(57)【要約】【課題】オゾンの発生しない、クリーンな軟Ｘ線を使用して、軟Ｘ線が外部へ漏洩することなく、イオン化された空気のみを取り出す。【解決手段】軟Ｘ線照射窓８、空気供給口９およびイオン化空気取り出し口１１を備えた中空容器７と、前記中空容器７内に装置される中子１３とにより構成され、前記中子１３は、軟Ｘ線５の直進性を阻止する阻止部１４を備え、且つ前記阻止部１４の下流側で、中子１３と前記イオン化空気取り出し口１１との間にイオン化空気噴き出し用の隙間出口２６を形成し、中空容器７内に照射される軟Ｘ線５が、中空容器７内の空気をイオン化し、更に該軟Ｘ線５が直進するのを前記阻止部１４で阻止して、前記隙間出口２６からの漏洩を防止し、イオン化空気２７のみを噴き出す。【選択図】図３
2006310275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟Ｘ線照射窓、空気供給口およびイオン化空気取り出し口を備えた中空容器と、前記中空容器内に装置される中子とにより構成され、前記中子は、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を備え、且つ前記阻止部の下流側で、中子と前記イオン化空気取り出し口との間にイオン化空気噴き出し用の隙間出口を形成し、中空容器内に照射される軟Ｘ線が、中空容器内の空気をイオン化し、更に該軟Ｘ線が直進するのを前記阻止部で阻止して、前記隙間出口からの漏洩を防止し、イオン化空気のみを噴き出すようにしたことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項２】
軟Ｘ線照射窓、空気供給口およびイオン化空気取り出し口を備えた中空容器と、該中空容器の下流側に取付けられる蓋体と、該蓋体に固定されて前記中空容器と蓋体間に装置される中子とにより構成され、前記中子は、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を上流側に備え、且つ前記阻止部の下流側に、上流側が小径で下流側に行くに従い漸次大径に拡開した傾斜周面部を連設して形成され、更に、前記中空容器の下流端部において、上流側が小径で下流側に行くに従い漸次大径に拡開した傾斜壁面を備えて形成されたイオン化空気取り出し口に、前記中子の傾斜周面部が挿通されて、前記傾斜面と前記傾斜周面部との間にイオン化空気噴き出し用の隙間出口を形成し、中空容器内に照射される軟Ｘ線が直進するのを阻止して、前記隙間出口からの漏洩を防止し、イオン化空気のみを噴き出すようにしたことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項３】
請求項２記載のイオン発生装置において、前記イオン化空気取り出し口は、前記中空容器の下流端部において、上流側の最小径部を起点として、下流側に行くに従い漸次大径となる傾斜角度で拡開された傾斜壁面と、該傾斜壁面に連なりこれより大きい傾斜角度で拡開する多段構造の多段壁面とを備えて形成され、前記中子は、軟Ｘ線照射窓よりやや大径の、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を備えると共に、前記阻止部の下流側にイオン化空気取り出し口の最小径部より小径の首部を連設し、更に、該首部の下流側に前記イオン化空気取り出し口の最小径部に対面する首部を起点として、下流側へ向けて、前記イオン化空気取り出し口の傾斜壁面の傾斜角度より大きな傾斜角度で漸次大径に拡開する傾斜周面部と、該傾斜周面部の下流側に、前記傾斜壁面と多段壁面との境界の径より大径の円柱部とをそれぞれ連設して形成され、前記隙間開口は、前記傾斜壁面における噴き出し方向の巾が、該傾斜壁面と多段壁面との境界から上流側へ向けて１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記傾斜壁面と前記中子の傾斜周面部間の最小隙間間隔を、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成したことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項４】
