(57)【要約】【課題】高密度化、高精度化を実現したインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】  インクジェットヘッドは、先端部が前記基板の端面Ａで開口し後端部が閉塞した複数の第１のインク室３と、先端部が前記端面Ａの反対側の端面Ｂで開口し後端部が閉塞した複数の第２のインク室４と、第１のインク室３及び第２のインク室４の内壁に形成された電極と、第２のインク室４の後端部と端面Ａ間に形成され、第１のインク室３に連通する第１の共通インク室６と、第１のインク室３の後端部と端面Ｂ間に形成され、第２のインク室４に連通する第２の共通インク室７と、第１のインク室３及び第２のインク室４を覆いそれらのインク室に対応して形成されたノズル孔を有するノズルプレートとを備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に形成され、先端部が前記基板の第１の端面で開口し後端部が閉塞した複数の第１のインク室と、
前記圧電基板上に形成され、先端部が前記第１の端面の反対側の第２の端面で開口し後端部が閉塞した複数の第２のインク室と、
前記第１のインク室及び第２のインク室の内壁に形成された電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記第２のインク室の後端部と前記第１の端面間に形成され、前記第１のインク室に連通する第１の共通インク室と、
前記圧電基板上に形成され、前記第１のインク室の後端部と前記第２の端面間に形成され、前記第２のインク室に連通する第２の共通インク室と、
前記第１のインク室及び第２のインク室を覆いそれらのインク室に対応して形成されたノズル孔を有するノズルプレートと、
を備えるインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記複数の第１のインク室と前記複数の第２のインク室は、交互に隣接して配置されている請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記複数の第１のインク室及び前記複数の第２のインク室の開口部の深さが他の部分の深さよりも浅く形成され、この開口部の内壁に形成されている前記電極を外部接続端子とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記第１の共通インク室は、先端部が前記第１の端面に直交する第３の端面で開口し後端部が閉塞し、該第３の端面からインクの供給を受け、
前記第２の共通インク室は、先端部が前記第３の端面の反対側の第４の端面で開口し後端部が閉塞し、該第４の端面からインクの供給を受ける請求項１〜３のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
インクジェットヘッド本体を支持するベース部を備え、
前記ベース部は、
前記インクジェットヘッド本体が収納される大きさであって、前記第３の端面の側と前記第４の端面の側にインク溜空間が形成されるザグリ部と、
前記ザグリ部に形成され外部から前記インク溜空間にインクを供給するインク供給孔と、
を有する請求項４記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ノズルプレートは、前記ザグリ部を覆う大きさに設定される請求項５記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
圧電材料で構成される１枚のウェハー上に複数のインクジェットヘッド形成のための区画をレイアウトして、各区画に対して、
先端部が前記区画の第１の端面で開口し後端部が閉塞した複数の第１のインク室を形成する工程と、
先端部が前記第１の端面の反対側の第２の端面で開口し後端部が閉塞した複数の第２のインク室を形成する工程と、
前記第１のインク室及び第２のインク室の内壁に電極を形成する工程と、
前記第２のインク室の後端部と前記第１の端面間に、前記第１のインク室に連通する第１の共通インク室を形成する工程と、
前記第１のインク室の後端部と前記第２の端面間に、前記第２のインク室に連通する第２の共通インク室を形成する工程と、
