(57)【要約】      （修正有）【課題】ＳＭＰコンピュータ・システムのキャッシュで起こる障害に対して、事前にハードウェアの回復を施す。【解決手段】アレイ組込みセルフテスト論理をコードおよびハードウェアと共に使用して、欠陥のあるキャッシュ・ラインまたはセットを削除し、対応するヒューズ修理値を識別し、予備ヒューズが使用不能な場合に先を見越してコール・ホームを行い、次のシステム再始動のためにソフト・ヒューズ修理をスケジューリングし、次の再始動時のライン削除をスケジューリングし、削除およびヒューズ修理をテーブルに保管し、ログ記録されていない欠けている削除がある場合にコール・ホームを行う。ヒューズ情報を、ハードウェア電子ヒューズまたはＥＰＲＯＭに、より永久的に保管することもできる。再始動中に、ＡＢＩＳＴが成功裡に動作するように、前の修理を計算機に適用することができ、また、検査に関して前の削除を維持することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャッシュを有するＳＭＰコンピュータ・システムにおいて、
ａ）前記キャッシュ内のエラーを検出するステップと、
ｂ）動作中の計算機からの障害情報をログ記録するステップと、
ｃ）修理再配置をテーブル中に追跡するステップと、
ｄ）修理情報をハードウェア中にロードするステップと
を含む、ハードウェアを回復する方法。
【請求項２】
前記ステップｂが、障害ＥＣＣ症候群をログ記録することを含む
請求項１に記載の方法。
【請求項３】
障害ＥＣＣ症候群が、再配置アドレスを計算するのに使用される
請求項２に記載の方法。
【請求項４】
ステップｄの前記ハードウェアが、スキャン可能なラッチからなる
請求項１に記載の方法。
【請求項５】
ステップｄの前記ハードウェアが、電子溶融可能ヒューズからなる
請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ステップｄの前記ハードウェアが、ＥＰＲＯＭからなる
請求項１に記載の方法。
【請求項７】
ステップｃの前記テーブルからの既存修理位置と新しい障害を比較する追加ステップがある
請求項１に記載の方法。
【請求項８】
修理が使用可能でない場合にコール・ホームを行う追加ステップを含む
請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記修理再配置が、タイムスタンプを用いてタグ付けされる
請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記修理位置が、エラーのタイプを示すタグを用いてタグ付けされる
請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記テーブルが、通し番号によって追跡される
請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記障害情報が、実行された削除の総数を含む
請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
欠けている削除がある場合にコール・ホームを行う追加ステップを含む
請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
次のシステム再始動中に修理を適用する追加ステップを含む
請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
１つまたは複数の再配置が行われる
請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
障害を発生しているアドレスが、再配置アドレスを計算するのに使用される
請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
修理再配置を追跡する前記ステップが、既存の再配置が障害を発生していることを示す
請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
もう１つの再配置が、前記既存の障害を発生している再配置を置換するのに使用される
請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】
キャッシュを有するＳＭＰコンピュータ・システムにおいて、
