(57)【要約】【課題】  波長特性の調整と製造が容易な光機能部品を提供する。【解決手段】  一対のコリメートレンズと、これらのコリメートレンズの間に配置された誘電体多層膜フィルタと、前記コリメートレンズの前記誘電体多層膜フィルタと光結合した側の端面とは反対側の端面に接続された光ファイバと、前記誘電体多層膜フィルタおよびコリメートレンズを固定して保持するホルダとを備える光機能部品において、前記誘電体多層膜フィルタは、波長特性の中心波長が不均一な分布を有するものであることを特徴とする光機能部品を用いる。【選択図】  図１
2006163123.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のコリメートレンズと、これらのコリメートレンズの間に配置された誘電体多層膜フィルタと、前記コリメートレンズの前記誘電体多層膜フィルタと光結合した側の端面とは反対側の端面に接続された光ファイバと、前記誘電体多層膜フィルタおよびコリメートレンズを固定して保持するホルダとを備える光機能部品において、
前記誘電体多層膜フィルタは、波長特性の中心波長が不均一な分布を有するものであることを特徴とする光機能部品。
【請求項２】
前記誘電体多層膜フィルタの中心波長の分布が、該フィルタの中央部から周辺部にかけて変動した円環状の分布を示すことを特徴とする請求項１に記載の光機能部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のコリメートレンズとその間に配置された誘電体多層膜フィルタとを備える光機能部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、誘電体多層膜フィルタを備える光機能部品（以下、「誘電体多層膜フィルタ型光部品」という場合がある。）としては、第１のコリメートレンズの端面と第２のコリメートレンズの端面との間に誘電体多層膜フィルタを備えた構成が一般的である（例えば特許文献１，２参照）。
誘電体多層膜フィルタ型光部品として、光増幅器の波長特性と逆の波長特性を有する誘電体多層膜フィルタを備え、光増幅器による利得を等化（平坦化）する利得等化器（Ｇａｉｎ  Ｆｌａｔｔｅｎｉｎｇ  Ｆｉｌｔｅｒ；ＧＦＦと略記する場合がある。）が知られている（例えば特許文献１の段落００５１〜００５３、図１０〜図１３参照）。
利得等化器は、例えばＷＤＭ伝送システムの長距離化に必要な光増幅器とともに用いられる光機能部品である。光増幅器の利得は波長依存性を有するので、光増幅器を広帯域で使用する場合には、利得を等化（平坦化）する目的で利得等化器が使用されている。
【特許文献１】特開２００２−９０５７３号公報
【特許文献２】特開２００３−２４０９６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
図１３に従来の利得等化器の一例を示す。この利得等化器５０は、一対のコリメートレンズ５１，５２と、これらのコリメートレンズ５１，５２の間に配置された誘電体多層膜フィルタ５３と、コリメートレンズ５１，５２の誘電体多層膜フィルタ５３と光結合した側の端面５１ａ，５２ａとは反対側の端面５１ｂ，５２ｂに接続された光ファイバ５４，５５と、誘電体多層膜フィルタ５３およびコリメートレンズ５１，５２を固定して保持するホルダ５６とを備え、コリメートレンズ５１，５２の中心軸５１ｃ，５２ｃが誘電体多層膜フィルタ５３の中心軸５３ｃに対して斜めとなるように、半田や接着剤などの固着材５７，５８を用いてコリメートレンズ５１，５２を筒状のホルダ５６に固定してなるものである。
【０００４】
図１４に示すように、誘電体多層膜フィルタ５３への光の入射角θを変化させると、図１５に示すように、誘電体多層膜フィルタ５３の波長特性（この場合、詳しくは、利得の波長依存性）が短波長側（図１５の左側）にシフトすることが知られている。誘電体多層膜フィルタ５３の波長特性は、入射角θを大きくするほど大きくシフトさせることができるので、図１３，図１４に示すように、誘電体多層膜フィルタ５３への光の入射角θの調整によって、利得等化器５０の波長特性が利得等化に最適な曲線となるように調整することができる。
