(57)【要約】【課題】  ディスプレーベアガラス検査装置および方法を提供すること。【解決手段】  本発明は、大形ベアガラスに形成されて欠陥を高速で検査することができるディスプレーベアガラスの欠陥検査装置および方法に関するものである。本発明のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置は、スキャン領域を有し、ベアガラスが置かれるステージと、前記ベアガラスを前記ステージ上で前後移動させる移動部材と、前記ステージの前記スキャン領域に光を照射して前記ベアガラスを撮像する撮影部とを含む。前記撮影部は前記ベアガラスの表面をライン単位で撮影する少なくとも一つのカメラと、前記少なくとも一つのカメラで前記ベアガラスの多様な欠陥パターンが撮影されるように、前記ベアガラスに光を照射し、互いに異なる照射角を有する第１光源と第２光源とを有する照明部を含む。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスプレーベアガラスの欠陥検査装置において、
スキャン領域を有し、ベアガラスが置かれるステージと、
前記ベアガラスを前記ステージ上で前後移動させる移動部材と、
前記ステージの前記スキャン領域に光を照射して前記ベアガラスを撮像する撮影部と、
前記撮影部から入力された映像情報を利用してベアガラスの欠陥の有無を検査する映像処理部とを含み、
前記撮影部は、
前記ベアガラスの表面をライン単位で撮影する少なくとも一つのカメラと、
前記少なくとも一つのカメラで前記ベアガラスの多様な欠陥パターンが撮影されるように、前記ベアガラスに光を照射し、そして互いに異なる照射角を有する第１光源と第２光源を有する照明部と、を含むことを特徴とするディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項２】
前記第１光源は前記スキャン領域に位置する前記ベアガラスの底面から垂直方向に光を照射し、
前記第２光源は前記スキャン領域に位置する前記ベアガラスの上面から傾斜方向に光を照射することを特徴とする、請求項１に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項３】
前記第２光源は光の照射角度を変更可することができることを特徴とする、請求項２に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項４】
前記第１光源は前記カメラと向き合うように、前記ステージに設けられることを特徴とする、請求項１に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項５】
前記装置は、
前記スキャン領域の両側に位置し、前記ベアガラスが前記スキャン領域を通る時、前記ベアガラスの平坦度を均一に維持させる平坦度補正ユニットを更に含むことを特徴とする、請求項１に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項６】
前記平坦度補正ユニットは、
前記ベアガラスを吸着する真空ホールを有する第１領域と、
前記第１領域の間に形成され、前記ベアガラスを非接触状態に維持するように、前記ベアガラスに空気を噴射する噴射ホールを有する第２領域と、からなることを特徴とする、請求項５に記載のディスレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項７】
前記移動部材は、
前記ステージに一定の配列に多数個に配置され、前記ベアガラスが前記ステージから浮上するように前記ベアガラスの底面に空気を噴射するエア噴射ユニットと、
前記エア噴射ユニットによって前記ステージから空気浮上した前記ベアガラスのエッジを真空吸着する真空吸着部と、
前記真空吸着部に連結される移送のためのリニアモータと、を含むことを特徴とする、請求項１に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項８】
前記ステージに溝が形成され、
前記溝は前記スキャン領域上に位置づけられることを特徴とする、請求項２に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項９】
前記第１光源は前記溝に設けられることを特徴とする、請求項８に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項１０】
前記撮影部は、
