(57)【要約】【課題】ダミーの着色パターンの分光透過率を測定しても、ＣＣＤの着色画素の分光透過率を正確に測定したとみなせるカラーフィルタの検査方法を提供する。【解決手段】１）モニターガラス基板上に、着色画素と同一の形状、サイズ、配列をした複数個の各色用開口部を有する各色用遮光パターンＳＰ−Ｒ、Ｇ、Ｂを設け、２）その一定領域の分光透過率を測定して測定値１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを得、３）Ｓｉ基板上への着色画素の形成時に、モニターガラス基板上の各色用開口部へ各色の着色パターンＣＰ−Ｒ、Ｇ、Ｂを形成し、４）測定値１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを補正値に、着色パターンが形成された各色用遮光パターン上の一定領域の分光透過率を測定して測定値２Ｒ、２Ｇ、２Ｂを得、５）測定値２Ｒ、２Ｇ、２Ｂをもって各色の着色画素の分光透過率とみなす。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換部上に、少なくとも平坦化層、カラーフィルタ、マイクロレンズを順次に積層した固体撮像素子の該カラーフィルタを構成する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色画素の分光透過率を測定する際に、モニターガラス基板上にダミーとして形成した赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色パターンの分光透過率を測定し、上記３色の着色画素の分光透過率とみなすカラーフィルタの検査方法において、
１）モニターガラス基板上に、ダミーパターンの遮光パターンとして、
ａ）光電変換部上に設ける赤色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をした複数個の赤色用開口部を有する赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）を設け、
ｂ）光電変換部上に設ける緑色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をし、上記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の赤色用開口部の複数個に対応した複数個の緑色用開口部を有する緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）を設け、
ｃ）光電変換部上に設ける青色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をし、上記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の赤色用開口部の複数個に対応した複数個の青色用開口部を有する青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）を設け、
２）ａ）前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の、前記複数個の赤色用開口部を包含する一定領域の分光透過率を測定して測定値１Ｒを得、
ｂ）前記緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）上の、前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の一定領域と同一領域の分光透過率を測定して測定値１Ｇを得、
ｃ）前記青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）上の、前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の一定領域と同一領域の分光透過率を測定して測定値１Ｂを得、
３）ＣＣＤ画素が形成されたＳｉ基板上への、
ａ）前記赤色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の複数個の赤色用開口部へ赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を形成し、
ｂ）前記緑色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の前記緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）の複数個の緑色用開口部へ緑色の着色パターン（ＣＰ−Ｇ）を形成し、
ｃ）前記青色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の前記青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の複数個の青色用開口部へ青色の着色パターン（ＣＰ−Ｂ）を形成し、
４）ａ）前記測定値１Ｒをリファレンス（補正値）に用いて、前記赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）が形成された赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の前記一定領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｒを得、
ｂ）前記測定値１Ｇをリファレンス（補正値）に用いて、前記緑色の着色パターン（ＣＰ−Ｇ）が形成された緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）上の前記同一領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｇを得、
ｃ）前記測定値１Ｂをリファレンス（補正値）に用いて、前記青色の着色パターン（ＣＰ−Ｂ）が形成された青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）上の前記同一領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｂを得、
