(57)【要約】【課題】  流路形成基板と封止板の位置ずれの検査精度をより高めることが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】  ノズル開口に通じる圧力室２９を形成する流路形成基板２４、及び、この流路形成基板に接合されて圧力室の一部を区画する封止板２３を備え、封止板における圧力室に対応する領域には、圧電振動子の作動に応じて弾性変形して圧力室内のインクに圧力変動を生じさせるダイヤフラム部３７が形成され、このダイヤフラム部は、圧電振動子が接合される島部３８を有し、流路形成基板２４において、圧力室を区画する区画壁４４の端面４５上の島部の長手方向の両端に対応する位置に、流路形成基板と封止板との相対的な位置の基準となる基準パターン４６を設けた。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に通じる圧力室を形成する圧力室形成基板、及び、この圧力室形成基板に接合されて前記圧力室の一部を区画する封止板を備え、
前記封止板において、前記圧力室を区画する区画壁の端面には、前記圧力室形成基板と前記封止板との相対的な位置の基準となる基準パターンが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記封止板における前記圧力室に対応する領域には、圧力発生源の作動に応じて弾性変形して前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせるダイヤフラム部が形成され、
前記ダイヤフラム部は、前記圧力発生源が接合される島部を有し、
前記基準パターンは、前記区画壁において前記島部の長手方向の端部に対応する位置に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記区画壁には前記基準パターンが複数配置され、各基準パターンの配置ピッチは、前記圧力室形成基板と前記封止板の相対的な位置ずれの公差に一致することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記基準パターンは多角形の穴として形成され、その一頂点を、前記圧力室形成基板と前記封止板との相対的な位置の基準点としたことを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記基準パターンは、液滴の吐出に直接関与しないダミー圧力室を区画する区画壁の端面に設けられていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドに関し、特に、圧力室形成基板に封止板を接合することで圧力室を区画し、圧力発生源を作動して圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでこの圧力室内の液体をノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで圧力室内の液体をノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
【０００３】
上記記録ヘッドの一例として、複数のノズル開口を列設してなるノズル列が形成されたノズル形成基板、共通液体室（リザーバ）から圧力室を経てノズル開口に至る一連の流路を形成する流路形成基板（圧力室形成基板）、及び、圧力室及び共通液体室の開口を封止する封止板を有する流路ユニット（キャビティユニット）と、圧力室内のインクに圧力変動を生じさせ得る圧力発生源とを備えているものがある。
【０００４】
流路形成基板の材料としては、例えば、シリコン単結晶性基板（シリコンウェハー）が好適に用いられ、このシリコンウェハーの表面から異方性エッチング処理を施すことによって圧力室などのインク流路（液体流路）となる空部や溝部が形成される。この圧力室形成基板の一方の面には上記ノズル形成基板が接合され、他方の面には、圧力室となる空部等の開口部を封止してインク流路の一部を区画する封止板が接合される。
【０００５】
上記封止板は、例えばステンレス鋼等の金属製の支持板の表面にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂フィルムを弾性薄膜部としてラミネートした複合板材によって構成されている。この封止板の圧力室に対応する領域には、圧力発生源としての圧電振動子の作動に応じて変形して圧力室内のインクに圧力変動を生じさせ得るダイヤフラム部が形成されている。このダイヤフラム部は、圧電振動子の先端面が接続される部分を島部として残した状態でその周囲の支持板をエッチングなどによって除去して弾性薄膜部のみとすることで構成されている。
【０００６】
