(57)【要約】【課題】  フラットフェースタイプカラー陰極線管で、パネル部中央と周辺部との肉厚差に起因するミスランディングの発生を抑制し、色純度の改善を図る。【解決手段】  蛍光面形成露光で使用する補正レンズを、三色共通の共通補正レンズ１５と単色用補正レンズ１６との組み合わせとした。【選択図】        図１
2006210143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部を有するブラックマトリクス膜及びこのブラックマトリクス膜の前記開口部に配置された３種類の蛍光体絵素を有する蛍光面を内面に備えたパネル部と、このパネル部内面の前記蛍光面に対向配置された多数の電子ビ−ム通過孔を有するシャドウマスクとを備えたカラ−陰極線管の製造方法であって、
前記ブラックマトリクス膜の形成工程は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程と、を含み、
前記第１蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズと、前記共通補正レンズより外径の小さい第１単色用補正レンズとを配置して露光し、
前記第２蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、前記共通補正レンズと、前記共通補正レンズより外径の小さい第２単色用補正レンズとを配置して露光し、
前記第３蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、前記共通補正レンズと、前記共通補正レンズより外径の小さい第３単色用補正レンズとを配置して露光することを特徴とするカラー陰極線管の製造方法。
【請求項２】
複数の開口部を有するブラックマトリクス膜及びこのブラックマトリクス膜の前記開口部に配置された３種類の蛍光体絵素を有する蛍光面を内面に備えたパネル部と、このパネル部内面の前記蛍光面に対向配置された多数の電子ビ−ム通過孔を有するシャドウマスクとを備えたカラ−陰極線管の製造方法であって、
前記ブラックマトリクス膜の形成工程は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程と、を含み、
前記第１蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズと、第１単色用補正レンズとを配置して露光し、
前記第２蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、前記共通補正レンズと、第２単色用補正レンズとを配置して露光し、
前記第３蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、前記共通補正レンズと、第３単色用補正レンズとを配置して露光し、
前記共通補正レンズのレンズ形成部の外形は矩形状で、当該共通補正レンズは前記共通補正レンズの縦軸を中心に左右対称であり、且つ前記共通補正レンズの横軸を中心に上下対称であることを特徴とするカラー陰極線管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー陰極線管の製造に係り、特にパネル部外面を略平坦としたフラットフェース型カラー陰極線管に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー陰極線管、例えばカラーテレビ、ＯＡ機器端末用カラーディスプレイモニター等に用いられるカラー陰極線管は、内面にブラックマトリクス（ＢＭ）膜及びドット状或いはストライプ状の多数の蛍光体絵素を含む蛍光面を持つ略矩形状のパネル部と、電子銃を収容する略筒状のネック部と、このネック部と前記パネル部とを管軸と略同軸に接続しかつネック部とパネル部の遷移領域の外周に偏向ヨークを有する略漏斗状のファンネル部とで真空外囲器を形成し、この真空外囲器内で前記蛍光面に近接対向して多数の電子ビ−ム通過孔を有する色選択電極のシャドウマスクを配置した構成が採られている。
【０００３】
このシャドウマスクは、その構成材料として、主にアルミキルド鋼が用いられているが、近時カラー陰極線管の高精細度化に伴い、板厚の薄いシャドウマスクが使われている。この薄肉のシャドウマスクを採用したカラー陰極線管では、その動作中にシャドウマスクの一部が熱変形して電子ビームスポットが蛍光面上で所定の位置からずれるというマスクドーミングと称する現象が発生し易い。