前記第１のインク室及び第２のインク室の上部を、それらのインク室に対応して形成されたノズル孔を有するノズルプレートで覆う工程と、
前記各工程を終えてから、各区画毎にダイシングマシンで切断して、複数のインクジェットヘッドを得る工程と、
を備えるインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
所定数の前記インクジェットヘッドの各ヘッドの底面を第１の基準とし、各ヘッドの切断面を第２の基準として位置合わせを行いながら各ヘッドの切断面を合わせて、１つのインクジェットヘッドユニットを形成する工程、
を備える、請求項７記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットプリンタのヘッド構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタは、インクジェットヘッドに設けられた微小なノズル孔から印字データに応じてインクの微小な液滴を吐出することで、紙等の媒体に画像を印刷する。このインクジェット方式のプリンタ装置として、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色、またはライトシアン、ライトマゼンダを追加した６色のインクを充填したインクジェットヘッドによってフルカラーの画像を形成するものがある。
【０００３】
最近では、このインクジェットヘッドを生産装置へ組み込むことで、配線パターンやカラーフィルタ等を作成することも行われるようになり、その産業上への応用が広がっている。
【０００４】
図１０は、従来のインクジェットヘッドを示す斜視図である。図１１は図１０のＣ−Ｃで切断した部分の斜視図である。図１２は、従来のマルチインクジェットヘッドのヘッド保持部材への取り付け状態を示す斜視図である。
【０００５】
基板厚み方向に分極された圧電基板１０１にダイシングにより複数の溝加工を行い、インク室１０４を形成する。このインク室１０４の内壁には電極１０５が形成され、この電極１０５の上に同電極を覆う電極保護膜（図示せず）が１０μｍ程度形成されている。電極１０４の後端部には、図示しない導電材が充填されている。カバー部材１０２には、共通インク室１０３が形成されている。この共通インク室１０３は、圧電基板１０１のすべてのインク室１０４と連通しており、この共通インク室１０３から各インク室１０４へインクが供給されるようになっている。インクジェットヘッド１００は、圧電基板１０１をカバー部材１０２に接着することで構成される。
【０００６】
以上の構成で、電極１０５に印字データに応じた電圧を印加すると、このインク室１０４の壁部が変形し、インク室１０４内のインクが加圧される。その結果、このインクがインク室１０４の前端部に取り付けられる図示しないノズル孔から吐出される。
【０００７】
このような圧電方式では、電圧を加減し圧電体の変形を制御することによってインクの加圧量およびインク吐出滴量をコントロールできるため、階調印刷が容易であるという特徴がある。
【０００８】
上記の構成のインクジェットヘッド１００を複数個組み合わせ、各ヘッドで異なった色のインクを出力するようにすればカラー印字が可能になる。図１２は、ヘッド保持部材１０６に４個のインクジェットヘッド１００を配置してカラー印字を可能にしたインクジェットヘッドユニット２００を示している。
【０００９】
しかし、それぞれのインクジェットヘッド１００が別部材である上に、これらをヘッド保持部材１０６に組み付けることが必要であるため、各ノズル孔の位置が高精度に位置決めされる保証がなく、歩留りが低いという問題があった。
【００１０】
そこで、この問題を解決するため、特許文献１に示される構造が提案されている。
【００１１】
すなわち、各インクの色毎に長さの異なるインク室を形成し、この長さの異なる各インク室に対して、天板に形成したインク供給路から各色のインクを供給することにより、１つの圧電基板を加工することで、イエロー、マゼンダ、シアン、ブラックというようにマルチカラーに対応するインクジェットヘッドが形成可能となる。この構成によれば、ヘッド間の位置ずれを考慮する必要がないため、各ノズル孔の位置が高精度に位置決めされ、印字品質が向上するという効果があり、また、量産時の歩留りも向上する。
