(57)【要約】【課題】      ワークテーブルの交換作業を補助する装置を提供する。【解決手段】  交換装置は、床を移動可能の台車と、該台車に配置された搬送装置と、ワークテーブルを交換すべき検査装置に対する搬送装置の位置決めをする第１の位置決め装置とを含み、搬送装置は、ワークテーブルの搬送のために、ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内をＸ方向に移動可能に台車に支持された搬送枠であって内側空間を形成する搬送枠を含む。【選択図】          図３
2006308450.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置であって、床を移動可能の台車と、該台車に配置された搬送装置と、前記ワークテーブルを交換すべき検査装置に対する前記搬送装置の位置決めをする第１の位置決め装置とを含み、前記搬送装置は、前記ワークテーブルの搬送のために、前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内をＸ方向に移動可能に前記台車に支持された搬送枠であって内側空間を形成する搬送枠を含む、表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項２】
前記搬送枠は前記台車の内外に移動可能である、請求項１に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項３】
前記搬送装置は、さらに、前記搬送枠に配置された受け渡し機構であって前記検査装置に対し前記ワークテーブルの受け渡しをする受け渡し機構を含む、請求項１に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項４】
前記ワークテーブルは前記内側空間に配置され、
前記受け渡し機構は、前記ワークテーブルの受け渡しを共同して行う複数の受け渡し部材であって前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内で前記内側空間に出入り可能に前記搬送枠に配置された複数の受け渡し部材と、該受け渡し部材を前記内側空間に出入りさせる第１のアクチュエータとを含む、請求項３に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項５】
前記搬送枠は、前記受け渡し部材が前記内側空間の外に変位されたとき、前記受け渡し部材を受け入れる凹所を有する、請求項４に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項６】
前記ワークテーブルは、前記受け渡し部材に１対１の形で対応された複数の切欠部であって、前記受け渡し部材が前記内側空間内に変位されたとき、対応する受け渡し部材を受け入れる切欠部と、前記受け渡し部材に１対１の形で対応された複数の当接部であって、前記受け渡し部材が前記内側空間内に変位されたとき、前記複数の受け渡し部材がそれらの共同作用により前記ワークテーブル把持するように、対応する複数の受け渡し部材に当接される当接部とを有する、請求項４に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項７】
前記台車は、複数のキャスターを備えたフレームと、該フレームに支持されたベース部材と、前記搬送枠を移動可能に受ける複数のガイド装置であって前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内にあって前記Ｘ方向と交差するＹ方向に間隔をおいて前記ベース部材に配置された複数のガイド装置とを含む、請求項１に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項８】
前記ベース部材は、前記フレームに対し前記Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に取り付けられており、
前記台車は、さらに、ベース部材を前記Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる第２のアクチュエータを含む、請求項７に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項９】
前記第２のアクチュエータは、シリンダ及びピストンを有するシリンダ機構であってシリンダ及びピストンの一方が前記フレームに枢軸連結されかつ他方が前記ベース部材に枢軸連結されたシリンダ機構を含む、請求項８に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項１０】
前記台車は、さらに、前記フレームに配置された複数のテーブル受けであって前記ワークテーブルを前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面と交差するＺ方向における前記受け渡し機構による受け位置と同じ位置に受ける複数のテーブル受けを含む、請求項７に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項１１】
各ガイド装置は、前記Ｘ方向へ伸びるレールと該レールに前記Ｘ方向へ移動可能に結合されたガイドとを備える一対のガイド機構を含み、
