(57)【要約】【課題】  吸気口側、すなわちプロセス室へ向うパーティクルを阻止する。【解決手段】  吸気口２１Ａと、複数段に形成された動翼３２の中で最も吸気口２１Ａに近い第１段の動翼３２ａとの間のケーシング２２に、その内周に沿って４枚の円環２３ｂにより３段の環状室２３ｃを設ける。動翼３２ａで跳ね飛ばされたパーティクルは、円環２３ｂに衝突して環状室２３ｃ内で運動量を失って捕捉される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多段のロータ翼と多段のステータ翼がスペーサを介して吸気口側から交互に配設され、前記多段のステータ翼に対して前記多段のロータ翼を高速回転することにより吸気口から吸入したガスを外部に排気するターボ分子ポンプにおいて、
前記吸気口と、前記多段のロータ翼のうち前記吸気口に最も近い第１段ロータ翼との間のケーシング内壁に、前記第１段ロータ翼で跳ね返されたパーティクルを捕捉するためのパーティクル捕捉部を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記パーティクル捕捉部は、前記ケーシング内壁に沿った環状の空間を周方向に仕切り部材で分割した複数の小室で構成されることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記第１段ロータ翼を介してポンプ内部に侵入したパーティクルが、前記第１段ロータ翼と前記スペーサとの間の隙間から吸気口側に跳ね返されることを防止するため、前記パーティクル捕捉部と前記第１段ロータ翼との間のケーシング内壁に遮蔽板を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータ翼は、ロータ本体側面から放射状に、かつ幅方向が前記ロータ翼の回転軸方向に対して傾斜して突設される複数の平板状のブレードを有し、
前記複数のブレードは、それぞれ前記吸気口側のエッジ部に先端面を有し、
前記先端面の法線方向が、前記ロータ翼の回転の接線方向と等しいか、前記吸気口の反対側に向いていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記第１段ロータ翼のロータ本体の上面に近接して、前記ロータ本体の上面と大きさが等しい円板を配置したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項６】
多段のロータ翼と多段のステータ翼がスペーサを介して吸気口側から交互に配設され、前記多段のステータ翼に対して前記多段のロータ翼を高速回転することにより吸気口から吸入したガスを外部に排気するターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータ翼は、ロータ本体側面から放射状に、かつ幅方向が前記ロータ翼の回転軸方向に対して傾斜して突設される複数の平板状のブレードを有し、
前記複数のブレードは、それぞれ前記吸気口側のエッジ部に先端面を有し、
前記先端面の法線方向が、前記ロータ翼の回転の接線方向と等しいか、前記吸気口の反対側に向いていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項７】
請求項６に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記多段のロータ翼のうち前記吸気口に最も近い第１段ロータ翼のロータ本体の上面に近接して、前記ロータ本体の上面と大きさが等しい円板を配置したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置や分析装置などの中真空から超高真空にわたる圧力範囲で真空排気に使用されるターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程において、ドライエッチングやＣＶＤ等を行うプロセスチャンバから飛来したパーティクル等がターボ分子ポンプのロータ翼などに当たってプロセスチャンバへ戻ると、半導体素子の生産歩留まりを悪化させる。