(57)【要約】【課題】  レール部に曲がり部が存在してもヘッド・サスペンションの捻れを抑制可能とする。【解決手段】  軸回りに回転駆動されるベース・プレート５と、ベース・プレート５に剛体部９の基端側１９がばね部１１を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側１３のヘッド部８に負荷荷重を与えるロード・ビーム３と、ヘッド部８を支持してロード・ビーム３に取り付けられたフレキシャ７とを備えたヘッド・サスペンション１において、剛体部９の幅方向両縁に、折り曲げにより厚み方向に立ち上げられ先端側１３から基端側１９まで連続するレール部２３を設け、レール部２３の延出方向で基端側１９の幅が拡大開始する前後間に渡って位置する曲がり部２５に、他の箇所に比較して延出方向及び立ち上げの方向の変形を容易とする貫通部２７を形成したことを特徴とする。【選択図】  図１
2006260673.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジ側に取り付けられて軸回りに回転駆動されるベース部と、
剛体部及びばね部を含み前記ベース部側に前記剛体部の基端側が前記ばね部を介して支持されると共に情報の書き込み，読み取りを行う先端側のヘッド部に負荷荷重を与えるロード・ビームと、
前記ヘッド部を書き込み用及び読み取り用の配線に接続すると共に該ヘッド部を支持して前記ロード・ビームに取り付けられたフレキシャとを備えたヘッド・サスペンションにおいて、
前記剛体部の幅方向両縁に、折り曲げにより厚み方向に立ち上げられ前記先端側から前記基端側まで連続するレール部を設け、
前記レール部の延出方向での曲がり部に、他の箇所に比較して前記延出方向及び立ち上げの方向の変形を容易とする易変形部を設けた
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項２】
請求項１記載のヘッド・サスペンションであって、
前記易変形部は、前記曲がり部に貫通部を設けて構成した
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項３】
請求項１記載のヘッド・サスペンションであって、
前記易変形部は、前記曲がり部に凹部及び膜部を設けて構成した
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載のヘッド・サスペンションであって、
前記剛体部の基端側に、前記ばね部に向かって漸次幅を拡大する形状の幅広部を形成し、
前記曲がり部は、前記基端側の幅が拡大開始する前後間に位置する
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかに記載のヘッド・サスペンションであって、
前記易変形部は、前記曲がり部の前記延出方向での湾曲部の全体及び前記立ち上げ方向での湾曲部の全体に渡る
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項６】
請求項１〜５の何れかに記載のヘッド・サスペンションであって、
前記レール部は、前記立ち上げ方向で湾曲部のみが前記剛体部の肉厚よりも薄肉に形成されている
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【請求項７】
請求項１〜５の何れかに記載のヘッド・サスペンションであって、
前記レール部は、前記立ち上げ方向で湾曲部を含めた全体が前記剛体部の肉厚よりも薄肉に形成されている
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ「Hard Disk Drive」）のヘッド・サスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
［ショック特性での課題］
一般に、ヘッド・サスペンションのヘッド部のスライダが、ショック入力時にディスクに対してリフトするか否か（ショック特性）は、ロード・ビームの自重が影響する。
