(57)【要約】 【課題】  光学パネルへの接続が簡便である光学パネルの検査プローブを提供する。【解決手段】  液晶パネル２０の画像表示検査にあたってデータ線２２に一時的に接続される検査プローブであって、基板２１０と、基板２１０上に設けられた所定本数の配線部３００と、を備える。  配線部３００は、データ線２２の引出部２４に対して基板２１０を圧接した際にデータ線２２の引き出し方向に交差する方向に所定長さを有し、かつ、データ線２２の引き出し方向に所定間隔を有して所定本数設けられている。配線部３００には所定ピッチで接触部３５０が設けられている。接触部３５０は、データ線２２の引出部２４において配線部３００がデータ線２２と交差する状態でデータ線２２の上から圧接された際に所定ピッチおきのデータ線２２に接触してデータ線２２と配線部３００との導通をとる。【選択図】 図３
2006214834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の信号線が配線されているとともに前記信号線が引き出された引出部において前記信号線が互いに略平行な状態で配置されている電子機器の特性検査にあたって前記信号線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、
前記基板に設けられ、前記信号線の引出部に対してこの基板を圧接した際に前記信号線の引き出し方向に交差する方向に所定長さを有し、かつ、前記信号線の引き出し方向に複数設けられた配線部と、
前記配線部に所定ピッチで設けられ前記信号線の引出部において前記配線部が前記信号線と交差する状態で前記信号線の上から圧接された際に同一の検査信号が入力可能な前記信号線に接触して前記信号線と前記配線部との導通をとる接触部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項２】
二以上の異なる基本色を混色してカラー表示するために同一基本色を発色する画素を列ごとに有し前記異なる基本色が行方向に一定の順番で配置され、かつ、列ごとに前記画素を駆動する共通のデータ線が配線されているとともに前記データ線が引き出された引出部において前記データ線が互いに平行な状態で配置されている光学パネルの画像表示検査にあたって前記データ線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、
前記基板上に設けられ、前記データ線の引出部に対してこの基板を圧接した際に前記データ線の引き出し方向に交差する方向に所定長さを有し、かつ、前記データ線の引き出し方向に複数設けられた配線部と、
前記配線部に所定ピッチで設けられ前記データ線の引出部において前記配線部が前記データ線と交差する状態で前記データ線の上から圧接された際に同一の検査信号が入力可能な前記データ線に接触して前記データ線と前記配線部との導通をとる接触部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項３】
請求項２に記載の検査プローブにおいて、
前記配線部は、前記基本色の数に対応した本数設けられ、
一の前記配線部に配設される接触部は、同一基本色のデータ線に対応した位置に設けられている
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の検査プローブにおいて、
前記配線部は、信号が導通する導通配線と、前記導通配線を絶縁的に被膜する絶縁被膜と、を備え、
前記接触部は前記導通配線から凸形に突起する形状に配設され、前記絶縁被膜は、前記接触部を除いた部分の前記配線部を被膜して設けられている
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項５】
請求項２から請求項４のいずれかに記載の検査プローブにおいて、
前記基本色は赤、青、緑の３色であって、前記光学パネルには赤色画素を駆動する赤色データ線、青色画素を駆動する青色データ線および緑色画素を駆動する緑色データ線が順番に繰り返し配線されており、
前記配線部は、総ての前記赤色データ線に共通して導通される赤色用配線部と、総ての前記青色データ線に共通して導通される青色用配線部と、総ての前記緑色データ線に共通して導通される緑色用配線部と、を備え、
前記赤色用配線部には、前記赤色用データ線の配線ピッチに対応して前記接触部が配置され、
前記青色用配線部には、前記青色用データ線の配線ピッチに対応して前記接触部が配置され、
前記緑色用配線部には、前記緑色用データ線の配線ピッチに対応して前記接触部が配置されている
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項６】
行ごとに前記画素を駆動する共通の走査線が配線されているとともに前記走査線が引き出された引出部において前記走査線が互いに平行な状態で配置されている光学パネルの画像表示検査にあたって前記走査線に一時的に接続される検査プローブであって、
基板と、
前記基板上に設けられ、前記走査線の引出部に対してこの基板を圧接した際に前記走査線の引き出し方向に交差する方向に所定長さを有し、かつ、前記走査線の引き出し方向に複数設けられた配線部と、
前記配線部に設けられ前記走査線の引出部において前記配線部が前記走査線と交差する状態で前記走査線の上から圧接された際に同一の検査信号が入力可能な前記走査線に接触して前記走査線と前記配線部との導通をとる接触部と、を備える
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項７】
請求項６に記載の検査プローブにおいて、
前記配線部は、２本設けられ、
一の前記配線部に配設される接触部は、一つおきのピッチで前記走査線に接触して前記走査線と前記配線部との導通をとる
ことを特徴とする検査プローブ。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の検査プローブと、
前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査用の駆動信号を入力する検査信号発信手段と、を備えた検査装置。
【請求項９】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の検査プローブを前記光学パネルに接続する接続工程と、
前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査用の駆動信号を入力する信号入力工程と、を備えた