そこで、特許文献１の排気装置では、プロセス室とターボ分子ポンプとを繋ぐ排気管の内壁にＶ字状をなす溝を形成し、このＶ字状溝により、プロセスチャンバへ戻ろうとするパーティクルをターボ分子ポンプ側へ跳ね返すような構造となっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１９４９３号公報（第９頁、図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のものは、パーティクルをターボ分子ポンプ側へ跳ね返すことにより、プロセスチャンバへ戻ろうとするのを阻止しているが、そのパーティクルがロータ翼などに当たって再びプロセスチャンバへ向かうおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）請求項１の発明は、多段のロータ翼と多段のステータ翼がスペーサを介して吸気口側から交互に配設され、多段のステータ翼に対して多段のロータ翼を高速回転することにより吸気口から吸入したガスを外部に排気するターボ分子ポンプに適用され、吸気口と、多段のロータ翼のうち吸気口に最も近い第１段ロータ翼との間のケーシング内壁に、第１段ロータ翼で跳ね返されたパーティクルを捕捉するためのパーティクル捕捉部を設けたことを特徴とする。
（２）請求項２の発明は、請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、パーティクル捕捉部は、ケーシング内壁に沿った環状の空間を周方向に仕切り部材で分割した複数の小室で構成されることを特徴とする。
（３）請求項３の発明は、請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて、第１段ロータ翼を介してポンプ内部に侵入したパーティクルが、第１段ロータ翼とスペーサとの間の隙間から吸気口側に跳ね返されることを防止するため、パーティクル捕捉部と第１段ロータ翼との間のケーシング内壁に遮蔽板を設けたことを特徴とする。
（４）請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプにおいて、ロータ翼は、ロータ本体側面から放射状に、かつ幅方向がロータ翼の回転軸方向に対して傾斜して突設される複数の平板状のブレードを有し、複数のブレードは、それぞれ吸気口側のエッジ部に先端面を有し、先端面の法線方向が、ロータ翼の回転の接線方向と等しいか、吸気口の反対側に向いていることを特徴とする。
（５）請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプにおいて、第１段ロータ翼のロータ本体の上面に近接して、ロータ本体の上面と大きさが等しい円板を配置したことを特徴とする。
（６）請求項６の発明は、多段のロータ翼と多段のステータ翼がスペーサを介して吸気口側から交互に配設され、多段のステータ翼に対して多段のロータ翼を高速回転することにより吸気口から吸入したガスを外部に排気するターボ分子ポンプに適用され、ロータ翼は、ロータ本体側面から放射状に、かつ幅方向がロータ翼の回転軸方向に対して傾斜して突設される複数の平板状のブレードを有し、複数のブレードは、それぞれ吸気口側のエッジ部に先端面を有し、先端面の法線方向が、ロータ翼の回転の接線方向と等しいか、吸気口の反対側に向いていることを特徴とする。
（７）請求項７の発明は、請求項６に記載のターボ分子ポンプにおいて、多段のロータ翼のうち吸気口に最も近い第１段ロータ翼のロータ本体の上面に近接して、ロータ本体の上面と大きさが等しい円板を配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１〜５の発明によれば、ロータ翼で跳ね返されたパーティクルを吸気口近傍のケーシング内壁に設けたパーティクル捕捉部で捕捉するようにしたので、ロータ翼で跳ね返されプロセスチャンバに戻ろうとするパーティクルの運動を抑制することができる。請求項６，７の発明によれば、ポンプ内に侵入したパーティクルを吸気口側へ跳ね返すおそれが低減する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態によるターボ分子ポンプについて、図１〜１１を参照しながら説明する。
〈第１の実施の形態〉
図１は、本発明の第１の実施の形態によるターボ分子ポンプが用いられる真空処理装置の概略構成を示す全体構成図である。
【０００８】
真空処理装置１は、プロセス室２と、プロセス室２内を大気圧から低真空まで排気する補助ポンプ３と、プロセス室２内を所定の高真空まで排気するターボ分子ポンプ１０と、配管４で接続されているプロセス室２とターボ分子ポンプ１０とを連通遮断するゲートバルブ５と、プロセス室２へプロセスガスや材料ガスを供給するガス供給源６とを備えている。この真空処理装置１は、例えば半導体製造工程のプラズマＣＶＤ装置であり、補助ポンプ３とターボ分子ポンプ１０によりプロセス室２内を高真空とした後に、ガス供給源６からプロセス室２内に材料ガスなどを導入して所定の高真空ガス雰囲気を形成し、成膜を行う。この成膜プロセスでは、化学反応あるいは機械部品の摺動などによってサブミクロンオーダーのパーティクルが発生することが多い。
