(57)【要約】【課題】光記録媒体を破損することがなく、且つ破壊される虞れのない平面型プローブ及び平面型プローブアレイを提供すること、並びに光記録媒体を破損することがなく、平面型プローブが破壊される虞れのない光ピックアップ装置を提供する。【解決手段】平面型プローブ１０は、先端に光開口部（微小開口）１６を備えるプローブ本体１４を基板１１の一面側から突出するよう設けるとともに、プローブ本体を保護するよう基板の一面側から突出する保護部１５を設けてある。その平面型プローブには、表面がプローブ本体よりも突出する防護膜１３を保護部の表面に形成してある。【選択図】        図１−２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に微小開口を備えるプローブ本体を基板の一面側から突出するよう設けるとともに、プローブ本体を保護するよう基板の一面側から突出する保護部を設けて成り、
微小開口の近傍で近接場光を発生させるプローブにおいて、
表面がプローブ本体よりも突出する防護膜を保護部の表面に形成したことを特徴とするプローブ。
【請求項２】
プローブ本体の先端に微小開口を形成するよう基板の一面側に遮光膜を設け、その遮光膜の表面と微小開口の表面とを覆うよう光透過性保護膜を設けたことを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
プローブ本体に対する防護膜の突出量を、微小開口から照射する光の波長以下とすることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項４】
基板が石英、光学硝子又はシリコンより成ることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のプローブ。
【請求項５】
防護膜がダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成ることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載のプローブ。
【請求項６】
光透過性保護膜がダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成ることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一つに記載のプローブ。
【請求項７】
光透過性保護膜に用いた材料とは異なる材料を用い、且つエッチングによって防護膜を形成したことを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項８】
防護膜をマスクスパッタリング法によって形成したことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載のプローブ。
【請求項９】
プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブであって、
保護部を、切欠を除いてプローブ本体の周囲に連続して設けて成り、
光記録媒体の回転方向に対して、プローブ本体が上流側で、且つ切欠が下流側となるよう光記録媒体を配置したことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載のプローブ。
【請求項１０】
プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブであって、
プローブ本体に対して反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部を備える保護部を設けて成り、
光記録媒体の回転方向に対して、尖形部が上流側で、且つプローブ本体が下流側となるよう光記録媒体を配置したことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載のプローブ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一つに記載のプローブを備えて成り、
そのプローブを用いることで、光記録媒体にデータを書き込み、又は／及び光記録媒体に書き込んだデータを読み出すことを特徴とする光ピックアップ装置。
【請求項１２】
先端に微小開口を備えるプローブ本体を基板の一面側から突出するよう複数設け、それらのプローブ本体を所定の間隔で配列するとともに、それらのプローブ本体を保護するよう基板の一面側から突出する保護部を設けて成り、
微小開口の近傍で近接場光をそれぞれ発生させるプローブアレイにおいて、
表面がプローブ本体よりも突出する防護膜を保護部の表面に形成したことを特徴とするプローブアレイ。
【請求項１３】
プローブ本体の先端に微小開口を形成するよう基板の一面側に遮光膜を設け、その遮光膜の表面と微小開口の表面とを覆うよう光透過性保護膜を設けたことを特徴とする請求項１２に記載のプローブアレイ。
【請求項１４】
プローブ本体に対する防護膜の突出量を、微小開口から照射する光の波長以下とすることを特徴とする請求項１２又は１３に記載のプローブアレイ。
【請求項１５】
基板が石英、光学硝子又はシリコンより成ることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一つに記載のプローブアレイ。
【請求項１６】
防護膜がダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成ることを特徴とする請求項１２〜１５のいずれか一つに記載のプローブアレイ。
【請求項１７】
光透過性保護膜がダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成ることを特徴とする請求項請求項１３〜１６のいずれか一つに記載のプローブアレイ。
【請求項１８】
光透過性保護膜に用いた材料とは異なる材料を用い、且つエッチングによって防護膜を形成したことを特徴とする請求項１７に記載のプローブアレイ。
【請求項１９】
防護膜をマスクスパッタリング法によって形成したことを特徴とする請求項１２〜１８のいずれか一つに記載のプローブアレイ。
