(57)【要約】【課題】  高精度で且つ容易にスリットギャップ寸法を塗布幅方向に均一に調整可能なダイヘッドを提供する。【解決手段】  ダイヘッド１のスリットギャップ４を形成するスリット面の背後に、スリットギャップ４に平行にギャップ調整用溝１１を形成し、その中に、積層型圧電素子への電圧印加によって溝幅を拡大可能な溝拡大用ギャップ調整具１３と積層型圧電素子への電圧印加によって溝幅を縮小可能な溝縮小用ギャップ調整具１４を、塗布幅方向の取付位置を調整可能に設け、溝拡大用ギャップ調整具１３及び溝縮小用ギャップ調整具１４の各積層型圧電素子へ電圧印加してギャップ調整用溝の溝幅を拡大、或いは縮小させてスリットギャップ寸法を塗布幅方向に均一に調整可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗工液を吐出するスリットギャップを形成するように向かい合って配置された二つのスリット面と、少なくとも一方のスリット面の背後に該スリット面に平行に形成されたギャップ調整用溝であって、溝幅の拡大、縮小により前記スリット面とギャップ調整用溝ではさまれた領域をたわませて前記スリットギャップの寸法を変更可能なギャップ調整用溝と、該ギャップ調整用溝に、塗布幅方向の取付位置を調整可能な形態で取り付けられ、前記ギャップ調整用溝の溝幅を拡大させる溝拡大用ギャップ調整具と、前記該ギャップ調整用溝に、塗布幅方向の取付位置を調整可能な形態で取り付けられ、前記ギャップ調整用溝の溝幅を縮小させる溝縮小用ギャップ調整具を有しており、前記溝拡大用ギャップ調整具が、電圧印加により伸長する積層型圧電素子と、該積層型圧電素子の両端に取付られ、該積層型圧電素子の伸長方向の先端部に前記ギャップ調整用溝の側面に取り付けるための係止部を備えた拡大用取付け治具を備えており、前記溝縮小用ギャップ調整具が、電圧印加により伸長する積層型圧電素子と、その両端に取り付けられ、前記積層型圧電素子の伸長方向に直角方向の両側に前記ギャップ調整用溝の側面に取り付けるための係止部を備えた縮小用取付け治具を備えており、該縮小用取付け治具は前記積層型圧電素子の伸長により両側の係止部の間隔が縮小する構造であることを特徴とするダイヘッド。
【請求項２】
前記ギャップ調整用溝の側面に、開口部よりも奥が広くなった断面形状のガイド溝が、前記ギャップ調整用溝の長手方向に延びるように形成されており、前記溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具の係止部が、前記ガイド溝内を移動可能であるが前記開口部を通り抜けることのできない拡大頭部を備えた形状であることを特徴とする請求項１記載のダイヘッド。
【請求項３】
前記ギャップ調整用溝が、その溝幅方向が前記スリット面に直角となるように形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のダイヘッド。
【請求項４】
前記ギャップ調整用溝が、その溝幅方向が前記スリット面に平行となるように形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のダイヘッド。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項記載のダイヘッドのスリットギャップの寸法を調整する方法であって、前記溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具を作動させない状態でスリットギャップ寸法の塗布幅方向における分布を測定し、前記ギャップ調整用溝内において、スリットギャップ寸法を縮小したい領域には溝拡大用ギャップ調整具を、スリットギャップ寸法を拡大したい領域には溝縮小用ギャップ調整具を位置させ、次いで、前記溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具に設けている積層型圧電素子に電圧を印加して前記ギャップ調整用溝の溝幅を部分的に拡大、縮小させ、スリットギャップ寸法を調整することを特徴とするスリットギャップ調整方法。
