(57)【要約】【課題】  制振器やマウント等に組み込まれて用いられる場合でも、それ自体における初期の設定精度が有利に維持されて、目的とする出力特性と良好な耐久性が安定して発揮され得る、改良された構造の電磁式アクチュエータを提供することにある。【解決手段】  可動子１２，６４，６６の出力軸７０，７７，７８の軸方向で積層された積層ゴム７２を可動子１２，６４，６６から駆動対象部材１１６への駆動力の伝達経路上に設けて、積層ゴム７２を介して、コイルへ５２の通電に伴って可動子１２，６４，６６に及ぼされる駆動力が積層ゴム７２の重ね合わせ方向に伝達されて駆動対象部材１１６に作用せしめられるようにした。【選択図】  図１
2006255649.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子に対して軸方向に変位可能に組み付けられた可動子を備えており、それら固定子または可動子にコイルを組み付けると共に、該コイルの周囲にヨーク部材を組み付けて磁路を形成し、該コイルへの通電によって生ぜしめられる磁界の作用で該可動子の軸方向に及ぼされる駆動力を、該可動子に設けられた出力軸を通じて外部に取り出して所定の駆動対象部材に作用せしめるようにした電磁式アクチュエータにおいて、
前記可動子の前記出力軸の軸方向で積層された積層ゴムを該可動子から前記駆動対象部材への駆動力の伝達経路上に設けて、該積層ゴムを介して、前記コイルへの通電に伴って該可動子に及ぼされる駆動力が該積層ゴムの重ね合わせ方向に伝達されて該駆動対象部材に作用せしめられるようにしたことを特徴とする電磁式アクチュエータ。
【請求項２】
前記積層ゴムが、前記出力軸の軸方向に対して直交して広がる略平坦面形状の積層境界面を有している請求項１に記載の電磁式アクチュエータ。
【請求項３】
前記積層ゴムが、前記出力軸の中心軸上に曲率中心をもった略湾曲面形状の積層境界面を有している請求項１に記載の電磁式アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載の電磁式アクチュエータを用い、所定の制振対象に固定される取付部材を前記固定子に設ける一方、前記出力軸の軸方向外方に前記駆動対象部材としてのマス部材を配し、該マス部材を該固定子に対して弾性連結ゴムで連結せしめて、該マス部材を加振駆動するようにしたことを特徴とする能動型制振器。
【請求項５】
前記弾性連結ゴムを、前記マス部材の加振方向の両側においてそれぞれ該加振方向に対して略直交して広がる形態で配設した請求項４に記載の能動型制振器。
【請求項６】
前記可動子の軸方向両側に前記出力軸を一対設けると共に、それら一対の出力軸の軸方向外方にそれぞれ前記マス部材を配して、これら各マス部材を前記固定子に対して前記弾性連結ゴムでそれぞれ連結することにより、該各マス部材を同時に加振駆動するようにした請求項４又は５に記載の能動型制振器。
【請求項７】
相互に連結されることにより振動伝達系を構成する一方の部材に取り付けられる第一の取付部材と他方の部材に取り付けられる第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、該本体ゴム弾性体によって壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された受圧室を形成すると共に、該受圧室の壁部の別の一部を加振部材で構成し、該加振部材に加振力を及ぼすアクチュエータを設けて、該アクチュエータで該加振部材を加振駆動することにより該受圧室の圧力を能動的に制御するようにした流体封入式能動型マウントにおいて、
前記アクチュエータとして請求項１乃至３の何れかに記載の電磁式アクチュエータを用いて、前記固定子を前記第二の取付部材によって支持せしめる一方、前記加振部材を前記駆動対象部材として、該加振部材を加振駆動するようにしたことを特徴とする流体封入式能動型マウント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイルへの通電によって生ぜしめられる磁界の作用で可動子を駆動せしめる電磁式アクチュエータと、それを用いた能動型防振装置に係り、特に自動車のエンジンマウントやボデーマウント，制振器などの防振装置において好適に採用される電磁式アクチュエータおよびそれを用いた能動型防振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、振動伝達系を構成する部材間に介装される防振支持体や防振連結体、或いは防振すべき振動部材に対して装着される制振装置などの防振装置の一種として、防振対象部材や防振装置に加振力を及ぼすことにより、防振すべき振動を積極的乃至は相殺的に低減せしめるようにした能動型防振装置が知られている。例えば、特許文献１（特開平９−４９５４１号公報）に記載のものが、それである。
【０００３】
このような能動型防振装置では、加振力を発生するアクチュエータが必要であり、かかるアクチュエータにおいては、発生加振力に関して周波数や位相の高度の制御性が要求される。
【０００４】
そこで、能動型防振装置に採用される防振用アクチュエータとしては、上述の特許文献１や特許文献２（特開２０００−２８３２１４号公報）にも記載されているように、一般に、固定子に組み付けたコイルへの通電によって生ぜしめられる磁力や電磁力乃至はローレンツ力等に基づいて駆動力が及ぼされる可動子を設けて、コイルへの通電によって可動子を軸方向に駆動する電磁式アクチュエータが、好適に採用される。このようなソレノイド型アクチュエータ等の電磁式アクチュエータは、軸方向に変位可能に配設された出力部材と可動子が連結ロッドで連結されることによって、出力部材を加振駆動せしめるようにされており、コイルへの通電を制御することによって、発生加振力を高度に制御することが可能とされている。
【０００５】
ところで、このような電磁式アクチュエータは、例えば防振用アクチュエータとして防振装置に適用される際には、防振効果を得るのに必要な出力を確保しつつ、可動子を１ｍｍ以下の振幅をもって数十Ｈｚ以上の高周波数域において加振駆動せしめることが要求される。そのために、固定子と可動子の間の隙間寸法を、１ｍｍ以下の単位で微小且つ高精度に管理することが必要となる。
【０００６】
しかしながら、電磁式アクチュエータ自体をいくら高精度に製造し得たとしても、それを用いて防振装置を構成するに際して、アクチュエータ自体に設定した精度を維持し難い。また、アクチュエータの作動時に軸直角方向成分をもった外力が及ぼされることにより、可動子と固定子が接触して負荷が大きくなり耐久性が悪化し易い。それ故に、従来構造のアクチュエータを用いた防振装置では、その出力特性が安定し難く、十分な耐久性も得られ難いという、問題の発生が懸念される場合があった。
【０００７】
具体的には、このような電磁式アクチュエータを用いた防振装置としては、特許文献１に記載されている如き能動型制振器や能動型マウント等が知られているが、アクチュエータによる駆動対象部材は、一般に、ゴム加硫成形体で弾性支持された加振部材やマス部材とされる。このような駆動対象部材の寸法精度には、ゴム加硫時の重合収縮や熱収縮等の影響から、アクチュエータ自体とは比較にならない程の公差（寸法誤差）が避けられない。それ故、このような駆動対象部材にアクチュエータを組み付けると、駆動対象部材における大きな寸法誤差がそのままアクチュエータの固定子と可動子の間に及ぼされることとなり、固定子に対して可動子が偏心したり傾斜したりして、固定子と可動子の相対位置が大きく狂ってしまう。その結果、目的とする出力特性ひいては防振特性が安定して得られ難いという問題や、固定子と可動子の干渉に起因する耐久性の低下が発生し易いという問題があったのである。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−４９５４１号公報
