(57)【要約】【課題】この発明は基板に電子部品を実装するときのタクトタイムを短縮できるようにした実装装置を提供することにある。【解決手段】パネル１を搬送するパネルテーブル２と、ＴＣＰ３を搬送するインデックステーブル４と、パネルテーブルによって実装ポジションに搬送されたパネルに、インデックステーブルによって実装ポジションに搬送されたＴＣＰを実装する吸着ヘッド１６と、パネルテーブルによって搬送されるパネルが実装ポジションに到達する前にパネルを撮像して位置認識する第１のカメラ４１と、インデックステーブルによって搬送されるＴＣＰが実装ポジションに到達する前にＴＣＰを撮像して位置認識する第２のカメラ４４と、第１のカメラと第２のカメラとの位置認識に基いて実装ポジションでパネルとＴＣＰとが相対的に位置決めされるようパネルステージによるパネルの搬送を制御する制御装置とを具備する。【選択図】      図１
2006120928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上記基板を搬送する第１の搬送手段と、
上記電子部品を搬送する第２の搬送手段と、
上記第１の搬送手段によって実装ポジションに搬送された上記基板に、上記第２の搬送手段によって上記実装ポジションに搬送された電子部品を実装する実装手段と、
上記第１の搬送手段によって搬送される上記基板が上記実装ポジションに到達する前にこの基板を撮像して位置認識する第１の撮像手段と、
上記第２の搬送手段によって搬送される上記電子部品が上記実装ポジションに到達する前にこの電子部品を撮像して位置認識する第２の撮像手段と、
上記第１の撮像手段と上記第２の撮像手段との位置認識に基いて上記実装ポジションで上記基板と上記電子部品とが相対的に位置決めされるよう上記第１の搬送手段による上記基板の搬送を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記第２の搬送手段は所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルであって、上記第２の撮像手段による上記電子部品の位置認識は上記実装ポジションの前のポジションで行われることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
上記インデックステーブルには上記電子部品を保持する複数のヘッドが設けられていて、上記第２の撮像手段による上記電子部品の位置認識は、上記ヘッドに保持された上記電子部品をゲージによって押圧し、上記ヘッドに対する上記電子部品の保持位置を一定にしてから行われることを特徴とする請求項２記載の電子部品の実装装置。
【請求項４】
上記インデックテーブルの複数のポジションのうちの少なくとも１つには、このインデックステーブルの１回当たりの回転角度を検出する検出手段が設けられ、この検出手段の検出結果に基いて上記インデックステーブルの回転角度のずれが補正されることを特徴とする請求項２記載の電子部品の実装装置。
【請求項５】
基板と電子部品とを実装ポジションに搬送し、この実装ポジションで上記基板に上記電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板を搬送する工程と、
上記電子部品を搬送する工程と、
上記実装ポジションに搬送された上記基板に上記電子部品を実装する工程と、
上記基板が上記実装ポジションに到達する前にこの基板を撮像して位置認識する工程と、
上記電子部品が上記実装ポジションに到達する前にこの電子部品を撮像して位置認識する工程と、
上記基板と上記電子部品との位置認識に基いて上記基板と電子部品とが上記実装ポジションで相対的に位置決めされるよう上記基板の搬送を制御する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
【請求項６】
上記電子部品は所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルによって上記実装ポジションに搬送されるようになっていて、