【０００９】
図２は、本発明の第１の実施の形態によるターボ分子ポンプの構成を模式的に示す縦断面図である。ターボ分子ポンプ１０は、フランジ部２０と、ターボ分子ポンプ部３０と、ねじ溝ポンプ部４０とを備え、図１に示したプロセス室２からのガスを吸気側フランジ２１の吸気口２１Ａから取り入れ、排気側フランジ４１の排気口４１Ａから外部へ排気する。
【００１０】
ターボ分子ポンプ部３０とねじ溝ポンプ部４０の中央には、図示上下方向にロータ３１が延設されている。ロータ３１は、高周波モータ３６で回転駆動されるロータ本体３１ａと、複数段に形成された動翼（ロータ翼）３２とを有し、ラジアル磁気軸受３７およびアキシャル磁気軸受３８によって非接触で支持されている。なお、動翼３２の中で最も吸気口２１Ａ側に近く設けられた第１段の動翼を符号３２ａで示す。
【００１１】
ターボ分子ポンプ部３０は、円筒形状のケーシング３４と、ケーシング３４の内周面に複数段に形成されている静翼（ステータ翼）３３とを有し、静翼３３は、スペーサ３５により、動翼３２と交互に数ｍｍの隙間を保って配置されている。ねじ溝ポンプ部４０は、ロータ本体３１ａの下部外周に形成されているねじロータ３１ｂと、ねじロータ３１ｂと対向して設けられているねじステータ３９とを有し、ねじロータ３１ｂとねじステータ３９のいずれか一方にはらせん溝が形成されている。
【００１２】
フランジ部２０は、吸気側フランジ２１およびケーシング２２を有し、Ｏリング２１ａを介してターボ分子ポンプ１０全体をゲートバルブ５（図１参照）に気密を保って連結される。吸気側フランジ２１には、吸気口２１Ａを覆って保護ネット２９が取り付けられ、保護ネット２９には、連結棒２８を介して円板２７が取り付けられている。円板２７は、ロータ本体３１ａの最上面に近接して配設され、円板２７の直径は、ロータ本体３１ａの最上面の直径Ｄとほぼ等しく設定されている。また、ケーシング２２の内壁には、図３（ａ）、（ｂ）に詳細が示される多段円環筒２３が設けられている。図２、図３（ａ）、（ｂ）を参照して多段円環筒２３について詳細に説明する。
【００１３】
図３（ａ）は、本発明の第１の実施の形態によるターボ分子ポンプのフランジ部２０とその周辺を模式的に示す部分縦断面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＩ−Ｉ線で切断して上から見た図である。多段円環筒２３は、円筒２３ａと、円筒２３ａの上下端面に配設される上下円環２３ｂおよびその間に円筒２３ａの内周面に所定間隔をあけて突設された２枚の円環（輪帯）２３ｂとから成り、最上部の円環２３ｂを吸気側フランジ２１に当接させてねじ２１ｂで固着されている。円環筒２３内、すなわち、ケーシング２２内には、４枚の円環２３ｂによって上下に仕切られ、かつ、内周側が開放されている３つの環状室２３ｃが形成されている。円環２３ｂの内径、すなわち、環状室２３ｃの内径、第１段の動翼３２ａの先端が描く円の直径とほぼ等しく設定されている。なお、厳密には、４つの円環２３ｂの円筒からの突出長さは、ガス流路の上流から下流にいくほど短くなっている。
【００１４】
また、円環筒２３の下端面と動翼３２ａの上面とで規定される空間には、動翼３２ａの先端と最上段のスペーサ３５との間で図示上下方向に延在する隙間を塞ぐように、円環状（輪帯状）の板２４がケーシング２２の内壁から突設されている。
【００１５】
図４（ａ）は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプの動翼３２を模式的に示す部分斜視図、図４（ｂ）は、動翼３２を模式的に示す部分展開図、図４（ｃ）は、動翼３２の動翼ブレード５０の吸気口側のエッジ部を模式的に示す部分拡大図である。図４（ａ），（ｂ）に示されるように、ロータ本体３１ａの側面には、回転軸方向ｙと角度θをなし、かつ所定角度ピッチで動翼ブレード５０が放射状に突設されている。動翼ブレード５０の先端面５１は、回転軸方向ｙと平行、かつ動翼３２が回転する接線方向ｘに直角に形成されている。つまり、先端面５１の法線方向が、動翼３２の回転の接線方向ｘと同じ方向を向いている。また、図４（ｃ）に示されるように、動翼ブレード５０のエッジ部５２は、小さな曲率が付けられているので破損などを起こし難い。
【００１６】
