(57)【要約】【課題】  従来の表面粗さ測定装置では、評価すべき表面粗さに関する規格に適合するかを解析することができるが、その表面粗さに関する規格以外の他の表面粗さに関する規格に適合するかを評価しようとすると、その表面粗さに関する規格に適合するかの評価試験を最初から行う必要があった。【解決手段】  表面粗さ測定データ紙に印刷された触針の変化量のグラフを読み取る読取手段と、読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフを測定データとして記憶する第１記憶手段と、第１記憶手段に記憶された測定データを所定の数値データに変換する数値データ変換手段と、数値データ変換手段により変換された数値データから表面粗さの解析データを算出する算出手段と、算出手段により算出された解析データを記憶する第２記憶手段と、該第２記憶手段に記憶されている解析データを出力する出力手段とを有する。【選択図】        図３
2006214801.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の表面形状に従って変位する触針の変位量をグラフ化して印刷された表面粗さ測定データ紙を用いて、被測定物の表面粗さの解析データを出力する表面粗さデータ解析システムにおいて、
表面粗さ測定データ紙に印刷された触針の変化量のグラフを読み取る読取手段と、
該読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフを測定データとして記憶する第１記憶手段と、
該第１記憶手段に記憶された測定データを所定の数値データに変換する数値データ変換手段と、
該数値データ変換手段により変換された数値データから表面粗さの解析データを算出する算出手段と、
前記算出手段により算出された解析データを記憶する第２記憶手段と、
該第２記憶手段に記憶されている解析データを出力する出力手段と、を有することを特徴とする表面粗さデータ解析システム。
【請求項２】
前記読取手段は、イメージスキャナ、またはＣＣＤカメラであることを特徴とする請求項１記載の表面粗さデータ解析システム。
【請求項３】
前記第１記憶手段は、前記読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフを記憶するコンピュータ読取可能な記録媒体であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面粗さデータ解析システム。
【請求項４】
前記第１記憶手段と前記第２記憶手段とを同一の記憶手段により構成することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の表面粗さデータ解析システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ギヤ（被測定物）などの表面粗さの解析データを出力する表面粗さデータ解析システムに関する。具体的には、被測定物の表面形状に従って変位する触針の変位量をグラフ化して印刷された表面粗さ測定データ紙を用いて、被測定物の表面粗さの解析データを出力する表面粗さデータ解析システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図７に示すような表面粗さ測定装置１００を用いて被測定物（ワーク）の表面粗さを測定し、その測定データに基づいて表面粗さを評価していた。
【０００３】
すなわち、この表面粗さ測定装置１００は、ベース１０１に立設されたコラム１０２に送り装置１０３が設けられ、送り装置１０３には、触針１０５と、触針１０５のＺ方向（鉛直方向）の変位を検出する検出器１０４とが、Ｘ方向（水平方向）移動自在に設けられている。
【０００４】
また、送り装置１０３には、検出器１０４のＸ方向の移動量を検出するスケールが内蔵され、これによって、ワークの測定位置（読取位置）に触針１０５を当接した状態で検出器１０４をＸ方向に移動させると、触針１０５のＺ方向の変位が検出器１０４で検出され、検出器１０４のＸ方向の移動量が送り装置１０３のスケールで検出されて、ワークの測定データが得られるものであった。
