(57)【要約】【課題】空間光変調素子を描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてフレームデータを空間変調素子に順次入力して描画点群を時系列に順次形成することによって多数の描画点からなる画像を描画面上に形成する際に用いられる、上記フレームデータをより高速に作成する。【解決手段】格納された描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうる記憶手段に、上記アドレスが連続する方向と上記走査方向に時系列に並んで描画される各々の描画点に対応する描画点データが格納される配列方向とが一致するように描画点データを格納し、上記記憶手段に格納された描画点データを上記アドレスが連続する方向に順次読み出し、その読み出された複数の描画点データから同じフレームデータに属する描画点データを取得して各フレームデータを作成する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の描画点を形成するために描画点形成部に与えるべき描画点データを得るための画像データの格納方法であって、
記憶手段に、前記記憶手段のアドレスが連続する方向と、前記描画点形成部と描画面との相対走査方向に対応する前記画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、前記画像データを格納することを特徴とする画像データ格納方法。
【請求項２】
前記記憶手段が、前記画像データの読出しの際に、前記アドレスが連続する方向に沿って複数ビットがまとめて読み出されるように構成又は設定されたものであることを特徴とする請求項１記載の画像データ格納方法。
【請求項３】
前記アドレスが連続する方向が、前記記憶手段からの前記画像データの読出しの際に、複数ビットを順次読み出す経路として構成又は設定された方向であることを特徴とする請求項１または２記載の画像データ格納方法。
【請求項４】
前記画像データに対して、前記走査方向に対応する前記データ配列方向について圧縮処理を施すとともに、
該圧縮処理の施された圧縮処理済画像データの配列方向と前記アドレスが連続する方向とが同じになるように前記記憶手段に前記圧縮処理済画像データを格納することを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の画像データ格納方法。
【請求項５】
前記画像データが２値データであるとともに、前記圧縮処理がランレングス圧縮処理であることを特徴とする請求項４記載の画像データ格納方法。
【請求項６】
前記描画点形成部が、入射光を変調する変調素子が多数配列されたものであることを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載の画像データ格納方法。
【請求項７】
前記描画点形成部が、ＧＬＶ（Grating Light Valve）であることを特徴とする請求項６記載の画像データ格納方法。
【請求項８】
前記描画点形成部が、デジタルマイクロミラーデバイスであることを特徴とする請求項６記載の画像データ格納方法。
【請求項９】
前記描画点形成部が、発光素子が多数配列されたものであることを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載の画像データ格納方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の画像データ格納方法を用いて前記記憶手段に格納された前記画像データを前記アドレスが連続する方向に読み出して前記描画点データ又は複数の前記描画点データが含まれる中間データを取得することを特徴とするデータ取得方法。
【請求項１１】
前記描画点形成部の素子毎に前記描画点データ又は前記中間データを読み出すことを特徴とする請求項１０記載のデータ取得方法。
【請求項１２】
請求項４記載の画像データ格納方法を用いて前記記憶手段に格納された前記圧縮処理済画像データを前記アドレスが連続する方向に読出し、
該読み出された圧縮処理済画像データを伸張して前記描画点データを取得することを特徴とするデータ取得方法。
【請求項１３】
請求項１に記載の画像データ格納方法を用いて前記記憶手段に格納された前記画像データから前記描画点データを読み出して、フレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、
前記記憶手段に格納された前記画像データから前記描画点データを前記アドレスが連続する方向に読み出し、前記読み出された複数の描画点データから同じ前記フレームデータに属する描画点データを取得して前記各フレームデータを作成することを特徴とするフレームデータ作成方法。
【請求項１４】
格納された前記描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段を用い、
前記アドレスが連続する方向と前記同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように前記描画点データを前記フレーム用記憶手段に格納した後、
前記同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して前記各フレームデータを作成することを特徴とする請求項１３記載のフレームデータ作成方法。
【請求項１５】
請求項４記載の画像データ格納方法を用いて前記記憶手段に格納された前記圧縮処理済画像データを前記アドレスが連続する方向に順次読み出し、
該読み出された圧縮処理済画像データを伸張して複数の描画点データを生成した後、該生成された複数の描画点データから同じ前記フレームデータに属する描画点データを取得して前記各フレームデータを作成することを特徴とするフレームデータ作成方法。
【請求項１６】
格納された前記描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段を用い、
前記アドレスが連続する方向と前記伸張後の前記同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように前記描画点データを前記フレーム用記憶手段に格納した後、
前記同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して前記各フレームデータを作成することを特徴とする請求項１５記載のフレームデータ作成方法。
【請求項１７】
請求項１０から１２記載のデータ取得方法を用いて前記描画点データを取得し、
前記描画点形成部を前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画点形成部に順次前記各描画点データを入力して前記描画点を形成して前記描画面上に画像を形成することを特徴とする描画方法。
【請求項１８】
請求項１３から１６いずれか１項記載のフレームデータ作成方法を用いて前記各フレームデータを取得し、
前記描画点形成部を前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、該走査方向への移動に応じて前記描画点形成部に順次前記各フレームデータを入力して前記複数の描画点を時系列に形成し、前記描画面上に画像を形成することを特徴とする描画方法。
【請求項１９】
複数の描画点を形成するために描画点形成部に与えるべき描画点データを得るための画像データを記憶手段に格納する画像データ格納制御装置であって、
前記記憶手段のアドレスが連続する方向と、前記複数の描画点形成部と描画面との相対走査方向に対応する前記画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、前記画像データを前記記憶手段に格納する格納制御手段を備えたことを特徴とする画像データ格納制御装置。
【請求項２０】
前記記憶手段が、前記画像データの読出しの際に、前記アドレスが連続する方向に沿って複数ビットがまとめて読み出されるように構成又は設定されたものであることを特徴とする請求項１９記載の画像データ格納制御装置。
【請求項２１】
前記アドレスが連続する方向が、前記記憶手段からの前記画像データの読出しの際に、複数ビットを順次読み出す経路として構成又は設定された方向であることを特徴とする請求項１９または２０記載の画像データ格納制御装置。
【請求項２２】
前記画像データに対して、前記走査方向に対応する前記データ配列方向について圧縮処理を施す圧縮処理手段をさらに備え、
前記格納制御手段が、前記圧縮処理手段により圧縮処理の施された圧縮処理済画像データの配列方向と前記アドレスが連続する方向とが同じになるように前記記憶手段に前記圧縮処理済画像データを格納するものであることを特徴とする請求項１９から２１記載の画像データ格納制御装置。
【請求項２３】
前記画像データが２値データであるとともに、前記圧縮処理がランレングス圧縮処理であることを特徴とする請求項２２記載の画像データ格納制御装置。
【請求項２４】