【０００３】
一例として、厚さｔ＝５１μｍ、長さｌＬ＝７ｍｍ、グラム・ロード（Ｇｒａｍ  ｌｏａｄ）：２．５ｇｆのロード・ビームを備えた第１のヘッド・サスペンションと、厚さｔ＝３０μｍ、長さｌＬ＝５．５ｍｍ、グラム・ロード（Ｇｒａｍ  ｌｏａｄ）：２．５ｇｆのロード・ビームを備えた第２のヘッド・サスペンションとに１ｍｓｅｃデュレーション（ｄｕｒａｔｉｏｎ）（半波長が１ｍｓｅｃ）のショックを入力したとき、第１のヘッド・サスペンションは、６２８Ｇの発生加速度でスライダがリフトし、第２のヘッド・サスペンションは、１１０３Ｇの発生加速度でスライダがリフトした。
【０００４】
これより、ショック特性の良いヘッド・サスペンションは、ロード・ビームを薄く、短く、グラム・ロードを大きくするのが得策である。
【０００５】
図１４は、ハード・ディスク・ドライブに装備されるヘッド・サスペンション１０１の平面図であり、このヘッド・サスペンション１０１は、ベース・プレート１０３とロード・ビーム１０５とフレキシャ１０７とを備えている。ロード・ビーム１０５は、剛体部１０９及びばね部１１１を含んでいる。剛体部１０９の幅方向両縁には、レール部１１３が立ち上げ形成されている。
【０００６】
図１５は、ヘッド・サスペンション取付の一例を示すハード・ディスク・ドライブの一部断面図である。前記ヘッド・サスペンション１０１は、例えば図１５のようにキャリッジ１１５のアーム１１７にベース・プレート１０３がスウェージング等により取り付けられている。
【０００７】
キャリッジ１１５は、ボイスコイルモータなどのポジショニング用モータ１１８によって、軸１１９を中心に旋回駆動される。キャリッジ１１５が軸１１９を中心に旋回することによって、ヘッド・サスペンション１０１のヘッド部１２１がディスク１２３の所望トラックまで移動する。
【０００８】
前記ディスク１２３が高速回転したとき、ヘッド部１２１は、グラム・ロードに抗してディスク１２３から僅かに浮上する。
【０００９】
このヘッド・サスペンション１０１において、前記のような自重を考慮した対策では、長さｌＬのロード・ビーム１０５の部分を薄く、短くする。
【００１０】
しかし、実際はアーム１１７が振動するため、アーム１１７のＢ１周波数（１次ベンディング・モードでの共振周波数、１ｓｔ  Ｂｅｎｄｉｎｇ周波数）を考慮したロード・ビーム１０５の設定が必要となる。換言すれば、アーム１１７のＢ１周波数を考慮しつつロード・ビーム１０５のＢ１周波数を設定することが必要となる。
【００１１】
図１６〜図１８は、２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブのアームのＢ１周波数に対するショック特性の実験結果を示すグラフであり、図１６は、スライダがリフトする加速度（ショック入力によりハード・ディスク・ドライブに発生する加速度）、図１７は、ショック入力時のアーム先端の最大加速度、図１８は、アーム最大変位量に関する。図１６〜図１８の横軸は、アームのＢ１周波数を示し、図１６，図１７の縦軸は、アーム加速度、図１８の縦軸は、アームの変位量を示している。ショック入力により発生する加速度の大きさは何れも３００Ｇであるが、半波長が２ｍｓｅｃ，１ｍｓｅｃ，０．４ｍｓｅｃデュレーションの３種の波形のものとした。
【００１２】
この実験結果より、２ｍｓｅｃ，１ｍｓｅｃデュレーションのショック入力に対しては、図１６〜図１８の線分１２５Ａ，１２５Ｂ，１２５Ｃ、１２７Ａ，１２７Ｂ，１２７ＣのようにアームのＢ１周波数が高くなると（例えば、１．５ｋＨｚ）アームは殆ど動かなくなる。一方、０．４ｍｓｅｃデュレーションのショック入力に対しては、線分１２９Ａ，１２９Ｂ，１２９Ｃのように様相が異なった。
【００１３】
その理由は、アームのＢ１周波数が高くなっても、０．４ｍｓｅｃデュレーションのショック入力では、大きなアーム・アクション（Ａｒｍ  ａｃｔｉｏｎ）が発生するためである。
【００１４】
