(57)【要約】【課題】ディスク状対象物のための輸送システムとディスク状対象物を検査するシステムを開示する。【解決手段】輸送システムは、第１要素（１０）と第２要素（２０）の間に自由スペースが形成されるように配置された第１要素（１０）と第２要素（２０）を有する。第１要素（１０）が自由スペースに面する表面（１０ａ）を有し、第２要素（２０）も自由スペースに面する表面（２０ａ）を有する。ディスク状対象物（１１）を自由スペース（３０）内で浮遊させて保持するために、加圧空気が出る複数の開口（２４）が２つの表面（１０ａ，２０ａ）に形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１要素と第２要素の間に自由スペースが形成されるように配置された第１要素と第２要素を有する、ディスク状対象物のための輸送システムにして、
第１要素が自由スペースに面する表面を有し、第２要素も自由スペースに面する表面を有し、
ディスク状対象物を自由スペース内で浮遊させて保持するために、加圧空気が出る複数の開口が２つの表面に形成されている輸送システム。
【請求項２】
凹部が第１要素及び第２要素のそれぞれに形成され、検出器要素がそれぞれの凹部に結合していることを特徴とする請求項１に記載の輸送システム。
【請求項３】
検出器要素がリニアダイオードアレーであることを特徴とする請求項２に記載の輸送システム。
【請求項４】
ディスク状対象物の前面及び裏面が２つの検出器要素により映されることを特徴とする請求項２に記載の輸送システム。
【請求項５】
加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第１要素と結合し、加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第２要素とも結合していることを特徴とする請求項１に記載の輸送システム。
【請求項６】
第１要素及び第２要素がそれぞれそれらに形成された突出部を有し、突出部は、貯蔵コンテナからディスク状対象物を収容し、ディスク状対象物を貯蔵コンテナに渡す働きをすることを特徴とする請求項１に記載の輸送システム。
【請求項７】
第１要素と第２要素により形成された自由スペースが、ディスク状対象物の少なくとも２倍の厚さに対応する隙間を有することを特徴とする請求項６に記載の輸送システム。
【請求項８】
第１要素及び第２要素が、ディスク状対象物が収容されるまで収められる棚スペースより小さい少なくとも１つの隙間を形成することを特徴とする請求項６に記載の輸送システム。
【請求項９】
第１要素及び第２要素の突出部がそれぞれ前部を有し、前部に、第１要素及び第２要素が共にディスク状対象物のために漏斗形入口を形成することを特徴とする請求項１に記載の輸送システム。
【請求項１０】
第１要素と第２要素の間に自由スペースが形成されるように配置された第１要素と第２要素を備えた、ディスク状対象物のための輸送システムを有するディスク状対象物を検査するシステムにして、
第１要素が自由スペースに面する表面を有し、第２要素も自由スペースに面する表面を有し、
ディスク状対象物をスペース内で浮遊させて保持するために、加圧空気が出る複数の開口が２つの表面に形成されているシステム。
【請求項１１】
凹部が第１要素及び／又は第２要素に形成され、検出器要素がそれぞれの凹部と結合し、それでディスク状対象物の前面と裏面を同時に映すことができることを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
検出器要素が、光集積回路を具備したリニアダイオードアレーであることを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第１要素と結合し、加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第２要素とも結合していることを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１４】
第１要素及び第２要素がそれぞれそれらに形成された突出部を有し、突出部は、貯蔵コンテナからディスク状対象物を収容し、ディスク状対象物を貯蔵コンテナに渡す働きをすることを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１５】
第１要素と第２要素により形成された自由スペースが、ディスク状対象物の少なくとも２倍の厚さの隙間を有することを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１６】
