(57)【要約】【課題】  中空型パッケージに光学デバイスを内蔵し、ガラス板を接着する製造装置で、設備が複雑化し、ガラス表面の汚染や傷、異物が付着することを防止する。【解決手段】  ローダから供給された搬送トレー２のパッケージに紫外線硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布部４と、複数のガラス板を待機させたガラス板供給部と、ガラス板供給部からガラス板を取出して搬送し、搬送トレー２により保持された複数のパッケージにガラス板を載置するガラス搭載部５と、パッケージにガラス板を載置した後、一定の放置時間を確保出来るように設置されたバッファ部６と、搬送トレー２を収納し、紫外線硬化性接着剤に紫外線を照射し、紫外線硬化性接着剤を硬化させてガラス板をパッケージに固定する紫外線照射炉７とを備えた。【選択図】  図２
2006120753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学デバイスを収納した絶縁材料から成る複数の中空型パッケージを搬送トレーに保持する工程と、前記搬送トレーにより保持された複数の前記パッケージの開口部に紫外線硬化性接着剤を塗布する工程と、前記パッケージに前記紫外線接着剤を介して光透過性のガラス板を載置する工程と、前記ガラス板を載置した状態で一定時間を放置した後、前記パッケージに紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を硬化させて気密封止する工程とを含む光学デバイス装置の製造方法。
【請求項２】
光学デバイスを収納した絶縁材料から成る中空型パッケージの開口部に紫外線硬化性接着剤を塗布し、光透過性のガラス板を載置した後、紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させて気密封止を行なうようにした光学デバイス装置の製造装置であって、複数の前記パッケージを保持した搬送トレーと、複数の前記搬送トレーを収納したマガジンと、複数の前記マガジンを待機させたローダと、前記ローダから供給された前記搬送トレーの前記パッケージに紫外線硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布部と、複数の前記ガラス板を待機させたガラス板供給部と、前記ガラス板供給部から前記ガラス板を取出して搬送し、前記搬送トレーにより保持された複数の前記パッケージに前記ガラス板を載置するガラス搭載部と、前記パッケージに前記ガラス板を載置した後、一定の放置時間を確保出来るように設置されたバッファ部と、前記搬送トレーを収納し、前記紫外線硬化性接着剤に紫外線を照射し、前記紫外線硬化性接着剤を硬化させて前記ガラス板を前記パッケージに固定する紫外線照射炉と、前記紫外線照射炉から取出された前記搬送トレー内から前記パッケージを取出し、前記パッケージを複数収納する出荷用トレーと、前記パッケージを取出した後の前記搬送トレーを前記マガジンへ収納し、複数の前記マガジンを待機させたアンローダとを備えた光学デバイス装置の製造装置。
【請求項３】
前記バッファ部は、前記ガラス板を前記紫外線硬化型接着剤を介して載置した前記パッケージに加熱を行える機構を有した請求項２記載の光学デバイス装置の製造装置。
【請求項４】
前記バッファ部は、前記搬送トレーから前記パッケージのみを持ち上げ、加熱を行える機構を有した請求項３記載の光学デバイス装置の製造装置。
【請求項５】
前記バッファ部における加熱にて前記パッケージと前記ガラス板の接着に用いる前記紫外線硬化性接着剤の粘度を低下させ、前記パッケージと前記ガラス板の接着平行度を良化させる機能を有した請求項３または４記載の光学デバイス装置の製造装置。
【請求項６】
前記パッケージに紫外線硬化性接着剤を介して前記ガラス板を載置する際及び紫外線硬化性接着剤を硬化するために紫外線を照射する際に、前記ガラス板を前記パッケージに無加圧にて行う請求項５記載の光学デバイス装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光学デバイス装置を収納したパッケージに紫外線硬化性接着剤を介してガラス板を接着し、気密封止を行う光学デバイス装置の製造方法および製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
