(57)【要約】【課題】テーパ面を備えるプッシャーローラを用いることにより，液晶パネルの周縁部の浮き上がりを防止して，確実に液晶パネルをワークテーブルにセットできるようにする。【解決手段】プッシャーローラ８６をエアーシリンダにより矢印１３４の方向に移動させると，プッシャーローラ８６のテーパ面１１２は，ワークテーブル５０上の液晶パネル１０の第３の辺２０に接触して，この第３の辺２０を右方向及び下方向に押す。やがて，液晶パネル１０の第１の辺１６は第１のストッパ６２のストッパローラ１１８に接触して，液晶パネル１０のＸ方向の位置決めが完了する。同様にして，Ｙ方向でも液晶パネルを位置決めできる。テーパ面１１２を備えたプッシャーローラ８６を用いることにより，液晶パネルの第３の辺２０及び第４の辺の浮き上がりを防ぐことができる。【選択図】図１２
2006023139.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の構成を備える液晶パネル検査装置。
（ア）第１の辺と，前記第１の辺に隣り合う第２の辺と，前記第１の辺に対向する第３の辺と，前記第２の辺に対向する第４の辺と，前記第３の辺に沿って配列された複数の第１電極と，前記第４の辺に沿って配列された複数の第２電極とを備える矩形のフラット表示パネルを保持するワークテーブル。
（イ）前記第１電極と前記第２電極に接触可能な複数のプローブを有するプローブステージ。
（ウ）前記第１の辺に接触可能な第１のストッパ。
（エ）前記第２の辺に接触可能な第２のストッパ。
（オ）前記第３の辺を前記第１のストッパに向かう方向に押し付けるとともに前記第３の辺を前記ワークテーブルに密着する方向にも押し付けることができる第１のプッシャー装置。
（カ）前記第４の辺を前記第２のストッパに向かう方向に押し付けるとともに前記第４の辺を前記ワークテーブルに密着する方向にも押し付けることができる第２のプッシャー装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶パネル検査装置において，次の特徴を備える液晶パネル検査装置。
（キ）前記第１のストッパは，前記ワークテーブルの表面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第１のストッパローラを備えていて，その外周面は前記第１の辺に接触可能である。
（ク）前記第２のストッパは，前記ワークテーブルの表面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第２のストッパローラを備えていて，その外周面は前記第２の辺に接触可能である。
（ケ）前記第１のプッシャー装置は，前記ワークテーブルの表面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第１のプッシャーローラを備えていて，この第１のプッシャーローラは前記液晶パネルが前記ワークテーブルの表面に押し付けられる方向に先細りの第１のテーパ面を備えていて，この第１のテーパ面は前記第３の辺に接触可能である。
（コ）前記第２のプッシャーは，前記ワークテーブルの表面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第２のプッシャーローラを備えていて，この第２のプッシャーローラは前記液晶パネルが前記ワークテーブルの表面に押し付けられる方向に先細りの第２のテーパ面を備えていて，この第２のテーパ面は前記第４の辺に接触可能である。
【請求項３】
請求項２に記載の液晶パネル検査装置において，次の特徴を備える液晶パネル検査装置。
（サ）前記第１のプッシャー装置は，前記第１のプッシャーローラを前記第２の辺に平行な方向に進退させる駆動機構と，前記第１のプッシャーローラが所定の押し付け位置に達したことを検出する検出装置とを備えている。
（シ）前記第２のプッシャー装置は，前記第２のプッシャーローラを前記第１の辺に平行な方向に進退させる駆動機構と，前記第２のプッシャーローラが所定の押し付け位置に達したことを検出する検出装置とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの電極にプローブを接触させてこの液晶パネルを検査する検査装置に関し，特に，液晶パネルをワークステージにセットするための構造に特徴のある液晶パネル検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液晶パネル検査装置として，次の特許文献１に記載されているものが知られている。
