(57)【要約】【課題】  リード押えのｘ，ｙ，θ方向の遊びを確保し、かつ傾き（揺動）方向の遊びを小さくして、リード押えによりＩＣのリード端子をソケットのコンタクトピンに正確に押し付けることができるＩＣ試験装置を得る。【解決手段】  ＩＣの電気測定を行うソケットと、段取換え部品と、段取換え部品が取り付けられる装置本体とを備え、段取換え部品は、ＩＣのリード端子をソケットのコンタクトピンに押し付けるリード押えと、リード押え上に固定された加圧軸と、リード押えと加圧軸の間に設けられ、装置本体との接続部であるアダプタと、アダプタと加圧軸との間及びアダプタとリード押えとの間に設けられたスラスト軸受け部とを有する。【選択図】      図５
2006308495.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣの電気測定を行うソケットと、
段取換え部品と、
前記段取換え部品が取り付けられる装置本体とを備え、
前記段取換え部品は、
前記ＩＣのリード端子を前記ソケットのコンタクトピンに押し付けるリード押えと、
前記リード押え上に固定された加圧軸と、
前記リード押えと前記加圧軸の間に設けられ、前記装置本体との接続部であるアダプタと
前記アダプタと前記加圧軸との間及び前記アダプタと前記リード押えとの間に設けられたスラスト軸受け部とを有することを特徴とするＩＣ試験装置。
【請求項２】
前記ソケットは凸部を有し、前記リード押えは、前記凸部に嵌め合わされる凹部を有することを特徴とする請求項１に記載のＩＣ試験装置。
【請求項３】
前記段取換え部品は、前記アダプタと前記リード押えとの間に設けられたロケータを更に有し、
前記装置本体は位置決めピンを有し、前記ロケータは、前記位置決めピンに所定の隙間を持って嵌め合わされる嵌合穴を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のＩＣ試験装置。
【請求項４】
前記アダプタの側壁にはコレットが設けられ、
前記装置本体は、
前記段取換え部品が取り付けられた際に前記コレットに嵌合する球と、
前記段取換え部品が取り付けられる際に前記球を前記コレットに誘導し、前記段取換え部品が取り外される際に前記球を前記コレットから外れるように誘導するテーパ部とを有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のＩＣ試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣの電気測定を行うソケットと、ＩＣのリード端子をソケットのコンタクトピンに押し付けるリード押えを有するＩＣ試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣの電気特性を試験するためにＩＣ試験装置が用いられる。このＩＣ試験装置では、リード押えによりＩＣのリード端子をソケットのコンタクトピンに押し付け、コンタクトピンにワイピング動作をさせる。これにより、ＩＣのリード端子の表面酸化膜を除去し、半田新生面を露出させて、ＩＣのリード端子とソケットのコンタクトピンを電気的に接触させる。そして、ＩＣとソケットとの間で電気信号をやり取りすることでＩＣの電気特性を試験することができる。
【０００３】
しかし、近年のＩＣサイズの縮小化、リードピッチの狭小化、同時測定数の増加等により、リード押えによりＩＣのリード端子をソケットのコンタクトピンに正確に押し付けることが難しくなっている。
【０００４】
そこで、支持体に接続された揺動体とリード押えが接続された遊動体との間に玉を介在させることで、揺動体に対して遊動体がｘ方向或いはｙ方向に微小移動又はｘｙ平面を微小回転できるようにして、リード押えのｘ，ｙ，θ方向の遊びを確保したＩＣ試験装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−２３９３６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ソケットはテストボードを介して平坦なステージ上に載置されるため、ソケットの傾き（揺動）方向のずれは生じ難い。従って、リード押えの傾き（揺動）方向の遊びは小さくする必要がある。
【０００７】
しかし、特許文献１記載のＩＣ試験装置では、揺動体が支持体に対して揺動する構造であるため、リード押えの傾き（揺動）方向の遊びが大きい。また、遊動体の上面にのみ玉が設けられているため、リード押えの傾き（揺動）方向の遊びを小さくするために揺動体を遊動体に締め付けると、両者の摩擦が大きくなり、リード押えのｘ，ｙ，θ方向の遊びを殺してしまう。