固体撮像素子に代表される光学デバイス装置を用いた半導体デバイスは通常、凹型絶縁容器に光学デバイス装置を収納後、例えばガラス板のような光透過性の良好な部材により接着、気密封止が行なわれ、光学デバイス装置の保護、異物の混入防止を行なう。
【０００３】
従来、ガラス板の貼り合わせ装置の方法としては図８の様なガラス・平板をガラス吸着ヘッド２２で保持して垂直・水平移動が可能な上テーブル（移載ヘッド駆動部）２１と、ガラスや平板を貼り合わせる対象である中空型パッケージ１２を規正爪２３で保持し水平方向に移動可能な下テーブル（規制テーブル）２４を有する装置で対象物とガラス板もしくは平板のような対象物１５を貼り合わせるものであった（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
又、被物体（中空型樹脂パッケージ１２）へのガラスまたは板の貼り合わせ方法としては図９（ａ）、（ｂ）の様な工程で、光学デバイス２０、外部端子２５を有する中空型樹脂パッケージ１２の外周の接着面にエポキシ樹脂を主成分とする接着剤１３を塗布し、その上にガラス板１５を貼り付けＵＶ（紫外線）照射などで固めるものであった（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
なお、図１０に示すように、ガラス板１５を搭載した後、むらなく接着剤１３を分布し樹脂パッケージ１２とガラス板１５の平面度のばらつきを最小限にとどめる為にはガラス板１５へのばね又は空気圧等による加圧が必須とされ、その状態を保ったまま接着剤の硬化を行なうことが好ましい。そのため、紫外線２６を照射し接着剤を硬化する際にガラス板上面に当て面（加圧ヘッド）２７を用意し、これに押し当てるようにパッケージ側から加圧を行なう構造が必要であった（例えば、特許文献３参照）
【特許文献１】特開平７−６９６８９号公報
【特許文献２】特開２００４−２２９２８号公報（図２１）
【特許文献３】特開平６−１１２４５５号公報（図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、光学デバイス装置（以下「光学素子」という。）を生産するにあたって装置における生産性を重視したとき、ある程度複数の光学素子を一括に処理するほうが効率が良いが、上記製造方法のようにガラス板の接着時に加圧を必要とした場合、複数の光学素子を同時に加圧しつつ紫外線の照射を行なう複雑かつ高価な機構が必要となる。これを回避する為に１個ずつ加圧及び紫外線照射を行なえば比較的簡素な機構を実現出来るが、生産性の面から好ましくない。
【０００７】
又、光学素子はその機能上、ガラス板表面に汚れや異物の付着があると光学特性上の機能に支障をきたしてしまう為、可能な限りガラス面には触れないことが要求されるが、加圧を行なうためにはこの接触は避けられないものとなっている。このため接触部分の表面状態（汚れ、変形）の管理及び維持が重要なものとなるが、連続稼動を続ける量産設備においては非常に困難となる。また、複数個を一括処理する構成をとればますますその度合いは増し、状態の差異が歩留のばらつきへと直結しひいては生産性の低下を招いてしまう。その上で品質面においても後の製造工程において何らかの検査及び清掃作業が必要とされ製造コストの上昇を招いていた。
【０００８】
したがって、この発明の目的は、中空型パッケージに光学デバイスを内蔵し、光透過性の高いガラス板を接着する製造装置で、搬送トレー上に光学素子を複数個並べて処理を行なう場合、設備が複雑化し、品質面においてもガラス表面の汚染や傷、異物が付着する問題を解決する光学デバイス装置の製造方法および製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためにこの発明の請求項１記載の光学デバイス装置の製造方法は、光学デバイスを収納した絶縁材料から成る複数の中空型パッケージを搬送トレーに保持する工程と、前記搬送トレーにより保持された複数の前記パッケージの開口部に紫外線硬化性接着剤を塗布する工程と、前記パッケージに前記紫外線接着剤を介して光透過性のガラス板を載置する工程と、前記ガラス板を載置した状態で一定時間を放置した後、前記パッケージに紫外線を照射して前記紫外線硬化型接着剤を硬化させて気密封止する工程とを含む。
