(57)【要約】【課題】本発明は、少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができ、タンクと継手一体型ユニットとの取り付け状態を強化することができ、ガス給排気流路から液体やミスト状のガスが排気することがないタンク構造を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、流量を制御するバルブ（２１、２２、２３、２４、２５）を備え、かつ液体供給流路３０とガス給排気流路３６と弁座４８が設けられる流体継手１１を備えるバルブ継手一体型集積ユニット１０を有し、タンク容器４を備え、かつ流体継手１１の挿入部（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）が挿入されて固定される開口部（２ａ、２ｂ、２ｃ）が設けられる密閉蓋部品２を備えるタンク１を有することを特徴とする。【選択図】図４
2006307944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯蔵するタンク容器部位と、前記タンク容器部位に貯蔵する液体を供給する液体供給流路と、前記タンク容器部位に貯蔵される液体を吐出する液体吐出流路と、ガスを供給または排気するガス給排気流路とを有するタンク構造において、
流量を制御するバルブを備え、かつ液体供給流路とガス給排気流路と弁座が設けられる流体継手を備えるバルブ継手一体型集積ユニットを有すること、
前記タンク容器部位を備え、かつ前記流体継手の挿入部が挿入されて固定される開口部が設けられるタンク開口部位を備えるタンクを有すること、
を特徴とするタンク構造。
【請求項２】
請求項１に記載するタンク構造において、
前記タンク開口部位の開口部および前記流体継手の挿入部はそれぞれネジ部を備えており、前記タンク開口部位の開口部のネジ部と前記流体継手の挿入部のネジ部を螺合させることにより、前記タンク開口部位と前記流体継手とを一体化させることを特徴とするタンク構造。
【請求項３】
請求項１に記載するタンク構造において、
前記タンク開口部位および前記流体継手の挿入部はそれぞれ貫通孔を備えており、前記タンク開口部位の貫通孔内と前記流体継手の挿入部の貫通孔内との間で棒状の固定部材を貫通させることにより、前記タンク開口部位と前記流体継手とを一体化させることを特徴とするタンク構造。
【請求項４】
請求項１に記載するタンク構造において、
前記タンク開口部位と前記流体継手とを溶接することにより、前記タンク開口部位と前記流体継手とを一体化させることを特徴とするタンク構造。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記タンク開口部位と前記流体継手とを一体化させたときに前記タンク開口部位と前記流体継手とが当接することを特徴とするタンク構造。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記タンク容器の軸方向について前記ガス給排気流路の下端は前記液体供給流路の下端よりも高い位置にあることを特徴とするタンク構造。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記ガス給排気流路の前記タンク容器の軸方向における下端の流路径は前記液体供給流路の流路径よりも大きいことを特徴とするタンク構造。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記バルブ継手一体型集積ユニットに前記液体吐出流路を備えることを特徴とするタンク構造。
【請求項９】
請求項１乃至請求項７に記載するいずれか一つのタンク構造において、
前記タンク容器に前記液体吐出流路を備えることを特徴とするタンク構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造、液晶、医療、バイオなどの分野に用いられるバルブおよび薬液貯蔵タンクの集積化を図ったタンク構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶などを製造する工場では、複数の装置へひとつの薬液供給源から分岐配管を使って薬液が供給されている。複数ある中の一つの装置へ薬液を供給する場合、工場からくるそのままの圧力で薬液の供給をコントロールしようとしても他の装置の使用状況によってライン内の圧力や流量が変動してしまい、当該装置に供給される薬液の流量や圧力が一定にならない。そのため、従来から各装置内には薬液を蓄えるタンクが設置され、工場から供給された薬液をタンク内へいったん貯めてからユースポイントへ所定の圧力や流量で送ることが行われている。タンクからユースポイントへの供給は気体による加圧やポンプによる吸引などによって行われる。
【０００３】
ここで図１１は、タンクを用いた液体供給調整システムを示した概念図である。また、図１２は、流体継手が装着されたタンクを示した外観斜視図である。タンク２０１には、その開口に蓋２０２が設けられ、そこに突設して流体継手（２１１、２１２、２１３、２１４）が形成されている。そして、その流体継手（２１１、２１２、２１３、２１４）に４本のラインが接続されている。液供給ライン２３１は、タンク２０１内に薬液を供給するためのものであり、途中にバルブ２２２が設けられている。ガス供給ライン２３２は、薬液を加圧するためのガスを供給するためのものであり、途中に減圧弁２２６、圧力計２２７及びバルブ２２３が配管されている。ガス排気ライン２３４は、タンク２０１内のガスを排気するためのものであり、途中にバルブ２２４が配管されている。そして、４本目の吐出ライン２３３は、タンク２０１内においては底部にまでのび、タンク２０１外では薬液をユースポイントへと接続されている。
【特許文献１】実開平５−５７５８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のタンクを用いた液体供給調整システムの課題として、以下のことが考えられる。
（１）４本のライン（２３１、２３２、２３３、２３４）とタンク２０１とを接続する従来の流体継手（２１１、２１２、２１３、２１４）は、それぞれのライン（２３１、２３２、２３３、２３４）毎にタンク開口部の蓋２０２に取り付けられている。従って、従来の流体継手（２１１、２１２、２１３、２１４）はタンク２０１に対して組み付け数が多いため、それだけ液体やガスの漏れに対するリスクが高い構成になっていた。そして、その組み付けに溶接が使用されるような場合には加工費が高くなってしまっていた。
【０００５】
（２）また、図１１及び図１２に示す従来例の場合、流体継手（２１１、２１２、２１３、２１４）にパイプが接続されて構成されたライン（２３１、２３２、２３４）上にバルブ（２２２、２２３、２２４）が配管され、ライン２３２上にはその他にも減圧弁２２６や圧力計２２７が配管されている。そのため、タンク２０１の周りの回路部分が煩雑になってしまい、メンテナンスが大変であった。
【０００６】
