(57)【要約】【課題】突起部と集光手段とのアライメントが必要なく、より簡単に製造することができる、プローブおよびその製造方法、プローブアレイおよびその製造方法、ならびに光ピックアップ装置を提供すること。【解決手段】端面に微小開口が形成された複数の突起部を所定の間隔ごとに備え、微小開口近傍で近接場光Ｌを発生させる平面型プローブの製造方法において、透光性基板１１′の裏面に複数の集光部１３を形成する第１工程と、透光性基板１１′の表面にネガ型感光性樹脂層３０を形成する第２工程と、光を照射することにより、集光部１３のそれぞれを利用して透光性基板１１′の表面に複数の突起状感光性樹脂３１が所定の間隔ごとに配列されたパターンの潜像を形成する第３工程と、潜像を現像する第４工程と、エッチングにより透光性基板１１′に転写することにより、複数の突起部を形成する第５工程とを含むことを特徴とする。【選択図】        図４
2006260693.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面に微小開口が形成された突起部を表面に備え、前記微小開口近傍で近接場光を発生させるプローブの製造方法において、
透光性基板の裏面に集光手段を形成する第１工程と、
前記透光性基板の表面に感光性樹脂層を形成する第２工程と、
前記透光性基板の裏面側から光を照射することにより、前記集光手段を利用して前記透光性基板の表面に突起状感光性樹脂を有するパターンの潜像を形成する第３工程と、
前記潜像を現像する第４工程と、
現像した突起状感光性樹脂を有するパターンをエッチングにより前記透光性基板に転写することにより、前記突起部を形成する第５工程と
を含むことを特徴とするプローブの製造方法。
【請求項２】
前記第３工程では、前記突起状感光性樹脂の周辺領域に、該突起状感光性樹脂の突出高さと略等しい高さを有する保護壁部を含むパターンの潜像を形成することを特徴とする請求項１に記載のプローブの製造方法。
【請求項３】
前記透光性基板は、石英または光学ガラス材料からなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプローブの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一つに記載の製造方法により製造されたことを特徴とするプローブ。
【請求項５】
端面に微小開口が形成された複数の突起部を所定の間隔ごとに備え、前記微小開口近傍で近接場光を発生させるプローブアレイの製造方法において、
透光性基板の裏面に複数の集光手段を形成する第１工程と、
前記透光性基板の表面に感光性樹脂層を形成する第２工程と、
前記透光性基板の裏面側から光を照射することにより、前記集光手段のそれぞれを利用して前記透光性基板の表面に複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンの潜像を形成する第３工程と、
前記潜像を現像する第４工程と、
現像した複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンをエッチングにより前記透光性基板に転写することにより、前記複数の突起部を形成する第５工程と
を含むことを特徴とするプローブアレイの製造方法。
【請求項６】
前記第３工程では、前記複数の突起状感光性樹脂のそれぞれの周辺に、該突起状感光性樹脂の突出高さと略等しい高さを有する保護壁部を含むパターンの潜像を形成することを特徴とする請求項５に記載のプローブアレイの製造方法。
【請求項７】
前記透光性基板は、石英または光学ガラス材料からなることを特徴とする請求項５または請求項６に記載のプローブアレイの製造方法。
【請求項８】
請求項５〜７にいずれか一つに記載の製造方法により製造されたことを特徴とするプローブアレイ。
【請求項９】
請求項４に記載のプローブを備えてなり、
該プローブを用いて、光記録媒体にデータを書き込み、および／または光記録媒体に記録してあるデータを読み出すことを特徴とする光ピックアップ装置。
【請求項１０】
請求項８に記載のプローブアレイを備えてなり、
該プローブアレイを用いて、光記録媒体にデータを書き込み、および／または光記録媒体に記録してあるデータを読み出すことを特徴とする光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブおよびその製造方法、プローブアレイおよびその製造方法、ならびに光ピックアップ装置に関し、より詳細には、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）やＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｉｄｅｏ  Ｄｉｓｃ）等に代表される光記録媒体に情報を記録等する際に利用される、プローブおよびその製造方法、プローブアレイおよびその製造方法、ならびに光ピックアップ装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）やＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｉｄｅｏ  Ｄｉｓｃ）等に代表される光記録媒体に対してレーザ光を照射することにより、光記録媒体にデータを記録したり、光記録媒体に記録されたデータを再生したりするようにしたデータの記録再生方法が知られている。
