(57)【要約】【課題】  大型ペリクルを簡便な作業で高品質な状態で装着できる手法を提供するものであり、そのための大型ペリクル、大型ペリクルの搬送方法、大型ペリクルを収納するペリクルケース、大型ペリクルの移載装置を提供する。【解決手段】  ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設けた大型ペリクルにおいて、前記ペリクルフレーム下面を少なくとも２つの領域に分け、それぞれの領域に前記ペリクルフレームを最終的にフォトマスクに接着させるための第１の粘着面と、該第１の粘着面より突出させて、前記ペリクルフレームを一時的に固定するための第２の粘着面とを形成したことを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設けた大型ペリクルにおいて、前記ペリクルフレーム下面を少なくとも２つの領域に分け、それぞれの領域に前記ペリクルフレームを最終的にフォトマスクに接着させるための第１の粘着面と、該第１の粘着面より突出させて、前記ペリクルフレームを一時的に固定するための第２の粘着面とを形成したことを特徴とする大型ペリクル。
【請求項２】
前記ペリクルフレーム下面に段差を設け、前記段差の凹部に前記第１の粘着面を形成し、前記段差の凸部に前記第２の粘着面を形成したことを特徴とする請求項1に記載の大型ペリクル。
【請求項３】
前記段差が、前記ペリクルフレーム下面の内周部と外周部との間に設けられたものであることを特徴とする請求項２に記載の大型ペリクル。
【請求項４】
前記段差が、前記ペリクルフレーム下面の全周に渡って横断する方向に設けられたものであることを特徴とする請求項２に記載の大型ペリクル。
【請求項５】
前記第２の粘着面が、前記ペリクルフレーム下面に部分的に形成されたものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の大型ペリクル。
【請求項６】
大型ペリクルの搬送方法において、前記ペリクルフレーム下面に形成された前記第２の粘着面を、ペリクルキャリアに設けられた平面に粘着させて前記大型ペリクルを固定し、前記ペリクルキャリアを人間あるいは装置が保持して、搬送あるいは固定させることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルの搬送方法。
【請求項７】
トレーと上蓋とを有するペリクルケースにおいて、前記ペリクルキャリアの固定部を有し、前記大型ペリクルが取り付けられた前記ペリクルキャリアごと固定して収納することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルを収納するペリクルケース。
【請求項８】
トレーと上蓋とを有するペリクルケースにおいて、前記トレーの一部に平滑面を有し、前記ペリクルフレーム下面の前記第２の粘着面を前記平滑面に粘着させ、前記第１の粘着面と前記平滑面との間に隙間を設けて収納することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルを収納するペリクルケース。
【請求項９】
ペリクルキャリアあるいはペリクルケースを載置するステージと、フォトマスクを載置するステージと、大型ペリクルをペリクルフレーム側面でクランプして移動させる搬送機とを有し、前記いずれか一方のステージ上のペリクルキャリアあるいはペリクルケースあるいはフォトマスク上から前記第２の粘着面にて貼り付けて固定した前記大型ペリクルを引き剥がし、他方のステージ上のフォトマスクあるいはペリクルキャリアあるいはペリクルケースに載せ替える機構を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルの移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は主として液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの製造工程において、露光用原版として使用される大型フォトマスク（以後、単に「マスク」とも記す。）の表面に装着し、パターン面のゴミよけとして使用される大型ペリクル（以後、単に「ペリクル」とも記す。）、その大型ペリクルの搬送方法、大型ペリクルの収納用ケース及び大型ペリクルの移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ペリクルは、通常、金属製のペリクルフレーム（以後、単に「フレーム」とも記す。）の上面に透明な高分子薄膜が貼り渡されたものであり、フレーム下面の粘着剤でマスクに粘着することにより、露光時に結像するパターンの近傍空間をペリクル膜とフレームによって囲み、外部のゴミから遮断する機能を有するものである。
