(57)【要約】【課題】簡単な工程及び構成で、気泡の混入を可及的に阻止し、積層体を基板に効率的にラミネートすることを可能にする。【解決手段】ラミネート機構４２は、感光性ウエブ２２をガラス基板２４に熱圧着するラミネートローラ９０ａ、９０ｂと、前記感光性ウエブ２２を前記ガラス基板２４に重ね合わせる直前に、感光性樹脂層２９側から冷却処理を施す冷却機構９４とを備える。冷却機構９４は、ノズル部材９４ａを備え、このノズル部材９４ａから感光性樹脂層２９に冷却風を供給することにより、前記感光性樹脂層２９の温度が低下して粘度が高くなり、該感光性樹脂層２９が所定の剛性を有する。一方、クッション層２７は、冷却処理が施されず、比較的温度が高くなって粘度が低下して軟化する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも感光性樹脂層と熱可塑性樹脂層とが積層された積層体を、前記感光性樹脂層側が基板に向かうように前記基板に熱圧着する積層体のラミネート方法であって、
前記積層体を前記基板に重ね合わせる直前に、前記感光性樹脂層側から冷却処理を施すことを特徴とする積層体のラミネート方法。
【請求項２】
請求項１記載のラミネート方法において、前記冷却処理は、前記感光性樹脂層側に冷却風を供給することにより行うことを特徴とする積層体のラミネート方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のラミネート方法において、一対のラミネートローラ間で前記積層体と前記基板とを挟持するとともに、前記ラミネートローラ間の前記基板の進行方向に沿う圧着時の弾性変形長さは、５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内に設定されることを特徴とする積層体のラミネート方法。
【請求項４】
少なくとも感光性樹脂層と熱可塑性樹脂層とが積層された積層体を、前記感光性樹脂層側が基板に向かうように前記基板に熱圧着する積層体のラミネート装置であって、
前記積層体を前記基板に重ね合わせる直前に、前記感光性樹脂層側から冷却処理を施す冷却機構を備えることを特徴とする積層体のラミネート装置。
【請求項５】
請求項４記載のラミネート装置において、前記冷却機構は、前記感光性樹脂層側に冷却風を供給するノズル部材を備えることを特徴とする積層体のラミネート装置。
【請求項６】
請求項５記載のラミネート装置において、前記ノズル部材は、前記感光性樹脂層の幅方向中央側の開口幅が幅方向端部側の開口幅よりも大きく設定されることを特徴とする積層体のラミネート装置。
【請求項７】
請求項４乃至６のいずれか１項に記載のラミネート装置において、前記積層体と前記基板とを挟持する一対のラミネートローラを備え、
前記ラミネートローラ間の前記基板の進行方向に沿う圧着時の弾性変形長さは、５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内に設定されることを特徴とする積層体のラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも感光性樹脂層と熱可塑性樹脂層とが積層された積層体を、前記感光性樹脂層側が基板に向かうように前記基板に熱圧着する積層体のラミネート方法及びラミネート接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光性樹脂（色材）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼付装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離した後、前記基板に感光性樹脂層を貼り付ける方式が採用されている。
【０００４】
上記の貼付装置では、通常、一対のラミネートロールを備えており、前記ラミネートロールが誘導加熱等によって所定の温度に加熱されている。このため、ラミネートロールにより挟持される感光性シート体と基板とが熱圧着されている。しかしながら、感光性樹脂層の加熱と基板への熱圧着とが同時に行われているため、前記基板に貼り付けられた感光性シート体に皺や弛み、あるいは、気泡の混入が発生するという問題がある。
【０００５】
そこで、例えば、特許文献１に開示されているフイルム貼付装置では、積層体フイルム及び基板を挟み込んで送りつつ、熱圧着温度でこれらを熱圧着する一対のラミネーティングロールの上流側に、一対の予備接着ロールが設けられている。この予備接着ロールは、外周に弾性材料が積層され、積層体フイルムと基板とを挟み込んで送りつつ、これらを熱圧着温度よりも低い温度で圧着して予備接着を行っている。その際、予備接着ロールは、ロール表面のフイルムを介して基板に接触して平面状に弾性変形する範囲が、基板搬送方向に５ｍｍ以下となるように構成されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−８５０１１号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、感光性シート体（積層体）フイルムでは、ベースフイルム（支持層）上に熱可塑性樹脂層（以下、クッション層ともいう）と感光性樹脂層とを積層して構成されている。その際、感光性樹脂層及びクッション層は、温度の上昇によって粘度が低下して軟化し、前記感光性樹脂層が溶融温度（活性化温度）に加熱されることによって基板に熱圧着されている。