端部ストッパが自由スペースにおいてサーボモータにより移動でき、自由スペースにおけるディスク状対象物の一定の輸送速度を保証し、それにより検出器要素を通って一定速度でディスク状対象物を輸送することを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１７】
第１要素及び第２要素の突出部がそれぞれ前部を有し、第１要素及び第２要素の前部が共にディスク状対象物のために漏斗形入口を形成することを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１８】
リニア検出器アレーが光集積回路及び集積照明を有することを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項１９】
第１検出器要素及び第２検出器要素が少なくとも平面対象物の幅を有することを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【請求項２０】
輸送システムが、ディスク状対象物の前面と裏面を同時に映すことができるように形成されていることを特徴とする請求項１１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク状対象物の輸送システムに関する。また、本発明はディスク状対象物を検査するためのシステムに関し、このシステムはディスク状対象物のために輸送システムを有する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造では、ウェーハは非常に多数の加工ステップにおける製造工程の際、順番に加工される。集積度が増加すると、ウェーハに形成される構造の質に関する要件もより厳しくなる。結局、ディスク状対象物又はウェーハの操作システムに要求される要件も増加する。
【０００３】
特許文献１はウェーハたる工作物を引きつけるのに適する装置を開示する。ウェーハはベルヌーイの法則に従って引きつけられ、従って非接触で輸送される。ウェーハはベルヌーイの法則によって保持体から取り出され、保持体は輸送のためにウェーハを保持する装置のアームとして正確に同じように移動する。
【０００４】
特許文献２がベルヌーイの法則を用いてウェーハを扱う装置を開示する。装置はウェーハを掴み、渡すのに用いられる。装置は、ウェーハを持ち上げるために開口から出るガスを用いて吸引を作るために、多数の斜めの開口と中央開口を有するプレートを有する。
【０００５】
特許文献３もベルヌーイの法則を用いてウェーハを扱う装置を開示する。ベルヌーイヘッドは中央開口と、中央開口の周りに配置された３つの別な開口を有する。中央開口からのガス流が本質的にウェーハの持ち上げ力を生じさせる。３つの別な開口はウェーハの位置を正すのに用いられる。従って、ベルヌーイヘッドとウェーハが接触しないことが保証される。
【０００６】
特許文献４は、ディスク状対象物の非接触輸送のために輸送ヘッドを有するベルヌーイの法則に従う輸送装置を開示する。さらに、輸送装置は、空気流が十分でないときにディスク状対象物の落下が防がれるように設計されている。ディスク状対象物の落下を防ぐことを意図した多数の保持手段がディスク状対象物の周囲に沿って設けられている。
【０００７】
特許文献５は、欠陥に関してウェーハの前後面を同時に検査するための装置を開示する。ウェーハは、ウェーハの直径に一致する長さを有する開いたチャネルを有するテーブルに載っている。検出器はウェーハの部分を映すチャネル内を移動する。ウェーハの全表面を映すことを可能にするために、ウェーハはテーブル上で回転できる。ウェーハとテーブルの摩擦は対応する空気軸受により減少する。ウェーハの前後面の全表面の同時のイメージング又は検査はこの装置では可能でない。
【０００８】
特許文献６はウェーハホルダーを開示し、これによりウェーハの裏面を監視し、ウェーハの前面を測定することができる。ウェーハホルダーは、自動的にウェーハを検査するための機械に用いられている。ウェーハホルダーは、ウェーハの前面及び裏面が両面からほとんど完全にアクセスできるように設計されている。ウェーハの前面及び裏面の同時イメージングはこのウェーハホルダーでは可能でない。
【０００９】
