(57)【要約】【課題】排ガスの捕捉効率の向上とメンテナンス性の向上ができる排ガス処理手段を備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】処理室２０１内に少なくとも２種類の処理ガスを供給するガス供給系２３２ａ、２３２ｂと、処理室２０１内を排出する排出系２３１と、排出系２３１に設けられた排ガス処理手段３３０と、排ガス処理手段３３０に接続されたガス供給系３４２と、制御装置３２１とを備え、処理室２０１に少なくとも２種類の処理ガスを交互に供給、排出させて、基板に所望の薄膜を形成する基板処理装置において、少なくとも２種類の処理ガスのうちの１種類の処理ガスが処理室２０１から排出されている時は、１種類の処理ガスと反応して固化物を形成するガスをガス供給系３４２から排ガス処理手段３３０に供給するようにする。【選択図】        図２
2006216612.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する空間を成す処理室と、
前記処理室内に少なくとも２種類の処理ガスを供給する第１のガス供給系と、
前記処理室内の雰囲気を排出する排出系と、
前記排出系に設けられた排ガス処理手段と、を有し、
前記処理室に対し前記処理ガスを交互に供給、排出させて、前記基板に所望の薄膜を形成する基板処理装置であって、
前記排ガス処理手段に接続された第２のガス供給系と、
少なくとも前記第１のガス供給系と、前記排出系と、前記第２のガス供給系とを制御する制御装置と、をさらに備え、
前記制御装置の制御によって、前記少なくとも２種類の処理ガスのうちの１種類の処理ガスが前記処理室から排出されている時は、前記１種類の処理ガスと反応して固化物を形成するガスを前記第２のガス供給系から前記排ガス処理手段に供給することを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板処理装置に関し、特に、Ｓｉ半導体デバイスを製造する際に用いられるＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：原子層成膜）法による成膜を行う基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
まず、ＡＬＤ法を用いた成膜処理について、簡単に説明する。
ＡＬＤ法は、ある成膜条件（温度、時間等）の下で、成膜に用いる２種類（またはそれ以上）の原料となるガスを１種類ずつ交互に基板上に供給し、１原子層単位で吸着させ、表面反応を利用して成膜を行う手法である。
【０００３】
即ち、利用する化学反応は、例えばＳｉＮ（窒化珪素）膜形成の場合ＡＬＤ法ではＤＣＳ（ＳｉＨ２Ｃｌ２、ジクロルシラン）とＮＨ３（アンモニア）を用いて３００〜６００℃の低温で高品質の成膜が可能である。また、ガス供給は、複数種類の反応性ガスを１種類ずつ交互に供給する。そして、膜厚制御は、反応性ガス供給のサイクル数で制御する。（例えば、成膜速度が１Å／サイクルとすると、２０Åの膜を形成する場合、処理を２０サイクル行う。）  
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなＡＬＤ装置の排気系にトラップあるいは燃焼除害装置を付加して排ガス処理方法を行っている。トラップを用いる場合、トラップ内でのガス捕捉効率を上げようとするとメンテナンス周期がトラップに使用しているフィルタの目詰まりにより短くなったり、逆にメンテナンス周期を長くしようとすると捕捉効率が悪くなるなどの問題点があった。
【０００５】
特に、ＡＬＤ法による成膜法においては、従来の熱ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）方式に比べて未反応ガスの割合が多く、又、供給ガスの量も多いため、排ガス捕捉効率とメンテナンス性の両方の向上ができるトラップを備えた基板処置装置が要望されていた。
