(57)【要約】【課題】パネル製造時に不純物吸着材を表示領域外に固定配置しておき、パネル製造後、不純物吸着材から最も遠い所に位置する表示電極間で放電を発生させ、その放電を不純物吸着材の方向に順次シフトさせることで、放電で叩き出した不純物を効率良く不純物吸着材に吸着させる。【解決手段】パネル製造時に、前面側の基板の最も外側に位置する表示電極のさらに外側の位置に、不純物吸着材（ゲッター剤）を、前面側の基板と背面側の基板との少なくとも一方に固定配置し、パネル製造後、不純物吸着材から最も遠い所に位置する表示電極とそれに隣接する表示電極との間で放電を発生させ、それに続いて放電発生対象の表示電極を不純物吸着材の方向に順次シフトさせながら隣接する表示電極どうしで放電を発生させてゆき、これら順次シフトの放電によって遊離した不純物を不純物吸着材に吸着させる。【選択図】図７
2006120357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向して貼り合わされた前面側の基板と背面側の基板を備え、前面側の基板には複数の第１電極が形成され、背面側の基板には第１電極と交差する方向に複数の第２電極が形成されたプラズマディスプレイパネルにおいて、
前面側の基板と背面側の基板を貼り合わせる前に、前面側の基板の最も外側に位置する第１電極のさらに外側の位置に、不純物吸着材を、前面側の基板と背面側の基板との少なくとも一方に固定配置し、
前面側の基板と背面側の基板を貼り合わせた後、不純物吸着材から最も遠い所に位置する第１電極とそれに隣接する第１電極との間で放電を発生させ、それに続いて放電発生対象の第１電極を不純物吸着材の方向に順次シフトさせながら隣接する第１電極どうしで放電を発生させてゆき、
これら順次シフトの放電によって遊離した不純物を不純物吸着材に吸着させることからなるプラズマディスプレイパネルの内部清浄化方法。
【請求項２】
不純物吸着材が、前面側の基板の最も外側に位置する一方と他方の第１電極の各外側に配置され、第１電極どうしの放電が、パネルのほぼ中央に位置する第１電極とそれに隣接する第１電極との放電から開始され、一方の第１電極の外側に位置する不純物吸着材の方向と、他方の第１電極の外側に位置する不純物吸着材の方向とに、順次シフトされる請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの内部清浄化方法。
【請求項３】
不純物吸着材が、前面側の基板の最も外側に位置する一方と他方の第１電極の内の一方の第１電極の外側に配置され、第１電極どうしの放電が、他方の第１電極とそれに隣接する第１電極との放電から開始され、不純物吸着材の方向に順次シフトされる請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの内部清浄化方法。
【請求項４】
不純物吸着材が、第１電極とほぼ同じ長さで、第１電極と平行に配置されてなる請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの内部清浄化方法。
【請求項５】
不純物吸着材が、ＢａＯ、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｒＯおよびこれらの混合物のグループから選択された１つまたは複数の材料から構成される請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの内部清浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」と記す）の内部清浄化方法に関し、さらに詳しくは、前面側の基板と背面側の基板を貼り合わせた後、パネル内で放電を発生させてパネル内を清浄化するＰＤＰの内部清浄化方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＰＤＰとして、３電極面放電構造のＡＣ型ＰＤＰが知られている。このＰＤＰは、前面側（表示面側）の基板に面放電が可能な表示電極を水平方向に多数設け、背面側の基板に発光セル選択用のアドレス電極を表示電極と交差する方向に多数設け、表示電極とアドレス電極との交差部をセルとするものである。表示電極とアドレス電極は誘電体層で覆われている。背面側の基板には、放電空間を仕切る隔壁が形成され、隔壁と隔壁との間の溝内には蛍光体層が形成されている。
