(57)【要約】      （修正有）【課題】冷却が未完了な状態で基板がカセットに回収されるような手順で運転レシピが作成されるのを防止することにより、安全な状態でプロセスを行うことが可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】複数のプロセス室を有し、この複数のプロセス室を使って異なる複数のプロセスを実行することにより、基板の処理を行う基板処理装置において、各基板毎にプロセス室に対する搬送順序を指定するための搬送順序指定手段と、搬送順序に従って、各基板毎に前記プロセス室に順次に搬送する基板搬送手段と、各基板毎にプロセス室で実行するプロセスを指定するためのプロセス指定手段と、このプロセス指定手段によって指定されたプロセスをプロセス室で実行する実行手段と、プロセスのうち最後に実行されるプロセスとして冷却処理が指定されているかどうかを判定する判定手段とを備える。【選択図】図３
2006210712.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプロセス室を有し、この複数のプロセス室を使って異なる複数のプロセスを実行す
ることにより、基板の処理を行う基板処理装置において、
各基板毎に前記プロセス室に対する搬送順序を指定するための搬送順序指定手段と、
この搬送順序指定手段の搬送順序に従って、前記基板を前記プロセス室に順次に搬送する
基板搬送手段と、
各基板毎に前記プロセス室で実行するプロセスを指定するためのプロセス指定手段と、
このプロセス指定手段によって指定されたプロセスを前記プロセス室で実行する実行手段
と、
前記プロセスのうち最後に実行されるプロセスとして冷却処理が指定されているかどうか
を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプロセス室を有し、この複数のプロセス室を使って異なる複数のプロセ
スを実行することにより、基板に処理を施す基板処理装置に係り、特に基板を高温のプロ
セス室で処理する機能を有するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、枚葉式の基板処理装置では、１台で異なるプロセス（例えば、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍ
ｉｃａｌ  Ｖａｐｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、ドライエッチング、スパッタリング、
熱処理等）を実行するマルチプロセス方式の装置が提案されている
【０００３】
このマルチプロセス方式の基板処理装置は、通常、複数のプロセス室を有し、各プロセス
室で異なるプロセスを実行することにより、１台で異なる複数のプロセスに適用できる。
【０００４】
従来、この種のものとして特開平１１−１９５５７３号公報に記載の基板処理装置が知ら
れている（特許文献１参照）。これによると、複数のプロセス等からなる運転レシピを表
示画面上で作成できるようになっている。そのために、装置の表示部に運転レシピ作成画
面が表示され、この運転レシピ作成画面は表形式で構成され、この画面上には、搬送順序
欄やプロセス指定欄を有している。
オペレータは、この搬送順序欄やプロセス指定欄を使って、複数のプロセス室に対する基
板の搬送順序を各基板毎に指定するとともに、複数のプロセス室で実行するプロセスを各
基板毎に指定する。
このように、運転レシピ作成画面を使って、空欄を埋めるような形式で搬送順序やプロセ
スの指定を行って運転レシピを作成していくので、例えば、複数のコマンドを記述して作
成していくような場合と比べて、運転レシピの作成が容易になる。
【特許文献１】特開平１１−１９５５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した従来の装置では、プロセスの内容とその時間設定及び基板の搬送順序によっては
同一プロセス室への複数の基板の搬送が同時刻に発生するかしないかという判定は行って
いた。しかしながら、高温のプロセス室においてプロセスを実行したとき、基板が十分に
冷却される前に、カセットに回収されてしまい、装置にダメージを与える可能性がある。
よって、本発明の目的は、冷却が未完了な状態で基板がカセットに回収されるような手
順で運転レシピが作成されるのを防止することにより、上述した従来処理の問題点を解決
して、安全な状態でプロセスを行うことが可能な基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために請求項１記載の基板処理装置は、複数のプロセス室を有し、こ
の複数のプロセス室を使って異なる複数のプロセスを実行することにより、基板の処理を
行う基板処理装置において、各基板毎に前記複数のプロセス室に対する搬送順序を指定す
るための搬送順序指定手段と、前記搬送順序に従って、各基板毎に前記複数のプロセス室