前記カメラの焦点を調整するため前記カメラの高低を調整する高低調整部を更に含むことを特徴とする、請求項１に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項１１】
前記撮影部は、
レビュー用カメラと、
前記レビュー用カメラを左右方向に移動させるための左右移動部を更に含むことを特徴とする、請求項１に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置。
【請求項１２】
ディスプレーベアガラスの欠陥検査方法において、
ベアガラスをステージ上で前後方向に移動させる段階と、
スキャン領域上で前記ベアガラスの表面をライン単位で連続撮影する段階と、
撮影を通じて得られた映像情報を利用してベアガラスの欠陥の有無を検査する段階と、を含み、
前記撮影段階は、
前記ベアガラスに第１照明を照射する段階と、
前記ベアガラスを撮影する段階と、
前記ベアガラスに前記第１照明とは異なる照射角を有する第２照明を照射する段階と、
前記ベアガラスを撮影する段階と、を含むことを特徴とするディスプレーベアガラスの欠陥検査方法。
【請求項１３】
前記方法は、
前記検査されたベアガラスの欠陥部位をレビューする段階を更に含むことを特徴とする、請求項１２に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査方法。
【請求項１４】
前記レビュー段階は、
検査結果をコンピュータ画面上に示す段階と、
使用者がレビューしようとする領域をコンピュータ画面上で選択する段階と、
レビューカメラがその選択された領域を撮像する段階と、
撮像された映像をコンピュータ画面上に示す段階と、を含むことを特徴とする、請求項１３に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査方法。
【請求項１５】
前記移動段階は、
前記ベアガラスをステージから空気浮上させる段階を更に含むことを特徴とする、請求項１２に記載のディスプレーベアガラスの欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はベアガラス（ｂａｒｅ  ｇｌａｓｓ）表面の欠陥を検査するための装置および方法に関するものであって、さらに具体的には、大形ベアガラスに形成されている欠陥を高速で検査しうるディスプレーベアガラスの欠陥検査装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ディスプレーベアガラスは製造工程のうちに外部からの影響によってベアガラスの表面上にスクラッチ（ｓｃｒａｔｃｈ）、クラック（表面割り）、表面刻み、表面汚染、気泡などの多様な欠陥が発生しうるものであり、このような欠陥は検査装置を通じて検出される。
【０００３】
この検査装置は、ディスプレー用ベアガラスを案内（移動）しながら、ラインスキャンカメラ（またはＣＣＤカメラ）などを使用して検査対象物のイメージをキャプチャした後、ビジョンイメージプロセッシングアルゴリズムを適用して各種欠陥を検出する。
【０００４】
しかし、既存のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置は、ベアガラスを移送ローラ上で移動させながら検査を進行するので、検査途中ベアガラスが歪むか、またはベアガラスの底面がローラと接触して、スクラッチ、表面汚染などの欠陥を発生しうるものである。また、ベアガラスが大型化することによって、検査しようとするベアガラスを移動させる過程で、ベアガラスの平坦度が不均一になり、それによって均一な映像を得難いという問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の第１の課題は、多様な照明を使用して多様な不良パターンを最大に獲得することができる新しい形態のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置を提供することである。
【０００６】
本発明の第２の課題は、ベアガラスが撮影地域を通る時、ベアガラスの平坦度を均一にして均一な映像を獲得することができる新しい形態のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置を提供することである。
【０００７】
本発明の第３の課題は、ベアガラスを移動させる過程で発生しうる欠陥を最小化する新しい形態のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置を提供することである。
【０００８】
