(57)【要約】【課題】汎用のレーザ変位計の計測能力を最大限に活用できる厚み測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】一対のレーザ変位計121,122の間に被測定物300が存在しない位置からレーザ変位計121,122の移動を開始し、移動方向の側に配置されたレーザスイッチ130によって被測定物300の端縁を検知した後にレーザ変位計121,122を駆動し、レーザ光を射出させて測定を行い、被測定物300の表裏面までの距離データを計測する。これにより、一対のレーザ変位計121,122の間に被測定物300が存在しない位置では、レーザ変位計からレーザ光が射出されないので、レーザ光の相互干渉が生ずることがない。また、一対のレーザ変位計121,122は互いに光軸が一致するように配置されているので、高精度での測定が可能になる。【選択図】図１
2006308378.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸が一致するように所定間隔Ｌ1をあけて互いに対向させて配置され、それぞれが被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測する一対のレーザ変位計と、測定時における前記レーザ変位計の移動方向前方側に距離Ｌ2をあけて配置され前記光軸から前記移動方向前方側距離Ｌ2の位置における前記被測定物の存在を検知する被測定物検知センサと、前記一対のレーザ変位計を平行に移動させる移動手段と、前記一対のレーザ変位計の移動方向の位置を検出する位置検出手段と、これらの駆動制御及び所定の演算処理を行うコンピュータ装置とを備えた測定装置を用い、前記コンピュータ装置によって前記一対のレーザ変位計を前記一対のレーザ変位計の間に配置された被測定物の幅方向に移動させて前記光軸方向における前記被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測することにより前記被測定物の厚みを測定する厚み測定方法であって、
前記コンピュータ装置は、測定時において前記一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置から前記レーザ変位計の移動を開始し、移動方向の側に配置された前記被測定物検知センサによって前記被測定物の始端縁を検知してから前記距離Ｌ2を移動した時点で前記一対のレーザ変位計を駆動して前記測定を行って距離データを取得すると共に前記被測定物検知センサによって前記被測定物の終端縁を検知してから前記距離Ｌ2を移動した時点で前記一対のレーザ変位計の駆動を停止する
ことを特徴とする厚み測定方法。
【請求項２】
前記コンピュータ装置は、各レーザ変位計の計測結果から前記被測定物の表面と裏面との間の厚みを算出し、計測位置データに対応させて該計測位置データと厚みの値を提示する
ことを特徴とする請求項１に記載の厚み測定方法。
【請求項３】
前記コンピュータ装置は、前記一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置から前記レーザ変位計の移動を開始し、前記被測定物検知センサによって前記被測定物の始端縁を検知した位置から終端縁を検知した位置までの長さを算出して前記被測定物の幅の値として提示する
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の厚み測定方法。
【請求項４】
前記コンピュータ装置は、前記レーザ変位計を移動しながら前記被測定物の表裏面までの距離を計測すると共に、該計測によって取得した表裏面までの距離に基づいて前記被測定物の断面輪郭画像を表示する
ことを特徴とする請求項１に記載の厚み測定方法。
【請求項５】
前記コンピュータ装置は、前記レーザ変位計を移動しながら前記被測定物の表裏面までの距離を計測すると共に、前記被測定物の端縁を検知してから前記レーザ変位計の駆動を開始するまでの間に生じた欠落部分の距離データを、計測によって取得した距離データに基づいて補間し、実際の計測によって得られた距離データと補間した距離データを計測結果の距離データとする
ことを特徴とする請求項１又は請求項４に記載の厚み測定方法。
【請求項６】
前記コンピュータ装置は、前記欠落部分の距離データを、計測によって取得した距離データに基づいて線形補間し、実際の計測によって得られた距離データと補間した距離データを計測結果の距離データとする
ことを特徴とする請求項５に記載の厚み測定方法。
【請求項７】
前記コンピュータ装置は、前記レーザ変位計を前記被測定物の幅方向に往復移動させて往路及び復路のそれぞれにおける距離データを取得すると共に、往路の距離データと復路の距離データとの平均値を算出し、該平均値を計測結果の距離データとする
ことを特徴とする請求項４に記載の厚み測定方法。
【請求項８】
被測定物を挟むように所定間隔Ｌ1をあけて配置され、コンピュータ装置によって駆動制御される一対のレーザ変位計を備え、それぞれのレーザ変位計から前記被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測することにより前記被測定物の厚みを測定する厚み測定装置において、
前記一対のレーザ変位計は光軸が一致するように所定間隔をあけて互いに対向させて配置されており、
前記被測定物の幅方向に前記一対のレーザ変位計を平行に移動させる移動手段と、
測定時における前記レーザ変位計の移動方向前方側に距離Ｌ2をあけて配置され前記光軸から前記移動方向前方側距離Ｌ2の位置における被測定物の存在を検知する被測定物検知センサと、
前記一対のレーザ変位計の移動方向の位置を検出して、該検出結果を前記コンピュータ装置に出力する位置検出手段とを備えると共に、
前記コンピュータ装置に、
前記一対のレーザ変位計を移動させて前記光軸方向における前記被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測して距離データを取得する距離データ取得手段と、
測定時において前記一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置から前記レーザ変位計の移動を開始する移動制御手段と、
前記レーザ変位計の移動方向の前方側に配置された前記被測定物検知センサによって前記被測定物の始端縁を検知してから前記距離Ｌ2を移動した時点で前記一対のレーザ変位計を駆動すると共に前記被測定物検知センサによって前記被測定物の終端縁を検知してから前記距離Ｌ2を移動した時点で前記一対のレーザ変位計の駆動を停止する変位計駆動制御手段とを設けた
ことを特徴とする厚み測定装置。
【請求項９】
前記コンピュータ装置は、各レーザ変位計の計測結果から前記被測定物の表面と裏面との間の厚みを算出し、計測位置データに対応させて該計測位置データと厚みの値を提示する手段を備えている
ことを特徴とする請求項８に記載の厚み測定装置。
【請求項１０】
前記コンピュータ装置は、前記一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置から前記レーザ変位計の移動を開始し、前記被測定物検知センサによって前記被測定物の始端縁を検知した位置から終端縁を検知した位置までの長さを算出して前記被測定物の幅の値として提示する手段を備えている
ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の厚み測定装置。
【請求項１１】
表示装置を設けると共に、
前記コンピュータ装置は、
前記レーザ変位計を移動しながら前記被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測する手段と、
前記計測によって取得した表裏面までの距離Ｌa，Ｌbに基づいて前記被測定物の断面輪郭画像を前記表示装置に表示する手段とを備えている
