(57)【要約】【課題】  高歪み折り曲げ負荷が繰り返しかかる条件下でも疲労特性に優れ、折り曲げ疲労寿命が高くばらつきの小さい圧延銅箔を提供する。【解決手段】  冷間圧延で形成された表面において、圧延平行方向の光沢度（ＪＩＳ  Ｚ８７４１準拠）でＧｓ（６０°）が２５０％未満である耐折性に優れた圧延銅箔であって、２００℃で３０分で加熱すると、圧延面のＸ線回折で求めた（２００）面の積分強度（Ｉ）の、微粉末銅の（２００）面の積分強度（Ｉ0）に対する割合Ｉ／Ｉ0が２０以下であり、好ましくは最大高さＲｙが２．０μｍ以下、圧延平行方向に採取した後２００℃で３０分にて加熱した試験片を用いたFPC耐折性試験において、折り曲げ疲労寿命（ＪＩＳ  Ｃ５０１６準拠）が２００回以上、厚みが３５μｍ以下である圧延銅箔。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
２００℃で３０分加熱後、圧延面のＸ線回折で求めた（２００）面の積分強度（Ｉ）の、微粉末銅の（２００）面の積分強度（Ｉ0）に対する割合Ｉ／Ｉ0が２０未満である圧延銅箔において、冷間圧延で形成された表面の圧延平行方向の光沢度（ＪＩＳ  Ｚ８７４１準拠）でＧｓ（６０°）が２５０％未満であることを特徴とする耐折性に優れた圧延銅箔。
【請求項２】
最大高さＲｙ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４準拠）が２．０μｍ以下である請求項２記載の圧延銅箔。
【請求項３】
圧延平行方向に採取した試験片を用いたフレキシブルプリント配線板耐折性試験（ＪＩＳ  Ｃ５０１６準拠）において、２００℃で３０分加熱後の折り曲げ疲労寿命が３００回以上である請求項１又は２記載の圧延銅箔。
【請求項４】
厚みが３５μｍ以下である請求項１〜３いずれか１項記載の圧延銅箔。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブルプリント回路基板(Flexible printed circuit；FPC)等の可撓性配線部材の用途として好適な、優れた耐折性（高歪負荷に対する疲労特性）を有する圧延銅箔に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機物を基材としたプリント配線基板は、ガラスエポキシ及び紙フェノール基板を構成材料とする硬質銅張積層板（リジット）と、ポリイミド及びポリエステル基板を構成材料とする可撓性銅張積層基板（FPC）とに大別され、プリント配線基板の導電材としては主として電解銅箔又は圧延銅箔が使用されている。導電材に銅箔を使用する場合のFPCは、キャスティング方式とラミネート方式がある。キャスティング方式では、銅箔に樹脂を塗り加熱し、ラミネート方式では銅箔を樹脂と接着剤で接着する。近年では高密度実装の有効な手段として、ビルドアップ基板と呼ばれる多層配線基板が多く用いられている。このFPCの構成部材となる銅箔には、主に圧延銅箔が用いられている。
近年、フレキシブルプリント回路基板（FPC）は電子機器の小型化や機能の高度化に伴い、FPCの組込み、部品や完成品の組立て、修理等において従来行なわれてきた条件より小さな曲率半径でより強く折り曲げられるようになってきた。このため、FPCの素材となる圧延銅箔には従来を上回る高い疲労特性が求められるようになって来ている。なお、本発明においては、小さな曲率半径でより強く折り曲げられる状態を、高歪み折り曲げ負荷と称する。
【０００３】
FPCに使用される圧延銅箔の素材には、例えばタフピッチ銅（酸素含有量１００〜５００mass ppm）又は無酸素銅（酸素含有量１０mass ppm以下）が用いられ、これらのインゴットを熱間圧延した後、所定の厚みまで冷間圧延と焼鈍とを繰り返し、最後に、最終冷間圧延で厚みを５０μｍ以下に仕上げて圧延銅箔が製造される。その後、樹脂基板との接着性を向上させるため、圧延銅箔には表面に粗化めっきが施される。粗化めっき後の圧延銅箔は、裁断された後、樹脂基板と貼り合わされる。銅箔と樹脂との貼りあわせには、例えばエポキシ等の熱硬化性樹脂からなる接着剤が用いられ、張り合わせ後１３０〜１７０℃の温度で数時間〜数十時間加熱して硬化させる。つぎに、銅箔をエッチングして種々の配線パターンを形成する。圧延銅箔は最終冷間圧延後に再結晶の生じる温度で加熱し軟化されてからFPCの構成部材として使用され、この加熱は粗化めっきして裁断した後に加熱処理を行うか、樹脂基板と接着する際の加熱で兼ねられる。
