(57)【要約】【課題】  スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供すること。【解決手段】  本発明に係るヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法は、ヘッド・スライダ１０５を保持し、当該ヘッド・スライダ１０５を固定する固定部４１０に対向する位置から、固定部４１０に対してヘッド・スライダ１０５を近付け、ヘッド・スライダ１０５のＡＢＳ面が非接触状態において、ヘッド・スライダ１０５を保持している部材若しくはスライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、ヘッド・スライダ１０５の位置を規定するストッパ２９１とが接触することによりヘッド・スライダ１０５の移動を停止し、ヘッド・スライダ１０５の側面を挟持することによってヘッド・スライダ１０５を固定部に固定し、固定されたヘッド・スライダ１０５のＡＢＳ面とは反対の面にサスペンション４１０を接着する。【選択図】  図１１
2006260698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダを保持し、当該スライダを固定する固定部に対向する位置から、前記固定部に対して前記スライダを平行移動して近付け、
前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記スライダの位置を規定するストッパとが接触することにより前記スライダの移動を停止し、
前記スライダの側面を挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、
前記固定されたスライダの前記ＡＢＳ面とは反対の面にサスペンションを接着するヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項２】
前記スライダはその側面のうち向かい合う二面を前記固定部に挟持され、前記固定部に設けられた三点の凸部によって挟持されることを特徴とする請求項１に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項３】
前記スライダが挟持される向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、
他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、
前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することを特徴とする請求項２に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項４】
前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置することを特徴とする請求項３に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項５】
前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結している部材の一部と、前記ストッパとが接触することにより前記スライダの移動が停止した状態において、前記スライダの上面は前記固定部の上面よりも高く、前記スライダの下面は前記固定部の上面よりも低い位置にあることを特徴とする請求項１に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項６】
前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記ストッパとが接触することにより前記スライダの移動が停止した状態において、前記スライダと前記固定部との間には隙間が存在し、前記接着固定機が載置されているステージを移動させることにより、前記固定部と前記スライダとが当接することを特徴とする請求項１に記載のサスペンションの組立方法。
【請求項７】
前記スライダの保持は吸着力を有するバキューム・ヘッドにより、前記スライダのＡＢＳ面とは反対側の面を吸着することにより行われ、
前記スライダは凹部を有するスライダ・トレイに収納されており、
一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることを特徴とする請求項１に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項８】
スライダを保持し、当該スライダを固定する固定部に対向する位置から、前記固定部に対して前記スライダを平行移動して近付け、
前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダの側面を前記固定部に設けられた三点の凸部で挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、
前記固定されたスライダの前記ＡＢＳ面とは反対の面にサスペンションを接着するヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項９】
前記スライダはその側面のうち向かい合う二面を前記固定部に挟持され、
当該向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、
他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、
前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することを特徴とする請求項８に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項１０】
前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置することを特徴とする請求項９に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項１１】
前記スライダを前記第１、第２の挟持面で挟持する際、前記第１の挟持面が先に前記スライダに当接することを特徴とする請求項８に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項１２】
前記凸部の前記スライダとの当接面は凸型のＲを有することを特徴とする請求項８に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法。
【請求項１３】
磁気ディスク装置に使用されるスライダを複数収納するスライダ・トレイと、
前記スライダ・トレイが載置されるトレイ・ステージと、
