(57)【要約】【課題】  無線通信用の半導体装置を検査する際に、高価なＬＳＩテスタを用意する必要がなく、製品の実使用状態に近い環境で検査を実現することができる半導体検査装置を得る。【解決手段】  入力されたアナログ高周波信号を低周波信号に変換して出力し、入力された低周波信号をアナログ高周波信号に変換して出力する無線通信用の半導体装置を検査する半導体検査装置であって、半導体装置と同様の機能を有し、予め特性が確認されているリファレンス回路と、リファレンス回路から出力されたアナログ高周波信号を半導体装置に入力し、半導体装置から出力されたアナログ高周波信号をリファレンス回路に入力する伝送手段とを有する。【選択図】      図１
2006064667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力されたアナログ高周波信号を低周波信号に変換して出力し、入力された低周波信号をアナログ高周波信号に変換して出力する無線通信用の半導体装置を検査する半導体検査装置であって、
前記半導体装置と同様の機能を有し、予め特性が確認されているリファレンス回路と、
前記リファレンス回路から出力されたアナログ高周波信号を前記半導体装置に入力し、前記半導体装置から出力されたアナログ高周波信号を前記リファレンス回路に入力する伝送手段とを有することを特徴とする半導体検査装置。
【請求項２】
前記伝送手段は、同軸ケーブルであることを特徴とする請求項１に記載の半導体検査装置。
【請求項３】
前記伝送手段は、前記半導体装置と前記リファレンス回路の間で空間電磁波を送受信する手段であることを特徴とする請求項１に記載の半導体検査装置。
【請求項４】
前記伝送手段は、複数の前記半導体装置と前記リファレンス回路の間でそれぞれ空間電磁波を送受信する手段であり、
各半導体装置とリファレンス回路の間で送受信される空間電磁波は、互いに干渉しない周波数範囲に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無線通信用の半導体装置を検査する半導体検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
無線通信用の半導体装置を検査するために様々な半導体検査装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。従来の半導体検査装置には、アナログ高周波検査機能を有するＬＳＩテスタが用いられていた。このようなＬＳＩテスタを用いた従来の半導体検査装置の概略図を図７に示す。図示のように、半導体装置（以下、ＤＵＴと称す）１０１が搭載されるテスト基板１０２にＬＳＩテスタ１０３が接続されている。
【０００３】
テスト基板１０２は、ＤＵＴ１０１の性能を引き出すための周辺回路１０４と、ＬＳＩテスタ１０３と信号をやり取りするためのインターフェイス回路１０５を有する。このテスト基板１０２の構成は、検査仕様に基づいて予め設計される。
【０００４】
一方、ＬＳＩテスタ１０３は、ロジックパターンを発生するロジックパターン発生部１０６、時間測定部１０７、テスト基板１０２上のリレースイッチを制御するリレースイッチ制御部１０８、電源１０９、低周波信号発生器１１０、低周波信号測定器１１１、アナログ高周波信号発生器１１２、アナログ高周波信号測定器１１３、及び、これらの構成部を制御して検査を実行させる制御部１１４を有する。
【０００５】
ここで、ロジックパターン発生部１０６、時間測定部１０７、リレースイッチ制御部１０８及び電源１０９は、信号線１１５及びインターフェイス回路１０５を介して、ＤＵＴ１０１及び周辺回路１０４に接続されている。
【０００６】
そして、低周波信号発生器１１０は低周波信号を発生し、低周波信号測定器１１１は低周波信号を検査する。また、アナログ高周波信号発生器１１２は、単一正弦波や変調波などのアナログ高周波信号を発生する信号発生器で、各種変調方式に対応した変調を加える機能を有している。そして、アナログ高周波信号測定器１１３は、各種変調波をディジタル信号処理プロセッサー（ＤＳＰ）により波形分析する機能を有している。
【０００７】
ＤＵＴ１０１は、無線通信用の半導体装置であるため、トランシーバ機能を有する。従って、他の電話機から受信した電波を人間の耳で聞こえる音声に変換するために、アナログ高周波信号を音声帯域の低周波信号に変換する受信系ブロック１１６を有する。また、受話器に向けて話した人間の声を電波として出力するために、音声帯域の低周波信号をアナログ高周波信号に変換する送信系ブロック１１７を有する。
