(57)【要約】【課題】  部品実装時の干渉により隣接部品を跳ね飛ばすことなく、部品吸着力を確保可能な部品吸着ノズルを提供する。【解決手段】  部品吸着ノズル１の部品吸着面６のサイズを部品１０に対して相対的に拡大し、拡大した部品吸着面６の一部で部品実装時に実装済み隣接部品１０ｚを上方から押さえ込み、隣接部品１０ｚの跳ね飛ばしを回避する。また、部品吸着面６に開口する吸着孔７のサイズを前記部品吸着面６のサイズに対して相対的に小さくし、吸着位置ずれが生じても吸着孔７からの負圧洩れを回避するほか、隙間負圧効果を積極的に利用する。いずれも、部品吸着面６の面積に対する吸着孔７の開口面積の比率（開口率）を0.3以下、好ましく0.2以下とし、また、部品吸着面６上の任意の方向における部品吸着面６の長さに対する吸着孔７の開口部の長さの比を0.5以下とする。【選択図】図１
2006120914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手軸上方にある実装ヘッドへ連結するための連結部と、長手軸下方にある部品吸着面を含む吸着部と、前記連結部と前記吸着部の間を流体的に連結して前記部品吸着面に形成された吸着孔に開口するエア通路とを備え、前記エア通路を介して実装ヘッドから供給される負圧を利用して前記部品吸着面に部品を吸着し、前記エア通路を介して実装ヘッドから供給される正圧を利用して前記部品を前記部品吸着面から切り離して回路基板の実装位置に実装する部品吸着ノズルにおいて、
前記吸着孔の開口面積が、前記部品吸着面の面積の約３０％以下であることを特徴とする部品吸着ノズル。
【請求項２】
前記吸着孔の開口面積が、前記部品吸着面の面積の約２０％以下であることを特徴とする、請求項１に記載の部品吸着ノズル。
【請求項３】
長手軸上方にある実装ヘッドへ連結するための連結部と、長手軸下方にある部品吸着面を含む吸着部と、前記連結部と前記吸着部の間を流体的に連結して前記部品吸着面に形成された吸着孔に開口するエア通路とを備え、前記エア通路を介して実装ヘッドから供給される負圧を利用して前記部品吸着面に部品を吸着し、前記エア通路を介して実装ヘッドから供給される正圧を利用して前記部品を前記部品吸着面から切り離して回路基板の実装位置に実装する部品吸着ノズルにおいて、
前記吸着孔が前記部品吸着面の略中央に１つ開口し、前記部品吸着面上の任意の方向における前記吸着孔の開口幅が同一方向における前記部品吸着面の幅の約５０％以下であることを特徴とする部品吸着ノズル。
【請求項４】
前記部品吸着面が、略直交する一方の辺の長さが約1.7ｍｍ、他方の辺の長さが約1.2ｍｍのほぼ矩形状に形成され、前記部品吸着面に開口する吸着孔の前記一方の辺と同一方向の開口幅が約0.8ｍｍ、前記他方の辺と同一方向の開口幅が約0.55ｍｍであることを特徴とする請求項３に記載の部品吸着ノズル。
【請求項５】
前記部品吸着面が、略直交する一方の辺の長さが約4.0ｍｍ、他方の辺の長さが約3.4ｍｍのほぼ矩形状に形成され、前記部品吸着面に開口する吸着孔の前記一方の辺と同一方向の開口幅が約1.35ｍｍ、前記他方の辺と同一方向の開口幅が約0.9ｍｍであることを特徴とする請求項３に記載の部品吸着ノズル。
【請求項６】
前記吸着孔の開口部形状が、Ｘ字状、Ｈ字状、王字状、円形、長円形のいずれかであることを特徴とする、請求項１から請求項５のいずれか一に記載する部品吸着ノズル。
【請求項７】
長手軸上方にある実装ヘッドへ連結するための連結部と、長手軸下方にある部品吸着面を含む吸着部と、前記連結部と前記吸着部の間を流体的に連結して前記部品吸着面に形成された吸着孔に開口するエア通路とを備え、前記エア通路を介して実装ヘッドから供給される負圧を利用して前記部品吸着面に部品を吸着し、前記エア通路を介して実装ヘッドから供給される正圧を利用して前記部品を前記部品吸着面から切り離して回路基板の実装位置に実装する部品吸着ノズルにおいて、
前記部品吸着面が一方向に延びる細長矩形状に形成され、前記吸着孔が前記エア通路から分岐して前記一方向に沿って複数個開口し、前記一方向に沿った複数吸着孔の合計開口幅が、前記部品吸着面の同一方向の幅の約５０％以下であることを特徴とする部品吸着ノズル。
【請求項８】
前記吸着孔の開口部形状が円形、長円形のいずれかであることを特徴とする、請求項７に記載の部品吸着ノズル。
【請求項９】
部品を連続的に供給する部品供給部と、前記部品供給部から部品を取り出して回路基板に実装する実装ヘッドと、前記実装ヘッドを搬送するロボットと、回路基板を搬入して保持する基板保持部と、全体の動作を制御する制御部とから構成され、前記実装ヘッドに装着された部品吸着ノズルを利用してエアの吸引作用により前記部品供給部から部品を取り出し、エアの吹出し作用により前記部品を回路基板の実装位置に実装する部品実装装置において、
前記部品吸着ノズルが、請求項１から請求項８のいずれか一に記載の部品吸着ノズルであることを特徴とする部品実装装置。
【請求項１０】
部品供給部に供給された部品を部品吸着ノズルにより吸着して取り出し、前記部品を規制保持された回路基板に対向する位置まで搬送した後、前記部品吸着ノズルから前記部品を切り離して前記回路基板の実装位置に実装する部品実装方法において、
前記部品吸着ノズルの部品吸着面の面積に対して約３０％以下の開口面積を有する吸着孔が前記部品吸着面に開口する部品吸着ノズルを使用して部品の取り出し、実装を行うことを特徴とする部品実装方法。
【請求項１１】
前記部品吸着面の面積に対する前記吸着孔の開口面積の比率が約２０％以下であることを特徴とする、請求項１０に記載の部品実装方法。
【請求項１２】
部品供給部に供給された部品を部品吸着ノズルにより吸着して取り出し、前記部品を規制保持された回路基板に対向する位置まで搬送した後、前記部品吸着ノズルから前記部品を切り離して前記回路基板の実装位置に実装する部品実装方法において、
前記吸着される部品の吸着面表面積に対して約３５％以下の開口面積を有する吸着孔を部品吸着面に開口する部品吸着ノズルを使用して前記部品の取り出し、実装を行うことを特徴とする部品実装方法。
【請求項１３】
部品供給部に供給された部品を部品吸着ノズルにより吸着して取り出し、前記部品を規制保持された回路基板に対向する位置まで搬送した後、前記部品吸着ノズルから前記部品を切り離して前記回路基板の実装位置に実装する部品実装方法において、
