(57)【要約】      （修正有）【課題】  配管などの容器の漏洩検査において、容器内の温度変化の影響を効果的に除去し、しかも簡便で低コストな漏洩検査方法及び装置を提供する。【解決手段】  漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する加減圧工程と、時刻ｔｊ（ｊ＝０，１，２・・・ｎ。ｎは２以上の自然数）において該容器内の圧力Ｐｊ及び圧力変化（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊを計測する圧力計測工程とを有し、圧力計測工程で計測された圧力と圧力変化を、計算式に代入し特有な漏洩係数ｋないしはこれと等価な量を算出し、特有な漏洩係数ｋないしは等価量に基いて、容器の漏洩を検出する漏洩検査方法である。  【選択図】図２
2006275906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する加減圧工程と、時刻ｔｊ（ｊ＝０，１，２・・・ｎ。ｎは２以上の自然数）における該容器内の圧力Ｐｊ及び圧力変化（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊを計測する圧力計測工程とを有し、
該圧力計測工程で計測された該圧力と該圧力変化を、次の式で計算される漏洩係数ｋないしはこれと等価な量を算出し、該漏洩係数ｋないしは該等価量に基いて、該容器の漏洩を検出することを特徴とする漏洩検査方法。
ｋ＝−Ｇ／Ｄ
（ただし、
Ｇ≡Σｊ＝０ｎ｛（１／Ｐｊ）・（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝、
Ｄ≡Σｊ＝０ｎ｛ΔＰｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝
であり、
ここで、
ΔＰｊ≡Ｐｊ−Ｐａｔｍ（Ｐａｔｍは容器外の気圧）、
Ｌｊ（ｎ）（ｔ）≡（ｔ−ｔ０）・・（ｔ−ｔｊ−１）（ｔ−ｔｊ＋１）・・（ｔ−ｔｎ）、
である。）
【請求項２】
請求項１に記載の漏洩検査方法において、該漏洩係数ｋないしは該等価量が所定値の範囲内である場合には、「漏洩なし」と判断することを特徴とする漏洩検査方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の漏洩検査方法を用いることを特徴とする漏洩検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体又は液体を供給する配管を含む容器の状態を診断するために用いられる、漏洩検査方法及び装置に関し、特に、気体又は液体の容器内からの漏洩を検知するための漏洩検査方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
家庭や工場などの建物には多くの配管を含む容器が設置されており、これらは都市ガス・液化石油ガス、飲料水、空調用冷媒やプラント用のガス・溶液など、様々な気体又は液体を建物内の各所に供給あるいは貯蔵するために利用されている。
しかしながら、これらの配管を含む容器は、機械的又は化学的な作用により、長期間に渡る使用の際に、徐々に劣化し、場合によっては容器壁に開口が発生したり接合部分の気密が失われたりして、容器内に導入されている気体や液体が漏洩するという問題が発生する可能性がある。
【０００３】
従来、配管などの容器に係る漏洩検査は、容器を閉塞状態にし、供給口や排出口など容器の一部に設けられ容器内に連通した導入口より、気体又は液体を注入し、容器内を管の外側より高い圧力状態にした後、所定時間以上に渡り、容器内の圧力変化を測定することにより行なっている。
そして、測定の結果において、例えば、圧力が減少傾向を示した場合には、容器内から気体又は液体が流出していると想定し、容器の壁面の一部に亀裂等の開口があると判断していた。
【０００４】
しかしながら、閉塞状態におかれた容器内の圧力の変化は、単に漏洩のみに起因するものではなく、容器内の温度変化などの影響にも依存して変化する。
このため、正確な検査には、この温度変動の影響を考慮した測定が必要であるが、従来、容器の圧力変化を計測する際に、容器内の温度変化を同時に測定するような簡易な計測装置が無いため、温度変化が少ない時間を選んで計測することが行われており、検査作業の効率が著しく低下する原因となっていた。
