(57)【要約】【課題】  露光ヘッドの露光幅に係らず良好なシェーディング補正用の補正データを有する露光装置及びそのような補正データを作成することを可能とする露光装置の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】  光変調素子（１１８）が有する複数の画素の全体の幅（Ｗｓ）より小さい幅（Ｗｒ）の受光部を有する受光素子（２３０）を第１の位置に配置して光変調素子が有する複数の画素の内の第１の画素グループを透過する第１の光量データを測定し、受光素子を第２の位置に配置して、光変調素子が有する複数の画素の内の第２の画素グループを透過する第２の光量データを測定し、第１の光量データと第２の光量データに基づいて、光変調素子の複数の画素からの透過光量のバラツキを補正するための補正データを作成するステップを有することを特徴とする露光装置の製造方法。【選択図】      図１１
2006264266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を有する光変調素子を有する露光装置の製造方法であって、
前記光変調素子が有する複数の画素の全体の幅より小さい幅の受光部を有する受光素子を第１の位置に配置して、前記光変調素子が有する複数の画素の内の第１の画素グループを透過する第１の光量データを測定し、
前記受光素子を第２の位置に配置して、前記光変調素子が有する複数の画素の内の第２の画素グループを透過する第２の光量データを測定し、
前記第１の光量データと前記第２の光量データに基づいて、前記光変調素子の複数の画素からの透過光量のバラツキを補正するための補正データを作成する、
ステップを有することを特徴とする製造方法。
【請求項２】
前記補正データを作成するステップは、さらに、
前記第１の光量データと前記第２の光量データから合成光量データを作成し、
前記合成光量データに基づいて前記補正データを作成する、
ステップを有する請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
さらに、前記露光装置は記憶部を有し、
前記補正データを前記記憶部に記憶させるステップを有する、請求項１又は２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記第１の画素グループと前記第２の画素グループは、前記光変調素子が有する複数の画素の一部を重複するように設定される、請求項１〜３の何れか一項に記載の製造方法。
【請求項５】
さらに、前記第１又は第２の光量データが前記補正データを作成するのに適正なデータであるか否かを判別し、
前記第１又は第２の光量データが適正なデータではないと判別された場合には前記補正データの作成する中止する、
ステップを有する請求項１〜４の何れか一項に記載の製造方法。
【請求項６】
前記判別ステップは、
前記第１又は第２の光量データのみに基づいて、第１又は第２の部分補正データを作成し、
前記第１又は第２の部分補正データを用いて前記光変調素子を駆動して補正光量データを測定し、
前記補正光量データに基づいて、前記第１又は第２の光量データが適正なデータか否かの判別を行う、
ステップを有する請求項５に記載の製造方法。
【請求項７】
前記判別ステップは、
前記第１又は第２の光量データの最小値を検出し、
前記最小値に基づいて、前記第１又は第２の光量データが適正なデータか否かの判別を行う、
ステップを有する請求項５に記載の製造方法。
【請求項８】
光変調素子は光源を備え、前記光源は、Ｒ色ＬＥＤ、Ｂ色ＬＥＤ及びＧ色ＬＥＤを含み、前記第１の光量データの測定、前記第２の光量データの測定及び補正データの作成は、ＬＥＤ毎に行われる、請求項１に記載の製造方法。
【請求項９】
光源及び前記光源からの光の透過制御を行うための複数の画素を有する光変調素子を有する露光装置の製造方法であって、
前記光変調素子が有する複数の画素の全体の幅より小さい幅の受光部を有する受光素子を第１の位置に配置して、前記光変調素子が有する複数の画素の内の第１の画素グループを透過する第１の光量データを測定し、
前記受光素子を第２の位置に配置して、前記光変調素子が有する複数の画素の内の第２の画素グループを透過する第２の光量データを測定し、
前記第１又は第２の光量データが適正なデータであるか否かを判別し、
前記第１又は第２の光量データが適正なデータであると判別された場合に、前記第１の光量データと前記第２の光量データに基づいて、合成光量データを作成する、
ステップを有することを特徴とする製造方法。
【請求項１０】
さらに、前記合成光量データに基づいて、前記光変調素子の複数の画素からの透過光量のバラツキを補正するための補正データを作成するステップを有する請求項９に記載の製造方法。
【請求項１１】
さらに、前記補正データを前記露光装置の記憶部に記憶させるステップを有する、請求項１０に記載の製造方法。
【請求項１２】
露光装置であって、
光源と、
前記光源からの光の透過制御を行うための複数の画素を有する光変調素子と、
前記光変調素子の複数の画素からの透過光量のバラツキを補正するための補正データを記憶する記憶部と、
前記補正データを用いて前記光変調素子を制御する制御部とを有し、
前記補正データは、前記光変調素子が有する複数の画素の全体の幅より小さい幅の受光部を有する受光素子を第１の位置に配置して、前記光変調素子が有する複数の画素の内の第１の画素グループを透過する第１の光量データを測定し、前記受光素子を第２の位置に配置して、前記光変調素子が有する複数の画素の内の第２の画素グループを透過する第２の光量データを測定し、前記第１の光量データと前記第２の光量データに基づいて作成される、
ことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の画素を有する光変調素子の画素間の透過光量のバラツキを補正するための補正データを有する露光装置、及びそのような露光装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の画素を有する光変調素子を有する露光装置において、カラー感光材料等に光露光を行い、カラー画像を形成する光プリンタが知られている。このような露光装置では、複数の画素を含む光変調素子を有するため、光変調素子の画素間に透過光量のバラツキが発生し、良好な画像を得ることができないという不都合があった。したがって、光変調素子の画素間の透過光量バラツキを補正するためのシェーディング補正用の補正データを有する露光装置を製造する必要があった。
【０００３】
シェーディング補正のための光量の測定方法として、画素毎に光量の測定を行う方法が知られている（例えば、特許文献１）。しかしながら、この方法では、画素毎の光量の測定に多くの時間がかかるという問題があった。さらに、各画素から照射される光はカラー感光材料等の表面上で重なり合うため、シェーディング補正用の補正データを得るためには、複数の画素からの光量を考慮しなければならず、補正データの作成が煩雑となるという問題があった。
【０００４】
また、シェーディング補正のための光量の測定方法として、複数の画素からの光量測定を一度に行う方法が知られている（例えば、特許文献２）。しかしながら、この方法では、光変調素子の有効幅を光量測定用のセンサの幅以内とする必要があった。従って、従来のセンサの幅より広い幅の光変調素子を開発する必要が生じた場合、この広い幅の光変調素子に対応するための広い幅を有するセンサを測定用に開発すると測定装置のコストが大きくアップしてしまうため、広い露光幅を有する光変調素子を有する露光装置には、従来の狭い幅のセンサを適応することができないという問題があった。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１０９４２号公報（第１図）
