(57)【要約】【課題】  明るくムラない照明を得られ、高分解能の観察を可能にしたファイバ照明型顕微鏡を提供する。【解決手段】  光源部１からの光を単芯のコアを有するファイバ単芯２により顕微鏡本体３に導入し、顕微鏡本体３内の投影レンズ３１によりファイバ２の出射端の像を対物レンズ３３の瞳に投影する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部と、
対物レンズを有する顕微鏡本体と、
前記光源部からの光を伝達する単芯のコアを有するファイバと、
前記ファイバの出射端の像を前記対物レンズの瞳に投影する投光手段と、
を具備したことを特徴とするファイバ照明型顕微鏡。
【請求項２】
前記ファイバは、前記単芯のコア周囲に複数のファイバ芯線を配置したことを特徴とする請求項１記載のファイバ照明型顕微鏡。
【請求項３】
前記投光手段は、前記顕微鏡本体に対して着脱可能に設けられることを特徴とする請求項１又は２記載のファイバ照明型顕微鏡。
【請求項４】
前記光源部は、可視域又は紫外域の波長の光を発生することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のファイバ照明型顕微鏡。
【請求項５】
前記ファイバは、前記単芯のコアのコア径をＷｃ、前記対物レンズの瞳径をＤ、前記投影レンズの投影倍率をＢとしたとき、ＷｃがＤ／Ｂとほぼ等しく設定されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のファイバ照明型顕微鏡。
【請求項６】
前記紫外域の波長の光を発生する光源部は、多数の開口と遮蔽部を有するとともに、これら開口と遮蔽部の比率を変化可能とした調光手段を有することを特徴とする請求項４記載のファイバ照明型顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源部からの光をファイバを使って導入するファイバ照明型顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、光学顕微鏡は、半導体ウエハなどの欠陥検査などに代表されるように、工業市場でも広く使われるようになっており、特に、被検体の半導体パターンの高集積化や微細化にともない、高倍で高分解能な顕微鏡の要求が高まっている。
【０００３】
このような要求に対し、照明光として可視域の波長の光を使用する光学顕微鏡に加え、紫外域の波長の光を使用することにより高分解能を実現した紫外線顕微鏡が開発されている。しかし、紫外線顕微鏡に用いられる紫外光は、可視光に比べて光源のパワーに余裕がなく、さらに照明光学系を構成する各光学素子での透過率も低いため、観察像が暗くなる。
【０００４】
一方、このような紫外線顕微鏡を含む従来の光学顕微鏡は、照明光学系を用いて光源部からの光を顕微鏡本体に導入し、対物レンズを介して観察試料を照明するようにしたものが一般的であるが、最近になって、熱源となる光源部を顕微鏡本体から遠ざけ、しかも光源部の配置の自由度を確保するなどの理由により、光源部と顕微鏡本体を分離し、これらの間をファイバを使って光学的に連結したファイバ照明型の光学顕微鏡が実用化されている。
【０００５】
図８は、従来のファイバ照明型光学顕微鏡の一例を示している。この場合、光源部１００のランプ１０１から出射した光を光源部レンズ１０２の作用により集光し、フィルタ１０３を通してファイバ２００の入射端２０１に入射する。ファイバ２００の出射端２０２には、顕微鏡本体３００が接続され、この出射端２０２から出射される光を、投影レンズ３０１を透過し、ハーフミラー３０２で反射して、対物レンズ３０３に入射する。この場合、ファイバ２００の出射端２０２の像が投影レンズ３０１の投影倍率Ｂに応じた大きさで対物レンズ３０３の後ろ側焦点位置ｆｂ（以下、瞳と称する。）に結像される。対物レンズ３０３を透過した光は、試料３０４に照射され、試料３０４からの反射光は、再び対物レンズ３０３を通り、さらにハーフミラー３０２を透過して結像レンズ３０５に入る。そして、結像レンズ３０５によりＣＣＤ３０６の撮像面に結像される。
【０００６】
なお、対物レンズ３０３は、回転レボルバー３０７に倍率の異なるものが複数個装着され、必要に応じて所望の倍率の対物レンズ３０３が切換えて用いられる。
