(57)【要約】【課題】  環境温度変化や液晶素子の製造誤差などにより液晶層厚みが設計値と異なっても、所望の収差補正を行うことができる位相変調用の液晶素子を有する光ピックアップを提供すること。【解決手段】  光ピックアップに搭載される位相変調装置を駆動する信号電圧ＶＳ１、ＶＳ２、ＶＳ３を次のように生成する。まず、収差補正値に応じてＶＳａｍｐを生成し、基準駆動信号ＶＳ０及びＶＳａｍｐから第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２を生成する。次に、｜ＶＳ２｜＝｜ＶＳ１｜のときの第３信号電圧ＶＳ３の電圧と等しくなるようにＶＳｏｆｆｓｅｔを生成し、ＶＳ１、ｋ（定数）、ＶＳａｍｐ、ＶＳｏｆｆｓｅｔから第３信号電圧ＶＳ３を生成する。【選択図】  図１０
2006216135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光記録媒体に対して光を出射する光源と、
前記光記録媒体からの反射光を受光する受光素子と、
対向する一対の基板と、該一対の基板間に保持された液晶層と、前記一対の基板のうち一方の基板上に配置された対向電極と、前記一対の基板のうち他方の基板上に中央部から外側に向かって順に同心円状に設けられた少なくとも３つ第１〜第３セグメント電極とを有し、前記光源から前記受光素子に至る光路に設けられた収差補正用液晶素子と、
前記光記録媒体及び前記収差補正用液晶素子に起因するパラメータに基づき、前記受光素子により受光される光の波面を最適化するように、前記第１〜第３セグメント電極に印加される電圧の信号を生成する液晶駆動回路と
を具備することを特徴とする光ピックアップ。
【請求項２】
請求項１に記載の光ピックアップであって、
前記液晶駆動回路は、
前記第１セグメント電極に対しては、
ＶＳ１＝ＶＳ０＋ＶＳａｍｐ（Ｖ）
前記第２セグメント電極に対しては、
ＶＳ２＝ＶＳ０―ＶＳａｍｐ（Ｖ）
前記第３のセグメント電極に対しては、
ＶＳ３＝ＶＳ１＋Ｋ×ＶＳａｍｐ＋ＶＳｏｆｆｓｅｔ（Ｖ）
（但し、ＶＳ０：基準駆動信号、ＶＳａｍｐ：光記録媒体に起因した誤差を補正する信号、Ｋ：定数、ＶＳｏｆｆｓｅｔ：収差補正用液晶素子に起因した誤差を補正する信号）
の信号を生成することを特徴とする光ピックアップ。
【請求項３】
請求項２記載の光ピックアップであって、
前記液晶駆動回路は、前記受光素子により受光された信号を基に前記光記録媒体に起因した誤差を補正する信号及び収差補正用液晶素子に起因した誤差を補正する信号を生成することを特徴とする光ピックアップ。
【請求項４】
対向する一対の基板と、該一対の基板間に保持された液晶層と、前記一対の基板のうち一方の基板上に配置された対向電極と、前記一対の基板のうち他方の基板上に中央部から外側に向かって順に同心円状に設けられた少なくとも３つ第１〜第３セグメント電極とを有し、光記録媒体に用いられる光ピックアップの光源から受光素子に至る光路に設けられた収差補正用液晶素子を駆動する方法であって、
前記光記録媒体及び前記収差補正用液晶素子に起因するパラメータに基づき、前記受光素子により受光される光の波面を最適化するように、前記第１〜第３セグメント電極に印加される電圧の信号を生成する
ことを特徴とする収差補正用液晶素子の駆動方法。
【請求項５】
請求項４に記載の収差補正用液晶素子の駆動方法であって、
前記第１セグメント電極に対しては、
ＶＳ１＝ＶＳ０＋ＶＳａｍｐ（Ｖ）
前記第２セグメント電極に対しては、
ＶＳ２＝ＶＳ０―ＶＳａｍｐ（Ｖ）
前記第３のセグメント電極に対しては、
ＶＳ３＝ＶＳ１＋Ｋ×ＶＳａｍｐ＋ＶＳｏｆｆｓｅｔ（Ｖ）
（但し、ＶＳ０：基準駆動信号、ＶＳａｍｐ：光記録媒体に起因した誤差を補正する信号、Ｋ：定数、ＶＳｏｆｆｓｅｔ：収差補正用液晶素子に起因した誤差を補正する信号）
の信号を生成することを特徴とする収差補正用液晶素子の駆動方法。
【請求項６】
請求項５記載の収差補正用液晶素子の駆動方法であって、
前記受光素子により受光された信号を基に前記光記録媒体に起因した誤差を補正する信号及び収差補正用液晶素子に起因した誤差を補正する信号を生成することを特徴とする収差補正用液晶素子の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップ及び収差補正用液晶素子の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造上生じる光ディスクの基板の厚み誤差、あるいは高密度化を目的とした多層構造ディスクにおける層間の厚みにより、ディスク再生時には主に球面収差が発生する。良好な信号品質を得るためにはこれを補正しなければならない。
【０００３】
このような球面収差を補正するための手段として、収差補正用液晶による手段（特許文献１）がある。この収差補正用液晶は、光ディスクの光透過層の厚みにより発生する同心円状のパターン電極を有し、複数の電極に適切な駆動電圧を設定することで、球面収差と逆の位相差の波面を発生させ、発生した収差を相殺する作用を持つ  。
【特許文献１】特開２００４−１０３０５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような収差補正用液晶素子においては、液晶素子駆動時の熱発生などの環境温度変化に伴い液晶材料の体積が変化して液晶層厚が変化したり、製造誤差などにより所望の液晶層厚が得られない場合がある。このように液晶層厚が設計値と異なると、所望の収差補正を行うことができない。このため、光記録媒体に集光される光スポット不良が生じて、例えば再生信号の周波数特性の劣化やトラッキングサーボ特性の劣化が生じたり、フォトディテクタ上での光スポットが拡大あるいは変形してしまいフォーカス誤差信号、トラッキング誤差信号、ＲＦ信号などを正確に検出できなくなり、良好な記録／再生が行えなくなるといった問題があった。
