(57)【要約】【課題】  内部に多くの電荷を持つ帯電物であっても効率良く除電でき、オゾン及び塵埃の発生を抑えて帯電物の酸化及び汚染を防止できる信頼性の高い帯電物の除電装置を提供する。【解決手段】  内部にイオン搬送気体が供給される中空のイオン化チャンバと、イオン搬送気体の一部をイオン化するイオン化源と、チャンバ内面に設置され、単極イオンを生成する背面電極と、この単極イオンを除電対象物に供給する多孔状のフィルタ電極と、除電対象物に対向して配置することにより、除電対象物に電荷を誘導する誘導電極とを備え、背面電極、フィルタ電極及び誘導電極を同一の交流電源に接続して、各電極に同一極性の電圧を印加し、チャンバ内において、背面電極と同極性の単極イオンを生成すると共に、誘導電極により、除電対象物の表面に該誘導電極と逆極性の電荷を誘導し、前記単極イオンを除電対象物の表面に吹き付けることにより、除電対象物の表面に誘導された電荷及び除電対象物上にもともとあった電荷を中和する。【選択図】  図１
2006216453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にイオン搬送気体が供給される中空のイオン化チャンバと、
前記イオン化チャンバ内に供給されたイオン搬送気体の一部をイオン化するイオン化源と、
前記イオン化チャンバ内に設置され、前記イオン化チャンバ内において、正・負いずれか一方の単極イオンを生成する単極イオン生成手段と、
除電対象物に対向して配置することにより、この除電対象物に電荷を誘導する誘導電極と、を備え、
前記単極イオン生成手段及び誘導電極に同一極性の電圧を印加すると共に、所定のサイクルで該印加電圧の極性を正・負交互に切り替えるように構成したことを特徴とする帯電物の除電装置。
【請求項２】
内部にイオン搬送気体が供給される中空のイオン化チャンバと、
前記イオン化チャンバ内に供給されたイオン搬送気体の一部をイオン化するイオン化源と、
前記イオン化チャンバの内面に設置され、前記イオン化チャンバ内に発生したイオンの内、正・負いずれか一方のイオンを吸収することにより単極イオンを生成する背面電極と、
前記イオン化チャンバ内に発生した単極イオンを除電対象物に供給する多孔状のフィルタ電極と、
前記除電対象物に対向して配置することにより、除電対象物に電荷を誘導する誘導電極と、を備え、
前記背面電極、フィルタ電極及び誘導電極を同一の交流電源に接続したことを特徴とする帯電物の除電装置。
【請求項３】
前記誘導電極を多孔板から構成し、
前記イオン化チャンバの下方に、クリーンエア取入口を備えた中空のクリーンエア供給部を設け、その底面部に形成された開口部に前記多孔板からなる誘導電極を取り付けたことを特徴とする請求項２に記載の帯電物の除電装置。
【請求項４】
前記イオン化チャンバに導入されるイオン搬送気体として、空気又は負イオンを形成できる程度に負性ガスを含む非反応性ガスを用い、
前記イオン化源として、軟Ｘ線発生手段あるいは密封放射線同位元素の発生手段を用いたことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の帯電物の除電装置。
【請求項５】
前記イオン化チャンバに導入されるイオン搬送気体として、高純度の非反応性ガスを用い、
前記イオン化源として、紫外線発生手段、あるいはコロナ放電発生手段を用いたことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の帯電物の除電装置。
【請求項６】
イオン化チャンバ内で、該チャンバ内に供給されたイオン搬送気体の一部をイオン化源によりイオン化して正・負イオンを発生させ、
前記イオン化チャンバ内に設置した単極イオン生成手段と、除電対象物に対向して配置された誘導電極に同一極性の電圧を印加し、
イオン化チャンバ内において、前記単極イオン生成手段によりこれと同極性の単極イオンを生成すると共に、
前記誘導電極により、除電対象物の表面に該誘導電極と逆極性の電荷を誘導し、
