(57)【要約】【課題】  圧力調整弁内に混入した気泡の効率的な排出並びに機能液初期充填時における充填時間の短縮を課題としている。【解決手段】  機能液タンク６２から導入した機能液を機能液滴吐出ヘッド７１に供給すると共に、大気圧を調整基準圧力としてダイヤフラム２２１により圧力調整を行う圧力調整弁６１のバルブ内流路６１ｒと、機能液タンク６２から圧力調整弁６１に連なるタンク側供給流路８１ｒと、圧力調整弁６１から機能液滴吐出ヘッド７１に連なるヘッド側供給流路８２ｒと、機能液滴吐出ヘッド７１のヘッド内流路７１ｒと、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する方法であって、押圧手段７によりダイヤフラム２２１をマイナス変形させる工程と、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８に密着させたキャップ１０２を介して機能液を吸引する工程と、機能液吸引により機能液供給流路に機能液を通液したら押圧手段７の押圧を解除する工程と、を備えたものである。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて前記２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、
前記機能液タンクから前記１次室に連なるタンク側供給流路と、
前記２次室から前記機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、
前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する機能液充填方法であって、
押圧手段により、前記ダイヤフラムを前記２次室の他の面側にマイナス変形させるダイヤフラム変形工程と、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引工程と、
前記機能液吸引により前記機能液供給流路に機能液を通液したら、前記押圧手段の押圧を解除する押圧解除工程と、
を備えたことを特徴とする機能液充填方法。
【請求項２】
前記タンク側供給流路には、これを開閉する開閉弁が介設されており、
前記ダイヤフラム変形工程に先立ち、前記開閉弁により前記タンク側供給流路を閉塞する流路閉塞工程と、
前記ダイヤフラム変形工程と前記機能液吸引工程との間に、前記開閉弁により前記タンク側供給流路を開放する流路開放工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の機能液充填方法。
【請求項３】
機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて前記２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、
前記機能液タンクから前記１次室に連なると共に開閉弁を介設したタンク側供給流路と、
前記２次室から前記機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、
前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する機能液充填方法であって、
前記開閉弁により前記タンク側供給流路を閉塞する流路閉塞工程と、
前記流路閉塞工程の後、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して吸引動作させることにより、前記ダイヤフラムを前記２次室の他の面側にマイナス変形させるダイヤフラム変形工程と、
前記ダイヤフラム変形工程の後、前記開閉弁により前記タンク側供給流路を開放して前記機能液供給流路に機能液を充填する機能液充填工程と、
を備えたことを特徴とする機能液充填方法。
【請求項４】
機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて前記２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、
前記機能液タンクから前記１次室に連なるタンク側供給流路と、
前記２次室から前記機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、
前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する機能液充填方法であって、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引工程と、
前記機能液吸引により前記機能液供給流路に機能液を通液したら、前記機能液吸引を停止する機能液吸引停止工程と、
前記機能液吸引停止工程の後、前記ノズル面の封止状態を維持しつつ、前記２次室の上端部に連なる補助排出口を介してエアー吸引手段により前記バルブ内流路のエアーを吸引するエアー吸引工程と、
を備えたことを特徴とする機能液充填方法。
【請求項５】
前記タンク側供給流路は、前記機能液タンクから前記１次室の上端部に連なり、
前記ヘッド側供給流路は、前記２次室の下端部から前記機能液滴吐出ヘッドに連なることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１に記載の機能液充填方法。
【請求項６】
機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに重力供給すると共に、前記２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて前記２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、
前記機能液タンクから前記１次室の上端部に連なると共に可とう性を有するタンク側供給流路と、
前記２次室の下端部から前記機能液滴吐出ヘッドに連なると共に可とう性を有するヘッド側供給流路と、
前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する機能液充填方法であって、
反転機構により前記タンク側供給流路および前記ヘッド側供給流路の撓みを許容しつつ、前記圧力調整弁を上下反転させる反転工程と、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引工程と、
前記機能液吸引により前記機能液供給流路に機能液を通液したら、前記反転機構により前記圧力調整弁を元の位置に反転復帰させる反転復帰工程と、
を備えたことを特徴とする機能液充填方法。
【請求項７】
機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて前記２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、
前記機能液タンクから前記１次室に連なるタンク側供給流路と、
前記２次室から前記機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、
前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路を有する液滴吐出装置において、
前記ダイヤフラムを前記２次室の他の面側にマイナス変形させる押圧手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引手段と、
前記押圧手段の押圧を解除する押圧解除手段と、を備え、
前記押圧解除手段は、前記機能液吸引手段により前記機能液供給流路に機能液を通液した後、押圧を解除することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
前記タンク側供給流路を開閉する開閉弁をさらに備え、
前記開閉弁は、前記押圧手段による前記ダイヤフラムの変形に先立ち、前記タンク側供給流路を閉塞すると共に、当該ダイヤフラムの変形後、前記タンク側供給流路を開放することを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて前記２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、
前記機能液タンクから前記１次室に連なるタンク側供給流路と、
前記２次室から前記機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、
前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路を有する液滴吐出装置において、
前記タンク側供給流路を開閉する開閉弁と、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して吸引動作させることにより、前記ダイヤフラムを前記２次室の他の面側にマイナス変形させるダイヤフラム変形手段と、
前記機能液供給流路に機能液を充填する機能液充填手段と、を備え、
前記ダイヤフラム変形手段は、前記開閉弁により前記タンク側供給流路を閉塞した後、吸引動作を行い、
前記機能液充填手段は、前記ダイヤフラムが変形した後、前記開閉弁により前記タンク側供給流路を開放して機能液を充填することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、前記２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて前記２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、
前記機能液タンクから前記１次室に連なるタンク側供給流路と、
前記２次室から前記機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、
前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路を有する液滴吐出装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引手段と、
前記ノズル面の封止状態を維持しつつ、前記２次室の上端部に連なる補助排出口を介してエアー吸引手段により前記バルブ内流路のエアーを吸引するエアー吸引手段と、を備え、
前記機能液吸引手段は、前記機能液供給流路に機能液を通液したら、機能液吸引を停止し、
前記エアー吸引手段は、前記機能液吸引の停止後、エアー吸引を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記タンク側供給流路は、前記機能液タンクから前記１次室の上端部に連なり、
前記ヘッド側供給流路は、前記２次室の下端部から前記機能液滴吐出ヘッドに連なることを特徴とする請求項７ないし１０のいずれか１に記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに重力供給すると共に、前記２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて前記２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、
前記機能液タンクから前記１次室の上端部に連なると共に可とう性を有するタンク側供給流路と、
前記２次室の下端部から前記機能液滴吐出ヘッドに連なると共に可とう性を有するヘッド側供給流路と、
前記機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路を有する液滴吐出装置において、
前記タンク側供給流路および前記ヘッド側供給流路の撓みを許容しつつ、前記圧力調整弁を上下反転させる反転機構と、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引手段と、を備え、
前記反転機構は、前記機能液吸引手段による機能液の通液に先立ち、前記圧力調整弁を上下反転させると共に、前記機能液供給流路に機能液を通液した後、前記圧力調整弁を元の位置に反転復帰させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項７ないし１２のいずれか１に記載の液滴吐出装置を用い、ワークに対して前記機能液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液を吐出することにより、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項７ないし１２のいずれか１に記載の液滴吐出装置を用い、ワークに対して前記機能液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液を吐出することにより、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液タンクから導入した機能液を圧力調整弁を介して機能液滴吐出ヘッドに供給する場合の機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液供給流路に、機能液を初期充填する機能液充填方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させることにより描画を行う液滴吐出装置であって、業務用のものなど機能液（インク）の消費量が多い機種は、大型のインクカートリッジからチューブを介してキャリッジに搭載された機能液滴吐出ヘッドにインクを供給する、いわゆるオフキャリッジタイプのインク供給機構が採用されている。