ことを特徴とする光学パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査プローブ、光学パネルの検査装置、光学パネルの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、画像を表示する光学パネルとして液晶パネルが知られ、この液晶パネル２０と、液晶パネル２０を駆動する駆動回路４０と、を備えた表示装置１０が知られている。
図９に、表示装置１０の構成を示す。
液晶パネル２０は、表示面上の画素ごとに配置された液晶セル（不図示）と、各液晶セルに設けられたスイッチング素子としての薄膜二端子素子（不図示）と、液晶パネル２０の各行に配線された複数の走査線２１と、液晶パネル２０の各列に配線された複数のデータ線２２と、を備える。
そして、液晶パネル２０から引き出された複数のデータ線２２および走査線２１は、基板３０の一辺３１に一括して配列されている。
図９においては、複数のデータ線２２が基板３０において一辺３１の略中央部分に一括して配線され、奇数番目の走査線２１Ａはデータ線２２の右側に、偶数番目の走査線２１Ｂはデータ線２２の左側に配列されている。
【０００３】
駆動回路４０は、走査線２１を順次選択する走査信号を走査線２１に給電する走査線ドライバ（不図示）と、選択された走査線上の画素のデータ信号を各データ線２２に給電するデータ線ドライバ（不図示）と、を備える。
基板３０の一辺に配設されたデータ線２２および走査線２１には信号入力用の入力接続端子３２が設けられており、駆動回路４０には信号出力用の出力接続端子４１が設けられている。そして、出力接続端子４１が入力接続端子３２に接続され、駆動回路４０からデータ線２２および走査線２１に信号が印加されることにより液晶パネル２０に画像が表示される。
【０００４】
近年では、細密な画像を表示するために液晶パネル２０の画素数が飛躍的に増大しており、それに伴って走査線２１およびデータ線２２の線間隔が狭くなってきている。
【０００５】
ところで、このような液晶パネル２０では、本来は互いに絶縁されるはずの信号線（走査線２１、データ線２２）同士が短絡して電流がリークしてしまうなどの欠陥が生じていないか画像表示検査が行われる（例えば、特許文献１）。
この画像表示検査では、走査線２１およびデータ線２２に画像検査用の信号を送るために検査用のプローブ５０を用意して、この検査プローブ５０をデータ線２２および走査線２１に一時的に接続する。そして、検査プローブ５０を介してデータ線２２および走査線２１に検査用の信号を印加し、液晶パネル２０が正常に点灯しているか検査する。
ここで、図１０は、検査プローブ５０とデータ線２２との接続部分を拡大した図である。当然のことながら、検査プローブ５０は、図１０に示されるように、走査線２１の端子２３およびデータ線２２の端子２３に接続されるプローブ端子５１を備え、検査プローブ５０を走査線２１およびデータ線２２に接続するにあたっては、走査線２１の端子２３およびデータ線２２の端子２３の一つ一つに検査プローブ５０の端子５１を正確に位置合わせして接続しなければならない。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−６６８７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年では小型でありながらも細密な画像を表示する液晶パネル２０が求められているので、小さな領域に非常に多くの画素を配設しなければならない。
すると、信号線（走査線２１、データ線２２）の間隔が非常に狭くなり、例えば２１μｍピッチの間隔（図１０中の符号ｇ）で数百本の信号が配列されることとなる。
このように狭ピッチで信号線（走査線２１、データ線２２）が配設されると、信号線（走査線２１、データ線２２）に接続される検査プローブ５０もその端子間隔を非常に狭くして製作されなければならない。
【０００８】
しかしながら、このように狭い端子間隔の検査プローブ５０を製作することには非常に多くの加工工程と多大なコストを要するという問題がある。
例えば、エッチングによってプローブ端子５１を形成するとなると、２１μｍピッチのエッチングにおいて短絡等の欠陥を完全に防止するためには非常にコストがかかる。
また、狭ピッチ（例えば２１μｍ）で配設された端子同士を一つ一つ正確に位置合わせして接続することは非常に困難な作業であり、例えば、ＣＣＤカメラ等で撮像した画像をモニタ等で確認しながら接続作業を行わなければならない。
このようにカメラやモニタを備えた位置合わせ用の装置を用意することには多大なコストを要し、そのうえ、接続作業に多大な時間を要するという問題が生じる。
このように液晶パネル２０の画像表示検査に多大なコストがかかれば製品コストも増大し、また、画像表示検査に多大な時間を要すると製造効率が低減されるという問題が生じる。
【０００９】
本発明の目的は、光学パネルへの接続が簡便である光学パネルの検査プローブ、光学パネルを簡便に検査する光学パネルの検査装置、光学パネルを簡便に製造する光学パネルの検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の検査プローブは、複数の信号線が配線されているとともに前記信号線が引き出された引出部において前記信号線が互いに略平行な状態で配置されている電子機器の特性検査にあたって前記信号線に一時的に接続される検査プローブであって、基板と、前記基板に設けられ、前記信号線の引出部に対してこの基板を圧接した際に前記信号線の引き出し方向に交差する方向に所定長さを有し、かつ、前記信号線の引き出し方向に複数設けられた配線部と、前記配線部に所定ピッチで設けられ前記信号線の引出部において前記配線部が前記信号線と交差する状態で前記信号線の上から圧接された際に同一の検査信号が入力可能な前記信号線に接触して前記信号線と前記配線部との導通をとる接触部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
このような構成において、基板を信号線の上から圧接した際に信号線と交差する配線部を設けて各配線部が同一の検査信号を入力可能な信号線とまとめて導通するようにし、これら配線部を信号線の引き出し方向に複数配列しているので、配線部同士の間隔は信号線間のピッチに何ら関係なく影響されない。よって、信号線の細密化に関わらず、検査プローブの配線部の間隔を加工しやすいように広く取ることができる。よって、検査プローブの加工を非常に簡単にでき、その製造コストを画期的に低廉にすることができる。
