(57)【要約】【課題】カメラ等に搭載可能で電子回路部品が設けられてユニット化された撮像モジュールを提供することである。【解決手段】この撮像モジュールは、表面に駆動電極６４ａを有する固定子６５ａ及び６５ｂと、エレクトレット化された部位を有して上記駆動電極６４ａ及び６４ｂの電荷により駆動力を受けて、上記固定子６５ａ及び６５ｂに対して相対移動可能な遮光性を有する先幕６０ａ及び後幕６０ｂと、上記先幕６０ａを固定子６５ａと挟むように配置された保護部材７０と、固定子６５ｂの、上記後幕６０ｂと対向する面の裏面側に配置された撮像素子９０とを有する。そして、上記固定子６５ａ及び６５ｂの駆動電極６４ａ及び６４ｂが形成されている面とは反対側の面には、抵抗器７３ａ、コンデンサ７４ａ及び抵抗器７３ｂ、コンデンサ７４ｂが形成されている。【選択図】      図９
2006050418.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に駆動用電極を有する固定部材と、
エレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対して相対移動可能な遮光性を有する移動部材と、
上記移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された保護部材と、
上記固定部材の、上記移動部材と対向する面の裏面側に配置された撮像素子と、
により構成される撮像モジュールに於いて、
上記固定部材の上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする撮像モジュール。
【請求項２】
上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の撮像モジュール。
【請求項３】
上記固定部材の上記撮像素子が配置された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする請求項１に記載の撮像モジュール。
【請求項４】
表面に第１の駆動用電極を有する第１の固定部材と、
エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第１の固定部材に対して相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、
上記第１の移動部材を上記第１の固定部材とで挟むように配置された保護部材と、
上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面側に配置され、その表面に複数の第２の駆動用電極を有する第２の固定部材と、
上記第１の固定部材と上記第２の固定部材とで挟まれるように配置され、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第２の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、
上記第２の固定部材の、上記第２の移動部材と対向する面の裏面側に配置された撮像素子と、
により構成される撮像モジュールに於いて、
上記第１及び第２の固定部材の上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする撮像モジュール。
【請求項５】
上記第１及び第２の固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の撮像モジュール。
【請求項６】
上記第２の固定部材の上記撮像素子が配置された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする請求項４に記載の撮像モジュール。
【請求項７】
表面に駆動用電極を有する固定部材と、
上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対して相対移動可能な遮光性を有する移動部材と、
上記移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された保護部材と、
上記固定部材の、上記移動部材と対向する面の裏面側に配置された撮像素子と、
により構成される撮像モジュールに於いて、
上記固定部材の上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする撮像モジュール。
【請求項８】
上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の撮像モジュール。
【請求項９】
上記固定部材の上記撮像素子が配置された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする請求項７に記載の撮像モジュール。
【請求項１０】
表面に第１の駆動用電極を有する第１の固定部材と、
エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第１の固定部材に対して相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、
上記第１の移動部材を上記第１の固定部材とで挟むように配置された保護部材と、
上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面側に配置され、その表面に複数の第２の駆動用電極を有する第２の固定部材と、
上記第１の固定部材と上記第２の固定部材とで挟まれるように配置され、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第２の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、
上記第２の固定部材の、上記第２の移動部材と対向する面の裏面側に配置された撮像素子と、
により構成される撮像モジュールに於いて、
上記第１及び第２の固定部材の上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする撮像モジュール。
【請求項１１】
上記第１及び第２の固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする請求項１０に記載の撮像モジュール。
【請求項１２】
上記第２の固定部材の上記撮像素子が配置された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする請求項１０に記載の撮像モジュール。
