(57)【要約】【課題】液晶表示パネルの不良検査速度及び不良検出能力を向上させることができる、液晶表示パネル、液晶表示パネルの検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】本発明による液晶表示パネルの検査装置は、複数の信号線及び該複数の信号線の各々に連結されている複数の信号線パッドを含む液晶表示パネルが安着するテーブルと；安着した液晶表示パネルの背面に光を供給する検査用バックライトユニットと；少なくとも二つの信号線パッドに単一の検査信号を印加する少なくとも一つのコンタクト部とを有する。【選択図】      図２
2006301633.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の信号線と該複数の信号線の各々に連結されている複数の信号線パッドとを含む液晶表示パネルが安着するテーブルと；
安着した前記液晶表示パネルの背面に光を供給する検査用バックライトユニットと；
少なくとも二つの前記信号線パッドに単一の検査信号を印加する少なくとも一つのコンタクト部とを有することを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。
【請求項２】
前記複数の信号線パッドの各々に個別検査信号を印加する探針部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項３】
前記信号線パッドは、ゲートパッド及びデータパッドのうちの少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項４】
前記信号線パッドはゲートパッドを含み、前記コンタクト部は全体ゲートパッドに単一の検査信号を印加することを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項５】
前記信号線パッドはデータパッドを含み、前記コンタクト部は全体データパッドに単一の検査信号を印加することを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項６】
前記信号線パッドは複数のブロックに分けられており、前記コンタクト部は該複数のブロックに対応するように複数個で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項７】
前記コンタクト部は、前記信号線パッドと接触して検査信号を印加する信号印加部を含むことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項８】
前記信号印加部は、バー（ｂａｒ）形状であることを特徴とする請求項７に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項９】
前記複数の信号線パッドは複数の列をなして交互に配置されており、
前記コンタクト部は、
一列に配置された複数個の奇数番目の信号線パッドに接触する第１信号印加部と；
前記奇数番目の信号線パッドと一定の間隔をおいて平行に一列に配置された複数個の偶数番目の信号線パッドに接触し、前記第１信号印加部と一定の間隔をおいて並んで離隔している第２信号印加部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１０】
前記液晶表示パネルを前記テーブルに移送する移送ユニットと；
安着または分離されるように前記液晶表示パネル及び前記テーブルを相互接近位置及び離隔位置の間を相対移動させる第１移動手段とをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１１】
前記コンタクト部は前記テーブルの少なくとも一方の側に備えられており、
前記コンタクト部及び前記テーブルを相互接近位置及び離隔位置の間を相対移動させる第２移動手段をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１２】
前記コンタクト部は、前記第２移動手段によって離隔位置である前記テーブルの側面または背面に移動することを特徴とする請求項１１に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１３】
前記探針部は前記テーブルの上部に備えられており、前記探針部及び前記テーブルを相互接近位置及び離隔位置の間を相対移動させる第３移動手段をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１４】
前記バックライトユニットの上部及び前記探針部の上部に各々一つずつ備えられている一対の偏光板をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１５】
一列に配置された複数個の奇数番目の信号線パッドに接触する第１信号印加部と；
前記奇数番目の信号線パッドと一定の間隔をおいて平行に一列に配置された複数個の偶数番目の信号線パッドに接触し、前記第１信号印加部と一定の間隔をおいて並んで離隔している第２信号印加部とを有するコンタクト部を備えることを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１６】
前記第１信号印加部と前記第２信号印加部の間の間隔は、０．５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１５に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１７】
前記信号線パッドは、ゲートパッド及びデータパッドのうちの少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項１５に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１８】
前記コンタクト部は、前記第１信号印加部及び前記第２信号印加部を固定する本体部をさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載の液晶表示パネルの検査装置。
【請求項１９】
複数の信号線と該複数の信号線の各々に連結されている複数の信号線パッドとを含む液晶表示パネルをテーブルに安着する段階と；
少なくとも二つ以上の前記信号線パッドに単一の検査信号を印加する信号印加部を接触させる段階と；
前記信号印加部に単一の検査信号を印加して前記信号線の不良有無を検出する段階とを有することを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２０】
前記信号線の不良有無を検出する段階では、前記液晶表示パネルの抵抗イメージを測定する段階を含むことを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２１】
前記信号線の不良検出段階では、前記信号線各々の抵抗を測定し、前記信号線各々の抵抗が適正領域に属するかどうかを判断する段階を含むことを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２２】
前記信号印加部は、前記信号線パッドに接触する前に、前記複数の信号線パッドを電気的に相互分離する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２３】
前記信号線パッドはゲートパッドを含み、前記信号印加部は全体ゲートパッドに接触することを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２４】
前記信号線パッドはデータパッドを含み、前記信号印加部は全体データパッドに接触することを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２５】
前記信号印加部を利用した不良検出は、前記信号線パッドを複数のブロックに分けて行われることを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２６】
前記信号印加部は、前記ブロック別に備えられていることを特徴とする請求項２５に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２７】
前記信号印加部による不良有無の検出段階後に、不良が検出された前記信号線に個別の検査信号を印加する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２８】
前記信号線パッドは、前記複数の信号線から各々延長されて複数の列をなして交互に配置されており、前記信号印加部は、前記交互に配置されている信号線パッド間に互いに異なる検査信号を印加することを特徴とする請求項１９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２９】
前記信号線パッドはデータパッドを含み、
前記信号印加部は、
奇数番目の前記データパッドに接触する第１信号印加部と；
偶数番目の前記データパッドに接触する第２信号印加部とを含むことを特徴とする請求項２８に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項３０】
前記信号線パッドはゲートパッドを含み、
前記信号印加部は、
奇数番目の前記ゲートパッドに接触する第３信号印加部と；
偶数番目の前記ゲートパッドに接触する第４信号印加部とを含むことを特徴とする請求項２９に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項３１】