【０００３】
ＰＤＰは、このように作製した前面側のパネルアセンブリと背面側のパネルアセンブリとを対向させて周辺を封止した後、内部に放電ガスを封入することにより作製されている。
【０００４】
このＰＤＰの駆動は、まず、表示電極とアドレス電極との間で発光セル選択用の放電を発生させる。この時生じたプラズマ放電では、空間電荷が発生し、その大部分が表示電極上の誘電体層を保護する保護膜（例えばＭｇＯ膜）上に蓄積される。次に、その放電で発生した電荷を利用し、表示電極間で維持放電を発生させることで行うようにしている。
【０００５】
このＰＤＰでは、前面側の基板と背面側の基板を貼り合わせた後、隣接する表示電極間で交互に放電を発生させて、一定期間エージングを行うようにしている。
【０００６】
このエージングは、各構造因子の製造過程において付着する、保護膜表面の水和物膜（水分）や不純物（ＣｘＨｙＯｚ）、あるいは製造時に完全燃焼されなかった不純物（Ｃ残渣）を、放電によるスパッタ現象で清浄化することを主たる目的としている。
【０００７】
このエージングでは、表示電極間に放電開始電圧を印加することにより行う。この放電は、上記の不純物がスパッタにより清浄化されて、パネル特性が安定化されるまで繰り返される（特許文献１参照）。なお、エージングの際の放電をシフトさせるものについては、特許文献２に記載のものなどが知られている。
【０００８】
【特許文献１】特開平５−３４２９９１号公報
【特許文献２】特開平３−２５４０４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、このエージングで叩き出された不純物は実質上、パネル内に浮遊しており、エージング終了後に長期にわたり放電を停止すると、放電ガス中の不純物が保護膜に再付着する。
【００１０】
このように不純物が保護膜に再付着すると、放電電圧の上昇を引き起こすことがある。また、パネル内に不純物が部分的についた場合、電圧ムラや表示点灯ムラなどの問題を引き起こす。また、蛍光体層に付着した場合、蛍光体の寿命特性が不安定となる。
【００１１】
このように、エージングによって一時的に保護膜の表面や蛍光体層の表面を清浄化したとしても、不純物の再付着によりパネルの表示品質や寿命に影響を与えることがある。
【００１２】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、パネル製造時に不純物吸着材を表示領域外に固定配置しておき、パネル製造後、不純物吸着材から最も遠い所に位置する表示電極間で放電を発生させ、その放電を不純物吸着材の方向に順次シフトさせることで、放電で叩き出した不純物を効率良く不純物吸着材に吸着させるものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、対向して貼り合わされた前面側の基板と背面側の基板を備え、前面側の基板には複数の第１電極が形成され、背面側の基板には第１電極と交差する方向に複数の第２電極が形成されたプラズマディスプレイパネルにおいて、前面側の基板と背面側の基板を貼り合わせる前に、前面側の基板の最も外側に位置する第１電極のさらに外側の位置に、不純物吸着材を、前面側の基板と背面側の基板との少なくとも一方に固定配置し、前面側の基板と背面側の基板を貼り合わせた後、不純物吸着材から最も遠い所に位置する第１電極とそれに隣接する第１電極との間で放電を発生させ、それに続いて放電発生対象の第１電極を不純物吸着材の方向に順次シフトさせながら隣接する第１電極どうしで放電を発生させてゆき、これら順次シフトの放電によって遊離した不純物を不純物吸着材に吸着させることからなるプラズマディスプレイパネルの内部清浄化方法である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、放電によって遊離した不純物が不純物吸着材に吸着されるので、パネル内汚染による表示品質不良の解消や、寿命特性の安定化などの効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明において、前面側の基板と背面側の基板としては、ガラス、石英、セラミック等の基板や、これらの基板上に、電極、絶縁膜、誘電体層、保護膜等の所望の構成物を形成した基板が含まれる。