従来の大型ペリクルの構造を図１６に、従来の大型ペリクルを収納するためのペリクルケースの形態を図１７に、従来の大型ペリクルがマスクに装着された状態を図１８に示す。
【０００３】
図１６（ａ）は従来の大型ペリクル１６０の側面図であり、図１６（ｂ）は下面図である。従来の大型ペリクル１６０は、フレーム１６１上面にペリクル膜１６２が接着されており、フレーム下面にはマスク貼り付け用粘着剤１６３が形成されており、マスクに貼る前までは粘着剤保護用フィルム１６４が設けられている。図１７は、従来の大型ペリクルケース１７０に従来の大型ペリクル１６０を収納した状態で、ペリクルケース１７０はトレー１７１と上蓋１７２から形成されている。
【０００４】
大型ペリクルはペリクルメーカーにて製造し、マスク粘着用粘着面に保護フィルムが貼られ、ケースに入れてマスクメーカーに出荷されていた。マスクメーカーでは、人間が清浄な手袋を装着した手で直に、あるいは、専用のハンドリング治具を使用して、ペリクルを保持、搬送、検査していた。更に、ペリクル検査後、保護フィルムを剥離し、ペリクル装着装置にペリクルをセットし、マスクをペリクル装着装置にセットした後、両者を圧着して、図１８に示すように、ペリクル１６０をマスク１８０表面に接着していた。ペリクル装着後、ゴミの検査を実施し、ペリクル内に規格外のゴミが発見された場合は、ペリクルを剥離し、再度、マスクを洗浄後、新たなペリクルを準備して、再度装着を行っていた。ゴミが規格内であれば、合格品として液晶ディスプレイメーカー等に出荷していた。
【０００５】
近年、ディスプレイサイズの大型化に伴い、その原版となるフォトマスクも１辺が１ｍを超えるレベルまで大型化し、ペリクルも同様に大型化している。大型化により、フォトマスク及びペリクルを、ゴミを付着させずに搬送し、フォトマスクを製造することが非常に困難なものになっている。
【０００６】
従来の大型ペリクルでは、粘着剤やペリクル膜の付いていないフレームの側面を利用してペリクルをハンドリングしている。搬送しやすくするためにペリクルフレームの側面に小さな溝や凹みをつけ、当該溝等に専用の治具を装着してハンドリングすることが行われている。しかしながら、ペリクル全体は巨大であるのに対し、フレームの高さは７ｍｍ程度と小さく、治具を装着すること自体が困難であった。また、ペリクル装着装置においては、ペリクル側面を保持し、正確に位置を決めるために使用するため、受け渡しに使用できる側面の領域が限られ、治具の使用が困難であった。以上の理由から、大型ペリクル装着作業において、治具の使用や自動化は進んでおらず、主に人間が直接手でハンドリングしていた。
【０００７】
しかしながら、大型ペリクルはその大きさゆえにゴミをゼロにして装着することが難しく、特に人間が直接搬送した場合、人間はゴミの大きな発生源のひとつとなるため、ペリクル内にゴミが混入しやすく、装着後の検査で不合格が発生していた。不合格の場合、ペリクルは剥離して、再度、装着作業を行う必要があった。
【０００８】
また、大型ペリクルにおいては、フレームが大きく、重量があるため、露光使用時の落下事故を防ぐためにマスクに強力に粘着する必要があった。従って、装着失敗時に剥離することが非常に困難であった。通常、溶剤に浸漬して粘着剤を溶解したり、フレームをテコなどを用いて、強い力で引き剥がすことによってペリクルを剥離するが、剥離したペリクルはもはや再利用が不可能であった。また、場合によっては、剥離作業によって高価なマスク自体に損傷を与える可能性があった。また、ペリクル自体が高価で、装着失敗によるロスが大きかった。
【０００９】
この対策として、半導体集積回路装置用のペリクルにおいては、例えば、粘着剤をフレームの下面の全面に形成された第１の接着剤層と、該第１の接着層の表面から突出する第１の接着剤層より狭い第２の接着剤層の2層構造とし、第2の接着層で仮に装着した状態にて異物検査を行い、規格を満たしている場合は、より大きな押し圧力を加えて本接着して合格品として出荷し、規格外の場合には剥がす方法が考えられた（特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３３９０８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載された方法では、１層目の粘着剤の上に２層目の狭い粘着剤を平滑に精度よく形成するのが困難であり、また、仮に装着した状態のペリクルを引き剥がして剥離する際、本接着用の粘着剤にも応力がかかるため、粘着層が変形し、再利用できなくなるといった問題があった。そのため、特に大型ペリクルにおいては大面積に渡って粘着面の平面度を維持する必要があり、適用が困難であった。
