(57)【要約】  【課題】  中間電極をＰＤＰに適用する場合において、中間電極とバス電極を問題なく接続可能な構成を有するＰＤＰを提供する。  【解決手段】  第１誘電体層１０６ａ上に第２誘電体層１０６ｂが積層されており、第１誘電体層１０６ａを挟んで前記積層方向における位置が互いに異なるように並設されたバス電極１０４ａと中間電極１０５ａとを有するガス放電表示パネルであって、バス電極１０４ａ及び中間電極１０５ａは、それぞれ第１誘電体層１０６ａの端部よりも外方に延出されてなる延出部１０４ｇ及び延出部１０５ｇを有し、延出部１０４ｇと延出部１０５ｇとが積層方向において重なって接続されている。  【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１誘電体層上に第２誘電体層が積層され、前記第１誘電体層を挟んで前記積層方向における位置が互いに異なるように並設された第１電極と第２電極とを有するガス放電表示パネルであって、
前記第１電極及び前記第２電極は、それぞれ前記第１誘電体層の少なくとも一方の端部よりも外方に延出されてなる第１延出部及び第２延出部を有し、
前記第１延出部及び第２延出部は、前記積層方向において重なって接続されている重複領域を有するガス放電表示パネル。
【請求項２】
前記ガス放電表示パネルは、基礎部材を有し、
前記第1の誘電体及び第１延出部は、前記基板部材上に接合されており、
前記重複領域の長さが、所定長以上となっている請求項１記載のガス放電表示パネル。
【請求項３】
前記重複領域の長さが、０．５ｍｍ以上、５.０ｍｍ以下である請求項２記載のガス放電表示パネル。
【請求項４】
前記第２延出部は、前記第１延出部よりも短かく、第１延出部の先端において、前記重なり合いが生じていない非重複領域を有する請求項２記載のガス放電表示パネル。
【請求項５】
前記非重複領域の長さは、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下である請求項３記載のガス放電表示パネル。
【請求項６】
前記第２延出部は、前記第１延出部よりも長く、第１延出部の端部から前記基礎部材へと達し、前記基礎部材と接合されている請求項２記載のガス放電表示パネル。
【請求項７】
前記基礎部材と前記第２延出部との接合が生じている接合領域の長さは、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下である請求項６記載のガス放電表示パネル。
【請求項８】
前記第１延出部の幅と前記第２延出部の幅が異なっている請求項２記載のガス放電表示パネル。
【請求項９】
第２延出部の幅は、第１延出部の幅と略同一である請求項２記載のガス放電表示パネル。
【請求項１０】
第１電極及び第２電極は、前記積層方向と、第１電極及び第２電極の少なくとも一方の長手方向とに直交する方向において、相対的位置がオフセットしており、
前記第１電極は、前記第１延出部に至る前の領域において、前記オフセット量を減少させるように、第２電極側へと近づく第１アプローチ部を有する請求項１記載のガス放電表示パネル。
【請求項１１】
第１電極及び第２電極は、前記積層方向と直交する方向において、相対的位置がオフセットしており、
前記第２電極は、前記第２延出部に至る前の領域において、前記オフセットの量を減少させるように、第１電極側へと近づく第２アプローチ部を有する請求項１記載のガス放電表示パネル。
【請求項１２】
第１電極及び第２電極は、前記積層方向と直交する方向において、相対的位置がオフセットしており、
前記第１延出部の一部が、前記オフセットの量を減少させる方向に拡幅されている請求項８記載のガス放電表示パネル。
【請求項１３】
前記第１電極及び前記第２電極は、同一材料からなる請求項１から１２のいずれかに記載のガス放電表示パネル。
【請求項１４】
前記重なり合いが生じている重複領域のすくなくとも一部分において、前記第１電極及び前記第２電極の少なくとも一方の厚みが重複領域以外の領域に比べ薄くなっている請求項１に記載のガス放電表示パネル。
【請求項１５】
ガス放電表示パネルの製造方法であって、
基板上に導電性材料を線状に塗布した後に焼成することにより第１電極を形成する第１電極形成ステップと、
前記基板上における前記第１電極の少なくとも一方の端部が存在する第１領域以外の第２領域において、誘電性材料を塗布した後に焼成することにより、誘電体層を形成する誘電体層形成ステップと、
前記第１領域と第２領域との境界部を跨ぎ、かつ、前記第１領域においては前記基板の厚み方向において前記第１電極と重なるよう、導電性材料を線状に塗布した後に焼成することにより第２電極を形成する第２電極形成ステップとを有するガス放電表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス放電表示パネルに関し、特に、プラズマディスプレイパネルの中間電極とバス電極とを接続する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータやテレビ等に用いられているガス放電表示パネルを用いたディスプレイ装置において、プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」という。）は、大型で薄型軽量化を実現することのできるディスプレイデバイスとして注目され、急速に普及しつつあり、又、その一方で様々な改善がなされている。
