(57)【要約】【課題】  気泡の滞留による不具合を防止しつつ、液体噴射ヘッドの応答性の向上と記録画像の画質安定化を両立させることが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】  共通インク室６側の底面６ａから天井面１８´に向けて深さが徐々に浅くなる上り傾斜面２０ａと、この傾斜面に連続し、天井面に対して狭小な間隙を有する状態で平行に設けられた頂上面２０ｂと、この頂上面に連続し、圧力室５側の底面５ａに向けて深さが徐々に深くなる下り傾斜面２０ｃとからなる丘状仕切壁部２０を設け、頂上面と天井面との間には、インク流れ方向に対して交差する方向に複数の柱部２５を列設して、各柱部、頂上面、及び天井面で区画される複数の分流路２６を形成し、丘状仕切壁部の両肩部には、平坦面及び小傾斜面からなる欠截段差部２２を形成した。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力室と、圧力室に供給する液体が導入される共通液体室と、この共通液体室と前記圧力室を連通して前記共通液体室内の液体を前記圧力室側に供給する液体供給路とを備え、
駆動源によって前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることにより、圧力室内の液体を前記ノズル開口から液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドであって、
共通液体室側の底面から天井面に向けて深さが徐々に浅くなる上り傾斜面と、この傾斜面に連続し、前記天井面に対して間隙を有する状態で平行に設けられた頂上面と、この頂上面に連続し、圧力室側の底面に向けて深さが徐々に深くなる下り傾斜面とからなる丘状仕切壁部を設け、
前記頂上面と前記天井面との間には、液体の流れ方向に対して交差する方向に複数の柱部を列設して、各柱部、前記頂上面、及び、前記天井面で区画される複数の分流路を形成し、
前記丘状仕切壁部における前記圧力室側と前記共通液体室側の両肩部に、平坦面及び小傾斜面からなる欠截段差部を形成し、両欠截段差部及び前記頂上面と前記天井面との間の間隙を前記液体供給路としたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記丘状仕切壁部は、前記欠截段差部を、上り傾斜面及び下り傾斜面に沿って複数有することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記欠截段差部は、ウェットエッチングによる浸食によって形成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記分流路の断面は矩形であり、その対角線の長さは、前記ノズル開口の直径よりも小さいことを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに関するものであり、特に、液体噴射ヘッドの応答性の向上と記録画像の画質安定化を両立させることが可能な液体噴射ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体を液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を吐出する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドから液体状のインクをインク滴として吐出させて記録を行うインクジェット式記録装置（プリンタ）等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画像記録装置に限らず、ディスプレー製造装置などの各種の製造装置にも応用されている。
【０００３】
液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッドとしては、ノズル開口に連通する圧力室と、この圧力室に供給する液体を導入する共通インク室と、この共通インク室と圧力室を連通して共通インク室内のインクを圧力室側に供給するインク供給路とを備え、駆動源を作動させて圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることによって、圧力室内のインクをノズル開口からインク滴として吐出可能に構成されたものがある。この記録ヘッドとしては、種々の駆動方式のものがある。例えば、圧電振動子や発熱素子等の圧力発生素子を備え、この圧力発生素子を作動させることでインク滴を吐出するように構成されているものや、対向電極間に発生する静電気力により、圧力室を区画する弾性面を弾性変形させてインク滴を吐出するように構成されているもの等がある。