前記信号印加部による不良有無の検出段階後に、不良が検出された前記信号線に個別の検査信号を印加する段階をさらに含むことを特徴とする請求項３０に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項３２】
絶縁交差する信号線によって定義される表示領域と該表示領域の外郭に形成されている非表示領域とを有する絶縁基板と；
前記信号線から延長されて前記非表示領域に形成されており、複数の列をなして交互に配置されている複数個の信号線パッドとを有することを特徴とする液晶表示パネル。
【請求項３３】
前記信号線パッドは、ゲートパッド及びデータパッドのうちの少なくともいずれか一つであることを特徴とする請求項３２に記載の液晶表示パネル。
【請求項３４】
前記交互に配置されている信号線パッドの列間間隔は、０．５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項３２に記載の液晶表示パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルとその検査装置及び検査方法に関し、より詳しくは、ショートバーが除去された後に信号線パッドに検査信号を印加することによって、液晶表示パネルの不良信号線及び不良画素の存在有無を検査するのに用いられる液晶表示パネルとその検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、薄膜トランジスターが形成されている薄膜トランジスター基板と、通常、カラーフィルター層などが形成されている対向基板、及びこれらの間に液晶層が位置している液晶表示パネルを有する。液晶表示パネルの製造工程では、各段階において製造中の基板または液晶表示パネルの不良有無を確認するための多様な検査が要求される。
このような検査には、アレイテスト（ａｒｒａｙ  ｔｅｓｔ）、ビジュアルインスペクション（ｖｉｓｕａｌ  ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ、ＶＩ）、グロステスト（ｇｒｏｓｓ  ｔｅｓｔ、Ｇ／Ｔ）、ファイナルテスト（ｆｉｎａｌ  ｔｅｓｔ）などがある。
【０００３】
このうちのビジュアルインスペクションとは、液晶表示パネルを完成した後、ゲート線とデータ線などの信号線を連結しているショートバー（ｓｈｏｒｔｉｎｇ  ｂａｒ）を通じて検査信号を印加して、信号線または画素の不良有無を検査するテストを言う。
液晶表示パネルの製造工程でショートバーが除去された後には、ビジュアルインスペクションによって信号線または画素の不良有無を検出することができず、以後には探針ユニットを有する検査装置によってグロステストが用いられる。グロステストは、それぞれ個別のゲートパッド及びデータパッドなどの信号線パッドに、探針ユニットに備えられている探針を接触させた後、探針を通じて個別の検査信号を信号線に印加することによって、信号線の不良及び各画素の不良有無を検査する方法である。
【０００４】
しかし、探針ユニットを有する検査装置によるグロステストは、信号線別に個別の検査信号を印加するために、信号線パッドに探針を正確に接触させる過程で多くの時間が必要となって、検査速度が下がるという問題点がある。また、継続的な繰り返しテストで衝撃に弱い探針が曲がったり破損したりすることによって、探針と信号線パッド間の接触不良が発生する場合、実際の信号線または各画素の不良検出能力が劣る問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は上記従来の液晶パネルの検査装置における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、液晶表示パネルの不良検査速度及び不良検出能力を向上させることができる構造を有する液晶表示パネルを提供するにある。
また、本発明の他の目的は、液晶表示パネルの不良検査速度及び不良検出能力を向上させることができる液晶表示パネルの検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴による液晶表示パネルの検査装置は、複数の信号線と該複数の信号線の各々に連結されている複数の信号線パッドとを含む液晶表示パネルが安着するテーブルと；安着した前記液晶表示パネルの背面に光を供給する検査用バックライトユニットと；少なくとも二つの前記信号線パッドに単一の検査信号を印加する少なくとも一つのコンタクト部とを有する。
前記複数の信号線パッドの各々に個別検査信号を印加する探針部を含むことが好ましい。
前記信号線パッドは、ゲートパッド及びデータパッドのうちの少なくともいずれか一つを含むことが好ましい。
前記信号線パッドはゲートパッドを含み、前記コンタクト部は全体ゲートパッドに単一の検査信号を印加することが好ましい。
前記信号線パッドはデータパッドを含み、前記コンタクト部は全体データパッドに単一の検査信号を印加することが好ましい。
前記信号線パッドは複数のブロックに分けられており、前記コンタクト部は該複数のブロックに対応するように複数個で構成されていることが好ましい。
前記コンタクト部は、前記信号線パッドと接触して検査信号を印加する信号印加部を含むことが好ましい。
前記信号印加部は、バー（ｂａｒ）形状であることが好ましい。
前記複数の信号線パッドは複数の列をなして交互に配置されており、前記コンタクト部は、一列に配置された複数個の奇数番目の信号線パッドに接触する第１信号印加部と；前記奇数番目の信号線パッドと一定の間隔をおいて平行に一列に配置された複数個の偶数番目の信号線パッドに接触し、前記第１信号印加部と一定の間隔をおいて並んで離隔している第２信号印加部とを含むことが好ましい。
前記液晶表示パネルを前記テーブルに移送する移送ユニットと；安着または分離されるように前記液晶表示パネル及び前記テーブルを相互接近位置及び離隔位置の間を相対移動させる第１移動手段とをさらに含むことが好ましい。
前記コンタクト部は、前記テーブルの少なくとも一方の側に備えられており、前記コンタクト部及び前記テーブルを相互接近位置及び離隔位置の間を相対移動させる第２移動手段をさらに含むことが好ましい。
前記コンタクト部は、前記第２移動手段によって離隔位置である前記テーブルの側面または背面に移動することが好ましい。
前記探針部は前記テーブルの上部に備えられており、前記探針部及び前記テーブルを相互接近位置及び離隔位置の間を相対移動させる第３移動手段をさらに含むことが好ましい。
前記バックライトユニットの上部及び前記探針部の上部に各々一つずつ備えられている一対の偏光板をさらに含むことが好ましい。
【０００７】
上記目的を達成するためになされた本発明の他の特徴による液晶表示パネルの検査装置は、一列に配置された複数個の奇数番目の信号線パッドに接触する第１信号印加部と；前記奇数番目の信号線パッドと一定の間隔をおいて平行に一列に配置された複数個の偶数番目の信号線パッドに接触し、前記第１信号印加部と一定の間隔をおいて並んで離隔している第２信号印加部とを有するコンタクト部を備える。
前記第１信号印加部と前記第２信号印加部の間の間隔は、０．５ｍｍ以上であることが好ましい。
前記信号線パッドは、ゲートパッド及びデータパッドのうちの少なくともいずれか一つであることが好ましい。
前記コンタクト部は、前記第１信号印加部及び前記第２信号印加部を固定する本体部をさらに含むことが好ましい。
【０００８】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴による液晶表示パネルの検査方法は、複数の信号線と該複数の信号線の各々に連結されている複数の信号線パッドとを含む液晶表示パネルをテーブルに安着する段階と；少なくとも二つ以上の前記信号線パッドに単一の検査信号を印加する信号印加部を接触させる段階と；前記信号印加部に単一の検査信号を印加して前記信号線の不良有無を検出する段階とを有する。
前記信号線の不良有無を検出する段階では、前記液晶表示パネルの抵抗イメージを測定する段階を含むことが好ましい。
前記信号線の不良検出段階では、前記信号線各々の抵抗を測定し、前記信号線各々の抵抗が適正領域に属するかどうかを判断する段階を含むことが好ましい。
前記信号印加部は、前記信号線パッドに接触する前に、前記複数の信号線パッドを電気的に相互分離する段階をさらに含むことが好ましい。
前記信号線パッドはゲートパッドを含み、前記信号印加部は全体ゲートパッドに接触することが好ましい。
前記信号線パッドはデータパッドを含み、前記信号印加部は全体データパッドに接触することが好ましい。
前記信号印加部を利用した不良検出は、前記信号線パッドを複数のブロックに分けて行われることが好ましい。
前記信号印加部は、前記ブロック別に備えられていることが好ましい。
前記信号印加部による不良有無の検出段階後に、不良が検出された前記信号線に個別の検査信号を印加する段階をさらに含むことが好ましい。
前記信号線パッドは、前記複数の信号線から各々延長されて複数の列をなして交互に配置されており、前記信号印加部は、前記交互に配置されている信号線パッド間に互いに異なる検査信号を印加することが好ましい。
前記信号線パッドはデータパッドを含み、前記信号印加部は、奇数番目の前記データパッドに接触する第１信号印加部と；偶数番目の前記データパッドに接触する第２信号印加部とを含むことが好ましい。
前記信号線パッドはゲートパッドを含み、前記信号印加部は、奇数番目の前記ゲートパッドに接触する第３信号印加部と；偶数番目の前記ゲートパッドに接触する第４信号印加部とを含むことが好ましい。
前記信号印加部による不良有無の検出段階後に、不良が検出された前記信号線に個別検査信号を印加する段階をさらに含むことが好ましい。
