(57)【要約】【課題】ヘッドのノズル孔製造精度のばらつきに起因する形成パターンの精度低下を緩和し、高精度なパターン形成を実現するパターン形成装置を提供する。【解決手段】パターン形成装置１０１は、ガントリ１０９に設けられるインクジェットヘッドユニット１０３のヘッド１５１からインクを基板１１３に塗布しパターン形成を行う装置である。パターン形成装置１０１の制御部２０１は、ヘッド１５１に設けたノズル穴位置判別用マークを基に、ノズル孔を特定してノズル孔位置情報（ノズル孔配列方向と直交する方向へのノズル孔の位置ズレ量）を得る。制御部２０１は、当該ノズル孔位置情報を用いて算出した位置ズレ補正値を基に、インクジェットヘッドユニット１０３を移動させ、パターン形成時の精度の低下を軽減する。【選択図】図１
2006239570.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出孔が所定の間隔で配置される吐出部と、前記吐出部の吐出孔配置面を撮像する撮像装置と、前記吐出部を移動させる移動装置と、演算処理装置と、を有するパターン形成装置であって、
前記演算処理装置は、
前記撮像装置に、前記吐出部が有する前記吐出孔の位置判別マークを撮像させ、所定の吐出孔を判別する判別手段と、
前記所定の吐出孔の位置情報を算出する位置算出手段と、
前記位置情報を基に位置ズレを検出し、前記所定の吐出孔の位置ズレ情報を算出する位置ズレ算出手段と、
前記位置ズレ情報を基に、前記吐出部の補正最適値を算出する補正値算出手段と、
前記補正最適値に基づいて、前記移動装置で前記吐出部を移動させて前記位置ズレを補正する補正手段と、
を、具備することを特徴とするパターン形成装置。
【請求項２】
前記補正値算出手段は、補正後における前記所定の吐出孔の位置ズレ量の総和を最小とする補正値を前記補正最適値として算出することを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
【請求項３】
前記移動装置は、少なくとも１つの吐出部を一体として移動させることを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
【請求項４】
前記移動装置は、前記吐出部を所定の方向に直線移動させることを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
【請求項５】
前記移動装置は、前記吐出部を水平面内において回転移動させることを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
【請求項６】
前記位置ズレ情報は、吐出孔配列と直交する方向の位置ズレ量を含むことを特徴とする請求項１に記載のパターン形成装置。
【請求項７】
複数の吐出孔が所定の間隔で配置される吐出部の吐出孔配置面を撮像する撮像装置と、前記吐出部を移動させる移動装置と、演算処理装置と、からなる位置決め装置であって、
前記演算処理装置は、
前記撮像装置に、前記吐出部が有する前記吐出孔の位置判別マークを撮像させ、所定の吐出孔を判別する判別手段と、
前記所定の吐出孔の位置情報を算出する位置算出手段と、
前記位置情報を基に位置ズレを検出し、前記所定の吐出孔の位置ズレ情報を算出する位置ズレ算出手段と、
前記位置ズレ情報を基に、前記吐出部の補正最適値を算出する補正値算出手段と、
前記補正最適値に基づいて、前記移動装置で前記吐出部を移動させて前記位置ズレを補正する補正手段と、
を、具備することを特徴とする位置決め装置。
【請求項８】
前記補正値算出手段は、補正後における前記所定の吐出孔の位置ズレ量の総和を最小とする補正値を前記補正最適値として算出することを特徴とする請求項７に記載の位置決め装置。
【請求項９】
前記移動装置は、少なくとも１つの吐出部を一体として移動させることを特徴とする請求項７に記載の位置決め装置。
【請求項１０】
前記移動装置は、前記吐出部を所定の方向に直線移動させることを特徴とする請求項７に記載の位置決め装置。
【請求項１１】
前記移動装置は、前記吐出部を水平面内において回転移動させることを特徴とする請求項７に記載の位置決め装置。
【請求項１２】
前記位置ズレ情報は、吐出孔配列と直交する方向の位置ズレ量を含むことを特徴とする請求項７に記載の位置決め装置。
【請求項１３】
複数の吐出孔が所定の間隔で配置される吐出部の吐出孔配置面を撮像する撮像装置と、前記吐出部を移動させる移動装置と、演算処理装置と、からなる位置決め装置における位置決め方法であって、
前記演算処理装置は、
前記撮像装置に、前記吐出部が有する前記吐出孔の位置判別マークを撮像させ、所定の吐出孔を判別する判別ステップと、
前記所定の吐出孔の位置情報を算出する位置算出ステップと、
前記位置情報を基に位置ズレを検出し、前記所定の吐出孔の位置ズレ情報を算出する位置ズレ算出ステップと、
前記位置ズレ情報を基に、前記吐出部の補正最適値を算出する補正値算出ステップと、
前記補正最適値に基づいて、前記移動装置で前記吐出部を移動させて前記位置ズレを補正する補正ステップと、
を、具備することを特徴とする位置決め方法。
【請求項１４】
複数の吐出孔が所定の間隔で配置される吐出部であって、
前記吐出孔の所定の位置を判別する位置判別マークを有することを特徴とする吐出部。
【請求項１５】
前記位置判別マークは、複数の前記吐出孔配列の中心位置に付されることを特徴とする請求項１４記載の吐出部。
【請求項１６】
前記位置判別マークは、ダミー吐出孔を含むことを特徴とする請求項１４記載の吐出部。
【請求項１７】
前記位置判別マークは、文字、数字、符号、図形、線図、中心線、吐出孔番号の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項１４記載の吐出部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ等のパターンを形成するインクジェットヘッドの位置決めに関する。より詳細には、インクジェットヘッドのノズル孔の位置ズレの補正等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータのディスプレイとして、省スペース・低消費電力を特徴とする液晶カラーディスプレイの需要が高まっている。また、液晶カラーディスプレイは、液晶テレビ用途等としても需要が高まっており、画面の大型化が加速されてきている。
【０００３】
液晶パネルを構成するカラーフィルタの基材としては、従来、ガラス板を用いている。ガラス基材上に、ブラックマトリクスや、カラーフィルタを構成する赤色、緑色及び青色の３色のカラーフィルタ層を生成する。こうして生成されるカラーフィルタ基板と、別工程で生成されるＴＦＴ基板とを貼り合わせ、基板間に液晶を注入し偏向フィルムを貼り付けることで液晶パネルが完成する。
【０００４】
基板上に液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタのパターンを形成する方法として、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色のインクをインクジェット方式により基板上に吐出して着色層パターンを形成するパターン形成装置がある（［特許文献１］参照。）。