そして、検査プローブを信号線に接続するにあたっては、検査プローブの基板をデータ線に上に圧接するだけで、各配線部と所定信号線が接触部を介して導通されるので、信号線と検査プローブとの接続作業を極めて簡単に行うことができる。
【００１２】
本発明の検査プローブは、二以上の異なる基本色を混色してカラー表示するために同一基本色を発色する画素を列ごとに有し前記異なる基本色が行方向に一定の順番で配置され、かつ、列ごとに前記画素を駆動する共通のデータ線が配線されているとともに前記データ線が引き出された引出部において前記データ線が互いに平行な状態で配置されている光学パネルの画像表示検査にあたって前記データ線に一時的に接続される検査プローブであって、基板と、前記基板上に設けられ、前記データ線の引出部に対してこの基板を圧接した際に前記データ線の引き出し方向に交差する方向に所定長さを有し、かつ、前記データ線の引き出し方向に複数設けられた配線部と、前記配線部に所定ピッチで設けられ前記データ線の引出部において前記配線部が前記データ線と交差する状態で前記データ線の上から圧接された際に所定ピッチおきの前記データ線に接触して前記データ線と前記配線部との導通をとる接触部と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
この構成において、まず、光学パネルは二以上の基本色（例えば、赤色、緑色、青色）を混色してカラー表示を行うところ、このような光学パネルの画像表示検査にあたっては基本色ごとに点灯させて表示のムラ等が検査される。この際、同一色の画素を駆動させるデータ線にはまとめて同じ信号が入力される。例えば、赤色の画素に繋がる総てのデータ線にはまとめて同じ信号が入力される。
そこで、検査プローブをデータ線に接続するにあたって、基板をデータ線の引出部に圧接する。すると、基板上に設けられた配線部がデータ線の引き出し方向と交差する方向に所定長さを有するので、配線部は総てのデータ線に交差するようにデータ線上にのる。そして、配線部には所定ピッチおきで接触部が設けられているので、これら接触部が所定のデータ線、つまり、同一色の画素に繋がるデータ線に接触する。これにより、配線部と所定データ線との導通がとられる。
【００１４】
配線部は、データ線の引き出し方向に所定の間隔をあけて所定本数設けられ、例えば、それぞれの基本色に対応した配線部が設けられており、各配線部がそれぞれ対応した同一色のデータ線と導通される。
これら配線部に検査用の駆動信号を入力すると、接触部を介して同一色の画素に繋がるデータ線のすべてに同時に同じ信号が送られて光学パネルが所定の一色で点灯される。このときの点灯の状態から光学パネルの画像表示検査がおこなわれ、表示ムラ等の欠陥がないか判定される。
【００１５】
従来のように、データ線に対して一つ一つ順番にプローブの端子を接続するとなれば、データ線のピッチが細密になるに従ってプローブの端子も細密に設けざるを得ず、データ線の細密化にともなって検査プローブの加工コストの増大や、データ線と検査プローブとの接続作業の複雑化は避けがたい。
この点、本発明では、基板をデータ線の上から圧接した際にデータ線と交差する配線部を設けて各配線部が同一色のデータ線とまとめて導通するようにし、これら配線部をデータ線の引き出し方向に間隔をあけて基本色ごとに配列しているので、配線部同士の間隔はデータ線間のピッチに何ら関係なく影響されない。よって、データ線の細密化に関わらず、検査プローブの配線部の間隔を加工しやすいように広く取ることができる。よって、検査プローブの加工を非常に簡単にでき、その製造コストを画期的に低廉にすることができる。
そして、検査プローブをデータ線に接続するにあたっては、検査プローブの基板をデータ線に上に圧接するだけで、各配線部と所定データ線が接触部を介して導通されるので、データ線と検査プローブとの接続作業を極めて簡単に行うことができる。
光学パネルの膨大な製造量を鑑みるに、光学パネルの一つ一つに検査プローブを接続する作業を簡単にすることは画像表示検査に要する時間を非常に短縮することになり、製造効率の向上に大いに繋がる画期的効果を奏する。
【００１６】
本発明では、前記配線部は、前記基本色の数に対応した本数設けられ、一の前記配線部に配設される接触部は、同一基本色のデータ線に対応した位置に設けられていることが好ましい。
【００１７】
このような構成によれば、配線部が基本色の数だけあって、各配線部には各色のデータ線に接触する位置に接触部が設けられているので、基板をデータ線の引出部に圧接すれば、すべての色のデータ線に各配線部を同時に接続させることができる。
従って、検査する色ごとに検査プローブを取り替えたりする必要がなく、一つの光学パネルを検査するにあたっては検査プローブを一度取り付ければよいだけなので、接続の手間を少なくして検査効率を向上させることができる。
【００１８】
本発明では、前記配線部は、信号が導通する導通配線と、前記導通配線を絶縁的に被膜する絶縁被膜と、を備え、前記接触部は前記導通配線から凸形に突起する形状に配設され、前記絶縁被膜は、前記接触部を除いた部分の前記配線部を被膜して設けられていることが好ましい。
【００１９】
このような構成によれば、導通配線のうち接触部が設けられる位置を除いては絶縁被膜で被膜されているので、配線部をデータ線に圧接した場合でも所定のデータ線以外には導通配線が接触することがない。よって、配線部からの検査信号が所定のデータ線のみに送られ他のデータ線に誤って検査信号が印加されることがないので、画像表示検査を正確に行うことができる。さらに、接触部は、絶縁被膜から凸に突出する形状であるので、配線部がデータ線に圧接された際に確実にデータ線に接触して導通配線とデータ線との導通が確保される。よって、配線部とデータ線との接触不良によって検査ミスが生じることがなく、適切な画像表示検査を行うことができる。
【００２０】
ここで、前記接触部は、前記データ線に圧接された際に弾性変形する導電性の弾性体で形成されていることが好ましい。
【００２１】
このような構成によれば、接触部がデータ線に圧接された際に接触部がデータ線を覆うように弾性変形するので、接触部とデータ線との接触面積が広くなり、接触部とデータ線との導通が確実となる。よって、データ線と配線部（導通配線）との接続が確実となる。
【００２２】
