(57)【要約】【課題】  偏向部材の製作時の要因で発生するランダムな波面収差の発生方向とランダムな波面収差の量とに対応して、波面収差を適正に補正できる光ビーム偏向器を提供する。【解決手段】  光ビーム偏向器３６に、偏向部材３８に収束光を入射させる光路上又は偏向部材３８から収束光を出射させる光路上に配置された光学ガラスの材料を一方の平面に対して他方が傾斜面となるように楔形に形成した第１の補正部材６８と、偏向部材３８に収束光を入射させる光路上又は偏向部材３８から収束光を出射させる光路上に配置された光学ガラスの材料を一方の平面に対して他方が傾斜面となるように楔形に形成した第２の補正部材７０とを配置し、非点収差のある偏向部材３８の反射面３９の波面収差量を打ち消すように、第１の補正部材６８と第２の補正部材７０とを相対的に回動調整し、第１の補正部材６８と第２の補正部材７０との全体を、非点収差のある偏向部材３８の反射面の波面収差を打ち消す方向に合わせるように調整して構成する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に画像を記録するため、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動される偏向部材の反射面で偏向し走査する光ビーム偏向器において、
前記偏向部材に収束光を入射させる光路上又は前記偏向部材から収束光を出射させる光路上に配置された、光学ガラスの材料を一方の平面に対して他方が傾斜面となるように楔形に形成した第１の補正部材と、
前記偏向部材に収束光を入射させる光路上又は前記偏向部材から収束光を出射させる光路上に配置された、光学ガラスの材料を一方の平面に対して他方が傾斜面となるように楔形に形成した第２の補正部材と、を有し、
非点収差のある前記偏向部材の反射面の波面収差量を打ち消すように、前記第１の補正部材と前記第２の補正部材とを相対的に回動調整し、
前記第１の補正部材と前記第２の補正部材との全体を、非点収差のある前記偏向部材の反射面の波面収差を打ち消す方向に合わせるように調整して構成したことを特徴とする光ビーム偏向器。
【請求項２】
前記第１の補正部材と、前記第２の補正部材とが、相互に傾斜面を摺り合わせた状態で一体化されて、前記偏向部材を設置した筒状筐体の開口内部に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【請求項３】
前記第１の補正部材と、前記第２の補正部材とが、相互に傾斜面を摺り合わせた状態で一体化されて、前記偏向部材の入射面に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【請求項４】
前記第１の補正部材が前記偏向部材の入射面に取り付けられると共に、前記第２の補正部材が、前記偏向部材の出射面に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【請求項５】
前記第１の補正部材が、前記偏向部材を設置した筒状筐体の開口を塞ぐように配置されると共に、前記第２の補正部材が前記筒状筐体の出射開口部分を塞ぐように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、レーザビームの走査光学系により円筒ドラム内面に配置した感光面を走査して露光処理するインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）等に用いて好適な、波面収差を補正した光ビーム偏向器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、オフセット印刷には、感光性平版印刷版（いわゆるＰＳ版）が利用されている。また、この平版印刷の分野では、コンピュータ等のデジタルデータに基づいてレーザ露光処理をし、自動現像機で感光性平版印刷版上に形成された潜像を顕像に変換する現像処理をして直接印刷版を製版するＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムが実用化されている。
【０００３】
このようなＣＴＰシステムでは、円筒ドラムの内周面上に配置した記録媒体である感光性平版印刷版の感光面にレーザ等の光ビームを導いて走査露光処理を行うインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）が広く用いられている。
【０００４】
このインナードラム露光装置は、光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）としてのスピナーミラー装置を備える。このスピナーミラー装置は、高速で回転駆動されるスピナーミラーに、光源側の光学系からの集光ビームを反射させて、記録媒体の感光面上に対して主走査方向に偏向走査を行うと共に、副走査移動手段によってスピナーミラー部分を、インナードラム支持体の円弧中心軸の軸線方向に等速度で移動して副走査することにより、記録媒体の感光面の全面に露光処理を行う。
