(57)【要約】【課題】パターン形成装置のインク吐出面の幅が小さい場合にも、インク吐出面に付着したインクを確実に除去可能とする。【解決手段】クリーニング装置１を、パターン形成装置１００に設けられたクリーニング用移動ステージ１２１に載置し、長手方向に配列されたインク吐出口１０２を有する吐出面１０３をクリーニングするときに、最初に吸引ノズル２を用いてインク吐出面１０３に付着したインクを所定の量吸引し、次に、所定の量吸引した後に残留したインクを、インク吐出口１０２が配列された方向に対して角度θ２傾いた方向に、ブレード５，６を相対移動させて払拭した。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１列又は複数列に長手方向に配列されたインク吐出口を有するパターン形成装置のインク吐出面をクリーニングするクリーニング装置であって、
前記インク吐出面に付着したインクを所定の量、除去するインク除去部と、
前記所定の量、除去した後に残留したインクを、前記インク吐出面に対して相対移動することにより払拭する少なくとも１つの払拭部材と、
を備えたパターン形成装置のクリーニング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成装置のクリーニング装置において、
前記インク除去部は、前記インク吐出面に付着したインクを所定の量、吸引するインク吸引部であること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のパターン形成装置のクリーニング装置において、
前記払拭部材は、前記インク吐出面に対する前記相対移動の方向が、前記インク吐出口が配列された方向に対して所定の角度、傾いた方向であること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のパターン形成装置のクリーニング装置において、
前記払拭部材は、前記インク吐出口が配列された方向に対して所定の角度、傾いた状態で前記インク吐出面と接触すること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のパターン形成装置のクリーニング装置において、
前記払拭部材は、前記インク吐出面に対して移動可能に設けられ、
前記払拭部材は、その前記相対移動が、インクジェットヘッドが停止した状態において、前記インク吐出面に対して移動することにより行なわれること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のパターン形成装置のクリーニング装置において、
前記払拭部材は、弾性部材から形成され、前記インク吐出面を押圧して前記インク吐出面に付着したインクを払拭すること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング装置。
【請求項７】
１列又は複数列に長手方向に配列されたインク吐出口を有するパターン形成装置のインク吐出面のクリーニング方法であって、
前記インク吐出面に付着したインクを所定の量、除去するインク除去工程と、
前記所定の量、除去した後に残留したインクを、前記インク吐出面に対して相対移動することにより払拭する払拭工程と、
を備えたパターン形成装置のクリーニング方法。
【請求項８】
請求項７に記載のパターン形成装置のクリーニング方法において、
前記インク除去工程は、前記インク吐出面に付着したインクを所定の量、吸引するインク吸引工程であること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング方法。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載のパターン形成装置のクリーニング方法において、
前記払拭工程は、前記インク吐出面に対する前記相対移動の方向が、前記インク吐出口が配列された方向に対して所定の角度、傾いた方向であること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング方法。
【請求項１０】
請求項７から請求項９までのいずれか１項に記載のパターン形成装置のクリーニング方法において、
前記払拭工程は、前記インク吐出口が配列された方向に対して所定の角度、傾いた状態で前記インク吐出面と接触すること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング方法。
【請求項１１】
請求項７から請求項１０までのいずれか１項に記載のパターン形成装置のクリーニング方法において、
前記払拭工程は、その前記相対移動が、インクジェットヘッドが停止した状態において、前記インク吐出面に対して移動することにより行なわれること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング方法。
【請求項１２】
請求項７から請求項１１までのいずれか１項に記載のパターン形成装置のクリーニング方法において、
前記払拭工程は、弾性的に前記インク吐出面を押圧して前記インク吐出面に付着したインクを払拭すること、
を特徴とするパターン形成装置のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成装置のインク吐出面に付着したインクのクリーニング装置及びクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パターン形成装置（インクジェットプリンタ）のインクジェットヘッドは、従来からその小型化が進められてきた。特に、ガラス基板等にインクを塗布する産業用のパターン形成装置のインクジェットヘッドにおいては、インクジェットヘッドの内部構造を簡略化し、その外形をより小型化するために、インクを吐出するインク吐出口の数を、例えば２５６個から１２８個へと減少させることがある。