特許文献７は輪状ウェーハホルダーを開示する。ウェーハホルダーはウェーハのために保持リングを有し、上側が開き、それでウェーハは一方の面から完全に検査することができる。ウェーハの他方の面は保持フレームに載っている。保持フレームに、保持フレームに載っているウェーハの面の摩擦を検査できる検査ウィンドーが形成されている。ウェーハの前後面の同時の完全な検査はこのウェーハホルダーでは可能でない。
【００１０】
【特許文献１】米国特許出願第２００４／０１８７２８０号明細書
【特許文献２】米国特許出願第５０８０５４９号公開明細書
【特許文献３】米国特許出願第４０２９３５１号公開明細書
【特許文献４】特開２００４／２３５６２２号公報
【特許文献５】米国特許出願第６５５９９３８号公開明細書
【特許文献６】米国特許発明第６７４７４６４号明細書
【特許文献７】米国特許出願第２００４／００８７１４６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ゆえに、本発明の目的は、ディスク状対象物の接触のない安定した輸送を可能にするディスク状対象物のための輸送システムを提供することである。
【００１２】
本発明の別な目的は、安定した非破壊的方法でディスク状対象物を少なくとも１つの面から映すことを可能にする、ディスク状対象物を検査するためのシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この目的は、請求項１に従う特徴を備えた輸送システムにより達成される。
【００１４】
この別な目的は、請求項１１に従う特徴を備えた輸送システムにより達成される。
【００１５】
好ましくは、ディスク状対象物のための輸送システムは、自由スペースが第１要素と第２要素の間に形成されるように配置された第１要素と第２要素を有する。第１要素は自由スペースに面する表面を有し、第２要素も自由スペースに面する表面を有する。ディスク状対象物をスペース内で浮遊させて保持するために、加圧空気が出る多数の開口が２つの表面に形成されている。ディスク状対象物を浮遊して保持する際、ベルヌーイの効果もおそらく関連する。
【００１６】
第１要素及び第２要素のそれぞれに凹部が形成され、検出器要素がそれぞれの凹部に結合する。検出器要素はリニアダイオードアレーである。走査ラインは好ましくはリニアダイオードアレーとして形成される。
【００１７】
ディスク状対象物の前面及び裏面は２つの検出器要素を用いて映される。加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第１要素と結合し、加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第２要素とも結合する。
【００１８】
第１要素及び第２要素はそれぞれそれらに形成された突出部を有する。突出部は、貯蔵コンテナからディスク状対象物を収め、ディスク状対象物を貯蔵コンテナに渡す働きをする。
【００１９】
自由スペースは、第１要素及び第２要素により形成される。サーボモータで移動可能な端部ストッパは、ディスク状対象物の一定の輸送速度を保証する自由スペースに形成される。
【００２０】
第１要素及び第２要素の突出部はそれぞれ前部を有し、前部に、第１要素及び第２要素はディスク状対象物のために漏斗形入口を有する。
【００２１】
ディスク状対象物を検査するためのシステムも設けられる。このシステムはディスク状対象物のための輸送システムを有し、第１要素と第２要素の間に自由スペースが形成されるように配置された第１要素と第２要素からなる。第１要素は自由スペースに面する表面を有し、第２要素も自由スペースに面する表面を有する。ディスク状対象物をスペース内で浮遊させて保持するために、複数の開口が、加圧空気が出る２つの表面に形成されている。
【００２２】
第１要素及び第２要素のそれぞれに凹部が形成され、検出器要素はそれぞれの凹部と結合し、それでディスク状対象物の前面及び裏面を同時に映すことが可能である。検出器要素はリニアダイオードアレーである。
【００２３】
加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第１要素と結合し、加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第２要素とも結合する。
【００２４】
第１要素及び第２要素のそれぞれは、それらに形成された突出部を有する。突出部は、貯蔵コンテナからディスク状対象物を収容し、ディスク状対象物を貯蔵コンテナに渡す働きをする。貯蔵コンテナは少なくとも１つのＦＯＵＰを有し、そこから又はそこにディスク状対象物が輸送可能である。