【００１１】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、大型化するペリクルを簡便な作業で高品質な状態で装着できる手法を提供するものであり、そのための大型ペリクル、大型ペリクルの搬送方法、大型ペリクルを収納するペリクルケース、大型ペリクルの移載装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明は、ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設けた大型ペリクルにおいて、前記ペリクルフレーム下面を少なくとも２つの領域に分け、それぞれの領域に前記ペリクルフレームを最終的にフォトマスクに接着させるための第１の粘着面と、該第１の粘着面より突出させて、前記ペリクルフレームを一時的に固定するための第２の粘着面とを形成したことを特徴とする。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１に記載の大型ペリクルにおいて、前記ペリクルフレーム下面に段差を設け、前記段差の凹部に前記第１の粘着面を形成し、前記段差の凸部に前記第２の粘着面を形成したことを特徴とする。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項２に記載の大型ペリクルにおいて、前記段差が、前記ペリクルフレーム下面の内周部と外周部との間に設けられたものであることを特徴とする。
【００１５】
請求項４の発明は、請求項２に記載の大型ペリクルにおいて、前記段差が、前記ペリクルフレーム下面の全周に渡って横断する方向に設けられたものであることを特徴とする。
【００１６】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の大型ペリクルにおいて、前記第２の粘着面が、前記ペリクルフレーム下面に部分的に形成されたものであることを特徴とする。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルの搬送方法において、前記ペリクルフレーム下面に形成された前記第２の粘着面を、ペリクルキャリアに設けられた平面に粘着させて前記大型ペリクルを固定し、前記ペリクルキャリアを人間あるいは装置が保持して、搬送あるいは固定させることを特徴とする。
【００１８】
請求項７の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルを収納し、トレーと上蓋とを有するペリクルケースにおいて、前記ペリクルキャリアの固定部を有し、前記大型ペリクルが取り付けられた前記ペリクルキャリアごと固定して収納することを特徴とする。
【００１９】
請求項８の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルを収納し、トレーと上蓋とを有するペリクルケースにおいて、前記トレーの一部に平滑面を有し、フレーム下面の前記第２の粘着面を前記平滑面に粘着させ、前記第１の粘着面と前記平滑面との間に隙間を設けて収納することを特徴とする。
【００２０】
請求項９の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の大型ペリクルを移載する装置において、ペリクルキャリアあるいはペリクルケースを載置するステージと、フォトマスクを載置するステージと、大型ペリクルをフレーム側面でクランプして移動させる搬送機とを有し、前記いずれか一方のステージ上のペリクルキャリアあるいはペリクルケースあるいはフォトマスク上から前記第２の粘着面にて貼り付けて固定した前記大型ペリクルを引き剥がし、他方のステージ上のフォトマスクあるいはペリクルキャリアあるいはペリクルケースに載せ替える機構を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の大型ペリクルを用いることにより、従来、困難であった、大型ペリクルの装着作業を簡便に行うことができ、また、装置での取り扱いが容易になるため自動化が進むという効果が得られる。また、マスクに仮に接着した状態にて、検査を行うことにより、ゴミや位置ずれといった問題があった場合でも、ペリクル装着作業をやり直すことができ、ペリクルは再利用可能である。そのため、高価な大型ペリクルの不良を低減することが可能となる。また、高価なマスクを損傷させることなく、ペリクル装着作業をやり直すことができる。
【００２２】
本発明の搬送方法によれば、ペリクルキャリアの構造が簡単になり、キャリアにペリクルをクランプする機構が不要となる。ペリクルのペリクルキャリアへの着脱が容易になる。また、大型ペリクルをペリクルキャリアに固定して、人間あるいは装置が保持して搬送したり、取扱いをすることが容易になる。さらに、ペリクルキャリアの穴を利用して、ペリクル検査装置等に自動的に設置することが可能となる。
【００２３】