５）該測定値２Ｒをもって光電変換部上に設けた赤色の着色画素の分光透過率とみなし、該測定値２Ｇをもって光電変換部上に設けた緑色の着色画素の分光透過率とみなし、該測定値２Ｂをもって光電変換部上に設けた青色の着色画素の分光透過率とみなすことを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法。
【請求項２】
前記モニターガラス基板上へダミーパターンを設ける際に、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）を設けたモニターガラス基板と、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）を設けたモニターガラス基板と、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）を設けたモニターガラス基板の３種のモニターガラス基板となるように設けることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子用
カラーフィルタの検査方法。
【請求項３】
前記モニターガラス基板へダミーパターンを設ける際に、１枚のモニターガラス基板上に、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）と、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）と、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の３種の遮光パターンを設けることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法。
【請求項４】
前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の各々が２個一対となっていることを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３記載の固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法に関するものであり、特に、ダミーとして形成した着色パターンの分光透過率を測定しても、ＣＣＤ画素上の着色画素の分光透過率を正確に測定することができる検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、ＣＣＤ固体撮像素子の一例の部分断面図である。図１に示すように、この一例のＣＣＤ固体撮像素子は、Ｓｉ基板（１）上に光電変換部（２）とＣＣＤレジスタ部（３）が形成され、光電変換部（２）とＣＣＤレジスタ部（３）でＣＣＤ画素を構成している。そのＣＣＤ画素上に、絶縁膜（４）、遮光膜（５）、保護膜（６）、平坦化層（７）、カラーフィルタ（８）、及びマイクロレンズ（９）が順次に積層して形成されている。  
【０００３】
カラーフィルタ（８）は、色分解フィルタの機能を有する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色画素（８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ）で構成されている。
図２は、色分解フィルタの機能を有する３色の着色画素（８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ）の配列の一例を示す平面図である。図２に示す配列は、ベイヤー配列と称し電子スチルカメラ用のＣＣＤ固体撮像素子では一般的な着色画素の配列である。各着色画素は、各光電変換部（２）に対応して光電変換部（２）上方の平坦化層（７）上に設けられている。３色の着色画素（８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ）は、色素を含有させた樹脂を用いフォトリソグラフィ法で形成されることが多い。
【０００４】
ＣＣＤ画素上に形成された着色画素の分光透過率の測定には、顕微分光光度計が用いられるが、顕微分光光度計は被測定物を透過した透過光を計測するようになっているので、ＣＣＤ画素上に形成された着色画素の分光透過率を直接に測定することは困難なことである。
このため、Ｓｉ基板（１）（ウェハー）と同一サイズのモニターガラス基板を用いて、Ｓｉ基板（１）上への着色画素の形成時に、同一工程で同時にモニターガラス基板上にも着色画素を形成し、モニターガラス基板上の着色画素の分光透過率を測定する。この測定値をもってＣＣＤ画素上に形成された着色画素の分光透過率とみなしていた。
【０００５】
このモニターガラス基板上への着色画素の形成は、例えば、ＣＣＤ画素上へ絶縁膜（４）、遮光膜（５）、保護膜（６）を形成した後の、すなわち、平坦化層（７）の形成、及びカラーフィルタ（８）の形成において、Ｓｉ基板（１）と同時に行う方法をとる。
【０００６】
また、上記顕微分光光度計の測定スポット径は８μｍ程度である。一方、ＣＣＤの画素寸法は、２／３型３８万画素にては１２×１２μｍ程度であったが、高感度化及び微細化とともに１／４型１００万画素にては３×３μｍ程度に縮小され、１／６型にては更に縮小されている。
従って、モニターガラス基板上に形成されている３×３μｍ程度のサイズの着色画素の１個を顕微分光光度計で測定することは困難なことである。
このため、測定スポット径である８μｍ程度以上のサイズの着色パターンを３×３μｍ程度の着色画素とは別な位置にダミーとして、着色画素の形成と同時にモニターガラス基板上に形成し、この着色パターンを測定して分光透過率の評価、良否判定をおこなっていた。
【０００７】
図３は、モニターガラス基板上に形成されたカラーフィルタの一例の概略を示す平面図
である。図３に示すように、モニターガラス基板（１０）は、例えば、６インチ或いは８インチであり、Ｓｉ基板（１）（ウェハー）のサイズと同一サイズの無色透明なガラス基板である。
ＣＣＤ固体撮像素子の１画面が多面付けされたＳｉ基板（１）上へ形成される３色の着色画素と同一の３色の着色画素が、モニターガラス基板（１０）上には形成されている。符号（１１）は、ＣＣＤ固体撮像素子の１画面に対応したカラーフィルタの１画面を示しており、また、符号（１２）は、多面付けされたＣＣＤの複数の画面に対応した、多面付けされたカラーフィルタの複数の画面を示している。