【０００７】
ところで、このようなファイバ照明型光学顕微鏡では、ファイバ２００として、バンドルファイバが使用されている。ここで、バンドルファイバは、図９に示すように、ファイバ芯線２００ａを数多く束ねて２次被膜２００ｂにより被覆したもので、これら多数のファイバ芯線２００ａを２次被膜２００ｂ内でランダムに配線とすることで、均一な配光を可能にしている。なお、ここでのファイバ芯線は、コアを中心とし、周りに屈折率の異なるクラッド、さらにその周囲を１次被膜で覆ったもので、光はコア内部を全反射しながら進むものである。
【０００８】
また、このような光学顕微鏡では、上述したように対物レンズ３０３の瞳にファイバ２００の出射端２０２の像、つまり光源の像が投影されるようになっているが、このとき、ファイバ２００の出射端２０２からの光が対物レンズ３０３の瞳全体に均一に照射されるのが望ましい。
【０００９】
ところが、対物レンズ３０３の瞳径をＤ、開口数をＮＡｃ、焦点距離をｆとすると、Ｄ＝２×ＮＡｃ×ｆの関係を有しており、このうち焦点距離ｆは、対物レンズ３０３の倍率に反比例し、ＮＡｃは、高倍率の場合１に近い数字をとり、差が生じなくなる。このため対物レンズ３０３の瞳径Ｄは、高倍率のものほど小さく、低倍率のものは大きくなる。
【００１０】
そこで、従来のファイバ照明型顕微鏡では、全ての倍率の対物レンズ３０３を想定し、投影レンズ３０１の倍率をＢとしたとき、「ファイバのバンドル径Ｗｄが、低倍対物の瞳径Ｄ／投影レンズ倍率Ｂとほぼ等しい」という条件を満たすようなバンドルファイバを選択して用いるようにしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、このようにファイバ２００にバンドルファイバを使用すると、対物レンズ３０３の瞳面での照明光は、図１０（ａ）に示すようになり、投影レンズ３０１によりバンドルファイバの出射端面像が形成される。この場合、図９で述べたファイバ芯線２００ａのコアに相当する部分が明るく（図示白塗り部分）、それ以外のクラッドや被服部分は暗く（図示黒塗り部分）なっている。
【００１２】
この結果、バンドルファイバのコア部分から出射される光は、照明光として使用することができるが、これ以外の部分は、照明光として用いることができないため、光量ロスが大きなものとなる。具体例として、例えば、図９で述べたファイバ芯線２００ａについて、コア径１１５μｍ、クラッド径１２５μｍのものを１９本束ねたバンドル径０.６３ｍｍのバンドルファイバの場合は、入射される光の利用率が６３％程度にしかならない。
【００１３】
そこで、バンドルファイバの出射端を圧縮するなどしてファイバ芯線間の間隙を極小にすることも考えられるが、このようにしてもクラッド部分での光量ロスは免れない。さらに、上述したように対物レンズ３０３が高倍になって瞳径が小さくなると、瞳面に投影された照明光の一部しか使用しないため、さらに光量ロスが大きくなる。  また、ファイバ２００としてバンドルファイバを用いた場合の別の問題として、前述のようにコア部だけが明るいということは、対物レンズ３０３の瞳面での明るさにムラがあり均一ではない。また、高倍対物で、瞳径が小さくなるにしたがい、有効なファイハ芯線の数が少なくなると、このときの瞳面での照明の状態は、図１０（ｂ）に示すようになり、明暗の模様が強調され、均一な明るさにならず、ムラが生じる。このことは、試料３０４の観察面が平坦であれば、さほど問題ないが、凹凸があり場所によってデフォーカスの状態が生じる場合は、明暗の模様が像に対しムラや影になって悪影響を及ぼすおそれがある。
【００１４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、明るくムラない照明を得られ、高分解能の観察を可能にしたファイバ照明型顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１記載の発明は、光源部と、対物レンズを有する顕微鏡本体と、前記光源部からの光を伝達する単芯のコアを有するファイバと、前記ファイバの出射端の像を前記対物レンズの瞳に投影する投光手段とを具備したことを特徴としている。
