(57)【要約】【課題】配列間隔の狭小化に対応可能であって、伸縮自在な弾性部を備えた導電性接触子の特性を損なうことなく導電性接触子を保持した導電性接触子ユニットを実現する。【解決手段】複数の回路構造間の電気的接続に用いられ、長手方向に伸縮可能な構造であって板状に形成された複数の導電性接触子１と、導電性接触子１を保持する機能を有し、導電性接触子１に対して幅方向両端に配置された第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂとを備える。第１ガイド部材２ａ、第２ガイド部材２ｂにはそれぞれ導電性接触子１の伸縮方向に延伸したガイド溝が形成されており、導電性接触子１の幅方向端部はガイド溝に嵌め込まれた状態にて保持されることから、伸縮動作を行う際に伸縮方向と垂直な方向に関する導電性接触子１の変位たる座屈・ねじれの発生が回避される。【選択図】        図４
2006226907.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の接続端子を備えた回路構造に対して、前記接続端子と物理的に接触することによって電気的に接続する導電性接触子ユニットであって、
使用の際に前記接続端子と接触する複数の第１接触部と、前記第１接触部と電気的に接続された複数の第２接触部と、前記第１接触部と前記第２接触部との間に形成され、長手方向に伸縮自在であると共に前記第１接触部及び前記第２接触部に対して弾発付勢する弾性部とが一体的に形成された複数の導電性接触子と、
前記弾性部の伸縮方向に延伸した構造を有し、前記導電性接触子の一部が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれる複数のガイド溝が形成され、該ガイド溝に前記導電性接触子の一部を嵌め込んだ状態で前記導電性接触子を保持する保持部と、
を備えたことを特徴とする導電性接触子ユニット。
【請求項２】
前記導電性接触子は、板状に形成され、
前記保持部は、前記伸縮方向と垂直な方向の端部の一方が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第１ガイド部材と、前記伸縮方向と垂直な方向の端部の他方が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第２ガイド部材とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の導電性接触子ユニット。
【請求項３】
前記導電性接触子は、前記伸縮方向と垂直な方向に貫通し、前記伸縮方向と平行な方向の幅が前記弾性部の伸縮長に対応して定まる開口部が形成され、
前記保持部は、
複数の前記導電性接触子の一部における前記伸縮方向と垂直な方向の端部の一方が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第１ガイド部材と、
複数の前記導電性接触子の残部が前記伸縮方向と垂直な方向の端部の他方が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第２ガイド部材と、
複数の前記導電性接触子のそれぞれに形成された前記開口部を貫通する棒状部材によって形成され、前記導電性接触子のうち前記開口部の外延を形成する部分が前記信州方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第３ガイド部材と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の導電性接触子ユニット。
【請求項４】
前記導電性接触子は、前記伸縮方向と垂直な方向に貫通し、前記伸縮方向と平行な方向の長さが前記弾性部の伸縮長に対応した開口部が形成され、
前記保持部は、複数の前記導電性接触子が配列される方向に延伸して前記開口部を貫通する棒状部材によって形成され、前記ガイド溝は、前記導電性接触子のうち前記開口部の外延を形成する部分が嵌め込まれるよう形成されたことを特徴とする請求項１に記載の導電性接触子ユニット。
【請求項５】
前記導電性接触子に備わる第２接触部と物理的に接触する端子を備え、該端子を介して前記導電性接触子に対して所定の電気信号を出力する信号出力回路をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の導電性接触子ユニット。
【請求項６】
複数の回路構造の間を電気的に接続する導電性接触子であって、
使用の際に複数の回路構造の一方に対して物理的に接触する第１接触部と、
前記第１接触部と電気的に接続され、使用の際に複数の回路構造の他方に対して物理的に接触する第２接触部と、
前記第１接触部および前記第２接触部に対して弾性力を供給する弾性部と、
使用の際に所定の軸を回転中心として回転自在となるよう保持部によって保持され、前記回転中心に対して互いに対称となる領域にて前記第１接触部と前記弾性部とに対して接続した第１接続部と、
使用の際に所定の軸を回転中心として回転自在となるよう保持部によって保持され、前記回転中心に対して互いに対称となる領域にて前記第２接触部と前記弾性部とに対して接続した第２接続部と、
を備えたことを特徴とする導電性接触子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の第１接続端子を備えた第１回路構造と、複数の第２接続端子を備えた第２回路構造との間を電気的に接続する導電性接触子ユニットおよび導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路等の検査対象の電気特性検査に関する技術分野において、半導体集積回路の接続端子に対応して複数の導電性接触子を配設し、導電性接触子を接続端子に物理的に接触させることによって電気的導通を確保する機能を有する導電性接触子ユニットに関する技術が知られている。かかる導電性接触子ユニットは、複数の導電性接触子と、導電接触子を保持する保持部とを少なくとも備えた構造を有する。検査対象たる半導体集積回路等の微細化傾向に伴う接続端子の配列間隔の狭小化に対応して、導電性接触子ユニットにおいても複数の導電性接触子の配列間隔を狭小化する必要があり、配列間隔の狭小化を実現しうる導電性接触子および導電性接触子を備えた導電性接触子ユニットの構成について様々なものが提案されている。
【０００３】
例えば、配列間隔の狭小化を実現する導電性接触子として、検査対象等と接触する接触部および接触部に対して弾発付勢する弾性部を板状の導電性部材によって一体的に形成した構造が提案されている。例えば板状の導電性接触子を板厚方向に配列することによって狭い領域に多数の導電性接触子を配置することが理論上可能となり、検査対象に備わる接続端子の配列間隔の狭小化に対応した導電性接触子を実現することが可能である（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３４３３９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の導電性接触子ユニットは、導電性接触子が上述の構成を有するにもかかわらず、検査対象の接続端子の配列間隔の狭小化に対応することが困難であるという課題を有する。以下、かかる課題について詳細に説明する。
【０００６】
特許文献１の図８を参照すれば明らかなように、従来の導電性接触子ユニットでは、保持部（特許文献１では絶縁基板６１）にガイド孔が形成され、かかるガイド孔に導電性接触子を収容する構造を採用する。従って、従来の導電性接触子ユニットでは保持部に対して導電性接触子の本数に対応したガイド孔の配列間隔によって導電性接触子の配列間隔が規定されることとなるが、ガイド孔のような貫通孔は、形成対象（保持部）の物理的強度等によって形成間隔の最小値が制限されることとなる。このため、従来の導電性接触子ユニットは、導電性接触子そのものに関しては配列間隔を狭小化することが十分可能であるにもかかわらず、保持部の構造に関する工夫が充分ではないために、導電性接触子の配列間隔の狭小化が困難であるという課題を有する。