前記単極イオンを除電対象物の表面に吹き付けることにより、除電対象物の表面に誘導された電荷及び除電対象物上にもともとあった電荷を中和することを特徴とする帯電物の除電方法。
【請求項７】
イオン化チャンバ内で、該チャンバ内に供給されたイオン搬送気体の一部をイオン化源によりイオン化して正・負イオンを発生させ、
前記イオン化チャンバの内面に設置した背面電極と、イオン化チャンバ内に発生したイオンを除電対象物に供給する多孔状のフィルタ電極と、除電対象物に対向して配置される誘導電極とを同一の交流電源に接続して、これらの各電極に同一極性の電圧を印加し、
イオン化チャンバ内において、前記背面電極に該背面電極と逆極性のイオンを吸収させて、該背面電極と同極性の単極イオンを生成すると共に、
前記誘導電極により、除電対象物の表面に該誘導電極と逆極性の電荷を誘導し、
前記単極イオンを除電対象物の表面に吹き付けることにより、除電対象物の表面に誘導された電荷及び除電対象物上にもともとあった電荷を中和することを特徴とする帯電物の除電方法。
【請求項８】
前記誘導電極を多孔板から構成し、
前記イオン化チャンバの下方に、クリーンエア取入口を備えた中空のクリーンエア供給部を設け、その底面部に形成された開口部に前記多孔板からなる誘導電極を取り付け、除電対象物の表面にクリーンエアを吹き付けることを特徴とする請求項７に記載の帯電物の除電方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電物の電荷を中和する除電装置及び除電方法に係り、特に樹脂フィルムを除電対象とした除電技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プリント基板や樹脂フィルムといった部材は、多数の電荷を持って帯電物となる。これらの帯電物は浮遊する微粒子を吸着するだけではなく、静電気放電によって破損する危険もある。そのため、帯電物の電荷を中和する除電作業は不可欠となっている。具体的には、放電電極にて正・負のイオンを発生させ該イオンを帯電物に供給して帯電物上の電荷を中和して除電する方法や、特許文献１のように帯電物表面に光触媒膜を形成した除電用構造体及び除電方法などが提案されている。このうち特許文献１では、光触媒膜から生成される正又は負のイオンによって帯電物表面の電荷を中和している。
【特許文献１】特開平９−９２４８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、帯電物の中には除電作業が極めて困難なものがある。なかでも樹脂フィルムは、表面のみならずフィルム内部にも電荷を持っており、しかも帯電が著しいため、樹脂フィルムの持つ電荷を全て中和することは極めて難しく、樹脂フィルムを十分に除電する技術の開発が待たれていた。
【０００４】
また、従来から用いられている一般的な除電装置においては、イオン生成に伴ってオゾンが生じることがあるが、このオゾンによりフィルムが酸化したり、除電装置からの発塵によりフィルムが汚染するといった問題点があった。
【０００５】
本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、内部に多くの電荷を持つ帯電物であっても効率良く除電が可能であり、しかもオゾン及び塵埃の発生を抑えて帯電物の酸化及び汚染を防止できる信頼性の高い帯電物の除電装置及びその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の帯電物の除電装置は、内部にイオン搬送気体が供給される中空のイオン化チャンバと、前記イオン化チャンバ内に供給されたイオン搬送気体の一部をイオン化するイオン化源と、前記イオン化チャンバ内に設置され、前記イオン化チャンバ内において、正・負いずれか一方の単極イオンを生成する単極イオン生成手段と、除電対象物に対向して配置することにより、この除電対象物に電荷を誘導する誘導電極と、を備え、前記単極イオン生成手段及び誘導電極に同一極性の電圧を印加すると共に、所定のサイクルで該印加電圧の極性を正・負交互に切り替えるように構成したことを特徴とするものである。