ことを特徴とする請求項８に記載の厚み測定装置。
【請求項１２】
前記コンピュータ装置は、前記レーザ変位計を移動しながら前記被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測する手段と、
前記被測定物の端縁を検知してから前記レーザ変位計の駆動を開始するまでの間に生じた欠落部分の距離データを、計測によって取得した距離データに基づいて補間し、実際の計測によって得られた距離データと補間した距離データを計測結果の距離データとする手段を備えている
ことを特徴とする請求項８又は請求項１１に記載の厚み測定装置。
【請求項１３】
前記コンピュータ装置は、前記欠落部分の変位データを、計測によって取得した距離データに基づいて線形補間し、実際の計測によって得られた距離データと補間した距離データを計測結果の距離データとする手段を備えている
ことを特徴とする請求項１２に記載の厚み測定装置。
【請求項１４】
前記コンピュータ装置は、前記レーザ変位計を前記被測定物の幅方向に往復移動させて往路及び復路のそれぞれにおける距離データを取得する手段と、
前記往路の距離データと復路の距離データとの平均値を算出して該平均値を計測結果の距離データとする手段とを備えている
ことを特徴とする請求項１１に記載の厚み測定装置。
【請求項１５】
前記被測定物検知センサは、レーザ発光器と受光器とを含み、前記レーザ発光器から射出されて前記受光器に入射されるレーザ光が被測定物によって遮光されることにより被測定物の存在を検知するレーザスイッチを備えている
ことを特徴とする請求項８乃至請求項１４の何れかに記載の厚み測定装置。
【請求項１６】
前記被測定物検知センサは、レーザ光を射出する光ファイバと、前記光ファイバの光射出口に設けられ、検知スポット径を小さくするレンズとを有する
ことを特徴とする請求項１５に記載の厚み測定装置。
【請求項１７】
前記被測定物検知センサは、前記被測定物に接触するように配置され、被測定物との接触によって閉回路となるマイクロスイッチを含む
ことを特徴とする請求項８乃至請求項１４の何れかに記載の厚み測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート材等の被測定物の厚みを測定する厚み測定方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の厚み測定方法及びその装置としては、一対のレーザ変位計を対向して配置してスキャンさせ、シート材（プロファイルを持った部材を含む）の厚みを計測するものが一般的である。また、レーザ変位計を用いて精度良く厚みを測定するためには、レーザ変位計の投光軸を正確に一致させる必要がある。
【０００３】
しかし、この結果、シート材が介在しないときにレーザ変位計同士の相互干渉が発生し、この対策として光軸を若干ずらしたり、レーザ変位計の持つ相互干渉防止機能を用いているのが一般的である。
【０００４】
また、この種の測定方法或いは測定装置としては、例えば、特開平０１−１５２３０６号公報（特許文献１）に開示される形状測定方法及びその装置や、特開平０８−１３６２３０号公報（特許文献２）に開示される急斜面をもつ厚肉体の断面形状測定装置、特開平１１−２９５０３９号公報（特許文献３）に開示されるレーザ距離計による厚さ測定方法が知られている。
【０００５】
上記特許文献１に開示される形状測定方法及びその装置は、一定方向に移動する被測定物を挟んで設けた一対の変位センサで被測定物をその幅方向に走査して一定ピッチ毎にその表示表面の変位量を検出し、検出結果を演算処理して被測定物の断面形状を求めるものである。
【０００６】
上記特許文献２に開示される急斜面をもつ厚肉体の断面形状測定装置は、一方側の表面に急傾斜面をもつ厚肉体の該表面に対し、厚肉体の測定断面上にて幅方向と直交する向きで測定範囲の最大光スポット径が１．０ｍｍ以上のレーザー光を照射する手段及び上記表面からのレーザー反射光を受光して電気信号に変換する光電変換素子を備えるレーザー測距センサと、レーザー測距センサと厚肉体との相互間隔を一定に保持して、レーザー光を厚肉体の測定断面の全幅にわたり走査させる走査手段と、上記反射光の受光検出限界時に即応してレーザー光の光量を増加させるレーザーパワーコントロール機能と、レーザー光が厚肉体を走査する間にわたり、上記光電変換素子からの信号出力を、上記センサの測定範囲における走査方向に沿う最小光スポット径（ＬMIN )に満たない小ピッチ（ｐ）毎に順次サンプリングすると共に、互いに隣合うサンプリング信号出力の差からレーザー光中心軸線に沿う初期基準値からの変位成分量を演算し、この演算結果に基づき各小ピッチ毎の測距値を電気信号として出力する演算回路とを有するものである。
【０００７】
上記特許文献３に開示されるレーザ距離計による厚さ測定方法は、測定すべき対象材を挟んで両側にレーザ距離計を配置し、各レーザ距離計と対象材の間の距離Ｌ1 およびＬ2 を測定し、両レーザ距離計の間の距離Ｄと前記測定値Ｌ1 およびＬ2 とから、演算により対象材の厚さｔを求める方法において、該対象材の表面粗さに応じた測定値の補正を行うものである。
【特許文献１】特開平０１−１５２３０６号公報
【特許文献２】特開平０８−１３６２３０号公報
【特許文献３】特開平１１−２９５０３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、対向する一対のレーザ変位計の光軸をずらして用いた場合には正確な計測位置及びデータを得ることができない。通常、この場合には、計測誤差として許容する範囲として扱っている。
【０００９】
また、レーザ変位計の持つ相互干渉防止機能を用いる場合は、レーザ変位計のデータサンプリング速度を落とすことになる。つまり、２台のレーザ変位計を用いる場合は、これらを交互に駆動してレーザ光を射出させるので、このときの計測速度は単独時の計測速度の半分以下となってしまう。
【００１０】
結果としてレーザ変位計の計測能力を最大限活用できないと言う問題があった。
【００１１】
また、上記のような光軸をずらす方法や相互干渉防止機能を用いずに高精度且つ高速に測定を行うためには、高速性能のレーザ変位計を必要とするため、高価な機種を採用することに繋がっていた。
【００１２】
本発明は前記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、汎用のレーザ変位計の計測能力を最大限に活用できる断面形状測定方法及びその装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は前記目的を達成するために、光軸が一致するように所定間隔Ｌ1をあけて互いに対向させて配置され、それぞれが被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測する一対のレーザ変位計と、測定時における前記レーザ変位計の移動方向前方側に距離Ｌ2をあけて配置され前記光軸から前記移動方向前方側距離Ｌ2の位置における前記被測定物の存在を検知する被測定物検知センサと、前記一対のレーザ変位計を平行に移動させる移動手段と、前記一対のレーザ変位計の移動方向の位置を検出する位置検出手段と、これらの駆動制御及び所定の演算処理を行うコンピュータ装置とを備えた測定装置を用い、前記コンピュータ装置によって前記一対のレーザ変位計を前記一対のレーザ変位計の間に配置された被測定物の幅方向に移動させて前記光軸方向における前記被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測することにより前記被測定物の厚みを測定する厚み測定方法であって、前記コンピュータ装置は、測定時において前記一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置から前記レーザ変位計の移動を開始し、移動方向の側に配置された前記被測定物検知センサによって前記被測定物の始端縁を検知してから前記距離Ｌ2を移動した時点で前記一対のレーザ変位計を駆動して前記測定を行って距離データを取得すると共に前記被測定物検知センサによって前記被測定物の終端縁を検知してから前記距離Ｌ2を移動した時点で前記一対のレーザ変位計の駆動を停止する厚み測定方法を提案する。
