(57)【要約】    【課題】  外観検査を正確かつ迅速に行うことができるヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）を提供する。    【解決手段】  ＨＧＡを構成するフレキシャ１０９には、打痕検査用の検査マーク１５１、スクラッチ検査用の検査マーク１５３、ヘッド／スライダの取付位置検査用の検査マーク１５５、１５７、１５９、１６１が形成されている。検査マークはレーザ・ビームやフォトエッチングにより形成される。検査マークは、検査員が顕微鏡で傷と対比させてＨＧＡの外観目視検査の合否を判定をするために使用される。【選択図】      図３
2006268963.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク装置に使用するヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
ヘッド／スライダと、
前記ヘッド／スライダが取り付けられたフレキシャと、
前記フレキシャを支持するロード・ビームとを備え、
前記ヘッド・ジンバル・アセンブリの傷の限度寸法に等しい大きさを提供する特徴部を備える検査マークが形成されているヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項２】
前記検査マークが前記フレキシャに形成されている請求項１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項３】
前記検査マークが前記ヘッド／スライダより基端部側で前記ヘッド／スライダに最も近い位置にある溶接スポットより前記基端部側の前記フレキシャに形成されている請求項２記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項４】
前記検査マークが前記ロード・ビームに形成されている請求項１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項５】
前記検査マークが縁上の２点間の距離を前記特徴部とする貫通開口である請求項１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項６】
前記検査マークが縁上の２点間の距離を前記特徴部とするリセス部である請求項１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項７】
前記検査マークが縁上の２点間の距離を前記特徴部とする切除部である請求項１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項８】
前記検査マークがレーザ・ビームを照射して形成された幅を前記特徴部とするラインである請求項１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項９】
前記限度寸法が４０μｍ以上で６０μμｍ以下である請求項１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１０】
前記検査マークが第１の限度寸法に等しい大きさを提供する第１の特徴部と第２の限度寸法に等しい大きさを提供する第２の特徴部を含む請求項１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１１】
磁気ディスク装置に使用するヘッド・ジンバル・アセンブリであって、
ヘッド／スライダと、
前記ヘッド／スライダが取り付けられたフレキシャと、
前記フレキシャを支持するロード・ビームとを備え、
前記ヘッド／スライダの正規の取付位置から取付公差だけ離れた位置を提供する特徴部を備える検査マークが前記フレキシャ又は前記ロード・ビームに形成されているヘッド・ジンバル・アセンブリ。  
【請求項１２】
前記検査マークが前記ヘッド／スライダの正規の取付位置を規定する長方形のいずれかの辺に平行に形成され長手方向の縁を前記特徴部とするラインである請求項１１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１３】
前記検査マークがレーザ・ビームの照射により形成されている請求項１２記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１４】
前記検査マークが前記長方形の対向する２辺のそれぞれに平行で前記長方形の外側に形成された第１のラインと第２のラインを含み、前記第１のラインと前記第２のラインは対応する前記長方形の辺から前記取付公差だけ離れた位置に形成されている請求項１２記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１５】
