(57)【要約】【課題】短時間で高精度にＰＤＰの隔壁の形状不良を検出し良否判定ができる検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】プラズマディスプレイパネル用基板２１に形成された隔壁１０の形状を検査する検査方法において、平行に配列された複数の隔壁１０のうち１つの隔壁１０に照明光が照射されるように、プラズマディスプレイパネル用基板２１の隔壁形成面側から照明光を照射し、そのときの隔壁１０からの反射光を撮像し、撮像により得られた画像データについて画像処理を行うことにより隔壁１０の欠陥の有無を判定する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマディスプレイパネル用基板に形成された隔壁の形状を検査する検査方法において、平行に配列された複数の隔壁のうち１つの隔壁に照明光が照射されるように、前記プラズマディスプレイパネル用基板の隔壁形成面側から照明光を照射し、そのときの前記隔壁からの反射光を撮像し、撮像により得られた画像データについて画像処理を行うことにより前記隔壁の欠陥の有無を判定することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
【請求項２】
隔壁からの反射光の撮像は、照明光を照射する方向とほぼ同じ方向から行うことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
【請求項３】
照明光の光束幅Ｗは数式１を満たすことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
【数１】
2006214902.tif 000005
ただし
Ｄ：検出が必要な凸状欠陥の最小高さと凹状欠陥の最小深さの和
θ：照明光の照射角度
【請求項４】
平行に配列された複数の隔壁のうち、隣接していない複数の隔壁のそれぞれに対して照明光を同時に照射して前記隔壁からの反射光を撮像することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
【請求項５】
プラズマディスプレイパネル用基板に形成された隔壁の形状を検査する検査装置において、平行に配列された複数の隔壁のうち１つの隔壁に照明光を照射し得る光源と、前記隔壁からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像により得られた画像データについて画像処理を行う画像処理手段と、この画像処理手段の結果を用いて前記隔壁の欠陥の有無を判定する良否判定手段とを有し、前記光源と前記撮像手段は前記プラズマディスプレイパネル用基板の隔壁形成面側に配置されたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査装置。
【請求項６】
撮像手段は、照明光の照射方向とほぼ同じ方向に光軸が設置されていることを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査装置。
【請求項７】
光源は、数式１で示される光束幅Ｗの照明光を照射することを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査装置。
【請求項８】
平行に配列された複数の隔壁のうち、隣接していない複数の隔壁のそれぞれに対して照明光を同時に照射する光源を有することを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネルの基板上に形成された隔壁の形状を検査する検査方法および検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は前面基板と背面基板の２枚のガラス基板を貼り合わせた構造になっている。前面基板には表示電極と誘電体層、保護層などが形成され、背面基板にはアドレス電極、隔壁、蛍光体層などが形成されている。これらのガラス基板を対向配置させて間に放電空間を形成し、放電空間にネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）などの希ガスを主体とするガスを封入した構造になっている。
【０００３】