【請求項６】
前記溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具に設けている積層型圧電素子に対する印加電圧を調整することで、前記ギャップ調整用溝の溝幅の拡大量、縮小量を調整し、スリットギャップ寸法を調整することを特徴とする請求項５記載のスリットギャップ調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造工程、有機ＥＬ素子製造工程、燃料電池製造工程、フォトマスク製造工程、包装材製造工程などにおいて、ウェブや板材などの被塗工物に対して塗工液を塗布するために用いるダイヘッド及びそのスリットギャップの調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、走行中のウェブ（被塗工物）に対して、或いは、定盤上に載置された板材又はシート（被塗工物）に対して塗工液を塗布するため、塗工液を膜状に吐出するスリットギャップを備えたダイヘッドが用いられている。一般に、ダイヘッドは、それぞれがスリットギャップの内面を形成する面（スリット面という）を備えた二つのダイブロックを、前記スリット面が向かい合う形態で突き合わせ、ボルト締結により一体化する構造となっている。このダイヘッドを用いた塗工においては、ダイヘッドのスリットギャップの寸法を塗布幅方向に均一としておくことが塗膜品質上必要である。ところが、ダイヘッドの加工精度、或いは組み立て時のボルト締結によるたわみ発生等によって、単にダイヘッドを組み立てた状態では、ボルト締結力を均一としても、スリットギャップ寸法に塗布幅方向にある程度のばらつき（例えば、数ミクロン程度）が発生する。近年、塗膜の膜厚精度に対する要求が厳しくなっており、それに伴い、スリットギャップ寸法の塗布幅方向におけるばらつきも極力小さくすることが望まれ、スリットギャップ寸法のばらつきを補正する手段が用いられている。
【０００３】
スリットギャップ寸法のばらつきを補正する手段として、従来は、ダイヘッドの塗布幅方向に複数設けられた調整ボルトによりスリットギャップを微調整し均一化を図るものや、塗布幅方向に複数設けられた油圧ユニットに圧力を加えることにより、スリット部をたわませ、スリットギャップの均一化を図るもの（特許第３５０１１５９号公報参照）などがあった。また、ダイヘッドのスリットギャップをはさむ一方のスリット面に、圧電材料を電極によりはさんだものを多数並べて配置し、その表面の塗工液との接触面に保護膜を設けた構造のダイヘッド（特開２００４−３３９６５号公報参照）も提案されている。
【０００４】
しかし、調整ボルトによるスリットギャップの微調整は、調整量が雄ねじ側のねじ山のピッチに依存してしまうため、ミクロンオーダーでの微調整は困難であり、調整に長時間を要した。油圧ユニットによるスリットギャップの微調整は、短時間且つミクロンオーダーでの調整が可能であるが、スリットギャップを狭める方向にしか調整することができなかった。また、油圧ユニットは、組み直しによる完全な圧力再現性がなく、温度変化にも弱いという欠点があった。更に、特開２００４−３３９６５号公報に提案のダイヘッドは、塗工液の流れるスリットギャップの一方の面を、多数並べた圧電材料及びその表面を保護するように配置した高分子フィルムなどの薄い保護膜で形成しているが、このような構造では、塗工液を安定して均一厚さに吐出するスリットギャップを実現できるとは考えにくい。例えば、圧電材料を多数並べて配置する際に圧電材料間には隙間が生じているが、保護膜が塗工液の内圧を受けてその隙間に入り、その部分のスリットギャップ寸法が広くなって塗布膜に筋が生じる恐れがあるとか、ダイヘッドのマニホールドから供給された塗工液が保護膜の裏側に漏れて圧電材料を濡らし、故障させる恐れがあるとか、ダイヘッド先端にはスリットギャップに直角な平面状の先端リップ面を形成しておく必要があるが、このような先端リップ面の形成が困難であるといった問題があり、実用可能なダイヘッドを構成できるとは考えにくい。また、特開２００４−３３９６５号公報には、圧電材料の伸縮によりスリット厚み分布を調整するとの記載があるが、圧電材料は通電により、伸びる方向の変位を生じるのみで、収縮はしない。このため、スリットギャップを狭める方向にしか調整することができないといった問題もある。