【０００８】
次に、上記の半導体検査装置を用いて、アナログ高周波信号によりＤＵＴを検査する際の動作について説明する。まず、ＬＳＩテスタ１０３のアナログ高周波信号発生器１１２で発生したアナログ高周波信号は、テスト基板１０２のＤＵＴ１０１に入力され、受信系ブロック１１６で信号処理されて低周波信号として出力される。そして、このＤＵＴ１０１から出力された低周波信号は、ＬＳＩテスタ１０３の低周波信号測定器１１１に入力され、検査される。
【０００９】
同様に、ＬＳＩテスタ１０３の低周波信号発生器１１０で発生した低周波信号は、テスト基板１０２のＤＵＴ１０１に入力され、送信系ブロック１１７で信号処理されてアナログ高周波信号として出力される。そして、このＤＵＴ１０１から出力されたアナログ高周波信号は、ＬＳＩテスタ１０３のアナログ高周波信号測定器１１３に入力され、検査される。
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−４８３８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
近年、携帯電話の普及に伴い、ＰＬＬやＲＦアンプなどの高周波部分だけでなく、変調、復調、音声処理部分も含む全ての機能を１つの半導体装置に集約するようになってきた。このような半導体装置を検査する場合、検査する半導体装置の方式に応じた変調信号源、信号復調手段及び解析手段が必要であった。さらに、無線通信用の半導体装置の検査、特に１ＧＨｚ以上の信号を扱う半導体装置を検査する場合、アナログ高周波信号発生器及びアナログ高周波信号測定器を内蔵したＬＳＩテスタが必要であった。従って、検査する半導体装置の方式に応じて高価なＬＳＩテスタを用意しなければならないという問題があった。
【００１２】
また、アナログ高周波信号を用いて検査を行う場合、ＤＵＴを取り巻く周辺回路や、ＬＳＩテスタからの信号を伝送する信号伝送回路部分は、ＬＳＩテスタの構造上、テスト基板や信号伝送方法による制約がある。この場合、相関という形で補正しても、実製品に使用された場合の実装状態を忠実に再現できないという問題があった。
【００１３】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、無線通信用の半導体装置を検査する際に、高価なＬＳＩテスタを用意する必要がなく、製品の実使用状態に近い環境で検査を実現することができる半導体検査装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る半導体検査装置は、入力されたアナログ高周波信号を低周波信号に変換して出力し、入力された低周波信号をアナログ高周波信号に変換して出力する無線通信用の半導体装置を検査する半導体検査装置であって、半導体装置と同様の機能を有し、予め特性が確認されているリファレンス回路と、リファレンス回路から出力されたアナログ高周波信号を半導体装置に入力し、半導体装置から出力されたアナログ高周波信号をリファレンス回路に入力する伝送手段とを有する。本発明のその他の特徴は以下に明らかにする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明により、無線通信用の半導体装置を検査する際に、高価なＬＳＩテスタを用意する必要がなく、製品の実使用状態に近い環境で検査を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る半導体検査装置を示す概略構成図である。図示のように、半導体装置（以下、ＤＵＴと称す）１１が搭載されるテスト基板１２にＬＳＩテスタ１３が接続されている。
【００１７】
テスト基板１２には、ＤＵＴ１１を搭載するＤＵＴ搭載装置１４と、検査用補助装置１５が設けられている。ＤＵＴ搭載装置１４には、ＬＳＩテスタ１３とＤＵＴ１１の間で信号をやり取りするためのインターフェイス回路１６が設けられている。一方、検査用補助装置１５には、ＤＵＴ１１と同等の機能を有し、予め特性が確認されているリファレンス回路１７と、ＬＳＩテスタ１３とリファレンス回路１７の間で信号をやり取りするためのインターフェイス回路１８が設けられている。
【００１８】
ＬＳＩテスタ１３は、ロジックファンクションテスト用のパターンを発生するロジックパターン発生部２１、検査に関する時間を測定する時間測定部２２、テスト基板１２上のリレースイッチを制御するリレースイッチ制御部２３、電力を供給する電源２４、音声信号帯域の低周波信号を発生する低周波信号発生器２５、音声信号帯域の低周波信号を検査する低周波信号測定器２６、及び、これらの構成部を制御して検査を実行させる制御部２７を有する。即ち、ＬＳＩテスタ１３は、従来とは異なり、アナログ高周波信号発生器やアナログ高周波信号測定器を有しない。