一方のガイド機構のレール又はガイドのいずれか一方は前記ベース部材に取り付けられており、他方のガイド機構のレール及びガイドのいずれか一方は前記搬送枠に取り付けられており一方及び他方のガイド機構のレール及びガイドの他方は互いに結合されている、請求項７に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項１２】
前記第１の位置決め装置は、前記Ｘ方向に突出した状態に前記フレームに取り付けられた複数の位置決めピンを含む、請求項１に記載の表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置。
【請求項１３】
筐体と、該筐体に配置された第２の位置決め装置であって前記第１の位置決め装置と共同して前記交換装置と当該検査装置との位置決めをする第２の位置決め装置と、前記筐体に配置されたテーブル装着部であって前記ワークテーブルを着脱可能に取り付けられるテーブル装着部と、該テーブル装着部を前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面に交差する方向へ伸びるＺ方向へ移動させるステージとを含み、
前記筐体は、請求項１から１２のいずれか１項に記載の交換装置による前記ワークテーブルの出し入れが可能の開口又は取り外し可能の板部材を含む、表示用基板の検査装置。
【請求項１４】
前記第１の位置決め装置は前記Ｘ方向に突出した状態に前記台車に取り付けられた複数の位置決めピンを含み、
前記第２の位置決め装置は前記位置決めをピン個々に受け入れる複数の受け入れ穴を有するソケットを含む、請求項１３に記載の表示用基板の検査装置。
【請求項１５】
さらに、前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内にあって前記Ｘ方向と交差するＹ方向における前記搬送枠の端部を受ける枠受けであって前記テーブル装着部から前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面と交差するＺ方向に間隔をおいて前記筐体に配置された枠受けを含み、
前記枠受けは前記Ｙ方向における前記搬送枠の一端が当接するストッパを有する、請求項１３に記載の表示用基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置及び表示用基板の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルや、薄膜トランジスタを備えたガラス基板等の表示用基板は、矩形の形状を有しており、また矩形の少なくとも1つの辺に対応する縁部に複数の電極を備えている。
【０００３】
そのような表示用基板は、これが仕様書通りに製造されているか否かの通電試験（すなわち＜検査）をされる。そのような検査は、一般に、表示用基板に設けられている複数の電極に押圧される複数の接触子（すなわち、プローブ）を備えたプローブユニットを用いて行われる。
【０００４】
この種の検査装置の1つとして、プローブユニットを検査すべき表示用パネルの種類に応じて変更することにより、1つの検査装置を種類の異なる表示用基板の検査に適用可能にしたものがある(特許文献１)。この検査装置においては、プローブユニットは交換可能であるが、表示用パネルを受けて支持するワークテーブルは交換不能とされている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１０１５３号公報
【０００６】
最近の表示用パネルには、寸法が小さいものと、寸法が大きいものとが混在している。1つの検査装置を寸法が異なる表示用パネルの検査に適用するときは、少なくともワークテーブルを交換しなければならない。
【０００７】
しかし、従来では、ワークテーブルの交換は人手により行われている。このため、大型で重量のあるワークテーブルを一人で交換することは難しく、またたとえ交換可能であっても、ワークテーブルを損傷するおそれがある。
【０００８】
上記のことから、従来では、大型で重量のあるワークテーブルの交換作業は、複数の作業者の共同作業により行われていた。このため、交換作業に時間を要するのみならず、複数の作業者を準備しなければならない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、ワークテーブルの交換作業を補助する装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る、表示用基板を受けるワークテーブルの交換装置は、床を移動可能の台車と、該台車に配置された搬送装置と、前記ワークテーブルを交換すべき検査装置に対する前記搬送装置の位置決めをする第１の位置決め装置とを含み、前記搬送装置は、前記ワークテーブルの搬送のために、前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内をＸ方向に移動可能に前記台車に支持された搬送枠であって内側空間を形成する搬送枠を含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の交換装置によれば、交換装置を検査装置の付近に移動させた状態で、ワークテーブルを交換することができる。このため、少人数の作業者でも、ワークテーブルの交換を容易に行うことができる。
