(57)【要約】【課題】  液晶パネルの加熱を迅速にかつ均一に行うことができ、もって液晶パネル処理の省エネルギー化を実現できる液晶パネル処理装置を提供する。【解決手段】  本発明の液晶パネル処理装置は、減圧加熱処理によって液晶パネルを分解処理する液晶パネル処理装置であり、内部に液晶パネル１０を収容するチャンバー２０と、該チャンバー内部の液晶パネル１０を加熱する加熱手段２１と、前記チャンバー内部を減圧する排気手段とを具備し、前記加熱手段２１が、前記液晶パネル１０に対し光照射を行うランプヒータ２１ａであることを特徴としている。【選択図】        図２
2006163220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧加熱処理によって液晶パネルを分解処理する液晶パネル処理装置であって、
内部に液晶パネルを収容する処理容器と、該処理容器内部の液晶パネルを加熱する加熱手段と、前記処理容器内部を減圧する排気手段とを具備し、
前記加熱手段が、前記液晶パネルに対し光照射を行う光加熱手段であることを特徴とする液晶パネル処理装置。
【請求項２】
前記光加熱手段が、赤外ヒータ及び／又はハロゲンヒータであることを特徴とする請求項１に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項３】
前記処理容器内に、前記液晶パネルの温度を測定する測温手段が設けられ、該測温手段から出力される温度情報に基づき前記光加熱手段の出力を調整な制御手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項４】
複数の前記光加熱手段が、前記処理容器内に配置された液晶パネルを挟んで両側に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項５】
前記処理容器内に、複数の液晶パネルがそれらの板厚方向に配列されて収容され、前記複数の光加熱手段が、前記液晶パネルの側端面と略正対する位置に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項６】
複数の前記光加熱手段が、前記処理容器内に配置された液晶パネルを厚さ方向及び端面方向から取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項４に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項７】
前記複数の光加熱手段が、複数種の光源を備えていることを特徴とする請求項４から６のいずれか１項に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項８】
前記処理容器の内壁面に複数の前記光加熱手段が配設されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項９】
前記処理容器内に収容した液晶パネルを支持するパネル支持手段を備え、
前記パネル支持手段の前記液晶パネル側に、前記光加熱手段が配設されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項１０】
前記パネル支持手段に、前記液晶パネルに対し熱を供給する熱伝導手段が設けられていることを特徴とする請求項９に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項１１】
前記パネル支持手段に、前記光加熱手段から照射された光を吸収するとともに、該光を熱に変換して前記液晶パネルに供給する光吸収手段が設けられていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項１２】
前記パネル支持手段の前記液晶パネル側に、前記光加熱手段から照射された光を反射させる光反射手段が設けられていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項１３】
前記光加熱手段から出力される光の波長が、前記液晶パネルのシール材又は封止材の光吸収波長と略一致していることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の液晶パネル処理装置。
【請求項１４】
