(57)【要約】【課題】簡単な構成で正確な測長及び位置の確認が可能な測定装置及び測定方法を提供する。【解決手段】本発明の測定装置は、被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の平行プリズムと、第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、光学レンズからの光を取り込み、第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、電気信号に基づき第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、を有することを特徴とする。本発明によると、１画面上で離れた複数の場所の測定を１つの光学系を用いることで可能となる。本発明の測定装置及び測定方法によると、平行プリズムを用いることにより光路を被測定物の直上で高さ方向に対し９０度曲げることができ、光学系の大きさ・高さ（ワークディスタンス）を小さくでき、測定装置を小型化することができる。【選択図】  図３
2006308425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の平行プリズムと、
前記第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、
前記光学レンズからの光を取り込み、前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、
前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、
を有する測定装置。
【請求項２】
第１の被測定物上の第１の場所及び第２の被測定物上の第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の平行プリズムと、
前記第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、
前記光学レンズからの光を取り込み、前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、
前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、
を有する測定装置。
【請求項３】
前記第１及び第２の平行プリズムは、前記第１及び第２の場所からの反射光を、それぞれ、同じ方向に向けて出射することを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
【請求項４】
被測定物の異なる面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の台形プリズムと、
前記第１及び第２の台形プリズムからの光をそれぞれ取り込み、それぞれの光を同一方向へ出射する第１及び第２の反射プリズムと、
前記第１及び前記第２の反射プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、
前記光学レンズからの光を取り込み、前記被測定物上の前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、
前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、
を有する測定装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の台形プリズムは、前記被測定物上の前記第１及び第２の点からの反射光を、それぞれ、１８０度異なる方向に向けて出射する請求項４に記載の測定装置。
【請求項６】
前記第１及び第２の反射プリズムは、直角プリズムである請求項４又は５に記載の測定装置。
【請求項７】
被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光を光学レンズによって収束又は発散させ、前記被測定物の前記第１及び第２の場所の映像をイメージセンサを介して一つの画面に表示し、前記一つの画面上で前記第１及び第２の場所にある複数の点の間の距離又は前記第１及び第２の場所にある前記被測定物の部位の角度又は配置を測定する測定装置であって、
前記被測定物の前記第１及び第２の場所からの反射光を受光する２つの平行プリズムの入射側反射面部位を前記第１及び第２の場所それぞれの直上に設け、
前記２つの平行プリズムの前記被測定物と反対側の出射側反射面部位を互いに近接して配置した箇所に前記光学レンズを配置する測定装置。
【請求項８】
被測定物の一面上の第１の場所及び前記被測定物の前記一面とは異なる面上の第２の場所からの反射光を光学レンズによって収束又は発散させ、前記被測定物の前記第１及び第２の場所の映像をイメージセンサを介して一つの画面に表示し、前記一つの画面上で前記第１及び第２の場所にある複数の点の間の距離、前記第１及び第２の場所にある前記被測定物の部位の角度又は位置を測定する測定装置であって、
前記第１及び第２の場所からの反射光が入射側と出射側とで反対方向となるように、２つの台形プリズムの入射側反射面部位を前記第１及び第２の場所の直上にそれぞれを設け、
前記２つの台形プリズムの出射側反射面部位に、それぞれ、複数の反射プリズムを配置し、前記複数の反射プリズムの出射側反射面部位を互いに近接して配置した箇所に前記光学レンズ部を配置する測定装置。
【請求項９】
前記複数の反射プリズムは、直角プリズムである請求項７又は８に記載の測定装置。
【請求項１０】
前記複数の反射プリズムは、一つが直角プリズムであり、もう一つが台形プリズムである請求項７又は８に記載の測定装置。
【請求項１１】
被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ第１及び第２の平行プリズムに取り込み、
前記第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させ、
前記収束又は発散させた光を取り込み、前記被測定物上の前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換し、
前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する、測定方法。
【請求項１２】
第１の被測定物上の第１の場所及び第２の被測定物上の第２の場所からの反射光をそれぞれ第１及び第２の平行プリズムに取り込み、
前記第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させ、
前記収束又は発散させた光を取り込み、前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換し、
前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する、測定方法。
【請求項１３】