【特許文献１】特開平１０−２３５９０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記インクジェットヘッドの場合、各インクの色毎に長さの異なるインク室が形成されるため、各インク室のインク吐出条件を同一にするのに各インク室に隣接して同一長さのダミーインク室が必要となってくる。このため、ダミーインク室を設ける分、吐出ノズルピッチを小さくすることが困難であった。また、天板に形成したインク供給路はヘッド側面に開口し、この部分に各色毎の共通インク室が形成されることになるが、インクの流量の確保と流路抵抗を小さくするためにインク室数を増やすに伴って開口面積を大きくすることが必要になり、また、混色、リークをなくすためにそれらの共通インク室のピッチを大きくする必要がある。仮に、共通インク室幅２ｍｍ、共通インク室ピッチを３ｍｍとした場合、４色で１１ｍｍの長さが必要であり、さらにヘッド後端部の電極パターン幅、溝長さを加えるとヘッド長さは２０ｍｍを超えるような長さになってしまう。このように、吐出ノズルピッチを小さくすることが困難で、且つ、共通インク室のピッチを大きくする必要があるため、１枚のウェハーからのヘッドの取れ数は数個程度となり、ヘッド自体の小型化に限界があった。
【００１３】
また、各色毎のインク室の長さは異なるため、各色で均一な駆動を行うためには、インク室の長さや深さ毎に駆動電圧や駆動パルス幅を制御することが必要であり、このため制御が複雑化する問題があった。
【００１４】
本発明は、高密度化、高精度化を実現したインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、圧電基板上に形成され、先端部が前記基板の第１の端面で開口し後端部が閉塞した複数の第１のインク室と、
前記圧電基板上に形成され、先端部が前記第１の端面の反対側の第２の端面で開口し後端部が閉塞した複数の第２のインク室と、
前記第１のインク室及び第２のインク室の内壁に形成された電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記第２のインク室の後端部と前記第１の端面間に形成され、前記第１のインク室に連通する第１の共通インク室と、
前記圧電基板上に形成され、前記第１のインク室の後端部と前記第２の端面間に形成され、前記第２のインク室に連通する第２の共通インク室と、
前記第１のインク室及び第２のインク室を覆いそれらのインク室に対応して形成されたノズル孔を有するノズルプレートと、
を備えている。
【００１６】
本発明では、第１のインク室と第２のインク室は、それぞれ開口部が圧電基板の対向面に位置し、第１の共通インク室が第２のインク室に交差しないよう圧電基板上に形成され、且つ、第２の共通インク室が第１のインク室に交差しないよう圧電基板上に形成されるため、それぞれのインク室を同じ長さに設定でき、また、ダミーインク室を設ける必要もない。そして、第１のインク室のインクの色と第２のインク室のインクの色を変えることにより、２色のインクを吐出することができる。
【００１７】
第１の共通インク室は全ての第１のインク室にインクを供給し、第２の共通インク室は全ての第２のインク室にインクを供給するため、流路抵抗を小さくする見地から、各共通インク室の溝幅は、少なくともインク室の溝幅よりも大きくし、好ましくは、寸法上可能な限り広くする。
【００１８】
本発明の好ましい実施態様では、第１の共通インク室は、第２のインク室の後端部と前記第１の端面間に形成されるため、第１の共通インク室は第２のインク室と交差しない。同様に、第２の共通インク室は、第１のインク室の後端部と前記第２の端面間に形成されるため、第２の共通インク室は第１のインク室と交差しない。
【００１９】
本発明の好ましい実施態様では、前記複数の第１のインク室と前記複数の第２のインク室は、交互に隣接して配置されている。また、前記複数の第１のインク室及び前記複数の第２のインク室の開口部の深さが他の部分の深さよりも浅く形成され、この開口部の内壁に形成されている前記電極を外部接続端子とする。
【００２０】