【特許文献２】特開２０００−２８３２１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ここにおいて、本発明は上述の如き事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、制振器やマウント等に組み込まれて用いられる場合でも、それ自体における初期の設定精度が有利に維持されて、目的とする出力特性と良好な耐久性が安定して発揮され得る、改良された構造の電磁式アクチュエータを提供することにある。
【００１０】
また、本発明は、そのような電磁式アクチュエータを用いて構成されることにより、目的とする制振性能や防振性能を有効に且つ安定して得ることの出来る、改良された構造の能動型制振器および流体封入式能動型マウントを提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以下、このような課題を解決するために為された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各態様において採用される構成要素は、可能な限り任意の組み合わせで採用可能である。また、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに限定されることなく、明細書全体および図面に記載されたもの、或いはそれらの記載から当業者が把握することの出来る発明思想に基づいて認識されるものであることが理解されるべきである。
【００１２】
（電磁式アクチュエータに関する本発明の態様１）
電磁式アクチュエータに関する本発明の態様１の特徴とするところは、固定子に対して軸方向に変位可能に組み付けられた可動子を備えており、それら固定子または可動子にコイルを組み付けると共に、該コイルの周囲にヨーク部材を組み付けて磁路を形成し、該コイルへの通電によって生ぜしめられる磁界の作用で該可動子の軸方向に及ぼされる駆動力を、該可動子に設けられた出力軸を通じて外部に取り出して所定の駆動対象部材に作用せしめるようにした電磁式アクチュエータにおいて、前記可動子の前記出力軸の軸方向で積層された積層ゴムを該可動子から前記駆動対象部材への駆動力の伝達経路上に設けて、該積層ゴムを介して、前記コイルへの通電に伴って該可動子に及ぼされる駆動力が該積層ゴムの重ね合わせ方向に伝達されて該駆動対象部材に作用せしめられるようにした電磁式アクチュエータにある。
【００１３】
このような本態様に従う構造とされた電磁式アクチュエータにおいては、可動子と駆動対象部材の間に積層ゴムが配されていることから、例えば駆動対象部材と出力軸の製造上の寸法誤差やアクチュエータの能動型防振装置や能動型制振器への取り付け時における駆動対象部材と出力軸の軸ずれが、仮に発生した場合においても、駆動対象部材の駆動作動不良やアクチュエータにおける損傷等が効果的に防止される。
【００１４】
また、積層ゴムには、積層方向（重ね合わせ方向）のばね剛性が、それに直交する面方向（積層間の境界面方向）に比して非常に大きいという特徴がある。このような特徴を巧く利用して、積層方向が出力軸による駆動方向となるようにされていることにより、アクチュエータの出力（駆動力）が駆動対象部材に対して効率的に伝達されることとなる。
【００１５】
一方、外部から入力される力は、軸直角方向では、ばね定数の小さい積層ゴムにおけるゴム層の弾性変形に基づいて有利に吸収される。その結果、可動子と固定子の間への軸直角方向の外力の作用が抑えられることとなり、外力に起因する可動子と固定子における大きな偏心（軸直角方向変位）や傾き（こじり方向変位）が軽減される。それ故、特に問題となり易いアクチュエータ内部の部材間の干渉も防止されて、アクチュエータ自体の耐久性や出力特性の改善が実現される。なお、本発明において特に好適に採用される積層ゴムは、所定厚さのシート状のゴム弾性体からなるゴム層を、該ゴム弾性体よりも硬質の合成樹脂材料や金属材料等からなる板状の拘束プレートを介して複数層重ね合わせて固着した構造とされる。そこにおいて、各ゴム層および拘束プレートは、略全体に亘って厚さ寸法が略一定とされたものが一層望ましい。
【００１６】
（電磁式アクチュエータに関する本発明の態様２）
電磁式アクチュエータに関する本発明の態様２の特徴とするところは、本発明の前記態様１に係る電磁式アクチュエータにおいて、前記積層ゴムが、前記出力軸の軸方向に対して直交して広がる略平坦面形状の積層境界面を有していることにある。
【００１７】
このような本態様においては、軸方向の駆動力が平坦面形状の積層境界面を介して伝達されることとなって、積層ゴムの軸方向の応力が軽減されることから、耐久性能が一層向上される。
【００１８】
（電磁式アクチュエータに関する本発明の態様３）
電磁式アクチュエータに関する本発明の態様３の特徴とするところは、本発明の前記態様１に係る電磁式アクチュエータにおいて、前記積層ゴムが、前記出力軸の中心軸上に曲率中心をもった略湾曲面形状の積層境界面を有していることにある。
【００１９】
このような本態様においては、略湾曲面形状の積層境界面を備えた積層ゴムの弾性変形に基づいて、首振りのような変位がスムーズに許容されて、出力軸の抵抗力が一層効果的に抑えられる。特に本態様では、横力の入力方向が一定方向に定まり難い防振装置等に対して有利に適用され得る。
【００２０】
（能動型制振器に関する本発明の態様１）
能動型制振器に関する本発明の態様１の特徴とするところは、本発明の前記態様１乃至３の何れかに係る電磁式アクチュエータを用い、所定の制振対象に固定される取付部材を前記固定子に設ける一方、前記出力軸の軸方向外方に前記駆動対象部材としてのマス部材を配し、該マス部材を該固定子に対して弾性連結ゴムで連結せしめて、該マス部材を加振駆動するようにした能動型制振器にある。
【００２１】
このような本態様に従う構造とされた能動型制振器においては、前記態様１乃至３の何れかに係る積層ゴムを備えたアクチュエータが採用されていることによって、軸方向の加振力が効率的に伝達されることに加えて、軸直角方向の力にかかる抵抗力が抑えられ、その結果、所期の制振効果が安定して得られる。
【００２２】
（能動型制振器に関する本発明の態様２）
能動型制振器に関する本発明の態様２の特徴とするところは、本発明の前記態様１に係る能動型制振器において、前記弾性連結ゴムを、前記マス部材の加振方向の両側においてそれぞれ該加振方向に対して略直交して広がる形態で配設したことにある。
【００２３】
このような本態様においては、一対の弾性連結ゴムのばね剛性がこじり方向変位を有効に抑えるように作用することとなり、それによって、制振効果の更なる安定化が図られる。
【００２４】
（能動型制振器に関する本発明の態様３）
能動型制振器に関する本発明の態様３の特徴とするところは、本発明の前記態様１又は２に係る能動型制振器において、前記可動子の軸方向両側に前記出力軸を一対設けると共に、それら一対の出力軸の軸方向外方にそれぞれ前記マス部材を配して、これら各マス部材を前記固定子に対して前記弾性連結ゴムでそれぞれ連結することにより、該各マス部材を同時に加振駆動するようにしたことにある。
【００２５】
このような本態様においては、制振器の重量バランス、延いては可動子の変位が安定とされることに基づいて、目的とする制振効果がより安定して得られる。また、例えば各マス部材の共振周波数や両マス部材を組み合わせた共振周波数を制振すべき振動の周波数域に設定することによって、複数の制振すべき振動に対する制振効果が有利に得られる。