減圧加熱処理により液晶パネルの分解処理を行うに際して、
減圧状態の処理容器内に収容した前記液晶パネルを、光加熱手段から照射した光により加熱し、該液晶パネルから液晶を蒸散させることを特徴とする液晶パネル処理方法。
【請求項１５】
前記光加熱手段から出力される光を、前記液晶パネルの側端面に照射することを特徴とする請求項１４に記載の液晶パネル処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル処理装置及び液晶パネル処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、一般廃棄物や産業廃棄物の量が増加の一途を辿っており、廃棄量の増加の抑制や、廃棄物による環境の悪化を抑制するための無害化に対する要請が高まっている。
例えば、家電製品や情報機器等の表示部に用いられている液晶パネルは、省電力、省スペースという利点から今後も急速に使用量が増大することが予想され、それに伴う廃棄量の増大を抑えるためのリサイクル技術の確立は非常に重要である。
【０００３】
液晶パネルは、一般的には、２枚のガラス基板を、それらの間に枠状のシール材を介在させて貼り合わせ、前記シール材の内側に液晶を封入した構成を備えている。ガラス基板の内側（液晶側）には、ＩＴＯ等の透光性導電材料からなる電極や、着色した樹脂材料からなるカラーフィルタが設けられており、ガラス基板の間に封入された液晶は、有機物を主成分とするものである。一方、ガラス基板の外側には、樹脂フィルムからなる偏光板や位相差板が設けられている。
【０００４】
上述した構成を備える液晶パネルからガラスや希少金属を回収する方法や回収装置の提案が既に成されている。例えば下記特許文献１に記載の技術は、液晶パネルを破砕しないで反応炉に配置し、反応炉内を減圧状態にして加熱することで、液晶パネルを構成する有機物（液晶、カラーフィルタ、偏光板等）を蒸発ないし炭化させることでガラス基板を回収するものである。
【特許文献１】特開２００４−２３０２２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１に記載の技術を用いて液晶パネルの処理を行う場合、液晶パネルの液晶はシール材によって封止された状態であるから、ガラス基板と液晶とを分離するには、加熱によってシール材又は封止材（シール材の開口部を封止する部材）を脆弱化させてパネル内部から液晶を蒸発させる必要がある。ところが、上記特許文献１に記載の技術を用いて液晶とガラス基板とを分離しようとすると、液晶パネルを減圧下で加熱する際に、処理容器内が真空状態であるため昇温しにくく、液晶パネルへの加温の効率が低くなるために処理時間が長くなるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、液晶パネルの加熱を迅速にかつ均一に行うことができ、もって液晶パネル処理の省エネルギー化を実現できる液晶パネル処理装置、及び液晶パネル処理方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために、減圧加熱処理によって液晶パネルを分解処理する液晶パネル処理装置であって、内部に液晶パネルを収容する処理容器と、該処理容器内部の液晶パネルを加熱する加熱手段と、前記処理容器内部を減圧する排気手段とを具備し、前記加熱手段が、前記液晶パネルに対し光照射を行う光加熱手段であることを特徴とする液晶パネル処理装置を提供する。
この構成によれば、液晶パネルを加熱する加熱手段として光加熱手段を用いるので、チャンバーの内壁部を加熱してその輻射熱によって液晶パネルを加熱する構成の液晶パネル処理装置に比して、高効率に液晶パネルを加熱することができ、液晶パネルを迅速に加熱することによる処理時間の短縮と、消費するエネルギーの削減を実現できる。これにより、処理量の増大と処理コストの低減を図ることができる。
【０００８】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記光加熱手段が、赤外ヒータ及び／又はハロゲンヒータであることが好ましい。
これらの光加熱手段を用いることで、高効率に液晶パネルを加熱可能な加熱手段を構成でき、また安価に液晶パネル処理装置を構成することが
できる。