【０００５】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、環境温度変化や液晶素子の製造誤差などにより液晶層厚が設計値と異なっても、所望の収差補正を行うことができる光ピックアップ及び収差補正用液晶素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
Ａ．上記目的を達成するため、本発明の光ピックアップは、光記録媒体に対して光を出射する光源と、前記光記録媒体からの反射光を受光する受光素子と、対向する一対の基板と、該一対の基板間に保持された液晶層と、前記一対の基板のうち一方の基板上に配置された対向電極と、前記一対の基板のうち他方の基板上に中央部から外側に向かって順に同心円状に設けられた少なくとも３つ第１〜第３セグメント電極とを有し、前記光源から前記受光素子に至る光路に設けられた収差補正用液晶素子と、前記光記録媒体及び前記収差補正用液晶素子に起因するパラメータに基づき、前記受光素子により受光される光の波面を最適化するように、前記第１〜第３セグメント電極に印加される電圧の信号を生成する液晶駆動回路とを具備することを特徴とするものである。
【０００７】
ここで、前記液晶駆動回路は、
【０００８】
前記第１セグメント電極に対しては、
【０００９】
ＶＳ１＝ＶＳ０＋ＶＳａｍｐ（Ｖ）
前記第２セグメント電極に対しては、
【００１０】
ＶＳ２＝ＶＳ０―ＶＳａｍｐ（Ｖ）
【００１１】
前記第３のセグメント電極に対しては、
【００１２】
ＶＳ３＝ＶＳ１＋Ｋ×ＶＳａｍｐ＋ＶＳｏｆｆｓｅｔ（Ｖ）
（但し、ＶＳ０：基準駆動信号、ＶＳａｍｐ：光記録媒体に起因した誤差を補正する信号、Ｋ：定数、ＶＳｏｆｆｓｅｔ：収差補正用液晶素子に起因した誤差を補正する信号）
の信号を生成することが好ましい形態である。
【００１３】
本発明のこのような構成によれば、ＶＳｏｆｆｓｅｔ値を加味して収差補正用液晶素子を駆動する信号電圧を設定することにより、環境温度変化、例えば収差補正用液晶装置駆動時に発生する熱による液晶層の膨張に伴って液晶素子が太鼓状に膨らんだり、収差補正用液晶装置製造時の製造誤差などにより、液晶層の厚みが設計値と異なって基板面内で不均一となっても、所望の収差補正を行うことができる。従って、光記録媒体に対して良好な光スポットを照射することができるので、例えば良好な再生信号の周波数特性やトラッキングサーボ特性を得ることができ、また、フォトディテクタに対して良好な光スポットを照射することができるので、フォーカス誤差信号、トラッキング誤差信号、ＲＦ信号の良好な検出状態が可能となり、良好な記録／再生が行え、光ピックアップの性能が向上する。
【００１４】
前記液晶駆動回路は、前記受光素子により受光された信号を基に前記光記録媒体に起因した誤差を補正する信号及び収差補正用液晶素子に起因した誤差を補正する信号を生成することがより好ましい形態である。
【００１５】
このような構成によれば、光ピックアップ動作時に、収差補正用液晶素子の液晶層厚み変化に伴って収差補正用液晶素子に印加する信号の電圧を動的に可変することができ、より安定して良好な記録／再生が行える光ピックアップを得ることができる。
Ｂ．本発明の別の観点に係る収差補正用液晶素子の駆動方法は、対向する一対の基板と、該一対の基板間に保持された液晶層と、前記一対の基板のうち一方の基板上に配置された対向電極と、前記一対の基板のうち他方の基板上に中央部から外側に向かって順に同心円状に設けられた少なくとも３つ第１〜第３セグメント電極とを有し、光記録媒体に用いられる光ピックアップの光源から受光素子に至る光路に設けられた収差補正用液晶素子を駆動する方法であって、前記光記録媒体及び前記収差補正用液晶素子に起因するパラメータに基づき、前記受光素子により受光される光の波面を最適化するように、前記第１〜第３セグメント電極に印加される電圧の信号を生成することを特徴とするものである。
【００１６】
ここで、前記第１セグメント電極に対しては、
【００１７】
ＶＳ１＝ＶＳ０＋ＶＳａｍｐ（Ｖ）
前記第２セグメント電極に対しては、
【００１８】
ＶＳ２＝ＶＳ０―ＶＳａｍｐ（Ｖ）
【００１９】
前記第３のセグメント電極に対しては、
【００２０】
ＶＳ３＝ＶＳ１＋Ｋ×ＶＳａｍｐ＋ＶＳｏｆｆｓｅｔ（Ｖ）
（但し、ＶＳ０：基準駆動信号、ＶＳａｍｐ：光記録媒体に起因した誤差を補正する信号、Ｋ：定数、ＶＳｏｆｆｓｅｔ：収差補正用液晶素子に起因した誤差を補正する信号）
【００２１】
の信号を生成することが好ましく、前記受光素子により受光された信号を基に前記光記録媒体に起因した誤差を補正する信号及び収差補正用液晶素子に起因した誤差を補正する信号を生成することがより好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
環境温度変化や液晶素子の製造誤差などにより液晶層厚が設計値と異なっても、収差補正用の液晶素子により所望の収差補正を行うことができ、良好な記録／再生を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（第１実施形態）
【００２４】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づき説明する。
【００２５】
図１は、本発明の光ピックアップの光学系の構成を示す概略構成図である。光記録媒体としての光ディスク８は、相変化型ディスクあるいは金属膜のＲＯＭディスクであり、カバーガラス７を透過して信号記録面にレーザ光が照射され、信号記録面に記録されたピットパターンが光ピックアップ１０によって読み出される。光ピックアップ１０は、対物レンズ６を搭載した２軸アクチュエータ９を有し、この２軸アクチュエータ９の駆動制御によって対物レンズ６をフォーカス方向及びトラッキング方向に移動し、光ディスク８へのアクセスを行う。