【０００７】
請求項６に記載の発明は、請求項１に記載の発明を方法の観点から捉えたものであり、イオン化チャンバ内で、該チャンバ内に供給されたイオン搬送気体の一部をイオン化源によりイオン化して正・負イオンを発生させ、前記イオン化チャンバ内に設置した単極イオン生成手段と、除電対象物に対向して配置された誘導電極に同一極性の電圧を印加し、イオン化チャンバ内において、前記単極イオン生成手段によりこれと同極性の単極イオンを生成すると共に、前記誘導電極により、除電対象物の表面に該誘導電極と逆極性の電荷を誘導し、前記単極イオンを除電対象物の表面に吹き付けることにより、除電対象物の表面に誘導された電荷及び除電対象物上にもともとあった電荷を中和することを特徴とするものである。
【０００８】
上記のような構成を有する請求項１又は請求項６に記載の発明によれば、単極イオン生成手段と誘導電極に同一極性の電圧を印加することにより、イオン化チャンバの内部においては、印加電圧の極性と同一極性のイオン（単極イオン）が生成され、一方、除電対象物と対向する位置にある誘導電極によって、除電対象物の表面には、印加電圧の極性とは逆極性の電荷が誘導される。そして、イオン化チャンバ内に生成された単極イオンを除電対象物の表面に吹き付けることにより、除電対象物の表面に誘導された電荷及び除電対象物上にもともとあった電荷を中和することができる。
【０００９】
請求項２に記載の帯電物の除電装置は、内部にイオン搬送気体が供給される中空のイオン化チャンバと、前記イオン化チャンバ内に供給されたイオン搬送気体の一部をイオン化するイオン化源と、前記イオン化チャンバの内面に設置され、前記イオン化チャンバ内に発生したイオンの内、正・負いずれか一方のイオンを吸収することにより単極イオンを生成する背面電極と、前記イオン化チャンバ内に発生した単極イオンを除電対象物に供給する多孔状のフィルタ電極と、前記除電対象物に対向して配置することにより、除電対象物に電荷を誘導する誘導電極とを備え、前記背面電極、フィルタ電極及び誘導電極を同一の交流電源に接続したことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項７に記載の発明は、請求項２に記載の発明を方法の観点から捉えたものであり、イオン化チャンバ内で、該チャンバ内に供給されたイオン搬送気体の一部をイオン化源によりイオン化して正・負イオンを発生させ、前記イオン化チャンバの内面に設置した背面電極と、イオン化チャンバ内に発生したイオンを除電対象物に供給する多孔状のフィルタ電極と、除電対象物に対向して配置される誘導電極とを同一の交流電源に接続して、これらの各電極に同一極性の電圧を印加し、イオン化チャンバ内において、前記背面電極に該背面電極と逆極性のイオンを吸収させて、該背面電極と同極性の単極イオンを生成すると共に、前記誘導電極により、除電対象物の表面に該誘導電極と逆極性の電荷を誘導し、前記単極イオンを除電対象物の表面に吹き付けることにより、除電対象物の表面に誘導された電荷及び除電対象物上にもともとあった電荷を中和することを特徴とするものである。
【００１１】
上記のような構成を有する請求項２又は請求項７に記載の発明によれば、交流電源により、背面電極、フィルタ電極及び誘導電極のそれぞれに同一極性の電圧を印加することにより、イオン化チャンバの内部においては、印加電圧の極性と同一極性のイオン（単極イオン）が生成され、一方、除電対象物と対向する位置にあるフィルタ電極及び誘導電極によって、除電対象物の表面には、印加電圧の極性とは逆極性の電荷が誘導される。そして、イオン化チャンバ内に生成された単極イオンを除電対象物の表面に吹き付けることにより、除電対象物の表面に誘導された電荷及び除電対象物上にもともとあった電荷を中和することができる。
【００１２】
