(57)【要約】【課題】  多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、メタルマスクにテンションを掛けた状態で枠状のフレームに固定する枠貼り装置にセットする際に、メタルマスクの開口部の方向を正確に引張り方向に一致させてセットする技術を提供する。【解決手段】  メタルマスク１に形成している多数の開口部をＣＣＤカメラ２５で撮像してモニター２６に表示する構成とし、その際の撮像倍率をＣＣＤカメラのセルに結像される開口部のピッチがセルピッチと等しくなるように設定することで、ＣＣＤカメラのセル列と開口部とが傾斜していた場合に撮像画像に干渉縞が生じるようにし、その干渉縞が無くなるようにメタルマスク１の配置角度を調整する構成とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、該メタルマスクを取り扱うマスク取扱い装置に対してセットする方法であって、前記メタルマスクをマスク取扱い装置の所定位置に置く工程と、そのメタルマスクの多数の開口部をＣＣＤカメラで、該ＣＣＤカメラのセルに結像される前記開口部のピッチとセルピッチが同一若しくは一方が他方に対して整数倍となる倍率で撮像する工程と、ＣＣＤカメラで撮像した画像に干渉縞が生じないように前記メタルマスクの配置角度を調整するメタルマスク角度調整工程を有することを特徴とするメタルマスクセット方法。
【請求項２】
前記マスク取扱い装置が、前記メタルマスクの４辺をそれぞれ複数のクランプで把持し、該メタルマスクにテンションを付加してゆがみやたるみの無い状態とし、その状態で枠状のフレームに固定するマスク枠貼り装置であることを特徴とする請求項１記載のメタルマスクセット方法。
【請求項３】
平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、該メタルマスクを取り扱うマスク取扱い装置に対してセットする装置であって、前記マスク取扱い装置の所定位置に置かれたメタルマスクの多数の開口部を撮像するＣＣＤカメラを備え、該ＣＣＤカメラは、該ＣＣＤカメラのセルに結像される前記開口部のピッチとセルピッチが同一若しくは一方が他方に対して整数倍となる倍率で撮像可能な機能を備えていることを特徴とするメタルマスクセット装置。
【請求項４】
前記ＣＣＤカメラにズームレンズを設け、撮像倍率を可変としたことを特徴とする請求項３記載のメタルマスクセット装置。
【請求項５】
更に、前記マスク取扱い装置の所定位置に置かれたメタルマスクの配置角度を微調整する微調整機構を有することを特徴とする請求項３又は４記載のメタルマスクセット装置。
【請求項６】
前記マスク取扱い装置が、前記メタルマスクの４辺の各々の複数箇所をクランプで把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニットを備えたマスク枠貼り装置であることを特徴とする請求項３、４又は５記載のメタルマスクセット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、有機ＥＬ素子製造工程で使われる蒸着マスクに使用されるメタルマスクのように、平行に配置された多数の細長い開口部を備えたメタルマスクを、そのメタルマスクを取り扱う装置に対して、開口部が正確に所定の方向となるようにセットする方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子製造において真空蒸着が行われており、その蒸着マスクとして、蒸着を許容する多数の細長い微少な開口部を備えたマスク部を有するメタルマスクが使用されている。そして蒸着に当たってはそのメタルマスクを、前記マスク部よりも大きい開口を備えた剛性の大きい枠状のフレームに磁石等によって取り付けていた。しかしながら、近年、パターニングの微細化が進み、マスク部に形成している開口部が微細になり且つメタルマスクの板厚自体も薄くなってくると、メタルマスクを単に枠状のフレームに磁石等を用いて固定しただけでは、マスク部にゆがみやたるみが生じ、開口部の精度が維持できなくなるという問題が生じた。