【０００４】
以上のように、圧延銅箔は軟化された状態、すなわち再結晶組織に調質された状態でFPCの構造部材として使用される。銅箔には、再結晶の際にその製造条件に応じて立方体集合組織が発達するという特徴がある。しかし、FPC用銅箔の高歪み折り曲げ負荷がかかる条件下での疲労特性は、立方体集合組織が発達するほど低下するといわれている（江口、藤田、宮武、千種、徳永、佐藤、稲田：古河電工時報、Ｎｏ．８６ （１９９０）、ｐｐ．２５−３１）。又、銅箔の引張り強さと伸びについても、立方体集合組織が発達すると低下するといわれている（特開平９−５３１６２号公報）。そのため、耐折性を目的とした例として、特許文献１では最終冷間圧延の圧延加工度及び最終冷間圧延前の結晶粒径を変えることにより、立方体集合組織の発達度を調整した圧延銅箔を開示している。
【０００５】
上記の他に銅箔の耐折性に影響を与える因子として、箔の表面状態が挙げられる。銅材料を冷間圧延する場合、圧延材表面の凹凸は、圧延ロール面の凹凸の転写（ロール面の転写）によるものとロールと材料との間に一定の厚みで存在する圧延油膜により発生するオイルピット（微小な凹凸）がある。オイルピットの寸法、形態及び密度は、圧延ロール径、圧延ロール面の表面粗さ、圧下率、圧延速度、圧延油の粘度等の圧延条件を調整することにより制御することができる。オイルピットによって生じるくぼみは、くぼみの先端形状が鋭角状であるため、圧延銅箔に折り曲げ変形を繰り返し与えると、亀裂の起点となって破断に至らしめるため、折り曲げ疲労寿命を低下させる原因になる。更に深いオイルピットほど疲労破壊の起点になりやすい。そのため、特許文献２では、冷間圧延で形成された表面において、オイルピットの深さｈ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４準拠の最大高さＲｙに対応する）を２．０μｍ以下として疲労特性の向上を図っている。
【特許文献１】特開２００１−１４４３９１号公報
【特許文献２】特開２００１−５８２０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記特許文献１のような最終冷間圧延の圧延加工度及び最終冷間圧延前の結晶粒径を規定した再結晶立方体集合組織の発達を抑制する疲労特性の改善には限界がある。例えば、立方体集合組織を抑制するように銅箔の製造工程を調整すると銅箔の軟化温度が上昇するが、従来から使用され実績があり、製造条件の確定しているものは、その軟化特性を変更することは実際には困難である。さらに、軟化温度が上がりすぎると、ＦＰＣの製造工程で銅箔が軟化しなくなる。
又、特許文献２のようなオイルピットの深さを規定し耐屈曲性の向上を図っているが、最大高さＲｙが２．０μｍ以下であるにも関わらず、フレキシブルプリント配線板耐折性試験（ＪＩＳ  Ｃ５０１６準拠）における圧延銅箔の折り曲げ疲労寿命が悪いものがある。圧延表面のオイルピットを含む微小凹凸の密度が圧延銅箔の折り曲げ疲労寿命の低下や同一ロットでの寿命のばらつきの一因となっており、特許文献２の最大高さＲｙが２．０μｍの規定では不十分である。
【０００７】
FPC用の圧延銅箔の厚みは、以前は３５μｍのものが主流であり、その圧延銅箔の折り曲げ疲労寿命（フレキシブルプリント配線板耐折性試験ＪＩＳ  Ｃ５０１６準拠、曲げ半径０．８ｍｍ、引張り荷重５００ｇ重、圧延平行方向試験片、試験片幅１２．７ｍｍ、試験片前処理２００℃×３０分加熱）は、通常５０回〜１５０回の水準であった。近年の電子機器部品の小型化・低背化により厚みが従来の２分の１である１８μｍの圧延銅箔の使用量が伸びており現在においてすでに主流になりつつある。いずれの厚みのFPC用圧延銅箔においての折り曲げ疲労寿命の更なる向上が望まれている。特に主流となりつつある１８μｍ圧延銅箔ではその折り曲げ疲労寿命を３００回以上の水準に向上させることが望まれている。