例えば、異電極間に挟まれた誘電体内に、一方の電極の電位と同電位の中間電極を挿設することにより、上記誘電体の静電容量を高めて電磁波の発生を抑制するように改善がなされたプラズマディスプレイがある。（例えば、特許文献１）
また、ＰＤＰの発光効率を向上させる取り組みも盛んに行われており、これについても、表示電極と放電空間に挟まれる誘電体層の静電容量の高容量化は有効であり、この静電容量の高容量化を達成するのに中間電極を用いたＰＤＰがある。（例えば、特許文献２）
図８は、中間電極をＰＤＰに適用した場合の具体的例を示す図である。
【０００３】
ＰＤＰ１１００は、互いに主面を対向させて配設された前面板１０９０および背面板１０９１から構成される。
前面板１０９０は、透明電極１１０３とバス電極１１０４とからなる１対の表示電極１１０２が表面に配された前面ガラス基板１１０１上に、誘電体層１１２３と保護層１１０７とが順次積層され、前記誘電体層１１２３中に、中間電極１１０５ａ及び中間電極１１０５ｂとからなる1対の中間電極１１０５が挿設されてなる。
【０００４】
透明電極１１０３は、透明電極１１０３ａ及び透明電極１１０３ｂで１対が構成され、また、バス電極１１０４は、バス電極１１０４ａ及びバス電極１１０４ｂで１対が構成される。
バス電極１１０４ａと中間電極１１０５ａとが同電位となり、また、バス電極１１０４ｂと中間電極１１０５ｂとが同電位となるようにＰＤＰ１１００内において電気的接続がなされている。
【０００５】
また、互いに接続される放電セル内のバス電極と中間電極とは、Ｙ軸方向及びＺ軸方向においてオフセットしている位置関係にある。
背面板１０９１は、背面ガラス基板１１１１と、アドレス電極１１１２と、誘電体層１１１３と、隔壁１１１４と、隣接する隔壁１１１４どうしの間隙（以下、「隔壁溝」という。）の壁面に形成された蛍光体層１１１６とからなる。
【０００６】
前面板１０９０及び背面板１０９１は、重ねられた状態でその周囲を未図示の封止材により封着され、内部に放電空間が形成される。
この放電空間には、放電ガスが封入される。
隣り合う一対の表示電極１１０２と、１本のアドレス電極１１１２とが放電空間を挟んで立体的に交叉する領域の近傍が、画像表示に寄与するセルとなる。
【０００７】
放電空間では、維持放電により発生した紫外線が、蛍光体層１１１６に照射されることにより、この紫外線が可視光に変換され、セルが点灯し、画像が表示される。
上述のような中間電極構造では、誘電体層のコンデンサ部分の厚みが薄くなるため静電容量が増大し、その結果大きな電荷が誘電体層１１２３表面に蓄積され、電界強度が大きくなることによって、放電開始電圧が低下し、発光効率が向上する。
【特許文献１】特開２００２−１２３１８１号公報
【特許文献２】特開２００２−４２６６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述のように、オフセットした位置関係にあるバス電極と中間電極とは電気的に接続されるが、一般のＰＤＰではこのような中間電極が存在しないため、バス電極と中間電極の現実的な接続構造及び現実的な接続方法が確立されていない。
そのため、これら電極の接続に際し、接続不良などの問題が発生することも考えられる。
【０００９】
本発明は、このような問題を解決しようとなされたものであって、中間電極をＰＤＰに適用する場合において、中間電極とバス電極とを問題なく接続可能な構成を有するＰＤＰを提供すること、及び中間電極とバス電極を問題なく接続可能にするＰＤＰの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明のガス放電表示パネルは、第１誘電体層上に第２誘電体層が積層され、前記第１誘電体層を挟んで前記積層方向における位置が互いに異なるように並設された第１電極と第２電極とを有するガス放電表示パネルであって、
前記第１電極及び前記第２電極は、それぞれ前記第１誘電体層の端部よりも外方に延出されてなる第１延出部及び第２延出部を有し、
前記第１延出部と第２延出部とが前記積層方向において重なって接続されている。
【００１１】
また、前記目的を達成するために、本発明のガス放電表示パネルの製造方法は、基板上に導電性材料を線状に塗布した後に焼成することにより第１電極を形成する第１電極形成ステップと、前記基板上における前記第１電極の少なくとも一方の端部が存在する第１領域以外の第２領域において、誘電性材料を塗布した後に焼成することにより、誘電体層を形成する誘電体層形成ステップと、前記第１領域と第２領域との境界部を跨ぎ、かつ、前記第１領域においては前記基板の厚み方向において前記第１電極と重なるよう、導電性材料を線状に塗布した後に焼成することにより第２電極を形成する第２電極形成ステップとを有する。
【発明の効果】
【００１２】
