(57)【要約】【課題】  インピーダンス補正基板を用いた開放／短絡／負荷補正の補正及び検証作業を容易に行えるよう実行及び支援する装置または方法を提供することである。【解決手段】  インピーダンス校正基板７０４にコンタクトプローブ７１２、７１４を用いてプロービングし、インピーダンス測定器７２０を用いて短絡補正あるいは負荷補正のための補正測定あるいは検証測定を行う方法であって、前記校正基板においてプロービングするためのコンタクト場所を入力し、前記コンタクト場所についてのコンタクト回数が、所定のリミットを超える場合にはアラームを表示するステップを備えている。【選択図】        図７
2006308436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インピーダンス校正基板にコンタクトプローブを用いてプロービングし、インピーダンス測定器を用いて短絡補正あるいは負荷補正のための補正測定あるいは検証測定を行う方法であって、  前記校正基板においてプロービングするためのコンタクト場所を入力し、  前記コンタクト場所についてのコンタクト回数が、所定のリミットを超える場合にはアラームを表示する補正測定あるいは検証測定方法。  
【請求項２】
前記コンタクト場所についての前記コンタクト回数は，前記コンタクトプローブと前記インピーダンス測定器を制御するコンピュータの記憶手段に格納されることを特徴とする請求項１に記載の補正測定あるいは検証測定方法。  
【請求項３】
前記コンタクト場所を入力するステップの後で、前記プロービングのためのオフセット量を指定することを特徴とする請求項１又は２に記載の補正測定あるいは検証測定方法。  
【請求項４】
前記オフセット量の指定は、Ｘ方向とＹ方向とＺ方向のオフセット量を含むことを特徴とする請求項３に記載の補正測定あるいは検証測定方法。  
【請求項５】
前記オフセット量の指定は、短絡補正と負荷補正のどちらのためかを区別して指定することを特徴とする請求項３又は４に記載の補正測定あるいは検証測定方法。  
【請求項６】
請求項５に記載の検証測定方法において、検証測定後、所定周波数に対する測定結果をグラフ表示することを特徴とする検証測定方法。  
【請求項７】
コンタクトプローブと共に校正基板を用い、インピーダンス測定器を用いて開放補正と短絡補正と負荷補正の各補正モードでの補正測定を行う方法であって、  前記３つの補正モードそれぞれの補正測定の際に、予備的なインピーダンス測定を行い、該測定値が第１の所定のリミットの範囲内であれば、補正計算用インピーダンス測定を行う補正測定方法。  
【請求項８】
請求項７に記載の補正測定方法において、短絡補正及び負荷補正の補正モードの場合は、前記予備的なインピーダンス測定に先立って、前記コンタクトプローブがプロービングしようとするコンタクト場所のコンタクト回数が第２の所定のリミットを超えようとしたら、アラームを表示する補正測定方法。  
【請求項９】
コンタクトプローブと共に校正基板を用い、インピーダンス測定器を用いて開放補正と短絡補正と負荷補正の各補正モードでの補正及び検証測定を行う方法であって、  まず、検証測定を行い、  前記検証測定の結果が所定のリミット範囲内であれば、該検証測定に用いた前記校正基板のコンタクトプローブに関するコンタクト条件を使用して、補正測定を行う補正及び検証測定方法。  
【請求項１０】
前記コンタクト条件は、短絡補正と負荷補正のそれぞれについての、コンタクト場所の指定とＸ方向及びＹ方向及びＺ方向のオフセット量の指定を含むことを特徴とする請求項９に記載の補正及び検証測定方法。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ針あるいは探針あるいはメンブレンプローブなどのコンタクトプローブを用いて被測定物（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）の電極に接触させ、被測定物をインピーダンス測定する際の補正技術に関し、特に半導体ウエハ上の被測定物のインピーダンス測定を行う際の補正を実行する測定システム及びその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハプローバを使って半導体ウエハ（以下、本明細書では半導体ウエハを単にウエハと称する）上で高周波信号を測定する場合には、インピーダンス基準基板（ＩＳＳ：Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）とも呼ばれるインピーダンス補正基板を使って、測定器から針先までの補正をする必要がある。