【０００６】
従って、本発明の主な目的は、排ガスの捕捉効率の向上とメンテナンス性の向上ができる排ガス処理手段を備えた基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、
基板を処理する空間を成す処理室と、
前記処理室内に少なくとも２種類の処理ガスを供給する第１のガス供給系と、
前記処理室内の雰囲気を排出する排出系と、
前記排出系に設けられた排ガス処理手段と、を有し、
前記処理室に対し前記処理ガスを交互に供給、排出させて、前記基板に所望の薄膜を形成する基板処理装置であって、
前記排ガス処理手段に接続された第２のガス供給系と、
少なくとも前記第１のガス供給系と、前記排出系と、前記第２のガス供給系とを制御する制御装置と、をさらに備え、
前記制御装置の制御によって、前記少なくとも２種類の処理ガスのうちの１種類の処理ガスが前記処理室から排出されている時は、前記１種類の処理ガスと反応して固化物を形成するガスを前記第２のガス供給系から前記排ガス処理手段に供給することを特徴とする基板処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、排ガスの捕捉効率の向上とメンテナンス性の向上ができる排ガス処理手段を備えた基板処理装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に、本発明の好ましい実施例を説明する。
本発明の好ましい実施例においては、排ガスを捕捉するためのトラップ（排ガス処理装置）を具備した排気系構成にて、縦型薄膜形成装置の処理室に交互に流す反応原料をＡ，Ｂとした時、ＡあるいはＢを捕捉するためのガスをトラップ内に流して捕捉効率を上げている
【００１０】
この薄膜形成装置はＡＬＤ法による原子層生膜装置であって、第１反応原料Ａ供給工程と、不活性ガス供給工程と、第２反応原料Ｂ供給工程と、不活性ガス供給工程とを循環的に複数回供給を繰り返すことにより基板上に薄膜を堆積させている。原料Ａ，Ｂは、それぞれジクロロシラン（ＤＣＳ）とアンモニア（ＮＨ３）である。
【００１１】
そして、薄膜形成装置にＤＣＳを流している時に、ＤＣＳを捕捉するためのガスとしてＮＨ３をトラップ内に流している。
【００１２】
次に、図面を参照して本発明の好ましい実施例をさらに詳細に説明する。
図１は、ＡＬＤ法のシーケンスを説明するための図である。図２は、本発明の好ましい実施例に係る基板処理装置の縦型の基板処理炉を説明するための概略縦断面図であり、図３は、図２のトラップを説明するための概略拡大縦断面図である。図４は、本発明の好ましい実施例に係る基板処理装置の縦型の基板処理炉を説明するための概略横断面図である。
【００１３】
ＡＬＤ法では、図１に示すように原料ガスの供給として第１反応物質Ａ供給工程と不活性ガス供給工程と、第２反応物質Ｂ供給工程と、不活性ガス供給工程とを循環的に複数回供給を繰り返すことにより基板上に薄膜を堆積させる。
【００１４】
ＡＬＤ法によるＳｉＮ膜を形成する際に用いられる第１反応物質をジクロロシラン（ＤＣＳ）、第２反応物質をアンモニア（ＮＨ３）とした時、図１から判るように処理室内ではＤＣＳとＮＨ３は互いに混合することはなく、処理室を排出された後にその拡散係数の違いからトラップ内において混合することになる。しかし、その混合はプロセス条件（パージ時間、パージ流量）により変わるため、単にトラップ内に流し込むだけでは、トラップ効率を一定にすることは極めて難しい。
【００１５】
ＤＣＳとＮＨ３は下記のような反応を行うものと推定される。
ＳｉＨ２Ｃｌ２＋ＮＨ３  →  Ｓｉ（固形）＋ＮＨ４Ｃｌ（固形）＋ＨＣｌ
ＨＣｌ＋ＮＨ３  →  ＮＨ４Ｃｌ（固形）
【００１６】
