(57)【要約】【課題】極微細で均質なセラミック粉末を容易に得ることができ、こうして得られたセラミック粉末を用いることにより均質で微細結晶粒子により構成されるセラミックスの製法を提供する。【解決手段】（ａ）素原料粉末を溶媒とともに混合してスラリを調製するスラリ調製工程と、（ｂ）該スラリが下方側から上方側へ向けて流動する分散装置中に流動させた後、複数の噴水口を通過させてミストを形成し、続いて該ミストを１５０℃以上、圧力１０４Ｐａ以下の減圧雰囲気中に噴霧して乾燥させて素粉末を得る粉末調製工程と、（ｃ）該素粉末を温度１０００℃以下、圧力１０３Ｐａ以下で熱処理して仮焼粉末を得る仮焼工程と、を具備することを特徴とする。【選択図】図２
2006240896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）素原料粉末を溶媒とともに混合してスラリを調製するスラリ調製工程と、（ｂ）該スラリを下方側から上方側へ向けて流動する分散装置中に流動させた後、噴水口を通過させてミストを形成し、続いて、該ミストを１５０℃以上、圧力１０４Ｐａ以下の減圧雰囲気中に噴霧して乾燥させて素粉末を得る粉末調製工程と、（ｃ）該素粉末を温度１０００℃以下、圧力１０３Ｐａ以下で熱処理して仮焼粉末を得る仮焼工程と、を具備することを特徴とするセラミックスの製法。
【請求項２】
（ｂ）工程における噴水口の内径が５００μｍ以下である請求項１記載のセラミックスの製法。
【請求項３】
（ｂ）工程における分散装置がメディア強制撹拌型ミルであり、該ミルに充填するメディアの平均粒径が３００μｍ以下である請求項１または２に記載のセラミックスの製法。
【請求項４】
（ｃ）工程の熱処理が圧力１０Ｐａ以下で行われる請求項１乃至３のうちいずれか記載のセラミックスの製法。
【請求項５】
素原料粉末が、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒｅ、Ｆｅ、Ｒｕ、Ｏｓ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉの群から選ばれる少なくとも１種の、酸化物、炭酸化合物、塩化物、窒化物、炭化物のうちいずれかの化合物である請求項１乃至４のうちいずれか記載のセラミックスの製法。
【請求項６】
スラリ調製工程において、スラリに分散剤が添加される請求項１乃至５のうちいずれか記載のセラミックスの製法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックスの製法に関し、特に、特に、グリーンシートの薄層化が可能な微粒のセラミックス用原料の製造プロセスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化に伴い、積層セラミック電子部品の代表例である積層セラミックコンデンサについては、市場の小型大容量化への要求に応えるため、誘電体層の薄層化および多層化が一層進められている。このため誘電体層の製造工程で用いられるセラミックグリーンシートは膜厚を薄層化するために用いるセラミック粉末の微粒化が図られている。そして、金属酸化物や金属の炭酸化物などを素原料粉末として用いる固相法により調製されるセラミック粉末の微粒化を達成するための方法として、下記の特許文献１に開示されるようなものが知られている。
【０００３】
図４はセラミックスの製法における素原料粉末の混合および粉砕を行うメディア強制撹拌型ミルの模式図である。メディア強制撹拌型ミルは撹拌容器１０１を備え、その撹拌容器１０１の一方端にはスラリ導入口１０３が設けられ、同じく他方端にはスラリ排出口１０５が設けられている。従来は、まず、ＢａＣＯ３やＴｉＯ２などの複数種類の原料粉末を予め配合してスラリを調製し、次いで、このスラリを図４の装置内を通過させることにより粉砕し、この後、仮焼工程を経て所望の粉末が得られる。ここでの粉砕は粉砕容器内部に充填された細かいボール（通称ビーズと呼ばれる：図示なし）により行われる。上記のメディア強制撹拌型ミルによれば、ポットの中に粉砕用のボールを入れ回転させて行う従来のボールミルに比較して、より直径の小さいメディアを用いることができることから、容易にメディアの直径に応じた粉砕粒度を達成できるという利点がある。