尚、カラーフィルタの画面（１１）は、符号（１２）で示す複数の画面の全面に設けられているが、図３では、その一部のみを表示してある。
【０００８】
図４は、図３に示すカラーフィルタの１画面（１１）を拡大して示す平面図である。図４に示すように、カラーフィルタの１画面（１１）は、画面部（１３）と余白部（１４）で構成されている。余白部（１４）の、例えば、一隅には前記ダミーとしての着色パターン（１５）が設けられている。
画面部（１３）には、ＣＣＤ画素に対応した着色画素（８）が設けられており、着色画素（８）は、赤色の着色画素（８Ｒ）、緑色の着色画素（８Ｇ）、青色の着色画素（８Ｂ）で構成されている。３色の着色画素（８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ）のピッチ（Ｐ１）は、前記３μｍ程度のものである。尚、３色の着色画素（８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ）は画面部（１３）の全面に設けられているが、図４では、その一部のみを表示してある。
【０００９】
図５は、図４に示す着色パターン（１５）の一部分を拡大して示す平面図である。図５に示すように、着色パターン（１５）は、顕微分光光度計の測定スポット径である８μｍ程度に対応し、８μｍより大きな、例えば、１５μｍのピッチ（Ｐ２）を有する赤色の着色パターン（１５Ｒ）、緑色の着色パターン（１５Ｇ）、青色の着色パターン（１５Ｂ）で構成されている。
顕微分光光度計を用いての分光透過率の測定は、この３色の着色パターン（１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂ）を測定することによって行われる。着色パターン（１５）のサイズは測定スポット径に対して充分な大きさを有するので、測定は容易に行うことができる。
【００１０】
尚、上記３μｍ程度の３色の着色画素（８Ｒ、８Ｇ、８Ｂ）のピッチ（Ｐ１）に対して、上記、例えば、１５μｍを有する３色の着色パターン（１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂ）のピッチ（Ｐ２）は、略５倍に相当する大きさである。面積では略２５倍に相当する。
【００１１】
しかしながら、３×３μｍ程度のサイズの着色画素（８）と、１５×１５μｍ程度のサイズの着色パターン（１５）が、フォトリソグラフィ法で同時に形成されると、例えば、スピナーを用いてのフォトレジストの塗布、露光・現像処理によって、モニターガラス基板（１０）上に同時に形成されると、着色画素（８）の膜厚と着色パターン（１５）の膜厚は異なったものとなる。
この着色画素（８）の膜厚と着色パターン（１５）の膜厚の差異は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の第一色目では少ないが、第二色目以降では着色画素（８）の膜厚１μｍ程度にて０．１μｍ程度の差異が生じる。一般には、面積の大きな着色パターン（１５）の膜厚が高いものとなる。
【００１２】
この膜厚の差異は、着色パターン（１５）を測定した分光透過率の測定値と、測定していない実際の着色画素（８）の分光透過率とは異なることを意味するものである。すなわち、モニターガラス基板（１０）上の着色パターン（１５）の分光透過率の測定値をもって、実際の着色画素（８）の分光透過率とみなした方法においては、着色画素（８）に代わり、ピッチが約５倍に相当する着色パターン（１５）を測定した分光透過率を用いるので、正確には着色画素（８）の分光透過率を表していないことになる。
【特許文献１】特開平１１−１０１９７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ＣＣＤなど、固体撮像素子の光電変換部の上方に設けられたカラーフィルタを構成する３色の着色画素の分光透過率の測定を行う際に、モニターガラス基板上にダミーとして形成した３色の着色パターンの分光透過率を測定しても、光電変換部の上方の３色の着色画素の分光透過率を正確に測定したとみなすことができ、その評価、良否判定を正確に行える固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、光電変換部上に、少なくとも平坦化層、カラーフィルタ、マイクロレンズを順次に積層した固体撮像素子の該カラーフィルタを構成する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色画素の分光透過率を測定する際に、モニターガラス基板上にダミーとして形成した赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色パターンの分光透過率を測定し、上記３色の着色画素の分光透過率とみなすカラーフィルタの検査方法において、
１）モニターガラス基板上に、ダミーパターンの遮光パターンとして、
ａ）光電変換部上に設ける赤色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をした複数個の赤色用開口部を有する赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）を設け、
ｂ）光電変換部上に設ける緑色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をし、上記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の赤色用開口部の複数個に対応した複数個の緑色用開口部を有する緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）を設け、
ｃ）光電変換部上に設ける青色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をし、上記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の赤色用開口部の複数個に対応した複数個の青色用開口部を有する青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）を設け、