一般に、ガス放電表示パネル、特にＰＤＰを製造する場合、塗布、乾燥、マスキング、露光、エッチング、現像、焼成を順次行い、ガラス基板上に構成部材を順次形成することにより作製され、上記マスキング時にマスキング対象物上に配されるマスキング部材の位置にずれが生じる場合がある。
本発明のガス放電表示パネルもしくはその製造方法は、上述のように第１電極及び第２電極が前記積層方向、即ち、上下方向において重なって接続されている。
【００１３】
つまり、ガス放電表示パネルを製造する際、既に焼成された第１電極上に第２電極の前駆体を塗布し、当該前駆体がポジ型の感光体とすれば、第２電極の形状に合わせてマスキング部材が第２電極の前駆体上に置かれ、特に第１電極と第２電極の接続部分においては、上記マスキング部材が第１電極の直上で当該第１電極と並走することとなる。
したがって、この並走する部位の配設位置において、上下方向及び接続部分の長手方向（以下、「前後方向」という。）にマスキング部材のずれが生じたとしても、第１延出部と第２延出部との接触面積が変わることはない。
【００１４】
また、第１延出部と第２延出部とが同じ幅とすれば、上下方向及び前後方向の両方向に直交する方向（以下、「左右方向」という。）に上記ずれが生じた場合、上記接触面積はずれ量に応じて減少するが、直ちに、断線に至るものではない。
これに対し、仮に第１電極と第２電極とが、左右方向で接続される場合には、ガス放電表示パネルを製造する際、既に焼成された第１電極上に第２電極の前駆体を塗布し、第２電極の形状に合わせてマスキング部材が第２電極の前駆体上に置かれ、特に第１電極と第２電極の接続部分では、上記マスキング部材が第１電極の直上からさらに左右方向の一方に逸れた位置で当該第１電極と並走することとなる。
【００１５】
この並走する部位において、マスキング部材が、上下方向及び前後方向にずれが生じたとしても、第１電極と第２電極との接触面積が変わらない点は、本発明と同じであるが、左右方向に上記ずれが生じた場合、第１電極と第２電極とが左右方向で接する構成であるため、直ちに、断線につながる可能性がある。
したがって、本発明に係るガス放電表示パネルは、第１電極と第２電極との接続が確実になされる。
【００１６】
さらに、前記ガス放電表示パネルは、基礎部材を有し、前記誘電体及び第１延出部は、前記基板部材上に接合されており、前記重なり合いが生じている重複領域の長さが、所定長以上となっていることが望ましい。
第１電極及び第２電極間には、前記誘電体が存在しているので、重複領域に至る前において、前記誘電体の端面上を第１電極及び第２電極の少なくとも一方が上下方向に走る経路が存在しており、この経路部分が収縮すると、その先で互いに接続されているために、第１延出部を基礎部材から剥離させようとする力が働く。
【００１７】
本発明に係るガス放電表示パネルでは、第１電極で生じる内部応力と第２電極で生じる内部応力とが合わさって応力が集中し易い上記重複領域の長さが、所定長以上となっているため、接触面積が十分に確保されて、応力が集中し難く、剥離の発生が抑制される。
また、前記重複領域の長さが、０．５ｍｍ以上、５.０ｍｍ以下であることが望ましい。
【００１８】
これにより、剥離の抑制に寄与しない過剰な重複領域を形成することなく剥離を招かない程度に重複領域の面積が十分に確保される。
また、前記第２延出部は、前記第１延出部よりも短かく、第１延出部の先端において、前記重なり合いが生じていない非重複領域を有することが望ましい。
通常、第１電極及び第２電極の先端部は、その端が単に切り落とされただけの端（以下、「開放端」という。）とすることが自然であり、このような開放端では、収縮時に端部を基準として当該端部から遠ざかる方向に働く応力が発生し、さらに、第１電極と第２電極の開放端の位置が一致することによってさらにそれらの応力が合わさってさらに大きな応力を生む。
【００１９】
本発明に係るガス放電表示パネルでは、上記重なり合いが生じていない領域を有していることにより、即ち、第１電極と第２電極の端がずれていることにより、先端部における応力集中が緩和される。
また、前記非重複領域の長さは、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であることが望ましい。
これにより、剥離の抑制に寄与しない過剰な重複領域が形成されることなく、剥離を招かない程度に重複領域の面積が確保される。
【００２０】
また、前記第２延出部は、前記第１延出部よりも長く、第１延出部の端部から前記基礎部材へと達し、前記基礎部材と接合されているとすることもできる。
これにより、第１電極が開放端でなくなり、前記端部から遠ざかる方向へと働く応力の値が軽減され、第１延出部及び第２延出部の剥離の発生が抑制される。
また、前記基礎部材と前記第２延出部との接合が生じている接合領域の長さは、１ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であることが望ましい。
【００２１】
これにより、剥離の抑制に寄与しない過剰な接合領域が形成されることなく剥離を招かない程度に接合領域の長さが確保される。
また、前記第１延出部の幅と前記第２延出部の幅が異なっているとしてもよい。
これにより、第１延出部と第２延出部の剥がれが抑制される。
