(57)【要約】【課題】  フットプリントを増やすことなく運搬容器の保管数量の増大が図れ、スループットの向上が図れる縦型熱処理装置及びその運用方法を提供する。【解決手段】  複数枚の被処理体ｗを収納した運搬容器２を搬入搬出するための搬入搬出部３，４と、該搬入搬出部３，４から搬入された複数の運搬容器２を保管する第１保管部５と、多数枚の被処理体ｗを多段に保持した保持具６を収容して被処理体ｗに所定の熱処理を施す熱処理炉７と、前記保持具６と運搬容器２との間で被処理体ｗの移載を行うために運搬容器２を載置する移載部８とを備えた縦型熱処理装置１であって、前記搬入搬出部３，４を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部３，４間に運搬容器２を保管する第２保管部２０を設けている。前記搬入搬出部３，４の何れかが運搬容器２を保管する第３保管部３０とされる。【選択図】          図１
2006120658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を保管する第１保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間に運搬容器を保管する第２保管部を設けたことを特徴とする縦型熱処理装置。
【請求項２】
前記搬入搬出部の何れかが運搬容器を保管する第３保管部とされていることを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。
【請求項３】
前記移載部が運搬容器を保管する第４保管部とされることを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。
【請求項４】
複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を保管する第１保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間に運搬容器を保管する第２保管部を設け、前記搬入搬出部の何れかを運搬容器を保管する第３保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部を組み合わせて使用する制御部を備えたことを特徴とする縦型熱処理装置。
【請求項５】
前記移載部を運搬容器を保管する第４保管部とし、前記制御部が運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部、第４保管部を組み合わせて使用するように設定されていることを特徴とする請求項４記載の縦型熱処理装置。
【請求項６】
複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を第１保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置の運用方法であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間の筐体内側に運搬容器を保管する第２保管部を設け、前記搬入搬出部の何れかを運搬容器を保管する第３保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部を組み合わせて使用することを特徴とする縦型熱処理装置の運用方法。
【請求項７】
前記移載部を運搬容器を保管する第４保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部、第４保管部を組み合わせて使用することを特徴とする請求項６記載の縦型熱処理装置の運用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縦型熱処理装置及びその運用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに、酸化、拡散、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）、アニールなどの処理を施すために、各種の処理装置（半導体製造装置）が用いられている。そして、その一つとして、一度に多数枚のウエハの熱処理が可能なバッチ処理式の縦型熱処理装置が知られている。
【０００３】
この縦型熱処理装置は、装置の前面部に設けられ、複数枚のウエハを収納したキャリア（運搬容器、ＦＯＵＰともいう）を搬入搬出するためのロードポート（搬入搬出部）と、該ロードポーロから搬入された複数のキャリアを保管する保管棚と、多数枚のウエハを多段に保持したボート（保持具）を収容してウエハに所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記ボートとキャリアとの間でウエハの移載を行うためにキャリアを載置するＦＩＭＳポート（移載部）とを備えている。
【０００４】
また、縦型熱処理装置においては、ロードポートを下段のみに有するタイプと、ロードポートを上段のみに有するタイプと、ロードポートを上下２段有するタイプ（例えば特開２００４−１１９６１４号公報参照）とがある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１１９６１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