従って、ヘッド・サスペンションは、アーム・アクションに追従する必要がある。すなわち、アームの振動に対してロード・ビームの追従性を高め、スライダがディスクからリフトしないようにする。
［オフ・トラック特性での課題］
オフ・トラック特性に関し、ヘッド・サスペンションの縦剛性は、オフ・トラック（ｏｆｆ  Ｔｒａｃｋ）方向には関係しないと考えることができる。
【００１５】
しかし、実際は、ヘッド・サスペンションの僅かな捻れや、ディスクの僅かな傾きにより縦剛性（Ｂ１周波数）が関係してくる。
【００１６】
図１９は、Ｂ１周波数が３．１ｋＨｚのヘッド・サスペンションに関し、オフ・トラック特性の実験結果を示すグラフである。図１９の横軸は、周波数、同縦軸は、変位量を示す。ディスクは、２．５インチであり、回転数は、５４００ｒｐｍ，７２００ｒｐｍの２種類とした。
【００１７】
Ｂ１周波数が３．１ｋＨｚと低いヘッド・サスペンションでは、アームのベンディング・モード（Ｂｅｎｄｉｎｇ  Ｍｏｄｅ）とヘッド・サスペンションのベンディング・モードとが重なる。これらモードの重なりにより、図１９のように３．０ｋＨｚ，３．３ｋＨｚにオフ・トラック現象が発生する。
【００１８】
従って、ヘッド・サスペンション及びアームのベンディング・モードが重ならないようにロード・ビームのＢ１周波数をできるだけ高める必要がある。
【００１９】
ロード・ビームのＢ１周波数を高めるためには、例えば、前記図１４のように剛体部１０９の幅方向両縁に、レール部１１３を立ち上げ、そのレール部１１３を剛体部１０９の全体に連続して設けることが得策である。
【００２０】
しかし、例えば図２０のようなロード・ビーム構造において剛体部１９全体に連続するレール部１１３を立ち上げることは容易ではない。
【００２１】
図２０は、ヘッド・サスペンションの斜視図である。なお、図１４と対応する構成部分には同符号にＡを付して説明する。
【００２２】
図２０のヘッド・サスペンション１０１Ａでは、ロード・ビーム縦剛性を高めるためにロード・ビーム１０５Ａの剛体部１０９Ａにレール部１１３Ａを設けている。剛体部１０９Ａの基端側には、ばね部１１１Ａに向かって漸次幅を拡大する形状、例えば平面視で台形形状の幅広部１３１が形成されている。幅広部１３１には、レール部は設けられていない。
【００２３】
図２０のヘッド・サスペンションは、例えば３．５インチ用であり、ショック特性への要求は小さく、むしろ高いスウェイ（Ｓｗａｙ）周波数を実現するために剛体部１０９Ａの基端側に幅広部１３１が設けられ、幅広部１３１にまでレール部を設けることはそれほど要求はされない。
【００２４】
これに対し、２．５インチ用のヘッド・サスペンションなどでは、前記のようなショック特性が要求されるため、幅広部１３１にレール部が設けられていない構造では、ロード・ビームのＢ１周波数が低く、十分に満足する結果を得ることはできない。
【００２５】
そこで、図２０のロード・ビーム構造を前提として図２１のような構造が考えられる。図２１は、ヘッド・サスペンションの斜視図である。なお、図２０と対応する構成部分には同符号のＡをＢに代えて説明する。
【００２６】
図２１のヘッド・サスペンション１０１Ｂでは、レール部１１３Ｂを剛体部１０９Ｂの先端側から幅広部１３１Ｂにまで連続して設けたものである。この場合は、ロード・ビーム１０５ＢのＢ１周波数を要求に応じて高めることができ、ショック特性を満足しながらスウェイ周波数を高めることができる。
【００２７】
しかし、レール部Ｂを剛体部１０９Ｂの先端側から幅広部１３１Ｂに連続して設けると、レール部１１３Ｂの中間に曲がり部１３３が存在することになる。このため、レール部１１３Ｂを折り曲げにより立ち上げ形成すると曲がり部１３３で歪みが発生しやすく、剛体部１０９Ｂに捻れを招きやすくなり、結果としてオフ・トラック特性を十分満足することができない。
【００２８】
【特許文献１】ＵＳ６７６５７５９Ｂ２号公報
【特許文献２】特開平９−２８２６２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
