(57)【要約】  【課題】画素部の欠陥に起因しない検出対象であるノイズに関して、精度の高い評価が可能な検査方法を提供する。  【解決手段】受光部と、受光部から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、垂直転送部から転送された信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、水平転送部から転送された電荷を電圧に変換して検出する電荷検出部と、電荷検出部のリセット電圧を設定する電源部とを備えた電荷転送装置（３）を検査する。電源部（２）により第１のリセット電圧を電荷検出部に印加したときに電荷検出部より出力される第１の画像信号を取得し（４Ａ）、電源部により第２のリセット電圧を電荷検出部に印加したときに電荷検出部より出力される第２の画像信号を取得し（４Ｂ）、第１および第２の画像信号の差分電圧を基準電圧と比較する（７）ことにより、電荷検出部から得られる画像信号におけるノイズの有無を検査する。【選択図】図３
2006210417.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトダイオードを有する画素が２次元状に配列され入射光を信号電荷に光電変換する受光部と、垂直転送パルス信号により前記受光部から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、水平転送パルス信号により前記垂直転送部から転送された前記信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記水平転送部から転送された電荷を電圧に変換して検出する電荷検出部と、前記電荷検出部のリセット電圧を設定する電源部とを備えた電荷転送装置の検査方法であって、
前記電源部により第１のリセット電圧を前記電荷検出部に印加したときに前記電荷検出部より出力される第１の画像信号を取得し、前記電源部により第２のリセット電圧を前記電荷検出部に印加したときに前記電荷検出部より出力される第２の画像信号を取得し、前記第１および前記第２の画像信号の差分電圧を基準電圧と比較することにより、前記電荷検出部から得られる画像信号におけるノイズの有無を検査することを特徴とする固体撮像装置の検査方法。
【請求項２】
フォトダイオードを有する画素が２次元状に配列され入射光を信号電荷に光電変換する受光部と、垂直転送パルス信号により前記受光部から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、水平転送パルス信号により前記垂直転送部から転送された前記信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記水平転送部から転送された電荷を電圧に変換して検出する電荷検出部と、前記電荷検出部のリセット電圧を設定する電源部とを備えた電荷転送装置の検査方法であって、
前記水平転送パルス信号は、実在する水平転送部の段数に相当するパルス数を超える空転送パルスを含み、
前記空転送パルスによる転送により前記電荷検出部より出力される画像信号の信号電圧を基準電圧と比較することにより、前記画像信号におけるノイズの有無を検査することを特徴とする固体撮像装置の検査方法。
【請求項３】
前記水平転送パルス信号は、実在する水平転送部の段数に相当するパルス数を超える空転送パルスを含み、
前記空転送パルスによる転送により取得される前記第１および第２の画像信号の差分電圧を前記基準電圧と比較することにより、前記電荷検出部から出力される画像信号におけるノイズの有無を検査する請求項１記載の固体撮像装置の検査方法。
【請求項４】
前記空転送パルスを１０パルス以上印加する請求項２または３記載の固体撮像装置の検査方法。
【請求項５】
前記第１および前記第２の画像信号をそれぞれ複数の画像ブロックに細分化し、前記第１および前記第２の画像信号についてそれぞれ前記各画像ブロック毎に信号電圧の偏差値を算出し、算出した偏差値の差分電圧を前記基準電圧と比較する請求項１記載の固体撮像装置の検査方法。
【請求項６】
前記画像信号をそれぞれ複数の画像ブロックに細分化し、前記画像信号について前記各画像ブロック毎に信号電圧の偏差値を算出し、算出した偏差値電圧を前記基準値と比較する請求項２記載の固体撮像装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置の線状ノイズの検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来ＣＣＤ（Charge Coupled Device）の欠陥により現れる低周期のキズ及び横線状ノイズは、暗時状態で得られた画像のキズのレベル、及びキズ偏差値による評価がされている。