ＩＳＳには、例えば非特許文献１に記載のものが知られている。このＩＳＳは、１．５センチ×１センチ程度の基盤の上に、スルー（ＴＨＵＲ）補正用のパッド（電極）群、短絡（ＳＨＯＲＴ）補正用のパッド群、負荷（ＬＯＡＤ）補正用のパッド群を備えている。各パッド群は、それぞれの測定目的に適したパターンで構成され、プローブ針などのコンタクトプローブによるプロービングの磨耗対策のためにそれぞれ複数個形成されている。なお本明細書で記述するコンタクトプローブとは、ミクロンオーダのパッドにプロービングすることができる器具のことであり、プローブ針、探針、あるいは、メンブレンプローブなどがあげられる。このインピーダンス補正基板の負荷補正用パターンにはＳＧ（Ｓｉｇｎａｌ−Ｇｒｏｕｎｄ）型（タイプ）、あるいは、ＧＳＧ（Ｇｒｏｕｎｄ−Ｓｉｇｎａｌ−Ｇｒｏｕｎｄ）型と呼ばれる補正パターンなどが知られている。また、ＲＦ信号用の補正では、４本または６本のコンタクトプローブを用いた測定システムでも構成できるように、各補正用パターンは２本ずつ並べて設けられている。なお、本明細書では、簡単のためにインピーダンス補正基板を単に補正基板と呼ぶ。  
【０００３】
ところで、近年、半導体製造プロセスにおける絶縁膜の容量測定手法、特に、容量−電圧特性の測定手法が注目されている。ここでいう半導体製造プロセスにおける絶縁膜とは、例えば、トランジスタの絶縁膜でできたＭＩＳ（Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ  Ｓｉｌｉｃｏｎ）−ＣＡＰ（ＣＡＰａｃｉｔｏｒ）、あるいは、トランジスタの絶縁膜でできたＭＯＳ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｉｌｉｃｏｎ）−ＣＡＰ、あるいは、ＭＩＳ−ＦＥＴのゲート絶縁膜、あるいは、ＭＯＳ−ＦＥＴのゲート絶縁膜、あるいは、ＭＯＳキャパシタのゲート絶縁膜などが挙げられる。なおここで、ゲート酸化膜はゲート絶縁膜に包含される。  
【０００４】
絶縁膜の測定では、非特許文献２に記載のように、測定器にインピーダンスアナライザ（例えばアジレント・テクノロジー社製Ａｇｉｌｅｎｔ  ４２８４Ａ、または、Ａｇｉｌｅｎｔ  ４２８５Ａ、または、Ａｇｉｌｅｎｔ  ４２９４Ａなど）などのインピーダンス測定器を用いて測定を行う前に、プローブ針などのコンタクトプローブを含む測定系で生じる誤差を低減させるために、補正基板（ＩＳＳ）を用いてコンタクトプローブの先端におけるＯＰＥＮ／ＳＨＯＲＴ／ＬＯＡＤ補正（以下、開放／短絡／負荷補正と称する）を実施する必要がある。  
【０００５】
ところで、以上のような補正基板による補正の際には、コンタクトプローブの先端の劣化や汚染、パッド表面の劣化（タッチダウンの跡あるいは酸化）によっては、接触抵抗が大きくなり、補正が正しく行われないことがある。そのため、補正作業には細心の注意と、作業への熟練が必要であった。  
【０００６】
【非特許文献１】Ｃａｓｃａｄｅ  Ｍｉｃｒｏｔｅｃｈ，Ｉｎｃ．、”Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ  ｔｏ  ｓｕｐｐｏｒｔ  ａｌｌ  ｏｆ  ｙｏｕｒ  ｈｉｇｈ−ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ｐｒｏｂｉｎｇ  ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ”、［ｏｎｌｉｎｅ］、平成１６年、カタログ、［平成１７年２月１日検索］、インターネット<URL : http://www.cmicro.com/pubs/ISSFAM-DS.PDF>