【特許文献１】特開平１１−１４９５６号公報
【０００３】
この特許文献１の液晶パネル検査装置は，ストッパと押圧装置と真空吸着装置とを用いて液晶パネルをワークテーブル上の所定の位置にセットすることを開示している。この従来技術では，ワークテーブルの上に液晶パネルを載せてから，Ｘ方向の押圧装置を用いて液晶パネルの端縁をストッパに押し付けている。これにより，ワークテーブルに対する液晶パネルのＸ方向の位置を定めている。Ｙ方向についても，同様の押圧装置とストッパを用いて，液晶パネルのＹ方向の位置を定めている。それから，ワークテーブルの吸着溝に負圧を導入して，液晶パネルをワークテーブルに吸着固定している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の液晶パネル検査装置は，液晶パネルのセット作業が完了しないことがある。この点を以下に説明する。液晶パネルの中央部は裏側からバックライトで照らす必要があるので，ワークテーブの中央部にはバックライトと拡散板が配置されている。したがって，液晶パネルは，その周辺部だけでワークテーブルに吸着固定されていて，中央部は宙に浮いた状態にある。液晶パネルが大型になってくると，その自重によって液晶パネルの中央部が若干垂れ下がり，その影響で液晶パネルの周縁部がワークテーブルからわずかに浮き上がることになる。
【０００５】
真空吸着方式では，ワークテーブルの吸着溝内の圧力が所定値以下に下がったことを検出して，吸着完了の信号を出している。ワークテーブルと液晶パネルの周縁部との隙間から空気が洩れる（吸着溝内に空気が流れ込む）状態になっていると，いつまでたっても吸着溝内の圧力が所定値以下に下がらずに，吸着完了信号が出ないことになる。液晶パネルの周縁部が浮き上がっていると，吸着完了信号が出ないことがあり，その場合，液晶パネルのセット作業が完了しないことになる。また，液晶パネルの周縁部が浮き上がっていると，液晶パネルの辺に沿って配置された電極にプローブを接触させるときに不都合が生じることもある。
【０００６】
本発明は，上述の問題点を解決するためになされたものであり，その目的は，液晶パネルの周縁部の浮き上がりを防止して，確実に液晶パネルをワークテーブルにセットできるような液晶パネル検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る液晶パネル検査装置は，次の（ア）乃至（カ）の構成を備えている。（ア）第１の辺と，前記第１の辺に隣り合う第２の辺と，前記第１の辺に対向する第３の辺と，前記第２の辺に対向する第４の辺と，前記第３の辺に沿って配列された複数の第１電極と，前記第４の辺に沿って配列された複数の第２電極とを備える矩形のフラット表示パネルを保持するワークテーブル。（イ）前記第１電極と前記第２電極に接触可能な複数のプローブを有するプローブステージ。（ウ）前記第１の辺に接触可能な第１のストッパ。（エ）前記第２の辺に接触可能な第２のストッパ。（オ）前記第３の辺を前記第１のストッパに向かう方向に押し付けるとともに前記第３の辺を前記ワークテーブルに密着する方向にも押し付けることができる第１のプッシャー装置。（カ）前記第４の辺を前記第２のストッパに向かう方向に押し付けるとともに前記第４の辺を前記ワークテーブルに密着する方向にも押し付けることができる第２のプッシャー装置。
【０００８】
本発明が適用される液晶パネルは上述のような四つの辺を備えた矩形の液晶パネルである。そして，少なくとも第３の辺と第４の辺に沿って複数の電極が配列されたものである。二つのプッシャー装置は，液晶パネルの第３の辺または第４の辺を，第１のストッパまたは第２のストッパに向かう方向に押し付けるととともに，ワークテーブルに密着する方向にも押し付けることができる。これにより，電極が形成された第３の辺及び第４の辺の浮き上がりを防ぐことができる。
【０００９】