請求項２記載のイオン発生装置において、前記イオン化空気取り出し口は、前記中空容器の下流端部において、上流側の最小径部を起点として、下流側に行くに従い漸次大径となる傾斜角度で拡開された傾斜壁面と、該傾斜壁面に連なりこれより大きい傾斜角度で拡開する多段構造の多段壁面とを備えて形成され、前記中子は、軟Ｘ線照射窓よりやや大径の、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を備えると共に、該阻止部の下流側にイオン化空気取り出し口の最小径部より小径の首部を連設し、更に、該首部の下流側に、前記イオン化空気取り出し口の最小径部に対面する首部を起点として、下流側へ向けて、前記イオン化空気取り出し口の傾斜壁面の傾斜角度より大きな傾斜角度で漸次大径に拡開する傾斜周面部と、該傾斜周面部の下流側に、前記イオン化空気取り出し口の傾斜壁面と多段壁面との境界の径より小径の円柱部とをそれぞれ連設して形成され、前記隙間出口は、前記傾斜壁面における噴き出し方向の巾が、該傾斜壁面と多段壁面との境界から上流側へ向けて１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記傾斜壁面と前記中子の傾斜周面部間の最小隙間間隔を、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成したことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項５】
請求項２記載のイオン発生装置において、前記イオン化空気取り出し口は、前記中空容器の下流端部において、上流側の最小径部を起点として、下流側に行くに従い漸次大径となる傾斜角度で拡開された傾斜壁面と、該傾斜壁面に連なりこれより大きい傾斜角度で拡開する多段構造の多段壁面とを備えて形成され、前記中子は、軟Ｘ線照射窓よりやや大径の、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を備えると共に、前記阻止部の下流側にイオン化空気取り出し口の最小径部より小径の首部を連設し、更に、該首部の下流側に前記イオン化空気取り出し口の傾斜壁面の傾斜角度と同一傾斜角度で漸次大径に拡開する傾斜周面部と、該傾斜周面部の下流側に、前記傾斜壁面と多段壁面との境界の径より小径の円柱部とをそれぞれ連設して形成され、前記隙間開口は、前記傾斜壁面における噴き出し方向の巾が、該傾斜壁面と多段壁面との境界から上流側へ向けて１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記傾斜壁面と前記中子の傾斜周面部間の隙間間隔を、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成したことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれかに記載のイオン発生装置において、中空容器に対して蓋体をスライド可能に取り付け、該蓋体をスライドさせることにより、隙間出口の隙間間隔を調整し、イオン化空気の噴き出し量を調整できるようにしたことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項７】
軟Ｘ線照射窓および空気供給口を備えた中空容器と、該中空容器の下流側に取付けられるイオン化空気取り出し口を備えた蓋体と、前記中空容器に固定されて該中空容器と蓋体間に装置される中子とにより構成され、前記中子は、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を上流側に備え、且つ前記阻止部の下流側に、下流側に行くに従い漸次小径に形成した傾斜周面部を連設して形成され、更に、前記蓋体に形成されたイオン化空気取り出し口に、前記傾斜周面部が挿通されて、前記傾斜面と前記傾斜周面部との間にイオン化空気噴き出し用の隙間出口を形成し、中空容器内に照射される軟Ｘ線が直進するのを阻止して、前記隙間出口からの漏洩を防止し、イオン化空気のみを噴き出すようにしたことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項８】
請求項７記載のイオン発生装置において、前記中空容器の下流側に、下流側に行くに従い漸次小径に形成された傾斜内壁面を備えると共に、該傾斜内壁面の下流端部に小径のイオン化空気取り出し口を開口して形成された蓋体が取付けられ、前記中子は、軟Ｘ線照射窓よりやや大径の、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を備えると共に、該阻止部の下流側に前記阻止部よりやや小径の円柱部を連設し、更に、該円柱部の下流側に、前記イオン化空気取り出し口の傾斜内壁面の傾斜角度と同一傾斜角度で、下流側に行くに従い漸次小径に形成された傾斜周面部を連設して形成され、前記中空容器と蓋体間に前記中子を装置することにより、イオン化空気取り出し口における傾斜内壁面と中子の傾斜周面とで等間隔の隙間出口が形成され、且つ前記隙間出口は、前記傾斜内壁面における最小径部から上流側へ向けて、噴き出し方向の巾が１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記対面する傾斜内壁面と中子の傾斜周面部間の隙間間隔を、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成したことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項９】