前記描画点形成部が、入射光を変調する変調素子が多数配列されたものであることを特徴とする請求項１９から２３いずれか１項記載の画像データ格納制御置。
【請求項２５】
前記描画点形成部が、ＧＬＶ（Grating Light Valve）であることを特徴とする請求項２４記載の画像データ格納制御装置。
【請求項２６】
前記描画点形成部が、デジタルマイクロミラーデバイスであることを特徴とする請求項２４記載の画像データ格納制御装置。
【請求項２７】
前記描画点形成部が、発光素子が多数配列されたものであることを特徴とする請求項１９から２３いずれか１項記載の画像データ格納制御装置。
【請求項２８】
請求項１９に記載の画像データ格納制御装置と、
該画像データ格納制御装置を用いて前記記憶手段に格納された前記画像データを前記アドレスが連続する方向に読み出して前記描画点データ又は複数の前記描画点データが含まれる中間データを取得するデータ取得部とを備えたことを特徴とするデータ取得装置。
【請求項２９】
前記データ取得部が、前記描画点形成部の素子毎に前記描画点データ又は前記中間データを読み出すものであることを特徴とする請求項２８記載のデータ取得装置。
【請求項３０】
請求項２２に記載の画像データ格納制御装置と、
該画像データ格納制御装置を用いて前記記憶手段に格納された前記圧縮処理済画像データを前記アドレスが連続する方向に読み出し、該読み出した圧縮処理済画像データを伸張して前記描画点データを取得するデータ取得部とを備えたことを特徴とするデータ取得装置。
【請求項３１】
請求項１９に記載の画像データ格納制御装置と、
該画像データ格納制御装置を用いて前記記憶手段に格納された前記画像データから前記描画点データを読み出して、前記フレームデータを作成するフレームデータ作成手段とを備えたフレームデータ作成装置であって、
前記フレームデータ作成手段が、前記記憶手段に格納された前記画像データから前記描画点データを前記アドレスが連続する方向に読み出し、前記読み出された複数の描画点データから同じ前記フレームデータに属する描画点データを取得して前記各フレームデータを作成するものであることを特徴とするフレームデータ作成装置。
【請求項３２】
格納された前記描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段を備え、
前記フレームデータ作成手段が、前記アドレスが連続する方向と前記同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように前記描画点データを前記フレーム用記憶手段に格納した後、前記同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して前記各フレームデータを作成するものであることを特徴とする請求項３１記載のフレームデータ作成装置。
【請求項３３】
請求項２２記載の画像データ格納制御装置と、
該画像データ格納制御装置を用いて前記記憶手段に格納された前記圧縮処理済画像データを前記アドレスが連続する方向に順次読み出し、該読み出された圧縮処理済画像データを伸張して複数の描画点データを生成した後、該生成された複数の描画点データから同じ前記フレームデータに属する描画点データを取得して前記各フレームデータを作成するフレームデータ作成手段とを備えたことを特徴とするフレームデータ作成装置。
【請求項３４】
格納された前記描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段を備え、
前記フレームデータ作成手段が、前記アドレスが連続する方向と前記伸張後の前記同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように前記描画点データを前記フレーム用記憶手段に格納した後、
前記同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して前記各フレームデータを作成するものであることを特徴とする請求項３３記載のフレームデータ作成装置。
【請求項３５】
請求項２８から３０のデータ取得装置と、
入力された前記描画点データに基づいて描画点を描画面上に形成する描画点形成部と、
該描画点形成部を前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させる移動手段と、
該移動手段による走査方向への移動に応じて前記データ取得装置において取得された描画点データを前記描画点形成部に順次入力し、前記描画点形成部に前記描画点を順次形成させて前記描画面上に画像を形成させる画像形成制御手段とを備えたことを特徴とする描画装置。
【請求項３６】
請求項３１から３４いずれか１項記載のフレームデータ作成装置と、
入力された前記フレームデータに基づいて複数の描画点を描画面上に形成する描画点形成部と、
該描画点形成部を前記描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させる移動手段と、
該移動手段による走査方向への移動に応じて前記フレームデータ作成装置において作成されたフレームデータを前記描画点形成部に順次入力し、前記描画点形成部に前記複数の描画点を時系列に順次形成させて前記描画面上に画像を形成させる画像形成制御手段とを備えたことを特徴とする描画装置。
【請求項３７】
複数の描画点を形成するための描画点形成部に与えるべき描画点データを得るための画像を記憶手段に格納する手順をコンピュータに実行させる画像データ格納プログラムであって、
前記記憶手段のアドレスが連続する方向と、前記複数の描画点形成部と描画面との相対走査方向に対応する前記画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、前記画像データを前記記憶手段に格納する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする画像データ格納プログラム。
【請求項３８】
前記画像データに対して、前記走査方向に対応する前記データ配列方向について圧縮処理を施す手順をコンピュータにさらに実行させ、
該圧縮処理の施された圧縮処理済画像データの配列方向と前記アドレスが連続する方向とが同じになるように前記記憶手段に前記圧縮処理済画像データを格納する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする請求項３８記載の画像データ格納プログラム。
【請求項３９】
前記画像データが２値データであるとともに、前記圧縮処理がランレングス圧縮処理であることを特徴とする請求項３８記載の画像データ格納プログラム。
【請求項４０】
請求項３７に記載の画像データ格納プログラムを用いて前記記憶手段に格納された前記描画点データを読み出して、フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるフレームデータ作成プログラムであって、
前記記憶手段に格納された前記画像データから前記描画点データを前記アドレスが連続する方向に読み出し、前記読み出された複数の描画点データから同じ前記フレームデータに属する描画点データを取得して前記各フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させることを特徴とするフレームデータ作成プログラム。
【請求項４１】
格納された前記描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段に、前記アドレスが連続する方向と前記同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように前記描画点データを格納した後、
前記同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して前記各フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする請求項４０記載のフレームデータ作成プログラム。
【請求項４２】
複数の描画素子の各描画素子によって相対走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する際に前記各描画素子に与えられるべき描画点データを得るための画像データを用意し、
記憶手段に対して、該記憶手段のアドレスが連続する方向と、前記描画点が連続して形成される方向に対応する前記画像データ上のデータ配列方向とが一致するように前記画像データを格納することを特徴とする画像データ格納方法。
【請求項４３】
複数の描画素子の各描画素子によって相対走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する際に前記各描画素子に与えられるべき描画点データを得るための画像データを用意し、
前記画像データを、前記描画点が連続して形成される方向に対応するデータ配列方向に圧縮し、
該圧縮された画像データを記憶手段に格納することを特徴とする画像データ格納方法。