【００２６】
光源としてのレーザ光源（ＬＤ）１と光ディスク８との間の第１光路、言い換えるとレーザ光出射側光路には、コリメータレンズ２、光分岐素子としての偏光ビームスプリッタ３、収差補正用液晶装置３０、及び位相制御素子としての１／４波長板５、対物レンズ６が設けられている。
【００２７】
また、光ディスク８により照射された反射光が通過する、光ディスク８と受光素子としてのフォトディテクタ７０との間の第２光路、言い換えると光反射側光路には、対物レンズ６、１／４波長板５、収差補正用液晶装置３０、偏光ビームスプリッタ３、フォーカシングレンズ１１、及びマルチレンズ１２が設けられている。
【００２８】
収差補正用液晶装置３０は、収差補正用の第１液晶素子３０Ａ及び収差補正用の第２液晶素子３０Ｂを有しており、第１光路で発生する光の収差を第１液晶素子３０Ａにて、第２光路で発生する光の収差を第２液晶素子３０Ｂにて補正する。第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂは、対物レンズ６の光軸上に配置される。また、光路において、第１液晶素子３０Ａはレーザ光源１と１／４波長板５との間に配置され、第２液晶素子３０Ｂは１／４波長板５とフォトディテクタ７０との間に配置される。
【００２９】
次に、収差補正用液晶装置３０の構造について、図２〜図６を用いて説明する。
【００３０】
図２は、図１に示す光ピックアップに組み込まれる収差補正用液晶装置３０の概略斜視図である。図３は、収差補正用液晶装置を構成する第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂそれぞれに設けられている電極の平面図である。図４は、収差補正用液晶装置を構成する第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂそれぞれに設けられている対向電極の平面図である。図５は、収差補正用液晶装置３０の電源オン時、オフ時における液晶分子の状態を示す断面図である。図６は収差補正用液晶装置３０の一部である第２基板の斜視図であり、第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂを駆動するための信号電圧印加の様子を示す模式図である。
【００３１】
図１及び図２に示すように、収差補正用液晶装置３０は、収差補正用液晶素子としての第１液晶素子３０Ａと収差補正用液晶素子としての第２液晶素子３０Ｂを有する。収差補正用液晶装置３０では、３枚の矩形状の第１基板４０、第２基板５０及び第３基板６０が所定の間隙をあけて配置されている。
【００３２】
第１液晶素子３０Ａは、一対の対向する矩形状の第１基板４０及び第２基板５０と、これら第１基板４０と第２基板５０とを接着する基板の外周に沿ってほぼ矩形状に設けられた導電性粒子を含有する第１シール３１と、一対の第１基板４０及び第２基板５０と第１シール３１とに囲まれた空間に挟持された第１液晶層３４Ａとを有する。第１シール３１は、一部が途切れた開口部３１ａを有するほぼ矩形状を有している。第１基板４０、第２基板５０及び第１シール３１とにより囲まれた空間内には、第１シール３１の開口部３１ａ、第１基板４０及び第２基板５０とにより形成された第１液晶注入口３１ａを介して、液晶が注入される。第１実施形態における収差補正用液晶装置３０においては、第１液晶注入口３１ａは、液晶注入後、図３及び図４に図示する封止材３３によって封止される。
【００３３】
一方、第２液晶素子３０Ｂは、一対の対向する矩形状の第２基板５０及び第３基板６０と、これら第２基板５０と第３基板６０とを接着する基板のほぼ外周に沿ってほぼ矩形状に設けられた導電性粒子を含有する第２シール３２と、一対の第２基板５０及び第３基板６０と第２シール３２とに囲まれた空間に挟持された第２液晶層３４Ｂとを有する。第１液晶素子３０Ａと第２液晶素子３０Ｂとは第２基板５０を共有している。第２シール３２は、一部が途切れた開口部３２ａを有するほぼ矩形状を有している。第２基板５０、第３基板６０及び第２シール３２とにより囲まれた空間内に、第２シール３２の開口部３２ａ、第２基板５０及び第３基板６０とにより形成された第２液晶注入口３２ａを介して、液晶が注入される。第１実施系形態における収差補正用液晶装置３０においては、第２液晶注入口３２ａは、液晶注入後、図３及び図４に図示する封止材３３によって封止される。
【００３４】
図２に示すように、第１基板４０と第３基板６０とは平面形状が同じ大きさである。第２基板５０は、第１基板４０及び第３基板６０よりも平面形状が大きく、第１基板４０及び第３基板６０から張り出した張り出し部を有している。この張り出し部に対応する端面以外の端面において、第１基板４０、第２基板５０及び第３基板６０は面一の状態となっている。収差補正用液晶装置３０において、第１液晶注入口３１ａ及び第２液晶注入口３２ａは、張り出し部に対応する辺と対向する辺のほぼ中央部に対応して設けられている。
【００３５】
図２に示すように、第１基板４０は対向する第１面４０ａと第２面４０ｂを有し、第２基板５０は対向する第１面５０ａと第２面５０ｂを有し、第３基板は対向する第１面６０ａと第２面６０ｂを有している。第１基板４０の第２面４０ｂは第２基板５０の第１面５０ａと対向し、第２基板５０の第２面５０ｂは第３基板６０の第１面６０ａと対向している。
【００３６】
