(57)【要約】【課題】  動圧発生部の成形工程にかかるサイクルタイムを短縮して、動圧軸受装置を低コストに提供する。【解決手段】  軸部材２の外周面２ａ１に、潤滑油の動圧作用を生じる動圧発生部としての動圧溝Ａｂおよび各動圧溝Ａｂを区画する区画部Ａａとを含むラジアル軸受面Ａを形成する。ラジアル軸受面Ａの区画部Ａａは、光硬化性樹脂をベース樹脂とする微小液滴状のインク（樹脂組成物）１２を外周面２ａ１上に供給し、供給したインク１２の集合体を硬化させることで形成される。形成された区画部Ａａの径方向高さは、０.５μｍ以上１００μｍ以下の範囲内に抑えられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定側部材と、固定側部材に対して回転する回転側部材と、固定側部材と回転側部材との間の軸受隙間に生じる流体の動圧作用で回転側部材を非接触支持する動圧軸受部と、軸受隙間に面する固定側部材又は回転側部材の何れか一方の表面に形成され、流体の動圧作用を生じる動圧発生部とを備えた動圧軸受装置において、
動圧発生部が、形成すべき表面に供給された樹脂組成物を硬化させて形成されると共に、樹脂組成物のベース樹脂が光硬化性樹脂であり、かつ動圧発生部の厚みが０.５μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする動圧軸受装置。
【請求項２】
光硬化性樹脂が、紫外線硬化樹脂である請求項１記載の動圧軸受装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の動圧軸受装置を備えたディスク装置のスピンドルモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸受隙間に生じる流体の動圧作用で回転側部材を非接触支持する動圧軸受装置およびこれを備えたモータに関するものである。この動圧軸受装置は、情報機器、例えばＨＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置等のスピンドルモータ、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、その他の小型モータ用として好適である。
【背景技術】
【０００２】
上記各種モータには、高回転精度の他、高速化、低コスト化、低騒音化等が求められている。これらの要求性能を決定づける構成要素の１つに当該モータのスピンドルを支持する軸受があり、近年では、上記要求性能に優れた特性を有する動圧軸受の使用が検討され、あるいは実際に使用されている。
【０００３】
この種の動圧軸受では、例えば回転側部材を構成する軸部材の外周面に、流体の動圧作用を発生するための動圧発生部（例えば複数の動圧溝をへリングボーン形状やスパイラル形状等に配列したもの）が形成される。この特殊かつ複雑な動圧発生部を精度良く形成するための方法として、以下に述べる方法（１）〜（３）が知られている。
【０００４】
（１）動圧発生部を例えば動圧溝で構成する場合、動圧溝以外の部分を、軸部材の外周に電気化学的方法の組合せにより耐食インクで印刷し、非印刷部をエッチングにより腐食させて動圧溝を形成する。
【０００５】
（２）印刷装置の印刷型に軸部材を接触させながら軸部材を１回転させ、軸部材の外周に動圧溝以外の部分を耐食インクで印刷する。次いで、非印刷部のエッチング処理を行い動圧溝を形成する。
【０００６】
（３）印刷型を、軸部材の外周面と接触させながら軸部材の回転に応じて移動させることにより、軸部材の外周に動圧溝以外の部分を耐食インクで印刷すると共に、軸部材の印刷型との接触部以外の位置に光線を照射してインクを硬化させる。その後、非印刷部のエッチング処理を行い動圧溝を形成する（何れも特許文献１を参照）。
【特許文献１】特公昭６２−４９３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、何れの動圧発生部の形成方法によっても、耐食インクの印刷、および印刷後のエッチングによる非印刷部の腐食が必要となる。そのため、形成工程が複雑かつ多工程となり、サイクルタイムの増加や高コスト化を招く。機械加工（例えば切削加工や塑性加工）等による形成方法も考えられるが、この方法だと動圧発生部を精度良く形成することが難しく、コストの面でも経済的とは言い難い。
【０００８】
また、エッチングによる非印刷部の腐食後には耐食インクの除去が不可欠であることから、成形工程が複雑で多工程となり、サイクルタイムの増加および高コスト化の一因となる。
【０００９】