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴による液晶表示パネルは、絶縁交差する信号線によって定義される表示領域と該表示領域の外郭に形成されている非表示領域とを有する絶縁基板と；前記信号線から延長されて前記非表示領域に形成されており、複数の列をなして交互に配置されている複数個の信号線パッドとを有する。
前記信号線パッドは、ゲートパッド及びデータパッドのうちの少なくとも一つであることが好ましい。
前記交互に配置されている信号線パッドの列間間隔は、０．５ｍｍ以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、液晶表示パネルの不良検査速度及び不良検出能力を向上させることができる液晶表示パネルが提供される。
また、本発明によれば、液晶表示パネルの不良検査速度及び不良検出能力を向上させることができる液晶表示パネルの検査装置及び検査方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本発明の液晶表示パネルとその検査装置及び検査方法を実施するための最良の形態の具体例を、図面を参照しながら説明する。
いろいろな実施形態における同一の構成要素については、第１実施形態で代表的に説明し、他の実施形態では省略され得る。
【００１２】
本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置の説明に先立って、検査が要求される一般的な液晶表示パネルについてまず説明する。図１は、本発明の第１実施形態乃至第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置によって検査される一般的な液晶表示パネルの正面図である。
【００１３】
液晶表示パネル１０は、薄膜トランジスター基板２０と、薄膜トランジスター基板２０と対面している対向基板７０と、両基板２０、７０を相互接合させ、セルギャップ（ｃｅｌｌ  ｇａｐ）を形成するシーラント（図示せず）と、両基板２０、７０とシーラント（図示せず）の間に位置する液晶層（図示せず）とを含む。
薄膜トランジスター基板２０は、大きく、表示領域と、表示領域外郭の非表示領域に分けられる。表示領域には、横方向に延長される信号線である複数個のゲート線２４と、縦方向に延長される信号線である複数個のデータ線２７とが交差して、複数個の画素領域（図示せず）がマトリックス状に配列されている。
【００１４】
表示領域から非表示領域に延長されたゲート線２４は、各ライン間の間隔が狭くなりながら非表示領域に形成されたゲートパッド２５に連結される。ゲートパッド２５は、複数個が密集してゲートパッドブロック４１乃至４３を形成し、本実施形態では３つのゲートパッドブロック４１乃至４３が備えられている。ゲートパッド２５は、ゲート線２４より幅が広く備えられている。
表示領域から非表示領域に延長されたデータ線２７は、各ライン間の間隔が狭くなりながら非表示領域に形成されたデータパッド２８に連結される。データパッド２８は、複数個が密集してデータパッドブロック５１乃至５６を形成し、本実施形態では６つのデータパッドブロック５１乃至５６が備えられている。データパッド２８は、通常、データ線２７より幅が広く備えられている。
【００１５】
ゲートパッド２５とデータパッド２８は、後述する信号印加ユニット３００の信号印加部３４４乃至３４６、３８４乃至３８６や、探針ユニット５００の探針５８４と接触するようになる。信号印加部３４４乃至３４６、３８４乃至３８６から印加された単一の検査信号や、探針５８４から印加された個別検査信号は、各ゲートパッド２５に連結されたゲート線２４及びデータパッド２８に連結されたデータ線２７に伝達されるようになる。これによって、信号線であるゲート線２４及びデータ線２７の不良有無及び表示領域に備えられている各画素（図示せず）の不良有無を検査するようになる。
対向基板７０は、薄膜トランジスター基板２０の表示領域の上部に対応するように形成されており、通常、カラーフィルター層（図示せず）を含んでいる。
【００１６】
以下では、本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置について、図２乃至図６を参照して説明する。図２及び図３は、各々本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置の斜視図及び要部斜視図であり、図４及び図５は、各々本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置のコンタクト部材の分解斜視図及び結合斜視図であり、図６及び図７は、各々本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置の探針部材の分解斜視図及び結合斜視図であり、図８は、本発明の第１実施形態による液晶表示装置の検査装置の制御ブロック図である。
【００１７】
本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置は、フレーム部材１００と、フレーム部材１００に収容または形成されており、フレーム部材１００の前方を向いて下向きに傾斜するように配置されているテーブル１５０と、検査用バックライトユニット２００と、信号印加ユニット３００と、探針ユニット５００と、移送ユニット６００とを有する。
フレーム部材１００は、第１フレーム部１１０と第２フレーム部１２０が備えられており、検査装置の基本骨格をなすようになる。
【００１８】
第１フレーム部１１０の前面部には、移送ユニット６００が位置している。
移送ユニット６００は、中間部分に液晶表示パネル１０を収容するための空間部が備えられている移送板６２０と、移送板６２０から空間部を向けて突出して対向する一対のパネル固定部６３０が備えられている。各パネル固定部６３０の末端には各々一対のクランプ６４０が備えられていて、液晶表示パネル１０はクランプ６４０によってクランプされたりクランプ解除されたりするようになる。
【００１９】
移送ユニット６００は、外部から検査装置によって運搬されてきた液晶表示パネル１０の検査のために、第１フレーム部１１０から第２フレーム部１２０に移送し、第２フレーム部１２０から検査が完了した液晶表示パネル１０を再び第１フレーム部１１０に移送してくる。
第１フレーム部１１０と隣接している第２フレーム部１２０には、移送ユニット６００によって移送されてきた液晶表示パネル１０が安着するテーブル１５０が収容されている。
テーブル１５０は、ベース板１５２、支持部１５４、及び固定部１５６が備えられている。
【００２０】
ベース板１５２は、作業者の検査作業の便宜のために、第２フレーム部１２０の前方を向いて下向きに傾斜して配置されている。
ベース板１５２の中間部分には、安着する液晶表示パネル１０の周縁部を支持する支持部１５４が上部に突出している。支持部１５４の内部に形成された収容部１５８には、検査用バックライトユニット２００と第１偏光板２５０が順次に収容されている。
【００２１】
検査用バックライトユニット２００は、信号印加ユニット３００及び探針ユニット５００を利用した検査信号の印加の際、信号線であるゲート線２４及びデータ線２７、画素の不良有無を作業者が肉眼で確認できるようにするために、液晶表示パネル１０に光を供給する。
支持部１５４の上部面の一方の側には一対の固定部１５６が形成されていて、第２フレーム部１２０の前方を向いて下向きに傾斜して安着する液晶表示パネル１０が荷重によって滑ることを防止する。
【００２２】
ベース板１５２の下部面には、第１移動手段７００とテーブル１５０を連結する第１移動手段連結部７２０が設けられていて、第１移動手段７００の上下運動によってテーブル１５０が上下運動を行うようになる。これによって、テーブル１５０は、第２フレーム部１２０に移動してきた移送ユニット６００と、相互接近位置及び離隔位置の間を移動するようになる。第１移動手段７００は、公知のモーターやシリンダーなどの駆動部（図示せず）を含んで構成することができる。第１移動手段７００は、テーブル１５０を上下運動させるのではなく、移送ユニット６００を上下運動させるように備えられても差支えなく、テーブル１５０と移送ユニット６００を同時に移動させるように備えられても差支えない。
【００２３】
支持部１５４の二つの側面と一定の離隔間隔をおいて信号印加ユニット３００が位置している。信号印加ユニット３００の初期位置は、支持部５１４の側面ではなく、テーブル１５０のベース板１５２の下部でも差支えない。信号印加ユニット３００は、第１信号印加ユニット３１０と第２信号印加ユニット３５０で構成されている。
第１信号印加ユニット３１０は、各ゲートパッドブロック４１乃至４３別に単一の検査信号を印加する３つの第１コンタクト部材３３０と、第１コンタクト部材３３０の各々を固定する第１固定部３２０で構成されている。一方、第２信号印加ユニット３５０は、各データパッドブロック５１乃至５６別に単一の検査信号を印加する６つの第２コンタクト部材３７０と、第２コンタクト部材３７０を固定する第２固定部３６０で構成されている。各コンタクト部材３３０、３７０の個数は、液晶表示パネル１０の各信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６の個数によって増減することができる。
【００２４】
第１コンタクト部材３３０と第２コンタクト部材３７０の構成は同一であるので、細部の構成要素については第２コンタクト部材３７０のみを説明する。