【０００９】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記処理容器内に、前記液晶パネルの温度を測定する測温手段が設けられ、該測温手段から出力される温度情報に基づき前記光加熱手段の出力を調整可能な制御手段を有することが好ましい。
この構成によれば、前記光加熱手段による液晶パネルの過熱状況を監視しつつ液晶パネルの処理を行うことができるので、液晶パネルの過熱による液晶の変質等を防止でき、例えば液晶が変質して有害物質が発生することも防止できる。したがって、安全にかつ効率よく液晶パネルの処理を行うことができる処理装置を提供することができる。
【００１０】
本発明の液晶パネル処理装置では、複数の前記光加熱手段が、前記処理容器内に配置された液晶パネルを挟んで両側に配置されていることが好ましい。この構成によれば、液晶パネルを迅速にかつ均一に加熱可能な液晶パネル処理装置を提供することができる。
【００１１】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記処理容器内に、複数の液晶パネルがそれらの板厚方向に配列されて収容され、前記複数の光加熱手段が、前記液晶パネルの側端面と略正対する位置に配置されていることが好ましい。
この構成によれば、複数の液晶パネルを均一に加熱できる構成の液晶パネル処理装置が提供される。また、液晶パネルの側端面と光加熱手段とが対向配置されたものとなっているので、液晶パネルの側端面に配される封止材やシール材を効率的に加熱することができ、封止材やシール材の脆弱化による液晶のリーク路の形成を促進することができる。これにより、当該リーク路からの液晶の蒸散開始を早めることができるので、処理時間の短縮や消費エネルギーの節約に有効である。
【００１２】
本発明の液晶パネル処理装置では、複数の前記光加熱手段が、前記処理容器内に配置された液晶パネルを厚さ方向及び端面方向から取り囲むように配置されていることが好ましい。
この構成によれば、液晶パネルを迅速にかつ均一に加熱することができる液晶パネル処理装置が得られ、短い処理時間で、液晶パネルを均一に処理することが可能である。なお、前記端面方向は液晶パネルの側端面に対向する方向であるが、当該側端面に正対する位置に限定されるものではない。
【００１３】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記複数の光加熱手段が、複数種の光源を備えている構成とすることもできる。
この構成によれば、光源の変更によって、液晶パネルの構成や処理容器内でのパネルの支持姿勢に応じて適切な加熱状態を得ることができ、液晶パネルの処理の迅速化に寄与する。
【００１４】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記処理容器の内壁面に複数の前記光加熱手段が配設されていることが好ましい。
この構成によれば、処理容器内壁面に光加熱手段が設けられるので、処理容器の内部空間を有効に利用して液晶パネル処理装置を構成でき、例えば液晶パネルの処理可能枚数を増大させることができる。また、処理容器の内部空間に光加熱手段への配線を引き回す必要が無くなるので、前記配線が作業時の障害となることはなく、手作業にて液晶パネルの収容を行う場合にも高い作業効率を得ることができる。
【００１５】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記処理容器内に収容した液晶パネルを支持するパネル支持手段を備え、前記パネル支持手段の前記液晶パネル側に、前記光加熱手段が配設されている構成とすることもできる。
この構成によれば、パネル支持手段によって所定の姿勢で支持した液晶パネルに対して、当該液晶パネルを前記パネル支持手段とともに挟む位置に設けられた光加熱手段から光を照射するので、液晶パネルを一定の姿勢に保持した状態で加熱できる。したがって、液晶パネルの特定位置を優先的に加熱でき、液晶の蒸散を目的としてシール材や封止材を脆弱化させるための加熱を行う際にも都合がよい。
【００１６】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記パネル支持手段に、前記液晶パネルに対し熱を供給する熱伝導手段が設けられていることが好ましい。
