(57)【要約】【課題】基板を搬送する途中で、新たな駆動力源を必要とすることなく、基板を反転させる。【解決手段】基板反転装置は、互いに向き合うように配置された第１および第２のユニットを含む。それぞれのユニットは、台車１，１’と、台車に取り付けられた基板支持部材２，２’と、基板支持部材に設けられたローラ１０，１０’と、ローラとの間でカム作用を行うようになされている固定カム板１１，１１’とを備えている。台車１，１’が移動して、ローラ１０，１０’とカム板１１，１１’とがカム作用を行うと、基板支持部材２，２’は、水平位置と垂直位置との間を枢動する。第１および第２のユニットのそれぞれにおける基板支持部材２，２’が双方とも垂直位置をとって向き合ったときに、一方の基板支持部材２に支持された基板６が他方の基板支持部材２’と接触し、双方の基板支持部材２，２’間で基板６の受け渡しが行われるようになされている。【選択図】図１
2006264837.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道上を走行可能な台車と、
該台車に取り付けられた基板支持部材にして、基板を水平状態に支持可能な水平位置と基板を垂直状態に支持可能な垂直位置との間を枢動可能な基板支持部材と、
前記基板支持部材に設けられたローラと、
前記軌道に隣接して設けられ、前記ローラとの間でカム作用を行うようになされているカム板と、を有し、
前記台車が前記カム板に近づく方向に前記軌道上を走行し、前記ローラが前記カム板のカム曲線に沿って第１の方向に移動する間、前記基板支持部材が前記水平位置から前記垂直位置へと枢動し、前記台車が前記カム板から離れる方向に前記軌道上を走行し、前記ローラが前記カム曲線に沿った前記第１の方向とは逆の第２の方向に移動する間、前記基板支持部材が前記垂直位置から前記水平位置へと枢動するようになされている、
第１のユニットと、
該第１のユニットと同じ構成を有する第２のユニットにして、前記軌道に沿って前記第１のユニットと向き合うように配置された第２のユニットと、
を備えており、
前記第１および第２のユニットのそれぞれにおける前記基板支持部材が双方とも前記垂直位置をとって向き合ったときに、一方の基板支持部材に支持された基板が他方の基板支持部材と接触し、双方の基板支持部材間で基板の受け渡しが行われるようになされている、
基板反転装置。
【請求項２】
前記基板支持部材が、基板を着脱自在に保持するための真空吸引装置に接続された複数の孔を備えており、基板の前記受け渡しが、前記真空吸引装置の制御により行われるようになされている、
請求項１に記載の基板反転装置。
【請求項３】
前記第１のユニットにおける前記カム板と前記第２のユニットにおける前記カム板とが一体の部材として構成されている、
請求項１または２に記載の基板反転装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表裏を反転させる装置に関する。本発明は特に、基板の両面を露光すべく露光工程中に基板を反転させるために用いるのに適している。
【背景技術】
【０００２】
基板の両面を露光処理するため、第１の露光ステーションで基板の一方の面を露光した後、基板の他方の面を露光するための第２の露光ステーションへと基板を搬送する途中で、基板を反転させる必要がある。
【０００３】
このような目的のための基板反転装置として、従来いくつかのものが提案されたが、いずれも複雑な機構や複雑な基板反転工程を必要としたものであった。
【特許文献１】特開２００２−３２３７７７号公報特開平１１−２８６３２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで本発明が解決しようとする課題は、基板を反転させるための新たな駆動力源を必要とすることなく、基板を搬送する途中でスムーズに反転させることができる、簡素な構成の基板反転装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明によれば、
軌道上を走行可能な台車と、
該台車に取り付けられた基板支持部材にして、基板を水平状態に支持可能な水平位置と基板を垂直状態に支持可能な垂直位置との間を枢動可能な基板支持部材と、
前記基板支持部材に設けられたローラと、
前記軌道に隣接して設けられ、前記ローラとの間でカム作用を行うようになされているカム板と、を有し、
前記台車が前記カム板に近づく方向に前記軌道上を走行し、前記ローラが前記カム板のカム曲線に沿って第１の方向に移動する間、前記基板支持部材が前記水平位置から前記垂直位置へと枢動し、前記台車が前記カム板から離れる方向に前記軌道上を走行し、前記ローラが前記カム曲線に沿った前記第１の方向とは逆の第２の方向に移動する間、前記基板支持部材が前記垂直位置から前記水平位置へと枢動するようになされている、
第１のユニットと、
該第１のユニットと同じ構成を有する第２のユニットにして、前記軌道に沿って前記第１のユニットと向き合うように配置された第２のユニットと、
を備えており、
前記第１および第２のユニットのそれぞれにおける前記基板支持部材が双方とも前記垂直位置をとって向き合ったときに、一方の基板支持部材に支持された基板が他方の基板支持部材と接触し、双方の基板支持部材間で基板の受け渡しが行われるようになされている、
基板反転装置が提供される。
【０００６】
前記基板支持部材は、基板を着脱自在に保持するための真空吸引装置に接続された複数の孔を備えるものとし、基板の前記受け渡しが、前記真空吸引装置の制御により行われるようにすることができる。
【０００７】