前記スライダ・トレイに収納されているスライダを吸着により水平に保持するバキューム・ヘッドと、
前記バキューム・ヘッドを保持するバキューム・パッドと、
前記バキューム・パッド及び前記バキューム・ヘッドを移動させるアームと、
前記スライダを固定する接着固定機が載置される接着固定機ステージとを有するスライダ組立装置であって、
前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダが前記接着固定機の固定部に設けられた三点の凸部で自身の側面を挟持されることにより固定されるヘッド・サスペンション・アセンブリ製造装置。
【請求項１４】
前記スライダ・トレイは前記スライダを収納する凹部を有し、
一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることを特徴とする請求項１３に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造装置。
【請求項１５】
前記固定部は前記スライダの側面のうち向かい合う二面を挟持することにより前記スライダを固定し、
前記向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、
他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、
前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することを特徴とする請求項１３に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造装置。
【請求項１６】
前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置することを特徴とする請求項１５に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造装置。
【請求項１７】
前記アームに当該アームの強度を補強するサポートプレートを設けたことを特徴とする請求項１３に記載のヘッド・サスペンション・アセンブリの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はヘッド・サスペンション・アセンブリの把持に関し、特にヘッド・サスペンション・アセンブリの製造におけるスライダの固定に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクや磁気テープなどの様々な態様のメディアを使用するデータ記憶装置が知られている。その中で、ハードディスク・ドライブ（以下、ＨＤＤ）は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータにとどまらず、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、携帯電話、あるいはデジタル・カメラなどで使用されるリムーバブルメモリなど、ＨＤＤの用途は、その優れた特性により益々拡大している。
【０００３】
ＨＤＤで使用される磁気ディスクは同心円状に形成された複数のトラックを有しており、各トラックは複数のセクタに区分されている。各セクタにはサーボ・データと、ユーザ・データが記憶される。スピンドル・モータが磁気ディスクを回転し、薄膜素子であるヘッド素子部がセクタのサーボ・データに従って所望のアドレス位置にアクセスすることによって、磁気ディスクへのデータ書き込み、あるいはデータ読み出しを行うことができる。
【０００４】
ヘッド素子部はスライダに固定されており、これらがヘッド・スライダを構成する。ヘッド・スライダが、回転している磁気ディスク上を浮上することによって、ヘッド・スライダもしくはヘッド素子部を磁気ディスク上の所望の位置にポジショニングすることができる。データ読み出し処理において、ヘッド素子部が磁気ディスクから読み出した信号は、信号処理回路によって波形整形や復号処理などの所定の信号処理が施され、ホストに送信される。ホストからの転送データは、信号処理回路によって所定処理された後に、磁気ディスクに書き込まれる。
【０００５】
ヘッド・スライダはサスペンションに固定されており、磁気ディスクに対向するヘッド・スライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスクとの間の空気の粘性による圧力が、サスペンションによって磁気ディスク方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダは磁気ディスク上を一定のギャップを置いて浮上する。
【０００６】
従来、スライダとサスペンションとの接着は、例えばヘッド・スライダのＡＢＳ面を下に向けて固定用治具上に載置し、ＡＢＳ面が治具と接触した状態で固定して位置合わせする。その後、ＡＢＳ面とは反対側の接着面に熱硬化型接着剤を用いてサスペンションを接着していた。このようなヘッド・スライダとサスペンションとの接着方法は例えば特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開平８−２５５４５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＨＤＤにおいては、内部のコンタミネーションによって様々な欠陥が生じ得る。上記のような、従来技術に係るヘッド・スライダとサスペンションとの組立方法においては、固定用治具とＡＢＳ面とが接触するので、ＡＢＳ面への塵埃の付着を防止するため、固定用治具におけるＡＢＳ面との接触面を清浄に保つ必要がある。そのため、当該固定用治具はヘッド・スライダとサスペンションとの組立を１回行なうごとにクリーンドライエアーにて洗浄し、更に定期的に分解清掃も行う等のメンテナンスが必要である。しかしながら、それだけではヘッド・スライダから治具に付着するコンタミネーションや位置決め用治具の材料のコンタミネーションを完全に排除することは不可能である。また、組立１回ごとに洗浄を行なう必要があるため、生産性の低下も招いていた。
【０００８】
このような課題を解決するため、本発明者はＡＢＳ面を固定治具に接触させずにヘッド・スライダを固定する方法を発明した。当該方法においては、ヘッド・スライダの側面を挟持することによりヘッド・スライダの位置固定及び位置決めを行う。しかしながら、従来技術においては固定治具にヘッド・スライダを載置することによりヘッド・スライダを固定する高さを規定し、ヘッド・スライダを水平に保持していたため、ヘッド・スライダの側面を挟持するのみではヘッド・スライダを固定する高さを高精度に規定することや、ヘッド・スライダを水平に保持することあるいは、側面のみの固定で十分なヘッド・スライダ固定強度を得ることが難しい。
