(57)【要約】【課題】  センサフラグを使用しないで、搬送手段に設けた加速度検知センサによってシートの位置及び厚みを確実に検知できるようにする。【解決手段】  シート搬送装置２６は、シートを挟んで回転して搬送する固定の駆動ローラ６及び駆動ローラ６に接離可能な従動ローラ５と、従動ローラ５と一体に移動して移動ローラ５の加速度を検知可能な回転体加速度検知センサ１と、回転体加速度検知センサの加速度移動に基づいてシートが駆動ローラ６及び従動ローラ５に到達したことと、シートの厚みを求めるコントローラ４０と、を備えている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを挟んで回転して搬送する接離可能な回転体対と、
前記回転体対の接離動作時に生じる回転体の移動時の加速度を検知可能な加速度検知センサと、
前記加速度検知センサの加速度検知に基づいて、搬送されるシートの状態を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とするシート搬送装置。
【請求項２】
前記判定手段は、前記加速度検知センサの加速度の検知に基づいてシートが前記回転体対への到達のタイミング、シートの前記回転体対からの送出のタイミング、シートの厚みの少なくとも１つの判定をすることを特徴とする請求項１に記載のシート搬送装置。
【請求項３】
前記回転体対を支持する支持体を設け、前記支持体の加速度を検知可能な第２の加速度検知センサを設け、前記判定手段は、前記加速度検知センサの検知値と前記第２の加速度検知センサの検知値に基づいて判定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシート搬送装置。
【請求項４】
前記回転体対は固定の固定回転体と該固定回転体に接離可能な移動回転体とを有し、前記加速度検知センサは前記移動回転体の接離移動時の加速度を検知し、前記第２の加速度検知センサは前記移動回転体を支持する支持体の移動の加速度を検知することを特徴とする請求項３に記載のシート搬送装置。
【請求項５】
前記加速度検知センサ及び前記第２の加速度検知センサが、
前記移動回転体の加速度を検知する検知部と、
前記検知部の出力信号を外部に伝達する電極と、を備え、
前記検知部と前記電極とを半導体製造工程によりウエハ上に形成されてからチップ化されて形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
【請求項６】
シートを搬送する請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のシート搬送装置と、
前記シート搬送装置によってシートに画像を形成する画像形成手段と、
を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項７】
前記シート搬送装置と前記画像形成手段との間に位置して、前記シート搬送装置から搬送されてきたシートを前記画像形成手段に送り込むタイミングを計るレジスト回転体対と、を備え、
前記シート搬送装置の判定手段によりシートの厚みを判定し、該判定に基づいて前記レジスト回転体対を制御して、前記シートの厚みが薄いほど、前記タイミングを遅くすることを特徴とする請求項６に記載の画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートを搬送するシート搬送装置と、このシート搬送装置を備えた画像形成装置とに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、シートに画像を形成する画像形成装置には、シートを搬送するシート搬送装置を備えてある。画像形成装置には、複写機、プリンタ、ファクシミリ、及びこれらの複合機等がある。
【０００３】
シート搬送装置には、シートの厚みを検知して搬送するものがある。このような、シート搬送装置は、シートが装置本体内部のどの部位を搬送されているかを検知したり、シートの厚みを検知したりするシート検知装置を備えている。