本発明の液晶パネル検査装置は，さらに次の（キ）乃至（コ）の特徴を備えることができる。（キ）前記第１のストッパは，前記ワークテーブルの表面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第１のストッパローラを備えていて，その外周面は前記第１の辺に接触可能である。（ク）前記第２のストッパは，前記ワークテーブルの表面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第２のストッパローラを備えていて，その外周面は前記第２の辺に接触可能である。（ケ）前記第１のプッシャー装置は，前記ワークテーブルの表面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第１のプッシャーローラを備えていて，この第１のプッシャーローラは前記液晶パネルが前記ワークテーブルの表面に押し付けられる方向に先細りの第１のテーパ面を備えていて，この第１のテーパ面は前記第３の辺に接触可能である。（コ）前記第２のプッシャーは，前記ワークテーブルの表面に垂直な回転中心線の周りに回転自在の第２のプッシャーローラを備えていて，この第２のプッシャーローラは前記液晶パネルが前記ワークテーブルの表面に押し付けられる方向に先細りの第２のテーパ面を備えていて，この第２のテーパ面は前記第４の辺に接触可能である。
【００１０】
本発明の液晶パネル検査装置は，さらに次の（サ）及び（シ）の特徴を備えることができる。（サ）前記第１のプッシャー装置は，前記第１のプッシャーローラを前記第２の辺に平行な方向に進退させる駆動機構と，前記第１のプッシャーローラが所定の押し付け位置に達したことを検出する検出装置とを備えている。（シ）前記第２のプッシャー装置は，前記第２のプッシャーローラを前記第１の辺に平行な方向に進退させる駆動機構と，前記第２のプッシャーローラが所定の押し付け位置に達したことを検出する検出装置とを備えている。
【００１１】
このような検出装置を備えることにより，プッシャーローラの位置に基づいて液晶パネルのセット作業の完了を判断できる。したがって，吸着溝内の圧力によってセット作業の完了判断をしなくて済み，負圧のリークによって完了信号が出ないという不都合を避けることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば，液晶パネルをワークテーブルにセットする作業において，液晶パネルの周縁部の浮き上がりを防ぐことができ，確実に液晶パネルをワークテーブルにセットできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下，図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明する。図１は本発明の液晶パネル検査装置のひとつの実施例の要部の平面図である。この液晶パネル検査装置は，プローブを備えるプローブステージと，液晶パネルを保持する検査ステージとを備えていて，検査ステージはプローブステージの下方にある。図１はプローブステージの要部を上方から見たところである。検査ステージの上に載っている液晶パネル１０が見えている。プローブステージは第１のプローブベース１２と第２のプローブベース１４を備えている。第１のプローブベース１２はＹ方向に延びており，第２のプローブベース１４はＸ方向に延びている。Ｘ方向とＹ方向は互いに直交している。液晶パネル１０は長方形をしており，そのひとつの短辺を第１の辺１６，それに隣り合う辺を第２の辺１８，第１の辺に対向する辺を第３の辺２０，第２の辺１８に対向する辺を第４の辺２２と呼ぶことにする。液晶パネル１０には，第３の辺２０に沿ってゲート電極（本発明における第１の電極に相当する）が配列されており，また，第４の辺２２に沿ってデータ電極（本発明における第２の電極に相当する）が配列されている。
【００１４】
第１のプローブベース１２にはゲート側プローブユニット２４が搭載されている。このゲート側プローブユニット２４には複数のプローブブロック２６が固定されている。各プローブブロック２６には複数のプローブ２８が取り付けられている。第２のプローブベース１４にはデータ側プローブユニット３０が搭載されている。このデータ側プローブユニット３０にも，複数のプローブブロックとそれに付属するプローブが設けられている。
【００１５】
ゲート側プローブユニット２４には，その両端付近に第１カメラ３２と第２カメラ３４が配置されている。データ側プローブユニット３０にはゲート側プローブユニット２４から離れた方の端部付近に第３カメラ３６が配置されている。これらの３台のカメラは液晶パネルのアライメント作業に用いられる。
【００１６】
