(57)【要約】【課題】プラスチック材にレーザー照射による凹部や貫通穴をワークに加工したとき、凹部や貫通穴の周囲に黒っぽい汚れが付着する。【解決手段】プラスチック板１のレーザー照射面側と反対側の面に耐レーザーフィルム部材２を貼り付け、プラスチック板１のレーザー照射面側に枠３で液体Ｗを保持した状態で、レーザー照射面が水Ｗで覆われたプラスチック板１に対して水Ｗを通してエキシマレーザー光Ｌｅを照射して、プラスチック板１に貫通開口５を形成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック材にレーザー照射による凹部又は貫通開口を加工してプラスチック加工品を作製するプラスチック加工方法において、前記プラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光を前記プラスチック材に照射することを特徴とするプラスチック加工方法。
【請求項２】
請求項１に記載のプラスチック加工方法において、前記プラスチック材がプラスチック板又はプラスチックシートであり、このプラスチック板又はプラスチックシートにレーザー照射による複数の貫通開口からなる印刷パターンが加工された印刷マスクを作製することを特徴とするプラスチック加工方法。
【請求項３】
請求項２に記載のプラスチック加工方法において、前記プラスチック板又はプラスチックシートにおけるレーザー照射側の面とは反対面に、前記レーザー光に対してレーザー透過性又は耐破壊性を発揮する材料からなるフィルム部材を貼り付けた状態で、前記プラスチック板又はプラスチックシートをレーザー加工することを特徴とするプラスチック加工方法。
【請求項４】
プラスチック材にレーザー照射による貫通開口を形成して液滴を吐出する複数のノズル孔を有する液体吐出ヘッド用ノズル板を製造するノズル板の製造方法において、板状又はシート状の前記プラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光を前記プラスチック材に照射することを特徴とするノズル板の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のノズル板の製造方法において、前記プラスチック材におけるレーザー照射側の面とは反対面に、前記レーザー光に対してレーザー透過性又は耐破壊性を発揮する材料からなるフィルム部材を貼り付けた状態で、前記プラスチック材をレーザー加工することを特徴とするノズル板の製造方法。
【請求項６】
プラスチック材にレーザー照射による貫通開口を形成して液滴を吐出する複数のノズル孔を有する液体吐出ヘッド用ノズル板を製造するノズル板の製造方法において、予め流路となる複数の貫通穴が形成された流路部材に板状又はシート状の前記プラスチック材を接合し、前記流路部材の貫通穴のそれぞれに液体を充填して前記プラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光を前記プラスチック材に照射することを特徴とするノズル板の製造方法。
【請求項７】
請求項５に記載のノズル板の製造方法において、前記液体として、表面張力を低下させる水溶液を用いることを特徴とするノズル板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラスチック加工方法及びノズル板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラスチック材にレーザー照射による複数の貫通孔や凹部を加工対象物に形成して所定の孔パターンや凹部パターンを得るプラスチック加工方法が広く用いられている。例えば、電子機器の分野で、特許文献１には、電子回路基板にはんだペーストからなるペースト塊を印刷するための印刷マスクを、エキシマレーザー加工により、プラスチック板に複数の貫通開口からなる印刷パターンを形成して作製することが記載されている。また、特許文献２には、プラスチック板にインク吐出用の複数の吐出孔（ノズル）をレーザー加工して液体吐出ヘッド用のノズル板を作製することが記載されている。
【特許文献１】特開平７−８１０２７号公報
【特許文献２】特開平６−１１５０８１号公報
【０００３】
なお、液体吐出ヘッドとしては、例えば特許文献３〜５に記載されているようなものが知られている。
