(57)【要約】【課題】鏡面加工による、対象物表面からの反射光の過大コントラスト比の発生を抑えられる光源装置の発明。ならびに、画像処理用カメラレンズのシェーデイング補正用均一光発生光源装置の適用。【解決手段】化合うあ吹き込みにより、ガラスや樹脂のブロックの中に生成された無数の気泡が球状凹レンズとしての能力を備えるために、入力された扇状に放射された光束が分割されたり重累されたりしながら照明装置と正対した方向や、斜方への光束も扇状のプロファイルをもったまま放射されされるために結果として、無数の扇状の光束が対象物上で重累されるために斜方へも正対する面と同様に均一光としての運用が可能となる。この特性は、拡散光源では対応できない条件となる。【効果】散乱光源により、曲面での異常なハイライト発生が抑制されるだけではなく、正対しない斜方へも同様な光束の照射がされるために、曲率が高いレンズ表面の焼けや変質が確認された。【選択図】  図１０
2006275995.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス、あるいは、樹脂等の、光透過ブロック、あるいは、板に化学合成等による自然発生的微細気泡混合、あるいは、同材質ブロックに気泡を吹き込み加工をしたものを散乱光源のフィルターとして適用するものであるが、溶融による発生も、化学合成と同様の扱いとする散乱光発生光源装置。
【請求項２】
適応条件に合致させるために、複数枚のフィルターを重ねて適用することが可能な散乱光発生光源装置。
【請求項３】
撮像条件や、対象物の特性、あるいは、目的に合致させるために光発生のランプユニットを交換可能な散乱光発生光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、産業用途の品質検査において、たとえば、粉ミルクや清涼飲料用缶の内面検査や、レンズ表面の加工焼け検査等を代表とする鏡面仕上げの金属・ガラス、樹脂の表面観察、または、表面の検査（以後、表面観察と称する。）、あるいは、液面表面状況の観察に適用する計測用光源に関する。【０００２】２次元光計測において、２次元電子撮像カメラ（以後、ＣＣＤカメラと称する。）レンズのカメラ信号補正に関わる２次元均一照明データを保証するための光源に関する。
【背景技術】
【０００３】従来の、鏡面仕上げの金属・ガラス、樹脂あるいは、液面（以後、対象物と称する。）に対する画像装置を利用した表面検査、あるいは、表面観察において、対象物の表面に凹凸や曲面、あるいは、折り曲げ部分、あるいは、傷がある場合に反射率の高い部分と低い部分でのレベル比（以後、コントラストと称する。）が異常に大きいために表面検査に支障が発生しており、この対応として、コントラストの小さい表面計測エリアに限定して行い、その範囲を移動しながら全体の表面観察の方法をとっていた。【０００４】別の方法として、照射する光源を対象物に対応できる程度に拡散させるために拡散機能をもつ素材を光源に適用して対応する場合もある。【０００５】２次元均一照明データを保証するためには、疑似的に平面とするために直径の大きな積分球を利用している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】対象物の表面特性に関わることなく、一般でいわれるところの、高反射面でも低反射面でも同一の照射光源で使用できる能力を備えること。これは、対象物への光照射を行いその反射がＣＣＤカメラに入力しても正対しない部分にも光照射が行われていることを示すもの。【０００７】目視、あるいは、撮像装置を利用した検査装置において、正対しない部分においても、あきらかに、検出対象箇所が判明できる能力を有すること。【０００８】２次元均一照明データを保証する用途の場合では、積分球の面が平面としての均一光とみなすことができないために、平面上で均一光とすることができる光源とすること。
【課題を解決するための手段】
【０００９】従来の、拡散光源や、エリア分割による計測方式ではなく、散乱光源としての照射方式とし、今回、特許としての申請するためにここで用いられる定義を
【発明の実施するための最良の形態】
で説明する。
【００１０】表面観察において、目視による検査では、隣接する僅かなグラデェーションがあっても人間が  判断を可能としているために、照射距離によるレベル変化は誤差範囲として無視することが可能であり、同様に、散乱光照射を正対せずにおこなっても、斜方での散乱光源としての機能が損なわれない範疇ではその検査に無理がないものとする。
