(57)【要約】【課題】  磁界センサ素子を確実に気密封止することができるとともに、長期にわたって安定して磁気記録媒体の検知、識別を行うことが可能な、長期信頼性に優れた磁界センサ用パッケージを提供する。【解決手段】  内部にコイル状導体１ａパターンが設けられ、一主面に磁界センサ素子７が搭載される搭載部を、他主面にコイル状導体１ａに電気的に接続される第１の接続パッド４及び磁界センサ素子７に電気的に接続される第２の接続パッド５を有した基体１と、磁界センサ素子７を気密封止すべく基体１の一主面上に取着されるセラミック製の蓋体６とで磁界センサ用パッケージを構成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にコイル状導体パターンが設けられ、一主面に磁界センサ素子が搭載される搭載部を、他主面に前記コイル状導体に電気的に接続される第１の接続パッド及び前記磁界センサ素子に電気的に接続される第２の接続パッドを有した基体と、前記磁界センサ素子を気密封止すべく前記基体の一主面上に取着されるセラミック製の蓋体とを備えてなる磁界センサ用パッケージ。
【請求項２】
前記蓋体が算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下の上面を有していることを特徴とする請求項１に記載の磁界センサ用パッケージ。
【請求項３】
前記基体がセラミック焼結体から成り、前記磁界センサ素子と前記第２の接続パッドとを電気的に接続する配線導体が非磁性金属を主成分となる導体材料から成ることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の磁界センサ用パッケージ。
【請求項４】
前記基体の一主面に前記磁界センサ素子にボンディングされる電極パッドが設けられており、該電極パッドが３質量％乃至１０質量％の比率でリンを含有するニッケルめっき層により形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の磁界センサ用パッケージ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の磁界センサ用パッケージと、前記搭載部に搭載される磁界センサ素子とを具備してなり、前記コイル状導体に通電して電磁石を発生させながら、前記蓋体の上面に沿って磁気記録媒体を移動させて、該磁気記録媒体の磁気情報と前記電磁石との間に生じる磁界の変化を前記磁界センサ素子で検出するようにしたことを特徴とする磁気センサ装置。
【請求項６】
前記磁気記録媒体の移動方向上流側に位置する前記蓋体の上面角部に面取り部が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の磁気センサ装置。
【請求項７】
前記面取り部が曲率半径０．０５ｍｍ乃至１ｍｍの断面円弧状をなしていることを特徴とする請求項６に記載の磁気センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁界の変化を検知する磁界センサ素子を収納するのに用いられる磁界センサ用パッケージ、およびそれを用いた磁気センサ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
切符等の自動販売機や、ＡＴＭ（Automated Teller Machine：現金自動支払預入機）等のように、磁気記録媒体、例えば磁性粉末を印刷用インク中に混合した紙幣を自動的に検知し、識別する機能を要求される機器においては、磁気記録媒体を自動的に検知，識別するための装置として磁気センサ装置が使用されている。
【０００３】
磁気センサ装置は、一般に、磁界の変化を検知する磁界センサ素子を、磁界を発生させる磁石（鉄系、フェライト系の永久磁石等）とともに、磁界センサ用パッケージに収納することにより形成されている。
【０００４】
このような磁界センサ用パッケージとしては、有機樹脂等の電気絶縁材料から成り、一方主面に磁石を搭載するための磁石搭載部が形成され、他方主面に磁界センサ素子の搭載部が形成された基板と、基板の搭載部から一方主面等にかけて導出された配線導体と、表面に耐磨耗加工を施した金属材料から成り、基板の他方主面の外周部に接合され搭載部を覆う蓋体とを具備する構造のものが知られている。
【０００５】