【請求項１３】
被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な移動部材と、
上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記移動部材を静電駆動するための複数の駆動用電極が設けられた固定部材と、
上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記移動部材を上記固定部材とで挟持するように配置された保護部材と、
上記固定部材の、上記移動部材と対向する面の反対側で、上記第１の開口部近傍に装着されて上記被写体からの光束を撮像するための撮像素子と、
を具備し、
上記固定部材は、上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする撮像モジュール。
【請求項１４】
上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする請求項１３に記載の撮像モジュール。
【請求項１５】
上記固定部材の上記撮像素子が装着された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする請求項１３に記載の撮像モジュール。
【請求項１６】
被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第１の移動部材と、
上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記第１の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた第１の固定部材と、
上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面に配置され、上記光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第２の移動部材と、
上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記第２の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた第２の固定部材と、
上記光束通過領域に対応した第３の開口部を有し、上記第１の移動部材を上記第１の固定部材とで挟持するように配置された保護部材と、
上記第２の固定部材の、上記第２の移動部材と対向する面の反対側で、上記第２の開口部近傍に装着されて上記被写体からの光束を撮像するための撮像素子と、
を具備し、
上記第１及び第２の固定部材は、上記第１及び第２の駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする撮像モジュール。
【請求項１７】
上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする請求項１６に記載の撮像モジュール。
【請求項１８】
上記第２の固定部材の上記撮像素子が装着された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする請求項１６に記載の撮像モジュール。
【請求項１９】
エレクトレット化された部位を有し、被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な移動部材と、
上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記移動部材を静電駆動するための複数の駆動用電極が設けられた固定部材と、
上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記移動部材を上記固定部材とで挟持するように配置された保護部材と、
上記固定部材の、上記移動部材と対向する面の反対側で、上記第１の開口部近傍に装着されて上記被写体からの光束を撮像するための撮像素子と、
を具備し、
上記固定部材は、上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする撮像モジュール。
【請求項２０】
上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする請求項１９に記載の撮像モジュール。
【請求項２１】
上記固定部材の上記撮像素子が装着された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする請求項１９に記載の撮像モジュール。
【請求項２２】
エレクトレット化された部位を有し、被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第１の移動部材と、
上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記第１の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた第１の固定部材と、
上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面に配置され、上記光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第２の移動部材と、
上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記第２の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた第２の固定部材と、
上記光束通過領域に対応した第３の開口部を有し、上記第１の移動部材を上記第１の固定部材とで挟持するように配置された保護部材と、
上記第２の固定部材の、上記第２の移動部材と対向する面の反対側で、上記第２の開口部近傍に装着されて上記被写体からの光束を撮像するための撮像素子と、
を具備し、
上記第１及び第２の固定部材は、上記第１及び第２の駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする撮像モジュール。
【請求項２３】
上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする請求項２２に記載の撮像モジュール。
【請求項２４】