【００１６】
複数の第１の電極は、前面側の基板に平行して形成されていればよい。この電極としては、たとえば帯状、ラダー（はしご）形状、くし歯状など、当該分野で公知の各種の形状の電極が含まれる。また、複数の第２電極は、背面側の基板に第１電極と交差する方向に形成されていればよい。
【００１７】
複数の第１電極と複数の第２電極との各交差部には発光セル領域が形成される。この発光セル領域は、通常は隔壁で仕切られるが、本発明においては、特に隔壁で仕切られている必要はない。
【００１８】
複数の第１電極と複数の第２電極は、平面的に見て交差する方向に配置されていればよく、一方が縦方向であれば他方が横方向に、逆に一方が横方向であれば他方が縦方向に、それぞれ配置されていればよい。交差角度は直交に限定されず任意の角度で交差していればよい。
【００１９】
第１電極および第２電極は、当該分野で公知の各種の材料と方法を用いて形成することができる。電極に用いられる材料としては、例えば、ＩＴＯ、ＳｎＯ2などの透明な導電性材料や、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒなどの金属の導電性材料が挙げられる。電極の形成方法としては、当該分野で公知の各種の方法を適用することができる。たとえば、印刷などの厚膜形成技術を用いて形成してもよいし、物理的堆積法または化学的堆積法からなる薄膜形成技術を用いて形成してもよい。厚膜形成技術としては、スクリーン印刷法などが挙げられる。薄膜形成技術の内、物理的堆積法としては、蒸着法やスパッタ法などが挙げられる。化学的堆積方法としては、熱ＣＶＤ法や光ＣＶＤ法、あるいはプラズマＣＶＤ法などが挙げられる。
【００２０】
不純物吸着材は、前面側の基板と背面側の基板を貼り合わせる前に、前面側の基板の最も外側に位置する第１電極のさらに外側の位置に、前面側の基板と背面側の基板との少なくとも一方に固定配置されていればよい。この不純物吸着材としては、ＢａＯ、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｒＯおよびこれらの混合物のグループから選択された１つまたは複数の材料を適用することができる。
【００２１】
本発明の内部清浄化方法においては、前面側の基板と背面側の基板を貼り合わせた後、不純物吸着材から最も遠い所に位置する第１電極とそれに隣接する第１電極との間で放電を発生させ、それに続いて放電発生対象の第１電極を不純物吸着材の方向に順次シフトさせながら隣接する第１電極どうしで放電を発生させてゆく。
【００２２】
不純物吸着材から最も遠い所に位置する第１電極とは、パネルの一方と他方の両端部に不純物吸着材が配置されている場合には、パネルの中央部を意味する。また、パネルの一方の端部に不純物吸着材が配置されている場合には、パネルの他方の端部に位置する第１電極を意味する。
【００２３】
第１電極どうしの放電は、放電開始電圧を交互に印加して放電を発生させることにより行うことが望ましい。第１電極どうしの１箇所での放電回数は、数回から数百回のオーダーで任意に設定することができる。
【００２４】
そして、この放電を繰返しながら、この放電によって遊離した不純物が不純物吸着材に吸着されるように、放電対象の第１電極を不純物吸着材の方向に順次シフトさせて行くことが望ましい。
【００２５】
上記内部清浄化方法においては、不純物吸着材が、前面側の基板の最も外側に位置する一方と他方の第１電極の各外側に配置され、第１電極どうしの放電が、パネルのほぼ中央に位置する第１電極とそれに隣接する第１電極との放電から開始され、一方の第１電極の外側に位置する不純物吸着材の方向と、他方の第１電極の外側に位置する不純物吸着材の方向とに、順次シフトされるようにしてもよい。
【００２６】
また、不純物吸着材が、前面側の基板の最も外側に位置する一方と他方の第１電極の内の一方の第１電極の外側に配置され、第１電極どうしの放電が、他方の第１電極とそれに隣接する第１電極との放電から開始され、不純物吸着材の方向に順次シフトされるようにしてもよい。
【００２７】
不純物吸着材は、第１電極とほぼ同じ長さで、第１電極と平行に配置されていることが望ましい。
【００２８】
