(57)【要約】【課題】  ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを反応させて得られる耐熱性樹脂からなるクリーニング層を形成するにあたり、このクリーニング層の表面平滑性を改善して、搬送性と異物の除去性にすぐれたクリーニング機能付き搬送部材を得る。【解決手段】  （ａ）ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを有機溶媒中で反応させて耐熱性樹脂の前駆体溶液を得る工程と、（ｂ）上記の前駆体溶液を搬送部材上に塗布し、加熱乾燥して有機溶媒を除去したのち、高温で熱処理して耐熱性樹脂からなるクリーニング層を形成する工程とにより、搬送部材の少なくとも片面にクリーニング層を有するクリーニング機能付き搬送部材を製造するにあたり、上記の（ａ）工程における耐熱性樹脂の前駆体溶液を得る際の有機溶媒として、沸点が１７０℃以下である有機溶媒を少なくとも１種使用することを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材の製造方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを有機溶媒中で反応させて耐熱性樹脂の前駆体溶液を得る工程と、（ｂ）上記の前駆体溶液を搬送部材上に塗布し、加熱乾燥して有機溶媒を除去したのち、高温で熱処理して耐熱性樹脂からなるクリーニング層を形成する工程とにより、搬送部材の少なくとも片面にクリーニング層を有するクリーニング機能付き搬送部材を製造するにあたり、上記の（ａ）工程における耐熱性樹脂の前駆体溶液を得る際の有機溶媒として、沸点が１７０℃以下である有機溶媒を少なくとも１種使用することを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材の製造方法。
【請求項２】
（ａ）工程において、有機溶媒中での反応を１００℃以下の温度で行って、固形分濃度が３０重量％以下である耐熱性樹脂の前駆体溶液を得る請求項１に記載のクリーニング機能付き搬送部材の製造方法。
【請求項３】
（ａ）工程において、ジアミンは、アルキレンオキシドから構成されたポリエーテル構造を含む末端ジアミンからなる請求項１または２に記載のクリーニング機能付き搬送部材の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかの製造方法により得られたクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項５】
クリーニング層の室温での引っ張り弾性率が１０〜２，０００ＭＰａである請求項４に記載のクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項６】
基板処理装置内に、請求項４または５に記載のクリーニング機能付き搬送部材を搬送して、上記装置内に付着する異物を上記搬送部材のクリーニング層に吸着させてクリーニング除去することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
【請求項７】
請求項６に記載のクリーニング方法によりクリーニングされた基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置内に付着する異物をクリーニング除去するためのクリーニング機能付き搬送部材の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板等の製造装置や検査装置等、金属不純物等の異物を嫌う基板処理装置では、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板をつぎつぎに汚染するため、定期的に装置を停止して洗浄処理する必要があった。このため、稼働率の低下や多大な労力が必要になるという問題があった。
【０００３】
これらの問題を解決するため、基板処理装置内に、クリーニング層として粘着性物質を固着した基板を搬送して、装置内に付着する異物を粘着性物質に吸着させてクリーニング除去する方法（特許文献１参照）や、板状部材を搬送して、基板の裏面に付着する異物を除去する方法（特許文献２参照）が提案されている。
【特許文献１】特開平１０−１５４６８６号公報（第２〜４頁）