【非特許文献２】アジレント・テクノロジー株式会社、プロダクトノート、”Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ  ４２９４ＡによるＭＯＳキャパシタのゲート酸化膜のＣ−Ｖ特性評価  プロダクト・ノート４２９４−３”、［online］、２００３年６月２５日、プロダクト・ノート、［平成１７年２月１日検索］、インターネット <URL : http://www.home.agilent.com/cgi-bin/pub/agilent/reuse/cp_ObservationLogRedirector.jsp?NAV_ID=-11144.0.00&LANGUAGE_CODE=jpn&CONTENT_KEY=1000002192%3aepsg%3aapn&COUNTRY_CODE=JP&CONTENT_TYPE=AGILENT_EDITORIAL >、ｐ６〜７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の背景技術の問題点を解決するために、本発明の目的は、インピーダンス補正基板を用いた開放／短絡／負荷補正の補正及び検証作業を容易に行えるよう実行及び支援する装置または方法を提供することである。  
【０００８】
本発明の別の目的は、上述の補正作業の実行及び支援をするために、検証測定すなわちベリフィケーション測定を行って最適な接触条件を求め、その後で自動の補正測定すなわちコンペンセーション測定を実行して補正を行うアルゴリズムを備えた装置又は方法を提供することである。  
【０００９】
本発明のさらに別の目的は、上述の補正作業を安定して行うために、補正基板上のパッドへの接触回数すなわちコンタクト回数をカウントして、コンタクト回数がリミットを超えるとアラームを出す装置又は方法を提供することである。  
【００１０】
本発明のさらに別の目的は、上述のベリフィケーション測定において、コンタクトプローブによる所望のパッドへの最適な接触条件を、短絡補正用と負荷補正用のパッドそれぞれに設定できるプログラムを提供することであり、さらに、最適な接触条件として、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向へのオフセットを設定できる装置又は方法を提供することである。  
【００１１】
本発明のさらに別の目的は、上述のベリフィケーション測定の後、測定結果を周波数ごとにグラフ表示する装置又は方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明による第１の発明では、インピーダンス校正基板にコンタクトプローブを用いてプロービングし、インピーダンス測定器を用いて短絡補正あるいは負荷補正のための補正測定あるいは検証測定を行う方法であって、前記校正基板においてプロービングするためのコンタクト場所を入力し、前記コンタクト場所についてのコンタクト回数が、所定のリミットを超える場合にはアラームを表示するステップを備えている。  
【００１３】
本発明による第２の発明では、前記第１の発明に記載の補正測定あるいは検証測定方法において、前記コンタクト場所についての前記コンタクト回数は，前記コンタクトプローブと前記インピーダンス測定器を制御するコンピュータの記憶手段に格納されることを特徴とする。  
【００１４】
本発明による第３の発明では、前記第１又は第２の発明に記載の補正測定あるいは検証測定方法において、前記コンタクト場所を入力するステップの後で、前記プロービングのためのオフセット量を指定することを特徴とする。  
【００１５】
本発明による第４の発明は、前記第３の発明に記載の補正測定あるいは検証測定方法において、前記オフセット量の指定は、Ｘ方向とＹ方向とＺ方向のオフセット量を含むことを特徴とする。  
【００１６】
本発明による第５の発明は、前記第３又は第４の発明に記載の補正測定あるいは検証測定方法において、前記オフセット量の指定は、短絡補正と負荷補正のどちらのためかを区別して指定することを特徴とする。  
【００１７】
本発明による第６の発明は、前記第５の発明に記載の検証測定方法において、検証測定後、所定周波数に対する測定結果をグラフ表示することを特徴とする。  
【００１８】
本発明による第７の発明は、コンタクトプロ
ーブと共に校正基板を用い、インピーダンス測定器を用いて開放補正と短絡補正と負荷補正の各補正モードでの補正測定を行う方法であって、前記３つの補正モードそれぞれの補正測定の際に、予備的なインピーダンス測定を行い、該測定値が第１の所定のリミットの範囲内であれば、補正計算用インピーダンス測定を行う。  
