(57)【要約】【課題】  多数の角速度センサを短時間で効率よく検査する、角速度センサの検査装置を提供する。【解決手段】  複数の角速度センサＳ１〜Ｓ２４を配置し角速度センサに外力を付加する外力付加部と、前記外力付加部に設けた配線中継部と、測定部とを備えた角速度センサの検査装置において、複数の角速度センサＳ１〜Ｓ２４は、複数の群に区分され、それぞれの群内における任意の一つの前記角速度センサＳ１〜Ｓ２４を配線中継部に備えられたマルチプレクサＭ１〜Ｍ３とスイッチＳＷ１〜ＳＷ６を有するセンサ選択部２０が選択して角速度センサＳ１〜Ｓ２４を駆動させ、各群から選択された前記角速度センサＳ１〜Ｓ２４のセンサ出力Ｖout１〜Ｖout３を前記配線中継部の出力端子から出力する。【選択図】      図４
2006308410.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の角速度センサを配置し前記角速度センサに外力を付加する外力付加部と、
前記外力付加部に設けられ前記各角速度センサに接続するセンサ接続用入力端子と出力端子とを備え、計測する前記角速度センサを選択するセンサ選択部と、計測する前記角速度センサに駆動電圧を供給する電力分配部とを有する配線中継部と、
前記配線中継部の出力端子に接続する計測器と、前記電力分配部に駆動電圧を供給するセンサ用電源と、前記角速度センサの計測条件を制御する制御装置とを備えた測定部と、を少なくとも備えた角速度センサの検査装置であって、
複数の前記角速度センサは、複数の群に区分され、
それぞれの群内における任意の一つの前記角速度センサを前記センサ選択部が選択して前記角速度センサを駆動させ、各群から選択された前記角速度センサのセンサ出力を前記配線中継部の出力端子から出力することを特徴とする角速度センサの検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の角速度センサの検査装置において、
各群における選択された前記角速度センサから出力される補償用信号は、前記計測器を介して前記制御装置に供給することを特徴とする角速度センサの検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の角速度センサの検査装置において、
各群における選択された前記角速度センサにメモリの読み書き信号を供給することを特徴とする角速度センサの検査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の角速度センサの検査装置において、
前記電力分配部から各群における選択された前記角速度センサへ供給する駆動電圧を前記測定部で計測し、その計測結果に基づき前記制御装置が前記センサ用電源の基準電圧を補正し、前記電力分配部から出力される駆動電圧を一定に保つことを特徴とする角速度センサの検査装置。
【請求項５】
請求項１に記載の角速度センサの検査装置において、
前記外力付加部は回転テーブルと前記回転テーブルを駆動させるモータを備え、さらに前記回転テーブルが内設された恒温槽を有することを特徴とする角速度センサの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は角速度センサにおける、特性を検査するための検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８に角速度センサの一例としての振動ジャイロセンサの概略構成を示す。図８（ａ）は、従来のジャイロセンサの構成を示す平面図、図８（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ´断線に沿う断面図である。
