(57)【要約】【課題】  目的とする反応を行わせ、または目的とする反応生成物を生成するために、状況に応じて柔軟に対応可能な混合器を提供する。【解決手段】  この混合器は、１または複数の流体を混合させる混合器であって、内部に互いに合流または分岐する流路が形成された流路ブロック１０と、流路ブロック１０の流路１２に継手１４を介して接続されるチューブ１８とを有する。この混合器によれば、流路ブロック１０を、原料供給部１６や混合した製品を回収する回収部２０にチューブ１８を介して接続することにより、必要な流体回路が形成され、流体は合流または分岐する流路において混合し、その結果として場合によっては反応して、目的とする生成物を生成する。【選択図】      図４Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１または複数の流体を混合させる混合器であって、
内部に互いに合流または分岐する流路が形成された流路ブロックと、
前記流路ブロックの流路に継手を介して接続されるチューブとを有することを特徴とする混合器。
【請求項２】
複数の前記流路ブロックを接続することにより、合流と分岐を含む流体回路を構成することを特徴とする請求項１に記載の混合器。
【請求項３】
前記チューブを介して、該チューブより拡径する容積部を有する容積体が接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の混合器。
【請求項４】
前記容積体には、前記容積部における流体の攪拌を促進する攪拌促進要素が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の混合器。
【請求項５】
１または複数の流体を混合させる混合器であって、内部に互いに合流または分岐する流路が形成された複数の流路ブロックを有し、前記流路の少なくとも一部は前記流路ブロックの接合表面に開口しており、前記流路ブロックを互いの接合面を接合することにより前記流路が連通するようになっていることを特徴とする混合器。
【請求項６】
１または複数の流体を混合させる混合方法であって、
内部に互いに合流または分岐する流路が形成された流路ブロックを用い、
前記流路ブロックを用いて構成した流体回路に前記１または複数の流体を供給することを特徴とする混合方法。
【請求項７】
複数の前記流路ブロックを用意し、これらの流路ブロックを選択的に接続することにより、合流と分岐を含む流体回路を構成することを特徴とする請求項６に記載の混合方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載の混合方法を用いて混合を行い、良好な結果を確認した流体回路を基板上に形成することを特徴とする流体回路の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化学反応、特に、有機化学合成等を行うフロー系反応装置として用いる混合器および混合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、微小な流路断面積の流路（微小流路）を用いて溶液や気体を流通させながら種々の化学反応を起こさせるマイクロチャンネルチップが注目されている。マイクロチャンネルチップは、１つのチップ上に混合、加熱、反応等のための領域とこれらを連通させる流路が設けられており、これに素材（原料）を供給すれば、特定の反応が実行されるように構成されている。
【０００３】
マイクロチャンネルチップは、流路断面積が微小であることから、溶液、検体の体積が少量で十分であるという利点が有る。さらに、流路を流れる流体の比表面積（単位体積当たりの表面積）が大きくなるので、熱交換効率が極めて高く、温度制御を迅速に行うことが容易であるため、反応生成物の幾何異性や位置異性等の立体化学特性に対して高い選択性が得られ、反応を効率的に行わせることができる等のメリットがある。このためマイクロチャンネルチップは、所定物質の生産を目的とした合成反応（マイクロリアクションシステム）、あるいは検査を目的とした溶液と検査体との反応を行わせる（マイクロトータルアナリシスシステム、μＴＡＳ）ために使用されることが多い。
【０００４】