【０００７】
また、導電性接触子が板状構造を有する場合には、弾性部における伸縮動作の際に、座屈およびねじれの発生を防止する必要がある。すなわち、板状に形成された導電性接触子は、板状であるが故に板厚方向（特許文献１の図２における紙面垂直方向）の長さ（板厚）が他の方向の長さよりも著しく小さく、物理的な強度が低いという問題を有する。このため、特に弾性部が収縮する方向に外力が作用した場合には、導電性接触子は、弾性部の収縮に伴い座屈、ねじれ等が生じるおそれがあり、かかる座屈等によって弾性部のバネ特性が劣化する等の課題を有する。なお、特許文献１に記載の導電性接触子ユニットでは、ガイド孔は座屈をある程度緩和する可能性を有するものの、断面形状が円状と思われるガイド孔によっては、導電性接触子の長手方向中心軸の周方向に生じうるねじれを緩和することはきわめて困難である。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、配列間隔の狭小化に対応可能であって、伸縮自在な弾性部を備えた導電性接触子の特性を損なうことなく導電性接触子を保持した導電性接触子ユニットおよび導電性接触子を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１にかかる導電性接触子ユニットは、複数の接続端子を備えた回路構造に対して、前記接続端子と物理的に接触することによって電気的に接続する導電性接触子ユニットであって、使用の際に前記接続端子と接触する複数の第１接触部と、前記第１接触部と電気的に接続された複数の第２接触部と、前記第１接触部と前記第２接触部との間に形成され、長手方向に伸縮自在であると共に前記第１接触部及び前記第２接触部に対して弾発付勢する弾性部とが一体的に形成された複数の導電性接触子と、前記弾性部の伸縮方向に延伸した構造を有し、前記導電性接触子の一部が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれる複数のガイド溝が形成され、該ガイド溝に前記導電性接触子の一部を嵌め込んだ状態で前記導電性接触子を保持する保持部とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
この請求項１の発明によれば、導電性接触子の一部が保持部に形成されたガイド溝に嵌め込まれた状態で保持され、ガイド溝は導電性接触子の伸縮方向に嵌め込んだ一部が摺動自在となるよう形成されることから、導電性接触子を構成する弾性部が収縮する際に、ガイド溝に嵌め込まれた導電性接触子の一部は伸縮方向にのみ移動することとなり、かかる一部と一体的に形成された他の部分も伸縮方向にのみ移動するため、伸縮方向と垂直な方向に関する部分的変位たる座屈、ねじれ等の変形が導電性接触子に生じることを回避できる。
【００１１】
また、請求項２にかかる導電性接触子ユニットは、上記の発明において、前記導電性接触子は、板状に形成され、前記保持部は、前記伸縮方向と垂直な方向の端部の一方が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第１ガイド部材と、前記伸縮方向と垂直な方向の端部の他方が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第２ガイド部材とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、請求項３にかかる導電性接触子ユニットは、上記の発明において、前記導電性接触子は、前記伸縮方向と垂直な方向に貫通し、前記伸縮方向と平行な方向の幅が前記弾性部の伸縮長に対応して定まる開口部が形成され、前記保持部は、複数の前記導電性接触子の一部における前記伸縮方向と垂直な方向の端部の一方が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第１ガイド部材と、複数の前記導電性接触子の残部が前記伸縮方向と垂直な方向の端部の他方が前記伸縮方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第２ガイド部材と、複数の前記導電性接触子のそれぞれに形成された前記開口部を貫通する棒状部材によって形成され、前記導電性接触子のうち前記開口部の外延を形成する部分が前記信州方向に摺動自在に嵌め込まれるガイド溝が形成された第３ガイド部材とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項４にかかる導電性接触子ユニットは、上記の発明において、前記導電性接触子は、前記伸縮方向と垂直な方向に貫通し、前記伸縮方向と平行な方向の長さが前記弾性部の伸縮長に対応した開口部が形成され、前記保持部は、複数の前記導電性接触子が配列される方向に延伸して前記開口部を貫通する棒状部材によって形成され、前記ガイド溝は、前記導電性接触子のうち前記開口部の外延を形成する部分が嵌め込まれるよう形成されたことを特徴とする。
【００１４】
また、請求項５にかかる導電性接触子ユニットは、上記の発明において、前記導電性接触子に備わる第２接触部と物理的に接触する端子を備え、該端子を介して前記導電性接触子に対して所定の電気信号を出力する信号出力回路をさらに備えたことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項６にかかる導電性接触子は、複数の回路構造の間を電気的に接続する導電性接触子であって、使用の際に複数の回路構造の一方に対して物理的に接触する第１接触部と、前記第１接触部と電気的に接続され、使用の際に複数の回路構造の他方に対して物理的に接触する第２接触部と、前記第１接触部および前記第２接触部に対して弾性力を供給する弾性部と、使用の際に所定の軸を回転中心として回転自在となるよう保持部によって保持され、前記回転中心に対して互いに対称となる領域にて前記第１接触部と前記弾性部とに対して接続した第１接続部と、使用の際に所定の軸を回転中心として回転自在となるよう保持部によって保持され、前記回転中心に対して互いに対称となる領域にて前記第２接触部と前記弾性部とに対して接続した第２接続部とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
この請求項６の発明によれば、第１接続部は、所定の回転中心に対して互いに対称の領域にて第１接触部および弾性部と接触した構造を有することから、第１接触部および弾性部は長手方向に関して互いに連動して逆方向に運動することとなり、弾性部が収縮方向に変形する際には、第１接触部が弾性部の伸張方向に突出することとなる。第２接触部と弾性部との間の関係も同様であって、この結果、弾性部は、伸張した際に第１接触部および第２接触部に対して回路構造と接触する方向に弾性力を供給することとなり、弾性部の収縮に伴う座屈、ねじれ等の変形が導電性接触子に生ずることを回避することが可能である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明にかかる導電性接触子ユニットは、導電性接触子の一部が保持部に形成されたガイド溝に嵌め込まれた状態で保持され、ガイド溝は導電性接触子の伸縮方向に嵌め込んだ一部が摺動自在となるよう形成されることから、導電性接触子を構成する弾性部が収縮する際に、ガイド溝に嵌め込まれた導電性接触子の一部は伸縮方向にのみ移動することとなり、かかる一部と一体的に形成された他の部分も伸縮方向にのみ移動するため、伸縮方向と垂直な方向に関する部分的変位たる座屈、ねじれ等の変形が導電性接触子に生じることを回避できるという効果を奏する。
【００１８】