従って、ＤＣＳをＮＨ４Ｃｌ（塩化アンモニウム）として固化すればトラップの捕捉効率を上げることができる。ＤＣＳとＮＨ３の反応は室温でも進行するため、トラップ内にＮＨ３を流すことにより、未反応で排出されてきたＤＣＳをトラップ内にてＮＨ４Ｃｌとして捕捉することが可能である。
【００１７】
そこで、本実施例では、トラップ効率を上げるため、図３に示すように、トラップ３３０内において、未反応ガスを反応させる未反応ガス反応促進領域３３１とトラップ領域３３３とを分離した。そして、未反応ガス反応促進領域３３１の下方に副生成物堆積領域３３２を設けた。トラップ３３０の前段、すなわちトラップ３３０の下方に、ＮＨ３ガス供給管３４２を接続し、ガス供給管３４２からＮＨ３をトラップ３３０内に供給することにより、後述する処理室２０１から未反応で排出され、ガス排気管２３１からトラップ３３０に流入するＤＣＳをトラップ３３０内の未反応ガス反応促進領域３３１でＮＨ３と反応させ、生じたＮＨ４Ｃｌを副生成物堆積領域３３２に堆積させる。
【００１８】
このように、処理室２０１から未反応で排出されトラップ３３０に流入するＤＣＳは、ガス排気管２３１からのＮＨ３と反応してＮＨ４Ｃｌとして副生成物堆積領域３３２に堆積するので、ＤＣＳの捕捉効率を向上させることができる。そして、このように、トラップ３３０に流入するＤＣＳの捕捉効率が向上するので、トラップ領域３３３のフイルタ３３４の長寿命化を図ることができる。
【００１９】
次に、図２、図４を参照して、本発明の好ましい実施例に係る基板処理装置の縦型の基板処理炉について説明する。
【００２０】
加熱手段であるヒータ２０７の内側に、基板であるウエハ２００を処理する反応容器として石英製の反応管２０３が設けられ、この反応管２０３の下端開口は蓋体であるシールキャップ２１９により気密部材であるＯリング２２０を介して気密に閉塞されている。反応管２０３およびヒータ２０７の外側には断熱部材２０８が設けられている。断熱部材２０８はヒータ２０７の上方端を覆うように設けられている。少なくとも、ヒータ２０７、断熱部材２０８、反応管２０３、及びシールキャップ２１９により処理炉２０２を形成している。また、反応管２０３、シールキャップ２１９および後述する反応管２０３内に形成されたバッファ室２３７により処理室２０１を形成している。シールキャップ２１９には石英キャップ２１８を介して基板保持手段であるボート２１７が立設され、石英キャップ２１８はボート２１７を保持する保持体となっている。そして、ボート２１７は処理炉２０２に挿入される。ボート２１７にはバッチ処理される複数のウエハ２００が水平姿勢で管軸方向に多段に垂直方向に積載される。ヒータ２０７は処理炉２０２に挿入されたウエハ２００を所定の温度に加熱する。
【００２１】
そして、処理炉２０２へは複数種類、ここでは２種類のガスを供給する供給管としての２本のガス供給管２３２ａ、２３２ｂが設けられる。ここではガス供給管２３２ａからは流量制御手段であるマスフローコントローラ２４１ａ及び開閉弁であるバルブ２４３ａを介し、更に後述する反応管２０３内に形成されたバッファ室２３７を介して処理室２０１に反応ガスが供給され、ガス供給管２３２ｂからは流量制御手段であるマスフローコントローラ２４１ｂ、開閉弁であるバルブ２４３ｂ、ガス溜め２４７、及び開閉弁であるバルブ２４３ｃを介し、更に後述するガス供給部２４９を介して処理室２０１に反応ガスが供給される。
【００２２】
２本のガス供給管２３２ａ、２３２ｂには、反応副生成物であるＮＨ４Ｃｌの付着を防ぐために、１２０℃程度まで加熱できる配管ヒータ（図示せず。）を装着している。
【００２３】
処理室２０１は、ガスを排気する排気管であるガス排気管２３１によりバルブ２４３ｄおよびトラップ３３０を介して排気手段である真空ポンプ２４６に接続され、真空排気されるようになっている。尚、このバルブ２４３ｄは弁を開閉して処理室２０１の真空排気・真空排気停止ができ、更に弁開度を調節して圧力調整可能になっている開閉弁である。