そして、磁界センサ用パッケージの搭載部に、Ｉｎ−Ｓｂ，Ｉｎ−Ａｓ，Ｇｅ−Ｓｉ等の、磁界の変化を検知する磁界センサ素子を搭載するとともに、その電極を配線導体の露出部分にボンディングワイヤ等を介して電気的に接続し、基体の他方主面に有機性樹脂接着材等を介して磁石を搭載固定した後、蓋体で磁界センサ素子を覆って気密封止することにより磁気センサ装置が構成される。
【０００６】
このような磁気センサ装置の蓋体上面に沿って磁気記録媒体を移動させると、磁気記録媒体の移動にともなって磁界に変化が生じ、この磁界の変化を磁界センサ素子で検知することにより、磁気記録媒体の検知、識別、例えば紙幣の種別の確認等が行われる。
【０００７】
磁気記録媒体は、移送用のベルト（無端ベルト）等に乗った状態で移送され、移送用ベルトの移送面と同じ高さに配置された磁気センサ装置の蓋体の上面に順次送り込まれる。
【０００８】
なお、蓋体を、耐磨耗加工を施した金属材料等で形成するのは、蓋体の表面を極力平滑な面として、磁気記録媒体をスムーズに移動させるためである。
【特許文献１】特開２００３−１７７１６９号公報
【特許文献２】特開平８−２３３８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述した従来の磁気センサ装置においては、蓋体が金属材料で形成されているため、使用する間に磁気記録媒体との接触により蓋体の上面が磨耗しやすく、長期にわたって良好に使用することが困難であるという問題があった。
【００１０】
また、上述した従来の磁気センサ装置においては、金属材料から成る蓋体と、エポキシ樹脂等から成る基板とを、有機樹脂接着剤で接着していたことから、この接着部位における封止信頼性を高く維持することができないという問題もあった。
【００１１】
本発明は、上述の問題点に鑑み案出されたもので、その目的は、磁界センサ素子を良好に気密封止することができるとともに、磁気記録媒体の検知、識別を長期にわたり良好に行うことが可能な、長期信頼性に優れた磁界センサ用パッケージおよび磁気センサ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の磁界センサ用パッケージは、内部にコイル状導体パターンが設けられ、一主面に磁界センサ素子が搭載される搭載部を、他主面に前記コイル状導体に電気的に接続される第１の接続パッド及び前記磁界センサ素子に電気的に接続される第２の接続パッドを有した基体と、前記磁界センサ素子を気密封止すべく前記基体の一主面上に取着されるセラミック製の蓋体とを備えていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の磁界センサ用パッケージは、前記蓋体が算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下の上面を有していることを特徴とするものである。
【００１４】
さらに、本発明の磁界センサ用パッケージは、前記基体がセラミック焼結体から成り、前記磁界センサ素子と前記第２の接続パッドとを電気的に接続する配線導体が非磁性金属を主成分となる導体材料から成ることを特徴とするものである。
【００１５】
またさらに、本発明の磁界センサ用パッケージは、前記基体の一主面に前記磁界センサ素子にボンディングされる電極パッドが設けられており、該電極パッドが３質量％乃至１０質量％の比率でリンを含有するニッケルめっき層により形成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
そして、本発明の磁気センサ装置は、上述した磁界センサ用パッケージと、前記搭載部に搭載される磁界センサ素子とを具備してなり、前記コイル状導体に通電して電磁石を発生させながら、前記蓋体の上面に沿って磁気記録媒体を移動させて、該磁気記録媒体の磁気情報と前記電磁石との間に生じる磁界の変化を前記磁界センサ素子で検出するようにしたことを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の磁気センサ装置は、前記磁気記録媒体の移動方向上流側に位置する前記蓋体の上面角部に面取り部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１８】
