(57)【要約】【課題】  基板搬送に際しての更なるＴＡＴ短縮化が可能な技術を提供する。【解決手段】  基板Ｗの収納空間を形成する容器本体３と、容器本体３の開口部を密封する容器扉５と基板Ｗとを保持する基板保持アーム７とが一体化されてなるアーム付扉とを備えたものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の収納空間を形成する容器本体と、
該容器本体の開口部を密封する容器扉と基板を保持する基板保持アームとが一体化されてなるアーム付扉と
を備えたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
基板の収納空間を形成する容器本体と、
該容器本体の開口部を密封する容器扉と基板を保持する基板保持アームとが一体化されてなるアーム付扉と
を備え、
前記容器扉の開閉動作に連動して前記基板保持アームに保持された基板が容器本体内外へ引き出し自在としたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項３】
前記アーム付扉は、前記基板を前記基板保持アームに固定する基板固定機構を備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記基板固定機構は、外部から基板の固定及び解除が制御可能に構成されていることを特徴とする請求項３記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記基板固定機構は、真空吸着により前記基板を前記基板保持アームに固定する機構であることを特徴とする請求項３又は請求項４記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記基板固定機構は、前記基板保持アームにおける前記基板との接触面から前記容器扉の外面に向けて設けられた真空経路と、該真空経路に直交する方向に摺動して前記真空経路を開閉する開閉ピンと、該開閉ピンに設けられた歯に係合し、外部から回転制御されることで前記開閉ピンを摺動させる歯車とを有し、真空経路を介して負圧が供給されることにより基板を保持固定することを特徴とする請求項５記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記基板固定機構は、前記基板の外周縁を複数箇所で押圧固定するように構成されたクランプ機構であることを特徴とする請求項５記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記基板保持アームが複数、前記容器扉と一体的に形成され、前記容器本体内に複数の基板を収納可能としたことを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れかに記載の基板収納容器。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８の何れかに記載の基板収納容器内の基板を装置内部へ搬送する基板搬送装置であって、装置外壁に設けられた開口部を閉塞するポート扉と、進退移動自在なアームを有する基板搬送手段とを備え、該基板搬送手段は、該ポート扉が退避して前記開口部が開放された後、前記アームを前記ポート扉に向けて移動し、アーム先端部により前記容器扉を一体保持して前記容器扉を装置内部に引き入れることにより前記基板を装置内部に搬送することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１０】
前記アーム先端部は、前記基板固定機構の固定及び解除を制御可能な固定解除機構を備えていることを特徴とする請求項９記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記固定解除機構は、前記基板固定機構の歯車を回転させる回転機構であることを特徴とする請求項１０記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
前記アーム先端部が、前記ポート扉を兼用していることを特徴とする請求項９乃至請求項１０の何れかに記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