【請求項２０】
プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、
保護部を、切欠を除いてプローブ本体の周囲に連続して設けて成り、
光記録媒体の回転方向に対して、プローブ本体が上流側で、且つ切欠が下流側となるよう光記録媒体を配置したことを特徴とする請求項１２〜１９のいずれか一つに記載のプローブアレイ。
【請求項２１】
プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、
プローブ本体に対して反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部を備える保護部を設けて成り、
光記録媒体の回転方向に対して、尖形部が上流側で、且つプローブ本体が下流側となるよう光記録媒体を配置したことを特徴とする請求項１２〜１９のいずれか一つに記載のプローブアレイ。
【請求項２２】
請求項１２〜２１のいずれか一つに記載のプローブアレイを備えて成り、
そのプローブアレイを用いることで、光記録媒体にデータを書き込み、又は／及び光記録媒体に書き込んだデータを読み出すことを特徴とする光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ、プローブアレイ及び光ピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ピックアップ装置は、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）やＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）等の光記録媒体にデータを書き込み、又は光記録媒体に書き込んだデータの読み出しを行なうものである。
【０００３】
光ピックアップ装置の中には、プローブ及びレンズを備えているものがある。プローブは、基板と遮光膜とを備えている。基板は、光透過性の材料を用いて平板状に形成してある。基板の一方面側には、板面から突出するようプローブ本体を設けてある。
【０００４】
遮光膜は、遮光性を有する材料を用い、プローブ本体の先端に光開口部（微小開口）を設けるようプローブ本体の先端を除いた基板の一方面側を覆う態様で形成してある。
【０００５】
光ピックアップ装置は、光開口部の先端の近傍に、基板と平行になるよう円盤状の光記録媒体を配置し、光記録媒体を回転させながら、光開口部からレンズで絞ったレーザー光を照射することで、光記録媒体にデータを書き込み、又は光記録媒体に書き込んだデータを読み出す。
【０００６】
近年、光記録媒体に高密度でデータを書き込むことが望まれている。光記録媒体に高密度でデータを書き込むには、レーザー光の短波長化を図り、且つレンズの高ＮＡ（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ａｐｅｒｔｕｒｅ）化を図ることによって、光記録媒体の表面上に形成されるレーザー光のスポットサイズを小さくし、光記録媒体に形成する記録ピットを微小にすることで実現できる。
【０００７】
しかしながら、レーザー光の短波長化には限界があり、且つレンズで絞り込んだレーザー光のスポットサイズはレーザー光の波長より小さくすることができない（いわゆる回折限界）。よって、光記録媒体に高密度でデータを書き込むには限界がある。しかも、回折限界に近いスポットサイズで書き込んだデータをプローブで読み出す場合には、上述と同様の理由により、クロストークが発生する虞れも生じる。
【０００８】
ところで、屈折率の異なる２つの媒体の一方から、媒体の境界面で全反射するよう光を入射した場合には、境界面を超えた他方の媒体に非伝播の電場成分のみが染み出す領域（近接場）が形成される。この近接場は、レーザー光の波長より大きさが小さい光開口部を有するプローブでも形成することができる。プローブで形成する近接場は、光開口部の大きさとほぼ同じ位しか横方向の広がりを持たず、光開口部から離れるに従って指数関数的に強度が減少する。
【０００９】
この近接場に微小な散乱体を挿入すると、近接場が散乱されて近接場光が形成される。近接場光は、近接場と同様に、光開口部の大きさとほぼ同じ位しか横方向の広がりを持たない。従って、光開口部をレーザー光の波長よりも小さく形成し、且つ近接場光を利用するプローブによって、回折限界を超えた光記録媒体へのデータの書き込み及び光記録媒体に書き込んだデータの読み出しが可能になる。
【００１０】
近接場光は、伝播光に比べて強度が弱い。このため、プローブ本体を光記録媒体に近接して配置することによって近接場光を利用している。
【００１１】
近接場光を利用するプローブは、回折限界を超えた光記録媒体への書き込み等を可能とするため、光開口部をレーザー光の波長よりも小さく形成してある。従って、プローブ本体の先端は、非常に細く（およそ１μｍ）なっている。
【００１２】
このようなプローブで光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体に付着した異物がプローブに接触すると、プローブの先端が細く形成されているから、プローブ本体が破壊される虞れがある。しかも、上述したように、プローブ本体を光記録媒体に近接して配置してあるので、微小な異物が光記録媒体に付着している場合でも、異物がプローブ本体に接触する虞れがある。
【００１３】
そこで、従来のプローブの中には、プローブ本体を保護する保護部を設けたものがある。保護部は、基板の一方の面から突出するようプローブ本体の周囲に配置してある。保護部の基板に対する突出長さは、プローブ本体の基板に対する突出長さとほぼ同一である。
【００１４】
このプローブによれば、保護部によってプローブ本体に異物が接触することを防止できるので、プローブが破壊されることがない（例えば、特許文献１参照）。
【００１５】
【特許文献１】特開２００３−３２２６０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