また、第１電極及び第２電極は、前記積層方向と、第１電極及び第２電極の少なくとも一方の長手方向とに直交する方向において、相対的位置がオフセットしており、前記第１電極は、前記第１延出部に至る前の領域において、前記オフセット量を減少させるように、第２電極側へと近づいて行く第１アプローチ部を有するとしてもよい。
【００２２】
これにより、第１電極及び第２電極の接続がより容易になる。
また、第１電極及び第２電極は、前記積層方向と直交する方向において、相対的位置がオフセットしており、前記第２電極は、前記第２延出部に至る前の領域において、前記オフセットの量を減少させるように、第１電極側へと近づく第２アプローチ部を有するとしてもよい。
【００２３】
これにより、第１電極及び第２電極の接続がより容易になる。
また、第１電極及び第２電極は、前記積層方向と直交する方向において、相対的位置がオフセットしており、前記第１延出部の一部が、前記オフセットの量を減少させる方向に拡幅されているとしてもよい。
これにより、第１電極及び第２電極の接続がより容易になる。
【００２４】
また、前記第１電極及び前記第２電極は、同一材料からなるとしてもよい。
第１電極及び第２電極が同一材料であるため、両電極間において、物性的な差異、特に熱収縮率の差がなくなるため、接続部分における内部応力の発生が緩和される。
また、前記重なり合いが生じている重複領域において、前記第１電極及び前記第２電極の少なくとも一方の厚みが重複領域以外の領域に比べ薄くなっているとしてもよい。
【００２５】
厚みを薄くすることにより、内部応力値が同じでも、発生する力としては軽減化されるため、剥離の発生が抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（実施の形態）
（構成）
本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態におけるＰＤＰ１００の概略図である。
ＰＤＰ１００は、消費電力の低減化が図られたＰＤＰであり、互いに主面を対向させて配設された前面板９０および背面板９１から構成される。
【００２７】
前面板９０は、１対の表示電極１０２が表面に配された前面ガラス基板１０１上に、誘電体層１０６と保護層１０７とが順次積層され、前記誘電体層１０６中に、第２電極の一例としての中間電極１０５ａ及び１０５ｂが挿設されてなる。
前面ガラス基板１０１は、前面板９０を作製する際のベースとなる矩形状のガラス基板である。
【００２８】
誘電体層１０６は、誘電性材料からなる第１誘電体層１０６ａ及び第２誘電体層１０６ｂが積層されてなる。
より具体的には、第１誘電体層１０６ａ及び第２誘電体層１０６ｂは、通常、鉛系低融点ガラスが用いられているが、ビスマス系低融点ガラス、或は鉛系低融点ガラスとビスマス系低融点ガラスの積層物で形成しても良い。
【００２９】
１対の表示電極１０２は、それぞれＩＴＯ、ＳｎＯ2、またはＺｎＯ等の導電性金属酸化物を帯状に複数形成した透明電極１０３ａ及び１０３ｂ上に、それぞれＡｇを含む導電性材料からなる第１電極の一例としてのバス電極１０４ａ及び１０４ｂが載設されてなる。
バス電極１０４a及びバス電極１０４bは、遮光性を有するのため、発光効率の低下を避けるために、Ｙ軸方向において、発光中心となるセルの中心から遠ざかる位置に配されており、一方の端に外部接続用の端子部１０８が設けられている。
【００３０】
一方、中間電極１０５ａと中間電極１０５ｂは、バス電極と同様にＡｇを含む導電性材料からなり、上記バス電極と同様に遮光性を有しているが、共にＹ軸方向において、放電セルの中心寄りに配されている。
バス電極１０４ａと中間電極１０５ａ、バス電極１０４ｂと中間電極１０５ｂとが、それらの両端部近傍において、それぞれ電位を同じにするために電気的に接続されている。
【００３１】
中間電極１０５ａと中間電極１０５ｂとを敢えて、発光の放射の妨げとなる放電セルの中心寄りに配している目的は、放電開始時において、２次電子放出の確率が高いポイントに中間電極１０５ａ及び１０５ｂを配し、特にこの部分の静電容量を高めことに重きを置くためである。
また、放電セル内の中間電極１０５ａ及び１０５ｂは、Ｚ軸方向において、１対の表示電極１０２の配設位置よりも放電空間側により近い位置に存在している。
【００３２】
これは、誘電体層１０６のコンデンサ部分の厚みを小さくとり、コンデンサ容量を高めるためである。
したがって、互いに接続されている放電セル内のバス電極と中間電極とは、Ｙ軸方向及びＺ軸方向においてオフセットしている位置関係にある。
背面板９１は、背面ガラス基板１１１と、アドレス電極１１２と、誘電体層１１３と、隔壁１１４と、隣接する隔壁１１４どうしの間隙、即ち、隔壁溝の壁面に形成された蛍光体層１１５とからなる。
【００３３】
背面ガラス基板１１１は、背面板９１を作製する際のベースとなる矩形状のガラス基板であり、Ｘ軸方向の長さが前面ガラス基板１０１よりも短い。
アドレス電極１０７は、Ａｇを含む金属電極（例えば、銀電極あるいはＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ電極）であって、背面ガラス基板１１１上の片面に、ｙ方向を長手方向として、ストライプ状に形成したものである。