【００１４】
本発明の厚み測定方法によれば、前記一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置から前記レーザ変位計の移動が開始され、移動方向の側に配置された被測定物検知センサによって前記被測定物の端縁が検知された後に前記一対のレーザ変位計が駆動されて測定が行われ、距離データが取得される。これにより、一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置では、レーザ変位計が駆動されないので、レーザ変位計からレーザ光が射出されることはなく、レーザ光の相互干渉が生ずることがない。また、前記一対のレーザ変位計は互いに光軸が一致するように配置されているので、高精度での測定が可能になる。
【００１５】
また、本発明は前記目的を達成するために、被測定物を挟むように所定間隔Ｌ1をあけて配置され、コンピュータ装置によって駆動制御される一対のレーザ変位計を備え、それぞれのレーザ変位計から前記被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測することにより前記被測定物の厚みを測定する厚み測定装置において、前記一対のレーザ変位計は光軸が一致するように所定間隔をあけて互いに対向させて配置されており、前記被測定物の幅方向に前記一対のレーザ変位計を平行に移動させる移動手段と、測定時における前記レーザ変位計の移動方向前方側に距離Ｌ2をあけて配置され前記光軸から前記移動方向前方側距離Ｌ2の位置における被測定物の存在を検知する被測定物検知センサと、前記一対のレーザ変位計の移動方向の位置を検出して、該検出結果を前記コンピュータ装置に出力する位置検出手段とを備えると共に、前記コンピュータ装置に、前記一対のレーザ変位計を移動させて前記光軸方向における前記被測定物の表裏面までの距離Ｌa，Ｌbを計測して距離データを取得する距離データ取得手段と、測定時において前記一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置から前記レーザ変位計の移動を開始する移動制御手段と、前記レーザ変位計の移動方向の前方側に配置された前記被測定物検知センサによって前記被測定物の始端縁を検知してから前記距離Ｌ2を移動した時点で前記一対のレーザ変位計を駆動すると共に前記被測定物検知センサによって前記被測定物の終端縁を検知してから前記距離Ｌ2を移動した時点で前記一対のレーザ変位計の駆動を停止する変位計駆動制御手段とを設けた厚み測定装置を提案する。
【００１６】
本発明の厚み測定装置によれば、前記変位計駆動手段によって、前記一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置から前記レーザ変位計の移動が開始され、移動方向の側に配置された被測定物検知センサによって前記被測定物の端縁が検知された後に前記一対のレーザ変位計が駆動されて測定が行われ、距離データが取得される。これにより、一対のレーザ変位計の間に前記被測定物が存在しない位置では、レーザ変位計が駆動されないので、レーザ変位計からレーザ光が射出されることはなく、レーザ光の相互干渉が生ずることがない。また、前記一対のレーザ変位計は互いに光軸が一致するように配置されているので、高精度での測定が可能になる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の厚み測定方法によれば、一対のレーザ変位計の間に被測定物が存在しない位置では、レーザ変位計が駆動されないので、レーザ変位計からレーザ光が射出されることはなく、レーザ光の相互干渉が生ずることがない。また、一対のレーザ変位計は互いに光軸が一致するように配置されているので、高精度での測定が可能になる。その結果、レーザ変位計の性能を最大限に引き出すことができるため、目的とする性能を有する最適な変位計を選択できるので、装置費用の低減を図ることができる。
【００１８】
また、本発明の厚み測定装置によれば、一対のレーザ変位計の間に被測定物が存在しない位置では、レーザ変位計が駆動されないので、レーザ変位計からレーザ光が射出されることはなく、レーザ光の相互干渉が生ずることがない。また、一対のレーザ変位計は互いに光軸が一致するように配置されているので、高精度での測定が可能になる。さらに、レーザ変位計の性能を最大限に活用することで、計測目的に応じた適切な変位計を選択でき、高価な変位計を必要としないので、装置費用の低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
【００２０】
図１乃至図１４は本発明の第１実施形態における厚み測定装置を示すもので、図１は本発明の第１実施形態における厚み測定装置を示す平面図、図２は本発明の第１実施形態における厚み測定装置を示す正面図、図３は本発明の第１実施形態における厚み測定装置の電気系回路を示すブロック図、図４及び図５は本発明の第１実施形態におけるレーザスイッチを示す構成図、図６乃至図８は本発明の第１実施形態におけるレーザ変位計の移動状態を説明する図、図９は本発明の第１実施形態における変位計コントローラの処理動作を説明するフローチャート、図１０は本発明の第１実施形態における厚み計算部の処理動作を説明するフローチャート、図１１は本発明の第１実施形態における測定時の中央制御部の処理動作を説明するフローチャート、図１２は本発明の第１実施形態における中央処理部の測定結果表示処理動作を説明するフローチャート、図１３及び図１４は本発明の第１実施形態における測定結果の表示例を示す図である。
【００２１】
図において、１は厚み測定装置で、測定機構部100とコンピュータ装置200とから構成されている。測定機構部100は、所定の間隔をあけて垂直に立設された一対の支持板101,102と、支持板101,102によって回動自在に支持された水平に延びる一対のボールネジ103と一対のガイド軸104とを備えている。
【００２２】
一対のボールネジ103と一対のガイド軸104のそれぞれは、垂直方向に所定の間隔をあけて配置され、それぞれのボールネジ103にはレーザ変位計121,122がガイド軸104に支持されながらボールネジ103の回転によって水平方向に移動可能に装着されている。尚、一対のレーザ変位計121,122は互いに対向するように配置され、それぞれから射出されるレーザ光501，502の光軸が垂直になり且つ互いに一致するように設定されている。さらに、図６乃至図８に示すように各レーザ変位計121,122の距離計測始端位置間の距離がＬ1になるように各レーザ変位計121,122が配置されている。
【００２３】
また、上側のレーザ変位計121には、正面から見て左側にレーザスイッチ130が設けられている。このレーザスイッチ130は、図４，５に示すようにレーザ発光器131、ハーフミラー132および受光器133を備え、レーザ発光器131から射出されるレーザ光511の光軸はレーザ変位計121から射出されるレーザ光の光軸に対して平行になるように設定されてる。さらに、レーザ変位計121から射出されるレーザ光の光軸とレーザ発光器131から射出されるレーザ光の光軸との間の水平距離はボールネジ103と平行な方向において距離Ｌ2に設定されている。
【００２４】
一方、下側のレーザ変位計122には、その正面から見て左側に台座140が固定され台座140の上面には反射鏡141が水平に配置されている。