また、パターン形成装置のインクジェットヘッドは、インクが付着したインク吐出面をクリーニングするために、付着インクを吸引する吸引装置や付着インクを払拭するワイパが設けられているものがあった。
【０００３】
図８は、従来技術によるインク吐出面のクリーニング方法を模式的に示す図である。
図８（ａ）は、従来のインクジェットヘッド２０１を示す図である。インクジェットヘッド２０１は、複数のインク吐出口２０２が１列に、インク吐出面２０３に配列されている。従来のインクジェットヘッド２０１の幅Ｌ１は、例えば２７ｍｍ程度であり、ワイパ２０４を用いて、付着インクを十分に払拭することができた。
【０００４】
しかし、インクジェットヘッドが小型化され、そのインク吐出面の幅が小さい場合、インク吐出面をクリーニングするときに、以下の問題があった。
（１）図８（ｂ）は、インクジェットヘッドの小型化が進み、インクジェットヘッド２１１の幅Ｌ２が、例えば５ｍｍ程度にされた状態を示す図である。この場合、幅Ｌ２が小さいため、ワイパ２１４の加圧力が、インク吐出面２１３に適当に伝わらないという問題があった。
（２）図８（ｃ）は、ワイパ２１４が、付着インクをインク吐出面２１３の長手方向に沿って払拭する状態を示す図である。この場合、ワイパ２１４の移動にともない、払拭されたインクが、インクジェットヘッド２１１の側面に付着し、インク塗布工程において、被パターン形成体に付着する可能性があるという問題があった。
（３）さらに、吸引装置のみを用いて付着インクを吸引する場合、吸引力を大きくする必要がある。この場合、インク吐出口２１２は、開口穴であるため、吸引している以外のインク吐出口２１２のインクノズル内のインクに、吐出方向とは逆方向に力が働き、気泡が発生するという問題があった。
【０００５】
一方、特許文献１には、吸引手段（吸引装置）を有する接触清掃手段２０１と接触清掃手段２０３（ワイパ）とを用いたインクジェット記録装置のクリーニング機構が開示されている。
しかし、このクリーニング機構は、インク吐出口のノズルから低粘度インクを引き出し、インクミストやゴミ等を溶解するため、クリーニングを行なう度にインクを消耗するという問題ある。また、インク吐出口のノズル内のインクを吸引するため、他のノズル内における気泡の発生が防止できない。さらに、ノズル内のインクの粘度は、ノズルによってそれぞれ異なるので、安定したインクの吸引が困難であるという問題がある。
【特許文献１】特開２００４−９８２８８号公報（第４頁、［００１１］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、パターン形成装置のインク吐出面の幅が小さい場合にも、インク吐出面に付着したインクを確実に払拭可能なパターン形成装置のクリーニング装置及びクリーニング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施例に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項１の発明は、１列又は複数列に長手方向に配列されたインク吐出口（１０２）を有するパターン形成装置（１００）のインク吐出面（１０３）をクリーニングするクリーニング装置（１）であって、前記インク吐出面（１０３）に付着したインクを所定の量、除去するインク除去部（２）と、前記所定の量、除去した後に残留したインクを、前記インク吐出面（１０３）に対して相対移動することにより払拭する少なくとも１つの払拭部材（５，６）と、を備えたパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）である。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）において、前記インク除去部（２）は、前記インク吐出面（１０３）に付着したインクを所定の量、吸引するインク吸引部（２）であること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）である。
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）において、前記払拭部材（５，６）は、前記インク吐出面（１０３）に対する前記相対移動の方向が、前記インク吐出口（１０２）が配列された方向に対して所定の角度（θ２）、傾いた方向であること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）である。
請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）において、前記払拭部材（５，６）は、前記インク吐出口（１０２）が配列された方向に対して所定の角度、傾いた状態で前記インク吐出面（１０３）と接触すること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）である。
請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）において、前記払拭部材（５，６）は、前記インク吐出面（１０３）に対して移動可能に設けられ、前記払拭部材（５，６）は、その前記相対移動が、インクジェットヘッド（１０１）が停止した状態において、前記インク吐出面（１０３）に対して移動することにより行なわれること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）である。
