(57)【要約】【課題】  任意の、複雑な形状の梁を容易に形成できるプローブ針の製造方法を提供する。【解決手段】  梁と、梁の先端部に設けられるコンタクタとを有するプローブ針の製造方法は、Ｓｉウエハ２０を準備し、Ｓｉウエハ２０の上に、シード層２１を形成し、その上にフォトレジスト２３をパターニングすることにより、梁の所望の形状を有する溝を形成する。その後、その溝を金属のメッキ層２４ａ、２４ｂで埋めることによって所望の梁の形状を形成する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が固定された、複数のつづら折りの梁と、
前記複数のつづら折りの梁の他方端に設けられ、前記複数のつづら折りの梁を接続するための接続部とを含み、
前記接続部の前記梁の反対側には、被検査物に接触するコンタクタが設けられる、プローブ針。
【請求項２】
前記複数のつづら折りの梁は、所定の周期で折り曲げられた一対の梁を含み、
前記一対のつづら折りの梁は、相互にその折り曲げの周期は等しい、請求項１に記載のプローブ針。
【請求項３】
前記一対のつづら折りの梁は、相互にその折り曲げの位相が異なる、請求項２に記載のプローブ針。
【請求項４】
前記一対のつづら折りの梁の、相互の折り曲げの位相のずれは、１８０度である、請求項３に記載のプローブ針。
【請求項５】
前記プローブ針の一端は、インターポーザに接続される、請求項１から４のいずれかに記載のプローブ針。
【請求項６】
長く延びる梁と、梁の先端部に設けられるコンタクタとを有するプローブ針の製造方法であって、
基板を準備するステップと、
前記基板の上に、前記梁の形状の溝を有する膜を形成するステップと、
前記溝の内部に金属の層を形成するステップと、
前記基板および前記膜を除去して前記金属層を取出すステップとを含む、プローブ針の製造方法。
【請求項７】
前記梁の形状の溝はつづら折のパターンを有している、請求項６に記載のプローブ針の製造方法。
【請求項８】
前記つづら折りのパターンは、第１のつづら折りのパターンと、前記第１のつづら折りのパターンと離れた位置に設けられた、第２のつづら折りのパターンとを含む、請求項７に記載のプローブ針の製造方法。
【請求項９】
前記第１および第２のつづら折りのパターンは、所定の周期で折り曲げられている、請求項８に記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１０】
前記第１および第２のつづら折の溝を形成するのと同時に、前記第１および第２のつづら折の溝の各々に対応して、位置決めのための溝を形成するステップを含む、請求項８または９に記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１１】
前記第１および第２のつづら折の溝を有する基板から、前記第１のつづら折の溝を有する膜と、前記第２のつづら折の溝を有する膜とを分離するステップと、
前記分離された、第１および第２のつづら折れの溝を有する膜を、前記位置決めのための溝を基準として重ね合わせるステップと、
前記重ね合わされた膜を、接合材料で接合するステップとを含む、請求項１０に記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１２】
前記接合材料は絶縁性の層間膜である、請求項１１に記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１３】
前記絶縁性の層間膜は、有機性樹脂材料である、請求項１２に記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１４】
前記梁の基部を固定するステップをさらに含み、
前記梁の基部を固定するステップは、
前記梁の基部を固定する固定部を有する梁保持部材を準備するステップを含み、
前記梁保持部材は、複数の固定部を有し、
前記複数の梁保持部材の固定部の各々は、表面側が大きく、内部側が狭くなった形状の接続穴を有し、
前記接合材料で接合された膜の梁の基部側から、前記膜の一部を除去して、前記金属層で形成された梁の基部をアンカー用杭として露出するステップと、
前記露出されたアンカー用杭を前記接続穴に挿入するステップとを含む、請求項１１から１３のいずれかに記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１５】