ジャイロセンサ１００は、セラミックなどの収容器１２０にジャイロ素子１１０を収容し、蓋体１１９で封止されている。このジャイロ素子１１０は、Ｙ軸方向に延在する駆動腕部１１１Ａ，１１１Ｂおよび、検出腕部１１２を有している。駆動腕部１１１Ａ，１１１Ｂは、検出腕部１１２を挟むように対峙し、それぞれの腕の中央部でＸ軸方向に延在した腕支持部１１３により検出腕部１１２に接続されている。また、検出腕部１１２の中央部には、ジャイロ素子１１０を支持するための支持部１１４が形成されている。そして、この支持部１１４をリード片１１５，１１６にて固定することで、ジャイロ素子１１０の支持がなされている。
【０００３】
また、ジャイロ素子１１０の下方に位置するパッケージ底部１２１には、回路素子１２３が備えられ、パッケージ底部１２１に形成された電気配線と金属ワイヤにて接続されている。この回路素子１２３は、ジャイロ素子１１０の発振回路、処理回路、メモリ等を構成している。
ジャイロ素子１１０には、電極（図示せず）が形成され、従来知られた駆動モードおよび検出モードで動作可能に構成されている。駆動モードでは、駆動腕部１１１Ａ，１１１ＢがＸ軸方向に、お互いに逆相となる屈曲振動するように構成されている。
この駆動腕部１１１Ａ，１１１Ｂが振動中に、Ｚ軸を回転軸とする回転が生ずると、駆動腕部１１１Ａ，１１１Ｂにコリオリ力が発生し、このコリオリ力が腕支持部１１３を経て検出腕部１１２に伝搬される。検出腕部１１２はコリオリ力に応答して、コリオリ力の大きさに対応するＸ軸方向の振動を行う。そして、検出腕部１１２の振動により発生する歪を電気信号として検出することにより、角速度の大きさ、方向を認識することができる。
【０００４】
このようなジャイロセンサの特性を検査する角速度センサの検査装置において、特許文献１に示すような検査装置が提案されている。この検査装置は、回転テーブルに複数の角速度センサを配置し、各角速度センサを駆動させ、回転テーブルの回転による外力（角速度）を角速度センサに付加し、出力切替え装置により各角速度センサの出力端子を順次切り替えて、１つずつの角速度センサからのセンサ出力を計測する構成であった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３１０６６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、この角速度センサの検査装置は、１つずつの角速度センサを順次計測するため、検査時間が長時間におよぶという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、多数の角速度センサを短時間で効率よく検査する角速度センサの検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の角速度センサの検査装置は、複数の角速度センサを配置し前記角速度センサに外力を付加する外力付加部と、前記外力付加部に設けられ前記各角速度センサに接続するセンサ接続用入力端子と出力端子とを備え、計測する前記角速度センサを選択するセンサ選択部と、計測する前記角速度センサに駆動電圧を供給する電力分配部とを有する配線中継部と、前記配線中継部の出力端子に接続する計測器と、前記電力分配部に駆動電圧を供給するセンサ用電源と、前記角速度センサの計測条件を制御する制御装置とを備えた測定部と、を少なくとも備えた角速度センサの検査装置であって、複数の前記角速度センサは、複数の群に区分され、それぞれの群内における任意の一つの前記角速度センサを前記センサ選択部が選択して前記角速度センサを駆動させ、各群から選択された前記角速度センサのセンサ出力を前記配線中継部の出力端子から出力することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、外力付加部に配置した複数の角速度センサを複数の群に区分して、それぞれの群から順次、任意の１つの角速度センサを選択して、その特性を計測することができるため、同時に群の数の角速度センサを計測することができる。このことから、従来の１つずつの角速度センサを順次計測する検査装置に比べて、短時間で効率よく検査できる角速度センサの検査装置を提供することができる。
【０００９】
また、本発明の角速度センサの検査装置において、各群における選択された前記角速度センサから出力される補償用信号は、前記計測器を介して前記制御装置に供給することが望ましい。