【特許文献２】ＷＯ２００４／０３５３１７号公報（第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、上記の問題点を解決したシェーディング補正用の補正データを有する露光装置及びそのような補正データを作成することを可能とする露光装置の製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明は、光変調素子の幅に拘らず良好なシェーディング補正用の補正データを有する露光装置及びそのような補正データを作成することを可能とする露光装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る製造方法は、光変調素子が有する複数の画素の全体の幅より小さい幅の受光部を有する受光素子を第１の位置に配置して、光変調素子が有する複数の画素の内の第１の画素グループを透過する第１の光量データを測定し、受光素子を第２の位置に配置して、光変調素子が有する複数の画素の内の第２の画素グループを透過する第２の光量データを測定し、第１の光量データと第２の光量データに基づいて、光変調素子の複数の画素からの透過光量のバラツキを補正するための補正データを作成するステップを有することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る製造方法における補正データを作成するステップは、さらに、第１の光量データと第２の光量データから合成光量データを作成し、合成光量データに基づいて補正データを作成するステップを有することが好ましい。分割して測定された光量データから合成光量データを作成し、合成光量データに基づいてシェーディング補正用の補正データを作成するように構成した。
【００１０】
また、本発明に係る製造方法では、さらに、露光装置は記憶部を有し、補正データを記憶部に記憶させるステップ有することが好ましい。作成したシェーディング補正用の補正データを露光装置に記憶部に記憶するように構成した。
【００１１】
また、本発明に係る製造方法では、第１の画素グループと第２の画素グループは、光変調素子が有する複数の画素の一部を重複するように設定されることが好ましい。測定対象となる光変調素子の画素が重複するように、分割測定を行うように構成したので、良好に分割測定した光量データを合成することが可能となった。
【００１２】
また、本発明に係る製造方法では、さらに、第１又は第２の光量データが補正データを作成するのに適正なデータであるか否かを判別し、適正なデータではないと判別された場合には補正データの作成する中止するステップを有することが好ましい。分割測定した光量データが適正か否かを個別に判断できる構成としたので、合成光量データを作成した後に、測定データが適正なデータであることが判明し、測定全体が無駄になることを防止することを可能とした。
【００１３】
また、本発明に係る製造方法における判別ステップは、第１又は第２の光量データのみに基づいて第１又は第２の部分補正データを作成し、第１又は第２の部分補正データを用いて光変調素子を駆動して補正光量データを測定し、補正光量データに基づいて、第１又は第２の光量データが適正なデータか否かの判別を行うステップを有することが好ましい。分割測定した光量データに基づいて部分的な補正データを作成し、再度光量データの測定を行い、シェーディング補正がなされているか否かを確認できる構成とした。
【００１４】
また、本発明に係る製造方法における判別ステップは、第１又は第２の光量データの最小値を検出し、最小値に基づいて、第１又は第２の光量データが適正なデータか否かの判別を行うステップを有することが好ましい。再度光量測定は行わずに、簡易的に分割測定した光量データが適正なものか否かを確認できる構成とした。
【００１５】
また、本発明に係る製造方法では、光変調素子は光源を備え、光源は、Ｒ色ＬＥＤ、Ｂ色ＬＥＤ及びＧ色ＬＥＤを含み、第１の光量データの測定、第２の光量データの測定及び補正データの作成は、ＬＥＤ毎に行われることが好ましい。
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明に係る露光装置は、光源と、光源からの光の透過制御を行うための複数の画素を有する光変調素子と、光変調素子の複数の画素からの透過光量のバラツキを補正するための補正データを記憶する記憶部と、補正データを用いて光変調素子を制御する制御部とを有し、補正データは、光変調素子が有する複数の画素の全体の幅より小さい幅の受光部を有する受光素子を第１の位置に配置して光変調素子が有する複数の画素の内の第１の画素グループを透過する第１の光量データを測定し、受光素子を第２の位置に配置して光変調素子が有する複数の画素の内の第２の画素グループを透過する第２の光量データを測定し、第１の光量データと前記第２の光量データに基づいて作成される、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれは、液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素の幅よりも小さい幅の受光部を有する受光素子を用いて、良好なシェーディング補正用の補正データを作成することが可能となった。
【００１８】
また、本発明によれは、液晶シャッタアレイに対向した受光素子からの各データを用いて光量を測定しているので、正確に各駆動画素の位置を検出することができ、より正確な光量を測定することができるようになった。
【００１９】
さらに、本発明によれは、実際に感光材料上へ作成した画像を用いなくても、正確な光量を測定することが可能となったので、感光材料を現像するための時間が不要となり、迅速に光量を測定することができるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に図面を用いて、本発明に係わる露光装置及びその製造方法について説明する。
【００２１】
図１は製造システムの概要構成を示すブロック図であり、図２は製造システムの外観の一例を示す図である。
【００２２】
図１及び２に示されるように、製造システムは、測定対象の露光ヘッド１００、測定装置２００及び制御用のパーソナル・コンピュータ（以下ＰＣと言う）３００等より構成される。
【００２３】
露光ヘッド１００は、不図示のアタッチメントによって測定装置２００に取り付けられており、信号ライン１２６が測定装置２００のインターフェース（以下ＩＦと言う）２４０に接続されている。また、測定装置２００とＰＣ３００はバスライン２６０によって相互にデータ送信可能に接続されている。さらに、露光ヘッド１００は、露光制御回路１５０と接続され、露光装置５００を構成する。
【００２４】
図１に示すように、測定装置２００は、駆動条件信号作成手段２１０、電流供給回路２２０、露光ヘッド１００との接続用ＩＦ２４０、ＰＣ３００との接続用のＩＦ２５０、光量測定手段２７０、ＣＣＤ移動機構制御部２８０等を有している。
【００２５】
駆動条件信号作成手段２１０は、全体制御用のＣＰＵ２１１、液晶シャッタ駆動回路２１２、露光ヘッド１００が有するＬＥＤの制御条件データを記憶するためのＬＥＤ駆動条件用メモリ２１３、露光ヘッド１００が有する（後述する）液晶シャッタアレイ１１８の測定のための駆動条件データ（駆動画素毎の駆動階調データ等）を記憶するための液晶シャッタ駆動条件用メモリ２１４、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素の（後述する）光量分布データＦ（Ｎ）等を記憶するための光量用メモリ２１５、及び液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素の透過光量のバラツキを補正するための補正データを記憶する補正値用メモリ２１６を有している。
【００２６】
ＣＰＵ２１１は、ＩＦ２５０及びバスライン２６０を介してＰＣ３００と接続されており、測定開始タイミング及び測定終了タイミング、露光ヘッド１００の駆動条件等についてＰＣ３００より制御データを受信する。また、ＣＰＵ２１１は、受信した制御データに応じて露光ヘッド１００、測定装置２００、及びＣＣＤ移動機構制御部２８０を制御して、光量の測定及び補正データの作成（露光装置の製造／設定）を行う。
【００２７】
液晶シャッタ駆動回路２１２は、ＩＦ２４０及びライン１２６を介して、露光ヘッド１００が有する液晶シャッタアレイ１１８の複数の駆動画素を駆動制御する。
【００２８】
また、電流供給回路２２０は、ＩＦ２４０及びライン１２６を介して、露光ヘッド１００が有する（後述する）ＬＥＤ１２０（青色用ＬＥＤ、緑色用ＬＥＤ及び赤色用ＬＥＤ）に電流を供給し、且つ供給する電流値を変化させることによって各ＬＥＤの発光強度を制御する。
【００２９】
また、光量測定手段２７０は、ＣＣＤラインセンサ２３０、ＣＣＤラインセンサ２３０が有する複数の受光素子を制御するためのＣＣＤ制御回路２７６、ＣＣＤラインセンサ２３０が有する複数の受光素子の各々の受光量を検出するための受光量検出回路２７４、及び受光量検出回路２７４の検出出力を積分して所定時間あたりの受光量データを得るための積分回路２７２等を有している。
【００３０】
また、電流供給回路２２０及び液晶シャッタ駆動回路２１２は、ＩＦ２４０を介してＬＥＤ駆動信号及び液晶シャッタ駆動信号を送信し、ＬＥＤ１２０及び液晶シャッタアレイ１１８を駆動する。
【００３１】