【０００４】
このような記録ヘッドでは、記録速度の高速化の要請があるため、駆動時の高い応答性が求められる。記録ヘッドの応答性を高めるには、インク流路、特に共通インク室と圧力室を連通しているインク供給路の流路抵抗を小さくすることが望ましい。インク供給路の流路抵抗を小さくすると、インク滴吐出後のメニスカス（ノズル開口に露出したインクの自由表面）の残留振動の収束時間を短縮することができるので、高周波駆動に適する。
ところが、流路抵抗を小さくするためにインク供給路の断面積を大きくすると、これに伴ってイナータンスも減少する。イナータンスが減少すると、インク滴の吐出に伴う共通インク室の圧力振動が、インク滴の飛翔速度に影響を及ぼし易くなる。これにより、インク滴の飛翔速度にばらつきが生じてインク滴の着弾位置が不安定となり、その結果、記録画像の画質が低下する虞がある。
【０００５】
そこで、記録ヘッドの応答性の向上と記録画像の安定した画質を両立させるべく、共通インク室と圧力室との間に、断面台形状の仕切壁部を設け、この仕切壁部の上面と、天井面（ノズル形成基板）との間をインク供給路（単一流路）とし、さらに、この仕切壁部の上面に複数の柱部をインクの流れる方向に交差（傾斜）する方向に列設して、これらの柱部の間に、単一流路よりも断面積が小さい複数の分流路を形成したものが提案されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００６】
上記各特許文献に記載されている記録ヘッドでは、流路の断面積が比較的大きい単一流路が主にイナータンスの増減に寄与する部分であり、この単一流路よりも断面積が小さい分流路が主に流路抵抗の増減に寄与する部分である。そして、これらの単一流路及び分流路の長さ、幅、深さ等の寸法を最適化することで、インク供給路全体における流路抵抗とイナータンスのバランスを取り、これにより、記録ヘッドの応答性の向上と記録画像の画質安定化の両立が図られている。
【０００７】
また、上記各特許文献の記録ヘッドでは、分流路の断面積をノズル開口の断面積よりも小さくすることで、この分流路でノズル開口の断面積よりも大きい異物を補足することが試みられている。これにより、異物によるノズル開口の詰まりを抑制して、ドット抜け等の不具合を未然に防止することができる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−２８３５６２号公報（第２図〜第５図）
【特許文献２】特開２００４−０７４６７５号公報（第２図〜第４図）
【特許文献３】特開２００３−３０５８４７号公報（第５図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記各文献の構成では、仕切壁部の斜面が急峻で、共通インク室の底面から仕切壁部の上面までの高低差が比較的大きい。そのため、この仕切壁部の共通インク室側斜面の裾の部分でインクが滞り易く、この部分に気泡が溜まる虞がある。そして、成長した気泡が分流路に移動してこの分流路を塞ぐと、共通インク室から個別圧力室へのインク供給が阻害され、ノズル開口からインク滴が正常に吐出されなくなり、印字品質が低下してしまう。
【００１０】
また、上記各文献の記録ヘッドでは、単一流路を、深さや圧力室列設方向の幅が異なる複数の流路で構成したり、或いは、仕切壁部の頂上面に溝部を設け、この溝部と柱部を互い違いに配置することによって分流路を上下２段の千鳥状に構成しているため、インク流路における凹凸が比較的多くなっている。そのため、この凹凸の部分も気泡の滞留の原因となっていた。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、気泡の滞留を防止しつつ、液体噴射ヘッドの応答性の向上と記録画像の画質安定化を両立させることが可能な液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力室と、圧力室に供給する液体が導入される共通液体室と、この共通液体室と前記圧力室を連通して前記共通液体室内の液体を前記圧力室側に供給する液体供給路とを備え、