（３）更に、扱う薬液によって例えば四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ，ＰＦＡ）を用いる必要があるが、蓋２０２に対して４箇所もの流体継手（２１１、２１２、２１３、２１４）を取り付けようとすると、複雑形状の製作が困難で材質が比較的高価でもある四フッ化エチレン樹脂ではタンク２０１が高価なものとなってしまっていた。
【０００７】
そこで、上記に列挙したタンクを用いた液体供給調整システムの課題を解決するために、本出願の出願人は、先にした出願（特願２００４−３３２０６５、国際出願番号ＰＣＴ／ＪＰ２００５／９８）において以下のような発明を提案している。図９は、この発明にかかる流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図である。このタンク１０１は、上端に開口部１０２が形成されている。そして、その開口部１０２には、図示するように流体継手１１１をベースブロックにした継手一体型集積ユニット１１０が装着されている。流体継手１１１は、液供給流路１１５および液吐出流路１３３、ガス給排気流路１１６が形成されたブロックであり、ロックナット１０４によって開口部１０２に固定されている。そして、その流体継手１１１には流体機器としてバルブ（１１２、１１３、１１４）が一体に固定され、継手一体型集積ユニット１１０が構成されている。ここで図８は、タンク１０１に継手一体型集積ユニット１１０を介して流体ラインが接続された状態を示した回路図である。
また、図１０は、こうした流体継手１１１及び継手一体型集積ユニット１１０を具体的に示した図９のＡ−Ａ断面図である。流体継手１１１は、図９に示すように角柱状のブロックであって、図１０に示すように、タンク１０１の円筒形状の開口部１０２に挿入可能な円柱状の挿入部１１１ａと、テーパ１１１ｂを介してロックナット１０４が引っかけられる環状の横溝１１１ｃが形成されている。そうした流体継手１１１は、横溝１１１ｃにロックナット１０４が嵌め込まれ、開口部１０２内にＯリングを保持した挿入部１１１ａが入れられる。そして、ロックナット１０４を開口部１０２外側に形成された雄ネジに螺合させ、締め込むことによって流体継手１１１の挿入部１１１ａが開口部１０２内に気密に押し込まれるようになっている。
さらに、バルブ（１１２、１１３、１１４）は、図９に示すように流体継手１１１に対してボルトによってネジ止めされ、その流路１３７と液供給流路１１５やガス給排気流路１１６とは、接続部に断面Ｈ型のシール部材１３８によって気密にシールされている。
【０００８】
しかしながら、本出願の出願人が先にした出願（特願２００４−３３２０６５、国際出願番号ＰＣＴ／ＪＰ２００５／９８）においては、以下のような課題が存在する。
（１）このタンク構造では液吐出流路１３３に液体を制御するバルブが存在しないので、別途バルブを配置する必要が生じ、このタンク構造を含めた製造ラインの組み立てに手間がかかってしまう。特に、タンク構造を廃液用のタンクとして使用する場合には、複数の供給用のタンクから廃液の液体を回収して一括して吐出する必要があるため、廃液の吐出量を制御できるバルブが配置されているほうが望ましい。
【０００９】
（２）また、タンク１０１と流体継手１１１を連結させるためにロックナット１０４などの部品を要し、さらに、流体継手１１１とバルブ（１１２、１１３、１１４）との接続のために弁座などを備える弁本体を接続することを要し、弁本体と流体継手の接続部分にシール部材を配置することを要するなど、多くの部品を要してしまう。
【００１０】
（３）また、タンク１０１に流体継手１１１を取り付けた状態において、タンク１０１とバルブ（１１２、１１３、１１４）の間には空間がある。そのため、バルブ（１１２、１１３、１１４）が取り付けられる流体継手１１１とタンク１０１との取り付け状態が不安定となりやすい。
【００１１】
（４）さらに、液体をタンク１０１内に供給する際には、ガス給排気流路１１６からタンク１０１内に充満しているガスを排気させるが、このとき同時に液体やそのミスト状のガスを巻き込みながら、タンク１０１外へ排気されるおそれがある。
【００１２】
本発明は以上のような課題を解消するためになされたものであり、以下のことを目的とする。
（１）少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができるタンク構造を提供すること。
（２）タンクと継手一体型ユニットとの取り付け状態を強化することができるタンク構造を提供すること。
（３）ガス給排気流路から液体やミスト状のガスが排気することがないタンク構造を提供すること。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するために、本発明は以下のような特徴を有する。
（１）液体を貯蔵するタンク容器部位と、タンク容器部位に貯蔵する液体を供給する液体供給流路と、タンク容器部位に貯蔵される液体を吐出する液体吐出流路と、ガスを供給または排気するガス給排気流路とを有するタンク構造において、流量を制御するバルブを備え、かつ液体供給流路とガス給排気流路と弁座が設けられる流体継手を備えるバルブ継手一体型集積ユニットを有し、タンク容器部位を備え、かつ流体継手の挿入部が挿入されて固定される開口部が設けられるタンク開口部位を備えるタンクを有することを特徴とする。
【００１４】
（２）（１）に記載するタンク構造において、タンク開口部位の開口部および流体継手の挿入部はそれぞれネジ部を備えており、タンク開口部位の開口部のネジ部と流体継手のネジ部を螺合させることにより、タンク開口部位と流体継手とを一体化させることを特徴とする。
【００１５】
（３）（１）に記載するタンク構造において、タンク開口部位および流体継手の挿入部はそれぞれ貫通孔を備えており、タンク開口部位の貫通孔内と流体継手の挿入部の貫通孔内に棒状の固定部材を貫通させることにより、タンク開口部位と流体継手とを一体化させることを特徴とする。
【００１６】
（４）（１）に記載するタンク構造において、タンク開口部位と流体継手とを溶接することにより、タンク開口部位と流体継手とを一体化させることを特徴とする。
【００１７】
（５）（１）から（４）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク開口部位と流体継手とを一体化させたときにタンク開口部位と流体継手とが当接することを特徴とする。
【００１８】
（６）（１）から（５）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク容器の軸方向についてガス給排気流路の下端は液体供給流路の下端よりも高い位置にあることを特徴とする。
【００１９】
（７）（１）から（６）に記載するいずれか一つのタンク構造において、ガス給排気流路のタンク容器の軸方向における下端の流路径は液体供給流路の流路径よりも大きいことを特徴とする。
【００２０】
（８）（１）から（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、バルブ継手一体型集積ユニットに液体吐出流路を備えることを特徴とする。
【００２１】