そして、圧電振動子を駆動して素子長手方向に伸縮させると、これに伴って封止板の島部が圧力室に近接する方向或いは離隔する方向に変位する。これにより、圧力室の容積が変化し、圧力室内のインクに圧力変動が生じる。上記記録ヘッドでは、この圧力変動を利用して圧力室内のインクをノズル開口からインク滴として吐出する。
【０００７】
ところで、上記構成の記録ヘッドにおいて、流路ユニットを構成する各部材に位置決め用の穴（基準穴）をそれぞれ開設し、この基準穴に基準ピンを挿通することで、接合時の各部材同士の相対的な位置決めを行うように構成されたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−０３０４９０号公報（第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、上記特許文献１の構成において、基準穴と基準ピンに寸法誤差がある場合には、流路形成基板と封止板の相対的な位置がずれ、その結果、圧力室に対する島部の位置が正常な位置からずれてしまう虞がある。特に、基準穴から遠い位置にある島部ほどずれが大きくなり易い。島部が正常な位置からずれてしまうと、この島部に接合されている圧電振動子を駆動したときに、規定量のインク滴が吐出されない等、インク滴の吐出に支障が生じる虞がある。
【００１０】
そこで、このような不具合を防止するべく、流路ユニットを構成する各部材を接合した後、流路形成基板と封止板の接合状態の検査、より具体的には、圧力室に対する島部の位置ずれの検査が行われることがある。この位置ずれの検査において、島部の圧力室列設方向の位置ずれについては、圧力室同士を隔てる隔壁を基準として測定される一方、島部の長手方向（圧力室列設方向に対し直交する方向）の位置ずれについては、例えば、部材同士を接合する際の余分な接着剤を導入する逃げ孔を基準として測定されていた。つまり、これらの基準からの距離が、位置ずれ量の規定範囲内（公差範囲内）に入るか否かの検査が行われていた。なお、上記の逃げ孔は、接合時の余分な接着剤をその内部に積極的に導入することで、流路となる部分に接着剤が浸入するのを未然に防止すると共に接着後のアンカーとなるように設けられたものである。
【００１１】
しかしながら、上記逃げ孔は、元々位置ずれの基準として設けられたものではなく、この逃げ孔と島部の距離が遠い場合には測定精度が低くなるという問題がある。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、流路形成基板と封止板の位置ずれの検査精度をより高めることが可能な液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル開口に通じる圧力室を形成する圧力室形成基板、及び、この圧力室形成基板に接合されて前記圧力室の一部を区画する封止板を備え、
前記封止板において、前記圧力室を区画する区画壁の端面には、前記圧力室形成基板と前記封止板との相対的な位置の基準となる基準パターンが設けられていることを特徴とする。
また、この構成において、前記封止板における前記圧力室に対応する領域には、圧力発生源の作動に応じて弾性変形して前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせるダイヤフラム部が形成され、
前記ダイヤフラム部は、前記圧力発生源が接合される島部を有し、
前記基準パターンは、前記区画壁において前記島部の長手方向の端部に対応する位置に設けることが望ましい。
【００１４】
上記構成によれば、封止板における圧力室を区画する区画壁の端面に基準パターンを設け、この基準パターンに基づいて島部の位置ずれを検査するので、基準パターンと島部との測定距離を可及的に短くすることができ、その結果、より高い精度で位置ずれの検査を行うことができる。これにより、圧力室に対する島部の位置ずれに起因して吐出不良等が生じる虞を排除することができる。
【００１５】
また、上記構成において、前記区画壁には前記基準パターンを複数配置し、各基準パターンの配置ピッチは、前記圧力室形成基板と前記封止板の相対的な位置ずれの公差に一致させる構成を採ることが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、各基準パターンの配置ピッチが、流路形成基板と封止板の相対的な位置ずれ量の公差に一致するので、位置ずれの検査を迅速且つ高い精度で行うことが可能となる。
【００１７】
また、上記構成において、前記基準パターンは多角形の穴として形成され、その一頂点を、前記圧力室形成基板と前記封止板との相対的な位置の基準点とするのが望ましい。
【００１８】
