(57)【要約】【課題】液滴吐出装置における貯液部の配置パターン（レイアウト）を自由に設定することができるとともに、液状材料を液滴吐出ヘッドに安定して供給することができる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出装置１は、液状材料Ｌを液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、液状材料Ｌを貯留する貯液部と、液滴吐出ヘッドと貯液部とを接続する給液流路と、給液流路の途中に設けられた球体バルブ１００とを備えている。球体バルブ１００は、貯液部に連通する流入口１２８と、液滴吐出ヘッドに連通する流出口１１８と、流入口１２８に向って内径が漸減するテーパ面１２９とを有するハウジング１０１と、ハウジング１０１内に設置された球体１０２とを備え、球体１０２がテーパ面１２９に当接することにより、流入口１２８からの液状材料Ｌの流入を阻止し、球体１０２がテーパ面１２９から離間することにより、前記流入を許容するよう作動する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状材料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液状材料を貯留する貯液部と、前記液滴吐出ヘッドと前記貯液部とを接続し、前記貯液部内の前記液状材料を前記液滴吐出ヘッドに供給する給液流路と、該給液流路の途中に設けられ、前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状材料の圧力を調整する圧力調節弁とを備えた液滴吐出装置であって、
前記圧力調節弁は、
前記貯液部に連通する流入口と、前記液滴吐出ヘッドに連通する流出口と、前記流入口に向って内径が漸減するように収斂した収斂部が設けられた内腔部とを有するハウジングと、
前記内腔部の内部に球体とを備え、
前記球体が前記収斂部に当接することにより、前記流入口から前記内腔部への前記液状材料の流入を阻止し、前記球体が前記収斂部から離間することにより、前記流入を許容するよう作動することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記貯液部は、前記液滴吐出ヘッドよりも上方に位置している請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記球体は、その比重が前記液状材料の比重よりも大きいものである請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記球体は、金属材料で構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記ハウジングは、少なくとも前記収斂部が金属材料で構成されている請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッドは、該液滴吐出ヘッドを移動可能にするヘッドキャリッジに搭載されている請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記貯液部は、平面視で前記ヘッドキャリッジの可動範囲内に設置されている請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記給液流路は、可撓性を有するチューブで構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学装置（例えば、液晶表示装置）に用いられるカラーフィルタを、液滴吐出装置を用いて製造する方法が知られている。この液滴吐出装置は、カラーフィルタ基板（基板）上に多数形成されているインク配置領域である画素部に対して、工業用液状材料であるインク滴（液滴）を吐出する。
従来、このような液滴吐出装置としては、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。この特許文献１の液滴吐出装置は、ノズルから液滴（液状材料）を吐出する液滴吐出ヘッドが搭載されたヘッドキャリッジと、ヘッドキャリッジを移動させるキャリッジ移動機構と、液状材料を貯留する貯液部（タンク）と、貯液部内の液状材料を液滴吐出ヘッドに供給するチューブとを備えたものがある。また、貯液部には、当該貯液部内に気体（空気）を供給する（送り込む）加圧ポンプと、加圧ポンプの作動により加圧された気体の圧力を調整する圧力調整弁とが接続されている。
【０００３】