前記部品を回路基板の実装位置に実装する際、前記回路基板に実装済みの隣接する他の部品を前記部品吸着ノズルにより上方から押えつつ前記部品を実装することを特徴とする部品実装方法。
【請求項１４】
前記部品吸着ノズルによる前記隣接する他の部品の押さえ代が、当該他の部品の前記部品吸着ノズルに対向する面の表面積の約２０％以上であることを特徴とする、請求項１３に記載の部品実装方法。
【請求項１５】
部品実装装置へ部品を供給する部品供給テープから前記部品吸着ノズルにより部品を取り出す際、前記部品テープで部品を収納する部品収納部の周囲を前記部品吸着ノズルの部品吸着面により押圧して変形させ、前記部品吸着面が前記部品収納部の変形前の領域内に侵入して部品に当接又は近接し、当該部品を吸着して取り出すことを特徴とする、請求項１０から請求項１４のいずれか一に記載の部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品供給部に供給される部品を取り出し、当該部品を回路基板の実装位置に実装する部品実装装置及び部品実装方法に関する。より具体的に、本発明は、負圧を利用して部品供給テープから部品を吸着して取り出した後、正圧を利用して前記部品を切り離して実装する部品吸着ノズルと、当該部品吸着ノズルを使用して部品実装を行う部品実装装置及び部品実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置の１例を図８に示す。図において部品実装装置５０は、実装すべき部品を供給する部品供給部５１と、部品供給部５１から部品を取り出して回路基板５２に実装する実装ヘッド５３と、実装ヘッド５３を所定位置に搬送するロボット５４と、回路基板５２を搬入して保持する基板保持装置５６と、全体の動作を制御する制御装置５７とを備えている。部品供給部５１には、部品１０を順次供給可能な部品供給装置３０が取り付けられている。
【０００３】
以上のように構成された部品実装装置５０では、前記供給された部品１０を取り出して回路基板５２に実装するため、負圧を利用して部品を吸着、保持する部品吸着ノズル（以下、「ノズル」という。）１が一般に使用される。図８に示す部品実装装置５０の例では、実装ヘッド５３に４つのノズル１が装着されており、各ノズル１はそれぞれ部品１０の取り出しから実装までを行う。
【０００４】
図９（ａ）〜（ｃ）はノズル１の１例を示す。各図において、ノズル１は長手軸上方にある実装ヘッド５３との連結部２と、同じく下方にある吸着部３とを有している。上方の連結部２と下方の吸着部３の間には、ノズル１を実装ヘッド５３へ着脱する際に着脱工具（図示せず）が差し込まれる２つのフランジ４が設けられている。吸着すべき部品１０の形状、大きさ等に応じ、実装ヘッド５３に装着されるノズル１は前記着脱工具を利用して取替えが可能である。吸着部３の下端部にはノズル１の前記長手軸（中心軸）５に直交する部品吸着面６が形成され、吸着時にはこの部品吸着面６を部品１０の上端面に当接させる。
【０００５】
ノズル１の部品吸着面６には吸着孔７（図９（ｃ）参照）が開口し、吸着孔７と連結部２の上端面８に形成された上部開口９（図９（ａ）参照）とがノズル１の内部に形成されたエア通路１５（一部を破線で示す）を介して相互に流体的に連結されている。ノズル１が実装ヘッド５３に装着された状態で、部品吸着時には実装ヘッド５３から供給される負圧を利用して部品吸着面６に部品１０を吸着し、部品実装時には同じく実装ヘッド５３から供給される正圧を利用して部品１０をノズル１から切り離して実装する。
【０００６】
図９（ｂ）に示すように、吸着部３では上部円筒部１２から下部円筒部１３が延び、下部円筒部１３からはさらに下方に向けて逆角錐台部１４が延びて先端にある矩形状の部品吸着面６につながっている。図９（ｃ）の底面図に示す例では、吸着孔７が略Ｘ字状形状を呈して開口しているが、この吸着孔７の形状は部品１０の形状等に応じて円形（１つ又は複数個）、長円形、星形、王字状、Ｈ字状などの各種形状が考えられている。一般に負圧が同一であれば吸着孔７の開口面積が大きいほど強い吸引力が得られる。しかしながら、吸着孔７の開口面積が部品１０に対して大き過ぎると部品１０が吸着孔７内に吸い込まれたり片落ちしたりして実装不良を起こす原因となり得る。これを回避するため、開口面積をできるだけ大きくしながら部品１０を吸い込みにくくする各種開口形状が考えられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００７】
次に、図１０は、部品実装装置５０に部品を連続的に供給する部品供給テープ２０の１例を示す。図において部品供給テープ２０は、部品１０を収納するベーステープ２１と、ベーステープ２１を覆うカバーテープ２２とから構成される。ベーステープ２１には長手方向等間隔にエンボス加工によって形成された凹状のエンボス部からなる部品収納部２３が形成されている。部品１０はこの部品収納部２３内に収納され、ベーステープ２１に貼り付けられたカバーテープ２２に覆われて保護される。カバーテープ２２は、後にベーステープ２１から剥ぎ取られるまでの間、部品１０が部品収納部２３から脱落したり部品収納部２３内で位置ずれしたりすることを防止する。このように構成された部品供給テープ２０がリール２５に巻き取られ、部品供給装置３０（図８参照）に装填される。
【０００８】
図１１（ａ）〜（ｃ）は、ノズル１が部品１０を吸着する際の動作を示している。部品取り出し位置直前でカバーテープ２２が剥ぎ取られて上方が開放された部品１０に対し、ノズル１が下降し（図１１（ａ））、ノズル下端部にある部品吸着面６を部品１０の上端面に当接させる（図１１（ｂ））。この時、ノズル１のエア通路１５に破線矢印１６で示す負圧が作用して部品吸着面６に部品１０を吸着する。部品吸着面６は、この時点でベーステープ２１の上端面Ａ−Ａを越えて下降し、部品収納部２３の内部に距離ｄだけ下降して部品１０に当接する。部品１０を吸着したノズル１は、その後、負圧の作用により部品１０を吸着保持したまま上昇し、部品実装位置へと移動する（図１１（ｃ））。
【０００９】