【０００８】
このため、感光性シート体を予備接着ロールで予備加熱する際、この予備接着ロールの温度が低いと、感光性樹脂層の粘度及びクッション層の粘度も高くなる場合がある。これにより、感光性樹脂層及びクッション層は、剛性が高くなって可撓性が低下し、前記感光性樹脂層が基板の凹凸形状に追随することができず、気泡が混入するという問題がある。
【０００９】
しかも、感光性樹脂層の粘度が高いために、十分な粘着性が得られず、基板との密着が不完全となる。このため、例えば、ベースフイルムを剥離する際に、このベースフイルムをクッション層との界面で確実に剥離することができず、剥離不良が発生し易い。
【００１０】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、気泡の混入を可及的に阻止することができ、積層体を基板に効率的且つ良好にラミネートすることが可能な積層体のラミネート方法及びラミネート装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、少なくとも感光性樹脂層と熱可塑性樹脂層とが積層された積層体を、前記感光性樹脂層側が基板に向かうように前記基板に熱圧着する積層体のラミネート方法及びラミネート装置である。そして、積層体を基板に重ね合わせる直前に、感光性樹脂層側から冷却処理が施されている。
【００１２】
また、冷却処理は、感光性樹脂層側に冷却風を供給することにより行うことが好ましい。さらに、感光性樹脂層側に冷却風を供給するノズル部材を備えることが好ましく、前記ノズル部材は、前記感光性樹脂層の幅方向中央側の開口幅が幅方向端部側の開口幅よりも大きく設定されることが好ましい。
【００１３】
さらにまた、一対のラミネートローラ間で積層体と基板とを挟持するとともに、前記ラミネートローラ間の前記基板の進行方向に沿う圧着時の弾性変形長さは、５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内に設定されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、積層体と基板とがラミネートされる際、感光性樹脂層側から冷却処理が施される。このため、感光性樹脂層の温度が低下して粘度が高くなり、前記感光性樹脂層が所定の剛性を有する。一方、熱可塑性樹脂層は、冷却処理が施されず、比較的温度が高くなって粘度が低下し、軟化している。従って、熱可塑性樹脂層は、柔軟性（可撓性）が向上し、感光性樹脂層は、前記熱可塑性樹脂層の変形作用下に基板表面の形状（凹凸パターン）に倣って前記基板に確実に重なり合い、気泡の巻き込みを良好に阻止することができる。
【００１５】
次いで、積層体と基板とが熱圧着されることにより、感光性樹脂層は、所望の粘着性を有して基板に対して確実に接着することが可能になる。
【００１６】
これにより、積層体と基板とは、気泡の巻き込みを確実に阻止して高品質なラミネート処理が遂行されるとともに、生産効率の向上を図ってラミネート作業の高速化が容易になされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置（ラミネート装置）２０の概略構成図である。この製造装置２０は、プリント配線用基板、液晶、ＰＤＰ又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２９（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。
【００１８】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持層）２６、クッション層（熱可塑性樹脂層）２７、中間層（酸素遮断膜）２８、感光性樹脂層２９及び保護フイルム３０を積層して構成される。
【００１９】
ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２８は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２９は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリプロピレンで形成される。
【００２０】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を連続して剥離させる剥離機構３４と、前記感光性ウエブ２２の表面に露呈する感光性樹脂層２９に、送り出し方向（矢印Ａ方向）に所定の間隔ずつ離間してマスキングテープ３６を貼り付けるマスキングテープ貼付機構３８と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で接合位置に搬送する基板搬送機構４０と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２９を前記ガラス基板２４に熱圧着（ラミネート）するラミネート機構４２とを備える。
【００２１】
ラミネート機構４２におけるラミネート位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるマスキングテープ３６を直接検出する検出機構４４が配設されるとともに、前記ラミネート機構４２の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断機構４８が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時、トラブル発生時あるいは不良品フイルム排出時に使用されるウエブ先端切断機構４８ａが設けられる。
