(57)【要約】【課題】  スプレーノズルからの吐出液の打力やその平面内分布の状況を直接的に目視で確認し評価することができる方法を提供する。【解決手段】  スプレーノズル１８の下方に、上端が開口した有底の細管状貯液部１２を複数配列した観察用器具１０を、細管状貯液部の上端開口面がスプレーノズルの吐出口に対向するように直立させて設置する。観察用器具１０の各細管状貯液部１２内に液体を満たした状態でスプレーノズル１８から液体を吐出させ、その際に各細管状貯液部内の液体の液面がそれぞれ泡立つ状態を観察し、液面が泡立つ深さにより吐出液の打力の大きさを判定する。【選択図】  図１
2006226738.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スプレーノズルから下向きに吐出される液体の打力を検査する方法において、
前記スプレーノズルの下方に、上端が開口した有底の細管状貯液部を複数配列した観察用器具を、その細管状貯液部の上端開口面がスプレーノズルの吐出口に対向するように直立させて設置し、前記観察用器具の各細管状貯液部内にそれぞれ液体を入れた状態で、前記スプレーノズルから液体を吐出させ、その際に前記各細管状貯液部内の液体の液面がそれぞれ泡立つ状態を観察して、その液面が泡立つ深さにより吐出液の打力の大きさを判定することを特徴とする、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法において、
複数の細管状貯液部が一列に並べられて平板状をなし少なくとも片面側が透明の壁面とされた観察用器具を使用することを特徴とする、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法において、
複数の細管状貯液部が縦および横方向にそれぞれ並列されたブロック状をなす観察用器具を使用することを特徴とする、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法において、
複数のスプレーノズルの下方に前記観察用器具を設置し、複数のスプレーノズルからの吐出液の打力の平面内分布を検査することを特徴とする、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法。
【請求項５】
スプレーノズルから下向きに吐出される液体の打力を検査する装置において、
上端が開口した有底の細管状貯液部が複数配列され、その細管状貯液部の上端開口面が前記スプレーノズルの吐出口に対向するようにスプレーノズルの下方に直立して設置される観察用器具を備え、前記各細管状貯液部内にそれぞれ液体が満たされることを特徴とする、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置において、
前記観察用器具は、複数の細管状貯液部が一列に並べられて平板状をなし少なくとも片面側が透明の壁面とされたものであることを特徴とする、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置。
【請求項７】
請求項５に記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置において、
前記観察用器具は、複数の細管状貯液部が縦および横方向にそれぞれ並列されたブロック状をなすものであることを特徴とする、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置（ＬＣＤ）用ガラス基板、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用ガラス基板、プリント基板、電子デバイス基板等の基板や帯状金属薄板材などの表面へスプレーノズルから洗浄水、エッチング液、レジスト膜剥離液、現像液等の処理液を吐出して基板の洗浄等の処理を行う場合などにおいて、スプレーノズルから吐出される処理液が基板や金属薄板材などの表面に当たるときの力（打力）を評価するために、スプレーノズルからの吐出液の打力を検査する方法、および、その方法を実施するときに使用される検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスやＬＣＤ、ＰＤＰ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）、ブラウン管用シャドウマスク、リードフレームなどは、フォトエッチング加工技術を利用して製造される。そして、これらの製造プロセスにおいては、各種の処理工程でスプレーノズルが使用され、スプレーノズルから基板や帯状金属薄板材の表面へ洗浄水、エッチング液、レジスト膜剥離液、現像液などの処理液を吐出して基板や金属薄板材の洗浄、エッチング、剥離、現像等の処理が行われる。このため、スプレーノズルの性能は、洗浄等の処理品質に少なからず影響を与えることになる。