【特許文献２】特開平１１−８７４５８号公報（第２〜３頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の提案方法は、装置を停止して洗浄処理する必要がなく、稼動率の低下や多大な労力を回避する有効な方法であり、特にクリーニング層として粘着性物質を固着した基板を搬送する方法は、異物の除去性によりすぐれている。しかし、クリーニング層である粘着性物質が装置と強く接着して、搬送性不良となる問題があった。
本発明者らは、この問題を克服するため、クリーニング層として、上記の粘着性物質に代えて、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを反応させて得られる耐熱性樹脂（ポリイミド樹脂）を使用することで、上記搬送性不良の問題を回避でき、基板処理装置の異物の除去性にも好結果が得られることを既に見出している。
【０００５】
しかしながら、本発明者らの引き続く研究によると、上記の耐熱性樹脂を形成するにあたり、その前駆体溶液（ポリアミック酸樹脂溶液）を搬送部材としての基板上にスピンコータで塗布する際に、基板の周縁部（ウエハエッジ）にクラウン（頂き状の盛り上がり）が発生して、均一なクリーニング層を形成しにくく、これが基板処理装置内への搬送性や異物の除去性を低下させる原因となるることが判明した。
本発明は、このような事情に照らし、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを反応させて得られる耐熱性樹脂からなるクリーニング層を形成するにあたり、このクリーニング層の表面平滑性を改善して、基板処理装置内への搬送性と装置内に付着する異物の除去性にすぐれたクリーニング機能付き搬送部材を得ることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを反応させて得られる耐熱性樹脂（ポリイミド樹脂）からなるクリーニング層は、最初に、上記の両成分を有機溶媒中で反応させて耐熱性樹脂の前駆体溶液（ポリアミック酸樹脂溶液）を得、これを搬送部材としての基板上に塗布し、加熱乾燥して有機溶媒を除去したのち、高温で熱処理することで、形成される。ここで、上記の前駆体溶液を得るための有機溶媒としては、一般に、Ｎ−メチル−２−ピロリドンのような高沸点の極性溶媒が用いられることが多い。
【０００７】
本発明者らは、このように形成されるクリーニング層の表面平滑性が前駆体溶液を得るための有機溶媒に影響される、つまり上記従来の高沸点の極性溶媒では、その理由は定かではないが、基板上にスピンコータで塗布する際に基板の周縁部にクラウンを発生させ、均一なクリーニング層の形成を困難にしているのではないかと考えた。
そこで、上記従来の高沸点の極性溶媒に代えて、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等の低沸点の極性溶媒を使用したり、上記従来の高沸点の極性溶媒と共に低沸点の非極性溶媒等を併用してみたところ、前駆体溶液の粘度特性や有機溶媒の易揮発性等によるためか、スピンコータで塗布する際の基板周縁部のクラウンの発生が大きく低減され、表面平滑性の改善された均一なクリーニング層を形成することができ、これにより基板処理装置内への搬送性と装置内に付着する異物の除去性にすぐれたクリーニング機能付き搬送部材が得られることを見出し、本発明を完成するに至ったものである。
【０００８】
すなわち、本発明は、（ａ）ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを有機溶媒中で反応させて耐熱性樹脂の前駆体溶液を得る工程と、（ｂ）上記の前駆体溶液を搬送部材上に塗布し、加熱乾燥して有機溶媒を除去したのち、高温で熱処理して耐熱性樹脂からなるクリーニング層を形成する工程とにより、搬送部材の少なくとも片面にクリーニング層を有するクリーニング機能付き搬送部材を製造するにあたり、上記の（ａ）工程における耐熱性樹脂の前駆体溶液を得る際の有機溶媒として、沸点が１７０℃以下である有機溶媒を少なくとも１種使用することを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材の製造方法に係るものである。
特に、本発明は、（ａ）工程において、有機溶媒中での反応を１００℃以下の温度で行って、固形分濃度が３０重量％以下である耐熱性樹脂の前駆体溶液を得る上記構成のクリーニング機能付き搬送部材の製造方法と、（ａ）工程において、ジアミンがアルキレンオキシドから構成されたポリエーテル構造を含む末端ジアミンからなる上記構成のクリーニング機能付き搬送部材の製造方法を、提供できるものである。