さらに、本発明の磁気センサ装置は、前記面取り部が曲率半径０．０５ｍｍ乃至１ｍｍの断面円弧状をなしていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、磁界センサ用パッケージを、内部にコイル状導体パターンが設けられ、一主面に磁界センサ素子が搭載される搭載部を、他主面にコイル状導体に電気的に接続される第１の接続パッド及び磁界センサ素子に電気的に接続される第２の接続パッドを有した基体と、磁界センサ素子を気密封止すべく基体の一主面上に取着されるセラミック製の蓋体とを含んで磁界センサ用パッケージを構成するようにしたことから、第１接続パッドを介してコイル状導体に通電することで磁界を発生させることができ、該磁界の変化を磁界センサ素子によって検知することで、蓋体上面に沿って移動される磁気記録媒体の検知、識別を行うことができる。
【００２０】
この場合、セラミックスから成る蓋体は金属材料から成る蓋体に比し耐摩耗性に優れているため、長期にわたって繰り返し使用しても磨耗量は極めて少なく、磁気記録媒体を蓋体上面に沿って安定して移動させることができる。
【００２１】
また、本発明の磁界センサ用パッケージによれば、上述した蓋体に加えて、基体もセラミックスで形成することにより、この両者をろう材やガラス等を介して互いに強固かつ良好にに接合することができ、磁界センサ素子の封止信頼性を極めて優れたものになすことができる。
【００２２】
さらに、本発明の磁界センサ用パッケージによれば、蓋体の上面を算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下の平滑面となすことにより、磁気記録媒体を蓋体の上面に沿ってよりスムーズに移動させることができ、磁気記録媒体の検知精度、識別精度を向上させることができる。
【００２３】
またさらに、本発明によれば、基体をセラミック焼結体で形成し、磁界センサ素子と第２の接続パッドとを電気的に接続する配線導体を、非磁性金属を主成分とする導体材料で形成することにより、基体の機械的強度が向上されるため、クラック等の発生を有効に防止して、磁気センサ装置の封止信頼性をさらに高めることができる。
【００２４】
さらにこの場合、配線導体が非磁性であるため、磁気検知電気信号が伝送される配線導体が磁界中に存在することに起因して、磁界に変化が生じることをより有効に防止することができ、磁気記録媒体の検知、識別をより一層高い精度で行うことができる。
【００２５】
またさらに、本発明の磁界センサ用パッケージによれば、セラミック焼結体から成る基体と、メタライズ層から成る配線導体とを、例えば、未焼成の基体にメタライズ層となる金属ペーストを塗布しておくことにより、同時焼成で形成することができるため、基体と配線導体との接合を強固なものとすることができ、長期信頼性をより一層優れたものとすることができる。
【００２６】
さらにまた、本発明の磁界センサ用パッケージによれば、基体の一主面に磁界センサ素子にボンディングされる電極パッドを設けるとともに、該電極パッドを３質量％乃至１０質量％の比率でリンを含有するニッケルめっき層で形成することにより、電極パッドに対するボンディング性を向上させることができ、磁界センサ素子の電極を電極パッドに対しより確実にボンディングすることができる。
【００２７】
またさらに、本発明の磁界センサ用パッケージによれば、ニッケルめっき層のリンの含有率を３質量％乃至１０質量％に設定することにより、リン成分の作用によりニッケルめっき層の結晶性を低下させて非磁性とすることができる。
【００２８】
これにより、電極パッドのボンディング性をより一層良好なものとして、磁性を小さく抑えることができ、磁界の変化に応じて磁界センサ素子で検出した電気信号を、ノイズ等を殆ど生じさせることなく、より確実に外部の電気回路に伝送することができる。
【００２９】
そして、本発明の磁気センサ装置によれば、上述した磁界センサ用パッケージと、搭載部に搭載される磁界センサ素子とを含んで構成し、コイル状導体に通電して電磁石を発生させながら、蓋体の上面に沿って磁気記録媒体を移動させて、磁気記録媒体の磁気情報と電磁石との間に生じる磁界の変化を磁界センサ素子で検出し、判読するようにしたことから、磁界センサ素子を極めて良好に気密封止することができるとともに、長期にわたって安定して磁気記録媒体の検知、識別を行うことが可能でき、長期信頼性に優れた磁気センサ装置を提供することができる。