【０００４】
例えば、電子写真方式の複写機に備えたシート検知装置は、シートカセットから給送されたシートの移動を検知し、その検知タイミングに基づいて下流側のシート搬送機構や画像形成部を制御情報に役立てている。
【０００５】
従来のシート検知装置を説明する。
【０００６】
（シートが送られてきたことを検知する従来例）
（第１シート検知装置）
このようなシート検知装置の代表例として、第１に、図１０に示すフォトインタラプタセンサ２５８に挙げることができる。フォトインタラプタセンサ２５８は、シートパスを遮るように設置された回転可能なフラグ２５１と、検知光２５３ａの遮断を検知するフォトインタラプタ２５３等で構成されている。なお、フラグ２５１は、ばね２５２ａによってストッパ２５２ｂに圧接されて受け止められている。
【０００７】
このフォトインタラプタセンサ２５８におけるフラグ２５１は、シートＳが搬送されてきて当接すると、回転軸２５１ａを中心に回転させられて、遮光部２５１ｂで検知光２５３ａを遮断するようになっている。検知光２５が遮断されると、フォトインタラプタセンサ２５８は、シートＳの到達したものとして電気信号を発する。そして、電気信号は、画像形成装置全体を制御する不図示のコントローラに送信され、装置全体の制御に使用される。
【０００８】
（第２シート検知装置）
第２に、図１１に示す、光透過センサ２６０を挙げることができる。この光透過センサ２６０は、シートが光軸を遮断することによってシートを検知するようになっている。光透過センサ２６０は、検知光２６０ｃを発する発光部２６０ａと受光部２６０ｂとで構成されている。この光透過センサ２６０は、図１０のフォトインタラプタセンサ２５８と比べてシート搬送パスを遮るフラグを有していないため、薄いシートを搬送する場合にもシートの先端を傷めないという利点がある。
【０００９】
（シートの到達を検知する他に、シートの厚みも検知する従来例）
また、電子写真方式の画像形成装置では、シートの移動を検知するだけでなく、シートの厚みを検知して画像形成部の動作を制御することが多い。例えば、電子写真方式の画像形成装置は、電気力を利用してシートにトナーを転写するが、シートに加える電圧はシートの厚みに応じて調節することが望ましい。
【００１０】
さらに、シートの厚み情報は、シート搬送機構の制御にも役立てられる。画像形成装置は、画像形成部にシート搬送機構によってシートを導入する前に、停止したレジストローラにシートの先端を突き当ててシートの斜行を補正し、レジストローラの回転開始タイミングを調節することによって、シートを画像形成部に送るタイミングを調節できるようになっている。そして、シートをレジストローラに送り込む搬送ローラは、停止したレジストローラにシートを突き当てるとき、シートをレジストローラに突き当てた後、所定時間ｔだけ回転させられて、レジストローラの手前側にループを形成するようになっている。シートは、このループの力によって先端をレジストローラに確実に押し付けられて、斜行を補正される。時間ｔはシートの厚みに応じて決定されるようになっている。例えば、薄いシートの場合、レジストローラへの押し付け力を確保するため、時間ｔを長くする必要がある。
【００１１】
以上、説明したように画像形成装置においてはシートの厚みを検知する必要性が高く、次に述べるようなシート検知装置が提案されている。
【００１２】
（第３シート検知装置）
図１２に示す、シート検知装置２８１は、シート搬送機構２８２に、接触式プローブセンサ２６４を組み合わせた構成になっている。搬送手段としてのシート搬送機構２８２は、垂直方向に変位可能なローラ軸２６３ａに取り付けたローラ２６２ａと、垂直方向に変位できないように拘束されたローラ軸２６３ｂに取り付けたローラ２６２ｂとによってシートＳを狭持・搬送するようになっている。このシート検知装置２８１は、シートＳの通過に伴うローラ軸２６３ａの変位を、接触式プローブセンサ２６４で測定することによって、シートＳの到着だけでなく、シートＳの厚みも測定することができるようになっている（特許文献１参照）。