前記検査マークが前記長方形の１辺に平行であって前記長方形の外側に形成された第１のラインと前記長方形の１辺に平行であって前記長方形の内側に形成された第２のラインを含む請求項１２記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１６】
前記検査マークが縁部の２点を前記特徴部とする切除部として形成され、前記長方形のいずれかの辺が前記２点の中心を通過する請求項１１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１７】
前記検査マークが縁部の２点を前記特徴部とする切除部として形成され、前記長方形のいずれかの辺を延長した直線が前記２点の中心を通過する請求項１１記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１８】
磁気ディスクと、
前記磁気ディスクにアクセスするヘッド／スライダと該ヘッド／スライダが取り付けられたサスペンション・アセンブリを含むヘッド・ジンバル・アセンブリと、
前記ヘッド・ジンバル・アセンブリを支持するアクチュエータ・アセンブリとを備え、
前記ヘッド・ジンバル・アセンブリに前記ヘッド／スライダの取付位置から取付公差だけ離れた位置を提供する特徴部を備える検査マークが形成されている磁気ディスク装置。
【請求項１９】
前記検査マークがレーザ・ビームを照射して形成されている請求項１８記載の磁気ディスク装置。
【請求項２０】
さらに前記ヘッド・ジンバル・アセンブリの傷の限度寸法に等しい大きさを提供する特徴部を備える検査マークが前記ヘッド・ジンバル・アセンブリに形成されている請求項１８記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置に使用されるヘッド・ジンバル・アセンブリに関し、さらに詳細には、外観目視検査を正確かつ迅速に行うことができるヘッド・ジンバル・アセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置では、ヘッド／スライダを磁気ディスクの所定のトラック位置に位置づけて、サーボ・トラック上をサーボ制御により追従動作させるためのヘッド・ジンバル・アセンブリ（以下、ＨＧＡという。）が使用される。ＨＧＡは、ヘッド／スライダの磁気ディスク上における追従性能を決める重要な役割を果たす繊細な部品である。ＨＧＡは、サスペンション・アセンブリとヘッド／スライダで構成される。
【０００３】
ＨＧＡに対しては、磁気ディスク装置に組み込む前に、外観目視検査、ヘッド／スライダのピッチ方向の角度（ＰＳＡ）測定、ロール方向の角度（ＲＳＡ）測定、および磁気ヘッドの動作確認などが行われている。外観目視検査には、検査員が１０倍ないし３０倍の顕微鏡を用いてＨＧＡの表面に存在する打痕やスクラッチなどの傷の大きさやヘッド／スライダの取付位置を評価する項目を含んでいる。特許文献１には、限度見本のパターンをあらかじめ撮像して記憶しておき、ウエハーの表面状態を限度見本と比較して外観検査をする装置が開示されている。
【特許文献１】特開平４−５３２４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
外観目視検査で打痕やスクラッチなどの傷の大きさを迅速かつ正確に評価するために、顕微鏡の同一視野において同時に観察できる基準寸法と比較する方法がある。基準寸法としては、たとえばフレキシャの厚さなどのＨＧＡの構成部品の寸法を利用することもできる。しかし、ＨＧＡの構成部品の寸法は、それぞれの機能上の特性によって決定されるため、必ずしもＨＧＡの傷の大きさを評価するのに適しているとは限らない。基準寸法と、傷の大きさの許容値の差が大きくなるほど判定精度が低下することになる。以後、傷の大きさの許容値を限度寸法という。また、ヘッド／スライダの取付位置の合否は、フレキシャの端部との間隔などで判断しており、判定精度に欠けるといった問題があった。
【０００５】