図１０はＡＣ（交流）型カラーＰＤＰの一例を示す断面図であり、図１０（ａ）、図１０（ｂ）は互いに直交する方向の断面を示している。前面基板１上には、透明電極２とバス電極３からなる表示電極４が複数形成されており、２つの表示電極４が一組の表示電極対を構成する。そして、表示電極４を覆うように誘電体層５が形成され、この誘電体層５上にＭｇＯ（酸化マグネシウム）からなる保護層６が形成されている。また、背面基板７上には、ストライプ状のアドレス電極８が表示電極４に対して直交する方向に複数形成され、そのアドレス電極８を覆うように誘電体層９が形成されている。さらに、誘電体層９上には、アドレス電極８に平行なストライプ状の隔壁１０が形成され、誘電体層９上の隔壁１０間にはそれぞれ赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層１１が形成されている。アドレス電極８は隔壁１０間に位置している。なお隔壁１０としては、格子状の隔壁や、格子状の隔壁において表示電極４に平行な部分がアドレス電極８に平行な部分に比べて低く形成された段違い井桁構造の隔壁などがある。
【０００４】
表示を行うときの最小単位である放電セルは、表示電極対を構成する２本の表示電極４と１本のアドレス電極８との立体交差部に形成される。そして、表示電極対を構成する２本の表示電極４のうち、一方の表示電極４に走査パルスを印加すると同時にアドレス電極８にアドレスパルスを印加して表示させる放電セルを選択した後、表示電極対を構成する２本の表示電極４間に交流電圧を印加し、このとき放電によって生じる紫外線により蛍光体層１１を発光させ、前面基板１を透過する光でカラー画像表示を行うものである。
【０００５】
ＰＤＰの製造方法のうち、表示電極４やアドレス電極８の形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、メッキ法、スクリーン印刷法、コーティング法、フィルムラミネート法などによってガラス基板上に電極材料の膜を形成し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングする方法と、スクリーン印刷法あるいはオフセット印刷法によりパターン形成する方法とがある。
【０００６】
また隔壁１０の形成方法としては、コーティング法やスクリーン印刷法などにより背面基板７上に厚膜を形成し、これをフォトリソグラフィー法によりサンドブラストに耐性がある隔壁パターンをフォトレジストで形成した後、前記フォトレジストをマスクとして不要部分を削り取るサンドブラスト法がある。また、背面基板７上に感光性ペーストをコーティング法により成膜した後、フォトリソグラフィー法により直接パターニングする方法や、隔壁パターンを有するマスクを用いてスクリーン印刷を複数回繰り返し、乾燥させるスクリーン印刷法などがある。
【０００７】
蛍光体層１１の形成方法としてはディスペンサーによる塗布法や、スクリーン印刷法により隔壁１０の間に各色の蛍光体ペーストを選択的に充填する方法などがあり、通常ペースト塗布後に乾燥工程、焼成工程を経て完成する。
【０００８】
ここで、隔壁１０に欠けなどの凹状欠陥が生じた場合には、蛍光体層１１の形成が不十分になる、あるいは隣接する放電セル間の区切りが不十分になるなどの不具合が生じることになる。前者の場合には当該放電セルの輝度不足が発生し、放電セル欠陥が生じる原因となる。また後者の場合には当該放電セル間で電荷の移動が簡単に発生し、所望の放電セルのみ放電発光させることが困難になる。
【０００９】
また隔壁１０に凸状欠陥が生じた場合には、その部分のみ前面基板１と背面基板７との貼り合わせ時に過剰な応力がかかり、隔壁１０の破壊が生じる場合がある。この場合には当該放電セルの放電発光機能が損なわれ、放電セル欠陥の原因になる。
【００１０】
従来、ＰＤＰの製造工程において隔壁１０の形状を検査する方法としては、隔壁１０を形成した後の背面基板７に拡散光を照射し人間が目視検査をする方法があった。目視検査以外の方法として、例えば特許文献１には、背面基板７の外側の面から隔壁１０が形成された背面基板７の内側の面に向けて光を照射し、その透過光パターンを解析することによって隔壁１０の欠陥を検出する方法が開示されている。また、例えば特許文献２には、異なる方向から照明光を照射する複数の照明手段を備え、隔壁１０からの散乱光を、プラズマディスプレイパネルの背面基板７にほぼ直交する方向からＣＣＤラインセンサカメラなどの撮影手段で撮影することにより隔壁１０の欠陥を検出する方法が開示されている。
【特許文献１】特開平１０−２８３９３３号公報
