(57)【要約】【課題】  膜厚ムラのない均一な膜厚が形成できる電気光学装置の製造方法、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器を提供する。【解決手段】  基板４の全素子形成領域１０に正孔輸送材料液を均一に塗布する。その後、表示領域５を第１〜第４の区域Ｚ１〜Ｚ４に区分し、各区域Ｚ１〜Ｚ４毎に溶媒の量を変えて、素子形成領域１０に塗布する。外周の乾燥しやすい第１の区域Ｚ１の素子形成領域１０に溶媒の量を多く塗布する。基板４の中心に近くなるに従い、第２の区域Ｚ２、第３の区域Ｚ３、第４の区域Ｚ４の順で、素子形成領域１０に溶媒の量を少なく塗布する。従って、乾燥工程で基板４の全域の各素子形成領域１０における正孔輸送材料液とその溶媒が乾燥するのにかかる時間を一様にすることができる。その結果、各素子形成領域１０内で膜厚ムラのない均一な膜厚を形成することができる。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成された複数の素子形成領域に、発光素子形成材料を第１の溶媒にて分散または溶解した液状の組成物を液滴吐出ヘッドにて液滴にして吐出して、各素子形成領域に発光素子を形成する電気光学装置の製造方法であって、
前記発光素子形成材料を前記第１の溶媒にて分散又は溶解した液状の組成物を液滴にして吐出する第１の液滴吐出ヘッドと、
前記液状の組成物を希釈化する第２の溶媒を液滴にして吐出する第２の液滴吐出ヘッドと、
を備え、
前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドを使って、
前記発光素子形成材料の量が前記各素子形成領域において一様であって、前記溶媒の量が前記素子形成領域の形成位置により異なるように、前記各素子形成領域に液滴を吐出するようにしたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第２の溶媒は、前記第１の溶媒と同じであることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項３】
基板に形成された複数の素子形成領域に、発光素子形成材料を溶媒にて分散または、溶解した液状の組成物を液滴吐出ヘッドにて液滴にして吐出して、各素子形成領域に発光素子を形成する電気光学装置の製造方法であって、
前記液状の組成物より前記発光素子形成材料の濃度が異なる複数の液状の組成物をそれぞれ液滴にして吐出する複数の液滴吐出ヘッドと、
を備え、
前記複数の液滴吐出ヘッドを使って、
前記発光素子形成材料の量が前記各素子形成領域において一様であって、前記溶媒の量が前記素子形成領域の位置によりことなるように、前記各素子形成領域に液滴を吐出するようにしたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の電気光学装置の製造方法において、
乾燥時間が短い箇所に形成された素子形成領域には、前記溶媒の量を多くし、前記乾燥時間が長い箇所に形成された素子形成領域には、前記溶媒の量を少なくしたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記乾燥時間が短い箇所に形成された素子形成領域は、前記基板の外側に形成された素子形成領域であり、前記乾燥時間が長い箇所に形成された素子形成領域は、前記基板の内側に形成された素子形成領域であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
基板に形成された複数の素子形成領域に、発光素子形成材料を第１の溶媒にて分散または、溶解した液状の組成物を液滴吐出ヘッドにて液滴にして吐出して、各素子形成領域に発光素子を形成する液滴吐出装置において、
前記液状の組成物を希釈化する第２の溶媒を液滴にして吐出する第２の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
基板に形成された複数の素子形成領域に、発光素子形成材料を溶媒にて分散または、溶解した液状の組成物を液滴吐出ヘッドにて液滴にして吐出して、各素子形成領域に発光素子を形成する液滴吐出装置において、
前記液状の組成物より前記発光素子形成材料の濃度が異なる複数の液状の組成物を液滴
にして吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項６〜７に記載の液滴吐出装置において、同一の素子形成領域に吐出する複数の前記液滴吐出ヘッドの対応するノズルは走査方向同一線上に、配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項１〜５に記載の電気光学装置の製造方法によって製造したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の製造方法、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータ、携帯電話等の電子機器に使用されるフラットパネルディスプレイは、高密度化、高精細化、高画質化、長寿命化の要求が高まっている。
そのフラットパネルディスプレイである有機ＥＬディスプレイ装置などにおいて、長寿命、高画質にするには、正孔輸送層と発光層の膜厚を均一にすることが有効である。膜厚にムラができると、発光色ムラ、輝度ムラとなる。さらに、部分的に電気の多く流れる個所ができ寿命も短くなる。
【０００３】
高分子材料の膜を形成する方法として、スピンコート法やインクジェット法などが知られている。その中で、インクジェット法は微細なパターンが形成できる事から活用されることが多い。例えば、有機ＥＬ表示装置では、正孔輸送層と発光層の膜の形成に使われている。
【０００４】
