(57)【要約】      （修正有）【課題】表面平滑性に優れ、微細なパターンまで解像可能で、更に、回復率に優れ、フォトスペーサーのようなパターンを形成しうる感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】バインダー樹脂、光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物において、バインダー樹脂が下記Ａ１）、Ａ２）およびＡ４）を共重合させて共重合体１を得、この共重合体１とＡ３)とをエポキシ基の部位で反応させて共重合体２を得て、さらに共重合体２とＡ５）とを水酸基の部位に反応させて得られる共重合体である感光性樹脂組成物。Ａ１）；トリシクロデカンおよびジシクロペンタジエンから選ばれる骨格と、不飽和結合とを有する化合物、Ａ２）；Ａ１）およびＡ４）と共重合可能な化合物、Ａ３）；不飽和結合を有するカルボン酸、Ａ４）；不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物、Ａ５）；酸無水物【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
バインダー樹脂（Ａ）、光重合性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｄ）を含有する感光性樹脂組成物において、
バインダー樹脂（Ａ）が、下記（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）を共重合させて共重合体１を得て、得られた共重合体１と(Ａ３)とを共重合体１の（Ａ４）に由来するエポキシ基の部位で反応させて共重合体２を得て、さらに得られた共重合体２と（Ａ５）とを共重合体１の（Ａ４）と（Ａ３）の反応により生成した水酸基の部位に反応させて得られる共重合体であり、光重合開始剤（Ｃ）が、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、オキシム系化合物およびトリアジン系化合物からなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
（Ａ１）；一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも１種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物
（Ａ２）；（Ａ１）および（Ａ４）と共重合可能な不飽和結合を有する化合物
（Ａ３）；不飽和結合を有するカルボン酸
（Ａ４）；一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
（Ａ５）；酸無水物
ただし、（Ａ１）〜（Ａ５）は、それぞれ、互いに同一ではない。
【請求項２】
（Ａ１）が、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレートおよび、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
（Ａ２）が、スチレン、ベンジル（メタ）アクリレート、Ｎ置換マレイミドからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物である請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ａ３）が、アクリル酸およびメタクリル酸からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物である請求項１〜３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ａ４）が、アクリル酸グリシジルおよびメタクリル酸グリシジルからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物である請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
（Ａ５）が、マレイン酸無水物、コハク酸無水物、イタコン酸無水物、フタル酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸無水物、メチルテトラヒドロフタル酸無水物およびトリメリット酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物である請求項１〜５のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
（Ａ４）と（Ａ３）とが反応して生成した構成単位の比率が、全構成単位に対して、３０〜６０モル％であるバインダー樹脂（Ａ）であることを特徴とする請求項１の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成される硬化樹脂パターン。
【請求項９】
フォトスペーサーである請求項８に記載の硬化樹脂パターン。
【請求項１０】
絶縁膜である請求項８に記載の硬化樹脂パターン。
【請求項１１】
オーバーコートである請求項８に記載の硬化樹脂パターン。
【請求項１２】
液晶配向制御用の突起である請求項８に記載の硬化樹脂パターン。
【請求項１３】
請求項１〜７のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成される、硬化樹脂パターン、フォトスペーサー、絶縁膜、オーバーコートおよび液晶配向制御用の突起からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造物を含んでなるカラーフィルタ。
請求項８〜１３に記載の硬化樹脂パターンを含んでなるカラーフィルタ。
【請求項１４】
請求項１３に記載のカラーフィルタを具備する液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置やタッチパネルなど、表示装置を構成するカラーフィルタとアレイ基板との間には、両基板の間隔を保持するためにスペーサーが設けられている。このスペーサーとしては、従来、ガラスビーズ、プラスチックビーズ等の球形粒子が使用されている。
しかしながら、このような球形粒子を使用した場合、ガラス基板上に無秩序に散布されるため、ＴＦＴ素子や電極などに損傷を与えたり、透過画素部内に存在すると、入射光の散乱により、液晶表示素子のコントラストが低下したりすることがあった。そこで、球形粒子を散布する代わりに、感光性樹脂組成物を用いてスペーサーを形成することが提案されている。この方法により、任意の場所にスペーサーを形成することができるので、前述の問題点を解決することができる。このような感光性樹脂組成物としては、従来、カルボキシル基とエポキシ基とを有するアクリル共重合体からなるバインダー樹脂を含有するスペーサー形成用組成物が知られており、現像後のポストベーク時にエポキシ基とカルボキシル基との間で架橋し、耐溶剤性、耐熱性に優れたスペーサーパターンを得ることができる（特許文献１）。