【００１１】画像装置による表面観察では、平滑化処理、あるいは、移動平均処理による偏差抽出で対応が可能とする。
【００１２】また、高精度検出が必要な際には、発光源であるランプの変更等の条件設定で対応が可能とする。
【００１３】ＣＣＤカメラに取り付けられる、レンズの歪み成分を補正するために取り付けられる光源ランプを変更してシェーデイングパターンの逆パターンとなるように設定をすることが可能とする。
【００１４】２次元均一照明データを保証するための校正用光源としては、液晶表示器のバックライトのような平面光源を利用することで対応する。
【発明の効果】
【００１５】本発明の効果として、対象物の性状や形状の変化に伴う光源のフィルター変更を必要としないこととなった。
【００１６】撮像装置に適用するレンズの特性に合わせた光源設定をそのまま利用することができるものとなった。
【００１７】２次元均一照明データを保証する用途では、均一光源としての条件に合致することができ、従来の、積分球を利用する校正用光源に代わるものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】本発明の、骨子ともなる散乱光の定義から行う。
一般に散乱光源としては、積分球の内部において行われる均一性を確保するための方法があるが、この方式は、球体内面での繰り返し反射をしながら光束を重累加算をすることにより得られるものであるが、この光源の限界は、球体内面での均一性であり、反射条件で使用できるものではない。しかしながら、産業の検査工程などで求められる光源は、ＣＣＤカメラに正対する対象物の高反射となる状況を解決することも重要な要求であるが実際には、対象物の正対しない部分も検出できるような照明がなされることが必須条件とされるが、市場にはこのような光源装置は存在しない。本発明は、この状況を打破するために従来の対応と違う構造で対応するもので、従来の光源が光照射対象面を平面としての対応しているが、本発明では凹凸面や曲面といった３次元面に対応する光束照射を目的とするものである。当然のこととして、その光照方法には限界があり、全周照射には複数個の光源を適用することで対応することになるが、しかしながら、この光源に求める機能は、斜方面へも均一光を照射できることである。例えて言えば、鏡面で曲面をもつ対象物を全面観察するためには、表面を荒らすことで見えるようになるという実話があるが、その逆の発想から、同様な光照射を行えば鏡面も全面観察ができるものとしての考察から、正対する面から斜方へまでの角度に対して連続した光照射を行えるものを発明した。このことにより、何れのポイントであっても、必ず、ＣＣＤカメラ、あるいは、目視方向へ反射をしてくる光束があるために対象物の像としてとらえられるものとなる。これらの状況は、図１２、および、図１３で説明する。図１２は、光束がどのように分布しているかを示すもので、１点からの光束分布は、代表例として特１−４のように分布するが、左右両側で有効出射口範囲まで同じように分布することになる。一方の観察側では、観察をできる範囲が狭い場合で、散乱光源有効幅までの範囲があれば、特１−３までを実際に可能範囲となるが、これも反射光が及ぶ範囲が絶対有効幅となる。図１３は、実際の用途を考慮して説明するが、本発明による光源装置は観察側と同軸で使用することができないことからずらして配置することになる。特２−１の散乱光源からの２本の光束は実は、図１２で示すようにかなり広いプロファイルをもっているが、代表例として、特２ー２のＣＣＤカメラに入光して像を結ぶ光束のみを表示したもので、それ以外の光束は無効となるために記述、および、表記はしていない。このような条件が、特に、鏡面の表面をもち、曲面や凹凸を含む場合の観察に寄与できる産業用光源といえる。【００１９】以下に、本発明を有効にするまでの経緯を図示して説明する。適用光学素子の選択のために、凸レンズと凹レンズを考の選択に関し、図１は、凸レンズの断面を示したもので、並行光を入力した際の光束は中央に収束するようになる。一方、図２は凹レンズの断面であるが、このレンズでは光束は中央から周囲方向へ逃げる性質があり光束といえるものかどうかは不明であるが、っこでは光束として扱うことにする。この両方のレンズの特性で大切なことは、凸レンズでは、光束が拡散基調になく、中央部の光の強度が高いことになることが、既に、この用途には不適当であることを示している。