図３は、第２基板５０を図２の矢印Ａの方向から観察した場合の平面図及び透視図である。図３及び図５に示すように、第１液晶素子３０Ａ（第２液晶素子３０Ｂ）の一方の基板である第２基板５０の第１面５０ａ（第２面５０ｂ）上には、ベタ状の透明の第１対向電極５４（第２対向電極５５）と、この第１対向電極５４（第２対向電極５５）に電気的に接続する第１接続端子５３（第２接続端子５８）と、第１Ａ接続端子５２（第２Ａ接続端子５７）、第１Ｂ接続端子５１（第２Ｂ接続端子５６）及び第１Ｃ接続端子７１（第２Ｃ接続端子７２）とが配置され、更に第１対向電極５４（第２対向電極５５）を覆い、第１シール３１（第２シール３２）形成領域内に位置するよう設けられた配向膜３６が配置されている。第１接続端子５３（第２接続端子５８）は、第１シール３１（第２シール３２）の形成領域を通って第２基板５０の端部まで延在して設けられている。第１Ａ接続端子５２（第２Ａ接続端子５７）、第１Ｂ接続端子５１（第２Ｂ接続端子５６）及び第１Ｃ接続端子７１（第２Ｃ接続端子７２）は、第１シール３１（第２シール３２）の形成領域から、第１シール３１（第２シール３２）の形成領域外に向かって第２基板５０の端部まで延在して設けられている。第１Ａ接続端子５２（第２Ａ接続端子５７）は、第１基板４０（第３基板６０）上に設けられた後述する第１Ａ給電配線４２（第２Ａ給電配線６２）と、第１シール３１（第２シール３２）内に分散された導電性粒子によって電気的に接続している。第１Ｂ接続端子５１（第２Ｂ接続端子５６）は、第１基板４０（第３基板６０）上に設けられた後述する第１Ｂ給電配線４３（第２Ｂ給電配線６２）と、第１シール３１（第２シール３２）内に分散された導電性粒子によって電気的に接続している。第１Ｃ接続端子７１（第２Ｃ接続端子７２）は、第１基板４０（第３基板６０）上に設けられた後述する第１Ｃ給電配線４４（第２Ｃ給電配線６４）と、第１シール３１（第２シール３２）内に分散された導電性粒子によって電気的に接続している。
【００３７】
図４は、第１基板４０を図２の矢印Ａの方向から観察した場合の透視図、第３基板６０を矢印Ａの方向から観察した場合の平面図である。図４及び図５に示すように、第１液晶素子３０Ａ（第２液晶素子３０Ｂ）の他方の基板である第１基板４０（第３基板６０）の第２面４０ｂ（第１面６０ａ）上には、複数の第１電極４１（第２電極６１）と、これら複数の第１電極４１（第２電極６１）の一部と電気的に接続する第１Ａ給電配線４２（第２Ａ給電配線６２）と、他の第１電極４１の一部と電気的に接続する第１Ｂ給電配線４３（第２Ｂ給電配線６３）と、更に他の第１電極４１の一部と電気的に接続する第１Ｃ給電配線４４（第２Ｃ給電配線６４）と、複数の第１電極４１のうち隣り合う第１電極４１間に設けられた第１電極４１と電気的に接続した高抵抗配線４４（６４）が配置されている。更にこれら電極を覆い、第１シール３１（第２シール３２）形成領域内に位置するよう設けられた配向膜３６が配置されている。第１Ａ給電配線４２（第２Ａ給電配線６２）、第１Ｂ給電配線４３（第２Ｂ給電配線６３）及び第１Ｃ給電配線４４（第２Ｃ給電配線６４）は、第１シール３１（第２シール３２）の形成領域内まで延在して設けられている。第１電極４１（第２電極６１）は、同心円状の複数、本実施形態においては８つ、の透明電極第１ａ電極４１ａ〜第１ｉ電極４１ｉ（第２ａ電極６１ａ〜第２ｉ電極６１ｉ）からなる。第１電極４１（第２電極６１）は、同心円の中心に位置する第１ａ電極４１ａ（第２ａ電極）が円形を有し、それ以外の７つの第１ｂ電極４１ｂ〜第１ｉ電極４１ｉ（第２ｂ電極６１ｂ〜第２ｉ電極６１ｉ）はそれぞれ一部が途切れた額縁の円形状を有している。第１Ａ給電配線４２（第２Ａ給電配線６２）は、複数の第１電極４１（第２電極６１）のうち中央部の円形の第１セグメント電極としての第１ａ電極４１ａ（第２ａ電極６１ａ）と電気的に接続する。第１Ｂ給電配線４３（第２Ｂ給電配線６３）は、第２セグメント電極としての第１ｅ電極４１ｅ（第２ｅ電極６１ｅ）と電気的に接続する。第１Ｃ給電配線４４（第２Ｃ給電配線６４）は、第３セグメント電極としての第１ｉ電極４１ｉ（第２ｉ電極６１ｉ）と電気的に接続する。
【００３８】
収差補正用液晶装置３０において、第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂを駆動するための信号電圧が印加される第１接続端子５３、第１Ａ給電端子５２、第１Ｂ接続端子５１、第１Ｃ接続端子７１、第２接続端子５８、第２Ａ接続端子５７、第２Ｂ接続端子５６、第２Ｃ接続端子７２は全て第２基板５０に設けられている。
【００３９】
上述の基板４０、５０及び６０としては、いずれも透明ガラス基板を用いている。また、第１対向電極５４、第１電極４１、第１シール３１、第１Ａ給電配線４２、第１Ｂ給電配線４３、第１Ｃ給電配線４４、第１接続端子５３、第１Ａ接続端子５２、第１Ｂ接続端子５１、第１Ｃ接続端子７１、第２対向電極５５、第２電極６１、第２シール３２、第２Ａ給電配線６２、第２Ｂ給電配線６３、第２Ｃ給電配線６４、第２接続端子５８、第２Ａ接続端子５７、第２Ｂ接続端子５６、第２Ｃ接続端子７２は、いずれも透明導電膜である。透明導電膜材料として例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、ＡＺＯ（Ａｌ２Ｏ３２％・ＺｎＯ２）、ＳｎＯ２−Ｓｂ２Ｏ３などを用いることができる。配向膜３６にはポリイミド膜を用いている。
【００４０】