【００１０】
この角速度センサの検査装置によれば、角速度センサから出力される、例えば温度補償をするための信号などの補償用信号を計測器にて取り込み、そのデータを制御装置に供給し、補正値などを制御装置で調整することができる。そして、その補正値を制御装置から、角速度センサに内蔵されたメモリに読み書き信号を送り、角速度センサに補正値などを設定することが可能となる。
【００１１】
また、本発明の角速度センサの検査装置において、各群における選択された前記角速度センサにメモリの読み書き信号を供給することが望ましい。
【００１２】
この角速度センサの検査装置によれば、角速度センサに内蔵されたメモリに、ゲイン調整、オフセットなどのデータを書き込むことや、書き込んだデータを読み出して確認することができる。
【００１３】
また、本発明の角速度センサの検査装置において、前記電力分配部から各群における選択された前記角速度センサへ供給する駆動電圧を前記測定部で計測し、その計測結果に基づき前記制御装置が前記センサ用電源の基準電圧を補正し、前記電力分配部から出力される駆動電圧を一定に保つことが望ましい。
【００１４】
この角速度センサの検査装置によれば、センサ用電源から電力分配部に到達する間に変動する駆動電圧を補正することができ、一定の駆動電圧を角速度センサに供給することができる。このことから、計測ばらつきの少ない良好な検査を実施することができる。
【００１５】
また、本発明の角速度センサの検査装置において、前記外力付加部は回転テーブルと前記回転テーブルを駆動させるモータを備え、さらに前記回転テーブルが内設された恒温槽を有することが好ましい。
【００１６】
この角速度センサの検査装置によれば、単純な構成である回転テーブルの駆動により角速度センサに外力を付加することができ、また、この回転テーブルを恒温槽に内設しているため、角速度センサの使用温度範囲における検査が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
（第１の実施形態）
【００１８】
図１は、本実施形態における角速度センサの検査装置の構成を示す構成図である。
角速度センサの検査装置１は、回転テーブル１１と、この回転テーブル１１の中心軸に設けられたスリップリングなどの回転接続体１２と、センサ用電源１３、装置用電源１４、計測器１５、制御装置１６、回転テーブルを駆動させるモータ１０を有している。
センサ用電源１３は角速度センサを駆動させる一定の駆動電圧を供給する電源であり、装置用電源１４は周辺回路に電力を供給する電源である。パーソナルコンピュータなどから構成される制御装置１６は、角速度センサの計測条件を制御している。
【００１９】
センサ用電源１３、装置用電源１４、計測器１５、制御装置１６は回転接続体１２に接続され、さらに制御装置１６はモータ１０、センサ用電源１３、装置用電源１４および計測器１５に接続されている。
回転テーブル１１上には、多数の角速度センサを取り付ける角速度センサ取付基板１８が保持され、図８で説明したジャイロセンサの検出軸であるＺ軸とこの回転テーブル１１の回転軸方向が一致するように配置される。角速度センサ取付基板１８の配線は回転テーブル１１上に設けられた配線中継部１７を介して回転接続体１２に接続されている。さらに、回転テーブル１１は恒温槽１９に内設され、任意の雰囲気温度による角速度センサの特性を計測できるように構成されている。
以上のように、回転テーブル１１とモータ１０で角速度センサに外力（角速度）を与える外力付加部を構成し、また、計測器１５、制御装置１６、センサ用電源１３にて測定部を構成している。
【００２０】
図２は配線中継部１７の構成を示す説明図である。配線中継部１７は、センサ選択部２０と電力分配部２１と、接地集合部２２を有している。