【０００９】
本発明は上記事情を背景としてなされたものであって、ヘッド・スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るヘッド・サスペンション・アセンブリの製造方法は、スライダを保持し、当該スライダを固定する固定部に対向する位置から、前記固定部に対して前記スライダを平行移動して近付け、前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記スライダの位置を規定するストッパとが接触することにより前記スライダの移動を停止し、前記スライダの側面を挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、前記固定されたスライダの前記ＡＢＳ面とは反対の面にサスペンションを接着する。これにより、製造工程においてスライダのＡＢＳ面が他の部材に接触することがないため、スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上したＨＤＤを提供することができる。
【００１１】
ここで、前記スライダはその側面のうち向かい合う二面を前記固定部に挟持され、前記固定部に設けられた三点の凸部によって挟持されることが好ましい。これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。
【００１２】
詳細には、前記スライダが挟持される向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置する。
【００１３】
より好適には、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置する。
【００１４】
また、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結している部材の一部と、前記ストッパとが接触することにより前記スライダの移動が停止した状態において、前記スライダの上面は前記固定部の上面よりも高く、前記スライダの下面は前記固定部の上面よりも低い位置にあることが好ましい。これにより、サスペンションとスライダとの接着において好適な位置でスライダを固定することができる。
【００１５】
更に、前記スライダを保持している部材若しくは前記スライダを保持している部材と連結されている部材の一部と、前記ストッパとが接触することにより前記スライダの移動が停止した状態において、前記スライダと前記固定部との間には隙間が存在し、前記接着固定機が載置されているステージを移動させることにより、前記固定部と前記スライダとが当接することが好ましい。これにより、スライダを固定部に移動する際に、スライダと固定部とが接触することを回避できる。
【００１６】
更にまた、前記スライダの保持は吸着力を有するバキューム・ヘッドにより、前記スライダのＡＢＳ面とは反対側の面を吸着することにより行われ、前記スライダは凹部を有するスライダ・トレイに収納されており、一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることが好ましい。これにより、バキューム・ヘッドがスライダを吸着する部位は少なくともスライダの中心を含み、好適にスライダを保持することができる。
【００１７】
他方、本発明に係るヘッド・スライダ・アセンブリの製造方法は、スライダを保持し、当該スライダを固定する固定部に対向する位置から、前記固定部に対して前記スライダを平行移動して近付け、前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダの側面を前記固定部に設けられた三点の凸部で挟持することによって前記スライダを前記固定部に固定し、前記固定されたスライダの前記ＡＢＳ面とは反対の面にサスペンションを接着する。これにより、製造工程においてスライダのＡＢＳ面が他の部材に接触することがないため、スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上したＨＤＤを提供することができる。
【００１８】
ここで、前記スライダはその側面のうち向かい合う二面を前記固定部に挟持され、当該向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。
【００１９】
詳細には、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置する。
【００２０】
より好適には、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置する。
【００２１】
また、前記スライダを前記第１、第２の挟持面で挟持する際、前記第１の挟持面が先に前記スライダに当接することが好ましい。これにより、先に二点がスライダに当接するため、スライダの向きが固定され、より好適にスライダを挟持することができる。
【００２２】
更に、前記凸部の前記スライダとの当接面は凸型のＲを有することが好ましい。これにより、凸部からスライダへより確実に力を加えることができ、より好適にスライダを挟持することができる。
【００２３】
他方、本発明に係るヘッド・スライダ・アセンブリ製造装置は、磁気ディスク装置に使用されるスライダを複数収納するスライダ・トレイと、前記スライダ・トレイが載置されるトレイ・ステージと、前記スライダ・トレイに収納されているスライダを吸着により水平に保持するバキューム・ヘッドと、前記バキューム・ヘッドを保持するバキューム・パッドと、前記バキューム・パッド及び前記バキューム・ヘッドを移動させるアームと、前記スライダを固定する接着固定機が載置される接着固定機ステージとを有するスライダ組立装置であって、前記スライダのＡＢＳ面が非接触状態において、前記スライダが前記接着固定機の固定部に設けられた三点の凸部で自身の側面を挟持されることにより固定されるものである。
【００２４】
ここで、前記スライダ・トレイは前記スライダを収納する凹部を有し、一つの方向における前記凹部の幅と前記バキューム・ヘッドの幅とが実質的に同一であり、前記バキューム・ヘッドが前記凹部に挿入可能であることが好ましい。これにより、バキューム・ヘッドがスライダを吸着する部位は少なくともスライダの中心を含み、好適にスライダを保持することができる。
【００２５】
また、前記固定部は前記スライダの側面のうち向かい合う二面を挟持することにより前記スライダを固定し、前記向かい合う二面のうち一方の面に対向する第１の挟持面には二点の凸部がもうけられ、他方の面に対向する第２の挟持面には一点の凸部が設けられ、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対向する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の間に位置することが好ましい。これにより、側面のみの挟持であっても十分な強度でスライダを支持することができる。