【００１６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記ファイバは、前記単芯のコア周囲に複数のファイバ芯線を配置したことを特徴としている。
【００１７】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、前記投光手段は、前記顕微鏡本体に対して着脱可能に設けられることを特徴としている。
【００１８】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記光源部は、可視域又は紫外域の波長の光を発生することを特徴としている。
【００１９】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の発明において、前記ファイバは、前記単芯のコアのコア径をＷｃ、前記対物レンズの瞳径をＤ、前記投影レンズの投影倍率をＢとしたとき、ＷｃがＤ／Ｂとほぼ等しく設定されることを特徴としている。
【００２０】
請求項６記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記紫外域の波長の光を発生する光源部は、多数の開口と遮蔽部を有するとともに、これら開口と遮蔽部の比率を変化可能とした調光手段を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、明るくムラない照明を得られ、高分解能の観察を可能にしたファイバ照明型顕微鏡を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００２３】
(第１の実施の形態)
図１は、本発明の第１の実施の形態にかかるファイバ照明型の光学顕微鏡の概略構成を示している。
【００２４】
図１において、１は光源部で、この光源部１は、ランプ１１、光源部レンズ１２、フィルタ１３を有している。ランプ１１は、可視域の波長の光を発生する。光源部レンズ１２は、ランプ１１から出射した光を集光する。フィルタ１３は、ＮＤフィルタやカラーフィルタなど、観察目的に応じて適宜選択して用いられる。
【００２５】
光源部１には、ファイバとして単芯ファイバ２の入射端２１が接続されている。この場合、単芯ファイバ２は、上述したバンドルファイバとは異なり、図２に示すように単芯のコア２ａを有し、このコア２ａを中心として、周りに屈折率の異なるクラッド２ｂを設け、さらにクラッド２ｂの周囲を１次被膜２ｃ、２次被膜２ｄにより二重に被覆したものである。
【００２６】
このような単芯ファイバ２の入射端２１には、光源部レンズ１２により集光される光が入射される。また、単芯ファイバ２の出射端２２には、顕微鏡本体３が接続される。
【００２７】
顕微鏡本体３は、単芯ファイバ２の出射端２２から出射される光の光路上に、投光手段としての投光部３０を構成する投影レンズ３１とハーフミラー３２が配置されている。投影レンズ３１は、投影倍率Ｂに応じた大きさで、後述する対物レンズ３３の瞳（後ろ側焦点位置ｆｂ）に単芯ファイバ２の出射端２２の像を結像させる。ハーフミラー３２は、単芯ファイバ２の出射端２２からの光を反射し、後述する試料４からの反射光を透過する。
【００２８】
ハーフミラー３２で反射される光の光路上には、対物レンズ３３と試料４が配置されている。ハーフミラー３２で反射した光は、対物レンズ３３を透過し、照明光として試料４に照射される。この場合、対物レンズ３３は、回転レボルバー３５に倍率の異なるものが複数個装着されており、必要に応じて所定の倍率の対物レンズ３３が光路上に切換えられる。ハーフミラー３２を透過する光の光路には、結像レンズ３６及び撮像手段としてのＣＣＤ３７が配置されている。結像レンズ３６は、試料４からの反射光をＣＣＤ３７の撮像面に結像する。ＣＣＤ３７は、撮像面に結像された光から試料像を撮像する。
【００２９】
次に、このように構成した実施の形態の作用を説明する。
【００３０】
いま、光源部１のランプ１１から可視域の波長の光が発生すると、光源部レンズ１２の作用により集光され、フィルタ１３を通して単芯ファイバ２の入射端２１に入射する。
【００３１】
単芯ファイバ２を通って出射端２２から出射される光は、投影レンズ３１を透過し、ハーフミラー３２で反射して、対物レンズ３３に入射する。この場合、対物レンズ３３の瞳には、投影レンズ３１により倍投影率Ｂに応じた大きさで単芯ファイバ２の出射端２２の像が結像される。