本発明の課題は、動圧発生部の成形工程にかかるサイクルタイムを短縮して、動圧軸受装置を低コストに提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明は、固定側部材と、固定側部材に対して回転する回転側部材と、固定側部材と回転側部材との間の軸受隙間に生じる流体の動圧作用で回転側部材を非接触支持する動圧軸受部と、軸受隙間に面する固定側部材又は回転側部材の何れか一方の表面に形成され、流体の動圧作用を生じる動圧発生部とを備えた動圧軸受装置において、動圧発生部が、形成すべき表面に供給された樹脂組成物を硬化させて形成されると共に、樹脂組成物のベース樹脂が光硬化性樹脂であり、かつ動圧発生部の厚みが０.５μｍ以上１００μｍ以下であることを特徴とする動圧軸受装置を提供する。ここで、動圧発生部は、ラジアル方向あるいはスラスト方向を問わず、軸受隙間に流体の動圧作用で圧力を発生させるものを意味し、例えば複数の溝（軸方向溝、傾斜溝の何れでもよい。）と、各溝の間にあってこれを区画形成する凸状の部分とからなるもの、あるいは、円周方向に複数の円弧面を配列したもの等が含まれる。
【００１１】
本発明では、動圧発生部を、形成すべき表面に供給した樹脂組成物でもって形成するようにした。これによれば、例えば動圧発生部を動圧溝で構成する場合、固定側部材又は回転側部材の表面（例えば軸部材の外周面や軸受部材の内周面等）に、樹脂組成物で動圧溝を区画形成する部分（区画部）を形成することで、これをそのまま動圧溝および区画部を含む動圧発生部として使用することができる。従って、従来の形成工程でいえば印刷に対応する工程のみで、動圧発生部を形成することができ、エッチング処理による動圧発生部の腐食形成、およびエッチング後の耐食インクの除去作業を省略できる。これにより、動圧発生部の形成工程を大幅に簡略化でき、サイクルタイムの短縮化および加工コストの低減化が可能となる。
【００１２】
動圧発生部を形成する樹脂組成物のベース樹脂には、種々のエネルギー付加により硬化する樹脂が使用できるが、コスト面や作業環境等を考慮すると、光硬化性樹脂を使用するのが好ましい。
【００１３】
ところで、この種の光硬化性樹脂は、例えば紫外線等の光線を照射することによって硬化するが、その硬化速度は、形成する動圧発生部の厚みに大きく依存する。すなわち、所定照射光量下での樹脂組成物の硬化速度は、所定の厚み（１００μｍ）に達するまではほぼ一定の値を示すが、上記所定の厚み（１００μｍ）を超えると、その厚みの１／２乗に反比例して低下する傾向にある（例えば図８を参照）。そのため、１００μｍを超える厚みを有する動圧発生部を成形しようとすると、硬化に要する時間が急激に増加して、かかるサイクルタイムの増加を招く。光源からの光の照射強度を大きくして硬化速度を上げることも考えられるが、照射強度（出力）の増大は、光源となるランプの短寿命化を招くため、高コスト化が避けられず、量産性の低下につながる恐れがある。また、動圧発生部の形成表面が例えば金属で形成される場合、強力な光線の照射によって表面が加熱され、硬化後に表面温度が低下した際に、動圧発生部を形成する樹脂層と、形成表面を構成する金属層との間に、両者間の熱膨張（収縮）量の差に起因する熱応力が生じることがある。この種の熱応力により両者間に歪みが生じ、そのために、均一かつ密着性に優れた動圧発生部が形成できない可能性がある。
【００１４】
かかる観点から、本発明では、光硬化性樹脂をベース樹脂とする樹脂組成物で形成される動圧発生部の厚みを、０.５μｍ以上１００μｍ以下とした。ここでいう動圧発生部の厚みは、動圧発生部の、固定側部材又は回転側部材の形成すべき表面から、その法線方向に最も離れた箇所までの法線方向幅（最大厚み）を意味する。例えば動圧発生部が複数の動圧溝からなる場合で、かつ形成すべき表面の、動圧溝の底面を含む動圧発生部の形成領域全体が被覆される場合には、その被複層の厚みと区画部の厚みとの総和が上記動圧発生部の厚みに相当する。また、区画部のみが樹脂組成物で形成される場合には、その区画部の厚みが上記動圧発生部の厚みに相当する。
【００１５】
上述のように、樹脂組成物で形成される動圧発生部の厚みを規定、ここでは厚みの上限値を１００μｍとすることにより、照射エネルギーを増大させることなく、硬化速度を適当に維持し、かかるサイクルタイムを短縮することができる。また、厚みの下限値を０.５μｍ以上とすることにより、動圧発生部による流体の動圧作用が不十分となり、動圧軸受部による支持力が低下するといった事態を回避することができる。
【００１６】
樹脂組成物としては、上記厚みの範囲内で供給・硬化可能である限り、そのベース樹脂となる光硬化性樹脂、あるいはこれに配合される光重合開始剤などを任意に選択したものが使用可能である。光硬化性樹脂としては、紫外線硬化樹脂や赤外線硬化樹脂の他、可視光硬化樹脂なども使用することができるが、比較的容易に高エネルギー出力が可能な紫外線により硬化可能で、かつ安価で入手可能な紫外線硬化樹脂が好ましい。
【００１７】
上記動圧発生部を設けた動圧軸受装置は、例えばこの動圧軸受装置を備えたディスク装置のスピンドルモータとして好適に提供可能である。
【発明の効果】
【００１８】
