(57)【要約】【課題】  カセットに応じたカセットガイドの交換や位置調整等をすることなく、多数の異なった形状のカセットに対応できるウェハ搬送装置、及びカセット設置用アダプタを提供する。【解決手段】  ウェハを収納したカセットを載置して昇降させるエレベータ台３が備えられ、カセットからウェハを取り出して搬送を行うためのウェハ搬送装置Ｗにおいて、エレベータ台３に位置決めして取り付け可能な複数種類のカセット設置用アダプタ４が互換可能に備えられ、これら各々のカセット設置用アダプタ４には、互いに形状の異なる複数種類のカセットを各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセットガイド２１が設けられているような構成とした。【選択図】      図３
2006120766.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハを収納したカセットを載置して昇降させるエレベータ台が備えられ、前記カセットから前記半導体ウェハを取り出して搬送を行うためのウェハ搬送装置において、
前記エレベータ台に位置決めして取り付け可能な複数種類のカセット設置用アダプタが互換可能に備えられ、これら各々のカセット設置用アダプタには、互いに形状の異なる複数種類のカセットを各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセット位置決め手段が設けられていることを特徴とするウェハ搬送装置。
【請求項２】
前記エレベータ台に取り付けられた前記カセット設置用アダプタの種類を識別する、アダプタ種類識別手段が備えられていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ搬送装置。
【請求項３】
前記カセット設置用アダプタが前記エレベータ台に正しく取り付けられているか否かを検出するアダプタ有無検出手段と、
該アダプタ有無検出手段と連動し、前記カセット設置用アダプタが正しく取り付けられていない場合には前記ウェハ搬送装置の動作を禁止する動作禁止手段と、
が備えられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェハ搬送装置。
【請求項４】
前記アダプタ種類識別手段によって識別された前記カセット設置用アダプタの種類に対応して、前記エレベータ台の動作を制御するエレベータ制御手段が備えられていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のウェハ搬送装置。
【請求項５】
前記アダプタ種類識別手段によって識別された前記カセット設置用アダプタの種類に対応して、前記半導体ウェハの検査手順を設定する検査手順設定手段が備えられていることを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載のウェハ搬送装置。
【請求項６】
半導体ウェハを収納したカセットを載置して前記カセットから前記半導体ウェハを取り出して搬送を行うためのウェハ搬送装置に備えられるカセット設置用アダプタであって、
前記ウェハ搬送装置に位置決めして取り付け可能な複数種類が互換可能に備えられ、互いに形状の異なる複数種類のカセットを各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセット位置決め手段が設けられていることを特徴とするカセット設置用アダプタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハを収納したカセットからウェハを取り出して搬送を行うためのウェハ搬送装置、及びカセット設置用アダプタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体製造における分業化が進み、前工程は自社内で実施し、後工程は専門メーカに委託するケースが増加している。このような後工程のメーカにおいては、多くの前工程メーカの専用カセットにウェハ（半導体ウェハ）が収納された状態で、加工や検査業務を請け負っているため、ウェハ搬送装置等を含む検査装置側等で対応しなければならないカセットの種類が増大傾向にある。
【０００３】
これらのカセットは、基本寸法は半導体工業規格等で定められているが、詳細寸法はそれぞれ異なっている。そのため、各社の異なった形状のカセットに対して１種類のカセットガイドで対応しようとした場合、カセットとガイドとの間に隙間があいてしまったり、干渉したりしてしまうため、ガイドを交換したりしなければならず、搬送トラブルが発生する原因になっている。
また、カセットに収納するウェハ自体も近年益々薄くなる傾向にあり、ウェハに反りが発生し、カセット内に挿入される搬送アームの高さを都度調整する必要もある。
【０００４】