しかし、図１３，図１４に示すように誘電体多層膜フィルタ５３への入射角θを斜めに（つまりθ＞０）に調整すると、ホルダ５６に対してコリメートレンズ５１，５２が斜めになってしまうので、コリメートレンズ５１，５２の中心軸５１ｃ，５２ｃの調整が難しい。コリメートレンズ５１，５２を固定する際に光軸ズレを起こすと、挿入損失の増加や利得残差の劣化の原因となるおそれがある。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、波長特性の調整と製造が容易な光機能部品を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明は、一対のコリメートレンズと、これらのコリメートレンズの間に配置された誘電体多層膜フィルタと、前記コリメートレンズの前記誘電体多層膜フィルタと光結合した側の端面とは反対側の端面に接続された光ファイバと、前記誘電体多層膜フィルタおよびコリメートレンズを固定して保持するホルダとを備える光機能部品において、前記誘電体多層膜フィルタは、波長特性の中心波長が不均一な分布を有するものであることを特徴とする光機能部品を提供する。
前記誘電体多層膜フィルタの中心波長の分布は、該フィルタの中央部から周辺部にかけて変動した円環状の分布を示すことが好ましい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の光機能部品によれば、誘電体多層膜フィルタの波長特性の中心波長が不均一な分布を有するので、コリメートレンズの中心軸を誘電体多層膜フィルタの中心軸と平行を保ったまま、誘電体多層膜フィルタとコリメートレンズとの相対位置関係を調整することによって光機能部品としての波長特性の調整が可能となり、製造が容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、最良の形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。
図１は、本形態例の光機能部品に用いられる誘電体多層膜フィルタの中心波長分布の一例を示す図面であり、図２は、本発明の光機能部品の一形態例に係る利得等化器の概略構成を示す縦断面図である。図３は、図２に示す利得等化器において、コリメートレンズを保持するスリーブの概略構成を示す縦断面図である。
【０００９】
図２に示す利得等化器１０は、一対のコリメートレンズ１１，１２と、これらのコリメートレンズ１１，１２の間に配置された誘電体多層膜フィルタ１３と、コリメートレンズ１１，１２の誘電体多層膜フィルタ１３と光結合した側の端面１１ａ，１２ａ（誘電体多層膜フィルタ１３側の端面１１ａ，１２ａを「先端面」という場合がある。）とは反対側の端面１１ｂ，１２ｂ（光ファイバ１４，１５側の端面１１ｂ，１２ｂを「後端面」という場合がある。）に接続された光ファイバ１４，１５と、各コリメートレンズ１１，１２を固定して保持するスリーブ１７，１７と、誘電体多層膜フィルタ１３およびスリーブ１７，１７を固定して保持するホルダ１６とを備える。
【００１０】
コリメートレンズ１１，１２としては、円柱状のロッドレンズ（ＧＲＩＮレンズともいう）を用いることが望ましい。この種のＧＲＩＮレンズは、その屈折率が、レンズの光軸に近いほど大きく、光軸から離れて外周に近づくほど小さくなるようにラジアル方向に屈折率分布を有する屈折率分布型レンズである。ＧＲＩＮレンズは、石英製を用いることがより望ましい。石英製のＧＲＩＮレンズは、融着接続前の端面が平面であるので、光ファイバと融着接続する場合に好都合である。
ＧＲＩＮレンズの屈折率分布は、光軸からの距離がｒの位置における屈折率をＮ（ｒ）とするとき、Ｎ（ｒ）はｒに対して下記式（１）の関係を示す。
【００１１】
Ｎ（ｒ）＝ｎ０［１−（Ａ／２）・ｒ２］    ・・・  （１）
【００１２】
ただし、式（１）において、Ａは屈折率分布係数（√Ａ）の二乗であり、ｎ０は軸上屈折率（ｒ＝０における屈折率）である。