【００１９】
本発明による第８の発明は、前記第７の発明に記載の補正測定方法において、短絡補正及び負荷補正の補正モードの場合は、前記予備的なインピーダンス測定に先立って、前記コンタクトプローブがプロービングしようとするコンタクト場所のコンタクト回数が第２の所定のリミットを超えようとしたら、アラームを表示することを特徴とする。  
【００２０】
本発明による第９の発明は、コンタクトプローブと共に校正基板を用い、インピーダンス測定器を用いて開放補正と短絡補正と負荷補正の各補正モードでの補正及び検証測定を行う方法であって、まず、検証測定を行い、前記検証測定の結果が所定のリミット範囲内であれば、該検証測定に用いた前記校正基板のコンタクトプローブに関するコンタクト条件を使用して、補正測定を行う。  
【００２１】
本発明による第１０の発明は、前記第９の発明に記載の補正及び検証測定方法において、前記コンタクト条件は、短絡補正と負荷補正のそれぞれについての、コンタクト場所の指定とＸ方向及びＹ方向及びＺ方向のオフセット量の指定を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように、本発明を用いると、補正基板を用いた開放／短絡／負荷補正作業を容易に行うことができる。特に、ベリフィケーション測定を行って最適な接触条件を求め、その後で自動補正測定を実行して補正を行うアルゴリズムを備えているので、オペレータは効率的に補正作業をすることができる。  
【００２３】
また、補正基板上のパッドへの接触回数をカウントして、リミット回数を超えそうになるとアラームが出されるので、パッドの接触回数をオペレータ自身がカウントする必要がなく、補正作業を容易に行うことができる。  
【００２４】
さらに、ベリフィケーション測定において、所望のパッドへの最適な接触条件を、短絡補正用と負荷補正用のパッドそれぞれに設定できるので、オペレータは安定して補正を行うことができる。  
【００２５】
さらに、この最適な接触条件は、短絡補正用と負荷補正用のそれぞれにおいて、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向のオフセットとして指定できるので、従来は、プローバの基準座標を一律にオフセットを与えることしかできなかったのが、各補正モードに合わせて指定できる上、パッド上のＸ，Ｙ座標の指定だけでなく、コンタクトプローブにかけるオーバードライブの指定もＺ方向のオフセットとして指定できるので、安定かつ高精度な補正測定を行うことができる。  
【００２６】
さらに、ベリフィケーション測定の後、測定結果を周波数ごとにグラフ表示するので、オペレータにとって結果を容易に理解しやすい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図７のブロック図を参照して、本発明による最良の実施の形態であるインピーダンス校正基板であるＩＳＳを用いて補正をする測定システム７００を、ＩＳＳ上のＳＧ型負荷補正用パターン７０６を例にして説明する。ＩＳＳ（７０４）には、そこに、インピーダンス測定をする測定器７２０のＨ側端子からパターン７０６のＳ側パッド７０８にケーブル７１６を介してコンタクトプローブ７１２によって、プロービングされ、測定器７２０のＬ側端子からパターン７０６のＧ側パッド７１０にケーブル７１８を介してコンタクトプローブ７１４によってプロービングされて、測定される。測定器７２０はＧＰ−ＩＢなどの制御バス７２２によりコンピュータ７２６に接続され、制御される。  
【００２８】
コンピュータ７２６は、ＰＣなどのコンピュータであり、内部に演算手段としてのＣＰＵ７２８と、プログラム及びデータを格納するメモリ７３０を備える。メモリ７３０はＲＡＭ，ＲＯＭ、フラッシュメモリなどの半導体メモリの他、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）その他の記憶手段であっても良い。また、入出力装置として、ＣＲＴあるいはＬＣＤなどのディスプレイ７３２、及び、キーボード７３８、及び、マウス７４２を備え、それぞれケーブル７３４、７３６、７４０にコンピュータ７２６に接続される。なお、キーボードとマウスの代わりに、トラックボール、タッチパッド、ディスプレイ７３２に貼り付けたタッチパネルなどを使用することもできる。  
