(57)【要約】【課題】  空気浮上させた基板を、安定状態で搬送することである。【解決手段】  ベース１に一定の取付間隔Ｌをおいて多数本の空気噴出部２を配設し、各空気噴出部２の上面部７を、各空気噴出部２から噴出される空気によって波形曲線形状に変形される基板Ｇの凸部８に対応した曲面形状として、搬送方向Ｒにおける基板Ｇの先端部が垂れ下がることを抑制すると共に、基板Ｇと前記上面部７との浮上間隔δ1 を一定に保持させることにより、基板Ｇの浮上状態を一定とし、しかも、基板Ｇと空気噴出部２の各コーナー部７ａとが接触するおそれのない安定状態で搬送する。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の搬送方向と直交する水平方向に沿って所定の間隔をおいて多数の空気噴出部が配置され、各空気噴出部の空気噴出孔から噴出される空気の圧力により基板を空気浮上させて搬送する非接触式基板搬送装置であって、
前記各空気噴出部の上面は、多数の空気噴出孔から噴出される空気の圧力による浮上力、基板の自重、空気噴出部の取付間隔及び基板自体の特性等により自然に定められる基板の搬送方向と直交する方向の形状である波形曲線形状のうち、少なくとも上に凸の部分の形状に対応した曲面となっていることを特徴とする非接触式基板搬送装置。
【請求項２】
前記多数の空気噴出部の上面は、基板の搬送方向に連続して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の非接触式基板搬送装置。
【請求項３】
前記各空気噴出部は、内部に空気通路となる空洞を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触式基板搬送装置。
【請求項４】
前記各空気噴出部の上面の曲面形状が微調整可能になっていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の非接触式基板搬送装置。
【請求項５】
前記各空気噴出部の上面に、弾性を有する板状部材が取付けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の非接触式基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の搬送方向と直交する水平方向に沿って所定間隔をおいて多数の空気噴出部が配置され、各空気噴出部の空気噴出孔から噴出される空気の圧力により基板を空気浮上させて搬送する非接触式基板搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルや半導体等の製造工程で使用されるガラス基板（以下、単に基板と記載する）を空気浮上させ、非接触状態で搬送させるための装置が公知である（例えば、特許文献１参照）。そして、近時の基板には、大型のサイズ（例えば、１８００mm×１６００mm×０．７mm）のものが存している。
【０００３】
特許文献１には、「基板の搬送方向と直交する水平方向に沿って所定の間隔をおいて多数の空気噴出部が配置されて、各空気噴出部の空気噴出孔から噴出される空気の圧力により基板を空気浮上させて搬送する装置において、空気浮上力により基板を上又は下に凸の単純曲線形状（弓形状）に強制変形させて、搬送方向に沿った曲げ強度（曲げ剛性）を高めることにより、空気噴出部の存在しない部分において、基板の先端部が垂れ下がって空気噴出部と接触させることなく搬送する技術」が開示されている。そして、上記の技術の実現には、（イ）噴出空気の圧力及び流量を一定にしたままで、各空気噴出部の上面の高さ及び形状と、必要に応じて空気噴出方向とを変化させて、基板を上記した目的形状に強制変形させる方法と、（ロ）多数の空気噴出部の高さを一定にしたままで、各空気噴出部から噴出される空気の圧力及び流量を変化させて、基板を上記した目的形状に強制変形させる方法とがある。
【０００４】
このため、特許文献１の技術には以下の欠点がある。（イ）空気噴出部の高さを漸次変化させるか、或いは各空気噴出部から噴出される空気の圧力及び流量を変化させる必要があって、いずれにしても装置の面から見ると、空気噴出部の設計・製作が面倒であるか、或いは噴出空気の圧力及び流量の制御が面倒となる。（ロ）基板の前垂れによる空気噴出部との接触は回避できても、基板を上又は下に凸の単純曲線形状に強制変形させているため、基板がストレスを受けると共に、基板に残留歪等を発生させ、基板自体の品質の低下をもたらす。