【０００３】
このようなオフキャリッジタイプの構成では、特に印刷サイズが大型の場合など、チューブの引き回し距離が長くなり、インクカートリッジからキャリッジに至るチューブ内において動圧（圧力損失）が大きくなる。このため、この動圧の影響を抑えるべく、インクカートリッジ内に収容されたインクパックを空気加圧することで、強制的なインク流を発生させ、キャリッジに搭載されたサブタンクに対してインクを供給する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−１９９０８０号公報
【０００４】
ところが、上記のような方法は、空気加圧によってサブタンクにインクを供給するため、機能液滴吐出ヘッドに対して確実にインク供給を行うことができるが、機能液滴吐出ヘッドへの供給量を安定させるために、サブタンク内に貯留されるインク量を一定の範囲となるように制御しなければならない。したがって、サブタンク内の液面を検出する液面検出センサやその制御構成が複雑となり、装置の大型化およびコスト高が避けられなかった。
【０００５】
そこで、近年では、キャリッジと隔離された位置に配置されたインクカートリッジから自己封止機能を有する圧力調整弁にインクを導入し、当該圧力調整弁を介して機能液滴吐出ヘッドにインクを供給するシステムが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献２】特開２００３−２１１７０１号公報
【０００６】
そして、この構成により、液面検出センサ等を必要としないため制御構成を簡素化することができると共に、圧力調整弁によって圧力変動が吸収されるため、機能液滴吐出ヘッドから比較的安定したインクの吐出を行うことができるといった効果を奏することが知られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のようなシステムを採用すると、圧力調整弁を用いたことにより、圧力調整弁内に気泡が混入するといった問題や、初期的なインク充填に時間がかかるといった問題など新たな不具合が発生していた。特に圧力調整弁内に大量の気泡が混入すると、これがインクと共に機能液滴吐出ヘッド側に流れ、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良が生じたり、インク種類（機能液種類）によっては気泡中の酸素や水分と反応して変質してしまうため、気泡の排出（混入防止）は重要な課題となっている。また、上記特許文献２の発明では、圧力調整弁の重力方向最上部にインクを導出する出口が形成されているため、インクの流れによって継手部分や角部に残留していた気泡が最上部に溜まり、機能液滴吐出ヘッドに供給される機能液に気泡が混入し易いといった問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は、圧力調整弁内に混入した気泡の効率的な排出並びに機能液初期充填時における充填時間の短縮を実現し得る機能液充填方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の機能液充填方法は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、機能液タンクから１次室に連なるタンク側供給流路と、２次室から機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する機能液充填方法であって、押圧手段により、ダイヤフラムを２次室の他の面側にマイナス変形させるダイヤフラム変形工程と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引工程と、機能液吸引により機能液供給流路に機能液を通液したら、押圧手段の押圧を解除する押圧解除工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の液滴吐出装置は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、機能液タンクから１次室に連なるタンク側供給流路と、２次室から機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路を有する液滴吐出装置において、ダイヤフラムを２次室の他の面側にマイナス変形させる押圧手段と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引手段と、押圧手段の押圧を解除する押圧解除手段と、を備え、押圧解除手段は、機能液吸引手段により機能液供給流路に機能液を通液した後、押圧を解除することを特徴とする。
【００１１】
これらの構成によれば、機能液タンクから導入した機能液を圧力調整弁を介して機能液滴吐出ヘッドに供給する場合の機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液供給流路に、機能液を初期充填する際、圧力調整弁の２次室の１の面に設けたダイヤフラムを押圧することによりマイナス変形させて機能液を吸引し、機能液供給流路に機能液を通液した後、押圧を解除するため、機能液の吸引のみによって初期充填を行う場合と比較して、圧力調整弁内の気泡混入量を減少させ、圧力調整弁への機能液の充填量を増加させることができる。すなわち、機能液の吸引のみによって初期充填を行うと、２次室内の上部に気泡が残留してしまうことがあるが、上記の構成によれば、ダイヤフラムをマイナス変形させることで、その分圧力調整弁内の空気を排出することができると共に、機能液を通液した後の押圧解除に基づくダイヤフラムの形状復帰により機能液の流速が早くなるため、圧力調整弁内の角部等に残留している僅かな気泡も排出可能となり、結果的に初期充填時における圧力調整弁内の気泡混入量を減少させることができる。さらに、押圧手段によってダイヤフラムを急速にマイナス変形させることができると共に、ダイヤフラムの形状復帰により機能液の流速が早くなるため、初期充填に要する時間を短縮することができる。
【００１２】
この場合、タンク側供給流路には、これを開閉する開閉弁が介設されており、ダイヤフラム変形工程に先立ち、開閉弁によりタンク側供給流路を閉塞する流路閉塞工程と、ダイヤフラム変形工程と機能液吸引工程との間に、開閉弁によりタンク側供給流路を開放する流路開放工程と、をさらに備えることが好ましい。
【００１３】
また、この場合、タンク側供給流路を開閉する開閉弁をさらに備え、開閉弁は、押圧手段によるダイヤフラムの変形に先立ち、タンク側供給流路を閉塞すると共に、当該ダイヤフラムの変形後、タンク側供給流路を開放することが好ましい。
【００１４】
これらの構成によれば、ダイヤフラムの変形に先立ち、タンク側供給流路に介設された開閉弁を閉塞すると共に、ダイヤフラムの変形後、当該開閉弁を開放するため、元々圧力調整弁内（バルブ内流路内）に存在していた空気や機能液が、押圧手段によるダイヤフラムの変形によって、タンク側供給流路や機能液タンクに逆流することがない。したがって、機能液の逆流や機能液がタンク側供給流路内に滞留することによって生じる機能液の変質および劣化を防止することができる。
【００１５】
本発明の他の機能液充填方法は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、機能液タンクから１次室に連なると共に開閉弁を介設したタンク側供給流路と、２次室から機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する機能液充填方法であって、開閉弁によりタンク側供給流路を閉塞する流路閉塞工程と、流路閉塞工程の後、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して吸引動作させることにより、ダイヤフラムを２次室の他の面側にマイナス変形させるダイヤフラム変形工程と、ダイヤフラム変形工程の後、開閉弁によりタンク側供給流路を開放して機能液供給流路に機能液を充填する機能液充填工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の他の液滴吐出装置は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、機能液タンクから１次室に連なるタンク側供給流路と、２次室から機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路を有する液滴吐出装置において、タンク側供給流路を開閉する開閉弁と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して吸引動作させることにより、ダイヤフラムを２次室の他の面側にマイナス変形させるダイヤフラム変形手段と、機能液供給流路に機能液を充填する機能液充填手段と、を備え、ダイヤフラム変形手段は、開閉弁によりタンク側供給流路を閉塞した後、吸引動作を行い、機能液充填手段は、ダイヤフラムが変形した後、開閉弁によりタンク側供給流路を開放して機能液を充填することを特徴とする。
【００１７】
これらの構成によれば、機能液タンクから導入した機能液を圧力調整弁を介して機能液滴吐出ヘッドに供給する場合の機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液供給流路に、機能液を初期充填する際、タンク側供給流路を閉塞した状態でキャップを介して吸引動作することによりダイヤフラムをマイナス変形させ、その後タンク側供給流路を開放して機能液供給流路に機能液を充填するため、ダイヤフラムをマイナス変形させない場合と比較して、圧力調整弁内の気泡混入量を減少させ、圧力調整弁への機能液の充填量を増加させることができる。すなわち、ダイヤフラムをマイナス変形させない状態で、機能液の吸引（初期充填）を行うと、２次室内の上部に気泡が残留してしまうことがあるが、上記の構成によれば、吸引動作により圧力調整弁内を真空状態に近づけることができるため、気泡の残留を少なくすることができると共に、ダイヤフラムの形状復帰により機能液の流速が早くなるため、圧力調整弁内の角部等に残留している僅かな気泡も排出可能となり、結果的に初期充填時における圧力調整弁内の気泡混入量を減少させることができる。さらに、タンク側供給流路を閉塞した状態で吸引動作を行うことにより、急激にダイヤフラムをマイナス変形させることができると共に、ダイヤフラムの形状復帰により機能液の流速が早くなるため、初期充填に要する時間を短縮することができる。
【００１８】
本発明の他の機能液充填方法は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、機能液タンクから１次室に連なるタンク側供給流路と、２次室から機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する機能液充填方法であって、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引工程と、機能液吸引により機能液供給流路に機能液を通液したら、機能液吸引を停止する機能液吸引停止工程と、機能液吸引停止工程の後、ノズル面の封止状態を維持しつつ、２次室の上端部に連なる補助排出口を介してエアー吸引手段によりバルブ内流路のエアーを吸引するエアー吸引工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の他の液滴吐出装置は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、機能液タンクから１次室に連なるタンク側供給流路と、２次室から機能液滴吐出ヘッドに連なるヘッド側供給流路と、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路を有する液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引手段と、ノズル面の封止状態を維持しつつ、２次室の上端部に連なる補助排出口を介してエアー吸引手段によりバルブ内流路のエアーを吸引するエアー吸引手段と、を備え、機能液吸引手段は、機能液供給流路に機能液を通液したら、機能液吸引を停止し、エアー吸引手段は、機能液吸引の停止後、エアー吸引を行うことを特徴とする。
【００２０】