多数枚のウエハをバッチ処理する縦型熱処理装置においては、できるだけ多くのキャリアを装置内に保管できること、或いは多彩なキャリアの収納パターンに対応できることが、処理時間の短縮ないしスループットの向上を図る上で望ましい。しかしながら、従来の縦型熱熱処理装置においては、キャリアを保管できるスペースが保管棚に限られており、キャリアを保管できる数に限界があった。また、ロードポートはキャリアの投入・払出しの機能しか持っていなかった。なお、キャリアを保管するスペースを広げるために装置を大きくすること、すなわちフットプリント（占有床面積）を増やすことは好ましくない。
【０００７】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、フットプリントを増やすことなく運搬容器の保管数量の増大が図れ、スループットの向上が図れる縦型熱処理装置及びその運用方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のうち、請求項１に係る発明は、複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を保管する第１保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間に運搬容器を保管する第２保管部を設けたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の縦型熱処理装置において、前記搬入搬出部の何れかが運搬容器を保管する第３保管部とされていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項１記載の縦型熱処理装置において、前記移載部が運搬容器を保管する第４保管部とされることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に係る発明は、複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を保管する第１保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間に運搬容器を保管する第２保管部を設け、前記搬入搬出部の何れかを運搬容器を保管する第３保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部を組み合わせて使用する制御部を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項５に係る発明は、請求項４記載の縦型熱処理装置において、前記移載部を運搬容器を保管する第４保管部とし、前記制御部が運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部、第４保管部を組み合わせて使用するように設定されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項６係る発明は、複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を第１保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置の運用方法であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間の筐体内側に運搬容器を保管する第２保管部を設け、前記搬入搬出部の何れかを運搬容器を保管する第３保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部を組み合わせて使用することを特徴とする。
【００１４】
請求項７に係る発明は、請求項６記載の縦型熱処理装置の運用方法において、前記移載部を運搬容器を保管する第４保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部、第４保管部を組み合わせて使用することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明によれば、複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を保管する第１保管部と、複数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間に運搬容器を保管する第２保管部を設けているため、フットプリントを増やすことなく運搬容器の保管数量の増大が図れ、スループットの向上が図れる。
【００１６】
請求項２に係る発明によれば、前記搬入搬出部の何れかが運搬容器を保管する第３保管部とされているため、フットプリントを増やすことなく更に運搬容器の保管数量の増大が図れる。
【００１７】
請求項３に係る発明によれば、前記移載部が運搬容器を保管する第４保管部とされるため、更に運搬容器の保管数量の増大が図れる。
【００１８】
請求項４に係る発明によれば、複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を保管する第１保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間に運搬容器を保管する第２保管部を設け、前記搬入搬出部の何れかを運搬容器を保管する第３保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部を組み合わせて使用する制御部を備えているため、フットプリントを増やすことなく運搬容器の保管数量の増大が図れ、スループットの向上が図れる。