そして、交流電源により印加される電圧の極性を正・負交互に切り替えることにより、除電対象物の表面へ誘導される電荷と、イオン化チャンバ内で生成される単極イオンの極性も正・負交互に切り替わるので、この操作が繰り返される結果、除電対象物表面及び内部の電荷を確実に除電することが可能となる。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項２に記載の帯電物の除電装置において、前記誘導電極を多孔板から構成し、前記イオン化チャンバの下方に、クリーンエア取入口を備えた中空のクリーンエア供給部を設け、その底面部に形成された開口部に前記多孔板からなる誘導電極を取り付けたことを特徴とするものである。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項３に記載の発明を方法の観点から捉えたものであり、前記誘導電極を多孔板から構成し、前記イオン化チャンバの下方に、クリーンエア取入口を備えた中空のクリーンエア供給部を設け、その底面部に形成された開口部に前記多孔板からなる誘導電極を取り付け、除電対象物の表面にクリーンエアを吹き付けることを特徴とするものである。
【００１５】
上記のような構成を有する請求項３又は請求項８に記載の発明によれば、クリーンエア取り入れ口から供給されたクリーンエアが誘導電極の孔部分から排出され、除電対象物の表面に向かって吹き付けられる。その結果、誘導電極により除電対象物が高帯電することに起因する除電対象物表面への異物の付着を防止することができる。
【００１６】
請求項４の発明は、請求項２又は請求項３に記載の帯電物の除電装置において、前記イオン化チャンバに導入されるイオン搬送気体として、空気又は負イオンを形成できる程度に負性ガスを含む非反応性ガスを用い、前記イオン化源として、軟Ｘ線発生手段あるいは密封放射線同位元素の発生手段を用いたことを特徴とするものである。
【００１７】
上記のような構成を有する請求項４に記載の発明によれば、イオン搬送気体として、空気又は負イオンを形成できる程度に負性ガスを含む非反応性ガスを用いることにより、オゾン及び塵埃の発生を防止することができる。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項２又は請求項３に記載の帯電物の除電装置において、前記イオン化チャンバに導入されるイオン搬送気体として、高純度の非反応性ガスを用い、前記イオン化源として、紫外線発生手段、あるいはコロナ放電発生手段を用いたことを特徴とするものである。
【００１９】
上記のような構成を有する請求項５に記載の発明によれば、イオン搬送気体として高純度の非反応性ガスを用いることにより、イオン化源として、紫外線発生手段あるいはコロナ放電発生手段を用いた場合でも、オゾン及び塵埃の発生を抑えることができるので、帯電物の酸化及び汚染を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上述べたように、本発明によれば、誘導電極によって除電対象物に電荷を誘導しておき、この除電対象物に、その表面に誘導された電荷とは逆極性の単極イオンを供給し、さらに誘導電極に誘導される電荷及び供給される単極イオンの極性を切り替えることによって、除電対象物の表面に誘導された電荷及び除電対象物上にもともとあった電荷を取り除くことができるため、除電対象物の内部に多くの電荷が存在したとしても、これを確実に除電することができる。
【００２１】
従って、本発明によれば、内部に多くの電荷を持つ帯電物であっても、効率良く除電が可能であり、しかもオゾン及び塵埃の発生を抑えて帯電物の酸化及び汚染を防止できる信頼性の高い帯電物の除電装置及びその方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明に係る実施の形態（以下、実施形態という）について、図面を参照して具体的に説明する。
【００２３】
（１）第１実施形態
（１−１）構成
図１は、本発明に係る帯電物の除電装置の構成を示す模式図である。