（９）（１）から（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク容器に液体吐出流路を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
このような特徴を有する本発明は、以下のような作用・効果を有する。
（１）液体を貯蔵するタンク容器部位と、タンク容器部位に貯蔵する液体を供給する液体供給流路と、タンク容器部位に貯蔵される液体を吐出する液体吐出流路と、ガスを供給または排気するガス給排気流路とを有するタンク構造において、流量を制御するバルブを備え、かつ液体供給流路とガス給排気流路と弁座が設けられる流体継手を備えるバルブ継手一体型集積ユニットを有し、タンク容器部位を備え、かつ流体継手の挿入部が挿入されて固定される開口部が設けられるタンク開口部位を備えるタンクを有するので、予め弁座を備えた流体継手をタンク開口部位に固定するだけで、バルブ継手一体型集積ユニットとタンクを有するタンク構造を実現することができることから、少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができ、前記の本発明の目的（１）を達成することができる。
【００２３】
（２）（１）に記載するタンク構造において、タンク開口部位の開口部および流体継手の挿入部はそれぞれネジ部を備えており、タンク開口部位の開口部のネジ部と流体継手の挿入部のネジ部を螺合させることにより、タンク開口部位と流体継手とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手をタンク開口部位と螺合させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、螺合による締結力によりタンク開口部位と流体継手がしっかりと一体化されることから、タンク開口部位を備えるタンクと流体継手を備える継手一体型ユニットとの取り付け状態を強化することができる。そのため、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００２４】
（３）（１）に記載するタンク構造において、タンク開口部位および流体継手の挿入部はそれぞれ貫通孔を備えており、タンク開口部位の貫通孔内と流体継手の挿入部の貫通孔内との間で棒状の固定部材を貫通させることにより、タンク開口部位と流体継手とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手をタンク開口部位と固定部材により一体化させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、固定部材によりタンク開口部位と流体継手がしっかりと一体化されることから、タンク開口部位を備えるタンクと流体継手を備える継手一体型ユニットとの取り付け状態を強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００２５】
（４）（１）に記載するタンク構造において、タンク開口部位と流体継手とを溶接することにより、タンク開口部位と流体継手とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手をタンク開口部位と溶接により一体化させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、溶接によりタンク開口部位と流体継手がしっかりと一体化されることから、タンク開口部位を備えるタンクと流体継手を備える継手一体型ユニットとの取り付け状態を強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００２６】
（５）（１）から（４）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク開口部位と流体継手とを一体化させたときにタンク開口部位と流体継手とが当接するので、（１）から（４）に記載する効果に加えて、タンク開口部位と流体継手が当接し合ってしっかりと一体化されることから、タンク開口部位を備えるタンクと流体継手を備える継手一体型ユニットとの取り付け状態をより一層強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００２７】
（６）（１）から（５）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク容器の軸方向についてガス給排気流路の下端は液体供給流路の下端よりも高い位置にあるので、（１）から（５）に記載する効果に加えて、液体供給流路から供給される液体がガス給排気流路に回り込みにくくなることから、ガス給排気流路から液体やそのミスト状のガスが排気されるおそれがない効果が得られ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【００２８】
（７）（１）から（６）に記載するいずれか一つのタンク構造において、ガス給排気流路のタンク容器の軸方向における下端の流路径は液体供給流路の流路径よりも大きいので、（１）から（６）に記載する効果に加えて、ガス給排気流路内の流速を抑制することができることから、ガス給排気流路から液体やそのミスト状のガスが排気されるおそれがない効果が得られ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【００２９】
（８）（１）から（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、バルブ継手一体型集積ユニットに液体吐出流路を備えるので、（１）から（７）に記載する効果に加えて、予め液体吐出流路を備えた流体継手をタンク開口部位に固定するだけで、バルブ継手一体型集積ユニットとタンクを有するタンク構造を実現することができることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【００３０】
（９）（１）から（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク容器に液体吐出流路を備えるので、（１）から（７）に記載する効果に加えて、タンク構造の設置場所の状況に応じて装置の集積化を図ることができることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００３２】
＜実施例１のタンク構造の構成について＞
図２は本発明のタンク構造の外観図である。図２に示すように実施例１のタンク構造は、主にタンク１とバルブ継手一体型集積ユニット１０などから構成される。タンク１は、密閉蓋部品２とタンク容器４などから構成され、タンク容器４内を密閉するためにその開口側に密閉蓋部品２が装着されている。この密閉蓋部品２には内周面に小径部２ａ、ネジ部２ｂ、大径部２ｃを備える開口部が形成されている。バルブ継手一体型集積ユニット１０は、複数の流路（３０、３１、３２、３３、３４、３５、３６）や弁座４８が形成される流体継手１１と、液体の流量を制御する複数のバルブ（２１、２２、２３、２４、２５）から構成される。