インクジェト法は、微小液体を基板上に吐出して塗布する方法であり、吐出液が微小液体であるため乾燥が早い。基板上の画素領域おける端の部分では、局所的に蒸発溶媒の分子分圧差が生じ乾燥速度にムラが生じる。画素上に塗布された液体の乾燥時間の差は、画素内での膜厚ムラを引き起こす。膜厚ムラを防止する方法として、表示領域の外側の非表示領域に液滴をダミー吐出して、吐出液の乾燥時間を制御する方法が知られている。（特許文献１）
【特許文献１】特開２００２−２２２６９５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の方法では、液滴を表示領域の他に吐出するための非表示領域が必要になり、表示部に比して装置が大きくなってしまう問題があった。
本発明は、上記問題を解消するためになされたものであって、その目的は、膜厚ムラをなくし均一な膜を形成することができる電気光学装置の製造方法、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に形成された複数の素子形成領域に、発光素子形成材料を第１の溶媒にて分散または溶解した液状の組成物を液滴吐出ヘッドにて液滴にして吐出して、各素子形成領域に発光素子を形成する電気光学装置の製造方法であって、前記発光素子形成材料を前記第１の溶媒にて分散又は溶解した液状の組成物を液滴にして吐出する第１の液滴吐出ヘッドと、前記液状の組成物を希釈化する第２の溶媒を液滴にして吐出する第２の液滴吐出ヘッドと、を備え、前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドを使って、前記発光素子形成材料の量が前記各素子形成領域において一様であって、前記溶媒の量が前記素子形成領域の形成位置により異なるように、前記各素子形成領域に液滴を吐出するようにした。
【０００７】
これによれば、第１の液滴吐出ヘッドで液状の組成物を全素子形成領域に一様の量を吐出し、第２の液滴吐出ヘッドで各素子形成領域毎に異なった量の液状の組成物の溶媒が吐出される。従って，各素子形成領域に吐出される溶液の量は異なるが、乾燥後の発光素子
形成材料の量を一様にする事ができる事から、乾燥後の各素子形成領域の機能層の平均膜厚は一様にして、各素子形成領域の乾燥時間を変えることができる。その結果、局所的な蒸発溶媒の分子分圧差の分布を制御できる為、各素子形成領域内の膜厚のムラを制御する事ができる。
【０００８】
この電気光学装置の製造方法において、前記第２の溶媒は、前記第１の溶媒と同じであってもよい。
これによれば、第１の溶媒と第２の溶媒が同じであることから、一種類の溶媒のみで構成することができる。従って、溶媒の管理が簡便になり生産性を向上させる事ができる。
【０００９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に形成された複数の素子形成領域に、発光素子形成材料を溶媒にて分散または、溶解した液状の組成物を液滴吐出ヘッドにて液滴にして吐出して、各素子形成領域に発光素子を形成する電気光学装置の製造方法であって、前記液状の組成物より前記発光素子形成材料の濃度が異なる複数の液状の組成物をそれぞれ液滴にして吐出する複数の液滴吐出ヘッドと、を備え、前記複数の液滴吐出ヘッドを使って、前記発光素子形成材料の量が前記各素子形成領域において一様であって、前記溶媒の量が前記素子形成領域の位置によりことなるように、前記各素子形成領域に液滴を吐出するようにした。
【００１０】
これによれば、複数のヘッドから濃度の異なる液状の組成物が吐出されるが、各素子形成領域に吐出される発光素子形成材料の量が一様であることから、乾燥後にできる各素子形成領域の機能層の平均膜厚は一様となる。また、各素子形成領域に吐出される溶液の量は異なる事から、各素子形成領域内の膜厚のムラを制御する事ができる。
【００１１】
さらに、吐出する液状の組成物の濃度を調整できる為、液滴吐出ヘッドが安定して液滴を吐出できる液状の組成物の粘度範囲内に、液状の組成物の粘度を調整できる。従って、安定したな液滴吐出が行えるという効果を有する。
【００１２】
この電気光学装置の製造方法において、乾燥時間が短い箇所に形成された素子形成領域には、前記溶媒の量を多くし、前記乾燥時間が長い箇所に形成された素子形成領域には、前記溶媒の量を少なくしてもよい。
【００１３】
これによれば、素子形成領域に発光素子形成材料の溶質と溶媒が所定の分布で塗布され、次工程で乾燥するときに乾燥時間が一様になるように、乾燥速度が速い部分には溶媒液を多く塗布し、乾燥速度の遅い部分には、溶媒を少なくすることができる。従って、発光素子形成材料の溶質は均一で、乾燥時間が一様に乾燥するので、局所的に蒸発溶媒の分子分圧差が生じない為、各素子形成領域内の乾燥速度は均一になる。その結果、乾燥後の機能層の膜厚を均一にすることができる。
【００１４】
この電気光学装置の製造方法において、前記乾燥時間が短い箇所に形成された素子形成領域は、前記基板の外側に形成された素子形成領域であり、前記乾燥時間が長い箇所に形成された素子形成領域は、前記基板の内側に形成された素子形成領域であってもよい。
【００１５】
これによれば、乾燥時に基板の外周部の乾燥速度が速く、中心部の乾燥速度が遅い乾燥条件において、乾燥後の素子形成領域の膜厚を均一にすることができる。
本発明の液滴吐出装置は、基板に形成された複数の素子形成領域に、発光素子材料を第１の溶媒にて分散または、溶解した液状の組成物を液滴吐出ヘッドにて液滴にして吐出して、各素子形成領域に発光素子を形成する液滴吐出装置において、前記液状の組成物を希釈化する第２の溶媒を液滴にして吐出する第２の液滴吐出ヘッドを備えた。
【００１６】
