(57)【要約】【課題】  高度の熟練度を要することなく、初心者でも比較的容易に光軸合わせを行えるようにした、ラマン分光装置、及びラマン分光測定方法を提供する。【解決手段】  ラマン散乱光を励起する励起用レーザー光を、第１の光学系３を介して試料に照射し、試料からのラマン散乱光を、第２の光学系５を介して分光器４で分光するラマン分光装置１である。第１の光学系３に励起用レーザー光を集光する入射側レンズ１１が設けられ、第２の光学系５にラマン散乱光を集光する出射側レンズ１２が設けられ、入射側レンズ１１と試料との間を通る励起用レーザー光の第１の光軸と、試料と出射側レンズ１２との間を通るラマン散乱光の第２の光軸とがなす角度が略直角に調整されている。第２の光学系５には、出射側レンズ１１を介して第２の光軸を通り、試料の配置場所に光軸合わせ用のレーザー光を照射する光軸合わせ用レーザー光源２５が備えられている。【選択図】      図１
2006214900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラマン散乱光を励起する励起用レーザー光を、第１の光学系を介して試料に照射し、該試料からのラマン散乱光を、第２の光学系を介して分光器で分光するラマン分光装置であって、
前記第１の光学系に前記励起用レーザー光を集光する入射側レンズが設けられ、
前記第２の光学系に前記ラマン散乱光を集光する出射側レンズが設けられ、
前記入射側レンズと前記試料との間を通る前記励起用レーザー光の第１の光軸と、前記試料と前記出射側レンズとの間を通る前記ラマン散乱光の第２の光軸とがなす角度が略直角に調整されてなり、
前記第２の光学系には、前記出射側レンズを介して前記第２の光軸を通り、前記試料の配置場所に光軸合わせ用のレーザー光を照射する光軸合わせ用レーザー光源が備えられていることを特徴とするラマン分光装置。
【請求項２】
前記の光軸合わせ用のレーザー光の波長が、前記のラマン散乱光を励起する励起用レーザー光の波長と異なることを特徴とする請求項１記載のラマン分光装置。
【請求項３】
前記第１の光軸上の、前記試料の配置場所と反対の側に、該試料の配置場所での前記励起用レーザー光の照射位置と前記光軸合わせ用のレーザー光の照射位置とを観察するための観察部が、備えられていることを特徴とする請求項１又は２記載のラマン分光装置。
【請求項４】
前記第２の光軸上の、前記試料の配置場所と反対の側に、該試料の配置場所での前記励起用レーザー光の照射位置と前記光軸合わせ用のレーザー光の照射位置とを観察するための観察部が、備えられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のラマン分光装置。
【請求項５】
前記試料を配置するサンプルステージが備えられ、
該サンプルステージは、前記試料を配置するための面として、前記第１の光軸及び第２の光軸に対してそれぞれに略４５°の角度をなすステージ面を有し、該ステージ面を、前記第１の光軸に沿って移動させる機構と第２の光軸に沿って移動させる機構とを備えてなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のラマン分光装置。
【請求項６】
前記試料を配置するサンプルステージが備えられ、
該サンプルステージは、前記第１の光軸及び第２の光軸に対してそれぞれに略４５°の角度をなす第１ステージ面を有し、該第１ステージ面の前記角度を維持した状態で前記第１の光軸に沿って移動するＺステージと、該Ｚステージの前記第１ステージ面上にてその縦方向及び横方向に移動可能に設けられ、前記第１ステージ面と平行な第２ステージ面を有して該第２ステージ面上に前記試料を配置するＸＹステージと、を備えてなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のラマン分光装置。
【請求項７】
前記第１の光軸上の、前記入射側レンズに対して前記試料と反対の側に、該第１の光軸を通って前記入射側レンズで集光された前記試料からのラマン散乱光を、前記分光器に導入する第３の光学系が接続されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のラマン分光装置。
【請求項８】
ラマン散乱光を励起する励起用レーザー光を、第１の光学系を介して試料に照射し、該試料からのラマン散乱光を、第２の光学系を介して分光器で分光するラマン分光測定方法であって、
前記励起用レーザー光を、前記第１の光学系に設けた入射側レンズで集光して前記試料に照射する工程と、
前記試料で励起したラマン散乱光を、前記第２の光学系に設けた出射側レンズで集光して前記分光器に導入する工程と、を有し、