【００２５】
これらのレーザスイッチ130及び反射鏡141により、図４，５に示すようにレーザ発光器131から射出されたレーザ光511はハーフミラー132を透過して反射鏡141に照射され、この反射鏡141によって反射されて往路と同一光路を通ってハーフミラー132に至り、ハーフミラー132によって反射されて受光器133に入射される。また、レーザ光511が被測定物300によって遮られると反射鏡141にレーザ光511が照射されないので、受光器133にはレーザ光が入射されない。従って、受光器133にレーザ光が入射されているか否かによってレーザスイッチ130と反射鏡141との間における被測定物300の存在を検知することができる。
【００２６】
また、上側及び下側の各ボールネジ103にはプーリ105,106がそれぞれ固定され、これらのプーリ105,106間にベルト108が掛け渡され、上下のボールネジ103の回転が連動し、各レーザ変位計121,122が光軸を一致させながら移動できるようになっている。
【００２７】
さらに、下側のボールネジ103にはもう一つのプーリ107が設けられ、このプーリ107と駆動部110のモータ114の回転軸111に固定されたプーリ112との間にベルト109が掛け渡され、モータ114の回転によってボールネジ103が回転するようになっている。尚、初期状態においては各レーザ変位計121,122は正面から見てボールネジ103の右端部の初期位置に配置される。
【００２８】
また、測定時においては、図１及び図２に示すように、上下のレーザ変位計121,122の間にコンベヤ等の搬送手段400によって搬送されてきた被測定物300が配置される。ここでは、ボールネジ103の軸方向が被測定物300の幅方向になるように被測定物300が配置される。本実施形態では、被測定物300として、ゴムシートを用い、ゴムシートの厚み及び断面形状を測定している。
【００２９】
本実施形態における厚み測定装置１の電気系回路は、図３に示すとおりである。即ち、各レーザ変位計121,122は、コンピュータ装置200からの制御信号に基づいて駆動し、駆動時にはレーザ光501,502を射出して、距離測定始端位置から被測定物300までの距離Ｌa，Ｌbを計測し、その計測結果の距離データをコンピュータ装置200から指示された時間間隔でコンピュータ装置200に出力する。また、各レーザ変位計121,122は、コンピュータ装置200から駆動停止の指示を受けているときは、レーザ光の射出及び距離データの出力を停止している。
【００３０】
レーザスイッチ130は、装置１の駆動時には常にレーザ光511を射出し、受光器133によってレーザ光を受光しているか否かを表すスイッチ信号をコンピュータ装置200に出力する。本実施形態のレーザスイッチ130は、スイッチ信号として、受光器133がレーザ光を受光しているときにオン信号を出力し、レーザ光を受光していないときにオフ信号を出力する。
【００３１】
駆動装置110はパルスジェネレータ113とモータ114を備え、コンピュータ装置200からの駆動制御によってモータ114が回転される。さらに、モータ114の回転に同期してパルスジェネレータ113からコンピュータ装置200にパルス信号が出力される。これにより、コンピュータ装置200では、パルスジェネレータ113から出力されるパルス信号におけるパルス数を計数することによりモータ114の回転数を取得でき、これによってボールネジ103の回転数、さらにはレーザ変位計121,122の移動位置を取得することができる。尚、初期状態においては各レーザ変位計121,122は正面から見てボールネジ103の右端部に配置され、駆動時にはボールネジの103の右端部から左端部方向へレーザ変位計121,122が移動される。
【００３２】
コンピュータ装置200は、変位計コントローラ201と、厚み計算部202、ファイル生成・記憶部203、中央制御部204、操作部205、表示制御部206、表示部207を備えている。
【００３３】
変位計コントローラ201は、中央制御部204から指示された距離データ出力の時間間隔の情報を各レーザ変位計121,122に出力する。さらに、変位計コントローラ201は、中央制御部204からレーザ変位計121,122の位置情報を入力し、この位置情報及びレーザスイッチ130から入力しているスイッチ信号に基づいて、スイッチ信号がオン状態からオフ状態に変わったときのレーザ変位計121,122の位置Ｐ1（被測定物300の始端位置−Ｌ2）から距離Ｌ2だけレーザ変位計121,122が移動したときにレーザ変位計121,122を駆動状態に設定する。さらに、変位計コントローラ201は、スイッチ信号がオフ状態からオン状態に変わったときのレーザ変位計121,122の位置Ｐ2（被測定物300の終端位置−Ｌ2）から距離Ｌ2だけレーザ変位計121,122が移動したときにレーザ変位計121,122を駆動停止状態に設定する。また、変位計コントローラ201は、始端位置Ｐ1＋Ｌ2及び終端位置Ｐ2＋Ｌ2の情報を厚み計算部202に出力すると共に、各レーザ変位計121,122から入力した距離データ（Ｌa，Ｌb）及びこの距離データを計測したときの各レーザ変位計121,122の位置情報を対応付けて厚み計算部202に出力する。
【００３４】
厚み計算部202は、変位計コントローラ201から入力した始端位置Ｐ1＋Ｌ2及び終端位置Ｐ2＋Ｌ2の情報に基づいて、被測定物300の幅の値Ｌwを算出すると共に、変位計コントローラ201から入力した距離データと位置情報に基づいて各計測位置毎に被測定物300の厚みＬtを計算し、算出した厚みＬtの値を計測位置に対応付けてこれらの情報をファイル生成・記憶部203に出力する。
【００３５】
ファイル生成・記憶部203は、厚み計算部202から入力した被測定物300の厚みＬtの値とその計測位置の情報、及び被測定物300の幅の値Ｌwを集積したデータファイルを生成してこれを記憶する。このデータファイルには、被測定物300の始端位置Ｐ1＋Ｌ2から終端位置Ｐ2＋Ｌ2までの計測位置情報と各計測位置における厚みＬtの情報、及び幅Ｌwの情報が含まれている。
【００３６】
中央制御部204は、キーボードやマウスなどからなる操作部205から入力された指示に基づいて、測定時においては、モータコントローラ208に対してモータ114の制御指示を出力すると共に、パルスジェネレータ113から入力したパルス信号のパルス数を計数してレーザ変位計121,122の位置を特定し、この位置情報を変位計コントローラ201に出力する。さらに、中央制御部204は、操作部205から入力された指示に基づいて、測定結果表示時には、ファイル生成・記憶部203に記憶されているデータファイルを読み込み、このデータファイルに基づいて、表示制御部206を介して表示部207に測定結果を表示する。このとき、操作部205から入力された指示に基づいて、測定結果を図１３に示すような表として、或いは図１４に示すような被測定物300の断面輪郭画像として表示する。このとき、被測定物300の始端部或いは終端部においてレーザ変位計121,122におけるレーザ光射出のタイミング遅れなどによって計測データの欠落がある場合、中央制御部204はこの欠落部分を補間してデータファイルを書き換えた後、測定結果の表示を行う。本実施形態では、この補間方法として線形補間を用いている。即ち、実際に計測した距離データＬa，Ｌbに基づいて被測定物300の表面および裏面の欠落部分の輪郭を直線で表して補間する。尚、このような線形補間以外の補間方法を用いても良い。
【００３７】
次に、本実施形態における変位計コントローラ201の動作の詳細を図９に示すフローチャートを参照して説明する。
【００３８】
変位計コントローラ201は、動作を開始すると、初期設定を行う（ＳＡ１）。この初期設定では、変位計コントローラ201はレーザ光の射出停止を確認し、中央制御部204から入力した計測ピッチを記憶する。