これによれば、第１の液滴吐出ヘッドで液状の組成物を全素子形成領域に一様の量を吐出し、第２の液滴吐出ヘッドで各素子形成領域毎に異なった量の液状の組成物の溶媒が吐出される。従って，各素子形成領域に吐出される溶液の量は異なるが、乾燥後の発光素子形成材料の量を一様にする事ができる事から、乾燥後の各素子形成領域の機能層の平均膜厚は一様にして、各素子形成領域の乾燥時間を変えることができる。その結果、局所的な蒸発溶媒の分子分圧差の分布を制御できる為、各素子形成領域内の膜厚のムラを制御できる液滴吐出装置とする事ができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、基板に形成された複数の素子形成領域に、発光素子形成材料を溶媒にて分散または、溶解した液状の組成物を液滴吐出ヘッドにて液滴にして吐出して、各素子形成領域に発光素子を形成する液滴吐出装置において、前記液状の組成物より前記発光素子形成材料の濃度が異なる複数の液状の組成物を液滴にして吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備えた。
【００１８】
これによれば、複数のヘッドから濃度の異なる液状の組成物が吐出されるが、各素子形成領域に吐出される発光素子形成材料の量が一様であることから、乾燥後にできる各素子形成領域の機能層の平均膜厚は一様となる。また、各素子形成領域に吐出される溶液の量は異なる事から、各素子形成領域内の膜厚のムラを制御する事ができる。
【００１９】
さらに、吐出する液状の組成物の濃度を調整できる為、液滴吐出ヘッドが安定して液滴を吐出できる液状の組成物の粘度範囲内に、液状の組成物の粘度を調整できる。従って、安定した液滴吐出が行える装置とする事ができる。
【００２０】
この電気光学装置の製造方法において、同一の素子形成領域に吐出する複数の前記液滴吐出ヘッドの対応するノズルは走査方向同一線上に、配置されていてもよい。
これによれば、液滴吐出ヘッドと基板の相対移動による一回の走査で同一の素子形成領域に複数の液滴吐出ヘッドから吐出する事ができる。従って、生産性のよい液滴吐出装置とする事ができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置は、上記記載の電気光学装置の製造方法によって製造されている。
これによれば、素子形成領域の膜厚が均一な発光素子ができる為、素子寿命の長い電気光学装置とする事ができる。
【００２２】
本発明の電子機器は、上記記載の電気光学装置を具備してなる。
これによれば、素子寿命の長い電気光学装置を備えている事から、表示部の寿命の長い電子機器とする事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を具体化した有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（以下、「有機ＥＬディスプレイ」という）の一実施形態について図１〜図８に従って説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置を使用して製造された有機ＥＬディスプレイの正面図であり、図２は、その有機ＥＬディスプレイの図１中ａ−ａ線断面図である。
【００２４】
図１に示すように、有機ＥＬディスプレイ１は、ディスプレイ部２と、該ディスプレイ部２の下側部（図１中Ｙ矢印方向）に接続されたフレキシブル回路基板３とから構成されている。
【００２５】
ディスプレイ部２は、基板４を備えている。基板４は、本実施形態では、ガラス板で構成されたものである。基板４は、図1及び図２に示すように、その略中央に略四角形状の
表示領域５を備えている。表示領域５には、図1に示すように、ｍ×ｎ個の画素６がマト
リクス状に形成されている。基板４上であって、表示領域５以外の領域（以下、非表示領域７という）には、一対の走査線駆動回路８及び検査回路９が形成されている。
【００２６】
表示領域５には、一行当りｍ個の画素６群がｎ行、また、１列当りｎ個の画素６群がｍ列形成されている。各画素６には、赤色の光を出射する発光素子としての赤色用有機ＥＬ素子１０Ｒ、緑色の光を出射する発光素子としての緑色用有機ＥＬ素子１０Ｇ、青色の光を出射する発光素子としての青色用有機ＥＬ素子１０Ｂが配置されている。そして、各色用有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、図１中Ｘ矢印方向（行方向）に沿って赤色用有機ＥＬ素子１０Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子１０Ｇ、青色用有機ＥＬ素子１０Ｂの順に配置されている。
【００２７】
即ち、各色用有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、図１中Ｘ矢印方向に沿っては、赤色用有機ＥＬ素子１０Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子１０Ｇ、青色用有機ＥＬ素子１０Ｂ、赤色用有機ＥＬ素子１０Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子１０Ｇ、…の順に繰り返して配置されている。また、図１中Ｙ矢印方向（列方向）に沿っては、同色の有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂが配置されている。そして、各色用有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、隣接する各色用有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと等ピッチで配列されている。
【００２８】
図２に示すように、各色用有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂは、基板４上に形成された回路形成層４ｂ上に形成されている。この回路形成層４ｂは、表示領域５に形成される前記各画素６を駆動させるための薄膜トランジスタ１１等といった回路素子や、非表示領域７に形成される走査線駆動回路８または検査回路９を構成する回路素子の一部または全部が形成された層である。また、回路形成層４ｂ上の表示領域５に対応した領域には、各有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂをマトリクス状に区画するバンク１２が形成されている。