駆動源によって前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることにより、圧力室内の液体を前記ノズル開口から液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドであって、
共通液体室側の底面から天井面に向けて深さが徐々に浅くなる上り傾斜面と、この傾斜面に連続し、前記天井面に対して間隙を有する状態で平行に設けられた頂上面と、この頂上面に連続し、圧力室側の底面に向けて深さが徐々に深くなる下り傾斜面とからなる丘状仕切壁部を設け、
前記頂上面と前記天井面との間には、液体の流れ方向に対して交差する方向に複数の柱部を列設して、各柱部、前記頂上面、及び、前記天井面で区画される複数の分流路を形成し、
前記丘状仕切壁部における前記圧力室側と前記共通液体室側の両肩部に、平坦面及び小傾斜面からなる欠截段差部を形成し、両欠截段差部及び前記頂上面と前記天井面との間の間隙を前記液体供給路としたことを特徴とする。
【００１３】
上記構成によれば、丘状仕切壁部の両肩部に欠截段差部を形成したので、この欠截段差部の大きさ、即ち、深さや、液体の流れ方向の長さを適切に設定することにより、液体供給路全体における流路抵抗とイナータンスのバランスを容易に調整することができる。つまり、分流路を設けたことに伴うイナータンスの変化分を、欠截段差部の大きさを調整することで補うことができる。これにより、液体噴射ヘッドの駆動時の応答速度を高めつつ、記録画像の良好な画像品質を得るために必要な液滴の飛翔速度を確保することが可能となる。即ち、液体噴射ヘッドの応答性の向上と記録画像の画質安定化の両立をより容易に図ることができる。
【００１４】
また、丘状仕切壁部の両肩部に、平坦面と小傾斜面からなる欠截段差部を設けることにより、この丘状仕切壁部の傾斜面が緩やかな階段状となるので、急激な高低差を可及的に抑えることができる。これにより、気泡滞留の原因となるような液体の淀みが発生し難くなり、その結果、液体供給路に気泡が滞留することによる不具合、例えば、共通液体室から圧力室への液体の供給が阻害されて吐出不良が発生することを防止することができる。
【００１５】
上記構成において、丘状仕切壁部が、欠截段差部を上り傾斜面及び下り傾斜面に沿って複数有する構成とすることも可能である。
この構成によれば、急激な高低差をより低減することができるので、気泡の滞留をより確実に防止することができる。
【００１６】
また、上記構成において、前記欠截段差部が、ウェットエッチングによる浸食によって形成されることが望ましい。
この構成によれば、ウェットエッチングにおける時間を変化させることで、欠截段差部の大きさを高い精度で調整することができるので、液体供給路全体における流路抵抗とイナータンスのバランスをより容易に調整することが可能となる。
【００１７】
また、上記各構成において、前記分流路の断面が矩形であり、その対角線の長さは、前記ノズル開口の直径よりも小さいことが望ましい。
この構成によれば、ノズル開口の目詰まりの原因となるような大きさの異物は、この分流路において捕捉されるので、この異物の圧力室側への浸入を阻止することができる。その結果、ノズル開口の目詰まりを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式プリンタ（液体噴射装置の一種）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて説明する。
【００１９】
図１は、本実施形態の記録ヘッド１の構成を示す分解斜視図であり、図２は、記録ヘッド１の圧力室長手方向の断面図である。この記録ヘッド１（ヘッドチップ）は、シリコン製の流路形成基板２の一方の面に、同じくシリコン製のノズル形成基板３を、流路形成基板２の他方の面に、ガラス製の電極基板４を各々配置して積層し、各部材間を接着剤によって接合することで３層構造となっている。
【００２０】
