(57)【要約】【課題】  真空吸着時、真空破壊時のどちらの場合においても、一度吸い込んだゴミを戻さないように工夫したフィルタ手段を有する。【解決手段】  入力口側と出力口側とを連通する２つの通路を設けたインラインフィルタ装置本体と、一方の通路に設けられ、入力口側からの連通のみを可能にする第一のチェック弁機能部と、他方の通路に設けられ、出力口側からの連通のみを可能にする第二のチェック弁機能部と、第二のチェック弁機能部と出力口側との間に設けられたフィルタエレメントとを備えている。２つの通路が、インラインフィルタ装置本体内で並列状態または同心状に形成されている。インラインフィルタ装置本体に、フィルタエレメントの目視用手段を設けている。【選択図】    図１
2006239655.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力口側と出力口側とを連通する２つの通路を設けたインラインフィルタ装置本体と、
前記一方の通路に設けられ、前記入力口側からの連通のみを可能にする第一のチェック弁機能部と、
前記他方の通路に設けられ、前記出力口側からの連通のみを可能にする第二のチェック弁機能部と、
前記第二のチェック弁機能部と前記出力口側との間に設けられたフィルタエレメントと
を備えたことを特徴とするインラインフィルタ装置。
【請求項２】
請求項１記載のインラインフィルタ装置において、
前記２つの通路が、前記インラインフィルタ装置本体内で並列状態に形成されている
ことを特徴とするインラインフィルタ装置。
【請求項３】
請求項１記載のインラインフィルタ装置において、
前記２つの通路が、前記インラインフィルタ装置本体内で同心状に形成されている
ことを特徴とするインラインフィルタ装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載のインラインフィルタ装置において、
前記インラインフィルタ装置本体に、前記フィルタエレメントの目視用手段を設けてなる
ことを特徴とするインラインフィルタ装置。                                                                              
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造分野などの真空吸着搬送分野において用いられるインラインフィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば真空搬送の場合、真空吸着通路の先端部に装着した吸着部（チャック）で、ワークの表面を吸着把持して所定位置に搬送し、真空保持部に破壊空気を流入させることにより、ワークの外しを行なっている。この場合、吸着時にワーク周辺の空気を吸い込むため、その周辺の空気中のゴミや、ワーク表面や周辺に落下しているゴミを吸い込んで、ゴミが真空吸着通路内に付着してしまい、次に搬送位置決め場所で、真空破壊の空気を再び吸着部に供給する際に、真空吸着通路内に付着しているゴミをまた吸着部から破壊空気と共にワークに噴射して、ワークやその周辺を汚染してしまうおそれが高い。
【０００３】
このようなことから、真空吸着部に例えば特許文献１に明示されたようなチューブ継手付きエアフィルタを接続することが考えられる。この場合、チューブ継手側とチューブの接続口側を、真空吸着路に接続することとなるが、どちらを真空吸着側あるいは空気供給側に接続しても良い（特許文献１明細書３頁左段９〜１２行目の記載）。
【特許文献１】実公平５−３４７３９号公報
【特許文献２】実開昭６１−８７２９４号公報
【特許文献３】実開昭６３−３０６９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された従来技術では、確かに一方から接続した時には、フィルタエレメントにより、その位置より先へのゴミの侵入が防止できる。しかし、反対側の流れに対しては、フィルタエレメントで捕捉したゴミを再び吐き出してしまい、それによって新たな汚染を発生してしまうといった問題点を有している。
なお、特許文献２や特許文献３にも同様の技術が記載されているが、特許文献１に記載された技術と同様な欠点がある。
【０００５】
このように、従来装置を真空吸着機構に接続される通路にそのまま装着して用いると、真空吸着時に例えば吸盤装置から吸い込んだゴミは、フィルタエレメントで捕捉されてそれ以上先には流入しないが、反対に真空破壊空気を吸盤装置に供給して真空破壊する時に、再度フィルタエレメントを通過する空気によって先に捕捉されたゴミを吸盤装置から吹き出してしまい、周囲を汚染してしまうおそれがある。