【００２９】
バンク１２は、その表面が撥液性を有している。このバンク１２は、元来撥液性を備えた材料、例えば、フッ素系樹脂で構成されたものであってもよい。また、撥液性を備えていないものであっても、通常用いられる、アクリル樹脂やポリイミド樹脂等の有機樹脂をパターン形成し、ＣＦ４プラズマ処理等により表面を撥液化されたものであってもよい。
【００３０】
また、前記回路形成層４ｂ上であって、バンク１２によって区画された凹状領域（以下、素子形成領域１０という）の各底部には画素電極１３が形成されている。各画素電極１３は、対応する薄膜トランジスタ１１とコンタクトホール１４を介して電気的に接続されている。各画素電極１３上には、本実施形態において、正孔輸送層１５、発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの順に積層されてなる機能層１７が形成されている。発光層１６Ｒは、赤色の光を出射する有機発光材料で構成された発光層であり、発光層１６Ｇは、緑色の光を出射する有機発光材料で構成された発光層であり、発光層１６Ｂは、青色の光を出射する有機発光材料で構成された発光層である。
【００３１】
機能層１７及びバンク１２上全面に渡って陰極２０が形成されている。また、陰極２０の一部は、前記非表示領域７上を覆うように形成されている。陰極２０は、光透過性を有する導電性材料で構成されている。本実施形態においては、陰極２０は、インジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）で構成されている。
【００３２】
そして、前記した画素電極１３、正孔輸送層１５、赤色用発光層１６Ｒ及び陰極２０が積層されて赤色用有機ＥＬ素子１０Ｒが構成される。また、画素電極１３、正孔輸送層１５、緑色用発光層１６Ｇ及び陰極２０が積層されて緑色用有機ＥＬ素子１０Ｇが構成される。同様に、画素電極１３、正孔輸送層１５、青色用発光層１６Ｂ及び陰極２０が積層さ
れて青色用有機ＥＬ素子１０Ｂが構成される。
【００３３】
また、回路形成層４ｂの外周縁部には陰極２０全面を覆うように、光透過性を有した材料で構成された封止部材２３が形成されている。
また、図１に示すように、基板４上であって、前記表示領域５を挟むように非表示領域７には、一対の走査線駆動回路８が配置されている。各走査線駆動回路８は、前記したｎ行の画素６群のうちの所望の１行の画素６群を選択する走査信号を出力する。さらに、図１に示すように、基板４上であって、前記表示領域５より反Ｙ矢印方向側の非表示領域７には、検査回路９が形成されている。検査回路９は、有機ＥＬディスプレイ１を出荷する前に駆動され、各色用有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂが正常に駆動するか否かを検査するための回路である。
【００３４】
一方、フレキシブル回路基板３上にはデータ線駆動回路２４と制御回路２５とが形成されている。データ線駆動回路２４は、前記走査線駆動回路８が出力した走査線信号によって選択された行の画素６群に対して、その各色用有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂのデータ信号を出力する。このデータ信号によって、各色用有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの発光輝度が決定される。
【００３５】
制御回路２５は、各走査線駆動回路８及びデータ線駆動回路２４の駆動を制御するための各種制御信号を生成し、その生成した制御信号を各駆動回路８、２４にそれぞれ出力する。
【００３６】
そして、このように構成された有機ＥＬディスプレイ１は、制御回路２５から出力される各種制御信号によって走査線駆動回路８及びデータ線駆動回路２４が駆動制御され、各画素６の有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの発光輝度が制御される。その結果、表示領域５上に所望の画像が表示されるようになっている。
【００３７】
次に、前記有機ＥＬディスプレイ１の製造において、正孔輸送層１５を形成する液滴吐出装置３０の一例について図３〜図５に従って説明する。有機ＥＬディスプレイ１は、その正孔輸送層１５、発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂが液滴吐出装置３０によって形成され、同正孔輸送層１５と、発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂ以外の各層の形成は、公知の装置、方法によって形成される。
【００３８】
図３は、正孔輸送層１５を形成する液状の組成物としての正孔輸送材料液１８を塗布する液滴吐出装置３０の構成を示す斜視図である。図３に示すように、液滴吐出装置３０には、直方体形状に形成される基台３１が備えられている。本実施形態では、この基台３１の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００３９】
基台３１の上面３１aには、Ｙ方向に延びる一対の案内凹溝３２a，３２bが同Ｙ方向全
幅にわたり形成されている。その基台３１の上側には、一対の案内凹溝３２a，３２bに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ３３が取付けられている。そのステージ３３の直動機構は、例えば案内凹溝３２a，３２bに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は反転して、ステージ３３が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００４０】