また、ＣＣＤ移動機構制御部２８０は、ステップモータ等を制御して可動部を移動させ、液晶シャッタアレイ１１８の全ての駆動画素からの光量を、複数回に分割して測定できるようにＣＣＤラインセンサ２３０を露光ヘッド１００の液晶シャッタアレイ１１８の長手方向に沿って移動させる。
【００３２】
本実施形態では、後述するように、３回に分割して液晶シャッタアレイ１１８の全ての駆動画素に関するシェーディング補正用の補正データを求めたが、分割回数は３回に限定されるものではなく、露光ヘッド１００が有する液晶シャッタアレイ１１８の有効幅ＷｓとＣＣＤラインセンサ２３０の有効幅Ｗｒとの関係に基づいて最適な分割回数を決定することができる。
【００３３】
さらに、測定装置２００には、ＣＰＵ２１１の制御用プログラムを記憶するためのＲＯＭ及び各種データを一時記憶するためのＲＡＭ、各構成要素間のデータの送受信を行うための各種信号線やバスライン等が含まれる。
【００３４】
測定装置２００及びＰＣ３００は、後述する測定手順に従って、ＬＥＤ１２０のＬＥＤ駆動条件データ及び液晶シャッタアレイ１１８のシェーディング補正用の補正データを求めて、一旦ＬＥＤ駆動条件用メモリ２１３及び補正値用メモリ２１６に記憶する。ＰＣ３００は、ＬＥＤ駆動条件データ及び液晶シャッタアレイ１１８のシェーディング補正値データを、露光装置５００の露光制御回路１５０の（後述する）ＬＥＤ駆動条件用メモリ１６０及び（後述する）補正値用メモリ１５３に送信して記憶させ、適正なＬＥＤ駆動及びシェーディング補正を行うことができる露光装置５００を製造する。
【００３５】
なお、測定装置２００で測定された、ＬＥＤ駆動条件データ及びシェーディング補正用の補正データは、前述した様に測定毎に露光制御回路１５０に記憶されるようにしても良い。即ち、測定装置２００のＬＥＤ駆動条件用メモリ２１３及び補正値用メモリ２１６は省略しても良い。
【００３６】
また、（１）測定装置２００を利用して複数の露光ヘッドを連続して測定し、（２）複数の露光ヘッドのＬＥＤ駆動条件データ（電流値データ）及びシェーディング補正用の補正データを一旦ＰＣ３００に記憶し、（３）複数の露光ヘッドに関するＬＥＤ駆動条件データ及びシェーディング補正用の補正データをＰＣ３００から他のＰＣへ一旦転送又は（ＦＤやＣＤ等の媒体を介して）移動し、（４）露光ヘッドを露光制御回路と接続し、（５）当該他のＰＣを用いて、各露光制御回路に連続してデータを記録する、という手順を採用しても良い。その際には、後述するシリアルＮｏシート１３２に印字されるシリアル番号を用いて各露光ヘッドを特定することが好ましい。
【００３７】
図３は、ＣＣＤラインセンサ２３０の一例を示す図である。
【００３８】
ＣＣＤラインセンサ２３０は、複数の縦長の受光素子２３２を２０４８個有しており、各受光素子２３２の長さａは２５００μｍ、幅ｃは２５μｍで、ピッチｄ（２５μｍ）で配置されている。したがって、実際には各受光素子は、ほぼすき間なく配置されているが、図３では、説明の便宜上各受光素子間にすき間をあけて示している。
【００３９】
また、図３において、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素２３４の一部（Ｎ１〜Ｎ２）が示されている。各駆動画素２３４の長さｂは１５０μｍ（又は２００μｍ）、幅ｅは７６μｍで、ピッチｆ（１００μｍ）で配置されている。したがって、１つの駆動画素２３４に対して、４個ずつの受光素子２３２が対応するように配置されていることとなる。
【００４０】
本実施形態では、１つの駆動画素２３４に対して４個の受光素子２３２が対応するように構成されているが、これに限定されるものではない。例えば、受光素子の個数は、駆動画素の整数倍であることが好ましく、１つの駆動画素に対して３個、５個、７個等の受光素子が対応していても良い。特に、即ち１つの駆動画素に対して３個以上の受光素子が対応していることが好ましい。また、本実施形態では、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素２３４は、図３に示されるように直列に配列されている。しかしながら、各駆動画素を駆動させるための電極の配線レイアウト等に応じて、駆動画素を千鳥配列とすることも可能である。
【００４１】
図４は露光ヘッド１００の一例の分解斜視図であり、図５は図４に示す露光ヘッド１００の断面図である。
【００４２】
露光ヘッド１００は、図４及び５に示されるように、上部ハウジング１０４及び下部ハウジング１３０から構成されており、その間に上部反射板１０６、導光素子１０８、ミラー１１２、下部反射板１１４、液晶シャッタアレイ１１８及びＬＥＤ１２０が配置されている。また、上部ハウジング１０４及び下部ハウジング１３０は、クリップ１４０によって上下に分離しないように相互に固定されている。
【００４３】
また、上部ハウジング１０４の上部には、遮光シート１０２が取り付けられており、外部からの光を遮蔽している。さらに、下部ハウジングの図中下部表面には、露光ヘッド１００を識別するためのシリアルＮｏシート１３２及び駆動キー１３６が取り付けられており、下部ハウジング１３０の溝にはセルフォックレンズアレイ（登録商標）１３８が固定されている。
【００４４】
上部反射板１０６は、導光素子１０８の周りをかこみ、ＬＥＤ１２０からの光を反射させて導光素子１０８の突起部１１０から選択的に光が射出できるように構成されている。また、反射ミラー１１２はＬＥＤ１２０からの光を導光素子１０８内に反射させ、下部反射板１１４のスリット部１１６は導光素子１０８の突起部１１０のニゲの役目を有している。また、液晶シャッタアレイ１１８は、調整用ネジ１２４及び１２６によって光路が位置調整されながら、下部ハウジング１３０に位置決めされて固定されている。また、ＬＥＤ１２０は、露光ヘッド１００の光源であって、Ｒ光用ＬＥＤ、Ｇ光用ＬＥＤ及びＢ光用ＬＥＤを有している。また、液晶シャッタアレイ１１８には、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素への駆動時間制御用及びＬＥＤ１２０への電流印加用の信号線１２２が接続されており、信号線１２２の末端は上部及び下部ハウジング１０４及び１３０の間から露光ヘッド１００の外部に伸びている。また、図中１２８は、露光ヘッド１００の移動用の軸受けである。また、駆動キー１３６は、露光ヘッド１００を不図示のボールネジと軸受け１２８によって駆動する際に、不図示のセンサ等と共に露光ヘッド１００の駆動タイミング等を決めるための部材である。また、セルフォックレンズアレイ１３８は、多数の円柱状レンズが長手方向に重なり合うように配置されており、正立等倍結像する光学素子である。
【００４５】
なお、図５に示すように、導光素子１０８の図中上部には、ＬＥＤ１２０からの各色光を、図中において導光素子１０８の真下に配置される液晶シャッタアレイ１１８方向に集中させるために、散乱膜１０７が導光素子１０８の長手方向に沿って形成されている。散乱膜１０７は、白い散乱性のある物質を直線状に塗布して形成されている。露光ヘッド１００が測定装置２００に取り付けられた場合には、散乱膜１０７からの各色光は、液晶シャッタアレイ１０８及びセルフォックレンズアレイ１３８を通過してＣＣＤセンサアレイ２３０に集光される。
【００４６】
本実施形態では上述したように光変調素子として光源と液晶シャッタアレイを採用した。また、本実施形態では光源としてＬＥＤ素子を採用したが、光変調素子として、複数のＬＥＤ素子や自己発光する蛍光表示管、ＥＬ素子等を採用することもできる。
【００４７】
図６は、露光装置の一例の断面図である。
【００４８】
露光装置５００は、外ケース１内に、露光ヘッド１００と露光制御回路１５０を収納している。露光ヘッド１００と露光制御回路１５０は、信号線１２２で接続されている。露光制御回路１５０は、外ケース１の内側に固定されている。露光ヘッド１００は、その下部ハウジング１３０に設けられた開口部に２本の丸棒状の軸受け１２８を貫通させることによって、軸受け１２８に沿って移動可能に支持されている。
【００４９】
また、外ケース１の図中の下部には、記録媒体（印画紙）８を収納するためのカセット４が、着脱可能（矢印Ａの方向）に設けられている。
【００５０】
露光ヘッド１００は、軸受け１２８に沿って移動しながら、カセット４内に収納されている記録媒体８上に画像形成を行う（例えば、潜像を形成する）。
【００５１】
なお、図６に示した露光装置５００は一例であって、これに限定されるものではない。例えば、露光ヘッド１００を固定して、記録媒体８を移動させるように構成しても良い。また、露光装置５００と、カセット４とを別体に構成しても良い。さらに、露光装置５００に、記録媒体に形成された潜像を現像するための処理装置を組み込むように構成しても良い。さらに、露光装置５００は、露光ヘッド１００と露光制御回路１５０のみから構成されても良い。
