(57)【要約】      （修正有）【課題】冷媒回路ユニットの蒸発器から電気ヒータに至る空気流路に、蒸発器をバイパスする空気の混入を防ぎ、かつ冷媒回路ユニットに万一故障が生じた場合にこれを容易に交換できるようにして、保守・メインテナンスが簡便な精密温調用空調機を提供する。【解決手段】本発明の空調機は、冷媒回路及び凝縮器用熱交換器を内蔵する冷媒回路ユニットと、室内空気を循環させるファン、その上流側に順次配置された邪魔板及び電気ヒータを内蔵する空気流路用チャンバとを備える。圧縮機を容量制御する第一温度センサが邪魔板と電気ヒータの間に配設され、電気ヒータの発熱量を制御する第二温度センサがファンと吹出口の間に配設される。ユニットは一側面が着脱自在に取り付けられる点検板で被覆され、ユニット下流側と空気流路用チャンバ上流側とは連結ダクトを介して連通し、ユニットと連結ダクトの間にパッキンが介在し、ユニットの上端開口周辺部にテーパを形成。【選択図】図２
2006226658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮機、凝縮器、膨張弁、蒸発器及び凝縮器用熱交換器が組み込まれた冷媒回路ユニットと、蒸発器で熱交換された吸込空気を吹出口から外部に給気する空気循環用ファン、その上流側に順次配置された邪魔板及び電気ヒータを内蔵する空気流路用チャンバと、邪魔板と電気ヒータの間の空気流路に配設された第一温度センサと、空気循環用ファンと吹出口の間に配設された第二温度センサとを備え、第一温度センサで検出された空気温度に基づいて圧縮機を容量制御し、第二温度センサで検出された空気温度に基づいて電気ヒータの発熱量を制御する精密温調用空調機において、冷媒回路ユニットの一側面が着脱自在に取り付けられる点検板で被覆され、冷媒回路ユニットの下流側開口と空気流路用チャンバの上流側開口とは連結ダクトを介して連通していて、冷媒回路ユニットの下流側の上端開口周辺部と連結ダクトの上流側の下端開口周辺部の間に弾性を有するパッキンが介在すると共に、冷媒回路ユニットの上端開口周辺部に点検板で被覆される一側面方向に向かって高くなるテーパが設けられ、かつ連結ダクトの下端開口周辺部にも上記冷媒回路ユニットの上端開口周辺部に整合するテーパが設けられていることを特徴とする精密温調用空調機。
【請求項２】
冷媒回路ユニット本体に複数のビス止め金具が固着され、前記点検板が冷媒回路ユニット本体にビス止めされることを特徴とする請求項１記載の精密温調用空調機。
【請求項３】
前記凝縮器用熱交換器が水配管により構成され、水配管の入口部及び出口部が位置する点検板部分が切り欠かれ、この切欠部は別の点検板で着脱自在に被覆されることを特徴とする請求項１又は２記載の精密温調用空調機。
【請求項４】
前記凝縮器を構成する冷媒配管は略コ字形状ないし９０°回転した略Ｕ字形状をなし、その上部配管が冷媒回路ユニット本体に固設された固定金具に支持されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の精密温調用空調機。
【請求項５】
前記第一温度センサは、複数点に分散された測温抵抗体を直列接続したリボン状センサであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の精密温調用空調機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工場等のクリーンルームなどに設置され、通常２４時間３６５日連続運転を行う精密温調用空調機に関する。より詳細には、本発明は、圧縮式冷凍機の構成部材をユニット化して、冷凍機に万一故障が生じた場合、冷凍機部分を別のものと迅速に取り替え可能とした精密温調用空調機に関する。
【背景技術】
【０００２】
室温を予め設定された一定の温度に精密に維持する恒温空調機は、例えば特許文献１等により従来から知られている。この特許文献１の恒温空調機は、室内温度検出器からの信号に基づいて電気ヒータの加熱量を制御すると共に、給気温度検出器からの信号に基づいて圧縮機の容量制御を行って、室温を恒温に維持するものである。