解決しようとする問題点は、ヘッド・サスペンションのショック特性等の要求性能を満足するためにロード・ビームにレール部を立ち上げ形成する場合、レール部に曲がり部が存在するとヘッド・サスペンションに捻れを招く点である。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
本発明は、レール部に曲がり部が存在してもヘッド・サスペンションの捻れを抑制可能とするため、レール部の延出方向での曲がり部に、他の箇所に比較して前記延出方向及び立ち上げの方向の変形を容易とする易変形部を設けたことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
本発明のヘッド・サスペンションは、レール部の延出方向での曲がり部に、他の箇所に比較して前記延出方向及び立ち上げの方向の変形を容易とする易変形部を設けたため、レール部によりロード・ビームの縦剛性を高めてロード・ビームのＢ１周波数を高め、ヘッド・サスペンションのショック特性及びオフ・トラック特性を満足することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
ヘッド・サスペンションのショック特性の要求性能を満足するためにロード・ビームにレール部を立ち上げ形成する場合、レール部に曲がり部が存在してもヘッド・サスペンションの捻れを抑制するという目的を、レール部の易変形部により実現した。
【実施例１】
【００３３】
［ヘッド・サスペンションの全体構成］
図１〜図３は、本発明実施例１を適用したヘッド・サスペンションに係り、図１は、斜視図、図２（ａ）は、要部拡大斜視図、図２（ｂ）は、図１のＳＡ−ＳＡ矢視要部拡大断面図、図２（ｃ）は、変形例に係る図１のＳＡ−ＳＡ矢視対応要部拡大断面図、図３は、異なる方向から見た要部拡大斜視図である。
【００３４】
図１〜図３で示すヘッド・サスペンション１は、例えば２．５インチ用のものであり、ロード・ビーム３と、ベース部としてのベース・プレート５と、フレキシャ７とを備えている。
【００３５】
前記ロード・ビーム３は、ヘッド部８に負荷荷重を与えるもので、剛体部９とばね部１１とを備えている。剛体部９は、例えばステンレス鋼で形成され、その厚みは、例えば３０μｍ程度に設定されている。
【００３６】
前記ばね部１１は、剛体部９とは別体に形成されたもので、例えばばね性のある薄いステンレス鋼圧延板からなっている。このばね部１１は、その一端部が剛体部９の基端側１９にレーザ溶接などによって固着され、他端部が前記ベース・プレート５にレーザ溶接などによって固着されている。
【００３７】
前記ベース・プレート５は、ボス部１２を備え、ボス部１２においてキャリッジ側のアームにスウェージング等により取り付けられ、軸回りに回転駆動可能となっている。なお、ベース・プレート５は、アームに一体に形成されてキャリッジ側に取り付けられる構成にすることもできる。
【００３８】
前記フレキシャ７は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板（ＳＳＴ）などの導電性薄板であり、電気絶縁層を介して配線パターンを形成している。フレキシャ７は、レーザ溶接などによって剛体部９に固着されている。フレキシャ配線パターンの一端は、ヘッド部８のスライダに支持された書き込み用の端子、読み取り用の端子に導通接続され、他端はベース・プレート５側に延設されている。
［レール部及び易変形部］
前記剛体部９は、先端側１３が所定幅で細く形成され、先端にロード・アンロード用のタブ１５を備え、先端側１３にディンプル１７が設けられている。剛体部９の基端側１９には、ばね部１１に向かって漸次幅を拡大する形状、例えば平面視で台形形状の幅広部２１が形成されている。幅広部２１の端末には、ばね部１１への結合部２２が設けられている。この結合部２２において剛体部９は、前記ばね部１１に結合されている。
【００３９】
