(57)【要約】【課題】制御系を複雑化することなく、異なる２つの位置から操作を行うことができる基板処理装置を提供する。【解決手段】基板処理装置１は、清浄度の異なるエリアＡ１とエリアＡ２とにまたがって配置されている。基板処理装置１の操作パネル３０は、エリアＡ１とエリアＡ２の間を仕切るパーテーション９０に沿って設けられている。そして、操作パネル３０は、鉛直軸まわりに回転し、表裏を反転させることができる。このため、エリアＡ１とエリアＡ２の双方から、操作パネル３０を操作することができる。１つの操作パネル３０を反転して使用するので、複数の操作が同時に行われる心配もなく、複数の操作パネルを切り換えるための複雑な制御系も不要である。【選択図】図１
2006216894.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して所定の処理を行う基板処理装置であって、
装置本体部と、
前記装置本体部と別体に設けられた操作パネルと、
を備え、
前記操作パネルは、表裏を反転可能に構成されていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記装置本体部への基板の搬入および前記装置本体部からの基板の搬出を行う搬出入部と、
前記装置本体部内において基板の処理を行う処理部と、
をさらに備え、
前記操作パネルは、前記搬出入部と前記処理部とを隔てる境界面に沿って設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置であって、
前記操作パネルの周囲の隙間を封止する封止手段をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記操作パネルは、前記操作パネルの鉛直中心線まわりに回転することによって、表裏を反転することを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
パーテーションを介して仕切られた清浄度の異なる第１および第２のエリアにまたがって設置される基板処理装置であって、
前記第１のエリアに配置される搬出入部と、
前記第２のエリアに配置される処理部と、
作業者からの操作を受け付ける操作パネルと、
を備え、
前記操作パネルは、前記パーテーションに沿って設けられ、表裏を反転させることによって、前記第１のエリアから操作を受け付ける状態と、前記第２のエリアから操作を受け付ける状態とに、切り換え可能であることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板等の基板に対して処理を行う基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板の製造工程においては、基板に対して洗浄処理、レジスト塗布処理、現像処理、熱処理などの処理を行う基板処理装置が使用される。これらの基板処理装置装置では、基板を装置内部に搬入し、搬入した基板に対して所定の処理を行う。
【０００３】
このような基板処理装置は、内部に基板を収容して処理を行う処理部のほか、基板を搬出入するためのインデクサ部や、オペレータからの操作を受け付ける操作パネルなどを備える。オペレータは、インデクサ部へ基板をセットした後、操作パネルを操作して基板の処理を進行させる。
【０００４】
このような従来の基板処理装置の構成は、たとえば特許文献１に開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−４４３３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、基板の製造を行うクリーンルームでは、装置のメンテナンスを行うメンテナンスエリアと、装置間で基板を搬送する作業エリアとが、パーテーションを介して仕切られている場合がある。そして、１つの基板処理装置が、このような２つのエリアにまたがって配置される場合がある。
【０００７】
通常、メンテナンスエリアと作業エリアの清浄度は異なり、２つのエリアの間を自由に行き来することはできない。したがって、１つの基板処理装置に対して、いずれのエリアからも操作を行えることが望ましい。そのためには、メンテナンスエリアと作業エリアの双方に操作パネルを設けることが必要となる。
【０００８】
しかしながら、メンテナンスエリアと作業エリアの双方に操作パネルを設けると、これらの操作パネルを切り替えるための構成が必要となり、制御系が複雑化する。