ところで、プローブを形成する際に、製造のバラツキによって、基板に対するプローブ本体の突出長さの方が、基板に対する保護部の突出長さよりも長くなる場合がある。このような場合には、保護部によってプローブ本体に異物が接触することを防止することができず、プローブ本体が破壊されてしまう虞れがある。しかも、異物がプローブ本体を破壊するときには、光記録媒体とプローブとの間に異物が挟まり、光記録媒体を破損する虞れを招く。
【００１７】
本発明は上記実情を鑑み、光記録媒体を破損することがなく、且つ破壊される虞れのないプローブ及びプローブアレイを提供すること、並びに光記録媒体を破損することがなく、プローブが破壊される虞れのない光ピックアップ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１に係るプローブは、先端に微小開口（光開口部）を備えるプローブ本体を基板の一面側から突出するよう設けるとともに、プローブ本体を保護するよう基板の一面側から突出する保護部を設けて成り、微小開口の近傍で近接場光を発生させるプローブにおいて、表面がプローブ本体よりも突出する防護膜を保護部の表面に形成したことを特徴とする。
【００１９】
請求項１に係る発明によれば、表面がプローブ本体よりも突出する防護膜を保護部の表面に形成したので、製造のバラツキによって、基板に対するプローブ本体の突出長さの方が、基板に対する保護部の突出長さよりも長くなった場合においても、防護膜によってプローブ本体を確実に防護する。
【００２０】
また、請求項２に係る発明は、上記請求項１に記載のプローブにおいて、プローブ本体の先端に微小開口を形成するよう基板の一面側に遮光膜を設け、その遮光膜の表面と微小開口の表面とを覆うよう光透過性保護膜を設けたことを特徴とする。
【００２１】
請求項２に係るプローブによれば、プローブ本体の先端に微小開口を形成するよう基板の一面側に遮光膜を設け、その遮光膜の表面と微小開口の表面とを覆うよう光透過性保護膜を設けたので、光透過性保護膜によって遮光膜と微小開口とが外気に晒されることがない。
【００２２】
また、請求項３に係る発明は、上記請求項１又は２に記載のプローブにおいて、プローブ本体に対する防護膜の突出量を、微小開口から照射する光の波長以下とすることを特徴とする。
【００２３】
請求項３に係るプローブによれば、プローブ本体に対する防護膜の突出量を、微小開口から照射する光の波長以下とするので、プローブ本体の先端側に光記録媒体を近接して配置することができる。
【００２４】
また、請求項４に係る発明は、上記請求項１〜３のいずれか一つに記載のプローブにおいて、基板が石英、光学硝子又はシリコンより成ることを特徴とする。
【００２５】
請求項４に係るプローブによれば、基板が石英、光学硝子又はシリコンより成るので、プローブ本体を透過する光の減衰率を少なくできる。
【００２６】
また、請求項５に係る発明は、上記請求項１〜４のいずれか一つに記載のプローブにおいて、防護膜がダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成ることを特徴とする。
【００２７】
請求項５に係るプローブによれば、防護膜は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。
【００２８】
また、請求項６に係る発明は、上記請求項２〜５のいずれか一つに記載のプローブにおいて、光透過性保護膜がダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成ることを特徴とする。
【００２９】
請求項６に係るプローブによれば、光透過性保護膜は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。
【００３０】
また、請求項７に係る発明は、上記請求項６に記載のプローブにおいて、光透過性保護膜に用いた材料とは異なる材料を用い、且つエッチングによって防護膜を形成したことを特徴とする。
【００３１】
請求項７に係るプローブによれば、光透過性保護膜に用いた材料とは異なる材料を用い、且つエッチングによって防護膜を形成したので、防護膜を容易に形成することができる。
【００３２】
また、請求項８に係る発明は、上記請求項１〜７のいずれか一つに記載のプローブにおいて、防護膜をマスクスパッタリング法によって形成したことを特徴とする。
【００３３】
請求項８に係るプローブによれば、防護膜をマスクスパッタリング法によって形成したので、防護膜を容易に形成することができる。
【００３４】
また、請求項９に係る発明は、上記請求項１〜８のいずれか一つに記載のプローブにおいて、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブであって、保護部を、切欠を除いてプローブ本体の周囲に連続して設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、プローブ本体が上流側で、且つ切欠が下流側となるよう光記録媒体を配置したことを特徴とする。
【００３５】
請求項９に係るプローブによれば、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブであって、保護部を、切欠を除いてプローブ本体の周囲に連続して設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、プローブ本体が上流側で、且つ切欠が下流側となるよう光記録媒体を配置したので、プローブを用いて光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体の回転で発生する気流により、プローブ本体と保護部との間にある異物を切欠から排出することができる。よって、プローブ本体と保護部との間に異物が堆積することがない。
【００３６】
また、請求項１０に係る発明は、上記請求項１〜８のいずれか一つに記載のプローブにおいて、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブであって、プローブ本体に対して反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部を備える保護部を設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、尖形部が上流側で、且つプローブ本体が下流側となるよう光記録媒体を配置したことを特徴とする。