こういった問題を解決するため、例えば特開平１０−１４４７５５号公報（特許文献１）や特開２００３−１４２５５１号公報（特許文献２）に記載されているるように、第１のカセットの形状に対応したカセット載置部材の位置決め部に、第２のカセットの形状に対応したアダプタを載置することにより、異なるカセット形状・異なるウェハサイズに対応する方法が開示されている。
ここでいう「第１のカセット」とは、例えば１２インチウェハや８インチウェハを収納するための形状をしたカセットであり、「第２のカセット」とは、第１のカセットにおけるウェハサイズよりも小さい、例えば６インチウェハを収納するための形状をしたカセットである。大きなサイズのカセットを位置決めする部材を用いることから、第２のカセットは第１のカセットと比較して小さなカセット（例えば第１のカセットが８インチ用であれば、第２のカセットは６インチ用カセット）となる。
【特許文献１】特開平１０−１４４７５５号公報
【特許文献２】特開２００３−１４２５５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば、特許文献１においては、第１のカセットを載置する台と、このカセット載置台上に着脱自在に位置決めされると共に、第１のカセットとは異なる第２のカセットを載置する板状部材とを備えた載置台が開示されている。この発明においては、第２のカセットを載置する板状部材に設けられたカセットガイドは、複数のカセットに対応できるように移動可能な構造になっている。しかしながら同じウェハサイズでありながら形状が異なるカセットに対応する場合は、その都度カセットガイドの取付け位置を調整する必要があり、クリーンルーム内での調整作業を強いることになってしまう。特に、使用するカセットを頻繁に変更する場合は、調整作業だけでも大幅な時間を要する。
つまり、カセット台は基本的に、あるウェハサイズに対して１種類の形状のカセット（基準となる第１のカセット）が対応するものであり、その位置決め部材を利用して基準カセットより小さい複数種のカセット（第２のカセット）を載置することができるようにしたものである。そのため、第１のカセットと同サイズのカセットは、基本的に調整することなしに対応することはできない。
【０００６】
また、特許文献２においては、ウェハを収納する密閉型の収納器が載置される載置部と、前記載置台に着脱自在に設けられた、開放型の収納器を載置するアダプタとを備えた載置装置が開示されている。これは１２インチウェハの収納器で採用されているＦＯＵＰと呼ばれる密閉型の収納器と、オープンカセットと呼ばれる開放型の収納器をひとつの装置で兼用させることが主目的であり、密閉型の収納器を採用していない、比較的小径なウェハ用のカセットにとっては必要のない機能である。
【０００７】
更に、ある１種類のカセットに厚みが異なるウェハが収納されている場合、ウェハと搬送アームとの高さ関係を調整するために、予めウェハの厚みに合った搬送アームの高さを装置にメモリーすること等で対応してきた。
【０００８】
このように、比較的小径なウェハにおいて、同一のウェハサイズでありながら、異なった形状のカセットを多数使用する場合、カセットを最適な位置に載置できる機能をもったウェハ搬送装置はなかった。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、カセットに応じたカセットガイドの交換や位置調整等をすることなく、多数の異なった形状のカセットに対応できるウェハ搬送装置、及びカセット設置用アダプタを提供することを目的とする。
【００１０】
本発明は、ウェハ搬送装置のカセット載置台にカセットを直接載置する場合には、基本的に１種のカセット（基準となる第１のカセット）のみの対応しかできないといった不具合が発生してしまうことや、基準カセットの位置決め部材を用いて第２のカセットを載置するアダプタプレートを載置できるようにした場合でも、第１のカセットと同じウェハサイズのカセットを載置しようとすると上記同様の不具合が発生してしまうことを、解消するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明は、半導体ウェハを収納したカセットを載置して昇降させるエレベータ台が備えられ、前記カセットから前記半導体ウェハを取り出して搬送を行うためのウェハ搬送装置において、前記エレベータ台に位置決めして取り付け可能な複数種類のカセット設置用アダプタが互換可能に備えられ、これら各々のカセット設置用アダプタには、互いに形状の異なる複数種類のカセットを各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセット位置決め手段が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