【００２２】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２の先端とを接合させる接合台４７が配設される。この接合台４７の下流には、感光性ウエブロール２２ａの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器４９が配設される。ここで、フイルム端位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、ウエブ送り出し機構３２は、感光性ウエブロール２２ａを装填して感光性ウエブ２２を繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。
【００２３】
剥離機構３４は、感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を低減し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム４６を備える。サクションドラム４６の近傍には、剥離ローラ４６ａが配置されるとともに、この剥離ローラ４６ａを介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、保護フイルム巻き取り部５０に連続的に巻き取られる。
【００２４】
剥離機構３４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構５２が配設される。テンション制御機構５２は、シリンダ５４を備え、このシリンダ５４の駆動作用下に、テンションダンサー５６が揺動変位することにより、このテンションダンサー５６が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構５２は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００２５】
マスキングテープ貼付機構３８は、図３に示すように、保護フイルム３０が剥離された感光性樹脂層２９に、基板間隔Ｔを跨いでマスキングテープ３６を貼り付ける。このマスキングテープ３６は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製基材の一面（感光性樹脂層２９との接着面）側に、例えば、アクリル系、シリコーン系、アクリル及びシリコーン系又はゴム系の接着剤５８が設けられている。マスキングテープ３６の他方の面には、接着剤が設けられておらず、好適には、フッ素系樹脂コーティング等の非着性の表面処理を行う。
【００２６】
マスキングテープ貼付機構３８は、図１に示すように、吸着部材６０によりマスキングテープ３６を吸着し、この吸着部材６０と貼付受台６２との作用下に、前記マスキングテープ３６を感光性樹脂層２９の所定の位置に貼り付ける。
【００２７】
検出機構４４は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ８２を備えており、前記光電センサ８２は、マスキングテープ３６が透過光を遮蔽することによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ８２は、バックアップローラ８３に対向して配置される。
【００２８】
なお、光電センサ８２に代えて、非接触変位計でテープ厚さの段差を検出したり、ＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。
【００２９】
基板搬送機構４０は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）８４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部８６とを備える。基板加熱部８４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部８６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部８６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３０】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部８４内さらには接合位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００３１】
基板加熱部８４の下流には、ガラス基板２４の先端に当接してこのガラス基板２４を保持するストッパ８７と、前記ガラス基板２４の先端位置を検出する位置センサ８８とが配設される。
【００３２】
ラミネート機構４２は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱又は冷却されるゴム製ラミネート９０ａ、９０ｂを備える。ラミネートローラ９０ａ、９０ｂには、バックアップローラ９２ａ、９２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ９２ｂは、ローラクランプ部９３を介してラミネートローラ９０ｂ側に押圧される。なお、バックアップローラ９２ａ、９２ｂは、必要に応じて設けられており、削除することもできる。