【００３３】
ここで、図１は本発明のタンク構造の回路図である。タンク容器４の開口側には２点鎖線で示す密閉蓋部品２が装着され、その密閉蓋部品２には破線で示すバルブ継手一体型集積ユニット１０が装着されている。バルブ継手一体型集積ユニット１０には、破線で示す流体継手１１が構成されている。流体継手１１には、薬液をタンク１内へ供給するための液体供給流路（３１、３２）が繋がった液体供給流路３０と、タンク１内の薬液を圧送するためのエアやＮ２ガスを供給するガス供給流路３３及びタンク１内のエアやＮ２ガスを外へ排気するためのガス排気流路３４が繋がったガス給排気流路３６が形成されている。また、薬液をタンク１外へ吐出するための液体吐出流路３５も形成されている。そして、その流体継手１１に形成された液体供給流路３１にはバルブ２１、液体供給流路３２にはバルブ２２、ガス供給流路３３にはバルブ２３、ガス排気流路３４にはバルブ２４が連結されている。また、液体吐出流路３５にはバルブ２５が連結されている。さらに、バルブ２１には液体供給ライン５０、バルブ２２には液体供給ライン６０、バルブ２３にはガス供給ライン７０、及びバルブ２４にはガス排気ライン８０が接続されている。また、バルブ２５には液体吐出ライン９０が接続されている。なお、ガス供給ライン７０には減圧弁（不図示）、圧力計（不図示）が配管されている。
【００３４】
次に、図４及び図５は、こうしたタンク１とバルブ継手一体型集積ユニット１０とからなるタンク構造を具体的に示した図２のＡ−Ａ断面図（但し一部は外観図である）とＢ−Ｂ断面図（但し一部は外観図である）である。また、図３は流体継手１１の外観側面図である。バルブ継手一体型集積ユニット１０を構成する流体継手１１は、図３に示すように、角柱状のブロックであって、密閉蓋部品２の開口部の小径部２ａに挿入可能な円柱状の第１挿入部１１ａと、外周にネジが形成されるネジ部１１ｂと、密閉蓋部品２の開口部の大径部２ｃに挿入可能な円柱状の第２挿入部１１ｃとを備えている。このような流体継手１１は、密閉蓋部品２の開口部内にＯリングを保持した第１挿入部１１ａが入れられる。そして、ネジ部１１ｂを密閉蓋部品２の開口部に形成されるネジ部２ｂと螺合させ、締め込こむことによってブロック１１の第１挿入部１１ａが密閉蓋部品２の開口部の小径部２ａ内に気密に押し込まれる。そして同時に、第２挿入部１１ｃが密閉蓋部品２の開口部の大径部２ｃ内に押し込まれるようになっている。なお、第２挿入部１１ｃには、バルブ継手一体型集積ユニット１０の抜けや回り止めを防止するためのＯリングが配置されている。
【００３５】
流体継手１１には図４に示すように、液体供給流路３０と液体吐出流路３５とガス給排気流路３６とが底面に開口した縦孔として形成されている。液体供給流路３０は、その縦孔に横孔が分岐して液体供給流路３１と液体供給流路３２とが連通して形成され、ガス給排気流路３６も同様にその縦孔に横孔が分岐してガス供給流路３３とガス排気流路３４とが連通して形成されている。また、液体吐出流路３５はその縦孔が流体継手１１の上面近くまで形成される一方で、タンク容器４の底面近くまで形成されている。そして、図５に示すように、流体継手１１のブロック側面にあいた液体供給流路（３１、３２）の開口部やガス供給流路３３及びガス排気流路３４や液体吐出流路３５の開口部には弁座４８が形成されており、かつ同じ構造のバルブ（２１、２２、２３、２４、２５）がそれぞれ固定され、バルブ継手一体型集積ユニット１０が構成されている。このバルブはエアオペレイトバルブであり、圧縮エアによってピストン４４を動作させることで開閉を行なうものである。
【００３６】
バルブ（２１、２２、２３、２４、２５）は、ピストン４４を動作させる圧縮エアを給排気するエアポート（４２、４３）とが設けられた各ブロックが一体に組まれてボディ４５が形成されている。そして、バルブ２１のボディ４５内には、エアポート（４２、４３）からの圧縮エアによって可動するピストン４４が摺動可能に装填され、ピストン４４の先端に装着された弁体４６が流路４７の開口を閉弁し、ポート４１との連通を遮断するように構成されている。ボディ４５は、流体継手１１に対してボルトによってネジ止めされている。図１３に図３のＡ−Ａ断面図を示しておく。ここで、本発明ではその特徴点として、薬液ラインやガスラインと接続するポート４１が流体継手１１に形成されている。また、図５または図１３に示すように、流体継手１１の液体供給流路（３１、３２）の開口部やガス供給流路３３及びガス排気流路３４や液体吐出流路３５の開口部には、予め弁座４８が形成されている。そのため、バルブごとに弁座を備えた弁本体などを取り付ける必要がなくなり、流体継手１１へのバルブ（２１、２２、２３、２４、２５）の取り付けの際に要する部品を少なくすることができ、その取り付けも容易になる。
【００３７】
＜実施例１のタンク構造の作用について＞
続いて、この密閉蓋部品２とバルブ継手一体型集積ユニット１０をタンク１に装着したタンク構造の作用について説明する。
先ず、タンク１内に充填された薬液をタンク１の外へ吐出する場合、バルブ（２１、２２、２４）が閉じられてバルブ（２３、２５）が開けられる。バルブ（２１、２２、２３、２４、２５）は、エアポート４３へ作動エアが供給されるとピストン４４が流体継手１１側へ摺動し、先端の弁体４６が流路４７の開口に形成された弁座４８に当接して閉弁する。従って、流体継手１１の液体供給流路３０や液体吐出流路３５やガス給排気流路３６と、液体供給ライン５０などが接続されるポート４１との間が遮断される。一方、エアポート４２へ作動エアが供給された場合には、ピストン４４が流体継手１１から離れる方向へ摺動し、先端の弁体４６が流路４７の開口に形成された弁座４８から離間して開弁する。従って、流体継手１１の液体供給流路３０や液体吐出流路３５やガス給排気流路３６と、液体供給ライン５０などが接続されるポート４１との間が連通する。
【００３８】
そこで、ガス供給ライン７０から加圧されたＮ２ガス（あるいはエア）が流体継手１１のガス供給流路３３及びガス給排気流路３６を介してタンク１内送り込まれる。このとき四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ，ＰＦＡ）で形成されたタンク１は強度が弱いため、減圧弁（不図示）によって所定圧以上にならないようになっている。タンク１内では供給されたＮ２ガスによってガス層の圧力が高くなり、液層の薬液が上から加圧される。そのため、流体継手１１からタンク容器４の底部まで形成された液体吐出流路３５、バルブ２５、液体吐出ライン９０を通って薬液がタンク１外へと吐出される。このとき圧力計（不図示）によってタンク１内の薬液への加圧力を計測しながら供給ガスの圧力を調節することにより、液体吐出流路３５を通ってタンク１外へと吐出される薬液の圧力の調整が行われる。
【００３９】
