(57)【要約】【課題】  常に非接触で極めて低い摩擦抵抗のみを伴って回転することが可能な信頼性の高いエアベアリングを提供すること、およびこのエアベアリングを備えたリング状モータを提供する。【解決手段】  回転リング１１と回転リング支持体２１とによりリング状モータ１のエアベアリングの主要部が構成されている。回転リング支持体２１は円筒状の多孔質体リング２２を備えている。多孔質体リング２２と回転リング１１の円筒状の本体、および回転リング１１に設けられたフランジ１４，１５同士の対向する２つの面それぞれとの間には所定の大きさのエアギャップ３０が設けられている。回転リング支持体２１にはガス通路２３が設けられている。外部からのガスは、このガス通路２３から多孔質体リング２２を通ってエアギャップ３０へと導通される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の本体の軸方向両端にそれぞれフランジを有する回転リング、および前記回転リングを支持する回転リング支持体とを備え、
前記回転リング支持体は、
前記回転リングの本体の表面に対して所定の間隙を有して対面するように内径が設定されると共に、前記回転リングに設けられたフランジ同士の対向する２つの面に対してそれぞれ所定の間隙を有して両端面が対向するように軸方向長さが設定された円筒状の多孔質体リングと、外部から前記多孔質体リングを通って前記間隙へとガスを導通させるガス通路とを有する
ことを特徴とするエアベアリング。
【請求項２】
ガスが、前記回転リング支持体の円筒の下面側から前記ガス通路を通って前記間隙へと供給される
ことを特徴とする請求項２記載のエアベアリング。
【請求項３】
前記間隙は１０μｍ以上の寸法を有する
ことを特徴とする請求項１または２記載のエアベアリング。
【請求項４】
前記多孔質体リングは、多孔質基体材料に無機質の固体潤滑材を分散配合し焼結して形成されたものである
ことを特徴とする請求項１ないし３のうちいずれか１つの項に記載のエアベアリング。
【請求項５】
円筒状の本体の軸方向両端にそれぞれフランジを有する回転リングと、前記回転リングとは異なる半径を有して前記回転リングと同心円状に配置された円筒状の回転子とを、１つのディスクの同一面上に設けてなるロータと、
前記回転リングの本体の表面に対して所定の間隙を有して対面するように内径が設定されると共に前記回転リングに設けられたフランジ同士の対向する２つの面に対してそれぞれ所定の間隙を有して両端面が対向するように軸方向長さが設定された円筒状の多孔質体リングを有すると共に、外部から前記多孔質体リングを通って前記間隙へとガスを導通させるガス通路を設けてなる回転リング支持体と、中心磁界の方向が前記回転子の回転中心を向きかつ当該回転の周方向に沿った進行磁界を発生するように設定され、前記回転子に対して同心円状に配置されるように半径が設定された多相交流駆動コイルとを設けてなるステータとを備え、
前記回転リングと前記回転リング支持体とによって回転型のエアベアリングを成し、かつ前記回転子と前記多相交流駆動コイルとによって多相交流モータを成す
ことを特徴とするリング状モータ。
【請求項６】
ガスが、前記回転リング支持体の円筒の下面側から前記通路を通って前記間隙へと供給される
ことを特徴とする請求項５記載のリング状モータ。
【請求項７】
前記間隙を１０μｍ以上の寸法を有する
ことを特徴とする請求項５または６記載のリング状モータ。
【請求項８】
前記多相交流駆動コイルがコイルコアを有しており、当該コイルコアに冷却水の通路を設けて水冷コアとした
ことを特徴とする請求項５ないし７のうちいずれか１つの項に記載のリング状モータ。
【請求項９】
前記多相交流駆動コイルに冷却フィンを有し、前記多相交流駆動コイルを空冷とした
ことを特徴とする請求項５ないし８のうちいずれか１つの項に記載のリング状モータ。
【請求項１０】
前記回転子を、かご型シート環状方式または２層方式の誘導回転子にして誘導起電型モータとした
ことを特徴とする請求項５ないし９のうちいずれか１つの項に記載のリング状モータ。
【請求項１１】
前記多孔質体リングは、多孔質基体材料に無機質の固体潤滑材を分散配合し焼結して形成されたものである
ことを特徴とする請求項５ないし１０のうちいずれか１つの項に記載のリング状モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気浮上軸受である回転型のエアベアリングおよびそれを用いたリング状モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