【０００４】
この対策として、シャドウマスク懸架機構の改良と共に、前記構成材料として熱膨張率、物理的硬度を考慮してアンバー材も用いられている。
【０００５】
この様なシャドウマスクは、エッチングによって所定の位置に前記多数の電子ビーム通過孔を設けた原板を、所定形状に打ち抜き、その後プレス整形して略球面状をなす主面と、この主面の周囲に連なり、かつ主面に対して略９０度に屈曲されたスカート部とを有する形状に整形されて使用される。
【０００６】
又、最近フラット画面タイプのカラーテレビやカラーディスプレイモニターの普及に伴い、これらに使用されるカラー陰極線管においても、フェースプレート（パネルガラス）の外面が平坦化（フラット化）される傾向にある。
【０００７】
図８はフラットパネルタイプのシャドウマスク形カラー陰極線管の構造例を説明する概略断面図である。図８において、内面に蛍光体絵素と非発光性光吸収物質層からなるブラックマトリクス膜を有する蛍光面５０を備えたパネル部５１と、電子銃６１を収容したネック部５２、及びパネル部５１とネック部５２とを連接するファンネル部５３とで真空外囲器を構成している。
【０００８】
パネル部５１は、その外面が略平坦であり、内面は凹面状に湾曲しており、この内面に配置された蛍光面５０は、一般に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の蛍光体をそれぞれドット状あるいはストライプ状に塗布してなる蛍光体絵素と、この蛍光体絵素を取り囲んでカ−ボンの様な非発光性光吸収物質層からなるブラックマトリクス膜と、更にメタルバック層となる金属反射膜を有している。又、蛍光面５０に近接してシャドウマスク５４が配置されている。このシャドウマスク５４は熱膨張率、物理的硬度を考慮してアンバ−材から構成されている。
【０００９】
シャドウマスク５４はプレス成形した自立形状保持型であり、その周辺をマスクフレーム５７に溶接し、パネル部５１のスカート部内壁に植立したスタッドピン６０に懸架スプリング５９を介して懸架支持される。なお、マスクフレーム５７の電子銃６１側には磁気シールド５８が固定されている。真空外囲器のネック部５２とファンネル部５３の遷移領域には偏向ヨーク５５が外装され、電子銃６１から出射する３本の変調された電子ビームＢを水平（Ｘ方向）と垂直（Ｙ方向）に偏向することで、電子ビームＢを蛍光面５０上で２次元走査し、画像を再現する。
【００１０】
又、ファンネル部５３の内表面に形成された内部導電膜６２は、アノードボタンから導入された高電圧を電子銃６１の主レンズを形成する電極及び蛍光面５０の金属反射膜に印加する。６３は補強バンド、６４は口金、６５はカラ−陰極線管全体を示す。
【００１１】
このような構成のカラー陰極線管では、前述のようにパネル部５１はその外面が略平坦で、内面は凹面状に湾曲している。これに対しシャドウマスク５４は、シャドウマスク原板がプレス成形によって所定の局面に整形されたもので、パネル部５１の内面に合わせて湾曲している。
【００１２】
このように、パネル部５１の外面が略平坦であるにもかかわらず、パネル部５１の内面及びシャドウマスク５４を湾曲させているのは、プレス成形技術によるシャドウマスク５４の製作方法が簡単かつ低コストであるためである。
【００１３】
このシャドウマスク５４の曲面形状は、曲率半径が長軸沿い、短軸沿い及び対角線沿いの各々でシャドウマスク５４の主面の中央から周辺に向かって徐々に減少した非球面である。  この非球面形状のシャドウマスクの曲率は、等価曲率半径Ｒｅとして例えば次のように定義される。
【００１４】
Ｒｅ＝（ｚ2  ＋ｅ2  ）／２ｚ
但し、ｅ：シャドウマスク主面の中央から任意の周辺位置までの管軸に垂直な方向の距離（ｍｍ）
ｚ：上記任意の周辺位置におけるシャドウマスク主面の中央から管軸方向の落ち込み量（ｍｍ）
この仕様は、カラー陰極線管としての画面のフラット感と整形されたシャドウマスクの機械的強度維持の両立を図ることを可能にしている。
【００１５】
図９は図８に示すカラー陰極線管の要部の一部を拡大して示す断面模式図である。図９において、パネル部５１の内面に設けられた蛍光面５０は、３色の蛍光体をドット状あるいはストライプ状に塗布してなる三色蛍光体絵素５０１と、この蛍光体絵素５０１を取り囲むブラックマトリクス膜５０２及び金属反射膜５０３を持ち、この蛍光面５０に近接対向してシャドウマスク５４が配置されている。
