(57)【要約】 【課題】  製造コストを大幅に低減したレーザーダイオードモジュールの小型化に寄与できるレンズ機能付き光アイソレータ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】  光アイソレータの球状研磨において、実際に使用するビーム有効領域以外に、溝を施した部材１０１と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２として、ＳｉＯ2からなる酸化物セラミックスあるいは強磁性体を用いる。これらの部材を使用することで、製造コストの大半を占める結晶の透過面積を１／１０以下にし、製造コストを大幅に低減する。また、強磁性体を用いた溝を施した部材１０１と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２により、磁石機能をもたせ、内部の光アイソレータ３の光を通過させる光学面だけを露出させる。これにより、内部の非相反ファラデー回転素子７を磁気飽和させることが可能となり、素子全体の小型化を図り、信頼性の高い構造が実現できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光の偏光を回転させる非相反ファラデー回転素子と、その両側に配置された特定偏光を選択する２枚の偏光子から構成される光アイソレータにおいて、溝を施した部材に前記光アイソレータを前記溝に沿って配置し、前記溝に沿って配置された光アイソレータの露出部分を覆う別の部材を配置し、角柱状とした後で全体を球状研磨したことを特徴とするレンズ機能付き光アイソレータ。
【請求項２】
前記溝を施した部材及び前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材にＳｉＯ2を主成分とする酸化物セラミックスを用いたことを特徴とする請求項１記載のレンズ機能付き光アイソレータ。
【請求項３】
前記溝を施した部材及び前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材に強磁性体を用い、その強磁性体部材を磁化したことを特徴とする請求項１記載のレンズ機能付き光アイソレータ。
【請求項４】
前記強磁性体部材の磁化容易軸方向に、前記光アイソレータ内部の非相反ファラデー回転素子を磁気飽和したことを特徴とする請求項１記載のレンズ機能付き光アイソレータ。
【請求項５】
前記溝を施した部材と前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材において、１つ以上の一部または全面を着色もしくは異なる色にしたことを特徴とする請求項１記載のレンズ機能付き光アイソレータ。
【請求項６】
請求項１記載の光アイソレータにおいて、球状かつ鏡面研磨後に前記溝を施した部材と前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材を取り外したとを特徴とする請求項１記載のレンズ機能付き光アイソレータ。
【請求項７】
光の偏光を回転させる非相反ファラデー回転素子と、その両側に配置された特定偏光を選択する２枚の偏光子から構成される光アイソレータにおいて、球状かつ鏡面研磨後に前記溝を施した部材と前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材を取り外す工程を備えることを特徴とする請求項１記載のレンズ機能付き光アイソレータの製造方法。
【請求項８】
前記溝を施した部材と前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材において、２つ以上の少なくとも一部に、レンズ加工後の寸法を超えない幅で、かつ光アイソレータチップに到達しない深さの切り込みを入れる工程を備えることを特徴とする請求項１記載のレンズ機能付き光アイソレータの製造方法。
【請求項９】
前記切り込みの方向を前記偏光子の偏光方向に対して特定の方向に入れることを特徴とする請求項８記載のレンズ機能付き光アイソレータの製造方法。
【請求項１０】
前記切り込みの方向を偏光方向の指示方法とすることを特徴とする請求項８記載のレンズ機能付き光アイソレータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光アイソレータ及び光アイソレータの製造方法に関し、特に光通信分野において使用するのに好適な光アイソレータ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体発振素子に代表される光を発振する光源の多くは、光回路を逆進する反射戻り光によって、その発振が不安定になり、発振光の雑音の発生や出力の不安定といった現象を生じる。この反射戻り光を遮断するために、出射方向の光は透過し、戻り光を遮断する非相反素子である光イソレータが使われている。
