(57)【要約】【課題】  光ディスクの製造時にグルーブ形成のために樹脂層に貼り付けられたスタンパーを、ダメージ等を与えることなく樹脂層から剥離する。【解決手段】  スタンパーが基板から所定幅はみだす状態とし、円盤状の基板裏面を吸着保持した状態で基板を回転させ、回転と同時にはみ出し部分と接触する該接触面に対して転動可能なローラを上昇させ、該はみ出し部分を基板から離す方向に働く力をスタンパー周方向に連続的に付加する。【選択図】  図２
2006269000.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状基板の上面に対して樹脂層を介して前記円盤状基板と同心となるように貼り付けられた前記円盤状基板の外径よりも大きな外径を有する円盤状のスタンパーを、前記円盤状基板から剥離する光ディスクの製造装置であって、
前記円盤状基板の下面と当接して前記基板を吸着保持する前記円盤状基板と同じ或いは小さい外径を有する円形面を上面に有するテーブルと、
前記テーブルにおける前記円形面の中心より等距離であって前記テーブルの周囲において等間隔となる位置に配置され、前記スタンパーの前記円盤状基板との対抗面であって前記円盤状基板との貼り合せ領域からはみ出した領域と当接し、前記スタンパーにおける当接面に対して転動可能なローラと、
前記テーブルにおける前記円形面の中心を回転中心として前記テーブルを前記ローラに対して相対的に回転させる第一の駆動装置と、
前記円形面に対して垂直な方向において、前記ローラを前記テーブルの前記円形面に対して相対的に上昇させる第二の駆動装置と、を有することを特徴とする光ディスクの製造装置。
【請求項２】
前記テーブルは下面において第一の駆動装置と連結されており、前記第一の駆動装置は前記テーブルを回転させることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの製造装置。
【請求項３】
前記ローラは前記ローラを転動可能に支持するローラ支持アームを介して前記第二の駆動装置と連結され、前記第二の駆動装置は前記ローラを上昇させることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの製造装置。
【請求項４】
前記テーブルの上方であって前記円形面から所定距離に位置して、剥離された前記スタンパーを吸着保持する吸着パッドを更に有することを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの製造装置。
【請求項５】
円盤状基板の上面に対して樹脂層を介して前記円盤状基板と同心となるように貼り付けられた前記円盤状基板の外径よりも大きな外径を有する円盤状のスタンパーを、前記円盤状基板から剥離する光ディスクの製造方法であって、
前記円盤状基板の下面と当接して前記基板を吸着保持する前記円盤状基板と同じ或いは小さい外径を有する円形面を上面に有するテーブルの前記円形面上に前記スタンパーが貼り付けられた基板を吸着保持させ、
前記テーブルにおける前記円形面の中心より等距離であって前記テーブルの周囲において等間隔となる位置に配置され、前記スタンパーの前記円盤状基板との対抗面であって前記円盤状基板との貼り合せ領域からはみ出した領域と当接し、前記スタンパーにおける当接面に対して転動可能なローラを前記はみ出した領域と当接させ、
前記テーブルにおける前記円形面の中心を回転中心として前記テーブルを前記ローラに対して相対的に回転させると同時に、前記円形面に対して垂直な方向において前記ローラを前記テーブルの前記円形面に対して相対的に上昇させることを特徴とする光ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所謂DVD系のディスク或いはBlu-ray Discに代表される光ディスクの製造装置及び製造方法に関する。より詳細には、片面に２層の記録層を有するタイプの光ディスクを製造する際により好適な光ディスクの製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクと呼称される光学的記録媒体である例えばBlu-rayディスクは、グルーブ及びピットが表面上に形成されたポリカーボネート等からなる基板、グルーブ等の上面に形成された例えばスパッタリング法による反射層、記録層、等からなるスパッタ層、該スパッタ層の上面を覆う光透過層、及び基板表面を覆う保護層から構成されている。また、更に記録容量を高めるために、記録層を複数層有するディスクも提唱されており、該ディスクにおいては、スパッタ層の上面にスペーサー層が形成され、該スペーサー層の上面にグルーブ及びピットが形成されている。これらグルーブ等の上面に更に上述のスパッタ層等を順次形成することにより複数の記録層を得ることとし、更なる記録容量の増加が図られている。
