(57)【要約】【課題】  厳しい環境下であっても気密空間を保持できる耐久性の優れた有機ＥＬパネルを提供する。【解決手段】  ガラス基板１上に少なくとも透明電極２と有機層４と背面電極５とからなる有機ＥＬ素子１０を積層する積層処理と、ガラス基板１上に封止部材６を接着することによって有機ＥＬ素子１０を封止する封止処理と、前記積層処理された後、前記封止処理されるまでに行われ、ガラス基板１における封止部材６の接着箇所をクリーニングするプラズマ表面処理と、を備えてなる。【選択図】図２
2006210154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板上に少なくとも陽極と有機層と陰極とからなる積層体を形成する積層処理と、
前記支持基板上に封止部材を接着することによって前記積層体を封止する封止処理と、
前記積層処理された後、前記封止処理されるまでに行われ、前記支持基板における前記封止部材の接着箇所をクリーニングするプラズマ表面処理と、を備えてなることを特徴とする有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項２】
前記プラズマ表面処理は、真空中で行われることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも発光層を有する有機層を一対の電極で挟持した有機ＥＬ素子を支持基板上に設けるとともに、封止部材を設けることで前記有機層を収納する有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）パネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬパネルとしては、ガラス材料からなる透光性の支持基板上に、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）等によってなる陽極となる透明電極と、正孔注入層，正孔輸送層，発光層及び電子輸送層からなる有機層と、陰極となるアルミニウム（Ａｌ）等の遮光性の背面電極とを順次積層した有機ＥＬ素子を形成し、この有機ＥＬ素子を覆う凹部形状の封止部材を前記支持基板上に接着部材（紫外線硬化性接着剤）を介して気密的に設けると共に、前記支持基板と前記封止部材とで得られる気密空間内に吸湿作用を有する吸湿部材（乾燥手段）を設けるものが知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
かかる有機ＥＬパネルは、水分が前記有機ＥＬ素子に触れることにより、前記有機ＥＬ素子の発光部分が部分的に発光しない、所謂ダークスポットを生じたり、場合によっては電極間のショートが生じてしまうといった問題点を有しており、支持基板と封止部材とで気密空間を構成し、この気密空間内に前記有機ＥＬ素子を収納することで、外気から隔離しようとするものである。
【０００４】
また、前記気密空間内に吸湿部材を設けることによって、前記有機ＥＬ素子や前記封止部材などの構成部品の表面に付着している水分や気密空間内に浸入した水分に対して、化学的に吸着するようにしている。
【特許文献１】特開平９−１４８０６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、封止部材と支持基板との間に設けられる接着部材は、支持基板や封止部材の形状のばらつきや、温度変化による膨張，収縮などに応じて、接着部材が部分的に剥がれてしまい、確実な気密空間の保持ができない虞があった。また、接着部材は、支持基板との密着性が弱い状態である場合、その界面にて微少ながらも水分を前記気密空間内に透過してしまうことがあるため、長期的にみて有機ＥＬ素子の劣化の要因となってしまう虞があり問題であった。
【０００６】
そこで本発明の目的とするところは、上述の問題点に着目してなされたものであって、厳しい環境下であっても気密空間を保持できる耐久性の優れた有機ＥＬパネルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の有機ＥＬパネルの製造方法は、請求項１に記載したように、支持基板上に少なくとも陽極と有機層と陰極とからなる積層体を形成する積層処理と、前記支持基板上に封止部材を接着することによって前記積層体を封止する封止処理と、前記積層処理された後、前記封止処理されるまでに行われ、前記支持基板における前記封止部材の接着箇所をクリーニングするプラズマ表面処理と、を備えてなることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２に記載したように、請求項１に記載の有機ＥＬパネルの製造方法において、前記プラズマ表面処理は、真空中で行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、少なくとも発光層を有する有機層を一対の電極で挟持した有機ＥＬ素子を支持基板上に形成し、前記有機ＥＬ素子を前記支持基板と封止部材との間に設ける有機ＥＬパネルの製造方法に関して、厳しい環境下であっても気密空間を保持できる耐久性の優れた有機ＥＬパネルの製造方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づき説明する。