近年、ＨＧＡが小型化されて外観目視検査における打痕やスクラッチの限度寸法が一層小さくなってきたり多様化してきたりして、ＨＧＡを構成する部品の寸法では対応することが困難になってきている。たとえば、フレキシャの厚さが２０μｍのときに、傷の限度寸法が５０μｍといった具体に両者間に差がある場合や、傷が存在するＨＧＡの部位に応じて限度寸法が５０μｍであったり３０μｍであったりした場合には、正確に判定することが困難になってくる。また磁気ディスク装置を大量生産している生産工程では、外観目視検査の精度向上による品質の維持と同時に検査時間を短縮して生産性を向上することも重要である。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、外観目視検査を迅速かつ正確に行うことができるＨＧＡを提供することにある。さらに本発明の目的はそのようはＨＧＡを搭載した磁気ディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、磁気ディスク装置に使用するヘッド・ジンバル・アセンブリであって、ヘッド／スライダと、前記ヘッド／スライダが取り付けられたフレキシャと、前記フレキシャを支持するロード・ビームとを備え、前記ヘッド・ジンバル・アセンブリの傷の限度寸法に等しい大きさを提供する特徴部を備える検査マークが形成されているヘッド・ジンバル・アセンブリを提供する。
【０００８】
ここに検査マークは、ＨＧＡのフレキシャやロード・ビームに形成され、検査対象となる傷の限度寸法に等しい大きさを提供する特徴部を備えた顕微鏡で視認可能な外形的な特徴である。検査員は、検査マークの特徴部の大きさから限度寸法を認識してＨＧＡの傷に適用し、傷が許容値を超えるか否かを迅速かつ正確に判定することができる。フレキシャは薄い金属鋼板を構造材として使用しているため、検査マークをフレキシャに形成する場合は、ヘッド／スライダより基端部側でヘッド／スライダに最も近い位置にある溶接スポットより前基端部側の位置を選択すると、フレキシャのピボッド運動機能に影響を与えることがなくなるので都合がよい。
【０００９】
検査マークは特徴部を縁上の２点間の距離とする貫通開口、陥没部もしくはリセス部、ならびに切除部として形成することができる。さらに検査マークは、幅を特徴部とするラインとして形成することができる。ＨＧＡの外観目視検査における限度寸法は、４０μｍ〜６０μｍの範囲のように小さく、検査マークはこの限度寸法を提供する大きさを提供する特徴部を備えるように形成される。
【００１０】
本発明の第２の態様は、磁気ディスク装置に使用するヘッド・ジンバル・アセンブリであって、ヘッド／スライダと、前記ヘッド／スライダが取り付けられたフレキシャと、前記フレキシャを支持するロード・ビームとを備え、前記ヘッド／スライダの取付位置から取付公差だけ離れた位置を提供する特徴部を備える検査マークが形成されているヘッド・ジンバル・アセンブリを提供する。
【００１１】
検査マークはヘッド／スライダの正規の取付位置からヘッド／スライダの取付公差に相当する距離だけ離れた位置を提供する特徴部を含むようにフレキシャまたはロード・ビームに形成されるために、ヘッド／スライダの取付後に検査マークの特徴部を視認できるか否かで実際の取付位置の合否を容易に判定することができる。ヘッド／スライダはフレキシャの平面に対する投影が長方形に形成されているので、検査マークを正規の取付位置となる長方形の辺に平行に形成したラインにしておくと、取付位置の判定がし易い。
【００１２】
ラインの幅が大きい場合は、ラインの長手方向の縁を特徴部とすることで検査精度を維持することができる。検査マークは、ヘッド／スライダの近辺に形成することになり一般にはフレキシャがピボット運動をする部位になる。したがって、検査マークはフレキシャの機能を妨げないように形成する必要があるが、レーザ・ビームを利用すると、そのエネルギー量やスポット径を調整して容易にフレキシャの機能に影響がでないようにすることができる。
【００１３】
検査マークを長方形の対向する２辺のそれぞれに平行で長方形の外側に形成された第１のラインと第２のラインとし、第１のラインと第２のラインは対応する長方形の辺から取付公差だけ離れた位置に形成しておくと、いずれの検査マークの方にヘッド／スライダの取付位置がずれても容易、かつ正確に合否を判定することができる。検査マークは縁部の２点を特徴部とする切除部として形成することができる。その２点の中心を正規の取付位置を規定する長方形の辺またはその延長線が通過するように検査マークを形成することで取付位置の合否判定が可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明により、外観目視検査を迅速かつ正確に行うことができるＨＧＡを提供することができた。さらに本発明により、そのようはＨＧＡを搭載した磁気ディスク装置を提供することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図面全体をとおして同一構成要素には同一参照番号を付すことにする。図１は磁気ディスク装置の構成を示す平面図である。磁気ディスク装置１０は、ベース１２に対して、磁気ディスク１３、ヘッド・スタック・アセンブリ１４、フレキシブル・ケーブル１５、ランプ２３、およびフレキシブル・ケーブル１５をベース１２の外側に取り付けられた回路基板に接続する端子１６が設けられている。磁気ディスク１３は、ベース１２に設けられたスピンドル・モータのロータ部にねじ止めされており、スピンドル軸１７を中心にして回転駆動するように構成されている。