そこで本発明は、従来の圧延銅箔の耐折性を、その他の特性を低下させることなく改善し、高歪み折り曲げ負荷がかかる条件下で使用できる圧延銅箔を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、下記記載の圧延銅箔に関する。
（１）２００℃で３０分加熱後、圧延面のＸ線回折で求めた（２００）面の積分強度（Ｉ）の、微粉末銅の（２００）面の積分強度（Ｉ0）に対する割合Ｉ／Ｉ0が２０未満である圧延銅箔において、冷間圧延で形成された表面の圧延平行方向の光沢度（ＪＩＳ  Ｚ８７４１準拠）でＧｓ（６０°）が２５０％未満であることを特徴とする耐折性に優れた圧延銅箔。
（２）最大高さＲｙ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４準拠）が２．０μｍ以下である上記圧延銅箔。
（３）圧延平行方向に採取した試験片を用いたフレキシブルプリント配線板耐折性試験（ＪＩＳ  Ｃ５０１６準拠）において、折り曲げ疲労寿命が３００回以上である上記圧延銅箔。
（４）厚みが３５μｍ以下である上記圧延銅箔。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、最終冷間圧延条件を種々変えることにより、所定の表面光沢度を有する圧延銅箔を製造することができる。その結果、圧延表面上の微少凹凸を制御して、高歪み折り曲げ負荷が繰り返しかかる条件下でも疲労特性に優れ、折り曲げ疲労寿命が高くばらつきの小さい圧延銅箔を提供できる。本発明の圧延銅箔の製造には、従来から用いられ使用実績のある圧延銅箔について、すでに確立している一連の製造工程を変更することなく、又、その他の製品特性を劣化させることなく、折り曲げ疲労寿命にかかわる信頼性を高められるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明における圧延銅箔は特許文献１における２００℃で３０分の加熱を行い、加熱後の圧延面のＸ線回折で求めた（２００）面の積分強度（Ｉ）、及び微粉末銅の（２００）面の積分強度（Ｉ0）を測定し、Ｉ／Ｉ0を２０未満の要件を前提とするものである。Ｉ／Ｉ0が２０以上であると表面の金属結晶の（２００）面が発達し（（２００）集合度が高く）、耐折性が低下するからである。微粉末銅の（２００）面の積分強度（Ｉ0）は、結晶が無秩序に配向した状態（特定の面が発達していない状態）の基準値として選択した。圧延面のＸ線回折強度は、例えば理学電機（株）社製Ｘ線ディフラクトメーターＲＩＮＴ２０００等を使用して測定できる。なお、特許文献１においては、下限を規定していないが本発明においては、好ましくは３から２０未満、更に好ましくは３〜１０である。一方、Ｉ／Ｉ0が３を下回ると、加熱処理において軟化しにくくなり、適度な温度で軟化する必要のあるFPC用の圧延銅箔として適さなくなるからである。
【００１１】
又、特許文献２で規定されるようにオイルピットの深さは、表面の粗さ曲線から求めた最大高さＲｙ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４準拠）と相関関係がある。深いオイルピットが形成された圧延銅箔表面の最大高さＲｙは、浅いオイルピットが形成された表面のそれに比べ高い値を示す。ここで、Ｒｙは、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４において定義されている「最大高さ」と称される指標である。
