(57)【要約】 【課題】  簡単かつ合理的な設計構造の採用によって全体がコンパクト化かつシンプル化されると共に、真空用及び加圧用の各流路の配置や流路長の問題も改善された、真空及び真空破壊用の複合弁を得る。【解決手段】  負荷に真空圧を供給するための真空流路６、及び真空破壊用の圧力流体を供給するための加圧流路７を、真空用及び加圧用の２つの弁部材８，９で個別に開閉するようにした主弁部１と、上記真空流路６と加圧流路７とを１つの合流ポート１０を介して負荷に接続するようにした流路合流部２と、上記弁部材８，９を２つのパイロット弁１１，１２で個別に開閉操作するパイロット弁部３とを、同等の部幅に形成すると共に、バルブ軸線Ｌに沿って一列かつ一体に結合する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空源に接続される真空ポートと、圧力流体源に接続される加圧ポートと、上記真空ポートと合流ポートとを結ぶ真空流路を開閉する真空側弁部材と、上記加圧ポートと合流ポートとを結ぶ加圧流路を開閉する加圧側弁部材とを備えた主弁部；負荷に接続するための上記合流ポートと、上記真空流路中及び加圧流路中にそれぞれ介在するフィルター室と、各フィルター室内に着脱自在に配設されたフィルターとを備えた流路合流部；上記主弁部における真空側弁部材及び加圧側弁部材を個別に操作する２つのパイロット弁を備えたパイロット弁部；を有し、
上記主弁部と流路合流部とパイロット弁部とが同等の部幅に形成されていて、主弁部の軸線方向の一端側に上記流路合流部を結合すると共に、他端側に上記パイロット弁部を結合することにより、これらの主弁部と流路合流部とパイロット弁部とが上記軸線に沿って一列に結合されていることを特徴とする真空及び真空破壊用複合弁。
【請求項２】
上記主弁部が、軸線方向に延びる一つの弁孔を有していて、この弁孔内に上記真空側弁部材と加圧側弁部材とが個別に動作可能なるように収容されており、これらの弁部材は、互いに相対する側に受圧面積の小さい復帰用受圧部を有すると共に、相反する側に受圧面積の大きい駆動用受圧部を有し、上記復帰用受圧部に上記加圧ポートからの圧力流体が常時作用し、駆動用受圧部に上記パイロット弁から供給されるパイロット流体が作用するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の複合弁。
【請求項３】
上記合流ポートが、上記流路合流部の前端面に形成されると共に、上記２つのフィルター室が、該流路合流部の内部の上記合流ポートを挟んで相対する位置に軸線方向に形成され、各フィルター室内に、上記フィルターが、上記前端面側から着脱自在のフィルターホルダーを介して該フィルターホルダーと共に着脱自在なるように取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の複合弁。
【請求項４】
上記フィルターが円筒状をなし、また上記フィルターホルダーが円柱状をなしていて、該フィルターホルダーの内部には上記真空流路又は加圧流路の一部を構成する流路孔が形成され、この流路孔の一端はフィルターホルダーの側面の孔開口を通じて上記合流ポートに連通し、この孔開口を覆うように上記フィルターが該フィルターホルダーの外周に装着されていることを特徴とする請求項３に記載の複合弁。
【請求項５】
上記主弁部の上面に絞り弁が取り付けられ、この絞り弁で上記加圧主流路内を流れる圧力流体の流量調節を行うように構成されていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の複合弁。
【請求項６】