これらの構成によれば、機能液タンクから導入した機能液を圧力調整弁を介して機能液滴吐出ヘッドに供給する場合の機能液タンクから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液供給流路に、機能液を初期充填する際、機能液を吸引した後、２次室の上端部に連なる補助排出口を介してエアーを吸引するため、機能液の吸引のみによって初期充填を行う場合と比較して、圧力調整弁内の気泡混入量を減少させ、圧力調整弁への機能液の充填量を増加させることができる。すなわち、エアーの吸引を行わない場合は、２次室内の上部に気泡が残留してしまうことがあるが、上記の構成によれば、機能液の吸引後、エアー吸引を行うため、効率よく上部空間の気泡を排出することができ、圧力調整弁内の気泡混入量を減少させることができる。なお、エアーの吸引は、初期充填時における気泡混入量を減少させるだけでなく、気泡内に含まれる酸素や水分との反応による機能液の変質を防ぐことができるため、初期充填時のみならず、定期的に実行されることが好ましい。また、圧力調整弁（特に２次室）内の気泡量を検出可能に構成されている場合は、所定の気泡量を超えたことが検出された場合に随時実行されることが好ましい。
【００２１】
これらの場合、タンク側供給流路は、機能液タンクから１次室の上端部に連なり、ヘッド側供給流路は、２次室の下端部から機能液滴吐出ヘッドに連なることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、空気加圧や供給ポンプなどを用いなくとも、機能液タンクから圧力調整弁、圧力調整弁から機能液滴吐出ヘッドへと機能液を重力供給することができると共に、機能液の流れに伴ってバルブ内流路に残留していた気泡が圧力調整弁の上部に溜まったとしても、その気泡が機能液滴吐出ヘッドに直接流出することがないため、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を防止することができる。
【００２３】
本発明の他の機能液充填方法は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに重力供給すると共に、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、機能液タンクから１次室の上端部に連なると共に可とう性を有するタンク側供給流路と、２次室の下端部から機能液滴吐出ヘッドに連なると共に可とう性を有するヘッド側供給流路と、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する機能液充填方法であって、反転機構によりタンク側供給流路およびヘッド側供給流路の撓みを許容しつつ、圧力調整弁を上下反転させる反転工程と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引工程と、機能液吸引により機能液供給流路に機能液を通液したら、反転機構により圧力調整弁を元の位置に反転復帰させる反転復帰工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の他の液滴吐出装置は、機能液タンクから１次室に導入した機能液を２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに重力供給すると共に、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて２次室の圧力調整を行う圧力調整弁のバルブ内流路と、機能液タンクから１次室の上端部に連なると共に可とう性を有するタンク側供給流路と、２次室の下端部から機能液滴吐出ヘッドに連なると共に可とう性を有するヘッド側供給流路と、機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路と、から成る機能液供給流路を有する液滴吐出装置において、タンク側供給流路およびヘッド側供給流路の撓みを許容しつつ、圧力調整弁を上下反転させる反転機構と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着させたキャップを介して機能液を吸引する機能液吸引手段と、を備え、反転機構は、機能液吸引手段による機能液の通液に先立ち、圧力調整弁を上下反転させると共に、機能液供給流路に機能液を通液した後、圧力調整弁を元の位置に反転復帰させることを特徴とする。
【００２５】
これらの構成によれば、機能液タンクから導入した機能液を圧力調整弁を介して機能液滴吐出ヘッドに重力供給する場合の機能液供給流路に、機能液を初期充填する際、圧力調整弁を上下反転させた状態で機能液を吸引し、その後圧力調整弁を元の位置に反転復帰させるため、圧力調整弁を上下反転させない場合と比較して、圧力調整弁内の気泡混入量を減少させ、圧力調整弁への機能液の充填量を増加させることができる。すなわち、圧力調整弁を上下反転させない通常の状態（上端側から機能液を導入して下端側から排出する構成）で、機能液の吸引（初期充填）を行うと、２次室内の上部に気泡が残留してしまうことがあるが、上記の構成によれば、機能液を圧力調整弁の下端側から導入して上端側から排出するため、機能液の排出に伴って２次室内の上部に残留する気泡が抜けやすくなり、結果的に圧力調整弁内の気泡混入量を減少させることができる。しかも、機能液を通液した後は、圧力調整弁を元の位置に反転復帰させるため、気泡が残留しやすい上端側から機能液を排出することによって生じる機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を防止することができる。また、タンク側供給流路およびヘッド側供給流路は、可とう性を有するため、両流路を接続したまま圧力調整弁を上下反転させることができる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記のいずれか１に記載の液滴吐出装置を用い、ワークに対して機能液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液を吐出することにより、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明の電気光学装置は、上記のいずれか１に記載の液滴吐出装置を用い、ワークに対して機能液滴吐出ヘッドを相対移動させながら機能液を吐出することにより、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２８】
これらの構成によれば、機能液初期充填時において、圧力調整弁内に混入した気泡を効果的に排出することができるため、機能液滴吐出ヘッドから安定した機能液を吐出することができ、ひいては高品質な電気光学装置を製造することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が含まれる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置またはＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線、レンズ、レジストおよび光拡散体を形成する装置が含まれる。
【００２９】
本発明の電子機器は、上記に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３０】
この構成によれば、機能液初期充填時において、圧力調整弁内に混入した気泡を効果的に排出することができるため、機能液滴吐出ヘッドから安定した機能液を吐出することができ、ひいては高品質な電子機器を製造することができる。なお、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品が含まれる。
【発明の効果】
【００３１】
以上のように、本発明の機能液充填方法および液滴吐出装置によれば、機能液を機能液供給流路に初期充填する際、機能液の吸引動作のみで初期充填を行う場合と比較して、２次室内の上部に残留する気泡を効率よく排出することができ、ひいては圧力調整弁内の機能液の充填量を増加させることができる。また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器は、上記の液滴吐出装置を用いて製造されるので、歩留まり良く効率的に製造される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、添付した図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３３】
図１は、液滴吐出装置１の平面模式図であり、図２は、液滴吐出装置１の側面模式図である。両図に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド７１を有し、機台２上の全域に広く載置された描画手段３と、描画手段３に添設するように機台２上に載置したヘッド保守手段４と、機能液滴吐出ヘッド７１に機能材料を溶解させた機能液を供給する機能液供給機構６と、これらに接続された制御手段１６と、を備えている。液滴吐出装置１は、制御手段１６により装置全体を統括制御しており、描画手段３を用いて、機能液滴吐出ヘッド７１に機能液を供給し、ワークＷ上に機能液滴による描画を行うと共に、ヘッド保守手段４を用いて、適宜描画手段３（機能液滴吐出ヘッド７１）の機能回復処理（メンテナンス）を行うようになっている。
【００３４】
機能液供給機構６は、機能液を供給する機能液タンク６２と、自己封止機能を有し、機能液滴吐出ヘッド７１に供給する機能液の圧力調整を行う圧力調整弁６１と、圧力調整弁６１に設けられたダイヤフラム２２１（図８（ａ）参照）を押圧する押圧手段７と、上流端を機能液タンク６２に接続すると共に下流端を圧力調整弁６１に接続するタンク側チューブ８１と、上流端を圧力調整弁６１に接続すると共に下流端を機能液滴吐出ヘッド７１に接続するヘッド側チューブ８２と、によって構成される。押圧手段７は、機能液の初期充填時において圧力調整弁６１のダイヤフラム２２１を強制的に変形させることで、ダイヤフラム２２１が取り付けられた２次室２１０内の空気を排出し、これに伴って気泡の混入を防止するためのものであるが、詳細については後述する。
【００３５】
描画手段３は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル２１およびＸ軸テーブル２１に直交するＹ軸テーブル２２から成るＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル２２に移動自在に取り付けられ、機能液タンク６２を搭載したメインキャリッジ１２と、を有している。
【００３６】
Ｘ軸テーブル２１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ２３駆動のＸ軸スライダ３１を有し、これにθテーブル３３および吸着テーブル３４等から成るセットテーブル３２を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ２４駆動のＹ軸スライダ４１を有し、これにθ回転機構４２を介して上記のメインキャリッジ１２をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。
【００３７】
なお、Ｘ軸テーブル２１は、ヘッド保守手段４とＸ軸方向に相互に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル２２は、機台２上に立設した左右の支柱５１に支持されており、Ｘ軸テーブル２１およびヘッド保守手段４を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１参照）。液滴吐出装置１は、Ｙ軸テーブル２２とＸ軸テーブル２１とが交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア５２、Ｙ軸テーブル２２とヘッド保守手段４とが交わるエリアが機能回復処理を行う保守エリア５３となっており、Ｙ軸テーブル２２は、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア５２に、機能回復処理や機能液の初期充填を行う場合には保守エリア５３に、機能液滴吐出ヘッド７１を臨ませるようになっている。
【００３８】
図２に示すように、メインキャリッジ１２は、Ｙ軸テーブル２１間に渡したブリッジプレート１５と、ブリッジプレート１５から垂設した垂設部材１６と、垂設部材１６の下端に支持されたヘッドユニット７０と、垂設部材１６とヘッドユニット７０との間に介設されたθ回転機構４２と、によって構成されている。また、ヘッドユニット７０は、ヘッドプレート１３と、これに取り付けられた機能液滴吐出ヘッド７１とで構成されている。
【００３９】
また、ヘッドプレート１３上には、機能液滴吐出ヘッド７１に機能液を供給する圧力調整弁６１と、圧力調整弁６１のダイヤフラム２２１を押圧する押圧手段７と、が搭載されている。同図に示すように、圧力調整弁６１と機能液滴吐出ヘッド７１は、高さ方向に位置ずれして配設されており、ヘッド側チューブ８２を介して機能液が自然流下するようになっている。また、圧力調整弁６１には、メインキャリッジ１２に搭載された機能液タンク６２からもタンク側チューブ８１を介して機能液が自然流下するようになっている。すなわち、圧力調整弁６１に機能液を導入する流入ポート２１２は圧力調整弁６１の上端側に形成されていると共に、機能液を排出する流出ポート２２７は圧力調整弁６１の下端側に形成されており、機能液タンク６２から圧力調整弁６１、圧力調整弁６１から機能液滴吐出ヘッド７１へは、機能液が重力供給されるようになっている（図６参照）。