本発明のペリクルケースによれば、大型ペリクルをペリクルキャリアごと収納したり、あるいはトレーに固定して収納することにより、搬送が容易で、塵埃の付着を低減させることが可能となる。また、ペリクルの移し変えなしに、キャリアでの作業が可能となる。さらに、粘着剤保護フィルムが不要となり、保護フィルムの取り付け、取り外し作業が不要となる。
【００２４】
本発明の移載装置によれば、大型ペリクルを仮に接着した状態から引き剥がし、フォトマスクあるいはペリクルキャリアあるいはペリクルケースに載せ替えることが容易になり、塵埃の付着を低減させることが可能となる。また、本発明の移載装置は高圧機構を必要とせず、装置機構は簡単で、ペリクル装着作業コストを低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（大型ペリクル)
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明の一例を示す大型ペリクル１０のペリクルフレーム１１付近の拡大断面模式図である。図１（ａ）は、大型ペリクル１０をフォトマスク１２に仮貼りをした状態を示し、図１（ｂ）は本貼りをした状態を示す。図１を例として、さらに詳しく説明する。
【００２６】
図１（ａ）、図１（ｂ）に示す本発明の大型ペリクル１０は、フレーム１１上面にペリクル膜１３が設けられており、フレーム１１の下面は２つの領域に分けられ、最終的にフレーム１１をマスク１２と接着するための第１の粘着面（以後、「本接着用粘着面」とも呼ぶ。）１４がフレーム１１の下面内周側に形成されており、それとは別に、フレーム１１を一時的に固定するための第２の粘着面（以後、「仮固定用粘着面」とも呼ぶ。）１５がフレーム１１の下面外周側に形成されている。第１の粘着面１４の幅と、第２の粘着面１５の幅は任意に設定できる。本発明においては、本接着用粘着面とする第１の粘着面１４に用いる粘着剤としては、発塵の少ない粘着剤が好ましい。
【００２７】
図２は、本発明の大型ペリクル１０を用いた作業工程を示すフローチャートである。
図１（ａ）に示すように、本発明の大型ペリクル１０をフォトマスク１２に第２の粘着面１５を用いて押し付け強度を低くして仮貼りし、仮固定する。この段階では、第１の粘着面１４はフォトマスク１２とは接着されていない。
【００２８】
次に、仮貼りした状態で、図２に示すように、外観検査機によりフォトマスク１２を検査する。外観検査結果が合格と判定された場合には、図１（ｂ）に示すように、大型ペリクル１０を第１の粘着面１４を用いてフォトマスク１２に強力に押し付けて、仮固定用粘着層を押しつぶし、本接着用粘着剤にて強力にマスクに粘着させ本固定する。
【００２９】
上記の外観検査機による検査結果で不合格と判定された場合には、大型ペリクル１０をフォトマスク１２から剥離する。本発明では、大型ペリクル１０は仮貼りした状態なので、大型ペリクル１０、フォトマスク１２の双方に損傷を与えずに、容易に剥離することが可能である。大型ペリクル１０は再利用に回され装着作業をやり直すことができる。一方、フォトマスク１２は再洗浄し、再び仮貼り付け工程に戻る。この際、粘着剤は押し付け強度を低くして接着されていたので、フォトマスク１２の再洗浄は容易となる。
【００３０】
次に、大型ペリクル１０をフォトマスク１２に本貼り付けした後、検査の完璧をなすために、再度外観検査機により検査を行なう。ここで良いと判定された場合には、出荷される。万一、検査で不良となった場合には、大型ペリクル１０とフォトマスク１２を剥離するが、粘着面１４は押し付け強度を高くして本貼りされた後なので、大型ペリクル１０は破損を生じているので、破棄される。一方、フォトマスク１２は再洗浄して最初の工程に戻る。
以上が本発明の大型ペリクル１０の作業工程であり、仮貼り付け工程とその直後の外観検査工程を有し、大型ペリクル１０を再利用し得ることが特徴である。
【００３１】
本発明においては、図１に示した本接着用粘着面と仮固定用粘着面の位置を入れ替えて、フレーム下面内周側に仮接着用粘着面を形成し、フレーム下面外周側に本接着用粘着面を形成する大型ペリクルの形態も可能である。
【００３２】
また、フレーム下面に段差を設け、段差の凹部に第１の粘着面を形成し、段差の凸部に第２の粘着面を形成する大型ペリクルの形態も可能である。上記の段差を設ける場合、段差は、ペリクルフレーム下面の内周部と外周部との間に設ける形態が可能であり、塵埃の進入を防止する点からは外周部を凸部とし仮接着用粘着面を形成するのがより好ましい。本形態の場合には、段差はフレームの幅方向の任意の位置に設けることができる。
【００３３】
また、別な形態として、段差は、ペリクルフレーム下面の全周に渡って横断する方向に複数の段差を設け、複数の凹凸部を形成する形態とすることも可能である。本形態の場合には、段差はフレームの全周方向の直角方向に設けるのが好ましいが、それに限定されず角度をもたせることも可能である。本形態における段差の数、位置は任意に設定できる。この場合、ペリクルフレーム下面の全周に渡って均一な粘着剤を塗布し、段差の凹部を本接着用粘着面とし、段差の凸部を仮接着用粘着面とすることができる。