また、本発明にかかる導電性接触子は、第１接続部は、所定の回転中心に対して互いに対称の領域にて第１接触部および弾性部と接触した構造を有することから、第１接触部および弾性部は長手方向に関して互いに連動して逆方向に運動することとなり、弾性部が収縮方向に変形する際には、第１接触部が弾性部の伸張方向に突出することとなる。第２接触部と弾性部との間の関係も同様であって、この結果、弾性部は、伸張した際に第１接触部および第２接触部に対して回路構造と接触する方向に弾性力を供給することとなり、弾性部の収縮に伴う座屈、ねじれ等の変形が導電性接触子に生ずることを回避できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明にかかる導電性接触子ユニットおよび導電性接触子を実施するための最良の形態（以下、「実施の形態」と称する）を、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。
【００２０】
（実施の形態１）
まず、実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットについて説明する。図１は、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットの外観を示す模式図である。図１に示すように、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットは、図１において端部のみ表示された複数の導電性接触子１と、複数の導電性接触子１を保持した保持部２と、導電性接触子１と電気的に接続され、導電性接触子１に対して所定の電気信号を出力可能な信号出力回路３とを備える。
【００２１】
信号出力回路３は、導電性接触子１を介して接続対象たる回路構造（例えば、電気特性検査における検査対象）に対して所定の電気信号を出力するためのものである。信号出力回路３の具体的な構成としては、電気信号生成機能を備えることとしても良いし、他の機器によって生成された電気信号を入力し、入力した電気信号を導電性接触子１に対して出力する構成としても良い。
【００２２】
導電性接触子１は、検査対象等の回路構造（例えば、半導体集積回路）と信号出力回路３との間を電気的に接続するためのものである。具体的には、導電性接触子１は、回路構造、信号出力回路３のそれぞれに対して接触する接触部および接触部に弾発付勢する弾性部が板状の導電部材によって一体的に形成された構造を有する。
【００２３】
図２は、導電性接触子１の構造を示す模式図である。図２に示すように、導電性接触子１は、長手方向の両端に所定の回路構造と物理的に接触するための第１接触部１ａと、信号出力回路３と物理的に接触する第２接触部１ｂとが形成され、第１接触部１ａと第２接触部１ｂとの間には、長手方向に伸縮自在であって、第１接触部１ａおよび第２接触部１ｂに対して弾発付勢する機能を備えた弾性部１ｃを備える。また、導電性接触子１は、第１接触部１ａと弾性部１ｃとの間に配置され、第１接触部１ａと弾性部１ｃとの間を接続する接続部１ｄと、第２接触部１ｂと弾性部１ｃとの間に配置され、第２接触部１ｂと弾性部１ｃとの間を接続する接続部１ｅとを備え、以上の構成要素が一体的に形成されると共に全体として板状となるよう形成される。なお、以下の説明では、理解を容易にするために、図２における横方向を「導電性接触子１の伸縮方向」と称し、図２における縦方向を「導電性接触子１の幅方向」と称し、図２におけるほぼ紙面垂直方向を「導電性接触子１の板厚方向」と称するものとする。
【００２４】
次に、保持部２について説明する。図１に示すように、保持部２は、所定のガイド溝（図１にて図示省略）がそれぞれ形成され、導電性接触子１に対して幅方向両端に配置された第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂと、導電性接触子１に対して伸縮方向両端に配置され、導電性接触子１を内部に保持するための保持板２ｃ、２ｄとを備える。なお、保持部２を構成する第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂおよび保持板２ｃ、２ｄは、導電性接触子１と電気的に接続して短絡が発生することを防止する観点から絶縁材料によって形成されることが好ましいが、例えば、表面のうち導電性接触子１と接触しうる部分（例えば、後述するガイド溝２ｅ）のみに絶縁塗装を施す等の構成としても良い。
【００２５】
保持板２ｃ、２ｄは、それぞれ保持部２に保持した導電性接触子１が弾性部１ｃの伸縮方向（長手方向）に位置ずれを生じることを防止するためのものである。具体的には、保持板２ｃ、２ｄは、それぞれ保持部２に保持された導電性接触子１の接続部１ｄ、１ｅの弾性部１ｃ伸縮方向端部に接する位置に配置されると共に、それぞれ第１接触部１ａおよび第２接触部１ｂを突出させるための開口部が形成された構造を有する。
【００２６】
第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂは、複数の導電性接触子１を、伸縮方向と垂直な面内方向に関して位置決めする機能を有すると共に、導電性接触子１の伸縮動作の際に導電性接触子１をガイドする機能を有する。図３は、第１ガイド部材２ａの構造を説明するための模式図である。なお、本実施の形態１では、第２ガイド部材２ｂは第１ガイド部材２ａとほぼ同一の構造を有することから、以下の第１ガイド部材２ａに関する説明は、原則として第２ガイド部材２ｂについても該当するものとする。
【００２７】
図３に示すように、第１ガイド部材２ａには、保持部２に保持する導電性接触子１の個数と等しい数のガイド溝２ｅが形成されている。ガイド溝２ｅは、断面形状が導電性接触子１の伸縮方向に対して垂直な方向、より具体的には導電性接触子１の幅方向の端部を嵌め込むことが可能な形状を有し、かかる断面形状の溝が導電性接触子１の伸縮方向に延伸した構造を有する。本実施の形態１では導電性接触子１は板状に形成されていることから、ガイド溝２ｅの断面形状は、少なくとも幅が導電性接触子１の板厚とほぼ等しい値となるよう形成されている。また、ガイド溝２ｅは、嵌め込まれた導電性接触子１の端部との間の摺動抵抗が小さくなるよう形成されており、導電性接触子１は、伸縮方向に関して摺動自在に嵌め込まれることとなる。
【００２８】
また、上述したように第２ガイド部材２ｂは第１ガイド部材２ａと同様の構造を有することから、ガイド溝２ｅは、第２ガイド部材２ｂにも同様に形成される。このため、導電性接触子１は、図４に示すように幅方向の両端部が、導電性接触子１の伸縮方向全体に渡ってそれぞれ第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂにそれぞれ形成されたガイド溝２ｅに常に嵌め込まれた状態で保持部２に保持されることとなる。
【００２９】
なお、第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂは、例えば低熱膨張の樹脂によって形成され、ガイド溝２ｅは、例えばダイシングによって形成される。この他に、第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂの構成としては、樹脂以外の絶縁性材料、例えばＡｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2等のセラミックス、Ｓｉ等によって母材を形成し、エッチング等によってガイド溝２ｅを形成することとしても良い。
【００３０】
次に、第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂに形成されたガイド溝２ｅの作用について説明する。図５は、ガイド溝２ｅの作用を説明するための模式図である。なお、図５において、導電性接触子１の重心位置を原点とし、幅方向をｘ軸、板厚方向をｙ軸、伸縮方向をｚ軸として適宜説明を行う。
【００３１】