【特許文献１】特開２００４−２４４１８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記した不具合に鑑み、空気浮上させた基板にストレスを与えたり、空気噴出部と接触して損傷させたりすることなく、該基板が安定して搬送されるようにすることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための請求項１の発明は、基板の搬送方向と直交する水平方向に沿って所定の間隔をおいて多数の空気噴出部が配置され、各空気噴出部の空気噴出孔から噴出される空気の圧力により基板を空気浮上させて搬送する非接触式基板搬送装置であって、前記各空気噴出部の上面は、多数の空気噴出孔から噴出される空気の圧力による浮上力、基板の自重、空気噴出部の取付間隔及び基板自体の特性等により自然に定められる基板の搬送方向と直交する方向の形状である波形曲線形状のうち、少なくとも上に凸の部分の形状に対応した曲面となっていることを特徴としている。
【０００７】
空気浮上されて搬送される基板の幅方向（基板の搬送方向と直交する方向）の変形形状は、上記した複数の要因により、自然に決定される波形曲線形状であって、各空気噴出部の上面の形状は、基板の波形曲線形状のうち、少なくとも上に凸の部分の形状に対応させてある。換言すると、前記波形曲線形状は、同一高さの複数の支持部で基板を非拘束状態で支持したときに基板が変形されるのと実質的に等価となって、各支持部（空気噴出部）の間の基板は、下に凸になるように変形される。基板の幅方向の形状が自然変形による波形曲線形状に変形されることにより、基板の搬送方向の曲げ強度が高まって、基板の先端部の垂下がり量を少なくできて、後述のように基板の品質の低下を最小限に抑制するか、或いは殆ど低下させずに、基板と空気噴出部との接触が回避され易くなる。
【０００８】
また、空気浮上された基板と各空気噴出部の上面との間隔（以下、「浮上間隔」という）は一定に保持されて、噴出後の圧力空気の流れを含めて各空気噴出部における基板の浮上状態が一定となって、空気噴出部における幅方向のコーナー部に基板が接触することなく、最も安定した空気浮上状態で基板を搬送できる。ここで、「最も安定した空気浮上状態」とは、各空気噴出部における噴出空気の圧力及び流量を個別に制御することなく、これらが一定のままで、前記「浮上間隔」を一定にできて基板を空気浮上させて搬送できることである。また、空気浮上された基板と各空気噴出部の上面との間隔は一定に保持されるため、基板の浮上量、並びに浮上に要する空気の圧力及び流量は最少で済む。これに対して、空気噴出部の上面が平面状であると、接触を回避するために空気噴出部の両端から同一量だけ基板を浮上させるのに、本発明の場合と比較して、空気噴出部の中央部における基板の浮上間隔を大幅に大きくする必要がある。このことは、空気噴出部の上面が平面状であると、本発明に比較して、空気の圧力及び流量の少なくとも一方を大幅に大きくしてはじめて本発明と同一の効果が得られることを意味する。そして、本発明では、各空気噴出部の取付間隔が一定であるならば、各空気噴出部の上面形状はすべて同一にできると共に、各空気噴出部における噴出空気の圧力及び流量を個別に制御することなく、一定のままで基板を空気浮上搬送できる。
【０００９】
更に、前記基板は、上記した複数の要因により決定される自然形状である波形曲線形状に変形されるため、受けるストレスが少なくなると共に、搬送後においては原形状である平面状に復元され易いため、基板の特性が害されるおそれが少ない。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明を前提として、前記多数の空気噴出部の上面は、基板の搬送方向に連続して設けられていることを特徴としている。空気噴出部における基板の搬送方向には、その前端部と後端部を除いてコーナー部が形成されなくなるため、基板の先端部と空気噴出部とが衝突することを確実に防止できる。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明を前提として、前記各空気噴出部は、内部に空気通路となる空洞を有することを特徴としている。基板を浮上させるための空気は、内部に設けられた空洞から噴出される。