【０００３】
上述したBlu-rayディスクを製造する場合、光透過層及びスペーサー層は、粘着シートの貼り付け、或いはスピンコート法により形成された樹脂等の層を硬化させること、により得られている。両方法とも種々の特質を有するが、コスト及び生産性を考慮した場合、実用的にはスピンコート法がより好適であると考えられる。この場合、スペーサー上のグルーブ等は、予めネガパターンが形成されたスタンパーを、流動性を保持した樹脂層表面に加圧貼り付けし、該パターンを転写させた後にスタンパーを樹脂層表面より剥離することで得られている。
【０００４】
スタンパーの剥離工程では、従来は、スタンパーを治具により保持し、単にスペーサーの展延面に垂直な方向に力を加えて該スタンパーをスペーサー表面より引き剥がしていた（特許文献１参照）。しかし、当該方法では、スタンパーのみならずスペーサー層或いは基板に対しても損傷を生じさせる可能性があり、また、剥離に際して非常に大きな力の付加が必要とされていた。このため、剥離に要する力を低減し且つ円滑な剥離の開始を行うといった観点から、例えば、ディスク中心の穴に強制的に切り込みをいれ、部分剥離により生じた隙間より圧縮空気を挿入し、剥離を行う方法が提案されている。
【０００５】
また、本出願人は、更に該剥離工程を円滑且つ容易に行う方法として、スタンパーを基板面より大きなものとし、スタンパーの基板上面よりはみ出した部分を用いて該剥離工程を行う方法を提案している（特許文献２参照）。当該方法においては、基板を固定した状態において複数のピンにより該はみ出し部分を基板から離れる方向に押圧することとし、かつピンが基板を押圧する際に基板の外周に沿って各々のピンが時間差を設けて押圧を行うこととしている。このような構成の付加により、剥離の容易化と、剥離時にスタンパー等に対して与えられる負荷の低減を図っている。
【特許文献１】特開２００１−１２６３２２号公報
【特許文献２】特開２００３−３２６５３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
記録媒体である光ディスクは、記録密度の向上に伴ってスペーサー層に転写されるグルーブの溝幅が狭くなり且つ溝形状を確実に転写することが求められる。従って該グルーブの転写に用いられるスタンパーは微細且つ形成精度の高いグルーブパターンを有することとなり、スタンパー自体の加工に要するコストが上昇しつつある。また、該スタンパーを介してUV光等をスペーサー層に照射して該層の硬化を実施することから、スタンパーはUV光を透過し且つUV光の強度を減衰しない十分な薄さを有することが求められている。
【０００７】
しかし、ピンによってスタンパーの外周近傍を基板表面から押し上げることでスタンパーの剥離を行った場合、ピンとスタンパーとの接触部分に負荷集中が生じてしまう。また、該接触部分に生じるピン先端とスタンパー接触面との摩擦力も大きい。このため、スタンパーに損傷を与える可能性は依然として存在している。このため、高価なスタンパーを比較的僅かな使用回数で破棄し、新たなスタンパーを使用する必要がある。また、スタンパーが例えば０．６mm厚さと薄層化した場合、このような構成では薄層スタンパーに対処しきれない恐れもある。