【０００３】
近年、光記録媒体の記録密度の超高密度化が進んでいることから、超高密度記録されたデータを上述した記録再生方法を用いて記録再生するために、例えば、使用する光の短波長化や使用するレンズの高ＮＡ（開口率）化を図ることによって、光記録媒体の記録面上に照射される光のスポットサイズの微小化が図られている。
【０００４】
しかしながら、光記録媒体の記録面上に照射されるレーザ光のスポットサイズは、レーザ光の短波長化や使用するレンズの高ＮＡ化だけでは、光の回折限界によりレーザ光の波長程度の大きさでしか得られない。このため、超高密度化記録に際して記録ビットの微小化することができない、また、超高密度化記録されたデータの再生に際してクロストークが発生してしまう等の不都合が発生する。
【０００５】
このような光の回折限界による記録、再生の限界に対する解決策の一つとして、「近接場光」を用いる光方式が提案されている。屈折率の異なる２つの媒体の一方から全反射条件以上で光を入射すると、光が入射される一方の媒体を伝播する光はもう一方の媒体との境界面で全反射されるが、一部境界面を超えて非伝播の電場成分のみが染み出す領域（近接場）が形成される。このように非伝播の電場成分のみが染み出す領域を「近接場」という。このような領域は、例えば、近接場光顕微鏡の光ファイバプローブのように、導入される光の波長よりも微細な開口を有する光ファイバによって形成することができる。このような微小開口による近接場は、開口寸法と略同じ位しか横方向の広がりをもたず、開口から離れるにしたがって指数関数的に強度が減少し、開口と同程度以上には染み出さない。
【０００６】
このような近接場領域に微小な散乱体を挿入すると、近接場が散乱されて伝播光の近接場光として変換される。近接場で発生する近接場光は、開口と同程度以上に染み出さないため、このような近接場光を用いることで、光の回折限界を超えた解像度を得ることができ、光記録媒体に対する超高密度記録や、超高密度記録された光記録媒体の再生を良好に行うことが期待できる。
【０００７】
また、近年、高密度記録と同様に、記録再生の高速化も検討されている。その一つとして、碁盤目状に複数の開口をもつアレイ状構成とした平面型プローブ（プローブアレイ）が提案されている。このような平面型プローブを用いることで、（目標とする記録・再生の走査速度）／（開口数）を走査速度とすることができるので、実際の走査速度が低速であっても、目標とする記録・再生の走査速度の高速化を図ることが可能である。このように、高密度記録と高速記録・再生を行う際は、平面型プローブの近接場光を用いることが有効となる。
【０００８】
以上説明したようなプローブ（平面型プローブ）は、種々の方法で製造されており、代表的なものとして次のようなものがある。透光性基板の表面に感光性樹脂層を形成し、光を照射することにより透光性基板の表面に突起状感光性樹脂を有するパターンの潜像を形成して現像する。現像した突起状感光性樹脂を有するパターンをエッチングすることにより、透光性基板の表面に円錐台形状の突起部を形成する。そして、透光性基板の裏面の上記突起部に対応した部位に集光手段を形成するものである（例えば、特許文献１〜４参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−５９０５号公報
【特許文献２】特開２００４−１３８５１４号公報
【特許文献３】特開２００４−６１２１９号公報
【特許文献４】特開２００４−３９０４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが、上記方法では、透光性基板の表面に突起部を形成した後に、該透光性基板の裏面に集光手段を形成していたために、突起部と集光手段とを別個に関連なく形成することになり、これにより、突起部と集光手段とのアライメントが必要になり、製造が煩雑なものになるという虞れがあった。
【００１１】