上記第２の固定部材の上記撮像素子が装着された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする請求項２２に記載の撮像モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタルカメラ等に利用可能な撮像モジュールの改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、一眼レフレックスタイプのカメラ（以下、単に一眼レフカメラと略記する）の場合、フィルムまたは撮像素子の前面にフォーカルプレーンシャッタが配置されて、露光量の調整が行われるように構成されている。そして、近年のフォーカルプレーンシャッタは、シャッタ羽根をステップモータで駆動する方式や、スプリング力を利用してシャッタ羽根を開閉させる方式のものが知られている。
【０００３】
これらの方式によるものは、シャッタ羽根を駆動する駆動装置の駆動力をシャッタ羽根に伝達するために、複雑な構造を必要としていた。
【０００４】
そこで、遮光フィルムで形成したシャッタ幕を静電アクチュエータの原理を用いて駆動することにより、軽量化、低コスト化した、極めて簡単な構造のシャッタ装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−２２０５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１には、ガラスエポキシで構成された基板の表面に電極を形成して、それに対向して第１の遮光膜を配置し、裏面にも電極を形成して、それに対向して第２の遮光膜を配置した、絞り機能付のレンズシャッタが記載されている。そして、これらの２つの遮光膜を先幕、後幕として用いることで、フォーカルプレーンシャッタにも適用可能としている。
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１には、そのシャッタの機構を実際のカメラに搭載するための技術についての具体的な開示がなされていない。加えて、ユニットのコンパクト化を図るためには電子回路部品を含めたコンパクト化が必要である。
【０００７】
したがって本発明は、上記実状に鑑みてなされたものであり、カメラ等に搭載可能で電子回路部品が設けられてユニット化された撮像モジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、請求項１に記載の発明は、表面に駆動用電極を有する固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対して相対移動可能な遮光性を有する移動部材と、上記移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された保護部材と、上記固定部材の、上記移動部材と対向する面の裏面側に配置された撮像素子と、により構成される撮像モジュールに於いて、上記固定部材の上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記撮像素子が配置された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、表面に第１の駆動用電極を有する第１の固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第１の固定部材に対して相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、  上記第１の移動部材を上記第１の固定部材とで挟むように配置された保護部材と、上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面側に配置され、その表面に複数の第２の駆動用電極を有する第２の固定部材と、上記第１の固定部材と上記第２の固定部材とで挟まれるように配置され、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第２の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、上記第２の固定部材の、上記第２の移動部材と対向する面の裏面側に配置された撮像素子と、により構成される撮像モジュールに於いて、上記第１及び第２の固定部材の上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明に於いて、上記第１及び第２の固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載の発明に於いて、上記第２の固定部材の上記撮像素子が配置された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、表面に駆動用電極を有する固定部材と、上記駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対して相対移動可能な遮光性を有する移動部材と、上記移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された保護部材と、上記固定部材の、上記移動部材と対向する面の裏面側に配置された撮像素子と、により構成される撮像モジュールに於いて、上記固定部材の上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする。
【００１６】
請求項９に記載の発明は、請求項７に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記撮像素子が配置された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする。
【００１７】
請求項１０に記載の発明は、表面に第１の駆動用電極を有する第１の固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第１の固定部材に対して相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、上記第１の移動部材を上記第１の固定部材とで挟むように配置された保護部材と、上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面側に配置され、その表面に複数の第２の駆動用電極を有する第２の固定部材と、上記第１の固定部材と上記第２の固定部材とで挟まれるように配置され、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動用電極の電荷により駆動力を受けて、上記第２の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、上記第２の固定部材の、上記第２の移動部材と対向する面の裏面側に配置された撮像素子と、により構成される撮像モジュールに於いて、上記第１及び第２の固定部材の上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする。