【０００８】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、例えば０．６mm厚さという薄いスタンパーを用いた場合であっても、該スタンパー及びスペーサー層に対して何ら損傷を与える恐れの無い、或いは損傷を与える可能性を低減したスタンパーの剥離装置及び剥離方法、即ち光ディスクの製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る光ディスクの製造装置は、円盤状基板の上面に対して樹脂層を介して円盤状基板と同心となるように貼り付けられた円盤状基板の外径よりも大きな外径を有する円盤状のスタンパーを、円盤状基板から剥離する光ディスクの製造装置であって、円盤状基板の下面と当接して基板を吸着保持する円盤状基板と同じ或いは小さい外径を有する円形面を上面に有するテーブルと、テーブルにける円形面の中心より等距離であってテーブルの周囲において等間隔となる位置に配置され、スタンパーの円盤状基板との対抗面であって円盤状基板との貼り合せ領域からはみ出した領域と当接し、スタンパーにおける当接面に対して転動可能なローラと、テーブルにおける円形面の中心を回転中心としてテーブルをローラに対して相対的に回転させる第一の駆動装置と、円形面に対して垂直な方向においてローラをテーブルの円形面に対して相対的に上昇させる第二の駆動装置と、を有することを特徴としている。
【００１０】
なお、上述した装置においては、テーブルは下面において第一の駆動装置と連結されており、第一の駆動装置はテーブルを回転させることが好ましい。また、ローラはローラを転動可能に支持するローラ支持アームを介して第二の駆動装置と連結され、第二の駆動装置はローラを上昇させることが好ましい。更には、テーブルの上方であって円形面から所定距離に位置して、剥離されたスタンパーを吸着保持する吸着パッドを更に有することが好ましい。
【００１１】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る光ディスクの製造方法は、円盤状基板の上面に対して樹脂層を介して円盤状基板と同心となるように貼り付けられた円盤状基板の外径よりも大きな外径を有する円盤状のスタンパーを、円盤状基板から剥離する光ディスクの製造方法であって、円盤状基板の下面と当接して基板を吸着保持する円盤状基板と同じ或いは小さい外径を有する円形面を上面に有するテーブルの円形面上にスタンパーが貼り付けられた基板を吸着保持させ、テーブルにおける円形面の中心より等距離であってテーブルの周囲において等間隔となる位置に配置され、スタンパーの円盤状基板との対抗面であって円盤状基板との貼り合せ領域からはみ出した領域と当接し、スタンパーにおける当接面に対して転動可能なローラをはみ出した領域と当接させ、テーブルにおける円形面の中心を回転中心としてテーブルをローラに対して相対的に回転させると同時に、円形面に対して垂直な方向においてローラをテーブルの円形面に対して相対的に上昇させることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、剥離時にスタンパーに対して負荷が加えられる位置を、剥離の進行に伴って剥離に効果的に作用し得る位置に順次連続的にシフトさせてゆくことが可能となる。このため、ピン等を用いた場合と異なり、剥離に対する作用が低下した状態で（実際の剥離に対する寄与が低い位置で）スタンパーの局部に負荷集中することが無くなり、スタンパーに対する過剰な負荷集中が防止される。従って、より薄いスタンパーに対してもダメージ、損傷等を与えることなく剥離工程を行うことが可能となる。また、スタンパーと剥離用の治具との接点を、該接点の移動を低摩擦で行うことが可能となるように、スタンパー面に沿って転動するローラによって得ている。従って、ピン等を用いた場合と比較して、接点における摩擦力を低減することが可能となり、該摩擦力による剥離負荷も低減可能となる。
【００１３】
また、本発明によれば、剥離操作に伴って必要となる装置内の動作が、回転テーブルの回転動作、突き上げローラの上下動作、及び剥離アームの退避動作のみとなり、特許文献２に示した構成と比較して、構成要素の数が低減可能となる。また、動作自体も単純なものが多く、駆動系も簡易な駆動装置より構成することが可能となる。従って、剥離動作を安定化させることが容易となるとともに、装置自体を小型化することも容易である。また、上述した接点（突き上げ点）を連続的に移動することが可能であることから、剥離動作の速度を上昇させても、スタンパーに対する負荷の大幅な増加につながらず、タクトタイムを短縮化する効果も得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に図面を参照し、本発明の一実施形態について説明する。図１〜図６は、各々本発明に係る光ディスク製造装置、具体的にはスタンパーの剥離装置の主要構成の概略を示しており、該装置に基板を載置した際における基板面に対して垂直な面による部分断面を含む側面図である。図１はスタンパー付き基板を装着しない状態を、図２はスタンパー付き基板を本装置に装着した状態を、図３から図６にかけては、基板よりスタンパーを剥離する一連の装置の状態を各々示している。