ａ）欠陥のあるキャッシュ・ライン・エントリの使用を避けるためにキャッシュ・ライン削除を実行するステップと、
ｂ）システム再始動中に前記キャッシュ・ライン削除を再ロードするステップと、
ｃ）障害がライン削除エントリに対応するかどうかを判定するためにアレイ組込みセルフテスト（ＡＢＩＳＴ）結果を分析するステップと、
ｄ）すべてのアレイ組込みセルフテスト（ＡＢＩＳＴ）障害がライン削除エントリに対応する場合に、システム再始動の進行を可能にするステップと
を含む、ハードウェアを回復する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャッシュ設計を有するＳＭＰコンピュータ・システムに関し、具体的には、障害の後のハードウェアの回復に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＳＭＰコンピュータ・システムの性能の改善が続くので、キャッシュ設計が、指数関数的に増大している。これらのより大きいキャッシュ・サイズは、ソフト・アレイ障害およびハード・アレイ障害を有する可能性をさらに高くする。以前に、セット削除（ｓｅｔ  ｄｅｌｅｔｅ）と称する機能が、既知の欠陥を有するキャッシュ・セクションを除去するために追加された。しかし、従来技術の多くが、大量のセットまたはコンパートメントをキャッシュから除去する。好ましい形態で使用される従来技術は、コンパートメント全部の削除なしで、合同クラス内の１コンパートメントの削除を可能にする。
【０００３】
従来技術のもう１つの態様は、エラーに出会ったキャッシュ・ラインの追出を可能にする。エラーが訂正可能である場合には、そのデータが、再訂正され、クリーン・データとして、キャッシュのオリジナルの位置または異なる位置のいずれかに入る。同一のセット／コンパートメントがもう一度障害を発生した（すなわち、ハード障害）場合に、システム・ログが作られ、障害を発生したデータのすべてがログ・アウトされ、その位置が、追い出され、将来の使用を避けるために削除される。好ましい形態は、ハードウェアを使用してこの追出／削除を行う。ログ記録は、ソフトウェア・コードを介して行われる。
【０００４】
これらのハードウェアの特徴は、信頼性の利点を提供するが、欠陥のある部分は、通常、再始動を試みる前に交換されなければならない。その理由は、アレイの障害を発生した部分についてヒューズが溶断されていない時、通常はアレイ組込みセルフテスト（Ａｒｒａｙ  Ｂｕｉｌｔ−Ｉｎ  Ｓｅｌｆ−Ｔｅｓｔ、ＡＢＩＳＴ）検査論理に合格しないからである。ＡＢＩＳＴ論理は、障害を発生しているアドレスを使用可能にする。ヒュオット（Ｈｕｏｔｔ）他の米国特許 第5,805,789号に記載の電源投入時修理を適用する時であっても、修理に使用可能なヒューズがもうなく、顧客が計算機をもう一度稼動させる前に、その部品を注文する必要の可能性がある。
【特許文献１】米国特許 第5,805,789号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来技術に鑑みて、ＳＭＰコンピュータ・システムにおいては、キャッシュで起こる障害に対して事前にハードウエアの回復を十分に施すことが望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、キャッシュ設計を有するＳＭＰ（対称コンピュータ）システムに有用であり、ハードウェアの回復を可能にする。本発明は、ヒューズ、ヒューズ制御、およびライン削除を有するキャッシュ設計を含むさまざまなタイプのキャッシュ設計に一般的に適用可能であり、特に、繰り返されるアレイ障害の際にラインを削除し、障害を発生したアドレスおよびセルの情報をログ記録し、ハードウェアの将来の再始動のためにヒューズ情報を判定し、予約し、ヒューズが使用可能でない時にサポート要求のコール・ホームを行い（ｃａｌｌｉｎｇ  ｈｏｍｅ）、再始動時にアレイ組込みセルフテスト（ＡＢＩＳＴ）を実行し、再始動中に、溶断されたヒューズ情報、予約済みヒューズ情報、および新たに識別されたＡＢＩＳＴ障害情報を使用して、複数の信頼性の問題の後であってもキャッシュが動作できるようにするためにソフト・ヒューズをセットする装置および方法に適用可能である。
【０００７】
本発明は、次の再始動時にライン削除情報を保存し、アレイをテストするためにＡＢＩＳＴを実行し、ＡＢＩＳＴ障害だけがライン削除によって保護される場合に再始動を行うことを可能にする。
