(57)【要約】【課題】高抵抗複合軟磁性材を製造するための堆積膜被覆鉄粉末を提供する。【解決手段】Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ、ＦｅおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物を含みかつ素地中に燐化鉄微粒子が分散している堆積膜が鉄粉末の表面に被覆されている堆積膜被覆鉄粉末であって、前記Ｍｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物は結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相が含まれており、前記堆積膜は結晶粒径：２００ｎｍ以下の微細結晶組織を有する。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなる堆積膜が鉄粉末の表面に被覆されていることを特徴とする堆積膜被覆鉄粉末。
【請求項２】
前記堆積膜は、Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ、ＦｅおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物を含みかつ素地中に燐化鉄微粒子が分散していることを特徴とする請求項１記載の堆積膜被覆鉄粉末。
【請求項３】
前記堆積膜に含まれるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物には結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相が含まれていることを特徴とする請求項１または２記載の堆積膜被覆鉄粉末。
【請求項４】
前記堆積膜は、結晶粒径：２００ｎｍ以下の微細結晶組織を有することを特徴とする請求項１、２または３記載の堆積膜被覆鉄粉末。
【請求項５】
請求項１、２、３または４記載の堆積膜被覆鉄粉末を用いて作製した高比抵抗を有する複合軟磁性材。
【請求項６】
鉄粒子相とこの鉄粒子相を包囲する粒界相からなり、前記粒界相には結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相を含有する酸化物を含むことを特徴とする請求項５の複合軟磁性材。
【請求項７】
請求項５または６記載の複合軟磁性材からなる電磁気回路部品。
【請求項８】
前記電磁気回路部品は、磁心、電動機コア，発電機コア，ソレノイドコア，イグニッションコア，リアクトル，トランス，チョークコイルコアまたは磁気センサコアであることを特徴とする請求項７記載の電磁気回路部品。
【請求項９】
請求項７または８前記電磁気回路部品を組み込んだ電気機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、高抵抗複合軟磁性材を製造するための堆積膜被覆鉄粉末に関するものであり、この堆積膜被覆鉄粉末で作製した複合軟磁性材は低鉄損を必要とする各種電磁気回路部品、例えば、モータ、アクチュエータ、ヨーク、コア、リアクトルなどの各種電磁気部品の素材として使用される。
【背景技術】
【０００２】
一般に、各種電磁気回路部品に使用される軟磁性材は、鉄損が小さいことが要求とされるため、電気抵抗を高くして渦電流損を低減させ、保磁力を小さくしてヒステリシス損を低減させることは一般に知られていることである。さらに、近年、電磁気回路の小型化、高応答化が求められているところから、磁束密度がより高いことも重要視されている。
【０００３】
かかる高比抵抗を有する軟磁性材料を製造するための原料粉末の一例として鉄粉末の表面に絶縁性を有するＭｇ含有フェライト膜を被覆した酸化膜被覆鉄粉末が知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−１７０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来のＭｇ含有フェライト膜を被覆した酸化膜被覆鉄粉末は鉄粉末の表面にＭｇ含有フェライト膜を化学的方法により被覆するために、従来のＭｇ含有フェライト膜を被覆した酸化膜被覆鉄粉末をプレス成形した圧粉体に高温歪取り焼成を行って作製した複合軟磁性材は、Ｍｇ含有フェライト膜が一般に熱に対して不安定であるところから、焼成中に変化して絶縁性が低下する。
【０００５】