請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）において、前記払拭部材（５，６）は、弾性部材から形成され、前記インク吐出面（１０３）を押圧して前記インク吐出面（１０３）に付着したインクを払拭すること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング装置（１）である。
【０００９】
請求項７の発明は、１列又は複数列に長手方向に配列されたインク吐出口（１０２）を有するパターン形成装置（１００）のインク吐出面（１０３）のクリーニング方法であって、前記インク吐出面（１０３）に付着したインクを所定の量、除去するインク除去工程（♯１００）と、前記所定の量、除去した後に残留したインクを、前記インク吐出面（１０３）に対して相対移動することにより払拭する払拭工程（♯２００）と、を備えたパターン形成装置（１００）のクリーニング方法である。
【００１０】
請求項８の発明は、請求項７に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング方法において、前記インク除去工程（♯１００）は、前記インク吐出面（１０３）に付着したインクを所定の量、吸引するインク吸引工程であること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング方法である。
請求項９の発明は、請求項７又は請求項８に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング方法において、前記払拭工程（♯２０２）は、前記インク吐出面（１０３）に対する前記相対移動の方向が、前記インク吐出口（１０２）が配列された方向に対して所定の角度、傾いた方向であること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング方法である。
請求項１０の発明は、請求項７から請求項９までのいずれか１項に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング方法において、前記払拭工程（♯２０３）は、前記インク吐出口（１０２）が配列された方向に対して所定の角度、傾いた状態で前記インク吐出面（１０３）と接触すること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング方法である。
請求項１１の発明は、請求項７から請求項１０までのいずれか１項に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング方法において、前記払拭工程（♯２０４）は、その前記相対移動が、インクジェットヘッド（１０１）が停止した状態において、前記インク吐出面（１０３）に対して移動することにより行なわれること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング方法である。
請求項１２の発明は、請求項７から請求項１１までのいずれか１項に記載のパターン形成装置（１００）のクリーニング方法において、前記払拭工程（♯２０１）は、弾性的に前記インク吐出面（１０３）を押圧して前記インク吐出面（１０３）に付着したインクを払拭すること、を特徴とするパターン形成装置（１００）のクリーニング方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）本発明は、１列又は複数列に長手方向に配列されたインク吐出口を有するパターン形成装置のインク吐出面のクリーニング装置であって、インク除去部と払拭部材とを備えている。インク除去部は、インク吐出面に付着したインクを所定の量除去し、そして、少なくとも１つの払拭部材は、インク吐出面に残留したインクを、インク吐出面に対して相対移動することにより払拭する。
これにより本発明は、インク吐出面に付着したインクを確実に払拭できるので、インク吐出口は、所定の吐出性能を維持することができる。
【００１２】
（２）本発明は、インク除去部が、インク吐出面に付着したインクを所定の量、吸引するインク吸引部である。
これにより本発明は、インク吐出面に付着したインクを所定の量、確実に吸引して除去することができる。
【００１３】
（３）本発明は、払拭部材のインク吐出面に対する相対移動の方向が、インク吐出口が配列された方向に対して所定の角度、傾いた方向である。
これにより本発明は、払拭部材のインクを払拭した部分が、インク吐出口の配列方向から離れるように移動するため、払拭部材は、常にインクが付着していない部分で、インク吐出口の周辺に付着したインクを除去することができる。
【００１４】
（４）本発明は、払拭部材が、インク吐出口の配列の方向に対して所定の角度、傾いた状態でインク吐出面を押圧する。
これにより本発明は、払拭部材により払拭されたインクが、払拭部材のインク吐出面に対する相対移動にともなって、インク吐出口の配列方向から離れるように移動するため、払拭部材のインクを払拭する部分に、インクが蓄積することを防止することができる。
【００１５】
（５）本発明は、払拭部材が、インク吐出面に対して移動可能に設けられ、そして、払拭部材のインク吐出面に対する相対移動は、インクジェットヘッドが停止した状態において、払拭部材がインク吐出面に対して移動することにより行なわれる。すなわち、クリーニング装置は、例えば、パターン形成装置に設けられたＸＹ移動ステージに載置されることにより、インク吐出面をクリーニングする。