このように、カセット載置台としてのエレベータ台の上部に位置決めして取り付け可能且つ互換可能に載置することが可能なカセット設置用アダプタを備え、このカセット設置用アダプタには、複数種類のカセットを各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセット位置決め手段を設けるようにして、２段式のカセット載置台を構成するようにしている。
このような構成を採用し、複数種類のカセットに対応したカセット設置用アダプタを予め用意しておくことで、装置本体側やカセットの位置決め部材等の調整をすることなく、多種類のカセットによる半導体ウェハの搬送が可能になる。
【００１３】
また、半導体ウェハの厚みの違いによって生じる、半導体ウェハとその搬送手段（搬送アーム等）との高さ関係も、予め装置本体の構造を見直しておくことによって、カセット設置用アダプタを交換するだけで、容易に対応することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のウェハ搬送装置であって、前記エレベータ台に取り付けられた前記カセット設置用アダプタの種類を識別するアダプタ種類識別手段が備えられていることを特徴とする。
【００１５】
このように、アダプタ種類識別手段を備えて、カセット設置用アダプタの種類を自動的に識別できるようにしているので、載置されるカセットの種類も併せて識別することができる。そのため、当該カセットに収納されている半導体ウェハの種類も自ずと特定できるので、例えば検査手順の設定等も容易に行うことができ、迅速且つ的確な搬送及び検査を行うことができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のウェハ搬送装置であって、前記カセット設置用アダプタが前記エレベータ台に正しく取り付けられているか否かを検出するアダプタ有無検出手段と、該アダプタ有無検出手段と連動し、前記カセット設置用アダプタが正しく取り付けられていない場合には前記ウェハ搬送装置の動作を禁止する動作禁止手段と、が備えられていることを特徴とする。
【００１７】
このようなアダプタ有無検出手段と動作禁止手段とを備えていることで、カセットが取り付けられていない場合や、取り付けられていても正しく取り付けられていない場合には、自動的にウェハ搬送装置を停止させて動作を禁止することができる。そのため、例えば半導体ウェハと搬送アーム等との干渉を防止することができ、人為的ミス等による搬送や検査のトラブルを未然に防ぐことができる。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、請求項２又は請求項３に記載のウェハ搬送装置であって、前記アダプタ種類識別手段によって識別された前記カセット設置用アダプタの種類に対応して、前記エレベータ台の動作を制御するエレベータ制御手段が備えられていることを特徴とする。
【００１９】
このようなエレベータ制御手段を備えていることで、カセット内に収納されている半導体ウェハの種類、つまりその厚みや大きさ等に対応させて、エレベータ台を自動的に昇降させることができる。そのため、半導体ウェハと搬送アーム等との干渉をより的確に防止することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項２〜４の何れかに記載のウェハ搬送装置であって、前記アダプタ種類識別手段によって識別された前記カセット設置用アダプタの種類に対応して、前記半導体ウェハの検査手順を設定する検査手順設定手段が備えられていることを特徴とする。
【００２１】
このような検査手順設定手段を備えていることで、カセット設置用アダプタに載置されるカセットに収納されている半導体ウェハの種類毎に、それに対応する最適な検査手順を自動的に設定することができる。そのため、検査手順の設定に人手の介在が不要となり、人為的ミス等による搬送や検査のトラブルを未然により的確に防止することができる。
【００２２】
また、請求項６に記載の発明は、半導体ウェハを収納したカセットを載置して前記カセットから前記半導体ウェハを取り出して搬送を行うためのウェハ搬送装置に備えられるカセット設置用アダプタであって、前記ウェハ搬送装置に位置決めして取り付け可能な複数種類が互換可能に備えられ、互いに形状の異なる複数種類のカセットを各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセット位置決め手段が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係るウェハ搬送装置及びカセット設置用アダプタにおいては、上記の如き構成を採用しているので、カセット設置用アダプタを交換するだけで、多種類のカセットに対応することが可能である。
また、カセット設置用アダプタに設けられているカセット位置決め手段は、予めカセットとのクリアランスが適正となるように調整される等、各カセット毎に所定の位置に載置可能な構成とされているので、従来のようにカセットとカセット位置決め手段との間に隙間ができてしまう、あるいはカセットとカセット位置決め手段とが干渉してしまう、といった問題は発生しない。