エアベアリングは、一般に、回転リングと回転リング支持体とのような２つの部品同士の間に、空気またはガスを供給することによって、それら２つの部品を、表面同士が接触することなしに動かすようにしたものである。理論的には、それら表面に働く摩擦力は空気の粘性抵抗のみであるから、エアベアリングは最も摩擦抵抗の少ない究極的なベアリングとして、産業界で広くその応用が期待されている。
【０００３】
従来のエアベアリングは、一般に、回転体が、外部から供給される空気やガスによる間隙（エアギャップ）を介して回転支持体によって支持される構造となっている。換言すれば、回転体は、回転支持体側から吹き付けられる空気またはガスによって浮上し、その表面が回転支持体の表面に対して非接触で回転する（例えば特許文献１）。
【０００４】
なお、回転型の他にも、リニア型と呼ばれるような直線的な動作を行うための構成を備えたエアベアリングなどもある（例えば特許文献２）。
【特許文献１】特開平９−２３３７５８号公報
【特許文献２】２００３−０１８８１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のような従来技術に係るエアベアリングでは、実際にはその動作信頼性を確保するために圧縮ガスの絶え間ない供給が必要であるが、その供給される圧縮ガス中に塵埃が混入するなどしてエアギャップ内に塵埃が侵入することを、厳密に回避しなくてはならない。
【０００６】
しかしながら、エアベアリングのような機械的部品が使用される環境では一般に、１０μｍ程度の塵埃は多く存在しているので、圧縮ガス中には塵埃が極めて混入しやすい。このため、エアギャップ内に塵埃が侵入して、いわゆる「噛み込み」が多発する虞があるという問題がある。
【０００７】
また、回転リングが回転リング支持体に対して常に非接触で回転するためには、均一なエアギャップを実現しなければならないので、回転リングや回転リング支持体の寸法精度の管理が極めて厳密に要求される。具体的には、エアギャップは１０μｍ未満程度でなければ上記のようなエアベアリングとしての効果を得ることができない。
【０００８】
一般に、回転リングや回転リング支持体の直径が小さければ、その寸法誤差も小さな値となるので、エアギャップの寸法精度管理もさほど困難を伴わない。
【０００９】
ところが、回転リングや回転リング支持体の直径が大きくなればなるほど、エアギャップの寸法精度の管理は飛躍的に困難なものとなる。そして回転リングや回転リング支持体の直径は、通常、小さくとも数ミリないしセンチメートル以上の大きさであるから、エアギャップの寸法のオーダ（１０μｍ程度）と比較して、まさに桁違いに大きい。このため、回転リングや回転リング支持体の円周全体に亘ってエアギャップの寸法の均一化を図ることは、極めて困難である。このため、完成したエアベアリングは、供給される圧縮ガスの圧力や流速に少しの揺らぎが生じただけでも、その影響を強く受けて、回転リングや回転リング支持体における寸法誤差が比較的大きい位置が存在していると、その部分で予期せぬ接触が発生してしまうという問題がある。
【００１０】
従来技術によるエアベアリングは、このような問題点を有しているため、理想的な特質を備えている割には、広く用いられるには未だ至っていなかった。
【００１１】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、塵埃の噛み込みの問題、および回転リングと回転リング支持体とが接触して円滑なベアリング効果が妨げられるという問題を解消して、常に非接触で極めて低い摩擦抵抗のみを伴って回転することが可能な信頼性の高いエアベアリングを提供すること、およびそのようなエアベアリングを組み込んでなるリング状モータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のエアベアリングは、円筒状の本体の軸方向両端にそれぞれフランジを有する回転リング、および回転リングを支持する回転リング支持体とを備えたものであり、回転リング支持体は、回転リングの本体の表面に対して所定の間隙を有して対面するように内径が設定されると共に、回転リングに設けられたフランジ同士の対向する２つの面に対してそれぞれ所定の間隙を有して両端面が対向するように軸方向長さが設定された円筒状の多孔質体リングと、外部から前記多孔質体リングを通って前記間隙へとガスを導通させるガス通路とを有している。