【００４０】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド７１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７３を有する機能液導入部７２と、機能液導入部７２に連なる２連のヘッド基板７４と、機能液導入部７２の下方（図示では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体７５と、を備えている。接続針７３は、ヘッド側チューブ８２を介して機能液供給機構６（圧力調整弁６１）に接続され、圧力調整弁６１から供給された機能液を機能液導入部７２に供給する。ヘッド本体７５は、キャビティ７６（ピエゾ圧電素子）と、ノズル面７８を構成するＳＵＳ製のノズルプレート７７と、で構成されている。ノズル面７８には、２列のノズル列を構成する多数（１８０個）の吐出ノズル７９が開口している。機能液滴吐出ヘッド７１は、接続針７３から機能液の供給を受けながら、キャビティ７６のポンプ作用により吐出ノズル７９から機能液を吐出する。
【００４１】
図１に示すように、ヘッド保守手段４は、機台２上に載置した移動テーブル９１と、移動テーブル９１上に載置した吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３と、を備えている。移動テーブル９１は、Ｘ軸方向に移動可能に構成されており、機能液滴吐出ヘッド７１の保守時には、吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３を適宜保守エリア５３に移動させるようになっている。なお、ヘッド保守手段４として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド７１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド７１から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、搭載することが好ましい。
【００４２】
吸引ユニット９２は、キャップスタンド１０１と、キャップスタンド１０１に支持され、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８に密着するキャップ１０２と、キャップ１０２を介して機能液滴吐出ヘッド７１の吸引を行う吸引ポンプ１０３と、キャップ１０２と吸引ポンプ１０３とを接続する吸引チューブ１０７と、を有している（図４参照）。キャップスタンド１０１には、モータ駆動により、キャップ１０２を昇降させるキャップ昇降機構１０４（図４参照）が組み込まれており、保守エリア５３に臨んだヘッドユニット７０に対して、キャップ１０２を離接できるようになっている。
【００４３】
そして、機能液滴吐出ヘッド７１の保守時や機能液供給流路（機能液タンク６２から機能液滴吐出ヘッド７１に連なる流路）への機能液初期充填時など機能液滴吐出ヘッド７１の吸引を行う場合には、キャップ昇降機構１０４を駆動して、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８にキャップ１０２を密着させると共に、吸引ポンプ１０３を駆動する。これにより、キャップ１０２を介して機能液滴吐出ヘッド７１に吸引力を作用させることができ、機能液滴吐出ヘッド７１から機能液が強制的に排出される。また、図示省略するが、吸引チューブのキャップ１０２の下流側（吸引ポンプ１０３側）には、吸引チューブを通過する機能液の有無を検出する液体検出センサの他、エアーのリークを検知するため、キャップ１０２吸引圧力を検出する吸引圧検出センサが設けられている。
【００４４】
なお、キャップ１０２は、機能液滴吐出ヘッド７１の捨て吐出（予備吐出）により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行う定期フラッシングの機能液を受けるようになっている。このフラッシング動作では、キャップ昇降機構１０４は、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８からキャップ１０２（の上面）が僅かに離間する位置にキャップ１０２を移動させる。
【００４５】
また、吸引ユニット９２は、液滴吐出装置１の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド７１を保管するためにも用いられる。この場合、保守エリア５３に機能液滴吐出ヘッド７１を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８にキャップ１０２を密着させる。これにより、ノズル面７８が封止され、機能液滴吐出ヘッド７１（吐出ノズル８４）の乾燥を防いで、吐出ノズル８４のノズル詰まりを防止できるようになっている。
【００４６】
一方、ワイピングユニット９３は、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８をワイピングシート１１１でワイピング（拭き取り）するためのものであり、ロール状に巻回したワイピングシート１１１を装着して、これを繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット１１２と、繰り出したワイピングシート１１１でノズル面７８を拭取り動作させる拭取りユニット１１３と、洗浄液を噴霧する洗浄液ノズル（図示省略）を有し、繰り出したワイピングシート１１１に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット１１４と、を備えている。
【００４７】
そして、ワイピング動作を行う場合は、まずＸ・Ｙ移動機構１１（Ｙ軸テーブル２２）を駆動して、機能液滴吐出ヘッド７１（サブキャリッジ１３）を保守エリア５３に移動させる。なお、通常ワイピング動作は、吸引ユニット９２による吸引動作に引き続いて行われるため、保守エリア５３への機能液滴吐出ヘッド７１の移動動作を省略できる。次に、巻き取りユニット１１２および洗浄液供給ユニット１１４を起動して洗浄液ノズルからワイピングシート１１１に洗浄液を散布する。そして、洗浄液の散布を続けながら、ワイピングシート１１１の洗浄液含浸部分を拭取りユニット１１３側に送ると共に、ワイピングシート１１１を巻取りユニット１１２で巻き取ってゆく。
【００４８】
また、このとき、洗浄液の散布とワイピングシート１１１の送りを続けながら、図示しないローラ昇降機構を駆動して、拭取りユニット１１３を所定の高さまで上昇させると共に、移動テーブル９１を駆動して、ワイピングユニット９３を保守エリア５３に向かって移動させる。これにより、ワイピングユニット９３は、（洗浄液を含浸した）ワイピングシート１１１を機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８に当接させながら保守エリア５３を通過し、ワイピングシート１１１でノズル面７８に付着する汚れを払拭する。
【００４９】
ワイピングユニット９３が保守エリア５３を通過すると、洗浄液の散布および移動テーブル９１の駆動を停止すると共に、巻取りユニット１１２の駆動を停止して、ワイピングシート１１１の送りを停止する。そして、ローラ昇降機構を駆動して、拭取りユニット１１３を下降させ、ワイピング動作を終了する。
【００５０】
次に、機能液供給機構６の詳細について説明する。図１、図２および図４に示すように、機能液供給機構６は、機能液を貯留する機能液タンク６２と、圧力調整弁６１と、圧力調整弁６１に設けられたダイヤフラム２２１を押圧する押圧手段７と、機能液タンク６２と圧力調整弁６１とを接続するタンク側チューブ８１と、圧力調整弁６１と機能液滴吐出ヘッド７１とを接続するヘッド側チューブ８２と、によって構成されている。また、機能液タンク６２から圧力調整弁６１へ連なるタンク側供給流路８１ｒと、圧力調整弁６１内のバルブ内流路６１ｒと、圧力調整弁６１から機能液滴吐出ヘッド７１に連なるヘッド側供給流路８２ｒと、機能液滴吐出ヘッド７１のヘッド内流路７１ｒによって、機能液タンク６２から機能液滴吐出ヘッド７１に至る機能液供給流路が構成されている。
【００５１】
機能液タンク６２は、図２に示すように、ブリッジプレート１５を介してメインキャリッジ１２に設置されており、樹脂ケース６２ａに収容された機能液パック６３を有している。図５に示すように、機能液パック６３は、例えばアルミ蒸着フィルムから成り、柔軟性を有する袋状のパック本体６４と、所定の強度を有する樹脂材料から成り、パック本体の一端に設けられた機能液供給口６５と、によって構成されている。機能液供給口６５は、パック本体６４に取り付けられる取付孔部６６と、取付孔部６６と一体形成されたフランジ部６７とによって構成され、フランジ部６７の中心部にはパック本体と連通して機能液流出口となる円形の開口部６８が形成されている。当該開口部６８は、タンク側チューブ８１の上流端に取り付けられた中空針（図示省略）を抜き差し自在に受容するブチルゴム製の弾性接続部６９が形成されており、中空針が弾性接続部６９に差し込まれることにより、タンク側チューブ８１を介して機能液タンク６２（機能液パック６３）と圧力調整弁６１とが連通される。
【００５２】
なお、機能液タンク６２には製造過程で十分に脱気された機能液がエアーを排出した気密状態で封入されており、機能液中に残留または溶解した酸素等による吐出性能の低下、機能液の変質、乾燥工程におけるクラックの発生等の問題を防止している。
【００５３】
タンク側チューブ８１およびヘッド側チューブ８２は、可とう性を有しており、タンク側チューブ８１の上流端には、軸心に流路を形成した上記の中空針（接続針）を有し、下流側には、圧力調整弁６１への機能液の供給を規制するタンク側バルブ８５（図４参照）が介設されている。またヘッド側チューブ８２の下流側には機能液滴吐出ヘッド７１に形成された接続針７３（図３参照）が差し込まれる弾性接続部（図示省略）を有している。
【００５４】
なお、タンク側チューブ８１およびヘッド側チューブ８２に用いられるチューブには、内層をガス透過性の低いエチレンビニルアルコール等で構成すると共に、外装を防水性の高いポリエチレン等で構成するなど、ガスバリヤ性および防水性が共に優れたものを用いることが好ましい。これにより、大気中の酸素や水分等がチューブを透過してチューブ内を流れる機能液と反応することを防止することができる。
【００５５】
圧力調整弁６１は、図６ないし図８に示すとおり、バルブハウジング２００内に、機能液タンクに連なる１次室２１０と、機能液滴吐出ヘッドに連なる２次室２２０と、１次室および２次室を連通する連通流路２３０とを形成したものであり、２次室２２０の１の面には外部に面してダイヤフラム２２１が設けられ、連通流路２３０にはダイヤフラム２２１により開閉動作する弁体２３１が設けられている。機能液タンクから１次室２１０に導入された機能液は、２次室２２０を介して機能液滴吐出ヘッドに供給されるが、その際、ダイヤフラム２２１により大気圧を調整基準圧力として、連通流路２３０に設けた弁体２３１を開閉動作させることで２次室２２０の圧力調整を行うようになっている。
【００５６】
この圧力調整弁６１は、図８に示すように縦置きで用いられるため、以下、同図に倣って紙面の先方を「上」、手前を「下」、左方を「前」および右方を「後」として説明を進める。なお、図６ないし図８に示すこれらの図は、圧力調整弁に、これをフレーム等に取り付けるための取付プレート２９０、上記のタンク側チューブ８１を繋ぎ込むための流入コネクタ２９２（ユニオン継手）および上記のヘッド側チューブ８２を繋ぎ込むための流出コネクタ２９３（ユニオン継手）を組み込んだ状態を示している。
【００５７】
バルブハウジング２００は、内部に１次室２１０を形成した１次室ハウジング２０１と、内部に２次室２２０を形成した２次室ハウジング２０１と、２次室ハウジング２０１にダイヤフラム２２１を固定するリングプレート２０３との３部材で構成され、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。１次室ハウジング２０１、２次室ハウジング２０２およびリングプレート２０３は、２次室ハウジング２０２に対し、前後からリングプレート２０３および１次室ハウジング２０１を重ね、複数本の段付平行ピン等でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めするようにして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム２２１の中心を通る軸線と同心円となる外観を有している。そして、１次室ハウジング２０１および２次室ハウジング２０２はＯリング２６１を介して相互に水密に突合せ接合され、２次室ハウジング２０２およびリングプレート２０３は、ダイヤフラム２２１の縁部およびパッキン２６２を挟み込んで相互に気密に突合せ接合されている。なお、１次室ハウジング２０１および２次室ハウジング２０２は、一体に形成することも可能である。
【００５８】