【００２６】
より好適には、前記第２の挟持面に設けられた一点の凸部は、対抗する前記第１の挟持面に設けられた二点の凸部の中心に位置する。
【００２７】
更に、前記アームに当該アームの強度を補強するサポートプレートを設けることが好ましい。これにより、アームの自重やアームに接続されたバキューム・ヘッド等の重さによりアームが変形することを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明により、ヘッド・スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、本発明を適用可能な実施の形態を説明する。説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため必要に応じて重複説明は省略されている。
【００３０】
本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。本形態はハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）の製造方法であって、特にヘッド素子が固定されるスライダと、サスペンションとの組立工程に関する。本発明の理解の容易のため、最初に、ＨＤＤの全体構成を説明する。図１は、本実施の形態に係るＨＤＤ１００の構成を模式的に示す平面図である。図１において、１０１はデータを保存する記録媒体（メディア）であって、磁性層が磁化されることによってデータを記憶する不揮発性の記録ディスクである磁気ディスクである。１０２はＨＤＤ１００の各構成要素を収容するベースである。ベース１０２は、ベース１０２の上部開口を塞ぐトップ・カバー（不図示）とガスケット（不図示）を介して固定されることによってディスク・エンクロージャを構成し、ＨＤＤ１００の各構成要素を密閉状態で収容することができる。
【００３１】
磁気ディスク１０１はスピンドル・モータ１０３に固定されている。スピンドル・モータ１０３は、所定速度で磁気ディスク１０１を回転する。ヘッド・スライダ１０５は、スライダと、スライダ表面に固定された変換素子としてのヘッド素子部を備える。ヘッド素子部は、ホスト（不図示）との間で入出力されるデータについて、磁気ディスク１０１への書き込み及び／又は読み出しを行う。ヘッド素子部は、磁気ディスク１０１への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び／又は磁気ディスク１０１からの磁界を電気信号に変換する再生素子を有している。
【００３２】
アクチュエータ１０６は、回動軸１０７に回動自在に保持されており、ＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）１０９によって駆動される。アクチュエータ１０６はヘッド・スライダ１０５を保持し、回動することによって、磁気ディスク１０１上の所望の位置にヘッド・スライダ１０５をポジショニングする。アクチュエータ１０６とヘッド・スライダ１０５とによって、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリを構成する。アクチュエータ１０６は、ヘッド・スライダ１０５が配置されたその先端部から、サスペンション１１０、アーム部１１１、回動軸１０７が嵌合する軸受部１０８、コイル・サポート部１１２、フラットコイル１１３の順で結合された各構成部材を備えている。
【００３３】
１１４はベース１０２に固定された上側ステータ・マグネット保持板である。尚、上側ステータ・マグネット保持板１１４は、主要部が便宜上切り欠いて図示され、外形が破線で示されている。図示されていないが、フラットコイル１１３の下側には、ステータ・マグネットと、下側ステータ・マグネット保持板が配置される。ＶＣＭ１０９は、フラットコイル１１３、上側ステータ・マグネット保持板１１４及び下側ステータ・マグネット保持板に固定されたステータ・マグネット（不図示）を備えている。
【００３４】
１１５は、磁気ディスク１０１の回転が停止するとき、ヘッド・スライダ１０５を磁気ディスク１０１から退避させるためのランプである。１１６はサスペンション１１０の先端部に形成されたタブである。尚、ヘッド・スライダ１０５がデータ書き込み／読み出し処理を行なわない場合に、磁気ディスク１０１の内周に配置されているゾーンに退避するＣＳＳ（Contact Start and Stop）方式であっても良い。
【００３５】
ＨＤＤ１００は１枚もしくは積層配置された複数の磁気ディスク１０１を備えることができる。複数枚の磁気ディスク１０１を備える場合、スピンドル・モータ１０３は、その回転軸方向に所定の間隔で、複数の磁気ディスク１０１を一体的に保持する。また、典型的には、磁気ディスク１０１の両面にデータが記憶されるが、磁気ディスク１０１一方のみにデータを記録することも可能である。
【００３６】
磁気ディスク１０１からのデータの読み取り、書き込みのため、アクチュエータ１０６は回転している磁気ディスク１０１表面のデータ領域上空にヘッド・スライダ１０５を移動する。アクチュエータ１０６が回動することによって、ヘッド・スライダ１０５が磁気ディスク１０１の表面の半径方向に沿って移動する。これによって、ヘッド・スライダ１０５（ヘッド素子部）が所望のトラックにアクセスすることができる。磁気ディスク１０１に対向するスライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスク１０１との間の空気の粘性による圧力が、サスペンション１１０によって磁気ディスク１０１方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッド・スライダ１０５は磁気ディスク１０１上を一定のギャップを置いて浮上する。
【００３７】
本形態のサスペンション１１０及びヘッド・サスペンション・アセンブリについて詳細を説明する。図２は本実施の形態におけるサスペンション１１０を含むヘッド・サスペンション・アセンブリの概略構成を示す斜視図である。図２においては、磁気ディスク１０１の記録面側から見たヘッド・サスペンション・アセンブリの構成を示す。ヘッド・サスペンション・アセンブリは複数の構成部材によって構成されており、ヘッド・スライダ１０５、トレース１１７、及び、サスペンション１１０を備えている。
【００３８】
サスペンション１１０は複数の構成部材によって構成されており、ロード・ビーム１１９と、ロード・ビーム１１９の前部に例えばレーザ・スポット溶接によって溶着されるジンバル１２０と、ロード・ビーム１１９のヘッド・スライダ１０５を保持する側の背面側であって後部に溶着され固定されるマウント・プレート１１８とを有する。