【０００３】
図１０に、一般的なＣＣＤ型の固体撮像素子１０の構成を示す。入射光を光電変換する受光部１１を有する画素がマトリクス状に配列されており、受光部１１で光電変換された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部１２と、垂直転送部１２から転送される信号電荷を水平方向に転送する水平転送部１３と、水平転送部１３から転送される信号電荷を電圧あるいは電流信号に変換して出力する出力部１４が設けられている。水平転送部１３の端部には、水平ダミー転送部１７が設けられている。また複数の画素で構成される受光領域は、有効画素部１５、および遮光された水平ＯＢ（Optical Black）部１６からなる。
【０００４】
出力部１４は、図示しないが例えば、水平転送部１３から転送された電荷を電圧に変換して検出する電荷検出部と、電荷検出部のリセット電圧を設定する電源部と、リセット信号により電荷検出部と電源部との接続を制御するリセットスイッチ部とを備える。垂直、水平方向の電荷転送は、垂直転送部１２および水平転送部１３に設けられた転送電極に駆動信号を印加することにより行われる。なお、水平ダミー転送部１７は必ずしも必要ではない。
【０００５】
特許文献１に開示された従来例の画像ノイズ判別方法について、図１１、図１２を参照して説明する。図１１は従来例を示すブロック図であり、図１２は差分検出動作を示す説明図である。図１１において、輝度変換回路２１は、映像信号から輝度信号を作り出し、輝度変換回路２１からの輝度信号は、フレームメモリ２２〜２６に格納される。切り換えスイッチ２７は、フレームメモリ２２〜２６のいずれか１つを選択して差分検出回路２８に接続する。
【０００６】
差分検出回路２８は、フレームメモリ２４に格納されている静止画像の座標（ｉ，ｊ）の画素の輝度と、座標（ｉ，ｊ）の画素の前後２ラインの所定範囲の画素群の輝度との差分を算出するとともに、フレームメモリ２２，２３とフレームメモリ２５，２６の静止画像の座標（ｉ，ｊ）の画素およびその画素の周囲の画素群の輝度との差分を算出し、算出された差分と基準値とを比較する。判定回路２９は、差分検出回路２８により比較した結果、差分が全て基準値より大きい場合、座標（ｉ，ｊ）の画素信号をノイズであると判定する。
【０００７】
次に、上記回路による動作を説明する。映像信号は輝度変換回路２１により輝度信号に変換される。例えば、映像信号が色信号処理され、得られたＲ，Ｇ，Ｂから輝度信号が合成される。図１２に示す、輝度変換回路２１からの第（ｎ−２）フレームの輝度信号はフレームメモリ２２に格納され、第（ｎ−１）フレームの輝度信号はフレームメモリ２３に、第ｎフレームの輝度信号はフレームメモリ２４に、第（ｎ＋１）フレームの輝度信号はフレームメモリ２５に、第（ｎ＋２）フレームの輝度信号はフレームメモリ２６に格納される。
【０００８】
まず、切り換えスイッチ２７がフレームメモリ２４に切り換えられ、差分検出回路２８により、第ｎフレームの座標（ｉ，ｊ）の画素の輝度と上下それぞれ２ラインの所定範囲の画素群の輝度との差分が算出され、算出された差分と基準値が比較される。
【０００９】
次に、切り換えスイッチ２７がフレームメモリ２２、２３、２５，２６にそれぞれ切り換えられ、差分検出回路２８により、第ｎフレームの座標（ｉ，ｊ）の画素の輝度と、第（ｎ−２）フレーム、第（ｎ−１）フレーム、第（ｎ＋１）フレーム、および第（ｎ＋２）フレームの座標（ｉ，ｊ）の画素、およびその画素の周囲の画素群の輝度の差分が算出され、算出された差分と基準値が比較される。
【００１０】
差分検出回路２８により比較された結果、差分が全て基準値より大きい場合、判定回路２９により第ｎフレームの座標（ｉ，ｊ）の画素をノイズと判定する。このように、空間的な差分情報と、時間的な差分情報との２つの情報から、動画においてのみ感知し得る画像ノイズを検出することができる。
【特許文献１】特開平５−１９１８３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述のように固体撮像装置を評価する場合において、固体撮像装置から出力される画像信号には複数のノイズが混在しており、リセットドレインのリークにより発生するノイズ、あるいは水平転送部において発生するノイズ等の、画素部の欠陥に起因しないノイズを分離して評価することが困難であった。
【００１２】
