(57)【要約】【課題】ウエハテスト工程にて使用される異常判定装置及びその方法を得る。【解決手段】ウエハのテスト工程にて、各製品毎、測定条件毎の過去のテスト時間実績からテスト時間判定基準値を算出し、テスタ等の装置からのウエハ終了通知毎に、実際のテスト時間と、判定基準値とを比較し良否判定を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
個々のウエハについて所定の測定を行うテスタと接続し、該テスタから個々のウエハの測定終了通知を受信するとともに、前記ウエハのテスト時間を判定するテスト時間判定手段と、
所定のアルゴリズムにより、前記テスト時間の判定基準値を算出し、前記テスト時間判定装置に転送するとともに、前記テスト時間判定装置から前記ウエハのテスト時間データとテスト時間判定結果を受け取るテスト時間判定基準値集計手段と、
を備えたことを特徴とするウエハテスト時間異常判定装置。
【請求項２】
前記テスト時間判定装置で得られたテスト時間判定結果を前記テスト時間判定基準値集計装置を介して受け取り、該テスト時間判定結果を表示する判定結果表示手段と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のウエハテスト時間異常判定装置。
【請求項３】
前記テスト時間判定基準値集計手段は、基準値を算出するための実績データの有無に応じた複数の基準値集計アルゴリズムをインストールし、前記テスト時間の判定基準値を算出することを特徴とする請求項１記載のウエハテスト時間異常判定装置。
【請求項４】
前記テスト時間判定基準値集計手段は、実績データの有無によらず、基準値を任意に変更する場合に対応した基準値集計アルゴリズムをインストール用意し、前記テスト時間の判定基準値を算出することを特徴とする請求項１記載のウエハテスト時間異常判定装置。
【請求項５】
ウエハのテスト時間を利用したウエハテスト時間異常判定方法であって、
過去のテスト時間実績データを元に統計的に判定基準値を製品、測定条件毎に算出するステップと、
算出した前記判定基準値をテスト時間判定手段に転送するステップと、
テスタからのウエハ測定終了通知を受け取り、当該ウエハの測定時間からテスト時間を算出するステップと、
当該ウエハの測定時間から算出したテスト時間と前記判定基準値を比較し良否判定を行うステップと、
判定結果を評価するステップと、
判定結果表示手段へ異常情報を通知するステップと、
から成ることを特徴とするウエハテスト時間異常判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の異常判定装置及びその方法にかかり、特にウエハのテスト時間を利用した半導体装置の異常判定装置及びその方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ウエハに形成される、例えばＬＳＩ等の半導体装置をアセンブリせず、ウエハ状態で製品出荷する場合が多く、この場合には、半導体装置がウエハに搭載された状態で、所定の動作についてテストする必要がある。
【０００３】
半導体装置の数が多い場合には、テストに要する時間も長時間となることから、テスト方法も工夫されている。
【０００４】
例えば、テストを何回か実行し、テスト項目毎のテスト時間及びテスト項目の不良検出率を測定して得られた結果から、不良半導体装置を検出するまでのテスト時間が短くなるようにテスト項目のテスト順序を変更することが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
また、ウエハに形成される半導体装置の全てをテストするのでなく、複数のテスト項目を複数項目毎にグループ分けし、全ての被テスト物から選択されたモニタに対するグループ単位のテスト結果に基づき、残りの被テスト物に対してはそのグループに含まれるテスト項目についての試験を省略することも提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
従来、生産ライン（テストライン）では、ウエハのテスト時間の判定は殆ど行われていないのが実情であった。すなわち、オペレータが時々、基準となる半導体装置（較正チップ）のテスト時間を測定し、テスタ異常などによるテスト抜けがあるかどうか判定するに過ぎなかった。
【０００７】
そのため、製品毎に、テスタを制御し製品のＮＯ−ＧＯ／ＧＯ判定（良否判定）をする為のソフトウェアであるテストプログラムあるいは判定装置の異常等に起因するテスト抜けあるいはテストもれの半導体装置を発見する手法がなく、後工程にテスト抜けの半導体装置を流出し品質事故を招く恐れがあった。
【特許文献１】特開平８−１２４８６８号公報