【００３３】
ラミネートローラ９０ａ、９０ｂは、電磁誘導加熱方式の他、ヒートパイプを用いたり、シーズヒータ加熱方式、コイルヒータ加熱方式、加熱液体方式又はこれらの組み合わせによる方式を採用することができ、あるいは、温水等の液体循環ローラを使用してもよい。ラミネートローラ９０ａ、９０ｂは、図４に示すように、ラミネート時にガラス基板２４と感光性ウエブ２２を挟持する際、前記ラミネートローラ９０ａ、９０ｂ間の前記ガラス基板２４の進行方向（矢印Ｃ方向）に沿う弾性変形長さＨは、５ｍｍ〜１５ｍｍの範囲内に設定される。
【００３４】
ラミネートローラ９０ａ、９０ｂの近傍には、感光性ウエブ２２をガラス基板２４に重ね合わせる直前に、感光性樹脂層２９側から冷却処理を施す冷却機構９４が配設される。冷却機構９４は、感光性樹脂層２９に向かって冷却風を供給するノズル部材９４ａを備えるとともに、このノズル部材９４ａの下方には、冷却風がガラス基板２４に吹き付けられることを阻止するための遮蔽板９５が配設される。図５に示すように、ノズル部材９４ａは、感光性ウエブ２２の幅方向（矢印Ｄ方向）中央側の開口幅Ｌ１が幅方向端部側の開口幅Ｌ２よりも大きく設定される。
【００３５】
図１に示すように、ラミネートローラ９０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記ラミネートローラ９０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ９６が移動可能に配設される。ラミネート機構４２の上流近傍には、感光性ウエブ２２を予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部９７が配設される。この予備加熱部９７は、例えば、コイル、カーボン、ハロゲン等の赤外線バーヒータ、セラミックタイプのＩＲヒータや各種接触式加熱ローラ等により構成される。
【００３６】
ラミネートローラ９０ａ、９０ｂは、例えば、クラウンローラで構成してもよく、同様に、バックアップローラ９２ａ、９２ｂは、クラウンローラで構成してもよい。また、ラミネート機構４２は、矢印Ｃ方向にそれぞれ複数段に配設してもよい。
【００３７】
ガラス基板２４は、ラミネート機構４２から基板間ウエブ切断機構４８を通ってさらに矢印Ｃ方向に延在する搬送路９８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路９８には、フイルム搬送ローラ１００と基板搬送ローラ１０２とが、ウエブ先端切断機構４８ａを介装して配設される。ラミネートローラ９０ａ、９０ｂと基板搬送ローラ１０２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００３８】
製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、剥離機構３４、テンション制御機構５２、マスキングテープ貼付機構３８及び検出機構４４が、ラミネート機構４２の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４４を前記ラミネート機構４２の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２９がガラス基板２４の下側に接合されてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００３９】
製造装置２０は、基板間ウエブ切断機構４８の下流側に、保護フイルム３０が剥離された感光性ウエブ２２とガラス基板２４とが接合された接合基板２４ａを冷却する冷却機構１１０と、冷却された前記接合基板２４ａを加熱する加熱機構１１２と、吸着パッド１１３に吸着保持されている前記接合基板２４ａからベースフイルム２６を剥離して感光性積層体１１４を得る剥離機構（図示せず）とを備える。
【００４０】
冷却機構１１０は、接合基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施すものであり、具体的には、冷風温度が１０℃で、風量が１．０〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定される。加熱機構１１２は、接合基板２４ａのベースフイルム２６側に配設される加熱ローラ１１８と、前記加熱ローラ１１８に対向してガラス基板２４側に配設される受けローラ１２０とを備える。
【００４１】
製造装置２０内は、仕切り壁１５０を介して第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１５２ａには、ウエブ送り出し機構３２からマスキングテープ貼付機構３８までが収容されるとともに、第２クリーンルーム１５２ｂには、検出機構４４以降が収容される。第１クリーンルーム１５２ａと第２クリーンルーム１５２ｂとは、貫通部１５４を介して連通する。
【００４２】
このように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係るラミネート方法との関連で以下に説明する。
【００４３】