【０００５】
そして、表面粗さ測定装置１００により測定された測定結果から表面粗さの評価が行われていた。
【０００６】
表面粗さの評価を行った後は、表面粗さの測量データと評価すべき表面粗さに関する規格に適合しているかの解析結果（解析データ）がプリンタ（図示略）から出力される。
【特許文献１】特開平１０−１３２５５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の表面粗さ測定装置では、評価すべき表面粗さに関する規格に適合するかを解析することができるが、その表面粗さに関する規格以外の他の表面粗さに関する規格に適合するかを評価しようとすると、その表面粗さに関する規格に適合するかの評価試験を最初から行う必要があった。また、その評価試験を行うためには、その表面粗さに関する規格専用の表面粗さ測定装置が必要であった。すなわち、表面粗さ測定装置には、評価可能な表面粗さに関する規格があらかじめ定められており、その規格以外の表面粗さに関する規格についての評価試験を行おうとすると、その表面粗さに関する規格専用の表面粗さ測定装置が必要であった。
【０００８】
さらに、表面粗さ測定装置は非常に高価な装置であることから、表面粗さに関する規格が変更されるごとに表面粗さ測定装置を購入することが事実上困難であり、実際、その表面粗さ測定装置を所有するところに行って評価試験を行っていた。
【０００９】
本発明は、あるワークについて過去に行った表面粗さに関する規格と異なった表面粗さに関する規格に適合するかの評価を行う場合に、その規格に適合するかの評価を簡単な方法により行うことができる表面粗さデータ解析システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記課題を解決するために、被測定物の表面形状に従って変位する触針の変位量をグラフ化して印刷された表面粗さ測定データ紙を用いて、被測定物の表面粗さの解析データを出力する表面粗さデータ解析システムにおいて、表面粗さ測定データ紙に印刷された触針の変化量のグラフを読み取る読取手段と、読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフを測定データとして記憶する第１記憶手段と、第１記憶手段に記憶された測定データを所定の数値データに変換する数値データ変換手段と、数値データ変換手段により変換された数値データから表面粗さの解析データを算出する算出手段と、算出手段により算出された解析データを記憶する第２記憶手段と、第２記憶手段に記憶されている解析データを出力する出力手段と、を有する。
【００１１】
さらに、読取手段は、イメージスキャナ、またはＣＣＤカメラである。
【００１２】
また、第１記憶手段は、読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフを記憶するコンピュータ読取可能な記録媒体である。
【００１３】
さらに、第１記憶手段と第２記憶手段とを同一の記憶手段により構成する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る表面粗さデータ解析システムによれば、表面粗さ測定データ紙に印刷された触針の変化量のグラフを読み取る読取手段と、読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフを測定データとして記憶する第１記憶手段と、第１記憶手段に記憶された測定データを所定の数値データに変換する数値データ変換手段と、数値データ変換手段により変換された数値データから表面粗さの解析データを算出する算出手段と、算出手段により算出された解析データを記憶する第２記憶手段と、第２記憶手段に記憶されている解析データを出力する出力手段と、を有するので、過去に行った評価試験と異なる表面粗さに関する規格の評価試験を行う場合でも、新たにその表面粗さに関する規格に適合するかの評価試験を行う必要がなく、過去に行われた評価試験の結果出力された表面粗さ測定データ紙を用いることにより、その表面粗さに関する規格に適合するかを判断することができる。
【００１５】