１次室ハウジング２０１には、ダイヤフラム２２１と同心となる円錐台（略円筒）形状の１次室２１０が形成されおり、１次室２１０の内周壁は、後方に向かって僅かに拡開するテーパ面となっている。また、１次室ハウジング２０１の背面上部に形成した上部ボス部２１１には、機能液タンク６２に連なる流入ポート２１２および１次室エアー抜きポート２１３が形成されている。１次室エアー抜きポート２１３は、上下方向に延在しており、１次室２１０に開口した１次室エアー抜き口（１次室補助排出口）２１３ａは、エアー溜りとなる１次室２１０の後部内周面の頂部に開口している。なお、図示の１次室エアー抜きポート２１３には、メクラ蓋２１３ｂが螺合しているが、エアーチューブを接続する場合には、このメクラ蓋２１３ｂに代えてコネクタ（継手）が螺合されることになる。
【００５９】
流入ポート２１２は、１次室ハウジング２０１の外周面に開口した流入口２１５と、１次室２１０の上端部に開口した１次室側開口２１６と、これらを連通する流入流路２１７とから成り、流入流路２１７は、所定の下り勾配となるように周方向斜めに形成されている。流入口２１５には、流入流路２１７の軸線方向から流入コネクタ２９２が螺合しており、この流入コネクタ２９２を介して上記のタンク側チューブ６５が接続されている。流入流路２１７の内部は、上端部で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。１次室側開口２１６は、上記の１次室エアー抜き口２１３ａに隣接した位置、すなわち１次室２１０の頂部を周方向に外れた位置に開口している。機能液タンクから流入する機能液は、流入流路２１７の勾配に従って斜めに流下し、１次室側開口２１６から１次室２１０の内周壁に沿って１次室２１０に流入する。
【００６０】
２次室ハウジング２０２と密接する１次室ハウジング２０１の前面には、１次室２１０の外側に位置して断面楔矩形の第１環状溝２１９が形成され、この第１環状溝２１９に上記のＯリング２６１が挿填されている。また、１次室ハウジング２０１の下部は、弓状に切り欠かれており、この欠損部分には、後述する流出コネクタ２９３が配設されている。
【００６１】
２次室ハウジング２０２には、ダイヤフラム２２１を取り付けるための前面を開放した円錐台（略円筒）形状の主室２２３と、主室の後方に連なり、主室側に拡開した円錐台（略円筒）形状のばね室２２４と、ばね室２２４と１次室２１０を連通する上記の連通流路２３０とが形成されており、これら主室２２３、ばね室２２４および連通流路２３０は、いずれもダイヤフラム２２１と同心の円形断面を有している。ただし、連通流路２３０は、後述する弁体２３１の軸部２３２がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部２３３と、軸遊挿部２３３から径方向四方に延びる十字状断面の流路部２３４とで構成されている。また、２次室ハウジング２０２の前面には、後述するパッキン２６２用の固定溝に対面する環状の浅溝２４７が形成されている。
【００６２】
主室２２３の内周壁は、ダイヤフラム２２１のマイナス変形に倣うように前方に向かって大きく拡開するテーパ面となっており、このテーパ面に臨むように２次室エアー抜きポート２２６および流出ポート２２７が上下に形成されている。２次室エアー抜きポート２２６は、２次室ハウジング２０２の背面上部（後面上部）に形成した鉛直ボス部２２８に形成され、上下方向に幾分傾斜して延在している。２次室２２０に開口した２次室エアー抜きポート２２６の２次室エアー抜き口（２次室補助排出口）２２６ａは、エアー溜りとなる２次室２２０の前部内周面のテーパ面を含む頂部に開口している。この場合も、図示の２次室エアー抜きポート２２６には、メクラ蓋２２６ｂが螺合しているが、エアーチューブを接続する場合には、このメクラ蓋２２６ｂに代えてコネクタ（継手）が螺合されることになる。
【００６３】
流出ポート２２７は、２次室ハウジング２０２の背面下部に位置する傾斜ボス部２２９に形成されており、２次室ハウジング２０２の背面下部に開口した流出口２４０と、２次室２２０の下端部に開口した２次室側開口２４１と、これらを連通する流出流路２４２とで構成されている。流出流路２４２は、テーパ面に略直交して所定の下り勾配となるように、前後方向斜めに形成されている。流出口２４０は、流出流路２４２の軸線方向から流出コネクタ２９３が螺合しており、この流出コネクタ２９３を介して上記のヘッド側チューブ６６が接続されている。流出流路２４２は、上端部で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。２次室側開口２４１は、２次室２２０の谷部を含むテーパ面に対し斜面幅いっぱいに開口している。２次室２２０から流出する機能液は、２次室側開口２４１から流出流路の勾配に従って斜めに流下し、機能液滴吐出ヘッド７１側に流出する。
【００６４】
リングプレート２０３は、２次室ハウジング２０２の前面との間にダイヤフラム２２１を挟持固定するものであり、２次室２２０側の内面には、ダイヤフラム２２１の縁部に接するパッキン２６２用の固定溝２３１が形成されている。なお、パッキン２６２自体が弾性を有しているため、固定溝２３１を必ずしも形成する必要はない。
【００６５】
ダイヤフラム２２１は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体２７１と、ダイヤフラム本体２７１の内側に貼着した樹脂性の受圧板２７２とで構成されている。受圧板２７２は、ダイヤフラム本体２７１と同心の円板状に、且つ膜本体に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体２３１の軸部２３２が当接する。ダイヤフラム本体２７１は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、２次室ハウジング２０２の前面と同径の円形に形成されている。ダイヤフラム２２１は、これに外側から添設したパッキン２６２と共にリングプレート２０３により２次室ハウジング２０２の前面に気密に固定される。なお、受圧板２７２は、ダイヤフラム２２１の外側に設けてもよいが、後述する弁体２３１の軸部２３２が離接を繰り返すため、ダイヤフラム２２１の損傷を防止すべく、本実施形態では内側に設けている。
【００６６】
弁体２３１は、円板状の弁体本体２３１ａと、弁体本体２３１ａの中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部２３２と、弁体本体２３１ａの軸部側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール２３６とで構成されている。弁体本体２３１ａおよび軸部２３２は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されており、弁体本体２３１ａの前面には、軸部２３２の外側に位置して環状の小突起２３７が形成されている。バルブシール２３６は、例えば軟質のシリコンゴムで構成され、その前面には、上記の小突起２３７に対応して、環状の突起となるシール突起２３６ａが突接されている。このため、弁体２３１の開弁時には、弁座となる２次室バルブハウジング２０２の背面、すなわち連通流路２３０の開口縁にシール突起２３６ａが強く当接して、連通流路２３０が１次室側から液密に閉塞される。
【００６７】
軸部２３２は、連通流路２３０にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム２２１の受圧板２７２に当接する。すなわち、ダイヤフラム２２１が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部２３２の前端と受圧板２７２との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム２２１がマイナス側に変形してゆくと、リングプレート２０３と平行な中立状態で軸部２３２の前端と受圧板２７２とが当接し、さらにダイヤフラム２２１のマイナス変形がすすむと、受圧板２７２が軸部２３２を介して弁体本体２３１ａを押し開弁させることになる。したがって、２次室２２０の容積のうち、ダイヤフラム２２１がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室２１０側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。
【００６８】
一方、弁体２３１の背面と１次室２１０の後面壁との間には、弁体２３１を２次室２２０側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２８１が介設されている。同様に、受圧板２７２と２次室２２０のばね室２２４との間には、受圧板２７２を介してダイヤフラム本体２７１を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね２８２が介設されている。この場合、弁体付勢ばね２８１は、弁体２３１の背面に加わる機能液タンク６２の水頭を補完するものであり、機能液タンク６２の水頭とこの弁体付勢ばね２８１のばね力により、弁体２３１が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね２８２は、ダイヤフラム２２１のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室２２０が僅かに負圧になるように作用する。
【００６９】
詳細は後述するが、圧力調整弁６１は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド７１に連なる２次室２２０と圧力バランスにより弁体２３１が進退して開閉する。その際、弁体付勢ばね２８１および受圧板付勢ばね２８２に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのバルブシール２３６（の弾性力）により、弁体２３１は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体２３１の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド７１の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、機能液タンク６２側（１次室２１０側）で発生する脈動等も、弁体２３１で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。
【００７０】
図６および図７に示すように、取付プレート２９０は、ステンレス板で構成されており、２次室ハウジング２０２の側部背面に固定されている。取付プレート２９０の両面には、その上下中間位置にダイヤフラム２２１の中心位置を示す線状のマーク２９５が刻設されており、このマーク２９５により、後述する機能液滴ヘッド７１に対し圧力調整弁６１を所定の高低差を持って設置するときの指標としている。なお、図中の符号２９６は、取付プレート２９０のマーク２９５とダイヤフラム２２１の中心位置とを位置合わせするための長孔であり、取付プレート２９０はこの位置合わせを行った後、バルブハウジング２００に固定される。
【００７１】
次に、図８を参照して、圧力調整弁の動作原理について説明する。１次室２１０には、機能液タンク６２に貯留した機能液の液位に基づく水頭（設計上は、機能液パック６３の機能液供給口６５（図５参照）の中心軸と１次室２１０の中心軸との間の水頭差）が作用しており、この水頭に基づく圧力と弁体付勢ばね２８１のばね力とが、弁体２３１の閉弁力として作用する。
【００７２】
すなわち、水頭に基づく単位面積当たりの圧力をＰ１とし、弁体本体２３１aの背面の面積をＳ１とし、弁体付勢ばね２８１のばね力をＷ１としたときに、１次室側から弁体２３１に作用する力Ｆ１は、
Ｆ１＝Ｗ１＋（Ｐ１×Ｓ１）
となる。なお、Ｗ１は、バルブシール２３６の弾性力を考慮した値となっており、ここでは、ばね力とバルブシール２３６の弾性力（付勢力）との合計をＷ１としている。
【００７３】
一方、２次室２２０側から弁体２３１に作用する力：Ｆ２は、２次室２２０の内圧をＰ２とし、ダイヤフラム２２１の中心径面積をＳ２とし、受圧板付勢ばね２８２のばね力をＷ２としたときに、
Ｆ２＝（Ｐ２×Ｓ２）−Ｗ２
となる。なお、Ｐ１およびＰ２は、ゲージ圧力である。また、ダイヤフラム２２１の中心径Ｄは、ダイヤフラム本体２７１の外径および受圧板２７２の外径の平均径であり、Ｓ２＝（Ｄ／２）×（Ｄ／２）×πで表される。
【００７４】
そして、弁体２３１は、Ｆ２＞Ｆ１の状態で開弁動作し、Ｆ１＞Ｆ２の状態で閉弁動作する。本実施形態では、Ｗ１はおよびＷ２は、実験的に決定され、Ｓ１は、Ｗ１に基づいて設定される。そして、略大気圧を基準調整圧力として弁体２３１が開閉するように、上記の関係に従って、ダイヤフラム２２１の中心径Ｄをさらに求め、ダイヤフラム本体２７１の外径および受圧板２７２の外径を設定するようになっている。
【００７５】