先ず、イニシャル（頭出し）開始時には、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２が繰り出される。この感光性ウエブ２２は、剥離機構３４、マスキングテープ貼付機構３８及びラミネート機構４２を通ってフイルム搬送ローラ１００に先端部が挟持される。
【００４４】
次いで、光電センサ８２によりマスキングテープ３６が検出されると、この検出信号に基づいて、フイルム搬送ローラ１００が回転駆動され、感光性ウエブ２２がラミネート位置に向かって定量搬送される。このため、マスキングテープ３６は、所定のラミネート位置に対応して位置決めされる。なお、ラミネート位置の下流でマスキングテープ３６を検出し、感光性ウエブ２２を所定の位置に停止させてもよい。
【００４５】
その際、接触防止ローラ９６が下降して、感光性ウエブ２２がラミネートローラ９０ａに接触することを防止している。また、ガラス基板２４は、ラミネート位置の直前で待機している。これにより、イニシャル開始状態が得られる。
【００４６】
次に、ラミネート運転時における製造装置２０を構成する各機能部の動作について説明する。
【００４７】
図１に示すように、感光性ウエブ２２は、ウエブ送り出し機構３２から繰り出されて剥離機構３４に連続的に搬送される。剥離機構３４では、感光性ウエブ２２のベースフイルム２６がサクションドラム４６に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が前記感光性ウエブ２２から連続的に剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ４６ａを介して鋭角の剥離角で剥離されて保護フイルム巻き取り部５０に巻き取られる。
【００４８】
剥離機構３４の作用下に、保護フイルム３０がベースフイルム２６から連続して剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構５２によってテンション調整が行われ、さらにマスキングテープ貼付機構３８に送られる。
【００４９】
マスキングテープ貼付機構３８では、吸着部材６０がマスキングテープ３６を吸着した後、前記吸着部材６０及び貼付受台６２が、感光性ウエブ２２と同期して移動しながらこの感光性ウエブ２２を保持し、感光性樹脂層２９にマスキングテープ３６を貼り付ける（図３参照）。
【００５０】
上記のように、感光性樹脂層２９の所定の部位のマスキングテープ３６が貼り付けられた感光性ウエブ２２は、検出機構４４に送られる。図１に示すように、この検出機構４４では、光電センサ８２によりマスキングテープ３６の境界部位が検出される。感光性ウエブ２２は、マスキングテープ３６の位置検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ１００の回転作用下に、ラミネート機構４２に定量搬送される。その際、接触防止ローラ９６が上方に待機するとともに、ラミネートローラ９０ｂが下方に配置されている。
【００５１】
図６に示すように、ガラス基板２４は、基板搬送機構４０の作用下に、予め加熱された状態で加圧位置に搬送される。このガラス基板２４は、感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２９とマスキングテープ３６との接合部分に対応してラミネートローラ９０ａ、９０ｂ間に一旦配置される。
【００５２】
この状態で、ローラクランプ部９３の作用下に、ラミネートローラ９０ａ、９０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ラミネートローラ９０ａの回転作用下に、ガラス基板２４には、感光性樹脂層２９が重合される。
【００５３】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０ｍ／ｍｉｎ、ラミネートローラ９０ａ、９０ｂの温度が１１０℃〜１５０℃（例えば、１１５℃）、前記ラミネートローラ９０ａ、９０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、好ましくは、５５度、該ラミネートローラ９０ａ、９０ｂのプレス圧（線圧）が１ＭＰａ／ｃｍである。
【００５４】
この場合、感光性ウエブ２２は、予備加熱部９７によって予め予熱されており、感光性樹脂層２９及びクッション層２７は、比較的粘度が低くなって軟化した状態で接合位置に送られる。
【００５５】
そこで、第１の実施形態では、感光性ウエブ２２がラミネートローラ９０ａ、９０ｂ間に送り込まれる直前に、冷却機構９４を構成するノズル部材９４ａから感光性樹脂層２９側から冷却風を供給している。
【００５６】
これにより、感光性樹脂層２９は、温度が低下して所定の剛性を有するように粘度が高い状態になる一方、クッション層２７は、粘度が低い状態を維持して柔軟性（可撓性）を有している。従って、ラミネート機構４２では、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２が重ね合わされる際に、比較的剛性を有する感光性樹脂層２９は、クッション層２７の変形作用下に前記ガラス基板２４の表面の形状に倣って確実に重合し、気泡の巻き込みを良好に阻止することができる。
【００５７】