前記パネル支持手段が伝熱性を有しているならば、他の熱源から供給される熱や、光加熱手段からパネル支持手段に照射された光を、かかるパネル支持手段を介して液晶パネルに伝導させることができる。したがって、装置内での加熱効率を高め、迅速な処理と処理コストの低減に寄与する。
【００１７】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記パネル支持手段に、前記光加熱手段から照射された光を吸収するとともに、該光を熱に変換して前記液晶パネルに供給する光吸収手段が設けられている構成とすることもできる。
この構成によれば、光加熱手段から放射されてパネル支持手段に入射した光を、高効率に熱に変換することができ、その熱をパネル支持手段を介して液晶パネルに伝導させることができる。これにより、光加熱手段の利用効率を高めるとともに、液晶パネルの加熱効率を高めることができる。
【００１８】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記パネル支持手段の前記液晶パネル側に、前記光加熱手段から照射された光を反射する光反射手段が設けられている構成とすることもできる。
この構成によれば、光加熱手段から放射されてパネル支持手段に入射した光を反射させ、前記液晶パネルに対して再度入射させることができ、光加熱手段の利用効率を高めることができる。
さらに、前記反射光をより効率よく液晶パネルに入射させるには、前記光反射手段が、光散乱機能また特定方向への光反射機能を具備していることが好ましい。このような構成とすることで、パネル支持手段で反射された光が直接に光加熱手段に戻ってしまうのを防止でき、光加熱手段から放射された光の利用効率を高めることができる。
【００１９】
本発明の液晶パネル処理装置では、前記光加熱手段から出力される光の波長が、前記液晶パネルのシール材又は封止材の光吸収波長と略一致していることが好ましい。
このような構成とすることで、液晶パネルのうち、シール材又は封止材を特に効果的に加熱することができ、これらシール材や封止材の脆弱化による液晶のリーク路の形成を促進させることができる。これにより、処理容器内への液晶の蒸散開始を早めることができ、処理時間の短縮と処理コストの低減に寄与する。
【００２０】
本発明の液晶パネル処理方法は、減圧加熱処理により液晶パネルの分解処理を行うに際して、減圧状態の処理容器内に収容した前記液晶パネルを、光加熱手段から照射した光により加熱し、該液晶パネルから液晶を蒸散させることを特徴とする。
この処理方法によれば、前記液晶パネルを光照射によって加熱するので、処理容器内部を加熱し、処理容器内壁からの輻射熱により液晶パネルを加熱する構成であった従来の液晶パネル処理方法に比して、液晶パネルの加熱効率を著しく向上させることができる。そして、液晶パネルが迅速に加熱される結果、処理時間の短縮と消費エネルギーの削減を実現することができる。
【００２１】
本発明の液晶パネル処理方法では、前記光加熱手段から出力される光を、前記液晶パネルの側端面に照射することが好ましい。
この処理方法によれば、液晶パネルの側端面に配される封止材やシール材を特に効果的に加熱することができ、これらシール材や封止材を脆弱化させて液晶のリーク路の形成を促進することができる。これにより、リーク路を介した液晶の蒸散開始を早めることができ、処理時間を短縮することができる。
【００２２】
本発明の液晶パネル処理方法は、前記液晶パネルに対して、該液晶パネルのシール材又は封止材の吸収波長と略一致する波長の光を照射することが好ましい。この処理方法によれば、さらに効果的にシール材や封止材を加熱することができるので、液晶の蒸散がさらに早まり、処理時間の短縮と消費エネルギーの低減に大いに寄与する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。
図１は、本発明に係る液晶パネル処理装置の一構成例を示す概略構成図である。図２は、液晶パネル処理装置の主要部たるチャンバーの断面構成図である。
【００２４】
図１に示す液晶パネル処理装置は、内部に液晶パネルを収容するチャンバー（処理容器）２０と、チャンバー２０内部を減圧可能に接続された減圧ポンプ（排気手段）２４と、チャンバー２０と減圧ポンプ２４との間に介挿され、チャンバー２０の排気から液晶を凝集、分離する凝集器２２と、凝集器２２にて分離された液晶を回収する回収装置２３と、減圧ポンプ２４からの排気を処理するガス処理装置２５とを備えている。チャンバー２０には、収容された液晶パネルを加熱する加熱装置（加熱手段）２１が設けられている。
