(57)【要約】【課題】  本発明は、紫外線露光装置において供給するガスに含まれる不純物の除去効率を高め、紫外線照射領域及びその近傍への堆積物を防ぐことで、露光装置の結像性能低下を防ぎ、露光装置の長寿命化を達成することを目的とする。【解決手段】  本発明は、露光装置の光学系を支持する金属筒との間に空間を有するよう、繊維状構造を有した吸着材を配置する構成をとる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外域の光を照射する光源と被照射物に前記紫外光を照射する照明光学系、投影光学系を備える露光装置において、光学系内部に繊維状構造物を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記繊維状構造物が光学系を支持する金属筒側面から分離され、金属筒との間に空間を有するように配置されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記繊維状構造物が、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、セラミック繊維、ムライト繊維、ロックウール、活性炭繊維、ゼオライト繊維及び有機樹脂繊維から選ばれる１種又は２種以上の素材の複合または混合物であることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の露光装置を用いることを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置及び露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体集積回路の高密度化と共に、露光装置における露光光源の波長はｇ線、ｉ線、エキシマレーザーのＫｒＦ、ＡｒＦと短波長化が進み、それに伴った光子エネルギーの増加が進んでいる。該露光装置における大きな問題として、照射領域及びその近傍に光化学反応によると考えられる堆積が生じ、露光装置の結像性能を大きく低下させることが挙げられる。その様々な対策として有効な方法として、装置へ供給されるガスの浄化を行うことによって堆積の原因物質濃度を低減する工夫が提案されている。例えば、供給される気体の浄化にフィルタを設置したり、ＵＶ照射により堆積物を積極的に生成する方法が数多く提案されている。
【０００３】
例えば、フィルタの設置としては、特許文献１に示されるように、露光装置外部からの空気取り込み口にイオン交換繊維などのイオン吸着用フィルタ、活性炭、ゼオライトによるフィルタを設置し、シラノールを含むイオン性物質を除去する方法が、また、特許文献２に示されるように、照射装置における金属遮蔽部表面に、紫外光耐性を有する誘電体を設け、表面物質の飛散や、電子の放出による微粒子等のイオン化を防ぎ、さらにイオン粒子を吸着する方法が提案されている。
【特許文献１】特許第３２６５６６６号公報
【特許文献２】特許第３３０６９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、フィルタを通過し、装置内に取り込まれた不純物や、装置内部に一度取り込まれて滞留してしまった不純物、例えばシロキサン類が、露光装置光学系表面に堆積物を生じ大きな問題を引き起こす場合がある。
【０００５】
本発明は、該露光装置内に含まれる不純物の除去効率を高め、照射領域及びその近傍への堆積物を防ぐことで、露光装置の結像性能低下を防ぎ、露光装置の長寿命化を達成する露光装置及び露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、露光装置の光学系を支持する金属筒の内側に、繊維状構造を有した吸着材を配置する構成をとる。ここでいう不純物とは、光学部材表面に、付着、堆積する物質及び付着堆積する物質を生成する物質を指す。本発明の目的は、以下の構成をとることにより達成される。
【０００７】
繊維状構造物はガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、セラミック繊維、ムライト繊維、ロックウール、活性炭繊維、ゼオライト繊維及び有機樹脂繊維である構成をとる。
【０００８】
また、繊維状構造物は金属筒側面から分離し、金属筒との間に空間を有するよう配置する構成をとる。
【０００９】
なお、さらに詳細に説明すれば、本発明は下記の構成によって前記課題を解決できた。
【００１０】
（１）紫外域の光を照射する光源と被照射物に前記紫外光を照射する照明光学系、投影光学系を備える露光装置において、光学系内部に繊維状構造物を備えることを特徴とする露光装置。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、繊維状構造物が光学系を支持する金属筒側面から分離され、金属筒との間に空間を有するように配置されることで、表面積を増大するとともに、繊維状構造物の取り替えを簡便にし、この繊維状構造物のみを取り替え及びクリーニングすることが可能となる。
【００１２】
また、前記繊維状構造物が、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、セラミック繊維、ムライト繊維、ロックウール、活性炭繊維、ゼオライト繊維及び有機樹脂繊維から選ばれる１種又は２種以上の素材の複合または混合物とすることで、例えば、シロキサン系ガス、高分子量ガス、アンモニアガス、硫黄酸化物（ＳＯｘ）、窒素酸化物（ＮＯｘ）、リン酸、酢酸等を効率よく吸着、析出させ、光学部材の曇りを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施の形態を、図を用いて詳細に説明する。
【実施例】
【００１４】
本発明における繊維状構造物は、図１に示すように、繊維状構造物１の配置場所を金属筒２側面から分離し、金属筒２との間に空間を有するよう配置されることが好ましい。
【００１５】
繊維状の構造物の配置は、金属筒２との間に空間を有すれば、本発明の範囲内において特に制限されない。図１（ａ）のＡ線において切断した断面図の例を図１（ｂ）及び（ｃ）に示す。
【００１６】
前記繊維状構造物１のＡ線における断面形状は、図１（ｂ）に示すような形状でもよい。また、図１（ｃ）に示すような形状をしていてもよい。このように配置することで、繊維状構造物の表面積を増大するとともに、繊維状構造物の取り替えを簡便にし、この繊維状構造物のみを取り替え及びクリーニングすることが可能となる。
【００１７】
本発明における不純物は、光学部材表面に付着、堆積する物質、及び付着堆積する物質を生成する物質を指す。例えば、シロキサン系ガス、高分子量ガス、アンモニアガス、硫黄酸化物（ＳＯｘ）、窒素酸化物（ＮＯｘ）、リン酸、酢酸等が挙げられる。特に、不純物がシロキサン系ガスである場合に効果が高い。
【００１８】
本発明における繊維状構造物は、本発明の範囲内において、不純物の吸着能をもつものであれば広く使用することができる。例えば、繊維構造物としては、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、シリカとアルミナの複合繊維であるセラミック繊維、ムライト繊維、ロックウール、活性炭繊維、ゼオライト繊維、及びエチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、ポリアリレート、ポリビニリデンフルオライド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリイミドなどの紫外光耐性のある樹脂繊維から選ばれる１種又は２種以上の素材を複合または混合させて用いることができる。
【００１９】
［比較例１］
図２に示すような、構成の光学系をもつ露光装置を使用したところ、光学部材３に堆積物が生じ、光学性能が低下した。
【００２０】
［実施例１］
図１に示すように、金属筒２と分離して内側に活性炭複合ガラス繊維状構造物１の吸着材を備えた露光装置を使用したところ、比較例１と比べて、光学部材３への堆積物生成速度が遅く、光学性能が低下しなかった。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】（ａ）は本発明の一実施例による露光装置の一部において、光学部材の汚れが抑制される様子を示す図、（ｂ）は（ａ）のＡ線において切断した断面図の一例を示す図、（ｃ）は（ａ）のＡ線において切断した断面図の一例を示す図
【図２】本発明の一実施例による露光装置の一部において、光学部材の汚れが発生する様子概略を示す図
【符号の説明】
【００２２】
１  繊維状構造物
２  金属筒
３  光学部材
４  紫外光
５  不純物ガス分子
【図１】
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【図２】
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