【００１５】
本装置１は、基板保持系１０、スタンパー突上げ系３０、及びスタンパー保持系５０を主たる構成として有している。なお、本実施の形態において、本装置に装着される基板３の上面全面にはスペーサー層４が形成されており、該スペーサー層４の上面にはスタンパー６が貼り付けられている。基板３は中央部に貫通穴３ａを有する円盤形状からなり、スタンパー６は基板３より大きな外径を有する円盤形状からなる。スタンパー６も中央部に貫通穴６ａを有し、基板３に対して中心が一致するように貼り付けられている。従って、基板３の全周において、その外方にスタンパー６が突き出すこととなる。また、本実施形態において、基板３の延在面を水平面、基板３におけるスペーサー層４の形成面を上面とし、該水平面に垂直な方向を軸方向として定義する。
【００１６】
基板保持系１０は、回転テーブル１１、回転軸支持部１３、及びテーブル回転モータ１５を主たる構成として有している。回転テーブル１１は、水平面内に延在する略円盤形状の本体部１１ａと、略円盤形状の一方の円形面（裏面）の中心より軸方向下方に延在する軸部１１ｂとを有している。本体部１１ａの上面は、基板３と略同一の大きさを有する円形の略平面からなる基板受面１１ｃとして作用し、該基板受面１１ｃの中央部には基板３の貫通穴３ａ等に挿貫される突起部１１ｄが配置される。また、基板受面１１ｃ内には吸着開口１１ｅが複数設けられており、該吸着開口１１ｅは本体部１１ａ内部に設けられた真空経路１２に連通している。
【００１７】
真空経路１２は、本体部１１ａ及び軸部１１ｂの内部を通り、回転軸支持部１３の内部を介して不図示の真空排気系と接続されている。該真空経路内部を排気することにより、吸着開口１１ｅによる基板３裏面の吸着保持がなされる。回転軸支持部１３は、装置１のフレームである基台８の水平方向延在面に固定されている。また、回転軸支持部１３は内部にテーブル用ベアリング１４を有し、該ベアリング１４を介して、軸部１１ｂを回転可能であって且つ軸部１１ｂが垂直方向に延在するように支持している。テーブル回転モータ１５は、回転軸が垂直方向（軸方向）に向かうように基台８によって支持されている。また、該モータ１５の回転軸は回転テーブル１１の軸部１１ｂと同軸となるように連結されている。従って、テーブル回転モータ１５が動作することにより、回転テーブル１１が軸中心に回転することとなる。
【００１８】
スタンパー突上げ系３０は、基台８に固定された突上げモータ３１、該突上げモータ３１により軸方向に上下動可能に支持される突上げフレーム３３、突上げフレーム３３から軸方向に立ち上がる突上げアーム３５、及び突上げアーム３５に支持される突上げローラ３７とから構成される。突上げアーム３５は、複数本（本実施例においては３本）存在し、各々回転テーブル１１の回転中心を中心として等距離且つ各々の配置の間が等角度となるように（即ち等間隔で）配置される。突上げローラ３７は個々の突上げアーム３７に対応して配置されている。
【００１９】
また、突上げローラ３７は、略円柱形上を有し、該円柱形上の軸心を貫通する貫通ピン３８を介して、軸心中心に回転可能となるように突上げアーム３７に支持される。なお、軸心は基板受面１１ｃと平行となるように設定される。図７は、突上げローラ３７を基板中心から見た状態を示している。突上げローラ３７の円柱形状の側面であって、最も上方に位置する領域がスタンパー６のはみ出し部分（下面側）と接触する。基板３が軸心を中心として回転する際には、突上げローラ３７も貫通ピン３８を中心として回転し、スタンパー６との接触領域を順次連続的に移動させていく。
【００２０】