このような恒温空調機をクリーンルーム内の半導体製造装置等に付随して設置する場合は、２４時間３６５日の連続運転が基本である。長期間にわたって連続運転を行っている間に、圧縮機、凝縮器、膨張弁及び蒸発器の冷媒系統に万一故障が生じたとき、通常現地で故障部分の修理が行われる。その際、冷媒をまず回収してから、故障した部品を溶接し直し、冷媒系統を真空引きし、冷媒を再充填しなければならない。修理作業中は溶接時に火気に注意を払う必要があり、更に冷媒漏れ等、恒温空調機が設置される周囲の環境に悪影響を与える可能性があるため、実際に修理ができないこともある。
【０００３】
そのような場合、現地で恒温空調機ごと取り外し、修理工場で修理して再度現地に設置し直す必要がある。空調機を再設置するには、代替用装置の搬入や、接続されたダクト、電源ケーブル、冷却水配管の取り外し、再接続に長時間を要する。場合によっては、生産ラインを止めるなど半導体製品等の製造に支障をきたすだけでなく、修理費用も嵩む。
従って、万一の故障のときの修理時間をできるだけ短縮することが望ましい。恒温空調機の故障原因には、タッチパネル・基板の不具合、センサ類の故障などがあるが、これらは短時間の部品交換が容易である。しかし、圧縮機や膨張弁等の冷媒回路に組み込まれた部品が故障した場合は、上述のような理由から交換が容易でないので、冷媒回路部分だけを交換できるようユニット化（冷媒回路ユニットという）しておくことが望ましいと考えられる。このような従来技術としては、例えば、下記の特許文献２，３が挙げられる。
【０００４】
特許文献２には、空気流路を形成するケースの一側面に同形同大の複数の開口部を有する空気導入口を設け、これらの開口部に同一仕様にユニット化された空気冷却器を装着した恒温空気供給装置が提案されている。この空気供給装置は、ケース内に空気加熱器が配設され、ペルチェ素子を利用した電子冷凍装置と熱良導性の冷却洞と冷却水循環式放熱器とから空気冷却器が構成される。空気冷却器は、開口部側へやや傾斜してケースの開口部付近に設けられた支持枠に支持され、空気冷却器の下流側端部が開口部を囲むようにケース外方に突設された方形の取付枠にパッキングを介して固定されている。そして、空気冷却器が故障した場合には、故障したユニットを別のものと交換することにより修理が行われる。
特許文献３には、個別運転自在かつケーシングに対して取出・収納自在とした複数の圧縮式冷媒回路ユニットが並設され、蒸発器用送風路及び凝縮器用送風路を上下２段に設けた空調機が提案されている。この空調機は、狭小な通路などでの組立・搬入を容易にするために冷媒回路を複数設けることで、大風量で大能力を得ようとするものであって、冷媒回路ユニットを出し入れするための開口部がケーシングに形成され、冷媒回路ユニットを側方から順次押し込んで収納する構造としてある。また、蒸発器及び凝縮器の通風用送風機をユニット化してもよいとされている。
【特許文献１】特許第２５９９６３２号公報
【特許文献２】特開平１０−３２５５６７号公報
【特許文献３】特開２００３−１３０３８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述の特許文献２の恒温空気供給装置は、着脱可能な空気冷却器に熱電変換素子・空気温度検出器・制御器が一体となって組み込まれている。そのため、冷熱源である熱電変換素子の故障が原因で空気冷却器を交換する場合、故障していない空気温度検出器・制御器も併せて交換する必要があり、修理コストが余分にかかる。逆に空気温度検出器・制御器が故障した場合、これらの部品交換のためにいちいち空気冷却器を外す必要があり、修理に手間がかかる。