【００１２】
前記搬送枠は前記台車の外側に移動可能とすることができる。そのようにすれば、搬送枠を検査装置内に移動させた状態で、交換装置と検査装置との間のワークテーブルの受け渡しをすることができるから、ワークテーブルの受け渡しが安定する。
【００１３】
前記搬送装置は、さらに、前記搬送枠に配置された受け渡し機構であって前記検査装置に対し前記ワークテーブルの受け渡しをする受け渡し機構を含むことができる。
【００１４】
前記ワークテーブルは前記内側空間に配置され、前記受け渡し機構は、前記ワークテーブルの受け渡しを共同して行う複数の受け渡し部材であって前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内で前記内側空間に出入り可能に前記搬送枠に配置された複数の受け渡し部材と、該受け渡し部材を前記内側空間に出入りさせる第１のアクチュエータとを含むことができる。そのようにすれば、受け渡し部材を内側空間に突出させることによりワークテーブルを受け渡し部材に受けて搬送枠により搬送することができるし、受け渡し部材を内側空間の外に変位させることにより受け渡し部材に受けているワークテーブルを検査装置のような他の装置に渡すことができる。
【００１５】
前記搬送枠は、前記受け渡し部材が前記内側空間の外に変位されたとき、前記受け渡し部材を受け入れる凹所を有することができる。そのようにすれば、受け渡し部材がワークテーブルの受け渡しの妨げにならない。
【００１６】
前記ワークテーブルは、前記受け渡し部材に１対１の形で対応された複数の切欠部であって、前記受け渡し部材が前記内側空間内に変位されたとき、対応する受け渡し部材を受け入れる切欠部と、前記受け渡し部材に１対１の形で対応された複数の当接部であって、前記受け渡し部材が前記内側空間内に変位されたとき、前記複数の受け渡し部材がそれらの共同作用により前記ワークテーブル把持するように、対応する複数の受け渡し部材に当接される当接部とを有することができる。そのようにすれば、受け渡し部材を第１のアクチュエータで内側空間の突出させた状態に維持すると、ワークテーブルが複数の受け渡し部材により把持されるから、搬送装置からのワークテーブルの脱落が防止される。
【００１７】
前記台車は、複数のキャスターを備えたフレームと、該フレームに支持されたベース部材と、前記搬送枠を移動可能に受ける複数のガイド装置であって前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内にあって前記Ｘ方向と交差するＹ方向に間隔をおいて前記ベース部材に配置された複数のガイド装置とを含むことができる。
【００１８】
前記ベース部材は、前記フレームに対し前記第Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に取り付けられていてもよく、また前記台車は、さらに、ベース部材を前記第Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる第２のアクチュエータを含むことができる。そのようにすれば、搬送枠を傾斜させた状態で搬送することができるから、ワークテーブルを傾斜させた状態に配置する検査装置に交換装置を適用することができる。
【００１９】
前記第２のアクチュエータは、シリンダ及びピストンを有するシリンダ機構であってシリンダ及びピストンの一方が前記フレームに枢軸連結されかつ他方が前記ベース部材に枢軸連結されたシリンダ機構を含むことができる。
【００２０】
前記台車は、さらに、前記フレームに配置された複数のテーブル受けであって前記ワークテーブルを前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面と交差するＺ方向における前記受け渡し機構による受け位置と同じ位置に受ける複数のテーブル受けを含むことができる。そのようにすれば、ワークテーブルをテーブル受けに一時的に受けた後、受け渡し装置に渡すことができる。
【００２１】
各ガイド装置は、それぞれが前記Ｘ方向へ伸びるレールと該レールに前記Ｘ方向へ移動可能に結合されたガイドとを備える一対のガイド機構を含み、一方のガイド機構のレール又はガイドのいずれか一方は前記ベース部材に取り付けられており、他方のガイド機構のレール及びガイドのいずれか一方は前記搬送枠に取り付けられており一方及び他方のガイド機構のレール及びガイドの他方は互いに結合されていてもよい。そのようにすれば、搬送枠を台車の外まで完全に案内することができる。
【００２２】
前記第１の位置決め装置は、前記第１の方向に突出した状態に前記フレームに取り付けられた複数の位置決めピンを含むことができる。
【００２３】
本発明に係る、表示用基板の検査装置は、筐体と、該筐体に配置された第２の位置決め装置であって前記第１の位置決め装置と共同して前記交換装置と当該検査装置との位置決めをする第２の位置決め装置と、前記筐体に配置されたテーブル装着部であって前記ワークテーブルが着脱可能に取り付けられるテーブル装着部と、該テーブル装着部を前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面に交差する方向へ伸びるＺ方向へ移動させるステージとを含む。前記筐体は、上記のような交換装置による前記ワークテーブルの出し入れが可能の開口又は取り外し可能の板部材を含む。