これにより、表面粗さの評価を行う際の費用的および時間的負担を軽減することができる。
【００１６】
さらに、読取手段として、イメージスキャナ、またはＣＣＤカメラを用いているので、特別な装置を必要とせず、簡単に表面粗さ測定データ紙に印刷された触針の変化量のグラフを読み取ることができる。
【００１７】
また、第１の記憶手段として、読取手段により読み取られた触針の変化量のグラフをコンピュータ読取可能な記録媒体に記憶するので、表面粗さ測定データ紙の測定値データを読み取る場所と異なる場所で、その測定値データを数値データに変換し、表面粗さの解析データを算出することができ、作業効率を高めることができる。
【００１８】
また、第１の記憶手段と第２の記憶手段とを同一の記憶手段により構成することにより、表面粗さデータ解析システムの構成の簡素化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の一実施形態を図面を参照にしながら説明する。
【００２０】
まず最初に、図１を用いてギヤ等の被測定物（以下「ワーク」という）の表面粗さの測定方法について説明する。図１は、本発明の一実施形態における表面粗さ測定装置の斜視図である。
【００２１】
図１に示すように、表面粗さ測定装置１は、測定器２と、マイコン本体３と、キーボード４と、マウス５と、ディプレイ６と、プリンタ７とから構成されている。
【００２２】
測定器２は、ワークの表面粗さを測定するものである。ワークの表面粗さは、ワークを測定台８の上に載置し、ピックアップ９により測定される。このピックアップ９は、後述する駆動部１０のホルダに支持されている。
【００２３】
駆動部１０は、測定台８に立設されたコラム１４に取り付けられており、ＣＰＵ（図示略）からの指示に従ってモータ（図示略）が駆動されることにより、駆動部１０全体がコラム１４に沿って上下方向（Ｚ方向）に駆動され、また、ホルダ１１が左右方向（Ｘ方向）に移動される。
【００２４】
ピックアップ９には、その先端に触針１２が設けられており、その触針１２をワークに沿ってＸ方向に移動させることにより、その触針１２がＺ方向に変位する。そして、その触針１２の変位量を求めることにより、ワークの表面粗さを測定することができる。
【００２５】
具体的には、その触針１２の変位量が駆動部１０に内臓されている差動トランスにより電圧に変換され、この電圧値がＡ／Ｄ変換器によってＡ／Ｄ変換される。そのＡ／Ｄ変換された触針１２の変位量はマイコン本体３のＣＰＵに出力され、マイコン本体３に備えられている記憶装置（図示略）に記憶される。そして、記憶装置に記憶されたワークの表面粗さを示す測定データから表面粗さ曲線（触針の変位量をグラフ化した曲線）などの測量データを求めることができる。
【００２６】
そして、この表面粗さ曲線などの測量データを使用して、そのワークが評価すべき表面粗さの規格に適合しているかの解析が行われる。
【００２７】
表面粗さの評価試験後には、表面粗さ曲線などの測量データと解析結果（解析データ）などがプリンタ７から出力される。
【００２８】
図２は、プリンタから出力された表面粗さ曲線を示す図である。
【００２９】
この表面粗さ曲線は、ワークの表面形状に従って変位する触針の変位量をグラフ化したものであり、後述する表面粗さ測定データ紙に印刷されている。
【００３０】
図２に示す表面粗さ曲線は、横軸がワークの読取位置を示し、縦軸が触針１２の変位量を示している。
【００３１】
読取位置０は、触針１２の変位量の読取開始位置である。この読取位置が０の位置からスタートし、凹部があれば、触針１２の変位量がマイナス方向（紙面下方向）にふれることとなり、逆に、凸部があれば、触針１２の変位量がプラス方向（紙面上方向）にふれることとなる。
【００３２】
なお、図２では、触針１２の変位量のマイナス方向の最大値を、触針１２の変位量（０．０μｍ）としている。
【００３３】
次に、本発明の表面粗さデータ解析システムの構成について説明する。
【００３４】
図３は、本発明の一実施形態における表面粗さデータ解析システムの構成図である。
【００３５】
図３に示す表面粗さ測定データ紙１５には、ワークの表面形状に従って変位する触針の変位量をグラフ化した表面粗さ曲線が印刷されている。