上記実装ポジションの前のポジションで上記電子部品の位置認識を行うことを特徴とする請求項５記載の電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板としてのたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製のパネルに、電子部品としてのたとえばＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置を製造する場合、基板としてのパネルに、電子部品としてのＴＣＰを実装するための実装装置が用いられる。上記ＴＣＰは金型によってキヤリアテープから打ち抜かれた後、所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルに供給される。このインデックステーブルには１回当たりの回転角度に応じた間隔で周方向に複数のヘッドが設けられている。そして、上記金型によって打ち抜かれたＴＣＰは複数のヘッドに順次供給される。
【０００３】
上記パネルはＸＹテーブルに位置決め載置されていて、このＸＹテーブルによってＸＹ方向に駆動されるようになっている。上記インデックステーブルの実装ポジションにおいて、上記ＴＣＰに設けられた位置合わせマークと、上記パネルに設けられた位置合わせマークとが撮像カメラによって撮像され、その撮像信号が画像処理部で処理される。そして、画像処理部での処理に基いて、上記ＴＣＰの位置合わせマークに上記パネルの位置合わせマークが一致するよう、上記ＸＹテーブルの駆動が制御されて上記パネルが位置決めされるようになっている。
【０００４】
上記電子部品に対して上記パネルが位置決めされると、その電子部品を保持したヘッドが下降方向に駆動され、電子部品を上記パネルに設けられた粘着性の異方性導電部材を介して圧着するようになっている。インデックステーブルを用いて基板に電子部品を実装する従来の実装装置は、たとえば特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００２−３０５３９８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した従来技術によると、インデックステーブルの実装ポジションでは、パネルへのＴＣＰの実装だけでなく、ＴＣＰとパネルとの位置合わせも行うようにしている。すなわち、上記実装ポジションでは、上記ＴＣＰとパネルとを撮像カメラによって撮像する作業と、この撮像カメラによる撮像結果に基いてパネルをＴＣＰに対して位置決めする作業と、位置決め後にＴＣＰをパネルに実装する作業とが順次に行われることになる。
【０００６】
その結果、インデックステーブルは上記実装ポジションにおいて、上述した３つの作業が終了するまで待機しなければならない。そのため、インデックステーブルの上記実装ポジションにおける待機時間が他のポジションで行われる作業に要する待機時間に比べて長くなるから、その分、タクトタイムが長くなり、生産性の向上に支障をきたすということがあった。
【０００７】
この発明は、実装ポジションにおける作業時間を短縮し、タクトタイムを短くすることができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、基板に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上記基板を搬送する第１の搬送手段と、
上記電子部品を搬送する第２の搬送手段と、
上記第１の搬送手段によって実装ポジションに搬送された上記基板に、上記第２の搬送手段によって上記実装ポジションに搬送された電子部品を実装する実装手段と、
上記第１の搬送手段によって搬送される上記基板が上記実装ポジションに到達する前にこの基板を撮像して位置認識する第１の撮像手段と、
上記第２の搬送手段によって搬送される上記電子部品が上記実装ポジションに到達する前にこの電子部品を撮像して位置認識する第２の撮像手段と、
上記第１の撮像手段と上記第２の撮像手段との位置認識に基いて上記実装ポジションで上記基板と上記電子部品とが相対的に位置決めされるよう上記第１の搬送手段による上記基板の搬送を制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【０００９】
上記第２の搬送手段は所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルであって、上記第２の撮像手段による上記電子部品の位置認識は上記実装ポジションの前のポジションで行われることが好ましい。
【００１０】
上記インデックステーブルには上記電子部品を保持する複数のヘッドが設けられていて、上記第２の撮像手段による上記電子部品の位置認識は、上記ヘッドに保持された上記電子部品をゲージによって押圧し、上記ヘッドに対する上記電子部品の保持位置を一定にしてから行われることが好ましい。