【０００５】
図１７及び図１８は、従来のインクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法を示す図である。
【０００６】
図１７に示すように、塗布幅（Ｙ方向）を拡大するためにインクジェットヘッドを複数配列する場合、千鳥足状に配列する方法が一般的である。この場合、例えば、複数のインクジェットヘッド５０１は、平行する２つの直線状に交互に配列される。ノズル孔５０２は、インクジェットヘッド５０１の左右端部には設けられないので、塗布方向（Ｘ方向）から見てノズル孔の全配列において空白部分が生じないようにするために交互に配列される。この従来のパターン形成装置は、各インクジェットヘッドユニットについて、Ｙ方向の調整機構５０４及びθ方向の調整機構５０５を備える。
【０００７】
図１８に示すように、従来のインクジェット方式のパターン形成装置は、パターン間ピッチが変更された場合、各インクジェットヘッド５０１をＹ方向（ｙ１、ｙ２、ｙ３、…）及びθ方向（φ）について調整し、ノズル孔５０２の位置を塗布対象である基板上の所定のパターン５０３の位置に調整する。
【０００８】
即ち、パターン形成装置では、基板を正確な位置に移動させつつ、インクジェットヘッド（図１７、図１８参照）からインクを吐出させて、基板上にパターンを形成する。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−３６１８５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
インクジェットヘッド５０１（図１７参照）には、実際にはノズル孔５０２がＹ軸方向に所定の間隔で数１０個から数１００個、配置される。パターン５０３を一定間隔で正確に形成させるため、通常インクジェットヘッド５０１のノズル孔５０２のノズル孔間隔と位置は高精度に形成されているが、ノズル孔配列と直交する方向（Ｘ軸方向）、ノズル孔配列方向（Ｙ軸方向）の製作時における位置のばらつきがある。
後述するが、図５、図６、図８等に示すように、インクジェットヘッドの製造過程において、ノズル孔は両端のノズル孔を結んだ線に対してずれている場合がある。図１７のようにインクジェットヘッド５０１を回転させずに使用する場合には、パターン５０３形成時にノズル孔５０２のＸ軸方向へのズレは問題にならないが、図１８のようにインクジェットヘッド５０１を回転させてパターン５０３を形成する場合には、ノズル孔５０２のＸ軸方向へのズレは、パターン５０３のＸ方向吐出位置精度を低下させ、パターン形成精度を低下させる。特に高精細なパターン５０３を形成する場合には、回転角度φが大きくなり、ノズル孔５０２のＸ方向の位置ズレによるパターン５０３形成精度の低下が顕著となる。これに対し、回転角度φが大きくなると、ノズル孔のＹ方向の位置ズレによるパターン５０３のＸ方向吐出位置への影響は、極小化し、無視できるようになる。このときのパターン５０３のＹ方向吐出位置への影響は、吐出のタイミング調整により緩和することが出来る。
従って、インクジェットヘッドのノズル孔の製造ばらつきが、パターン形成精度を低下させるという問題がある。
【００１１】
また、インクジェットヘッド５０１は、パターン形成装置に取り付ける際、通常ネジ締結による固定や、接着剤による接着固定を行う。インクジェットヘッド５０１を２個以上取り付ける場合、個々のインクジェットヘッドの取り付け誤差によりノズル孔の相対位置誤差が生じてしまい、ヘッド間で吐出位置が変化する問題がある。
【００１２】
本発明は、このような問題を鑑みてなされたもので、ヘッドのノズル孔製造精度のばらつきや、パターン形成装置へのヘッド取り付け誤差に起因する形成パターンの精度低下を緩和し、高精度なパターン形成を実現するパターン形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前述した目的を達成するための第１の発明は、複数の吐出孔が所定の間隔で配置される吐出部と、前記吐出部の吐出孔配置面を撮像する撮像装置と、前記吐出部を移動させる移動装置と、演算処理装置と、を有するパターン形成装置であって、前記演算処理装置は、前記撮像装置に、前記吐出部が有する前記吐出孔の位置判別マークを撮像させ、所定の吐出孔を判別する判別手段と、前記所定の吐出孔の位置情報を算出する位置算出手段と、前記位置情報を基に位置ズレを検出し、前記所定の吐出孔の位置ズレ情報を算出する位置ズレ算出手段と、前記位置ズレ情報を基に、前記吐出部の補正最適値を算出する補正値算出手段と、前記補正最適値に基づいて、前記移動装置で前記吐出部を移動させて前記位置ズレを補正する補正手段とを、具備することを特徴とするパターン形成装置である。
【００１４】
パターン形成装置は、インクジェット方式等によりカラーフィルタ等を製造する装置である。カラーフィルタは、ＬＣＤ（液晶ディスプレイパネル）、有機ＥＬ（Electroluminescence Display）等の表示装置に用いられる。
吐出部は、例えばインクジェットヘッドであり、基板等にパターン形成を行う加工処理装置である。
吐出孔は、インクジェットヘッド等に配置されるノズル孔である。
撮像装置は、吐出孔や位置判別マーク位置等を撮像するカメラ等の装置である。
演算処理装置は、ＣＰＵ等、或いはコンピュータ等の装置である。
【００１５】
第１の発明のパターン形成装置は、演算処理装置が、撮像装置に吐出孔の位置判別マークを撮像させて吐出孔位置を判別し、所定の吐出孔の位置ズレを検出する。また、複数の吐出孔の位置ズレを検出して、吐出部の補正最適値を算出し、移動装置で吐出部を移動させて位置ズレを補正する。
移動装置としては、スライド機構（スライドレール、スライダ等）、回転機構、駆動装置としてはリニアモータやサーボモータ等を用いることができる。
【００１６】
補正値算出手段は、補正後における所定の吐出孔の位置ズレ量の総和を最小とする補正値を補正最適値として算出するようにしても良い。
移動装置は、少なくとも１つの吐出部を一体として移動させるようにしても良い。移動装置は、例えば、少なくとも１つの吐出部が色毎に配置されて構成されるユニットを吐出孔列方向に移動させたり、少なくとも１つのユニットが配置されるベース（インクジェットヘッドユニット等）をＹ方向に移動させたりする。
移動装置は、吐出部を所定の方向に直線移動させるようにしても良い。
また、移動装置は、吐出部を水平面内において回転移動させるようにしても良い。
位置ズレ情報は、吐出孔配列と直交する方向の位置ズレ量を含む。
【００１７】
第１の発明によるパターン形成装置は、吐出孔の位置ズレがパターン形成精度に及ぼす影響を最小限に抑える効果がある。
【００１８】