【０００８】
本発明は、ヒューズ結果をソフトウェア・テーブルに、プログラマブル電子ヒューズに、またはＥＰＲＯＭハードウェアに、あるいはこれらの組合せに永久的に保存する仕方も提供する。
【０００９】
追加の特徴および利点は、本発明の技法を介して実現される。本発明の他の実施形態および態様は、本明細書で詳細に説明され、請求される発明の一部と考えられる。利点および特徴を有する本発明のよりよい理解のために、説明および図面を参照されたい。
【００１０】
本発明は、本明細書に添付された請求項で具体的に指摘され、明確に請求される。本発明の前述のおよび他の目的、特徴、および利点は、添付図面と共に解釈される次の詳細な説明から明白になる。詳細な説明では、図面を参照して、例により、利点および特徴と共に本発明の好ましい実施形態を説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の詳細な説明をするのに、キャッシュがコードおよびハードウェア・サポートを介してそれ自体を自己修復できるように、好ましい実施形態は、キャッシュ・ヒューズ情報の自己管理を可能にすることに留意されたい。
【００１２】
好ましい実施形態では、「溶断」ヒューズまたは「ハード」ヒューズが、コードを使用してハードウェアからテーブルに読み取られる。これは、通常、計算機の最初の始動時に行われる。テーブルが既に存在する場合には、エントリをテーブルに再読取する必要はない。
【００１３】
ログ記録された障害データは、障害を発生したアレイ・セグメントを再配置するために、ヒューズ値のどの組が必要である可能性があるかを判定するのに使用される。これらのヒューズ値は、テーブル内で予約される。再配置に使用可能な残りのヒューズがない場合に、コードは、任意選択として、計算機を再始動（すなわち、ＩＭＬ）しないように顧客に通知し、欠陥のある部品を交換するために別の部品／モジュールについてコール・ホームを行うことができる。この理由は、ＡＢＩＳＴを実行する再始動が、実行に十分なヒューズを有しておらず、ＡＢＩＳＴ論理が、ヒューズを使い果たした、マッピングされない障害を発生しているセグメントについて障害を示すからである。
【００１４】
コードは、任意選択として、修理のために変換するのではなく、次のＩＭＬ中に使用するためにライン削除情報を保存することができる。ＡＢＩＳＴが完了した後に、どの障害も、既知のライン削除と比較して、ライン削除によってカバーされていないＡＢＩＳＴ内の障害領域がないことを保証する。
【００１５】
コードは、両方をログ記録するには時間的に近すぎるのでログに欠けている削除がある場合にも、コール・ホームを行う。これは、非常にありそうにないイベントであるが、コードは、顧客の保護を可能にし、したがって、次の再始動中にヒューズがないサプライズ障害（ｓｕｒｐｒｉｓｅ  ｆａｉｌｕｒｅ）の危険性がなくなる。
【００１６】
もう１つの態様は、ＩＭＬシーケンス中または再始動シーケンス中に発生する。ヒューズ・テーブルは、ハード・ヒューズ・セッティングに厳密に頼るのではなく、スキャンを介して設計にロードされる。これによって、初期ヒューズが溶断された後に障害を発生した、障害発生セグメントの再配置が可能になる。この特徴は、欠陥を有するハードウェアが現場で自己修復を行うことを可能にする。
【００１７】
好ましい実施形態は、電子ヒューズを使用し、これらを現場でチップ内で溶断して、別々のテーブル内ではなくハードウェアによって新しいヒューズ情報を永久的に保管することができる。
【００１８】
代替実施形態では、ヒューズ情報が、ＥＰＲＯＭ（消去可能プログラマブル読取専用メモリ）と称する別々のハードウェアを用いて保管される。
【００１９】
ヒューズ・テーブルのソフトウェア版は、障害が発生した時のタイムスタンプ、どのイベントが最初にその問題を検出したか（たとえば、ＡＢＩＳＴ、ライン削除など）、および障害の原因に関する他の有用な情報を備える。これを、より簡単な可読性のためにテキストで行うことができる。ヒューズ修理テーブルは、モジュール通し番号を用いてタグを付けられ、モジュール内の電子通し番号を使用してモジュール通し番号に対して追跡される。新しいモジュールが挿入された場合に、テーブルが、必要に応じてハード・ヒューズ情報から再作成される。
【００２０】