複合弁の両側面が他の複合弁を連接するための実質的に平らな連接面となっており、また、上記加圧ポートと真空ポートとが、上記主弁部を幅方向に貫通していて、連接した他の複合弁の加圧ポート及び真空ポートと接続可能であることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の複合弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空及び真空破壊用複合弁に関するものであり、さらに詳しくは、吸着パッド等の負荷に対して真空圧と真空破壊用の圧力流体とを交互に供給するように構成された複合弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、各種加工装置においてワークを所定の加工場所や収納場所等に搬送する場合、真空吸着装置が使用される。この真空吸着装置は、吸着パッドと、吸引ポンプ等の真空源と、真空破壊のための圧力流体を供給する圧力流体源と、これらの真空源及び圧力流体源と上記吸着パッドとの間に接続される真空切換装置とを有していて、この真空切換装置で上記吸着パッドを真空源に接続することによりワークを吸着し、所定の場所に搬送したあと、上記真空切換装置で吸着パッドを圧力流体源に接続することにより、真空を破壊して吸着を解除し、ワークをその位置に解放するものである。
【０００３】
このような真空吸着装置に用いられる上記真空切換装置は、例えば特許文献１や特許文献２に記載されているように、複数の電磁弁や切換弁等を組み合わせることによって構成され、これらの電磁弁や切換弁が、絞りなどその他の関連部品と共に装置ボディに組み付けられている。
【特許文献１】特開平５−  ２６３６７公報
【特許文献２】特開平８−３０９６８４公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の真空切換装置は、上述したように複数の電磁弁や切換弁をその他の関連部品と共に装置ボディに一体に組み付けることにより構成されているが、何れも、各部品が装置ボディの様々な位置に様々な向きで取り付けられているため、全体として大形で雑然としているだけでなく、流路も複雑に入り組んで流路長も長く、未だ改善すべき点が多かった。
【０００５】
そこで本発明の目的は、上記従来の真空切換装置の代わりに、簡単かつ合理的な設計構造の採用によって全体がコンパクト化かつシンプル化されると共に、真空用及び加圧用の各流路の配置や流路長に関する問題点も改善された、真空及び真空破壊用の複合弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の複合弁は、真空源に接続される真空ポートと、圧力流体源に接続される加圧ポートと、上記真空ポートと合流ポートとを結ぶ真空流路を開閉する真空側弁部材と、上記加圧ポートと合流ポートとを結ぶ加圧流路を開閉する加圧側弁部材とを備えた主弁部；負荷に接続するための上記合流ポートと、上記真空流路中及び加圧流路中にそれぞれ介在するフィルター室と、各フィルター室内に着脱自在に配設されたフィルターとを備えた流路合流部；上記主弁部における真空側弁部材及び加圧側弁部材を個別に操作する２つのパイロット弁を備えたパイロット弁部；を有し、上記主弁部と流路合流部とパイロット弁部とが同等の部幅に形成されていて、主弁部の軸線方向の一端側に上記流路合流部を結合すると共に、他端側に上記パイロット弁部を結合することにより、これらの主弁部と流路合流部とパイロット弁部とが上記軸線に沿って一列に結合されていることを特徴とするものである。
【０００７】
本発明においては、上記主弁部が、軸線方向に延びる一つの弁孔を有していて、この弁孔内に上記真空側弁部材と加圧側弁部材とが個別に動作可能なるように収容されており、これらの弁部材は、互いに相対する側に受圧面積の小さい復帰用受圧部を有すると共に、相反する側に受圧面積の大きい駆動用受圧部を有し、上記復帰用受圧部に上記加圧ポートからの圧力流体が常時作用し、駆動用受圧部に上記パイロット弁から供給されるパイロット流体が作用するように構成されていることが望ましい。
【０００８】
また、上記合流ポートが、上記流路合流部の前端面に形成されると共に、上記２つのフィルター室が、該流路合流部の内部の上記合流ポートを挟んで相対する位置に軸線方向に形成され、各フィルター室内に、上記フィルターが、上記前端面側から着脱自在のフィルターホルダーを介して該フィルターホルダーと共に着脱自在なるように取り付けられていても良い。