【００３９】
マウント・プレート１１８、ジンバル１２０は、ステンレス系金属で形成することができ、また、ジンバル１２０は、所望の弾性を有し変形可能である。更に、ジンバル１２０においてヘッド・スライダ１０５が例えば低弾性エポキシ樹脂などによって固着される。ヘッド・スライダ１０５はトレース１１７によって図示しないＦＰＣと電気的に接続される。
【００４０】
図１に示すようなＨＤＤは、図２に示したヘッド・サスペンション・アセンブリにアーム１１１、フラットコイル１１３等を取り付けたヘッド・アクチュエータ・アセンブリや、ランプ１１５、ＶＣＭ１０９及びスピンドル・モータ１０３等をベース１０２に取り付け、磁気ディスク１０１をスピンドル・モータ１０３に取り付け、ベース１０２を図示しないベースカバーで覆うことにより完成する。
【００４１】
次に、本発明が課題とするヘッド・サスペンション・アセンブリの製造工程について説明する。本実施形態においては、接着固定機４００にヘッド・スライダ１０５を固定した状態で、当該ヘッド・スライダ１０５にサスペンション１１０のジンバル１２０を接着する。図３はヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００に固定するスライダ組み付け補助機２００を模式的に示す斜視図である。スライダ組み付け補助機２００は、スライダ・トレイ３００の凹部に収納されているヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００に組み付ける工程を行う。ここで、図３においては図示の容易化のため、スライダ・トレイ３００が有する凹部は３行３列で示してあるが、これに限定されるものではない。スライダ組み付け補助機２００はバキューム・ヘッド２０１、バキューム・パッド２０２、アーム２０３、ガイドレール２０４、側壁２０５、ベース２０６、トレイ・ステージ２０７、トレイ・クランプ・センサー２０８、接着固定機ステージ２０９及び照明２１０を有する。
【００４２】
バキューム・ヘッド２０１は吸引力を有する円筒形のノズルであり、スライダ・トレイ３００に収納されているヘッド・スライダ１０５を吸着し、水平に保持する。バキューム・ヘッド２０１はバキューム・パッド２０２に連結され、吸入口が下向きに設けられる。バキューム・パッド２０２はバキューム・ヘッド２０１を保持し、接着固定機４００にヘッド・スライダ１０５を固定する際にバキューム・ヘッド２０１の垂直方向の位置を規定するための突き当て部２２１を有する。突き当て部２２１の詳細については後述する。
【００４３】
アーム２０３はバキューム・パッド２０２を保持し、バキューム・パッド２０２及びバキューム・ヘッド２０１を移動させるための移動体である。アーム２０３はガイドレール２０４と接続されており、ガイドレール２０４上を垂直方向及びガイドレール２０４の長手方向（水平方向）に移動可能である。但し、本実施形態においては、アーム２０３が垂直方向に移動可能となるのは、バキューム・ヘッド２０１がトレイ・ステージ２０７上の１点に位置する位置、若しくは接着固定機ステージ２０９上の１点に位置する位置の２点のみである。
【００４４】
また、図４に示されるように、アーム２０３の強度を補強するために、サポートプレート２３１を設けることが好ましい。図４はアーム２０３周辺を模式的に示す斜視図である。図４に示すように、アーム２０３はハンドル２３２、プレート２３３、カメラ２３４、接続部２３５、２３６を有する。当該アーム２０３の下部にバキューム・パッド２０２及びバキューム・ヘッド２０１が固定されている。
【００４５】
ハンドル２３２は人が把持し、アーム２０３を動かすためのハンドルである。プレート２３３はアーム２０３とガイドレール２０４との接続部であり、プレート２３３がガイドレール２０４に沿って上下左右に移動することによって、アーム２０３が移動する。カメラ２３４は主にバキューム・ヘッド２０１先端部を観察するためのカメラである。接続部２３５、２３６はハンドル２３２とプレート２３３とを上下で接続する。また、下側の接続部２３６にバキューム・パッド２０２が設けられる。カメラ２３４はハンドル２３２若しくは接続部２３６に固定されて設けられる。
【００４６】
接続部２３５、２３６を補強するようにサポートプレート２３１が設けられる。サポートプレート２３１は剛性の高い板状の部材であり、図４に示すように接続部２３５と接続部２３６とをつなぐように設けられる。サポートプレート２３１を取り付けることにより、アーム２０３の強度が補強される。こうすることにより、アーム２０３の自重やバキューム・パッド２０２及びバキューム・ヘッド２０１等の重みによるアーム２０３の歪みを低減することができ、バキューム・ヘッド２０１に吸着されたヘッド・スライダ１０５の傾き及び位置ずれを防止することができる。図４に示されるように、接続部２３５と接続部２３６との両側にサポートプレート２３１を設けることにより、より強度を補強する効果を向上することができる。また、サポートプレート２３１は接続部２３５、２３６だけでなく、プレート２３３とも接続されても良い。
【００４７】
ガイドレール２０４はアーム２０３を移動させるための移動体である。ガイドレール２０４は上記のようにアーム２０３の駆動軸となる他、自身は側壁２０５と接続されており、水平方向であってガイドレール２０４の長手方向と垂直な方向に移動可能である。アーム２０３、ガイドレール２０４の移動によりバキューム・ヘッド２０１及びバキューム・パッド２０２が３次元方向に移動可能となる。アーム２０３、ガイドレール２０４の移動は例えばモータ駆動やレバー等による人力駆動で行われる。尚、バキューム・ヘッド２０１及びバキューム・パッド２０２の移動方法は上記したアーム２０３、ガイドレール２０４及び側壁２０５から構成される態様に限定されるものではなく、少なくともバキューム・ヘッド２０１の先端がトレイ・ステージ２０７上と接着固定機ステージ２０９上との間を移動可能であり、更にトレイ・ステージ２０７上及び接着固定機ステージ２０９上においては垂直方向に移動可能であれば良い。
【００４８】
ベース２０６はスライダ組み付け補助機２００の基盤である。ベース２０６上に少なくともトレイ・ステージ２０７及び接着固定機ステージ２０９が設けられる。トレイ・ステージ２０７はスライダ・トレイ３００が載置されるステージである。トレイ・ステージ２０７はベース２０６上を所定範囲において移動可能である。トレイ・ステージ２０７上にはトレイ・クランプ・センサー２０８が設けられている。トレイ・クランプ・センサー２０８は、アーム２０３がトレイ・ステージ２０７上で垂直方向に移動可能な状態においてバキューム・ヘッド２０１が位置する点と、スライダ・トレイ３００との位置関係を検出及び計算する機能を有する。また、トレイ・クランプ・センサー２０８の一部は、スライダ・トレイ３００をトレイ・ステージ２０７上に固定する機能を有する。