【００３６】
イメージスキャナ１６０は、スキャン動作によって表面粗さ測定データ紙に印刷された表面粗さ曲線などを電気的イメージ（画像）に変換する装置であり、これにより、表面粗さ測定データ紙１５に印刷された表面粗さ曲線を読み取ることができる。
【００３７】
このイメージスキャナ１６０で読み取られた表面粗さ曲線に関するデータ（表面粗さ曲線などのデータ）は、イメージスキャナ１６０と有線により結ばれているパソコン１６５のマイクロコンピュータ１７２に送信される。
【００３８】
マイクロコンピュータ１７２は、プログラムに従って制御動作を行うＣＰＵ１７４と、プログラム等を記憶するＲＯＭ１７３と、ワークメモリとして使用されるＲＡＭ１７１と、Ｉ／Ｏポート１７５とを有している。
【００３９】
イメージスキャナ１６０から送信された表面粗さ曲線に関するデータ（以下「表面粗さ曲線データ」という）は、パソコン１６５に備えられたＲＡＭ１７１に記憶される。  
【００４０】
なお、本実施形態では、イメージスキャナ１６０とマイクロコンピュータ１７２を備えるパソコン１６５とを有線により結ばれているとしたが、無線によりイメージスキャナ１６０からマイクロコンピュ−タ１７２に表面粗さ曲線データを送信してもよい。
【００４１】
プリンタ１７６は、後述する物理量Ｒｋなどの表面粗さの解析データなどを出力するものである。
【００４２】
次に、本発明の表面粗さデータ解析システムの処理フローについて、図４および図５を用いて説明する。
【００４３】
図４は、本発明の一実施形態における表面粗さデータ解析システムよるデータ処理のフローチャートを示す図である。図５（ａ）は、図２に示す表面粗さ曲線を、ワークの読取位置０．１（ステップ）ごとに読み取った触針の変位量を示す触針の変位量表を示す図である。図５（ｂ）は、図５(ａ)の触針の変位量の最大値、最小値、および平均値を示す図である。
【００４４】
図４に示すフローチャートは、過去に行った表面粗さの評価試験の結果、図１に示すプリンタ７から出力された表面粗さ測定データ紙１５（表面粗さ曲線などが印刷された用紙）を用いて、過去に行った表面粗さに関する規格と異なる規格の表面粗さに関する規格に適合するかを評価するときの処理フローを説明するものである。
【００４５】
作業者は、過去に行った表面粗さの評価試験と異なる規格の表面粗さに関する規格の評価試験を行う際に、新たに表面粗さ測定装置１を用いて表面粗さの評価試験を行うのでなく、過去に行った評価試験の結果出力された表面粗さ測定データ紙１５を用いて、過去に行った表面粗さの評価試験と異なる規格の表面粗さに関する規格に適合するかの評価を行う。
【００４６】
なお、本実施形態では、過去に行った表面粗さに関する規格と異なる表面粗さに関する規格に適合しているかの評価として、後述する物理量Ｒｋを求めて、表面粗さに関する規格に適合しているかの評価を行うものであるが、これに限らず、表面粗さ測定データ紙１５が出力された際に行われた表面粗さに関する規格と異なる表面粗さに関する規格に適合するかの評価であればその表面粗さに関する規格の種類は問わない。
【００４７】
まず、Ｓ１において、作業者は、読取手段であるイメージスキャナ１６０により、この表面粗さ測定データ紙に印刷されている表面粗さ曲線（グラフ）などが読み取られる。
【００４８】
この表面粗さ曲線などを読み取るのは、過去に行った表面粗さの評価試験の結果求められた表面粗さ曲線などを用いて、その表面粗さの評価試験が行われたワークについて過去に行った規格と異なった表面粗さに関する規格に適合するかの評価を行うためである。
【００４９】
このイメージスキャナ１６０で読み取られた表面粗さ曲線データなどは、有線または無線によりパソコン１６５に送信される。
【００５０】
Ｓ２において、イメージスキャナ１６０から送信された表面粗さ曲線データは、パソコン１６５に備えられた第１記憶手段であるＲＡＭ１７１に記憶される。
【００５１】
次に、Ｓ３において、後述するように、数値データ変換手段の機能を有するＣＰＵ１７４により、第１記憶手段に記憶された表面粗さ曲線データが所定の数値データに変換される。
【００５２】
具体的には、以下に示す方法により、第１記憶手段に記憶された表面粗さデータが所定の数値データに変換される。