図４及び図５に示すように、第２コンタクト部材３７０は、支持部３７２、連結部３７４、緩衝部３７６、本体部３８２の下部面の前方の角に沿って信号印加部３８４が付着されているコンタクト部３８０、及び底部３７８を含んで構成されている。
【００２５】
支持部３７２は、第２固定部３６０に固定されており、連結部３７４と第１結合ねじ３９７によってねじ結合するための第１結合孔３９１が上部面に形成されている。
連結部３７４の対応する部分にも第１結合孔３９１に対応する第１結合溝３９２が設けられていて、第１結合ねじ３９７の結合によって支持部３７２と連結部３７４が相互結合されるようになる。また、連結部３７４には第２結合溝３９３が形成されている。支持部３７２と連結部３７４の形状及び結合手段は、上記に限定されるわけではなく、多様に変更できることは勿論である。
【００２６】
連結部３７４の下部面には、緩衝部３７６、コンタクト部３８０、及び底部３７８が順次に結合されるようになる。
緩衝部３７６、コンタクト部３８０、及び底部３７８には、それぞれ連結部３７４の第２結合溝３９３に対応する第２結合孔３９４、３９５、３９６が形成されていて、第２結合ねじ３９８が収容結合されれば、連結部３７４、緩衝部３７６、コンタクト部３８０  及び底部３７８が順次に結合され、支持部３７２と共に第２コンタクト部材３７０をなすようになる。  
【００２７】
緩衝部３７６は、第２移動手段連結部７７０に連結されている第２移動手段７５０の駆動時に発生して、第２固定部３６０を通じて支持部３７２及び連結部３７４を経ってコンタクト部３８０に伝達される震動や衝撃を減少させる。また、検査信号の印加のためにコンタクト部３８０の信号印加部３８４がデータパッド２８と接触する場合に発生する衝撃や震動を減少させることによって、信号印加部３８４とデータパッド２８の間の接触特性を向上させる。
【００２８】
コンタクト部３８０には、液晶表示パネル１０のデータパッドブロック５１乃至５６のうちのいずれか一つのブロックに含まれた複数個のデータパッド２８との接触を通じて、データ線２７に単一の検査信号を印加する信号印加部３８４が本体部３８２の下部面の前方の角に沿って形成されている。コンタクト部３８０は、本体部３８２を省略して信号印加部３８４だけで構成されても差支えなく、この場合、信号印加部３８４はすぐ緩衝部３７６に付着されるように構成できる。
【００２９】
信号印加部３８４は、信号印加部３８４に接触したデータパッドブロック５１乃至５６内に含まれた複数個のデータパッド２８に単一の検査信号を印加することによって、各データパッド２８に連結されているデータ線２７または各画素の不良有無を検査するようになる。
信号印加部３８４は金属からなることができるが、本実施形態では、柔軟性があってデータパッド２８との接触が容易な導電性ゴムを含んで構成されている。信号印加部３８４は、実際にデータパッド接触口３２（図１５参照）に形成された透明電極３３（図１５参照）に接触することによって、透明電極３３と電気的に接続されているデータパッド２８と間接的に接触するようになる。透明電極３３は、データパッド接触口３２によって段差が形成されているので、信号印加部３８４が弾性をもつ導電性ゴムを含むことが、上部に段差が形成されている透明電極３３の表面に沿って容易に接触できるため、接触特性を良くすることができる。
【００３０】
本実施形態において、信号印加部３８４はバー形状で備えられているが、これに限定されず、不良検査の便宜のための多くの形状で多様に変更することができる。
底部３７８は、コンタクト部３８０の下部面に位置し、コンタクト部３８０を保護する。
一方、信号線である各ゲート線２４及び各画素の不良を測定するために、各ゲートパッドブロック４１乃至４３に属する複数個のゲートパッド２５と接触して単一の検査信号を印加する第１コンタクト部材３３０の構成も、第２コンタクト部材３７０と同一である。
【００３１】
両信号印加ユニット３１０、３５０の各固定部３２０、３６０の後方には、第２移動手段７５０と両信号印加ユニット３１０、３５０を各々連結する第２移動手段連結部７６０、７７０が設けられている。第２移動手段７５０は、公知のモーターやシリンダーなどの駆動部（図示せず）を含んで備えられる。制御部６５０（図８参照）の制御信号によって駆動する第２移動手段７５０により、両信号印加ユニット３１０、３５０はテーブル１５０に安着した液晶表示パネル１０の板面に対して垂直及び水平方向の直線運動を行う。これによって、両信号印加ユニット３１０、３５０は、各信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６に属する複数個の信号線パッド２５、２８と接触及び離隔するようになる。
【００３２】
テーブル１５０の上部にはテーブル１５０と相互接近及び離隔する探針ユニット５００が位置している。探針ユニット５００は、移送ユニット６００によって移送されてきた液晶表示パネル１０がテーブル１５０に安着するのに邪魔にならないように、第２フレーム部１２０に移動してきた移送ユニット６００よりさらに上部に初期位置が備えられている。
探針ユニット５００は、中間部分に開口部５１２が形成されている支持板５１０と、開口部５１２の周縁に沿って支持板５１０の下部面に付着されている探針部材５２０とを含む。
【００３３】
探針部材５２０は、液晶表示パネル１０の各ゲートパッドブロック４１乃至４３に含まれた各ゲートパッド２５別に別途の検査信号を印加する３つの第１探針部材５３０と、各データパッドブロック５１乃至５６に含まれた各データパッド２８別に別途の検査信号を印加する６つの第２探針部材５７０が備えられている。各探針部材５３０、５７０の個数は、液晶表示パネル１０の信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６の個数によって増減することができる。
【００３４】
第１探針部材５３０と第２探針部材５７０の構成は同一であるので、細部の構成要素については第２探針部材５７０のみを説明する。
図６及び図７に示すように、第２探針部材５７０は、支持部５７２、連結部５７４、緩衝部５７６、本体部５８２の下部面の前方の角に検査信号印加用探針５８４が付着されている探針部５８０、及び底部５７８で構成されている。
【００３５】
支持部５７２は、開口部５１２（図３参照）の周縁の支持板５１０の下部面に付着固定されている。支持部５７２の下部面には連結部５７４と第１結合ねじ５９７の結合によって相互結合されるための第１結合孔（図示せず）が形成されている。
連結部５７４の対応部分にも支持部５７２とねじ結合によって結合されるための第１結合溝（図示せず）が設けられていて、第１結合ねじ５９７の結合によって支持部５７２と連結部５７４は相互結合されるようになる。また、連結部５７４の前方下部面には第２結合溝５９３が形成されている。支持部５７２と連結部５７４の形状及び結合手段は上記に限定されるわけではなく、多様に変更することができる。
【００３６】
連結部５７４の下部面には、緩衝部５７６、探針部５８０及び底部５７８が順次に結合されるようになる。
緩衝部５７６、探針部５８０及び底部５７８にはそれぞれ連結部５７４の第２結合溝５９３に対応する第２結合孔５９４、５９５、５９６が形成されていて、第２結合ねじ５９８が収容結合されれば、連結部５７４、緩衝部５７６、探針部５８０及び底部５７８は順次に結合されるようになる。
【００３７】
緩衝部５７６は、制御部６５０（図８参照）の制御信号に従って第３移動手段連結部８２０に連結されている第３移動手段８００（図８参照）によって探針ユニット５００が移動する場合に、支持板５１０を経て支持部５７２及び連結部５７４を通じて探針部５８０に伝達される震動や衝撃を減少させる。また、探針部５８０の探針５８４が信号線パッドであるデータパッド２７と接触の際に発生する衝撃や震動を減少させるので、探針５８４とデータパッド２７の間の接触特性を向上させる。
【００３８】
探針部５８０には、本体部５８２の下部面の前方の角に沿って液晶表示パネル１０のデータパッドブロック５１乃至５６に含まれている複数個のデータパッド２８それぞれに一つずつ接触した後、個別検査信号を印加する複数個の探針５８４が突出形成されている。
探針５８４は、制御部６５０の制御信号に従って個別の検査信号をデータパッドブロック５１乃至５６に属する各データパッド２８に印加することによって、信号線であるデータ線２７または各画素の不良有無を検査するようになる。
底部５７８は、探針部５８０の下部面に位置し、探針部５８０を保護する。
【００３９】
一方、信号線の一つである各ゲート線２４及び各画素の不良を測定するために、各ゲートパッドブロック４１乃至４３に属する複数個のゲートパッド２５に探針５８４を一つずつ接触させた後、各ゲートパッド２５別に個別の検査信号を印加する第１探針部材５３０の構成も、第２探針部材５７０と同一である。
【００４０】
探針ユニット５００の支持板５１０の両端辺には、第３移動手段８００（図８参照）と支持板５１０を相互連結する第３移動手段連結部８２０が設けられている。第３移動手段８００は、公知のモーターやシリンダーなどの駆動部（図示せず）を含んで備えられる。制御部６５０の制御信号に従って駆動される第３移動手段８００によって、探針ユニット５００はテーブル１５０に安着した液晶表示パネル１０の板面に対する垂直方向の直線運動を行い、これによって各信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６に属する複数個の信号線パッド２５、２８と接触及び離隔するようになる。
【００４１】
探針ユニット５００の上部には、第２偏光板８５０が第２偏光板固定部８６０によって第２フレーム部１２０の前面に固定されている。