【特許文献１】特開２００３−３０６３８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の製法では、複数種類の素原料粉末を混合した後に強制撹拌型ミルによる粉砕を行っているが、成形体を形成するために用いる成形用粉末となるまでに、粉砕後のスラリは、一旦、静置されていたり、乾燥する場合にしても、例えば、混合容器のような深さのある容器に静置させた状態で加熱される。そうすると、深さのある容器内では、せっかく解こうされたスラリが、静置時間とともに、大きな粒子径のものあるいは比重の大きな粉末のものから先に沈降して、結果的に粒度分布や組成が不均一になるなど不均質な乾燥粉末しか得られないという問題があった。
【０００５】
また、粉砕後に一旦スラリを取り出した後に時間をおいてスラリの乾燥を行うために、乾燥後の粉末に凝集が起こりやすく、粒度分布のばらつきが大きくなるという問題があった。
【０００６】
従って本発明は、極微細で均質なセラミック粉末を容易に得ることができ、こうして得られたセラミック粉末を用いることにより均質で微細な結晶粒子により構成されるセラミックスを形成するための製法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のセラミックスの製法は、（１）（ａ）素原料粉末を溶媒とともに混合してスラリを調製するスラリ調製工程と、（ｂ）該スラリが下方側から上方側へ向けて流動する分散装置中に流動させた後、噴水口を通過させてミストを形成し、続いて、該ミストを１５０℃以上、圧力１０４Ｐａ以下の減圧雰囲気中に噴霧して乾燥させて素粉末を得る粉末調製工程と、（ｃ）該素粉末を温度１０００℃以下、圧力１０３Ｐａ以下で熱処理して仮焼粉末を得る仮焼工程と、を具備することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明によれば、（２）（ｂ）工程における噴水口の内径が５００μｍ以下であること、（３）（ｂ）工程におけるメディア強制撹拌型ミルに充填するメディアの平均粒径が３００μｍ以下であること、（４）（ｃ）工程の熱処理が圧力１０Ｐａ以下で行われること、（５）素原料粉末が、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒｅ、Ｆｅ、Ｒｕ、Ｏｓ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉの群から選ばれる少なくとも１種の、酸化物、炭酸化合物、塩化物、窒化物、炭化物のうちいずれかの化合物であること、および（６）スラリ調製工程は、スラリに分散剤を添加すること、が好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、素原料粉末を溶媒とともに混合してスラリを調製し、このスラリを用いて乾燥工程および仮焼工程を経て成形用のセラミック粉末を調製する場合に、調製したスラリを分散装置中に流動させた後に、続いて、複数の噴水口を通過させてミストを形成し、さらに続いて該ミストを１５０℃以上、圧力１０４Ｐａ以下の減圧雰囲気中に噴霧して乾燥させる工程としている。このため、従来の製法のように、粉砕工程を経たスラリが、一旦、静置されていたり、乾燥するに場合にしても、例えば、混合容器のような深さのある容器に静置させた状態で加熱されることがないために、深さのある容器内で起こるような、解こうされたスラリが時間とともに大きな粒子径のもの、あるいは比重の大きな粉末のものから先に沈降して、結果的に粒度分布や組成が不均一となることを防止でき、これにより微細で均質な乾燥粉末を容易に得ることができる。
【００１０】
本発明によれば、さらに、素粉末を温度１０００℃以下、圧力１０３Ｐａ以下で熱処理して仮焼粉末を得るような工程としているために、仮焼粉末の粒成長を抑制し、かつ水分や炭素成分などの不純物を除くことができ、これにより得られる素粉末の結晶性が高まり、特性向上が図れる。
【００１１】
また、本発明によれば、（ｂ）工程における分散装置がメディア強制撹拌型ミルであり、該ミルに充填するメディアの平均粒径を３００μｍ以下とすることにより、一次粒子の平均粒径が１００ｎｍ以下、粉末の少なくとも１箇所の曲率半径が２０ｎｍ以下の微細な素粉末を調製できる。特に本発明によれば、（ｃ）工程での熱処理が１０Ｐａ以下の減圧下で行われることにより、素粉末内部に内在した水酸基などの不純物をさらに取り除くことが出来るために、より均質なセラミック粉末を得ることができる。