図１２（ａ）、（ｂ）は、部品実装位置へ移動したノズル１が回路基板５２の実装位置に吸着した部品１０を実装する際の動作を示している。図１２（ａ）において、所定の実装位置まで移動したノズル１は、回路基板５２に向けて下降する。この際、図示のように回路基板５２の所定実装位置に隣接して既に実装を終えた他の部品１０ｚが存在している場合がある。正常な状態での実装であれば、図１２（ｂ）に示すようにノズル１が下降して吸着した部品１０の下端面を回路基板５２に当接させ、同時にノズル１のエア通路１５を介して破線矢印１９で示す正圧エアを供給することでノズル１の部品吸着面６から部品１０を切り離し、部品１０の実装を完了する。回路基板５２の表面には事前にクリーム半田層５８が形成されており、部品１０はこの層に拘束されて固着される。部品実装を終えた回路基板５２は実装部品と共にリフロー工程に搬送されてクリーム半田層５８が溶融され、その後の冷却によって部品１０は回路基板５２に半田接合される。
【００１０】
しかしながらこの部品実装の際、図１２（ｃ）に示すように、部品吸着時のノズル１と部品１０との位置ずれ等の原因により、ノズル１の部品吸着面６の一部が既に実装済みの隣接部品１０ｚの角部に接触することが起こり得る。クリーム半田層５８の粘着性のみによって固着されている隣接部品１０ｚはこの接触の際の衝撃によって跳ね飛ばされ、このため回路基板５２は実装されるべき部品が欠品となることで不良となり得る。
【００１１】
さらに、図１２（ｄ）に示すように、部品吸着時の位置ずれによりノズル１の吸着孔７の一部が部品１０の一方の側にはみ出す状態となるとき、部品１０を切り離すためにエア通路１５に破線矢印１９で示す正圧エアが供給された際に前記はみ出した方向へのエア噴出量が増し、これによって隣接部品１０ｚが吹き飛ばされる不具合が発生することもある。
【００１２】
昨今の市場における電子機器の多機能化、小型軽量化要請に伴い、電子機器に実装される部品がより小型化し、同時に回路基板への部品実装密度がより高くなってきている。部品小型化の観点では、例えば一辺が0.5ｍｍほどのチップ部品も使用されてきており、部品が小型化されればそれに伴ってノズル１も小型化する。このためノズル１での吸着力が不足して、部品１０が搬送時などの僅かな振動や風圧によって脱落し、失われる不具合が発生し易い傾向にある。また、実装密度の高まりの観点でいえば、回路基板上に実装される部品間の隙間が0.1〜0.2ｍｍ程度にまで縮まってきており、このため部品吸着時の僅かな位置ずれによっても、上述したようにノズル１が隣接する部品１０ｚに干渉してこれを跳ね飛ばす不具合が生じ易い傾向にある。
【００１３】
以上の状況に対処するため、従来技術で考えられているノズル開発時の基本設計思想は以下のようであった。
１．ノズルの部品吸着面を部品に相応して極力小さくし、部品実装時における実装済み隣接部品との干渉を回避する。
２．ノズルの吸着孔の開口面積をできるだけ大きくとって小型の部品に対しても十分な吸着力を確保する。
【００１４】
ノズル１の部品吸着面６を極力小さくする一方で、その部品吸着面６に開口する吸着孔７の開口面積を大きくすることは基本的に相反する要求となるが、従来は上記方向に沿って解決策を見出す努力が傾注されてきた。しかしながら部品微小化がさらに進む中、この方向への挑戦にも自から限界に近付いてきており、加工精度、ノズル先端部の強度確保、採算性などを考慮すると何らかの打開策が必要となっている。
【特許文献１】特開２００２−２９２５８７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
以上より、本発明は、部品の小型化と回路基板の部品実装密度が高まる中で上述した課題を解消し、実装時の干渉によって隣接部品を跳ね飛ばすことなく、隣接部品との間隔をより狭くして実装密度を高めることを可能にし、さらにはノズルの部品吸着面の強度を確保して精密加工にも負担を強いることなく、同時に十分な吸着力を提供可能な部品吸着ノズル、並びに部品実装方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、上述した従来の基本設計思想を180度転換し、ノズルの部品吸着面のサイズを拡大することによって実装済み隣接部品の跳ね飛ばしを回避し、また、部品吸着面に開口する吸着孔のサイズを前記部品吸着面のサイズに対して相対的に小さくすることによって上述した課題を解消するもので、具体的には以下の内容を含む。
【００１７】
すなわち、本発明にかかる第１の態様は、長手軸上方の実装ヘッドへ連結するための連結部と、長手軸下方の部品吸着面を含む吸着部と、前記連結部と前記吸着部の間を流体的に連結して前記部品吸着面の吸着孔に開口するエア通路とを備え、前記エア通路を介して実装ヘッドから供給される負圧を利用して前記部品吸着面に部品を吸着し、前記エア通路を介して実装ヘッドから供給される正圧を利用して前記部品を前記部品吸着面から切り離して回路基板の実装位置に実装する部品吸着ノズルであって、前記吸着孔の開口面積が、前記部品吸着面の面積の約３０％以下であることを特徴とする部品吸着ノズルに関する。前記吸着孔の開口面積は、前記部品吸着面の面積の約２０％以下であってもよい。
【００１８】
本発明にかかる他の態様は、部品吸着ノズルの吸着孔が部品吸着面の略中央に１つ開口し、前記部品吸着面上の任意の方向における前記吸着孔の開口幅が、同一方向における前記部品吸着面の幅の約５０％以下である部品吸着ノズルに関する。あるいは、前記部品吸着面が一方向に延びる細長矩形状に形成された場合、前記吸着孔は前記一方向に沿って複数個開口することができ、前記一方向に沿った複数吸着孔の合計開口幅は、前記部品吸着面の同一方向の幅の約５０％以下とすることができる。
【００１９】
本発明にかかるさらに他の態様は、部品を連続的に供給する部品供給部と、前記部品供給部から部品を取り出して回路基板に実装する実装ヘッドと、前記実装ヘッドを搬送するロボットと、回路基板を搬入して保持する基板保持部と、全体の動作を制御する制御部とから構成され、前記実装ヘッドに装着された部品吸着ノズルを利用してエアの吸引作用により前記部品供給部から部品を取り出し、エアの吹出し作用によって回路基板の実装位置に前記部品を実装する部品実装装置であって、前記部品吸着ノズルとして上述した部品吸着ノズルのいずれかを使用することを特徴とする部品実装装置に関する。
【００２０】
本発明にかかるさらに他の態様は、部品吸着ノズルの部品吸着面の面積に対して約３０％以下の開口面積を有する吸着孔が前記部品吸着面に開口する部品吸着ノズルを使用して部品の取り出し、実装を行うことを特徴とする部品実装方法に関する。前記部品吸着面の面積に対する前記吸着孔の開口面積の比率は約２０％以下とすることができる。
【００２１】