このため、空気を空洞に供給するだけで済み、複雑な空気通路が不要となる。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明を前提として、前記各空気噴出部の上面の曲面形状が微調整可能になっていることを特徴としている。このため、予め実験や計算によって空気噴出部の曲面形状を求めることが不要になると共に、異なる厚みや特性の基板に対しても容易に対応できる。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１ないし４のいずれかの発明を前提として、前記各空気噴出部の上面に、弾性を有する板状部材が取付けられていることを特徴としている。噴出されて基板に当たった空気が、空気噴出部の左右方向の側部から逃げるとき、板状部材を弾性変形させる。これにより、板状部材の上面部が、基板の波形曲線形状に対応する形状となる。本発明では、空気噴出部の曲面形状が自動で調整されるため、調整の手間が省ける。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、基板の搬送方向と直交する水平方向に沿って所定の間隔をおいて多数の空気噴出部が配置され、各空気噴出部の空気噴出孔から噴出される空気の圧力により基板を空気浮上させて搬送する非接触式基板搬送装置であって、前記各空気噴出部の上面は、多数の空気噴出孔から噴出される空気の圧力による浮上力、基板の自重、空気噴出部の取付間隔及び基板自体の特性等により自然に定められる基板の搬送方向と直交する方向の形状である波形曲線形状のうち、少なくとも上に凸の部分の形状に対応した曲面となっていることを特徴としている。このため、搬送中の基板は自然形状である波形曲線形状となり、基板と多数の空気噴出部との浮上間隔が一定に保持される。これにより、基板に大きなストレスを与えたり、噴出される空気の圧力や流量を変化させたりすることなく、搬送中における基板の先端部の前垂れを防止した上で、該基板を安定した空気浮上状態で搬送させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の最良実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明する。本実施例の非接触式基板搬送装置は基板を空気浮上させて搬送する形態のものであり、以下、単に「基板搬送装置」と記載する。図１は第１実施例の基板搬送装置Ａ1 の全体斜視図、図２は同じく平面図、図３は図２のＸ−Ｘ線断面図、図４の（イ）は空気噴出部２における基板Ｇの凸部８の浮上状態を示す図であり、同じく（ロ）は噴出空気１１の圧力分布曲線１２を示す図である。
【実施例１】
【００１６】
最初に、第１実施例の基板搬送装置Ａ1 について説明する。図１及び図２に示されるように、第１実施例の基板搬送装置Ａ1 は、平面視において基板Ｇよりも少し小さい方形板状のベース１と、前記ベース１の上面に、ベース１の幅方向Ｑ（基板Ｇの搬送方向Ｒと直交する水平方向）に一定の取付間隔Ｌをおいて取付けられた複数本（本実施例の場合、４本）の空気噴出部２とから構成されている。前記ベース１における高さ方向のほぼ中央部には、基板Ｇの搬送方向Ｒに所定間隔をおいて、多数本の第１空気流路３a,３b が、ベース１の幅方向Ｑに沿って設けられている。また、ベース１において、各空気噴出部２と対応する位置には、各第２空気流路４が、ベース１の奥行方向（基板Ｇの搬送方向Ｒ）に沿って設けられている。更に、各空気噴出部２には、高さ方向に沿って多数本の空気噴出孔５a,５b が設けられている。本実施例の場合、各空気噴出孔５a,５b は、各空気噴出部２における左右方向（ベース１の幅方向Ｑに沿った方向）のほぼ中央部に設けられた１本の第１空気噴出孔５ａと、前記中央部から所定の間隔で左右方向に振り分けられて設けられた２本の第２空気噴出孔５ｂとから成り、両者は空気噴出部２の長手方向（基板Ｇの搬送方向Ｒ）に一定間隔をおいて交互に設けられている。そして、前述した第１空気流路３a,３b のうち、空気流路３ａと第１空気噴出孔５ａとが連通されており、空気流路３ｂと第２空気噴出孔５ｂとが連通されている。更に、第１空気流路３a,３b と第２空気流路４とが連通されている。このため、ベース１の端部に設けられたポート４ａから各第２空気流路４に供給された圧縮空気（図２において、矢印６で示す）は、各第１空気流路３a,３b を流れて各空気噴出孔５a,５b から上方に噴出され、基板Ｇを浮上させる。