【００１２】
こうしたセラミックスの製法に用いることのできる素原料粉末は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒｅ、Ｆｅ、Ｒｕ、Ｏｓ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉの群から選ばれる少なくとも１種の、酸化物、炭酸化合物、塩化物、窒化物、炭化物のうちいずれかの化合物であることが好ましく、特に、本発明によれば、比重の大きく異なる素原料粉末を同時に混合して用いる場合にさらに好適である。本発明は素原料粉末の比重差としては５０％以上に有意義である。また、本発明によれば、比重の異なる素原料粉末をより均一に分散させるためにスラリ調製工程においてスラリ中に分散剤を添加することが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に関し、積層セラミックコンデンサ用の材料であるチタン酸バリウム粉末の例について詳細に説明する。
【００１４】
（ａ）工程
本発明のセラミックスの製法では、（ａ）工程において、まず、用いる複数種の素原料粉末を溶媒および分散剤とともに混合してスラリを調製する。ここでスラリの混合に用いる装置としては、例えば、ボールミルや図１に示すメディアレス分散機を用いることが望ましい。図１はメディアレス分散機を示す断面模式図である。メディアレス分散機Ａは、図１に示すように、撹拌容器１を備え、この撹拌容器１の中央内部には、主軸３によって保持された撹拌回転体としての複数の撹拌翼５が設けられている。撹拌翼５は、主軸３を回転駆動することによって、所定の周速をもって回転するように構成されている。７はスラリ導入口、９はスラリの排出口である。
【００１５】
本発明にかかるスラリを調製する溶媒は、例えば、水、エタノール、ケトン類またはこれらの混合溶媒が望ましく、さらに本発明によれば、スラリに適する分散剤を添加することが好ましい。分散剤としてはポリアクリル酸ソーダ、ナフタリンスルホン酸ホルマリン縮合物ソーダなどから選ばれる少なくとも１種が好ましい。
【００１６】
（ｂ）工程
次に、（ｂ）工程では、上記（ａ）工程で調製したスラリを、分散装置中を流動させ、次いで、このスラリを連続して噴霧することにより乾燥した素粉末を調製する。
【００１７】
図２は、本発明にかかる分散装置の概略断面図である。分散装置Ｂは、メディア強制撹拌型ミルＢ１と減圧雰囲気乾燥装置Ｂ２とから構成されている。
【００１８】
メディア強制撹拌型ミルＢ１は撹拌容器１１を備え、その撹拌容器１１の一方端にはスラリ導入口１３が設けられ、同じく他方端にはスラリ排出口１５が設けられている。
【００１９】
撹拌容器１１内には、主軸１７によって保持された撹拌回転体としての複数のディスク１９が設けられている。ディスク１９は主軸１７を回転駆動することによって、所定の周速をもって回転するように構成されている。なお、メディア強制撹拌型ミルＢ１において、撹拌用回転体としては、上述したディスク１９の他、ロータまたはピンなどが用いられることもある。
【００２０】
そして、撹拌容器１１内の主軸１７やディスク１９を除く空間に粉砕用のメディアボール（図示せず）が充填され、そのメディアボールとしては、通称ビーズと呼ばれる微粒なボールが充填されている。なお、メディアボール径は本発明における被粉砕物の最終的な大きさをより微粒なものにするという点で３００μｍ以下、特に１００μｍ以下が好ましい。
【００２１】
メディアボールの材質としては、アルミナ、ジルコニアなどを好適に用いることができる。メディアボールの充填率は撹拌容器１１の有効内容積、より特定的には撹拌容器１１の有効内容積の８０〜９８％とされる。また、スラリ中の素原料粉末の体積濃度は２体積％以上とされる。さらにディスクの周速は１０ｍ／秒以下とされる。次に、ディスク１９が所定の周速をもって回転されながら、撹拌容器１のスラリ導入口３から素原料粉末を含むスラリが導入される。
【００２２】
