(57)【要約】【課題】  基部へ伝わる振動を制御して、振動漏れを有効に防止し、安定した振動特性を実現できる圧電振動片と、圧電振動片を用いた圧電デバイスを提供すること。【解決手段】  一対の振動腕３４，３５と、この一対の振動腕が接続されるとともに、パッケージ２８に接合される固定領域５２ａ，５２ｂを有する基部５１と、を備える圧電振動片３２であって、一対の振動腕３４，３５は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝３６，３７を有し、基部５１は、固定領域５２ａ，５２ｂとは反対側を、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸Ｙ１周辺に厚みを残すように凹状とすることで形成された肉薄部６４，６５を有することを特徴とする。【選択図】      図３
2006050187.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の振動腕と、この一対の振動腕が接続されるとともに、パッケージに接合される固定領域を有する基部と、を備える圧電振動片であって、
前記一対の振動腕は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝を有し、
前記基部は、前記固定領域とは反対側を、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸周辺に厚みを残すように凹状とすることで形成された肉薄部を有する
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記固定領域側は、前記肉薄部に対して、厚み方向について段差がつくように厚く形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記基部の前記一対の振動腕の間に配置された股部と、この股部に接続されている前記一対の振動腕の根元付近とで、平面視において略Ｕ字状となっている、ことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記一対の振動腕は、それぞれ前記長溝により幅方向に分離された複数の土手部を有し、
前記基部は、前記複数の土手部のうち、幅方向の中心側に配置された土手部が、前記股部の外縁に沿うように延伸して形成された延伸部を有する
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記振動腕は前記複数の土手部を振動させるための励振電極を有し、この励振電極は、前記基部には形成されていないことを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記長溝は、前記振動腕の全長にわたって形成されていることを特徴とする、請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記一対の振動腕の各長溝内には、幅方向に横切るように設けられ、前記複数の土手部を一体に接続する支持部が形成されていることを特徴とする、請求項１ないし６のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項８】
パッケージと、このパッケージに接合される固定領域が設けられた基部を有し、この基部から平行に延びる一対の振動腕を有する圧電振動片と、を備えた圧電デバイスであって、
前記一対の振動腕は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝を有し、
前記基部は、前記固定領域とは反対側を、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸周辺に厚みを残すように凹状とすることで形成された肉薄部を有する
ことを特徴とする圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動腕を有する圧電振動片、及びこれを用いた圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、圧電デバイスは広く使用されている。
図８はこの圧電デバイスに用いられる圧電振動片１の概略斜視図、図９は図８のＡ−Ａ線概略切断端面図である。
ここでは、圧電振動片１は水晶で形成されており、一対の振動腕２，３と、基部４とを有する所謂音叉型の圧電振動片である。
【０００３】
すなわち、基部４は、その端部付近にパッケージと接着剤により接合固定される固定領域５，５（図８の平行斜線で示す部分）を有しており、この固定領域５，５と反対側に、一対の振動腕２，３が一体的に接続されて、振動腕２，３を支持するようになっている。
【０００４】