そのステージ３３の上面には、載置面３４が形成され、その載置面３４には、図示しな
い吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面３４に基板４を載置すると、前記基板チャックによって、その基板４が載置面３４の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００４１】
基台３１のＸ方向両側には、一対の支持台３５a，３５bが立設され、その一対の支持台３５a，３５bには、Ｘ方向に延びる案内部材３６が架設されている。案内部材３６は、その長手方向の幅がステージ３３のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台３５a側
に張り出すように配置されている。
【００４２】
案内部材３６の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク３７が配設されている。一方、その案内部材３６の下側には、Ｘ方向に延びる上下一対の案内レール３８a，３８bがＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００４３】
キャリッジ３９は、直方体形状に形成されている。そのキャリッジ３９の直動機構は、例えば案内レール３８a，３８bに沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ３９が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。
【００４４】
キャリッジ３９の下面（ステージ３３側の面：ヘッド配設面３９a）には、図４に示す
ように、第１及び第２の液滴吐出ヘッド４５，４６がＸ方向に互いに平行に配置されている。第１の液滴吐出ヘッド４５（反Ｙ矢印方向側）は、発光素子形成材料としての正孔輸送材料を含む液状の組成物（以下、正孔輸送材料液という）１８（図５参照）の液滴としての微小液滴４７（図５参照）を吐出する。第２の液滴吐出ヘッド４６（Ｙ矢印方向側）は、第２の溶媒としての溶媒１９の液滴としての微小液滴４８を吐出する。なお、本実施形態の正孔輸送材料液１８は、正孔輸送材料を第１の溶媒としての溶媒１９で分散又は溶解させたものであり、その溶媒は第２の液滴吐出ヘッド４６から吐出する溶媒１９と同じものが使用している。
【００４５】
第１及び第２の液滴吐出ヘッド４５，４６の下面には、図４に示すように、それぞれノズルプレートＰ１、Ｐ２が備えられている。そのノズルプレートＰ１、Ｐ２には、それぞれ複数のノズルＮ１、Ｎ２がＸ方向に所定のピッチ幅で配列されている。そして、第１の液滴吐出ヘッド４５の各ノズルＮ１と第２の液滴吐出ヘッド４６の各ノズルＮ２は、それぞれ対応するノズルＮ１、Ｎ２同士がＹ方向の同一線上に配置されている。
【００４６】
尚、第１の液滴吐出ヘッド４５と第２の液滴吐出ヘッド４６は、Ｘ方向に対して斜めに配置することで、基板に吐出する液滴のピッチ幅を短くしてもよい。そのとき、第１の液滴吐出ヘッド４５と第２の液滴吐出ヘッド４６は平行に配列され、それぞれ対応するノズルは、Ｘ方向の位置をそろえ、Ｙ方向の同一線上に配置される。
【００４７】
図５は、第１及び第２の液滴吐出ヘッド４５，４６の構造を説明するための要部断面図である。図５に示すように、ノズルプレートＰ１、Ｐ２の上側であってノズルＮ１、Ｎ２と相対する位置には、キャビティ５４が形成されている。そして、第１の液滴吐出ヘッド４５のキャビティ５４には、前記収容タンク３７に貯留されている正孔輸送材料液１８が供給される。また、第２の液滴吐出ヘッド４６のキャビティ５４には、前記収容タンク３７に貯留されている溶媒１９が供給される。キャビティ５４の上側には、上下方向に振動して、キャビティ５４内の容積を拡大縮小する振動板５５と、上下方向に伸縮して振動板５５を振動させる圧電素子５６が配設されている。
【００４８】
そして、第１及び第２の液滴吐出ヘッド４５，４６が圧電素子５６を駆動制御するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子５６が伸張して、キャビティ５４内の容積を縮小する。その結果、第１の液滴吐出ヘッド４５のノズルＮ１からは、縮小した容積文の正孔輸送材料液１８が微小液滴４７として吐出される。また、第２の液滴吐出ヘッド４６のノズルＮ２からは、縮小した容積分の溶媒１９が微小液滴４８として吐出される。
【００４９】
次に、上記した液滴吐出装置３０を使った正孔輸送層１５の製造方法について図６〜図８にて説明する。図６及び図７は、液滴吐出装置３０の液滴吐出動作を説明する図である。
【００５０】
今、バンク１２が形成されそのバンク１２内（素子形成領域１０）に画素電極１３が形成されている基板４を、ステージ３３の載置面３４に配置固定する。そして、キャリッジ３９（第１及び第２の液滴吐出ヘッド４５，４６）を所定のＸ方向位置にセットした後、ステージ３３（基板４）をＹ方向に移動させる。そして、第１及び第２の液滴吐出ヘッド４５，４６の直下をＹ方向に通過する基板４の素子形成領域１０に対して微小液滴４７、４８を吐出する。
【００５１】
このとき、基板４に形成された素子形成領域１０は、最初に第１の液滴吐出ヘッド４５の直下を通過して微小液滴４７が塗布され、次に第２の液滴吐出ヘッド４６の直下を通過して微小液滴４８が塗布されるようになっている。
【００５２】