【００１９】
請求項５に係る発明によれば、前記移載部を運搬容器を保管する第４保管部とし、前記制御部が運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部、第４保管部を組み合わせて使用するように設定されているため、更に運搬容器の保管数量の増大が図れる。
【００２０】
請求項６に係る発明によれば、複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を第１保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置の運用方法であって、前記搬入搬出部を上下２段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間の筐体内側に運搬容器を保管する第２保管部を設け、前記搬入搬出部の何れかを運搬容器を保管する第３保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部を組み合わせて使用するため、フットプリントを増やすことなく運搬容器の保管数量の増大が図れ、スループットの向上が図れる。
【００２１】
請求項７に係る発明は、請求項６記載の縦型熱処理装置の運用方法において、前記移載部を運搬容器を保管する第４保管部とし、運搬容器の搬入個数に応じて第１保管部、第２保管部、第３保管部、第４保管部を組み合わせて使用するため、更に運搬容器の保管数量の増大が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を基に詳述する。図１は本発明の実施の形態である縦型熱処理装置を概略的に示す縦断面図、図２は同縦型熱処理装置の概略的構成を示す斜視図、図３は運用方法を例示した説明図である。
【００２３】
これらの図において、１は縦型熱処理装置で、この熱処理装置１は、複数枚例えば２５枚の被処理体例えば半導体ウエハｗを収納したキャリア（運搬容器）２を装置内に搬入搬出（投入・払出し）するためのロードポート（搬入搬出部）３，４と、該ロードポート３，４から搬入された複数のキャリア２を収納、保管する第１保管部であるキャリアステージ（保管棚、第１バッファ）５と、多数枚例えば７５枚のウエハを多段に保持したボート（保持具）６を収容してウエハｗに所定の熱処理例えばＣＶＤ処理を施す熱処理炉７と、前記ボート６とキャリア２との間でウエハｗの移載を行うためにキャリア２を載置するＦＩＭＳポート（移載部）８とを備えている。
【００２４】
キャリア２は、容器本体内に複数枚のウエハを水平状態で上下方向に所定間隔で多段に収納可能で、容器本体の前面に図示しない蓋を着脱可能に備えた密閉型運搬容器とされている。キャリア２は、ＯＨＴ（天井走行型搬送装置）、ＡＧＶやＲＧＶ（床走行型搬送装置）、ＰＧＶ（手押し型搬送装置）或いは作業員により運搬される。
【００２５】
縦型熱処理装置１は、外郭を形成する筐体９を有し、この筐体９内の後部上方に前記熱処理炉７が設置され、熱処理炉７の下方には前記ボート６を熱処理炉７内に搬入（ロード）したり、熱処理炉７から搬出（アンロード）したり、或いはボート６とＦＩＭＳポート８上のキャリア２との間でウエハｗの移載を行うための作業領域であるローディングエリア１０が設けられている。前記熱処理炉７は、下部が炉口１１ａとして開口された縦長の処理容器例えば石英製の反応管１１と、この反応管１１の炉口（開口部）１１ａを下方から開閉可能に密閉する昇降可能な蓋体１２と、反応管１１の周囲を覆うように設けられ、反応管１１内を所定の温度例えば３００〜１２００℃に加熱制御可能な加熱機構である抵抗発熱体からなるヒータ１３とから主に構成されている。
【００２６】
筐体９内には、熱処理炉７を構成する反応管１１やヒータ１３を設置するための例えばＳＵＳ製のベースプレート１４が水平に設けられている。ベースプレート１４には反応管１１を下方から上方に挿入するための図示しない開口部が形成されている。反応管１１の下端部には外向きのフランジ部が形成され、このフランジ部をフランジ保持部材にてベースプレート１４に保持することにより、反応管１１がベースプレート１４の開口部を下方から上方に挿通された状態に設置されている。反応管１１には反応管１１内に処理ガスやパージ用の不活性ガス（例えばＮ２）を導入する複数のガス導入管や反応管１１内を減圧制御可能な真空ポンプや圧力制御弁等を有する排気管が接続されている（図示省略）。
【００２７】
前記ローディングエリア１０には熱処理炉７内へのボート６の搬入、搬出を行うべく蓋体１２を昇降させるための昇降機構１５が設けられている。蓋体１２の下部にはボート６を回転させるための回転機構が設けられている。ボート６は、例えば石英製である。図示例のボート６は、大口径例えば直径３００ｍｍのウエハｗを水平状態で上下方向に所定間隔で多段に支持するボート本体６ａと、このボート本体６ａを水平回転させるための前記回転機構の回転軸に連結された脚部６ｂとを備えている。蓋体１２には図示しない炉口加熱機構または保温筒が設けられている。
【００２８】