【００１３】
（第４シート検知装置）
図１３に示す、シート検知装置２８３は、図１２に示すシート検知装置２８１と同様に、搬送手段としてのローラ２７１の変位を測定することによってシートの到着、厚みを検知するようになっている。このシート検知装置２８３は、変位を測定するセンサに反射光２７０ａを利用したシート厚検知センサ２７０を用いている点において図１２に示すシート検知装置２８１と異なっている。このシート検知装置２８３は、シートの厚みと電気抵抗値によって転写帯電器２７４を制御するようになっている（特許文献２参照）。転写帯電器２７４は、不図示の感光ドラムのトナー画像をシートに転写するようになっている。
【００１４】
なお、ローラの変位を検知する方法としては、弾性部材で支持した圧力センサをローラ軸に押し当てて、ローラ軸の変位を圧力変化として捉える方式も提案されている。しかし、この方式は、弾性部材のばね定数を高くしないと、厚みの薄いシートの突入を圧力センサで捉えにくく、また、ばね定数を高くしすぎるとローラのニップ圧を不安定にしてしまうという問題を有している。
【００１５】
【特許文献１】特開平０７−２１５５３８号公報
【特許文献２】特開平０５−３１３５１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
以上説明した、様々なシート検知装置が実用化、もしくは提案されているが、それらは以下に（１）乃至（５）で述べる問題点を有している。このような問題を有している従来のシート搬送装置は、薄いシートを搬送しにくい、所望の場所に設置しにくい場合がある、シートの位置及び厚みの検知精度が悪い、シートの位置及び厚みの検知において誤作動をするなどの問題を有していた。また、このような問題を有しているシート搬送装置を備えた従来の画像形成装置は、シートに対する画像形成精度が低かった。
【００１７】
（１）図１０に示す、フォトインタラプタセンサ２５８は薄いシートの搬送を阻害するおそれがある。
【００１８】
（２）設置スペースの問題
フォトインタラプタセンサ２５８は、フラグ２５１の回転軸２５１ａやフォトインタラプタ２５３をシートパスに隣接して設置しなければならない。小型化を要求される事務機は、複数のシートパスが密集して接続・交差する部位も多く、そのような部位においてはフォトインタラプタ２５３を設置するスペースが足りない場合ある。図１１に示す光透過センサ２６０、図１２に示す接触式プローブセンサ２６４、図１３に示すシート厚検知センサ２７０も同様に、設置するスペースが足りない場合がある。
【００１９】
（３）取り付けの問題
フォトインタラプタセンサ２５８は回転軸２５１ａとフォトインタラプタ２５３の位置関係を一定に保つ必要があるため、取り付け部分の安定性を要求される。しかし、両者をそれぞれ別部材に取り付けなければならないことがある。このような場合、取り付け部の安定性が悪いと検知精度に悪影響を与えることになる。図１１に示す光透過センサ２６０も同様である。
【００２０】
また、図１２に示す接触式プローブセンサ２６４と、図１３に示すシート厚検知センサ２７０は、ローラに対しての相対位置関係が不安定であると、誤検知動作をすることになる。すなわち、センサの取り付け台座が不安定であると、誤検知につながる。
【００２１】
（４）センサに付着する汚れの問題
図１１に示す光透過センサ２６０や、図１３に示すシート厚検知センサ２７０は、検知光の発光部又は受光部が、シートから発する紙紛や駆動機構の摩耗粉、油分等による汚れていると誤作動することがある。
【００２２】
（５）外部振動の問題
図１２に示す接触式プローブセンサ２６４と、図１３に示すシート厚検知センサ２７０は、装置外部から受ける振動、もしくは装置内部から発する振動によってローラ２６２ａ，２７１が変位すると誤作動することがある。誤作動を防ぐには装置本体のフレーム部分等に別途加速度センサを設け、加速度センサが検知した加速度とローラの変位とを比較すれば多少は誤検知を防ぐことができる。しかし、フレームに加わる加速度とローラの変位量は、別の物理量であり、それらの関係を予測して誤検知を完全に防ぐことは困難である。ローラの変位検知に圧力センサを利用した場合も同様である。