【００３７】
請求項１０に係るプローブによれば、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブであって、プローブ本体に対して反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部を備える保護部を設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、尖形部が上流側で、且つプローブ本体が下流側となるよう光記録媒体を配置したので、プローブを用いて光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体の回転で発生する気流により、尖形部の近傍にある異物を排除することができる。
【００３８】
また、請求項１１に係る光ピックアップ装置は、上記請求項１〜１０のいずれか一つに記載のプローブを備えて成り、そのプローブを用いることで、光記録媒体にデータを書き込み、又は／及び光記録媒体に書き込んだデータを読み出すことを特徴とする。
【００３９】
請求項１１に係る発明によれば、上記請求項１〜１０のいずれか一つに記載のプローブを備えて成り、そのプローブを用いることで、光記録媒体にデータを書き込み、又は／及び光記録媒体に書き込んだデータを読み出すので、上記請求項１〜１０に記載した効果を奏する光ピックアップ装置を提供することができる。
【００４０】
また、請求項１２に係る発明は、先端に微小開口を備えるプローブ本体を基板の一面側から突出するよう複数設け、それらのプローブ本体を所定の間隔で配列するとともに、それらのプローブ本体を保護するよう基板の一面側から突出する保護部を設けて成り、微小開口の近傍で近接場光をそれぞれ発生させるプローブアレイにおいて、表面がプローブ本体よりも突出する防護膜を保護部の表面に形成したことを特徴とする。
【００４１】
請求項１２に係るプローブアレイによれば、表面がプローブ本体よりも突出する防護膜を保護部の表面に形成したので、防護膜によってプローブ本体を確実に防護する。
【００４２】
また、請求項１３に係る発明は、上記請求項１２に記載のプローブアレイにおいて、プローブ本体の先端に微小開口を形成するよう基板の一面側に遮光膜を設け、その遮光膜の表面と微小開口の表面とを覆うよう光透過性保護膜を設けたことを特徴とする。
【００４３】
請求項１３に係るプローブアレイによれば、プローブ本体の先端に微小開口を形成するよう基板の一面側に遮光膜を設け、その遮光膜の表面と微小開口の表面とを覆うよう光透過性保護膜を設けたので、光透過性保護膜によって遮光膜と微小開口とが外気に晒されることがない。
【００４４】
また、請求項１４に係る発明は、上記請求項１２又は１３に記載のプローブアレイにおいて、プローブ本体に対する防護膜の突出量を、微小開口から照射する光の波長以下とすることを特徴とする。
【００４５】
請求項１４に係るプローブアレイによれば、プローブ本体に対する防護膜の突出量を、微小開口から照射する光の波長以下とするので、プローブ本体の先端側に光記録媒体を近接して配置することができる。
【００４６】
また、請求項１５に係る発明は、上記請求項１２〜１４のいずれか一つに記載のプローブアレイにおいて、基板が石英、光学硝子又はシリコンより成ることを特徴とする。
【００４７】
請求項１５に係るプローブアレイによれば、基板が石英、光学硝子又はシリコンより成るので、プローブ本体を透過する光の減衰率を少なくできる。
【００４８】
また、請求項１６に係る発明は、上記請求項１２〜１５のいずれか一つに記載のプローブアレイにおいて、防護膜がダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成ることを特徴とする。
【００４９】
請求項１６に係るプローブアレイによれば、防護膜は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。
【００５０】
また、請求項１７に係る発明は、上記請求項１３〜１６のいずれか一つに記載のプローブアレイにおいて、光透過性保護膜がダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成ることを特徴とする。
【００５１】
請求項１７に係るプローブアレイによれば、防護膜は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。
【００５２】
また、請求項１８に係る発明は、上記請求項１７に記載のプローブアレイにおいて、光透過性保護膜に用いた材料とは異なる材料を用い、且つエッチングによって防護膜を形成したことを特徴とする。
【００５３】
請求項１８に係るプローブアレイによれば、光透過性保護膜に用いた材料とは異なる材料を用い、且つエッチングによって防護膜を形成したので、防護膜を容易に形成することができる。
【００５４】
また、請求項１９に係る発明は、上記請求項１２〜１８のいずれか一つに記載のプローブアレイにおいて、防護膜をマスクスパッタリング法によって形成したことを特徴とする。
【００５５】
請求項１９に係るプローブアレイによれば、防護膜をマスクスパッタリング法によって形成したので、防護膜を容易に形成することができる。
【００５６】
また、請求項２０に係る発明は、上記請求項１２〜１９のいずれか一つに記載のプローブアレイにおいて、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、保護部を、切欠を除いてプローブ本体の周囲に連続して設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、プローブ本体が上流側で、且つ切欠が下流側となるよう光記録媒体を配置したことを特徴とする。
【００５７】