前記第１のユニットにおける前記カム板と前記第２のユニットにおける前記カム板とは一体の部材として構成することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の基板反転装置によれば、軌道上を走行する基板搬送用の台車のための駆動力を利用してカム作用を行わせることにより、新たな駆動力源なしに、搬送途中の基板をスムーズに反転させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明による基板反転装置の一実施態様を示す概略側面図、図２は、図１における矢印Ａから見た図である。基板反転装置は、第１のユニットおよび第２のユニットを備えて構成される。第１のユニットは、軌道の上を走行可能な台車１と、台車１に取り付けられた基板支持部材２とを有する。軌道は、ベース３上に設けられたリニアモータ４およびガイド５により構成される。あるいはまた、台車１に設けた車輪を乗せるレールなどの公知手段によって軌道を構成し、台車１の駆動力源として、車輪を回転させる電動モータを利用してもよい。
【００１０】
基板支持部材２は、上に基板６を置くことができる基板受け部７と、基板支持部材２を台車１に枢動可能に取り付けている枢軸部材８と、基板受け部７の一側から下方に延びるアーム９とを有する。基板支持部材２は、枢軸部材８を中心として、基板６を水平状態に支持可能な水平位置２ａと基板６を垂直状態に支持可能な垂直位置２ｂとの間を枢動可能とされている。
【００１１】
基板支持部材２のアーム９の下端には、カム機構の構成要素となる回転可能なローラ１０が取り付けられている。
一方、ローラ１０との間でカム作用を行うためのカム板１１が、軌道に隣接して設けられている。カム板１１には、カム曲線を画成するカム溝１２が形成されている。ローラ１０は、カム溝１２と係合しながらカム曲線に沿って移動することができる。カム板１１にカム溝１２を形成する代わりに、カム板１１の外形輪郭がカム曲線を画成するようにしてもよい。カム板１１は、ローラ１０とともに、第１のユニットの構成要素となる。
【００１２】
基板支持部材２の基板受け部７には、基板６を着脱自在に保持するための真空吸引装置（図示せず）に接続された複数の孔（図示せず）が設けられている。真空吸引装置を作動させることにより基板６は基板受け部７上に吸着保持され、真空吸引装置の作動を停止することにより基板６は基板受け部７の吸着保持力から解放される。
【００１３】
本発明による基板反転装置は、第１のユニットと同じ構成の第２のユニットをさらに含む。第２のユニットを構成する要素は、第１のユニットの構成要素と実質的に同じなので、同じ参照符号にプライム記号（’）を付して示す。図１から分かるように、第２のユニットの各構成要素は、軌道に沿って第１のユニットの各構成要素と向き合うように配置されている。
【００１４】
第１のユニットのカム板１１と第２のユニットのカム板１１’とは、一体の部材として構成してもよい。
基板６が台車１，１’によって搬送される間に反転される動作は次の通りである。まず、第１の露光ステーション（図示せず）で片面を露光された基板６は、第１のユニットにおける台車１に取り付けられた基板支持部材２の基板受け部７に乗せられ、カム板１１に近づく方向に軌道上を走行する。このとき基板支持部材２は水平位置２ａの状態である。遅くともローラ１０がカム溝１２の下端と係合する時点では、基板６は基板受け部７に吸着保持されている。台車１がさらに前進すると、ローラ１０はカム溝１２のカム曲線に沿って上方（第１の方向）に移動する。ローラ１０とカム溝１２との間でカム作用が行われている間、基板支持部材２は、基板６を吸着保持したまま、水平位置２ａから上方に枢動し、最終的には垂直位置２ｂへと移行する。
【００１５】
一方、第２のユニットにおける台車１’は、基板を乗せない状態で、カム板１１’に近づく方向に軌道上を走行し、ローラ１０’とカム溝１２’との間のカム作用により基板支持部材２が垂直位置２ｂ’をとる位置まで進む。
【００１６】
第１のユニットにおける、基板６を吸着保持した基板支持部材２と、第２のユニットにおける基板支持部材２’とが、それぞれ垂直位置２ｂ，２ｂ’をとって向き合ったとき、基板６の両面は基板受け部７，７’のそれぞれと接触した状態となる。このような状態のもとで、基板支持部材２’側の真空吸引装置を作動させ且つ基板支持部材２側の真空吸引装置の作動を停止させるように制御することにより、双方の基板支持部材２，２’間で基板６の受け渡しが行われる。
【００１７】
第２のユニットにおける基板支持部材２’の基板受け部７’が基板６を吸着保持したならば、台車１’はカム板１１’から離れる方向に軌道上を走行し始める。すると、カム溝１２’のカム曲線に沿って、ローラ１０’が下方（第２の方向）に移動する。この間のカム作用により、基板支持部材２’は、基板６を吸着保持したまま垂直位置２ｂ’から下方に枢動し、最終的には水平位置２ａ’へと移行する。第１のユニットにおける台車１上では上方を向いていた基板６の面が、第２のユニットにおける台車１’上では下方を向いていることが容易に理解できよう。このようにして反転された基板６を乗せた台車１’は、基板６の未露光の側の面を露光すべく、第２の露光ステーションへ向かって搬送される。
【００１８】
一方、第１のユニットにおける台車１は、基板を乗せない状態でカム板１１から離れる方向に軌道上を走行する。ローラ１０とカム溝１２との間のカム作用により、基板支持部材２は垂直位置２ｂから水平位置２ａへと枢動する。台車１は次の基板を乗せるべく第１の露光ステーションへ向かう。
【００１９】
ローラ１０とカム板１１とから構成されるカム機構は、台車を走行させる駆動力によって機能しており、新たな駆動力源は何も必要とされていない点に注目されたい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明による基板反転装置の一実施態様を示す概略側面図。
【図２】図１における矢印Ａの方向から見た図。
【符号の説明】
【００２１】
１，１’  台車、２，２’  基板支持部材、２ａ，２ａ’  水平位置、２ｂ，２ｂ’  垂直位置、３  ベース、４  リニアモータ、５  ガイド、６  基板、７，７’  基板受け部、８，８’  枢軸部材、９，９’  アーム、１０，１０’  ローラ、１１，１１’  カム板、１２，１２’  カム溝。
【図１】
2006264837.tif 000003
【図２】
2006264837.tif 000004