【００１６】
三色蛍光体絵素５０１は、赤（Ｒ）色蛍光体絵素５０１Ｒ、緑（Ｇ）色蛍光体絵素５０１Ｇ及び青（Ｂ）色蛍光体絵素５０１Ｂから構成されている。三色蛍光体絵素５０１は、ブラックマトリクス膜５０２が形成されているパネル部内面に各色の蛍光体スラリ−を塗布した後、仮想線で示す３個の光源６６Ｇ、６６Ｂ、６６Ｒの位置からそれぞれ個別にシャドウマスク５４の対応する特定の電子ビ−ム通過孔５４１を介して矢印で示す露光を行う工程を経てブラックマトリクス膜５４２の開口部（窓部）にそれぞれ形成される。
【００１７】
ブラックマトリクス膜５０２は、パネル内面にフォトレジストのスラリーを塗布した後、フォトレジストを露光し、フォトレジストの感光個所以外を取り除く。その後、グラファイトを塗布し、フォトレジストの感光個所を取り除くことで、ブラックマトリクス膜に蛍光体層を形成するための開口部が形成される。ブラックマトリクス膜を形成する際の露光工程では、緑色蛍光体用開口部、青色蛍光体用開口部、赤色蛍光体用開口部を形成するため、光源の位置を変えて３回露光する。
【００１８】
従来の露光装置の一例を図１０に示す。この図１０に示す露光装置は、特許文献１、すなわち特開平１１−１６７８６４号公報の図２に開示されたもので、参照符号もそのまま引用している。図１０において、１はパネル、３はシャゾウマスク、５は装置本体、６は光源、７は摺動機構、８は第１補正レンズ、９は２枚の補助補正レンズの設置位置、９ａは第１の補助補正レンズ、９ｂは第２の補助補正レンズ、１０は補助補正レンズ格納庫、１０ａは収納棚、１０ｂは昇降機構、１０ｃは引き出し口、１１は補助補正レンズ回転駆動機構、１２は第２補正レンズで、特許文献１の説明に因れば、この第２補正レンズ１２はＸ方向に平行な補正成分を有する曲面型ガラスによって構成されて製造工程上発生する３色の各蛍光体ストライプの位置ずれの成分のみを補正し、前記第１補正レンズ８の補正効果と合わせて低コストで製造工程上で発生する位置ずれ成分を補正可能とする製造装置を提供できる旨が開示されている。
【００１９】
又、図１１は従来の露光装置の他の例を示す。この図１１に示す露光装置は特許文献２、すなわち特開２０００−２６８７１９号公報の図１に開示されたもので参照符号もそのまま引用している。図１１において、１は光源、２は補正レンズを含むレンズ系、３はメインベース、４は支持部材、１０５はパネル、１０６はパネル取り付けベース、１０７はパネル乗せ台、１０８は色選別電極で、前記レンズ系２はＲ露光用、Ｇ露光用，Ｂ露光用の３組のレンズ系が用意され、これらは三色共通の平板ｎと、各色専用の補正レンズとの構成となっており、この特許文献２の説明に因れば使用枚数の少ない三色用のそれぞれ独立した補正レンズを用意することで光源からパネル面までの光路を電子ビームの軌跡に近似させることができて従来に比べ色ずれの少ないカラー陰極線管の製作が可能となる旨が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−１６７８６４号公報
【特許文献２】特開２０００−２６８７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
パネル部の外面が略平坦な図８に示すようなフラットパネル型カラー陰極線管では、パネル部肉厚が中央部と周辺部で異なっており、これに起因して発生する画面歪を軽減するため、従来とは異なる特性の新型偏向ヨークを用いることが提案されている。
【００２１】
又、前述のパネル肉厚がパネル全面で略等しい形状の従来の陰極線管の蛍光面形成では、ストライプのうねりを軽減する回転体レンズとランディング補正レンズの組み合わせ方式が用いられている。
【００２２】
ところが、前記新型偏向ヨークを装着したフラットパネル型カラー陰極線管の蛍光面形成を前述と同様な方式で行うには、露光時に使用する補正レンズの曲面形状が急峻となり、これに伴ってレンズ製作精度の確保や製作されたレンズの個体間の特性変動が大きく、しかもレンズ製作の高コスト化も加わり補正レンズ自体の確保が困難となり、ミスランディングを軽減し色純度の優れたカラー陰極線管の製造に支障を来たす問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