【００３２】
対物レンズ３３を透過した光は、試料４に照射され、試料４からの反射光は、再び対物レンズ３３を通り、さらにハーフミラー３２を透過して結像レンズ３６に入る。そして、結像レンズ３６によりＣＣＤ３７の撮像面に結像され、試料像が撮像される。
【００３３】
この場合、光源部１からの光を顕微鏡本体３の投影レンズ３１に伝達するファイバには、従来のバンドルファイバに代えて単芯ファイバ２が用いられている。単芯ファイバ２は、図２に示すように単芯のコア２ａを中心として、その周りに屈折率の異なるクラッド２ｂを設け、さらに、クラッド５ｂの周囲に１次被膜２ｃと２次被膜２ｄを重ねて設けるようにしている。これにより、投影レンズ３１により対物レンズ３３の瞳に結像される単芯ファイバ２の出射端２２の像、つまり、対物レンズ３３の瞳での照明光は、図３に示すように単芯のコア２ａに相当する部分がムラのない均一な明るさ（図示白塗り部分）となり、図１０（ａ）で見られたような明暗の模様が無くなる。
【００３４】
これにより、対物レンズ３３の瞳面には、均一な明るさで、明るくムラない良好な照明が得られるので、このような照明を用いることにより、高分解能の試料観察を実現できる。また、試料４の観察面に凹凸があるような場合も、デフォーカス時の像のムラなどへの影響を軽減することができる。また、単芯のコア２ａが用いられることで、コア全体に光を効率よく入射させることができるので、照明光をファイバ伝達したときの光量ロスが減少し、像を明るくできる。このことは、特に、高倍観察のみを想定した顕微鏡や、低倍は試料の位置決めにのみ使用し、実際の観察は、高倍で行うような顕微鏡に対して有効で、このような場合、単芯のコア２ａのコア径Ｗｃを高倍対物用に最適化して単芯ファイバ２を選択すればよい。具体的には、単芯ファイバ２のコア径をＷｃ、高倍の対物レンズ３３の瞳径をＤ、投影レンズ３１の投影倍率をＢとすると、「コア径Ｗｃが、Ｄ／Ｂとほぼ等しい」の条件を満たすようにすればよい。ちなみに、高倍対物レンズの瞳径Ｄを３〜７ｍｍ程度と想定し、投影レンズ３１の倍率を５〜１０倍程度とすると、単芯ファイバ２のコア径Ｗｃは、およそ０．３〜１．４ｍｍとなる。
【００３５】
なお、第１の実施の形態では、光源部１のランプ１１に可視域の波長の光を発生するものを用いたが、紫外域の波長の光を発生するランプを用いれば、紫外顕微鏡として構成することができる。この場合、使用される各光学素子は、紫外光に適用できるものが用いられる。また、投影レンズ３１とハーフミラー３２で構成される投光手段は、顕微鏡本体１と別体分離したユニットとして、顕微鏡本体１に対して着脱可能に設けられるようにしてもよい。
【００３６】
(第１の実施の形態の変形例)
次に、第１の実施の形態の変形例を説明する。
【００３７】
低倍観察で単芯ファイバを利用しようとすると、低倍対物レンズの瞳径の大きさに対応する大きいコア径の単芯ファイバを使用する必要がある。さらに、このような場合、曲げ半径を小さい状態に保ち、ファイバを使うメリットの一つである光源の配置の自由度を確保する必要もある。
【００３８】
そこで、この場合、上述の単芯ファイバ２に代わって図４に示すようなファイバ５を使用する。このファイバ５は、高倍対物レンズの瞳径に対応するコア径を有する単芯のコア５ａを有し、このコア５ａを中心として、周りに屈折率の異なるクラッド５ｂを設け、さらに、クラッド５ｂの周囲に多数のファイバ芯線５ｃを配置し、これらファイバ芯線５ｃ周囲を被膜５ｄで被覆するように構成されている。
【００３９】
このようなファイバ５によれば、高倍対物レンズの瞳径に対して最適な単芯のコア５ａが設けられ、また、低倍対物レンズの瞳径に対しては、単芯のコア５ａと多数のファイバ芯線５ｃが設けられるので、高倍から低倍までの全てを単芯ファイバのみ賄う構成のものと比べ、曲げ半径を小さい状態に保つことができる。また、このようなファイバ５を使用した場合の対物レンズ３３の瞳面での照明状態は、図５に示すように、単芯のコア５ａに相当する部分が明るく（図示白塗り部分）、さらにコア５ａ周囲では、ファイバ芯線５ｃのコアに相当する部分が明るく（図示白塗り部分）、それ以外のクラッドや被服部分は暗く（図示黒塗り部分）なる。これにより、高倍観察に用いられる中央部分に均一な明るさを得られるとともに、低倍観察に用いられる全体についても一定の明るさを得ることができるようになり、所定の分解能を確保することができる。