【００１６】
ヘッド・スタック・アセンブリ１４は、ＨＧＡ１００とアクチュエータ・アセンブリ２１とで構成されている。ＨＧＡ１００はヘッド／スライダとサスペンション・アセンブリで構成されているが、その概要は図２を参照して後に説明する。アクチュエータ・アセンブリ２１は、ＨＧＡ１００を支持するアクチュエータ・アーム、ピボット・アセンブリを嵌め込むハウジングおよびボイス・コイルを保持するコイル・サポートが一体になって構成されており、ＨＧＡ１００をピボット軸１８を中心にして回動させる。ボイス・コイルおよびヨーク１９は、ヨーク１９の裏側に貼り付けられたボイス・コイル・マグネットとともに、ボイス・コイル・モータを構成する。
【００１７】
図２は、ＨＧＡ１００の構成要素を分解した斜視図である。本実施例では、ＨＧＡ１００は、ヘッド／スライダ１１５、ベース・プレート１０３、ロード・ビーム１０１、ヒンジ１０７、フレキシャ１０９、およびマウント・プレート１０５によって構成されている。マウント・プレート１０５はベース・プレート１０３に溶接されている。マウント・プレート１０５の開口部に硬質ボールを通過させてアクチュエータ・アームにスウェージング加工し、ＨＧＡ１００をアクチュエータ・アセンブリ２１に固定する。
【００１８】
ヒンジ１０７は弾性を備えており、ヘッド／スライダ１１５が正確にトラックの追従動作をしながら磁気ディスク上を浮上できるようにベース・プレート１０３とロード・ビーム１０１を連結してロード・ビーム１０１に対して押付荷重を与える。ロード・ビーム１０１の先端部には、ランプ２３とともにロード／アンロード方式を実現するためのリフト・タブ１１７が形成されている。フレキシャ１０９は、ＨＧＡ１００の先端部からフレキシブル・ケーブル１５との接続位置までクランク状に延在するリード線１１３を先端側で保持しており、ロード・ビーム１０１とベース・プレート１０３に対してレーザ・ビームでスポット溶接されている。リード線１１３はヘッド／スライダ１１５に形成された磁気ヘッドとフレキシブル・ケーブル１５を接続する４本の導体を含んでいる。導体の数は、磁気ヘッドの構成により変わる。
【００１９】
フレキシャ１０９は、ヘッド／スライダ１１５が固定されているフレキシャ・タング１１１がピボット運動またはジンバル運動をすることができるようにロード・ビーム１０１にスポット溶接で固定される。フレキシャ１０９は、配線一体型サスペンション構造として構成されている。配線一体型サスペンションはその製造方法の違いにより、本実施形態にかかるアディティブ・タイプの他に、サブトラクティブ・タイプとＦＰＣタイプがあるが本発明はいずれの方式のサスペンション・アセンブリにも適用することができる。
【００２０】
ここにアディティブ・タイプとは、金属層に積層された絶縁体上に銅箔の配線およびパッドを付加形成する方式で、サブトラクティブ・タイプとは金属層に積層された絶縁体上にシート状に形成されている銅箔から配線およびパッドをエッチングすることにより形成する方式で、ＦＰＣタイプとは銅箔の配線およびパッドが形成されたフレキシブル基板（ＦＰＣ）を金属層に接着する方式である。
【００２１】
フレキシャ１０９は、ロード・ビーム１０１側から金属層、絶縁層、銅層、およびカバー層の積層構造になっており、フォトリソグラフィック・エッチング工程、蒸着工程などの微細加工技術を用いて製作される。金属層はフレキシャ１０９のバネ構造を構成し、材料として３００シリーズのステンレス鋼の中から、板厚が０．０２ｍｍのＳＵＳ３０４を選択している。金属層は、プレス加工で外形を成形し、スタンピングにより所望の凹凸を付加して形成することができる。
【００２２】
絶縁層はポリイミドのような誘電体材料で金属層の上に積層され、絶縁層の上には銅層が積層される。絶縁層は、銅層のパターンに整合するように金属層に積層される。銅層は、ヘッドに対して電気的信号の通路を提供する。なお、絶縁層の一部は、スライダを取り付ける際のスライダの姿勢制御のためにフレキシャ・タング１１１に形成される。銅層の上には保護のために、ポリイミドのカバー層を積層する。リード線１１３は、金属層、絶縁層、銅層、およびカバー層で構成されている。ＨＧＡ１００からヘッド／スライダ１１５を取り除いた構造体をサスペンション・アセンブリという。