【０００５】
従来の光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）には、傾斜鏡（スピナーミラー）が高速で回転されるときの変形を補正するための波面収差補正手段を具備したスピンモ−タモジユ−ルが提案されている。この光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）では、光路に沿って開口を設けた円筒筐体の内部に、傾斜鏡を配置する。この傾斜鏡は、円筒筐体の中心線に対して角度４５度傾斜している。
【０００６】
この光ビーム偏向器では、入射光ビ−ムを円筒筐体の開口部から入光させ、傾斜鏡にて反射させる。反射光ビ−ムは、円筒筐体の側面に穿設された側開口部から出光し、記録媒体上に集光される。
【０００７】
この円筒筐体は、光ビ−ムを走査するために高速回転（１０，０００ｒｐｍ以上）されるので、傾斜鏡が遠心力で変形して光ビ−ム内に収差が発生する。
【０００８】
そこで、この円筒筐体の開口部には、傾斜鏡に対して角度の調整を可能なように光平面ガラス板を配置し、この光平面ガラス板の傾斜鏡との相対的な角度を調整することによって、収差を解消する波面収差補正を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００９】
このように構成された従来の光ビーム偏向器の波面収差補正手段は、高速回転される支持固定用のマウント部材である円筒筐体の内部に偏向部材（ミラー等）としての傾斜鏡を設置し、プリズム状の波面収差補正部材としての光平面ガラス板を円筒筐体の開口部に角度調整可能に装着する構造である。
【００１０】
このように構成されたスピンモ−タモジユ−ルでは、偏向部材である傾斜鏡と、波面収差補正部材である光平面ガラス板とを、マウント部材である円筒筐体に一体的に固定して高速回転するため、マウント部材である円筒筐体を強固に構成する必要がある。さらに、円筒筐体には、光平面ガラス板を円筒筐体開口部に角度調整可能に装着するための複雑で高価な構造を配置せねばならず、その重量も重くなってこれを安定して高速回転させるモーターにも大きな負荷がかかる。
【００１１】
また、このような光ビーム偏向器では、偏向部材を高速回転させたときの遠心力で生じるひずみに起因して波面収差が発生したり、傾斜鏡等の偏向部材を製作するときの製作誤差によって波面収差が発生することがある。このような原因で生じる波面収差では、形状が非対称になる事によって生じる非点収差が支配的であり、この補正を行うだけで十分実用上問題ないレベルの波面性能を達成できる。
【００１２】
そこで、偏向部材を高速回転させたときに発生する非点収差を補正する場合に、この偏向部材を高速回転させたときの遠心力で生じるひずみに起因して発生する波面収差は、波面収差の発生方向が決まっており、波面収差の量も予めわかっているので、これを補正可能な所要角度のクサビガラスを作成して、偏向部材である傾斜鏡に入射する光路上へ配置すれば、非点収差を補正することができる。
【００１３】
しかし、直角プリズム又は内面反射プリズムタイプのスピナーミラーを偏向部材として用いる場合に、直角プリズム又は内面反射プリズムタイプのスピナーミラーを製作する時の要因で発生する歪は、ひずみの発生方向が区々で、そのひずみの大きさ（ひずみ量）も一定ではないから、これらの要因で生じる波面収差の発生方向と、波面収差の量とが不定となるため、予め所定形状に形成したクサビガラスを予め定められた所定方向へ向けて、偏向部材である傾斜鏡に入射する光路上へ配置することにより、波面収差を補正することは不可能である。
【特許文献１】米国特許番号５，７６８，００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、上述の問題に鑑み、偏向部材の製作時の要因で発生する、ランダムな波面収差の発生方向と、ランダムな波面収差の量とに対応して、波面収差を適正に補正可能な光ビーム偏向器を新たに提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の請求項１に記載の光ビーム偏向器は、記録媒体に画像を記録するため、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動される偏向部材の反射面で偏向し走査する光ビーム偏向器において、偏向部材に収束光を入射させる光路上又は偏向部材から収束光を出射させる光路上に配置された光学ガラスの材料を一方の平面に対して他方が傾斜面となるように楔形に形成した第１の補正部材と、偏向部材に収束光を入射させる光路上又は偏向部材から収束光を出射させる光路上に配置された光学ガラスの材料を一方の平面に対して他方が傾斜面となるように楔形に形成した第２の補正部材と、を有し、非点収差のある偏向部材の反射面の波面収差量を打ち消すように、第１の補正部材と第２の補正部材とを相対的に回動調整し、第１の補正部材と第２の補正部材との全体を、非点収差のある偏向部材の反射面の波面収差を打ち消す方向に合わせるように調整して構成したことを特徴とする。