この点で、凹レンズは、拡散基調にあることと、光束の進行方向において、周辺部と進行方向中央の光の強度の差が高くなりにくいこともこの用途には適していると判断できる。この特性は、複数の凹レンズ（以後、凹レンズアレイと称する。）を通過する方法によりさらに拡散率を高めることができる意味がある。しかしながら、このような凹レンズアレイの問題は、個別に生産して取り付けた場合にレンズ側面の接触面での干渉問題のために接触面の追加工が必要なだけではなく、個別の凹レンズの外周部の角部分がムラ発生などの問題に発展すること、あるいは、入光側と出光側の角度に制約があるために散乱光とする限界が低い。このような理由から、この方式も実現性に乏しい。これらの解決策は、角部分がなく、あらゆる方向から凹レンズに光束を入光でき、さらに、出光ができる構造のものとなり、この用途の条件から、唯一、球体の凹レンズしか対応がないことになった。この球体凹レンズの製造において、高均一性を追求すると微細加工を求められるために理論のみの空論に終わることになるが、同様の条件を満たすものを追求した結果、当初入手ができたものとして、溶融石英の生産途上で生産される外皮部分の化学反応により生成される気泡の密度が非常に高い部分があったのでそれを流用した。この材料の説明として、石英部分は屈折率が気泡より高く、さらに、気泡が生成される際には石英は流動性があり気泡はその中で表面張力から球体化する。この気泡を一般大気とすれば、図３の３−１と３−４の気泡の外側に凹レンズの構造が発生する。当然、状況を図示するために凹レンズの形態を記述してあるが、図のように切断等をなされたものではなく、３−２と３−３の凹レンズの両側、あるいは、前後にも同様の条件を満たす構造が生成されていることになる。この気泡による光束の進行状況を説明するために図４では、光束の１部で入力光を並行光として図示するが、実際には、扇型に広がる光束であることは説明が煩雑になることを避けるためにとった手法である。図４は、その理想的な並行光が気泡である凹レンズの中心線を通る状況を示す。透過後、拡散してゆくことになるが、実際では、もっと広いプロファイルをもった扇型の光束となる。また、図で扇型の下部に曲線が描いてあるが、これは光の強度を断面で示したもので多少外周部のレベルが下がることを示している。図５は、図４と同じ光束を気泡中心を外して透過する場合を描いてあるが、気泡中心側より入光した方向側へ逃げる方向へ広がり、しかも広がりの範囲であればいずれの方向へも光の強度が検出されることを示している。これは、多少ならば、斜方へも照射をしていることになることを説明していることになる。図５が２つのパターンを描いているのは凹レンズの特性を示すためである。図６は、図４と図５の３つの照射された光強度を対象面で重累されたときを説明するものだが、このような重累状況は限界はあるものの斜方への照射でも同様であることを示す。図７では、２つの気泡７−１と７−２に関して光束がどのように進行して照射をされるかっを説明するものだが、凹レンズは光束が扇状に開いてゆく傾向があるために、同じ寸法の気泡を条件とすれば、７−１からの出光の光束は７−２の気泡に対しては全光束を透過させる状況にはなく、７−２の外側を通過する光束と７−２を透過する光束との分割されるが、照射面ではそれぞれが重累されることになる。図８は、正対する照射面での重累された光強度を代表として示すもの。斜方への照射では、重累のプロファイルが変わるものの、実際の重累パターンは図７の条件で、入力される光束と気泡の相関関係、また、透過段数で変わることと、より重累数が多くなるために、均一度は増すことになる。図９は、通常の装置の構成を断面図としたものであり、９−１ランプの光源ランプと反射板を示し、本発明の骨子でもある９−１の光束を散乱光源とするためのフィルターである。９−２フィルターは、既に記述してあるように、無数の気泡が生成された光を透過するものであり、図では４段の気泡となっているが、実際には、数十から数百段にもなり。さらに、規則正しく整列をしているものではないが、入力された光束が分割されて多方向へ進行したり重累したりを繰り返すために段数以上の均一化をはかる結果となるり、最終的には、対象物の反射面、あるいは、透過先のスクリーン面で重累され、それを観察するＣＣＤカメラ等での認識が均一条件となる。このようなことから、この方式の利点は、多少のムラも作用により大きなムラ発生には繋がらないことと、コスト的問題や寸法的問題には至らないために産業市場での適用にも対応が可能であることになる。