２）ａ）前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の、前記複数個の赤色用開口部を包含する一定領域の分光透過率を測定して測定値１Ｒを得、
ｂ）前記緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）上の、前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の一定領域と同一領域の分光透過率を測定して測定値１Ｇを得、
ｃ）前記青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）上の、前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の一定領域と同一領域の分光透過率を測定して測定値１Ｂを得、
３）ＣＣＤ画素が形成されたＳｉ基板上への、
ａ）前記赤色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の複数個の赤色用開口部へ赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を形成し、
ｂ）前記緑色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の前記緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）の複数個の緑色用開口部へ緑色の着色パターン（ＣＰ−Ｇ）を形成し、
ｃ）前記青色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の前記青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の複数個の青色用開口部へ青色の着色パターン（ＣＰ−Ｂ）を形成し、
４）ａ）前記測定値１Ｒをリファレンス（補正値）に用いて、前記赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）が形成された赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の前記一定領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｒを得、
ｂ）前記測定値１Ｇをリファレンス（補正値）に用いて、前記緑色の着色パターン（ＣＰ−Ｇ）が形成された緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）上の前記同一領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｇを得、
ｃ）前記測定値１Ｂをリファレンス（補正値）に用いて、前記青色の着色パターン（ＣＰ
−Ｂ）が形成された青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）上の前記同一領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｂを得、
５）該測定値２Ｒをもって光電変換部上に設けた赤色の着色画素の分光透過率とみなし、該測定値２Ｇをもって光電変換部上に設けた緑色の着色画素の分光透過率とみなし、該測定値２Ｂをもって光電変換部上に設けた青色の着色画素の分光透過率とみなすことを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法である。
【００１５】
また、本発明は、上記発明による固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法において、前記モニターガラス基板上へダミーパターンを設ける際に、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）を設けたモニターガラス基板と、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）を設けたモニターガラス基板と、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）を設けたモニターガラス基板の３種のモニターガラス基板となるように設けることを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法である。
【００１６】
また、本発明は、上記発明による固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法において、前記モニターガラス基板へダミーパターンを設ける際に、１枚のモニターガラス基板上に、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）と、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）と、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の３種の遮光パターンを設けることを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法である。
【００１７】