振動腕２，３は、その幅が基部４の幅に比べて小さく、互いに平行となるように基部４から細長く延びている。また、一対の振動腕２，３のそれぞれには、長手方向に沿って延びる長溝６，６が形成されている。この長溝６，６は、図９に示すように、振動腕２，３の表裏に設けられており、振動腕２，３のそれぞれに、長手方向に沿って厚みの薄い部分７，７を形成するようになっている。そして、この厚みの薄い部分７，７に効率よく電界を生じさせることで、振動腕２，３が小型化されても、所定の振動周波数を得ることができるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２６１５７５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、振動腕２，３は、振動腕２，３よりも幅の大きい基部４に接続されており、振動腕２，３の振動が基部４に伝わると、振動エネルギーは分散してしまうためＱ値が小さく、振動が安定しない状態が生ずる原因となってしまう。
また、振動腕２，３は、その外形や長溝６，６を例えばウエットエッチングで形成する際、水晶の異方性により、図９に示すように突起８が生じてしまうなど、複雑な形状をしており、振動腕２と振動腕３の形状は対称になっていない。そうすると、振動腕２と振動腕３の振動状態は相違し、振動腕２が基部４に伝える振動と、振動腕３が基部４に伝える振動とが、基部４の幅方向の中央Ｏではなく、中央Ｏからズレた位置で出会うことになる。このため、基部４は、図８において左右のバランスが崩れて捩れが生じるなど振動が不安定になり、振動漏れが生じたりする。
【０００７】
本発明は、基部へ伝わる振動を制御して、振動漏れを有効に防止し、安定した振動特性を実現できる圧電振動片と、この圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的は、第１の発明によれば、一対の振動腕と、この一対の振動腕が接続されるとともに、パッケージに接合される固定領域を有する基部と、を備える圧電振動片であって、前記一対の振動腕は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝を有し、前記基部は、前記固定領域とは反対側を、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸周辺に厚みを残すように凹状とすることで形成された肉薄部を有する圧電振動片により達成される。
【０００９】
第１の発明の構成によれば、基部は、固定領域とは反対側を、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸周辺に厚みを残すように凹状とすることで形成された肉薄部を有する。このため、一対の振動腕は、凹状とされて厚みの薄くなった肉薄部と接続されことになる。したがって、一対の振動腕の振動は、基部の厚みの薄い肉薄部に伝わることになり、基部の厚み方向について振動エネルギーが分散されることを防止して、Ｑ値を大きくできる。
さらに、この肉薄部は、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸周辺に厚みを残すように凹状とすることで形成されているため、中心軸周辺は肉薄部よりも厚い部分となる。すなわち、肉薄部は剛性が低いために僅かな左右の振動エネルギーのバランスの崩れによる捩れを生じる可能性がある。これを防ぐために中心軸を厚くし剛性を持たせることで、捩れなどのない安定した振動特性をもつ圧電振動片を提供することができる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記固定領域側は、前記肉薄部に対して、厚み方向について段差がつくように厚く形成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、固定領域側は、肉薄部に対して、厚み方向について段差がつくように厚く形成されているため、振動エネルギーは肉薄部に集中して、固定領域側に振動が伝達されることを抑制して、振動漏れをより防止する。
【００１１】
第３の発明は、第１または第２の発明のいずれかの構成において、前記基部の前記一対の振動腕の間に配置された股部と、この股部に接続されている前記一対の振動腕の根元付近とで、平面視において略Ｕ字状となっていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、基部の一対の振動腕の間に配置された股部と、この股部に接続されている一対の振動腕の根元付近とで、平面視において略Ｕ字状となっている。そうすると、Ｕ字状は曲面となっているので、股部あるいは振動腕の根元の一部分に応力が集中するようなことを防止し、応力が略Ｕ字状の曲面に沿って分布するように促せる。したがって、一対の振動腕を円滑に振動させて安定した振動が可能となり、これにより、固定領域側に振動が漏れることを防止できる。
