(57)【要約】  【課題】  種々の板厚を有する基板にスクリーン印刷を施す際の作業性を高めることができる基板支持具を提供する。  【解決手段】  スクリーン印刷が施される基板を支持する基板支持具であって、載置台２０と、載置台２０の上面２５に載置することにより基板５０の収容空間を形成する枠体１０とを備えており、載置台２０の上部には、枠体１０の載置位置に沿って磁石２２が設けられており、枠体１０は、磁性材料により形成されている基板支持具１。  【選択図】  図１
2006255932.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷が施される基板を支持する基板支持具であって、
載置台と、該載置台の上面に載置することにより基板の収容空間を形成する枠体とを備えており、
前記載置台の上部には、前記枠体の載置位置に沿って磁石が設けられており、
前記枠体は、磁性材料により形成されている基板支持具。
【請求項２】
前記磁石は、前記載置台の上面から突出しないように前記載置台に埋め込まれている請求項１に記載の基板支持具。
【請求項３】
前記枠体は、前記載置台の側面と当接する係止部材を更に備えている請求項１または２に記載の基板支持具。
【請求項４】
前記係止部材と前記載置台との間には、把持用空間部が形成されている請求項３に記載の基板支持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷が施される基板を支持するための基板支持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、導電性ペーストなどの印刷ペーストを基板に塗布したり、電子回路の配線膜を形成等するには、基板を基板支持具に固定し、スクリーン印刷により行われている。基板にスクリーン印刷を施すには、例えば以下のようにして行われる。
【０００３】
まず、図２１の概略構成断面図に示すように、基板を支持する基板支持具１００をスクリーン印刷機のスキージ１４０およびスクレーパ１４１の下方に取り付け、基板１０３を載置し、その後，図示しない印刷パターンが形成されたスクリーンを基板１０３の上面に配置する。
【０００４】
スキージ１４０およびスクレーパ１４１は、図示しない支持装置に支持されており、図の矢示Ｕ方向に上下動可能となるように構成されると共に、水平移動可能となるように構成されている。また、スキージ１４１は、例えばゴムやウレタンなどにより形成されており、１回のスキージングによって基板１０３の上面全面の印刷を可能とするために、図２２の平面図に示すように、その両端部間長さが基板１０３の幅に対して幅広となるように構成されている。
【０００５】
次に、図２１（ａ）に示すように、スキージ１４０とスクレーパ１４１との間から図示しない印刷ペーストをスクリーン上に供給しながらスクレーパ１４１を矢示Ｒ方向に移動させることによりスクリーン上に印刷ペーストをコーティングする。このとき、スキージ１４０の下端がスクレーパ１４１の下端よりも上方に位置するように配置し、スクレーパ１４１がスクリーン上面に印刷ペーストをコーティングできるようにスクリーン上面から一定の間隔を空けて配置する。
【０００６】
スクレーパ１４１による印刷ペーストのコーティングが終了した後、図２１（ｂ）に示すように、スキージ１４０とスクレーパ１４１との位置関係を切り替え、スキージ１４０がスクリーンを介して基板１０３を押圧するように支持し、スクレーパ１４１がスクリーンと接触しない位置となるよう支持する。そして、この状態においてスキージ１４０およびスクレーパ１４１を図の矢示Ｓ方向に向けて水平移動させる。スクレーパ１４１によりスクリーン上にコーティングされた印刷ペーストは，スクリーン上を摺動するスキージ１４０によりスクリーンを通して基板１０３上に印刷される。
【０００７】
このようにして、基板１０３上に印刷ペーストを印刷する場合、スキージ１４０がスクリーンを介して基板１０３を押圧することによって当該基板１０３に割れなどの損傷が発生するおそれがあることから、これを防止するために、例えば、特許文献１に開示されているような基板支持具により基板を支持するのが一般的である。
【０００８】
特許文献１に開示されているような基板支持具の基本構成は、図２３に示すように、載置台１０１の上面に基板１０３を収容する凹部１０２を形成して構成されている。
【０００９】