第２の発明は、複数の吐出孔が所定の間隔で配置される吐出部の吐出孔配置面を撮像する撮像装置と、前記吐出部を移動させる移動装置と、演算処理装置と、からなる位置決め装置であって、前記演算処理装置は、前記撮像装置に、前記吐出部が有する前記吐出孔の位置判別マークを撮像させ、所定の吐出孔を判別する判別手段と、前記所定の吐出孔の位置情報を算出する位置算出手段と、前記位置情報を基に位置ズレを検出し、前記所定の吐出孔の位置ズレ情報を算出する位置ズレ算出手段と、前記位置ズレ情報を基に、前記吐出部の補正最適値を算出する補正値算出手段と、前記補正最適値に基づいて、前記移動装置で前記吐出部を移動させて前記位置ズレを補正する補正手段とを、具備することを特徴とする位置決め装置である。
【００１９】
第２の発明の位置決め装置は、第１の発明のパターン形成装置における吐出部の位置決め装置に関する発明である。
【００２０】
第３の発明は、複数の吐出孔が所定の間隔で配置される吐出部の吐出孔配置面を撮像する撮像装置と、前記吐出部を移動させる移動装置と、演算処理装置と、からなる位置決め装置における位置決め方法であって、前記演算処理装置は、前記撮像装置に、前記吐出部が有する前記吐出孔の位置判別マークを撮像させ、所定の吐出孔を判別する判別ステップと、前記所定の吐出孔の位置情報を算出する位置算出ステップと、前記位置情報を基に位置ズレを検出し、前記所定の吐出孔の位置ズレ情報を算出する位置ズレ算出ステップと、前記位置ズレ情報を基に、前記吐出部の補正最適値を算出する補正値算出ステップと、前記補正最適値に基づいて、前記移動装置で前記吐出部を移動させて前記位置ズレを補正する補正ステップとを、具備することを特徴とする位置決め方法である。
【００２１】
第３の発明は、第２の発明の位置決め装置におけるインクジェットヘッドの位置決め方法に関する発明である。
【００２２】
第４の発明は、複数の吐出孔が所定の間隔で配置される吐出部であって、前記吐出孔の所定の位置を判別する位置判別マークを有することを特徴とする吐出部である。
【００２３】
第４の発明の吐出部は複数の吐出孔が所定の間隔で配置され、吐出孔の所定の位置を判別する位置判別マークを有する。
位置判別マークは、複数の吐出孔配列の中心位置に付されてもよい。
位置判別マークは、ダミー吐出孔を含んでもよい。
位置判別マークは、文字、数字、符号、図形、線図、中心線、吐出孔番号の少なくともいずれかを含んでもよい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ヘッドのノズル孔製造精度のばらつきに起因する形成パターンの精度低下を緩和し、高精度なパターン形成を実現するパターン形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本実施の形態に係るパターン形成装置１０１の構成を示す図である。
【００２６】
（１．パターン形成装置１０１）
図１は、パターン形成装置１０１の概略斜視図である。尚、θ軸は鉛直方向の回転軸を示し、θ方向はその回転方向を示す。Ｙ軸は、インクジェットの塗布幅方向を示し、Ｘ軸は塗布方向を示す。θ軸、Ｙ軸、Ｘ軸は互いに直角を成す。
【００２７】
パターン形成装置１０１は、インクジェット方式によりカラーフィルタを製造する装置である。パターン形成装置１０１は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の色素を含有するインクをインクジェット方式で光透過性の基板上に吐出し、各インクを硬化させて着色画素部を形成し、当該基板上にカラーフィルタパターンを形成する。
【００２８】
パターン形成装置１０１は、インクジェットヘッドユニット１０３、スライド部１０５、回転部１０７、ガントリ１０９、スライドレール１１１、基板保持部１１５、スライドレール１１７、定盤１１９、カメラ１２１等から構成される。
【００２９】
基板保持部１１５は、カラーフィルタパターンが形成される基板１１３を吸着して固定する吸着部（図示しない）を備える。基板１１３の吸着は、例えば吸着部（図示しない）と基板１１３との間の空気を減圧、真空にすることにより実現される。この場合、吸着部（図示しない）には空気を吸引するための小孔（図示しない）が設けられ、吸着の際には当該孔を通じて真空ポンプ（図示しない）等により空気の吸引が行われる。
【００３０】
また、基板保持部１１５は、定盤１１９に設けるスライドレール１１７に沿って、基板１１３をＸ軸方向（塗布方向）に直線移動させる。基板保持部１１５は、例えばステップモータ、サーボモータ、リニアモータ等の制御可能なモータによって所定の軸方向に移動可能に支持され、制御部２０１（後述する）が出力する制御量に基づいて移動する。尚、基板１１３のＸ軸方向直線移動は、スライドレール１１７の際にリニアスケール等の精密測長手段を配置し、モータにフィードバックして制御する。
【００３１】
尚、本実施の形態では説明していないが、基板１１３をＹ軸方向に移動させる機構を設けても良いし、θ軸を中心に回転移動させる機構を設けても良い。
【００３２】
定盤１１９は、石製やセラミック製の高平坦精度を要する盤である。尚、図示していないが、基板保持部１１５等は、定盤１１９上をエア浮上させて移動させることが望ましい。
【００３３】
インクジェットヘッドユニット１０３には、位置調整の行われた複数のインクジェットヘッド１５１が配列されており、基板１１３に対してインクを吐出してパターン形成を行う。尚、インクジェットヘッドユニット１０３の構成については、図３、図４を用いて説明する。
【００３４】
インクジェットヘッドユニット１０３は、スライド部１０５、スライドレール１１１を介してガントリ１０９に連結され、塗布幅方向（Ｙ軸方向）に直線移動する。スライド部１０５とスライドレール１１１は、インクジェットヘッドユニット１０３のＹ軸方向位置調整を行う機構である。移動機構としては、例えばリニアモータ、スライド機構等を用いることができる。
【００３５】
また、回転部１０７は、インクジェットヘッドユニット１０３をθ軸方向に回転させる機構である。回転部１０７は、例えばステップモータ、サーボモータ、ダイレクトドライブモータ等の制御可能なモータを備え、制御部２０１が出力する制御量に基づいてインクジェットヘッドユニット１０３をθ方向に回転させる。尚、図４で説明するが、インクジェットヘッドユニット１０３を回転移動させることにより、作成するパターンピッチ１３５（図４）を変更することが可能である。
【００３６】
尚、スライドレール１１１は、エア浮上機構を用いてスライド部１０５を移動させることが望ましい。また、θ軸鉛直軸方向に上下移動機構を設けてもよい。また、スライドレール際にリニアスケール等の精密測長手段を配置し、スライド部１０５を駆動するモータをフィードバック制御する。
【００３７】
尚、ガントリ１０９は、定盤１１９に固定される門型フレームである。尚、ガントリ１０９を複数設けるようにしてもよいし、ガントリ１０９上部にスライドレール、駆動等を設けて、インクジェットヘッドユニット１０３を塗布方向（Ｘ軸方向）に直線移動させるようにしても良い。
【００３８】
カメラ１２１は、パターン形成装置１０１のフレーム（図示しない）に固定支持される。又は、カメラ１２１は基板保持部１１５に装着するようにしても良い。カメラ１２１は、インクジェットヘッド１０３に装着されるヘッド１５１−１〜１５１−１０（図３等参照）の位置調整を行うため、所定の基準となるマーク（後述する）やノズル孔１５３（図３参照）の位置等を撮像するカメラである。カメラ１２１の撮像画像は、パターン形成装置１０１の制御部２０１（図２で説明する）に入力される。