【００５３】
まず、第１記憶手段に記憶されている表面粗さ曲線データ、すなわち図２に示す表面粗さ測定データ紙に印刷されている表面粗さ曲線（グラフ）を用いて、一定間隔ごとのワークの読取位置（横軸）についての触針の変位量（縦軸）を求める。
【００５４】
この求められた一定間隔ごとのワークの読取位置（横軸）についての触針の変位量を図５（ａ）に示す。図５（ａ）は、図２に示す表面粗さ曲線を、ワークの読取位置０．１（ステップ）ごと読み取った触針の変位量を示している。
【００５５】
次に、Ｓ４において、算出手段の機能を有するＣＰＵ１７４により、数値データ変換手段により変換された数値データから表面粗さの解析データが算出される。
【００５６】
この表面粗さの解析データは、ワークの表面粗さが評価すべき表面粗さの規格に適合するか判断するための数値データである。作業者は、この解析データを用いて、表面粗さに関する規格に適合しているかを判断する。
【００５７】
次に、算出手段により算出される表面粗さの解析データの算出方法について説明する。
【００５８】
まず最初に、図５（ａ）に示す触針の変位量表の触針の変位量の値の最大値を求める。この触針の変位量の最大値を図５（ｂ）に示す。そして、図５（ａ）に示す触針の変位量表の各読取位置について、その読取位置の触針の変位量と触針の変位量の最大値（２１．１μｍ）との変位差（触針の変位量の最大値−触針の変位量）を求める（図５参照）。この変位差（最大変位量差）を図５（ａ）に示す。
【００５９】
次に、それぞれ最大変位量差に基づいて、その最大変位量差の最大値に対する最大変位量差の割合（（最大変位量差／最大変位量差の最大値）×１００（％））を求める。
【００６０】
そして、それぞれ求められた最大変位量差の最大値に対する最大変位量差の割合（以下「最大変位量差割合」という）について、所定の最大変位量差割合（たとえば、５％）ごとにそれぞれ区分して、それぞれの区分に属する最大変位量差割合の個数（区分別個数）を集計する。
【００６１】
そして、その集計された区分別個数の最大値を求め、その区分別個数の最大値に対する各区分別個数の割合（（区分別個数／区分別個数の最大値）×１００）を求める（区分別個数割合）。
【００６２】
上記で求められた各区分された最大変位量差割合ごとの区分別個数割合をグラフ化すれば図６に示す負荷曲線が得られる。図６は、物理量Ｒｋを得るための説明図である。  
【００６３】
なお、図６に示す負荷曲線は、各区分された最大変位量差割合ごとの区分別個数割合をグラフ化した後、フィルタ処理をしている。
【００６４】
次に、この負荷曲線を用いて物理量Ｒｋを求める。
【００６５】
この物理量Ｒｋは、表面粗さに関する規格に適合するかの評価を行う際の指標となるもので、作業者は、この物理量Ｒｋをもとに表面粗さに関する基準に適合しているかを判断する。この場合の物理量Ｒｋは、
物理量Ｒｋ  ＝  最大変位量差の最大値×負荷率−補正傾き
の式により求めることができる。
【００６６】
まず、物理量Ｒｋを求めるために負荷率を求める。この負荷率は、表面粗さの粗さ度合いを示すものであり、負荷率が小さいほうが、全体的に表面粗さの度合いが小さくなる。
【００６７】
負荷率は、後述する等価曲線から求めることができる。まず最初に、その等価直線の求め方について説明する。この等価曲線は、負荷曲線について４０％長等価直線を引くことにより求めることができる。図６にその等価直線を示す。図６では、最大変位量差割合が０％〜４０％までの４０％長等価直線を引くことにより等価直線を求めている。
【００６８】
そして、この等価直線の最大変位量差割合０％での値と１００％での値の差を求めることにより、負荷率を求めることができる。すなわち、負荷率は、等価曲線について、最大変位差割合０％の値−最大変位差割合１００％の値、を算出することにより求めることができる。本実施形態では、負荷率は８％と求められる（図６参照）。
【００６９】
次に、傾き補正を求める。この傾き補正は、ワークの勾配に関する触針１２の変位量を削除するためのものである。すなわち、ワークに勾配があれば、そのワークの勾配の分だけ触針１２が変化することから、触針１２の変位量は、表面粗さに関する変位量にワークの勾配に関する変位量を加えたものとなり、実際の表面粗さについての触針１２の変位量を正確に求めることができなくなる。