【０００３】
この光アイソレータに内蔵する非相反回転素子は、ファラデー回転素子と称する。このファラデー回転素子は、Ｃ軸と称する結晶軸に平行なベクトル成分に対して非相反回転機能を有する。発散または集光するような角度を持つ光は、ファラデー回転素子のＣ軸方向成分の偏光回転角度をもつ。光アイソレータを作製する際には、この発散及び集光角度を考慮して調整を行う。その発散及び集光角度が一定でないことや、生産性の問題から平行光束を対象とするものが多い。
【０００４】
図４は、一般的な光アイソレータの構成例を示したものである。平行光束を対象とする光アイソレータ３を用いるときは、前後に光線束を発散または収束させて実像または虚像を結ぶレンズ２を配置してビーム光束４を調整してから光アイソレータ３を通過させ、再び集光してフェルール５の光回路端に入力する方法が一般的に用いられている（図４）。
【０００５】
このようなレンズを用いた構造は複雑なので、組み立ての生産性が著しく劣化する。そのために、光アイソレータに使用する偏光子の片側の光線束を発散または収束させて実像または虚像を結んでレンズ化する手法が用いられる。この手法は、１方の偏光子に曲面加工を施す方法である。この方法の先行例として、特許文献１がある。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−９０２８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した特許文献１にかかる光アイソレータの場合、片側に平面の偏光子を有するので、光アイソレータ素子の傾きにより光の調芯位置が大きく変動しやすく、高精度の高価な調芯工程を必要とし、小型のパッケージ設計に大きな制約を与えていた。また、側面固定なので、その側面の平面加工が必要になり、生産性を悪化させていた。この問題の解決には、非相反ファラデー回転素子７を挟んだ２枚の偏光子６で構成される光アイソレータ３を角柱状に切り出し、その両面を曲面に加工することで２枚のレンズ機能を持たせる方法である。図３は、この方法でレンズ機能を持たせた光アイソレータの光路図を示している。この方法は、大量同時加工が可能なので、製造工数を大幅に低減することができる。また、２カ所の曲面を通過する構造なので、収差の発生を抑制できる。
【０００８】
しかしながら、この方法では、削り取ってしまう部材の量が多いことや、切り出し前の大きさの制約から通常素子の切り出し数量が制限され、材料コストが増加する。特に、使用されるファラデー回転素子や偏光板は高価なので、価格の設定に大きく寄与する問題があった。
【０００９】
本発明は、このような問題点を解決すべくなされたもので、その技術的課題は、製造コストを大幅に低減したレーザーダイオードモジュールの小型化に寄与できるレンズ機能付き光アイソレータ及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するための第１の発明は、光の偏光を回転させる非相反ファラデー回転素子と、その両側に配置された特定偏光を選択する２枚の偏光子から構成される光アイソレータにおいて、溝を施した部材に前記光アイソレータを前記溝に沿って配置し、前記溝に沿って配置された光アイソレータの露出部分を覆う別の部材を配置し、角柱状とした後で全体を球状研磨したレンズ機能付き光アイソレータである。
【００１１】
更に、上記目的を達成するための第２の発明は、前記溝を施した部材及び前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材にＳｉＯ2を主成分とする酸化物セラミックスを用いたレンズ機能付き光アイソレータである。
【００１２】
更に、上記目的を達成するための第３の発明は、前記溝を施した部材及び前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材に強磁性体を用い、その強磁性体部材を磁化したレンズ機能付き光アイソレータである。
【００１３】
更に、上記目的を達成するための第４の発明は、前記強磁性体部材の磁化容易軸方向に、前記光アイソレータ内部の非相反ファラデー回転素子を磁気飽和したレンズ機能付き光アイソレータである。
【００１４】
更に、上記目的を達成するための第５の発明は、前記溝を施した部材と前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材において、１つの以上の一部または全面を着色もしくは異なる色にしたレンズ機能付き光アイソレータである。