【００１３】
この種のＧＲＩＮレンズの中を伝搬される光線は、正弦波状の光路をとって進み、この正弦波状の光路の周期を１ピッチという。ＧＲＩＮレンズをコリメートレンズとして用いる場合、該レンズの長さは、好ましくは約０．２５ピッチ、約０．７５ピッチなど、（２ｎ−１）／４ピッチで表される長さ（ただしｎを自然数とする）が好ましい。
コリメートレンズを構成する材質は、光ファイバ１４，１５を構成する材質と融点がほぼ等しいものを用いることが好ましい。例えば、光ファイバ１４，１５が石英系光ファイバである場合、コリメートレンズとしては石英系ガラスからなるものを用いることが望ましい。この場合、コリメートレンズと光ファイバ１４，１５の融点がほぼ等しいため、融着接続後に発生する応力が小さく、安定した融着接続が可能になる。
【００１４】
誘電体多層膜フィルタ１３は、一方の端面１３ａが第１のコリメートレンズ１１の先端面１１ａと向かい合い、他方の端面１３ｂが第２のコリメートレンズ１２の先端面１２ａと向かい合うように配置されている。第１の光ファイバ１４は、第１のコリメートレンズ１１の後端面１１ｂに融着接続されており、第２の光ファイバ１５は、第２のコリメートレンズ１２の後端面１２ｂに融着接続されている。
誘電体多層膜フィルタ１３は、ホルダ１６の長手方向の中央部に配置されており、低融点ガラス、樹脂、接着剤等の固着材１６ａによってホルダ１６の内面に固定されている。なかでも低融点ガラスは、樹脂や接着剤よりも耐熱性に優れる点で好ましい。
このホルダ１６としては、例えばガラス管、硬質プラスチック管、ステンレス鋼などの金属製の管等が挙げられる。
【００１５】
図３に示すように、スリーブ１７は、スリーブ１７の一端１７ａに開口して第１のコリメートレンズ１１または第２のコリメートレンズ１２を収容する第１の孔部１７ｂと、第１の孔部につながってスリーブ１７の他端１７ｃに開口する第２の孔部１７ｄとを有する。コリメートレンズ１１，１２は、その先端面１１ａ，１２ａをスリーブ１７の一端１７ａ側に向けて第１の孔部１７ｂ内に収容され、低融点ガラス等の固着材１７ｅにより、第１の孔部１７ｂの内面に固定されている。
第１の孔部１７ｂの内面、第２の孔部１７ｄの内面、およびスリーブ１７の外面は、軸１７ｆが一致している。
【００１６】
コリメートレンズ１１，１２の後端面１１ｂ，１２ｂにおいて、光ファイバ１４，１５は、コリメートレンズ１１，１２の中心軸１１ｃ，１２ｃからずれた位置に融着接続されている。コリメートレンズ１１，１２の先端面１１ａ，１２ａにおける平行ビーム１１ｄ，１２ｄ（第１のコリメートレンズ１１の先端面１１ａからの出射光または第２のコリメートレンズ１２の先端面１２ａへの入射光）がコリメートレンズ１１，１２の後端面１１ｂ，１２ｂにおいて光ファイバ１４，１５と光結合するようにするため、コリメートレンズ１１，１２の長さは約０．２５ピッチとされている。
光ファイバ１４，１５は、第２の孔部１７ｄを通ってスリーブ１７の他端１７ｃからスリーブ１７外に引き出されている。
内部にコリメートレンズ１１，１２が固定されたスリーブ１７は、固着材１８を用いてホルダ１６のそれぞれの端部に固定されている。固着材１８としては、例えば半田や、エポキシ系接着剤などの接着剤等を用いることができる。好ましい固着材１８としては、融点１５０〜２２０℃程度の低融点半田が挙げられる。
【００１７】
ここで、誘電体多層膜フィルタ１３は、図１に示すように、波長特性の中心波長が該フィルタの中央部から周辺部にかけて変動した分布を有する。
また、コリメートレンズ１１，１２の先端面１１ａ，１２ａにおける平行ビーム１１ｄ，１２ｄの中心軸１１ｅ，１２ｅの位置は、誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃからずらした位置とすることができる。
【００１８】