新たな用途に用いるチップを作成する場合には、一連の工程について、流れ解析などのシミュレーションを利用することにより、流路等の形状・寸法等を設計する。しかしながら、薬品の物性値は一定でなく、温度による物性値の変化が大きいことや、薬品ごとの動粘度、粘性係数、熱伝達率など、不確定な要素が極めて多くあり、シミュレーションをしたとしても精度に欠ける。特に分子レベルの運動を考慮した、流れ解析によるシミュレーション手法は確立されていない。よって、シミュレーションによる結果に基づいた設計・製作した混合器の中には、混合器として、機能しないものも発生する可能性がある。
【０００５】
また、化学合成は、液・液、気・液など多種があり、特定流路のパターンが、あらゆる化学合成に適合する汎用性のあるものとは限らないし、反応が達成できても、同一の混合器で反応生成物が高収率で得られる可能性は極めて低い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、マイクロチャンネルチップのような既存のフロー系混合器では、混合流路の形状を柔軟、容易に変更できない。したがって、製造後に、目的とする化学反応が達成できなかった場合には、再度、製作する必要がある。そのためにチップが高価となり、作業効率が悪く、コストも高くなる。
また、既存のフロー系混合器では、混合器流路内の洗浄性が低いという不利点も有る。特に、0.1mm以下のマイクロオーダで流路幅が構成されているマイクロ混合器では析出系の生成物が発生した場合、流路のつまりを洗浄するのに時間、コストがかかってしまう。
【０００７】
本発明は、前記事情に鑑みて為されたもので、目的とする反応を行わせ、または目的とする反応生成物を生成するために、状況に応じて柔軟に対応可能な混合器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の混合器は、１または複数の流体を混合させる混合器であって、内部に互いに合流または分岐する流路が形成された流路ブロックと、前記流路ブロックの流路に継手を介して接続されるチューブとを有することを特徴とする。
請求項１に記載の発明においては、予め流路が形成された流路ブロックを、原料供給部や混合した製品を回収する回収部にチューブを介して接続することにより、必要な流体回路が形成され、流体は合流または分岐する流路において混合し、その結果として場合によっては反応する。
【０００９】
請求項２に記載の混合器は、請求項１に記載の発明において、複数の前記流路ブロックを接続することにより、合流と分岐を含む流体回路を構成することを特徴とする。
請求項３に記載の混合器は、請求項１または請求項２に記載の発明において、前記チューブを介して、該チューブより拡径する容積部を有する容積体が接続されていることを特徴とする。
請求項４に記載の混合器は、請求項３に記載の発明において、前記容積体には、前記容積部における流体の攪拌を促進する攪拌促進要素が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項５に記載の混合器は、１または複数の流体を混合させる混合器であって、内部に互いに合流または分岐する流路が形成された複数の流路ブロックを有し、前記流路の少なくとも一部は前記流路ブロックの接合表面に開口しており、前記流路ブロックを互いの接合面を接合することにより前記流路が連通するようになっていることを特徴とする。
請求項５に記載の発明においては、予め流路が形成された複数の流路ブロックどうしを接合することにより、必要な流体回路が形成され、流体は合流または分岐する流路において混合し、その結果として場合によっては反応する。
【００１１】
請求項６に記載の混合方法は、１または複数の流体を混合させる混合方法であって、内部に互いに合流または分岐する流路が形成された流路ブロックを用い、前記流路ブロックを用いて構成した流体回路に前記１または複数の流体を供給することを特徴とする。
請求項７に記載の混合方法は、請求項６に記載の発明において、複数の前記流路ブロックを用意し、これらの流路ブロックを選択的に接続することにより、合流と分岐を含む流体回路を構成することを特徴とする。
【００１２】
請求項８に記載の流体回路の作製方法は、請求項６または請求項７に記載の混合方法を用いて混合を行い、良好な結果を確認した流体回路を基板上に形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１ないし請求項７に記載の混合器または混合方法によれば、目的とする反応を行わせ、目的とする反応生成物を生成するために、状況に応じて柔軟に対応可能な混合器を提供することができる。
【００１４】