【００１２】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記一対の振動腕は、それぞれ前記長溝により幅方向に分離された複数の土手部を有し、前記基部は、前記複数の土手部のうち、幅方向の中心側に配置された土手部が、前記股部の外縁に沿うように延伸して形成された延伸部を有することを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、振動腕の長溝により幅方向に分離された複数の土手部のうち、幅方向の中心側に配置された土手部は、股部の外縁に沿うように延伸されている。したがって、この土手部を延伸しない場合に比べて、股部の強度を上げて、基部が破損してしまうことを有効に防止できる。さらに、基部の幅方向の中心に位置する股部の強度を上げることで、第１の発明の中心軸周辺が肉薄部よりも厚い部分であることと相まって、基部の中心軸全体の強度を高めることができる。したがって、中心軸のぶれを抑えて、この中心軸を中心にした両側のバランスがとれやすくなる。
【００１３】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記振動腕は前記複数の土手部を振動させるための励振電極を有し、この励振電極は、前記基部には形成されていないことを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、振動腕の励振電極は基部には形成されていないため、基部が積極的に振動して、歪んでしまうような事態を防止できる。
【００１４】
第６の発明は、第１ないし第５の発明のいずれかの構成において、前記長溝は、前記振動腕の全長にわたって形成されていることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、長溝は振動腕の全長にわたって形成されているため、振動腕は付け根から先端まで同じ構造となり、振動腕全体が安定した屈曲振動をすることになる。したがって、基部に安定した振動が伝わって、第１ないし第５の発明に比べて、より振動漏れを効果的に防止できる。
【００１５】
第７の発明は、第１ないし第６の発明のいずれかの構成において、前記一対の振動腕の各長溝内には、幅方向に横切るように設けられ、前記複数の土手部を一体に接続する支持部が形成されていることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、長溝内には、幅方向に横切るように設けられ、複数の土手部を一体に接続する支持部が形成されている。これにより、支持部は、長溝により幅方向に分離された土手部を支持するため、振動腕は、捩れ方向の剛性を強化して、安定した振動が可能となる。したがって、基部には安定した振動が伝わって、第１ないし第６の発明に比べて、より振動漏れを効果的に防止できる。
【００１６】
また上記目的は、第８の発明によれば、パッケージと、このパッケージに接合される固定領域が設けられた基部を有し、この基部から平行に延びる一対の振動腕を有する圧電振動片と、を備えた圧電デバイスであって、前記一対の振動腕は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝を有し、前記基部は、前記固定領域とは反対側を、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸周辺に厚みを残すように凹状とすることで形成された肉薄部を有する圧電デバイスにより達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１８】
図１は、本発明の実施形態にかかる圧電デバイスである例えば圧電振動子３０の概略平面図であり、図２は図１のＢ−Ｂ線概略断面図、図３は圧電振動子３０に用いられる圧電振動片の概略斜視図、図４は図３のＣ−Ｃ線切断端面図、図５は図３のＥ−Ｅ線切断端面図である。なお、作図の便宜上、図１および図２では、励振電極が図示されていない。
これらの図において、圧電振動子３０は、パッケージ２８内に圧電振動片３２を収容している。
【００１９】
パッケージ２８は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される複数の基板を積層した後に、焼結して形成されており、圧電振動片３２を収容する所定の内部空間Ｓ１を形成するようにされている。
また、パッケージ２８の開放された上端にある開放端面に、例えば、低融点ガラス等の接合材３８を介して、蓋体３９が接合されることにより、封止されている。
【００２０】
また、パッケージ２８の図１及び図２において左端部付近には、内部空間Ｓ１に露出するようにして、幅方向両端にＡｕまたはＮｉメッキが施された電極部３１ａ，３１ｂが所定の間隔を隔てて形成されている。この電極部３１ａ，３１ｂは、パッケージ２８内を引き回されて実装端子部３３，３３と接続され、互いに異極となって駆動電圧を供給するものである。
【００２１】
この電極部３１ａ，３１ｂの上には、接着剤である例えば導電性接着剤４３，４３が塗布されている。導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたエポキシ系またはポリイミド系、またはシリコーン系導電性接着剤等を利用することができる。