【０００３】
スプレーノズルの特性としては、吐出流量、スプレーパターン、吐出量の分布、打力などが挙げられる。これらのうち、打力以外の項目については、測定方法や評価方法が確立されており、スプレーノズルの性能を判定する際に利用されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１０−１８０５８号公報（第３−４頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
スプレーノズルの吐出流量、スプレーパターン、吐出量の分布などを測定し評価する方法は確立されているが、スプレーノズルからの吐出液の打力を検査する方法は従来無かった。このため、スプレーノズルから吐出された処理液が基板等の表面に実際に当たるときの打力やその平面内分布の状況を直接的に把握することはできず、スプレーノズルの吐出流量、スプレーパターン、吐出量の分布などから間接的にスプレーノズルからの吐出液の打力を評価するしかなかった。
【０００５】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、スプレーノズルからの吐出液の打力やその平面内分布の状況を直接的に目視で確認し評価することができる、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法を提供すること、および、その方法を好適に実施することができる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明は、スプレーノズルから下向きに吐出される液体の打力を検査する方法において、前記スプレーノズルの下方に、上端が開口した有底の細管状貯液部を複数配列した観察用器具を、その細管状貯液部の上端開口面がスプレーノズルの吐出口に対向するように直立させて設置し、前記観察用器具の各細管状貯液部内にそれぞれ液体を入れた状態で、前記スプレーノズルから液体を吐出させ、その際に前記各細管状貯液部内の液体の液面がそれぞれ泡立つ状態を観察して、その液面が泡立つ深さにより吐出液の打力の大きさを判定することを特徴とする、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法において、複数の細管状貯液部が一列に並べられて平板状をなし少なくとも片面側が透明の壁面とされた観察用器具を使用することを特徴とする。
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項１に記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法において、複数の細管状貯液部が縦および横方向にそれぞれ並列されたブロック状をなす観察用器具を使用することを特徴とする。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査方法において、複数のスプレーノズルの下方に前記観察用器具を設置し、複数のスプレーノズルからの吐出液の打力の平面内分布を検査することを特徴とする。
【００１０】
請求項５に係る発明は、スプレーノズルから下向きに吐出される液体の打力を検査する装置において、上端が開口した有底の細管状貯液部が複数配列され、その細管状貯液部の上端開口面が前記スプレーノズルの吐出口に対向するようにスプレーノズルの下方に直立して設置される観察用器具を備え、前記各細管状貯液部内にそれぞれ液体が満たされることを特徴とする。
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項５に記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置において、前記観察用器具は、複数の細管状貯液部が一列に並べられて平板状をなし少なくとも片面側が透明の壁面とされたものであることを特徴とする。
【００１２】