また、本発明は、上記の各製造方法により得られたクリーニング機能付き搬送部材、特に、クリーニング層の室温での引っ張り弾性率が１０〜２，０００ＭＰａである上記クリーニング機能付き搬送部材を、提供できるものである。さらに、本発明は、基板処理装置内に、上記のクリーニング機能付き搬送部材を搬送して、上記装置内に付着する異物を上記搬送部材のクリーニング層に吸着させてクリーニング除去することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法と、このクリーニング方法によりクリーニングされた基板処理装置を、提供できるものである。
【発明の効果】
【０００９】
このように、本発明では、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを有機溶媒中で反応させて耐熱性樹脂の前駆体溶液を得るにあたり、沸点が１７０℃以下である有機溶媒を少なくとも１種使用したことにより、スピンコータで塗布する際の基板周縁部のクラウンの発生が大きく低減され、表面平滑性の改善された均一なクリーニング層を形成することができ、これにより基板処理装置内への搬送性と装置内に付着する異物の除去性にすぐれたクリーニング機能付き搬送部材を得ることができる。
また、上記特定の有機溶媒を使用したことにより、基板塗布後の乾燥時間の短縮もはかることができ、さらに耐熱性樹脂（ポリイミド樹脂）の吸湿性に起因した表面白化現象が抑制され、また乾燥時に吸湿した水分の急激な蒸発による発泡化現象が低減されて、膨れやクラック等の発生も抑制され、クリーニング層の美観の面でも好結果が得られるし、クリーニング層本来の前記性能をより良く発現させることかできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明においては、まず、（ａ）工程として、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを有機溶媒中で反応させて耐熱性樹脂の前駆体溶液（ポリアミック酸樹脂溶液）を得る。その際、本発明では、上記の有機溶媒として、沸点が１７０℃以下である有機溶媒を少なくとも１種使用することを大きな特徴としている。これにより引き続く（ｂ）工程で搬送部材に塗布する際の基板周縁部のクラウンの発生が低減され、表面平滑性の改善された均一なクリーニング層の形成が可能となるものである。
【００１１】
沸点が１７０℃以下である有機溶媒としては、例えば、極性溶媒として、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（沸点：１６５．５℃）、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（沸点：１５３℃）、テトラヒドロフラン（沸点：６４〜６５℃）、シクロヘキサノン（沸点：１５５℃）等が挙げられる。また、非極性溶媒として、トルエン（沸点：１１０℃）、キシレン（沸点：１３５〜１４５℃）等も使用できる。
このような沸点が１７０℃以下である有機溶媒は、これ単独で使用してもよいし、沸点が１７０℃を超える有機溶媒、例えば極性溶媒であるＮ−メチル−２−ピロリドン（沸点：２０２℃）等と併用することもできる。
【００１２】
上記の併用系では、沸点が１７０℃以下である有機溶媒の使用に基づく本発明の効果を得るため、上記沸点が１７０℃以下である有機溶媒は、有機溶媒全体の１０重量％以上、好ましくは２０重量％以上となるようにするのがよい。
ただし、沸点が１７０℃以下である有機溶媒がトルエンやキシレン等の非極性溶媒であるときは、これらの非極性溶媒は、有機溶媒全体の３０重量％以下となるようにするのが望ましい。これらの非極性溶媒を多く使用しすぎると、溶媒による溶解力が低下して、前駆体であるポリアミック酸樹脂が析出するおそれがある。
【００１３】
このような有機溶媒を使用して、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物とを反応させるには、１００℃以下の反応温度で２〜１５時間反応させればよい。その際のイミド化率は２％以下（閉環率９８％以上）であるのが望ましい。
また、有機溶媒の使用量を選択して、上記の反応で固形分濃度が３０重量％以下、通常１０〜３０重量％である耐熱性樹脂の前駆体溶液（ポリアミック酸樹脂溶液）を得るのが望ましい。固形分濃度が高くなりすぎると溶液粘度が高くなり、反応時の撹拌に負荷が生じるだけでなく、均一な反応を行えなくなるおそれがあり、また塗布時における塗れ性が悪くなり、塗布ムラや干渉縞が発生するおそれがある。
