(57)【要約】【課題】  本発明は、試験装置に関し、例えば集積回路の特性を検査する試験装置に適用して、ＤＵＴボードに設けられた周辺回路の波形確認を従来に比して一段と簡易に実行することができるようにする。【解決手段】  本発明は、オシロスコープのプローブ１４を接続するコネクタ１３を設け、このコネクタ１３を介して入力される入力信号を、ディジタルシグナルプロセッサ７等による試験用の波形解析機構により波形解析する。【選択図】        図１
2006214780.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＤＵＴボードを介して得られる試験対象の応答信号を波形解析機構により波形解析する試験装置において、
テストヘッドに設けられて、オシロスコープのプローブを接続するコネクタと、
前記コネクタからの入力信号、前記応答信号を選択的に前記波形解析機構に出力する選択回路と
を備えることを特徴とする試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置に関し、例えば集積回路の特性を検査する試験装置に適用することができる。本発明は、オシロスコープのプローブを接続するコネクタを設け、このコネクタを介して入力される入力信号を、試験用の波形解析機構により波形解析することにより、ＤＵＴボードに設けられた周辺回路の波形確認を従来に比して一段と簡易に実行することができるようにする。
【背景技術】
【０００２】
従来、集積回路の試験装置は、試験対象に応じてテストヘッドに設けられたＤＵＴボードを交換し、このＤＵＴボードを介してテストヘッドから出力される電源、各種信号等を試験対象に印加し、また試験対象の出力信号をテストヘッドに出力するようになされている。このためＤＵＴボードは、試験対象によっては、この試験対象の動作に必要な各種の周辺回路が設けられる。
【０００３】
すなわち図２は、試験信号を集積回路４に印加して応答を確認する場合の、試験装置１の接続を示すブロック図であり、この場合、試験装置１は、テストヘッド２に設けられた信号発生回路により所望の試験信号Ｓ１を生成し、この試験信号Ｓ１をＤＵＴボード３に出力する。ＤＵＴボード３は、試験対象４に応じた周辺回路５によりこの試験信号Ｓ１を処理して試験対象４に印加し、またこの試験対象４の出力信号Ｓ２をテストヘッド２に出力する。テストヘッド２は、レンジ切り換え用アンプ６を介して、この出力信号Ｓ２を波形解析機構であるディジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）７に入力し、ここで波形解析して集積回路４の良否を判定する。なおここでレンジ切り換え用アンプ６は、本体装置の制御により増幅率を切り換えて入力信号を増幅する増幅回路である。
【０００４】
これによりこの図２の例では、試験対象４に印加する試験信号Ｓ１をＤＵＴボード３に設けられた周辺回路５により処理して試験対象４に印加するようになされているものの、試験対象４によっては、試験対象４の出力信号Ｓ２を周辺回路で処理する場合もあり、また周辺回路５により集積回路の駆動に供する各種タイミング信号を生成する場合等もある。
【０００５】
このような試験装置１に関して、例えば特開平１１−８３９３４号公報には、ＤＵＴボードの構成を簡略化する工夫が開示されている。
【０００６】
ところでこの種の試験装置では、ＤＵＴボード３の製造時、メンテナンス時等において、ＤＵＴボード３に設けられた周辺回路の動作を確認する必要がある。この場合、従来の試験装置では、オシロスコープを持ち来して、このオシロスコープにより各部の信号波形を確認するようになされている。このようなＤＵＴボード３に設けられた周辺回路の波形確認を従来に比して一段と簡易に実行することができれば、便利であると考えられる。
【特許文献１】特開平１１−８３９３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、ＤＵＴボードに設けられた周辺回路の波形確認を従来に比して一段と簡易に実行することができる試験装置を提案しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題を解決するため請求項１の発明においては、ＤＵＴボードを介して得られる試験対象の応答信号を波形解析機構により波形解析する試験装置において、テストヘッドに設けられて、オシロスコープのプローブを接続するコネクタと、前記コネクタからの入力信号、前記応答信号を選択的に前記波形解析機構に出力する選択回路とを備えるようにする。
【０００９】
請求項１の構成によれば、ＤＵＴボードを介して得られる試験対象の応答信号を波形解析機構により波形解析する試験装置において、テストヘッドに設けられて、オシロスコープのプローブを接続するコネクタと、前記コネクタからの入力信号、前記応答信号を選択的に前記波形解析機構に出力する選択回路とを備えることにより、このコネクタにオシロスコープのプローブを接続してＤＵＴボードの所望の箇所と接続し、この所望の箇所から得られる入力信号を波形解析機構により波形解析することができる。これにより既存の構成を有効に利用してＤＵＴボードに設けられた周辺回路について信号波形等を確認することができ、ＤＵＴボードに設けられた周辺回路の波形確認を従来に比して一段と簡易に実行することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ＤＵＴボードに設けられた周辺回路の波形確認を従来に比して一段と簡易に実行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施例を詳述する。
