(57)【要約】【課題】移動手段１０により略水平方向に延びる所定の方向に移動される略水平姿勢の板状ワークＷに対し、複数のノズル列２０の各ノズル２０ａから処理液を噴射して液処理を行うようにした液処理装置において、板状ワークＷ上にて互いに逆方向の流れがぶつかり合うことに起因する液溜りの発生を回避できるようにする。【解決手段】複数のノズル列２０の各ノズル２０ａを、板状ワークＷの移動方向前側および後側のうちの何れか一方の側に向かって処理液を噴射するように配置する。【選択図】図１
2006255556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略水平方向に延びる移動路に沿って板状ワークを略水平姿勢の状態で移動させる移動手段と、
各々、処理液をそれぞれ互いに略同じ方向に向かってそれぞれ噴射する複数のノズルが前記移動路を横切って並ぶように設けられてなり、前記移動手段による前記板状ワークの移動方向に並ぶように配置された複数のノズル列とを備え、
前記移動路上を前記移動手段により移動する前記板状ワークに対し、前記各ノズルから処理液を噴射して所定の液処理を行うようにした液処理装置であって、
前記複数のノズル列の各ノズルは、前記移動方向の前側および後側のうちの何れか一方の側に向かって処理液を噴射するように配置されていることを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液処理装置において、
前記各ノズルは、前記移動方向後側に向かって前記処理液を噴射するように配置されていることを特徴とする液処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載の液処理装置において、
前記複数のノズル列のうちの一部のノズル列の各ノズルは、前記移動路の幅方向一側の側に傾いた方向に向かって処理液を噴射するように配置され、
前記複数のノズル列のうちの残部のノズル列の各ノズルは、前記移動路の幅方向他側の側に傾いた方向に向かって処理液を噴射するように配置されていることを特徴とする液処理装置。
【請求項４】
請求項１に記載の液処理装置において、
前記一部のノズル列の各ノズル列と、前記残部のノズル列の各ノズル列とは、交互に配置されていることを特徴とする液処理装置。
【請求項５】
請求項１に記載の液処理装置において、
前記移動路の幅方向における前記各ノズルの噴射方向の前記移動方向を基準とした傾き角度は、３０°とされていることを特徴とする液処理装置。
【請求項６】
請求項１に記載の液処理装置において、
前記各ノズルは、洗浄液を噴射するものであり、
前記板状ワークに対し、前記各ノズルから前記洗浄液を噴射して洗浄処理を行うように構成されていることを特徴とする液処理装置。
【請求項７】
２枚の透明基板と、該２枚の透明基板間に配置された液晶層とを備えた液晶表示装置であって、
前記２枚の透明基板のうちの少なくとも一方の透明基板は、請求項１に記載の液処理装置により所定の液処理が行われたものであることを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の透明電極基板などの板状ワークに対しノズルから洗浄液などの処理液を噴射して洗浄処理などの液処理を行う液処理装置に関し、特に板状ワーク上での液溜りを回避する対策に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイスや液晶表示装置などの電子機器の分野においては、その製造プロセス中に、板状ワークである半導体基板やガラス基板を洗浄処理する工程が必須である。
【０００３】
洗浄工程においては、製造過程中の種々の除去対象物を除去すべく、洗浄液を用いた洗浄が行われる。その際に、洗浄液は、洗浄装置のシャワーノズルから基板上に供給される。
【０００４】
具体的には、従来の洗浄装置では、図３の斜視図に模式的に示すように、複数のノズル２００ａがガラス基板Ｗの移動路幅方向に並んでノズル列２００を形成しており、各ノズル２００ａはガラス基板Ｗに対し略垂直に洗浄液を噴射するように配置されている。また、このようなノズル列２００は、移動路に沿って複数（図示する例では、２つ）並ぶように配置されている。
【０００５】
そして、各ノズル２００ａから噴射された洗浄液は、ガラス基板Ｗ上で移動方向前側（図３の左側）に向かう流れと、移動方向後側（同図の右側）に向かう流れとに分かれる。したがって、隣接するノズル列２００，２００間では、一方のノズル列２００による流れと、他方のノズル列２００による流れとが互いにぶつかり合い、このぶつかり合ったところで乱流を生じるようになされている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の洗浄装置では、ガラス基板Ｗ上において、互いに逆方向の流れが打ち消し合うことになり、このために、洗浄液が殆ど流れずに停滞する部分Ｐ、いわゆる「液溜り」が生じやすいという問題がある。
【０００７】
このような「液溜り」では、除去対象物質が集中することになり、その結果、洗浄効果を低下させる原因となる。
【０００８】
尚、この「液溜り」は、洗浄のみならず、その他の液処理に共通の問題である。
【０００９】