これにより本発明は、例えば、複数の被パターン形成体に連続してインクを塗布する場合に、被パターン形成体を交換する工程において、インクジェットヘッドを退避、停止させた状態でインク吐出面をクリーニングすることができる。このため、パターン形成装置は、タクトタイムを短縮して、生産効率を向上することができる。
【００１６】
（６）本発明は、払拭部材が、弾性部材から形成され、インク吐出面を押圧してインク吐出面に付着したインクを払拭する。
これにより、本発明は、払拭部材が、インク吐出面に、より密着することができるので、インク吐出面に付着したインクをより確実に払拭することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明は、パターン形成装置のインク吐出面の幅が小さい場合にも、インク吐出面に付着したインクを確実に払拭可能とするという目的を、パターン形成装置に設けられた移動ステージにクリーニング装置を載置し、長手方向に配列されたインク吐出口を有するインク吐出面をクリーニングするときに、最初に吸引ノズルを用いてインク吐出面に付着したインクを所定の量吸引し、次に、所定の量吸引した後に残留したインクを、インク吐出口が配列された方向に対して所定の角度傾いた方向に、ワイパブレードを相対移動させ払拭することによって実現した。
【実施例】
【００１８】
以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。
図１は、本発明を適用した実施例のパターン形成装置（インクジェットプリンタ）のクリーニング装置１と、パターン形成装置のインクジェットヘッド１０１を示す図であり、図１（ａ）は、正面図、図１（ｂ）は、平面図である（インクジェットヘッド１０１部分は、２点鎖線で示す。）。
インクジェットヘッド１０１は、図１（ｂ）に示すように、インク吐出口１０２と、インク吐出面１０３とを有している。
インク吐出口１０２は、ガラス基板等の被パターン形成体（図示せず）に対してインクを吐出する部分であり、図１（ｂ）に示すように、複数（例えば、１２８個等）のインク吐出口１０２が、インク吐出面１０３に１列に配列されている。なお、図中、インク吐出口１０２の数は、便宜上、実際よりも少なく示している。
インク吐出面１０３は、図１（ｂ）に示すように、インク吐出口１０２の配列方向を長手方向とする矩形状である。インク吐出面１０３は、被パターン形成体のインク塗布面に対して平行になるように、設置されている。
【００１９】
インク吐出面１０３には、インク吐出口１０２が被パターン形成体へインクを塗布する工程時や、フラッシング時にインクミストが付着する。また、パージした後には、インク吐出面１０３の全面に、インクが被覆した状態となる。
ここで、フラッシングとは、被パターン形成体にインクを塗布する直前に、通常の塗布工程と同様に、インクジェットヘッド１０１に駆動信号を印加してインクを捨て打ちして、ノズル内のインクをインク吐出面１０３まで満たすことをいう。フラッシングによって、インク吐出口１０２毎のインク充填量の不揃いを解消し、安定したインクの吐出が可能となり、塗布開始時における塗膜のばらつきを防止することができる。また、パージとは、インクジェットヘッドのノズル内のインクを、ポンプ等の圧力により送り出し、ノズル内のインクに生じた気泡を、インク吐出口１０２から排出すると同時に、ノズル内のインクをインク吐出面１０３まで充填させることをいう。
インクジェットヘッド１０１は、塗布工程、フラッシング、パージ等によって、インク吐出面１０３のインク吐出口１０２付近にインクが付着すると、所定のインク吐出性能を維持できないことがある。
そこで、クリーニング装置１は、インクが付着したインク吐出面１０３を、以下説明するようにクリーニングして、インクジェットヘッド１０１のインク吐出性能を維持する。
【００２０】
図１（ａ）に示すように、クリーニング装置１は、インクジェットヘッド１０１のインク吐出面１０３をクリーニングするために、吸引ノズル２（インク吸引部）と、吸引装置ケース３と、真空吸引装置４と、ブレード５，６（払拭部材）と、ブレード取付けケース７と、シリンダ８，９と、クリーニング用パン１０と、インク回収箱１１と、本体ケース１２と、回転機構１３と、基台１４とを備えている。
吸引ノズル２は、インク吐出面１０３に付着したインク、ゴミ等を吸引する部材である。吸引ノズル２は、そのノズルの径が所定の大きさ（例えば、０．５〜２ｍｍ程度）であり、また、複数（本実施例では６つ）の吸引ノズル２が、１列に配置されている。吸引ノズル２は、その吸引力によって、インク吐出口１０２のインクノズル内のインクを吸い込まないように、かつ、インクノズル内に気泡を生じないように、吸引口２ａとインク吐出面１０３との距離が所定の距離（例えば、０．５〜２ｍｍ程度）になるように配置される。なお、この所定の距離は、後述するシリンダ８を用いて、吸引するインクの量等に応じて調整することができる。
このインクノズル内での気泡は、インクジェットヘッド１０１のインク吐出口１０２が開放穴であり、１箇所のインク吐出口１０２に大きな吸引力が働くと、他のインク吐出口１０２のインクノズル内のインクに、吐出方向とは逆方向に力が働く等の理由から発生する。そのため、吸引ノズル２は、インクノズル内に気泡が発生しない程度の吸引力に設定されている。
【００２１】
吸引装置ケース３は、吸引ノズル２等を収容するための筐体であり、その内部で吸引ノズル２と後述する吸引ホース４ａとが接続されている。吸引装置ケース３は、その底面に後述するシリンダ８が設けられている。
真空吸引装置４は、インク吐出面１０３に付着したインクを吸引する吸引力を発生させる装置である。真空吸引装置４には、付着インクを吸引するために吸引ホース４ａ，４ｂと、回収ビン４ｃと、吸引ホース４ｄとが設けられている。
