(57)【要約】【課題】音響整合層の磨耗を防止し、しかも、不要な指向特性のサイドローブの影響を減らして、安全で且つ使用していても画像変化の無い配列型の超音波探触子を提供する。【解決手段】隣接するもの同士の間に溝１１ａをあけて配列された複数の圧電振動子１と、その複数の圧電振動子から導出された信号線と、これら複数の圧電振動子１の音響放射面上に積層された音響整合層３と、を備えた配列型の超音波探触子において、音響整合層３の上に非分割の連続体して構成された絶縁層７と金属製の保護層８を配置した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隣接するもの同士の間に溝をあけて配列された複数の圧電振動子と、その複数の圧電振動子から導出された信号線と、これら複数の圧電振動子の音響放射面上に積層された単層または複数層の音響整合層と、を備えた配列型の超音波探触子において、
前記単層または複数層の音響整合層の上に、非分割の連続体して構成された金属製の保護層が、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出して設けられていることを特徴とする配列型の超音波探触子。
【請求項２】
前記金属製の保護層の下側に、該金属製の保護層と、前記複数の圧電振動子ならびに該圧電振動子の周囲を覆うシールド材との絶縁を確保するための絶縁層が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の配列型の超音波探触子。
【請求項３】
前記金属製の保護層の厚みが、前記圧電振動子の発する超音波の中心周波数での波長をλとしたとき、λ／２０以下の厚みに設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の配列型の超音波探触子。
【請求項４】
隣接するもの同士の間に溝をあけて配列された複数の圧電振動子の音響放射面上に、絶縁層を介して、非分割の連続体して構成された金属製の保護層がそのまま最終層として超音波探触子の表面に露出して設けられていることを特徴とする配列型の超音波探触子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波診断装置に使用するのに好適な配列型の超音波探触子に関する。
【背景技術】
【０００２】
人体または動物の体内を診断する際に、超音波探触子から体内に向けて超音波パルスを送波し、体内からの反射波を受信することで、体内の状態を映像化することが行われている。特に最近では、家畜の肉質を早い段階で調査し、その調査の結果に応じて飼育内容を差別化する畜産技術が注目されており、その分野において超音波による診断が広く求められるようになってきた。例えば、動物の超音波診断を行う場合、従来では、人体用に開発された超音波探触子をそのまま使用しているのが一般的である。そこで、人体用として使用されている超音波探触子の従来例について説明する。
【０００３】
図６の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は従来一般に知られている音響レンズ付きの超音波探触子の断面構造の例、図７の（ｄ）、（ｅ）は音響レンズ無しの超音波探触子の断面構造の例、図８の（ｆ）は音響整合層を１層（単層）にした音響レンズ無しの超音波探触子の断面構造の例をそれぞれ示している。また、図９はシリコンゴム等の軟質材料製の凸面型の音響レンズを設けた超音波探触子の外観、図１０は硬質材料製の凹面型の音響レンズを設けた超音波探触子の外観、図１１は音響レンズ無しで音響整合層のフラット面をそのまま最終表面とした超音波探触子の外観をそれぞれ示している。
【０００４】
ここで述べる配列型の超音波探触子は、複数の微小な圧電振動子１を列状に配設し、これら複数の圧電振動子１を電子走査（セクタ駆動やリニア駆動など）することで超音波検査を行うものであって、医療用や非破壊検査用の各種超音波診断装置における超音波送受波部として多用されている。なお、圧電振動子１は、圧電振動板１１を分割して製作されるのが一般的であるので、図６においては、圧電振動板を示す符号１１も一緒に示してある。
【０００５】
まず、代表として、図６の（ａ）のタイプの構成について述べる。この超音波探触子は、隣接するもの同士の間に溝（隙間）１１ａをあけて配列された複数の圧電振動子１と、これら圧電振動子１の背面側に配置された背面支持体２と、複数の圧電振動子１の音響放射面上に積層された音響整合層３と、音響整合層３の上に形成された凸面型の音響レンズ４と、を備えている。