固体撮像装置から出力される画像信号には、フォトダイオードからの暗電流に起因する白キズ、ザラ等の成分を含んでおり、一方、従来例のような画像比較による評価では、比較対象となるフレームと比較されるフレームとの間に、基本的に同一アドレスにノイズが発生しないことを条件としている。従って、確率的な問題による不確定要素を含んでいることなどより、検出結果と実画像のノイズレベルが必ずしも一致しない状態となることがある。
【００１３】
本発明は、このような問題を解決し、画素部の欠陥に起因しない検出対象であるノイズに関して、精度の高い評価が可能な検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の固体撮像装置の検査方法は、フォトダイオードを有する画素が２次元状に配列され入射光を信号電荷に光電変換する受光部と、垂直転送パルス信号により前記受光部から読み出された信号電荷を垂直方向に転送する垂直転送部と、水平転送パルス信号により前記垂直転送部から転送された前記信号電荷を水平方向に転送する水平転送部と、前記水平転送部から転送された電荷を電圧に変換して検出する電荷検出部と、前記電荷検出部のリセット電圧を設定する電源部とを備えた電荷転送装置の検査方法である。
【００１５】
上記の課題を解決するため、本発明の固体撮像装置の検査方法は、前記電源部により第１のリセット電圧を前記電荷検出部に印加したときに前記電荷検出部より出力される第１の画像信号を取得し、前記電源部により第２のリセット電圧を前記電荷検出部に印加したときに前記電荷検出部より出力される第２の画像信号を取得し、前記第１および前記第２の画像信号の差分電圧を基準電圧と比較することにより、前記電荷検出部から得られる画像信号におけるノイズの有無を検査することを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、リセット電源電圧を変化させることにより、リセットドレインのリークにより発生するノイズ、あるいは水平転送部において発生するノイズ等の、画素部の欠陥に起因しない検出対象であるノイズが変化する。従って、検出対象ノイズを強調させるための高電源電圧状態とした条件と、検出対象ノイズを発生させない低電源電圧状態とした条件との、それぞれの条件で得られた複数画像間で差分評価を行うことにより、所望のノイズ評価が可能となる。
【００１７】
また、上記の課題を解決するため、本発明の他の検査方法は、前記水平転送パルス信号は、実在する水平転送部の段数に相当するパルス数を超える空転送パルスを含み、前記空転送パルスによる転送により前記電荷検出部より出力される画像信号の信号電圧を基準電圧と比較することにより、前記画像信号におけるノイズの有無を検査することを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、水平転送部を駆動させる駆動パターンにおいて、水平ＯＢ（Optical Black）部、水平ダミー部を含む水平転送最終段終了後に所定の段数の空転送を追加し、その駆動により得られた水平空転送部の画像を利用することにより、フォトダイオードからの暗電流成分の影響を回避することができる。
【００１９】
上記の２つの方法を組合わせた検査方法を用いることにより、より顕著な効果を得ることができる。
【００２０】
上記の方法において好ましくは、前記空転送パルスを１０パルス以上印加する。
【００２１】
また、上記の方法において好ましくは、前記画像信号をそれぞれ複数の画像ブロックに細分化し、前記画像信号について前記各ブロック毎に信号電圧の偏差値を算出し、算出した偏差値のあるいはその差分電圧を前記基準値と比較する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の固体撮像装置の検査方法によれば、リセットドレインのリークにより発生するノイズ、あるいは水平転送部において発生するノイズ等の、画素部の欠陥に起因しない検出対象であるノイズが変化する。従って、検出対象ノイズを強調させるための高電源電圧状態とした条件と、検出対象ノイズを発生させない低電源電圧状態とした条件の、それぞれの条件で得られた複数画像間で差分評価を行うことにより、所望のノイズ評価が可能となる。
【００２３】
また、所定の段数の空転送を追加しその駆動により得られた水平空転送部の画像を利用することにより、フォトダイオードからの暗電流成分の影響を避けて高精度な評価を行うことが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して具体的に説明する。