本発明の第４の課題は、欠陥部位を再観察することができる新しい形態のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の課題を解決するために、本発明のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置は、スキャン領域を有し、ベアガラスが置かれるステージと、前記ベアガラスを前記ステージ上で前後移動させる移動部材と、前記ステージの前記スキャン領域に光を照射して前記ベアガラスを撮像する撮影部と、前記撮影部から入力された映像情報を利用してベアガラスの欠陥の有無を検査する映像処理部と、を含む。
【００１０】
本発明の実施形態によれば、前記撮影部は前記ベアガラスの表面をライン単位で撮影する少なくとも一つのカメラと、前記少なくとも一つのカメラで前記ベアガラスの多様な欠陥パターンを撮影することができるように、前記ベアガラスに光を照射し、かつ互いに異なる照射角を有する第１光源と第２光源とを有する照明部とを含む。
【００１１】
本発明の実施形態によれば、前記第１光源は前記スキャン領域に位置する前記ベアガラスの底面から垂直方向に光を照射し、前記第２光源は前記スキャン領域に位置する前記ベアガラスの上面から傾斜方向に光を照射する。
【００１２】
本発明の実施形態によれば、前記第２光源は光の照射角度を変更することができ、前記第１光源は前記カメラと向き合うように前記ステージに設け得る。
【００１３】
本発明の実施形態によれば、前記装置は、前記スキャン領域の両側に位置し、前記ベアガラスが前記スキャン領域を通る時、前記ベアガラスの平坦度を均一に維持する平坦度補正ユニットを更に含み、前記平坦度補正ユニットは前記ベアガラスを吸着する真空ホールを有する第１領域と、前記第１領域との間に形成され、前記ベアガラスを非接触状態に維持するように前記ベアガラスに空気を噴射する噴射ホールを有する第２領域からなる。
【００１４】
本発明の実施形態によれば、前記移動部材は前記ステージに一定の配列に多数個が配置され、前記ベアガラスが前記ステージから浮上するように、前記ベアガラスの底面に空気を噴射するエア噴射ユニットと、前記エア噴射ユニットによって前記ステージから空気浮上した前記ベアガラスのエッジを真空吸着する真空吸着部と、前記真空吸着部に連結される移送のためのリニアモータと、を含む。
【００１５】
本発明の実施形態によれば、前記ステージには溝が形成され、前記溝は前記スキャン領域上に位置する。
【００１６】
本発明の実施形態によれば、前記第１光源は前記溝に設けられる。
【００１７】
本発明の実施形態によれば、前記撮影部は前記カメラの焦点調整のため、前記カメラの高低を調節する高低調節部と、をさらに含む。
【００１８】
本発明の実施形態によれば、前記撮影部はレビュー用カメラと、前記レビュー用カメラを左右方向に移動させるための左右移動部と、を更に含む。
【００１９】
上述の課題を解決するためのディスプレーベアガラスの欠陥検査方法では、ベアガラスをステージ上で前後方向に移動させる段階と、スキャン領域上で前記ベアガラスの表面をライン単位で連続撮影する段階と、撮影を通じて得られた映像情報を利用してベアガラスの欠陥有無を検査する段階とを含み、前記撮影段階は前記ベアガラスに第１照明を照射する段階と、前記ベアガラスを撮影する段階と、前記ベアガラスに前記第１照明とは異なる照射角を有する第２照明を照射する段階と、前記ベアガラスを撮影する段階とを含む。
【００２０】
本発明の実施形態によれば、前記方法は、前記検査されたベアガラスの欠陥部位をレビューする段階を更に含み、前記レビュー段階は、検査結果をコンピュータ画面上に示す段階と、使用者がレビューしようとする領域をコンピュータ画面上で選択する段階と、レビューカメラがその選択された領域を撮像する段階と、撮像された映像をコンピュータ画面上に示す段階とを含む。
【００２１】
本発明の実施形態によれば、前記移動段階は前記ベアガラスをステージから空気浮上させる段階をさらに含む。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、次のような効果がある。第１に、他の照射角を有する様々な照明を使用することによって、多様な欠陥を最大限に撮影することができることである。第２に、ベアガラスの平坦度を均一にして均一な映像を獲得することができることである。第３に、ベアガラスを移動する過程で発生しうる欠陥を最小化することができることである。第４に、映像処理装置において、欠陥として判断した部分を使用者がコンピュータ画面を通じて実物映像でレビューすることができることである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。しかし、本発明はここで説明する実施形態に限定されず、他の形態で具体化することもできる。むしろここで紹介する実施形態は開示した内容が全体にわたって完全に理解できるように本発明の思想を十分に当業者に伝達するために提供するものである。明細書の全体にわたって同一の参照番号で表示した部分は同一の構成要素を示す。