【００２３】
本発明は、センサフラグを使用しないで、搬送手段に設けた加速度検知センサによってシートの位置及び厚みを確実に検知できるシート搬送装置を提供することを目的としている。
【００２４】
本発明は、シートの位置及び厚みなどのシートの状態を確実に判定できるシート搬送装置及び画像形成精度を高めた画像形成装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
上記目的を達成するため、本発明のシート搬送装置は、シートを挟んで回転して搬送する接離可能な回転体対と、前記回転体対の接離動作時に生じる回転体の移動時の加速度を検知可能な加速度検知センサと、前記加速度検知センサの加速度検知に基づいて、搬送されるシートの状態を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のシート搬送装置は、加速度検知センサによって、シートの状態を判定することができるようになっているので次の効果を奏する。
【００２７】
従来と異なってフラグを使用していないので薄いシートの搬送を阻害しない。省スペース化を図ることができる。加速度検知センサが回転体と一体に移動するので、従来と異なって、安定した取り付け台座を確保する必要がない。回転体加速度検知センサが光を使用しないので汚れによって検知精度が低下するようなことが少ない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態のシート搬送装置と、このシート搬送装置を備えた画像形成装置としての複写機とを図に基づいて説明する。
【００２９】
画像形成装置には、複写機、プリンタ、ファクシミリ、及びこれらの複合機等があり、本発明の画像形成装置は、複写機に限定されるものではない。
【００３０】
また、シート搬送装置は、画像形成装置のみならず、シートを取り扱う、例えば、シートに孔をあける穿孔装置、シートを折り曲げる折り曲げ装置等にも組み込まれようになっており、複写機のみに組み込まれるものではない。
【００３１】
（複写機）
図１は、画像形成装置としての複写機の概略正面断面図である。複写機３０は、リーダ部３２、給紙部３１、画像形成手段としての画像形成部２４、熱定着装置２５等で構成されている。シートは、給紙部３１から送り出されて、回転体加速度検知センサ１（図２参照）を備えた移動回転体としての従動ローラ５及び固定回転体としての駆動ローラ６をへてレジストローラ９，１０に突き当てられ、斜行を修正される。斜行を修正されたシートは、所定のタイミングで感光ドラム２７を有する画像形成部２４に送り送り込まれる。感光ドラム２７には、リーダ部３２で読み取られた原稿像をトナー像として形成されており、シートには、そのトナー像が転写帯電器２８によって転写される。その後、シートは、熱定着装置２５に送り込まれて、トナー像を定着される。最後に、シートは複写機の装置本体３０Ａの外部に排出される。
【００３２】
（第１実施形態のシート搬送装置）
以下、本発明の第１実施形態のシート搬送装置を図２乃至図７に基づいて説明する。
【００３３】
シート搬送装置２６は、駆動部４０ａに駆動される駆動ローラ６、押圧ばね２によって駆動ローラ６に圧接される従動ローラ５、駆動ローラ６を支持する固定の軸受８、従動ローラ５を回転自在に支持して移動可能な軸受３、軸受３に一体的に取り付けたシート検知装置としての回転体加速度検知センサ１、及び回転体加速度検知センサ１が検知した加速度ａに基づいてシートＳの到達タイミングの検知、シートSの送出タイミングの検知、シートＳの厚みを算出などをする判定手段としてのコントローラ４０等で構成されている。
【００３４】