図８に示すように、第１移動手段７００、第２移動手段７５０及び第３移動手段８００は各々制御部６５０によって制御され、各々テーブル１５０、信号印加ユニット３００及び探針ユニット５００を移動させるようになる。
【００４２】
本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置は、既存の探針ユニット５００だけでなく、別途の信号印加ユニット３００を具備している。探針５８４を利用したグロステストの施行に先立って、各信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６に属する複数の信号線パッド２５、２８に同時に接触する信号印加ユニット３００の信号印加部３４４、３８４を利用して単一の検査信号を印加することによって、信号線２４、２７及び各画素の不良有無を先に検査することができる。これを通じて不良有無を検査した結果、不良がない場合には、探針５８４によるグロステストを省略することができる。
従って、各信号線パッド２５、２８にそれぞれ一つの探針５８４を接触させることに比べ、容易に信号印加部３８４を接触させることができるので、検査速図を増加させることができる。
【００４３】
また、簡単な形態であるバー形状で備えられた信号印加部３８４は、ショートバーが除去された後にもビジュアルインスペクションでのショートバーと同一に単一の検査信号を印加することができ、ショートバーを利用したビジュアルインスペクションで発生する信号の歪曲問題を改善することができる利点もある。
従って、各信号線パッド２５、２８にそれぞれ一つの探針５８４を接触させることに比べ、容易に信号印加部３８４を接触させることができるので、検査速図を増加させることができる。
【００４４】
一方、探針５８４に比べて導電性ゴムなどからなる信号印加部３８４の接触特性が良いため、接触不良によって検出能力が劣る問題点を減少させることができる。また、必要な場合に限って探針５８４によるグロステストを遂行すれば良いので、探針５８４によるグロステスト回数を減らすことができ、探針５８４が曲がったり破損したりすることなく、長期間適正性能を維持することができる。これによって、探針５８４と信号線パッド２５、２８の間の接触不良の発生を減らすことができ、接触不良によって実際信号線２４、２７または各画素の不良検出能力が劣る問題点をさらに減少させることができる。
【００４５】
以下では、本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法について、図９乃至図１３、図１４及び図１５を参照して説明する。図９乃至図１３は、各々本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法を順次に示した斜視図であり、図１４は、本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図であり、図１５は、図１４のＩＸ−ＩＸ線による液晶表示パネルの薄膜トランジスター基板及び信号印加部の断面図である。
【００４６】
本発明の第１実施形態による液晶表示装置の検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法は、ビジュアルインスペクションを経てショートバーが切断された液晶表示パネル１０を備える段階から出発する。
ビジュアルインスペクションは、信号線２４、２７に一定の電圧を印加した後、通常、画像モニタ上に抵抗値分布が表示された抵抗イメージ（図示せず）を観察することによって、各信号線２４、２７の不良有無を判断するテストである。ビジュアルインスペクションテストを容易に行うためには、信号線２４、２７の各々に電気的に接続されているショートバー（図示せず）が使用される。ショートバーは、各信号線２４、２７に単一の検査信号を印加することができるので、ビジュアルインスペクションを容易に行うだけでなく、液晶表示パネル１０の製造過程中で発生する静電気から薄膜トランジスター基板２１が破壊されることを防止する役割を果たす。
【００４７】
ショートバーはカッティング線とグラインディング線の間に位置しており、ビジュアルインスペクション後には残っているショートバーを、グラインディングを通じて除去し、これによってそれぞれ個別ゲート線２４とデータ線２７に分離された液晶表示パネル１０（図１参照）が得られる。
【００４８】
次に、検査が要求される液晶表示パネル１０をテーブル１５０に安着する。
まず、図２に示したように、外部から液晶表示パネルの検査装置の第１フレーム部１１０に移送されてきた液晶表示パネル１０は、移送ユニット６００のパネル固定部６３０のクランプ６４０によって固定される。
この後、図２及び図９に示すように、移送ユニット６００が第１フレーム部１１０から第２フレーム部１２０に移動して、液晶表示パネル１０が第２フレーム部１２０に収容されているテーブル１５０の上部に位置するようになる。
【００４９】
次に、テーブル１５０の下部に備えられている第１移動手段連結部７２０が、制御部６５０から駆動信号の伝達を受けた第１移動手段７００の駆動によって上部に上昇して、テーブル１５０の支持部１５４が液晶表示パネル１０の周縁部に接近するようになる。
次に、図１０に示すように、液晶表示パネル１０を固定していたクランプ６４０がクランプを解除した後、後方に後退するようになる。これによって、液晶表示パネル１０の周縁部が支持部１５４に完全に接触しながら安着するようになり、液晶表示パネル１０は一対の固定部１５６によって固定されるようになる。
次に、移送ユニット６００は再び第１フレーム部１１０の原位置に移動し、テーブル１５０も上昇前の原位置に下降するようになると、安着段階が終了する。
【００５０】
以後、図１１、図１４及び図１５に示すように、順次に安着した液晶表示パネル１０の少なくとも二つの信号線パッド２５、２８にそれぞれ単一の検査信号を印加する信号印加部３４４、３８４を接触させる段階、及び信号印加部３４４、３８４にそれぞれ接触した信号線パッド２５、２８に単一の検査信号を印加する段階を経るようになる。
【００５１】
まず、両信号印加ユニット３１０、３５０の各固定部３２０、３６０に各々連結されている第２移動手段連結部７６０、７７０が、図面に示したように、第２移動手段７５０によってテーブル１５０のベース板１５２に対してそれぞれ丸１の方向に垂直上昇した後、丸２の方向に水平移動し、次に丸３の方向に垂直下降を行うようになる。これによって、各信号印加ユニット３１０、３５０の複数個のコンタクト部材３３０、３７０に含まれたそれぞれの信号印加部３４４、３８４が、信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６に属する複数の信号線パッド２５、２８と接触するようになる。
【００５２】
図１５は、図１４のＩＸ−ＩＸ線に沿って切断した断面図であって、第２コンタクト部材３７０の信号印加部３８４が一つのデータパッドブロック５４に属する複数個のデータパッド２８と接触した状態を示している。
薄膜トランジスター基板２０を見てみれば、絶縁基板２２上にゲート絶縁膜２３が形成されており、ゲート絶縁膜２３はシリコン窒化物などの無機物からなっている。ゲート絶縁膜２３の上部にはデータパッド２８が形成されている。
【００５３】
データパッド２８の上部には保護膜３１が形成されている。保護膜３１は、主に窒化珪素からなる無機膜であるが、ベンゾサイクロブテンとアクリル系樹脂のうちのいずれか一つである有機膜で構成されるか、または無機膜上に有機膜を積層させた二重膜で構成することもできる。保護膜３１はデータパッド接触口３２では除去されている。
保護膜３１の上部には透明電極３３が形成されている。透明電極３３は、データパッド接触口３２を通じてデータパッド２８と連結されるように形成されている。ここで、透明電極はＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ  ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ）またはＩＺＯ（ｉｎｄｉｕｍ  ｚｉｎｃ  ｏｘｉｄｅ）からなっている。
透明電極３３の上部には信号印加部３８４が透明電極３３と接触している。つまり、信号印加部３８４はデータパッド２８と直接的に接することではなく、透明電極３３を通じて間接的に接触するようになる。
【００５４】
以後、信号印加部３４４、３８４が信号印加部３４４、３８４にそれぞれ接触した複数の信号線パッド２５、２８に単一の検査信号を印加して、各信号線２４、２７の不良または各画素の不良有無を検査するようになる。
単一の検査信号の印加過程をみて見れば、電源供給源（図示せず）に連結された検査信号発生器（図示せず）を通じて発生した検査信号は、信号印加部３４４、３８４に印加されるようになる。信号印加部３４４、３８４は印加を受けた検査信号を、透明電極３３を通じて各信号線パッド２５、２８に単一の検査信号を印加するようになり、信号線パッド２５、２８はこの信号を各信号線パッド２５、２８に連結されたゲート線２４とデータ線２７に印加する。
【００５５】
不良検査のための検査信号は、複数個の信号印加部３４４、３８４の間では別途に行われる。しかし、同一の信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６内では、一つの信号印加部３４４、３８４による単一の検査信号が各信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６内に属した信号線パッド２５、２８に連結されている信号線２４、２７に印加されるようになる。
【００５６】