本発明では、前記基本色は赤、青、緑の３色であって、前記光学パネルには赤色画素を駆動する赤色データ線、青色画素を駆動する青色データ線および緑色画素を駆動する緑色データ線が順番に繰り返し配線されており、前記配線部は、総ての前記赤色データ線に共通して導通される赤色用配線部と、総ての前記青色データ線に共通して導通される青色用配線部と、総ての前記緑色データ線に共通して導通される緑色用配線部と、を備え、前記赤色用配線部には、前記赤色用データ線の配線ピッチに対応して前記接触部が配置され、前記青色用配線部には、前記青色用データ線の配線ピッチに対応して前記接触部が配置され、前記緑色用配線部には、前記緑色用データ線の配線ピッチに対応して前記接触部が配置されていることが好ましい。
【００２３】
このような構成によれば、検査プローブには赤色データ線に対応する赤色用配線部、緑色データ線に対応する緑色用配線部および青色データ線に対応する青色用配線部がそれぞれ設けられているので、ＲＧＢの三色を混色してカラー表示する光学パネルに対して本発明の検査プローブを接続すれば、赤色、緑色および青色の画像表示検査を行うことができる。
【００２４】
なお、各色に対して一つの配線部を設けるのみならず、各色に対して２つ以上の配線部が設けられてもよい。
例えば、一つの配線部で総ての赤色データに接続するのではなく、一つおきの赤色データ線を一つの組として赤色データ線を二つの組に分けて、第１の配線部は第１組の赤色データ線に接続するようにし、第２の配線部は第２組の赤色データ線に接続するようにしてもよい。このようにデータ線を複数の組に分けて各組みごとに配線部から検査信号を入力するようにすれば、単に色ごとにデータ線を分類して検査する場合に比べて詳細な画像表示検査を行うことができる。
【００２５】
本発明の検査プローブは、行ごとに前記画素を駆動する共通の走査線が配線されているとともに前記走査線が引き出された引出部において前記走査線が互いに平行な状態で配置されている光学パネルの画像表示検査にあたって前記走査線に一時的に接続される検査プローブであって、基板と、前記基板上に設けられ、前記走査線の引出部に対してこの基板を圧接した際に前記走査線の引き出し方向に交差する方向に所定長さを有し、かつ、前記走査線の引き出し方向に複数設けられた配線部と、前記配線部に設けられ前記走査線の引出部において前記配線部が前記走査線と交差する状態で前記走査線の上から圧接された際に同一の検査信号が入力可能な前記走査線に接触して前記走査線と前記配線部との導通をとる接触部と、を備えることを特徴とする。
【００２６】
このような構成において、まず、光学パネルは走査線を有するところ、例えば、隣接する走査線に互いに逆相の検査信号を入力して、走査線間でリークしていないかなどの欠陥検査が行われる。この際、例えば、隣接する走査線で逆相の検査信号を入力する場合には、奇数番目の走査線にまとめて同じ信号を入力し、さらに、偶数番目の走査線にはまとめて逆相の信号を入力すればよい。
そこで、検査プローブを走査線に接続するにあたって、基板を走査線の引出部に圧接する。すると、基板上に設けられた配線部が走査線の引き出し方向と交差する方向に所定長さを有するので、配線部は総ての走査線に交差するように走査線上にのる。そして、配線部には所定ピッチおきで接触部が設けられているので、これら接触部が所定の走査線、例えば、奇数番目の走査線あるいは偶数番目の走査線に接触する。これにより、配線部と所定走査線との導通がとられる。
これら配線部に検査用の駆動信号を入力すると、接触部を介して走査線に信号が送られて光学パネルが点灯される。このときの点灯の状態から光学パネルの画像表示検査がおこなわれ、走査線間でリーク欠陥がないかなどの検査が行われる。
【００２７】
このような構成によれば、各配線部は、光学パネルの走査線に対して所定ピッチで接続するので、例えば、隣接する走査線に逆相である検査信号を印加すると、隣接する走査線間でリーク欠陥が生じていないかなどの検査を行うことができる。
従来のように、走査線に対して一つ一つ順番にプローブの端子を接続するとなれば、走査線のピッチが細密になるに従ってプローブの端子も細密に設けざるを得ないが、本発明では、基板を走査線の上から圧接した際に走査線と交差する配線部を設けて各配線部を所定ピッチおきの走査線と導通させ、これら配線部を走査線の引き出し方向に間隔をあけて配列しているので、配線部同士の間隔は走査線間のピッチに何ら関係なく影響されない。よって、走査線の細密化に関わらず、検査プローブの配線部の間隔を加工しやすいように広く取ることができる。よって、検査プローブの加工を非常に簡単にでき、その製造コストを画期的に低廉にすることができる。
そして、検査プローブを走査線に接続するにあたっては、検査プローブの基板を走査線上に圧接するだけで、各配線部と所定走査線とが接触部を介して導通されるので、走査線と検査プローブとの接続作業を極めて簡単に行うことができる。
光学パネルの膨大な製造量を鑑みるに、光学パネルの一つ一つに検査プローブを接続する作業を簡単にすることは画像表示検査に要する時間を非常に短縮することになり、製造効率の向上に大いに繋がる画期的効果を奏する。
【００２８】
本発明では、前記配線部は、２本設けられ、一の前記配線部に配設される接触部は、一つおきのピッチで前記走査線に接触して前記走査線と前記配線部との導通をとることが好ましい。
【００２９】
このような構成によれば、配線部が二本設けられているとともに各配線部は一つおきのピッチで走査線に接触するので、二本の配線部はそれぞれ奇数番目の走査線と偶数番目の走査線に接続される。従って、二本の配線部に互いに逆相の検査信号を入力すれば、配線部を介して奇数番目の走査線と偶数番目の走査線とで逆相の検査信号が入力され、奇数番目の走査線と偶数番目の走査線との間でリーク欠陥が生じていないかなどの画像表示検査が行われる。
【００３０】
なお、走査線を分類するにあたっては、一つおきの走査線を一組として走査線を二つの組に分類する場合に限らず、３組以上に分類してもよいことはもちろんである。
【００３１】
本発明の検査装置は、前記検査プローブと、前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査用の駆動信号を入力する検査信号発信手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３２】
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。すなわち、データ線および走査線の細密化に関わらず、検査プローブの配線部の間隔を加工しやすいように広く取ることができる。よって、検査プローブの加工を非常に簡単にでき、その製造コストを画期的に低廉にすることができる。