【０００３】
そこで、本出願人はこの問題を解決すべく検討の結果、図８（ａ）に示すように、極く薄い金属板で製作され且つ複数のマスク部２を備えた構造の多面付けのメタルマスク１でも、その４辺のそれぞれを、複数のクランプ（図示せず）で把持し、各クランプによってメタルマスク１に矢印Ｔで示すようにテンションを加え、かつそのテンションＴを各クランプごとに調整することで、メタルマスク１をゆがみやたるみの無い平坦な状態とし、各マスク部２の開口部を直線状に且つ一定ピッチに保持できること及びその状態で枠状のフレームにスポット溶接等によって固定することで、クランプを外した後においてもメタルマスク１をテンションが掛けられて平坦となった状態に保持でき、従って、単純な構造のフレームを用いて多面付けマスクをゆがみやたるみの無い状態に保持できることを見出し、そのメタルマスクをゆがみやたるみの無い状態で枠状のフレームに固定する方法及び装置を開発した（特開２００４−３１１３３５号公報参照）。
【０００４】
ところが、この方法及び装置にも更に改良すべき点のあることが判明した。すなわち、メタルマスク１を４辺のそれぞれに対応して設けている複数のテンションユニットのクランプに保持させる際、図８（ｂ）に誇張して示すように、メタルマスク１に形成している細長い開口部の方向がクランプによる引張り方向に対して傾斜した方向となってしまうと、メタルマスクにテンションをかけた時にメタルマスクが平行四辺形のように変形してしまい、マスク部２の位置がずれるとか、マスク部２に形成している開口部の方向が傾斜したままとなってしまい、テンション調整を行っても、マスク部２の位置ずれやゆがみを修正できないといった現象を生じ、高精度を達成できないという問題の生じることが判明した。これを防止するには、メタルマスク１のセット時に開口部の方向がクランプによる引張り方向に平行となるように調整すればよいが、メタルマスク１に形成している開口部は、幅が例えば４０〜１００μｍ程度といったきわめて微細なものであり、しかも傾斜は１〜２度といったきわめて微少なものでも許容できないため、この開口部を目視して開口部の方向をクランプによる引張り方向に合わせることは実質上、不可能である。
【０００５】
一般に、シート状のワークを平面的に同じ位置に繰り返しセットするには、複数の位置決めピンを用いるケースが多いので、この位置決めピン方式をメタルマスクに適用することが考えられるが、メタルマスクの場合開口部で金属が無いため、メタルマスク全体での剪断剛性が低く、複数の位置決めピンにメタルマスクを刺す際に平行四辺形に変形してしまうという問題が生じ、満足すべき解決策とは言えない。また、メタルマスク上の複数箇所の位置を、Ｘ−Ｙ方向（縦横方向）の位置を高精度（ミクロンオーダー）で測定可能な測長装置を用いて測定し、アラインメントを採る方法も考えられるが、設備が高価且つ大規模になり、またセットまでに時間がかかるという問題が生じる。
【特許文献１】特開２００４−３１１３３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はかかる状況に鑑みてなされたもので、蒸着用の多面付けマスクのような、平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、マスク枠貼り装置のような、メタルマスクを取り扱う装置にセットする際に、容易に且つ敏速に、そのメタルマスクを、細長い開口部が所定の方向となるように調整してセットすることを可能とする方法及び装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らはメタルマスクの開口部の方向を簡易に検出する方法を種々検討の結果、メタルマスクの多数の開口部をＣＣＤカメラで撮像した際に条件によっては開口部の傾きに関連した干渉縞が生じることを見出した。すなわち、メタルマスクの多数の開口部をＣＣＤカメラによって、ＣＣＤカメラのセルに結像される前記開口部のピッチとセルピッチが同一若しくは一方が他方に対して整数倍となる倍率で撮像した場合、開口部の方向とセルの列方向とが傾斜していると撮像画像に容易に識別可能な干渉縞が生じることを見出した。