請求項８に記載の流体回路の作製方法によれば、良好な結果を確実に得ることができる流体回路を基板上に形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の混合器または反応器の構成要素である流路ブロック１０の１つの実施の形態を示すもので、この流路ブロック１０は、樹脂、金属、セラミックス等の適宜の素材から形成され、あらかじめ各種の流路１２がその内部に形成されている。図１の例では、流路ブロック１０は扁平な円筒状に形成され、軸方向中央部に放射状に３本の流路１２が、流路ブロック１０の軸線上で合流するように形成されている。これらの流路１２の外端は流路ブロック１０の外周面にそれぞれ設けられた継手１４に結合している。この流路ブロック１０は、混合器として用いられる場合には、２本の流路１２を流体が流入する導入流路として、１本を流体が混合して流出する導出流路として用いる。分割流路として用いる場合は逆になる。２本の導入流路は同径かつ導出流路に対して等角度に配置され、各流入流体は同じ量ずつ導出流路に流れ込むようになっているが、これに限られるものではない。
【００１６】
このような流路ブロック１０は、このような流路１２を有する形状に型成形するか、中実の流路ブロック１０を形成してから穿孔等により流路１２を形成する。または、接合面に流路１２を有する２つの半割流路ブロック１０を接着剤等で接合して構成してもよい。流路１２の断面形状は、図１（ｃ）に示すような円形、図１（ｄ）に示すような矩形（多角形）、あるいは図１（ｅ）に示すような複合形状等、適宜に採用することができる。また、各流路１２で断面形状を変えるようにしてもよい。流路１２の内面には必要に応じて適宜の表面処理がなされる。継手１４は流路ブロック１０に接着もしくはねじ込みなどの方法によって接合される。また継手１４は、共通のものを用いておき、同様に共通に仕様できるチューブによって互いに結合して用いられる。継手１４には、流体の漏洩を防止するため、JIS規格もしくはISO規格など既存の規格の流体漏れ封止形状が用いられている。
【００１７】
図２に示すのは、他の流路１２形状を有する流路ブロック１０を示すもので、（ａ）及び（ｂ）は３本の流路１２がＴ字状に配置されているもの、（ｃ）及び（ｄ）は４本の流路１２が、（ｅ）及び（ｆ）は６本の流路１２がそれぞれ等間隔に配置されているものである。また、図３に示すのは、流路ブロック１０の上下方向にも流路１２を配置したもので、これらの流路１２は流路ブロック１０の中心で３次元的に合流するようになっている。図３において、（ａ）及び（ｂ）は図１の流路ブロック１０の上面及び上下面に開口する上下方向流路を設けたもの、（ｃ）及び（ｄ）は図２（ａ）の流路ブロック１０の上面及び上下面に開口する上下方向流路を設けたもの、（ｅ）及び（ｆ）は図２（ｃ）の流路ブロック１０の上面及び上下面に開口する上下方向流路を設けたもの、（ｇ）及び（ｈ）は図２（ｅ）の流路ブロック１０の上面及び上下面に開口する上下方向流路を設けたものである。これらの流路ブロック１０に設けた流路１２は、互いの角度、間隔、それぞれの径や断面形状を適宜に設定できる。これらの流路１２はいずれを導入流路１２にし、いずれを導出流路１２に設定してもよい。また、流路１２は必要に応じて、５方向、８方向、１０方向などの多数に分岐するように形成することができる。また流路ブロック１０の外周形状は円形に限らない。
【００１８】
これらの流路ブロック１０は、それぞれのタイプを規格化し、予め使用頻度に応じた数を用意しておくことにより、ユーザが設計した反応のための流体回路をこれらの流路ブロック１０を組み合わせることにより構成することができる。これらの流路ブロック１０は、ユーザが用意しておくことも、また、これを製品として提供する側が用意することもできる。
【００１９】
図４は、これらの流路ブロック１０を結合して構成した流体回路の例であり、流体のフローは図４Ａに示されている。シリンジ１６により供給される２つの試薬はチューブ１８aを通じて、各々第１の流路ブロック１０ａ（３方向流路ブロック：１導入流路、２導出流路）に導入される。ここで、２支流に分岐した流体の流量（流速）は１／２になる。その後、この流速のままチューブ１８bを通じて第２の流路ブロック１０ｂ（４方向流路ブロック：２導入流路、2導出流路）で各流体は合流（混合）される。この時点で各流体は、初期導入時の１／２の流速で合成（混合）されるので、合成（混合）時間が長くなり、この間で混合が促進される。次に第３の流路ブロック１０ｃ（３方向流路ブロック：２導入流路、１導出流路）により再び第３の合流（混合）がなされた後、第４の流路ブロック１０ｄ（３方向流路ブロック：２導入流路、１導出流路）により第３の合流（混合）がなされ、回収容器２０に排出される。