【００１６】
請求項２に記載の発明は請求項１に記載の光ビーム偏向器において、第１の補正部材と、第２の補正部材とが、相互に傾斜面を摺り合わせた状態で一体化されて、偏向部材を設置した筒状筐体の開口内部に配置されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項３に記載の発明は請求項１に記載の光ビーム偏向器において、第１の補正部材と、第２の補正部材とが、相互に傾斜面を摺り合わせた状態で一体化されて、偏向部材の入射面に取り付けられていることを特徴とする。
【００１８】
請求項４に記載の発明は請求項１に記載の光ビーム偏向器において、第１の補正部材が偏向部材の入射面に取り付けられると共に、第２の補正部材が、偏向部材の出射面に取り付けられていることを特徴とする。
【００１９】
前述のように構成することにより、非点収差のある偏向部材の反射面における固有の波面収差量と、固有の非点収差の発生する方向とに対応した、固有の波面収差を補正する手段を、スピナーミラー装置を製造する過程で容易に構成することができ、光ビーム偏向器を廉価に製造できる。さらに、光ビーム偏向器に固有の波面収差を補正する手段を設けることによって、非点隔差が発生することを抑制し、高精度で画像を露光し、精細な画像を形成して露光記録時の画像品質を安定に保つことができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は請求項１に記載の光ビーム偏向器において、第１の補正部材が、偏向部材を設置した筒状筐体の開口を塞ぐように配置されると共に、第２の補正部材が筒状筐体の出射開口部分を塞ぐように配置されていることを特徴とする。
【００２１】
上述のように構成することにより、前述した請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の発明の作用、効果に加えて、筒状筐体の先端開口が第１の補正部材で塞がれ、出射開口が第２の補正部材で塞がれるから、筒状筐体が高速回転したときに騒音が生じるとを防止でき、また、筒状筐体内部に密閉状態で配置された偏向部材の反射面にゴミが付着することを防止することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、偏向部材の製作時の要因等で発生した、ランダムな波面収差の発生方向と、ランダムな波面収差の量とに対応して、波面収差を適正に補正した光ビーム偏向器を容易かつ廉価に製造できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の光ビーム偏向器に関する実施の形態について図１乃至図１０により説明する。本実施の形態に係わる光ビーム偏向器は、オフセット印刷用の感光性平版印刷版（いわゆるＰＳ版）を記録媒体とし、コンピュータ等のデジタルデータに基づいてレーザ露光処理をし、自動現像機で感光性平版印刷版上に形成された潜像を顕像に変換する現像処理をして直接印刷版を製版するＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムに用いて好適なものである。
【００２４】
図１及び図２には、本実施の形態に係る、波面収差補正手段を施した光ビーム偏向器を持つインナードラム露光装置を備えたＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムの概略構成が示されている。
【００２５】
このＣＴＰシステムは、印刷版供給カセット２０の自動送給装置１０と、印刷版供給カセット内の感光性平版印刷版であるＰＳ版２２を１枚づつ分離して供給する枚葉供給装置１２と、インナードラム露光装置（モノゴンスキャナー）１４と、バッファ装置１６と、現象処理装置１８とを備える。
【００２６】
このＣＴＰシステムでは、露光処理の対象とする記録媒体として、例えば薄いアルミニウム板である支持体上に感光材料を含有する画像記録層を形成したＰＳ版若しくはフォトポリマー版又は銀塩タイプの感光材料等を用いることができる。
【００２７】
このＣＴＰシステムにおける自動送給装置１０は、外部から作業員が搬入した複数の印刷版供給カセット２０をそれぞれ保管棚２４上に保管し、所要の印刷版供給カセット２０を枚葉供給装置１２へ供給する。
【００２８】
この枚葉供給装置１２は、供給された印刷版供給カセット２０の蓋を開放し、内部に収納されているＰＳ版２２の束を引き上げ機構２６で引き上げながら、分離ローラ２８で１枚づつ分離してインナードラム露光装置１４へ供給する。なお、この枚葉供給装置１２には、重ねられたＰＳ版２２の間に感光面保護のため挟み込まれた合紙３０を分離してストックする合紙除去部３２を備える。