【００３０】
また、本発明の磁気センサ装置によれば、磁気記録媒体の移動方向上流側に位置する蓋体の上面角部に面取り部を設けることにより、移送用ベルト等に乗って移送されてきた磁気記録媒体が蓋体のエッジに引っかかるようなことは少なく、磁気記録媒体を蓋体の表面に沿ってスムーズに走行させることができる。
【００３１】
さらに、本発明の磁気センサ装置によれば、前記面取り部を曲率半径０．０５ｍｍ乃至１ｍｍの断面円弧状になすことにより、移送用ベルト等に乗って移送されてきた磁気記録媒体が蓋体のエッジに引っかかるといった不具合をより有効に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００３３】
図１は本発明の磁界センサ用パッケージおよび磁気センサ装置の実施の形態の一例を示す断面図である。図１において、１は基体、２は電極パッド、４は第１の接続パッド、５は第２の接続パッド、６は蓋体であり、これら基体１，第１の接続パッド４、第２の接続パッド５および蓋体６により磁界センサ用パッケージ９が基本的に構成される。
【００３４】
基体１は、酸化アルミニウム質焼結体，ガラスセラミック焼結体，窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体等のセラミック材料や、セラミック粉末を有機樹脂で結合して成るセラミック複合材料等により形成される。
【００３５】
このような基体１は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム，酸化ケイ素等の原料粉末を有機溶剤，バインダとともにシート状に成形し複数枚のグリーンシートを得て、これに適当な孔あけ加工を施すとともに上下に積層し、約１６００℃で焼成することにより製作される。
【００３６】
基体１は、内部にコイル状導体１ａが設けられ、一主面に磁界センサ素子７の搭載部１ｂを有している。
【００３７】
また、基体１は、他主面に、コイル状導体１ａに電気的に接続される第１の接続パッド４と、磁界センサ素子７に電気的に接続される第２の接続パッド５とを有している。
【００３８】
基体１の内部に形成されるコイル状導体１ａは、通電することにより電磁石として機能するものであり、この電磁石が発生する磁界中を後述する磁気記録媒体が移動することによる磁界の変化を磁界センサ素子７で順次検知することにより、磁気記録媒体の磁気的な情報を判読する。
【００３９】
コイル状導体１ａへの通電は、第１の接続パッド４を外部電気回路基板の給電用の端子に半田等を介して電気的・機械的に接続し、外部からの電流を第１の接続パッド４を介してコイル状導体１ａに流すことにより行なわれる。
【００４０】
なお、コイル状導体１ａと第１の接続パッド４との電気的な接続は、例えば、基体１の内部に、コイル状導体１ａから第１の接続パッド４にかけて配線導体３を形成することにより行なうことができる。配線導体３は、基体１の表面に形成してもよい。
【００４１】
磁界センサ素子７は、コイル状導体１ａが発生する磁界の外部磁気による変化を検知し、その変化に応じて電気信号を発信する機能を有している。この電気信号は、磁界センサ素子７と電気的に接続されている第２の接続パッド５を介して外部の電気回路（図示せず）に伝送される。
【００４２】
磁界センサ素子７としては、Ｉｎ−Ｓｂ，Ｉｎ−Ａｓ，Ｇｅ−Ｓｉ等の、電子移動度の大きい半導体材料が用いられる。
【００４３】
磁界センサ素子７と第２の接続パッド５との電気的な接続は、例えば、第２の接続パッド５から基体１の一主面にかけて配線導体３を導出して形成し、配線導体３の導出部分に磁界センサ素子７の電極をボンディングワイヤ８や金属バンプ（図示せず）等の導電性接続材を介して電気的に接続することにより行なうことができる。
【００４４】
ボンディングワイヤ８等の配線導体３に対する接続を容易、かつ強固なものとするには、基体１の一主面（配線導体３の導出部位等）に電極パッド２を設けておくことが好ましい。
【００４５】
電極パッド２は、矩形状、円形状、楕円形状等の、ボンディングワイヤ８等の接続に適した形状、寸法に形成することが好ましい。
【００４６】