請求項２０に係るプローブアレイによれば、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、保護部を、切欠を除いてプローブ本体の周囲に連続して設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、プローブ本体が上流側で、且つ切欠が下流側となるよう光記録媒体を配置したので、プローブアレイを用いて光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体の回転で発生する気流により、プローブ本体と保護部との間にある異物を切欠から排出することができる。よって、プローブ本体と保護部との間に異物が堆積することがない。
【００５８】
また、請求項２１に係る発明は、上記請求項１２〜１９のいずれか一つに記載のプローブアレイにおいて、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、プローブ本体に対して反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部を備える保護部を設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、尖形部が上流側で、且つプローブ本体が下流側となるよう光記録媒体を配置したことを特徴とする。
【００５９】
請求項２１に係るプローブアレイによれば、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、プローブ本体に対して反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部を備える保護部を設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、尖形部が上流側で、且つプローブ本体が下流側となるよう光記録媒体を配置したので、プローブアレイを用いて光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体の回転で発生する気流により、尖形部の近傍にある異物を排除することができる。
【００６０】
また、請求項２２に係る光ピックアップ装置は、上記請求項１２〜２１のいずれか一つに記載のプローブアレイを備えて成り、そのプローブアレイを用いることで、光記録媒体にデータを書き込み、又は／及び光記録媒体に書き込んだデータを読み出すことを特徴とする。
【００６１】
請求項２２に係る発明によれば、上記請求項１２〜２１のいずれか一つに記載のプローブアレイを備えて成り、そのプローブアレイを用いることで、光記録媒体にデータを書き込み、又は／及び光記録媒体に書き込んだデータを読み出すので、上記請求項１２〜２１に記載した効果を奏する光ピックアップ装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００６２】
請求項１に係るプローブによれば、表面がプローブ本体よりも突出する防護膜を保護部の表面に形成したので、製造のバラツキによって、基板に対するプローブ本体の突出長さの方が、基板に対する保護部の突出長さよりも長くなった場合においても、防護膜によってプローブ本体が異物に接触することを確実に防護できるので、プローブ本体が破壊されることがない。しかも、光記録媒体とプローブ本体との間に異物が挟まることもないので、光記録媒体が破損することもない。
【００６３】
請求項２に係る発明によれば、プローブ本体に対する防護膜の突出量を、微小開口から照射する光の波長以下とするので、プローブ本体の先端側に光記録媒体を近接して配置することができるため、プローブによって光記録媒体にデータの書き込みを行う場合、及びプローブによって光記録媒体に書き込んだデータの読み出しを行う場合、近接場光の強度が低下することを防止することができる。
【００６４】
請求項３に係る発明によれば、プローブ本体の先端に微小開口を形成するよう基板の一面側に遮光膜を設け、その遮光膜の表面と微小開口の表面とを覆うよう光透過性保護膜を設けたので、光透過性保護膜によって遮光膜と微小開口とが外気に晒されることがない。よって、遮光膜及び微小開口の表面が腐食する虞れがない。従って、長寿命のプローブを提供することができる。
【００６５】
請求項４に係る発明によれば、基板が石英、光学硝子又はシリコンより成るので、プローブ本体を透過する光の減衰率を少なくでき、近接場光の強度が低下することを防止することができる。
【００６６】
請求項５に係る発明によれば、防護膜は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。従って、長寿命のプローブを提供することができる。
【００６７】
請求項６に係る発明によれば、光透過性保護膜は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。従って、長寿命のプローブを提供することができる。
【００６８】
請求項７に係る発明によれば、光透過性保護膜に用いた材料とは異なる材料を用い、且つエッチングによって防護膜を形成したので、防護膜を容易に形成することができる。
【００６９】
請求項８に係る発明によれば、防護膜をマスクスパッタリング法によって形成したので、防護膜を容易に形成することができる。よって、容易に製造することができるプローブを提供することができる。
【００７０】
請求項９に係るプローブによれば、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブであって、保護部を、切欠を除いてプローブ本体の周囲に連続して設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、プローブ本体が上流側で、且つ切欠が下流側となるよう光記録媒体を配置したので、プローブを用いて光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体の回転で発生する気流により、プローブ本体と保護部との間にある異物を切欠から排出することができる。よって、プローブ本体と保護部との間に異物が堆積することがない。
【００７１】