そして、検査プローブをデータ線および走査線に接続するにあたっては、検査プローブの基板をデータ線および走査線の上に圧接するだけで、各配線部と信号線（データ線、走査線）が接触部を介して導通されるので、信号線（データ線、走査線）と検査プローブとの接続作業を極めて簡単に行うことができる。
【００３３】
本発明の光学パネルの検査方法は、前記検査プローブを前記光学パネルに接続する接続工程と、前記検査プローブを介して前記光学パネルに検査用の駆動信号を入力する信号入力工程と、を備えたことを特徴とする。
【００３４】
このような構成によれば、接続工程において検査プローブをデータ線および走査線に接続する作業が非常に簡単であるので、光学パネルの検査を非常に効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の光学パネルの検査装置に係る第１実施形態について説明する。
まず、本発明の検査装置について説明する前に、検査対象となる液晶パネル２０およびこの液晶パネル２０の検査概要について簡単に説明する。
本発明において検査対象となる液晶パネル２０は、例えば、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）およびＢ（青色）を混色してカラー表示する液晶パネル２０であり、列ごとにＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）を発色する画素が配列されている。そして、行方向に見たときにＲ（赤色）、Ｇ（緑色）およびＢ（青色）は、この配列順序で繰り返し配置されている（例えば、図９、図３を参照）。
【００３６】
各画素には、液晶セル（不図示）と、液晶セルに設けられたスイッチング素子としての薄膜二端子素子（不図示）と、が配置されており、液晶パネル２０の縦方向（列方向）にはデータ線２２が配線され、液晶パネル２０の横方向（行方向）には走査線２１が配線されている。つまり、同じ行に属する画素は共通の走査線２１で結ばれ、同じ列に属する画素すなわち同じ色を発色する画素は共通のデータ線２２で結ばれている。
ここで、赤色の画素につながるデータ線２２を赤色データ線２２Ｒ、緑色の画素につながるデータ線を緑色データ線２２Ｇ、青色の画素につながるデータ線を青色データ線２２Ｂと称する。
【００３７】
そして、データ線２２および走査線２１は、液晶パネル２０の表示部２８から引き出され、基板３０の一辺３１（図９中では下方の一辺）に一括して配置されている。
具体的には、総てのデータ線２２は、液晶パネル２０の表示部２８からそのまま引き出され（例えば図９中では下方に向けて引き出されている）、基板３０の一辺３１の付近において総てのデータ線２２が互いに平行な状態で配列され、基板３０の一辺３１において入力接続端子３２に繋がっている。
ここに、基板３０の一辺３１の付近において総てのデータ線２２が互いに平行に配置されていることで引出部２４が構成されている。
【００３８】
また、走査線２１は、偶奇で互いに逆側に引き出されているところ、偶数番目の走査線２１は右側に引き出され、奇数番目の走査線２１は左側に引き出されている。
そして、右側に引き出された奇数番目の走査線２１Ａも、左側に引き出さされた偶数番目の走査線２１Ｂも基板３０の一辺３１に向けて引き回され、基板３０の一辺３１において入力接続端子３２に繋がっている。ここに、基板３０の一辺３１の付近において走査線２１が互いに平行に配置されていることで引出部２５が構成されている。
【００３９】
ここで、液晶パネル２０の画像表示検査を行うにあたって、画素がＲ（赤色）、Ｇ（緑色）およびＢ（青色）の三つの組に分類できるところ、色ごとに画像表示検査が行われる。例えば、赤色についての点灯検査にあたっては、赤色の画素につながるデータ線（赤色データ線２２Ｒ）にはまとめて同じ信号が送られて液晶パネル全体が赤色に点灯される。この状態で、赤色についての点欠陥、線欠陥、画素ムラ等が検査されるとともに、表示不良に基づいてデータ線同士で短絡などの欠陥が生じていないかなどが検査される。ここで、例えば、赤色データ線２２Ｒのいずれかと他のデータ線（緑色データ線２２Ｇ、青色データ線２２Ｂ）のいずれかとの間でリークしているなどの欠陥があると画素が適正に点灯しないので欠陥が検出されることになる。
同様に、緑色の点灯検査にあたっても緑色データ線２２Ｇにまとめて同じ信号が送られて液晶パネル全体が緑色で点灯され、青色の点灯検査にあたっても青色データ線２２Ｂにまとめて同じ信号が送られて液晶パネル全体が青色で点灯されて画像表示検査が行われる。
【００４０】
次に、図１から図６を参照して、本発明の光学パネルの検査装置に係る第１実施形態について説明する。
図１は、検査対象となる液晶パネル２０を検査装置にセットした状態の全体構成である。
検査装置１００は、液晶パネル２０の画像表示検査にあたって一時的に液晶パネル２０に接続される検査プローブ２００と、検査プローブ２００を介して液晶パネル２０に検査用の駆動信号を入力する検査チェッカー（検査信号発信手段）５００と、を備えている。
なお、液晶パネル２０の表示画像を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラや、このＣＣＤカメラからの画像データに基づいて液晶パネルの画像表示検査を自動的に行う画像処理手段などを備えていてもよい。
【００４１】
検査プローブ２００の構成について説明する。なお、液晶パネル２０への接続はデータ線２２および走査線２１の両方に対して行われるが、本実施形態では主として液晶パネル２０のデータ線２２に接続する検査プローブ２００について説明する。
図２は検査プローブ２００の上面図である。図３は検査プローブ２００を液晶パネル２０のデータ線２２に接続した状態を示す図である。図４は検査プローブ２００がデータ線２２に接触する部分を拡大して示す図である。図５は検査プローブ２００の断面図である。図６は検査プローブ２００がデータ線２２に接続した状態の側面図である。
【００４２】
検査プローブ２００は、データ線２２の引出部２４においてデータ線２２の上から圧接するように取り付けられると（図３参照）、総てのデータ線２２に接続されて導通する（図４参照）。
検査プローブ２００は、基板２１０と、基板２１０上に配設された３本の配線部３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂと、各配線部３００Ｒ〜Ｂに対して設けられ検査チェッカー５００からの駆動信号が入力される信号入力パッド４００Ｒ、４００Ｇ、４００Ｂと、を備えている。
【００４３】
３本の配線部３００Ｒ〜Ｂは、それぞれ、赤色用配線部３００Ｒ、緑色用配線部３００Ｇおよび青色用配線部３００Ｂであり、図２中では、上から順に、赤色用配線部３００Ｒ、緑色用配線部３００Ｇおよび青色用配線部３００Ｂである。
