(57)【要約】      （修正有）【課題】  非点隔差補正手段を施した、偏向走査を行う反射面を持つ廉価なキュービックプリズムを具備する光ビーム偏向器を提供する。【解決手段】  画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動されるキュービックプリズム３８の入射面を通り反射面３９で反射して出射面から光ビームを出射させて偏向し走査する際、入射面を通過し、反射面で反射し、出射面を通過することにより生じた非点収差を補正するのに適正な補正傾斜角度と傾斜方向とに設定された非点隔差補正面４８を、キュービックプリズム３８の光ビームの入射面と出射面との少なくとも一方に構成する。【選択図】  図４
2006163321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に画像を記録するため、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動されるキュービックプリズムの入射面を通り反射面で反射して出射面から光ビームを出射させて偏向し走査する光ビーム偏向器において、
前記入射面を通過し、前記反射面で反射し、前記出射面を通過することにより生じた非点収差を補正するのに適正な補正傾斜角度と傾斜方向とに設定された非点隔差補正面を、前記キュービックプリズムの光ビームの入射面と出射面との少なくとも一方に構成したことを特徴とする光ビーム偏向器。
【請求項２】
前記キュービックプリズムが、回転軸方向に沿う断面で、等脚台形状となるように非点隔差補正面を形成したことを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【請求項３】
前記キュービックプリズムが、回転軸に直交する方向の平面で、平行四辺形となるように非点隔差補正面を形成したことを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【請求項４】
前記キュービックプリズムの入射面部分に、前記反射面の副走査方向（入射ビームに対して反射面が傾斜する方向）を軸としてその周りに回転するよう傾斜する非点隔差補正面を形成したことを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【請求項５】
前記キュービックプリズムの入射面部分に、前記反射面の主走査方向（入射ビームに対して反射面が直交する方向）を軸としてその周りに回転するよう傾斜する非点隔差補正面を形成したことを特徴とする請求項１に記載の光ビーム偏向器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、レーザビームの走査光学系により円筒ドラム内面に配置した感光面を走査して露光処理するインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）等に用いて好適な、非点収差を補正した光ビーム偏向器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、オフセット印刷には、感光性平版印刷版（いわゆるＰＳ版）が利用されている。また、この平版印刷の分野では、コンピュータ等のデジタルデータに基づいてレーザ露光処理をし、自動現像機で感光性平版印刷版上に形成された潜像を顕像に変換する現像処理をして直接印刷版を製版するＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムが実用化されている。
【０００３】
このようなＣＴＰシステムでは、円筒ドラムの内周面上に配置した記録媒体である感光性平版印刷版の感光面にレーザ等の光ビームを導いて走査露光処理を行うインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）が広く用いられている。
【０００４】
このインナードラム露光装置には、光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）としてのスピナーミラー装置を備える。このスピナーミラー装置は、高速で回転駆動されるスピナーミラーに、光源側の光学系から集光ビームを反射させて、記録媒体の感光面上に対して主走査方向に偏向走査を行うと共に、副走査移動手段によってスピナーミラー部分を、インナードラム支持体の円弧中心軸の軸線方向に等速度で移動して副走査することにより、記録媒体の感光面の全面に露光処理を行う。
【０００５】