従って、この干渉縞がなくなるようにメタルマスクの配置角度を調整することで、メタルマスクの開口部を一定の方向に正確に位置させることができる。本発明はかかる知見に基づいてなされたもので、本願請求項１に係る発明は、平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、該メタルマスクを取り扱うマスク取扱い装置に対してセットする方法であって、前記メタルマスクをマスク取扱い装置の所定位置に置く工程と、そのメタルマスクの多数の開口部をＣＣＤカメラで、該ＣＣＤカメラのセルに結像される前記開口部のピッチとセルピッチが同一若しくは一方が他方に対して整数倍となる倍率で撮像する工程と、ＣＣＤカメラで撮像した画像に干渉縞が生じないように前記メタルマスクの配置角度を調整するメタルマスク角度調整工程を有することを特徴とするメタルマスクセット方法である。
【０００８】
請求項２に係る発明は、上記請求項１に記載のメタルマスクセット方法において、前記マスク取扱い装置を、前記メタルマスクの４辺をそれぞれ複数のクランプで把持し、該メタルマスクにテンションを付加してゆがみやたるみの無い状態とし、その状態で枠状のフレームに固定するマスク枠貼り装置としたものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、該メタルマスクを取り扱うマスク取扱い装置に対してセットする装置であって、前記マスク取扱い装置の所定位置に置かれたメタルマスクの多数の開口部を撮像するＣＣＤカメラを備え、該ＣＣＤカメラは、該ＣＣＤカメラのセルに結像される前記開口部のピッチとセルピッチが同一若しくは一方が他方に対して整数倍となる倍率で撮像可能な機能を備えていることを特徴とするメタルマスクセット装置である。
【００１０】
請求項４に係る発明は、上記した請求項３に記載のメタルマスクセット装置において、前記ＣＣＤカメラにズームレンズを設け、撮像倍率を可変としたものである。
【００１１】
請求項５に係る発明は、上記した請求項３又は４に記載のメタルマスクセット装置において、更に前記マスク取扱い装置の所定位置に置かれたメタルマスクの配置角度を微調整する微調整機構を設けたものである。
【００１２】
請求項６に係る発明は、上記請求項３、４又は５に記載のメタルマスクセット装置において、前記マスク取扱い装置を、前記メタルマスクの４辺の各々の複数箇所をクランプで把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニットを備えたマスク枠貼り装置としたものである。
【発明の効果】
【００１３】
上記した本発明の方法及び装置によれば、マスク取扱い装置の所定位置にメタルマスクを位置させ、そのメタルマスクの多数の開口部をＣＣＤカメラで、該ＣＣＤカメラのセルに結像される前記開口部のピッチとセルピッチが同一若しくは一方が他方に対して整数倍となる倍率で撮像する構成としたことにより、撮像した画像に、ＣＣＤカメラのセルの列方向とメタルマスクの開口部の方向との傾斜に応じて干渉縞が生じるので、その干渉縞がなくなるようにメタルマスクの配置角度を調整することで、メタルマスクの配置角度を、その開口部がＣＣＤカメラのセルの列方向に正確に平行となるように調整でき、しかも干渉縞はＣＣＤカメラのセルの列方向とメタルマスクの開口部の方向との微細な傾斜によっても大きく且つ明瞭に生じるので、目視によって容易に干渉縞を確認でき、その干渉縞がなくなるようにメタルマスクの配置角度を調整することで容易に且つ敏速に、しかも高精度でメタルマスクの方向を所定の方向に位置決めすることができる。
【００１４】
ここで、メタルマスクの多数の開口部をＣＣＤカメラで撮像した画像に干渉縞が生じるのは、ＣＣＤカメラのセルに結像される開口部のピッチとセルピッチが同一若しくは一方が他方に対して整数倍となる倍率で撮像した場合である。そこで、ＣＣＤカメラとしては、このような倍率の倍率固定レンズを備えたものを用いてもよいが、倍率固定レンズを用いる代わりにＣＣＤカメラにズームレンズを設け、撮像倍率を可変としておくことが好ましい。ズームレンズを用いると、倍率を変更可能であるため、メタルマスクの開口部のピッチが変る場合に対応可能である。