【０００５】
以下の特許文献１において、温度変化を補償することが可能な圧力計測方法及び装置が提案されている。
特許文献１に係る発明では、気体又は液体を供給する配管の内部圧力を計測する圧力計測方法において、配管の管内圧力を管外の圧力と同じになるように調整して該配管を閉塞し、温度変化による配管内部の圧力変化量を計測し、あるいは、配管内の気体又は液体の実測温度又は配管の実測温度の変化量を基に、配管内の圧力計測値を補正することにより、温度変化の影響を除去するものである。
【特許文献１】特許第３４８３２５３号公報
【０００６】
一般家庭向けのような小容量のガス配管においては、漏洩検査が比較的短時間で実施できるため、検査時間の全体を通して、温度変化はほぼ一定の傾きを持つ、すなわち温度の時間に関する二階微分がゼロと仮定することが可能である。したがって、漏洩検査の前ないしは後に、配管の管内圧力を管外の圧力と同じになるように調整して該配管を閉塞し、温度変化による配管内部の圧力変化量を計測して、この計測結果に基づいて、漏洩検査時間中の温度変化の影響を除去することが可能である。
しかし、集合住宅、病院、学校などの大容量配管設備においては、漏洩検査に長い時間が必要となるため、検査時間内に温度変化の傾きが変動する可能性がある。このため、漏洩検査の前乃至は後に配管の内外圧力を同じになるように調整して計測した結果を用いたのでは、温度変化の影響を除去できない場合が出てくる。さらに、管自体の温度を検出する場合には、配管容量が大きくなるのに伴って、配管の場所によって温度変化が異なる傾向が強くなり、十分な温度補償を達成することが難しいという問題を有している。
【０００７】
また、特許文献１に関わる発明において、配管の管内圧力を管外の圧力と同じになるように調整する作業は、通常、配管を外気に連通開放することによって実現される。この開放の手段によらずに管内外の圧力を平衡させようとすると、大がかりな装置や精密な計測装置が必要となる。また、大容量の燃料ガス配管では、可燃性のガスを大気中に大量に放出することになるため、配管を大気に開放して管内圧力を大気圧に等しくする作業は危険をともなう。さらに、配管を大気に開放することで配管内に空気が導入されるため、検査後に使用再開するに先立って、エアーパージの作業が必要となる。大容量の配管では、エアーパージ作業は非常に大掛かりで困難な作業となる。有毒ガス、腐食性ガスなどを貯蔵する容器の漏洩検査においても、容器を外気に開放することができないのは言うまでもない。
【０００８】
漏洩検査における温度影響の問題を解決するため、本発明者は、以下の特許文献２において、漏洩を検査すべき容器を所定の時間系列に従って加圧又は減圧する加減圧工程と、該容器内の圧力変化を計測する圧力計測工程とを有し、該圧力計測工程で計測された信号と、該時間系列に対応した参照信号との相関を算出し、該相関に基いて、該容器の漏洩を検出することを特徴とする漏洩検査方法を提案した。これにより、容器内の温度変化の影響を効果的に除去することが可能な漏洩検査方法が提供できる。
【特許文献２】特願２００４−４２２７２号（出願日：平成１６年２月１９日）
【０００９】
しかしながら、相関法を用いた上述の漏洩検査方法では、高い信頼性の漏洩検査が可能である反面、容器の加減圧工程の時間制御を厳密に行う必要があるため、装置がやや複雑になってコストが掛る。また、温度影響を時間積分によって除くため、必然的に長い検査時間が必要になるという欠点を有する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の解決しようとする課題は、上述した問題を解決し、配管などの容器の漏洩検査において、容器内の温度変化の影響を効果的に除去し、しかも簡便で低コストな漏洩検査方法及び装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するため、請求項１に係る発明は、漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する加減圧工程と、時刻ｔｊ（ｊ＝０，１，２・・・ｎ。ｎは２以上の自然数）における該容器内の圧力Ｐｊ及び圧力変化（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊを計測する圧力計測工程とを有し、該圧力計測工程で計測された該圧力と該圧力変化を、次の式に代入し漏洩係数ｋないしはこれと等価な量を算出し、該漏洩係数ｋないしは該等価量に基いて、該容器の漏洩を検出することを特徴とする漏洩検査方法である。