すなわち、ダイヤフラム２２１がプラス変形の状態から、機能液滴吐出ヘッド７１により機能液が消費（吐出）されると２次室２２０が負圧になり、ダイヤフラム２２１が大気圧に押されて中立状態からマイナス変形に移行する。これにより、受圧板２７２を介して弁体２３１が押されてゆっくり開弁する。弁体２３１が開弁すると、連通流路２３０を介して１次室２１０から２次室２２０に機能液が流入する。これにより、２次室２２０の圧力が増し、弁体２３１がゆっくりと閉弁する。そして、弁体２３１の閉弁後も大気圧に抗して受圧板付勢ばね２８２が作用していき、ダイヤフラム２２１をプラス変形させると共に、２次室２２０内の機能液圧力を僅かに負圧状態にさせる。そして、上記の動作をゆっくり繰り返すことにより、２次室２２０をほぼ一定の圧力に維持したまま、機能液が供給される。
【００７６】
同様に、機能液の初期充填においても、吸引ユニット９２による機能液滴吐出ヘッド７１側からの機能液の強制吸引により上記の動作が為され、バルブ内流路６１ｒに機能液が充填される。なお、２次室２２０内の機能液の圧力は、受圧板付勢ばね２８２により大気圧よりも低い圧力に維持されている。このため、機能液滴吐出ヘッド７１（ノズル面７８）の位置と、圧力調整弁６１（ダイヤフラム２２１の中心）の位置との高低差を一定の値にしておくことにより、機能液滴吐出ヘッド７１からの液垂が防止されている。
【００７７】
このように、本実施形態の圧力調整弁６１は、大気圧を調整基準圧力として弁体２３１が開閉する構造であるため、１次室２１０側が極端に高い圧力とならない限り、一定の低い圧力で機能液を機能液滴吐出ヘッド７１に供給することができる。すなわち、機能液タンク６２の水頭に影響されることなく、機能液の機能液滴吐出ヘッド７１への供給を安定に行うことができる。
【００７８】
また、タンク側供給流路８１ｒに接続される流入ポート２１２は、１次室２１０の上端部に連なり、ヘッド側供給流路８２ｒに接続される流出ポート２２７は、２次室２２０の下端部に連なっているため、空気加圧や供給ポンプなどを用いなくとも、機能液タンク６２から圧力調整弁６１、圧力調整弁６１から機能液滴吐出ヘッド７１へと機能液を重力供給することができると共に、機能液の流れに伴ってバルブ内流路６１ｒに残留していた気泡が圧力調整弁６１の上部に溜まったとしても、その気泡が機能液滴吐出ヘッド７１に直接流出することがないため、機能液滴吐出ヘッド７１の吐出不良を防止することができる。
【００７９】
図４に示すように、押圧手段７は、復動エアシリンダー９３によって構成されており、駆動室９４ａおよびシリンダー室９４ｂから成るシリンダー本体９４と、シリンダー室９４ｂに摺動自在に設けられたピストン９５と、ピストン９５に先端部に取り付けられ、圧力調整弁のダイヤフラム２２１を押圧する押圧部材（プッシャ）９６とによって構成されている。押圧手段７は、第１エア吸入口９７から圧縮空気が流入されると、ピストン９５が前進し、ダイヤフラム２２１を押圧することによってダイヤフラム２２１をマイナス変形させる。また、第２エア吸入口９８から圧縮空気が流入されると、ピストン９５が後退するようになっており、ダイヤフラム２２１の押圧を解除する。また、押圧手段７は、第１エア吸入口９７および第２エア吸入口９８への圧縮空気の流入を停止させることによってピストン９５の前進または後退動作を停止可能となっている。
【００８０】
続いて、液滴吐出装置１の制御構成について説明する。図９の制御ブロック図に示すように、液滴吐出装置１は、Ｘ軸モータ２３およびＹ軸モータ２４から成るＸ・Ｙ移動機構１１によって機能液滴吐出ヘッド７１をワークＷに対して相対移動させることにより、ワークＷ上に描画を行う描画部（描画手段）３と、移動テーブル９１、キャップ昇降機構１０４および吸引ポンプ１０３から成る吸引ユニット９２、巻取りユニット１１２および拭取りユニット１１３から成るワイピングユニット９３を有し、移動テーブル９１によって吸引ユニット９２およびワイピングユニット９３を保守エリア５３に移動させることで、機能液滴吐出ヘッド７１の保守を行うヘッド保守部（ヘッド保守手段）４と、復動エアシリンダー９３を有し、圧力調整弁６１の２次室２２０側に設けられたダイヤフラム２２１をマイナス変形させるべく押圧する圧力調整弁押圧部（押圧手段）７と、ヘッドドライバ１５１、Ｘ・Ｙ軸移動制御ドライバ１５２、移動テーブル制御ドライバ１５３、吸引ユニット制御ドライバ１５４、ワイピングユニット制御ドライバ１５５、エアシリンダー駆動制御ドライバ１５６を有し、それぞれ機能液滴吐出ヘッド７１、Ｘ・Ｙ移動機構１１、移動テーブル９１、吸引ユニット９２、ワイピングユニット９３、復動エアシリンダー９３を駆動する駆動部（駆動手段）１５と、上記の各部と接続され、液滴吐出装置１全体を制御する制御部（制御手段）１６と、を備えている。
【００８１】
制御部１６は、ＣＰＵ１６１、ＲＯＭ１６２、ＲＡＭ１６３および入出力制御装置（以下、「ＩＯＣ：Input Output Controller」と称する）１６４を備え、互いに内部バス１６５により接続されている。ＲＯＭ１６２は、各ノズル７９の吐出を駆動制御するためのプログラムの他、機能液の初期充填処理の制御プログラムなどＣＰＵ１６１で処理する各種プログラムを記憶する制御プログラムブロック１６２ａと、吸引ユニット９２における機能液種類別の吸引時間などの各種テーブルを含む制御データを記憶する制御データブロック１６２ｂとを有している。ＲＡＭ１６３は、フラグ等として使用されるワークエリアブロック１６３ａの他、各ノズル７９の吐出パターンデータ等を記憶するデータブロッ１６３ｂを有し、制御処理のための作業領域として使用される。
【００８２】
ＩＯＣ１６４には、ＣＰＵ１６１の機能を補うと共に各種周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムＬＳＩなどにより構成されて組み込まれている。これにより、ＩＯＣ１６４は、吐出パターンデータや制御データをそのまま或いは加工して内部バス１６５に取り込むと共に、ＣＰＵ１６１と連動して、ＣＰＵ１６１から内部バス１６５に出力されたデータや制御信号を、そのまま或いは加工して駆動部１５に出力する。
【００８３】
そして、ＣＰＵ１６１は、上記の構成により、ＲＯＭ１６２内の制御プログラムにしたがい、ＩＯＣ１６４を介して液滴吐出装置１内の各部から各種信号・データを入力して、ＲＡＭ２３０内の各種データを処理する。また、ＩＯＣ１６４を介して液滴吐出装置１内の各部に、各種信号・データを出力することにより、各ノズル７９からの機能液の吐出タイミングを駆動制御してワークＷ上に描画を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド７１の保守や機能液の初期充填処理を行う。なお、図示しない外部装置（ホストコンピュータ）により吐出パターンデータや制御データを生成（記憶）し、これを受信することによって各部の駆動制御を行うようにしてもよい。また、各種処理プログラムや処理データを記憶した記憶媒体（ＣＤ−ＲＯＭなど）を読み込み可能に構成してもよい。
【００８４】
続いて、図４の模式図および図１０のフローチャートを参照し、本発明の一実施形態に係る機能液供給流路への機能液初期充填方法について説明する。図４に示すとおり、機能液供給流路とは、機能液タンク６２から圧力調整弁６１の１次室２１０に連なるタンク側供給流路８１ｒと、圧力調整弁６１内のバルブ内流路６１ｒと、圧力調整弁６１の２次室２２０から機能液滴吐出ヘッド７１に連なるヘッド側供給流路８２ｒと、機能液滴吐出ヘッド７１内のヘッド内流路７１ｒとから成るものであり、同図は、当該機能液供給流路への機能液初期充填処理に関連する機構のみを図示したものである。
【００８５】
ここで、図１０のフローチャートに基づき、機能液初期充填の処理フローについて説明する。制御手段１６から、初期充填指令が為されると、まずタンク側バルブ８５を閉塞する（Ｓ１１）と共に、吸引ユニット９２による吸引を開始する（Ｓ１２）。吸引ユニット９２による吸引を開始すると、押圧手段７（復動エアシリンダー９３）によって、ピストン９５を矢印Ａの方向に押圧し、ダイヤフラム２２１をマイナス変形させる（点線部参照，Ｓ１３）。
【００８６】
押圧手段７によりダイヤフラム２１を所定の形状まで（２次室２２０内が限りなく真空状態に近づくまで）マイナス変形させると、第１エア吸入口９７への圧縮空気の流入を停止させると共に、タンク側バルブ８５を開放し（Ｓ１４）、機能液の充填（通液）を行う（Ｓ１５）。そして、機能液供給流路に十分に機能液が通液（充填）されるために必要とされる時間（予め実験により得られた所定時間）が経過すると、復動エアシリンダー９３によって、押圧手段７による押圧を解除する（Ｓ１６）。この押圧手段７による押圧解除時も、吸引ユニット９２による吸引動作は続行されており、引き続き描画処理のための機能液の充填（通常充填）を行う（Ｓ１７）。
【００８７】
このように、本発明の一実施形態に係る機能液充填方法によれば、機能液供給流路に機能液を初期充填する際、圧力調整弁６１の２次室２２０の１の面に設けたダイヤフラム２２１をマイナス変形させて機能液を吸引し、機能液供給流路に機能液を通液した後、押圧を解除するため、機能液の吸引のみによって初期充填を行う場合と比較して、圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させ、圧力調整弁６１への機能液の充填量を増加させることができる。すなわち、機能液の吸引のみによって初期充填を行うと、２次室２２０内の上部に気泡が残留してしまうことがあるが、上記のようにダイヤフラム２２１をマイナス変形させることで、その分圧力調整弁６１内の空気を排出することができると共に、機能液を通液した後の押圧解除に基づくダイヤフラム２２１の形状復帰により機能液の流速が早くなるため、圧力調整弁６１内の角部等に残留している僅かな気泡も排出可能となり、結果的に初期充填時における圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させることができる。さらに、押圧手段７によってダイヤフラム２２１を急速にマイナス変形させることができると共に、ダイヤフラム２２１の形状復帰により機能液の流速が早くなるため、初期充填に要する時間を短縮することができる。
【００８８】
また、ダイヤフラム２２１の変形に先立ち、タンク側バルブ８５を閉塞すると共に、ダイヤフラム２２１の変形後、当該タンク側バルブ８５を開放するため、元々圧力調整弁６１内（バルブ内流路６１ｒ内）に存在していた空気や機能液が、押圧手段７によるダイヤフラム２２１の変形によって、タンク側供給流路８１ｒや機能液タンク６２に逆流することがない。したがって、機能液の逆流や機能液がタンク側供給流路８１ｒ内に滞留することによって生じる機能液の変質および劣化を防止することができる。
【００８９】
なお、機能液充填後の復動エアシリンダー９３の押圧解除（Ｓ１６）は、続く通常充填（Ｓ１７）に伴って、徐々に解除していくようにしても良い。また、（Ｓ１５）の機能液充填に代えて、先に機能液の充填を行い、その後（Ｓ１１）〜（Ｓ１４）並びに（Ｓ１６）以降の処理を行うようにしても良い。また、機能液充填のタイミングに関わらず、タンク側バルブ８５の閉塞動作（Ｓ１１）および開放動作（Ｓ１４）は省略可能である。
【００９０】
次に、図１１の模式図および図１２のフローチャートを参照し、本発明の第２実施形態に係る機能液供給流路への機能液初期充填方法について説明する。上記の実施形態では、押圧手段７（復動エアシリンダー９３）によって、ダイヤフラム２２１をマイナス変形させるものとしたが、本実施形態では、吸引ユニット９２による吸引動作によりダイヤフラム２２１をマイナス変形させ、圧力調整弁６１内の気泡混入量の減少を図るものである。したがって、その構成は、図１１に示すように、第１実施形態と比較すると、押圧手段７を省略した点のみで異なっている。以下、第１実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００９１】
図１２のフローチャートに示すように、制御手段１６から、初期充填指令が為されると、まずタンク側バルブ８５を閉塞する（Ｓ２１）。その後、吸引ユニット９２による吸引を行い、バルブ内流路６１ｒを真空状態に近づけることでダイヤフラムをマイナス変形させる（Ｓ２２）。吸引ユニット９２による吸引ダイヤフラム２１を所定の形状までマイナス変形させると、吸引動作は続行したままでタンク側バルブ８５を開放する（Ｓ２３）。このときの、タンク側バルブ８５の開放のタイミングは、タンク側バルブ８５の閉塞（Ｓ２１）から、予め実験により得られた所定時間経過後である。そして、タンク側バルブ８５の開放後は、引き続き描画処理のための機能液の充填（通常充填）を行う（Ｓ２４）。
【００９２】
このように、本実施形態の機能液充填方法によれば、機能液供給流路に、機能液を初期充填する際、タンク側供給流路８１ｒを閉塞した状態で吸引キャップ１０２を介して吸引動作することによりダイヤフラム２２１をマイナス変形させ、その後タンク側供給流路８１ｒを開放して機能液供給流路に機能液を充填するため、ダイヤフラム２２１を変形させるための特別な機構を必要とすることなく、簡易な構成で圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させることができる。すなわち、上記のように吸引動作によって圧力調整弁６１内を真空状態に近づけることで気泡の残留を少なくすることができると共に、ダイヤフラム２２１の形状復帰により機能液の流速が早くなるため、圧力調整弁６１内の角部等に残留している僅かな気泡も排出可能となり、結果的に初期充填時における圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させることができる。さらに、タンク側供給流路８１ｒを閉塞した状態で吸引動作を行うことにより、急激にダイヤフラム２２１をマイナス変形させることができると共に、ダイヤフラム２２１の形状復帰により機能液の流速が早くなるため、初期充填に要する時間を短縮することができる。