請求項７記載のイオン発生装置において、前記中空容器の下流側に、下流側に行くに従い漸次小径に形成された傾斜内壁面を備えると共に、該傾斜内壁面の下流端部に小径のイオン化空気取り出し口を開口して形成された蓋体が取付けられ、前記中子は、軟Ｘ線照射窓よりやや大径の、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を備えると共に、該阻止部の下流側に前記阻止部よりやや小径の円柱部を連設し、更に、該円柱部の下流側に、蓋体の傾斜内壁面の傾斜角度より小さい傾斜角度で、下流側に行くに従い漸次小径に形成された傾斜周面部を連設して形成され、前記中空容器と蓋体間に前記中子を装置することにより、イオン化空気取り出し口における傾斜内壁面と中子の傾斜周面とで隙間出口が形成され、且つ前記隙間出口は、前記傾斜内壁面における最小径部から上流側へ向けて、噴き出し方向の巾が１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記対面する傾斜内壁面と中子の傾斜周面部間の最小隙間間隔を、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成したことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項１０】
請求項７記載のイオン発生装置において、前記中空容器の下流側に、下流側へ行くに従い漸次小径に形成された傾斜内壁面を備えると共に、該傾斜内壁面の下流端部に小径のイオン化空気取り出し口を開口して形成された蓋体が取付けられ、前記中子は、軟Ｘ線照射窓よりやや大径の、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を備えると共に、該阻止部下流側に前記阻止部よりやや小径の円柱部を連設し、更に、該円柱部の下流側に、蓋体の傾斜内壁面の傾斜角度より大きい傾斜角度で、下流側へ行くに従い漸次小径に形成された傾斜周面部を連設して形成され、前記中空容器と蓋体間に前記中子を装置することにより、イオン化空気取り出し口における傾斜内壁面と中子の傾斜周面とで隙間出口が形成され、且つ前記隙間出口は、前記傾斜内壁面における最小径部から上流側へ向けて、噴き出し方向の巾が１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記対面する傾斜内壁面と中子の傾斜周面部間の最小隙間間隔を、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成したことを特徴とするイオン発生装置。
【請求項１１】
請求項６〜９のいずれかに記載のイオン発生装置において、中空容器に対して蓋体をスライド可能に取り付け、該蓋体をスライドさせることにより、隙間出口の隙間間隔を調整し、イオン化空気の噴き出し量を調整できるようにしたことを特徴とするイオン発生装置。   
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオン発生装置に関し、特に、半導体、液晶および有機ＥＬの製造工程において、半導体、液晶および有機ＥＬの基板表面の静電気を除去する軟Ｘ線式イオナイザーを用いた静電除去装置に使用されるイオン発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体および液晶製造工程において、半導体基板、液晶基板および有機ＥＬ基板の加工・ハンドリング工程で、該基板表面に静電気を帯電し、該静電気で半導体および液晶および有機ＥＬの回路が破壊するトラブルが多発している。  
【０００３】
前記トラブル対策として、半導体、液晶、および有機ＥＬ製造装置において、基板表面上に静電気を除去するためのイオナイザーが設置されている。前記イオナイザーには、高電圧で空気をイオン化する電気式イオナイザーと、軟Ｘ線を空気に照射して空気をイオン化する軟Ｘ線式イオナイザーがある。  
【０００４】
そして、前記静電除去装置のうち、軟Ｘ線式イオナイザーを用いた静電除去装置につき、過去の特許文献を遡及検索すると、下記の特許文献１に開示されたものが公知である。  
【０００５】