【００２４】
前記第１の位置決め装置は前記Ｘ方向に突出した状態に前記台車に取り付けられた複数の位置決めピンを含むことができ、また前記第２の位置決め装置は前記位置決めをピン個々に受け入れる複数の受け入れ穴を有するソケットを含むことができる。そのようにすれば、位置決めピンがソケットに挿入されるように台車を移動させることにより交換装置と検査装置の位置決めが行われ、位置決め作業が容易になる。また、位置決めピンが交換装置の側に配置されているから、検査の間位置決めピンが作業者の移動の妨げにならない。
【００２５】
本発明に係る検査装置においては、ワークテーブルの着脱は、筐体の開口を介して、又は板部材を取り外したことにより筐体に形成される開口を介して、搬送枠を検査装置に対して出し入れすることにより行われる。このため、ワークテーブルの交換作業が安定する。
【００２６】
検査装置は、さらに、前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面内にあって前記Ｘ方向と交差するＹ方向における前記搬送枠の端部を受ける枠受けであって前記テーブル装着部から前記ワークテーブルに受けられた表示用基板と平行の面と交差するＺ方向に間隔をおいて前記筐体に配置された枠受けを含むことができ、また前記枠受けは前記Ｙ方向における前記搬送枠の一端が当接するストッパを有することができる。そのようにすれば、ワークテーブルの受け渡し時、搬送枠が検査装置によっても受けられるから、搬送枠が安定に維持されて、ワークテーブルの受け渡しが安定すると共に容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
[用語の定義]
【００２８】
本発明においては、ワークテーブル又はテーブル装着装置に受けられた表示用パネルと平行な面内における搬送枠の移動方向をＸ方向（又は、左右方向）といい、その面内にあってＸ方向と直角の方向をＹ方向（又は、前後方向）といい、Ｘ及びＹ方向に直角の方向をＺ方向（上下）という。
【００２９】
しかし、上記の方向は、実際の装置に応じて、Ｘ方向及びＹ方向が、水平面、水平面に対し傾斜する傾斜面、及び水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定してもよいし、それらの面の組み合わせとなるように決定してもよい。
【００３０】
[交換装置の実施例]
【００３１】
先ず、図１〜図９を参照して、交換装置１０の実施例について説明する。
【００３２】
交換装置１０は、ワークテーブル１２（図５から図９参照）を後に図１０から図１５を参照して説明する検査装置１４に対し交換するために利用される。
【００３３】
ワークテーブル１２は、検査装置１４において、検査すべき表示用基板１６（図１０参照）を受けて、その表示用基板１６を検査の間移動不能に支持する部材として作用する。表示用基板１６は、長方形の形状を有しており、また複数の電極を有している。
【００３４】
図５から図９に示すように、ワークテーブル１２は、検査すべき表示用基板１６とほぼ同じ大きさを有する長方形の枠部材１８と、枠部材２２が取り付けられた長方形の板状部材２０とを含む。
【００３５】
板状部材２０は、外向きフランジの形状を有しており、また枠部材１８の開口２２に整合された開口２４を中央領域に有しており、さらに後に説明する切欠部２６及び当接部２８を各隅角部に有している。
【００３６】
各切欠部２６は板状部材２０の下方と側方とに開放されており、また各切欠部２６の奥底面は弧状の平面形状とされている。各当接部２８は、切欠部２６を形成する１つの面であり、また板状部材２０の長手方向の端部の側に向けられている（図５及び図７参照）。
【００３７】
交換装置１０は、検査工場の床を移動可能の台車３０と、台車３０に配置された搬送装置３２と、ワークテーブル１２を交換すべき検査装置１４に対する搬送装置３２の位置決めをする第１の位置決め装置３４とを含む。
【００３８】
搬送装置３２は、ワークテーブル１２の搬送のために、Ｘ方向における台車３０の内外に移動可能に台車３０に支持された搬送枠３６を含む。搬送枠３６は、角柱状の複数の長尺部材により長方形に製作されている。
【００３９】
搬送装置３２は、また、検査装置１４に対しワークテーブル１２の受け渡しをするように搬送枠３６に配置された受け渡し機構を含む。
【００４０】
受け渡し機構は、ワークテーブル１２の受け渡しを共同して行うように搬送枠３６に配置された複数の受け渡し部材３８と、各受け渡し部材３８を搬送枠３６の内側空間４２に出入りさせるロータリーアクチュエータのような第１のアクチュエータ４０とを含む。
【００４１】
各受け渡し部材３８、Ｚ方向に伸びる軸線の周りの枢軸運動可能に搬送枠３６搬送枠３６の隅角部に支持されており、対応する第１のアクチュエータ４０により、ワークテーブル１２に受けられた表示用基板１６と平行の面内で内側空間４２に出入りされる。
【００４２】
搬送枠３６は、受け渡し部材３８が内側空間４２の外に後退されたとき、受け渡し部材３８を受け入れる複数の凹所４４を有する。凹所４４は、内側空間４２に開放されており、また受け渡し部材３８に１対１の形で対応されている。
【００４３】
図示の例では、図６に示すように、各第１のアクチュエータ４０は、これの出力軸が凹所４４を貫通した状態に、搬送枠３６に支持されており、各受け渡し部材３８は、対応する第１のアクチュエータ４０の出力軸に留め具４６により相対的回転不能に取り付けられている。