【００１４】
（ａ）工程において、反応成分のひとつであるジアミンには、アルキレンオキシドから構成されたポリエーテル構造を含む末端ジアミン（以下、これをＰＥジアミンという）がクリーニング層の貯蔵弾性率の制御を容易にするため、特に好ましく用いられる。
このようなＰＥジアミンは、つぎの式（１）〜（４）で表されるようなジアミン、つまりエチレンオキシド、プロピレンオキシド、ポリテトラメチレングリコール、ポリアミンまたはこれらの混合体を含む構造からなるジアミンが挙げられる。これらジアミンの分子量は特に限定されないが、平均分子量が通常２００〜５，０００であるのがよい。
【００１５】
Ｈ2 Ｎ−ＣＨＣＨ2 −（ＯＣＨ2 ＣＨ2 ）ｎ−ＮＨ2               …（１）
｜                    ｜                                      
ＣＨ3                 ＣＨ3  
H2N-CHCH2 −(OCHCH2 ) ａ−(OCH2CH2) ｂ−（OCH2CH) ｃ−NH2     …（２）
｜        ｜                              ｜                      
CH3       CH3                             CH3  
H2N-CHCH2 −（OCH2CH2CH2CH2 ）ｎ-CH2CH−NH2                   …（３）
｜                              ｜                                
CH3                             CH3  
Ｈ2 Ｎ−（CH2CH2OCH2CH2OCH2CH2Ｎ）ｎ−Ｈ                      …（４）
｜                                      
Ｈ                                      
【００１６】
上記のＰＥジアミンは、テトラカルボン酸二無水物に対して化学両論的に最大等量まで配合できるが、通常は５〜６０％となるように配合するのが望ましい。その場合、他のジアミンとして各種の脂肪族ジアミンや芳香族ジアミンを併用し、テトラカルボン酸二無水物に対して等量となるように配合する。なお、場合により、上記ＰＥジアミンを全く使用しないで、上記他のジアミンのみを使用することもできる。
他のジアミンのうち、脂肪族ジアミンとしては、例えば、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、１，８−ジアミノオクタン、１，１０−ジアミノデカン、１，１２−ジアミノドデカン、１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン等が挙げられる。
【００１７】
また、芳香族ジアミンとしては、例えば、４，４′−ジアミノジフェニルエーテル、３，４′−ジアミノジフェニルエーテル、３，３′−ジアミノジフェニルエーテル、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、４，４′−ジアミノジフェニルプロパン、３，３′−ジアミノジフェニルプロパン、４，４′−ジアミノジフェニルメタン、３，３′−ジアミノジフェニルメタン、４，４′−ジアミノジフェニルスルフィド、３，３′−ジアミノジフェニルスルフィド、４，４′−ジアミノジフェニルスルホン、３，３′−ジアミノジフェニルスルホン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）−２，２−ジメチルプロパン、４，４′−ジアミノベンゾフェノン等が挙げられる。
【００１８】