センサ選択部２０は、計測する角速度センサを選択する回路を備え、配線中継部１７の複数のセンサ接続用入力端子３１と、出力端子２５と、制御信号入力端子２３に接続されている。各センサ接続用入力端子３１は配線３２により角速度センサ取付基板などを介して、角速度センサにそれぞれ接続される。出力端子２５は配線２６により回転接続体１２を介して計測器１５に接続されている。また、制御信号入力端子２３は、配線２４により回転接続体１２を介して、制御装置１６に接続されている。
【００２１】
電力分配部２１は、計測する角速度センサに電力を供給する回路を備え、配線中継部１７における複数の電力供給用の出力端子３３と、電力供給用の入力端子２７と、制御信号入力端子３７に接続されている。各電力供給用の出力端子３３は配線３４により角速度センサ取付基板などを介して、角速度センサにそれぞれ接続される。電力供給用の入力端子２７は配線２８により回転接続体１２を介して、センサ用電源１３に接続されている。また、制御信号入力端子３７は、配線３８により回転接続体１２を介して、制御装置１６に接続されている。
【００２２】
接地集合部２２は、配線中継部１７の複数のセンサ接地端子３５とメイン接地端子２９に接続している。センサ接地端子３５は配線３６により角速度センサ取付基板などを介して、角速度センサのグランドにそれぞれ接続されている。メイン接地端子２９は配線３０により回転接続体１２を介して、例えば計測器１５および、センサ用電源１３の各グランドに接続される。
【００２３】
また、角速度センサのセンサ出力は図３に示すように接続配線されている。例えば、角速度センサＳ１〜Ｓ２４は、Ｓ１〜Ｓ８がＡ群、Ｓ９〜Ｓ１６がＢ群、Ｓ１７〜Ｓ２４がＣ群に区分されている。Ａ群に属する角速度センサＳ１〜Ｓ８のセンサ出力は出力線４０により、それぞれが並列に接続されている。Ｂ群に属する角速度センサＳ９〜Ｓ１６、Ｃ群に属する角速度センサＳ１７〜Ｓ２４も同様に、出力線４１，４２により、それぞれが並列に接続されている。そして、出力線４０，４１，４２はセンサ選択部２０に接続され、センサ選択部２０からそれぞれの群に対応するセンサ出力が出力されるように構成されている。
【００２４】
次に、センサ選択部２０で計測する角速度センサを選択するための回路構成について図４を用いて説明する。この回路構成は、それぞれの群に配置された任意の１つの角速度センサを選択するものである。
センサ選択部２０の回路構成は、前述した角速度センサの各群に対応する回路を備えている。Ａ群の角速度センサの選択回路として、マルチプレクサＭ１とスイッチＳＷ１，ＳＷ２、Ｂ群の角速度センサの選択回路として、マルチプレクサＭ２とスイッチＳＷ３，ＳＷ４、Ｃ群の角速度センサの選択回路として、マルチプレクサＭ３とスイッチＳＷ５，ＳＷ６を有している。
【００２５】
マルチプレクサＭ１の入力側は制御装置１６に接続され、出力端子Ｉ〜ＶＩＩＩはスイッチＳＷ１，ＳＷ２の入力端子Ｉ〜ＶＩＩＩに接続される。また、スイッチＳＷ１，ＳＷ２の出力端子Ａ〜Ｈはそれぞれ角速度センサＳ１〜Ｓ８に接続され、出力端子Ａ´〜Ｈ´はそれぞれが接続され、センサ出力Ｖout１としてセンサ選択部２０から出力される。
Ｂ群、Ｃ群の角速度センサの選択回路は、上記Ａ群の選択回路と同様のため、説明を省略する。
【００２６】
以上のような角速度センサの検査装置において、制御装置１６より制御信号ＣＯＮＴ１〜ＣＯＮＴ３が回転接続体１２を介して配線中継部１７のセンサ選択部２０に送信される。この制御信号ＣＯＮＴ１〜ＣＯＮＴ３はマルチプレクサＭ１〜Ｍ３にそれぞれ入力され、各群（Ａ群、Ｂ群、Ｃ群）における任意の１つの角速度センサを選択する。選択された角速度センサに対応するマルチプレクサＭ１〜Ｍ３の出力端子Ｉ〜ＶＩＩＩの１つからスイッチＳＷ１〜ＳＷ６に信号が送信され、各群の選択された角速度センサに電力分配部２１から駆動電圧が印加される。このようにして、各群のうちでそれぞれ１つの角速度センサが駆動される。
【００２７】