更に、カセット位置決め手段自体を交換する必要がないので、取り付け作業や現物合わせによる調整作業も必要なく、多種類のカセットに対して迅速且つ的確に対応することができ、搬送及び検査を迅速且つ的確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明に係るウェハ搬送装置の実施の形態について、図面を用いて説明する。
図１に外観を示す示すウェハ搬送装置Ｗは、ウェハ１の検査を行うための搬送を行うものであって、検査用の顕微鏡Ｓと隣接して設置されており、ウェハ（半導体ウェハ）１を顕微鏡Ｓへと搬送可能となっている。このウェハ搬送装置Ｗは、エレベータ台３、カセット設置用アダプタ（カセットアダプタ、アダプタ）４、エレベータ機構部５、ウェハ取り出し機構部６、ウェハ取り出しアーム（搬送アーム等）７、ウェハ載置台８、搬送アーム９等が装置本体に備えられた概略構成とされている。
【００２５】
エレベータ台３は、エレベータ機構部５内に設けられたエレベータ上下動作用モータ５ｍ（図１においては図示省略）によって駆動されることで、上下動（昇降）可能とされている。ウェハ１を収納したカセット２は、このエレベータ台３上に位置決めして取り付けられたカセット設置用アダプタ４上に載置されている。このカセット設置用アダプタ４は、後述するように、互いに形状の異なる複数種類のカセット２をエレベータ台３上に載置可能とするために、各カセット毎に対応するような固有の構成を有するものが、複数種類用意されている。
これら各々のカセット設置用アダプタ４は、エレベータ台３に位置決めして載置（取り付け）可能、且つ互換可能とされており、この図１においては、それらのうちの１種類がエレベータ台３に取り付けられている。
【００２６】
ウェハ取り出しアーム７は、カセット２からウェハ１を取り出してウェハ載置台８上に載置したり、ウェハ載置台８上に載置されたウェハ１をカセット２内に収納したりするものであり、ウェハ取り出し機構部６内に設けられたアーム動作用モータ６ｍ（図１においては図示省略）によって駆動される。
ウェハ載置台８は、ウェハ載置台上下動作用モータ８ｍによって昇降駆動されて、検査者が容易にウェハ１の表面マクロ検査／裏面マクロ検査を行い得るようになっている。
搬送アーム９は、ウェハ載置台８と顕微鏡Ｓ側のウェハ載置台８８との間でウェハ１を搬送するものであり、搬送アーム動作用モータ９ｍ（図１においては図示省略）によって駆動される。なお、ウェハ載置台８８に搬送されたウェハ１は、顕微鏡検査によって、より精密に検査される。
【００２７】
また、装置本体内には、図２に示すように、制御部（動作禁止手段、エレベータ制御手段、検査手順設定手段）１０、操作部１１及び記憶部（検査手順設定手段）１２が備えられている。
制御部１０は、ウェハ搬送装置Ｗの動作を総合的に制御するものであり、後述するアダプタ有無センサ（アダプタ有無検出手段）３１、アダプタ識別センサ（アダプタ種類識別手段）３２、カセット有無センサ２３、ウェハ突出センサ２５等といった各種センサ、各動作用モータ５ｍ、６ｍ、８ｍ、９ｍ等といった各種アクチュエータ、操作部１１及び記憶部１２と各々接続されている。
【００２８】
操作部１１は、搬送・検査の開始スイッチあるいは停止スイッチを有するスイッチパネル、及び表示部等からなり、検査者による操作入力を指示信号として制御部１０へと送り、また制御部１０から送られてくる各種情報を検査者に知らせるものである。
記憶部１２には、ウェハ１の検査レシピ（レシピ、検査手順）その他の各種情報が記憶されており、制御部１０からの信号によって、任意の情報を制御部１０へと送ることができるようになっている。なお、ここでいう「検査レシピ」とは、例えば表面マクロ検査／裏面マクロ検査／顕微鏡検査の組合せや、ウェハ抜取り検査の枚数の指示等といった、ウェハ検査における一連の手順をいう。
【００２９】
制御部１０は、アダプタ有無センサ３１、アダプタ識別センサ３２、カセット有無センサ２３、ウェハ突出センサ２５等からの各検出信号、あるいは操作部１１からの指示信号に基づいて、記憶部１２から検査レシピ等の情報を適宜読み出しながら、各動作用モータ５ｍ、６ｍ、８ｍ、９ｍ等の動作を制御する。この制御部１０は、３つの主要な機能を担保している。第１の機能は、アダプタ有無センサ３１からの信号によってカセット設置用アダプタ４がエレベータ台３に正しく取り付けられていないと認識した場合には、ウェハ搬送装置Ｗの動作を禁止する、動作禁止手段としての機能である。具体的には、各動作用モータ５ｍ、６ｍ、８ｍ、９ｍ等を全て停止させるとともに、操作部１２の表示部にエラーメッセージやエラーコード等を表示させる。