前記第１及び第２の平行プリズムは、前記被測定物上の前記第１及び第２の場所からの反射光を、それぞれ、同じ方向に向けて出射する請求項１１又は１２に記載の測定方法。
【請求項１４】
被測定物の異なる面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ第１及び第２の台形プリズムに取り込み、
前記第１及び第２の台形プリズムからの光をそれぞれ第１及び第２の反射プリズムに取り込み、それぞれの光を同一方向へ出射し、
前記第１及び第２の反射プリズムからの光を収束又は発散させ、
前記収束又は発散させた光を取り込み、前記被測定物上の前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換し、
前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する、測定方法。
【請求項１５】
前記第１及び第２の台形プリズムは、前記被測定物上の前記第１及び第２の場所からの反射光を、それぞれ、１８０度異なる方向に向けて出射する請求項１４に記載の測定方法。
【請求項１６】
前記第１及び第２の反射プリズムは、直角プリズムである請求項１４又は１５に記載の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物における複数の場所における複数の点間の距離、複数の部位の取り付け角度又は配置（アライメント）等を測定する測定装置及び測定方法に関する。特に、電子部品における複数の場所における複数の点間の距離（寸法）、電子部品を構成する各パーツの取り付け角度又は配置を高精度にかつ安価に測定する測定装置及び測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物の異なる複数の点の距離や各パーツの配置を測定する測定装置として、測定する部位の映像を光学レンズ系（顕微鏡）により拡大し、イメージセンサにて映像信号として出力し、表示装置にその拡大映像を表示する装置が知られている。
【０００３】
このような従来の測定装置１００の概略構成図を図１２に示す。１０１は被測定物であり、ステージ１０２上に配置される。また、１０５は顕微鏡筒であり、複数の光学レンズが収納されている。１０６はイメージセンサであり、被測定物１０１の測定部位の映像を光学レンズを通して取り込み、電気信号に変換し、その電気信号を表示装置１０７に送信する。表示装置１０７は、被測定物１０１の測定部位の拡大映像を表示画面１０８に表示する。表示画面１０８に測長のための目盛りが画像に重畳して表示されるか、又は、この画像を画像処理装置によって処理することにより、被測定物１０１の測定部位の基準点から被測定点までの距離を測定することができる。なお、図１２には、説明の便宜上、被測定物１０１の側面に「Ａ」という文字を示しているが、実際の被測定物１０１には、その測定部位の上面に「Ａ」という文字が記載されている。図１２に示すとおり、被測定物１０１の測定部位にある「Ａ」という文字が拡大されて表示画面１０８に表示されている。
【０００４】
ここで、図１３を用いて、この従来の測定装置を、例えば、ハードディスク等のサスペンションのフレキシャの取り付け状態（アライメント）を検査するための測定装置として用いる場合について説明する。
【０００５】
図１３（ａ）は、ハードディスクのサスペンション部分の構成を示しており、ビーム３がヒンジ７を介してベースプレート２に接続されている。ビーム３上には、ビーム３に設けられたディンプル３ａに接してフレキシャ５が搭載されている。フレキシャ５には、パッド５ａが設けられている。４は仮基準穴であり、６はボス穴である。ハードディスクのヘッド部の取り付け位置の検査においては、パッド５ａとボス穴の６の中心との距離Ｌｍ（＝Ｌｃ＋Ｌｖ）及びパッド５ａの取り付け位置を正確に測定する必要がある。図１３（ｂ）は測定が行われるテレビモニタ画面の例である。
【特許文献１】特開平７−１３９９２４号公報
【特許文献２】特開平１１−３７７２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような精密部品の検査においては、高精度の測定が要求されているため、測定部位の映像の倍率を高く設定する場合が多い。図１３（ｂ）は拡大倍率が高く設定された時の表示画面を示しており、ボス穴６が画面視野外となってしまっている。このようなケースでは、パッド５ａとボス穴６の中心との距離Ｌｍを直接測定することは不可能である。また、ボス穴６の中心と仮基準穴４の中心を結ぶ線に対するパッド５ａの取り付け位置（アライメント）を直接測定することは不可能である。このように、従来の測定装置においては、測定精度を高めるために画像拡大率をあげると、画面視野内に測定点全体が納まりきらないことになり、画面上での所望の２点間距離やアライメントの測定ができない。また、測定精度向上のためには、上記の拡大率の向上の他に、多画素CCDでの対応ができるが、高価なシステムになってしまう。
【０００７】
そこで、このような従来の装置を用いる場合は、画面視野内に存在する別の点（ここでは仮基準穴４の中心）を仮の基準点としてＬｖを測定し、仮基準穴の中心と取り付け穴の中心との距離Ｌｃを設計値によって調べておき、このＬｃが一定であると仮定して、Ｌｖを測定し、測定値ＬｖからＬｍを得る（Ｌｍ＝Ｌｖ＋Ｌｃ）。
【０００８】
しかしながら、仮基準４の中心とボス穴６の中心の距離は加工精度や組み立て精度によるばらつきがあり、厳密には一定ではなく、結果として精度の高い測定結果を得ることができない。
【０００９】
上述の問題点を回避する測定装置として、例えば上記の特許文献１（特開平７−１３９９２４号公報）において、電子部品の２点を同時に測定する方法が開示されている。この例では２点の像は２つのイメージセンサでそれぞれの画像を得るもので、イメージセンサが２つ必要となり、装置のコストアップになる。
【００１０】
また、上記の特許文献２（特開平１１−３７７２０号公報）に開示されている測定方法は、各点の像が独立した２つの光学系によって得られるので、光学系の倍率が大きくなっても像が光学系の視野からはみ出すことがない。しかしながら、この方法ではレンズ系、イメージセンサを２系統必要とし、装置の構成が複雑となり装置のコストアップにもなる。
【００１１】
また、従来の装置を用いる場合には、ボス穴６の中心と仮基準穴４の中心を結ぶ線に対するパッド５ａの取り付け位置（アライメント）を正確に測定することができなかった。
【００１２】
そこで、本発明は上記問題点を鑑みてなされたものであり、被測定物の複数の場所における複数点間の距離（寸法）並びに被測定物における各部の取り付け角度及び配置を１つの光学系と１つの画面上で測定できる装置及び方法を提供することを目的とする。また、本発明は、被測定物の複数の場所における複数の点が、それぞれ、表面、裏面にある場合にも対応可能な測定装置及び測定方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の測定装置は、被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の平行プリズムと、前記第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、前記光学レンズからの光を取り込み、前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、を有することを特徴としている。