請求項７に係る発明は、請求項５に記載の、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置において、前記観察用器具は、複数の細管状貯液部が縦および横方向にそれぞれ並列されたブロック状をなすものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に係る発明の検査方法において、スプレーノズルの下方に観察用器具を直立させて設置し、観察用器具の各細管状貯液部内にそれぞれ液体を入れた状態で、スプレーノズルから液体を吐出させると、スプレーノズルから下向きに吐出された液体は、観察用器具の各細管状貯液部の上端開口面を通して各細管状貯液部内の液体の液面上へ降り注いで、各細管状貯液部内の液体の液面をそれぞれ泡立たせる。このとき、スプレーノズルからの吐出液が細管状貯液部内の液体の液面に当たるときのエネルギーが大きいと、すなわち吐出液の打力が大きいと、細管状貯液部内の液体の液面が大きく泡立ち、吐出液の打力が小さいと、細管状貯液部内の液体の液面の泡立ちが小さくなる。この液面が泡立つ状態を観察し、液面が泡立つ深さを各細管状貯液部間で比較対照することにより、各細管状貯液部の上端開口面のそれぞれの位置における吐出液の打力の大きさの違いが分かる。
したがって、請求項１に係る発明の検査方法に用いると、スプレーノズルからの吐出液の打力やその平面内分布の状況を直接的に目視で確認し評価することができる。そして、その評価に基づいて、スプレーノズルの位置や数、吐出流量などを適宜調節することにより、基板の洗浄等の処理を最適に行うことが可能となる。
【００１４】
請求項２に係る発明の検査方法では、観察用器具の片面側から透明の壁面を通して各細管状貯液部内の液体の液面が泡立つ状態を観察することができ、各細管状貯液部における泡立ちの深さの違いが一目で分かる。
【００１５】
請求項３に係る発明の検査方法では、スプレーノズルからの吐出液の打力の二次元的な分布を評価することができる。
【００１６】
請求項４に係る発明の検査方法では、複数のスプレーノズルからの吐出液の打力の平面内分布を評価することができ、その評価に基づいて複数のスプレーノズルの配置を最適化することが可能となる。
【００１７】
請求項５に係る発明の検査装置においては、観察用器具をスプレーノズルの下方に直立させて設置し、観察用器具の各細管状貯液部内にそれぞれ液体を満たす。この状態でスプレーノズルから液体を吐出させると、スプレーノズルから下向きに吐出された液体が、観察用器具の各細管状貯液部の上端開口面を通して各細管状貯液部内の液体の液面上へ降り注いで、各細管状貯液部内の液体の液面をそれぞれ泡立たせる。この液面が泡立つ状態を観察し、液面が泡立つ深さを各細管状貯液部間で比較対照することにより、各細管状貯液部の上端開口面のそれぞれの位置における吐出液の打力の大きさの違いが分かる。
したがって、請求項５に係る発明の検査装置を使用すると、スプレーノズルからの吐出液の打力やその平面内分布の状況を直接的に目視で確認し評価することができる。そして、その評価に基づいて、スプレーノズルの位置や数、吐出流量などを適宜調節することにより、基板の洗浄等の処理を最適に行うことが可能となる。
【００１８】
請求項６に係る発明の検査装置では、観察用器具の片面側から透明の壁面を通して各細管状貯液部内の液体の液面が泡立つ状態を観察することができ、各細管状貯液部における泡立ちの深さの違いが一目で分かる。
【００１９】
請求項７に係る発明の検査装置では、スプレーノズルからの吐出液の打力の二次元的な分布を評価することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、この発明の最良の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１および図２は、この発明の実施形態の１例を示し、図１は、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置を使用して吐出液の打力の検査を行う様子を示す斜視図であり、図２は、この検査装置の一部を拡大した斜視図である。
【００２１】
この検査装置は、上端が開口した有底の細管状貯液部１２が一列に複数並べられて平板状に一体化された観察用器具１０を備えている。この観察用器具１０の少なくとも前面側壁面は、透明の材質で形成されており、その面が観察面側となる。細管状貯液部１２の上端開口面１４は、例えば数ｍｍ角程度の大きさである。この観察用器具１０を使用してスプレーノズルからの吐出液の打力の検査を行うときは、図１に示すように、処理液、例えば洗浄用の純水の供給装置（図示せず）に流路接続されたスプレー管１６の下方に、スプレー管１６に設けられたスプレーノズル１８の吐出口と細管状貯液部１２の上端開口面１４とが対向するように、観察用器具１０を直立して設置する。この場合に、観察用器具１０の上端面の高さ位置を、実際に基板や金属薄板材の洗浄処理を行うときに基板等が配置される高さ位置に合わせて設定することが好ましい。そして、観察用器具１０の各細管状貯液部１２内にそれぞれ液体、例えば水を同一液面となるように入れ、洗浄処理を行うときの条件で、スプレーノズル１８から下向きに純水を吐出させる。このとき、観察用器具１０の細管状貯液部１２内には、上端開口面１４まで一杯に水を満たすことが望ましい。
