(57)【要約】【課題】表示装置の表示画像の表示品質を向上させることができる薄膜パターンを形成するための液滴を吐出する液滴吐出装置及びその方法、薄膜形成方法及びそれを用いた表示基板を提供する。【解決手段】基板上に第１液滴を吐出する第１吐出ユニットと、基板上に前記第１吐出ユニットの動きに沿って移動しながら基板上に第２液滴を吐出する第２吐出ユニットと、前記第１及び第２吐出ユニットを連結し、第１及び第２吐出ユニットを移送する移送ユニットとを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に第１液滴を吐出する第１吐出ユニットと、
基板上に前記第１吐出ユニットの動きに沿って移動しながら基板上に第２液滴を吐出する第２吐出ユニットと、
前記第１及び第２吐出ユニットを連結し、第１及び第２吐出ユニットを移送する移送ユニットとを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記第１吐出ユニットは、前記第１液滴を吐出する第１ノズルを有し、前記第２吐出ユニットは、前記第２液滴を吐出する第２ノズルを有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記第１及び第２吐出ユニットは、複数個の第１ノズル及び第２ノズルをそれぞれ含み、前記各第１ノズルと前記各第２ノズルの各ノズル間の間隔は、実質的に同じであることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記第１吐出ユニット及び前記第２吐出ユニットは、前記第１液滴及び前記第２液滴を前記基板上に吐出する第１アクチュエータ及び第２アクチュエータをそれぞれ有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記第１吐出ユニットは、前記複数個の第１ノズルを有する第１本体を有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記第２吐出ユニットは、前記複数個の第２ノズルを有する第２本体を有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記移送ユニットは、前記第１及び第２吐出ユニットを回転させるためのピボットユニットを有することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記ピボットユニットは、前記第１吐出ユニットを回転させる第１ピボットユニット及び前記第２吐出ユニットを回転させる第２ピボットユニットを有することを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記第２ノズルは、前記第１ノズルの軌跡によって定義された経路に近接して形成された経路領域内に配置されることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
基板上の指定された経路に沿って流動性物質を吐出して、前記基板上に複数の第１液滴を配置（ｄｉｓｐｏｓｅ）する段階と、
前記経路が含まれた経路に近接した前記基板上の経路領域に前記流動性物質を吐出して、複数の第２液滴を配置する段階とを有し、
前記第２液滴の各々は第１液滴の間に配置されることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１１】
前記第２液滴は、前記経路上に配置されることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出方法。
【請求項１２】
前記第１液滴及び前記第２液滴を、前記基板上に規則的に配置する段階を更に有することを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出方法。
【請求項１３】
前記第１液滴及び前記第２液滴は、交互に配置する段階を更に有することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出方法。
【請求項１４】
前記第１液滴及び前記第２液滴は、前記基板上に不規則に配置する段階を更に有することを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出方法。
【請求項１５】
基板上に一列配置された複数個のリセス（ｒｅｃｅｓｓｅｓ）部のうち、一部のリセス部に第１液滴を吐出する段階と、
前記リセス部のうち、前記第１液滴を吐出しなかった残りのリセス部に第１液滴と同じ物質で構成された第２液滴を吐出する段階と、
前記リセス部に吐出された前記第１及び第２液滴を乾燥させて前記基板上に薄膜を形成する段階とを有することを特徴とする薄膜形成方法。
【請求項１６】
前記基板上に前記リセス部を定義するブラックマトリックスパターンを形成する段階を更に有することを特徴とする請求項１５に記載の薄膜形成方法。
【請求項１７】
前記薄膜は、レッドカラーフィルタ、グリーンカラーフィルタ、及びブルーカラーフィルタで構成された群から選択された一つのカラーフィルタであることを特徴とする請求項１５に記載の薄膜形成方法。
【請求項１８】