【特許文献２】特開２０００−１６２１３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、これらの従来の検査方法では以下のような課題があった。隔壁１０は一般的に可視光に対して不透明である。なぜならカラーＰＤＰにおける隔壁１０は赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層１１が形成された放電セルを区切る目的で設けられているために、可視光に対して透明であると隣接の放電セルからの放電発光が混入するため、それを防ぐ必要があるからである。隔壁１０を形成した背面基板７の外側の面から隔壁１０が形成された背面基板７の内側の面に向けて光を照射し、その透過光パターンを解析することによって隔壁１０の欠陥を検出する方法では、光が背面基板７に形成されたアドレス電極８、誘電体層９により吸収あるいは拡散され、隔壁１０の形状異常を判別することが困難であるという課題が発生する。
【００１２】
一方、複数の照明手段を備え、背面基板７に直交する方向から撮影する検査方法では、隔壁１０の凹状欠陥や凸状欠陥という隔壁１０の高さ方向の情報を検出することが困難であり、検出限界が低くなるという課題があった。その高さ方向の分解能不足を補うために複数の照明手段を備え、それら全ての照明手段により撮像した画像から良否を判断しなくてはならないため、コスト増加、処理時間増加をもたらすという課題を内在している。
【００１３】
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、短時間で高精度にＰＤＰの隔壁の形状不良を検出し良否判定ができる検査方法および検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述した課題を解決するために、本発明は、プラズマディスプレイパネル用基板に形成された隔壁の形状を検査する検査方法において、平行に配列された複数の隔壁のうち１つの隔壁に照明光が照射されるように、前記プラズマディスプレイパネル用基板の隔壁形成面側から照明光を照射し、そのときの前記隔壁からの反射光を撮像し、撮像により得られた画像データについて画像処理を行うことにより前記隔壁の欠陥の有無を判定することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法である。
【００１５】
また本発明は、プラズマディスプレイパネル用基板に形成された隔壁の形状を検査する検査装置において、平行に配列された複数の隔壁のうち１つの隔壁に照明光を照射し得る光源と、前記隔壁からの反射光を撮像する撮像手段と、撮像により得られた画像データについて画像処理を行う画像処理手段と、この画像処理手段の結果を用いて前記隔壁の欠陥の有無を判定する良否判定手段とを有し、前記光源と前記撮像手段は前記プラズマディスプレイパネル用基板の隔壁形成面側に配置されたことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、短時間でかつ高精度に隔壁の形状不良を検出し良否の判定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰ用基板の検査装置の概略を示す図である。この検査装置は、ＰＤＰ用基板２１を戴置して移動させる保持機構２２、受光素子として可視光の波長範囲に感度特性を有するＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）をマトリクス状に約１０００万個備えたエリアセンサーカメラ（撮像手段）２３、ＣＣＤ１画素あたりの分解能を１μｍ角に設定し得る対物レンズを備えた鏡筒２４、ＰＤＰ用基板２１に形成された隔壁に可視光（照明光）を照射するための光源２５、エリアセンサーカメラ２３によって得た画像データを処理するための画像処理手段２６、画像処理手段２６の結果を用いて隔壁の欠陥の有無を判定する良否判定手段２７、画像および基板データを記憶するための記憶装置２８を備えている。エリアセンサーカメラ２３および光源２５はＰＤＰ用基板２１の隔壁形成面側に配置されており、エリアセンサーカメラ２３は、光源２５で照射する可視光の照射方向とほぼ同じ方向に光軸が設置されている。光源２５はハロゲンランプ、ＬＥＤ等により構成され、画像処理手段２６は例えばコンピュータによって構成される。
【００１９】
ここでＰＤＰ用基板２１は、図２に示すように、背面基板７上にアドレス電極８および誘電体層９を形成した後、誘電体層９上に隔壁１０となる隔壁材料層をパターン形成して乾燥、焼成することにより隔壁１０を形成した状態の基板である。隔壁材料層のパターン形成にはフォトリソグラフィー法、サンドブラスト法またはスクリーン印刷法などが用いられる。
【００２０】
図３は、隔壁１０を形成したとき隔壁１０に生じ得る欠陥を隔壁１０の側面から示した図である。図３（ａ）は隔壁１０に凹状欠陥１２が生じた状態を示し、図３（ｂ）は隔壁１０に凸状欠陥１３が生じた状態を示している。凹状欠陥１２の深さをＤ１とし、凸状欠陥１３の高さをＤ２としている。ここで、検出が必要な凹状欠陥１２の最小の深さがＤ１であり、検出が必要な凸状欠陥１３の最小の高さがＤ２である。