さらに、前記基準パターンは、液滴の吐出に直接関与しないダミー圧力室を区画する区画壁の端面に設けられていることが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、インク滴の吐出に直接関与しないダミー圧力室の区画壁の端面に基準パターンを設ける一方、インク滴の吐出に関わる圧力室の区画壁には、基準パターンを設けないので、ダミー圧力室以外の圧力室における区画壁の剛性を一律に揃えることができる。その結果、インク滴の吐出に関わる全ての圧力室のインク滴吐出特性を揃えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００２１】
図１は、本実施形態における記録ヘッド１の概略斜視図、図２は、記録ヘッド１の要部断面図である。例示した記録ヘッド１は、カートリッジ基台２（以下、「基台」という）、駆動用基板５、ケース１０、流路ユニット１１、及び、アクチュエータユニット１３を主な構成要素としている。なお、以下においては、便宜上、記録ヘッド１を構成する各部材の積層方向を上下方向として説明する。
【００２２】
上記基台２は、例えば、エポキシ系樹脂等の合成樹脂によって成型されており、その上面にはフィルタ３を介在させた状態でインク導入針４が複数取り付けられている。これらのインク導入針４には、インク（液体の一種）を貯留したインクカートリッジ（図示せず）が装着されるようになっている。駆動用基板５は、図示せぬプリンタ本体側からの駆動信号を圧電振動子１９へ供給するための配線パターンが形成されると共に、プリンタ本体側との接続のためのコネクタ６や電子部品８等を実装している。コネクタ６にはＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線部材が接続され、駆動用基板５は、このＦＦＣを介してプリンタ本体側から駆動信号を受けるようになっている。そして、この駆動用基板５は、パッキンとして機能するエラストマー等の弾性シート７を介在させた状態で、インク導入針４とは反対側の基台２の底面側に配置される。
【００２３】
ケース１０は、合成樹脂製の中空箱体状部材であり、先端面（下面）には流路ユニット１１を接合し、内部に形成された収容空部１２内にはアクチュエータユニット１３を収容し、流路ユニット１１側とは反対側の基板取付面１４には駆動用基板５を取り付けるようになっている。また、このケース１０の先端面側には、金属製の薄板部材によって作製されたヘッドカバー１６が、流路ユニット１１の外側からその周縁部を包囲する状態に取り付けられる。このヘッドカバー１６は、流路ユニット１１やケース１０を保護すると共に、流路ユニット１１のノズル形成基板２５を接地電位に調整し、記録紙等から発生する静電気によるノイズ等の障害を防止する機能を果たす。
【００２４】
上記アクチュエータユニット１３は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子１９（本発明における圧力発生源の一種）と、この圧電振動子１９が接合される固定板２０と、駆動用基板５からの駆動信号を圧電振動子１９に伝達するための、ＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等の配線部材２１等から構成される。各圧電振動子１９は、固定端部側が固定板２０上に接合され、自由端部側が固定板２０の先端面よりも外側に突出している。即ち、各圧電振動子１９は、所謂片持ち梁の状態で固定板２０上に取り付けられている。また、各圧電振動子１９を支持する固定板２０は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。そして、アクチュエータユニット１３は、固定板２０の背面を、収容空部１２を区画するケース内壁面に接着することで収容空部１２内に収納・固定されている。なお、圧電振動子列の両端に位置する圧電振動子１９は、駆動信号が供給されず実際には駆動しないダミー圧電振動子となっている。
【００２５】
図３は、本実施形態における流路ユニット１１の構成を説明する分解斜視図である。この流路ユニット１１は、弾性板２３（本発明における封止板に相当）、流路形成基板２４（本発明における圧力室形成基板に相当）、及びノズル形成基板２５（本発明におけるノズル形成部材に相当）からなる各流路ユニット構成部材を積層した状態で接合して一体化することにより作製されており、共通インク室２７（共通液体室）からインク供給口２８及び圧力室２９を通りノズル開口３０に至るまでの一連のインク流路（液体流路）を形成している。
【００２６】
流路ユニット１１の最下部に配置されるノズル形成基板２５は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口３０を、紙送り方向（副走査方向）に列状に開設した金属製の薄い板材であり、本実施形態においてはステンレス鋼によって作製されている。また、このノズル形成基板２５においては、１８０個のノズル開口３０によって１つのノズル列が形成されている。