【請求項４４】
前記圧縮された画像データを、その圧縮方向と、前記記憶手段のアドレスが連続する方向とが一致するように前記記憶手段に格納することを特徴とする請求項４３記載の画像データ格納方法。
【請求項４５】
記憶手段に格納された画像データから複数の描画素子の各描画素子毎に描画点データを読み出し、
該読み出された描画点データに基づいて、前記複数の描画素子の各描画素子によって走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成することを特徴とする描画方法。
【請求項４６】
記憶手段に格納された画像データから、複数の描画素子の各描画素子に対応するアドレスの並び毎に描画点データを読み出し、
該読み出された描画点データに基づいて、前記複数の描画素子の各描画素子によって走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成することを特徴とする描画方法。
【請求項４７】
前記描画点データを読み出す際、複数ビットまとめて読み出すことを特徴とする請求項４５または４６記載の描画方法。
【請求項４８】
前記画像データを、予め、前記記憶手段のアドレスが連続する方向と、前記描画点が連続して形成される方向に対応する前記画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、前記記憶手段に格納することを特徴とする請求項４５または４６記載の描画方法。
【請求項４９】
複数の描画素子の各描画素子によって相対走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する際に前記各描画素子に与えられるべき描画点データを得るための画像データを取得する画像データ取得手段と、
記憶手段に対して、該記憶手段のアドレスが連続する方向と、前記描画点が連続して形成される方向に対応する前記画像データ上のデータ配列方向とが一致するように前記画像データを格納する格納制御手段とを備えたことを特徴とする画像データ格納制御装置。
【請求項５０】
複数の描画素子の各描画素子によって相対走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する際に前記各描画素子に与えられるべき描画点データを得るための画像データを取得する画像データ取得手段と、
前記画像データを、前記描画点が連続して形成される方向に対応するデータ配列方向に圧縮する圧縮処理手段と、
該圧縮された画像データを記憶手段に格納する格納制御手段とを備えたことを特徴とする画像データ格納制御装置。
【請求項５１】
前記格納制御手段が、前記圧縮された画像データを、その圧縮方向と、前記記憶手段のアドレスが連続する方向とが一致するように前記記憶手段に格納するものであることを特徴とする請求項５０記載の画像データ格納制御装置。
【請求項５２】
記憶手段に格納された画像データから複数の描画素子の各描画素子毎に描画点データを読み出して取得する描画点データ取得手段と、
該描画点データ取得手段により取得された描画点データに基づいて、前記複数の描画素子の各描画素子によって走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する描画手段とを備えたことを特徴とする描画装置。
【請求項５３】
記憶手段に格納された画像データから、複数の描画素子の各描画素子に対応するアドレスの並び毎に描画点データを読み出して取得する描画点データ取得手段と、
該描画点データ取得手段により取得された描画点データに基づいて、前記複数の描画素子の各描画素子によって走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する描画手段とを備えたことを特徴とする描画装置。
【請求項５４】
前記描画点データ取得手段が、前記描画点データを読み出す際、複数ビットまとめて読み出すものであることを特徴とする請求項５２または５３記載の描画装置。
【請求項５５】
前記画像データを、予め、前記記憶手段のアドレスが連続する方向と、前記描画点が連続して形成される方向に対応する前記画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、前記記憶手段に格納する格納制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項５２または５３記載の描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空間光変調素子のような描画点形成部を描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させて画像を形成する際に使用される画像データの格納方法および装置並びにプログラム、その画像データ格納方法および装置を用いて格納された画像データを用いて描画点形成部に入力されるデータを取得するデータ取得方法および装置、画像データ格納方法および装置を用いて格納された画像データを用いて描画点形成部に入力されるフレームデータを作成するフレームデータ作成方法および装置並びにプログラム、そのフレームデータ作成方法および装置並びにプログラムを用いて作成された取得されたフレームデータを用いて描画を行う描画方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像データが表す所望の２次元パターンを描画面上に形成する描画装置が種々知られている。
【０００３】
上記のような描画装置として、たとえば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（以下、ＤＭＤという）等の空間光変調素子を利用し、画像データに応じて空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。ＤＭＤは、シリコン等の半導体基板上のメモリセル（ＳＲＡＭアレイ）に、微小なマイクロミラーが２次元状に多数配置されて構成されたものである。そして、メモリセルに蓄積される電荷による静電気力を制御することによってマイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させることができ、この反射面の角度変化により所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができるものである。
【０００４】
そして、上記のようなＤＭＤを用いた露光装置としては、たとえば、ＤＭＤを露光面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じてＤＭＤのメモリセルにマイクロミラー郡に対応した複数の描画点データからなるフレームデータを入力し、ＤＭＤのマイクロミラー群に対応した描画点群を時系列に順次形成することにより所望の画像を露光面に形成する露光装置が提案されている（特許文献１）。また、露光面上に形成される画像の解像度を上げるため、ＤＭＤを走査方向に対して所定の角度だけ傾けて上記のような露光を行う露光装置も提案されている。
【０００５】
上記のような露光装置を用いて露光を行う際には、ＤＭＤの走査方向への相対的な移動に応じてフレームデータをＤＭＤに入力する必要があるので、露光の前に予め露光面に対するＤＭＤの位置に対応した複数のフレームデータを作成しておく必要がある。
【０００６】
ここで、たとえば、図１１に示すような数字の「２」を露光面上に描画する場合における従来のフレームデータの作成方法について説明する。なお、図１１に示す丸１〜丸８は、ＤＭＤのマイクロミラーを模式的に示したものであり、そして、図１１（Ａ）〜（Ｏ）の下部に示すフレーム１〜フレーム１５は、それぞれの図において示される位置にＤＭＤがある時に、ＤＭＤに入力されるべきフレームデータを模式的に示したものである。
【０００７】
従来は、たとえば、まず、図１１に示す各描画点に対応する描画点データ（画像データ）をＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ  Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）などのメモリに一旦記憶し、図１１（Ａ）〜（Ｏ）に示すように、ＤＭＤの各位置について、ＤＭＤの各マイクロミラー丸１〜丸８に対応する描画点データを上記メモリから順次読み出すことにより各フレームデータを作成していた。なお、図１１に示す白四角と斜線四角の描画点に対応する描画点データはＯＦＦデータ「０」であり、黒四角の描画点に対応する描画点データはＯＮデータ「１」である。また、斜線四角部分の範囲は、描画面上に描画される画像の実質的な範囲を示すものであり、描画点データとしては白四角と同じ「０」である。
【特許文献１】特開２００３−５０４６９号公報
【特許文献２】特開平１１−２２７３０１号公報