以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を詳述する。なお、本発明はこれによって限定されるものではなく、各種の変形が可能である。
【００２９】
図１（ａ）および図１（ｂ）は本発明の内部清浄化方法を適用するＰＤＰの構成を示す部分分解斜視図である。このＰＤＰはカラー表示用の３電極面放電構造のＡＣ型ＰＤＰである。
【００３０】
本ＰＤＰは、前面側の基板１１を含む前面側のパネルアセンブリ（図１（ａ））と、背面側の基板２１を含む背面側のパネルアセンブリ（図１（ｂ））から構成されている。前面側の基板１１と背面側の基板２１としては、ガラス基板、石英基板、セラミック基板等を使用することができる。
【００３１】
前面側の基板１１の内側面には、水平方向に表示電極Ｘと表示電極Ｙが等間隔に形成されている（以後、表示電極Ｘは単に「Ｘ電極」と、表示電極Ｙは単に「Ｙ電極」と記すこともある）。表示電極Ｘと表示電極Ｙとの間が表示ラインとなる。各表示電極Ｘ，Ｙは、ＩＴＯ、ＳｎＯ2などの幅の広い透明電極１２と、例えばＡｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ及びそれらの積層体（例えばＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒの積層構造）等からなる金属製の幅の狭いバス電極１３から構成されている。表示電極Ｘ，Ｙは、Ａｇ、Ａｕについてはスクリーン印刷のような厚膜形成技術を用い、その他については蒸着法、スパッタ法等の薄膜形成技術とエッチング技術を用いることにより、所望の本数、厚さ、幅及び間隔で形成することができる。
【００３２】
表示電極Ｘ，Ｙの上には、表示電極Ｘ，Ｙを覆うように交流（ＡＣ）駆動用の誘電体層１７が形成されている。誘電体層１７は、低融点ガラスペーストを、前面側の基板１１上にスクリーン印刷法で塗布し、焼成することにより形成している。
【００３３】
誘電体層１７の上には、表示の際の放電により生じるイオンの衝突による損傷から誘電体層１７を保護するための保護膜１８が形成されている。この保護膜は、例えば、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ等からなる。
【００３４】
背面側の基板２１の内側面には、平面的にみて表示電極Ｘ，Ｙと交差する方向に複数のアドレス電極Ａが形成され、そのアドレス電極Ａを覆って誘電体層２４が形成されている。アドレス電極Ａは、Ｙ電極との交差部で発光セルを選択するためのアドレス放電を発生させるものであり、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒの３層構造で形成されている。このアドレス電極Ａは、その他に、例えばＡｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ等で形成することもできる。アドレス電極Ａも、表示電極Ｘ，Ｙと同様に、Ａｇ、Ａｕについてはスクリーン印刷のような厚膜形成技術を用い、その他については蒸着法、スパッタ法等の薄膜形成技術とエッチング技術を用いることにより、所望の本数、厚さ、幅及び間隔で形成することができる。誘電体層２４は、誘電体層１７と同じ材料、同じ方法を用いて形成することができる。
【００３５】
隣接するアドレス電極Ａとアドレス電極Ａとの間の誘電体層２４上には、複数のストライプ状の隔壁２９が形成されている。隔壁２９は、サンドブラスト法、印刷法、フォトエッチング法等により形成することができる。例えば、サンドブラスト法では、低融点ガラスフリット、バインダー樹脂、溶媒等からなるガラスペーストを誘電体層２４上に塗布して乾燥させた後、そのガラスペースト層上に隔壁パターンの開口を有する切削マスクを設けた状態で切削粒子を吹きつけて、マスクの開口に露出したガラスペースト層を切削し、さらに焼成することにより形成する。また、フォトエッチング法では、切削粒子で切削することに代えて、バインダー樹脂に感光性の樹脂を使用し、マスクを用いた露光及び現像の後、焼成することにより形成する。
【００３６】