【００３４】
誘電体層１１３は、誘電体層１０６と同様に、誘電材料からなり、より具体的には、鉛系低融点ガラスが用いられているが、ビスマス系低融点ガラス、或は鉛系低融点ガラスとビスマス系低融点ガラスの積層物で形成しても良い。
隔壁１１４は、絶縁性材料からなる部材であって、隣接するアドレス電極１１２間に、これらアドレス電極１１２と平行してストライプ状に形成されている。
【００３５】
蛍光体層１１５は、隣接する隔壁１１４間、即ち、隔壁溝の壁面に形成されており、紫外線が照射されることにより可視光を発光するものであって、隣接する隔壁１１４どうしの間隙、即ち、隔壁溝の壁面及び誘電体層１１３上に、ＲＧＢのいずれかに対応する蛍光体層１１５が形成されている。
より具体的には、この蛍光体層１１５は、放電された紫外線により赤、緑、青のそれぞれ異なる波長の光を発光する３種があり、隔壁溝の内壁に、赤、緑、青の蛍光体の順で繰り返し塗布されている。
【００３６】
これら赤、緑、青発光の各蛍光体層１１５の材料としては、それぞれ（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ、Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ及びＢａＭｇ2Ａｌ14Ｏ24：Ｅｕなどの蛍光体が用いられる。
前面板９０及び背面板９１は、重ねられた状態でその周囲を未図示の封止材により封着され、内部に放電空間が形成される。
【００３７】
この放電空間には、Ｈｅ、Ｘｅ、Ｎｅなどの希ガス成分からなる放電ガス（封入ガス）が５００〜６００Ｔｏｒｒ（６６．５〜７９．８ｋＰａ）の圧力で封入されている。
隣り合う一対の表示電極１０２と、１本のアドレス電極１１２とが、放電空間１１６を挟んで立体的に交叉する領域の近傍が画像表示に寄与するセルとなる。
放電空間１１６では、維持放電により発生した紫外線が、蛍光体層１１５に照射されることにより、この紫外線が可視光に変換され、セルが点灯し、画像が表示される。
（バス電極と中間電極との接続構造について）
図２は、図１のＢ部における部分断面図である。
【００３８】
以下、バス電極と中間電極との間に生じているオフセット（以下、「電極間オフセット」という。）を解消し、両電極が接続するまでの構造について説明する。
放電セルが存在する領域（以下、「表示領域」という。）においては、バス電極１０４ａ及び１０４ｂと、中間電極１０５ａ及び１０５ｂとは、互いに平行であって、Ｙ軸及びＺ軸方向の両方向において電極間オフセットが生じている。
【００３９】
ここで、同電位となるバス電極１０４ａ（スキャン電極側）と中間電極１０５ａに着目して説明する。
なお、バス電極１０４ａ及び中間電極１０５ａ、さらに、バス電極１０４ｂ及び中間電極１０５ｂが、それぞれ両端部において接続しているので、バス電極１０４ｂと中間電極１０５ｂの接続部形状は、バス電極１０４ａ及び中間電極１０５ａの図１のＸ軸方向においてＢ部が位置する側と相反する側における接続構造と同構造である。
【００４０】
また、バス電極１０４ａ及び中間電極１０５ａ（スキャン電極側）のＢ部における接続構造は、バス電極１０４ｂ及び中間電極１０５ｂ（サステイン電極側）のＢ部が位置する側と相反する側の接続構造と同構造である。
中間電極１０３ａは、上記表示領域の外方の領域（以下、「非表示領域」という。）内のポイント２０５ａ及びポイント２０５ｂ間において、Ｙ軸方向の電極間オフセットを解消する方向に経路変更し、その後、非表示領域内のポイント２０４ａ及びポイント２０４ｂ間において、Ｚ軸方向の電極間オフセットを解消する方向に経路変更する。
【００４１】
また、互いに同電位となるバス電極１０４ｂ（サステイン電極側）と中間電極１０５ｂについても、ＸＺ平面を基準として左右対称形状となっている以外は、バス電極１０４ａと中間電極１０５ａとの関係と同様の経路となる。
上述のように、バス電極１０４ａ及び１０４ｂと、中間電極１０５ａ及び１０５ｂとが、それぞれ接続される接続部に着目すると、両電極がＹ軸方向から接続（以下、「Ｙ軸方向接続」という。）されるのではなく、Ｚ軸方向から接続（以下、「Ｚ軸方向接続」という。）されている。
【００４２】
バス電極１０４ａ及び中間電極１０５ａは、第１誘電体層１０６ａの端部よりもさらに外方にそれぞれ延出されている、第１延出部の一例としての延出部１０４ｇと延出部１０５ｇとを有しており、また、バス電極１０４ｂ及び中間電極１０５ｂは、第２誘電体層１０６ｂの端部よりもさらに外方にそれぞれ延出されている、第２延出部の一例としての延出部１０４ｈと延出部１０５ｈとを有している。
【００４３】
以下、これら延出部１０４ｇ、延出部１０５ｇ、延出部１０４ｈ及び延出部１０５ｈの寸法について述べる。
延出部１０４ｇと延出部１０５ｇとがあるスキャン電極側及び延出部１０４ｈと延出部１０５ｈとがあるサステイン電極側において、上記接続部の長手方向における長さをそれぞれＬ１及びＬ３とし、バス電極と中間電極とが接続部を基準としてさらに端部側の領域において重なり合いが生じていない部分の長さをそれぞれＬ２及びＬ４とすると、これらＬ１、Ｌ２、Ｌ３及びＬ４の各値は、以下の関係にある。
