(57)【要約】      （修正有）【課題】  ２組の平行リンクを連結してなる搬送アームの先端に設けられた基板搬送台を安定した状態で高精度に搬送できるコンパクトなアーム構造を実現する。【解決手段】２組の平行リンクを連結してなる第１と第２搬送アーム１００と２００とを有し、第１と第２の搬送アーム１００と２００の直線移動と他方の退避動作とを同期をとって行う際、旋回動作が付与される第１搬送アーム１００のアーム１１１と、第２搬送アーム２００のアーム２１１とを所定屈曲角度をなし一体形成した旋回アーム１０とする。旋回アーム１０に同軸駆動源の一方の駆動源から所定の旋回動作を付与するとともに、第１と第２の搬送アーム１００、２００のいずれかに、他方の駆動源から同期した同方向への旋回動作を付与する。第１あるいは第２搬送アームのうち、旋回動作が付与された搬送アームの搬送台を退避させるとともに、他の搬送アームの搬送台を直線移動させるようにした。【選択図】  図４
2006120659.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１平行リンクの短節と、第２平行リンクの短節とを共有して連結し、前記第１平行リンクのアーム端に付与された旋回動作により、前記第１平行リンクのアームと第２平行リンクのアームのなす角度を変化させて前記第２平行リンクの自由端側の短節に設けられた搬送台を直線移動させる第１搬送アームと、該第１搬送アームと略同形で、同動作をなす第２搬送アームと、前記第１搬送アームと第２搬送アームを駆動する同軸駆動源が設けられ、該同軸駆動源からの動作付与により、前記第１搬送アームと前記第２搬送アームにおける一方の搬送台の直線移動と他方の退避動作とを、同期をとって行うようにした基板搬送装置において、
前記第１搬送アームの第１平行リンクの旋回動作が付与されるアームと、前記第２搬送アームの第１平行リンクの旋回動作が付与されるアームとを所定屈曲角度をなし一体形成した旋回アームとし、該旋回アームに前記同軸駆動源の一方の駆動源から所定の旋回動作を付与するとともに、前記第１あるいは第２搬送アームのいずれかに、前記同軸駆動源の他方の駆動源から同期した同方向への旋回動作を付与し、前記第１あるいは第２搬送アームのうち、前記旋回動作が付与された搬送アームの搬送台を退避させるとともに、他の搬送アームの搬送台を直線移動させることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
第１搬送アーム及び第２搬送アームにおいて、それぞれ共有された前記短節を構成する各関節から、前記各第１平行リンクの各アームを所定量延長した端部支点間を連結する第１の連結部材と、前記各第２平行リンクの前記関節から各アーム上の所定量内側の中間支点間を連結した第２の連結部材とを、規制部材で連結してなることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記規制部材は、前記第１の連結部材と第２の連結部材との間に掛け渡された板状バネ部材であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板搬送装置に係り、平行リンクからなる２組の搬送アームを有するツインアーム構造からなり、コンパクトで安定した状態で、基板を高精度に搬送できるようにした基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に半導体製造装置内には、所定のシーケンスで動作する搬送アームでウェハ等の基板を把持し、所定位置に移動させるようにした基板搬送装置が備えられている。この種の基板搬送装置はマルチチャンバタイプの半導体製造装置に使用された際に、高精度で迅速で多様な搬送動作が要求されている。出願人は、すでにこの要請に応えるために、耐久性を有する２組の平行リンクからなるツインアームを備え、各搬送アームが効率よく動作することにより、マルチチャンバタイプの半導体製造装置等における基板等の高速搬送を、高精度に行えるようにした、耐久性に富む基板搬送装置を提案している（特許文献１参照）。
