(57)【要約】【課題】          本発明の目的は、高い平坦度と表裏のウェハ主面の平行度を要求される水晶ウェハのウェットエッチングに用いられる水晶ウェハの保持ジグを提供すること。【解決手段】          上記目的を達成する為に本発明は、水晶ウェハをエッチャントに浸漬してウェットエッチングする際に用いられる水晶ウェハの保持ジグにおいて、水晶ウェハの側面方向から水晶ウェハが、複数の略コの字形をした水晶ウェハ押えによって囲まれた領域内でエッチャント中では押えに触れずにとどめられることを特徴とし、また、水晶ウェハ押えの略先端部分に、エッチャントが通過する孔を有することを特徴とし、また、水晶ウェハ押え外形よりも大きな凹みをもつ板状の構造体の該凹みに入れられ、水晶ウェハがエッチャントのなかで揺動しながら保持されることを特徴として課題を解決する。【選択図】  図１
2006310642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶ウェハをエッチャントに浸漬してウェットエッチングする際に用いられる水晶ウェハの保持ジグにおいて、
水晶ウェハの側面方向から該水晶ウェハが、複数の略コの字形をした水晶ウェハ押えによって囲まれた領域内でエッチャント中では押えに触れずにとどめられることを特徴とする水晶ウェハの保持ジグ。
【請求項２】
該水晶ウェハ押えの略先端部分に、エッチャントが通過する孔を有することを特徴とする請求項１に記載の水晶ウェハの保持ジグ。
【請求項３】
該水晶ウェハ押え外形よりも大きな凹みをもつ板状の構造体の該凹みに入れられ、水晶ウェハがエッチャントのなかで揺動しながら保持されることを特徴とする請求項１乃至２に記載の水晶ウェハの保持ジグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高い平坦度と表裏のウェハ主面の平行度を要求される水晶ウェハのウェットエッチングに用いられる水晶ウェハの保持ジグに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、水晶振動子は携帯電話などの通信端末を含めて、一般の電子機器に用いられるものが多いが、その一方で、基地局向けの水晶発振器などに使用される非常に高精度な製品仕様を必要とされる水晶振動子については、一枚の水晶からなるウェハ上に多数個の水晶振動子を形成し、一括的に加工して、最終的な工程でそれぞれの水晶振動子に個割りした後にセラミックなどから成る開口部を有する容器のなかに収容する水晶振動子の製造方法がとられる場合がある。
【０００３】
このことは、最近の傾向では通信分野の伝送系装置等を中核として、その搭載部品について、先述の水晶振動子を含めて、非常に急激な市場からの小型化や低背化、更に加えて軽量化や低価格化の要求があることを一因とする。
【０００４】
一括的な一枚の水晶からなる水晶ウェハ上の多数個の水晶振動子の加工にウェットエッチングを用いる場合、従来の上下揺動式ウェットエッチング装置では、水晶ウェハをその保持ジグを用いて保持し、一般的にウェットエッチング槽内の下方に載置された、ヒーターなどにより暖められたエッチャント上昇流のなかでウェハを上下に揺動してエッチングを行っていた。
【特許文献１】特開２００３―１９２５００号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の水晶ウェハ保持ジグにおいては、水晶ウェハとウェハ保持ジグとが直接的に接触して、水晶ウェハが固定されている為に、保持ジグの水晶ウェハとの接触部周りのエッチャントの流れが抑制され、その結果、高い平坦度と表裏のウェハ主面の平行度を要求される水晶ウェハ面内のエッチング量のばらつきが生じてしまうといった問題があった。
【０００７】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従ってその目的は、高い平坦度と表裏のウェハ主面の平行度を要求されるウェットエッチングに用いられる水晶ウェハの保持ジグを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明は、水晶ウェハをエッチャントに浸漬してウェットエッチングする際に用いられる水晶ウェハの保持ジグにおいて、水晶ウェハの側面方向から水晶ウェハが、複数の略コの字形をした水晶ウェハ押えによって囲まれた領域内でエッチャント中では押えに触れずにとどめられることを特徴とする。
【０００９】
また、水晶ウェハ押えの略先端部分に、エッチャントが通過する孔を有することを特徴とする。
【００１０】
また、水晶ウェハ押え外形よりも大きな凹みをもつ板状の構造体の該凹みに入れられ、水晶ウェハがエッチャントのなかで揺動しながら保持されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の水晶ウェハの保持ジグにより、加工対象である水晶ウェハのウェハ面内でのエッチング量のばらつきを著しく少ないものとすることが出来、その結果、一枚の水晶ウェハ上に複数形成された個々の水晶振動子のウェットエッチング加工面の平坦度と表裏のウェハ主面の平行度を著しく高めてウェットエッチング加工をすることが出来る。