【００１３】
本発明のリング状モータは、ロータとステータとを備えている。そして、ロータは、円筒状の本体の軸方向両端にそれぞれフランジを有する回転リングと、回転リングとは異なる半径を有して前記回転リングと同心円状に配置された円筒状の回転子とを、１つのディスクの同一面上に設けてなる。一方、ステータは、回転リングの円筒状の本体の表面に対して所定の間隙を有して対面するように内径が設定されると共に前記回転リングに設けられたフランジ同士の対向する２つの面に対してそれぞれ所定の間隙を有して両端面が対向するように軸方向長さが設定された円筒状の多孔質体リングを有すると共に、外部から多孔質体リングを通って間隙へとガスを導通させるガス通路を設けてなる回転リング支持体と、中心磁界の方向が前記回転子の回転中心を向きかつ当該回転の周方向に沿った進行磁界を発生するように設定され、前記回転子に対して同心円状に配置されるように半径が設定された多相交流駆動コイルとを設けてなる。前記回転リングと前記回転リング支持体とによって回転型のエアベアリングが、また、回転子と多相交流駆動コイルとによって多相交流モータが構成される。
【００１４】
本発明のエアベアリングまたはリング状モータでは、円筒状の多孔質体リングを備えているので、外部から供給される圧縮ガスは、多孔質体リングを通って回転リングの本体の表面とそれに対面する回転リング支持体の表面との間に供給される際に、多孔質体リングの多孔によって位置的に分散されることとなり、それによる位置的に均一な流体力によって間隙（エアギャップ）を回転リングの円周全体に亘って均一に保つ。また、外部から供給される圧縮ガスや空気に混入している塵埃等は、多孔質体リングの多孔によってフィルタリングされる。
【００１５】
なお、ガスを、回転リング支持体の下面から通路を通って間隙へと供給するように設定することで、前記ガスの供給の導入経路の簡易化・単純化を図ってもよい。
【００１６】
また、間隙を１０μｍ以上の寸法に設定することで、もし仮に１０μｍ未満の塵埃が供給されるガスに混入していて、それがエアギャップにまで侵入した場合でも、回転リングとリング支持体との間での、いわゆる塵埃の噛み込みが回避される。また、本発明のエアベアリングまたはリング状モータでは、多孔質体リングを用いたことによって、エアギャップを１０μｍ以上にしても、そのエアギャップへと供給されるガスや空気による非接触なベアリング動作が実現可能となる。
【００１７】
また、多相交流駆動コイルがコイルコアを有しており、当該コイルコアに冷却水の通路を設けて水冷コアとすると、発熱しやすい傾向にある多相交流駆動コイルの水冷による強制冷却が可能となる。
【００１８】
また、多相交流駆動コイルに冷却フィンを設けて、当該多相交流駆動コイルを空冷とすれば、発熱しやすい傾向にある多相交流駆動コイルの空冷による強制冷却が可能となる。      
【００１９】
また、回転子を、かご型シート環状方式または２層方式の誘導回転子にして誘導起電型とすれば、本発明のエアベアリングまたはリング状モータを誘導起電型モータに適用することができる。
【００２０】
また、多孔質体リングを、多孔質基体材料に炭素（Ｃ）などの無機質の固体潤滑材を分散配合し焼結したもので形成することにより摩擦係数の低いものとすれば、仮に大きな機械的な力が外乱的に掛かるなどして回転リングと回転リング支持体とが接触したとしても、そのときの摩擦抵抗を抑えて、その接触部分での噛み込みや焼き付き等の発生を回避することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、塵埃の噛み込みの問題および回転リングと回転リング支持体との不用意な接触の問題を解消して、常に非接触で極めて低い摩擦抵抗のみを伴って回転することが可能な、信頼性の高いエアベアリングおよびこのエアベアリングを組み込んでなるリング状モータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明の最良の形態について図面を参照して説明する。
【００２３】
図１は、本発明の一実施の形態に係るリング状モータ１の断面構造を表し、図２はこのステータ１の外観を特に抜き出して表すものである。図５は、リング状モータ１に組み込まれたエアベアリングの構造を表すものである。なお、図１は図２のＡ−Ａ線にそった断面に相当するものである。
【００２４】