このように凹部１０２を設け、その中に基板１０３を収容してスクリーン印刷を行うことにより、スキージの両端部が凹部１０２の周りの載置台上面１０４と当接するため、スキージ１４０の押圧力の一部は凹部１０２周りの載置台上面１０４によって受け止められることとなり、過大な押圧力が基板１０３にかかることを防止することができ、基板１０３に割れなどの損傷が発生することを防止することができる。また、凹部１０２の深さが基板１０３の板厚寸法に対して大きいと、スキージ１４０がスクリーンを介して基板１０３を押圧することができず、印刷ペーストを基板１０３上に印刷することが困難になるおそれがあるため、凹部１０２の深さは、基板１０３の板厚と略同一の寸法となるように形成されている。
【特許文献１】特開平１１−１７９８７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述のように凹部が一体的に形成された基板支持具を用いて基板を支持するには以下のような問題があった。すなわち、スクリーン印刷を基板に施す際には、基板の板厚と略同一の凹部深さを有する基板支持具を用いて基板を支持する必要があるが、凹部が一体的に形成されている基板支持具は重量物であるため、基板の板厚が変わる度に、当該基板支持具全体を交換することは作業性に欠けるという問題があった。
【００１１】
また、種々の板厚を有する基板に対応する凹部深さを有する基板支持具を保管しなければならず、基板支持具の収納スペースの確保が困難になるという問題があった。
【００１２】
本発明は、このような問題を解決すべくなされたものであって、種々の板厚を有する基板にスクリーン印刷を施す際の作業性を高めることができる基板支持具の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の上記目的は、スクリーン印刷が施される基板を支持する基板支持具であって、  載置台と、該載置台の上面に載置することにより基板の収容空間を形成する枠体とを備えており、前記載置台の上部には、前記枠体の載置位置に沿って磁石が設けられており、  前記枠体は、磁性材料により形成されている基板支持具により達成される。
【００１４】
この基板支持具において、前記磁石は、前記載置台の上面から突出しないように前記載置台に埋め込まれていることが好ましい。
【００１５】
また、前記枠体は、前記載置台の側面と当接する係止部材を更に備えていることが好ましい。
【００１６】
また、前記係止部材と前記載置台との間には、把持用空間部が形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、種々の板厚を有する基板にスクリーン印刷を施す際の作業性を高めることができる基板支持具を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の基板支持具について添付図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態に係る基板支持具の概略構成断面図である。図１に示すように、基板支持具１は、スクリーン印刷が施される基板を支持するものであって、枠体１０と載置台２０とを備えている。
【００１９】
枠体１０は、磁石により吸着される磁性材料により形成されており、載置台２０の上面２５に載置されることにより基板の収容空間１２を形成する。この枠体１０は、図２の平面図並びに図３および図４の側面図に示すように、平面視矩形状に形成されている平板状の枠本体１１と、係止部材１５とを備えており、側面視Ｌ字状に形成されている。枠本体１１の厚みｗ１は、収容空間１２に収容される基板の板厚と略同じ厚みとなるように形成されている。また、枠本体１１の内周縁形状は、収容空間１２に収容される基板の外形形状と略同一の形状となるように形成されている。なお、収容空間１２に収容される基板の外形の加工公差を考慮して、枠本体１１の内周縁形状を基板の外形形状に対して僅かに大きくなるように形成してもよい。
【００２０】
係止部材１５は、平板状の枠本体１１に対して略垂直となるように枠本体１１の側縁部１１ａの全長にわたって設けられているプレート状部材である。この係止部材１５は、載置台２０の側面と当接する部材である。
【００２１】
なお、枠体１０を形成する磁性材料としては、例えば、鉄、マルテンサイト系ステンレス、フェライト系ステンレスなどの磁性金属材料や、磁性金属材料が混合されている合成樹脂などを例示することができる。
【００２２】
載置台２０は、図５の平面図および図６の側面図に示すように、平面視矩形状部材であり、その上面２５は平滑な面となるように構成されている。載置台２０の上部には、上述した枠体１０の載置位置に沿って円柱状の複数の磁石２２が所定間隔をあけて設けられている。また、各磁石２２は、図１に示すように、載置台２０の上面２５に形成された磁石取付用凹部２１内に、例えばエポキシ樹脂系の接着材などにより接着固定されて埋め込まれている。各磁石２２は、枠体１０のガタツキを防止し安定して載置台２０に固定するという観点から、例えば、載置台２０の上面２５から突出しないように載置台２０の上部に埋め込んで取り付けることが好ましい。本実施形態においては、各磁石２２の露出面と載置台２０の上面２５とが面一となるように構成している。なお、本実施形態においては、磁石２２として永久磁石を採用している。