【００１０】
請求項２記載の光学デバイス装置の製造装置は、光学デバイスを収納した絶縁材料から成る中空型パッケージの開口部に紫外線硬化性接着剤を塗布し、光透過性のガラス板を載置した後、紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬化させて気密封止を行なうようにした光学デバイス装置の製造装置であって、複数の前記パッケージを保持した搬送トレーと、複数の前記搬送トレーを収納したマガジンと、複数の前記マガジンを待機させたローダと、前記ローダから供給された前記搬送トレーの前記パッケージに紫外線硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布部と、複数の前記ガラス板を待機させたガラス板供給部と、前記ガラス板供給部から前記ガラス板を取出して搬送し、前記搬送トレーにより保持された複数の前記パッケージに前記ガラス板を載置するガラス搭載部と、前記パッケージに前記ガラス板を載置した後、一定の放置時間を確保出来るように設置されたバッファ部と、前記搬送トレーを収納し、前記紫外線硬化性接着剤に紫外線を照射し、前記紫外線硬化性接着剤を硬化させて前記ガラス板を前記パッケージに固定する紫外線照射炉と、前記紫外線照射炉から取出された前記搬送トレー内から前記パッケージを取出し、前記パッケージを複数収納する出荷用トレーと、前記パッケージを取出した後の前記搬送トレーを前記マガジンへ収納し、複数の前記マガジンを待機させたアンローダとを備えた。
【００１１】
請求項３記載の光学デバイス装置の製造装置は、請求項２記載の光学デバイス装置の製造装置において、前記バッファ部は、前記ガラス板を前記紫外線硬化型接着剤を介して載置した前記パッケージに加熱を行える機構を有した。
【００１２】
請求項４記載の光学デバイス装置の製造装置は、請求項３記載の光学デバイス装置の製造装置において、前記バッファ部は、前記搬送トレーから前記パッケージのみを持ち上げ、加熱を行える機構を有した。
【００１３】
請求項５記載の光学デバイス装置の製造装置は、請求項３または４記載の光学デバイス装置の製造装置において、前記バッファ部における加熱にて前記パッケージと前記ガラス板の接着に用いる前記紫外線硬化性接着剤の粘度を低下させ、前記パッケージと前記ガラス板の接着平行度を良化させる機能を有した。
【００１４】
請求項６記載の光学デバイス装置の製造装置は、請求項５記載の光学デバイス装置の製造装置において、前記パッケージに紫外線硬化性接着剤を介して前記ガラス板を載置する際及び紫外線硬化性接着剤を硬化するために紫外線を照射する際に、前記ガラス板を前記パッケージに無加圧にて行う。
【発明の効果】
【００１５】
この発明の請求項１記載の光学デバイス装置の製造方法および請求項２記載の光学デバイス装置の製造装置によれば、ガラス板を中空型樹脂パッケージの開口部に紫外線硬化型接着剤を介して接着する際に、ガラス板の自重とある一定の放置時間を設定することにより、加圧を行なわずに最適な接着状態を得られる。これにより、複数のガラス板を中空構造パッケージに接着する作業を安定した品質で一括処理出来るので、生産性、品質の向上を実現する事ができる。また、この構成により加圧を行なわないことでガラス板への加圧機構が不要となり、設備の簡略化が図れ、コスト削減も実現できるとともに、前述した従来の接着・貼り付け方法での問題であるガラス板表面への接触を回避出来る。このため、ガラス板表面の汚染、異物の付着といった問題の発生を解決することができる。
【００１６】
請求項３では、請求項２記載の光学デバイス装置の製造装置において、バッファ部は、ガラス板を紫外線硬化型接着剤を介して載置したパッケージに加熱を行える機構を有していることが好ましい。ガラス板の自重のみでは接着剤の粘度に対して加圧が不足する為、ガラス板を搭載後に中空型パッケージごと加熱を行ない、接着剤の粘度を低下させることでガラス板の沈み込みを促進し、安定した接着状態を得る。