上記ノズル形成基板３は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口３ｎを列状に開設した板材である。上記流路形成基板２には、その表面から異方性エッチングを施すことにより、インク流路となる溝部が形成されており、この溝部の開口部分がノズル形成基板３によって塞がれることにより、各ノズル開口３ｎに対応して設けられた複数の圧力室５、各圧力室共通のインクが導入される共通インク室６（本発明における共通液体室に相当）、及び、共通インク室６と各圧力室５とを連通するインク供給路７（本発明における液体供給路に相当）から成る一連のインク流路が区画される。
【００２１】
流路形成基板２において、共通インク室６となる溝部の底面には、基板厚さ方向に貫通したインク導入口９が開設されている。また、各圧力室５となる溝部の底面には、ヘッド積層方向（図２において上下方向）に弾性変位可能な弾性面として機能する薄肉部５ａが形成されている。そして、流路形成基板２には共通電極端子１０が形成されており、この流路形成基板２は導電性を有するので、上記薄肉部５ａは、共通電極としても機能するようになっている。なお、流路形成基板２における電極基板４が接合される面には、無機ガラスからなる絶縁層（図示せず）が設けられている。
【００２２】
上記電極基板４は、ホウ珪酸ガラスによって作製されている。このホウ珪酸ガラスは、熱膨張率がシリコンと同程度である。このため、温度変化によるヘッド構成部材間の剥離が生じ難くなっている。この電極基板４の流路形成基板２に接合される面において、圧力室５の薄肉部５ａに対向する位置には、トレイ状に浅くエッチングされた凹部４ａが、各圧力室５に対応して形成されている。この凹部４ａの底面には、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）などの薄膜を積層して形成された個別電極１１がそれぞれ敷設されている。各個別電極１１は、各圧力室５に対応して延在するセグメント電極１１ａと、外部に露出している電極端子部１１ｂとから構成されている。そして、電極基板４を流路形成基板２に接合すると、各圧力室５の薄肉部５ａと各個別電極１１のセグメント電極１１ａとが、狭小な隙間を形成した状態でそれぞれ対向する。この隙間は封止材１３によって封止されて密閉状態となっている。
【００２３】
また、この電極基板４には、基板厚さ方向を貫通したインク導入路１２が形成されており、このインク導入路１２は、流路形成基板２との接合状態でインク導入口９と連通するようになっている。このインク導入路１２とインク導入口９を通じて、例えばプリンタ本体側に設けられたインクタンク（図示せず）からのインクが共通インク室６内に導入されるようになっている。そして、共通インク室６のインクは、この共通インク室６から分岐したインク供給路７を通って各圧力室５に分配供給される。
【００２４】
流路形成基板２の共通電極端子１０と、電極基板４の個別電極１１との間には、駆動電圧供給源１５が電気的に接続されている。この駆動電圧供給源１５によって、各個別電極１１と共通電極端子１０との間に駆動電圧が印加される。これにより、共通電極として機能する薄肉部５ａと個別電極１１との間に静電気力が発生し、この静電気力によって、薄肉部５ａが弾性変形して個別電極１１側に撓み、セグメント電極１１ａの表面に吸着する。この結果、圧力室５の容積が増加して、インク供給路７を通じて共通インク室６側からインクが圧力室５内に流入する。そして、駆動電圧供給源１５からの駆動電圧が非印加状態となって静電気力が解除されると、薄肉部５ａはその弾性力によってセグメント電極１１ａの表面から離れて初期状態に復帰する。その結果、圧力室５の容積が急激に減少する。これにより、圧力室５内のインクに圧力変動が生じ、この圧力変動によって圧力室５内のインクの一部が、ノズル開口３ｎからインク滴として吐出される。即ち、薄肉部５ａ、共通電極端子１０、個別電極１１、及び駆動電圧供給源１５は、本発明における駆動源として機能する。
【００２５】
ここで、上記の記録ヘッド１は、インク供給路７の構成に特徴を有している。以下、この点について説明する。
図３（ａ）は、記録ヘッド１におけるインク供給路７の近傍の構成を示す平面図であり、図３（ｂ）は、（ａ）におけるＸ−Ｘ線断面図である（電極基板４は図示せず）。なお、以下では、流路形成基板２の下面（電極基板４との接合面）を基準面とし、ヘッド構成部材の積層方向を上下方向として説明する。したがって、本発明における上下方向は、実際に記録ヘッド１が使用される際の上下方向とは必ずしも一致しない。
【００２６】