さらにＭｇ含有フェライト膜は鉄粉末の表面に対する密着性が十分でなく、そのために従来のＭｇ含有フェライト膜を被覆した酸化膜被覆鉄粉末をプレス成形し焼成することにより作製した複合軟磁性材はプレス成形中にＭｇ含有フェライト膜が剥離したり破れるなどして十分な絶縁効果が発揮できず、したがって、十分な高比抵抗を有する複合軟磁性材が得られないという欠点があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者らは、プレス成形しても、プレス成形時に鉄粉表面の高抵抗膜が破れることが無く表面に高抵抗膜が強固に密着した鉄粉末であり、プレス成形後に高温歪取り焼成を行っても表面の絶縁性が低下することなく高抵抗で渦電流損失が低くなり、また歪取り焼鈍の焼成を行った場合に、より保磁力が低減できてヒステリシス損失が低くなる高抵抗膜被覆鉄粉末を作製すべく研究を行った。
【０００７】
その結果、（イ）鉄粉末にリン酸処理を施すことにより鉄粉末の表面にリン酸塩膜を形成した鉄粉末（以下、リン酸塩被覆鉄粉末という）を作製し、このリン酸塩被覆鉄粉末にＭｇ粉末を添加し混合して得られた混合粉末を不活性ガス雰囲気または真空雰囲気中で転動しながら加熱処理を施すと、Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなる堆積膜が鉄粉末の表面に被覆された堆積膜被覆鉄粉末が得られ、このＭｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなる堆積膜は、Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ、ＦｅおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物を含みかつ素地中に燐化鉄微粒子が分散していること、
（ロ）前記堆積膜被覆鉄粉末の堆積膜は、燐化鉄微粒子が堆積膜の素地中に分散しているために高度の靭性を有することから、従来の酸化膜被覆鉄粉末の表面に形成されているＭｇ含有フェライト膜に比べてプレス成形時の鉄粉末の変形に追従しやすく、さらにこの堆積膜は鉄粉末に対する密着性が格段に優れることから、プレス成形中に絶縁皮膜である堆積膜が破壊されて鉄粉末同士が接触することが少なく、前記堆積膜被覆鉄粉末をプレス成形後に高温歪取り焼成を行っても堆積膜の絶縁性が低下することが少ないことから高抵抗を維持できて渦電流損失が低くなり、さらに歪取り焼成を行った場合に一層保磁力が低減できてヒステリシス損失が低くなり、したがって、低鉄損を有する複合軟磁性材料が得られること、
（ハ）前記堆積膜に含まれるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物には結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相が含まれていること、
（ニ）前記燐化鉄微粒子が素地中に分散している堆積膜は結晶粒径：２００ｎｍ以下の微細結晶組織を有することが好ましいこと、などの知見が得られたのである。
【０００８】
この発明は、かかる知見に基づいて成されたものであって、
（１）Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなる堆積膜が鉄粉末の表面に被覆されている堆積膜被覆鉄粉末、
（２）前記堆積膜は、Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ、ＦｅおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物を含みかつ素地中に燐化鉄微粒子が分散している前記（１）記載の堆積膜被覆鉄粉末、
（３）前記堆積膜に含まれるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物には結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相が含まれている前記（１）または（２）記載の堆積膜被覆鉄粉末、
（４）前記堆積膜は、結晶粒径：２００ｎｍ以下の微細結晶組織を有する前記（１）、（２）または（３）記載の堆積膜被覆鉄粉末、に特徴を有するものである。
【０００９】
この発明の前記（１）〜（４）記載の堆積膜被覆鉄粉末は、前述のように、リン酸塩被覆鉄粉末にＭｇ粉末を添加し混合して得られた混合粉末を不活性ガス雰囲気または真空雰囲気中で転動しながら加熱処理を施したのち、さらに酸化雰囲気中で酸化処理を施すことにより作製するが、一層具体的には、リン酸塩被覆鉄粉末にＭｇ粉末を添加し混合して得られた混合粉末を温度：１５０〜１１００℃、圧力：１×１０−１２〜１×１０−１ＭＰａの不活性ガス雰囲気または真空雰囲気中で転動しながら加熱処理したのち、さらに酸化雰囲気中で酸化処理を施すことにより作製する。
「堆積膜」という用語は、通常、真空蒸発やスパッタされた皮膜構成原子が例えば基板上に堆積した皮膜を示すが、この発明の鉄粉末の表面に形成されている堆積膜は、リン酸塩被覆鉄粉末表面のリン酸鉄（Ｆｅ−Ｐ−Ｏ）とＭｇが反応を伴って当該鉄粉末表面に堆積した皮膜を示す。この発明の鉄粉末の表面に形成されている燐化鉄微粒子が素地中に分散している堆積膜は燐化鉄微粒子が素地中に分散していることから高度の靭性を有する。このためプレス成形時の鉄粉末の変形に充分に追従すると共に酸化膜の鉄粉末に対する密着性が格段に優れたものとなっている。