【００１１】
上記インデックテーブルの複数のポジションのうちの少なくとも１つには、このインデックステーブルの１回当たりの回転角度を検出する検出手段が設けられ、この検出手段の検出結果に基いて上記インデックステーブルの回転角度のずれが補正されることが好ましい。
【００１２】
この発明は、基板と電子部品とを実装ポジションに搬送し、この実装ポジションで上記基板に上記電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
上記基板を搬送する工程と、
上記電子部品を搬送する工程と、
上記実装ポジションに搬送された上記基板に上記電子部品を実装する工程と、
上記基板が上記実装ポジションに到達する前にこの基板を撮像して位置認識する工程と、
上記電子部品が上記実装ポジションに到達する前にこの電子部品を撮像して位置認識する工程と、
上記基板と上記電子部品との位置認識に基いて上記基板と電子部品とが上記実装ポジションで相対的に位置決めされるよう上記基板の搬送を制御する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
【００１３】
上記電子部品は所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルによって上記実装ポジションに搬送されるようになっていて、
上記実装ポジションの前のポジションで上記電子部品の位置認識を行うことが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、実装ポジションに到達する前に基板と電子部品との位置認識を行い、その位置認識に基いて基板と電子部品とが相対的に位置決めされるよう、基板の搬送を制御するため、実装ポジションにおいては基板に電子部品を実装する作業だけを行い、電子部品と基板との位置認識及びその位置認識に基く位置決めを行わずにすむから、実装ポジションでの作業時間が短くなり、タクトタイムを短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１はこの発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の全体構成を示す概略図である。この実装装置は基板としてのたとえば液晶表示装置用のパネル１を搬送する第１の搬送手段であるパネルテーブル２と、電子部品としてのＴＣＰ３を搬送する第２の搬送手段としてのインデックステーブル４を有する。
【００１６】
上記パネルテーブル２はベース５上にＸ方向に沿って移動可能に設けられたＸテーブル６を有する。このＸテーブル６は上記ベース５に設けられたＸ駆動源７によって上記ベース５上をＸ方向に沿って駆動されるようになっている。
【００１７】
上記Ｘテーブル６にはＸ方向と直交するＹ方向に沿って移動可能なＹテーブル８が設けられている。このＹテーブル８は上記Ｘテーブル６に設けられたＹ駆動源９によってＹ方向に沿って駆動されるようになっている。そして、このＹテーブル８の上面に上記パネル１が周辺部をＹテーブルの周辺部から突出させて供給され、たとえば真空吸着などの手段によって移動不能に保持される。それによって、上記パネル１は上記パネルテーブル２によってＸＹ方向の位置決めが可能になっている。
【００１８】
上記インデックステーブル４は、中心に回転軸１１が設けられ、この回転軸１１はθ駆動源１２によって図２に矢印で示す時計方向に所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるようになっている。この実施の形態では、上記インデックステーブル４は１回当たり６０度の角度で回転駆動されるようになっている。
【００１９】
上記インデックステーブル４の上面には、６０度間隔で６つの支持体１３が設けられている。図１では２つの支持体１３だけを図示し、他の支持体１３を省略している。この支持体１３は側面形状がＬ字状をなしていて、その垂直面には可動体１４がリニアガイド１５によって垂直方向に上下動可能に支持されている。
【００２０】
上記可動体１４と上記支持体１３の間には図示しないばねが設けられ、可動体１４を所定の高さで弾性的に保持している。各可動体１４の下端面には実装手段として側面形状がＬ字状の吸着ヘッド１６が設けられている。この吸着ヘッド１６は、図２にＡで示すポジションで後述する部品供給部２１から供給されたＴＣＰ３を吸着保持し、上記パネル１に実装するようになっている。なお、インデックステーブル４は上述したＡで示すポジション、つまり供給ポジションの他に、図２にＢ〜Ｆで示す５つのポジション、つまり合計で６つのポジションを有する。