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、制御系を複雑化することなく、異なる２つの位置から操作を行うことができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、基板に対して所定の処理を行う基板処理装置であって、装置本体部と、前記装置本体部と別体に設けられた操作パネルと、を備え、前記操作パネルは、表裏を反転可能に構成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の基板処理装置であって、前記装置本体部への基板の搬入および前記装置本体部からの基板の搬出を行う搬出入部と、前記装置本体部内において基板の処理を行う処理部と、をさらに備え、前記操作パネルは、前記搬出入部と前記処理部とを隔てる境界面に沿って設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明は、請求項１または２に記載の基板処理装置であって、前記操作パネルの周囲の隙間を封止する封止手段をさらに備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項１から３までのいずれかに記載の基板処理装置であって、前記操作パネルは、前記操作パネルの鉛直中心線まわりに回転することによって、表裏を反転することを特徴とする。
【００１４】
請求項５に係る発明は、パーテーションを介して仕切られた清浄度の異なる第１および第２のエリアにまたがって設置される基板処理装置であって、前記第１のエリアに配置される搬出入部と、前記第２のエリアに配置される処理部と、作業者からの操作を受け付ける操作パネルと、を備え、前記操作パネルは、前記パーテーションに沿って設けられ、表裏を反転させることによって、前記第１のエリアから操作を受け付ける状態と、前記第２のエリアから操作を受け付ける状態とに、切り換え可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１〜５に記載の発明によれば、操作パネルの表裏を反転させることができる。このため、１つの操作パネルに対して、異なる２つの位置から操作を行うことができる。また、１つの操作パネルを反転して使用するので、複数の操作が同時に行われる心配もなく、複数の操作パネルを切り換えるための複雑な制御系も不要である。
【００１６】
特に、請求項２に記載の発明によれば、搬出入部に対して基板のセット等を行うエリアと、処理部に対してメンテナンス作業を行うエリアの双方から、操作パネルを操作することができる。
【００１７】
特に、請求項３に記載の発明によれば、操作パネルの前面側の雰囲気と操作パネルの背面側の雰囲気とを、遮断することができる。したがって、前面側と背面側の一方から他方へ、粉塵が侵入することを防止することができる。
【００１８】
特に、請求項４に記載の発明によれば、反転の前後において、操作パネルの位置を不変とすることができる。したがって、反転の前後において、操作パネルの周縁を容易に封止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
＜１．基板処理装置１およびその設置環境について＞
図１は、本発明に係る基板処理装置１と、基板処理装置１が設置されるクリーンルームの様子を示した図である。
【００２１】
このクリーンルームは、２つのエリアＡ１，Ａ２を有している。エリアＡ１は、定常時においてオペレータが作業を行うエリアであり、比較的高い清浄度（たとえば、クラス１〜１０）に維持されている。一方、エリアＡ２は、非定常時において基板処理装置１のメンテナンス作業を行うためのエリアであり、比較的低い清浄度（たとえば、クラス１０００）に維持されている。
【００２２】
これらのエリアＡ１，Ａ２の間には、パーテーション９０が設けられている。そして、エリアＡ１内の気圧はエリアＡ２内の気圧よりも高く維持されている。このため、パーテーション９０に設けられた扉９１を開放した場合には、扉９１付近には、エリアＡ１からエリアＡ２へ向かう気流ＡＣが形成される。これにより、エリアＡ２内の粉塵がエリアＡ１側へ舞い込まないようになっている。
【００２３】
オペレータまたはメンテナンス作業者は、エリアＡ１から扉９１を通ってエリアＡ２へ移動することは許される。しかしながら、エリアＡ２から扉９１を通ってエリアＡ１へ戻ることは許されない。これは、エリアＡ２内の粉塵が、オペレータまたはメンテナンス作業者とともにエリアＡ１側へ侵入することを防止するためである。エリアＡ２からエリアＡ１へ移動したい場合には、オペレータまたはメンテナンス作業者は、扉９２を通って一旦廊下９３へ退出し、エアーシャワー９４を通ってエリアＡ１へ入らなければならない。すなわち、２つのエリアＡ１，Ａ２の間を自由に行き来することは禁止されている。
【００２４】
基板処理装置１は、これらのエリアＡ１，Ａ２にまたがって配置されている。基板処理装置１は、本体部１０と、基板Ｗを搬出入するためのインデクサ部２０と、オペレータまたはメンテナンス作業者からの操作を受け付ける操作パネル３０と、を備えている。これらのうち、インデクサ部２０はエリアＡ１に配置され、本体部１０はエリアＡ２に配置され、操作パネル３０はパーテーション９０に沿って配置される。
【００２５】
本体部１０内には、搬入された基板Ｗに対して処理を行う処理部１１と、インデクサ部２０と処理部１１の間で基板を搬送するロボットアーム１２とが設けられている。基板Ｗは、所定のキャリア（図示省略）に収納された状態でインデクサ部２０にセットされる。そして、キャリアに収納された任意の基板Ｗが、ロボットアーム１２によって処理部１１へ搬送され、処理部１１において所定の処理を受ける。