【００２５】
チャンバー２０は、本実施形態の場合、図２に示すように、内部に密閉可能な空間を有する球状を成して構成されており、その内部空間２０ａに複数（図示では２枚）の液晶パネル１０を収容できるようになっている。そして、チャンバー２０の壁面に、複数のランプヒータ（光加熱手段）２１ａが配設され、各ランプヒータ２１ａの光照射方向は液晶パネル１０の配設位置側へ向けられている。また、チャンバー２０内には液晶パネル１０の温度を測定するための放射温度計（測温手段）２８が設けられており、チャンバー外に設けられた制御装置（制御手段）３８に接続されている。制御装置３８は、各ランプヒータ２１ａに接続されており、放射温度計２８を介して取得した温度情報に基づいて各ランプヒータ２１ａの出力を制御可能になっている。
【００２６】
ランプヒータ２１ａは、例えば赤外ランプやハロゲンランプにより構成することができ、図２に示すようにチャンバー２０内で液晶パネル１０を取り囲むように配置することが好ましい。液晶パネル１０に全方位から光を照射することで、液晶パネル１０を均一にかつ迅速に加熱することができ、減圧加熱処理を効率よく短時間に行えるようになる。また本実施形態のように球形状のチャンバーを用いれば、略球面状のチャンバー内壁面にランプヒータ２１ａを配設することで、各ランプヒータ２１ａを、液晶パネル１０から均等な距離で取り囲むように配置できるので、液晶パネル１０の形状や支持姿勢によらず均一に加熱することができる処理装置となる。
【００２７】
また、上記ランプヒータ２１ａの発光波長は、液晶パネル１０のシール材７や封止材７ｂの吸収波長と略同一の波長とすることが好ましい。このような発光波長のランプヒータを用いることで、液晶パネル１０のシール材や封止材を効果的に脆弱化させることができ、液晶の蒸散を促進することができる。また、液晶パネル１０を均一に加熱するべく、液晶パネル１０の配置形態に応じて異なる種類のランプヒータ２１ａをチャンバー２０内に配設してもよい。
【００２８】
減圧ポンプ２４は、チャンバー２０の内部空間２０ａを例えば０．０１〜１０ｋＰａ程度に減圧可能なポンプである。減圧ポンプ２４とチャンバー２０との間に配設された凝集器２２は、減圧加熱処理により液晶パネル１０から蒸発した液晶のガスを冷却し、液化させて排気から分離するものである。凝集器２２で分離された液晶は回収装置２３に送られ、リサイクルするために回収される。あるいは回収装置２３は、液晶を分解して低分子化したり、無害化する分解装置であってもよい。ガス処理装置２５は、液晶を分離した後の排気を清浄化する装置であり、例えば活性炭フィルタ等を用いて排気に含まれる有機物のガス等を吸着除去するものを適用できる。
【００２９】
本実施形態の液晶処理装置による減圧加熱処理に供される液晶パネル１０は、液晶パネルの製造工場より排出されたり、市場において使用済みとなった表示装置等から取り出されたものである。
ここで、図３は、液晶パネル１０の平面構成図であり、図４は、図３のＡ−Ａ線に沿う断面構成図である。本実施形態では液晶パネル１０としてパッシブマトリクス型のものを例示して説明するが、液晶パネル処理装置を用いて処理できる液晶パネルの種類は、パッシブマトリクス型に限られず、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）が基板上に形成されたアクティブマトリクス型のパネルであってもよい。また、基板内面にアルミニウムや銀等からなる反射膜が形成された反射型や半透過反射型の液晶パネルであってもよい。
【００３０】
液晶パネル１０は、図３及び図４に示すように、シール材７を介して所定間隔に対向配置された２枚のガラス基板１１，１２を備え、ガラス基板１１，１２とシール材７とに囲まれる領域に注入された液晶をシール材７の開口部に設けられた封止材７ｂによって封止したものとなっている。なお、図３には封止材７ｂを有する液晶パネル１０を示しているが、シール材に開口部が設けられていない、いわゆる封口レスタイプの液晶パネルであっても、本発明に係る処理装置は問題なく処理することが可能である。