【００１８】
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載の発明に於いて、上記第１及び第２の固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
請求項１２に記載の発明は、請求項１０に記載の発明に於いて、上記第２の固定部材の上記撮像素子が配置された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする。
【００２０】
請求項１３に記載の発明は、被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な移動部材と、上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記移動部材を静電駆動するための複数の駆動用電極が設けられた固定部材と、上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記移動部材を上記固定部材とで挟持するように配置された保護部材と、上記固定部材の、上記移動部材と対向する面の反対側で、上記第１の開口部近傍に装着されて上記被写体からの光束を撮像するための撮像素子と、を具備し、上記固定部材は、上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする。
【００２１】
請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする。
【００２２】
請求項１５に記載の発明は、請求項１３に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記撮像素子が装着された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする。
【００２３】
請求項１６に記載の発明は、被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第１の移動部材と、上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記第１の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた第１の固定部材と、上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面に配置され、上記光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第２の移動部材と、上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記第２の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた第２の固定部材と、上記光束通過領域に対応した第３の開口部を有し、上記第１の移動部材を上記第１の固定部材とで挟持するように配置された保護部材と、上記第２の固定部材の、上記第２の移動部材と対向する面の反対側で、上記第２の開口部近傍に装着されて上記被写体からの光束を撮像するための撮像素子と、を具備し、上記第１及び第２の固定部材は、上記第１及び第２の駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする。
【００２４】
請求項１７に記載の発明は、請求項１６に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする。
【００２５】
請求項１８に記載の発明は、請求項１６に記載の発明に於いて、上記第２の固定部材の上記撮像素子が装着された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする。
【００２６】
請求項１９に記載の発明は、エレクトレット化された部位を有し、被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な移動部材と、上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記移動部材を静電駆動するための複数の駆動用電極が設けられた固定部材と、上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記移動部材を上記固定部材とで挟持するように配置された保護部材と、上記固定部材の、上記移動部材と対向する面の反対側で、上記第１の開口部近傍に装着されて上記被写体からの光束を撮像するための撮像素子と、を具備し、上記固定部材は、上記駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする。
【００２７】
請求項２０に記載の発明は、請求項１９に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする。
【００２８】
請求項２１に記載の発明は、請求項１９に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記撮像素子が装着された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする。
【００２９】
請求項２２に記載の発明は、エレクトレット化された部位を有し、被写体からの光束が通過する光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第１の移動部材と、上記光束通過領域に対応した第１の開口部を有し、上記第１の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた第１の固定部材と、上記第１の固定部材の、上記第１の移動部材と対向する面の裏面に配置され、上記光束通過領域を遮蔽する位置に移動可能な第２の移動部材と、上記光束通過領域に対応した第２の開口部を有し、上記第２の移動部材を静電駆動するための複数の駆動電極が設けられた第２の固定部材と、上記光束通過領域に対応した第３の開口部を有し、上記第１の移動部材を上記第１の固定部材とで挟持するように配置された保護部材と、上記第２の固定部材の、上記第２の移動部材と対向する面の反対側で、上記第２の開口部近傍に装着されて上記被写体からの光束を撮像するための撮像素子と、を具備し、上記第１及び第２の固定部材は、上記第１及び第２の駆動用電極が形成されている面とは反対側の面に配線パターン及び回路素子が設けられていることを特徴とする。