通し番号追跡を有する、ライン削除のために存在する削除テーブルもある。ライン削除に対応するヒューズが使用可能でない時に、ヒューズ・テーブルが更新される。本発明は、次の再始動時の削除の更新を可能にして、ヒューズを用いて修理されなかった削除を再適用する。任意選択として、ライン削除が欠陥領域を回避することを保証するためにＡＢＩＳＴ障害を分析するのにコードが使用されるならば、ソフト・ヒューズ修理またはハード・ヒューズ修理の代わりにすべての削除を適用することができる。
【００２１】
これらの特徴および利点は、本発明の好ましい実施形態を示すさまざまな図面のより十分な説明を理解する時に、熟考されるべきである。
【００２２】
図１に移ると、クロック・チップ１２、１つまたは複数のＣＰＵチップ１３、および１つまたは複数のキャッシュ・チップ１４からなる対称マルチプロセッサＳＭＰハードウェア１１が示されている。各前記キャッシュ・チップ１４内に、１つまたは複数のキャッシュ・アレイ２４、アレイ組込みセルフテスト（ＡＢＩＳＴ）論理１５、ソフト・ヒューズ論理１６、およびトラップ追出削除論理１７が存在する。前記１つまたは複数のＣＰＵチップ１３内に、前記キャッシュ・チップ１４からの障害を発生しているアレイの情報を通信することができるログ記録コード（たとえばＣＰＵマイクロコード）１８と、サービス要素コード２０を実行するサービス要素１９とがあり、このサービス要素コード２０は、修理テーブル２１および削除テーブル２２を読み取り、これに書き込み、コール・ホーム・アクション２３を行うことができる。任意選択の電子ヒューズ２５もあり、これを、ヒューズ情報を保管するために溶断することができる。任意選択の消去可能プログラマブル読取専用メモリ（ＥＰＲＯＭ）２６もあり、これも、ヒューズ情報および修理情報の保管に使用することができる。
【００２３】
キャッシュ・アレイ２４内でエラーが発生した時に、トラップ追出削除論理１７が、その障害に関する情報を収集する。障害が新しい（すなわち、その特定のキャッシュ位置に以前に出会っていない）場合に、キャッシュ・エントリを追い出す。障害を発生しているアレイ位置が、前に既に障害を発生している場合には、キャッシュ・エントリを追い出し、そのキャッシュ位置が今後絶対に使用されなくなるように、ハードウェアがそのキャッシュ位置を削除する。前記ログ記録コード１８が、クロック・チップ１２を介してサービス要素１９にこの障害情報を転送する。サービス要素コード２０は、障害を発生しているキャッシュの情報を読み取った時に、ログ記録されていない欠けている削除があるかどうかに基づいて、コール・ホーム・アクション２３を行うか否かを判定する。サービス要素コード２０は、その欠陥を修理するのにどのヒューズが必要であるかも判定し、これを前記修理テーブル２１と比較する。所与の欠陥に十分な修理がこのテーブルに残っていない場合には、サービス要素コード２０は、コール・ホームを行い、システム・オペレータに、その計算機を再始動しないように知らせる。欠陥について修理が見つからない時には、サービス要素コード２０は、削除のために削除テーブル２２内にエントリを作る。この削除は、次の再始動時にハードウェアに再適用することができる。サービス要素コード２０は、通常は次のＩＭＬウィンドウ中に、電子ヒューズ２５内にヒューズ情報をより永久的に保管することもできる。これは、通常、所望のヒューズ情報をスキャン・リング（たとえば、ソフト・ヒューズ論理１６）にスキャンし、ｅＦｕｓｅ情報を更新する書込電圧を印加することによって達成される。サービス要素コード２０は、従来の手段を使用して、ＥＰＲＯＭ（消去可能プログラマブル読取専用メモリ）２６と称する別々のハードウェア・ストレージ区域にヒューズ情報を保管することもできる。
【００２４】
キャッシュ・アレイ２４の好ましい実施形態に、障害症候群を検出するのに使用されるエラー訂正論理が含まれることに留意されたい。トラップ追出削除論理１７は、障害を発生したアドレス、セット、またはコンパートメント、ならびにアレイ内で使用されるＥＣＣの障害症候群を追跡する。訂正可能エラーが発生した場合に、この症候群を使用して、アレイ内の障害を発生したビットを、したがって、障害を発生しているヒューズ位置を検出することができる。しかし、訂正不能エラー（ＵＥ）が発生した時に、障害を発生しているヒューズに対する分離が正確でない場合がある（すなわち、複数の可能なヒューズがある場合がある）。したがって、キャッシュ内のＵＥについて、好ましい実施形態は、１つの障害を、さまざまなビットがそこから生じた可能性があるキャッシュ内の区域ごとに１つずつの４つのヒューズにマッピングする。