ちなみに、球状凸レンズでこのような状況を構成する場合には、凸レンズ同士の接触がすべての問題となり均一度を維持することができないこともこの用途に適用しなかった理由となる。また、多少の精度を無視できる用途では、ガラスや樹脂に空気を吹き込む方法で類似する機能を満足できるために、同様の機能ということで特許の権利の範囲とした。【００２０】本発明の装置では、光源ランプを交換することで対応できる用途を変換することができる機能を備えている。図１１は、液晶表示装置用フラット光源を利用することを示す図で、ＣＣＤカメラ等のレンズの歪み成分であるシェーデイング補正用フラット光源として使用することも可能となるが、それ以外にも、後に説明する用途のように、極端な３次元形状に対する多少の補正機能として曲率の高い凸レンズの表面検査でより広い面に適応できるようにドーナッツ状蛍光灯の使用も考えられる。【００２１】以下は、実施例として、半導体露光用レンズであるフライアイ・インテグレータ・レンズの単体の表面の加工焼け検査に使用した例を示す。図１０は、本発明の１０−１光源装置と１０−２ＣＣＤカメラ、そして対象物である１０−３レンズ単体の位置関係を示しているが、先にも記述してあるように光源ランプをドーナッツ状の蛍光灯としている。この光源の特性上、１０−１照明装置と１０−２ＣＣＤカメラを同軸上で運用することが不可能なために相互に干渉しない距離で観察をした。このレンズは、１辺が５ｍｍ以下であるにもかかわらずＲ＝６ｍｍから２０ｍｍという極端な曲面を持っており、それを同時に全面観察をするもので、加工焼けとしては、周辺部に金属的な光った焼けが発生することと、中央部には、表面より僅かに内側に黒い焼けが発生するものでこれらを同時に検出することができた。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】凸レンズの断面と、このレンズに入光させる並行光が集光することを示す図。
【図２】凹レンズの断面に、図１と同様に並行光を入光させた場合に外側に広がるように出光することを示す図。
【図３】フィルター内の気泡が凹レンズであることを示すために代表として２つの気泡間が凹レンズの条件に合致していることを示す図。
【図４】気泡を通過する光束が、どのように照射をしているかを示す図で中心線を光束の中心が透過をする状況を示すもの。
【図５】気泡を透過する光束の中心が、気泡の中心とずれて透過をした状況を示す図で、照射方向が違う場合でもそれなりの方向性をもった光束となることを図示したもの。実際には、入光する光束が図よりも広いものとなることとそれに伴い照射する場合にはもっと広い弧を描くことになる。
【図６】図４と、図５の照射光の重累状況を図示したもので、図では狭い光束が中心線を透過する条件とずれて入光する条件を重ねた表現となっているが、実際には１本の連続する弧となる。
【図７】２つの気泡を、光束がどのようにして透過したり、あるいは、透過しなかったりしてっ同一平面上で重累するかを示すもので、実際には、光束そのものがもっと広いものであり、さらに、他の光束も重累するためにさらに均一度が高くなる。
【図８】図７の構成による重累される光束の照度レベルを示す信号図。
【図９】通常の状況の光源装置の構成を断面で示す図。
【図１０】当発明を必要とした、光源の用途の運用状況を示す相関図。
【図１１】レンズの歪み成分である、シェーデイング補正用均一光発生のためにフラット光源を組み込んだ断面図。
【図１２】散乱光源の、照射有効範囲を説明する図。
【図１３】ＣＣＤに、認知される光束のみを表示したもので、この光束以外は無効となるために表記をしないことを示す図。
【符号の説明】
【００２３】１−１
凸レンズの断面を示す図
２−１
凹レンズの断面を示す図。
３−１
光束が先に入光する側の気泡を示す。
３−２
気泡と気泡の間にあるガラス等の材質が凹レンズとしている部分を説明する図
３−３
後に、光束が入光する気泡側にも凹レンズの形態に近いものが発生しているところを図示している。
３−４
次に、入光する気泡を示す。
７−１
先に、入光する気泡を示す。
７−２
後に、入光する気泡を示す。
７−３
後で入光する気泡を透過した光束の照度レベル図
７−４
先に入光した光束が、７−２の気泡を透過しなかった部分の片側の照度レベルを示す。
７−５
先に入光した光束が、７−２の気泡を透過しなかった部分の別の１方の照度レベルを示す部分の図。
８−３