【００２９】
このＣＴＰシステムにおけるインナードラム露光装置１４は、円弧内周面形状（円筒内周面の一部を構成する形状）の支持体３４を母体として構成されており、この支持体３４の内周面に沿ってＰＳ版２２を支持するようになっている。
【００３０】
このインナードラム露光装置１４では、図示しない真空吸着手段によって、未記録の記録媒体であるＰＳ版２２を支持体３４の内周面に確実に密着させて沿わせた状態に保持してから露光処理を行う。
【００３１】
このインナードラム露光装置１４では、支持体３４の円弧中心位置に、光ビーム偏向器としてのスピナーミラー装置３６を配設する。このスピナーミラー装置３６は、図３に示すように反射鏡部材（スピナーミラー）を構成するプリズム部材３８（三角プリズム又はキュウビックプリズム若しくはいわゆるボールプリズム等の偏向部材を用いても良い）を、筒状筐体（マウント部材）６０の内部に配置して構成する。
【００３２】
この筒状筐体６０は、一方の端部が開口し、他方の端部が閉塞された筒状に形成し、筒状筐体６０の筒状胴部の中間所定位置に出射光を通過させるための出射開口６２を穿設する。さらに、筒状筐体６０には、その閉塞端部中央に取り付け穴６４を穿設し、この取り付け穴６４に回転軸４０の先端部を嵌合して固着することにより、回転軸４０と一体に筒状筐体６０部分を高速で回転駆動可能に構成する。
【００３３】
また、この筒状筐体６０の内部には、開口端部から入射した光ビームを反射面３９で反射して出射開口６２からＰＳ版２２へ向けて出射するように、プリズム部材３８を配置する。
【００３４】
このスピナーミラー装置３６では、筒状筐体６０が取り付けられた回転軸４０を、図示しない制御装置のスピナードライバによって回転制御がされる駆動源としてのモータによって高速回転（例えば１０，０００ｒｐｍ以上）可能に構成する。図２に示すように、このスピナーミラー装置３６では、回転軸４０の回転中心軸を支持体１２の円弧中心軸と一致するように構成する。
【００３５】
このスピナーミラー装置３６では、光源側の光学系から投射された光ビームを、集光レンズ７２で集光して回動するプリズム部材３８の反射面３９に導いて反射させＰＳ版２２の感光面に合焦させて主走査方向への走査露光を行う。
【００３６】
このスピナーミラー装置３６は、図示しない副走査移動手段によって、支持体３４の円弧中心軸の軸線方向（図２の表面から裏面に貫通する方向）に等速度で移動制御されることにより副走査する。
【００３７】
このためスピナーミラー装置３６では、制御装置のスピナードライバによって、そのモータの回転制御がされると共に、図示しない副走査移動手段により副走査方向に移動制御される。
【００３８】
このように構成されたスピナーミラー装置３６では、光源側の光学系から投射され画像情報に応じて変調された光ビームを、回動するプリズム部材３８の反射鏡面に反射させて主走査方向への走査露光を行いながら、スピナーミラー装置３６を副走査方向へ移動することによって、ＰＳ版２２の記録面全面に対して２次元の画像を記録する処理を行う。
【００３９】
このＣＴＰシステムに設けるバッファ装置１６は、インナードラム露光装置１４で露光処理されたＰＳ版２２を、搬送速度を調整することによって所要のタイミングで現象処理装置１８へ搬入する機能を有する。
【００４０】
現象処理装置１８は、搬入されて来た露光済のＰＳ版２２に対する現像処理を行って潜像を顕像化して印刷版を製版する。
【００４１】
次に、上述のように構成されたスピナーミラー装置３６に設ける波面収差の補正を行う手段について説明する。
【００４２】
この波面収差の補正を行う手段は、プリズム等の光学部材における非平行な面を収束光が通過する際に、プリズム等の光学部材の面が傾斜している方向に対する光の集光位置が、プリズム面の傾斜方向に直交する方向に対する光の集光位置よりもプリズム等の光学部材側に接近するように移動するという特性を有する波面収差補正部材を利用して構成する。なお、プリズム部材３８における反射面３９の反射角度は、回転軸に対して傾斜する角度が４５°又はそれ以外の角度であっても良い。
【００４３】
スピナーミラー装置３６に用いる内面反射プリズムタイプ等のプリズム部材３８では、第１に、プリズム部材３８の加工製造時のひずみや製作誤差によって、反射面３９に収差、非点収差（波面収差）を生じる場合、第２に、プリズム部材３８を回転軸４０に接着又は機械的な固定構造等で固定する際に、プリズム部材３８の反射面３９に収差、非点収差（波面収差）を生じる場合、第３に、プリズム部材３８が高速で回転された際に遠心力の影響でプリズム部材３８の反射面３９に収差、非点収差（波面収差）を生じる場合がある。
【００４４】
そこで、これらの要因の内少なくとも、第１の、プリズム部材３８の加工製造時のひずみや製作誤差によって生じる、収差、非点収差（波面収差）を補正する手段を、筒状筐体６０に設置する。
【００４５】