前記剛体部９の幅方向両縁には、先端側１３から基端側１９の幅広部２１まで連続するレール部２３が、折り曲げにより剛体部厚み方向に立ち上げられている。レール部２３の厚みは、剛体部９の一般部の厚みと同一に形成されている。
【００４０】
前記レール部２３には、先端側１３と基端側１９との間で、レール部２３の延出方向での曲がり部２５が存在する。曲がり部２５は、前記幅広部２１により基端側１３の幅が拡大開始する前後間に渡って位置している。レール部２３には、曲がり部２５において易変形部として貫通部２７が矩形窓状に形成されている。
【００４１】
前記貫通部２７は、本実施例において、図２（ｂ），図３のように、前記曲がり部２５の前記延出方向での湾曲部Ｈ全体及び前記立ち上げ方向での湾曲部Ｓ全体に渡る範囲又はこの範囲よりも若干大きく形成され、該範囲でレール部２３が除去されている。但し、貫通部２７は、湾曲部Ｈ，Ｓの範囲の一部として小さく設けることもできる。レール部２３は、貫通部２７が形成されない曲がり部２５の一部２９により連続している。
【００４２】
曲がり部２５は、貫通部２７により曲がり部のない他の箇所に比較してレール部２３の延出方向及び立ち上げの方向の変形が容易となる。貫通部２７により、レール部２３の折り曲げによる立ち上げ形成に際し、該レール部２３の延出方向及び立ち上げの方向等で対向し又は交差するように曲がり部２５に向かう応力を逃がし又は緩和することができる。
【００４３】
なお、易変形部は、図２（ｃ）のように、曲がり部２５に凹部２７ａ及び膜部２７ｂを設けて構成することもできる。凹部２７ａ及び膜部２７ｂを設ける範囲等は、貫通部２７と同様にすることができる。膜部２７ｂは、レール部２３立ち上げ方向での湾曲部Ｓの厚み方向内側或いは中間に配置することもできる。
【００４４】
図４は、ヘッド・サスペンションの縦剛性の計算例を示すグラフであり、横軸は、ボス部１２のセンターからの距離を示し、縦軸は、縦剛性を示している。
【００４５】
図４の線分３１は、例えば図２０のように剛体部１０９Ａの先端側にのみレール部１１３Ａが立ち上げ形成されたヘッド・サスペンション１０１Ａの計算例、同線分３３は、例えば図２１のように剛体部１０９Ｂの先端側から基端側の幅広部１３１Ｂまで連続してレール部１１３Ｂが立ち上げ形成され、レール部１１３Ｂに貫通部がないヘッド・サスペンション１０１Ｂの計算例、同線分３５は、本実施例のヘッド・サスペンション１の計算例を示す。
【００４６】
図４から明らかなように、剛体部１０９Ｂの先端側から基端側の幅広部１３１Ｂまで連続してレール部１１３Ｂが立ち上げ形成されたヘッド・サスペンション１０１Ｂ（図２１）及び本実施例のヘッド・サスペンション１の何れも、剛体部１０９Ａの先端側にのみレール部１１３Ａが立ち上げ形成されたヘッド・サスペンション１０１Ａ（図２０）と比較して縦剛性を高めることができた。また、剛体部１０９Ｂの先端側から基端側の幅広部１３１Ｂまで連続したレール部１１３Ｂに貫通部がないヘッド・サスペンション１０１Ｂと比較しても、貫通部２７のある本実施例のヘッド・サスペンション１は、縦剛性に殆ど劣化が無かった。
［ショック特性とＢ１周波数］
本願出願人は、アームに対するロード・ビームの追従性に要求されるロード・ビームの性能は何かを解析した。
【００４７】
図５（ａ）は、ヘッド・サスペンションのスケルトン、同図（ｂ）は、ヘッド・サスペンションの振動モデルである。図５において、Ｍは、ロード・ビーム３の重心位置に集中したと仮定した場合の質量、Ｋｓｐは、ロード・ビーム３の剛体部９をアーム２８側に支持するばね部１１を含め、重心位置からばね部１１側のばね定数、Ｋｌｂは、重心位置からディンプル位置までの剛体部９の剛性によるばね定数、Ｇ｀ｓは、ショック入力、Ｘ０は、アーム・アクション、Ｘは、重心位置でのロード・ビーム３の変位量を示す。
【００４８】
変位量Ｘは、次式で表すことができる。
【００４９】
Ｘ＝Ａ／｛（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）−（ω／ω０）２＋ω０２｝    ・・・（１）
ω０２＝Ｋｓｐ／Ｍ