【０００８】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、リード押えのｘ，ｙ，θ方向の遊びを確保し、かつ傾き（揺動）方向の遊びを小さくして、リード押えによりＩＣのリード端子をソケットのコンタクトピンに正確に押し付けることができるＩＣ試験装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るＩＣ試験装置は、ＩＣの電気測定を行うソケットと、段取換え部品と、段取換え部品が取り付けられる装置本体とを備え、段取換え部品は、ＩＣのリード端子をソケットのコンタクトピンに押し付けるリード押えと、リード押え上に固定された加圧軸と、リード押えと加圧軸の間に設けられ、装置本体との接続部であるアダプタと、アダプタと加圧軸との間及びアダプタとリード押えとの間に設けられたスラスト軸受け部とを有する。本発明のその他の特徴は以下に明らかにする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明により、リード押えのｘ，ｙ，θ方向の遊びを確保し、かつ傾き（揺動）方向の遊びを小さくして、リード押えによりＩＣのリード端子をソケットのコンタクトピンに正確に押し付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置のソケットと段取換え部品を示す斜視図である。ソケット１１はＩＣの電気測定を行うものである。また、リード押え１２、加圧軸１３、アダプタ１４、スラスト軸受け部１５ａ，１５ｂ及びロケータ１６を一体構成すること段取換え部品１７が構成される。この段取換え部品１７は、測定するＩＣのパッケージ種やサイズに応じて取換えることができる。
【００１２】
図２は、本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置のソケットを示す断面図である。ソケット１１はテストボード２１上に設けられている。そして、テストボード２１は、平坦なステージ２２上に固定ネジ２３により固定されている。このため、ソケット１１の傾き（揺動）方向のずれは生じ難い。傾き方向のずれとは、ｚ方向、すなわち高さ方向のずれを伴う場合に生じるが、前述のように、テストボード２１は、少なくとも固定部分が平坦なステージの上に固定されている。そのため、ｚ方向のずれは生じがたく、またずれが生じたとしても小さなずれで抑えられる。しかし、テストボード２１と固定ねじ２３との遊びにより、テストボード２１がｘ，ｙ，θ方向、すなわち、ステージ２２平面上での平行方向、回転方向へのずれは比較的生じやすい。
【００１３】
また、ソケット１１には、ＩＣ２４のリード端子２４aと電気的に接触するコンタクトピン２５が設けられている。ソケット１１は、このコンタクトピン２５を介してＩＣ２４と電気信号をやり取りしてＩＣ２４の電気的特性を試験する。
【００１４】
また、ソケット１１には、リード押え１２によるリード端子２４aの過度の押し下げを制限するためにストッパ２６が設けられている。このストッパ２６には凸部２７が設けられている。
【００１５】
図３は、本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置の段取換え部品を示す断面図である。リード押え１２は、ＩＣ２４のリード端子２４aをソケット１１のコンタクトピン２５に押し付けるものである。このリード押え１２には、ソケット１１のストッパ２６に当たるストッパ３１が設けられている。そして、リード押え１２のストッパ３１には凹部３２が設けられている。
【００１６】
また、加圧軸１３は、段付きピン形状で先端に雄ネジ部３４を具備している。この加圧軸１３の雄ネジ部３４をリード押え１２の雌ネジ部３３に嵌合して締め上げることにより、リード押え１２上に加圧軸１３を固定する。この際、リード押え１２と加圧軸１３の間にアダプタ１４を挟み込み、アダプタ１４とリード押え１２の間にロケータ１６を挟み込んで、これらを一体化する。
【００１７】
また、アダプタ１４と加圧軸１３との間及びアダプタ１４とロケータ１６との間に、スラスト軸受け部１５ａ，１５ｂが設けられている。このスラスト軸受け部１５ａ，１５ｂは、円球を複数保持した軌道台で構成されている。そして、アダプタ１４の側壁にはコレット３５が設けられている。また、ロケータ１６の周縁部には嵌合穴３６が設けられている。
【００１８】
このように、アダプタ１４の上下にスラスト軸受け部１５ａ，１５ｂを設けたことにより、リード押えの傾き（揺動）方向の遊びを小さくするためにリード押え１２と加圧軸１３を締め上げた場合でも、アダプタ１４の加圧軸１３やロケータ１６との摩擦を小さくすることができる。これにより、リード押え１２のｘ，ｙ，θ方向の遊びを確保し、かつリード押えの傾き（揺動）方向の遊びを小さくすることができる。このように、本実施の形態においては、リード押え１２の水平方向の遊びを確保しつつ、垂直方向、すなわち、ステージ２２面に対する高さ方向の遊びを水平方向の遊びよりも小さくした。従って、リード押え１２によってリード端子２４aにかけられる荷重のばらつきを抑える事ができるとともに、リード押え１２がリード端子２４aの先端から外れる事を防止する事ができる。