前記問題を解決するために、本発明においては蛍光面形成露光時の補正レンズを、Ｒ、Ｇ，Ｂ三色共通の共通補正レンズと、各色毎の単色用補正レンズの組み合わせとした。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、高精度の補正レンズの使用が可能で、ミスランディングの発生を防止し、また、共通補正レンズを単色用補正レンズよりパネル内面側に配置したことで大きな補正量が確保でき、ミスランディングの発生を防止して、色純度の優れた高品位のカラ−陰極線管を得ることができる。
【００２５】
また、本発明によれば、補正フィルタとの組み合わせにより緻密で、かつ大きな補正量が確保でき、ミスランディングの発生が防止でき、配置部位と外形寸法及び補正量を適切に組み合わせ、適切に配置して設定でき、ミスランディングの発生を防止して、色純度の優れた高品位のカラ−陰極線管を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態につき、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００２７】
カラー陰極線管は、複数の開口部を有するブラックマトリクス膜及びこのブラックマトリクス膜の開口部に配置された３種類の蛍光体絵素を有する蛍光面を内面に備えたパネル部と、このパネル部内面の蛍光面に対向配置された多数の電子ビーム通過孔を有するシャドウマスクとを備える。
【００２８】
図１及び図２は、本発明のカラ−陰極線管の製造方法を説明するための図で、図１は露光装置の一例を示す模式平面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図である。図１及び図２において、１１は露光光源、１２はグレーディングフィルタ、１３は単色用局部補正フィルタ、１４は多色用局部補正フィルタ、１５は共通補正レンズ、１６は複数の単色用補正レンズ、１７はシャドウマスク、１８はパネル部、１９はパネル位置決め、２０は突起、２１は格納室、２２は装置本体である。
【００２９】
このような露光装置を用い、外表面が略フッラトで周辺部の肉厚が中央部の肉厚に比べて厚いフッラトフェースタイプのパネル部１８をその内側にシャドウマスク１７を装着した状態で装置本体２２上のパネル位置決め１９の突起２０に当接して載置し、露光光源１１からの光線で露光して所定のパターンを持った蛍光面を形成する。
【００３０】
特に、ブラックマトリクス膜の形成工程は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程とから構成される。第１蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズ１５と、第１単色用補正レンズ１６Ｃとを配置して露光する。第２蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、前記共通補正レンズ１５と、第２単色用補正レンズ１６Ｓ１とを配置して露光する。第３蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズ１５と、第３単色用補正レンズ１６Ｓ２とを配置して露光する。
【００３１】
共通補正レンズ１５は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程とで共通に使用される。  共通補正レンズの有効領域であるレンズ形成部の外形は矩形状で、この共通補正レンズは共通補正レンズの縦軸（Ｙ軸）を中心に左右対称であり、且つ共通補正レンズの横軸（Ｘ軸）を中心に上下対称に形成されている。また第１蛍光体絵素用孔の露光工程では緑色蛍光体絵素用の孔を露光し、第２蛍光体絵素用孔の露光工程では青色蛍光体絵素用の孔を露光し、第３蛍光体絵素用孔の露光工程では赤色蛍光体絵素用の孔を露光する。
【００３２】
本実施例では、この露光に際し、補正レンズとして３回の露光で共通に使用される共通補正レンズ１５と、３回の露光毎に使用する単色用補正レンズ１６（１６Ｃ、１６Ｓ１、１６Ｓ２）と、補正フィルタとして中央と周辺で光透過率が変化している３回の露光で共通に使用されるグレーディングフィルタ１２と、一定透過率補正の各露光毎に使用される単色用局部補正フィルタ１３と、更には一定透過率補正の３回の露光で共通に使用される共通局部補正フィルタ１４との複数の補正フィルタとを組み合わせて介在させて露光し、所望のパターンを形成する。