【００４９】
接着固定機ステージ２０９は接着固定機４００が載置されるステージである。接着固定機ステージ２０９はベース２０６上の所定範囲を水平方向に移動可能である。接着固定機ステージ２０９には、接着固定機４００にスライダを固定する際にバキューム・ヘッド２０１の垂直方向の位置を規定するためのストッパ２９１が設けられる。ストッパ２９１の機能については後述する。また、接着固定機ステージ２０９は自身の上に載置された接着固定機４００のクランプを開閉するためのクランプオープンレバー２９２を有する。照明２１０はスライダ組み付け補助機２００若しくはスライダ組み付け補助機２００に含まれる各部の採光のために設けられる。
【００５０】
ヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００に固定する際は、スライダ・トレイ３００に収納されているヘッド・スライダ１０５をバキューム・ヘッド２０１が吸着し、アーム２０３を動かすことによりバキューム・ヘッド２０１を接着固定機４００の直上に移動し、アーム２０３を垂直方向に移動することによってバキューム・ヘッド２０１に吸着されているヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００に近付け、固定する。
【００５１】
次に、図５を用いてバキューム・ヘッド２０１がスライダ・トレイ３００に収納されているスライダを吸着する工程を説明する。図５は、バキューム・ヘッド２０１が、スライダ・トレイ３００の凹部３０１に収納されているヘッド・スライダ１０５を吸着する工程を示す断面図である。ここで、ヘッド・スライダ１０５はそのＡＢＳ面が下側になるように凹部３０１に収納されている。
【００５２】
まず、図５（ａ）に示すようにアーム２０３、ガイドレール２０４を駆動することにより、トレイ・ステージ２０７上であって、アーム２０３が垂直方向に移動可能である位置にバキューム・ヘッド２０１を移動させる。そして、アーム２０３を垂直下方に駆動することによりバキューム・ヘッド２０１を当該凹部３０１内に収納されているヘッド・スライダ１０５に近づける。この時、バキューム・ヘッド２０１がスライダ・トレイ３００上の所望の凹部３０１の直上に位置するようにトレイ・ステージ２０７を位置合わせする。当該位置合わせはトレイ・クランプ・センサー２０８がバキューム・ヘッド２０１とスライダ・トレイ３００との位置関係を検知し、トレイ・ステージ２０７が移動することにより行われる。
【００５３】
ここで、バキューム・ヘッド２０１の口径が凹部３０１の平面形状よりも小さすぎる場合、ヘッド・スライダ１０５の平面の中央部を外れて吸着することが考えられる。そのような場合、吸着力が片方に偏るために、ヘッド・スライダ１０５が傾くことがある。ヘッド・スライダ１０５はバキューム・ヘッド２０１に吸着された状態で接着固定機４００に固定されるため、ヘッド・スライダ１０５がバキューム・ヘッド２０１に傾いた状態で吸着されていると、接着固定機４００に傾いたまま固定され、サスペンション１１０との接着時に不具合を生じる。また、吸着力の偏りにより、ヘッド・スライダ１０５がバキューム・ヘッド２０１からはがれてしまうことも考えられる。
【００５４】
そのため、バキューム・ヘッド２０１の口径は、凹部３０１の平面形状の１辺の長さ（凹部３０１の平面形状が長方形の場合は、その縦若しくは横の長さのうち短い方の長さ）よりもわずかに小さい。言い換えると、バキューム・ヘッド２０１の口径は凹部３０１に挿入可能な大きさであるが、少なくとも一つの方向における凹部３０１の幅とバキューム・ヘッド２０１の口径とは実質的に同一である。
【００５５】
これにより、図５（ｂ）に示すようにバキューム・ヘッド２０１はヘッド・スライダ１０５を全体に亘って吸着する。従って、図５（ｃ）に示されるように、バキューム・ヘッド２０１に吸着されたヘッド・スライダ１０５は、傾くことなく水平に保持される。尚、バキューム・ヘッド２０１が円筒状ではなく柱状の場合においても、バキューム・ヘッド２０１の平面寸法が凹部３０１に挿入可能な大きさであり、少なくとも一つの方向における凹部３０１の幅とバキューム・ヘッド２０１の平面寸法とが実質的に同一であれば同様の効果を得ることができる。ここで言う平面寸法とは、水平方向の面、即ちスライダ・トレイ３００が載置される面やベース２０６の上面に平行な面における寸法である。
【００５６】
他の凹部３０１に収納されているヘッド・スライダ１０５を吸着する際は、バキューム・ヘッド２０１をトレイ・ステージ２０７側に戻し、トレイ・ステージ２０７を水平方向に移動させ、所望の凹部３０１をバキューム・ヘッド２０１の直下に移動させる。
【００５７】
上述したように、アーム２０３が垂直方向に移動可能な点は、トレイ・ステージ２０７上の点において決まっている。従って、当該アーム２０３が垂直移動可能な点におけるバキューム・ヘッド２０１の位置と、スライダ・トレイ３００の現在位置とがわかれば、スライダ・トレイ３００に複数含まれる凹部３０１のうち、どの凹部３０１がバキューム・ヘッド２０１の直下に位置しているか計算可能である。トレイ・クランプ・センサー２０８はこの計算を行う。
【００５８】
スライダ・トレイ３００の現在位置は、例えばトレイ・ステージ２０７を駆動するモータの回転数により知ることができる。トレイ・ステージ２０７上にスライダ・トレイ３００を載置し、スライダ・トレイ３００の角部のうち少なくとも３点にバキューム・ヘッド２０１を位置合わせし、夫々の角部におけるモータの回転数を記憶することによって、バキューム・ヘッド２０１とスライダ・トレイ３００との位置関係を計算することができる。
【００５９】
次に図６を用いて接着固定機４００の詳細を説明する。図６は接着固定機４００を示す斜視図である。接着固定機４００は固定部４１０を有し、ヘッド・スライダ１０５は固定部４１０に固定された状態でサスペンション１１０と接着される。図７に固定部４１０の詳細を示す。固定部４１０はプレート４１１、クランプ４１２及びネスト４１３を有する。また、図に示すようにクランプ４１２は１つの凸部４１４ａを有し、ネスト４１３は２つの凸部４１４ｂ及び４１４ｃを有する。プレート４１１及びネスト４１３は接着固定機４００に対して固定されており、クランプ４１２はネスト４１３に対して少なくとも前後に移動可能である。また、固定部４１０において、ヘッド・スライダ１０５は底面であるＡＢＳ面が何にも当接しない非接触状態で固定される。即ちヘッド・スライダ１０５はネスト４１３とクランプ４１２とによって側面のみで挟持される。
【００６０】