【００１７】
請求項４では、請求項３記載の光学デバイス装置の製造装置において、バッファ部は、搬送トレーからパッケージのみを持ち上げ、加熱を行える機構を有しているので、パッケージのみに効率良く短時間で加熱を行うことができる。
【００１８】
請求項５では、請求項３または４記載の光学デバイス装置の製造装置において、バッファー部における加熱にてパッケージとガラス板の接着に用いる紫外線硬化性接着剤の粘度を低下させ、パッケージとガラス板の接着平行度を良化させる機能を有していることが好ましい。接着剤の粘度を低下させることで、ガラス板の沈み込みの促進を行い、内部の余分な空気を排出するとともにパッケージ４辺の接着剤の粘度のバランスが接着剤の塗布直後に比べ向上することでガラス板のパッケージに対しての平面度が良好となる。
【００１９】
請求項６では、請求項５記載の光学デバイス装置の製造装置において、パッケージに紫外線硬化性接着剤を介してガラス板を載置する際及び紫外線硬化性接着剤を硬化するために紫外線を照射する際に、ガラス板をパッケージに無加圧にて行うことが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の実施形態を図１〜図７に基づいて説明する。図１（ａ）は本発明の実施形態の光学素子の製造装置にて使用する光学素子搬送用トレーの斜視図、（ｂ）はその要部拡大断面図、図２は本発明の実施形態の光学素子の製造装置の構成図である。
【００２１】
図１および図２に示すように、複数のパッケージを保持した搬送トレー２と、複数の搬送トレー２を収納したマガジン３と、複数のマガジン３を待機させたローダと、ローダから供給された搬送トレー２のパッケージに紫外線硬化性接着剤を塗布する接着剤塗布部４と、複数のガラス板を待機させたガラス板供給部と、ガラス板供給部からガラス板を取出して搬送し、搬送トレー２により保持された複数のパッケージにガラス板を載置するガラス搭載部５と、パッケージにガラス板を載置した後、一定の放置時間を確保出来るように設置されたバッファ部６と、搬送トレー２を収納し、紫外線硬化性接着剤に紫外線を照射し、紫外線硬化性接着剤を硬化させてガラス板をパッケージに固定する紫外線照射炉７と、紫外線照射炉７から取出された搬送トレー２内からパッケージを取出し、パッケージを複数収納する出荷用トレー９と、パッケージを取出した後の搬送トレー２をマガジン３へ収納し、複数のマガジン３を待機させたアンローダとを備えている。
【００２２】
この場合、図１に示すように、搬送トレー２は例えば２列×１６個といった配置で光学素子１を保持し、装置内の各工程における光学素子１の保持や工程間の搬送に使用するものである。構造は２枚の金属又は樹脂からなる薄板を溶接等の手段を用いて接着し、構成したものである。上部２ａの１枚は上記複数配列分に搬送する光学素子１を収納する窓枠状の抜き穴が貫通しており、その枠の寸法は光学素子１の外形寸法に対して出し入れを考慮し、２００〜４００μｍほど大きく設定されている。この抜き穴は下部板と上記手段を用いて接着、構成した際に平面方向に対する保持規制の目的を果たす。下部２ｂの１枚も上部２ａと同じく複数配列分の抜き穴が貫通しているが、こちらの寸法は光学素子１の外形寸法に対して１〜２ｍｍ小さく設定されており、上部板と上記手段にて接着、構成した際に光学素子１の底面に接触し、上下方向の保持を行なうものである。また、この下部板の貫通穴は各工程において光学素子１を下方から突き上げることで直接保持するためのステージを通す為のものであり、これにより搬送トレー２の反り等による影響を受けずに正確な光学素子１の高さ方向の位置決めが行える。
【００２３】