スタンパー保持系５０は、剥離されたスタンパー６を吸着保持する吸着パッド５１、吸着パッド５１と基板保持系１０との位置関係を規定する位置決め回転ピン５３、一端において吸着パッド５１及び位置決め回転ピン５３を保持する略棒状の保持アーム５５、保持アーム５５の他端において該保持アームを略水平面内に回転可能に指示するアーム回転シリンダ５７、及びアーム回転シリンダ５７と共に保持アーム５５等を上下方向（軸方向）に駆動可能に支持するアーム上下シリンダ５９を有している。位置決め回転ピン５３は略棒形状を有し、下端部５３ａの中心部において回転テーブル１１の突起部１１ｄの中心部と係合可能な形状を有している。具体的には突起部１１ｄの中央部には凹部が形成され、下端部５３ａの中心は下方に凸となる錐形状を有している。該錐形状の頂部が該凹部に嵌合することにより、これら部材の位置決めが為される。
【００２１】
位置決め回転ピン５３は、上端部において、回転ピン用ベアリング６１を介して保持アーム５５に支持されている。吸着パッド５１は位置決め回転ピン５３を中心として複数本配置されている。該吸着パッド５１略棒形状からなり、下端部に吸着面を有し、上端部において保持アーム５５に支持されている。吸着パッド５１は不図示の真空源と接続されており、該真空源を通じてスタンパー６を実際に吸着保持する。なお、該吸着パッド５１によってスタンパー６が吸着される際には、弾性にて跳ね上がったスタンパー６が吸着パッド５１の下端部と衝突する場合がある。このため、吸着パッド５１、特に下端部は比較的柔らかで衝突時の衝撃を和らげる軟性のゴム等から構成されることが好ましい。
【００２２】
実際に、本装置に基板が搭載された状態においては、図２から図６に示すような配置に吸着パッド５１及び位置決め回転ピン５３が位置している。しかし、基板を本装置に供給する際及び本装置から排出する際には、アーム上下シリンダ５９及びアーム回転シリンダ５７の作用により、吸着パッド５１等は基板保持系１０の上部空間より退避している。
【００２３】
なお、突上げローラ３７とスタンパー６とは常に接触し且つその接触位置を移動させている。このため、これら部材の摩擦等によって静電気が発生し、この静電気がスタンパー６或いは基板３を帯電させる恐れがある。これら部材が帯電した場合、静電気によってごみ、塵等が個々の部材の表面に付着し、これが光ディスク上に欠陥を生じさせる可能性も考えられる。このため、例えば、保持アーム５５等に除電用の所謂窒素ガン等の除電用の構成を付加し、除電雰囲気中にて剥離操作を行えるようにすることが好ましい。
【００２４】
以上に述べた装置を用いて実際に基板３からスタンパー６を剥離する工程について、図１から図６を参照して以下に説明する。図１に示される状態にある本発明に係る装置に対して、スタンパー６が貼り付けられ且つ樹脂層４の硬化が終了した基板が搭載される。実際には、不図示の搬送装置によって該基板３が回転テーブル１１の基板受面１１ｃ上に載置される。その際、基板３等の貫通穴に突起部１１ｄが挿貫され、基板３と回転テーブルとの位置決めが為される。続いて、真空経路１２を介して吸着開口１１ｅによる基板３の吸着保持が為される。この段階で、アーム回転シリンダ５７が動作し、位置決め回転ピン５３を突起部１１ｄの直上まで移動させる（図２参照）。
【００２５】
更に、アーム上下シリンダ５９を動作させ、位置決め回転ピン５３等を下降させる。位置決め回転ピン５３の下端部先端５３ａと突起部１１ｄの先端部とが当接、嵌合することでアーム上下シリンダ５９の動作は停止される。なお、突上げローラ３７は、基板３が回転テーブル１１によって吸着保持された状態において、その最上部領域がスタンパー６のはみ出し部分と当接或いは僅かに下方に離れるように予め設定されている。スタンパー突上げ系３０は、基板吸着時において当該状態で待機している。
【００２６】