本発明にかかるさらに他の態様は、吸着される部品の吸着面表面積に対して約３５％以下の開口面積を有する吸着孔が部品吸着面に開口する部品吸着ノズルを使用して前記部品の取り出し、実装を行うことを特徴とする部品実装方法に関する。
【００２２】
本発明にかかるさらに他の態様は、部品を回路基板の実装位置に実装する際、回路基板に実装済みの隣接する他の部品を部品吸着ノズルにより上方から押えつつ前記部品を実装することを特徴とする部品実装方法に関する。前記部品吸着ノズルによる前記隣接する他の部品の押さえ代は、当該他の部品の前記部品吸着ノズルに対向する面の表面積の約２０％以上とすることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明にかかる部品吸着ノズルの実施により、小型の部品に対してもこれを吸着するためのノズルを相応して小型化する必要がなくなり、加工が容易で強度的にも優れた部品吸着ノズルを提供することが可能となる。
【００２４】
また、本発明にかかる部品実装装置、部品実装方法の実施により、実装時における実装済み隣接部品を跳ね飛ばす不具合を解消し、また部品の吸着、保持をより確実なものとして部品実装の品質を向上させ、生産性を高めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明は、従来のノズル基本設計思想の発想を転換することにより現状打破を図っている。より具体的には、まず第１にノズルの部品吸着面の面積を大きくし、実装済みの隣接部品との干渉を積極的に図ってこれを押さえつけて跳ね飛ばしを回避する（第１の実施の形態）。そして第２に、ノズルの部品吸着面に開口する吸着孔の開口面積を相対的に小さくし、負圧の洩れを回避することで吸着力を確保するものとする（第２の実施の形態）。
【００２６】
各実施の形態の説明に入る前に、従来から使用されていたノズル１の吸着部について図面を参照して詳述する。なお、以下の説明において、背景技術の項で説明したものと同一の構成要素に対しては同一の符号を用いるものとする。ただし、これらの符号は該当する構成要素の一般的表示を意味するものとし、特有の構成要素に関してはａ、ｂなどのサフィックスを付けるものとする。例えば、「ノズル１」とはノズル一般を意味し、「ノズル１ａ」などのサフィックスが付いた場合には、図面などに事前に表示された特定のノズル１ａを意味するものとする。
【００２７】
図１３（ａ）、（ｂ）は、従来から使用されていたノズルを例示している。まず図１３（ａ）に示すノズル１ｂは、部品吸着面６ｂの寸法がＸ＝1.00ｍｍ、Ｙ＝0.80ｍｍ、またＨ形状である吸着孔７ｂの開口寸法は、ｘ＝0.80ｍｍ、ｙ＝0.55ｍｍである。この状態で部品吸着面６ｂに対する吸着孔７ｂの横方向における長さの比ｘ／Ｘは0.80、同じく縦方向の比ｙ／Ｙは0.69、また部品吸着面６ｂの面積に対する吸着孔７ｂの開口面積の比（以下、「開口率」という。）Ｒは0.39である。なお、本明細書でいう「部品吸着面６の面積」の用語は、部品吸着面６内に開口する吸着孔７の開口面積を差し引く前の名目上の面積（Ｘ×Ｙ）を意味している。
【００２８】
次に、図１３（ｂ）に示す従来の他のノズル１ｃの例では、王字形状の吸着孔７ｃが部品吸着面６ｃに開口している。ここで部品吸着面６ｃの寸法は、Ｘ＝1.7ｍｍ、Ｙ＝1.2ｍｍ、また吸着孔７ｃの寸法はｘ＝1.35ｍｍ、ｙ＝0.90ｍｍである。この状態で部品吸着面６ｃに対する吸着孔７ｃの横方向おける長さの比ｘ／Ｘは0.79、同じく縦方向の比ｙ／Ｙは0.75、また部品吸着面６ｃに対する吸着孔７ｃの開口率Ｒは0.41である。
【００２９】
以上の例で示すように、一般に従来のノズル１では、部品吸着面６の面内での任意の方向において部品吸着面６の長さに対する吸着孔７の長さの比が約0.7〜0.8、また、部品吸着面６における吸着孔７の開口率Ｒは約0.4〜0.5を占めている。部品吸着面６の縁付近まで吸着孔７の境界を広げ、吸着孔７の開口面積をできるだけ稼いでいる結果による。このため、図１３（ａ）に示すノズル１ｂの例では吸着孔７ｂの境界から部品吸着面６ｂの縁までの肉厚最小寸法は0.1ｍｍにまで縮まり、強度上の問題が惹起するほか、高い加工精度が要求されている。
【００３０】
次に、従来から使用されていたノズルと吸着される部品との関係について見てみる。図１３（ａ）に示すノズル１ｂは、従来、例えば1.0ｍｍ×0.5ｍｍサイズの部品１０ｂ（図示せず）の吸着に使用している。部品１０ｂの寸法を横ａ＝1.0ｍｍ、縦ｂ＝0.5ｍｍとすれば、横方向における部品１０ｂの長さに対する部品吸着面６ｂの長さの比Ｘ／ａは1.00、同じく縦方向の長さの比Ｙ／ｂは1.60、また部品１０ｂの表面積ｓに対する部品吸着面６ｂの面積Ｓの比Ｓ／ｓは1.60である。さらに、部品１０ｂの表面積ｓに対する吸着孔７ｂの開口面積ｗの比ｗ／ｓは0.63である。
【００３１】
同様に、図１３（ｂ）に示すノズル１ｃの例でいえば、従来ではこのノズル１ｃを使って例えば1.6ｍｍ×0.8ｍｍサイズのチップ部品１０ｃ（図示せず）を吸着している。部品１０ｃの寸法を横ａ＝1.6ｍｍ、縦ｂ＝0.8ｍｍとすれば、横方向における部品１０ｃの長さに対する部品吸着面６ｃの長さの比Ｘ／ａは1.06、同じく縦方向の長さの比Ｙ／ｂは1.50、また部品１０ｃの表面積ｓに対する部品吸着面６ｃの面積Ｓの比Ｓ／ｓは1.59である。さらに、部品１０ｃの表面積ｓに対する吸着孔７ｃの開口面積ｗの比ｗ／ｓは0.65である。
【００３２】
以上の例で示すように、一般に従来のノズル１と部品１０との関係では、部品吸着面６の長さは部品１０の長さの1.0〜1.6倍、また面積では部品吸着面６は部品１０の1.6倍ほどを占めている。このように一般にノズル１の部品吸着面６は、実装時における隣接部品との干渉を避けるために部品１０のサイズに近い寸法であることがわかる。また、部品１０の表面積に対する吸着孔７の開口面積の比率は0.65内外である。
【００３３】
以下、本発明の第１の実施の形態にかかる部品吸着ノズルについて、図面を参照して説明する。図１（ａ）は、本実施の形態にかかるノズル１ａの部品吸着面６ａを示している。図示のノズル１ａは、図１３（ａ）に示す従来のノズル１ｂの代替となるもので、両図面を比較して分かるように、本実施の形態のノズル１ａは、ノズル１ｂと同じ寸法形状の吸着孔７ｂを備えながら、部品吸着面６ａの寸法はＸが1.7ｍｍ、Ｙが1.2ｍｍへと拡大している。この拡大されたノズル１ａを用いて、ノズル１ｂと同じ1.0ｍｍ×0.5ｍｍサイズのチップ部品１０ｂ（図示せず）の吸着を可能にしている。
