(57)【要約】【課題】    接着剤のはみ出しのないインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置の提供。【解決手段】プレート状の圧電アクチュエータの電歪作用によって圧力室内のインクを加圧してノズルから滴状に噴出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記圧電アクチュエータの前記振動板に接着される側の接着面の全周に亘って接着剤を収容する接着剤逃げ部が形成されたインクジェット記録ヘッド、前記インクジェット記録ヘッドを有するインクジェット記録装置。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレート状の圧電アクチュエータの電歪作用によって圧力室内のインクを加圧してノズルから滴状に噴出させるインクジェット記録ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータの前記振動板に接着される側の接着面の全周に亘って接着剤を収容する接着剤逃げ部が形成されてなることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記接着剤逃げ部は、一定巾の段差である請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記接着剤逃げ部は、一定巾の面取り部である請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記振動板には、電圧が印加されない残存ダミー板が、前記圧電アクチュエータの間に接着されてなる請求項１〜３の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記残存ダミー板の前記振動板に接着される側の接着面の全周に亘って接着剤を収容する接着剤逃げ部が形成されている請求項１〜４の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記圧電アクチュエータおよび前記残存ダミー板は、各々同一形状に形成されてなる請求項５に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを有することを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置に関し、特に、圧電駆動部と電極パッド部とが同一平面上に形成されたプレート状の圧電アクチュエータを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、圧電アクチュエータを振動板に接着する際に接着剤のはみ出しを抑えることができるインクジェット記録ヘッド、および前記インクジェット記録ヘッドを有するインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置としては、ピエゾ素子のような圧電素子で振動板を振動させてインクを噴射する形態のものが広く使用されている。
【０００３】
前記圧電素子としては、柱状のものがこれまで一般的に使用されてきた（特許文献１〜３）。
【０００４】
近年、振動板、チャンバプレート、ノズルプレート等を積層して形成した流路プレートユニットのノズルとは反対側に設けられた振動板にプレート状の圧電アクチュエータを接着してプレート状のインクジェット記録ヘッドを形成することが提案された（特許文献４）。
【特許文献１】特許第３４７８２９７号公報
【特許文献２】特開２００１−６３０３９号公報
【特許文献３】特許第２９３３６０８号公報
【特許文献４】特開２００２−２４８６０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記プレート状のインクジェット記録ヘッドにおいて、圧電アクチュエータの周囲に接着剤がはみ出すと、はみ出した接着剤は、図１０において（Ｃ）に示すように圧電アクチュエータの側面にフィレット状に付着して固化するので、圧電アクチュエータの拘束条件が変化する。また、接着剤のはみ出し量を制御することは殆ど不可能である。
【０００６】
したがって、接着剤のはみ出しが生じると、圧電アクチュエータと振動板との振動特性がばらつくことになり、ノズルからのインク吐出特性にも影響が生じる。
【０００７】
また、接着剤のはみ出し量が多くなると、図１０において（Ｂ）に示すように、隣接する圧電アクチュエータ同士がフィレット状に固化した接着剤で繋がってしまい、インク吐出時にクロストークが生じることがある。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたものであり、接着剤のはみ出しのないインクジェット記録ヘッドおよび前記インクジェット記録ヘッドを備えるインクジェット記録装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、プレート状の圧電アクチュエータの電歪作用によって圧力室内のインクを加圧してノズルから滴状に噴出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記圧電アクチュエータの前記振動板に接着される側の接着面の全周に亘って接着剤を収容する接着剤逃げ部が形成されてなることを特徴とするインクジェット記録ヘッドに関する。