図２は図１の２−２線断面図である。プローブステージ３８の下方に検査ステージ４０が配置されている。検査ステージ４０はＸ駆動台４２とＹ駆動台４４とＺ駆動台４６とθ回転台４８とワークテーブル５０とプッシャー装置支持枠５２を備えている。ワークテーブル５０の上面は，後述するように，液晶パネル１０を保持できる。Ｘ駆動台４２は検査ステージの上面をＸ方向（図２の紙面に垂直な方向）に移動させることができる。Ｙ駆動台４４は検査ステージの上面をＹ方向に移動させることができる。Ｚ駆動台４６は検査ステージの上面をＺ方向（上下方向）に移動させることができる。θ回転台４８は検査ステージの上面をＺ軸（上下方向に延びる軸）の周りに回転させることができる。ワークテーブル５０の内部にはバックライト７４が配置されていて，その上方に拡散板７６が配置されている。
【００１７】
図３はワークテーブル５０とプッシャー装置支持枠５２の平面図である。ワークテーブル５０は矩形の中空枠であり，その周辺部の上端で液晶パネル１０を支持することができる。ワークテーブル５０の上端は，第１〜第４の支持部で構成されている。ワークテーブル５０の第１の支持部５４（液晶パネルの第１の辺１６に対応している）には二つの第１のストッパ６２が設けられている。第２の支持部５６（液晶パネルの第２の辺１８に対応している）にも二つの第２のストッパ６４が設けられている。第３の支持部５８（液晶パネルの第３の辺２０に対応している）には二つの第１の凹部６６が形成されている。第４の支持部６０（液晶パネルの第４の辺２２に対応している）にも二つの第２の凹部６８が形成されている。
【００１８】
プッシャー装置支持枠５２はワークテーブル５０を取り囲む矩形の中空枠である。このプッシャー装置支持枠５２において，ワークテーブル５０の二つの第１の凹部６６に対向する位置には，二つの第１のプッシャー装置７０が設けられている。また，ワークテーブル５０の二つの第２の凹部６８に対向する位置には，二つの第２のプッシャー装置７２が設けられている。
【００１９】
図４は図３の４−４線断面図であり，第１のプッシャー装置７０の構造を示している。図５は第１のプッシャー装置７０の平面図であり，図６はその斜視図である。また，図７は図５の７−７線断面図である。以下，図４〜図７を参照して，第１のプッシャー装置７０の構造を説明する。
【００２０】
図４において，θ回転台４８（図２を参照）の上にワークテーブルベース７８が固定されていて，その上にワークテーブル５０とプッシャー装置支持枠５２が固定されている。ワークテーブル５０の第３の支持部５８には第１の凹部６６が形成されている。この第１の凹部６６に対向するように第１のプッシャー装置７０が配置されている。ワークテーブル５０には拡散板７６が固定されている。ワークテール部５０の表面は液晶パネル１０を支持することができ，液晶パネル１０は拡散板７６の上方に位置する。プッシャー装置支持枠５２にはレール８０が固定されている。このレール８０に対してスライダ８２がスライド可能に結合している。スライダ８２の上面にはプッシャー支持体８４が固定されている。プッシャー支持体８４の一端（図の右端）付近の上面にはプッシャーローラ８６が回転自在に取り付けられている。プッシャー支持体８４の他端にはエアーシリンダ８８のピストン９０が固定されている。エアーシリンダ８４は本発明における駆動機構に相当する。エアーシリンダ８８のピストン９０を伸縮させると，プッシャー支持体８４およびスライダ８２はレール８０に沿って矢印９２の方向（すなわちＸ方向）に進退する。
【００２１】
図５の平面図を参照すると，プッシャー支持体８４の側面にはスリット板９４が固定されている。スリット板９４は水平な板で構成されていて，プッシャー支持体８４の進退方向（図５の左右方向，すなわちＸ方向）に対して垂直な方向（すなわち，Ｙ方向）に水平に張り出している。スリット板９４のＸ方向の中央部にはスリット９６が形成されている。この実施例ではスリット９６の開口幅は０．６ｍｍである。一方，図６の斜視図に示すように，プッシャー装置支持枠５２の上面には断面がコの字形のブラケット９８が固定されていて，このブラケット９８に発光素子１００と受光素子１０２からなるフォトカプラ１０４が固定されている。受光素子１０２は発光素子１００の下方に位置する。発光素子１００と受光素子１０２の間の空間にはスリット板９４が位置している。フォトカプラ１０４とスリット板９４は本発明における検出装置を構成している。この検出装置は，プッシャーローラ８６が所定の押し付け位置に達したことを検出するものである。図６では，レール８０，プッシャー支持体８４，プッシャーローラ８６及びエアーシリンダ８８の形状が明瞭に示されている。また，ワークテーブル５０に形成された第１の凹部６６も示されている。この凹部６６は，プッシャーローラ８６が液晶パネル１０の第３の辺に接触するときにプッシャーローラ８６及びプッシャー支持体８４がワークテーブル５０に衝突しないようにするための空間を確保している。