また、スペーサー形成用組成物として、（メタ）アクリロイル基とカルボキシル基を有する感放射線硬化性樹脂を含有するスペーサー形成用組成物が知られている（特許文献２）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１３３６００号公報  ２頁左欄２行−２頁左欄９行
【特許文献２】特開２００２−２０４４２号公報  ２頁左欄２行−３頁左欄６行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された組成物によって形成されるスペーサーは形成後の性能は良好であるものの、組成物を長期に渡って保存すると、増粘やゲル化が生じてしまうということを本発明者は見いだした。
また、特許文献２に記載された感放射線硬化樹脂においては、（メタ）アクリロイル基を導入する際に、イソシアナート化合物が用いられており、得られる感放射線硬化樹脂、さらにはそれを使用したスペーサー形成用組成物を取り扱う際にはイソシアナート化合物に起因する臭気の問題があることも本発明者は見いだした。
【０００５】
本発明の目的は、貯蔵安定性が良好であり、臭気の問題がない感光性樹脂組成物を提供するとともに本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成した硬化樹脂パターンの、耐溶剤性が良好で、表面平滑性に優れ、粒状異物等の塗布欠陥が発生せず、微細なパターンまで解像可能であり、さらに、回復率に優れたフォトスペーサーのようなパターンを形成しうる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、前記の課題を解決しうる新たな手段について鋭意検討の結果、特定の樹脂と特定の光重合開始剤とを含む感光性樹脂組成物が前述の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、バインダー樹脂（Ａ）、光重合性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）および溶剤（Ｄ）を含有する感光性樹脂組成物において、
バインダー樹脂（Ａ）が、下記（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）を共重合させて共重合体１を得て、得られた共重合体１と(Ａ３)とを共重合体１の（Ａ４）に由来するエポキシ基の部位で反応させて共重合体２を得て、さらに得られた共重合体２と（Ａ５）とを共重合体１の（Ａ４）と（Ａ３）の反応により生成した水酸基の部位に反応させて得られる共重合体であり、光重合開始剤（Ｃ）が、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、オキシム系化合物およびトリアジン系化合物からなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物を提供する。
（Ａ１）；一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも１種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物
（Ａ２）；（Ａ１）および（Ａ４）と共重合可能な不飽和結合を有する化合物
（Ａ３）；不飽和結合を有するカルボン酸
（Ａ４）；一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
（Ａ５）；酸無水物
ただし、（Ａ１）〜（Ａ５）は、それぞれ、同一ではない。
【０００７】
また、本発明は、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成されるフォトスペーサー、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成される絶縁膜、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成されるオーバーコート、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成される、パターン、フォトスペーサー、絶縁膜、オーバーコートおよび液晶配向制御用の突起からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造物を含んでなるカラーフィルタならびに前記のカラーフィルタを具備する表示装置を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の感光性樹脂組成物は、貯蔵安定性が良好であり、臭気の問題がなく、形成された塗膜やパターンは、耐溶剤性が良好で、表面平滑性が優れ、粒状異物等の塗布欠陥が発生せず、微細なパターンまで解像可能であり、さらに、フォトスペーサーのようなパターンを残すことに適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１０】
本発明の感光性樹脂組成物は、バインダー樹脂（Ａ）、光重合性化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）、さらに任意にその他の添加剤（Ｅ）が、溶剤（Ｄ）に溶解または分散されてなる。
【００１１】
バインダー樹脂（Ａ）は、光や熱の作用による反応性およびアルカリ溶解性を有するものである。本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂（Ａ）は、下記下記（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）を共重合させて共重合体１を得て、得られた共重合体１と(Ａ３)とを共重合体１の（Ａ４）に由来するエポキシ基の部位で反応させて共重合体２を得て、さらに得られた共重合体２と（Ａ５）とを共重合体１の（Ａ４）と（Ａ３）の反応により生成した水酸基の部位に反応させて得られる共重合体である。
（Ａ１）；一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも１種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物