【００３４】
同一部品１０ｂを吸着するにも拘らず、本実施の形態にかかるノズル１ａは、従来のノズル１ｂに対して縦、横でそれぞれ1.５倍、1.7倍、面積では2.55倍にまで拡大している。この結果、対部品１０ｂとの関係でいえば、部品１０ｂの表面積ｓに対する部品吸着面６ａの面積Ｓの比Ｓ／ｓは約1.6から4.0へと倍以上に増大している。部品実装の高密度化による隣接部品との干渉を考慮した場合、これまではこのような大型のノズル１ａを使用して1.0ｍｍ×0.5ｍｍのチップ部品１０ｂを実装するという発想は存在していなかった。図１（ｂ）は、ノズル１ａのより具体的な寸法諸元の例を示している。
【００３５】
図１（ａ）、（ｂ）において、横方向における部品吸着面６ａの長さと吸着孔７ｂの開口部の長さの比ｘ／Ｘは0.47、同じく縦方向における両者の長さの比ｙ／Ｙは0.46、また部品吸着面６ａに対する吸着孔７ｂの開口率Ｒは0.15である。従来のノズル１ｂと比較すると、長さの関係では約２／３に、面積の関係では半分以下にまで吸着孔７ｂに関する諸元の相対比率が低下している（すなわち、吸着孔７ｂに対する部品吸着面６ａの寸法が増大している。）。この結果、吸着孔７の境界から部品吸着面６の縁までの最小肉厚は、ノズル１ｂの0.1ｍｍに対して0.325ｍｍと３倍以上に増大し、部品吸着部６の強度増加と加工精度要件の緩和にも貢献している。
【００３６】
図２（ａ）は、本実施の形態にかかる他のノズル１ｄの例を示しており、このノズル１ｄは、図１３（ｂ）に示す従来のノズル１ｃの代替となる。両図面を比較すると、本実施の形態のノズル１ｄはノズル１ｃと同じ寸法形状の吸着孔７ｃを備えながら、部品吸着面６ｄの寸法はＸが4.0ｍｍ、Ｙが3.4ｍｍと、ノズル１ｃに対してそれぞれ2.4倍、2.8倍に拡大し、また面積は6.7倍に拡大している。この拡大されたノズル１ｄを用いて、ノズル１ｃと同じ1.６ｍｍ×0.8ｍｍサイズのチップ部品１０d（図示せず）、及び3.5ｍｍ×2.5ｍｍサイズのタンタルＸ部品ほかの吸着を可能にしている。図２（ｂ）は、ノズル１ｄのより具体的な寸法諸元の一例を示しており、各コーナには曲面状の面落としを設けている。
【００３７】
図２（ａ）、（ｂ）のノズル１ｄでは、横方向における部品吸着面６ａの長さと吸着孔７ｂの開口部の長さの比ｘ／Ｘは0.34、同じく縦方向における両者の長さの比ｙ／Ｙは0.26、また部品吸着面６ａに対する吸着孔７ｂの開口率Ｒは0.06である。対応する従来のノズル１ｃと比較すると、長さの関係では１／２以下に、面積の関係では１／４以下にまで吸着孔７ｃに関する諸元の相対比率が低下している（すなわち、吸着孔７ｃに対する部品吸着面６ｄの寸法が増大している。）。この結果、吸着孔７の境界から部品吸着面６の縁までの最小肉厚は、ノズル１ｂの0.18ｍｍに対して1.325ｍｍと７倍以上に増大し、部品吸着部６の強度増加と加工精度要件の緩和にも貢献している。
【００３８】
図３（ａ）〜（ｃ）は、図１に示すノズル１ａを用いて部品１０を実装する際の動作を示している。図３（ａ）に示すように部品１０を吸着保持して実装位置まで移動したノズル１ａが、実装済み部品１０ｚに隣接する所定の実装位置に向けて下降する。図３（ｂ）はノズル１ａが下死点に達し、部品１０を回路基板５２に当接させて実装する状況を示している。この実装時、拡大された表面積を有する本実施の形態にかかる部品吸着面６ａは、同時に隣接部品１０ｚの上端面の一部を上方から押え込んでいる。この押え込み効果によって隣接部品１０ｚは実装された位置に拘束されて動くことができず、ノズル１との接触により跳ね飛ばされることがなくなる。
【００３９】
従来では隣接部品１０ｚとの干渉を回避しようとする余りノズル１の小型化のみを志向していたが、いくら小型化しても吸着時の位置ずれなどによって実装時にノズル１の先端部分が実装済みの隣接部品１０ｚに接近することがあり得た。本実施の形態ではこの発想を改め、部品吸着面６の面積を逆に広くすることによって隣接部品１０ｚを押さえ込み、跳ね飛ばしの原因を解消している。
【００４０】
ノズル１の部品吸着面６を拡大することによって隣接部品１０ｚの上端面をどの程度押えれば跳ね飛ばしが防げるかについては隣接部品１０ｚの形状（サイズ、縦横比など）、クリーム半田層５８の状態、ノズル１の下降速度など各種要因によって変動することが想定され得る。本願発明者らが行った実験によれば、一般的に隣接部品１０ｚの幅ｘに対する部品吸着面６ａによる押さえ代ｇ（図３（ｂ）参照）の比率が約0.20以上、好ましくは約0.30以上であれば隣接部品１０ｚの跳ね飛ばしを回避できることが分かった。
【００４１】
図３（ｃ）は、本実施の形態にかかるノズル１ａと部品１０との間に大きな吸着位置ずれが生じた場合の状況を示しており、先に説明した図１２（ｄ）と対応している。図１２（ｄ）で示したように、従来技術ではノズル１のシフトした方向へのエアの噴出が隣接部品１０ｚを吹き飛ばす要因となっていた。本実施の形態にかかるノズル１ａによれば、部品吸着面６ａが広く形成されているため、図示のようにノズル１ａがずれた分だけ部品吸着面６ａが余計に隣接部品１０ｚの方向へ張り出し、隣接部品１０ｚをより確実に押さえる効果を生む。この結果、ノズル１ａのエア通路１５から部品１０を切り離す際に図の複数矢印で示すような隣接部品１０ｚへ向けた多量のエアが噴出されたとしても、隣接部品１０ｚはノズル１ａによる押さえ込み効果によって拘束され、吹き飛ばされることはなくなる。
【００４２】
以上を集約すれば、本実施の形態にかかるノズル１は、部品吸着面６の面上での任意の方向において部品吸着面６の長さに対する吸着孔７の開口幅の比が、従来の約0.7〜0.8に対して0.5以下に、部品吸着面６の面積に対する吸着孔７の開口面積の比率である開口率Ｒが従来の約0.4〜0.5から0.3以下に、より好ましくは0.2以下に縮小している。開口率Ｒの下限、すなわち部品吸着面６に対する吸着孔７の面積比率の下限は、吸着孔７又は部品１０に対して極端に部品吸着面６を大きくする必要はなく、実装済み隣接部品１０ｚを押えるのに十分な程度の大きさであればよいことから、約0.1ほどになるものと考えられる。また対部品との関係で言えば、部品１０の表面積に対する部品吸着面６の面積の比率が、従来の1.6からほぼ倍増となる3.0に、より好ましくは4.0に増大している。
【００４３】