前記梁保持部材はインターポーザである、請求項１４に記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１６】
前記第１および第２のつづら折のパターンに形成された金属層の梁と、前記コンタクタとを接続するステップを含む、請求項８から１５のいずれかに記載のプローブ針の製造方法。
【請求項１７】
基板を準備する第１ステップと、
前記基板の上に、所望の複雑な形状の溝を有する膜を形成する第２ステップと、
前記溝の内部に金属の層を形成する第３ステップと、
前記基板および前記膜を除去して前記金属層を取出すステップとを含み、それによって、前記金属層で形成された、所望の複雑な形状の三次元立体構造を形成する、三次元立体構造の製造方法。
【請求項１８】
前記第１から第３ステップを繰り返すことによって、溝の内部に金属の層が形成された基板を複数準備するステップと、
前記準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、相互に重ね合わせるステップと、
前記複数の基板を相互に重ね合わせた状態で、前記基板および前記膜を除去して前記金属層を取出すステップとを含む、請求項１７に記載の三次元立体構造の製造方法。
【請求項１９】
前記準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、相互に重ね合わせるステップは、
位置決めするための位置決め穴を形成する第４ステップと、
前記第１から第４ステップを繰り返すことによって、前記位置決め穴および、溝の内部に金属の層が形成された基板を複数準備するステップと、
前記準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、前記位置決め穴を基準として、相互に重ね合わせるステップとを含む、請求項１８に記載の三次元立体構造の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プローブ針、その製造方法および三次元立体構造の製造方法に関し、特に、複雑な形状のプローブ針、その製造方法および三次元立体構造の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のプローブ針が、たとえば、米国特許第６，２５５，１２６号公報（特許文献１）、および米国特許出願第２００３／０１１３９９０号公報（特許文献２）に記載されている。
【０００３】
特許文献１は、複数の層を順に積層して形成された、バネ接触可能なプローブ針を開示している。
【０００４】
また、特許文献２は、複数の脚で支持された片持ち梁状のプローブ針およびその製造方法を開示している。
【特許文献１】米国特許第６，２５５，１２６号公報（図２から図９、１２等、およびそれに関する記載）
【特許文献２】米国特許出願第２００３／０１１３９９０号公報（図８から図１０、およびそれに関する記載）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のプローブ針は上記のように製造され、また構成されていた。特許文献１によれば、プローブ針が、基部を固定されて、複数の層を順に積層して、ジグザグ形状に直線的に上へ延びるように形成されていた。このため、プローブ針の先端に設けられたコンタクタが被検査物に接触すると、梁の部分が撓んで、隣接する梁と接触して破壊する可能性があるという問題があった。また、特許文献２においても基本的な構成は同様であった。したがって、プローブ針を密に配置できないとともに、任意の形状のプローブ針が形成できず、またその製造方法が複雑になるという問題点があった
この発明は、上記のような課題に鑑みてなされたもので、プローブ針を密に配置できるとともに、任意の形状のプローブ針、それを簡単な方法で製造するプローブ針の製造方法および三次元立体構造の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明にかかる、プローブ針は、一端が固定された、複数のつづら折りの梁と、複数のつづら折りの梁の他方端に設けられ、複数のつづら折りの梁を接続するための接続部とを含み、接続部の前記梁の反対側にはコンタクタが設けられる。
【０００７】
好ましくは、複数のつづら折りの梁は、所定の周期で折り曲げられた一対の梁を含み、一対のつづら折りの梁は、相互にその折り曲げの周期は等しい。
【０００８】
さらに好ましくは、一対のつづら折りの梁は、相互にその折り曲げの位相が異なる。