上記のように構成された第１の実施の形態によるターボ分子ポンプ１０の作用効果について図２を参照して説明する。
ロータ３１が数万ｒｐｍの回転数で高速回転することにより、吸気口２１Ａから吸入されたガスは、多段に形成された動翼３２と静翼３３との隙間を通り、この隙間と連通しているらせん溝が形成された隙間を通って排気口４１Ａから外部へ排出される。その際に、プロセス室内で発生したパーティクルが吸気口２１Ａを通り、ターボ分子ポンプ１０内に飛来することがあるが、以下で説明するように、ターボ分子ポンプ１０の構成部品で跳ね返されることが防止される。
【００１７】
フランジ部２０に入ったパーティクルは、ロータ本体３１ａへ向かうものと、最も吸気口２１Ａに近い第１段の動翼３２ａへ向かうものとがある。換言すると、パーティクルは、ポンプ中心部の直径Ｄの円形領域へ向かうか、ポンプ外周部の環状領域、すなわち第１段の動翼３２ａの突設長さをＲとするとき、（Ｄ＋２Ｒ）で規定される外径と、Ｄで規定される内径とで挟まれた環状領域へ向かう。
【００１８】
ロータ本体３１ａへ向かったパーティクルは、ロータ本体３１ａの最上面に近接して配設された円板２７で阻止され、ロータ本体３１ａへは到達しない。したがって、パーティクルがロータ３１によって運動量を与えられ、跳ね返されてプロセス室へ飛び込むこともない。一方、第１段の動翼３２ａがある環状領域に飛来した場合、そのパーティクルの動きは、図５および図６に示すように分類される。
【００１９】
図５は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプ１０のフランジ部２０を切り欠いて動翼３２ａとその周辺を見たときの図であり、パーティクルＰの飛行軌跡Ｐ１を示す。図６は、図５と同じ部分を示す図であり、パーティクルＰの飛行軌跡Ｐ２〜Ｐ４を示す。パーティクルＰの動きは動翼３２ａの回転速度に比べて遅いので、図５に示されるように、パーティクルＰは、動翼ブレード５０の翼面で跳ね飛ばされて飛行軌跡Ｐ１を描いて２段目以降の動翼３２、つまり排気口側へ送られる。パーティクルＰの大半は、この分類に入り、２段目以降の動翼３２へ送られたパーティクルＰは、フランジ部２０やプロセス室へ戻ることはない。
【００２０】
一方、図６に示されるように、ごく少数のパーティクルＰは、動翼ブレード５０の先端で跳ね飛ばされて飛行軌跡Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４を描く。飛行軌跡Ｐ２のパーティクルＰは、動翼ブレード５０の先端曲率部に衝突し、動翼３２ａの回転方向ｘに対して斜め上方へ跳ね飛ばされるものである。このパーティクルは、フランジ部２０に配設された円環２３ｂに衝突して運動量を失い、環状室２３ｃの中で捕捉される。飛行軌跡Ｐ３のパーティクルＰは、動翼３２ａの回転の接線方向に跳ね飛ばされ、スペーサ３５で反跳して排気口側へ送られる。飛行軌跡Ｐ４のパーティクルＰは、動翼３２ａの回転の接線方向に跳ね飛ばされ、スペーサ３５と円環２４とで順次反射して排気口側へ送られる。すなわち、飛行軌跡Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４を描くパーティクルＰは、プロセス室へ戻ることはない。
【００２１】
図６に示される飛行軌跡Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４を描くパーティクルＰはいずれも、動翼ブレード５０の先端面５１またはエッジ部５２で跳ね飛ばされたものである。本実施の形態では、先端面５１が回転軸方向ｙと平行、かつ回転の接線方向ｘに直角に形成されているため、この先端面５１は、図４（ｃ）の２点鎖線で示す従来の先端面５１Ａに比べて、パーティクルＰを動翼３２ａの回転の接線方向ｘ、つまり図６中、左右方向に跳ね飛ばす確率が高い。言い換えれば、図中、斜め上方向へ跳ね飛ばす確率が低いので、パーティクルＰが吸気口２１Ａ側へ反跳する危険性が減少する。また、先端面５１が回転軸方向ｙと平行になっているので、動翼３２ａの上面の開口面積を広く取ることができ、排気速度を大きくする効果もある。
【００２２】
以上説明したように、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプ１０は、下記の作用効果を奏する。
（１）フランジ部２０のケーシング２２に、多段円環２３ｂを配設してケーシングの内周面に環状室２３ｃを形成した円環筒２３を設けたので、吸気口２１Ａ側へ反跳するパーティクルを環状室２３ｃで効果的に捕捉できる。