【００３４】
また、本発明においては、仮接着用粘着面は必ずしもペリクルフレーム下面全周に渡って形成されていなくてもよく、部分的に形成されたものであってもよい。
【００３５】
（大型ペリクルの搬送方法）
本発明の大型ペリクルの搬送方法においては、ペリクルフレーム下面に形成された第２の粘着面を、ペリクルキャリア（以後、単に「キャリア」とも記す。）に設けられた平面に一時的に粘着させて大型ペリクルを固定し、ペリクルキャリアを人間あるいは装置が保持して、大型ペリクル搬送作業および装着作業を容易にするものである。
本発明の大型ペリクルは、大型ペリクルを搬送する際に、搬送機側に大型ペリクルをクランプする機構が不要であり、大型ペリクルの第２の粘着面を用いてペリクルキャリアに軽く押し付けることにより平面に固定され、軽く引きはがすことにより平面から容易に取り外すことが可能である。また、フレームの側面を使用することがないので、他の側面を保持する機構を有する装置、たとえばペリクル装着装置、と直接に受け渡すことが可能である。
【００３６】
（ペリクルケース）
本発明の大型ペリクルを収納するための本発明のペリクルケースの第１の形態は、大型ペリクルをペリクルキャリアに仮固定用粘着面にて固定し、ペリクルキャリアごと大型ペリクルを収納するものである。ペリクルメーカーにてペリクルキャリアを使用してペリクル検査を行ったのち、本発明のペリクルケースに収納してマスクメーカーに供給することにより、マスクメーカーでは大型ペリクルを新たなペリクルキャリアに載せ替えることなく、検査、装着作業を行うことができる。
【００３７】
本発明の大型ペリクルを収納するための本発明のペリクルケースの第２の形態は、仮固定用粘着面にて、ペリクルケース内に作られた平面に粘着して固定し、搬送されるものである。上記のペリクルケースを使用することにより、最終的にマスクに粘着する本接着用粘着面は平面との間に隙間が設けられて保護されるため、保護シートをつける必要がなくなる。これにより、大型ペリクル装着時に保護シートを剥離するという作業が不要になるため、作業によるゴミの付着や、ペリクル膜に傷をつけるといった事故が防止できる。更に、保護シートの剥離が排除されるため、大型ペリクル装着の自動化が容易になる。
【００３８】
（ペリクル移載装置）
本発明のペリクル移載装置は、上記のペリクルキャリアあるいはペリクルケースを載置するステージと、マスクを載置するステージを設け、一方から他方に大型ペリクルを移し変えるものである。移し変え前後とも、仮固定用粘着面にて大型ペリクルを粘着し固定する。この場合、高い押し付け圧力を使用しないため、装置の構造が簡単になる。また、大型ペリクルをマスク上に移し変えた後、ゴミや大型ペリクルの位置等の検査を行い、規格外であれば、再度、ペリクル移載装置にて、大型ペリクルをマスク上からペリクルキャリアまたはペリクルケースに戻すことができる。この場合、大型ペリクルに問題がなければ再利用が可能となる。検査結果が規格内であれば別の高い圧力をかけることのできる圧着装置にて、大型ペリクルをマスクに強く押し付け、本接着用粘着剤にてマスクに接着して、装着作業を完了する。
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。
【実施例】
【００３９】
(大型ペリクル)
大型ペリクルとして、液晶ディスプレイ製造に使用されるフォトマスクに装着するために、大きさが縦７８３ｍｍ、横１１３６ｍｍ、フレームの幅が１０ｍｍ、高さが７ｍｍ、重量が７００ｇの大型ペリクルを使用した。
【００４０】
<第１の実施例>
図３は、本発明の大型ペリクルの第１の実施例であり、図３（ｂ）は上面にペリクル膜３３を有するフレーム３１の粘着面側から大型ペリクル３０を見た下面図であり、図３（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
フレーム３１の下面を内周部と外周部で２分割し、内周部に本接着用粘着剤を１ｍｍの厚みで塗布して第１の粘着面３４を形成し、外周部に仮固定用粘着剤層を１．５ｍｍの厚みで塗布して第２の粘着面３５を形成した。仮固定用粘着剤の配合を調整し、１ｋｇの荷重で容易にマスク表面から剥離ができるようにした。
【００４１】
<第２の実施例>
図４は、本発明の大型ペリクルの第２の実施例であり、図４（ｂ）は上面にペリクル膜４３を有するフレーム４１の粘着面側から大型ペリクル４０を見た下面図であり、図４（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