【００５２】
図７は、液晶シャッタアレイの一例の断面図である。
【００５３】
液晶シャッタアレイ１１８は、図７に示しように、上部基板４０１の下面全体に透明なＩＴＯ薄膜などによる透明共通電極４１１を設けて、ポリイミドなどの配向膜４１３で被覆している。また下部の基板４０２の上部には、微細な透明画素電極４１６を有し、配向膜４１５で被覆している。また、両基板の外周がエポキシ樹脂等から構成されるシール材４０３によって結合され、両基板の配向膜４１３及び４１５の間に液晶４１４が充填されている。なお。液晶４１４の厚さは５μｍに設定されている。また、透明共通電極４１１には、クロム材料等から構成される遮光層４１２が被覆されており、透明画素電極４１６に対応する遮光層４１２の箇所にはスリットが設けられて、その部分だけ光を通すように構成されている。また、両基板の外側には、偏光板４１０及び４１７が設けられている。さらに、液晶４１４は、例えばツイスト角２４０°のＳＴＮモードで動作され、２枚の偏光板４１０及び４１７は、これに応じた角度で偏光軸を交差させるようにすることができる。
【００５４】
さらに、透明共通電極４１２及び透明画素電極４１６によって、液晶シャッタアレイを構成する個々の駆動画素２３４が直列に配列されるように構成されている。ここで、液晶シャッタアレイを構成する個々の駆動画素２３４の大きさは、図３で説明したように、長さ（ｂ）１５０μｍ（又は２００μｍ）、幅（ｅ）７６μｍ、ピッチ（ｆ）１００μｍである。
【００５５】
図８は、液晶シャッタアレイの駆動画素の一例を示す図である。
【００５６】
図３で説明したように、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素２３４は、長方形の形状をしており、長さｂは１５０μｍ（又は２００μｍ）、幅ｅは７６μｍで、ピッチｆは１００μｍである。
【００５７】
図９は、露光ヘッド１００が有するＬＥＤ１２０からＣＣＤラインセンサ２３０までの光路の一例を示す図である。
【００５８】
ＬＥＤ１２０から発せられた光は、図９に示すように、導光素子１０８に導光素子１０８の長手方向に向かって入射され、散乱膜１０７によって下方に反射され、導光素子１０８の下部突起部１１０から液晶シャッタアレイ１１８へ向けて射出される。さらに、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４により透過制御された光は、セルフォックアレイ１３８によりＣＣＤラインセンサ２３０上に結像される。なお、露光ヘッド１００には、３色のＬＥＤが配置されており、各色ＬＥＤから発せられた各色光が、図１０に示した光路にしたがって、ＣＣＤラインセンサ２３０上に結像される。
【００５９】
露光ヘッド１００において、ＬＥＤ１２０から発せられ、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４から出力された各色光は、均等な光量を有するように設計されているが、駆動画素毎の光量にバラツキを生じる場合がある。その原因の一例を以下に示す。
【００６０】
まず、導光素子１０８の下部突起部１１０から液晶シャッタアレイ１１８に向けて均等に光を射出するために、散乱膜１０７は導光素子１０８の長手方向に沿って、均一な幅を有するように構成されている。しかしながら、散乱膜１０７の幅を長手方向に沿って完全に均一形成することは困難である。したがって、散乱膜１０７の幅の微妙な誤差が、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素への入射光を均一にすることを妨げ、駆動画素毎の光量にランダムなバラツキを生じさせる。
【００６１】
次に、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４は、各画素を形成する透明電極間への電圧の印加に応じて光透過率が変化し、それによって光透過制御を行えるように構成されている。しかしながら、特に駆動画素を開制御した場合の光透過率を全ての駆動画素について均一とすることは困難である。したがって、全ての駆動画素に均一な光が入射したとしても、駆動画素毎の光量にランダムなバラツキが生じる。
【００６２】
さらに、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素２３４から出射した光は、セルフォックレンズアレイ１３８によって結像されるが、セルフォックレンズアレイ１３８は多数の円柱状レンズが長手方向に重なり合うように構成されている。したがって、均一の光をセルフォックレンズアレイ１３８に入射しても、円柱状レンズの配列周期に対応して出射光に変動を生じる。
【００６３】
上述した原因等によって生じた駆動画素毎の透過光量のバラツキによって、露光ヘッド１００によって感光材料上へ露光が行われても、そのままでは良好な画像形成を行うことができなかった。そこで、露光ヘッド１００の各駆動画素２３４の光量をそれぞれ測定し、各駆動画素２３４へ同一の階調レベルデータが与えられた場合に、結果として均一な光量を得られるようなシェーディング補正を行うことが必要となる。
【００６４】
図１０に、露光制御回路１５０の一例を示す。
【００６５】
露光制御回路１５０は、図１０に示すように、階調画像データＤｇをパーソナル・コンピュータ等から入力するための入力ＩＦ１５１、階調画像データＤｇに対してシェーディング補正を行うためのシェーディング補正回路１５２、シェーディング補正回路１５２でシェーディング補正を行うためのシェーディング補正用の補正データを記憶する補正値用メモリ１５３、補正された階調画像データＤｇ´及び露光タイミングデータＳｃを用いて液晶シャッタアレイ１１８を駆動するための制御信号（ＬＣＳ制御信号）を生成するＬＣＳ制御回路１５４、ＬＣＳ制御信号を生成するためのルックアップテーブル（ＬＵＴ）１５５、ＬＣＳ制御信号に応じて実際に液晶シャッタアレイの各画素を駆動する駆動信号（ＬＣＳ駆動信号）を生成するためのＬＣＳ駆動回路１５６を有している。
【００６６】
また、露光制御回路１５０は、階調画像データＤｇから露光タイミングデータＳｃを生成する露光補正回路１５８、露光タイミングデータＳｃ及びＬＥＤ駆動条件データに応じてＬＥＤ１２０を駆動するためのＬＥＤ駆動信号を生成するＬＥＤ点灯制御回路１５９、ＬＥＤ駆動条件データを記憶するＬＥＤ駆動条件用メモリ１６０を有している。
【００６７】
ＬＣＳ駆動信号及びＬＥＤ駆動信号は、信号線１２２を介して露光ヘッドに送信され、液晶シャッタアレイ１８８及びＬＥＤ１２０はＬＣＳ駆動信号及びＬＥＤ駆動信号に応じてそれぞれ駆動される。
【００６８】
なお、後述するようにして求められたシェーディング補正用の補正データ及びＬＥＤ駆動条件データ（電流値データ）は、それぞれ補正値用メモリ１５３及びＬＥＤ駆動条件用メモリ１６０に記憶されているものとする。
【００６９】
図１１は、露光ヘッド１００のシェーディング補正用の補正データを求めるフローの一例を示す図である。
【００７０】
本実施形態では、液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素の光量を、複数回に分割して実行する。しかしながら、全ての測定終了後に、初めて何れかの測定データに不具合があることが判別すると、全ての測定データが無駄になってしまうことから、分割して実行される測定毎に測定データが適正か否かの判別を行う。
【００７１】
図１１に示すフロー開始の際には、測定用の露光ヘッド１００の本体が測定装置２００の所定の場所にセットされ、信号線１２２がＩＦ２４０に差込まれる。その後、オペレータによって、ＰＣ３００からの測定開始指示がバスライン２６０を介して測定装置２００のＣＰＵ２１１に送信されて、測定が開始される。以下図１１に示すフローは、ＰＣ３００に記憶されているシステム制御ソフトウエアに従い、ＰＣ３００と測定装置２００のＣＰＵ２１１が相互に連携しながら実行される。
【００７２】
最初にｒ（測定回数）＝１と設定し（Ｓ１１０１）、ｒがＲｅ（分割回数）と比較される（Ｓ１１０２）。Ｓ１１０２で分割回数以下と判断された場合（液晶シャッタアレイ１１８の全ての駆動画素に関する測定が終了していない場合）には、Ｓ１１１０〜Ｓ１１２８が分割回数だけ繰り返される。
【００７３】