【特許文献３】特開２００４−１９５８５２号公報
【特許文献４】特開２００１−８８２９０号公報
【特許文献５】特開平６−３２０４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１、２に記載されているような従来のプラスチック材からなるワークをレーザー加工するプラスチック加工方法にあっては、レーザー照射による凹部や貫通穴をワークに加工したとき、凹部や貫通穴の周囲に黒っぽい汚れを付着させることがあった。この汚れは、レーザー照射によってプラスチック材料が破壊されてガスとなり、その組成の一部が凹部や貫通穴の周囲に付着することによって生じるものである。
【０００５】
この場合、アルコールなどの有機溶媒を染み込ませた布で擦ることで、この汚れを拭き取ることができるが、このような拭き取り作業には手間がかかって作業効率、加工ないし製造効率が低下し、コストアップになるという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、プラスチック加工の加工効率を向上させるプラスチック加工方法及びノズル板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係るプラスチック加工方法は、プラスチック材にレーザー照射による凹部又は貫通開口を加工してプラスチック加工品を作製するとき、プラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光をプラスチック材に照射する構成とした。
【０００８】
ここで、プラスチック材がプラスチック板又はプラスチックシートであり、このプラスチック板又はプラスチックシートにレーザー照射による複数の貫通開口からなる印刷パターンが加工された印刷マスクを作製することができる。
【０００９】
この場合、プラスチック板又はプラスチックシートにおけるレーザー照射側の面とは反対面に、レーザー光に対してレーザー透過性又は耐破壊性を発揮する材料からなるフィルム部材を貼り付けた状態で、プラスチック板又はプラスチックシートをレーザー加工することが好ましい。
【００１０】
本発明に係るノズル板の製造方法は、プラスチック材にレーザー照射による貫通開口を形成して液滴を吐出する複数のノズル孔を有する液体吐出ヘッド用ノズル板を製造するノズル板の製造方法であって、板状又はシート状のプラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光をプラスチック材に照射する構成とした。
【００１１】
ここで、プラスチック材におけるレーザー照射側の面とは反対面に、レーザー光に対してレーザー透過性又は耐破壊性を発揮する材料からなるフィルム部材を貼り付けた状態で、プラスチック材をレーザー加工することが好ましい。
【００１２】
本発明に係るノズル板の製造方法は、プラスチック材にレーザー照射による貫通開口を形成して液滴を吐出する複数のノズル孔を有する液体吐出ヘッド用ノズル板を製造するノズル板の製造方法であって、予め流路となる複数の貫通穴が形成された流路部材に板状又はシート状のプラスチック材を接合し、流路部材の貫通穴のそれぞれに液体を充填してプラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光をプラスチック材に照射する構成とした。
【００１３】
ここで、液体として、表面張力を低下させる水溶液を用いることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るプラスチック加工方法、ノズル板の製造方法によれば、プラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光をプラスチック材に照射する構成としたので、レーザー照射による凹部や貫通穴をワークに加工したときに凹部や貫通穴の周囲に黒っぽい汚れが発生せず、プラスチック加工品或いはノズル板の加工ないし製造効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態について添付図面を参照して説明する。
先ず、本発明を適用したプラスチック加工方法によって印刷マスクを製造するマスク製造方法について図１ないし図３を参照して説明する。