【００９３】
なお、本実施形態では、制御手段１６から初期充填指令が為された後、吸引ユニット９２による吸引は終始続行されるものとしたが、タンク側バルブ８５の閉塞および開放時には、一時的に吸引を停止しても良い。
【００９４】
また、（Ｓ２４）の機能液充填に代えて、先に機能液の充填を行い、その後（Ｓ２１）〜（Ｓ２３）の処理を行うようにしても良い。さらにこの場合は、タンク側バルブ８５の閉塞から所定時間後にタンク側バルブ８５を開放するのではなく（時間制御ではなく）、タンク側バルブ８５の閉塞後、吸引キャップ１０２の下流側（吸引ポンプ１０３側）に設けられた液体検出センサ（図示省略）の検出結果に基づいて、タンク側バルブ８５を開放するようにしても良い。すなわち、液体検出センサによって機能液が流出しなくなったことを検出したとき、２次室２２０内が真空状態になったものとして、タンク側バルブ８５を開放するようにしても良い。この構成によれば、例えば機能液の種類の違いなどによって、真空状態になるまでの吸引時間が異なる場合でも、機能液に応じて、タンク側バルブ８５の開放動作を行うことができるため、より充填時間の短縮を図ることができる。
【００９５】
また、本実施形態では、上記の通り、初期充填を実現するための特別な機構を必要としないため、機能液吐出ヘッド７１と、圧力調整弁６２と、機能液タンク６２とをヘッドプレート１３上に配設し、機能液供給流路をできるだけ短くする構成も可能である。但し、この場合も機能液タンク６２（機能液パック６３）の機能液供給口６５の中心軸と１次室２１０の中心軸との間の水頭差が所定の値となるように位置決めされることが好ましい。
【００９６】
次に、図１３の模式図および図１４のフローチャートを参照し、本発明の第３実施形態に係る機能液供給流路への機能液初期充填方法について説明する。上記の実施形態では、押圧手段７（復動エアシリンダー９３）によって、ダイヤフラム２２１をマイナス変形させることで圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させたが、本実施形態では、機能液充填後、２次室２２０の上端部に連なる２次室エアー抜き口２２６ａからエアーを吸引することで、気泡の混入を防止するものである。そこで、本実施形態の構成は、図１３に示すように、第２実施形態と比較すると、２次室エアー抜き口（２次室補助排出口）２２６ａ並びに、２次室エアー抜き口２２６ａからエアーおよび機能液を吸引する補助吸引手段３１０を備えた点のみで異なっている。但し、これらの構成は、機能液の初期充填方法として本実施形態を採用しない場合でも、気泡内に含まれる酸素や水分との反応による機能液の変質を防ぐことを目的として実行される（非描画時に適宜実行されるエアー抜き処理として実行される）ものであるため、本実施形態の初期充填方法を行うための特別な機構を必要としない点では、第２実施形態と同様である。以下、上記の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００９７】
図１３に示すように、補助吸引手段３１０は、２次室エアー抜き口２２６ａから吸引した機能液を貯留する補助廃液タンク３１１と、補助廃液タンク３１１を介してエアーを吸引する補助ポンプ（真空ポンプ）３１２と、２次室エアー抜き口２２６ａから吸引した機能液を補助廃液タンク３１１に導く補助第１チューブ３２１と、補助廃液タンク３１１の上端部と補助ポンプ３１２とを接続する補助第２チューブ３１２と、によって構成されている。補助ポンプ３１２により補助廃液タンク３１１内のエアーを吸引すると、補助廃液タンク３１１および補助第１チューブ３２１内が真空状態となり、これに伴って２次室エアー抜き口２２６ａからエアーおよび機能液が吸引される。このとき吸引された機能液は、補助廃液タンク３１１にトラップされる。
【００９８】
ここで、本実施形態の初期充填方法について説明する。図１４のフローチャートに示すように、制御手段１６から、初期充填指令が為されると、吸引ユニット９２による機能液吸引によって、機能液供給流路への機能液充填を行う（Ｓ３１）。そして、機能液供給流路に機能液が充填されると、吸引ユニット９２による吸引を停止し（Ｓ３２）、吸引キャップ１０２によるノズル面７８の封止状態を維持した状態で、補助ポンプ３１２を駆動し、２次室エアー抜き口２２６ａからのエアー吸引を行う（Ｓ３３）。２次室上端部に貯留した気泡を吸引するのに十分な時間が経過すると、補助ポンプ３１２を停止し、描画処理のための吸引ユニット９２による機能液吸引を再開する（Ｓ３４）。なお、本実施形態では、タンク側バルブ８５は開放状態のままである。
【００９９】
このように、本実施形態の初期充填方法によれば、機能液供給流路に、機能液を初期充填する際、機能液を吸引した後、２次室２２０の上端部に連なる２次室エアー抜き口２２６ａを介してエアーを吸引するため、機能液の吸引のみによって初期充填を行う場合と比較して、圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させることができる。すなわち、２次室エアー抜き口２２６ａからのエアーの吸引を行わない場合は、２次室内の上部に気泡が残留してしまうことがあるが、上記のように機能液を吸引した後、２次室内の上部に残留したエアーの吸引を行うため、効率よく気泡を排出することができ、圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させることができる。
【０１００】
なお、圧力調整弁６１（特に２次室２２０）内の気泡量を検出可能に構成し、所定の気泡量を超えたことが検出された場合に随時エアー吸引を実行するようにしても良い。この構成によれば、適切な時期にエアー吸引を行うことができ、効率的に機能液の変質を防止することができる。また、２次室エアー抜き口２２６ａからだけでなく、１次室エアー抜き口２１３ａ（図８（ａ）参照）からもエアー吸引を行うようにしても良い。
【０１０１】
次に、図１５の模式図および図１６のフローチャートを参照し、本発明の第４実施形態に係る機能液供給流路への機能液初期充填方法について説明する。上記の実施形態では、圧力調整弁６１への機能液初期充填は、圧力調整弁６１の上端側に設けた流入ポート２１２から機能液を導入し、圧力調整弁６１の下端側に設けた流出ポート２２７から機能液を排出するものとしたが、本実施形態では、圧力調整弁６１を反転機構４１０によって上下反転させることで、下端側から機能液を導入し、上端側から排出する構成とする点で異なっている。つまり、圧力調整弁６１を上下反転させた状態で初期充填を行うことにより、２次室内の上部に残留する気泡を抜けやすくしたものである。以下、上記の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【０１０２】
図１５に示すように、反転機構４１０は、圧力調整弁６１の１次室側ハウジング２０１に取り付けられた取付板４１５と、取付板４１５に固着した軸４１２と、軸４１２の一端に軸着したピニオン４１４と、ピニオン４１４にかみ合うラック４１３と、ラック４１３を進退動させる復動エアシリンダー４１５と、上記軸４１２を支持する軸受４１６と、によって構成されている。復動エアシリンダー４１５の往動により、ラック４１３が図示上側に移動すると、ピニオン４１４が時計回りに１８０°回転することで軸４１２および取付板４１５を介して圧力調整弁６１も時計回りに１８０°回転する。また、復動エアシリンダー４１５の復動により、ラック４１３が図示下側に移動すると、ピニオン４１４が反時計回りに１８０°回転することで圧力調整弁６１も反時計回りに１８０°回転し、元の位置に復帰する。
【０１０３】
ここで、本実施形態の初期充填方法について説明する。図１６のフローチャートに示すように、制御手段１６から、初期充填指令が為されると、上記の反転機構４１０によって圧力調整弁６１が上下反転される（Ｓ４１）。この状態で、吸引ユニット９２による吸引を開始し、機能液を下端側（流入ポート２１２）から導入し、上端側（流出ポート２２７）から排出する（Ｓ４２）。このとき、機能液が上端側から排出されるため、上部に残留し易いエアーが、機能液の排出に伴って排出されやすくなる。そして、吸引開始から所定時間経過後、反転機構４１０によって圧力調整弁６１を反転復帰させ（Ｓ４３）、描画処理のための機能液吸引（通常充填）を続行する（Ｓ４４）。なお、本実施形態では、吸引ユニット９２による吸引は（Ｓ４２）以降、連続して行っている。また、タンク側バルブ８５は開放状態のままである。
【０１０４】
このように、本実施形態の機能液充填方法によれば、機能液供給流路に、機能液を初期充填する際、圧力調整弁６１を上下反転させた状態で機能液を吸引し、その後圧力調整弁６１を元の位置に反転復帰させるため、圧力調整弁６１を上下反転させない場合と比較して、圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させることができる。すなわち、圧力調整弁６１を上下反転させない通常の状態（上端側から機能液を導入して下端側から排出する構成）で、機能液の吸引（初期充填）を行うと、２次室内の上部に気泡が残留してしまうことがあるが、上記のように機能液を圧力調整弁６１の下端側から導入して上端側から排出することで、機能液の排出に伴って２次室内の上部に残留する気泡が抜けやすくなり、結果的に圧力調整弁６１内の気泡混入量を減少させることができる。しかも、機能液を通液した後は、圧力調整弁６１を元の位置に反転復帰させるため、気泡が残留しやすい上端側から機能液を排出することによって生じる機能液滴吐出ヘッド７１の吐出不良を防止することができる。また、タンク側供給流路８１ｒおよびヘッド側供給流路８２ｒは、可とう性を有するため、反転／復帰したときの撓みを許容しつつ、両流路を接続したまま圧力調整弁６１を上下反転させることができる。
【０１０５】
なお、圧力調整弁６１を上下反転させる前に圧力調整弁６１内に機能液を充填させておき、反転した後、所定量の追加充填（追加吸引）を行うようにしても良い。
【０１０６】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【０１０７】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１７は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１８は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ５１）では、図１８（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１０８】
続いて、バンク形成工程（Ｓ５２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１８（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１８（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド７１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１０９】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【０１１０】
次に、着色層形成工程（Ｓ５３）では、図１８（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド７１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、液滴吐出ヘッド７１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１１】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ５４）に移り、図１８（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１１２】
図１９は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１８に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１１３】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１１４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１９において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１１５】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１１６】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１１７】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、液滴吐出ヘッド７１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を液滴吐出ヘッド７１で行うことも可能である。