【００１５】
更に、上記目的を達成するための第６の発明は、前記光アイソレータにおいて、球状かつ鏡面研磨後に前記溝を施した部材と前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材を取り外したレンズ機能付き光アイソレータである。
【００１６】
更に、上記目的を達成するための第７の発明は、光の偏光を回転させる非相反ファラデー回転素子と、その両側に配置された特定偏光を選択する２枚の偏光子から構成される光アイソレータにおいて、球状かつ鏡面研磨後に前記溝を施した部材と前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材を取り外す工程を備えるレンズ機能付き光アイソレータの製造方法である。
【００１７】
更に、上記目的を達成するための第８の発明は、前記溝を施した部材と前記光アイソレータの露出部分を覆う別の部材において、２つ以上の少なくとも一部に、レンズ加工後の寸法を超えない幅で、かつ光アイソレータチップに到達しない深さの切り込みを入れる工程を備えたレンズ機能付き光アイソレータの製造方法である。
【００１８】
更に、上記目的を達成するための第９の発明は、前記切り込みの方向を前記偏光子の偏光方向に対して特定の方向に入れるレンズ機能付き光アイソレータの製造方法である。
【００１９】
更に、上記目的を達成するための第１０の発明は、前記切り込みの方向を偏光方向の指示方法とするレンズ機能付き光アイソレータの製造方法である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係るレンズ機能付き光アイソレータによれば、その特性を劣化させることなく２枚の偏光子の曲面化が可能であり、レーザーダイオード素子のパッケージ等に内蔵するレンズを省略しても機能が劣化しない。また、溝を施した部材と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材を使用することで、製造コストの大半を占める結晶の透過面積を１／１０以下にできるので、製造コストを大幅に低減できる。
【００２１】
さらに、溝を施した部材と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材に強磁性体を用いることで、磁石機能を持たせ、内部ファラデー回転素子を磁気飽和させることが可能となり、素子全体の小型化に大いに寄与でき、内部光アイソレータチップの光を通過させる光学面だけを露出した信頼性の高い構造が実現できる。また、溝を施した部材と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材の一部着色や溝加工により、偏光子の偏光方向を目視により容易に確認できる製造方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１に、本発明のレンズ機能付き光アイソレータの製造方法の概念図を示す。本発明の最良の形態に係るレンズ機能付き光アイソレータは、光の偏光を回転させる非相反ファラデー回転素子７と、その両側に配置された特定偏光を選択する２枚の偏光子６からなる非相反光学素子から構成される光アイソレータ３において、溝を施した部材１０１にこの光アイソレータ３を溝に沿って配置し、この溝に沿って配置された光アイソレータ３の露出部分を覆う別の部材１０２を配置し、全体を球状研磨することでレンズ機能付き光アイソレータを作製する。
【００２３】
通常、光アイソレータを通過する光は、ビーム直径が数百ミクロンである。光アイソレータを通過する光のビーム径に必要なレンズの曲率は、直径にして１．０〜２．５ｍｍである。球状の加工にすると直径１．０〜２．５ｍｍの光アイソレータ機能を内蔵したレンズは作製できる。しかし、ビームが通過する部分は一部分であり、その他の部位の材料は無駄になる。光アイソレータを通過するレーザ光の有効領域のみに光アイソレータ機能を持たせ、それ以外の部分は光アイソレータ機能を有しない擬似部材を使用することで、材料費を大幅に低減できる。
【００２４】
内蔵する光アイソレータ３の全面を露出した状態では、高温で溶かした樹脂を使用する次工程で、光アイソレータ３の無反射コートや接着層が劣化する問題が発生する。そこで、本発明では、使用する部材に溝を設け、その溝内に光アイソレータ３を配置し、更に露出した光アイソレータ３を覆う別の部材を配置したことを特徴としている。その結果、切削加工が可能になるため、型を必要とせず、いろいろな形の形成が可能になる。このような部材を使用することで、内部の光アイソレータ３の光を通過させる光学面だけを露出する。