以上より、本発明によれば、動圧発生部の成形工程にかかるサイクルタイムを短縮して、動圧軸受装置を低コストに提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態に係る動圧軸受装置１を組込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を概念的に示している。この情報機器用スピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、ディスクハブ３を取付けた軸部材２を回転自在に非接触支持する動圧軸受装置１と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５と、モータブラケット６とを備える。ステータコイル４はモータブラケット６の外周に取付けられ、ロータマグネット５はディスクハブ３の内周に取付けられる。動圧軸受装置１のハウジング７は、モータブラケット６の内周に固定される。ディスクハブ３には、磁気ディスク等のディスク状情報記録媒体（以下、単にディスクという。）Ｄが一又は複数枚保持される。このように構成されたスピンドルモータにおいて、ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間に発生する電磁力でロータマグネット５が回転し、これに伴って、ディスクハブ３およびディスクハブ３に保持されたディスクＤが軸部材２と一体に回転する。
【００２１】
図２は、動圧軸受装置１を示している。この動圧軸受装置１は、ハウジング７と、ハウジング７の内周に固定される軸受スリーブ８と、ハウジング７の一端開口側に固定されるシール部材９と、軸受スリーブ８の内周に挿入される軸部材２とを備える。この実施形態において、ハウジング７と軸受スリーブ８、およびシール部材９が固定側部材に含まれ、軸部材２が回転側部材に含まれる。なお、説明の便宜上、シール部材９の側を上側、シール部材９と軸方向に反対の側を下側として、以下説明を行う。
【００２２】
ハウジング７は、筒部７ｂと、筒部７ｂの下端に位置し、筒部７ｂと一体又は別体に設けられる底部７ｃとを備える。この実施形態では、底部７ｃは、筒部７ｂとは別部材として共に金属で形成され、筒部７ｂの下端に接着（ルーズ接着、圧入接着を含む）、圧入、溶着（例えば超音波溶着）、溶接（例えばレーザ溶接）などの手段により固定される。もちろん筒部７ｂと底部７ｃの何れかを樹脂、あるいは両者を樹脂で一体に形成することも可能である。
【００２３】
底部７ｃの上端面７ｃ１の全面または一部環状領域には、スラスト動圧発生部として、図示は省略するが、例えばスパイラル形状に配列された複数の動圧溝と、これら動圧溝を区画形成する区画部とを含む第２スラスト軸受面Ｃが形成される。この第２スラスト軸受面Ｃはフランジ部２ｂの下端面２ｂ２と対向し、軸部材２の回転時、下端面２ｂ２との間に後述する第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間を形成する（図２を参照）。なお、動圧溝の配列パターンとしては、この他に、へリングボーン形状を採用することができる。
【００２４】
軸受スリーブ８は、例えばＣｕ（Ｃｕ合金を含む）やＡｌ（Ａｌ合金を含む）等の軟質金属の非孔質体、あるいは焼結金属の多孔質体で円筒形状に形成され、ハウジング７の内周に接着や圧入、溶着等の手段で固定される。軸受スリーブ８の内周面８ａは、凹凸のない平坦な円筒面となる。軸受スリーブ８の下端面８ｂの全面あるいは一部環状領域には、スラスト動圧発生部として、図示は省略するが、例えばスパイラル形状に配列された複数の動圧溝と、これら動圧溝を区画形成する区画部とを含む第１スラスト軸受面Ｂが形成される。この第１スラスト軸受面Ｂはフランジ部２ｂの上端面２ｂ１と対向し、軸部材２の回転時、上端面２ｂ１との間に後述する第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受隙間を形成する（図２を参照）。なお、動圧溝の配列パターンとしては、この他に、へリングボーン形状を採用することができる。
【００２５】
ハウジング７の開口部７ａの内周には、金属材料あるいは樹脂材料で形成された環状のシール部材９が、圧入、接着、溶着、溶接等の手段で固定される。シール部材９の内周面９ａは、軸方向上方に向けて漸次拡径するテーパ状をなし、内周面９ａとこれに対向する軸部２ａの外周面２ａ１との間に上方に向けて径方向寸法を漸次拡大させたシール空間Ｓを形成する。
【００２６】
軸部材２は、例えばＳＵＳ等の金属材料で形成され、軸部２ａと、軸部２ａの下端に一体又は別体に設けられたフランジ部２ｂとを備える。軸部２ａの外周面２ａ１には、ラジアル動圧発生部として、例えばへリングボーン形状に配列された複数の動圧溝Ａｂと、各動圧溝Ａｂを区画形成する区画部Ａａとを含むラジアル軸受面Ａが軸方向に離隔して２箇所形成される。このラジアル軸受面Ａは軸受スリーブ８の内周面８ａと対向し、軸部材２の回転時には、内周面８ａとの間に後述するラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２のラジアル軸受隙間をそれぞれ形成する（図２を参照）。また、この実施形態では、上側のラジアル軸受面Ａでは、動圧溝Ａｂが軸方向中心ｍ（上下の傾斜溝間領域の軸方向中央）に対して軸方向非対称に形成されており、軸方向中心ｍより上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっている。このラジアル軸受面Ａとなる領域は、この実施形態では、軸部２ａの素材２ａ’表面に微量のインク（樹脂組成物）の集合体を供給・硬化させることによって形成される。