このリング状モータ１は、ロータ１０と、ステータ２０とを、その主要部として備えている。ロータ１０は、例えば金属あるいはセラミックからなるドーナツ盤状のディスク基体１３の一面上に回転リング１１を設け、この回転リング１１の外側に回転子１２を配設したものである。また、ステータ２０は、回転リング支持体２１と多相交流駆動コイル２７とを一体に組み合わせたものである。
【００２５】
回転リング１１は例えば金属あるいはセラミックからなる円筒状の本体を有しており、その本体の軸方向一端に第１のフランジ１４を有している。この回転リング１１の他端は、ディスク基体１３の一表面と連なっており、そのディスク基体１３自体が、第１のフランジ１４と対向する第２のフランジ１５となっている。
【００２６】
回転子１２は、回転リング１１よりも大きな半径を有して回転リング１１と同心円状に配置された円筒状のものである。この回転子１２は、さらに具体的には、図３に示したような、かご型シート環状方式の回転子１２１、または図４に示したような、磁性体と良導体とからなる２層方式の誘導回転子１２２とすることが可能である。なお、回転子１２１では、磁性体ドラム１２１Ａにその磁性体表面が窓状に覗くように良導体例えばアルミニウム（Ａｌ）からなる電流通路１２１Ｂが埋め込み形成されている。また、誘導回転子１２２は、磁性体ドラム１２２Ａの表面に例えばアルミニウム（Ａｌ）からなる良導体層１２２Ａを形成したものである。
【００２７】
回転リング支持体２１は多孔質体リング２２を機械的に支持するもので、多相交流駆動コイル２７と一体に構成されている。回転リング支持体２１は例えば金属あるいはセラミックにより構成されている。この回転リング支持体２１の内部にはガス通路２３が設けられており、ガスを外部から多孔質体リング２２を通ってエアギャップ３０へと導通させるようになっている。そのガス通路２３の入口２４は、回転リング支持体２１の円筒の下面側に設けられている。このような位置にガス通路２３の入口２４を設けることにより、ガス供給構造を簡易化することができる。
【００２８】
多孔質体リング２２は円筒状のものであり、回転リング１１と組み合わされたときに、回転リング１１の円筒状の本体の表面に対して所定の大きさのエアギャップ３０を有して対面するような内径を有する。その材質はいわゆる多孔質体で、外周側の壁面から内周側の壁面へと、その厚さ方向に圧縮ガスを導通させることが可能となっている。その多孔質体の材質としては、可能な限り孔の密度や分布が位置的に均一なものであることが望ましい。具体的には、金属粉末と炭素（Ｃ）粉末との混合物、あるいはセラミック粉末を焼結してなる多孔質材などを挙げることができる。この多孔質体リング２２の軸方向の長さは、回転リング１１に設けられたフランジ１４，１５同士の対向する２つの面に対してそれぞれエアギャップ３０を有して両端面が対向するように設定されている。
【００２９】
そのエアギャップ３０は好ましくは、１０μｍ以上となるように設定されている。これは、後述するような作用によって、エアギャップ３０を均一な圧力で保つことが可能であることから、従来の技術では困難であったエアギャップ３０の間隙を１０μｍ以上にすることが可能となるためである。そして、そのようにエアギャップ３０の間隙を１０μｍ以上にすることによって、仮に１０μｍ程度までの大きさの塵埃（図示省略）が供給されるガスに混入してエアギャップ３０内に流入したとしても、それに起因した噛み込みを回避することが可能となる。
【００３０】
また、この多孔質体リング２２の材質が多孔質であることによって、例えば供給されるガスに１０μｍ以上の塵埃が混入していたとしても、それを多孔質体リング２２があたかもエアクリーナのようにフィルタリングして、エアギャップ３０内への塵埃の流入を阻止することが可能となる。
【００３１】
多相交流駆動コイル２７は、中心磁界の方向が回転子１２の回転中心を向き、かつその回転の周方向に沿った進行磁界を発生するように、コイルコア２６に駆動コイル２５が２相または３相あるいはさらに多相構成で襷掛けに巻回されている。そして、この多相交流駆動コイル２７は、ロータ１０と組み合わされたときに、ロータ１０側の回転子１２に対して所定の間隙を有して同心円状に配置されるように、その半径が設定されている。この多相交流駆動コイル２７において、コイルコア２６の外周寄りの部分には、冷却水の通路２８が設けられ、いわゆる水冷コアとなっている。ここで、このコイルコア２６の外周側の壁面に冷却フィン（図示省略）を設けるなどして、この多相交流駆動コイル２７をいわゆる空冷コアとすることなども可能である。このように冷却機構を付設することにより、多相交流駆動コイル２７からの発熱を発散させて、多相交流駆動コイル２７の過熱を解消することが可能となる。