【００１１】
図１及び図２において、有機ＥＬパネルは、ガラス基板（支持基板）１と、透明電極（陽極）２と、絶縁層３と、有機層４と、背面電極（陰極）５と、封止部材６と、吸湿部材７と、接着部材８、とから主に構成されている。
【００１２】
ガラス基板１は、長方形形状からなる透光性の支持基板である。
【００１３】
透明電極２は、ＩＴＯ等の導電性材料からなり、ガラス基板１上に設けられる。透明電極２は、日の字型の表示セグメント部２ａと、個々のセグメントからそれぞれ引き出し形成されたリード部２ｂと、リード部２ｂの終端部に設けられる端子部２ｃとを備えている。この場合、端子部２ｃは、ガラス基板１の一辺側に集中的に設けられている。
【００１４】
絶縁層３は、例えば、ポリイミド系やフェノール系等の絶縁材料からなり、透明電極２と背面電極５との絶縁を確保するために、リード部２ｂ上を覆うように形成される。また、絶縁層３は、表示セグメント部２ａに対応した窓部３ａと、背面電極５の後述する端子部に対応する切り欠き部３ｂとを有し、発光領域の輪郭を鮮明に表示するため、透明電極２の表示セグメント部２ａの周縁部と若干重なるように窓部３ａが形成される。
【００１５】
有機層４は、少なくとも発光層を有するものであればよいが、本発明の実施の形態においては正孔注入層，正孔輸送層，発光層及び電子輸送層を順次積層形成してなるものである。有機層４は、絶縁層３における窓部３ａの形成箇所に対応するように所定の大きさをもって設けられる。
【００１６】
背面電極５は、アルミ（Ａｌ）やアルミリチウム（Ａｌ：Ｌｉ），マグネシウム銀（Ｍｇ：Ａｇ）等の金属性の導電性材料からなり、有機層４上に形成される。背面電極５は、透明電極２における各端子部２ｃと隣接するようにガラス基板１の一辺側に設けられるリード部５ａと電気的に接続される。なお、リード部５ａの終端部には、端子部５ｂが設けられ、リード部５ａ及び端子部５ｂは透明電極２と同材料により形成される。
【００１７】
以上のように、ガラス基板１上に透明電極２と絶縁層３と有機層４と背面電極５とを順次積層して形成される有機ＥＬ素子（積層体）１０が得られる。
【００１８】
封止部材６は、例えばガラス材料からなる平板部材に凹部６ａを形成してなるものである。封止部材６は、凹部６ａを取り囲むように形成される支持部６ｂを、接着部材８を介しガラス基板１上に気密的に設けることで、有機ＥＬ素子１０を収納する気密空間１１を構成する。封止部材６は、透明電極２の端子部２ｃ及び背面電極５の端子部５ｂが外部に露出するようにガラス基板１よりも若干小さ目に構成されている。
【００１９】
吸湿部材７は、封止部材６の有機ＥＬ素子１０との対向面、即ち封止部材６の凹部６ａの底面に膜状に配設される。吸湿部材７は、活性アルミナ，モレキュラシーブス，酸化カリウム及び酸化バリウム等の物理的あるいは化学的に水分を吸着する吸着剤を有するもので、吸着剤が流動しない程度の粘性を有するクリーム状あるいはゲル状の部材である。
【００２０】
接着部材８は、例えば紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤からなる速硬性の接着剤が用いられる。また、接着部材８は、封止部材６の支持部６ｂに沿って設けられつつ、ガラス基板１と封止部材６とを接着固定するものである。また、接着部材８によって、封止部材６とガラス基板１とが気密的に接着されることにより、気密空間１１と外部とを隔離することになる。
【００２１】
以上の各部によって有機ＥＬパネルが構成される。
【００２２】
次に、上述した図３を用いて有機ＥＬパネルの製造方法について説明する。
【００２３】
まず、透明電極形成処理において、ガラス基板１上に導電性材料をスパッタリング法等の手段によって層状に形成し、さらにフォトリソグラフィー法等によって表示意匠に応じてパターニングして、表示セグメント部２ａ，リード部２ｂ及び電極部２ｃを備え陽極となる透明電極２を形成する（ステップＳ１）。なお、このとき、リード部５ａ及び端子部５ｂを透明電極２と同材料により形成する。
【００２４】
次に、絶縁層形成処理において、絶縁材料をスピンコート法等の手段によって層状に形成し、フォトリソグラフィー法等の手段によってパターニングして、表示セグメント２ａの発光領域に対応する個所と背面電極５のリード部５ａに対応する個所とを除去して窓部３ａ及び切り欠き部３ｂを有する絶縁層３を形成する（ステップＳ２）。
【００２５】
次に、有機層４や背面電極５を設けるための処理を行う前処理として、透明電極２や絶縁層が設けられたガラス基板１を洗浄処理する（ステップＳ３）。なお、この洗浄処理は、プラズマクリーニングやＵＶオゾン洗浄等の処理によって行なうことができる。また、透明電極２や絶縁層が設けられたガラス基板１は、洗浄処理を行った後、乾燥した状態にて蒸着装置に搬送され、有機層形成処理がなされる。
【００２６】
有機層形成処理では、洗浄処理されたガラス基板１において、少なくとも発光領域となる表示セグメント２ａに重なるような形状に正孔注入層，正孔輸送層，発光層及び電子輸送層を蒸着法等の手段によって順次積層するものである（ステップＳ４）。