【００７０】
このことから、このワークの勾配に関する触針１２の変位量を、実施の触針１２の変位量から差し引くことにより、表面粗さに関する触針１２の変位量を正確に求めることができる。傾き補正は、次のように求めることができる。
【００７１】
すなわち、傾き補正を求めるためには、まず、図２に示す表面粗さ曲線を、位相補償フィルタでフィルタ処理を行い、そのフィルタ処理後の曲線を平均線Ａとして平均線Ａを算出する。次に、その算出された平均線Ａの下の部分を除去した表面粗さ曲線を求め、その求められた表面粗さ曲線を表面粗さ曲線Ｂとする。そして、その求められた表面粗さ曲線Ｂを位相補償フィルタでフィルタ処理を行い、そのフィルタ処理後の曲線を平均線Ｃして平均線Ｃを求める。最後に、表面粗さ曲線から平均線Ｃを差し引いて上面平準化粗さ曲線Ｄを算出する。この算出された上面平準化粗さ曲線Ｄを用いて、表面粗さの評価範囲の最初の値（本実施形態では０．０（ステップ）の値）と最後の値（本実施形態では９５．１（ステップ）の値）の上面平準化粗さ曲線の差（２０．４（０．０（ステップ）のとき）−２０．１（９５．１（ステップ）のとき））を算出することにより、傾き補正（０．３）を求めることができる（図省略）。
【００７２】
そして、最大変位量差の最大値は、図５（ｂ）に示すように２１．１（μｍ）であることから、物理量Ｒｋは、２１．１×０．０８−０．０３（最大変位量差の最大値×負荷率−補正傾き）の式により、物理量Ｒｋ＝１．３９と求めることができる。
【００７３】
この物理量Ｒｋがワークの表面粗さの解析データであり、作業者は、この物理量Ｒｋをもとに、表面粗さに関する評価を行う。すなわち、物理量Ｒｋが表面粗さの基準である所定値以下であれば、そのワークについての表面粗さ試験が合格ということになる。
【００７４】
次に、Ｓ５において、上述した算出手段により求められえた解析データである物理量Ｒｋをパソコン１６５に備えられた第２記憶手段の機能をも有するＲＡＭ１７１に記憶する。  
【００７５】
なお、本実施形態では、第１記憶手段と第２記憶手段をともにＲＡＭ１７１として説明したが、これに限らず、第２記憶手段を第１記憶手段であるＲＡＭ１７１が設けられているパソコン１６５内において第１記憶手段と別個に設けてもよい。
【００７６】
次に、Ｓ６において、ＲＡＭ１７１に記憶された物理量Ｒｋと  表面粗さ曲線などの測量データが出力手段であるプリンタ１７６から出力される。
【００７７】
これにより、過去に行った表面粗さの評価試験の結果出力された表面粗さ測定データ紙を所持している場合には、過去に行った表面粗さの評価試験とは異なる表面粗さに関する規格の評価試験を行うときでも、新たにその表面粗さに関する規格に沿った評価試験を行う必要がなく、過去に行った評価試験の結果出力された表面粗さ測定データ紙１５を用いて、その表面粗さに関する規格の評価を行うことができる。
【００７８】
これにより、表面粗さの評価に要する費用的また時間的負担などが軽減できるとともに、過去に行った表面粗さ測定データ紙があれば、場所を選ばずその表面粗さに関する規格の評価を行うことができるので、作業効率もよくなる。
【００７９】
以下、本発明の変形例について説明する。
【００８０】
（１）本実施形態では、第１記憶手段と第２記憶手段をともにＲＡＭ１７１として説明したが、これに限らず第２記憶手段を第１記憶手段であるＲＡＭ１７１が設けられているパソコン１６５と別個のパソコン（図示略）内に設けるようにしてもよい。
【００８１】
この場合、数値データ変換手段による数値データの変換、算出手段による解析データの算出も、第１の記憶手段に測量データを記憶したパソコンと異なるパソコンにより行われる。
【００８２】
（２）本実施形態では、読取手段として、イメージスキャナ１６０を用いて表面粗さ測定データ紙１５に印刷された表面粗さ曲線を読み取るようにしたが、これに限らず、ＣＣＤカメラにより、表面粗さ測定データ紙１５に印刷された表面粗さ曲線を読み取るようにしてもよい。
【００８３】