上記のジアミンと反応させるテトラカルボン酸二無水物としては、例えば、３，３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２′，３，３′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３′，４，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２′，３，３′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、４，４′−オキシジフタル酸二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物（６ＦＤＡ）、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ピロメリット酸二無水物、エチレングリコールビストリメリット酸二無水物等が挙げられる。これらは、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００１９】
本発明においては、つぎに、（ｂ）工程として、上記の前駆体溶液を搬送部材上に塗布し、加熱乾燥して有機溶媒を除去したのち、高温で熱処理して耐熱性樹脂（ポリイミド樹脂）からなるクリーニング層を形成する。これにより搬送部材の少なくとも片面にクリーニング層を有するクリーニング機能付き搬送部材を製造する。
搬送部材への塗布は、通常、スピンコート法で行われる。その他、スプレー法、ロールコート法等の公知の塗布方法を採用することもできる。ここで、前駆体溶液（ポリアミック酸樹脂溶液）の有機溶媒として、前記した特定の有機溶媒を使用していることにより、基板周縁部へのクラウンの発生が大幅に低減される。
【００２０】
上記の塗布後、加熱乾燥して有機溶媒を除去するが、上記特定の有機溶媒の使用により乾燥時間の短縮化をはかることができる。                                          
また、加熱乾燥後、高温で熱処理して耐熱性樹脂（ポリイミド樹脂）からなるクリーニング層を形成するが、その際の熱処理温度は２００℃以上がよく、樹脂の酸化劣化を防ぐため、窒素雰囲気下や真空中等の不活性な雰囲気下で処理するのが望ましい。このような処理により、樹脂中に残った揮発成分を完全に除去できる。
ここで、前記特定の有機溶媒を使用したことにより、上記耐熱性樹脂の吸湿性に起因した表面白化現象が抑制され、また乾燥時に吸湿した水分の急激な蒸発による発泡化現象が低減されて、膨れやクラック等の発生も抑制される。
【００２１】
搬送部材としては、特に限定はなく、異物除去の対象となる基板処理装置の種類に応じて、各種の基板が用いられる。
具体的には、半導体ウエハ，ＬＣＤ，ＰＤＰ等のフラットパネルディスプレイ用基板，その他コンパクトディスク，ＭＲヘッド等の基板が挙げられる。特に、本発明のクリーニング機能付き搬送部材は、半導体処理装置用として好適に用いられることから、主として半導体ウエハを使用することが多い。
また、搬送部材の厚さとしては、基板処理装置内に投入でき、クリーニング性能に影響を与えない範囲であれば、特に限定されない。
【００２２】
このように形成される耐熱性樹脂からなるクリーニング層は、塗布時のクラウンの発生が低減された、表面平滑性にすぐれたものであり、さらに前記した理由により耐熱性樹脂の吸湿性に起因した表面白化現象もみられず、また乾燥時に吸湿した水分の急激な蒸発による発泡化現象もみられず、膨れやクラック等の発生が抑制された、外観（美観）および品質（クリーニング層本来の性能）のすぐれたものとなる。
このように外観および品質にすぐれたクリーニング層は、その厚さに関して、特に限定はない。一般には、搬送部材（基板）の片面で１〜１００μｍであるのが好ましく、特に好ましくは５〜５０μｍであるのがよい。
【００２３】
また、クリーニング層は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じて測定）が０．２０Ｎ／１０mm幅以下、好ましくは０．０１〜０．１Ｎ／１０mm幅程度であるのがよい。このような低粘着ないし非粘着とする、つまり実質的に粘着力を有しない構成とすることにより、基板処理装置内への搬送時に装置内の接触部と接着せず、搬送トラブルを引き起こすことがない。
さらに、このクリーニング層は、室温での引っ張り弾性率（試験法：ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が１０〜２，０００ＭＰａであるのがよい。引っ張り弾性率を１０ＭＰａ以上とすると、ラベル切断時のクリーニング層のはみ出しや切断不良が抑えられ、プリカット方式において汚染のないクリーニング機能付きラベルシートを製造でき、また基板処理装置内に搬送したときに装置内の接触部に接着して搬送トラブルを引き起こすという心配がない。また、引っ張り弾性率を２，０００ＭＰａ以下とすると、基板処理装置に付着する異物の除去性に好結果が得られる。