【特許文献１】特許第２７４９２０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記電気式イオナイザーは、取り扱いが簡単であるが、長時間の高圧放電で電極が摩耗し、電極の交換が必要なだけでなく、塵が発生し、基板に付着するという課題があった。  
【０００７】
更に、電気式イオナイザーでは、放電時に多量のオゾンを発生するため、基板面の酸化、劣化などの悪影響を及ぼすという課題があった。  
【０００８】
一方、軟Ｘ線式イオナイザーは、オゾンは発生せず、クリーンなイオナイザーであるが、軟Ｘ線が人体に影響を及ぼすため、軟Ｘ線が外部に漏洩しないよう構成する必要があるという課題があった。  
【０００９】
また、前記特許文献１に開示された帯電物体の中和方法においては、軟Ｘ線が外部に漏洩しないように配慮されていないという課題があった。  
【００１０】
本発明は、前記課題を解決すべくなされたもので、オゾンの発生しない、クリーンな軟Ｘ線式イオナイザーを使用して、軟Ｘ線が外部へ漏洩することなく、イオン化された空気のみを取り出すことができるイオン発生装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、軟Ｘ線照射窓、空気供給口およびイオン化空気取り出し口を備えた中空容器と、前記中空容器内に装置される中子とにより構成され、前記中子は、軟Ｘ線の直進性を阻止する阻止部を備え、且つ前記阻止部の下流側で、中子と前記イオン化空気取り出し口との間にイオン化空気噴き出し用の隙間出口を形成し、中空容器内に照射される軟Ｘ線が、中空容器内の空気をイオン化し、更に該軟Ｘ線が直進するのを前記阻止部で阻止して、前記隙間出口からの漏洩を防止し、イオン化空気のみを噴き出すようにするという手段を採用することにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１２】
軟Ｘ線照射窓、空気供給口およびイオン化空気取り出し口を備えた中空容器と中子とにより、オゾンの発生しない、クリーンな軟Ｘ線式のイオン発生装置が形成され、中空容器内に空気を供給すると共に、軟Ｘ線発射管から軟Ｘ線が照射されると、該軟Ｘ線によって、中空容器に供給された空気はイオン化されて、イオン化空気となり、そして、人体に有害な軟Ｘ線は、前記中子に形成された阻止部によって、隙間出口へ向けて直進性が阻止されて、軟Ｘ線の強度が弱められ、該隙間出口からの漏洩を防止し、軟Ｘ線によってイオン化されたイオン化空気のみが噴出するので、人体にとっては極めて安全である。特に、本発明イオン発生装置は、半導体、液晶および有機ＥＬの製造工程において、半導体、液晶および有機ＥＬの基板表面の静電気除去装置として使用するのに最適である。
【実施例１】
【００１３】
図１は、本発明イオン発生装置の実施例１の概略説明図、図２は同正面側から見た斜視図、図３は同実施例１を示す縦断面図である。  
【００１４】
図１において、本発明イオン発生装置１は、軟Ｘ線発射管２を備えた軟Ｘ線発射装置３と空気供給管４とに接続され、イオン発生装置１内に空気供給管４より空気を供給すると共に、軟Ｘ線発射管２によって軟Ｘ線５を照射すると、該軟Ｘ線５が外部へ漏洩することなく、イオン化された空気のみを噴出するよう構成されている。  
【００１５】
図３において、前記イオン発生装置１は、中空部６を備えた中空容器７の上流側に、前記軟Ｘ線発射管２に連通して前記中空部６内に軟Ｘ線５を照射する軟Ｘ線照射窓８を開口すると共に、前記中空容器７の側面部に空気供給管４に接続して前記中空部６内に空気を供給する空気供給口９が開口されている。  
【００１６】
前記中空容器７の下流側には、下流側に行くに従い漸次小径に形成された傾斜内壁面１０を備えると共に、該傾斜内壁面１０の下流端部に小径のイオン化空気取り出し口１１が開口されている。  
【００１７】
前記イオン化空気取り出し口１１は、該イオン化空気取り出し口１１の上流側の最小径部１１ａを起点として、下流側（イオン化空気の噴出し側）へ行くに従い漸次大径となる傾斜角度で拡開された傾斜壁面１１ｂと、該傾斜壁面１１ｂに連なりこれより大きい傾斜角度で拡開する多段構造の多段壁面１１ｃとを備え、更に該多段壁面１１ｃの下流側に、前記傾斜壁面１１ｂより径大なイオン化空気噴き出し空間１２を設けて形成されている。  
【００１８】
そして、前記中空容器７および後述する蓋体１９内に装置されて、イオン化された空気のみを取り出すための中子１３は、軟Ｘ線５の前記イオン化空気取り出し口１１への直進性を阻止する、例えば、球状等に形成された阻止部１４を備えると共に、前記阻止部１４の下流側に前記イオン化空気取り出し口１１の最小径部１１ａより小径の首部１５を連設し、更に該首部１５の下流側に前記イオン化空気取り出し口１１の最小径部１１ａに対面する首部１５を起点として、下流側へ向けて、前記イオン化空気取り出し口１１の傾斜壁面１１ｂの傾斜角度より大きな傾斜角度で漸次大径に拡開する傾斜周面部１６と、該傾斜周面部１６の下流側に、前記傾斜壁面１１ｂと多段壁面１１ｃとの境界１１ｄの径より大径の円柱部１７とをそれぞれ連設して形成されている。  