最初にＣＣＤ移動機構制御部２８０によって、ＣＣＤセンサアレイ２３０が所定の位置に移動される（Ｓ１１１０）。例えば、分割回数が３回の場合、ｒ＝１では、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素Ｎ１〜Ｎ２（例えは、Ｎ１＝１、Ｎ２＝４８０）に対応する図９に示す位置にＣＣＤセンサアレイ２３０が移動され、ｒ＝２では液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素Ｎ３〜Ｎ４（例えは、Ｎ３＝４８１、Ｎ４＝９６０）に対応する図９のＢの位置にＣＣＤセンサアレイ２３０が移動され、ｒ＝３では液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素Ｎ５〜Ｎ６（例えは、Ｎ５＝９６１、Ｎ６＝１４４０）に対応する図９のＣの位置にＣＣＤセンサアレイ２３０が移動される。
【００７４】
次に、予め定められている基準電流値が、電流供給回路２２０から露光ヘッド１００のＬＥＤ１２０の一つのＬＥＤ素子に印加されて点灯する（Ｓ１１１１）。本実施形態の露光ヘッド１００は、３色のＬＥＤ素子（青色、緑色及び赤色）を有しているが、測定は色ＬＥＤ素子毎に行われる。
【００７５】
次に、標準駆動階調データＨ（Ｎ）で液晶シャッタアレイ１１８を駆動する（Ｓ１１１２）。標準駆動階調データＨ（Ｎ）は、液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素（Ｎ１〜Ｎ６）に対して、中間駆動階調レベルＨｍ（＝１２８）を与えるものである。中間駆動階調レベルＨｍは、液晶シャッタ駆動回路２１２から露光ヘッド１００へ供給される。本実施形態では、標準駆動階調データＨ（Ｎ）により液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素に中間駆動階調レベルＨｍを与えるものとしたが、最大駆動階調レベルとしても良い。
【００７６】
次に、ＣＣＤラインセンサ２３０の全ての受光素子２３２からの受光量が受光量検出回路２７４によって検出され、積分回路２７２によって積分されて、不図示のＡ／Ｄ変変換回路によってデジタル信号に変換され光量データＥ１（Ｘ）としてＣＰＵ２１１に検出される（Ｓ１１１３）。本実施形態では、前述したように２０４８個の受光素子２３２を有しているため、２０４８個の光量データＥ１（Ｘ）（Ｘは、０〜２０４７）が取得される。
【００７７】
図１２は、取得された光量データＥ１（Ｘ）の一例を示す図である。
【００７８】
光量データＥ１（Ｘ）は、Ａ／Ｄ変換装置の出力値（０〜４０９５）として示されている。
【００７９】
次に、光量データＥ１（Ｘ）の内の最大値を有する光量データＥ１ｍａｘを検出し（Ｓ１１１４）、Ｅ１ｍａｘが予め定めされている範囲内か否かが判断される（Ｓ１１１５）。Ｅ１ｍａｘが大きく、Ａ／Ｄ変換回路のＡ／Ｄ変換限界を超えている場合、変換後のデータが飽和している可能性が高く、良好な測定結果を得ることができないからである。また、Ｅ１ｍａｘが小さい場合、全体的にデータが圧縮されていて、後述する谷部等の検出性が悪くなり、良好な測定結果を得ることができないからである。本実施形態では、Ａ／Ｄ変換限界の９０％以下且つ８０％以上の範囲をＥ１ｍａｘの所定範囲内と設定した。
【００８０】
Ｓ１１１５で、Ｅ１ｍａｘが予め定めされている範囲内に無いと判断された場合には、Ｓ１１１６に移行し、Ｓ１１０７で印加した基準電流値を所定比例分だけ調整させて再度Ｓ１１１０〜Ｓ１１１６を繰り返す。本実施形態では、所定比例分は１０％としたので、Ｅ１ｍａｘが予め定められている範囲より高い場合には１０％ダウン、Ｅ１ｍａｘが予め定められている範囲より低い場合には１０％アップするように、基準電流値を調整する。なお、品質の一定したＬＥＤを入手できる場合等には、上述したＳ１１１０〜Ｓ１１１６のステップを省略することもできる。
【００８１】
Ｓ１１１５において、Ｅ１ｍａｘが予め定められた範囲内にあると判断された場合には、光量データＥ１（Ｘ）から液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素Ｎ１〜Ｎ２の光量データを含む光量分布データＦ１（Ｎ）を取得する（Ｓ１１２０）。したがって、光量分布データＦ１（Ｎ）は、（Ｎ２−Ｎ１）個分の光量データの集合である。
【００８２】
ここで、光量データＥ１（Ｘ）の谷部（図１２の１２０１参照）から駆動画素の画素領域を特定し、特定された各画素領域のピーク値を、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素Ｎ１〜Ｎ２の光量データＦとした。図３に示すように、１つの駆動画素に対して４つの受光素子が対応しているため、駆動素子の真下に位置していない受光素子の出力が光量データＥ１（Ｘ）の谷部に相当する。そこで、谷部を用いて、各画素領域を定めたものである。
【００８３】
図１３（ａ）に、光量分布データＦ１（Ｎ）の一例を示す。
【００８４】
光量分布データＦ１（Ｎ）は、図１３（ａ）に示すように、液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素幅（Ｗｓ）の内のＣＣＤセンサアレイ２３０の幅Ｗｒに相当する分に対応した光量分布データである。
【００８５】
次に、光量分布データＦ１（Ｎ）から、補正参照データＵ１（Ｎ）を求める（Ｓ１１２１）。補正参照データＵ１（Ｎ）は、後述するように、シェーディング補正用の補正データを作成するために用いられる液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素毎のデータであって、光量分布データＦ１（Ｎ）の最小値Ｆ１ｍｉｎを基準（＝１）にした場合に、Ｆ１ｍｉｎに合わせるためのデータを示し、Ｕｒ（Ｎ）＝Ｆｒｍｉｎ／Ｆｒ（Ｎ）で表すことができる。
【００８６】
図１４に、補正参照データＵ１（Ｎ）の一例を示す。
【００８７】
補正参照データＵ１（Ｎ）は、図１４に示すように、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素Ｎ１〜Ｎ２に対応し、Ｆｒｍｉｎに相当する画素の補正データ＝１となるように正規化されている。
【００８８】
次に、補正参照データＵ１（Ｎ）から補正データＨ´１（Ｎ）を求める（Ｓ１１２２）。
【００８９】
補正データＨ´１（Ｎ）は、以下のステップにより求める。
【００９０】
（１）まず、中間駆動階調レベルＨｍ（Ｓ１１１２参照）が入力された場合に必要な照射露光量Ｓ（Ｈｍ）を、補正参照データＵ（Ｎ）及び関係式Ｔ（Ｈｍ）から、「Ｓ（Ｈｍ）＝Ｔ（Ｈｍ）／Ｕ（Ｎ）」の式を用いて、駆動画素Ｎ１〜Ｎ２のそれぞれについて求める。ここで、Ｔ（Ｈ）は、液晶シャッタアレイ１１８の全ての駆動画素に共通する関係式であって、駆動階調レベル（Ｈ）と規格化された照射露光量Ｔの関係を表すものであり、液晶シャッタアレイ１１８の非線形な駆動特性と、感光材料の非線形な感度特性との関係から求められたものである。
【００９１】
（２）次に、Ｓ（Ｈｍ）＝Ｔ（Ｈｍ´）を満足する実数値Ｈｍ´を、駆動画素Ｎ１〜Ｎ２のそれぞれについて求める。
【００９２】
（３）次に、駆動画素Ｎ１〜Ｎ２のそれぞれについて求めたＨｍ´を補正データＨ´１（Ｎ）とする。Ｈｍ´は、ある駆動画素に中間駆動階調レベルＨｍが与えられた場合に、最小光量Ｆｍｉｎに対応する駆動画素に中間駆動階調レベルＨｍが与えられた場合と同じ照射露光量を得るために必要な駆動階調レベルを表している。即ち、ある駆動画素に中間駆動階調レベルＨｍが与えられた場合に、ＨｍをＨｍ´に変更するようにして、シェーディング補正が行われる。なお、Ｈｍ´の小数点以下を四捨五入して整数値としても良い。
【００９３】
次に、駆動画素Ｎ１〜Ｎ２については補正データＨ´１（Ｎ）が、駆動画素Ｎ３〜Ｎ６についてはＳ１１１２で用いた駆動階調レベルＨｍを用いて、液晶シャッタアレイ１１８の駆動制御を行い、再度Ｅ´１（Ｘ）を測定し、測定したＥ´１（Ｘ）に基づいて、駆動画素Ｎ１〜Ｎ２に関する補正された光量分布データＦ１´（Ｎ）を求める（Ｓ１１２４）。
【００９４】
図１５に、光量分布データＦ１´（Ｎ）の一例を示す。
【００９５】
光量分布データＦ１´（Ｎ）は、図１５に示すように、図１３（ａ）をシェーディング補正によって補正した結果であり、理想的には、図１３（ａ）のＦ１ｍｉｎの光量レベルに揃っていることが望ましい。
【００９６】
次に、光量分布データＦ１´（Ｎ）の最大値Ｆ１ｍａｘ及び最小値Ｆ１ｍｉｎを求め（Ｓ１１２５）、最大値Ｆ１ｍａｘ及び最小値Ｆ１ｍｉｎの差が、所定の範囲内に収まっているか否かの判断を行う（Ｓ１１２６）。
【００９７】