従来の光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）には、傾斜鏡（スピナーミラー）が高速で回転されるときの変形を補正するための非点隔差補正手段を具備したスピンモ−タモジユ−ルが提案されている。この光ビーム偏向器（モノゴンスキャナー）では、片側が開口され、他側が閉口された円筒筐体の内部に、傾斜鏡を配置する。この傾斜鏡は、円筒筐体の中心線に対して角度４５度傾斜している。
【０００６】
この光ビーム偏向器では、入射光ビ−ムを円筒筐体の開口部から入光させ、傾斜鏡にて反射させる。反射光ビ−ムは、円筒筐体の側面に穿設された側開口部から出光し、記録媒体上に集光される。
【０００７】
この円筒筐体は、光ビ−ムを走査するために高速回転（一般には、１０，０００ｒｐｍ以上）されるので、傾斜鏡が遠心力で変形して光ビ−ム内に収差が発生する。
【０００８】
そこで、この円筒筐体の開口部には、傾斜鏡に対して角度の調整を可能なように光平面ガラス板を配置し、この光平面ガラス板の傾斜鏡との相対的な角度を調整することによって、収差を解消する非点収差補正を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００９】
しかし、このように構成された従来の光ビーム偏向器の非点隔差補正手段では、高速回転される円筒筐体の内部に傾斜鏡を設置し、光平面ガラス板を円筒筐体の開口部に角度調整可能に装着する構造であるため、部品点数が多く複雑となり光ビーム偏向器が高価になるという問題がある。また、光偏向部の重量が重くなるため、同じモーターで回転できる回転速度にも制約が生じるという問題がある。
【特許文献１】米国特許番号５，７６８，００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上述の問題に鑑み、偏向走査を行うため集光ビームを反射させる反射面を持つプリズム部材に簡素な構成の非点隔差補正手段を施し、廉価に製造可能な光ビーム偏向器を新たに提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の請求項１に記載の光ビーム偏向器は、記録媒体に画像を記録するため、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動されるキュービックプリズムの入射面を通り反射面で反射して出射面から光ビームを出射させて偏向し走査する光ビーム偏向器において、入射面を通過し、反射面で反射し、出射面を通過することにより生じた非点収差を補正するのに適正な補正傾斜角度と傾斜方向とに設定された非点隔差補正面を、キュービックプリズムの光ビームの入射面と出射面との少なくとも一方に構成したことを特徴とする。
【００１２】
上述のように構成することにより、キュービックプリズムに一体に形成された、補正傾斜角度と傾斜面の傾斜方向とを、反射面で生じた非点収差を小さくするように補正するので、キュービックプリズムを通過した光ビームを細く絞ってビームスポットに良好に合焦させ、非点収差の悪影響を受ける事無く高精度で画像を露光し、精細な画像を形成して露光記録時の画像品質を安定に保つことができる。
【００１３】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光ビーム偏向器において、キュービックプリズムが、回転軸方向に沿う断面で、等脚台形状となるように非点隔差補正面を形成したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の光ビーム偏向器において、キュービックプリズムが、回転軸に直交する方向の平面で、平行四辺形となるように非点隔差補正面を形成したことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の光ビーム偏向器において、キュービックプリズムの入射面部分に、反射面の副走査方向（入射ビームに対して反射面が傾斜する方向）を軸としてその周りに回転するよう傾斜する非点隔差補正面を形成したことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の光ビーム偏向器において、キュービックプリズムの入射面部分に、反射面の主走査方向（入射ビームに対して反射面が直交する方向）を軸としてその周りに回転するよう傾斜する非点隔差補正面を形成したことを特徴とする。
【００１７】