【００２２】
スプレーノズル１８から下向きに純水を吐出させると、吐出された純水は、観察用器具１０の各細管状貯液部１２の上端開口面１４を通して各細管状貯液部１２内の水の液面上へ降り注ぐ。この際に吐出水が細管状貯液部１２の液面を叩く力、すなわち打力により、各細管状貯液部１２内の水の液面がそれぞれ泡立つ。このとき、スプレーノズル１８からの吐出水が細管状貯液部１２の液面に当たるときのエネルギーが大きいと、すなわち吐出水の打力が大きいと、細管状貯液部１２の液面が大きく泡立ち、吐出水の打力が小さいと、細管状貯液部１２の液面の泡立ちが小さくなる。図３は、このときの状態を示し、観察用器具１０を正面から見た部分拡大断面図である。図３において、細管状貯液部１２の上端開口面１４から下に向かって濃く塗り潰している範囲が泡立ち２０ａを生じている部分であり、それ以下の部分は泡立ちを生じていない水２０ｂである。
【００２３】
スプレーノズル１８からの純水の吐出を継続しつつ、細管状貯液部１２の液面が泡立っている状態を観察する。そして、液面の泡立ち２０ａを生じている部分の深さ（上端開口面１４からの距離）を各細管状貯液部１２間で比較対照することにより、各細管状貯液部１２の上端開口面１４のそれぞれの位置における吐出水の打力の大きさの違いが分かることとなる。このように直接的に目視により、スプレーノズル１８からの吐出水の打力やその平面内分布の状況を確認し評価することができる。そして、この評価に基づいて、スプレーノズル１８の高さおよび水平方向の位置や数、吐出流量などを適宜調節する。これにより、基板等の洗浄処理を最適に行うことが可能となる。
【００２４】
図４は、この発明の別の実施形態を示す斜視図である。この検査装置は、複数の細管状貯液部２４が縦および横方向にそれぞれ並列されたブロック状をなす観察用器具２２を備えている。この観察用器具２２を、それぞれ複数のスプレーノズル２８が設けられた複数本のスプレー管２６の下方に、上記と同様にスプレーノズル２８の吐出口と細管状貯液部２４の上端開口面とが対向するようにして直立させ設置する。そして、観察用器具２２の全ての細管状貯液部２４内にそれぞれ水を満たし、各スプレーノズル２８からそれぞれ下向きに純水を吐出させる。
【００２５】
スプレーノズル２８から下向きに吐出された純水は、観察用器具２２の各細管状貯液部２４の上端開口面１４を通して各細管状貯液部２４内の水の液面上へ降り注ぎ、各細管状貯液部２４の液面をそれぞれ泡立たせる。そして、スプレーノズル２８からの純水の吐出を継続しつつ、細管状貯液部２４の液面が泡立っている状態を観察用器具２２の斜め上方から観察し、液面が泡立っている部分の深さを各細管状貯液部２４間で比較対照する。これにより、各細管状貯液部２４の上端開口面のそれぞれの位置における吐出水の打力の大きさの違いが分かり、複数のスプレーノズル２８からの吐出水の打力の二次元的な分布を評価することができる。この評価に基づいて、複数のスプレーノズル２８の間隔を最適化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】この発明の実施形態の１例を示し、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置を使用して吐出液の打力の検査を行う様子を示す斜視図である。
【図２】図１に示した検査装置の一部を拡大した斜視図である。
【図３】図１に示した検査装置を使用してスプレーノズルからの吐出液の打力の評価を行う方法を説明するための部分拡大断面図である。
【図４】この発明の別の実施形態を示し、スプレーノズルからの吐出液の打力検査装置を使用して吐出液の打力の検査を行う様子を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２７】
１０、２２  観察用器具
１２、２４  細管状貯液部
１４  細管状貯液部の上端開口面
１６、２６  スプレー管
１８、２８  スプレーノズル
２０ａ  液面の泡立ち
２０ｂ  水
【図１】
2006226738.tif 000003
【図２】
2006226738.tif 000004
【図３】
2006226738.tif 000005
【図４】
2006226738.tif 000006