【０００６】
従って、以上説明したような配管のラインに沿って設けられるインラインフィルタ方式では、真空吸着機構にそのまま装着して用いて真空吸着時、真空破壊時のどちらの場合に用いても、一度吸い込んだゴミを戻さないように工夫することが必要である。
本発明は、この点に注目して為されたもので、その目的は、真空吸着時、真空破壊時のどちらの場合においても、一度吸い込んだゴミを戻さないように工夫したフィルタ手段を有するインラインフィルタ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るインラインフィルタ装置は、入力口側と出力口側とを連通する２つの通路を設けたインラインフィルタ装置本体と、一方の通路に設けられ、入力口側からの連通のみを可能にする第一のチェック弁機能部と、他方の通路に設けられ、出力口側からの連通のみを可能にする第二のチェック弁機能部と、第二のチェック弁機能部と出力口側との間に設けられたフィルタエレメントとを備えている。
【０００８】
本発明に係るインラインフィルタ装置では、２つの通路が、インラインフィルタ装置本体内で並列状態に形成されている。
また、本発明に係るインラインフィルタ装置では、２つの通路が、インラインフィルタ装置本体内で同心状に形成されている。
また、本発明に係るインラインフィルタ装置では、インラインフィルタ装置本体に、フィルタエレメントの目視用手段を設けている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明においては、真空吸着時にフィルタエレメントを通過する吸引通路と、真空破壊用空気を供給する通路とを別にし、それぞれの通路に反対向きにチェック弁機能部を介在したので、フィルタエレメントで捕捉したゴミを破壊空気により再び戻すことがなくなり、従来のような汚染を防止できる。
また、本発明においては、２つの通路を並列あるいは同心状に構成することで、真空用インラインフィルタ装置を簡単な構造でかつ安価に提供できる。
【００１０】
さらに、本発明においては、フィルタエレメント部分が位置するインラインフィルタ装置本体に、目視手段を設けたので、フィルタエレメントの汚れ状況が一目でわかり、交換あるいは清掃時期が外部から判断することができるなど、メンテナンスが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
（本発明の原理説明）
本発明の実施形態を説明する前に、図１に基づいて本発明の原理について説明する。
図１は、本発明に係るインラインフィルタ装置１０の基本回路を示す。本発明に係るインラインフィルタ装置１０は、入力ポートＰと出力ポートＡとを連通する２つの通路１１，１２を有する。一方の通路１１には入力ポートＰ側からの連通のみを可能にするチェック弁機能部１３を接続し、他方の通路１２には出力ポートＡ側からの連通のみを可能にするチェック弁機能部１４を接続し、チェック弁機能部１４と出力ポートＡとの間を、フィルタエレメント１５を介して連通している。
【００１２】
このように構成した本発明に係るインラインフィルタ装置１０を、例えば真空吸着用パッドと電磁弁などを接続する配管途中に接続する際、出力ポートＡを真空吸着パッド側と接続し、入力ポートＰを電磁弁側に接続する。
このように接続することによって、真空吸着時、真空吸着パッド側から出力ポートＡに流入した空気は、フィルタエレメント１５を通り、チェック弁機能部１４から入力ポートＰを通り電磁弁側に排気される。一方、電磁弁側から真空破壊空気は、入力ポートＰからチェック弁機能部１３を通って出力ポートＡから真空吸着パッド側に供給され、真空が破壊される。
【００１３】
このように、真空吸着によって排気される空気に混入したゴミは、フィルタエレメント１５を通っていくので、ゴミは除去され、また破壊空気が供給される時は別の通路１２を通るので、吸い込んだゴミを再度真空吸着パッド側から吹き出すことはなく、汚染などを回避できる。
（第一実施形態）
図２〜図４は、本発明の第一実施形態に係るインラインフィルタ装置２０を示す。
【００１４】
本実施形態に係るインラインフィルタ装置２０では、図１における２つの通路１１，１２を並列状態に形成した概略直方体形状のインラインフィルタ装置本体２１と、インラインフィルタ装置本体２１の側面部に装着される概略直方体形状のアダプタ４５とを備えている。
インラインフィルタ装置本体２１は、反アダプタ４５に開口する入力ポート２２を有する。入力ポート２２は、途中から通路２３と通路３０とに分かれる。
【００１５】