固定部４１０にヘッド・スライダ１０５を固定する際には、クランプ４１２とネスト４１３との間にヘッド・スライダ１０５の平面寸法よりも十分大きなスペースが開いた状態で、ＡＢＳ面を下向きにしてヘッド・スライダ１０５の側面をプレート４１１及びネスト４１３に当接させ、その状態からクランプ４１２をネスト４１３に近付けることによって、ヘッド・スライダ１０５を挟持する。即ち、プレート４１１、クランプ４１２及びネスト４１３に囲まれるようにヘッド・スライダ１０５が挟持される。ここで、クランプ４１２とネスト４１３との間においては、ヘッド・スライダ１０５は凸部４１４ａ〜ｃによって三点支持される。固定部４１０にヘッド・スライダ１０５が固定された状態の上面図を図８（ａ）、（ｂ）に側面図を図８（ｃ）に示す。
【００６１】
図８（ａ）に示されるように、ヘッド・スライダ１０５はその側面がプレート４１１に当接し、クランプ４１２側及びネスト４１３側が有する凸部４１４ａ〜ｃによって三点支持されている。ヘッド・スライダ１０５がプレート４１１に当接することによって、サスペンション１１０との接着時における位置決め精度が向上する。上記のように、ヘッド・スライダ１０５は底面を固定されず側面のみで挟持されているため、より強い力で挟持されることが望ましい。面で支持する場合は当接面の平坦度により力の伝達に強弱が生じてしまうが、凸部４１４ａ〜ｃを設け三点で支持することによって、面で支持するよりも当接面に確実に力を伝えることができる。
【００６２】
更に好適には、図８（ｂ）に示されるように、凸部４１４ａ〜ｃの当接面は凸型のＲ部４１４ｒを有している方が良い。これにより、Ｒ部４１４ｒの頂点を中心に更に確実に力を伝えることができる。ここで、凸部４１４ａ〜ｃは上記のようにクランプ４１２に４１４ａが一点、ネスト４１３側に４１４ｂ及び４１４ｃの二点設けられているが、これに限定されるものではない。但し、本実施形態においては、ヘッド・スライダ１０５を先にネスト４１３に当接させ、後からクランプ４１２で挟持するため図８に示される態様が好ましい。先にネスト４１３に設けられた凸部４１４ｂ、４１４ｃの二点と当接させることにより、ヘッド・スライダ１０５の回転が抑制され、後からクランプ４１２で挟持する際に都合がよいからである。また、図８（ｂ）においては凸部４１４ａ〜ｃについて水平方向にＲ部が設けられているが、垂直方向に設けられていても良い。また、図８（ｃ）に示すように、片面のみのＲでも良い。
【００６３】
より好適なヘッド・スライダ１０５の挟持のため、凸部４１４ｂ、４１４ｃはネスト４１３におけるヘッド・スライダ１０５との当接面において、図８に示すように真ん中よりも両端寄りに夫々設けられ、凸部４１４は凸部４１４ｂと凸部４１４ｃとの間に対向するように設けられる。更に好適には、凸部４１４ａは凸部４１４ｂと凸部４１４ｃとの中間に設けられる。これにより、ヘッド・スライダ１０５は凸部ａ〜ｃによって好適に三点支持される。
【００６４】
次に図９を用いてバキューム・ヘッド２０１に吸着されたヘッド・スライダ１０５を接着固定機４００の固定部４１０に固定する工程を説明する。図５における説明でヘッド・スライダ１０５を吸着したバキューム・ヘッド２０１を、アーム２０３及びガイドレール２０４を駆動することにより、接着固定機ステージ２０９の直上であってアーム２０３が垂直移動可能な点に移動する。この場合のバキューム・ヘッド２０１の位置は、固定部４１０の直上である。更に詳細には、プレート４１１、クランプ４１２及びネスト４１３に囲まれる領域である。
【００６５】
上記のようなアーム２０３が垂直移動可能な位置において、図９（ａ）に示すようにバキューム・ヘッド２０１を垂直下方へ移動し、バキューム・ヘッド２０１に吸着されたヘッド・スライダ１０５を固定部４１０へ近づける。バキューム・ヘッド２０１を垂直下方へ移動していくと、バキューム・パッド２０２に設けられた突き当て部２２１と接着固定機ステージ２０９に設けられたストッパ２９１とが当接し、バキューム・ヘッド２０１の下降が停止する。バキューム・ヘッド２０１の下降停止の詳細については後述する。
【００６６】
図９（ｂ）に示すように、ヘッド・スライダ１０５がバキューム・ヘッド２０１に吸着された状態で停止する位置は、プレート４１１及びネスト４１３に設けられた凸部４１４ｂ、４１４ｃとの間に夫々０．２５ｍｍ程度の隙間ｇ１、ｇ２が空く位置である。図９（ｂ）を正面から見た状態を図１０に示す。図１０に示すように、凸部４１４ｂとヘッド・スライダ１０５との間には隙間ｇ１が空いている。また、図１０に示されるように、バキューム・ヘッド２０１が停止した際のヘッド・スライダ１０５の上面（ＡＢＳ面とは反対側の面）の高さは、プレート４１１及びネスト４１３の上面の高さよりもギャップｇ３だけ高く位置する。こうすることにより、接着固定機４００にヘッド・スライダ１０５を固定した状態でヘッド・スライダ１０５とサスペンション１１０とを接着することができる。ここで、図９（ｂ）から図９（ｄ）においては、バキューム・ヘッド２０１は省略するが、ヘッド・スライダ１０５が固定部４１０に挟持されるまで、ヘッド・スライダ１０５はバキューム・ヘッド２０１に吸着されている。
【００６７】
次に、図９（ｃ）に示されるように、接着固定機ステージ２０９を動かすことにより、プレート４１１及びネスト４１３に設けられた凸部４１４と、ヘッド・スライダ１０５の側面とを当接させる。この時の接着固定機ステージ２０９の移動はレバー等により手動で行なっても良いし、モータ等により行なっても良い。また、プレート４１１及び凸部４１４ｂ、４１４ｃとヘッド・スライダ１０５との当接を検出して自動で停止しても良いし、手動で停止しても良い。プレート４１１及びネスト４１３とヘッド・スライダ１０５の側面とを当接させた後、図９（ｄ）に示すようにクランプ４１２をネスト４１３に近付けることにより、クランプ４１２に設けられた凸部４１４ｂ、４１４ｃとヘッド・スライダ１０５とを当接させ、図８に示したようにヘッド・スライダ１０５が固定部４１０に挟持される。
【００６８】
固定部４１０にヘッド・スライダ１０５が固定された後、バキューム・ヘッド２０１による吸着を解除し、ヘッド・スライダ１０５の上面にサスペンション１１０を接着する。図９（ｄ）に示すように、ヘッド・スライダ１０５の底面、即ちＡＢＳ面が他の構成に接触せず、ヘッド・スライダ１０５は側面のみで保持されるため、製造工程におけるＡＢＳ面の清浄土を向上することができる。
【００６９】
図１１を用いて、突き当て部２２１及びストッパ２９１による、バキューム・ヘッド２０１の下降停止位置を規定する方法について説明する。図１１は、組み付け補助機２００の一部を模式的に示す断面図である。図１１に示されるように、バキューム・パッド２０２は、自身の底面においてＬ字型に突き出した突き当て部２２１を有する。突き当て部２２１はバキューム・ヘッド２０１と重ならない位置に突出している。また、接着固定機ステージ２０９には、接着固定機４００、詳細には固定部４１０の近傍において、上方に突出したストッパ２９１が設けられる。