【０００６】
圧電振動子（ＰＺＴ等）１は、音響放射面側と背面側に表面電極（図示略）を有し、電極間にインパルス電圧を印加することにより超音波を発生するものである。
【０００７】
背面支持体２は、圧電振動子１の背面側から放出される超音波を減衰させて、圧電振動子１への音響的影響を無くし、さらには圧電振動子１へのダンピングをするためのものである。
【０００８】
音響整合層３は、圧電振動子１の音響インピーダンスが被検体（たとえば、生体組織）の音響インピーダンスに対して桁外れに大きいことから、両者間の音響インピーダンスのマッチング（整合）をとるためのもので、両者の中間的な値の音響インピーダンスとなるように設定されている。また、音響整合層３の厚さは、圧電振動子１の発する超音波の周波数領域のうち中心周波数の波長λの１／４になるように設定されている。
【０００９】
音響レンズ４は、シリコンゴム等の軟質材料よりなり、圧電振動子１から前面側に放出される超音波ビームを集束するために設けられている。
【００１０】
前記の圧電振動子１は、背面支持体２の上に面状の圧電振動板１１を固着し、圧電振動板１１の上に面状に音響整合層（未分割の音響整合層）３を形成し、その状態で、例えば音響整合層３の上からダイシングして、圧電振動板１１を音響整合層３と共に短冊状に分離することで、一定方向に配列した状態に形成されている。
【００１１】
圧電振動子１間の溝１１ａは、ダイシングで切断する際の分割溝（ダイシング溝と呼ばれる）であり、分割された音響整合層３間にも同じ幅の溝１３ａ、１３ｂが同時に形成されている。これら溝１１ａ、１３ａ、１３ｂは、通常、小片状の圧電振動子１の強度を維持したり不要振動を抑制したりする目的で、ゴム系やウレタン系の充填材６で埋められている。
【００１２】
音響整合層３は、超音波の送受波効率を高めるために、（ａ）の例では２層構造とされており、圧電振動子１に近い第１層の音響整合層３Ａはセラミック系の材料より構成され、音響レンズ４に近い第２層の音響整合層３Ｂはエポキシ系の材料より構成されている。そして、これらの音響整合層３（３Ａ、３Ｂ）があることにより、圧電振動子１側から音響レンズ４側に音響インピーダンスが徐々に変化するように設定されている。
【００１３】
このような２層構造の音響整合層３を有するものの例として、大きく分けて、図６の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の３つのタイプが知られている。
【００１４】
（ａ）のものは、１層目の音響整合層３Ａと２層目の音響整合層３Ｂとに共に、圧電振動子１の溝１１ａに対応した溝１３ａ、１３ｂが設けられているタイプである。このタイプは、２層の未分割の音響整合層３Ａ、３Ｂを圧電振動板１１の上に形成した後でダイシングすることにより作成される。
【００１５】
（ｂ）のものは、１層目の音響整合層３Ａと２層目の音響整合層３Ｂが共に裁断されていない（非分割）タイプである。このタイプは、圧電振動板１１をダイシングして複数の圧電振動子１に分離した後で、音響整合層３Ａ、３Ｂを２層重ねて形成することで作成される。
【００１６】
（ｃ）のものは、１層目の音響整合層３Ａは圧電振動板１１と共に裁断し、２層目の音響整合層３Ｂは裁断しない（非分割）タイプである。このタイプは、第１層の音響整合層３Ａを圧電振動板１１の上に形成した上でダイシングし、その後で分割された第１層目の音響整合層３Ａの上に第２層目の音響整合層３Ｂを形成することで作成される。
【００１７】
なお、（ａ）の２層の音響整合層３Ａ、３Ｂとも分割されているタイプは、例えば特許文献１において知られている。また、（ｂ）の２層の音響整合層３Ａ、３Ｂとも非分割のタイプは、例えば特許文献２において知られている。また、（ｃ）の２層の音響整合層３Ａ、３Ｂのうち下層３Ａが分割で、上層３Ｂが非分割のタイプは、例えば特許文献３において知られている。
【００１８】
これら音響レンズ４を設けるタイプの超音波探触子の場合、図６に示すように、シリコンゴム製の凸面型の音響レンズ４Ａを設けるのが通例であるが、図１０に示すように、硬質材料製の凹面型の音響レンズ４Ｂを付けたものもある。
【００１９】