図２に示すように、光学素子１は図１で説明した搬送トレー２に保持された状態でマガジン３に収納して装置に供給される。搬送トレー２はマガジン３から光学素子１を保持したまま１枚ずつ取出され、接着剤塗布部４へ搬送される。この際、ローダから供給された搬送トレーを載置し所定ピッチで搬送する第１の搬送機構部を備えている。接着剤塗布部４ではディスペンサにより紫外線硬化性である接着剤１３が供給され、設定された量を光学素子１の中空型パッケージ１２の上面に任意の軌跡にて描くことが出来る。接着剤を塗布された光学素子１を収納した搬送トレー２は次にガラス搭載部５へ搬送される。ガラス搭載部５ではガラストレー１０に収納された光透過性の高いガラス板１５を１枚ずつ取出し、上記接着剤塗布部４で接着剤１３を塗布された中空型パッケージ１２の上方へ移載して、接着剤１３上へガラス板１４の載置を行なう。このとき、ガラストレー１０に搭載されたガラス板１５はガラストレー１０上のポケット部に搭載されて供給されるが、このポケットの内寸はガラス板１５の外形に対して３００〜５００μｍ程度大きく設定されている。この為ポケット内におけるガラス板１４は平面的な位置及び平面的な回転ずれが生じた状態で供給されるが、これは搬送トレー２で供給される中空型パッケージについても上記の搬送トレー２内の抜き穴により構成されるポケット部でもクリアランスが設定されている為に同様の状態が発生する。これら両方のそれぞれの位置、回転ばらつきを考慮しつつ、光学素子１で必要とされる中空型パッケージ１２上の所定の位置へガラス板１５を接着するためには両方の部材に対して何らかの位置補正が必要とされるが、今回の製造装置ではこれをカメラにより部材の任意の映像を取込み、デジタル処理にて演算を行い必要な移動量の補正を行なう画像認識による補正方法を採用している。この際、ガラス板１４を搬送トレー２の所定のパッケージに載置する為に搬送トレー２を駆動する第２の搬送機構部を備えている。なお、ガラス板１５と中空型パッケージ１２の位置補正においてはこの方式に限定されるものでは無く、機械的に両方の部材を規正爪により位置補正を行うような方法であっても問題はない。
【００２４】
この後ガラス板１５を載置された中空型パッケージ１２は搬送トレー２に保持された状態でバッファ部６へ搬送され、接着剤１３が所定の接着状態に達する迄搬送トレー２ごと放置される。所定の放置時間が経過後、搬送トレー２はＵＶ照射部７へ搬送される。ＵＶ照射部７ではガラス板１５と中空型パッケージ１２の接着に使用する紫外線硬化性の接着剤１３を硬化させる為に紫外線光（ＵＶ光）を接着剤１３の特性で要求される積算光量に達する迄、照射が実施される。この際、ガラス板１５を中空型パッケージ１２に無加圧にて行う。こうして接着剤１３の硬化が完了した光学素子１は完成品移載部８へ搬送され、移載ヘッドにより搬送トレー２から１個ずつ取出しを行い出荷トレー９に収納される。この際、ＵＶ照射部７から取出された搬送トレー２をアンローダへ載置する第３の搬送機構部と、アンローダに載置された搬送トレー２内からパッケージ１２を取出し、出荷用トレー９へ載置を行なう第４の搬送部機構部とを備えている。出荷トレー９は未収納トレーを積上げ、１枚ずつ取出して光学素子１を収納した後、未収納分と同じく積上げ、未収納分及び収納済み分に分けて収納部に収納する。ちなみに光学素子１を取出した後の搬送トレー２は再びマガジン３へ収納され、回収される。
【００２５】
図３は接着剤塗布部４にて行われる中空型パッケージ１２への接着剤１３の塗布状態の詳細を説明した図である。
【００２６】
図３（ａ）は中空型パッケージ１２へ接着剤シリンジ１１により接着剤１３を塗布する状態を表している。中空型パッケージ１２は内部に光学デバイス２０を有する。接着剤シリンジ１１はディスペンサにて加圧され、内部の接着剤１３をその圧力にて先端のノズルから塗出するものである。このとき塗出する接着剤１３の量の増減については、ノズル先端の穴の内径とシリンジ１１に加圧する圧力、塗布対象物である中空型パッケージ１２に対する接着剤シリンジ１１の移動速度で決定される。またノズル先端と中空型パッケージ１２との距離についても塗布状態への影響が大きい為、変位測定器等を使用してその距離を塗布毎に測定し、補正を行なうことで安定した塗布量が得られる。
【００２７】
図３（ｂ）は中空型パッケージ１２に塗布された接着剤１３の状態を表している。接着剤１３は上記のように接着剤シリンジ１１の移動により軌跡が描画されるが、接着面を完全に１周した額縁状にせず、一部にスリット１４を設ける必要がある。これは後の工程でガラス板１５を搭載した際に中空型パッケージ１２内部の空気が閉じ込められると膨張により接着状態の不良を引き起こす為、スリット１４から内部の余分な空気を排出し内圧の上昇を抑え、接着状態悪化への影響を取り除く為である。尚、スリット１４は内部の空気を逃がした後は接着剤１３が広がることで閉じるように最適な距離に設定する必要がある。