（１）式において、変位量Ｘを小さくすることにより、スライダのディスクに対するリフトを抑制するためには、（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）及び  ω０２を大きくすることが必要となる。図６は、（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）の増大とゲイン（Ｇａｉｎ）との関係を示すグラフである。図６のように、（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）が、０．５，１，２，４，８と高くなるに従って周波数も上がり、ゲインも小さくなりることが分かる。
【００５０】
（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）を大きくする場合、Ｋｓｐには、ばね部との関係で限界があるため、Ｋｌｂを大きくする必要があり、ロード・ビームのいわゆる縦剛性を高めることになる。ω０２を大きくする場合、Ｍを小さくすることになる。
【００５１】
結果として、変位量Ｘを小さくするためには、ロード・ビームの縦剛性を高め、質量Ｍを小さくすることが必要になることが分かった。
【００５２】
図７は、アームのＢ１周波数とロード・ビームのＢ１周波数との関係でスライダがリフトする加速度に関し、ショック特性の実験結果を示すグラフである。図７の横軸は、ロード・ビームのＢ１周波数、同縦軸は、加速度を示している。線分３７がアームのＢ１周波数が１．５２ｋＨｚ、線分３９が同１．２０ｋＨｚの結果である。
【００５３】
図７のように、ロード・ビームのＢ１周波数が低いと高いアームのＢ１周波数には追従できず、ショック特性は劣化し、低い発生加速度でスライダはリフトする。一方、ロード・ビームのＢ１周波数を４ｋＨｚ等と高めると、アームのＢ１周波数が１．５２ｋＨｚの高い周波数でも十分追従し、ショック特性の劣化は少なく、スライダがリフトする加速度を高めることができた。
【００５４】
但し、図７の結果は、キャリッジ及びヘッド・サスペンションのみの組合せによるものであり、実際は、ベースやディスクのモードも作用するため、簡単ではないが、それでも図８のような結果を得ることができた。
【００５５】
図８は、実際の２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブでの実験結果を示す図表である。図８のように、ロード・ビームのＢ１周波数を３．１１ｋＨｚから同４．０２ｋＨｚに高めると、０．４ｍｓｅｃのショート・デュレーションのショック入力でスライダがリフトする加速度を２９６Ｇから３２５Ｇへと高めることができ、効果を確認することができた。
［オフ・トラックとＢ１周波数］
図９は、Ｂ１周波数が３．６ｋＨｚのヘッド・サスペンションに関し、オフ・トラック特性の実験結果を示すグラフである。図９の横軸は、周波数、同縦軸は、オフ・トラック量を示す。ディスクは、２．５インチであり、回転数は、７２００ｒｐｍとした。
【００５６】
前記のように、図１９の結果では、ヘッド・サスペンションのＢ１周波数が低く、アームのベンディング・モードとヘッド・サスペンションのベンディング・モードとが重なり、オフ・トラック現象が発生していた。
【００５７】
これに対し、本実施例のように縦剛性を高めることでヘッド・サスペンション１のＢ１周波数を高めると、ヘッド・サスペンション１及びアームのベンディング・モードの重なりが無くなり、剛性向上によりベンディングの振幅も小さくなる。このため、図９の結果では、図１９の結果と比較して明らかなように、ベンディング・モードに関するオフ・トラック現象は生じなかった。
［実施例１の効果］
以上、本発明実施例１のヘッド・サスペンション１は、レール部２３の延出方向での曲がり部２５に、レール部２３立ち上げによる歪みを規制又は緩和する貫通部を形成したため、レール部２３によりロード・ビーム３の縦剛性を高めてロード・ビーム３のＢ１周波数を高め、ヘッド・サスペンション１のショック特性の要求性能を満足することができる。また、幅広部２１の存在によりスウェイ周波数を高めることもできる。幅広部２１には、剛体部９の先端側１３から連続するレール部２３が存在するため、かかる点からもスウェイ周波数をより高めることができる。