【００２９】
なお、ＩＳＳ（７０４）及びコンタクトプローブ７１２、７１４は、位置合わせを高精度かつ容易にするために、プローバすなわちウエハプローバ７０２内に配置される。プローバ７０２は、コンピュータ７２６から制御バス７２４により接続されて、制御される。  
【００３０】
次に、図１ないし図３を参照して、本発明による補正を実行および支援する装置で実行されるプログラムのアルゴリズムを説明する。図１に、当該プログラムのメインのアルゴリズムを示す。すなわち、当該プログラムは、ステップＳ１０１で開始し、ステップＳ１０２で、指定されたファイルから各種設定を読み込む。この中には、使用するＩＳＳの過去のコンタクト履歴や、コンタクトの設定内容、各種リミットの設定値などが含まれる。次に、ステップＳ１０４では、命令により、プローバ７０２に、ＩＳＳ（７０４）をプロービング可能位置にロードする。次に、ステップ１０６でオペレータからの入力を待ち、その入力に従ってステップＳ１０７で分岐する。  
【００３１】
すなわち、後述のタブ画面の実行が指定された場合は、その指定されたタブ画面に応じて各タブ画面の制御を行うルーチンを実行する。Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎタブ（デフィニッションタブ、すなわち各種パラメータの設定用のタブ画面）がマウス７４２あるいはキーボード７３８で指定された場合には、ステップＳ１０８に進んでＤｅｆｉｎｉｔｉｏｎタブの実行ルーチンを実行してステップＳ１０６に戻り、Ｖｅｒｉｆｉｃａｔｉｏｎタブ（ベリフィケーションタブ、すなわち検証実行用のタブ画面）が指定された場合には、ステップＳ１１０に進んでＶｅｒｉｆｉｃａｔｉｏｎタブの実行ルーチンを実行してステップＳ１０６に戻り、Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎタブ（コンペンセーションタブ、すなわち補正実行用のタブ画面）が指定された場合には、ステップＳ１１２に進んでＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎタブの実行ルーチンを実行してステップＳ１０６に戻る。また、ステップＳ１０６での入力結果が、プログラムの終了を指定したものであれば、ステップＳ１１４に進み、プログラムを終了する。  
【００３２】
次に、図２のアルゴリズムのフローチャートと図５のＶｅｒｉｆｉｃａｔｉｏｎタブの画面５００を用いて、ステップＳ１１０でのＶｅｒｉｆｉｃａｔｉｏｎタブでのアルゴリズムを説明する。まず、ステップＳ２０２で、Ｖｅｒｉｆｉｃａｔｉｏｎタブの実行ルーチンが開始され、ステップＳ２０４でオペレータからの入力待ちとなる。ここで、オペレータは、図５の領域５０２の左端のボタンを選択することで、ＯＰＥＮ（開放）モードのベリフィケーション（検証、あるいは、ベリファイとも呼ぶ）を行うか、ＳＨＯＲＴ（短絡）モードのベリフィケーションを行うか、ＬＯＡＤ（負荷）モードのベリフィケーションを行うか選択する。  
【００３３】
図５では、負荷モードが選択されている。オペレータの入力により、プログラムは次にステップＳ２０９に進み、指定されたモードが開放モードか判定する。この場合、開放モードではないので、次にステップＳ２１０に進み、ＩＳＳでタッチダウンすべきパッドの位置を図５の領域５０６の入力から取得する。図５の画面では、負荷補正用パッドの位置として、Ａ行１列の左側（領域５０６でＬと表示されている）のパッドが指定されており、領域５０４のＩＳＳの配置図の該当する負荷補正用パッド５０７に、負荷補正対象であることを示す「Ｌ」がオーバーラップして表示されている。  
【００３４】
なお、短絡モードのベリフィケーションの場合には、領域５０６におけるＳＨＯＲＴの行の指定内容が、ＩＳＳの使用対象として取得され、領域５０４に反映される。すなわち、図５では、短絡補正用のタッチダウンすべきＡ行１列の左側のパッド５０５に、短絡補正対象であることを示す「Ｓ」がオーバーラップ表示されている。  
【００３５】