また、特許文献３の空調機は、取出・収納自在とした圧縮式冷媒回路ユニットを有するものである。しかし、精密温調を目的としていないため、圧縮式冷媒回路ユニットの下流側における空間温度分布の平均化に特別の配慮がなされていない。圧縮式冷媒回路ユニットの下流側の空間温度分布を平均化しようとするならば、少なくともユニットのケーシングと空調機筺体との隙間、ユニット同士の隙間などを密封して、蒸発器をバイパスする空気を遮断する必要があるが、特許文献３にはそのような記載が見当たらない。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、上述の従来技術の問題点を解消することにあり、冷媒回路ユニットの下流側から電気ヒータに至る空気流路に、蒸発器をバイパスする空気の混入を防ぎ、かつ冷媒回路ユニットに万一故障が生じた場合にはこれを容易に交換できるようにして、保守・メインテナンスが簡便な精密温調用空調機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく、本発明は、圧縮機、凝縮器、膨張弁、蒸発器及び凝縮器用熱交換器が組み込まれた冷媒回路ユニットと、蒸発器で熱交換された吸込空気を吹出口から外部に給気する空気循環用ファン、その上流側に順次配置された邪魔板及び電気ヒータを内蔵する空気流路用チャンバと、邪魔板と電気ヒータの間の空気流路に配設された第一温度センサと、空気循環用ファンと吹出口の間に配設された第二温度センサとを備え、第一温度センサで検出された空気温度に基づいて圧縮機を容量制御し、第二温度センサで検出された空気温度に基づいて電気ヒータの発熱量を制御する精密温調用空調機において、冷媒回路ユニットの一側面が着脱自在に取り付けられる点検板で被覆され、冷媒回路ユニットの下流側開口と空気流路用チャンバの上流側開口とは連結ダクトを介して連通していて、冷媒回路ユニットの下流側の上端開口周辺部と連結ダクトの上流側の下端開口周辺部の間に弾性を有するパッキンが介在すると共に、冷媒回路ユニットの上端開口周辺部に点検板で被覆される一側面方向に向かって高くなるテーパが設けられ、かつ連結ダクトの下端開口周辺部にも上記冷媒回路ユニットの上端開口周辺部に整合するテーパが設けられていることを特徴とする。
本発明においては、冷媒回路ユニット本体に複数のビス止め金具を固着して、上記点検板を冷媒回路ユニット本体にビス止めすることが簡便である。また、上記凝縮器用熱交換器を水配管により構成するときは、その入口部及び出口部が位置する点検板部分が切り欠かれ、この切欠部を別の点検板で着脱自在に被覆することが好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の精密温調用空調機は、冷媒回路ユニットの一側面が点検板で着脱自在に取り付けられるので、例えば点検板を固定する止めビスを取り外すことにより、冷媒回路ユニットに万一故障が生じた場合、設置場所でユニットを容易に出し入れすることが可能である。従って、故障した冷媒回路ユニットを別の新たなユニットと迅速に交換することが可能である。しかも、点検板を開けることにより冷媒回路ユニット内部を容易に点検できるので、ユニットの保守・メインテナンスが簡便である。
また、本発明の精密温調用空調機は、冷媒回路ユニット下流側と空気流路用チャンバ上流側とが連結ダクトを介して連通しており、冷媒回路ユニットの上端開口周辺部と連結ダクトの下端開口周辺部の間に弾性を有するパッキンを介在させて、ユニットの上端開口周辺部に点検板側に向かって高くなるテーパを設け、かつ連結ダクトの下端開口周辺部にも上記テーパと整合するテーパが設けられている。そのため、冷媒回路ユニットと空気流路用チャンバの間の気密性が確保される。更に、故障した冷媒回路ユニットを交換した後に新たなユニットを空調機本体内に押し込むだけで、ユニットと連結ダクトの間の気密性が確保され、蒸発器をバイパスした空気や空調機外部の空気がユニットの下流側に混入する虞がない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明について詳細に説明する。
まず、図１を参照して本発明の精密温調用空調機の概要を説明する。精密温調用空調機Ａ本体は、気密筺体で形成され、吸込チャンバＢ、冷媒回路ユニットＣ、空気流路用チャンバＤ、及び主として電装部品が配置された電装部品収納チャンバＥに区画される。チャンバＥは、チャンバＢ、ユニットＣ及びチャンバＤとは、例えば別の排気系を形成する。