【００２４】
このような特徴を持つクリーニング層の表面には、このクリーニング層の保護のため、必要により、保護フィルムを貼り合わせておくことができる。保護フィルムの厚さとしては、通常１０〜１００μｍ程度であるのがよい。
保護フィルムは、特に限定されず、シリコーン系、長鎖アルキル系、フツ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系等の剥離剤で剥離処理された、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート等からなるプラスチックフィルムが用いられる。
また、ポリエチレン、ポリプロヒレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系フィルムは、剥離剤を使用しなくとも剥離性を有するため、それ単体を保護フィルムとして使用できる。
【００２５】
本発明においては、基板処理装置内に、上記構成のクリーニング機能付き搬送部材を、搬送して、基板処理装置内に付着する異物を上記搬送部材のクリーニング層に吸着させることにより、クリーニング除去する。
ここで、クリーニング層の表面平滑性にすぐれ、また耐熱性樹脂の吸湿性に起因した表面白化現象や吸湿水分の急激な蒸発による発泡化現象がみられず、膨れやクラック等の発生がみられない、外観および品質にすぐれるため、良好な搬送性と共に、上記異物の吸着効果がより良く発現され、基板処理装置内の異物を確実に除去できる。
【００２６】
本発明において、クリーニングの対象となる基板処理装置には、特に限定はなく、例えば、露光装置、レジスト塗布装置、現像装置、アッシング装置、ドライエッチング装置、イオン注入装置、ＰＶＤ装置、ＣＶＤ装置、外観検査装置、ウエハプローバ等の公知の各種の基板処理装置が挙げられる。
本発明においては、上記のクリーニング方法によりクリーニングされた上記の各基板処理装置を、提供できるものである。
【００２７】
以下に、本発明の実施例を記載して、より具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例にのみ限定されるものではない。なお、以下において、部とあるのは重量部を意味する。また、除塵性（異物除去性）および搬送性は、東京エレクトロン社製のドライエッチャーを使用して、下記のように行った。
【００２８】
＜除塵性（異物除去性）および搬送性の評価方法＞
除塵性は、あらかじめ新品のシリコンウエハをミラー面を下にして搬送し、初期のパーティクル数（０．２μｍ）を測定しておき、その後、クリーニング機能付き搬送部材を投入して、再度新品のシリコンウエハをミラー面を下にして搬送し、パーティクル数を測定し、その差により除塵率を求めた。また、搬送性は、クリーニング機能付き搬送部材の装置内における挙動を観察したものである。
【実施例１】
【００２９】
ジアミンとして、ポリエーテルジアミン〔サンテクノケミカル社製「ＸＴＪ−５１０（Ｄ−４０００）」〕１４７．６ｇおよびｐ−フェニレンジアミン４５．６１ｇを使用し、これらをＮ−メチル−２−ピロリドン（以下、ＮＭＰという）とキシレンとの重量比８：２の混合溶媒６８４．０９ｇに溶解した。つぎに、この溶液に、ピロメリット酸二無水物（以下、ＰＭＤＡという）１００．０ｇを加えて、８０℃で８時間反応させた。反応後、冷却して、固形分濃度が３０重量％、室温での粘度が１，０００ｃｐである耐熱性樹脂の前駆体溶液（ポリアミック酸樹脂溶液）Ａを調製した。
ついで、このように調製した前駆体溶液Ａを、搬送部材としての８インチシリコンウエハのミラー面に、スピンコート法により、乾燥後の厚さが２０μｍとなるように塗布し、９０℃で１５分間加熱乾燥した。その後、窒素雰囲気下、３００℃で２時間熱処理することにより、厚さが２０μｍの耐熱性樹脂（ポリイミド樹脂）からなるクリーニング層を形成して、クリーニン機能付き搬送部材Ａを作製した。
【００３０】
また、上記の前駆体溶液Ａをガラス板上に塗布し、上記と同様にして、厚さが２０μｍの耐熱性樹脂（ポリイミド樹脂）からなるクリーニング層を形成した。このクリーニング層を純水加温下でガラス板から剥離して、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じる）を測定したところ、０．０３Ｎ／１０mm幅であった。また、室温での引っ張り弾性率（ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じる）を測定したところ、３２０Ｍｐａであった。