【０００９】
さらに、本発明において好ましくは、上記フィルターが円筒状をなし、また上記フィルターホルダーが円柱状をなしていて、該フィルターホルダーの内部には上記真空流路又は加圧流路の一部を構成する流路孔が形成され、この流路孔の一端はフィルターホルダーの側面の孔開口を通じて上記合流ポートに連通し、この孔開口を覆うように上記フィルターが該フィルターホルダーの外周に装着されていることである。
【００１０】
また、本発明においては、上記主弁部の上面に絞り弁が取り付けられ、この絞り弁で上記加圧主流路内を流れる圧力流体の流量調節を行うように構成されていても良い。
【００１１】
さらに、本発明においては、複合弁の両側面が他の複合弁を連接するための実質的に平らな連接面となっており、また、上記加圧ポートと真空ポートとが、上記主弁部を幅方向に貫通していて、連接した他の複合弁の加圧ポート及び真空ポートと接続可能であることが望ましい。
【発明の効果】
【００１２】
主弁部と流路合流部とパイロット弁部とをバルブの軸線に沿って一列かつ一体に結合するといった非常に簡単で合理的な設計構造の採用により、通常の電磁弁と同様の構成を有する複合弁として構成することが可能となり、この結果、全体がコンパクト化かつシンプル化されると共に、真空用及び加圧用の各流路の配置もシンプル化され、流路長の短縮化も図られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１〜４は本発明に係る真空及び真空破壊複合弁の一実施形態を示すもので、この複合弁Ｖは、負荷に真空圧を供給するための真空流路６、及び真空破壊用の圧力流体（例えばエア）を供給するための加圧流路７を、真空側及び加圧側の２つの弁部材８，９で個別に開閉するようにした主弁部１と、上記真空流路６と加圧流路７とを１つの合流ポート１０を介して負荷に接続するようにした流路合流部２と、上記２つの弁部材８，９を２つのパイロット弁１１，１２で個別に開閉操作するパイロット弁部３とからなっていて、これらの主弁部１と流路合流部２とパイロット弁部３とをバルブの軸線Ｌに沿って一列かつ一体に結合したものである。
【００１４】
また、この複合弁Ｖは、図５に示すように、同様の構成を有する他の複合弁Ｖと相互に連接し、配管ブロック１００や配電ブロック１０１といった関連部品と共にレール１０２上にまとめて搭載することにより、バルブアセンブリとして使用できるように構成されている。従って、この複合弁Ｖの幅（厚さ）は全体として略一定であり、その幅方向の両側面は、他の複合弁Ｖや関連部品等を連接するための実質的に平らな連接面１３となっている。
以下、上記複合弁Ｖの具体的構成について詳述する。
【００１５】
上記複合弁Ｖの主弁部１は、矩形で縦長の断面形状を有する主弁部ハウジング１６を有している。この主弁部ハウジング１６は、複数のブロックからなるもので、中央に位置する弁ブロック１６ａと、該弁ブロック１６ａの軸線Ｌ方向一端側に位置するマニュアルブロック１６ｂと、これらの弁ブロック１６ａとマニュアルブロック１６ｂとの底部に両ブロック１６ａ，１６ｂに跨って位置するポートブロック１６ｃとを、相互に結合することにより構成されている。
【００１６】
上記弁ブロック１６ａには、上記軸線Ｌに沿って延びる一つの弁孔１７が形成され、この弁孔１７内の一半部側と他半部側とに、スプール式の上記真空側弁部材８と加圧側弁部材９とが、個別に動作可能なるように収容されている。これらの弁部材８，９は、互いに相対する側の端面に受圧面積の小さい復帰用受圧部８ａ，９ａを有すると共に、互いに相反する側の端部に受圧面積の大きい駆動用受圧部８ｂ，９ｂを有している。この駆動用受圧部８ｂ，９ｂは、該弁部材８，９の端面に当接するピストン１８，１９により形成されており、該ピストン１８，１９の外側にはパイロット用の受圧室２１，２２が形成されている。そして、上記パイロット弁１１，１２から対応する受圧室２１，２２にパイロット流体が供給されると、図１及び図２の加圧側弁部材９のように、ピストン１８，１９で弁部材８，９が押されて弁孔１７の内側の連通位置に移動し、また、上記受圧室２１，２２のパイロット流体が排出されると、図１及び図２の真空側弁部材８のように、復帰用受圧部８ａ，９ａに作用している加圧ポート５からの流体圧により上記弁部材８，９が押し動かされ、外側の遮断位置に復帰するようになっている。