【００１４】
また、本発明の測定装置は、第１の被測定物上の第１の場所及び第２の被測定物上の第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の平行プリズムと、前記第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、前記光学レンズからの光を取り込み、前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、を有することを特徴としている。
【００１５】
また、前記第１及び第２の平行プリズムは、前記第１及び第２の場所からの反射光を、それぞれ、同じ方向に向けて出射するようにしている。
【００１６】
また、本発明の測定装置は、被測定物の異なる面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ取り込む第１及び第２の台形プリズムと、前記第１及び第２の台形プリズムからの光をそれぞれ取り込み、それぞれの光を同一方向へ出射する第１及び第２の反射プリズムと、前記第１及び前記第２の反射プリズムからの光を収束又は発散させる光学レンズと、前記光学レンズからの光を取り込み、前記被測定物上の前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換するイメージセンサと、前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示する表示装置と、を有することを特徴としている。
【００１７】
また、前記第１及び第２の台形プリズムは、前記被測定物上の前記第１及び第２の点からの反射光を、それぞれ、１８０度異なる方向に向けて出射するようにしている。
【００１８】
また、前記第１及び第２の反射プリズムは、直角プリズムであるようにしてもよい。
【００１９】
また、また、本発明の測定装置は、被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光を光学レンズによって収束又は発散させ、前記被測定物の前記第１及び第２の場所の映像をイメージセンサを介して一つの画面に表示し、前記一つの画面上で前記第１及び第２の場所にある複数の点の間の距離又は前記第１及び第２の場所にある前記被測定物の部位の角度又は配置を測定する測定装置であって、前記被測定物の前記第１及び第２の場所からの反射光を受光する２つの平行プリズムの入射側反射面部位を前記第１及び第２の場所それぞれの直上に設け、前記２つの平行プリズムの前記被測定物と反対側の出射側反射面部位を互いに近接して配置した箇所に前記光学レンズを配置することを特徴としている。
【００２０】
また、また、本発明の測定装置は、被測定物の一面上の第１の場所及び前記被測定物の前記一面とは異なる面上の第２の場所からの反射光を光学レンズによって収束又は発散させ、前記被測定物の前記第１及び第２の場所の映像をイメージセンサを介して一つの画面に表示し、前記一つの画面上で前記第１及び第２の場所にある複数の点の間の距離、前記第１及び第２の場所にある前記被測定物の部位の角度又は位置を測定する測定装置であって、前記第１及び第２の場所からの反射光が入射側と出射側とで反対方向となるように、２つの台形プリズムの入射側反射面部位を前記第１及び第２の場所の直上にそれぞれを設け、
前記２つの台形プリズムの出射側反射面部位に、それぞれ、複数の反射プリズムを配置し、前記複数の反射プリズムの出射側反射面部位を互いに近接して配置した箇所に前記光学レンズ部を配置することを特徴としている。
【００２１】
また、前記複数の反射プリズムは、直角プリズムであるようにしてもよい。
【００２２】
また、前記複数の反射プリズムは、一つが直角プリズムであり、もう一つが台形プリズムであるようにしてもよい。
【００２３】
また、また、本発明の測定方法は、被測定物の一面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ第１及び第２の平行プリズムに取り込み、前記第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させ、前記収束又は発散させた光を取り込み、前記被測定物上の前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換し、前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示することを特徴としている。
【００２４】
また、また、本発明の測定方法は、第１の被測定物上の第１の場所及び第２の被測定物上の第２の場所からの反射光をそれぞれ第１及び第２の平行プリズムに取り込み、前記第１及び第２の平行プリズムからの光を収束又は発散させ、前記収束又は発散させた光を取り込み、前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換し、前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示することを特徴としている。
【００２５】
また、前記第１及び第２の平行プリズムは、前記被測定物上の前記第１及び第２の場所からの反射光を、それぞれ、同じ方向に向けて出射するようにしている。
【００２６】
また、本発明の測定方法は、被測定物の異なる面上の第１及び第２の場所からの反射光をそれぞれ第１及び第２の台形プリズムに取り込み、前記第１及び第２の台形プリズムからの光をそれぞれ第１及び第２の反射プリズムに取り込み、それぞれの光を同一方向へ出射し、前記第１及び第２の反射プリズムからの光を収束又は発散させ、前記収束又は発散させた光を取り込み、前記被測定物上の前記第１の場所及び第２の場所の映像を電気信号に変換し、前記電気信号に基づき前記第１の場所及び第２の場所の映像を一つの画面に表示することを特徴としている。
【００２７】
また、前記第１及び第２の台形プリズムは、前記被測定物上の前記第１及び第２の場所からの反射光を、それぞれ、１８０度異なる方向に向けて出射するようにしている。
【００２８】
また、前記第１及び第２の反射プリズムは、直角プリズムであるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の測定装置及び測定方法によると、離れた複数の場所における複数の点の距離の測定を１つの光学系を用いることで可能となる。また、本発明の測定装置及び測定方法によると、被測定物の特定部分の傾きを正確に測定することができ、当該特定部分の取り付け角度を正確に測定することができる。
【００３０】
また、本発明の測定装置及び測定方法によると、被測定物の表面及び裏面の複数の場所を１画面上で並べて表示でき、１つの光学系を用いることで表面及び裏面の離れた複数の場所の測定が可能となる。