【００３３】
各色用の単色用補正レンズ１６は中央ビーム用補正レンズ１６Ｃと、両サイドビーム用補正レンズ１６Ｓ１、１６Ｓ２の構成からなり、それぞれ露光光源１１の位置と組み合わせて使用する。すなわち、中央ビーム用露光では、Ｙ軸方向の格納室２１Ｃに退避していた中央ビーム用補正レンズ１６Ｃが退避位置から管軸上付近の所定の位置まで移動する。
【００３４】
移動後、予め管軸上付近の所定の位置に配置されていた共通補正レンズ１５とグレーディングフィルタ１２と共通局部補正フィルタ１４及び単色用局部補正フィルタ１３Ｃと組み合わせて露光し、露光終了後は格納室２１Ｃに退避し格納されて待機する。
【００３５】
一方、両サイドビーム用補正レンズ１６Ｓ１、１６Ｓ２もそれぞれのサイドビーム用露光時にそれぞれ各格納室２１Ｓ１、２１Ｓ２から管軸上付近の所定の位置まで移動し、予め管軸上付近の所定の位置に配置されていた共通補正レンズ１５とグレーディングフィルタ１２と共通局部補正フィルタ１４及び単色用局部補正フィルタ１３Ｓ１、１３Ｓ２と組み合わせて露光し、露光終了後は格納室２１Ｓ１、２１Ｓ２に退避しそれぞれ格納されて待機する。それぞれの露光に際して光源位置を変えることは従来と同様である。
【００３６】
図３乃至図６は、本発明のカラー陰極線管の製造方法で用いる補正レンズ及び補正フィルタの例を示し、図３は補正レンズ―補正フィルタの組み合わせ構成の一例を示す模式断面図、図４（ａ）〜（ｃ）は単色用局部補正フィルタを示し、図４（ａ）、（ｃ）はサイドビーム用局部補正フィルタの模式平面図、図４（ｂ）はセンタビーム用局部補正フィルタの模式平面図、図５は共通局部補正フィルタの模式平面図、図６はグレーディングフィルタの模式平面図で、これら各図において前述した図と同一部分には同一記号を付してある。
【００３７】
図３において、グレーディングフィルタ１２と共通局部補正フィルタ１４及び共通補正レンズ１５が同軸に配置され、中央ビーム用及びサイドビーム用のそれぞれの露光によって単色用局部補正フィルタ１３の何れかとそれと対の単色用補正レンズ１６の何れかが選択される。
【００３８】
図４（ａ）〜（ｃ）は局部補正フィルタ１３の補正パターンの例を示し、図４（ａ）に示すサイドビーム用局部補正フィルタ１３Ｓ１は半月状のパターン１３Ｓ１ｐを有し、図４（ｃ）に示す他のサイドビーム用局部補正フィルタ１３Ｓ２は矩形状のパターン１３Ｓ２ｐを有している。更に図４（ｂ）に示すセンタビーム用局部補正フィルタ１３Ｃは弓状のパターン１３Ｃｐを有している。
【００３９】
図５は、共通局部補正フィルタ１４の補正パターンの例を示し、Ｘ方向両端に三角形状の透過率の高いパターン１４ｐを備えた構成である。
【００４０】
図６は、グレーディングフィルタ１２の補正パターンの例を示し、それぞれ中央部が最低で周辺部にいくに従い光透過率が高くなる特性の略同心円状のパターン１２Ａｐ、１２Ｂｐを備えたグレーディングフィルタ１２Ａ、１２Ｂの２枚から構成されている。
【００４１】
この実施例１の構成によれば、補正レンズを三色共通の多色用補正レンズ１５と各色用の単色用補正レンズ１６との組み合わせ構成としたことで３回の露光で共通する補正と各露光毎の個別補正を同時に実現でき、ミスランディングの発生を防止して色純度の優れた高品位のカラー陰極線管を製造することができる。
【実施例２】
【００４２】
図７は、本発明のカラー陰極線管の製造方法を説明するための露光装置の他の例を示す模式断面図で、前述した図と同一部分には同一記号を付してある。図７において、外表面が略フッラトで周辺部の肉厚が中央部の肉厚に比べて厚いフッラトフェースタイプのパネルの露光に際し、露光時の光源１１と単色用補正レンズ１６との間隔をＨ６に設定し、一方、共通補正レンズ１５は前記単色用補正レンズ１６よりパネル部１８側で、かつ前記間隔Ｈ６より大きな間隔のＨ５に設定してある。
【００４３】
又、各補正フィルタ１５、１６は有効面が略矩形状を呈し、共通補正レンズ１５はＹ軸方向の長さをＬ５Ｙ、Ｘ軸方向の長さをＬ５Ｘとした表面が曲面状のレンズである。更に、前記共通補正レンズ１５に比して小判レンズである単色用補正レンズ１６はＹ軸方向の長さをＬ６Ｙ、Ｘ軸方向の長さをＬ６Ｘとした表面が曲面状のレンズである。
【００４４】