さらに、ガラス基板２４と感光性ウエブ２２とは、ラミネートローラ９０ａ、９０ｂの圧着時に、矢印Ｃ方向に沿って弾性変形長さＨ（５ｍｍ〜１５ｍｍ）にわたって挟持されている。このため、感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２９は、ラミネートローラ９０ａ、９０ｂに挟持されて矢印Ｃ方向に搬送される間に加熱され、溶融温度（活性化温度）に昇温されて十分に粘度が低下し、前記感光性樹脂層２９がガラス基板２４に確実に接着される。
【００５８】
これにより、第１の実施形態では、感光性ウエブ２２とガラス基板２４とは、気泡の巻き込みを確実に阻止して高品質なラミネート処理が遂行されるとともに、生産効率の向上を図ってラミネート作業の高速化が容易になされるという効果が得られる。
【００５９】
また、ノズル部材９４ａから感光性樹脂層２９に供給される冷却風は、低温で且つ除湿されることが望ましい。冷風による結露を防止するためである。
【００６０】
さらに、図７に示すように、ノズル部材９４ａから供給される冷風の温度が高くなるのに従って、感光性ウエブ２２とガラス基板２４との間に巻き込まれる気泡が増加する。このため、冷風の温度を低温に設定することが望ましく、例えば、圧縮エアの膨張冷却を利用した冷風ノズルを用いてもよい。また、複数のノズル部材９４ａを配設してもよい。
【００６１】
さらに、ノズル部材９４ａは、図５に示すように、感光性ウエブ２２の幅方向中央側の開口幅Ｌ１が、幅方向端部側の開口幅Ｌ２よりも大きく設定されている。従って、感光性樹脂層２９は、比較的温度が高い幅方向中央側に多量の冷却風が供給され、前記感光性樹脂層２９の幅方向に沿って温度ムラが発生することを阻止することができる。
【００６２】
また、ノズル部材９４ａは、樹脂やセラミックス等の断熱性を有する材料で形成されることが好ましく、さらに、冷却風の吹き付けは、可及的に接合位置に近接した位置に設定されることが好ましい。感光性樹脂層２９とクッション層２７とに温度差が発生し易く、ラミネート処理が効果的に行われるからである。
【００６３】
一方、図４に示すように、ノズル部材９４ａに近接して遮蔽板９５が設けられており、この遮蔽板９５は、接合位置近傍における感光性樹脂層２９の冷却処理を促進させるとともに、ガラス基板２４の冷却を防止する機能を有する。その際、遮蔽板９５は、例えば、箱状に構成することにより、ノズル部材９４ａから噴射された冷却風を回収し、不要な部分の温度低下を阻止するとともに、防塵を図ることが好ましい。
【００６４】
次いで、ガラス基板２４の先端がフイルム搬送ローラ１００の近傍に至ると、このフイルム搬送ローラ１００が前記ガラス基板２４から離間する方向に移動する。さらに、ガラス基板２４から前方（矢印Ｃ方向）に突出する感光性ウエブ２２の先端が、ウエブ先端切断機構４８ａに対して所定の位置に至ると、このウエブ先端切断機構４８ａが駆動されて前記感光性ウエブ２２の先端が切断される。ウエブ先端切断機構４８ａは、感光性ウエブ２２の先端部を切断した後、基の待機位置に復帰しており、通常運転時には、使用されない。
【００６５】
図８に示すように、ラミネートローラ９０ａ、９０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、前記ラミネートローラ９０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２が前記ガラス基板２４にラミネートされた接合基板２４ａは、基板搬送ローラ１０２によりクランプされる。
【００６６】
そして、ラミネートローラ９０ｂが、ラミネートローラ９０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。この状態で、基板搬送ローラ１０２の回転が開始されて、接合基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２の基板間位置２２ｂがラミネートローラ９０ａの下方付近の所定位置に移動する。
【００６７】
一方、基板搬送機構４０を介して次なるガラス基板２４がラミネート位置に向かって搬送される。この次なるガラス基板２４の先端がラミネートローラ９０ａ、９０ｂ間に配置されると、前記ラミネートローラ９０ｂが上昇して、前記ラミネートローラ９０ａ、９０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２とがクランプされる。同時に基板搬送ローラ１０２が接合基板２４ａをクランプする。そして、ラミネートローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ１０２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、接合基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。
【００６８】
その際、接合基板２４ａは、図９に示すように、それぞれの端部同士がマスキングテープ３６によって覆われている。従って、感光性樹脂層２９がガラス基板２４に転写される際、額縁状に転写を行うことができる。
【００６９】
図１０に示すように、基板搬送ローラ１０２が一枚目の接合基板２４ａの搬送方向後端部に至ると、前記基板搬送ローラ１０２を構成する上方ローラが上昇してクランプを解除するとともに、下方ローラと搬送路９８の回転が継続されて前記接合基板２４ａが搬送される。さらに、二枚目の接合基板２４ａの後端部がラミネートローラ９０ａ、９０ｂの近傍に至ると、前記ラミネートローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ１０２の回転が停止される。