【００２４】
トラップ３３０にはガス供給管３４２が接続されている。ガス供給管２３２ａからは流量制御手段であるマスフローコントローラ２４３及び開閉弁であるバルブ３４１を介してＮＨ３ガスがトラップ３３０内に供給される。
【００２５】
処理室２０１を構成している反応管２０３の内壁とウエハ２００との間における円弧状の空間には、反応管２０３の下部より上部の内壁にウエハ２００の積載方向に沿って、ガス分散空間であるバッファ室２３７が設けられている。バッファ室２３７のウエハ２００と隣接する内側の壁の端部近傍にはガスを供給する供給孔であるガス供給孔２４８ａが設けられている。このガス供給孔２４８ａは反応管２０３の中心へ向けて開口している。このガス供給孔２４８ａは、ウエハ２００の積載方向に沿って下部から上部に所定の長さにわたってそれぞれ同一の開口面積を有し、更に同じ開口ピッチで設けられている。
【００２６】
そしてバッファ室２３７のガス供給孔２４８ａが設けられた端部と反対側の端部近傍には、ノズル２３３が、やはり反応管２０３の下部より上部にわたりウエハ２００の積載方向に沿って配設されている。そしてノズル２３３にはガスを供給する供給孔であるガス供給孔２４８ｂが複数設けられている。複数のガス供給孔２４８ｂは、ガス供給孔２４８ａの場合と同じ所定の長さにわたってウエハ２００の積載方向に沿って配設されている。そして、複数のガス供給孔２４８ｂと複数のガス供給孔２４８ａとをそれぞれ1対1で対応させて配置している。
【００２７】
また、ガス供給孔２４８ｂの開口面積は、バッファ室２３７と処理炉２０２の差圧が小さい場合には、上流側から下流側まで同一の開口面積で同一の開口ピッチとすると良いが、差圧が大きい場合には上流側から下流側に向かって開口面積を大きくするか、開口ピッチを小さくすると良い。
【００２８】
ガス供給孔２４８ｂの開口面積や開口ピッチを上流側から下流にかけて調節することで、まず、各ガス供給孔２４８ｂよりガスの流速の差はあるが、流量はほぼ同量であるガスを噴出させる。そしてこの各ガス供給孔２４８ｂから噴出するガスをバッファ室２３７に噴出させて一旦導入し、ガスの流速差の均一化を行うことができる。
【００２９】
すなわち、バッファ室２３７において、各ガス供給孔２４８ｂより噴出したガスはバッファ室２３７で各ガスの粒子速度が緩和された後、ガス供給孔２４８ａより処理室２０１に噴出する。この間に、各ガス供給孔２４８ｂより噴出したガスは、各ガス供給孔２４８ａより噴出する際には、均一な流量と流速とを有するガスとすることができる。
【００３０】
さらに、バッファ室２３７に、細長い構造を有する棒状電極２６９及び棒状電極２７０が上部より下部にわたって電極を保護する保護管である電極保護管２７５に保護されて配設され、この棒状電極２６９又は棒状電極２７０のいずれか一方は整合器２７２を介して高周波電源２７３に接続され、他方は基準電位であるアースに接続されている。この結果、棒状電極２６９及び棒状電極２７０間のプラズマ生成領域２２４にプラズマが生成される。
【００３１】
この電極保護管２７５は、棒状電極２６９及び棒状電極２７０のそれぞれをバッファ室２３７の雰囲気と隔離した状態でバッファ室２３７に挿入できる構造となっている。ここで、電極保護管２７５の内部は外気（大気）と同一雰囲気であると、電極保護管２７５にそれぞれ挿入された棒状電極２６９及び棒状電極２７０はヒータ２０７の加熱で酸化されてしまう。そこで、電極保護管２７５の内部は窒素などの不活性ガスを充填あるいはパージし、酸素濃度を充分低く抑えて棒状電極２６９又は棒状電極２７０の酸化を防止するための不活性ガスパージ機構が設けられる。
【００３２】