吸引ホース４ａは、吸引ノズル２と後述する回収ビン４ｃとを接続しており、吸引ノズル２によって吸引されたインクは、この吸引ホース４ａを介して回収ビン４ｃに回収される。同様に、吸引ホース４ｂは、後述するブレード取付けケース７の上面に設けられた払拭インク吸引穴７ａと回収ビン４ｃとを接続している。後述するブレード５，６によって払拭され、払拭インク吸引穴７ａ（図１（ｂ）参照）によって吸引されたインクは、吸引ホース４ｂを介して回収ビン４ｃに回収される。
回収ビン４ｃは、吸引された付着インクを貯留、回収するための部材である。回収ビン４ｃは、吸引ホース４ｄを介して真空吸引装置４に接続されている。
以上のような構造により、真空吸引装置４の吸引力は、吸引ホース４ａ，４ｂ，４ｄ等を介して、吸引ノズル２と払拭インク吸引穴７ａとに伝達される。
【００２２】
ブレード５，６は、インク吐出面１０３に付着したインクを払拭するワイパブレードであり、吸引ノズル２の配列方向に対して平行な方向に、２列に配列されている。ブレード５は、吸引ノズル２側に配置され、また、ブレード６は、ブレード５よりも外側に配置されている。ブレード５，６は、それぞれ６枚のブレードから構成されている。ブレード５，６は、ゴム等の弾性体から形成されており、インク吐出面１０３を所定の接触圧力で押圧し、インク吐出面１０３に対して相対移動することにより、インク吐出面１０３に付着したインクを払拭する（払拭動作の詳細については、後述する）。
ブレード取付けケース７は、その上面にブレード５，６を固定する直方体の台座である。ブレード取付けケース７は、後述するシリンダ９を用いて、吸引装置ケース３と同様に、インク吐出面１０３との距離を調整することができる。また、ブレード取付けケース７は、その上面であって、ブレード５，６の固定部の近傍に複数の払拭インク吸引穴７ａを備えており（図１（ｂ）参照）、これがブレード５，６によって払拭されたインクを吸引する。
【００２３】
シリンダ８は、吸引装置ケース３の鉛直方向（図１（ａ）に示す矢印Ｚ方向）の位置を調整するための部材であり、例えばエアシリンダである。シリンダ８は、図１（ａ）に示すように、吸引装置ケース３の底面に設けられている。
シリンダ９は、シリンダ８と同様な部材であり、ブレード取付けケース７の鉛直方向の位置を調整する。これにより、ブレード５，６は、インク吐出面１０３との接触圧力を調整することができる。
【００２４】
クリーニング用パン１０は、インクジェットヘッド１０１がフラッシング又はパージしたときの、インクの受容部である。クリーニング用パン１０の内幅は、図１（ａ）に示すように、鉛直方向下側に至るに従って、テーパ状に小さくなり、フラッシング又はパージされたインクは、後述するインク回収箱１１に導かれる。
インク回収箱１１は、フラッシング又はパージされたインクを回収するために、クリーニング用パン１０の下側に配置されている。インク回収箱１１は、図１（ｂ）に示すように、矢印Ａ方向に引き出し式に取り出しが可能であり、インクを容易に回収することができる。
【００２５】
本体ケース１２は、上述した吸引装置ケース３、ブレード取付けケース７、クリーニング用パン１０等を収容、設置するための筐体である。本体ケース１２は、鉛直方向を中心軸Ｚ１とする円筒状の部材であり、吸引装置ケース３、ブレード取付けケース７、クリーニング用パン１０等と一体で回転可能である。
回転機構１３は、本体ケース１２を中心軸Ｚ１を中心に回転させる回転機構であり、後述する基台１４の上面に設けられている。本体ケース１２の回転にともなって、吸引ノズル２、ブレード５，６等は、インクジェットヘッド１０１に対して回転移動する。なお、回転方向を、図１（ｂ）に回転方向θ１で示す。
基台１４は、クリーニング装置１の基礎部分であり、その上側に回転機構１３が配置されている。クリーニング装置１は、後述するように基台１４がパターン形成装置のクリーニング用移動ステージに載置されることにより、移動可能にパターン形成装置に載置される。
【００２６】
次に、図２〜図４を用いて、クリーニング装置１が、インクジェットヘッド１０１のインク吐出面１０３をクリーニングする動作を説明する。
図２は、吸引ノズル２、ブレード５，６が、インク吐出面１０３をクリーニングする過程を模式的に示す正面図である。図２（ａ）は、クリーニング動作前の状態、図２（ｂ）は、クリーニング動作中の状態、図２（ｃ）は、クリーニング終了後の状態をそれぞれ示す図である。
図３は、吸引ノズル２、ブレード５，６等が、インク吐出面１０３に対して移動する方向を示す図である。図４は、ブレード５が、インク吐出面１０３のインクを払拭する過程を示す図である。
【００２７】
吸引工程♯１００において、図２（ａ）〜図２（ｃ）に示すように、クリーニング装置１は、インク吐出面１０３に付着したインクを、吸引ノズル２を用いてインク吐出面１０３に付着したインクを所定の量、吸引して除去する。前述したように、吸引ノズル２は、インク吐出面１０３と所定の距離を維持し、一定の速度（例えば、５〜８０ｍｍ／ｓｅｃ程度）で移動することにより、所定の量の付着インクを、安定して吸引することができる。
払拭工程♯２００において、ブレード５，６が、インク吐出面１０３に対して移動（相対移動）することにより、インク吐出面１０３に残留したインクを払拭する。このとき、払拭工程♯２０１において、ブレード５，６は、弾性体から形成されているので、図２（ｂ）に示すように、インク吐出面１０３を押圧するときに弾性変形することにより、インク吐出面１０３に、より密着することができる。すなわち、払拭部材が、インク吐出面１０３に弾力的に押圧して残留したインクを払拭する。さらに、本実施例では、吸引ノズル２、ブレード５，６が、吸引装置ケース３、ブレード取付ケース７を介して本体ケース１２に設けられ、一体で移動している。これにより、インク吐出面１０３に付着したインクをより確実に払拭することができる。