また第２の機能は、アダプタ識別センサ３２によって識別されたカセット設置用アダプタ４の種類（タイプ）に対応して、エレベータ上下動作用モータ５ｍの動作つまりエレベータ台３の動作を制御する、エレベータ制御手段としての機能である。更に第３の機能は、アダプタ識別センサ３２によって識別されたカセット設置用アダプタ４の種類に対応して、載置されるカセット２に収納されているウェハ１の検査レシピ（検査手順）を設定する、検査手順設定手段としての機能である。具体的には、記憶部１２と組をなして、記憶部１２に予め記憶されている各種の検査レシピ等のうちから、当該カセット設置用アダプタ４に載置されるカセット２に収納されているウェハ１の種類に対応する、最適なものを読み込み、その自動的に設定された検査レシピ等に基づいて、各動作用モータ５ｍ、６ｍ、８ｍ、９ｍ等の動作を制御する。
【００３０】
なおここでは、上記３つの機能を１つの制御部１０に集約した構成としているが、各々の機能を別個の制御部に分散させて、それらの制御部を相互に接続するような構成としてもよい。
【００３１】
次に、エレベータ台３及びカセット設置用アダプタ４の基本構成としての一例を、図３に示す。
エレベータ台３には、カセット設置用アダプタ４を位置決めして取り付けるための位置決めピン３ａ、３ｂが設けられており、カセット設置用アダプタ４には、位置決めピン３ａ、３ｂに各々対応する位置に位置決めピン３ａ、３ｂと各々嵌合する嵌合孔４ａ，４ｂが設けられている。また、エレベータ台３及びカセット設置用アダプタ４には、取付けネジ２２ａ，２２ｂを用いてカセット設置用アダプタ４をエレベータ台３上に固定するための、ネジ孔３ｎ，４ｎが各々形成されている。
【００３２】
カセット設置用アダプタ４の上側には、互いに形状の異なる複数種類のカセット２を、各カセット２毎に所定の位置に載置するための、カセットガイド（カセット位置決め手段）２１が設けられている。各々のカセット設置用アダプタ４におけるカセットガイド２１は、そのカセット設置用アダプタ４に固有の形状を有しており、多数の異なった形状（多種類）のカセット２のうちから固有の複数種類のカセット２を載置可能となっている。すなわち各々のカセットガイド２１は、その形状に対応するカセット２を載置した際に、当該カセット２下側とのクリアランスが適正となるように、予め形状が調整されているものである。
【００３３】
このように、検査するカセット２毎に形状が異なるため、カセットガイド２１の形状を互いに異ならせたカセット設置用アダプタ４を複数種類用意しておく。そして、検査するカセット２に対応したカセット設置用アダプタ４を選択し、エレベータ台３上に位置決め載置して取付けネジ２２ａ，２２ｂで固定する。
このように、検査するカセット２に対応した複数種類のカセット設置用アダプタ４を、互いに交換して用いることで、多種類のカセット２に対応することができ、各々のカセット２を適正な位置に載置することが可能となる。
【００３４】
なお、図６に示すように、取付けネジ２２ａ、２２ｂを用いず、替わりにエレベータ台３上の位置決めピン３ａ，３ｂにＶ溝やＵ溝等の溝部３ｇを形成し、カセット設置用アダプタ４にボールプランジャ５１を備えることによって、カセット設置用アダプタ４をより的確にエレベータ台３上に取り付け固定できるようにしてもよい。
【００３５】
また、エレベータ台３には、カセット有無センサ２３とウェハ突出センサ２５とが設けられている。カセット有無センサ２３は、カセット２が正しく載置されているか否かを、つまりカセットの有無を検出して、検出信号を制御部１０へと送るためのものであって、例えばリミットスイッチのように検出部が上下動する押し込み型のスイッチからなり、その検出部には、カセット有無検出用ボス２４が取り付けられている。このカセット有無検出用ボス２４は、エレベータ台３に形成された貫通孔３ｈ、及びカセット設置用アダプタ４に形成された貫通孔４ｈを経て、カセット設置用アダプタ４上面から突出可能とされている。カセット有無センサ２３の検出部は、図示しないばねによって通常は上方に付勢されているので、カセット２がカセット設置用アダプタ４上に載置されていない状態では、カセット有無検出用ボス２４はカセット設置用アダプタ４上面から突出している。このとき、カセット有無センサ２３はＯＦＦの状態であり、検出信号は制御部１０には送られない。そして、カセット２が載置されたら、その重量によってカセット有無検出用ボス２４は押し下げられて、カセット有無センサ２３はＯＮの状態となり、検出信号が制御部１０へと送られて、制御部１０はカセット２が載置されたことを認識する。
【００３６】
ウェハ突出センサ２５は、カセット２からウェハ１が所定量以上突出しているか否かを検出して、検出信号を制御部１０へと送るための光電センサである。このウェハ突出センサ２５からの光は、エレベータ台３に形成された孔３ｃ、及びカセット設置用アダプタ４に形成された切り欠き部４ｃを通って上方へと照射されており、この光がウェハ１によって遮られるか否かによって、ウェハ１が突出しているか否かを検出するようになっている。つまり、ウェハ１によって光が遮られた場合には、ウェハ突出センサ２５からの検出信号が制御部１０へと送られて、制御部１０は、カセット２からウェハ１が所定量以上突出していることを認識する。