【００７０】
そして、基板搬送ローラ１０２の上方ローラが下降して二枚目の接合基板２４ａをクランプする一方、ラミネートローラ９０ｂが下降してクランプを解除する。次に、基板搬送ローラ１０２の回転作用下に二枚目の接合基板２４ａが挟持搬送され、基板間位置２２ｂがラミネートローラ９０ａの下方付近の所定位置に移動し、三枚目以降のラミネート処理が繰り返される。
【００７１】
図１１に示すように、接合基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記接合基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該接合基板２４ａ間、すなわち、マスキングテープ３６の中間で感光性ウエブ２２を切断する。この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、接合基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。
【００７２】
なお、基板間ウエブ切断機構４８及びウエブ先端切断機構４８ａは、感光性ウエブ２２を切断する際に、この感光性ウエブ２２と同期して矢印Ｃ方向に移動しているが、これに限定されるものではない。例えば、ウエブ停止時には、ウエブ幅方向にのみ走行して感光性ウエブ２２の切断を行ってもよい。また、ウエブ停止中にトムソン刃による切断、ウエブ移動中にロータリカットによる切断方法も可能である。
【００７３】
基板間ウエブ切断機構４８により分離された各接合基板２４ａは、図１に示すように、冷却機構１１０に搬送され、冷風の供給作用下に強制的に、例えば、室温（略２０℃）まで冷却された後、加熱機構１１２に搬送される。加熱機構１１２では、加熱ローラ１１８と受けローラ１２０とを介して接合基板２４ａが挟持されるとともに、前記加熱ローラ１１８から前記接合基板２４ａのベースフイルム２６に直接伝熱される。
【００７４】
これにより、ベースフイルム２６からクッション層２７が所定の温度に加熱された後、接合基板２４ａは、剥離機構（図示せず）に送られる。この剥離機構では、接合基板２４ａのガラス基板２４側が吸着パッド１１３の吸引作用下に保持された状態で、前記接合基板２４ａからベースフイルム２６が剥離されることにより、感光性積層体１１４が得られる。
【００７５】
図１２は、本発明の第２の実施形態に係る製造装置２００の概略構成図である。
【００７６】
製造装置２００は、トラブル停止時のウエブ切断や不良品を排出するための分離等の作業以外には、通常、基板間ウエブ切断機構４８を用いておらず、冷却機構１１０及び加熱機構１１２の下流に、連続剥離機構２０２が設けられる。連続剥離機構２０２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して接合されている長尺なベースフイルム２６を、マスキングテープ３６と共に連続して剥離するものであり、プレ剥離部２０４と、比較的小径な剥離ローラ２０６と、巻き取り軸２０８と、自動接合機２１０とを備えている。剥離ローラ２０６は、巻き初めにのみ吸着を行う吸着カップ（図示せず）を有する。
【００７７】
プレ剥離部２０４は、搬送方向に進退可能なニップローラ２１２、２１４と、上下動自在な剥離バー２１６とを備える。ニップローラ２１２、２１４は、ガラス基板２４を挟持する一方、剥離バー２１６は、前記ガラス基板２４間で昇降可能である。
【００７８】
連続剥離機構２０２の下流には、ガラス基板２４に実際に接合された感光性樹脂層２９のエリア位置を測定する測定器２１８が配設される。この測定器２１８は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ２２０を備え、感光性樹脂層２９が接合されたガラス基板２４の四隅を撮影するために４台配設される。
【００７９】
なお、測定器２１８は、カメラ２２０による画像処理を行う構成を採用するが、カラーセンサやレーザセンサにより端面位置を検出したり、ＬＥＤセンサ、フォトアレイ或いはラインセンサ等を組み合わせたりしてもよい。その際、各端面に少なくとも２台ずつ配設して該端面の直線度も検出することが望ましい。
【００８０】
また、面状検査器（図示せず）を付勢することにより、感光性ウエブ２２自体に起因するムラ、設備に起因するラミネートの濃度ムラ、皺、筋の他、塵埃や異物等の面状欠陥を検出し、警報を出すとともに、ＮＧ排出や後工程の管理に利用することができる。
【００８１】
このように構成される第２の実施形態では、ラミネート機構４２でラミネートされた接合基板２４ａは、プレ剥離部２０４によりプレ剥離された後、連続剥離機構２０２に送られる。この連続剥離機構２０２では、巻き取り軸２０８の回転作用下に、接合基板２４ａからベースフイルム２６及びマスキングテープ３６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された接合基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸２０８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動接合機２１０を介して自動的に接合される。