【００２６】
（流体封入式能動型マウントに関する本発明）
流体封入式能動型マウントに関する本発明の特徴とするところは、相互に連結されることにより振動伝達系を構成する一方の部材に取り付けられる第一の取付部材と他方の部材に取り付けられる第二の取付部材を本体ゴム弾性体で連結する一方、該本体ゴム弾性体によって壁部の一部が構成されて非圧縮性流体が封入された受圧室を形成すると共に、該受圧室の壁部の別の一部を加振部材で構成し、該加振部材に加振力を及ぼすアクチュエータを設けて、該アクチュエータで該加振部材を加振駆動することにより該受圧室の圧力を能動的に制御するようにした流体封入式能動型マウントにおいて、前記アクチュエータとして本発明の前記態様１乃至３の何れかに係る電磁式アクチュエータを用いて、前記固定子を前記第二の取付部材によって支持せしめる一方、前記加振部材を前記駆動対象部材として、該加振部材を加振駆動するようにした流体封入式能動型マウントにある。
【００２７】
このような本態様に従う構造とされた流体封入式能動型マウントにおいては、前記態様１乃至３の何れかに係る積層ゴムを備えたアクチュエータが採用されていることよって、例えば駆動対象部材と可動子（出力軸）の製造上の寸法誤差やアクチュエータの取り付け時における駆動対象部材と出力軸の軸ずれが、仮に発生した場合においても、駆動対象部材と出力軸の干渉に起因する大きな当接力や摺接抵抗が、積層ゴムにおけるゴム層の弾性変形に基づき回避される。しかも、軸方向のばね剛性が大きいと共に、軸直角方向のばね剛性が小さいという積層ゴムの特性を利用して、軸方向の加振力が効率的に伝達されると共に、軸直角方向の外力にかかる抵抗力が抑えられる。それ故、所期の防振効果が安定して得られるのである。
【発明の効果】
【００２８】
上述の説明から明らかなように、本発明に従う構造とされた電磁式アクチュエータにおいては、駆動力の伝達経路上に配される積層ゴムの特性に基づいて、例えば駆動対象部材と可動子の干渉に起因する大きな当接力や摺接抵抗が抑えられることに加え、軸方向の加振力が効率的に伝達されると共に、軸直角方向の抵抗力が低減される。従って、このようなアクチュエータを用いた能動型マウントや能動型制振器にあっては、高精度の駆動制御が安定して実現されるのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００３０】
先ず、図１には、本発明の一実施形態としての電磁加振器１０が示されている。この電磁加振器１０は、径方向に離隔して互いに同軸的に配されたインナ軸部材としての内筒金具１２とアウタ筒部材としての外筒金具１４を備えており、それら外筒金具１４と内筒金具１２に形成されるアウタ側磁極としての外側磁極部１６とインナ側磁極としての内側磁極部１８の間における磁力作用に基づいて、内筒金具１２と外筒金具１４の間に軸方向の変位力が及ぼされるようになっている。なお、このような電磁加振器１０の基本的な構造は、本願出願人が先に出願した特願２０００−２９７４０４号（特開２００２−１０６６３３号公報）の明細書等にも開示されていることから、その詳細な説明は割愛する。また、以下の説明において、特に断りのない限り、上下方向は、駆動力の伝達方向となる図１〜６中の上下方向をいう。
【００３１】
より詳細には、内筒金具１２は、小径厚肉の略円筒形状を有しており、軸方向に略一定の断面積で延びる内孔２０を備えていると共に、鉄等の強磁性材を用いて形成されている。また、内筒金具１２の軸方向両端部が、それぞれ中央部分よりも外径寸法が小さくされた第一の嵌着筒部２２とされている。それによって、内筒金具１２の軸方向中間部分には、径方向外方に円環状に広がる二つの第一段差面２４，２４が、軸方向に離隔して形成されている。また、各第一の嵌着筒部２２の先端部分には、第一の嵌着筒部２２の径寸法よりも小さい第二の嵌着筒部２６が形成されている。各第一の嵌着筒部２２と第二の嵌着筒部２６の間には、円環状の第二段差面２８が、形成されている。また、下方の第二の嵌着筒部２６の中央部分には、ボルト部３０が形成されている。ボルト部３０には、ナット３２が螺嵌されている。
【００３２】
また、内筒金具１２の径方向外方には、外筒金具１４が配設されている。外筒金具１４は、大径薄肉の略円筒形状を有していると共に、非磁性材を用いて形成されている。また、外筒金具１４の軸方向両端部には、板ばね３４が配されている。これら上下の板ばね３４，３４は、薄肉の円環板形状を有していると共に、ステンレス鋼等の非磁性材を用いて形成されている。また、板ばね３４は、軸方向の弾性変形を容易とするために、中央から外周側に向かって螺旋状に広がる孔３６が貫設されている。
【００３３】
上板ばね３４には、上側の第二の嵌着筒部２６が内挿されている。また、上板ばね３４の内周縁部が、内筒金具１２の第二段差面２８に載置されていると共に、内筒金具１２に固定された後述する固着突部７０と第二の嵌着筒部２６によって挟持されていることに基づいて、内筒金具１２に固定されている。
【００３４】
下板ばね３４には、下側の第二の嵌着筒部２６が内挿されていると共に、リング状のスペーサ３８が、第二の嵌着筒部２６に外嵌固定されている。それによって、下板ばね３４の内周縁部が、第二段差面２８とスペーサ３８の間に配されて、内筒金具１２に固定されている。
【００３５】
また、外筒金具１４の内側の軸方向中央部分には、円筒形状の永久磁石４０が配設されている。この永久磁石４０の軸方向両側には、鉄等の強磁性材からなる円筒形状の外側ヨーク部材４２ａ，４２ｂが配設されている。外側ヨーク部材４２ａ, ４２ｂの軸方向中央部分には、径方向内方に向かって凸部４４ａ，４４ｂが突設されている。更に、外側ヨーク部材４２ａの軸方向下方は、上端部よりも内径寸法が大きい固定部４６ａとされており、それによって、外側ヨーク部材４２ａの下端部分には、内周面上に段差面４８ａが形成されている。同様に、外側ヨーク部材４２ｂの軸方向上方に固定部４６ｂが形成されていることに基づいて、外側ヨーク部材４２ｂの内周面上には、段差面４８ｂが形成されている。
【００３６】
また、永久磁石４０が、両外側ヨーク部材４２ａ，４２ｂの段差面４８ａ，４８ｂの間に挟み込まれて保持されている。永久磁石４０の外周面が、固定部４６ａ，４６ｂの内周面に当接されていると共に、永久磁石４０の内周面が、凸部４４ａ，４４ｂの突出先端面と略同じ径方向位置に位置せしめられている。更に、固定部４６ａ，４６ｂが軸方向両端面で相互に当接されている。そして、これら凸部４４ａ，４４ｂと永久磁石４０の内周縁部によって、軸方向に互いに離隔位置せしめられる３つの外側磁極部１６ａ，１６ｂ、１６ｃが構成されている。
【００３７】
また、本実施形態の永久磁石４０は、例えば内周面がＮ極となり、外周面がＳ極となるように着磁されている。その結果、永久磁石４０のＳ極側に当接されている外側ヨーク部材４２ａ，４２ｂの凸部４４ａ，４４ｂによって形成されている外側磁極部１６ａ，１６ｂがＳ極とされていると共に、永久磁石４０の内周縁部によって形成された外側磁極部１６ｃがＮ極とされている。
【００３８】
また、上下の板ばね３４，３４の外周縁部には、それぞれ、軸方向外方から環状のスペーサ５０が重ね合わせられている。また、外筒金具１４の軸方向両端部分が、径方向内方に屈曲されていることにより、上スペーサ５０と上板ばね３４の外周縁部が、外側ヨーク部材４２ａと外筒金具１４の上端部分に挟持されていると共に、下スペーサ５０と下板ばね３４の外周縁部が、外側ヨーク部材４２ｂと外筒金具１４の下端部分に挟持されている。これにより、内筒金具１２と外筒金具１４が、軸方向両端部分で一対の板ばね３４，３４によって相互に弾性連結されて、軸直角方向での相対的な変位が抑制されていると共に、軸方向の相対的な変位が許容されている。