【００５８】
前記貫通部２７は、前記曲がり部２５の前記延出方向での湾曲部全体及び前記立ち上げ方向での湾曲部全体に渡るため、他の箇所に比較して前記延出方向及び立ち上げの方向での曲がり部２５の変形が容易となる。このため、レール部２３の延出方向及び立ち上げの方向で対向し又は交差する応力を逃がし又は緩和することができ、レール部２３立ち上げによる曲がり部２５での歪みを確実に抑制し、ヘッド・サスペンション１の捻れを抑制してオフ・トラック特性を満足することができる。
【実施例２】
【００５９】
図１０〜図１２は、本発明の実施例２に係り、図１０は、ヘッド・サスペンションの斜視図、図１１（ａ）は、要部拡大斜視図、図１１（ｂ）は、図２（ｂ）に対応する要部拡大断面図、図１１（ｃ）は、変形例に係る図２（ｂ）に対応する要部拡大断面図、図１２は、異なる方向から見た要部拡大斜視図である。なお、実施例１と同一又は対応する構成部分には、同符号又は同符号にＡを付して説明する。
【００６０】
本実施例のヘッド・サスペンション１Ａは、実施例１と比較して若干厚肉のものに適用したもので、剛体部９の肉厚が例えば５１μｍ程度のものである。
【００６１】
この場合は、レール部２３Ａは、立ち上げ方向の湾曲部Ｓ１のみが剛体部９の肉厚よりも薄肉に形成されている。この薄肉の湾曲部Ｓ１は、例えばハーフ・エッチングにより形成されている。
【００６２】
そして、易変形部としての貫通部２７Ａが、実施例１と同様な範囲で形成されている。
【００６３】
なお、易変形部は、図１１（ｃ）のように、曲がり部２５に凹部２７Ａａ及び膜部２７Ａｂを設けて構成することもできる。凹部２７Ａａ及び膜部２７Ａｂを設ける範囲等は、貫通部２７Ａと同様にすることができる。膜部２７Ａｂは、レール部２３立ち上げ方向での湾曲部Ｓ１の厚み方向内側或いは中間に配置することもできる。
【００６４】
このように、湾曲部Ｓ１を薄肉とすることで、剛体部９が若干厚肉のヘッド・サスペンション１Ａであっても、レール部２３Ａの立ち上げ形成を無理なく行わせることができる。
【実施例３】
【００６５】
図１３は、本発明の実施例３に係り、図１３（ａ）は、要部拡大斜視図、図１３（ｂ）は、図２（ｂ）に対応する要部拡大断面図、図１３（ｃ）は、変形例に係る図２（ｂ）に対応する要部拡大断面図である。なお、実施例１と同一又は対応する構成部分には、同符号又は同符号にＢを付して説明する。
【００６６】
本実施例のヘッド・サスペンション１Ｂは、実施例１，２よりも厚肉のものに適用したもので、剛体部９の肉厚が例えば６４μｍ以上のものである。
【００６７】
この場合は、レール部２３Ｂは、立ち上げ方向の湾曲部Ｓ２を含めた全体が剛体部９の肉厚よりも薄肉に形成されている。この薄肉のレール部２３Ｂは、例えばハーフ・エッチングにより形成されている。
【００６８】
そして、易変形部としての貫通部２７Ｂが、実施例１と同様な範囲で形成されている。
【００６９】
なお、易変形部は、図１３（ｃ）のように、曲がり部２５に凹部２７Ｂａ及び膜部２７Ｂｂを設けて構成することもできる。凹部２７Ｂａ及び膜部２７Ｂｂを設ける範囲等は、貫通部２７Ｂと同様にすることができる。膜部２７Ｂｂは、レール部２３Ｂ立ち上げ方向での湾曲部Ｓ２の厚み方向内側或いは中間に配置することもできる。
【００７０】
このように、レール部２３Ｂを薄肉とすることで、剛体部９が６４μｍ（７６μｍ，１００μｍ等も含む）と厚肉のヘッド・サスペンション１Ｂであっても、レール部２３Ｂの立ち上げ形成を無理なく行わせることができる。
［その他］
前記貫通部２７は、レール部２３，２３Ａ，２３Ｂの延出方向での曲がり部に設けられるもので、剛体部９の基端側１９の幅が拡大開始する前後間以外にも、レール部２３，２３Ａ，２３Ｂに曲がり部が存在すれば、その箇所に適宜設けることができる。