コリメートレンズ１１，１２の先端面１１ａ，１２ａにおける反射光が光ファイバへの戻り光となることを防止するため、コリメートレンズ１１，１２の中心軸１１ｃ，１２ｃは、図３に示すように、スリーブ１７の軸１７ｆに対して斜めに固定されている。この傾斜角度は、コリメートレンズ１１，１２の先端面１１ａ，１２ａにおける平行ビーム１１ｄ，１２ｄの中心軸１１ｅ，１２ｅが誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃと平行となるように決定する。
【００１９】
ここで、コリメートレンズ１１，１２の先端面１１ａ，１２ａにおける平行ビーム１１ｄ，１２ｄの中心軸１１ｅ，１２ｅの位置を特定する方法の一例について説明する。
図４に示すように、両端面２，３が平面である両端面平面（Ｐｌａｎｏ−Ｐｌａｎｏ  Ｌｅｎｓ）の場合、長さが０．２５ピッチであるＧＲＩＮレンズ１の光線マトリックスは、入射端面２上の光線の位置をｒ１（ｍｍ）、入射端面２上の光線の角度をφ１（ラジアン）、出射端面３上の光線の位置をｒ２（ｍｍ）、出射端面３上の光線の角度をφ２（ラジアン）、ＧＲＩＮレンズ１の屈折率分布定数を√Ａ、ＧＲＩＮレンズ１の軸４上の屈折率をｎ０とおくとき、ｒ２およびφ２は、ｒ１およびφ１に基づいて下記式（２）、（３）によって算出することができる。
【００２０】
ｒ２＝    φ１／ｎ０√Ａ      ・・・  （２）
φ２＝  −ｒ１・ｎ０√Ａ      ・・・  （３）
【００２１】
従って、コリメートレンズ１１，１２をスリーブ１７の第１の孔部１７ｂに対して傾斜させる前記傾斜角度には、上記式（３）によって算出されるφ２を用いればよい。
【００２２】
誘電体多層膜フィルタは、一般に、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５等の誘電体から、２種類または３種類以上の材料を適宜選択して用い、所定の膜厚および所定の順序にて多層に積層（例えば数層〜数百層）したものである。誘電体多層膜フィルタは、誘電体の種類や膜厚、順序などに応じて、種々の光学的特性を実現することができる。
利得等化器に用いられる誘電体多層膜フィルタ１３は、光増幅器の利得を等化するため、光増幅器の波長特性（図５（ａ）参照）と逆の波長特性（図５（ｂ）参照）を有する。このため、光増幅器で増幅された出力光を利得等化器に入射させると、利得等化器からの出力としては、図５（ｃ）に示すように、所望の波長範囲に利得平坦域を有する波長特性が得られる。なお、図５（ｃ）に示す利得平坦域は単なる例示であり、光伝送の方式や目的等に応じて適当な波長範囲に利得平坦域を設定することができる。
【００２３】
本発明において、誘電体多層膜フィルタ１３の波長特性の中心波長とは、該誘電体多層膜フィルタ１３の波長依存性を有する光学特性が使用波長域内で極小値を示す波長を意味する。本発明で利用可能な前記光学特性としては、例えば利得や挿入損失等が挙げられる。
本形態例の利得等化器１０においては、図６に示すように、誘電体多層膜フィルタ１３の挿入損失が、利得平坦域内で極小値を示す波長を中心波長とする。
ここで、誘電体多層膜フィルタの挿入損失（単位ｄＢ）は、誘電体多層膜フィルタへ入射する光のパワーをＰ１（単位Ｗ）、誘電体多層膜フィルタから出射する光のパワーをＰ２（単位Ｗ）としたとき、下記式（４）のＬによって定義される。
【００２４】
挿入損失Ｌ  ＝  −１０ｌｏｇ１０（Ｐ２／Ｐ１）  ・・・  （４）
【００２５】
図１に、本形態例の利得等化器１０に用いられる誘電体多層膜フィルタ１３の中心波長分布の一例を示す。この誘電体多層膜フィルタ１３では、波長特性の中心波長が不均一な分布を有する。誘電体多層膜フィルタ１３の波長特性の中心波長が不均一な分布を有するためには、波長特性の中心波長の変動範囲は、０．２ｎｍ以上であることが望ましい。
図１に示す中心波長分布の例では、中心波長がフィルタの中央部で長く、周辺部にかけて長くなるような円環状の分布を示している。この誘電体多層膜フィルタ１３の中央部における中心波長と周辺部における中心波長の差（すなわち中心波長の変動範囲）は、約１．０ｎｍである。
【００２６】