【００２２】
図５に戻って，スリット板９４のスリット９６が発光素子１００の真下に来ると，発光素子１００からの光が受光素子で受光されて，所定の強さ以上の信号が受光素子から出力される。このときに，検出装置からセット完了信号が出るようになっている。図６はプッシャーローラ８６がセット完了位置にある状態を示している。
【００２３】
図７は図５の７−７線断面図である。プッシャー支持体８４からスリット板９４が水平に張り出していることと，スリット板９４が発光素子１００と受光素子１０２の間の空間に位置していることが明瞭に示されている。また，レール８０とスライダ８２の係合状態も明瞭に示されている。
【００２４】
図８はプッシャーローラ８６の近傍の拡大断面図である。プッシャーローラ８６は取り付けシャフト１０６によってプッシャー支持体８４に取り付けられている。取り付けシャフト１０６の外周面とプッシャローラ８６の内周面の間には転がり軸受１０８が挿入されていて，この軸受１０８によってプッシャローラ８６は回転自在になっている。プッシャーローラ８６の回転中心線はワークテーブル５０の表面５１に垂直である。取り付けシャフト１０６はカラー１１０を間に挟んでプッシャー支持体８４にネジ部で固定されている。プッシャーローラ８６の外面にはテーパ面１１２が形成されている。このテーパ面１１２は，液晶パネル１０がワークテーブル５０の表面５１に押し付けられる方向（すなわち，図９の下向き）に先細りになっている。この実施例では，テーパ面１１２は，その断面において，水平面に対して３０度の角度をなしている。テーパ面１１２の一番細い部分の直径は１０ｍｍであり，一番太い部分の直径は２０ｍｍである。また，プッシャーローラ８６の上面の高さ位置は液晶パネル１０の上面から２ｍｍ以内の高さになっている。
【００２５】
液晶パネル１０は上ガラス板１２６と下ガラス板１２８で構成されていて，その間に液晶が封入されている。２枚のガラス板の厚さは例えば０．７ｍｍである。下ガラス板１２８は上ガラス板１２６よりも外側に突き出していて，その端縁の上下には，欠け防止のための面取り１３０，１３２が形成されている。この面取りは，水平面に対して３０度の角度をなしている。したがって，プッシャーローラ８６のテーパ面１１２は，液晶パネル１０の下ガラス板１２８の上側の面取り１３０にちょうど接触することになる。プッシャーローラ８６のテーパ面１１２は，液晶パネルの端縁の面取り１３０の傾斜角度と必ずしも一致させる必要はないが，両者を一致させればテーパ面１１２が液晶パネル１０の端縁に良好に接触できる。
【００２６】
図９は第１のストッパ６２の近傍の拡大断面図であり，図３の９−９線断面図である。第１のストッパ６２はストッパローラ１１８を備えている。このストッパローラ１１８は取り付けシャフト１２０によってワークテーブル５０に形成された円筒状の凹部５３の底面に取り付けられている。取り付けシャフト１２０の外周面とストッパローラ１１８の内周面の間には転がり軸受１２２が挿入されていて，この軸受１２２によってストッパローラ１１８は回転自在になっている。ストッパローラ１１８の回転中心線はワークテーブル５０の表面５１に垂直である。取り付けシャフト１２０はカラー１２４を間に挟んでワークテーブル５０にネジ部で固定されている。ストッパローラ１１８の外周面は円筒面になっていて，この円筒面は液晶パネル１０の第１の辺１６に接触可能である。この実施例では，ストッパローラ１１８の直径は１０ｍｍである。また，プッシャーローラ８６の上面の高さ位置は液晶パネル１０の上面から２ｍｍ以内の高さになっている。
【００２７】
ここまで，第１のプッシャー装置７０と第１のストッパ６２について，その構造を説明したが，第２のプッシャー装置７２の構造は第１のプッシャー装置７０と同じであり，また，第２のストッパ６４の構造は第１のストッパ６２と同じである。
【００２８】