【００１５】
本発明を適用する対象のマスク取扱い装置は、メタルマスクを所定の方向に位置決めしてセットする必要のあるものであれば任意であり、代表的な例として、メタルマスクの４辺の各々の複数箇所をクランプで把持してテンションを加え、その状態で枠状のフレームに固定する構成のマスク枠貼り装置を挙げることができる。マスク取扱い装置としてマスク枠貼り装置を用いれば、ＣＣＤカメラのセルの列の方向をあらかじめ、メタルマスクにテンションを付与する方向に一致させておくことで、メタルマスクの開口部の方向を正確にテンション付与方向に一致させてセットすることができ、そのマスク枠貼り装置でメタルマスクをゆがみやたるみのない状態に張ると共に開口部によって形成されるマスク部を高精度で位置決めして、枠状のフレームに固定することができる。
【００１６】
メタルマスクの配置角度の調整は、メタルマスクを手で動かして行っても良いが、マスク取扱い装置の所定位置に置かれたメタルマスクの配置角度を微調整する微調整機構を設けておくとこれを用いることで、一層容易に角度調整を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明は、平行に配列された多数の細長い開口部を有する任意のメタルマスクに対して適用可能であるが、特に精密さを要求される有機ＥＬ素子製造用の蒸着用多面付けマスクとして使用するメタルマスクを、マスク枠貼り装置にセットする場合に適用することが好ましい。以下、有機ＥＬ素子製造における蒸着用多面付けマスクとして使用するメタルマスクをマスク枠貼り装置にセットする場合を例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。
【００１８】
図１は本発明の実施の形態に係るメタルマスクセット装置を備えたマスク枠貼り装置の主要部分の概略斜視図、図２はマスク枠貼り装置を、一部を断面で示す概略側面図、図３はそのマスク枠貼り装置に設けているテンションユニットの概略側面図、図４はマスク枠貼り装置に設けている複数のテンションユニット及びそれに保持されているメタルマスクを示す概略平面図、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はメタルマスクのマスク部に形成している多数の開口部をＣＣＤカメラで撮像した画像の例を示す概略正面図、図６は、マスク枠貼り装置で取り扱うメタルマスク及びそれを固定する枠状のフレームを示す概略斜視図、図７はフレームにメタルマスクを固定して形成した蒸着マスクユニットの概略斜視図である。
【００１９】
図６において、１は蒸着マスクとして使用する直角四辺形状のメタルマスクであり、複数のマスク部２を縦横に並べて形成している。各マスク部２は、蒸着を許容する多数の微少な細長い開口部を備えている。各マスク部２における開口部の形状、配列は任意であり、例えば、細長いスリット状の開口部を平行に並べたもの、細長い矩形状（スロット状）の開口部を縦方向に並べると共に平行にも並べたもの等を挙げることができる。３はメタルマスク１を取り付けるための剛性の大きい枠状のフレームであり、メタルマスク１の多数のマスク部２を形成した領域（有効領域という）を包含する大きさの開口４を備えている。メタルマスク１は、フレーム３よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作られており、フレーム３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線５を形成している。なお、易切断線５は、メタルマスク１に加える引張力には耐え得る強度を備えたものである。メタルマスク１の厚さ、マスク部２の寸法、それに形成した開口部の寸法等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、メタルマスク１の厚さは３０〜２００μｍ、マスク部２の寸法は長さが５０〜７０ｍｍ、幅が３０〜５０ｍｍ、開口部の幅が４０〜１００μｍ、開口部間の無孔部分の幅が８０〜２００μｍ等を例示できる。