【０００９】
さらに好ましくは、一対のつづら折りの梁の、相互の折り曲げの位相のずれは、１８０度である。
【００１０】
なお、プローブ針の一端は、インターポーザに接続されるのが好ましい。
【００１１】
この発明の他の局面においては、長く延びる梁と、梁の先端部に設けられるコンタクタとを有するプローブ針の製造方法は、基板を準備するステップと、基板の上に、梁の形状の溝を有する膜を形成するステップと、溝の内部に金属の層を形成するステップと、基板および膜を除去して金属層を取出すステップとを含む。
【００１２】
好ましくは、梁の形状の溝はつづら折のパターンを有している。
【００１３】
さらに好ましくは、つづら折りのパターンは、第１のつづら折りのパターンと、第１のつづら折りのパターンと離れた位置に設けられた、第２のつづら折りのパターンとを含む。
【００１４】
第１および第２のつづら折りのパターンは、所定の周期で折り曲げられているのが好ましい。
【００１５】
また、第１および第２のつづら折の溝を形成するのと同時に、第１および第２のつづら折の溝の各々に対応して、位置決めのための溝を形成してもよい。
【００１６】
好ましくは、第１および第２のつづら折の溝を有する基板から、第１のつづら折の溝を有する膜と、第２のつづら折の溝を有する膜とを分離するステップと、分離された、第１および第２のつづら折れの溝を有する膜を、位置決めのための溝を基準として重ね合わせるステップと、重ね合わされた膜を、接合材料で接合するステップとを含む。
【００１７】
ここで、接合材料は、絶縁性の層間膜が好ましい。また、絶縁性の層間膜は、有機樹脂材料である。
【００１８】
さらに好ましくは、梁の基部を固定するステップをさらに含み、梁の基部を固定するステップは、梁の基部を固定する固定部を有する梁保持部材を準備するステップを含み、梁保持部材は、複数の固定部を有し、複数の梁保持部材の固定部の各々は、表面側が大きく、内部側が狭くなった形状の接続穴を有し、接合材料で接合された膜の梁の基部側から、膜の一部を除去して、金属層で形成された梁の基部をアンカー用杭として露出するステップと、露出されたアンカー用杭を接続穴に挿入するステップとを含む。
【００１９】
ここで、梁保持部材はインターポーザであるのが好ましい。
【００２０】
好ましくは、第１および第２のつづら折のパターンに形成された金属層の梁と、コンタクタとを接続するステップを含む。
【００２１】
この発明の他の局面にいおては、三次元立体構造の製造方法は、基板を準備する第１ステップと、基板の上に、所望の複雑な形状の溝を有する膜を形成する第２ステップと、溝の内部に金属の層を形成する第３ステップと、基板および膜を除去して金属層を取出すステップとを含み、それによって、金属層で形成された、所望の複雑な形状の三次元立体構造を形成する。
【００２２】
好ましくは、第１から第３ステップを繰り返すことによって、溝の内部に金属の層が形成された基板を複数準備するステップと、準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、相互に重ね合わせるステップと、複数の基板を相互に重ね合わせた状態で、基板および膜を除去して金属層を取出すステップとを含む。
さらに好ましくは、準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、相互に重ね合わせるステップは、位置決めするための位置決め穴を形成する第４ステップと、第１から第４ステップを繰り返すことによって、位置決め穴および、溝の内部に金属の層が形成された基板を複数準備するステップと、準備された溝の内部に金属の層が形成された複数の基板を、位置決め穴を基準として、相互に重ね合わせるステップとを含む。
【発明の効果】
【００２３】
この発明に係るプローブ針は、一端が固定された、複数のつづら折りの梁の他方端に、複数のつづら折りの梁を接続するための接続部が設けられ、この接続部にコンタクタが設けられる。２つのつづら折れの梁によってコンタクタが保持されるため、梁は、つづら折りの曲がり部分の存在する方向のみにおいて、所定の曲げ強度で曲げられる。
【００２４】
梁の曲げ方向を規定できるため、密に配置できるプローブ針を提供できる。
【００２５】
また、この発明に係るプローブ針は、つづら折れの梁の曲げの周期を調節することによって、所望の曲げ強度を得ることができる。
【００２６】