ｋ＝−Ｇ／Ｄ
（ただし、
Ｇ≡Σｊ＝０ｎ｛（１／Ｐｊ）・（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝、
Ｄ≡Σｊ＝０ｎ｛ΔＰｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝
であり、
ここで、
ΔＰｊ≡Ｐｊ−Ｐａｔｍ（Ｐａｔｍは容器外の気圧）、
Ｌｊ（ｎ）（ｔ）≡（ｔ−ｔ０）・・（ｔ−ｔｊ−１）（ｔ−ｔｊ＋１）・・（ｔ−ｔｎ）、
である。）
本発明に用いる「等価量」とは、漏洩係数ｋの逆数や該ｋに比例した値など、漏洩係数ｋに限らず漏洩係数ｋと相関関係を有する数値を意味する。
【００１２】
また、請求項２に係る発明では、請求項１に記載の漏洩検査方法において、該漏洩係数ｋないしは該等価量が所定値の範囲内である場合には、「漏洩なし」と判断することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の漏洩検査方法を用いることを特徴とする漏洩検査装置である。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に係る発明では、漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧しながら、時刻ｔｊ（ｊ＝０，１，２・・・ｎ。ｎは２以上の自然数）において該容器内の圧力Ｐｊ及び圧力変化（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊを計測し、ｎ次補間多項式に基づくｎ階微係数の差分近似式に、計測した数値を代入することによって漏洩係数ｋを算出している。温度が変化していない場合すなわち温度の一階微係数がゼロの場合は、従来の圧力式漏洩検査の想定している状況であり、圧力と圧力変化を一回計測することで、漏洩係数ｋを求めることができる。温度が線形に変化している場合、すなわち温度の一階微係数はゼロではないが二階微係数がゼロの場合は、前述の特許文献１を含む、漏洩検査の前ないしは後に温度変化を推定する期間を設ける方法が通常想定している状況であり、圧力と圧力変化を少なくとも二回計測することで、温度変動の影響を除いて漏洩係数ｋを求めることができる。本発明では、一般にｎ階までの微係数がゼロでないような温度変化に対して、温度影響を除いて漏洩係数ｋを求めることができる。また、漏洩係数ｋに代わり、漏洩係数ｋと相関関係を有するような数値を「等価量」として算出し、該等価量を使用することも可能である。
【００１５】
本発明では、加減圧の工程における初期圧力Ｐｊも、圧力及び圧力変化を計測する時刻ｔｊ（ｊ＝０，１，２・・・ｎ）も、前記計算式のＤがゼロにならないという制限を除けば任意である。このため、加減圧工程と圧力計測工程を、計算機などを用いて厳密に制御する必要がない。手動のポンプなどで加減圧を行い、加減圧の値がばらついていてもかまわないし、圧力計測の時刻ｔｊもまた、予め定められた時間系列に厳密に一致する必要はなく、手動で計測をおこなって時刻がばらついたとしても問題にならない。したがって、漏洩検査装置を極めて安価に構成することが可能となり、しかも、温度変化のｎ階微係数までに対応した高度の温度補償が可能となる。
【００１６】
さらに、圧力Ｐｊには、Ｄがゼロでないという制限しかないことから、漏洩検査の最初の圧力すなわちＰ０と、漏洩検査終了直前の圧力Ｐｎも自由に選べる。したがって、Ｐ０およびＰｎを通常使用状態における配管内圧力に等しく設定することで、Ｐ０およびＰｎに対する加減圧工程を省略することができる。漏洩検査の前ないしは後で、配管内圧力を大気圧に等しくして温度影響をチェックする場合に較べて、大幅に検査時間を短縮することが可能になる。
【００１７】
請求項２に係る発明では、漏洩係数ｋないしは等価量が所定値の範囲内である場合には、「漏洩なし」と判断することにより、より簡便に漏洩を検知することが可能となる。
【００１８】