【００２３】
また、載置台２０の一側面２４には、矩形状の切欠き２７が形成されており、上述した枠体１０を載置台２０に載置し、係止部材１５を側面２４に当接した状態において、例えば指や工具などにより枠体１０の係止部材１５を把持したり、引っ掛けたりできる程度の大きさ及び深さを有する把持用空間部２８が係止部材１５と載置台２０との間に形成されている。また、載置台の側面２４には、図５および図６に示すように複数の磁石２２が所定間隔をあけて埋め込まれており、枠体１０の係止部材１５を吸着固定できるように構成されている。
【００２４】
載置台２０の中央部には、図５に示すように、載置台２０の上面２５から下面２６に向けて貫通する吸引孔２３が複数形成されている。各吸引孔２３は、その下端部において図示しない吸引装置と接続している。  
【００２５】
このように構成された基板支持具１を用いて、基板５０を支持し、スクリーン印刷により導電性ペーストなどの印刷ペーストを塗布する方法について、図７〜図８を用いて以下に説明する。
【００２６】
まず、図７に示すように、把持用空間部２８が設けられている載置台２０の側面２４が、スキージ４０がスクリーンを介して基板５０を押圧して水平移動する方向（矢示Ｓ方向、以下、スキージング方向Ｓという）に対して上流側となるように載置台２０を配置する。次に、スクリーン印刷が施される基板５０の板厚に対応する厚みを有する枠体１０を載置台２０の上面２５に載置する。このとき、枠体１０の係止部材１５が、把持用空間部２８が形成されている載置台２０の側面２４に当接するように、枠体１０を載置台２０に載置する。このように、磁石２２を介して枠体１０を載置台２０に固定することができるため、枠体１０の載置台２０への取り付けを容易に行うことができる。
【００２７】
載置台２０への枠体１０の取り付けが完了した後、載置台２０の上面２５に枠体１０を載置することにより形成された収容空間１２に基板５０を収容する。そして、図示しない吸引装置を作動させ、吸引孔２３を介して空気を矢示Ｔ方向に吸引することにより基板５０を載置台２０に吸引固定すると共に、図示しない印刷パターンが形成されたスクリーンを基板５０の上面に配置する。その後、スキージ４０およびスクレーパ４１などを作動させ、例えば、背景技術において説明したような方法により基板５０に印刷ペーストを塗布する。すなわち、図８（ａ）に示すように、スキージ４０とスクレーパ４１との間から図示しない印刷ペーストをスクリーン上に供給しながらスクレーパ４１を矢示Ｒ方向に水平移動させることによりスクリーン上に印刷ペーストをコーティングする。このとき、スキージ４０の下端がスクレーパの下端よりも上方に位置するよう配置し、スクレーパ４１がスクリーン上面に印刷ペーストをコーティングできるようにスクリーン上面から一定の間隔を空けて配置する。
【００２８】
スクレーパ４１による印刷ペーストのコーティングが終了した後、図８（ｂ）に示すように、スキージ４０とスクレーパ４１との位置関係を切り替え、スクリーンを介して基板５０を押圧するようにスキージ４０を支持すると共に、スクレーパ４１を持ち上げて支持する。そして、この状態においてスキージ４０およびスクレーパ４１をスキージング方向Ｓに向けて水平移動させる。スクレーパ４１によりスクリーン上にコーティングされた印刷ペーストは，スクリーン上を摺動するスキージ４０によりスクリーンを通して基板５０上に印刷される。
【００２９】
枠体１０の厚みは基板５０の板厚と略同一の厚みとなるように構成されており、スキージ４０の両端部が枠体１０の上面と当接するため、スキージ４０の作用により印刷ペーストが基板５０上に印刷される場合において、当該枠体１０がスキージ４０の押圧力の一部を受け止めることが可能となる。その結果、過大な押圧力が基板５０にかかることを防止することができ、基板５０に割れなどの損傷が発生することを防止することができる。
【００３０】