不良有無の検査において、各信号線２４、２７または画素の不良検出方法としては、液晶表示パネル１０に現われたイメージを目で直接確認する方法がある。しかし、さらに精密な測定のために液晶表示パネル１０に現われる抵抗イメージを測定したり、信号線２４、２７の個別の抵抗を測定したりして、測定された抵抗値が適正抵抗値領域に属するかどうかを判断することによって、各信号線２４、２７及び各画素の不良有無を検出することができる。
【００５７】
単一の検査信号を印加して各信号線２４、２７の不良及び各画素の不良有無の検査が終了すると、各信号印加ユニット３１０、３５０は第２移動手段７５０によって、図１１に示すように、各々丸３の方向の反対方向に垂直上昇した後、丸２の方向の反対方向に水平移動し、次に丸１の方向の反対方向に垂直下降を行うようになる。これによって、各信号印加ユニット３１０、３５０は初期位置に復帰するようになる。
検査結果、信号線２４、２７の不良及び各画素の不良がない場合には、液晶表示パネル１０の検査は終了する。
【００５８】
しかし、もし、検査結果で信号線２４、２７の不良または各画素の不良が感知された場合とか、さらに精密な検査を要する場合には、図１２及び図１３に示すように、複数の信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６に属する複数の信号線パッド２５、２８に探針ユニット５００の探針部材５２０に備えられている探針５８４を接触させ、信号線２４、２７の各々に個別の検査信号を印加する段階をさらに経るようになる。
【００５９】
この過程を見てみれば、まず、図１２に示すように、両信号印加ユニット３１０、３５０が元の初期位置に復帰した後、探針ユニット５００の支持板５１０の対向する両側にそれぞれ連結されている第３移動手段連結部８２０が第３移動手段８００の駆動により下降してテーブル１５０に接近するようになる。これによって、探針ユニット５００も液晶表示パネル１０に下降して接近するようになる。
【００６０】
接近が完了すれば、図１３に示すように、探針ユニット５００の各探針部材５３０、５７０に備えられている複数個の探針５８４（図６及び図７参照）のうちの一つが、対応する一つの信号線パッド２５、２８と接触するようになる。接触が維持された状態で探針５８４を通じて各信号線パッド２５、２８に個別の検査信号を印加し、各信号線２４、２７及び各画素の不良有無の検査が行われる。
探針５８４による検査が終了した場合には、第３移動手段８００の駆動によって探針ユニット５００はまた初期位置に上昇し、移送ユニット６００が再び第１フレーム部１１０から第２フレーム部１２０に移動してきた後、検査が終了した液晶表示パネル１０を第１フレーム部１１０に移送していくと、液晶表示パネル１０の検査は完全に終了する。
【００６１】
本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法によれば、探針５８４を利用したグロステストの施行に先立って、各信号線パッドブロック４１乃至４３、５１乃至５６に属する複数の信号線パッド２５、２８に同時に接触する信号印加ユニット３００の信号印加部３４４、３８４を利用して単一の検査信号を印加することによって、信号線２４、２７及び各画素の不良有無を先に検査することができる。これによって、不良有無の検査結果で不良がない場合、探針５８４によるグロステストを省略することができる。
【００６２】
従って、各信号線パッド２５、２８に各々一つの探針５８４を接触させることに比べ、容易に信号印加部３８４を接触させることができるので、検査速度を増加させることができる。
また、簡単な形態であるバー形状で備えられた信号印加部３８４は、ショートバーが除去された後にもビジュアルインスペクションでのショートバーと同一に単一の検査信号を印加することができ、ショートバーを利用したビジュアルインスペクションで発生する信号の歪曲問題を改善することができる利点もある。
【００６３】
一方、探針５８４に比べて導電性ゴムなどからなる信号印加部３８４の接触特性が良いので、接触不良によって検出能力が劣る問題点を減少させることができる。また、必要な場合に限って探針５８４によるグロステストを行えば良いので、探針５８４によるグロステスト回数を減らすことができ、探針５８４が曲がったり破損したりすることなく、長期間適正性能を維持することができる。これにより、探針５８４と信号線パッド２５、２８の間の接触不良の発生を減らすことができるので、接触不良によって実際信号線２４、２７または各画素の不良検出能力が劣る問題点をさらに減少させることができる。
【００６４】
以下、本発明の第２実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法について、図１６を参照して説明する。図１６は、本発明の第２実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【００６５】
本発明の第２実施形態による液晶表示パネルの検査装置は、各々一つの信号印加部３４５、３８５が複数のゲートパッドブロック４１乃至４３及びデータパッドブロック５１乃至５６に属するすべてのゲートパッド２５及びデータパッド２８と接触するように備えられている。これによって、第１信号印加ユニット３１０の第１コンタクト部材３３０及び第２信号印加ユニット３５０の第２コンタクト部材３７０が各々一つ備えられていることを除いては、本発明の第１実施形態による液晶表示装置の検査装置と同一である。
【００６６】
一方、本発明の第２実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法も、信号印加部３４５、３８５が各ゲートパッドブロック４１乃至４３及びデータパッドブロック５１乃至５６に属したゲート線２４及びデータ線２７別に単一の検査信号を印加することではなく、全体ゲート線２４及びデータ線２７に単一の検査信号を印加することを除いては、本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法と同一である。
本発明の第２実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法によっても、本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法と同一の効果を得ることができる。
【００６７】
以下、本発明の第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法について、図１７を参照して説明する。図１７は、本発明の第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【００６８】
本発明の第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置は、ゲートパッド２５及びデータパッド２８別に検査信号を印加する各々一つの信号印加部３４６、３８６が備えられている点においては、本発明の第２実施形態による液晶表示パネルの検査装置と同一である。しかし、各信号印加部３４６、３８６の横方向の長さが、一つのゲートパッドブロック４１及びデータパッドブロック５１に属したゲートパッド２５及びデータパッド２８とのみ接触が可能な長さを有するように備えられているという点においては、本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置と同一である。
【００６９】
従って、図１７に示すように、本発明の第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法は、特定データブロック５１に属したデータパッド２８についてのみ信号印加部３８６が接触して、特定データブロック５１に属したデータ線２７にのみ検査信号を印加するようになる。これによって、特定データブロック５１に属したデータ線２７の不良有無を検出する。同様に、特定ゲートブロック４１に属するゲート線２４の不良有無を、特定ゲートブロック４１に属したゲートパッド２４と接触した信号印加部３４６が信号を印加して測定するようになる。以後、他のゲートブロック４２とデータブロック５２に信号印加部３４６、３８６が移動手段（図示せず）によって移動し、該当信号線パッドブロック４２、５２に属した信号線２４、２７の不良有無を検査した後、再び順次に移動しながら次の信号線パッドブロック４３、５３に属した信号線２４、２７の不良有無を継続的に検査するようになる。
本発明の第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法によっても、上記の第１実施形態及び第２実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法と同一の効果を得ることができる。
【００７０】
以下、本発明の第４乃至第６実施形態による液晶パネルの検査装置に対する説明に先立った、本発明の第４乃至第６実施形態による液晶パネルの検査装置に使用されるように開発された液晶表示パネルについて、図１８及び図１９を参照してまず説明する。
図１８は、本発明の第４実施形態乃至第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置によって検査されるために開発された液晶表示パネルの正面図であり、図１９は、図１８の‘Ａ’領域の拡大図である。
本発明の第４実施形態乃至第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置によって検査されるために開発された液晶表示パネル１１は、薄膜トランジスター基板２１と、薄膜トランジスター基板２１と対面している対向基板７１を有している。