ローディングエリア１０には、アンロードにより開放された炉口１１ａを遮蔽（遮熱）するための図示しないシャッター機構と、アンロードされたボート６と前記ＦＩＭＳポート８上のキャリア２との間でウエハｗの移載を行う移載機構１６とが設けられている。筐体９内の前部にはキャリアの搬送及び保管を行う搬送保管エリア１７が設けられ、この搬送保管エリア１７内の下方にＦＩＭＳポート８が設けられ、筐体９内にはローディングエリア１０と搬送保管エリア１７とを仕切る隔壁１８が設けられている。
【００２９】
ＦＩＭＳポート８は、キャリア２を載置する台８ａと、該キャリア２の容器本体前面周縁部を前記隔壁１８に当接させた状態にキャリア２を固定する固定機構と、当該キャリア２内とローディングエリア１０内とを連通する開口部と、この開口部をローディングエリア１０側から密閉する開閉可能な扉機構１９と、キャリア２の蓋を開閉する蓋開閉機構とを備えている（図示省略）。図示例ではＦＩＭＳポート８は左右に２つ設けられており、キャリア２を２個載置可能になっている。
【００３０】
搬送保管エリア１７内の後方には、前記キャリアステージ５が設けられている。図示例では、キャリアステージ５は上段、中段、下段の３段の載置棚５ａ，５ｂ，５ｃを有し、それぞれにキャリア２を左右２個ずつ載置して保管可能になっている。搬送保管エリア１７内にはロードポート３，４と、キャリアステージ５と、ＦＩＭＳポート８と、後述の第２保管部２０との間でキャリア２の搬送、移載を行うキャリアトランスファ（搬送機構）２１が設けられている。
【００３１】
前記ロードポート３，４は筐体９の前面部（装置の前面部）に上段と下段に２段（上下２段）設けられている。上段のロードポート３は、キャリア２を載置する台３ａと、キャリア２を搬送保管エリア１７内に搬入搬出するための開口部３ｂとを備えている。上段のロードポート３へのキャリア２の搬送ないし上段のロードポート３からのキャリア２の搬出は天井走行型搬送装置により行われるようになっている。下段のロードポート４は、キャリア２を載置する台４ａと、キャリア２を搬送保管エリア１７内に搬入搬出するための開口部４ｂとを備えている。下段のロードポート４へのキャリア２の搬送ないし下段のロードポート４からのキャリア２の搬出は床面走行型搬送装置又は作業員により行われるようになっている。上段と下段のロードポート３，４には、左右に２個ずつキャリア２が載置可能になっている。
【００３２】
前記上段と下段のロードポート３，４間にはキャリア２を収納、保管する第２保管部（第２バッファ）２０が設けられている。この第２保管部２０は上段と下段のロードポート３，４間のスペースを利用してキャリア２を収納載置可能になっている。この保管部２０は搬送保管エリア１７内に臨んで設けられている。保管部２０には左右に２個キャリアを載置可能になっている。筐体９の前面部である上下のロードポート３，４間の正面壁部には当該縦型熱処理装置１の各種制御例えばキャリアの搬送制御、ウエハの移載制御、熱処理のプロセス制御等を行う制御部２２の入出力表示部例えばタッチパネル式表示装置（ＭＭＩ）２３を設けることが可能である。
【００３３】
前記搬入搬出部３，４の何れかがキャリア２を保管する第３保管部３０とされる。キャリア２の搬入個数（使用個数）に応じてキャリアステージである第１保管部５、第２保管部２０、第３保管部３０が制御部２２により組み合わせられて使用されるようになっている。縦型熱処理装置１の運用方法としては、キャリアステージ（第１バッファ）５、第２保管部（第２バッファ）２０の他に、前記上下２段のロードポート３，４の何れかをキャリア２を保管する第３保管部（第３バッファ）３０とし、キャリア２の搬入個数に応じてキャリアステージ（第１バッファ）５、第２保管部（第２バッファ）２０、第３保管部（第３バッファ）３０を組み合わせて使用する。上下２段のロードポート３，４の何れかをキャリア２の保管用として使用する場合の組合せとしては、図３の（ａ）〜（ｏ）に示すように計１５の組合せが可能である。図示例では、バッファ３０として使用するロードポート上のキャリアに斜線の陰影（ハッチング）を付けることによりバッファとして使用するロードポートを明確にしている。
【００３４】
例えば図３の（ａ）は下段の２つのロードポート４をロードポートとして使用し、上段の２つのロードポート３をバッファ３０として使用する例を示し、同図（ｂ）、（ｃ）は下段の２つのロードポート４をロードポートとして使用し、上段の２つのロードポート３のうちの一方をバッファ３０として使用する例を示し、同図（ｄ）は上段の２つのロードポート３をロードポートとして使用し、下段の２つのロードポート３をバッファ３０として使用する例を示している。同図（ｅ）、（ｆ）は上段の２つのロードポート３をロードポートとして使用し、下段の２つのロードポート３のうちの何れか一方をバッファ３０として使用する例を示している。同図の（ｇ）〜（ｊ）は上段の２つのロードポート４のうちの１つ及び下段の２つのロードポート４のうちの１つをそれぞれロードポートとして使用し、残りを２つをバッファ３０として使用する例を示している。同図の（ｋ）〜（ｎ）は上段及び下段の計４つのロードポート３のうちの１つをロードポートとして使用し、残りの３つのロードポートをバッファ３０として使用する例を示している。同図の（ｏ）は上段及び下段の計４つのロードポート３の全てをロードポートとして使用し、バッファとして使用しない例を示している。
【００３５】