また、音響レンズ無しのタイプとして、図７の（ｄ）、（ｅ）に示すものがある。音響レンズ無しの場合、最上層の音響整合層３Ｂが超音波探触子の最終層となるので、耐久性の面から、少なくとも最上層の音響整合層３Ｂが溝無しで非分割の連続型となっているのが通例である。従って、（ｄ）のタイプは、（ｃ）のタイプから音響レンズ４を取り除いた構成、（ｅ）のタイプは、（ｂ）のタイプから音響レンズ４を取り除いた構成となっている。音響レンズ無しの場合は、外観は図１１に示すようになる。なお、図９、図１０のＡ−Ａ矢視断面が図６（ａ）〜（ｃ）に相当し、図１１のＢ−Ｂ矢視断面が図７（ｄ）、（ｅ）に相当する。
【００２０】
また、以上は音響整合層を２層にしたタイプであったが、図８の（ｆ）のように、音響整合層３を１層（単層）にしたタイプのものもある。
【００２１】
【特許文献１】特開平１１−２９０３１６号公報
【特許文献２】特開平８−２２３６９７号公報
【特許文献３】特開２００２−１６５７９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
ところで、前述したように、動物の診断にも、従来では人体用の超音波探触子をそのまま使用する場合がほとんどであるが、動物の診断の場合には、人体と違う特殊事情として、
（１）体表面が硬い毛で覆われている
（２）石、砂等が毛に付着している。
（３）毛が多い為、体表に力を入れて押し付けて擦る。
等の事情がある。従って、動物の診断用の超音波探触子に望まれる条件としては、画質が良いことと共に、耐久性が高いことが挙げられる。
【００２３】
そこで、第１の条件である耐久性の面で、動物の診断に耐えるものを上記の例（ａ）〜（ｆ）から選んでみると、最上層の音響整合層３（３Ｂ）を非分割とした、タイプ（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）を選ぶことができる。但し、音響レンズ４を設けた（ｂ）、（ｃ）のタイプは、音響レンズ４の摩耗を考慮すると、あまり好ましくない。また、指向特性や送受波利得を考慮すると、（ｅ）、（ｆ）よりも（ｄ）のタイプが一番適合していると言うことができる。
【００２４】
しかし、この動物診断に一番適合しているとみられる（ｄ）のタイプの超波探触子を使用した場合にも、動物の体表の硬い毛には石や砂などの異物が付着していることが多く、超音波伝達媒体（油、超音波ゲル等）を介して超波探触子を体表に押し付けると、あたかも研磨をしている状態と同じ状態になり、樹脂の整合層が容易に磨り減るといった新たな問題が発生することが分かった。即ち、樹脂の整合層が磨り減ることにより、音響整合が崩れ、画像が変化してくる。あるいは、樹脂の整合層の磨り減り方によっては、超音波が正面に出力されていればよいものの、無用に分散されたり、色々な方向に出力されるといった不具合になりかねない。
【００２５】
さらには、樹脂の整合層が磨り減り、または傷が付いたりすると、超音波探触子の故障、ひいては感電等の安全面での問題も出てくるおそれがある。
【００２６】
また一方で、音響整合層の磨耗を防止する方法として、音響整合層自体を樹脂ではなく、金属やセラミックで構成することが考えられるが、それらは材料としての音速が速いために、超音波探触子の音響特性である指向特性が狭くなる上、サイドローブが発生しやすくなるという問題がある。
【００２７】
例えば、超音波探触子の発する超音波の周波数が５ＭＨｚ（通常の動物診断に用いる超音波の中心周波数）で、ステンレスシートを介して水中（体内と類似の環境条件）で超音波を出射した場合の指向特性について検討してみる。超音波探触子から約４０ｍｍ離れた位置で受信した波の強さを測定したら、ステンレスシートの厚みに応じて、図３（ａ）〜（ｃ）のような測定結果が得られた。各特性図の縦軸は受信波の強さ、横軸は超音波探触子の中央正面をゼロとしたときの左右方向の距離（ｍｍ）である。
【００２８】
音響整合層をステンレスシートで構成する場合を考えてみると、周波数が５ＭＨｚのときのλ／４の厚みは、約０．３ｍｍとなる。図３（ａ）、（ｂ）のように、ステンレスシートの厚みが０．４〜０．２ｍｍの場合は、指向性が狭い（山が尖った形になる）うえに、サイドローブが生じることがある。サイドローブは、画像において虚像の原因となるので、好ましくない。また、図３（ｃ）のように、ステンレスシートの厚みが０．０４ｍｍの場合も、サイドローブが観測されるので、あまり好ましくない。
【００２９】