【００２８】
図４は中空型パッケージ１２にガラス板１５を貼り合わせる工程を説明した図である。
【００２９】
図４（ａ）は接着剤１３を塗布後にガラス板１５を搭載する寸前の状態を表した図である。上記のように中空型パッケージ１２とガラス板１５は平面的な位置と回転方向のずれをそれぞれ補正され、所定の位置にて接着が行なわれる。この時、従来の製造装置では図１０のように搭載後のガラスにスプリングの荷重又は空気圧等により加圧が行なわれ、この圧力によりガラス板１５を介して接着剤１３を押しつぶして所定の接着面積を得られた時点で加圧したまま紫外線の照射を行なっていた。これにより接着剤１３の安定した広がりが得られ、必要な接着強度を達成していた。しかし、本実施形態の製造装置ではこの加圧を行なわず、図４（ａ）のように接着剤の３０〜５０μｍ程度上側まで移動した後、ガラス移載ヘッド２２（図８参照）の真空吸着を切断し、ガラス板を落下させている。この後、図４（ｂ）のようにガラス板１５の自重によってのみ加圧を実施する為、搬送トレー２上で複数の光学素子１を扱う場合も複雑な加圧機構が不要となり設備のコストダウンが図れると同時にガラス面への接触を行なわない為、ガラス板１５表面への汚染や傷の発生を削減出来る。
【００３０】
図５および図６はガラス板１５を接着した後の接着面における良品、不良品の差異とガラス板１５の沈み込み不足による傾きが発生した状態を説明した図である。
【００３１】
図５（ａ）は正常に接着剤１３がガラス板１５によって押し広げられ、中空型パッケージ１２の内部の余分な空気も排出された後、スリット１４が閉鎖している状態である。
【００３２】
図５（ｂ）は接着面においてスリット開状態１６が発生した状態の図である。この不良が発生する理由としてはガラス板１５による接着剤１３の押しつぶしが不足しているか又は接着剤１３塗布後のスリット１４の距離が大きすぎて、充分なガラス板１５の沈み込みが得られたにもかかわらず接着剤１３が接続しなかったことが考えられる。
【００３３】
図５（ｃ）は（ｂ）とは逆にガラス板１５による接着剤１３の押しつぶしが早期に完了したことにより、中空型パッケージ１２の内部の余分な空気が排出されないまま、スリット１４が閉鎖されてしまった為に内圧が上昇し、接着剤１３が紫外線光を照射されていない未硬化の状態の為、内部の空気によって押し広げられた結果、接着面積が縮小してしまう不良（ひけ状態）１７の発生の状態である。同様に、接着剤１３塗布後のスリット１４の距離が小さすぎてもこのひけ不良は発生しやすい。
【００３４】
図６（ａ）はガラス板１５が中空型パッケージ１２に正常な平面度で接着された状態を表している。額縁状になった接着剤１３の４辺の高さが均等な場合、このような状態が達成できる。
【００３５】
図６（ｂ）はガラス板１５が中空型パッケージ１２に対して傾いた状態で接着されている状態である。このガラスの傾き１８の発生は上記図５（ｂ）、（ｃ）のように接着面に不良が発生した際に起こりやすい。４辺の接着剤１３の押しつぶし量のばらつきにより、接着剤１３の厚みにばらつきが発生することでガラス板１５が傾いた状態が発生する。この時、接着剤１３の高さ方向にばらつきが出る為、長期に渡る光学素子１の使用条件によっては機密性不足の為、内部に水分や異物が混入することで光学デバイス２０の機能低下を招く原因にもなるのである。本実施形態における製造装置ではガラス板１５の接着時に加圧を行なわないことを特長としているが、この場合ガラス板１５の自重によってのみ加圧が行なわれる為、接着剤１３の押しつぶしに必要な加圧が不足したり、正常な接着状態に達するまでに長時間を要したりと、品質及び生産性の面で課題が有った。
【００３６】
図７はガラス板１５の接着後に実施する中空型パッケージ１２への加熱機構を説明した図である。
【００３７】