（Ａ２）；（Ａ１）および（Ａ４）と共重合可能な不飽和結合を有する化合物
（Ａ３）；不飽和結合を有するカルボン酸
（Ａ４）；一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
（Ａ５）；酸無水物
ただし、（Ａ１）〜（Ａ５）は、それぞれ、互いに同一ではない。
【００１２】
一分子中に不飽和結合とトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも１種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物（Ａ１）としては、具体的には、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートが挙げられる。これらは、それぞれ単独で、または両者を組合せて用いることができる。ここで、本明細書中における（メタ）アクリレートの記載は、アクリレートおよび／またはメタクリレートを表す。
【００１３】
（Ａ１）および（Ａ４）と共重合可能な不飽和結合を有する化合物（Ａ２）としては、具体的には、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートおよびアミノエチル（メタ）アクリレートのような不飽和カルボン酸の無置換または置換アルキルエステル；
シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、メチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘプチル（メタ）アクリレート、シクロオクチル（メタ）アクリレート、メンチル（メタ）アクリレート、シクロペンテニル（メタ）アクリレート、シクロヘキセニル（メタ）アクリレート、シクロヘプテニル（メタ）アクリレート、シクロオクテニル（メタ）アクリレート、メンタジエニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ピナニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、ノルボルネニル（メタ）アクリレート、ピネニル（メタ）アクリレートのような不飽和カルボン酸の脂環式基を含むエステル化合物；
オリゴエチレングリコールモノアルキル（メタ）アクリレートのようなグリコール類のモノ飽和カルボン酸エステル化合物；
ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシ（メタ）アクリレートのような不飽和カルボン酸の芳香環を含むエステル化合物；
スチレン、α−メチルスチレン、α−フェニルスチレンおよびビニルトルエンのような芳香族ビニル化合物；
酢酸ビニルおよびプロピオン酸ビニルのようなカルボン酸ビニルエステル；
（メタ）アクリロニトリルおよびα−クロロアクリロニトリルのようなシアン化ビニル化合物；
Ｎ−シクロヘキシルマレイミドやＮ−フェニルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミドのようなＮ−置換マレイミド化合物などが挙げられる。これらは、それぞれ単独で、または組合せて用いることができる。
【００１４】
不飽和結合を有するカルボン酸（Ａ３）としては、具体的には、アクリル酸およびメタクリル酸が挙げられる。アクリル酸およびメタクリル酸は、それぞれ単独で、または両者を組合せて用いることができる。また、これらのアクリル酸やメタクリル酸に加えて、その他の不飽和基を有するカルボン酸を用いることができる。その他の不飽和基を有するカルボン酸としては、具体的に、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などが挙げられる。また、α−（ヒドロキシメチル）アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基およびカルボキシル基を含有する不飽和基を有するカルボン酸を併用することもできる。
【００１５】
一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物（Ａ４）としては、（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸−β−メチルグリシジル、（メタ）アクリル酸−β−エチルグリシジル、（メタ）アクリル酸−β−プロピルグリシジル、α−エチルアクリル酸−β−メチルグリシジル、（メタ）アクリル酸−３−メチル−３,４−エポキシブチル、（メタ）アクリル酸−３−エチル−３,４−エポキシブチル、（メタ）アクリル酸−４−メチル−４,５−エポキシペンチル、（メタ）アクリル酸−５−メチル−５,６−エポキシヘキシル、グリシジルビニルエーテルなどが挙げられ、好ましくは（メタ）アクリル酸グリシジルが挙げられる。
【００１６】
酸無水物（Ａ５）は、分子中に酸無水物基を１個有する化合物であり、具体的には、マレイン酸無水物、コハク酸無水物、イタコン酸無水物、フタル酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸無水物、メチルテトラヒドロフタル酸無水物、トリメリット酸無水物などが挙げられ、好ましくはテトラヒドロフタル酸無水物が挙げられる。
【００１７】
本発明に使用されるバインダー樹脂（Ａ）は、（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）を共重合させて共重合体１を得て、得られた共重合体１と(Ａ３)とを反応させて共重合体２を得て、さらに得られた共重合体２と（Ａ５）とを反応させて得られる共重合体である。
【００１８】
まず、共重合体１を得るために、（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）を共重合させる。この共重合時は、通常の条件下で行なわれる。例えば、撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）の合計量に対して、質量基準で、０．５〜２０倍量の溶剤を導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素に置換する。その後、溶剤を４０〜１４０℃に昇温した後、（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）の所定量、（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）の合計量に対して、質量基準で、０〜２０倍量の溶剤、およびアゾビスイソブチロニトリルやベンゾイルパーオキサイドなどの重合開始剤を、（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）の合計モル数に対して、０．１〜１０モル％添加した溶液（室温または加熱下にて撹拌溶解）を滴下ロートから０．１〜８時間かけて前記のフラスコに滴下し、さらに４０〜１４０℃で１〜１０時間撹拌する。