ノズル形成基板２５と弾性板２３との間に配置される流路形成基板２４は、インク流路となる部分、具体的には、共通インク室２７となる開口部３３、インク供給口２８となる溝部３４、及び、圧力室２９となる空部３５が区画形成された板状の部材であり、本実施形態においては、結晶性を有する基材であるシリコンウェハーを異方性エッチング処理することによって作製されている。
また、この流路形成基板２４には、流路ユニット構成部材間を接合する際の余分な接着剤或いは気泡を導入する逃げ孔としても機能する逃げ穴３６が、同様にエッチング処理によって複数開設されている。この逃げ穴３６を設けることで、部材間の接合境界部分からはみ出した接着剤がインク流路側に流れ込んだり、各部材間に気泡が入ることで接着不良が発生したりするのを防止することができる。また、この逃げ穴３６内に導入された接着剤が固化するとアンカーとして機能するので、接合強度を高めることができる。
【００２７】
ノズル形成基板２５とは反対側の流路形成基板２４の上面に配置される弾性板２３は、例えばステンレス鋼等の金属製の支持板２３ａの表面にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂フィルムを弾性薄膜部２３ｂとしてラミネートした複合板材によって構成されている。この弾性板２３の圧力室２９に対応する領域には、圧電振動子１９の作動に応じて変形して圧力室２９内のインクに圧力変動を生じさせ得るダイヤフラム部３７が形成されている。このダイヤフラム部３７は、圧電振動子１９の先端面が接続される部分を島部３８として残した状態でその周囲の支持板２３ａをエッチング処理で除去して弾性薄膜部２３ｂのみとすることで構成されている。
【００２８】
また、この弾性板２３には、流路形成基板２４の開口部３３の一方の開口面を封止し、共通インク室２７の一部を区画するコンプライアンス部３９が形成されている。このコンプライアンス部３９は、共通インク室２７（開口部３３）に対応する領域の支持板２３ａを、エッチング加工によって除去することにより、弾性薄膜部２３ｂのみとされている。そして、このコンプライアンス部３９は、圧電振動子１９の駆動時のインク流路内のインクの圧力変動を緩和するダンパーとして機能する。
【００２９】
上記流路ユニット構成部材、即ち、弾性板２３、流路形成基板２４、及びノズル形成基板２５には、基準ピン４１に挿通可能な基準穴４２（４２ａ，４２ｂ，４２ｃ）が各部材の厚さ方向を貫通してそれぞれ開設されている。そして、各流路ユニット構成部材は、各々の基準穴４２に基準ピン４１を挿通することで相対的な位置が合わされた上で接着剤等によって接合され、ノズル形成基板２５を下側にした姿勢でケース１０に固定される。
【００３０】
そして、上記構成の記録ヘッド１では、駆動用基板５から配線部材２１を通じて圧電振動子１９に駆動信号が供給されると、この圧電振動子１９が素子長手方向に伸縮し、これに伴いダイヤフラム部３７の島部３８が圧力室２９に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力室２９の容積が変化し、圧力室２９内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によって圧力室２９内のインクがノズル開口３０からインク滴（液滴の一種）として吐出される。
【００３１】
ところで、圧力室２９等のインク流路やダイヤフラム部３７の島部３８等の各部位は、非常に微細な形状に作製されているため、流路ユニット構成部材の位置決めについては、数μｍオーダーの高い精度が要求される。特に、圧電振動子1９が接続される島部３８の位置決め精度は、ヘッドを高密度化することで圧電振動子の数が増加するに伴いより高い精度が求められる。本実施形態における記録ヘッド１では、上述のように、各部材の基準穴４２に基準ピン４１を挿通することで各流路ユニット構成部材の相対的な位置が規定されるように構成されているが、基準穴４２と基準ピン４１との間に寸法誤差がある場合には、位置決め精度が低下してしまう。特に、流路形成基板２４と封止板２３との位置ずれに起因して島部３８と圧力室２９との相対的な位置が正常な位置からずれてしまうと、インク滴の吐出特性に悪影響を及ぼす虞がある。
【００３２】
そのため、上記記録ヘッド１では、流路ユニット構成部材を接合した後、流路形成基板２４と封止板２３の接合状態の検査、より具体的には、圧力室２９に対する島部３８の位置ずれの検査が行われる。そして、上記の記録ヘッド１では、封止板２３における圧力室２９を区画する区画壁４４の端面４５に、流路形成基板２４と封止板２３の相対的な位置の基準となる基準パターン４６が設けられており、この基準パターン４６に対する島部３８の位置を測定することによって、高い精度で位置ずれの検査を行うことができるようになっている。以下、この点について説明する。
【００３３】