【特許文献３】特開２００３−５４０４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記のように各マイクロミラーに対応する描画点データを丸１〜丸８まで順次読み出してフレームデータを作成したのでは、たとえば、図１１の各図における走査方向に直交する方向に、連続するアドレスが割り当てられ、その連続するアドレス方向に順次描画点データが読み出されるようにメモリの読み出しが制御されるような場合には、各マイクロミラーに対応する描画点データの格納されたアドレスは、メモリを制御する制御手段からみたメモリのアドレス空間において離散的に配置されており、このような配置のアドレスに１つ１つアクセスしながら描画点データを読み出すのはメモリの制御上、非常に時間がかかり、全てのフレームデータを取得するのに非常に時間がかかってしまう。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み、上記のようなフレームデータをより高速に作成することができる画像データ格納方法および制御装置並びにプログラム、データ取得方法および装置、フレームデータ作成方法および装置並びにプログラムを提供するとともに、上記画像データ格納方法等を利用した描画方法および装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の画像データ格納方法は、複数の描画点を形成するために描画点形成部に与えるべき描画点データを得るための画像データの格納方法であって、記憶手段に、記憶手段のアドレスが連続する方向と、描画点形成部と描画面との相対走査方向に対応する画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、画像データを格納することを特徴とする。
【００１１】
また、上記本発明の第１の画像データ格納方法においては、記憶手段を、画像データの読出しの際に、上記アドレスが連続する方向に沿って複数ビットがまとめて読み出されるように構成又は設定するようにすることができる。
【００１２】
また、上記アドレスが連続する方向を、記憶手段からの画像データの読出しの際に、複数ビットを順次読み出す経路として構成又は設定された方向とすることができる。
【００１３】
また、画像データに対して、上記走査方向に対応する上記データ配列方向について圧縮処理を施すとともに、その圧縮処理の施された圧縮処理済画像データの配列方向と上記アドレスが連続する方向とが同じになるように記憶手段に圧縮処理済画像データを格納するようにすることができる。
【００１４】
また、画像データを２値データとするとともに、圧縮処理をランレングス圧縮処理とすることができる。
【００１５】
また、描画点形成部を、入射光を変調する変調素子が多数配列されたものとすることができる。
【００１６】
また、描画点形成部を、ＧＬＶ（Grating Light Valve）とすることができる。
【００１７】
また、描画点形成部を、デジタルマイクロミラーデバイスとすることができる。
【００１８】
また、描画点形成部を、発光素子が多数配列されたものとすることができる。
【００１９】
本発明の第１のデータ取得方法は、上記本発明の第１の画像データ格納方法を用いて記憶手段に格納された画像データを上記アドレスが連続する方向に読み出して描画点データ又は複数の描画点データが含まれる中間データを取得することを特徴とする。
【００２０】
また、上記本発明のデータ取得方法においては、描画点形成部の素子毎に描画点データ又は中間データを読み出すようにすることができる。
【００２１】
本発明の第２のデータ取得方法は、上記本発明の第１の画像データ格納方法を用いて記憶手段に格納された圧縮処理済画像データを上記アドレスが連続する方向に読出し、その読み出された圧縮処理済画像データを伸張して描画点データを取得することを特徴とする。
【００２２】
本発明の第１のフレームデータ作成方法は、上記本発明の第１の画像データ格納方法を用いて記憶手段に格納された画像データから描画点データを読み出して、フレームデータを作成するフレームデータ作成方法であって、記憶手段に格納された画像データから描画点データを上記アドレスが連続する方向に読み出し、読み出された複数の描画点データから同じフレームデータに属する描画点データを取得して各フレームデータを作成することを特徴とする。
【００２３】
また、上記本発明の第１のフレームデータ作成方法においては、格納された描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段を用い、上記アドレスが連続する方向と同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように描画点データをフレーム用記憶手段に格納した後、同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して各フレームデータを作成するようにすることができる。
【００２４】
本発明の第２のフレームデータ作成方法は、上記本発明の第１の画像データ格納方法を用いて記憶手段に格納された圧縮処理済画像データを上記アドレスが連続する方向に順次読み出し、その読み出された圧縮処理済画像データを伸張して複数の描画点データを生成した後、該生成された複数の描画点データから同じフレームデータに属する描画点データを取得して各フレームデータを作成することを特徴とする。
【００２５】
また、上記本発明の第２のフレームデータ作成方法においては、格納された描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段を用い、上記アドレスが連続する方向と上記伸張後の同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように描画点データをフレーム用記憶手段に格納した後、同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して各フレームデータを作成するようにすることができる。
【００２６】
本発明の第１の描画方法は、上記本発明の第１または第２のデータ取得方法を用いて描画点データを取得し、描画点形成部を描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画点形成部に順次各描画点データを入力して描画点を形成して描画面上に画像を形成することを特徴とする。
【００２７】
本発明の第２の描画方法は、上記本発明の第１または第２のフレームデータ作成方法を用いて各フレームデータを取得し、描画点形成部を描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させるとともに、その走査方向への移動に応じて描画点形成部に順次各フレームデータを入力して複数の描画点を時系列に形成し、描画面上に画像を形成することを特徴とする。
【００２８】
本発明の第１の画像データ格納制御装置は、複数の描画点を形成するために描画点形成部に与えるべき描画点データを得るための画像データを記憶手段に格納する画像データ格納制御装置であって、記憶手段のアドレスが連続する方向と、複数の描画点形成部と描画面との相対走査方向に対応する画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、画像データを記憶手段に格納する格納制御手段を備えたことを特徴とする。
【００２９】
また、上記本発明の第１の画像データ格納制御装置においては、記憶手段を、画像データの読出しの際に、上記アドレスが連続する方向に沿って複数ビットがまとめて読み出されるように構成又は設定するようにすることができる。
【００３０】
また、上記アドレスが連続する方向を、記憶手段からの画像データの読出しの際に、複数ビットを順次読み出す経路として構成又は設定された方向とすることができる。
【００３１】
また、画像データに対して、上記走査方向に対応する上記データ配列方向について圧縮処理を施す圧縮処理手段をさらに備えたものとし、格納制御手段を、圧縮処理手段により圧縮処理の施された圧縮処理済画像データの配列方向と上記アドレスが連続する方向とが同じになるように記憶手段に圧縮処理済画像データを格納するものとすることができる。
【００３２】
また、画像データを２値データとするとともに、圧縮処理をランレングス圧縮処理とすることができる。
【００３３】
また、描画点形成部を、入射光を変調する変調素子が多数配列されたものとすることができる。
【００３４】
また、描画点形成部を、ＧＬＶ（Grating Light Valve）とすることができる。
【００３５】
また、描画点形成部を、デジタルマイクロミラーデバイスとすることができる。
【００３６】
また、描画点形成部を、発光素子が多数配列されたものとすることができる。
【００３７】
本発明の第１のデータ取得装置は、上記本発明の第１の画像データ格納制御装置と、画像データ格納制御装置を用いて記憶手段に格納された画像データを上記アドレスが連続する方向に読み出して描画点データ又は複数の描画点データが含まれる中間データを取得するデータ取得部とを備えたことを特徴とする。