ここで、テーブル回転モータ１５によって回転テーブル１１の回転動作が開始される。このとき、位置決め回転ピン５３は突起部１１ｄと当接し一体化しているが、回転ピン用ベアリング６１に作用により、位置決め回転ピン５３は回転テーブル１１と共に回転動作を行う（図３参照）。回転テーブル１１の回転動作開始と共に、突上げモータ３１が作動し始め、突上げアーム３５を上方（軸方向）に駆動し始める。当該動作によって突上げローラ３７も上昇し、円筒部の最上面がスタンパー６のはみ出し部分と当接する。回転テーブル１１の回転動作、及び突上げローラ３７の上昇は継続される。回転テーブル１１の回転に伴って、突上げローラ３７と当接するスタンパー６の当接部分は順次その周方向に移動する。しかし、該ローラは回転可能であり、当接部分の移動に伴って突上げローラ３７自身が回転し、突上げローラ３７側の当接部分を移動させていく。従って、ローラ-スタンパー間に生じるこすれ、摩擦等は最小限とされる。
【００２７】
突上げローラ３７の上昇量がある程度以上となった際に、該ローラの最も近傍のスタンパー-樹脂層間から剥離が生じ始める。回転テーブル１１の回転に伴って、生じた剥離はスタンパーの周方向に拡張される（図４参照）。突上げローラ３７の上昇が更に続けられることにより、剥離の周方向の拡張と共に、剥離の径方向の拡張も進行する。なお、剥離の開始領域及び剥離の拡張が最も顕著に進行する領域はスタンパー６の弾性変形が最も大きい領域、即ち突上げローラ３７とスタンパー６との接触点に最も近い貼り合せ部分となる。本発明においては、この接触点が、低い摩擦力でスタンパー６の周方向に連続的に移動することから、局部的に大きな変形をスタンパー６の特定部分に集中して生じさせることが防止される。
【００２８】
剥離の進行がスタンパー-樹脂層間の貼り合せ領域全域に及ぶことにより、スタンパー６は樹脂層４より完全に剥離される。その際、スタンパー６自身の弾性（復元性）によりスタンパー６は曲げ変形を修復し、平坦な板材として突上げローラ３７に支持されることとなる。吸着パッド５１下端の吸着面は、予めこのときのスタンパー６の平坦面と当接する位置となるようにして保持アーム５５に固定されている。このように剥離が終了し、スタンパー６が吸着パッド５１に吸着保持された状態を図５に示す。
【００２９】
ここで、突上げアーム３５等の上昇動作は停止される。その後、スタンパー６を保持した吸着パッド５１は、アーム上下シリンダ５９によって更に上方に運ばれ（図６参照）、アーム回転シリンダ５７によってスタンパーの収容位置にまで搬送される。同時に、不図示の基板搬送系により、スタンパー剥離済みの基板３は更なる工程に搬送される。その後、突上げアーム３５等は元の待機位置まで退避し、次の基板の剥離工程に備える。
【００３０】
以上の工程の実施により、より薄いスタンパーに対してもダメージ、損傷等を与えることなく剥離工程を行うことが可能となる。なお、本実施の形態においては、基板を保持するテーブル側を回転させ且つ突上げローラ側を上昇させることとしている。しかし、本発明は当該形態に限定されず、テーブル側を下降させ、突上げローラ側を基板中心が中心となるように回転させることとしても良い。従って、突上げローラの動作及び回転テーブルの動作は各々相対的な上昇及び相対的な回転として把握されることが好ましい。
【００３１】
本実施形態においては、テーブルの中心を回転中心としてテーブルをローラ（突き上げローラ）に対して相対的に回転させる第一の駆動装置にはテーブル回転モータが対応する。該駆動装置はテーブルの下面と連結される。また、テーブル上面の円形面に対して垂直な方向においてローラをテーブルに対して相対的に上昇させる第二の駆動装置には突上げモータが対応する。当該駆動装置はローラを転動可能に支持する突上げアーム、即ちローラ支持アームを介して該ローラに連結される。また、回転テーブルの基板保持面は円形面であって、その外径は基板の外径と同じか或いは小さいことが好ましい。これにより、突上げローラの一制度にマージンを与えることが可能となり、突上げローラはスタンパーにおけるはみ出し領域と容易に当接可能となる。
【００３２】
なお、突上げローラは、数が少なすぎる場合には該ローラとスタンパーとの接点が少なく負荷集中の度合いが大きくなることから好ましくない。また、数が多すぎる場合には、剥離開始時に貼り合せ面にかかる力が大きくなり、基板を回転テーブルに確実に吸着保持することが困難となり好ましくない。従って、突上げローラの数は、３個以上６個未満とすることが好ましく、装置構成の簡略化及び複数のローラの位置合わせ精度等の観点から３個或いは４個とすることがより好ましい。
【００３３】