そして、搭載部１ｂに搭載された磁界センサ素子７の電極を、ボンディングワイヤ８等の導電性材料を介して電極パッド２に電気的に接続し、第２の接続パッド５を外部の電気回路の所定部位に半田等を介して電気的に接続することにより、磁界センサ素子７の電極が、電極パッド２、配線導体３および第２の接続パッド５を介して外部の電気回路と電気的に接続され、磁界センサ素子７から外部の電気回路に電気信号が伝送される。
【００４７】
これらのコイル状導体１ａ、電極パッド２、配線導体３、第１の接続パッド４および第２の接続パッド５は、タングステンやモリブデン，銅，銀，パラジウム等の金属材料により形成される。金属材料は、従来周知のメタライズ層、めっき層、蒸着層等の形態で形成することができる。
【００４８】
コイル状導体１ａ、電極パッド２、配線導体３、第１の接続パッド４および第２の接続パッド５は、生産性を考慮して同じ金属材料により形成するのが好ましく、タングステンのメタライズ層から成る場合、タングステンの粉末を有機溶剤，バインダとともに混練して作製した金属ペーストを、基体１となるグリーンシートに、所定のコイル状パターンや、回路状のパターン等にスクリーン印刷法で印刷しておくことにより形成される。
【００４９】
コイル状導体１ａは、例えば、基体１が複数の絶縁層（グリーンシートが焼成されてなるセラミック層等）を積層してなる積層体から成る場合、複数の層間にコイル状の導体を介在させた上、これらを上下の層間で直列に接続することによって形成される。この場合、基体１の平面面積を小型にした状態で、コイルの巻き数を増やしてより強い磁界を発生させることができる。また、各層間のパターンは単円状でもよい。
【００５０】
また、コイル状導体１ａは、磁界センサ素子７に対して有効に磁界を及ぼすために、基体１の、搭載部１ｂに近い上部側に位置させておくことが好ましい。
【００５１】
なお、電極パッド２、配線導体３，第１の接続パッド４および第２の接続パッド５は、露出している表面に、ニッケル，金等のめっき層を被着させておくことが好ましい。これにより、酸化腐食をより効果的に防止することができるとともに、ボンディングワイヤ８のボンディング性や半田の濡れ性等を向上させることができる。
【００５２】
磁界センサ素子７が搭載される搭載部１ｂは、セラミック製の蓋体６により気密封止される。
【００５３】
蓋体６を形成するセラミックスとしては、酸化アルミニウム質焼結体，ガラスセラミック焼結体，窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体等が用いられる。
【００５４】
蓋体６は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合、酸化アルミニウム，酸化ケイ素等の原料粉末を有機溶剤，バインダとともにシート状に成形してグリーンシートを形成し、このグリーンシートを所定の寸法に切断した後、約１６００℃で焼成することにより製作される。
【００５５】
このような蓋体６の上面（露出している主面）に沿って紙幣等の磁気記録媒体を移動させると磁界が変化し、その磁界の変化を磁界センサ素子７で検知することにより磁気記録媒体の検知、識別が行なわれる。
【００５６】
この場合、セラミックスから成る蓋体６は、金属から成る蓋体に比べて耐摩耗性に優れているため、長期にわたって使用しても磨耗量は極めて少なく、磁気記録媒体を蓋体上面に沿って安定して移動させることができる。
【００５７】
また、上述した蓋体６に加えて、基体１もセラミックスで形成することにより、この両者をろう材やガラス等を介して互いに強固かつ良好に接合することができ、磁界センサ素子７の封止信頼性を極めて優れたものになすことができる。
【００５８】
蓋体６を形成するセラミックスとしては、耐摩耗性に優れている必要があることから、酸化アルミニウム質焼結体を用いることが好ましい。
【００５９】
また、基体１と蓋体６とは、両者間の熱膨張係数の差に起因する熱応力の発生等を防止し、両者の接合をより強固で長期信頼性に優れたものとするために、同じ材料で形成することが好ましい。
【００６０】
また、蓋体６は、上面の表面粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下となしておくことが好ましく、蓋体６の上面を算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下の平滑面となすことにより、磁気記録媒体を蓋体６の上面に沿ってよりスムーズに移動させることができ、磁気記録媒体の検知精度、識別精度を向上させることが可能となる。