【００２５】
サーボモータにより移動する端部ストッパが、自由スペースにおいてディスク状対象物の一定の輸送速度を保証する自由スペースに形成され、ゆえに検出器要素を通って一定速度でディスク状対象物を輸送する。
【００２６】
ディスク状対象物は半導体基板上のウェーハである。ディスク状対象物はガラス基板上のウェーハでもよい。ディスク状対象物はリソグラフィー工程のためのマスクでもよい。ディスク状対象物はフラットパネルディスプレイであることも考えられる。
【００２７】
リニア検出器アレーは光集積回路及び集積照明を有する。第１及び第２検出器要素は少なくとも平面対象物の幅を有する。
【００２８】
本発明のサブジェクトマターは図面に概略的に示され、以下に図面に則して説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
図１では、ディスク状対象物を検査するためのシステム１が示されている。システム１は、ユーザの使用及びユーザの検査要件に従って構成することができる複数のモジュール２又は４を有する。例えば、システム１はマクロ検査のためのモジュール２を有する。加えて、システム１はディスク状対象物のマイクロ検査のためのモジュール４を有する。ディスク状対象物は少なくとも１つのコンテナ３を用いて装置１に移される。システム１は、様々なユーザインターフェースが示されるディスプレイ５を有する。キーボード７はシステム１に接続しており、ユーザは装置への入力を行い所望にシステム１の制御を変えることができる。ユーザが入力を行う別な入力ユニット８がキーボード７に接続し、ユーザはディスプレイ５上のカーソルを制御することができる。入力ユニット８は第１入力要素８ａ及び第２入力要素８ｂを有する。好ましい実施形態では、入力ユニット８はコンピュータマウスとして構成される。ディスク状対象物を検査するためのシステム１がマイクロ検査のためのモジュール２からなる場合、ＸＹＺステージの横移動がディスプレイ５に示される。これを実現するために、ＸＹＺステージはシステム１又はモジュール２に組み込まれ、その移動は複数の記録された個々の画像（イメージ）で決定される。
【００３０】
図２は、ディスク状対象物１１の少なくとも１つの表面１１ａを映すための装置１００の斜視図である。装置又は輸送システムは、自由スペース３０が第１要素１０と第２要素２０の間に形成されるように配置された第１要素１０と第２要素２０からなる。第１要素１０は自由スペース３０に面する表面１０ａを有する。第２要素２０も自由スペース３０に面する表面２０ａを有する。凹部４０が第１要素１０及び第２要素２０に形成されている（図８参照）。それぞれの凹部４０はそれに結合した検出器要素５０を有する。加圧空気の少なくとも１つの供給ユニット６０が第１要素１０と結合し、加圧空気のための少なくとも１つの供給ユニットが第２要素２０と結合している。
【００３１】
図３は、図２のシステムの別な斜視図である。第１要素１０と第２要素２０はそれぞれそれらに形成された突出部１２を有する。突出部１２は、貯蔵コンテナからディスク状対象物１１を収容し、ディスク状対象物１１を貯蔵コンテナに渡すためのものである。
【００３２】
図４は、ディスク状対象物１１が浮揚して保持又は輸送される自由スペース３０を形成する第１要素１０及び第２要素２０の側面図である。第１要素１０と第２要素２０の間の自由スペースは、ディスク状対象物１１が第１要素１０と第２要素２０の間の十分な遊びにより保持されるように寸法決めされている。第１要素１０と第２要素２０の外側スペースは、輸送システムがディスク状対象物１１に適する貯蔵容器又はコンテナからディスク状対象物１１を取ることができるように寸法決めされている。
【００３３】
図５は、図４にＡで示された、図４の破線の円で囲まれた領域の拡大図である。サーボモータで動く端部ストッパ３１は自由スペース３０に形成され、それにより自由スペースでのディスク状対象物１１の一定の輸送速度を保証する。図８に示されるように、それぞれの要素１０，２０は表面１０ａ，２０ａに形成された加圧空気が出る複数の開口を有する。従って、自由スペース３０にディスク状対象物１１が浮揚して保持される。ある実施形態（図示せず）では、サーボモータで移動できる端部ストッパ３１が削除される。開口を通る加圧空気の適切な制御により、ディスク状対象物１１の輸送移動が実現される。
【００３４】