【００４４】
0.5≦Ｌ１≦5.0
0.5≦Ｌ３≦5.0
1.0≦Ｌ４≦10.0
1.0≦Ｌ２≦10.0
以下、上述のようにＬ１、Ｌ２、Ｌ３及びＬ４の値を決めている理由について説明する。
（試作品評価）
発明者らは、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３及びＬ４の値を決定するに当たり、事前にこれらの値を変えたＰＤＰを複数試作し、バス電極と中間電極とが問題なく接続できるかどうかを確認した。
【００４５】
その結果、一部の試作品の接続部に、図３に示すように、第１誘電体層１０６ａの端部（Ｃ部）における接続部（Ｄ部）及び接続部の終端近傍（Ｅ部）において、ＰＤＰ製造過程、より具体的には、焼成工程後において、バス電極１０４ａ、１０４ｂが前面ガラス基板１０１から剥がれているものがあることが判明した。
発明者らは、鋭意検討の末、Ｄ部における剥離発生状況とバス電極１０４ａ及び中間電極１０５ａ間における接続部の長さＬ１との間に因果関係があることを発見した。
【００４６】
さらに、発明者らは、Ｅ部における剥離発生状況と上記接続部の外方（端部側）における重なり合いが生じていない部分の長さＬ４との間にも因果関係があることを発見した。
表１は、図３に示すＬ１の値に着目したＤ部の剥がれ発生状況を示す。
ここで、Ｌ１は、Ｄ部における接続部の長さ、即ち、第１誘電体層１０６ａを挟んでＺ軸方向における位置が互いに異なるように並設されたバス電極１０４ａと中間電極１０５ａとが、第１誘電体層１０６ａの端部よりも外方に延出されているところでＺ軸方向において重なって接続されている箇所の長さをいう。
【００４７】
【表１】
2006216275.tif 000003
上記剥離判定結果欄に記載の符号の意味は以下の通りである。
×は、剥離が発生したことを意味する。
【００４８】
△は、剥離は発生していないが、剥離する兆候があることを意味する。
○は、剥離の発生及び兆候が見られないことを意味する。
上記結果から、Ｌ１の値は、0.5mm以上でなければ剥離が発生する可能性が高い。
このため、本実施の形態におけるＰＤＰ１００では、Ｌ１の長さを0.5mm以上、5.0mm以下とした。
【００４９】
ここで、Ｌ１の長さを5.0mm以下としている理由は、上記接続部が存在している領域は非表示領域であるが、この非表示領域は、ＰＤＰの軽薄短小化の観点からできるだけ小さくすることが望ましく、そのため現実的に確保可能な寸法が5.0mm以下となるからである。
（Ｄ部における剥離発原因について）
透明電極１０３ａ及び１０３ｂ、バス電極１０４ａ及び１０４ｂ、第１誘電体層１０６ａ及び第２誘電体層１０６ｂ、中間電極１０５ａ及び１０５ｂは、それぞれ、各部材の前駆体となるインク又はペーストを塗布し、その後、乾燥、マスキング、露光、エッチング及び現像を順次実行することにより形成される。
【００５０】
各前駆体の焼成時には、前駆体中の有機成分が気化することにより、体積収縮が生じ、その結果、内部応力が発生する。
無論、中間電極１０５ａ及び１０５ｂも例外ではなく、その前駆体の焼成に伴って収縮が生じる。
特に、第１誘電体層１０６ａの端部の斜面に塗布された中間電極１０５ａの前駆体が収縮すると、ＸＺ平面内のＺ軸方向に近い方向に内部応力が発生し、この内部応力の発生箇所の近傍に位置する接続部に応力が集中し、バス電極１０４ａを前面ガラス基板１０１から引き剥がそうとする。
【００５１】
接続部の長さＬ１を大きくすることは、上記応力集中を緩和することになるものと考えられる。
表２は、図３に示すＬ４の値に着目したＥ部の剥がれ発生状況を示す。
【００５２】
【表２】
2006216275.tif 000004
上記剥離判定結果欄に記載の符号の意味は、表１と同様である。
このように、Ｅ部におけるバス電極１０４ａと中間電極１０５ａとがＺ軸方向において重なり合っていない箇所(以下、「端部未接続部」という。)の長さが、1.0mm以上でなければ剥離が発生する可能性が高い。
【００５３】
このため、本実施の形態におけるＰＤＰ１００では、Ｌ4の長さを1.0mm以上、10mm以下としている。
ここで、Ｌ4の長さを10mm以下としているのは、端部未接続部は、バス電極にとっては機能上不要な部分であり、軽薄短小化の観点からすればＬ４の値は、０に近い方が望ましく、現状のＰＤＰ構造上問題とならない程度が10mmであるため、この値を最大値として規定した。
（Ｅ部における剥離発原因について）
仮にＬ４の値が０の場合、即ち、中間電極１０５ｂの端部とバス電極１０４ｂの端部とが揃っている場合を考える。
【００５４】
中間電極１０５ｂを形成する場合、既に形成されたバス電極１０４ｂ上に中間電極１０５ｂの前駆体が塗布され、その後、乾燥、マスキング、露光、エッチング、焼成が順次なされる。
上記焼成時において、バス電極１０４ｂ上に塗布された中間電極１０５ｂの前駆体の体積収縮が生じ、内部応力が生じており、さらに、バス電極１０４ｂにおいても、バス電極１０４ｂと同様にその形成過程で内部応力が生じている。
【００５５】