【００１７】
次に、空気噴出部２について説明する。図１に示されるように、第１実施例の基板搬送装置Ａ1 を構成する各空気噴出部２はアルミ（アルミニウム）の押出し材より成り、それらの上面部７は、空気浮上されて波状（波形曲線形状）に撓む基板Ｇの凸部８に対応する曲面形状となっている。図３に示されるように、各空気噴出部２の上面部７に設けられた各空気噴出孔５a,５b から空気が噴出され、それらの直上に配置された基板Ｇを押し上げる。これにより、基板Ｇが浮上される。基板Ｇにおける各空気噴出部２の直上の部分は、空気により押し上げられて凸部８（上に凸の部分）が形成されると共に、各空気噴出部２どうしの間の直上の部分は、自重により下方に撓んで凹部９が形成される。この結果、基板Ｇは断面視において波形曲線形状となる。該波形曲線形状は、空気噴出部２から噴出される空気の圧力による浮上力、基板Ｇの自重、各空気噴出部２の取付間隔Ｌ及び基板Ｇ自体の特性等により定められるものである。前述した各空気噴出部２の上面部７は、波形曲線形状となった基板Ｇのうちの凸部８に対応している。なお、本明細書では、各空気噴出部２における第１空気噴出孔５ａから噴出された空気によって基板Ｇが押し上げられた場合について説明する。また、本実施例において、基板Ｇの実際の浮上間隔は、数十ないし数百ミクロンである。従って、図においては、波形曲線形状に変形された基板Ｇの変形ピッチ（各空気噴出部２の取付間隔Ｌに等しい）に対する現実の撓み量の比よりも遥かに大きな割合で図示してある。
【００１８】
上記した作用について、更に詳細に説明する。図４の（イ）に示されるように、第１空気噴出孔５ａから噴出された空気（噴出空気１１）により、基板Ｇが浮上される。このとき、各空気噴出部２の取付間隔Ｌが一定値を超えている場合、基板Ｇにおいて空気が当たっていない部分（各空気噴出部２どうしの間の部分）は自重により撓み、波形曲線形状を呈する。ここで、撓み状態における基板Ｇの凹部９（下に凸の部分）は、ベース１に接触しないものとする。このときの基板Ｇの撓み形状は、自然に決定される波形曲線形状である。即ち、各空気噴出部２の取付間隔Ｌに対応して、しかも同一高さに設けられた支持部（図示せず）によって基板Ｇを非拘束状態で支持した状態の基板Ｇの撓み形状と実質的に等価となる。該基板Ｇは、波形曲線形状のまま搬送される。これにより、基板Ｇの搬送方向Ｒの曲げ強度が高くなり、基板Ｇの先端部の垂下り量が少なくなり、各空気噴出部２との接触が回避され易くなる。しかも、前記波形曲線形状は、基板Ｇの自然変形による撓み形状なので、該基板Ｇを強制変形させた場合と比較して基板Ｇに作用するストレスが少なくなり、基板Ｇの品質の低下を最小限に抑制するか、或いは殆ど低下しなくなる。更に、搬送後においては、基板Ｇが原形状（平面形状）に復元され易いという利点がある。
【００１９】
そして、各空気噴出部２の上面部７は、基板Ｇの撓み形状（波形曲線形状）に対応して設けられている。即ち、図４の（イ）に示されるように、各空気噴出部２の上面部７は、空気によって押し上げられる基板Ｇの凸部８に倣った曲面形状となっていて、浮上状態における各空気噴出部２の上面部７から基板Ｇの凸部８までの浮上間隔δ1 は、各空気噴出部２の上面部７においてほぼ同一である。
【００２０】
空気浮上された状態で波形曲線形状に撓んだ基板Ｇが搬送されるとき、各空気噴出部２の上面部７と基板Ｇの直上部分との浮上間隔δ1 は、常に一定に保持される。即ち、噴出後の空気の流れを含めて、各空気噴出部２における基板Ｇの浮上状態が一定となって、各空気噴出部２のコーナー部７ａを含む上面部７と基板Ｇとが接触することなく、最も安定した空気浮上状態で搬送される。前記「最も安定した空気浮上状態」とは、各空気噴出部２における噴出空気の圧力及び流量を個別に制御することなく、これらを一定にしたままで、浮上間隔δ1 を一定にできて基板Ｇを空気浮上搬送できることである。また、空気浮上された基板Ｇと各空気噴出部２の上面部７との浮上間隔δ1 は一定に保持されるため、基板Ｇの浮上量、並びに浮上に要する空気の圧力及び流量は最少で済む。空気浮上された基板Ｇは、図示しない搬送手段により一定の浮上状態を保持し、各空気噴出部２の上面部７と非接触式のまま、搬送方向Ｒに沿って搬送される。なお、基板Ｇの搬送手段として、基板Ｇの端面部を押したり引っ張ったりする方法や、基板Ｇの搬送方向Ｒに分力が発生し得るように、空気を基板Ｇに対して斜めに噴出させて、前記空気の圧力によって基板Ｇを移動させる方法がある。