次に，液晶パネルをワークテーブルにセットする動作を説明する。図１０は第１のプッシャー装置７０（図３を参照）のプッシャーローラと第１のストッパ６２とを含む断面で切断した正面断面図であり，液晶パネル１０の中央部分を省略して示している。この図１０において，まず，図示しない搬送装置により，液晶パネル１０をワークテーブル５０の上に載せる。このとき，プッシャーローラ８６は矢印１３２の方向に退避した状態にある。プッシャーローラ８６のテーパ面１１２は，液晶パネル１０の第３の辺２０から離れた位置にある。また，液晶パネル１０の第１の辺１６は，第１のストッパ６２のストッパローラ１１８から離れている。
【００２９】
図１１は，このときの第１のプッシャー装置７２の状態を示す平面図である。プッシャー支持体８４は矢印１３２の方向に退避しており，スリット板９４のスリット９６は発光素子１００の直下の位置から左方向にずれている。したがって，フォトカプラーはスリット板９４に遮られて遮光状態にある。
【００３０】
次に，図１２に示すように，プッシャーローラ８６をエアーシリンダにより矢印１３４の方向に移動させる。すると，プッシャーローラ８６のテーパ面１１２は液晶パネル１０の第３の辺２０に接触して，この第３の辺２０を右方向（すなわち，第１のストッパ６２に向かう方向）及び下方向（すなわち，第３の辺２０をワークテーブル５０に密着させる方向）に押すことになる。やがて，液晶パネル１０の第１の辺１６は第１のストッパ６２のストッパローラ１１８に接触して，液晶パネル１０のＸ方向の移動が停止する。このとき，図５に示すように，スリット板９４のスリット９６が発光素子１００の真下に来て，検出装置からはＸ方向のセット完了信号が出力される。
【００３１】
引き続いて，Ｙ方向のセット作業を実施する。図３において，第２のプッシャー装置７２のプッシャーローラを液晶パネル１０の第４の辺２２に押し付ける。これにより，液晶パネル１０は第２のストッパ６４に向けて移動する。このとき，液晶パネル１０の第１の辺１６は，すでに第１のストッパ６２のストッパローラに接触しており，かつ，液晶パネル１０の第３の辺２０は，すでに第１のプッシャー装置７０のプッシャーローラに接触している。ストッパローラとプッシャーローラは回転自在であるから，液晶パネル１０の第１の辺１６と第３の辺２０はストッパローラとプッシャーローラに接触したままで，ストッパローラとプッシャーローラが回転しながら，液晶パネル１０はほとんど抵抗を受けることなく第２のストッパ６４に向けて移動する。やがて，液晶パネル１０の第２の辺１８が第２のストッパ６４のストッパローラに接触して，Ｙ方向の移動が停止する。このとき，第２のプッシャー装置７２からはＹ方向のセット完了信号が出力される。二つの第１のプッシャー装置７０及び二つの第２のプッシャー装置７２のすべてからセット完了信号が出力されたら，液晶パネル１０のワークテーブル５０へのセット作業が完了したことになる。セット作業が完了したら，液晶パネルのアライメント作業を実行し，その後，プローブを液晶パネルの電極に接触させて液晶パネルの検査を行う。
【００３２】
上述の説明では，説明の便宜上，Ｘ方向のセット作業のあとにＹ方向のセット作業を実施するように説明したが，実際の装置では，Ｙ方向のセット作業のあとにＸ方向のセット作業を実施している。また，Ｘ方向のセット作業とＹ方向のセット作業を同時に実施してもよい。プッシャーローラとストッパローラはすべて回転自在であるから，液晶パネルの各辺がどのようなタイミングでプッシャーローラやストッパローラに接触しても，液晶パネルがＸ方向またはＹ方向に移動するときに，すでにストッパローラ等に接触済みの液晶パネルの辺が，液晶パネルの移動の際の抵抗になることはない。
【００３３】
図３において，液晶パネルのセット作業が完了すると，液晶パネル１０の第３の辺２０はワークテーブル５０に密着した状態になり，第３の辺２０の浮き上がりは生じない。同様に，液晶パネル１０の第４の辺２２はワークテーブル５０に密着した状態になり，第４の辺２２の浮き上がりは生じない。液晶パネル１０の第３の辺２０にはゲート電極が配列されており，第４の辺にはデータ電極が配列されているが，これらの辺の浮き上がりが生じないので，ゲート電極及びデータ電極にプローブを接触させることに何の支障も生じない。
【００３４】