コントローラ４０は、駆動ローラ６を駆動回転する駆動部４０ａと、レジストローラ対９，１０を駆動回転する駆動部４０ｂとを制御するようになっている。駆動部４０ａ，４０ｂは、不図示のモータを有している。なお、レジストローラ対９，１０は、シートの厚みが変わっても搬送できるように、一方のローラ１０が接離自在にばね１３に押圧されている。
【００３５】
回転体加速度検知センサ１は、軸受３の移動に影響を与えると、コントローラ４０が、正確なシートの到達及び送出タイミングの検知と、シートの厚みの算出とを行なうことができないので、軸受３と一体に移動し易い、小型、軽量なセンサであることが好ましい。
【００３６】
本実施形態において使用している回転体加速度検知センサ１は、数ｍｍ角程度の極めて小型、軽量なマイクロエレクトロメカニクス（以下、「ＭＥＭＳ」と略称する）センサである。ＭＥＭＳ加速度センサは、ＭＥＭＳ技術を利用して製造されたセンサである。
【００３７】
（ＭＥＭＳ加速度センサについて）
（１）ＭＥＭＳ技術
ＭＥＭＳ技術とは、半導体製造に用いる露光プロセスを利用して、微小なメカ構造を電気回路とともに基板上に形成する技術である。ＭＥＭＳ技術を用いると、従来不可能であったミリ単位の微小なセンサやアクチュエータを極めて低コストに製造することができる。このようなＭＥＭＳ技術を用いて製造された加速度センサは、既に広く実用化されている。ＭＥＭＳ技術を用いて製造された加速度センサの構造は、特開平０５−５７５０号公報、特開平５−３４３７０号公報、特開平６−３３１６４８号公報に開示されている。以下、特開平６−３３１６４８号公報に示されるＭＥＭＳ加速度センサを説明する。
【００３８】
（２）  ＭＥＭＳ加速度センサの構成
図４に示すように、ＭＥＭＳ加速度センサ８０の、絶縁基板としてのガラス基板８１上には、シリコン材料からなる電極としての固定部８２と、検知部としての可動部８３とが形成されている。さらに、該ガラス基板８１には、矩形状の凹部８１Ａを形成してある。その凹部８１Ａには、可動側くし状電極８５を有する質量部８４が矢示Ｋ方向（加速度が加わる方向）に変位可能に位置している。
【００３９】
固定部８２は、ガラス基板８１の左、右に両側に離間して備えられ、それぞれ対向する部分には複数（例えば５枚）の薄板状の電極板８６Ａが形成されている。複数の電極板８６Ａは、固定電極としての固定側くし状電極８６を構成している。
【００４０】
可動部８３は、ガラス基板８１の前後二箇所に固着された支持部８７と、薄板状の梁８８を介して支持された質量部８４と、この質量部８４から左右方向に突出形成された複数（例えば５枚）の薄板状の電極板８５Ａとで構成されている。複数の電極板８５Ａは、可動側くし状電極８５を構成している。
【００４１】
可動側くし状電極８５の電極板８５Ａと、固定側くし状電極８６の電極板８６Ａとの間には、微小隙間が形成されている。この微小隙間の間隔は、加速度センサ８０全体が矢印Ｋ方向の加速度を受けると、質量部８４が矢印Ｋ方向に移動して、変動するようになっている。固定部８２と可動部８３は増幅器８９に接続されている。
【００４２】
（３）ＭＥＭＳ加速度センサの製造工程
ＭＥＭＳ加速度センサ８０は、次の工程により製造される。図４乃至図６に基づいて説明する。
【００４３】
直径７．５乃至１５．５（ｃｍ）程度、厚さ３００μｍ程度のシリコンウエハにマスキング／エッチング処理を施して複数の質量部８、電極板８５Ａ、電極板８６Ａ、固定部８２を形成する。
【００４４】
該シリコンウエハと同じ大きさの円板状ガラス基板にガラスエッチング処理を施して複数の凹部８１Ａを形成する。
【００４５】
該ガラス基板と該シリコンウエハを陽極接合させ、図６に示すように複数個のＭＥＭＳ加速度センサ８０をガラス基板８１上に形成する。
【００４６】
ガラス基板８１上に形成された複数個の加速度センサ８０をチップ（約数ｍｍ角）の大きさに切断する。
【００４７】
このような製造工程により、ＭＥＭＳ加速度センサ８０は、一度に数十個単位に製造されて、小型、軽量に仕上げられる。なお、図４の増幅器８９は、従来の半導体製造技術を用いてガラス基板８１上に同時に形成することもできる。ＭＥＭＳ加速度センサ８０に限らず、ＭＥＭＳ技術を用いた構造体は、構造体を形成する際に周辺回路を同時に基板上に形成できる点に大きなメリットがある。