【００２１】
これに対して、図４の（イ）に一点鎖線で示されるように、空気噴出部２の上面部７’が平面状である場合、基板Ｇと空気噴出部２との接触を回避するために空気噴出部２の各コーナー部７ａから同一量（浮上間隔δ1)だけ基板Ｇを浮上させるためには、空気噴出部２の幅方向Ｑのほぼ中央部における基板Ｇの浮上間隔δ1'を大幅に大きくする必要がある（δ1'＞δ1)。このことは、空気噴出部２の上面部７’が平面状である場合、本発明に比較して、空気の圧力及び流量の少なくとも一方を大幅に大きくしてはじめて本発明と同一の効果が得られることを意味する。
【００２２】
上記したように、空気噴出部２の上面部７と基板Ｇの凸部８との浮上間隔δ1 が均一になることで、前記空気噴出部２の左右の側方に逃げる空気の量が少なくなり、空気の消費量が少なくて済む。しかも、基板Ｇの搬送中における空気噴出部２における噴出空気１１の圧力は、一定に保持される。図４の（ロ）において、噴出空気１１の圧力分布曲線１２を一点鎖線で示す。
【００２３】
そして、各空気噴出部２の取付間隔Ｌが一定であるならば、各空気噴出部２の上面部７をすべて同一形状にすることができると共に、各空気噴出部２における噴出空気の圧力及び流量を個別に制御することなく、一定のままで基板Ｇを空気浮上搬送できる。しかも、空気噴出部２の左右の各コーナー部７ａも曲面形状であるため、従来の空気噴出部２’の各コーナー部７a'と比較して、接触したときの基板Ｇの損傷の度合が少なくなる。
【００２４】
次に、図５の（イ）に示されるように、上面部７’が平面状の空気噴出部２’で、噴出空気１１による基板Ｇの凹部９の浮上間隔が、前述した空気噴出部２と同一（δ1)である場合を考える。この場合、空気噴出部２’の左右の各側部には、その中央部よりも大きな隙間Ｖが形成され、各コーナー部７a'における基板Ｇの浮上間隔δ2 は、中央部における浮上間隔δ1 よりも大きい。空気噴出部２’から噴出された噴出空気１１は、基板Ｇの凹部９に当たった後、左右の側方に形成された大きな隙間Ｖから逃げ易くなる。このため、基板Ｇの側部における噴出空気１１の圧力は、中央部における圧力よりも遥かに小さくなり、本発明の場合と比較して大量の空気が必要となってしまう。図５の（ロ）において、噴出空気１１の圧力分布曲線１３を一点鎖線で示す。
【実施例２】
【００２５】
次に、第２実施例の基板搬送装置Ａ2 について説明する。図６の（イ）,(ロ）に示されるように、第２実施例の各空気噴出部１４は、アルミの中空材を押出し成形したものであるという点で、前述した第１実施例の各空気噴出部２と異なっている。即ち、各空気噴出部１４の内部に、それらの長手方向に沿って連続する空洞部１５が設けられている。各空気噴出部１４に供給された圧縮空気（矢印１６で示す）は、いったん空洞部１５に貯留された後、各空気噴出孔５a,５b から噴出される。第２実施例の基板搬送装置Ａ2 の場合、、前記空洞部１５に直接空気を供給することができるため、ベース１に各空気流路３a,３b,４を設けなくても済むと共に、空気流路が短くなって詰まりにくくなるという利点がある。なお、図６の（イ）では、各空気噴出部１４の手前側から圧縮空気を供給する形態を示している。
【実施例３】
【００２６】
次に、第３実施例の基板搬送装置Ａ3 について説明する。図７の（イ）,(ロ）に示されるように、第３実施例の空気噴出部１７は、断面長方形状の基台部１８と、該基台部１８の上部に取付けられた弾性わん曲部１９とから構成されている。前記弾性わん曲部１９は、弾性変形可能なわん曲部材より成り、浮上状態の基板Ｇの凸部８に対応する上面部を有している。前記基台部１８と前記弾性わん曲部１９とは、図示しない連結手段により連結されている。図７の（ロ）に示されるように、基台部１８にそのまま弾性わん曲部１９を取付けたときに、前記弾性わん曲部１９の上面部と浮上状態の基板Ｇの凸部８とが対応していない場合（弾性わん曲部１９と基板Ｇの凸部８との浮上間隔が一定でない状態）がある。その状態を、図７の（ロ）に二点鎖線で示す。このまま空気を噴出させると、空気の逃げ量が多くなり、空気の消費量が増大してしまう。
【００２７】