さらに、前記入射側レンズと前記試料との間を通る前記励起用レーザー光の第１の光軸と、前記試料と前記出射側レンズとの間を通る前記ラマン散乱光の第２の光軸とがなす角度を略直角に調整しておくとともに、前記試料の配置場所となるサンプルステージ上の所定位置に対し、前記第１の光軸と前記第２の光軸とを合わせる光軸合わせ工程を備えてなり、
前記光軸合わせ工程は、前記励起用レーザー光を、前記入射側レンズを介して前記サンプルステージ上の所定位置に集光させてその焦点位置を合わせる工程と、
光軸合わせ用のレーザー光を、前記出射側レンズを介して前記サンプルステージ上の所定位置に集光させ、その焦点位置を、前記励起用レーザー光の焦点位置に合わせる工程と、を備えたことを特徴とするラマン分光測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直角散乱光の測定が可能なラマン分光装置、及びラマン分光測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ラマン分光測定（ラマン散乱測定）は、レーザー光源からの光束を試料に照射し、光束が照射された箇所から発生するラマン散乱光のスペクトルが、試料中に存在する化学種や分子によって異なるのを利用して、試料表面の二次元的な物性の分布解析を行う方法である。このようなラマン分光測定法によれば、分子・結晶構造の精密解析が可能であることが、現在、広く一般に知られている。例えば工業的には、ポリシリコンの結晶性の議論や、高移動度を有する歪みＳｉの品質管理、デバイスの作り込みで生じる応力の解析などに、非常に有効な手段であることが知られている。
【０００３】
このようなラマン分光測定を行うための装置としては、レーザー光を測定サンプル（試料）に照射し、この入射方向と１８０°異なる方向に散乱した散乱光を検出するという、一般に「バックスキャッタリング」と呼ばれる光学配置で測定（観測）するものが知られている。また、近年では、バックスキャッタリングのみでなく、入射光と散乱光とが直角となる直角散乱配置も併用し、直角散乱光を検出することによって固有の構造により生じる固有原子・分子振動を観測するようにしたものも提供されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
一般に、光の散乱強度Ｉを、入射光の偏光Ｅ１、散乱光の偏光成分Ｅｓ、分極テンソルに比例するテンソル成分を有するラマンテンソルＲを用いて表すと、
Ｉ∝｜Ｅ１・Ｒ・Ｅｓ｜
となる。ここで、ラマンテンソルＲは、各結晶系、活性振動により既に求められている。
測定する結晶系において所望の活性振動を観測（測定）するためには、入射光と散乱光の偏光成分を選択し、散乱光強度が生じる光学系によって測定を行う必要がある。そのため、ラマン散乱測定装置（ラマン分光装置）では、前述したようにバックスキャッタリングのみでなく、直角散乱配置も併用することが必要になっているのである。
【特許文献１】特開平５−１４９７８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、直角散乱配置によって直角散乱光を検出する場合、レーザー光を試料に入射させるための光路（光軸）と、試料からの直角散乱光を集光して分光器に導入させるための光路（光軸）とを、光軸合わせする必要がある。この光軸合わせについては、通常、レーザー光を試料に集光させるためのレンズや、直角散乱光を集光するためのレンズの角度、さらには反射鏡等のその他の光学系を機械的に調節することで行っている。
しかしながら、このような光軸合わせは３次元的に行わなくてはならず、したがって高度の熟練度を必要とし、初心者では長時間かけても十分な精度を出すことができないのが現状である。
【０００６】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、高度の熟練度を要することなく、初心者でも比較的容易に光軸合わせを行えるようにした、ラマン分光装置、及びラマン分光測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため本発明のラマン分光装置は、ラマン散乱光を励起する励起用レーザー光を、第１の光学系を介して試料に照射し、該試料からのラマン散乱光を、第２の光学系を介して分光器で分光するラマン分光装置であって、
前記第１の光学系に前記励起用レーザー光を集光する入射側レンズが設けられ、
前記第２の光学系に前記ラマン散乱光を集光する出射側レンズが設けられ、
前記入射側レンズと前記試料との間を通る前記励起用レーザー光の第１の光軸と、前記試料と前記出射側レンズとの間を通る前記ラマン散乱光の第２の光軸とがなす角度が略直角に調整されてなり、