【００１９】
ここで、制御部２７は、メモリに予め記憶してあるプログラムを実行することにより、ＬＳＩテスタ１３の他の構成部を制御して所定の検査を実行させる。また、ロジックパターン発生部２１、時間測定部２２、リレースイッチ制御部２３及び電源２４は、ＤＵＴ搭載装置１４及び検査用補助装置１５に対して、検査において必要となる電源や各端子のＤＣ電圧の設定、テスト基板上のリレービットの制御、バスデータの設定のためにロジックパターンや時間検査などのＡＣ特性の検査などを行う。
【００２０】
また、低周波信号発生器２５で発生した低周波信号は、リレー２８の切り替えにより、ＤＵＴ１１とリファレンス回路１７の何れか一方に入力される。そして、ＤＵＴ１１とリファレンス回路１７の何れか一方から出力された低周波信号が、リレー２９の切り替えにより、低周波信号測定器２６に入力される。
【００２１】
また、ＤＵＴ１１は、無線通信用の半導体装置であるため、トランシーバ機能を有する。従って、他の電話機から受信した電波を人間の耳で聞こえる音声に変換するために、変調信号や単一正弦波からなるアナログ高周波信号を音声帯域の低周波信号に変換する受信系ブロック３１を有する。また、受話器に向けて話した人間の声を電波として出力するために、低周波信号をアナログ高周波信号に変換する送信系ブロック３２を有する。同様に、リファレンス回路１７は、受信系ブロック３３と送信系ブロック３４を有する。
【００２２】
そして、ＤＵＴ１１の送信系ブロック３２から出力されたアナログ高周波信号は、テスト基板１２内で伝送手段３５を介してリファレンス回路１７の受信系ブロック３３に入力される。また、リファレンス回路１７の送信系ブロック３４から出力されたアナログ高周波信号は、テスト基板１２内で伝送手段３６を介してＤＵＴ１１の受信系ブロック３１に入力される。
【００２３】
次に、上記の半導体検査装置を用いて無線通信用の半導体装置の検査を行う方法について説明する。ただし、無線通信用の半導体装置は送信系ブロックと受信系ブロックに分かれているため、それぞれを検査する方法ごとに説明する。
【００２４】
半導体装置の送信系ブロックを検査するには、まず、ＬＳＩテスタ１３の低周波信号発生器２５で発生させた低周波信号をＤＵＴ１１の送信系ブロック３２に入力させる。次に、ＤＵＴ１１の送信系ブロック３２から出力されたアナログ高周波信号をリファレンス回路１７の受信系ブロック３３に入力させる。そして、リファレンス回路１７の受信系ブロック３３から出力された低周波信号をＬＳＩテスタ１３の低周波信号測定器２６により検査する。
【００２５】
一方、半導体装置の受信系ブロックを検査するには、まず、ＬＳＩテスタ１３の低周波信号発生器２５で発生させた低周波信号をリファレンス回路１７の送信系ブロック３４に入力させる。次に、リファレンス回路１７の送信系ブロック３４から出力されたアナログ高周波信号をＤＵＴ１１の受信系ブロック３１に入力させる。そして、ＤＵＴ１１の受信系ブロック３１から出力された低周波信号をＬＳＩテスタ１３の低周波信号測定器２６により検査する。
【００２６】
図２は、ＤＵＴを示す詳細構成図である。ＤＵＴ１１の受信系ブロックは、信号入力ポート４１、水晶発振子４２、発振回路４３、ＰＬＬ回路４４、第１ミックス回路４５、中間周波数増幅部４６、第２ミックス回路４７、復調回路４８、低周波増幅部４９、信号出力ポート５０から構成される。また、ＤＵＴ１１の送信系ブロックは、信号入力ポート５１、水晶発振子４２、発振回路４３、ＰＬＬ回路５２、変調回路５３、高周波増幅部５４、信号出力ポート５５から構成される。そして、これらはコントロール部５６から送信される制御信号によって制御され、外部から制御信号入力部５７を介して入力されるバスデータにより条件設定される。
【００２７】
ここで、信号入力ポート４１を通ってＤＵＴ１１に入力されたアナログ高周波信号は、第１ミックス回路４５において、水晶発振子４２と発振回路４３で生成された基準周波数を基にＰＬＬ回路４４で生成されたアナログ高周波信号と混合される。この混合された信号は、入力されたアナログ高周波信号と内部で生成されたアナログ高周波信号の差分であり、低周波信号となる。この低周波信号は、中間周波数増幅部４６で増幅され、第２ミックス回路４７において基準周波数と混合され、復調回路４８で復調されて、信号出力ポート５０から出力される。