この場合、ＣＣＤカメラで読み取られた表面粗さ曲線に関するデータ（表面粗さ曲線などのデータ）は、ＣＣＤカメラと有線又は無線により結ばれているパソコン１６５のマイクロコンピュータ１７２に送信される。その後、イメージスキャナ１６０で読み取られた表面粗さ曲線に関するデータと同様の処理が行われる。
【００８４】
（３）本実施形態では、第１記憶手段として、パソコン１６５に備えられたマイクロコンピュータ１７２のＲＡＭ１７１を用いて説明したが、これに限らず、イメージスキャナ１６０またはＣＣＤカメラからパソコン１６５に送信された表面粗さ曲線データを記憶するコンピュータ読取可能な記録媒体を第１記憶手段としてもよい。
【００８５】
このように、表面粗さ曲線データを記憶するコンピュータ読取可能な記録媒体を用いることにより、作業者は、場所を選ばず表面粗さの解析データを得ることができる。すなわち、作業者は、その記録媒体を使用して、他のパソコンにより、数値データ変換手段による数値データの変換、算出手段による解析データの算出などを行うことができ、表面粗さの評価についての作業効率が向上する。
【００８６】
なお、このコンピュータ読取可能な記録媒体として、具体的には、パソコン１６５のＣＤＲＯＭ読出実体に挿入可能なＣＤＲＯＭ、パソコン１６５のＤＶＤ読出実体に挿入可能なデジタルビデオディスク（ＤＶＤ）、またはパソコン１６５のフロッピー（登録商標）ディスク読取装置に挿入可能なフロッピー（登録商標）ディスクなどが用いられる。
【００８７】
（４）本実施形態では、解析データとして、物理量Ｒｋを用いたが、これに限らず、表面粗さに関する規格に適合するかの解析を行った結果のデータであれば、物理量Ｒｋに限定されるものではない。
【００８８】
（５）本実施形態では、被測定物の表面形状に従って変位する触針の変位量をグラフ化して印刷された表面粗さ測定データ紙を用いて、被測定物の表面粗さの解析データを出力するものであったが、これに限らず、被測定物の表面形状に従って変位する触針の変位量をグラフ化した表面粗さ測定データが掲載された出版物を用いて、その出版物に掲載された表面粗さ測定データから、被測定物の表面粗さの解析データを出力してもよい。
【００８９】
この場合、読取手段により、出版物に掲載された触針の変化量のグラフを読み取ることとなり、その他は本実施形態と同様である。
【００９０】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の一実施形態における表面粗さ測定装置の斜視図である。
【図２】プリンタから出力された表面粗さ曲線を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態における表面粗さデータ解析システムの構成図である。
【図４】本発明の一実施形態における表面粗さデータ解析システムよるデータ処理のフローチャートを示す図である。
【図５】（ａ）は、図２に示す表面粗さ曲線を、ワークの読取位置０．１（ステップ）ごと読み取った触針の変位量を示す触針の変位量表を示す図である。（ｂ）は、触針の変位量の最大値、最小値、および平均値を示す図である。
【図６】物理量Ｒｋを得るための説明図である。
【図７】従来の表面粗さ測定装置の側面図である。
【符号の説明】
【００９２】
１  表面粗さ測定装置、２  測定器、３  マイコン本体、４  キーボード、６  ディプレイ、７  プリンタ、１２  触針、１５  表面粗さ測定データ紙、１６０  イメージスキャナ、１６５  パソコン、１７１  ＲＡＭ、１７２  マイクロコンピュータ、１７４  ＣＰＵ、１７６  プリンタ。
【図１】
2006214801.tif 000003
【図２】
2006214801.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006214801.tif 000006
【図５】
2006214801.tif 000007
【図６】
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【図７】
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