前記基板上に前記リセス部を定義する有機パターンを形成する段階を更に有することを特徴とする請求項１５に記載の薄膜形成方法。
【請求項１９】
前記基板上に前記リセス部を定義する無機パターンを形成する段階を更に有することを特徴とする請求項１５に記載の薄膜形成方法。
【請求項２０】
前記薄膜は、電子注入層、ホール注入層、及び発光層で構成された群から選択されたいずれか一つであることを特徴とする請求項１５に記載の薄膜形成方法。
【請求項２１】
前記第１液滴と前記第２液滴は、同じ物質で形成されることを特徴とする請求項１５に記載の薄膜形成方法。
【請求項２２】
基板上に複数個が平行に列をなして配置された各リセス部に少なくとも１個の第１液滴を吐出する段階と、
前記各リセス部に前記第１液滴と同じ物質を有する第２液滴を吐出する段階と、
前記第１及び第２液滴を乾燥させて前記各リセス部の内部に薄膜を形成する段階とを有することを特徴とする薄膜形成方法。
【請求項２３】
前記第１液滴及び前記第２液滴を規則的に配置する段階を更に有することを特徴とする請求項２２に記載の薄膜形成方法。
【請求項２４】
前記第１液滴及び前記第２液滴を交互に配置する段階を更に有することを特徴とする請求項２２に記載の薄膜形成方法。
【請求項２５】
前記第１液滴及び前記第２液滴を不規則に配置する段階を更に有することを特徴とする請求項２２に記載の薄膜形成方法。
【請求項２６】
前記第１液滴及び前記第２液滴は、同じ物質で形成されることを特徴とする請求項２２に記載の薄膜形成方法。
【請求項２７】
互いに複数個が平行に列をなして配置された画素領域及び前記画素領域の周辺を囲む周辺部を有する基板と、
前記配置された画素領域のうち、一部画素領域に第１厚さで形成された第１画素薄膜と、
前記配置された画素領域のうち、残りの画素領域に第２厚さで形成された第２画素薄膜とを有することを特徴とする表示基板。
【請求項２８】
前記第１画素薄膜及び前記第２画素薄膜は、同じ物質からなることを特徴とする請求項２７に記載の表示基板。
【請求項２９】
前記第１画素薄膜及び前記第２画素薄膜は、レッドカラーフィルタ、グリーンカラーフィルタ、及びブルーカラーフィルタで構成された群から選択された一つであることを特徴とする請求項２７に記載の表示基板。
【請求項３０】
前記周辺部には、前記画素領域を露出させる複数の開口部を有するブラックマトリックスパターンが形成されることを特徴とする請求項２７に記載の表示基板。
【請求項３１】
前記第１画素薄膜及び前記第２画素薄膜は、電子注入層、正孔注入層、及び有機発光層から選択された一つであることを特徴とする請求項２７に記載の表示基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置及びその方法、薄膜形成方法及びそれを用いた表示基板に係り、より詳細には、画像の表示品質を向上させた液滴吐出装置及びその方法、薄膜形成方法及びそれを用いた表示基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、表示装置は、情報処理装置で処理されたデータを画像に表示する一種のインターフェース装置である。
表示装置は、液晶表示装置（ＬＣＤ）、有機電界発光表示装置（ＥＬ）、及びプラズマ表示パネル（ＰＤＰ）等が代表的である。
【０００３】
前述した表示装置は、陰極線管表示装置と比較して、厚さ及び重量が小さい平板形状を有する平板表示装置である。
【０００４】
平板形状を有する表示装置は、共通的に画像を表示する薄膜パターンを含む。
例えば、液晶表示装置は、薄膜トランジスタ、ゲート信号線、データ信号線、画素電極、ブラックマトリックス、カラーフィルタ、共通電極等の多様な薄膜パターンを含む。
【０００５】
また、例えば、有機電界発光表示装置は、アノード電極、電子注入層、正孔注入層、カソード電極、有機膜等の多様な薄膜パターンを含む。
【０００６】
しかし、表示装置の薄膜パターンは、薄膜形成工程、フォトレジストパターン形成工程、薄膜エッチング工程、洗浄工程等の多数のサブ工程を必要として、製造工程数及び製造時間が大きく増加してしまうという問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は上記従来の薄膜パターン形成における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、表示装置の表示画像の表示品質を向上させることができる薄膜パターンを形成するための液滴を吐出する液滴吐出装置を提供することにある。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、薄膜パターンを形成するための液滴形成方法を提供すること、前記液滴形成方法によって形成された薄膜形成方法を提供すること、薄膜形成方法によって形成された表示基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明による液滴吐出装置は、基板上に第１液滴を吐出する第１吐出ユニットと、基板上に前記第１吐出ユニットの動きに沿って移動しながら基板上に第２液滴を吐出する第２吐出ユニットと、前記第１及び第２吐出ユニットを連結し、第１及び第２吐出ユニットを移送する移送ユニットとを有することを特徴とする。