冷媒回路ユニットＣには、圧縮機１、凝縮器２、膨張弁３及び蒸発器４とこれらを接続する冷媒配管から構成される冷媒回路と、凝縮器２を冷却水で冷却する凝縮器用熱交換器５とが組み込まれている。なお、熱交換器５は、冷却水に代えて空気で冷却する空冷式とすることもできる。また、ユニットＣの蒸発器４部分及び空気流路用チャンバＤは、断熱気密壁体で形成される。
空気流路用チャンバＤには、冷媒回路ユニットＣで冷却された吸込空気を攪拌する邪魔板６、邪魔板６で攪拌された空気の温度を計測する第一温度センサ７、ユニットＣで冷却された吸込空気を最終的に温調する電気ヒータ８、電気ヒータ８で温調された空気を空調機外部に給気する空気循環用ファン９、給気温度を計測する第二温度センサ１０が配置される。電装部品収納チャンバＥには、ファン９のモータ部１１、第一温度センサ７及び圧縮機１に接続する圧縮機用制御部１２、第二温度センサ１０及び電気ヒータ８に接続する電気ヒータ用制御部１３が設置される。チャンバＥの一端開口部には排気ファン１４が設けられ、チャンバＥ内に吸込された空気により、モータ部１１や制御基板等の各種電装部品を冷却するようになっている。
【００１０】
本発明の精密温調用空調機Ａの作用を簡単に説明すると、吸込チャンバＢの吸込口１５から吸込された空気は、冷媒回路ユニットＣ内の蒸発器４を通って冷却され、電気ヒータ８で加熱された後に、空気流路用チャンバＤの吹出口１６から室内に給気される。その間、蒸発器４の下流側に配設された圧縮機周波数用制御センサである第一温度センサ７で検出された空気温度に基づいて、圧縮機用制御部１２からの信号により圧縮機１を容量制御する。即ち、空気温度が設定値（室温目標温度より例えば１〜２℃低い温度）より低いときは、圧縮機１の冷却能力を低下させ、設定値より高いときは冷却能力を高めて、蒸発器４出口の空気温度を所定の設定範囲に維持する。このようにして所定の温度範囲に維持された室内空気は、電気ヒータ８で再熱されるが、第二温度センサ１０で検出された空気温度に基づいて、電気ヒータ用制御部１３からの信号により電気ヒータ８の発熱量が制御され、室温目標温度の±０．１℃に調整されて室内に給気される。
【００１１】
次に、本発明の精密温調用空調機を具体的に説明する。
図２〜図５において、精密温調用空調機Ａは、前述したように、直方体状気密筺体１７内部が、吸込チャンバＢ、冷媒回路ユニットＣ、空気流路用チャンバＤ及び電装部品収納チャンバＥに区画されている。より具体的には、空調機Ａの下部にユニットＣが配置され、前面側上部にチャンバＥが配置される。チャンバＥの後方において、一側部（図２では右側）にチャンバＤが配置され、他側部（図２では左側）にチャンバＢが配置される。チャンバＢとユニットＣの上流側の間には仕切がなく、そのまま連通している。また、ユニットＣとチャンバＤの間は、気密を保った状態で連通している。
後に詳述する冷媒回路ユニットＣ内には、多数の通気穴が形成された薄い箱形の熱良導性金属板１８に蛇行状の冷媒配管が固定された蒸発器４を含む前記冷媒回路、及び凝縮器用熱交換器５を構成する水配管１９が内蔵されている。冷媒回路ユニットＣの一側面は点検板２０で被覆され、点検板２０は、ユニットＣ本体の前面側部及び裏面側部の４箇所に固着された断面Ｌ字状のビス止め金具２１にビス孔２１ａが穿孔され、止めビス２２を用いてユニットＣ本体に着脱自在に取り付けられる（詳細は図９参照）。冷媒回路ユニットＣ内部の前面側には、上記吸込チャンバＢの開口部と連通する略台形状の開口部２３が形成されている。
【００１２】