図１に示すような中心波長分布を有する誘電体多層膜フィルタ１３の製造方法の一例について説明する。この製造方法では、図７および図９（ａ）に示すように、等間隔に形成された多数の穴３２を有するマスク３１を基板２１に重ね合わせ、これを蒸着装置（図示せず）の上部に装着したのち、図８に示すように低屈折率材料層２３と高屈折率材料層２４とを交互に積層させることにより、基板２１の一面に誘電体多層膜２２を製膜する。
基板２１の材質としては、例えば使用波長において透光性を有するガラスなどが挙げられる。誘電体多層膜２２を構成する低屈折率材料および高屈折率材料としては、屈折率が異なる２種類の材料の組み合わせが用いられ、このような組み合わせとしては、例えばＳｉＯ２（低屈折率材料）とＴａ２Ｏ５（高屈折率材料）との組み合わせ等が挙げられる。
【００２７】
マスク３１を設けた基板２１を減圧下（例えば１０−６Ｂａｒｒ＝１０−１Ｐａ）で加熱し、誘電体材料を蒸着させることにより、図９（ｂ）に示すように、穴３２の内壁面に近いところは薄く、穴３２の内壁面から離れたところは厚くなるように、誘電体多層膜２２が積層される。マスク３１を取り外したのち、数ｍｍ角の大きさのチップ状に切断することにより、図９（ｃ）に示すように、誘電体多層膜２２の総膜厚が不均一な誘電体多層膜フィルタ１３を確実に製造することができる。
以上のようにマスク３１を用いて誘電体多層膜２２の製膜を行うことにより、不均一な中心波長分布を有する誘電体多層膜フィルタ１３を高い歩留まりにて製造することが可能となる。
マスク３１の穴３２の形状は、本形態例では円形である。これにより、図１に示すような円環状の中心波長分布を得ることができる。
なお、誘電体多層膜２２の製膜は、蒸着法に限らず、スパッタ法などを用いてもよい。
【００２８】
本形態例の利得等化器１０を製造するには、まず、図１０に示すように、誘電体多層膜フィルタ１３をホルダ１６内に固着材１６ａで固定する。
次に、図１１に示すように、ホルダ１６内の誘電体多層膜フィルタ１３に対して第１のコリメートレンズ１１を保持したスリーブ１７を、第１のコリメートレンズ１１からの出射光の中心軸１１ｅと直交する二方向Ｘ，Ｙに平行移動させ、第１のコリメートレンズ１１からの出射光が誘電体多層膜フィルタ１３に入射する範囲の中心位置Ｐ（以下、これを「入射中心位置」と略していう場合がある。）を調整して最適な中心波長を有する位置に合わせる。なお、図１１ではホルダ１６の図示を省略している。
【００２９】
第１のコリメートレンズ１１の位置を調整した後、図２に示すように、第２のコリメートレンズ１２への入射光の中心軸１２ｅが第１のコリメートレンズ１１からの出射光の中心軸１１ｅと重なり合うよう、第２のコリメートレンズ１２の位置を調整する。
コリメートレンズ１１，１２の位置の調整の完了後、スリーブ１７，１７をそれぞれ固着材１８，１８を用いてホルダ１６の端部に固定する。
【００３０】
以上のようにして得られた本形態例の利得等化器１０の作用を説明する。
光増幅器（図示せず）によって増幅された光は、第１の光ファイバ１４から利得等化器１０に入力される。図２に示すように、第１の光ファイバ１４から出射される光は、第１のコリメートレンズ１１を通過して誘電体多層膜フィルタ１３に入射され、さらに誘電体多層膜フィルタ１３を通過し、第２のコリメートレンズ１２に入射されたのち、第２の光ファイバ１５から出力される。誘電体多層膜フィルタ１３は、中心波長が入射中心位置Ｐによって異なるような中心波長分布を有しており、前記入射中心位置Ｐを最適な中心波長を示す位置に合わせているので、挿入損失や利得残差の低い利得等化器となる。
本形態例の利得等化器１０は、コリメートレンズ１１，１２の中心軸１１ｃ，１２ｃがスリーブ１７の軸１７ｆに対して斜めとなっているので、反射光に起因する光ファイバへの戻り光を防止することができる。
中心波長がフィルタの中央部から周辺部にかけて略円環状の分布を有することにより、誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃと入射中心位置Ｐとの距離に基づいて入射中心位置Ｐにおける中心波長を推測することができるようになる。すなわち、目標の中心波長が得られるコリメートレンズの位置を推測することができるので、所望の特性が得られるようにコリメートレンズの位置を調整することが、容易かつ確実になる。