【００２１】
次に、図１の検査装置を用いたＰＤＰ用基板の検査方法について、フローチャートである図４を用いて説明する。まず、検査装置の保持機構２２にＰＤＰ用基板２１を搬入し、隔壁１０の形成面が上面になるように所定の位置に移動してＰＤＰ用基板２１を保持機構２２に固定保持する。その後、ＰＤＰ用基板２１の上方に配置された光源２５から所定の角度および光束幅で可視光を１ラインの隔壁１０に照射し、そのときの隔壁１０の側面からの発光を、ＰＤＰ用基板２１の上方に配置されたエリアセンサーカメラ２３によって撮像する。その後、撮像によって得られたデータを画像処理し、その結果を用いて隔壁１０の形状が許容範囲内か否かを判定する。判定の結果、隔壁１０が許容できない欠陥を有していればＮＧとして廃棄するか欠陥部分を修正（リペア）する。また、隔壁１０の形状に問題が無ければＯＫとしてＰＤＰ用基板２１を次の工程（蛍光体層１１を形成する工程）へ移す。
【００２２】
図５は、エリアセンサーカメラ２３によって撮像する際のＰＤＰ用基板２１に可視光を照射した状態を示す図である。ここで、隔壁１０に対して照射角度θで光束幅Ｗの可視光を照射する。照射角度θは背面基板７の法線と可視光の照射方向とがなす角度である。このとき光束幅Ｗは以下の数式２で決定される。また欠陥を有していない正常な隔壁１０の頂部よりも下側に照射する光束幅をＷ１、上側に照射する光束幅をＷ２とし、光束幅Ｗを以下の数式３のように分配する。
【００２３】
【数２】
2006214902.tif 000003
【００２４】
【数３】
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【００２５】
すなわち、ＰＤＰ用基板２１の隔壁１０を照射する可視光の光束幅Ｗについては、少なくとも凹状欠陥１２および凸状欠陥１３の全体を照射する必要があるため、数式２の条件となる。また、光束幅Ｗを数式３のように分配することにより、凹状欠陥１２と凸状欠陥１３のそれぞれを確実に照射する。このように、隔壁１０に照射する光束幅を適切に設定することにより検査効率の向上を図ることができる。なお、光束幅の上限については、照射対象の隔壁１０以外の領域、例えば照射対象の隔壁１０の隣に配置された隔壁１０に可視光が照射されることが無いように設定する。
【００２６】
図５に示すように可視光を照射し、隔壁１０の側面からの反射光をエリアセンサーカメラ２３で撮像する。このとき、隔壁１０において図３に示したような凹状欠陥１２や凸状欠陥１３が存在していた場合、隔壁１０の側面からの反射光は図６に示す形状でエリアセンサーカメラ２３に撮像される。図６（ａ）は図３（ａ）の部分を撮像したときの画像であり、深さＤ１の凹状欠陥１２を撮像した画像には深さＤ１×ｓｉｎθの凹部１４が現われる。図６（ｂ）は図３（ｂ）の部分を撮像したときの画像であり、高さＤ２の凸状欠陥１３を撮像した画像には高さＤ２×ｓｉｎθの凸部１５が現われる。なお、図６（ｃ）は欠陥を有していない正常な形状の隔壁１０を撮像したときの画像である。このようにエリアセンサーカメラ２３によって撮像された画像データは記憶装置２８に記憶される。
【００２７】
平行に配列された複数の隔壁１０のうち、１つの隔壁１０に可視光を照射し、隔壁１０の側面からの反射光をエリアセンサーカメラ２３で撮像し、撮像した画像データを記憶装置２８に記憶させる動作を、平行に配列された全ての隔壁１０について順次行う。例えば図１において、光源２５を点灯させておき、保持機構２２によってＰＤＰ用基板２１をｘ方向に所定の速度で連続的に移動させながら、一定の時間間隔でエリアセンサーカメラ２３により撮像し、撮像した画像データを記憶装置２８に記憶させる。撮像するタイミングは図５に示す状態になるときである。これにより、ストライプ状に形成された全ての隔壁１０について欠陥検査を行うために必要な画像データが得られる。
【００２８】
また、隔壁１０が格子状または段違い井桁構造の場合には、上記の動作に加えてｘ方向に対して垂直方向にも同様の動作を行う。すなわち、ｘ方向に平行に配列された隔壁について、１つの隔壁に可視光を照射し、その隔壁からの反射光をエリアセンサーカメラ２３で撮像し、撮像した画像データを記憶装置２８に記憶させる動作を、ｘ方向に平行に配列された全ての隔壁について行う。
【００２９】