【００１９】
前記阻止部１４、首部１５、傾斜周面部１６および円柱部１７をそれぞれ一体にして形成された中子１３の下流側は、前記イオン化空気噴き出し空間１２に連なる通気空間１８を備えた筒状の蓋体１９に固定されて、前記中子１３が中空容器７および蓋体１９間に装置される。  
【００２０】
すなわち、前記筒状の蓋体１９は、上流側端部内周壁面に前記中空容器７の下流側端部外周壁面に周設された雄螺子２０と螺合する雌螺子２１を周設して、前記蓋体１９を中空容器７に対してスライド可能に取付け、更に、前記蓋体１９の下流側端縁に複数の通気部２２を備えた支持プレート２３を固着し、且つ該支持プレート２３の中央部に前記中子１３の円柱部１７の下流側端縁をボルト等の固定金具２４により一体に固定して形成されている。なお、図中、２５はフリットである。  
【００２１】
前記のように、中空容器７および蓋体１９間に前記構成より成る中子１３を装置することにより、イオン化空気取り出し口１１における最小径部１１ａおよび傾斜壁面１１ｂと、中子１３の首部１５および傾斜周面部１６とで、イオン化された空気を噴き出すためのリング状の隙間開口２６が形成される。前記隙間開口２６は、図３の部分拡大図に示すように、該隙間開口２６を構成する前記傾斜壁面１１ｂにおける噴き出し方向の巾Ｗが、該傾斜壁面１１ｂと多段壁面１１ｃとの境界１１ｄから、中空容器７の上流側へ向けて１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記傾斜壁面１１ｂと前記中子１３の傾斜周面部１６間の最小隙間間隔Ｇを、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成することが推奨される。  
【００２２】
前記実施例１のイオン発生装置の作用について説明する。中空容器７の中空部６内に空気供給管４より空気を供給すると共に、軟Ｘ線発射管２から軟Ｘ線５が照射されると、該軟Ｘ線５によって、中空部６に供給された空気はイオン化されて、イオン化空気２７となる。  
【００２３】
一方、人体に有害な軟Ｘ線５は、図中矢印で示すように、中子１３の阻止部１４によって直進性が阻止されて、中空部６の内周壁面、あるいは傾斜内壁面１０方向へ反射する。そして、前記傾斜内壁面１０方向へ反射した軟Ｘ線５は、該傾斜内壁面１０によって前記阻止部１４の下流側へ反射し、その後該阻止部１４で反射された軟Ｘ線５は、前記隙間出口２６へ到達する。  
【００２４】
前記直進性を有する軟Ｘ線５は、前記のように少なくとも３度の反射を繰返すことにより、軟Ｘ線５の強度は弱められ、前記隙間出口２６から、前記中空部６内において軟Ｘ線５によってイオン化されたイオン化空気２７のみが噴出し、中空容器７のイオン化空気噴き出し空間１２、筒状の蓋体の通気空間１８から複数の通気部２２を経て、例えば図４に示すようなＸ線遮蔽室Ｒ内の基板Ｐ上へ噴射され、静電気を除去する。  
【００２５】
なお、軟Ｘ線５の強度を弱め、イオン化された空気２７のみを隙間出口２６から噴き出させるためには、テストの結果、前記のように、前記隙間出口２６は、該隙間出口２６を構成する前記傾斜壁面１１ｂにおける噴き出し方向の巾Ｗが、該傾斜壁面１１ｂと多段壁面１１ｃとの境界１１ｄから、中空容器７の上流側へ向けて１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記傾斜壁面１１ｂと前記中子１３の傾斜周面部１６間の最小隙間間隔Ｇを、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成することが最適であることが立証された。  
【００２６】
また、前記筒状の蓋体１９の雌螺子２１と中空容器７の雄螺子２０との螺合深度を、該筒状の蓋体１９を適宜回動してスライドさせて、前記イオン化空気取り出し口１１のリング状の隙間出口２６の隙間間隔を調整することにより、該隙間出口２６から噴き出すイオン化空気２７の噴出量を調整することができる。
【実施例２】
【００２７】
図５は、本発明イオン発生装置の実施例２を示す要部の縦断面図である。実施例２は、前記実施例１の変型であり、中子の形状が実施例１のものと多少異なるものである。そして、その他の構成は、実施例１と同一であるので、変更のない参照符号は実施例１と同一のものを使用して説明する。  
【００２８】