前述のように構成することにより、請求項１に記載の発明の作用、効果に加えて、キュービックプリズムを、回転軸を中心軸とする回転対象形状にできるので、キュービックプリズムを高速回転させたときの振動を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、光ビーム偏向器を、偏向走査を行うための集光ビームの反射面を持つプリズム部材に一体的に簡素な構成の非点隔差補正手段を施したものを用いることによって、廉価に製造できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の光ビーム偏向器に関する実施の形態について図１乃至図１０により説明する。本実施の形態に係わる光ビーム偏向器は、オフセット印刷用の感光性平版印刷版（いわゆるＰＳ版）を記録媒体とし、コンピュータ等のデジタルデータに基づいてレーザ露光処理をし、自動現像機で感光性平版印刷版上に形成された潜像を顕像に変換する現像処理をして直接印刷版を製版するＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムに用いて好適なものである。
【００２０】
図１及び図２には、本実施の形態に係る、非点隔差補正手段を施した光ビーム偏向器を持つインナードラム露光装置を備えたＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムの概略構成が示されている。
【００２１】
このＣＴＰシステムは、印刷版供給カセット２０の自動送給装置１０と、印刷版供給カセット内の感光性平版印刷版であるＰＳ版２２を１枚づつ分離して供給する枚葉供給装置１２と、インナードラム露光装置（モノゴンスキャナー）１４と、バッファ装置１６と、現象処理装置１８とを備える。
【００２２】
このＣＴＰシステムでは、露光処理の対象とする記録媒体として、例えば薄いアルミニウム板である支持体上に感光材料を含有する画像記録層を形成したＰＳ版若しくはフォトポリマー版又は銀塩タイプの感光材料等を用いることができる。
【００２３】
このＣＴＰシステムにおける自動送給装置１０は、外部から作業員が搬入した複数の印刷版供給カセット２０をそれぞれ保管棚２４上に保管し、所要の印刷版供給カセット２０を枚葉供給装置１２へ供給する。
【００２４】
この枚葉供給装置１２は、供給された印刷版供給カセット２０の蓋を開放し、内部に収納されているＰＳ版２２の束を引き上げ機構２６で引き上げながら、分離ローラ２８で１枚づつ分離してインナードラム露光装置１４へ供給する。なお、この枚葉供給装置１２には、重ねられたＰＳ版２２の間に感光面保護のため挟み込まれた合紙３０を分離してストックする合紙除去部３２を備える。
【００２５】
このＣＴＰシステムにおけるインナードラム露光装置１４は、円弧内周面形状（円筒内周面の一部を構成する形状）の支持体３４を母体として構成されており、この支持体３４の内周面に沿ってＰＳ版２２を支持するようになっている。
【００２６】
このインナードラム露光装置１４では、図示しない真空吸着手段によって、未記録の記録媒体であるＰＳ版２２を支持体３４の内周面に確実に密着させて沿わせた状態に保持してから露光処理を行う。
【００２７】
このインナードラム露光装置１４では、支持体３４の円弧中心位置に、光ビーム偏向器としてのスピナーミラー装置３６を配設する。このスピナーミラー装置３６は、図３に示すように反射鏡部材（スピナーミラー）を構成する、いわゆるキュービックプリズム３８（ここでは、ウエストウインド社製のボールプリズムを用いても良い）を頂面に配置した回転軸４０を、図示しない制御装置のスピナードライバによって回転制御がされる駆動源としてのモータによって高速回転（例えば１０，０００ｒｐｍ以上）可能に構成する。図２に示すように、このスピナーミラー装置３６では、回転軸４０の回転中心軸を支持体１２の円弧中心軸と一致するように構成する。
【００２８】
このスピナーミラー装置３６では、光源側の光学系から投射された光ビームを、回動するキュービックプリズム３８の反射鏡面に反射させてＰＳ版２２の感光面に対して主走査方向への走査露光を行う。
【００２９】
このスピナーミラー装置３６は、図示しない副走査移動手段によって、支持体３４の円弧中心軸の軸線方向（図２の表面から裏面に貫通する方向）に等速度で移動制御されることにより副走査する。
【００３０】
このためスピナーミラー装置３６では、制御装置のスピナードライバによって、そのモータの回転制御がされると共に、図示しない副走査移動手段により副走査方向に移動制御される。
【００３１】
このように構成されたスピナーミラー装置３６は、光源側の光学系から投射され画像情報に応じて変調された光ビームを、回動するキュービックプリズム３８の反射鏡面に反射させて主走査方向への走査露光を行いながら、スピナーミラー装置３６を副走査方向へ移動することによって、ＰＳ版２２の記録面全面に対して２次元の画像を記録する処理を行う。
【００３２】
このＣＴＰシステムに設けるバッファ装置１６は、インナードラム露光装置１４で露光処理されたＰＳ版２２を、搬送速度を調整することによって所要のタイミングで現象処理装置１８へ搬入する機能を有する。
【００３３】
現象処理装置１８は、搬入されて来た露光済のＰＳ版２２に対する現像処理を行って潜像を顕像化して印刷版を製版する。