次に、エリアセンサーカメラ２３によって得られた画像を画像処理手段２６によって画像処理する。ここでの画像処理方法としては、ノイズ除去処理など公知の方法を用いて撮像データを処理する。また、画像処理手段２６の画像処理により得られた画像について、良否判定手段２７により隣接比較法、あるいは予め設定する基準値と照合し、隔壁１０の形状が許容範囲内か否かを判定する。すなわち上記工程により、隔壁形状の良否判定を短時間に確実に行うことができる。なお、ノイズ除去処理は映像信号におけるノイズを除去するための平滑化処理であり、その手法としては最大値フィルタ、最小値フィルタ、メディアンフィルタなどを用いることが可能である。
【００３０】
第１の実施の形態では、ＣＣＤ１画素あたりの分解能を１μｍ角に設定しているが、検出対象とする欠陥サイズによって適宜変更すれば良い。
【００３１】
（実施例）
実施例として、背面基板７上にアドレス電極８とそれを覆うように誘電体層９が形成され、その誘電体層９上に隔壁１０が形成された一般的なＰＤＰを構成するＰＤＰ用基板２１に対して、隔壁１０の検査を行った。図７に基づいて実施例を説明する。隔壁１０の高さｈ＝１００μｍ、隔壁間隔ａ＝２５０μｍ、隔壁幅ｂ＝５０μｍであり、凹状欠陥１２の最小の深さＤ１＝５μｍ、凸状欠陥１３の最小の高さＤ２＝５μｍであった。
【００３２】
まず、背面基板７上の検査対象の隔壁１０ａに、白色ＬＥＤからの可視光を輝度レベル２５５（０〜２５５の２５６階調）にて照射角θ＝６０度で照射した。この白色ＬＥＤからの可視光の光束幅Ｗ＝３０μｍとし、隔壁１０ａの頂部において光束幅の半分の１５μｍになるように、すなわち図５におけるＷ１、Ｗ２の値をＷ１＝Ｗ２＝１５μｍとして照射した。この照明条件においては検査対象の隔壁１０ａのみに可視光を照射することができた。またここで隔壁１０ａの頂部を中心線として、光束幅の上半分と下半分で１５μｍの幅を有している（Ｗ１＝Ｗ２＝１５μｍ）ことにより、照射角θが６０度でも、隔壁１０ａの側面においては１７．３μｍの高さの範囲（図７のｃで示す範囲、ｃ＝１７．３μｍ）を照射することができた。
【００３３】
次に、１画素あたりの分解能が１μｍ□に調整されたエリアセンサーカメラ２３にて撮像を行った。次にエリアセンサーカメラ２３に取り込まれた画像をコンピュータによりノイズ除去を行った後、８ビットで量子化し、閾値を８０階調として閾値以上の画像データを有する領域（領域Ａ）とそれ以外の領域（領域Ｂ）とに分ける２値化処理を行った。この２値化処理では領域Ａにおける画像データを「１」とし、領域Ｂにおける画像データを「０」とした。
【００３４】
次に２値化処理を行って得られた画像（検査画像）と標準画像との差分処理を行った。ここで、標準画像は、図６（ｃ）に示すような正常な形状の隔壁１０を撮像し、その撮像データについてノイズ除去した後に２値化処理を行って得た画像であり、隔壁１０の領域の画像データを「１」とし、それ以外の領域の画像データを「０」とした。差分処理において、検査画像の画像データから標準画像の画像データを引いたデータを求めるようにすると、凸状欠陥１３に相当する領域のデータは「１」となり、凹状欠陥１２に相当する領域のデータは「−１」となり、正常な形状の隔壁１０に相当する領域のデータは「０」となる。そこで、差分処理を行った結果、データが「１」となった領域を凸状欠陥候補として検出し、データが「−１」となった領域を凹状欠陥候補として検出した。次にこれらの欠陥候補の中から４画素×４画素の矩形サイズ以上の大きさを有する欠陥候補を選び、この欠陥候補を欠陥と判定した。このように隔壁１０ａに生じた５μｍ角程度の微小な凸状欠陥１３または凹状欠陥１２を高精度で検出することができた。
【００３５】
（第２の実施の形態）
図８は本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰ用基板の検査装置の概略を示す図である。図８に示すように、第２の実施の形態におけるＰＤＰ用基板の検査装置の基本構成および動作は第１の実施の形態と同様であり、同一部分には同じ符号を付している。本実施の形態で特徴的であるのは、ＰＤＰ用基板の隔壁形成面側から可視光を照射する光源２５ａ、２５ｂを備えていることであり、エリアセンサーカメラ２３および光源２５ａ、２５ｂはＰＤＰ用基板２１の隔壁形成面側に配置されている。エリアセンサーカメラ２３は、光源２５ａ、２５ｂで照射する可視光の照射方向とほぼ同じ方向に光軸が設置され、また光源２５ａ、２５ｂはハロゲンランプ、ＬＥＤ等により構成される。
【００３６】
この光源２５ａ、２５ｂは、平行に配列された複数の隔壁１０のうち、隣接していない２つの隔壁１０に対してそれぞれ可視光を照射するように構成されている。検査の際には光源２５ａ、２５ｂによってそれぞれ１つの隔壁１０を同時に照射し、その時の隔壁１０からの反射光をエリアセンサーカメラ２３によって撮像する。このため、同時に検査できる領域が拡大することにより、検査効率の向上を図ることができる。