そして、この導電性接着剤４３，４３の上に、圧電振動片３２が載置されている。すなわち、圧電振動片３２は、後述するように、基部５１の振動腕３４，３５側と反対側の端部であって、基部５１の幅方向両端付近に引出電極５２ａ，５２ｂを有し、この引出電極５２ａ，５２ｂが導電性接着剤４３，４３に対向するようにして載置されている。
このようにして、圧電振動片３２は、導電性接着剤４３，４３を介してパッケージ２８に片持ち式に支持固定され、また、パッケージ２８に設けた電極部３１ａ，３１ｂが、圧電振動片３２に駆動電圧を供給するようになっている。
【００２２】
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図示する形状とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、基部５１と、この基部５１から図１において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５とを備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
【００２３】
一対の振動腕３４，３５は、図３に示すように、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝３６，３７を有している。長溝３６，３７は、図４に示すように、振動腕３４，３５の表裏面（図４において上下面）に形成されており、振動腕３４，３５の幅方向の端面は略Ｈ型となっている。そして、振動腕３４側の長溝３６，３６の内面には、励振電極４６，４６が設けられており、振動腕３５側の長溝３７，３７の内面には励振電極４７，４７が設けられている。励振電極４６，４７は、互いに異極となって対向するように配置されている電極であって、振動腕３４，３５を積極的に振動させるための電極である。
【００２４】
すなわち、図３に示すように、長溝３７内の励振電極４７は、基部５１の表面に引き出されて、基部５１の幅方向の中心を通って、引出電極５２ａと接続され、この引出電極５２ａは振動腕３４の側面に設けられた励振電極４７と接続されている。また、長溝３６内の励振電極４６は、振動腕３４と振動腕３５との間であって基部５１の先端側である股部Ｍ付近を通って、振動腕３５の側面に設けられた励振電極４６と接続され、この励振電極４６は基部５１の図３における右側の側面に引き出されて引出電極５２ｂと接続されている。
【００２５】
このようにして、図３及び図４に示すように、長溝３６，３７により幅方向に分離された振動腕３４，３５の幅が小さくなった土手部３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂにおいて、電界を効率よく発生させ、圧電振動片３２のＣＩ値（クリスタルインピーダンス値）を低く抑えることができる。したがって、このような圧電振動片３２のＣＩ値を、従来の圧電振動片のＣＩ値となるように形成して、振動腕３４，３５の長さを短くできる。
【００２６】
基部５１は、一対の振動腕３４，３５が一体的に接続されるとともに、パッケージ２８に接合される固定領域を有する部分である。すなわち、基部５１は、細長い矩形状の振動腕３４と振動腕３５とをつなげる機能と、パッケージ２８に固定される機能の２つを有する部分であり、股部Ｍを通る幅方向の仮想線Ｘ１よりも固定領域側（図３では下側）である。なお、本実施形態の場合、上述のように引出電極５２ａ，５２ｂの部分がパッケージ２８と接合されているため、この引出電極５２ａ，５２ｂが設けられた領域が固定領域となる。
【００２７】
そして、図３に示すように、この基部５１の一対の振動腕３４，３５の間に配置された股部Ｍと、この股部Ｍに接続されている一対の振動腕３４，３５の根元付近とで、平面視において略Ｕ字状が形成されている。これにより、股部Ｍと振動腕３４，３５の根元付近とを曲面形状にして、股部Ｍや振動腕３４，３５の根元付近の一部分に応力が集中するようなことを防止し、応力がこの略Ｕ字状の曲面に沿って分布するようにしている。なお、この略Ｕ字は、水晶の異方性により、アルファベットのきれいなＵ字のような形状にはなっていない。
【００２８】
ここで、基部５１は、固定領域５２ａ，５２ｂとは反対側（自由端側）に、幅方向の中心を通る長手方向に沿った中心軸Ｙ１周辺に厚みを残すように凹状とすることで、厚みの薄くなった肉薄部６４，６５を有する。
この中心軸Ｙ１周辺とは、中心軸Ｙ１に沿うように設けられた帯状の領域であって、この帯状の幅は、振動腕３４に設けられた長溝３６と振動腕３５に設けられた長溝３７との間において、所定の幅Ｗ１をもって形成される。
なお、中心軸Ｙ１は、基部５１の幅方向の中心を通る軸であるとともに、振動腕３４と振動腕３５との間を通る軸でもある。
【００２９】