【００３４】
次に、キュービックプリズム３８の反射面３９に集光ビームを反射させて偏向走査を行うスピナーミラー装置３６において、非点隔差の補正を行う手段について説明する。
【００３５】
このキュービックプリズム３８に対して非点隔差の補正を行う手段は、収束光が非平行な面のプリズムを通る場合、入射面が入射光の光軸に対して傾斜していると、傾斜方向の光の集光位置がこれと直交する方向の集光位置よりもプリズム側から遠ざかる方向に移動する。また、これと反対に出射面が入射光の光軸に対して傾斜していると、傾斜方向の光の集光位置がこれと直交する方向の集光位置よりもプリズム側に近づく方向に移動するという特性を有する非点収差補正部材の機能を、キュービックプリズム３８に持たせるため、非点収差補正部材が一体化したキュービックプリズム３８を構成する。
【００３６】
スピナーミラー装置３６における内面反射プリズムタイプのキュービックプリズム３８では、第１に、キュービックプリズム３８の加工製造時のひずみや製作誤差によって、入射面から入射し、反射面で反射し、出射面から出射した光ビームに非点収差を生じる場合、第２に、キュービックプリズム３８を回転軸４０に接着又は機械的な固定構造等で固定したときに、キュービックプリズム３８の入射面から入射し、反射面で反射し、出射面から出射した光ビームに非点収差を生じる場合、第３に、キュービックプリズム３８が高速で回転された際に遠心力の影響でキュービックプリズム３８の入射面から入射し、反射面で反射し、出射面から出射した光ビームに非点収差を生じる場合がある。なお、キュービックプリズム３８における反射面３９の反射角度は、回転軸に対して傾斜する角度が４５°又はそれ以外の角度であっても良い。
【００３７】
そこで、これらの要因の内少なくとも一つの要因で生じる非点隔差を補正する手段をキュービックプリズム３８の製作時から施しておけるように、キュービックプリズム３８を構成する。
【００３８】
このため、前述した第１、第２、第３の要因で生じるそれぞれの非点収差量を、光学的な測定又は動的なシミュレーション等の非点収差量検出手段によって予め求めておく。なお、一般的に、第２の要因であるキュービックプリズム３８を回転軸４０に固定する際に生じる非点収差は、あまり問題とならないので、少なくとも第１又は第３の要因で生じるそれぞれの非点収差量を補正可能にキュービックプリズム３８を構成することが望ましい。また、第１、第２、第３の各要因の各組み合わせで複合的に生じる非点収差量を補正可能にキュービックプリズム３８を構成しても良い。
【００３９】
なお例えば、図１０に非点収差によって生じた非点隔差を模式的に示す。第１の加工等の要因で生じる非点隔差量が約１００μｍで、第３の動作上の要因で生じるそれぞれの非点隔差量が約４００μｍであるときに、ＰＳ版２２の露光面上にビームスポットを細く絞って露光処理する都合上焦点深度が約２００μｍになる場合には、集光される一部の光ビームだけしか焦点が合わず、他部分の光ビームの焦点が合わないため、露光形成された画像がボケて画像品質が低下するので、これを補正する必要がある。
【００４０】
このキュービックプリズム３８に施す非点隔差を補正する手段では、予め求めた第１、第２又は第３の要因で生じる非点収差の量と、方向とに対応して、これを補正する傾斜角度と、傾斜方向とを有する非点収差補正面を、キュービックプリズム３８における入射面あるいは出射面の少なくとも一方の面（なお、両面でも良い）に構成する。
【００４１】
ここで、キュービックプリズム３８に施す非点隔差を補正する手段における具体的な一例を示すため、キュービックプリズム３８の反射面３９が上に凸となる変形を生じる場合の図４、図６及び図８の構成についてみると、図６（Ａ）に示すように、反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４２を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム４２は、凸面鏡で反射されて、比較的遠くの集光点位置（副走査方向の焦点位置）Ｌに集光する。
【００４２】
このとき、図６（Ｂ）に示すように、反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４４を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム４４は、平面鏡で反射されて、比較的近くの集光点位置（主走査方向の焦点位置）Ｍに集光する。
【００４３】