本実施例は、第１の例とは逆に、内周部に仮固定用粘着剤層を設けて第２の粘着面４５を形成し、外周部に本接着用粘着剤層を設けて第１の粘着面４４を形成した。仮固定用粘着剤としては厚み２ｍｍのホットメルト型粘着剤を塗布し、本接着用粘着剤としては発泡ポリエチレン基材の両面テープ層を１ｍｍ厚で形成した。発泡ポリエチレン粘着層は発塵性に劣るが、柔軟性が高いため、最終的にマスクに接着した際に２つの粘着剤の段差を埋めて、強力にマスクに接着させることができた。内周に発塵の少ないホットメルト型粘着剤があるため、発泡剤からの異物がペリクル内に進入することはなかった。
【００４２】
<第３の実施例>
図５は、本発明の大型ペリクルの第３の実施例であり、図５（ｂ）は上面にペリクル膜５３を有するフレーム５１の粘着面側から大型ペリクル５０を見た下面図であり、図５（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
本実施例は、第１の実施例と同様に、内周部に本接着用粘着剤を１ｍｍ厚で塗布して第１の粘着面５４を形成した。外周部に仮固定用粘着剤層を２ｍｍ厚で設けて第２の粘着面５５を形成したが、仮固定用粘着剤層の面積を小さくして第２の粘着面５５は部分的に形成した。図５では６箇所に形成した場合を例示している。本実施例の形態では、仮粘着、本接着とも同一組成の粘着剤を使用し、塗布面積を調整することにより仮固定の粘着力を調整することが可能である。
【００４３】
<第４の実施例>
図６は、本発明の大型ペリクルの第４の実施例であり、図６（ｂ）は上面にペリクル膜６３を有するフレーム６１の粘着面側から大型ペリクル６０を見た下面図であり、図６（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
本実施例は、フレーム６１の下面の内周部と外周部の間に０．５ｍｍの段差を設けて内周部を凹部とし、段差の凹部に第１の粘着面を形成し、段差の凸部に第２の粘着面を形成した。この場合、２つの領域の粘着剤の厚みを同一にしても良いし、外周を厚くしても良い。
【００４４】
<第５の実施例>
図７は本発明の大型ペリクルの第５の実施例であり、図７（ａ）は上面にペリクル膜を有するフレーム７１の粘着面側から大型ペリクル７０を見た下面図であり、図７（ｂ）はその側面図である。
本実施例においては、フレーム７１の下面の全周に渡って横断する方向に１ｍｍの複数の段差を設けたものであり、全周に渡って均一な粘着剤を１．５ｍｍの塗布厚で塗布し、フレームの段差によって粘着面の段差を形成した。すなわち、段差の凹部を本接着用粘着面７４とし、段差の凸部を仮接着用粘着面７５とした。
【００４５】
（ペリクルキャリア）
次に本発明のペリクルを搬送するためのキャリアの例を説明する。図８は、本発明のペリクルキャリア８０の上面図である。
大型ペリクルとしては、前記第３の実施例の大型ペリクル３０を使用した。図８に示すように、内側に空間を設けた矩形枠状のペリクルキャリア８０をアルミニウムで作製し、ペリクルを剥がしやすいように、表面にフッ素樹脂のコーティングを施した。図８に示す矩形枠の長辺２辺で大型ペリクルを保持するようにした。また、搬送用のハンドル８１、装置に取り付けるときための取り付け穴８２を設けた。
【００４６】
図９は、本発明のペリクルキャリア８０に大型ペリクル３０を仮接着用粘着面を用いて粘着させて固定した状態を示す図であり、図９（ａ）は上面図、図９（ｂ）はＡ−Ａ' の断面図を示す。図９に示すように、大型ペリクル３０の仮接着用粘着面３５において矩形状のキャリア８０の辺の一部に粘着させて固定した。図９（ｂ）に示すように、キャリア８０の大型ペリクル３０と接する長辺２辺の内側には段差を設け、本接着用粘着面３４との距離を保つようにした。
【００４７】
図１０は、本発明のペリクルキャリア８０に大型ペリクル３０を粘着させて固定した状態で人間が搬送している状態を示す模式図である。このペリクルキャリア８０は、図１０に示すように、左右２本のハンドル８１を持って搬送した。また、ハンドル８１部分には、異物検査装置等の装置に取り付けるために、取り付け穴８２が設けられている。
【００４８】
（ペリクルケース）
次に、本発明の大型ペリクルを収納するためのペリクルケースの例を説明する。大型ペリクルとしては、前記第３の実施例の大型ペリクル３０を使用し、前記のペリクルキャリア８０を用いた。
【００４９】
図１２は、大型ペリクルをペリクルキャリアに固定した状態で、ペリクルキャリアごと収納する本発明の第１の形態のペリクルケース１２０である。図１２（ａ）は上面図、図１２（ｂ）は側面図を示す。大型ペリクル３０をペリクルキャリア８０に固定した状態で、ペリクルケース１２０のトレー１２１上に静置し、上蓋１２２をした後、外側からクリップ１２３でトレー１２１、ペリクルキャリア８０、上蓋１２２を挟みこむことによりペリクルキャリア８０は固定される。
【００５０】