【００１７】
また、上記弁ブロック１６ａには、上記真空側弁部材８の動作領域で上記弁孔１７の異なる位置に開口する真空第１通孔６ａ及び真空第２通孔６ｂと、加圧側弁部材９の動作領域で上記弁孔１７の異なる位置に開口する加圧第１通孔７ａ及び加圧第２通孔７ｂとが形成されている。上記真空第１通孔６ａは、上記ポートブロック１６ｃに形成された真空ポート４に連通し、真空第２通孔６ｂは、上記流路合流部２との接合面に開口する真空連通孔６ｃに連通していて、これらの真空第１通孔６ａと弁孔１７と真空第２通孔６ｂと真空連通孔６ｃとによって、上記真空流路６の一部である主弁部側真空流路部分６Ａが形成されている。そして、この主弁部側真空流路部分６Ａが、上記真空第１通孔６ａと真空第２通孔６ｂとの間の弁孔部分において、上記真空側弁部材８の弁シール部材２４が、弁孔内周面のランドに接離することによって開閉されるようになっている。
なお、上記主弁部側真空流路部分６Ａは、後述する流路合流部２における合流部側真空流路部分６Ｂと連なって、上記真空流路６を構成するものである。
【００１８】
一方、上記加圧第１通孔７ａは、上記ポートブロック１６ｃに形成された加圧ポート５に連通し、加圧第２通孔７ｂは、絞り弁２７及び中間通孔７ｄを経て、上記流路合流部２との接合面に開口する加圧連通孔７ｃに連通しており、これらの加圧第１通孔７ａと弁孔１７と加圧第２通孔７ｂと絞り弁２７と中間通孔７ｄ及び加圧連通孔７ｃとによって、上記加圧流路７の一部である主弁部側加圧流路部分７Ａが形成されている。そして、この主弁部側加圧流路部分７Ａが、上記加圧第１通孔７ａと加圧第２通孔７ｂとの間の弁孔部分において、上記加圧側弁部材９の弁シール部材２６が、弁孔内周面のランドに接離することによって開閉されるようになっている。
なお、上記主弁部側加圧流路部分７Ａは、後述する流路合流部２における合流部側加圧流路部分７Ｂと連なって、上記加圧流路７を構成するものである。
【００１９】
また、加圧ポート５に通じる上記加圧第１通孔７ａは、２つの弁部材８，９の復帰用受圧部８ａ，９ａの間の位置で弁孔１７内に開口していて、該加圧第１通孔７ａを通じて弁孔１７内に供給される加圧ポート５からの圧力流体が、これら２つの弁部材８，９の復帰用受圧部８ａ，９ａに常に作用するようになっている。
【００２０】
上記真空ポート４及び加圧ポート５は、上記ポートブロック１６ｃを幅方向に貫通しており、その一端側には、連接面１３から外方に突出する接続管部２９が形成され、他端側には、環状のシール部材を備えた接続孔部（図示省略）が形成されている。そして、この複合弁Ｖの両側の連接面１３に他の複合弁Ｖを連接したとき、上記接続管部２９と接続孔部とが他の複合弁Ｖの接続孔部と接続管部２９とに嵌合し、ポート同士が気密に接続されるようになっている。
なお、上記真空ポート４及び加圧ポート５は、図５に示す配管ブロック１００を介し、吸引ポンプなどの真空源や、圧縮空気等を供給する圧力流体源に接続される。
【００２１】
上記ポートブロック１６ｃはさらに、幅方向に貫通するパイロット排出ポート３１を有している。このパイロット排出ポート３１は、図示を省略したパイロット連通孔を介して上記パイロット弁部３の２つのパイロット弁１１，１２に連通している。そして、このパイロット排出ポート３１の両端にも、連接した他の複合弁Ｖのパイロット排出ポート３１接続させるための接続管部と接続孔部とが設けられている。
【００２２】