この場合には、図６（Ｃ）及び図１３（Ｂ）に示すように、反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に入射して反射するスリット状の収束光となる仮想光ビーム４２の光路上に、仮想光ビーム４２の比較的遠くの集光点位置（副走査方向の焦点位置）Ｌを仮想光ビーム４４の比較的近くの集光点位置（主走査方向の焦点位置）Ｍへ近づけて一致させるための適量な補正傾斜角度を有する仮想プリズム部材４６を、その傾斜方向を反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に合致させ、かつ出射面が入射光の光軸に対して傾斜し、入射面が入射光の光軸に直交するように配置すれば、図１３（Ａ）に示す如き非点隔差を図１３（Ｂ）に示すように補正することができる。
【００４４】
なお、図６（Ｂ）には図示しないが、原理的には図１４（Ａ）（Ｂ）に示すように反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に入射して反射するスリット状の仮想光ビーム４４の光路上に、仮想光ビーム４４の比較的近くの集光点位置Ｍを仮想光ビーム４２の比較的遠くの集光点位置Ｌへ近づけて一致させるための適量な補正傾斜角度を有する仮想プリズム部材４６を、その傾斜方向を反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向、すなわち、副走査方向を軸としてその周りに回転するよう傾斜した方向）に合致させ、かつ入射面が入射光の光軸に対して傾斜し、出射面が入射光の光軸に直交するように配置すれば、図１４（Ａ）に示す如き非点隔差を図１４（Ｂ）に示すように補正することができる。
【００４５】
そこで、図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、キュービックプリズム３８の出射面部分に、キュービックプリズム３８から比較的遠くの集光点位置（副走査方向の焦点位置）Ｌを比較的近くの集光点位置（主走査方向の焦点位置）Ｍへ近づけて一致させることにより非点隔差を解消できるだけの適量な補正傾斜角度を有し、かつ反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に沿って傾斜している傾斜面（すなわち、主走査方向を軸としてその周りに回転するよう傾斜した傾斜面）である非点隔差補正面４８を形成する。なお、このとき、キュービックプリズム３８の入射面は、入射光の光軸に直交するように構成する。このように構成することにより、図１１（Ａ）に示す如く非点隔差補正面４８を設けていないキュービックプリズム３７では、非点隔差を生じるものを、図１１（Ｂ）に示すように非点隔差を補正することができる。
【００４６】
さらに、この図４（Ａ）（Ｂ）に示すキュービックプリズム３８では、キュービックプリズムの重心と回転軸を一致させることで、プリズムによけいな力が加わらないようにし、いわゆる回転軸の軸ブレを防止するため、回転軸を中心とする回転対象の形状に形成することが望ましい。このため、キュービックプリズム３８には、非点隔差補正面４８と正反対の面に同形状の傾斜補助面５０を形成し、キュービックプリズム３８全体を回転軸に沿った断面で等脚台形状に形成する。
【００４７】
また、図８（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）に示すように、キュービックプリズム３８の入射面部分に、比較的近くの集光点位置（主走査方向の焦点位置）Ｍから比較的遠くの集光点位置（副走査方向の焦点位置）Ｌへ焦点位置を遠ざけて一致させるだけの適量な補正傾斜角度を有し、かつ反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に沿って傾斜している傾斜面である非点隔差補正面４８Ａを形成して構成しても良い。このように構成することにより、図１２（Ａ）に示す如く非点隔差補正面４８Ａを設けていないキュービックプリズム３７では、非点隔差を生じるものを、図１１（Ｂ）に示すように非点隔差を補正することができる。
【００４８】
次に、キュービックプリズム３８に施す非点隔差を補正する手段における具体的な他の例を示すため、キュービックプリズム３８の反射面３９が凹面（下に凸）となる変形を生じる場合の図５、図７及び図９の構成についてみると、図９（Ａ）に示すように、反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４２を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム４２は、凹面鏡で反射されて、比較的近くの集光点位置（主走査方向の焦点位置）Ｍに集光する。
【００４９】
このとき、図９（Ｂ）に示すように、反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４４を考えたとき、このスリット状の仮想光ビーム４４は、平面鏡で反射されて、比較的遠くの集光点位置（副走査方向の焦点位置）Ｌに集光する。