【００４８】
（４）ＭＥＭＳ加速度センサの動作
ＭＥＭＳ加速度センサ８０は、図４に示す矢示Ｋ方向の加速度を加えられると、電極板８５Ａと電極板８６Ａとの微小隙間の間隔を変化させ、それを静電容量の変化として増幅器８９によって増幅、出力するようになっている。ＭＥＭＳ加速度センサ８０は、この出力の大きさによって加速度の大きさを外部に伝達することができる。なお、本例のＭＥＭＳ加速度センサ８０の電極板８５Ａ，８６Ａはそれぞれ電気的に並列接続されているので、各電極板８５Ａ，８６Ａ間の静電容量を加算した全体静電容量から加速度を検出でき、検出感度と検出精度を向上させることができる。
【００４９】
（５）ＭＥＭＳ加速度センサのその他特徴（ワイヤレス構成）
（３）で述べたようにＭＥＭＳ技術を用いたセンサは、基板上に周辺回路を容易に形成できることから、図７に示すように送受信回路を備えてワイヤレス構成とすることもできる。このようなワイヤレス化技術は、ＲＦＩＤタグ等で広く実用化され、特開２００２−３３７４２６号公報等に開示されている。
【００５０】
図７の加速度センサユニット１００は、共通の基板上にＭＥＭＳ加速度センサ８０とワイヤレス回路を形成したものである。加速度センサユニット１００は、ＭＥＭＳ加速度センサ８０に増幅回路１００ｅ、整流・平滑回路１００ｄ、変調回路１００ａ、アンテナ用コイル１００ｂを備えている。加速度センサユニット１００は、電力送信・信号受信ユニット１０１とワイヤレスで電力受信・信号送信を行うことができるようになっている。電力送信部１０１ｄと電力供給コイル１０１ａから発せられた電力用電波信号は、共振コンデンサ１００ｃとともに共振回路を構成するアンテナ用コイル１００ｂに受信され、整流・平滑回路１００ｄで動作用電力に変換された後、加速度センサユニット１００全体に電力を供給する。一方、ＭＥＭＳ加速度センサ８０が出力する信号は、増幅回路１００ｅで増幅した後に変調回路１００ａで変調され、アンテナ用コイル１００ｂからデータ受信コイル１００ｂに送信される。そして、データ受信コイル１００ｂで受信した信号は信号受信部１０１ｅを経て制御回路１０１ｆに伝えられる。
【００５１】
このように、加速度センサユニット１００は、ワイヤレス化によって外部との通信ケーブルを廃し、センサの設置自由度を飛躍的に向上させることができる。本実施形態において回転体加速度検知センサ１は、軸受３に取り付けてあるが、周辺に駆動機構が配置されている場合には、配線も困難になる。このような場合、回転体加速度検知センサ１のワイヤレス化は意義が大きい。
【００５２】
次に、以上のように、ＭＥＭＳ技術を用いて製造された回転体加速度検知センサ１を備えたシート搬送装置２６の動作を説明する。
【００５３】
複写機３０の給紙部３１から送られてきたシートＳがローラ対５，６に到達すると、従動ローラ５がシートによって押し下げられる（図２（ａ）、（ｂ）参照）。このとき、回転体加速度検知センサ１は図３に示す波形の加速度ａの変化を静電容量の変化として、コントローラ４０に出力する。そして、コントローラ４０は、図３に示す波形からシートＳの到達タイミングｔ１を求め、さらにピーク波形Ａの二重積分値からシートＳの厚みを算出する。また、シートＳの後端がローラ対５，６から抜ける送出タイミングも同様に加速度の変化の波形から求めることもできる。
【００５４】
一方、シートＳは、回転を停止しているレジストローラ対９，１０に先端を突き当てられる。コントローラ４０は、所定のタイミングで駆動ローラ６を停止させてシートの斜行を補正するためのループ（図２（ｃ）参照）をシートに形成する。駆動ローラ６の停止タイミングは、前述のタイミングｔ１だけでなく、シートＳの厚みに基づいても決められる。コントローラ４０は、例えば、シートＳの厚みが薄いと判断したとき、駆動ローラ６の停止タイミングを遅らせてループＳａ（図２（ｃ））を大きくする。また、シートＳの厚みが厚いと判断したとき、駆動ローラ６の停止タイミングを早める。