前記第２の光学系には、前記出射側レンズを介して前記第２の光軸を通り、前記試料の配置場所に光軸合わせ用のレーザー光を照射する光軸合わせ用レーザー光源が備えられていることを特徴としている。
【０００８】
このラマン分光装置によれば、励起用レーザー光を試料の配置場所に照射するとともに、光軸合わせ用のレーザー光を試料の配置場所に照射することで、励起用レーザー光の光軸である第１の光軸と、光軸合わせ用のレーザー光の光軸となる前記ラマン散乱光の第２の光軸とを容易に軸合わせすることができる。
【０００９】
また、前記ラマン分光装置においては、前記の光軸合わせ用のレーザー光の波長が、前記のラマン散乱光を励起する励起用レーザー光の波長と異なるのが好ましい。
このようにすれば、励起用レーザー光と光軸合わせ用のレーザー光とを試料の配置場所に同時に照射した際、これらレーザー光が波長が異なることで例えば色が異なることにより、これらレーザー光の焦点位置やその重なり具合などを目視によって確認することが可能になる。
【００１０】
また、前記ラマン分光装置においては、前記第１の光軸上の、前記試料の配置場所と反対の側に、該試料の配置場所での前記励起用レーザー光の照射位置と前記光軸合わせ用のレーザー光の照射位置とを観察するための観察部が、備えられているのが好ましい。
このようにすれば、観察部より試料の配置場所を目視あるいはＣＣＤカメラ等で観察することで、前記第１の光軸と前記第２の光軸とを容易に軸合わせすることが可能になる。
【００１１】
また、前記ラマン分光装置においては、前記第２の光軸上の、前記試料の配置場所と反対の側に、該試料の配置場所での前記励起用レーザー光の照射位置と前記光軸合わせ用のレーザー光の照射位置とを観察するための観察部が、備えられているのが好ましい。
このようにしても、観察部より試料の配置場所を目視あるいはＣＣＤカメラ等で観察することで、前記第１の光軸と前記第２の光軸とを容易に軸合わせすることが可能になる。
【００１２】
また、前記ラマン分光装置においては、前記試料を配置するサンプルステージが備えられ、該サンプルステージは、前記試料を配置するための面として、前記第１の光軸及び第２の光軸に対してそれぞれに略４５°の角度をなすステージ面を有し、該ステージ面を、前記第１の光軸に沿って移動させる機構と第２の光軸に沿って移動させる機構とを備えているのが好ましい。
このようにすれば、サンプルステージを第１の光軸に沿って移動させることで、試料に対しての励起用レーザー光の焦点合わせが可能になり、さらにサンプルステージを第１の光軸、第２の光軸のそれぞれに沿って移動させることで、試料に対しての第２の光軸についての焦点合わせも可能になる。
【００１３】
また、前記ラマン分光装置においては、前記試料を配置するサンプルステージが備えられ、該サンプルステージは、前記第１の光軸及び第２の光軸に対してそれぞれに略４５°の角度をなす第１ステージ面を有し、該第１ステージ面の前記角度を維持した状態で前記第１の光軸に沿って移動するＺステージと、該Ｚステージの前記第１ステージ面上にてその縦方向及び横方向に移動可能に設けられ、前記第１ステージ面と平行な第２ステージ面を有して該第２ステージ面上に前記試料を配置するＸＹステージと、を備えてなるのが好ましい。
このようにすれば、Ｚステージを移動させることで励起用レーザー光に対する焦点合わせを行うことができ、さらにこのＺステージの移動とＸＹステージの移動とを組み合わせることで、試料に対しての第２の光軸についての焦点合わせも可能になる。
【００１４】
また、前記ラマン分光装置においては、前記第１の光軸上の、前記入射側レンズに対して前記試料と反対の側に、該第１の光軸を通って前記入射側レンズで集光された前記試料からのラマン散乱光を、前記分光器に導入する第３の光学系が接続されているのが好ましい。
このようにすれば、励起用レーザー光を入射側レンズを介して試料に照射し、この入射方向と１８０°異なる方向に散乱した散乱光を再度入射側レンズを通して第３の光学系に導くことにより、バックスキャッタリングでの測定（観測）も可能になる。
【００１５】
本発明のラマン分光測定方法にあっては、ラマン散乱光を励起する励起用レーザー光を、第１の光学系を介して試料に照射し、該試料からのラマン散乱光を、第２の光学系を介して分光器で分光するラマン分光測定方法であって、
前記励起用レーザー光を、前記第１の光学系に設けた入射側レンズで集光して前記試料に照射する工程と、
前記試料で励起したラマン散乱光を、前記第２の光学系に設けた出射側レンズで集光して前記分光器に導入する工程と、を有し、