各補正レンズの表面の曲面形状は蛍光面サイズ、蛍光体絵素ピッチ等によりそれぞれ曲面式が設定されるが、外形寸法、配置順序、配置寸法等の具体例を示すと、６８ｃｍカラー陰極線管の例では、先ず補正レンズ配置は光源１１側から単色用補正レンズ１６、共通補正レンズ１５の順序で配置し、かつ各寸法を、Ｈ５：１００ｍｍ、Ｈ６：７５ｍｍ、Ｌ５Ｙ：１１０ｍｍ、Ｌ５Ｘ：７５ｍｍ、Ｌ６Ｙ：８０ｍｍ、Ｌ６Ｘ：５５ｍｍとした。この配列、寸法で、グレーディングフィルタ１２と光源１１間の寸法Ｈ２は従来の方法と略同一に設定した。なお、参照記号２３は光源装置に付属するガラス板である。
【００４５】
ブラックマトリクス膜の形成工程は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程とにより構成される。第１蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズ１５と、この共通補正レンズ１５より外径の小さい第１単色用補正レンズ１６Ｃとを配置して露光する。第２蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズ１５と、この共通補正レンズ１５より外径の小さい第２単色用補正レンズ１６Ｓ１とを配置して露光する。第３蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズ１５と、この共通補正レンズ１５より外径の小さい第３単色用補正レンズ１６Ｓ２とを配置して露光する。
【００４６】
共通補正レンズ１５は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程とで共通に使用される。共通補正レンズは３回の露光で共通の補正を行う。また各単色用補正レンズは各色用の個々の補正を行う。共通の補正成分と各色別の補正成分を分離したため、高精度の補正レンズを形成でき、ビームランディングの適正化が容易になる。
【００４７】
実施例２の構成によれば、補正レンズの大きさと配列とを組み合わせることでミスランディングの発生を防止して色純度の優れた高品位のカラー陰極線管を製造することができる。
【００４８】
本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の思想を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明のカラ−陰極線管の製造方法を説明するための露光装置の一例の模式平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の補正レンズ―補正フィルタの組み合わせ構成例を示す模式断面図である。
【図４】本発明の単色用局部補正フィルタの例を示し、図４（ａ）、（ｃ）はサイドビーム用、図４（ｂ）はセンタビーム用局部補正フィルタの模式平面図である。
【図５】本発明の共通局部補正フィルタの一例を示す模式平面図である。
【図６】本発明のグレーディングフィルタの一例を示す模式平面図である。
【図７】本発明のカラ−陰極線管の製造方法を説明するための露光装置の他の例を示す模式断面図である。
【図８】フラットフェースタイプのシャドウマスク形カラ−陰極線管の構造を説明する概略構成図である。
【図９】図８の要部拡大断面図である。
【図１０】従来の露光装置の一例を示す概略断面図である。
【図１１】従来の露光装置の他の例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１１  露光光源
１２  グレーディングフィルタ
１３  単色用局部補正フィルタ
１４  共通局部補正フィルタ
１５  共通補正レンズ
１６  単色用補正レンズ
１７  シャドウマスク
１８、５１  パネル部
２１  格納室、
２２  装置本体
５０  蛍光面
５０１  蛍光体絵素
５０２  ブラックマトリクス膜
５０３  メタルバック
５２  ネック部
５３  ファンネル部
５４  シャドウマスク
５５  偏向ヨーク
６１  電子銃。
【図１】
2006210143.tif 000003
【図２】
2006210143.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006210143.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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