【００４４】
対をなす切欠部２６及び当接部２８は、受け渡し部材３８に１対１の形で対応されている。各受け渡し部材３８は、これが内側空間４２内に突出されたとき、切欠部２６に受け入れられると共に、当接部２８に当接されて、ワークテーブルを受ける。
【００４５】
図示の例では、図５において、左下及び右上の各受け渡し部材３８は、対応する第１のアクチュエータ４０により、時計方向に回転されることにより凹所４４から内側空間４２に突出され、反時計方向に回転されることにより内側空間４２から凹所４４内に後退される。
【００４６】
これに対し、図５において、左上及び右下の各受け渡し部材３８は、対応する第１のアクチュエータ４０により、反時計方向に回転されることにより凹所４４から内側空間４２に突出され、時計方向に回転されることにより内側空間４２から凹所４４内に後退される。
【００４７】
そのような受け渡し部材３８は、これらが内側空間４２に突出されることにより、対応する当接部２８に当接されて共同してワークテーブル１２を把持する。このため、受け渡し部材３８はテーブル把持部材としても作用する。受け渡し部材３８は、また、内側空間４２に後退されることにより、ワークテーブル１２を解放する。
【００４８】
このため、受け渡し部材３８は、それらが対応する凹所４４から内側空間４２内に突出されている状態で、共同してワークテーブル１２を受けかつ支持する。また受け渡し部材３８は、それらが内側空間４２の外（対応する凹所４４内）に後退されることにより、支持しているワークテーブル１２を検査装置１４のような他の装置に共同して渡す。
【００４９】
台車３０は、複数の長尺部材により立体的な枠の形状に組み立てられたフレーム５０と、Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能にフレーム５０に支持された枠状のベース部材５２と、搬送枠３６をＸ方向に移動可能に受ける複数のガイド装置５４と、ベース部材５２をＹ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる第２のアクチュエータ５６とを含む。
【００５０】
フレーム５０は、これが床上を移動することができるように、複数のキャスター５８を下部に取り付けている。ベース部材５２は、複数の長尺部材により平坦な枠の形に組み立てられている。
【００５１】
図示の例では、一対のガイド装置５４がワークテーブル１２に受けられた表示用基板１６と平行の面内でＹ方向に間隔をおいた状態に、ベース部材５２に配置されている。
【００５２】
第２のアクチュエータ５６は、図示の例では、シリンダ及びピストンを有するシリンダ機構であり、また交換装置１０のＹ方向における中央に位置されている。
【００５３】
第２のアクチュエータ５６のシリンダ及びピストンのうち、いずれか一方はフレーム５０に枢軸的に連結されており、他方はベース部材５２に枢軸的に連結されている。図３に示す例では、シリンダがフレーム５０に連結され、ピストンがベース部材５２に連結されている。
【００５４】
ベース部材５２は、第２のアクチュエータ５６が伸縮されていると、図２に示すように水平状態に維持され、第２のアクチュエータ５６が伸長されていると、図３に示すように水平面に対し傾斜した状態に維持される。
【００５５】
ベース部材５２が水平面に対し傾斜した状態に維持されている状態においては、ワークテーブル１２に受けられた表示用基板１６と平行の面が水平面に対し傾斜されているから、Ｙ方向は図３において斜め上下方向となる。
【００５６】
図４に示すように、各ガイド装置５４は、Ｘ方向へ伸びるレール６０とレール６０にＸ方向へ移動可能に結合されたガイド６２とを備える一対のガイド機構を含む。
【００５７】
一方のガイド機構のレール６０及びガイド６２のいずれか一方はベース部材５２に取り付けられており、他方のガイド機構のレール６０及びガイド６２のいずれか一方は搬送枠３６に取り付けられている。一方及び他方のガイド機構のレール６０及びガイド６２の他方は相対的移動不能に互いに結合されている。
【００５８】
図４に示す例では、一方のガイド機構のレール６０がベース部材５２に取り付けられており、他方のガイド機構のレール６０が搬送枠３６に取り付けられている。両ガイド機構のガイド６２が相対的移動不能に互いに結合されている。
【００５９】
台車３０は、さらに、ワークテーブル１２をＺ方向における受け渡し機構によるワークテーブル１２の受け位置と同じ位置に受ける４つのテーブル受け６４を含む。各テーブル受け６４は、ブラケット６６によりフレーム５０に支持されている。
【００６０】
第１の位置決め装置３４は、フレーム５０からＸ方向における一方側に突出した一対の位置決めピン６８を含む。両位置決めピン６８は、これらがＹ方向に間隔をおいた状態にブラケット７０によりフレーム５０のＸ方向における一端側の下端部に取り付けられている。
【００６１】
[検査装置の実施例]
【００６２】
次に、図１０から図１５を参照して、表示用基板１６を検査する検査装置１４に実施例について説明する。
【００６３】
検査装置１４は、筐体７２と、第１の位置決め装置３４と共同して交換装置１０と検査装置１４との位置決めをする第２の位置決め装置７４と、ワークテーブル１２を着脱可能に支持するテーブル装着装置７６と、テーブル装着装置７６を移動させるステージ７８と、筐体７２に配置されたプローブ装置８０とを含む。
