(57)【要約】【課題】  高い透過率の得られる構造とし、位相差が所望の値からずれた場合でも所望の位相差に簡単に調整可能な広帯域波長板及び広帯域波長板の調整方法を提供する。【解決手段】  この広帯域波長板１０は、使用する光の中で最も短波長の光の波長の１／ｎmin以上の周期の微細構造により位相差を生じさせる周期構造１５，１６を有する２枚の波長板１１，１２をそれぞれの主軸が非平行になるように対向して配置した。但し、ｎmin：最も短波長の光に対する波長板の材料の屈折率【選択図】  図１
2006268009.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
使用する光の中で最も短波長の光の波長の１／ｎmin以上の周期の微細構造により位相差を生じさせる周期構造を有する少なくとも２枚の波長板をそれぞれの主軸が非平行になるように対向して配置したことを特徴とする広帯域波長板。
但し、ｎmin：前記最も短波長の光に対する前記波長板の材料の屈折率
【請求項２】
前記少なくとも２枚の波長板の位相差をそれぞれδ１、δ２としたとき、
０°＜δ１＜１３５°、０°＜δ２＜１３５°、９０°＜δ１＋δ２＜２７０°であることを特徴とする請求項１に記載の広帯域波長板。
【請求項３】
前記波長板の少なくとも１枚が次式（１）を満足する構造寸法を有する請求項１または２に記載の広帯域波長板。
Ｈ＝ａ1×ｆ＋ｂ1＋ｃ1      （１）
但し、−ｄ1≦ｃ1≦＋ｄ1
ａ1＝−１０×Ｐ＋４．６
ｂ1＝−１８．５６０×Ｐ2＋２７．６８４×Ｐ−６．８２９９
ｄ1＝−２７．２７３×Ｐ2＋１８．９９４×Ｐ−３．１５
Ｐ：構造周期（μｍ）
Ｈ：構造高さ（μｍ）
ｆ：フィリングファクタ（＝Ｌ／Ｐ、但し、Ｌ：構造幅（μｍ））
【請求項４】
前記波長板の少なくとも１枚が次式（２）を満足する構造寸法を有する請求項１または２に記載の広帯域波長板。
Ｈ＝ａ2×ｆ＋ｂ2＋ｃ2      （２）
但し、−ｄ2≦ｃ2≦＋ｄ2
ａ2＝−１０×Ｐ＋４．６
ｂ2＝−７６．５１５×Ｐ2＋６９．３３５×Ｐ−１３．８２５
ｄ2＝−５４．６３１×Ｐ2＋３６．７８２×Ｐ−６．０２
Ｐ：構造周期（μｍ）
Ｈ：構造高さ（μｍ）
ｆ：フィリングファクタ（＝Ｌ／Ｐ  但し、Ｌ：構造幅（μｍ））
【請求項５】
微細周期構造により位相差を生じさせる構造を有する波長板を少なくとも２枚対向させて配置し、各々の波長板の主軸が互いになす角度を各々の位相差と透過率の偏波依存性に応じて調整することで、所望の位相差及び偏波状態を得ることを特徴とする広帯域波長板の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長板素子を複数枚用いた広帯域波長板及び広帯域波長板の調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
構造性複屈折を利用した波長板は、その構造が波長オーダーであることに加え、一般的に要求される位相差（λ／４、λ／２）を得るには高いアスペクト比が必要となるため、製造が難しく、再現性を得るのが困難という課題があった。更に、広帯域性を持たせる構造の場合、構造高さにより透過率が変動するため、最適な位相差を得るための構造高さで必ずしも高い透過効率が得られるとは限らなかった。
【０００３】
また、図５のように、波長板Ａ，Ｂを２枚を組み合わせ波長板Ａ，Ｂの２枚の構造の方向（主軸ａ、ｂ）を一致させる従来の構成では、各波長板Ａ，Ｂが製造誤差を生じると、所望の位相差からずれてしまう。
【０００４】
下記特許文献１は、レターデーション値が１６０〜３００ｎｍである位相差板の少なくとも２枚が、その遅相軸が互いに平行でも直交でもない角度になるように積層されてなる偏光軸回転積層位相差板を開示する。この位相差板は、２枚の波長板の各々の遅相軸をずらすことにより、波長に対する広帯域性を持たせようとするものである。
【０００５】