【００２８】
一方、信号入力ポート５１を通ってＤＵＴ１１に入力された低周波信号は、変調回路５３において、水晶発振子４２と発振回路４３で生成された基準周波数を基にＰＬＬ回路５２で生成されたアナログ高周波信号に変調をかける。この変調されたアナログ高周波信号は、高周波増幅部５４で増幅され、信号出力ポート５５から出力される。
【００２９】
図３は、実施の形態１に係る半導体検査装置のテスト基板を示す詳細構成図である。図１と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
【００３０】
ＤＵＴ搭載装置１４は、ＤＵＴ１１から出力されたアナログ高周波信号を外部に出力する出力端子６１と、外部から入力されたアナログ高周波信号をＤＵＴ１１に入力する入力端子６２を有する。また、検査用補助装置１５は、リファレンス回路１７から出力されたアナログ高周波信号を外部に出力する出力端子６３と、外部から入力されたアナログ高周波信号をリファレンス回路１７に入力する入力端子６４を有する。
【００３１】
そして、ＤＵＴ搭載装置１４の出力端子６１と検査用補助装置１５の入力端子６４が同軸ケーブル６５で接続され、ＤＵＴ搭載装置１４の入力端子６２と検査用補助装置１５の出力端子６３が同軸ケーブル６６で接続されている。即ち、リファレンス回路１７から出力されたアナログ高周波信号をＤＵＴ１１に入力し、ＤＵＴ１１から出力されたアナログ高周波信号をリファレンス回路１７に入力する伝送手段として同軸ケーブル６５，６６が用いられている。
【００３２】
さらに、検査用補助装置１５において、入力端子６４から入力されたアナログ高周波信号は、アッテネータ６７を介して、リファレンス回路１７に入力される。また、リファレンス回路１７から出力されたアナログ高周波信号は、アッテネータ６８を介して、出力端子６３から出力される。アッテネータ６７，６８を通過したアナログ高周波信号は、適切な信号レベルに減衰される。ただし、アッテネータ６７，６８の減衰量は、６０ｄＢ程度であり、最小０．５ｄＢ又は１ｄＢのステップで任意の減衰量に設定される。
【００３３】
また、リファレンス回路１７から出力された低周波信号は、フィルター回路７１、増幅部７２により適切な信号に変換される。ただし、低周波信号をフィルター回路７１に通過させるかどうかはリレー７３，７４により切り替えることができ、増幅部７２を経由させるかどうかはリレー７５，７６により切り替えることができる。
【００３４】
また、ＬＳＩテスタ１３が低周波信号測定器を内蔵していない場合は、ＤＵＴ１１から出力された低周波信号を検波器７７により検波し、直流信号に変換する。これにより、ＬＳＩテスタ１３において直流信号として測定することができる。
【００３５】
ただし、リファレンス回路１７、アッテネータ６７，６８、フィルター回路７１、増幅部７２及び検波器７７は、制御部７８により、ＬＳＩテスタ１３からの設定信号に基づいて制御される。
【００３６】
なお、ＤＵＴ１１の特性を引き出すために、ＤＵＴ１１の周辺には周辺回路部７９が設けられている。同様に、リファレンス回路１７の特性を引き出すために、リファレンス回路１７の周辺には周辺回路部６８が設けられている。
【００３７】
図４は、ＬＳＩテスタを示す詳細構成図である。ＬＳＩテスタ１３内の電源はｎ個の電源８１と大容量の電源８２であり、それぞれマトリックス８３に接続される。ただし、電源８１とマトリックス８３の接続はピン１〜ｎごとにリレー８４により切り替えられ、電源８２とマトリックス８３の接続はリレー８５により切り替えられる。なお、電源８１，８２は電圧印加電流測定や電流印加電圧測定が可能である。
【００３８】
電源８１，８２が供給する電流は、マトリックス８３及びマルチプレクサ８６を介して、テストヘッド８７ａ又は８７ｂに出力される。また、ロジックパターン発生部２１、時間測定部２２、リレースイッチ制御部２３、低周波信号発生器２５、低周波信号測定器２６も、各テストヘッド８７ａ，８７ｂに接続されている。そして、各テストヘッド８７ａ，８７ｂから、テスト基板１２に対して検査に必要な電源や制御信号が出力される。ただし、テストヘッド８７ａ，８７ｂが複数存在する場合は、マルチプレクサ８６により１つのテストヘッドが選択される。
【００３９】
なお、ロジックパターン発生部２１は、ピン１〜ｎごとに、メモリに記憶されたパターンを出力するドライバと、メモリに記憶された値と比較判定するコンパレータを有する。そして、マルチプレクサ８６又はテストヘッド８７ａ、８７ｂ内のリレーにより、各ピンにロジックパターンを加える又は取り込むことができる。