この発明の他の局面においては、長く延びる梁と、梁の先端部に設けられるコンタクタとを有するプローブ針の製造方法は、基板を準備するステップと、基板の上に、梁の形状の溝を有する膜を形成するステップと、溝の内部に金属の層を形成するステップと、基板および膜を除去して金属層を取出すステップとを含む。
【００２７】
プローブ針の梁の部分を、基板の平面上に溝を形成することによって形成できるため、任意の、複雑な形状の梁を容易に形成できる。
【００２８】
その結果、任意の形状のプローブ針を簡単な方法で製造できるプローブ針の製造方法が提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照して、この発明の一実施形態を図面を参照して説明する。図１は、この発明の一実施の形態に係るプローブ針を示す斜視図である。図１を参照して、プローブ針１０は、ブロック１５に一方端（基部）を固定された２つのつづら折の梁１４ａ、１４ｂと、２つのつづら折の梁１４ａ、１４ｂの他方端を接続する接続部１２と、接続部１２の上に設けられた、被検査物に接触するコンタクタ１１とを含む。
【００３０】
図１においては、ブロック１５上に２つのプローブ針１０が設けられている。
【００３１】
ここでは、２つのつづら折の梁１４ａ、１４ｂは、それぞれ所定の周期（間隔）で折り曲げられ、その曲げられる位置が、高さ方向において、一方の梁１４ａの凸曲がり部が、他方の梁１４ｂの凹曲がり部に対応するように、ちょうど１８０度位相がずれるように、つづら折の対を形成している。
【００３２】
このように、プローブ針１０が、相互に位相が１８０度ずれた一対のつづら折の梁１４で、片持ち梁形式でブロック１５に支持されているため、梁１４の曲がり部分を有する方向（図中Ｘで示す方向）にしかプローブ針１０は曲がらない。プローブ針の傾く方向を制御できるため、複数のプローブ針１０を密に配置できる。
【００３３】
なお、この一対のつづら折の梁１４ａ、１４ｂは、相互に同じ位相の梁であってもよい。そうすれば、所定の方向により曲がりやすいプローブ針１０が得られる。この対を形成するつづら折の梁１４ａ、１４ｂの位相のずれを調整することにより、梁の曲げ強度を調整できる。
【００３４】
なお、このつづら折りの梁は、図示のような、折曲げ部と直線部とから構成されるものに限らず、連続的に曲線で曲げられていてもよいし、鋭角に曲げられていてもよい。
【００３５】
また、図１では、２本のプローブ針１０が、１つのブロック１５に設けられる場合について説明しているが、これに限らず、１つでもよいし、３つ以上を１つのブロック１５に設けてもよい。なお、このブロック１５はプローブ針１０を固定するものであれば何でもよいが、好ましくは、後に説明するようにインターポーザである。
【００３６】
次に、このプローブ針１０の製造方法について説明する。図２から図７は、この発明の一実施の形態に係るプローブ針１０の製造方法をステップごとに示す図である。
【００３７】
図２（Ａ）は平面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）において、Ｂ-Ｂで示す部分の断面図である（以下の図３、４においても同様である）。図２を参照して、まず、基板としての、Ｓｉウエハ２０を準備し、その表面にシード層（たとえば、Ａｕの層）２１を形成する。
【００３８】
次いで、図３に示すように、シード層２１の上に、たとえば、フォトレジスト２３を用いて、プローブ針の梁となる部分として、所望の形状の溝を形成する。図３では、１枚のＳｉ（ＳｉＯ２または、ＳｉＮ）ウエハ２０上に、相互に、中心線に対して線対称となるように折れ曲がった（以下、「位相が異なる」という）、一対のつづら折り形状の溝２５ａ、２５ｂと、一対のつづら折り形状の溝２５ａ、２５ｂを囲って設けられた、４つの合わせ辺２７および中央辺２８と、合わせ穴（溝）２６とが露出するようにレジストで溝をパターニングしている。
【００３９】
なお、ここで、合わせ辺２７および合わせ穴２６とは、後に説明するように、位置決めのために使用される。
【００４０】
このように、プローブ針１０の梁となる部分をＳｉウエハ２０上で平面的に形成するため、任意の形状の梁を形成可能である。
【００４１】
なお、このとき、一対のつづら折形状の溝２５ａ、２５ｂの、ブロック１５に固定される、基部１７ａ、１７ｂの位置、および、接続部１２に接続される自由端１８ａ、１８ｂの位置は、フォトリゾグラフを用いて詳細に位置決め可能である。
【００４２】