上記構成では、奇数ノズルと偶数ノズルで異なった色のインクを吐出することができる。また、ダミーインク室がないためインク室を狭ピッチ化することが出来、また、各インク室の開口部の深さが浅くなるためにこの部分での端子接続が容易になる。外部接続端子となる開口部のインク室幅を加工時に拡げておくことにより、この部分での接続信頼性を高めることも可能である。
【００２１】
本発明の好ましい実施態様では、圧電基板の第３の端面から第１の共通インク室に対してインクを供給し、第３の端面の反対側の第４の端面から第２の共通インク室に対してインクを供給する。また、インクジェットヘッド本体は、ベース部に形成されたザグリ部に収納され、このザグリ部の前記第３の端面の側と前記第４の端面の側に形成されたインク溜空間に連通するインク供給孔が設けられる。したがって、このインク供給孔を介して外部からインクジェットヘッド本体に対してインクの供給が行われる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ダミーインク室を設ける必要がなく、また、１つの圧電基板の加工により、各インク室のピッチを短くして異なる複数色のインクを吐出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の実施の形態について図１から図８を用いて説明する。
【００２４】
図１は本発明の実施形態のインクジェットヘッドの斜視図である。
【００２５】
図２は図１の点線Ａ−Ａ断面とＢ−Ｂ断面を示す図である。
【００２６】
矩形状の圧電基板１は１枚のウェハーをダイシング装置により切断して得られる。圧電基板１の加工は実際はウェハー上で行われ、加工後に切断することで複数のインクジェットヘッド２が同時に形成される。以下、１つのインクジェットヘッド２の構造について説明する。
【００２７】
圧電基板１には、先端部が基板１の第１の端面Ａで開口し後端部が閉塞した複数の第１のインク室３と、先端部が第１の端面Ａの反対側の第２の端面Ｂで開口し後端部が閉塞した複数の第２のインク室４と、が形成される。第１のインク室３と第２のインク室４とは交互に隣接し、すべてのインク室は並行に設けられる。
【００２８】
また、第１のインク室３及び第２のインク室４の内壁には電極５が形成されている。この電極５は、パルス電圧をインク室の内壁に印加することによりインク室を膨張及び収縮させて内部のインクを吐出するために用いられる。
【００２９】
圧電基板上１には、第２のインク室４の後端部と第１の端面Ａ間に第１の共通インク室６が形成される。この第１の共通インク室６は、第１のインク室３に連通し、第１のインク室３と直角に交差する。第１の共通インク室６の深さは、第１のインク室３のそれよりも浅く設定されている。同様に、圧電基板上１には、第１のインク室３の後端部と第２の端面Ｂ間に第２の共通インク室７が形成される。この第２の共通インク室７は、第２のインク室４に連通し、第２のインク室４と直角に交差する。第１の共通インク室６の深さは、第１のインク室３のそれよりも浅く設定されている。
【００３０】
第１のインク室３の開口部３ａの深さ及び第２のインク室４の開口部４ａの深さは、図２に示すように、他の部分の深さよりも浅く形成されている。この開口部３ａ、４ａの内壁に形成されている前記電極５が外部の駆動部（図示せず）に接続する外部接続端子となる
後述するノズルプレートは、第１のインク室３及び第２のインク室４を覆いそれらのインク室に対応して形成されたノズル孔を備えている。
【００３１】
以上の構成を備えることにより、第１の色のインクは第１の共通インク室６から供給され、第１のインク室３に導かれる。この状態で第１のインク室のいずれか１つ以上の外部接続端子である開口部３ａにパルス電圧を印加し、そのインク室を励振すると、そのインク室内のインクがノズルプレートのノズル孔から吐出される。したがって、第１の色のインクは図１の上に向かって吐出されることになる。
【００３２】
また、第２の色のインクは第２の共通インク室７から供給され、第２のインク室４に導かれる。この状態で第２のインク室のいずれか１つ以上の外部接続端子である開口部４ａにパルス電圧を印加し、そのインク室を励振すると、そのインク室内のインクがノズルプレートのノズル孔から吐出される。したがって、第２の色のインクも図１の上に向かって吐出されることになる。こうして、第１の色と第２の色のインクを同時に上方に向けて吐出することが出来る。