しかしながら、従来の液滴吐出装置では、圧力調整弁が貯液部よりも上流側に設けられているため、液滴吐出ヘッドに対する貯液部の設置高さ（水頭差）が限られてしまうという問題があった。また、圧力調整弁が液滴吐出ヘッドから遠方に設置されているため、圧力調整が液滴吐出ヘッドまで十分に伝わらず、液状材料を液滴吐出ヘッドに安定して供給するのが困難となる場合があった。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１９９０８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、液滴吐出装置における貯液部の配置パターン（レイアウト）を自由に設定することができるとともに、液状材料を液滴吐出ヘッドに安定して供給することができる液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、液状材料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液状材料を貯留する貯液部と、前記液滴吐出ヘッドと前記貯液部とを接続し、前記貯液部内の前記液状材料を前記液滴吐出ヘッドに供給する給液流路と、該給液流路の途中に設けられ、前記液滴吐出ヘッドに供給される前記液状材料の圧力を調整する圧力調節弁とを備えた液滴吐出装置であって、
前記圧力調節弁は、
前記貯液部に連通する流入口と、前記液滴吐出ヘッドに連通する流出口と、前記流入口に向って内径が漸減するように収斂した収斂部が設けられた内腔部とを有するハウジングと、
前記内腔部の内部に球体とを備え、
前記球体が前記収斂部に当接することにより、前記流入口から前記内腔部への前記液状材料の流入を阻止し、前記球体が前記収斂部から離間することにより、前記流入を許容するよう作動することを特徴とする。
これにより、液滴吐出装置における貯液部の配置パターン（レイアウト）を自由に設定することができるとともに、液状材料を液滴吐出ヘッドに安定して供給することができる。
【０００７】
本発明の液滴吐出装置では、前記貯液部は、前記液滴吐出ヘッドよりも上方に位置していることが好ましい。
これにより、液滴吐出装置における貯液部の配置パターン（レイアウト）をより自由に設定することができる
本発明の液滴吐出装置では、前記球体は、その比重が前記液状材料の比重よりも大きいものであることが好ましい。
これにより、圧力調節弁が開状態となるときに球体に加わる圧力を適宜設定することができる。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置では、前記球体は、金属材料で構成されていることが好ましい。
これにより、圧力調節弁が開状態となるときに球体に加わる圧力を適宜設定することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記ハウジングは、少なくとも前記収斂部が金属材料で構成されていることが好ましい。
これにより、圧力調節弁が開状態となるときに球体に加わる圧力と、圧力調節弁が閉状態となるときに球体に加わる圧力との差によって球体に生じるヒステリシスの発生を防止または抑制することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記液滴吐出ヘッドは、該液滴吐出ヘッドを移動可能にするヘッドキャリッジに搭載されていることが好ましい。
これにより、液滴が吐出されるものに対し、液滴吐出ヘッドを移動させることができ、よって、例えば、電気光学装置（液晶表示装置）に用いられるカラーフィルタを製造する装置に液滴吐出装置を用いることができる。
これにより、圧力調整弁を液滴吐出ヘッドに近い位置に配置することができるので、液滴吐出ヘッドに供給される液状材料の圧力をより正確に制御することができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記貯液部は、平面視で前記ヘッドキャリッジの可動範囲内に設置されていることが好ましい。
これにより、給液流路の長さを従来より短縮することができ、よって、給液流路での流路抵抗（圧力損失）が少なくなり、液状材料を貯液部から液滴吐出ヘッドへより安定的に供給することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記給液流路は、可撓性を有するチューブで構成されていることが好ましい。
これにより、例えば、液滴吐出ヘッドが移動可能に設置されている場合、液滴吐出ヘッドの移動にチューブが追従することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１、図２および図３は、それぞれ、本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図、平面図および側面図である。