【００２８】
また、図３に示すように、払拭工程♯２０２おいて、吸引ノズル２、ブレード５，６は、インク吐出面１０３をクリーニングするとき、インク吐出面１０３に対する相対移動の方向が、インク吐出口１０２が配列された方向に対して所定の角度θ２（本実施例では約１０度）傾いた方向である。図４に示すように、相対移動の方向が角度θ２傾いているため、ブレード５の移動にともない、そのインク付着部５ａは、インク吐出口１０２の配列方向から離れるように、図４に示す左側に距離Ｄ１移動する。角度θ２を、この移動距離Ｄ１がインク吐出口１０２の直径Ｄ２よりも大きくなるように設定することにより、ブレード５は、付着インクを払拭するとき、インクが付着していない綺麗なブレード面５ｂで、インク吐出口１０２周辺に付着したインクを除去することができる。これにより、ブレード５は、付着インクを確実に払拭することができる。
さらに、ブレード５を、図４に２点鎖線で示すように、インク吐出口１０２の配列の方向に対して所定の角度、傾いた状態にしてもよい（図４に示す払拭工程♯２０３）。これにより、クリーニング装置１は、ブレード５により払拭されたインクが、ブレード５のインク吐出面１０３に対する相対移動にともなって、図４に示す左側に移動するので、上述した効果をより向上させることができる。なお、ここでは、主にブレード５について説明したが、ブレード６についても同様である。
【００２９】
次に、クリーニング装置１がパターン形成装置に載置された状態において、クリーニング装置１がインクジェットヘッド１０１のインク吐出面１０３をクリーニングする構造、動作について説明する。
最初に、図５を用いてクリーニング装置１が載置されたパターン形成装置１００の構造について説明する。図５は、パターン形成装置１００を示す斜視図である。
パターン形成装置１００は、ガラス基板等の被パターン形成体にカラーインクを塗布して、例えばカラーフィルタ等を作製するインクジェットタイプの装置である。パターン形成装置１００には、インクを塗布した被パターン形成体を自動で払い出し、次にインクを塗布する被パターン形成体を配置するロボットが隣設されている。
パターン形成装置１００は、メインベース１１１と、フレーム１１２と、インクジェットヘッド１０１と、ステージベース部１１３と、移動ステージ１１４と、吸着テーブル１１８と、インクパン１２０と、クリーニング用移動ステージ１２１と、２つのアライメント用カメラ１２４とを備えている。
メインベース１１１は、パターン形成装置１００の基礎となる直方体の板状の部材である。
フレーム１１２は、インクジェットヘッド１０１等を保持するために、メインベース１１１に設けられたフレームである。
前述したインクジェットヘッド１０１は、フレーム１１２の上側の部分１１２ａに、Ｙ軸方向に移動可能に、Ｚ軸に対して平行な軸Ｚ２を中心に回転可能に保持される。
【００３０】
ステージベース部１１３は、後述する移動ステージ１１４、クリーニング用移動ステージ１２１が載置され、これらの基礎となる部材であり、直方体の板状に形成されている。ステージベース部１１３は、メインベース１１１の上側に載置されている。ステージベース部１１３は、Ｘ軸方向に対して平行に２本のＸ軸レール１１３ａを備え、後述するＸ軸移動ステージ１１５が移動可能に載置されている。
【００３１】
移動ステージ１１４は、後述する吸着テーブル１１８をＸ軸、Ｙ軸方向に移動可能に、かつ、Ｚ軸に平行な軸Ｚ３を中心に回転可能に支持する移動機構である。移動ステージ１１４は、ステージベース部１１３に、Ｘ軸移動ステージ１１５と、Ｙ軸移動ステージ１１６と、Ｚ軸回転ステージ１１７とを備えている。
【００３２】
Ｘ軸移動ステージ１１５は、後述する吸着テーブル１１８をＸ軸方向に往復移動させる移動機構である。Ｘ軸移動ステージ１１５は、直方体の板状の部材であり、その底面に、Ｘ軸方向に対して平行に、ステージベース部１１３のＸ軸レール１１３ａと係合する２本の係合溝１１５ａを有している。Ｘ軸移動ステージ１１５は、モータ（図示せず）を備え、この駆動力により、Ｘ軸レール１１３ａに沿って、Ｘ軸方向に往復移動する。また、Ｘ軸移動ステージ１１５は、Ｙ軸方向に対して平行に２本のＹ軸レール１１５ｂを備え、後述するＹ軸移動ステージ１１６が移動可能に載置されている。
【００３３】
Ｙ軸移動ステージ１１６は、吸着テーブル１１８をＹ軸方向に往復移動させる移動機構であり、その構造は、基本的には、Ｘ軸移動ステージ１１５と同様である。すなわち、Ｙ軸移動ステージ１１６は、Ｙ軸レール１１５ｂと係合する２本の係合溝１１６ａと、モータ（図示せず）を備え、この駆動力により、このＹ軸レール１１５ｂに沿ってＹ軸方向に往復移動する。また、Ｙ軸移動ステージ１１６は、その上面に、後述するＺ軸回転ステージ１１７が回転可能に載置されている。
【００３４】
Ｚ軸回転ステージ１１７は、吸着テーブル１１８を軸Ｚ３回りに回転させる回転機構である（図５に示す回転方向θ３参照）。Ｚ軸回転ステージ１１７は、円板状の部材であり、その上面に吸着テーブル１１８が固定されている。Ｚ軸回転ステージ１１７は、モータ（図示せず）を備え、そのモータの駆動力によって、吸着テーブル１１８を回転させる。
【００３５】
吸着テーブル１１８は、ガラス基板等の被パターン形成体１１９を吸引して固定する部材である。吸着テーブル１１８は、直方体の板状の部材であり、その上面に微細な空気吸引穴（図示せず）が設けられており、その空気吸引穴によって被パターン形成体１１９を吸着固定する。
【００３６】