【００６４】
テーブル装着装置７６、ステージ７８及びプローブ装置８０は、それらの軸線が水平面に対し傾斜した状態に筐体７２に配置されている。
【００６５】
このため検査装置１４においては、テーブル装着装置７６に受けられた表示用基板１６と平行の面が水平面に対し傾斜されているから、Ｙ方向は図３において斜め上下方向となる。
【００６６】
筐体７２は、複数の長尺部材と複数の板部材とにより箱状に製作されており、また複数のキャスター８２を底面に備えている。筐体７２の前面上部は、水平面に対し傾斜した傾斜面８４とされている。筐体７２は、また、Ｘ方向が長手方向となる長方形の開口８６を傾斜面８４に有している。
【００６７】
筐体７２のＸ方向における一端面を形成する板部材８８は、交換装置１０によるワークテーブル１２の交換を可能にするために、取り外し可能とされている。
【００６８】
第２の位置決め装置７４は、第１の位置決め装置３４の位置決めピン６８が個々に嵌合される複数の受け入れ穴を有するソケット９０を備えている。第２の位置決め装置７２は、筐体７２の板部材７８を取り外した状態で、第１の位置決め装置３４の位置決めピン６８をソケット９０に受け入れることができるように、筐体７２に取り付けられている。
【００６９】
テーブル装着装置７６は、ステージ７８に支持された昇降台９２と、昇降台９２に支持されたバックライト装置９４と、バックライト装置９４に取り付けられたテーブル装着部９６とを備える。
【００７０】
昇降台９２はステージ７８により少なくともＺ方向に移動される。バックライト装置９４は、バックライトユニット９８を備えている。
【００７１】
テーブル装着部９６は、図１５に示すように、複数の長尺部材をコ字状に組み合わせており、またワークテーブル１２側に開放する複数のねじ穴１００と、ワークテーブル１２側に突出する複数の位置決めピン１０２とを備えている。
【００７２】
ワークテーブル１２は、これの板状部材２０を貫通してねじ穴１００に螺合されたねじ部材１０４によりテーブル装着部９６に着脱可能に取り付けられる。位置決めピン１０２は、ワークテーブル１２の板状部材２０を貫通することにより、テーブル装着部９４に対して位置決められる。
【００７３】
ステージ７８は、テーブル装着装置７６ひいてはテーブル装着部９６を、Ｘ、Ｙ及びＺの３方向に移動させると共に、Ｚ方向に伸びるθ軸線の周りに角度的に回転させる。
【００７４】
プローブ装置８０は、それぞれが複数のプローブを備えた複数のプローブユニットを備えている。各プローブユニットは、検査すべき表示用基板１６の大きさ及び種類に応じて筐体７２への取付位置及びプローブユニット自体を変更可能に筐体７２に取り付けられている。
【００７５】
上記のようなプローブ装置８０は、例えば、特開２００-２８６７５４号公報に記載されている。それゆえに、プローブ装置８０に関する詳細な説明は省略する。
【００７６】
検査装置１４は、さらに、Ｙ方向における搬送枠３６の端部を受けてＹ方向に案内する一対の枠受け１０６（すなわち、枠ガイド）を含む。両枠受け１０６は、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向に伸びる状態にフレーム７２に取り付けられている。
【００７７】
各枠受け１０６は、図１４に示すように、搬送枠３６をＸ方向へ移動可能に受けるＬ字状の段部１０８を有しており、この段部１０８にＹ方向における搬送枠３６の一端が当接するストッパ１１０を有すると共に、搬送枠３６のための複数のベアリング１１２を有している。
【００７８】
図示の例では、段部１０８はＺ方向上方に向けられており、ストッパ１１０は枠受け１０６のＸ方向に向く面であって段部１０８に向く面であり、ベアリング１１２はボールである。
【００７９】
[交換動作の説明]
【００８０】
次に、ワークテーブルの交換時における交換装置１０及び検査装置１４の動作について説明する。
【００８１】
[検査装置からのワークテーブルの除去]
【００８２】
予め、検査装置１４の板部材８８が取り外される。
【００８３】
次いで、第１の位置決め装置３４の位置決めピン６８が及び第２の位置決め装置７４のソケット９４に挿入されるように、交換装置１０が検査装置１４に対し手動で又は動力により移動されて、交換装置１０及び検査装置１４が第１及び第２の位置決め装置３４及び７４により結合される。
【００８４】
上記時点までに、交換装置１０の受け渡し部材３８が図７に２点鎖線で示すように第２のアクチュエータ４０により搬送枠３６の内側空間４２から後退されていると共に、ベース部材５２が図３に示すように第２のアクチュエータ５６により傾斜される。これにより、内側空間４２が完全に開放されると共に、搬送枠３６がガイド装置５４と共に傾斜される。
【００８５】
また、図１３に実線で示すように、検査装置１４のテーブル装着装置７６がステージ７８によりＺ方向斜めに下降される。これにより、テーブル装着部９６に装着されているワークテーブル１２もＺ方向斜め下方の位置に下げられる。
【００８６】
次いで、搬送枠３６が手動で又は動力により、検査装置１４の枠受け１０６に向けて進出される。これにより、搬送枠３６は、そのＹ方向における各端縁部を枠受け１０６の段部１０８に受けられた状態で、Ｘ方向の先端が枠受け１０６のストッパ１１０に当接するまで、前進される。