請求項１０に係るプローブによれば、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブであって、プローブ本体に対して反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部を備える保護部を設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、尖形部が上流側で、且つプローブ本体が下流側となるよう光記録媒体を配置したので、プローブを用いて光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体の回転で発生する気流により、尖形部の近傍にある異物を排除することができる。よって、尖形部の近傍に異物が堆積することがない。
【００７２】
請求項１１に係る発明によれば、上記請求項１〜１０のいずれか一つに記載のプローブを備えて成り、そのプローブで、光記録媒体にデータを書き込み、又は／及び光記録媒体に書き込んだデータを読み取るので、上記請求項１〜１０に記載した効果を奏する光ピックアップ装置を提供することができる。
【００７３】
請求項１２に係るプローブアレイによれば、表面がプローブ本体よりも突出する防護膜を保護部の表面に形成したので、製造のバラツキによって、基板に対するプローブ本体の突出長さの方が、基板に対する保護部の突出長さよりも長くなった場合においても、防護膜によってプローブ本体が異物に接触することを確実に防護できるので、プローブ本体が破壊されることがない。しかも、光記録媒体とプローブ本体との間に異物が挟まることもないので、光記録媒体を破損することもない。さらに、（実際の走査速度）×（微小開口の数）が（見かけ上の走査速度）となる関係を利用することによって、走査速度を低速としつつ、光記録媒体にデータを書き込むこと、及び光記録媒体に書き込んだデータを読み取ることができる。
【００７４】
請求項１３に係るプローブアレイによれば、プローブ本体に対する防護膜の突出量を、微小開口から照射する光の波長以下とするので、プローブ本体の先端側に光記録媒体を近接して配置することができるため、プローブアレイによって光記録媒体にデータの書き込みを行う場合、及びプローブアレイによって光記録媒体に書き込んだデータの読み出しを行う場合、近接場光の強度が低下することを防止することができる。
【００７５】
請求項１４に係るプローブアレイによれば、プローブ本体の先端に微小開口を形成するよう基板の一面側に遮光膜を設け、その遮光膜の表面と微小開口の表面とを覆うよう光透過性保護膜を設けたので、光透過性保護膜によって遮光膜と微小開口とが外気に晒されることがない。よって、遮光膜及び微小開口の表面が腐食する虞れがない。従って、長寿命のプローブアレイを提供することができる。
【００７６】
請求項１５に係るプローブアレイによれば、基板が石英、光学硝子又はシリコンより成るので、プローブ本体を透過する光の減衰率を少なくでき、近接場光の強度が低下することを防止することができる。
【００７７】
請求項１６に係るプローブアレイによれば、防護膜は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。従って、長寿命のプローブアレイを提供することができる。
【００７８】
請求項１７に係るプローブアレイによれば、光透過性保護膜は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。従って、長寿命のプローブアレイを提供することができる。
【００７９】
請求項１８に係るプローブアレイによれば、光透過性保護膜に用いた材料とは異なる材料を用い、且つエッチングによって防護膜を形成したので、防護膜を容易に形成することができる。よって、容易に製造することができるプローブアレイを提供することができる。
【００８０】
請求項１９に係るプローブアレイによれば、防護膜をマスクスパッタリング法によって形成したので、防護膜を容易に形成することができる。よって、容易に製造することができるプローブアレイを提供することができる。
【００８１】
請求項２０に係るプローブアレイによれば、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、保護部を、切欠を除いてプローブ本体の周囲に連続して設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、プローブ本体が上流側で、且つ切欠が下流側となるよう光記録媒体を配置したので、プローブアレイを用いて光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体の回転で発生する気流により、プローブ本体と保護部との間にある異物を切欠から排出することができる。よって、プローブ本体と保護部との間に異物が堆積することがない。
【００８２】
請求項２１に係るプローブアレイによれば、プローブ本体の先端側に光記録媒体を配置するプローブアレイであって、プローブ本体に対して反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部を備える保護部を設けて成り、光記録媒体の回転方向に対して、尖形部が上流側で、且つプローブ本体が下流側となるよう光記録媒体を配置したので、プローブアレイを用いて光記録媒体に書き込み等を行う場合、光記録媒体の回転で発生する気流により、尖形部の近傍にある異物を排除することができる。よって、尖形部の近傍に異物が堆積することがない。
【００８３】
請求項２２に係る発明によれば、上記請求項１２〜２１のいずれか一つに記載のプローブアレイを備えて成り、そのプローブアレイを用いることで、光記録媒体にデータを書き込み、又は／及び光記録媒体に書き込んだデータを読み出すので、上記請求項１２〜２１に記載した効果を奏する光ピックアップ装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８４】
以下に添付図面を参照して、この発明に係る光ピックアップ装置、平面型プローブアレイ及び平面型プローブの好適な実施例について詳細に説明する。尚、以下においては、説明の便宜上、平面型プローブを備える光ピックアップ装置について説明する。
【実施例】