【００２６】
操作パネル３０は、インデクサ部２０と処理部１１とを隔てる境界面に沿って設けられている。操作パネル３０の一方の面は、ディスプレイ３３やキーボード３４（図２参照）を備えた操作面３０ａとなっている。また、操作パネル３０は、鉛直軸まわりに回転し、表裏を反転させることができる。これにより、操作パネル３０は、エリアＡ１側から操作できる状態と、エリアＡ２側から操作できる状態とを、切り換えることができる。なお、操作パネル３０の操作面３０ａは、定常時にはエリアＡ１側を向いている。
【００２７】
オペレータは、定常時には、エリアＡ１において作業を行う。具体的には、基板処理装置１のインデクサ部２０に基板Ｗをセットした後、操作パネル３０を操作して、基板Ｗの処理を進行させる。また、オペレータまたは無人搬送車（ＡＧＶ）は、基板処理装置１と他の基板処理装置２との間で、基板Ｗを搬送する。
【００２８】
一方、メンテナンス作業者は、非定常時に、エリアＡ２に入ってメンテナンス作業を行う。具体的には、基板処理装置１の各部の調整、部品の交換、動作確認などの作業を行う。動作確認を行うときには、操作パネル３０を操作する必要がある。このときには、メンテナンス作業者は、操作パネル３０を反転させ、操作面３０ａをエリアＡ２側へ向ける。そして、操作面３０ａを操作して、基板処理装置１の動作を確認する。このため、メンテナンス作業者は、エアーシャワー９４を通ってエリアＡ１に回り込むことなく、基板処理装置１の動作確認を行うことができる。
【００２９】
＜２．操作パネル３０周辺の構成について＞
以下には、上記の基板処理装置１の操作パネル３０付近の構成について、さらに説明する。図２は、基板処理装置１の操作パネル３０付近を前面側から見た図である。また、図３は、基板処理装置１の操作パネル３０付近を、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線で切断した断面図である。
【００３０】
操作パネル３０は、パネルフレーム（外枠部）４０に支持されている。パネルフレーム４０は、本体部１０から側方へ突き出した平板状の部位であり、パーテーション９０の一部分に隙間なく嵌め込まれている。パネルフレーム４０には、その板厚方向に方形の貫通孔４１が形成されている。操作パネル３０は、この貫通孔４１に嵌め込まれて支持される。
【００３１】
操作パネル３０の外縁部には、テフロン（登録商標）等のフッ素樹脂を材料とするシール部材５１が貼付されている。また、パネルフレーム４０の貫通孔４１の内縁部には、ゴム等を材料とするシール部材５２が貼付されている。これらのシール部材５１，５２は、隙間なく接触して、前面側の雰囲気と背面側の雰囲気とを遮断する。すなわち、シール部材５１とシール部材５２とによって、操作パネル３０とパネルフレーム４０の間を封止する封止機構５０が構成されている。
【００３２】
パネルフレーム４０の貫通孔４１には、操作パネル３０を貫く鉛直中心線ＣＬに沿って、回転軸４２が設けられている。回転軸４２は、ベアリング等を介して操作パネル３０と連結されている。このため、操作パネル３０は、回転軸４２のまわりに回転することができる。また、操作パネル３０の操作面３０ａおよび裏面３０ｂには、それぞれ取手３１ａ，３１ｂが設けられている。オペレータまたはメンテナンス作業者は、この取手３１ａ，３１ｂを持って操作パネル３０を回転させることができる。
【００３３】
回転軸４２は、操作パネル３０の鉛直中心線ＣＬに沿って設けられている。このため、操作パネル３０は、反転の前後において同じようにパネルフレーム４０に嵌り込み、封止機構５０によって封止される。
【００３４】
操作パネル３０の操作面３０ａには、ディスプレイ３３、キーボード３４などが設けられている。また、上記の回転軸４２の内部は中空となっており、内部に電気配線３５が通されている。ディスプレイ３３やキーボード３４は、この電気配線３５を介して、本体部１０内の制御部（図示省略）と接続されている。
【００３５】
パネルフレーム４０の貫通孔４１の近傍には、ロック部４３が設けられている。ロック部４３は、レバー４３ａとピン４３ｂとを備えており、レバー４３ａを回すと、貫通孔４１の内側へ向けてピン４３ｂを突き出すことができる。一方、操作パネル３０には、突き出したピン４３ｂを受けるためのピン穴３２が設けられている。ピン穴３２は、操作パネル３０の反転の前後においてピン４３ｂを受けることができるように、回転対照な位置に２つ設けられている。レバー４３ａを回してピン穴３２にピン４３ｂを差し込んだ状態では、操作パネル３０は固定される。また、レバー４３ａを逆に回してピン穴３２からピン４３ｂを抜いた状態では、操作パネル３０を回転させることができる。
【００３６】
また、パネルフレーム４０にはストッパボルト４４が立設されている。ストッパボルト４４は、操作パネル３０側に設けられた位置決め板３６に当接し、操作パネル３０の回転を制止する。これにより、操作パネル３０の反転前後の位置決めを容易に行うことができる。また、回転角度を１８０度以内に制限することができるので、操作パネル３０内に設けられた電気配線３５のねじれを防止することができる。