【００６１】
蓋体上面の表面粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下とするには、例えば、機械的な研磨加工を蓋体６の上面に対して施す等の方法が用いられる。
【００６２】
なお、蓋体６の上面の表面粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．００５μｍよりも小さくしても、上述の有効性には殆ど変化がなくなり、逆に研磨等の加工に要する時間が長くなって生産性の低下を招く恐れがある。従って、蓋体６の表面粗さは、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．００５μｍ〜０．５μｍの範囲内に設定しておくことがより一層望ましい。
【００６３】
他方、蓋体６の下面については、基体１に接合される部位の表面粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で１μｍ以上となしておくことが好ましい。これにより、蓋体６と基体１とをろう材やガラス等の接合材で接合する際、両者をアンカー効果によって極めて強固に接合することができる。
【００６４】
蓋体６の下面のうち基体１に接合される部位の表面粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で１μｍ以上とするには、例えば、蓋体６の下面にサンドブラスト等の粗化処理を施す等の方法を用いることができる。
【００６５】
また、上述した磁界センサ用パッケージ９は、基体１を酸化アルミニウム質焼結体等のセラミック焼結体により形成し、磁界センサ素子７と第２の接続パッド５とを電気的に接続する配線導体３を非磁性金属を主成分とする導体材料で形成することが好ましい。
【００６６】
この場合、基体１の機械的強度が向上されるため、クラック等の発生を有効に防止して、磁気センサ装置の封止信頼性をさらに高めることができる。
【００６７】
また、コイル状導体部１ａおよび配線導体３が非磁性であるため、比較的弱い電気信号が伝送される配線導体３が磁界中に存在することに起因して磁界に変化が生じるのを有効に防止することができ、磁気記録媒体の検知、識別をより高精度に行うことができる。
【００６８】
さらにこの場合、セラミック焼結体から成る基体１と、メタライズ層から成るコイル状導体部１ａおよび配線導体３とは、例えば、未焼成の基体（グリーンシート）にメタライズ層となる金属ペーストを塗布しておくことにより、同時焼成で形成することができるため、基体１とコイル状導体部１ａおよび配線導体３との接合を強固なものとすることができ、長期信頼性をより一層優れたものとすることができる。
【００６９】
セラミック焼結体は、酸化アルミニウム質焼結体，ガラスセラミック焼結体，窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体等のセラミック焼結体である。
【００７０】
また、非磁性金属としては、タングステンやモリブデン等の金属材料や、その合金等の金属材料を用いることができる。
【００７１】
なお、コイル状導体１ａと第１の接続パッド４とを電気的に接続する配線導体３についても、同様に非磁性金属を主成分とする導体材料から成るものとすることが好ましく、生産性等を考慮すると、磁界センサ素子７と第２の接続パッド５とを電気的に接続するものと同じ導体材料で形成することがより好ましい。
【００７２】
また、基体１の一主面（配線導体３の導出部位等）には、上述のように、磁界センサ素子にボンディングされる電極パッド２が形成されていることが好ましく、この電極パッド２は、リンの含有率が３質量％乃至１０質量％のニッケルめっき層により形成されていることが好ましい。この場合、電極パッドに対するボンディング性を向上させて、磁界センサ素子の電極を電極パッド２に対しより確実にボンディングすることが可能であり、またリン成分の作用によりニッケルめっき層の結晶性を低下させて非磁性とすることができる。これにより、磁性が小さく抑えられ、磁界の変化に応じて磁界センサ素子で検出した電気信号を、ノイズ等を殆ど生じさせることなく、より確実に外部の電気回路に伝送することができる。
【００７３】