【００２５】
図２に示された修理テーブルは、好ましい実施形態で使用される修理テーブルの例である。前記修理テーブル２１は、さまざまなチップおよびアレイにまたがる修理位置、修理のタイムスタンプ、修理を引き起こしたエラーのタイプ、およびヒューズが不良であったかどうかによって編成されたＡＳＣＩＩ列依存可読テーブルからなる。これには、ハードウェアの通し番号と、このファイルが最初に作成された時のタイムスタンプも含まれる。
【００２６】
図３に移って、Ｌ１キャッシュ障害を処理する時に、コードが、障害に関する情報を受け取るステップ３１、削除を実行する再始動処理を予約するステップ３２、およびこれがこのタイプの最初の削除であるかどうかを判定するステップ３３を実施することに留意されたい。これがこのタイプの最初の削除である場合に、ユニットｉｄおよび他の情報を、削除テーブルに追加する３４。結果を、削除テーブルに書き込む３５。
【００２７】
図４に移って、Ｌ２キャッシュ障害を処理する時に、コードが、障害に関する情報を受け取るステップ４１、それが置換であるかどうかを判定するステップ４２、および置換の場合に置換を確保するステップ４９を実施することに留意されたい。
【００２８】
イベントが置換でない場合に、追出または削除のどちらであるかを判定する４３。イベントが追出である場合には、追出カウントを増分するステップ５０、追出カウントが閾値を超えるかどうかを判定するステップ５１、閾値を超えた場合にコール・ホームを行うステップ５２、および閾値に達していない場合にエラーなしで終了するステップ５３を実行する。
【００２９】
イベントが削除である場合に、削除を実行する再始動プロセスを予約するステップ４４、タイムスタンプと共に削除エントリを削除テーブル２２に追加するステップ４５、欠けている削除について検査するステップ４６、削除がログ記録されたデータから欠けている場合にコール・ホームを行うステップ４８、および欠けている削除がない場合にエラーなしで終了するステップ４７を実行する。
【００３０】
図５に示された削除テーブルは、好ましい実施形態で使用される削除テーブルの例である。前記削除テーブル２２は、さまざまなＬ１チップおよびアレイにまたがる削除位置、削除のタイムスタンプ、および他の削除情報によって編成されたＡＳＣＩＩ列依存可読テーブルであるＰＵセクション（Ｃｐに関する）からなる。さらに、さまざまなＬ２チップおよびアレイにまたがる削除位置、削除のタイムスタンプ、障害を発生しているインターリーブ、症候群、コンパートメント、およびアドレス、ならびに障害のタイムスタンプによって編成されたＡＳＣＩＩ列依存可読テーブルであるＬ２セクションがある。
【００３１】
図６に移って、修理に関してシステムを再始動する手順に留意されたい。システムが再始動される時６１に、キャッシュおよび他のアレイをリセットする６２。次に、アレイ修理をテーブルから適用する６３。ＡＢＩＳＴを実行し６４、アレイをテストする。ＡＢＩＳＴ障害を分析する６５。障害がない場合には、ＩＭＬを成功裡に完了する６６。しかし、障害がある場合に、使用可能な修理を検査する６７。使用可能な修理がない場合には、ＩＭＬを失敗させ、サポートに関するコール・ホームを行う６８。使用可能なヒューズがある場合には、修理されるアレイに新しいヒューズ修理を追加する６９。ＡＢＩＳＴをもう一度実行する６４。この後に、ＩＭＬは成功するはずである。
【００３２】
図７に移って、削除および修理に関してシステムを再始動する手順に留意されたい。システムが再始動される時７１に、キャッシュおよび他のアレイをリセットする７２。次に、アレイ修理および削除をテーブルから適用する７３。ＡＢＩＳＴを実行し７４、アレイをテストする。ＡＢＩＳＴ障害を分析する７５。障害がない場合には、ＩＭＬを成功裡に完了する７６。しかし、障害がある場合には、各障害をライン削除のリストと比較する７７。もちろん、これは、ＡＢＩＳＴ結果が、どのラインが影響を受けるかを判定するために使用可能な十分な情報を有することを必要とする。すべての障害がライン削除によって保護されると判定された場合には、ＩＭＬを成功裡に完了する７６。ライン削除によってカバーされない障害がある場合には、可用性について修理を検査する７８。対応する修理が使用可能でない場合には、ＩＭＬを失敗させ、部品に関するコール・ホームを行う７９。修理が使用可能である場合には、新しい修理を適用し８０、もう一度ＡＢＩＳＴを実行する７４。今回は、ライン削除によってカバーされない障害は残っていないはずである。