そして、この肉薄部６４，６５は、長溝３６，３７を例えばウエットエッチングで形成する際に、基部５１を凹状にエッチングして形成するようにされており、図５に示すように、基部５１の裏面にも形成されている。
なお、裏面の肉薄部６４，６５は表面の肉薄部６４，６５と同様の構成であるため、以下、表面の肉薄部６４，６５についてのみ説明する。
【００３０】
本実施形態の肉薄部６４，６５は、図３ないし図５に示すように、その厚みＤ２が、長溝３６，３７が設けられた領域の厚みＤ３を除く部分の厚みよりも小さく形成されており、肉薄部６４と肉薄部６５とは、中心軸Ｙ１を中心にして、略対称となるように形成されている。
具体的には、肉薄部６４，６５の厚みＤ２は、振動腕３４，３５の厚みＤ１、固定領域５２ａ，５２ｂ側の厚みＤ４、中心軸Ｙ１周辺の厚みＤ５のそれぞれに比べて、小さく形成されている。そして、肉薄部６４，６５は、固定領域５２ａ，５２ｂ側や中心軸Ｙ１周辺に対して、厚み方向について段差がつくように形成されている。
【００３１】
なお、中心軸Ｙ１周辺と、固定領域５２ａ，５２ｂ側や振動腕３４，３５の土手部３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂとには、厚み方向について段差は設けられていないが、中心軸Ｙ１周辺は、固定領域５２ａ，５２ｂ側や土手部３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂに比べて厚く形成されてもよい。
また、肉薄部６４，６５は、その厚みＤ２は長溝３６，３７が設けられた領域の厚みＤ３と同じとなり、肉薄部６４，６５と長溝３６，３７内の底部３４ｃ，３５ｃとの間には段差がない。
【００３２】
また、基部５１は、複数の土手部３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂのうち、幅方向の中心側に配置された土手部３４ｂ，３５ａが、股部Ｍの外縁に沿うように延伸して形成された延伸部６７，６８を有する。
これにより、図３に示すように、土手部３４ｂが延伸して形成された延伸部６７と、土手部３５ａが延伸して形成された延伸部６８とは、幅方向の中央で一体に接続され、そして、延伸部６７，６８は、中心軸Ｙ１に沿うように設けられた帯状の領域である中心軸Ｙ１の周辺とも接続されることになる。したがって、応力がかかりやすい基部５１の幅方向の中心に位置する股部Ｍ付近の強度を上げ、中心軸Ｙ１周辺が肉薄部６４，６５よりも厚い部分であることと相まって、基部５１の中心軸Ｙ１周辺の強度を高め、中心軸Ｙ１のぶれを抑えて、この中心軸Ｙ１を中心にした左右のバランスをとれやすくしている。
【００３３】
そして、基部５１では、積極的に振動が生じないように、振動腕３４，３５に設けられた励振電極４６，４７が延伸されていない。すなわち、図３に示すように、肉薄部６４，６５を含む基部５１には、励振電極４６，４７が引き回されて複数の接続用の電極が形成されているが、この接続用の電極については、異極となる電極が対向しないように配置されることで、基部５１で積極的に振動することを防止している。
具体的には、励振電極４７から基部５１に引き出された電極は、中心軸Ｙ１周辺を通って、引出電極５２ａと接続しているが、この中心軸Ｙ１周辺を通っている部分は、図３に示すように、異極となる励振電極４６と対向するように配置されていない。また、長溝３６内の励振電極４６は、肉薄部６４の凹状の底面（図３では底面の一部）と、この底面につながった内側側面（中心軸Ｙ１側の内面）とに一体的に引き回され、股部Ｍを避けるようにして振動腕３５の側面の励振電極４６と接続されているが、肉薄部６４の凹状の底面と内側側面とに形成されている接続用の電極は、異極となる励振電極４７とは対向するように配置されていない。
【００３４】
本発明の実施形態は以上のように構成されており、一対の振動腕３４，３５は、中心軸Ｙ１周辺の厚みより薄くなった、すなわち、振動腕３４，３５の厚みより薄くなった肉薄部６４，６５と接続されている。したがって、一対の振動腕３４，３５の振動は、基部５１の厚みの薄い肉薄部６４，６５に伝わることになり、基部５１の厚み方向について振動エネルギーが分散されることを防止して、Ｑ値を大きくできる。
【００３５】
さらに、中心軸Ｙ１周辺は肉薄部６４，６５より厚い部分であるため、左右（中心軸Ｙ１を中心にしての左右）の僅かな振動エネルギーのバランスの崩れによる捩れを生じることがなく、剛性のある中心軸をもった安定した振動特性を実現できる。
また、中心軸Ｙ１周辺を中心に肉薄部６４と肉薄部６５とは略対称となっており、中心軸Ｙ１を中心にして基部５１の左右のバランスもとっている。
このように、振動腕３４の基部５１に伝わった振動と、振動腕３５の基部５１に伝わった振動とが、中心軸Ｙ１周辺で出会い易くなるように設定して、幅方向の中心である中心軸Ｙ１上に、振動腕３４と振動腕３５とが振動した際の支点を配置できる。
【００３６】