【００１０】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、圧電アクチュエータの接着面に接着剤を過剰に塗布した場合でも圧電アクチュエータの外側に押し出された接着剤は、接着面の全周に亘って設けられた接着剤逃げ部の内側に収容され、圧電アクチュエータの外側にはみ出すことがない。
【００１１】
したがって、接着剤のはみ出しに起因するインク吐出特性のバラツキやインク吐出時のクロストークの発生などが効果的に防止できる。
【００１２】
また、前記圧電アクチュエータにおいては圧電駆動部と電極パッド部とは繋がっているから、両者を電気的に接続する必要はない。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、前請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、記接着剤逃げ部が一定巾の段差であるインクジェット記録ヘッドに関する。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記接着剤逃げ部は、一定巾の面取り部であるインクジェット記録ヘッドに関する。
【００１５】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、接着剤逃げ部は、一定巾の段差または面取り部であるから、サンドブラスト法で圧電アクチュエータを成形するついでに接着剤逃げ部も形成できる。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記ノズル集合体のノズルが形成された面とは反対側の面の前記圧電アクチュエータの間を埋める位置に、電圧が印加されない残存ダミー板が接着されてなるインクジェット記録ヘッドに関する。
【００１７】
前記流路形成部材の振動板に圧電アクチュエータをマトリックス状に接着すると、隣接する２枚の圧電アクチュエータの間に隙間が空くことが多い。しかしながら、前記インクジェット記録ヘッドにおいては、残存ダミー板を接着して圧電アクチュエータの間の隙間を埋めているから、振動板における圧電アクチュエータで駆動されない部分に応力が集中することが防止される。
【００１８】
残存ダミー板は、１枚の圧電プレートから圧電アクチュエータとともに形成することができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記残存ダミー板の前記振動板に接着される側の接着面の全周に亘って接着剤を収容する接着剤逃げ部が形成されているインクジェット記録ヘッドに関する。
【００２０】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、圧電アクチュエータだけでなく残存ダミー板の接着面に接着剤を過剰に塗布した場合でも圧電アクチュエータおよび残存ダミー板の外側に押し出された接着剤は、接着面の全周に亘って設けられた接着剤逃げ部の内側に収容され、圧電アクチュエータの外側にはみ出すことがない。
【００２１】
したがって、残存ダミー板を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、接着剤のはみ出しに起因するインク吐出特性のバラツキやインク吐出時のクロストークの発生などが効果的に防止できる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドであって前記圧電アクチュエータおよび前記残存ダミー板は、各々同一形状に形成されてなるインクジェット記録ヘッドに関する。
【００２３】
前記インクジェット記録ヘッドにおいては、全ての圧電アクチュエータは同一形状に形成され、同様に、全ての残存ダミー板もまた同一形状に形成されているから、圧電アクチュエータおよび残存ダミー板を交互にマトリックス状に配置する場合においても作製が容易である。
【００２４】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを有することを特徴とするインクジェット記録装置に関する。
【００２５】
請求項１で述べたように、前記インクジェット記録ヘッドにおいては、圧電アクチュエータの周囲に接着剤がはみ出すことが防止されるから、前記接着剤のはみ出しに起因するノズルのインク噴射特性のバラツキやクロストークの発生を抑制できる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明によれば、圧電アクチュエータの周囲への接着剤のはみ出しによるノズル毎のインク吐出特性のはらつきや、インク吐出時のクロストークの発生を効果的に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
１．実施形態１
本発明に係るインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置の一例について以下に説明する。
【００２８】