【００８５】
図１−１及び図１−２は、平面型プローブ（プローブ）１０を示している。この平面型プローブ１０は、基板１１と遮光膜１２と防護膜１３とを備えている。
【００８６】
基板１１は、例えば石英、光学硝子又はシリコン等の光透過性を有する材料を用いて平板状に形成してある。基板１１の一方の面には、プローブ本体１４及び保護部１５を板面から突出するよう一つずつ設けてある。
【００８７】
プローブ本体１４は、円錐台状に形成してある。保護部１５は、プローブ本体１４の周囲に、円環状に形成してある。保護部１５の基板１１に対する突出長さは、プローブ本体１４の基板１１に対する突出長さと同一である。
【００８８】
遮光膜１２は、遮光性を有する材料を用い、プローブ本体１４の先端に光開口部（微小開口）１６を設けるようプローブ本体１４の先端及び保護部１５の上面を除いて基板１１の一方面側を覆う態様で形成してある。光開口部１６は、例えば円形状を成している。その光開口部１６の直径は、後述するレーザー光の波長よりも小さい。
【００８９】
上述した基板１１及び遮光膜１２は、従来の手法（例えば、特開２００３−３１７０３１号公報、特開２００３−３２２６０３号公報、特開２００４−５９０５号公報）を用いることによって形成することができる。
【００９０】
防護膜１３は、開口を備えるステンレス製のマスクを、開口がプローブ本体１４の上方になるよう基板１１の一面側に配置した後、スパッタリングによって酸化ケイ素（ＳｉＯ2）より成る厚さ１００ｎｍの膜を設けること（いわゆるマスクスパッタリング法を用いること）で形成してある。このように防護膜１３を形成すれば、表面がプローブ本体１４よりも１００ｎｍ突出する保護部１５を形成できる。この突出量は、後述するレーザー光の波長以下である。
【００９１】
光ピックアップ装置は、図２に示すように、プローブ本体１４の先端側に所定の間隔を保って回転する光記録媒体２０を配置し、不図示の光源から出射したレーザー光をレンズ（集光手段）１８で絞りながらプローブ本体１４を透過させ、プローブ本体１４の先端にレーザー光の波長よりも小さいスポット径の近接場光１９を発生させ、その近接場光１９によって、光記録媒体２０にデータの書き込み、又は光記録媒体２０に書き込んだデータの読み出しを行う。
【００９２】
この平面型プローブ１０によれば、表面がプローブ本体１４よりも突出する防護膜１３を保護部１５の表面に形成したので、製造のバラツキによって、基板１１に対するプローブ本体１４の突出長さの方が、基板１１に対する保護部１５の突出長さよりも長くなった場合においても、防護膜１３によってプローブ本体１４が異物に接触することを確実に防護できるため、プローブ本体１４が破壊されることがない。しかも、光記録媒体２０とプローブ本体１４との間に異物が挟まることもないので、光記録媒体２０が破損することもない。
【００９３】
しかも、プローブ本体１４に対する防護膜１３の突出量を、光開口部１６から照射するレーザー光の波長以下としてあるので、プローブ本体１４の先端側に光記録媒体２０を近接して配置することができ、平面型プローブ１０によって光記録媒体２０にデータの書き込む場合、及び平面型プローブ１０によって光記録媒体２０に書き込んだデータを読み出す場合、近接場光１９の強度が低下することを防止することができる。
【００９４】
また、基板１１が石英、光学硝子又はシリコンより成るので、プローブ本体１４を透過する光の減衰率を少なくでき、近接場光１９の強度が低下することを防止することができる。
【００９５】
さらに、防護膜１３をマスクスパッタリング法によって形成したので、防護膜１３を容易に形成することができる。よって、容易に製造することができる平面型プローブ１０を提供することができる。
【００９６】
なお、上述した実施例では、マスクスパッタリング法を用いて防護膜１３を形成するもので説明した。しかし、この発明はそれに限られず、マスク蒸着法又はリフトオフ法を用いて形成しても良い。もちろん、マスクスパッタリング法、マスク蒸着法、及びリフトオフ法によって防護膜１３を形成することに限られず、例えば基板１１の一面側の全面に酸化ケイ素の膜を設け、その後、プローブ本体１４の先端側の酸化ケイ素をエッチングすることによって防護膜１３を形成しても良い。
【００９７】
さらに、上述した実施例では、酸化ケイ素より成る単一の層で防護膜１３を形成するもので説明した。しかし、この発明はそれに限られず、防護膜１３の材料については、酸化ケイ素の代わりに、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）若しくは窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）のうちいずれか一つの材料を用いて形成しても良いし、それらの材料及び酸化ケイ素の中から複数のものを混ぜ合わせて形成しても良い。防護膜を形成する層の数については、単一のものに限られず、複数の層を積層するよう形成しても良い。
【００９８】
よって、防護膜１３は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素若しくは窒化ケイ素のより成るので、耐摩耗性を有する。従って、長寿命の平面型プローブ１０を提供することができる。
【００９９】
図３は、本発明の実施例に係る平面型プローブの第１変形例を示した平面図である。図３において、上記図１−１及び図１−２並びに図２と同一の構成を有するものには同一の符号を付して説明を省略する。図示する平面型プローブ１０ａは、円環状の保護部１５を設ける代わりに、図３中、プローブ本体１４の上方及び両側方に連続する保護部１５を設けてある。換言すれば、図３中下方の切欠１７を除いてプローブ本体１４の周囲に連続する保護部１５ａを設けてある。この平面型プローブ１０ａは、光記録媒体２０の回転方向に対して、プローブ本体１４が上流側で、且つ切欠１７が下流側となるよう光記録媒体２０を配置してある。
【０１００】
このように配置して平面型プローブ１０で光記録媒体２０に書き込み等を行う場合には、光記録媒体２０の回転で発生する気流によって、プローブ本体１４と保護部１５ａとの間にある異物を切欠１７から排出することができる。よって、プローブ本体１４と保護部１５ａとの間に異物が堆積することがない。