本発明においても、最大高さＲｙ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４準拠）は、２．０μｍ以下が好ましい。オイルピットの密度に関わらず、Ｒｙが２．０μｍを超えるような深いオイルピットは、疲労破壊の起点になりやすく、耐折性を低下させる原因となるからである。オイルピットは圧延方向と直交した割れ状の形態であるため、接触粗さ計による上記最大高さＲｙの測定は、圧延方向と平行に粗さの触針を走査することが重要である。本発明のオイルピットの形態観察には、例えば（株）エリオニクス社製の電子線三次元粗さ解析装置ＥＲＡ−８０００が使用できる。
オイルピットの形成に関して２．０μｍを超えるような深いオイルピットがなければ、数多く形成されているすなわち、オイルピットの密度が高いほうが圧延銅箔の耐折性は良好であることを見出した。オイルピットが高密度で形成された表面の表面積はオイルピットが低密度で形成された表面の表面積より大きく、折り曲げ時に表層に掛かる応力が小さくなるため耐折性に優れる圧延銅箔が得られるからである。
しかしながら、Ｒｙでは、上述した耐折性に影響を与えるオイルピットの密度については正確な評価ができない。
【００１２】
そこで、本発明ではオイルピットの密度が表面の光沢度と相関関係があることに着目し、ＪＩＳ  Ｚ８７４１に準拠した光沢度の測定により評価した。オイルピットが高密度で形成された表面の光沢度は、オイルピットが低密度で形成された表面の光沢度に比べ低い値を示す。
本発明の圧延銅箔の表面は、圧延平行方向の光沢度（ＪＩＳ  Ｚ８７４１準拠）でＧｓ（６０°）は５０％から２５０％未満、好ましくは５０％〜２００％、更に好ましくは５０％〜１５０％である。圧延表面の光沢度Ｇｓ（６０°）が５０％〜２５０％であると、表面の凹凸が多く表面積が大きいため折り曲げ時に表層に掛かる応力が小さくなり耐折性に優れる。光沢度Ｇｓ（６０°）が２５０％以上であると表面の凹凸が少なく耐折性に劣る。一方、平滑面圧延表面の光沢度Ｇｓ（６０°）が５０％を下回るとFPC用材料として使用する場合に具備すべき表面粗さや平滑性が満たされないため、FPC用として使用できなくなる。尚、光沢度の測定はＪＩＳ  Ｚ８７４１に準拠して、圧延方向に平行な方向の入射角６０度で測定できる。
本発明の圧延銅箔は、例えばタフピッチ銅又は無酸素銅のインゴットを熱間圧延した後、冷間圧延と焼鈍とを繰り返し、最後に最終冷間圧延を行って製造される。
オイルピットの形成の制御は、最終冷間圧延条件を種々変えることで行われる。最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が厚い場合、材料の塑性変形によるせん断帯は圧延面にオイルピットを形成する。オイルピットをできるだけ発生させ、オイルピットの多い領域を広くすることで、低光沢の銅箔表面が得られる。ただし、深いオイルピットの発生は好ましくない。
【００１３】
従って、本発明の圧延銅箔の製造では最終冷間圧延時のロールと材料に導入される油膜の厚みを、圧延ロール径、圧延ロール表面粗さ、圧延油粘度、及び圧延速度で制御してオイルピットの密度及びその深さを調整して、目的とする光沢度及び好ましい最大高さＲｙを有する圧延銅箔を製造する。目的とする光沢度及び好ましい最大高さＲｙを有する圧延銅箔を製造するための、最終冷間圧延における圧延ロール径、圧延ロール表面粗さ、圧延油粘度、及び圧延速度の設定条件を以下に示す。
尚、これらの個々の設定条件は他の設定条件が下記の設定条件内にあるときに成立つものであり、他の設定条件を無視して単独で成立つものではない。又、これらの設定条件は圧延機により固有の値をとるため、本発明の範囲を限定するものではない。