【００３９】
制御部２０１（後述の図２参照）は、カメラ１２１の撮像画像の画像処理を行い、ヘッド１５１のノズル孔１５３の位置ズレ量を算出して、インクジェットヘッド１０３に装着されるヘッド１５１−１〜１５１−１０（図３等参照）の位置調整を行う。
【００４０】
また制御部２０１は図示しない他のアライメントカメラ、リニアスケール、レーザ干渉計等の検出値に基づいて、モータ等をフィードバック制御し、基板保持部１１５やインクジェットヘッドユニット１０３等の位置決め及び移動を行う。更に、制御部２０１は、基板保持部１１５やインクジェットヘッドユニット１０３等の位置制御を行いつつ、インク吐出制御を行って、基板１１３のパターン形成を行う。
【００４１】
即ち、パターン形成装置１０１は、基板１１３の位置決め後、基板保持部１１５を移動させ基板１１３をインクジェットヘッドユニット１０３の下の所定の位置に搬送する。パターン形成装置１０１は、基板保持部１１５をＸ軸方向に所定の距離だけ移動させつつ所定のタイミングでインクジェットヘッドユニット１０３のノズル孔からインクを吐出させて基板１１３のＸ方向全長にパターン形成を行う。
【００４２】
更に、パターン形成装置１０１は、基板保持部１１５を初期位置に戻し、インクジェットヘッドユニット１０３を、Ｙ軸方向（塗布幅方向）の所定の位置に移動させ、基板保持部１１５を移動させつつ所定のタイミングでインクジェットヘッドユニット１０３のノズル孔からインクを吐出させて基板１１３のＸ軸方向全長へのパターン形成を行う。
【００４３】
尚、パターン形成を行いつつ基板１１３をＸ軸方向に所定の距離だけ移動後、Ｙ軸方向にヘッドユニット１０３を移動して、基板１１３をＸ軸方向の初期位置に向かって戻しつつ次のパターン形成を行うようにしても良い。
パターン形成装置１０１は、以上の処理工程を繰り返して基板１１３全体にパターン形成を行う。
【００４４】
尚、図１には示していないが、パターン形成装置１０１の動作時、及び搬送時には定盤１１９の下部には除振台を設けて、定盤１１９の振動を防止し、パターン形成の精度を維持する。
【００４５】
（２．パターン形成装置１０１の制御）
図２は、パターン形成装置１０１の構成を制御の観点から示す図である。パターン形成装置１０１は、制御部２０１、カメラ１２１、ヘッド位置決め部１２３、測定部１２５、基板位置決め部１２７、インク吐出部１２９等から構成される。
【００４６】
制御部２０１は、パターン形成装置１０１を構成する各装置の動作制御、演算処理等を行う装置であり、例えばコンピュータ等を用いることができる。制御部２０１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）２０３、メモリ２０５、記憶装置２０７等を備える。
【００４７】
ＣＰＵ２０３は、記憶装置２０７、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ：図示しない）、記憶媒体（図示しない）等に格納されるプログラムをメモリ２０５に呼び出して実行し、演算処理、動作制御処理を行う。
【００４８】
メモリ２０５は、ＲＯＭ（図示しない）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ：図示しない）等であり、恒久的或いは一時的に各種情報を保持する。
ハードディスクなどの記憶装置２０７を使用し、各種設定値やパターン形成履歴等の各種データを保持してもよい。
【００４９】
カメラ１２１は、インクジェットヘッドユニット１０３に装着されるヘッド１５１−１〜１５１−１０（図３等参照）の位置を撮像し、ヘッド位置決め部１２３は、ヘッド１５１−１〜１５１−１０を所定の位置に移動させる装置である。即ち、カメラ１２１は、インクジェットヘッド１０３の所定の判別マーク（後述する）やノズル孔１５３（図３参照）の位置等を撮像し位置情報を制御部２０１に送る。制御部２０１は、当該位置情報を基に調整最適値を算出し、ヘッド位置決め部１２３に制御量を出力する。
【００５０】
尚、ヘッド位置決め部１２３とは、例えば図３で説明するが、ユニット１３１をスライドレール１５２に沿って移動させる駆動部や、スライドレール１５２等である。また、インクジェットヘッドユニット１０３を移動させるスライド部１０５、スライドレール１１１、回転部１０７等、及びそれぞれの駆動部もヘッド位置決め部１２３とする。
【００５１】
測定部１２５は、基板１１３の位置情報を測定する装置である。図示しないが、基板１１３の所定箇所（基板上に形成されるアライメントマーク）を撮像するアライメントカメラ、各軸方向の位置補正を行うレーザ測定器、モータ等のフィードバック制御を行うためのリニアスケール、リニアスケールヘッド等を測定部１２５とする。
【００５２】
基板位置決め部１２７は、基板１１３を、所定の位置に配置する装置である。即ち、図１において、基板１１３を移動させる基板保持部１１５、スライドレール１１７、及びそれぞれの駆動部を基板位置決め部１２７とする。
【００５３】
インク吐出部１２９は、インクを吐出、及び吐出制御を行う装置である。即ち、制御部２０１はインク吐出量を制御し、インクジェットヘッドユニット１０３のノズル孔１５３（図３参照）から所定のインクを基板１１３に吐出してパターン形成を行う。
【００５４】
（３．インクジェットヘッドユニット１０３の構成）
次に、本実施の形態に係るインクジェットヘッドユニット１０３の構成を図３及び図４を用いて説明する。図３及び図４に示すインクジェットヘッド１０３は、図１によれば、基板１１３側から上方向に見た図である。
【００５５】
インクジェットヘッドユニット１０３は、１つ又は複数のインクジェットヘッド１５１（以降、ヘッド１５１と記載する）が配列された１つ又は複数のユニット１３１を備える。また、ユニット１３１には、１つ又は複数のヘッド１５１が配列され、ユニット１３１ごとに設置されているスライドレール１５２に沿って直線移動して位置調整を行うことが可能である。
【００５６】
また、図３には示していないが、例えばユニット１３１毎に回転する回転機構を設け、回転移動による位置調整を行えるようにしても良い。尚、複数のユニット１３１をまとめて直線移動、或いは回転移動させるようにしても良い。
尚、ヘッド１５１−１はインク吐出部であり、所定のピッチでノズル孔１５３−１、１５３−２・・が配置される。当該ノズル孔１５３からＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちの所定のインクをインクジェット方式で基板１１３に吐出し、パターンを形成させる。
【００５７】
図３は、作成するパターンのパターンピッチ（Ｐ１）１３３と、ノズル孔１５３−１と１５３−２の中心位置の幅が一致している場合を示す。この場合、インクジェットヘッドユニット１０３は、Ｙ軸方向に平行に設置し、Ｘ軸方向に直線移動させることで基板１１３のＸ軸方向にパターン形成を行う。