また、本実施形態では、装置構成が簡略化し得ることから、諸構成の動作を水平面内及び該面に垂直な方向に限定し、各構成もこれら面等を基準として構築されている。しかし、本装置に基板等を搬送する搬送系、或いは本装置自体のフットプリント、或いはスタンパーの保持の容易さ等を考慮して、例えば上下方向を逆に配置する、垂直面を基準とする等の変形が可能である。また、各駆動系についても、要求される動作精度、動作範囲、動作速度等の条件に応じ、適宜変更されることが望ましい。また、基板としては通常の貫通穴を有する円盤状基板を用いているが、本出願人が提唱する中央部に円筒状の突起を有する略円盤状の基板等、種々の形状の基板を対象とすることが可能である。
【実施例】
【００３４】
次に、実際に本発明に係る剥離装置を用いて樹脂層とスタンパーとの剥離を実施結果について述べる。本実施例において用いた装置の基本構成は、上述した実施形態と特に異なることが無いことからここでの説明は省略する。本実施例においては、厚さ１mm、径１２０mm、中心穴径１５mmのポリカーボネート基板を用いている。該基板表面に対して、スパッタリングによって各種膜を形成し、更に厚さおよそ２０μmのUV光硬化性の樹脂層を形成し、０．６mm厚さのUV光透過性のスタンパーを貼り付けて、スタンパーのグルーブを樹脂層に転写形成した。
【００３５】
このようにして得られたスタンパー付き基板を本装置に搭載し、スタンパーの剥離を行った。なお、本実施例においては、突上げローラ３７が３個となる構成を採用している。その結果、従来装置においてスタンパーを交換していた使用回数を大幅に上回る回数まで該スタンパーを使用したにもかかわらず、該スタンパーには変形等何ら生じなかった。以上述べたように、本発明の実施により、より薄いスタンパーに対してもダメージ、損傷等を与えることなく剥離工程を行うことが可能となった。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
以上の実施形態及び実施例については主にBlu-rayディスクにおけるスペーサー層を対象として述べている。しかしながら、本発明の適用対象はこれら層に限定されず、DVDにおけるグルーブ形成、円盤状基板表面に対するスタンパーによるパターン形成時等、種々の樹脂層からのスタンパー剥離工程に対して適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る光ディスクの製造装置であって、スタンパー付き基板が搭載される前の状態を示す側面図である。
【図２】図１に示す装置において、スタンパー付き基盤が搭載された状態を示す図である。
【図３】図１に示す装置において、スタンパーの剥離操作を開始した状態を示す図である。
【図４】図１に示す装置において、スタンパーが途中まで剥離された状態を示す図である。
【図５】図１に示す装置において、スタンパーが完全に剥離された状態を示す図である。
【図６】図１に示す装置において、剥離されたスタンパーを別装置に移動する直前の状態を示す図である。
【図７】図１等に示した装置における突上げローラ及びその周辺の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１：光ディスク製造装置、  ３：基板、  ４：樹脂層（スペーサー層）、  ６：スタンパー、  ８：基台、  １０：基板保持系、  １１：回転テーブル、  １２：真空経路、  １３：回転軸支持部、  １４：テーブル用ベアリング、  １５：テーブル回転モータ、  ３０：スタンパー突上げ系、  ３１：突上げモータ、  ３３：突上げフレーム：  ３５：突上げアーム、  ３７：突上げローラ、  ３８：貫通ピン、  ５０：スタンパー保持系、  ５１：吸着パッド、  ５３：位置決め回転ピン、  ５５：保持アーム、  ５７：アーム回転シリンダ、  ５９：アーム上下シリンダ、  ６１：回転ピン用ベアリング
【図１】
2006269000.tif 000003
【図２】
2006269000.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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