隔壁２９の側面及び隔壁間の誘電体層２４上には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂが形成されている。蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは、蛍光体粉末とバインダー樹脂と溶媒とを含む蛍光体ペーストを隔壁２９間の凹溝状の放電空間内にスクリーン印刷、又はディスペンサーを用いた方法などで塗布し、これを各色毎に繰り返した後、焼成することにより形成している。この蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは、蛍光体粉末と感光性材料とバインダー樹脂とを含むシート状の蛍光体層材料（いわゆるグリーンシート）を使用し、フォトリソグラフィー技術で形成することもできる。この場合、所望の色のシートを基板上の表示領域全面に貼り付けて、露光、現像を行い、これを各色毎に繰り返すことで、対応する隔壁間に各色の蛍光体層を形成することができる。
【００３７】
ＰＤＰは、上記した前面側のパネルアセンブリと背面側のパネルアセンブリとを、表示電極Ｘ，Ｙとアドレス電極Ａとが交差するように対向配置し、周囲を封止し、隔壁２９で囲まれた放電空間３０に放電ガスを充填することにより作製されている。このＰＤＰでは、表示電極Ｘ，Ｙとアドレス電極Ａとの交差部の放電空間３０が表示の最小単位である１つのセル領域（単位発光領域）となる。１画素はＲ、Ｇ、Ｂの３つのセルで構成される。
【００３８】
図２は図１（ａ）および図１（ｂ）で示したＰＤＰを隔壁と交差する方向に切断した状態を示す説明図である。図３は図２のIII−III断面図である。
このＰＤＰでは、表示駆動においては、表示電極Ｙをスキャン電極として用いて順次スキャン電圧を印加してゆき、その間に所望のアドレス電極Ａに電圧を印加して、発光させるべきセルでアドレス放電を発生させ、次に、その残留電荷を利用して、表示電極Ｘと表示電極Ｙとの間で表示放電を発生させ、これを繰り返すことで画面の表示を行うようにしている。
【００３９】
図４（ａ）、図４（ｂ）および図４（ｃ）はエージングの際のパネル内の清浄化の説明図である。
エージングは、上述したように、各構造因子の製造過程において付着する、保護膜表面の水和物膜（Ｈ2Ｏ）や不純物（ＣｘＨｙＯｚ）、あるいは製造時に完全燃焼されなかった不純物（Ｃ残渣）を、表示電極Ｘ，Ｙ間の放電によるスパッタ現象で清浄化するものである。
【００４０】
このため、ＰＤＰの製造後、アドレス電極Ａを用いず、表示電極Ｘと表示電極Ｙのみを用い、表示電極Ｘと表示電極Ｙとの間に放電開始電圧を交互に印加し、表示電極Ｘ，Ｙ間で交互に放電を発生させて、エージングを行う。
【００４１】
このエージングでは、製造時に付着したＨ2Ｏ、ＣｘＨｙＯｚ、Ｃ残渣等の不純物（汚染物）を保護膜１８表面あるいは蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ表面から叩き出す（図４（ａ）参照）。
【００４２】
そして、これを一定期間繰り返すことで、不純物をＣＯ2、Ｈ2、Ｏ2、に変換したり、Ｈ2Ｏ、Ｃ等を浮遊させ、汚染除去を行う（図４（ｂ）参照）。
【００４３】
しかし、エージングによって一時的に保護膜の表面や蛍光体層の表面を清浄化したとしても、このエージングで叩き出された不純物は実質上、パネル内に浮遊しており、エージング終了後に長期にわたり放電を停止すると、放電ガス中の不純物が保護膜に再付着する（図４（ｃ）参照）。そして、この再付着がＰＤＰの表示品質や寿命に影響を与える。
【００４４】
図５はエージングの際に不純物吸着材として用いるゲッター剤の位置を示す説明図である。
本発明では、エージングで叩き出した不純物が保護膜に再付着することを防止するために、ＰＤＰの製造時に、製品上支障のない表示領域３３の外側に、水分や不純物を吸着させるＢａＯ、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｒＯ等からなる膜状のゲッター剤を固定配置しておく。この膜状のゲッター剤は一度吸着した水分や不純物を離さないようになっている。本実施形態では、製品上支障のない表示領域３３の外側として、パネルの上端部にゲッター剤３１ａ，３１ｂを固定配置し、パネルの下端部にゲッター剤３１ｃ，３１ｄを固定配置している。ゲッター剤３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄは、公知の成膜方法を適用することで任意の位置に固定配置することが可能である。