【００２０】
図１〜図４において、全体を参照符号１０で示すマスク枠貼り装置は、支持台１１と、その支持台１１に、メタルマスク１の４辺の各々の複数箇所を把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニット１３を備えている。
【００２１】
各テンションユニット１３は、図３に拡大して示すように、ベース部材１５と、そのベース部材１５に直動案内１６を介して移動可能に保持されたクランプ１７と、クランプ１７を往復動させる駆動手段１８等を備えている。ここで、駆動手段１８にはエアシリンダが用いられているが、エアシリンダに代えて、油圧シリンダ、サーボモータ等を用いてもよい。クランプ１７は、固定爪１７ａと、可動爪１７ｂと、可動爪１７ｂを固定爪１７ａに強く押し付けて両者の間にメタルマスク１を把持するよう可動爪１７ｂを旋回させ且つ閉位置に保持するトグル機構及びエアシリンダ（共に図示せず）等を備えている。各テンションユニット１３は、図４から良く分かるように、メタルマスク１の各辺をそれぞれ複数のテンションユニット１３で把持してその辺に直角方向にテンションを加えることができるように配置されている。更に、メタルマスク１の各辺を把持するように配置されている複数のテンションユニット１３のクランプ１７は、メタルマスク１のマスク部２と非マスク部に合わせて配置されており、従って、メタルマスク１のマスク部２を形成した縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域と、マスク部の無い縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域とを、すなわち剛性の異なる領域を、それぞれ別個のクランプ１７で引っ張ってテンションを付与することが可能である。
【００２２】
複数のテンションユニット１３にそれぞれ設けられている駆動手段１８には、メタルマスク１に付与するテンションを個々に調整できるよう、その駆動手段による駆動力を個々に調整する調整手段（図示せず）が設けられている。更に具体的には、駆動手段１８を構成するエアシリンダにはエア供給配管が接続されており、そのエア供給配管に、各エアシリンダへの供給圧力を個々に調整可能なレギュレータが調整手段として設けられている。なお、全部のテンションユニット１３の駆動手段（エアシリンダ）１８を同時に作動させることができるよう、これらのエアシリンダに連結されているエア供給配管には共通の開閉弁を介してエアが供給されるようになっており、且つ各エアシリンダの作動タイミングを調整することができるよう各エアシリンダへのエア供給配管にスピードコントローラも設けられている。
【００２３】
図２、図３において、テンションユニット１３のベース部材１５には、フレーム３を支持するフレーム支え２０が設けられている。このフレーム支え２０は、その上にフレーム３を乗せることで、フレーム３を水平面内の所定位置に位置決めすると共にフレーム３の上面が、クランプ１７に把持されてテンションを付与されているメタルマスク１にほぼ接する位置となるように上下方向にも位置決めできるように配置されている。
【００２４】
図１、図２において、２３は、メタルマスク１を、その開口部が所定の方向を向いた状態に調整して複数のクランプ１７に把持させるためのメタルマスクセット装置である。このメタルマスクセット装置２３は、支持台１１上に設けられたマスク置き台２４と、メタルマスク１のマスク部２の多数の開口部を撮像するＣＣＤカメラ２５及び撮像画像を表示するモニター２６と、微調整機構２７（図１、図４参照）等を備えている。
【００２５】
ＣＣＤカメラ２５は、支持台１１に固定されている側枠２８に水平に移動可能に保持された移動台２９に保持されており、移動台２９の移動により、図２に示す測定位置と、メタルマスク１の上方を離れた待機位置に移動可能となっている。更に、ＣＣＤカメラ２５には、ズームレンズ３０が設けられ、撮像倍率を可変としている。ＣＣＤカメラ２５の取付に当たっては、そのＣＣＤカメラ２５のセル（撮像素子）の列の方向が、テンションユニット１３による引張り方向に正確に一致するように、取付角度を調整している。