【００３９】
次いで、レーザスイッチ130がオン状態からオフ状態になったか否かを監視し（ＳＡ２）、レーザスイッチ130がオン状態からオフ状態になったときに中央制御部204から入力した位置データを取得して（ＳＡ３）、被測定物300の始端位置データＰ1＋Ｌ2を記憶し（ＳＡ４）、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＡ５）、現在位置ＰnがＰ1＋Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＡ６）。
【００４０】
この判定の結果、現在位置ＰnがＰ1＋Ｌ2になったとき、すなわち図６に示す位置に移動したときに、変位計コントローラ201は各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を開始させ（ＳＡ７）、距離Ｌa，Ｌbの計測を開始させて、取得した距離データＬa，Ｌbを上記計測ピッチ毎に順次厚み計算部202に出力する（ＳＡ８）。これにより、図７に示すように、被測定物300の表裏面間での距離Ｌa，Ｌbが計測される。これと並行して、変位計コントローラ201は、レーザスイッチ130がオフ状態からオン状態に変わったか否かを監視し（ＳＡ９）、レーザスイッチ130がオフ状態からオン状態になったときに中央制御部204から入力した位置データを取得して（ＳＡ１０）、被測定物300の終端位置データＰ2＋Ｌ2を記憶し（ＳＡ１１）、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＡ１２）、現在位置ＰnがＰ2＋Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＡ１３）。
【００４１】
この判定の結果、現在位置ＰnがＰ2＋Ｌ2になったとき、すなわち図８に示す位置に移動したときに、変位計コントローラ201は距離データの取得及び厚み計算部202へのデータ出力を停止すると共に（ＳＡ１４）、各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を停止させて処理を終了する（ＳＡ１５）。
【００４２】
次に、本実施形態における厚み計算部202の動作の詳細を図１０に示すフローチャートを参照して説明する。
【００４３】
厚み計算部202は、変位計コントローラ201から、被測定物300の幅方向始端位置データＰ1＋Ｌ2、終端位置データＰ2＋Ｌ2、計測位置データ、及び計測した距離データＬa，Ｌbを入力し（ＳＢ１）、次式(1)によって被測定物300の厚みＬtの値を算出すると共に（ＳＢ２）、次式(2)によって被測定物300の幅Ｌwの値を算出し（ＳＢ３）、計測位置データに対応付けて計測した距離データＬa，Ｌbと算出した厚みデータＬt、及び算出した幅Ｌwの値をファイル生成・記憶部203に出力する（ＳＢ４）。
【００４４】
Ｌt＝Ｌ1−（Ｌa＋Ｌb）  …(1)
Ｌw＝（Ｐ2＋Ｌ2）−（Ｐ1＋Ｌ2）  …(2)
次に、本実施形態における測定時の中央制御部204の動作の詳細を図１１に示すフローチャートを参照して説明する。
【００４５】
中央制御部204は、操作部205から測定開始指示が入力されると、初期設定を行う（ＳＣ１）。この初期設定では、中央制御部204は、モータコントローラ208を介してモータ114を駆動してレーザ変位計121,122をボールネジ103の右端部に移動すると共にレーザ変位計121,122の位置データを初期値「０」に設定する。
【００４６】
次いで、中央制御部204は操作部205から入力してされたレーザ変位計121,122の移動速度と計測ピッチを取得し（ＳＣ２）、変位計コントローラ201に対して計測ピッチの設定指示を出力すると共に（ＳＣ３）、モータコントローラ208を介してモータ114を駆動し、設定された移動速度でレーザ変位計121,122を移動する（ＳＣ４）。
【００４７】
次に、中央処理部204は、パルスジェネレータ113から入力しているパルス信号に基づいてレーザ変位計121,122の位置を取得すると共にこの位置データを変位計コントローラ201に出力する（ＳＣ５）。これと並行して、中央処理部204は、レーザ変位計121,122の位置が最終位置すなわちボールネジ103の左端部に達したか否かを監視し（ＳＣ６）、レーザ変位計121,122の位置が最終位置に達したときにモータ114の駆動を一旦停止し（ＳＣ７）、上記と同様の初期設定を行う（ＳＣ８）。
【００４８】
次に、本実施形態における測定結果表示時の中央制御部204の動作の詳細を図１２に示すフローチャートを参照して説明する。
【００４９】
中央制御部204は、操作部205から測定結果表示指示が入力されると、ファイル生成・記憶部203に記憶されているデータファイルを読み込み（ＳＤ１）、端部データは存在するか否か、すなわち被測定物300の端部において欠落した計測データが存在するか否かを判定する（ＳＤ２）。
【００５０】
この判定の結果、端部データが欠落しているときは、中央処理部204は端部データの補間処理を行い（ＳＤ３）、補間したデータを含めて測定データファイルを書き換えてファイル生成・記憶部203に記憶させる（ＳＤ４）。
【００５１】
次いで、操作部205を介して指示された表示形式は表形式であるか画像形式であるかを判定し（ＳＤ５）、表形式が指定されているときはデータファイルの内容を図１３に示すような表にして表示部207に表示し（ＳＤ６）、画像形式が指定されているときはデータファイルの内容に基づいて図１４に示すような被測定物300の断面輪郭画像を表示部207に表示する（ＳＤ７）。この後、操作部205を介して表示終了指示が入力されたか否かを判定し（ＳＤ８）、表示終了指示が入力されないときは上記ＳＤ５の処理に移行し、表示終了指示が入力されたときに表示処理を終了する。尚、表形式による測定結果の表示では、図１３に示すように、被測定物300の幅Ｌwの値と、計測位置データに対応して、距離Ｌaの値、距離Ｌbの値、厚みＬtの値を表示する。また、画像形式による測定結果の表示では、図１４に示すように、被測定物300の幅方向の位置をＸ軸とし、垂直方向をＹ軸として方眼を表示し、それに重ねて被測定物300の断面輪郭画像を表示すると共に、幅Ｌwの値及びＸ軸並びにＹ軸の方眼１目盛り当たりの実寸を数値で表示する。
【００５２】
前述したように、第１実施形態の厚み測定方法及び装置によれば、一対のレーザ変位計121,122の間に被測定物300が存在しない位置からレーザ変位計121,122の移動が開始され、移動方向の側に配置されたレーザスイッチ130によって被測定物300の始端縁の位置Ｐ1が検知された後に一対のレーザ変位計121,122からレーザ光が射出されて測定が行われ、距離データＬa，Ｌbが取得されるので、一対のレーザ変位計121,122の間に被測定物300が存在しない位置では、レーザ変位計121,122からレーザ光が射出されないため、レーザ光の相互干渉が生ずることがない。また、一対のレーザ変位計121,122は互いに光軸が一致するように配置されているので、高精度での測定が可能になる。
【００５３】
尚、本実施形態では、一方のレーザ変位計121に隣設したレーザスイッチ130内に受光器133を設け、他方のレーザ変位計122に隣設した反射鏡141に反射させたレーザ光を受光器133にて受光するようにしたが、反射鏡141の位置に受光器133を配置してレーザ光を受光するレーザスイッチを構成しても良い。この場合、ハーフミラー132は不要となる。
【００５４】
次に、本発明の第２実施形態を説明する。
【００５５】