【００５８】
図４は、作成するパターンのパターンピッチ（Ｐ２）１３５が、ノズル孔１５３−１と１５３−２の中心位置の幅よりも狭い場合を示す。この場合、インクジェットヘッドユニット１０３を角度φ、回転移動させて、作成されるパターンピッチを調整する。
【００５９】
（４．ノズル孔１５３の位置ズレ補正）
ところで、ヘッド１５１には、所定の間隔で複数のノズル孔１５３が１方向に配置されているが、通常このノズル孔１５３の間隔は高精度に形成され検査がなされている。ところが、ノズル孔１５３のノズル孔配列と直交する方向（Ｘ軸方向：図３による）の位置ズレは吐出開始タイミングの調整により緩和できるため、通常あまり重要視されていなかった。
【００６０】
図５は、例えばヘッド１５１のｎ個のノズル孔１５３−１〜１５３−ｎの配置を示す図である。ヘッド１５１の両端のノズル孔１５３−１と、ノズル１５３−ｎの中心を結んだ線を基準線とした際の、基準線からのノズル孔中心位置の位置ズレ量１５５をｄとする。孔番号１５７と位置ズレ量（ｄ）１５５をグラフにすると例えばヘッド１５１の中心付近にあるノズル孔１５３−ｍが最大位置ズレ量ｄｍとなる位置ズレ量分布（分布図１５９−１参照）を示す場合がある。また、複数点に位置ズレ量（ｄ）１５５のピークを示す位置ズレ量分布（分布図１５９−２参照）を示す場合もある。
【００６１】
ヘッド１５１の製造過程において、ノズル孔は両端のノズル孔を結んだ線に対して両側にばらついているのではなく、ほとんど全てが同じ側にずれている場合が多い。
【００６２】
図３のようにヘッド１５１を水平面（ＸＹ平面）に対して回転させずに使用する場合のパターン形成時には、ノズル孔１５３のＸ軸方向へのズレは問題にならないが、図４のようにヘッド１５１を水平面に対して回転させた状態でパターン形成する場合には、ノズル孔１５３のＸ軸方向へのばらつきは、パターン形成時のパターンのズレとして顕著に表れる。
【００６３】
図６、図７は、ヘッド１５１に配列されているノズル孔１６１のノズル孔配列と直交する方向への位置ズレが、パターン形成精度の低下を引き起こす例を説明する図である。図８、図９は位置ズレ補正を行い、ノズル孔製造精度のばらつきに起因するパターン形成精度低下を、本実施の形態による方法で緩和する方法を説明する図である。
【００６４】
図６乃至図９は、説明のためヘッド１５１に５つのノズル孔１６１−１〜１６１−５が配置されているとする。尚、ノズル孔１６１−１〜１６１−５は、ノズル孔１６１−１とノズル孔１６１−５の中心とを結んだ線を基準線１６３−１とすると、基準線１６３−１に対して同じ側にずれているものとする。
【００６５】
図６において、ノズル孔１６１−１と１６１−５の中心とを結んだ線を基準線１６３−１として、ノズル孔１６１の基準線１６３−１からの位置ズレ量１５５をｄとすると、ノズル孔１６１−１〜１６１−５ｎの位置ズレ量１５５はそれぞれ、ｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４、ｄ５（但し仮定によりｄ１＝ｄ５＝０）である。
【００６６】
このヘッド１５１で基板１１３にパターン形成を行う際、パターンピッチ１６０とノズル孔１６１の位置を調整するため、図７に示すようにヘッド１５１を水平面（ＸＹ平面）に対し回転移動（角度θ）させる。尚、図７では、ブラックマトリクス等の隔壁部１６４−１〜１６４−６等が形成された基板１１３の、隔壁部１６４の中心がパターン形成（Ｒ、Ｇ、Ｂのうちの１色）の中心（パターン１６５−１〜１６５−５）、もしくは任意の位置（図示せず）となるように合わせてノズル孔１６１を配置することが望まれる。
【００６７】
例えばノズル孔１６１−１とノズル孔１６１−５の中心を結んだ線を基準線１６３−１とし、ノズル孔１６１−１とノズル孔１６１−５の中心をそれぞれ形成されるパターン１６５−１及びパターン１６５−５の位置に合わせるとする。この場合、ノズル孔１６１−２の中心は、位置ズレ量ｄ２であるので、パターン１６５−２からΔｄ２ずれてしまう。尚、Δｄ２は次式（１）で示される。
Δｄ２＝ｄ２ｓｉｎθ    ・・・・・・（１）
即ち、式（１）により、ヘッド１５１の回転角度θが大きくなる程、ノズル孔１６１−２のパターン１６５−２からのズレΔｄ２が大きくなることが判る。
【００６８】
尚、同様に、ノズル孔１６１−３の中心は位置ズレ量ｄ３によりパターン１６５−３からΔｄ３ずれ、ノズル孔１６１−４の中心は位置ズレ量ｄ４によりパターン１６５−４からΔｄ４ずれる。特にノズル孔１６１−３が最大位置ズレ量ｄ３を示し、パターン形成上の精度低下への影響が大きい。
パターン１６５は、パターンの中心位置であり、インクの望ましい着弾位置を示す。ノズル孔１６１とパターン１６５との位置ズレ量が大きくなると、混色、色むら、色抜け等の弊害が生じて品質が劣化する。
【００６９】
そこで、図８及び図９に示すように、ノズル孔１６１の位置ズレ量（ｄ）１５５を測定し、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出してヘッド１５１の位置決めの際に基準となる基準線１６３の位置を補正することで、パターン形成時のノズル孔１６１の位置が最適となるように調整する。
【００７０】
例えば図８で、ヘッド１５１の両端のノズル孔１６１−１と１６１−５の位置、及びヘッド１５１のほぼ中央部のノズル孔１６１−３の位置の３点を検出する。例えばノズル孔１６１−３の位置ズレｄ３量の１／２を位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２として、基準線１６３−１の位置を、ｄｘずらして基準線１６３−２とする。
【００７１】
基準線１６３−２を基にヘッド１５１の位置調整を行った場合を図９に示す。この場合、ノズル孔１６１−１〜１６１−５のパターン１６５中心からのズレは、それぞれ、｜ｄ１―ｄｘ｜、｜ｄ２―ｄｘ｜、｜ｄ３―ｄｘ｜、｜ｄ４―ｄｘ｜、｜ｄ５―ｄｘ｜となり、補正前の図７に比べてパターン作成時の基板全体としてのパターン作成精度を改善する効果がある。
【００７２】
次に、図１０及び図１１により、ヘッド１５１の位置ズレ補正について説明する。図１０及び図１１では、補正前のヘッド１５１とノズル孔１６１は点線で示し、補正後のヘッド１５１とノズル孔１６１は実線で示す。
【００７３】
図１０は、ヘッド１５１（補正前）をノズル孔１６１の配列方向と同方向（図に示すＷ方向）に直線移動させて、ノズル孔１６１の位置ズレ補正を行う場合を示す。即ち、図３又は図４のインクジェットヘッドユニット１０３で説明すると、ヘッド１５１を構成するユニット１３１ごとにスライドレール１５２に沿って直線移動させることにより、ノズル孔１６１の位置ズレ補正を行う。尚、複数のユニット１３１を同時にＷ方向に直線移動させるようにしても良い。
【００７４】
尚、図１０によるヘッド１５１の直線移動を行う場合には、ノズル孔１６１のＸ軸方向の位置がずれるので、ノズル孔１６１からのインク吐出のタイミングを調整する必要がある。
【００７５】