上記マニュアルブロック１６ｂは、２組の手動操作部３２，３３を有している。これらの手動操作部３２，３３は、２つのパイロット弁１１，１２による切換状態を手動操作で再現するためのもので、上記マニュアルブロック１６ｂの上面に幅方向に並べて設置された２つのマニュアル釦３２ａ，３３ａを有し、第１マニュアル釦３２ａが真空側弁部材８を操作する第１パイロット弁１１に対応し、第２マニュアル釦３３ａが加圧側弁部材９を操作する第２パイロット弁１２に対応している。そして、上記第１マニュアル釦３２ａを押し下げると、真空側受圧室２１にパイロット流体が直接供給されて真空側弁部材８が連通位置に切り換わり、第２マニュアル釦３３ａを押し下げると、加圧側受圧室２２にパイロット流体が直接供給されて加圧側弁部材９が連通位置に切り換わるようになっている。しかし、このような手動操作部３２，３３の構造及び作用は公知のものである。
【００２３】
また、上記主弁部ハウジング１６の上面には凹部が形成され、この凹部内にスペーサ３４を介して絞り弁ボディ３５が止めねじ３６で固定され、該絞り弁ボディ３５に上記絞り弁２７が搭載されている。この絞り弁２７は、弁棒３７を進退させて絞り孔３８の開口量を調節する方式のもので、該弁棒３７が、上記絞り弁ボディ３５の上面に立ち上がった筒部３５ａの内部にシール部材３９を介して回転自在かつ進退自在なるように収容され、該弁棒３７の基端部の雄ねじ部４０と筒部側の雌ねじ部４１とが噛み合っている。そして、該弁棒３７を回動操作すると、該弁棒３７が上下方向即ちバルブの軸線Ｌと直交する方向に進退し、その先端の調節部３７ａにより、上記加圧第２通孔７ｂと加圧連通孔７ｃとを結ぶ流路中に介在する上記絞り孔３８の開口面積が調節されるようになっている。
なお、上記スペーサ３４を弁ブロック１６ａと一体に形成することにより、このスペーサ３４を省略することもできる。
【００２４】
上記流路合流部２は、上記主弁部１における主弁部ハウジング１６の接合面に結合された合流部ハウジング４５を有している。この合流部ハウジング４５は、上記主弁部ハウジング１６と実施的に同じ高さ及び幅（厚さ）を有するもので、軸線Ｌ方向の前端面４５ａのほぼ中央位置に、負荷に接続するための１つの上記合流ポート１０を有している。この合流ポート１０は、上記主弁部１における弁孔１７とほぼ同軸上の位置に形成され、２つに分岐した分岐通孔４６，４７と、真空側及び加圧側のフィルター室４８，４９とを介して、上記主弁部１の真空連通孔６ｃと加圧連通孔７ｃとに接続されている。従って、上記分岐通孔４６と真空側フィルター室４８とによって上記合流部側真空流路部分６Ｂが形成され、また、上記分岐通孔４７と加圧側フィルター室４９とによって上記合流部側加圧流路部分７Ｂが形成されている。
上記合流ポート１０に接続される負荷としては、例えば、ワークを吸着して搬送する吸着パッドがある。
【００２５】
上記フィルター室４８，４９は、細長い円形の孔からなるもので、上記合流ポート１０を挟んで上下相対する位置にこれら２つのフィルター室４８，４９が、上記合流部ハウジング４５の前端面４５ａ側から上記軸線Ｌと平行しかつ相互に平行するように形成されている。そして、各フィルター室４８，４９の先端が、接続孔４８ａ，４９ａを通じて主弁部１の真空連通孔６ｃ及び加圧連通孔７ｃに連通し、該フィルター室４８，４９の中間部側面位置に上記分岐通孔４６，４７が連通している。
【００２６】
上記各フィルター室４８，４９内には、それぞれフィルター５１が着脱自在に配設されている。このフィルター５１は、フィルターホルダー５２に装着されることによって該フィルターホルダー５２と共にフィルターユニット５０を構成しており、このフィルターユニット５０が上記各フィルター室４８，４９に着脱自在に装着されている。この点についてさらに具体的に説明すると、上記フィルターホルダー５２は円柱状をしていて、その内部に該フィルターホルダー５２の長さ方向に延びる流路孔５３を有している。この流路孔５３は、上記流路部分６Ｂ，７Ｂの一部を形成するもので、その一端は該フィルターホルダー５２の先端部に開口し、他端は該フィルターホルダー５２の長さ方向の中間位置まで達していて、該フィルターホルダー５２の側面に開口する複数の孔開口５３ａに連通している。