次に、タンク１内へ薬液を充填する場合には、バルブ（２３、２５）が閉じられてバルブ（２１、２２、２４）が開けられる。そこで、液体供給ライン（５０、６０）を流れて送られた薬液は、開けられたバルブ（２１、２２）を通り、流体継手１１の液体供給流路３０を流れてタンク１内に供給される。タンク１内では薬液の供給によって液層の液面が上昇し、上方のガス層の容積が縮小することによってタンク１内のＮ２ガスが加圧される。そのため、タンク１内のＮ２ガスは流体継手１１のガス給排気流路３６へと流れ、バルブ２３が閉じている一方でバルブ２４が開けられているため、ガス供給流路３３へは流れずにガス排気流路３４側へと流れ、更にバルブ２４を通ってガス排気ライン８０から排出される。こうしてタンク１内にはＮ２ガスを排出しながら薬液が充填される。
【００４０】
よって、実施例１によれば、タンク容器４の開口側に装着する流体継手１１に液体供給流路３０や液体吐出流路３５やガス給排気流路３６および弁座４８などを形成し、かつバルブ（２１、２２、２３、２４、２５）を取り付けたバルブ継手一体型集積ユニット１０として構成したので、簡素な構成の流体継手とすることができる。また、ネジ部１１ｂを密閉蓋部品２の開口部に形成されるネジ部２ｂと螺合させ、締め込むことによって流体継手１１の第１挿入部１１ａが密閉蓋部品２の開口部の小径部２ａ内に、第２挿入部１１ｃが密閉蓋部品２の開口部の大径部２ｃ内に気密に押し込まれることによって装着することができる極めて取り扱いが簡単なものであるとともに、タンク１へのバルブ継手一体型集積ユニット１０の取り付け状態を強化することができる。そして、簡単な取り付けによって従来に比べて加工費を格段に低減させることができる。また、タンク容器４に取り付けられた密閉蓋部品２にはバルブ継手一体型集積ユニット１０を装着するだけでよいため、従来のように複数の継手を取り付けるものに比べて液漏れやガス漏れに対する管理が容易となった。
一方、流体継手１１にバルブ（２１、２２、２３、２４、２５）を一体にしたバルブ継手一体型集積ユニット１０では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン（５０、６０、７０、８０、９０）によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができる。そして、集積化したことによって、一箇所にバルブ（２１、２２、２３、２４、２５）が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。
以上のように、タンク構造について少ない部品にて省スペースで集積化を図るとともに、タンク１へのバルブ継手一体型集積ユニット１０の取り付け状態を強化することができる。
【００４１】
また、図４に示すように、流体継手１１の下面１１ｅと密閉蓋部品２の上面を当接させてバルブ継手一体型集積ユニット１０を密閉蓋部品２に取り付けることになる。これにより、流体継手１１の下面と密閉蓋部品２の上面との間に空間がなくなり、流体継手１１は密閉蓋部品２にしっかりと固定されることになる。そのため、タンク１へのバルブ継手一体型集積ユニット１０の取り付け状態を強化することができる。
【００４２】
なお、密閉蓋部品２にバルブ継手一体型集積ユニット１０を取り付ける仕様として、図６や図７に示すように棒状の固定部材３を流体継手１１に貫通させる方法も考えられる。これによっても、タンク１とバルブ継手一体型集積ユニット１０との取り付け状態を強化することができる。なお、その他、溶接により取り付けてもよい。
【００４３】
また、図４に示すように、液体供給流路３０の下端はガス給排気流路３６の下端に比べて長く形成されている。そのため、液体供給流路３０から供給される液体が直接的にガス給排気流路３６に回り込みにくくなり、ガス給排気流路３６から排気ガスとともに供給した薬液やそのミスト状のガスが排気しなくなる。さらに、図４に示すようにガス給排気流路３６の下端の部分の流路径を大きくしている。そしてこの流路径は、液体供給流路３０における流路径よりも大きくしている。そのため、ガス給排気流路３６の下端の部分のガスの流速を抑制することができるので、液体供給流路３０から供給される液体がガス給排気流路３６に回り込みにくくなる。従って、ガス給排気流路３６から排気ガスとともに供給した薬液やミスト状の液体ガスが排気しなくなる。
【００４４】
＜実施例１のタンク構造の効果について＞
以上のような実施例１により以下のような効果が得られる。
（１）薬液を貯蔵するタンク容器４と、タンク容器４に貯蔵する薬液を供給する液体供給流路３０と、タンク容器４に貯蔵される薬液を吐出する液体吐出流路３５と、ガスを供給または排気するガス給排気流路３６とを有するタンク構造において、流量を制御するバルブ（２１、２２、２３、２４、２５）を備え、かつ液体供給流路３０とガス給排気流路３６と弁座４８が設けられる流体継手１１を備えるバルブ継手一体型集積ユニット１０を有し、タンク容器４を備え、かつ流体継手１１の挿入部（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）が挿入されて固定される開口部（２ａ、２ｂ、２ｃ）が設けられる密閉蓋部品２を備えるタンク１を有するので、予め弁座４８を備えた流体継手１１を密閉蓋部品２に固定するだけで、バルブ継手一体型集積ユニット１０とタンク１を有するタンク構造を実現することができることから、少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができ、前記の本発明の目的（１）を達成することができる。
【００４５】
（２）（１）に記載するタンク構造において、密閉蓋部品２の開口部（２ａ、２ｂ、２ｃ）および流体継手１１の挿入部（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）はそれぞれネジ部（２ｂ、１１ｂ）を備えており、密閉蓋部品２の開口部（２ａ、２ｂ、２ｃ）のネジ部２ｂと流体継手１１の挿入部（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）のネジ部１１ｂを螺合させることにより、密閉蓋部品２と流体継手１１とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手１１を密閉蓋部品２と螺合させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、螺合による締結力により密閉蓋部品２と流体継手１１がしっかりと一体化されることから、密閉蓋部品２を備えるタンク１と流体継手１１を備える継手一体型ユニット１０との取り付け状態を強化することができる。そのため、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００４６】
（３）（１）に記載するタンク構造において、密閉蓋部品２および流体継手１１の挿入部（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）はそれぞれ貫通孔を備えており、密閉蓋部品２の貫通孔内と流体継手１１の挿入部の貫通孔内との間で棒状の固定部材３を貫通させることにより、密閉蓋部品２と流体継手１１とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手１１を密閉蓋部品２と固定部材３により一体化させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、固定部材３により密閉蓋部品２と流体継手１１がしっかりと一体化されることから、密閉蓋部品２を備えるタンク１と流体継手１１を備える継手一体型ユニット１０との取り付け状態を強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００４７】