上述したように、ガイド溝２ｅには、導電性接触子１の幅方向（ｘ軸方向）両端部が嵌め込まれる共に、導電性接触子１の伸縮方向（ｚ軸方向）に延伸した構造を有することから、嵌め込まれた部分は伸縮方向に摺動自在な状態で保持されることとなる。すなわち、図５に示すように導電性接触子１の幅方向両端部（斜線にて示す部分）は、ガイド溝２ｅに嵌め込まれることによって、ｚ軸方向に関する自由度は確保される一方で、ｘ軸方向およびｙ軸方向に関する移動の自由度を失うこととなる。
【００３２】
また、上述したように導電性接触子１は一体的に形成されることから、ガイド溝２ｅによる両端部の動きの規制の影響は、導電性接触子１の他の部分にも及ぶ。従って、幅方向の両端部と同様に、導電性接触子１全体はｚ軸方向の移動は可能である一方で、ｘ軸方向およびｙ軸方向の移動自由度が失われる。このため、導電性接触子１は、外力が与えられた場合にはｚ軸方向に変位することによる形状変化（すなわち、収縮または伸張）が生じるのみであって、ｘ軸方向およびｙ軸方向に変位することによる形状変化は生じることなく伸縮することとなる。
【００３３】
次に、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットの利点について説明する。本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットは、伸縮方向に延伸したガイド溝２ｅに一部を嵌め込んだ状態で導電性接触子１を保持することとしたため、使用の際に外力が与えられても座屈およびねじれが生じることを防止することが可能である。図５を参照しつつ説明したように、本実施の形態１における導電性接触子１は、ｘ軸方向の両端部をガイド溝２ｅに嵌め込んだ状態にて保持することによって、導電性接触子１の任意の部分がｘ軸方向およびｙ軸方向に変位することが無く、ｚ軸方向についてのみ変位することとなる。板状の導電性接触子にて顕著に生じうる座屈およびねじれは、導電性接触子１の一部または全体に関してｘ軸方向の変位または／およびｙ軸方向の変位が伴う形状変化であることから、ガイド溝２ｅを用いて導電性接触子１を保持することによって、本実施の形態１では、使用の際に導電性接触子１の座屈およびねじれが生じることを防止できるという利点を有する。
【００３４】
また、本実施の形態１では、溝構造を有するガイド溝２ｅを用いて導電性接触子１を保持することとしたため、導電性接触子１と第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂとの間の接触面積を低減し、第１ガイド部材２ａ等との間に生じる摺動抵抗を低減できるという利点も有する。例えば、従来のように貫通孔の中に導電性接触子１を収容した場合には、導電性接触子の外表面と、貫通孔の内表面とが全周に渡って接触することとなり、導電性接触子の外表面と貫通孔の内表面との間の接触面積が増大し、摺動抵抗の低減は困難である。これに対して、本実施の形態１では、導電性接触子１は、幅方向端部のみにて第１ガイド部材２ａ、第２ガイド部材２ｂに対して接触することから、接触面積が大幅に低減し、摺動抵抗を低減できることによって、導電性接触子１の伸縮動作をスムーズに行うことが可能である。
【００３５】
図６〜図８は、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子１に関して、座屈等を生じないことおよび摺動抵抗が低減されることに起因した利点を定量的に示すグラフである。すなわち、図６は、ガイド溝２ｅによって保持した状態の導電性接触子１に与えられる荷重と導電性接触子１の伸縮長の関係を示し、図７は、伸縮長と電気抵抗との関係を示し、図８は、導電性接触子１に与えられる荷重と電気抵抗との関係を示す。
【００３６】
まず、図６に示すグラフについて説明する。図６において、曲線ｌ1は導電性接触子１が収縮した際における測定結果を示し、曲線ｌ2は導電性接触子１が伸張した際における測定結果を示し、曲線ｌ3は設計段階における導電性接触子１の特性であって、導電性接触子１単体が座屈およびねじれを生ずることなく伸縮する場合の理論上の特性を示す曲線である。図６のグラフからも明らかなように、曲線ｌ1〜ｌ3はいずれも高い精度で一致しており、本実施の形態１における導電性接触子１は、ほぼ設計値通りの特性を実現できていることが示される。特に、従来は座屈、ねじれ等の影響によって収縮時のバネ特性が設計値から逸脱する傾向が顕著だったが、本実施の形態１では、むしろ収縮時のバネ特性の方が伸張時のバネ特性よりも設計値に近接しており、ガイド溝２ｅが有効に機能することによって、座屈およびねじれの発生が効果的に防止されていることが明らかである。
【００３７】
また、図６に示すグラフは、導電性接触子１と第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂとの間の摩擦力が小さい値となることも示している。曲線ｌ3に示した設計値は、導電性接触子１が単体で動作する場合、すなわち保持部２に保持されていない状態における導電性接触子の特性を示すものである。かかる特性を示す曲線ｌ3に対して、ガイド溝２ｅに端部が嵌め込まれた状態での特性を示す曲線ｌ2、ｌ3が精度良く一致することから、導電性接触子１の伸縮動作に対する第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂに起因した摺動摩擦がほぼ無視しうる程度にまで抑制されることが明らかである。
【００３８】
次に、図７に示すグラフについて説明する。図７に示すグラフは導電性接触子１の伸縮長と、導電性接触子１を介して電気的に接続される信号出力回路３と回路構造との間の電気抵抗との関係を示すグラフである。上述したように、導電性接触子１は、それぞれ第１接触部１ａおよび第２接触部１ｂが回路構造に備わる接続端子および信号出力回路に備わる端子と物理的に接触することによって電気的接続を実現する。このため、グラフに示される電気抵抗値は、導電性接触子１における第１接触部１ａと第２接触部１ｂの間の電気抵抗に加え、回路構造の接続端子および信号出力回路の端子との接触部分における電気的な接触抵抗との和によって表される値となる。なお、図７における曲線ｌ4は導電性接触子１の収縮時の結果を示す曲線であり、曲線ｌ5は導電性接触子１の伸張時の結果を示す曲線である。
【００３９】
図７に示すように、本実施の形態１における導電性接触子１は、収縮時および伸張時のいずれにおいても、自然長からの伸縮量がほぼ０となる場合を除いて安定した電気抵抗値が得られることが示される。また、図６の場合と同様に、図７に示すグラフでも収縮時の値および伸張時の値がほぼ一致することから、収縮時において顕著に生じうる座屈・ねじれといった現象が効果的に防止できていることが明らかである。
【００４０】
最後に、図８に示すグラフについて説明する。図８に示すグラフは、導電性接触子１に対して与えられる外力と電気抵抗との関係を示すものである。なお、図８における電気抵抗は、図７と同様に定義され、曲線ｌ6は導電性接触子１の収縮時の結果を示す曲線であり、曲線ｌ7は導電性接触子１の伸張時の結果を示す曲線である。図８に示すように、外力と電気抵抗の関係においても、本実施の形態１における導電性接触子１は、伸張時と収縮時とでほぼ同等の特性を示しており、外力に対して安定した電気抵抗を実現することが示される。
【００４１】
以上、図６〜図８を参照しつつ説明したように、本実施の形態１では、導電性接触子１が板状に形成されたために単体では板厚方向の物理的強度が劣るにも関わらず、ガイド溝２ｅを用いることによって優れた特性を実現できるという利点を有する。具体的には、本実施の形態１では、ガイド溝２ｅを備えた第１ガイド部材２ａ、第２ガイド部材２ｂを備えることによって、導電性接触子１における座屈およびねじれの発生が抑制され、導電性接触子１の伸縮動作に伴う摺動摩擦も低減できることから、導電性接触子１が優れたバネ特性および電気特性を実現できるという利点を有する。
【００４２】