【００３９】
さらに、内筒金具１２の軸方向中央部分には、周方向に巻回された円環形状のコイル５２が設けられている。更にまた、内筒金具１２には、軸方向の上方端部から中央部分に至る長さで直線的に延びる切欠き５４が形成されている。そして、この切欠き５４から、内筒金具１２の内孔２０にコイル５２の給電用リード線５６が配設されており、内筒金具１２の軸方向下端から給電用リード線５６が取り出されている。
【００４０】
更にまた、コイル５２は、電気絶縁性のボビン５８によって被覆されている。ボビン５８は、中空の円環形状とされており、軸方向の上下の両端部分が、中央部分よりも外径寸法が小さい固定部６０とされている。それによって、ボビン５８の軸方向中央部分には、外周面上に二つの段差面６２，６２が形成されている。ボビン５８が内筒金具１２に外嵌固定されていることに基づき、コイル５２が内筒金具１２の外周面に固定されている。
【００４１】
さらに、ボビン５８の軸方向両側の固定部６０，６０には、円環形状の第一の内側ヨーク部材６４ａ，６４ｂが、軸方向外方から外嵌固定されている。また、ボビン５８の軸方向両側には、円環ブロック形状を有する第二の内側ヨーク部材６６ａ，６６ｂが配設されている。更に、第二の内側ヨーク部材６６ａ，６６ｂが、第一の嵌着筒部２２に外嵌されて、段差面２４に当接して位置決めされていると共に、ボビン５８の軸方向端面および第一の内側ヨーク部材６４ａ，６４ｂの軸方向端面に当接されている。本実施形態では、内筒金具１２と第一の内側ヨーク部材６４ａ，６４ｂと第二の内側ヨーク部材６６ａ，６６ｂによって内側ヨーク６８が構成されていると共に、該内側ヨーク６８の外周部分によって、軸方向に離隔位置する二つの内側磁極部１８ａ，１８ｂが構成されている。これら第一及び第二の内側ヨーク部材６４，６６からなる内側ヨーク６８は、鉄等の強磁性材を用いて形成されている。
【００４２】
また、内筒金具１２の上端部には、固着突部７０が固着されている。固着突部７０は、略円柱形状を呈していると共に、その軸方向下端部がボルト構造とされている。そして、固着突部７０の下端部が内筒金具１２の内孔２０の上端部に形成された雌ねじ部に螺着されていることによって、固着突部７０が、内筒金具１２の中心軸上に位置せしめられて、上方に向かって突設されている。なお、固着突部７０の軸方向中間部分が、内筒金具１２の第二の嵌着筒部２６と第一の嵌着筒部２２に載置された上板ばね３４に載置されている。そして、固着突部７０の締め付け力に基づいて、上板ばね３４の内周縁部が固着突部７０と内筒金具１２の第一の嵌着筒部２２に挟圧保持されている。
【００４３】
さらに、固着突部７０の先端部分には、積層ゴム７２が設けられている。積層ゴム７２は、薄肉の略矩形平板形状を有するゴム層としてのゴム弾性板７４と拘束プレートとしての金属板７６の各複数が軸方向に交互に重ね合わせられて、それぞれ、固着された構造とされている。ゴム弾性板７４は、天然ゴムやスチレン−ブタジエンゴム等のゴム材料を用いて形成されている。また、金属板７６は、アルミ合金や鉄等の金属材を用いて形成されている。本実施形態では、複数のゴム弾性板７４が、複数の金属板７６と一体加硫成形されることによって、すべて同じ材料を用いて形成されているが、要求される製作性や性能等に応じて、異なる材料のゴム弾性板の複数を、それぞれ別体形成した後に、それらの間に金属板７６を挟んで軸方向に交互に重ね合わせて接着剤等で固着することにより、ゴム弾性板の複数がそれぞれ異なる材料を用いて形成されるようにしても良い。また、複数の金属板７６の材料が、すべて同じとされるか、それぞれ異ならされるかは、限定されるものでない。
【００４４】
特に本実施形態では、ゴム弾性板７４や金属板７６が電磁加振器１０（内筒金具１２）の軸方向に直交する方向に広がる平坦面形状とされていることによって、積層ゴム７２が、内筒金具１２の軸方向に対して直交して広がる略平坦面形状の積層境界面を有している。
【００４５】
また、積層ゴム７２の静的ばね定数が、ゴム弾性板７４の材料や厚さ寸法等を考慮して、好ましくはＫｓ（１）／Ｋｓ（２）≧１０、より好ましくはＫｓ（１）／Ｋｓ（２）≧１５とされる。但し、Ｋｓ（１）は、積層ゴム７２の全体としての軸方向（積層方向）の静的ばね定数であり、Ｋｓ（２）は、積層ゴム７２の全体としての軸直角方向の静的ばね定数である。
【００４６】
また、積層ゴム７２の上端部と下端部は、何れも金属板７６とされている。その上側金属板７６の中央部分には、固定先端部７７が設けられている。固定先端部７７は、駆動対象部材に対する固定の形態や作業スペース等に応じて、適宜に設定変更されるものであり、特に限定されるものでない。本実施形態の固定先端部７７は、ナット構造とされており、駆動対象部材に固設された固定ボルトに対して螺着固定されるようになっている。
【００４７】
さらに、積層ゴム７２の下側金属板７６の中央部分には、嵌着部７８が設けられている。嵌着部７８は軸方向下方に向かって開口する逆カップ形状とされている。また、嵌着部７８の内径寸法が、固着突部７０の先端部分の外径寸法よりも大きくされている。そして、固着突部７０が嵌着部７８に圧入されたり、或いは嵌着部７８に内挿されて嵌着部７８にかしめ加工が施されること等により、固定先端部７７を備えた積層ゴム７２が、内筒金具１２の中心軸上において内筒金具１２の上端部に固着されている。
【００４８】
このような構造とされた電磁加振器１０においては、円環状のコイル５２に対して給電用リード線５６を通じて給電すると、電流の磁気作用によって磁界が発生し、コイル５２が電磁石として機能することにより、内側ヨーク６８ａ，６８ｂ、延いては内側磁極部１８ａ，１８ｂに対してコイル５２への通電方向に応じた磁極が与えられるようになっている。
【００４９】
具体的には、例えばコイル５２に対して交番電流や脈動電流等を通電し、或いは通電をＯＮ／ＯＦＦすること等で一方向に乃至は逆方向に通電することにより、内側磁極部１８ａに一方の磁極（Ｎ極またはＳ極）が与えられると共に、内側磁極部１８ｂに他方の磁極（Ｓ極またはＮ極）が与えられる。その結果、内側磁極部１８ａ，１８ｂと外側磁極部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの間において、同極間に生ぜしめられる排斥力と異極間に生ぜしめられる吸引力に基づいて、内筒金具１２と外筒金具１４が軸方向に相対的に変位せしめられることとなる。
【００５０】
従って、内筒金具１２の上端部に設けられた固定先端部７７が、駆動対象部材に固定されると共に、外筒金具１４が適当な部材乃至は部位に支持せしめられることによって、前述の如き磁界の作用に基づく内筒金具１２と外筒金具１４の相対的な変位量を利用して、駆動対象部材に軸方向の加振力を及ぼすことが可能となる。
【００５１】
上述の説明からも明らかなように、本実施形態では、磁路を備えた固定子が、外筒金具１４や永久磁石４０、外側ヨーク部材４２ａ，４２ｂを含んで構成されていると共に、可動子が、内筒金具１２や第一及び第二の内側ヨーク部材６４，６６（内側ヨーク６８）を含んで構成されている。また、可動子に設けられる出力軸が、固着突部７０や固定先端部７７、嵌着部７８を含んで構成されている。それによって、積層ゴム７２が、可動子から駆動対象部材への駆動力の伝達経路上に設けられている。
【００５２】