図１３は、大型ペリクルをペリクルキャリアに固定した状態で、ペリクルキャリアごと収納する本発明の第２の形態のペリクルケース１３０である。図１３（ａ）は上面図、図１３（ｂ）は側面図を示す。大型ペリクル３０をペリクルキャリア８０に固定した状態で、ペリクルケース１３０のトレー１３１上に静置し、ペリクルキャリア８０の取り付け穴８２を利用して、ペリクルキャリア８０をナット１３３等の止め具によりトレー１３１に固定し、次いで上蓋１３２をするものである。トレー１３１と上蓋１３２は、クリップ等で固定することにより保持される。
【００５１】
図１４は、本発明の第３の形態のペリクルケース１４０である。図１４（ａ）は上面図、図１４（ｂ）は側面図を示す。トレー１４１自体に平面を設け、大型ペリクル３０を仮固定用粘着面にてトレー１４１に貼り付けて固定し、上蓋１４２をした後、外側からクリップ１４３で挟みこむことによりトレー１４１と上蓋１４２は固定され、搬送できるようになる。
【００５２】
（ペリクル移載装置）
本発明のペリクルを移載する装置の例を図１５にて説明する。図１５（ａ）はペリクル移載装置１５０の上面図であり、図１５（ｂ）はＡ−Ａ' の断面図である。本発明の大型ペリクル３０を本発明のペリクルケース１４０に仮貼りした場合を例にして説明する。
本実施例のペリクル移載装置１５０は、第１のステージ１５１と、第２のステージ１５２と、搬送機１５４とを基本構成として有するものである。
第１のステージ１５１はペリクルケースあるいはペリクルキャリアを載置するステージであり、ペリクルケースあるいはペリクルキャリアを固定する機構を有する。図１５（ｂ）では、ペリクルケース１４０を固定した場合を例示している。第２のステージ１５２はフォトマスク１５３を載置するステージである。搬送機１５４は上下動および水平移動が可能である。また搬送機１５４はペリクルの側面をクランプして保持するクランプ機構を有する。
【００５３】
搬送機１５４は、まず、第１のステージ１５１に置かれたペリクル３０の位置まで下降し、ペリクル３０をクランプする。その後、搬送機１５４が上昇することにより、ペリクル３０は引き上げられペリクルケース１４０から剥離される。搬送機１５４はもう一方の第２のステージ１５２まで移動し、下降してペリクル３０をマスク１５３に押し付ける。双方のステージの高さはペリクルを保持した搬送機が下降した際に、ペリクルの仮固定用粘着面が丁度接触し、かつ本接着用粘着剤が接触しない高さに正確に調整されている。これにより、ペリクル３０はペリクルケース１４０あるいはマスク１５３上に仮固定用粘着剤により固定される。ペリクルはペリクルケースよりマスク、マスクよりペリクルケースへのどちらの方向でも移載が可能である。それを説明するため、図１５では、ペリクルケース１４０、マスク１５３、搬送機１５４のいずれにもペリクル３０を示してある。
【００５４】
（ペリクル作業工程）
次に、本発明の大型ペリクル５０を例に、ペリクル作業工程についてさらに詳しく説明する。図１１は本発明のペリクルをペリクルキャリアからペリクル装着装置に受け渡す状態の説明図であり、図１１（ａ）は受け渡し前、図１１（ｂ）はペリクル装着装置１１０がペリクル５０をクランプした状態、図１１（ｃ）はペリクル５０の受け渡しが完了してペリクルキャリア８０を取り外した状態を示す工程断面図である。
【００５５】
<第１の手法>
本発明の大型ペリクルを用いた作業の第１の手法を説明する。
ペリクルメーカーにて図５に示す大型ペリクル５０を製造後、図８に示すペリクルキャリア８０にペリクル５０を固定し、検査を行った。検査に合格したペリクル５０はペリクルキャリア８０ごと図１２に示すペリクルケース１２０に収納し、マスクメーカーに出荷した。マスクメーカーではペリクルケース１２０を開封して、ペリクルキャリア８０ごとペリクル５０を取り出し、ペリクル異物検査機のホルダーにペリクルキャリア８０の取り付け穴８２を利用して固定し、ペリクル膜の異物検査を行った。ペリクル異物検査で合格した後、ペリクルキャリア８０を検査機から外してペリクル５０を搬送し、図１１に示すように、ペリクル装着装置１１０を用い（図１１（ａ））、ペリクル装着装置１１０でペリクル５０をクランプし（図１１（ｂ））、ペリクルキャリア８０からペリクル５０を取り外した後（図１１（ｃ））、フォトマスクにペリクル装着を行った（図示せず）。
本発明のペリクルにおいては、ペリクルキャリアから直接にペリクルの受け渡しが可能となった。
【００５６】
<第２の手法>
本発明のペリクルを用いた作業の第２の手法を説明する。