本発明における最終冷間圧延では、好ましくは直径が１００ｍｍ〜１５０ｍｍで表面粗さＲａ（算術平均粗さＲａ、ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４準拠）が０．１０〜０．１５μｍに調整された圧延ロールを使用する。圧延ロール径が１００ｍｍを下回ると、最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が薄くなり、オイルピットが形成されにくくなり、オイルピットの密度が低くなる。一方、圧延ロール径が１５０ｍｍを超えると、最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が厚くなり、オイルピットの深さが深くなる。又、圧延ロールの表面粗さＲａが０．１０μｍを下回ると、最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が薄くなり、オイルピットが形成されにくくなり、オイルピットの密度が低下する。一方、圧延ロールの表面粗さＲａが０．１５μｍを超えると、最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が厚くなり、オイルピットの深さが深くなる。
【００１４】
本発明の最終冷間圧延で使用する圧延油の粘度は、好ましくは７〜１３ｃＳｔである。７ｃＳｔ未満では、最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が薄くなり、オイルピットが形成されにくくなり、オイルピットの密度が低下する。一方、１３ｃＳｔを超えると、最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が厚くなり、オイルピットの深さが深くなる。
又、最終冷間圧延速度は好ましくは４００〜８００ｍ／分である。４００ｍ／分未満であると、最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が薄くなり、オイルピットが形成されにくくなり、オイルピットの密度が低下する。一方、８００ｍ／分を超えると、最終冷間圧延時にロールと材料の間に導入される油膜が厚くなり、オイルピットの深さが深くなる。
本発明の最終冷間圧延の圧延加工度は好ましくは８０〜９０％、更に好ましくは８０〜８５％である。圧延加工度が９０％を超えると、再結晶の生じる温度で加熱した際に立方体集合組織（（１００）面、＜００１＞方向、（１００）面と（２００）面は等価）が発達するため耐折性に劣り、８０％未満であると軟化しにくくなり、適度な温度で軟化する必要のあるFPC用の圧延銅箔として適さなくなる。
【００１５】
本発明では、最終冷間圧延条件を上記に設定することに加え、最終冷間圧延前の焼鈍において再結晶粒の平均粒径を２０μｍ以下とすることで、深くないオイルピットが高密度で形成された圧延表面とする。最終冷間圧延前の焼鈍における再結晶粒の平均粒径が２０μｍを超えると、深いオイルピットが形成された圧延表面となる。再結晶粒の平均粒径を２０μｍ以下とするためには、例えば焼鈍を連続焼鈍炉で行う場合、５００〜８００℃の温度で、当該温度に依存して５〜６００秒加熱し、焼鈍をバッチ式で行う場合は、１３０〜５００℃の温度で当該温度に依存して１〜２４時間加熱する。
【００１６】
近年、電子機器部品の小型化・低背化により素材である圧延銅箔の薄肉化が望まれ、かつ高屈曲性が望まれるため、本発明の最終冷間圧延後の厚みは、好ましくは５０μｍ以下、更に好ましくは３５μｍ以下、最も好ましくは１８μｍ以下が求められている。
本発明の圧延銅箔は、上記要件を満たすことにより、圧延平行方向に採取した試験片を用いたフレキシブルプリント配線板耐折性試験（ＪＩＳ  Ｃ５０１６準拠、曲げ半径０．８ｍｍ、引張り荷重５００ｇ重、試験片幅１２．７ｍｍ、試験片前処理２００℃×３０分加熱）において、１７μｍ膜厚の場合、３００回以上の耐折性を有しており、曲率半径rの比較的小さな、高歪み折り曲げ負荷が繰り返しかかる条件に対し優れた耐性を示す。そのため、本発明の圧延銅箔はFPCに使用される銅箔として有用である。
本発明の圧延銅箔は、加熱により軟質化した状態でFPCの構成部材として用いる。そこで、本発明の銅箔の素材には、例えば、軟化温度がそれほど高くない通常のタフピッチ銅（酸素濃度１００〜５００mass ppm）又は無酸素銅（酸素濃度１０mass ppm以下）、常温保管時の軟化を防止するため、微量のＡｇ等を添加して軟化温度を適度な範囲に調整したタフピッチ銅（特開２０００−２１２６６１号公報）、軟化温度を低下させることを目的とし、少量の合金元素を添加した無酸素銅（特許第１５８２９８１号等）、不純物量を調整することにより軟化温度を適度な範囲に調整した無酸素銅（特開平１−３１９６４１号公報等）等の素材を用いることもできる。