【０００３】
また、同様のマルチチャンバタイプの半導体製造装置において、複数の小型駆動モータの連動動作により駆動するツインアームの採用により、トランスファチャンバとプロセスチャンバ間での基板の効率的な受け渡しを実現し、コストダウンを目指した搬送ロボットも提案されている（特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１８５５９６公報。
【特許文献２】特開平１０−２４９７５７号公報。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述の特許文献１では、搬送アームの伸縮を実現するために２組の平行リンクを高精度に屈曲動作させるリニアガイドが使用されている。このリニアガイドは同期リンクを備えるため、部材点数が多く、関節部分が厚くなり、アーム屈曲部の薄型化が難しかった。また、リニアガイドは線状をなす内部経路をベアリングボールが連続して転動する構造であるが、従来の転動経路の短い玉軸受に比べて潤滑性に劣るおそれがあり、アームのスムースな屈曲、伸長が求められる場合、各関節等の可動部において、実績のある玉軸受の使用が望まれている。
【０００６】
一方、特許文献２では、平行リンクの屈曲動作には歯車機構が使用されており、これらの噛合する歯車は所定のバックラッシをもって設計されているので、リンクの連動にガタが生じやすく、またダストの発生のおそれもある。このため真空プロセスにおいて搬送精度が低下し、高精度位置決めが期待できないという問題がある。また、プーリにベルトを掛け渡して回転角度の同期をとるようにした実施例も提案されている。しかし、ベルト等がプーリに巻回された際に繰り返し折り曲げられるため、早期に疲労破壊が生じるおそれがある。また、ベルト等の寿命を確保するために使用プーリの直径を大きくして対応することも考えられる。その場合にはプーリの直径が大きくなってしまい、リンク機構としての小型が難しい。
【０００７】
また、特許文献２では、ツインアームの同時動作として、一方のアームを直動動作により伸長させるのと同時に、他のアームを旋回させて退避動作を行わせるために、退避動作をとる他のアームを独立して駆動させる駆動部が必要とする。このため４軸駆動系の基板搬送装置として設計しなければならず、装置の小型化の障害となる。
【０００８】
そこで、本発明の目的は上述した従来の技術が有する問題点を解消し、ツインアームの各アームの平行リンクの屈曲部がコンパクトで高精度な動作を実現できる構成から成り、真空下の高温プロセスに対応可能な、高精度で伸縮および回転駆動できるようにした基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は第１平行リンクの短節と、第２平行リンクの短節とを共有して連結し、前記第１平行リンクのアーム端に付与された旋回動作により、前記第１平行リンクのアームと第２平行リンクのアームのなす角度を変化させて前記第２平行リンクの自由端側の短節に設けられた搬送台を直線移動させる第１搬送アームと、該第１搬送アームと略同形で、同動作をなす第２搬送アームと、前記第１搬送アームと第２搬送アームを駆動する同軸駆動源が設けられ、該同軸駆動源からの動作付与により、前記第１搬送アームと前記第２搬送アームにおける一方の搬送台の直線移動と他方の退避動作とを、同期をとって行うようにした基板搬送装置において、前記第１搬送アームの第１平行リンクの旋回動作が付与されるアームと、前記第２搬送アームの第１平行リンクの旋回動作が付与されるアームとを所定屈曲角度をなし一体形成した旋回アームとし、該旋回アームに前記同軸駆動源の一方の駆動源から所定の旋回動作を付与するとともに、前記第１あるいは第２搬送アームのいずれかに、前記同軸駆動源の他方の駆動源から同期した同方向への旋回動作を付与し、前記第１あるいは第２搬送アームのうち、前記旋回動作が付与された搬送アームの搬送台を退避させるとともに、他の搬送アームの搬送台を直線移動させることを特徴とする。