つまり、まず図６（ａ）に示すように、各素子形成領域１０は、最初に第１の液滴吐出ヘッド４５のノズルＮ１から正孔輸送材料液１８の微小液滴４７が吐出される。その結果、図６（ｂ）に示すように、素子形成領域１０内には正孔輸送材料液１８が塗布される。続いて、図６（ｃ）に示すように、第２の液滴吐出ヘッド４６のノズルＮ２から正孔輸送材料液１８が塗布されている各素子形成領域１０へ、溶媒１９の微小液滴４８が吐出される。その結果、図７（ａ）に示すように、各素子形成領域１０には、正孔輸送材料液１８と溶媒１９が混合した正孔輸送材料希釈液６０の液溜まりが形成される。
【００５３】
このとき、バンク１２の上面には、撥液処理が施されているため、バンク１２の高さを超える量の正孔輸送材料液１８と溶媒１９からなる正孔輸送材料希釈液６０が塗布されても、図７（ａ）に示すように、バンク１２の上面に乗り上げ他の素子形成領域１０の正孔輸送材料希釈液６０と繋がることはない。
【００５４】
そして、本実施形態では、第２の液滴吐出ヘッド４６で各素子形成領域１０に塗布する溶媒１９の量を、前記表示領域５の予め区分した区分領域に形成される素子形成領域１０毎で相違させている。
【００５５】
詳述すると、表示領域５の全素子形成領域１０に塗布された溶媒１９の乾燥時間は、表示領域５の外周部の方が表示領域５の中央部より短い。そこで、乾燥時間が外周部と中央部が一様になるように、表示領域５の中央部の各素子形成領域１０に塗布される溶媒１９の量に対して外周部の各素子形成領域１０に塗布される溶媒１９の量を多くしている。
【００５６】
本実施形態では、図８に示すように、表示領域５を４つの第１〜第４の区域Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４に区分し、それぞれ各区域Ｚ１〜Ｚ４で溶媒１９の量を相違させている。
第１の区域Ｚ１は、表示領域５内の最外周の領域であって、最も乾燥時間の短い領域である。第２の区域Ｚ２は、第１の区域Ｚ１の内側の領域であって、第１の区域Ｚ１の次に乾燥時間の短い領域である。第３の区域Ｚ３は、第２の区域Ｚ２の内側の領域であって、第２の区域Ｚ２の次に乾燥時間の短い領域である。第４の区域Ｚ４は、第３の区域Ｚ３の
内側の領域であって、第３の区域Ｚ３の次に、すなわち、最も乾燥時間の長い領域である。
【００５７】
そして、各区域Ｚ１〜Ｚ４における素子形成領域１０に塗布される溶媒１９の量を、第１の区域Ｚ１→第２の区域Ｚ２→第３の区域Ｚ３→第４の区域Ｚ４という順に少なくして、乾燥時間が各区域Ｚ１〜Ｚ４で一様になるようにしている。因みに、本実施形態では、第１の区域Ｚ１の各素子形成領域１０には、２０滴の微小液滴４８がノズルＮ２から吐出される。第２の区域Ｚ２の各素子形成領域１０には、１０滴の微小液滴４８がノズルＮ２から吐出される。第３の区域Ｚ３の各素子形成領域１０には、５滴の微小液滴４８がノズルＮ２から吐出される。第４の区域Ｚ４の各素子形成領域１０には、微小液滴４８がノズルＮ２から吐出されないようになっている。
【００５８】
液滴吐出装置３０は、キャリッジ３９（第１及び第２の液滴吐出ヘッド４５，４６）及びステージ３３（基板４）を移動制御して、第２の液滴吐出ヘッド４６の直下を通過する先に正孔輸送材料液１８が塗布された素子形成領域１０に対して、その素子形成領域１０が第１〜第４の区域Ｚ１〜Ｚ４の中のどこに属するかを判断する。そして、液滴吐出装置３０は、所定の数（０も含む）だけ微小液滴４８を吐出する。第１〜第４の区域Ｚ１〜Ｚ４の判断は、公知の方法であって、例えばステージ３３及びキャリッジ３９の移動量に基づいて吐出ヘッド４６の各ノズルＮ２の表示領域５の相対位置を求めて行なわれる。
【００５９】
次に、基板４を乾燥する。この乾燥は、真空または熱処理あるいは窒素ガスフローにより溶媒を除去する。例えば、本実施形態においては、真空中（１ｔｏｒｒ（１３３．３Ｐａ））、室温、２０分という条件で溶媒１９が除去される。このとき、各区域Ｚ１〜Ｚ４の素子形成領域１０ごとに、乾燥時間を一様にするために、溶媒１９の量を相違させたので、図７（ｂ）に示すように、膜厚が均一である正孔輸送層１５が形成される。
【００６０】
次に、各素子形成領域１０に、それぞれ対応する発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂが形成される。
この発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂも、前記正孔輸送層１５の形成と同様に液滴吐出装置を使って行われる。有機発光材料を溶媒で分散又は溶解した液状の組成物を、各素子形成領域１０に、一様に塗布する。続いて、溶媒の微小液滴を、前記と同様に、乾燥時間を一様にするために、各区域Ｚ１〜Ｚ４の各素子形成領域１０毎に、所定の数（０も含む）だけを吐出する。
【００６１】
その後、前記した正孔輸送材料液１８の溶媒１９を乾燥除去した同じ工程にて、基板４を乾燥する。これにより、有機ＥＬディスプレイ１の正孔輸送層１５と、各色発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂからなる機能層１７が形成される。次に、蒸着法によって、各色発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂ上、バンク１２上、回路形成層４ｂ上に渡ってインジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）を蒸着させ陰極２０を形成する。さらに、陰極２０の上に光透過性を有した材料で構成された封止部材２３が形成される。これにより、ディスプレイ部２が作成される。
【００６２】
上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）上記第１実施形態によれば、基板４の表示領域５に形成された各素子形成領域１０について、正孔輸送材料液１８の量を均一に塗布する。次に、素子形成領域１０毎に正孔輸送材料液１８の溶媒１９の量を変えて塗布した。従って、素子形成領域１０毎に乾燥時間が変えたことから、蒸発溶媒の分子分圧の制御をすることができた。