ここでは、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＴ）又はＰＩ（ポリイミド）等のプラスチック材料からなるプラスチック板に、複数の貫通開口からなる印刷パターンをレーザー加工して、印刷用のプラスチックマスクを作製する例で説明する。
【００１６】
まず、レーザー加工に先立って、プラスチック板に前準備を施しておく。この前準備では、図１に示すように、プラスチック板１の裏面、即ちレーザー照射側の面と反対面に、レーザー光に対してレーザー透過性又は耐破壊性を発揮する材料からなるフィルム部材２を貼り付ける。例えば、耐レーザー性に優れた、接着剤付きポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やＰＶＣからなる材料で、レーザーが貫通しない程度の厚みを有するフィルム部材２を用いることができる。ただし、このフィルム部材２を使い捨てとすると、生産数量の増加に伴って環境に対する負荷が増大することになる。そこで、好ましくは、耐レーザー性に優れた接着剤付きフッ素樹脂や接着剤付きポリアセタール等などの耐レーザー樹脂材料基材をフィルム部材２としてリサイクルし、接着剤部分は再塗布しながら貼り付けて使用する。
【００１７】
また、プラスチック板１の表面、即ちレーザー照射側の面には、縁部を囲むアルミ等の金属からなる枠３を貼り付ける。この枠３は、液体としての水をプラスチック板１のレーザー照射面に保持させるための堰として機能するものである。
【００１８】
その後、図２に示すように、プラスチック板１を図示しないレーザー加工装置のワーク固定板４上に吸引固定しながら、枠３内を水Ｗで満たす。この水Ｗとしては、できるだけ不純物のない蒸留水、精製水、逆浸透膜で濾過したＲＯ処理水等を用いることが好ましい。また、プラスチック板１を載置しているワーク固定板４は、多孔質セラミックからなり、プラスチック板１及び耐レーザーフィルム部材２は、この多孔質セラミックの微細孔を通してワーク固定板４に吸引固定されている。
【００１９】
そして、枠３内を水で満たしたら、レーザー照射面が水Ｗで覆われたプラスチック板１に対して、水Ｗを通してエキシマレーザー光Ｌｅを照射する。
【００２０】
これにより、図３に示すように、プラスチック板１に貫通開口５が形成されて、その内部に水Ｗが進入する。しかし、プラスチック板１の裏面に貼り付けられた耐レーザーフィルム部材２は、エキシマレーザー孔Ｌｅの照射によって加工されない材料や貫通しない程度の厚みを有する材料であるため、貫通開口６内に侵入した水Ｗの裏まわりが回避される。
【００２１】
このようにして、エキシマレーザー孔Ｌｅの照射によって複数の貫通穴５を加工して印刷パターンをプラスチック板１に形成した後、プラスチック板１をワーク固定板４から取り外す。そして、枠３内の水Ｗを取り除いた後、枠３や耐レーザーフィルム部材２をプラスチック板１から剥がして、複数の貫通穴（貫通開口）５が形成されたプラスチックマスクを得る。
【００２２】
このように、プラスチック材にレーザー照射による凹部又は貫通開口を加工してプラスチック加工品を作製するとき、プラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光をプラスチック材に照射することによって、凹部や貫通穴の周囲に黒っぽい汚れが発生せず、プラスチック加工品の加工ないし製造効率が向上する。
【００２３】
このとき、プラスチック材の表面を覆った液体を介してプラスチック材にレーザー光を照射することで汚れが低減できた理由は次のように考えられる。即ち、レーザー照射に伴うプラスチック材料の破壊によって発生したガス中に含まれる汚れの成分が、液体中に保持されて、凹部や貫通開口のプラスチック材表面まで到達することが困難になったためである。
【００２４】
この場合、プラスチック材がプラスチック板又はプラスチックシートであり、このプラスチック板又はプラスチックシートにレーザー照射による複数の貫通開口からなる印刷パターンが加工された印刷マスクを製作することができる。
【００２５】