【実施例】
【００３１】
（誘電体多層膜フィルタの製造）
図７において、基板２１としては直径３０ｍｍ、厚さ１ｍｍのガラス基板を用いた。マスク３１としては、辺長３０ｍｍ×３０ｍｍ、厚さ０．２ｍｍ、穴３２の直径が０．９ｍｍ、穴３２の間隔が１．０２ｍｍ（１ｍｍ角のフィルタ寸法に対して切り代を約０．０２ｍｍ確保するため）のものを用意した。マスク３１を基板２１上に付け、蒸着装置（図示せず）の上部にセットし、蒸着装置内を１０−１Ｐａ程度に減圧し、基板２１を約３００℃に加熱した。低屈折率材料ＳｉＯ２と高屈折率材料Ｔａ２Ｏ５とを数十ｎｍ〜数μｍの厚さで交互に約２００層積層し、トータルの厚さが約６０μｍの誘電体多層膜２２を基板２１上に形成した。
基板２１からマスク３１を外して誘電体多層膜２２付きの基板２１を１ｍｍ角にチッピングして、図１に示すような中心波長分布を有する誘電体多層膜フィルタ１３を得た。この誘電体多層膜フィルタ１３は、中心部の中心波長が約１５６２．０ｎｍ、周辺部の中心波長が約１５６１．０ｎｍとなるように中心部から周辺部にかけて中心波長が徐々に短波長となる中心波長分布を有していた。図１には、誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃの位置を中心として、０．６ｍｍ×０．６ｍｍの範囲を示す。
【００３２】
（利得等化器の組み立て）
図３において、スリーブ１７としては、スリーブ１７の長さＬ０が１０ｍｍ、第１の孔部１７ｂの長さＬ１が１．５ｍｍ、スリーブ１７の外径Ｄ０が１．８ｍｍ、第１の孔部１７ｂの内径Ｄ１が０．５ｍｍ、第２の孔部１７ｄの内径Ｄ２が１．２ｍｍのものを用いた。
コリメートレンズ１１，１２としては、屈折率分布係数√Ａが０．９４５、軸上屈折率ｎ０が１．４７１、レンズ長Ｚが１．７ｍｍ、レンズ径ｄが０．４ｍｍのものを用いた。コリメートレンズ１１，１２のビーム１１ｄ，１２ｄの中心軸１１ｅ，１２ｅがスリーブ１７の軸１７ｆに平行となるように調整し、スリーブ１７を３００〜３５０℃に加熱し、低融点ガラス１７ｅを用いてコリメートレンズ１１，１２をそれぞれスリーブ１７の第１の孔部１７ｂ内に斜めに固定した。コリメートレンズ１１，１２の先端面１１ａ，１２ａにおけるビーム１１ｄ，１２ｄの径ｂは、約１５０μｍである。
誘電体多層膜フィルタ１３は、図１０に示すように、低融点ガラス１６ａを用いてホルダ１６内に固定した。
【００３３】
スリーブ１７の内部にコリメートレンズ１１，１２を固定した後、図１１（ホルダ１６の図示は省略。）に示すように、スリーブ１７をそれぞれ向かい合わせにして誘電体多層膜フィルタ１３の両側におき、誘電体多層膜フィルタ１３に対するコリメートレンズ１１，１２の位置を調整した。
図１の中心波長分布によれば、図１１に示すように、コリメートレンズ１１からの出射ビームの中心軸１１ｅを該中心軸１１ｅと直交する二方向に平行移動させることにより、図１２に示す中心波長シフト量を得ることができる。
なお、図１２において「移動量」は、誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃから入射中心位置Ｐまでの距離であり、「中心波長シフト量」は、誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃ上における中心波長と入射中心位置Ｐにおける中心波長との差である。
【００３４】
図１２に示すように、この誘電体多層膜フィルタ１３によれば、コリメートレンズ１１からの光の入射中心位置Ｐを誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃ上から±０．１ｍｍ程度移動させると、中心波長が約０．１ｎｍ短波長側にシフトし、また、コリメートレンズ１１の入射中心位置Ｐを誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃ上から±０．２ｍｍ程度移動させると、中心波長が約０．４ｎｍ短波長側にシフトすることがわかる。