【００２６】
図１、図４において、微調整機構２７は、ベース３５とそのベース３５にねじ係合した調整ねじ３６を備えており、その調整ねじ３６の先端で、メタルマスク１の一つの角の近傍を押すことができる位置に配置されている。この構成により、調整ねじ３６を回すことで、調整ねじ３６の先端を前進させ、メタルマスク１を押してメタルマスク１を微少角度旋回させることができる。なお、図面の実施の形態では、微調整機構２７を１個設け、メタルマスク１を１方向のみに旋回させる構成としているが、必要に応じ、更にメタルマスク１を反対方向に旋回させる微調整機構を設けても良い。また、図示は省略しているが、メタルマスク１をフレーム３にスポット溶接するためのレーザ溶接装置も設けられている。
【００２７】
次に、上記構成のメタルマスクセット装置２３によるメタルマスクセット動作並びにマスク枠貼り装置１０によるメタルマスク枠貼り動作を説明する。まず、移動台２９を待機位置に退避させた状態で、複数のテンションユニット１３のフレーム支え２０にフレーム３を保持させ、次いで、複数のテンションユニット１３のクランプ１７を開いた状態で、マスク置き台２４、フレーム３及びクランプ１７の固定爪１７ａの上にメタルマスク１を乗せる。この際、位置決めピン（図示せず）を用いてフレーム３に対してメタルマスク１のおおよその位置を位置決めしておく。次に、移動台２９が移動して、ＣＣＤカメラ２５をメタルマスク１の一つのマスク部２の多数の開口部を撮像可能な位置に位置決めする。次いで、ＣＣＤカメラ２５による撮像を開始し、モニター２６に撮像画像を表示し、この状態で、ズームレンズ２６によって撮像倍率を変えて行く。そして、ＣＣＤカメラ２５のセルに結像される開口部のピッチがセルピッチに等しくなった時に、開口部とセルの列とが傾斜していた場合には、図５（ｂ）、（ｃ）に示すように、撮像画像には干渉縞３８が、開口部の長手方向に対して直角方向に延びるように現れる。この干渉縞の間隔は開口部とセルの列の傾斜角が小さくなるほど大きくなる。そこで、例えば、図５（ｂ）に示すような干渉縞３８が生じていた場合には、微調整機構２７の調整ねじ３６を回し、その調整ねじ３６の先端でメタルマスク１の角部近傍を押してメタルマスク１を微少量ずつ旋回させ、干渉縞３８の間隔が広がり、ついには、図５（ａ）に示すように干渉縞が消えて全体の濃度が均一となるまでメタルマスク１を旋回させる。なお、調整ねじ３６の先端でメタルマスク１の角部近傍を押してメタルマスク１を旋回させた際、干渉縞の間隔が狭まる場合には、傾斜角度が拡大しているので、一旦調整ねじ３６を逆回転させて引き戻し、メタルマスク１を手で逆方向に旋回させ、その後、再度調整ねじ３６による調整を行えばよい。
【００２８】
以上のようにして、メタルマスク１を干渉縞が無くなる配置角度まで旋回させると、メタルマスク１の開口部は、ＣＣＤカメラ２５のセル列に正確に平行となり、従って、開口部はテンションユニット１３による引張り方向に正確に平行となる。以上で、メタルマスク１の角度調整作業が終了する。
【００２９】
次に、角度調整を終わったメタルマスク１の４辺を複数のテンションユニット１３のクランプ１７で把持させる。この状態が図４に示す状態である。次に、各クランプ１７に連結している駆動手段（エアシリンダ）１８に加圧エアを送って各クランプ１７をメタルマスク１にテンションを付与する方向に移動させ、メタルマスク１に多数のクランプによって縦横両方向のテンションを加え、メタルマスク１を張った状態とし、且つ、複数のテンションユニット１３によるテンションを調整して、メタルマスク１がゆがみやたるみのない平坦な状態で且つマスク部２の開口部が平行に引き揃えられた状態となるようにする。この際、メタルマスク１は、そのマスク部２の開口部に平行方向及び直角方向にテンションを加えられることとなるため、メタルマスク１が平行四辺形のように変形してしまうということがなく、安定してメタルマスク１をゆがみやたるみのない平坦な状態に引っ張ることができると共に各マスク部２の位置を高精度で所望位置に位置決めすることができる。なお、メタルマスク１にテンションを加える際に、必要に応じ、メタルマスク１の面内の複数箇所（例えば、複数のマスク部２を配置した有効領域の４隅）の位置を監視し、それらが所望位置となるようにテンション調整を行う構成としてもよく、これにより、各マスク部２の位置を一層高精度で所望位置に位置決めすることができる。