また、下記特許文献２は、２枚のレリーフ型格子を光軸線上に所定の相対格子溝角度で並置したホログラフィック光学素子を開示し、２枚のレリーフ型格子の格子溝の相対角度を調整することで位相差を調整するが、光学素子の透過率についての配慮はなされていない。
【特許文献１】特開平１０−９０５２１号公報
【特許文献２】特開昭６３−１５５１０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、高い透過率の得られる構造とし、位相差が所望の値からずれた場合でも所望の位相差に簡単に調整可能な広帯域波長板及び広帯域波長板の調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明による広帯域波長板は、使用する光の中で最も短波長の光の波長の１／ｎmin以上の周期の微細構造により位相差を生じさせる周期構造を有する少なくとも２枚の波長板をそれぞれの主軸が非平行になるように対向して配置したことを特徴とする。但し、ｎmin：前記最も短波長の光に対する前記波長板の材料の屈折率
【０００８】
この広帯域波長板によれば、最も短波長の光の波長の１／ｎmin以上の周期の微細構造により位相差を生じさせる周期構造を有する波長板において、高い透過率の得られる構造の高さに設計したとき、位相差が所望の値からずれても、少なくとも２枚の波長板を各主軸が非平行になるように対向させることで、所望の位相差に合わせ込むことができるので、高い透過率でありかつ所望の位相差とした広帯域波長板を簡単な構成で実現できる。
【０００９】
上記広帯域波長板において、前記少なくとも２枚の波長板の位相差をそれぞれδ１、δ２としたとき、０°＜δ１＜１３５°、０°＜δ２＜１３５°、９０°＜δ１＋δ２＜２７０°であることが好ましい。
【００１０】
また、前記波長板の少なくとも１枚が次式（１）を満足する構造寸法を有することで、高透過率及び所望の位相差（λ／４）を得ることができる。
【００１１】
Ｈ＝ａ1×ｆ＋ｂ1＋ｃ1      （１）
但し、−ｄ1≦ｃ1≦＋ｄ1
ａ1＝−１０×Ｐ＋４．６
ｂ1＝−１８．５６０×Ｐ2＋２７．６８４×Ｐ−６．８２９９
ｄ1＝−２７．２７３×Ｐ2＋１８．９９４×Ｐ−３．１５
Ｐ：構造周期（μｍ）
Ｈ：構造高さ（μｍ）
ｆ：フィリングファクタ（＝Ｌ／Ｐ、但し、Ｌ：構造幅（μｍ））
【００１２】
また、前記波長板の少なくとも１枚が次式（２）を満足する構造寸法を有することで、高透過率及び所望の位相差（λ／４）を得ることができる。
【００１３】
Ｈ＝ａ2×ｆ＋ｂ2＋ｃ2      （２）
但し、−ｄ2≦ｃ2≦＋ｄ2
ａ2＝−１０×Ｐ＋４．６
ｂ2＝−７６．５１５×Ｐ2＋６９．３３５×Ｐ−１３．８２５
ｄ2＝−５４．６３１×Ｐ2＋３６．７８２×Ｐ−６．０２
Ｐ：構造周期（μｍ）
Ｈ：構造高さ（μｍ）
ｆ：フィリングファクタ（＝Ｌ／Ｐ  但し、Ｌ：構造幅（μｍ））
【００１４】
本発明による広帯域波長板の調整方法は、微細周期構造により位相差を生じさせる構造を有する波長板を少なくとも２枚対向させて配置し、各々の波長板の主軸が互いになす角度を各々の位相差と透過率の偏波依存性に応じて調整することで、所望の位相差及び偏波状態を得ることを特徴とする。
【００１５】
この広帯域波長板の調整方法によれば、各波長板において製造誤差が生じると、１枚構成または２枚で構造の方向（主軸方向）を一致させる構成では、所望の位相差からずれてしまうが、波長板を少なくとも２枚対向させて配置し、各々の波長板の主軸が互いになす角度を各々の位相差と透過率の偏波依存性に応じて調整することで、所望の位相差に調整することができるとともに、透過率の偏波依存性を考慮して所望の偏光状態に調整できるので、例えば、λ／４波長板であれば、直線偏光を完全な円偏光に変換でき、また、λ／２波長板であれば、直線偏光を完全に直交する直線偏光に変換できる。
【００１６】