図７の、説明に合わせた符号の数字によるもので、後で入光する光束に相当する照度レベルを示す。
８−４
図７の、説明に合わせた符号の数字によるもので、後の気泡に入光っしない片側の光束の照度レベルを示す図。
８−５
図７の、説明に合わせた符号の数字によるもので、後の気泡に入光っしない別の１方の光束の照度レベルを示す図。
９−１
通常で使用される、光源ランプを示す断面図。
９−２
当発明の、フィルターを示す図。
９−３
円形の図研が、当発明のフィルター内に包括される気泡であることを示す図。
９−４
対象物を示す図。
１０−１
当発明の、光源装置を示す図。
１０−２
観察のために使用した、ＣＣＤカメラを示す図。
１０−３
対象物である、レンズの断面を示す図。
１０−４
照明装置の、光源ランプをドーナッツ型蛍光灯に変更した図。
１１−１
標準のランプから、フラットランプを適用していることを示す図。
１１−２
当発明の、骨子ともいえるフィルター部分を示すもので、実際には包括される気泡の数は数重段から数百段となる。
特１−１
散乱光源の断面を示す図。
特１−２
人間、あるいは、センサーが、光源と同じ有効面積があった場合で反射光も最大寸法が同じ条件の場合を想定した絶対的な有効範囲の断面を示すもの。
特１−３
散乱光として重累されにくい部分を除いた実質的有効範囲を示すが、特１−３と条件は同様となる。
特１−４
散乱光として、１点から出射される開く角度を示すもので代表例として出射光中心を示す。
特２−１
散乱光源の、対象物との配置位置を示す断面図。
特２−２
観察側を代表として、ＣＣＤカメラが対象物の位置との関係を示す断面図。
特２−３
対象物を示すが、曲面であることを示す図。
【図１】
2006275995.tif 000003
【図２】
2006275995.tif 000004
【図３】
2006275995.tif 000005
【図４】
2006275995.tif 000006
【図５】
2006275995.tif 000007
【図６】
2006275995.tif 000008
【図７】
2006275995.tif 000009
【図８】
2006275995.tif 000010
【図９】
2006275995.tif 000011
【図１０】
2006275995.tif 000012
【図１１】
2006275995.tif 000013
【図１２】
2006275995.tif 000014
【図１３】
2006275995.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成17年7月15日(2005.7.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
球体の凹レンズを、３次元に密接配置することにより光の散乱を発生させることが可能な機能を備えた散乱光発生用フィルターを適用する散乱光発生光源装置。
【請求項２】
請求項１で説明する、散乱光発生用フィルターの製造方法として高屈折透明素材に化学反応、あるいは、気泡発生素材を封入した高屈折率透明素材に，電気的、あるいは、化学的刺激を与えることにより気泡を３次元密接配列としたもの，あるいは、溶融石英生産に関わり発生する高密度に気泡を含む部分も同じ条件で使用が可能であるために、これらの素材を適用して構成された散乱光発生光源装置。
【請求項３】
請求項１で説明する散乱光発生用フィルターは、請求項２で説明する機能と同等であるものとして、高屈折透明素材に気泡を３次元密接に吹き込みをした製造方法で生成された光学フィルターも同類としてこれを適用する散乱光発生光源装置。
【請求項４】
請求項１、から、請求項３で説明した、気泡を密接多段並列に３次元配列されたフィルターを光照射設定適応条件に合致させるために、複数枚のフィルターを重ねて適用することが可能な散乱光発生光源装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４で説明する構成を、ＣＣＤカメラを代表とする電子的撮像カメラのレンズによる歪み成分を補正するために対応する２次元均一光源。
【請求項６】
請求項１から請求項４で説明する構成を、フィルム等の連続生産を行う装置でリニアセンサーと共に使用する光源として運用を行う構成に対応する散乱光源発生装置。
【請求項７】