ここで、赤色用配線部３００Ｒ、緑色用配線部３００Ｇおよび青色用配線部３００Ｂの三本の配線部が設けられるところ、隣接する配線部との間隔ｄは特に限定されないので任意であり、例えば、加工しやすいように広めにとってもよく、例えば４０μｍ程度にしてもよい。
配線部３００Ｒ〜Ｂは、検査プローブ２００がデータ線２２の引出部２４（図９を参照）に対して上から圧接された際に、各データ線２２Ｒ〜Ｂに接続されて導通される。
すなわち、赤色用配線部３００Ｒは、液晶パネル２０の赤色データ線２２Ｒの総てに同時に接続されて導通される。同様に、緑色用配線部３００Ｇは、液晶パネル２０の緑色データ線２２Ｇの総てに同時に接続されて導通され、青色用配線部３００Ｂは、液晶パネル２０の青色データ線２２Ｂの総てに同時に接続されて導通される（図４参照）。
各配線部３００Ｒ〜Ｂは、図２中で基板３０の上辺寄りにおいて横方向に直線的に延設された主軸部３１０と、主軸部３１０の一端から下方に垂下したのち斜め下方約４５度で引き出されるように配設された連結軸部３２０と、を備える。連結軸部３２０の下端は、信号入力パッド４００Ｒ〜Ｂに連結されている。
【００４４】
配線部３００Ｒ〜Ｂの断面構造について説明する。
配線部３００Ｒ〜Ｂは、基板２１０の上に配設された導電性の配線（導通配線）３３０と、導通配線３３０を電気的に絶縁して保護する絶縁膜３４０と、主軸部３１０において所定ピッチで設けられた接触部３５０と、を備える（例えば図５参照）。
導通配線３３０は、信号入力パッド４００Ｒ〜Ｂから連結軸部３２０および主軸部３１０にわたる総てに配線されている。
絶縁膜３４０は、導通配線３３０の連結軸部３２０および主軸部３１０にわたって設けられているが、主軸部３１０においては所定ピッチで隙間３４１が設けられている。
なお、隙間３４１が設けられる位置は、その配線部３００Ｒ〜Ｂが接続されるデータ線２２Ｒ〜Ｂの間隔に対応しており、例えば、赤色用配線部３００Ｒであれば、赤色データ線２２Ｒに対応するピッチで絶縁膜３４０の隙間３４１が設けられている。絶縁膜３４０は例えばポリイミドなどで形成されることが例として挙げられる。
【００４５】
接触部３５０は、主軸部３１０において導通配線３３０から凸形に突起する形状に設けられ、少なくとも絶縁膜３４０から先端が突出する。
接触部３５０は、導電性の弾性体であり、通常状態ではその先端に凸の丸みを有しているが（図５参照）、データ線２２Ｒ〜Ｂに圧接された際にはやわらかく弾性変形してデータ線２２Ｒ〜Ｂを包むように覆って接触面積を増加させる（図６参照）。
【００４６】
ここで、ある一本の配線部（３００Ｒ〜Ｂ）に設けられる複数の接触部３５０は、検査プローブ２００がデータ線２２Ｒ〜Ｂの上から圧接された際に所定の同一色のデータ線（２２Ｒ〜Ｂ）の総てに同時に接触して同一色の総てのデータ線（２２Ｒ〜Ｂ）と導通配線３３０との導通をとるところ、接触部３５０は、例えば、赤色用配線部３００Ｒの主軸部３１０であれば総ての赤色データ線２２Ｒにそれぞれ対応して設けられており、緑色用配線部３００Ｇであれば総ての緑色データ線２２Ｇに対応してそれぞれ設けられており、青色用配線部３００Ｂであれば総ての青色データ線２２Ｂにそれぞれ対応して設けられている（図４参照）。
つまり、データ線２２Ｒ〜Ｂは、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）およびＢ（青色）がこの順序で繰り返し並んでいるところ、赤色用配線部３００Ｒであれば、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂは飛ばして総ての赤色データ線２２Ｒに接触するように接触部３５０が配設されているので、接触部３５０はデータ線２２の配列ピッチ（例えば２０μｍ）に対してその３倍のピッチｐ（例えば６０μｍ）で配設されている。
【００４７】
図５に示されるように、赤色用配線部３００Ｒの主軸部３１０をその軸方向に沿って断面すると、赤色データ線２２Ｒに接触する接触部３５０が順に並びその間は絶縁膜３４０で埋められている。
そして、緑色用配線部３００Ｇおよび青色用配線部３００Ｂおいても接触部３５０の間隔は同様であるが、赤色用配線部３００Ｒの接触部３５０が赤色データ線２２Ｒに接触する際に同時に緑色用配線部３００Ｇの接触部３５０は緑色データ線２２Ｇに、また青色用配線部３００Ｂの接触部３５０は青色データ線２２Ｂにそれぞれ接触するように赤色用配線部３００Ｒに対比して緑色用配線部３００Ｇおよび青色用配線部３００Ｂのそれぞれの接触部３５０はデータ線一本分だけ左右にずれた位置に配設されている。
【００４８】
信号入力パッド４００Ｒ〜Ｂは、基板２１０の下方に三つ並べて配置されており、図２中の右から順に、赤色用信号入力パッド４００Ｒ、緑色用信号入力パッド４００Ｇおよび青色用信号入力パッド４００Ｂが配置されている。
そして、赤色用信号入力パッド４００Ｒは赤色用配線部３００Ｒに連結され、緑色用信号入力パッド４００Ｇは緑色用配線部３００Ｇに連結され、青色用信号入力パッド４００Ｂは青色用配線部３００Ｂに連結されている。
【００４９】
検査チェッカー５００は、各信号入力パッド４００Ｒ〜Ｇに検査用の信号を順次印加して液晶パネル２０を検査用に駆動させる。
【００５０】
このような構成を備える検査装置１００の使用態様について説明する。
液晶パネル２０の画像表示検査にあたって、データ線２２の引出部２４に検査プローブ２００を取り付けてデータ線２２に接続させる（接続工程）。
このとき、配線部３００Ｒ〜Ｂの主軸部３１０をデータ線２２と直交させるように検査プローブ２００をデータ線２２の上から圧接する。
すると、総ての接触部３５０が所定のデータ線２２に接触して導通配線３３０とデータ線２２とが導通される。
【００５１】
例えば、図４の拡大図に示されるように、赤色用配線部３００Ｒの接触部３５０は赤色データ線２２Ｒと同じピッチで設けられているので、引出部２４において赤色用配線部３００Ｒの主軸部３１０をデータ線２２に直交させるように圧接すると、赤色用配線部３００Ｒの総ての接触部３５０が赤色データ線２２Ｒに同時に接触する。
さらに、緑色用配線部３００Ｇの接触部３５０は緑色データ線２２Ｇに接触し、青色用配線部３００Ｂの接触部３５０は青色データ線２２Ｂに接触する。
このとき、図６に示されるように、接触部３５０の先端が弾性的にデータ線２２を包むように変形して接触部３５０とデータ線２２とが広い面積で接触されて、接触部３５０とデータ線２２とが確実に導通される。
【００５２】