請求項９乃至請求項１２の何れかの基板搬送装置によって前記基板収納容器内の基板を搬送することを特徴とする基板搬送方法。
【請求項１４】
請求項９乃至請求項１２の何れかの基板搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の基板を一枚又は複数収納する基板収納容器内から基板を取り出して搬送する際のＴＡＴ（Turn Around Time）短縮に有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体生産はメモリやＭＰＵなどの様に少品種大量生産であったが、近年、ライフサイクルの短いデジタル家電等で使用されるシステムＬＳＩに代表されるように、多品種少量生産となってきており、短工期での製造が要求されている。半導体製造においては、複数の処理装置の間でウエハを移動し、各処理装置で処理を施すことにより製造が進む。このような半導体ウエハの搬送には、例えばＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod)と呼ばれる、開閉可能な前扉を備えた密閉型基板収納容器が用いられており、ＦＯＵＰを用いたウエハ搬送システムに関しては各種提案されている（特許文献１，２、非特許文献１参照）。
【０００３】
これらの文献では、半導体ウエハを収納したＦＯＵＰをロードポートにセットし、ロードポートを半導体製造装置側へ移動させる。そして、ＦＯＵＰの前扉を半導体製造装置側のドアオープナー開口部に密着させ、ＦＯＵＰの端面をドアオープナー開口部周囲の外壁に押しつけた後、ドアオープナーによりＦＯＵＰの前扉とドアオープナー開口部を一体保持し、半導体製造装置内へ引き込むことで前扉を開け、その後、前扉が開かれたＦＯＵＰ内にアームを進入させてウエハを保持し、アームを装置内部に引き込むことによりウエハを装置内に搬入するようにしている。
【特許文献１】特開２００２−１２６６６５号公報
【特許文献２】米国特許第６４３１８０６号明細書
【非特許文献１】電子ジャーナル  第６６回テクニカルシンポジウム  2003/12/11 予稿集  page.91〜114「AMATの次世代300mm Fab 枚葉搬送システム」APPLIED MATERIALS
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の動作は特に問題があるものではないが、少しでも無駄な動作を減らして更なるＴＡＴ短縮を図ることが要望されている。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、基板搬送に際しての更なるＴＡＴ短縮化が可能な構造を有する基板収納容器、基板搬送装置、基板搬送方法及び半導体製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る基板収納容器は、基板の収納空間を形成する容器本体と、容器本体の開口部を密封する容器扉と基板を保持する基板保持アームとが一体化されてなるアーム付扉とを備えたものである。
また、本発明に係る基板収納容器は、基板の収納空間を形成する容器本体と、
容器本体の開口部を密封する容器扉と基板を保持する基板保持アームとが一体化されてなるアーム付扉とを備え、容器扉の開閉動作に連動して基板保持アームに保持された基板が容器本体内外へ引き出し自在としたものである。
このように、基板保持アームと容器扉とを一体的に形成したので、容器扉の開放動作と、基板を基板収納容器から装置内へ搬送する動作とを同時に行うことができ、ＴＡＴ短縮を図ることが可能となる。
【０００７】
また、本発明に係る基板収納容器は、アーム付扉が、基板を基板保持アームに固定する基板固定機構を備えているものである。
これにより、基板固定機構によって基板を基板保持アームに固定した状態で搬送することができるので、何らかの原因で基板が基板保持アームから落下するなどの不都合を防止することができる。
【０００８】
また、本発明に係る基板収納容器は、基板固定機構が、外部から基板の固定及び解除が制御可能に構成されているものである。
このように、基板固定機構の固定及び解除の制御を外部から行えるようにしたので、基板収納容器側の構成を単純化することができる。
【０００９】
また、本発明に係る基板収納容器は、基板固定機構が、真空吸着により基板を基板保持アームに固定する機構であるものである。