【００３３】
図１から明らかなように、この実施形態では、ダミーとなるインク室が不要である。したがって、励振されるインク室のピッチ、すなわち、各インク室に対応して設けられるノズル孔のピッチは、第１のインク室３と第２のインク室４の間隔に等しくなり、高密度ピッチのインクジェットヘッドが構成できる。
【００３４】
次に、上記インクジェットヘッドの加工手順について図３以下を参照して説明する。
【００３５】
圧電基板１は、分極方向の異なる０．２５ｍｍと０．８ｍｍの2 枚の圧電基板を貼り合わせて構成され、その厚さは１．０５ｍｍである。
【００３６】
圧電基板１に対して、その上方からダイシングマシンのブレード１０を用いてインク室を加工する。このとき、インク室３については先端部が圧電基板１の端面Ａで開口し、後端部が閉塞するようにブレード１０を端面Ａ方向に移動して加工する。インク室４については先端部が圧電基板１の端面Ｂで開口し、後端部が閉塞するようにブレード１０を端面Ｂ方向に移動して加工する。そして、インク室３とインク室４が交互に位置するように（隣接するように）加工する。これにより端面Ａに開口したインク室３と端面Ｂに開口したインク室４がそれぞれ交互に隣接するように配置される。
【００３７】
また、各インク室の開口部３ａ、４ａは、図２のように深さが浅くなるように加工される。
【００３８】
このように外部接続端子を端面Ａ、端面Ｂにそれぞれ形成することにより、一方の端面での外部接続端子ピッチを大きくできるから、接続に対して信頼度を高くすることができる。
【００３９】
なお、外部接続端子となる開口部３ａ、４ａのインク室幅を加工時に拡げておくことにより、この部分での接続信頼性をさらに高めることも可能である。
【００４０】
次に、このインク室３、４の内壁に蒸着、スパッタ、めっき法などにより電極５を形成する。この工程では、インク室３、インク室４以外の圧電基板１表面にも電極５が形成される。この状態では各インク室３、４が短絡した状態となるため、電極５の形成後、ダイシングマシンを使用して圧電基板１表面に対して５０μｍだけ研削加工を行い、圧電基板１表面の電極５を除去しその厚みを１．０ｍｍにする。この加工により、インク室３、インク室４の内壁のみに電極５が形成された状態となる。
【００４１】
以上の研削加工を行うことにより、圧電基板１の裏面と表面の平行度を〜３μｍ程度にすることが可能である。
【００４２】
続いて図４に示すように、ダイシングマシンのブレード１１を用いて、共通インク室６、７を加工する。共通インク室６、７はインク室３、４に直交するように加工する。また、共通インク室６は、端面Ａよりに位置し、第２のインク室４の後端部と端面Ａ間に位置するように加工され、共通インク室７は、端面Ｂよりに位置し、第１のインク室３の後端部と端面Ｂ間に位置するように加工される。
【００４３】
共通インク室６、７は、インク室３、４よりも浅く加工され、これによって、インク室３、４の内壁に形成した電極５と外部接続端子となる開口部３ａ、４ａの電極との導通が確保されるようにする。
【００４４】
共通インク室６は、すべてのインク室３、共通インク室７はすべてのインク室４へインクを供給するため、流路抵抗を小さくする見地から、これらの共通インク室６、７の溝幅は可能な限り広く加工する。
【００４５】
以上の構成により、１つの圧電基板１上に、２色のインクを吐出可能なインクジェットヘッドを構成することが可能となる。
【００４６】
以上までの工程は、ウェハー状態で加工され、圧電基板１にインクジェットヘッド２の形成区画が多数レイアウトされた状態で作製することができる。
【００４７】
このウェハー状態から、ダイシングマシンにより各区画毎に切断することで複数のインクジェットヘッド２に分離される。このときのダイシングマシンでの切断の位置精度は２〜３μｍ程度である。
【００４８】
次に、このインクジェットヘッド２の実装方法について図５から図８までを使用して説明する。
【００４９】