また、本発明は、上記発明による固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法において、前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の各々が２個一対となっていることを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、固体撮像素子のカラーフィルタを構成する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色画素の分光透過率を測定する際に、モニターガラス基板上にダミーとして形成した赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色の着色パターンの分光透過率を測定し、上記３色の着色画素の分光透過率とみなすカラーフィルタの検査方法において、１）モニターガラス基板上に、光電変換部上に設ける各色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をした複数個の各色用開口部を有する各色用遮光パターンを設け、２）前記各色用遮光パターン上の複数個の各色用開口部を包含する一定領域の分光透過率を測定して測定値１Ｒ、測定値１Ｇ、測定値１Ｂを得、３）ＣＣＤ画素が形成されたＳｉ基板上への前記各色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の前記各色用遮光パターンの複数個の各色用開口部へ各色の着色パターンを形成し、４）前記測定値１Ｒ、測定値１Ｇ、測定値１Ｂをリファレンス（補正値）に用いて、前記各色の着色パターンが形成された各色用遮光パターン上の前記一定領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｒ、測定値２Ｇ、測定値２Ｂを得、５）該測定値２Ｒ、測定値２Ｇ、測定値２Ｂをもって光電変換部上に設けた各色の着色画素の分光透過率とみなす検査方法であるので、モニターガラス基板上にダミーとして形成した３色の着色パターンの分光透過率を測定しても、光電変換部の上方の３色の着色画素の分光透過率を正確に測定したとみなすことができ、その評価、良否判定を正確に行える固体撮像素子用カラーフィルタの検査方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図６（ａ）は、モニターガラス基板上に形成された、本発明によるカラーフィルタの一実施例におけるカラーフィルタの１画面（２１）を拡大して示す平面図である。図６（ａ）に示すように、カラーフィルタの１画面（２１）は、画面部（２３）と余白部（２４）で構成されている。余白部（２４）の一隅には本発明におけるダミーパターン（２５）が設
けられている。
【００２０】
モニターガラス基板としては、例えば、コーニング社製：低膨張ガラス  ♯１７３７（品番）が用いられる。画面部（２３）には、ＣＣＤ画素に対応した着色画素（１８）が設けられており、着色画素（１８）は、赤色の着色画素（１８Ｒ）、緑色の着色画素（１８Ｇ）、青色の着色画素（１８Ｂ）で構成されている。
３色の着色画素（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）のピッチ（Ｐ３）は、前記３μｍ程度のものである。尚、３色の着色画素（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）は画面部（２３）の全面に設けられているが、図６（ａ）では、その一部のみを表示してある。
【００２１】
図６（ｂ）は、図６（ａ）に示すダミーパターン（２５）の一例を拡大して示す平面図である。図６（ｂ）に示すように、ダミーパターン（２５）は、赤色用ダミーパターン（２５Ｒ）と、緑色用ダミーパターン（２５Ｇ）と、青色用ダミーパターン（２５Ｂ）とで構成され、これらは隣接して設けられている。
赤色用ダミーパターン（２５Ｒ）は赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）に赤色の着色パターンが形成されたものである。同様に、緑色用ダミーパターン（２５Ｇ）は緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）に緑色の着色パターンが形成されたものである。青色用ダミーパターン（２５Ｂ）は青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）に青色の着色パターンが形成されたものである。
【００２２】
図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、各々、着色パターンが形成される前の、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の一例を拡大して示す平面図である。図７（ａ）に示すように、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）は、遮光部（２６）と赤色用開口部（２７Ｒ）で構成されている。
遮光部（２６）には金属薄膜が設けられており、分光透過率を測定する際の照射光を遮蔽する働きをもたせている。金属薄膜には、例えば、クロムが用いられ、その膜厚は１５０ｎｍ程度のものである。
【００２３】
赤色用開口部（２７Ｒ）には、金属薄膜は設けられておらず、モニターガラス基板面が露出している。赤色用開口部（２７Ｒ）の形状、サイズは、光電変換部上に設ける赤色の着色画素と同一の形状、サイズであり、例えば、正方形で３×３μｍ程度のものである。また、赤色用開口部（２７Ｒ）は複数個が設けられており、その配列は、ベイヤー配列における赤色の配列をしている。この赤色用開口部（２７Ｒ）に、後に赤色の着色パターンが形成される。
【００２４】
前記図２は、ベイヤー配列を示す平面図であが、図２中、点線で囲んだ領域（Ｔ）は、色分解を行うカラーフィルタの１単位を表している。カラーフィルタの１単位は、１個の赤色の着色画素（８Ｒ）と、２個の緑色の着色画素（８Ｇ）と、１個の青色の着色画素（８Ｂ）の４個の着色画素で構成され、４個の着色画素の配列は図２に示すようになっている。
【００２５】
図７（ａ）に示す赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）においては、このようなカラーフィルタの単位が、Ｘ軸方向に４単位、Ｙ軸方向に４単位の計１６単位である例であり、赤色の着色画素に相当する箇所に赤色用開口部（２７Ｒ）が複数個、すなわち、１６個が設けられている。図７（ａ）中、点線で示す正方形（Ｓ）は、上記カラーフィルタの１６単位の領域を表している。
【００２６】