【００２１】
上記部品供給部２１は、図１に示すようにキヤリアテープ２２から上記ＴＣＰ３を打ち抜く金型２３を有する。この金型２３は上下方向に駆動される上型２３ａと、この上型２３ａに対向して固定的に配置された下型２３ｂとを有し、上型２３ａにはポンチ２４が設けられ、下型２３ｂには上型２３ａが下降したときに上記ポンチ２４が入り込む貫通孔２５が設けられている。
【００２２】
上記キヤリアテープ２２は上型２３ａと下型２３ｂとの間に通され、上型２３ａが下降することで上記ＴＣＰ３が打ち抜かれ、上昇したときに矢印方向に所定ピッチで送られ、新たにＴＣＰ３が打ち抜き可能な状態となる。
【００２３】
上記下型２３ｂの下方には受け具２６が配置されている。この受け具２６はＸテーブル２７に設けられたＺθ駆動源２８によって上下方向となるＺ方向及び回転方向となるθ方向に駆動可能されるようになっている。上記Ｘテーブル２７は上記Ｙテーブル２９にＸ方向に沿って移動可能に設けられている。このＹテーブル２９には上記Ｘテーブル２７をＸ方向に沿って駆動するＸ駆動源３１が設けられている。
【００２４】
上記Ｙテーブル２９はＹ方向に沿って配置されたベース３２にＹ方向に沿って移動可能に設けられている。このベース３２の一端には上記Ｙテーブル２９をＹ方向に沿って駆動するＹ駆動源３３が設けられている。このベース３２の他端は上記インデックステーブル４のＡで示す供給ポジションの下方に位置している。
【００２５】
上記金型２３によってキヤリアテープ２２から打ち抜かれたＴＣＰ３を受け具２６が受けて下降すると、Ｙテーブル２９がＹ駆動源３３によってベース３２の一端から他端へ駆動される。それによって、ＴＣＰ３を保持した受け具２６が図１に鎖線で示すようにインデックステーブル４のポジションＡの下方に位置決めされる。
【００２６】
受け具２６がポジションＡの下方に位置決めされると、上記受け具２６が上昇し、可動体１４の下端に設けられた吸着ヘッド１６が上記受け具２６に保持されたＴＣＰ３の一端部を吸着する。
【００２７】
吸着ヘッド１６がポジションＡでＴＣＰ３を吸着すると、インデックステーブル4が６０度回転駆動され、その吸着ヘッド１６がポジションＢに位置決めされる。ポジションＢでは図４（ａ）に示すようにモータ３５によって回転駆動されるブラシ３６によってＴＣＰ３に形成された端子（図示せず）がブラッシングされる。それによって、端子に付着した汚れが除去される。なお、ブラシ３６にはアルコールなどの揮発性の溶剤が供給され、ブラッシング時における静電気の発生を防止している。
【００２８】
ポジションＢでＴＣＰ３の汚れが除去されると、インデックステーブル４が６０度回転駆動されて上記ＴＣＰ３はポジションＣに位置決めされる。ポジションＣでは、図４（ｂ）に示すようにシリンダ３７によって駆動されるゲージ３８によって吸着ヘッド１６に吸着されたＴＣＰ３の一端が押圧される。それによって、ＴＣＰ３の一端が吸着ヘッド１６の側面に一致するよう位置決めされる。つまり、ポジションＣでは吸着ヘッド１６に対してＴＣＰ３がほぼ同じ位置になるよう位置決めされる。
【００２９】
ポジションＣでＴＣＰ３がゲージ３８によって位置決めされてこのゲージ３８が後退すると、図４（ｃ）に示すように上記ＴＣＰ３に設けられた第１の位置合わせマークｍ１（図５（ａ）に示す）が撮像手段である第１のカメラ４１によって撮像される。第１のカメラ４１からの撮像信号Ｓ１は、図３に示すように制御装置４２に設けられた第１の画像処理部４３に入力されて処理され、上記ＴＣＰ３が、上記ポジションＣに位置決めされた状態での上記第１の位置合わせマークｍ１の中心座標を算出する。
【００３０】
ポジションＣで図４（ｃ）に示すようにＴＣＰ３を第１のカメラ４１で撮像している間に、上記パネルテーブル２を所定の位置に位置決めし、その位置で図４（ｄ）に示すようにパネルテーブル２に供給載置されたパネル１に設けられた第２の位置合わせマークｍ２（図５（ｂ）に示す）を撮像手段である第２のカメラ４４によって撮像する。
【００３１】
上記第２のカメラ４４からの撮像信号Ｓ２は図３に示すように制御装置４２の第２の画像処理部４５に入力されて処理され、上記第２の位置合わせマークｍ２の中心座標が算出される。
【００３２】