【００１０】
上記目的を達成するためになされた本発明による液滴吐出方法は、基板上の指定された経路に沿って流動性物質を吐出して、前記基板上に複数の第１液滴を配置（ｄｉｓｐｏｓｅ）する段階と、前記経路が含まれた経路に近接した前記基板上の経路領域に前記流動性物質を吐出して、複数の第２液滴を配置する段階とを有し、前記第２液滴の各々は第１液滴の間に配置されることを特徴とする。
【００１１】
上記目的を達成するためになされた本発明による薄膜形成方法は、基板上に一列配置された複数個のリセス（ｒｅｃｅｓｓｅｓ）部のうち、一部のリセス部に第１液滴を吐出する段階と、前記リセス部のうち、前記第１液滴を吐出しなかった残りのリセス部に第１液滴と同じ物質で構成された第２液滴を吐出する段階と、前記リセス部に吐出された前記第１及び第２液滴を乾燥させて前記基板上に薄膜を形成する段階とを有することを特徴とする。
【００１２】
また、上記目的を達成するためになされた本発明による薄膜形成方法は、基板上に複数個が平行に列をなして配置された各リセス部に少なくとも１個の第１液滴を吐出する段階と、前記各リセス部に前記第１液滴と同じ物質を有する第２液滴を吐出する段階と、前記第１及び第２液滴を乾燥させて前記各リセス部の内部に薄膜を形成する段階とを有することを特徴とする
【００１３】
上記目的を達成するためになされた本発明による表示基板は、互いに複数個が平行に列をなして配置された画素領域及び前記画素領域の周辺を囲む周辺部を有する基板と、前記配置された画素領域のうち、一部画素領域に第１厚さで形成された第１画素薄膜と、前記配置された画素領域のうち、残りの画素領域に第２厚さで形成された第２画素薄膜とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る液滴吐出装置及びその方法、薄膜形成方法及び表示基板によれば、複数個がマトリックス形態で配置された薄膜の各列に互いに異なるノズルで吐出された液滴を提供及び乾燥することによって画像に含まれた斑等を減少させて、画像の表示品質を向上させるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明に係る液滴吐出装置及びその方法、薄膜形成方法及びそれを用いた表示基板を実施するための最良の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
【００１６】
〔液滴吐出装置〕
図１は、本発明の一実施形態による液滴吐出装置を示す平面図である。図２は、図１のＩ−Ｉ’線に沿って切断した断面図である。
【００１７】
図１及び図２を参照すると、液滴吐出装置１００は、第１液滴１１１を基板１４０上に形成する第１吐出ユニット１１０、第２液滴１２１を基板１４０上に形成する第２吐出ユニット１２０、及び移送ユニット１３０を含む。
移送ユニット１３０は、第１吐出ユニット１１０及び第２吐出ユニット１２０に結合され、従って、第１吐出ユニット１１０及び第２吐出ユニット１２０は、移送ユニット１３０によって共に移送される。
【００１８】
移送ユニット１３０に結合された第１及び第２吐出ユニット１１０、１２０は、平面上で見た時、互いに平行に配置される。移送ユニット１３０にはピボットユニットが結合され、ピボットユニットは、第１及び第２吐出ユニット１１０、１２０をそれぞれ回転させる。ピボットユニットは、第１ピボットユニット１１６及び第２ピボットユニット１２６を含む。第１ピボットユニット１１６は、第１吐出ユニット１１０を基板平面上で回転させることができ、第２ピボットユニット１２６は、第２吐出ユニット１２０を基板平面上で回転させることができる。この際、第１吐出ユニット１１０及び第２吐出ユニット１２０の回転角度は、実質的に同じであることが好ましい。
【００１９】
第１吐出ユニット１１０は、第１吐出本体１１３、第１アクチュエータ１１４を含む。
第１吐出本体１１３は、例えば、直六面体プレート形状を有する。直六面体プレート形状を有する第１吐出本体１１３には、第１ノズル１１２が形成される。本実施形態において、第１ノズル１１２は、例えば、第１吐出本体１１３上に形成された貫通孔でもよい。互いに隣接した第１ノズル１１２は、第１間隔Ｗ１にて互いに離隔する。
【００２０】
第１アクチュエータ１１４は、基板１４０上に第１吐出本体１１３の第１ノズル１１２を通じて流動性液体を吐出する。第１アクチュエータ１１４は第１供給管１１５を含み、流動性液体は第１供給管１１５を通じて第１アクチュエータ１１４に提供される。
第２吐出ユニット１２０は、第２吐出本体１２３、第２アクチュエータ１２４を含む。
【００２１】
第２吐出本体１２３は、例えば、直六面体プレート形状を有する。直六面体プレート形状を有する第２吐出本体１２３には、第２ノズル１２２が形成される。本実施形態において、第２ノズル１２２は、例えば、第２吐出本体１２３上に形成された貫通孔でもよい。互いに隣接した第２ノズル１２２は、第２間隔Ｗ２にて互いに離隔する。
【００２２】
第２アクチュエータ１２４は、基板１４０上に第２吐出本体１２３の第２ノズル１２２を通じて流動性液体を吐出する。第２アクチュエータ１２４は第２供給管１２５を含み、流動性液体は第２供給管１２５を通じて第２アクチュエータ１２４に提供される。