【００２７】
以下、ラジアル軸受面Ａとなる領域の形成工程の一例を説明する。なお、インクの供給方法の一例として、この実施形態では、流動状態のインクをノズルから微小液滴の状態で吐出し、定着すべき素材２ａ’の外周面２ａ１に着弾させて動圧溝Ａｂを区画形成する区画部Ａａを印刷するインクジェット方式を採用する。
【００２８】
図３は、インクジェット法による動圧発生部の印刷装置の一構成例を示す。この印刷装置は、素材２ａ’表面に微量のインク（樹脂組成物）を供給する印刷工程と、供給したインクを硬化させる硬化工程とを連続して行うための形態をなす。同図に示すように、この印刷装置は、回転駆動部１３と、回転駆動部１３により回転駆動される素材２ａ’の外周面２ａ１と対向させた一又は複数のノズルヘッド１０と、ノズルヘッド１０に対してその円周方向位置を異ならせて配置した硬化部１１とを主に備える。ノズルヘッド１０には、液滴状の微量インク１２を吐出する複数のノズル１４が軸方向に配設されている。このノズル１４の列は、一列でもよく、並列に配した状態で複数列設けてもよい。なお、ノズル１４からのインク１２の吐出形式としては、ピエゾ形式、サーマルインクジェット方式、エアジェット方式などの種々の吐出方式が選択可能であり、ノズルヘッド１０の駆動部には各吐出形式に応じた構成が採用される。
【００２９】
インク１２は、光硬化性樹脂、好ましくは紫外線硬化樹脂をベース樹脂とし、これに光重合開始剤を適量配合した樹脂組成物であり、必要に応じて有機溶媒をさらに配合したものが使用される。
【００３０】
紫外線硬化樹脂としては、例えばラジカル重合系モノマーやラジカル重合系オリゴマー、カチオン重合系モノマーの他、イミドアクリレート、あるいは環状ポリエン化合物やポリチオール化合物に代表されるエン・チオール化合物が使用可能であるが、この中でもラジカル重合系モノマーやラジカル重合系オリゴマー、カチオン重合系モノマーが好適に使用可能である。ラジカル重合系モノマーとしては、例えば単官能、２官能あるいは多官能のアクリレート系モノマーや、メタクリレート系モノマーが使用でき、ラジカル重合系オリゴマーとしては、例えばウレタンアクリレートや、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、あるいは不飽和ポリエステルなどが使用できる。また、カチオン重合系モノマーとしては、例えばビスフェノールＡ系エポキシ樹脂や、フェノールノボラックエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂の他、３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、１，４−ビス｛［（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ］メチル｝ベンゼン、３−エチル−３−（フェノキシメチル）オキセタン、ジ［１−エチル（３−オキセタニル）］メチルエーテル、３−エチル−３−（２−エチルへキシロキシメチル）オキセタン、３−エチル−３−｛［３−（トリエトキシシリル）プロポキシ］メチル｝オキセタン等のオキセタン樹脂が使用できる。これら紫外線硬化樹脂は、単体で使用する他、２種類以上を混合したものをベース樹脂として使用することもできる。
【００３１】
これらベース樹脂には、ラジカル系光重合開始剤や、カチオン系光重合開始剤等の光重合開始剤が添加される。ラジカル系光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノンや、オルソベンゾイン安息香酸メチル、４−ベンゾイル−４‘−メチルジフェニルサルファイド、ベンゾフェノンのアンモニウム塩、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、チオキサントンのアンモニウム塩に代表される水素引抜型の光重合系開始剤が使用でき、あるいはベンゾイン誘導体や、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシアルキルフェノン、α−アミノアルキルフェノン、アシルホスフィンオキサイド、モノアシルホスフィンオキサイド、ビスアシルホスフィンオキサイド、アクリルフェニルグリオキシレート、ジエトキシアセトフェノン、チタノセン化合物に代表される分子内開裂型の光重合開始剤が使用できる。