（４）（１）に記載するタンク構造において、密閉蓋部品２と流体継手１１とを溶接することにより、密閉蓋部品２と流体継手１１とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手１１を密閉蓋部品２と溶接により一体化させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、溶接により密閉蓋部品２と流体継手１１がしっかりと一体化されることから、密閉蓋部品２を備えるタンク１と流体継手１１を備える継手一体型ユニット１０との取り付け状態を強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００４８】
（５）（１）から（４）に記載するいずれか一つのタンク構造において、密閉蓋部品２と流体継手１１とを一体化させたときに密閉蓋部品２と流体継手１１とが当接するので、（１）から（４）に記載する効果に加えて、密閉蓋部品２と流体継手１１が当接し合ってしっかりと一体化されることから、密閉蓋部品２を備えるタンク１と流体継手１１を備える継手一体型ユニット１０との取り付け状態をより一層強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００４９】
（６）（１）から（５）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク容器４の軸方向についてガス給排気流路３６の下端は液体供給流路３０の下端よりも高い位置にあるので、（１）から（５）に記載する効果に加えて、液体供給流路３０から供給される薬液がガス給排気流路３６に回り込みにくくなることから、ガス給排気流路３６から薬液やそのミスト状のガスが排気されるおそれがない効果が得られ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【００５０】
（７）（１）から（６）に記載するいずれか一つのタンク構造において、ガス給排気流路３６のタンク容器４の軸方向における下端の流路径は液体供給流路３０の流路径よりも大きいので、（１）から（６）に記載する効果に加えて、ガス給排気流路３６内の流速を抑制することができることから、ガス給排気流路３６から薬液やそのミスト状のガスが排気されるおそれがない効果が得られ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【００５１】
（８）（１）から（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、バルブ継手一体型集積ユニット１０に液体吐出流路３５を備えるので、（１）から（７）に記載する効果に加えて、予め液体吐出流路３５を備えた流体継手１１を密閉蓋部品２に固定するだけで、バルブ継手一体型集積ユニット１０とタンク１を有するタンク構造を実現することができることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【実施例２】
【００５２】
次に、実施例２について説明する。
＜実施例２のタンク構造の構成について＞
図１４は、実施例２のタンク構造の回路図であり、図１６は、実施例２のタンク構造の上面図であり、図１７は、実施例２のタンク構造の断面図（図１８のＢ−Ｂ断面図、但し一部は外観図）であり、図１８は、実施例２のタンク構造の外観側面図（但し一部は図１７のＡ−Ａ断面図）である。なお、前記の実施例１と同様の構成については同じ符号を付して説明する。
タンク容器４の開口側には、前記の実施例１と同様にして、流体継手１３をベースブロックにしたバルブ継手一体型集積ユニット１２が装着されている。そして、実施例２では、タンク１に貯蔵される薬液を吐出する液体吐出流路３７とバルブ２５は、バルブ継手一体型集積ユニット１２内に配置されておらず、タンク１の下面に配置されている。その他の構成については、前記の実施例１と同様なため説明を省略する。
【００５３】
＜実施例２のタンク構造の作用について＞
続いて、この密閉蓋部品２とバルブ継手一体型集積ユニット１２をタンク１に装着したタンク構造の作用について説明する。
先ず、タンク１内に充填された薬液をタンク１の外へ吐出する場合、バルブ（２１、２２、２４）が閉じられてバルブ（２３、２５）が開けられる。ガス供給ライン７０から流体継手１３のガス供給流路３３及びガス給排気流路３６を介してタンク１内にＮ２ガスが送り込まれ、供給ガスによって液層が加圧されて薬液が、タンク１の底部から液体吐出流路３７とバルブ２５を通ってタンク１の外へ吐出される。この場合も、圧力計（不図示）によってタンク１内の薬液の加圧力を計測しながら供給ガスの圧力を調整することにより、液体吐出流路３７とバルブ２５を通ってタンク１の外へ吐出される薬液の圧力や流量の調整が行われる。
【００５４】
一方、タンク１内へ薬液を充填する場合には、バルブ（２３、２５）が閉じられてバルブ（２１、２２、２４）が開けられる。そこで、液体供給ライン（５０、６０）を流れて送られた薬液は、開けられたバルブ（２１、２２）を通り、流体継手１３の液体供給流路３０を流れてタンク１内に供給される。タンク１内では薬液の供給によって液層の液面が上昇し、上方のガス層の容積が縮小することによってタンク１内のＮ２ガスが加圧される。そのため、タンク１内のＮ２ガスは流体継手１３のガス給排気流路３６へと流れ、バルブ２３が閉じている一方でバルブ２４が開けられているため、ガス供給流路３３へは流れずにガス排気流路３４側へと流れ、更にバルブ２４を通ってガス排気ライン８０から排出される。こうしてタンク１内にはＮ２ガスを排出しながら薬液が充填される。
【００５５】
よって、実施例２では液体吐出流路３７とバルブ２５とがタンク１の下面に配置されている点では前記の実施例１とは異なるが、前記の実施例１と同様に、タンク容器４の開口側に装着するブロック体に流体継手１３に液体供給流路３０やガス給排気流路３６および弁座４８などを形成し、かつバルブ（２１、２２、２３、２４）を取り付けたバルブ継手一体型集積ユニット１２として構成したので、簡素な構成の流体継手とすることができる。また、ネジ部１１ｂを密閉蓋部品２の開口部に形成されるネジ部２ｂと螺合させ、締め込むことによって流体継手１３の第１挿入部１３ａが密閉蓋部品２の開口部の小径部２ａ内に、第２挿入部１３ｃが密閉蓋部品２の開口部の大径部２ｃ内に気密に押し込まれることによって装着することができる極めて取り扱いが簡単なものであるとともに、タンク１へのバルブ継手一体型集積ユニット１２の取り付け状態を強化することができる。そして、簡単な取り付けによって従来に比べて加工費を格段に低減させることができる。また、タンク容器４に取り付けられた密閉蓋部品２にはバルブ継手一体型集積ユニット１２を装着するだけでよいため、従来のように複数の継手を取り付けるものに比べて液漏れやガス漏れに対する管理が容易となった。