【００１０】
この発明の鉄粉末の表面に形成されている堆積膜の膜厚は、圧粉成形して得られた複合軟磁性材の高磁束密度と高比抵抗を得るために５〜５００ｎｍの範囲内にあるのが好ましい。膜厚が５ｎｍより薄いと圧粉成形した複合軟磁性材の比抵抗が充分でなく渦電流損が増加するので好ましくなく、一方、膜厚が５００ｎｍより厚いと圧粉成形した複合軟磁性材の磁束密度が低下し好ましくないからである。さらに好ましい膜厚は５〜２００ｎｍである。
【００１１】
この発明の堆積膜被覆鉄粉末を構成する堆積膜に含まれるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物には結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相が含まれていることが好ましい。前記結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相はＦｅまたは／およびＭｇの一部をＰで置換した場合もあるが、ＮａＣｌ型結晶構造を有することが最も好ましい。
【００１２】
この発明の堆積膜被覆鉄粉末を構成する堆積膜は、その結晶粒が微細であるほど好ましく、結晶粒径：２００ｎｍ以下の微細結晶組織を有することが好ましい。この様な微細結晶組織を有することにより、圧粉成形時の粉末の変形に微結晶堆積膜が追従して被覆の破れを防止することができ、さらに焼成時にも鉄粉末同士の接触結合を防止することができ、また、高温歪取り焼成を行っても酸化物が安定で絶縁性低下が防止できて高抵抗を維持することができ、そのため渦電流損失が低くなる。結晶粒径が２００ｎｍより大きいと、堆積膜の膜厚が５００ｎｍよりも厚くなり圧粉成形した複合軟磁性材の磁束密度が低下するので好ましくない。
この発明の堆積膜被覆鉄粉末を製造するための原料粉末である鉄粉末は、平均粒径が５〜５００μｍの範囲内にあることが好ましい。その理由は、平均粒径が５μｍより小さすぎると、粉末の圧縮性が低下し、粉末の体積割合が低くなるために磁束密度の値が低下するので好ましくなく、一方、平均粒径が５００μｍより大きすぎると、粉末内部の渦電流が増大して高周波における透磁率が低下することによるものである。
【００１３】
この発明の堆積膜被覆鉄粉末を構成するＭｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ、ＦｅおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物は、Ｍｇの一部をＭｇに対して１０％以下のＡｌ，Ｓｉ，Ｎｉ，Ｍｎ，Ｚｎ，Ｃｕ，Ｃｏのうち１種以上で置換した疑三元系酸化物堆積膜でも良い。
【００１４】
次に、この発明の堆積膜被覆鉄粉末を使用した複合軟磁性材の製造方法を説明する。
【００１５】
この発明の堆積膜被覆鉄粉末を通常の方法で圧粉成形し焼結することにより作製することができる。また、この発明の堆積膜被覆鉄粉末に平均粒径：０．５μｍ以下の酸化ケイ素，酸化アルミニウムのうちの１種または２種を０．０５〜１質量％添加して混合粉末を作製し、この混合粉末を通常の方法で圧粉成形し、焼結することにより作製することができる。
【００１６】
この製造方法により作製した複合軟磁性材は、Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ、ＦｅおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物を含みかつ素地中に燐化鉄微粒子が分散している堆積膜が鉄粉末を包囲した堆積膜被覆鉄粉末を酸化ケイ素や酸化アルミニウムで結合した組織を有する高比抵抗の複合軟磁性材が得られ、この複合軟磁性材はケイ素や酸化アルミニウムを介して焼結されるために機械的強度を一層高めることができる。
【００１７】
この場合、酸化ケイ素や酸化アルミニウムが主体となって焼結されるところから保磁力を小さく保つことができ、したがって、ヒステリシス損の少ない複合軟磁性材を製造することができる、前記焼成は、不活性ガス雰囲気または酸化性ガス雰囲気中、温度：４００〜１３００℃で行われることが好ましい。
【００１８】
また、この発明の堆積膜被覆鉄粉末にシリカのゾルゲル（シリケート）溶液やアルミナのゾルゲル溶液などの湿式溶液を添加し混合したのち乾燥し、この乾燥した混合物を圧縮成形後、不活性ガス雰囲気または酸化性ガス雰囲気中、温度：４００〜１３００℃で焼成することにより複合軟磁性材を製造することができる。
【００１９】