また、カチオン系光重合開始剤としては、例えばトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネートや、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロフォスフェート、ＳＰ−１７０やＳＰ−１５０（共に旭電化（株）製）、ＦＣ−５０８やＦＣ−５１２（共に３Ｍカンパニー社製）、ＵＶＥ−１０１４（ゼネラルエレクトリックカンパニー社製）に例示されるポリアリールスルホニウム塩、Ｕｖａｃｕｒｅ１５９０やＵｖａｃｕｒｅ１５９１（共にダイセル・ユーシービー社製）に例示されるトリアリルスルフォニュムヘキサフルオロフォスフェード塩の混合物、Ｉｒｇ−２６１（チバ・ガイギー社製）に例示されるメタロセン化合物、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートやＰ−ノニルフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、４，４‘−ジエトキシフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のポリアリールヨードニウム塩が使用できる。これら光重合開始剤は、１種類であるいは２種類以上を組合わせて使用することもできる。
【００３２】
硬化部１１は、インク１２を硬化させるための光を照射する光源で、例えば紫外線照射装置が使用される。硬化部１１は、この実施形態では、図３に示すように、素材２ａ’を挟んだ状態でノズルヘッド１０と対向し、かつ素材２ａ’の外周面２ａ１との間に所定間隔を介した状態で配設されている。紫外線照射装置としては、通常２００〜４００ｎｍの波長を有する紫外線を照射するものが使用され、例えばケミカルランプやブラックライトランプ、キセノンランプ、低圧、高圧または超高圧の水銀ランプ、メタルハライドランプ等が使用可能である。
【００３３】
また、ノズル１４に硬化部１１からの光線（紫外線）が照射されることで、ノズル１４部分のインク１２が硬化してノズル１４に目詰まりが生じるといった事態を避けるため、図示は省略するが、上記硬化部１１を構成する照射装置（ランプ）に、適切な形状のライトガイドを設けることもできる。この種のライトガイドは、その開口形状により、素材２ａ’の外周面２ａ１上の照射すべき領域を適宜調整する機能を兼ねる。
【００３４】
以上の構成において、素材２ａ’を所定の回転数（回転速度）で回転駆動させた状態で、ノズル１４からインク１２を吐出することにより、液滴状の微量インク１２を素材２ａ’の外周面２ａ１の所定位置に着弾させる。この液滴をなす微量インク１２を多数集合させることで、素材２ａ’の外周面２ａ１に、動圧発生部としての、例えばへリングボーン形状に配列された複数の動圧溝Ａｂと、動圧溝Ａｂを区画形成する区画部Ａａとを有する動圧溝パターンが印刷形成される（図３を参照）。この実施形態では、区画部Ａａのみが上記微量インク１２の集合体で形成される。
【００３５】
動圧溝パターンの印刷は、この実施形態では、素材２ａ’の回転に伴って徐々に円周方向に進行する形で行われ、印刷部分が硬化部１１の対向領域に達すると、印刷部分（印刷されたインク１２）が紫外線の照射を受ける。上記紫外線の照射は、印刷部分（印刷されたインク１２）が硬化部１１の紫外線照射領域を通過する間行われる。これにより、紫外線の照射を受けたインク１２が重合反応を起こして順次硬化する。上記のプロセスを、各ノズル１４からのインク１２の供給・停止を適宜切替えながら素材２ａ’を１回転〜数十回転させる間に行い、素材２ａ’の全周に動圧発生部を構成する区画部Ａａおよび動圧溝Ａｂを形成する。この際、区画部Ａａは、その径方向高さが０.５μｍ以上１００μｍ以下の範囲内に収まるように形成される。また、この径方向高さ（区画部Ａａの厚み）は、素材２ａ’表面（外周面２ａ１）への液滴状の微量インク１２の１回の供給でもって得られるものであってもよく、また同一箇所への複数回の供給によって得られるものであってもよい。
【００３６】
このように、印刷・硬化される区画部Ａａの径方向高さ（厚み）を、０.５μｍ以上１００μｍ以下としたので、硬化速度の減少を最小限に抑えて、印刷・硬化にかかるサイクルタイムを短時間とすることができる。また光源となる紫外線ランプには、それほど高いランプ出力を必要としないので、比較的安価なランプで済み、かつランプの寿命低下を防ぐことができる。これにより設備コストのより一層の低減化を図ることができる。
【００３７】