（２）円環筒２３の下端面と最上位の動翼３２ａの上面との間のケーシング内周面に、動翼３２ａの先端とスペーサ３５との隙間を塞ぐように円環２４を配設したので、ロータ側から跳ね返るパーティクルが吸気口２１Ａ側へ向うことがない。
（３）動翼ブレード５０の先端面５１を回転軸方向ｙと平行、かつ動翼３２が回転する接線方向ｘに直角に形成することにより、パーティクルを吸気口２１Ａ側へ跳ね飛ばす確率が低くなり、吸気口２１Ａ側へ向うパーティクルの数を減らすことができる。
（４）ロータ本体３１ａの最上面に近接して円板２７を配設することにより、ロータ本体３１ａへ飛来するパーティクルを捕捉できる。
【００２３】
上記の実施の形態によるターボ分子ポンプ１０の変形例を図７及び図８を参照して説明する。
図７（ａ）は、フランジ部２０とその周辺を模式的に示す部分縦断面図、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＩＩ−ＩＩ線で切断して上から見た図である。
【００２４】
上述した第１の実施の形態では、図３に示したように、フランジ部２０に配設される４枚の円環２３ｂによって３段の環状室２３ｃが形成されているが、この第１の変形例では、３つの環状室２３ｃのそれぞれが複数枚の仕切り板２５により円周方向に分割され、図８に示すような複数の小室２３ｄを設けている。
【００２５】
複数の小室２３ｄについては、仕切り板２５をロータ３１の回転軸に対して放射状に取り付けると、各々の小室２３ｄにより、動翼３２の動翼ブレード５０で跳ね飛ばされたパーティクルを捕捉し易い。さらに、図７（ｂ）、図８に示されるように、仕切り板２５をその外周側がロータ３１の回転方向ｘに傾斜するように、つまり、各仕切り板２５を半径方向に対して角度をつけて取り付けると、パーティクルの捕捉が一層確実になる。また、各々の小室２３ｄによって捕捉されたパーティクルの動きが規制されるので、環状室２３ｃよりもパーティクルの捕捉率が高くなる。
【００２６】
図９は、第１の実施の形態の第２の変形例を説明する図である。第２の変形例による動翼１３２ａの動翼ブレード１５０の先端面１５１は、動翼１３２ａの回転の接線方向（図中、左右方向）よりも排気口側を向いている。すなわち、動翼ブレード１５０の先端面１５１は、回転軸方向ｙに対して角度φだけ下向きに傾斜している。そのため、パーティクルＰの飛行軌跡Ｐ５に示されるように、パーティクルＰは、動翼１３２ａの回転の接線方向よりも下側、つまり排気口側に向って跳ね飛ばされる確率が高くなり、パーティクルＰがフランジ部２０やプロセス室へ戻り難くなる。
【００２７】
動翼ブレードの形状としては様々な変形が可能であり、例えば、図１０の部分展開図に示すように、動翼３２Ｃの動翼ブレード５０Ｃの断面形状を楔型としてもよい。なお、図１０においても、上が吸気口側、下が排気口側であり、左右方向がロータ本体３１ａの回転の接線方向ｘである。
【００２８】
以上では、円環筒２３の組立性を考慮して、円環筒２３をフランジ部ケーシング２２の内周面にねじ２１ｂで固着して多段円環筒２３を設置した。しかし、円環２３ｂをフランジ部ケーシング２２の内周面に直接突設させてもよい。また、円環筒２３を周方向に複数分割してもよい。この場合、交換作業性が向上する。
【００２９】
〈第２の実施の形態〉
図１１は、本発明の第２の実施の形態によるターボ分子ポンプの構成を模式的に示す縦断面図である。図１１に示すターボ分子ポンプ１１０は、図２に示した第１の実施の形態によるターボ分子ポンプ１０と比べてフランジ部の構成のみが異なる。それ故、同じ構成部品には同一符号を付し、相違点を主体に説明する。
【００３０】
図１１に示されるように、ターボ分子ポンプ１１０のフランジ部１２０には、ターボ分子ポンプ１０のフランジ部２０に設けられていた多段円環筒２３および円環２４が省略されている。但し、フランジ部１２０にもフランジ部２０と同様に、保護ネット２９に連結棒２８を介して円板２７が取り付けられている。なお、連結棒２８は、保護ネット２９だけではなく、吸気側フランジ２１の内周側に固定することもできる。
【００３１】
また、図１１に示すターボ分子ポンプ１１０も、図４（ａ）〜（ｃ）に示した第１の実施の形態によるターボ分子ポンプ１０と同様の動翼３２および動翼ブレード５０を有する。すなわち、図４（ａ），（ｂ）に示されるように、ロータ本体３１ａの側面には、回転軸方向ｙと角度θをなし、かつ所定角度ピッチで動翼ブレード５０が放射状に突設されている。動翼ブレード５０の先端面５１は、回転軸方向ｙと平行、かつ動翼３２が回転する接線方向ｘに直角に形成されている。つまり、先端面５１の法線方向が、動翼３２の回転の接線方向ｘと同じ方向を向いている。また、図４（ｃ）に示されるように、動翼ブレード５０のエッジ部５２には小さな曲率が付けられている。