【００３０】
請求項２３に記載の発明は、請求項２２に記載の発明に於いて、上記固定部材の上記駆動用電極と上記配線パターン及び上記回路素子との間にグランド層が設けられていることを特徴とする。
【００３１】
請求項２４に記載の発明は、請求項２２に記載の発明に於いて、上記第２の固定部材の上記撮像素子が装着された面に駆動用回路が配置されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、カメラ等に搭載可能で電子回路部品が設けられてユニット化された撮像モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
【００３４】
はじめに、本発明に係る静電シャッタ装置の駆動原理について、図１及び図２を参照して説明する。
【００３５】
本シャッタ装置は、基本的に固定子１と移動子２とを備えており、移動子２は固定子１に対して図１（ａ）及び（ｂ）に於いて左右方向に移動自在に構成されている。そして、固定子１には、被写体からの光束を撮像素子（図示せず）に導くための開口部３が設けられている。更に、この固定子１には、上記移動子２の移動方向と直交する方向に、帯状の複数の延出された駆動電極４が所定の間隔で並設されている。
【００３６】
上記移動子２は、後述する永久分極された、延出された誘導体（以下、エレクトレットと称する）５の部位を複数備えている。
【００３７】
このような構成に於いて、駆動電極４に周波電圧を印加すると、駆動電極４と上述したエレクトレットとの間に吸引力若しくは反発力が発生し、結果的に移動子２が固定子１に対して相対移動する。したがって、移動子２が固定子１の開口部３を、開放若しくは遮蔽するように移動可能にしておけば、これによってシャッタ装置を構成することができる。
【００３８】
図１（ａ）はシャッタが開の状態を示し、図１（ｂ）はシャッタが閉の状態を示している。尚、固定子１に開口部３は必ずしも必要なものではなく、固定子１を透過部材として、図１（ａ）に示されるように、駆動電極４が設けられていない領域、すなわち、透過領域を形成しても良い。以下、被写体光束が通過するこのような領域を便宜的に開口部と称する。また、本構成に係るシャッタ装置を、エレクトレットシャッタと称するものとする。
【００３９】
図２は、こうしたエレクトレットシャッタの断面を模式的に示すと共に該エレクトレットシャッタの駆動回路を示した図である。
【００４０】
エレクトレットシャッタ７に於いて、固定子１に並設されたそれぞれの駆動電極４には、駆動回路１０からの電圧信号線が接続されている。これらの電圧信号線には、４相の電圧信号が印加されるようになっており、従って、駆動電極４には、４本毎に同一の電圧信号が印加される。図２では、駆動電極４にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの符号を付してこの電圧信号を区別している。
【００４１】
移動子２には、固定子１との対向面に永久分極された誘導体（エレクトレット）５を複数備えている。
【００４２】
尚、この図は、あくまでも模式図であり、実際のエレクトレットシャッタに於ける電極やエレクトレット化部位の数や配置間隔は、シャッタの大きさ、開口部の面積、エレクトレット化部位の極性、その配置形態、シャッタ装置として要求される駆動分解能、シャッタ最高速度等の様々な要因によって適宜決定されるものである。また、このエレクトレットシャッタの場合、正負の極性を有するエレクトレット化部位が交互に配置されたタイプであるが、何れか一方の極性だけでも実現可能である。
【００４３】
図２の左側には、上述したエレクトレットシャッタ７の構成と共に、エレクトレットシャッタ７に印加する電圧信号を発生するための駆動回路１０の構成が示されている。
【００４４】
パルス発生回路１２で生成した矩形波列（駆動パルス信号）は、位相器１３及び昇圧回路１４に供給される。昇圧回路１４では、入力された矩形波列が１００Ｖ程度まで昇圧されると共に、２つの極性を有する電圧信号に分岐されて、駆動電極４Ａ及び４Ｃに供給される。一方、位相器１３に入力された矩形波列は、９０°位相が遅れた波形となり、その後、昇圧回路１４に入力されて、上述と同様の２つの矩形波列となり、駆動電極４Ｂ及び４Ｄに供給される。
【００４５】
図３は、上記駆動回路１０によって作成されて、駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号列の例を示したタイミングチャートである。このうち、図３（ａ）は駆動電極４Ａ、図３（ｂ）は駆動電極４Ｂ、図３（ｃ）は駆動電極４Ｃ、図３（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートである。
【００４６】
尚、駆動電極４Ａ〜４Ｄの電圧の状態は、時間ｔ１〜ｔ４の４つの状態が、時間経過に対応して繰り返して変化するものである。
【００４７】
図４（ａ）〜（ｄ）は、上述したエレクトレットシャッタ７の動作を説明する図である。尚、図４（ａ）〜（ｄ）に於いて、同図右側方向をエレクトレットの進行方向として、後方側（左側）に正極（プラス）のエレクトレット（エレクトレット化部位）５ａ、前方側（右側）に負極（マイナス）のエレクトレット（エレクトレット化部位）５ｂが配列されているものとする。
【００４８】
図４（ａ）は、図３に示される時間ｔ１に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極４の電圧の状態（極性）を示している。
【００４９】
この状態に於いて、正極のエレクトレット５ａは、駆動電極Ａ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｂ（負極）から吸引力を受ける。また、負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極Ｃ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｄ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ａ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分右方向に移動する。