さらに、前記入射側レンズと前記試料との間を通る前記励起用レーザー光の第１の光軸と、前記試料と前記出射側レンズとの間を通る前記ラマン散乱光の第２の光軸とがなす角度を略直角に調整しておくとともに、前記試料の配置場所となるサンプルステージ上の所定位置に対し、前記第１の光軸と前記第２の光軸とを合わせる光軸合わせ工程を備えてなり、
前記光軸合わせ工程は、前記励起用レーザー光を、前記入射側レンズを介して前記サンプルステージ上の所定位置に集光させてその焦点位置を合わせる工程と、
光軸合わせ用のレーザー光を、前記出射側レンズを介して前記サンプルステージ上の所定位置に集光させ、その焦点位置を、前記励起用レーザー光の焦点位置に合わせる工程と、を備えたことを特徴としている。
【００１６】
このラマン分光測定方法によれば、光軸合わせ工程において、励起用レーザー光の焦点位置に光軸合わせ用のレーザー光の焦点位置を合わせるようにしたので、例えば目視でこれら焦点位置が合うのを確認することにより、励起用レーザー光の光軸である第１の光軸と、光軸合わせ用のレーザー光の光軸となる前記ラマン散乱光の第２の光軸とを容易に軸合わせすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明のラマン分光装置及びラマン分光測定方法を詳しく説明する。
図１は、本発明のラマン分光装置の一実施形態を示す図であって、図１中符号１はラマン分光装置である。このラマン分光装置１は、励起用レーザー光を出射する励起用レーザー光源２と、この励起用レーザー光源２から出射された励起用レーザー光を試料に導入するための第１の光学系３と、前記試料からのラマン散乱光を分光器４に導入するための第２の光学系５と、この第２の光学系５に設けられた光軸合わせ用レーザー光源２５と、を備えて構成されたものである。なお、前記試料は、サンプルステージ６上に配置されるようになっている。
【００１８】
励起用レーザー光源２に光学的に接続される第１の光学系３は、減光フィルター７と、三つの半透過鏡８、９、１０と、入射側レンズ１１とを備えてなるもので、前述したように励起用レーザー光源２から出射した励起用レーザー光をサンプルステージ６上の試料に導入するための光路を構成するものである。そして、このような構成のもとに第１の光学系３は、特に入射側レンズ１１と試料との間を通る励起用レーザー光の光路、すなわち第１の光軸を形成するものとなっている。
【００１９】
試料に光学的に接続される第２の光学系５は、出射側レンズ１２と、三つの半透過鏡１３、１４、１５と、フィルター１６と、集光レンズ１７とを備えてなるもので、前述したように試料からのラマン散乱光を分光器４に導入する光路を構成するものである。そして、このような構成のもとに第２の光学系５は、特に試料と出射側レンズ１２との間を通るラマン散乱光の光路、すなわち第２の光軸を形成するものとなっている。
【００２０】
前記第１の光学系３における減光フィルター７は、特に励起用レーザー光源２から出射される励起用レーザー光の強度が強い場合に設けられるもので、励起用レーザー光の強度を弱めることにより、試料に対し適正な強度のレーザー光が照射されるよう、調整するものである。
この減光フィルター７に続く半透過鏡８は、減光フィルター７を通ってきた励起用レーザー光の光路、すなわち第１の光軸を直角に曲げるように配置されたもので、その反射面と反対の側には、観察口１８が接続されている。なお、この半透過鏡８については、後述するように試料に対しての実際の測定（観測）を行う場合には、この半透過鏡８に代えて反射鏡を用い、減光フィルター７を通ってきた励起用レーザー光を全反射させるようにしてもよい。
【００２１】
観察口（観察部）１８は、観察者が目視により、あるいはＣＣＤカメラ等の機器によって観察するための窓である。この観察口１８の光路は、前記半透過鏡８を通って前記第１の光軸に一致したものとなっており、したがって観察口１８は、第１の光軸上に配置されたものとなっている。このような構成のもとに観察口１８は、サンプルステージ６上に配置される試料、あるいはこれの配置場所での、前記励起用レーザー光の照射位置や、後述する光軸合わせ用のレーザー光の照射位置を観察することができるようになっている。
【００２２】
前記半透過鏡８に続く半透過鏡９は、半透過鏡８を通ってきた励起用レーザーをそのまま通過させ、第１の光軸中を伝搬させるものである。また、この半透過鏡９は、後述するように本実施形態のラマン分光装置１でバックスキャッタリングによる測定（観測）を行うようにした場合に、試料から第１の光軸を戻ってきたラマン散乱光を、前記分光器４に導入するべく、これを反射して第３の光学系１９に導入するものである。したがって、バックスキャッタリングによる測定（観測）を行うことなく、ラマン散乱光のうちの直角散乱光成分（以下、直角散乱光と記す）のみを測定する場合には、この半透過鏡９の配置を省略してもよい。