図５はインクジェットヘッド２を搭載するベース２０である。ベース２０は、厚さ３ｍｍのアルミ、ステンレス、セラミクス等のプレートを０．９５ｍｍの深さだけザグリ加工し、ザグリ加工した両端部分に穴加工を行って形成され、この穴部分にインク供給パイプ２１、２２を接続して構成される。また、ザグリ部分の長さはインクジェットヘッド２の長さよりも長く設定される。
【００５０】
このベース２０の裏面を基準とすることで、ザグリ加工部の平行度は５μｍ以下の精度で加工できる。
【００５１】
続いて図６に示すように、このベース２０のザグリ部分にインクジェットヘッド２を配置（収納）し、接着する。ザグリ深さは、インクジェットヘッド２の収納時にその上部がザグリ部より上方に５０μｍ突出する深さに設定される。また、ザグリ部分の長さはインクジェットヘッド２の長さよりも長く設定されるため、ザグリ部分の両側部にはインク溜空間２８、２９が形成される。ザグリ部分にインクジェットヘッド２を収納した後、ザグリ部分とインクジェットヘッド２間に接着剤を流し込み、隙間をシールする。
【００５２】
次に、図７に示すように、インクジェットヘッド２の電極５の端面Ａに開口した外部接続端子である開口部３ａと、端面Ｂに開口した外部接続端子である開口部４ａに対して、それぞれフレキシブル配線基板２３、２４を異方性導電樹脂（図示せず）を介して接続する。これにより、インクジェットヘッド２の電極５を外部から駆動させることが可能となる。接続方法に関しては、異方性導電樹脂を介した接続方法以外に、外部接続端子にダイレクトにフレキシブル配線基板２３、２４のリードを接続する方法や、ワイヤーボンディングで接続する方法等、が考えられる。
【００５３】
また、フレキシブル配線基板２３、２４の外部接続端子への接続部分は約５０μｍの厚みがあるため、ザグリ部分のザグリ深さを、インクジェットヘッド２の収納時にその上部がザグリ部より上方に５０μｍ突出する深さに設定することで、フレキシブル配線基板２３、２４を該外部接続端子に接続したときに、インクジェットヘッド２とフレキシブル配線基板２３、２４の表面に段差がない状態を作り出すことが可能である。
【００５４】
次に、インクジェットヘッド２のインク室３、４の内壁に形成された電極５をインクから保護する目的で、電極保護膜（図示せず）を約１０μｍの厚さで成膜する。この電極保護膜はインク室３、４以外の部分に付着するため、成膜工程時には、付着不要部分であるフレキシブル配線基板２３、２４等にマスキングテープ等を貼付してマスクしておく。電極保護膜の成膜工程は、フレキシブル配線基板２３、２４の接続前であってもよいが、その場合は外部接続端子をマスキングテープ等でマスクしておく必要がある。
【００５５】
続いて、インクジェットヘッド２の表面にノズル孔２５の加工されたノズルプレート２６を接合する。
【００５６】
ノズル孔２５はインクジェットヘッド２のインク室３、４に対応した位置に開口されており、ノズルプレート２６の外形サイズはインクジェットヘッド２の外形サイズよりも大きく設定されている。インクジェットヘッド２の表面に接着剤を転写し、インクジェットヘッド２のインク室３、４とノズルプレート２６のノズル孔２５を位置検出用のカメラでモニターし、位置補正してノズルプレート２６を接合する。
【００５７】
インクジェットヘッド２に対してノズルプレート２６を接着した後、ノズルプレート２６とベース２０の隙間部分に接着剤を流し込み、ノズルプレート２６の内側を封止する。
【００５８】
このときに、フレキシブル配線基板２３、２４とベース２０の隙間、ノズルプレート２６とフレキシブル配線基板２３、２４の隙間にも接着剤を流し込み、内側を封止する。
【００５９】
以上の工程により、図８に示すようなインクジェットヘッドユニット２７を作製することができる。
【００６０】
インクジェットヘッドユニット２７のインク供給パイプ２１から供給したインクは、ベース２０のザグリ部のインク溜空間２８からインクジェットヘッド２の共通インク室６を通過して各インク室３へと流れ込み、フレキシブル配線基板２３を通じてインク室の電極５をパルス電圧により駆動させることにより、ノズルプレート２６に形成したノズル孔２５からインクが吐出する。また、インクジェットヘッドユニット２７のインク供給パイプ２２から供給したインクは、ベース２０のザグリ部のインク溜空間２９からインクジェットヘッド２の共通インク室７を通過して各インク室４へと流れ込み、フレキシブル配線基板２４を通じてインク室の電極５をパルス電圧により駆動させることにより、ノズルプレート２６に形成したノズル孔２５からインクが吐出する。