本発明は、上記実情に鑑みて、突起部と集光手段とのアライメントが必要なく、より簡単に製造することができる、プローブおよびその製造方法、プローブアレイおよびその製造方法、ならびに光ピックアップ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１にかかるプローブの製造方法は、端面に微小開口が形成された突起部を表面に備え、前記微小開口近傍で近接場光を発生させるプローブの製造方法において、透光性基板の裏面に集光手段を形成する第１工程と、前記透光性基板の表面に感光性樹脂層を形成する第２工程と、前記透光性基板の裏面側から光を照射することにより、前記集光手段を利用して前記透光性基板の表面に突起状感光性樹脂を有するパターンの潜像を形成する第３工程と、前記潜像を現像する第４工程と、現像した突起状感光性樹脂を有するパターンをエッチングにより前記透光性基板に転写することにより、前記突起部を形成する第５工程とを含むことを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、第１工程で集光手段を形成し、第３工程で集光手段を利用して突起状感光性樹脂を有するパターンの潜像を形成し、第４工程で該潜像を現像し、第５工程で現像した突起状感光性樹脂を有するパターンをエッチングにより透光性基板に転写して突起部を形成するので、集光手段を利用して突起部を形成することができ、集光手段と突起部との位置が対応したものになる。
【００１４】
また、本発明の請求項２にかかるプローブの製造方法は、上記請求項１において、前記第３工程では、前記突起状感光性樹脂の周辺領域に、該突起状感光性樹脂の突出高さと略等しい高さを有する保護壁部を含むパターンの潜像を形成することを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、第３工程で保護壁部を有するパターンの潜像を形成するので、突起部の周辺に保護壁部を形成することができる。
【００１６】
また、本発明の請求項３にかかるプローブの製造方法は、上記請求項１または上記請求項２において、前記透光性基板は、石英または光学ガラス材料からなることを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、第１工程で集光手段を形成し、第３工程で集光手段を利用して突起状感光性樹脂を有するパターンの潜像を形成し、第４工程で該潜像を現像し、第５工程で現像した突起状感光性樹脂を有するパターンをエッチングにより透光性基板に転写して突起部を形成するので、集光手段を利用して突起部を形成することができ、集光手段と突起部との位置が対応したものになる。
【００１８】
また、本発明の請求項４にかかるプローブは、上記請求項１〜３のいずれか一つに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、第１工程で集光手段を形成し、第３工程で集光手段を利用して突起状感光性樹脂を有するパターンの潜像を形成し、第４工程で該潜像を現像し、第５工程で現像した突起状感光性樹脂を有するパターンをエッチングにより透光性基板に転写して突起部を形成するので、集光手段を利用して突起部を形成することができ、集光手段と突起部との位置が対応したものになる。
【００２０】
また、本発明の請求項５にかかるプローブアレイの製造方法は、端面に微小開口が形成された複数の突起部を所定の間隔ごとに備え、前記微小開口近傍で近接場光を発生させるプローブアレイの製造方法において、透光性基板の裏面に複数の集光手段を形成する第１工程と、前記透光性基板の表面に感光性樹脂層を形成する第２工程と、前記透光性基板の裏面側から光を照射することにより、前記集光手段のそれぞれを利用して前記透光性基板の表面に複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンの潜像を形成する第３工程と、前記潜像を現像する第４工程と、現像した複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンをエッチングにより前記透光性基板に転写することにより、前記複数の突起部を形成する第５工程とを含むことを特徴とする。
【００２１】
この発明によれば、第１工程で複数の集光手段を形成し、第３工程で集光手段のそれぞれを利用して複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンの潜像を形成し、第４工程で該潜像を現像し、第５工程で現像した複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンをエッチングにより透光性基板に転写して複数の突起部を形成するので、集光手段を利用して突起部を形成することができ、集光手段と突起部とのそれぞれの位置が対応したものになる。
【００２２】
また、本発明の請求項６にかかるプローブアレイの製造方法は、上記請求項５において、前記第３工程では、前記複数の突起状感光性樹脂のそれぞれの周辺に、該突起状感光性樹脂の突出高さと略等しい高さを有する保護壁部を含むパターンの潜像を形成することを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、第３工程で保護壁部を有するパターンの潜像を形成するので、突起部の周辺に保護壁部を形成することができる。