ところで，ストッパローラの外周面は単なる円筒面なので，液晶パネル１０の第１の辺１６と第２の辺１８においては，これらの辺をワークテーブル５０に密着させるような力は働かない。したがって，液晶パネル１０の自重による中央部のたわみに起因して，第１の辺１６と第２の辺１８がワークテーブル５０から若干浮き上がるおそれがある。しかしながら，第１の辺１６と第２の辺１８にはプローブが接触すべき電極が配列されていないので，これでも特に問題はない。
【００３５】
次に，ストッパローラの変更例について説明する。図１３はストッパローラの変更例を示す拡大断面図である。このストッパローラ１３８は，プッシャーローラと同様に，テーパ面１４０が形成されている。このテーパ面１４０は，液晶パネル１０がワークテーブル５０の表面に押し付けられる方向（すなわち，図１３の下向き）に先細りになっている。このようなストッパローラ１３８を用いると，ストッパの側でも液晶パネルの辺の浮き上がりを防ぐことができる。もし，液晶パネルの三つの辺または四つの辺に電極が配列されているならば，このようなテーパ面付きのストッパローラを採用することが好ましい。
【００３６】
本発明は真空吸着機構と併用することもできる。上述の実施例では，液晶パネルはその自重とプッシャーローラとによってワークテーブルに密着しているが，液晶パネルの密着機能を向上させるために真空吸着機構を併用してもよい。その場合，液晶パネルのセット作業が完了したか否かを判断するには，ワークテーブルの吸着溝の圧力信号によって判断するのではなくて，プッシャー装置の検出装置からのセット完了信号によって判断するようにする。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の液晶パネル検査装置のひとつの実施例の要部の平面図である。
【図２】図１の２−２線断面図である。
【図３】ワークテーブルとプッシャー装置支持枠の平面図である。
【図４】図３の４−４線断面図である。
【図５】第１のプッシャー装置の平面図である。
【図６】第１のプッシャー装置の斜視図である。
【図７】図５の７−７線断面図である。
【図８】プッシャーローラの近傍の拡大断面図である。
【図９】図３の９−９線断面図である。
【図１０】第１のプッシャー装置のプッシャーローラと第１のストッパとを含む断面で切断した正面断面図である。
【図１１】第１のプッシャー装置が図１０の状態にあるときの平面図である。
【図１２】液晶パネルのセット作業が完了したときの図１０と同様の正面断面図である。
【図１３】ストッパローラの変更例を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  液晶パネル
１２  第１のプローブベース
１４  第２のプローブベース
１６  第１の辺
１８  第２の辺
２０  第３の辺
２２  第４の辺
２４  ゲート側プローブユニット
２６  プローブブロック
２８  プローブ
３０  データ側プローブユニット
３２  第１カメラ
３４  第２カメラ
３６  第３カメラ
３８  プローブステージ
４０  検査ステージ
４２  Ｘ駆動台
４４  Ｙ駆動台
４６  Ｚ駆動台
４８  θ回転台
５０  ワークテーブル
５２  プッシャー装置支持枠
５４  第１の支持部
５６  第２の支持部
５８  第３の支持部
６０  第４の支持部
６２  第１のストッパ
６４  第２のストッパ
６６  第１の凹部
６８  第２の凹部
７０  第１のプッシャー装置
７２  第２のプッシャー装置
７４  バックライト
７６  拡散板
７８  ワークテーブルベース
８０  レール
８２  スライダ
８４  プッシャー支持体
８６  プッシャーローラ
８８  エアーシリンダ
９０  ピストン
９２  矢印
９４  スリット板
９６  スリット
９８  ブラケット
１００  発光素子
１０２  受光素子
１０４  フォトカプラ
１０６  取り付けシャフト
１０８  軸受
１１０  カラー
１１２  テーパ面
１１４  右方向
１１６  下方向
１１８  ストッパローラ
１２０  取り付けシャフト
１２２  軸受
１２４  カラー
１２６  上ガラス板
１２８  下ガラス板
１３０，１３２  面取り
１３２  矢印
１３４  矢印
１３６  矢印
１３８  ストッパローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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