【０１１８】
図２０は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１１９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１２０】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１２１】
図２１は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１２２】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１２３】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１２４】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１２５】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１２６】
次に、上記の実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される有機ＥＬ装置について説明する。図２２は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１２７】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１２８】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１２９】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１３０】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１３１】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１３２】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１３３】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１３４】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１３５】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１３６】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１３７】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１３８】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２３〜図３１を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２３に示すように、バンク部形成工程（Ｓ６１）、表面処理工程（Ｓ６２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）、発光層形成工程（Ｓ６４）、及び対向電極形成工程（Ｓ６５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１３９】
まず、バンク部形成工程（Ｓ６１）では、図２４に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２５に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１４０】
表面処理工程（Ｓ６２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、液滴吐出ヘッド７１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１４１】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル３２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）及び発光層形成工程（Ｓ６４）が行われる。
【０１４２】
図２６に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ６３）では、液滴吐出ヘッド７１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２７に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１４３】
次に発光層形成工程（Ｓ６４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１４４】
そして次に、図２８に示すように、各色のうちの何れか（図２８の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１４５】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２９に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１４６】
同様に、液滴吐出ヘッド７１を用い、図３０に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１４７】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ６５）に移行する。
【０１４８】
対向電極形成工程（Ｓ６５）では、図３１に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１４９】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１５０】
次に、図３２は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１５１】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１５２】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１５３】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１５４】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２５に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、液滴吐出ヘッド７１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１５５】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１５６】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド７１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１５７】
次に、図３３は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１５８】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１５９】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１６０】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１６１】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１６２】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３４（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３４（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１６３】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１６４】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の側面模式図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】液滴吐出装置の初期充填処理に関係する機構のみを示した模式図である。
【図５】機能液パックの外観斜視図である。
【図６】圧力調整弁の外観斜視図である。
【図７】圧力調整弁の断面図および前側から見た平面図である。
【図８】圧力調整弁の横側から見た断面図および弁体廻りの部分拡大図である。
【図９】液滴吐出装置の制御構成を示す制御ブロック図である。
【図１０】機能液初期充填方法を説明するフローチャートである。
【図１１】第２実施形態に係る液滴吐出装置の模式図である。
【図１２】第２実施形態に係る機能液初期充填方法を説明するフローチャートである。
【図１３】第３実施形態に係る液滴吐出装置の模式図である。
【図１４】第３実施形態に係る機能液初期充填方法を説明するフローチャートである。
【図１５】第４実施形態に係る液滴吐出装置の模式図である。
【図１６】第４実施形態に係る機能液初期充填方法を説明するフローチャートである。
【図１７】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１８】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２２】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２３】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２４】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２５】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２６】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２７】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２９】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３０】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図３１】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３２】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３３】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３４】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１６５】
１  液滴吐出装置                    ６  機能液供給機構
７  押圧手段                      １３  ヘッドプレート
１６  制御手段                      ６１  圧力調整弁
６２  機能液タンク                  ７１  機能液滴吐出ヘッド
８１  タンク側チューブ              ８２  ヘッド側チューブ
９２  吸引ユニット                  ９３  復動エアシリンダー
１０２  吸引キャップ                ２００  バルブユニット
２１０  １次室                      ２２０  ２次室
２２１  ダイヤフラム                ２７２  受圧板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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