第１液晶３４Ａ及び第２液晶３４Ｂに用いられる液晶は、同じ種類の液晶であり、ホモジニアス（ねじれのない）分子配列の光学的に１軸のネマティック液晶材料である。第１液晶素子３０Ａの第１基板４０及び第２基板５０それぞれに設けられている配向膜３６は、それぞれ同じ方向に沿って配向処理され、第２液晶素子３０Ｂの第２基板５０及び第３基板６０それぞれに設けられている配向膜３６は、それぞれ同じ方向に沿って配向処理され、第１液晶分子３５Ａ、第２液晶分子３５Ｂは、いずれも配向処理方向に沿って並んでいる。そして、第１電極４１及び第２電極６１、第１対向電極５４及び第２対向電極５５に電圧を印加することにより、液晶分子３５Ａ及び３５Ｂの配列を変位させることができる。この液晶分子３５Ａ及び３５Ｂの変位に伴い、配向膜の配向方向に沿った偏光成分に対しては屈折率が変わるので、液晶素子を透過する透過光の位相を変えることが可能である。一方、配向膜の配向方向と直交方向の偏光に対しては、電圧の印加に係らず、屈折率は一定なので位相変化は起こらない。また、第１液晶素子３０Ａにおける配向方向と第２液晶素子３０Ｂにおける配向方向とは直交している。従って、図５（ａ）に示すように、第１液晶素子３０Ａ、第２液晶素子３０Ｂに電圧を印加しない、すなわち電源オフ時の状態では、第１液晶分子３５Ａ、第２液晶分子３５Ｂは、それぞれ配向膜の配向方向に沿った配列を有している。そして、図５（ｂ）に示すように、第１液晶素子３０Ａ、第２液晶素子３０Ｂに電圧を印加した、すなわち電源オン時の状態では、各基板４０、５０及び６０の面方向に沿って寝ていた第１液晶分子３５Ａ、第２液晶分子３５Ｂは立ち上がり、屈折率が変わるので、透過光に位相分布を与えることが可能である。
【００４１】
次に、第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂそれぞれに設けられる電極に対する信号電圧印加について図６を用いて説明する。第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂにおいて、第１対向電極５４、第２対向電極５５に対しては、それぞれ第１接続端子５３、第２接続端子５８を介して、同一のコモン電圧Ｖｃｏｍ１００が印加され、このコモン電圧Ｖｃｏｍ値は常に一定であり、値は変動しない。第１ａ電極４１ａ及び第２ａ電極６１ａに対しては、それぞれ第１Ａ接続端子５２、第２Ａ接続端子５７を介して、第１信号電圧ＶＳ１（符号１０１）が印加される。第１ｅ電極４１ｅ及び第２ｅ電極６１ｅに対しては、それぞれ第１Ｂ接続端子５１及び第２Ｂ接続端子５６を介して、第２信号電圧ＶＳ２（符号１０２）が印加される。第１ｉ電極４１ｉ及び第２ｉ電極６１ｉに対しては、それぞれ第１Ｃ接続端子７１、第２Ｃ接続端子７２を介して、第３信号電圧ＶＳ３（符号１０３）が印加される。このように第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂに対して電圧を印加することによって、図７に示すように、第１液晶素子３０Ａ、第２液晶素子３０Ｂそれぞれに光路における収差を相殺するための位相分布を形成させることができる。尚、図７は、同心円状の複数の電極の中心に位置する円状の電極の中心を０とした場合の直径方向における液晶素子の電圧印加分布である。図７中、第１液晶素子３０Ａ（第２液晶素子３０Ｂ）において、Ｖ２は、第１ｅ電極４１ｅ（第２ｅ電極６１ｅ）に対応する液晶に印加される電圧であり、Ｖ１は、第１ａ電極４１ａ（第２ａ電極６１ａ）及び第１ｉ電極４１ｉ（第２ｉ電極６１ｉ）に対応する液晶に印加される電圧である。尚、第１光路で発生する収差と、第２光路で発生する収差とは互いに等しいので、第１液晶素子３０Ａと第２液晶素子３０Ｂの収差を補正する補正量は同じでよい。このため、第１液晶素子３０Ａと第２液晶素子３０Ｂとの間で液晶層厚みのばらつきがないのであれば、第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂに対してそれぞれ印加する信号電圧は同じでよい。
【００４２】
次に、上述の光ピックアップ１０の基本動作について説明する。
【００４３】
レーザ光源１から出射されたレーザ光は、コリメータレンズ２による平行光化の後、偏光ビームスプリッタ３に入射する。偏光ビームスプリッタ３を通過した直線偏光は、電源がオンされた収差補正用液晶装置３０に入射し、第１液晶素子３０Ａによって所望の位相分布が与えられる。ここで、第１液晶素子３０Ａの配向膜３６に施された配向処理方向は入射された直線偏光の偏光方向に一致し、第２液晶素子３０Ｂの配向膜３６に施された配向処理方向は入射された直線変更の偏光方向と直交している。このため、入射された直線偏光は、第１液晶素子３０Ａによりその屈折率は変化し、第２液晶素子３０Ｂには影響されない。
【００４４】
次に、収差補正用液晶装置３０を透過して所望の位相分布が与えられた光は、１／４波長板５で円偏光となり、対物レンズ６により、光ディスク８の信号面で集光される。ここで、往路（行き）の光学系の収差は第１液晶素子３０Ａで与えられた位相分布によって補正される。これにより、良好な集光スポットを得ることができる。
【００４５】
次に、光ディスク８で反射された光は、再び１／４波長板５を通って、往路と直交する直線偏光となる。この直線偏光は電源がオンされた収差補正用液晶装置３０に入射される。収差補正用液晶装置３０に入射された直線偏光は、その偏光方向に沿った配向処理がなされている配向膜３６を有する第２液晶素子３０Ｂによって所望の位相分布を与えられる。一方、第１液晶素子３０Ａにおける液晶分子３５Ａの配向方向は入射された直線偏光の偏光方向と直交しているため、入射された直線偏光は、第２液晶素子３０Ｂによりその屈折率は変化するが、第１液晶素子３０Ａには影響されない。これにより、光ディスク８の信号記録面から戻ってきた光の収差を補正する。
【００４６】
次に、収差補正用液晶装置３０を透過した光は、偏光ビームスプリッタ３で反射されてフォトディテクタ７０に入射され、フォトディテクタ７０の出力からフォーカスサーボ信号、トラッキングサーボ信号、再生信号が検出される。ここで、第２光路の光学系の収差は第２液晶素子３０Ｂで与えられた位相分布によって補正されているので、良好な光スポットがフォトディテクタ上に集光される。
【００４７】