【００３７】
なおこの例においては、カセット有無検出用ボス２４がエレベータ台３及びカセット設置用アダプタ４を貫通するような構成としているが、図７に示すように、カセット設置用アダプタ４上面側にカセット有無検出用ボス（符号２４Ｂ）を一体的に設けるような構成としてもよい。
また、カセット有無センサ２３を光電センサとして、光によってカセット２の有無を直接検出するようにしてもよい。
【００３８】
次に、上記図３にて説明した機構を応用し、カセット設置用アダプタ４の有無及びその種類の検出ができるようにした場合の一例、つまり応用例を、図４に示す。ここでは、２種類のカセット設置用アダプタ４、つまり、図４（ａ）に示すタイプＡのカセット設置用アダプタ４Ａと、図４（ｂ）に示すタイプＢのカセット設置用アダプタ４Ｂとを用いた場合の例について説明する。これらカセット設置用アダプタ４Ａとカセット設置用アダプタ４Ｂとは、互いが異なった種類のカセット２に対応するために、互いのカセットガイド２１Ａとカセットガイド２１Ｂとが異なった形状となっている。そして、カセット設置用アダプタ４Ａには、後述する切り欠き部４ｄが形成されているのに対し、カセット設置用アダプタ４Ａには、このような切り欠き部は形成されていない。これら２つの相違点を除けば、カセット設置用アダプタ４Ａとカセット設置用アダプタ４Ｂとは互いに同様の構成とされている。
【００３９】
図４（ａ）、（ｂ）に示すエレベータ台３には、上記したカセット有無センサ２３及びウェハ突出センサ２５（この図において図示省略）とが設けられている他、アダプタ有無センサ３１とアダプタ識別センサ３２とが設けられている。
アダプタ有無センサ３１は、カセット設置用アダプタ４がエレベータ台３上に正しく位置決めして載置（取り付け）されているか否か、つまりカセット設置用アダプタ４の有無を検出して、検出信号を制御部１０へと送るためのものであって、カセット有無センサ２３と同様のリミットスイッチから構成されている。このアダプタ有無センサ３１の検出部は、エレベータ台３上面側に設けられたアダプタ有無検出用ボス３３に取り付けられており、通常は上方に付勢されている。そのため、カセット設置用アダプタ４がエレベータ台３上に正しく位置決め載置されていない状態では、アダプタ有無検出用ボス３３はエレベータ台３上面から突出して、アダプタ有無センサ３１はＯＦＦの状態であり、検出信号は制御部１０には送られない。そして、カセット設置用アダプタ４が正しく位置決め載置されたら、その重量によってアダプタ有無検出用ボス３３は押し下げられて、アダプタ有無センサ３１はＯＮの状態となり、検出信号が制御部１０へと送られて、制御部１０はカセット設置用アダプタ４が正しく位置決め載置されたことを認識することができる。
【００４０】
アダプタ識別センサ３２は、エレベータ台３上に正しく位置決め載置されたカセット設置用アダプタ４の種類を検出・識別して、検出信号を制御部１０へと送るためのものであって、アダプタ有無センサ３１と同様のリミットスイッチから構成されている。このアダプタ識別センサ３２の検出部は、エレベータ台３上面側に設けられたアダプタ種類検出用ボス３４に取り付けられており、通常は上方に付勢されている。
【００４１】
ここで、カセット設置用アダプタ４Ａにおけるアダプタ種類検出用ボス３４に対応する位置には、切り欠き部４ｄが形成されている。そのため、カセット設置用アダプタ４Ａがエレベータ台３上に正しく位置決め載置されても、アダプタ種類検出用ボス３４はエレベータ台３上面から突出して、アダプタ識別センサ３２はＯＦＦの状態であり、検出信号は制御部１０には送られない。一方、カセット設置用アダプタ４Ｂには切り欠き部は形成されていない。そのため、カセット設置用アダプタ４Ｂがエレベータ台３上に正しく位置決め載置されたら、その重量によってアダプタ種類検出用ボス３４は押し下げられて、アダプタ識別センサ３２はＯＮの状態となり、検出信号が制御部１０へと送られて、制御部１０は、タイプＢのアダプタつまりカセット設置用アダプタ４Ｂが載置されたことを認識する。
【００４２】
次に、図４に示した構成を有するウェハ搬送装置Ｗを用いて、ウェハ１の検査を行うための搬送を行うまでの一連のフローについて、図５を用いて説明する。
先ず、エレベータ台３上にカセット設置用アダプタ４（４Ａ又は４Ｂ）を位置決めして取り付ける（ステップＳ１）。このカセット設置用アダプタ４上に設けられたカセットガイド２１（２１Ａ又は２１Ｂ）に対応するカセット２を載置後、操作部１１の開始スイッチ等を操作することにより、ウェハ１の搬送・検査が開始される（ステップＳ２）。
【００４３】