ペリクルメーカーにて大型ペリクル３０を製造後、ペリクル３０を図１４に示すペリクルケース１４０に収納してマスクメーカーに出荷した。マスクメーカーではペリクルケース１４０を図１５に示すペリクル移載装置１５０のステージ１５１に乗せ、蓋を外し、ペリクルケース１４０をステージ１５１に固定した。マスク１５３をもう一方のステージ１５２に乗せ、移載装置１５０を動作させて、ペリクル３０をマスク１５３上に移載した（仮固定状態）。その後、マスク１５３を移載装置から外し、マスク検査装置にて検査を行った。マスク上に異物が見つかり検査結果が不合格であったので、再度、移載装置にマスク１５３を乗せ、ペリクル３０をペリクルケース１４０に移した。マスクを洗浄し、再度移載装置１５０にて、先ほどのペリクル３０をマスク１５３上に移載し、検査を実施した。検査結果が合格であったため、ペリクル付きマスクを圧着装置に乗せ、最終的にペリクルをマスクに圧着した。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一例を示す大型ペリクルのフレーム付近の拡大断面模式図であり、図１（ａ）は、大型ペリクルをフォトマスクに仮貼りをした状態を示し、図１（ｂ）は本貼りをした状態を示す。
【図２】本発明の大型ペリクルを用いた作業工程を示すフローチャートである。
【図３】本発明の大型ペリクルの第１の実施例であり、図３（ｂ）はその下面図であり、図３（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
【図４】本発明の大型ペリクルの第２の実施例であり、図４（ｂ）はその下面図であり、図４（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
【図５】本発明の大型ペリクルの第３の実施例であり、図５（ｂ）はその下面図であり、図５（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
【図６】本発明の大型ペリクルの第４の実施例であり、図６（ｂ）はその下面図であり、図６（ａ）はＡ−Ａ' 断面図である。
【図７】本発明の大型ペリクルの第５の実施例であり、図７（ａ）はその下面図であり、図７（ｂ）は側面図である。
【図８】本発明のペリクルキャリアの上面図である。
【図９】本発明のペリクルキャリアに大型ペリクルを粘着させて固定した状態を示す説明図であり、図９（ａ）は上面図、図９（ｂ）はＡ−Ａ' の断面図を示す。
【図１０】本発明のペリクルキャリアに大型ペリクルを粘着させて固定した状態で人間が搬送している状態を示す模式図である。
【図１１】本発明のペリクルをペリクルキャリアからペリクル装着装置に受け渡す状態の説明図であり、図１１（ａ）は受け渡し前、図１１（ｂ）はペリクル装着装置がペリクルをクランプした状態、図１１（ｃ）はペリクルの受け渡しが完了した状態を示す。
【図１２】ペリクルをキャリアに固定した状態で、キャリアごと収納する本発明の第１の形態のペリクルケースである。図１２（ａ）は上面図、図１２（ｂ）は側面図を示す。
【図１３】ペリクルをキャリアに固定した状態で、キャリアごと収納する本発明の第２の形態のペリクルケースである。図１３（ａ）は上面図、図１３（ｂ）は側面図を示す。
【図１４】ペリクルをトレー自体に貼り付けて固定して収納する本発明の第３の形態のペリクルケースである。図１４（ａ）は上面図、図１４（ｂ）は側面図を示す。
【図１５】本発明のペリクル移載装置の一例を示し、図１５（ａ）はペリクル移載装置の上面図であり、図１５（ｂ）はＡ−Ａ' 断面図である。
【図１６】従来の大型ペリクルの構造を示す模式図であり、図１６（ａ）は側面図であり、図１６（ｂ）は下面図である。
【図１７】従来の大型ペリクルケースに従来の大型ペリクルを収納した状態を示す模式図である。
【図１８】従来のペリクルをマスク表面に接着した状態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０、３０、４０、５０、６０、７０  大型ペリクル（ペリクル）
１１、３１、４１、５１、６１、７１  ペリクルフレーム（フレーム）
１２、１５３  フォトマスク（マスク）
１３、３３、４３、５３、６３、７３  ペリクル膜
１４、３４、４４、５４、６４、７４  第１の粘着面（本接着用粘着面）
１５、３５、４５、５５、６５、７５  第２の粘着面（仮固定用粘着面）
８０  ペリクルキャリア（キャリア）
８１  ハンドル
８２  取り付け穴
１１０  ペリクル装着装置
１２０、１３０、１４０  ペリクルケース
１２１、１３１、１４１  トレー
１２２、１３２、１４２  上蓋
１２３、１４３  クリップ
１３３  ナット
１５０  ペリクル移載装置
１５１  第１のステージ
１５２  第２のステージ
１５４  搬送機
１６０  大型ペリクル
１６１  フレーム
１６２  ペリクル膜
１６３  粘着剤
１６４  粘着剤保護用フィルム
１７０  ペリクルケース
１７１  トレー
１７２  上蓋
１８０  マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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