【００１２】
また、更にその後工程で個々の水晶振動子にエッチング加工を行う場合、そのエッチング加工工程の面精度を保つといった負荷を著しく軽減することが出来、従来に比べて著しく生産効率良く水晶振動子を製造することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１４】
図１は本発明の、ウェットエッチングに用いる水晶ウェハの保持ジグ２を用いて矩形状の水晶ウェハ１が保持される様子を、水晶ウェハ１の主面方向からみた概略の模式図である。水晶ウェハ１をエッチャントに浸漬してウェットエッチングする際に用いられる水晶ウェハの保持ジグ２において、水晶ウェハ１の側面方向から水晶ウェハ１が、複数の略コの字形をした水晶ウェハ押え３によって囲まれた領域内で直接的に固定されること無くエッチャント中では押えに触れずにとどめられる。それぞれの略コの字形をした水晶ウェハ押え３の先端付近には、孔５があけられており、この孔５を通してエッチャントが通過するため、この水晶ウェハ押えの先端付近４でのエッチャントの流れは抑制されることが無い。なお、この孔５は図示されているような矩形に限らず、円形、楕円、多角形、星型といった形でも構わず、この場合においても、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。また、この図１に示される矢印は、図２にあるように、水晶ウェハ押え３外形よりも大きな凹みをもつ板状の構造体７の凹み６に入れられる為に、水晶ウェハ１がエッチャントのなかで揺動しながら保持される様子を示すものである。
【００１５】
図２は本発明の、ウェットエッチングに用いる水晶ウェハの保持ジグ２が水晶ウェハ押え３外形よりも大きな凹みをもつ板状の構造体７の凹み６に入れられて、矩形状の水晶ウェハ１がエッチャントのなかで揺動しながら保持される様子を、水晶ウェハ１の側面方向からみた概略の模式図である。なお、図２では、図に向かって、手前のひとつの略コの字形をした水晶ウェハ押え３、及び前後の側の大きな凹み６をもつ板状の構造体７は省略されている。
【００１６】
図３はウェットエッチングに用いる水晶ウェハの保持ジグ２を用いて矩形状の水晶ウェハ１が保持される様子を、水晶ウェハ１の側面方向からみた概略の模式図である。この図３での点線で囲われた領域範囲内で水晶ウェハ１は固定されること無くエッチャントのなかで揺動される。この図３では手前のひとつの略コの字形をした水晶ウェハ押え３は省略されている。なお、本発明の保持ジグ２は水晶ウェハ１以外の材質のウェハにも使用することが出来るのは言うまでも無い。
【００１７】
図４は、従来のウェットエッチングに用いる水晶ウェハ１の保持ジグ２を用いて矩形状の水晶ウェハ１が保持される様子を、斜め上方向からみた概略の上面斜視模式図である。このような従来の水晶ウェハ保持ジグ２においては、水晶ウェハ１とウェハ保持ジグ２とが直接的に接触して、水晶ウェハ１が固定されている為に、保持ジグ２の水晶ウェハ１との接触部周りのエッチャントの流れが抑制され、その結果、高い平坦度と表裏のウェハ主面の平行度を要求される水晶ウェハ１面内のエッチング量のばらつきが生じてしまうといった問題があった。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のウェットエッチングに用いる水晶ウェハの保持ジグを用いて矩形状の水晶ウェハが保持される様子を、水晶ウェハの主面方向からみた概略の模式図である。
【図２】本発明のウェットエッチングに用いる水晶ウェハの保持ジグを用いて矩形状の水晶ウェハが保持される様子を、水晶ウェハの側面方向からみた概略の模式図である。
【図３】本発明のウェットエッチングに用いる水晶ウェハの保持ジグを用いて矩形状の水晶ウェハが保持される様子を、水晶ウェハの側面方向からみた概略の模式図である。この図３での点線で囲われた領域範囲内で水晶ウェハはエッチャントのなかで揺動される。
【図４】従来のウェットエッチングに用いる水晶ウェハの保持ジグを用いて矩形状の水晶ウェハが保持される様子を、斜め上の方向からみた概略の上面斜視模式図である。
【符号の説明】
【００１９】
１    水晶ウェハ
２    水晶ウェハ保持ジグ
３    略コの字形をした水晶ウェハ押え
４    水晶ウェハ押えの略先端部分
５    孔
６    凹み
７    板状の構造体
【図１】
2006310642.tif 000003
【図２】
2006310642.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006310642.tif 000006