【００８７】
搬送枠３６がストッパ１１０に当接した状態において、搬送枠３６は、ワークテーブル１２を内側空間４２に受け入れることができるように、ワークテーブル１２の上方に位置される（図１３参照）。
【００８８】
次いで、テーブル装着装置７６がステージ７８によりＺ方向斜めに上昇される。これにより、ワークテーブル１２は、テーブル装着部９６に装着された状態で、Ｚ方向における板状部材２０の切欠部２６の高さ位置が交換装置１０の受け渡し部材３８のそれとほぼ同じとなる位置まで斜めに上昇されて、搬送枠３６の内側空間４２内に位置される。
【００８９】
上記のように受け渡し部材３８が内側空間４２の外に、すなわち凹所４４内に変位されている状態で、テーブル装着部９６を上昇させると、受け渡し部材３８がテーブル装着部９６の上昇、ひいてはワークテーブル１２の受け渡しの妨げにならない。
【００９０】
次いで、図６に実線で示すように、各受け渡し部材３８が第１のアクチュエータ４０により搬送枠３６の内側空間４２内に進出される。これにより、受け渡し装置３８は、共同して、ワークテーブル１２を受けて把持する。
【００９１】
次いで、ねじ部材１０４が除去されることにより、ワークテーブル１２はテーブル装着部９６から分離される。
【００９２】
次いで、図１３に実線で示すように、再度検査装置１４のテーブル装着装置７６がステージ７８によりＺ方向斜めに下降される。これにより、テーブル装着部９６が再度Ｚ方向斜め下方の位置に下げられ、ワークテーブル１２が図１３に２点鎖線で示すように搬送枠３６に渡される。
【００９３】
次いで、搬送枠３６は傾斜された状態で交換装置１０内に後退され、交換装置１０は検査装置１４から離間した待機位置に移動される。搬送枠３６及び交換装置１０の移動の間、ワークテーブル１２が受け渡し部材３８により把持されているから、搬送枠３６からのワークテーブル１２の脱落が防止される。
【００９４】
次いで、図２に示すように、ベース部材５２が第２のアクチュエータ５６により水平に戻される。これにより、搬送枠３６及びガイド装置５４も水平に戻される。
【００９５】
次いで、各受け渡し部材３８が内側空間４２の外に後退されて、ワークテーブル１２がテーブル受け６４に一時的に渡される。この状態において、ワークテーブル１２は、ロボットにより交換装置１０から除去される。
【００９６】
[新たなワークテーブルの取り付け]
【００９７】
次いで、各受け渡し部材３８が内側空間４２の外に後退された状態において、新たなワークテーブル１２がロボットによりテーブル受け６４に一時的に渡される。
【００９８】
次いで、ロボットが、新たなワークテーブル１２を解放し、交換装置１０から離れる。これにより、新たなワークテーブル１２が交換装置１０に渡される。
【００９９】
次いで、各受け渡し部材３８は、内側空間４２内に進出されて、ワークテーブル１２を受けると共に把持する。
【０１００】
次いで、上記したように、交換装置１０が検査装置１４に対し移動されて、交換装置１０及び検査装置１４が結合される。
【０１０１】
上記時点までに、上記したように、ベース部材５２が図３に示すように第２のアクチュエータ５６により傾斜される。これにより、搬送枠３６、ガイド装置５４及び新たなワークテーブル１２が傾斜される。
【０１０２】
次いで、搬送枠３６が新たなワークテーブル１２を支持した状態で検査装置１４の枠受け１０６に向けて進出される。これにより、搬送枠３６は、そのＹ方向における各端縁部を枠受け１０６の段部１０８に受けられた状態で、Ｘ方向の先端が枠受け１０６のストッパ１１０に当接するまで、前進される。
【０１０３】
上記の場合も、搬送枠３６及び交換装置１０の移動の間、ワークテーブル１２が受け渡し部材３８により把持されているから、搬送枠３６からのワークテーブル１２の脱落が防止される。
【０１０４】
搬送枠３６がストッパ１１０に当接した状態において、搬送枠３６は、ワークテーブル１２を内側空間４２に受け入れることができるように、テーブル装着部９６の上方に位置される（図１３参照）。
【０１０５】
次いで、テーブル装着装置７６がステージ７８によりＺ方向斜めに上昇される。これにより、テーブル装着部９６は、これに新たなワークテーブル１２を受けることができる高さ位置まで斜めに上昇される。
【０１０６】
次いで、各受け渡し部材３８が搬送枠３６の内側空間４２内また後退される。これにより、受け渡し部材３８が新たなワークテーブル１２を解放し、新たなワークテーブル１２は検査装置１４に渡される。
【０１０７】
次いで、新たなワークテーブル１２がねじ部材１０４によりテーブル装着部９６に取り付けられる。
【０１０８】
次いで、搬送枠３６は傾斜された状態で交換装置１０内に後退され、交換装置１０は検査装置１４から離間した待機位置に移動される。
【０１０９】
上記のように交換装置１０によれば、少人数の作業者でも、ワークテーブル１２の交換を容易に行うことができる。また、搬送枠３６は台車３０内から検査装置１４内までの間をガイド装置５４により完全に案内される。
【０１１０】
上記のように、搬送枠３６が検査装置１４内に移動された状態で、交換装置１０と検査装置１４との間のワークテーブル１２の受け渡しが行われると、ワークテーブル１２の受け渡しが安定する。
【０１１１】