【００２０】
この実施の形態では、上記の計４段のステップ（「第１：分岐」→「第２：合流・分岐」→「第３：合流」→「第４：合流」）を経て流体を混合する。このように、複数の分岐および合流を行うことで、複数流体が確実に混合する。互いに反応する流体であれば、混合の時に反応が起こり、新たな物質の合成がなされるが、この実施の形態では４段のステップで確実に合成がなされる。なおこの例では、流体の送液要素としてシリンジ１６を用いているが、通常のピストンポンプやダイヤフラムラムポンプなどを用いてもよく、前記送液要素はこの例に限るものではない。
【００２１】
これらの流路ブロック１０は、流体を分岐させる機能、混合させる（反応させる）機能を有する、流体回路の基本的な構成要素であるが、他の機能ブロックを用いることができる。図５に示すのは、流体を攪拌させて混合と場合によってはそれによる反応を促進する容積体２２である。これは、必要に応じて各流路ブロック１０間に設置される。
【００２２】
図５（ａ）及び（ｂ）に示す容積体２２は、チューブ１８の内径より大きな内径を有する空間（容積部）２４を形成するもので、通過流体が容積部に進入し、流速の低下および滞留時間の確保を単に行うものである。図５（ｃ）に示す容積体２２には、通電することにより駆動する圧電素子などのアクチュエータが振動要素２６として設置されている。この振動要素２６の動作に伴って容積体２２が振動し、流体（薬液）が容積体２２を通過するときに、振動による攪拌混合がなされ、流体の混合が促進する。また、図５（ｄ）に示す容積体２２には、容積体２２内部に磁性体片２８が、容積体２２外部には電気（電流もしくは電圧）を付与することにより磁力が発生する励磁要素３０が付設されている。この容積体２２では、励磁要素３０に電気を付与することにより磁力が発生し、容積体２２内部の磁性体片２８が自由運動をする。これにより容積体２２を通過する流体（薬液）が強制混合させられる。なお、磁性体片２８の形状はこれに限られない。
【００２３】
図５（ｅ）に示す容積体２２は、内部にガラスもしくは、樹脂またはセラミックスの製のビーズ３２を充填し、通過流に乱れを発生させて混合を促進させるものである。なお、該ビーズ３２には触媒を修飾し、反応を促進させる機能をもたせる場合もある。ビーズ３２の形状は球形に限らず、適宜のものを採用することができる。さらに、図５（ｆ）に示す容積体２２は、内部にラビリンス壁３４を構成し、ラビリンス型の流路を形成するものである。これにより、通過流体に乱流を発生させ、混合を促進させる。また、該ラビリンス壁３４に触媒を修飾することで反応を促進させる機能を持たせることもできる。これらの容積体２２も、予めいくつかのタイプを用意しておき、表等な場合にそれを継手１４とチューブ１８を介して他の流路ブロック１０と結合して、使用することができる。
【００２４】
この発明の流路ブロック１０を用いることにより、流路ブロック１０の組み合わせパターンを柔軟に変更することができ、また試行することができる。流路ブロック１０による組み合わせにより、流速の分岐による減速や合流による増速、および各角度衝突角度における混合を１または複数回実施することで、分岐目的生成物を高速、高収率で得られるパターンを適時探索し、最適な流路パターンを見出すことができる。従って、目的とする化学（合成）反応に合わせた混合装置または反応装置を構成し、高収率を達成させることが可能である。
【００２５】
図６Ａ以下において、いくつかのパターンを例示的に説明する。図６Ａでは、流路ブロック１０を１つ用いた簡単な構成であり、(a)では３流路の流路ブロック１０による混合を、(b)では、それに容積体２２を２つ繋げたものである。従来の手法（バッチ）による合成においても短時間で高収率が得られるような化学反応においては、単に連続的に反応生成物が得られればよいので、このような比較的構成が簡単なパターンを選択することができる。
【００２６】
一方、従来の手法（バッチ）では、高収率を得るために長時間を要する反応などは、図６Ａ（ｃ）のように、流路ブロック１０を２つ繋げて、混合・分岐が２回行われる、比較的構成が複雑なものを選択する。さらに反応が遅い場合には、図４に示したようなより複雑なパターンの流体回路が採用される。勿論、流体回路のパターンはこれらに限られず、図６Ｂ以降に示すようなものを適宜に採用することができる。図６Ｂは３個の流路ブロック１０を用いたもの、図６Ｃは４個の流路ブロック１０を用いたもの、図６Ｄは５個の流路ブロック１０を用いたもの、図６Ｅ及び図６Ｆは６個の流路ブロック１０を用いたもの、図６Ｇは、図４と同じく７個の流路ブロック１０を用いたものである。