空気流路用チャンバＤの下部には、蒸発器４で熱交換された空気の混合を促進するために、電装部品収納チャンバＥと間隔を介して邪魔板６が取り付けられている。チャンバＤ上部のチャンバＥ側には、空気循環用ファン９を収容するファンケーシング２４が設けられ、チャンバＤとチャンバＥを区画する仕切部材２５に支持されている。ケーシング２４の吸込面下端部と邪魔板６の先端部分の間には、第一温度センサ７が配設されている。第一温度センサ７は、板金製門型基台２６の上面に固定されている。ファン９とチャンバＤの吹出口１６の間に、好ましくはケーシング２４の吹出面に、第二温度センサ１０が配設されている。また、上記吸込面下端部から上方に傾斜して、ニクロム線、平行に配列された複数のシーズヒータ等の発熱抵抗体を支持部材２７に取り付けた電気ヒータ８が配置されている（図４参照）。支持部材２７は、通気抵抗が極力小さくなるよう、発熱抵抗体を支持する複数の支持板間に間隔を設けている。
【００１３】
図３を参照して、電装部品収納チャンバＥの上部前面は、モータ部１１や制御部１２，１３の制御基板等の電装部品の点検を容易にするために、開閉自在の上部パネル２８で覆われている。上部パネル２８は止めビスで空調機Ａ本体に結合しており、その反対側に把手２９が設けられている。更に、上部パネル２８には、前記室温目標温度・運転中の室温、スイッチ類の入切状態、日付・時間等を表示し、スイッチ等を操作する液晶タッチパネル３０、運転時に点灯する表示灯３１、電子・電気部品に漏電が生じた場合に電源を遮断する漏電ブレーカ３２、緊急事態が発生した場合に電源を遮断する緊急遮断スイッチ３３が設けられている。
チャンバＥの前面側部も、後記冷却用ファンのモータ等の点検を容易にするために開閉自在の側部パネル３４で覆われている。側部パネル３４は止めビスで空調機Ａ本体に結合しており、その反対側に把手３５が設けられている。
【００１４】
冷媒回路ユニットＣの上端開口と空気流路用チャンバＤの下端開口とは連結ダクト３６で連通され、ユニットＣの上端開口周辺部と連結ダクト３６の下端開口周辺部の間に、弾性部材から構成されるパッキン３７が介在している。そして、ユニットＣの上端開口周辺部に点検板２０で被覆される一側面方向に向かって高くなるテーパ３８が設けられ、かつ連結ダクト３６の下端開口周辺部にも上記ユニットＣの上端開口周辺部に整合するテーパが設けられている。ここで、連結ダクト３６は、そのフランジ３６ａがチャンバＤの下端開口周辺部に取り付けられる。また、パッキン３７は、ユニットＣ及び連結ダクト３６のいずれか一方又は双方に固設される。
精密温調用空調機Ａの本体上面には、吸込チャンバＢの吸込口１５及び空気流路用チャンバＤの吹出口１６を覆うように、室内空気吸込ダクトに接続する円筒状接続部３９のフランジ３９ａ、及び給気ダクトに接続する円筒状接続部４０のフランジ４０ａが、それぞれ固着されている（図５参照）。このような空気流路系は専ら半導体製造装置等を恒温に維持するためのものであり、空調機Ａはこれとは別系統の空気流路系を構成する前記電装部品収納チャンバＥが一体に設けられている。この空気流路系においては、フィルタ４１を通って吸込される室内空気は、チャンバＥに突出したファン９のモータ部１１や前記制御部１２，１３の制御板等の電装部品を冷却した後、冷却用ファン４２によって室内に排出される。更に、空調機Ａ本体の下端四隅部には、キャスタ４４が取り付けられている。
【００１５】
次に、図６及び図７を参照して、冷媒回路ユニットＣについて具体的に説明する。
前記冷媒回路は、２シリンダ型ロータリ圧縮機１、凝縮器２、電子式膨張弁３、前記金属板１８に固定された蒸発器４及びアキュムレータ４５とこれらを順次接続する冷媒配管４６ａ〜４６ｅから構成される。そのうちの冷媒配管４６ｅは、一端がアキュムレータ４５内の上部気相部に位置し、他端が圧縮機１内の各シリンダ部に接続する。
圧縮機１は、その底部に一体に設けられた受け盤４７が支持台４８に長ビス４９によって固着されている。凝縮器２を構成する冷媒配管は、略コ字形状ないし９０°回転した略Ｕ字形状をなし、その内部は前記水配管１９が貫通している。即ち、凝縮器用熱交換器５は、その冷媒配管を外管とし、水配管１９を内管とする二重管からなる。水配管１９の入口部５０及び出口部５１には、循環する冷却水の往き管及び戻り管と接続部材５０ａ，５１ａを介して接続可能にネジ部が形成されている。凝縮器２（熱交換器５）の上部配管は、ユニットＣ本体に固設された固定金具５２に支持され、水配管１９内に送液される冷却水で凝縮する冷媒が下流側に流れやすくしている。従って、凝縮器２の上部配管を下流側に向かって下降するように傾斜させることが好ましい。