【００２４】
図１乃至図４を参照すると、本発明によるディスプレーベアガラスの欠陥を検査する装置１００はステージ１１２、移動部材１２０、撮影部１３０、平坦度補正ユニット１５０、および映像処理装置（１６０、図５に示す）を含む。
【００２５】
前記ステージ１１２は前記検査装置の骨格を構成するフレーム（ｆｒａｍｅ：１１０）上に位置する。ステージ１１２には中央にスキャン領域（点線で表示する：Ｓ）を有する。そして前記フレーム１１０は前記ステージ１１２を左右方向に横切るブリッジ（ｂｒｉｄｇｅ：１１４）を有する。このブリッジ１１４には撮影部のラインスキャンカメラと照明、およびレビューカメラなどが設けられる。
【００２６】
前記移動部材１２０はエア噴射ユニット１２２と、真空吸着部１２４、およびリニアモータ１２６を含む。
【００２７】
前記エア噴射ユニット１２２はステージ１１２に一定の配列に複数個が設けられる。このエア噴射ユニット１２２の上面は前記ステージの上面と面一な平面をなすように位置づけられる。このエア噴射ユニット１２２は前記ベアガラス１０が前記ステージ１１２の表面から浮上するように、前記ベアガラスの底面に空気を噴射するユニットである。図４に示すように、前記エア噴射ユニット１２２は円筒形のボディー１２３を有し、このボディー１２３は底部にエアライン１９０と連結されるポート１２３ａを有する。前記ポートを通じて流入するエアはボディー１２３のバッファ空間１２３ｂに満たされる。前記バッファ空間１２３ｂに一時的に流入したエアはボディー１２３の上面に形成された多数の噴射孔１２３ｃを通じてベアガラス１０の底面に噴射される。
【００２８】
前記真空吸着部１２４は前記エア噴射ユニット１２２によって前記ステージ１１２から浮上したグラグ原板すなわちペアガラス１０の一側のエッジを真空吸着する。前記真空吸着部の前記ベアガラスと接触する部分には多数の真空吸着ホール１２４ａが形成される。前記リニアモータ１２６は前記真空吸着部１２４を前後方向に移動させる。前記ベアガラス１０は前記移動部材１２０によって前記ステージ１０から浮上した状態（非接触状態）で移送される。ベアガラス１０は初期位置（実線で表示される）から完了位置（点線で表示する）まで前記移動部材１２０によって前後移動する。
【００２９】
前記撮影部１３０は三台のラインスキャンカメラ１３２と、各々のラインスキャンカメラ１３２の撮影のための照明部１３６と、レビュー用カメラ１３８とを含む。ここで、ラインスキャンカメラ１３２は必要に応じて増設することができる。
【００３０】
前記ラインスキャンカメラ１３２はベアガラス１０の表面をライン単位で撮影するカメラである。前記ラインスキャンカメラ１３２は前記フレームのブリッジ１１４の一側に設けられる。前記ラインスキャンカメラ１３２は高低調整部１３４によって高低が調整される。前記ラインスキャンカメラ１３２の高低調整は撮影焦点を合わせるようにしたものである。
【００３１】
前記照明部１３６は前記ラインスキャンカメラ１３２がベアガラスの多様な欠陥パターンを撮影するように、前記ベアガラスの底面から垂直な方向に光を照射する第１光源（照明、１３６ａ）と、前記ベアガラス１０の上面から傾斜した方向に光を照射する第２光源（照明、１３６ｂ）と、からなる。
【００３２】
前記第１光源１３６ａは前記ラインスキャンカメラ１３２と向き合うように前記スキャン領域Ｓの溝１１６の底面に設けられる。そして前記第２光源１３６ｂは支持台１３７に結合され、この支持台１３７は前記フレームのブリッジ１１４の一側に固定した状態に設けられる。前記第２光源１３６ｂは前記支持台１３７に結合される。したがって、前記第２光源は光の照射角度を任意に変更し得る。
【００３３】
前記ラインスキャンカメラ１３２の撮影焦点から外れるように前記ステージの上面には溝１１６が形成される。もちろん、この溝１１６はスキャン領域上に位置する。もし、この溝がないと仮定すれば、前記ステージの上面に存在する異物やスクラッチなどが前記ラインスキャンカメラ１３２によって撮影され、前記映像処理装置では、そのような欠陥をベアガラスの欠陥で誤判する問題が発生し得る。このような問題を解決するため、本発明ではステージに溝１１６を形成するようにしたものである。