ここで、収差補正用液晶装置１０の第１液晶層３４Ａ及び第２液晶層３４Ｂの厚みが設計値と異なり、収差補正用液晶装置３０によって所望の収差補正を行うことができない場合、光記録媒体に集光される光スポット不良が生じて、例えば再生信号の周波数特性の劣化やトラッキングサーボ特性の劣化が生じたり、フォトディテクタ上での光スポットが拡大あるいは変形してしまいフォーカス誤差信号、トラッキング誤差信号、ＲＦ信号などを正確に検出できなくなり、良好な記録／再生が行えなくなるといった問題が生じる。これに対し、本実施形態においては、所望の収差補正を行うことができるよう収差補正用液晶装置３０に印加する信号電圧を調整する機構を設けている。以下、この機構について、図８〜図１１を用いて説明する。
【００４８】
図８は、従来の収差補正用液晶装置の電極に印加される駆動電圧信号を示す波形図である。図９は、従来の収差補正用液晶装置における設計上の第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２、第３信号電圧ＶＳ３値の関係を示すグラフ及び実際に収差補正用液晶装置を駆動し収差補正に必要な位相を生じさせるために必要な第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２、第３信号電圧ＶＳ３値の関係を示すグラフであり、いずれのグラフも｜ＶＳ２｜−｜ＶＳ１｜と｜ＶＳ３｜−｜ＶＳ１｜（または｜ＶＳ３´｜−｜ＶＳ１｜）との関係をプロットしたものである。図１０は、本実施形態の収差補正用液晶装置の電極に印加される駆動電圧信号を示す波形図である。図１１は、本実施形態の収差補正用液晶装置に印加する信号電圧を生成する信号電圧生成回路である。
【００４９】
まず、従来の液晶素子における駆動電圧信号について図８を用いて説明する。
【００５０】
図８（ａ）は、第１ａ電極４１ａ及び第２ａ電極６１ａに対して印加する第１信号電圧ＶＳ１、第１ｅ電極４１ｅ及び第２ｅ電極６１ｅに対して印加される第２信号電圧ＶＳ２、第１ｉ電極４１ｉ及び第２ｉ電極６１ｉに対して印加される第３信号電圧ＶＳ３´を生成するための基準駆動信号ＶＳ０の信号波形である。
【００５１】
図８（ｂ）は、ＶＳａｍｐの信号波形である。ＶＳａｍｐは、光ディスク８の保護層等の厚み誤差に伴う収差誤差を補正する収差補正値に比例して振幅が可変可能に設定されている。図上、線幅の短い点線は、厚み誤差が基準値よりもプラスの場合の信号波形であり、線幅の長い点線は、厚みが基準値よりもマイナスの場合の信号波形である。ＶＳａｍｐは、厚み誤差に伴う収差誤差を補正する収差補正値に応じて生成される。
【００５２】
図８（ｃ）は、第１ａ電極４１ａ及び第２ａ電極６１ａに対して印加される第１信号電圧ＶＳ１の信号波形である。第１信号電圧ＶＳ１は
【００５３】
ＶＳ１＝ＶＳ０＋ＶＳａｍｐ
によって求められる。
【００５４】
図８（ｄ）は、第１ｅ電極４１ｅ及び第２ｅ電極６１ｅに対して印加される第２信号電圧ＶＳ２の信号波形である。第２信号電圧ＶＳ２は
【００５５】
ＶＳ２＝ＶＳ０−ＶＳａｍｐ
によって求められる。
【００５６】
図８（ｅ）は、第１ｉ電極４１ｉ及び第２ｉ電極６１ｉに対して印加される第３信号電圧ＶＳ３の信号波形である。第３信号電圧ＶＳ３´は
【００５７】
ＶＳ３´＝ＶＳ１＋ｋ×ＶＳａｍｐ
によって求められる。ｋは、電極パターン間の抵抗値と収差補正に必要な位相から求まる定数である。
【００５８】
以上のような式を基に、従来においては、光ディスク８の保護層等の厚み誤差に伴う収差誤差を補正する収差補正値を基に第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２及び第３信号電圧ＶＳ３´が求められていた。上述のような式に基づいて計算された第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２及び第３信号電圧ＶＳ３´の｜ＶＳ２｜−｜ＶＳ１｜と｜ＶＳ３´｜−｜ＶＳ１｜との関係をプロットしていくと、本来、原点を通る図９に示す点線ような直線が得られるはずである。しかしながら、実際に収差補正用液晶装置３０に対して所望の収差補正に必要な位相を生じさせるように第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２及び第３信号電圧ＶＳ３を設定し、その場合における｜ＶＳ２｜−｜ＶＳ１｜と｜ＶＳ３｜−｜ＶＳ１｜の関係をプロットしていくと、原点を通らず図８に示す実線のような直線が得られた。これは、従来の設計値においては、従来の厚み誤差が基板面内均一に同じ割合で生じることを仮定しているのに対し、実際には、環境温度変化、例えば収差補正用液晶装置駆動時に発生する熱による液晶の膨張に伴って液晶素子が太鼓状に膨らんだり、収差補正用液晶装置製造時の製造誤差などにより、液晶層の厚みが設計値と異なって基板面内で不均一となっているため、設計値と実測値とでずれが生じると考えられる。そこで、本実施形態においては、収差補正用液晶装置３０の液晶層厚み誤差に伴う収差誤差の補正として、図９に示す設計値と実測値との差であるＫｏｆｆｓｅｔ分を設計値に加味することによって、液晶層厚み誤差に伴う収差誤差を確実に補正している。片側振幅Ｋｏｆｆｓｅｔとなる電圧信号ＶＳｏｆｆｓｅｔは基準駆動信号ＶＳ０から生成できる。以下、図１０及び図１１を用いて詳細について説明する。
【００５９】
本実施形態においては、収差補正用液晶装置３０の液晶層厚み誤差に伴う収差誤差の補正は、収差補正用液晶装置３０を光ピックアップ１０に搭載する前の段階で行っている。収差補正用液晶装置３０の位相の調整は、光学的シュミレーションまたは干渉計により測定して行うことができる。
【００６０】