【００３０】
その後は、メタルマスク１にテンションを加えた状態で、レーザ溶接装置（図示せず）によってメタルマスク１をフレーム３にスポット溶接（図４の符号４０参照）し、固定する。その後、メタルマスク１をクランプ１７から外し、メタルマスク１の周縁部分を易切断線５を利用して除去する。以上により、図７に示すように、フレーム３にメタルマスク１を多数のスポット溶接部４０によって固定した構成の蒸着マスクユニット８が製造される。
【００３１】
得られた蒸着マスクユニット８では、メタルマスク１がゆがみやたるみの無い状態で且つマスク部２の開口部が正確に所定の方向に平行に揃った状態に保たれており、且つ各マスク部の位置も所定の寸法精度内に保たれている。かくして、この蒸着マスクユニット８を用いて蒸着を行うことにより、微細なパターンの蒸着を多面付けで正確に行うことができる。例えば、この蒸着マスクユニット８にガラス基板等の被蒸着基材を取り付け、蒸着機にセットし、有機ＥＬ素子の有機層又はカソード電極の蒸着を行うことで、微細なパターンの蒸着を位置精度良く行うことができ、高品質の有機層又はカソード電極を形成できる。
【００３２】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載の範囲内で適宜変更可能である。例えば、上記実施の形態では、モニター２６に表示した撮像画像に干渉縞を生じさせるために、ＣＣＤカメラ２５による撮像倍率を、ＣＣＤカメラのセルに結像される開口部のピッチがセルピッチと等しくなるようにしているが、この場合に限らず、ＣＣＤカメラのセルに結像される開口部のピッチとセルピッチの一方が他方に対して整数倍となる場合にも干渉縞は生じるので、このように撮像倍率を変更してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態に係るメタルマスクセット装置を備えたマスク枠貼り装置の主要部分の概略斜視図
【図２】マスク枠貼り装置を、一部を断面で示す概略側面図
【図３】マスク枠貼り装置に設けているテンションユニットの概略側面図
【図４】マスク枠貼り装置に設けている複数のテンションユニット及びそれに保持されているメタルマスクを示す概略平面図
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はメタルマスクの多数の開口部をＣＣＤカメラで撮像した画像の例を示す概略正面図
【図６】図１に示すマスク枠貼り装置で取り扱うメタルマスク及びそれを固定する枠状のフレームを示す概略斜視図
【図７】フレームにメタルマスクを固定して形成した蒸着マスクユニットの概略斜視図
【図８】（ａ）はメタルマスクの４辺にテンションを加える状態を示す概略平面図、（ｂ）はメタルマスクが引張り方向に対して傾斜してセットされた状態を誇張して示す概略平面図
【符号の説明】
【００３４】
１  メタルマスク
２  マスク部
３  フレーム
４  開口
５  易切断線
８  蒸着マスクユニット
１０  マスク枠貼り装置
１１  支持台
１３  テンションユニット
１５  ベース部材
１６  直動案内
１７  クランプ
１７ａ  固定爪
１７ｂ  可動爪
１８  駆動手段（エアシリンダ）
２０  フレーム支え
２３  メタルマスクセット装置
２４  マスク置き台
２５  ＣＣＤカメラ
２６  モニター
２７  微調整機構
２８  側枠
２９  移動台
３０  ズームレンズ
３５  ベース
３６  調整ねじ
３８  干渉縞
４０  スポット溶接部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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