【００４０】
以上説明したように、実施の形態１に係る半導体検査装置は、半導体装置と同様の機能を有するリファレンス回路を有する。そして、半導体装置に入力するためのアナログ高周波信号をリファレンス回路で生成し、半導体装置から出力されたアナログ高周波信号をリファレンス回路で低周波信号に変換する。これにより、アナログ高周波信号発生器及びアナログ高周波信号測定器を内蔵したＬＳＩテスタを用いなくとも無線通信用の半導体装置を検査することができる。従って、高価なＬＳＩテスタを用意する必要がないため、検査のコストを下げることができる。さらに、ＬＳＩテスタの機能に依存しないため、アナログ系のＬＳＩテスタだけでなく、ロジック系のＬＳＩテスタを用いることもできる。  
【００４１】
また、半導体装置と同様の機能を有するリファレンス回路を設けて半導体装置との間でアナログ高周波信号の送受信を行わせることで、無線通信用の半導体装置の製品の実使用状態に近い環境で検査を実現することができる。
【００４２】
実施の形態２．
図５は、実施の形態２に係る半導体検査装置のテスト基板を示す詳細構成図である。図３と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
【００４３】
実施の形態１では伝送手段として同軸ケーブル６５，６６を用いていた。これに対し、実施の形態２では、伝送手段として、ＤＵＴ１１とリファレンス回路１７の間で空間電磁波を送受信する手段を用いる。
【００４４】
具体的には、ＤＵＴ１１のアナログ高周波信号の入出力端子にデュープレクサ９１を接続し、その先にアナログ高周波信号を効率よく送受信するためのアンテナ９２を設けている。また、リファレンス回路１７のアナログ高周波信号の入出力端子にデュープレクサ９３を接続し、その先にアナログ高周波信号を効率よく送受信するためのアンテナ９４を設けている。
【００４５】
次に、上記の半導体検査装置を用いてＤＵＴ１１を検査する方法について説明する。送信系ブロックを検査するには、まず、ＬＳＩテスタ１３の低周波信号発生器２５で発生させた低周波信号をＤＵＴ１１の送信系ブロック３２に入力させる。次に、ＤＵＴ１１の送信系ブロック３２から出力されたアナログ高周波信号をデュープレクサ９１に入力させる。デュープレクサ９１はアナログ高周波信号をアンテナ９２に入力させ、アンテナ９２に入力された信号は電磁波として空間に放出される。そして、この放出された電磁波をアンテナ９４で受信し、デュープレクサ９３を通って、リファレンス回路１７の受信系ブロック３３に入力させる。そして、リファレンス回路１７の受信系ブロック３３から出力された低周波信号をＬＳＩテスタ１３の低周波信号測定器２６により検査する。
【００４６】
一方、ＤＵＴ１１の受信系ブロックを検査するには、まず、ＬＳＩテスタ１３の低周波信号発生器２５で発生させた低周波信号をリファレンス回路１７の送信系ブロック３４に入力させる。次に、リファレンス回路１７の送信系ブロック３４から出力されたアナログ高周波信号をデュープレクサ９３に入力させる。デュープレクサ９３はアナログ高周波信号をアンテナ９４に入力させ、アンテナ９４に入力された信号は電磁波として空間に放出される。そして、この放出された電磁波をアンテナ９２で受信し、デュープレクサ９１を通って、ＤＵＴ１１の受信系ブロック３１に入力させる。そして、ＤＵＴ１１の受信系ブロック３１から出力された低周波信号をＬＳＩテスタ１３の低周波信号測定器２６により検査する。
【００４７】
なお、アンテナ９２，９４から送受信されるアナログ高周波信号の周波数を変えれば、双方向の信号伝送が可能である。
【００４８】
以上説明したように、実施の形態２に係る半導体検査装置は、ＤＵＴとリファレンス回路の間で空間電磁波を送受信する構成としている。このため、実施の形態１以上に、無線通信用の半導体装置の製品の実使用状態に近い環境で検査を実現することができる。また、同軸ケーブルが不要となるため、半導体検査装置内においてＤＵＴ搭載装置と検査用補助装置を隣接して設置する必要がなくなり、レイアウトの自由度が向上する。
【００４９】
実施の形態３．
図６は、実施の形態３に係る半導体検査装置のテスト基板を示す詳細構成図である。図４と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
【００５０】