一方の通路２３は通口２４を介して第一のチェック弁２５に連通し、第一のチェック弁２５内に配置されているチェックカバー２８内を通ってアダプタ４５の通路４７と連通して出力ポート４６に接続されている。ここで、第一のチェック弁２５は、インラインフィルタ装置本体２１の挿入穴２１ａ内に、入力ポート２２側に位置するチェック弁本体２６と、弾性体としてのバネ２７と、チェックカバー２８と、チェックカバー２８の端部に取り付けるシールリング２９とを有し、入力ポート２２から出力ポート４６側への流入のみを許容する。
【００１６】
他方の通路３０は、第二のチェック弁３１に連通し、さらに通口３７を通ってフィルタエレメント３８内に連通し、フィルタエレメント３８の内挿室からフィルタカバー４０内を通り、アダプタ４５の通路４８と連通して出力ポート４６に接続されている。ここで、第二のチェック弁３１は第一のチェック弁２５とは互いに逆向きに配置されている。第二のチェック弁３１は、インラインフィルタ装置本体２１の挿入穴２１ｂ内に、出力ポート４６側に位置するチェック弁本体３２と、弾性体としてのバネ３３と、チェックカバー３４と、チェックカバー３４の端部に取り付けるシールリング３５と、インラインフィルタ装置本体２１に第二のチェック弁３１を固定する栓部材３６とを有し、出力ポート４６側からフィルタエレメント３８を介して入力ポート２２側へのみの流入を許容する。また、フィルタエレメント３８は、概略断面コ字状の多孔質材料などで構成されており、インラインフィルタ装置本体２１の挿入穴２１ｃ内において、透明なスリーブ３９の内側にフィルタカバー４０で底側に押し付けるように装着されている。透明なスリーブ３９の両端部には、シールリング４１，４２が取り付けられている。
【００１７】
また、インラインフィルタ装置本体２１には、内蔵されたフィルタエレメント３８に相当する外側位置に、窓４３あるいは他の面に窓４４を開口して、透明なスリーブ３９を介してフィルタエレメント３８の状態を目視できるように構成されている。
また、アダプタ４５は、インラインフィルタ装置本体２１側に開口する２つの通路４７，４８を反インラインフィルタ装置本体２１側に開口する出力ポート４６と連通している。
【００１８】
本実施形態では、入力ポート２２、出力ポート４６には、インスタント継手と呼ばれるワンタッチ式の継手４９，５０が装着してあるが、通常のねじ穴でも、あるいは他の継手が装着してあっても構わない。
次に、このように構成された本実施形態に係るインラインフィルタ装置２０の作用を説明する。
【００１９】
本実施形態に係るインラインフィルタ装置２０では、入力ポート２２は、途中から並列した２つの通路２３，３０を有している。一方の通路２３は入力ポート２２からの連通のみを許容するチェック弁機能を有する第一のチェック弁２５を介しての通路、他方の通路３０は出力ポート４６からフィルタエレメント３８を通り、出力ポート４６側への連通のみを許容するチェック弁機能を有する第二のチェック弁３１を介しての通路である。
【００２０】
従って、先に説明した原理構成と同様に、真空吸着により入り込んだゴミはフィルタエレメント３８で除去され、空気のみが第二のチェック弁３１を介して入力ポート２２側に流出し、入力ポート２２からの空気はフィルタエレメント３８側の通路３０への流入が第二のチェック弁３１により阻止され、一方の通路２３から真空吸着部側に真空破壊空気として供給される。
【００２１】
さらに、本実施形態によれば、内蔵されたフィルタエレメント３８に相当する外側位置に設けた窓４３，４４を介してフィルタエレメント３８の状態を目視することができるため、メンテナンスを容易にすることが可能となった。
（第二実施形態）
図５は、本発明の第二実施形態に係るインラインフィルタ装置６０を示す。
【００２２】
本実施形態に係るインラインフィルタ装置６０は、２つの通路６０Ａ，６０Ｂを同心状に形成した点で、第一実施形態に係るインラインフィルタ装置２０とは相違する。
本実施形態に係るインラインフィルタ装置６０は、全体がほぼ円筒状を有しているスリーブ（外筒）６１と、その両端にねじ込まれたカバー６２，６５とを有し、一方のカバー６２には中央に入力ポート６３が貫通形成してあり、他方のカバー６５には出力ポート６６が同様に貫通形成してある。
【００２３】