【００４５】
ゲッター剤３１ａ，３１ｂとゲッター剤３１ｃ，３１ｄは、本実施形態においては、前面側の基板１１と背面側の基板２１の両方に配置した構成としているが、いずれか一方のみに配置した構成であってもよい。
【００４６】
そして、エージングにおいては、表示電極Ｘと表示電極Ｙのみを用い、表示電極Ｘと表示電極Ｙとの間に放電開始電圧を交互に印加し、表示電極Ｘ，Ｙ間で交互に放電を発生させ、放電発生対象の表示電極をパネルの中央から上下の方向に順次シフトさせる。あるいは、パネルの上下どちらかの端から反対側の端へ順次シフトさせる。これにより、不純物をストライプ状のリブ間に形成された放電空間を通して表示領域の外側に移動させ、表示領域外のハイゲッター剤３１ａ，３１ｂとゲッター剤３１ｃ，３１ｄに不純物を吸着させる。
なお、放電空間をセル毎に区画する格子状の隔壁においても、隔壁上部と対向基板との間には僅かな隙間が存在するので、不純物の移動が可能である。
【００４７】
図６はエージングの際に印加するパルス発生回路を示す説明図である。
図中、１０はＰＤＰ、１０ａは維持放電パルス発生回路Ｘ、１０ｂは維持放電パルス発生回路Ｙである。
【００４８】
エージングの際には、Ｘ側の維持放電パルス発生回路１０ａからＰＤＰ１０の表示電極Ｘに維持放電パルスを印加し、Ｙ側の維持放電パルス発生回路１０ｂからＰＤＰ１０の表示電極Ｙに維持放電パルスを印加する。印加する電圧波形はＸ電極側もＹ電極側も同じである。したがって、Ｘ側の回路とＹ側の回路は同じ構成となっている。
【００４９】
図７はＰＤＰの内部清浄化方法の一例を示す説明図である。この図はＰＤＰを隔壁と平行に切断した状態を示している。
本例では、最初にパネル中央の表示電極Ｘａ，Ｙａ間で放電を発生させ、その放電発生対象の表示電極をパネルの中央から両端にシフトさせることにより、不純物を表示領域の外側に移動させてゲッター剤に吸着させるようにしている。
【００５０】
ＰＤＰには、製造時に、前面側の基板１１と背面側の基板２１の表示に影響を及ぼさない領域にゲッター剤３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを固定配置しておく。具体的には、最も上側に位置する表示電極の上側にゲッター剤３１ａ，３１ｂを固定配置し、最も下側に位置する表示電極の下側にゲッター剤３１ｃ，３１ｄを固定配置しておく。
【００５１】
そして、エージングを行うセルの順番を表示ライン毎に制御し、放電発生対象の表示電極をパネルの上側と下側にシフトさせることにより、放電スパッタにより叩き出された不純物３２をパネルの表示領域外まで移動させ、ゲッター剤３１ａ，３１ｂとゲッター剤３１ｃ，３１ｄに吸着させる。
【００５２】
具体的には、パネルの中央に位置する表示電極Ｘａ，Ｙａ間で放電を開始させ、この放電をパネル上側のゲッター剤３１ａ，３１ｂの方向に順次シフトさせて不純物３２をゲッター剤３１ａ，３１ｂに吸着させる。またこれと同時に放電をパネル下側のゲッター剤３１ｃ，３１ｄの方向にも順次シフトさせて不純物３２をゲッター剤３１ｃ，３１ｄに吸着させ、これにより保護膜１８への不純物３２の再付着を防止する。
【００５３】
図８（ａ）、図８（ｂ）および図８（ｃ）は図７で示したエージングの際の印加電圧波形を示す説明図である。
エージングの際には、パネルのほぼ中央に位置する表示電極Ｘａ，Ｙａ間および表示電極Ｘｂ，Ｙｂ間で放電を開始させる（図８（ａ）参照）。図７では最初の放電開始を表示電極Ｘａ，Ｙａ間の一対としていたが、このように二対で放電を開始させてもよい。
【００５４】
そして、表示電極Ｘａ，Ｙａ間の放電は上側のゲッター剤３１ａ，３１ｃの方向に順次シフトさせて（図８（ｂ）参照）、不純物３２をゲッター剤３１ａ，３１ｃに吸着させる（図８（ｃ）参照）。
【００５５】
また、表示電極Ｘｂ，Ｙｂ間の放電は下側のゲッター剤３１ｂ，３１ｄの方向に順次シフトさせて（図８（ｂ）参照）、不純物３２をゲッター剤３１ｂ，３１ｄに吸着させる（図８（ｃ）参照）。これにより保護膜１８への不純物３２の再付着を防止する。
【００５６】
図９はＰＤＰの内部清浄化方法の他の例を示す説明図である。この図はＰＤＰを隔壁と平行に切断した状態を示している。