また、上記フィルターホルダー５２の先端部には、外周に雄ねじを有するねじ部５２ａが形成され、基端部には、ドライバ等の工具を係止させるための係止溝５２ｃを有する回動操作のための操作部５２ｂが形成されている。
【００２７】
一方、上記フィルター５１は、円筒状をなすもので、上記フィルターホルダー５２の外周の上記孔開口５３ａが形成されている部分に該孔開口５３ａを覆うように嵌着され、上記ねじ部５２ａに螺着された止めリング５４で端部を支持されることによってその位置に固定されている。
【００２８】
そして、上記フィルターホルダー５２を各フィルター室４８，４９内に合流部ハウジング４５の前端面４５ａ側から挿入し、先端のねじ部５２ａを該フィルター室４８，４９内に固定されたねじ受部５５に螺着することにより、上記フィルターユニット５０がフィルター室４８，４９内に着脱自在に取り付けられている。このとき、上記分岐通孔４６，４７は、上記フィルター５１の外周を取り囲む領域内においてフィルター室４８，４９に連通することにより、該フィルター５１を介して上記フィルターホルダー５２の孔開口５３ａに連通しており、これにより、上記フィルター５１を介して上記合流ポート１０と主弁部１の真空流路部分６Ａ及び加圧流路部分７Ａとが相互に連通することになる。
図中５６は、上記フィルターホルダー５２，５２の外周とフィルター室４８，４９の内周との間を気密に保つシール部材である。
【００２９】
上記合流部ハウジング４５の上面には、上記加圧側フィルター室４９に連通するセンサーポート６０が形成され、このセンサーポート６０に、加圧用流体の圧力を検出する圧力センサー６１が、センサーホルダー６２を介して取り付けられている。このセンサーホルダー６２は、筒状の脚部６２ａを上記ポート６０にねじ込み式に取り付け、この脚部６２ａの上端の取付部６２ｂに上記圧力センサー６１を取り付けたもので、上記脚部６２ａの内部の検出孔６２ｃを通じて圧力流体を圧力センサー６１の検出部に導くようになっている。
【００３０】
上記センサーポート６０は、上記フィルター５１の外周を取り囲む領域、換言すれば、該フィルター５１を介して上記フィルターホルダー５２の孔開口５３ａに連通可能な領域において、上記フィルター室４９に連通しており、これにより、該フィルター５１で濾過されたあとの圧力流体が上記圧力センサー６１に導かれるようになっている。
しかし、上記センサーポート６０及び圧力センサー６１は、主弁部１の主弁部ハウジング１６に設けても良い。あるいは、この圧力センサー６１を主弁部ハウジング１６にも合流部ハウジング４５にも付設することなく、単独部材として形成し、別に設置して流路に接続しても良い。
【００３１】
なお、図示した実施形態においては、上記合流部ハウジング４５が１つのブロックで一体に形成されているが、複数のブロックを結合して形成することもできる。
【００３２】
また、上記パイロット弁部３は、パイロットハウジング６５の上下に電磁操作式の上記２つのパイロット弁１１，１２を備えると共に、該パイロットハウジング６５の下端部に集中端子形をした一括配線のための電気コネクタ６６を備え、かつ、該パイロットハウジング６５の中間位置にパイロット供給ポート６７を備えたものである。
【００３３】
上記２つのパイロット弁１１，１２は、図示を省略した複数のパイロット用の流路を通じて、上記パイロット供給ポート６７に共通に連通すると共に、上記真空側受圧室２１と加圧側受圧室２２とに個別に連通し、さらに上記パイロット排出ポート３１にも連通している。また、上記パイロットハウジング６５に内蔵した導電機構を介して上記電気コネクタ６６に電気接続されている。そして、２つのパイロット弁１１，１２の一方に通電すると、対応する受圧室２１，２２にパイロット流体が供給されて弁部材８，９が連通位置に移動し、通電を解除すると、上記受圧室２１，２２のパイロット流体が排出されて弁部材８，９が遮断位置に復帰するようになっている。