なお、吸着される部品１０に対してノズル１の部品吸着面６の面積Ｓを相対的に広くする場合、部品供給テープ２０からこの拡大した面積のノズル１を使って部品を取り出す際に問題が生じ得る。すなわち、図４（ａ）において、部品１０の幅ｃに対して相対的に大きな幅ａの部品吸着面６を有するノズル１を使用すると、この幅ａが部品供給テープ２０のベーステープ２１（図１０参照）に設けられた部品収納部２３の開口部の幅ｂよりも広くなることがある。この場合、収納された位置の部品１０の上端面がベーステープ２１の上端面Ａ−Ａよりも高さｄだけ低くなっているため、従来の技術では部品１０の吸着が困難であると考えられていた。
【００４４】
これに対し本実施の形態では、図４（ｂ）に示す部品吸着面６がベーステープ２１の上端面Ａ−Ａに接した状態からノズル１がさらに下降し、図４（ｃ）に示すように部品収納部２３内に距離ｅ（ｄ≧ｅ）だけ押し込まれて部品１０に当接し、又は当接寸前まで接近して部品を吸着するようにしている。この部品収納部２３内への押し込みの際、部品吸着面６は部品収納部２３の周囲を押圧し、変形させながら下降して部品収納部２３の変形前の領域内に押し込まれるが、本願発明者が行った実験によればこの押圧による変形は部品吸着に対して何らの支障の無いことが分かった。図４（ｃ）の破線矢印１６で示す負圧を作用させることでノズル１は部品１０を吸着し、その後、図４（ｄ）に示すように部品１０を保持したまま上昇して部品実装位置へと移動することができる。
【００４５】
なお、部品供給テープ２０によっては、図４（ａ）〜（ｄ）に示すようなベーステープ２１にエンボス加工をした部品収納部２３ではなく、紙製のベーステープを打ち抜いて空洞の部品収納部を形成し、表と裏の両面をカバーテープで覆う形式のものがある。この場合においても、ベーステープ２１をノズル１の部品吸着面６で押圧し、押しつぶすことによって部品吸着が可能であることが本願発明者らの実験によって確かめられている。
【００４６】
すなわち、部品１０に対して相対的に大きな部品吸着面６を有するノズル１を使用した場合に想定される部品吸着時の問題は、部品吸着面６をベーステープ２１に押し付けることによって不具合を全く生ずることなく、部品吸着、取り出しが可能であることが判明している。逆に、部品吸着面６でベーステープ２１の部品収納部を押しつぶすことにより、下降するノズルのエネルギが吸収されるため、ノズル１の下降速度を大きくすることができ、サイクル時間を短縮できるというメリットが得られる。
【００４７】
なお、部品吸着面６の押し込み量ｅは、部品１０に当接した以降もさらに押し下げる量とすることもでき（すなわちｅ≧ｄ）、これによって部品吸着をより確実にすることができる。この際には部品収納部２３の底面が変形して前記余剰の押し込み量を吸収する。
【００４８】
以上述べてきたように、本実施の形態にかかるノズル１は、部品の小型化、部品実装の高密度化に対して大きなネックとなっていた隣接部品への障害を巧みに解消することが可能であるが、これに加え、少なくとも以下に示すような副次的効果が得られる。
１．ノズル１の加工が容易となる。具体的には、これまで実装済み隣接部品１０ｚへの干渉を回避するため部品吸着面６の寸法を厳しく管理する必要があったが、本実施の形態のノズル１ではこの干渉を考慮する必要がなく、寸法精度の緩和が可能となる。また、部品吸着面６の面積が拡大するため、吸着孔７周囲の余肉幅を確保する吸着孔７のセンター出し精度をも緩和することができる。
２．部品吸着面６の面積拡大によりノズル１先端部の強度が増し、不測の衝撃や異物噛み込みによる先端部の欠損などを回避することが可能になる。
３．ノズル１との干渉を回避するための回路基板上での部品間の間隙に関する制約が無くなり、同間隙を極端に狭くすることが可能となる。これによって、部品実装密度をより一層高めることができる。
４．部品吸着面６の面積拡大により、同じノズル１を使用して相対的に大きな部品１０の吸着、搬送が可能となる結果、小さな部品から大きな部品までに対応するノズルの共通化を実現できる。複数種類の部品に対して使用するノズルの共通化が図れれば、生産上確保すべきノズルの種類数を削減することができる。これに関しては第２の実施の形態でさらに言及する。
【００４９】
なお、本実施の形態は、以上述べたような部品吸着面６の面積を広げたノズル１自身に加え、回路基板５２への部品実装時に既に実装済みの隣接する部品１０ｚの一部をノズル１の部品吸着面６で上から押えつけることにより、隣接部品１０ｚの跳ね飛ばしを防止する部品実装装置、及び部品実装方法をも包含している。
【００５０】
次に、本発明の第２の実施の形態にかかるノズル、及び当該ノズルを使用する部品実装方法について図面を参照して説明する。本実施の形態にかかるノズルは、上述した従来技術におけるノズルの基本的設計思想に対して第２の発想の転換、すなわち、ノズル１の吸着孔７を相対的に小さくする方向に関する。
【００５１】
例えば、図１３（ｂ）に示したノズル１ｃは、上述したように1.6ｍｍ×0.8ｍｍサイズのチップ部品１０ｃ（図示せず）の吸着に使用されていた。部品吸着面６ｃの寸法Ｘ、Ｙはそれぞれ1.7ｍｍ、1.2ｍｍで、王字形状の吸着孔７ｃの開口面積ｗは0.830ｍｍ２である。上述したように、吸着される部品１０ｃの表面積ｓに対するこの吸着孔７ｃの開口面積の比ｗ／ｓは0.65である（寸法比では約0.8となる）。従来、部品１０に対する吸引力はノズル１にかかる負圧圧力が同一であれば、吸着孔７の開口面積が広いほど有利であると考えられていた。
【００５２】
これに対し、本実施の形態では、図１３（ｂ）に示すノズル１ｃの代替として、吸着孔７の開口面積が半分以下（0.315ｍｍ２）となる図１（ａ）に示すノズル１ａを使用して、同じ1.6ｍｍ×0.8ｍｍサイズの部品１０ｃの吸着を行うものとしている。
【００５３】
図１３（ｂ）に示すノズル１ｃと図１（ａ）のノズル１ａとを比較した場合、部品吸着面６のサイズは同一（1.7ｍｍ×1.2ｍｍ）のままで、吸着孔７の開口面積は１／３強（３８％）にまで減少している。この結果、吸着される部品１０ｃの表面積ｓに対するこの吸着孔７ｃの開口面積の比ｗ／ｓも従来の0.65から0.25まで減少するが、これでも十分に同一部品の吸着が可能であることが確認された。すなわち、従来の部品吸着面６のサイズに応じてできるだけ広い面積の吸着孔７を確保するという基本的設計思想は、本願発明者の行った実験結果によれば必ずしも正しい方向ではないことがわかった。
【００５４】