なお、本実施形態では、本発明の液滴吐出装置１を、カラーフィルタ基板１０を製造するためのワーク１０Ａに対し、フィルタ層を形成するための液状材料Ｌを液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）２のノズル２１から液滴として吐出し、描画を行う装置（描画装置）として用いた場合を説明する。
【００１２】
ここで、本発明において「液状材料」とは、電気光学装置（例えば、液晶表示装置）における成膜部を形成するための材料を含み、液滴吐出ヘッド２のノズル２１から吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。また、ノズル２１から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。
また、本実施形態における液状材料Ｌは、カラーフィルタ基板１０の色要素のフィルタ層を形成するための顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。
【００１３】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドキャリッジ３と、ヘッドキャリッジ３を移動させるキャリッジ移動機構５と、平板状のワーク１０Ａを保持するステージ４と、ステージ４を移動させるステージ移動機構６と、貯液部搭載部７とを備えている。
ヘッドキャリッジ３には、液滴吐出ヘッド２が複数個搭載されている。液滴吐出ヘッド２については、後述する。
【００１４】
ヘッドキャリッジ３は、キャリッジ移動機構５の作動により、水平な１次元方向（図１および図２中の左右方向）に移動する。キャリッジ移動機構５は、例えば、リニアモータや、送りねじ等を利用した構成とすることができる。
キャリッジ移動機構５の両端部は、支柱１１に支持されている。これにより、キャリッジ移動機構５は、ステージ４が移動する空間を跨ぐように配置されている。
【００１５】
ステージ４は、水平な平面を有しており、その平面上にワーク１０Ａを固定または保持できるように構成されている。
ステージ４は、ステージ移動機構６の作動により、ヘッドキャリッジ３の移動方向に対し垂直であって、かつ水平な方向に移動する。ステージ移動機構６は、例えば、リニアモータや、送りねじ等を利用した構成とすることができる。
このような液滴吐出装置１では、キャリッジ移動機構５およびステージ移動機構６の作動の組み合わせにより、ステージ４上に保持されたワーク１０Ａに対しヘッドキャリッジ３を２次元方向に相対的に移動させることができ、これにより、ワーク１０Ａの全面に対し液滴を吐出することができる。
【００１６】
貯液部搭載部７には、液状材料Ｌを貯留した貯液部７１が搭載されている。貯液部７１は、ヘッドキャリッジ３に搭載された液滴吐出ヘッド２と同数設けられている。貯液部搭載部７は、例えば、支柱７２を介して、液滴吐出装置１が設置された部屋の天井７３に固定されている（図３参照）。
貯液部７１の各々は、給液流路８１を介して対応する液滴吐出ヘッド２に接続されている。これらの給液流路８１を構成するチューブは、一つにまとめられてチューブ束８を構成し、このチューブ束８が貯液部搭載部７とヘッドキャリッジ３との間に掛け渡されている。チューブ束８の長さは、ヘッドキャリッジ３の移動を許容するのに十分な長さとされている。また、各チューブは、可撓性を有しており、ヘッドキャリッジ３の移動に追従することができる。
【００１７】
また、各給液流路８１（チューブ）の途中には、後述する圧力調節弁としての球体バルブ（ボールバルブ）１００が取り付けられている。この球体バルブ１００は、貯液部搭載部７内に設置されている。
このように、液滴吐出装置１では、貯液部７１をヘッドキャリッジ３に搭載せず、別個の場所に固定的に設置したことにより、ヘッドキャリッジ３の重量が軽減されるので、ヘッドキャリッジ３が移動したときの慣性が小さくなり、ヘッドキャリッジ３の位置精度を高精度に制御することができる。よって、正確な描画を行うことができる。さらに、キャリッジ移動機構５の負担が小さいので、キャリッジ移動機構５のコスト削減が図れる。
また、ヘッドキャリッジ３の構造を簡素化することができるので、ヘッド交換等のメンテナンス性の向上が図れる。
【００１８】
図１および図３に示すように、貯液部７１（貯液部搭載部７）は、ヘッドキャリッジ３（液滴吐出ヘッド２）が移動する空間の上方の空間に設置されている。さらに、貯液部７１は、図２に示す平面視で、ヘッドキャリッジ３の可動範囲（可動領域）のほぼ中央に配置されている。