【００２３】
本実施形態において、第１吐出本体１１３の第１ノズル１１２は、第２吐出本体１２３の第２ノズル１２２とそれぞれ対応して、第１ノズル１１２及び第２ノズル１２２は、それぞれ一定の幅Ｄ１を有する。
【００２４】
図３は、本発明の一実施形態による第１及び第２吐出ユニットの一部を示す平面図である。図４乃至図６は、図３に図示した第１及び第２吐出ユニットによって形成された第１及び第２液滴を示す平面図である。
【００２５】
図３を参照すると、本実施形態による第２吐出本体１２３の第２ノズル１２２は、第１吐出本体１１３の第１ノズル１１２に沿って整列される。好ましくは、第２ノズル１２２は、第１ノズル１１２の軌跡（ｔｒａｃｅ）によって定義された経路Ｐ上に配置される。
第２ノズル１２２が第１ノズル１１２の軌跡によって定義された経路Ｐ上に配置される場合、第１吐出ユニット１１０から吐出された第１液滴１１１及び第２吐出ユニット１２０から吐出された第２液滴１２１は、経路Ｐ上に配置される。
【００２６】
図２及び図４を参照すると、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、経路Ｐ上に規則的に配置される。この際、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、経路Ｐ上に交互に形成することができる。
【００２７】
図２及び図５を参照すると、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、経路Ｐ上に規則的に配置される。例えば、第１アクチュエータ１１４は、経路Ｐ上に少なくとも２個の第１液滴１１１を連続配置し、第２アクチュエータ１２４は、第１液滴１１１と隣接するように、経路Ｐ上に少なくとも２個の第２液滴１２１を連続配置する。この際、第１液滴１１１及び第２液滴１２１の個数は、同じであることが好ましく、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、経路Ｐ上に交互に形成することができる。
【００２８】
図２及び図６を参照すると、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、経路Ｐ上に不規則に配置することができる。例えば、第１アクチュエータ１１４は、経路Ｐ上に少なくとも１個の第１液滴１１１を配置して、第２アクチュエータ１２４は、経路Ｐ上に少なくとも１個の第２液滴１２１を配置する。この際、第１液滴１１１及び第２液滴１２１の個数は、互いに異なることもできる。
【００２９】
第２アクチュエータ１２４は、第２ノズル１２２を通じて吐出された第２液滴１２１を経路Ｐ上に配列する。第２液滴１２１のうちの一つは、第１ノズル１１２を通じて吐出された第１液滴１１１の間に配置されることができ、複数の第２液滴１２１が隣接するように配置されることもできる。互いに隣接する第１液滴１１１の数は、互いに隣接する第２液滴１２１の数と異なることもできる。最小限一つの第１液滴１１１は、最小限一つの第２液滴１２１と交互に配置される。
【００３０】
図７は、本発明の他の実施形態による第１及び第２吐出ユニットの一部を示す平面図である。図８乃至図１０は、図７に図示した第１及び第２吐出ユニットによって形成された第１及び第２液滴を示す平面図である。
【００３１】
図７を参照すると、本実施形態による第２吐出本体１２３の第２ノズル１２２は、第１吐出本体１１３の第１ノズル１１２に沿って整列される。好ましくは、第２ノズル１２２は、第１ノズル１１２の軌跡によって定義された経路Ｐの周辺に形成された周辺領域ＰＲ内に配置される。例えば、第２吐出本体１２３の第２ノズル１２２は、周辺領域ＰＲに含まれた経路Ｐ上に配置又は周辺領域ＰＲの所定部分に配置する。本実施形態において、周辺領域は、例えば、画像を表示するピクセルでプリンティング方向と垂直な方向の幅で定義される。
【００３２】
第２ノズル１２２が第１ノズル１１２の軌跡によって定義された経路Ｐの周辺に形成された周辺領域内に配置される場合、第１吐出ユニット１１０から吐出された第１液滴１１１は経路Ｐ上に配置され、第２吐出ユニット１２０から吐出された第２液滴１２１は、周辺領域ＰＲ上に配置される。
【００３３】
図７及び図８を参照すると、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、全部周辺領域ＰＲ内に規則的に配置される。例えば、第１アクチュエータ１１４は、経路Ｐ上に第１液滴１１１を配置して、第２アクチュエータ１２４は、第１液滴１１１と隣接するように周辺領域ＰＲの内部に第２液滴１２１を配置する。この際、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、周辺領域ＰＲ内に交互に形成することができる。
【００３４】