（２）上記第１実施形態によれば、基板４の表示領域５に形成された各素子形成領域１０について、正孔輸送材料液１８の量を均一に塗布する。次に、正孔輸送材料液１８（正孔輸送材料希釈液６０）の乾燥時間が外周部と中央部が、即ち表示領域５全体で一様になる
ように、表示領域５を第１〜第４の区域Ｚ１〜Ｚ４に区分し、各区域Ｚ１〜Ｚ４の素子形成領域１０毎に、その素子形成領域１０に塗布される溶媒１９の量を変更した。従って、中央部と外周部に塗布された正孔輸送材料液１８の乾燥時間が均一になり、素子形成領域１０内における正孔輸送層１５の膜厚を均一に形成することができる。その結果、有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの発光の色ムラ、輝度ムラ、素子寿命の低下を防ぐことができる。
（３）上記第１実施形態によれば、表示領域５に形成された各素子形成領域１０について、発光層材料を溶媒で分散又は溶解した液状の組成物を均一に塗布する。次に、液状の組成物の乾燥時間が外周部と中央部が、即ち表示領域５全体で一様になるように、表示領域５を第１〜第４の区域Ｚ１〜Ｚ４に区分し、各区域Ｚ１〜Ｚ４の素子形成領域１０毎に、その素子形成領域１０に塗布される溶媒の量を変更した。従って、中央部と外周部に塗布された発光層材料を溶媒で分散または、溶解した液状の組成物の乾燥時間が均一になり、各素子形成領域１０内における発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂの膜厚を均一に形成することができる。その結果、有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂの発光の色ムラ、輝度ムラ、素子寿命の低下を防ぐことができる。
（３）上記第１実施形態によれば、従来のように、表示領域５の各素子形成領域の正孔輸送材料液１８及び発光材料を含んだ液状の組成物の乾燥時間を一様にするためにダミー領域を設け、そのダミー領域に、正孔輸送材料液１８を塗布する必要がない。従って、非表示領域７をその分だけ小さくでき、装置の大きさをコンパクトにすることができる。
（４）上記第１実施形態によれば、第１の液滴吐出ヘッド４５から吐出した正孔輸送材料液１８の溶媒と第２の液滴吐出ヘッド４６から吐出した溶媒１９は、同じ溶媒を使用したので、溶媒の管理が簡易にする事ができる。
（５）上記第１実施形態によれば、第１の液滴吐出ヘッド４５のノズルＮ１が吐出する素子形成領域１０と同じ位置の素子形成領域１０に吐出する第２の液滴吐出ヘッド４６のノズルＮ２は、基板４を走査する方向の同一線上に配置されている。従って、一回の走査で、同一地点の素子形成領域１０に対して、第１の液滴吐出ヘッド４５と第２の液滴吐出ヘッド４６が吐出する事ができるので、生産性のよい装置とする事ができる。
【００６３】
本発明は上記実施形態に限定されず、以下のように実施してもよい。
（変形例１）
前記実施形態では、第２の液滴吐出ヘッド４６から吐出させる溶媒１９は、正孔輸送材料液１８の溶媒であったが、これに限定されない。複数の濃度の液を組み合わせて吐出することで、素子形成領域１０に吐出する正孔輸送材料液１８の溶質の量は一定のまま溶媒１９の塗布量を変えてもよい。
【００６４】
例えば、正孔輸送材料を溶媒で薄めて１５％の濃度にした第１の液状の組成物、正孔輸送材料を溶媒で薄めて３０％の濃度にした第２の液状の組成物、正孔輸送材料を溶媒で薄めて６０％の濃度にした第３の液状の組成物を用意する。そして、第１の液状の組成物、第２の液状の組成物、第３の液状の組成物をそれぞれ吐出する液滴吐出ヘッドをキャリッジに設ける。
【００６５】
そして、例えば、第１の区域Ｚ１の各素子形成領域１０に、第１の液状の組成物の微小液滴を８滴塗布する。第２の区域Ｚ２の各素子形成領域１０に、第１の液状の組成物の微小液滴を４滴と、第２の液状の組成物の微小液滴を２滴塗布する。第３の区域Ｚ３の各素子形成領域１０に、第２の液状の組成物の微小液滴を４滴塗布する。第４の区域の各素子形成領域１０に、第３の液状の組成物の微小液滴を２滴塗布する。
【００６６】
従って、第１〜第４の区域Ｚ１〜Ｚ４の各素子形成領域１０には同じ量の正孔輸送材料が塗布され、外周の区域ほど多い量の溶媒が塗布される。その結果、前記実施形態と同様な効果に加え、吐出するの液状の組成物の濃度を調整できるため、液滴吐出ヘッドが安定
して液滴を吐出できるの液状の組成物の粘度範囲内に、液状の組成物の粘度を調整できる。従って、安定したな液滴吐出が行えるという効果を有する。
【００６７】
尚、上記の場合、第１の液状の組成物、第２の液状の組成物、第３の液状の組成物を用意したが、これを、濃度の異なる液状の組成物を、２又は４以上の液状の組成物を用意して実施してよいことは、勿論である。
【００６８】
因みに、２つの液状の組成物を用意する場合、正孔輸送材料を溶媒で薄めて１０％の濃度にした第１の液状の組成物と、正孔輸送材料を溶媒で薄めて３０％の濃度にした第２の液状の組成物を用意する。そして、第１の液状の組成物、第２の液状の組成物をそれぞれ吐出する液滴吐出ヘッドをキャリッジに設ける。
【００６９】
そして、例えば、第１の区域Ｚ１の各素子形成領域１０に、第１の液状の組成物の微小液滴を９滴塗布する。第２の区域Ｚ２の各素子形成領域１０に、第１の液状の組成物の微小液滴を６滴と第２の液状の組成物の微小液滴を１滴塗布する。第３の区域Ｚ３の各素子形成領域１０に、第１の液状の組成物の微小液滴を３滴と第２の液状の組成物の微小液滴を２滴塗布する。第４の区域Ｚ４の各素子形成領域１０に、第２の液状の組成物の微小液滴を３滴塗布する。
【００７０】