【００２４】
また、本発明の請求項７にかかるプローブアレイの製造方法は、上記請求項５または上記請求項６において、前記透光性基板は、石英または光学ガラス材料からなることを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、第１工程で複数の集光手段を形成し、第３工程で集光手段のそれぞれを利用して複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンの潜像を形成し、第４工程で該潜像を現像し、第５工程で現像した複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンをエッチングにより透光性基板に転写して複数の突起部を形成するので、集光手段を利用して突起部を形成することができ、集光手段と突起部とのそれぞれの位置が対応したものになる。
【００２６】
また、本発明の請求項８にかかるプローブアレイは、上記請求項５〜７にいずれか一つに記載の製造方法により製造されたことを特徴とする。
【００２７】
この発明によれば、第１工程で複数の集光手段を形成し、第３工程で集光手段のそれぞれを利用して複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンの潜像を形成し、第４工程で該潜像を現像し、第５工程で現像した複数の突起状感光性樹脂が所定の間隔ごとに配列されたパターンをエッチングにより透光性基板に転写して複数の突起部を形成するので、集光手段を利用して突起部を形成することができ、集光手段と突起部とのそれぞれの位置が対応したものになる。
【００２８】
また、本発明の請求項９にかかる光ピックアップ装置は、上記請求項４に記載のプローブを備えてなり、該プローブを用いて、光記録媒体にデータを書き込み、および／または光記録媒体に記録してあるデータを読み出すことを特徴とする。
【００２９】
この発明によれば、上記プローブを備えてなるので、集光手段と突起部との位置が対応したものになる。
【００３０】
また、本発明の請求項１０にかかる光ピックアップ装置は、上記請求項８に記載のプローブアレイを備えてなり、該プローブアレイを用いて、光記録媒体にデータを書き込み、および／または光記録媒体に記録してあるデータを読み出すことを特徴とする。
【００３１】
この発明によれば、上記プローブアレイを備えてなるので、集光手段と突起部とのそれぞれの位置が対応したものになる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の請求項１に記載のプローブの製造方法によれば、集光手段と突起部との位置が対応したものになるので、集光手段と突起部とのアライメントが必要なく、簡単に製造することができるという効果を奏する。
【００３３】
本発明の請求項２に記載のプローブの製造方法によれば、突起部の周辺に保護壁部を形成することができるので、突起部を対象物に近接場光の波長以下に接近させた場合にも、突起部が対象物に接触して破損してしまうことを防止することができるという効果を奏する。
【００３４】
本発明の請求項３に記載のプローブの製造方法によれば、集光手段と突起部との位置が対応したものになるので、集光手段と突起部とのアライメントが必要なく、簡単に製造することができるという効果を奏する。
【００３５】
本発明の請求項４に記載のプローブによれば、上記請求項１〜３のいずれか一つに記載の製造方法により製造されるので、集光手段と突起部とのアライメントが必要なく、簡単に製造することができるという効果を奏する。
【００３６】
本発明の請求項５に記載のプローブアレイの製造方法によれば、集光手段と突起部とのそれぞれの位置が対応したものになるので、集光手段と突起部とのそれぞれのアライメントが必要なく、簡単に製造することができるという効果を奏する。
【００３７】
本発明の請求項６に記載のプローブアレイの製造方法によれば、各突起部の周辺に保護壁部を形成することができるので、各突起部を対象物に近接場光の波長以下に接近させた場合にも、各突起部が対象物に接触して破損してしまうことを防止することができるという効果を奏する。
【００３８】
本発明の請求項７に記載のプローブアレイの製造方法によれば、集光手段と突起部とのそれぞれの位置が対応したものになるので、集光手段と突起部とのそれぞれのアライメントが必要なく、簡単に製造することができるという効果を奏する。
【００３９】
本発明の請求項８に記載のプローブアレイによれば、上記請求項５〜７のいずれか一つに記載の製造方法により製造されるので、集光手段と突起部とのそれぞれのアライメントが必要なく、簡単に製造することができるという効果を奏する。