硬化に要する時間は、形成する区画部Ａａの厚みによっても異なるが、使用するインク（樹脂組成物）１２によっても異なる。そのため、硬化に要する付加エネルギー（光照射量）が過度に必要なものはなるべく避けたほうが好ましい。インク１２への付加エネルギー量を示す一手段として、積算光量（光の照射強度と照射時間との積で表される）がある。このパラメータを用いた場合、一つの目安として、硬化に要する積算光量が６０００ｍＪ／ｃｍ2以下となるように、上記例示列挙した紫外線硬化樹脂および光重合開始剤の中から、任意に組合わせたものを、インク（樹脂組成物）１２として使用するのがよい。このうち、ラジカル重合系の紫外線硬化樹脂であれば、配合する光重合開始剤の種類や配合比にもよるが、例えば４０００ｍＪ／ｃｍ2以下の積算光量で硬化可能である。また、カチオン重合系の紫外線硬化樹脂であれば、例えば１０００ｍＪ／ｃｍ2以下の積算光量で硬化可能である。
【００３８】
この場合、照射強度は、硬化部１１を構成する紫外線照射装置（ランプ）の出力、照射装置から被照射物（インク１２）までの距離により適宜調整可能である。また、素材２ａ’の回転速度を、例えば回転駆動部１３により制御することで、硬化部１１の紫外線照射領域を通過するのに要する時間を適宜調整することができる。
【００３９】
上記インクジェット方式による印刷では、予めプログラミングされた形状パターンに倣って液滴状をなす微量インク１２を、その吐出量を正確に調整して吐出することで印刷後のインク膜厚を精度良く管理することができる。従って、硬化したインク（樹脂組成物）１２で必要な動圧溝深さ（０.５μｍ〜）を確保することができ、印刷した動圧溝パターンをそのまま動圧軸受の軸受面（図２でいえばラジアル軸受面Ａ）として使用することができる。これにより、従来の方法では必須のエッチング工程や硬化インクの除去作業が不要となるので、動圧溝パターンの形成工程は簡略化され、係る加工コストが廉価なもので済む。また、回転駆動部１３とノズルヘッド１０とを連動して制御することで、動圧溝パターンを精度良く印刷することができ、かつ最初の印刷部分と最後の印刷部分との間でインク１２が重なることがなく、両部分を均一な膜厚で連続させることができる。さらに、この成形方法によれば、必要なインク１２の量が、動圧溝パターンのうち印刷領域（区画部Ａａ）を形成する分だけで足りるので、無駄なインク１２の使用を避けて、材料コストの低減化を図ることができる。
【００４０】
上記印刷・硬化工程において、ノズルヘッド１０は、固定位置に配置する他、素材２ａ’の軸方向にスライドさせて印刷を行うこともできる。また、図示例では、一のノズルヘッド１０を使用する場合を例示しているが、これを軸方向あるいは円周方向の複数箇所に配置することもできる。また、例えば図４に示すように、複数の素材２ａ’を直列に結合し、これらを同時回転させながら一又は複数のノズルヘッド１０で軸方向にスライドさせて各素材２ａ’に動圧溝パターンを形成することもできる。この場合、素材２ａ’同士の同軸度の確保は、例えば一方の軸端に設けた凸部２ａ２を他方の軸端に設けた凹部２ａ３に嵌合させることにより行うことができる。また、この実施形態では、素材２ａ’を回転駆動した場合を説明したが、素材２ａ’を固定し、ノズルヘッド１０および硬化部１１を素材２ａ’周りで回転駆動させてもよい。
【００４１】
また、以上の説明では、インク１２の定着方式としてノズルタイプのインクジェット方式を採用した場合を説明したが、この方式に限らず、ノズルレスタイプの液滴吐出方式（インクジェット方式）を採用することもできる。また、この他に、例えば電気泳動を利用して液滴を吐出・着弾させる方式や、マイクロピペットを介してインクを液滴の状態ではなく連続的に素材の表面に吐出する方式、素材表面までの距離を短縮し、インクを吐出と同時に定着面に接触させる方式、あるいはスクリーン印刷やパッド印刷等の転写印刷方式なども特に問題なく採用することができる。
【００４２】
上記構成の動圧軸受装置１の内部には潤滑油が充填され（図２中散点領域）、潤滑油の油面は常にシール空間Ｓ内に維持される。なお、部品点数および組立工数の削減のため、シール部材９をハウジング７と一体に形成（インサート成形、アウトサート成形を含む。）することもできる。あるいは、シール部材９の代わりに、軸受スリーブ８の内周面８ａの、ラジアル軸受面Ａと対向する領域よりも上方に、このラジアル軸受面Ａ対向領域よりも大径の、あるいは漸次拡径する領域を設け、この領域と対向する軸部２ａの外周面２ａ１との間にシール空間を形成することもできる。
【００４３】
軸部材２の回転時、軸部２ａの外周面２ａ１のラジアル軸受面Ａ（上下２箇所の動圧溝Ａｂ形成領域）は、軸受スリーブ８の内周面８ａとラジアル軸受隙間を介して対向する。そして、軸部２ａの回転に伴い、上記ラジアル軸受隙間の潤滑油が各ラジアル軸受面Ａにおける動圧溝Ａｂの軸方向中心側に押し込まれ、その圧力が上昇する。このような動圧溝Ａｂの動圧作用によって、軸部２ａをラジアル方向に非接触支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１と第２ラジアル軸受部Ｒ２がそれぞれ構成される。
【００４４】