【００１６】
電子式膨張弁３にはステッピングモータ５３が組み込まれており、蒸発器４の出入口の冷媒配管表面温度差を一定にするように、膨張弁３の開度が調整される。蒸発器４の下方には、室内空気が熱交換される際に結露するドレン水を受けるドレンパン５４が配置されている。ドレンパン５４の底部は傾斜していて、その最深部にドレン管５５が接続している。ドレン管５５の排出口部５６には、ドレン水排出管と接続部材５６ａを介して接続可能にネジ部が形成されている。また、水配管１９の入口部５０及び出口部５１、ドレン管５５の排出口部５６は、冷却水の往き管及び戻り管、ドレン水排出管とそれぞれワンタッチ式に接続する接続部とすることができる。
【００１７】
本発明の精密温調用空調機Ａにおいて、目標温度の±０．１℃レベルの精密温調を行うには、電気ヒータ８手前の空気を設定温度の±０．３℃の範囲に制御する必要があり、そのために冷凍機の高精度容量制御が行われる。冷凍機を高精度容量制御するには、前記第一温度センサ（圧縮機周波数制御用センサ）７の測定温度が蒸発器４で冷却された空気の平均温度と等しい必要がある。しかし、蒸発器４中の冷媒温度や通過風量にばらつきがあるため、蒸発器４下流の空気には通常数℃の温度分布がある。そこで、前記邪魔板６を設けて蒸発器４出口空気を混合し、温度分布のばらつきを小さくしている。
邪魔板６を設けただけでは空気温度は十分に均一化せず、また、邪魔板６の数が増加するほど空気の圧損が大きくなり、ファン９の動力も増加するので、第一温度センサ７を使用する。第一温度センサ７は、図８(Ａ)に示すように、フィルム７ａ内の複数の点、本実施例では５点に白金測温抵抗体７ｂを適宜の間隔に分散させて直列接続したリボン状センサ（Ｐｔ１００Ω：２０Ω×５）である。符号５７は、圧縮機用制御部１２に接続される導線である。この第一温度センサ７によれば、各点の温度を平均した抵抗値が第一温度センサ７から出力される。そのため、個々の測定地点に温度分布があっても、平均値に近い測定値が出力される。
【００１８】
また、±０．１℃レベルの精密温調を行うには、第二温度センサ（電気ヒータ制御用センサ）１０の測定温度が吹出空気の平均温度と±０．１℃の範囲で等しい必要がある。そのために、空気循環用ファン９で混合した後の空気温度を第二温度センサ１０で測定する。一般に、ファン９吹出面の空気温度は±０．１℃程度の温度分布があるので、本発明では、ファン９吹出面又はその近傍の空気温度を測定し、風量によらずに平均値に近い測定値が得られるポイントに第二温度センサ１０を配設している。
第二温度センサ１０は、図８(Ｂ)及び(Ｃ)に示すように、棒状のＬ字形白金測温抵抗体（Ｐｔ１００Ω）１０ａにより構成される。測温抵抗体１０ａは、その垂直部の基部がファンケーシング２４に取り付けられた固定金具５８に電気絶縁部材１０ｂを介して、その長手方向が気流と直交するように固定される。
【００１９】
図９は、故障した冷媒回路ユニットが精密温調用空調機本体から引き出された状態を示し、連結ダクト及びパッキンは分離されている。
図９を参照して、空調機本体部分５９の底面上に一対のレール様架台６０が設置され、その上に冷媒回路ユニットＣが載置される。ユニットＣ本体底面の架台６０に対応する箇所には、切欠又は溝を形成することができる。ユニットＣの上面後部には、連結ダクト３６及び空気流路用チャンバＤの開口に連通する上面開口部６１が形成されている。