なお、上記第１の位置合わせマークｍ１は図５（ａ）に示すように矩形状であって、上記第２の位置合わせマークｍ２は図５（ｂ）に示すように上記第１の位置合わせマークｍ１よりも一回り大きな矩形状となっていて、第１、第２の位置合わせマークｍ１、ｍ２はそれぞれ同じ間隔Ｘで２つずつ設けられている。
【００３３】
なお、パネル１の一辺には通常、複数のＴＣＰ３が実装される。したがって、パネル１の一辺には実装されるＴＣＰ３の数に応じて２つで対をなす複数組の第２の位置合わせマークｍ２が設けられる。
【００３４】
ポジッションＣで第１のカメラ４１によってＴＣＰ３の第１の位置合わせマークｍ１が認識されると、インデックステーブル４は６０度回転駆動されて上記ＴＣＰ３がポジションＤに位置決めされる。ポジションＤは上記ＴＣＰ３を上記パネル２に実装する実装ポジションとなっている。
【００３５】
ＴＣＰ３がポジションＣで撮像されてポジションＤに移動する間に、その動作と同期してパネルテーブル２は制御装置４２によってＸ、Ｙ方向の位置が制御されながら駆動される。そして、パネルテーブル２に保持されたパネル１は、ＴＣＰ３が実装される位置の第２の位置合わせマークｍ２の中心がポジションＤに位置決めされたＴＣＰ３の第１の位置合わせマークｍ１の中心に一致するよう、ポジションＤに移動する。
【００３６】
上記パネルテーブル２のＸ、Ｙ方向の駆動制御は以下のように行われる。すなわち、第１の画像処理部４３が算出したＴＣＰ３の第１の位置合わせマークｍ１の中心座標と、第２の画像処理部４５が算出したパネル１の第２の位置合わせマークｍ２の中心座標とが上記制御装置４２に設けられた第１の演算処理部４６に入力される。
【００３７】
上記第１の演算処理部４６では、パネル１に設けられた第２のマークｍ２の中心座標がポジションＤに位置決めされたＴＣＰ３の第１の位置合わせマークｍ１の中心座標に一致させるために必要な上記パネル１のＸ、Ｙ方向の移動量が算出が行われる。たとえば、第１のカメラ４１によってポジションＣで撮像されたＴＣＰ３の第１の位置合わせマークｍ１の中心座標を（Ｘ１，Ｙ１）とすると、ＴＣＰ３がポジションＤに移動したときの中心座標は（Ｘ２，Ｙ２）となる。
【００３８】
ポジションＤでのＴＣＰ３の中心座標（Ｘ２，Ｙ２）は、インデックステーブル４に設けられた吸着ヘッド１６の半径が既知であること、及び吸着ヘッド１６がポジションＣからポジションＤに６０度回転することから、機械的に算出することができる。
【００３９】
一方、所定の位置で第２のカメラ４４によって撮像されたパネル３の第２の位置合わせマークｍ２の中心座標を（Ｘ３，Ｙ３）とすると、この第２の位置合わせマークｍ２の中心座標（Ｘ３，Ｙ３）を、ポジションＤに位置決めされたＴＣＰ３の中心座標（Ｘ２，Ｙ２）に一致させるためのパネルテーブル２のＸ、Ｙ方向の移動量Ｘ、Ｙは、
Ｘ＝Ｘ２−Ｘ３
Ｙ＝Ｙ２−Ｙ３
となる。
【００４０】
したがって、上記第１の演算処理部４６で算出されたＸ、Ｙ方向の移動量Ｘ、Ｙに基く信号が上記第１の演算処理部４６から第１の出力部４７に出力され、この出力部４７から出力される駆動信号によって上記パネルテーブル２のＸ、Ｙ方向の駆動が制御される。
【００４１】
それによって、ポジションＤに位置決めされたＴＣＰ３の第１の位置合わせマークｍ１の中心に、パネルテーブル２に保持されたパネル１の第２の位置合わせマークｍ２の中心を一致させることが可能となる。
【００４２】
なお、第１、第２の位置合わせマークｍ１、ｍ２は上述したようにそれぞれ２つで対をなしている。そのため、たとえばＴＣＰ３が温度や湿度の変化で収縮した場合など、上述したごとく求めた各一対の第１、第２の位置合わせマークｍ１、ｍ２のＸ，Ｙの中心座標のうち、一方の第１、第２の位置合わせマークｍ１、ｍ２の中心座標を一致させると、他方の第１、第２の位置合わせマークｍ１、ｍ２の中心座標に図５（ｃ）にΔＸ，ΔＹで示すようにずれが生じることがある。
【００４３】
そのような場合、そのずれ量ΔＸ，ΔＹを各一対の第１、第２の位置合わせマークｍ１、ｍ２のＸ，Ｙ座標に振り分けてパネル１をＴＣＰ３に対して位置決めすれば、ずれ量ΔＸ，ΔＹを２分の１にすることができるから、位置決め精度を所定の範囲内に維持することができる。
【００４４】
このようにしてパネル１がＴＣＰ３に対して相対的に位置決めされるようポジションＤに移動すると、図４（ｅ）に示すようにポジションＤの下方に図示せぬ駆動源によってＸ、Ｙ、Ｚ方向に駆動可能に設けられたバックアップ４８が上端面をパネル１のＴＣＰ３が実装される部分の下面を支持する位置に駆動される。
【００４５】