【００７０】
アーム２０３の下降時においては、突き当て部２２１とストッパ２９１とが当接することによってアーム２０３の下降が不可能となり、アーム２０３の下降が停止する。従って、ストッパ２９１の高さ、突き当て部２２１及びバキューム・ヘッド２０１の寸法を調整することにより、ヘッド・スライダ１０５を固定部４１０に挟持する際の高さを規定することが可能となる。また、ストッパ２９１を固定部４１０の近傍に設けることにより、突き当て部２２１とストッパ２９１とが当接した際の、突き当て部２２１の歪みを低減することができる。これにより、ヘッド・スライダ１０５の位置のずれ及び傾きを抑えることができる。尚、ストッパ２９１は突き当て部２２１との当接面において様々な態様が考えられる。例えば、突き当て部２２１との当接面に接触時の衝撃吸収用の弾性部材を設けても良いし、突き当て部２２１との当接状態における安定性向上のために、当接面を水平方向に拡大しても良い。
【００７１】
このような方法を用いて接着固定機４００の固定部４１０にヘッド・スライダ１０５を固定することにより、ヘッド・スライダ１０５のＡＢＳ面が接着固定機４００と接触することなく、ヘッド・スライダ１０５とサスペンション１１０との接着を行うことができる。従って、ヘッド・スライダ１０５のＡＢＳ面を清浄に保つことができ、ＨＤＤの製造工程におけるコンタミネーションを低減することが可能となる。
【００７２】
以上説明したように、本発明により、スライダのＡＢＳ面の清浄度が向上した磁気ディスク装置を提供することができる。また、接着固定機４００の洗浄工程が不要となり、生産性の向上を図ることができる。
【００７３】
尚、上記においては、接着固定機ステージ２０９に設けられたストッパ２９１とバキューム・パッド２０２に設けられた突き当て部２２１とを当接させることにより、ヘッド・スライダ１０５の位置を規定したが、例えばストッパ２９１を突き当て部２２１に設け、ストッパ２９１と接着固定機ステージ２０９とが当接することによりヘッド・スライダ１０５の位置を規定しても良い。更には、ストッパ２９１をバキューム・パッド２０２又はアーム２０３に設けても良い。また、接着固定機ステージ２０９とアーム２０３とが当接することにより、ヘッド・スライダ１０５の位置を規定しても良い。
【００７４】
また、本実施形態においては、固定部４１０に対してヘッド・スライダ１０５を直上から近付け、突き当て部２２１とストッパ２９１とを上下で当接させることによりヘッド・スライダ１０５の位置を規定したが、これに限定されるものではない。例えば、固定部４１０が下面に位置するように接着固定機４００を配置し、ヘッド・スライダ１０５を真下から近づけても良い。同様に、固定部４１０が側面に位置するように接着固定機４００を配置し、ヘッド・スライダ１０５を真横から近づけ、突き当て部２２１とストッパ２９１とを左右で当接させても同様の効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施の形態におけるＨＤＤを示す上面図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるアクチュエータを示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるスライダ組み付け補助機を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態におけるアーム周辺を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態におけるバキューム・ヘッドがスライダを吸着する工程を示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態における接着固定機を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態における接着固定機に含まれる固定部を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施の形態における固定部にスライダが挟持された状態を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態におけるスライダが固定部に挟持される工程を示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施の形態におけるスライダと固定部の位置関係を示す正面図である。
【図１１】本発明の実施の形態におけるスライダ組み付け補助機の一部を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７６】
１００  ＨＤＤ、１０１  磁気ディスク、１０２  ベース、
１０３  スピンドル・モータ、１０５  ヘッド・スライダ、１０６  アクチュエータ、
１０７  回動軸、１０８  軸受部、１０９  ＶＣＭ、１１０  サスペンション、
１１１  アーム部、１１２  コイル・サポート部、１１３  フラットコイル、
１１４  上側ステータ・マグネット保持板、１１５  ランプ、１１６  タブ、
１１７  トレース、１１８  マウント・プレート、１１９  ジンバル、
１２０  ロード・ビーム、２００  スライダ組み付け補助機、
２０１  バキューム・ヘッド、２０２  バキューム・パッド、２０３  アーム、
２０４  ガイドレール、２０５  側壁、２０６  ベース、２０７  トレイ・ステージ、
２０８  トレイ・クランプ・センサー、２０９  接着固定機ステージ、２１０  照明、
２２１  突き当て部、２３１  サポートプレート、２３２  ハンドル、
２３３  プレート、２３４  カメラ、２３５、２３６  接続部、２９１  ストッパ、
２９２  クランプオープンレバー、３００  スライダ・トレイ、３０１  凹部、
４００  接着固定機、４１０  固定部、４１１  プレート、４１２  クランプ、
４１３  ネスト、４１４ｒ  Ｒ部、４１４ａ、４１４ｂ、４１４ｃ  凸部、
ｇ１、ｇ２  隙間、ｇ３  ギャップ
【図１】
2006260698.tif 000003
【図２】
2006260698.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006260698.tif 000009
【図８】
2006260698.tif 000010
【図９】
2006260698.tif 000011
【図１０】
2006260698.tif 000012
【図１１】
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