【００３１】
また、本発明の測定装置及び測定方法によると、平行プリズムを用いることにより、光路を被測定物の直上で高さ方向に対し９０度曲げることができ、光学系の大きさ・高さ（ワークディスタンス）を小さくでき、装置のレイアウトの自由度を向上させ、測定装置を小型化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。本実施形態においては、本発明の測定装置及び測定方法をハードディスクのサスペンションにおけるフレキシャのパッドの取り付け位置及び角度を検査することに用いた例について説明するが、これに限定されるわけではない。
【００３３】
まず、図１を参照する。図１（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、製造中間工程におけるハードディスク用サスペンションの上面図、下面図及び側面図であり、８はワークフレーム、２はベースプレート、３はビーム、５はフレキシャ、７はヒンジである。ビーム３は、磁気ヘッドがジンバル機構で動作できるように、先端部分にディンプル３ａが形成された梁である。フレキシャ５は、磁気ヘッド（図示せず）が搭載されるタング面を有し、信号配線であるパッド５ａが形成されている。ヒンジ７は、荷重を発生するバネ部分である。ベースプレート２には、ボス穴６が形成されており、サスペンション１の寸法基準となる。図１に示すとおり、ビーム３がヒンジ７を介してベースプレート２に接続されている。ビーム３上には、ビーム３に設けられたディンプル３ａに接してフレキシャ５が搭載されている。各サスペンション１が１つ１つ切り取られる前には、ワークフレーム８に帯状につながっている様子が理解される。ビーム３にはディンプル３ａが設けられており、ビーム３上にはディンプル３ａに接してフレキシャ５が搭載される。なお、仮基準穴４は、ビーム３とフレキシャ５に空けられており、ビーム３の仮基準穴４とフレキシャ５の仮基準穴４とが一致するように、ビーム３にフレキシャ５が搭載される。
【００３４】
図２は、ワークフレーム８から切り出された各サスペンション１を切り離した状態を説明したものである。ハードディスクのヘッド部の取り付け位置の検査においては、パッド５ａとボス穴の６の中心との距離Ｌｍ（＝Ｌｃ＋Ｌｖ）及びパッド５ａの取り付け位置を正確に測定する必要がある。ボス穴６は、サスペンション１をハードディスクへ取り付けるための穴である。
【００３５】
次に、図３を参照する。図３（ａ）は、本実施形態に係る本発明の測定装置の概略構成を示したものであり、被測定物の一面上の離れた複数の場所における複数の点の間の距離並びに被測定物上の部位の取り付け角度及び配置を測定することができる。図３において、１１は被測定物、１２は被測定物１１を設置するステージ、１３ａ及び１３ｂは平行プリズム、１４は顕微鏡鏡筒、１５はイメージセンサ、１６はコンピュータ（画像処理装置）、１７は表示装置、１８は表示装置の表示画面である。平行プリズム１３ａ及び１３ｂは、反射プリズムの一種であり、平行四辺形プリズム（平行な２面が２組あり、各辺の長さが不等であるプリズム）において、平行な２面がなす角度が４５°である反射面を２つ有するプリズムである。平行プリズム１３ａ及び１３ｂは、図３（ａ）の点線で示すように、その一端（入射側反射面部位）に入射した光の進路をずらして他端（出射側反射面部位）から同じ方向に向かって光を出射する。
【００３６】
図３（ｂ）は、被測定物の上面図である。なお、図３（ａ）には、説明の便宜上、被測定物１１の側面の２点に「Ａ」及び「Ｂ」という文字を示しているが、被測定物１１には、図３（ｂ）に示すように、その測定部位の一面上の２点に「Ａ」及び「Ｂ」という文字が記載されている。以下、これらの文字が記載されている場所を、それぞれ、「場所Ａ」及び「場所Ｂ」という。図２に示すとおり、被測定物１１の測定部位の上面の場所Ａ及び場所Ｂにある「Ａ」及び「Ｂ」という文字の映像が拡大され、合成されて表示画面１８に表示されている。なお、図２（ａ）において、点線は測定部位からの反射光路を示す。なお、ここでは、本発明の測定装置を説明する便宜上、「Ａ」及び「Ｂ」という文字が記載された被測定物１１を用いているが、後述するとおり、本発明の測定装置は、このような文字が記載されている被測定物１１に限定されるわけではない。なお、ここでは、「被測定物の一面上」とは、被測定物が一体形成されて一つのパーツで構成されている場合における複数の場所における同一面上だけではなく、被測定物が複数のパーツで構成されている場合におけるそれらパーツ上の複数の場所における同一面上を含むものとする。
【００３７】
図３（ａ）において、平行プリズム１３ａ及び１３ｂのそれぞれの端部は、第１の基準点の場所Ａ及び第２の基準点である場所Ｂの上に配置され、被測定物の場所Ａ及び場所Ｂからの反射光はそれぞれ点線で示すように平行プリズム１３ａ及び１３ｂに入射する（取り込まれる）。本実施形態における平行プリズム１３ａ及び１３ｂは、その一端（入射側反射面部位）に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光が入射してきた方向と同じ方向へ曲げ、他端（出射側反射面部位）から光を出射する。平行プリズム１３ａ及び１３ｂの他端部（光出射測部）は互いに近接して配置され、場所Ａ及び場所Ｂからの光が並べられ、その直上部に顕微鏡筒１４の対物レンズ部（図示せず）が配置される。顕微鏡筒１４で収束又は発散された場所Ａ及び場所Ｂの像は、イメージセンサ１５で電気信号に変換され、コンピュータ１６で処理され、表示装置１７の一つの表示画面１８に表示される。本実施形態においては、図３に示すとおり、場所Ａ及び場所Ｂの像である「Ａ」及び「Ｂ」が合成され、「Ａ」及び「Ｂ」の映像が表示画面１８に並んで表示される。なお、イメージセンサ１５からの映像信号を適宜コンピュータ１６に取り込んだ後、画像処理を施し、画像を加工してもよい。
【００３８】
次に、図４を参照する。図４には、本実施形態に係る本発明の測定装置を図１で説明したハードディスクのサスペンション１の測定に用いた例が示されている。ステージ１２の上には、１つ１つ切り離されたサスペンション１が設置され、サスペンション１上の測定対象となる場所Ａ及び場所Ｂに、それぞれ、平行プリズム１３ａ及び１３ｂの一端が設定される。本実施形態においては、測定対象となる場所Ａ及び場所Ｂは、それぞれ、フレキシャ５のパッド５ａ及びボス穴６の中心である。
【００３９】
図４に示すとおり、平行プリズム１３ａ及び１３ｂのそれぞれの端部は、第１の場所である場所Ａ（フレキシャ５のパッド５ａ付近）及び第２の場所である場所Ｂ（ボス穴６の中心付近）の上に配置され、被測定物の場所Ａ及び場所Ｂからの反射光がそれぞれ点線で示すように平行プリズム１３ａ及び１３ｂに入射する（取り込まれる）。本実施形態における平行プリズム１３ａ及び１３ｂは、その一端（入射側反射面部位）に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光が入射してきた方向と同じ方向へ曲げ、他端（出射側反射面部位）から光を出射する。平行プリズム１３ａ及び１３ｂの他端部（出射側反射面部位）は互いに接合され、場所Ａ及び場所Ｂからの光が並べられ、その直上部に顕微鏡筒１４の対物レンズ部（図示せず）が配置される。顕微鏡筒１４で収束又は発散された場所Ａ及び場所Ｂの像は、イメージセンサ部１５で電気信号に変換され、コンピュータ１６で処理され、表示装置１７の一つの表示画面１８に表示される。本実施形態においては、表示画面１７に示すとおり、フレキシャ５のパッド５ａの映像とボス穴６の中心の映像が合成され並んで表示される。