また、このように、レーザー加工対象となるワークとして、薄厚のプラスチック板やプラスチックシートを用いる場合には、上述したように、複数の微細孔が形成された硝子板や多孔質材料からなる板材をレーザー加工装置のワーク固定台に取り付けて、その微細孔を通してワークを吸引固定することが一般的に行われる。このような吸引固定では、ワークをレーザー照射によって穿孔加工したときに、ワークのレーザー表面に保持させていた液体を、その孔を通して裏まわりさせて、吸引手段に吸引させてしまうおそれがある。
【００２６】
そこで、ワークにおけるレーザー照射側の面とは反対面（裏面側）に、レーザー光に対してレーザー透過性又は耐破壊性を発揮する材料からなるフィルム部材を貼り付けた状態で、ワークをレーザー加工する。このようなレーザー加工では、ワークの裏面に貼り付けたフィルム部材をレーザー照射によって穿孔加工することがないので、ワークに形成された貫通穴に侵入した液体の裏まわりをフィルム部材によって阻止することができ、ワークを吸引固定して加工することができるようになる。
【００２７】
次に、液体吐出ヘッドのノズル板を製造する製造方法について説明する。
先ず、液体吐出ヘッドの一例について図４ないし図６を参照して説明する。なお、図４は同ヘッドのノズル板の平面説明図、図５は同ヘッドのノズル部分の拡大断面説明図、図６は同ノズル部分を記録液流入側から見た説明図である。
【００２８】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板（ノズルシート）１０１とノズル板１０１を接合する流路部材である流路板１０２とを備えている（両者を併せた部材をノズル・流路部材１０３という。）。ノズル板１０１は、厚み２５μｍのポリエチレンナフタレート等のプラスチックシート（シート状プラスック）で形成され、液滴を吐出する複数のノズル１０１ａを所定の間隔で並べて形成したノズル列を２列有している。このノズル板１０１の大きさは、例えば、３８ｍｍ×５ｍｍの矩形状である。また、ノズル（吐出孔）１０１ａの大きさは、平面形状で直径２６μｍの真円形状としている。
【００２９】
流路板１０２は、厚み７０〜１００μｍのＳｉＯ２からなる基板に異方性エッチングによって、ノズル１０１ａが連通するノズル連通路又は液室となる複数の貫通穴１０２ａを形成したものである。これら貫通穴１０２ａは、それぞれ流入側（図５で上側）から流出側（図５で下側）に向けての記録液（インク）の流路となるもので、その平面形状は、図６に示すように菱形状になっている。菱形の一辺の長さは１００μｍ程度である。
【００３０】
この液体吐出ヘッドでは、ノズル１０１ａは平面上で２列に並ぶように複数形成し、このノズル１０１ａの並び方向を、画像を形成する用紙の送り方向（副走査方向）として画像形成装置に取付けられる。ノズル板１０１の１列内では１９４個のノズル１０１ａを一直線状に約１５０μｍのピッチで配列し、各列のノズル１０１ａの副走査方向における位置を１／２ピッチずつずらして形成することによって、この液体吐出ヘッドを主走査方向に走査して画像を形成するとき、最大で３８８滴のインク滴を同時に吐出して用紙上に３８８ドットを形成できるようにしている。
【００３１】
この液体吐出ヘッドにおいては、流路板１０２の各貫通穴１０２ａ内は、図示しないインクカートリッジから導かれてきたインクで満たされ、各貫通穴１０２ａ内のインクを、図示しない圧電素子や発熱抵抗体などのアクチュエータ手段によって選択的に加圧することで、ノズル板１０１のノズル孔（吐出孔）１０１ａからインク滴を吐出させる。
【００３２】
そこで、ノズル板１０１の製造方法について説明する。ここでは、ノズル板１０１となるプラスチックシートを流路板１０２に接合した状態で加工するので、ノズル孔を形成した段階で一体となったノズル・流路部材１０３が得られる。
【００３３】
先ず、エキシマレーザー光の照射による複数の吐出孔１０１ａをノズル板１０１となるプラスチックシートに加工するのに先立って、前準備を行う。この前準備では、まず、異方性エッチング等の技術により、流路となる複数の貫通穴１０２ａを形成した流路板１０２の表面に、吐出孔が形成されていない状態のＰＥＮ又はＰＥＴからなるシート状プラスチック（シート部材）１１１を接着剤等によって接合固定する。このシート部材１１１は、レーザー照射によって複数の吐出孔１０１ａが形成されることで、ノズル板１０１となるものである。
【００３４】