【００２５】
本発明の最良の形態に係る溝を施した部材と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材は、ＳｉＯ2を主成分とする酸化物セラミックスや内部の光アイソレータ３内の非相反素子を磁気飽和できるフェライト等の強磁性体を用いる。この強磁性体の磁化容易軸方向に光アイソレータ内部の非相反ファラデー回転素子７が充分に磁気飽和できるように磁化することで、磁石機能を持たせ、素子全体の小型化に大いに寄与できるレンズ機能付き光アイソレータ及びその製造方法の提供が可能となる。
【００２６】
また、溝を施した部材と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材の一部を着色または異なる色にすることで、レンズ化された後の偏光子６の偏光方向を特定することができる。これらの部材は球状の鏡面研磨後に取り外すことも可能である。
【実施例１】
【００２７】
本発明の実施例１について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施例に用いたレンズ機能付き光アイソレータの製造方法の概念図である。図２は、本発明の球状の光アイソレータの概念図である。図３は、ＬＤに内蔵する場合のレンズ機能付き光アイソレータの光路計算図である。図５は、本発明の実施例１に用いた測定系図である。
【００２８】
非相反ファラデー回転素子７としてＧｄＢｉＩＧガーネット膜を用いた。このガーネット膜は膜厚３４２（±２）μｍで光の波長１．３１μｍで４５°の回転角を持ち、使用する接着剤との反射を考慮して、両面屈折率１．５の無反射コートを施している。偏光子６として厚さ０．９ｍｍのルチル単結晶板を用い、空気との屈折率差による反射を考慮して片面屈折率１．０、使用する接着剤との反射を考慮して片面屈折率１．５の無反射コートを施した。このＧｄＢｉＩＧガーネット膜及びルチル単結晶板に施した無反射コートの設定波長は１３１０ｎｍである。使用したＧｄＢｉＩＧガーネット膜とルチル単結晶板は□１１ｍｍの寸法にした。
【００２９】
まず、屈折率１．５の無反射コートを施した一枚のルチル単結晶板側にエポッテック社の３５３ＮＤ有機接着剤を塗布し、ＧｄＢｉＩＧガーネット膜をそれぞれの端辺を合わせて接着固定した。次に、屈折率１．５の無反射コートを施したもう一方のルチル単結晶板側にエポッテック社の３５３ＮＤ有機接着剤を塗布し、ＧｄＢｉＩＧガーネット膜側に接着した。接着剤の硬化前に、検光子側のルチル単結晶板からレーザ光を入射し、磁場を印加して、その消光比が最大になるようにルチル単結晶板の偏光軸合わせを行い、固定した状態で熱硬化した。
【００３０】
次に、溝を施した部材１０１と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２として、２種類のＢＫ７ガラスを用いた。１種類は薄く着色している。このガラスをそれぞれ厚さ１．１ｍｍに研磨し、□２．２ｍｍにダイシングソーによって研削加工した。この研削された□２．２ｍｍ部材の中央に幅０．７２ｍｍ、深さ０．３６ｍｍの溝加工をダイシングソーによって施し、溝を施した部材１０１とした。ここでのチップの切り出し寸法は、使用する光アイソレータの位置をレーザダイオード直近とし、シミュレーションによって発振するガウシアンビームの１／ｅ2の２倍の大きさであるφ０．６８８ｍｍを参考に、□０．７ｍｍに設定した。この硬化した試料をダイシングソーにより、□０．７ｍｍに切断した。この素子の厚さは測定値で２．２ｍｍであった（図３参照）。
【００３１】
この溝を施した部材１０１に先に作製した光アイソレータ３をはめ込み、エポッテック社の３５３ＮＤ有機接着剤で固定した。その後、さらに着色した光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２で蓋をして、エポッテック社の３５３ＮＤ有機接着剤で固定した（図１参照）。なお、着色した光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２の方向に偏光が向くようにしている。このように作製されたブロックを丸く研磨加工し、表面を鏡面に磨いて球状レンズとした。作製された球状レンズの寸法は２．０ｍｍ±０．００２ｍｍであった。
【００３２】