前記水配管１９の入口部５０と出口部５１及びドレン管５５の排出口部５６が位置する部分の点検板２０が切り欠かれ、この切欠部２０ｂは別の点検板６２で着脱自在に被覆される。点検板６２には、上記出口部５１、入口部５０及び排出口部５６に接続する接続部材５１ａ，５０ａ，５６ａの接続部が貫通する貫通穴６３ａ〜６３ｃを穿設している。気密性を確保するために、接続部材５１ａ，５０ａ，５６ａと貫通穴６３ａ〜６３ｃとの間に、必要に応じてパッキンを介在させてもよい。また、点検板２０の周辺には、前記ビス止め金具２１のビス孔２１ａに対応する箇所以外にも複数のビス孔２０ａが穿孔され、同様に点検板６２にもビス孔６２ａが穿孔されている。これらのビス孔２０ａ，６２ａに前記止めビス２２を通して、点検板２０，６２がビス止め金具２１及び冷媒回路ユニットＣ本体にビス止めされる。
【００２０】
故障した冷媒回路ユニットＣを空調機本体部分５９から取り出すには、まず水配管１９及びドレン管５５の水抜きを行って、水配管１９の入口部５０及び出口部５１に接続する往き管及び戻り管の接続部材５０ａ，５１ａと、ドレン管５５の排出口部５６に接続するドレン水排出管の接続部材５６ａとを外す。次に、点検板６２を止めている止めビス２２を外して点検板６２を取り外し、同じく点検板２０を止めている止めビス２２を外して点検板２０を取り外す。点検板６２と点検板２０の取り外しの順序はいずれが先であってもよい。次いで、冷媒回路ユニットＣを手前に引き出す。この際、複数の配線６４がコネクタ６５等で接続されているので、コネクタ６５及び冷媒回路中の温度センサを外すと、故障した冷媒回路ユニットＣを空調機本体部分５９から完全に分離することができる。
【００２１】
故障した冷媒回路ユニットＣを引き出した後の新たなユニットＣの交換作業は、上述と逆の順序で行えばよい。即ち、コネクタ６５を接続し、冷媒回路中の温度センサを取り付ける。この作業の前に、新たな冷媒回路ユニットＣの先端側を架台６０上に載せておいてもよい。次に、架台６０上に載置されたユニットＣを空調機本体５９の内部に完全に押し込む。このとき、ユニットＣの上面と連結ダクト３６の下面にテーパ３８を形成しているので、ユニットＣを押し込むと、テーパ面の間に介在するパッキン３７がユニットＣと連結ダクト３６の間に自動的に密着する。そのため、ユニットＣと連結ダクト３６との気密性が確保される。次いで、点検板６２をユニットＣの枠体にビス止めし、更に点検板２０をビス止め金具２１及びユニットＣの枠体にビス止めする。その後、冷却水往き管及び戻り管の接続部材５０ａ，５１ａとドレン水排出管の接続部材５６ａとを、それぞれ水配管１９の入口部５０及び出口部５１とドレン管５５の排出口部５６とに接続する。最後に、水配管１９内に冷却水を充填すると、冷媒回路ユニットＣの交換作業は完了する。
【００２２】
以上の精密温調用空調機Ａでは、点検板２０とその切欠部２０ｂを覆う点検板６２とを別体とした例について説明してきたが、空調機Ａが比較的小型であるような場合には、点検板２０と点検板６２を一体化した１枚の点検板で、冷媒回路ユニットＣの一側面を被覆することができる。
ビス止め金具２１の個数は、冷媒回路ユニットＣの気密性が確保される数であれば特に限定されるものではない。また、ビス止め金具２１は必ずしも必要な部材ではなく、止めビス２２を用いて、点検板２０を冷媒回路ユニットＣの本体に着脱自在に直接取り付けることができる。
冷媒回路ユニットＣの出し入れを容易にするために、把手を点検板２０の例えば左右に取り付けておくことが好ましい。その場合、故障した冷媒回路ユニットＣの前述の交換作業手順を変更することができる。例えば、最初に冷媒回路ユニットＣを手前に引き出してから前述の作業を進めてもよい。また、水抜き・配管の接続部材及び点検板２０，６２の取り外し作業とコネクタ６５の抜き外し作業とは、どちらが先であってもよい。そして、新たな冷媒回路ユニットＣの交換作業は上記作業手順と逆の順序で行えばよく、その詳細は前述の説明から当業者の自明な範囲にあるので説明を割愛する。
【００２３】
本発明の精密温調用空調機は、次のような作用・効果を奏する。