次に、図１１は、ヘッド１５１（補正前）をＹ軸方向に直線移動させて、ノズル孔１６１の位置ズレ補正を行う場合を示す。即ち図１で説明すると、インクジェットヘッドユニット１０３をスライドレール１１１に沿ってＹ軸方向に直線移動させることで、ノズル孔１６１の位置ズレ補正を行う。尚、図１には示していないが、基板１１３側をＹ軸方向に直線移動できるようにして、ノズル孔１６１の位置ズレ補正を行うようにしても良い。
【００７６】
また、ここではヘッド１５１を直線移動させる方法で、ノズル孔１６１の位置ズレ補正を行ったが、更にインクジェットヘッドユニット１０３を回転部１０７（図１参照）で回転移動させたり、ユニット１３１ごとに回転移動させることで、ノズル孔１６１の位置ズレ補正の最適化をはかるようにしても良い。
【００７７】
（５．ノズル孔１５３の位置ズレ補正）
例えばヘッド１５１の中央に配置されるノズル孔１５３を特定し、当該ノズル孔１５３の位置ズレ量（ｄ）１５５を、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２の算出に使用するものとする。ヘッド１５１の中央に配置されるノズル孔１５３を特定する方法として、判別マーク（図１２及び図１３参照）をヘッド１５１の所定の位置に設けるものとする。
【００７８】
図１２は、ヘッド１５１に配置されるノズル孔１５３−１〜１５３−ｎを示す。ノズル孔１５３の数ｎが偶数であるとすると、ヘッド１５１の中央、即ちヘッド中央部１６６のノズル孔１５３−ｍとノズル孔１５３−ｋの中央に判別マークを設けるものとする。
【００７９】
ヘッド１５１の中央に設ける各種判別マークの例を図１３に示す。図１３（ａ）は、ノズル孔１５３−ｍとノズル孔１５３−ｋの中央に、ダミーノズル１６７を配置する例を示す。ダミーノズル１６７からはインクは吐出されない。
【００８０】
図１３（ｂ）は、ノズル孔１５３−ｍとノズル孔１５３−ｋの中央に、センターマーク１６９を配置する例を示す。センターマーク１６９は、ヘッド１５１上に印刷するようにしても良い。
【００８１】
図１３（ｃ）は、ノズル孔１５３−ｍとノズル孔１５３−ｋの中央に、ライン１７１を配置する例を示す。ライン１７１は、ヘッド１５１上に印刷するようにしても良い。尚、図１３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す位置判別マークのほか、文字、数字、符号、図形、線図、中心線、ノズル孔番号等を位置判別マークとして設けても良い。
【００８２】
また、ヘッド１５１の中央部に限らず、位置ズレ量（ｄ）１５５を測定する任意のノズル孔１５３に上記の位置判別マークを設ける。位置判別マークは、１つのヘッド１５１に複数、設けても良い。
【００８３】
尚、カメラ１２１（図１参照）は、インクジェットヘッドユニット１０３のヘッド１５１を撮像し、位置判別マークの画像を制御部２０１に送る。制御部２０１は、画像処理を行って上記位置判別マークを識別する。更にカメラ１２１は位置判別マークに近接するノズル孔１５３の画像を制御部２０１に送り、制御部２０１は画像情報から位置を算出してノズル孔１５３の位置ズレ量（ｄ）１５５を算出する。
【００８４】
尚、ヘッド１５１の両端のノズル孔１５３−１、１５３−ｎは、カメラ１２１の撮像画像を制御部２０１が画像処理することで端部のノズル孔であることを判別することが可能である。勿論、両端のノズル孔１５３−１、１５３−ｎの近傍に、位置判別マークを設けておいても良い。
【００８５】
（６．位置ズレ補正のフローチャート）
図１４及び図１５は、ノズル孔１５３の位置ズレ補正を行うフローチャートである。図１乃至図１３を適宜用いてフローチャートを説明する。尚、図１４は、インクジェットヘッドユニット１０３全体を移動させてノズル孔１５３位置ズレ補正を行うフローチャートである（図１１の方法に相当する）。また、図１５は、インクジェットヘッドユニット１０３を構成するユニット１３１ごとにノズル孔１５３位置ズレ補正を行うフローチャートである（図１０の方法に相当する）。
【００８６】
（６−１．位置ズレ補正：図１４）
パターン形成装置１０１の制御部２０１は、カメラ１２１でインクジェットヘッドユニット１０３を基板１１３側から撮像する。即ちインクジェットヘッドユニット１０３を基板１１３側から見ると、インクジェットヘッドユニット１０３を構成するユニット１３１ごとに少なくとも１つのヘッド１５１が配置されている（図３参照）。
【００８７】
ヘッド１５１のノズル孔１５３の位置ズレ分布に関しては図５を参照、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２算出については図６乃至図９を参照、ノズル孔１５３の特定の為の判別マークは図１２、図１３を参照する。尚、ヘッド１５１のノズル孔１５３の数ｎは偶数であるとし、ヘッド１５１の中央にセンターマーク１６９が設けられているものとする（図１３（ｂ）参照）。また、１つのヘッド１５１の両端のノズル孔１５３−１、１５３−ｎを結んだ直線に対し、ヘッド１５１の中央のノズル穴１５３−ｍの位置ズレ量（ｄｍ）１５５を検出し、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出するものとする。
【００８８】
ヘッド１５１（図５参照）のノズル孔１５３の位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出する手順として、まず制御部２０１は、カメラ１２１でヘッド１５１の両端のノズル孔１５３−１、１５３−ｎの中心位置を撮像して位置情報をメモリ２０５等に格納する。また、制御部２０１はノズル孔１５３−１、１５３−ｎの中心位置を結ぶ線を、基準線１６３−１の位置情報としてメモリ２０５等に登録する（ステップ１００１）。即ち、ノズル孔１５３−１、１５３−ｎの間に位置する他のノズル孔１５３の中心位置と、当該基準線１６３−１との直線距離を、そのノズル孔１５３の位置ズレ量（ｄ）１５５とする。
【００８９】
次に制御部２０１は、カメラ１２１でヘッド１５１のセンターマーク１６９の撮像画像を得て、画像処理を行い位置情報を得る（ステップ１００２）。即ちヘッド１５１は、ノズル孔１５３の中央位置に図１３（ｂ）に示すセンターマーク１６９を有するものとする。尚、ヘッド１５１のノズル孔１５３の数が奇数個であった場合には、中央に位置するノズル孔１５３の上部、或いはノズル孔１５３の近傍や周囲等にセンターであることを示す記号等を設けるようにしても良い。
【００９０】
センターマーク１６９に最も近いノズル孔１５３−ｍをこのヘッド１５１の中央のノズル孔であるとして、制御部２０１はカメラ１２１でノズル孔１５３−ｍの画像情報を得て、画像処理により中心位置情報を得る。また、制御部２０１は、ノズル孔１５３−ｍの中心位置の位置ズレ量（ｄ）１５５を、前述の基準線１６３−１からの直線距離として算出し（ステップ１００３）、メモリ２０５等に登録する。
【００９１】