基板固定機構としては、真空吸着による機構を採用できる。
【００１０】
また、本発明に係る基板収納容器は、基板固定機構が、基板保持アームにおける基板との接触面から容器扉の外面に向けて設けられた真空経路と、真空経路に直交する方向に摺動して真空経路を開閉する開閉ピンと、開閉ピンに設けられた歯に係合し、外部から回転制御されることで開閉ピンを摺動させる歯車とを有し、真空経路を介して負圧が供給されることにより基板を保持固定するものである。
このような構成の基板固定機構を採用することができる。
【００１１】
また、本発明に係る基板収納容器は、基板固定機構が、基板の外周縁を複数箇所で押圧固定するように構成されたクランプ機構であるものである。
基板固定機構としては、クランプ機構を採用できる。
【００１２】
また、本発明に係る基板収納容器は、基板保持アームが複数、容器扉と一体的に形成され、容器本体内に複数の基板を収納可能としたものである。
これにより、複数の基板を一括して搬送することが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係る基板搬送装置は、基板収納容器内の基板を装置内部へ搬送する基板搬送装置であって、装置外壁に設けられた開口部を閉塞するポート扉と、進退移動自在なアームを有する基板搬送手段とを備え、基板搬送手段は、ポート扉が退避して開口部が開放された後、アームをポート扉に向けて移動し、アーム先端部により容器扉を一体保持して容器扉を装置内部に引き入れることにより基板を装置内部に搬送するものである。
これにより、容器扉の開放動作と、基板を基板収納容器から装置内へ搬送する動作とを同時に行うことができるため、ＴＡＴ短縮を図ることが可能となる。
【００１４】
また、本発明に係る基板搬送装置は、アーム先端部が、基板固定機構の固定及び解除を制御可能な固定解除機構を備えているものである。
このように、アーム先端部に設けた固定解除機構により、基板収納容器側の基板固定機構の固定及び解除を制御することが可能である。
【００１５】
また、本発明に係る基板搬送装置は、固定解除機構が、基板固定機構の歯車を回転させる回転機構であるものである。
このように、固定解除機構として基板固定機構の歯車を回転させる回転機構を採用できる。
【００１６】
また、本発明に係る基板搬送装置は、アーム先端部が、ポート扉を兼用しているものである。
これにより、装置外壁に設けられた開口部が閉塞状態された状態において、アーム先端部が待機した状態とすることができるため、基板収納容器が基板搬送装置側に移動して外壁に圧接された後、直ちに容器扉を開放する動作へと移ることが可能となり、更なるＴＡＴ短縮が可能となる。
【００１７】
本発明に係る基板搬送方法は、上記の何れかの基板搬送装置によって基板収納容器内の基板を搬送するものである。
これにより、ＴＡＴ短縮が図られ、効率良く基板搬送を行うことが可能となる。
【００１８】
本発明に係る半導体製造装置は、上記の何れかの基板搬送装置を備えたものである。
これにより、製造工期を短縮でき、製造コスト削減を図ることが可能な基板搬送装置を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る基板収納容器と基板収納容器内の基板を装置内部へ搬送する基板搬送装置の説明図である。
基板収納容器１は、ウエハなどの基板Ｗの収納空間を形成する容器本体３と、容器本体３の前面開口部５３ａを開閉可能に密封する容器扉５と、容器扉５と一体的に形成され、容器本体３内部方向に延びるように構成されたほぼＵ字型の基板保持アーム７とを備えている。容器扉５と基板保持アーム７とによりアーム付扉が構成されている。かかる構成の基板収納容器１においては、容器扉５が開閉されると、その開閉動作に連動して基板保持アーム７に保持された基板Ｗが基板収納容器１内外へと搬送されるようになっている。また、基板収納容器１内はクリーン度の高い環境となっており、基板収納容器１内の基板Ｗを装置内（基板搬送装置５０内）に搬送する際の容器扉５開閉時などにおいて基板Ｗが外部環境の雰囲気によって汚染されることがないように、容器本体３における容器扉５との接触部には、基板収納容器１内部を気密に密閉するための例えばパッキンなどのシール部材９が周設されている。
【００２０】