【実施例】
【００１７】
以下、本発明の実施態様の一例を説明する。
厚み２００ｍｍ、幅６００ｍｍのタフピッチ銅インゴット（酸素含有量２００ｐｐｍ）を素材として、熱間圧延後に冷間圧延と焼鈍を繰り返し行い、圧延上がりの所定の厚みの板（厚みｔ  ｍｍ）を得た。この板を、温度１８０℃に保持した加熱炉中で２時間にて焼鈍を行い、１７μｍまで冷間圧延した。ここで、最終冷間圧延での圧延加工度Ｒは、Ｒ＝（ｔ−０．０１７）／ｔ×１００（％）で与えられる。又、焼鈍後の結晶粒径を圧延方向に直角な断面においてＪＩＳ  Ｇ０５５１準拠の切断法で測定した。最終冷間圧延前の焼鈍で得られる再結晶粒の平均粒径は１５μｍ、最終冷間圧延に使用した圧延ロール直径は１００ｍｍ、圧延ロールの表面粗さＲａは０．１０μｍとした。又、最終冷間圧延の圧延加工度の制御により立方体集合組織の発達度（Ｉ／Ｉ0）を変化させた。
この製造方法において、（１）最終冷間圧延前の焼鈍温度及び、（２）最終冷間圧延の圧延条件（圧延速度、圧延加工度、圧延油の粘度）を種々に変化させ、発明例１〜６及び比較例１〜１２の圧延銅箔を得た。
【００１８】
発明例及び比較例の圧延銅箔について、以下の特性を評価した。
（１）光沢度Ｇｓ（６０°）
ＪＩＳ  Ｚ８７４１に準拠した光沢度計（日本電色工業株式会社製、商品名「ハンディー光沢計ＰＧ−１Ｍ」）を使用し、圧延方向に平行な方向の入射角６０度で光沢度を測定した。
（２）立方体集合組織（Ｉ／Ｉ0）
試料を２００℃で３０分加熱後、理学電機（株）社製Ｘ線ディフラクトメーターＲＩＮＴ２０００を使用して圧延面のＸ線回折で２００面強度の積分値（Ｉ）を求めた。この値をあらかじめ測定しておいた微粉末銅の（２００）面強度の積分値（Ｉ0）で割り、Ｉ／Ｉ0の値を計算した。なお、ピーク強度の積分値の測定は、Ｃｏ管球を用い、２θ＝５７〜６３°（θは回折角度）の範囲で行った。この測定は、測定位置を変えて２回行い、その平均値を求めた。
（３）最大高さ（Ｒｙ）
ＪＩＳ  Ｂ０６０１−１９９４に準拠して、基準長さ０．８ｍｍ、評価長さ４ｍｍ、カットオフ値０．８ｍｍ、送り速さ０．１ｍｍ／秒の条件で測定した。この測定を圧延方向と平行に、測定位置を変えて１０回行い、１０回の測定での最大値を求めた。
（４）耐折性
試料を２００℃で３０分にて加熱した後に、ＪＩＳ  Ｃ５０１６準拠のFPC耐折性試験を行い、折り曲げ疲労寿命を測定した。具体的には、図１に示す装置により、折り曲げ疲労寿命の測定を行った。この装置はＭＩＴ耐折試験機と呼ばれるものであり、銅箔試料を固定している治具が１３５°の角度で左右に回動を繰り返すことにより、試料表面に引張りと圧縮の歪が繰り返し加えられる。治具の先端の曲率半径は０．８ｍｍであり、試料は５００ｇ重（５Ｎ）の応力で上方に引張られている。試験片は幅１２．７ｍｍ、長さ１００ｍｍの短冊形状とし、試験片の長さ方向が圧延方向と平行になるように採取した後、試験片に前処理として２００℃×３０分の加熱を行った。測定は同じ材料について５回行い、その平均値を求めた。
【００１９】
発明例及び比較例の圧延条件と測定結果を表１に示す。
発明例１〜４、及び比較例１〜１２は、厚みが１７μｍの圧延銅箔について実施した。発明例１〜４は、最終冷間圧延における圧延加工度が適正な範囲であるため、２００面集合度が本発明の範囲であり、かつ最終冷間圧延における圧延速度及び圧延油粘度が好ましい範囲内であるため、表面光沢度が本発明の範囲内である。その結果、発明例１〜４は、比較例１〜１２に比べ折り曲げ疲労サイクル寿命（回数）が多く、いずれも３００回を安定して超えている。
【００２０】
発明例１及び２は、光沢度及び２００面集合度が本発明の範囲内であるだけでなく、最終冷間圧延前の焼鈍における結晶粒径及び圧延加工度が好ましい範囲内であるため、最大高さＲｙが本発明の好ましい範囲内である。