このため、前述した第１の要因で生じる波面収差量を、光学的な測定又はシミュレーション等の波面収差量検出手段によって予め求めておく。なお、必要に応じて第２、第３の要因で生じるそれぞれの波面収差量を、光学的な測定又は動的なシミュレーション等の波面収差量検出手段によって予め求めておく。また一般的に、第２の要因であるプリズム部材３８を回転軸４０に固定する際に生じる波面収差は、あまり問題とならないので、少なくとも第１の要因で生じる波面収差量を補正可能なように、波面収差補正部材６６を構成する。さらに、必要に応じて、第１の要因と、第３の要因との組み合わせで複合的に生じる波面収差量を補正可能なように波面収差補正部材６６を構成しても良い。
【００４６】
なお例えば、第１の加工等の要因で生じる非点収差量が約１００μｍで、第３の動作上の要因で生じるそれぞれの非点収差量が約４００μｍであるときに、ＰＳ版２２の露光面上にビームスポットを細く絞って露光処理する都合上焦点深度が約２００μｍになる場合には、集光される一部の光ビームだけしか焦点が合わず、他部分の光ビームの焦点が合わない、図１０に例示するような非点隔差を生じる状態となり、露光形成された画像がボケて画像品質が低下するので、これを補正する必要がある。
【００４７】
この図３及び図４に示すプリズム部材３８に施す波面収差を補正する手段としての波面収差補正部材６６は、図４（Ａ）に示すように光学ガラスを一方の平面に対して他方が傾斜面となるように楔形に形成した第１の補正部材６８と、この第１の補正部材６８と同材料で同形に形成した第２の補正部材７０とを、それぞれの傾斜面が摺り合わさるように組み合わせて構成する。なお、この第１の補正部材６８又は第２の補正部材７０における、一方の平面に対する他方の傾斜面の傾斜角度は、加工時及び回転時に生じる最大の非点収差量に応じて設定する。
【００４８】
このように構成した波面収差補正部材６６では、非点収差のある反射面３９を持つ内面反射プリズムタイプ等のプリズム部材３８の波面収差量を予め測定しておき、この波面収差量と、計算または実測により求めたプリズム部材３８を高速回転時の反射面３９歪により発生する波面収差量とを加算した波面収差量を打ち消すような、第１の補正部材６８と第２の補正部材７０とを例えば図４（Ｂ）に示すように相対的に回動調整して、入射面と出射面とが非平行面となって相対的に所要の傾斜角度差を持つように設定する。
【００４９】
さらに、波面収差量を打ち消すように、入射面と出射面とが所要の傾斜角度差を持つよう組み合わされた第１の補正部材６８及び第２の補正部材７０とを、光学機器用の接着剤で貼着することにより一体化して波面収差補正部材６６を構成する。
【００５０】
そして、この一体化された波面収差補正部材６６は、その全体を、例えば図４（Ｃ）に示すように回動させることで、一体化された波面収差補正部材６６の入射面と出射面とがなす傾斜方向を、発生した非点収差を打ち消す方向に合わせた状態で、図３に示すスピナーミラー装置３６における筒状筐体６０の開口端内部近傍に配置する。
【００５１】
すなわち、この一体化された波面収差補正部材６６は、光源側からスピナーミラー装置３６へ至る光路上にあって、集光レンズ７２と、プリズム部材３８との間の所定位置で収束光を通過させるように配置される。これにより、波面収差補正部材６６は、予め求めた固有の波面収差量と、固有の非点収差の発生する方向とに対応して、これらを補正する固有の傾斜角度と、固有の傾斜方向とを有する波面収差を補正する手段を構成することになる。なお、この一体化された波面収差補正部材６６は、プリズム部材３８とＰＳ版２２との間の光路上の所定位置に収束光を通過させるように配置しても同様の作用、効果が得られる。
【００５２】
ここで、個々のプリズム部材３８に個別に対応した波面収差を補正する手段に係わる具体的な一例を示すため、プリズム部材３８の反射面３９が上に凸となる変形を生じる場合についてみると、図８（Ａ）に示すように、反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４２を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム４２は、凸面鏡で反射されて、比較的遠くの位置Ｌに合焦する。
【００５３】
このとき、図８（Ｂ）に示すように、反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４４を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム４４は、平面鏡で反射されて、比較的近くの位置Ｍに合焦する。
【００５４】