【００３８】
また、本発明の第１のデータ取得装置においては、データ取得部を、描画点形成部の素子毎に描画点データ又は中間データを読み出すものとすることができる。
【００３９】
本発明の第２のデータ取得装置は、上記本発明の第１の画像データ格納制御装置と、画像データ格納制御装置を用いて記憶手段に格納された圧縮処理済画像データを上記アドレスが連続する方向に読み出し、該読み出した圧縮処理済画像データを伸張して描画点データを取得するデータ取得部とを備えたことを特徴とする。
【００４０】
本発明の第１のフレームデータ作成装置は、上記本発明の第１の画像データ格納制御装置と、画像データ格納制御装置を用いて記憶手段に格納された画像データから描画点データを読み出して、フレームデータを作成するフレームデータ作成手段とを備えたフレームデータ作成装置であって、フレームデータ作成手段が、記憶手段に格納された画像データから描画点データを上記アドレスが連続する方向に読み出し、読み出された複数の描画点データから同じフレームデータに属する描画点データを取得して各フレームデータを作成するものであることを特徴とする。
【００４１】
また、上記本発明の第１のフレームデータ作成装置においては、格納された描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段を備えたものとし、フレームデータ作成手段を、上記アドレスが連続する方向と同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように描画点データをフレーム用記憶手段に格納した後、同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して各フレームデータを作成するようにすることができる。
【００４２】
本発明の第２のフレームデータ作成装置は、上記本発明の第１の画像データ格納制御装置と、画像データ格納制御装置を用いて記憶手段に格納された圧縮処理済画像データを上記アドレスが連続する方向に順次読み出し、該読み出された圧縮処理済画像データを伸張して複数の描画点データを生成した後、該生成された複数の描画点データから同じフレームデータに属する描画点データを取得して各フレームデータを作成するフレームデータ作成手段とを備えたことを特徴とする。
【００４３】
また、上記本発明の第２のフレームデータ作成装置においては、格納された描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段を備えたものとし、フレームデータ作成手段を、上記アドレスが連続する方向と上記伸張後の同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように描画点データをフレーム用記憶手段に格納した後、同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して各フレームデータを作成するものとすることができる。
【００４４】
本発明の第１の描画装置は、上記本発明の第１または第２データ取得装置と、入力された描画点データに基づいて描画点を描画面上に形成する描画点形成部と、描画点形成部を描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させる移動手段と、移動手段による走査方向への移動に応じてデータ取得装置において取得された描画点データを描画点形成部に順次入力し、描画点形成部に描画点を順次形成させて描画面上に画像を形成させる画像形成制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００４５】
本発明の第２の描画装置は、上記本発明の第１または第２のフレームデータ作成装置と、入力されたフレームデータに基づいて複数の描画点を描画面上に形成する描画点形成部と、描画点形成部を描画面に対して所定の走査方向に相対的に移動させる移動手段と、移動手段による走査方向への移動に応じてフレームデータ作成装置において作成されたフレームデータを描画点形成部に順次入力し、描画点形成部に複数の描画点を時系列に順次形成させて描画面上に画像を形成させる画像形成制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００４６】
本発明の画像データ格納プログラムは、複数の描画点を形成するための描画点形成部に与えるべき描画点データを得るための画像を記憶手段に格納する手順をコンピュータに実行させる画像データ格納プログラムであって、記憶手段のアドレスが連続する方向と、複数の描画点形成部と描画面との相対走査方向に対応する画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、画像データを記憶手段に格納する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００４７】
また、上記本発明の画像データ格納プログラムにおいては、画像データに対して、上記走査方向に対応する上記データ配列方向について圧縮処理を施す手順をコンピュータにさらに実行させ、その圧縮処理の施された圧縮処理済画像データの配列方向と上記アドレスが連続する方向とが同じになるように記憶手段に圧縮処理済画像データを格納する手順をコンピュータに実行させるようにすることができる。
【００４８】
また、画像データを２値データとするとともに、圧縮処理をランレングス圧縮処理とすることができる。
【００４９】
本発明のフレームデータ作成プログラムは、上記本発明の画像データ格納プログラムを用いて記憶手段に格納された描画点データを読み出して、フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるフレームデータ作成プログラムであって、記憶手段に格納された画像データから描画点データを上記アドレスが連続する方向に読み出し、読み出された複数の描画点データから同じフレームデータに属する描画点データを取得して各フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００５０】
また、上記本発明のフレームデータ作成プログラムにおいては、格納された描画点データがアドレスが連続する方向に順次読み出されうるフレームデータ用記憶手段に、上記アドレスが連続する方向と同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように描画点データを格納した後、同じフレームデータに属する描画点データを順次読み出して各フレームデータを作成する手順をコンピュータに実行させるようにすることができる。
【００５１】
本発明の第２の画像データ格納方法は、複数の描画素子の各描画素子によって相対走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する際に各描画素子に与えられるべき描画点データを得るための画像データを用意し、記憶手段に対して、該記憶手段のアドレスが連続する方向と、描画点が連続して形成される方向に対応する画像データ上のデータ配列方向とが一致するように画像データを格納することを特徴とする。
【００５２】
本発明の第３の画像データ格納方法は、複数の描画素子の各描画素子によって相対走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する際に各描画素子に与えられるべき描画点データを得るための画像データを用意し、画像データを、描画点が連続して形成される方向に対応するデータ配列方向に圧縮し、その圧縮された画像データを記憶手段に格納することを特徴とする。
【００５３】
また、上記本発明の第３の画像データ格納方法においては、上記圧縮された画像データを、その圧縮方向と、記憶手段のアドレスが連続する方向とが一致するように記憶手段に格納するようにすることができる。
【００５４】
本発明の第３の描画方法は、記憶手段に格納された画像データから複数の描画素子の各描画素子毎に描画点データを読み出し、その読み出された描画点データに基づいて、複数の描画素子の各描画素子によって走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成することを特徴とする。
【００５５】
本発明の第４の描画方法は、記憶手段に格納された画像データから、複数の描画素子の各描画素子に対応するアドレスの並び毎に描画点データを読み出し、その読み出された描画点データに基づいて、複数の描画素子の各描画素子によって走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成することを特徴とする。
【００５６】
また、上記第３および第４の描画方法においては、描画点データを読み出す際、複数ビットまとめて読み出すようにすることができる。
【００５７】