また、図７（ｂ）は、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）を拡大して示す平面図である。図７（ｂ）に示すように、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）においては、上記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）におけるカラーフィルタの１６単位に対応した緑色用開口部（２７
Ｇ）が設けられている。
すなわち、緑色の着色画素に相当する箇所に緑色用開口部（２７Ｇ）が、ベイヤー配列での上記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の赤色用開口部（２７Ｒ）の個数に対応した複数個である３２個が設けられている。
【００２７】
また、図７（ｃ）は、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）を拡大して示す平面図である。図７（ｃ）に示すように、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）においては、上記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）におけるカラーフィルタの１６単位に対応した青色用開口部（２７Ｂ）が設けられている。
すなわち、青色の着色画素に相当する箇所に緑色用開口部（２７Ｂ）が、ベイヤー配列での上記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の赤色用開口部（２７Ｒ）の個数に対応した複数個である１６個が設けられている。
【００２８】
本発明は、光電変換部上に設ける赤色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をした赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の赤色用開口部（２７Ｒ）に赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を形成し、光電変換部上に設ける緑色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をした緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）の緑色用開口部（２７Ｇ）に緑色の着色パターン（ＣＰ−Ｇ）を形成し、また、光電変換部上に設ける青色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をした青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の青色用開口部（２７Ｂ）に青色の着色パターン（ＣＰ−Ｂ）を形成し、上記各着色パターンの分光透過率を測定し、その測定値をもって各々対応する着色画素の分光透過率とみなすことを特徴としている。
【００２９】
以下にその手順を説明する。先ず、図７（ａ）に示す赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上に設けられた複数個の赤色用開口部（２７Ｒ）を包含する一定領域の分光透過率を測定して測定値１Ｒを得る。この測定値１Ｒは後に、赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）の分光透過率を測定する際にリファレンス（補正値）として用いる。
赤色用開口部（２７Ｒ）を包含する一定領域は、図７（ａ）中に、例として点線円形（Ｃ）で示す領域である。赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）のこの領域の分光透過率を測定する。カラーフィルタの１６単位の領域（点線で示す正方形（Ｓ））の略中央を中心とする点線円形（Ｃ）は、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）を包含している。点線円形（Ｃ）は、更には図７（ａ）に示すように、点線で示す正方形（Ｓ）をも包含することが好ましい。
【００３０】
この点線円形（Ｃ）の直径は、赤色用開口部（２７Ｒ）のサイズが３×３μｍ程度の際には略４０μｍ程度のものとなる。すなわち、顕微分光光度計の測定スポット径は、略４０μｍ程度と大幅に大きな径を用いることができ、測定は容易なものとなる。
また、分光透過率を測定する赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）の個数は、１６個となるので、１６個の赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）の分光透過率が平均化され、精度のよい測定値が得られる。
【００３１】
次に、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）上の、前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の一定領域と同一領域の分光透過率を測定して測定値１Ｇを得る。この測定値１Ｇは後に、緑色の着色パターン（ＣＰ−Ｇ）の分光透過率を測定する際にリファレンス（補正値）として用いる。
赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の一定領域と同一領域は、図７（ｂ）に点線円形（Ｃ）で示すように、図７（ａ）における点線円形（Ｃ）と中心点、直径を同じくする点線円形（Ｃ）であることが好ましい。これは分光透過率の測定時に、遮光部と開口部の面積比を保ち、色間での測定誤差を少なくするためである。
【００３２】
次に、同様にして、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）上の、前記赤色用遮光パターン（
ＳＰ−Ｒ）上の一定領域と同一領域の分光透過率を測定して測定値１Ｂを得る。この測定値１Ｂは後に、青色の着色パターン（ＣＰ−Ｂ）の分光透過率を測定する際にリファレンス（補正値）として用いる。
【００３３】