【特許文献１】特許第３５０１１５９号公報
【特許文献２】特開２００４−３３９６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたもので、ダイヘッドのスリットギャップを、狭める方向及び拡げる方向の両方に調整可能であり、更に、短時間且つミクロンオーダーでの調整が可能であり、しかも組み立て再現性にも優れたダイヘッドを提供すること、並びに、そのダイヘッドのスリットギャップを調整する方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願請求項１に係る発明は、上記課題を解決するため、ダイヘッドの、塗工液を吐出するスリットギャップを形成するように向かい合って配置された二つのスリット面の少なくとも一方の背後に該スリット面に平行にギャップ調整用溝を形成し、そのギャップ調整用溝の溝幅の拡大縮小により前記スリット面とギャップ調整用溝ではさまれた領域をたわませてスリットギャップの寸法を変更可能な構造とすると共に、そのギャップ調整用溝に、該ギャップ調整用溝の溝幅を拡大させる溝拡大用ギャップ調整具と溝幅を縮小させる溝縮小用ギャップ調整具を塗布幅方向の取付位置を調整可能な形態で取り付ける構成とし、更に、その溝拡大用ギャップ調整具を、電圧印加により伸長する積層型圧電素子と、該積層型圧電素子の両端に取付られ、該積層型圧電素子の伸長方向の先端部に前記ギャップ調整用溝の側面に取り付けるための係止部を備えた拡大用取付け治具を備えた構造とし、前記溝縮小用ギャップ調整具を、電圧印加により伸長する積層型圧電素子と、その両端に取り付けられ、前記積層型圧電素子の伸長方向に直角方向の両側に前記ギャップ調整用溝の側面に取り付けるための係止部を備え、前記積層型圧電素子の伸長により両側の係止部の間隔が縮小する構造の縮小用取付け治具を備えた構造としたものである。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のダイヘッドにおいて、前記ギャップ調整用溝の側面に、開口部よりも奥が広くなった断面形状のガイド溝を、前記ギャップ調整用溝の長手方向に延びるように形成し、前記溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具の係止部を、前記ガイド溝内を移動可能であるが前記開口部を通り抜けることのできない拡大頭部を備えた形状としたものである。
【０００８】
請求項３に係る発明は請求項１又は２記載のダイヘッドにおいて、前記ギャップ調整用溝を、その溝幅方向が前記スリット面に直角となるように形成したものである。
【０００９】
請求項４に係る発明は請求項１又は２記載のダイヘッドにおいて、前記ギャップ調整用溝を、その溝幅方向が前記スリット面に平行となるように形成したものである。
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項１から４のいずれか１項記載のダイヘッドのスリットギャップの寸法を調整する方法であって、前記溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具を作動させない状態でスリットギャップ寸法の塗布幅方向における分布を測定し、前記ギャップ調整用溝内において、スリットギャップ寸法を縮小したい領域には溝拡大用ギャップ調整具を、スリットギャップ寸法を拡大したい領域には溝縮小用ギャップ調整具を位置させ、次いで、前記溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具に設けている積層型圧電素子に電圧を印加して前記ギャップ調整用溝の溝幅を部分的に拡大、縮小させ、スリットギャップ寸法を調整することを特徴とするものである。