【００２３】
第３の光学系１９は、前記半透過鏡９と、反射鏡２０と、前記第２の光学系５における半透過鏡１４とを備えてなるもので、試料から第１の光軸を戻ってきたラマン散乱光を、前記半透過鏡９と反射鏡１９と半透過鏡１４とをこの順に反射させることで前記第２の光学系５に導入し、分光器４に導入させるものである。
【００２４】
前記半透過鏡９に続く半透過鏡１０は、半透過鏡９を通ってきた励起用レーザーをそのまま通過させ、第１の光軸中を伝搬させるものである。また、この半透過鏡１０は、第１の光軸と直交する方向に設けられた、ハロゲンランプ等からなる白色光源２１に光学的に接続されたもので、この白色光源２１から出射した白色光を反射し、第１の光軸中に導入してこれを伝搬することにより、サンプルステージ６上の試料に白色光を照射するようになっている。
【００２５】
入射側レンズ１１は、第１の光軸を通ってきた励起用レーザー光、さらには前記白色光を集光し、サンプルステージ６上の試料、あるいはこれの配置場所に照射させるものである。この入射側レンズ１１は、前記試料あるいはこれの配置場所に対し、１０〜２０ｃｍ程度の間隔となるように配置されたもので、カメラに用いられる一般的な集光レンズ（凸レンズ）からなっている。また、前記第２の光学系５における出射側レンズ１２も、入射側レンズ１１と同様、一般的な集光レンズ（凸レンズ）からなっている。
これら入射側レンズ１１と出射側レンズ１２とは、図２に示すようにそれぞれの光軸が、試料Ｓを配置するサンプルステージ６に向くように配設されている。
【００２６】
すなわち、これら入射側レンズ１１と出射側レンズ１２とは、入射側レンズ１１と試料Ｓとの間を通る励起用レーザー光の光路となる第１の光軸Ｃ１と、試料と出射側レンズ１２との間を通るラマン散乱光の光路となる第２の光軸Ｃ２とが、略直角となるように調整されている。ここで、略直角とは、例えば８０〜１００°程度の比較的広い範囲を許容するものである。すなわち、試料Ｓから励起された直角散乱光は、比較的広い範囲に亘って放射状に出射することから、前記した８０〜１００°程度の範囲であれば、この直角散乱光が第２の光軸を通って出射側レンズ１２に良好に入射するようになるからである。
【００２７】
出射側レンズ１２に続く半透過鏡１３は、図１に示すように、出射側レンズ１２で集光された直角散乱光をそのまま通過させ、第２の光軸中を伝搬させるものである。また、この半透過鏡１３は、第２の光軸と直交する方向に設けられた、ハロゲンランプ等からなる白色光源２２に光学的に接続されたもので、この白色光源２２から出射した白色光を反射し、第２の光軸中に導入してこれを伝搬することにより、サンプルステージ６上の試料Ｓに白色光を照射するようになっている。
【００２８】
前記半透過鏡１３に続く半透過鏡１４は、半透過鏡１３を通ってきた直角散乱光をそのまま通過させ、第２の光軸中を伝搬させるものである。また、この半透過鏡１４は、後述するように本実施形態のラマン分光装置１でバックスキャッタリングによる測定（観測）を行うようにした場合に、試料Ｓから第１の光軸を戻り、さらに前記第３の光学系１９を通ってきたラマン散乱光を、前記分光器４に導入するべく、これを反射して第２の光学系５（第２の光軸）に導入するものである。したがって、このバックスキャッタリングによる測定（観測）を行う場合には、この半透過鏡１４に代えて反射鏡を用いるようにしてもよい。また、バックスキャッタリングによる測定（観測）を行うことなく、ラマン散乱光のうちの直角散乱光成分（以下、直角散乱光と記す）のみを測定する場合には、この半透過鏡１４の配置を省略してもよい。
【００２９】
前記半透過鏡１４に続く半透過鏡１５は、半透過鏡１４を通ってきた直角散乱光をそのまま透過させ、第２の光軸中を伝搬させるものである。また、この半透過鏡１５には、その直角散乱光を透過させる側の面、すなわち分光器４側の面と反対側の面に、試料Ｓに対して第２の光軸を合わせるための光軸合わせ用の光路、すなわち第４の光学系２３が光学的に接続されている。この第４の光学系２３は、第２の光軸と光学的に接続する光軸を有することにより、第２の光学系５の一部を構成するもので、半透過鏡２４を備えたものである。この半透過鏡２４には、光軸合わせ用のレーザー光を出射する光軸合わせ用レーザー光源２５と、観察口２６とがそれぞれ光学的に接続されている。
【００３０】