すなわち、図５に示す実施例２の中子３３は、軟Ｘ線５の前記イオン化空気取り出し口１１への直進性を阻止する、例えば、球状等に形成された阻止部３４を備えると共に、該阻止部３４の下流側にイオン化空気取り出し口１１の最小径部１１ａより小径の首部３５を連設し、更に該首部３５の下流側に、前記イオン化空気取り出し口１１の最小径部１１ａに対面する首部３５を起点として、下流側へ向けて、前記イオン化空気取り出し口１１の傾斜壁面１１ｂの傾斜角度より大きな傾斜角度で漸次大径に拡開する傾斜周面部３６と、該傾斜周面部３６の下流側に、前記イオン化空気取り出し口１１の傾斜壁面１１ｂと多段壁面１１ｃとの境界１１ｄの径より小径の円柱部３７とをそれぞれ連設して形成されている。  
【００２９】
前記阻止部３４、首部３５、傾斜周面部３６および円柱部３７をそれぞれ一体にして形成された中子３３の下流側は、実施例１と同様に、図示していないが、中空容器７のイオン化空気噴き出し空間１２に連らなる通気空間１８を備えた筒状の蓋体１９に固定されて、前記中子３３が中空容器７と蓋体１９間に装置されている。  
【００３０】
そして、前記中空容器７と蓋体１９間に前記構成より成る中子３３を装置することにより、イオン化空気取り出し口１１における最小径部１１ａおよび傾斜壁面１１ｂと、中子３３の首部３５および傾斜周面部３６とで、イオン化空気を噴き出すためのリング状の隙間出口４６が形成される。前記隙間出口４６は、図５の部分拡大図に示すように、該隙間出口４６を構成する前記傾斜壁面１１ｂと、該傾斜壁面１１ｂに対面する傾斜周面部３６と円柱部３７の境界までの重なり巾Ｗが１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記傾斜壁面１１ｂと前記中子３３の傾斜周面部３
６間の最小隙間間隔Ｇを、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成することが推奨される。なお、実施例２におけるイオン発生装置の作用は、実施例１と同じであるので、説明を省略する。
【実施例３】
【００３１】
図６は、本発明イオン発生装置の実施例３を示す要部の縦断面図である。実施例３は、実施例２の変型であり、イオン化空気取り出し口の形状が実施例３と多少異なるものである。その他の構成は、実施例２と同一であるので、変更のない参照符号は実施例２と同一のものを使用して説明する。  
【００３２】
すなわち、図６に示すイオン化空気取り出し口１１を構成する傾斜壁面１１ｂと、中子３３の傾斜周面部３６の傾斜角度とを同一角度とし、前記イオン化空気取り出し口１１の傾斜壁面１１ｂと、前記中子３３の傾斜周面部３６の互いに向かい合った部分に、イオン化空気を噴き出すための等間隔のリング状の隙間出口４７が形成される。前記隙間出口４７は、図６の部分拡大図に示すように、該隙間出口４７を構成する前記傾斜壁面１１ｂと、該傾斜壁面１１ｂに対面する傾斜周面部３６と円柱部３７の境界までの重なり巾Ｗが１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記傾斜壁面１１ｂと前記中子３３の傾斜周面部３６間の隙間間隔Ｇを、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成することが推奨される。なお、実施例３におけるイオン発生装置の作用は、実施例１と同じであるので、説明を省略する。  
【００３３】
図７は、本発明イオン発生装置の実施例４を示す縦断面図、図８は図７のＡ−Ａ断面図である。前記実施例１〜３においては、中空容器内に中子が筒状の蓋体により固定されて装置されているのに対し、実施例４は、中子を固定した中空容器の下流側に、イオン化空気取り出し口を備えた蓋体が取付られている。  
【００３４】
すなわち、図７において、イオン発生装置５１は、軟Ｘ線発射管（図示せず）を備えた軟Ｘ線発射装置（図示せず）と空気供給管５４とに接続され、イオン発生装置５１内に空気供給管５４より空気を供給すると共に、軟Ｘ線発射管によって軟Ｘ線５５を照射すると、該軟Ｘ線５５が外部へ漏洩することなく、イオン化された空気のみを噴出するよう構成されている。  
【００３５】
図７において、イオン発生装置５１は、中空部５６を備えた中空容器５７の上流側に、前記軟Ｘ線発射管に連通して前記中空部５６内に軟Ｘ線５５を照射する軟Ｘ線照射窓５８を開口すると共に、前記中空容器５７の側面部に空気供給管５４に接続して前記中空部５６内に空気を供給する空気供給口５９が開口されている。  
【００３６】
前記中空容器５７の下流側には、下流側へ行くに従い漸次小径に形成された傾斜内壁面６０を備えると共に、該傾斜内壁面６０の下流端部に小径のイオン化空気取り出し口６１を開口して形成された蓋体６２が、その上流側外周面に周設された雄螺子６３を、前記中空容器５７の下流側内周面に周設された雌螺子６４に螺合してスライド可能に取付られている。  