発明例３及び４は、光沢度及び２００面集合度が本発明の範囲内であるが、最終冷間圧延前の焼鈍における結晶粒径が好ましい範囲を超えているため、最大高さＲｙが本発明の好ましい範囲を超えている。その結果、発明例３及び４は、発明例１及び２に比べ折り曲げ疲労サイクル寿命が少ない。
発明例５及び６は、厚みが３３μｍ及び６６μｍの圧延銅箔についての実施例である。発明例５及び６は、圧延速度、圧延油粘度、最終冷間圧延前の焼鈍における結晶粒径及び圧延加工度が好ましい範囲内であるため、光沢度及び２００面集合度が本発明の範囲内であるだけでなく、最大高さＲｙも本発明の好ましい範囲内である。従って、同じ厚みの比較例１３及び１４に比べて折り曲げ疲労サイクル寿命は多い。
【００２１】
比較例１及び２は、最終冷間圧延前の焼鈍における結晶粒径及び圧延加工度が好ましい範囲内であるため、２００面集合度が本発明の範囲内であり最大高さＲｙが本発明の好ましい範囲内であるが、最終冷間圧延における圧延速度及び圧延油粘度が適正な範囲でないため、光沢度が本発明の上限を超えている。その結果、比較例１及び２は、発明例１〜４及び比較例９〜１２よりも折り曲げ疲労サイクル寿命が少ないが、比較例１〜８の中では最も多い。
比較例３及び４は、最終冷間圧延における圧延速度及び圧延油粘度が適正な範囲でなく、又、最終冷間圧延前の焼鈍における結晶粒径が好ましい範囲を超えているため、光沢度及び２００面集合度が本発明の上限を超えており、最大高さＲｙが本発明の好ましい範囲を超えている。その結果、比較例３及び４は、発明例１〜４よりも折り曲げ疲労サイクル寿命が少なく、比較例１及び２よりも更に少ない。
比較例５及び６は、最終冷間圧延における圧延速度及び圧延油粘度が適正な範囲でないため、光沢度が本発明の上限を超えており、さらに圧延加工度も好ましい範囲を超えているため２００面集合度が本発明の上限を超えている。その結果、比較例５及び６は、発明例１〜４よりも折り曲げ疲労サイクル寿命が少なく、比較例９〜１２よりも少ない。
比較例７及び８は、最終冷間圧延における圧延速度及び圧延油粘度が適正な範囲でなく、又最終冷間圧延前の焼鈍における結晶粒径が好ましい範囲を超えているため、光沢度が本発明の上限を超えており、圧延加工度が好ましい範囲を超えているため２００面集合度が本発明の上限を超えている。更に、最大高さＲｙも本発明の好ましい範囲を超えている。その結果、比較例７及び８は、発明例１〜４は勿論、比較例１〜１２の中で折り曲げ疲労サイクル寿命が最も少ない。
比較例９及び１０は、圧延加工度が好ましい範囲を超えているため２００面集合度が本発明の上限を超えている。その結果、比較例９及び１０の折り曲げ疲労サイクル寿命は、発明例１〜４に比較して少ないが、光沢度が本発明の範囲内にあるため、比較例１〜１２の中では最も多い。
比較例１１及び１２は、最終冷間圧延前の焼鈍における結晶粒径及び圧延加工度が好ましい範囲を超えているため、２００面集合度が本発明の上限を超えており最大高さＲｙが本発明の好ましい範囲を超えている。その結果、比較例１１及び１２の折り曲げ疲労サイクル寿命は、発明例１〜４は勿論、比較例９〜１０よりも少ないが、比較例１〜８よりは多い。
比較例１３及び１４は、厚みが３３μｍ及び６６μｍの比較例である。比較例１３及び１４は、最終冷間圧延前の焼鈍における結晶粒径及び圧延加工度が好ましい範囲内であり、最大高さＲｙ及び２００面集合度のいずれもが本発明の好ましい範囲内であるが、最終冷間圧延における圧延速度及び圧延油粘度が適正な範囲でないため、光沢度が本発明の上限を超えている。従って、比較例９及び１０は、同じ厚みの発明例５及び６よりも、折り曲げ疲労サイクル寿命が少ない。
【００２２】
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】ＪＩＳ  Ｃ５０１６に準拠したFPC耐折性試験装置の概略図である。
【図１】
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