このようにして作製した球状光アイソレータは、マグネット１０により印加磁場を与えて内蔵するＧｄＢｉＩＧガーネット膜７の結晶軸方向に磁気飽和させ、光アイソレータとしての特性を測定した。測定は、図５に示すような光ファイバー９間に本発明のレンズ機能付き光アイソレータを配置して測定を行った。光ファイバー９端は対空気ＡＲコートが施されている。波長１３１０ｎｍで順方向損失１．１５ｄＢ、逆方向損失３８．７ｄＢの特性が得られた。これに対空気無反射コートを施すと、フレネル反射損失の分約０．７ｄＢの順方向損失が改善できた。また、その結合効率は０．０５７ｄＢと一般的なボールレンズを用いた場合の３倍以上の結合効率であった。
【００３３】
以上より、その特性を劣化させることなく２枚の偏光子６の曲面化が可能であり、レーザダイオード素子のパッケージ等に内蔵するレンズを省略しても機能が劣化しないことがわかる。
【００３４】
図２に示した従来の球状レンズの場合は、球状研磨の加工性を重視すると、加工寸法の曲率半径に対して１．２倍以上の大きさが加工前の形状に必要としていた。そのために、従来の球状レンズでは、□１１ｍｍの大板から１６個取るのが限度であった。それに対して、本発明では、光アイソレータを通過する光の有効ビーム径（数百ミクロン以上）の大きさを確保すれば良い。その結果、結晶の透過面積を１/１０以下にでき、１６９個取ることが可能になった。
【００３５】
なお、本実施例１の光アイソレータは球状であるが、素子固定や偏光子の偏光方向を特定するために、光路とならない一部分を平面に削ることで固定面及びマーキングを付けることができる利点がある。さらに、半分が着色されているので、目視で偏光方向を簡単に確認できる利点がある(図７参照)。これらの利点を製造工程に取り入れたレンズ機能付き光アイソレータの製造方法の提供が可能となった。
【実施例２】
【００３６】
本発明の実施例２について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施例に用いたレンズ機能付き光アイソレータの製造方法の概念図である。図２は、本発明の球状の光アイソレータの概念図である。図３は、ＬＤに内蔵する場合のレンズ機能付き光アイソレータの光路計算図である。図６は、本発明の実施例２、実施例３に用いた測定系図である。
【００３７】
非相反ファラデー回転素子７としてＧｄＢｉＩＧガーネット膜を用いた。このガーネット膜は膜厚３４２（±２）μｍで光の波長１．３１μｍで４５°の回転角を持ち、使用する接着剤との反射を考慮して、両面屈折率１．５の無反射コートを施してある。偏光子６として厚さ０．９ｍｍのルチル単結晶板を用い、空気との屈折率差による反射を考慮して片面屈折率１．０、使用する接着剤との反射を考慮して片面対屈折率１．５の無反射コートを施した。ＧｄＢｉＩＧガーネット膜及びルチル単結晶板に施した無反射コートの設定波長は１３１０ｎｍである。使用したＧｄＢｉＩＧガーネット膜とルチル単結晶板は□１１ｍｍの寸法にした。
【００３８】
まず、屈折率１．５の無反射コートを施した一枚のルチル単結晶板側にエポッテック社の３５３ＮＤ有機接着剤を塗布し、ＧｄＢｉＩＧガーネット膜をそれぞれの端辺を合わせて接着固定した。次に、屈折率１．５の無反射コートを施したもう一方のルチル単結晶板側にエポッテック社の３５３ＮＤ有機接着剤を塗布し、ＧｄＢｉＩＧガーネット膜側に接着した。接着剤の硬化前に検光子側のルチル単結晶板からレーザ光を入射し、磁場を印加して、その消光比が最大になるようにルチル単結晶板の偏光軸合わせを行い、固定した状態で熱硬化した。
【００３９】
次に、溝を施した部材１０１と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２として、フェライト基板を用いた。このフェライト基板をそれぞれ磁化容易軸方向に垂直方向に厚さ１．１ｍｍに研磨し、□２．２ｍｍにダイシングソーによって磁化容易軸方向を１辺として研削加工した。この研削された□２．２ｍｍ部材の中央に幅０．７２ｍｍ、深さ０．３６ｍｍの溝加工を磁化容易軸に沿った方向にダイシングソーによって施し、溝を施した部材１０１とした。ここでチップの切り出し寸法は、使用する光アイソレータの位置をレーザダイオード直近とし、シミュレーションによって発振するガウシアンビームの１／ｅ2の２倍の大きさであるφ０．６８８ｍｍを参考に、□０．７ｍｍに設定した(図３参照)。この硬化した試料をダイシングソーにより、□０．７ｍｍに切断した。この素子の厚さは、測定値で２．２ｍｍであった。
【００４０】
さらに、この溝を施した部材１０１に、先に作製した光アイソレータ３をはめ込み、エポッテック社の３５３ＮＤ有機接着剤で固定した。その後、着色した光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２で蓋をして、エポッテック社の３５３ＮＤ有機接着剤で固定した（図１参照）。このように作製されたブロックを丸く研磨加工し、表面を鏡面に磨いて球状レンズとした。作製された球状レンズの寸法は２．０ｍｍ±０．００２ｍｍであった。