【００２７】
次に、背面電極形成処理において、導電性材料を蒸着法等の手段によって層状に積層して陰極となる背面電極５を形成する（ステップＳ５）。なお、背面電極５は、ガラス基板１の一辺側に予め設けられたリード部５ａに接続される。
【００２８】
以上の積層処理によって、ガラス基板１上に透明電極と、有機層と、背面電極と、からなる有機ＥＬ素子１０が積層される。
【００２９】
次に、ガラス基板１における封止部材６の接着箇所をクリーニングするプラズマ表面処理が行われる（ステップＳ６）。プラズマ表面処理は、真空ポンプ等からなる排気機構を有し、アルゴン等の不活性ガスを含有した真空室内において、有機ＥＬ素子１０を備えてなるガラス基板１に対して、プラズマクリーニングするものである。この処理によって、有機ＥＬ素子１０を蒸着して設ける際の汚染物質などを除去するとともに、特にガラス基板１面における接着部材８に対する濡れ性を高めることができる。なお、金属からなる背面電極によって、特にマスキング処理を施さなくても、有機層４に対してダメージを与えることなく処理することができる。また、排気機構によって真空中で処理するため、プラズマ表面処理によって生じる汚染物質などの粒子を排気しながら効率よくクリーニングすることができる。
【００３０】
また、上述の処理と別に、接着部材塗布処理、吸湿部材塗布処理がなされ、凹部６ａと支持部６ｂとを有する封止部材６において、支持部６ｂ上に接着部材８が塗布され（ステップＳ７）、凹部６ａの底面上に吸着部材７が塗布される（ステップＳ８）。なお、これらの塗布処理は、所定の窒素濃度を有する窒素雰囲気中において、それぞれディスペンサ装置によって塗布することができる。
【００３１】
また、上述した処理によって有機ＥＬ素子１０を備えプラズマクリーニングされたガラス基板１と、吸着部材７および接着部材８が塗布された封止部材６と、接着部材８を用いて接着し、有機ＥＬ素子１０を封止する封止処理が行われる（ステップＳ９）。封止処理は、所定の窒素濃度を有する窒素雰囲気中において、ガラス基板１と封止部材６とによって接着部材８を挟み込んで押圧し気密な状態で紫外線を照射することによって、有機ＥＬ素子１０を収納するための気密空間１１を保持したまま接着部材８を硬化させるものである。
【００３２】
かかる処理を行うことによって製造された有機ＥＬパネルは、ガラス基板１上に少なくとも透明電極２と有機層４と背面電極５とからなる有機ＥＬ素子１０を形成する積層処理と、ガラス基板１上に封止部材６を接着することによって有機ＥＬ素子１０を封止する封止処理と、前記積層処理された後、前記封止処理されるまでに行われ、ガラス基板１における封止部材６の接着箇所をクリーニングするプラズマ表面処理と、を備えてなるものである。
【００３３】
したがって、ガラス基板１と封止部材６との間に設けられる接着部材８は、ガラス基板１における封止部材６の接着箇所において、プラズマ表面処理によって蒸着時の汚染物質などが除去され、濡れ性が高まる。そのため、ガラス基板１に対して接着強度が高くなり、温度変化による膨張，収縮などに応じて、接着部材８が部分的に剥がれてしまうことや、ガラス基板１と接着部材８との界面から水分を気密空間１１内に透過してしまうことを抑制することができる。すなわち、厳しい環境下であっても気密空間を保持できる耐久性の優れた有機ＥＬパネルとなる。
【００３４】
また、接着部材８は、高温高湿度雰囲気における界面剥離を防止できるため、例えば車両用表示装置の表示手段として用いられるような厳しい環境下であっても、確実に気密空間を保持できる耐久性の優れた有機ＥＬパネルの製造方法となり、所謂ダークスポットや電極間の短絡の発生を抑制することが可能となる。
【００３５】
また、プラズマ表面処理は、真空中で行うことによって、排気機構によって真空中で処理するため、プラズマ表面処理によって生じる汚染物質などの粒子を排気しながら効率よくクリーニングすることができる。また、有機ＥＬ素子１０に大量の酸素や水分が付着することなく、クリーニングすることができるため、有機層の劣化を防止しつつ製造することができる。
【００３６】
また、接着部材８は、紫外線硬化型接着剤からなることによって、短時間でガラス基板１と封止部材６とを接着固定することができ、組み付け時における位置ずれや水分の浸入を防ぐことができる。
【００３７】
なお、本発明の実施の形態では、封止部材６をガラス材料から構成するものであったが、本発明にあっては、金属製の封止部材を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態の有機ＥＬパネルを示す斜視図。
【図２】同上実施の形態の有機ＥＬパネルの断面図。
【図３】本発明の実施の形態の有機ＥＬパネルの製造方法を示す処理フロー図。
【符号の説明】
【００３９】
１    ガラス基板（支持基板）
２    透明電極（陽極）
４    有機層
５    背面電極（陰極）
６    封止部材
８    接着部材
１０  有機ＥＬ素子（積層体）
【図１】
2006210154.tif 000003
【図２】
2006210154.tif 000004
【図３】
2006210154.tif 000005