このように音響整合層として金属のシート（例えばステンレスシート）を用いることは、音響特性上において好ましい結果が得られない。
【００３０】
また、圧電振動子から、整合層、そして被検体に至る音響インピーダンスとしては、徐々に被検体の音響インピーダンスに近付いていくことが理想とされているが、金属またはセラミック等を音響整合層に使用することにより、音響インピーダンスの逆転現象が発生してしまうおそれがある。これは、超音波探触子としての特性を悪くすることに他ならない。
【００３１】
本発明は、上記事情を考慮し、耐久性が高く、動物の診断用に長く使用しても、画像の質の変化の少ない、安全な配列型の超音波探触子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３２】
請求項１の発明は、隣接するもの同士の間に溝をあけて配列された複数の圧電振動子と、その複数の圧電振動子から導出された信号線と、これら複数の圧電振動子の音響放射面上に積層された単層または複数層の音響整合層と、を備えた配列型の超音波探触子において、前記単層または複数層の音響整合層の上に、非分割の連続体して構成された金属製の保護層が、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出して設けられていることを特徴とする。
【００３３】
請求項２の発明は、請求項１において、前記金属製の保護層の下側に、該金属製の保護層と、前記複数の圧電振動子ならびに該圧電振動子の周囲を覆うシールド材との絶縁を確保するための絶縁層が設けられていることを特徴とする。
【００３４】
請求項３の発明は、請求項１または２において、前記金属製の保護層の厚みが、前記圧電振動子の発する超音波の中心周波数での波長をλとしたとき、λ／２０以下の厚みに設定されていることを特徴とする。
【００３５】
請求項４の発明は、請求項２または３において、隣接するもの同士の間に溝をあけて配列された複数の圧電振動子と、を備えた配列型の超音波探触子において、前記圧電振動子の上に、絶縁層が設けられて、その上に非分割の連続体して構成された金属製の保護層が、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出して設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
請求項１の発明によれば、単層または複数層の音響整合層の上に、非分割の連続体して構成された金属製の保護層が、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出して設けられているので、動物の体表に当てて超音波診断する場合であっても、金属製の保護層で守られた音響整合層が磨り減るおそれがなく、音響整合が崩れることで画像が変化するようなことがない。また、音響整合層の不規則な磨り減りがないため、いつも超音波が正面に出力されることになり、画像の質の変化が少ない上、故障の要因も少ない。従って、耐久性に優れ、動物診断用の超音波探触子としての有用な性能を保証することができる。
【００３７】
請求項２の発明によれば、金属製の保護層の下側に絶縁層を設けて、金属製の保護層と複数の圧電振動子及びシールド材との間の絶縁を確保したので、感電に対する安全性が高まる。
【００３８】
請求項３の発明によれば、金属製の保護層の厚みを圧電振動子の発する超音波の中心周波数での波長をλとしたとき、λ／２０以下の厚みに設定したので、サイドローブ等の指向特性上の悪影響を極力減らすことができる。
【００３９】
請求項４の発明によれば、圧電振動子の上に絶縁層が設けられ、その上に非分割の連続体して構成された金属製の保護層が、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出して設けられているので、工程の簡略化、コスト削減が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
図１は実施形態の超音波探触子の断面図である。
この超音波探触子は、隣接するもの同士の間に溝（隙間）１１ａをあけて配列された複数の圧電振動子１と、その複数の圧電振動子１から導出されたＦＰＣ等の信号線（図示略）と、これら圧電振動子１の背面側に配置された背面支持体２と、複数の圧電振動子１の音響放射面上に積層された音響整合層３と、その上に絶縁層７を介して積層された金属製の保護層８とを備えており、音響レンズは備えていない。