【特許文献２】特開平８−１１４６５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、ウエハのテスト時間を利用した半導体装置のウエハテスト時間異常判定装置及びその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明の一態様によれば、個々のウエハについて所定の測定を行うテスタと接続し、該テスタから個々のウエハの測定終了通知を受信するとともに、前記ウエハのテスト時間を判定するテスト時間判定手段と、所定のアルゴリズムにより、前記テスト時間の判定基準値を算出し、前記テスト時間判定装置に転送するとともに、前記テスト時間判定装置から前記ウエハのテスト時間データとテスト時間判定結果を受け取るテスト時間判定基準値集計手段と、を備えたウエハテスト時間異常判定装置が提供される。
【００１０】
また、本願発明の別の一態様によれば、ウエハのテスト時間を利用したウエハテスト時間異常判定方法であって、過去のテスト時間実績データを元に統計的に判定基準値を製品、測定条件毎に算出するステップと、算出した前記判定基準値をテスト時間判定手段に転送するステップと、テスタからのウエハ測定終了通知を受け取り、当該ウエハの測定時間からテスト時間を算出するステップと、当該ウエハの測定時間から算出したテスト時間と前記判定基準値を比較し良否判定を行うステップと、判定結果を評価するステップと、判定結果表示手段へ異常情報を通知するステップと、から成るウエハテスト時間異常判定方法が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ウエハのテスト時間を利用した半導体装置のウエハテスト時間異常判定装置及びその方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
上述した課題について、鋭意取り組んだ結果、本発明者は、ウエハのテスト時間の実績を利用したテスト時間判定を行うことにより、効果的な半導体装置の異常判定が可能であることを見出したものである。
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。尚、各図において同一箇所については同一の符号を付すとともに、重複した説明は省略する。
【００１４】
図１は、本発明の実施の形態に係るウエハテスト時間異常判定装置の構成を示す構成図である。図１に示すように、ウエハテスト時間異常判定装置１０は、テスト時間判定手段１と、テスト時間判定基準値集計手段２とから構成され、更に判定結果表示手段３を含んで構成されてもよい。ウエハテスト時間異常判定装置１０は、テスト時間判定手段１を介して外部に配設されるテスタ４と接続している。
【００１５】
テスト時間判定基準集計手段２は、例えば、コンピュータから成り、所定のアルゴリズム（後述する）を含んだソフトウエハをインストールしており、テスト時間判定基準値を算出する。さらにテスト時間判定基準値集計手段２は、算出したテスト時間判定基準値をテスト時間判定手段１に転送するようになっている。
【００１６】
テスタ４は、例えば、ワークステーションとプローバ（いずれも、図示しない）を備え、個々のウエハについて所定の測定を行うものである。所定の測定が終了すると、測定終了通知をテスト時間判定手段１に送信するように接続されている。
【００１７】
テスト時間判定手段１は、例えば、パソコンから成り、テスタ４から個々のウエハの測定終了通知を受信するとともに、当該ウエハのテスト時間を判定するものである。
【００１８】
テスト時間判定手段１は、テスト時間判定結果と当該ウエハのテスト時間データを、接続しているテスト時間判定基準値集計手段置２に通知するものである。
【００１９】
テスト時間判定基準値集計手段２は、テスト時間判定手段１から送られてきたテスト時間判定結果を判定結果表示手段３に通知する。判定結果表示手段３は、例えば液晶モニタで構成され、テスト時間判定結果を表示するものである。
【００２０】
次に、図２はテスト時間判定基準集計手段２により実行されるフローチャートである。図２にしたがって、テスト時間判定の流れを説明する。
【００２１】
まず、テスト時間判定基準値集計手段２は、過去のテスト時間実績データを元に統計的に判定基準値を製品、測定条件毎に算出する（ステップＳ１）。
【００２２】
次に、テスト時間判定基準値集計手段２は、算出した判定基準値をテスト時間判定手段１に転送する（ステップＳ２）。
【００２３】
テスト時間判定手段１は、テスタなどの装置からのウエハ測定終了通知を受け取り、当該ウエハの測定時間からテスト時間を算出する（ステップＳ３）。
【００２４】
テスト時間判定手段１は、当該ウエハの測定時間から算出したテスト時間と判定基準値を比較し良否判定を行う（ステップＳ４）。
【００２５】
歩留まり等同じ条件の場合、ウエハテスト時間が短ければ、何らかの理由でテスト抜け（半導体装置内）、又は半導体装置自体のテストが実行されなかったという異常が発生したと判断できる。
【００２６】
所定のアルゴリズムで算出した基準値に対し、ウエハ測定終了時にそのウエハの歩留まり／半導体装置テスト時間を計算しその値が基準値より上回った場合に、テスト時間に異常が過去の実績と相違があるものと判断する。
【００２７】
次に、テスト時間判定手段１は判定結果を評価する（ステップＳ５）。
【００２８】
ＮＧ時の措置は異常発生の重要度により、例えば「警告」、「拘束」に分けることができる。「警告」は、警告表示のみで、以降のロット進捗を止めないものとする。「拘束」は、拘束表示に加え、以降のロット進捗を止め、先の工程に進めないものとする。