図４は、流路形成基板２４と封止板２３の接合状態を説明する平面図、図５（ａ）は、図４におけるＡ−Ａ線断面図、図５（ｂ）は、図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。また、図６は、図４における領域Ｘの拡大図である。なお、弾性薄膜部２３ｂは極く薄い半透明のシートであるため、図４では、流路形成基板２４と封止板２３の接合状態において、この弾性薄膜部２３ｂを透過して流路形成基板２４を視認することができる。
【００３４】
ここで、本実施形態において、圧力室２９の列における両端に位置する圧力室は、インク滴の吐出には直接関与しないダミー圧力室２９´となっている。このダミー圧力室２９´に対応する島部は、上記ダミー圧電振動子が接続されるダミー島部３８´となっている。そして、本実施形態においては、各ダミー圧力室２９´を区画する区画壁４４の端面４５、即ち、封止板２３が配置される側の上端面に、それぞれ島部３８の長手方向（圧力室列設方向とは直交する方向）に沿って基準パターン４６が複数設けられている。より具体的には、各ダミー圧力室２９´を区画する区画壁のうち圧力室列設方向の区画壁４４（以下、圧力室長手方向の両側の区画壁４４と区別するため、適宜、隔壁４４´ともいう）の端面４５に、島部３８の長手方向の両端部毎にそれぞれ３つずつ基準パターン４６（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）が形成されている。即ち、１つのダミー圧力室２９´に対して合計６つの基準パターン４６が、島部の両端部に対応してそれぞれ形成されている。これらの基準パターン４６は、圧力室２９に対する島部３８（ダミー島部３８´）の長手方向の位置を検査する際の基準として用いられる。
【００３５】
上記基準パターン４６は、図６に示すように、平面視において多角形、本実施形態では略六角形状の微小な穴であり、圧力室２９等と同様にエッチング処理によって流路形成基板２４の厚さ方向の途中まで穿設されている。そして、この多角形状の基準パターン４６のうち、中央に配置されている基準パターン４６ｂの頂点Ｐが、流路形成基板２４と封止板２３との相対的な位置の基準点、即ち、本実施形態においては島部３８の長手方向の端の位置を測定するための基準点となっている。つまり、この中央の基準パターン４６ｂの頂点Ｐから圧力室列設方向に延した仮想線Ｌと島部３８の端が一致する状態が最も望ましい状態である。
【００３６】
また、本実施形態において、一組の基準パターン４６（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）の配置ピッチは、流路形成基板２４と封止板２３の相対的な位置ずれ量の公差に一致するように設定されている。つまり、図６に示すように、３つの基準パターン４６のうち中央の基準パターン４６ｂの頂点Ｐから、この中央の基準パターン４６ｂの両側に位置する基準パターン４６ａ，４６ｃの頂点Ｐまでの距離ｄが、それぞれ上記公差（例えば、１０μｍ）に一致するように設定されている。
【００３７】
上記位置ずれの検査は、例えば非接触段差測定機を用いて行う。なお、以下では、適宜、圧力室列設方向を上下方向とし、これに直交する島部３８の長手方向を左右方向として表現する。まず、上下両側のダミー島部３８´のうちの一方について、左右両端の位置決めパターン４６に対する位置ずれを一端ずつ検査する。即ち、例えば、図４における下側のダミー島部３８´の左端の位置に関し、ダミー圧力室２９´の隔壁４４´の端面４５の左側に設けられた中央の基準パターン４６ｂの頂点Ｐを中心として、その左右両側の基準パターン４６ａ，４６ｃの各頂点Ｐまでの左右の距離ｄの範囲内に位置するか否か、つまり公差範囲内に入るか否かを検査する。
【００３８】
上記非接触段差測定機を用いて検査を行う場合には、圧力室２９同士を隔てる隔壁４４´を測定機において平行に合わせる平行出しを行った上、測定機のターゲットマークをダミー島部３８´の左端に位置させてこの位置を測定開始地点として設定し、この地点から中央の基準パターン４６ｂの頂点Ｐまでターゲットマークを移動させることで、測定開始地点からの左右方向の距離がプラス又はマイナスの数値として測定機に表示される。これにより、中央の基準パターン４６ｂの頂点Ｐに対するダミー島部３８´の左右方向（島部長手方向）の位置ずれを測定することができる。そして、この位置ずれが公差範囲内であるか否かを検査する。同様にして、同島部３８´の右端について、端面４５の右側に設けられた基準パターン４６に基づいて位置ずれ量が公差範囲内に入るか否かを検査する。
【００３９】