なお、上記の工程において、重合開始剤の一部または全量をフラスコ側に仕込んでもよいし、（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）の一部または全量をフラスコ側に仕込んでもよい。また、分子量や分子量分布を制御するために、α−メチルスチレンダイマーやメルカプト化合物を連鎖移動剤として使用してもよい。α−メチルスチレンダイマーやメルカプト化合物の使用量は、（Ａ１）〜（Ａ３）の合計量に対して、質量基準で、０．００５〜５％である。なお、上記した重合条件は、製造設備や重合による発熱量等などを考慮し、仕込み方法や反応温度を適宜調整してもよい。
【００１９】
それぞれから導かれる構成成分の比率としては、前記の共重合体１を構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
【００２０】
（Ａ１）から導かれる構成単位；２〜４０モル％
（Ａ２）から導かれる構成単位；２〜９５モル％
（Ａ４）から導かれる構成単位；３〜６５モル％
【００２１】
また、前記の構成成分の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
【００２２】
（Ａ１）から導かれる構成単位；５〜３５モル％
（Ａ２）から導かれる構成単位；５〜８０モル％
（Ａ４）から導かれる構成単位；１５〜６０モル％
【００２３】
前記の構成比率が、上記の範囲にあると、可とう性および耐熱性のバランスが良好であり、好ましい幹ポリマーが得られる。
【００２４】
次に、前記の共重合体１に（Ａ３）を付加してバインダー樹脂（Ａ）に光／熱硬化性を付与する。
【００２５】
共重合体１と（Ａ３）との反応は、例えば、特開２００１−８９５３３号公報に記載の条件で行われることができる。具体的には、フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、前記共重合体１の（Ａ４）から導かれる構成単位に対して、モル分率で、５〜１００モル％の（Ａ３）、カルボキシル基とエポキシ基の反応触媒として、例えば、トリスジメチルアミノメチルフェノールを（Ａ１）〜（Ａ４）の合計量に対して、質量基準で、０．０１〜５％、および重合禁止剤として、例えば、ハイドロキノンを（Ａ１）〜（Ａ４）の合計量に対して、質量基準で、０．００１〜５％をフラスコ内に入れて、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応することにより、前記の共重合体１と（Ａ３）とを反応させることができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等などを考慮し、仕込み方法や反応温度を適宜調整してもよい。
【００２６】
（Ａ３）の付加量は、（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ４）を共重合させて得られた樹脂中のエポキシ基（Ａ４成分に由来）に対して、５〜１００モル％、好ましくは１０〜９５モル％である。
（Ａ４）の組成比が上記範囲内にあると、十分な光硬化性や熱硬化性が得られ、信頼性に優れるので好ましい。
【００２７】
次に、前記共重合体２と（Ａ５）とを反応させてバインダー樹脂（Ａ）にアルカリ溶解性を付与する。
【００２８】
共重合体２と（Ａ５）との反応は、例えば、特開２００１−８９５３３号公報に記載の条件で行われることができる。具体的には、前記共重合体２の（Ａ３）から導かれる構成単位に対して、モル分率で、５〜１００モル％の（Ａ５）、反応触媒として、例えば、トリエチルアミンを（Ａ１）〜（Ａ４）の合計量に対して、質量基準で、０．０１〜５％をフラスコ内に入れて、６０〜１３０℃で、１〜１０時間反応することにより、前記の共重合体２と（Ａ５）とを反応させることができる。なお、重合条件と同様に、製造設備や重合による発熱量等などを考慮し、仕込み方法や反応温度を適宜調整してもよい。
【００２９】
（Ａ５）の付加量は、共重合体２のアルコール性水酸基のモル数（Ａ３成分に由来）に対して、５〜１００モル％、好ましくは１０〜９５モル％である。
【００３０】
前記のバインダー樹脂（Ａ）のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは３，０００〜１００，０００であり、より好ましくは５，０００〜３０，０００である。バインダー樹脂（Ａ）の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好であり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に未露光部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
【００３１】
バインダー樹脂（Ａ）の分子量分布［重量平均分子量（Ｍｗ）／数平均分子量（Ｍｎ）］は、好ましくは１．５〜６．０であり、より好ましくは１．８〜４．０である。分子量分布が、前記の範囲にあると、現像性に優れるので好ましい。
【００３２】
本発明の感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂（Ａ）の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、通常、５〜９０質量％、好ましくは１０〜７０質量％である。バインダー樹脂（Ａ）の含有量が、前記の範囲にあると、現像液への溶解性が十分であり、未露光部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、また現像時に露光部の膜減りが生じにくく、未露光部分の抜け性が良好な傾向にあり、好ましい。
【００３３】
なお、本発明のように、バインダー樹脂の側鎖に（メタ）アクリル基を導入したバインダー樹脂としては、本発明のバインダー樹脂（Ａ）の他に、カルボキシル基を有するバインダー樹脂と、一分子中にエポキシ基と（メタ）アクリル基とを含有する化合物とを反応させたタイプがある。このタイプのものは、側鎖の（メタ）アクリル基含有量を高くするためには、カルボキシル基比率が高いバインダー樹脂を使用しなければならない。ところが、カルボキシル基比率が高いバインダー樹脂は、溶液粘度が高く、合成上および取り扱いにおいて、問題がある。本発明は、カルボキシル基を含有しない幹ポリマーを使用するので、前述のような問題点はない。