なお、波長板のような複屈折素子において、光の進む速度が速い（位相が進む）方位をその素子の進相軸といい、反対に遅い（位相が遅れる）方位を遅相軸といい、進相軸と遅相軸とを総称して主軸という。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の広帯域波長板によれば、高い透過率でありかつ所望の位相差を簡単な構成で実現できる。また、本発明の広帯域波長板の調整方法によれば、高い透過率の得られる構造とし、位相差が所望の値からずれた場合でも、所望の位相差に簡単に調整できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。図１は本実施の形態による広帯域波長板を概略的に示す斜視図である。図２は１枚の波長板素子の構造高さと透過率、位相差（波長λ＝４０５ｎｍ）との関係例を示すグラフである。図３は図１の広帯域波長板における各波長板素子の主軸のずれ角（ずれ方向）を説明するための図である。図４は図１の広帯域波長板で１／４波長板を得るための配置を説明するグラフである。図６は波長板素子においてフィリングファクタと波長４０５ｎｍのときの位相差で規格化した位相差との関係を示す図である。
【００１９】
図１に示すように、広帯域波長板１０は、裏板１３上に微細な凹凸周期構造１５を有する第１の波長板素子１１と、裏板１４上に微細な凹凸周期構造１６を有する第２の波長板素子１２とから構成される。第１の波長板素子１１と第２の波長板素子１２とは、互いに面間が平行になるように対向して配置されるが、各波長板素子１１，１２の主軸１１ａと主軸１２ａとがずれて非平行になるように配置される。
【００２０】
第１の波長板素子１１の凹凸周期構造１５と、第２の波長板素子１２の凹凸周期構造１６は、例えば、同じ設計で同じ特性である。
【００２１】
ここで、１枚の波長板素子の凹凸周期構造において、凹凸周期構造の高さＨ（図１参照）と透過率（ＴＥ及びＴＭ）との関係及び構造高さＨと位相差との関係がそれぞれ図２のようになる場合、構造高さＨが２μｍのとき、図の破線のように所望の位相差（λ／４）を得ることができるが、透過率が低い。図２のように１枚の波長板素子で広帯域性を持たせる構造の場合、構造高さにより透過率が変動するため、所望の位相差（λ／４）を得るための構造高さで必ずしも高い透過効率が得られるとは限らない。
【００２２】
また、図６において、凹凸周期構造のピッチ（周期）をＰ、構造幅をＬ、フィリングファクタをｆ（＝Ｌ／Ｐ）とし、波長６５０ｎｍ、７８０ｎｍを７００ｎｍ近辺の波長と考え、波長４０５ｎｍと波長７００ｎｍの位相差を比較する。広帯域性を一般的な値として±２０度以内とすると、図６から存在し得る設計値は、λmin／ｎ＜Ｐ（ｎ：屈折率）であることが分かる。なお、材料をポリオレフィン樹脂として計算したが、一般的な光学樹脂材料では大差がない。
【００２３】
一般的な光学樹脂材料からなる波長板で位相差λ／４を得るには、凹凸周期構造の構造高さＨは少なくとも２μｍ必要であり、製作が容易でないことから、上述のように２枚の波長板素子を組み合わせることで、製作が容易となる。更に、この領域においては、図２のように短波長の透過率は大きく変動するため、高い透過率を得たい場合、所望の位相差（例えば、λ／４やλ／２の整数分の１）が得られるわけではなく、高透過率でかつ所望の位相差を得るには主軸の向き（角度）を調整する必要がある。
【００２４】
そこで、図１の各波長板素子１１，１２が例えば図２の凹凸周期構造を有する場合、その構造高さＨを実線のように透過率が高い値（Ｈが約１．３μｍ程度）として設計し、図１のように第１及び第２の波長板素子１１，１２を組み合わせ、それらの主軸１１ａと１２ａを非平行にずらして調整することで所望の位相差（λ／４）を得ることができる。
【００２５】