また画像データを、予め、記憶手段のアドレスが連続する方向と、描画点が連続して形成される方向に対応する画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、記憶手段に格納するようにすることができる。
【００５８】
本発明の第２の画像データ格納制御装置は、複数の描画素子の各描画素子によって相対走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する際に各描画素子に与えられるべき描画点データを得るための画像データを取得する画像データ取得手段と、記憶手段に対して、該記憶手段のアドレスが連続する方向と、描画点が連続して形成される方向に対応する画像データ上のデータ配列方向とが一致するように画像データを格納する格納制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００５９】
本発明の第３の画像データ格納制御装置は、複数の描画素子の各描画素子によって相対走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する際に各描画素子に与えられるべき描画点データを得るための画像データを取得する画像データ取得手段と、画像データを、描画点が連続して形成される方向に対応するデータ配列方向に圧縮する圧縮処理手段と、圧縮された画像データを記憶手段に格納する格納制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００６０】
また、上記本発明の第３の画像データ格納制御装置においては、格納制御手段を、上記圧縮された画像データを、その圧縮方向と、記憶手段のアドレスが連続する方向とが一致するように記憶手段に格納するものとすることができる。
【００６１】
本発明の第３の描画装置は、記憶手段に格納された画像データから複数の描画素子の各描画素子毎に描画点データを読み出して取得する描画点データ取得手段と、描画点データ取得手段により取得された描画点データに基づいて、複数の描画素子の各描画素子によって走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する描画手段とを備えたことを特徴とする。
【００６２】
本発明の第４の描画装置は、記憶手段に格納された画像データから、複数の描画素子の各描画素子に対応するアドレスの並び毎に描画点データを読み出して取得する描画点データ取得手段と、描画点データ取得手段により取得された描画点データに基づいて、複数の描画素子の各描画素子によって走査方向に連続する描画点を描画面に描画して画像を形成する描画手段とを備えたことを特徴とする。
【００６３】
また、上記第３および第４の描画装置においては、描画点データ取得手段を、描画点データを読み出す際、複数ビットまとめて読み出すものとすることができる。
【００６４】
また、画像データを、予め、記憶手段のアドレスが連続する方向と、描画点が連続して形成される方向に対応する画像データ上のデータ配列方向とが一致するように、記憶手段に格納する格納制御手段をさらに備えたものとすることができる。
【００６５】
また、上記記憶手段と上記フレームデータ用記憶手段とは別個に設けるようにしてもよいし、同じものを利用するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００６６】
本発明の実施の形態に係る画像データ格納方法および制御装置並びにプログラム、データ取得方法および装置、フレームデータ作成方法および装置並びにプログラム、描画方法および装置によれば、上記描画点データを上記記憶手段から高速及び又は効率的に読み出すことができる。
【００６７】
また、上記画像データ格納方法等を利用した描画方法および装置によれば、フレームデータを高速に作成することができるので、画像データの入力から描画終了までの描画時間を短縮することができる。
【００６８】
また、上記画像データ格納方法等において、上記走査方向に並んで描画される複数の描画点に対応する複数の描画点データ対して上記配列方向について圧縮処理を施すとともに、その圧縮処理の施された圧縮処理済描画点データが格納される配列方向と上記アドレスが連続する方向とが同じになるように記憶手段に圧縮処理済描画点データを格納するようにした場合には、圧縮された分だけ記憶手段から読み出されるデータ量を削減することができるので、その分だけ読出時間を短縮することができ、フレームデータの作成をさらに高速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６９】
以下、図面を参照して本発明の画像データ格納方法および制御装置並びにプログラム、データ取得方法および装置、フレームデータ作成方法および装置並びにプログラム、描画方法および装置の一実施形態を用いた露光装置について詳細に説明する。
【００７０】
本露光装置は、本発明における描画点形成部としてＤＭＤを用いた露光装置であって、そのＤＭＤへ入力されるフレームデータ等の描画点データの作成方法に特徴を有するものであるが、まず、本実施形態の露光装置の全体の構成について説明する。図１は、本実施形態の露光装置の概略構成を示す斜視図である。
【００７１】
本実施形態の露光装置１０は、図１に示すように、感光材料１２（感光材料１２が塗布され又は貼り付けられた基板であってもよい）を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ１４を備えている。そして、４本の脚部１６に支持された厚い板状の設置台１８の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド２０が設置されている。ステージ１４は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド２０によって往復移動可能に支持されている。
【００７２】
設置台１８の中央部には、移動ステージ１４の移動経路を跨ぐようにコの字状のゲート２２が設けられている。コの字状のゲート２２の端部の各々は、設置台１８の両側面に固定されている。このゲート２２を挟んで一方の側にはスキャナ２４が設けられ、他方の側には感光材料１２の先端および後端を検知する複数（たとえば２個）のセンサ２６が設けられている。スキャナ２４およびセンサ２６はゲート２２に各々取り付けられて、移動ステージ１４の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ２４およびセンサ２６は、これらを制御する、後述する制御部に接続されている。また、感光材料１２に設けられたマークやパターンをＣＣＤ等のセンサで読み取ることによって、感光材料１２の位置を測定するようにしてもよい。
【００７３】
スキャナ２４は、図２および図３（Ｂ）に示すように、２行５列の略マトリックス状に配列された１０個の露光ヘッド３０を備えている。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド３０ｍｎと表記する。露光ヘッド３０の数は、露光しようとする感光材料１２のサイズに応じて変更可能である。
【００７４】
各露光ヘッド３０は、空間光変調素子であるＤＭＤ３６を備えている。ＤＭＤ３６は、描画素子としてのマイクロミラーが、直交する方向に２次元状に配列されたものであり、そのマイクロミラーの配列方向が走査方向と所定の設定傾斜角度θをなすように露光ヘッド３０に取り付けられている。したがって、各露光ヘッド３０による露光エリア３２は、図２および図３（Ｂ）に示すように、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。このエリア内に、マイクロミラーの像が２次元状に配列されている。なお、以下において、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア３２ｍｎと表記する。なお、本実施形態の露光装置においては、上記のようにＤＭＤ３６を所定の設定傾斜角度θだけ傾けて設置するようにしたが、これに限らず、傾けないようにして設置するようにしてもよい。また、ＤＭＤ３６の各マイクロミラー（又はその像）を平行四辺形状や千鳥状に配置してもよい。また、ＤＭＤ３６のマイクロミラー（又はその像）の配列方向に対して傾斜した方向にステージを走査させるようにしてもよい。
【００７５】
ＤＭＤ３６の光入射側には、光ファイバの発光点が露光エリア３２の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたファイバアレイ光源（図示省略）とファイバアレイ光源から出射されたレーザ光を平行光化し、その平行光化されたレーザ光の光量分布が均一になるように補正してＤＭＤ３６上に集光する集光レンズ系（図示省略）とが設けられている。
【００７６】
また、ＤＭＤ３６の光反射側には、ＤＭＤ３６で反射されたレーザ光を感光材料１２の描画面に結像する結像レンズ系（図示省略）が配置されている。
【００７７】