【０１０１】
図４は、本発明の実施例に係る平面型プローブの第２変形例を示した平面図である。図４において、上記図１−１及び図１−２並びに図２と同一の構成を有するものには同一の符号を付して説明を省略する。図示する平面型プローブ１０ｂは、円環状の保護部１５を設ける代わりに、プローブ本体１４とは反対側の方向に向けて徐々に先細となる尖形部２１を有する保護部１５ｂを設けてある。この平面型プローブ１０ｂは、光記録媒体２０の回転方向に対して、尖形部２１が上流側で、且つプローブ本体１４が下流側となるよう光記録媒体２０を配置する。
【０１０２】
このように配置して平面型プローブ１０ｂで光記録媒体２０に書き込み等を行う場合には、光記録媒体２０の回転で発生する気流により、尖形部２１の近傍にある異物を排除することができる。よって、尖形部２１の近傍に異物が堆積することがない。
【０１０３】
図５は、本発明の実施例に係る平面型プローブの第３変形例を示した断面側面図である。図５において、上記図１−１及び図１−２並びに図２と同一の構成を有するものには同一の符号を付して説明を省略する。図示する平面型プローブ１０ｃは、基板１１と遮光膜１２と防護膜１３とを備える構成に加えて光透過性保護膜２６を備えている。
【０１０４】
この平面型プローブ１０ｃは、例えば以下のようにして得ることができる。先ず、基板１１と遮光膜１２とを、従来の手法（例えば、特開２００４−５９０５号公報）を用いて形成する。次に、基板１１の一面側の全面に厚さ１００ｎｍの酸化ケイ素（ＳｉＯ2）の膜（光透過性保護膜）を形成する。次いで、酸化ケイ素の表面の全面に厚さ１００ｎｍの窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）の膜（防護膜１３）を形成する。次に、窒化ケイ素の表面に、保護部１５を覆うフォトレジストを有するレジストパターンを形成する。次いで、酸化ケイ素は除去せず、且つ窒化ケイ素を除去するドライエッチングによって、フォトレジストで覆っていない個所の窒化ケイ素を除去する。最後に、レジストパターンを除去することで、平面型プローブ１０ｃを得ることができる。
【０１０５】
このようにして設けた光透過性保護膜２６は、遮光膜１２の表面と光開口部１６の表面とを覆っている。
【０１０６】
この平面型プローブ１０ｃによれば、遮光膜１２の表面と光開口部１６の表面とを覆うよう光透過性保護膜２６を設けたので、光透過性保護膜２６によって遮光膜１２と光開口部１６とが外気に晒されることがない。よって、遮光膜１２及び光開口部１６の表面が腐食する虞れがない。従って、長寿命の平面型プローブ１０ｃを提供することができる。しかも、光透過性保護膜２６に用いた材料とは異なる材料を用い、且つドライエッチングによって防護膜１３を形成したので、防護膜１３を容易に形成することができる。
【０１０７】
なお、上述した実施例では、窒化ケイ素より成る単一の層で光透過性保護膜２６を形成するもので説明した。しかし、この発明は、それに限られず、光透過性保護膜２６の材料については、窒化ケイ素の代わりに、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム若しくは炭化ケイ素のうちいずれか一つの材料を用いて形成しても良いし、それらの材料及び窒化ケイ素の中から複数のものを混ぜ合わせて形成しても良い。光透過性保護膜２６を形成する層の数については、単一のものに限られず、複数の層を積層するよう形成しても良い。
【０１０８】
よって、光透過性保護膜２６は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、酸化ケイ素又は窒化ケイ素より成るので、耐摩耗性を有する。
【０１０９】
なお、上述した実施例では、基板１１の一面側に一つのプローブ本体１４を備える平面型プローブ１０で説明した。しかし、この発明はそれに限られず、基板１１の一面側に複数のプローブ本体１４を備え、それらのプローブ本体１４を所定の間隔、例えば碁盤の目状に配列する平面型プローブアレイにも適用することができる。
【０１１０】
その平面型プローブアレイによれば、（実際の走査速度）×（光開口部１６の数）が（見かけ上の走査速度）となる関係を利用することによって、走査速度を低速としつつ、光記録媒体２０にデータを書き込むこと、及び光記録媒体２０に書き込んだデータを読み取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１−１】本発明に係る平面型プローブの平面図である。
【図１−２】本発明に係る平面型プローブの断面側面図である。
【図２】その平面型プローブを用いて光記録媒体にデータの書き込みを行う場合を示す説明図である。
【図３】本発明に係る平面型プローブの第１変形例を示した平面図である。
【図４】本発明に係る平面型プローブの第２変形例を示した平面図である。
【図５】本発明に係る平面型プローブの第３変形例を示した断面側面図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１０      平面型プローブ（プローブ）
１０ａ      平面型プローブ（プローブ）
１０ｂ      平面型プローブ（プローブ）
１０ｃ      平面型プローブ（プローブ）
１１      基板
１２      遮光膜
１３      防護膜
１４      プローブ本体
１５      保護部
１５ａ      保護部
１５ｂ      保護部
１６      光開口部（微小開口）
１７      切欠
１９      近接場光
２０      光記録媒体
２１      尖形部
２６      光透過性保護膜
【図１−１】
2006260666.tif 000003
【図１−２】
2006260666.tif 000004
【図２】
2006260666.tif 000005
【図３】
2006260666.tif 000006
【図４】
2006260666.tif 000007
【図５】
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