【００２７】
以上の実施の形態では、２（薬）液混合の場合について各例を挙げたが、初段に3方向流路ブロック１０もしくは4方向流路ブロック１０などを用いて、3（薬）液混合、４（薬）液混合などをはじめとする、複数の混合も上記同様の構成にて実施することが可能である。
【００２８】
また、この発明によれば、各流路ブロック１０間に設置される、各チューブ１８の長さを任意に設定でき、チューブ１８内を通過する薬液の混合時間も任意に設定可能である。つまり、チューブ１８長を長くすれば、同一の試薬流量（流速）でも、反応時間を長くすることができる。また、図６Ａ（ｂ）、図６Ｂ（ｃ）に示すように、チューブ１８中に容積体２２を設置し、薬液通過時に流れの乱れを発生させ混合を促進させることもできる。容積体２２の設置位置および個数は、これらの例に限られるものではない。また、チューブ１８には予め、その内面に化学触媒を修飾し、反応を促進させる効果を生じさせることも可能である。
【００２９】
また、一般的に化学反応（有機化学合成）においては、狭い空間で反応（合成・混合）させればさせるだけ、比界面積が大きくなり、分子の拡散混合が促進され、短時間で高収率が得られる。上述した特徴を有する混合器もしくは反応器として、マイクロリアクタなどがある。しかしながら、反応空間を狭くすると、化学反応の結果（生成物もしくは副生成物）として析出物が発生する反応においては、単に反応空間を狭くした場合、反応の進行とともに析出物が狭い空間につまり、リアクタ内部の流路１２を閉塞させ、混合器もしくは反応器として機能しなくなる場合がある。
【００３０】
この詰まりの問題を省みた１つの実施の形態として、比界面積を利用した分子の拡散混合による高収率を保持しつつ、化学反応の結果として析出物が発生した際でも、流路１２の閉塞を抑制するために、流路ブロック１０内の流路１２の断面積およびチューブ１８の断面積を１mm2以下（上限１mm2）とすることを推奨する。また、流路ブロック１０およびチューブ１８の材質は、PTFEなどの各種樹脂、ガラス、金属、セラミックスなどであり、特に樹脂で加工すれば、コストの低減化が可能である。
【００３１】
図７に、この発明による流路ブロック１０を用いて構成した混合器（流体回路）を用いて、フェノールのアセチル化を実施した結果を示す。なお、混合器の流路パターンは先に説明した図６Ｄ（ａ）に示したものである。この実験結果は、反応時間に対する生成物の収率を示したものである。この結果より、本発明による混合器により、高速（短時間）、高収率が実現していることがわかる。
【００３２】
図８に、本発明による流路ブロック１０の他の実施の形態の混合器を用いて、フェノールのアセチル化を実施した例を示す。なお、混合器の流路パターンは前記例中の図６Ｂ（ｃ）に示した容積体２２が設置されているものである。ここで設置した容積体２２は、図５（ａ）及び（ｂ）に示す単純な構造のものである。図７の場合と同様に、本発明による混合器により、高速（短時間）、高収率が実現していることがわかる。
【００３３】
図９は、流路ブロック１０を積層化することで、その機能（流路）を保持したまま小型化を図るようにしたものである。各流路ブロック１０には、上下面に流路ブロック１０どうしを繋ぐ流路１２が開口して設けられており、さらに、環状の凹凸もしくは位置決めピンが設けられている。従って、各流路ブロック１０を積層する時には、流路ブロック１０間の連通流路の位置決めが容易になされるとともに、付け替え（取り外し、取り付け）も容易となっている。また、各積層用流路ブロック１０間にはOリングをはじめとするシールを設置し、各流路ブロック１０間の通過流体が、漏れないようにしている。なお、混合器の流路パターンは先に説明した図６Ｄ（ａ）に示したものである。
【００３４】
図１０は、図９の実施の形態による混合器を用いて、フェノールのアセチル化を実施した結果を示す。この実験結果は、反応時間に対する生成物の収率を示したものである。これより、本発明による混合器により、高速（短時間）、高収率が実現していることがわかる。
【００３５】