その結果、前記実施形態と同様な効果に加え、液状の組成物の濃度が調整できるため、液状の組成物の粘度を液滴吐出ヘッドが吐出しやすい粘度範囲内にすることができる。従って、安定したな液滴吐出が行えるという効果を有する。さらに、液状の組成物の濃度の種類を減らすことで、キャリッジに搭載する液滴吐出ヘッドの数を減らすことができる。従って、液滴吐出ヘッドのクリーニング作業、液滴吐出ヘッドのキャリッジへの設置作業にかかる作業を減らす事ができるので、生産性を向上させることができる。
【００７１】
なお、この変形例は、発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂを形成する場合においても応用することができることは勿論である。
（変形例２）
前記実施形態では、正孔輸送材料液１８の第１の液滴吐出ヘッド４５と溶媒１９の第２の液滴吐出ヘッド４６を、キャリッジ３９に搭載し、各液滴を吐出したが、これに限定されない。例えば、例えば、一つの液滴吐出ヘッドに正孔輸送材料液１８を吐出する正孔輸送材料用のノズルＮ１と溶媒液用ノズルＮ２を形成してもよい。
【００７２】
これによれば、一つの液滴吐出ヘッドに正孔輸送材料液１８を吐出する正孔輸送材料用のノズルＮ１と溶媒１９を吐出する溶媒液用ノズルＮ２が配置されているので、キャリッジ３９に搭載する液滴吐出ヘッドの数を減らすことができ、液滴吐出ヘッドの保守作業を簡便にでき、生産性を上げる事ができる。
（変形例３）
前記実施形態では、ステージ３３（基板４）をＹ方向に移動し、正孔輸送材料液１８と溶媒１９を同時に吐出したが、これに限定されない。正孔輸送材料液１８と溶媒１９は別々に基板４をＹ方向に移動して塗布してもよい。正孔輸送材料液１８を複数回基板を移動し塗布した後に溶媒１９を塗布してもよい。正孔輸送材料液１８の塗布を一回の移動で塗布できないときにも、正孔輸送材料液１８の塗布を確実に行うことができる。従って，塗布の品質を向上することができる。
（変形例４）
前記実施形態では、表示領域５内の素子形成領域１０にのみ溶媒１９を塗布したが、これに限定されない。各素子形成領域には、各区域毎に分布をもたせて溶媒１９を塗布し、各素子形成領域１０以外に溶媒１９及び、機能材料液を塗布してもよい。非表示領域７に吐出しても良い。乾燥時間の分布を制御しやすくなるので、さらに、均一な膜厚が形成で
きる。
（変形例５）
前記実施形態では、４つの領域にわけて段階的に溶媒１９の量を変更したが、連続的な分布にするとさらに良い。乾燥工程後の膜厚ムラの発生分布に合わせて溶媒液の塗布量分布を連続的に設定することでさらに均一な膜厚が形成できる。
（変形例６）
前記実施形態と変形例４では、正孔輸送材料液１８を吐出後、溶媒１９を吐出したが、溶媒１９を塗布後、正孔輸送材料液１８を塗布してもよい。正孔輸送材料液１８の吐出中の乾燥を防げるので、乾燥した環境内でも均一な膜厚が形成できる。
（変形例７）
前記実施形態では、外周部に溶媒１９の塗布が多くなる分布としたが、乾燥工程の状況によっては、中央部の溶媒１９の塗布が多くなる分布としてもよい。乾燥工程で特定の部分に、雰囲気の流体が通過し、乾燥が速く進行するときは、その特定の部分に溶媒液滴５８を多くしてもよい。乾燥条件に合わせて均一な膜厚が形成できる。
【００７３】
以上変形例は、正孔輸送材料液１８の吐出について述べたが、液状の組成物としての発光材料液の吐出についても同様に変形してもよい。
（変形例８）
前記実施形態では、第２の液滴吐出ヘッド４６から吐出させる溶媒１９は、正孔輸送材料液１８の溶媒と同じのものであったが、正孔輸送材料液１８の溶媒と異なる溶媒で実施してもよい。
【００７４】
なお、この変形例は、発光層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂを形成する場合においても応用することができることは勿論である。
次に、前記実施形態および変形例１〜８により製造された電気光学装置のいずれかを備えた電子機器の具体例について説明する。
【００７５】
図９は、ワープロ、パソコンなどの携帯型電子情報処理装置の一例を示した斜視図である。電子情報処理装置９２の本体は情報を表示する表示装置９３を備え、この表示装置９３に、前記実施形態および変形例１から９により製造された電気光学装置のいずれかが配置されている。電子機器である上記の電子情報処理装置９２に配置されている表示装置９３は、前記実施形態および変形例１〜８により製造されているので、表示品質に優れ、表示部の寿命が長いという効果を有する電子機器となる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】有機ＥＬディスプレイの正面図。
【図２】有機ＥＬディスプレイの断面図。
【図３】本発明を具体化した液滴吐出装置を示す斜視図。
【図４】液滴吐出ヘッドを示す斜視図。
【図５】液滴吐出ヘッドを示す断面図。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図７】同じく、（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図８】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図９】電子機器を示す斜視図。
【符号の説明】
【００７７】
１…電気光学装置としての有機ＥＬディスプレイ、４…基板、１０…素子形成領域、１０Ｒ…発光素子としての赤色用有機ＥＬ素子、１０Ｇ…発光素子としての緑色用有機ＥＬ素
子、１０Ｂ……発光素子としての青色用有機ＥＬ素子、１８…液状の組成物としての正孔輸送材料液、１９…第１の溶媒及び第２の溶媒としての溶媒、３０…液滴吐出装置、４５…第１の液滴吐出ヘッド、４６…第２の液滴吐出ヘッド、４７，４８…液滴としての微小液滴、９２…電子機器としての電子情報処理装置、Ｎ１，Ｎ２…ノズル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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