ところで、このような構造とされた電磁加振器１０は、例えば図２に示される流体封入式能動型マウントの一種である自動車用防振装置としての自動車用エンジンマウント８０に対して好適に採用される。かかるエンジンマウント８０は、互いに所定距離を隔てて配された第一の取付部材としての第一の取付金具８２と第二の取付部材としての第二の取付金具８４が、それらの間に介装された本体ゴム弾性体８６によって弾性的に連結された構造とされている。また、第一の取付金具８２が振動伝達系を構成する一方の部材としての図示しないパワーユニットに取り付けられると共に、第二の取付金具８４が振動伝達系を構成する他方の部材としての図示しない車両ボデーに取り付けられることによって、マウント８０が、振動伝達系を構成するパワーユニットと車両ボデーの間に介装されて、パワーユニットを車両ボデーに対して防振支持せしめるようになっている。そのような装着状態下、マウント８０には、図２中の上下方向となるマウント中心軸方向で第一の取付金具８２と第二の取付金具８４の間にパワーユニットの分担荷重が及ぼされることにより、第一の取付金具８２と第二の取付金具８４が相互に接近する方向に本体ゴム弾性体８６が弾性変形せしめられるようになっている。更に、それら第一の取付金具８２と第二の取付金具８４の間には、両取付金具８２，８４が相互に接近／離隔する方向（図２中、上下）に、防振すべき主たる振動が入力されるようになっている。
【００５３】
詳細には、第一の取付金具８２は、逆向きの円錐台形状を有している。また、第一の取付金具８２の大径側端部には、外周面上に突出する円環板状のストッパ部８８が一体形成されている。更に、大径側端部から上方に向かって螺着部９０が一体形成されている。螺着部９０が図示しない固定ボルトを介してパワーユニット側の取付部材に固着されることによって、第一の取付金具８２が、パワーユニットに取り付けられるようになっている。
【００５４】
一方、第二の取付金具８４は、大径の略円筒形状を有している。第二の取付金具８４の軸方向中間部分には、段部９２が形成されており、この段部９２を挟んで軸方向上側が大径部９４とされている一方、軸方向下側が小径部９６とされている。なお、大径部９４の内周面には、薄肉のシールゴム層９８が被着形成されている。更に、小径部９６の下側開口端部付近には、可撓性膜としての薄肉のゴム膜からなるダイヤフラム１００が配設されており、かかるダイヤフラム１００の外周縁部が第二の取付金具８４の小径部９６の内周面に加硫接着されることで、第二の取付金具８４の軸方向下側開口部が流体密に覆蓋されている。また、ダイヤフラム１００の中央部分には、略有底逆カップ形状の連結金具１０２が加硫接着されている。また、第二の取付金具８４の軸方向上方に離隔して、第一の取付金具８２が位置せしめられており、これら第一の取付金具８２と第二の取付金具８４が、本体ゴム弾性体８６で弾性的に連結されている。
【００５５】
本体ゴム弾性体８６は、全体として略円錐台形状を有しており、大径側端面にはすり鉢状の凹状面１０４が形成されている。また、本体ゴム弾性体８６の小径側端面には、第一の取付金具８２が、軸方向に差し入れられた状態で加硫接着されている。なお、第一の取付金具８２のストッパ部８８は、本体ゴム弾性体８６の小径側端面に重ね合わされて、本体ゴム弾性体８６に覆われるようにして加硫接着されていると共に、ストッパ部８８から上方に突出する当接ゴム１０６が、本体ゴム弾性体８６と一体的に形成されている。また、本体ゴム弾性体８６の大径側外周面には、大径の略円筒形状を有する金属スリーブ１０８が加硫接着されている。
【００５６】
かかる本体ゴム弾性体８６の大径側外周面に加硫接着された金属スリーブ１０８が、第二の取付金具８４の大径部９４に嵌め込まれて、大径部９４に縮径加工が施されることにより、本体ゴム弾性体８６が第二の取付金具８４に対して流体密に嵌着固定される。これにより、第二の取付金具８４の軸方向上側開口部が、本体ゴム弾性体８６によって流体密に覆蓋されている。
【００５７】
また、第二の取付金具８４内における本体ゴム弾性体８６とダイヤフラム１００の間には、外部空間から流体密に遮断されて、非圧縮性流体が封入された流体封入領域が形成されている。封入される非圧縮性流体としては、例えば、水やアルキレングリコール、ポリアルキレングリコール、シリコーン油等が何れも採用可能であり、特に、流体の共振作用に基づく防振効果を有効に得るために、粘度が０．１Ｐａ・ｓ以下の低粘性流体が好適に採用される。
【００５８】
さらに、第二の取付金具８４には、仕切部材１１０とオリフィス部材１１２が組み込まれており、本体ゴム弾性体８６とダイヤフラム１００の対向面間に配設されている。
【００５９】
仕切部材１１０は、軸直角方向に略円環形状に広がる支持ゴム弾性体１１４を有しており、この支持ゴム弾性体１１４の中央部分に加振部材としての加振板１１６が加硫接着されている。加振板１１６は、浅底の略逆カップ形状を有しており、その外周縁部が、支持ゴム弾性体１１４の内周縁部に加硫接着されている。なお、加振板１１６の上部には、支持ゴム弾性体１１４が回り込んで肉厚とされた緩衝部１１８が形成されている。
【００６０】
また、支持ゴム弾性体１１４の外周縁部には、円環形状の外周金具１２０が加硫接着されており、かかる外周金具１２０には、周方向に所定長さで延びる周溝１２２が形成されている。そして、この外周金具１２０の軸方向上側開口部が、径方向外方に広がるフランジ状部１２４とされて、フランジ状部１２４が第二の取付金具８４の段部９２に重ね合わされて、段部９２と金属スリーブ１０８の間で挟圧固定されている。これにより、仕切部材１１０は、本体ゴム弾性体８６とダイヤフラム１００の対向面間の中間部分で軸直角方向に広がって配設されており、第二の取付金具８４の内部を軸方向両側に二分せしめている。それによって、仕切部材１１０を挟んだ上側には、壁部の一部が本体ゴム弾性体８６で構成されて振動入力時に本体ゴム弾性体８６の弾性変形に基づく圧力変動が生ぜしめられる振動作用室１２６が形成されている。一方、仕切部材１１０の下側には、壁部の一部がダイヤフラム１００で構成されて容積変化が容易に許容される平衡室１２８が形成されている。
【００６１】
また、オリフィス部材１１２は、上下の薄肉プレート１３０，１３２が互いに重ね合わされることによって構成されており、その外周縁部が、外周金具１２０のフランジ状部１２４に重ね合わされて、フランジ状部１２４と本体ゴム弾性体８６の大径側端部との間で挟持されることにより、外周金具１２０を介して第二の取付金具８４によって固定的に支持されている。これにより、オリフィス部材１１２は、本体ゴム弾性体８６と仕切部材１１０の対向面間の中間部分で軸直角方向に広がって配設されており、振動作用室１２６を軸方向両側に二分せしめている。その結果、オリフィス部材１１２を挟んだ上側には、壁部の一部が本体ゴム弾性体８６で構成された受圧室１３４が形成されている。一方、オリフィス部材１１２の下側には、壁部の一部が加振板１１６で構成された加振室１３６が形成されている。
【００６２】
また、オリフィス部材１１２の外周側には、上下の薄肉プレート１３０，１３２の重ね合わせ面間を周方向に連続して延びる第一のオリフィス通路１３８が形成されている。第一のオリフィス通路１３８の一方の端部が受圧室１３４に接続されていると共に、他方の端部が加振室１３６に接続されていることにより、これら受圧室１３４と加振室１３６が、第一のオリフィス通路１３８を通じて相互に連通せしめられている。第一のオリフィス通路１３８は、例えば、３０〜４０Ｈｚ程度のアイドリング振動等の中周波数域にチューニングされている。
【００６３】