その理由は、以下のように説明することができる。すなわち、図５（ａ）において、一定面積の部品吸着面６ｃ内に広い開口面積の吸着孔７ｃが設けられると、ノズル１ｃと部品１０ｃ（斜線で示す）との間の吸着位置ずれが生じたときに吸着孔７ｃの一部が部品外へはみ出し、その部分から負圧が洩れて吸着力が低下する現象が発生する。これは、部品１０ｃの角度がずれて（回転して）吸着された場合でも同様である。また、吸着孔７ｃが完全に部品外にはみ出さなくとも、吸着孔７ｃの開口縁部と部品１０ｃの外周縁部とが接近した場合でも負圧の洩れが生ずる。従来ではこの現象による吸着力の低下を補うために吸着孔７ｃの面積をさらに広げようとする結果、余計に負圧洩れの可能性を増大させるという悪循環に陥っていた。
【００５５】
これに対し、本実施の形態にかかるノズル１ａを使用すれば、図５（ｂ）からも明らかなように、万一同じ量の吸着位置ずれが生じたとしても、吸着孔７ｂが部品１０ｃの外へはみ出して負圧が洩れる現象が発生しない。あるいは少なくとも負圧洩れが発生しにくく、発生してもその洩れは僅かに抑えることができる。このため、吸着孔７の開口面積が従来のものに比べて約１／３となっても部品吸着のために必要な吸引力は十分に確保され、部品吸着と実装には何らの支障が生じないことが分かる。
【００５６】
これを理論値から検証すれば以下のようになる。すなわち、部品１０の質量（約３ｍｇ）とノズルに作用する負圧（約−80Ｋパスカル）を元に、必要な吸引力と両ノズル１ａ、１ｃの理論吸引力との比（安全率）を求めると、図１３（ｂ）に示す従来のノズル１ｃでは約１３にもなり、すなわち理論値に対し１３倍もの吸引力を付与していることになる。図１に示す本実施の形態にかかるノズル１ａでも約５倍の安全率を有している。したがって図１に示す例でいえば、理論的には部品吸着面６ｂに対して吸着孔７ｂの開口面積をさらに小さくすることも可能であるといえる。
【００５７】
ただし、図示のノズル１ａを使用した場合においても吸着位置ずれによって吸着孔７ｂが部品１０の外部にはみ出し、負圧洩れを起こす可能性もあり得るため、ある程度の安全率は必要である。その下限値は、図１に示す開口率Ｒをさらに半減させたＲ＝0.075(安全率約2.5)辺りにあると思われる。なお、面積での半減は寸法面での低減は約30％減となる。
【００５８】
部品吸着時における吸着孔７からの負圧洩れを回避するため、吸着孔７の開口面積を減ずると同時に図５（ｂ）に示すように吸着孔７をできるだけ部品吸着面６の中央部に配し、部品１０の吸着位置ずれがいずれの方向に生じても吸着孔７が部品１０からはみ出さない、またははみ出し難いようにすることも重要である。
【００５９】
本願発明者らが行った実験によれば、図１３（ｂ）に示す従来のノズル１ｃに対して本実施の形態にかかる図１（ａ）に示すノズル１ａでは、吸着孔７ｂの開口面積が半減以下となったにも拘らず部品吸着時の平均保持力は約４倍ほどとなり、また同保持力のばらつきは約１／３にまで減少することがわかった。これにより、部品吸着不良の発生を低減することができ、安定した部品供給を実施可能であることが確かめられた。
【００６０】
本実施の形態にかかるノズル１の吸着面６は、最大高さ粗さ（Ｒｙ）が約１０〜約２５μｍ、好ましくは約１５〜約２０μｍとなる表面に仕上げられている。これにより、図６（ａ）に示すように、吸着面６に部品１０を吸着保持した場合、吸着面６に接する部品１０の面と吸着面６との間に１０〜２５μｍほど、好ましくは１５〜２０μｍほどの隙間δが生じる。部品吸着時における吸着孔７の負圧吸引作用で、矢印１６ａに示すようにこの微少な隙間δをエアが急速に流れて吸着孔７に至る。狭い隙間を流体が急速に流れる場合に負圧が発生する原理（ベルヌーイの法則）により、この部品１０と吸着面６との間に負圧が発生し、部品１０は吸着面６に吸引保持される（以下、これを「隙間負圧効果」という。）。本願発明のように部品１０と吸着面６の接触面積を大きくなるほど隙間負圧効果による保持力もより大きなものとすることができる。
【００６１】
本実施の形態にかかるノズル１では、部品１０を保持する為に真空源の吸引により吸着孔７を負圧にし、この負圧力で吸着孔７に接する部品１０の面を吸引するという従来技術で考えられていた保持力（以下、「真空源負圧効果」という。）に加え、前述した隙間負圧効果による保持力をより積極的に利用している。
【００６２】
前記隙間負圧効果を高めるため、吸着面６の表面には、上述した表面粗さができるだけ均一に形成されることが好ましい。吸着面６は通常、ダイアモンド、セラミックなどの硬質材料で作られている。これら材料に対して前記表面粗さを研削、あるいは焼結型（セラミックの場合）で形成することは可能であるが、より均一な表面粗さを得るために追加加工を加えることもできる。例えば、吸着面６にショットブラストを加えること、あるいは図６（ｂ）に示すように、深さが１０〜２５μｍほど、好ましくは１５〜２０μｍほどとなる一方向の溝１７ａ、あるいはクロス状の溝１７ｂを形成することにより表面粗さを整えることができる。前記溝１７ａ、１７ｂは、研削により、あるいはセラミックの場合には焼結型に予め設けておくことにより形成可能である。
【００６３】
図１３（ａ）、（ｂ）に示す従来技術による吸着ノズル１ｂ、１ｃのような吸着孔７に比する吸着面６の表面積が小さいノズル、すなわち開口率Ｒの大きなノズル１ｂ、１ｃでは、前記隙間負圧効果による保持力が十分利用されていなかった。例えば、本願発明者らが行った実験によれば、図５（ａ）に示す状態で仮に部品１０ｃがノズル１ｃの吸着孔７ｃを完全に塞いで保持された場合であっても、図５（ａ）の吸着孔７ｃよりはるかに小さい図５（ｂ）に示す吸着孔７ｂを備えたノズル１ａの方が、保持力は逆に大きくなるという結果が得られた。これは、従来考えられていた吸着孔７ｃによる真空源負圧効果に加え、前述した隙間負圧効果による保持力が大きく寄与していることを示している。
【００６４】
部品１０の大きさに関連して吸着面６の大きさも必然的に限定されることから、限定された吸着面６を吸着孔７と吸着孔７以外の吸着面６とにどのように配分するか、つまり真空源負圧効果と、隙間負圧効果とをどのような比率で利用するかは総合的な吸着力を定める上で極めて重要になってくる。図１（ｂ）、図２（ｂ）に示す各ノズルの諸元は、このノズル１による総合的な吸着力を高める理想的な配分の具体例を示したものである。
【００６５】