図１中の５０は、クリーン環境に保たれた基板搬送装置の内部空間を示しており、基板搬送装置５０は、基板搬送装置５０の外壁５３に設けられた開口部５３ａを閉塞するポート扉５５と、ポート扉５５を進退移動させる進退機構５７と、ポート扉５５を昇降移動させる昇降機構５９と、基板搬送手段としての搬送ロボット６１とを備えている。搬送ロボット６１は、進退移動自在なアーム６３を備えており、ポート扉５５が進退機構５７及び昇降機構５９によって退避して開口部５３ａが開放された後、アーム６３をポート扉５５に向けて移動させてアーム先端部６５によって容器扉５を一体保持し、容器扉５を装置内部に引き入れることにより基板Ｗを装置内部に搬送する。
【００２１】
また、基板搬送装置５０において、開口部５３ａの周囲の外壁５３には例えばパッキンなどのシール部材６７が設けられており、基板収納容器１が外壁５３に押圧された際に容器本体３の端面と密着し、容器扉５開閉時などにおいて基板収納容器１内の基板Ｗが外部環境の雰囲気によって汚染されるのを防止するようになっている。また、外壁５３の内面側にも同様にシール部材６９が設けられており、ポート扉５５との密着性が高められポート扉５５閉塞時における装置内のクリーン環境の汚染を防止している。
【００２２】
次に、容器扉５及び容器扉５に接続される搬送ロボット６１のアーム先端部６５の詳細な構成について図２及び図３を用いて説明する。
【００２３】
図２は、ポート扉が退避して開口部が開放された状態における要部拡大図で、図２（ａ）は基板収納容器の断面図、（ｂ）は基板収納容器の平面図、図３は、図２（ｂ）の容器扉を矢印Ａ方向から見た図である。
容器扉５は、接続される搬送ロボット６１のアーム先端部６５に設けられた案内ピン６５ａが挿入される位置決め孔６と、容器扉５を容器本体３にラッチするラッチ機構１１（図３参照）と、基板Ｗを基板保持アーム７に固定する基板固定機構２１（図３参照）とを備えている。位置決め孔６及び基板固定機構２１のそれぞれは、図３に示すように容器扉５の左右に一つずつ設けられている。
【００２４】
ラッチ機構１１は、容器扉５内に摺動自在に設けられた一対のシフトピン１３と、各シフトピン１３の先端部に設けられた歯に噛合する歯車１５とから構成されており、搬送ロボット６１のアーム先端部６５に設けられたラッチ解除機構としての回転機構６５ｂよって歯車１５が回転制御されることで一対のピン１３が互いに逆方向に摺動しラッチ機構１１が係脱されるようになっている。かかる構成のラッチ機構１１も、図３に示すように容器扉５の左右に一つずつ設けられている。
【００２５】
図４は、基板固定機構の説明図で、基板固定機構の説明に必要な容器扉及び基板保持アームのみを図示している。
基板固定機構２１は、容器扉５と基板保持アーム７とからなるアーム付扉内に構成されており、本例では真空吸着により基板Ｗを保持固定する機構を採用している。具体的には、基板保持アーム７における基板Ｗとの接触面７ａから容器扉５の外面５ａに向けて設けられた真空経路２３と、真空経路２３に直交する方向に摺動して真空経路２３を開閉する開閉ピン２５と、開閉ピン２５に設けられた歯に噛合する歯車２７（図３参照）とから構成されている。
【００２６】
搬送ロボット６１のアーム先端部６５は、基板固定機構２１による基板Ｗの固定及び解除を制御する固定解除機構としての回転機構６５ｃと、容器扉５に位置決めされた際に、真空経路２３に連通するロボット側真空経路６５ｄとを備えており、回転機構６５ｃによって歯車２７を回転させて真空経路２３を開放し、ロボット側真空経路６５ｄ及び真空経路２３を介して搬送ロボット６１側から負圧を供給することにより基板Ｗを基板保持アーム７に吸着保持するものである。
【００２７】
なお、基板固定機構２１は図面に記載のものに限定されるものではなく、当業者の技術レベルに応じて非常に様々な形態とすることができ、他に例えば図５に示すように、基板Ｗの外周縁を複数箇所で押圧固定するクランプ機構３１としてもよい。このクランプ機構３１は、基板保持アーム７上面を移動可能に設けられた複数の支持部３３と、各支持部３３に連結された連結アーム体３５と、非クランプ時に連結アーム体３５の一端が容器扉５の端面から突出するように連結アーム体３５を付勢するスプリング３７とを備えている。かかる構成のクランプ機構３１は、搬送ロボット６１のアーム先端部６５が容器扉５の外面５ａに接触して連結アーム体３５の一端が押圧されたとき、連結アーム体３５に連結された複数の支持部３３が基板Ｗの外周縁側に移動して基板Ｗを押圧固定するものである。