【００４０】
本実施形態においては、イメージセンサ部１５で電気信号に変換された場所Ａ及び場所Ｂの映像は、コンピュータ（画像処理装置）１６によって画像処理されるようになっている、以下、本実施形態における画像処理について説明する。なお、本実施形態で説明する画像処理方法は、本発明の測定装置における画像処理方法の一手段に過ぎず、これに限定されるわけではない。
【００４１】
図５には、本実施形態に係る本発明の測定装置において、サスペンション１と平行プリズム１３ａ及び１３ｂとの関係を示したものである。図５に示すように、平行プリズム１３ａにおいては、サスペンション１のフレキシャ５及び仮基準穴４の部分の映像が取り込まれ、平行プリズム１３ｂにおいては、サスペンション１のヒンジ７及びボス穴６の部分の映像が取り込まれる。図５に示すように、測定開始時には、ハードディスクのサスペンション１は、任意の傾きθ（ボス穴６の中心と仮基準穴４の中心とを結ぶ線（「基準軸」と言う。）と画面水平軸との傾き）をもっている。
【００４２】
本実施形態においては、基準軸方向のパッド５ａとボス穴６との間の距離Ｌｍと、パッド５ａと仮基準穴４との間の距離Ｌｖと、基準軸に対して垂直軸方向のパッド５ａのズレ量Δｘとを求める。
【００４３】
ここで、画面垂直軸方向のボス穴６の中心と仮基準穴４の中心との距離をＬｈ、画面水平軸方向の距離をＬｃとすると、以下の式（１）が成立する。
θ＝ａｒｃｔａｎ（Ｌｈ／Ｌｃ）      （１）
【００４４】
ここで、図６を参照する。図６には、本実施形態に係る本発明の測定装置の表示画面１８を示す。図６（ａ）に示すとおり、表示画面１８においては、画面が２分割されており、表示画面１８の左側部分には、サスペンション１のフレキシャ５及び仮基準穴４の部分の映像が映し出され、また、表示画面１８の右側部分にはサスペンション１のヒンジ７及びボス穴６の部分の映像が映し出されている様子が理解される。
【００４５】
ここで、キャリブレーションにより、平行プリズム１３ａと１３ｂとの距離Ｌｃ＊と、画面水平方向倍率ａ、画面垂直方向の倍率ｂを処理用初期パラメータとして求めておく。
【００４６】
図６（ａ）に示すとおり、画面垂直軸方向のボス穴６の中心と仮基準穴４の中心との表示画面１８における距離をＬｈ’、画面水平軸方向の距離をＬｃ’とすると、以下の式（２）〜（４）が成立する。
Ｌｃ＝ａ・Ｌｃ’＋Ｌｃ＊      （２）
Ｌｈ＝ｂ・Ｌｈ’              （３）
θ＝ａｒｃｔａｎ（Ｌｈ／Ｌｃ）
＝ａｒｃｔａｎ（ｂ・Ｌｈ’／（ａ・Ｌｃ’＋Ｌｃ＊））      （４）
【００４７】
よって、式（４）より、θを求めることができる。
【００４８】
次に、表示画面１８上のサスペンション１をコンピュータ１６によって角度θだけ回転させることによって、図６（ｂ）に示すような表示画面１８の状態を得ることができる。この状態において、パッド５ａと仮基準穴４の中心との表示画面１８上の基準軸方向の距離をＬｖ’とし、ボス穴６の中心とパッド５ａとの表示画面１８上の基準軸方向の距離をＬｍ’とし、且つ基準軸に対して垂直軸方向のパッド５ａの表示画面１８上のズレ量をΔｘ’とすると、以下の式（５）から（７）が成立する。
Ｌｖ＝ａ・Ｌｖ’            （５）
Δｘ＝ｂ・Δｘ              （６）
Ｌｍ＝ａ・Ｌｍ’＋ａｒｃｃｏｓ（Ｌｃ＊）      （７）
【００４９】
このようにして、本実施形態においては、基準軸方向のパッド５ａとボス穴６との間の距離Ｌｍと、パッド５ａと仮基準穴４との間の距離Ｌｖと、基準軸に対して垂直軸方向のパッド５ａのズレ量Δｘとを正確に求めることができる。
【００５０】
なお、本実施形態においては、表示画面上の映像の座標値又は角度を測定するために、距離目盛り（図示せず）又は角度目盛り（図示せず）が合わせて表示されるようにしてもよい。
【００５１】
このように、図６に示す表示画面上の映像により、又はこの映像を画像処理することにより、それぞれの部分の座標位置や距離を測定することができ、ボス穴６とパッド５ａとの距離、ボス穴６の中心と仮基準穴４の中心とを結ぶ軸に対するパッド５ａの対称性（ズレ量）、ベースプレート２とパッド５ａのアライメント等を測定することができる。
【００５２】
なお、本実施形態においては、平行プリズム１３ａ及び１３ｂを用いたが、菱形プリズムを用いても良いし、複数のプリズムを組み合わせて、その一端に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光が入射してきた方向と同じ方向へ曲げ、他端から光を出射するようにしてもよい。
【００５３】
また、本実施の形態においては、平行プリズムを２つ用いて、離れた２つの場所を１画面上で測定することができるようにしたが、３つ以上の複数の平行プリズムを用いることにより、離れた複数の場所を１画面上で測定することができる。
【００５４】
なお、本実施の形態においては、平行プリズム１３ａ及び１３ｂを用いたが、平行プリズムの代わりに、２つの直角プリズムをそれぞれ平行プリズム１３ａ及び１３ｂの両端部の位置に配置することによって、平行プリズム１３ａ及び１３ｂと同様の機能を具備するようにしてもよい。即ち、２つの直角プリズムを一定の距離をおいて配置し、図３（ａ）の点線で示すように、その一方の直角プリズムの一端に入射した光をその他端から９０°曲げて出射し、続いて他方の直角プリズムの一端に入射した光をその他端から９０°曲げて出射し、顕微鏡筒１４内の光学レンズに入射するようにしてもよい。このようにして、１つの平行プリズムを２つの直角プリズムに置き換えることができる。
【００５５】
また、本実施形態においては、被測定物１１の一面上の離れた複数の場所の映像を一画面に表示するようにしたが、被測定物１１の側面に平行プリズムや反射プリズムを配置し、当該側面からの反射光を顕微鏡筒１４の光学レンズに取り込み、被測定物１１の側面の映像を表示画面１８上に同時に表示することによって、アライメント測定を行うようにしてもよい。
【００５６】
上述したとおり、本発明の測定装置及び測定方法によると、１画面上で離れた２つの場所の測定を１つの光学系を用いることで可能となり、離れた複数の場所における複数の点の間の距離や各部品のアライメント等の正確な測定を行うことができる。
【００５７】
また、本発明の測定装置及び測定方法によると、平行プリズムを用いることにより、光路を被測定物の直上で高さ方向に対し９０度曲げることができ、光学系の大きさ・高さ（ワークディスタンス）を小さくでき、測定装置を小型化することができる。
【実施例１】
【００５８】