【００４１】
音響整合層３には、圧電振動子１間の溝１１ａに対応した溝１３ａが設けられており、圧電振動子１間の溝１１ａと音響整合層３の溝１３ａには、ゴム系やウレタン系の充填材６が充填されている。また、保護層８や絶縁層７には分割用の溝は設けられていず、それぞれ非分割の連続体として構成されている。
【００４２】
非分割の連続体して構成された保護層８は、音響レンズがないために、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出している。そして、その非分割の保護層８と音響整合層３との間に、非分割の連続体して構成された絶縁層７が介在されている。絶縁層７は、金属製の保護層８と、圧電振動子１ならびに圧電振動板１１及び背面支持体２の周囲を取り囲むシールド材（図示略）との絶縁を確保するためのものであり、音響整合層３の上面から、圧電振動板１１及び背面支持体２の側面部を覆うように設けられている。
【００４３】
金属製の保護層８としては、例えば、圧電振動子１の発する超音波の中心周波数が５ＭＨｚである場合、０．０１〜０．０２ｍｍ程度のステンレスシートを使用する。一般的には、金属製の保護層８の厚みを、圧電振動子１の発する超音波の中心周波数での波長をλとしたとき、λ／２０以下の厚みに設定するのがよい。
【００４４】
図４に、図３（ａ）〜（ｃ）と比較した特性図（ｄ）〜（ｆ）を示してある。図４（ｄ）は、０．０１５ｍｍ厚のステンレスシートを保護層８として使用した場合の指向特性を示し、（ｅ）は０．０１ｍｍ厚のステンレスシートを保護層８として使用した場合の指向特性を示している。また、（ｆ）は比較例としてシリコンレンズ付きの超音波探触子の指向特性を示している。
【００４５】
この場合も、水中において超音波探触子から約４０ｍｍ離れた位置で、超音波探触子からの出射波を受信し、その波の強さを、超音波探触子の中央正面からの距離に応じて測定した結果を示している。各特性図の縦軸は受信波の強さ（ｍＶ）、横軸は超音波探触子の中央正面をゼロとしたときの左右方向の距離（ｍｍ）である。
【００４６】
この測定結果から、保護層８のステンレスシートが、単に音響整合層３を保護するだけの機能を満たす程度に薄ければ、指向特性に影響を及ぼさないことがわかった。つまり、金属製の保護層８の厚みが０．０１〜０．０２ｍｍ程度であれば、通常のシリコンレンズ使用時の場合図４（ｆ）と、指向特性としては同等であると見ることができる。なお、絶縁層７としては、例えば、０．１ｍｍ程度のポリイミドシートを使用している。
【００４７】
以上の構造により、音響整合層３を最適な厚みに設定することにより、図５のような特性が得られた。
図５の（ａ）は、水中において超音波探触子から約２０ｍｍ離れた位置で、超音波探触子からの出射波を受信した際の波形を示し、（ｂ）はそれをフーリエ変換して得られた周波数特性を示す。縦軸は波の強さ、横軸は周波数である。この図（ｂ）から分かるように、広い周波数帯域にわたり良好な波を観察することができた。
【００４８】
この超音波探触子を得る場合には、図２（ａ）〜（ｄ）に示す手順で作製することができる。
即ち、まず（ａ）に示すように、背面支持体２の上に、圧電振動板１１とその圧電振動子１１から導出されたＦＰＣ等の信号線（図示略）と、未分割の音響整合層３とを、エポキシ樹脂により順番に接着しながら積層する。
【００４９】
次に、（ｂ）に示すように、圧電振動板１１と未分割の音響整合層３とを、ダイシングソーにより規定の間隔で切断し、その隙間（溝１１ａ、１３ａ）にウレタン系の充填材６を充填する。そして、この状態で、アドミタンス波形等の電気信号を確認しながら、分割された音響整合層３の厚み調整を研磨等により行う。
【００５０】
次に、（ｃ）に示すように、音響整合層３の上面（音響放射面）および圧電振動板１１、背面支持体２の周囲を取り囲むシールド材（図示略）の側面にかけての範囲に絶縁層７を接着する。
【００５１】
次に、（ｄ）に示すように、最終層であるステンレスシート等の保護層８を、音響整合層３の上に絶縁層７を介して積層し、エポキシ樹脂により接着する。以上により、図１に示した実施形態の超音波探触子を得ることができる。
【００５２】