さらに、この発明の堆積膜被覆鉄粉末に有機絶縁材料や無機絶縁材料、あるいは有機絶縁材料と無機絶縁材料との混合材料を混合して比抵抗および強度のさらに向上した複合軟磁性材を作製することができる。この場合、有機絶縁材料では、エポキシ樹脂やフッ素樹脂、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリエステル樹脂、フェノキシ樹脂、ユリア樹脂、イソシアネート樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂，等を用いることができる。また無機絶縁材料では、リン酸鉄などのリン酸塩、各種ガラス状絶縁物、珪酸ソーダを主成分とする水ガラス、絶縁性酸化物、等を用いることができる。
また、この発明の堆積膜被覆鉄粉末に、酸化硼素、酸化バナジウム、酸化ビスマス、酸化アンチモンおよび酸化モリブデンの内の１種または２種以上をＢ２Ｏ３、Ｖ２Ｏ５、Ｂｉ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＭｏＯ３換算で０．０５〜１質量％を配合し混合したのち圧粉成形し、得られた圧粉成形体を温度：５００〜１０００℃で燒結することにより複合軟磁性材を作製することができる。このようにして作製した複合軟磁性材は、酸化硼素、酸化バナジウム、酸化ビスマス、酸化アンチモンおよび酸化モリブデンの内の１種または２種以上をＢ２Ｏ３、Ｖ２Ｏ５、Ｂｉ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＭｏＯ３換算で０．０５〜１質量％を含有し、残部がこの発明の堆積膜被覆鉄粉末からなる組成を有し、堆積膜と、酸化硼素、酸化バナジウム、酸化ビスマス、酸化アンチモンおよび酸化モリブデンの内の１種または２種以上とが反応した皮膜が形成される。
【００２０】
また、この複合軟磁性材は、酸化硼素のゾル溶液または粉末、酸化バナジウムのゾル溶液または粉末、酸化ビスマスのゾル溶液または粉末、酸化アンチモンのゾル溶液または粉末および酸化モリブデンのゾル溶液または粉末の内の１種または２種以上をＢ２Ｏ３、Ｖ２Ｏ５、Ｂｉ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３、ＭｏＯ３換算で０．０５〜１質量％、残部が前記この発明の堆積膜被覆鉄粉末からなる組成となるように配合し、混合し、乾燥して前記この発明の堆積膜被覆鉄粉末を酸化物乾燥ゲルまたは粉末からなる混合酸化物で被覆してなる混合堆積膜被覆鉄粉末を作製し、この混合堆積膜被覆鉄粉末を圧粉し、成形したのち、温度：５００〜１０００℃で燒結することにより得ることができる。
これらのこの発明の堆積膜被覆鉄粉末を用いて作製した高比抵抗を有する複合軟磁性材は、鉄粒子相とこの鉄粒子相を包囲する粒界相からなり、前記粒界相には結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相を含有する酸化物を含むことが好ましい。前記結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相はＦｅまたは／およびＭｇの一部をＰで置換した場合もあるが、ＮａＣｌ型結晶構造を有することが最も好ましい。
この発明の堆積膜被覆鉄粉末を用いて作製した複合軟磁性材は高密度、高強度、高比抵抗および高磁束密度を有し、この複合軟磁性材は、高磁束密度で高周波低鉄損の特徴を有することからこの特徴を生かした各種電磁気回路部品の材料として使用できる。前記電磁気回路部品は、磁心、電動機コア，発電機コア、ソレノイドコア、イグニッションコア、リアクトル、トランス、チョークコイルコアまたは磁気センサコアなどがある。そして、この発明の堆積膜被覆鉄粉末を用いた高抵抗を有する複合軟磁性材からなる電磁気回路部品を組み込んだ電気機器には、電動機、発電機、ソレノイド、インジェクタ、電磁駆動弁、インバータ、コンバータ、変圧器、継電器、磁気センサシステム等があり、電気機器の高効率高性能化や小型軽量化を行うことができる。
【発明の効果】
【００２１】
この発明の堆積膜被覆鉄粉末をプレス成形して複合軟磁性材を製造すると、堆積膜は燐化鉄微粒子が素地中に分散していることから高度の靭性を有し、この堆積膜被覆鉄粉末をプレス成形しても成形中に膜が破壊することが少なく、したがって、得られた複合軟磁性材は高比抵抗を有することから低渦電流損失を有し、さらに保磁力が低いことから低ヒステリシス損失を有する複合軟磁性材を低コスト安定して作製することができ、電気・電子産業上優れた効果をもたらすものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
実施例
原料粉末として、平均粒径：７０μｍを有する市販のリン酸塩被覆鉄粉末を用意し、さらに、平均粒径：５０μｍのＭｇ粉末を用意した。前記リン酸塩被覆鉄粉末に対しＭｇ粉末を、リン酸塩被覆鉄粉末：Ｍｇ粉末＝９９．８質量％：０．２質量％の割合で添加し混合して混合粉末を作製し、得られた混合粉末を温度：６５０℃、圧力：１×１０−４ＭＰａ、１時間保持の条件で転動しながら加熱することにより鉄粉末の表面に堆積膜が被覆されている本発明堆積膜被覆鉄粉末を作製した。本発明堆積膜被覆鉄粉末に形成されている堆積膜の断面組織を透過電子顕微鏡で観察し、その透過電子顕微鏡組織写真を図１に示した。図１の写真から本発明堆積膜被覆鉄粉末に形成されている堆積膜の厚さと最大結晶粒径を求め、その結果を表１に示した。