この場合には、図８（Ｃ）に示すように、反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に入射して反射するスリット状の収束光となる仮想光ビーム４２の光路上に、比較的遠くの合焦位置Ｌから比較的近くの合焦位置Ｍへ焦点位置を近づけて一致させるだけの固有な補正傾斜角度に設定された波面収差補正部材６６を、その傾斜方向を反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に合致させて光路上の収束光が通る位置に配置すれば、波面収差を補正することができる。
【００５５】
なお、波面収差補正部材６６は、プリズム部材３８に入射する光路上の収束光が通る位置に配置しても、又はプリズム部材３８から出射する光路上の収束光が通る位置に配置しても等価である。
【００５６】
次に、プリズム部材３８に施す波面収差を補正する手段における具体的な他の例を示す、プリズム部材３８の反射面３９が凹面（下に凸）となる変形を生じる場合の図９の場合についてみると、図９（Ａ）に示すように、反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４２を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム４２は、凹面鏡で反射されて、比較的近くの位置Ｍに合焦する。
【００５７】
このとき、図９（Ｂ）に示すように、反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４４を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム４４は、平面鏡で反射されて、比較的遠くの合焦位置Ｌに合焦する。
【００５８】
この場合には、図９（Ｃ）に示すように、反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に入射して反射するスリット状の収束光となるスリット状の仮想光ビーム４４の光路上に、比較的遠くの合焦位置Ｌから比較的近くの合焦位置Ｍへ焦点位置を近づけて一致させるだけの固有な補正傾斜角度を有する波面収差補正部材６６を、その傾斜方向を反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に合致させて配置すれば、波面収差を補正することができる。
【００５９】
この場合には、図９（Ｃ）に示すように、反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に入射して反射するスリット状の仮想光ビーム４４の光路上に、比較的遠くの合焦位置Ｌから比較的近くの合焦位置Ｍへ焦点位置を近づけて一致させるだけの固有な補正傾斜角度を有する波面収差補正部材６６を、その固有の傾斜方向を反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に合致させて、筒状筐体６０に設置すれば、波面収差を補正することができる。
【００６０】
また、実際のプリズム部材３８における反射面３９では、前述した図８又は図９に例示するような単純な変形を生じる場合ばかりでなく、種々の態様に変形する可能性があるが、この波面収差補正部材６６では、第１の補正部材６８と第２の補正部材７０とを相対的に回動調整することによって、各々の反射面３９の状態に対応して、波面収差を補正する固有の傾斜角度に設定し、波面収差を補正することができる。
【００６１】
さらに、プリズム部材３８では、反射面３９の固有のひずみ状態により非点収差の生じる方向が主走査方向と副走査方向に限られるわけではないので、非点収差の生じる方向に対応して、第１の補正部材６８と第２の補正部材７０とを一体とした波面収差補正部材６６全体を回動することにより波面収差補正部材６６の傾斜面の傾斜方向を収束ビーム中心に対して回転させるように調整し、適切に傾けた状態で筒状筐体６０に設置することにより、波面収差を適正に補正することができる。
【００６２】
次に、スピナーミラー装置３６に波面収差補正部材６６を設置する他の構成例について、図５により説明する。
【００６３】
この図５に示すスピナーミラー装置３６では、筒状筐体６０を回転軸方向に短く形成し、透明ガラス製の補助固定部材７４を介して、キュウビックプリズムであるプリズム部材３８を取り付ける。
【００６４】
このプリズム部材３８の入射面には、反射面３９の固有の状態に対応して波面収差を補正する状態に調整した波面収差補正部材６６を光学機器用の接着剤で貼着して一体化する。
【００６５】
このように構成した場合には、筒状筐体６０部分を小型軽量化し、高速回転させる時に振動が発生することを防止し、安定して高速回転させることができる。
【００６６】
次に、スピナーミラー装置３６に波面収差補正部材６６を設置するさらに他の構成例について、図６により説明する。
【００６７】
この図６に示すスピナーミラー装置３６では、筒状筐体６０におけるプリズム部材３８を設置した部分から先端側を切除して回転軸方向に短く形成し、三角プリズム（キュウビックプリズムでも良い）であるプリズム部材３８を取り付ける。
【００６８】