このように作製した超音波探触子によれば、音響整合層３の上に、非分割の連続体して構成された金属製の保護層８が、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出して設けられているので、動物の体表に当てて超音波診断する場合であっても、金属製の保護層８で守られた音響整合層３が磨り減るおそれがなく、音響整合が崩れることで画像が変化するようなことがない。また、音響整合層３の不規則な磨り減りや傷が付いたりすることがないため、いつも超音波が正面に出力されることになり、画像の質の変化が少ない上、故障の要因も少ない。従って、耐久性に優れ、動物診断用の超音波探触子としての有用な性能を保証することができる。
【００５３】
また、金属製の保護層８の下側に絶縁層７を設けて、金属製の保護層８と複数の圧電振動子１及びシールド材との間の絶縁を確保したので、安全性も高い。
【００５４】
また、金属製の保護層の厚みを極端に薄くしたので、サイドローブ等の指向特性上の悪影響を極力減らすことができ、画像の虚像も無く正確な診断ができる。
【００５５】
なお、上記実施形態では、動物診断を意図する場合を中心に説明してきたが、本発明の超音波探触子はもちろん、人体診断用としても使用することができるし、その他のあらゆる超音波検査の分野において使用できるものである。
【００５６】
また、上記実施形態では、音響整合層３が１層の場合を示したが、２層以上であってもよい。
【００５７】
また、音響整合層が無い状態、つまり、隣接するもの同士の間に溝（隙間）１１ａをあけて配列された複数の圧電振動子１の上に直接、絶縁層７を設け、最終層として金属製の保護層８を設けてもよい。
【００５８】
また、上記実施形態では、平板のリニア型超音波探触子について説明したが、本発明は、曲率の付いた凹凸どちらのタイプのコンベックス型超音波探触子に対しても適用することができる。特に曲率の小さい超音波探触子に適用する場合は、最終層として設ける金属製の保護層８が薄くて曲げ易いものであるので、取り付けを無理なく行うことができる。
【００５９】
また、上記実施形態では、保護層８の厚みをλ／４よりも極端に薄い厚みとしたが、指向特性のサイドローブによる画像の虚像に問題が無く、特性的にも満足できる特性にすることができれば、厚みは自由に設定しても構わない。
【００６０】
いずれにしろ、本発明は、何らかの理由（耐久性向上等の理由）で非分割の保護層が存在し、しかも、人体用のシリコンレンズを装備した超音波探触子では磨耗による画質の低下、及び安全性に悪影響を及ぼすような構造の超音波探触子に対して広く適用することができ、そのような場合に大きな効果を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施形態の超音波探触子の断面構造を示す図である。
【図２】同実施形態の超音波探触子の製作手順を示す工程図である。
【図３】ステンレスシートを介して超音波を発した場合の指向特性の測定結果（ａ）〜（ｃ）を示す図である。
【図４】より薄いステンレスシートを介して超音波を発した場合の指向特性の測定結果（ｄ）、（ｅ）とシリコンレンズを使用して超音波を発した場合の指向特性の測定結果（ｆ）を示す図である。
【図５】本発明の実施形態の超音波探触子を使用して実験した結果を示す特性図で、（ａ）は受信波形図、（ｂ）は周波数特性図である。
【図６】従来の音響レンズ付きの超音波探触子の断面構造の例（ａ）〜（ｃ）を示す図である。
【図７】従来の音響レンズ無しの超音波探触子の断面構造の例（ｄ）、（ｅ）を示す図である。
【図８】音響整合層を１層（単層）にしたタイプの従来の超音波探触子の断面構造の例（ｆ）を示す図である。
【図９】従来の凸面型の音響レンズを設けた超音波探触子の外観斜視図である。
【図１０】従来の凹面型の音響レンズを設けた超音波探触子の外観斜視図である。
【図１１】従来の音響レンズ無しで音響整合層のフラット面をそのまま最終表面とした超音波探触子の外観斜視図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  圧電振動子
２  背面支持体
３  音響整合層
４  音響レンズ
６  充填剤
７  絶縁層
８  保護膜
１１  圧電振動板
１１ａ，１３ａ  溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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