ここで、図３に示すように、第１の波長板素子Ａの調整前の主軸ａと、第２の波長板素子Ｂの調整前の主軸ｂとは、例えばｘ軸の入射光の偏光方向に対し互いに平行で同じ方向を向いていたが、第１の波長板素子Ａの調整前の主軸ａをθａだけずらし主軸ａ’とし、第２の波長板素子Ｂの調整前の主軸ｂをθｂだけずらし主軸ｂ’とすることで、第１の波長板素子Ａの調整後の主軸ａ’と第２の波長板素子Ｂの調整後の主軸ｂ’とを非平行になるようにずらす。このとき、上述のずれ角θａとずれ角θｂとを調整することで所望の位相差（λ／４）を得る。
【００２６】
例えば、同じ設計で同じ特性の微細な凹凸周期構造を有する第１の波長板素子１１と第２の波長板素子１２を図１のように組み合わせる場合、図４のように、第１の波長板素子１１の主軸のずれ角θａと第２の波長板素子１２の主軸のずれ角θｂを決めることで、１／４波長板を得ることができる。即ち、波長板素子１１，１２の位相差をδ１，δ２とすると、次の条件式（３）、（４）、（５）を満たす範囲内で、各波長板素子１１，１２の位相差δ１，δ２が、例えば、１００°の場合、図４から、θａを−５°程度、θｂを４０°程度となるように、各主軸１１ａ、１２ａを調整することで、図１の広帯域波長板１０が１／４波長板として機能できるようになる。
０°＜δ１＜１３５°            ・・・（３）
０°＜δ２＜１３５°            ・・・（４）
９０°＜δ１＋δ２＜２７０°    ・・・（５）
【００２７】
従来、構造性複屈折を利用した波長板では、その構造が波長オーダーで微細であり、要求される位相差（λ／４、λ／２）を得るには高いアスペクト比が必要であるため、製造が難しく、再現性を得るのが困難であり、更に、広帯域性の構造の場合、最適な位相差を得る構造高さで必ずしも高い透過効率が得られるとは限らなかったのに対し、本実施の形態の広帯域波長板によれば、各波長板素子を高い透過率の得られる構造高さに設計し、位相差が所望の値からずれても、２枚の波長板素子を組み合わせ、所望の位相差に合わせ込むことで、図１の広帯域波長板１０のような簡単な構成でありながら所望の位相差を得ることができる。
【００２８】
また、各波長板素子に製造誤差が生じると、１枚構成または図５のように２枚で構造の方向（主軸方向）を一致させる構成では、所望の位相差からずれてくるが、そのような場合でも、図３のように主軸をずらすことで、所望の位相差に簡単に調整することができる。このように、本実施の形態の広帯域波長板の調整方法によれば、各波長板素子に製造誤差があっても、主軸のずらし調整により設計の所望の位相差に調整できる。
【００２９】
また、上記特許文献１の位相差板は２枚の波長板の各々の遅相軸をずらすことで波長に対する広帯域性を持たせようとするものであるのに対し、本発明の広帯域波長板は、広帯域性を構造に持たせ、主軸ずらしにより設計の位相差に調整するものである。
【００３０】
次に、本実施の形態において、２枚の波長板素子を組み合わせ、各主軸のずれ角度を調整することで所望の位相差を得るとともに、透過率の偏波依存性を考慮した角度調整について図３を参照して説明する。
【００３１】
直線偏光を持った入射光の偏光方向に対して主軸を４５°に配置したときの１／４波長板の基本的な作用は、前記直線偏光を円偏光に、または、その逆に円偏光を入射光とした場合は直線偏光へと変換するものである。しかしながら、たとえ位相差がλ／４であっても偏光成分による透過率が異なる場合は、入射光の偏光方向に対して主軸を４５°に配置しても、完全な円偏光は得られず楕円偏光となる。その結果、一般的な光学機器に対して満足のいく波長板にならない。
【００３２】
特に、構造性複屈折を用いた波長板は、その微細構造の形状パラメータ（高さ、ピッチ、フィリングファクタ）により構造と平行な偏光方向を持つ入射光（ＴＥ波）と直交する偏光方向をもつ入射光（ＴＭ波）とで、透過率の偏差が異なるため、広帯域性やＴＥ・ＴＭの平均透過率から良好と判断される設計値でも必ずしもＴＥ波とＴＭ波の透過率が一致するとは限らない。そこで、波長板素子２枚を対向させて配置する場合は、位相差とともに透過率の偏波依存性を考慮した角度調整が必要となる。