流路板１０２の表面にシート部材１１１を固定した後、次に、そのシート部材１１１の流路板１０２側とは反対側の面、即ちレーザー照射面側と反対側の面に、ポリイミドからなるフィルム部材１１２を貼り付ける。
【００３５】
このような前準備が終わった後、流路板１０２、シート部材１１１及びフィルム部材１１２からなるワークを、そのフィルム部材１１２側を重直方向下方に向けた状態で液体充填装置にセットする。この液体充填装置は、図７に示すように、液吐出パイプ３０１に形成された複数の液吐出孔３０１ａから、液体を流路板１０２の表面に向けて吐出することで、図８に示すように流路板１０２の複数の貫通穴１０２ａ内にそれぞれ液体Ｅを充填するものである。
【００３６】
ここでは、流路板１０２の貫通穴１０２ａ内に充填する液体としては、ラウリル酸水溶液を用いている。ラウリル酸水溶液は表面張力の極めて小さい液体であるため、微細な貫通穴１０２ａに良好に侵入することができる。つまり、表面張力を低下させる液体を用いることによって微細の貫通穴などにも確実に液体を充填することができる。
【００３７】
このようにして流路板１０２の複数の貫通穴１０２ａのそれぞれに液体Ｅを充填した後、ワークを液体充填装置から取り外し、図８に示すように、エキシマレーザレーザー加工装置のワーク固定板１１４上に吸引固定する。
【００３８】
そして、図８に示すように、流路板１０２の貫通穴１０２ａ内に充填された液体Ｅを通して、シート部材１１１にエキシマレーザー光Ｌｅを照射することで、シート部材１１１に吐出孔１０１ａを加工する。このとき、エキシマレーザー光Ｌｅは、シート部材１１１を穿孔加工した後にフィルム部材１１２に至る。フィルム部材１１２としては、接着剤付きポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やＰＶＣからなる材料で、レーザーが貫通しない程度の厚みを有するもの、耐レーザー性に優れた接着剤付きフッ素樹脂や接着剤付きポリアセタール等などの耐レーザー樹脂材料基材を使用する。したがって、フィルム部材１１２によって液体Ｅの裏まわりが回避される。
【００３９】
このエキシマレーザー照射による穿孔加工により、シート部材１１１に複数の吐出孔１０１ａが形成されてノズル板１０１を作製した後、ノズル板１０１（シート部材１１１）からフィルム部材１１４を剥がすことにより、ノズル板１０１が流路板１０２に一体的に設けられたノズル・流路部材１０３が得られる。
【００４０】
このように、予め流路となる複数の貫通穴が形成された流路部材に板状又はシート状のプラスチック材を接合し、流路部材の貫通穴のそれぞれに液体を充填してプラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光をプラスチック材に照射することで、ワークのレーザー照射面上で面方向に沿って広がろうとする液体を、そのレーザー照射面に保持させるための堰として流路部材に形成された流路用の貫通穴の内壁を利用することができ、専用の堰を設けなくても、ワークのレーザー照射面に液体を保持させることができ、作業効率や製造効率が向上する。
【００４１】
なお、前述したプラスチック加工方法と同様に板状又はシート状のプラスチック材に席となる枠部材を設けてレーザー照射面に液体を保持し、この液体を介してレーザー光をプラスチック材に照射することでノズル孔を穿孔することもできる。
【００４２】
次に、シート部材１１１に複数の吐出孔を穿孔加工するときにもちいるエキシマレーザー加工装置について図９ないし図１１を参照して説明する。なお、図９は同加工装置の全体構成を示す概略構成図、図１０は同加工装置のホモジェナイザーの拡大説明図、図１１は同じく斜視説明図である。
【００４３】
このレーザー加工装置において、レーザー発振器２００から出射されたエキシマレーザー光Ｌは、ホモジェナイザー２３０、フィールドレンズ２４０、のアパーチャーマスク２０４、結像レンズ２４１を順次通過した後、図示しないＸ−Ｙテーブルの底板、天板を経てマザー基板に到達する。
【００４４】
レーザー照射部には、できるだけコンパクトにする目的で、エキシマレーザー光Ｌの進行方向をその光路の途中で変化させる複数の反射ミラーを設けているが、同図においては、便宜上、それら反射ミラーの図示を省略している。エキシマレーザーによる加工対象となる図示しないノズルシートは、図示しないＸ−Ｙテーブル上に固定されている。