【００７１】
貫通部２７は、レール部立ち上げ形成による歪みを抑制できれば良く、その形状、大きさ等は特に限定されず、楕円形状、菱形形状など、種々の形状、大きさを選択することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】ヘッド・サスペンションの斜視図である（実施例１）。
【図２】（ａ）は、ヘッド・サスペンションの要部拡大斜視図、（ｂ）は、図１のＳＡ−ＳＡ矢視要部拡大断面図、（ｃ）は、変形例に係る図１のＳＡ−ＳＡ矢視対応要部拡大断面図である（実施例１）。
【図３】異なる方向から見たヘッド・サスペンションの要部拡大斜視図である（実施例１）。
【図４】ヘッド・サスペンションの縦剛性の計算例を示すグラフである（実施例１）。
【図５】（ａ）は、ヘッド・サスペンションのスケルトン、（ｂ）は、ヘッド・サスペンションの振動モデルである（実施例１）。
【図６】（Ｋｌｂ／Ｋｓｐ）の増大とゲイン（Ｇａｉｎ）との関係を示すグラフである（実施例１）。
【図７】アームのＢ１周波数とロード・ビームのＢ１周波数との関係でスライダがリフトする加速度に関し、ショック特性の実験結果を示すグラフである（実施例１）。
【図８】実際の２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブでの実験結果を示す図表である（実施例１）。
【図９】アームを含めた全体のＢ１周波数が３．６ｋＨｚのヘッド・サスペンションに関し、オフ・トラック特性の実験結果を示すグラフである（実施例１）。
【図１０】ヘッド・サスペンションの斜視図である（実施例２）。
【図１１】（ａ）は、ヘッド・サスペンションの要部拡大斜視図、（ｂ）は、図２（ｂ）に対応する要部拡大断面図、（ｃ）は、変形例に係る図２（ｂ）に対応する要部拡大断面図である（実施例２）。
【図１２】異なる方向から見たヘッド・サスペンションの要部拡大斜視図である（実施例２）。
【図１３】（ａ）は、ヘッド・サスペンションの要部拡大斜視図、（ｂ）は、図２（ｂ）に対応する同要部拡大断面図、（ｃ）は、変形例に係る図２（ｂ）に対応する要部拡大断面図である（実施例３）。
【図１４】ヘッド・サスペンションの平面図である（従来例）。
【図１５】ヘッド・サスペンション取付の一例を示すハード・ディスク・ドライブの一部断面図である（従来例）。
【図１６】２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブのアームのＢ１周波数に対するショック特性の実験結果を示すグラフである（従来例）。
【図１７】２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブのアームのＢ１周波数に対するショック特性の実験結果を示すグラフである（従来例）。
【図１８】２．５インチ・ハード・ディスク・ドライブのアームのＢ１周波数に対するショック特性の実験結果を示すグラフである（従来例）。
【図１９】アームを含めた全体のＢ１周波数が３．１ｋＨｚのヘッド・サスペンションに関し、オフ・トラック特性の実験結果を示すグラフである（従来例）。
【図２０】ヘッド・サスペンションの斜視図である（従来例）。
【図２１】ヘッド・サスペンションの斜視図である。
【符号の説明】
【００７３】
１  ヘッド・サスペンション
３  ロード・ビーム
５  ベース・プレート（ベース部）
７  フレキシャ
８  ヘッド部
９  剛体部
１１  ばね部
１３  先端側
１９  基端側
２１  幅広部
２３，２３Ａ，２３Ｂ  レール部
２５  曲がり部
２７，２７Ａ，２７Ｂ  貫通部（易変形部）
２７Ａａ，２７Ｂａ  凹部（易変形部）
２７Ａｂ，２７Ｂｂ  膜部（易変形部）
Ｈ，Ｓ  湾曲部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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