開始スイッチが操作されると、先ず制御部１０は、カセット設置用アダプタ４（４Ａ又は４Ｂ）がエレベータ台３上に正しく位置決め載置されているか否かを、アダプタ有無センサ３１を用いて確認する（ステップＳ３）。もしも、アダプタ有無センサ３１がＯＦＦの状態である場合、つまりカセット設置用アダプタ４（４Ａ又は４Ｂ）が正しく位置決め載置されていないと認識される場合には、制御部１０は、ウェハ搬送装置Ｗを停止させて動作を禁止するとともに、表示部に「アダプタを設置してください」等のエラーメッセージやエラーコードを表示させる（ステップＳ４）。
【００４４】
次に制御部１０は、カセット設置用アダプタ４（４Ａ又は４Ｂ）にカセット２が正しく載置されているか否かを、カセット有無センサ２３を用いて確認する（ステップＳ５）。もしも、カセット有無センサ２３がＯＦＦの状態である場合、つまりカセット２が正しく載置されていないと認識される場合には、制御部１０は、ウェハ搬送装置Ｗを停止させて動作を禁止するとともに、表示部に「カセットを設置してください」等のエラーメッセージやエラーコードを表示させる（ステップＳ６）。
【００４５】
そして、アダプタ有無センサ３１がＯＮの状態である場合、つまりカセット設置用アダプタ４（４Ａ又は４Ｂ）が正しく位置決め載置されていると確認できる場合には、制御部１０は、次にアダプタ識別センサ３２を用いて、カセット設置用アダプタ４（４Ａ又は４Ｂ）のタイプを、つまりタイプＡかタイプＢかを識別・認識する（ステップＳ７）。すなわち、アダプタ識別センサ３２がＯＦＦの状態であれば、タイプＡのアダプタつまりカセット設置用アダプタ４Ａが載置されていると認識し、一方、アダプタ識別センサ３２がＯＮの状態であれば、タイプＢのアダプタつまりカセット設置用アダプタ４Ｂが載置されていると認識する。次に制御部１０は、アダプタ識別センサ３２より得られたカセット設置用アダプタ４（４Ａ又は４Ｂ）の種類に対応して、記憶部１２に予め記憶されている各種の検査レシピ等のうちから、載置されるカセット２に対応する、つまり当該カセット２に収納されているウェハ１に対応する、最適なものを読み込む（ステップＳ８）。
【００４６】
更に制御部１０は、カセット有無センサ２３がＯＮの状態である場合、つまりカセット２が正しく載置されていると確認できる場合には、先に読み込んだ検査レシピ等を自動的に設定し、この検査レシピ等に基づいてウェハ１の検査を行うための搬送を開始する（ステップＳ９）。
【００４７】
本実施形態に係るウェハ搬送装置Ｗにおいては、エレベータ台３に位置決めして取り付け可能且つ互換可能とされた、複数種類のカセット設置用アダプタ４を備え、これら各々のカセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）に、互いに形状の異なる複数種類のカセット２を各カセット毎に所定の位置に載置するためのカセットガイド２１（２１Ａ，２１Ｂ）を設けるようにしている。このような構成を採用し、複数種類のカセット２に対応したカセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）を予め用意しておくことで、装置本体側やカセットの位置決め部材等の調整をすることなく、カセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）を交換するだけで、多種類のカセット２によるウェハ１の搬送が可能になる。
また、カセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）上に取付けられているカセットガイド２１（２１Ａ，２１Ｂ）は、予めカセット２とのクリアランスが適正であるように調整されているため、従来のようにカセットとカセットガイドとの間に隙間ができてしまったり、カセットとカセットガイドとが干渉してしまうといった問題は発生しない。
更に、カセットガイド２１（２１Ａ，２１Ｂ）自体を交換する必要がないので、取り付け作業や現物合わせによる調整作業も必要なく、複数のカセット２に対して迅速かつ確実に対応することができる。
【００４８】
更に、ウェハ１の厚みの違いによって生じる、ウェハとウェハ取り出しアーム７等（搬送アーム等）との高さ関係も、予め装置本体の構造を見直しておくことによって、カセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）を交換するだけで、容易に対応することができる。
【００４９】
また、アダプタ識別センサ３２を備えて、カセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）の種類を自動的に識別できるようにしているので、載置されるカセット２の種類も併せて識別することができる。そのため、当該カセット２に収納されているウェハ１の種類も自ずと特定できるので、例えば検査レシピの設定等も容易に行うことができ、迅速且つ的確な搬送及び検査を行うことができる。
【００５０】