【００２８】
次に、基板収納容器１内から基板Ｗを取り出して基板搬送装置５０内に搬送する動作を図６ａ及び図６ｂを参照しながら説明する。なお、図６ａ及び図６ｂにおいてラッチ機構１１や基板固定機構２１等の図示は省略されており、これらの機構については図２及び図３を参照されたい。
（１）まず、基板収納容器１が、例えば天井搬送などにより搬送されて移動機構４１上に載置される。（２）次いで、移動機構４１が作動して基板収納容器１を基板搬送装置５０側へ移動し、基板収納容器１を基板搬送装置５０の外壁５３外面に圧接させる。これにより、シール部材６７が押し潰され、容器本体３の端面と外壁５３外面との密閉性が保たれた状態となる。（３）そして、ポート扉５５が進退機構５７及び昇降機構５９によって後退及び下降して開口部５３ａから退避し、開口部５３ａが開放される。
【００２９】
（４）続いて、搬送ロボット６１は容器扉５の方向にアーム６３を前進させ、（５）アーム先端部６５を容器扉５に接触させ、アーム先端部６５に設けた吸引機構又は把持機構など（図示せず）を駆動して容器扉５を一体保持する。この一体保持の際には、アーム先端部６５の案内ピン６５ａが容器扉５の位置決め孔６（図２参照）に挿入して正確に位置決めが行われるようになっている。そして、搬送ロボット６１はラッチ機構１１（図３参照）を解除し、容器扉５を容器本体３から取り外し可能な状態とする。この動作と同時に基板固定機構２１（図３参照）を制御して基板Ｗを基板保持アーム７に吸着固定する。
【００３０】
（６）その後、アーム６３を後退させて容器扉５を装置内部に搬送する。容器扉５には、基板保持アーム７が一体的に形成されているので、容器扉５を装置内部に搬送するのと同時に基板Ｗが基板搬送装置５０内に搬送される。ここで、基板搬送装置５０には基板Ｗに対して処理を行う処理装置７０が隣接されており、搬送ロボット６１は、基板収納容器１から基板搬送装置５０内へと基板Ｗを搬送した後、（７）処理装置７０内へと搬送する。そして、基板固定機構２１（図３参照）を制御して基板Ｗの吸着固定を解除した後、基板保持アーム７上の基板Ｗをステージ７１上に移載する。（８）そして最後に容器扉５を容器本体３へ戻す。
【００３１】
このように実施の形態１によれば、基板保持アーム７を容器扉５と一体的に形成したので、従来、別々の動作として行っていた容器扉の開放動作と、基板Ｗを基板収納容器から装置内へ搬送する動作とを同時に行うことができ、ＴＡＴ短縮を図ることが可能となる。
【００３２】
また、基板固定機構２１によって基板Ｗを基板保持アーム７に固定した状態で搬送するようにしたので、何らかの原因で基板Ｗが基板保持アーム７から落下するなどの不都合を防止することができる。
【００３３】
また、基板保持アーム７による基板の固定及び解除の制御や、ラッチ機構１１の係脱の制御を搬送ロボット６１側から行えるようにしたので、基板収納容器１側の構成を単純化することができる。また、これらの制御を行うための機構（回転機構６５ｂ，６５ｃ）を搬送ロボット６１側のアーム先端部６５に設けたことにより、アーム先端部６５によってまとめてラッチ機構１１の係脱動作、基板固定機構２１の固定・解除動作を行うことができる。このため、例えば各動作を別々の装置で行うようにした場合の装置の入れ替え動作が不要となり、この面からもＴＡＴ短縮に効果がある。
【００３４】
実施の形態２．
本実施の形態２は、搬送ロボット６１のアーム先端部６５がポート扉５５を兼ねるようにしたもので、その他の構成は図１に示した実施の形態１と同様である。
【００３５】
図７は、実施の形態２の動作説明図である。図７において図６ａ及び図６ｂと同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。図７において６６は、ポート扉５５とアーム先端部６５とを兼ねたポート扉兼アーム先端部である。なお、図７においてラッチ機構１１や基板固定機構２１等の図示は省略されておりこれらの機構については図２及び図３を参照されたい。
【００３６】