【００３７】
（実施例）
実施例として、背面基板７上にアドレス電極８とそれを覆うように誘電体層９が形成され、その誘電体層９上に隔壁１０が形成された一般的なＰＤＰを構成するＰＤＰ用基板２１に対して、隔壁１０の検査を行った。図９に基づいて実施例を説明する。隔壁１０の高さｈ＝１００μｍ、隔壁間隔ａ＝２５０μｍ、隔壁幅ｂ＝５０μｍであり、凹状欠陥１２の最小の深さＤ１＝５μｍ、凸状欠陥１３の最小の高さＤ２＝５μｍであった。
【００３８】
まず、検査対象であって隣接していない隔壁１０ａ、１０ｂに、白色ＬＥＤ（光源２５ａ、２５ｂ）からの可視光を輝度レベル２５５（０〜２５５の２５６階調）にて照射角θ＝６０度で照射した。この白色ＬＥＤからの可視光の光束幅Ｗ＝３０μｍとし、隔壁１０ａ、１０ｂの頂部において光束幅の半分の１５μｍになるように、すなわち図５におけるＷ１、Ｗ２の値をＷ１＝Ｗ２＝１５μｍとして照射した。この照明条件においては検査対象の隔壁１０ａ、１０ｂのみに可視光を照射することができた。またここで隔壁１０ａ、１０ｂの頂部を中心線として、光束幅の上半分と下半分で１５μｍの幅を有している（Ｗ１＝Ｗ２＝１５μｍ）ことにより、照射角θが６０度でも、隔壁１０ａ、１０ｂの側面においては１７．３μｍの高さの範囲（図９のｃで示す範囲、ｃ＝１７．３μｍ）を照射することができた。
【００３９】
次に、１画素あたりの分解能が１μｍ□に調整されたエリアセンサーカメラ２３にて撮像を行った。次にエリアセンサーカメラ２３に取り込まれた画像をコンピュータによりノイズ除去を行った後、８ビットで量子化し、閾値を８０階調として閾値以上の画像データを有する領域（領域Ａ）とそれ以外の領域（領域Ｂ）とに分ける２値化処理を行った。この２値化処理では領域Ａにおける画像データを「１」とし、領域Ｂにおける画像データを「０」とした。
【００４０】
次に２値化処理を行って得られた画像（検査画像）と標準画像との差分処理を行った。差分処理において、検査画像の画像データから標準画像の画像データを引いたデータを求めるようにすると、凸状欠陥１３に相当する領域のデータは「１」となり、凹状欠陥１２に相当する領域のデータは「−１」となり、正常な形状の隔壁１０に相当する領域のデータは「０」となる。そこで、差分処理を行った結果、データが「１」となった領域を凸状欠陥候補として検出し、データが「−１」となった領域を凹状欠陥候補として検出した。次にこれらの欠陥候補の中から４画素×４画素の矩形サイズ以上の大きさを有する欠陥候補を選び、この欠陥候補を欠陥と判定した。このように隔壁１０ａ、１０ｂに生じた５μｍ角程度の微小な凸状欠陥１３または凹状欠陥１２を高精度で検出することができた。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル用基板の隔壁について検査する際、短時間でかつ高精度に隔壁の形状不良を検出し良否の判定を行うことができるので、プラズマディスプレイパネル用基板の検査に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネル用基板の検査装置の概略を示す図
【図２】プラズマディスプレイパネル用基板の要部を示す断面図
【図３】（ａ）、（ｂ）は隔壁に生じ得る欠陥を隔壁側面から示す図
【図４】同検査装置を用いた検査方法のフローチャート
【図５】本発明の第１の実施の形態においてプラズマディスプレイパネル用基板に可視光を照射した状態を示す図
【図６】（ａ）〜（ｃ）は同検査装置を用いて隔壁を撮像したときの画像を示す図
【図７】本発明の第１の実施の形態において実施例を説明するための図
【図８】本発明の第２の実施の形態におけるプラズマディスプレイパネル用基板の検査装置の概略を示す図
【図９】本発明の第２の実施の形態において実施例を説明するための図
【図１０】（ａ）、（ｂ）はプラズマディスプレイパネルの構造を示す断面図
【符号の説明】
【００４３】
７  背面基板
１０  隔壁
１２  凹状欠陥
１３  凸状欠陥
１４  凹部
１５  凸部
２１  ＰＤＰ用基板
２２  保持機構
２３  エリアセンサーカメラ
２４  鏡筒
２５  光源
２６  画像処理手段
２７  良否判定手段
２８  データ記憶装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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