【００５０】
図４（ｂ）は、時間ｔ２に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。
【００５１】
この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｂ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｃ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極Ｄ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ａ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｂ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００５２】
同様に、図４（ｃ）は、時間ｔ３に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。
【００５３】
この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｃ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ｄ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、更に別の駆動電極Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｂ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｃ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００５４】
更に、図４（ｄ）は、時間ｔ４に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。
【００５５】
この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極Ｄ（正極）から反発力を受け、駆動電極Ａ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極Ｂ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｃ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｄ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００５６】
上述したように、移動子２は１つの駆動電極ピッチｄ移動し、この動作が繰り返されることで、移動子２は図４（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）のように右方向（図示矢印Ｆ方向）に移動する。尚、移動子２を図の左方向に移動するためには、駆動電極４に印加する電圧の極性を逆に切り替えれば良い。
【００５７】
次に、本発明の実施形態について説明する。
【００５８】
図５は、本発明の一実施形態に係る撮像モジュールに搭載される電子部品の構成を示したもので、（ａ）は抵抗器の断面図、（ｂ）はコンデンサの断面図である。
【００５９】
図５（ａ）に示されるように、本撮像モジュールに搭載される電子部品である抵抗器は、例えばガラスエポキシ等の固定子２０の一方の面上に電極２１を介して抵抗体２２が積層されて作製される。また、上記電子部品がコンデンサである場合は、図５（ｂ）に示されるように、固定子２４の一方の面上に、下部電極２５、誘電体２６を介して上部電極２７が、積層されて作製される。
【００６０】
つまり、これらの抵抗体やコンデンサは、ディスクリートの部品を接続して構成するのではなく、半導体技術、例えばスパッタ、金属蒸着によって各部材を積層して、基板（この場合は固定子）と一体化した構成としている。このように構成することにより、各電子部品をコンパクト化することができる。
【００６１】
次に、図６を参照して、図５（ａ）に示されるような抵抗器の作製手順について説明する。
【００６２】
先ず、図６（ａ）に示されるように、ガラス等の固定部材３０上に、例えば１μｍの厚さを有する電極部となるアルミニウム３１がスパッタにより形成される。次いで、図６（ｂ）に示されるように、電極部３１上にレジスト３２が塗布される。
【００６３】
そして、図６（ｃ）に示されるように、レジスト３２の所定箇所が露光により除去され、開口部３３が形成される。続いて、図６（ｄ）に示されるように、レジスト３２をマスクにして、上記開口部３３に露出されている電極部３１の一部がエッチングされる。更に、図６（ｅ）に示されるように、電極部３１上に塗布されていたレジスト３２が除去される。
【００６４】
その後、図６（ｆ）に示されるように、開口部３３及び電極部３１上に、例えば１μｍの厚さを有する抵抗体（Ｎｉ、ＣｒまたはＴｉ）３４が、スパッタにより形成される。そして、図６（ｇ）に示されるように、抵抗体３４上にレジスト３５が塗布される。
【００６５】
次いで、図６（ｈ）に示されるように、所定箇所のレジスト３５ａを残すようにして、露光により他の部分のレジスト３５が除去される。更に、図６（ｉ）に示されるように、上記所定箇所のレジスト３５をマスクにして、該レジスト３５の下方に位置する抵抗体３４ａを除いて、抵抗体３４がエッチングにより除去される。
【００６６】
そして、図６（ｊ）に示されるように、レジスト３５ａが除去される。これにより、図５（ａ）に示されるような抵抗器が作製される。
【００６７】
次に、図７及び図８を参照して、図５（ｂ）に示されるようなコンデンサの作製手順について説明する。
【００６８】
先ず、図７（ａ）に示されるように、ガラス等の固定部材３８上に、例えば１μｍの厚さを有する下部電極部となるアルミニウム３９がスパッタにより形成される。次いで、図７（ｂ）に示されるように、下部電極部３９上にレジスト４０が塗布される。
【００６９】