図１５乃至図１７は本発明の第２実施形態における厚み測定装置の処理動作を説明するフローチャートで、図１５は本発明の第２実施形態における変位計コントローラの処理動作を説明するフローチャート、図１６は本発明の第２実施形態における厚み計算部の処理動作を説明するフローチャート、図１７は本発明の第２実施形態における測定時の中央処理部の処理動作を説明するフローチャートである。尚、第２実施形態と前述した第１実施形態とは、レーザ変位計と厚み計算部及び中央処理部における処理動作が異なるだけで、その他の装置構成は前述した第１実施形態と同様である。
【００５６】
第２実施形態と前述した第１実施形態との相違点は、第２実施形態では、レーザ変位計121,122を被測定物300の幅方向に往復移動させて往路及び復路のそれぞれにおける距離データＬa，Ｌbを取得すると共に、各計測位置における往路の距離データと復路の距離データとの平均値を算出し、該平均値を各計測位置における計測結果の距離データとするようにしたことである。
【００５７】
第２実施形態において、変位計コントローラ201は図１５に示すような処理動作を行う。即ち、変位計コントローラ201は、動作を開始すると、初期設定を行う（ＳＥ１）。この初期設定では、変位計コントローラ201は各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出停止を指示し、中央制御部204から入力した計測ピッチを記憶する。
【００５８】
次いで、変位計コントローラ201は、レーザスイッチ130がオン状態からオフ状態に変わったか否かを監視し（ＳＥ２）、レーザスイッチ130がオン状態からオフ状態になったときに中央制御部204から入力した位置データを取得して（ＳＥ３）、被測定物300の始端位置データＰ1＋Ｌ2を記憶し（ＳＥ４）、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＥ５）、現在位置ＰnがＰ1＋Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＥ６）。
【００５９】
この判定の結果、現在位置ＰnがＰ1＋Ｌ2になったときに、変位計コントローラ201は、各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を開始させ（ＳＥ７）、距離Ｌa，Ｌbの計測を開始させて、取得した距離データＬa，Ｌbを上記計測ピッチ毎に順次厚み計算部202に出力する（ＳＥ８）。これと並行して、変位計コントローラ201は、レーザスイッチ130がオフ状態からオン状態に変わったか否かを監視し（ＳＥ９）、レーザスイッチ130がオフ状態からオン状態になったときに中央制御部204から入力した位置データを取得して（ＳＥ１０）、被測定物300の終端位置データＰ2＋Ｌ2を記憶し（ＳＥ１１）、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＥ１２）、現在位置ＰnがＰ2＋Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＥ１３）。
【００６０】
この判定の結果、現在位置ＰnがＰ2＋Ｌ2になったときに、変位計コントローラ201は距離データの取得及び厚み計算部202へのデータ出力を停止すると共に（ＳＥ１４）、各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を停止させる（ＳＥ１５）。
【００６１】
次いで、変位計コントローラ201は、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＥ１６）、現在位置ＰnがＰ2＋Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＥ１７）。この判定の結果、現在位置ＰnがＰ2＋Ｌ2になったときに、変位計コントローラ201は各レーザ変位計121,122にレーザ光の射出を開始させ（ＳＥ１８）、距離Ｌa，Ｌbの計測を開始させて、取得した距離データＬa，Ｌbを上記計測ピッチ毎に順次厚み計算部202に出力する（ＳＥ１９）。
【００６２】
さらに、変位計コントローラ201は、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＥ２０）、現在位置ＰnがＰ1＋Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＥ２１）。この判定の結果、現在位置ＰnがＰ1＋Ｌ2になったときに、変位計コントローラ201は距離データの取得及び厚み計算部202へのデータ出力を停止すると共に（ＳＥ２２）、各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を停止させて処理を終了する（ＳＥ２３）。
【００６３】
第２実施形態において、厚み計算部202は図１６に示すような処理動作を行う。即ち、厚み計算部202は、変位計コントローラ201から、被測定物300の幅方向始端位置データＰ1＋Ｌ2、終端位置データＰ2＋Ｌ2を入力した後（ＳＦ１）、レーザ変位計121,122の移動における往路の各計測位置データ及び各計測位置における距離データＬa，Ｌbを入力して記憶する（ＳＦ２）と共に、レーザ変位計121,122の移動における復路の各計測位置データ及び各計測位置における距離データＬa，Ｌbを入力して記憶する（ＳＦ３）。
【００６４】
次に、厚み計算部202は、各計測位置毎に一方のレーザ変位計121によって計測した往路と復路の距離データＬaの平均値Ｌa-avを算出して記憶する（ＳＦ４）と共に、各計測位置毎に他方のレーザ変位計122によって計測した往路と復路の距離データＬbの平均値Ｌb-avを算出して記憶する（ＳＦ５）。
【００６５】
この後、厚み計算部202は、上記の平均値Ｌa-av，Ｌb-avを用いて各計測位置毎に次式(3)によって被測定物300の厚みＬtの値を算出すると共に（ＳＦ６）、被測定物300の幅Ｌwの値を算出し（ＳＦ７）、計測位置データに対応付けて計測した距離データＬa-av，Ｌb-avと算出した厚みデータＬt、及び算出した幅Ｌwの値をファイル生成・記憶部203に出力する（ＳＦ８）。
【００６６】
Ｌt＝Ｌ1−（Ｌa-av＋Ｌb-av）  …(3)
第２実施形態において、測定時における中央処理部204は図１７に示すような処理動作を行う。即ち、中央制御部204は、操作部205から測定開始指示が入力されると、初期設定を行う（ＳＧ１）。この初期設定では、中央制御部204は、モータコントローラ208を介してモータ114を駆動してレーザ変位計121,122をボールネジ103の右端部に移動すると共にレーザ変位計121,122の位置データを初期値「０」に設定する。
【００６７】
次いで、中央制御部204は操作部205から入力してされたレーザ変位計121,122の移動速度と計測ピッチを取得し（ＳＧ２）、変位計コントローラ201に対して計測ピッチの設定指示を出力すると共に（ＳＧ３）、モータコントローラ208を介してモータ114を正回転駆動し、設定された移動速度でレーザ変位計121,122を往路方向に移動する（ＳＧ４）。
【００６８】
次に、中央処理部204は、パルスジェネレータ113から入力しているパルス信号に基づいてレーザ変位計121,122の位置を取得すると共にこの位置データを変位計コントローラ201に出力する（ＳＧ５）。これと並行して、中央処理部204は、レーザ変位計121,122の位置が最終位置すなわちボールネジ103の左端部に達したか否かを監視し（ＳＧ６）、レーザ変位計121,122の位置が最終位置に達したときにモータ114の正回転駆動を一旦停止した後（ＳＧ７）、モータ114を逆回転駆動し、設定された移動速度でレーザ変位計121,122を復路方向に移動する（ＳＧ８）。
【００６９】