【００５６】
一方、流体継手１３にバルブ（２１、２２、２３、２４）を一体にしたバルブ継手一体型集積ユニット１２では、煩雑だったタンク周りを簡素化することができ、ライン（５０、６０、７０、８０）によって構成される流体回路のスペースを縮小させることができる。そして、集積化したことによって、一箇所にバルブ（２１、２２、２３、２４）が集中して交換などが容易になってメンテナンス性が向上した。
また、タンク容器４に液体吐出流路３５を備えることにより、タンク構造の設置場所の状況に応じて装置の集積化を図ることができる。
以上のように、タンク構造について少ない部品にて省スペースで集積化を図るとともに、タンク１へのバルブ継手一体型集積ユニット１２の取り付け状態を強化することができる。
【００５７】
また、図１７に示すように、流体継手１３の下面１３ｅと密閉蓋部品２の上面を当接させてバルブ継手一体型集積ユニット１２を密閉蓋部品２に取り付けることになる。これにより、流体継手１３の下面と密閉蓋部品２の上面との間に空間がなくなり、流体継手１３は密閉蓋部品２にしっかりと固定されることになる。そのため、タンク１へのバルブ継手一体型集積ユニット１２の取り付け状態を強化することができる。
【００５８】
なお、密閉蓋部品２にバルブ継手一体型集積ユニット１２を取り付ける仕様として、前記の実施例１と同様に、図６や図７に示すように棒状の固定部材３を流体継手１３に貫通させる方法も考えられる。これによっても、タンク１とバルブ継手一体型集積ユニット１２との取り付け状態を強化することができる。なお、その他、溶接により取り付けてもよい。
【００５９】
その他、ガス給排気流路３６から排気ガスとともに供給した薬液やミスト状の液体ガスが排気しなくなる効果も、前記の実施例１と同様の理由から得ることができる。
【００６０】
また、少し変形した例として、図１５、図１９、図２０に示すように、タンク１に貯蔵される薬液を吐出する液体吐出流路３８とバルブ２５を、タンク１の下部側面に配置した場合も考えられる。ここで、図１５はこの場合のタンク構造の回路図であり、図１９は、この場合のタンク構造の断面図（図２０のＢ−Ｂ断面図、但し一部は外観図）であり、図２０は、この場合のタンク構造の外観側面図（但し一部は図１９のＡ−Ａ断面図）である。その他の構成や、作用および効果は、前記のような液体吐出流路３７とバルブ２５をタンク１の下面に配置した場合と共通するため、以下説明は省略する。
【００６１】
＜実施例２のタンク構造の効果について＞
以上のような実施例２により以下のような効果が得られる。
（１）薬液を貯蔵するタンク容器４と、タンク容器４に貯蔵する薬液を供給する液体供給流路３０と、タンク容器４に貯蔵される薬液を吐出する液体吐出流路３５と、ガスを供給または排気するガス給排気流路３６とを有するタンク構造において、流量を制御するバルブ（２１、２２、２３、２４）を備え、かつ液体供給流路３０とガス給排気流路３６と弁座４８が設けられる流体継手１３を備えるバルブ継手一体型集積ユニット１２を有し、タンク容器４を備え、かつ流体継手１３の挿入部（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）が挿入されて固定される開口部（２ａ、２ｂ、２ｃ）が設けられる密閉蓋部品２を備えるタンク１を有するので、予め弁座４８を備えた流体継手１３を密閉蓋部品２に固定するだけで、バルブ継手一体型集積ユニット１２とタンク１を有するタンク構造を実現することができることから、少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができ、前記の本発明の目的（１）を達成することができる。
【００６２】
（２）（１）に記載するタンク構造において、密閉蓋部品２の開口部（２ａ、２ｂ、２ｃ）および流体継手１３の挿入部（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）はそれぞれネジ部（２ｂ、１３ｂ）を備えており、密閉蓋部品２の開口部（２ａ、２ｂ、２ｃ）のネジ部２ｂと流体継手１３の挿入部（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）のネジ部１３ｂを螺合させることにより、密閉蓋部品２と流体継手１３とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手１３を密閉蓋部品２と螺合させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、螺合による締結力により密閉蓋部品２と流体継手１３がしっかりと一体化されることから、密閉蓋部品２を備えるタンク１と流体継手１３を備える継手一体型ユニット１２との取り付け状態を強化することができる。そのため、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００６３】
（３）（１）に記載するタンク構造において、密閉蓋部品２および流体継手１３の挿入部（１３ａ、１３ｂ、１３ｃ）はそれぞれ貫通孔を備えており、密閉蓋部品２の貫通孔内と流体継手１３の挿入部の貫通孔内との間で棒状の固定部材３を貫通させることにより、密閉蓋部品２と流体継手１３とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手１３を密閉蓋部品２と固定部材３により一体化させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、固定部材３により密閉蓋部品２と流体継手１３がしっかりと一体化されることから、密閉蓋部品２を備えるタンク１と流体継手１３を備える継手一体型ユニット１２との取り付け状態を強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００６４】
（４）（１）に記載するタンク構造において、密閉蓋部品２と流体継手１３とを溶接することにより、密閉蓋部品２と流体継手１３とを一体化させるので、（１）に記載する効果に加えて、直接に流体継手１３を密閉蓋部品２と溶接により一体化させることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができる。また、溶接により密閉蓋部品２と流体継手１３がしっかりと一体化されることから、密閉蓋部品２を備えるタンク１と流体継手１３を備える継手一体型ユニット１２との取り付け状態を強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００６５】
（５）（１）から（４）に記載するいずれか一つのタンク構造において、密閉蓋部品２と流体継手１３とを一体化させたときに密閉蓋部品２と流体継手１３とが当接するので、（１）から（４）に記載する効果に加えて、密閉蓋部品２と流体継手１３が当接し合ってしっかりと一体化されることから、密閉蓋部品２を備えるタンク１と流体継手１３を備える継手一体型ユニット１２との取り付け状態をより一層強化することができ、前記の本発明の目的（１）および（２）を達成することができる。