貯液部７１を上記のような位置に配置したことにより、液滴吐出装置１では、貯液部７１を移動しないように設置する場合としては、給液流路８１（チューブ束８）の長さを最短にすることができる。
【００１９】
よって、液滴吐出装置１では、給液流路８１の長さを従来よりも短縮することができる。これにより、次のような利点がある。
第一に、給液流路８１での流路抵抗（圧力損失）等の圧力変動が少ないので、液状材料Ｌを貯液部７１から液滴吐出ヘッド２へ安定的に供給することができ、よって、正確かつ安定した描画動作を行うことができる。
第二に、液状材料Ｌの初期充填量が少なくて済むので、液状材料Ｌの消費量を節約することができる。また、液滴吐出装置１に充填された液状材料Ｌを他種のものに交換する場合には、給液流路８１内に残った液状材料Ｌが無駄になるが、その無駄になる量も少なくて済む。
【００２０】
図４は、図１に示す液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドを底面側から見た斜視図である。
図４に示すように、液滴吐出ヘッド２のノズル面２２には、多数のノズル（ノズル孔）２１が形成されている。図示の構成では、これらのノズル２１は、等間隔に直線的に並んだノズル列をなし、このノズル列が２列並んで形成されている。
このような液滴吐出ヘッド２は、公知のインクジェットヘッドで構成されている。すなわち、液滴吐出ヘッド２は、各ノズル２１毎に、ノズル２１に連通するキャビティ２３と、該キャビティ２３内の液状材料Ｌの圧力を変化させるアクチュエータ２４とを有しており、該アクチュエータ２４の駆動により、各ノズル２１から液状材料Ｌの液滴を吐出する。液滴吐出ヘッド２としては、圧電アクチュエータを用いるものでも、静電アクチュエータを用いるタイプものでもよく、あるいは、キャビティ２３内の液状材料Ｌに膜沸騰を生じさせるヒータをアクチュエータとして用いるものでもよい。
【００２１】
図５は、図１に示す液滴吐出装置の貯液部と液滴吐出ヘッドとの間の回路構成を示す側面図（配管図）である。
図５に示すように、各液滴吐出ヘッド２は、給液流路８１を介して、対応する貯液部７１と接続されている。各給液流路８１の途中、すなわち、貯液部７１側には、液滴吐出ヘッド２に供給される液状材料Ｌの圧力を調整する球体バルブ１００が設置されている。
【００２２】
また、給液流路８１は、球体バルブ１００に対して下流側に位置する下流側流路８３と、上流側に位置する上流側流路８２とから構成されている。上流側流路８２は、貯液部７１と球体バルブ１００とを接続し、下流側流路８３は、液滴吐出ヘッド２と球体バルブ１００とを接続している。
図６は、図５に示す球体バルブの構造を示す概略斜視図である。なお、図６中、上側を「先端」または「下流」といい、下側を「基端」または「上流」という。
図６に示すように、球体バルブ１００は、ハウジング１０１と、ハウジング１０１内（内腔部）に設置された球体１０２とで構成されている。
【００２３】
ハウジング１０１は、上流側流路８２側に位置する（設けられる）上流側ハウジング１２０と、下流側流路８３側に位置する下流側ハウジング１１０とで構成されている。
下流側ハウジング１１０は、その形状が筒状をなしている。この下流側ハウジング１１０は、第１の部位１１１と、第２の部位１１２と、第３の部位１１３とで構成されている。
【００２４】
第１の部位１１１は、その内径が一定となっている部位である。第２の部位１１２は、その内径が先端方向（流入口１２８）に向って漸減するように収斂した、すなわち、テーパ状をなす部位である。第３の部位１１３は、その内径が第２の部位１１２の先端の内径とほぼ同等の部位である。下流側ハウジング１１０では、これら各部位が一体的に形成されている。
【００２５】
また、第３の部位１１３の先端開口は、液滴吐出ヘッド２に連通し、ハウジング１０１から液状材料Ｌが流出する流出口１１８として機能している。
上流側ハウジング１２０は、その形状が筒状をなしている。この上流側ハウジング１２０は、第１の部位１２１と、第２の部位（収斂部）１２２と、第３の部位１２３とで構成されている。
【００２６】
第１の部位１２１は、その内径が一定となっている部位である。また、第１の部位１２１の外径は、下流側ハウジング１１０の第１の部位１１１の内径とほぼ同等またはそれより若干大きくなっている。これにより、上流側ハウジング１２０の第１の部位１２１が下流側ハウジング１１０の第１の部位１１１に確実に嵌合することができ、よって、ハウジング１０１を構成（形成）することができる。