（１）まず、基板収納容器１が、例えば天井搬送などにより搬送されて移動機構４１上に載置される。（２）次いで、容器扉５を開放するために移動機構４１が作動して基板収納容器１を基板搬送装置５０側へ移動し、基板収納容器１を基板搬送装置５０の外壁５３外面に圧接させる。これにより、シール部材６７が押し潰され、容器本体３の端面と外壁５３外面５ａとの密閉性が保たれた状態となる。また、基板収納容器１を基板搬送装置５０の外壁５３外面に圧接することにより容器扉５がポート扉兼アーム先端部６６に接触した状態となる。この状態でポート扉兼アーム先端部６６に設けた吸引機構又は把持機構など（図示せず）を駆動して容器扉５を一体保持する。
【００３７】
そして、搬送ロボット６１は、ポート扉兼アーム先端部６６によってラッチ機構１１を解除し、容器扉５を容器本体３から取り外し可能な状態とする。この動作と同時に基板固定機構２１（図３参照）を制御して基板Ｗを基板保持アーム７に吸着固定する。
（３）その後、アーム６３を後退させて容器扉５を装置内部に搬送する。以降の動作は図６ｂの（７）、（８）と同様であるためここでは説明を省略する。
【００３８】
このように実施の形態２によれば、搬送ロボット６１のアーム先端部がポート扉を兼ねるため、搬送ロボット６１のアーム先端部を開口部５３ａに移動させる動作が不要となり、アーム先端部を開口部５３ａに待機した状態とすることができる。このため、基板収納容器１が基板搬送装置５０側に移動して外壁５３に圧接された後、直ちに容器扉５を開放する動作へと移ることが可能となり、実施の形態１に比べて更なるＴＡＴ短縮が可能となる。
【００３９】
なお、上記実施の形態１及び実施の形態２では、装置内部に収納する基板Ｗが一枚である枚葉基板収納容器の例で説明したが、図８に示すように基板保持アーム７を複数、容器扉５と一体的に形成して、基板Ｗを複数収納可能な基板収納容器としてもよい。かかる構成の基板収納容器は、処理装置７０側が例えば炉や洗浄装置などのバッチ処理装置である場合に有効であり、各基板保持アーム７上の基板Ｗを一括して受け取ることが可能な構成を処理装置７０側に備えておくようにすれば、複数枚の基板Ｗを一度に処理装置７０側へ移載でき、更なるＴＡＴ短縮が可能となる。
【００４０】
実施の形態３．
実施の形態３は、上述の基板搬送装置５０を備えた半導体製造装置に関するものである。
【００４１】
図９は、実施の形態３の半導体製造装置を示す概略構成図である。
半導体製造装置８０は、上述の基板搬送装置５０及び処理装置７０を備え、処理装置７０で基板に処理を施すことで半導体を製造する装置である。処理装置７０で処理が施される基板は、実施の形態１の基板収納容器１によって供給され、基板搬送装置５０によって基板収納容器１から処理装置７０へと搬送される。ここで、処理装置７０は、具体的には例えばリソグラフィー装置、成膜装置、エッチング装置、洗浄装置、検査装置などに相当する。
【００４２】
このように構成された半導体製造装置８０は、上述の基板搬送装置５０を適用したので、製造工期を短縮でき、製造コスト削減を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施の形態１の基板収納容器内の基板を搬送する基板搬送装置の説明図。
【図２】ポート扉が退避して開口部が開放された状態における要部拡大図。
【図３】図２（ｂ）の容器扉を矢印Ａ方向から見た図。
【図４】基板固定機構の説明図。
【図５】基板固定機構の他の構成を示す図。
【図６ａ】実施の形態１の動作説明図（１／２）。
【図６ｂ】実施の形態１の動作説明図（２／２）。
【図７】実施の形態２の動作説明図。
【図８】基板収納容器の他の構成を示す図。
【図９】実施の形態３の半導体製造装置を示す概略構成図。
【符号の説明】
【００４４】
１  基板収納容器、３  容器本体、５  容器扉、７  基板保持アーム、２１  基板固定機構、２３  真空経路、２５  開閉ピン、２７  歯車、５０  基板搬送装置、５３  外壁、５３ａ  開口部、５５  ポート扉、６１  搬送ロボット（基板搬送手段）、６３  アーム、６５  アーム先端部、６５ｃ  回転機構、６６  ポート扉兼アーム先端部、８０  半導体製造装置  Ｗ  基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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