【００２３】
さらに、堆積膜の深さ方向のＭｇ、Ｏ、ＰおよびＦｅの濃度分布をオージェ電子分光装置を用いて調べた結果を図２のグラフに示す。図２のグラフに示される結果から、堆積膜を構成する元素はＭｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯであることが解った。
【００２４】
さらに、この本発明堆積膜被覆鉄粉末の表面に形成された堆積膜をＸ線光電子分光装置により分析を行ない、結合エネルギーを解析したところ、燐化鉄微粒子が素地中に分散していること、並びにＭｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ、ＦｅおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物が存在していることが解った。さらに本発明堆積膜被覆鉄粉末の表面に形成された堆積膜の電子線回折図形から、Ｍｇ、Ｆｅ、ＰおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｐ−Ｏ四元系リン酸塩化合物およびＭｇ、ＦｅおよびＯからなるＭｇ−Ｆｅ−Ｏ三元系酸化物は結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相を含有することが解った。
【００２５】
得られた本発明堆積膜被覆鉄粉末を金型に入れ、プレス成形して縦：５５ｍｍ、横：１０ｍｍ、厚さ：５ｍｍの寸法を有する板状圧粉体および外径：３５ｍｍ、内径：２５ｍｍ、高さ：５ｍｍの寸法を有するリング形状圧粉体を成形し、得られた圧粉体を窒素雰囲気中、温度：５００℃、３０分保持の条件で焼成を行い、板状およびリング状焼成体からなる複合軟磁性材を作製し、この板状焼成体からなる複合軟磁性材の密度および比抵抗を測定してその結果を表１に示し、さらにリング状焼成体からなる複合軟磁性材に巻き線を施し、磁束密度、保磁力、並びに磁束密度１．５Ｔ、周波数５０Ｈｚの時の鉄損および磁束密度１．０Ｔ、周波数４００Ｈｚの時の鉄損などの磁気特性を測定し、それらの結果を表１に示した。
さらに本発明堆積膜被覆鉄粉末を用いた複合軟磁性材を透過電子顕微鏡で観察したところ、鉄粒子相とこの鉄粒子相を包囲する粒界相が観察され、前記粒界相から得られた電子線回折図形から、粒界相には結晶質のＭｇＯ固溶ウスタイト型相を含有することが解った。
従来例
純鉄粉末の表面にＭｇ含有フェライト層を化学的に形成した従来酸化物被覆鉄粉末を作製し、この従来酸化物被覆鉄粉末を金型に入れ、プレス成形して縦：５５ｍｍ、横：１０ｍｍ、厚さ：５ｍｍの寸法を有する板状圧粉体および外径：３５ｍｍ、内径：２５ｍｍ、高さ：５ｍｍの寸法を有するリング形状圧粉体を成形し、得られた圧粉体を窒素雰囲気中、温度：５００℃、３０分保持の条件で焼結を行い、板状およびリング状焼結体からなる複合軟磁性材を作製し、板状焼結体からなる複合軟磁性材の密度および比抵抗を測定してその結果を表１に示し、さらにリング状焼結体からなる複合軟磁性材に巻き線を施し、磁束密度、保磁力、並びに磁束密度１．５Ｔ、周波数５０Ｈｚの時の鉄損および磁束密度１．０Ｔ、周波数４００Ｈｚの時の鉄損などの磁気特性を測定し、それらの結果を表１に示した。
【００２６】
【表１】
2006307312.tif 000002
【００２７】
表１に示される結果から、本発明堆積膜被覆鉄粉末を使用して作製した複合軟磁性材は、従来酸化物被覆鉄粉末を使用して作製した複合軟磁性材従来複合軟磁性材と比べて、密度については大差は無いが、本発明堆積膜被覆鉄粉末を使用して作製した複合軟磁性材は、従来酸化物被覆鉄粉末を使用して作製した複合軟磁性材に比べて、磁束密度が高く、保磁力が小さく、さらに比抵抗が格段に高く、そのため鉄損が格段に小さく、特に周波数が大きくなるほど鉄損が小さくなるなどの特性を有することから、本発明堆積膜被覆鉄粉末は従来酸化物被覆鉄粉末と比べて一層優れた特性を有する複合軟磁性材を提供することができる軟磁性原料粉末であることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】この発明の堆積膜被覆鉄粉末に形成されている堆積膜の断面組織の透過電子顕微鏡写真である。
【図２】この発明の堆積膜被覆鉄粉末に形成されている堆積膜の深さ方向のＭｇ、Ｏ、ＰおよびＦｅの濃度分布をオージェ電子分光装置を用いて調べたグラフである。
【図１】
2006307312.tif 000003
【図２】
2006307312.tif 000004