同時に、軸受スリーブ８のスラスト軸受面Ｂ（動圧溝形成領域）とこれに対向するフランジ部２ｂの上端面２ｂ１との間のスラスト軸受隙間、および底部７ｃのスラスト軸受面Ｃとこれに対向するフランジ部２ｂの下端面２ｂ２との間のスラスト軸受隙間にも、動圧溝の動圧作用により潤滑油の油膜が形成され、この油膜の圧力によって、フランジ部２ｂをスラスト方向に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｔ１および第２スラスト軸受部Ｔ２が構成される。
【００４５】
なお、この動圧軸受装置１では、軸部材２の回転中、軸部材２と軸受スリーブ８との径方向隙間に位置する潤滑油がハウジング７の底部７ｃ側に押込まれるため、このままでは、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２のスラスト軸受隙間での圧力が過度に高まり、これに起因して潤滑油中での気泡の発生や潤滑油の漏れ、あるいは振動の発生が懸念される。この場合、スラスト軸受隙間（特に第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受隙間）とシール空間Ｓとの間を連通する流体流路を設けることで、この種の流体流路を通って潤滑油がスラスト軸受隙間とシール空間Ｓとの間で流通するため、かかる圧力差が早期に解消され、上記の弊害を防止することができる。図２では一例として、軸受スリーブ８の外周面８ｄに軸方向の流体流路１０ａを形成し、かつシール部材９の下端面９ｂに径方向の流体流路１０ｂを形成した場合を例示している。
【００４６】
ところで、上述の形態（第１実施形態）においては、ラジアル軸受面Ａを軸部２ａの外周面２ａ１に形成したが、このラジアル軸受面Ａはこれと対向する軸受スリーブ８の内周面８ａの側に形成することもできる。また、第１スラスト軸受面Ｂや第２スラスト軸受面Ｃについても、軸受スリーブ８の下端面８ｂや、ハウジング７の底部７ｃの上端面７ｃ１に形成したが、これに限らず、例えばこれらと対向する面（フランジ部２ｂの両端面２ｂ１、２ｂ２）の側に形成することもできる。何れにしても、ラジアル軸受面Ａは上記印刷・硬化工程を経て形成される。また、スラスト軸受面Ｂ、Ｃは、型成形の他、上述の動圧発生部（動圧溝パターン）の印刷・硬化工程を経て形成することもできる。
【００４７】
また、上述の形態では、区画部Ａａのみをインク１２で形成した場合を説明したが、この他にも、例えば図示は省略するが、外周面２ａ１の、動圧溝Ａｂの底面を含む動圧発生部の形成領域全体をインク１２で被覆し、その被複層の上に、さらに区画部Ａａをインク１２で形成することも可能である。もちろんラジアル軸受面Ａだけに限らず、スラスト軸受面Ｂ、Ｃについても同様の構成を採用することができる。
【００４８】
本発明に係る動圧発生部を備えた動圧軸受装置１は、上記の構成に限らず、他の構成の動圧軸受装置にも好ましく使用することができる。以下の図５〜図７に記載の動圧軸受装置の、図２に示す形態（第１実施形態）と構成・作用を同一にする部位および部材については、同一の参照番号を付し、重複説明を省略する。なお、以下説明する何れの形態についても、軸部材２の軸部２ａの外周面２ａ１に上記インクジェット法によって動圧発生部（動圧溝パターン）を有するラジアル軸受面Ａが形成される。
【００４９】
図５は、動圧軸受装置１の他の構成例（第２実施形態）を示している。同図における動圧軸受装置１は、主にシール空間Ｓがハウジング７の外径上端側に形成されている点、および第２スラスト軸受部Ｔ２がハウジング７の筒部７ｂの上端面７ｂ１と、これに対向するディスクハブ３を構成するプレート部３ａの下端面３ａ１との間に形成されている点で第１実施形態に係る動圧軸受装置と構成を異にする。
【００５０】
図６は、動圧軸受装置１の他の構成例（第３実施形態）を示している。同図における動圧軸受装置１は、主に、軸受スリーブ８とハウジング７とを一体化したもので構成した（軸受部材２７）点、底部としての蓋部材２８の外周に上方に突出する円筒部２８ａを設け、この円筒部２８ａを、軸受部材２７のうち、軸受スリーブ８に相当する小径円筒部２７ａの下端面２７ａ１に当接させている点で第１実施形態に係る動圧軸受装置と構成を異にする。このように、軸受装置の構成部品同士の一体化を進めることで、部品点数の削減や組立工数の削減を図ることができ、より一層の低コスト化が達成可能となる。
【００５１】
図７は、動圧軸受装置１の他の構成例（第４実施形態）を示している。この動圧軸受装置１において、軸部材２は、軸部２ａの下端よりも上方にフランジ部２ｂを設け、軸部材２の回転時、このフランジ部２ｂの下端面２ｂ２とこれに対向する軸受スリーブ８の上端面８ｃとの間にスラスト軸受部Ｔのスラスト軸受隙間を形成する。ハウジング７の上端内周に固定されたシール部材９は、その下端面９ｂをフランジ部２ｂの上端面２ｂ１と軸方向隙間を介して対向させ、軸部材２の上方への変位時、フランジ部２ｂの上端面２ｂ１と係合することで、軸部材２の抜止めをなす。
【００５２】
