対応する位置まで移動する。そして、回収用ホルダ４６の台板４６ａの各溝４６ｂと、ワーク取出リフタ６０の台板６０ａの各溝６０ｂとがそれぞれ一直線上に揃った状態で、回収用の中継ホルダ４６の台板６０ａからワーク取出リフタ６０の台板６０ａに、フレームレーザ１を移動させる。次に、ワーク取出リフタ６０の台板６０ａが、ストレージテーブル６２の上面６２ａの高さまで移動する。そして、ワーク取出リフタ６０の台板６０ａの各溝６０ｂとストレージテーブル６２の上面６２ａの各溝６２ｂとがそれぞれ一直線上に揃った状態で、ワーク取出リフタ６０の台板６０ａの各溝６０ｂからストレージテーブル６２の各溝６２ｂに、フレームレーザ１を移し替える。回収用の中継ホルダ４６のすべての台板４６ａについて、ワーク取出リフタ６０を介して、ストレージテーブル６２にフレームレーザ１を移し替える。
【００５４】
ストレージテーブル６２のフレームレーザ１は、フレームカットテーブル６４に適宜移し替え、エージング検査で不良と判定されたレーザダイオードがあれば、そのレーザダイオード２のリード５を切断して除去した後、中継リフタ６６を介して、後工程用ラック５２に収納する。
【００５５】
図９は、前工程用ラック５０あるいは後工程用ラック５２の構成例を示す。ラック５０，５２は、軸方向に貫通穴が形成された断面略矩形（略口字状）の複数の角材５４が、上下左右に揃えて積み重ねた状態で固定されている。角材５４の上壁の中央には、軸方向に延在し、貫通するスリット５４ａが形成されている。角材５４の下壁の中間部分には、内部に向けてくぼんだ凹部５４ｂが形成さている。上下の角材５４は、スリット５４ａと凹部５４ｂとが対向するように重ねられる。レーザダイオード２は、リード５がスリット５４ａに挿通された状態で、角材５４に係合する。このとき、レーザダイオード２の本体３の下部は、角材５４のスリット５４ａ周辺の上壁に当接し、落下が阻止される。
【００５６】
角材５４のスリット５４ａに係合したレーザダイオード２は、適宜な部材を用いて押し又は引っ張ることにより、あるいは、エアーを吹き付けることにより、角材５４から出没させることができる。このとき、レーザダイオード２の本体３の上部の角３ｂが角材５４の凹部５４ｂの上部の傾斜壁５４ｃの内面に当接し、揺動が阻止される阻止される。これによって、レーザダイオード２の差込、取出しを安定して行うことができる。レーザダイオード２の発光部は、本体３の上面２ａ中央になり、角材５４の凹部５４ｂの上部の傾斜壁５４ｃの内面に接触する角３ｂから離れているので、本体３の上部の角３ｂが角材５４の凹部５４ｂの上部の傾斜壁５４ｃの内面に接触しても、レーザダイオード２の品質に影響はない。
【００５７】
以上に説明したように、ホルダユニット２０はフレームレーザ１を水平方向（横方向）から挿脱することができるので、ホルダユニット２０の上方には、フレームレーザ１を挿脱するための空間が不要となる。そのため、槽内ラック４２は、複数のホルダユニット２０を垂直方向に高密度に配置した状態で、水平方向にフレームレーザ１を移動することにより、フレームレーザ１を着脱することができる。
【００５８】
また、１つのフレームレーザ１で、一度に複数個のレーザダイオード２を同時に着脱することができる。さらに、複数のワーク挿入空間２３にフレームレーザ１を同時に挿脱し、ねじ部材２８により各可動部材２６を同時に駆動して、複数のフレームレーザ１の保持・解除を同時に行うことができる。したがって、複数のフレームレーザ１を短時間で着脱することができる。
【００５９】
槽内ラック４２にワークホルダ２０を高密度に配置した状態のまま、フレームレーザ１を挿脱することができるので、フレームレーザ１の挿脱のためにワークホルダ２０を槽内ラック４２から取り外す必要がない。槽内ラック４２へのフレームレーザ１の供給及び回収は、槽内ラック４２に配置されたワークホルダ４２よりも簡単な構成の中継ホルダ４４，４６を用いることができる。そのため、設備コストの削減が可能である。