【００３４】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物（Ｂ）は、単官能モノマーの他、２官能、その他の多官能モノマーであることができる。
単官能モノマーの具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
また２官能モノマーの具体例としては、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロキシエチル）エーテル、３−メチルペンタンジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
その他の多官能モノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートと酸無水物との反応物などが挙げられる。なかでも、２官能以上の多官能モノマーが好ましく用いられる。
光重合性化合物（Ｂ）の含有量は、感光性樹脂組成物中のバインダー樹脂（Ａ）および光重合性化合物（Ｂ）の合計１００質量部に対して、好ましくは１〜７０質量部、より好ましくは５〜６０質量部である。光重合性化合物（Ｂ）の含有量が、前記の範囲にあると、組成物を用いて形成された構造物の強度や平滑性、信頼性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００３５】
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤（Ｃ）としては、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、オキシム系化合物、トリアジン系化合物、またはこれらの混合物が用いられる。前記の光重合開始剤と、光重合開始助剤（Ｃ−１）とを併用することで、感光性樹脂組成物は更に高感度となり、これを用いてパターンを形成する際の生産性が向上するので、好ましい。しかし、光重合開始助剤（Ｃ−１）の吸収波長が光重合開始剤（Ｃ）の吸収波長よりも長波長側にある場合、形成した膜の透過率が低くなるので、本発明の効果を損なわない程度であれば使用することができる。
【００３６】
前記のアセトフェノン系化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、アセトフェノン系としては、具体的には、２−（２−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−メチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−エチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−プロピルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２、３−ジメチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２、４−ジメチルベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−クロロベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（３−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メチル−４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−メチル−４−ブロモベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−（２−ブロモ−４−メトキシベンジル）−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられる。
【００３７】
前記のビイミダゾール化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール（例えば、特開平６−７５３７２号公報、特開平６−７５３７３号公報など参照。）、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ジアルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール（例えば、特公昭４８−３８４０３号公報、特開昭６２−１７４２０４号公報など参照。）、４，４’５，５’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物（例えば、特開平７−１０９１３号公報など参照。）などが挙げられ、好ましくは２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
【００３８】
前記のオキシム化合物としては、Ｏ−エトキシカルボニル−α−オキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、式（ａ）で表される化合物、式（ｂ）で表される化合物などが挙げられる。
【００３９】
2006023716.tif 000002
【００４０】
前記のトリアジン系化合物としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−(４−メトキシスチリル)−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００４１】
また、本発明の効果を損なわない程度であれば、この分野で通常用いられている光重合開始剤等をさらに併用することができ、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、アントラセン系化合物などの光重合開始剤が挙げられる。
より具体的には以下のような化合物を挙げることができ、これらをそれぞれ単独で、または２種以上組合せて用いることができる。
【００４２】
前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００４３】
前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４４】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００４５】
前記のアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００４６】