次に、粉砕した粉末を含むスラリを静置させることなく、スラリ排出口１５から、Ｎ２、Ａｒ、Ｈｅなどの不活性ガスをキャリアガスとして備え付けの減圧雰囲気乾燥装置Ｂ２に備え付けの２流体もしくは４流体の複数の噴水口を通過させてミストを形成して送り込み、所定の条件で瞬時に乾燥を行う。
【００２３】
減圧雰囲気乾燥装置Ｂ２は乾燥塔２１とその周囲にヒータ２３が取り付けられており、乾燥塔２１の上方からミストを噴水口２５から噴霧し、加熱と同時に減圧して水分や炭素分を除去し粉末を調製する。噴水口２５は複数の穴を有するものであり、この穴の大きさと噴霧圧力およびスラリ濃度を調整することにより噴霧滴およびそれにより得られる素粉末のサイズを調整できる。
【００２４】
この場合、より細かいミストを形成するという点で、噴水口２５は内径を５００μｍ以下、特に２００μｍ以下にすることが望ましく、ミストの大きさをこのような大きさにすると平均６μｍ以下の素原料粉末を得ることができる。
【００２５】
また、続いて行う噴霧乾燥の温度としては、素原料粉末からの十分な水分の除去を行い、かつ化合物の炭素分を低減する点で１５０℃以上、圧力１×１０４Ｐａ以下の減圧雰囲気下であることが重要である。乾燥条件として最低温度が１５０℃より低い場合には、水分など溶媒の蒸発が遅く、得られる素粉末が凝集し不純物量が多くなる。
【００２６】
一方、最高温度が２００℃よりも高い場合には、溶媒の蒸発はよくなるが、得られる素粉末が凝集し解砕されにくくなる。圧力が１×１０４Ｐａより高い場合には得られる素粉末に付着した吸着水などを除くことが困難となり、さらに、この場合も素粉末が凝集しやすくなり、結果的に結晶性の低下や特性の低下を招く。噴霧乾燥の温度としては乾燥中の粒成長を抑制し、凝集力を低減するという理由から４００℃以下が好ましい。圧力は、酸素による有機分の分解を促進し、乾燥雰囲気の熱伝導性を維持するという理由から１０３Ｐａ以上が好ましい。
【００２７】
また本発明によれば、（ｂ）工程では、スラリをメディア強制撹拌型ミルＢ１の下方から上方へ向けて垂直方向に流動させることにより、スラリのわずかな沈降も抑制してスラリの均質性を保つことができる。
【００２８】
このように本発明は、メディア強制撹拌型ミルＢ１に連結された噴出口２１から噴出して得られたミストを上記乾燥温度の雰囲気中に連続して噴霧し乾燥させるものであり、こうして、粉砕混合したスラリを静置することなく連続して素粉末を得ることができる。
【００２９】
また本発明の製法では、このように粉末の混合、粉砕、乾燥工程を連続して行うことが出来、しかも乾燥を減圧下で行うために、水分や炭素分などの揮発成分をより高速で粉末から除くことができ、これにより、乾燥時の粉末の凝集を抑制でき、均一な粒度分布を持った微粉末を得ることができる。
【００３０】
こうして得られる素原料粉末を粉砕、乾燥した後の粉末の一次粒子の平均粒径は１００ｎｍ以下、特に８０ｎｍ以下であることがより好ましく、本発明によればまた、その素粉末の少なくとも１箇所の曲率半径が３０ｎｍ以下、特に、２５ｎｍ以下が好ましい。
【００３１】
さらに本発明によれば、乾燥仮焼後の不純物量を７００ｐｐｍ以下にすることができる。なお、上記したスラリ中の素原料粉末は溶媒中に分散されているが、イオンやキレートの状態で溶解されていてもよい。
【００３２】
また、本発明の製法に好適な分散装置として、上記メディア強制撹拌型ミルの他に、図３に示すようなメディアレス超高圧分散装置Ｃを好適に用いることができる。メディアレス超高圧分散装置Ｃは、メデョアボールなどのないミキシング容器３１内にスラリ容器３３ａ、３３ｂから粉末を含むスラリを高速で送り込み、粉末を両方向から衝突させて混合および粉砕を行い、続いて、図２に示した減圧雰囲気乾燥装置Ｂ２につないで乾燥を行うものである。この方法によっても、上記したメディア強制撹拌ミルＢ１を用いる場合と同様の粒子径の粉末が得られ、かつ、この粉砕方法によれば、一切のメディアボールを用いないことから、上記したメディア強制撹拌ミルＢ１に比較してメディアボールによるコンタミネーションを低減できる。
【００３３】
上記メディア強制撹拌ミルＢ１またはメディアレス超高圧分散装置Ｃを用いて粉砕し乾燥させて得られた素粉末（凝集体）は、平均粒径Ｄ５０（Ｄ５０：粒度分布における５０％積算値）に対してσ≦７０％であることが望ましく、さらにはσ≦５０％が望ましい。なお、これらの凝集体は回収性が特に良好であるため、一般的な静電捕集器、バグフィルタ、サイクロン等を用いて行うことが出来る。