【００３４】
前記レビューカメラ１３８は前記フレームのブリッジ１１４の他側に設けられる。前記レビュー用カメラ１３８は前記ラインスキャンカメラ１３２と対応するように位置する。前記レビュー用カメラ１３８は高低調整部１３９によって高低が調整されるだけではなく、前記フレームのブリッジ１１４に沿って左右方向に移動される。前記レビュー用カメラ１３８の左右移動は前記ブリッジ１１３に設けられた左右移動部１４０によってなされる。前記左右移動部１４０は望ましくはリニアモータから構成することができる。このように、前記左右移動部１４０と前記ベアガラスを前後移動させる移動部材１２０の作動によって前記レビュー用カメラ１３８は所望するベアガラス部分の実物映像を撮影することができる。
【００３５】
前記平坦度補正ユニット１５０は前記ステージの溝１１６の両側（スキャン領域の前後端）に設けられる。前記平坦度補正ユニット１５０は前記ベアガラスがスキャン領域Ｓを通る時、前記ベアガラス１０の平坦度を均一に維持させるためのユニットである。前記平坦度補正ユニット１５０はグラグ原板１０を吸着する真空ホール１５２ａを有する第１領域と、前記ベアガラス１０に空気を噴射する噴射ホール１５４ａを有する第２領域１５４と、からなる。前記第１領域１５２は前記第２領域１５４の両側に配置される。前記第２領域１５４では前記ベアガラスを非接触状態を維持するように前記ベアガラスに空気が噴射される。
【００３６】
本発明は図４に示すように、ベアガラス１０は前記第１領域１５２で弱い真空状態で吸着されると同時に、この第１領域１５２の間の第２領域１５４で一定の量だけ非接触状態に維持される。このような作用によって、前記ベアガラスは前記スキャン領域での平坦度を最大限維持しうるものである。
【００３７】
図５を参照すれば、前記映像処理装置１６０はカメラリンクインタフェース１６２、前処理部１６４、フレームメモリ１６６、および映像処理部（ＤＳＰ、１６８）で構成される。ラインスキャンカメラ１３２を通じて獲得された映像はカメラリンクインタフェース１６２を通じて前処理部１６４に伝送される。前処理部１６４で処理された映像データは前記フレームメモリ１６６に貯蔵され、映像処理部１６８は前処理過程を経て前記フレームメモリ１６６に貯蔵されている映像データを読み出して映像処理する。特に、前記前処理部１６４で前処理が終わった映像はフレームメモリ１６６に貯蔵され、前記フレームメモリ１６６は前処理部１６４から出力されるライン映像がフレームメモリ１６６に貯蔵される間にも映像処理部１６８が読み出していくようにデュアルポート構造を有する。したがって、前記映像処理装置１６０はラインスキャンカメラ１３２で高速伝送される映像データを実時間処理することができる。さらに具体的に、前記フレームメモリ１６６は４個のバンクで構成される。このうちの二つのバンクは前処理部１６４に連結され、このうちの一つには現在のラインデータが貯蔵され、他のバンクには以前のラインデータが貯蔵される。そして残りの二つのバンクは前記映像処理部１６８に連結されて貯蔵されている以前の映像データを読み出していく。前記前処理部１６４に連結される二つのバンクは前記四つのバンクのうちの二つのバンクを順次に交換して連結される。前記映像処理部１６８に連結される二つのバンクも前記前処理部に連結されない二つのバンクが順次に交換して連結される。
【００３８】
図１乃至図４および図６を参照すると、上述の構成を有するディスプレーベアガラスの欠陥検査装置による欠陥検査過程を示せば、次の通りである。
【００３９】
まず、ベアガラス１０がステージ１０２にローディングされ（初期位置：図３に示す）（Ｓ１０）、エア噴射ユニット１２２から空気が噴射され、前記ベアガラス１０がステージから浮上する（Ｓ２０）。前記ベアガラスは前記真空吸着部１２４によって真空吸着された状態で前記リニアモータ１２６の駆動によってスキャン領域に移動する（Ｓ２２）。
【００４０】
前記撮影部１３０は、前記移動部材１２０によって移動する前記ベアガラスを撮像する（Ｓ３０）。
【００４１】