続いて、各色用遮光パターンの開口部へ各色の着色パターンを形成する。先ず、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の複数個の赤色用開口部（２７Ｒ）へ赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を形成する。図８（ａ）は、赤色用開口部（２７Ｒ）へ赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）が形成された状態の赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）、すなわち、赤色用ダミーパターン（２５Ｒ）である。
この赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）の形成は、ＣＣＤ画素が形成されたＳｉ基板上への赤色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の複数個の赤色用開口部（２７Ｒ）へ赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を形成する。
【００３４】
形成された赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）は、光電変換部上に設ける赤色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をしているために、前記赤色の着色画素の膜厚と、上記赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）の膜厚は、略同一の膜厚となる。
尚、赤色用開口部（２７Ｒ）へ赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を形成する際には、予め、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）が設けられたモニターガラス基板上に、平坦化層を形成することが好ましい。これにより、赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を形成する下地を、Ｓｉ基板上へ着色画素を形成する際と同一条件にすることができる。また、赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）のサイズは、形成時の位置ずれを考慮すると赤色用開口部（２７Ｒ）のサイズよりやや大きいものが好ましい。
【００３５】
同様にして、緑色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）の複数個の緑色用開口部（２７Ｇ）へ緑色の着色パターン（ＣＰ−Ｇ）を形成して、緑色用ダミーパターン（２５Ｇ）を得る。また、青色の着色画素の形成時に、同一工程で同時に、モニターガラス基板上の青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の複数個の青色用開口部（２７Ｂ）へ青色の着色パターン（ＣＰ−Ｂ）を形成して、青色用ダミーパターン（２５Ｂ）を得る。
【００３６】
続いて、各色用遮光パターンの開口部へ形成された、各色の着色パターンの分光透過率を測定する。先ず、上記により得た測定値１Ｒをリファレンス（補正値）に用いて、赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）が形成された赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）上の前記一定領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｒを得る。次に、上記により得た測定値１Ｇをリファレンス（補正値）に用いて、緑色の着色パターン（ＣＰ−Ｇ）が形成された緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）上の前記同一領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｇを得る。
次に、上記により得た測定値１Ｂをリファレンス（補正値）に用いて、青色の着色パターン（ＣＰ−Ｂ）が形成された青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）上の前記同一領域と同一箇所の分光透過率を測定して測定値２Ｂを得る。
【００３７】
このようにして得られた測定値２Ｒをもって光電変換部上に設けた赤色の着色画素の分光透過率とみなし、測定値２Ｇをもって光電変換部上に設けた緑色の着色画素の分光透過率とみなし、また、測定値２Ｂをもって光電変換部上に設けた青色の着色画素の分光透過率とみなす。
【００３８】
上記のように、本発明では、光電変換部上に設ける赤色の着色画素と同一の形状、サイズ、配列をした赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）の赤色用開口部（２７Ｒ）に赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を、Ｓｉ基板上に赤色の着色画素を形成する際に、同一工程で同時
に形成するので、Ｓｉ基板上の赤色の着色画素の膜厚と赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）の膜厚は、略同一の膜厚となる。
従って、上記測定値２Ｒをもって光電変換部上に設けた赤色の着色画素の分光透過率と正確にみなすことができる。このことは、他色においても同様である。
【００３９】
また、上記のように、本発明では、顕微分光光度計の測定スポット径は、略４０μｍ程度と大幅に大きな径を用い、分光透過率を測定する赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）の個数は複数個となるので、精度のよい測定値が得られる。また、分光透過率の測定は容易なものとなる。このことは、他色においても同様である。
【００４０】