【００２５】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１における電荷転送装置の検査方法について、図１〜５を参照して詳細に説明する。本実施の形態の検査方法の対象であるＣＣＤ型の固体撮像素子の構成は、図９に示した従来例の場合と同様であり、同図を参照して説明する。この固体撮像素子の通常駆動時の駆動タイミングを、図１に示す。φＶ１，φＶ２，φＶ３，φＶ４は垂直転送部１２の駆動信号、φＨ１，φＨ２は水平転送部１３の駆動信号を表している。ＳＩＧは、出力部１４から出力される信号電圧の内容を示す。この駆動条件で得られる画像の概要を、図２（ａ）に示す。
【００２６】
図３は、本実施の形態における電荷転送装置の検査方法を示すブロック図である。駆動パルス発生回路１から固体撮像装置を構成するＣＣＤ３に対して、垂直転送部１２，水平転送部１３等を駆動させるために必要な、図１に示したようなドライブパルス信号を供給する。電源部２は、ＣＣＤ３を駆動するために必要な電源電圧を供給する。
【００２７】
ＣＣＤ３は、後述するように、異なる２種類の駆動条件で駆動され、各駆動条件で得られた画像信号は、それぞれメモリ４Ａ，４Ｂに格納される。メモリ４Ａ，４Ｂに格納された画像信号は、画像ブロック処理回路５に供給され、ブロック細分化して統計処理され、その処理結果は、データ格納メモリ６Ａ，６Ｂに格納される。
【００２８】
データ格納メモリ６Ａ，６Ｂから読み出される処理結果のデータは、差分処理回路７に供給される。差分処理回路７は、２枚の異なる駆動条件で得られた画像に関するブロック毎の標準偏差値について差分処理を行う。差分処理回路７により比較した結果の出力に基づき判定回路８は、差分値が基準値より大きい場合に、該当するブロックでノイズが発生しているものと判定する。
【００２９】
次に、検査のために設定される異なる駆動条件について説明する。図４は、ＣＣＤの出力部１４における電荷検出部を構成するフローティングディフュージョン（ＦＤ）部の断面を示す。フローティングディフュージョン（ＦＤ）と、信号電荷を排出するリセットドレイン（ＲＤ）と、フローティングディフュージョン（ＦＤ）とリセットトドレイン（ＲＤ）の間に設けられたリセットゲート（ＲＧ）とから、リセットトランジスタが構成されている。フローティングディフュージョン（ＦＤ）に蓄積された信号電荷が信号電圧に変換されて、Ｖｏｕｔから出力される。
【００３０】
このフローティングディフュージョン部において、リセットゲート（ＲＧ）下の酸化膜両端の電界強度が強くなると、酸化膜中にホットエレクトロンが発生する。このホットエレクトロンがリセットトゲート（ＲＧ）と信号検出容量ＣＲ間を通して出力されることにより、ノイズや画質劣化を生じる。ここで、リセットドレイン（ＲＤ）の電圧を変化させることにより、ホットエレクトロンの発生、及びノイズ発生を制御することができる。本実施の形態においては、この現象を積極的に利用してＣＣＤの検査を行う。
【００３１】
次に、上記構成による電荷転送装置の検査方法の動作を説明する。まず、駆動パルス発生回路１（図３参照）により、図１に示したようなドライブパルス信号を発生させるとともに、電源部２により、リセットドレイン（ＲＤ）に供給する電源電圧を、ノイズを強調させるための高電圧に設定する第１の駆動パターンを発生させる。発生させた駆動電圧を用いてＣＣＤ３を駆動し、得られた画像信号をフレームメモリ４Ａに格納する。
【００３２】
フレームメモリ４Ａに格納された画像信号について、画像ブロック処理回路５により、図２（ｂ）に示すようにＸ１×Ｙブロック数に細分化し、それぞれのブロックについて信号電圧の統計処理を行い、標準偏差値σを算出する。そして、データ格納メモリ６Ａに算出値を格納する。ここで、ブロック分割して各ブロックごとの標準偏差値σを求めることで、各ブロック内でのデータバラツキを求めることができる。このように、ブロック分割することで、ベースノイズを除去して局所的なノイズを感度良く検出することができる。
【００３３】
次に、駆動パルス発生回路１により、図１に示したようなドライブパルス信号を発生させるとともに、電源部２により、リセットドレイン（ＲＤ）に供給する電源電圧を、ノイズを少なくするように低電圧に設定する第２の駆動パターンを発生させる。発生させた駆動信号を用いＣＣＤ３を駆動して、画像信号をフレームメモリ４Ｂに格納する。
【００３４】
フレームメモリ４Ｂに格納された画像信号についても、画像ブロック処理回路５により、図２（ｂ）に示すようにＸ１×Ｙブロック数に細分化し、それぞれのブロックについて信号電圧の統計処理を行い、標準偏差値σを算出する。そしてデータ格納メモリ６Ｂに測定値を格納する。標準偏差値σは図５に示すように、値が大きくなるほど、ブロック内でのバラツキが大きいことを示し、異常データが存在すると値が大きくなる。