【００８２】
ベースフイルム２６及びマスキングテープ３６が剥離された感光性積層体１１４は、測定器２１８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、感光性積層体１１４が位置決め固定された状態で、４台のカメラ２２０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２９の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。
【００８３】
なお、検査ステーションでは、感光性積層体１１４を停止させずに搬送し、幅方向は端面位置をカメラやスキャンで検出する一方、進行方向は前記感光性積層体１１４の位置をタイミングセンサ等で検知して、画像の取り込みやセンサ検出による測定を行ってもよい。
【００８４】
このように、第２の実施形態では、ラミネート後に接合基板２４ａ間の感光性ウエブ２２を切断することがなく、巻き取り軸２０８の回転作用下に、前記接合基板２４ａからベースフイルム２６及びマスキングテープ３６を連続して巻き取ることができる。さらに、剥離したベースフイルム２６及びマスキングテープ３６の処理作業も容易である。ここで、マスキングテープ３６とベースフイルム２６とを同一の材料で構成することにより、処理が一層簡素化する。
【００８５】
これにより、第２の実施形態では、感光性積層体１１４の製造作業全体が自動的且つ効率的に遂行される等の効果が得られる。
【００８６】
なお、第１及び第２の実施形態では、剥離機構１１６及び連続剥離機構２０２に図示しない除塵エア吹き付け機構を設けてもよい。また、接合基板２４ａのベースフイルム２６に直接接触して加熱を行う接触式加熱機構１１２を用いているが、これに限定されるものではなく、各種非接触式の加熱機構を採用することができる。
【００８７】
さらにまた、第１及び第２の実施形態では、積層体として、図２に示すように、ベースフイルム２６、クッション層２７、中間層２８及び感光性樹脂層２９が積層された感光性ウエブ２２を用いているが、これに限定されるものではない。例えば、支持層（ベースフイルム２６）と少なくとも一層の樹脂層（クッション層２７又は感光性樹脂層２９）とが積層された積層体であれば、同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブにマスキングテープが接着された状態の説明図である。
【図４】冷却機構の説明図である。
【図５】前記冷却機構を構成するノズル部の斜視説明図である。
【図６】ラミネートローラ間にガラス基板が進入する状態を示す前記製造装置の一部説明図である。
【図７】冷風温度と気泡発生の関係図である。
【図８】一枚目のラミネート終了時の動作を示す前記製造装置の一部説明図である。
【図９】前記ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。
【図１０】基板搬送ローラが接合基板の端末から離間する動作を示す前記製造装置の一部説明図である。
【図１１】前記接合基板間の前記感光性ウエブを切断する動作を示す前記製造装置の一部説明図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００８９】
２０、２００…製造装置            ２２…感光性ウエブ
２４…ガラス基板                  ２６…ベースフイルム
２７…クッション層                ２８…中間層
２９…感光性樹脂層                ３０…保護フイルム
３２…ウエブ送り出し機構          ３４…剥離機構
３６…マスキングテープ            ３８…マスキングテープ貼付機構
４０…基板搬送機構                ４２…ラミネート機構
４４…検出機構                    ４６…サクションドラム
４８…基板間ウエブ切断機構        ５２…テンション制御機構
８４…基板加熱部                  ８６…搬送部
９０ａ、９０ｂ…ラミネートローラ  ９３…ローラクランプ部
９４、１１０…冷却機構            ９４ａ…ノズル部材
９５…遮蔽板                      ９６…接触防止ローラ
９８…搬送路                      １００…フイルム搬送ローラ
１０２…基板搬送ローラ            １１２…加熱機構
１１３…吸着パッド                １１４…感光性積層体
２０２…連続剥離機構              ２０４…プレ剥離部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006264064.tif 000008
【図７】
2006264064.tif 000009
【図８】
2006264064.tif 000010
【図９】
2006264064.tif 000011
【図１０】
2006264064.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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