次に、制御部２０１は、ノズル孔位置の位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出し（ステップ１００４）、メモリ２０５等に登録する。位置ズレ補正を説明する図６乃至図９によると、ヘッド１５１の中央のノズル穴をノズル孔１６１−３とすると、位置ズレ量１５５は「ｄ３」と算出される。また、図８において、例えば位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２は、
ｄｘ＝ｄ３／２・・・・・・・（２）
のように、設定する。
【００９２】
尚、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２の算出方法は、これに限定されない。例えば、図６に示すように、ヘッド１５１に配置されるノズル孔１５３のうち、複数点（ノズル孔１６１−１、１６１−２、１６１−３、１６１−４、１６１−５等）の位置ズレ量１５５を測定し、位置ズレ量１５５の平均値を、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２としても良い（式（３）参照）
ｄｘ＝（ｄ１＋ｄ２＋ｄ３＋ｄ４＋ｄ５）／５・・・・（３）
尚、式（３）によれば、各々のノズル孔１６１の位置ズレ量（ｄ）１５５と位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２との差の総和が最小となる。
【００９３】
また、各々のノズル孔１６１の位置ズレ量（ｄ）１５５と位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２との差の標準偏差が最も小さくなるように、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を設定するようにしても良い。
【００９４】
また、制御部２０１は、位置ズレ量（ｄ）１５５が所定の値を超えるノズル孔１６１を判別した場合は、当該ノズル孔１６１を、パターン作成に使用しない（インクを吐出しない）ように設定しても良い。又は、制御部２０１が、当該ノズル孔１６１を備えるヘッド１５１のみを交換するよう警告指示を行うようにしても良い。
【００９５】
全てのヘッド１５１について、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２の算出が終了していないならば（ステップ１００５のＮＯ）、制御部２０１はヘッド位置決め部１２３、又は基板位置決め部１２７を駆動させ、次のヘッドをカメラ１２１の位置に移動させて（ステップ１００６）、ステップ１００１に戻り次のヘッドの位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出する。
【００９６】
このように、制御部２０１がインクジェットヘッドユニット１０３を構成する全てのヘッドについて位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出しメモリ２０５等に登録が終了すると（ステップ１００５のＹＥＳ）、制御部２０１は登録されたヘッドの位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を用いて、当該インクジェットヘッドユニット１０３のノズル孔位置ズレを補正する最適補正値を算出する（ステップ１００７）。
【００９７】
最適補正値の算出方法は、例えば、全てのヘッドの位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２の平均値を用いて求めるようにしても良い。この時、インクジェットヘッドユニット１０３のＹ軸方向への最適補正値は、次式（４）で算出される。
（インクジェットヘッドユニット１０３のＹ軸方向への最適補正値）＝（位置ズレ補正値１６２の平均値）×ｓｉｎθ      ・・・・・（４）
【００９８】
また、特定のヘッドの位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２に重み付けをして総合的な位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出し、これを基にインクジェットヘッドユニット１０３の最適補正値を算出するようにしても良い。
【００９９】
次に、制御部２０１は、算出した最適補正値に基づいて、スライド部１０５（図１参照）をＹ軸方向に平行移動させて、インクジェットヘッドユニット１０３のＹ軸方向位置調整を行う（ステップ１００８：図１１参照）。本実施の形態の方法により、補正後のヘッド１５１のノズル孔位置は、補正前よりも総合的にズレ量が縮小される。従って、パターン作成の精度低下を軽減する効果がある。
【０１００】
ステップ１００８によるインクジェットヘッドユニット１０３の位置調整が終了すると、制御部２０１は、パターン形成の工程に移る。パターン形成に関する説明は省略する。
【０１０１】
（６−２．位置ズレ補正：図１５）
次に、別の位置ズレ補正方法について、図１５のフローチャートにより説明する。図１５のステップ２００１乃至ステップ２００４は、前述の図１４におけるステップ１００１乃至ステップ１００４と同じなので説明を省略する。
【０１０２】
ステップ１００１乃至ステップ１００４では、例えば図３において、ユニット１３１−１のヘッド１５１−１〜１５１−３についてそれぞれのヘッド１５１の位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出する。即ち、ユニット１３１−１の全てのヘッド１５１−１乃至１５１−３の補正値１６４の算出が終了するまで、カメラ１２１の位置に次のヘッド１５１を移動させつつ（ステップ２００５のＮＯ、及びステップ２００６）、ステップ２００１からステップ２００４の処理を繰り返す。
【０１０３】
ユニット１３１−１の全てのヘッド１５１−１乃至１５１−３の補正値１６４の算出が終了すると（ステップ２００５のＹＥＳ）、制御部２０１は、当該ユニット１３１−１の最適補正値を算出する（ステップ２００７）。即ち、ヘッド１５１−１乃至１５１−３の補正値１６４の平均値を最適補正値算出に用いても良い。この時、ユニット１３１−１のＷ方向への最適補正値は、次式（５）で算出される。
（ユニット１３１−１のＷ方向への最適補正値）＝（位置ズレ補正値１６２の平均値）×ｔａｎθ      ・・・・・・（５）
また、特定のヘッド１５１の補正値１６４に重み付けをして総合的は位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出し、これを基にユニット１３１−１のＷ方向への最適補正値を算出するようにしても良い。
【０１０４】
次に、制御部２０１は、ヘッド位置決め部１２３（図２参照）に最適補正値に基づく制御量を出力し、ユニット１３１−１をスライドレール１５２−１（図３参照）に沿ってＷ方向（図１０参照）に直線移動させ位置調整を行う（ステップ２００８）。本実施の形態の方法により、補正後のヘッド１５１のノズル孔位置は、補正前よりも総合的にズレ量が縮小される。従って、パターン作成精度低下を軽減する効果がある。
【０１０５】
全てのユニット１３１−１〜１３１−４（図３参照）についてユニット１３１の位置補正が終了していないならば（ステップ２００９のＮＯ）、次のユニット１３１をカメラ１２１の位置に移動させ（ステップ２０１０）、ステップ２００１からの処理を繰り返す。