【００５５】
シートが厚紙の場合、厚紙をレジストローラ対９，１０への突き当て力が強いため、ループＳａを小さくしても充分斜行を補正できる。これは、仮に、レジストローラ対９，１０へシートＳを無理に押し込むとシートが折れる可能性があるためである。
【００５６】
次に、コントローラ４０は、シートＳを斜行補正した後、画像形成部２４の準備を待って駆動側のレジストローラ９を回転させ、画像形成部２４にシートＳを送り込む。
【００５７】
以上説明した第１実施形態のシート搬送装置２６は、次の効果を奏する。
【００５８】
従来と異なってフラグを使用していないので薄いシートの搬送を阻害しない。
【００５９】
軸受３に数ミリ角の回転体加速度検知センサ１を直接取り付けてあるため、回転体加速度検知センサ１の占有スペースを極めて小さくすることができる。また、複数の搬送パスが入り組んでいる場合、搬送パスのガイド板の形状を変更する必要がない。
【００６０】
測定対象（従動ローラ５の軸受３）に回転体加速度検知センサ１を直接取り付けてあるため、従来の接触式プローブセンサ６４と異なって、安定した取り付け台座を確保する必要がない。すなわち、数ミリ角の回転体加速度検知センサ１を取り付ける面を確保するだけでよく、周辺構成を殆ど変更する必要がない。
【００６１】
従来のシート厚検知センサ７０のように検知光７０ａを測定対象に照射するセンサは、測定対象の表面を平滑に仕上げなければならなかった（例えば、ブラスト加工を施す等）が、回転体加速度検知センサ１を用いると、測定対象に検知光を照射する必要がなく、測定対象物の表面を平滑に仕上げる必要がない。
【００６２】
回転体加速度検知センサ１は、測定対象に検知光を照射する必要がないので、シート搬送装置２６や複写機３０の駆動部の油、シート紛等の塵埃によって多少汚れても、検知精度が殆ど低下するようなことがない。
【００６３】
（第２実施形態のシート搬送装置）
第２実施形態のシート搬送装置を図８、図９に基づいて説明する。
【００６４】
第２実施形態のシート搬送装置１２６は、第１実施形態のシート搬送装置２６において、支持体としてのフレーム７に第２の加速度検知センサとしての支持体加速度検知センサ１２を備えた構成になっている。本実施形態のシート搬送装置１２６において、第１実施形態のシート搬送装置２６と同一部分に、同一符号を付してその部分の説明は省略する。また、動作についても説明の無いものは第１の実施の形態と同じである。
【００６５】
第１実施形態のシート搬送装置は、フレーム７が振動したとき、その振動如何によっては、回転体加速度検知センサ１が従動ローラ５の移動を検知するだけでなく、フレーム７の振動まで検知して、検知誤差が生じることがある。そこで、本実施形態のシート搬送装置１２６は、フレーム７が回転体加速度検知センサ１に検知誤差を与えるような振動をしても、その影響を受けないようにしてある。
【００６６】
すなわち、本実施形態のシート搬送装置１２６は、フレーム７に支持体加速度検知センサ１２を設けて、その支持体加速度検知センサ１２でフレーム７の振動を検知し、回転体加速度検知センサ１が検知したフレーム７の振動を相殺するようになっている。
【００６７】
このことを、図９に示す検知波形に基づいて説明する。コントローラ４０は、回転体加速度検知センサ１の出力信号の処理において、回転体加速度検知センサ１の出力（図９（ａ）参照）から、支持体加速度検知センサ（図９（ｂ）参照）の出力を引き算する。そして、コントローラ４０は、引き算した信号波形（図９（ｃ）参照）のピークＣからシートＳの到達タイミングｔ１、及びシートＳの厚み（図９（ｃ）の波形を二重積分して求める）を求める。
【００６８】
また、コントローラ４０は、回転体加速度検知センサ１が、装置外部から加えられる振動（例えば、図９（ａ）、（ｂ）のピークＢ、Ｄ）を検知してシートを誤検知する場合もあるが（図９（ａ）のピークＢ、Ｄが閾値Ｅを超えるとシートが到達したと判断してしまう）、支持体加速度検知センサ１２の出力を引き算して、図９（ｃ）のように外部振動の影響を除去することができる。