次に、図４（Ａ）および（Ｂ）に示すように、一対のつづら折形状の溝２５ａ、２５ｂの上に、つづら折形状のメッキ層（たとえばＡｕの層）２４ａ、２４ｂを形成する。
【００４３】
その後、シード層２１の露出している部分、すなわち、一対のつづら折り形状のメッキ層２４ａ、２４ｂを囲って設けられた、４つの合わせ辺２７および中央辺２８を、シード層が形成された基板とともに、たとえば、溶融によって除去し、図４（Ｃ）に示すように、つづら折形状のメッキ層２４と合わせ穴２６とを有する、フォトレジストの層３１を取り出す。ここでは、図４（Ａ）の左側の部分のみを示している。
【００４４】
図５は、図４（Ｃ）で取り出された、それぞれの位相の異なるつづら折りのメッキ層２４ａ，２４ｂを有するフォトレジストの層３１を使用して、複数の対のプローブ針を形成する方法を示す図である。
【００４５】
図５（Ａ）は、それぞれ位相の異なるつづら折りのメッキ層２４ａ，２４ｂを有するフォトレジストの層３１を順に重ねた状態を示し、図５（Ｂ）は、フォトレジストの層３１に形成された、つづら折りのメッキ層２４ａの自由端１８に接続される、コンタクタ１２が配置された、複数の接続部１２を示す図であり、図５（Ｃ）は、つづら折りのメッキ層の基部１７を、固定する複数の固定部４１を有する、シリコンインターポーザ４０の接続面を示す図である。ここでは、接続部１２は厚さを有していないように描かれているが、実際は、図１に示すように、所定の厚さを有している。
【００４６】
なお、つづら折りのメッキ層２４ａ，２４ｂを有するフォトレジストの層３１、およびつづら折りのメッキ層２４ａ，２４ｂも所定の奥行きを有しているが、図５、図７等では、理解の容易のために、フォトレジストの層３１は、実線で、メッキ層２４ａ、２４ｂは太線で示している。
【００４７】
図４（Ｃ）に示すように分離されたフォトレジストの層３１は、図５（Ａ）に示すように、合わせ穴２６を基準として位置合わせされる。このときの位置合わせの状態を図６に示す。ここでは、４枚のフォトレジストの層３１ａ〜３１ｄが位置合せされている。
【００４８】
なお、複数のフォトレジストの層３１は、合わせ穴２６ではなく、上記した合わせ辺２７を精度良く製造することによって、位置合せを行ってもよい。
【００４９】
図６を参照して、それぞれのフォトレジストの層３１ａ〜３１ｄの間は、仮止めのために、接合材料３３で接合されている。ここで、接合材料３３としては、絶縁性の層間膜が好ましい。絶縁性の層間膜は、電着ポリイミドのような、有機性樹脂材料であってもよい。これは電着ポリイミドのような有機性樹脂材料が弾性を有しているため、後に説明するように、位置合わせが容易になるためである。
【００５０】
このようにして接合された複数のフォトレジストの層３１の自由端１８の上に、２つの自由端ごとに、１つの接続部１２が載置される。接続部１２はたとえばＡｕで形成され、つづら折り形状のメッキ層２４を形成している同じくＡｕと金属接合で接続される。
【００５１】
このとき、図５（Ｂ）に示すように、複数の接続部１３を予め一体化しておいて、それを複数のフォトレジストの層３１の自由端１８の上に載置して接続するようにすれば、より簡単に接続部１３と、フォトレジストの層３１の自由端１８とが接続できる。
【００５２】
図５（Ｃ）に示すように、フォトレジストの層３１の基部１７も同様にして、シリコンインターポーザ４０の固定部４１に接続される。ここでも固定部４１はたとえばＡｕで形成され、フォトレジストの層３１のそれぞれの基部１７と金属接合される。
【００５３】
図５および図６に示すようにして、フォトレジストの層３１の自由端１８、基部１７を、それぞれ接続部１２と、シリコンインターポーザ４０の固定部４１とを接続したあと、Ｓｉウエハ２０とフォトレジスト３１を溶融して除去した状態を図７に示す。
【００５４】
図７に示すように、フォトレジスト２３が除去されると、基部１７が、シリコンインターポーザ４０の固定部４１に接続され、自由端１８を接続部１２で接続された、それぞれが逆位相である一対のＡｕで形成されたつづら折りの梁３５ａ、３５ｂを有する、複数のプローブ針１０が得られる。
【００５５】
なお、この実施の形態においては、フォトレジスト２３を用いたため、それを溶融して除去したが、樹脂系や、金属系のレジストの使用も可能であり、使用するレジストに応じて、溶融以外に、酸化によるアッシング等で除去してもよい。
【００５６】