また、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットは、導電性接触子１の配列間隔を容易に狭小化できるという利点を有する。すなわち、本実施の形態１では、導電性接触子１の保持機能を有するガイド溝２ｅの幅（図５におけるｙ軸方向の幅）は、導電性接触子１の板厚と同程度の値で充分であり、互いに隣接するガイド溝２ｅ間の間隔は、隣接する導電性接触子１間の絶縁性が充分に確保できる値であれば、任意の小さな値とすることが可能である。従って、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットは、複数の導電性接触子１を板厚方向に積層することによって導電性接触子１の配列間隔を狭小化することが可能であり、接続対象たる回路構造に備わる接続端子の配列間隔の狭小化に十分対応することが可能である。
【００４３】
また、本実施の形態１では、上述したように板状に形成された導電性接触子１が伸縮する際に座屈またはねじれの発生を効果的に抑制することが可能である。従って、隣接するもの同士の絶縁性の確保に充分な導電性接触子１の配列間隔を導出する際には、座屈またはねじれによって生じる導電性接触子１の変形を考慮する必要がない。このため、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットでは、配列間隔を決定する際にそれぞれの導電性接触子１は、板厚方向（図５におけるｙ軸方向）に関してガイド溝２ｅの幅によって規定される領域に常に位置することを前提として構造を設計することが可能である。すなわち、本実施の形態１では、ねじれ等が生じた場合にも隣接導電接触子１間の絶縁性を確保するために配列間隔に余裕を持たせる必要性がなく、その分だけ配列間隔を狭小化することが可能である。
【００４４】
さらに、本実施の形態１では、貫通孔ではなくガイド溝２ｅによって導電性接触子１を保持することとしたことに起因した配列間隔の狭小化が可能である。すなわち、従来のように貫通孔によって導電性接触子１を保持することとした場合には、貫通孔を形成する基板等の物理的強度を維持するために隣接する貫通孔の間隔をある程度確保する必要がある。これに対して、板状部材に溝を形成する場合には、貫通孔を形成する場合と比較して母材の物理的強度に与える影響は低く、ガイド溝２ｅを高密度に形成した場合であっても、第１ガイド部材６ａ、第２ガイド部材６ｂの物理的強度の低下はほぼ無視することが可能である。従って、本実施の形態１では、貫通孔を形成する場合と比較してガイド溝２ｅの形成に関する保持部２側の制約が低くなるため、間隔を狭小化したガイド溝２ｅを形成可能であるという利点を有する。
【００４５】
また、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットは、作製が容易であるという利点を有する。上述したように、本実施の形態１では貫通孔を形成する必要が無く、貫通孔よりも作製容易なガイド溝２ｅを用いた構造を有する。従って、保持部２を構成する第１ガイド部材６ａ、第２ガイド部材６ｂを容易に作製することが可能である。また、組み立て工程のうち、導電性接触子１を保持部２に収容する工程は、端部をガイド溝２ｅに嵌め込むことによって完了する。従って、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットの組み立ての際には微細な貫通孔に導電性接触子を挿入するといった複雑な工程を経る必要が無く、容易に組み立てることが可能である。以上のことから、本実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットは、ガイド溝２ｅによって導電性接触子１を保持する構成を採用したために作製が容易であり、製造コストを低減できる等の利点を有することとなる。
【００４６】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットについて説明する。本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットは、基本的な構造が実施の形態１と共通する一方で、導電性接触子の保持態様が実施の形態１と異なる構成を有する。なお、以下の説明において実施の形態１と同様の符号・名称を付した構成要素は、特に言及しない限りにおいて実施の形態１と同様の構造・機能を有することとする。
【００４７】
図９は、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットの構成を示す模式図である。図９に示すように、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットは、一端が検査対象等の回路構造と接触する導電性接触子５と、導電性接触子５を保持する保持部６と、導電性接触子５を介して回路構造に対して所定の電気信号を出力する信号出力回路３とによって構成される。
【００４８】
導電性接触子５は、基本的な構造としては実施の形態１における導電性接触子１と同様の構成を有しており、具体的には図１０に示す構造を有する。図１０に示すように、導電性接触子５は、実施の形態１の導電性接触子１と同様に第１接触部１ａ、第２接触部１ｂおよび弾性部１ｃを備える一方で、第１接触部１ａと弾性部１ｃとを接続する接続部５ａには開口部５ｂが形成され、第２接触部１ｂと弾性部１ｃとを接続する接続部５ｃには開口部５ｄが形成される。なお、接続部５ａ、５ｃは、開口部が形成される以外の点については実施の形態１における接続部１ｄ、１ｅとそれぞれ同様の構造を有することとする。
【００４９】
開口部５ｂは、保持部６に保持された際に後述するピン部材６ｄを貫通させるためのものである。また、開口部５ｄは、後述する第３ガイド部材６ｃを挿通するためのものであり、導電性接触子５が最も伸張した時点およびもっとも収縮した時点の双方にて第３ガイド部材６ｃが挿通された状態を維持するよう、開口部５ｄは導電性接触子５の伸縮方向に関して伸縮長に対応した幅を有するよう形成される。
【００５０】
保持部６は、実施の形態１における保持部２と同様に、導電性接触子５を伸縮方向に摺動自在な状態にて保持するためのものである。具体的には、保持部６は、導電性接触子５に対して幅方向両端に配置された第１ガイド部材６ａ、第２ガイド部材６ｂと、複数の導電性接触子５のそれぞれに形成された開口部５ｄに挿通された第３ガイド部材６ｃと、導電性接触子５のそれぞれに形成された開口部５ｂに挿通されたピン部材６ｄとを備える。これらの構成要素は図示を省略した所定の固定部材によって互いの位置関係が固定されており、このことは導電性接触子５が伸張または収縮する際も同様である。
【００５１】
第１ガイド部材６ａおよび第２ガイド部材６ｂは、それぞれ実施の形態１と同様に導電性接触子５の幅方向端部を伸縮方向に摺動自在に嵌め込むガイド溝２ｅが形成される一方で、ガイド溝２ｅの配列間隔が、導電性接触子５の配列間隔のほぼ２倍となると共に、第１ガイド部材６ａに形成されるガイド溝２ｅと第２ガイド部材６ｂに形成されるガイド溝２ｅとが板厚方向（導電性接触子５が配列される方向、図５におけるｙ軸方向）に交互に位置するよう形成される。
【００５２】
第３ガイド部材６ｃは、導電性接触子５に形成された開口部５ｄを挿通するよう棒状の部材によって形成される。また、第３ガイド部材６ｃには、第１ガイド部材６ａおよび第２ガイド部材６ｂと同様に所定のガイド溝６ｅが形成され、導電性接触子５の一部をガイド溝６ｅに嵌め込んだ状態にて保持することによって、導電性接触子５を伸縮方向に摺動自在な状態にて保持する機能を有する。
【００５３】
図１１は、第３ガイド部材６ｃの構造を示す模式図である。図１１に示すように、全体として棒状に形成された第３ガイド部材６ｃの側面には、導電性接触子５の伸縮方向と平行な方向に延伸したガイド溝６ｅが形成されている。図１１に模式的に示すようにかかるガイド溝６ｅには、導電性接触子５のうち開口部５ｄの外延を形成する部分が嵌め込まれ、かかる部分が嵌め込まれたことによって、導電性接触子５は、伸縮方向に伸縮自在に摺動可能な状態にて保持されることとなる。