図６は、本発明の実施形態の第１の変形例に係る圧電振動片６０の概略斜視図である。なお、図６では、理解の便宜のため励振電極を図示していない。
この図において、図１ないし図５の圧電振動片３２と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３７】
この圧電振動片６０において、上述した本発明の実施形態と主に異なるのは、振動腕３４，３５に設けられた長溝３６，３７が、振動腕３４，３５の全長にわたって形成されている点である。
すなわち、長溝３６，３７は振動腕３４，３５の先端を突き抜け、自由端側の端面も略Ｈ型となるように形成することで、振動腕３４，３５は、基部５１側の根元から自由端側の先端まで、幅方向のいずれを切断しても、その端面形状が略同様となるように形成されている。
なお、このように長溝３６，３７を先端まで形成することで、振動腕３４，３５の周波数が高くなってしまうが、例えば振動腕３４，３５と同様あるいはそれ以上の比重を有する錘を長溝３６，３７内に設けることで、周波数を下げることができる。
【００３８】
本発明の実施形態の第１の変形例は以上のように構成されており、長溝３６，３７は、振動腕３４，３５の全長にわたって形成されているので、振動腕３４，３５は根元から先端まで同じ構造となり、振動腕３４，３５全体が安定した屈曲振動をすることになる。したがって、基部５１には安定した振動が伝わって、上述した実施形態と比べて、より振動漏れを効果的に防止できる。
【００３９】
図７は、本発明の実施形態の第２の変形例に係る圧電振動片７０の概略斜視図である。なお、図７では、理解の便宜のため励振電極を図示していない。
この図において、図１ないし図６の圧電振動片３２，６０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００４０】
この圧電振動片７０において、上述した本発明の実施形態およびその第１の変形例と主に異なるのは、振動腕３４，３５に設けられた長溝３６，３７内に幅方向に沿ったバーが形成されている点である。
すなわち、図７に示されるように、振動腕３４，３５の各長溝３６，３７には、それぞれ、複数のサイドバー状の支持部６２が設けられている。
【００４１】
具体的には、各支持部６２は、各長溝３６，３７内を幅方向（図７のＸ方向）に横切るように設けられている。また、各支持部６２は、長溝３６により幅方向に分離された振動腕３４の土手部３４ａ，３４ｂや、長溝３７により幅方向に分離された振動腕３５の土手部３５ａ，３５ｂを一体に接続するようになっている。さらに、本実施形態における支持部６２は、長溝３６，３７内の底部３４ｃ，３５ｃと一体となっている。
【００４２】
本発明の実施形態の第２の変形例は以上のように構成されており、長溝３６，３７には、それぞれ支持部６２が設けられているので、これらの支持部６２が長溝３６，３７内の底部３４ｃ，３５ｃと一体となって、長溝３６，３７により幅方向に分離された振動腕の土手部３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂを支持し、変形が生じないようにする。このため、振動腕３４，３５は捩れ方向の剛性が強化され、安定した振動が可能となる。したがって、基部５１には安定した振動が伝わって、上述した実施形態に比べて、より振動漏れを防止できる。
【００４３】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜相互に組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明の圧電デバイスは、パッケージ内に圧電振動片を含むものであれば、圧電発振器、圧電振動子、フィルタ等その名称を問わずに適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態に係る圧電デバイスである例えば圧電振動子の概略平面図。
【図２】図１のＢ−Ｂ線概略切断断面図。
【図３】本発明の実施形態に係る圧電振動片の概略斜視図。
【図４】図３のＣ−Ｃ線切断端面図。
【図５】図３のＥ−Ｅ線切断端面図。
【図６】本発明の実施形態の第１の変形例に係る圧電振動片の概略斜視図。
【図７】本発明の実施形態の第２の変形例に係る圧電振動片の概略斜視図。
【図８】従来の圧電デバイスに用いられる圧電振動片の概略斜視図。
【図９】図８のＡ−Ａ線概略切断端面図。
【符号の説明】
【００４５】
２８・・・パッケージ、３０・・・圧電振動子、３２，６０，７０・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、３６，３７・・・長溝、５１・・・基部、５２ａ，５２ｂ・・・固定領域（引出電極）、６４，６５・・・肉薄部、Ｙ１・・・中心軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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