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、液晶表示装置の透明電極基板に使用されるガラス基板などの板状ワークに対し、ノズルから洗浄液などの処理液を噴射して洗浄処理などの液処理を行うようにした液処理装置において、各ノズルの噴射方向に工夫を加えることで、互いに逆方向の流れがぶつかり合うことに起因する液溜りの発生を回避できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成すべく、本発明では、各ノズルの噴射方向を移動方向の前側又は後側の何れかの側に傾け、これにより、処理液の流れを一方向にして層流を形成することで、液溜りの発生を回避するようにし、さらに、各ノズル列毎にノズルの噴射方向を移動路の幅方向において傾け、これにより、前記層流の向きに変化を加えて洗浄効果を高めるようにした。
【００１１】
具体的には、本発明では、略水平方向に延びる移動路に沿って板状ワークを略水平姿勢の状態で移動させる移動手段と、各々、処理液を互いに略同じ方向に向かってそれぞれ噴射する複数のノズルが前記移動路を横切って並ぶように設けられてなっていて、前記移動手段による前記板状ワークの移動方向に並ぶように配置された複数のノズル列とを備え、前記移動路上を前記移動手段により移動する前記板状ワークに対し、前記各ノズルから処理液を噴射して所定の液処理を行うようにした液処理装置を前提としている。
【００１２】
そして、前記複数のノズル列の各ノズルは、前記移動方向の前側および後側のうちの何れか一方の側に向かって処理液を噴射するように配置されているものとする。
【００１３】
尚、上記の構成において、各ノズルは、移動方向後側に向かって処理液を噴射するように配置することが好ましい。
【００１４】
また、複数のノズル列のうちの一部のノズル列の各ノズルについては、移動路の幅方向一側の側に傾いた方向に向かって処理液を噴射するように配置し、一方、残部のノズル列の各ノズルについては、移動路の幅方向他側の側に傾いた方向に向かって処理液を噴射するように配置することが好ましい。この場合、一部のノズル列の各ノズル列と、残部のノズル列の各ノズル列とを、交互に配置することもできる。また、移動路の幅方向における各ノズルの噴射方向の移動方向を基準とした傾き角度としては、３０°とすることが好ましい。
【００１５】
また、上記の液処理装置は、各ノズルを、洗浄液を噴射するものとし、板状ワークに対し各ノズルから前記洗浄液を噴射して洗浄処理を行うように構成することで、洗浄装置とすることもできる。
【００１６】
さらに、上記の液処理装置は、２枚の透明基板と、これら２枚の透明基板間に配置された液晶層とを備えた液晶表示装置の製造プロセスにおいて、前記２枚の透明基板のうちの少なくとも一方の透明基板に対し、洗浄処理やウエットエッチング処理などの所定の液処理を行うために使用することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、板状ワークに対しノズルから処理液を噴射して所定の液処理を行うようにした液処理装置において、各ノズルの噴射方向を移動方向の前側又は後側の何れかの側に傾けることで、処理液の流れを一方向にして層流を形成することができるので、液溜りの発生を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、本発明の実施形態に係る洗浄装置の全体構成を模式的に示す斜視図であり、この洗浄装置は、２枚の透明電極基板間に液晶層が配置されてなる液晶表示装置における該透明電極基板の製造過程において、その基材となるガラス基板の洗浄処理を行うために使用される。
【００１９】
この洗浄装置は、ガラス基板Ｗを水平な姿勢の状態で下方から支承しつつ、水平方向に延びる移動路に沿って移動させる移動機構１０と、各々、洗浄液を噴射する複数のノズル２０ａが移動路を横切る方向に直線状に並ぶように設けられてなる２つのノズル列２０とを備えている。
【００２０】
移動機構１０は、移動路幅方向に延びかつ移動路に沿って並ぶように配置された複数本のローラ１１と、これらローラ１１上に載置されたガラス基板Ｗを所定の移動方向（図１の左方向）に移動させる図外の駆動手段とを有する。
【００２１】
また、洗浄装置は、図示は省略するが、洗浄液を貯留する洗浄液槽と、この洗浄液槽内の洗浄液を各ノズル列２０に導出するための導出管と、この導出管の途中に介設されていて、洗浄液槽内の洗浄液を吸引して各ノズル列２０に圧送するポンプとを有する。各ノズル列２０は、直状のパイプ２０ｂを有しており、各パイプ２０ｂの一端部には、それぞれ、前記導出管が接続されている。各ノズル列２０において、複数のノズル２０ａは、そのパイプ２０ｂに各噴射方向が互いに同じになる向きになるように設けられている。
【００２２】
そして、本実施形態では、図１に模式的に示すように、２つのノズル列２０の各ノズル２０ａは、移動路上のガラス基板Ｗに対する垂線に対し該ガラス基板Ｗの移動方向後側（図１の右側）に傾いた方向に向かって洗浄液を噴射するように配置されている。
【００２３】