【００２７】
第２の部位１２２は、その内径が基端方向に向って漸減するように収斂した、すなわち、テーパ状をなす部位である。第３の部位１２３は、その内径が第２の部位１２２の基端の内径とほぼ同等の部位である。上流側ハウジング１２０では、これら各部位が一体的に形成されている。
また、第３の部位１２３の基端開口は、貯液部７１に連通し、ハウジング１０１へ液状材料Ｌが流入する流入口１２８として機能している。
また、ハウジング１０１は、金属材料で構成されているのが好ましい。
【００２８】
球体１０２は、上流側ハウジング１２０の第２の部位１２２内に、移動可能に設置されている。この球体１０２の直径は、第２の部位１２２の基端側の内径より大きく設定されている。これにより、球体１０２が上流側ハウジング１２０の第３の部位１２３側に落下するのが防止されるとともに、第２の部位１２２のテーパ面１２９に確実に当接することができる。このように、第２の部位１２２のテーパ面１２９は、球体１０２の座部として機能する。
なお、球体１０２は、金属材料で構成されているのが好ましい。
このような構成の球体バルブ１００は、その中心軸が鉛直方向となるように、液滴吐出装置１に設置されている（図５、図６参照）。
【００２９】
図５に示すように、球体バルブ１００は、球体１０２が第２の部位１２２のテーパ面１２９に当接することにより、流入口１２８からハウジング１０１への液状材料Ｌの流入を阻止する（以下、この状態を「閉状態」という）よう作動する。また、球体バルブ１００は、球体１０２が第２の部位１２２のテーパ面１２９から離間することにより、流入口１２８からハウジング１０１への液状材料Ｌの流入を許容する（以下、この状態を「開状態」という）よう作動する。
また、液滴吐出ヘッド２に対する貯液部７１の高さｈは、以下のようにして設定される。
【００３０】
球体バルブ１００の閉状態、すなわち、球体１０２がテーパ面１２９に当接している状態から、球体バルブ１００が開状態となるときに球体１０２に加わる圧力（以下、この圧力を「クラッキング圧力」という）をＰ０とする。また、液滴吐出ヘッド２のノズル面２２と貯液部７１内の液状材料Ｌの水面Ｌ１との水頭差によって生じる圧力（以下、この圧力を「水頭差圧力」という）をＰ１とする。また、液滴吐出ヘッド２のアクチュエータ２４の駆動によって生じるキャビティ２３内の圧力（以下、この圧力を「駆動圧力」という）をＰ２とする。
【００３１】
高さｈは、水頭差圧Ｐ１＝クラッキング圧力Ｐ０−駆動圧力Ｐ２の関係を満たすように設定される。ただし、給液流路８１内の圧力損失は、無視する。
また、球体バルブ１００は、球体バルブ１００の構成材料を適宜選択して用いることにより、クラッキング圧力Ｐ０を任意に設定することができる。球体バルブ１００は、前述したように金属材料で構成されているのが好ましいが、その材料としては、比重が液状材料Ｌの比重より大きい材料を用いるのことができる。
【００３２】
また、ハウジング１０１および球体１０２がそれぞれ金属材料で構成されている場合には、これらが適度な剛性を有するため、線接触または面接触することとなる。このような接触により、クラッキング圧力と、チェッキング圧力（球体バルブ１００が開状態から閉状態となるときに球体１０２に加わる圧力）と差によって球体１０２に生じるヒステリシスの発生を防止または抑制することができる。
【００３３】
次に、液滴吐出装置１の動作について説明する。
図７〜図９は、それぞれ、図１に示す液滴吐出装置の動作状態を順に示す概略図である。
図７に示すように、液滴吐出装置１は、給液流路８１に液状材料Ｌが充填されていない状態となっている。
【００３４】
まず、液滴吐出ヘッド２のノズル２１がキャップユニット（図示せず）に接続される。このキャップユニットとは、ノズル２１のノズル面２２を覆うキャップと、キャップに接続されるポンプ（真空ポンプ）とを有するものである。該ポンプの作動（吸引）により、給液流路８１内が負圧となると、球体バルブ１００が開状態となり、図８に示すように、液状材料Ｌが貯液部７１から液滴吐出ヘッド２のノズル２１まで吸引される、すなわち、貯液部７１の液状材料Ｌが給液流路８１の全体に充填される（初期充填）。
【００３５】
前記ポンプの作動を停止すると、球体バルブ１００は、球体１０２が自重で落下してテーパ面１２９に当接し、すなわち、閉状態となり、貯液部７１から下流側流路８３への液状材料Ｌの供給が停止する。液滴吐出ヘッド２のアクチュエータ２４を作動すると、既に下流側流路８３内にある液状材料Ｌが液滴Ｌ２として液滴吐出ヘッド２のノズル２１から吐出される。
【００３６】