しかし、このようなパイロット弁１１，１２の構造及び作用は公知のものと同様であるため、これ以上具体的な説明は省略する。
【００３４】
なお、上記パイロット供給ポート６７の両端部には、上記パイロット排出ポート３１と同様に、連接した他の複合弁Ｖのパイロット供給ポーに接続するための接続管部と接続孔部とが設けられている。
また、上記電気コネクタ６６も、連接した他の複合弁Ｖの電気コネクタとプラグイン式に接続できるように、連接面１３の一側に挿入部を有し、他側に挿入受部を有するように構成されている。
図中６９ａ，６９ｂは、上記複合弁Ｖをレール１０２（図５参照）のフランジ部１０２ａを係合させるため、主弁部ハウジング１６と合流部ハウジング４５に跨って形成された取付部である。このうち一方の取付部６９ａは、他方の取付部６９ｂに対して弾力的に開閉できるようになっている。
【００３５】
上記構成を有する複合弁Ｖにおいて、図１及び図２の動作状態は、パイロット弁部３の第２パイロット弁１２に通電し、第１パイロット弁１１を非通電とすることにより、真空破壊状態としたものである。このとき、上記第２パイロット弁１２から加圧側受圧室２２にパイロット流体が供給され、ピストン１９で加圧側弁部材９が図示の連通位置に前進させられることにより、加圧第１通孔７ａと加圧第２通孔７ｂとが弁孔１７を通じて連通するため、加圧流路７が開放する。従って、加圧ポート５からの圧力流体は、上記加圧第１通孔７ａから加圧第２通孔７ｂを経て絞り弁２７で流量調節されたあと、加圧連通孔７ｃから流路合流部２の加圧流路部分７Ｂに至り、該加圧流路部分７Ｂ中に介在するフィルター５１を経て合流ポート１０に達したあと、負荷に供給されている。
【００３６】
一方、真空側弁部材８は、復帰用受圧部８ａに作用する上記圧力流体によって図示の復帰位置を占め、真空第１通孔６ａと真空第２通孔６ｂとの間を遮断しているため、真空流路６は遮断されている。
このため、例えば上記合流ポート１０に接続された吸着パッドにワークが吸着されていた場合には、このワークは吸着状態から解放されることになる。
また、上記合流ポート１０から出力される圧力流体の圧力は、センサーポート６０に取り付けられた圧力センサー６１により検出される。
【００３７】
この状態から、上記第１パイロット弁１１に通電し、第２パイロット弁１２を非通電にすると、上記第１パイロット弁１１から真空側受圧室２１にパイロット流体が供給されるため、真空側弁部材８がピストン１８に押されて図示とは逆の切換位置である連通位置に切り換わり、真空第１通孔６ａと真空第２通孔６ｂとが弁孔１７を通じて連通し、真空流路６が開放する。従って、負荷からの圧力流体は、合流ポート１０から、分岐通孔４６及びフィルター５１を介してフィルターホルダー５２の内部の流路孔５３に吸引され、さらに、主弁部１の真空連通孔６ｃから真空第２通孔６ｂ、弁孔１７、真空第１通孔６ａを経て上記真空ポート４へと吸引される。
【００３８】
一方、上記加圧側弁部材９は、加圧側受圧室２２が排気状態になるため、復帰用受圧部９ａに作用する圧力流体によって復帰位置に後退し、加圧第１通孔７ａと加圧第２通孔７ｂとの間を遮断する。従って加圧流路７は閉鎖される。
このため、例えば上記合流ポート１０に接続された吸着パッドに真空圧が供給され、この吸着パッドでワークが吸着されることになる。
【００３９】
ここで、上記の如く、加圧ポート５からの圧力流体を加圧流路７から合流ポート１０を通じて負荷に供給し、真空破壊をする場合、圧力流体中のごみは加圧流路６中のフィルター５１で除去され、ワークを汚染することがない。また、真空ポート４からの真空圧を真空流路６から合流ポート１０を通じて負荷に供給する場合、即ち、該合流ポート１０からエアを吸引する場合には、吸引エア中のごみは真空流路中のフィルター５１で除去され、主弁部１まで吸い込まれることがない。
目詰まりを起こしたフィルター５１は、フィルターユニット５０全体を各フィルター室４８，４９から取り外すことにより、個別に交換することができる。
【００４０】