【００３１】
図４に示す断面構造をみると、液晶パネル１０を構成するガラス基板１１，１２は、それらの間に分散配置されたスペーサ３４により所定間隔に離間され、基板端部に設けられたシール材７によって貼り合わされており、ガラス基板１１，１２とシール材７とに囲まれた空間に液晶３５が封入されている。各ガラス基板１１，１２の外面側には、それぞれ粘着材を介して偏光板や位相差板等の光学素子３１，３２が設けられている。
【００３２】
ガラス基板１１の内面側（液晶側）には、カラーフィルタ１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが配列形成されており、これらのカラーフィルタの間には遮光膜（ブラックマトリクス）１６が形成されている。カラーフィルタ１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂを覆って樹脂材料等からなる平坦化膜１３が形成され、平坦化膜１３上にＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等の透光性導電材料かからなる平面視略ストライプ状の電極パターン４０と、ポリイミド等からなる配向膜２１とが順に形成されている。
【００３３】
ガラス基板１２の内面側には、平面視略ストライプ状を成して前記電極パターン４０と交差する方向に延びる電極パターン５０が形成されており、電極パターン５０上に、樹脂材料等からなるオーバーコート膜２９と、ポリイミド等からなる配向膜２２とが順に形成されている。
【００３４】
上記構成の液晶パネル処理装置を用いて液晶パネル１０の減圧加熱処理を行うには、図１及び図２に示したように、チャンバー２０内に液晶パネル１０を配置した後、チャンバー２０を密閉して光加熱手段２１ａ及び減圧ポンプ２２を動作させ、内部空間２０ａを所定の圧力（０．０１〜１０ｋＰａ）と温度（例えば液晶の蒸発温度である１５０℃程度）に保持する。このとき、本実施形態の処理装置では、チャンバー２０内には放射温度計２８が配設され、かかる放射温度計を介して得られた温度情報に基づき制御装置３８によって各ランプヒータ２１ａの出力が制御されるようになっているので、液晶パネル１０の加熱温度を正確に制御することができ、液晶パネルの加熱むら等が生じるのを極力抑えることができる。
【００３５】
すると、前記液晶パネル１０は、光加熱手段２１ａから照射される赤外線等により加熱され、特にガラス基板１１，１２に比して光を吸収しやすいシール材７及び封止材７ｂが加熱される。その結果、これら封止材７ｂ及びシール材７が脆弱化し液晶のリーク路が形成される。すると、封止された液晶は前記リーク路から内部空間２０ａ内に蒸発するようになり、液晶パネル１０から液晶を効率よく分離することができる。
一般的に、液晶パネル１０に封止されている液晶の蒸発温度は１５０℃程度であり、シール材７や封止材７ｂの分解温度は１８０℃程度であるので、封止材７ｂ又はシール材７を脆弱化する場合にはランプヒータ２１ａによる加熱温度を１８０℃程度として、前記封止材やシール材を脆弱化して液晶のリーク路を形成でき、かつ液晶の蒸発温度を大きく上回らないようにして、液晶の変質が生じないようにすることが好ましい。
【００３６】
その後、内部空間２０ａに蒸散された液晶は、チャンバー２０の内壁が加熱装置２１により液晶の気化温度に保持されていることから気体の状態で接続管２０ｂから減圧ポンプ２４側へ排出される。そして、凝集器２２により液化された液晶が回収装置２３へ回収され、液晶を除去された排ガスは、ガス処理装置２５を介して無害化された後排出される。
【００３７】
なお、上記液晶の分離回収を行った後、ランプヒータ２１ａの出力を上昇させて液晶パネル１０の温度をさらに上昇させ、シール材７や封止材７ｂ、ガラス基板１１，１２上に形成された各構成部材（光学素子３１，３２やカラーフィルタ等）を気化あるいは炭化させて、ガラス基板１１，１２から有機物の構成部材を除去することもできる。このようにして有機物を処理した後のガラス基板１１，１２は、チャンバー２０から取り出した後、基板上に残る有機物の灰や金属類（反射膜や配線等）を溶解除去することでリサイクル品として回収することができる。
【００３８】