次に、この発明の他の実施の形態について説明する。図８は、この発明の他の実施の形態を示す図である。図５〜図７においては、つづら折の梁３５と、シリコンインターポーザ４０に設けられた固定部４１との位置合わせについて、特に問題は生じない場合を示した。
【００５７】
しかしながら、必ずしも両者の位置合わせがうまくいくとは限らない。そこで、この実施の形態においては、位置合わせがずれた場合の処理について説明する。
【００５８】
図８（Ａ）は、先の実施の形態における図４（Ｃ）に対応する図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に示した複数のフォトレジストを接合したものをその下面から見た状態を示す図である。
【００５９】
ここでは、フォトレジストの層５１には、２つのつづれ折のメッキ層が形成された状態の図を示しているが、このように、複数の梁を有するフォトレジスの層５１をそのまま、図６に示すように、複数接合してもよい。
【００６０】
図８を参照して、この実施の形態においては、フォトレジストの層５１は、フォトレジスト２３の形成時の厚さによって変化し、たとえば、図に示すように、接合されるフォトレジストの層間のピッチは、ｄ１となる。すなわち、つづら折の梁３５の基部１７の形成されるピッチｄ１は、フォトレジスト２３の形成時の寸法によって、一般にプラス・マイナス５μ程度変化しうる。
【００６１】
一方、シリコンインターポーザ４０の表面における、基部１７に接続される固定部４１の形成される間隔は、一定の寸法、（たとえば、ｄ２）である。なお、フォトレジストの層３１に形成される一対のつづら折の梁３５の基部１７ａ、１７ｂ間の寸法ｄ３は、フォトリゾグラフィで形成されるため、かなりの高精度で位置決めされる。
【００６２】
すなわち、図８から明らかなように、フォトレジストの層３１の厚さ方向の基部の寸法ｄ１と、それに対応する、シリコンインターポーザ４０の固定部４１の相互の間隔とは、必ずしも一致しない。
【００６３】
図９は、このような状態に対処する場合の、フォトレジストの層３１およびシリコンインターポーザ４０に対する処理の内容を示す図である。図９（Ａ）は、図８における、フォトレジストの層５１の梁の基部側を示す図である。図９（Ｂ）は、図９（Ａ）に示す状態から、その梁の基部側から一定量エッチングすることによってメッキ層２４で形成された、アンカー用の杭３７を形成した状態を示す図であり、図９（Ｃ）は、シリコンインターポーザ基板４０の表面に、接続部４１としてピラミッド窓を設けた状態を示す図である。
【００６４】
図９（Ｄ）は、図８において、ＩＸで示す方向から見た矢視図であり、その下部においては、図９（Ｂ）に示すように、フォトレジスト２３が除去されて、アンカー用の杭３７が露出した状態を示す。図９（Ｅ）は、図９（Ｃ）において、Ｅ−Ｅで示す部分の断面図であり、シリコンインターポーザ４０の表面には、配線層４６が形成され、この配線層４６は、貫通孔４７を介して裏面側に配線層４８に接続されている。
【００６５】
なお、ここでは、図８の状態を例にあげて説明しているが、図６に示した状態でも同様の処理が可能である。
【００６６】
また、図８および図９においては、つづら折の梁３５が曲面を有する方向の図は、拡大して表示されているため、シリコンインターポーザ基板４０の表面に形成された接続部４２の数とは一致しない。
【００６７】
次につづら折の梁３５の基部１７に形成されたアンカー用の杭３７と、シリコンインターポーザ４０の固定部４１との接続方法について説明する。図９（Ａ）の状態から、図９（Ｂ）において、点線で示すように、フォトレジスト２３を除去し、メッキ層２４の基部１７を露出させ、アンカー用の杭３７を形成する。
【００６８】
一方、シリコンインターポーザ４０の表面には、その固定部４１に、表面で開口部が大きく、内部で狭くなるような、ピラミッド窓４２を絶縁膜で形成する。図９（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、アンカー用の杭３７ａ、３７ｂのピッチがｄ１であり、ピラミッド窓４２ａ、４２ｂ間のピッチがｄ２のように異なっていても、電着ポリイミドのような接続部材３３が弾性を有しており、図９（Ｄ）において、矢印で示す方向に伸縮が可能であるため、アンカー用の杭３７ａ、３７ｂは、ピラミッド窓４２ａ、４２ｂに図中太い矢印で示すように挿入され、つづら折の梁３５と、シリコンインターポーザ４０の固定部４１とは、しっかりと接続される。
【００６９】