請求項３に係る発明により、請求項１又は２に記載の漏洩検査方法を用いることにより、温度変化の影響を排除し、簡便かつ低コストに漏洩を検知できる漏洩検査装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の詳しい原理を、実施例に基づいて説明する。
図１は、本発明に係る漏洩検査方法の対象となる、配管などの容器の漏洩状態をモデル化したものである。
容器内に気体が存在し、該気体の状態を示すものとして、気体の圧力Ｐ、気体の温度Ｔ、容器内の気体の質量Ｍ、気体の平均分子量ｍ、容器内の体積Ｖ０と仮定する。
容器内の気体に関する状態方程式は、次の式（１）で与えられる。
ＰＶ０＝ＭＲＴ／ｍ  ・・・・・・・（１）
【００２０】
容器内の気体の状態量の時間変化を考えると、式（１）の両辺を時間微分し、両辺をＰＶ０で割ることにより、次の式（２）が得られる。
１／Ｐ・ｄＰ／ｄｔ＝−πａ４／（８μΔＬＶ０）・（Ｐ−Ｐａｔｍ）＋１／Ｔ・ｄＴ／ｄｔ  ・・・・（２）
ただし、漏洩を、半径ａのピンホールから容器内の気体が漏洩しているものと等価表現している。μは気体の粘性係数、ΔＬはピンホールの長さ、Ｐａｔｍは容器外の気圧（通常、大気圧）を意味する。
【００２１】
ここで、漏洩の大きさを表す漏洩係数ｋとして、ｋ＝−πａ４／（８μΔＬＶ０）を定義する。さらに、容器内外の気圧差をΔＰ＝Ｐ−Ｐａｔｍとして、式（２）は次式で表現される。
１／Ｐ・ｄＰ／ｄｔ＝−ｋ・ΔＰ＋１／Ｔ・ｄＴ／ｄｔ  ・・・・（３）
【００２２】
本発明では、漏洩を検査すべき容器を加圧又は減圧する加減圧工程を行いながら、上記式（３）の漏洩係数ｋを算出することにより、漏洩の有無を判別することを特徴とする。
加減圧工程は任意の状態を選択することが可能であるが、例えば、図２に示すように、容器内を加圧又は減圧する工程を行いながら、時刻ｔｊ（ｊ＝０，１，２・・・ｎ。ｎは２以上の自然数）において、ｎ＋１回に渡り、該容器内の圧力Ｐや圧力の時間変化（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）を計測する。測定時刻の間隔は等間隔である必要は無いが、加圧時及び減圧時の過渡的応答期間を避け、内部の気体が定常状態に達した後に、各計測時刻ｔｊを配置することが好ましい。図２において、各時刻ｔｊに先だって、圧力が指数関数的に変化している部分が過渡応答である。
【００２３】
関数ｙ（ｔ）が、時刻ｔｊ（ｊ＝０，１，２・・・ｎ。ｎは２以上の自然数）に値ｙｊをとる場合、関数ｙ（ｔ）を近似するｎ次ラグランジュ補間多項式は、以下のｎ次多項式
Ｌｊ（ｎ）（ｔ）≡（ｔ−ｔ０）・・（ｔ−ｔｊ−１）（ｔ−ｔｊ＋１）・・（ｔ−ｔｎ）
を用いて
ｙｎ（ｔ）＝Σｊ＝０ｎ｛ｙｊ・Ｌｊ（ｎ）（ｔ）／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝・・・・（４）
で与えられる。この多項式のｎ階微分は
ｄｎｙｎ／ｄｔｎ＝Σｊ＝０ｎ｛ｎ！・ｙｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝・・・・（５）
である。
【００２４】
いま、時刻ｔｊ（ｊ＝０，１，２・・・ｎ。ｎは２以上の自然数）における容器内の圧力をＰｊ、圧力の時間変化を（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊとし、容器内外の圧力差ΔＰｊ＝Ｐｊ−Ｐａｔｍを用いると、計測値の間には、式（３）から、次式が成り立つ。
ｇｊ＝−ｋ・ΔＰｊ＋ｆｊ  ・・・・（６）
ただし、簡単のためにｇｊ≡１／Ｐｊ・（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊ、
ｆｊ≡１／Ｔｊ・（ｄＴ／ｄｔ）ｔ＝ｔｊと表現している。
【００２５】
（６）式のｇｊを（５）式のｙｊに代入すると、
Σｊ＝０ｎ｛ｎ！・ｇｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝＝−ｋ・Σｊ＝０ｎ｛ｎ！・ΔＰｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝＋Σｊ＝０ｎ｛ｎ！・ｆｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝  ・・・・（７）
が得られる。（７）式の右辺第二項は、関数ｆ（ｔ）のｎ階微係数の差分近似式を表している。もし、ｆ（ｔ）がｎ階以上の微係数がゼロであるという条件を満たしていれば、すなわち、温度Ｔ（ｔ）のｎ＋１階以上の微係数がゼロであるなら、この項はゼロとなり、
Σｊ＝０ｎ｛ｎ！・ｇｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝＝−ｋ・Σｊ＝０ｎ｛ｎ！・ΔＰｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝
すなわち
Σｊ＝０ｎ｛１／Ｐｊ・（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝＝−ｋ・Σｊ＝０ｎ｛ΔＰｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝  ・・・・（８）
が成り立つ。これより漏洩係数ｋは次式により与えられる。
ｋ＝−Ｇ／Ｄ  ・・・・（９）
（ただし、
Ｇ≡Σｊ＝０ｎ｛１／Ｐｊ・（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝、
Ｄ≡Σｊ＝０ｎ｛ΔＰｊ／Ｌｊ（ｎ）（ｔｊ）｝
である。
【００２６】
上記式（９）においては、温度のｎ＋１階以上の時間微分をゼロと仮定している。厳密に言うと、現実の温度変化ではこの仮定は必ずしも満足される訳ではない。しかし、ｎ＋１階の微係数がゼロでないことによって生じる誤差は、ｎ＋１次の高次微小項である。温度変動に含まれる、時間的に細かい高周波数の変動の影響は、後述する信号処理によって除去することができ、ゆるやかな低周波数の変動に関しては、高階の微係数の値は小さく、（９）式の前提条件は近似的に満足されると考えてよい。 
【００２７】
図３に、本発明に係る漏洩検査装置の一例を示す。
配管等の容器１には、接続口２を介して測定用配管３が接続されている。接続口２は、普通、配管等に設置された保守点検用のバルブや、燃料ガス配管におけるガスコック栓などを利用する。容器内の圧力は、測定用配管３に接続されたゲージ圧センサー４によって測定される。測定用配管３の他端にはバルブ５が接続されており、検査者がこのバルブ５を操作することによって、測定用配管３を、手動式の二連球ポンプ６に接続するか、大気圧に解放するか、あるいは閉塞するかのいずれかを制御する。ゲージ圧センサー４の出力は、制御回路７に入力される。制御回路７には、Ａ／Ｄ変換器、メモリー、タイマー等が内蔵されており（いずれも図示せず）、ゲージ圧センサー４の信号をデジタル信号に変換して取り込み、圧力変化を計算するとともに、これらの計測の行われた時刻ｔｊを記憶し、上述の演算を行って漏洩係数ｋを算出している。さらに、制御回路７は表示装置８に接続されている。表示装置８は、制御回路７からの信号に従って、操作者に二連球ポンプ６の操作やバルブ５の操作を指示するとともに、容器１内の圧力や漏洩検査結果などを表示する。９は、容器１に生じた漏洩穴である。
【００２８】
ゲージ圧センサー４によって、容器１内の圧力と大気圧の差が測定される。大気圧の変動は通常高々数パーセントであるので、大気圧を一定と仮定して、ゲージ圧センサー４の出力から、圧力Ｐｊおよび圧力変化（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊを計算することができる。勿論、大気圧センサーを別途設置するか、ゲージ圧センサーの代わりに絶対圧センサーを用いるか、あるいは検査時の大気圧を手動で入力するなどの構成とすれば、より正確にＰｊを計算できることは言うまでもない。また、圧力センサーとして差圧センサーを用いて、別途設置した基準容器との間の差圧を測定する構成としてもよい。なお、圧力センサーの接続位置は、図３に示す場所に限らず、容器１から延びる別の配管等に直接接続することも可能である。
【００２９】
次に、制御回路７において、漏洩係数ｋを算出する手順等について説明する。制御回路７内には、不図示のＣＰＵとメモリー回路が組み込まれており、これらを所定のアルゴリズムで動作させることにより、漏洩係数ｋの算出、漏洩係数ｋに基づく漏洩判断が行われる。
【００３０】