【００３３】
以下、波長板素子２枚を対向させて配置する場合の角度算出方法について説明する。波長板の偏波依存性の成分と位相差を生ずる成分を分離して考える場合、ストークスパラメータの変換行列を用いると、それぞれ、部分偏光子行列（ＰＯ）と位相子行列（Ｃ）で表すことができる（「応用光学I、II」（鶴田匡夫著、培風館）参照）。
【００３４】
図３の波長板素子Ａと波長板素子Ｂの部分偏光子行列（ＰＯ）及び位相子行列（Ｃ）をそれぞれ、ＰＯA、ＣA、ＰＯB、ＣBとすると、ＰＯA、ＣA、ＰＯB、ＣBは下記数１中の式（６）、（７）、（８）、（９）のように表すことができる。入射光のストークスパラメータをＳ、出射光のストークスパラメータをＳ’とすると、その関係は下記数１中の式（１１）で表すことができる。なお、偏波依存性を考慮しない場合は、式（１０）で表すことができる。
【００３５】
【数１】
2006268009.tif 000003
【００３６】
ここで、角度０度直線偏光を表すストークスパラメータＳは、次の数２のようになる。
【００３７】
【数２】
2006268009.tif 000004
【００３８】
また、右回りの円偏光、左回りの円偏光を表すストークスパラメータＳ’は、それぞれ次の数３のようになる。
【００３９】
【数３】
2006268009.tif 000005
【００４０】
従って、下記数４中の式（１２）及び式（１２’）を満たすδ１とδ２が波長板素子Ａと波長板素子Ｂの適切な角度を意味する。
【００４１】
【数４】
2006268009.tif 000006
【００４２】
以上のように、図３の波長板素子Ａと波長板素子Ｂを上記適切な角度に調整することで、所望の位相差を得ることができるとともに、偏光成分による透過率が異なる場合でも、例えば、直線偏光を持った光が波長板素子Ａと波長板素子Ｂに入射し出射することで、楕円偏光とならず、完全な円偏光の光となって波長板から出射でき、一般的な光学機器に対して満足な広帯域波長板を実現できる。
【実施例】
【００４３】
以下、本発明を実施例１，２により更に具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。
【００４４】
〈実施例１〉
【００４５】
実施例１は、２枚の波長板素子を組み合わせる際に、上述の式（１）、（２）により、下記表１の設計１乃至６のように、ピッチＰ、構造高さＨ、フィリングファクタｆ（＝Ｌ／Ｐ、但し、Ｌ：構造幅）の構造寸法を決定し、透過率及び位相差を評価したものものであり、その結果を表１に併せて示す。なお、シミュレーションには、ベクトル解析である厳密結合波理論(Rigorous Coupled Wave Analysis)を用いた。また、材料としてはポリオレフィン樹脂を用い、その屈折率ｎは次の通りである。
ｎ＝１．５５１０８８（λ＝４０５ｎｍ）
ｎ＝１．５３３４５４（λ＝６５０ｎｍ）
ｎ＝１．５３００１１（λ＝７８０ｎｍ）
【００４６】
【表１】
2006268009.tif 000007
【００４７】
なお、上記表１において、総合評価＊３は次のようにして行った。
(1)透過率75％以上、
(2)λ=405nmにおける位相差φ405=0.25[λ]に調整した場合のλ=650ｎｍにおける位相差φ650=0.25±0.02[λ] 以内、
(3)λ=405nmにおける位相差φ405=0.25[λ]に調整した場合のλ=780ｎｍにおける位相差φ780=0.25±0.04[λ] 以内、
をそれぞれ満たすものを○とする。総合評価は、上記(1)(2)(3)の全てを満たすものを○とする。
【００４８】
表１から、式（１）、または、式（２）を満たし、かつ、２枚の波長板素子を最適な主軸角度で配置することで、高透過率及び所望のλ／４の位相差の広帯域波長板を得ることができることが分かる。
【００４９】
〈実施例２〉
【００５０】