図７及び図９を参照すると、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、全部周辺領域ＰＲ内に規則的に配置される。例えば、第１アクチュエータ１１４は、周辺領域ＰＲ内に少なくとも２個の第１液滴１１１を連続配置し、第２アクチュエータ１２４は、第１液滴１１１と隣接するように、周辺領域ＰＲ上に少なくとも２個の第２液滴１２１を連続配置する。この際、第１液滴１１１及び第２液滴１２１の個数は同じであることが好ましく、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、周辺領域ＰＲ内に交互に形成することができる。
【００３５】
図７及び図１０を参照すると、第１液滴１１１及び第２液滴１２１は、周辺領域ＰＲ内に不規則に配置することもできる。例えば、第１アクチュエータ１１４は、経路Ｐ上に少なくとも１個の第１液滴１１１を吐出して、第２アクチュエータ１２４は、周辺領域ＰＲ内に少なくとも１個の第２液滴１２１を吐出する。この際、第１液滴１１１及び第２液滴１２１の個数は、互いに異なることもできる。
【００３６】
本発明の実施形態による液滴吐出装置は、基板１４０上に形成された指定された経路上に第１液滴１１１及び第２液滴１２１を規則的又は不規則に配置することができる。
【００３７】
〔液滴形成方法〕
図１１及び図１２は、本発明の一実施形態による液滴形成方法を示す平面図である。
図１１を参照すると、まず、符号３００は、液滴が形成される基板である。
【００３８】
基板３００上には、指定された経路Ｐが形成され、経路Ｐの周辺には、周辺領域ＰＲが形成される。好ましくは、経路Ｐは周辺領域ＰＲに含まれる。
まず、基板３００上には、第１液滴３１０が形成される。第１液滴３１０は、経路Ｐ上に配置される。第１液滴３１０は、基板３００上に断続的に形成され、互いに隣接した第１液滴３１０は、互いに第１間隔Ｗ１に離隔する。本実施形態では、１個の経路Ｐが図示されているが、好ましくは、基板３００上には、複数個の経路Ｐが形成することができる。
【００３９】
本実施形態において、基板３００上に形成される第１液滴３１０に含まれた物質の例としては、液晶表示装置に使用されるカラーフィルタを構成するカラーフィルタ物質、有機電界発光表示装置に使用される電子注入層を構成する電子注入物質、正孔注入層を構成する正孔注入物質、及び光を発生する発光層を構成する発光物質等が挙げられる。
基板３００上に第１液滴３１０が形成されると、基板３００上には第２液滴３２０が形成される。
【００４０】
図１２を参照すると、第２液滴３２０は、第１液滴３１０と隣接した位置に配置される。例えば、第２液滴３２０は、基板３００上に形成された経路Ｐの周辺に形成された周辺領域ＰＲの内部に形成される。好ましくは、基板３００上に形成された経路Ｐは、周辺領域ＰＲの内部に含まれる。従って、第２液滴３２０は、周辺領域ＰＲの内部の所定位置に形成するか、経路Ｐ上に形成することができる。
第２液滴３２０は、第１液滴３２０の間に規則的に配置することができる。好ましくは、第１液滴３１０及び第２液滴３２０は、基板３００上に交互に配置される。
【００４１】
本実施形態において、基板３００上に形成される第２液滴３２０に含まれた物質の例としては、液晶表示装置に使用されるカラーフィルタを構成するカラーフィルタ物質、有機電界発光表示装置に使用される電子注入層を構成する電子注入物質、正孔注入層を構成する正孔注入物質、及び光を発生する発光層を構成する発光物質等が挙げられる。
本実施形態において、基板３００上に形成される第１液滴３１０及び第２液滴３２０に含まれた物質は、互いに同じである。
【００４２】
図１３及び図１４は、本発明の他の実施形態による液滴形成方法を示す平面図である。本実施形態において、第１液滴３１０を基板３００に形成する方法は、上述した実施形態と同じなので、その重複説明は省略し、同じ部分には同じ名称及び符号を付与する。
【００４３】
図１３及び図１４を参照すると、第２液滴３２０は、第１液滴３１０と隣接した位置に配置される。例えば、第２液滴３２０は、基板３００上に形成された経路Ｐの周辺に形成された周辺領域ＰＲの内部に形成される。好ましくは、基板３００上に形成された経路Ｐは、周辺領域ＰＲの内部に含まれる。従って、第２液滴３２０は、周辺領域ＰＲの内部の所定位置に形成するか、経路Ｐ上に形成することができる。
第２液滴３２０は、第１液滴３２０の間に不規則的に配置されることができる。この際、第１液滴３１０の間の間隔は一定であり、第２液滴３２０の間の間隔は異なることもできる。
【００４４】
このような方法で基板上に形成された経路Ｐ、及び経路Ｐが含まれた周辺領域ＰＲに第１液滴３１０及び第２液滴３２０を規則的又は不規則に配置することによって、第１液滴３１０が乾燥され形成された薄膜及び第２液滴３２０が乾燥され形成された薄膜の品質を平均化させる効果を有する。
【００４５】
〔薄膜形成方法〕
図１５は、本発明の一実施形態によって基板に第１液滴が形成されることを示す平面図である。図１６は、図１５のＩＩ−ＩＩ’線に沿って切断した断面図である。本発明の一実施形態による薄膜形成方法に用いる液滴吐出装置は、上述した液滴吐出装置の実施形態と同じなので、その重複説明は省略する。
【００４６】
図１、図１５、及び図１６を参照すると、まず、基板４００には複数個のリセス部４０３がマトリックス形態で形成される。本発明によるリセス部４０３は、光の吸収率が高いブラック無機薄膜をパターニングして形成するか、リセス部４０３は感光物質を含むブラック有機薄膜をパターニングして形成することもできる。