【００５０】
この場合には、図９（Ｃ）に示すように、反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に入射して反射するスリット状の収束光となるスリット状の仮想光ビーム４４の光路上に、比較的遠くの集光点位置（副走査方向の焦点位置）Ｌから比較的近くの集光点位置（主走査方向の焦点位置）Ｍへ焦点位置を近づけて一致させるだけの適量な補正傾斜角度を有する仮想プリズム部材４６を、その傾斜方向を反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に合致させ、かつ出射面が入射光の光軸に対して傾斜し、入射面が入射光の光軸に直交する状態で配置すれば、非点収差を補正することができる。
【００５１】
なお、図示しないが、反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に入射するスリット状の仮想光ビーム４２の光路上に、仮想光ビーム４２の比較的近くの集光点位置（主走査方向の焦点位置）Ｍを仮想光ビーム４４の比較的遠くの集光点位置（副走査方向の焦点位置）Ｌへ遠ざけて一致させるための適量な補正傾斜角度を有する仮想プリズム部材４６を、その傾斜方向を反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に合致させ、かつ入射面が入射光の光軸に対して傾斜するように配置すれば、非点隔差を補正することができる。
【００５２】
そこで、図７（Ａ）（Ｂ）に示すように、キュービックプリズム３８の出射面部分に、比較的遠くの集光点位置（副走査方向の焦点位置）Ｌから比較的近くの集光点位置（主走査方向の焦点位置）Ｍへ焦点位置を近づけて一致させるだけの適量な補正傾斜角度を有し、かつ反射面３９の主走査方向（入射ビームに対して反射面３９が直交する方向）に沿って傾斜している傾斜面である非点隔差補正面４８を形成する。
【００５３】
さらに、この図７（Ａ）（Ｂ）に示すキュービックプリズム３８では、回転軸を中心とする回転対象の形状に形成することが望ましい。このため、キュービックプリズム３８には、非点隔差補正面４８と正反対の面に同形状の傾斜補助面５０を形成し、キュービックプリズム３８全体を平面視で平行四辺形（ひし形）に形成する。
【００５４】
また、図５（Ａ）（Ｂ）に示すように、キュービックプリズム３８の入射面部分に、比較的近くの集光点位置Ｍから比較的遠くの集光点位置Ｌへ焦点位置を遠ざけて一致させるだけの適量な補正傾斜角度を有し、かつ反射面３９の副走査方向（入射ビームに対して反射面３９が傾斜する方向）に沿って傾斜している傾斜面である非点隔差補正面４８Ａを形成して構成しても良い。
【００５５】
また、実際のキュービックプリズム３８における反射面３９では、前述した図４乃至図９に例示するような単純な変形を生じる場合ばかりでなく、種々に変形する可能性があるので、各々の反射面３９の状態に対応して、非点隔差補正面４８の補正傾斜角度と傾斜面の傾斜方向とを、非点収差が最小となるように設定する。
【００５６】
すなわち、キュービックプリズム３８では、その加工誤差や回転により発生する非点収差にもバラツキが生じる。そこで、この非点隔差補正手段では、非点隔差のバラツキの中央に非点隔差の補正量を設定することで、露光記録時の画像品質を安定に保つことができる。
【００５７】
さらに、キュービックプリズム３８では、反射面３９により非点収差の生じる方向が主走査方向と副走査方向に限られるわけではないので、非点収差の生じる方向に対応して、入射面又は出射面に設ける非点隔差補正面４８の形状を収束ビーム中心に対して傾けて設定する。また、キュービックプリズム３８の入射面と出射面とのそれぞれに、非点隔差補正面４８を構成しても良い。この場合には、例えば、二つの非点隔差補正面４８をそれぞれ異なる傾斜面方向（相互に４５°傾斜させた状態）に構成し、二方向の非点隔差を同時に補正するように構成しても良い。
【００５８】
前述のように非点隔差を補正する手段を一体に構成したキュービックプリズム３８を用いたスピナーミラー装置３６で露光処理する場合には、ＰＳ版２２の感光面上にビームスポットを細く絞って露光処理するため焦点深度が短い場合でも、略全ての光ビームをビームスポットに良好に合焦させて、非点隔差の悪影響を受ける事無く高精度で画像を露光し、精細な画像を形成して画像品質を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器を持つインナードラム露光装置を搭載したＣＴＰ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｔｏ  Ｐｌａｔｅ）システムの全体を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器を持つインナードラム露光装置を搭載したＣＴＰシステム内部の全体的な概略構成図である。