【００６１】
インクの吐出は圧電基板１の溝加工を施す側の表面方向である。
【００６２】
インクの吐出を圧電基板の溝加工を施す側の表面方向にすることで、外部接続端子を端面Ａ、端面Ｂにそれぞれ形成することができ、また、外部接続端子ピッチについては外部接続端子が一方の端面に形成されている従来タイプの構造と比較して2 倍の余裕をもたせることができる。このため、信頼性の高い接続が得られる。
【００６３】
パイプ２１、２２に異なる色のインクを供給することで、ノズルプレート２４に形成したノズル孔２３の奇数ノズルと偶数ノズルとで異なる色のインクを吐出させることが可能となる。
【００６４】
上記加工工程において、上述したような研削加工を行うことにより、圧電基板１の裏面と表面の平行度を〜３μｍ程度にすることが可能である。このため、インクジェットヘッド２を実装する場合の基準を圧電基板１の裏面にすることで、図８のＺ軸上の変動、α（Ｘ軸を中心とした回転）、β（Ｙ軸を中心とした回転）を規制し、ノズル面との平行度を〜３μｍ程度にすることができる。
【００６５】
また、インクジェットヘッド２のダイシングマシンでの切断の位置精度は２〜３μｍ程度にすることが可能であるため、圧電基板１の裏面を第１基準にし、さらに、インクジェットヘッド２のダイシングマシンでの切断部を第２基準にすることで、Ｘ軸上の変動、Ｙ軸上の変動、γ（Ｚ軸を中心とした回転）を規制することができる。
【００６６】
したがって、圧電基板１の裏面を第１基準に、ダイシングマシンでの切断部を第２基準にすることで、複数のインクジェットヘッド２を高精度に位置合わせしてマルチカラーのインクジェットヘッドユニットを組み付けることができる。すなわち、各インクジェットヘッド２の裏面を第１基準とすることで、Ｚ軸上の変動、α（Ｘ軸を中心とした回転）、β（Ｙ軸を中心とした回転）を規制することができ、隣接するインクジェットヘッド２の切断面同士を接触させてダイシングマシンでの切断部を第２基準にすることでこれらのヘッドのＸ軸上の変動、Ｙ軸上の変動、γ（Ｚ軸を中心とした回転）を規制することが出来るため、複数のインクジェットヘッドのマルチカラー化を非常に簡単に実現でき、着弾位置精度を高精度に保つことができる。図９は、このような方法で、２つのインクジェットヘッド２を組み付けて、４色のマルチカラーインクジェットヘッドユニット２７を構成した例を示している。
【００６７】
以上のように、本発明の実施形態によれば、１つの圧電基板の加工により、各インク室のピッチ密度を高くして異なる複数色のインクを吐出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施形態のインクジェットヘッドの斜視図
【図２】図１の点線Ａ−Ａ断面とＢ−Ｂ断面を示す図
【図３】インクジェットヘッドの加工手順を示す図
【図４】インクジェットヘッドの加工手順を示す図
【図５】ベースの構成を示す図
【図６】ベースのザグリ部にインクジェットヘッドを収納した状態を示す図
【図７】インクジェットヘッドユニットの組み立て図
【図８】インクジェットヘッドユニットの組み立て図
【図９】マルチカラーインクジェットヘッドユニットの完成図
【図１０】従来のインクジェットヘッドの斜視図
【図１１】図１０のＣ−Ｃで切断した部分の斜視図
【図１２】従来のマルチインクジェットヘッドのヘッド保持部材への取り付け状態を示す斜視図
【符号の説明】
【００６９】
１−圧電基板
２−インクジェットヘッド
３−第１のインク室
４−第２のインク室
５−電極
６−第１の共通インク室
７−第２の共通インク室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【手続補正書】
【提出日】平成17年9月14日(2005.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
圧電基板１は、分極方向の異なる０．１５ｍｍと０．９ｍｍの2 枚の圧電基板を貼り合わせて構成され、その厚さは１．０５ｍｍである。