【００６０】
（実施例２）
次に、実施例２について、図１０を参照しながら説明する。実施例２は、大略、実施例１と同様の構成であり、実施例１と同様の作用・効果を有する。以下では、相違点を中心に説明する。
【００６１】
図１０に示すように、実施例２のホルダユニット１２０は、実施例１のホルダユニット２０と、大略、同様に構成される。
【００６２】
すなわち、ホルダユニット１２０は、ベース板１２２に、複数対の固定部材１２４及び可動部材１２６と、単独の固定部材１２５とが配置されている。各固定部材１２４，１２５は、ベース板１２２上に、互いに平行かつ並列に固定されている。可動部材１２６は、それぞれ対になる固定部材１２４に対向しかつ固定部材１２４と平行に配置される。可動部材１２６と固定部材１２４との各対において、可動部材１２６と固定部材１２４との間に、ワーク挿入空間１２３が形成される。また、固定部材１２４と可動部材１２６とが対向する方向に、かつ、ベース板１２２と平行に、一対のねじ軸（すなわち、駆動部材）１２８が配置されている。一対のねじ軸１２８には、それぞれ、プーリー１２８ａ，１２８ｂが固定されている。プーリー１２８ａ，１２８ｂにはタイミングベルト１２９がかみ合っている。一方のねじ軸１２８の軸端には歯車１２８ｃが固定され、例えば歯車１２８ｃにかみ合うラックの移動により、ねじ軸１２８を回転するようになっている。
【００６３】
実施例１と異なり、固定部材１２４，１２５の両端に、ねじ軸１２８と平行に延在する一対の案内軸１０が、それぞれ固定されている。各可動部材１２６の両端には、案内軸１００が挿入される貫通穴１２６ａ，１２６ｂがそれぞれ形成され、貫通穴１２６ａ，１２６ｂの内面が案内軸１００の外面に摺接し、可動部材１２６は案内軸１００に沿って摺動するようになっている。
【００６４】
固定部材１２４及び可動部材１２６の隣接する対の間には、圧縮コイルばね等のばね部材１０２が配置されている。すなわち、一方の対の可動部材１２６と、その一方の対に隣接する他方の対の固定部材１２４との間に、ばね部材１０２が配置され、一方の対の可動部材１２６を、他方の対の固定部材１２４とは反対側、すなわち、一方の対の固定部材１２４に向けて付勢するようになっている。
【００６５】
固定部材１２４及び可動部材１２６の対の両端には、それぞれ、移動部材１０４の一端が挿入されている。移動部材１０４の一端は、ばね部材１０２により付勢されている可動部材１２６の端部に係合するようになっている。移動部材１０４の一端には、案内軸１００が挿入される貫通穴１０４ａが形成され、貫通穴１０４ａの内面が案内軸１００の外面に摺接し、移動部材１０４は案内軸１００に沿って摺動できるようになっている。移動部材１０４の他端には、ねじ軸１２８に螺合する内ねじ１０４ｂが形成されている。移動部材１０４は、ねじ軸１２８が回転すると、案内軸１００で回転が阻止されるため、内ねじ１０４ｂとねじ軸１２８との螺合により、ねじ軸１２８及び案内軸１００に沿って、固定部材１２４及び可動部材１２６が接離する方向に平行移動する。
【００６６】
ねじ軸１２８が一方向に回転すると、固定部材１２４及び可動部材１２６の各対において、移動部材１０４は、移動部材１０４に係合している可動部材１２６を、ばね部材１０２による付勢力に抗して、固定部材１２４から離れる方向に移動させる。これによって、固定部材１２４と可動部材１２６との間の間隔が広がる。
【００６７】
ねじ軸１２８が逆方向に回転し、ばね部材１０２が可動部材１２６を付勢する方向に、移動部材１０４が移動すると、可動部材１２６は、ばね部材１０２による付勢力より、移動部材１０に係合しながら移動部材１０とともに、固定部材１２４に接近する方向に移動する。これによって、固定部材１２４と可動部材１２６との間の間隔が狭くなる。
【００６８】