この液滴吐出ヘッド２のノズル２１からの液滴Ｌ２の吐出により、下流側流路８３内の液状材料Ｌが減少して（消費されて）、下流側流路８３内と上流側流路８２内とに圧力差が生じる。この圧力差がクラッキング圧力Ｐ０を超えたとき、すなわち、駆動圧力Ｐ２（＝クラッキング圧力Ｐ０−水頭差圧力Ｐ１）に達したとき、球体１０２が浮上して球体バルブ１００が再度開状態になり、貯液部７１から下流側流路８３内に液状材料Ｌがさらに供給される。これにより、液滴吐出ヘッド２のノズル２１からの液滴Ｌ２の吐出状態が維持される。
【００３７】
これ以降は、球体バルブ１００や給液流路８１等に液状材料Ｌのリークが発生しない限り、球体バルブ１００が不本意に閉状態とならず、前記吐出状態が維持される。
また、前記吐出状態を停止するには、アクチュエータ２４の作動を停止する。これにより、球体バルブ１００が閉状態になり、液滴吐出ヘッド２のノズル２１への液状材料Ｌの供給が終了する。
【００３８】
以上のように作動する液滴吐出装置１では、液状材料Ｌの圧力制御が容易かつ確実に行なわれるため、液状材料Ｌを液滴吐出ヘッド２に安定して供給すること、すなわち、液滴Ｌ２を安定して吐出することができる。
また、液滴吐出ヘッド２の駆動が停止して、当該液滴吐出ヘッド２（ノズル２１）からの液滴Ｌ２の停止すると、球体バルブ１００が閉状態となり、液滴吐出ヘッド２のノズル２１から液滴Ｌ２が不本意に流れ出すのを防止することができる。
【００３９】
また、従来の液滴吐出装置において必要とされていた水頭差（水頭値）の管理を省略することができる。これにより、液滴吐出装置１における貯液部７１の配置パターン（レイアウト）を自由に設定することができ、よって、液滴吐出装置１の小型化の寄与し得る。
以上、本発明の液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【００４０】
例えば、上述した実施形態では、ヘッドキャリッジとステージとの双方が互いに垂直な方向に移動することによってワークの全面を描画可能とした構成であったが、このような構成に限らず、ステージを固定とし、ヘッドキャリッジが水平面内を２次元方向に移動することによってワークの全面に描画を行うものであってもよい。その場合、貯液部は、平面視で、ヘッドキャリッジの２次元可動領域の中央付近に設置すればよい。
また、ハウジングは、全体が金属材料で構成されるのに限定されず、少なくとも上流側ハウジングの第２の部位が金属材料で構成されていていればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図。
【図２】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図３】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図４】図１に示す液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドを底面側から見た斜視図。
【図５】図１に示す液滴吐出装置の貯液部と液滴吐出ヘッドとの間の回路構成を示す側面図（配管図）。
【図６】図５に示す球体バルブの構造を示す概略斜視図。
【図７】図１に示す液滴吐出装置の動作状態を順に示す概略図。
【図８】図１に示す液滴吐出装置の動作状態を順に示す概略図。
【図９】図１に示す液滴吐出装置の動作状態を順に示す概略図。
【符号の説明】
【００４２】
１……液滴吐出装置  １１……支柱  ２……液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）  ２１……ノズル  ２２……ノズル面  ２３……キャビティ  ２４……アクチュエータ  ３……ヘッドキャリッジ  ４……ステージ  ５……キャリッジ移動機構  ６……ステージ移動機構  ７……貯液部搭載部  ７１……貯液部  ７２……支柱  ７３……天井  ８……チューブ束  ８１……給液流路  ８２……上流側流路  ８３……下流側流路  １０Ａ……ワーク  １０……カラーフィルタ基板  １００……球体バルブ  １０１……ハウジング  １０２……球体  １１０……上流側ハウジング  １１１、１２１……第１の部位  １１２、１２２……第２の部位  １１３、１２３……第３の部位  １１８……流出口  １２８……流入口  １２０……下流側ハウジング  １２９……テーパ面  Ｌ……液状材料  Ｌ１……水面  Ｌ２……液滴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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