次に、プログラムはステップＳ２１２に進み、図５の領域５０８に示されるプロービング位置のオフセットの指定値を取得する。ここでは、負荷モードなので、領域５０８の「ＬＯＡＤ」の欄に書かれたＸ，Ｙ，Ｚの値を取得する。ここで、このＸ，Ｙは、プローバが当該パッドに適用した基準の座標から、Ｘ，Ｙ方向に何ミクロン偏差をもってプロービングするかを示す。Ｚの値は、同じく基準の座標からＺ方向に何ミクロンの場所を目標としてプロービングするか、すなわち、コンタクトプローブのオーバードライブ値の指定として、用いられる。  
【００３６】
これが、短絡モードのベリフィケーションの場合には、領域５０８の「ＳＨＯＲＴ」の欄に書かれたＸ，Ｙ，Ｚ座標が用いられる。  
【００３７】
従来は、領域５０８のように、短絡モードと負荷モードに分けてオフセットを設定することはなかったので、オペレータは、それぞれモードが切り替わるたびに、マニュアル操作でプローバを制御し，プローバ基準位置のオフセットを変更してプロービングする必要があった。その場合、以前に設定したオフセット設定は解除されるので、モードが変わるたびに設定をやり直さねばならず、また、以前のオフセット設定を覚えていなくてはならず，校正の自動化に障害となっていた。本発明により，この領域５０８を設けたことで、校正の自動化に大きく寄与することとなった。  
【００３８】
さらに、従来では，オペレータは，Ｘ，Ｙ軸方向のオフセットの他に，コンタクトプローブにかけるオーバードライブすなわち荷重圧力の制御を、マニュアル操作で行っていた。しかしながら、本発明により，Ｚ方向のオフセットとして，オーバードライブに相当するパラメータを、短絡モードと負荷モードそれぞれに設定保存することができるようになったので，ベリフィケーション測定及びコンペンセーション測定の双方において、測定値の安定性および高精度化に効果がある。  
【００３９】
次にステップＳ２１４で、図５のＶｅｒｉｆｙボタン５１０が押されるのを待つ。なお、ステップＳ２０９で開放モードの場合は、上記２つのステップをスキップして、このステップＳ２１４に進む。Ｖｅｒｉｆｙボタンが押されて、ベリフィケーション測定の実行が命令されたら、ステップＳ２１６に進み、開放モードでなければ、所望のパッドへの接触回数がリミット値以内であるかを判定する。この時、リミット値は、短絡モード、負荷モード別々に設定することができ、図１のステップＳ１０２でファイルから読み込まれた値であるか、その後、ステップＳ１０８のＤｅｆｉｎｉｔｉｏｎタブで設定された値とすることもできる。  
【００４０】
ステップＳ２１６で、リミットを越える、すなわち「Ｎｏ」と判定された場合には、ステップＳ２１８に進んでリミットを越えたことを示すアラームを表示して、ステップＳ２０６に進んで、ベリフィケーションの実行を終了する。  
【００４１】
ステップＳ２１６で、リミット以内すなわち「Ｙｅｓ」と判定された場合には、ステップＳ２２０に進んでベリフィケーション測定を行い、次にステップＳ２２２に進んでその測定結果を図５の領域５１２に表示する。領域５１２では、測定結果を右に縦に並んだタブに記された値に換算して、横軸を周波数として表示する。領域５１２のタブには、インピーダンスの絶対値を示す｜Ｚ｜、同じく位相を示すＴｈｅｔａ，インピーダンスの換算モデルを示すＣｐ，Ｇｐ，Ｒｓ，Ｌｓが設けられている。次に、ステップＳ２２４に進んで、ベリフィケーション結果に満足したかを入力待ちし、満足した場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ２０４に戻る。  
【００４２】
満足しない場合（Ｎｏ）の入力を得た場合には、各種設定をやり直すために、ステップＳ２０６に進んで、ベリフィケーションの実行を終了する。  
【００４３】
また、ステップＳ２０４で、他のタブがマウス７４２またはキーボード７３８で指定された場合にも、ステップＳ２０６に進んでベリフィケーションの実行を終了する。  
【００４４】
次に、図３のアルゴリズムのフローチャートと図６のＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎタブの画面６００を用いて、ステップＳ１１２でのＣｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎタブでのアルゴリズムを説明する。まず、ステップＳ３０２で、Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎタブの実行ルーチンが開始され、ステップＳ３０４でオペレータからの入力待ちとなり、入力があった場合には、ステップＳ３０５に進んで入力に従い分岐する。ここで、オペレータが、図６の領域６０２にコンタクト場所を入力した場合には、ステップＳ３０６に進んで、入力されたコンタクト場所の設定を取得する。領域６０２の設定内容は、図５の領域５０６と同様なので省略する。  