かくして上記複合弁Ｖは、上記主弁部１と流路合流部２とパイロット弁部３とをバルブの軸線Ｌに沿って一列かつ一体に結合するといった非常に簡単で合理的な設計構造の採用により、通常の電磁弁と同様の構成を有する複合弁として構成することが可能となり、この結果、全体がコンパクト化かつシンプル化されると共に、真空用及び加圧用の各流路の配置もシンプル化され、流路長の短縮化も図られる。
【００４１】
また、上記複合弁は、その幅方向の両側面が実質的に平らな連接面１３となっているため、他の複合弁と相互に連接することによってバルブアセンブリとして使用することができる。図５は、上記複合弁Ｖを複数連接すると共に、配管ブロック１００や配電ブロック１０１といった関連部材と共にレール１０２上にまとめて搭載することにより、マニホールド形のバルブアセンブリとして構成する場合の途中の組立状態が示されている。なお、組立が完成した状態では、図の一番右端に離れて位置している複合弁Ｖが、既に接合が完了している４つの複合弁Ｖの外側に接合され、さらにその外側に、図示を省略したエンドブロックが配置される。
【００４２】
上記複合弁Ｖは、下面の取付部をレール１０２のフランジ部１０２ａに係合させることにより該レール１０２上に搭載され、他の配管ブロック１００や配電ブロック１０１及びエンドブロックも同様の方法で搭載され、両端に位置する配電ブロック１０１とエンドブロックとがレール１０２にねじ止め等で固定されている。
【００４３】
上記配管ブロック１００には、管継手１０３が接続された真空用配管ポート１０４と加圧用配管ポート１０５とが設けられ、このうち真空用配管ポート１０４が吸引ポンプなどの真空源に接続され、加圧用配管ポート１０５が圧力流体源に接続されることにより、この配管ブロック１００を通じて上記各複合弁Ｖに真空圧と圧力流体とが集中的に供給される。
【００４４】
また、上記配電ブロック１０１は、一括配線のための基点となる集中端子形のベースコネクタ１０６を有し、このベースコネクタ１０６が、上記複合弁Ｖに設けられて順次接続される集中端子形の電気コネクタ６６に接続されることにより、このベースコネクタ１０６を基点として各複合弁Ｖに一括して給電される。
【００４５】
なお、上記複合弁Ｖは、他の複合弁と連接して使用する連接形複合弁としての構成を備えていて、真空ポート及び加圧ポートと、パイロット供給ポート及びパイロット排出ポートとが、それぞれ、共通ポートとして他の複合弁のポートと順次接続されるようになっているが、複合弁を独立して使用する単体形のものとして構成することもできる。この場合には、上述した各ポートは単独ポートして形成されることになる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る複合弁の一実施形態における断面図である。
【図２】図１の主弁部を拡大して示す要部拡大図である。
【図３】図１の流路合流部を拡大して示す要部拡大図である。
【図４】図１の分解斜視図である。
【図５】本発明に係る複合弁でバルブアセンブリを構成する場合の途中の組立状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
Ｖ      複合弁
１      主弁部
２      流路合流部
３      パイロット弁部
４      真空ポート
５      加圧ポート
６      真空流路
７      加圧流路
８      真空側弁部材
９      加圧側弁部材
８ａ，９ａ      復帰用受圧部
８ｂ，９ｂ      駆動用受圧部
１０      合流ポート
１１，１２      パイロット弁
１３      連接面
１７      弁孔
２７      絞り弁
４５ａ      前端面
４７，４８      フィルター室
５１      フィルター
５２      フィルターホルダー
５３      流路孔
５３ａ      孔開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006307896.tif 000007