制御回路７には、ｎ次補間多項式を用いる場合の加減圧パターンが予めプログラムされており、操作者によって、おおよそこのパターンが実行されるように適切に指示を表示する。例えば、ある圧力まで加圧するように指示を出し、操作終了後に過渡応答の収束の余裕を見た適当なタイミングで容器内圧力の計測を開始する。一定の期間圧力を計測し、このデータから圧力変化（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）を算出する。算出アルゴリズムには、公知のアルゴリズムのいずれを用いてもよいが、計算が単純でしかも高周波数の雑音を除去できる最小二乗法による直線フィッティングを用いるのが有利である。算出された圧力変化（ｄＰ（ｔ）／ｄｔ）ｔ＝ｔｊは、圧力の実測値Ｐｊ、圧力計測期間の中央値である計測時刻ｔｊとともにメモリーに蓄積される。ただし、計測器などの雑音の影響を軽減する目的で、圧力の実測値Ｐｊとして、計測期間内の圧力を平均する場合もある。
なお、予めプログラムされるパターンは、同じ次数（ｎ）であっても、一つのパターンに限定される訳ではない。したがって、検査対象の条件に応じて、最適なパターンをプログラムしておくようにする。あるいは予め複数のパターンを記憶しておいて、対象の条件に応じて、その中から適当なパターンを選ぶようにしてもよい。
【００３１】
ｎ＋１回の計測及び算出が終了した時点で、上記式（９）を用いて、漏洩係数ｋを算出する。そして、算出されたｋの絶対値が、特定の数値以下である場合には、容器からの漏洩が無しと判断される。
漏洩の判断基準となる上記特定数値については、漏洩係数ｋがｋ＝−πａ４／（８μΔＬＶ０）と、概念的に定義できるため、測定対象となる容器の容量、容器内の気体の特性（粘性係数）、圧力センサーの性能などを考慮して、設定される。
【００３２】
漏洩係数ｋは、容器容積と漏洩とが作る時定数の逆数になっている。漏洩を判定するために算出する量は、ｋに限定される訳ではない。漏洩の程度は、漏洩の時定数１／ｋで表現したり、あるいは、容器容積Ｖ０を測定するか別途与えるかして、単位時間当たりの漏洩流量を算出して表示するなど、ｋと等価な種々の量で表現することができる。これらの量を用いても、発明の本質には何ら変わりがないことは明らかである。
容器１を加減圧する手段としては、電動ポンプなど任意の加減圧手段を用いることができる。本実施例で二連球ポンプ６を用いたのは、コストをできるだけ低くするためである。手動式のバルブ５を用いたのも同様の理由による。制御回路７によって、これら加減圧手段やバルブ、およびその動作タイミングの制御を行い、自動的に検査を行うように構成できることは言うまでもない。
【００３３】
本発明は、上記説明に限定されるものではなく、特許文献１に記載されているように、漏洩検査に係る各種の測定モードプログラムを記憶する記憶手段や、液晶などの表示手段、ＫＥＹボードなどの入力手段に係る技術など、当該分野に係る公知の技術を付加することができることは言うまでもない。
また、補間多項式の性質を利用して、種々の拡張機能を付加することができる。例えば、検査装置内に予め記憶しておく加減圧パターンは同一次数（ｎ）に限定される訳ではなく、複数の次数のパターンを記憶しておくことができる。この場合、補間多項式の次数ｎを変化させながら漏洩検査を行い、次数による結果の変化を分析して、当該検査状況下の温度変化が何次の多項式で近似できるかを判定することが可能であり、この機能を使えば、検査結果の信頼性をより高めることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明により、配管などの容器の漏洩検査において、容器内の温度変化の影響を効果的に除去し、しかも簡便で低コストな漏洩検査方法及び装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】容器内の漏洩状態のモデルを示す図である。
【図２】容器内の加減圧工程を示す概略図である。
【図３】本発明の漏洩検査装置の概略図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  容器
２  接続口
３  測定用配管
４  ゲージ圧センサー
５  バルブ
６  二連球ポンプ
７  制御回路
８  表示装置
９  漏洩穴
【図１】
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【図２】
2006275906.tif 000004
【図３】
2006275906.tif 000005