【００４０】
(第２の実施の形態)
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００４１】
図６は、本発明の第２の実施の形態にかかるファイバ照明型の光学顕微鏡の概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００４２】
この場合、ハーフミラー３２に代えてダイクロイックミラー６が配置されている。このダイクロイックミラー６は、単芯ファイバ２を通る可視域波長の光を反射し、試料４からの反射光を透過するとともに、後述する紫外域の波長の光を透過するような特性を有している。
【００４３】
ダイクロイックミラー６と結像レンズ３６の間の光路には、紫外用投光管９が着脱可能に設けられている。また、紫外用投光管９には、単芯ファイバ８を介して紫外光源部７が接続されている。紫外光源部７は、ランプ７１、第１の光源部レンズ７２、波長選択フィルタ７３、第２の光源部レンズ７４、フィルタ７５を有している。ランプ７１は可視から紫外域までの波長の光を発生する。波長選択フィルタ７３は、ランプ７１から発生される光のうち紫外域の波長の光のみを取り出す。第２の光源部レンズ７４は、波長選択フィルタ７３で選択された光を集光する。フィルタ７５は、単芯ファイバ８への出射光量を調節するもので、ＮＤフィルタなどが用いられる。
【００４４】
単芯ファイバ８は、図２で述べたのと同様な構成のものが用いられ、入射端８１に第２の光源部レンズ７４により集光される光が入射される。また、単芯ファイバ８の出射端８２は、紫外用投光管９に接続される。
【００４５】
紫外用投光管９は、投影レンズ９１、ハーフミラー９２、ダイクロイックミラー９３を有している。投影レンズ９１は、倍率Ｂ１に応じた大きさで、対物レンズ３３の瞳に単芯ファイバ８の出射端８２の像を結像させる。ハーフミラー９２は、紫外光源部７からの紫外域の波長の光を透過し、試料４で反射される紫外域の波長の光を反射するような特性を有している。また、ダイクロイックミラー９３は、ダイクロイックミラー６と結像レンズ３６の間の光路に配置されるもので、紫外域の波長の光を反射し、可視域の波長の光を透過するような特性を有している。
【００４６】
ハーフミラー９２の反射光路には、結像レンズ９４及び撮像手段としてのＣＣＤ９５が配置されている。結像レンズ９４は、試料４で反射される紫外域の波長の光をＣＣＤ９５の撮像面に結像する。ＣＣＤ９５は、撮像面に結像された光から試料像を撮像する。
【００４７】
なお、このような構成とする場合は、光源部１に接続されるファイバは、単芯ファイバ２に代えて、バンドルファイバを用いても良い。また、ダイクロイックミラー６に代えてハーフミラーを用いることができる。この場合、ハーフミラーは、紫外観察の際に光路から退避させる必要がある。
【００４８】
このような構成において、可視域の波長の光を使用した可視観察については、第１の実施の形態で述べたのと同様であり、ここでの説明は省略する。  
次に、紫外域の波長の光を用いて高倍で高分解能の観察を行う場合を説明する。この場合、対物レンズ３３は、不図示の紫外用のものに切換えられる。いま、紫外光源部７のランプ７１から光が発生すると、波長選択フィルタ７３により紫外域の波長の光のみが取り出され、第２の光源部レンズ７４の作用により集光され、フィルタ７５を通して単芯ファイバ８の入射端８１に入射する。
【００４９】
単芯ファイバ８を通って出射端８２から出射される光は、紫外用投光管９に導かれ、投影レンズ９１、ハーフミラー９２を透過し、ダイクロイックミラー９３で反射し、さらにダイクロイックミラー６を透過して、紫外用の対物レンズ３３に入射する。この場合、対物レンズ３３の瞳には、投影レンズ９１により倍率Ｂ１に応じた大きさで単芯ファイバ８の出射端８２の像が結像されている。
【００５０】
対物レンズ３３を透過した光は、試料４に照射され、試料４からの反射光は、再び対物レンズ３３を通り、ダイクロイックミラー６を透過し、ダイクロイックミラー９３で反射し、さらにハーフミラー９２で反射して結像レンズ９４に入る。そして、結像レンズ９４によりＣＣＤ９５の撮像面に結像され、試料像が撮像される。