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項５記載のスリットギャップ調整方法において、前記溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具に設けている積層型圧電素子に対する印加電圧を調整することで、前記ギャップ調整用溝の溝幅の拡大量、縮小量を調整し、スリットギャップ寸法を調整することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のダイヘッドは、ダイヘッドに形成したギャップ調整用溝内の、塗布幅方向の所望位置に溝拡大用ギャップ調整具と溝縮小用ギャップ調整具を取り付け可能としているので、スリットギャップの調整に当たって、スリットギャップ寸法のばらつきを測定し、スリットギャップを小さくしたい領域には溝拡大用ギャップ調整具を取り付け、スリットギャップを大きくしたい領域には溝縮小用ギャップ調整具を取り付け、これらのギャップ調整具によってギャップ調整用溝の溝幅の拡大、縮小を行うことでスリットギャップを調整でき、薄型のダイヘッドで真直度の悪いものであってもスリットギャップを均一に調整できる。しかも、溝拡大用ギャップ調整具及び溝縮小用ギャップ調整具には、積層型圧電素子を用いているので、積層型圧電素子への電圧印加によって溝拡大用ギャップ調整具の拡大及び溝縮小用ギャップ調整具の縮小を行うことができ、短時間且つミクロンオーダーでの調整が可能である。また、積層型圧電素子は電圧再現性に優れているので、組み立て再現性に優れている。このため、ダイヘッドのスリットギャップを一度調整しておくと、そのダイヘッドを洗浄のために分解し、再組み立てした際にも、スリットギャップを短時間に且つ容易に均一に調整できる。また、溝拡大用ギャップ調整具と溝縮小用ギャップ調整具は、必要な個所に配置するのみでよいので、使用個数を少なくすることができ、コストダウンを図ることができるといった効果も得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は本発明の好適な実施の形態に係るダイヘッドを、一部を断面で示す概略斜視図、図２はダイヘッドの概略平面図、図３は図２のＡ−Ａ矢視概略断面図、図４（ａ）は第一ダイブロックの、ギャップ調整用溝形成領域を示す概略断面図、（ｂ）はギャップ調整用溝に取り付ける前の溝拡大用ギャップ調整具の概略側面図、図５は図２のＢ−Ｂ矢視概略断面図、図６（ａ）は第一ダイブロックの、ギャップ調整用溝形成領域を示す概略断面図、（ｂ）はギャップ調整用溝に取り付ける前の溝縮小用ギャップ調整具の概略側面図である。
【００１４】
図１〜図６において、全体を参照符号１で示すダイヘッドは、第一ダイブロック２と第二ダイブロック３を備えており、その第一ダイブロック２と第二ダイブロック３にはそれぞれ、塗工液を吐出するスリットギャップ４を形成するように向かい合って配置されるスリット面２ａ、３ａと、互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面２ｂ、３ｂが形成され、更に一方のダイブロック３にはマニホールド５が形成されている。マニホールド５はコートハンガー型、ストレート型のいずれでもよい。このダイヘッド１は更に、合わせ面２ｂ、３ｂを突き合わせた状態の第一ダイブロック２及び第二ダイブロック３を、その合わせ面の位置で且つ塗布幅方向（図１、図２のＸ−Ｘ方向）に間隔をあけた複数箇所で互いに締結する複数の締結手段６を備えている。この実施の形態では締結手段６としてボルトが使用されている。また、第一及び第二ダイブロック２、３の両端にはエンドプレート７が取り付けられている。
【００１５】
第一ダイブロック２には、それに形成しているスリット面２ａの背後に、スリット面２ａに平行にギャップ調整用溝１１が形成されている。このギャップ調整用溝１１は、上面（スリットギャップ４の先端側の面）が開口し、溝幅方向がスリット面２ａに直角となるように形成されており、この構造により、そのギャップ調整用溝１１の溝幅を拡大、縮小させることで、スリット面２ａとギャップ調整用溝１１とではさまれた領域２ｃを矢印Ｃ方向（図３参照）或いは矢印Ｄ方向（図５参照）にたわませてスリットギャップ４の寸法ｄを変更可能である。なお、ギャップ調整用溝１１の溝幅を拡大、縮小させた時の領域２ｃのたわみ量を大きくするため、領域２ｃの厚さを薄く（例えば３〜１０ｍｍ程度に）して剛性を低くすると共にギャップ調整用溝１１とダイブロック２の外側面とではさまれた領域２ｄの厚さを領域２ｃよりも厚く（例えば、１．５〜５倍程度に）して剛性を高めておくことが好ましい。