【００３４】
（ｃ）工程
次に、（ｂ）工程で得られた素粉末を１０００℃以下の温度で熱処理して仮焼粉末を得る。本発明によれば、素粉末の仮焼を１０００℃以下の温度で行うことにより、素粉末の粒成長を抑制しつつ合成を行うことができる。仮焼温度は合成度を高めかつ粒成長を抑制できるという点で、８００℃以上がより好ましい。また、この熱処理における圧力は、低温での熱分解ができるという理由から１００Ｐａ以下、特に５０Ｐａ以下が好ましい。
【００３５】
仮焼温度が１０００℃よりも高いと粒子が大きくかつ隣接する粒子同士が接合しやすくなり、仮焼後の解砕が困難となり微細化ができなくなる。
【００３６】
上述のような粉砕およびミスト化工程における各条件は、後述する実験の結果に基づいて求められたものである。このような条件下での粉砕およびミスト化工程を含む製造方法によれば、比重の大きく異なる素原料粉末に対しても均質で粒度分布がシャープなスラリが得られる。
【００３７】
より具体的には、例えば、一般式ＡＢＯ３で表されるペロブスカイト型複合酸化物にあっては、組成ばらつきとしてのＡ／Ｂモル比ばらつきを０．０１以下にできる。
【００３８】
また、本発明では、素原料粉末として、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒｅ、Ｆｅ、Ｒｕ、Ｏｓ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｂ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉの群から選ばれる少なくとも１種の、酸化物、炭酸化合物、塩化物、窒化物、炭化物のうちいずれかの化合物を用いることができるが、特に、一般式ＡＢＯ３で表されるペロブスカイト型複合酸化物粉末を得るための素原料粉末としては、次のようなものが挙げられる。即ち、Ａサイトを占める元素としては２価が好ましく、例えば、Ｂａ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒが、一方、Ｂサイトを占める元素としては４価が好ましく、Ｔｉ、Ｚｒを含む酸化物あるいは化合物が好ましい。本発明によれば、ＡＢＯ３結晶においては格子定数ｃ／ａを１．００３以上にできる。
【００３９】
（ｄ、ｅ）工程
次に、仮焼粉末についても上述の平均粒径を維持するように解砕される。解砕した混合原料粉末は、次に、所望の形状に成形した後、焼成することによりセラミック焼結体が得られる。
【実施例】
【００４０】
（素粉末の調製）
この発明にかかる複合酸化物として、チタン酸バリウムを選び、素原料粉末として純度９８％、平均粒径約１２０ｎｍのＢａＣＯ３と、純度９７％、平均粒径３０ｎｍのＴｉＯ２を準備した。
【００４１】
次に、素原料粉末をＢａ／Ｔｉ比が１になるように調合し、図１のメディアレス分散機を用いて混合した、この場合、まず、スラリを撹拌容器に入れ、溶媒として水と、分散剤としてポリアクリル酸塩とを添加して、撹拌容器中で３０分間撹拌して予備分散スラリを調製した。このときの素原料粉末の水に対する固形分比率は、２０質量％となるように分散させた。
【００４２】
次に、予備分散スラリを図２および図３の分散装置を用いて混合、粉砕および乾燥処理を行った。粉砕条件として、メディアは直径３００μｍのジルコニアボールを用いた。この場合、メディア充填率を８０％、周速を４ｍ／ｓおよびミル内を通過させる１回のパス回数を行い調整した。
【００４３】
次に、粉砕処理したスラリを内径が表１に示す流体ノズルの噴水口を通過させてミスト形成し、乾燥容器を表１に示す減圧状態に保ち、Ｎ２ガスとともに送り噴霧乾燥を行った。
【００４４】
生成された素粉末は、バリウム金属炭酸塩が球状面にほぼ垂直方向に配向し均質な凝集体となっていた。
【００４５】
次に、得られた素粉末を表１に示す条件での仮焼を行い、その後に、再び、解砕を行った。
【００４６】
（素粉末の評価）