ここで、バス電極１０４ｂ及び中間電極１０５ｂの接続部における長手方向の中央部分に着目すると、当該中央部分の長手方向においては、端部側に引っ張る力と表示領域側に引っ張る力とが略同一の大きさで働いており、２つの力が釣り合っているため、内部応力が生じていても、バス電極１０４ｂを前面ガラス基板１０１から剥離させる力は生じない。
【００５６】
一方、中間電極１０５ｂ及びバス電極１０４ｂの端部では、その外方には何もない状態、即ち、開放端となっているため、長手方向においては、それぞれ表示領域側に引っ張る力（以下、「引っ張り力」という。）しか生じ得ず、この２つの引っ張り力の合力が剥離を生じさせるものと考えられる。
したがって、本実施の形態では、中間電極１０５ｂの端部の位置がバス電極１０４ｂの端部の位置よりも表示領域側に近づくようにし、上記２つの引っ張り力が長手方向における同位置で作用しないように両電極の端部の位置をずらした。
【００５７】
なお、両電極の端部の位置をずらすため、バス電極１０４ａ及び１０４ｂの端部が、中間電極１０５ａ及び１０５ｂの端部よりも短かくてもよく、その場合、中間電極１０５ａ及び１０５ｂの先端部が拡幅され端子部１０８のような形状が形成される。
（製造方法）
本実施の形態におけるＰＤＰ１００の製造方法は、バス電極と中間電極との接続部の形成方法に特徴を有している。
【００５８】
以下、バス電極と中間電極との接続部の形成方法について説明する。
ここで、上記接続部が位置する部位、即ち、表示電極の長手方向における端部近傍に着目することにする。
１）蒸着法又はスパッタリング法などの公知技術を用いて、厚さ約２．８ｍｍのソーダガラスからなる前面ガラス基板４０１の表面上に、厚さ約１４００オングストロームのＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）またはＳｎＯ2などの導電体材料を平行に複数列生成することにより、図４（ａ）に示すような透明電極１０３ａ及び１０３ｂを前面ガラス基板１０１上に形成する。
２）図４（ｂ）に示すように、スクリーン印刷法又はフォトリソグラフィー法などの公知技術を用いて、透明電極１０３ａ及び１０３ｂと前面ガラス基板１０１とを覆ってＡｇを含むポジ型感光性ペースト（以下、「バス電極前駆体５０４ａ」という。）を塗布し、乾燥させる。
３）図４（ｃ）に示すように、マスキング部材３０２ａ及び３０２ｂをバス電極前駆体５０４ａ上に載置し、上方から紫外線を照射して露光する。
４）図４（ｄ）に示すように、現像液で露光部分を洗い流すことにより現像し、その後、ピーク温度摂氏５５０度〜摂氏６００度に設定されたプロファイルで焼成する。
５）図５（ｅ）に示すように、スクリーン印刷法又はフォトリソグラフィー法などの公知技術を用いて、透明電極１０３ａ及び１０３ｂと、バス電極１０４ａ及び１０４ｂと、前面ガラス基板１０１とが覆われるように第１誘電体層１０６ａの前駆体（以下、「誘電体層前駆体５０６ａ」という。）を塗布し、乾燥する。
６）図５（ｆ）に示すように、マスキング部材１０６ａを誘電体層前駆体５０６ａ上に載置し、上方から紫外線を照射して露光する。
７）図５（ｇ）に示すように、現像液で露光部分を洗い流すことにより現像し、その後、ピーク温度摂氏５５０度〜摂氏６００度に設定されたプロファイルで焼成する。
８）図６（ｈ）に示すように、スクリーン印刷法又はフォトリソグラフィー法などの公知技術を用いて、第１誘電体層１０６ａと、バス電極１０４ａ及び１０４ｂと、前面ガラス基板１０１とを覆ってＡｇを含むポジ型感光性ペースト（以下、「中間電極前駆体５０５ａ」という。）を塗布し、乾燥させる。
９）図６（ｉ）に示すように、マスキング部材３０４ａ及び３０４ｂを中間電極前駆体５０５ａ上に載置し、上方から紫外線を照射して露光する。
【００５９】
これらマスキング部材３０４ａ及び３０４ｂは、それぞれ端部に近づくにつれて、先ず、Ｙ軸方向において接続相手のバス電極の上方へと経路変更し、さらに、Ｚ軸方向においてバス電極に重なるように経路変更する形状となっている。
１０）図６（ｊ）に示すように、現像液で露光部分を洗い流すことにより現像し、その後、ピーク温度摂氏５５０度〜摂氏６００度に設定されたプロファイルで焼成する。
１１）図７（ｋ）に示すように、スクリーン印刷法又はフォトリソグラフィー法などの公知技術を用いて、第１誘電体層１０６ａと、バス電極１０４ａ及び１０４ｂと、前面ガラス基板１０１とを覆って第２誘電体層１０６ｂの前駆体（以下、「誘電体層前駆体５０６ｃ」という。）を塗布し、乾燥する。
１２）マスキング部材５０７を誘電体層前駆体５０６ｃ上に載置し、上方から紫外線を照射して露光する。
１３）現像液で露光部分を洗い流すことにより現像し、その後、ピーク温度摂氏５５０度〜摂氏６００度に設定されたプロファイルで焼成して、第２誘電体層１０６ｂを形成する。
（Ｚ軸方向接続のメリット）
通常、ＰＤＰは、塗布、乾燥、マスキング、露光、エッチング、現像、焼成を順次行い、ガラス基板上に構成部材を形成することにより作製されており、上記マスキング時にマスキング対象物上に載置されるマスキング部材の配設位置にずれが生じる場合がある。
【００６０】