インクパン１２０は、インクジェットヘッド１０１がフラッシング又はパージする際に排出する余剰インクを受ける、箱状の受皿である。インクパン１２０は、移動ステージ１１４に取り付けられている。本実施例では、図５に示すように、Ｚ軸回転ステージ１１７のインクジェットヘッド１０１側に取り付けられている。このため、インクジェットヘッド１０１は、被パターン形成体１１９にインクを塗布する直前に、インクパン１２０の上側に移動することができ、効率よくフラッシングすることができる。なお、インクパン１２０の中には、不織布やスポンジが敷かれていてもよい。これにより、フラッシング又はパージしたインクがはねて、被パターン形成体に付着することを防止することができる。
【００３７】
クリーニング用移動ステージ１２１は、クリーニング装置１がＸ軸、Ｙ軸方向に移動可能に載置された移動機構である。クリーニング用移動ステージ１２１は、ステージベース部１１３上であって、移動ステージ１１４と反対側の範囲に設けられている。クリーニング用移動ステージ１２１は、クリーニング装置１に対応した大きさであるため、移動ステージ１１４と比較すると一回り小さい移動機構である。クリーニング用移動ステージ１２１は、Ｘ軸移動ステージ１２２と、Ｙ軸移動ステージ１２３とを備えている。Ｘ軸移動ステージ１２２、Ｙ軸移動ステージ１２３は、図５に示すように、前述した移動ステージ１１４のＸ軸移動ステージ１１５、Ｙ軸移動ステージ１１６と同様な構造であるため、説明を省略する。
クリーニング用移動ステージ１２１は、Ｙ軸移動ステージ１２３の上面に、クリーニング装置１の基台１４が固定されている。これにより、クリーニング装置１は、Ｘ軸、Ｙ軸方向に移動可能にパターン形成装置１００に保持され、また、前述した回転機構１３により、ブレード５（図１参照）等は、Ｚ軸に平行な回転軸Ｚ１を中心に回転することができる。
【００３８】
２つのアライメント用カメラ１２４は、吸着テーブル１１８に載置された被パターン形成体１１９を撮像して、その情報に基づいて移動ステージ１１４を作動させて、位置を補正する装置である。２つのアライメント用カメラ１２４は、フレーム１１２の上側の部分１１２ｂに、取付けステー１２４ａを介して固定されている。
【００３９】
図６は、図５における矢印Ｂ方向から見た模式図であり、図７は、図６におけるＣ部拡大図である。なお、図６、図７は、クリーニング装置１に対するインクジェットヘッド１０１の位置関係を示している。
インクジェットヘッド１０１のインク吐出面１０３は、図７に示すように、インク吐出面１０３Ｒ１〜１０３Ｒ６と、インク吐出面１０３Ｇ１〜１０３Ｇ６と、インク吐出面１０３Ｂ１〜１０３Ｂ６とから構成される。
インク吐出面１０３Ｒ１〜１０３Ｒ６は、２列に配列され、インク吐出面１０３Ｒ１〜１０３Ｒ３が前列に、インク吐出面１０３Ｒ４〜１０３Ｒ６が後列に配置されている。インク吐出面１０３Ｒ１〜１０３Ｒ６は、赤色のインクを吐出する複数（例えば、１２８個）のインク吐出口１０２をそれぞれ有している。
インク吐出面１０３Ｇ１〜１０３Ｇ６は、インク吐出面１０３Ｒ４〜１０３Ｒ６よりも後側に配置され、インク吐出面１０３Ｒ１〜１０３Ｒ６と同様に２列に配列されている。インク吐出面１０３Ｇ１〜１０３Ｇ６は、緑色のインクを吐出するインク吐出口１０２をそれぞれ有している。
同様に、インク吐出面１０３Ｂ１〜１０３Ｂ６は、インク吐出面１０３Ｇ４〜１０３Ｇ６よりも後側に２列に配列されている。インク吐出面１０３Ｂ１〜１０３Ｂ６は、青色のインクを吐出するインク吐出口１０２をそれぞれ有している。
【００４０】
次に、図６、図７を用いて、クリーニング装置１のクリーニング動作について説明する。クリーニング装置１は、パターン形成装置１００が被パターン形成体１１９にインクを塗布しているときは、図６に示すように、クリーニング装置１待機場所に退避する。そして、クリーニング装置１は、ロボットが塗布終了後の被パターン形成体１１９（図５参照）を払い出し、次にインクを塗布する被パターン形成体１１９を設置する間の時間に、インクジェットヘッド１０１が停止した状態で、インク吐出面１０３のクリーニングを行なう（図６に示す払拭工程♯２０４）。これは、被パターン形成体１１９にインクを塗布するために必要なタクトタイムを短縮して、生産効率を向上するためである。クリーニング装置１は、インク吐出面１０３をクリーニングするとき、クリーニング用移動ステージ１２１を用いて、インクジェットヘッド１０１に対して矢印Ｄ方向に移動する。このとき、クリーニング用移動ステージ１２１は、前述したように、インク吐出口１０２が配列された方向に対して角度θ２（所定の角度）傾いた方向に、クリーニング装置１を移動する（図３、図４参照）。これにより、ブレード５，６は、付着インクを確実に払拭することができる。
【００４１】
以上説明したように、本実施例のパターン形成装置１００のクリーニング装置１は、１列に長手方向に配列されたインク吐出口１０２を有するインク吐出面１０３のクリーニング装置である。クリーニング装置１は、吸引ノズル２（インク吸引部）がインク吐出面１０３に付着したインクを所定の量、吸引し、そして、弾性体から形成されたブレード５，６（払拭部材）が所定の量、吸引した後に残留したインクを、インク吐出面１０３に対して吸引ノズル２と一体で移動（相対移動）し、弾力的に押圧して払拭する。これにより、クリーニング装置１は、インク吐出面１０３の幅（インク吐出口の配列方向に垂直な方向における幅）が小さくても、付着インクを確実に除去できるので、インク吐出口１０２は、所定の吐出性能を維持することができる。
【００４２】
また、本実施例のクリーニング装置１は、ブレード５，６が、インク吐出面１０３に対して移動する方向が、インク吐出口１０２が配列された方向に対して所定の角度θ２、傾いた方向である。これにより、クリーニング装置１のブレード５，６は、常にインクが付着していない部分で、インク吐出口１０２周辺に付着したインクを除去することができる。