さらに、オリフィス部材１１２の外周側が仕切部材１１０の外周縁部に重ね合わせられて、外周金具１２０の外周縁部に形成された周溝１２２がオリフィス部材１１２で覆蓋されていることに基づき、第二のオリフィス通路１４０が形成されている。第二のオリフィス通路１４０の一方の端部が、加振室１３６と第一のオリフィス通路１３８を通じて受圧室１３４に接続されていると共に、他方の端部が平衡室１２８に接続されている。これにより、受圧室１３４と平衡室１２８が、第二のオリフィス通路１４０を通じて相互に連通せしめられている。第二のオリフィス通路１４０は、例えば１０Ｈｚ前後のエンジンシェイク等の低周波数域にチューニングされている。
【００６４】
また、第二の取付金具８４には、略段付逆カップ形状のストッパ金具１４２が固着されている。即ち、第一の取付金具８２側から第二の取付金具８４がストッパ金具１４２に挿し入れられて、第二の取付金具８４（金属スリーブ１０８）の上端部がストッパ金具１４２の段差部に係止されていると共に、第二の取付金具８４の大径部９８がストッパ金具１４２に圧入固定されている。また、ストッパ金具１４２の上底部と第一の取付金具８２のストッパ部８８が、当接ゴム１０６を挟んで軸方向に離隔して対向位置せしめられている。第一の取付金具８２と第二の取付金具８４の間に所定の大きさの振動が入力されて、第一の取付金具８２のストッパ部１４２が当接ゴム１０６を介してストッパ金具１４２に当接することで、第一の取付金具８２と第二の取付金具８４における互いに軸方向に離れる方向（リバウンド方向）の相対的な変位量が緩衝的に制限されるようになっている。
【００６５】
また、ストッパ金具１４２には、外周面上に突出して下方に延び出す複数の脚部１４４が固着されている。これら脚部１４４が図示しない自動車のボデーの取付部材に固定されることによって、第二の取付金具８４が車両ボデーに取り付けられるようになっている。
【００６６】
而して、前述の電磁加振器１０が、本体ゴム弾性体８６とダイヤフラム１００の間に受圧室１３４や平衡室１２８、加振板１１６等を備えたマウント本体１４６に組み付けられている。
【００６７】
具体的には、外筒金具１４の外周面に固着された環状の嵌着リング１４８が、第二の取付金具８４の下方開口部から嵌め入れられていると共に、第二の取付金具８４の下端縁部に形成されたかしめ固定部１５０にかしめ加工が施されて、嵌着リング１４８にかしめ固定されている。これにより、第二の取付金具８４の下側開口部が、電磁加振器１０で覆蓋されていると共に、電磁加振器１０の外筒金具１４が、マウント本体１４６の第二の取付金具８４に固定されている。
【００６８】
また、電磁加振器１０の出力軸の先端に設けられる固定先端部７７’は、マウント本体１４６への組み付けに際して、小径の円柱形状とされていると共に、中央上端部分にかしめ部１５２が一体的に設けられた構造とされている。
【００６９】
また、ダイヤフラム１００の中央部分に固着された連結金具１０２と仕切部材１１０の中央部分に固着された加振板１１６が軸方向に密着状態で重ね合わせられている。更に、加振板１１６と連結金具１０２の相互に重ね合わせられた中央部分において、出力軸（固定先端部７７’）の先端に形成されたかしめ部１５２が挿通されていると共に、かしめ部１５２にかしめ加工が施されている。これにより、加振板１１６と連結金具１０２が密着した状態で、電磁加振器１０の出力軸が、連結金具１０２を貫通して加振板１１６に固定されている。なお、連結金具１０２には、ダイヤフラム１００と一体形成された挟圧ゴム層１５４が、略全周に亘って被着せしめられている。それによって、加振板１１６と連結金具１０２の重ね合わせ面間や連結金具１０２と固定先端部７７’の重ね合わせ面間が、流体密（気密や液密を含む）にシールされている。
【００７０】
従って、コイル５２への通電によって、電磁加振器１０の出力軸に作用せしめられる駆動力が加振板１１６に対して軸方向に及ぼされることに基づいて、加振板１１６が、軸方向に変位せしめられて、電磁加振器１０の駆動対象部材として機能している。また、駆動方向となる内筒金具１２の軸方向にゴム弾性板７４と金属板７６の複数が交互に積層されてなる積層ゴム７２が、内筒金具１２から加振板１１６への駆動力の伝達経路上に配されている。
【００７１】
このような構造とされたエンジンマウント８０は、コイル５２への通電を制御することが可能であり、例えば、パワーユニットのエンジン点火信号を参照信号とすると共に、防振すべき部材の振動検出信号をエラー信号として、適応制御等のフィードバック制御を行なうことによって、或いは予め設定された制御データに基づくマップ制御を利用すること等によって通電制御することが出来る。これにより、可動子に磁力を作用せしめて軸方向に加振駆動せしめると共に、コイル５２への通電停止下で支持ゴム弾性体１１４の復元力を利用することにより、加振板１１６に対して、防振すべき振動に対応した駆動力を作用せしめて、加振室１３６の内圧制御による能動的防振効果を得ることが出来る。
【００７２】
そこにおいて、本実施形態の電磁加振器１０にあっては、複数のゴム弾性板７４と金属板７６が積層されてなる積層ゴム７２が、内筒金具１２から加振板１１６への駆動力の伝達経路上に配設されている。これにより、例えば電磁加振器１０またはマウント本体１４６の各構成部材における寸法誤差や支持ゴム弾性体１１４の不規則な弾性変形等によって生じる内筒金具１２の傾きが、積層ゴム７２におけるゴム弾性板７４の弾性変形に基づいて抑えられる。それ故、かかる電磁加振器１０を備えたエンジンマウント８０においては、内筒金具１２と外筒金具１４の相対的な位置が高度に維持されて、所期の加振力が安定して得られることに基づき、防振効果が有利に発揮されるのである。
【００７３】
次に、上述の如き構造とされた電磁加振器１０を採用した能動型制振器１６０の具体例を、図３に示す。この能動型制振器１６０は、取付部材としての取付金具１６２とマス部材としてのマス金具１６４が弾性連結体１６６を介して相互に弾性連結された構造とされている。取付金具１６２は、制振対象としての自動車ボデー等の振動体（図示せず）に取り付けられるようになっている。それによって、マス金具１６４をマス系とし、弾性連結体１６６をバネ系とする一つの振動系が構成されている。また、取付金具１６２には、本実施形態に係る電磁加振器１０が取り付けられており、この電磁加振器１０でマス金具１６４を加振制御することにより、能動的な制振効果が発揮されるようになっている。
【００７４】
より詳細には、取付金具１６２は、第一の支持筒金具１６８と第二の支持筒金具１７０を含んで構成されている。第一の支持筒金具１６８は、大径の略円筒形状を有している。また、第一の支持筒金具１６８の上端部には、径方向内方に向かって延びる係止部１７２が一体形成されている。更に、第一の支持筒金具１６８の上方開口部には、フランジ状部１７４を備えた円筒形状の固着金具１７６が溶接等により外嵌固定されている。
【００７５】
また、第一の支持筒金具１６８には、本実施形態の電磁加振器１０において固定子の一部を構成する外筒金具１４が、下方開口部から圧入されて、外筒金具１４の上端部が係止部１７２に当接された形態で、第一の支持筒金具１６８に固定されている。これにより、電磁加振器１０が第一の支持筒金具１６８に固定されていると共に、内筒金具１２が第一の支持筒金具１６８の中心軸上に位置せしめられて、内筒金具１２の上端に設けられた積層ゴム７２や固定先端部７７が、第一の支持筒金具１６８から上方に突出されている。
【００７６】
また、電磁加振器１０の給電用リード線５６が第一の支持筒金具１６８の下端開口部を通じて外部に取り出されている。更に、第一の支持筒金具１６８の下端開口部には、下蓋金具１７８がボルト固定されている。それによって、第一の支持筒金具１６８の下端開口部が覆蓋されて、電磁加振器１０の下側部分が外部空間から保護されている。