【図３】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いるキュービックプリズム部分を取り出して示す要部の斜視図である。
【図４】（Ａ）は、本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる断面台形のキュービックプリズム部分を取り出して示す平面図、（Ｂ）は、本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる断面台形のキュービックプリズム部分を取り出して示す断面図である。
【図５】（Ａ）は、本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる側面台形のキュービックプリズム部分を取り出して示す平面図、（Ｂ）は、本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる側面台形のキュービックプリズム部分を取り出して示す側面図である。
【図６】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、本発明の非点隔差補正手段の具体的一例の原理を説明するための説明図である。
【図７】（Ａ）は、本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる平面視平行四辺形のキュービックプリズム部分を取り出して示す平面図、（Ｂ）は、本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる平面視平行四辺形キュービックプリズム部分を取り出して示す側面図である。
【図８】（Ａ）は、本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる側面台形のキュービックプリズム部分を取り出して示す平面図、（Ｂ）は、その正面図、（Ｃ）は、その側面図、（Ｄ）は、その斜視図である。
【図９】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、本発明の非点隔差補正手段の具体的な他例の原理を説明するための説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いるキュービックプリズムの反射面で非点隔差を生じる状態の一例を示す説明図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる図４に示すキュービックプリズムで非点隔差を補正する原理を説明するため、（Ａ）に非点隔差補正面を設けていないキュービックプリズムの状態を示し、（Ｂ）に非点隔差を補正した状態を示す説明図である。
【図１２】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いる図８に示すキュービックプリズムで非点隔差を補正する原理を説明するため、（Ａ）に非点隔差補正面を設けていないキュービックプリズムの状態を示し、（Ｂ）に非点隔差を補正した状態を示す説明図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いるキュービックプリズムで非点隔差を補正する原理を説明するため、（Ａ）に非点隔差補手段を設けていない状態を示し、（Ｂ）に出射面が入射光の光軸に対して傾斜し、入射面が入射光の光軸に直交するように配置された仮想プリズム部材で非点隔差を補正した状態を示す説明図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係わる光ビーム偏向器に用いるキュービックプリズムで非点隔差を補正する原理を説明するため、（Ａ）に非点隔差補手段を設けていない状態を示し、（Ｂ）に入射面が入射光の光軸に対して傾斜し、出射面が入射光の光軸に直交するように配置された仮想プリズム部材で非点隔差を補正した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６０】
１４  インナードラム露光装置
３６  スピナーミラー装置
３８  キュービックプリズム
３９  反射面
４０  回転軸
４８  非点隔差補正面
４８Ａ      非点隔差補正面
５０  傾斜補助面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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