【００５４】
ピン部材６ｄは、導電性接触子５に形成された開口部５ｂを挿通するよう棒状の部材によって形成される。ピン部材６ｄは、第３ガイド部材６ｃと異なり外径が開口部５ｂの径とほぼ等しい構造を有し、導電性接触子５は、ピン部材６ｄによって伸縮方向および幅方向に関して固定されることとなる。なお、かかるピン部材６ｄは実施の形態１における保持板２ｃ、２ｄの代替物として機能するものであり、少なくとも理論上は本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットに必須のものではない。
【００５５】
図１２は、第１ガイド部材６ａ、第２ガイド部材６ｂおよび第３ガイド部材６ｃによる導電性接触子５の保持態様を示す模式図であり、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットを検査対象等の回路構造側から見た模式図である。図１２に示すように、板厚方向に配列された複数の導電性接触子５は、それぞれが開口部５ｄにて第３ガイド部材６ｃと、第１ガイド部材６ａまたは第２ガイド部材６ｂとによって保持される。すなわち、本実施の形態２では、保持される複数の導電性接触子５は、一部が第３ガイド部材６ｃと第１ガイド部材６ａのそれぞれに形成されたガイド溝６ｅ、２ｅによって伸縮方向に摺動自在に保持される一方で、残部が第３ガイド部材６ｃと第２ガイド部材６ｂのそれぞれに形成されたガイド溝６ｅ、２ｅによって伸縮方向に摺動自在に保持された構成を有する。
【００５６】
なお、導電性接触子５に関して、第１ガイド部材６ａと第３ガイド部材６ｃによって保持されるものと、第２ガイド部材６ｂと第３ガイド部材６ｃによって保持されるものとで別構造のものを採用しても良いが、本実施の形態１では同一構造のものを用いることとする。図１０にも示したように導電性接触子５は、開口部５ｂ、５ｄを幅方向に関してあらかじめ偏心した位置に形成している。このため、第３ガイド部材６ｃと第１ガイド部材６ａ、第２ガイド部材６ｂとの間の距離を適切に設定しておくことにより、第１ガイド部材６ａによって保持される導電性接触子５に対して、第２ガイド部材６ｂによって保持される導電性接触子５は、開口部５ｂ、５ｄを通る伸縮方向の軸を中心として１８０°回転させて配置することによって、同一構造のものを用いたにもかかわらず第２ガイド部材６ｂおよび第３ガイド部材６ｃによって保持されることとなる。いわば、偏心した開口部５ｂ、５ｃに関して互いに裏返しにした状態で板厚方向に配列することにより、例えば板厚方向の奇数番目に位置する導電性接触子５は第１ガイド部材６ａと第３ガイド部材６ｃによって保持され、偶数番目に位置する導電性接触子５は第２ガイド部材６ｂと第３ガイド部材６ｃとによって保持されることとなる。
【００５７】
次に、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットの利点について説明する。まず、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットは、実施の形態１と同様に導電性接触子５をガイド溝２ｅ、６ｅに嵌め込んだ状態にて保持部６に保持する構成を採用することから、導電性接触子５は、ねじれおよび座屈を生じることがなく、摺動摩擦を低減した状態にて伸縮することが可能である。また、ガイド溝２ｅ、６ｅに嵌め込むことによって導電性接触子５を保持する構成を採用するため、貫通孔によって導電性接触子を保持した場合と比較して、導電性接触子５の配列間隔を狭小化することが可能である。
【００５８】
また、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットは、導電性接触子５の配列間隔をさらに狭小化することが可能である。実施の形態１でも説明したように、ガイド溝２ｅ等によって導電性接触子５を保持することとした場合には、貫通孔によって保持した場合よりも導電性接触子５の配列間隔を狭小化することが可能である。しかしながら、ガイド溝２ｅを用いた場合でも配列間隔を無限に狭小化できるということではなく、ガイド溝２ｅの形成間隔の限界によって導電性接触子５の配列間隔の最小値が規定されることとなる。
【００５９】
これに対して、本実施の形態２では、第１ガイド部材６ａおよび第２ガイド部材６ｂは、それぞれ保持する複数の導電性接触子５の一部および残部のみに対応したガイド溝２ｅを形成した構造を有することから、導電性接触子５のすべてに対応してガイド溝２ｅを形成した場合と比較して、同程度の配列間隔の場合に隣接するガイド溝２ｅの間隔を広げることが可能である。かかる構成を採用することによって、例えば図１２に示したように導電性接触子５の配列方向に関して交互にガイド溝２ｅを形成した場合には第１ガイド部材６ａおよび第２ガイド部材６ｂのそれぞれに形成されるガイド溝２ｅの間隔は、実施の形態１における第１ガイド部材２ａおよび第２ガイド部材２ｂと比較してほぼ２倍の値とすることが可能である。従って、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットは、実施の形態１の導電性接触子ユニットよりもさらに導電性接触子５の配列間隔を狭小化できるという利点を有することとなる。なお、第３ガイド部材６ｃは導電性接触子５の配列間隔と等しい配列間隔のガイド溝６ｅが形成されるが、棒状の部材によって形成される第３ガイド部材６ｃは、例えば射出成型によってガイド溝６ｅを含む形状を実現することが可能であるため、板状体に対するエッチング処理等によって形成されたガイド溝２ｅと比較して狭小化が容易であるため実質上問題となることはない。
【００６０】
さらに、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットは、第１ガイド部材６ａおよび第２ガイド部材６ｂが、導電性接触子５の配列間隔よりも広い間隔のガイド溝２ｅを備えることにより、保持部６の作製が容易であるという利点も有する。すなわち、導電性接触子５の配列間隔が同程度の場合には、本実施の形態２ではガイド溝２ｅを例えば２倍の間隔にて形成すれば充分であるため、エッチング処理の場合にマスクパターンの形成が容易になることによって、保持部６の作製が容易になるという利点を有する。
【００６１】
また、本実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットは、隣接する導電性接触子５同士が互いに裏返しとなるよう配置したことによって、配列方向に重なり合う面積を低減できる。このため、隣接する導電性接触子５間に仮に寄生容量が生じる程度に配列間隔が小さかった場合であっても、重なり合いの面積が小さいために容量値を低減できるという利点を有する。
【００６２】
（実施の形態３）
次に、実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットについて説明する。本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットは、導電性接触子自体の構造を工夫することによって使用時における導電性接触子のねじれおよび座屈の発生を抑制した構成を有する。
【００６３】
図１３は、本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子の構成を示す模式図である。図１３に示すように、導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子８は、実施の形態１、２と同様にそれぞれ検査対象等の回路構造に備わる接続端子と接触する第１接触部８ａと、信号出力回路３と電気的に接続するための第２接触部８ｂと、実施の形態１、２と同様に第１接触部８ａと第２接触部８ｂとの間に形成され、第１接触部８ａおよび第２接触部８ｂに対して弾発付勢する弾性部８ｃとを備える。また、導電性接触子８は、第１接触部８ａと弾性部８ｃとの間を接続する第１接続部８ｄと、第２接触部８ｂと弾性部８ｃとの間を接続する第２接続部８ｅとを備え、各部が一体的に形成されると共に全体として板状の形状を有する。