なお、ここでは、ピラミッド窓４２ａ、４２ｂは、表面に矩形の開口部を設け、矩形の４辺において内部に傾斜を有する形状であるが、これに限らず、対向する２辺の方向、または１方向のみにテーパを有する形状であってもよい。また、アンカー用の杭３７を円筒状にすることにより、円錐形の窓としてもよい。
【００７０】
次に、この発明のさらに他の実施の形態について説明する。図１０は、この発明のさらに他の実施の形態を示す図である。図１０を参照して、この実施の形態においては、シリコンインターポーザ４０の固定部４１に複雑な形状のプローブ針用の梁５０が形成されている。このように、この実施の形態においては、レジストをフォトリゾグラフィによってプローブ針の梁を形成するため、ここに示すように、任意の複雑な形状のプローブ針用の梁５０を形成できる。
【００７１】
ここでは、任意の複雑な形状のプローブ針用の梁に形成について説明したが、これに限らず、上記の図２から図９の方法を用いて、図１０に示すように、任意の複雑な形状の三次元立体構造の製造方法にこの発明を適用してもよい。
【００７２】
なお、ここで、複雑な形状とは、少なくとも一筆書きで形成できない形状を含むものをいう。
【００７３】
なお、上記実施の形態においては、フォトレジストとフォトリゾグラフィを用いて任意の形状の梁を形成する場合について説明したが、これに限らず、プローブ針の梁となる部分の溝を形成できるものであれば、任意の膜を利用して梁の形状を形成できる。
【００７４】
上記実施の形態においては、シリコンインターポーザにプローブ針を接続する場合について説明したが、これに限らず、任意の材質で形成されたインターポーザに適用可能である。
【００７５】
上記実施の形態においては、プローブ針の梁となる金属層をメッキ層で形成する例について説明したが、これに限らず、任意の方法で金属層を形成してもよい。
【００７６】
上記実施の形態においては、メッキ層として、Ａｕを用いた例について説明したが、これに限らず、任意の金属を用いてもよい。
【００７７】
上記実施の形態においては、コンタクタとの接続部およびインターポーザの接続部として、Ａｕを用いた例について説明したが、これに限らず、任意の金属を用いてもよい。
上記実施の形態においては、メッキ層の自由端、および固定端と接続部とを金属接合で接続した例を説明したが、これは、接続される材料によって、それに適した接続方法を採用してもよい。
【００７８】
以上、図面を参照してこの発明の実施形態を説明したが、この発明は、図示した実施形態のものに限定されない。図示された実施形態に対して、この発明と同一の範囲内において、あるいは均等の範囲内において、種々の修正や変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
この発明に係るプローブ針は、その梁部分が、平面状に形成されるため、任意の複雑な形状のプローブ針を形成できるため、プローブ針として、有利に利用されうる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】この発明の一実施の形態に係るプローブ針の斜視図である。
【図２】プローブ針の梁の製造方法をステップごとに示す図である。
【図３】プローブ針の梁の製造方法をステップごとに示す図である。
【図４】プローブ針の梁の製造方法をステップごとに示す図である。
【図５】プローブ針の梁の製造方法をステップごとに示す図である。
【図６】図５の接続状態の詳細を示す図である。
【図７】プローブ針の梁の製造方法をステップごとに示す図である。
【図８】プローブ針の梁を、複数接続した状態を示す図である。
【図９】プローブ針の、インターポーザへの取付け方法の他の実施の形態を示す図である。
【図１０】この発明に係るプローブ針の形状の他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０  プローブ針、１１  コンタクタ、１２  接続部、１４  梁、１５  ブロック、１７固定端、１８自由端、２０  シリコンウエハ、２１  シード層、２３  フォトレジスト、２４  メッキ層、２５  つづら折り形状の溝、２６  合わせ穴、３１  フォトレジストの層、３３  接合材料、３５  つづら折の層、４０  シリコンインターポーザ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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