この状態で、回転テーブル１１が回転し、角速度センサにある一定の外力が与えられる。このことで、角速度センサから外力が検出され、センサ出力Ｖout１〜Ｖout３がスイッチＳＷ１〜ＳＷ６を介してセンサ選択部２０から出力される。出力されたセンサ出力Ｖout１〜Ｖout３は回転接続体１２を介して計測器１５に入力し、電圧値の計測が行われる。そして、計測器１５から計測データは制御装置１６に送出される。このようにして、角速度センサのセンサ出力の計測が行われ、規格値との比較において検査判定が行われる。この動作を群内の角速度センサについて順次切り替え、全体の計測が終了する。
【００２８】
以上の角速度センサの検査装置１では、回転テーブル１１に配置した複数の角速度センサＳ１〜Ｓ２４をＡ群、Ｂ群、Ｃ群に区分して、それぞれの群から順次、任意の１つの角速度センサを選択して、その特性を計測することができるため、同時に群の数の角速度センサを計測することができる。このことから、従来の１つずつの角速度センサを順次計測する検査装置に比べて、短時間に効率よく検査を実施できる。
（第２の実施形態）
【００２９】
次に、角速度センサの検査装置における第２の実施形態について説明する。
この第２の実施形態は、第１の実施形態に加えて、角速度センサから出力される、例えば温度補償をするための信号などの補償用信号を制御装置に供給して補正値などのデータを調整するものである。
【００３０】
図５に角速度センサに補償用信号を供給するための回路構成を示す。
センサ選択部２０には、図４で示した回路構成に加えて、図５に示す回路構成が備えられている。
センサ選択部２０には、角速度センサの各群に対応する回路を備えている。Ａ群の角速度センサの補償信号供給回路として、マルチプレクサＭ４とスイッチＳＷ７，ＳＷ８、Ｂ群の角速度センサの補償信号供給回路として、マルチプレクサＭ５とスイッチＳＷ９，ＳＷ１０、Ｃ群の角速度センサの補償信号供給回路として、マルチプレクサＭ６とスイッチＳＷ１１，ＳＷ１２を有している。
【００３１】
マルチプレクサＭ４の入力側は制御装置１６に接続され、出力端子Ｉ〜ＶＩＩＩはスイッチＳＷ７，ＳＷ８の入力端子Ｉ〜ＶＩＩＩに接続される。また、スイッチＳＷ７，ＳＷ８の出力端子Ａ〜Ｈはそれぞれ角速度センサＳ２５〜Ｓ３２に接続されている。出力端子Ａ´〜Ｈ´はそれぞれが接続され、計測器１５を介して制御装置１６に接続されている。
Ｂ群、Ｃ群の角速度センサの補償信号供給回路は、上記Ａ群の補償信号供給回路と同様のため、説明を省略する。
【００３２】
このような角速度センサの検査装置において、制御装置１６より制御信号ＣＯＮＴ４〜ＣＯＮＴ６が回転接続体１２を介して配線中継部１７のセンサ選択部２０に送信される。この制御信号ＣＯＮＴ４〜ＣＯＮＴ６はマルチプレクサＭ４〜Ｍ６にそれぞれ入力され、各群（Ａ群、Ｂ群、Ｃ群）における任意の１つの角速度センサを選択する。選択された角速度センサに対応するマルチプレクサＭ４〜Ｍ６の出力端子Ｉ〜ＶＩＩＩの１つからスイッチＳＷ７〜ＳＷ１２に信号が送信され、各群の選択された角速度センサから出力される補償用信号Ｌ１〜Ｌ３が計測器１５送信され、制御装置１６にデータが供給される。そして、この供給されたデータを基に、制御装置１６で補正値を調整する。この動作を群内の角速度センサについて順次切り替え、角速度センサ全体の補正値の調整が終了する。
【００３３】
このように、角速度センサから出力される、例えば温度補償をするための信号などの補償用信号を計測器にて取り込み、そのデータを制御装置に供給し、補正値などを制御装置で調整することができる。そして、その補正値などを制御装置から、角速度センサに内蔵されたメモリに読み書き信号を送り、角速度センサに必要なデータを設定することが可能となる。
（第３の実施形態）
【００３４】
次に、角速度センサの検査装置における第３の実施形態について説明する。
この第３の実施形態は、第１の実施形態に加えて、角速度センサに内蔵されたメモリに読み書き信号の供給を行うものである。
【００３５】
図６に角速度センサに読み書き信号を供給するための回路構成を示す。
センサ選択部２０には、図４で示した回路構成に加えて、図６に示す回路構成が備えられている。