以上を集約すれば、本実施の形態にかかるノズル１は、部品吸着面６の面内での任意の方向において部品吸着面６の長さに対する吸着孔７の長さの比が、従来の約0.7〜0.8に対して0.5以下に、部品吸着面６の面積に対する吸着孔７の開口面積の比率である開口率Ｒが従来の約0.4〜0.5から0.3以下に、より好ましくは0.2以下に縮小している。以上の条件は、第１の実施の形態で述べたものと全く同一である。これに加え、対部品１０との関係において、本実施の形態にかかるノズル１は、部品１０の表面積に対する吸着孔７の開口面積の比を従来の0.65から約半分の0.35以下へ、好ましくは0.25以下まで減少することができる。
【００６６】
ノズルの部品吸着面６に対して吸着孔７の開口面積を相対的に縮小可能になることにより、以下のような副次的なメリットを得ることができる。
１．吸着孔の開口面積が縮小するため、ノズルと部品との間の吸着位置ずれがある程度生じてもノズルからの負圧洩れが生ずることなく、部品吸着不良または部品脱落による実装不良の発生を回避できる。
２．ノズルからの負圧洩れが排除できることから、ノズルと部品との間の吸着位置ずれに対する要求精度を緩和することが可能となり、不良率の低下によって生産効率を高めることができる。
３．吸着孔の加工時間を大幅に削減可能となる。部品吸着面は例えば超硬合金に工業用ダイアモンド、セラミックを貼り付けたもので形成されており、吸着孔を従来はエンドミルまたはワイヤカッタで加工している。図１３（ｂ）と図１（ａ）とを比較しても明らかなように、吸着孔７を縮小できれば加工長さが短くなり、加工時間の短縮化が可能である。
４．上の項目３に関連して、吸着孔の形状を丸穴などの簡単な形状とすることができ、加工を容易化できる。従来では開口面積を広くしつつ部品の吸い込み、片落ちを回避するために王字形状、Ｈ形状などの複雑な形状が考えられていた。部品のサイズに対して相対的に小さな吸着孔となれば部品吸い込みの心配が無くなり、簡単な形状として加工も容易にすることが可能となる。
５．複数種類の部品に対してノズルを共通化することが可能となり、保有すべきノズルの種類数を削減することができる。例えば、図１（ａ）に示すノズル１ａは、1.8ｍｍ×0.6ｍｍサイズの部品１０ｃに対してばかりでなく、従来通り1.0ｍｍ×0.5ｍｍサイズの部品１０ｂに対しても使用することができる。この内容は、第１の実施の形態の項目４と同じである。
【００６７】
以上、本発明にかかる部品吸着ノズルの各実施の形態について述べてきたが、本発明の適用は、これまでに示した基本的に軸対称となる形式のノズルには限定されない。例えば、リレーなどの細長部品を吸着するため、図７（ａ）に底面図を示すような一方向に延びる細長矩形状のノズル１ｄが使用される場合があるが、このような形状のノズル１ｄに対しても各実施の形態に示す内容の適用が可能である。すなわち、従来の細長矩形状のノズル１ｄでは、隣接部品との干渉を回避するためできるだけ外形を切り詰めた部品吸着面６ｄ内に、吸引力を確保するためできるだけ広い面積の吸着孔７ｄを設けている。
【００６８】
これに対し、本発明を適用すれば、図７（ｂ）に示すノズル１ｅのように、吸着孔７ｅに対して部品吸着面６ｅを相対的に広くし、この部分で実装済みの隣接部品を押えて跳ね飛ばしを回避すること、あるいは逆に部品吸着面６ｅに対して吸着孔７ｅを相対的に小さくし、吸着位置ずれによる負圧洩れを回避して吸引力を確保する対応が可能である。
【００６９】
図７（ｃ）、（ｄ）は、細長矩形形状のノズル１ｆ、１ｇにおける吸着孔７の代替案を示すもので、長円形の吸着孔７ｆを２つ配したもの（図７（ｃ））、円形の吸着孔７ｇを複数配したもの（図７（ｄ））をそれぞれ示している。この場合、ノズル１の長手軸に沿って延びるエア通路１５（図９参照）は、途中で分岐して図示の各長円形又は円形の吸着孔７ｆ、７ｇにつながっている。
【００７０】
図７（ｃ）、（ｄ）に示すノズル１ｆ、１ｇにおいても、細長矩形状の細長い方向に延びる部品吸着面６ｆ、６ｇの長さに対して各吸着孔７ｆ、７ｇの開口幅の合計は５０％以下とすることができる。また、前記細長い方向に直交する方向においても同様に開口比率を５０％以下とすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明にかかる部品吸着方法、部品実装装置、部品実装方法は、部品実装の産業分野において広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態にかかる部品吸着ノズルの吸着面を示す底面図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかる他の部品吸着ノズルの吸着面を示す底面図である。
【図３】図１、図２に示す部品吸着ノズルによる部品実装動作を示す説明図である。
【図４】図１、図２に示す部品吸着ノズルによる部品取り出し動作を示す説明図である。
【図５】従来技術による部品吸着ノズルと図１に示す部品吸着ノズルにおける吸着位置ずれによる影響の差を示す説明図である。
【図６】本発明で利用する隙間負圧効果の概要を示す説明図である。
【図７】本発明の実施の形態にかかる部品吸着ノズルの他の態様を示す底面図である。
【図８】部品供給装置の概要を示す斜視図である。
【図９】部品吸着ノズルの概要を示す側面図、部分拡大斜視図、底面図である。
【図１０】部品供給テープの概要を示す斜視図である。
【図１１】従来の技術による部品吸着ノズルによる部品取り出し動作を示す説明図である。
【図１２】従来の技術による部品吸着ノズルの部品実装時における問題点を示す説明図である。
【図１３】従来技術による部品吸着ノズルの吸着面を示す底面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１．部品吸着ノズル、  ３．吸着部、  ５．中心軸、  ６．部品吸着面、  ７．吸着孔、  １０．部品、  １２．上部円筒部、  １３．下部円筒部、  １４．逆角錐台部、  １５．エア通路、  ２０．部品供給テープ、  ２１．ベーステープ、  ２２．カバーテープ、  ２３．部品収納部、  ２５．リール、  ３０．部品供給装置、  ５０．部品実装装置、  ５１．部品供給部、  ５２．回路基板、  ５３．実装ヘッド、
Ａ−Ａ．ベーステープ上端面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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