すなわち、本実施形態の帯電物の除電装置１は、中空のイオン化チャンバ１１を備え、このイオン化チャンバ１１の上部中央には、チャンバ内に空気又は非反応性ガス（Ｎ2ガス等）を導入する流入口１１ａが形成され、これと対向する下部中央には、流出口１１ｂが形成されている。
【００２４】
また、前記イオン化チャンバ１１の側部には、イオン化源となる軟Ｘ線発生装置の発生部１２が配設され、この軟Ｘ線発生装置の発生部１２によって発生した軟Ｘ線が、イオン化チャンバ１１の側面部に形成された軟Ｘ線照射窓１３を介して、イオン化チャンバ１１内に照射されるように構成されている。そして、イオン化チャンバ１１内において、空気又は非反応性ガス（Ｎ2ガス等）をイオン化して、正・負イオンを発生させるように構成されている。
【００２５】
また、前記イオン化チャンバ１１の内面には背面電極１４（請求項にいう単極イオン生成手段）が設置され、前記流出口１１ｂの先端部には多孔板状のフィルタ電極１５が設置されている。なお、このフィルタ電極１５は、イオン化チャンバ１１内に照射された軟Ｘ線の遮蔽板を兼ねている。
【００２６】
さらに、前記イオン化チャンバ１１の下部には、前記フィルタ電極１５と同一面状に、板状の誘導電極１６が取り付けられている。そして、これら背面電極１４、フィルタ電極１５及び誘導電極１６には交流電源１７が接続され、各電極に印加する電圧の極性を正・負交互に切替えるように構成されている。
【００２７】
なお、前記フィルタ電極１５と誘導電極１６とを同一面状に形成するのは、除電対象となる樹脂フィルムと平行に対向配置するためである。また、本実施形態においては、イオン化源として軟Ｘ線発生装置の発生部を用いたが、紫外線発生装置の発生部、コロナ放電発生装置の発生部を用いても良い。
【００２８】
（１−２）作用
上記のような構成を有する本実施形態の帯電物の除電装置は、以下に述べるように作用する。
すなわち、本実施形態の帯電物の除電装置を除電対象となる樹脂フィルムＦの上方に設置する。そして、イオン化チャンバ１１内に流入口１１ａから空気又は非反応性ガス（Ｎ2ガス等）を導入し、軟Ｘ線照射窓１３から軟Ｘ線を照射することにより、チャンバ１１内に正・負のイオンを生成する。
【００２９】
続いて、交流電源１７によって、背面電極１４、フィルタ電極１５及び誘導電極１６に、例えば負の電圧を印加する。すると、正・負両イオンが存在するイオン化チャンバ１１内において、正のイオンは背面電極１４に吸収され、負のイオンのみが背面電極１４との同極反発力によって分離される。その結果、負のイオンのみが流出口１１ｂの先端部に取り付けられた多孔板状のフィルタ電極１５を通過して、樹脂フィルムＦに吹き付けられる。
【００３０】
一方、除電対象となる樹脂フィルムＦにおいては、その表面に対向して平行に配置されたフィルタ電極１５及び誘導電極１６に負の電圧が印加されることにより、樹脂フィルムＦの表面（図中、樹脂フィルムの上面）には、これと逆の極性の電荷（正電荷）が誘導される（図１参照）。そして、誘導電極１６とそれにより帯電した樹脂フィルムＦとの間に電界が形成される。
【００３１】
この電界にフィルタ電極１５から負のイオン３０が供給されると、電界の電気力線に沿って樹脂フィルムＦの表面に多くの負のイオン３０が付着する。その結果、樹脂フィルムＦの表面に誘導された多量の正電荷３１と、もともと樹脂フィルムＦ上にあった正電荷３２とが、イオン化チャンバ１１から供給された負のイオン３０と結びついて、樹脂フィルムＦの正電荷を中和することができる（図２参照）。このようにして、樹脂フィルムＦの表面において正の電荷３１，３２が中和されると、樹脂フィルムＦの内部には、誘導分極によって生じた負の電荷３３と、もともと樹脂フィルムＦ上にあった負の電荷３４とが残り、樹脂フィルムＦは負に帯電する。
【００３２】