ここで、リンの含有率が３質量％未満の場合、ニッケルめっき層が磁性を有し、電気信号を伝送する際にノイズを生じ易くなり、１０質量％を超えると、ニッケルめっき層の内部応力が大きくなって電極パッド２に対するめっき層の接合強度が不足ぎみになる恐れがある。
【００７４】
なお、電極パッド２は、上記のニッケルめっき層のみで形成する必要はなく、例えば、配線導体３と同様の金属材料から成るメタライズ層を所定の電極パッド２の形状、寸法に形成しておいて、その上にニッケルめっき層を形成したものでもよい。この場合、メタライズ層の厚さ（数十μｍ）は、めっき層の厚さ（１μｍ以下〜十数μｍ程度）に比べて厚く且つ（同時焼成により）強固に基体１の表面に被着させることができるので、電極パッド２のボンディング性を向上させることができる。
【００７５】
また、ニッケルめっき層の露出表面を金めっき層（図示せず）で被覆して酸化腐食を防止するようにしてもよい。
【００７６】
なお、配線導体３および第１の接続パッド４および第２の接続パッド５も、電極パッド２と同様のニッケルめっき層で被覆しておくと、より確実にノイズ等の発生を防止することができ、磁気記録媒体の検知、識別の精度をより一層高くすることができるので、より一層好ましい。
【００７７】
そして、前記搭載部１ｂには、ろう材やガラス、有機樹脂系の接着剤等を介して磁界センサ素子７が接合され、磁界センサ素子７の電極を電極パッド２にボンディングワイヤ８を介して電気的に接続し、蓋体６で搭載部１ｂを覆うことにより、磁気センサ装置が構成される。
【００７８】
磁気センサ装置は、蓋体６の上面に沿って移動する磁気記録媒体の磁気情報を、コイル状導体１ａに通電して発生する電磁石による磁界変化を磁界センサ素子７で検知することによって判読する。
【００７９】
つまり、電磁石と磁気記録媒体との間に生じる磁界を、磁気記録媒体の移動とともに順次検知していくことにより、磁気記録媒体の磁気情報が順次検出される。
【００８０】
なお、磁気記録媒体を蓋体６の上面に送り込むには、例えば、蓋体６の上面と移送面が同じ高さになるようにして移送用ベルト（無端ベルト等）（図示せず）を配置しておき、この移送用ベルトから順次磁気記録媒体を移送して送り込む等の方法が用いられる。
【００８１】
検出された磁界の変化は、磁界センサ素子７により電気信号に変換され、配線導体３を介して外部の電気回路に伝送される。伝送された電気信号により、外部の電気回路が組み込まれた機器（自動販売機等）において、切符の販売等の操作が行われる。
【００８２】
また、磁気記録媒体の移動方向上流側に位置する蓋体６の上面角部には面取り部６ａを設けておくことが好ましい。この場合、移送用ベルト等に乗って移送されてきた磁気記録媒体が蓋体６のエッジに引っかかるようなことは少なく、磁気記録媒体を蓋体６の表面に沿ってスムーズに走行させることができる。
【００８３】
また、前記面取り部６ｂは曲率半径０．０５ｍｍ乃至１ｍｍの断面円弧状をなすように形成することが好ましい。
【００８４】
このような面取り部６ａ，６ｂを形成することにより、移送用ベルト等に乗って移送されてきた磁気記録媒体が蓋体６のエッジに引っかかるといった不具合をより有効に防止することができる。
【００８５】
面取り部６ａ，６ｂは、研磨加工や切削加工等の加工手段で、蓋体６の上面と側面との間の角部に面取り加工を施すことにより形成される。なお、このような加工は、セラミックスから成る蓋体６を、セラミックグリーンシートを積層して製作する際に、そのセラミックグリーンシートの対応する角部に面取り加工を施すことにより形成してもよい。
【００８６】
この場合、面取り部６ａの幅を０．０５ｍｍ乃至１ｍｍの範囲とするか、面取り部６ｂの曲率半径を０．０５ｍｍ乃至１ｍｍとすることにより、面取り部６ａ，６ｂを十分な大きさとして磁気記録媒体のスムーズな移動をより確実にすることができ、また、面取り部６ａ，６ｂの加工、形成が容易で磁気センサ装置の生産性を良好にすることができる。
【００８７】
また、本発明において、蓋体６の上面が凸状の円弧状等の曲面とされていてもよい。この場合、磁気記録媒体が蓋体６の上面や角部で引っかかるようなことをさらに防止することができる。
【００８８】
また、面取り部６ａ，６ｂが、加工して形成し易い曲率半径であるため、面取り部６ａ，６ｂの形成が容易で磁気センサ装置の生産性をより良好に確保することができる。