【００１０】
このとき、第１搬送アーム及び第２搬送アームにおいて、それぞれ共有された前記短節を構成する各関節から、前記各第１平行リンクの各アームを所定量延長した端部支点間を連結する第１の連結部材と、前記各第２平行リンクの前記関節から各アーム上の所定量内側の中間支点間を連結した第２の連結部材とを、規制部材で連結することが好ましい。
【００１１】
さらに、前記規制部材は、前記第１の連結部材と第２の連結部材との間に掛け渡された板状バネ部材とすることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
以上に述べたように、本発明の基板搬送装置によれば、コンパクトなツインアームの装置構成により、コンパクトな装置を提供できるとともに、基板等の搬送を高精度に行えることができ、また耐熱性に富み、可動部の潤滑特性にも優れ、真空条件下においてクリーンな環境を長期にわたって保持できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の基板搬送装置の実施するための最良の形態として、以下の実施例について添付図面を参照して説明する。
【実施例】
【００１４】
以下、本発明の基板搬送装置の一実施の形態について、添付図面を参照して説明する。［ツインアームの構成］
本発明の基板搬送装置は、後述するように、２組が短節を共有するして連結された平行リンク機構の変形動作により、リンクの自由端が所定の直進動作をするような２組の搬送アームと、各搬送アームを構成する平行リンク機構の変形動作、及び２組の搬送アーム（以下、２組の搬送アームをツインアームと記す。）のそれぞれの伸長動作、退避動作およびツインアーム全体の旋回動作を可能にする同軸駆動部とから構成されている。なお、以下の説明において、ツインアームを構成する２組の搬送アーム１００，２００について、それぞれを構成する部材に、それぞれ１ＸＸ，２ＸＸを付して説明する。
【００１５】
[駆動部の構成]
図１は、基板搬送装置の各部の機構構成を説明するために示した正面断面図である。基板搬送装置１は、固定部２に形成された開口部３に基台プレート４を介して支持され、ツインアーム全体が真空雰囲気５内に位置するように設置されている。基台プレート４には、中心軸Ｏを中心として同軸配置され、各軸が独立して回転駆動可能な３本の回転駆動軸Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3が軸受６，７，８を介して固着されている。
【００１６】
これらの回転駆動軸Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3は、中実回転駆動軸Ｒ3と、この中実回転駆動軸Ｒ3を玉軸受６で回転可能に支持するともに、独立して回転駆動可能な中空筒状回転駆動軸Ｒ2と、中空筒状回転駆動軸Ｒ2を玉軸受７で回転可能に支持するとともに、基台プレート４に対して玉軸受８を介して回転駆動可能な中空筒状回転駆動軸Ｒ1とから構成され、各駆動軸とも、図示しない回転制御部により独立あるいは同期をとって回転角、回転角速度、回転方向が高精度に制御される。
【００１７】