請求項１から請求項４で説明する構成を、医療用無影灯として使用する散乱光源発生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】  ２次元光計測において、２次元電子撮像カメラ（以後、ＣＣＤカメラと称する。）レンズに関わるカメラ信号補正に対する２次元均一照明データを保証するための基準光源に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月27日(2005.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
球体の凹レンズを、３次元に密接配置することにより光の散乱を発生させることが可能な機能を備えた散乱光発生用フィルターを適用する散乱光発生光源装置。
【請求項２】
請求項１で説明する、散乱光発生用フィルターの製造方法として高屈折透明素材に加熱を含める化学反応、あるいは、気泡発生素材を封入した高屈折率透明素材に，電気的、あるいは、化学的刺激を与えることにより気泡を３次元密接配列としたもの，あるいは、溶融石英生産に関わり発生する高密度に気泡を含む部分も同じ条件で使用が可能であるために、これらの素材を適用して構成された散乱光発生光源装置。
【請求項３】
請求項１で説明する、散乱光発生用フィルターは、請求項２で説明する機能と同等であるものとして、高屈折透明素材に気泡を３次元密接に吹き込みをした製造方法で生成された光学フィルターも同類としてこれを適用する散乱光発生光源装置。
【請求項４】
請求項１で説明する、散乱光発生用フィルターの製造方法として、空気、あるいは、ガスによる気泡を包括するガラス、あるいは、樹脂の球体を光を透過する箱に入れて、その箱に高屈折率の液体を充填することによる方法による素材を適用して構成された散乱光発生光源装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】  以後は、当発明の説明を図示しながら説明する。
当発明の、骨子である散乱光源発生のためのフィルターの説明から行う。
図１は、散乱光発生のための説明のために全体の概念図として、本来点の光束とはならないものだが、混乱を避けるために起点は点としての扱いで表示したもの。図１−１のランプからの光束を図１−２の散乱光発生のために重要な機能をもたらす材料で構成されたフィルターを介して図１−４の鏡面の対象物を照射することを示したが、図１−２は、あくまで、概念図としての略図であり、球体で示す図１−３の気泡の寸法や、気泡同士の存在位置関係、あるいは、数量においては、図とは著しく違う状況であり、図での上下方向への数は用途や条件により違いがあるものの多くの段数が必要となる。散乱光発生の条件としては気泡間の反射や透過による屈折があるが、反射による気泡相互間の反射光束重累による散乱発生は当然のことであるが、光量に及ぼす絶対的要因となる透過による屈折が散乱光発生の代表状況となるために透過による散乱を以下で説明する。図２は、このフィルターを通過した後の明るさのレベルを信号で表示したもので以後は、照度レベルとして取り扱う。この図では、外側が僅かにレベルが下がる程度であるが、それは、図１−１の光源が、中央が明るく周辺が暗い特性をもっているだけではなく、扇型に広がる特性が僅かに影響を与えていることをしめしている。また、図１−２のフィルターの条件次第では、その影響を最小限度に押さえることが可能となる。図３は、図３−１の気泡を示すが、これは理想的な気泡への入光条件の光束が気泡中央に気泡の中央を通過する状況を示したもので、図３−２のように、透過後は信号レベルが中央が高く周辺部に至るほど低くなっていることを示す。しかしながら、図４にあるように、図４−１と図４−２のようにオフセットして気泡に入光した場合では、信号は、図４−３と図４−４のように正対する方向へは照射が行われるばかりではなく、図４−１と図４−２の気泡に対して入光した光束の出光する方向側には、図４−５と図４−６のように光のレベルが発生する。それぞれの光レベルを合成した場合には、正対方向には、図５のように重累されて均一化に寄与することになる。これらの図には示していないが、当該材料の１部を代表例として図示するもので、実際の気泡の重なりは数百以上になる。当然、正対する側の照射の均一度は、さらに高度になるだけではなく、斜方への重累の同様に高度化するために均一度も格段に増すことになる。このフィルターに適用可能な材料は、各種の透明なガラスや透明な樹脂等に気泡発生のために空気等を吹き込んだものであり、科学反応や化学反応により発生する材料も同様に特許の範囲対象となる。