光軸合わせ用レーザー光源２５は、半透過鏡２４の反射面側に光学的に接続されたもので、後述するように試料あるいはその配置場所に対する第２の光軸を合わせるために、光軸合わせ用レーザー光を出射（照射）するためのものである。この光軸合わせ用のレーザー光については、その波長が、前記励起用レーザー光の波長と異なっているのが好ましい。このように波長を変え、特にこれらレーザー光が互いに異なる色を呈するようにしておくことにより、後述するように光軸合わせの際、これらレーザー光の焦点位置（スポット）の重なり具合などを目視によって確認することが容易になる。
【００３１】
観察口（観察部）２６は、半透過鏡２４の前記反射面と反対の側に光学的に接続されたもので、前記の観察口（観察部）１８と同様に、観察者が目視により、あるいはＣＣＤカメラ等の機器によって観察するための窓である。この観察口２６の光路は、前記半透過鏡２４を通って前記半透過鏡１５に至り、ここで直角方向に反射することにより、前記第２の光軸に一致したものとなっており、したがって観察口２６は、第２の光軸上に配置されたものとなっている。このような構成のもとに観察口２６は、前記観察口１８と同様に、サンプルステージ６上に配置される試料Ｓ、あるいはこれの配置場所での、前記光軸合わせ用のレーザー光の照射位置や、前記励起用レーザー光の照射位置を観察することができるようになっている。
【００３２】
前記半透過鏡１５に続くフィルター１６は、励起用レーザー光と同一の波長であるレイリー光を除去するもので、これによってレイリー光より強度が４〜５桁小さいラマン光を選択的に透過させるものである。なお、このようにレイリー光を除去してラマン光を選択的に透過させるものであれば、フィルター１６に代えて公知の除去装置を用いてもよい。
集光レンズ１７は、前記フィルター１６を透過してきたラマン光を集光して分光器４に導入するものであり、分光器４は、導入したラマン光を波長成分に分解し、ラマンスペクトルを得るものである。
【００３３】
試料を配置するための前記サンプルステージ６は、図２に示したように、Ｚステージ２７とＸＹステージ２８とを有して構成されたもので、ＸＹステージ２８上に、例えば結晶薄膜などの試料Ｓを配置するものである。Ｚステージ２７は、前記の第１の光軸及び第２の光軸に対してそれぞれに略４５°の角度（例えば４０〜５０°の範囲）をなす第１ステージ面２７ａを有し、この第１ステージ面２７ａ上に前記ＸＹステージ２８を設けたものである。また、このＺステージ２７には、該Ｚステージ２７をその第１ステージ面２７ａの前記角度を維持した状態で、前記第１の光軸Ｃ１に沿って、すなわち前記入射側レンズ１１の光軸に沿って図２中矢印Ｚ方向に移動（昇降）させる公知の移動機構（図示せず）が設けられており、これによって第１の光軸Ｃ１を通って導入される励起用レーザー光の、焦点調整が行えるようになっている。
【００３４】
ＸＹステージ２８は、前記Ｚステージ２７の第１ステージ面２７ａ上において、その縦方向及び横方向、すなわち図２中に示す矢印Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に設けられたもので、前記第１ステージ面２７ａと平行な第２ステージ面２８ａを有してなるものであり、この第２ステージ面２８ａ上に試料Ｓを配置するものである。ここで、前記Ｘ方向とは、前記Ｚステージ２７の第１ステージ面２７ａにおいて、該Ｚステージ２７の移動方向（第１の光軸Ｃ１方向）に沿う（向かう）方向であり、Ｙ方向とは、第１ステージ面２７ａにおいて、Ｘ方向と直交する方向、すなわち、Ｚステージ２７の移動方向と直交する方向である。このような構成のもとにサンプルステージ６は、Ｚステージ２７の移動とＸＹステージ２８のＸ方向の移動とを組み合わせることで、第２ステージ面２８ａ上の試料Ｓの配置場所を、第２の光軸Ｃ２に沿って移動させることができるようになっている。
なお、ＸＹステージ２８には、前記Ｚステージ２７を移動させる移動機構とは別の移動機構が設けられており、これによってＺステージ２７の移動とは別に、独立した状態で第１ステージ面２７ａ上においてＸ方向及びＹ方向に移動可能となっている。
【００３５】
次に、このような構成からなるラマン分光装置１の使用方法に基づき、本発明のラマン分光測定方法の一実施形態を説明する。
まず、直角散乱光の測定を行う場合について説明する。このように直角散乱光の測定を行う場合、特に半透過鏡９や半透過鏡１４をそれぞれの光路（光軸）上から外しておき、第１の光学系３、第２の光学系５と第３の光学系１９との光学的接続を遮断しておく。そして、実際に試料Ｓについての測定（観察）を行うに先立ち、光軸合わせ工程として、前記試料Ｓの配置場所となるサンプルステージ６上の所定位置に対し、前記第１の光軸と前記第２の光軸とを合わせる処理を行う。なお、この光軸合わせ工程では、サンプルステージ６の試料を配置する場所、すなわちＸＹステージ２８の第２ステージ面２８ａ上に、光軸合わせ用のサンプルとして、例えば単結晶シリコン薄膜などを配置しておく。