Ｓ１１２６において、最大値Ｆ１ｍａｘ及び最小値Ｆ１ｍｉｎの差が、所定の範囲内に収まってない場合には、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素Ｎ１〜Ｎ２に関しては良好にシェーディング補正が行えない要因があると判断して、エラー出力を行い（Ｓ１１２９）、測定を中止する。最大値Ｆ１ｍａｘ及び最小値Ｆ１ｍｉｎの差が大きい場合には、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素Ｎ１〜Ｎ２にからの光量が均一になるようにシェーディング補正が行えない可能性や、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素Ｎ１〜Ｎ２にからの光量が均一になるように補正すると光量自体の強度が下がってしまう可能性が高い。そこで、最大値Ｆ１ｍａｘ及び最小値Ｆ１ｍｉｎの差が大きい場合には、測定対象の露光ヘッドが不適正なものであると判断し、エラーを出力することとした。
【００９８】
Ｓ１１２６において、最大値Ｆ１ｍａｘ及び最小値Ｆ１ｍｉｎの差が、所定の範囲内に収まっている場合には、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素Ｎ１〜Ｎ２に関しては良好にシェーディング補正が行えると判断して（Ｆ１（Ｎ）は適正であると判断して）、Ｆ１（Ｎ）を光量用メモリ２１５に記憶する（Ｓ１１２７）。さらに、ｒ＝ｒ＋１として（Ｓ１１２８）、次の測定を行う（Ｓ１１１０〜Ｓ１１２８）。
【００９９】
Ｓ１１０２において、分割回数分の測定が終了したら、次に、記憶した光量分布データＦ１（Ｎ）〜Ｆ３（Ｎ）から液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素に対応した光量分布データＧ（Ｎ）を合成する（Ｓ１１０３）。すなわち、第１回目の測定（ｒ＝１）で液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素Ｎ１〜Ｎ２に関して図１３（ａ）に示すような光量分布データＦ１（Ｎ）を取得し、第２回目の測定（ｒ＝２）で液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素Ｎ３〜Ｎ４に関して図１３（ｂ）に示すような光量分布データＦ２（Ｎ）を取得し、第３回目の測定（ｒ＝３）で液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素Ｎ５〜Ｎ６に関して図１３（ｃ）に示すような光量分布データＦ３（Ｎ）を取得し、これらの光量分布データを合成して液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素に関して図１３（ｄ）に示すような合成光量分布データＧ（Ｎ）を取得する。
【０１００】
次に、光量分布データＧ（Ｎ）から、補正参照データＶ（Ｎ）を求める（Ｓ１１０４）。補正参照データＶ（Ｎ）は、シェーディング補正用の補正データを作成するために用いられる液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素毎のデータであって、光量分布データＧ（Ｎ）の最小値Ｇｍｉｎを基準（＝１）にした場合に、Ｇｍｉｎに合わせるためのデータを示し、Ｖ（Ｎ）＝Ｇｍｉｎ／Ｇ（Ｎ）で表すことができる。
【０１０１】
次に、補正参照データＶ（Ｎ）から補正データＨ´（Ｎ）を求める（Ｓ１１０５）。
【０１０２】
補正データＨ´（Ｎ）は、以下のステップにより求める。
【０１０３】
（１）まず、駆動階調レベルＨ＝０が入力された場合に必要な照射露光量Ｓ（０）を、補正参照データＶ（Ｎ）及び関係式Ｔ（０）から、「Ｓ（０）＝Ｔ（０）／Ｕ（Ｎ）」の式を用いて、全駆動画素Ｎ１〜Ｎ６のそれぞれについて求める。ここで、前述した様にＴ（Ｈ）は、液晶シャッタアレイ１１８の全ての駆動画素に共通する関係式であって、駆動階調レベル（Ｈ）と規格化された照射露光量Ｔの関係を表すものであり、液晶シャッタアレイ１１８の非線形な駆動特性と、感光材料の非線形な感度特性との関係から求められたものである。
【０１０４】
（２）次に、Ｓ（０）＝Ｔ（Ｈ０´）を満足する実数値Ｈ０´を、全駆動画素Ｎ１〜Ｎ６のそれぞれについて求める。
【０１０５】
（３）次に、全駆動画素Ｎ１〜Ｎ６のそれぞれについて求めたＨ０´を、駆動階調レベルＨ＝０の補正データＨ´０（Ｎ）とする。
【０１０６】
上記（１）〜（３）を全ての駆動階調レベル（例えば、Ｈ＝０〜Ｈ＝２５５）について行い、Ｈ´０（Ｎ）〜Ｈ´２５５（Ｎ）を求める。Ｈ´０は、ある駆動画素に駆動階調レベルＨ０が与えられた場合に、最小光量Ｆｍｉｎに対応する駆動画素に駆動階調レベルＨ０が与えられた場合と同じ照射露光量を得るために必要な駆動階調レベルを表している。即ち、ある駆動画素に駆動階調レベルＨ０が与えられた場合に、Ｈ０をＨ´０に変更するようにして、シェーディング補正が行われる。なお、Ｈ´の小数点以下を四捨五入して整数値としても良い。
【０１０７】
図１６に、シェーディング補正用の補正データＨ´（Ｎ）の一例を示す。
【０１０８】
補正データＨ´（Ｎ）は、Ｈ´（Ｎ）は、Ｈ´０（Ｎ）〜Ｈ´２５５（Ｎ）の集合であり、図１６に示すように、全駆動画素Ｎ１〜Ｎ６について、与えられた全ての駆動階調レベル（Ｈ＝０〜Ｈ＝２５５）に対応した補正値を示している。また、図１６の例は、赤色ＬＥＤ素子に関する補正値であるが、実際には、青色ＬＥＤ素子及び緑色ＬＥＤ素子についても同様な手順にしたがって補正データを求める。
【０１０９】
最後に、Ｇ（Ｎ）を光量用メモリ２１５に記憶し、補正データＨ´（Ｎ）を補正値用メモリ２１６に記憶して（Ｓ１１０６）、フローを終了する。Ｓ１１２５及びＳ１１２６において、光量分布データＦ１（Ｎ）〜Ｆ３（Ｎ）のそれぞれが適正なデータであることが確認されているので、これらからＧ（Ｎ）を合成した場合に、初めてデータが不適正であって、測定が無意味となるような事態は生じない。
【０１１０】
このように、図１１のフローに従うことによって、液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素に対応するシェーディング補正用の補正データを、液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素幅より小さい受光部を有する受光素子を用いて適切に実行することが可能となった。
【０１１１】
補正値Ｈ´（Ｎ）（図１６参照）は、一旦補正値用メモリ２１６に記憶された後、露光ヘッド１００に接続される露光制御回路１５０内の所定のメモリ、例えば補正値用メモリ１５３に記憶される。なお、補正値Ｈ´（Ｎ）は、ＦＤ、ＣＤ等の記録媒体に書き込まれ、測定された露光ヘッド１００と共に、出荷されるようにしても良い。
【０１１２】
図１７は、露光ヘッド１００のシェーディング補正用の補正データを求めるフローの他の例を示す図である。
【０１１３】
図１７のフローにおいて、図１１のフローと同じステップには同じ番号を付した。図１１のフローでは、分割して測定された光量分布データＦｒ（Ｎ）の適正を判断するために、シェーディング補正用の補正データを作成して露光ヘッドを駆動し、再度光量分布データＦ´ｒ（Ｎ）を測定し直している。しかしながら、図１７のフローでは、再度光量分布データを測定し直すことをせずに、補正参照データＵｒ（Ｎ）のみを用いて、分割して測定された光量分布データＦｒ（Ｎ）の適正を簡易的に判断することとした。
【０１１４】
即ち、図１７のＳ１７０１において、補正データＵ１（Ｎ）から最小値Ｕ１ｍｉｎを検出し（図１４参照）、Ｓ１７０２においてＵ１ｍｉｎが所定範囲内にあるか否かを判断することとした。Ｕ１ｍｉｎはＦ１ｍｉｎから最も光量に差があった画素のデータに対応しており、Ｕ１ｍｉｎが小さいということはそれだけその画素の光量が小さくなるように補正を行う必要があることを示している。即ち、Ｕ１ｍｉｎが非常に小さい場合には、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素Ｎ１〜Ｎ２からの光量を均一になるように補正が行えない可能性や、液晶シャッタアレイ１１８の各駆動画素Ｎ１〜Ｎ２からの光量を均一になるように補正すると光量自体の強度が下がってしまう可能性が高い。そこで、Ｕ１ｍｉｎが予め定めた範囲外にある場合には、分割して測定された光量分布データＦ１（Ｎ）が不適正なものであると判断し、エラーを出力することとした（Ｓ１１２９）。
【０１１５】
他のステップは図１１と同様であるので、説明を省略する。
【０１１６】
このように、図１７のフローでは、簡易的に分割して測定された光量分布データＦ１（Ｎ）の適正を判断するので、より早く液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素に対応するシェーディング補正用の補正データを作成することが可能となった。