【００７７】
一方、第二の支持筒金具１７０は、大径の略円筒形状を有していると共に、その上端部付近の周壁部には、軸直角方向外方に略円環形状に広がる段部１８０が設けられている。更に、第二の支持筒金具１７０における軸方向両端部には、フランジ状部１８２ａ，１８２ｂが一体形成されている。
【００７８】
また、第二の支持筒金具１７０の内側には、径方向に所定距離を隔てて連結金具１８４が配設されている。連結金具１８４は、略裁頭円錐台形状を有していることによって、外周面がテーパ形状とされている。また、連結金具１８４の中央部分には、挿通孔１８６が軸方向に貫設されている。挿通孔１８６は、軸方向中央部分において軸直角方向に広がる段部１８８を挟んで、下方の径寸法が上方の径寸法よりも大きくされている。連結金具１８４は、その中心軸が第二の支持筒金具１７０の中心軸と略同一線上に位置せしめられるようにして、第二の支持筒金具１７０と径方向に離隔配置されている。また、連結金具１８４と第二の支持筒金具１７０の間には、弾性連結ゴム１９０が配されている。
【００７９】
弾性連結ゴム１９０は、略逆向き円錐台形状とされており、外周面が軸方向下方に向かって次第に小径化するテーパ状とされている。そして、この弾性連結ゴム１９０の小径側端面から上方に差し込まれた状態で、連結金具１８４が加硫接着されていると共に、弾性連結ゴム１９０の大径側端部外周面が、第二の支持筒金具１７０の軸方向中央部分の内周面に加硫接着されている。要するに、本実施形態では、弾性連結ゴム１９０が、第二の支持筒金具１７０と連結金具１８４を備えた一体加硫成形品として形成されている。また、弾性連結ゴム１９０には、大径側端面に開口する大径の凹所１９２が形成されている。
【００８０】
また、第一の支持筒金具１６８に固着されたフランジ状部１７４と第二の支持筒金具１７０の下端部に形成されたフランジ状部１８２ｂが、軸方向に相互に重ね合わせられて固定ボルトで相互に固定されている。これにより、第一の支持筒金具１６８と第二の支持筒金具１７０が、それらの中心軸が略同一線上に位置せしめられるようにして、相互に固定されている。
【００８１】
さらに、連結金具１８４の軸方向中央部分における段部１８８が、環状のスペーサ１９４を介して電磁加振器１０の固定先端部７７に重ね合わせられている。換言すると、固定先端部７７が、連結金具１８４の挿通孔１８６の下方から軸方向に嵌め入れられて、スペーサ１９４を介して連結金具１８４の段部１８８に当接されている。これら固定先端部７７のねじ孔（中心孔）やスペーサ１９４の中心孔、連結金具１８４の挿通孔１８６の小径部分は、略同じ径寸法とされており、略同一線上に、即ち電磁加振器１０（内筒金具１２）の中心線上に位置せしめられている。
【００８２】
また、第二の支持筒金具１７０の内側における弾性連結ゴム１９０の上方には、マス金具１６４が収容配置されている。マス金具１６４は、厚肉の略円板形状を有しており、鉄等の高比重材を用いて形成されている。また、マス金具１６４の外径寸法が、第二の支持筒金具１７０の内径寸法よりも小さくされている。更に、マス金具１６４の軸方向上端部と下端部の各中央部分には、外周面に雄ねじ部が刻設された螺着部１９６，１９８が突設されている。特に上側の螺着部１９６には、六角形状の係止溝２００が設けられて上方に向かって開口している。
【００８３】
そして、マス金具１６４が、第二の支持筒金具１７０の上方開口部から内挿されていると共に、マス金具１６４の下側螺着部１９８が、連結金具１８４とスペーサ１９４を貫通して電磁加振器１０の固定先端部７７に螺着固定されている。それによって、マス金具１６４が、取付金具１６２（第二の支持筒金具１７０）と弾性連結ゴム１９０を挟んで相互に弾性連結されていると共に、電磁加振器１０の出力軸の先端部分（固定先端部７７）に固着されている。
【００８４】
また、特に本実施形態では、マス金具１６４の上方に連結板ばね２０２が配されている。連結板ばね２０２は、薄肉の略円板形状を有していると共に、軸方向の変位が容易に許容されるばね鋼等の弾性を備えた金属材を用いて形成されている。また、連結板ばね２０２の中央には挿通孔２０４が貫設されている。そして、連結板ばね２０２が、挿通孔２０４を通じてマス金具１６４の上側の螺着部１９６に外挿されて、該螺着部１９６に外挿されたリング状のスペーサ２０６に重ね合わせられていると共に、固定ナット２０８が螺着部１９６に固着されて、該固定ナット２０８とスペーサ２０６の間に連結板ばね２０２が挟み込まれている。これにより、連結板ばね２０２の中央部分がマス金具１６４に固着されている。なお、固定ナット２０８が螺着部１９６に螺着固定される際に、螺着部１９６の係止溝２００にロックボルト等が差し込まれてマス金具１６４が中心軸まわりに回転不能に支持されることにより、固定ナット２０８が螺着部１９６に容易に固定される。
【００８５】
また、連結板ばね２０２の外周部分が、第二の支持筒金具１７０の段部１８０に重ね合わせられていると共に、大径の円環形状のスペーサ２１０が第二の支持筒金具１７０に嵌め込まれて、連結板ばね２０２の外周部分に重ね合わせられている。更に、略円盤形状を有する上蓋金具２１２が、第二の支持筒金具１６８の上端部および上フランジ状部１８２ａに重ね合わせられて、固定ボルトを用いて固定されている。それによって、第二の支持筒金具１７０の上端開口部が覆蓋されていると共に、連結板ばね２０２の外周部分が、段部１８０に支持されたスペーサ２１０と上蓋金具２１２の間に挟圧保持されて、第二の支持筒金具１７０に固定されている。これにより、マス金具１６４が、連結板ばね２０２を介して第二の支持筒金具１７０と弾性連結されている。
【００８６】
すなわち、本実施形態では、振動系の一部のバネ系を構成する弾性連結体１６６が、弾性連結ゴム１９０と連結板ばね２０２を含んで構成されている。また、振動系の一部のマス系を構成するマス金具１６４が、軸方向両端部分で弾性連結体１６６によって取付金具１６２に弾性連結されて、軸直角方向での相対的な変位が抑制されていると共に、軸方向の相対的な変位が許容されている。なお、マス金具１６４の上側螺着部１９６と軸方向で対向位置せしめられた上蓋金具２１２の中央部分が、上方に向かってドーム状に広がる形状とされていることにより、マス金具１６４の軸方向変位の許容スペースが好適に確保されている。
【００８７】
このような構造とされた能動型制振器１６０においては、図示しない制振を目的とする部材、例えば車両ボデーに対して取付金具１６２が固定される。そして、電磁加振器１０のコイル５２に対して交番電流や脈動電流を通電し、或いはコイル５２への通電をＯＮ／ＯＦＦすること等によって、内筒金具１２と外筒金具１４の間に軸方向の相対変位力が生ぜしめられる。この相対変位力が、内筒金具１２に設けられた出力軸としての固着突部７０や積層ゴム７２、固定先端部７７を通じてマス金具１６４に及ぼされることにより、マス金具１６４が、弾性連結ゴム１９０と連結板ばね２０２の弾性変形を伴って、軸方向上下に変位せしめられる。それ故、制振すべき振動に対応した周波数に基づいてコイルへ５２の通電を制御することにより、制振すべき振動に対応した加振力を制振を目的とする部材に及ぼして、当該部材の振動を能動的乃至は相殺的に抑えることが可能となる。なお、上述の説明からも明らかなように、マス金具１６４が、軸方向に駆動力が及ぼされる駆動対象部材として機能している。
【００８８】