この状態で、検査チェッカー５００から各信号入力パッド４００Ｒ〜Ｇに検査用の駆動信号が順次入力される（信号入力工程）。
例えば、まず、赤色画素の点灯検査を行う場合には、赤色用信号入力パッド４００Ｒにのみ駆動信号が入力される。
すると、赤色用信号入力パッド４００Ｒから導通配線３３０および接触部３５０を介して赤色データ線２２Ｒの総てに同時に駆動信号が入力される。その一方、緑色データ線２２Ｇおよび青色データ線２２Ｂには駆動信号が入力されない。よって、赤色データ線２２Ｒを介して赤色の画素に電圧が印加されて総ての赤色画素が点灯される。
このときの点灯の様子を検査員が目視して検査したり、あるいはＣＣＤカメラで撮像した画像に基づいて検査するなどにより、赤色についての画像表示検査が行われる。続いて、緑色、青色と順に点灯検査が行われる。
検査が終了すると、検査プローブ２００がデータ線２２から離されて、良品であった液晶パネルは次の製造工程へ向けて搬出される。
【００５３】
このような構成を備える第１実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（１）検査プローブ２００をデータ線２２の上から圧接した際にデータ線２２と交差する配線部３００Ｒ〜Ｂを設けて各配線部３００Ｒ〜Ｂが同一色のデータ線（２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ）とまとめて導通するようにし、これら配線部３００Ｒ〜Ｂをデータ線２２の引き出し方向に間隔をあけて配列しているので、配線部（３００Ｒ〜Ｇ）同士の間隔ｄはデータ線２２の配列ピッチに何ら関係なく影響されない。よって、データ線２２の細密化に関わらず、検査プローブ２００の配線部３００Ｒ〜Ｇの間隔を加工しやすいように広く取ることができる。よって、検査プローブ２００の加工を非常に簡単にでき、その製造コストを画期的に低廉にすることができる。
【００５４】
（２）検査プローブ２００をデータ線２２に接続するにあたっては、検査プローブ２００の基板２１０をデータ線２２の上に圧接するだけで、各配線部３００Ｒ〜Ｂと所定データ線２２Ｒ〜Ｇが接触部３５０を介して導通されるので、データ線２２と検査プローブ２００との接続作業を極めて簡単に行うことができる。
液晶パネル２０の膨大な製造量を鑑みるに、液晶パネル２０の一つ一つに検査プローブ２００を接続する作業を簡単にすることは画像表示検査に要する時間を非常に短縮することになり、製造効率の向上に大いに繋がる画期的効果を奏する。
【００５５】
（３）配線部３００Ｒ〜Ｇが基本色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の数だけあって、各配線部３００Ｒ〜Ｂには各色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）のデータ線２２Ｒ〜Ｂに接触する位置に接触部３５０が設けられているので、基板２１０をデータ線２２の引出部２４に圧接すれば、すべての色のデータ線２２Ｒ〜Ｂに各配線部３００Ｒ〜Ｂを同時に接続させることができる。
従って、検査する色ごとに検査プローブ２００を取り替えたりする必要がなく、一つの液晶パネル２０を検査するにあたっては検査プローブ２００を一度取り付ければよいだけなので、接続の手間を少なくして検査効率を向上させることができる。
【００５６】
（４）導通配線３３０のうち接触部３５０が設けられる位置を除いては絶縁膜３４０で被膜されているので、配線部３００Ｒ〜Ｇをデータ線２２に圧接した場合でも所定のデータ線以外には導通配線３３０が接触することがない。よって、配線部３００からの検査信号が所定のデータ線２２のみに送られ他のデータ線２２に誤って検査信号が印加されることがないので、画像表示検査を正確に行うことができる。
【００５７】
（５）接触部３５０は、絶縁膜３４０から凸に突出する形状であるので、配線部３００Ｒ〜Ｂがデータ線２２に圧接された際に確実にデータ線２２に接触して導通配線３３０とデータ線２２との導通が確保される。よって、配線部３００Ｒ〜Ｂとデータ線２２との接触不良によって検査ミスが生じることがなく、適切な画像表示検査を行うことができる。
【００５８】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図７を参照して説明する。第２実施形態の基本的構成は第１実施形態に同様であるが、この第２実施形態は、走査線に接続する検査プローブである。
図７において、液晶パネル２０には行方向に走査線２１が設けられているところ、すべての走査線２１は図７中で左側に引き出されたのち、下方に向けて引き回されており、下方に引き出されるところで互いに平行に配列されている。ここに、走査線２１が互いに平行に配列されるところで走査線２１の引出部２５が構成されている。
【００５９】
検査プローブ２００は、基板２１０と、二本の配線部６００Ａ、６００Ｂと、信号入力パッド４１０Ａ、４１０Ｂと、を備えている。
配線部６００Ａ、Ｂは、上から順に、奇数用配線部６００Ａおよび偶数用配線部６００Ｂである。
各配線部６００Ａ、Ｂが、主軸部３１０と、連結軸部３２０と、を備え、さらに、断面構造において、導通配線３３０と、絶縁膜３４０と、接触部３５０と、を備える点については、第１実施形態と同じである。
ここで、奇数用配線部６００Ａは奇数番目の走査線２１に接続され、偶数用配線部６００Ｂは偶数番目の走査線２１に接続されるところ、配線部６００Ａ、Ｂに設けられる接触部３５０のピッチは、それぞれの配線部６００Ａ、Ｂにおいて走査線２１のピッチの２倍となっている。
【００６０】
そして、奇数用配線部６００Ａの接触部３５０が奇数番目の走査線２１に接触した際に同時に偶数用配線部６００Ｂの接触部３５０が偶数番目の走査線２１に接触するように、奇数用配線部６００Ａに設けられる接触部３５０の位置と偶数用配線部６００Ｂに設けられる接触部３５０の位置とでは、データ線一本分だけ互いにずれている。
信号入力パッド４１０Ａ、Ｂは、奇数用配線部６００Ａに連結された奇数用信号入力パッド４１０Ａと、偶数用配線部６００Ｂに連結された偶数用信号入力パッド４１０Ｂと、が配置されている。
そして、奇数用信号入力パッド４１０Ａと偶数用信号入力パッド４１０Ｂとでは、検査チェッカー５００から入力される信号が互いに逆相である。
【００６１】
このような構成において、検査プローブ２００を走査線２１に接続するにあたっては、配線部６００Ａ、Ｂの主軸部３１０を走査線２１に直交させるように検査プローブ２００を走査線２１の上から圧接する。すると、奇数用配線部６００Ａの接触部３５０は奇数番目の走査線２１に接触し、偶数用配線部６００Ｂの接触部３５０は偶数番目の走査線２１に接触する。