図１０（ａ）は、第１ａ電極４１ａ及び第２ａ電極６１ａに対して印加する第１信号電圧ＶＳ１、第１ｅ電極４１ｅ及び第２ｅ電極６１ｅに対して印加される第２信号電圧ＶＳ２、第１ｉ電極４１ｉ及び第２ｉ電極６１ｉに対して印加される第３信号電圧ＶＳ３を生成するための基準駆動信号ＶＳ０の信号波形である。
【００６１】
図１０（ｂ）は、後述する信号電圧生成回路８１の増幅器Ａ１の出力信号ＶＳａｍｐの信号波形である。ＶＳａｍｐは、光ディスク８の保護層等の厚み誤差を補正する信号であり、収差補正値に比例して振幅が可変可能に設定されている。図上、線幅の短い点線は、厚み誤差が基準値よりもプラスの場合の信号波形であり、線幅の長い点線は、厚み誤差が基準値よりもマイナスの場合の信号波形である。ＶＳａｍｐは、増幅器Ａ１によって、光ディスク８の保護層等の厚み誤差に伴う収差誤差を補正する収差補正値に応じて生成される。
【００６２】
図１０（ｃ）は、後述する信号電圧生成回路８１にて生成されるＶＳｏｆｆｓｅｔの信号波形である。
【００６３】
図１０（ｄ）は、第１ａ電極４１ａ及び第２ａ電極６１ａに対して印加される第１信号電圧ＶＳ１の信号波形である。第１信号電圧ＶＳ１は
【００６４】
ＶＳ１＝ＶＳ０＋ＶＳａｍｐ
によって求められる。
【００６５】
図１０（ｅ）は、第１ｅ電極４１ｅ及び第２ｅ電極６１ｅに対して印加される第２信号電圧ＶＳ２の信号波形である。第２信号電圧ＶＳ２は
【００６６】
ＶＳ２＝ＶＳ０−ＶＳａｍｐ
によって求められる。
【００６７】
図１０（ｆ）は、第１ｉ電極４１ｉ及び第２ｉ電極６１ｉに対して印加される第３信号電圧ＶＳ３の信号波形である。第３信号電圧ＶＳ３は
【００６８】
ＶＳ３＝ＶＳ１＋ｋ×ＶＳａｍｐ＋ＶＳｏｆｆｓｅｔ
によって求められる。ｋは、電極パターン間の抵抗値と収差補正に必要な位相から求まる定数である。
【００６９】
図１１に示すように、信号電圧生成回路８１は、コントローラ（図示せず）にて算出された収差補正値８２に基づいて、第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２及び第３信号電圧ＶＳ３を生成する回路である。コントローラでは、収差補正用液晶装置３０の液晶層厚み誤差等に伴う収差誤差を補正するための収差補正値８２が算出される。信号電圧生成回路８１は、増幅器Ａ１、増幅器Ａ２及び増幅器Ａ３を有している。増幅器Ａ１は、収差補正値８２に基づいて基準駆動信号ＶＳ０からＶＳａｍｐを生成する。増幅器Ａ２は、基準駆動信号ＶＳ０からＶＳｏｆｆｓｅｔを生成する。増幅器Ａ３は、ＶＳａｍｐからｋ×ＶＳａｍｐを生成する。ＶＳｏｆｆｓｅｔは、｜ＶＳ２｜＝｜ＶＳ１｜のときの第３信号電圧ＶＳ３の電圧に等しくなるように増幅器Ａ２を調整して生成する。
【００７０】
以上のように、本実施形態においては、光ディスク８の保護層等の厚み誤差に伴う収差誤差を補正する収差補正値８２に応じて、基準駆動信号ＶＳ０から増幅器Ａ１によってＶＳａｍｐを生成する。その後、第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２を、式１、式２を用いて基準駆動信号ＶＳ０、ＶＳａｍｐから生成する。次に、増幅器Ａ２によって上述のようにＶＳｏｆｆｓｅｔを生成し、ＶＳａｍｐから増幅器Ａ３によってｋ×ＶＳａｍｐを生成し、その後、式３を用いて第３信号電圧ＶＳ３を、ＶＳ１、ｋ×ＶＳａｍｐ、ＶＳｏｆｆｓｅｔから生成する。
【００７１】
以上のように、図１１に示す信号電圧生成回路８１を用いて、収差補正値８２に基づき収差補正用液晶装置３０の駆動電圧である第１信号電圧ＶＳ１、第２信号電圧ＶＳ２及び第３信号電圧ＶＳ３が決定する。
【００７２】
このように本実施形態においては、環境温度変化や液晶素子製造誤差などによる液晶層厚み誤差に伴う収差誤差を確実に補正するように、ＶＳｏｆｆｓｅｔ値を設定し、収差補正用液晶装置３０の駆動電圧値を設定しているため、このような収差補正用液晶装置３０が搭載された光ピックアップ１０は、第１光路及び第２光路それぞれの収差を確実に補正することができる。従って、光ディスクに対して良好な光スポットを照射することができるので、例えば良好な再生信号の周波数特性やトラッキングサーボ特性を得ることができ、また、フォトディテクタに対して良好な光スポットを照射することができるので、フォーカス誤差信号、トラッキング誤差信号、ＲＦ信号の良好な検出状態が可能となり、良好な記録／再生が行え、光ピックアップの性能が向上する。
【００７３】
（第２実施形態）
【００７４】
第１実施形態の光ピックアップ１０においては、収差補正用液晶装置３０を光ピックアップ１０に搭載する前にＶＳａｍｐ値、ＶＳｏｆｆｓｅｔ値を予め算出し、光ピックアップ１０動作時では、ＶＳａｍｐ、ＶＳｏｆｆｓｅｔは固定値となっていた。これに対し、光ピックアップ動作時に、収差補正用液晶装置３０の液晶層厚み変化に伴ってＶＳｏｆｆｓｅｔ値が可変する構造としてもよく、本実施形態においては、第１実施形態で示した信号電圧生成回路とほぼ同じ信号電圧生成回路を光ピックアップに設けている。このように、環境温度変化等による液晶層厚み変化に追随してＶＳｏｆｆｓｅｔ値を可変させることにより、より安定して良好な記録／再生が行える光ピックアップを得ることができる。以下、図１１及び図１２を用いて、光ディスク８の保護層等の厚み誤差や収差補正用液晶装置３０の液晶層厚変化に伴ってＶＳａｍｐ、ＶＳｏｆｆｓｅｔ値が可変する第２実施形態について説明するが、第１実施形態と同様の構成については同様の符号を用い、その説明は省略し、異なる構成について主に説明する。
【００７５】
図１２は第２実施形態に係る光ピックアップの構成を示す図である。
【００７６】
図１２に示すように、本実施形態における光ピックアップ１０´では、第１実施形態と同様に、対物レンズ６を搭載した２軸アクチュエータ９を有し、この２軸アクチュエータ９の駆動制御によって対物レンズ６をフォーカス方向及びトラッキング方向に移動し、光ディスク８へのアクセスを行う。