本実施形態の液晶パネル処理装置では、図２に示したように、液晶パネル１０を取り囲んで配置した複数のランプヒータ２１ａによって液晶パネル１０を加熱するようになっている。これにより、液晶パネル１０に直接に熱線を照射して迅速に加熱でき、また液晶パネル１０を均一に加熱することができるようになっている。そして、ガラス基板１１，１２に比して光の吸収が良好な封止材７ｂ及びシール材７を効果的に加熱できることから、これら封止材７ｂ及びシール材７を効果的に脆弱化させ、液晶の蒸散を促進して迅速に液晶の分離を行えるようになっている。
【００３９】
このように、本実施形態の液晶パネル処理装置によれば、チャンバー２０の内部を加熱してその輻射熱により液晶パネル１０を加熱する場合に比して液晶パネル１０を指定温度まで昇温する時間を短縮することができ、処理時間を短縮して処理の効率化を実現できる。また加熱に要するエネルギーを節約でき、もって処理コストの低減を実現できる。
【００４０】
また本実施形態の液晶パネル処理装置によれば、液晶パネル１０を破砕せずにチャンバー内に配置し、密閉された内部空間２０ａ内で液晶を分離できるので、安全に液晶パネルの処理を行うことができる。また、チャンバー２０内壁の加熱温度を液晶の蒸発温度程度にまで下げることができるので、液晶を変質させることなく回収することができ、液晶のリサイクルが容易になるとともに、液晶の変質による有害物質の発生を効果的に抑制でき、液晶処理を安全に行うことができる。
【００４１】
また本実施形態の液晶パネル処理装置によれば、液晶パネル１０の温度を監視しつつランプヒータ２１ａの出力を制御し、液晶パネル１０の温度を緻密に制御することができるので、過熱による液晶の変質を防止することもでき、液晶からの有害物質の発生を防止でき、またリサイクルが容易な形態で液晶を回収することも可能である。
【００４２】
上記実施形態では、チャンバー２０の内壁面に液晶パネル１０を取り囲む複数のランプヒータ２１ａを設けた構成について説明したが、本発明に係る液晶パネル処理装置では、図５に示す構成のチャンバー内部構成であってもよい。以下、図５を参照しつつ詳細に説明する。
なお、図５において図１から図４と共通の構成要素には、同一の符号を付してその説明を省略することとする。
【００４３】
図５は、チャンバー内部構成の他の形態を示す部分断面構成図である。同図に示す液晶パネル処理装置では、チャンバー２０の内部空間に、複数の液晶パネル１０を、その厚さ方向に所定間隔で配列して収容し、かかる液晶パネル１０を挟んで上下に、液晶パネル１０の側端部に対向するように略平面形状の発光面を向けたランプヒータ（光加熱手段）２１ｂ、２１ｃが配置されている。ランプヒータ２１ｂ、２１ｃとしては、例えば、基体上に複数の赤外ランプやハロゲンランプを配列したものや、これらのランプに用いられる発光体が面状に配置されたものを挙げることができる。
また、液晶パネル１０の配列方向（図示左右方向）の延長上に位置するチャンバー内壁面に、複数（図示では６個）のランプヒータ２１ａが配設されている。したがって、本実施形態の液晶パネル処理装置でも、チャンバー２０内に収容された液晶パネル１０をほぼ取り囲むようにランプヒータ２１ａ、２１ｂ、２１ｃが配置されている。
【００４４】
ランプヒータ２１ｂ、２１ｃは、所定間隔で配列支持された複数の液晶パネル１０の側端部に跨る発光領域を有しており、液晶パネル１０の近傍から、これらを挟み込むようにして加熱を行うことで、液晶パネル１０を迅速に加熱できるようになっている。
また、配列方向で最外端に配置された液晶パネル１０については、チャンバー内壁面に配置されたランプヒータ２１ａによって加熱でき、それらの内側に配列された液晶パネル１０については、２個のランプヒータ２１ｂ、２１ｃに挟まれて加熱されることで温度が上昇しやすくなることから、複数の液晶パネル１０の全体について均一な加熱が可能である。
【００４５】
さらに、ランプヒータ２１ｂ、２１ｃは、液晶パネル１０の側端部に対向するように配置されていることから、これらのランプヒータ２１ｂ、２１ｃによって液晶パネルのシール材や封止材を効果的に加熱することができ、シール材や封止材を効果的に脆弱化させてチャンバー内部空間２０ａへの液晶の蒸散を促進させ、迅速に液晶の分離を行うことができる。
【００４６】
このように本実施形態のように面状の発光領域を具備したランプヒータ２１ｂ、２１ｃを用いるならば、複数の液晶パネル１０を一括して均一に加熱することができ、高効率に液晶パネルの処理を行うことができる液晶パネル処理装置を提供することができる。