【００２３】
図３は、ＨＧＡ１００からヘッド／スライダ１１５を取り除いたサスペンション・アセンブリの先端部をヘッド／スライダの取付面側から見た平面図である。ロード・ビーム１０１は溶接スポット１２１ｃ、１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆでヒンジ１０７にスポット溶接されている。フレキシャ１０９は、溶接スポット１２１ａ、１２１ｂでロード・ビームにスポット溶接されている。ＨＧＡ１００のリフト・タブ１１７側を先端部側といい、マウント・プレート１０５側を基端部側ということにする。
【００２４】
フレキシャ１０９は、溶接スポット１２１ａより先端部側はロード・ビーム１０１に固定されておらず、ヘッド／スライダ１１５の取付面であるフレキシャ・タング１１１がロード・ビーム１０１に形成されたディンプルを中心にしてピッチ方向とロール方向にピボット運動またはジンバル運動ができるように構成されている。ディンプルは、フレキシャ・タング１１１の裏面のほぼ中心に当たるようにロード・ビームに形成される。
【００２５】
リード線１１３は、リード線１４１ａ、１４１ｂに分離してＨＧＡ１００の基端部側から先端部側に延びている。フレキシャ１０９の金属層の上には、リード線１４１ａ、１４１ｂのパターンに沿って絶縁層が形成され、絶縁層の上に銅層１３３ａ、１３３ｂ、１３３ｃ、１３３ｄが積層されている。さらに銅層の上には、溶接スポット１２１ａの近辺までカバー層が積層されている。それぞれの銅層の先端にはヘッド／スライダ１１５の側面に形成されたスライダ・パッドに接続されるリード・パッドが形成されている。フレキシャ１０９の金属層には、バランス調整のための貫通孔１３９と、組み立て時に位置合わせのために使用する貫通孔１３１が形成されている。
【００２６】
フレキシャ１０９の金属層には、検査マーク１５１が形成されている。検査マーク１５１は、フレキシャ１０９またはロード・ビーム１０１に生じた打痕の限度寸法に等しい大きさを提供する特徴部を備えており、顕微鏡で目視で視認できる外形的特徴として構成される。打痕は、フレキシャ１０９の表面に対して局部的に力が加えられたことにより表面が陥没し、場合によっては対応する裏面が隆起するような傷の一種である。打痕が形成されたＨＧＡの表面を観察したとき、打痕の存在を陥没部の周囲に形成された閉曲線の輪郭で認識することができる。
【００２７】
外観目視検査では、打痕の輪郭を形成する閉曲線上に任意に設定した２点間の最も長い距離が、限度寸法を超えた場合に不合格にしている。したがって、検査マーク１５１がその限度寸法に等しい大きさの特徴部を含むように構成しておくと、検査員は検査マーク１５１の特徴部の大きさから認識した限度寸法と打痕を対比して容易に合否の判定をすることができる。検査マーク１５１は、たとえば直径を限度寸法にした円形、長軸または短軸を限度寸法にした楕円、または一辺を限度寸法にした長方形などをフレキシャ１０９の金属層に加工することで形成することができる。検査マーク１５１の特徴部は、金属層の表面に形成されたさまざまな形状の輪郭上に設定した２点間の距離として構成する。
【００２８】
検査マーク１５１は、フレキシャ１０９の金属層に対して所定のスポット径のレーザ・ビームを照射したり、フォトエッチングまたはハーフ・エッチングで化学的に処理したりして、フレキシャ１０９の表面を陥没させまたはリセスしたときの輪郭として形成することができる。また、検査マーク１５１は、フレキシャ１０９の金属層をプレス加工で打ち抜く際に同時に打ち抜いた貫通孔の縁として形成することができる。
【００２９】
打痕検査に利用する検査マークは、また図４（Ｃ）に示すように、貫通孔１３９の縁の一部を切除して、限度寸法Ｘを提供する特徴部を形成した検査マーク１７１として構成することもできる。検査マーク１７１は、フレキシャ１０９の金属層をプレス加工する際に形成する。検査マーク１７１は、貫通孔１３９以外のフレキシャの縁部に形成してもよい。本実施の形態では限度寸法を４０μｍ〜６０μｍ程度に設定している。検査マーク１５１を、楕円や長方形で構成すれば、それぞれ長軸と短軸および長辺と短辺というように１つの検査マークに２つの限度寸法に等しい大きさを提供する特徴部を含ませることができる。
【００３０】
限度寸法を２つ以上用意すれば、ＨＧＡにおける打痕の発生部位に応じて異なる限度寸法を設定してよりきめの細かい外観目視検査をすることができる。１つの検査マークに２つ以上の限度寸法の特徴部を形成することに代えて異なる限度寸法に対応する特徴部を有する検査マークを２つ以上用意してもよい。ＨＧＡでは打痕の限度寸法が、貫通孔１３９、１３１の大きさに比べて１０分の１以下になっており、貫通孔１３９、１３１は検査マークとして使用することができない。
