(57)【要約】【課題】  支持体１が振り子状態に構成されているために、誤動作が生じるという点であり、又、支持体１とセンサ４は水中で使用することができないという点である。【解決手段】  ケース６の上端が解放され、この解放されたケース内に上下支持体７がバネ８で支持され、ケース６の上端から突出した上下支持体７の上端にローラ９が装着され、上下支持体７の下端に反射体１０が装着され、反射体１０と対向したケースの下端に超音波振動子１１が装着され、この超音波振動子１１は信号検出装置１２と電線により電気的に接続され、又、信号検出装置１２には、超音波振動子１１に発振出力を印加する発振部１３が装着され、又、超音波振動子１１からの反射信号を受信するタイマ機能を持つ受信部１４が装着されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端が解放されたケースと、該ケースにバネで支持された上下支持体と、該上下支持体の上端に装着されたローラと、前記上下支持体の下端に装着された反射体と、該反射体に対向して、前記ケースの下部に装着された超音波振動子と、該超音波振動子に接続された信号検出装置とからなり、該信号検出装置に内蔵された発振器から発振出力を前記超音波振動子に印加し、前記超音波セ振動子らの超音波を前記上下支持体の反射体で反射させ、該反射体からの反射超音波を受信して、前記反射体と前記超音波振動子の距離を検出し、前記上下支持体に装着したローラに被加工物が接触することによる上下支持体の距離の変化を検出することを特徴とする超音波センサ。
【請求項２】
前記ケース内に液体を挿入して、前記超音波振動子からの超音波の送受信を容易にすることを特徴とする請求項１記載の超音波センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶や半導体の製造装置において、ガラスや基盤又はウエハを検知する超音波センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶や半導体の製造装置において、ガラスや基盤又はウエハを検知するセンサとしては、図２に示すように、支持体１の上端にローラ２を装着し、この支持体１は回動軸３に回動可能に装着され、支持体１の下端に装着した重りで、ローラ２が上部にくるように構成され、支持体１の下端近傍に、支持体１が接触することにより作動されるセンサ４が装着され、ガラスや基盤又はウエハのような被加工物５が移動すると、被加工物５がローラ２に接触して、ローラ２を押すことにより支持体１の下端が回動し、支持体１がセンサ４と接触して、光センサ、電磁センサあるいはリードスイッチ等のセンサ４から信号検出装置（図示せず）に信号を送信して、被加工物５がローラ２の部分を通過したことを検知することができる。
【０００３】
しかしながら、このように構成された従来のセンサでは、支持体１が回動軸３で振り子状態に構成されているので、何らかの作用で支持体１が揺れた場合、支持体がセンサ４に近接して、被加工物５が通過したという誤動作を生じるという問題があり、又、この支持体１とセンサ４は水中では使用することができないという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする問題点は、支持体１が振り子状態に構成されているために、誤動作が生じるという点であり、又、支持体１とセンサ４は水中で使用することができないという点である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明では、ケースは上端が解放され、上下支持体はケースにバネで支持され、ローラが上下支持体の上端に装着され、反射体が上下支持体の下端に装着され、超音波振動子が反射体に対向して、ケースの下部に装着され、信号検出装置は超音波振動子に接続されてなり、信号検出装置に内蔵された発振器から発振出力を前記超音波振動子に印加し、超音波振動子からの超音波を上下支持体の反射体で反射させ、反射体からの反射超音波を受信して、反射体と超音波振動子の距離を検出し、上下支持体に装着したローラに被加工物が接触することによる上下支持体の距離の変化を検出するものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明では、被加工物が通過してローラら接触すると、上下支持体が下降することにより、超音波振動子と上下支持体の下端に設けた反射体との距離が短くなり、この距離の変化を超音波振動子からの超音波により検出して被加工物の通過を検出することができ、又、上下支持体はバネで支持されているので、何らかの衝撃で誤動作をすることがなく、又、ケース内に液体を入れて、超音波振動子と反射体の間に液体を満たすことにより、超音波の伝播が良くなりるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明では、被加工物の検出をバネで支持された上下支持体の移動に置き換え、この上下支持体の移動を超音波振動子からの超音波により、非接触で実現することができた。
【実施例】
【０００８】
図１は本発明の実施例の超音波センサの構成図で、ケース６の上端が解放され、この解放されたケース６内に上下支持体７がバネ８で支持され、ケース６の上端から突出した上下支持体７の上端にローラ９が装着され、上下支持体７の下端に反射体１０が装着され、反射体１０と対向したケースの下端に超音波振動子１１が装着され、この超音波振動子１１は信号検出装置１２と電線により電気的に接続され、又、信号検出装置１２には、超音波振動子１１に発振出力を印加する発振部１３が装着され、又、超音波振動子１１からの反射信号を受信するタイマ機能を持つ受信部１４が装着されている。
【０００９】
このように構成された本実施例の超音波センサでは、信号検出装置１２の発振部１３から発振出力が印加されると、超音波振動子１１から照射された超音波は上下支持体７の反射体１０で反射して、超音波振動子１１に入力されるので、この超音波振動子１１から照射される超音波の送受信の時間を受信部１４のタイマ機能で検出し、この時間が変化しない場合は、被加工物１５が通過していないと判断して、信号検出装置１２から検出信号は出力されないが、被加工物１５が通過して、上下支持体７の上端のローラ９に当たると、それによって上下支持体７が下降するので、超音波振動子１１から照射される超音波の送受信時間が短くなり、この時間を受信部１４のタイマ機能で検出することにより、信号検出装置１２から検出信号を出力する。
【００１０】
本実施例は、このように、被加工物１５の移動をバネ８で支持された上下支持体７の下降により検出することができるので、何らかの作用により、上下支持体７が上下することがないので、誤動作を生じることがないという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００１１】
なお、上記実施例では、超音波振動子１１と上下支持体７の反射体８の間に空気を介在させているが、この超音波振動子１１と上下支持体７の反射体８の間に超音波を伝播する伝播媒体である液体を介在させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例の超音波センサの構成図である。
【図２】従来のセンサの構成図である。
【符号の説明】
【００１３】
６              ケース
７              上下支持体
８              バネ
９              ローラ
１０            反射体
１１            超音波振動子
１２            信号検出装置
１３            発振部
１４            受信部
【図１】
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【図２】
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