【００１６】
ギャップ調整用溝１１には、塗布幅方向（図１、図２におけるＸ−Ｘ方向）の所望位置に取り付け可能な形態で、ギャップ調整用溝の溝幅を拡大させる溝拡大用ギャップ調整具１３とギャップ調整用溝の溝幅を縮小させる溝縮小用ギャップ調整具１４が設けられている。図４、図６から良く分かるようにギャップ調整用溝１１の向かい合った側面には、溝拡大用ギャップ調整具１３と溝縮小用ギャップ調整具１４を所望の位置に容易にスライドさせて位置させることができると共に各ギャップ調整具１３、１４の係止部（詳細は後述）を抜けないように連結可能なよう、開口部よりも奥が広くなった断面形状のガイド溝１５がギャップ調整用溝１１の長手方向に（従って塗布幅方向に）延びるように形成されている。
【００１７】
溝拡大用ギャップ調整具１３は、図３、図４から良く分かるように、電圧印加により伸長する積層型圧電素子１６と、その積層型圧電素子１６の両端に取り付られ、積層型圧電素子の伸長方向の先端部にギャップ調整用溝１１の側面に取り付けるための係止部１７ａを備えた拡大用取付け治具１７を備えた構造であり、この構造により、積層型圧電素子１６に電圧を印加することで積層型圧電素子１６を印加電圧に応じて矢印Ｅ方向に伸ばし、両端の係止部１７ａ、１７ａを矢印Ｅ方向に移動させ、両者の間隔を拡大可能である。係止部１７ａは、ガイド溝１５に嵌合して長手方向には移動可能であるがガイド溝１５の開口部を通り抜けることのできない拡大頭部を備えた形状のものである。なお、ガイド溝１５及び係止部１７ａの断面形状として、図面の実施の形態では逆三角形状のもの（あり溝及びありの組み合わせ）を用いているが、この構造に限らず、他の構造、例えばＴ型断面のもの等を用いても良い。溝拡大用ギャップ調整具１３は、積層型圧電素子１６がギャップ調整用溝１１の溝幅方向に伸長するように（すなわち、スリット面２ａに直角方向に伸長するように）取り付けられ、その積層型圧電素子１６の伸長により、ギャップ調整用溝１１の溝幅を拡大してスリットギャップ４を小さくするように作用する。
【００１８】
溝縮小用ギャップ調整具１４は、図５、図６から良く分かるように、電圧印加により伸長する積層型圧電素子１９と、その積層型圧電素子１９の両端に取り付られ、積層型圧電素子１９の伸長方向（矢印Ｆ方向）に直角方向の両側に、ギャップ調整用溝１１の側面のガイド溝１５に取り付けるための係止部２０ａ、２０ａを備えた縮小用取付け治具２０を有している。この縮小用取付け治具２０は、積層型圧電素子１９の矢印Ｆ方向への伸長により両側の係止部２０ａ、２０ａが矢印Ｆ方向に直角な方向である矢印Ｇ方向に引き込まれ、両側の係止部２０ａ、２０ａの間隔が縮小する構造となっている。この構造により、積層型圧電素子１９に電圧を印加することで積層型圧電素子１９を印加電圧に応じて矢印Ｆ方向に伸ばし、それに応じて両側の係止部２０ａ、２０ａを矢印Ｇ方向に移動させ、両者の間隔を縮小可能である。係止部２０ａも溝拡大用ギャップ調整具１３に用いている係止部１７ａと同様に、ガイド溝１５に嵌合して長手方向には移動可能であるがガイド溝１５の開口部を通り抜けることのできない拡大頭部を備えた形状のものである。溝縮小用ギャップ調整具１４は、積層型圧電素子１９がギャップ調整用溝１１の溝幅方向に直角方向に伸長するように（すなわち、スリット面２ａに平行方向に伸長するように）取り付けられ、その積層型圧電素子１９の伸長により、ギャップ調整用溝１１の溝幅を縮小してスリットギャップ４を大きくするように作用する。
【００１９】
図１、図２において、ギャップ調整用溝１１内に取り付けられた溝拡大用ギャップ調整具１３や溝縮小用ギャップ調整具１４には制御ユニット２５が接続され、各溝拡大用ギャップ調整具１３、溝縮小用ギャップ調整具１４の積層型圧電素子１６、１９に対して電圧印加すると共にその印加電圧を調整可能となっている。