続いて、交流電源１７によって印加される電圧の極性が変わり、背面電極１４、フィルタ電極１５及び誘導電極１６には正の電圧が印加される。すると、新たに生成された正・負両イオンが存在するイオン化チャンバ１１内において、負のイオンは背面電極１４に吸収され、正のイオンのみが流出口１１ｂの先端部に取り付けられた多孔板状のフィルタ電極１５を通過して、樹脂フィルムＦに吹き付けられる。
【００３３】
一方、除電対象となる樹脂フィルムＦにおいては、その表面に対向して平行に配置されたフィルタ電極１５及び誘導電極１６に正の電圧が印加されることにより、樹脂フィルムＦの表面（図中、樹脂フィルムの上面）には、これと逆の極性の電荷（負電荷３５）が誘導される（図３参照）。
【００３４】
そして、上記と同様にして、負の電荷が誘導された樹脂フィルムＦの表面に向けて、フィルタ電極１５から正のイオン３６が吹き付けられることにより、多量の正のイオン３６を樹脂フィルムＦ上に付着させることができる。その結果、樹脂フィルムＦの表面に誘導された多量の負電荷３５と、もともと樹脂フィルムＦ上にあった負電荷３４とが、イオン化チャンバ１１から供給された正のイオン３６と結びついて、樹脂フィルムＦの負電荷を中和することができる（図３の樹脂フィルム上面）。
【００３５】
なお、この時、樹脂フィルムＦの内部では、誘導分極によって生じた正の電荷３７と、図２において中和されずに残存した負の電荷３３とが結びついて、中和される（図３の樹脂フィルム下面）。このように、上記の操作が繰り返されることにより、帯電した樹脂フィルムＦは完全に除電される。
【００３６】
（１−３）効果
以上述べたように本実施形態によれば、交流電源１７により、背面電極１４、フィルタ電極１５及び誘導電極１６のそれぞれに同一極性の電圧を印加することにより、イオン化チャンバ１１の内部においては、印加電圧の極性と同一極性のイオン（単極イオン）が生成され、一方、樹脂フィルムＦと対向する位置にあるフィルタ電極１５及び誘導電極１６によって、樹脂フィルムＦの表面には、印加電圧の極性とは逆極性の電荷が誘導される。そして、イオン化チャンバ１１内に生成された単極イオンを樹脂フィルムＦの表面に吹き付けることにより、樹脂フィルムＦの表面に誘導された電荷及びもともと樹脂フィルムＦ上にあった電荷が中和される。
【００３７】
そして、交流電源１７により印加される電圧の極性を正・負交互に切り替えることにより、樹脂フィルムＦの表面に誘導される電荷と、イオン化チャンバ１１内で生成される単極イオンの極性も正・負交互に切り替わるので、この操作が繰り返される結果、樹脂フィルムＦ内部の電荷を確実に除電することが可能となる。
【００３８】
さらに、本実施形態では、背面電極１４及びフィルタ電極１５と、樹脂フィルムＦに電荷を誘導するための誘導電極１６とを、同一の交流電源１７に接続しているので、これら３つの電極には常に同じ極性の電圧が印加される。このため、誘導電極１６によって樹脂フィルムＦの表面に誘導される電荷と、フィルタ電極１５及び背面電極１４によってイオン化チャンバ１１内から送り出される単極イオンとは、常に逆極性になる。
【００３９】
したがって、交流電源１７において電圧の極性が切り替わるだけで、樹脂フィルムＦ上に誘導される電荷の極性と、そこに供給される単極イオンの極性とを同時に切替えることができる。このように、背面電極１４及びフィルタ電極１５と、電荷誘導用の誘導電極１６とに対して、電圧印加手段を別個に設ける必要がないので、構成の簡略化が図れる。
【００４０】
しかも、本実施形態におけるフィルタ電極１５は、軟Ｘ線の遮蔽板の役割を果たしている。このため、フィルタ電極１５から単極イオンが供給される際に、軟Ｘ線がイオン化チャンバ１１の外部に漏れるおそれがなく、安全性が高い。
【００４１】
また、本実施形態では、イオン化チャンバ１１に導入される気体として、空気又は負イオンを形成できる程度に負性ガスを含むＮ2ガスを用いているので、これらのガスに軟Ｘ線を照射することで単極イオンを生成する場合でも、オゾン、塵埃が発生するおそれがない。したがって、樹脂フィルムＦの酸化や発塵による汚染を回避することができ、高品質な除電が可能である。
【００４２】
（２）第２実施形態