そして、図３（Ａ）に示すように、ステージ１４の移動に伴い、感光材料１２には露光ヘッド３０ごとに帯状の露光済み領域３４が形成されるが、その帯状の露光済み領域３４のそれぞれが、隣接する露光済み領域３４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド３０の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア３２１１と露光エリア３２１２との間の露光できない部分は、２行目の露光エリア３２２１により露光することができる。
【００７８】
ＤＭＤ３６は、図４に示すように、ＳＲＡＭアレイ（メモリセル）５６上に、マイクロミラー５８が支柱により支持されて配置されたものであり、上述したように画素を構成する多数の（例えば、ピッチ１３．６８μｍ、１０２４個×７６８個）のマイクロミラー５８が、直交する方向に２次元状に配列されて構成されたミラーデバイスである。そして、上述したようにマイクロミラー５８の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭアレイ５６が配置されている。
【００７９】
ＤＭＤ３６のＳＲＡＭアレイ５６に制御信号としてのデジタル信号が書き込まれると、そのデジタル信号に応じた制御電圧が、マイクロミラー５８毎に設けられた電極部（図示せず）に印加され、その制御電圧の印加により発生した静電気力によって支柱に支えられたマイクロミラー５８が、対角線を中心として±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図５（Ａ）は、マイクロミラー５８がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図５（Ｂ）は、マイクロミラー５８がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。そして、マイクロミラー５８がオン状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２に向けて反射され、マイクロミラー５８がオフ状態のときにマイクロミラー５８に入射された光Ｂは、感光材料１２以外の光吸収材料に向けて反射される。
【００８０】
そして、露光装置１０には、図６に示すように、露光装置全体を制御するＣＰＵを備えた全体制御部６０が設けられている。全体制御部６０は、画像データ出力装置７０から出力された画像データを受け付け、その画像データに基づいてフレームデータを作成し、このフレームデータをＤＭＤコントローラ６１に向けて出力することにより各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６による露光を制御するものである。また、全体制御部６０は、ステージ１４の移動させるステージ駆動装置８０やファイバアレイ光源９０を駆動制御するものである。
【００８１】
そして、露光装置１０は、図６に示すように、画像データ出力装置７０から出力された画像データを受け付け、その受け付けた画像データを画像データ記憶手段６２に格納する格納制御手段６１と、画像データ記憶手段６２に格納された画像データから描画点データを読み出してフレームデータ記憶手段６３に格納し、フレームデータ記憶手段６３に格納された描画点データに基づいてフレームデータを作成して出力するフレームデータ作成手段６４と、フレームデータ作成手段６４から出力されたフレームデータに基づいてＤＭＤ３６に制御信号を出力するＤＭＤコントローラ６５とを備えている。なお、格納制御手段６１およびフレームデータ作成手段６４には、所定の手順を実行させるコンピュータプログラムがそれぞれ格納されており、そのプログラムの手順に従って全体制御部６０が装置の動作を制御する。各プログラムが実行させる所定の手順については、後で詳述する。
【００８２】
画像データ記憶手段６２およびフレームデータ記憶手段６３としては、たとえば、ＤＲＡＭを用いることができるが、格納されたデータがアドレスが連続する方向に順次高速に読み出されうるものであれば如何なるものを使用してもよい。例えば、格納されたデータがアドレスが連続する方向にいわゆるバースト転送により読み出される記憶手段を利用するようにしてもよい。ここで、アドレスが連続する方向とは、画像データ記憶手段またはフレームデータ記憶手段におけるデータの格納および読出しを制御するＣＰＵなどの制御手段からみたメモリ空間のアドレスの連続方向や、高速アクセス可能なアドレスの配列方向のことである。また、アドレスが連続する方向は、データ読出しの際に、連続する複数ビットが順次読み出される経路に沿った方向としてもよい。なお、画像データのようなサイズの大きなデータは安価なＤＲＡＭ上に記憶することが多く、その結果ランダムアクセスに対して低速であるというデメリットがある。
【００８３】
次に、本露光装置１０の作用について詳細に説明する。
【００８４】
まず、コンピュータなどの画像データ出力装置７０において、感光材料１２に露光すべき画像に応じた画像データが作成され、その画像データが本露光装置１０に出力される。そして、上記画像データは本露光装置１０の格納制御手段６１において受け付けられる。
【００８５】
そして、たとえば、上述した数字の「２」を露光面上に描画する場合には、格納制御手段６１は、図７に示すように、画像データ記憶手段６２におけるアドレスが連続する方向と、ＤＭＤ３６の走査方向に並んで描画される複数の描画点に対応する複数の描画点データが読み出されるべき配列方向（すなわち、走査方向に対応したデータ配列方向）とが、画像データ全体において又は少なくとも一部において一致するように上記画像データを画像データ記憶手段６２に格納する。なお、図７は、格納制御手段６１から見た画像データ記憶手段６２におけるアドレス空間と、画像データ記憶手段６２に格納される画像データとの関係を説明するため模式図である。また、画像データ出力装置７０から出力された画像データがベクトルデータである場合には、格納制御手段６１は、そのベクトルデータをビットマップデータに変換した後、上記のように描画点データの格納を行う。この場合、格納制御手段６１は、ベクトルデータからラスター化されたデータを回転させることによって、又はベクトルデータから回転された状態でラスター化を行うことによって、図７に示すような格納状態を実現することができる。
【００８６】
そして、上記のようにして全て（又は一部）の画像データが画像データ記憶手段６２に格納された後、その画像データ記憶手段６２に格納された画像データがフレームデータ作成手段６４により読み出される。このとき、フレームデータ作成手段６４は、図８（Ａ）〜（Ｈ）に示すように、画像データ記憶手段６２に格納された画像データを、アドレスが連続する方向に順次読み出し、各マイクロミラー毎の描画点データ群を取得する。このとき、データの読出しは、マイクロミラー毎に行われる。また、各マイクロミラーに対応する（各マイクロミラーに与えるべきデータが含まれる）アドレスの並び毎にデータの読出しが行われる。このように画像データを読み出すことによって、特に描画面上におけるビームスポット間のピッチよりもビームスポットの移動ピッチの方が小さい場合には、バイトアクセスにおける無効ビット数を少なくし、高速および／又は効率的なデータの読出しが可能となる。
【００８７】
なお、図８に示す記号の意味は図１１に示す記号の意味と同様である。また、画像データ記憶手段６２に格納された画像データを読み出す方法としては、必ずしも、１つの描画点データを１回読み出す方法に限らず、たとえば、所定のピッチでサンプリングしながら画像データを読み出すことによって、１つの描画点データを複数回ずつ読み出したり、もしくは、描画点データを間引いて読み出したりしてもよい。上記のようにして読み出すことにより画像データの解像度変換が可能である。また、任意のデータピッチで作成された画像データから描画点データを読み出すことも可能である。この場合、有効となる描画点データと無効となるデータとを含んだ連続ビットを中間データとしてまとめて読出し、そこから有効となる所望の描画点データを抽出するようにしてもよい。
【００８８】
そして、フレームデータ作成手段６４は、上記のようにして取得した各マイクロミラー毎の描画点データ群の各描画点データをフレームデータ記憶手段６３に格納する。このとき、フレームデータ作成手段６４は、図９に示すように、フレームデータ記憶手段６３におけるアドレスが連続する方向と、同じフレームデータに属する描画点データが格納される配列方向とが一致するように描画点データをフレームデータ記憶手段６３に格納する。なお、図９は、フレームデータ作成手段６４から見たフレームデータ記憶手段６３におけるアドレス空間と、フレームデータ記憶手段６３に格納されるフレームデータとの関係を説明するため模式図である。なお、上記のように各マイクロミラー毎の描画点データをフレームデータ記憶手段６３に格納することによって、フレームデータ作成手段６４は、画像データ記憶手段６２に記憶された画像データに対して実質的に９０度の回転処理もしくは行列の転置処理を施したことになる。
【００８９】