【００３５】
データ格納メモリ６Ａ、６Ｂに格納されたデータをブロック毎に差分処理し、基準値より大きい場合、判定回路８により当該ブロック座標（ｉ，ｊ）のエリアをノイズありと判定し、基準値より大きくない場合は、そのブロック座標（ｉ，ｊ）のエリアをノイズなしと判定する。
【００３６】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２における電荷転送装置の検査方法について、図６〜９を参照して詳細に説明する。基本的な動作は、実施の形態１と同様であるが、以下に述べる駆動方法を併用することで、さらに高精度な検査を可能とするものである。
【００３７】
通常駆動時の駆動タイミングは、図１に示したものと同様であり、この駆動条件で得られる出力画像は図２に示したものと同様である。本実施の形態の検査方法を実施する際には、図６に示す固体撮像装置の駆動方法を用い、水平ＯＢ部、ダミー部以降に所定の水平空転送部を増設した画像信号のパターンを作成する。ここで、空転送部とは、実在する水平転送部１３の段数以上の転送を行ったときに、出力部１４から得られる信号である。この駆動条件により得られた出力画像のイメージを、図７に示す。図７（ａ）における画像Ａは、水平転送部１３の段数に相当する転送により得られる画像、画像Ｂは、空転送部に対応する画像である。画像Ａ、ＢにおけるＡ−Ａ’線、Ｂ―Ｂ’線に沿った画像信号の状態を図７（ｂ）、（ｃ）に示す。
【００３８】
ＯＢ部以降に水平空転送部を増設することで出画される画像を水平方向に見た場合、通常転送部より左ＯＢ部＋有効画素部＋右ＯＢ部の出力が得られ、空転送部より画素信号のないダーク信号が得られる。
【００３９】
図８は、本実施の形態における電荷転送装置の検査方法を示すブロック図である。駆動パルス発生回路１から、ＣＣＤ３に対して、垂直転送部１２、水平転送部１３等を駆動させるために必要なドライブパルス信号を供給する。電源部２は、ＣＣＤ３を駆動するために必要な電源電圧を供給する。
【００４０】
ＣＣＤ３から出力された画像信号は、フレームメモリ４に格納される。フレームメモリ４に格納された画像信号は、画像ブロック処理回路５に供給され、ブロック細分化して信号電圧が統計処理され、その処理結果は、データ格納メモリ６に格納される。判定回路８には、データ格納メモリ６から処理結果のデータが供給され、そのデータの値が基準値より大きい場合に、該当するブロックでノイズが発生しているものと判定する。
【００４１】
次に、この検査方法に基づく動作を説明する。駆動パルス発生回路１により、図６に示したような水平空転送部を得るための信号を増設して、画素信号の影響を受けないノイズのみの画像信号を得るドライブパルス信号を発生させる。また、電源部２によって、ＣＣＤ３を駆動させるために必要な電源電圧を発生させる。発生させた駆動信号によりＣＣＤ３を駆動して、画像信号をフレームメモリ４に格納する。
【００４２】
図９は、フレームメモリ４に格納された画像信号の様子を示す。Ｘ１ブロックの領域は有効画素部、Ｘ２ブロックの領域は空転送部に相当する。本実施の形態では、空転送部の画像信号について、画像ブロック処理回路５により、Ｘ２×Ｙブロック数に細分化し、個々のブロック毎に画像信号の信号電圧について統計処理を行い、各ブロック内での信号電圧バラツキ度合いに相当する標準偏差値σを算出する。算出された標準偏差値σを、データ格納メモリ６に格納する。
【００４３】
データ格納メモリ６に格納された標準偏差値σが基準値より大きい場合、判定回路８により、ブロック座標（ｉ，ｊ）のエリアをノイズありと判定する。他方、標準偏差値σが基準値より大きくない場合は、そのブロック座標（ｉ，ｊ）のエリアをノイズなしと判定する。
【００４４】
なお、測定精度を高めるため、空転送パルスは１０パルス以上設けることが望ましい。
【００４５】
（実施の形態３）
実施の形態３における電荷転送装置の検査方法は、実施の形態１と２を組み合わせた構成を有する。すなわち、実施の形態２においては、リセットドレイン（ＲＤ）に供給する電源電圧は固定であるのに対して、本実施の形態では、空転送部を設けるとともに、実施の形態１の様に、リセットドレイン（ＲＤ）に供給する電源電圧を、ノイズを強調させるために高電圧に設定する場合と、ノイズを少なくするために低電圧に設定して、２つの場合について画像信号を取り込む。空転送により得られた画像信号をもとにして標準偏差演算等の演算処理することで、さらに高精度なノイズ評価が可能である。
【００４６】