【００４３】
さらに、本実施例のクリーニング装置１は、クリーニング用移動ステージ１２１に載置されている。これにより、クリーニング装置１は、ロボットが被パターン形成体１１９を交換する工程内で、インクジェットヘッド１０１を退避、停止させた状態でインク吐出面１０３をクリーニングすることができる。このため、パターン形成装置１００は、タクトタイムを短縮して、生産効率を向上することができる。
【００４４】
（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本実施例の均等の範囲内である。
（１）本実施例において、クリーニング装置１は、２列に配列されたブレード５，６を備えている例を示したが、これに限定されない。クリーニング装置１が搭載されるパターン形成装置の、インク吐出面に付着するインクの量に応じた数のブレードであればよい。すなわち、付着インクの量が少なければ、１列のブレードでもよく、また、付着インクの量が多ければ、複数列のブレードを設けてもよい。
【００４５】
（２）本実施例において、クリーニング装置１は、インクジェットヘッド１０１が停止した状態において、ブレード５，６がインク吐出面１０３に対して移動することにより、インク吐出面１０３をクリーニングする例を示したが、これに限定されない。ブレード５，６がインク吐出面１０３に対して相対移動すればよいので、ブレード５，６が停止した状態で、インクジェットヘッド１０１をブレード５，６に対して移動させてもよい。
【００４６】
（３）本実施例において、クリーニング装置１は、最初に、インク吐出面１０３に付着したインクを所定の量、除去するために、吸引ノズル２で吸引する例を示したが、これに限定されない。ブレード５，６を用いて、インク吐出面１０３の残留インクが払拭できればよいので、例えば、ブレード５，６以外に新たにブレードを設けて、あるいは、スポンジ等のインク吸収部材を設けて、最初にインク吐出面１０３に付着したインクを所定の量、除去してもよい。
【００４７】
（４）本実施例において、クリーニング装置１は、インク吐出口１０２が１列に配置されたインク吐出面１０３をクリーニングする例を示したが、これに限定されない。クリーニング装置は、インク吐出口１０２が複数列に配置されたインク吐出面をクリーニングする装置でもよい。
【００４８】
（５）本実施例において、クリーニング用移動ステージ１２１は、Ｘ軸にＹ軸を積み上げたスタック型のＸＹ移動ステージである例を示したが、これに限定されない。例えば、サーフェスタイプのＸＹ移動ステージでもよい。サーフェスタイプのＸＹ移動ステージとは、図６に模式的に示すように、２本のＸ軸レール１２２１の間にＹ軸レール１２２２が設けられ、このＹ軸レール１２２２にテーブル１２２３が設けられたＸＹ移動ステージである。サーフェスタイプのＸＹ移動ステージは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向いずれの方向に移動するときにも、テーブル１２２３の底面が同一面上を移動し、厚み方向（Ｚ軸方向）の大きさを小さくすることができる。これにより、クリーニング装置１は、Ｚ軸方向への移動量を大きくすることができ、より効果的なクリーニングをすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明を適用した実施例のクリーニング装置１と、インクジェットヘッド１０１を示す図である。
【図２】本実施例の吸引ノズル２、ブレード５，６のクリーニング動作を模式的に示す図である。
【図３】本実施例の吸引ノズル２、ブレード５，６の移動方向を示す図である。
【図４】本実施例のブレード５が、付着したインクを払拭する過程を示す図である。
【図５】本実施例のクリーニング装置１が載置されたパターン形成装置１００の斜視図である。
【図６】図５における矢印Ｂ方向から見た模式図である。
【図７】図６におけるＣ部拡大図である。
【図８】従来技術によるインク吐出面に付着したインクを払拭する動作を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１    クリーニング装置
２    吸引ノズル
３    吸引装置ケース
４    真空吸引装置
４ｃ    回収ビン
５，６    ブレード
７    ブレード取付けケース
７ａ    払拭インク吸引穴７ａ
８，９    シリンダ
１０    クリーニング用パン
１１    インク回収箱
１２    本体ケース
１３    回転機構
１４    基台
１０１    インクジェットヘッド
１０２    インク吐出口
１０３    インク吐出面
１１１    メインベース
１１２    フレーム
１１３    ステージベース部
１１４    移動ステージ
１１５    Ｘ軸移動ステージ
１１６    Ｙ軸移動ステージ
１１７    Ｚ軸回転ステージ
１１８    吸着テーブル
１１９    被パターン形成体
１２０    インクパン
１２１    クリーニング用移動ステージ
１２２    Ｘ軸移動ステージ
１２３    Ｙ軸移動ステージ
１２４    アライメント用カメラ
【図１】
2006240013.tif 000003
【図２】
2006240013.tif 000004
【図３】
2006240013.tif 000005
【図４】
2006240013.tif 000006
【図５】
2006240013.tif 000007
【図６】
2006240013.tif 000008
【図７】
2006240013.tif 000009
【図８】
2006240013.tif 000010