そこにおいて、かかる能動型制振器１６０では、電磁加振器１０の内筒金具１２からマス金具１６４への駆動力の伝達経路上に積層ゴム７２が設けられていることにより、例えば電磁加振器１０や取付金具１６２、マス金具１６４等における寸法誤差や弾性連結ゴム１９０乃至は連結板ばね２０２の不規則な弾性変形等によって生じる内筒金具１２の傾きが、積層ゴム７２におけるゴム弾性板７４の弾性変形に基づいて抑えられる。それ故、内筒金具１２と外筒金具１４の相対的な位置が高度に維持されて、所期の加振力が安定して得られることに基づき、能動的な制振効果が有利に得られるのである。
【００８９】
以上、本発明の一実施形態について詳述してきたが、かかる実施形態における具体的な記載によって、本発明は、何等限定されるものでなく、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた態様で実施可能であり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもない。
【００９０】
例えば、前記実施形態では、可動子が内側ヨーク６８（内筒金具１２や第一及び第二の内側ヨーク部材６４，６６）を含んで構成されていると共に、固定子が外筒金具１４や永久磁石４０、外側ヨーク部材４２を含んで構成されていたが、可動子が外筒金具や永久磁石、外側ヨーク部材を含んで構成されると共に、固定子が内側ヨークを含んで構成されて、外筒金具を内筒金具の外周側で軸方向に変位させるようにしても良い。また、駆動力を伝える出力軸は、例えば外筒金具に一体形成されても良いし、別途、支持部材を介して外筒金具に固定されるようにしても良い。
【００９１】
すなわち、本発明に適用される電磁式アクチュエータは、例示の如き構造に限定されるものでなく、例えば特開２００２−１０６６３３号公報や特開２００１−１２５３９号公報、特開２００３−３３９１４５号公報、特開２００３−３３９１４７号公報等に示されているような、各種のアクチュエータに対して適用される。
【００９２】
また、前記実施形態では特に示されていなかったが、目的とする防振効果や使用条件等に応じて、例えば複数のゴム弾性板７４と金属板７６からなる積層ゴム７２の固有振動数を防振すべき振動の周波数域にチューニングし、該積層ゴム７２の共振現象を利用して防振効果を得るようにしても良い。
【００９３】
また、流体封入式のエンジンマウントにおけるオリフィス通路の具体的形態やチューニングは何等限定されるものでなく、例示の如き態様の他、例えば、オリフィス部材の中央部分を貫通して受圧室と加振室を直接に連通せしめる透孔形態の第一のオリフィス通路を形成して、該第一のオリフィス通路を走行こもり音等の高周波数域にチューニングする一方、該第一のオリフィス通路と外周金具の周溝を直接に直列的に接続することによって第二のオリフィス通路を形成して、該第二のオリフィス通路をエンジンシェィクやアイドリング振動等の低乃至中周波数域にチューニングすることも可能である。
【００９４】
また、前記実施形態では、積層ゴム７２が、内筒金具１２の軸方向に対して直交して広がる略平坦面形状の積層境界面を有していたが、例えば特開２００４−１５６６６７号公報の図６に示されているように、湾曲板形状のゴム弾性板と金属板を出力軸の駆動方向に積層せしめることによって、積層ゴムが、出力軸の中心軸上に曲率中心をもった略湾曲面形状の積層境界面を有するようにすることも可能である。
【００９５】
また、前記実施形態に係る能動型制振器１６０では、マス金具１６４の上端部が連結板ばね２０２を介して連結されていたが、かかる連結板ばね２０２は必須の部材でない。また、弾性連結ゴム１９０がマス金具１６４の下端部に配設されていたが、マス金具１６４の上端部に配設することも可能である。即ち、図４にも示されているように、マス金具１６４の上端部にのみ弾性連結ゴム１９０を配して取付金具１６２と連結するようにしても良い。なお、図４〜６に示される能動型制振器の説明において、前記実施形態と実質的に同一の構造とされた部材および部位については、該実施形態と同一の符号を付することにより、それらの詳細な説明を省略する。
【００９６】
また、図５にも示されているように、前記実施形態において、マス金具１６４の上端部に配設されていた連結板ばね２０２に代えて、マス金具１６４の下端部に配設された弾性連結ゴム１９０と同様な構造の弾性連結ゴム１９０を配設することにより、一対の弾性連結ゴム１９０，１９０をマス金具１６４の加振方向（図５中、上下）の両側においてそれぞれ該加振方向に対して略直交して広がる形態で配設するようにしても良い。なお、本具体例では、マス金具１６４の両端部に固着される弾性連結ゴム１９０, １９０が第二の支持筒金具１７０と別体形成されており、弾性連結ゴム１９０の外周縁部に加硫接着された円筒形状の固着筒金具２１４が第二の支持筒金具１７０の各軸方向端部から圧入されることによって、弾性連結ゴム１９０の外周縁部が第二の支持筒金具１７０の内周面に固着されている。
【００９７】
また、図５等に示されているように、マス金具１６４の上端部に固定された連結金具１８４の上端部分に弾性連結ゴム１９０と一体形成された緩衝ゴム層２１６を被着形成して、マス金具１６４の加振変位に際して、連結金具１８４と上蓋金具２１２の当接に伴う打音を低減することも可能である。
【００９８】
さらに、図６に示されているように、内筒金具１２の上端部に加えて下端部にも固着突部７０を設けて該固着突部７０に固定先端部７７を備えた積層ゴム７２を固定することによって、内筒金具１２の軸方向両側に出力軸が設けられた電磁加振器を採用しても良い。また、マス金具１６４と該マス金具１６４の軸方向外方の端部に固定された弾性連結ゴム１９０における第二の支持筒金具１６８を備えた一体加硫成形品を、かかる電磁加振器が固定された第一の支持筒金具１６８の軸方向両側に配して、各第二の支持筒金具１７０を第一の支持筒金具１６８にボルト固定すると共に、各マス金具１６４を各出力軸の固定先端部７７に固定して、マス金具１６４を軸方向に加振変位せしめて、各マス金具１６４を同時に加振駆動せしめるようにした能動型制振器を採用することも可能である。
【００９９】
加えて、本発明は、自動車用のボデーマウントやメンバマウント等、或いは自動車以外の各種装置におけるマウントや制振器などの防振装置や、そのような防振装置に用いられる防振用アクチュエータに対して、同様に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明の一実施形態としての電磁加振器を示す縦断面説明図である。
【図２】図１における電磁加振器を採用したエンジンマウントを示す縦断面説明図である。
【図３】図１における電磁加振器を採用した能動型制振器の一具体例を示す縦断面説明図である。
【図４】図１における電磁加振器を採用した能動型制振器の別の一具体例を示す縦断面説明図である。
【図５】図１における電磁加振器を採用した能動型制振器のまた別の一具体例を示す縦断面説明図である。
【図６】図１における電磁加振器を採用した能動型制振器の更に別の一具体例を示す縦断面説明図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１０  電磁加振器
１２  内筒金具
１４  外筒金具
４０  永久磁石
４２  外側ヨーク部材
５２  コイル
６４  第一の内側ヨーク部材
６６  第二の内側ヨーク部材
６８  内側ヨーク
７０  固着突部
７２  積層ゴム
７４  固定先端部
７８  嵌着部
１１６  加振板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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