【００３６】
この光軸合わせ工程では、まず、前記励起用レーザー光を、前記入射側レンズ１１を介して前記サンプルステージ６上の所定位置、ここでは前記のサンプル上に集光させ、その焦点位置を合わせる。このとき、白色光源２１を点灯させて白色光を前記サンプル上に照射し、これによって前記励起用レーザー光のサンプル上での照射位置が、観察口１８から視認できるようにしておく。そして、このようにして励起用レーザー光のサンプル上での照射位置をスポットとして視認することにより、励起用レーザー光の焦点合わせを行う。
【００３７】
具体的には、励起用レーザー光のスポット径を目視あるいはＣＣＤカメラ等で観察することにより、焦点が合っているか否かを確認する。このとき、焦点が合っていない場合には、サンプルステージ６のＺステージ２７を移動させることで、焦点を調整する。Ｚステージ２７は、前述したように第１の光軸に沿って移動することから、この第１の光軸を通って導入される励起用レーザー光の焦点調整を行うことができる。また、このとき、観察口１８が第１の光軸上に設けられていることから、観察口１８からはスポットの中心位置がずれてしまうことなく、一定の位置にあるスポットを視認し続けることができ、したがって容易に焦点調整を行えるようになっている。
【００３８】
また、このような焦点調整と同時に、あるいは前後して、この焦点、すなわちスポットの中心を、例えば半反射鏡８の角度やサンプルステージ６を調整することにより、予め設定された適切な位置に合わせる。ただし、通常これは予め装置において調整されているので、その場合には省略してもよい。
【００３９】
次いで、励起用レーザー光の照射を続けたままで、光軸合わせ用のレーザー光を、出射側レンズ１２を介して前記サンプルステージ６上の所定位置、すなわち前記のサンプル上に集光させ、その焦点位置を、前記励起用レーザー光の焦点位置に合わせる。このとき、白色光源２２を点灯させて白色光を前記サンプル上に照射し、これによって前記光軸合わせ用レーザー光のサンプル上での照射位置が、観察口２６から視認できるようにしておく。そして、このようにして光軸合わせ用のレーザー光のサンプル上での照射位置をスポットとして視認することにより、第１の光軸と第２の光軸との間の光軸合わせを行う。
【００４０】
すなわち、出射側レンズ１２の位置（角度）を微調整して光軸合わせ用レーザー光のスポットの位置を調整し、これを励起用レーザー光のスポットに重ね合わせることで、第１の光軸と第２の光軸とを合わせる。このとき、光軸合わせ用のレーザー光と励起用レーザー光とはその波長が異なり、これらレーザー光は互いに異なる色を呈するようになっているので、これらレーザー光のスポットの重なり具合を特に目視によって容易に確認することができる。ここで、この目視などによる確認作業は、観察口１８または観察口２６から視認することで行うことができる。
【００４１】
なお、出射側レンズ１２の位置の微調整で良好に光軸を合わせられない場合、励起用レーザー光の光路が正常より大きくずれていることが考えられる。したがって、その場合には半透過鏡８の角度を調整する。そして、励起用レーザー光と光軸合わせ用レーザー光とが中心対象でガウス分布の拡散状態にあるか否かを、Ｚステージ２７を移動させることで確認し、拡散状態にない場合には、半透過鏡８の角度を再度調整する。
また、この第１の光軸と第２の光軸との光軸合わせについては、基本的には前述したように出射側レンズ１２の位置（角度）調整で行うが、必要に応じて、サンプルステージ６のＺステージ２７やＸＹステージ２８を微移動させることで、光軸合わせの微調整を行うようにしてもよい。
【００４２】
このようにして光軸合わせを行ったら、サンプルステージ６上から前記サンプルを外し、測定対象となる試料Ｓを所定位置、すなわちＸＹステージ２８の第２のステージ面２８ａ上に配置する。このとき、例えばサンプルステージ６のＺステージ２７を移動させて、前記サンプルと試料Ｓとの交換を行った場合、交換後、Ｚステージ２７を元の位置に戻し、さらに前述した手法によって再度焦点合わせを行う。
そして、さらに試料Ｓ中において特にその測定位置を選択したい場合、Ｚステージ２７を固定した状態で、ＸＹステージ２８をＸ方向、Ｙ方向にそれぞれ適宜移動させることで、励起用レーザー光の焦点位置であるスポットを測定位置に合わせる。なお、このような調整は、観察口１８からの目視、あるいはＣＣＤカメラによる撮影などで行うことができる。
【００４３】