【００７７】
光源としてのレーザ光源（ＬＤ）１と光ディスク８との間の第１光路、言い換えるとレーザ光出射側光路には、コリメータレンズ２、光分岐素子としての偏光ビームスプリッタ３、収差補正用液晶装置３０、及び位相制御素子としての１／４波長板５、対物レンズ６が設けられている。
【００７８】
また、光ディスク８により照射された反射光が通過する、光ディスク８とフォトディテクタ７０との間の第２光路、言い換えると光反射側光路には、対物レンズ６、１／４波長板５、収差補正用液晶装置３０、偏光ビームスプリッタ３、フォーカシングレンズ１１、及びマルチレンズ１２が設けられている。
【００７９】
収差補正用液晶装置３０は、収差補正用の第１液晶素子３０Ａ及び収差補正用の第２液晶素子３０Ｂを有しており、第１光路で発生する光の収差を第１液晶素子３０Ａにて、第２光路で発生する光の収差を第２液晶素子３０Ｂにて補正する。第１液晶素子３０Ａ及び第２液晶素子３０Ｂは、対物レンズ６の光軸上に配置される。また、光路において、第１液晶素子３０Ａはレーザ光源１と１／４波長板５との間に配置され、第２液晶素子３０Ｂは１／４波長板５とフォトディテクタ７０との間に配置される。
【００８０】
ここで、環境温度変化や液晶素子の製造誤差などにより所望の液晶層厚みが得られず、収差補正用液晶装置３０によって所望の収差補正を行うことができない場合、光ディスクに集光される光スポット不良が生じて、例えば再生信号の周波数特性の劣化やトラッキングサーボ特性の劣化が生じたり、フォトディテクタ上での光スポットが拡大あるいは変形してしまいフォーカス誤差信号、トラッキング誤差信号、ＲＦ信号などを正確に検出できなくなり、良好な記録／再生が行えなくなるといった問題が生じる。これに対し、本実施形態においては、光ピックアップ１０´に、コントローラ８０を設け、光ディスク８の保護層等や液晶層厚みの誤差に伴う収差誤差を補正する収差補正値８２をコントローラ８０にて算出し、その収差補正値８２を基に収差補正用液晶装置３０の駆動電圧信号を生成する信号電圧生成回路１８１を設けている。尚、この信号電圧生成回路１８１は、第１実施形態の信号電圧生成回路８１とほぼ同様の構造となっており、第１実施形態では、増幅器Ａ１（符号８３）のゲイン及び増幅器Ａ２（符号８４）のゲインが予め決められているのに対し、本実施形態では、増幅器Ａ１（符号８３´）のゲイン及び増幅器Ａ２（符号８４´）のゲインを微調整できるようになっている。本実施形態では、フォトディテクタ７０により検出された検出信号、より具体的には光ディスク信号、ＲＦレベル、ジッタ、エラーレート値等を基に収差補正値８２が求められる。そして、光ピックアップ１０´動作時における液晶層厚変化に伴う収差補正値８２の変化に応じて増幅器Ａ１（符号８３´）のゲイン、増幅器Ａ２（符号８４´）のゲインが変化する。
【００８１】
以上のように、光ピックアップ１０´動作時に伴う光ディスク８の保護層等や収差補正用液晶装置３０の液晶層の厚み変化に応じてＶＳａｍｐ値及びＶＳｏｆｆｓｅｔ値を微調整可能にすることにより、より安定して良好な記録／再生が行える光ピックアップ１０´を得ることができる。
【００８２】
なお、本発明では、ＶＳａｍｐ値を可変可能としてＶＳｏｆｆｓｅｔ値を固定値としてもよく、逆にＶＳａｍｐ値を固定値としてＶＳｏｆｆｓｅｔ値を可変可能としてもよい。
【００８３】
更に、本発明は上記の実施形態には限定されず、その技術思想の範囲内で様々に変形して実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】第１実施形態に係る光ピックアップの構成を示す図である。
【図２】図１の光ピックアップに搭載される収差補正用液晶装置の分解概略斜視図である。
【図３】図１の光ピックアップに搭載される収差補正用液晶装置の部分平面図である。
【図４】図１の光ピックアップに搭載される収差補正用液晶装置の他の部分平面図である。
【図５】収差補正用液晶装置の電源オフ、オン時における状態を示す部分断面図である
【図６】収差補正用液晶装置への電圧印加の様子を示す斜視図である。
【図７】収差補正用液晶装置の液晶素子の電圧印加分布である。
【図８】従来の光ピックアップにおける収差補正用液晶装置の電極に印加される信号電圧の波形図である。
【図９】従来及び実施形態に係る収差補正用液晶装置に印加される信号電圧の｜ＶＳ２｜−｜ＶＳ１｜と｜ＶＳ３｜−｜ＶＳ１｜の関係をプロットした図である。
【図１０】実施形態に係る収差補正用液晶装置の電極に印加される信号電圧の波形図である。
【図１１】第１実施形態における信号電圧生成回路図である。
【図１２】第２実施形態における光ピックアップの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００８５】
１・・・レーザ光源
８・・・光ディスク
１０、１０´・・・光ピックアップ
３０Ａ・・・第１液晶素子
３０Ｂ・・・第２液晶素子
３４Ａ・・・第１液晶層
３４Ｂ・・・第２液晶層
４０・・・第１基板
４１ａ・・・第１ａ電極
４１ｅ・・・第１ｅ電極
４１ｉ・・・第１ｉ電極
５０・・・第２基板
５４・・・第１対向電極
５５・・・第２対向電極
６０・・・第３基板
６１ａ・・・第２ａ電極
６１ｅ・・・第２ｅ電極
６１ｉ・・・第２ｉ電極
７０・・・フォトディテクタ
８１、１８１・・・信号電圧生成回路
８２・・・収差補正値
１０１・・・第１信号電圧
１０２・・・第２信号電圧
１０３・・・第３信号電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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