【００４７】
図１に図示した液滴吐出装置１００の第１吐出ユニット１１０は、奇数番目列に属するリセス部４０３に整列され、第１吐出ユニット１１０の第１ノズル１１２は、列方向に沿って移動しながら、リセス部４０３のうち、奇数番目行奇数番目列のリセス部ＯＲに第１液滴４１０を吐出する。この際、第１液滴４１０の嵩（厚さ）は、リセス部４０３の嵩（厚さ）より多少大きいことが好ましい。
【００４８】
図１７は、本発明の一実施形態によって基板に第２液滴が形成されたことを示す平面図である。図１８は、図１７のＩＩＩ−ＩＩＩ’線に沿って切断した断面図である。
図１、図１７、及び図１８を参照すると、液滴吐出装置１００は、第２吐出ユニット１２０の第２ノズル１２２を通じて奇数番目列に属するリセス部４０３のうち、偶数番目行リセス部ＥＲに第２液滴４２０を吐出する。これによって、奇数番目列の各リセス部４０３には、第１液滴４１０又は第２液滴４２０が吐出される。
【００４９】
この際、本実施形態において、第１ノズル１１２を通じて吐出された第１液滴４１０及び第２ノズル１２２を通じて吐出された第２液滴４２０は、実質的に同じ物質でもよい。
その後、液滴吐出装置１００は、偶数番目列に含まれた全てのリセス部４０３にも第１液滴４１０又は第２液滴４２０を吐出して、基板４００上に形成された全てのリセス部４０３に、第１液滴４１０又は第２液滴４２０を吐出する。
【００５０】
図１９は、図１８に図示した第１液滴及び第２液滴が乾燥したことを示す断面図である。
図１９を参照すると、基板４００に形成された全てのリセス部４０３に第１液滴４１０又は第２液滴４２０が吐出された後、第１液滴４１０は、リセス部４０３の内部で乾燥して第１薄膜４３５が形成され、第２液滴４２０は、リセス部４０３の内部で乾燥してリセス部４０３の内部には第２薄膜４３０が形成される。
【００５１】
本実施形態による第１及び第２薄膜４３５、４３０は、例えば、液晶表示装置で使用されるカラーフィルタ、例えば、レッドカラーフィルタ、グリーンカラーフィルタ、又はブルーカラーフィルタでもよい。これと異なり、第１及び第２薄膜４３５、４３０は、例えば、有機電界発光表示装置に使用される電子注入層、正孔注入層、発光層でもよい。
【００５２】
本実施形態において、第１薄膜４３５は、液滴吐出装置の第１ノズルを通じて吐出された第１液滴によって形成され、第２薄膜４３０は、液滴吐出装置の第２ノズルを通じて吐出された第２液滴によって形成される。
【００５３】
従って、第１ノズルから吐出された第１液滴の嵩（或いは量）又は第２ノズルから吐出された第２液滴の嵩（或いは量）は、互いに異なることができる。このように、第１液滴の嵩及び第２液滴の嵩が互いに異なる場合、第１液滴が乾燥して形成された第１薄膜の厚さ及び第２液滴が乾燥して形成された第２薄膜の厚さが互いに異なるようにすることができる。
【００５４】
本発明では、互いに異なる厚さを有する各第１薄膜及び第２薄膜が一つの経路上で規則的又は不規則に配置されるので、第１薄膜及び第２薄膜の厚さの差異によって発生する画像の品質低下をより減少させることができる。
【００５５】
図２０は、本発明の他の実施形態によって基板に第１液滴が形成されたことを示す平面図である。本発明の他の実施形態による薄膜形成方法に用いる液滴吐出装置は、上述した実施形態と同じなので、その重複説明は省略する。
【００５６】
図１及び図２０を参照すると、ます、基板４００には、複数のリセス部４０３がマトリックス形態で形成される。本発明によるリセス部４０３は、光の吸収率が高い無機ブラック薄膜をパターニングして形成するか、リセス部４０３は感光物質を含むブラック有機薄膜をパターニングして形成することができる。
【００５７】
図１に図示した液滴吐出装置１００の第１吐出ユニット１１０は、奇数番目列に属するリセス部４０３に整列され、第１吐出ユニット１１０の第１ノズル１１２は、列方向に沿って移動しながら、奇数番目列に属する全てのリセス部４０３の内部に少なくとも１個の第１液滴４１０を吐出する。本実施形態において、第１液滴４１０は、各リセス部４０３の内部に規則又は不規則な個数で配置されることができる。
【００５８】
図２１は、本発明の他の実施形態によって基板に第２液滴が形成されたことを示す平面図である。
図１及び図２１を参照すると、液滴吐出装置１００は、第２吐出ユニット１２０の第２ノズル１２２を通じて第１液滴４１０が形成された奇数番目列に属するリセス部４０３に第２液滴４２０を更に吐出する。本実施形態において、第２液滴４２０は、第１液滴４２０と隣接した位置に配置されるか、第１液滴４２０の間に配置されることができる。これによって、奇数番目列の各リセス部４０３の内部には、第１液滴４１０及び第２液滴４２０が共に形成される。
【００５９】
この際、本実施形態において、第１ノズル１１２を通じて吐出された第１液滴４１０及び第２ノズル１２２を通じて吐出された第２液滴４２０は、実質的に同じ物質でもよい。
その後、液滴吐出装置１００は、偶数番目列に含まれた全てのリセス部４０３に列方向に沿って第１液滴４１０及び第２液滴４２０を吐出して、基板４００上に形成された全てのリセス部４０３に第１液滴４１０及び第２液滴４２０が形成される。
【００６０】