【００４５】
このレーザー照射部のホモジェナイザー２３０は、第１レンズアレイ対２３１と、第２レンズアレイ対２３２と、分散抑制レンズ２３３とを有している。第１レンズアレイ対２３１，第２レンズアレイ対２３２は、それぞれ、ｙ軸分割レンズアレイ２３４，２３６と、ｘ軸分割レンズアレイ２３５，２３７とから構成されている。
【００４６】
ホモジェナイザー２３０内では、２枚のｙ軸分割レンズアレイ２３４，２３６、２枚のｘ軸分割レンズアレイ２３５，２３７と、１枚の分散抑制用集光レンズ２３７が、エキシマレーザー光Ｌの光軸Ｃ上に一直線状に並ぶように配設されている。
【００４７】
ホモジェナイザー２３０に進入したエキシマレーザー光Ｌは、ｙ軸分割レンズアレイ２３４、ｘ軸分割レンズアレイ２３５、ｙ軸分割レンズアレイ２３６、ｘ軸分割レンズアレイ２３７、分散抑制用集光レンズ２３３を順次通過していく。
【００４８】
このホモジェナイザー２３０における４枚のレンズアレイについて図１１を参照して説明する。なお、同図において、互いに直交するｘ軸、ｙ軸、ｚ軸のうち、ｚ軸は、エキシマレーザー光Ｌの光軸Ｃと平行な軸である。
【００４９】
第１レンズアレイ対２３１のｙ軸分割レンズアレイ２３４は、２ｍｍ×２４ｍｍという横長形状のシリンドリカルレンズ２３４ａがｙ軸方向に１１個並べられたものである。これら１１個のシリンドリカルレンズ２３４ａは、入射してくるエキシマレーザー光Ｌをｙ軸方向に１１分割する。一方、第１レンズアレイ対２３１のｘ軸分割レンズアレイ２３５は、２２ｍｍ×８ｍｍという縦長形状のシリンドリカルレンズ２３５ａがｘ軸方向に３個並べられたものである。これら３個のシリンドリカルレンズ２３５ａは、ｙ軸方向で１１分割された分割光を、ｘ軸方向に３分割する。
【００５０】
ホモジェナイザー２３０に進入したエキシマレーザー光Ｌは、第１レンズアレイ対２３１により、ｙ軸方向、ｘ軸方向にそれぞれ１１分割、３分割されて、合計で３３本の分割光となる。これら分割光は、ｙ軸方向に１１本、ｘ軸方向に３本というマトリクスで並ぶ。
【００５１】
第２レンズアレイ対２３２のｙ軸分割レンズアレイ２３５は、２ｍｍ×２４ｍｍという横長形状のシリンドリカルレンズ２３６ａがｙ軸方向に１１個並べられたものである。また、第２レンズアレイ対２３２のｘ軸分割レンズアレイ２３７は、２２ｍｍ×８ｍｍという縦長形状のシリンドリカルレンズ２３７ａがｘ軸方向に３個並べられたものである。
【００５２】
第１レンズアレイ対２３１によって得られた３３本の分割光は、第２レンズアレイ対２３２を通過する。第２レンズアレイ対２３２では、３３本の分割光が、それぞれシリンドリカルレンズ間を跨がずに、各シリンドリカルレンズの何れかに収まるように通過していく。
【００５３】
このため、第２レンズアレイ対２３２内で、３３本の分割光が更に分割されることはない。例えば、第２レンズアレイ対２３２のｙ軸分割レンズアレイ２３６では、３３本の分割光のうち、同一のｘ軸上に並ぶ３本ずつが、ｙ軸分割レンズアレイ２３６に設けられた１１個のシリンドリカルレンズ２３６ａのうち、同一のものに進入する。また、ｘ軸分割レンズアレイ２３７では、３３本の分割光のうち、同一のｙ軸上に並ぶ１１ずつが、ｘ軸分割レンズアレイ２３７に設けられた３個のシリンドリカルレンズ２３７ａのうち、同一のものに進入する。第２レンズアレイ対２３２を通過した３３本の分割光は、それぞれ、異なる光軸を中心にして、焦点に向けて集光するようになる。
【００５４】
前述した図９のフィールドレンズ２４０は、次段に配設されるアパーチャーマスク２０４を介して、結像レンズ２４０のレンズ入射瞳に結像するように３３本の分割光を導くいわゆる絞りとしての役割を担っている。ホモジェナイザー２３０からでてくる３３本の分割光は、アパーチャーマスク２０４の光入射面上で互いにピッタリと重なり合って、３７ｍｍ×４．５ｍｍのレーザースポットを形成する。このように各分割光が重なり合うことにより、レーザー発振器１００から出射されたガウシアンビームの横断面方向におけるエネルギー強度分布が均一化せしめられ、マスク通過後のマスク処理光がトップハットビームになる。
【００５５】