素粉末についての不純物量、曲率半径および平均粒径はこの時点で評価した。不純物量は混合粉末についてＩＣＰ分析を行い求めた。混合粉末における未反応のＢａＣＯ３量（不純物量）および格子定数ｃ／ａはＸ線回折パターンからリートベルト法により求めた。素粉末の平均粒径は成形体について走査型電子顕微鏡を用いて撮影した写真から求めた。求め方としては、電子顕微鏡写真に対角線を引き、その対角線上に存在する粉末それぞれに最長径を測定し平均化して求めた。次いで、平均値を求めた粉末について標準偏差σを求めた。粉末の曲率半径もまた、上記の電子顕微鏡写真の対角線上に存在する粉末について最小の曲率半径を示す箇所を選択し、写真からコンパスを用いて求めた。
【００４７】
（焼結体の作製）
次に、仮焼した素粉末１００質量部に対して、焼結助剤としてシリカガラスを１質量部、バインダとしてポリビニルアルコールを８質量部添加して造粒を行い、この造粒した粉末をプレス成形機を用いて圧力１００ＭＰａにて直径１２ｍｍ、厚み２０ｍｍの成形体を形成した。
【００４８】
次に、この成形体を大気中、５００℃、２時間の熱処理をして脱脂を行い、次に、還元雰囲気中、１１００℃にて２時間の焼成を行い、さらに、Ｎ２中、８００℃にて再酸化処理を行いセラミック焼結体を得た。次に、得られたセラミック焼結体の上下表面にＩｎ・Ｇａ合金を塗布し、特性評価用試料とした。
【００４９】
（焼結体の作製）
セラミック焼結体の比誘電率はＬＣＲメータを用いて、１ＭＨｚ、１ｖ、１分間保持後の測定により求めた。
【００５０】
（比較例）
比較例として、ボールミルを用いて粉砕し、容器に移し、その後乾燥および仮焼を行い調製した試料、および上記の素原料粉末をメディアレス超高圧分散装置を用いて混合粉砕を行い、このスラリを流体ノズルを通過させずに、そのまま容器に移し、その後、１７０℃の乾燥を行い、次いで１０００℃仮焼を行い調製した試料、について本発明品と同じ条件で評価した。表１に結果を示す。
【表１】
2006240896.tif 000003
【００５１】
表１の結果から明らかなように、素原料粉末を本発明の製法を用いて調製した試料を示している試料Ｎｏ．１〜１０では、得られた素粉末の不純物量が１１０ｎｍ以下、曲率半径が３０ｎｍ以下に抑えられていた。また、焼結体については正方晶性を示すｃ／ａも１．００３以上と高かった。結果として得られた焼結体の比誘電率は２３００以上を満たす特性が得られた。
【００５２】
また、４流体の噴出口による噴霧を行い得られた素粉末の試料Ｎｏ．１〜７、９、１０では平均粒径が７４μｍ以下であった。
【００５３】
特に、メディア強制撹拌型ミルを用いて、乾燥温度を２００℃、乾燥時の圧力を５×１０３Ｐａとし、内径が５００μｍ以下の４流体の噴出口による噴霧を行い得られた素粉末の試料Ｎｏ．１〜３、６、７、９，１０では、平均粒径が６０〜７３ｎｍとなり、比誘電率が２８００〜３２００であった。
【００５４】
これに対して、本発明の範囲外である、仮焼時の圧力が高い場合（試料Ｎｏ．１１）、仮焼温度が高い場合（試料Ｎｏ．１２）、湿式ボールミルを用いたもの（試料Ｎｏ．１３）、粉砕後に放置した後に乾燥処理を行ったもの（試料Ｎｏ．１４）では、本発明の試料に比較して、不純物量が多いか、平均粒径が大きいか、ｃ／ａが小さいか、比誘電率が低かった。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明にかかるメディアレス分散機を示す断面模式図である。
【図２】本発明にかかる分散装置の概略断面図である。
【図３】本発明にかかるメディアレス超高圧分散装置の概略断面図である。
【図４】メディア強制撹拌型ミルを用いる従来の製法を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５６】
Ａ  メディアレス分散機
Ｂ  分散装置
Ｂ１  メディア強制撹拌型ミル
Ｂ２  減圧雰囲気乾燥装置
Ｃ  メディアレス超高圧分散装置
１  撹拌容器
３  主軸
５  撹拌翼
７  スラリ導入口
９  スラリの排出口
１１  撹拌容器
１３  スラリ導入口
１５  スラリ排出口
１７  主軸
１９  ディスク
２１  乾燥塔
２３  ヒータ
２５  噴水口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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