【００３２】
このように本実施の形態では、回転リング１１と回転リング支持体２１とによって、回転型のエアベアリングの主要部が構成され、かつ上記の回転子１２と多相交流駆動コイル２７とによって、多相交流モータの主要部が構成されている。
【００３３】
次に、このリング状モータ１の作用について説明する。
【００３４】
図６はリング状モータ１のエアベアリング部分におけるエアギャップへのガスの供給状態を模式的に表したものである。図７は、比較のために従来のエアベアリングの主要部の構成を、図８は、その従来のエアベアリングにおけるエアギャップへのガスの供給状態を模式的に表したものである。
【００３５】
本実施の形態のリング状モータ１では、多相交流駆動コイル２７に２相または３相交流電流を流すと、その電流による進行磁界が発生する。するとその進行磁界によって渦電流が誘導されて、回転子１２に回転駆動力が掛かり、ロータ１０全体が回転する。このときの進行磁界の発生に伴って、多相交流駆動コイル２７には発熱が生じるが、この多相交流駆動コイル２７は水冷コアとなっているので、過熱することが解消される。
【００３６】
このロータ１０の回転に伴って、回転リング１１も回転するが、このとき、回転リング１１と回転リング支持体２１の多孔質体リング２２との間のエアギャップ３０には、外部からガスが供給されて、回転型のエアベアリングとして機能しているので、ロータ１０はステータ２０に対して非接触な浮いた状態となって、極めて低摩擦抵抗で滑らかに回転する。
【００３７】
さらに詳細には、回転リング１１の外周側の壁面および対向する第１のフランジ１４と第２のフランジ１５との間には、数１０μｍのオーダのエアギャップ３０を隔てて、多孔質体リング２２が囲み込まれるように配置されており、回転リング１１の浮上および回転運動の案内の機能を果たしている。外部から導入されたガスは、ガス通路２３を通って多孔質体リング２２の外周側の壁面に至り、さらにその多孔質体リング２２内を通過して内周側の壁面からエアギャップ３０へと供給される。このエアギャップ３０に供給されたガスは、さらに、ロータ１０のディスク基体１３と回転リング支持体２１の上面との間の間隙〜回転リング支持体２１および多相交流駆動コイル２７と回転子１２との間の間隙〜ロータ１０のディスク基体１３とコイルコア２６の上面との間の間隙を通って、外部へと吹き抜けて行く流れと、回転リング１１の下面へと吹き抜けて行く流れとに分れる。このようなガスの流れが、ガスの供給によって定常的に継続されることで、回転リング１１と回転リング支持体２１の多孔質体リング２２との間にエアベアリングが機能する。
【００３８】
すなわち、本実施の形態のリング状モータ１では、エアギャップ３０に対して直接的に対面してガス（またはエアー）を供給する部分に多孔質体リング２２を配置しているので、外部から導入されその多孔質体リング２２を介してエアギャップ３０へと供給されるガスは、図６に模式的に示したように、エアギャップ３０の全周に亘ってほぼ均一な圧力で供給される。従って、回転リング１１の本体および第１のフランジ１４ならびに第２のフランジ１５の壁面をエアギャップ３０のガスが押す力は、ガスが多孔質体リング２２を通過する際に、その圧力が均一化されるので、エアギャップ３０のほぼ全周に亘って均一なものとなる。これにより、仮に回転リング１１と多孔質体リング２２との間のエアギャップ３０に偏りが生じそうになったとしても、そのときの回転リング１１には、全周に亘って均一な圧力が加えられているのであるから、常に位置的に均一な復元力が安定的に掛かることとなって、回転リング１１と多孔質体リング２２との接触噛み込み等が回避される。また第１のフランジ１４および第２のフランジ１５と多孔質体リング２２の両端面との間のエアギャップ３０についても同様に、常に均一な復元力が掛かることとなり、接触噛み込み等が回避される。その結果、ロータ１０は、極めて低摩擦抵抗で円滑に回転することが可能となる。
【００３９】
他方、本実施の形態のエアベアリングと比較するための一例として図７に示した、従来のエアベアリングでは、局所的にガスの噴出口５０１が設けられているので、外部から供給される圧縮ガスは、狭いガス通路２３の出口からエアギャップ３０へと高速で噴出されることで、その部分付近のみが層流となり、その出口から離れた位置では乱流となる傾向にあることと相俟って、エアギャップ３０内におけるガスの圧力分布に明らかな偏りが生じることとなる。