実施例２は、２枚の波長板素子を組み合わせる際に透過率の偏波依存性を考慮して角度調整を行うものである。図７は、偏波依存性を考慮せずに角度調整した場合の図３のｎ点での偏光状態を示す図（ａ）及び図３のｍ点での偏光状態を示す図（ｂ）である。図８は、偏波依存性を考慮して角度調整した場合の図３のｎ点での偏光状態を示す図（ａ）及び図３のｍ点での偏光状態を示す図（ｂ）である。
【００５１】
本実施例では、以下の２枚の波長板素子を組み合わせた場合を考える。
波長板素子Ａ：位相差６５ｄｅｇ、ＴＥ透過率１００％  ＴＭ透過率５０％
波長板素子Ｂ：位相差６０ｄｅｇ、ＴＥ透過率１００％  ＴＭ透過率５０％
【００５２】
偏波依存性を考慮しない上記式（１０）で角度調整した結果、δ１、δ２はそれぞれ、１６．７ｄｅｇ、５３．９ｄｅｇが解の１つとして得られ、その偏光状態を図７（ａ）、（ｂ）に示す。これに対し、偏波依存性を考慮した上記式（１１）で角度調整した結果、δ１、δ２はそれぞれ、１１．２ｄｅｇ、３７．９ｄｅｇが解の１つとして得られ、その偏光状態を図８（ａ）、（ｂ）に示す。
【００５３】
偏波依存性を考慮しないで角度調整した場合は、図７（ｂ）のように、完全な円偏光は得られず楕円偏光となるのに対し、偏波依存性を考慮して角度調整した場合は、図８（ｂ）のように完全な円偏光が得られることが分かる。
【００５４】
以上のように本発明を実施するための最良の形態及び実施例について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で各種の変形が可能である。例えば、図１では、各波長板素子１１，１２は、凹凸周期構造同士が対向するように配置されているが、凹凸周期構造と裏板１３または１４とが対向するように配置してもよく、また、裏板１３，１４同士が対向するように配置してもよい。また、光は凹凸周期構造側から入射しても裏面から入射してもよい。更に、光の入射は、第１の波長板素子１１側からでも、第２の波長板素子１２側からでもよい。
【００５５】
また、図１では、同じ設計で同じ構成の波長板素子を２枚組み合わせたが、本発明の波長板はこれに限定されず、３枚またはそれ以上組み合わせてもよく、また、特性が異なる微細な凹凸周期構造の波長板素子を組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本実施の形態による広帯域波長板を概略的に示す斜視図である。
【図２】１枚の波長板素子の構造高さと透過率、位相差（波長λ＝４０５ｎｍ）との関係例を示すグラフである。
【図３】図１の広帯域波長板における各波長板素子の主軸のずれ角（ずれ方向）を説明するための図である。
【図４】図１の広帯域波長板で１／４波長板を得るための配置を説明するグラフである。
【図５】従来の２枚を組み合わせた波長板を概略的に示す斜視図である。
【図６】波長板素子においてフィリングファクタと波長４０５ｎｍのときの位相差で規格化した位相差との関係を示す図である。
【図７】偏波依存性を考慮せずに角度調整した場合の図３のｎ点での偏光状態を示す図（ａ）及び図３のｍ点での偏光状態を示す図（ｂ）である。
【図８】偏波依存性を考慮して角度調整した場合の図３のｎ点での偏光状態を示す図（ａ）及び図３のｍ点での偏光状態を示す図（ｂ）である。
【符号の説明】
【００５７】
１０ 広帯域波長板
１１，１２ 波長板素子
１５，１６ 微細な凹凸周期構造
ａ，ｂ 主軸
Ｈ 構造高さ
Ｐ 構造周期（ピッチ）
ｆ フィリングファクタ
θａ，θｂ  主軸のずれ角
【図１】
2006268009.tif 000008
【図２】
2006268009.tif 000009
【図３】
2006268009.tif 000010
【図４】
2006268009.tif 000011
【図５】
2006268009.tif 000012
【図６】
2006268009.tif 000013
【図７】
2006268009.tif 000014
【図８】
2006268009.tif 000015