上記のようにガラス板１５の自重のみで加圧を行なう方法では加圧力がごくわずかである為、接着剤の粘度の状態によりガラス板１５の沈み込み量に差異が発生するが、図７のようにガラス板１５を搭載後、中空型パッケージ１２ごと加熱を行い、接着剤１３の粘度を低下させることでガラス板１５の沈み込みの促進を行い、内部の余分な空気を排出するとともに４辺の接着剤１３の粘度のバランスが接着剤１３の塗布直後に比べ向上することでガラス板１５が中空型パッケージ１２に対しての平面度も良好な状態が得られる。この加熱方法については一例としては図７のようにヒーターにより６０〜８０℃程度に保った金属製の加熱ブロック１９を搬送トレー２の下部の貫通穴より挿入し、搬送トレー２を介さず直接中空型パッケージ１２のみに加熱を行なうと効率良く短時間で加熱を行なうことが出来る。但し加熱方法についてはこの構成に限らず、搬送トレー２ごと加熱炉内へ搬送し全体の加熱を行なっても構わない。加熱時間についてはガラス板１５の自重や接着剤１３の塗布量等と合わせてスリット１４の大きさとともに最適な値を設定する必要がある。またこの構成による二次的な効果として、搬送トレー２上で複数の光学素子１を各工程において処理を行なうが、接着剤１３の塗布、ガラス板１５の搭載ともに１個ずつの単位で順次行なう為、同一トレー内において処理の開始時間に差異が発生するが、ＵＶ照射部７においては搬送トレー２内の光学素子１に対して一括処理で紫外線光の照射を行なうので、スリット１４の閉鎖状態などが搬送トレー内で同一状態になっていることが好ましいが、加熱を行なうことで時間差による差異が吸収され、生産性を下げることなく品質面においても良好な結果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明にかかる光学デバイス装置の製造方法および製造装置は、ガラス板を中空型パッケージに接着する装置に関するものであり、光学素子等へガラス板を無加圧にて接着する用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態の光学素子の製造装置にて使用する光学素子搬送用トレーの斜視図、（ｂ）はその要部拡大断面図である。
【図２】本発明の実施形態の光学素子の製造装置の構成図である。
【図３】本発明の実施形態において中空型パッケージへ接着剤を塗布する工程の説明図である。
【図４】本発明の実施形態において接着剤を塗布後にガラス板を搭載する工程の説明図である。
【図５】ガラス板と中空型パッケージの接着状態における接着面の不具合例を説明する図である。
【図６】ガラス板と中空型パッケージの接着状態における平面度の不具合例を説明する図である。
【図７】本発明の実施形態においてガラス搭載後の加熱機構を示す断面図である。
【図８】従来の接着装置の説明図である。
【図９】従来のガラス接着方法の説明図である。
【図１０】従来のガラス接着時の加圧方法の説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  光学素子
２  搬送トレー
３  マガジン
４  接着剤塗布部
５  ガラス搭載部
６  バッファ部
７  ＵＶ照射部
８  完成品移載部
９  出荷トレー部
１０  ガラストレー
１１  接着剤シリンジ
１２  中空型パッケージ
１３  接着剤
１４  スリット
１５  ガラス板
１６  スリット開状態
１７  ひけ状態
１８  ガラスの傾き
１９  加熱ブロック
２０  光学デバイス
２１  移載ヘッド駆動部
２２  ガラス移載ヘッド
２３  規正爪
２４  規正テーブル
２５  外部端子
２６  紫外線光
２７  加圧ヘッド
【図１】
2006120753.tif 000003
【図２】
2006120753.tif 000004
【図３】
2006120753.tif 000005
【図４】
2006120753.tif 000006
【図５】
2006120753.tif 000007
【図６】
2006120753.tif 000008
【図７】
2006120753.tif 000009
【図８】
2006120753.tif 000010
【図９】
2006120753.tif 000011
【図１０】
2006120753.tif 000012