中間電極を形成する際に用いられるマスキング部材のマスキングのずれ（以下、「マスキングずれ」という。）は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のいずれにも生じ得るが、Ｘ軸方向及びＺ軸方向のいずれのマスキングずれが生じても、Ｙ軸方向接続を実施する場合とＺ軸方向接続を実施する場合とでは、接続部における製造品質上の差は生じ難い。
何故なら、Ｙ軸方向接続及びＺ軸方向接続のどちらにおいても、Ｘ軸方向のマスキングずれが生じても、両電極の長手方向における接続位置がずれるのみで、接触面積は変わらないままであり、また、Ｚ軸方向のマスキングずれが生じても、マスキング部材と現像対象との間に隙間が拡大し、ハーフトーン露光に近づき、厚みが減少するだけに留まるからである。
【００６１】
逆に厚みが減少することは、内部応力の値が変わらなくとも、作用面である断面積が減少することにより、応力に起因して発生する力の絶対量は減少するので、剥離にとっては有効に作用すると思われる。
したがって、中間電極を有するＰＤＰにおいては、中間電極の厚みをわざと薄くして形成してもよい。
【００６２】
これに対し、Ｙ軸方向のマスキングずれは、Ｙ軸方向接続を実施する場合とＺ軸方向接続を実施する場合とでは、接続部における製造品質上の差が生じ易い。
より具体的には、Ｚ軸方向接続を実施した場合、中間電極及びバス電極の幅が同じＷ（μｍ）であるとすれば、Ｙ軸方向のマスキングずれが生じると、両電極の重なりしろ、つまり、接触面積が減少することになるが、マスキングずれ量が幅Ｗ（μｍ）を上回らない限り、直ちに断線に至ることはない。
【００６３】
これに対し、Ｙ軸方向接続を実施した場合、Ｙ軸方向のマスキングずれがない状態で、中間電極とバス電極とが接する状態となるので、Ｙ軸方向のマスキングずれが中間電極とバス電極との距離を広げる方向に生じると、直ちに断線に至る。
以上のように、Ｙ軸方向接続を実施するよりもＺ軸方向接続を実施する方が、接続部における製造品質が安定する。
【００６４】
なお、本実施の形態では、中間電極側は、非表示領域内のポイント２０５ａ及びポイント２０５ｂ間において、Ｙ軸方向の電極間オフセットを解消する方向に経路変更し、その後、ポイント２０４ａ及びポイント２０４ｂ間において、Ｚ軸方向の電極間オフセットを解消する方向に経路変更するとしたが、このような構成に限らず、例えば、以下のいずれかであってもよい。
１）  非表示領域において、バス電極側が、Ｙ軸方向の電極間オフセットを解消する方向に経路変更し、その後、Ｚ軸方向の電極間オフセットを解消する方向に経路変更する。
２）  非表示領域において、バス電極側が、Ｙ軸方向の電極間オフセットを解消する方向にＹ軸方向における幅Ｗ２を拡大し、バス電極の拡幅された領域に、中間電極がＺ軸方向の電極間オフセットを解消する方向に経路変更する。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本願発明は、テレビジョン及びコンピュータ用モニタなどに用いられる表示デバイスに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本実施の形態におけるＰＤＰの概略図である。
【図２】本実施の形態におけるＰＤＰの部分断面図である。
【図３】試作ＰＤＰにおけるバス電極の剥離発生状況を示す図である。
【図４】本実施の形態におけるＰＤＰの製造工程を説明する図である。
【図５】本実施の形態におけるＰＤＰの製造工程を説明する図である。
【図６】本実施の形態におけるＰＤＰの製造工程を説明する図である。
【図７】本実施の形態におけるＰＤＰの製造工程を説明する図である。
【図８】文献に発表されている交流型（ＡＣ型）ＰＤＰの概略図である。
【符号の説明】
【００６７】
９０    前面板
９１    背面板
１００    ＰＤＰ
１０１    前面ガラス基板
１０２    表示電極
１０３ａ  中間電極
１０３ａ  透明電極
１０４    バス電極
１０４ａ  バス電極
１０４ｂ  バス電極
１０４ｇ  延出部
１０４ｈ  延出部
１０５ａ  中間電極
１０５ｂ  中間電極
１０５ｇ  延出部
１０５ｈ  延出部
１０６    誘電体層
１０６ａ  マスキング部材
１０６ａ  誘電体層
１０６ｂ  誘電体層
１０７    アドレス電極
１０７    保護層
１０８    端子部
１１１    背面ガラス基板
１１２    アドレス電極
１１３    誘電体層
１１４    隔壁
１１５    蛍光体層
１１６    放電空間
３０２ａ  マスキング部材
３０４ａ  マスキング部材
４０１    前面ガラス基板
５０４ａ  バス電極前駆体
５０５ａ  中間電極前駆体
５０６ａ  誘電体層前駆体
５０６ｃ  誘電体層前駆体
５０７    マスキング部材
【図１】
2006216275.tif 000005
【図２】
2006216275.tif 000006
【図３】
2006216275.tif 000007
【図４】
2006216275.tif 000008
【図５】
2006216275.tif 000009
【図６】
2006216275.tif 000010
【図７】
2006216275.tif 000011
【図８】
2006216275.tif 000012