これらの回転駆動軸のうち、最外周に位置し、基台プレート４に支持された中空筒状回転軸Ｒ1の上端には旋回アーム１０が固着されている。この旋回アーム１０は、本実施例では、図２，図４の平面図に示したように折れ角が１２０°のＶ字形プレートからなり、中空筒状回転軸Ｒ1の回転駆動に伴い、回転中心軸Ｏを中心に旋回する。この旋回アーム１０は、後に詳述するツインアームを構成する第１搬送アーム１００，第２搬送アーム２００のそれぞれの第１平行リンク１１０，２１０のうちの１本のアームとして一体形成されて装置に組み込まれている。これにより、この旋回アーム１０の旋回動作と各搬送アーム１００，２００の各駆動軸Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3の協働（一方の駆動、一方の停止状態を含む）により、ツインアームが屈曲状態である状態（図２参照）での搬送アーム１００，２００を一体とした旋回動作、および一方の搬送アーム１００（２００）の伸長動作と他方の搬送アーム２００（１００）の退避動作を同時に実現することができる。なお、旋回アーム１０は平行リンク１１０，２１０の構成要素としてみるときは、アーム１１１，２１１で表現される。
【００１８】
［第１搬送アームの構成］
第１搬送アーム１００は、図１および図２に示したように、回転中心軸Ｏが装置中心軸に一致する中空筒状回転駆動軸Ｒ2の上端に固着された円形プレート１０９に、その一端が図示しない軸受で支持されたアーム１１２と、回転中心軸Ｏとアーム１１２の軸受とで結ばれた仮想線が短節１３０となり、この短節１３０と対向し、アーム１１２の端部と、旋回アーム１０の一方のアーム１１１の端部とを結ぶ仮想短節１３１とで平行四辺形を構成する第１平行リンク１１０と、第１平行リンク１１０のアーム１１１，１１２と上下の段差を設けて共有する仮想短節１３１の両端関節５８，５９を、それぞれ回転軸として支持された２本の平行配置されたアーム１２１，１２２の各端が連結された第２平行リンク１２０と、第１平行リンク１１０の仮想短節１３１の両端部の関節５８，５９をわずかに延長したアーム１１１，１１２の部材端に設けられた端部支点５４，５５に、軸受（図示せず）を介して取り付けられた下面連結プレート５２と、第２平行リンク１２０のアーム１２１，１２２側の関節５８，５９から所定量だけわずか内側に位置する中間支点５６，５７に軸受（図示せず）を介して取り付けられた上面連結プレート５１と、下面連結プレート５２と上面連結プレート５１の外側端に固着された規制部材としての板状バネ５３とからなる平行保持部５０と、第２平行リンク１２０の関節５８，５９の反対端に位置し、その一部が仮想短節１３２として機能するように図示しない軸受により連結され、図示しない基板等の搬送対象物を載置するエンドエフェクタ１７１が連接された搬送台プレート１７０とから構成されている。なお、説明のため、図２の一部を拡大して仮想短節１３１を構成するリンク機構回りを示している。
【００１９】
［第２搬送アームの構成］
第２搬送アーム２００は、第１搬送アーム１００と平面視してほぼ同形からなるが、高さ方向において、第１搬送アーム１００との干渉を回避するために、各構成部材の高さ位置が決定されている。すなわち、第２搬送アーム２００は、図１および図２に示したように、回転中心軸Ｏが装置中心軸に一致する中空筒状回転駆動軸Ｒ2の内側に軸受６を介して同軸に配置された中実回転駆動軸Ｒ3の上端に固着された円形プレート２０９に、その一端が図示しない軸受で支持されたアーム２１２と、回転中心軸Ｏとアーム２１２の軸受とで結ばれた仮想線が短節２３０となり、この短節２３０と対向し、アーム２１２の端部と、旋回アーム１０の一方のアーム２１１の端部とを結ぶ仮想短節２３１（図２中の仮想短節１３１拡大図を参照。）とで平行四辺形を構成する第１平行リンク２１０と、第１平行リンク２１０のアーム２１１，２１２と上下の段差を設けて共有する短節２３１の両端関節６８，６９を、それぞれ回転軸として支持された２本の平行配置されたアーム２２１，２２２の各端が連結された第２平行リンク２２０と、第１平行リンク２１０の短節２３０の両端部の関節６８，６９をわずかに延長したアーム２１１，２１２の部材端に設けられた端部支点６４，６５に、軸受（図示せず）を介して取り付けられた下面連結プレート６２と、第２平行リンク２２０のアーム２２１，２２２側の関節６８，６９から所定量だけわずか内側に位置する中間支点６６，６７に軸受（図示せず）を介して取り付けられた上面連結プレート６１と、下面連結プレート６２と上面連結プレート６１の外側端に固着された規制部材としての板状バネ６３とからなる平行保持部６０と、第２平行リンク２２０の関節６８，６９の反対端に位置し、その一部が短節２３２として機能するように図示しない軸受により連結され、図示しない基板等の搬送対象物を載置するエンドエフェクタ２７１が連接された搬送台プレート２７０とから構成されている。