【０１１７】
図１１及び図１７のフローにおいては、液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素からの光量分布を３等分して３回に分けて分割測定した。しかしながら、分割測定する回数、及び各測定における対象駆動画素は任意に決定することが可能である。
【０１１８】
また、図１１及び図１７のフローにおいては、各分割測定において、測定対象とする画素同士に重複を生じないようにして、液晶シャッタアレイ１１８の全駆動画素の測定を行ったが、各分割測定の境目において、測定対象とする画素が重複するようにしても良い。例えば、分割回数が３回の場合、最初に液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素１〜５００について分割測定を行い、次に液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素４６０〜９８０について分割測定を行い、最後に液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素９４０〜１４４０について分割測定を行うようにすれば良い。重複部分を利用すれば、複数の光量分布Ｆｒ（Ｎ）から合成光量分布Ｇ（Ｎ）を作成する際に、光量レベルや駆動画素の位置などを正確に一致させながら合成することが可能となる。
【０１１９】
測定対象とする画素を重複するように設定して分割測定を行った場合には、各分割測定による光量分布Ｆｒ（Ｎ）を繋ぎ合わせる処理が必要となる。繋ぎ合わせる部分は、例えば、各分割測定の境目における特定画素領域（例えば１０画素分）毎の光量の積分値に基づいて決定することができる。即ち、特定画素領域の光量の積分値が一致する所同士を合わせるようにして、合成光量分布Ｇ（Ｎ）を作成すれば良い。
【０１２０】
図１８は、ＬＥＤに供給する電流値を定めるフローを示す図である。
【０１２１】
露光ヘッド１００に組み込まれるＬＥＤ１２０からの光量は、供給される電流値に応じて変化するため、実際に露光装置５００が使用される場合に必要とされる光量を得るための電流値を定める必要がある。図１１又は図１７に示すフローにおいて、シェーディング補正用の補正データを取得することができたので、次に、図１８に示すフローを用いて、ＬＥＤに供給する電流値を定める。
【０１２２】
図１８のフローでは、電流値を定める時点で既にシェーディング補正用の補正データが作成され、その補正データを用いて液晶シャッタアレイ１１８を駆動して、電流値を定めるための露光量を測定している。したがって、液晶シャッタアレイ１１８からの透過光量は均一に補正されており、どの駆動画素を利用しても又はいくつの駆動画素を利用して露光量を測定しても良いという利点がある。また、シェーディング補正を行う前に電流値を決定してしまうと、シェーディング補正によって何れかの駆動画素の透過光量レベルに均一化されてしまうので、決定された電流値に対応した光量が変動してしまうという問題があった。しかしながら、図１８に示すフローの様に、シェーディング補正用の補正データを決定してから、発光素子１２０への供給電流値を決定すれば、そのような問題は発生しない。
【０１２３】
図１９は、シェーディング補正用の補正データＨ´（Ｎ）の働きを示す図である。
【０１２４】
図１９（ａ）は、図１１のＳ１１１２で液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素に供給される駆動階調レベルＨ（Ｎ）（全駆動画素に対して中間駆動階調レベルＨｍ）を示しており、図１９（ｂ）は、図１１のＳ１１０３で駆動階調レベルＨ（Ｎ）が供給された場合に合成された光量分布データＧ（Ｎ）を示している。図１９（ｃ）は、図１１のＳ１１０５で取得された（中間駆動階調レベルＨｍに対する）補正データＨ´（Ｎ）を示しており、図１９（ｄ）は、補正データＨ´（Ｎ）が供給された場合に得られる補正光量分布データＧ´（Ｎ）を示している。
【０１２５】
図１８に示すフロー開始の際には、測定用の露光ヘッド１００の本体が測定装置２００の所定の場所にセットされ、信号線１２２がＩＦ２４０に差込まれる。その後、オペレータによって、ＰＣ３００からの測定開始指示がバスライン２６０を介して測定装置２００のＣＰＵ２１１に送信されて、測定が開始される。以下図１８に示すフローは、ＰＣ３００に記憶されているシステム制御ソフトウエアに従い、ＰＣ３００と測定装置２００のＣＰＵ２１１が相互に連携しながら実行される。さらに、図１８に示すフローではＲ色ＬＥＤについて電流値を定めるが、他のＧ色ＬＥＤ及びＢ色ＬＥＤについても同様に電流値を定めるものとする。
【０１２６】
最初に、予め定められた基準電流値又は図１１のＳ１１１６で調整された調整電流値Ｊ１を用いてＬＥＤを点灯し（Ｓ１８０１）、図１１のＳ１１０５で取得された（中間駆動階調レベルＨｍに対する）補正データＨ´（Ｎ）（図１９（ｃ）参照）を用いて液晶シャッタアレイ１１８を駆動して（Ｓ１８０２）、露光量Ｐ１を取得する（Ｓ１８０３）。
【０１２７】
ここで、補正データＨ´（Ｎ）によって、図１９（ｄ）に示すように、液晶シャッタアレイ１１８からの光量はどこの画素についてもほぼ同じレベルに統一されていることから、ＣＣＤラインセンサ２３０は何処に配置していても良いが、本実施形態では、図９に実線で示す位置に配置させるものとする。また、Ｓ１８０２で駆動する液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素数は、任意の個数でかまわないが、本実施形態では、全ての駆動画素を駆動するものとする。
【０１２８】
また、露光量Ｐ１は、ＣＣＤラインセンサ２３０の中心部分の２０００個の受光素子の平均光量とすることとした。なお、利用するＣＣＤラインセンサ２３０の受光素子の数は任意の数でかまわないが、駆動される液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素のピッチの整数倍であることが好ましい。また、露光量Ｐ１を測定するための特別の受光素子を設けても良い。
【０１２９】
次に、予め定められた他の基準電流値Ｊ２を用いてＬＥＤを点灯し（Ｓ１８０４）、図１１のＳ１１０５で取得した（中間駆動階調レベルＨｍに対する）補正データＨ´（Ｎ）（図１９（ｃ）参照）を用いて液晶シャッタアレイ１１８を駆動して（Ｓ１８０５）、露光量Ｐ２を取得する（Ｓ１８０６）。なお、この場合の、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素及びＣＣＤラインセンサ２３０で用いる受光素子や露光量の定め方はＳ１８０２及びＳ１８０３と同様である。
【０１３０】
次に、Ｊ１及びＰ１、Ｊ２及びＰ２、及び目標露光量Ｐｔを用いて、予想電流値Ｊ３を決定する（Ｓ１８０７）。予想電流値を決定する具体的な方法については後述する。
【０１３１】
次に、Ｓ１８０７で決定された予想電流値Ｊ３を用いてＬＥＤを点灯し（Ｓ１８０９）、図１１のＳ１１０５で取得した（中間駆動階調レベルＨｍに対する）補正データＨ´（Ｎ）（図１９（ｃ）参照）を用いて液晶シャッタアレイ１１８を駆動して（Ｓ１８１０）、露光量Ｐ３を取得する（Ｓ１８１１）。なお、この場合の、液晶シャッタアレイ１１８の駆動画素及びＣＣＤラインセンサ２３０で用いる受光素子や露光量の定め方はＳ１８０２及びＳ１８０３と同様である。
【０１３２】
次に、Ｓ１８１１で測定した露光量Ｐ３が予め定められた所定の範囲内であるか否かが判断され（Ｓ１８１２）、所定の範囲内であれば、予想電流値Ｊ３を測定対象の露光ヘッド１００のＲ色ＬＥＤ用の指定電流値として、ＬＥＤ駆動条件用メモリ２１３に記憶して（Ｓ１８１３）、フローを終了する。
【０１３３】
Ｓ１８１２で、予想電流値Ｊ３によって得られた露光量Ｐ３が所定の範囲内でない場合には、｜Ｐ１−Ｐｔ｜と｜Ｐ２−Ｐｔ｜とが比較され（Ｓ１８１４）、｜Ｐ２−Ｐｔ｜が大きい場合にはＳ１８１５でデータを修正して再度Ｓ１８０７〜１８１２を繰り返し、｜Ｐ２−Ｐｔ｜が大きくない場合にはＳ１８１６でデータを修正して再度Ｓ１８０７〜１８１２を繰り返し、最終的に測定された露光量Ｐ３が所定の範囲内に入るようなＪ３を決定する。
【０１３４】
図２０は、｜Ｐ２−Ｐｔ｜が｜Ｐ１−Ｐｔ｜より大きい場合の予想電流値Ｊ３の絞り込み方法を説明するための図である。
【０１３５】