【００２０】
次に、上記構造のダイヘッド１の組み立て及びスリットギャップ調整動作を説明する。まず、第一ダイブロック２と第二ダイブロック３を突き合わせ、締結手段（ボルト）６によって両者を組み付け、一体化する。この時、溝拡大用ギャップ調整具１３や溝縮小用ギャップ調整具１４はギャップ調整用溝１１の適当な位置に位置させておいてもよいし、取り外した状態としておいてもよい。また、積層型圧電素子１６、１９への電圧印加は行わない。次に、スリットギャップ４の寸法ｄを塗布幅方向の全長に渡って、適当な測定装置（例えば光学顕微鏡）によって測定し、スリットギャップ寸法の塗布幅方向におけるばらつきを求め、そのばらつきを小さくするために、溝拡大用ギャップ調整具１３、溝縮小用ギャップ調整具１４を配置すべき領域を定め、その領域に溝拡大用ギャップ調整具１３、溝縮小用ギャップ調整具１４をギャップ調整用溝１１内をスライドさせて位置させる。例えば、スリットギャップ寸法ｄが、塗布幅方向の中央で狭くなり、両端で広くなるような分布の場合には、塗布幅方向の中央領域には、スリットギャップ寸法ｄを拡大させるために用いる溝縮小用ギャップ調整具１４を位置させ、両端領域には、スリットギャップ寸法ｄを縮小させるために用いる溝拡大用ギャップ調整具１３を位置させる。溝拡大用ギャップ調整具１３や溝縮小用ギャップ調整具１４の使用個数は、各ギャップ調整具１３、１４によるスリットギャップ調整可能範囲や、スリットギャップ寸法の調整精度等を考慮して適切に定めておく。
【００２１】
次に、スリットギャップ寸法ｄを測定装置（例えば光学顕微鏡）によって測定しながら、制御ユニット２５によって溝拡大用ギャップ調整具１３、溝縮小用ギャップ調整具１４の積層型圧電素子１６、１９へ電圧を印加し、且つその電圧を調整し、塗布幅方向に均一なスリットギャップになるように調整する。調整終了後、ダイヘッド１を塗布装置に取り付け、各積層型圧電素子１６、１９には調整した電圧を印加した状態で塗工液（例えばカラーレジスト）の塗布を行い、膜厚を測定する。ダイヘッド１の塗布幅方向に許容範囲を越えた膜厚のばらつきが見られる場合は、塗布装置に取り付けた状態で、あるいは再度取り外した状態で、再度印加電圧の調整を行う。以上のようにして、スリットギャップ寸法を塗布幅方向にきわめて均一に調整することができ、このダイヘッド１を塗布装置に取り付け、各積層型圧電素子１６、１９に調整した電圧を印加した状態で塗布動作を行うことで、膜厚精度の高い塗布を行うことができる。
【００２２】
以上のようにスリットギャップ寸法を調整した後は、各溝拡大用ギャップ調整具１３、溝縮小用ギャップ調整具１４の取り付け位置及び各積層型圧電素子１６、１９への印加電圧を記憶しておく。そして、ダイヘッド１による塗布を適当な期間継続し、ダイヘッド１の分解、洗浄が必要となった時には、ダイヘッド１を塗布装置から取り外し、分解、洗浄を行う。その後、ダイヘッド１を再度組み立て、各溝拡大用ギャップ調整具１３、溝縮小用ギャップ調整具１４を先に定めていた位置に取り付け、各積層型圧電素子１６、１９へは先に調整した値の電圧を印加する。積層型圧電素子１６、１９は印加電圧に対する伸長力の再現性に優れているので、上記したように各積層型圧電素子１６、１９へ先に調整した値の電圧を印加することで、再組み立てした後のスリットギャップ寸法をきわめて均一な状態とすることができる。かくして、スリットギャップ寸法の再度の調整は不要である。このように、このダイヘッド１の洗浄に当たって、分解、再組み立てはきわめて簡単であり、短時間で実施できる。
【００２３】
なお、上記した動作説明では、ギャップ調整用溝１１に、溝拡大用ギャップ調整具１３と溝縮小用ギャップ調整具１４の両方を用いているが、必ずしも両方を常に用いる必要はなく、いずれか一方のみの使用でスリットギャップ寸法ｄを所望の均一さに調整可能な場合には、いずれか一方のみを使用すればよい。また、溝拡大用ギャップ調整具１３や溝縮小用ギャップ調整具１４の使用個数は、要求される調整精度に応じて適宜増減可能である。