その他にも、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などの光重合開始剤を併用することができる。
【００４７】
また、連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤として、特表２００２−５４４２０５号公報に記載されているものを併用することができる。
前記の連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤としては、例えば、下記式（２）〜（７）のものが挙げられる。
【００４８】
2006023716.tif 000003
【００４９】
前記の連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤は、共重合体１の構成成分（Ａ２）として使用することができる。そして、（Ａ２）を用いて得られるバインダー樹脂（Ａ）は、本発明のバインダー樹脂に併用することができる。
【００５０】
また、光重合開始剤に光重合開始助剤（Ｃ−１）を組合せて用いることもできる。光重合開始助剤としては、アミン化合物および下記のカルボン酸化合物が好ましく、アミン化合物は芳香族アミン化合物がより好ましい。しかし、光重合開始助剤（Ｃ−１）の吸収波長が光重合開始剤（Ｃ）の吸収波長よりも長波長側にある場合、形成した膜の透過率が低くなるので、本発明の効果を損なわない程度であれば使用することができる。
光重合開始助剤の具体例としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称；ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンのような芳香族アミン化合物が挙げられる。
前記のカルボン酸化合物としては、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、Ｎ−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、Ｎ−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸などの芳香族ヘテロ酢酸類が挙げられる。
【００５１】
光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、バインダー樹脂（Ａ）および光重合性化合物（Ｂ）の合計１００質量部に対して、好ましくは０．１〜４０質量部、より好ましくは１〜３０質量部である。
また、光重合開始助剤（Ｃ−１）を用いる場合、その含有量は、前記の基準で、好ましくは０．１〜５０質量部、より好ましくは０．１〜４０質量部である。
光重合開始剤（Ｃ）の含有量が前記の範囲にあると、感光性樹脂組成物が高感度となり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成した構造物の強度や、前記の構造物の表面における平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。前記に加えて、光重合開始助剤（Ｃ−１）の量が前記の範囲にあると、得られる感光性樹脂組成物の感度がさらに高くなり、前記の感光性樹脂組成物を用いて形成するパターン基板の生産性が向上する傾向にあり、好ましい。
【００５２】
本発明の感光性樹脂組成物は溶剤（Ｄ）を含む。前記の溶剤（Ｄ）としては、感光性樹脂組成物の分野で用いられている各種の有機溶剤を用いることができる。その具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテルおよびエチレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類；
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテルおよびジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類；
メチルセロソルブアセテートおよびエチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテートおよびメトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
ベンゼン、トルエン、キシレンおよびメシチレンのような芳香族炭化水素類；
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトンおよびシクロヘキサノンなどのケトン類；
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコールおよびグリセリンなどのアルコール類；
３−エトキシプロピオン酸エチルおよび３−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類；
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類などが挙げられる。
上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、好ましくは上記溶剤の中で沸点が１００〜２００℃の有機溶剤が挙げられ、より好ましくは、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、３−エトキシプロピオン酸エチルおよび３−メトキシプロピオン酸メチルのようなエステル類が挙げられ、とりわけ好ましくは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチルが挙げられる。
これらの溶剤（Ｄ）は、それぞれ単独で、または２種類以上混合して用いることができる。
本発明の感光性樹脂組成物における溶剤（Ｄ）の含有量は、感光性樹脂組成物に対して質量分率で、通常、６０〜９０質量％、好ましくは７０〜８５質量％である。溶剤（Ｄ）の含有量が、前記の範囲にあると、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーターとも呼ばれることがある。）、インクジェットなどの塗布装置で塗布したときに塗布性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００５３】
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止材、凝集剤、連鎖移動剤などの添加剤（Ｅ）を併用することもできる。
充填剤としては、ガラス、シリカ、アルミナなどが例示される。