【００４５】
また、ステップＳ３０４で、他のタブがマウス７４２またはキーボード７３８で指定された場合には、ステップＳ３０８に進んでコンペンセーション（補正）の実行を終了する。  
【００４６】
ステップＳ３０４で、図６のＥｘｅｃｕｔｅ  Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎボタン６０４が押された場合には、ステップＳ３０５からステップＳ３１０に進む。ステップＳ３１０、Ｓ３１２，Ｓ３１６では、開放モードでの補正測定を行う。すなわち、ステップＳ３１０で、コンタクトプローブをタッチダウンさせない状態で、開放状態の予備測定すなわち予備的なインピーダンス測定を行う。この予備測定とは、広い帯域にわたって厳密なインピーダンス測定をするには時間がかかるので、その前に、短時間で予備的なインピーダンス測定を行って、測定値が明らかにおかしくないことを検証するものである。一例としては、１ｋＨｚから１０ｋＨｚ程度の低周波数でのインピーダンスを測定して予備測定とする。このような低周波での予備的なインピーダンス測定により、測定系の残留インダクタと寄生容量の影響を除いた接触抵抗分のインピーダンスを手早く見積もることができる。  
【００４７】
ステップＳ３１０で予備測定を行い、ステップＳ３１２に進んで、測定値が予め定めたリミットの範囲内かを判定する。範囲外（Ｎｏ）と判定されれば、ステップＳ３１４に進み、アラーム表示をした後、ステップＳ３０８に進んで、コンペンセーションの実行を終了する。  
【００４８】
範囲内（Ｙｅｓ）と判定されれば、ステップＳ３１６に進み、開放モードの補正測定を行い、測定値を取得し、メモリ７３０に格納する。  
【００４９】
次に、ステップＳ３１８、Ｓ３２２，Ｓ３２４、Ｓ３２６では、短絡モードでの補正測定を行う。すなわち、ステップＳ３１８で、これからコンタクトプローブをタッチダウンさせるパッドのコンタクト回数がリミットの範囲内かをメモリ７３０の内容を元に判定する。範囲内の場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ３２２に進んで所望のパッドにタッチダウンして、短絡モードの予備測定を行う。さらに、タッチダウン後、当該パッドのコンタクト回数をインクリメントし、メモリ７３０に格納する。予備測定の測定条件は、開放モードのときと同様である。次にステップＳ３２４に進んで予備測定の測定値が事前に定めたリミットの範囲内かを判定する。範囲内（Ｙｅｓ）の場合には、ステップＳ３２８に進み、タッチダウンしたままのパッドに対して、短絡モードの補正測定を行い、測定値を取得し、メモリ７３０に格納する。  
【００５０】
なお、ステップＳ３１８あるいはステップＳ３２４でリミットの範囲外（Ｎｏ）と判定された場合には、それぞれステップＳ３２０またはステップＳ３２６に進み、範囲外のアラーム表示を行い、ステップ３０８に進んでコンペンセーションの実行を終了する。  
【００５１】
次に、ステップＳ３３０、Ｓ３３４，Ｓ３３６、Ｓ３４０では、負荷モードでの補正測定を行う。すなわち、ステップＳ３３０で、これからコンタクトプローブをタッチダウンさせるパッドのコンタクト回数がリミットの範囲内かをメモリ７３０の内容を元に判定する。範囲内の場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ３３４に進んで所望のパッドにタッチダウンして、負荷モードの予備測定を行う。さらに、タッチダウン後、当該パッドのコンタクト回数をインクリメントし、メモリ７３０に格納する。予備測定の測定条件は、開放モードのときと同様である。次にステップＳ３３６に進んで予備測定の測定値が事前に定めたリミットの範囲内かを判定する。範囲内（Ｙｅｓ）の場合には、ステップＳ３４０に進み、タッチダウンしたままのパッドに対して、短絡モードの補正測定を行い、測定値を取得し、メモリ７３０に格納する。次にステップＳ３４２で図６の領域６０６に、結果を表示し、ステップ３０４に戻る。  