次に、中央処理部204は、パルスジェネレータ113から入力しているパルス信号に基づいてレーザ変位計121,122の位置を取得すると共にこの位置データを変位計コントローラ201に出力する（ＳＧ９）。これと並行して、中央処理部204は、レーザ変位計121,122の位置が初期位置すなわちボールネジ103の右端部に達したか否かを監視し（ＳＧ１０）、レーザ変位計121,122の位置が初期位置に達したときにモータ114の正回転駆動を停止し（ＳＧ１１）、上記と同様の初期設定を行う（ＳＧ１２）。
【００７０】
前述した第２実施形態によれば、第１実施形態の効果に加えて、往路における距離データＬa，Ｌbの計測結果と復路における距離データＬa，Ｌbの計測結果の平均値Ｌa-av，Ｌb-avを算出して被測定物300の厚みＬtを算出しているので、測定誤差を小さくすることができると共に補間領域の誤差を低減することができる。
【００７１】
次に、本発明の第３実施形態を説明する。
【００７２】
図１８乃至図２３は本発明の第３実施形態における厚み測定装置を示すもので、図１８は本発明の第３実施形態における厚み測定装置を示す平面図、図１９は本発明の第３実施形態における厚み測定装置を示す正面図、図２０は本発明の第３実施形態における厚み測定装置の電気系回路を示すブロック図、図２１及び図２２は本発明の第３実施形態におけるレーザ変位計の移動状態を説明する図、図２３は本発明の第３実施形態における変位計コントローラの処理動作を説明するフローチャートである。これらの図において、前述した第１実施形態及び第２実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表しその説明を省略する。
【００７３】
また、第３実施形態と第１実施形態及び第２実施形態との相違点は、第３実施形態の厚み測定装置1Aでは、図１８に示すように上側のレーザ変位計121の右側に第２レーザスイッチ150を設けると共に、下側のレーザ変位計122の右側に台座160を固定し、台座160の上面に反射鏡161を水平に配置したこと、及び、第２レーザスイッチ150からのスイッチ信号を考慮して動作する変位計コントローラ201Aを備えたコンピュータ装置200Aを設けたことである。尚、第２レーザスイッチ150の構成及び反射鏡161を用いた動作は、第１レーザスイッチ130と同様である。また、レーザ変位計121から射出されるレーザ光の光軸と第２レーザスイッチ150のレーザ発光器131から射出されるレーザ光の光軸とが平行になるように設定されており、レーザ変位計121から射出されるレーザ光の光軸と第２レーザスイッチ150のレーザ発光器131から射出されるレーザ光の光軸との間の水平距離はボールネジ103と平行な方向において距離Ｌ2に設定されている。
【００７４】
第２レーザスイッチ150は、装置1Aの駆動時には常にレーザ光512を射出し、受光器133によってレーザ光を受光しているか否かを表すスイッチ信号をコンピュータ装置200Aに出力する。第２レーザスイッチ150は、スイッチ信号として、受光器133がレーザ光を受光しているときにオン信号を出力し、レーザ光を受光していないときにオフ信号を出力する。
【００７５】
変位計コントローラ201Aは、中央制御部204から指示された距離データ出力の時間間隔の情報を各レーザ変位計121,122に出力する。さらに、変位計コントローラ201Aは、中央制御部204からレーザ変位計121,122の位置情報を入力し、往路においては、この位置情報及び第１レーザスイッチ130から入力しているスイッチ信号に基づいて、スイッチ信号がオン状態からオフ状態に変わったときのレーザ変位計121,122の位置Ｐ1（被測定物300の始端位置−Ｌ2）から距離Ｌ2だけレーザ変位計121,122が移動したときにレーザ変位計121,122を駆動状態に設定する。さらに、変位計コントローラ201Aは、第１レーザスイッチ130のスイッチ信号がオフ状態からオン状態に変わったときのレーザ変位計121,122の位置Ｐ2（被測定物300の終端位置−Ｌ2）から距離Ｌ2だけレーザ変位計121,122が移動したときにレーザ変位計121,122を駆動停止状態に設定する。
【００７６】
また、変位計コントローラ201Aは、復路においては、中央制御部204からレーザ変位計121,122の位置情報を入力し、この位置情報及び第２レーザスイッチ150から入力しているスイッチ信号に基づいて、スイッチ信号がオン状態からオフ状態に変わったときのレーザ変位計121,122の位置Ｐ3（被測定物300の終端位置＋Ｌ2）から距離Ｌ2だけレーザ変位計121,122が移動したときにレーザ変位計121,122を駆動状態に設定する。さらに、変位計コントローラ201Aは、第２レーザスイッチ150のスイッチ信号がオフ状態からオン状態に変わったときのレーザ変位計121,122の位置Ｐ4（被測定物300の始端位置＋Ｌ2）から距離Ｌ2だけレーザ変位計121,122が移動したときにレーザ変位計121,122を駆動停止状態に設定する。
【００７７】
さらに、変位計コントローラ201Aは、始端位置Ｐ1＋Ｌ2及び終端位置Ｐ2＋Ｌ2の情報を厚み計算部202に出力すると共に、各レーザ変位計121,122から入力した往路及び復路における距離データ（Ｌa，Ｌb）及びこの距離データを計測したときの各レーザ変位計121,122の位置情報を対応付けて厚み計算部202に出力する。
【００７８】
上記のように本実施形態では、往路においては第１レーザスイッチ130によって被測定物300の端部を検知し、復路においては第２レーザスイッチ150によって被測定物300の端部を検知するようにした。
【００７９】
第３実施形態において、変位計コントローラ201Aは図２３に示すような処理動作を行う。即ち、変位計コントローラ201Aは、動作を開始すると、初期設定を行う（ＳＨ１）。この初期設定では、変位計コントローラ201Aは各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出停止を指示し、中央制御部204から入力した計測ピッチを記憶する。
【００８０】
次いで、変位計コントローラ201Aは、レーザスイッチ130がオン状態からオフ状態に変わったか否かを監視し（ＳＨ２）、第１レーザスイッチ130がオン状態からオフ状態になったときに中央制御部204から入力した位置データを取得して（ＳＨ３）、被測定物300の始端位置データＰ1＋Ｌ2を記憶し（ＳＨ４）、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＨ５）、現在位置ＰnがＰ1＋Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＨ６）。
【００８１】
この判定の結果、現在位置ＰnがＰ1＋Ｌ2になったとき、すなわち図２１に示す位置にレーザ変位計121,122が移動したときに、変位計コントローラ201Aは、各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を開始させ（ＳＨ７）、距離Ｌa，Ｌbの計測を開始させて、取得した距離データＬa，Ｌbを上記計測ピッチ毎に順次厚み計算部202に出力する（ＳＨ８）。これと並行して、変位計コントローラ201Aは、第１レーザスイッチ130がオフ状態からオン状態に変わったか否かを監視し（ＳＨ９）、第１レーザスイッチ130がオフ状態からオン状態になったときに中央制御部204から入力した位置データを取得して（ＳＨ１０）、被測定物300の終端位置データＰ2＋Ｌ2を記憶し（ＳＨ１１）、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＨ１２）、現在位置ＰnがＰ2＋Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＨ１３）。
【００８２】
この判定の結果、現在位置ＰnがＰ2＋Ｌ2になったときに、変位計コントローラ201Aは距離データの取得及び厚み計算部202へのデータ出力を停止すると共に（ＳＨ１４）、各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を停止させる（ＳＨ１５）。