図６は、Ｂで示された、図４の破線の円で囲まれた領域の拡大図である。第１要素１０と第２要素２０の突出部１２は前部１６を有する。第１要素１０と第２要素２０の前部１６は共にディスク状対象物１１のために漏斗形入口１７を形成する。漏斗形入口１７は、ディスク状対象物１１が損傷なく輸送システム１００に挿入されることを保証する。
【００３５】
図７は、輸送システムにおけるディスク状対象物１１のイメージングの際の輸送システム１００の斜視図である。ディスク状対象物１１は、第１要素１０及び第２要素２０の突出部１２で受け取られる。それに対応して、第１要素１０及び第２要素２０の開口に加圧空気を適用することで、ディスク状対象物１１は浮揚して輸送システムの自由スペース３０内で移動できる。この移動は、例えばサーボモータで動く端部ストッパ１３によって保持又は制限される。突出部１２は、ディスク状対象物１１を収容するのを容易にする丸形形状部１９を前部１６に具備する。
【００３６】
図８は、ディスク状対象物１１に面する、要素１０又は２０の表面１０ａ又は２０ａの平面図である。複数の開口２４が２つの表面１０ａ又は２０ａに形成されており、それを通って加圧空気が出て、従ってディスク状対象物を自由スペース３０内で浮遊して保持することができる。それぞれの要素１０，２０はそれらに形成された凹部を有し、それを介して映すべきディスク状対象物１１の表面に検出器要素が向いている。
【００３７】
図９は、検出器要素５０の第１実施形態の平面図である。検出器要素５０は基本的に直線形状を有する。図示した実施形態では、検出器要素５０は、個々の検出器５２の少なくとも１つのリニアアレー５１を有する。検出器要素５０はリニアアレー５１に平行な照明５８を具備している。照明５８は複数のダイオード５９のリニアアレーである。適切に寸法決めされた表面エミッタも照明５８として考えられる。
【００３８】
図１０は、検出器要素５０の第２実施形態の平面図である。検出器要素５０は基本的に直線形状である。照明５８が個々の検出器５２のリニアアレー５１の左右に設けられている。照明５８は複数のダイオード５９のリニアアレーからなる。適切に寸法決めされた表面エミッタも照明５８として考えられる。
【００３９】
図１１は検出器要素５０の側面図である。ここで、第１及び第２検出器要素５０は、ディスク状対象物１１の前面及び裏面を映すために少なくとも１つの光集積回路５３を有する検出器５２のリニアアレー５１を有する。さらに、すでに図９及び１０に関連して説明したように、第１及び第２検出器要素５０は集積照明５８を具備する。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】ディスク状対象物を検査するためのシステムの概略図である。
【図２】ディスク状対象物の少なくとも１つの表面を映すシステムの斜視図である。
【図３】図２のシステムの別な斜視図である。
【図４】ディスク状対象物が浮遊して保持される自由スペースを形成する要素の側面図である。
【図５】Ａで示された、図４の破線の円で囲まれた領域の拡大図である。
【図６】Ｂで示された、図４の破線の円で囲まれた領域の拡大図である。
【図７】ディスク状対象物を輸送システムに収容する際の輸送システムの斜視図である。
【図８】ディスク状対象物に面する要素の表面の上部平面図である。
【図９】検出器ユニットのための検出器要素の第１の可能な実施形態の上部平面図である。
【図１０】検出器ユニットのための検出器要素の第１の可能な実施形態の上部平面図である。
【図１１】検出器ユニットの側面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  システム
２  モジュール
３  コンテナ
４  モジュール
５  ディスプレイ
７  キーボード
８  入力ユニット
１０  第１要素
１１  ディスク状対象物
１２  突出部
１６  前部
１７  漏斗形入口
１９  丸形形状部
２０  第２要素
２４  開口
５０  検出器要素
５１  リニアアレー
５２  検出器
５８  照明
５９  ダイオード
【図１】
2006310841.tif 000003
【図２】
2006310841.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006310841.tif 000008
【図７】
2006310841.tif 000009
【図８】
2006310841.tif 000010
【図９】
2006310841.tif 000011
【図１０】
2006310841.tif 000012
【図１１】
2006310841.tif 000013