【００３７】
このように、この基板処理装置１では、操作パネル３０の表裏を反転させることができる。このため、基板処理装置１は、前面側と背面側のいずれの方向からでも操作を受け付けることができる。また、１つの操作パネル３０を反転して使用するので、複数の操作が同時に行われる心配もなく、複数の操作パネルを切り換えるための複雑な制御系も不要である。
【００３８】
＜３．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。たとえば、図４に示したような構成にしてもよい。図４では、パネルフレーム４０に、貫通孔４１を塞ぐ雰囲気遮断部材６０を取り付けている。このため、基板処理装置１の前面側と背面側とを完全に雰囲気分離しつつ、操作パネル３０を反転させることができる。図４では、雰囲気遮断部材６０の形状は箱形である。このため、雰囲気遮断部材６０が操作パネル３０の回転動作Ｒを妨げることはない。雰囲気遮断部材６０の形状は、このような箱形以外に、半球形や半円筒形などであってもよい。
【００３９】
雰囲気遮断部材６０は、パネルフレーム４０の前面および背面のどちら側に取り付けてもよい。ただし、ロック部４３が背面側に設けられている場合には、図４のように前面側に取り付けることが望ましい。このようにすれば、パネルフレーム４０の背面側から、操作パネル３０の反転と、ロック部４３の操作とを、行うことができる。雰囲気遮断部材６０を着脱自在に構成しておけば、定常時におけるオペレータの作業を妨げることもない。
【００４０】
また、操作面３０ａが前面側を向いている場合と、背面側を向いている場合とで、操作パネル３０から操作できるコマンドの種類に差をつけてもよい。たとえば、操作面３０ａが背面側を向いているときには、実製品向けのレシピは実行できないようにしてもよい。具体的には、操作面３０ａの向きを検知するためのセンサを設け、その検出信号に基づいて操作パネル３０の機能を部分的に制限すればよい。
【００４１】
また、上記の例では、回転軸４２が垂直に設けられていたが、回転軸４２は他の向きに設けられていてもよい。たとえば、操作面３０ａに簡易なスイッチのみが設けられている場合など、上下を逆にしても支障がないような場合には、回転軸４２を水平に設け、操作面３０ａを水平軸まわりに回転させてもよい。
【００４２】
また、上記の例では、ロック部４３がパネルフレーム４０の背面側に設けられていたが、ロック部４３はパネルフレーム４０の前面側に設けられていてもよい。ただし、操作パネル３０を反転させるのは主としてメンテナンス作業時であることを考慮すると、メンテナンス作業者のいる背面側に設ける方が望ましい。
【００４３】
また、パネルフレーム４０における操作パネル３０の位置は、図２の位置に限定されるものではない。ただし、図２のように、インデクサ部２０と操作パネル３０とを同等の高さにしておけば、１人のオペレータがインデクサ部２０と操作部３０とに対して容易に作業を行うことができる。
【００４４】
また、上記の例では、操作パネル３０は、本体部１０に連結されたパネルフレーム４０に支持されていたが、操作パネル３０は、パーテーション９０に直接支持される構成であってもよい。すなわち、本体部１０側方のパーテーション９０に設けられた貫通孔に嵌合して支持されてもよい。この場合には、パーテーション９０側に回転軸とシール部材とを設ける。操作パネル３０は、パーテーション９０に設けられた回転軸のまわりに回転し、パーテーション９０に設けられたシール部材と操作パネル３０外周のシール部材５１とを接触させて、パーテーション９０と操作パネル３０の間を封止する。
【００４５】
また、上記の例では、操作パネル３０を手動により回転させる構成であったが、モータ等により自動で回転できるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】基板処理装置とその周辺環境を示した図である。
【図２】基板処理装置の操作パネル付近を前面側から見た図である。
【図３】基板処理装置の操作パネル付近を、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線で切断した断面図である。
【図４】パネルフレームに雰囲気遮断部材を取り付けた図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    基板処理装置
１０    本体部
１１    処理部
１２    ロボットアーム
２０    インデクサ部
３０    操作パネル
３０ａ    操作面
４０    パネルフレーム
４２    回転軸
４３    ロック部
４４    ストッパボルト
５０    シール機構
６０    雰囲気遮断部材
９０    パーテーション
Ａ１，Ａ２    エリア
ＣＬ    鉛直中心線
Ｗ    基板
【図１】
2006216894.tif 000003
【図２】
2006216894.tif 000004
【図３】
2006216894.tif 000005
【図４】
2006216894.tif 000006