ノズル形成基板３における流路形成基板２との接合面には、インク供給路７に対応する部分をＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）によって浅くエッチングすることにより、略矩形状の窪部１８が形成されている。この窪部１８は、図３（ａ）において仮想線（破線）で示すように、液体供給路７毎に、その液体供給路７を概ね覆う状態にそれぞれ設けられており、この窪部１８において以下に説明する丘状仕切壁部２０に対向する面１８´が、本発明における天井面に相当する。
【００２７】
流路形成基板２において、共通インク室６と圧力室５との間には、共通インク室６側の底面６ａからノズル形成基板３の天井面１８´に向けて深さが徐々に浅くなる上り傾斜面２０ａと、この上り傾斜面２０ａに連続し、天井面１８´に対して狭小な間隙を有する状態で平行に設けられた頂上面２０ｂと、この頂上面２０ｂに連続し、圧力室５側の底面（薄肉部５ａ）に向けて深さが徐々に深くなる下り傾斜面２０ｃとからなる丘状仕切壁部２０が形成されている。なお、傾斜面２０ａ，２０ｃと頂上面２０ｂとは、それぞれの延長上で仮想的に連続している。
この丘状仕切壁部２０における共通インク室６側の肩部２１ａと圧力室５側の肩部２１ｂには、平坦面２２ａ及び小傾斜面２２ｂからなる欠截段差部２２がそれぞれ形成されている。即ち、丘状仕切壁部２０は、傾斜面２０ａ（２０ｂ）、平坦面２２ａ、小傾斜面２２ｂ、及び頂上面２０ｂが連続した２段の階段状を呈している。そして、両欠截段差部２２及び頂上面２０ｂと天井面１８´との間の間隙がインク供給路７となっている。この欠截段差部２２は、インク供給路７において主にイナータンスの増減に寄与する部分である。なお、欠截段差部２２において、平坦面２２ａは、天井面１８´と平行であり、小傾斜面２２ｂの底面５ａ，６ａに対する傾斜角度は、傾斜面２０ａ，２０ｂの底面５ａ，６ａに対する傾斜角度と同一である。
【００２８】
また、上記丘状仕切壁部２０の頂上面２０ｂと天井面１８´との間には、インクの流れ方向Ａに対して交差（傾斜）する方向に複数の柱部２５を等間隔に列設して、各柱部２５、頂上面２０ｂ、及び、天井面１８´で区画される複数の分流路２６が形成されている。つまり、液体供給路７は、その途中、具体的には、頂上面２０ｂにおけるインクの流れ方向Ａの中央位置に複数の分流路２６を有する構成となっている。この分流路２６は、ノズル形成基板３における窪部１８の形成時に、柱部２５が一定間隔で残るようにエッチングすることにより形成されたものである。即ち、各柱部２５は、天井面１８´としての窪部１８側から丘状仕切壁部２０の頂上面２０ｂ側に向けて突設されている。この分流路２６は、インク供給路７において主に流路抵抗を付与する部分である。そして、本実施形態における分流路２６の断面は矩形状となっており、その対角線の長さは、ノズル開口３ｎの直径より小さい寸法に設定されている。これにより、ノズル開口３ｎの目詰まりの原因となるような大きさの異物は、この分流路２６において捕捉され、圧力室５側への浸入が阻止されるようになっている。その結果、ノズル開口３ｎの目詰まりを防止することができる。なお、液体供給路７において、分流路２６以外の部分を単一流路ともいう。
【００２９】
ここで、上述したように、流路形成基板２におけるインク流路（共通インク室６、インク供給路７、及び圧力室５）を構成する溝部は、水酸化カリウム水溶液等のエッチング溶液を用いて表面から異方性エッチング（ウェットエッチング）を施すことにより形成されており、これらの溝部の形状は、シリコンの結晶方位によって規定される。即ち、インク流路を構成している溝部の各壁面は、結晶方位面で構成されており、隣り合う圧力室５を仕切る壁面Ｆ（図３（ａ）参照）の方向（＝インクの流れ方向Ａ）をオリエンテーションフラット（所謂オリフラ）とすると、各壁面同士が交わる部分の交線は、壁面Ｆに対して約７０°の角度で傾斜している（図３（ａ）においてＢで示す傾斜方向）。そして、本実施形態の柱部２５は、図３（ａ）に示すように、各壁面の交線方向Ｂに沿って列設されている。
【００３０】
上記丘状仕切壁部２０の両肩部２１ａ，２１ｂに設けられた欠截段差部２２もウェットエッチングによる浸食によって形成されているので、このウェットエッチングの時間を変化させることで、その大きさ、即ち、深さや、インクの流れ方向Ａの長さを任意且つ高精度に調整することができる。例えば、この欠截段差部２２が形成されている部分の流路を直方体に近似し、欠截段差部２２の深さ（天井面１８´から平坦面２２ａまでの距離）をｄ、そのインク流れ方向Ａの長さをＬ、その幅（即ち、インク供給路７の幅で一定）をｗ、インク粘度をμ、インク密度をρとすると、流路抵抗ＲとイナータンスＭは次の近似式で導かれる。