さらに、平面図である図２に模式的に示すように、２つのノズル列２０のうち、移動方向前側（同図の左側）に位置するノズル列２０の各ノズル２０ａは、移動路の長さ方向に対し該移動路の幅方向一側（同図の下側）の側に所定の角度θ１（例えば、θ１＝３０°）だけ傾いた方向に向かって洗浄液を噴射するように配置されており、一方、移動方向後側（同図の右側）のノズル列２０の各ノズル２０ａは、移動路の長さ方向に対し該移動路の幅方向他側（同図の上側）の側に所定の角度θ２（例えば、θ２＝３０°）だけ傾いた方向に向かって洗浄液を噴射するように配置されている。
【００２４】
次に、上記のように構成された洗浄装置の作動を説明する。
【００２５】
本洗浄装置に搬入されたガラス基板Ｗは、移動路の始端側に位置するローラ１１上に載置される。移動機構１０の駆動手段の作動により、ガラス基板Ｗが移動路に沿ってローラ１１上を該移動路の終端に向かって移動する。一方、ポンプの作動により洗浄液槽内の洗浄液は、ポンプの作動により導出管を経由して各ノズル列２０に圧送され、それぞれ、複数のノズル２０ａから噴射される。
【００２６】
このとき、各ノズル２０ａの噴射方向が互いに略同じ方向に向いているので、ガラス基板Ｗ上では洗浄液が一方向に流れて層流を形成する。これにより、従来の場合のような互いに反対の方向に流れる洗浄液同士のぶつかり合いは起きず、よって、そのようなぶつかり合いに起因する洗浄液の「液溜り」は発生しない。
【００２７】
また、上記の噴射方向が移動方向後側であるので、洗浄液の持出しが抑えられる。
【００２８】
さらに、各ノズル２０ａの噴射方向が、移動方向前側のノズル列２０では移動路幅方向一側の側に、また移動方向後側のノズル列２０では移動路幅方向他側の側にそれぞれ傾いており、両ノズル列２０，２０間で相異なっているので、ガラス基板Ｗ上における洗浄液の層流の流れの向きに変化が加わり、よって、洗浄液の層流に変化のない場合よりも洗浄効果が高くなる。
【００２９】
したがって、本実施形態によれば、水平方向に延びる移動路に沿ってガラス基板Ｗを水平姿勢の状態で移動させる移動機構１０と、各々、洗浄液を互いに略同じ方向に向かって噴射する複数のノズル２０ａが移動路を横切って並ぶように設けられてなっていて、移動方向に並ぶように配置された２つのノズル列２０とを備え、移動路上を移動機構１０により移動するガラス基板Ｗに対し、各ノズル２０ａから洗浄液を噴射して洗浄処理を行うようにした洗浄装置において、各ノズル列２０のノズル２０ａを、ガラス基板Ｗの移動方向前側および後側のうちの一方の側に向かって洗浄液を噴射するようにしたので、ガラス基板Ｗ上における洗浄液の流れを一方向にして層流を形成することができ、よって、互いに逆の方向の流れがぶつかり合って流れを打ち消し合うことに起因する「液溜り」の発生を回避することができ、その分だけ、洗浄効果を高めることができる。
【００３０】
また、その際に、各ノズル２０ａの噴射方向を移動方向後側に向けるようにしたので、移動方向前側に向けるようにする場合に比べて、本洗浄装置からの洗浄液の持出しを抑えることができる。
【００３１】
さらに、移動路の長さ方向を基準として、２つのノズル列２０のうち、一方のノズル列２０の各ノズル２０ａの噴射方向を移動路幅方向一側の側に傾け、他方のノズル列２０の各ノズル２０ａの噴射方向を移動路幅方向他側の側に傾けるようにしたので、前記層流の流れの向きに変化を加えることができ、よって、そのような変化のない層流の場合よりも、洗浄効果を高めることができる。
【００３２】
尚、上記の実施形態では、移動路長さ方向を基準とした場合の移動路幅方向における各ノズル２０ａの噴射方向の傾き角度θ１，θ２を、θ１＝θ２＝３０°とするようにしているが、これらの傾き角度θ１，θ２は必要に応じて適宜定めることができる。
【００３３】
また、上記の実施形態では、ノズル列２０が２つである場合について説明しているが、ノズル列２０が３つ以上である場合にも本発明を適用することができるのは勿論である。
【００３４】
さらに、上記の実施形態では、ガラス基板Ｗに洗浄液を噴射して洗浄処理を行うようにした洗浄装置の場合について説明しているが、本発明は、エッチング液を用いてエッチング処理を行うようにしたウエットエッチング装置など、板状ワークに所定の液処理を行うようにした種々の液処理装置に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、半導体デバイスや液晶表示装置（液晶表示パネル）などの製造プロセスにおける洗浄やウエットエッチングなどの液処理を行う液処理装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態における洗浄装置の全体構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】隣接するノズル列間でノズルの噴射方向が互いに異なる状態を模式的に示す平面図である。
【図３】従来の洗浄装置の全体構成を模式的に示す図１相当図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  移動機構（移動手段）
２０  ノズル列
２０ａ  ノズル
Ｗ  ガラス基板（板状ワーク）
【図１】
2006255556.tif 000003
【図２】
2006255556.tif 000004
【図３】
2006255556.tif 000005