【００２４】
上記した実施の形態では、ギャップ調整用溝１１を、上面側が開口し、溝幅方向がスリット面２ａに直角となるように形成しているが、ギャップ調整用溝の形状、配置はこれに限らず、溝幅の拡大、縮小により、スリット面とギャップ調整用溝で挟まれた領域をたわませてスリットギャップ寸法を変更可能なものであれば任意である。以下、ギャップ調整用溝の変形例を用いたダイヘッドを説明する。図７は、本発明の他の実施の形態に係るダイヘッド１Ａの、溝拡大用ギャップ調整具１３を取り付けた部分の概略断面図、図８（ａ）は第一ダイブロック２Ａの、ギャップ調整用溝形成領域を示す概略断面図、（ｂ）はギャップ調整用溝に取り付ける前の溝拡大用ギャップ調整具の概略側面図、図９はダイヘッド１Ａの、溝縮小用ギャップ調整具１４を取り付けた部分の概略断面図、図１０（ａ）は第一ダイブロック２Ａの、ギャップ調整用溝形成領域を示す概略断面図、（ｂ）はギャップ調整用溝に取り付ける前の溝縮小用ギャップ調整具の概略側面図である。
【００２５】
図７〜図１０において、このダイヘッド１Ａも、第一ダイブロック２Ａと第二ダイブロック３Ａを備えており、その第一ダイブロック２Ａと第二ダイブロック３Ａにはそれぞれ、塗工液を吐出するスリットギャップ４を形成するように向かい合って配置されるスリット面２ａ、３ａと、互いに突き合わせて組み立てるための合わせ面２ａ、３ａが形成され、第二ダイブロック３Ａにはマニホールド５が形成されている。また第一ダイブロック２Ａと第二ダイブロック３Ａはボルト等の締結手段６によって一体に組み付けられるようになっている。
【００２６】
第一ダイブロック２Ａには、それに形成しているスリット面２ａの背後に、スリット面２ａに平行にギャップ調整用溝１１Ａが形成されている。ここで用いているギャップ調整用溝１１Ａは、開口がダイヘッド１Ａの側方を向き、溝幅方向がスリット面２ａと平行となるように形成されている。また、ギャップ調整用溝１１Ａの向かい合った側面には、図４に示すガイド溝１５と同様な断面形状のガイド溝１５が形成されている。すなわち、ギャップ調整用溝１１Ａは、図１〜図６に示す実施の形態におけるギャップ調整用溝１１と同様な断面形状で且つそれを９０度、時計方向に回転させた配置となっている。この構造のギャップ調整用溝１１Ａにおいても、その溝幅を拡大、縮小させることで、スリット面２ａとギャップ調整用溝１１Ａとではさまれた領域２ｃを矢印Ｃ方向（図７参照）或いは矢印Ｄ方向（図９参照）にたわませてスリットギャップ４の寸法ｄを変更可能である。なお、ギャップ調整用溝１１の溝幅を拡大、縮小させた時の領域２ｃのたわみ量を大きくするため、領域２ｃの厚さは薄く（例えば３〜１０ｍｍ程度に）して剛性を低くしておくことが好ましい。
【００２７】
ギャップ調整用溝１１Ａには、溝拡大用ギャップ調整具１３（図７参照）と溝縮小用ギャップ調整具１４（図９参照）が、塗布幅方向における取り付け位置を調整可能な形態で取り付け可能となっている。ここで用いる溝拡大用ギャップ調整具１３及び溝縮小用ギャップ調整具１４も、図１〜図６に示す実施の形態における溝拡大用ギャップ調整具１３及び溝縮小用ギャップ調整具１４と同様な構造のものであり、取り付け方向のみを９０度回転させた状態としている。
【００２８】
このダイヘッド１Ａにおいても、スリットギャップ調整に当たって、スリットギャップ寸法ｄを狭めたい領域には、図７に示すように、スリットギャップ寸法ｄを縮小させるために用いる溝拡大用ギャップ調整具１３を位置させる。また、スリットギャップ寸法ｄを広くしたい領域には、図９に示すように、スリットギャップ寸法ｄを拡大させるために用いる溝縮小用ギャップ調整具１４を位置させる。そして、各ギャップ調整具１３、１４の積層型圧電素子１６、１９に電圧を印加することで、図７に示す溝拡大用ギャップ調整具１３は、第一ダイブロック２Ａの上端領域２ｅを押し上げ、スリット面２ａとギャップ調整用溝１１Ａにはさまれた領域２ｃをスリット面３ａに向かって（矢印Ｃ方向に）たわませ、スリットギャップ寸法ｄを縮小させ、また、図９に示す溝縮小用ギャップ調整具１４は、第一ダイブロック２Ａの上端領域２ｅを引き下げ、スリット面２ａとギャップ調整用溝１１Ａにはさまれた領域２ｃをスリット面３ａから離れる方向（矢印Ｄ方向）にたわませ、スリットギャップ寸法ｄを拡大させる。かくして、各積層型圧電素子１６、１９への印加電圧の調整により、スリットギャップ寸法の塗布幅方向における均一化を図ることができる。