【００３２】
従って、第２の実施の形態によるターボ分子ポンプ１１０は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプ１０の作用効果のうち、（３）および（４）の作用効果を奏する。また、フランジ部１２０では多段円環筒２３および円環２４が省略されているため、軸方向（図１１中、上下方向）の長さを縮小でき、その分、ターボ分子ポンプ１１０はコンパクトとなる。なお、第２の実施の形態の動翼ブレード５０の先端部の形状は、図９および図１０で説明した変形例を同様に適用することができる。
【００３３】
本発明は、その特徴を損なわない限り、以上説明した実施の形態に何ら限定されない。
特許請求の範囲と実施の形態による構成要素の対応関係では、環状室２３ｃや小室２３ｄが捕捉部に対応し、円環２４が遮蔽板に対応する。なお、以上の説明はあくまで一例であり、発明を解釈する際、上記の実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプが用いられる真空処理装置の概略構成を示す全体構成図である。
【図２】第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプの構成を模式的に示す縦断面図である。
【図３】第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプのフランジ部２０とその周辺を模式的に示す図であり、（ａ）は、部分縦断面図、（ｂ）は、（ａ）のＩ−Ｉ線で切断して上から見た図である。
【図４】図４（ａ）は、第１の実施の形態によるターボ分子ポンプの動翼３２を模式的に示す部分斜視図、図４（ｂ）は、動翼３２を模式的に示す部分展開図、図４（ｃ）は、動翼３２の動翼ブレード５０の吸気口側のエッジ部を模式的に示す部分拡大図である。
【図５】第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプ１０のフランジ部２０を切り欠いて動翼３２ａとその周辺を見たときの図であり、パーティクルＰの飛行軌跡Ｐ１を示す。
【図６】第１の実施の形態に係るターボ分子ポンプ１０のフランジ部２０を切り欠いて動翼３２ａとその周辺を見たときの図であり、パーティクルＰの飛行軌跡Ｐ２〜Ｐ４を示す。
【図７】第１の実施の形態のターボ分子ポンプの第１の変形例であり、フランジ部２０とその周辺を模式的に示す図であり、（ａ）は、部分縦断面図、（ｂ）は、（ａ）のＩＩ−ＩＩ線で切断して上から見た図である。
【図８】図７に示す円筒状の室の内部構造を模式的に示す部分斜視図である。
【図９】第１の実施の形態のターボ分子ポンプの第２の変形例であり、フランジ部２０を切り欠いて動翼１３２ａとその周辺を見たときの図である。
【図１０】第１の実施の形態のターボ分子ポンプの変形例であり、動翼３２Ｃを模式的に示す部分展開図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係るターボ分子ポンプの構成を模式的に示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１：真空処理装置                  ２：プロセス室
１０，１１０：ターボ分子ポンプ    ２０，１２０：フランジ部
２１：吸気側フランジ              ２１Ａ：吸気口
２２：ケーシング                  ２３：円環筒
２３ｂ，２４：円環                ２３ｃ：環状室
２３ｄ：小室                      ２５：仕切り板
３０：ターボ分子ポンプ部          ３１：ロータ
３１ａ：ロータ本体                ３２，３２ａ，３２Ｃ、１３２ａ：動翼
４０：ねじ溝ポンプ部              ４１：排気側フランジ
４１Ａ：排気口                    ５０，５０Ｃ，１５０：動翼ブレード
５１，１５１：先端面              Ｐ：パーティクル
Ｐ１〜Ｐ５：飛行軌跡
【図１】
2006307823.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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