なお、前記ＦＩＭＳポート８は、複数（図示例では２つ）ある場合、最低１つ（図示例では一方）をＦＩＭＳポートとし、他（図示例では他方）のＦＩＭＳポートを一時的にキャリア２を保管する第４保管部（第４バッファ）４０として使用することが可能である。この場合、前記制御部２２は、キャリア２の搬入個数に応じてキャリアステージ（第１バッファ）５、第２保管部（第２バッファ）２０、第３保管部（第３バッファ）３０、第４保管部（第４バッファ）４０を組み合わせて使用するように設定される。
【００３６】
前記縦型熱処理装置１によれば、複数枚のウエハｗを収納したキャリア２を搬入搬出するためのロードポート３，４と、該ロードポート３，４から搬入された複数のキャリア２を保管するキャリアステージ５と、複数枚のウエハｗを多段に保持したボート６を収容してウエハｗに所定の熱処理を施す熱処理炉７と、前記ボート６とキャリア２との間でウエハｗの移載を行うためにキャリア２を載置するＦＩＭＳポート８とを備え、前記ロードポート３，４を上下２段設けると共に、上段と下段のロードポート３，４間にキャリア２を保管する保管部２０を設けているため、フットプリントを増やすことなくキャリア２の保管数量の増大が図れ、処理時間の短縮ないしスループットの向上が図れる。
【００３７】
前記実施例の場合、キャリアを６個載置可能なキャリステージ（第１バッファ）５の他に、キャリアを２個載置可能な保管部（第２バッファ）２０を設けているため、合計８個のキャリアを収納保管することができる。保管部２０は上下のロードポート３，４間に設けられているため、フットプリントを増加することなくキャリアの保管数量を２個増大することができる。また、前記ロードポート３，４の何れかがキャリア２を保管する第３保管部３０とされているため、フットプリントを増やすことなく更にキャリアの保管数量の増大が図れる。
【００３８】
また、縦型熱処理装置１によれば、キャリア２の搬入個数に応じてキャリアステージ５、第２保管部２０、第３保管部３０を組み合わせて使用する制御部２２を備えているため、フットプリントを増やすことなくキャリア２の保管数量の増大が図れ、スループットの向上が図れる。更に、ＦＩＭＳポート８は最低１つ必要であるが、図示例のようにＦＩＭＳポート８が左右に２つある場合には、左右のＦＩＭＳポート８のうちの１つを第４保管部（第４バッファ）４０として使用するようにすれば、或いは、左右のＦＩＭＳポート８のうちの一方を第４保管部４０とし、前記制御部２２をキャリアの搬入個数に応じて第１保管部５、第２保管部２０、第３保管部３０、第４保管部４０を組み合わせて使用するように設定すれば、更にキャリア２の保管数量の増大が図れる。
【００３９】
また、縦型熱処理装置１の運用方法によれば、複数枚のウエハｗを収納したキャリア２を搬入搬出するためのロードポート３，４と、該ロードポート３，４から搬入された複数のキャリア２を保管するキャリアステージ５と、複数枚のウエハを多段に保持したボート６を収容してウエハに所定の熱処理を施す熱処理炉７と、前記ボート６とキャリア２との間でウエハｗの移載を行うためにキャリア２を載置するＦＩＭＳポート８とを備え、前記ロードポート３，４を上下２段設けると共に、上段と下段のロードポート３，４間の筐体９内側にキャリア２を保管する第２保管部２０を設け、前記ロードポート３，４の何れかをキャリア２を保管する第３保管部３０とし、キャリア２の搬入個数に応じてキャリアステージ５、第２保管部２０、第３保管部３０を組み合わせて使用するため、フットプリントを増やすことなくキャリアの保管数量の増大が図れ、スループットの向上が図れる。
【００４０】
前記実施例の図３の（ｋ）〜（ｎ）の場合、キャリアを６個載置可能なキャリステージ（第１バッファ）５の他に、キャリアを２個載置可能な保管部（第２バッファ）２０を設けると共に、上下のロードポート３，４のうちの３つを保管用（第３バッファ）３０としているため、合計１１個のキャリアを収納保管することができる。保管部２０は上下のロードポート３，４間に設けると共に、上下２段のロードポート３，４のうちの何れかを保管用３０としているため、フットプリントを増加することなくキャリアの保管数量を５個増大することができる。
【００４１】
また、前記ＦＩＭＳポート８を第４保管部４０とし、キャリアの搬入個数に応じて第１保管部５、第２保管部２０、第３保管部３０、第４保管部４０を組み合わせて使用するようにすれば、更にキャリアの保管数量の増大が図れる。
【００４２】
以上、本発明の実施の形態ないし実施例を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態ないし実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態である縦型熱処理装置を概略的に示す縦断面図である。
【図２】同縦型熱処理装置の概略的構成を示す斜視図である。
【図３】運用方法を例示した説明図である。
【符号の説明】
【００４４】
ｗ  半導体ウエハ（被処理体）
１  縦型熱処理装置
２  キャリア（運搬容器）
３，４  ロードポート（搬入搬出部）
５  キャリアステージ（第１保管部）
６  ボート（保持具）
７  熱処理炉
８  ＦＩＭＳポート（移載部）
２０  第２保管部
２２  制御部
３０  第３保管部
４０  第４保管部
【図１】
2006120658.tif 000003
【図２】
2006120658.tif 000004
【図３】
2006120658.tif 000005