また、スキージ４０による印刷時においては、スキージ４０が枠体１０と当接しながらスキージング方向Ｓに向かって水平移動するので、当該枠体１０には、スキージング方向Ｓに向けて移動させようとする力が作用することになるが、枠体１０は磁石２２により載置台２０に吸着固定されているため、枠体１０がスキージング方向Ｓに移動することを防止することができる。また、例えば、枠体１０に対するスキージ４０の当たりが強いような場合には、スキージ４０の水平移動により、スキージング方向Ｓに向けて枠体１０を移動させようとする大きな力が発生することとなるが、このような場合であっても、枠体１０の係止部材１５が、スキージング方向Ｓに対して上流側となる載置台２０の側面２４と当接しているため、枠体１０がスキージング方向Ｓに移動することを確実に防止することができる。
【００３１】
尚、スキージ４０がスクリーンを介して基板５０を押圧しながらスキージング方向Ｓに向かって水平移動する際に、スキージング方向Ｓに向けて当該基板５０を移動させようとする力が作用したとしても、本実施形態のように吸引孔２３を介して基板５０を載置台２０に吸引固定するような構成を採用することにより、当該基板５０がスキージング方向Ｓに移動することを確実に防止することができる。
【００３２】
次に、板厚の異なる基板５０にスクリーン印刷を施す場合には、スクリーン印刷が施される基板５０の板厚に対応する枠体１０に交換する。枠体１０の交換作業を行うには、まず、枠体１０の係止部材１５と当接する載置台２０の側面２４に設けられている把持用空間部２８に指などを挿入し係止部材１５を把持して、枠体１０を上方に持ち上げるなどして載置台２０から当該枠体１０を取り外す。枠体１０は磁石２２を介して載置台２０に吸着固定されており、また、枠体１０の係止部材１５と載置台２０との間には、係止部材１５を確実に把持することができる把持用空間部２７が設けられていることから、係止部材１５を把持して上方に持ち上げるといった一連の動作のみによって枠体１０を載置台２０から一気に取り外すことが可能となり、枠体１０の取り外し作業を容易に行うことができる。
【００３３】
その後、スクリーン印刷が施される基板５０の板厚に対応する厚みを有する枠体１０を上記と同様に載置台２０に載置することにより枠体１０の交換作業が完了する。
【００３４】
このように、本実施形態に係る基板支持具１は、載置台２０の上面２５に載置することにより基板５０を収容する収容空間１２を形成する枠体１０を基板５０の板厚に応じて適宜選択可能となるように構成しているので、重量物である載置台２０を交換することなく枠体１０のみを交換するだけで種々の板厚を有する基板５０にスクリーン印刷を施すことが可能となり、スクリーン印刷の作業性を高めることができる。
【００３５】
また、本実施形態に係る基板支持具１は、基板５０を収容する収容空間１２を形成する枠体１０および載置台２０を分離可能となるように構成しているため、基板５０の板厚に応じた厚みを有する枠体１０のみを保管することが可能となり、収納スペースの確保が容易になる。
【００３６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の具体的な態様は上記実施形態に限定されない。例えば、載置台２０に埋め込まれている磁石２２として、円柱状の磁石を採用しているが、例えば、直方体状や立方体状等の磁石を採用してもよい。
【００３７】
また、本実施形態においては、磁石２２として永久磁石を採用しているが、永久磁石の代わりに、例えば電磁石を採用してもよい。磁石２２として電磁石を採用した場合、電磁石に流す電流値を変化させることにより電磁石の磁力を調整することが可能となり、所望の磁力により枠体１０を載置台２０に吸着固定することが可能となる。また、電磁石に流す電流値を０とすることにより電磁石の磁力を消滅させることができるため、枠体１０を載置台２０に取り付ける場合や載置台２０から枠体１０を取り外す場合において、磁力の影響を受けることがなくなる。その結果、枠体１０の取り付け作業や取り外し作業を容易に行うことができる。
【００３８】
また、本実施形態においては、各磁石２２の露出面と載置台２０の上面２５とが面一となるように磁石２２を載置台２０に埋め込んでいるが、磁石２２の磁力により枠体１０を吸着固定できる構成であれば、特にこの構成に限定されるものではない。例えば、図９に示すように、磁石２２の露出面２２ａが載置台２０の上面２５から沈み込むように磁石２２を磁石取付用凹部２１内に埋め込んでもよい。更に、このように埋め込まれた磁石２２の露出面を、図１０に示すように金属板や合成樹脂等の被覆部材２９により被覆するような構成を採用してもよい。また、図１１に示すように、磁石２２が埋め込まれた載置台２０の上面２５に金属板等の被覆部材２９を取り付けるような構成を採用してもよい。
【００３９】
また、本実施形態においては、磁石２２を載置台２０の上面２５に形成した磁石取付用凹部２１内に埋め込んで取り付けているが、例えば、図１２に示すように、磁石２２を載置台２０の上面に直接取り付けるような構成を採用することもできる。なお、このような構成を採用する場合には、枠本体１１の厚み及び磁石２２の厚みを合計した厚みｗ２が、基板５０の板厚と略同じ厚みとなるように構成する。