さらに、この３つの要素によって形成された内部空間には、入力ポート６３と連通する貫通穴７１を中心部に形成するとともに、外周に環状溝７２を形成したチェックボディ７０と、このチェックボディ７０の端部７３とカバー６２の内端面６４との間に挟設した円筒状のフィルタエレメント７４と、チェックボディ７０の環状溝７２内に内径側が保持され、外周側がスリーブ６１の内面に摺接し、リップ状チェック機能を呈する正圧チェック弁である第二のチェック弁７５と、カバー６５の先端側に形成した筒部６７の内径部６８内に配置され、チェックボディ７０の貫通穴７１の開口部を閉止するように位置するチェック弁本体７７とバネ７８とからなる真空チェック弁である第一のチェック弁７６とが配置されている。さらに、カバー６５の内径部６８を形成した筒部６７周囲には、複数の貫通穴６９が半径方向に貫通形成してある。なお、チェックボディ７０、フィルタエレメント７４および筒部６７の外径は、スリーブ６１の内径に対して所定の隙間を有する。ここでは、入力ポート６３から貫通穴７１に至る通路および第一のチェック弁７６から出力ポート６６に至る通路を一方の通路６０Ａとし、フィルタエレメント７４とスリーブ６１との間の隙間および貫通孔６９を介して連なる内径部６８に至る通路を他方の通路６０Ｂとした。他方の通路６０Ｂには、第二のチェック弁７５が配設されている。
【００２４】
次に、このように構成された本実施形態に係るインラインフィルタ装置６０の作用を説明する。
本実施形態に係るインラインフィルタ装置６０では、入力口側（カバー６２側）が電磁弁に、出力口側（カバー６５側）が真空吸着部に接続してある。
吸着時は、図６に示すように、パッド側からの空気を出力ポート６６側から流入させると、第一のチェック弁７６でチェックボディ７０の貫通孔７１を閉じ（通路６０Ａを閉じ）、出力ポート６６から貫通穴６９を通り、第二のチェック弁７５のリップ状部分を変形して通路６０Ｂを開放し、フィルタエレメント７４に流入し、フィルタエレメント７４を通過して入力口６３に排気される。この時、吸着側からゴミを吸い込んだときは、フィルタエレメント７４で捕捉され、また大きなもの、例えばハンダ屑などは、図８に示すように、第二のチェック弁７５の手前の空間部分７９に溜めることができる。
【００２５】
次に、真空破壊時は、図７に示すように、電磁弁側からの空気を入力ポート６３から流入させると、第一のチェック弁７６をチェックボディ７０の貫通孔７１から離反し、中心の貫通口７１からチェック弁７６を開放させ、出力口６６から流出する。この時、空気はフィルタエレメント７４を通過するが、第二のチェック弁７５のリップ部が通路６０Ｂを閉鎖する。従って、吸着時にフィルタエレメント７１に捕捉されたゴミをパッド側へ噴出することがない。
【００２６】
このように、本実施形態においては、２つの通路６０Ａ，６０Ｂを同心状に形成することによっても、図１に示した原理に沿った作用効果と同様の作用効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係るインラインフィルタ装置の原理を説明する基本回路図である。
【図２】第一実施形態に係るインラインフィルタ装置の正面断面図である。
【図３】図２のインラインフィルタ装置の外観を示す正面図である。
【図４】図３のインラインフィルタ装置のＡ矢視図である。
【図５】第二実施形態に係るインラインフィルタ装置の正面断面図である。
【図６】図５のインラインフィルタ装置の吸着時の動作を示す説明図である。
【図７】図５のインラインフィルタ装置の真空破壊時の動作を示す説明図である。
【図８】図５のインラインフィルタ装置の大きなゴミをチェック弁手前の空間部分で捕捉した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０，２０，６０  インラインフィルタ装置
Ａ，４６，６３  出力ポート
Ｐ，２２，６６  入力ポート
１１，１２，２３，３０，６０Ａ，６０Ｂ  通路
１３，１４  チェック弁機能部
１５  フィルタエレメント
２１  インラインフィルタ装置本体
２５，７６  第一のチェック弁
２６，３２，７７  チェック弁本体
２７，３３，７８  バネ
２８，３４  チェックカバー
３１，７５  第二のチェック弁
３８，７４  フィルタエレメント
３９  スリーブ
４０  フィルタカバー
４３，４４  窓
４５  アダプタ
６１  スリーブ（外筒）
６２，６５  カバー
７０  チェックボディ
７１  貫通穴
７２  環状溝                                                                              
【図１】
2006239655.tif 000003
【図２】
2006239655.tif 000004
【図３】
2006239655.tif 000005
【図４】
2006239655.tif 000006
【図５】
2006239655.tif 000007
【図６】
2006239655.tif 000008
【図７】
2006239655.tif 000009
【図８】
2006239655.tif 000010