【００４０】
すなわち、図８に模式的に示したように、エアギャップ３０の円周方向に沿って流れる層流によって流体的な吸引力（ゲージ圧を基準とした負の圧力）が加点リング１１０に働き、ガス通路２３の出口付近では押圧力（ゲージ圧を基準とした正の圧力）が働くことになるので、エアギャップ３０内におけるガスの圧力分布が偏ったものとなる傾向にある。その結果、一旦、回転リング１１０と回転リング支持体２１０との間のエアギャップ３０に偏りが生じると、その位置によっては、ガスの圧力分布の偏りに起因して、エアギャップ３０の復元力が機能せず、むしろ偏りを助長してしまい、甚だしくは、接触噛み込み等が発生することとなる場合もあった。
【００４１】
しかし、本実施の形態のリング状モータ１におけるエアベアリングによれば、ガスは多孔質体リング２２を介してエアギャップ３０へと供給されるので、そのエアギャップ３０の全周に亘ってガスが乱流で噴出されて、ほぼ均一な圧力分布となる。その結果、エアギャップ３０の全周に亘って均一な復元力が発揮されて、回転リング１１は回転リング支持体２１に対して常に非接触な浮いた状態に保たれ、極めて低摩擦抵抗で滑らかに回転することが可能となるのである。
【００４２】
このように、本実施の形態のリング状モータ１では、多孔質体リング２２によって、供給されるガスに混入している塵埃をフィルタリングして、エアギャップ３０内への塵埃の流入を阻止することができる。その結果、エアギャップ３０内への塵埃の流入に起因したエアベアリングの噛み込みを低減ないしは解消することが可能となる。
【００４３】
また、多孔質体リング２２を介してエアギャップ３０へと供給されるガスの圧力を、エアギャップ３０の全周に亘ってほぼ均一な分布とすることができる。これは第１のフランジ１４および第２のフランジ１５と多孔質体リング２２の両端面との間のエアギャップ３０についても同様である。これにより、常に均一な復元力が掛かることとなり、接触噛み込み等を回避して、ロータ１０の極めて低摩擦抵抗で円滑な回転を実現することが可能となる。
【００４４】
なお、多孔質体リング２２に炭素など無機質の固体潤滑材を分散配合させることにより、摩擦係数の極めて低い材質とすることができ、仮に例えば大きな機械的な力が外乱的に掛かるなどして回転リング１１と回転リング支持体２１とが接触したとしても、そのときの摩擦抵抗を抑えて、その接触部分での噛み込みや焼き付き等の発生を回避することが可能となる。
【００４５】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各部位の形成材料等、種々の変形が可能であることは云うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施の形態に係るリング状モータの全体構成を表す断面図である。
【図２】リング状モータにステータの外観を表す図である。
【図３】回転子の構造の一例を表す図である。
【図４】回転子の構造の他の例を表す図である。
【図５】図１のリング状モータのエアベアリング部分の断面構成図である。
【図６】エアベアリング部分におけるエアギャップへのガスの供給状態を模式的に示す断面図である。
【図７】比較のために従来のエアベアリングの主要部の構成を表す断面図である。
【図８】従来のエアベアリングにおけるエアギャップへのガスの供給状態を模式的に表す断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０…ロータ、１１…回転リング、１２…回転子、１３…ディスク基体、２０…ステータ、２１…回転リング支持体、２２…多孔質体リング、２３…ガス通路、２４…ガス通路の入口、２５…駆動コイル、２７…多相交流駆動コイル、３０…エアギャップ。
【図１】
2006275234.tif 000003
【図２】
2006275234.tif 000004
【図３】
2006275234.tif 000005
【図４】
2006275234.tif 000006
【図５】
2006275234.tif 000007
【図６】
2006275234.tif 000008
【図７】
2006275234.tif 000009
【図８】
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