実施の形態２は１つの半導体装置を検査するだけであったが、実施の形態３は複数の半導体装置を検査する。ここでは、４つのＤＵＴ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが、それぞれＤＵＴ搭載装置１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ上に設けられ、それぞれ、伝送手段であるデュープレクサ９１ａ，９１ｂ，９１ｃ，９１ｄとアンテナ９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄに接続されている。
【００５１】
次に、上記の半導体検査装置を用いて各半導体装置を検査する方法について説明する。送信系ブロックを検査するには、まず、ＬＳＩテスタ１３の低周波信号発生器２５で発生させた低周波信号を４つのＤＵＴ１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの送信系ブロックに入力させる。次に、これらの送信系ブロックから出力されたアナログ高周波信号をそれぞれデュープレクサ９１ａ，９１ｂ，９１ｃ，９１ｄ及びアンテナ９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄに入力させ、互いに干渉しない周波数範囲に設定した４つの異なる電磁波として空間に放出させる。そして、この放出された電磁波をアンテナ９４で受信させ、デュープレクサ９３を介して、リファレンス回路１７の受信系ブロック３３に入力させる。この際、４つのＤＵＴの出力信号に対して、リファレンス回路１７の受信系ブロック３３内にある発振回路の周波数を順次切り替える。そして、リファレンス回路１７の受信系ブロック３３から出力された低周波信号をＬＳＩテスタ１３の低周波信号測定器２６により検査する。
【００５２】
一方、ＤＵＴ１１の受信系ブロックを検査するには、まず、ＬＳＩテスタ１３の低周波信号発生器２５で発生させた低周波信号をリファレンス回路１７の送信系ブロック３４に入力させる。次に、リファレンス回路１７の送信系ブロック３４から出力されたアナログ高周波信号をデュープレクサ９３及びアンテナ９４に入力させ、電磁波として空間に放出させる。そして、この放出された電磁波をアンテナ９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄでそれぞれ受信させ、デュープレクサ９１ａ，９１ｂ，９１ｃ，９１を介して、ＤＵＴ１１の受信系ブロック３１に入力させる。そして、ＤＵＴ１１の受信系ブロック３１から出力された低周波信号をＬＳＩテスタ１３の低周波信号測定器２６により検査する。
【００５３】
実施の形態３に係る半導体検査装置は、実施の形態２と同様の効果を奏する。また、各半導体装置とリファレンス回路の間で送受信される空間電磁波を互いに干渉しない周波数範囲に設定することで、複数の半導体装置を同時に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態１に係る半導体検査装置を示す概略構成図である。
【図２】ＤＵＴを示す詳細構成図である。
【図３】実施の形態１に係る半導体検査装置のテスト基板を示す詳細構成図である。
【図４】ＬＳＩテスタを示す詳細構成図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る半導体検査装置のテスト基板を示す詳細構成図である。
【図６】実施の形態３に係る半導体検査装置のテスト基板を示す詳細構成図である。
【図７】従来の半導体検査装置を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５５】
１１  ＤＵＴ（半導体装置）
１２  テスト基板
１３  ＬＳＩテスタ
１７  リファレンス回路
３５，３６  伝送手段
６５，６６  同軸ケーブル（伝送手段）
９１，９１ａ，９１ｂ，９１ｃ，９１ｄ，９３  デュープレクサ（伝送手段）
９２，９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄ，９４  アンテナ（伝送手段） 
【図１】
2006064667.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006064667.tif 000007
【図６】
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【図７】
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