図１１は、本発明の応用の例を示すもので、流路ブロック１０を用いて実験的に見出した最適な流路パターンを、平板状の基板３６に加工してチップ化するようにしたものである。基板３６に開口した流路３８は、先に説明した図９に示した流路パターンである。図１１（ａ）は流路パターンを加工した基板３６の斜視図であり、図１１（ｂ）は上面図である。基板３６の流路３８は継手４２を介して他の機器に接続される。この構成においても、前記各構成例および実施例と同様に短時間で高収率の結果が得られると考えられる。
【００３６】
以上説明したように、本発明によれば、フロー系有機化学合成における、混合パターンを容易に変更することが可能である。その結果、低コストでフロー系化学合成用の混合器が製作可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】この発明の混合器の主要部である流路ブロックの１つの実施の形態を示す図であり、（ａ）は平面断面図、（ｂ）は斜視図、（ｃ）〜（ｅ）は（ａ）のＩ−Ｉ矢視図である。
【図２】（ａ）、（ｃ）、（ｅ）はそれぞれ流路ブロックの他の実施の形態を示す断面図、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）はそれぞれの斜視図である。
【図３】（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）はそれぞれ流路ブロックの他の実施の形態を示す断面図、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）はそれぞれの斜視図である。
【図４Ａ】流路ブロックを用いて構成した混合器を示す斜視図である。
【図４Ｂ】図４Ａの混合器の流体回路を示す図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は容積体の１つの実施の形態を示す斜視図及び断面図、（ｃ）〜（ｆ）は他の実施の形態の断面図である。
【図６Ａ】（ａ）は１つの流路ブロックを用いた混合器の流体回路図、（ｂ）は１つの流路ブロックと容積体を用いた混合器の流体回路図、（ｃ）は２つの流路ブロックを用いた混合器の流体回路図である。
【図６Ｂ】（ａ）、（ｂ）は３つの流路ブロックを用いた混合器の流体回路図、（ｃ）は３つの流路ブロックと容積体を用いた混合器の流体回路図である。
【図６Ｃ】４つの流路ブロックを用いた混合器の流体回路図である。
【図６Ｄ】（ａ）〜（ｃ）は５つの流路ブロックを用いた混合器の流体回路図である。
【図６Ｅ】（ａ）及び（ｂ）は６つの流路ブロックを用いた混合器の流体回路図である。
【図６Ｆ】６つの流路ブロックを用いた他の実施の形態の混合器の流体回路図である。
【図６Ｇ】（ａ）及び（ｂ）は７つの流路ブロックを用いた混合器の流体回路図である。
【図７】図６Ｄ（ａ）に示した混合器を用いて、フェノールのアセチル化を実施した結果を示すグラフである。
【図８】図６Ｂ（ｃ）に示した混合器を用いて、フェノールのアセチル化を実施した結果を示すグラフである。
【図９】流路ブロックを積層化して構成した混合器を示すもので、（ａ）は流体回路図、（ｂ）は流路ブロックの積層構造を分解して示す図、（ｃ）は積層構造の外観図である。
【図１０】図９に示した混合器を用いて、フェノールのアセチル化を実施した結果を示すグラフである。
【図１１】図９に示した混合器の流体回路を基板上に構成した実施の形態を示すもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  流路ブロック
１０ａ  流路ブロック
１０ｂ  流路ブロック
１０ｃ  流路ブロック
１０ｄ  流路ブロック
１２  流路
１４  継手
１６  シリンジ（原料供給部）
１８，１８a，１８b  チューブ
２０  回収容器
２２  容積体
２６  振動要素
２８  磁性体片
３０  励磁要素
３２  ビーズ
３４  ラビリンス壁
３６  基板
３８  流路
４２  継手
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図６Ｅ】
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【図６Ｆ】
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【図６Ｇ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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