さらに、ガス供給孔２４８ａの位置より、反応管２０３の内周を１２０°程度回った内壁に、ガス供給部２４９が設けられている。このガス供給部２４９は、ＡＬＤ法による成膜においてウエハ２００へ、複数種類のガスを１種類ずつ交互に供給する際に、バッファ室２３７とガス供給種を分担する供給部である。
【００３３】
このガス供給部２４９もバッファ室２３７と同様にウエハと隣接する位置に同一ピッチでガスを供給する供給孔であるガス供給孔２４８ｃを有し、下部ではガス供給管２３２ｂが接続されている。
【００３４】
ガス供給孔２４８ｃの開口面積はバッファ室２３７と処理室２０１の差圧が小さい場合には、上流側から下流側まで同一の開口面積で同一の開口ピッチとすると良いが、差圧が大きい場合には上流側から下流側に向かって開口面積を大きくするか開口ピッチを小さくすると良い。
【００３５】
反応管２０３内の中央部には複数枚のウエハ２００を多段に同一間隔で鉛直方向に載置するボート２１７が設けられており、このボート２１７は図中省略のボートエレベータ機構により反応管２０３に出入りできるようになっている。また処理の均一性を向上するためにボート２１７を回転するための回転手段であるボート回転機構２６７が設けてあり、ボート回転機構２６７を回転することにより、石英キャップ２１８に保持されたボート２１７を回転するようになっている。
【００３６】
制御手段であるコントローラ３２１は、マスフローコントローラ２４１ａ、２４１ｂ、３４３、バルブ２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ、２４３ｄ、３４１、ヒータ２０７、真空ポンプ２４６、ボート回転機構２６７、ボートエレベータ１２１、高周波電源２７３、整合器２７２に接続されており、マスフローコントローラ２４１ａ、２４１ｂ、３４３の流量調整、バルブ２４３ａ、２４３ｂ、２４３ｃ。３４３の開閉動作、バルブ２４３ｄの開閉及び圧力調整動作、ヒータ２０７の温度調節、真空ポンプ２４６の起動・停止、ボート回転機構２６７の回転速度調節、ボートエレベータ１２１の昇降動作制御、高周波電極２７３の電力供給制御、整合器２７２によるインピーダンス制御が行われる。
【００３７】
次にＡＬＤ法による成膜例について、ＤＣＳ及びＮＨ３ガスを用いてＳｉＮ膜を成膜する例で説明する。
【００３８】
まず成膜しようとするウエハ２００をボート２１７に装填し、処理炉２０２に搬入する。搬入後、次の３つのステップを順次実行する。
【００３９】
［ステップ１］
ステップ１では、プラズマ励起の必要なＮＨ３ガスと、プラズマ励起の必要のないＤＣＳガスとを併行して流す。まずガス供給管２３２ａに設けたバルブ２４３ａ、及びガス排気管２３１に設けたバルブ２４３ｄを共に開けて、ガス供給管２３２ａからマスフローコントローラ２４３ａにより流量調整されたＮＨ３ガスをノズル２３３のガス供給孔２４８ｂからバッファ室２３７へ噴出し、棒状電極２６９及び棒状電極２７０間に高周波電源２７３から整合器２７２を介して高周波電力を印加してＮＨ３をプラズマ励起し、活性種として処理室２０１に供給しつつガス排気管２３１から排気する。ＮＨ３ガスをプラズマ励起することにより活性種として流すときは、バルブ２４３ｄを適正に調整して処理室２０１内圧力を１０〜１００Ｐａとする。マスフローコントローラ２４１ａで制御するＮＨ３の供給流量は１０００〜１００００ｓｃｃｍである。ＮＨ３をプラズマ励起することにより得られた活性種にウエハ２００を晒す時間は２〜１２０秒間である。このときのヒータ２０７の温度はウエハが５００〜６００℃になるよう設定してある。ＮＨ３は反応温度が高いため、上記ウエハ温度では反応しないので、プラズマ励起することにより活性種としてから流すようにしており、このためウエハ温度は設定した低い温度範囲のままで行える。
【００４０】