【００４０】
また、本実施形態においては、載置台２０の上部において、枠体１０の載置位置に沿って円柱状の複数の磁石２２が所定間隔をあけて設けられているが、この構成に特に限定されるものではなく、例えば、以下に示すような構成を採用してもよい。すなわち、図１３に示すように、枠体１０の枠本体１１の形状と略同一の形状を有するプレート状の磁石２２を枠体１０の載置位置に沿って載置台２０の上部に取り付ける構成を採用してもよい。このような構成を採用した場合、枠体１０の枠本体１１の略全域が、磁石２２により載置台２０の上面２５に吸着固定されるため、載置台２０の上面２５に枠体１０を確実に固定することができる。
【００４１】
また、本実施形態においては、載置台２０の上面に磁石２２を取り付けるための磁石取付用凹部２１を形成し、当該磁石取付用凹部２１に磁石２２を埋め込んでいるが、この磁石取付用凹部２１の底面に、図１４に示すような空気抜き用の貫通孔３０を更に設けてもよい。このような構成により、磁石２２を磁石取付用凹部２１に埋め込む際に、磁石取付用凹部２１内の空気は、磁石２２の下面２２ｂに押されて貫通孔３０を介して外部に排出されるため、磁石取付用凹部２１の底面２１ａと磁石２２の下面２２ｂとの間に圧縮された空気が残留することを防止することができる。この結果、磁石取付用凹部２１への磁石２２の埋め込み作業において、圧縮された残留空気が膨張することによって磁石２２の下面２２ｂを押圧し、磁石２２が載置台２０の上面２５に対して浮き上がることを防止することができる。
【００４２】
また、本実施形態においては、プレート状の係止部材１５を枠本体１１の側縁部１１ａの全長にわたって設けるようにして構成しているが、この構成に特に限定されるものではなく、例えば、図１５（図２の矢示Ａ方向からみた側面図に対応）に示すように、枠本体１１の側縁部１１ａの一部にプレート状の係止部材１５を設けてもよい。このような構成であっても、係止部材１５が、スキージング方向Ｓに対して上流側となる載置台２０の側面２４と当接するため、スキージ４０による印刷時において、枠体１０がスキージング方向Ｓに移動することを確実に防止することができる。
【００４３】
また、本実施形態においては、係止部材１５をプレート状部材により構成しているが、この構成に特に限定されるものではなく、例えば、図１６（図２の矢示Ａ方向からみた側面図に対応）に示すように、櫛歯状となるように係止部材１５を構成してもよい。このような構成であっても、櫛歯状の係止部材１５が載置台２０の側面２４に当接するため、スキージ４０による印刷時において、枠体１０がスキージング方向Ｓに移動することを確実に防止することができる。
【００４４】
また、本実施形態においては、載置台２０の側面２４に切欠き２７を設けることにより係止部材１５を把持等するための把持用空間部２８を形成しているが、例えば、図１７の断面図に示すように、係止部材１５の下端部１６に切欠き２７を設けることにより把持用空間部２８を形成してもよい。このような構成であっても、把持用空間部２８に指等を挿入し係止部材１５を把持することができるため、枠体１０を載置台２０から容易に取り外すことができる。
【００４５】
また、本実施形態においては、図６の側面図に示すように、矩形状の切欠き２７を載置台２０の側面２４に形成することにより把持用空間部２８を形成しているが、例えば、図１８の側面図に示すように、長円状の凹部３１を載置台２０の側面２４に形成することにより把持用空間部２８を形成してもよい。
【００４６】
また、本実施形態において、図１９の載置台２０の平面図に示すように、載置台２０の上面２５から下面に向けて貫通する押出し孔３５を載置台２０の中央部に設けてもよい。このような構成により、枠体１０に保持されている基板５０を枠体１０から取り出す場合に、図２０の概略構成断面図に示すように、載置台２０の下面２６側から押出し孔３５を介して基板５０の下面を押出し部材３６などにより押圧することが可能となり、枠体１０から容易に基板５０を取り出すことができ、基板５０にスクリーン印刷を施す際の作業性が向上する。
【００４７】