更に、カセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）がエレベータ台３に正しく取り付けられているか否かを検出するアダプタ有無センサ３１と、アダプタ有無センサ３１と連動する制御部１０とを備え、この制御部１０には、カセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）が正しく取り付けられていない場合にはウェハ搬送装置Ｗの動作を禁止する動作禁止手段としての機能を担保させるようにしている。そのため、カセット２が取り付けられていない場合や、取り付けられていても正しく取り付けられていない場合には、自動的にウェハ搬送装置Ｗを停止させて動作を禁止することができる。これにより、例えばウェハ１とウェハ取り出しアーム７等との干渉を防止することができ、人為的ミス等による搬送や検査のトラブルを未然に防ぐことが可能となる。
【００５１】
更に、制御部１０に、アダプタ識別センサ３２によって識別されたカセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）の種類に対応して、エレベータ台３の動作を制御するエレベータ制御手段としての機能も担保させるようにしている。そのため、カセット２内に収納されているウェハ１の種類、つまりその厚みや大きさ等に対応させて、エレベータ台３を自動的に昇降させることができる。これにより、ウェハ１とウェハ取り出しアーム７等との干渉をより的確に防止することができる。
【００５２】
更に、制御部１０に、アダプタ識別センサ３２によって識別されたカセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）の種類に対応して、ウェハ１の検査レシピ（検査手順）を設定する検査手順設定手段としての機能も担保させるようにしている。そのため、カセット設置用アダプタ４（４Ａ，４Ｂ）に載置されるカセット２に収納されているウェハ１の種類毎に、それに対応する最適な検査レシピを自動的に設定することができる。そのため、検査手順の設定に人手の介在が不要となり、人為的ミス等による搬送や検査のトラブルを未然により的確に防止することができる。
【００５３】
なお上記実施形態においては、カセット有無センサ、アダプタ有無センサあるいはアダプタ識別センサとしてリミットスイッチを用いた場合を示したが、光電センサを用いたり、またはバーコードラベルとバーコード読取り装置等を用いてもよい。
【００５４】
また、１つのアダプタ識別センサを用いて、２種類のカセット設置用アダプタを識別可能とした構成を例示したが、複数のアダプタ識別センサを用いるとともに、それに対応してカセット設置用アダプタに切り欠き部を適宜形成することによって、３種類以上のカセット設置用アダプタへの対応も可能となる。
【００５５】
更に、ウェハ搬送装置を検査装置用に用いた場合を具体例として説明したが、ウェハがカセット内に収納されており、カセットからウェハを取り出す機能を有する搬送装置を持つものであればよく、例えば半導体製造装置に用いるようにしてもよい。またカセットは、ウェハが直接収納されるタイプのカセットだけではなく、例えばダイシング工程で使用されるようなウェハの専用ケース用のカセットであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施形態に係るウェハ搬送装置の外観を示す平面図である。
【図２】同ウェハ搬送装置のブロック構成図である。
【図３】同ウェハ搬送装置において用いるエレベータ台及びカセット設置用アダプタの基本構成を示す概略斜視図である。
【図４】図３に示したエレベータ台及びカセット設置用アダプタの応用例を示す概略斜視図である。
【図５】同ウェハ搬送装置を用いて半導体ウェハの搬送及び検査を行う場合の一連のフローを示すフローチャート図である。
【図６】図３に示したエレベータ台及びカセット設置用アダプタの変形例を示す概略斜視図である。
【図７】図３に示したエレベータ台及びカセット設置用アダプタの変形例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
Ｗ  ウェハ搬送装置
１  ウェハ（半導体ウェハ）
２  カセット
３  エレベータ台
４，４Ａ，４Ｂ  カセット設置用アダプタ
１０  制御部（動作禁止手段、エレベータ制御手段、検査手順設定手段）
１２  記憶部（検査手順設定手段）
２１，２１Ａ，２１Ｂ  カセットガイド（カセット位置決め手段）
２３  カセット有無センサ
３１  アダプタ有無センサ（アダプタ有無検出手段）
３２  アダプタ識別センサ（アダプタ種類識別手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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