【００６４】
第１接続部８ｄ、８ｅは、それぞれ第１接触部８ａと弾性部８ｃ、第２接触部８ｂと弾性部８ｃとの間を接続するという点で実施の形態１、２における接続部１ｄ、１ｅと同様の構成を有するが、接続態様は実施の形態１、２と異なる。具体的には、第１接続部８ｄは、弾性部８ｃの伸縮方向と非平行な方向、例えば自然状態（弾性部８ｃの長さが自然長の状態）の際に伸縮方向と垂直な方向（図１３では幅方向）に所定距離だけ延伸した構造を有すると共に、後述する保持部９によって保持された際に所定の回転軸を中心として回転自在となるよう形成される。
【００６５】
具体的には、第１接続部８ｄは、保持された際に保持部９を構成する回転軸９ａ（後述）の側面と当接するための円弧状の切り欠き構造たる支点部８ｆが形成され、支点部８ｆが回転軸９ａの側面と当接した状態にて、回転軸９ａの中心に対して回転自在な状態にて保持部９に保持されることとなる。そして、第１接続部８ｄは、所定距離だけ延伸した部分のうち、回転中心に対して互いに対称となる領域にて弾性部８ｃおよび第１接触部８ａに対して接続した構造を有する。回転中心に対して対称となる領域にて両者と接続した構造を有することによって、例えば第１接続部８ｄが時計回り方向に回転した場合には、弾性部８ｃは図１３における右方向に伸張し、第１接触部８ａは左方向に移動することとなる。このことは、例えば第１接触部８ａに対して図面左方向に押圧力が与えられた場合に第１接続部８ｄが回転中心に対して時計回り方向に移動して弾性部８ｃが図面右方向に伸張することを意味する。また、弾性部８ｃが自然長よりも伸張した場合には、弾性部８ｃの収縮方向（図面左方向）への弾性力が第１接続部８ｄに与えられることによって第１接続部８ｄは反時計回り方向への偶力を受け、かかる偶力に基づき第１接触部８ａは突出する方向（図面右方向）に圧力を受けることを意味する。
【００６６】
かかる構造は、第２接続部８ｅに関しても同様である。すなわち、第２接続部８ｅは、弾性部８ｃの伸縮方向と非平行、例えば垂直な方向に所定長だけ延伸した構造を有すると共に、保持部９に保持された場合に所定の回転軸９ｂ（後述）の中心に対して回転自在な状態となるよう、回転軸９ｂの側面部と当接する円弧状の切り欠き構造たる支点部８ｇが形成された構造を有する。そして、第２接続部８ｅは、回転中心に対して対称な領域にて弾性部８ｃおよび第２接触部８ｂのそれぞれと接続した構造を有し、導電性接触子８の伸縮方向（すなわち、幅方向および板厚方向に対して垂直な方向であって、図１３における横方向）に関して弾性部８ｃの変形方向と第２接触部８ｂの変位方向とが反対向きとなるよう作用する。
【００６７】
また、導電性接触子８は、支点部８ｆ、８ｇ近傍に、板厚方向に関して所定の厚みを有する間隔保持部材８ｈ、８ｉが配置された構造を有する。間隔保持部材８ｈ、８ｉは、複数の導電性接触子８を保持部９によって保持した際に、隣接する導電性接触子８間の間隔を保持するためのものである。すなわち、本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットでは、実施の形態１、２と同様に複数の導電性接触子８を板厚方向（図１３の紙面略垂直方向）に積層した状態にて保持する構成を採用するが、隣接する導電性接触子８間の間隔は、検査対象等の回路構造に形成された接続端子の配列間隔に対応して所定の値とする必要がある。本実施の形態３では、隣接する導電性接触子８間の間隔を規定するため、例えば絶縁性部材によって構成された間隔保持部材８ｈ、８ｉを支点部８ｆ、８ｇ近傍に配置した構造を採用する。
【００６８】
次に、図１３に示した導電性接触子８を含む本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットの全体構成について説明する。図１４は、本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットの全体構成を示す模式図である。図１４に示すように、本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットは、図１３に示した導電性接触子８を板厚方向に複数配列した状態にて保持する構成を採用し、具体的には、本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットは、板厚方向に配列した複数の導電性接触子８と、それぞれの導電性接触子８に形成された支点部８ｆたる切り欠き構造の外延と当接した回転軸９ａと、支点部８ｇたる切り欠き構造の外延と当接下回転軸９ｂとを備えた保持部９とによって形成される。なお、図１４では構造を単純化するために保持部９が回転軸９ａ、９ｂのみによって構成された例を示したが、回転軸９ａ、９ｂに加え、複数の導電性接触子８を内部に収容する所定の外装構造等を備えることとしても良い。また、図１４では図示を省略したが、本実施の形態３でも実施の形態１、２と同様に導電性接触子８と電気的に接続した信号出力回路３を備えるものとする。
【００６９】
回転軸９ａ、９ｂは、第１接続部８ｄ、８ｅのそれぞれを回転自在な状態で複数の導電性接触子８を保持する機能を有する。具体的には、回転軸９ａ、９ｂは、それぞれ導電性接触子の板厚方向に長手方向を有する円柱状の部材によって形成されており、側面にて支点部８ｆ、８ｇのそれぞれと摺動自在に当接した状態にて導電性接触子８を保持する機構を有する。このため、導電性接触子８は、回転軸９ａ、９ｂの軸を中心として、それぞれ第１接続部８ｄ、８ｅが回転自在な状態にて保持部９に保持される。なお、回転軸９ａ、９ｂは、互いが図示を省略した固定部材によって位置関係が固定されており、かかる位置関係は導電性接触子８の動作の有無にかかわらず維持されるものとする。
【００７０】
次に、本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットの動作について説明する。既に述べたように、導電性接触子ユニットは、検査対象等の回路構造に形成された接続端子に対して導電性接触子８が物理的に接触することによって回路構造に対する電気的接続を実現するものである。そして、回路構造の接続端子に対して良好な電気的接続を実現するためには、導電性接触子８に備わる第１接触部８ａが所定の押圧力にて接続端子と接触することによって電気的な接触抵抗を低減する必要があり、かかる押圧力を供給する構造が導電性接触子８には必要となる。本実施の形態３では、かかる押圧力の供給原理が、実施の形態１、２と異なるものとなっている。
【００７１】
図１５は、導電性接触子ユニットの動作を説明するための模式図である。図１５に示すように、導電性接触子ユニットの使用の際には、導電性接触子８は、第１接触部８ａにて回路構造１１に備わる接続端子１１ａと物理的に接触し、第２接触部８ｂにて信号出力回路３に備わる端子３ａと物理的に接触する。そして、接続端子１１ａおよび端子３ａのそれぞれから第１接触部８ａおよび第２接触部８ｂに対して押圧力が印加されるため、図１５に示すように第１接続部８ｄ、８ｅは、それぞれ時計回り方向、反時計回り方向に所定の角度だけ回転する。このため、弾性部８ｃは、長手方向の長さが自然長よりも伸張することとなり、長手方向長さが伸張することによって弾性部８ｃは、圧縮方向に弾性力を生じることとなる。
【００７２】
このため、第１接続部８ｄ、８ｅは、弾性部８ｃとの接続部分にて弾性部８ｃからの弾性力に基づきそれぞれ反時計回り方向、時計回り方向に偶力を受けることとなる。かかる偶力は第１接続部８ｄ、８ｅを介して第１接触部８ａおよび第２接触部８ｂに伝達され、第１接触部８ａおよび第２接触部８ｂは、それぞれ接続端子１１ａ、端子３ａに対して、近接する方向に押圧力を受ける。このため、接触端子１１ａ、端子３ａに対して所定の押圧力を印可した状態で物理的に接触することとなり、接続端子１１ａ、端子３ａに対する電気的な接触抵抗が低減された状態にて電気的に接続することとなる。