【実施例１】
【００１２】
（１）実施例の構成
図１は、図２との対比により本発明の実施例に係る試験装置を示すブロック図である。この試験装置１１において、テストヘッド１２は、オシロスコープのプローブ１４を接続可能なコネクタ１３が側面に設けられる。これによりこの試験装置１１は、このコネクタ１３にオシロスコープのプローブ１４を接続して、このプローブ１４をＤＵＴボード３の所望の箇所に接続できるように形成される。
【００１３】
さらに試験装置１１は、選択回路１５により、ＤＵＴボード３から出力される試験対象４の出力信号Ｓ２と、このコネクタ１３から得られる入力信号とを選択して、レンジ切り換え用アンプ６、ディジタルシグナルプロセッサ７に入力するように形成され、この選択回路１５が、テストヘッド１２の動作を制御する本体装置１６により切り換えられる。
【００１４】
本体装置１６は、通常の試験においては、ＤＵＴボード３からの出力信号Ｓ２をディジタルシグナルプロセッサ７に入力するように、選択回路１５の接点を切り換え、また選択回路１５を介して入力されるこの出力信号Ｓ２を波形解析するように、ディジタルシグナルプロセッサ７の動作を制御する。
【００１５】
これに対してオペレータが動作モードを切り換えると、コネクタ１３から入力される入力信号をディジタルシグナルプロセッサ７に入力するように、選択回路１５の接点を切り換える。またオペレータの指示に応じて、このようにして選択回路１５を介して入力されるこの入力信号を波形解析するように、ディジタルシグナルプロセッサ７の動作を制御する。
【００１６】
（２）実施例の動作
以上の構成において、この試験装置１１では、本体装置１６の制御によりテストヘッド１２から出力される各種電圧、試験信号Ｓ１等がＤＵＴボード３を介して試験対象４に入力され、また試験対象４の出力信号Ｓ２がＤＵＴボード３を介してテストヘッド１２に入力され、これらの入出力等がテストヘッド１２により判定されて試験対象４が試験される。これらの試験において、試験信号Ｓ１については、テストヘッド１２で生成された後、ＤＵＴボード３に設けられた周辺回路５により処理されて試験対象４に印加される。また試験対象４の出力信号Ｓ２は、レンジ切り換え用アンプ６により増幅された後、ディジタルシグナルプロセッサ７により波形解析される。
【００１７】
これによりこのＤＵＴボード３の作成時における動作確認時、このＤＵＴボード３のメンテナンス時等においては、この周辺回路５より出力される試験信号Ｓ１の信号波形を確認すること等が必要になる。
【００１８】
これによりこの試験装置１１では、オペレータによる動作モードの切り換えにより、選択回路１５の接点が切り換えられ、テストヘッド１２の側面に設けられたコネクタ１３からの入力信号がディジタルシグナルプロセッサ７に入力される。またオペレータの指示に応じてこのコネクタ１３からの入力信号がディジタルシグナルプロセッサ７により波形解析される。
【００１９】
これによりこの試験装置１１では、わざわざオシロスコープを用意しなくても、テストヘッド１２の側面に設けられたコネクタ１３にオシロスコープのプローブ１４を接続した後、このプローブ１４をＤＵＴボード３の所望する箇所に接続してディジタルシグナルプロセッサ７による波形解析結果を確認するだけで、周辺回路５の動作を確認することができ、これによりＤＵＴボードに設けられた周辺回路の波形確認を従来に比して一段と簡易に実行することができる。
【００２０】
またこのようにすれば、この試験装置１１に設けられたディジタルシグナルプロセッサ７による波形解析機能を有効に利用して周辺回路５の波形確認を実行することができ、その分、波形確認に係る構成を簡略化することができる。またこのような選択回路１５によるディジタルシグナルプロセッサ７の入力切り換えを、レンジ切り換え用アンプ６の入力側で実行することにより、このようにディジタルシグナルプロセッサ７による波形解析機能を有効に利用して周辺回路５の波形確認を実行するようにして、広いレンジにより周辺回路５の信号波形を確認することができる。またさらに試験対象４のデバイス測定に同期して波形確認することもでき、その分、使い勝手を向上することができる。
【００２１】
（３）実施例の効果
以上の構成によれば、オシロスコープのプローブを接続するコネクタを設け、このコネクタを介して入力される入力信号を、試験用の波形解析機構により波形解析することにより、ＤＵＴボードに設けられた周辺回路の波形確認を従来に比して一段と簡易に実行することができる。
【実施例２】
【００２２】
なお上述の実施例においては、周辺回路により試験信号を処理して試験対象に印加する場合に、この試験対象に印加する試験信号を波形確認する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、種々の周辺回路の波形解析に広く適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明は、試験装置に関し、例えば集積回路の特性を検査する試験装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例に係る試験装置を示すブロック図である。
【図２】従来の試験装置を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００２５】
１、１１……試験装置、２、１２……テストヘッド、３……ＤＵＴボード、４……試験対象、５……周辺回路、６……レンジ切り換え用アンプ、７……ディジタルシグナルプロセッサ、１３……コネクタ、１４……プローブ
【図１】
2006214780.tif 000003
【図２】
2006214780.tif 000004