このようにして焦点合わせを行い、さらに試料Ｓ中における測定位置の選択を行ったら、必要に応じて半透過鏡８を反射鏡に交換した後、前記励起用レーザー光源２から励起用レーザー光を出射させる。すると、励起用レーザー光は第１の光学系３中を通って入射側レンズ１１に至り、ここで集光された後、前記試料Ｓを照射する。すると、試料Ｓが励起してラマン散乱光を生じる。
このラマン散乱光のうち特に直角散乱光は、第１の光軸に対し略直角方向に位置した第２の光軸を有する出射側レンズ１２に集められ、さらに第２の光学系１９を通って分光器４に導入され、ここで波長成分に分解されてラマンスペクトルとして測定される。
【００４４】
また、このラマン分光装置１にあっては、直角散乱光の測定だけでなく、前記の第３の光学系１９を用いることにより、励起用レーザー光の入射方向と１８０°異なる方向に散乱した散乱光を測定する、バックスキャッタリングでの測定（観測）を行うこともできる。このようにバックスキャッタリングでの測定（観測）を行う場合、第１の光学系３および第２の光学系５と第３の光学系１９とを光学的に接続するべく、先に光路（光軸）上から外しておいた半透過鏡９や半透過鏡１４をそれぞれ図１に示した位置に戻し、その光軸を対応する光学系における光軸に合わしておく。なお、半透過鏡１４については、これを反射鏡に代えておくのが好ましい。
【００４５】
また、サンプルステージ６については、これをそのまま用いることもできるものの、特に試料Ｓを配置するステージ面が、第１の光軸に直交して入射側レンズ１１と正対するものに交換するのが好ましい。
このようなサンプルステージを用いてこれに試料Ｓを配置したら、従来と同様にして焦点合わせ等を行った後、励起用レーザー光源２から励起用レーザー光を出射することで、バックスキャッタリング測定を行う。
【００４６】
このようにして励起用レーザー光を出射すると、このレーザー光が入射側レンズ１１を介して試料Ｓを照射し、この照射部を励起させてラマン散乱光を生じさせる。このラマン散乱光のうち、特に入射方向と１８０°異なる方向に散乱した散乱光は、再度入射側レンズ１１を通って半透過鏡９に至り、ここで反射して第３の光学系１９に導かれる。そして、反射鏡２０で反射し、さらに半透過鏡１４（または反射鏡）で反射することにより第２の光学系５を通って分光器４に導入され、ここで波長成分に分解されてラマンスペクトルとして測定される。
【００４７】
このようなラマン分光装置１によるラマン分光測定方法にあっては、励起用レーザー光を、第１の光学系３に設けた入射側レンズ１１で集光して試料Ｓに照射し、該試料Ｓで励起したラマン散乱光を、第２の光学系５に設けた出射側レンズ１２で集光して分光器４に導入するので、入射光と散乱光とが直角となる直角散乱配置での測定、すなわち直角散乱光の測定を容易に行うことができる。
【００４８】
また、励起用レーザー光源２とは別に、光軸合わせ用のレーザー光を出射する光軸合わせ用レーザー光源２５を備えているので、励起用レーザー光を試料Ｓの配置場所に照射するとともに、光軸合わせ用のレーザー光を試料Ｓの配置場所に照射することにより、励起用レーザー光の光軸である第１の光軸と、光軸合わせ用のレーザー光の光軸となるラマン散乱光（直角散乱光）の第２の光軸とを容易に軸合わせすることができる。
【００４９】
すなわち、このような光軸合わせ機構を備えていることにより、観察口１８、２６で目視等により観察しつつ、サンプルステージ６を調整することなどによって光軸合わせや焦点調整が行えるので、直角散乱配置による測定を行う場合にも、試料に対する焦点調整や３次元的な光軸合わせを容易に行うことができる。
したがって、従来では特に光軸合わせには高度の熟練を要し、熟練に基づく勘に頼って光軸合わせを行っているのが実状であったが、本発明では、前述したように光軸合わせ用レーザー光源２５を備えたことにより、高い熟練度を要することなく、初心者でも比較的容易に、しかも精度良く光軸合わせを行うことができる。
【００５０】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明のラマン分光装置の一実施形態を模式的に示す概略構成図である。
【図２】各対物レンズ及びサンプルステージの概略構成図である。
【符号の説明】
【００５２】
１…ラマン分光装置、２…励起用レーザー光源、３…第１の光学系、４…分光器、５…第２の光学系、６…サンプルステージ、１１…入射側レンズ、１１ｃ…斜面、１２…出射側レンズ、１２ｃ…斜面、１８…観察口（観察部）、１９…第３の光学系、２５…光軸合わせ用レーザー光源、２６…観察口（観察部）、２７…Ｚステージ、２７ａ…第１ステージ面、２８…ＸＹステージ、２８ａ…第２ステージ面
【図１】
2006214900.tif 000003
【図２】
2006214900.tif 000004