【００４０】
本発明の請求項９に記載の光ピックアップ装置によれば、上記請求項４に記載のプローブを備えてなるので、集光手段と突起部とのアライメントが必要なく、簡単に製造することができるという効果を奏する。
【００４１】
本発明の請求項１０に記載の光ピックアップ装置は、上記請求項８に記載のプローブアレイを備えてなるので、集光手段と突起部とのそれぞれのアライメントが必要なく、簡単に製造することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下に添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。尚、以下においては、プローブの一例である平面型プローブ（プローブアレイ）を中心に説明する。
【００４３】
図１は、本発明の実施の形態における平面型プローブの要部を示した拡大側断面図である。この図１において、平面型プローブは、プローブ本体１０と、遮光膜２０とを備えて構成してある。
【００４４】
プローブ本体１０は、基部１１と、複数の突起部１２と、集光部（集光手段）１３とを備えて構成してある。基部１１は、例えば石英や光学ガラス材料からなり、透光性を有した平板状のものである。複数の突起部１２は、基部１１の表面から突出した態様で形成され、碁盤目状に配列してある。それぞれの突起部１２は、先端に向かって漸次径が小さくしてあり、例えば円錐台状をなしている。集光部１３は、基部１１の裏面側における突起部１２に対応する位置に形成してある。より詳細に説明すると、集光部１３は、基部１１の裏面側において、所定の光源からの光を対応する突起部１２の根元部分に集光させることができる位置に形成してある。
【００４５】
遮光膜２０は、光を遮断するためのものであり、突起部１２を含む基部１１の表面を覆う態様で形成してある。詳細は後述するが、それぞれの突起部１２の先端面上に形成してある遮光膜２０を、例えばフォーカスト・イオンビーム（ＦＩＢ）を用いて除去することにより、各突起部１２の先端面に微小開口１４が形成してある。これら微小開口１４は、後述する近接場光Ｌの波長よりも微細、すなわち近接場光Ｌの波長よりも小さい径を有している。
【００４６】
以上のような構成を有する平面型プローブは、次のようにして製造される。以下において、上記平面型プローブの製造方法について説明する。
【００４７】
図２〜図８は、それぞれ本発明の実施の形態における平面型プローブの製造工程を模式的に示したものである。これら図２〜図８を適宜利用して上記平面型プローブの製造方法について説明する。
【００４８】
平面型プローブの製造方法は、集光部形成工程（第１工程）と、感光性樹脂層形成工程（第２工程）と、潜像工程（第３工程）と、現像工程（第４工程）と、転写工程（第５工程）とを含むものである。
【００４９】
集光部形成工程は、例えば石英や光学ガラス材料からなる透光性基板１１′に集光部１３を形成するための工程である。透光性基板１１′の裏面に感光性樹脂を塗布し、フォトマスク（例えば、特開２００１−９２１４７号公報に開示されているマスク）を用いて露光することにより、複数のレンズ形状の感光性樹脂を所定の間隔ごとに有するパターンの潜像を形成する。その後に現像を行い、複数のレンズ形状の感光性樹脂を所定の間隔ごとに有するパターンを得る。そして、ＲＩＥ（ｒｅａｃｔｉｖｅ  ｉｏｎ  ｅｔｃｉｎｇ：反応性イオンエッチング）による異方性ドライエッチングを行い、レンズ形状の感光性樹脂を有するパターンを透光性基板１１′の裏面に転写することにより、図２に示すように、複数の集光部１３が所定の間隔ごとに形成される。尚、上記ＲＩＥは、化学的に活性なイオン種を電解に沿って加速し、透光性基板１１′に対して垂直に進むようにエッチングに方向性をもたせるものである。
【００５０】
感光性樹脂層形成工程では、図３に示すように、上記集光部形成工程により裏面側に複数の集光部１３が所定の間隔ごとに形成された透光性基板１１′の表面に、ネガ型感光性樹脂層３０を形成する。かかる形成には、種々の手法を用いることができ、スピンコート、ベーク等の方法を用いることができる。また、感光性樹脂のドラムフィルムを貼り付けることにより、ネガ型感光性樹脂層３０を形成しても良い。
【００５１】