薄膜トランジスター基板１１は、大きく、表示領域とそれ以外の外郭の非表示領域に分けられる。表示領域には横方向に延長される信号線の一つである複数個のゲート線２４と、縦方向に延長される信号線の他の一つである複数個のデータ線２７が交差して、複数個の画素領域（図示せず）がマトリックス状に配列されている。
【００７１】
表示領域から非表示領域に延長されたデータ線２７は、各ライン間の間隔が狭くなりながら非表示領域に形成されたデータパッド２９に連結される。データパッド２９は偶数番目と奇数番目が互いに異なる列である２列をなして、複数個の奇数番目のデータパッド２９ａと複数個の偶数番目のデータパッド２９ｂが交互に配置されている。交互に配置されている奇数番目のデータパッド２９ａと偶数番目のデータパッド２９ｂの列間間隔ｄ１は、これに限定されないが、以下に説明する両信号印加部３８７ａ、３８７ｂ（図２０参照）の間に要求される一定間隔ｄ２との関係上、０．５ｍｍ以上であり、好ましくは、０．６ｍｍ程度である。一方、列間間隔ｄ１の最大上限は、非表示領域の大きさによって決められる。
【００７２】
データパッド２９は、アルミニウム、クロム、モリブデンまたはこれらの合金などを用いることができ、多重層も可能である。データパッド２９は、通常、データ線２７（図１９参照）より幅が広く備えられ、中央領域にはデータパッド接触口３２（図２２参照）が形成されている。データパッド接触口３２は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ）またはＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  ｚｉｎｃ  ｏｘｉｄｅ）からなる透明電極３３（図２２）によって覆われている。透明電極３３は、データパッド接触口３２を通じてデータパッド２９と連結されるように形成されている。
【００７３】
表示領域から非表示領域に延長されたゲート線２４は、各ライン間の間隔が狭くなりながら非表示領域に形成されたゲートパッド２６に連結される。ゲートパッド２６は、偶数番目と奇数番目が互いに異なる列である２列をなして、交互に配置されている複数個の奇数番目のゲートパッド２６ａと複数個の偶数番目のゲートパッド２６ｂで構成されている。交互に配置されている奇数番目のゲートパッド２６ａと偶数番目のゲートパッド２６ｂの列間間隔（図示せず）も、交互に配置されている奇数番目のデータパッド２９ａと偶数番目のデータパッド２９ｂの列間間隔ｄ１と同一であるが、異なる間隔にすることもできる。
【００７４】
ゲートパッド２６は、データパッド２９と同様にゲート線２４より幅が広く備えられており、中央領域にはゲートパッド接触口（図示せず）が形成されている。ゲートパッド接触口（図示せず）はＩＴＯまたはＩＺＯからなる透明電極（図示せず）によって覆われている。透明電極（図示せず）は、ゲートパッド接触口（図示せず）を通じてゲートパッド２６と連結されるように形成されている。
【００７５】
以上の構成を有する本発明の実施形態による液晶表示パネル１１によれば、後述する隣接した信号線２４、２７の間に互いに異なる反転駆動検査信号を印加する各々２つの信号印加部２６ａ、２６ｂ、２９ａ、２９ｂを有する液晶表示パネルの検査装置を構成することができる。これによって、信号線または画素間の不良有無も効率的に検出することができるので、液晶表示パネル１１の不良検査速度及び不良検出能力を向上させることができる。
【００７６】
以下では、本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置について、図２０を参照して本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置との差異を中心として説明する。図２０は、本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置のコンタクト部の背面図である。
図１８及び図１９に示すように、液晶表示パネル１１の薄膜トランジスター基板２１は、非表示領域に形成されているゲートパッド２６及びデータパッド２９が各々２列に備えられ、列間一定の間隔ｄ１を有している。従って、図２０に示すように、本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置において、第２信号印加ユニット３５０の第２コンタクト部材３７０のコンタクト部３８１は、本体部３８２及び本体部３８２の下部面の前方に一定の間隔ｄ２を有する一対の信号印加部３８７を有するように備えられている。
【００７７】
信号印加部３８７は、各データパッドブロック６１乃至６６に属する隣接するデータ線２７の間に、互いに異なる反転駆動検査信号を印加するように、第１信号印加部３８７ａと第２信号印加部３８７ｂを有する。第１信号印加部３８７ａと第２信号印加部３８７ａの間隔ｄ２は、両信号印加部３８７ａ、３８７ｂがそれぞれ異なる列を有するデータパッド２９の上部の透明電極３３に接触しながら接触面積が増加しても、両信号印加部３８７ａ、３８７ｂが相互連結されて互いに異なる反転駆動検査信号が交じることを防止するために、０．５ｍｍ以上であり、好ましくは、０．６ｍｍ程度である。一方、本体部３８２は、両信号印加部３８７ａ、３８７ｂの検査信号である電気的信号が互いに交じらないように非導電性材質で備えられる。
【００７８】
同様に、第１信号印加ユニット３１０のコンタクト部（図示せず）の信号印加部３４７（図２１参照）も、各ゲートパッドブロック４６乃至４８に属する隣接するゲート線２４の間に互いに異なる反転駆動検査信号を印加するように、第３信号印加部３４７ａと第４信号印加部３４７ｂが備えられている。
一方、探針ユニット５００の探針５８４も、各々２列に備えられているゲートパッド２６及びデータパッド２９に一つずつ接触できるように、２列で備えられている。
【００７９】
本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した検査方法は、図２１及び図２２に示すように、隣接するゲート線２４及びデータ線２７別にそれぞれ互いに異なる２つの信号印加部３４７、３８７を用いて、隣接する信号線２４、２７の間に互いに異なる反転駆動検査信号を印加することによって、液晶表示パネル１１の不良有無を検査することを除いては、本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した検査方法と同一である。図２１は、本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図であり、図２２は、図２１のＸＶＩ−ＸＶＩ線による液晶表示パネルの薄膜トランジスター基板及び信号印加部の断面図である。
【００８０】
本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法によっても、本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法と同一の効果を得ることができる。また、反転駆動検査信号を印加する方式によって、隣接信号線２４、２７及び隣接画素間の短絡などの不良有無も効率的に検査できる効果がある。
【００８１】
一方、液晶表示パネル１１の薄膜トランジスター基板２１の非表示領域に形成された各信号線パッド２６、２９が３列以上で構成された場合であれば、各信号印加ユニット３１０、３５０は、それぞれ互いに異なる検査信号を印加する３つ以上の相互平行する信号印加部（図示せず）を備えることができる。この場合、探針ユニット５００の探針５８４もそれぞれ３列以上が備えられるようになる。
【００８２】
以下、本発明の第５実施形態及び第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法について、図２３及び図２４を各々参照して説明する。図２３及び図２４は各々本発明の第５実施形態及び第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【００８３】
本発明の第５実施形態及び第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法は、第１信号印加ユニット３１０の信号印加部３４８、３４９及び第２信号印加ユニット３５０の信号印加部３８８、３８９が、各々２つの信号印加部３４８ａ、３４８ｂ、３４９ａ、３４９ｂ、３８８ａ、３８８、３８９ａ、３８９ｂで構成されており、これによって、隣接信号線２４、２７及び隣接画素間の短絡などの不良有無も容易に検査できることを除いては、本発明の第２実施形態及び第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法と同一である。
【００８４】
本発明の第５実施形態及び第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法によっても、本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置及びこれを利用した液晶表示パネルの検査方法と同一の効果を得ることができる。
以上の実施形態は多様に変更することができる。本発明の上記の実施形態において、液晶表示パネル１０、１１の信号線パッドがゲートパッド２５、２６を省略して、データパッド２８、２９だけで形成されている場合には、信号印加ユニット３００は第２信号印加ユニット３５０だけで構成することができ、探針ユニット５００の探針部材５２０も第２探針部材５７０だけで構成することができる。
【００８５】