ところで、以上の構成例に示したラジアル軸受面Ａに含まれる動圧発生部の形状は一例にすぎず、インクジェット法により印刷可能な形状であれば、これ以外の溝配列形状（例えばスパイラル形状）に対応した動圧溝パターンを形成することもできる。ラジアル軸受面Ａに含まれる動圧発生部としては、この他に、図示は省略するが、軸方向の溝を円周方向の複数箇所に形成した、いわゆるステップ状の動圧発生部、あるいは、円周方向に複数（３面以上）の円弧面を形成した、いわゆる多円弧状の動圧発生部についても同様の方法で印刷形成することができる。
【００５３】
また、以上の説明では、ラジアル軸受面Ａを軸方向二箇所に離隔して形成する場合を例示したが、ラジアル軸受面Ａの数は任意であり、全体で一箇所あるいは三箇所以上にラジアル軸受面Ａを形成することもできる。
【００５４】
また、スラスト軸受面Ｂ、Ｃには、動圧発生部として、上記複数の動圧溝をスパイラル形状に配列したものの他、複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向所定間隔に設けた、いわゆるステップ状の動圧発生部や、いわゆる波型状（ステップが波型になったもの）をなす動圧発生部を形成することができる。
【００５５】
また、以上の実施形態では、動圧軸受装置１の内部に充満し、各軸受隙間に動圧作用を生じる流体として、潤滑油を例示したが、それ以外にも各軸受隙間に潤滑膜を形成可能な流体、例えば空気等の気体や、磁性流体等の流動性を有する潤滑剤あるいは潤滑グリース等を使用することもできる。
【実施例１】
【００５６】
本発明の有用性を検証するため、光硬化性樹脂を素材表面（軸部材２の外周面２ａ１）に供給し、動圧発生部としての動圧溝Ａｂ（および各動圧溝Ａｂの区画部Ａａ）をインクジェット法により印刷・硬化させ、厚みの変化（５μｍ、１１０μｍ、の２種類）による硬化時間の違いを確認した。何れの場合も、樹脂組成物として、カチオン系光硬化性樹脂であるセロキサイド２０２１Ｐと、セロキサイド３０００（何れもダイセル化学工業（株）製）とを、それぞれ５０重量部ずつ混合したものに、ヘキサフルオロフォスフェート塩系の光重合開始剤であるＵｖａｃｕｒｅ１５９０（ダイセル・ユーシービー（株）製）を３重量部配合したものを使用した。また、試験条件は以下に示す通りである。
【００５７】
［試験条件］
ヘッドノズルと軸部材外周面との距離    ：１.５ｍｍ
印刷時の回転数                        ：３６０ｒｐｍ
光源                                  ：２００Ｗ高安定水銀キセノンランプ
波長                                  ：３６５ｎｍ（３００〜４５０ｎｍ）
積算光量                              ：８７５ｍＪ／ｃｍ２
ヘッド仕様                            ：ピエゾ式（分解能：６００ｄｐｉ）
【００５８】
［結果］
厚み５μｍのものについては、上記条件下で硬化した。また、その際の硬化に要する時間は５秒であった。対して、厚み１１０μｍのものについては、硬化に３０秒以上を要した。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る動圧軸受装置を組み込んだスピンドルモータの一例を示す断面図である。
【図２】動圧軸受装置の断面図である。
【図３】動圧発生部の成形装置の一構成例を示す概観図である。
【図４】動圧発生部の成形方法の他形態を示す図である。
【図５】動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。
【図６】動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。
【図７】動圧軸受装置の他の構成例を示す断面図である。
【図８】動圧発生部の厚みに対する硬化速度の相関関係を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１      動圧軸受装置
２      軸部材
２ａ    軸部
２ａ’  素材
２ａ１  外周面
２ｂ    フランジ部
３      ディスクハブ
４      ステータコイル
５      ロータマグネット
７      ハウジング
７ｂ    筒部
７ｃ    底部
８      軸受スリーブ
９      シール部材
１０    ノズルヘッド
１１    硬化部
１２    インク（樹脂組成物）
１３    回転駆動部
１４    ノズル
Ａ      ラジアル軸受面
Ａａ    区画部
Ａｂ    動圧溝
Ｂ、Ｃ  スラスト軸受面
Ｓ      シール空間
Ｒ１、Ｒ２  ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２、Ｔ         スラスト軸受部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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