【００６６】
（６）（１）から（５）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク容器４の軸方向についてガス給排気流路３６の下端は液体供給流路３０の下端よりも高い位置にあるので、（１）から（５）に記載する効果に加えて、液体供給流路３０から供給される薬液がガス給排気流路３６に回り込みにくくなることから、ガス給排気流路３６から薬液やそのミスト状のガスが排気されるおそれがない効果が得られ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【００６７】
（７）（１）から（６）に記載するいずれか一つのタンク構造において、ガス給排気流路３６のタンク容器４の軸方向における下端の流路径は液体供給流路３０の流路径よりも大きいので、（１）から（６）に記載する効果に加えて、ガス給排気流路３６内の流速を抑制することができることから、ガス給排気流路３６から薬液やそのミスト状のガスが排気されるおそれがない効果が得られ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【００６８】
（８）（１）から（７）に記載するいずれか一つのタンク構造において、タンク容器４に液体吐出流路３５を備えるので、（１）から（７）に記載する効果に加えて、タンク構造の設置場所の状況に応じて装置の集積化を図ることができることから、より一層少ない部品にて省スペースで集積化を図ることができ、前記の本発明の目的（１）、（２）、（３）を達成することができる。
【００６９】
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様
々な変更が可能である。例えば、以下の変更が可能である。
（１）図２２および図２３に示すように、タンク１の下面または下部側面に液体吐出流路３９のみを形成して、バルブは薬液の吐出先においては位置することとしてもよい。この場合、その他のタンク構造の構成や作用、効果は実施例２および実施例３の内容と共通するため、以下説明は省略する。
（２）また、実施例１、実施例２、実施例３においては、タンク１と別部品であって開口部を有する密閉蓋部品２を使用したが、このような、密閉蓋部品２を使用せずに、開口部を有するタンクとして一体成形したものを使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明のタンク構造の回路図である。
【図２】本発明のタンク構造の外観図である。
【図３】流体継手の外観側面図である。
【図４】図２のＡ−Ａ断面図（但し一部は外観図）である。
【図５】図２のＢ−Ｂ断面図（但し一部は外観図）である。
【図６】固定部材により密閉蓋部品にバルブ継手一体型集積ユニットを取り付ける仕様を示す断面図（但し一部は外観図）である。
【図７】固定部材により密閉蓋部品にバルブ継手一体型集積ユニットを取り付ける仕様を示す断面図（但し一部は外観図）である。
【図８】先の出願にかかる関連発明においてタンクに継手一体型集積ユニットを介して流体ラインが接続された状態を示した回路図である。
【図９】先の出願にかかる関連発明において流体継手及び継手一体型集積ユニットを装着したタンクを示した外観斜視図である。
【図１０】図９のＡ−Ａ断面図である。
【図１１】タンクを用いた液体供給調整システムを示した概念図である。
【図１２】従来の流体継手が装着されたタンクを示した外観斜視図である。
【図１３】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図１４】液体吐出流路をタンク下面に取り付けたタンク構造の回路図である。
【図１５】液体吐出流路をタンク下部側面に取り付けたタンク構造の回路図である。
【図１６】液体吐出流路をタンク下面または下部側面に取り付けたタンク構造の上面図である。
【図１７】液体吐出流路およびバルブをタンク下面に取り付けたタンク構造の断面図（図１８のＢ−Ｂ断面図、但し一部は外観図）である。
【図１８】液体吐出流路およびバルブをタンク下面に取り付けたタンク構造の外観側面図（但し一部は図１７のＡ−Ａ断面図）である。
【図１９】液体吐出流路およびバルブをタンク下部側面に取り付けたタンク構造の断面図（図２０のＢ−Ｂ断面図、但し一部は外観図）である。
【図２０】液体吐出流路およびバルブをタンク下部側面に取り付けたタンク構造の外観側面図（但し一部は図１９のＡ−Ａ断面図）である。
【図２１】液体吐出流路およびバルブをタンク下部側面に取り付けたタンク構造において、タンク構造の下部からみた外観図である。
【図２２】液体吐出流路のみをタンク下部または下部側面に取り付けたタンク構造の断面図（図２３のＢ−Ｂ断面図、但し一部は外観図）である。（バルブは別の場所に配置する。）
【図２３】液体吐出流路のみをタンク下部または下部側面に取り付けたタンク構造の外観側面図（但し一部は図２２のＡ−Ａ断面図）である。（バルブは別の場所に配置する。）
【符号の説明】
【００７１】
１  タンク
２  密閉蓋部品
４  タンク容器
１０  バルブ継手一体型集積ユニット
１１  流体継手
１２  バルブ継手一体型集積ユニット
１３  流体継手
２１〜２５  バルブ
３１  液体供給流路
３２  液体供給流路
３３  ガス供給流路
３４  ガス排気流路
３５  液体吐出流路
３６  ガス給排気流路
５０  液体供給ライン
６０  液体供給ライン
７０  ガス供給ライン
８０  ガス排気ライン
９０  液体吐出ライン
【図１】
2006307944.tif 000003
【図２】
2006307944.tif 000004
【図３】
2006307944.tif 000005
【図４】
2006307944.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2006307944.tif 000009
【図８】
2006307944.tif 000010
【図９】
2006307944.tif 000011
【図１０】
2006307944.tif 000012
【図１１】
2006307944.tif 000013
【図１２】
2006307944.tif 000014
【図１３】
2006307944.tif 000015
【図１４】
2006307944.tif 000016
【図１５】
2006307944.tif 000017
【図１６】
2006307944.tif 000018
【図１７】
2006307944.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2006307944.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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