【００２０】
上述したエンドエフェクタ１７１，２７１、搬送台プレート１７０，２７０の形状は、第１搬送アーム１００及び第２搬送アーム２００とで全く同形であるが、本実施例では図の簡単化のために模式的な形状で示している。その形状は、載置される基板や液晶用ガラス等（図示せず）の大きさ、重量等に応じて最適なフォーク形状等を有するように設定すればよい。また、後述するように、各平行リンクを構成する部材の材質は、所定の剛性と質量軽減の効果を図るために、ステンレススチール、アルミニウム等の各種金属材料等を適宜選択することができる。また、アームの形状は所定支持位置で軸受を介して保持でき、またリンク形状の変形において部材の干渉がないような形状であれば、適宜の寸法形状に設定できることは言うまでもない。
【００２１】
［基板搬送装置における伸長、退避動作の説明］
本発明の基板搬送装置のツインアームの伸長、退避動作の一例について、図２〜図４を参照して概略説明する。本発明の装置におけるツインアームは、初期状態として、図２に示したように、第１搬送アームと第２搬送アーム２００とが所定の屈曲状態で、それぞれの搬送台プレートが上下に干渉しないで、重なって見えるような、平面視してＸ軸に対して対称な略菱形形状となっている。なお、図２〜図４に示したように、第２搬送アーム２００は、駆動部で駆動回転軸に所定の回転力が付与されると、自由端側の短節（すなわち搬送台プレート）がＸ軸方向に沿って直動するように伸長する。このときの平行リンクの平行保持部の構成については、後述する。
【００２２】
第２搬送アーム２００は、第１搬送アーム１００と平面視してほぼ同形からなるが、高さ方向において、第１搬送アーム１００との干渉を回避するために、各構成部材の高さ位置が決定されている。すなわち、第２搬送アーム２００を、図１および図２に示したように、最外側に位置する中空筒状回転駆動軸Ｒ1と、その内側に軸受を介して同軸に配置されたと中空筒状回転駆動軸Ｒ2とを同期させて同一方向（時計回り方向）に回動させる一方、中実回転駆動軸Ｒ3を停止状態とする。これにより、旋回アーム１０（アーム１１１，２１１）が矢印方向にθだけ回転した状態で、第２搬送アーム２００の第２平行リンクは２θだけ回動し、図３に示したように、搬送台プレート２７０はＸ軸方向に直動し、第１平行リンク２１０と、第２平行リンク２２０とが上下方向に重なるタイミングがある（図３参照）。そして、最終的に図４に示したように、第２搬送アーム２００のエンドエフェクタ２７１は回転中心軸Ｏから最遠部に達する。このとき、第１搬送アーム１００は、退避状態にある。
【００２３】
［平行保持部の構成］
上述した基板搬送装置の全体の動作（図２：初期状態から図４：伸長状態までの間の動作）を線図で模式的に示したのが、図６〜図８のリンクモデル図である。また、図５（ａ）〜（ｃ）に、第２搬送アーム２００の直動動作のリンクモデル図を示した。
【００２４】
まず、第１平行リンクと第２平行リンクとが直動動作するための両リンクの連結部としての平行保持部の構成について、図５（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。なお、図５では例示した第２搬送アーム２００のうち、符号の簡単化のために２ＸＸのＸＸのみを付し、各リンクの頂点に英文字を付して説明する。第１平行リンク１０は、アーム１１，１２、回転中心軸Ｏ及び関節Ａ，Ｂ間の短節３０と、端部支点Ｃ，Ｄを連結した下面連結プレート６２で構成されている。一方、第２平行リンク２０は、アーム２１，２２、短節３２及びアーム１１，２２の関節Ｅ，Ｆ近傍の中間支点Ｉ，Ｊを連結する上面連結プレート６１とで構成されている。この構造において、さらに下面連結プレート６２の端部と上面連結プレート６１の端部とは、規制部材としての所定の剛性を備えた板バネ６３により連結され、これにより平行リンク１０，２０の変形による搬送台プレート７０のＸ軸方向への直線移動を確実に保持する平行保持部６０が構成されている。なお、図５（ａ）〜（ｃ）には平行保持部６０の上面連結プレート６１、下面連結プレート６２及び板バネ６３の側面から見た各状態での位置関係を模式的に示している。