【００３１】
また、フレキシャ１０９の金属層には、検査マーク１５３が形成されている。検査マーク１５３は、幅が限度寸法に等しくなるように形成されたラインで、ＨＧＡの表面に生じたスクラッチ（擦り傷）を判定する。スクラッチは、ＨＧＡの表面にＨＧＡの組み立てツールなどが接触して浅く陥没した状態となる傷の一種である。スクラッチは、その幅がＨＧＡの特性に影響を与えるので、外観目視検査では、各スクラッチの幅の最大値が限度寸法を超えた場合に不合格にしている。
【００３２】
検査マーク１５３は、限度寸法の幅で形成されたラインとして構成されている。検査マーク１５３は検査マーク１５１と同様に、フレキシャ１０９の金属層に対して所定のスポット径のレーザ・ビームを照射したり、フォトエッチングで化学的に処理したりして、フレキシャ１０９の表面を陥没させた輪郭として形成することができる。
【００３３】
打痕検査用の検査マーク１５１およびスクラッチ検査用の検査マーク１５３は、フレキシャ１０９の金属層またはロード・ビーム１０１に形成する。打痕検査用の検査マークをフレキシャ１０９に形成する場合は、フレキシャ１０９の機能を妨げる恐れのない位置を選定することが望ましい。溶接スポット１２１ａより先端部側は、フレキシャ１０９をロード・ビーム１０１に固定しないで、フレキシャ１０９が良好なジンバル運動をするように精密に設計されているので、溶接スポット１２１ａより基端部側に形成することが望ましい。また検査マークはＨＧＡのバランスに影響を与えないように、ＨＧＡの長手方向の中心線に対して対象になるように形成することが望ましい。
【００３４】
つぎに、ヘッド／スライダ１１５の取付位置を外観目視検査で判定するための取付位置検査用の検査マークについて説明する。フレキシャ・タング１１１には、五カ所にポリイミドの絶縁層１３５が付着しており、その上に長方形１６５で画定されるヘッド／スライダ１１５の正規の取付位置が点線で示されている。フレキシャ・タング１１１の基端部側には、フレキシャ・タングの変位を制限するリミッタ１３７が形成されている。絶縁層１３５は、ヘッド／スライダ１１５の取付姿勢を調整するために利用される。ヘッド／スライダ１１５は、治具にサスペンション・アセンブリを固定して接着剤でフレキシャ・タングに固定されるが、治具の調整不良や治具に対するサスペンション・アセンブリの取付不良などで長方形１６５の位置からずれて固定される場合がある。
【００３５】
本実施の形態では、ヘッド／スライダ１１５の取付位置を検査するために、サスペンション・アセンブリに取付位置検査用の検査マーク１５５、１５７、１５９、１６１を設けている。検査マーク１５５、１５７、１５９は、フレキシャ１０９にレーザ・ビームを照射して形成されたラインである。検査マーク１６１は、ロード・ビーム１０１にレーザ・ビームを照射して形成されたラインである。ラインの太さは検査に利用しないので、フレキシャの機能を妨げないようにできるだけ細くし、かつ浅くすることが望ましい。
【００３６】
検査マーク１５５、１５７、１５９、１６１の作用について図４（Ａ）を参照して説明する。ヘッド／スライダ１１５の取付位置１６５は、短辺１６６ｂ、１６６ｄと長辺１６６ａ、１６６ｃの長方形で示されている。検査マーク１５７、１６１、１５９、１５５は、それぞれ各辺１６６a、１６６ｂ、１６６ｃ、１６６ｄに平行で、かつ長方形１６５の外側に形成されている。各辺とそれらに対応する検査マークとの間隔Ｙは、ヘッド／スライダ１１５の取付公差に相当する。
【００３７】
本実施の形態では、取付公差Ｙは、２０〜３０μｍに設定している。このように正規の取付位置である長方形１６５の周囲に検査マーク１５７、１６１、１５９、１５５を形成しておくと、ヘッド／スライダ１１５を取り付けた後にいずれの検査マークも確認できれば合格で、いずれかの検査マークがヘッド／スライダに隠れて目視確認できない場合には不合格と判定することができる。したがって、検査マーク１５７、１６１、１５９、１５５は、ヘッド／スライダの正規の取付位置から取付公差だけ離れた位置をラインによる特徴部として提供する。ラインの幅が太い場合は、ラインの長手方向のいずれかの縁またはラインの幅の中心を特徴部にすることができる。
【００３８】