【０１０６】
全てのユニット１３１−１〜１３１−４（図３参照）についてユニット１３１の位置補正が終了すると（ステップ２００９のＹＥＳ）、制御部２０１はパターン形成の工程に移る。
【０１０７】
尚、ここでは、１つのヘッド１５１について、３点（ヘッド１５１の両端と中央）のノズル孔１５３の位置情報を得て、位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２（図８参照）を算出するとしたが、ノズル孔１５３の参照点の数は任意に設定することが可能である。
【０１０８】
また、重要度の高いヘッド１５１に着目し、ヘッド１５１ごとに重み付けをして位置ズレ補正値（ｄｘ）１６２を算出するようにしても良い。
【０１０９】
また、図１４ではインクジェットヘッドユニット１０３の調整により位置ズレ補正を行う方法、図１５ではユニット１３１ごとの位置ズレ補正を行う方法について説明したが、例えばヘッド１５１ごとに調整手段を設けて位置ズレ補正を行うようにしても良い。また、ユニット１３１を幾つかまとめて同時に位置ズレ補正を行うようにしても良い。また、前述した直線移動手段に加えて、回転手段（回転部１０７やユニット１３１ごとの回転手段）を位置ズレ補正に用いても良い。
【０１１０】
本実施の形態では、ヘッド１５１の中央位置のノズル孔１５３の位置を判別するマークとして、ヘッド１５１にセンターマーク１６９を設ける例を示したが、センターマーク１６９に限らず、インク吐出機能を有しないダミーノズル１６７（図１３（ａ）参照）、ライン１７１（図１３（ｃ）参照）、等を設けるようにしても良い。また、図示しないが、文字、数字、符号、図形、千図等を用いても良い。また、複数のノズル孔１５３の位置判別を行う場合には、ノズル孔番号等を、それぞれのノズル孔１５３近傍に設けるようにしても良い。
【０１１１】
尚、先述の図７、図９、図１０、図１１等では、理解の容易のため、隣接する各ラインの位置に１つのヘッドの各ノズル孔が位置するものとして説明した。
実際には、カラーフィルタ等のパターンを形成する場合、隣接するラインは色が異なり、ヘッドも各色毎に設けられる。例えば、各色間（Ｒｅｄ、Ｇｒｅｅｎ、Ｂｌｕｅ）のピッチを３ラインずつずらし、１つのヘッドの各ノズル孔の位置が３ラインずつずれるように各色毎のヘッドを配置する。
【０１１２】
図１６にカラーフィルタのパターン形成を行う場合の、各色のヘッド１５１−１〜１５１−３の配置、及びノズル孔１６１−１〜１６１−１５とパターン１６５−１〜１６５−１５との位置関係を示す。ヘッド１５１−１はノズル１６１−１〜１６１−５からＲ（赤）インクを吐出し、パターン１６５−１、１６５−４、１６５−７、１６５−１０、１６５−１３を形成する。ヘッド１５１−２はノズル１６１−６〜１６１−１０からＧ（緑）インクを吐出し、パターン１６５−２、１６５−５、１６５−８、１６５−１１、１６５−１４を形成する。ヘッド１５１−３はノズル１６１−１１〜１６１−１５からＢ（青）インクを吐出し、パターン１６５−３、１６５−６、１６５−９、１６５−１２、１６５−１５を形成する。
【０１１３】
（７．効果等）
以上説明したように、本実施の形態のパターン形成装置１０１では、インクジェットヘッドユニット１０３に装着するヘッド１５１のノズル孔１５３の位置ズレを補正することにより、パターン形成精度の低下を抑制する効果がある。
【０１１４】
また、ヘッド１５１に、参照するノズル孔１５３の位置を判別するマークを設けているので、効率的にノズル孔１５３を判別し、位置ズレ補正を行う工程を簡素化する効果がある。
【０１１５】
また、本実施のパターン形成装置１０１では、ノズル孔配列方向に直交する方向のノズル孔の位置ズレが小さいヘッド１５１を選別する必要がなくなり、コスト的負担、及び労力的負担を軽減する効果がある。
【０１１６】
尚、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に限られるものではない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】本実施の形態におけるパターン形成装置１０１の概略斜視図
【図２】パターン形成装置１０１の制御部２０１の構成図
【図３】インクジェットヘッドユニット１０３を示す図
【図４】インクジェットヘッドユニット１０３を示す図
【図５】ヘッド１５１のノズル孔１５３の位置ズレを説明する図
【図６】ヘッド１５１のノズル孔１６１の位置ズレを示す図
【図７】ヘッド１５１を回転させた時のノズル孔１５３の位置ズレを示す図
【図８】ヘッド１５１のノズル孔１６１の位置ズレと補正を示す図
【図９】ヘッド１５１を回転させた時のノズル孔１６１の位置ズレを示す図
【図１０】ヘッド１５１の補正（Ｗ方向）を示す図
【図１１】ヘッド１５１の補正（Ｙ方向）を示す図
【図１２】ヘッド１５１の中央部を示す図
【図１３】ヘッド１５１の中央部のマークを示す図
【図１４】ノズル孔１５３の第１の位置ズレ補正方法を示すフローチャート
【図１５】ノズル孔１５３の第２の位置ズレ補正方法を示すフローチャート
【図１６】カラーフィルタ作成時の各色ヘッド１５１の位置関係を示す図
【図１７】インクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法
【図１８】インクジェット方式のパターン形成装置におけるインクジェットヘッドの配置及び位置決め方法
【符号の説明】
【０１１８】
１０１………パターン形成装置
１０３………インクジェットヘッドユニット
１０５………スライド部
１０７………回転部
１０９………ガントリ
１１１、１１７………スライドレール
１１３………基板
１１５………基板保持部
１１９………定盤
１２１………カメラ
１２３………ヘッド位置決め部
１２５………測定部
１２７………基板位置決め部
１２９………インク吐出部
１３１−１〜１３１−４………ユニット
１３３、１３５、１６０………パターンピッチ
１５１−１〜１５１−１０………ヘッド
１５２−１〜１５２−４………スライドレール
１５３−１、１５３−２・・１５３−ｍ、１５３−ｋ、１５３−ｎ、１６１−１〜１６１−１５………ノズル孔
１５５………位置ズレ量
１５７………孔番号
１５９−１、１５９−２………分布図
１６２………位置ズレ補正値
１６３−１、１６３−２………基準線
１６４−１〜１６４−１６………隔壁部
１６５−１〜１６５−１５………パターン
１６６………ヘッド中央部
１６７………ダミーノズル
１６９………センターマーク
１７１………ライン
２０１………制御部
２０３………ＣＰＵ
２０５………メモリ
２０７………記憶装置
５０１………インクジェットヘッド
５０２………ノズル孔
５０３………パターン
５０４………調整機構（Ｙ方向）
５０５………調整機構（θ方向）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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