【００２５】
本発明では、規制部材としての板バネに厚さ０．２mm、幅８０mmの鋼板が使用されており、この板バネの端部が上面連結プレート６１と下面連結プレート６２の端面にボルト（図示せず）固定されている（図５（ａ）他参照）。また基板搬送装置１の屈曲、伸長動作時において、端部支点Ｃ，Ｄを結ぶ直線（ＣＤ）と中間支点Ｉ，Ｊを結ぶ直線（ＩＪ）とが関節Ｅ，Ｆを挟んでＹ軸方向へ同量だけ相対位置が変化する。上述の板バネ６３はこの相対位置変化により生じた連結板６１，６２のＹ方向ずれを吸収可能な余裕長さに設定されている。規制部材としてはＹ方向へのズレを吸収し、Ｘ方向への変位を拘束可能なねじれ剛性を備えた部材であれば、上述の寸法に限定されず、またバネ鋼以外の材質等、適宜選定できることはいうまでもない。また、同様の変位の規制が実現し、同様の効果が得られる機構であれば、各種のリニアガイド、リンク機構等で代替させることができる。
【００２６】
また、上述の第１平行リンク１０と第２平行リンク２０との連結において形成される平行保持部６０の他の実施例として、端部支点Ｉ，Ｊが、それぞれアーム２１，２２上の中心線上の関節Ｅ，Ｆを所定量延長した位置に設けられ、関節Ｅ，Ｆ、端部支点Ｉ，Ｊの４点で扁平な平行四辺形が形成され、同様に中間支点Ｃ，Ｄが、それぞれアーム１１，１２上の中心線上の関節Ｅ，Ｆに近いアーム１１，１２上に配置された軸受位置に設けられ、同形の平行四辺形が形成されるようにしても良い。
【００２７】
以下、上述した基板搬送装置１のツインアームによる伸長、退避動作について図６〜図８を参照して説明する。なお、第１搬送アーム１００側のリンク頂点の英符号に関しては添字１を、第２搬送アーム２００側には添字２を付して区別して説明する。
図２の初期状態から、最外側で旋回アーム１０を支持する中空筒状回転駆動軸Ｒ1と、この中空筒状回転駆動軸Ｒ1との内側に同軸配置され、上端で円形プレートを支持するた中空筒状回転駆動軸Ｒ2とを、同期させて同一方向（時計回り方向）に回動させるとともに、中実回転駆動軸Ｒ3を停止状態とする。この動作により、回転駆動軸Ｒ1の上端に締結された旋回アーム１０は、回転中心軸Ｏを中心に回転し、この結果、第２搬送アーム２００の第１平行リンク２１０において、短節３０の方向が固定されたまま、アーム１１が回転するので、図６〜図８に示したように、平行四辺形（□Ａ2Ｂ2Ｅ2Ｆ2）と平行四辺形（□Ｆ2Ｅ2Ｃ2Ｄ2）は、旋回動作に応じて扁平四辺形（図６）→長方形（図７）→扁平四辺形（図８）と変形する。ところが、上述したように、辺Ｉ2Ｊ2と辺Ｃ2Ｄ2とは、平行保持部６０によってＸ軸方向のズレが拘束されているので、第２平行リンク２２０において、平行四辺形（□Ｆ2Ｅ2Ｉ2Ｊ2）が変形し、平行四辺形（□Ｇ2Ｈ2Ｅ2Ｆ2）も変形する。このときＡ2Ｆ2＝Ｂ2Ｅ2＝Ｇ2Ｆ2＝Ｈ2Ｅ2及びＤ2Ｆ2＝Ｃ2Ｅ2＝Ｊ2Ｆ2＝Ｉ2Ｅ2なる関係があるため、辺Ｇ2Ｈ2は常に辺Ａ2Ｂ2上、すなわち短節３０の軌跡上に位置するため、搬送台プレート２７０は線Ｃ上を矢印Ｘ方向に直線移動することができる。
【００２８】
一方、上述のように、中空筒状回転駆動軸Ｒ1と中空筒状回転駆動軸Ｒ2とを同期させて同一方向に回動させるとともに、中実回転駆動軸Ｒ3を停止状態にしたときの第１搬送アーム１００については、第１平行リンク１１０の平行四辺形（□Ａ1Ｂ1Ｅ1Ｆ1）と、第２平行リンク１２０の平行四辺形（□Ｇ1Ｈ1Ｅ1Ｆ1）とは、そのままの形状と相互関係を保持したままで旋回アーム１０の回動に伴って回動し、結果的に搬送台プレート１７０は初期状態から退避動作をとったのと同様の旋回動作を示し、ツインアームはそれぞれ最終的に図８に示した位置関係となる。