このプリズム部材３８には、反射面３９の固有の状態に対応して波面収差を補正するよう調整した波面収差補正部材６６の状態に対応する第１の補正部材６８を、プリズム部材３８の入射面に光学機器用の接着剤で貼着して一体化すると共に、調整済の波面収差補正部材６６の状態に対応する第２の補正部材７０を、プリズム部材３８の出射面に光学機器用の接着剤で貼着して一体化する。
【００６９】
このように構成した場合には、筒状筐体６０部分を小型軽量化することができる。
【００７０】
次に、スピナーミラー装置３６に波面収差補正部材６６を設置する他の構成例について、図７により説明する。
【００７１】
この図７に示すスピナーミラー装置３６では、筒状筐体６０の内部に、プリズム部材又は円柱を斜めに切断した形状のミラータイプの反射鏡部材等で形成した偏向部材３８Ａを設置する。そして、筒状筐体６０には、その開口端部を塞ぐように、反射面３９の固有の状態に対応して波面収差を補正するよう調整した波面収差補正部材６６の状態に対応する第１の補正部材６８を設置し、その出射開口６２を塞ぐように、調整済の波面収差補正部材６６の状態に対応する第２の補正部材７０を配置して構成する。
【００７２】
このように構成した場合には、筒状筐体６０の先端開口が第１の補正部材６８で塞がれ、出射開口６２が第２の補正部材７０で塞がれるから、筒状筐体６０が高速回転したときに騒音が生じるとを防止でき、また、筒状筐体６０内部に密閉状態で配置された偏向部材３８Ａの反射面３９にゴミが付着することを防止する
ことができる。
【００７３】
前述のように波面収差補正部材６６を用いたスピナーミラー装置３６で露光処理する場合には、ＰＳ版２２の感光面上にビームスポットを細く絞って露光処理するため焦点深度が短い場合でも、略全ての光ビームをビームスポットに良好に合焦させて、非点隔差の悪影響を受ける事無く高精度で画像を露光し、精細な画像を形成して画像品質を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器を持つインナードラム露光装置を搭載したＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムの全体を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器を持つインナードラム露光装置を搭載したＣＴＰシステム内部の全体的な概略構成図である。
【図３】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器におけるプリズム部材を取り付ける筒状筐体部分を取り出して断面で示す要部の説明図である。
【図４】（Ａ）乃至（Ｃ）は、本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる第１の補正部材と第２の補正部材とを組み合わせて構成した波面収差補正部材を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器におけるプリズム部材を取り付ける、他の構成の筒状筐体部分を取り出して断面で示す要部の説明図である。
【図６】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器におけるプリズム部材を取り付ける、他の構成の筒状筐体部分を取り出して断面で示す要部の説明図である。
【図７】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器におけるプリズム部材を取り付ける、他の構成の筒状筐体部分を取り出して断面で示す要部の説明図である。
【図８】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、本発明の波面収差補正手段の具体的一例の原理を説明するための説明図である。
【図９】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、本発明の波面収差補正手段の具体的な他例の原理を説明するための説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いるキュウビックプリズムの反射面で非点隔差を生じる状態の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７５】
１４  インナードラム露光装置
３６  スピナーミラー装置
３８  プリズム部材
３８Ａ      偏向部材
３９  反射面
４０  回転軸
６０  筒状筐体
６２  出射開口
６４  取り付け穴
６６  波面収差補正部材
６８  第１の補正部材
７０  第２の補正部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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