ついで、ポジションＤの上方に設けられた押圧手段としてのシリンダ５１（図１に示す）が作動し、そのロッド５１ａの先端で支持体１３にスライド可能かつばねによって弾性的に保持された可動体１４を、上記ばねの付勢力に抗して押圧下降させる。それによって、図４（ｆ）に示すように、可動体１４の下端に設けられた吸着ヘッド１６に吸着保持された上記ＴＣＰ３の一端が、パネル１の縁部上面に設けられた粘着性の異方性導電部材５２を介して実装される。
【００４６】
上記可動体１４が下降限まで駆動されると同時に、吸着ヘッド１６の吸引力が解除され、ついでシリンダ５１のロッド５１ａが上昇方向に駆動される。それによって、吸着ヘッド１６はＴＣＰ３をパネル１に残して上昇する。
【００４７】
吸着ヘッド１６が上昇すると、インデックステーブル4が６０度回転駆動され、その吸着ヘッド１６がポジションＥに位置決めされる。このポジションＥは排出ポジションで、ポジションＡで吸着ヘッド１６に供給されたＴＣＰ３が不良品で、上記ポジションＣで第１のカメラ４１によってＴＣＰ３の第１の位置合わせマークｍ１を確実に認識できない場合、そのＴＣＰ３はポジションＤでパネル１に実装せず、ポジションＥで排出される。
【００４８】
さらに、インデックステーブル４は６０度回転駆動されて上記吸着ヘッド１６が６番目のポジションＦに位置決めされる。このポジションＦでは、上記吸着ヘッド１６の下端面を検出手段としての第３のカメラ５５（図２に示す）によって撮像する。吸着ヘッド１６の下端面にはたとえば丸などの所定の形状の第３のマークｍ３（図示せず）が設けられている。
【００４９】
上記第３のカメラ５５の撮像信号Ｓ３は上記制御装置４２に設けられた第３の画像処理部５６で処理され、上記第３の位置合わせマークｍ３の中心のＸ，Ｙ座標を算出する。上記インデックステーブル４の１回当たりの回転角度が正確に６０度であれば、上記第３のカメラ５５によって撮像される第３の位置合わせマークｍ３のＸ、Ｙ座標は常に同じになる。しかしながら、機械的な誤差などによってインデックステーブル４の回転角度にずれが生じると、インデックステーブル４の１回当たりの回転角度に誤差が生じる。
【００５０】
上記第３の画像処理部５６で処理された信号は第２の演算処理部５７に入力される。この第２の演算処理部５７には、インデックステーブル４が正確に６０度回転駆動されたときの第３のマークｍ３の中心Ｘ、Ｙ座標が予め設定されていて、この設定座標と第３の画像処理部５６で求められた第３の位置合わせマークｍ３の中心のＸ、Ｙ座標と比較され、ずれ量が算出される。
【００５１】
Ｘ、Ｙ座標にずれがある場合には、そのずれ量からインデックステーブル４の正規の回転角度である６０度に対する回転角度のずれ量が算出され、その算出に基く信号が上記第２の演算処理部５７から第２の出力部５８に出力される。第２の出力部５８は、第２の演算処理部５７からの信号に基いてインデックステーブル４を回転駆動するθ駆動源１２の駆動を制御する。
【００５２】
それによって、インデックステーブル４の回転角度にずれが生じたならば、そのずれがなくなるように補正されることになる。つまり、インデックステーブル４の回転角度に生じるずれを補正することができるから、その補正によってポジションＤでのパネル１に対するＴＣＰ３の実装精度を向上させることができる。
【００５３】
このように、この発明の実装装置によれば、ＴＣＰ３をインデックステーブル４によって実装ポジションであるポジションＤに搬送位置決めされる前のポジションＣで第１のカメラ４１によって撮像し、上記ＴＣＰ３の位置を認識する。また、第２のカメラ４４によって上記パネル１がパネルテーブル２によって実装ポジションに搬送されてくる前に、このパネル１の位置認識を行うようにした。
【００５４】
そして、上記パネル１を実装ポジションに搬送するときには、上記第１のカメラ４１によるＴＣＰ３の位置認識と、第２のカメラ４４によるパネル１の位置認識に基いて上記パネル１とＴＣＰ３とが相対的に位置決めされるように、ポジションＣで求めたＴＣＰ３のＸ、Ｙ方向の座標と、所定の位置で求めたパネル１のＸ、Ｙ方向の座標とからパネル１の移動量を求め、上記パネル１をパネルテーブル２によって搬送するようにした。
【００５５】
そのため、実装ポジションである、ポジションＤでは、ＴＣＰ３とパネル１との位置認識と、ＴＣＰ３とパネル１との位置合わせを行わずに、搬送されてきたパネル１に対してＴＣＰ３を実装するだけでよい。そのため、ポジションＤでの作業時間、つまりインデックステーブル４を回転させずに待機させている時間を短縮することができるから、その短縮時間に応じてタクトタイムも短縮することができる。