【００２９】
なお、以上のツインアームの伸長動作、退避動作は、第１搬送アーム１００と第２搬送アーム２００とを全く逆に動作させる、すなわち、図２の初期状態から、最外側で旋回アーム１０を支持する中空筒状回転駆動軸Ｒ1と、最内側に位置するこの中実回転駆動軸Ｒ3とを同期させて同一方向（反時計回り方向）に回動させるとともに、中空筒状回転駆動軸Ｒ2を停止状態にすることで、図９に示したように、第１搬送アーム１００が伸長し、第２搬送アーム２００が退避動作をとるようにすることもできる。
【００３０】
また、中空筒状回転駆動軸Ｒ1と中空筒状回転駆動軸Ｒ2と中実回転駆動軸Ｒ3とを、すべて同期して同一方向に旋回させたときは、第１搬送アーム１００と第２搬送アーム２００とは、各アーム形状と互いの相互関係とを保持した状態で、アーム全体が回動することができる。
【００３１】
以上の説明は、たとえば図２において、設定した部材幅等の干渉を考慮して、旋回アームの屈曲角を約１２０°とし、旋回アームがθ＝約６０°の回動をしたときに平行リンクが当初角度から約１２０°（＝２θ）回動するようなモデルを例に説明したが、図１０、図１１に示した他の実施例のように、たとえば図６〜図８に示したリンクモデル図をもとにしたリンク機構の動作過程においても、アーム部材のなす当初角度やアーム形状を適正に設計することで、アーム部材の動作時に各部材間の干渉を回避して動作することが可能になり、より高精度で効率的な基板搬送を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明による基板搬送装置の一実施例を模式的に示した示した横断面図。
【図２】図１に示したツインアームの初期状態を示した平面図。
【図３】図２に示したツインアームの伸長及び退避過程を示した平面図。
【図４】図２に示したツインアームの伸長状態と退避状態とを示した平面図。
【図５】リンクモデル図によるアームの屈曲、伸長状態を段階的に示した状態説明図。
【図６】図２に示した初期状態を線図で示したリンクモデル図。
【図７】図３に示した伸長及び退避過程を線図で示したリンクモデル図。
【図８】図４に示した伸長状態と退避状態とを線図で示したリンクモデル図。
【図９】図４に示した場合と逆のアームによる伸長状態と退避状態とを示した平面図。
【図１０】ツインアームの他の実施例による初期状態を示した平面図。
【図１１】図１０に示したツインアームの伸長状態と退避状態とを示した平面図。
【符号の説明】
【００３３】
１  基板搬送装置
４  基台プレート
１０  旋回アーム
１００  第１搬送アーム
２００  第２搬送アーム
１１０，１２０，２１０，２２０  平行リンク
１１１，１１２，１２１，１２２  アーム
２１１，２１２，２２１，２２２  アーム
５０，６０  平行保持部
５４，５５，６４，６５  端部支点
５２，６２  下面連結プレート
５１，６１  上面連結プレート
５３，６３  板バネ
１３０，２３０  仮想短節
１３１、２３１  短節
１７０，２７０  搬送台プレート
Ｒi  駆動回転軸（i＝1,2,3）
【図１】
2006120659.tif 000003
【図２】
2006120659.tif 000004
【図３】
2006120659.tif 000005
【図４】
2006120659.tif 000006
【図５】
2006120659.tif 000007
【図６】
2006120659.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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