図２０（ａ）において、特性曲線２０００は、露光ヘッド１００（Ｒ色ＬＥＤ点灯時）の露光量とＲ色ＬＥＤへの供給電流との関係を示している。Ｒ色ＬＥＤの特性曲線は、通常図示されるように非線形な曲線を描き、ＬＥＤ固有であって、事前に特定することが困難である。そこで、図１８のフローでは、２つの測定点２００１及び２００２を用いて、目標露光量Ｐｔを実現する電流値を予想する。図２０（ａ）において、点２００１は、Ｓ１８０１〜Ｓ１８０３で測定した電流値Ｊ１に対する露光量Ｐ１をプロットしたものであり、点２００２は、Ｓ１８０４〜Ｓ１８０６で測定した電流値Ｊ１に対する露光量Ｐ２をプロットしたものである。
【０１３６】
Ｓ１８０７で説明した予想電流値は、図２０（ａ）に示すように、点２００１と点２００２を結んだ線分が目標露光量Ｐｔと交わる点２００３を決定し、点２００３からの垂線とＸ軸とが交わる点の数値から決定した。なお、２つの測定点２００１及び２００２から予想電流値Ｊ３を決定するために、他の方式を採用することも可能である。
【０１３７】
点２００４は、Ｓ１８０７〜Ｓ１８１１で測定した予想電流値Ｊ３に対する露光量はＰ３をプロットしたものである。図２０（ａ）では、予想電流値Ｊ３を供給した結果、測定された露光量Ｐ３が予め定めた目標露光量Ｐｔを含む所定の範囲内２００５内に入っていない状況を示している。
【０１３８】
また、図２０（ａ）において、Ｓ１８１４で説明した｜Ｐ２−Ｐｔ｜は２００６に相当し、｜Ｐ１−Ｐｔ｜は２００７に相当する。図２０（ａ）に示すように、｜Ｐ１−Ｐｔ｜＜｜Ｐ２−Ｐｔ｜であるので、Ｓ１８１５に進み、Ｊ１＝Ｊ２及びＰ１＝Ｐ２と置き換え、Ｊ２＝Ｊ３及びＰ２＝Ｐ３と置き換えて、再度予想電流値Ｊ３を決定する。
【０１３９】
図２０（ｂ）に示すように、今回は、点２００４（前回の予想電流値Ｊ３に対する露光量はＰ３）と点２００２を結んだ線分が目標露光量Ｐｔと交わる点２０１０を決定し、点２０１０からの垂線とＸ軸とが交わる点の値を予想電流値Ｊ３と定めた（Ｓ１８０７）。その後、再度新しい予想電流値Ｊ３をＬＥＤに供給して新たな露光量Ｐ３を測定する（Ｓ１８１１）。点２０１１は、新たな予想電流値Ｊ３に対する新たな露光量はＰ３をプロットしたものである。新たに測定した露光量Ｐ３は、所定の範囲内２００５内に入っているので、これ以上の予想電流値の決定及び測定をやめて、決定した予想電流値Ｊ３を測定対象の露光ヘッド１００用の指定電流値として記憶する（Ｓ１８１３）。
【０１４０】
図２１は、｜Ｐ２−Ｐｔ｜が｜Ｐ１−Ｐｔ｜より大きくはない場合の予想電流値Ｊ３の絞り込み方法を説明するための図である。
【０１４１】
図２１（ａ）において、曲線２０００は、露光ヘッド１００（Ｒ色ＬＥＤ点灯時）の露光量とＲ色ＬＥＤへの供給電流との関係を示し、通常図示されるようにＬＥＤに応じた非線形な曲線を描き、ＬＥＤ固有であって、事前に特定することが困難である。そこで、図１８のフローでは、２つの測定点２１０１及び２１０２を用いて、目標露光量Ｐｔを実現する電流値を予想する。また、図２１（ａ）において、点２１０１は、Ｓ１８０１〜Ｓ１８０３で測定した電流値Ｊ１に対する露光量Ｐ１をプロットしたものであり、点２１０２は、Ｓ１８０４〜Ｓ１８０６で測定した電流値Ｊ１に対する露光量Ｐ２をプロットしたものである。
【０１４２】
Ｓ１８０７で説明した予想電流値は、図２１（ａ）に示すように、点２１０１と点２１０２を結んだ線分が目標露光量Ｐｔと交わる点２１０３を決定し、点２１０３からの垂線とＸ軸とが交わる点の数値から決定した。なお、２つの測定点２１０１及び２１０２から予想電流値Ｊ３を決定するために、他の方式を採用することも可能である。
【０１４３】
点２１０４は、Ｓ１８０７〜Ｓ１８１１で測定した予想電流値Ｊ３に対する露光量はＰ３をプロットしたものである。図２１（ａ）では、予想電流値Ｊ３を供給した結果、測定された露光量Ｐ３が予め定めた目標露光量Ｐｔを含む所定の範囲内２１０５内に入っていない状況を示している。
【０１４４】
また、図２１（ａ）において、Ｓ１８１４で説明した｜Ｐ２−Ｐｔ｜は２１０６に相当し、｜Ｐ１−Ｐｔ｜は２１０７に相当する。図２１（ａ）に示すように、｜Ｐ１−Ｐｔ｜＜｜Ｐ２−Ｐｔ｜でないので、Ｓ１８１６に進み、Ｊ２＝Ｊ３及びＰ２＝Ｐ３と置き換えて、再度予想電流値Ｊ３を決定する。
【０１４５】
図２１（ｂ）に示すように、今回は、点２１０１と点２１０４（前回の予想電流値Ｊ３に対する露光量はＰ３）を結んだ線分が目標露光量Ｐｔと交わる点２１１０を決定し、点２１１０からの垂線とＸ軸とが交わる点の値を予想電流値Ｊ３と定めた（Ｓ１８０７）。その後、再度新しい予想電流値Ｊ３をＬＥＤに供給して新たな露光量Ｐ３を測定する（Ｓ１８１１）。点２１１１は、新たな予想電流値Ｊ３に対する新たな露光量はＰ３をプロットしたものである。新たに測定した露光量Ｐ３は、所定の範囲内２１０５内に入っているので、これ以上の予想電流値の決定及び測定をやめて、決定した予想電流値Ｊ３を測定対象の露光ヘッド１００用の指定電流値として記憶する（Ｓ１８１３）。
【０１４６】
このように、図１８のフローに従うことによって、露光ヘッド１００から所定の範囲内の露光量を得られるような指定電流値を決定することが可能となった。指定電流値Ｊ３（Ｓ１８１３）は、一旦ＬＥＤ駆動条件用メモリ２１３に記憶された後、露光ヘッド１００に接続される露光制御回路１５０内の所定のメモリ、例えばＬＥＤ駆動条件メモリ１６０に記憶される。なお、指定電流値Ｊ３（Ｓ１８１３）はは、ＦＤ、ＣＤ等の記録媒体に書き込まれ、測定された露光ヘッド１００と共に、出荷されるようにしても良い。
【０１４７】
また、図１８のフローでは、２つの測定点及び目標露光量から予想電流値Ｊ３を求めたが、１つの測定点（電流値Ｊ１に対する露光量Ｐ１）のみから予想電流値Ｊ３を求めるようにしても良い。
【０１４８】
さらに、図１８のフローでは、予想電流値Ｊ３を用いて再度露光量Ｐ３の測定を行ったが、測定を行わずに、予想電流値Ｊ３をそのまま露光ヘッド１００の特定のＬＥＤに対する指定電流値をしても良い。
【０１４９】
さらに、図１８のフローは、図１１又は図１６のフローによる分割測定時以外、例えば、液晶シャッタアレイ１１８の光量分布データを一度に測定する測定方法又は製造方法にも採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】本発明に係わるシステムの一例を示す概略構成図である。
【図２】図１に示すシステムの外観を示す図である。
【図３】本発明に係わるシステムに使用されるＣＣＤラインセンサの一例を示す図である。
【図４】露光ヘッドの一例を示す分解斜視図である。
【図５】図４に示す露光ヘッドの断面図である。
【図６】露光装置の一例を示す断面図である。
【図７】図４に示す露光ヘッドに使用される液晶シャッタの断面図である。
【図８】液晶シャッタアレイの開口部の形状の一例を示す図である。
【図９】図１に示すシステムにおける光路を示す図である。
【図１０】露光制御回路の一例を示す概略構成図である。
【図１１】本発明に係る補正値取得フローの一例を示す図である。
【図１２】受光素子の出力データＥ１（Ｘ）の一例を示す図である。
【図１３】（ａ）は光量分布データＦ１（Ｎ）の一例を示し、（ｂ）は光量分布データＦ２（Ｎ）の一例を示し、（ｃ）は光量分布データＦ３（Ｎ）の一例を示し、（ｄ）は合成光量分布データＧ（Ｎ）の一例を示す図である。
【図１４】補正参照データＵ１（Ｎ）の一例を示す図である。
【図１５】補正後の光量分布データＦ´１（Ｎ）の一例を示す図である。
【図１６】図１１のフローにしたがって求められた補正値の一例を示す図である。
【図１７】本発明に係る補正値取得フローの他の例を示す図である。
【図１８】本発明に係る電流値取得フローの一例を示す図である。
【図１９】階調レベルデータと光量分布データとの関係を説明するための図である。
【図２０】予想電流値を決定する方法を説明するための図である。
【図２１】予想電流値を決定する方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１５１】
１００    露光ヘッド
１１８    液晶シャッタアレイ
１２０    ＬＥＤ
１５０    露光制御回路
１５３    補正値用メモリ
１６０    ＬＥＤ駆動条件用メモリ
２００    測定装置
２１１    ＣＰＵ
２１２    液晶シャッタ駆動回路
２１３    ＬＥＤ駆動条件用メモリ
２１５    光量用メモリ
２１６    補正値用メモリ
２３０    ＣＣＤラインセンサ
２８０    ＣＣＤ移動機構制御部
２８２    可動部
３００    ＰＣ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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