実施形態１のインクジェット記録ヘッド１１２の構造を図１、図２の（Ａ）、および図２の（Ｂ）に示す。図２において（Ａ）は、インクジェット記録ヘッド１１２を圧電アクチュエータ４２の側から見た構成を示し、（Ｂ）は、（Ａ）に示す平面Ａ−Ａに沿って切断した断面を示す。
【００２９】
図１および図２に示すように、インクジェット記録ヘッド１１２は、一方の面にノズル１０がマトリックス状に形成され、内部にノズル１０に連通する圧力室１４、および圧力室１４にインクを供給される共通インク室２０が形成された流路プレートユニット６０を備える。流路プレートユニット６０は、本発明における流路形成部材の一例である。流路プレートユニット６０には、更に、圧力室１４とノズル１０とを連通するノズル連通室１２、および圧力室１４と共通インク室２０とを連通する厚さ方向連通路１８と平面方向連通路１６とが形成されている。流路プレート６０は、ノズルプレート２１とインクプールプレート２２とインクプールプレート２３とスループレート２４とインク供給路プレート２６と圧力室プレート２８とがこの順に積層されて形成されている。
【００３０】
圧力室１４は、図１および図２に示すように、２本の対角線の長さの比がほぼ１であり、各頂点が円弧状に丸められた略菱形の平面形状を有している。
【００３１】
流路プレートユニット６０のノズル１０が形成された側とは反対側の面には振動板３０が接着され、振動板によって圧力室１４の天井部が形成されている。
【００３２】
振動板３０の外側の面には、図３および図４に示すように、一群の圧電アクチュエータ４２および残存ダミー板４４がマトリックス状に接着されている。圧電アクチュエータ４２および残存ダミー板４４は、図３に示すように圧電プレート７２に一定幅で分離スリット４０を形成することによって形成される。
【００３３】
圧電アクチュエータ４２は、図２および図４に示すように圧電駆動部４２Ａと電極パッド部４２Ｂとに区分されている。圧電駆動部４２Ａは、電歪作用によって変形して圧力室１４内部のインクを加圧する駆動部であり、電極パッド部４２Ｂは、圧電駆動部４２Ａに電圧を印加するための電極が接続される部分である。
【００３４】
圧電駆動部４２Ａは、圧力室１４の平面形状とほぼ相似形の２本の対角線の長さの比がほぼ１であり、各頂点が円弧状に丸められた略菱形の平面形状を有している。
【００３５】
電極パッド部４２Ｂは、圧電駆動部４２Ａの外周に沿った１／４円状の扇形形状を有し、前記扇形形状の頂点と略菱形状の圧電駆動部４２Ａの中心点とが一致するとともに、圧電駆動部４２Ａの２本の対角線のうちの長い方の対角線によって２分されるように形成されている。
【００３６】
電極パッド部４２Ｂの両端部には、内側に向かって凹陥する凹み部４２Ｃが形成されている。
【００３７】
同時に、圧電駆動部４２Ａの電歪作用による撓み変形が妨げられないように、圧電駆動部４２Ａと電極パッド部４２Ｂとの接続部には内側に向かって凹陥した縊れ部４２Ｄが形成されている。
【００３８】
電極パッド部４２Ｂには、半田ボール３４を介して回路基板３６が接続されている。したがって、回路基板３６から半田ボール３４を介して電極パッド部４２Ｂに所定の電圧が印加され、これによって圧電駆動部４２Ａが駆動されて圧力室１４内部が加圧、減圧される。
【００３９】
一方、残存ダミー板４４は、略平行四辺形状に形成され、圧電アクチュエータの電極パッド部４２Ｂに相対する側の頂点およびその近傍は、電極パッド部４２Ｂの形状に対応した凹曲線状に形成され、前記頂点とは反対側の、言いかえれば圧電アクチュエータの圧電駆動部４２Ａの形状に対応した凹曲線状に形成されている。
【００４０】
圧電アクチュエータ４２の周縁部には、図２および図４に示すように全周に亘って接着剤逃げ部４１が形成されている。インクジェット記録ヘッド１１２を図４に示す平面Ｂ−Ｂに沿って切断した断面を図５および図６に示す。接着剤逃げ部４１は、図５に示すように圧電アクチュエータ４２の周縁部に設けられた凹陥部であってもよく、図６において（Ａ）に示すように曲面状に面取りされた面取り部であってもよい。また、図６において（Ｂ）に示すように斜めに面取りされた面取り面であってもよい。
【００４１】
圧電アクチュエータ４２に接着剤を過剰に塗布した場合には、接着剤は、圧電アクチュエータ４２と振動板３０とによって圧電アクチュエータ４２の周縁部に向かって押し出される。周縁部に向かって押し出された接着剤は、図５および図６に示すように接着剤逃げ部４１の内部に収容され、それ以上外側に向かって押し出されることはない。
【００４２】
以下、インクジェット記録ヘッド１１２の製造手順について図７および図８を用いて説明する。
【００４３】
先ず、図７において（Ａ）に示すように、ノズルプレート２１と、ノズル連通室１２と共通インク室２０とが形成されたインクプールプレート２２およびインクプールプレート２３と、共通インク室２０の厚さ方向連通路１８とノズル連通室１２とが形成されたスループレート２４と、平面方向連通路１６が形成されたインク供給路プレート２６と、圧力室１４が形成された圧力室プレート２８とを、この順に積層して接合する。
【００４４】
次いで、図７において（Ｂ）に示すように、ノズルプレート２１の表面に撥水コート膜を被覆し、エキシマレーザ５０でノズルプレート２１にノズル１０を開ける。
【００４５】
そして、同図において（Ｃ）に示すように、圧力室プレート２８に振動板３０を接着する。