Ｒ＝｛８μ（ｗ＋ｄ）２Ｌ｝／（ｗ×ｄ）３  …（１）
Ｍ＝ρＬ／（ｗ×ｄ）                    …（２）
したがって、分流路２６の流路抵抗とイナータンスを考慮した上で、上記欠截段差部２２の大きさを適切に設定することにより、インク供給路７全体における流路抵抗とイナータンスのバランスを容易に調整することができる。
【００３１】
このように、丘状仕切壁部２０に欠截段差部２２を設け、この欠截段差部２２の大きさを調整することにより、流路抵抗を付与するための分流路２６を設けたことに伴うイナータンスの変化分を補うことができる。これにより、記録ヘッド１の駆動時の応答速度を高めつつ、記録画像の良好な画像品質を得るために必要なインク滴の吐出スピード（飛翔速度）を確保することが可能となる。即ち、記録ヘッド１の応答性の向上と記録画像の画質安定化の両立をより容易に図ることができる。
【００３２】
また、上記丘状仕切壁部２０の両肩部２１ａ，２１ｂに欠截段差部２２を設けることにより、この丘状仕切壁部２０の傾斜面が緩やかな階段状に構成されているので、インク流路における急激な高低差を可及的に抑えることができる。これにより、気泡滞留の原因となるインクの淀みが発生し難くなり、その結果、インク供給路７に気泡が滞留することによる不具合、例えば、共通インク室６から圧力室５へのインクの供給が阻害されて吐出不良が発生することや、気泡が有するコンプライアンスによって吐出特性が変化することを防止することができる。
したがって、上記記録ヘッド１では、気泡の滞留による不具合を防止しつつ、駆動時の応答性の向上と記録画像の画質安定化を両立させることが可能である。
【００３３】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
上記実施形態では、丘状仕切壁部２０の両肩部２１ａ，２１ｂに欠截段差部２２を夫々１つずつ設けた構成を示したが、これには限らない。例えば、図４に示すように、丘状仕切壁部２０に、複数の欠截段差部２２を傾斜面２０ａ，２０ｂに沿って複数有する構成とすることも可能である。同図の例では、丘状仕切壁部２０の両肩部２１ａ，２１ｂに夫々２つの欠截段差部２２，２２´が形成され、丘状仕切壁部２０が３段構造となっている。この構成によれば、急激な高低差を一層低減することができるので、気泡の滞留をより確実に防止することができる。
【００３４】
上記実施形態では、駆動源としての薄肉部５ａ、共通電極端子１０、個別電極１１、及び駆動電圧供給源１５によって、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることによりインク滴を吐出する記録ヘッド１を例示したが、これには限らず、圧電振動子や発熱素子等の駆動源によってインク滴を吐出する記録ヘッドにも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明を適用した記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図２】記録ヘッドの圧力室長手方向の断面図である。
【図３】（ａ）は、記録ヘッドにおけるインク供給路の近傍の構成を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態の構成を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  記録ヘッド，２  流路形成基板，３  ノズル形成基板，４  電極基板，５  圧力室，６  共通インク室，７  インク供給路，９  インク導入口，１０  共通電極端子，１１  個別電極，１２  インク導入路，１３  封止材，１５  駆動電圧供給源，１８  窪部，２０  丘状仕切壁部，２１  肩部，２２  欠截段差部，２５  柱部，２６  分流路
【図１】
2006255933.tif 000003
【図２】
2006255933.tif 000004
【図３】
2006255933.tif 000005
【図４】
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