【００３３】
図８に移って、ソフト・レジスタ修理に関してシステムを再始動する手順に留意されたい。システムが再始動される時９０に、所望の修理値に関してヒューズ・リングをスキャンし９１、これによって、ヒューズ値を保持するためにラッチを更新するステップがある。これらのヒューズ修理値は、保持され、アレイの不良部分を回避するのに必要な冗長性プログラミングをアレイに供給する。
【００３４】
図９に移って、電子ヒューズ修理に関してシステムを再始動する手順に留意されたい。システムが再始動される時９４に、所望の修理値を用いて電子ヒューズ情報を電子ヒューズに焼き付け９５、これによって、永久的な修理セッティングを達成するステップがある。電子ヒューズを焼き付けるさまざまな方法がある。好ましい実施形態では、適用された時に電子ヒューズを永久的に溶断するのに使用できる、より高い「焼き付け」電圧をセットすることが用いられる。これらのヒューズ修理値は、保持され、アレイの不良部分を回避するのに必要な冗長性プログラミングをアレイに供給する。この電子ヒューズ修理情報は、システムの電源が切られた場合であっても、ハードウェア内に残される。
【００３５】
図１０に移って、消去可能プログラマブル読取専用メモリ（ＥＰＲＯＭ）ヒューズ修理に関してシステムを再始動する手順に留意されたい。システムが再始動される時９８に、ヒューズ修理情報をＥＰＲＯＭに書き込み９９、これによって永久的修理セッティングを確立するステップがある。これらのヒューズ修理値は、保持され、後に読み出し、システム・ソフト・ヒューズ・ラッチにスキャンして、アレイの不良部分を回避するのに必要な冗長性プログラミングをアレイに供給することができる。このＥＰＲＯＭヒューズ修理情報は、システムの電源が切られた場合であっても、ハードウェア内に残される。通常、この情報は、ＥＰＲＯＭ内で圧縮することができる。
【００３６】
本発明の好ましい実施形態を説明したが、当業者が、現在および将来の両方において、添付請求項の範囲に含まれるさまざまな改良および機能強化を行うことができることを理解されたい。これらの請求項は、最初に説明した本発明の正しい保護を維持するために解釈されなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の構成要素を高水準で示す図である。
【図２】キャッシュ・ライン修理テーブルの例を示す図である。
【図３】Ｌ１キャッシュ・ライン削除を示す流れ図である。
【図４】Ｌ２キャッシュ・ライン削除を示す流れ図である。
【図５】キャッシュ・ライン削除テーブルの例を示す図である。
【図６】再始動修理の流れを示す図である。
【図７】再始動削除／修理の流れを示す図である。
【図８】プログラマブル・ヒューズ情報をラッチにスキャンするステップを示す図である。
【図９】修理情報を電子ヒューズに焼き付けるステップを示す図である。
【図１０】修理情報を消去可能プログラマブル読取専用メモリ（ＥＰＲＯＭ）に書き込むステップを示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１１  対称マルチプロセッサＳＭＰハードウェア
１２  クロック・チップ
１３  ＣＰＵチップ
１４  キャッシュ・チップ
１５  アレイ組込みセルフテスト（ＡＢＩＳＴ）論理
１６  ヒューズ制御論理
１７  トラップ追出削除論理
１８  ログ記録コード
１９  サービス要素
２０  サービス要素コード
２１  修理テーブル
２２  削除テーブル
２３  コール・ホーム・アクション
２４  キャッシュ・アレイ
２５  電子ヒューズ
２６  消去可能プログラマブル読取専用メモリ（ＥＰＲＯＭ）
【図１】
2006260562.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2006260562.tif 000010
【図９】
2006260562.tif 000011
【図１０】
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