この撮影段階をさらに具体的に示せば、前記第１光源１３６ａから光を前記ベアガラスに照射する（Ｓ３２）。この状態で、スキャンラインカメラ１３２はベアガラスの表面をライン単位で連続撮影するようになる（Ｓ３４）。前記したライン単位でベアガラスの全体に対するスキャン、撮像が終わったら、前記ベアガラス１０は前記移動部材１２０によって初期位置に移動した後、再びスキャン領域に移送する（Ｓ３６）。この時に、第２光源１３６ｂから光を前記ベアガラスに照射する（Ｓ３８）。この状態で、スキャンラインカメラ１３２はベアガラスの表面をライン単位で連続撮影する（Ｓ４０）。このように、第１光源１３６ａと第２光源１３６ｂを利用して２回にわたって表面検査を実施する理由は、ベアガラスの多様な欠陥に対する映像を得るためである。すなわち、前記第２光源１３６ｂをベアガラスに照射すれば、カメラがベアガラスの表面のスクラッチ、クラック（表面割り）、表面刻みなどの映像を得ることができる。そして第１光源１３６ａをベアガラスに照射すれば、カメラがベアガラス内部の気泡などの映像をより鮮明に撮ることができる。
【００４２】
このように、本発明の装置１００は二つの光源を使用することによって、最適の検査映像を提供してベアガラスの多様なパターンの欠陥を見出すことができる。
【００４３】
このように得られた映像情報は映像処理装置１６０に提供され、映像処理装置１６０でベアガラスの欠陥有無を検査する（Ｓ５０）。このように映像処理装置で検査した結果はレビュー過程を通じて使用者が、直接、確認する（Ｓ６０）。
【００４４】
すなわち、前記映像処理装置での検査結果は図７に示すように、コンピュータ画面２００上の欠陥マップ２１０上に示す（Ｓ６２）。使用者がマウスを有してレビューしようとする欠陥領域を欠陥マップウィンドウ２１０上で選択すれば（Ｓ６４）、移動部材１２０と左右移動部１４０が作動し、その選択した欠陥位置にレビューカメラ１３８が位置づけられる。レビューカメラはその選択された位置を撮像し（Ｓ６６）、その映像をコンピュータ画面２００のレビュー画面窓２２０を通じて見せる（Ｓ６８）。このように本発明の装置は映像処理装置１６０で欠陥と判断した部分を使用者が実物映像でレビューすることができるものである。
【００４５】
一方、本発明は上述の構成からなるベアガラス欠陥検査装置および方法は多様に変形およ形態を有することができる。本発明は上述の詳細な説明で言及される特別な形態に限定されないことを理解しなければならず、むしろ添付の請求範囲によって定義される本発明の精神と範囲内にあるすべての変形物と均等物および代替物を含むこととして理解すべきである。
【００４６】
以上では、本発明によるベアガラス欠陥検査装置および方法の構成および作用を上述の説明および図面に従って示してきたが、これは実例をあげて説明したことに過ぎず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で多様な変化および変更が可能であることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明によるディスプレーベアガラスの欠陥を検査する装置の平面構成図である。
【図２】本発明によるディスプレーベアガラスの欠陥を検査する装置の正面構成図である。
【図３】図１でフレームがブリッジを除去した状態のベアガラス欠陥検査装置の平面構成図である。
【図４】平坦度補正ユニットが設けられたステージの腰部拡大断面図である。
【図５】映像処理装置の構成図である。
【図６】ディスプレーベアガラスの欠陥検査装置での欠陥検査過程を説明するためのフローチャートである。
【図７】欠陥マップ窓とレビュー画面窓があるコンピュータ画面である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  ベアガラス
１００  装置
１１０  フレーム  １１２  ステージ
１１４  ブリッジ
１１６  溝
１２０  移動部材
１２２  噴射ユニット
１２３  ボディー
１２３ａ  ポート
１２３ｂ  バッファ空間
１２３ｃ  噴射穴
１２４  真空吸着部
１２４ａ  真空吸着ホール
１２６  リニアモータ
１３０  撮影部
１３２  ラインスキャンカメラ
１３４  高低調整部
１３６  照明部
１３６ａ  第１光源
１３６ｂ  第２光源
１３７  支持台
１３８  レビュー用カメラ
１３９  高低調整部
１４０  左右移動部
１５０  平坦度補正ユニット
１５２  第１領域
１５２ａ  真空ホール
１５４  第２領域
１５４ａ  噴射ホール
１６０  映像処理装置
１６２  カメラリンクインタフェース
１６４  前処理部
１６６  フレームメモリ
１６８  映像処理部（ＤＳＰ）
１９０  エアライン
２００  コンピュータ画面
２１０  欠陥マップ
２２０  レビュー画面窓
Ｓ  スキャン領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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