【００４６】
尚、ノズルプレート２１の材質はポリイミドであり、インクプールプレート２２、インクプールプレート２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６、圧力室プレート２８、振動板３０の材質はＳＵＳである。
【００４７】
次に別途、圧電アクチュエータ４２と残存ダミー板４４と後述する固定基板７０からなる圧電ユニット６２を作成する。
【００４８】
図８において（Ａ）に示すように、圧電材料ブロック（図示せず）にラップ加工を施し、圧電プレート７２を作成する。圧電プレート７２の厚さは、圧電アクチュエータ４２に必要な、たわみ変形量や駆動電圧を基に決められる。本実施の形態では３５μｍである。
【００４９】
圧電プレート７２の両面にスパッタリング等で電極膜を形成する。電極膜材料としてはクロム、ニッケル、金、銀などが使用できる。
【００５０】
続いて、熱発泡性接着フィルムを介し、スパッタリング済みの圧電プレート７２を固定基板７０に仮固定する。固定基板７０には、流路プレートユニット６０との接合位置合わせを行うためのマーカ孔（図示せず）が開けられている。
【００５１】
仮固定した圧電プレート７２の上に、感光性を有するフィルムレジスト７６を貼り付ける。本実施の形態では、厚さ５０μｍのウレタン系フィルムレジストを使用した。その後、圧電アクチュエータ４２および残存ダミー板４４として残す部分にのみ紫外線（ＵＶ）が透過するパターンを有する露光マスク７８を別途作成し、上記のフィルムレジスト７６に貼り付ける。露光マスク７８は、固定基板７０のマーカ孔を基準にしてパターニングされている。
【００５２】
次に、図８において（Ｂ）に示すように、露光マスク７８を介してフィルムレジスト７６にＵＶ照射を行い、その後（Ｃ）に示すようにエッチング８４を行う。エッチング８４で使用されるエッチング液は、ＵＶ照射された部分を除去せず、かつ、それ以外の部分を確実に除去できる特性を有するものであり、例えば、炭酸ナトリウム水溶液が使用される。
【００５３】
エッチング後、図８において（Ｄ）に示すように、サンドブラスト加工を行う。サンドブラスト加工では、フィルムレジスト７６が除去されて露出した部分、即ち分離スリット４０に対応する部分は確実に研削除去され、かつ、フィルムレジスト７６が残った部分（圧電アクチュエータ４２と残存ダミー板４４）には研削が行われないような条件下で行う。サンドブラスト加工後、圧電アクチュエータ４２の周縁部をサンドブラスト加工して接着剤逃げ部４１を形成する。
【００５４】
このようにして作成された圧電ユニット６２を、図７において（Ｄ）に示すように、固定基板７０が接着された逆の面が振動板３０に当接するように流路プレートユニット６０に接着する。尚、流路プレートユニット６０に予め形成されているマークと固定基板７０に予め開けられているマーカ孔とを、例えば光学顕微鏡などを用いて合わせることにより、圧電ユニット６２と流路プレートユニット６０とを高精度で接着できる。また、圧電プレート７２の両面には、電極層として第１および第２電極層が形成されているから、圧電プレート７２を共通電極として兼用する振動板３０と接着剤で接着することにより、第一電極層は振動板３０と電気的に接続され、したがって圧電アクチュエータ４２と振動板３０とは電気的にも接続される。
【００５５】
続いて、図７において（Ｅ）に示すように、固定基板７０を加熱して熱発泡性接着フィルムの接着力を低減させ、固定基板７０を剥離し、同図において（Ｆ）に示すように、各圧電アクチュエータ４２毎に半田ボール３４を形成し、その上に回路基板３６を接合する。
【００５６】
尚、前述したように圧電プレート７２の両面には第１および第２電極層が形成されているので、第２電極層、すなわち圧電アクチュエータ４２と回路基板３６とは電気的に接続されている。また、回路基板３６と振動板３０とは図示しない接点にて接続されている。
【００５７】
最後にインク供給部材等を取り付けることにより、本実施の形態のインクジェット記録ヘッド１１２が完成する。
【００５８】
インクジェット記録ヘッド１１２を備えたインクジェット記録装置１０２を図９に示す。
【００５９】
インクジェット記録装置１０２は、図１３に示すように、インクジェット記録ヘッド１１２が装着されるキャリッジ１０４と、キャリッジ１０４を主走査方向Ｍに沿って走査する主走査機構１０６と、記録紙Ｐを副走査方向Ｓに沿って走査する副走査機構１０８と、メンテナンスステーション１１０とを有している。
【００６０】
インクジェット記録ヘッド１１２は、ノズル１０が形成されたノズルプレート２１が記録用紙Ｐと対向するようにキャリッジ１０４上に装着され、主走査機構１０６によって主走査方向Ｍに移動しつつインク滴を吐出することにより、記録用紙Ｐの一定のバンド領域ＢＥに対して画像の記録を行う。主走査方向への１回の移動が終了すると、副走査機構１０８によって記録用紙Ｐが副走査方向Ｓに沿って搬送され、再びキャリッジ１０４が主走査方向Ｍに移動しながらバンド領域ＢＥを記録する。こうした動作を複数回繰り返すことにより、記録用紙Ｐの全面にわたって画像記録を行うことができる。
【００６１】
なお、インクジェット記録ヘッド１１２がバンド領域ＢＥの全幅に亘る長さを有し、インクジェット記録ヘッド１１２を主走査方向Ｍに沿って走査することなく、記録用紙Ｐに画像を印字するようにしてもよい。