【００３１】
上記の方法により作製したクリーニング機能付き搬送部材Ａについて、そのクリーニング層を観察したところ、ウエハエッジから２０mm内のクラウンの大きさは僅か３μｍ程度であり、良好な表面平滑性を有していた。また、クリーニング層表面の白化現象がみられず、さらに吸湿水分の急激な蒸発による発泡化現象もみられず、膨れやクラック等の発生のない、外観（美観）および品質にすぐれるものであった。
このため、このクリーニング機能付き搬送部材Ａを使用して、基板処理装置であるドライエッチャー装置に投入したところ、問題なく搬送できた。また、除塵率は８０％以上であり、除塵性も高いものであることがわかった。
【実施例２】
【００３２】
耐熱性樹脂の前駆体溶液（ポリアミック酸樹脂溶液）を調製する際の有機溶媒として、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドをこれ単独で使用した以外は、実施例１と同様にして、クリーニン機能付き搬送部材Ｂを作製した。
このように作製したクリーニング機能付き搬送部材Ｂについて、そのクリーニング層を観察したところ、ウエハエッジから２０mm内のクラウンの大きさは僅か２μｍ程度であり、良好な表面平滑性を有していた。また、クリーニング層表面の白化現象がみられず、さらに吸湿水分の急激な蒸発による発泡化現象もみられず、膨れやクラック等の発生のない、外観（美観）および品質にすぐれるものであった。
このため、このクリーニング機能付き搬送部材Ｂを使用して、基板処理装置であるドライエッチャー装置に投入したところ、問題なく搬送できた。また、除塵率は８５％以上であり、除塵性も高いものであることがわかった。
【００３３】
比較例１
耐熱性樹脂の前駆体溶液を調製する際の有機溶媒として、ＮＭＰをこれ単独で使用した以外は、実施例１と同様にして、クリーニン機能付き搬送部材Ｃを作製した。
このように作製したクリーニング機能付き搬送部材Ｃについて、そのクリーニング層を観察したところ、ウエハエッジから２０mm内のクラウンの大きさが１５μｍ程度となり、表面平滑性に劣っていた。また、クリーニング層表面が白濁状に濁り、外観（美観）上も好ましくないものであった。
このため、このクリーニング機能付き搬送部材Ｃを使用して、基板処理装置であるドライエッチャー装置に投入したところ、除塵率が７０％以下となり、除塵性が低下していることがわかった。
【００３４】
比較例２
耐熱性樹脂の前駆体溶液を調製する際の有機溶媒として、ＮＭＰとエチルジグリコールアセテート（沸点：２１７．４℃）との重量比８：２の混合溶媒を使用した以外は、実施例１と同様にして、クリーニン機能付き搬送部材Ｄを作製した。
このように作製したクリーニング機能付き搬送部材Ｄについて、そのクリーニング層を観察したところ、ウエハエッジから２０mm内のクラウンの大きさが１２μｍ程度となり、表面平滑性に劣っていた。また、加熱乾燥時に吸湿水分の急激な蒸発による発泡化現象がみられ、膨れやクラック等が発生し、外観（美観）および品質に劣っていた。
このため、このクリーニング機能付き搬送部材Ｄを使用して、基板処理装置であるドライエッチャー装置に投入したところ、除塵率が６０％以下となり、除塵性が低下していることがわかった。
【００３５】
比較例３
耐熱性樹脂の前駆体溶液を調製する際の有機溶媒として、ＮＭＰとキシレンとの重量比５：５の混合溶媒を使用した以外は、実施例１と同様にして、耐熱性樹脂の前駆体溶液の調製を試みた。しかし、非極性溶媒であるキシレンを有機溶媒全体の３０重量％以上使用したため、溶媒による溶解力が低下して、前駆体（ポリアミック酸樹脂）が析出し、安定した反応を行えなかった。このため、目的とするクリーニン機能付き搬送部材を作製することができなかった。
【００３６】
比較例４
ジアミンとして、ポリエーテルジアミン〔サンテクノケミカル社製「ＸＴＪ−５１０（Ｄ−４０００）」〕１０３．３０ｇおよびｐ−フェニレンジアミン３１．９３ｇを使用し、これらを、ＮＭＰと２−メトキシエタノール（沸点：１２４．３℃）との重量比８：２の混合溶媒３０７．８４ｇに溶解した。これ以降は、実施例１と同様にして、固形分濃度が４０重量％である耐熱性樹脂の前駆体溶液の調製を試みた。しかし、反応中にゲル化してしまい、安定な反応を行えなかった。このため、目的とするクリーニン機能付き搬送部材を作製することができなかった。