【００３７】
更に、前記中空容器５７の下流側の前記雌螺子６４よりやや上流側の周壁に、複数の支持片６５と、該各支持片６５間に通気部６６をそれぞれ設けた保持プレート６７が固定され、且つ該保持プレート６７の中央に、イオン化された空気のみを取り出すための中子６８が支架固定されている。  
【００３８】
そして、前記中空容器５７内に装置されて、イオン化された空気のみを取り出すための中子６８は、軟Ｘ線５５の前記イオン化空気取り出し口６１への直進性を阻止する、例えば、球状等に形成された阻止部６９を備えると共に、該阻止部６９下流側に前記阻止部６９よりやや小径の円柱部７０を連設し、更に該円柱部７０の下流側に前記イオン化空気取り出し口６１の傾斜内壁面６０の傾斜角度と同一角度で、下流側へ行くに従い漸次小径に形成された傾斜周面部７１を連設して形成されている。  
【００３９】
前記阻止部６９、円柱部７０および傾斜周面部７１をそれぞれ一体にして形成された中子６８は、阻止部６９が前記保持プレート６７の各支持片６５に支架固定されて、中空容器５７と蓋体６２間に装置される。前記のように、中空容器５７と蓋体６２間に前記構成より成る中子６８を装置することにより、イオン化空気取り出し口６１における傾斜内壁面６０と中子６８の傾斜周面部７１とで、イオン化された空気を噴き出すため、等間隔のリング状の隙間出口７２が形成される。そして、前記隙間出口７２は、図７の部分拡大図に示すように、該隙間出口７２を構成する、傾斜内壁面６０の最小径部６０ａから、該傾斜内壁面６０に対面する傾斜周面部７１と円柱部７０の境界までの重なり巾Ｗが１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記対面する傾斜内壁面６０と中子６８の傾斜周面部７１間の隙間間隔Ｇを、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成することが推奨される。  
【００４０】
前記実施例４のイオン発生装置の作用について説明する。中空容器５７の中空部５６内に空気供給管５４より空気を供給すると共に、軟Ｘ線発射管５２から軟Ｘ線５５が照射されると、該軟Ｘ線５５によって、中空部５６に供給された空気はイオン化されて、イオン化空気７３となる。  
【００４１】
一方、人体に有害な軟Ｘ線５５は、図中矢印で示すように、中子６８の阻止部６９によって直進性が阻止されて、中空部５６の内周壁面、あるいは傾斜内壁面６０方向へ反射する。そして、前記傾斜内壁面６０方向へ反射した軟Ｘ線５５は、該傾斜内壁面６０によって前記阻止部５９および円柱部７０側へ反射し、その後該阻止部５９および円柱部７０で反射された軟Ｘ線５５は、中子６８の傾斜周面部７１へ到達する。  
【００４２】
前記直進性を有する軟Ｘ線５５は、前記のように少なくとも３度の反射を繰返すことにより、軟Ｘ線５５の強度は弱められ、前記リング状の隙間出口７２から、前記中空部６内において、前記軟Ｘ線５５によってイオン化されたイオン化空気７３のみが噴出する。  
【００４３】
なお、軟Ｘ線５５の強度を弱め、イオン化された空気７３のみを隙間出口７２から噴き出させるためには、テストの結果、前記のように、前記隙間出口７２は、該隙間出口７２を構成する、傾斜内壁面６０の最小径部６０ａから、該傾斜内壁面６０に対面する傾斜周面部７１と円柱部７０の境界までの重なり巾Ｗが１．５ｍｍ〜２．５ｍｍで、且つ前記対面する傾斜壁面６０と中子６８の傾斜周面部７１間の隙間間隔Ｇを、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成することが最適であることが立証された。  
【００４４】
また、前記筒状の蓋体６２の雌螺子６４と中空容器５７の雄螺子６３との螺合深度を、該筒状の蓋体６２を適宜回動してスライドさせて、前記イオン化空気取り出し口５９のリング状の隙間出口７２の隙間間隔を調整することにより、該隙間出口７２から噴き出すイオン化空気７３の噴出量を調整することができる。  
【００４５】
図９は、本発明イオン発生装置の実施例５を示す要部の縦断面図である。実施例５は、前記実施例４の変型であり、実施例４とは、蓋体を構成する傾斜内壁面の傾斜角度と、中子を構成する傾斜周面部の傾斜角度が異なるだけである。そして、その他の構成は、実施例４と同一であるので、変更のない参照符号は実施例４と同一のものを使用して説明する。  
【００４６】
すなわち、図９に示すように、中子６８を構成する下流側の傾斜周面部７１の傾斜角度が、蓋体６２の傾斜内壁面６０より小さく形成されている。そして、前記構成より成る中子６８は、阻止部６９が保持プレート６７の各支持片６５に支架固定されて、中空容器５７と蓋体６２間に装置される。  