【００８３】
次いで、変位計コントローラ201は、第２レーザスイッチ150がオフ状態であるか否かを監視し（ＳＨ１６）、第２レーザスイッチ150がオン状態になったときに中央制御部204から入力した位置データＰ3を取得して（ＳＨ１７）、被測定物300の始端位置データＰ3−Ｌ2を記憶し（ＳＨ１８）、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＨ１９）、現在位置ＰnがＰ3−Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＨ２０）。
【００８４】
この判定の結果、現在位置ＰnがＰ3−Ｌ2になったとき、すなわち図２２に示す位置にレーザ変位計121,122が移動したときに、変位計コントローラ201Aは、各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を開始させ（ＳＨ２１）、距離Ｌa，Ｌbの計測を開始させて、取得した距離データＬa，Ｌbを上記計測ピッチ毎に順次厚み計算部202に出力する（ＳＨ２２）。これと並行して、変位計コントローラ201Aは、第２レーザスイッチ150がオフ状態からオン状態に変わったか否かを監視し（ＳＨ２３）、第２レーザスイッチ150がオフ状態からオン状態になったときに中央制御部204から入力した位置データＰ4を取得して（ＳＨ２４）、被測定物300の終端位置データＰ4−Ｌ2を記憶し（ＳＨ２５）、中央制御部204から順次位置データを取得して（ＳＨ２６）、現在位置ＰnがＰ4−Ｌ2になったか否かを判定する（ＳＨ２７）。
【００８５】
この判定の結果、現在位置ＰnがＰ4−Ｌ2になったときに、変位計コントローラ201Aは距離データの取得及び厚み計算部202へのデータ出力を停止すると共に（ＳＨ２８）、各レーザ変位計121,122に対してレーザ光の射出を停止させて処理を終了する（ＳＨ２９）。
【００８６】
また、本実施形態における厚み計算部202及び中央処理部204の処理動作は前述した第２実施形態と同様である。
【００８７】
上記のように２つのレーザスイッチ130,150を備え、往路と復路においてレーザスイッチ130,150を使い分けるようにしても、第２実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００８８】
尚、上記実施形態では、被測定物300の始端及び終端の位置を検知するためにレーザスイッチ130,150を用いたが、これに限定されることはない。例えば、光ファイバからレーザ光を射出させる周知の光ファイバスイッチを用いても良い。この場合、光ファイバのレーザ光射出口にレンズを装着して検知スポット径を小さくすると、より高精度で被測定物300の始端及び終端の位置を検知することができる。また、被測定物300が個体の場合はマイクロスイッチを用いて、被測定物300へのマイクロスイッチの接触によってマイクロスイッチのオン状態とオフ状態が切り替わるように設定し、被測定物300の始端及び終端の位置を検知するようにしても良い。
【００８９】
また、上記実施形態では、被測定物300を静止させて、被測定物300の厚み及び断面形状を測定するようにしたが、被測定物300をコンベヤ400によって被測定物300の幅方向と直交する長さ方向に移動しながら被測定物300の厚み及び断面形状を３次元で測定するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の第１実施形態における厚み測定装置を示す平面図
【図２】本発明の第１実施形態における厚み測定装置を示す正面図
【図３】本発明の第１実施形態における厚み測定装置の電気系回路を示すブロック図
【図４】本発明の第１実施形態におけるレーザスイッチを示す構成図
【図５】本発明の第１実施形態におけるレーザスイッチを示す構成図
【図６】本発明の第１実施形態におけるレーザ変位計の移動状態を説明する図
【図７】本発明の第１実施形態におけるレーザ変位計の移動状態を説明する図
【図８】本発明の第１実施形態におけるレーザ変位計の移動状態を説明する図
【図９】本発明の第１実施形態における変位計コントローラの処理動作を説明するフローチャート
【図１０】本発明の第１実施形態における厚み計算部の処理動作を説明するフローチャート
【図１１】本発明の第１実施形態における測定時の中央制御部の処理動作を説明するフローチャート
【図１２】本発明の第１実施形態における中央処理部の測定結果表示処理動作を説明するフローチャート
【図１３】本発明の第１実施形態における測定結果の表示例を示す図
【図１４】本発明の第１実施形態における測定結果の表示例を示す図
【図１５】本発明の第２実施形態における変位計コントローラの処理動作を説明するフローチャート
【図１６】本発明の第２実施形態における厚み計算部の処理動作を説明するフローチャート
【図１７】本発明の第２実施形態における測定時の中央処理部の処理動作を説明するフローチャート
【図１８】本発明の第３実施形態における厚み測定装置を示す平面図
【図１９】本発明の第３実施形態における厚み測定装置を示す正面図
【図２０】本発明の第３実施形態における厚み測定装置の電気系回路を示すブロック図
【図２１】本発明の第３実施形態におけるレーザ変位計の移動状態を説明する図
【図２２】本発明の第３実施形態におけるレーザ変位計の移動状態を説明する図
【図２３】本発明の第３実施形態における変位計コントローラの処理動作を説明するフローチャート
【符号の説明】
【００９１】
1,1A…厚み測定装置、100…測定機構部、101,102…支持板、103…ボールネジ、104…ガイド軸、105,106,107,112…プーリ、108,109…ベルト、110…駆動部、111…回転軸、113…パルスジェネレータ、114…モータ、121,122…レーザ変位計、130…レーザスイッチ、131…レーザ発光器、132…ハーフミラー、133…受光器、140…台座、141…反射鏡、150…レーザスイッチ、160…台座、161…反射鏡、200…コンピュータ装置、201…変位計コントローラ、202…厚み計算部、203…ファイル生成・記憶部、204…中央制御部、205…操作部、206…表示制御部、207…表示部、300…被測定物、400…コンベヤ、501,502,511,512…レーザ光。
【図１】
2006308378.tif 000003
【図２】
2006308378.tif 000004
【図３】
2006308378.tif 000005
【図４】
2006308378.tif 000006
【図５】
2006308378.tif 000007
【図６】
2006308378.tif 000008
【図７】
2006308378.tif 000009
【図８】
2006308378.tif 000010
【図９】
2006308378.tif 000011
【図１０】
2006308378.tif 000012
【図１１】
2006308378.tif 000013
【図１２】
2006308378.tif 000014
【図１３】
2006308378.tif 000015
【図１４】
2006308378.tif 000016
【図１５】
2006308378.tif 000017
【図１６】
2006308378.tif 000018
【図１７】
2006308378.tif 000019
【図１８】
2006308378.tif 000020
【図１９】
2006308378.tif 000021
【図２０】
2006308378.tif 000022
【図２１】
2006308378.tif 000023
【図２２】
2006308378.tif 000024
【図２３】
2006308378.tif 000025