本実施形態は、上記第１実施形態の変形例であって、誘導電極を多孔板で構成し、この誘導電極を介して、除電対象物にクリーンエアを吹き付けることができるように構成したものである。
【００４３】
（２−１）構成
図４に示したように、前記イオン化チャンバ１１の下部には、クリーンエア取入口２０を備えた中空のクリーンエア供給部２１が設けられ、その底面部には開口部２２が形成され、この開口部２２には、多孔板からなる誘導電極２３が取り付けられている。そして、この誘導電極２３は、背面電極１４及びフィルタ電極１５と共に交流電源１７に接続され、各電極に印加される電圧の極性が正・負交互に切替えられるように構成されている。その他の構成は、上記第１実施形態と同様であるので、説明は省略する。
【００４４】
（２−２）作用・効果
本実施形態においても、上記第１実施形態と同様に、イオン化チャンバ１１内において単極イオンが生成され、この単極イオンが多孔板状のフィルタ電極１５を通過して、樹脂フィルムＦに吹き付けられる。一方、除電対象となる樹脂フィルムＦにおいては、その表面に対向して平行に配置されたフィルタ電極１５及び誘導電極２３により、樹脂フィルムＦの表面には、イオン化チャンバ１１内に生成された単極イオンと逆の極性の電荷が誘導される。
【００４５】
さらに、本実施形態においては、クリーンエア取り入れ口２０から供給されたクリーンエアＣが誘導電極２３の孔部分から排出され、樹脂フィルムＦ表面に向かって吹き付けられる。その結果、誘導電極２３により樹脂フィルムＦが高帯電することに起因するフィルム表面への異物の付着を防止することができる。
【００４６】
（３）他の実施形態
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、除電対象となる帯電物は樹脂フィルムＦに限らず、プリント基板等の電子部品であっても構わない。
また、イオン化源として、低エネルギーの電子線発生装置の発生部、紫外線発生装置の発生部、コロナ放電発生装置の発生部を用いる場合は、負イオンを発生できるが、オゾンが発生しない程度に酸素を含む非反応性ガス（高純度Ｎ2等）をイオン化することで、オゾン及び塵埃の発生を抑えることができるので、帯電物の酸化及び汚染を防ぐことができる。
【００４７】
さらに、誘導電極や背面電極及びフィルタ電極の設置箇所や設置数等は、帯電物の形状等に対応させて適宜選択可能である。また、交流電源１７にて印加する電圧の極性の順番はどちらから印加しても良く、上記実施形態とは逆に、各電極に対してまず正の電圧を印加し、続いて負の電圧を印加する構成としてもよい。
【００４８】
また、誘導電極や単極イオン供給用電極に接続される電源としては、交流電源に限らず、印加電圧を正・負交互に切り替えることができるものであれば良く、２つの直流電源を所定のサイクルで切り替えても良い。さらに、単極イオン生成手段は、イオン化チャンバ内で単極イオンを生成できるものであれば、その設置部位や形状は特に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係る帯電物の除電装置の第１実施形態の構成を示す断面図。
【図２】図１に示した帯電物の除電装置の作用を説明する図。
【図３】図１に示した帯電物の除電装置の作用を説明する図。
【図４】本発明に係る帯電物の除電装置の第２実施形態の構成を示す断面図。
【符号の説明】
【００５０】
１…帯電物の除電装置
１１…イオン化チャンバ
１１ａ…流入口
１１ｂ…流出口
１２…軟Ｘ線発生部
１３…軟Ｘ線照射窓
１４…背面電極
１５…フィルタ電極
１６…誘導電極
１７…交流電源
２０…クリーンエア取り入れ口
２１…クリーンエア供給部
２２…開口部
２３…誘導電極
Ｃ…クリーンエア
Ｆ…樹脂フィルム
【図１】
2006216453.tif 000003
【図２】
2006216453.tif 000004
【図３】
2006216453.tif 000005
【図４】
2006216453.tif 000006