【００４７】
前記のように、中空容器５７と蓋体６２間に前記構成より成る中子６８を装置することにより、イオン化空気取り出し口６１における傾斜内壁面６０と、中子６８の傾斜周面部７１とで、イオン化された空気を噴き出すため、リング状の隙間出口７５が形成される。  
【００４８】
そして、図９の部分拡大図に示すように、該隙間出口７５を構成する、傾斜内壁面６０の最小径部６０ａから、該傾斜内壁面６０に対面する傾斜周面部７１と円柱部７０の境界までの重なり巾Ｗが１．５ｍｍ〜２．５ｍｍの巾で、且つ前記傾斜内壁面６０と対面する前記中子６８の傾斜周面部７１間の最小隙間間隔Ｇを、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成することが推奨される。なお、前記構成より成る実施例５のイオン発生装置の作用は、実施例４と同一であるので、説明を省略する。  
【００４９】
図１０は、本発明イオン発生装置の実施例６を示す要部の縦断面図である。実施例６は、前記実施例４の変型であり、実施例４とは、蓋体を構成する傾斜壁面の傾斜角度と、中子を構成する傾斜周面の傾斜角度が異なるだけである。そして、その他の構成は、実施例４と同一であるので、変更のない参照符号は実施例４と同一のものを使用して説明する。  
【００５０】
すなわち、図１０に示すように、中子６８の構成する下流側の傾斜周面７１の傾斜角度が、蓋体６２の傾斜壁面６０より大きく形成されている。そして、前記構成より成る中子６８は、阻止部６９が保持プレート６７の各支持片６５に支架固定されて、中空容器５７と蓋体６２間に装置される。  
【００５１】
前記のように、中空容器５７と蓋体６２間に前記構成より成る中子６８を装置することにより、イオン化空気取り出し口６１における傾斜内壁面６０と、中子６８の傾斜周面部７１とで、イオン化された空気を噴き出すため、リング状の隙間出口７６が形成される。  
【００５２】
そして、図１０の部分拡大図に示すように、該隙間出口７６を構成する、傾斜内壁面６０の最小径部６０ａから、該傾斜内壁面６０に対面する傾斜周面部７１と円柱部７０の境界までの重なり巾Ｗが１．５ｍｍ〜２．５ｍｍの巾で、且つ前記傾斜内壁面６０と対面する前記中子６８の傾斜周面部７１間の最小隙間間隔Ｇを、１５０μｍ〜５００μｍの範囲内に形成することが推奨される。前記構成より成る実施例６のイオン発生装置作用は、実施例４と同一であるので、説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明イオン発生装置の実施例１の概略説明図である。
【図２】同正面側から見た斜視図である。
【図３】本発明イオン発生装置の実施例１を示す縦断面図である。
【図４】本発明イオン発生装置を備えた基板表面の静電除去装置の概略説明図である。
【図５】本発明イオン発生装置の実施例２を示す要部の縦断面図である。
【図６】本発明イオン発生装置の実施例３を示す要部の縦断面図である。
【図７】本発明イオン発生装置の実施例４を示す縦断面図である。
【図８】図７のＡ−Ａ断面図である。
【図９】本発明イオン発生装置の実施例５を示す要部の縦断面図である。
【図１０】本発明イオン発生装置の実施例６を示す要部の縦断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  イオン発生装置２  軟Ｘ線発射管３  軟Ｘ線発射装置４  空気供給管５  軟Ｘ線６  中空部７  中空容器８  軟Ｘ線照射窓９  空気供給口１０  傾斜内壁面１１  イオン化空気取り出し口１１ａ  最小径部１１ｂ  傾斜壁面１１ｃ  多段壁面１１ｄ  境界１２  イオン化空気噴き出し空間１３  中子１４  阻止部１５  首部１６  傾斜周面部１７  円柱部１８  通気空間１９  蓋体２６  隙間出口２７  イオン化空気３３  中子３５  首部３６  傾斜周面部３７  円柱部４６  隙間出口４７  隙間出口５１  イオン発生装置５２  軟Ｘ線発射管５３  軟Ｘ線発射装置５４  空気供給管５５  軟Ｘ線５６  中空部５７  中空容器５８  軟Ｘ線照射窓５９  空気供給口６０  傾斜内壁面６０ａ  最小径部６１  イオン化空気取り出し口６２  蓋体６８  中子６９  阻止部７０  円柱部７１  傾斜周面部７２  隙間出口７３  イオン化空気７５  隙間出口７６  隙間出口 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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