【００４１】
このようにしてできた球状の光アイソレータの溝を施した部材１０１と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２部分を光軸方向に着磁し、ＧｄＢｉＩＧガーネット膜の結晶軸方向に磁気飽和させ、光アイソレータとしての特性を測定した。測定は、図６に示すような光ファイバー９間に本発明のレンズ機能付き光アイソレータを配置して測定を行った。光ファイバー９端は対空気ＡＲコートが施されている。実施例２では、実施例１にあるマグネットが使用されていない。
【００４２】
得られたレンズ機能付き光アイソレータは、波長１３１０ｎｍで順方向損失１．２２ｄＢ、逆方向損失３６．５ｄＢの特性が得られた。これに対空気無反射コートを施すと、フレネル反射損失の分約０．７ｄＢの順方向損失が改善した。この高い逆方向損失特性から、着磁された溝を施した部材１０１と光アイソレータの露出部分を覆う別の部材１０２によって内部ＧｄＢｉＩＧガーネットが充分に磁気飽和していることがわかる。また、その結合効率は０．０５７ｄＢと一般的なボールレンズを用いた場合の３倍以上の結合効率であった。
【００４３】
以上より、マグネットを使用しないレンズ機能付き光アイソレータにおいても、その特性を劣化させることなく２枚の偏光子の曲面化が可能であり、レーザダイオード素子のパッケージ等に内蔵するレンズを省略しても機能が劣化しないことがわかる。
【００４４】
図２に示した従来の球状レンズの場合は、実施例１と同様の理由から、□１１ｍｍの大板から１６個取るのが限度であった。それに対して、マグネットを使用しないレンズ機能付き光アイソレータにおいても、光アイソレータを通過する光の有効ビーム径（数百ミクロン以上）の大きさを確保すれば良い。その結果、結晶の透過面積を１/１０以下にでき、１６９個取ることが可能になった。
【００４５】
なお、本実施例の光アイソレータは球状であるが、素子の固定や偏光子の偏光方向を特定するために、光路とならない一部分を平面に削ることで、固定面及びマーキングを付けることができる利点がある（図７参照）。このような利点を製造工程に取り入れたレンズ機能付き光アイソレータの製造方法の提供が可能となった。
【実施例３】
【００４６】
本発明の実施例３について図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施例に用いたレンズ機能付き光アイソレータの製造方法の概念図である。図２は、本発明の球状光アイソレータの概念図である。図６は、本発明の実施例２、実施例３に用いた測定系図である。図７は、本発明の実施例での工数の簡略化を示す図である。
【００４７】
実施例３において、実施例１と実施例２と同様の方法で球面加工前に幅０．０５ｍｍ、深さ１ｍｍの溝を偏光子の偏光方向に平行に配置し、加工後の偏光子の偏光方向と特定した。また、球状鏡面研磨加工後に偏光方向を光学系によって確定し、幅０．７ｍｍ、深さ０．２ｍｍの溝を偏光子の偏光方向に平行に配置し加工後の偏光子の偏光方向とした。これによりシステム挿入時の偏光確認工程を簡略化できた（図７参照）。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施例に用いたレンズ機能付き光アイソレータの製造方法の概念図。
【図２】球状の光アイソレータの概念図。
【図３】ＬＤに内蔵する場合のレンズ機能付き光アイソレータの光路計算図。
【図４】一般的な光アイソレータの構成例を示す図。
【図５】本発明の実施例１に用いた測定系図。
【図６】本発明の実施例２、実施例３に用いた測定系図。
【図７】本発明の実施例３での工数の簡略化を示す図。
【符号の説明】
【００４９】
１    半導体レーザ発振チップ
２    レンズ
３    光アイソレータ
４    ビーム光束
５    フェルール
６    偏光子
７    非相反ファラデー回転素子
８    シミュレーションにより計算された光路
９    光ファイバー
１０    マグネット
１１    ＢＫ７ガラス
１２    偏波コントローラ
１３    安定化光源
１４    光検出器
１５    強磁性体
１０１    溝を施した部材
１０２    露出部分を覆う部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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