【００６９】
このように、本実施形態のシート搬送装置１２６は、外部振動とローラ６及び軸受３の変位は同じ物理量（加速度）で捉えることができるので、両者の信号波形の差分を求めれば外部振動の影響を確実に除去して誤検知を容易に防止することができるようになっている。これに対して、図１２に示す従来のシート搬送機構、図１３に示すシート搬送装置は、外部振動を測定する支持体加速度検知センサ１２を設けても、変位量と加速度という異なる物理量同士を比較するため、外部振動の影響を完全に除去することが困難である。
【００７０】
したがって、本実施形態のシート搬送装置１２６は、装置外部から加えられる振動等の影響を除去することができる。
【００７１】
なお、第１、第２実施形態のシート搬送装置１２６は、レジストローラ対９，１０にシートを送る箇所に設けられている例を示したが、本発明は、これに限定されるものではなく、シートの到達タイミング、送出のタイミングやシートの厚さの検知を必要とする箇所に適宜設けられる。例えば、レジストローラ対に設けて、カセットや手差し部の近傍に配置して、定着器等の速度を制御するために、給送されるシートの厚さを検知するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施形態のシート搬送装置を備えた画像形成装置としての複写機の概略正面断面図である。
【図２】第１実施形態のシート搬送装置の動作説明用図である。（ａ）は、シートが送られてきたときの図である。（ｂ）は、シートの到達タイミングと、シート厚を検知しているときの図である。（ｃ）は、シートをたわませた図である。
【図３】回転体加速度検知センサの検知波形図である。
【図４】ＭＥＭＳ加速度センサの概略平面図である。
【図５】図４のＪ−Ｊ矢視断面図である。
【図６】ＭＥＭＳ加速度センサが多数形成されたシリコンウエハの平面図である。
【図７】ＭＥＭＳ加速度センサの検知情報をワイヤレスで行なう場合の電気回路図である。
【図８】第２実施形態のシート搬送装置の動作説明用図である。
【図９】第２実施形態のシート搬送装置における検知波形の図である。（ａ）は、回転体加速度検知センサの検知波形である。（ｂ）支持体加速度検知センサの検知波形である。（ｃ）は、（ａ）の波形から（ｂ）の波形を引いた波形である。
【図１０】従来のシート検知装置（フォトインタラプタセンサ）の一例を示す斜視図である。
【図１１】従来のシート検知装置（光透過センサ）の一例を示す斜視図である。
【図１２】従来のシート検知装置（接触式プローブセンサ）の一例を示す概略図である。
【図１３】従来のシート検知装置（光式変位検知センサ）の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００７３】
Ｓ      シート
Ｓａ    ループ
１      回転体加速度検知センサ
５      従動ローラ（移動回転体）
６      駆動ローラ（固定回転体）
７      フレーム（支持体）
９      レジストローラ対
１０      レジストローラ対
１２      支持体加速度検知センサ
１３      ばね
２４      画像形成部（画像形成手段）
３０      複写機（画像形成装置）
４０      コントローラ（シート厚検知手段）
４０ａ    駆動部
４０ｂ    レジストローラの駆動部
８０      ＭＥＭＳ加速度センサ
８２      固定部（電極）
８３      可動部（検知部）
８５      可動側くし状電極
１００      ワイヤレス加速度センサユニット
１０１      電力送信・信号受信ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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