【実施例】
【００８９】
基体１および蓋体６を酸化アルミニウム質焼結体で形成し、蓋体６の表面の粗さを表１に示すように変化させて、磁気記録媒体を蓋体６の上面に沿って移動させ、磁気記録媒体に生じる傷等の不具合の発生の有無を確認した。
【００９０】
蓋体６の上面の粗さは、表面研磨の研磨板の粗さにより調節し、粗さの測定は、一般的な、機械的接触により粗さを測定する、表面粗さ計を用いて行なった。
【００９１】
磁気記録媒体としては紙幣を用いた。
【００９２】
蓋体６の上面に沿って紙幣を１０００回移動させた後、紙幣の表面に、磁気の読み取りに支障を生じるような傷が発生しているか否かを目視で確認した。
【表１】
2006275601.tif 000003
【００９３】
表１の結果からわかるように、蓋体６の上面の粗さが、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍを超えると、検知しようとする磁気記録媒体を傷つけてしまうという不具合を生じた。
【００９４】
それに対し、蓋体６の上面の粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下の、本発明の範囲内のものでは、紙幣に傷を生じることはなかった。また、紙幣を、蓋体６の上面に沿って確実にスムーズに移動させることができた。また研磨費用、すなわち磁界センサ用パッケージ９のコストも安い。
【００９５】
従って、蓋体６は、表面の粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で以下とする必要があり、０．００５μｍ〜０．５μｍの範囲とすることが好ましい。
【００９６】
また、蓋体６の上面のＲａが０．３μｍのものについて、蓋体６の上面と側面との間の角部に一定の幅を有する平面状の面取り部６ａを形成したものと、円弧状の面取り部６ｂを形成したものとを作製し、移送ベルトを介して蓋体６の上面に磁気記録媒体を移送し、磁気記録媒体が蓋体６の角部分でひっかかることなくスムーズに移送されるか否かを確認した。試験回数は各条件について１０００回である。
【表２】
2006275601.tif 000004
【００９７】
【表３】
2006275601.tif 000005
【００９８】
表２および表３より、面取り部６ａの幅が０．０５乃至１ｍｍの範囲、面取り部６ｂの曲率半径が０．０５乃至１ｍｍの範囲では、全く支障なく磁気記録媒体が蓋体６の上面を移動させることができた。また、面取り部６ａの幅が０．０５ｍｍ未満の場合、または、面取り部６ｂの曲率半径が０．０５ｍｍ未満の場合、完全に磁気記録媒体が蓋体６の角部で引っかかって止まってしまうような不具合は生じなかったものの、１〜２回程度、磁気録媒体の移動が角部で滞る現象が見られた。また、面取り部６ａの幅が１ｍｍを超える場合、または面取り部６ｂの曲率半径が１ｍｍを超える場合は、面取り部６ａ，６ｂの加工に要する時間が長くなり、生産性が低下する傾向が見られた。
【００９９】
従って、蓋体６は、上面と側面との間の角部に幅が０．０５ｍｍ乃至１ｍｍの面取り部６ａを形成するか、または断面形状の曲率半径０．０５ｍｍ乃至１ｍｍの円弧状面取り部６ｂを形成しておくことが好ましいことが判った。
【０１００】
なお、本発明は、上述の実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更、改良等が可能である。
【０１０１】
例えば、蓋体６の下面および基体１の上面の互いに接合される面に沿ってろう付け用のメタライズ層（図示せず）を配線導体２と同様の金属材料で形成しておき、ろう材の濡れ性を向上させて、ろう材を介して基体１と蓋体６との接合強度を向上させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の磁界センサ用パッケージおよび磁気センサ装置の実施の形態の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１・・・基体
１ａ・・・コイル状導体部
１ｂ・・・搭載部
２・・・電極パッド
３・・・配線導体
４・・・第１の接続パッド
５・・・第２の接続パッド
６・・・蓋体
６ａ，６ｂ・・・面取り部
７・・・磁界センサ素子
９・・・磁界センサ用パッケージ
【図１】
2006275601.tif 000006