これを防止するため、基台部１８と弾性わん曲部１９との間にシム板２１が挟み込まれて、両者が連結される。これにより、前記弾性わん曲部１９が弾性変形し、変形後の上面部と基板Ｇの凸部８との浮上間隔を一定とすることができる。前記シム板２１において、空気噴出孔５ａと対応する部分には各通し孔２１ａが設けられているため、空気の通過に支障は生じない。第３実施例の空気噴出部１７の場合、弾性わん曲部１９の上面部の形状を微調整することができるため、空気噴出部１７を基板Ｇの凸部８に対してより正確に対応させることができ、異なる厚み、特性の基板Ｇに対応できる。また、予め計算や実験等を行って空気噴出部１７の上面部の曲面形状を求めることが不要となり、基板Ｇの厚みや特性に対して現場においても対応できる。
【実施例４】
【００２８】
次に、第４実施例の基板搬送装置Ａ4 について説明する。図８の（イ）,(ロ）に示されるように、第４実施例の空気噴出部２２は、上面部がわん曲された基台部２３と、該基台部２３の上部に取付けられた弾性板部２４とから構成されている。前記基台部２３の上面部は、浮上状態の基板Ｇの凸部８に対応する曲面形状となっている。また、前記弾性板部２４は、弾性変形可能な薄板より成る。
【００２９】
基台部２３に取付けられた弾性板部２４は、前記基台部２３の上面部に倣ってわん曲する。この状態で、弾性板部２４のわん曲形状は、基板Ｇの凸部８の撓み形状（波形曲線形状）と対応していない。換言すれば、弾性板部２４の上面部と基板Ｇの凸部８との浮上間隔は一定でない。その状態を、図８の（ロ）に二点鎖線で示す。しかし、各空気噴出部２２から噴出された空気が基板Ｇに当たって左右の側方から逃げようとするとき、前記弾性板部２４の側端部を押し下げる。これにより、弾性板部２４と基板Ｇとの浮上間隔が一定になる。第４実施例の空気噴出部２２の場合、弾性板部２４の上面部が基板Ｇの波形曲線形状に倣うように自動で調整されるので、調整の手間が省けるという利点がある。
【００３０】
本明細書では、各空気噴出部２，１４，１７，２２が、基板Ｇにおける上に凸の部分（凸部８）に対応して設けられた形態である。しかし、前記各空気噴出部２，１４，１７，２２が、波形曲線形状を呈する基板Ｇの全体に対応して（換言すれば、基板Ｇの上に凸の部分だけでなく、下に凸の部分にも対応して）設けられている形態であっても構わない。この場合、各空気噴出部２，１４，１７，２２の上面部７も、基板Ｇに対応して連続する波形曲線形状を呈する。
【００３１】
上記した各実施例の空気噴出部２，１４，１７，２２は、アルミの押出し材より成るものである。このため、各空気噴出部２，１４，１７，２２の上面部７の曲面形状を、長手方向に連続して成形することが容易である。しかし、アルミ以外の金属の押出し材、或いは樹脂材より成るものであっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】第１実施例の基板搬送装置Ａ1 の全体斜視図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】図２のＸ−Ｘ線断面図である。
【図４】（イ）は空気噴出部２における基板Ｇの凸部８の浮上状態を示す図であり、（ロ）は噴出空気１１の圧力分布曲線１２を示す図である。
【図５】（イ）は従来の空気噴出部２’における基板Ｇの凹部９の浮上状態を示す図であり、（ロ）は噴出空気１１の圧力分布曲線１３を示す図である。
【図６】（イ）は第２実施例の基板搬送装置Ａ2 の全体斜視図であり、（ロ）は正面断面図である。
【図７】（イ）は第３実施例の基板搬送装置Ａ3 の全体斜視図であり、（ロ）は正面断面図である。
【図８】（イ）は第４実施例の基板搬送装置Ａ4 の全体斜視図であり、（ロ）は正面断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
Ａ1 〜Ａ4 ：基板搬送装置
Ｇ：基板
Ｌ：取付間隔（所定の間隔）
Ｑ：幅方向（搬送方向と直交する水平方向）
Ｒ：搬送方向
δ1 ：浮上間隔
２，14，17，22：空気噴出部
５a,５b ：空気噴出孔
７：上面部（上面）
８：凸部（上に凸の部分）
１５：空洞部（空洞）
１９：弾性わん曲部（空気噴出部の上面）
２４：弾性板部（板状部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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