【００７３】
このように、本実施の形態３では、導電性接触子８は、実施の形態１、２とは異なり接続端子１１ａ、端子３ａとの接触により第１接触部８ａおよび第２接触部８ｂが変位した際に弾性部８ｃが伸張し、弾性部８ｃが自然長に戻ろうとするために生じる弾発力によって第１接触部８ａおよび第２接触部８ｂに対して弾発付勢する構造を有する。かかる作用の相違に起因した本実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットの利点について、以下に説明する。
【００７４】
そもそも従来問題とされた座屈、ねじれ等は、長手方向の長さが収縮するよう外力が作用した場合に、例えば板状に形成された導電性接触子では収縮方向の外力を長手方向の変形のみによって吸収できずに板状体の板厚方向等にも変形することによって生じるものである。従って、本来的に座屈等は、導電性接触子の構成要素たる弾性部を収縮させた際に生じうる現象である。これに対して、本実施の形態３では、図１５にも示したように使用の際には弾性部８ｃが伸張した状態となるため、そもそも座屈等が生じる前提条件を解消することとなる。従って、第１接続部８ｄ、８ｅが回転自在の状態にて保持され、回転中心に対して対称の位置となるよう第１接触部８ａ、第２接触部８ｂと弾性部８ｃとが配置されることによって、導電性接触子８は、使用時に弾性部８ｃが収縮することを回避することが可能となり、弾性部８ｃの収縮に伴って生じうる座屈、ねじれ等の発生を抑制または防止できるという利点を有することとなる。
【００７５】
また、本実施の形態３では、導電性接触子８自体が座屈等を生じにくい構造となることによって、導電性接触子ユニットを簡易な構造にて形成できるという利点も有する。すなわち、実施の形態１、２では、導電性接触子に座屈、ねじれ等が生ずることのないようガイド溝２ｅ等を形成した構成が必要だったが、本実施の形態３では、導電性接触子８を物理的に保持すると共に第１接続部８ｄ、８ｅが回転自在となるよう回転軸９ａ、９ｂを最低限配置することによって保持部９を実現することが可能である。従って、簡易名構成によって保持部９を形成することが可能であり、全体として簡易な構造の導電性接触子ユニットを実現できるという利点を有することとなる。
【００７６】
なお、本実施の形態３は導電性接触子８の保持態様としてガイド溝を利用した形態を否定するものではなく、例えば導電性接触子８を保持するにあたって実施の形態１、２に示した保持部を流用した構造も有用である。例えば、導電性接触子８にて間隔保持部材８ｈ、８ｉを省略する一方で、回転軸９ａ、９ｂに代えて実施の形態２にて用いた第３ガイド部材を支点部８ｆ、８ｇのそれぞれに対して当接した状態にて使用することも有効である。実施の形態２でも述べたように、第３ガイド部材は導電性接触子の配列方向に延伸した棒状部材によって形成されると共に側面上に導電性接触子の伸縮方向に延伸したガイド溝が形成された構造を有し、かかるガイド溝に導電性接触子の一部を嵌め込むことによって摺動自在な状態を維持しつつ導電性接触子を保持することが可能である。かかる原理を応用して、支点部８ｆ、８ｇの回転方向に延伸したガイド溝を設け、かかるガイド溝に対して支点部８ｆ、８ｇを嵌め込んだ状態にて導電性接触子８を保持することによって、上述した利点を享受しつつ、ガイド溝を用いたことによる利点も享受することが可能である。
【００７７】
また、実施の形態２にて示したように、隣接する導電性接触子８同士が互いに裏返しとなる状態にて保持することも有効である。図１６は、実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットの変形例の構成を示す模式図である。例えば、導電性接触子８の構造に関して、長手方向中心軸からずれた位置に支点部８ｆ、８ｇを形成しておくことにより、隣接する導電性接触子８同士が、支点部８ｆ、８ｇを通る直線を軸として互いに１８０°回転した状態にて保持されることによって、図１６に示す導電性接触子ユニットを実現することが可能である。かかる構造を採用することによって、実施の形態２でも述べたように、例えば隣接する導電性接触子８間において生じうる寄生容量の値を低減しうる等の効果を期待できる。
【００７８】
以上、実施の形態１〜３に渡って本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態１〜３のみに限定して解釈するべきではなく、当業者であれば様々な実施例、変形例に想到することが可能である。例えば、実施の形態１〜３を通じて導電性接触子は板状の部材によって形成することとしたが、かかる構造としたのは単体では通常座屈・ねじれ等が生じやすいものを例としたためであって、例えば円柱状の導電性接触子に対して本発明を適用しても良い。また、例えば実施の形態１では、導電性接触子１の幅方向両端部を全体に渡ってガイド溝２ｅに嵌め込んだ構成としたが、より単純な構造として、例えば導電性接触子の外表面上に突起を形成しておき、かかる突起をガイド溝に嵌め込む構成としても良い。すなわち、ガイド溝に嵌め込む部分としては導電性接触子のいずれの部分としても、上述した利点を享受することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】実施の形態１にかかる導電性接触子ユニットの全体構成を示す模式図である。
【図２】導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子の構造を示す模式図である。
【図３】導電性接触子ユニットを構成する保持部の構造を示す模式図である。
【図４】保持部による導電性接触子の保持態様を示す模式図である。
【図５】導電性接触子の動作について説明するための模式図である。
【図６】導電性接触子の特性に関する測定結果を示すグラフである。
【図７】導電性接触子の特性に関する測定結果を示すグラフである。
【図８】導電性接触子の特性に関する測定結果を示すグラフである。
【図９】実施の形態２にかかる導電性接触子ユニットの構成を示す模式図である。
【図１０】導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子の構成を示す模式図である。
【図１１】保持部を構成する第３ガイド部材の構成を示す模式図である。
【図１２】保持部を構成する第１、第２および第３ガイド部材による導電性接触子の保持態様を示す模式図である。
【図１３】実施の形態３にかかる導電性接触子ユニットを構成する導電性接触子の構造を示す模式図である。
【図１４】導電性接触子ユニットの全体構成を示す模式図である。
【図１５】導電性接触子の動作について説明するための模式図である。
【図１６】実施の形態３の変形例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００８０】
１  導電性接触子
１ａ  第１接触部
１ｂ  第２接触部
１ｃ  弾性部
１ｄ、１ｅ  接続部
２  保持部
２ａ  第１ガイド部材
２ｂ  第２ガイド部材
２ｃ、２ｄ  保持板
２ｅ  ガイド溝
３  信号出力回路
３ａ  端子
５  導電性接触子
５ａ  接続部
５ｂ  開口部
５ｃ  接続部
５ｄ  開口部
６  保持部
６ａ  第１ガイド部材
６ｂ  第２ガイド部材
６ｃ  第３ガイド部材
６ｄ  ピン部材
６ｅ  ガイド溝
８  導電性接触子
８ａ  第１接触部
８ｂ  第２接触部
８ｃ  弾性部
８ｄ  第１接続部
８ｅ  第２接続部
８ｆ、８ｇ  支点部
８ｈ、８ｉ  間隔保持部材
９  保持部
９ａ、９ｂ  回転軸
１１  回路構造
１１ａ  接続端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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