【００２９】
なお、以上に説明した実施の形態では、第一ダイブロック２、２Ａにギャップ調整用溝１１、１１Ａを設け、スリット面２ａの位置を調整することでスリットギャップ寸法のばらつきを調整する構成としているが、本発明はこの構成に限らず、第二ダイブロック３、３Ａにギャップ調整用溝１１、１１Ａを設け、スリット面３ａの位置を調整する構成としてもよいし、更には、第一ダイブロック２、２Ａ及び第二ダイブロック３、３Ａの両方に、ギャップ調整用溝１１、１１Ａを設け、スリット面２ａ、３ａの位置を共に調整する構成としてもよい。両方のスリット面２ａ、３ａの位置を調整可能とすると、一層精密な調整が可能となる利点が得られる。また、上記した実施の形態は本発明の説明用のものであって、本発明を限定するものではなく、本発明は特許請求の範囲の記載範囲内で種々変更可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明のダイヘッドは、走行中のウェブ（被塗工物）に対して塗工液を塗布するため、及び、定盤上に載置された板材又はシート（被塗工物）に対して塗工液を塗布するためのいずれにも使用可能である。また、本発明のダイヘッドは、精密塗工が可能であることから、カラーフィルタ製造工程、有機ＥＬ素子製造工程、燃料電池製造工程、フォトマスク製造工程などにおいて、被塗工物に対して厚さむらの少ない塗膜を形成するための塗布装置に用いることが好ましいが、これに限らず、他の任意の用途の塗布に用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の好適な実施の形態に係るダイヘッドを、一部を断面で示す概略斜視図
【図２】図１に示すダイヘッドの概略平面図
【図３】図２のＡ−Ａ矢視概略断面図
【図４】（ａ）は図３に示すダイヘッドの第一ダイブロックの、ギャップ調整用溝形成領域を示す概略断面図、（ｂ）はギャップ調整用溝に取り付ける前の溝拡大用ギャップ調整具の概略側面図
【図５】図２のＢ−Ｂ矢視概略断面図
【図６】（ａ）は図５に示すダイヘッドのダイブロックの、ギャップ調整用溝形成領域を示す概略断面図、（ｂ）はギャップ調整用溝に取り付ける前の溝縮小用ギャップ調整具の概略側面図
【図７】本発明の他の実施の形態に係るダイヘッドの、溝拡大用ギャップ調整具を取り付けた部分の概略断面図
【図８】（ａ）は図７に示すダイヘッド１Ａの第一ダイブロックの、ギャップ調整用溝形成領域を示す概略断面図、（ｂ）はギャップ調整用溝に取り付ける前の溝拡大用ギャップ調整具の概略側面図
【図９】図７と同じダイヘッドの、溝縮小用ギャップ調整具を取り付けた部分の概略断面図
【図１０】（ａ）は図９に示すダイヘッドの第一ダイブロックの、ギャップ調整用溝形成領域を示す概略断面図、（ｂ）はギャップ調整用溝に取り付ける前の溝縮小用ギャップ調整具の概略側面図
【符号の説明】
【００３２】
１、１Ａ  ダイヘッド
２、２Ａ  第一ダイブロック
３、３Ａ  第二ダイブロック
２ａ、３ａ  スリット面
２ｂ、３ｂ  合わせ面
２ｃ  スリット面とギャップ調整用溝ではさまれた領域
４  スリットギャップ
５  マニホールド
６  締結手段（ボルト）
７  エンドプレート
１１、１１Ａ  ギャップ調整用溝
１３  溝拡大用ギャップ調整具
１４  溝縮小用ギャップ調整具
１５  ガイド溝
１６、１９  積層型圧電素子
１７  拡大用取付け治具
１７ａ  係止部
２０  縮小用取付け治具
２０ａ  係止部
２５  制御ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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