このＮＨ３をプラズマ励起することにより活性種として供給しているとき、ガス供給管２３２ｂの上流側のバルブ２４３ｂを開け、下流側のバルブ２４３ｃを閉めて、ＤＣＳも流すようにする。これによりバルブ２４３ｂ、２４３ｃ間に設けたガス溜め２４７にＤＣＳを溜める。このとき、処理室２０１内に流しているガスはＮＨ３をプラズマ励起することにより得られた活性種であり、ＤＣＳは存在しない。したがって、ＮＨ３は気相反応を起こすことはなく、プラズマにより励起され活性種となったＮＨ３はウエハ２００上の下地膜と表面反応する。
【００４１】
また、このＮＨ３をプラズマ励起することにより活性種として処理室２０１に供給しているとき、バルブ３４１を開けて、ガス供給管３４２からマスフローコントローラ３４３により流量調整されたＮＨ３ガスをトラップ３３０に供給する。
【００４２】
［ステップ２］
ステップ２では、ガス供給管２３２ａのバルブ２４３ａを閉めて、ＮＨ３の供給を止めるが、引続きガス溜め２４７へ供給を継続する。ガス溜め２４７に所定圧、所定量のＤＣＳが溜まったら上流側のバルブ２４３ｂも閉めて、ガス溜め２４７にＤＣＳを閉じ込めておく。また、ガス排気管２３１のバルブ２４３ｄは開いたままにし真空ポンプ２４６により、処理室２０１を２０Ｐａ以下に排気し、残留ＮＨ３を処理室２０１から排除する。また、この時にはＮ２等の不活性ガスを処理室２０１に供給すると、更に残留ＮＨ３を排除する効果が高まる。ガス溜め２４７内には、圧力が２００００Ｐａ以上になるようにＤＣＳを溜める。また、ガス溜め２４７と処理室２０１との間のコンダクタンスが１．５×１０−３ｍ３／ｓ以上になるように装置を構成する。また、反応管２０３の容積とこれに対する必要なガス溜め２４７の容積との比として考えると、反応管２０３の容積１００１（リットル）の場合においては、１００〜３００ｃｃであることが好ましく、容積比としてはガス溜め２４７は反応室容積の１／１０００〜３／１０００倍とすることが好ましい。
なお、この際にも、バルブ３４１を開けて、ガス供給管３４２からマスフローコントローラ３４３により流量調整されたＮＨ３ガスをトラップ３３０に供給したままとしておく。
【００４３】
［ステップ３］
ステップ３では、処理室２０１の排気が終わったらガス排気管２３１のバルブ２４３ｃを閉じて排気を止める。ガス供給管２３２ｂの下流側のバルブ２４３ｃを開く。これによりガス溜め２４７に溜められたＤＣＳが処理室２０１に一気に供給される。このときガス排気管２３１のバルブ２４３ｄが閉じられているので、処理室２０１内の圧力は急激に上昇して約９３１Ｐａ（７Ｔｏｒｒ）まで昇圧される。ＤＣＳを供給するための時間は２〜４秒設定し、その後上昇した圧力雰囲気中に晒す時間を２〜４秒に設定し、合計６秒とした。このときのウエハ温度はＮＨ３の供給時と同じく、５００〜６００℃である。ＤＣＳの供給により、下地膜上のＮＨ３とＤＣＳとが表面反応して、ウエハ２００上にＳｉＮ膜が成膜される。成膜後、バルブ２４３ｃを閉じ、バルブ２４３ｄを開けて処理室２０１を真空排気し、残留するＤＣＳの成膜に寄与した後のガスを排除する。また、この時にはＮ２等の不活性ガスを処理室２０１に供給すると、更に残留するＤＣＳの成膜に寄与した後のガスを処理室２０１から排除する効果が高まる。またバルブ２４３ｂを開いてガス溜め２４７へのＤＣＳの供給を開始する。
【００４４】
なお、ガス供給管２３２ｂの下流側のバルブ２４３ｃを開き、ガス溜め２４７に溜められたＤＣＳが処理室２０１に一気に供給している間、およびその後、バルブ２４３ｄを開けて処理室２０１を真空排気している間も、バルブ３４１を開けて、ガス供給管３４２からマスフローコントローラ３４３により流量調整されたＮＨ３ガスをトラップ３３０に供給したままとしておく。
【００４５】
このように、ガス供給管３４２からＮＨ３をトラップ３３０内に供給することにより、処理室２０１から未反応で排出され、ガス排気管２３１からトラップ３３０に流入するＤＣＳをトラップ３３０内の未反応ガス反応促進領域３３１でＮＨ３と反応させ、生じたＮＨ４Ｃｌを副生成物堆積領域３３２に堆積させることができ、ＤＣＳの捕捉効率を向上させることができる。そして、このように、トラップ３３０に流入するＤＣＳの捕捉効率が向上するので、トラップ領域３３３のフイルタ３３４の長寿命化を図ることができる。