さらにねじ軸１２８が逆方向に回転し、可動部材１２６が、固定部材１２４と可動部材１２６との間に形成されたワーク挿入空間１２３に配置されているワーク列（フレームレーザ）に当接すると、可動部材１２６は移動が阻止される。この状態からさらに、ねじ軸１２８が逆方向に回転すると、移動部材１０４と可動部材１２６との係合が解除され、移動部材１０４のみが移動する。可動部材１２６は、ばね部材１０２からの付勢力により、ワーク挿入空間１２３に配置されているワーク列（フレームレーザ）を押圧する。これにより、ワーク挿入空間１２３において、ワーク列（フレームレーザ）を弾力的に挟持し、保持することができる。
【００６９】
実施例２では、固定部材１２４または可動部材１２６に、実施例１のようなばね部材３０を設けなくても、ワーク列の弾力的な挟持（保持）が可能となる。
【００７０】
なお、本発明は、上記各実施例に限定されるものではなく、種々の変形を加えて実施することができる。
【００７１】
例えば、フレームレーザ１の供給と回収を別々に行ってもよい。
【００７２】
また、槽内ラック４２を恒温槽４１の内部に固定してもよい。この場合、恒温槽４１の両側に開閉扉を設け、供給用の中継ラック４４と回収用の中継ラックとを配置すれば、フレームレーザ１の供給と回収を同時に行うことができる。
【００７３】
中継ホルダは、前工程用ラック５０あるいは後工程用ラック５２のように、スリット（貫通溝）５２ａにより、フレームレーザを保持するようにしてもよい。
【００７４】
ワーク挿入空間に配置されたワーク列を保持する構成は、適宜に構成することができる。例えば、固定部材と可動部材の互いに対向する対向面の間でワーク列を挟持することによりワーク列を保持してもよい。この場合、固定部材の対向面を可動部材側に、可動部材の対向面が固定部材側に、それぞれ配置して、固定部材と可動部材との各対において可動部材が固定部材から離れたときに、対向面間にワーク列を挟持することによって、ワーク列を保持するようにしてもよい。
【００７５】
本発明のホルダユニット、ラック、恒温槽、中継ホルダは、レーザダイオードのエージング検査以外にも適用することができる。ワーク及びワーク列の形状や種類は、実施例に限定されない。例えば、レーザダイオード以外の電子部品に、本発明を適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】フレームレーザの斜視図である。
【図２】中継ユニットの斜視図である。（実施例１）
【図３】ホルダユニットの平面図である。（実施例１）
【図４】ホルダユニットの要部斜視図である。（実施例１）
【図５】ホルダユニットの要部断面である。（実施例１）
【図６】エージング検査システムの構成図である。（実施例１）
【図７】セット機の斜視図である。（実施例１）
【図８】リセット機の斜視図である。（実施例１）
【図９】マガジンの（ａ）斜視図、（ｂ）要部拡大図である。（実施例１）
【図１０】ホルダユニットの平面図である。（実施例２）
【図１１】エージング検査システムの構成面である。（従来例）
【符号の説明】
【００７７】
１  フレームレーザ（ワーク列）
２  レーザダイオード（ワーク）
３  本体
４  背面
５  リード
６  共通フレーム
７  下面
１０  中継ユニット
１２  台板
１６  溝
２０  ホルダユニット
２２  ベース板
２４  固定部材
２６  可動部材
２８  ねじ軸（駆動部材）
４１  恒温槽
４２  槽内ラック（ラック）
４４  中継ラック
４４ａ  台板（中継ホルダ）
４４ｂ  溝
４６  中継ラック
４６ａ  台板（中継ホルダ）
４６ｂ  溝
１２０  ホルダユニット
１２２  ベース板
１２４  固定部材
１２６  可動部材
１２８  ねじ軸（駆動部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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