【００２９】
次に、テスト時間判定基準値集計手段２は判定結果表示装置３へ異常情報を通知し（ステップＳ６）、判定結果表示手段３は判定結果を表示する（ステップ７）。
【００３０】
次に、テスト時間判定基準値集計手段２で実行される判定基準値集計のアルゴリズムについて、説明する。正確な判定を行うために、基準値集計のアルゴリズムは、基準値を算出するための実績データの有無により、複数用意することが好適である。
【００３１】
本実施形態では、（１）基準値を算出する為の実績データが無い場合のアルゴリズム、（２）基準値を算出する為の実績データが充分ある場合のアルゴリズム、（３）基準値を任意に変更したい場合のアルゴリズムの３種類によっている。
【００３２】
尚、ウエハテストにおいて、ウエハ測定時間ではなく最小単位である半導体装置（チップ）のテスト時間を利用するのは、上述したように、ウエハテストでは、テストのモードにより全半導体装置（チップ）について測定を行わない場合等があるためである。
【００３３】
まず、基準値を算出する為の実績データが無い場合のアルゴリズムは、次の（１）式により、判定基準値を算出する。
【００３４】
判定基準値計算式＝平均歩留り／（平均半導体装置テスト時間×ｘ） ・・・（１）式
ここで、ｘは任意の係数で、この係数を調整し、基準値を決定する。
【００３５】
「基準値を算出する為の実績データが無い場合」には、過去に全く実績がなく新規の場合及び過去数ヶ月以前に実績があり、過去数ヶ月以内に１ロット以上ｍロット未満の場合が該当する。ここで、ｍは、実績集計に使用するロットデータ（テスト時間）数である。この（１）式によった場合の判定の種類は実績値判定であり、ＮＧ時の措置は、「警告」とする。
【００３６】
次に、基準値を算出する為の実績データが十分ある場合のアルゴリズムは、次の（２）式により、判定基準値を算出する。
【００３７】
判定基準値計算式＝平均歩留り／平均半導体装置テスト時間 +ｎσ・・・（２）式
ここで、σは過去数ヶ月の実績（平均歩留り÷平均半導体装置テスト時間）のσ値であり、ｎはσ値に乗ずる任意の係数である。実績データが十分ある場合なので、例えば１回／週に自動集計し更新してもよい。また、例えば±ｓσを超える異常値については、除いて集計するのが望ましい。ｓは任意の係数である。
【００３８】
「基準値を算出する為の実績データが十分ある場合」は、例えば過去数ヶ月にｍロット以上の実績がある場合が該当する。この（２）式によった場合の判定の種類は実績値判定であり、ＮＧ時の措置は、「拘束」とする。
【００３９】
次に、基準値を任意に変更したい場合のアルゴリズムは、次の（３）式により、判定基準値を算出する。  
判定基準値計算式＝歩留り／（テスト時間− 許容値）・・・（３）式
「基準値を任意に変更したい場合」には、例えばテストプログラム変更によりテスト時間が変わった場合あるいはテストメニューで特に指定した場合が該当する。これらの場合には、実績を用いた基準値では正常な判定が出来ないので、任意に基準値を設定する必要がある。したがって、この（３）式によった場合の判定の種類は、任意値判定であり、ＮＧ時の措置は、「拘束」とする。
【００４０】
尚、過去数ヶ月以前に実績があり、過去数ヶ月以内に実績”０”の場合は、いずれの式にもよらず、数ヶ月以前の実績の基準値そのままを利用する。修正するファクターが無いからである。
【００４１】
上述したテスト時間判定の結果、テスト抜けが発見された場合、オペレータはテストデータを調べることによって、具体的にどのテストが抜けたのかの判別作業を行うことになる。
【００４２】
以上のように、過去のウエハのテスト時間データを統計的に算出することにより、多量のウエハ、測定条件毎の判定基準値を自動で設定可能となる。また、より現実的な判定基準値が算出可能。テスタから１半導体装置（チップ）毎のデータを収集する仕組みが無くても判定可能である。また、ウエハのテスト時間異常をリアルタイムで判定することが可能となり異常の早期発見が可能となる。また、判定することにより、後工程へのテスト異常製品の流出を防止できる。
【００４３】
本発明は上記した実施の形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれるものであることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態に係るテスト時間判定装置の構成を示す構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るテスト時間判定装置の動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００４５】
１０・・・  ウエハテスト時間異常判定装置、  １・・・  テスト時間判定手段、２・・・  テスト時間判定基準値集計手段、３・・・  判定結果表示手段、４・・・  テスタ。
【図１】
2006120792.tif 000003
【図２】
2006120792.tif 000004