冷媒回路ユニットにおける蒸発器出口側の空間に隙間があると、蒸発器をバイパスして電気ヒータの上流側空気に温度制御されていない空気が混入する。精密温調のために電気ヒータの上流空気を±０．３℃程度に制御する必要があるので、この混入空気の影響は無視できない。しかし、本発明では、冷媒回路ユニットの下流側開口の周辺部にテーパを設けて、連結ダクトの上流側開口の周辺部との間にパッキンを介在させている。そのため、冷媒回路ユニットを空調機本体の所定の位置にセットするとき、パッキンが自動的に圧縮するので、冷媒回路ユニットの分離性とその気密性が確保される。同時に、冷媒回路ユニットを引き出しやすい構造となっている。
冷媒回路及び必要に応じて凝縮器用熱交換器を１つの冷媒回路ユニットとしてユニット化してあるので、冷媒回路ユニットが故障したとき、１人の作業者で交換作業を行うことが可能であり、修理時間の短縮に加え、(１)現場での溶接作業の撤廃による火災の虞がなく、クリーンルーム環境汚染が防止される、(２)冷媒漏れの懸念がある場合、冷媒回路ユニットの重量を計測することで漏れチェックが簡単にできる、(３)精密温調用空調機を製造して冷媒を充填する際、先に冷媒回路ユニットに冷媒充填機で充填し、その後冷媒回路ユニットを空調機本体に取り付ければよいので、空調機本体を冷媒充填機まで運ぶ手間が省ける。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の精密温調用空調機の概念図である。
【図２】本発明の一実施例を示す精密温調用空調機の一部破断正面図であり、冷媒回路ユニットが空調機本体内に出し入れ自在であることを示す。
【図３】図２の破断部分を除いた図面である。
【図４】図３の一部破断側面図である。
【図５】図３の上面図である。
【図６】図２に示す精密温調用空調機における連結ダクト付きの冷媒回路ユニットの拡大図である。
【図７】図６の一部破断側面図である。
【図８】(Ａ)は第一温度センサの上面図であり、(Ｂ)は精密温調用空調機に配設された第二温度センサの上面図であって、(Ｃ)は(Ｂ)のＣ−Ｃ線矢視図である。
【図９】冷媒回路ユニットが引き出された状態の一例を示す本発明の精密温調用空調機の要部斜視図である。
【符号の説明】
【００２５】
１・・・ 圧縮機、２・・・ 凝縮器、３・・・ 膨張弁、４・・・ 蒸発器、５・・・ 凝縮器用熱交換器、６・・・ 邪魔板、７・・・ 第一温度センサ（リボン状センサ）、７ｂ・・・ 測温抵抗体、８・・・ 電気ヒータ、９・・・ 空気循環用ファン、１０・・・ 第二温度センサ、１６・・・ 吹出口、１９・・・ 水配管、２０・・・ 点検板、２０ｂ・・・ 切欠部、２１・・・ ビス止め金具、２２・・・ 止めビス、３６・・・ 連結ダクト、３７・・・ パッキン、３８・・・ テーパ、５０・・・ 水配管入口部、５１・・・ 水配管出口部、５２・・・ 凝縮器用固定金具、５６・・・ ドレン管排出口部、６１・・・ 冷媒回路ユニットの上面開口部、６２・・・ 別の点検板、Ａ・・・ 精密温調用空調機、Ｃ・・・ 冷媒回路ユニット、Ｄ・・・ 空気流路用チャンバ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【手続補正書】
【提出日】平成17年2月21日(2005.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
図３を参照して、電装部品収納チャンバＥの前面上部は、モータ部１１や制御部１２，１３の制御基板等の電装部品の点検を容易にするために、着脱自在の上部パネル２８で覆われている。上部パネル２８は止めビスで空調機Ａ本体に結合しており、その一側に把手２９が設けられている。更に、上部パネル２８には、前記室温目標温度・運転中の室温、スイッチ類の入切状態、日付・時間等を表示し、スイッチ等を操作する液晶タッチパネル３０、運転時に点灯する表示灯３１、電子・電気部品に漏電が生じた場合に電源を遮断する漏電ブレーカ３２、緊急事態が発生した場合に電源を遮断する緊急遮断スイッチ３３が設けられている。
チャンバＥの前面下部も、後記冷却用ファンのモータ等の点検を容易にするために着脱自在の側部パネル３４で覆われている。側部パネル３４は止めビスで空調機Ａ本体に結合しており、その一側に把手３５が設けられている。