そして、図７（ｃ）に示されるように、所定箇所のレジスト４０ａ除いて、露光によりレジスト４０が除去（パターニング）される。続いて、図７（ｄ）に示されるように、上記所定箇所のレジスト４０ａをマスクにして、該レジスト４０ａの下方に位置する下部電極部３９ａを除いて、下部電極部３９がエッチングにより除去される。更に、図７（ｅ）に示されるように、下部電極部３９ａ上に残っていたレジスト４０ａが除去される。
【００７０】
次いで、図７（ｆ）に示されるように、下部電極部３９ａを含む固定部材３８上に、誘電体（ＳｉＯ2 ）４１がスパッタにより形成される。そして、図７（ｇ）に示されるように、この誘電体４１上に、レジスト４２が塗布される。
【００７１】
その後、図７（ｈ）に示されるように、レジスト４２をマスクにして、該レジスト４２の所定箇所が露光により除去され、開口部４３が形成される。続いて、図７（ｉ）に示されるように、上記開口部４３に露出されている誘電体４１の一部がエッチングにより除去される。更に、図８（ａ）に示されるように、誘電体４１上に塗布されていたレジスト４２が除去される。
【００７２】
そして、図８（ｂ）に示されるように、開口部４３を含む誘電体４１上に、例えば１μｍの厚さを有するアルミニウム４４が、上部電極部としてスパッタにより形成される。続いて、図８（ｃ）に示されるように、上記上部電極部４４上にレジスト４５が塗布される。
【００７３】
次いで、図８（ｄ）に示されるように、所定箇所のレジスト４５ａを残すようにして、露光により他の部分のレジスト４５が除去（パターニング）される。更に、図８（ｅ）に示されるように、レジスト４５ａをマスクにして、所定箇所の上部電極部４４ａ以外のアルミニウム４４がエッチングにより除去される。
【００７４】
そして、図８（ｆ）に示されるように、レジスト４５ａが除去される。更に、下部電極３９ａ上以外に露出されている誘電体４１が、エッチングにより除去される。これにより、図８（ｇ）に示されるようなコンデンサが作製される。
【００７５】
次に、図９及び図１０を参照して、本発明の一実施形態に係る撮像モジュールの構成について説明する。
【００７６】
図９は本発明の一実施形態に係る撮像モジュールの構成を示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。また、図１０は上記撮像モジュールの駆動制御回路と該撮像モジュールのシャッタユニットとの信号接続を示す構成図である。
【００７７】
図１０を参照すると、シャッタユニット５５には、上述したように、先幕６０ａと後幕６０ｂが備えられており、そのそれぞれの幕を駆動するために、駆動制御回路５０が設けられている。この駆動制御回路５０には、図２に示されたものと同様の構成の位相器５２ａ、５２ｂを含む駆動手段としての駆動回路５３ａ、５３ｂが２系統と、パルス発生回路５１が設けられている。
【００７８】
パルス発生回路５１は、図示されないボディマイクロコンピュータからの開閉制御信号に基づいて先幕６０ａと後幕６０ｂを駆動する。これにより、先幕６０ａ、後幕６０ｂに設けられた永久分極された誘導体（エレクトレット）６１ａ、６１ｂが、駆動電極（電極部位）６４ａ、６４ｂのＡ〜Ｄに順次吸引され、先幕６０ａと後幕６０ｂが駆動される。こうして、露光開口の全開全閉動作が制御される。
【００７９】
また、上記ボディマイクロコンピュータからリセット信号を受取ったときは、先幕６０ａと後幕６０ｂが初期状態に駆動される。更に、パルス発生回路５１からは、所定のタイミングでボディマイクロコンピュータにストロボ同調信号が出力される。
【００８０】
本撮像モジュールは、シャッタユニット５５と、撮像ユニット５６とで構成されている。上記シャッタユニット５５は、それぞれ独立して走行する上記先幕（シャッタ先幕）６０ａと、後幕（シャッタ後幕）６０ｂとを有するフォーカルプレーンシャッタである。この先幕６０ａ、後幕６０ｂは、上述したエレクトレット６１ａ、６１ｂ（図９には示されない）を備えている。そして、それぞれのエレクトレット６１ａ、６１ｂの対向面側には、複数の帯状の延出された駆動電極６４ａ、６４ｂと、開口部（または透過部）８１、８４が設けられた固定子６５ａ、６５ｂが配設されている。
【００８１】
上記先幕６０ａ、後幕６０ｂは、それぞれ固定子６５ａ、６５ｂの長手方向に対して、移動自在に構成されている。そして、上記複数の駆動電極６４ａ、６４ｂは、上記固定子６５ａ、６５ｂ上で、上記先幕６０ａ、後幕６０ｂの移動方向と直交する方向に所定の間隔で並設されている。
【００８２】
上記先幕６０ａの固定子６５ａと対向する面の裏面側（図９（ａ）に於いて左側）には、先幕６０ａを上記固定子６５ａとで挟むように配置された保護部材７０が固設されている。この保護部材７０は開口部８０を有しており、スペーサ７６、７８を介して、シャッタユニット２１の前面を覆うように設けられている。
【００８３】
また、上記固定子６５ａの駆動電極６４ａが設けられている面の裏面側（図９（ａ）に於いて右側）には、開口部８２を有してグランド層となるグランド部材６９ａが設けられている。このグランド部材６９ａは、例えばこの撮像モジュールが搭載されるカメラのグランドに接続されている。そして、グランド部材６９ａの裏面側には、開口部８３を有して絶縁体から成る絶縁層７２ａを介して電子部品の回路素子としての抵抗器７３ａ、コンデンサ７４ａを有し、絶縁部材７２ｂがこれら電子部品を覆っている。
【００８４】
上記抵抗器７３ａの一端はスルーホール７５ａを介して駆動電極６４ａに接続され、他端はスルーホール７５ｃを介してグランド部材６９ａに接続されている。また、上記コンデンサ７４ａの一端はスルーホール７５ｅを介してグランド部材６９ａに接続されている。絶縁体７２ｄ裏面に形成されたパターンから抵抗、コンデンサまでは、スルーホール７５ｇを介して接続されている。尚、絶縁部材７２ｂは開口部８４を有していると共に、上記後幕６０ｂを上記固定子６５ｂとで挟むように、スペーサ７７、７９を介して配置される。
【００８５】
更に、上記固定子６５ｂの駆動電極６４ｂが設けられている面の裏面側には、開口部８６を有してグランド層となるグランド部材６９ｂが設けられている。そして、グランド部材６９ｂの裏面側には、開口部８７を有して絶縁体から成る絶縁層７２ｃを介して、電子部品の回路素子としての抵抗器７３ｂ、コンデンサ７４ｂを有し、絶縁部材７２ｄがこれら電子部品を覆っている。ここでも同様に、上記抵抗器７３ｂの一端はスルーホール７５ｂを介して駆動電極６４ｂに接続され、他端はスルーホール７５ｄを介してグランド部材６９ｂに接続されている。また、上記コンデンサ７４ｂの一端は、スルーホール７５ｆを介してグランド部材６９ｂに接続されている。