そして、検査チェッカー５００から信号入力パッド（奇数用信号入力パッド４１０Ａ、偶数用信号入力パッド４１０Ｂ）を介して各配線部６００Ａ、Ｂに検査信号が送られる。
このとき、奇数用配線部６００Ａと偶数用配線部６００Ｂとでは互いに逆相の検査信号が入力されるので、奇数番の走査線２１Ａと偶数番の走査線２１Ｂとでは互いに逆相の検査信号が入力される。
検査信号が入力されることによって液晶パネル２０が点灯され、奇数番の走査線２１と偶数番の走査線２１との間でリーク欠陥等の欠陥がないか画像表示検査が行われる。
【００６２】
このような構成を備える第２実施形態によれば、走査線の検査において上記第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００６３】
（変形例１）
次に、本発明の変形例１について図８を参照して説明する。
変形例１の基本的構成は、第１実施形態と同様であるが、配線部が６本設けられている点に違いがある。
第１実施形態では、赤色用配線部３００Ｒは総ての赤色データ線２２Ｒに接続するように接触を有し、一つの赤色用配線部３００Ｒによって総て赤色データ線２２Ｒにまとめて検査信号を入力していた。
この点、変形例１では、各色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）に対して二つずつの配線部が設けられ、各配線部は、一つおきの各色データ線２２Ｒ〜Ｇに接触する接触部３５０を有する。
例えば、赤色用配線部が二つ設けられ、第１の赤色用配線部３００Ｒ１と第２の赤色用配線部３００Ｒ２とは、それぞれ一つおきの赤色データ線２２Ｒに接触するように接触部３５０を有している。
同様に、第１緑色用配線部３００Ｇ１と第２緑色用配線部３００Ｇ２とはそれぞれ一つおきの緑色データ線２２Ｇに接触する接触部３５０を有し、第１青色用配線部３００Ｂ１と第２青色用配線部３００Ｂ２とはそれぞれ一つおきの青色データ線２２Ｂに接触する接触部３５０を有する。
【００６４】
このような構成によれば、同じ色のデータ線（２２Ｒ〜Ｂ）に対しても配線部が二つ設けられているのでデータ線２２Ｒ〜Ｂを六つの組に分類でき、各配線部に接続されるデータ線２２の組ごとにそれぞれ検査信号を入力して画像表示検査できるので、第１実施形態のごとく単純に色ごとでデータ線２２を分類する場合に比べて欠陥の部位を詳細に特定できるという効果を奏する。
【００６５】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
本発明の検査装置による検査対象である光学パネルとしては、液晶パネルに限られず、走査線およびデータ線を有する種々の光学パネルであってもよいことはもちろんである。
【００６６】
第１実施形態ではデータ線に接続される検査プローブの例を示し、第２実施形態では走査線に接続される検査プローブの例を説明したが、一の検査プローブにおいてデータ線に接続する配線部と走査線に接続する配線部とを併せ持っていてもよいことはもちろんである。
【００６７】
検査プローブの配線部に接触部を設けるにあたっては、一つおきの信号線（データ線、走査線）に接触するように設けてもよく、二つおきの信号線に接触するようも設けてもよく、接触部が接触する信号線のピッチは画像表示検査に求められる精度に応じて種々変更されてもよいことはもちろんである。
上記実施形態においては、液晶パネルの画像表示検査を例にして説明したが、本発明の検査プローブによる検査対象としては、例えば半導体等の狭ピッチの信号線が配線された電子機器であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、光学パネルおよび信号線が配線された電子機器の検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の検査装置に係る第１実施形態において、検査対象となる液晶パネルを検査装置にセットした状態の全体構成を示す図。
【図２】第１実施形態において、検査プローブの上面図。
【図３】第１実施形態において、検査プローブを液晶パネルのデータ線に接続した状態を示す図。
【図４】第１実施形態において、検査プローブがデータ線に接触する部分を拡大して示す図。
【図５】第１実施形態において、検査プローブの断面図。
【図６】第１実施形態において、検査プローブがデータ線に接続した状態の断面図。
【図７】本発明の検査装置に係る第２実施形態において、検査プローブを液晶パネルの走査線に接続した状態を示す図。
【図８】本発明の検査装置に係る変形例１において、検査プローブを液晶パネルのデータ線に接続した状態を示す図。
【図９】表示装置の構成を示す図。
【図１０】従来の検査プローブとデータ線との接続部分を拡大した図。
【符号の説明】
【００７０】
１０…表示装置、２０…液晶パネル、２１…走査線、２１Ａ…走査線、２１Ｂ…走査線、２２…データ線、２２Ｂ…青色データ線、２２Ｒ…赤色データ線、２２Ｇ…緑色データ線、２３…走査線およびデータ線の接続端子、２４…データ線の引出部、２５…走査線の引出部、２８…表示部、３０…基板、３１…基板の一辺、３２…入力接続端子、４０…駆動回路、４１…出力接続端子、５０…検査プローブ、５１…プローブ端子、１００…検査装置、２００…検査プローブ、２１０…基板、３００Ｂ…青色用配線部、３００Ｂ１…第１青色用配線部、３００Ｂ２…第２青色用配線部、３００Ｒ…赤色用配線部、３００Ｒ１…第１赤色用配線部、３００Ｒ２…第２赤色用配線部、３００Ｇ…緑色用配線部、３００Ｇ１…第１緑色用配線部、３００Ｇ２…第２緑色用配線部、３１０…主軸部、３２０…連結軸部、３３０…導通配線、３４０…絶縁膜、３４１…隙間、３５０…接触部、４００Ｂ…青色用信号入力パッド、４００Ｒ…赤色用信号入力パッド、４００Ｇ…緑色用信号入力パッド、４１０Ａ…奇数用信号入力パッド、４１０Ｂ…偶数用信号入力パッド、５００…検査チェッカー、６００Ａ…奇数用配線部、６００Ｂ…偶数用配線部。
【図１】
2006214834.tif 000003
【図２】
2006214834.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006214834.tif 000009
【図８】
2006214834.tif 000010
【図９】
2006214834.tif 000011
【図１０】
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