このように、中心波長がフィルタの中央部から周辺部にかけて略円環状の分布を有することにより、「移動量」と「中心波長シフト量」とが良好な対応関係を示すので、「移動量」を調整することで所望の「中心波長シフト量」を確実に得ることができる。
【００３５】
光増幅器の波長特性と誘電体多層膜フィルタ１３の波長特性を比較し、誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃ上における中心波長が、目標となる光増幅器の波長特性の中心波長よりも、約０．１ｎｍ長波長側にあったので、入射中心位置Ｐを誘電体多層膜フィルタ１３の中心軸１３ｃ上から約０．１ｍｍ平行移動させることにより、誘電体多層膜フィルタ１３の中心波長を約−０．１ｎｍシフトさせ、誘電体多層膜フィルタ１３の波長特性の中心波長を目標の中心波長と重なるように調整した。
【００３６】
コリメートレンズ１１，１２の位置を調整した後、図２に示すように、固着材１８，１８を用いてスリーブ１７，１７を筒状のホルダ１６に固定することにより、利得残差の低い利得等化器１０を製造することができた。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
以上の実施例では利得等化器の例示に基づいて本発明の思想を説明したが、本発明は、利得等化器に限定されるものではない。本発明は、利得等化器のほかにも、ＤＷＤＭフィルタ（ＤＷＤＭ：Ｄｅｎｓｅ  Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ）やバンドパスフィルタなど、種々の誘電体多層膜フィルタ型光機能部品に適用可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】誘電体多層膜フィルタの中心波長分布の一例を示す分布図である。
【図２】本発明の光機能部品の一形態例に係る利得等化器の概略構成を示す縦断面図である。
【図３】図２に示す利得等化器において、コリメートレンズを保持するスリーブの概略構成を示す縦断面図である。
【図４】ＧＲＩＮレンズの光線マトリックスを説明する図面である。
【図５】利得等化器の機能を説明する図面であり、（ａ）は光増幅器の波長特性の一例を示すグラフ、（ｂ）は利得等化器の波長特性の一例を示すグラフ、（ｃ）は増幅後に利得等化された光の波長特性の一例を示すグラフである。
【図６】利得等化器の波長特性の中心波長を説明する概略図である。
【図７】波長分布を有する誘電体多層膜フィルタの製造方法を説明する図面である。
【図８】誘電体多層膜フィルタの層構成を説明する断面図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）波長分布を有する誘電体多層膜フィルタの製造方法を説明する断面工程図である。
【図１０】誘電体多層膜フィルタをホルダ内に固定した状態を示す縦断面図である。
【図１１】利得等化器の波長特性を調整する方法を説明する概略斜視図である。
【図１２】コリメートレンズの移動量と誘電体多層膜フィルタの中心波長のシフト量との関係の一例を示すグラフである。
【図１３】従来の利得等化器の一例を示す縦断面図である。
【図１４】誘電体多層膜フィルタの入射角を説明する図面である。
【図１５】誘電体多層膜フィルタの波長特性が入射角により変化する様子を説明する図面である。
【符号の説明】
【００３９】
１０…光機能部品（利得等化器）、１１，１２…コリメートレンズ、１１ａ，１２ａ…コリメートレンズの誘電体多層膜フィルタと光結合した側の端面（先端面）、１１ｂ，１２ｂ…コリメートレンズの先端面とは反対側の端面（後端面）、１３…誘電体多層膜フィルタ、１４，１５…光ファイバ、１６…ホルダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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