に順次に搬送する基板搬送手段と、各基板毎に前記複数のプロセス室で実行するプロセス
を指定するためのプロセス指定手段と、このプロセス指定手段によって指定されたプロセ
スを前記複数のプロセス室で実行する実行手段と、前記複数のプロセスのうち最後に実行
されるプロセスとして冷却処理が指定されているかどうかを判定する判定手段とを備えた
ことにある。
【０００７】
より具体的には、運転レシピに基づいて複数のプロセス室で基板を処理する基板処理装置
において、カセット内の各基板毎に複数または単独のプロセス室に対する前記基板の搬送
順位及びプロセスを入力する入力手段と、前記入力手段により入力された前記複数のプロ
セス室でそれぞれ実行するプロセス条件を記憶する記憶手段とを備え、前記プロセス条件
を入力する入力画面上で、前記複数のプロセス室を順次指定して、前記基板の搬送順序と
して前記記憶手段に記憶させ、且つ前記プロセス条件を前記プロセス室と関連付けて前記
運転レシピを作成し、前記カセットに収納される直前であって、前記複数のプロセスのう
ち最後に実行されるプロセスとして冷却処理が指定されているかどうかを検査することを
特徴とする基板の処理装置である。
【発明の効果】
【０００８】
従って、本発明によれば、基板を処理する際に、装置にダメージを与えるような搬送手順
を指定し実行することを未然に防止することができるので、安全な状態で基板処理を連続
して行うことが可能となる。
また、このようにして作成された運転レシピの記憶手段への記憶時または運転レシピの実
行時に、プロセス室において基板を処理した後、冷却を行わずにカセットに回収するよう
な手順となっているかどうかを検査し、処理装置にダメージを与えるような手順となって
いることを発見した場合はメッセージを表示し、処理を行わないようにしている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に、本発明の実施形態を説明する。
【００１０】
図１は、本発明の基板の処理装置をマルチチャンバ方式の基板処理装置の一例として適用
した内部構成の平面図である。この装置は、プロセス室で一度に処理する基板の枚数が一
枚である枚葉式である。
【００１１】
図示の基板処理装置は、搬送室ＴＲを形成するための六角形のプロセス室１を有する。こ
の基板搬送室用プロセス室１の内部には、基板を搬送するための基板搬送用ロボット１４
が収容されている。また、この基板搬送用プロセス室１の周囲には、六角形の各辺ごとに
、６つのプロセス室２，３，４，５，６，７が配設されている。
【００１２】
ここで隣接する２つのプロセス室２，３はカセット室ＣＭ１，ＣＭ２を形成するためのプ
ロセス室である。また、残りの４つのプロセス室４〜７は、プロセス室ＣＳ１，ＣＳ２，
ＰＭ１，ＰＭ２を形成するためのプロセス室である。これらのプロセス室２〜７は、ゲー
トバルブ８〜１３を介して基板搬送用プロセス室１に接続されている。
【００１３】
尚、ここではプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２は、プロセスとしてＣＶＤ、ドライエッチング、
スパッタリング、熱処理等を行う処理室である。また、プロセス室ＣＳ１，ＣＳ２は冷却
処理を行う冷却室である。
【００１４】
ここにプロセス室について名称を一覧でまとめておく。
【００１５】
【表１】
2006210712.tif 000003
プロセス室プロセス室 名称名称 
ＣＭ１ＣＭ１ 第一カセット室第一カセット室 
ＣＭ２ＣＭ２ 第二カセット室第二カセット室 
ＰＭ１ＰＭ１ 第一プロセス室第一プロセス室 
ＰＭ２ＰＭ２ 第二プロセス室第二プロセス室 
ＣＳ１ＣＳ１ 第一冷却室第一冷却室 
ＣＳ２ＣＳ２ 第二冷却室第二冷却室 
ＴＲＴＲ 搬送室搬送室 
ＷＷ ウェーハ（基板）ウェーハ（基板） 
【００１６】
図２は、この運転レシピ作成画面を示す図である。図示の運転レシピ作成画面は、各基板
毎に、４つのプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２に対する基板の搬送順序と４つ
のプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２で実行するプロセスとを指定する搬送順序
・プロセス指定部３１を有する。この搬送順序・プロセス指定部は、１枚分の基板の搬送
順序とプロセスとを指定するための１０個の基板単位指定部３１（１）、３１（２）、・
・・、３１（１０）を有する。尚、表示画面２４の表示スペースの都合で、基板単位指定
部３１（１）、３１（２）、・・・、３１（１０）が１０個しか表示されていないが、こ
れよりも多くの基板単位指定部が必要な場合は、画面を切り替えることによって、１カセ
ットに格納可能な最大の基板枚数分の基板単位指定部を表示することができる。ここでは
、便宜上、最上段から２個目の基板指定部３１（１）、３１（２）のみが指定されている