他の高分子化合物としては、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂やポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂などが例示される。
界面活性剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは２種以上を組合せて用いられる。前記の界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（EFKA CHEMICALS社製）、ＰＢ８２１（味の素（株）製）などが挙げられる。
密着促進剤として具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
酸化防止剤として具体的には、２，２’−チオビス（４−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤として具体的には、２−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
また凝集剤として具体的には、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
連鎖移動剤としては、ドデシルメルカプタン、２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテンなどが挙げられる。
【００５４】
本発明の感光性樹脂組成物は、特許文献１に記載されるような樹脂成分を含まないので、貯蔵前の粘度に対する貯蔵後の粘度の変化率が小さく、好ましい。
【００５５】
本発明の感光性樹脂組成物は、前記（Ａ）〜（Ｄ）の各成分、必要に応じて（Ｅ）成分を任意の順序で混合するなどの方法により、容易に調整することができる。
【００５６】
感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして基材（例えば、カラーフィルタや液晶駆動用回路が基板上に形成されたもの。）上または基板（例えば、ガラス、プラスチック、シリコンなど。）上に塗布し、光硬化および現像を行って、パターンを形成することができる。まず、この組成物を基板または先に形成された感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布する。塗布は、スピンコーター、スリットコーター、カーテンフローコーター、バーコーターなど、公知の装置を用いて行われる。
塗布された感光性樹脂組成物層は、プリベークすることにより溶剤などの揮発成分が除去されて、平滑な塗膜を得る。このときの塗膜の厚さは、通常、１〜６μｍ程度である。このようにして得られた塗膜に、目的のパターンを形成するためのマスクを介して紫外線を照射する。この際、露光部全体に均一に平行光線が照射され、かつマスクと基板の正確な位置合わせが行われるよう、マスクアライナーやステッパーなどの装置を使用するのが好ましい。さらにこの後、硬化の終了した塗膜をアルカリ水溶液に接触させて未露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするパターン形状が得られる。現像方法は、液盛り法、ディッピング法、スプレー法等のいずれでも良い。さらに現像時に基板を任意の角度に傾けても良い。現像後、水洗を行い、さらに必要に応じて１５０〜２３０℃で１０〜６０分のポストベークを施すこともできる。
【００５７】
パターニング露光後の現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。
アルカリ性化合物は、無機および有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機および有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独でまたは２種以上組合せて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【００５８】
またアルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤またはカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩または第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また２種以上組合せて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、通常、０．０１〜１０質量％、好ましくは０．０５〜８質量％、より好ましくは０．１〜５質量％である。
【００５９】
以上のような感光性樹脂液の塗布、乾燥、得られる乾燥塗膜へのパターニング露光、そして現像という各操作を経て、基板上あるいはカラーフィルタ基板上に硬化樹脂パターンを形成することができる。
また、この硬化樹脂パターンは、液晶表示装置に使用されるフォトスペーサーとして有用である。また、液晶表示装置のうち、視野角を改善したＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）液晶表示装置は、配向膜の下地に、局所的に構造物を設けて突起が形成され、このような構造物としても本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターンは有用である。また、乾燥塗膜へのパターニング露光の際に、ホール形成用フォトマスクを使用すれば、ホールを形成することができ、層間絶縁膜として有用である。さらに、乾燥塗膜への露光の際に、フォトマスクを使用せず露光および加熱硬化、あるいは加熱硬化のみで樹脂膜を形成することができ、この樹脂膜は、オーバーコートとして有用である。
【００６０】
そして、本発明の感光性樹脂組成物を用いて製造されたカラーフィルタは、面内の膜厚差が小さく、例えば１〜６μｍの膜厚で、面内膜厚差を０．１５μｍ以下、さらには０．０５μｍ以下とすることができる。したがって、こうして得られるカラーフィルタは、平滑性に優れたものであり、また該カラーフィルタを、例えば、特開平１１−２６４９６９号に記載されたように、カラー液晶表示装置に組み込むことにより、優れた品質の液晶表示装置を高い歩留りで製造することができる。
【実施例】
【００６１】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【００６２】
実施例１、実施例２および比較例１に使用したバインダー樹脂の構造等を、式（Ｘ）、式（Ｙ）および表１に示す。表１中、ａ〜ｈは、モル比を示す。
【００６３】