被測定物の構造によっては、測定する場所が測定物の一面上になく、表面と裏面に存在する場合がある。また測定装置の構造上、測定する２つの場所をある特定の一面側から測定することが困難な場合がある。そこで、本実施例においては、このような場合に対応できる、本発明の測定装置及び測定方法の例について説明する。なお、上述の実施形態で説明した構成要素と同じ構成要素については、同一符号を付してあるので、ここではその説明を省略する。
【００５９】
図７（ａ）を参照する。本実施例においては、台形プリズム１９ａ、１９ｂ及び１９ｃ並びに直角プリズム２０を用いている。台形プリズムは、反射プリズムの一種であり、直角プリズムの頂角部分を底面と平行にカットしたプリズムである。本実施例においては、底面と両側面とのなす角度がそれぞれ４５°である台形プリズム１９ａ及び１９ｂと、底面と一方の側面とのなす角度が９０°でかつ底面と他方の側面とのなす角度が４５°である反射面を２つ有する台形プリズム１９ｃを用いている。台形プリズム１９ａ及び１９ｂは、図７（ａ）の点線で示すように、その一端（入射側反射面部位）に入射した光の進路をずらし、入射光とは逆方向に向かって即ち入射光を１８０°異なる方向に向けて他端（出射側反射面部位）から光を出射する。また、台形プリズム１９ｃは、直角プリズムの一変形であり、図７（ａ）の点線で示すように、その一端に入射した光を９０°曲げて他端から光を出射する反射面が１つの反射プリズムである。また、直角プリズムは、反射プリズムの一種であり、本実施例においては、直角プリズム２０は、その底面と斜面とのなす角度が４５°である反射面を１つ有する直角プリズムを用いている。なお、これらのプリズムの組み合わせは、これに限定されるわけではなく、本発明の目的・作用を達成できるように、他の複数のプリズムを組み合わせてもよい。
【００６０】
図７（ａ）に示すとおり、ステージ１２上には、被測定物１１が設置される。なお、図７（ａ）においては、説明の便宜上、被測定物１１の側面の２点に「Ａ」及び「Ｂ」という文字を示しているが、実際の被測定物１１には、図７（ｂ）にその上面図（表面図）を示すように、その測定部位の上面（表面）の１点に「Ａ」とうい文字が記載されており、また、図７（ｃ）にその下面図（裏面図）を示すように、その測定部位の下面（裏面）の１点に「Ｂ」とうい文字が記載されている。以下、これらの文字が記載されている点を、それぞれ、「場所Ａ」及び「場所Ｂ」という。図７（ａ）に示すとおり、被測定物１１の測定部位の上面の場所Ａにある「Ａ」及び下面の場所Ｂにある「Ｂ」という文字の映像が拡大され、合成されて表示画面１８に表示されている。なお、図７（ａ）において、点線は測定部位からの反射光路を示す。
【００６１】
図７（ａ）において、台形プリズム１９ａ及び１９ｂのそれぞれの端部（入射側反射面部位）は、第１の場所である場所Ａの上部及び第２の場所である場所Ｂの下部に配置され、被測定物の場所Ａ及び場所Ｂからの反射光はそれぞれ点線で示すように台形プリズム１９ａ及び１９ｂに入射する（取り込まれる）。本実施例における台形プリズム１９ａ及び１９ｂは、その一端に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光が入射してきた方向と反対の方向へ曲げ、他端から光を出射する。台形プリズム１９ａ及び１９ｂの他端から出射される光は、それぞれ、直角プリズム２０及び台形プリズム１９ｃに入射され、それぞれの光が同一方向に出射され、顕微鏡筒１４の対物レンズ部（図示せず）に導かれる。台形プリズム１９ｃを用いることによって、場所Ａから対物レンズ部（図示せず）迄の距離と、場所Ｂから対物レンズ部（図示せず）迄の距離とを合わせている。このように、直角プリズム２０及び台形プリズム１９ｃを鏡筒の対物部に設置することで、位置の異なる場所Ａ及び場所Ｂから顕微鏡筒１４内の対物レンズ部（図示せず）までの光路長をそろえることができ、２つの場所Ａ及び場所Ｂからの反射光を焦点を合わせて測定することができる。なお、直角プリズム２０及び台形プリズム１９ｃの代わりに、平行プリズムやその組み合わせを用いても良い。また、光路長をそろえるための直角プリズム２０及び台形プリズム１９ｃは、上記形状に限定されるものではなく本実施例とは異なる形状のプリズムの組み合わせにより得られるものが含まれることは言うまでもない。
【００６２】
直角プリズム１９及び台形プリズム１９ｃの他端部（出射側面部位）は互いに接合され、場所Ａ及び場所Ｂからの光が並べられ、その直上部（直横部）に顕微鏡筒１４内の対物レンズ部（図示せず）が配置される。顕微鏡筒１４で収束又は発散された場所Ａ及び場所Ｂの像は、イメージセンサ部１５で電気信号に変換され、表示装置１７の一つの表示画面に表示される。本実施例においては、図７に示すものと同様、場所Ａ及び場所Ｂの像である「Ａ」及び「Ｂ」が合成され、「Ａ」及び「Ｂ」の映像が表示画面１８に並んで表示される。なお、イメージセンサ１５からの映像信号を適宜コンピュータ等に取り込み、加工してもよい。
【００６３】
次に、図８を参照する。図８には、本実施例に係る本発明の測定装置を図１で説明したハードディスクのサスペンション１の測定に用いた例が示されている。ステージ１２の上には、ワークフレーム８に繋がった状態のサスペンション１が設置され、サスペンション１上の測定対象となる場所Ａ及び場所Ｂに、それぞれ、台形プリズム１９ａ及び１９ｂの一端が設定される。本実施例においては、測定対象となる場所Ａ及び場所Ｂは、それぞれ、フレキシャ５のパッド５ａ付近及びボス穴６の中心付近である。なお、サスペンション１をワークフレーム８から１つ１つ切り離した状態で、本実施例の測定装置に用いても良いことは言うまでもない。
【００６４】
図８に示すとおり、台形プリズム１９ａ及び１９ｂのそれぞれの端部は、第１の場所である場所Ａ（フレキシャ５のパッド５ａ付近）の上部及び第２の場所である場所Ｂ（ボス穴６の中心付近）の下部に配置され、被測定物の場所Ａ及び場所Ｂからの反射光はそれぞれ点線で示すように台形プリズム１９ａ及び１９ｂに入射する（取り込まれる）。本実施例における台形プリズム１９ａ及び１９ｂは、その一端に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光が入射してきた方向と反対の方向へ曲げ、他端から光を出射する。台形プリズム１９ａ及び１９ｂの他端から出射される光は、それぞれ、直角プリズム２０及び台形プリズム１９ｃに入射され、それぞれの光が同一方向に出射され、顕微鏡筒１４内の対物レンズ部（図示せず）に導かれる。顕微鏡筒１４内で収束又は発散された場所Ａ及び場所Ｂの像は、イメージセンサ部１５で電気信号に変換され、表示装置１７の一つの表示画面に表示される。本実施例においては、表示画面１８に示すとおり、フレキシャ５のパッド５ａ映像とボス穴６の中心の映像が合成され並んで表示される。
【００６５】
なお、表示画面１８の詳細については、図６に示したものと同様である。図６に示す表示画面上の映像により、又はこの映像を画像処理することにより、それぞれの部分の座標位置や距離を測定し、ボス穴６とパッド５ａとの距離、ボス穴６の中心と仮基準穴４の中心とを結ぶ軸に対するパッド５ａの対称性、ベースプレート２とパッド５ａのアライメントを測定することができる。