本例では、最初にパネルの上下どちらかの端の表示電極Ｘ，Ｙ間で放電を発生させ、その放電対象の表示電極をパネルの上下どちらかの端から反対側の端へシフトさせることにより、不純物を表示領域の外側に移動させてゲッター剤に吸着させるようにしている。
【００５７】
ＰＤＰには、製造時に、前面側の基板１１と背面側の基板２１の表示に影響を及ぼさない領域にゲッター剤３１ｃ，３１ｄを固定配置しておく。具体的には、最も下側に位置する表示電極の下側にゲッター剤３１ｃ，３１ｄを固定配置しておく。
【００５８】
そして、エージングを行うセルの順番を表示ライン毎に制御し、放電発生対象の表示電極をパネルの下側にシフトさせることにより、放電スパッタにより叩き出された不純物３２をパネルの表示領域外まで移動させ、ゲッター剤３１ｃ，３１ｄに吸着させる。
【００５９】
具体的には、パネルの最も上側に位置する表示電極Ｘ１，Ｙ１間で放電を開始させ、この放電をパネル下側のゲッター剤３１ｃ，３１ｄの方向に順次シフトさせて不純物３２をゲッター剤３１ｃ，３１ｄに吸着させ、これにより保護膜１８への不純物３２の再付着を防止する。
【００６０】
図１０（ａ）、図１０（ｂ）および図１０（ｃ）は図９で示したエージングの際の印加電圧波形を示す説明図である。
エージングの際には、パネルの上側に位置する表示電極Ｘ１，Ｙ１間で放電を開始させる（図１０（ａ）参照）。
【００６１】
そして、表示電極Ｘ１，Ｙ１間の放電を下側のゲッター剤３１ｃ，３１ｄの方向に順次シフトさせて（図１０（ｂ）参照）、不純物３２をゲッター剤３１ｃ，３１ｄに吸着させる（図１０（ｃ）参照）。これにより保護膜１８への不純物３２の再付着を防止する。
【００６２】
このようなエージングを兼ねたパネル内の清浄化方法で、不純物をゲッター剤に吸着させることにより、不純物が保護膜の表面および蛍光体層の表面に再付着することを防止する。
【００６３】
これにより、封止後のパネルに対するエージングが効率よく行われるため、エージング時間の短縮効果を奏し、パネル内汚染による表示品質不良の解消や、寿命特性の安定化などの効果が得られ、ＰＤＰの表示異常・点灯電圧異常の解消と寿命特性の安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明を適用するＰＤＰの構成を示す部分分解斜視図である。
【図２】ＰＤＰを隔壁と交差する方向に切断した状態を示す説明図である。
【図３】図２のIII−III断面図である。
【図４】エージングの際のパネル内の清浄化の説明図である。
【図５】エージングの際に用いるゲッター剤の位置を示す説明図である。
【図６】エージングの際に印加するパルス発生回路を示す説明図である。
【図７】ＰＤＰの内部清浄化方法の一例を示す説明図である。
【図８】エージングの際の印加電圧波形を示す説明図である。
【図９】ＰＤＰの内部清浄化方法の他の例を示す説明図である。
【図１０】エージングの際の印加電圧波形を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０  ＰＤＰ
１０ａ  維持放電パルス発生回路Ｘ
１０ｂ  維持放電パルス発生回路Ｙ
１１  前面側の基板
１２  透明電極
１３  バス電極
１７，２４  誘電体層
１８  保護膜
２１  背面側の基板
２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ  蛍光体層
２９  隔壁
３０  放電空間
３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ  不純物吸着材（ゲッター剤）
３２  不純物
Ａ  アドレス電極
Ｘ，Ｙ  表示電極
【図１】
2006120357.tif 000003
【図２】
2006120357.tif 000004
【図３】
2006120357.tif 000005
【図４】
2006120357.tif 000006
【図５】
2006120357.tif 000007
【図６】
2006120357.tif 000008
【図７】
2006120357.tif 000009
【図８】
2006120357.tif 000010
【図９】
2006120357.tif 000011
【図１０】
2006120357.tif 000012