潜像工程は、透光性基板１１′の表面に突起状感光性樹脂を有するパターンの潜像を形成する工程である。より詳細に説明すると、ネガ型感光性樹脂層３０が形成された透光性基板１１′に対し、該透光性基板１１′の裏面側から露光用平行光を照射する。これにより、図４に示すように、ネガ型感光性樹脂層３０において、集光部１３により集光された円錐状（突起状）の集光部分３１は、集光部１３により集光されずに透光性基板１１′を通過した平行光部分３２より光量が多くなる。したがって、集光部分３１のみが感光し、平行光部分３２が感光しないように露光量を調整することにより、該集光部分３１の感光性樹脂が硬化して、透光性基板１１′の表面に円錐状感光性樹脂３１を有するパターンの潜像が形成される。つまり、潜像工程では、上記集光部形成工程で形成した集光部１３を利用して、透光性基板１１′の表面に複数の円錐状感光性樹脂３１を有するパターンの潜像を形成することになる。したがって、透光性基板１１′の表面の円錐状感光性樹脂３１は、それぞれ透光性基板１１′の裏面にある集光部１３のそれぞれに対応した位置にある。
【００５２】
現像工程は、上記潜像工程で形成した潜像を現像する工程である。つまり、現像工程では、ネガ型感光性樹脂層３０の未硬化部分を除去することにより、図５に示すように、硬化してなる複数の円錐状感光性樹脂３１を有するパターン（以下、レジストパターンともいう）を現像する。
【００５３】
転写工程は、上記現像工程で現像したレジストパターンを透光性基板１１′の表面に転写させる工程である。より詳細に説明すると、透光性基板１１′の表面側からＲＩＥエッチングによる異方性ドライエッチングを行い、複数の円錐状感光性樹脂３１を有するパターンを透光性基板１１′の表面に転写する。この際、エッチング量を調整することにより、図６に示すように、レジスト３１を一部残した状態でエッチングを終了する。そして、残存したレジスト３１を除去することにより、図７に示すように、透光性基板１１′の表面に複数の円錐台状の突起部１２が得られる。これら複数の円錐台状の突起部１２は、それぞれ透光性基板１１′の裏面にある集光部１３のそれぞれに対応していることは言うまでもない。そして、図８に示すように、各突起部１２の先端面を除いて、各突起部１２を含む透光性基板１１′の表面に遮光膜２０を形成することにより、上記平面型プローブが得られる。ここで、透光性基板１１′は、上記基部１１を構成し、各突起部１２の先端面は微小開口１４を形成することになる。
【００５４】
以上説明したような平面型プローブの製造方法の具体的な一例を簡単に説明すると次のようなものである。両面研磨された石英基板を準備し、該石英基板の裏面にポジ型感光性樹脂（東京応化製ＯＦＰＲ８００）を塗布、ベークし、特開２００１−９２１４７号公報に開示されているフォトマスクを用いて露光し、現像を行うことにより、レンズ形状感光性樹脂を有するパターンを得た。この後、石英基板の裏面側よりＲＩＥによる異方性ドライエッチングを行い、レンズ形状の感光性樹脂を有するパターンを石英基板に転写することにより、集光部が形成された。次いで、石英基板の表面にネガ型感光性樹脂（東京応化製ＯＭＲ８３）を塗布、ベークし、厚さ５μｍのネガ型感光性樹脂層を形成した。石英基板の裏面側から水銀灯による平行光を照射して露光を行い現像することにより、底面の直径が３μｍ、高さが３μｍの円錐形状の感光性樹脂を有するパターン（レジストパターン）を得た。そして、石英基板の表面側から、レジストと石英とのエッチングレート比が１：１となる条件でＲＩＥエッチングを行い、石英基板を２．５μｍエッチングすることにより、底面の直径が３μｍ、高さが２．５μｍ、上平面の直径が０．５μｍの円錐台状の突起部を有する平面型プローブを形成できた。
【００５５】
以上説明したような平面型プローブにおいては、裏面側から光源からの光を照射すると、図１に示すように、それぞれの集光部１３が光源からの光を対応する突起部１２の根元部分に集光させることにより、表面側における各微小開口１４の近傍で近接場光Ｌを発生させることができる。したがって、上記平面型プローブでは、光源と集光部１３とのアライメントだけで近接場光Ｌを発生させることができる。よって、平面型プローブの裏面側にマイクロレンズ１３０を配置して、突起部１２０の根元部分に光源からの光を集光させて、各微小開口１４０の近傍で近接場光Ｌを発生させていた従来例のように（図９参照）、光源、マイクロレンズ１３０、突起部１２０のアライメントを行う必要がない。
【００５６】
以上のような本発明の実施の形態における平面型プローブの製造方法によれば、透光性基板１１′の裏面に集光部１３を形成し、かかる集光部１３を利用して、透光性基板１１′の表面に円錐状感光性樹脂３１を有するパターンを潜像・現像し、該円錐状感光性樹脂３１を有するパターンを透光性基板１１′に転写させることにより平面型プローブを製造するので、集光部１３と突起部１２とのアライメントが必要なく、簡単に製造することができる。また、従来のように、集光部と突起部とを別個に関連なく形成するのに比して、製造工程を削減することができる。
【００５７】
また、本発明の実施の形態における平面型プローブは、上述した製造方法により製造されるので、集光部１３と突起部１２とのアライメントが必要なく、簡単に製造することができる。
【００５８】