また、検査装置１４内における搬送枠３６の移動時及びワークテーブル１２の受け渡し時、搬送枠３６が検査装置１４の枠受け１０６によっても受けられていると、搬送枠１２が安定に維持されて、搬送枠３６の移動が安定し、ワークテーブル１２の受け渡しが安定すると共に容易になる。
【０１１２】
検査装置１４によれば、ワークテーブル１２の着脱が、筐体１４の板部材７８を取り外したことにより筐体に形成される開口を介して、搬送枠３６を検査装置１４に対して出し入れすることにより行われる。このため、ワークテーブル１２の交換作業が安定する。
【０１１３】
[表示用基板について]
【０１１４】
検査装置１４により検査される表示用基板は、長方形の平面形状を有する。
【０１１５】
図１５に示すように、ワークテーブル１２は、さらに、長方形の隣り合う２つの辺に対応する枠部材１８の箇所のそれぞれに設けられたプッシャ１１４と、長方形の隣り合う２つの辺に対応する枠部材１８の箇所のそれぞれに設けられた複数のストッパ１１６とを備える。
【０１１６】
表示用基板は、図１５に示すように、ワークテーブル１２の枠部材１８に載置され、その状態で各プッシャ１１４により対応するストッパ１１６に押されることにより、位置決めされる。
【０１１７】
検査時、表示用基板は、ワークテーブル１２がステージ７８により上昇されて、電極をプローブ装置８０のプローブに押圧される。
【産業上の利用可能性】
【０１１８】
検査装置１４の板部材８８を取り外し可能にする代わりに、搬送枠３６及びワークテーブル１２を検査装置１４に対して出し入れする開口を板部材７８に設けてもよい。
【０１１９】
本発明は、液晶表示パネル用に表示用基板の検査装置に用いるワークテーブルの交換装置及びその表示用基板の検査装置のみならず、有機ＥＬのような他の平板状の表示用基板の検査装置に用いるワークテーブルの交換装置及びその表示用基板の検査装置にも適用することができる。
【０１２０】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明に係る交換装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示す交換装置における側面図である。
【図３】図１に示す交換装置における搬送装置及びガイド装置近傍の一実施例を示す側面図である。
【図４】図１における４−４線に沿って得た拡大断面図であって搬送装置及びガイド装置近傍の一実施例を示す図である。
【図５】図１に示す交換装置における搬送枠とこれに受けられたワークテーブルとの一実施例を示す平面図である。
【図６】図５における６−６線に沿って得た拡大断面図であって搬送枠及び受け渡し機構近傍の一実施例を示す図である。
【図７】図１に示す交換装置における受け渡し部材の近傍の一実施例を示す底面図である。
【図８】図１に示す交換装置における搬送装置の一実施例を示す平面図であって搬送枠を最大に移動させた状態で示す図である。
【図９】図９に示す搬送装置の正面図である。
【図１０】本発明に係る検査装置の一実施例を示す正面図である。
【図１１】図１０における１１−１線に沿って得た断面図である。
【図１２】図１０に示す検査装置の側面図である。
【図１３】搬送枠を図１０に示す検査装置内に移動させた状態を示す図１１と同様の図である。
【図１４】図１４におけるａ部分の拡大図である。
【図１５】図１０に示す検査装置におけるワークテーブルとテーブル装着装置との組み付け状態を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【０１２２】
１０  交換装置
１２  ワークテーブル
１４  検査装置
１６  表示用基板
１８  ワークテーブルの枠部材
２０  ワークテーブルの板状部材
２２、２４  ワークテーブルの開口
２６  ワークテーブルの切欠部
２８  ワークテーブルの当接部
３０  台車
３２  搬送装置
３４、７４  第１及び７４の位置決め装置
３６搬送枠
３８  受け渡し部材（受け渡し機構）
４０  第１のアクチュエータ（受け渡し機構）
４２  搬送枠の内側空間
４４  搬送枠の凹所
４６  留め具
５０  フレーム
５２  ベース部材
５４  ガイド装置
５６  第２のアクチュエータ
５８、８２  キャスター
６０  レール
６２  ガイド
６４  テーブル受け
６６、７０  ブラケット
６８  位置決めピン
７２  筐体
７４  第２の位置決め装置
７６  テーブル装着装置
７８  ステージ
８０  プローブ装置
８４  傾斜面
８６  開口
８８  板部材
９０  ソケット
９２  昇降台
９４  バックライト装置
９６  テーブル装着部
９８  バックライトユニット
１００  ねじ穴
１０２  位置決めピン
１０４  ねじ部材
１０６  枠受け
１０８  段部
１１０  ストッパ
１１２  ベアリング
１１４  プッシャ
１１６  ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2006308450.tif 000013
【図１２】
2006308450.tif 000014
【図１３】
2006308450.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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