。
【００１７】
各基板単位指定部３１（ｎ）（ｎ＝１，２，・・・・１０）は、スロット番号指定部（Ｓ
ｌｏｔ  Ｎｏ．）を有する。このスロット番号指定部３１０（ｎ）は、処理すべき基板の
カセット内における取出しスロットの番号を指定するための（Ｕ）及び（Ｌ）とタイトル
表示された取出しスロット番号ａ１（ｎ）、ａ２（ｎ）を有する。両スロット番号の指定
は、番号を選択または記述することによって行われる。この図では、取出しスロット番号
指定部の１個目の基板単位指定部には「０１」と「０２」、２個目の基板単位指定部には
「０３」と「０４」が指定された場合を示している。
【００１８】
このスロット番号指定部ａ１（ｎ）、ａ２（ｎ）を設けることにより、４つのプロセス室
ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２に対する基板の搬送順序と４つのプロセス室ＰＭ１，Ｐ
Ｍ２，ＣＳ１，ＣＳ２でのプロセスを、各基板ごとに指定可能である。
【００１９】
また、各基板単位指定部３１（ｎ）は、Ｐｒｏｃｅｓｓ１，Ｐｒｏｃｅｓｓ２，Ｐｒｏｃ
ｅｓｓ３，Ｐｒｏｃｅｓｓ４とタイトル表示されたプロセス室単位指定部３１１（ｎ），
３１２（ｎ），３１３（ｎ），３１４（ｎ）を有する。各プロセス室３１ｑ（ｑ）（ｑ＝
１，２，・・・・４）は、対応するプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２に対する
基板の搬送順位を指定するための搬送順位指定部ｂ１（ｎ），ｃ１（ｎ），ｄ１（ｎ），
ｅ１（ｎ）と、このプロセス室ＰＭ１，ＰＭ２，ＣＳ１，ＣＳ２で実行するプロセスを指
定するためのプロセス指定部ｂ２（ｎ），ｃ２（ｎ），ｄ２（ｎ），ｅ２（ｎ）とを有す
る。
【００２０】
この図では、１個目の基板単位指定部に取り出しカセット室指定部（Ｌｏａｄ  Ｍｏｄｕ
ｌｅ）４２に指定されたカセット室「ＣＭ１」からの最初の搬送先を指定する搬送順位指
定部ｂ１（１）にプロセス室「ＰＭ１」が指定され、そのプロセス室ＰＭ１で実行される
プロセスを指定するプロセス指定部ｂ２（１）にプロセス名「ＲＥＣＩＰＥ０１」が指定
され、また、次の搬送先を指定する搬送順位指定部ｃ１（１）にプロセス室「ＰＭ２」が
指定され、そのプロセス室ＰＭ２で実行されるプロセス指定部ｃ２（１）にプロセス名「
ＲＥＣＩＰＥ０２」が指定されている。
【００２１】
更に、次の搬送先を指定する搬送順位指定部ｄ１（１）に冷却機能を有するプロセス室「
ＣＳ１」が指定され、そのプロセス室ＣＳ１で実行されるプロセス指定部ｄ２（１）に冷
却時間「０４００」（４分）が記述されている。
【００２２】
また、各基板単位指定部３１（ｎ）は、処理の終了した基板を回収するカセット室を指定
するための回収カセット室指定部（Ｕｎｌｏａｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）３１５（１）、３１５
（２）、・・・、３１５（１０）を有する。回収カセット室の指定は、リストから選択す
ることによって行われる。図では、基板単位指定部３１（１）でカセット室ＣＭ１を指定
した場合を示している。２個目の基板指定部については、１個目の処理手順と同様だが、
搬送手順に冷却機能を有するプロセス室「ＣＳ１」または「ＣＳ２」が指定されていない
点が異なる。
【００２３】
上記構成において、動作を説明する。まず、図２を参照しながら、運転レシピを作成す
る場合の動作を説明する。この動作は、作業者が制御部（図示せず）に運転レシピの作成
を要求することによって開始される。この作成要求は、例えば、制御部によって表示部（
図示せず）に表示された操作画面を使って行われる。制御部は、運転レシピの作成要求を
受けると、表示部に図２に示す運転レシピ作成画面を表示する。作業者は、表示部に運転
レシピ作成画面が表示されると、この運転レシピ作成画面を使って所望の運転レシピを作
成する。この作成が終了すると、作業者は、制御部に作成した運転レシピの登録（保存）
を要求する。この登録要求は、例えば、運転レシピ作成画面上の釦を押すなどして行われ
る。この登録要求を受けると、制御部は、各基板毎に、プロセス室で処理を行った後、カ
セット室に回収される直前に、冷却処理が行われるような搬送順序になっているかどうか
をチェックする。
【００２４】
図３より運転レシピの保存を行う際に運転レシピ全体を検査するシーケンスについて詳述
する。運転レシピ作成画面上で登録要求が行われると、登録（保存）を行う前に運転レシ
ピの各基板単位で搬送手順の最後に冷却室が指定されているか検査を行う。検査は運転レ
シピに設定されている基板単位数だけ行われる。図２は簡略化のために、２個しか設定さ
れていないが、もちろんそれ以上であっても良い。登録要求が選択されると、運転レシピ
の先頭から順に基板単位で検査を行っていく。搬送単位の情報を取得すると、ウェーハ搬
送指定部（搬送順位指定部）を順番に検査していき、搬送手順の最後を検出する。この結