センサ選択部２０には、角速度センサの各群に対応する回路を備えている。Ａ群の角速度センサの読み書き信号供給回路として、マルチプレクサＭ７とスイッチＳＷ１３、Ｂ群の角速度センサの読み書き信号供給回路として、マルチプレクサＭ８とスイッチＳＷ１４、Ｃ群の角速度センサの読み書き信号供給回路として、マルチプレクサＭ９とスイッチＳＷ１５を有している。
【００３６】
マルチプレクサＭ７の入力側は制御装置１６に接続され、出力端子Ｉ〜ＶＩＩＩはスイッチＳＷ１３の入力端子Ｉ〜ＶＩＩＩに接続される。また、スイッチＳＷ１３には外部入力端子ＣＬＫ−Ａ，ＤＡＴＡ−Ａを備え、制御装置１６から基準クロック信号ａと書き込みデータ信号ｂが入力される。
スイッチＳＷ１３の出力端子ＣＬＫ１〜ＣＬＫ８，ＤＡＴＡ１〜ＤＡＴＡ８はＡ群の角速度センサにそれぞれ接続されている。
Ｂ群、Ｃ群の角速度センサの読み書き信号供給回路は、上記Ａ群の読み書き信号供給回路と同様のため、説明を省略する。
【００３７】
このような角速度センサの検査装置において、制御装置１６より制御信号ＣＯＮＴ７〜ＣＯＮＴ９および基準クロック信号ａ，ｃ，ｅおよびゲイン調整、オフセットなどの書き込みデータ信号ｂ，ｄ，ｆが回転接続体１２を介して配線中継部１７のセンサ選択部２０に送信される。
この制御信号ＣＯＮＴ７〜ＣＯＮＴ９はマルチプレクサＭ７〜Ｍ９にそれぞれ入力され、各群（Ａ群、Ｂ群、Ｃ群）における任意の１つの角速度センサを選択する。選択された角速度センサに対応するマルチプレクサＭ７〜Ｍ９の出力端子Ｉ〜ＶＩＩＩの１つからスイッチＳＷ１３〜ＳＷ１５に信号が送信される。そして、選択された角速度センサに、制御装置から入力された基準クロック信号ａ，ｃ，ｅおよび書き込みデータ信号ｂ，ｄ，ｆを読み書き信号ＲＷ１，ＲＷ２，ＲＷ３として送信する。この読み書き信号ＲＷ１，ＲＷ２，ＲＷ３により、角速度センサに内蔵されたメモリに必要なデータが書き込まれる。また、メモリに書き込まれたデータを読み出し、データの確認を制御装置１６で行うこともできる。
【００３８】
この角速度センサの検査装置によれば、角速度センサの特性を計測すると共に、角速度センサに内蔵されたメモリに、ゲイン調整、オフセットなどのデータを書き込むこと、および書き込んだデータを読み出して確認することができる。
（第４の実施形態）
【００３９】
次に、角速度センサの検査装置における第４の実施形態について説明する。
この第４の実施形態は、第１の実施形態に加えて、角速度センサに供給される駆動電圧を補正して安定した駆動電圧を供給して特性の計測を行うものである。
特に、角速度センサの使用温度範囲における計測を行う場合の、雰囲気温度により変動する駆動電圧を安定化するものである。
【００４０】
図７は角速度センサに駆動電圧を供給するための回路構成を示す。
電力分配部２１には、角速度センサの各群に対応する回路を備えている。Ａ群の角速度センサの駆動電圧供給回路として、マルチプレクサＭ１０とスイッチＳＷ１６、Ｂ群の角速度センサの駆動電圧供給回路として、マルチプレクサＭ１１とスイッチＳＷ１７、Ｃ群の角速度センサの駆動電圧供給回路として、マルチプレクサＭ１２とスイッチＳＷ１８を有している。また、電力分配部２１の基板上には温度センサ３０が設けられている。
【００４１】
マルチプレクサＭ１０の入力側は制御装置１６に接続され、出力端子Ｉ〜ＶＩＩＩはスイッチＳＷ１６の入力端子Ｉ〜ＶＩＩＩに接続される。また、スイッチＳＷ１６には入力端子ＶＤＤ−Ａを備え、センサ用電源１３から駆動電圧ＶＤＤが入力される。
スイッチＳＷ１６の出力端子はＡ群の角速度センサにそれぞれ接続され、駆動電圧ＶＤＤ１〜ＶＤＤ８が供給される。また、それぞれの駆動電圧供給線には、配線８０が接続され、計測器１５を介して制御装置１６に接続されている。この配線８０により、角速度センサへ供給される駆動電圧がモニターされる。
Ｂ群、Ｃ群の角速度センサの駆動電圧供給回路は、上記Ａ群の駆動電圧供給回路と同様のため、説明を省略する。
また、温度センサ３０の出力ＶOは計測器１５を介して制御装置１６に接続されている。
【００４２】