【００５２】
なお、ステップＳ３３０あるいはステップＳ３３６でリミットの範囲外（Ｎｏ）と判定された場合には、それぞれステップＳ３３２またはステップＳ３３８に進み、範囲外のアラーム表示を行い、ステップ３０８に進んでコンペンセーションの実行を終了する。  
【００５３】
次に、図４を参照して、Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎタブの画面４０６とその実行内容を説明する。デフィニッション（Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ）タブは、ベリフィケーションタブとコンペンセーションタブで使用される各種の設定をするものである。図４の領域４０８では、インピーダンス測定を行う際の測定帯域の指定や、平均回数、信号レベル、負荷の値を設定する。  
【００５４】
また、領域４１０では、インピーダンス測定時の下限周波数、上限周波数、その間の周波数の測定ポイント数を設定したり、ベリフィケーション実行時またはコンペンセーションの予備測定時の開放／短絡／負荷測定でのリミットの設定を行う。さらに、領域４１２では、ＩＳＳのパッドへのコンタクト回数のリミット値を、短絡モードと負荷モードのそれぞれに対して設定する。領域４１６では、ＩＳＳでこれから使用するパッドの位置を設定し、領域４１８では、領域４１６で指定したパッドの、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の偏差を、短絡モードと負荷モードのそれぞれに対して設定する。なお、領域４１６と領域４１８については、図５の領域５０６と領域５０８と同様な機能なので、説明を省略する。これらの各種設定は、メモリ７３０に格納され、各種ルーチンで必要に応じて参照される。  
【００５５】
なお、図４に代表的に領域４０２として示されているのは、使用中のプローバ７０２の型、ＩＳＳ７０４の型と配置方向、ＩＳＳ７０４がプローバ７０２にロードされているかの状態表示と、ロード／ロード解除の制御用ボタンである。また、領域４０４には、ＩＳＳ７０４に搭載され補正に使われるパッドの型（Ｔｙｐｅ）がＧＳＧ型であり、パッド間のピッチが１５０ミクロンであることが表示されている。本発明によるプログラムはウインドウ４００上にこれらの諸情報を表示して、その上、Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ，Ｖｅｒｉｆｉｃａｔｉｏｎ，Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎの３つのタブうちのいずれかのタブ画面を表示することができる。  
【００５６】
以上、本発明の実施の形態について本発明を説明してきたが、本発明の思想に基づき、さまざまな変形・変更を施すことが可能できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施の形態の一つであるプログラムのアルゴリズムを示すフローチャートである。
【図２】図１のフローチャートの詳細を示すフローチャートである。
【図３】図１のフローチャートの詳細を示すフローチャートである。
【図４】本発明によるプログラムの画面を説明する図である。
【図５】本発明によるプログラムの画面を説明する図である。
【図６】本発明によるプログラムの画面を説明する図である。
【図７】本発明による測定システムを示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５８】
７００  測定システム  ７０２  プローバ  ７０４  インピーダンス校正基板  ７０６  パターン  ７０８、７１０  パッド  ７１２、７１４  コンタクトプローブ  ７１６、７１８  ケーブル  ７２０  インピーダンス測定器  ７２２、７２４  制御バス  ７２６  コンピュータ  ７２８  ＣＰＵまたは演算手段  ７３０  メモリまたは記憶手段  ７３２  ディスプレイ  ７３８  キーボード  ７４２  マウス  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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