果、冷却室が設定されていない場合には、異常とみなされ保存処理はキャンセルされる。
このとき、メッセージを表示するなどしてオペレータに伝えられる。搬送手順の最後に冷
却室が設定されていた場合は正常とみなされる。この処理を、最大で運転レシピに設定可
能な基板単位数だけ繰り返す。全ての基板単位で正常があったのみ保存可能とする。運転
レシピ作成中にオペレータが装置から離れる場合に一時的に保存する場合など、特にオペ
レータが保存を指定した場合は除く。尚、ある基板単位の搬送手順が全て空欄であっても
かまわない。この場合は、搬送の最後に冷却室が設定されていなくても正常とみなされる
。以上のことから、図２のような設定の場合、１個目の基板単位では正常とみなすが、２
番目の基板単位では、搬送の最後に冷却室が設定されていないため異常とみなし、メッセ
ージを表示し、保存処理をキャンセルする。
【００２５】
このようにして、検査を行った後、制御部は判定結果を作業者に報告する。この報告は
、例えば、運転レシピ作成画面にエラーメッセージを表示するなどして行われる。このあ
と、制御部は、再び運転レシピの登録要求を受けたか否かを監視する。作業者は、この報
告を受けると、運転レシピの内容を修正した後、再び、登録操作を行う。以下、同様に、
基板の冷却処理が行われた後、カセットに回収されるレシピになるまで、上述した処理が
行われる。
【００２６】
これに対して、運転レシピの検査を行った結果、何等問題がなければ、制御部は、作成
された運転レシピを記憶部に登録する。これにより、作成された運転レシピが登録された
ことになる。
【００２７】
次に、作成された運転レシピを実行する場合の動作を説明する。この動作は、例えば、
作業者によって運転レシピの実行を開始するための捜査が実行されることにより開始され
る。この操作は、例えば、表示部に表示された操作画面上のボタンを押すなどして行われ
る。
【００２８】
この動作において、制御部は、記憶部から運転レシピを読み出し、この運転レシピに基
づいて、基板搬送手段としての基板搬送部（図示せず）の動作やプロセス実行手段として
のプロセス実行部（図示せず）の動作を制御する。
【００２９】
運転レシピによって指定されたカセット室ＣＭ１又はＣＭ２のカセットに収容されてい
る複数の基板のうち、運転レシピに基づいて選択された各基板がそれぞれ運転レシピによ
って指定されるプロセス室ＰＭ（１）、ＰＭ（２）、ＰＭ（３）、ＰＭ（４）に搬送され
る。プロセス室ＰＭ（１）、ＰＭ（２）、ＰＭ（３）、ＰＭ（４）に搬送された基板は、
それぞれ運転レシピによって指定されるプロセスによる処理を受けた後、運転レシピによ
って指定されるカセット室ＣＭ１又はＣＭ２のカセットに回収される。
【００３０】
このように本実施の形態によれば、運転レシピの保存を行う際に運転レシピ全体を検査し
、問題がないかチェックを行う。図２のような運転レシピの場合、１個目の基板単位指定
部は問題ないが、２個目の基板単位指定部には高温のプロセス室で処理を行った後、プロ
セス冷却機能を有するプロセス室へ搬送するような手順となっていないためエラーとなる
。エラー検出時は、メッセージを表示手段に表示し、オペレータに注意を促す仕様として
いる。よって、基板をカセットに回収するときに、熱によるダメージを与えるような搬送
手順を指定しないようにすることができ、より安全な状態で連続して基板処理を行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施の形態を示す基板処理装置の全体的な構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態を示す運転レシピ作成画面を示す図である。
【図３】本発明の実施形態を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【００３２】
１      プロセス室（搬送室ＴＲ）
２      プロセス室（カセット室ＣＭ１）
３      プロセス室（カセット室ＣＭ２）
４      プロセス室（冷却室ＣＳ２）
５      プロセス室（処理室ＰＭ２）
６      プロセス室（処理室ＰＭ１）
７      プロセス室（冷却室ＣＳ１）
８      ゲートバルブ
９      ゲートバルブ
１０    ゲートバルブ
１１    ゲートバルブ
１２    ゲートバルブ
１３    ゲートバルブ
１４    基板搬送用ロボット
３１    基板単位指定部
４２    取り出しカセット室指定部
３１０    スロット番号指定部
３１１    プロセス室単位指定部
３１２    プロセス室単位指定部
３１３    プロセス室単位指定部
３１４    プロセス室単位指定部
３１５    プロセス室単位指定部
【図１】
2006210712.tif 000004
【図２】
2006210712.tif 000005
【図３】
2006210712.tif 000006