以下図面を参照して説明する。駆動条件としては、図６と同様に、水平ＯＢ部、ダミー部以降に所定の空転送部を増設したパターンを作成して、図７に示したような画像信号を得る。本実施の形態における電荷転送装置の検査方法は、実施の形態１と同様、図３のブロック図により表される。
【００４７】
次に、この検査方法に基づく動作を説明する。駆動パルス発生回路１により、図６に示したような水平空転送部を得るための信号を増設して、画素信号のないノイズのみの画像信号を得るドライブパルス信号を発生させる。それとともに、電源部２により、リセットドレイン（ＲＤ）に供給する電源電圧を、ノイズを強調させるための高電圧に設定する第１の駆動パターンを発生させる。発生させた駆動信号を用いてＣＣＤ３を駆動し、得られた画像信号をフレームメモリ４Ａに格納する。
【００４８】
そして、画像ブロック処理回路５において、フレームメモリ４Ａに格納された画像信号のうち水平空転送で得られた画像信号について、図９に示すようにＸ２×Ｙブロックに細分化し、それぞれのブロックについて統計処理を行い、標準偏差値σを算出する。算出された標準偏差値σを、データ格納メモリ６Ａに格納する。
【００４９】
次に、駆動パルス発生回路１により、上述と同様、水平空転送部を設けてノイズのみの画像信号を得るドライブパルス信号を発生させるとともに、電源部２により、リセットドレイン（ＲＤ）に供給する電源電圧を、ノイズを少なくするための低電圧に設定する第２の駆動パターンを発生させる。発生させた駆動信号を用いＣＣＤ３を駆動し、得られた画像信号をフレームメモリ４Ｂに格納する。
【００５０】
そして、画像ブロック処理回路５において、フレームメモリ４Ｂに格納された画像信号のうち水平空転送で得られる画像信号について、図９に示すようにＸ２×Ｙブロックに細分化し、それぞれのブロックについて統計処理を行い、標準偏差値σを算出する。算出された標準偏差値σを、データ格納メモリ６Ｂに格納する。
【００５１】
差分処理回路７により、データ格納メモリ６Ａ、６Ｂに格納されたデータの差分処理をブロック毎に行い、基準値より大きい場合、判定回路８により当該ブロック座標（ｉ，ｊ）のエリアをノイズありと判定する。差分が基準値より大きくない場合は、そのブロック座標（ｉ，ｊ）のエリアをノイズなしと判定する。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
ＣＣＤにおける主としてフローティングディフュージョン部で発生するアンプ起因による低周期横線ノイズの検査、評価に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】ＣＣＤの通常駆動パターン仕様を示すタイミング波形図
【図２】（ａ）は、通常駆動パターン仕様により取り込まれた画像信号による画像を示す図、（ｂ）は、実施の形態１における画像信号のブロック処理を示す図
【図３】本発明の実施の形態１における電荷転送装置の検査方法を示すブロック図
【図４】固体撮像素子におけるフローティングディフュージョン部を示す断面図
【図５】各画像ブロックについて算出された標準偏差値の例を示すグラフ
【図６】本発明の実施の形態２における駆動パターン仕様を示すタイミング波形図
【図７】（ａ）は同駆動パターン仕様により取り込まれた画像信号による画像を示す図、（ｂ）、（ｃ）は、同画像における画像信号の状態を示す図
【図８】本発明の実施の形態２における電荷転送装置の検査方法を示すブロック図
【図９】実施の形態２における画像信号のブロック処理を示す図
【図１０】一般的なＣＣＤ型の固体撮像素子の構成を示す図
【図１１】従来例の画像ノイズ判別方法を示すブロック図
【図１２】従来例の差分検出動作の説明図
【符号の説明】
【００５４】
１  駆動パルス発生回路
２  電源部
３  ＣＣＤ（固体撮像装置）
４、４Ａ、４Ｂ  フレームメモリ
５  画像ブロック処理回路
６、６Ａ、６Ｂ  データ格納メモリ
７  差分処理回路
８  判定回路
１０  固体撮像装置
１１  受光部
１２  垂直転送部
１３  水平転送部
１４  出力部
１５  有効画素部
１６  水平ＯＢ部
１７  水平ダミー転送部
２１  輝度変換回路
２２  フレームメモリ
２３  フレームメモリ
２４  フレームメモリ
２５  フレームメモリ
２６  フレームメモリ
２７  切り換えスイッチ
２８  差分検出回路
２９  判定回路
【図１】
2006210417.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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