一方のダミー島部３８´の左右方向（島部長手方向）両端の位置決めパターン４６に対する位置ずれを検査したならば、次に、他方（上側）のダミー島部３８´についても同様にして、左右両端の位置決めパターン４６に対する位置ずれを検査する。そして両方のダミー島部３８´の両端の位置ずれが、何れも公差範囲内に入っていれば適合であると判断され、何れか一つでも公差範囲外となった場合には不適合とされる。なお、圧力室２９に対する島部３８の上下方向（圧力室列設方向）の位置ずれについては、圧力室２９の隔壁４４´からの距離で測定される。
【００４０】
このように、上記記録ヘッド１では、封止板２３における圧力室２９（ダミー圧力室２９´）を区画する区画壁４４（隔壁４４´）の端面４５に基準パターン４６を設け、この基準パターン４６に基づいて島部３８（ダミー島部３８´）の位置ずれを検査するので、基準パターン４６と島部３８との測定距離を可及的に短くすることができ、その結果、より高い精度で位置ずれの検査を行うことができる。これにより、圧力室に対する島部の位置ずれに起因して吐出不良等が生じる虞のある記録ヘッドを未然に排除することができる。
【００４１】
また、本実施形態においては、島部３８の両端に対してそれぞれ複数の基準パターン４６（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）を設け、各基準パターン４６の配置ピッチを流路形成基板２４と封止板２３の相対的な位置ずれ量の公差に一致するように設定しているので、位置ずれの検査を迅速且つ高い精度で行うことが可能となる。即ち、上記の非接触段差測定機等の高精度な顕微鏡を用いなくとも、位置ずれが公差範囲内であるか否かを一般的な顕微鏡によっても容易に判断することができる。
【００４２】
さらに、本実施形態においては、インク滴の吐出に直接関与しない各ダミー圧力室２９´の隔壁４４´（区画壁４４）の端面４５に基準パターン４６を設ける一方、インク滴の吐出に関わる圧力室２９の隔壁４４´には、基準パターン４６を設けない構成を採用している。これにより、ダミー圧力室２９´以外の圧力室２９における隔壁４４´の剛性を一律に揃えることができる。その結果、インク滴の吐出に関わる全ての圧力室２９のインク滴吐出特性を揃えることができる。
【００４３】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００４４】
例えば、上記実施形態においては、各ダミー圧力室２９´の隔壁４４´の端面４５に形成された基準パターン４６に対するダミー島部３８´の両端の位置ずれを検査する例を示したが、これに限らず、通常の圧力室２９に対応する島部３８の両端について上記基準パターン４６に対する位置ずれを検査するようにしてもよい。つまり、ダミー圧力室２９´を除く圧力室列の両端の圧力室２９について、ダミー圧力室２９´の隔壁４４´の端面４５に形成された基準パターン４６に基づいて位置ずれを検査することもできる。この構成は、実際にインク滴の吐出に関わる圧力室２９と島部３８との位置ずれを検査するので、より好ましい。
【００４５】
また、上記実施形態では、ダミー圧力室２９´の隔壁４４´の端面４５に基準パターン４６を設ける一方、インク滴の吐出に関わる圧力室２９の隔壁４４´には、基準パターン４６を設けない構成としたが、これには限らず、インク滴吐出特性への影響が少ないと判断される場合には、通常の圧力室２９の隔壁４４´に基準パターン４６を設ける構成を採用することも可能である。
【００４６】
また、以上では、液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図３】流路ユニットの構成を説明する分解斜視図である。
【図４】流路形成基板と封止板の接合状態を説明する平面図である。
【図５】（ａ）は図４におけるＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】図４における領域Ｘの拡大図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  記録ヘッド，２  カートリッジ基台，３  フィルタ，４  インク導入針，５  駆動用基板，１０  ケース，１１  流路ユニット，１２  収容空部，１３  アクチュエータユニット，１６  ヘッドカバー，１９  圧電振動子，２０  固定板，２１  配線部材，２３  弾性板，２４  流路形成基板，２５  ノズル形成基板，２７  共通インク室，２８  インク供給口，２９  圧力室，２９´  ダミー圧力室，３０  ノズル開口，３７  ダイヤフラム部，３８  島部，３８’  ダミー島部，３９  コンプライアンス部，４１  基準ピン，４２  基準穴，４４  区画壁，４５  区画壁の端面，４６（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ）  基準パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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