。
【００４６】
上記ステップ１〜３を１サイクルとし、このサイクルを複数回繰り返すことによりウエハ上に所定膜厚のＳｉＮ膜を成膜する。
【００４７】
なお、上記実施例では、上記ステップ１〜３を繰り返している間は、ガス供給管３４２からＮＨ３をトラップ３３０内に連続して供給するが、ＤＣＳがトラップ３３０内に流れ込んでくる間だけＮＨ３をトラップ３３０内に供給するようにしてもよい。
【００４８】
また、ＡＬＤ装置では、ガスは下地膜表面に吸着する。このガスの吸着量は、ガスの圧力、及びガスの暴露時間に比例する。よって、希望する一定量のガスを、短時間で吸着させるためには、ガスの圧力を短時間で大きくする必要がある。この点で、本実施例では、バルブ２４３ｄを閉めたうえで、ガス溜め２４７内に溜めたＤＣＳを瞬間的に供給しているので、処理室２０１内のＤＣＳの圧力を急激に上げることができ、希望する一定量のガスを瞬間的に吸着させることができる。
【００４９】
また、本実施例では、ガス溜め２４７にＤＣＳを溜めている間に、ＡＬＤ法で必要なステップであるＮＨ３ガスをプラズマ励起することにより活性種として供給、及び処理室２０１の排気をしているので、ＤＣＳを溜めるための特別なステップを必要としない。また、処理室２０１内を排気してＮＨ３ガスを除去しているからＤＣＳを流すので、両者はウエハ２００に向かう途中で反応しない。供給されたＤＣＳは、ウエハ２００に吸着しているＮＨ３とのみ有効に反応させることができる。
【００５０】
次に、図５、図６を参照して本実施例の基板処理装置の概略を説明する。
【００５１】
筐体１０１内部の前面側には、図示しない外部搬送装置との間で基板収納容器としてのカセット１００の授受を行う保持具授受部材としてのカセットステージ１０５が設けられ、カセットステージ１０５の後側には昇降手段としてのカセットエレベータ１１５が設けられ、カセットエレベータ１１５には搬送手段としてのカセット移載機１１４が取りつけられている。又、カセットエレベータ１１５の後側には、カセット１００の載置手段としてのカセット棚１０９が設けられると共にカセットステージ１０５の上方にも予備カセット棚１１０が設けられている。予備カセット棚１１０の上方にはクリーンユニット１１８が設けられクリーンエアを筐体１０１の内部を流通させるように構成されている。
【００５２】
筐体１０１の後部上方には、処理炉２０２が設けられ、処理炉２０２の下方には基板としてのウエハ２００を水平姿勢で多段に保持する基板保持手段としてのボート２１７を処理炉２０２に昇降させる昇降手段としてのボートエレベータ１２１が設けられ、ボートエレベータ１２１に取りつけられた昇降部材１２２の先端部には蓋体としてのシールキャップ２１９が取りつけられボート２１７を垂直に支持している。ボートエレベータ１２１とカセット棚１０９との間には昇降手段としての移載エレベータ１１３が設けられ、移載エレベータ１１３には搬送手段としてのウエハ移載機１１２が取りつけられている。又、ボートエレベータ１２１の横には、開閉機構を持ち処理炉２０２の下側を気密に閉塞する閉塞手段としての炉口シャッタ１１６が設けられている。
【００５３】
ウエハ２００が装填されたカセット１００は、図示しない外部搬送装置からカセットステージ１０５にウエハ２００が上向き姿勢で搬入され、ウエハ２００が水平姿勢となるようカセットステージ１０５で９０°回転させられる。更に、カセット１００は、カセットエレベータ１１５の昇降動作、横行動作及びカセット移載機１１４の進退動作、回転動作の協働によりカセットステージ１０５からカセット棚１０９又は予備カセット棚１１０に搬送される。
【００５４】