一方、上記の実施形態で、コンタクト部材３３０、３７０と探針部材５３０、５７０は、各々支持部３７２、５７２及び連結部３７４、５７４を相互変更することによって位置関係を変更することも可能である。変更によって探針部材５３０、５７０は、テーブル１５０の支持部１５４の２つの側面、またはテーブル１５０のベース板１５２の下部面に位置するようになり、コンタクト部材３３０、３７０は、支持板５１０に固定されてテーブル１５０の上部に位置するようになる。
【００８６】
一方、上記の実施形態では、ショートバーが除去された後に、信号印加部３４４乃至３４９、３８４乃至３８９がゲートパッド２５、２６及びデータパッド２８、２９各々に接触して検査信号を印加することと説明したが、これに限定されるわけではない。つまり、各々の信号線２４、２７から延長されているゲートパッド２５、２６及びデータパッド２８、２９に連結されているショートバーを利用したビジュアルインスペクション後に、ショートバーを除去せずにすぐ信号印加部３４４乃至３４９、３８４乃至３８９を各々の信号線パッド２５、２６、２８、２９に接触させて不良検査信号を印加しても差支えない。
また、探針ユニット５００及び第３移動手段８００は、本発明の上記の実施形態による液晶表示パネルの検査装置から分離されて別途に備えられても差支えない。
【００８７】
一方、本発明の上記の実施形態における液晶表示パネルの検査方法は、本発明の第１実施形態乃至第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した検査方法を説明したが、これに限定されるわけではなく、他の構成を有する検査装置を利用して本発明による液晶表示パネルの検査方法を遂行することもできることは勿論である。
以上、本発明のいくつかの実施形態を図示して説明したが、本発明が属する技術分野の通常の知識を有する当業者であれば、本発明の原則や精神から逸脱せずに本実施形態を変更し得ることが分かる。従って、本発明の範囲は添付した特許請求の範囲とその均等物によって決められる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の第１実施形態乃至第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置によって検査される一般的な液晶表示パネルの正面図である。
【図２】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置の斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置の要部斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置のコンタクト部材の分解斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置のコンタクト部材の結合斜視図である。
【図６】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置の探針部材の分解斜視図である。
【図７】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置の探針部材の結合斜視図である。
【図８】本発明の第１実施形態による液晶表示装置の検査装置の制御ブロックである。
【図９】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法を順次に示した斜視図である。
【図１０】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法を順次に示した斜視図である。
【図１１】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法を順次に示した斜視図である。
【図１２】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法を順次に示した斜視図である。
【図１３】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法を順次に示した斜視図である。
【図１４】本発明の第１実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【図１５】図１４のＩＸ−ＩＸ線による液晶表示パネルの薄膜トランジスター基板及び信号印加部の断面図である。
【図１６】本発明の第２実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触し状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【図１８】本発明の第４実施形態乃至第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置によって検査されるために開発された液晶表示パネルの正面図である。
【図１９】図１８の‘Ａ’領域の拡大図である。
【図２０】本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置のコンタクト部の背面図である。
【図２１】本発明の第４実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【図２２】図２１のＸＶＩ−ＸＶＩ線による液晶表示パネルの薄膜トランジスター基板及び信号印加部の断面図である。
【図２３】本発明の第５実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【図２４】本発明の第６実施形態による液晶表示パネルの検査装置を利用した液晶表示パネルの検査方法において、信号印加部が液晶表示パネルの信号線パッドに接触した状態を示した液晶表示パネルの正面図である。
【符号の説明】
【００８９】
１０、１１    液晶表示パネル
２０、２１    薄膜トランジスター基板
２２    絶縁基板
２３    ゲート絶縁膜
２４    ゲート線
２５、２６    ゲートパッド
２７    データ線
２８、２９    データパッド
３１    保護膜
３２    データパッド接触口
３３    透明電極
４１〜４３、４６〜４８    ゲートパッドブロック
５１〜５６、６１〜６６    データパッドブロック
７０、７１    対向基板
１００    フレーム部材
１１０    第１フレーム部
１２０    第２フレーム部
１５０    テーブル
１５２    ベース板
１５４    支持部
１５６    固定部
１５８    収容部
２００    検査用バックライトユニット
２５０    第１偏光板
３００    信号印加ユニット
３１０    第１信号印加ユニット
３２０    第１固定部
３３０    第１コンタクト部材
３４４〜３４９、３８４〜３８９    信号印加部
３５０    第２信号印加ユニット
３６０    第２固定部
３７０    第２コンタクト部材
３７２、５７２    支持部
３７４、５７４    連結部
３７６、５７６    緩衝部
３７８、５７８    底部
３８０、３８１    コンタクト部
３８２、５８２    本体部
３９１    第１結合孔
３９２    第１結合溝
３９３    第２結合溝
３９４、３９５、３９６    第２結合孔
３９７    第１結合ねじ
３９８    第２結合ねじ
５００    探針ユニット
５１０    支持板
５１２    開口部
５１４    支持部
５２０    探針部材
５３０    第１探針部材
５７０    第２探針部材
５８０    探針部
５８４    探針
５９３    第２結合溝
５９４、５９５、５９６    第２結合孔
５９７    第１結合ねじ
５９８    第２結合ねじ
６００    移送ユニット
６２０    移送板
６３０    パネル固定部
６４０    クランプ
６５０    制御部
７００    第１移動手段
７２０    第１移動手段連結部
７５０    第２移動手段
７６０、７７０    第２移動手段連結部
８００    第３移動手段
８２０    第３移動手段連結部
８５０    第２偏光板
８６０    偏光板固定部
【図１】
2006301633.tif 000003
【図２】
2006301633.tif 000004
【図３】
2006301633.tif 000005
【図４】
2006301633.tif 000006
【図５】
2006301633.tif 000007
【図６】
2006301633.tif 000008
【図７】
2006301633.tif 000009
【図８】
2006301633.tif 000010
【図９】
2006301633.tif 000011
【図１０】
2006301633.tif 000012
【図１１】
2006301633.tif 000013
【図１２】
2006301633.tif 000014
【図１３】
2006301633.tif 000015
【図１４】
2006301633.tif 000016
【図１５】
2006301633.tif 000017
【図１６】
2006301633.tif 000018
【図１７】
2006301633.tif 000019
【図１８】
2006301633.tif 000020
【図１９】
2006301633.tif 000021
【図２０】
2006301633.tif 000022
【図２１】
2006301633.tif 000023
【図２２】
2006301633.tif 000024
【図２３】
2006301633.tif 000025
【図２４】
2006301633.tif 000026