アパーチャーマスク２０４は、上述の１９４個×２列＝３８８個の吐出孔に対応する１９４個×２列＝３８８個の開口を有している。アパーチャーマスク２０４の入射面に照射されたエキシマレーザー光は、これらの開口を通過して、３８８本の加工用レーザー光となる。そして、これら加工用レーザー光が図示しないシート部材１１１に一括照射されることにより、シート部材１１１に３８８個の吐出孔１０１ａが一括加工される。
【００５６】
以上のようなエキシマレーザー加工装置を用いて、３８８個の吐出孔を一括加工することにより、レーザー光１ショット毎に１個の吐出孔を形成していく場合に比べて、加工速度を大幅に速めることができる。
【００５７】
本発明は、実験により、プラスチック材のレーザー照射面を液体で覆い、この液体を介してレーザー光をプラスチック材に照射することで、プラスチック材に加工された凹部又は貫通開口の周囲の汚れを低減し得ることを見出したことによって完成したものである。
【００５８】
すなわち、図１２に示すように、レーザー照射側の面を水で覆わない状態でレーザー加工したプラスチック板１には、レーザー照射によって得られた真円状の貫通開口５の周囲に、レーザー照射側の面に黒いもやのような汚れ８が付着する。これに対して、図１３に示すように、レーザー照射側の面を水で覆った状態でレーザー加工したプラスチック板１には貫通開口５の周囲にこのような汚れが生じないことが確認された。
【００５９】
このことから、プラスチック板のレーザー照射側の面を水で覆うことにより、貫通開口の周囲に付着する汚れを大幅に低減し得ることが分かる。これによって、プラスチック材の加工部（凹部や貫通穴）の周囲に付着する汚れを低減して、その汚れの拭き取りの手間を減らすことができ、作業効率が向上し、加工効率や製造効率が向上して、コストアップを抑えることができる。
【００６０】
なお、プラスチック材の表面を覆った液体を介してプラスチック材にレーザー光を照射することで汚れが低減できた理由は、前述したように、レーザー照射に伴うプラスチック材料の破壊によって発生したガス中に含まれる汚れの成分が、液体中に保持されて、凹部や貫通開口のプラスチック材表面まで到達することが困難になったためであると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明に係るプラスチック加工方法の実施形態の説明に供する印刷マスクの加工方法に用いるワークを示す斜視説明図である。
【図２】レーザー照射中の同ワークを示す部分拡大断面図である。
【図３】レーザー照射後の同ワークを示す部分拡大断面図である。
【図４】本発明に係るノズル板の製造方法で製造したノズル板を備える液体吐出ヘッドの説明に供するノズル板を液滴吐出側からみた平面説明図である。
【図５】同ヘッドのノズル部分の拡大断面説明図である。
【図６】同ヘッドのノズル部分を液体流入側からみた部分拡大平面図である。
【図７】同ノズル板の製造方法におけるワークを構成する流路板の貫通穴に対する液体充填の説明に供する斜視説明図である。
【図８】レーザー照射中の同ワークを示す部分拡大断面図である。
【図９】同ノズル板の製造に用いるエキシマレーザー加工装置を示す概略構成図である。
【図１０】同加工装置のホモジェナイザーを拡大して示す拡大構成図である。
【図１１】同ホモジェナイザーにおける４枚のレンズアレイを示す斜視説明図である。
【図１２】レーザー照射側の面を液体で覆わない状態でレーザー加工したプラスチック板を示す拡大平面図である。
【図１３】レーザー照射側の面を液体で覆った状態でレーザー加工したプラスチック板を示す拡大平面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１…プラスチック板
２…フィルム部材
３…枠
１０１…ノズル板
１０１ａ…ノズル（吐出孔）
１０２…流路板
１０２…貫通穴
１１１…シート部材（プラスチックシート）
１１２…フィルム部材
Ｌｅ…エキシマレーザー光
Ｗ…水（液体）
Ｅ…ラウリル酸水溶液（液体）
【図１】
2006255780.tif 000003
【図２】
2006255780.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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