バインダー樹脂には、イソシアナート化合物が用いられていないので、イソシアナート化合物に起因する特有の臭気はなかった。
【００６４】
2006023716.tif 000004
【００６５】
構成単位の説明
ａ：共重合体１における（Ａ１）から導かれる構成単位。
ｂ：共重合体１における（Ａ２）から導かれる構成単位。
ｃ：共重合体１における（Ａ４）から導かれる構成単位に、（Ａ３）を反応させて導かれる構成単位。
ｄ：共重合体２における（Ａ３）に由来する部位に（Ａ５）を反応させて導かれる構成単位。
ｅ：（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ３）を反応させて得られる共重合体の（Ａ１）から導かれる構成単位。
ｆ：（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ３）を反応させて得られる共重合体の（Ａ２）から導かれる構成単位。
ｇ：（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ３）を反応させて得られる共重合体の（Ａ３）から導かれる構成単位。
ｈ：（Ａ１）、（Ａ２）および（Ａ３）を反応させて得られる共重合体の（Ａ３）から導かれる構成単位に、（Ａ４）から導かれる構成単位を反応させた構成単位。
【００６６】
【表１】
2006023716.tif 000005
【００６７】
上記のバインダーポリマーのポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行った。
装置；ＨＬＣ-８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ４０００ＨＸＬ＋ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ（直列接続）
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ
流速；１．０ｍｌ／ｍｉｎ
注入量；５０μｌ
検出器；ＲＩ
測定試料濃度；０．６質量％（溶媒；ＴＨＦ）
校正用標準物質；ＴＳＫ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ  Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）
上記で得られた重量平均分子量および数平均分子量の比を分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）とした。
【００６８】
実施例および比較例の配合組成を表２に示す。表２中の数値は質量部数を表す。
【００６９】
【表２】
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【００７０】
２インチ角のガラス基板（コーニング社製、＃１７３７）を、中性洗剤、水およびアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、感光性樹脂組成物（表２）を、１００ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ）で露光し、現像、水洗、ポストベーク後の膜厚が４．７μｍになるようにスピンコートし、次にクリーンオーブン中、１００℃で３分間プリベークした。冷却後、この感光性樹脂組成物を塗布した基板と石英ガラス製フォトマスク（一辺が２０μｍである正方形とスペース部が１：２の比率のパターンを有する）との間隔を５０μｍとし、超高圧水銀ランプ（ＵＳＨ−２５０Ｄ；ウシオ電機（株）製）を用いて大気雰囲気下、１００ｍＪ／ｃｍ２の露光量（３６５ｎｍ）で光照射した。その後、非イオン系界面活性剤０．１２質量％と水酸化カリウム０．０５質量％を含む水系現像液に上記塗膜を２３℃で撹拌（マグネティクスターラーで３００ｒｐｍ）している現像液中で８０秒間浸漬して現像し、水洗後、２２０℃で３０分間ポストベークを行って、硬化樹脂パターンを得た。
【００７１】
得られた硬化樹脂パターンの下記の項目において測定等を行った結果を表３に示す。
【００７２】
【表３】
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【００７３】
（表３中の説明）
耐ＮＭＰ性；露光工程において、フォトマスクを使用しない以外は、実施例に記載したのと同様の操作を行い、塗膜を作製した。作製した塗膜をＮ−メチルピロリドン（３０℃×３０分）に浸漬し、浸漬前後の膜厚変化を測定した。浸漬前後での膜厚変化（＝（浸漬後の膜厚（μｍ）／浸漬前の膜厚（μｍ））×１００）が１０３％以下の場合を○、１０３％を越えた場合を×とした。
表面平滑性；表面平滑性の基準は、目視により表面を観察して、光沢があると○、白濁（不透明）していると×を表す。
粒状異物；目視により表面を観察して、異物がなければ○、あれば×を表す。
線幅；パターンのボトム部における二辺の寸法を、ＳＥＭ（型番Ｓ−４１００；（株）日立製作所製）を用いて測定し、得られた二辺の平均値を求めた。
形状；パターンの基板等に対して垂直な断面に対する断面を、上記と同じＳＥＭを用いて観察した。
回復率；ダイナミック超微小硬度計（ＤＵＨ−Ｗ２０１Ｓ；（株）島津製作所製）を用いて、総変位量（μｍ）および弾性変位量（μｍ）を、以下の条件で測定し、得られた数値から回復率を算出した。
【００７４】
試験モード    ；負荷−除荷試験
試験力        ；５ｇｆ（ＳＩ単位換算値；０．０４９Ｎ）
負荷速度      ；０．４５ｇｆ／秒（ＳＩ単位換算値；０．００４４Ｎ／秒）
保持時間      ；５秒
圧子          ；円錐台圧子（直径５０ｍｍφ）
回復率（％）＝（弾性変位量（μｍ）／総変位量（μｍ））×１００
【００７５】
保存安定性；２３℃で３ヶ月保管前後の粘度変化率を次式によって求めた。
粘度変化率（％）＝［（保管後粘度）／（保管前粘度）］×１００
【００７６】
本発明のバインダー樹脂を含む実施例１および２の感光性樹脂組成物では、耐ＮＭＰ性、表面平滑性、パターン形状、回復率およびに優れるパターンおよび塗膜が得られることがわかるが、本発明のバインダー樹脂を含まない比較例１の感光性樹脂組成物では、耐ＮＭＰ性に劣る。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明の感光性樹脂組成物は、液晶表示装置におけるフォトスペーサーの形成に用いることができるほか、絶縁膜（コンタクトホール形成）、オーバーコート（平坦化膜）、液晶配向制御用の突起形成材の形成にも用いることができる。さらに、それらの接着に用いられる接着剤として使用しうる。