【００６６】
また、本実施形態においては、被測定物１１の表裏にある複数の場所の映像を一画面に表示するようにしたが、被測定物１１の側面に平行プリズムや反射プリズムを配置し、当該側面からの反射光を顕微鏡筒１４の光学レンズに取り込み、被測定物１１の側面の映像を表示画面１８上に同時に表示することによって、アライメント測定を行うようにしてもよい。
【００６７】
なお、本実施例においては、台形プリズム１９ａ及び１９ｂを用いたが、菱形プリズムを用いても良いし、直角プリズムを用いても良いし、複数のプリズムを組み合わせて、その一端に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光を入射してきた方向と反対方向へ曲げ、他端から光を出射するようにしてもよい。
【００６８】
なお、複数の被測定物１１をステージ１２に設置し、それぞれの被測定物１１の場所Ａ及び場所Ｂの反射光をそれぞれの場所の上に設けられた台形プリズム１９ａ及び１９ｂ並びに直角プリズム２０及び台形プリズム１９ｃを用いて顕微鏡筒１４内にある光学レンズへ集光し、１つのイメージセンサ１５に集光することにより、複数の被測定物１１の場所Ａ及び場所Ｂの映像を、並べて同時に表示画面１８に表示することができる。
【００６９】
なお、本実施例においては、台形プリズム１９ａ及び１９ｂを用いたが、台形プリズムの代わりに、２つの直角プリズムをそれぞれ台形プリズム１９ａ及び１９ｂの両端部の位置に配置することによって、台形プリズム１９ａ及び１９ｂと同様の機能を具備するようにしてもよい。即ち、台形プリズム１９ａの代わりに２つの直角プリズムを一定の距離をおいて配置し、図７（ａ）の点線で示すように、その一方の直角プリズムの一端に入射した光をその他端から９０°曲げて出射し、続いて他方の直角プリズムの一端に入射した光をその他端から９０°曲げて出射し、直角プリズム２０に入射するようにしてもよい。このようにして、１つの台形プリズムを２つの直角プリズムに置き換えることができる。
【００７０】
上述したとおり、本実施例に係る本発明の測定装置及び測定方法によると、１画面上で離れており、且つ異なる面にある２つの場所の測定を１つの光学系を用いることで可能となり、複数点間の距離等の正確な測定を行うことができる。また、本実施例に係る本発明の測定装置及び測定方法によると、離れた複数の場所にあるパターン等の角度を測定することができる。
【００７１】
また、本実施例に係る本発明の測定装置及び測定方法によると、台形プリズムを用いることにより、光路を被測定物の直上で高さ方向に対し９０度曲げることができ、光学系の大きさ・高さ（ワークディスタンス）を小さくでき、測定装置を小型化することができる。
【実施例２】
【００７２】
本実施例においては、上述の実施形態で説明した図３に示す本発明の測定装置及び測定方法において、サスペンション１の配置の仕方を変更することにより、複数のサスペンションの測定を同時に行う例について説明する。
【００７３】
図９を参照する。図９には、本実施例に係る本発明の測定装置を図１で説明したハードディスクのサスペンション部の測定に用いた例が示されている。本実施例においては、ステージ１２の上には、３つのサスペンション１−１、１−２及び１−３が、その長さ方向を紙面の鉛直方向に向けて配置されており、それぞれのサスペンションを構成するビーム３−１、３−２及び３−３並びにフレキシャ５−１、５−２及び５−３が図９に示されている。これらサスペンション１−１、１−２及び１−３は、１つ１つ切り離されていてもよいし、ワークフレーム８から切り離される前のものでもよい。図９に示すように、測定対象となるサスペンション１−１及び１−３のフレキシャ５−１及び５−３の上部に、それぞれ、平行プリズム１３ａ及び１３ｂの一端が設定される。なお、これらサスペンション１−１、１−２及び１−３がワークフレーム８と一体となっている場合は、ワークフレーム８を横方向に移動させることにより（又は、ステージ１２を横方向に移動させることにより）、これらのサスペンション１−１、１−２及び１−３のフレキシャ５−１，５−２及び５−３を連続的に測定することができる。
【００７４】
図９に示すとおり、平行プリズム１３ａ及び１３ｂのそれぞれの端部は、第１の場所である場所Ａ（磁気ヘッド２−１のパッド５ａ付近）及び第２の場所である場所Ｂ（磁気ヘッド２−３のパッド５ａ付近）の上に配置され、被測定物の場所Ａ及び場所Ｂからの反射光がそれぞれ点線で示すように平行プリズム１３ａ及び１３ｂに入射する（取り込まれる）。本実施例における平行プリズム１３ａ及び１３ｂは、その一端（入射側反射部位）に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光が入射してきた方向と同じ方向へ曲げ、他端から光を出射する。平行プリズム１３ａ及び１３ｂの他端部（出射側反射部位）は互いに接合され、場所Ａ及び場所Ｂからの光が並べられ、その直上部に顕微鏡筒１４の対物レンズ部（図示せず）が配置される。顕微鏡筒１４で収束又は発散された場所Ａ及び場所Ｂの像は、イメージセンサ部１５で電気信号に変換され、表示装置１７の一つの表示画面に表示される。本実施例においては、表示画面１７に示すとおり、フレキシャ５−１のパッド５ａ−１の映像とフレキシャ５−３のパッド５ａ−１の映像が合成され並んで表示される。
【００７５】
このように、本実施例の測定装置によると、一つの光学系及び１つのイメージセンサ一を用いて、一度に複数のサスペンションにおけるパッド５ａの取り付け位置、各部の取付け角度、各部位間の距離及びアライメントの測定を行うことができ、測定装置の小型化を実現することができる。また、各サスペンション外観・欠陥検査の高速化を実現することができる。
【実施例３】
【００７６】
本実施例においては、測定する場所が被測定物の一面上になく、表面と裏面に存在する場合に対応できる、本発明の測定装置及び測定方法の別の例について説明する。なお、上述の実施形態及び実施例１で説明した構成要素と同じ構成要素については、同一符号を付してあるので、ここではその説明を省略する。
【００７７】
図１０を参照する。本実施例に係る本発明の測定装置を図１で説明したハードディスクのサスペンション１の測定に用いた例が示されている。本実施例においては、台形プリズム１９ａ及び１９ｂ並びに直角プリズム２０ａ及び２０ｂを用いている。本実施例においては、底面と両側面とのなす角度がそれぞれ４５°である反射面を２つ有する台形プリズム１９ａ及び１９ｂを用いている。台形プリズム１９ａ及び１９ｂは、図１０の点線で示すように、その一端に入射した光の進路をずらし、入射光とは逆方向に向かって即ち入射光を１８０°異なる方向に向けて他端から光を出射する。また、本実施例においては、直角プリズム２０ａ及び２０ｂは、その底面と斜面とのなす角度が４５°である反射面を１つ有する直角プリズムを用いている。なお、これらのプリズムの組み合わせは、これに限定されるわけではなく、本発明の目的・作用を達成できるように、他の複数のプリズムを組み合わせてもよい。