また、本発明は、赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）、緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ）、青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ）の各々が２個一対となっていることを特徴とするものである。図９は、請求項４に係わる発明を説明する平面図である。図９（ａ）は、モニターガラス基板上に形成された、請求項４に係わる発明のカラーフィルタの一例の１画面（３１）を拡大して示す平面図である。図９（ａ）に示すように、カラーフィルタの１画面（３１）は、画面部（２３）と余白部（２４）で構成されている。余白部（２４）の一隅には本発明におけるダミーパターン（３５）が設けられている。
【００４１】
画面部（２３）には、前記図６におけると同様にＣＣＤ画素に対応した着色画素（１８）が設けられており、着色画素（１８）は、赤色の着色画素（１８Ｒ）、緑色の着色画素（１８Ｇ）、青色の着色画素（１８Ｂ）で構成されている。
図９（ｂ）は、図９（ａ）に示すダミーパターン（３５）の一例を拡大して示す平面図である。図９（ｂ）に示すように、ダミーパターン（３５）は、第一ダミーパターン（４５）と第二ダミーパターン（５５）で構成されている。第一ダミーパターン（４５）と第二ダミーパターン（５５）の配置は、例えば、図９（ｂ）に示すように、上下の関係に隣接して設けられている。
【００４２】
第一ダミーパターン（４５）の遮光パターンは、第一赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ１）と、第一緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ１）と、第一青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ１）とで構成されている。また、第二ダミーパターン（５５）の遮光パターンは、第二赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ２）と、第二緑色用遮光パターン（ＳＰ−Ｇ２）と、第二青色用遮光パターン（ＳＰ−Ｂ２）とで構成されている。
第一赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ１）と第二赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ２）は、上下の関係に設けられ２個一対となっている。他色の遮光パターンも同様に上下の関係に設けられ２個一対となっている。
【００４３】
各色の着色パターンは、２個一対の遮光パターンの内、例えば、上に位置する各色の第一遮光パターンに形成する。下に位置する各色の第二遮光パターンには形成しない。このような２個一対のダミーパターンとすることによって、例えば、前記赤色用遮光パターン（ＳＰ−Ｒ）における、前記測定値１Ｒの測定と測定値２Ｒの測定を赤色の着色パターン（ＣＰ−Ｒ）を形成した後に、同時に行うことができるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】ＣＣＤ固体撮像素子の一例の部分断面図である。
【図２】色分解フィルタの機能を有する３色の着色画素の配列の一例を示す平面図である。
【図３】モニターガラス基板上に形成されたカラーフィルタの一例の概略を示す平面図である。
【図４】図３に示すカラーフィルタの１画面を拡大して示す平面図である。
【図５】図４に示す着色パターンの一部分を拡大して示す平面図である。
【図６】（ａ）は、モニターガラス基板上に形成された、本発明によるカラーフィルタの１画面を拡大して示す平面図である。（ｂ）は、図６（ａ）に示すダミーパターンの一例を拡大して示す平面図である。
【図７】（ａ）は、赤色用遮光パターンの一例を拡大して示す平面図である。（ｂ）は、緑色用遮光パターンの一例を拡大して示す平面図である。（ｃ）は、青色用遮光パターンの一例を拡大して示す平面図である。
【図８】（ａ）は、赤色用開口部へ赤色の着色パターンが形成された赤色用ダミーパターンである。（ｂ）は、緑色用開口部へ緑色の着色パターンが形成された緑色用ダミーパターンである。（ｃ）は、青色用開口部へ青色の着色パターンが形成された青色用ダミーパターンである。
【図９】（ａ）は、モニターガラス基板上に形成された、請求項４に係わる発明のカラーフィルタの一例の１画面を拡大して示す平面図である。（ｂ）は、図９（ａ）に示すダミーパターンの一例を拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１・・・Ｓｉ基板
２・・・光電変換部
３・・・ＣＣＤレジスタ部
４・・・絶縁膜
５・・・遮光膜
６・・・保護膜
７・・・平坦化層
８・・・カラーフィルタ
８Ｒ、１８Ｒ・・・赤色の着色画素
８Ｇ、１８Ｇ・・・緑色の着色画素
８Ｂ、１８Ｂ・・・青色の着色画素
９・・・マイクロレンズ
１０・・・モニターガラス基板
１１・・・カラーフィルタの１画面
１２・・・多面付けされたカラーフィルタの複数の画面
１３、２３・・・画面部
１４、２４・・・余白部
１５・・・ダミーとしての着色パターン
１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂ・・・３色の着色パターン
２１、３１・・・本発明によるカラーフィルタの１画面
２５、３５・・・本発明におけるダミーパターン
２５Ｒ・・・赤色用ダミーパターン
２５Ｇ・・・緑色用ダミーパターン
２５Ｂ・・・青色用ダミーパターン
２６・・・遮光部
２７Ｒ・・・赤色用開口部
２７Ｇ・・・緑色用開口部
２７Ｂ・・・青色用開口部
４５・・・第一ダミーパターン
５５・・・第二ダミーパターン
ＣＰ−Ｒ・・・赤色の着色パターン
ＣＰ−Ｇ・・・緑色の着色パターン
ＣＰ−Ｂ・・・青色の着色パターン
ＳＰ−Ｒ・・・赤色用遮光パターン
ＳＰ−Ｇ・・・緑色用遮光パターン
ＳＰ−Ｂ・・・青色用遮光パターン
ＳＰ−Ｒ１・・・第一赤色用遮光パターン
ＳＰ−Ｒ２・・・第二赤色用遮光パターン
ＳＰ−Ｇ１・・・第一緑色用遮光パターン
ＳＰ−Ｇ２・・・第二緑色用遮光パターン
ＳＰ−Ｂ１・・・第一青色用遮光パターン
ＳＰ−Ｂ２・・・第二青色用遮光パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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