なお、一括処理に供される液晶パネル１０は、チャンバー２０に収容するに際して、図５に示すように所定の間隔を空けて配置することが好ましい。液晶パネル１０間が狭すぎると、液晶パネルの中央部までランプヒータ２１ｂ、２１ｃの光が届きにくく、加熱効率が低下したり、加熱むらを生じるおそれがあるからである。
【００４７】
図５を示して説明した形態では、２個のランプヒータ２１ｂ、２１ｃによって液晶パネル１０を挟み込むようにして加熱する形態について説明したが、本発明に係る液晶パネル処理装置では、図６に示すさらに他の形態も適用可能である。以下、同図を参照しつつ説明する。
【００４８】
図６は、図５に示したランプヒータ２１ｂ、２１ｃに代えて適用可能な液晶パネル１０の加熱構造を示す図である。同図に示す形態では、複数の液晶パネル１０を、支持体（パネル支持手段）１７を用いて縦位置に支持するとともに、液晶パネル１０の図示上側（支持体１７と反対側）に配置したランプヒータ２１ｂによって液晶パネル１０の加熱を行うようになっている。
【００４９】
支持体１７は、例えば金属板の一面側に、液晶パネル１０を挿入可能なスリット（溝）１７ａを所定間隔で複数形成したものを用いることができる。支持体１７は、光吸収性ないし光反射性を具備したものとすることが好ましい。例えば表面を黒色に塗装することで光吸収性を付与されたものであれば、ランプヒータ２１ｂから照射された光を吸収して熱に変換し、自身が支持している液晶パネル１０に対して熱伝導による加熱を行うことができる。一方、表面の研磨や反射膜の形成により表面に光反射性を付与されたものであるならば、ランプヒータ２１ｂから照射された光を表面で反射し、その反射光を液晶パネル１０に照射することで液晶パネル１０を加熱することができる。また、支持体１７の表面に光反射性を付与されている場合、さらに係る表面に光散乱性が付与されていると、反射光を効率よく液晶パネル１０に入射させることができ、加熱効率を高めることができる。
【００５０】
上記支持体１７に液晶パネル１０を支持するに際しては、図３に示した封止材７ｂが配設されたパネル端縁部をスリット１７ａに挿入することでパネルを支持する構造、あるいは、ランプヒータ２１ｂと対向する位置に、封止材７ｂが配設された側端部を配置することが好ましい。すなわち、図示したパネル加熱構造のうち、加熱効率が比較的高くなる位置に封止材７ｂを配置することが好ましい。このような構成とすることで、封止材７ｂを迅速に加熱して脆弱化させることができ、液晶の蒸散開始を早めて効率的な処理が可能になる。
なお、上記支持体１７には、ヒータ線等の他の加熱手段を接続することもでき、かかる構成とすれば、ヒータ線等から供給される熱を液晶パネル１０に伝導させて加熱することができる。
【００５１】
このように、液晶パネル１０を支持体１７により支持する構造を採用するならば、係る支持体１７を介して液晶パネル１０を加熱することができ、高効率に液晶パネル１０の加熱を行えるとともに、液晶パネル１０の特定部位を局所的に加熱することもできるため、液晶パネル１０からの液晶の分離を迅速かつ高効率に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】実施形態に係る液晶パネル処理装置の概略構成図。
【図２】同、チャンバーの内部構成を示す断面構成図。
【図３】液晶パネルの平面構成図。
【図４】液晶パネルの部分断面構成図。
【図５】チャンバー内部構成の他の形態を示す部分断面構成図。
【図６】チャンバー内部構成のさらに他の例を示す側面構成図。
【符号の説明】
【００５３】
１０  液晶パネル、１７  支持部材（パネル支持手段／熱伝導手段）、１７ａ  スリット、２０  チャンバー（処理容器）、２０ａ  内部空間、２１  加熱装置（加熱手段）、２１ａ  ランプヒータ（光加熱手段）、２１ｂ  ランプヒータ（光加熱手段）、２２  凝集器、２３  回収装置、２４  減圧ポンプ（排気手段）、２５  ガス処理装置、３８  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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