【００１９】
図４は、本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置の装置本体を示す断面図である。装置本体４１には、玉４２、テーパ部４３を有するスリーブ４４、位置決めピン４５、加圧板４６が設けられている。
【００２０】
図５は、本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置の使用状態を示す断面図である。ＩＣ試験装置を使用する際には、まず、装置本体４１に段取換え部品１７を下から押し込んで取り付ける。この際、装置本体４１に設けられた玉４２が、スリーブ４４のテーパ部４３によりアダプタ１４のコレット３５に誘導される。そして、装置本体４１の玉４２がアダプタ１４のコレット３５に嵌合することにより、アダプタ１４は装置本体４１に保持固定される。一方、装置本体４１から段取換え部品１７を取り外す際には、スリーブ４４を上方に操作することでテーパ部４３が玉４２をコレット３５から外れるように誘導する。このように、段取換え部品１７と装置本体４１をカプラー構造とすることで、段取換え部品１７の取付けを短時間で容易に行うことができる。
【００２１】
そして、加圧板４６を用いて加圧軸１３に圧力をかけて、リード押え１２によりＩＣ２４のリード端子２４aをソケット１１のコンタクトピン２５に押し付ける。この際、ソケット１１の凸部２７とリード押え１２の凹部３２を嵌め合わせる。これにより、リード押え１２をｘ，ｙ，θ方向に位置合わせすることができる。従って、リード押え１２によりＩＣのリード端子２４ａをソケット１１のコンタクトピン２５に正確に押し付けることができる。
【００２２】
ここで、段取換え部品１７はアダプタ１４で装置本体４１に固定されているため、この固定点から遠い位置にあるリード押え１２の位置ズレは大きくなる。そして、リード押え１２の位置ズレが許容範囲を超えると、ソケット１１の凸部２７とリード押え１２の凹部３２を嵌め合わせることができなくなる。そこで、装置本体４１に段取換え部品１７を取り付けた際に、装置本体４１の位置決めピン４５をロケータ１６の嵌合穴３６に所定の隙間を持って嵌め合わせる。これにより、リード押え１２の位置ズレを許容範囲内に抑えることができる。また、嵌合穴３６のサイズを変更することにより、測定対象のＩＣの大きさ等に応じてリード押え１２のｘ，ｙ，θ方向の自由度を調整することができる。
【００２３】
本実施の形態では、アダプタ１４の突出部の両側から、スラスト軸受け１５ａ，１５ｂを介して、加圧軸１３とロケータ１６である程度の加重を加えて挟み込む事により、ｚ軸方向の遊びを抑えつつ、ｘ，ｙ，θ方向へは、十分低い摩擦抵抗で微小移動できるようにしていた。変形例として、図６に示すように、リード押さえ１２と接続する加圧軸１３の突出部の両側から、スラスト軸受け１５ａ、１５ｂを介して、アダプタ１４によってある程度の加重を加えて挟み込むようにしても良い。図６のようにしても、ｚ軸方向の遊びを抑えつつ、ｘ，ｙ，θ方向へは、十分低い摩擦抵抗で微小移動できるようにすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置のソケットと段取換え部品を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置のソケットを示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置の段取換え部品を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置の装置本体を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置の使用状態を示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るＩＣ試験装置の変形例の使用状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１１  ソケット
１２  リード押え
１３  加圧軸
１４  アダプタ
１５ａ，１５ｂ  スラスト軸受け部
１６  ロケータ
１７  段取換え部品
２４  ＩＣ
２４a  リード端子
２５  コンタクトピン
２６  ストッパ
２７  凸部
３１  ストッパ
３２  凹部
３５  コレット
３６  嵌合穴
４１  装置本体
４２  玉
４３  テーパ部
４４  スリーブ
４５  位置決めピン
４６  加圧板
【図１】
2006308495.tif 000003
【図２】
2006308495.tif 000004
【図３】
2006308495.tif 000005
【図４】
2006308495.tif 000006
【図５】
2006308495.tif 000007
【図６】
2006308495.tif 000008