【００５６】
上記第１のカメラ４１によるＴＣＰ３の撮像は、ポジションＣでＴＣＰ３をゲージ３８で押圧して位置決めした後で行うようにした。そのため、ポジションＣにおいて、ＴＣＰ３の位置をほぼ一定にすることができるから、このポジションＣでＴＣＰ３が所定の位置から大きくずれ、第１のカメラ４１による撮像ができなくなるということをなくすことができる。つまり、第１のカメラ４１によるＴＣＰ３の撮像ができなくなることで、ＴＣＰ３を不良としてポジションＥで廃棄する度合いを少なくすることができる。
【００５７】
ポジションＦでは第３のカメラ５５によって吸着ヘッド１６の下面に設けられた第３の位置合わせマークｍ３を撮像し、インデックステーブル４の１回当たりの回転角度が正確であるか否かを判定し、その判定に基きインデックステーブル４の回転角度を補正するようにした。
【００５８】
そのため、たとえば、ＴＣＰ３を吸着保持した吸着ヘッド１６がポジションＣから実装ポジションであるポジションＤに移動するときのインデックステーブル４の回転角度のずれをなくすことができるから、上記ポジションＤでのＴＣＰ３とパネル１との相対的位置決め精度を向上させることができる。
【００５９】
なお、インデックステーブル４の回転角度を補正せず、ポジションＦでの第３のカメラ５５の撮像信号によって求められるインデックステーブル４の回転角度のずれからＸ、Ｙ方向の移動量を算出し、その算出に基いてパネルテーブル２を駆動し、パネル１を移動させて上記インデックステーブル４の回転角度のずれ量を補正してもよい。
【００６０】
上記一実施の形態ではＴＣＰを金型で打ち抜いて搬送し、ポジションＡで吸着ヘッド１６に供給するようにしたが、予めトレイなどに収納されたＴＣＰなどの電子部品をポジションＡで吸着ヘッドに受け渡すようにしても差し支えない。
【００６１】
インデックステーブルの回転ずれをポジションＦで第３のカメラによって検出するようにしたが、他のポジションで検出するようにしてもよく、また検出する手段はカメラに限られず、接触センサや透光器と受光器からなる光センサなどカメラによらず、他の検出手段を用いて検出するようにしてもよい。
【００６２】
また、パネルの１つの辺に複数のＴＣＰを実装することが要求されることがある。そのような場合、パネルに実装される複数のＴＣＰの間隔に対応する間隔で、パネルテーブルが位置決めされる所定の位置に複数の第２のカメラを配置する。それによって、パネルに実装される複数のＴＣＰの第２の位置合わせマークの中心座標を予め求めておくことができるから、ポジションＤでＴＣＰを実装する際、その実装に要するタクトタイムを上記一実施の形態と同様、短縮することができる。
【００６３】
さらに、基板として液晶表示装置のパネルを挙げ、電子部品としてＴＣＰを挙げたが、基板としてはたとえばプラズマ表示装置のパネルや回路基板などであってもよく、電子部品としてはＴＣＰ以外の電子部品であってもよく、要は相対的に精密な位置決め精度が要求される基板およびこの基板に実装される電子部品であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】この発明の一実施の形態を示す実装装置の概略図。
【図２】インデックステーブルとパネルテーブルを示す平面図。
【図３】第１乃至第３のカメラからの撮像信号に基く制御を説明するブロック図。
【図４】（ａ）〜（ｆ）はＴＣＰをパネルに実装するまでの工程を順次示した説明図。
【図５】（ａ）はＴＣＰに設けられた第１の位置合わせマークの説明図、（ｂ）はパネルに設けられた第２の位置合わせマークの説明図、（ｃ）は一対の第１の位置合わせマークと一対の第２の位置合わせマークとを位置合わせしたときにずれが生じたときの説明図。
【符号の説明】
【００６５】
１…パネル（基板）、２…パネルテーブル（第１の搬送手段）、３…ＴＣＰ（電子部品）、４…インデックステーブル（第２の搬送手段）、１６…吸着ヘッド（実装手段）、４１…第１のカメラ（第１の撮像手段）、４２…制御装置（制御手段）、４３…第１の画像処理部、４４…第２のカメラ（第２の撮像手段）、４６…第１の演算処理部、５５…第３のカメラ（検出手段）、５６…第３の画像処理部、５７…第２の演算処理部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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