【００６２】
次にインクジェット記録ヘッド１１２の作用を説明する。
【００６３】
インクジェット記録ヘッド１１２に、図１において（Ｂ）で矢印Ｙで示すように、インク供給部材から導入されたインクが、共通インク室２０、平面方向連通路１６、圧力室１４、ノズル連通室１２に充填される。インクが充填された状態で、例えば半田ボール３４から振動板３０へと通電することで圧電アクチュエータ４２が歪み、振動板３０を介して圧力室１４内のインクが加圧され、ノズル１０からインク滴が吐出する。
【００６４】
インクジェット記録ヘッド１１２においては、圧電アクチュエータ４２の接着面に接着剤を過剰に塗布した場合でも、圧電アクチュエータ４２の外側に押し出された接着剤は、接着剤逃げ部４１の内側に溜り、圧電アクチュエータ４２の外側にはみ出すことがない。したがって、接着剤のはみ出しに起因するインク吐出特性のバラツキやインク吐出時のクロストークの発生などが効果的に防止できる。
【００６５】
また、圧電アクチュエータ４２は、２本の対角線の比が１に近い形状、つまり、駆動部のアスペクト比が１に近い略菱形の平面形状を有する圧電駆動部４２Ａと略扇形の電極パッド部４２Ｂとが溝４１を介して接合された形態を有し、電極パッド部４２Ｂの両端には凹み部４２Ｃが形成され、電極パッド部４２Ｂとの接続部には縊れ部４２Ｄが形成されている。したがって、図３に示すように、圧電アクチュエータ４２と残存ダミー板４４とは高密度のマトリックス状に配置することができる。また、前記接続部４２Ｄの括れにより、菱形形状部４２Ｂの電歪作用によるたわみ変形を妨げにくいから、高い単位面積当たりの駆動効率を得ることができ、換言すると良好で安定した圧電特性を得ることができる。
【００６６】
更に、溝幅４０は一定幅であるので、サイドエッチング量が何れの圧電アクチュエータ４２と残存ダミー板４４とにおいても同一になる。したがって、高精度の加工が可能になるから、圧電アクチュエータ４２と残存ダミー板４４とは寸法を均一にできる。
【００６７】
インクジェット記録ヘッド１１２は、前述のように、圧電アクチュエータ４２を高密度にマトリックス状に配置することができる形状であるので、ノズルプレート２１にもノズル１０を高密度に形成でき、良質な画像が得られる。
【００６８】
加えて圧電アクチュエータ４２の形状は、良好で安定した、ばらつきの少ない圧電特性を得られる形状となっているので、良好で安定した画像がえられる。
【００６９】
従って、インクジェット記録装置１０２によれば、良好で安定した画像形成が高速に行える。
【００７０】
本発明におけるインクジェット記録は、記録紙上への文字や画像の記録には限定されず、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。したがって、たとえば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりするなど、工業用的に用いられる液滴噴射装置全般に対して本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】図１は、実施形態１のインクジェット記録ヘッドの構成を示す断面斜視図である。
【図２】図２は、実施形態１のインクジェット記録ヘッドにおける圧電アクチュエータおよびその近傍の構成を示す拡大平面図、および前記拡大平面図において平面Ａ−Ａに沿って前記圧電アクチュエータ周辺を切断した断面を示す断面図である。
【図３】図３は、実施形態１のインクジェット記録ヘッドを圧電アクチュエータおよび残存ダミー板を接着した側から見た平面図である。
【図４】図４は、図３に示すインクジェット記録ヘッドの一部を拡大した拡大図である。
【図５】図５は、圧電アクチュエータに形成される接着剤逃げ部の一例を示す断面図である。
【図６】図６は、圧電アクチュエータに形成される接着剤逃げ部の別の例を示す断面図である。
【図７】図７は、実施形態１のインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す工程図である。
【図８】図８は、前記インクジェット記録ヘッドに使用される圧電アクチュエータの製造工程を示す工程図である。
【図９】図９は、本発明のインクジェット記録装置の一例につき、構成を示す斜視図である。
【図１０】図１０は、圧電アクチュエータに接着剤逃げ部を設けない場合の断面を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０  ノズル
１２  ノズル連通室
１４  圧力室
１４Ａ      壁面
１６  平面方向連通路
１８  厚さ方向連通路
２０  共通インク室
３０  振動板
３４  半田ボール
３６  回路基板
４０  分離スリット
４１  接着財逃げ部
４２  圧電アクチュエータ
４２Ａ      圧電駆動部
４４  残存ダミー板
１０２      インクジェット記録装置
１１２      インクジェット記録ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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