カセット棚１０９にはウエハ移載機１１２の搬送対象となるカセット１００が収納される移載棚１２３があり、ウエハ２００が移載に供されるカセット１００はカセットエレベータ１１５、カセット移載機１１４により移載棚１２３に移載される。
【００５５】
カセット１００が移載棚１２３に移載されると、ウエハ移載機１１２の進退動作、回転動作及び移載エレベータ１１３の昇降動作の協働により移載棚１２３から降下状態のボート２１７にウエハ２００を移載する。
【００５６】
ボート２１７に所定枚数のウエハ２００が移載されるとボートエレベータ１２１によりボート２１７が処理炉２０２に挿入され、シールキャップ２１９により処理炉２０２が気密に閉塞される。気密に閉塞された処理炉２０２内ではウエハ２００が加熱されると共に処理ガスが処理炉２０２内に供給され、ウエハ２００に処理がなされる。
【００５７】
ウエハ２００への処理が完了すると、ウエハ２００は上記した作動の逆の手順により、ボート２１７から移載棚１２３のカセット１００に移載され、カセット１００はカセット移載機１１４により移載棚１２３からカセットステージ１０５に移載され、図示しない外部搬送装置により筐体１０１の外部に搬出される。炉口シャッタ１１６は、ボート２１７が降下状態の際に処理炉２０２の下面を気密に閉塞し、外気が処理炉２０２内に巻き込まれるのを防止している。
なお、カセット移載機１１４等の搬送動作は、搬送制御手段１２４により制御される。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】ＡＬＤ法のシーケンスを説明するための図である。
【図２】本発明の好ましい実施例に係る基板処理装置の縦型の基板処理炉を説明するための概略縦断面図である。
【図３】図２のトラップを説明するための概略拡大縦断面図である。
【図４】本発明の好ましい実施例に係る基板処理装置の縦型の基板処理炉を説明するための概略横断面図である。
【図５】本発明の好ましい実施例に係る基板処理装置を説明するための概略斜視図である。
【図６】本発明の好ましい実施例に係る基板処理装置を説明するための概略縦断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１００…カセット
１０１…筐体
１０５…カセットステージ
１０９…カセット棚
１１０…予備カセット棚
１１２…ウエハ移載機
１１３…移載エレベータ
１１４…カセット移載機
１１５…カセットエレベータ
１１６…炉口シャッタ
１１８…クリーンユニット
１２１…ボートエレベータ
１２２…昇降部材
１２３…移載棚
１２４…搬送制御手段
２００…ウエハ
２０１…処理室
２０２…処理炉
２０３…反応管
２０７…ヒータ
２０８…断熱部材
２１７…ボート
２１８…石英キャップ
２１９…シールキャップ
２２０…Ｏリング
２２４…プラズマ生成領域
２３１…ガス排気管
２３２ａ…ガス供給管
２３２ｂ…ガス供給管
２３３…ノズル
２３７…バッファ室
２４１ａ…マスフローコントローラ
２４１ｂ…マスフローコントローラ
２４３ａ…バルブ
２４３ｂ…バルブ
２４３ｃ…バルブ
２４３ｄ…バルブ
２４６…真空ポンプ
２４７…ガス溜め
２４８ａ…ガス供給孔
２４８ｂ…ガス供給孔
２４８ｃ…ガス供給孔
２４９…ガス供給部
２６７…ボート回転機構
２６９…棒状電極
２７０…棒状電極
２７２…整合器
２７３…高周波電源
２７５…電極保護管
３２１…コントローラ
３３０…トラップ
３３１…未反応ガス反応促進領域
３３２…副生成物堆積領域
３３３…トラップ領域
３３４…フィルタ
３４１…バルブ
３４２…ガス供給管
３４３…マスフローコントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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