【００５１】
したがって、このようにすれば、紫外域の波長の光を使用する紫外観察において、ファイバとして単芯ファイバ８を使用することにより、光量ロスを低減できる。これにより、紫外光を用いることの弱点であった可視光に比べて光源のパワーに余裕がなく、さらに照明光学系を構成する各光学素子での透過率が低いことから像が暗くなるなどの問題を一掃でき、高倍で高分解能な紫外観察を安定して得ることができる。
【００５２】
(第２の実施の形態の変形例)
第２の実施の形態では、紫外光源部７にフィルタ７５として、ＮＤフィルタを用いる場合を述べたが、例えば、図７（ａ）（ｂ）に示すような調光部材１０を用いることもできる。この調光部材１０は、円板状の回転基板１０ａ表面に多数の開口１０ｂと遮蔽部１０ｃを有するとともに、回転基板１０ａの回転方向に沿って開口１０ｂと遮蔽部１０ｃの比率を変化させるようにしたものである。そして、このような調光部材１０を回転させて調光部材１０の開口１０ｂと遮蔽部１０ｃの比率を変化させるとともに、開口１０ｂを通して紫外光源部７から単芯ファイバ８へ入射される光量を調節することにより、ＮＤフィルタと等価な効果を得るようにしている。
【００５３】
紫外域では透過率の高い材質が限られており、このような透過部材でＮＤフィルタを構成すると、価格的に非常に高いものとなり、さらに光量ロスも無視できないものとなるが、調光部材１０を用いれば、開口１０ｂと遮蔽部１０ｃの比率により光量が調整されるので、安価で光量ロスの少ないフィルタが実現できる。また、開口１０ｂに紫外光を通すので、発生する光源ムラをほぼ均一化する効果もある。このため、別に市販のホモジナイザなどを使わずとも、安価でコンパクトなシステムが実現可能となる。
【００５４】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【００５５】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるファイバ照明型の光学顕微鏡の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態に用いられる単芯ファイバの概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態の対物レンズの瞳での照明光の状態を示す図。
【図４】第１の実施の形態の変形例に用いられるファイバの概略構成を示す図。
【図５】第１の実施の形態の変形例の対物レンズの瞳での照明光の状態を示す図。
【図６】本発明の第２の実施の形態にかかるファイバ照明型の光学顕微鏡の概略構成を示す図。
【図７】第１の実施の形態の変形例に用いられる調光部材の概略構成を示す図。
【図８】従来のファイバ照明型光学顕微鏡の一例の概略構成を示す図。
【図９】従来のファイバ照明型光学顕微鏡に用いられるバンドルファイバの概略構成を示す図。
【図１０】従来のファイバ照明型光学顕微鏡の対物レンズの瞳での照明光の状態を示す図。
【符号の説明】
【００５７】
１…光源部、１１…ランプ
１２…光源部レンズ、１３…フィルタ
２…単芯ファイバ、２１…入射端
２２…出射端、２ａ…コア
２ｂ…クラッド、２ｃ…１次被膜
２ｄ…２次被膜、３…顕微鏡本体
３０…投光部
３１…投影レンズ、３２…ハーフミラー
３３…対物レンズ、３５…回転レボルバー
３６…結像レンズ、３７…ＣＣＤ
４…試料、５…ファイバ、５ａ…コア
５ｂ…クラッド、５ｃ…ファイバ芯線
５ｄ…被膜、６…ダイクロイックミラー
７…紫外光源部、７１…ランプ
７２…第１の光源部レンズ、７３…波長選択フィルタ
７４…第２の光源部レンズ、７５…フィルタ
８…単芯ファイバ、８１…入射端
８２…出射端、９…紫外用投光管
９１…投影レンズ、９２…ハーフミラー
９３…ダイクロイックミラー
９４…結像レンズ、９５…ＣＣＤ
１０…調光部材、１０ａ…回転基板、１０ｂ…小孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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