このような角速度センサの検査装置において、角速度センサの使用温度範囲における任意の雰囲気温度で特性の計測を行う場合、恒温槽１９内の温度をモニターしている温度センサ３０の出力ＶOが所定の値となると、角速度センサの計測を開始する。
まず制御装置１６より制御信号ＣＯＮＴ１０〜ＣＯＮＴ１２が回転接続体１２を介して配線中継部１７のセンサ選択部２０に送信される。
この制御信号ＣＯＮＴ１０〜ＣＯＮＴ１２はマルチプレクサＭ１０〜Ｍ１２にそれぞれ入力され、各群（Ａ群、Ｂ群、Ｃ群）における任意の１つの角速度センサを選択する。選択された角速度センサに対応するマルチプレクサＭ１０〜Ｍ１２の出力端子Ｉ〜ＶＩＩＩの１つからスイッチＳＷ１６〜ＳＷ１８に信号が送信される。そして、選択された角速度センサに、センサ用電源１３から入力された駆動電圧ＶＤＤが供給される。
ここで、配線８０により供給されるセンサＶＤＤ  Ｍｏｎｉｔｏｒ１〜２４は計測器１５を介して制御装置１６でモニターされる。このときの駆動電圧と定格の駆動電圧を比較し、差がある場合には、制御装置１６から信号が送られ、センサ用電源１３の供給電圧をその差の分だけ変化させ補正を行う。
このようにして、角速度センサに供給される駆動電圧ＶＤＤは定格の電圧で一定に保つことが可能となる。
【００４３】
この角速度センサの検査装置によれば、雰囲気温度により変動する駆動電圧、およびセンサ用電源１３から電力分配部２１に到達する間に変動する駆動電圧を補正することができ、一定の駆動電圧を角速度センサに供給することができる。このことから、計測ばらつきの少ない良好な検査を実施することができる。
【００４４】
以上のように、第１から第４の実施形態で説明した角速度センサの検査装置は、群の数の計測を同時に行うことができ、従来に比べて大幅に検査時間を短縮でき、効率よく検査を実施することができる。
【００４５】
なお、本実施形態では複数の角速度センサをＡ群、Ｂ群、Ｃ群の３群として構成し、３つの角速度センサを同時に計測したが、この群の数を増やしてさらに多くの角速度センサを同時に検査することも可能である。
また、回転テーブルからの配線をスリップリングなどの回転接続体を介して外部に配設する場合、回転接続体に挿入する配線の数に限度があり、多くの角速度センサを配置できないが、本実施形態のように配線中継部を設けることにより、回転接続体に挿入する配線の数を少なくすることができる。さらに、マルチプレクサを多段に使用することで、回転接続体に挿入する配線の数を１本にすることも可能である。
【００４６】
また、本発明の角速度センサの検査装置は、加速度センサの検査においても利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本実施形態における角速度センサの検査装置の構成図。
【図２】配線中継部の構成を示す説明図。
【図３】配線中継部と角速度センサの出力配線を示す説明図。
【図４】第１の実施形態におけるセンサ選択部の構成を示す説明図。
【図５】第２の実施形態におけるセンサ選択部の構成を示す説明図。
【図６】第３の実施形態におけるセンサ選択部の構成を示す説明図。
【図７】第４の実施形態における電力分配部の構成を示す説明図。
【図８】角速度センサである振動ジャイロセンサの一構成例を示す概略構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ´断面図。
【符号の説明】
【００４８】
１…角速度センサの検査装置、１０…モータ、１１…回転テーブル、１２…回転接続体、１３…センサ用電源、１４…装置用電源、１５…計測器、１６…制御装置、１７…配線中継部、１８…角速度センサ取付基板、１９…恒温槽、２０…センサ選択部、２１…電力分配部、２２…接地集合部、２５…配線中継部の出力端子、３１，３３，３５…センサ接続用入力端子、Ｓ１〜Ｓ２４…角速度センサ、ＳＷ１〜ＳＷ１８…スイッチ、Ｍ１〜Ｍ１２…マルチプレクサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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