さらに、上記平面型プローブと、光源とを備えてなり、光源からの光により平面型プローブの表面の微小開口１４に近接場光Ｌを発生させて、光記録媒体にデータを書き込み、または光記録媒体に記録してあるデータを読み出すようにした光ピックアップ装置では、上記平面型プローブは、上記製造方法により製造されるので、簡単に製造することができる。
【００５９】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、種々の変更を行うことができる。
【００６０】
本発明では、潜像工程（第３工程）において、露光量を調整することにより、円錐状の集光部分３１だけでなく、透光性基板１１′を通過した平行光部分３３についても感光性樹脂を硬化させて、円錐状感光性樹脂３１を有するパターンの潜像を形成することもできる。そして、現像工程（第４工程）において、上記潜像工程で形成した潜像を現像して、図１０に示すようなレジストパターンを得ることができる。その後、転写工程（第５工程）において、透光性基板１１′の表面側からＲＩＥエッチングによる異方性ドライエッチングを行い、レジストパターンを透光性基板１１′の表面に転写する。この際、エッチング量を調整することにより、図１１に示すように、レジスト３１，３３を一部残した状態でエッチングを終了する。そして、残存したレジスト３１，３３を除去することにより、図１２に示すように、透光性基板１１′の表面に複数の円錐台状の突起部１２と、保護壁部１５とが得られる。保護壁部１５は、突起部１２と同様に、基部１１の表面から突出した態様で形成され、突起部１２を囲繞するよう設けてある。この保護壁部１５の突出高さは、突起部１２の突出高さと同じ大きさである。その後、各突起部１２および各保護壁部１５の先端面を除いて、各突起部１２および各保護壁部１５を含む透光性基板１１′の表面に遮光膜２０を形成することにより、平面型プローブが得られる。ここで、透光性基板１１′は、上記基部１１を構成し、各突起部１２の先端面は微小開口１４を形成することになる。
【００６１】
このような方法により得られた平面型プローブによれば、突起部１２と同じ突出高さの保護壁部１５が、突起部１２の周辺領域に設けてあるので、平面型プローブを光記録媒体に近接場光Ｌの波長以下に接近させた場合にも、突起部１２が光記録媒体に接触して破損してしまうことを防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
以上のように、本発明に係るプローブおよびその製造方法、プローブアレイおよびその製造方法、ならびに光ピックアップ装置は、ＣＤやＤＶＤ等の光記録媒体に記録・再生を行なうことにも有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の形態における平面型プローブの要部を示した拡大側断面図である。
【図２】図１における平面型プローブの製造工程の一例を模式的に示した説明図である。
【図３】図１における平面型プローブの製造工程の一例を模式的に示した説明図である。
【図４】図１における平面型プローブの製造工程の一例を模式的に示した説明図である。
【図５】図１における平面型プローブの製造工程の一例を模式的に示した説明図である。
【図６】図１における平面型プローブの製造工程の一例を模式的に示した説明図である。
【図７】図１における平面型プローブの製造工程の一例を模式的に示した説明図である。
【図８】図１における平面型プローブの製造工程の一例を模式的に示した説明図である。
【図９】従来の平面型プローブの一例を示した拡大側断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態における平面型プローブの製造工程の変形例を模式的に示した説明図である。
【図１１】本発明の実施の形態における平面型プローブの製造工程の変形例を模式的に示した説明図である。
【図１２】本発明の実施の形態における平面型プローブの製造工程の変形例を模式的に示した説明図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０    プローブ本体
１１    基部
１１′  透光性基板
１２    突起部
１３    集光部
１４    微小開口
１５    保護壁部
２０    遮光膜
３０    ネガ型感光性樹脂層
Ｌ      近接場光
【図１】
2006260693.tif 000003
【図２】
2006260693.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2006260693.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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