また、このような構成を採用する場合、図１９及び図２０に示すように、載置台２０の上面２５から下面２６に向けて貫通するエア流入孔３７を載置台２０に更に設けてもよい。これにより、上述した押出し孔３５を介して基板５０の下面を押出し部材３６により押圧する際に、基板５０の下面と載置台２０の上面２５との当接部分にエア流入孔３７から空気が流入するため、基板５０を枠体１０から取り外しやすくなり、基板５０にスクリーン印刷を施す際の作業性が更に向上する。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板支持具の概略構成断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る基板支持具を構成する枠体の平面図である。
【図３】図２の矢示Ａ方向から見た枠体の側面図である。
【図４】図２の矢示Ｂ方向から見た枠体の側面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る基板支持具を構成する載置台の平面図である。
【図６】図５に示す載置台の側面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る基板支持具を用いてスクリーン印刷を施す方法を説明する説明図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る基板支持具を用いて基板にスクリーン印刷を施す方法を説明する説明図である。
【図９】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する載置台の要部拡大断面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する載置台の要部拡大断面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する載置台の要部拡大断面図である。
【図１２】本発明の他の実施形態に係る基板支持具の概略構成断面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する載置台の平面図である。
【図１４】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する載置台の断面図である。
【図１５】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する枠体の側面図である。
【図１６】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する枠体の側面図である。
【図１７】本発明の他の実施形態に係る基板支持具の概略構成断面図である。
【図１８】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する載置台の側面図である。
【図１９】本発明の他の実施形態に係る基板支持具を構成する載置台の平面図である。
【図２０】本発明の他の実施形態に係る基板支持具の概略構成断面図である。
【図２１】基板にスクリーン印刷を施す方法を説明する概略構成断面図である。
【図２２】図２１の平面図である。
【図２３】従来の基板支持具を示す概略構成断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１      基板支持具
１０    枠体
１１    枠本体
１５    係止部材
２０    載置台
２２    磁石
２４    側面
２７    切欠き
２８    把持用空間部
５０    基板
【図１】
2006255932.tif 000003
【図２】
2006255932.tif 000004
【図３】
2006255932.tif 000005
【図４】
2006255932.tif 000006
【図５】
2006255932.tif 000007
【図６】
2006255932.tif 000008
【図７】
2006255932.tif 000009
【図８】
2006255932.tif 000010
【図９】
2006255932.tif 000011
【図１０】
2006255932.tif 000012
【図１１】
2006255932.tif 000013
【図１２】
2006255932.tif 000014
【図１３】
2006255932.tif 000015
【図１４】
2006255932.tif 000016
【図１５】
2006255932.tif 000017
【図１６】
2006255932.tif 000018
【図１７】
2006255932.tif 000019
【図１８】
2006255932.tif 000020
【図１９】
2006255932.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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