その後、図示していないが、基板４００に形成された全てのリセス部４０３に第１液滴４１０及び第２液滴４２０が吐出された後、第１液滴４１０及び第２液滴４２０が混合された液滴は、各リセス部４０３の内部で乾燥し、各リセス部４０３の内部には薄膜が形成される。
【００６１】
本実施形態による薄膜は、例えば、液晶表示装置で使用されるカラーフィルタ、例えば、レッドカラーフィルタ、グリーンカラーフィルタ、又はブルーカラーフィルタでもよい。これと異なり、薄膜は、例えば、有機電界発光表示装置に使用される電子注入層、正孔注入層、発光層でもよい。
【００６２】
本実施形態において、薄膜は、液滴吐出装置の第１ノズルを通じて吐出された第１液滴及び液滴吐出装置の第２ノズルを通じて吐出された第２液滴によって形成される。
【００６３】
従って、第１ノズルから吐出された第１液滴の嵩（或いは量）又は第２ノズルから吐出された第２液滴の嵩（或いは量）は、互いに異なることができる。このように、第１液滴の嵩及び第２液滴の嵩が互いに異なる場合、リセス部４０３には、第１液滴及び第２液滴が混合されるので、各リセス部に配置された薄膜の厚さをより均一にすることができる。
【００６４】
〔表示基板〕
図２２は、本発明の一実施形態による表示基板の断面図である。
図２２を参照すると、本実施形態による表示基板５００は、例えば、液晶表示装置に使用されるカラーフィルタ基板である。
【００６５】
表示基板５００は、透明な基板５１０、第１画素薄膜５２０、及び第２画素薄膜５３０を含む。又、表示基板５００は、オーバーコーティング層５４０及び共通電極５５０を更に含むことができる。
基板５１０には、好ましくは、複数個の画素領域が形成される。本実施形態において、画素領域は、基板５１０の上面に形成されたブラックマトリックスパターン５０５によって定義される。
【００６６】
ブラックマトリックスパターン５０５は、酸化クロム薄膜、クロム薄膜、及びブラック有機物質等を格子形状にパターニングすることによって形成される。
【００６７】
基板５１０に形成された複数の画素領域のうち、奇数番目列に属する画素領域の奇数番目行の画素領域には、第１厚さを有する第１画素薄膜５２０が形成され、画素領域のうち、偶数番目行の画素領域には、第１厚さと異なる第２厚さを有する第２画素薄膜５３０が形成される。本実施形態では、好ましくは、第１厚さを有する第１画素薄膜５２０が第２厚さを有する第２画素薄膜５３０より薄い。
【００６８】
好ましくは、第１画素薄膜５２０及び第２画素薄膜５３０の例としては、レッド光を発生するレッドカラーフィルタ、グリーン光を発生するグリーンカラーフィルタ、及びブルー光を発生するブルーカラーフィルタが挙げられる。
【００６９】
この際、第１画素薄膜５２０及び第２画素薄膜５３０の厚さは、ブラックマトリックスパターン５０５の厚さより薄くてもよい。第１画素薄膜５２０及び第２画素薄膜５３０の厚さが、ブラックマトリックスパターン５０５より薄い場合、基板５１０の上面にはオーバーコーティング層５４０を形成することができる。オーバーコーティング層５４０は、ブラックマトリックスパターン５０５及び第１画素薄膜５２０、ブラックマトリックスパターン５０５及び第２画素薄膜５３０を平坦化させる。
【００７０】
オーバーコーティング層５４０の上面には、好ましくは、透明で導電性である酸化亜鉛スズ又は酸化スズインジウム、アモルファス酸化スズインジウム等を含む共通電極が形成される。
【００７１】
図２３は、本発明の他の実施形態による表示基板の断面図である。
図２３を参照すると、表示基板６００は、透明な基板６１０、第１電極６２０、リセス部６０５ａを有する有機パターン６０５、第１電極６２０と接触する画素薄膜（発光層）６３０、６４０、画素薄膜（発光層）６３０、６４０と電気的に接触された第２電極６５０を含む。
【００７２】
基板６１０上に形成された第１電極６２０は、好ましくは、透明で導電性である酸化スズインジウム、酸化亜鉛インジウム等を含む。第１電極６２０は、基板６１０上に複数個がマトリックス形態で配置される。
【００７３】
基板６１０上には、有機パターン６０５又は無機パターンが形成される。本実施形態では、好ましくは、基板６１０上に有機パターン６０５が形成される。有機パターン６０５には、第１電極６２０の縁部分を露出させるリセス部６０５ａが形成される。有機パターン６０５は、好ましくは、光と反応する感光物質を含む。第１電極６２０が基板６１０上にマトリックス形態で配置されることによって、リセス部６０５ａも基板６１０上にマトリックス形態で配置される。
【００７４】
一方、基板５１０に形成された複数個のリセス部６０５ａのうち、奇数番目列に属するリセス部６０５ａの奇数番目行のリセス部６０５ａには、第１厚さを有する第１画素薄膜６３０が形成され、奇数番目列に属するリセス部６０５ａのうち、偶数番目行の画素領域には、第１厚さと異なる第２厚さを有する第２画素薄膜６４０が形成される。本実施形態では、好ましくは、第１画素薄膜６３０の第１厚さは、第２画素薄膜６４０の第２厚さより薄い。
【００７５】
好ましくは、第１画素薄膜６３０及び第２画素薄膜６４０の例としては、第１電極６２０上に形成された電子注入層、電子注入層上に形成された発光層、発光層上に形成された正孔注入層等が挙げられる。