【００８６】
グランド部材６９ａ、６９ｂは、スルーホール７５ｈにより接続され、図９（ｂ）に示されるように、ＧＮＤに７２ｄの裏面（イメージャ側）に形成されたパターンのＧＮＤに接続されている。
【００８７】
尚、上記開口部８０、８１、８２、８３、８４、８５、８６、８７、８８は、図示されない被写体からの光束通過領域として設けられるもので、後述する撮像素子９０の撮像面に対応する位置に合わせて設けられている。また、上記抵抗器７３ａ、７３ｂ及びコンデンサ７４ａ、７４ｂは、それぞれ図６及び図７、図８に示される制作手順に従って作成されたものである。
【００８８】
このようにして構成されたシャッタユニット５５には、図９（ａ）に於いて右側、すなわち絶縁部材７２ｄの裏面側に、撮像ユニット５６が取り付けられる。この撮像ユニット５６には、被写体からの光束を取り込むための撮像素子９０が設けられている。撮像素子９０は、例えばイメージャ（ＣＣＤ）により構成されるもので、上述した開口部８０〜８８に対応した位置に配置される。
【００８９】
また、上記絶縁部材７２ｄで、撮像素子９０が取り付けられている側には、ドライバモジュール９１、昇圧器９２ａ及び９２ｂ等が配設される。
【００９０】
図９（ｂ）に示される平面図は、撮像モジュールを撮像ユニット側から見たものである。同図に於いて、固定子６５ｂ上で、そのほぼ中央部分には、撮像素子９０が配設されている。そして、この撮像素子９０の周囲には、上述したパルス発生器５１、位相器５２ａ、５２ｂと、ドライバモジュール９１、昇圧器９２ａ、９２ｂが配設されている。更に、固定子６５ｂ上の絶縁材料（図９（ｂ）には示されない）内に、複数個の抵抗器７３ｂと、複数個のコンデンサ７４ｂが設けられている。
【００９１】
また、上記撮像素子９０とドライバモジュール９０の間、パルス発生器５１、位相器５２ａ、５２ｂ、昇圧器９２ａ、９２ｂの間は、それぞれ配線パターンにより接続されている。そして、上記昇圧器９２ｂから、配線パターンを介して、コンデンサ７４ｂと抵抗器７３ｂが接続されている。上記昇圧器９２ａから、配線パターン、スルーホール７５ｇ、接続部材１００を介してコンデンサ７４ａへ接続し、更に絶縁層７２ａ上にパターンされた配線パターンを介して抵抗器７３ａと接続している。また、パルス発生器５１は、後述するコネクト９６と、配線パターンにより接続されている。これらの配線パターンは、図９（ａ）には示されないが、固定子６５ｂの撮像素子９０側の面上に形成されている。
【００９２】
図１１は、このようにして構成された撮像モジュールを収納容器に装着した例を示す断面図である。
【００９３】
上述したように、撮像ユニット５６が取り付けられたシャッタユニット５５は、収納容器９５内に装着される。そして、コネクト９６を通じて、撮像ユニット５６内の撮像素子９０、ドライバモジュール９１、昇圧器９２（９２ａ、９２ｂ）へ電源が供給されるようになっている。
【００９４】
このように、抵抗器、コンデンサ等の電子回路部品をユニット化して構成することができるので、シャッタユニットや撮像モジュールを小型化することができる。
【００９５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形実施が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明に係る静電シャッタ装置の駆動原理について説明する図である。
【図２】エレクトレットシャッタの断面を模式的に示すと共に該エレクトレットシャッタの駆動回路を示した図である。
【図３】図２の駆動回路１０によって作成されて、駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号列の例を示したもので、（ａ）は駆動電極４Ａ、（ｂ）は駆動電極４Ｂ、（ｃ）は駆動電極４Ｃ、（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートである。
【図４】図２に示されるエレクトレットシャッタ７の動作を説明する図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る撮像モジュールに搭載される電子部品の構成を示したもので、（ａ）は抵抗器の断面図、（ｂ）はコンデンサの断面図である。
【図６】図５（ａ）に示される抵抗器の作製手順について説明する図である。
【図７】図５（ｂ）に示されるコンデンサの作製手順について説明する図である。
【図８】図５（ｂ）に示されるコンデンサの作製手順について説明する図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る撮像モジュールの構成を示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図１０】撮像モジュールの駆動制御回路と該撮像モジュールのシャッタユニットとの信号接続を示す構成図である。
【図１１】撮像モジュールを収納容器に装着した例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００９７】
１、２０、２４、６５ａ、６５ｂ…固定子、２…移動子、３、８０、８１、８２、８３、８４、８５…開口部、４、４Ａ〜４Ｄ、６４ａ、６４ｂ…駆動電極、５、５ａ、５ｂ、６１ａ、６１ｂ…永久分極された誘導体（エレクトレット）、７…エレクトレットシャッタ、１０５３ａ、５３ｂ…駆動回路、１２、５１…パルス発生回路、１３、５２ａ、５２ｂ…位相器、１４…昇圧回路、２１…電極、２２…抵抗体、２５…下部電極、２６…誘電体、２７…上部電極、５５…シャッタユニット、５６…撮像ユニット、６０ａ…先幕、６０ｂ…後幕、６４ａ、６４ｂ…駆動電極（電極部位）、６９…グランド部材、７０…保護部材、７３ａ、７３ｂ抵抗器、７４ａ、７４ｂ…コンデンサ。
【図１】
2006050418.tif 000003
【図２】
2006050418.tif 000004
【図３】
2006050418.tif 000005
【図４】
2006050418.tif 000006
【図５】
2006050418.tif 000007
【図６】
2006050418.tif 000008
【図７】
2006050418.tif 000009
【図８】
2006050418.tif 000010
【図９】
2006050418.tif 000011
【図１０】
2006050418.tif 000012
【図１１】
2006050418.tif 000013