図４（Ｂ）は、ヘッド／スライダ１１５の取付位置を検査するための検査マークの他の例である。図４（Ｂ）は図４（Ａ）に比べて、検査マーク１５５に代えて検査マーク１６９を形成し、検査マーク１５９に代えて検査マーク１６７を形成した点だけが異なる。検査マーク１６７、１６９は長方形１６５の内側に形成されている。検査マーク１６７と長辺１６６ａの間隔および検査マーク１６９と短辺１６６ｂの間隔は取付公差Ｙになっている。
【００３９】
このように長方形１６５の周囲に検査マーク１５７、１６１、１６７、１６９を形成しておくと、ヘッド／スライダ１１５を取り付けた後に検査マーク１５７、１６１が目視確認でき、かつ、検査マーク１６７、１６９が目視確認できなければ合格で、検査マークのそれ以外の視認パターンでは不合格と判定することができる。
【００４０】
つぎに、図５を参照してヘッド／スライダの取付位置を検査する検査マークの他の実施例を説明する。図５（Ａ）は、ＨＧＡ２００をヘッド／スライダの取付面側から見た平面図である。図５（Ａ）には、ロード・ビーム２０１、リフト・タブ２１７、フレキシャ・タング２１１、リード線２４１ａ、２４１ｂおよびヘッド／スライダの正規の取付位置を示す長方形２６５が示されている。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のフレキシャ・タング部分を拡大した図である。
【００４１】
図５（Ｂ）には、検査マーク２５５ａ、２５５ｂ、２５７ａ、２５７ｂとしてフレキシャ・タング２１１の縁に形成された半円形の切除部が示されている。図６に示すように、検査マーク２５５ａは長方形２６５の長辺を延長したライン２５６ａが切除部の縁に設定した基準点２５８ａ、２５８ｂ間の中心を通過する。ライン２５６ａから基準点２５８ａ、２５８ｂまでの距離は、取付公差Ｙに設定している。検査マーク２５５ｂも同様に長方形２６５の長辺を延長したライン２５６ｂが切除部の縁に設定した２つの基準点の中心を通過し、各基準点とライン２５６ｂの距離は取付公差に設定されている。検査マーク２５７ａ、２５７ｂは、長方形の短辺２６６ｂが切除部の縁に設定した２つの基準点の中心を通過し、各基準点と短辺２６６ｂの距離は取付公差に設定されている。
【００４２】
このような検査マークを使用すると、ヘッド／スライダをフレキシャ・タング２１１に固定した後に、検査マーク２５５ａまたは２５５ｂの縁に設定した基準点とヘッド／スライダの長手方向の側面の位置を対比することでヘッド／スライダの短手方向における取付位置を判定することができる。また、検査マーク２５７ａまたは２５７ｂの縁に設定した基準点とヘッド／スライダの短手方向の側面の位置を対比することでヘッド／スライダの長手方向における取付位置を判定することができる。
【００４３】
切除部の縁に設定した基準点はヘッド／スライダの正規の取付位置から取付公差だけ離れた位置を提供する特徴部となる。このような特徴部を提供する検査マークを切除部として形成するときは、その形状は半円形に限定する必要はなく、長方形、三角形、また台形などの他の形状を選定することもできる。さらに切除部としないで、貫通開口またはリセス部としてそれらの縁に基準点を設けて構成することもできる。
【００４４】
これまで本発明について図面に示した特定の実施の形態をもって説明してきたが、本発明は図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の効果を奏する限り、これまで知られたいかなる構成であっても採用することができることはいうまでもないことである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】ＨＧＡの分解斜視図である。
【図３】サスペンション・アセンブリの先端部をヘッド／スライダの取付面側から見た図である。
【図４】検査マークの詳細を説明する図である。
【図５】取付位置検査用の検査マークの他の例を説明する図である。
【図６】検査マークの詳細を説明する図である。
【符号の説明】
【００４６】
１００、２００  ヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）
１０１、２０１  ロード・ビーム
１０３  ベース・プレート
１０５  マウント・プレート
１０７  ヒンジ
１０９  フレキシャ
１１３、１４１ａ、１４１ｂ、２４１ａ、２４１ｂ  リード線
１１５  ヘッド／スライダ
１１７、２１７  リフト・タブ
１５１、１５３、１５５、１５７、１５９、１６１、１６７、１６９、１７１、２５５ａ、２５５ｂ、２５７ａ、２５７ｂ  検査マーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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