【００７６】
第２電極６５０は、第１画素薄膜６３０及び第２画素薄膜６４０と電気的に接続するように、基板６１０上に形成される。
【００７７】
尚、本発明は、上述の実施形態に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の一実施形態による液滴吐出装置を示す平面図である。
【図２】図１のＩ−Ｉ’線に沿って切断した断面図である。
【図３】本発明の一実施形態による第１及び第２吐出ユニットの一部を示す平面図である。
【図４】図３に図示した第１及び第２吐出ユニットによって形成された第１及び第２液滴を示す平面図である。
【図５】図３に図示した第１及び第２吐出ユニットによって形成された第１及び第２液滴を示す平面図である。
【図６】図３に図示した第１及び第２吐出ユニットによって形成された第１及び第２液滴を示す平面図である。
【図７】本発明の他の実施形態による第１及び第２吐出ユニットの一部を示す平面図である。
【図８】図７に図示した第１及び第２吐出ユニットによって形成された第１及び第２液滴を示す平面図である。
【図９】図７に図示した第１及び第２吐出ユニットによって形成された第１及び第２液滴を示す平面図である。
【図１０】図７に図示した第１及び第２吐出ユニットによって形成された第１及び第２液滴を示す平面図である。
【図１１】本発明の一実施形態による液滴形成方法を示す平面図である。
【図１２】本発明の一実施形態による液滴形成方法を示す平面図である。
【図１３】本発明の他の実施形態による液滴形成方法を示す平面図である。
【図１４】本発明の他の実施形態による液滴形成方法を示す平面図である。
【図１５】本発明の一実施形態によって基板に第１液滴が形成されたことを示す平面図である。
【図１６】図１５のＩＩ−ＩＩ’線に沿って切断した断面図である。
【図１７】本発明の一実施形態によって基板に第２液滴が形成されたことを示す平面図である。
【図１８】図１７のＩＩＩ−ＩＩＩ’線に沿って切断した断面図である。
【図１９】図１８に図示した第１液滴及び第２液滴が乾燥したことを示す断面図である。
【図２０】本発明の他の実施形態によって基板に第１液滴が形成されたことを示す平面図である。
【図２１】本発明の他の実施形態によって基板に第２液滴が形成されたことを示す平面図である。
【図２２】本発明の一実施形態による表示基板の断面図である。
【図２３】本発明の他の実施形態による表示基板の断面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１００      液滴吐出装置
１１０      第１吐出ユニット
１１１、３１０、４１０  第１液滴
１１２      第１ノズル
１１３      第１吐出本体
１１４      第１アクチュエータ
１１５      第１供給管
１１６      第１ピボットユニット
１２０      第２吐出ユニット
１２１、３２０、４２０  第２液滴
１２２      第２ノズル
１２３      第２吐出本体
１２４      第２アクチュエータ
１２５      第２供給管
１２６      第２ピボットユニット
１３０      移送ユニット
１４０、３００、４００  基板
４０３      リセス部
４３０      第２薄膜
４３５      第１薄膜
５００、６００    表示基板
５１０、６１０    （透明な）基板
５２０、６３０    第１画素薄膜
５３０、６４０    第２画素薄膜
５４０      オーバーコーティング層
５５０      共通電極
６０５ａ      リセス部
６２０      第１電極
６０５      有機パターン
６５０      第２電極
【図１】
2006216532.tif 000003
【図２】
2006216532.tif 000004
【図３】
2006216532.tif 000005
【図４】
2006216532.tif 000006
【図５】
2006216532.tif 000007
【図６】
2006216532.tif 000008
【図７】
2006216532.tif 000009
【図８】
2006216532.tif 000010
【図９】
2006216532.tif 000011
【図１０】
2006216532.tif 000012
【図１１】
2006216532.tif 000013
【図１２】
2006216532.tif 000014
【図１３】
2006216532.tif 000015
【図１４】
2006216532.tif 000016
【図１５】
2006216532.tif 000017
【図１６】
2006216532.tif 000018
【図１７】
2006216532.tif 000019
【図１８】
2006216532.tif 000020
【図１９】
2006216532.tif 000021
【図２０】
2006216532.tif 000022
【図２１】
2006216532.tif 000023
【図２２】
2006216532.tif 000024
【図２３】
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