そして、上記のように各マイクロミラー毎の描画点データをフレームデータ記憶手段６３に格納した後、フレームデータ作成手段６４は、フレームデータ記憶手段６３に記憶された描画点データをフレーム単位でアドレスが連続する方向に順次読み出して各フレームデータ１〜１５を作成し、順次ＤＭＤコントローラ６５に出力し、ＤＭＤコントローラ６５は入力されたフレームデータに応じた制御信号を生成する。なお、上記のようなフレームデータは各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６毎に生成される。また、描画点データの読出しをマイクロミラー毎に所定のタイミングで行って順次ＤＭＤコントローラ６５に出力するようにしてもよい。
【００９０】
そして、上記のようにして各露光ヘッド３０毎の制御信号が生成されるとともに、全体制御部６０からステージ駆動装置８０にステージ駆動制御信号が出力され、ステージ駆動装置８０はステージ駆動制御信号に応じて移動ステージ１４をガイド２０に沿ってステージ移動方向へ所望の速度で移動させる。そして、移動ステージ１４がゲート２２下を通過する際、ゲート２２に取り付けられたセンサ２６により感光材料１２の先端が検出されると、ＤＭＤコントローラ６５から各露光ヘッド３０のＤＭＤ３６に制御信号が出力され、各露光ヘッド３０毎の描画が開始される。
【００９１】
そして、感光材料１２が移動ステージ１４とともに一定速度で移動し、感光材料１２がスキャナ２４によりステージ移動方向と反対の方向に走査され、露光ヘッド３０毎に帯状の露光済み領域３４が形成される。なお、フレームデータの作成を、移動ステージ１４の移動制御と並行して順次行うようにしてもよい。
【００９２】
上記のようにして、スキャナ２４による感光材料１２の走査が終了し、センサ２６で感光材料１２の後端が検出されると、移動ステージ１４は、ステージ駆動装置８０により、ガイド２０に沿ってゲート２２の最上流側にある原点に復帰し、新たな感光材料１２が設置された後、再度、ガイド２０に沿ってゲート２２の上流側から下流側に一定速度で移動する。
【００９３】
なお、上記実施形態の露光装置１０に、さらに、図１０に示すように圧縮処理手段６１ａと、解凍処理手段６４ａとを備えるようにしてもよい。そして、格納制御手段６１により受け付けられた画像データについて、走査方向に並んで描画される複数の描画点に対応する配列方向について圧縮処理を施し（又は、ベクトルデータから圧縮された状態でラスター化された画像データを用意し）、その圧縮処理の施された圧縮処理済画像データが格納される配列方向と、画像データ記憶手段６２のアドレスが連続する方向とが同じになるように画像データ記憶手段６２に圧縮処理済画像データを格納するようにしてもよい。そして、フレームデータを作成する際には、フレームデータ作成手段６４により、上記圧縮処理済画像データを画像データ記憶手段６２からアドレスが連続する方向に順次読み出し、その読み出された圧縮処理済画像データについて解凍処理手段６４ａによって解凍処理を施した後、マイクロミラー毎に描画点データを読み出して、上記と同様にしてフレームデータ記憶手段６３に格納するようにしてもよい。フレームデータ記憶手段６３に描画点データを格納した後の処理については上記と同様である。なお、画像データのピッチと描画点データの読出しピッチとが同じ場合は、読み出されて解凍処理された圧縮処理済画像データが描画点データとなる。このように、走査方向に沿った方向に画像データを圧縮することによって、マイクロミラー毎にデータを読み出す際に、その対象とするデータの範囲を容易に特定することができる。たとえば、圧縮された画像データの全てを解凍しなくとも、読出しを行おうとするマイクロミラーに対応するデータの範囲を特定し且つその範囲についてのみ解凍処理を行って、描画点データを得ることもできる。
【００９４】
また、上記説明においては、画像データに圧縮処理を施した後、圧縮処理済画像データを画像データ記憶手段６２に記憶するようにしたが、一旦画像データを上記と同様にして画像データ記憶手段６２に記憶し、その後、画像データ記憶手段６２のアドレスが連続した方向に格納された画像データに対して圧縮処理を施し、その圧縮処理済画像データを画像データ記憶手段６２に再び格納するようにしてもよい。
【００９５】
また、画像データとして２値データを用いる場合には、上記圧縮処理としてランレングス圧縮処理を利用することができる。
【００９６】
また、上記実施形態では、画像データ記憶手段６２とフレームデータ記憶手段６３とを別個に設けるようにしたが、同じメモリなどを利用するようにしてもよい。
【００９７】
また、上記実施形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光装置について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子を使用することもできる。また、ＧＬＶ（Grating Light Valve）を使用してもよい。光源には、ランプを使用することもできる。
【００９８】
また、本発明の描画点形成部としては、空間光変調素子に限らず、発光素子やビームを射出する素子が多数配列されたものを利用するようにしてもよい。たとえば、ＬＤ（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ）アレイ、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）アレイ、ファイバーアレイ等が使用可能である。
【００９９】
また、上記実施形態では、いわゆるフラッドベッドタイプの露光装置を例に挙げたが、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウター（又はインナー）ドラムタイプの露光装置としてもよい。
【０１００】
また、上記実施形態の露光対象である感光材料１２は、プリント基板や、ディスプレイ用のフィルタ（カラーフィルタやブラックマトリクス）、ＴＦＴパネルであってもよい。また、感光材料１２の形状は、シート状のものであっても、長尺状のもの（フレキシブル基板など）であってもよい。
【０１０１】
また、本発明における描画方法および装置は、インクジェット方式などのプリンタにおける描画制御にも適用することができる。たとえば、インクの吐出による描画点を、本発明と同様の方法で制御することができる。つまり、本発明における描画素子を、インクの吐出などによって描画点を打つ素子に置き換えて考慮することができる。
【０１０２】
同様に、ドットインパクトタイプの描画装置にも適用可能である。
【０１０３】
また、画像データを記憶するためのメモリとして、ＳＲＡＭ（Ｓｔａｔｉｃ  Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）等のランダムアクセスでも高速なものを用いることができる。この場合、メモリ上のアドレスの連続する方向を、格納された（又はされるべき）データにおけるＤＭＤ３６の走査方向に対応する配列方向と一致するよう定義し、且つ、その連続方向に沿ってデータの読出しを行うようにしてもよい。この場合、メモリは、アドレスの連続方向に沿ってデータの読出しが行われるように予め配線又はプログラムされたものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の描画装置の一実施形態を用いた露光装置の外観を示す斜視図
【図２】図１に示す露光装置のスキャナの構成を示す斜視図
【図３】感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図（Ａ）、各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図（Ｂ）
【図４】図１の露光装置のＤＭＤの構成を示す部分拡大図
【図５】ＤＭＤの動作を説明するための斜視図
【図６】図１に示す露光装置における制御系を示すブロック図
【図７】格納制御手段から見た画像データ記憶手段におけるアドレス空間と、画像データ記憶手段に格納される画像データとの関係を説明するため模式図
【図８】図１に示す露光装置におけるフレームデータ作成方法を説明するための図
【図９】フレームデータ作成手段から見たフレームデータ記憶手段におけるアドレス空間と、フレームデータ記憶手段に格納されるフレームデータとの関係を説明するため模式図
【図１０】本発明の描画装置のその他の実施形態を用いた露光装置における制御系のブロック図
【図１１】従来のフレームデータ作成方法を説明するための図
【符号の説明】
【０１０５】
１０    露光装置
１２    感光材料
１４    移動ステージ
２４    スキャナ
３０    露光ヘッド
３６    ＤＭＤ
５６    ＳＲＡＭアレイ
５８    マイクロミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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