【００７８】
ステージ１２の上には、ワークフレーム８に繋がった状態のサスペンション１が設置され、サスペンション１上の測定対象となるフレキシャ５のパッド５ａ（場所Ａ）及びフレキシャ５が搭載されている面と反対側の面にあるビーム３のディンプル３ａが形成されている部分（場所Ｂ）に、それぞれ、台形プリズム１９ａ及び１９ｂの一端が設定される。つまり、本実施例においては、サスペンション１の特定の場所を表裏から測定することになる。なお、サスペンション１をワークフレーム８から１つ１つ切り離した状態で、本実施例の測定装置に用いても良いことは言うまでもない。
【００７９】
図１０に示すとおり、台形プリズム１９ａ及び１９ｂのそれぞれの端部は、第１の場所である場所Ａ（パッド５ａ付近）の下部及び第２の場所である場所Ｂ（ディンプル３ａ付近）の上部に配置され、被測定物の場所Ａ及び場所Ｂからの反射光はそれぞれ点線で示すように台形プリズム１９ａ及び１９ｂに入射する（取り込まれる）。本実施例における台形プリズム１９ａ及び１９ｂは、上述したとおり、その一端に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光が入射してきた方向と反対の方向へ曲げ、他端から光を出射する。台形プリズム１９ａ及び１９ｂの他端から出射される光は、それぞれ、直角プリズム２０ａ及び２０ｂに入射され、それぞれの光が同一方向に出射され、顕微鏡筒１４内の対物レンズ部（図示せず）に導かれる。顕微鏡筒１４内で収束又は発散された場所Ａ及び場所Ｂの像は、イメージセンサ部１５で電気信号に変換され、表示装置１７の一つの表示画面１８に表示される。図１１に示すとおり、本実施例においては、表示画面１８に、パッド５ａの映像とディンプル３ａの映像が合成され並んで表示される。
【００８０】
このように、サスペンション１のフレキシャ５が搭載されている場所の表裏の映像を並べて同時に表示することにより、ディンプル３ａに対するパッド５ａのアライメント等を容易に確認することができる。
【００８１】
なお、複数の被測定物１１をステージ１２に設置し、それぞれの被測定物１１の場所Ａ及び場所Ｂの反射光をそれぞれの場所の上に設けられた台形プリズム１９ａ及び１９ｂ並びに直角プリズム２０ａ及び２０ｂを用いて顕微鏡筒１４にある光学レンズへ集光し、１つのイメージセンサ１５に集光することにより、複数の被測定物１１の場所Ａ及び場所Ｂの映像を、並べて同時に表示画面１８に表示することができる。
【００８２】
また、本実施例においては、被測定物１１の表裏にある複数の場所の映像を一画面に表示するようにしたが、被測定物１１の側面に平行プリズムや反射プリズムを配置し、当該側面からの反射光を顕微鏡筒１４の光学レンズに取り込み、被測定物１１の側面の映像を表示画面１８上に同時に表示することによって、アライメント測定を行うようにしてもよい。
【００８３】
なお、本実施形態においては、台形プリズム１９ａ及び１９ｂを用いたが、菱形プリズムを用いても良いし、直角プリズムを用いても良いし、複数のプリズムを組み合わせて、その一端に入射した光を９０度曲げ、その導光部を通り、そして更に９０度曲げることによって、光を入射してきた方向と反対方向へ曲げ、他端から光を出射するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
以上述べたとおり、本発明の測定装置及び測定方法によると、１画面上で離れた複数の場所の測定を１つの光学系を用いることで可能となる。また、本発明の測定装置及び測定方法によると、被測定物の表面及び裏面にある複数の場所を１画面上で並べて表示でき、１つの光学系を用いることで表面及び裏面の離れた複数点間の測定が可能となる。また、本発明の測定装置及び測定方法によると、被測定物のパーツのアライメントや配置を正確かつ容易に測定することができる。
【００８５】
また、本発明の測定装置及び測定方法によると、平行プリズムを用いることにより、光路を被測定物の直上で高さ方向に対し９０度曲げることができ、光学系の大きさ・高さ（ワークディスタンス）を小さくでき、測定装置を小型化することができる。
【００８６】
また、本発明の測定装置及び測定方法によると、被測定物の複数の場所又は複数の被測定物における複数の場所における外観・欠陥検査の高速化を実現することができる。
【００８７】
よって、本発明の測定装置及び測定方法は、電子デバイスの寸法測定だけでなく高精度測定が求められる構造物一般に適応できる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】一実施形態に係る本発明の測定装置に用いるハードディスク用のサスペンションを示す図である。
【図２】一実施形態に係る本発明の測定装置に用いるハードディスク用のサスペンションを示す図である。
【図３】一実施形態に係る本発明の測定装置の概略構成図である。
【図４】一実施形態に係る本発明の測定装置の概略構成図である。
【図５】一実施形態に係る本発明の測定装置におけるサスペンション１と平行プリズム１３ａ及び１３ｂとの関係を示す図である。
【図６】一実施形態に係る本発明の測定装置の表示画面１８を示した図である。
【図７】一実施例に係る本発明の測定装置の概略構成図である。
【図８】一実施例に係る本発明の測定装置の概略構成図である。
【図９】一実施例に係る本発明の測定装置の概略構成図である。
【図１０】一実施例に係る本発明の測定装置の概略構成図である。
【図１１】一実施例に係る本発明の測定装置の表示画面１８を示した図である。
【図１２】従来の測定装置の概略構成図である。
【図１３】ハードディスク用のサスペンションを示す図である。
【符号の説明】
【００８９】
１    サスペンション
２    ベースプレート
３    ビーム
４    仮基準穴
５    フレキシャ
５ａ  パッド
６    ボス穴
７    ヒンジ
８    ワークフレーム
１０    測定装置
１１    被測定物
１２    ステージ
１３ａ、１３ｂ  平行プリズム
１４    顕微鏡筒
１５    イメージセンサ
１６    コンピュータ
１７    表示装置
１８    表示画面
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ  台形プリズム
２０、２０ａ、２０ｂ  直角プリズム
【図１】
2006308425.tif 000003
【図２】
2006308425.tif 000004
【図３】
2006308425.tif 000005
【図４】
2006308425.tif 000006
【図５】
2006308425.tif 000007
【図６】
2006308425.tif 000008
【図７】
2006308425.tif 000009
【図８】
2006308425.tif 000010
【図９】
2006308425.tif 000011
【図１０】
2006308425.tif 000012
【図１１】
2006308425.tif 000013
【図１２】
2006308425.tif 000014
【図１３】
2006308425.tif 000015