(57)【要約】 【課題】  ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と、位置決め、搬送の能率につき向上を図る。また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。【解決手段】静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持する既存の発明を改良し、計測動作等から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。【選択図】  図１
2006064489.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測器支持台上部面に計測部を角度自在に連結するアームの固定用支柱を備え、該計測器支持台の底面内側が凹状であり底面外側が凸状で、該凸状面が静圧軸受面領域となりそこに圧縮空気の吐出口と、圧縮空気の逃げ溝を設けたことを特徴とする計測器。
【請求項２】
静圧ベース底面内側が凹状であり底面外側が凸状で、該凸状面が静圧軸受面領域となりそこに圧縮空気の吐出口と圧縮空気の逃げ溝を設け、可変ベースを該静圧ベースの上で傾き自在に連結した、該可変ベース上面部に計測器を載置できることを特徴とする計測器支持台。
【請求項３】
計測部を連結する水平断面が中空状であるリフトの内側面に圧縮空気の吐出口を設けて、空隙を開け該リフトが抱え込むリニアガイドとの間に静圧軸受面領域を形成し、該リフトは直立したリニアガイドを抱え込んだまま上下にスライドするようにしたことを特徴とする、請求項２の計測器支持台に載置する計測器。
【請求項４】
底面内側が凹状であり底面外側が凸状で該凸状面が静圧軸受面領域となり、圧縮空気吐出口を該静圧軸受面領域に配置したことを特徴とする円筒スコヤー。
【請求項５】
枠状外装部の中空部分にコマを挿入して一体の計測器支持台となり、該支持台上部面に計測器を載置できるが、該枠状外装部とコマの両方に、又は、枠状外装部とコマのいずれか一方において両者が接触する内部面に圧縮空気のチャンバーを形成するための溝構造を設け、かつ、底部面においては内側部分が凹状となり、余の外側部分は凸状で、該凸状面に圧縮空気吐出口と逃げ溝を設けたことを特徴とする計測器支持台。
【請求項６】
位置決め補正台の底面部に圧縮空気吐出口を設け、該底面を静圧軸受面領域とし、圧縮空気吐出のオン・オフスイッチを有する持ち手角度自在なハンドルを設けたことを特徴とする位置決め補正台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は機械工学において、静圧気体軸受を用いて計測精度と、作業能率の向上を可能にする計測器および支持台に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ダイヤルゲージ等での計測過程で、計測器支持台と定盤との間に、潤滑剤として油脂等を用いていた。潤滑剤を使用せず計測作業していた場合には定盤上の計測器や材料の移動、位置決めの際、それらの重量が過大である時、相互の摩擦により時間と労力を浪費し非能率という欠点があった。
【０００３】
これらの問題に対処するため相互の摩擦を減らそうと、計測器支持台を静圧気体軸受で浮上させても、ニューマチックハンマー（振動）が発生し、計測精度の向上は容易でなかった。ニューマチックハンマーが発生しない場合でも支持台の座りが不安定なため計測作業に不向きであった。さらに静圧気体軸受は、軸受け内の回転運動や軌道上の往復運動での相互の摩擦を減らすための潤滑に用いるものが大半であった。
【特許文献１】特開２００２−３９１８０号公報
【特許文献２】特願２００４−２１２７５１号
【非特許文献１】十合晋一著「気体軸受設計ガイドブック」共立出版株式会社          ２００２年１月１０日初版
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
計測器支持台を定盤上で移動しながら計測作業する際、計測器支持台と定盤との相互の摩擦による振動で計測に誤差が生じ、かつ作業性が悪く、重量のある計測器だと長時間、反復する計測作業で従事者の負担になる。さらに、計測器と定盤との摩擦で磨耗による精度低下が相互に生じ、磨耗による汚れが生じ作業性が低下する。
計測器支持台と定盤との摩擦による振動で、計測装置の機構に無用の疲労を与え計測器の精度を低下させるため、計測精度を維持できない。
【０００５】
上記の問題を解決するため、静圧気体軸受（以下静圧と略称す）による浮上支持台で計測器を支持する場合、静圧による支持剛性を上げると、静圧気体軸受特有のニューマチィックハンマーの振動が発生し、支持台と定盤との空隙（ｈ）が一定せず、計測精度を上げることができない。しかもニューマチィックハンマーの振動がない状態で、計測器支持台を静圧で単に浮上させても、やはり支持台と定盤との空隙が一定せず、支持台は不安定なため、精度は期待できないので、静圧作動時に支持台の座りの安定とニューマチィックハンマー発生を防止する静圧浮上支持機構を備えた計測器支持台を応用した計測器の提供を目的とする。
【０００６】
定盤上で大型の円筒スコヤーを移動することは、摩擦で双方を磨耗し、精度低下につながる。さらに、巨大なスコヤーは人力では容易に動かず、移動につきチェンブロック等の設備をもってして吊上げねばならず非常に使い勝手が悪い。一方、ボール盤のテーブル上においては重量のある材料を反復加工する際、あるいは重量のあるバイスを使用して材料を加工する際、加工ポイントの位置決めに労力を浪費する。
【０００７】
そこでこの発明の他の課題は、定盤・テーブルと計測器・位置決め台との相互の摩擦を静圧の浮上支持で減少し、作業性改善をもたらす円筒スコヤーと位置決め補正台の提供を課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第一の特徴は、例えば図１に示すように、通常大気を外部の圧縮機で圧縮し空圧源となるホースから圧縮空気が支持台等の内部に構成するチャンバーに至り、さらにチャンバー内の圧縮空気が絞られ吐出口（１３）から排出され計測器等の底面と定盤との間で発生した静圧により作業したい平面上において計測器等を浮上支持することで縦横どの方向にでも容易に移動できる。
２次元平面上に静圧機構を開放した既存の発明を、さらに計測と位置決め補正および搬送の実施に応用し、作業効率を高めた本発明はこの点で大きな特徴がある。
【０００９】
請求項１の発明による計測器は、計測器支持台上部面（１１ａ）に計測部を角度自在に連結するアーム（２０ａ，２０ｂ）の固定用支柱（２２）を備え、該計測器支持台の底面内側（１２ａ）が凹状であり底面外側（１２ｂ）が凸状で、該凸状面が静圧軸受面領域となりそこに圧縮空気の吐出口（１３）と、圧縮空気の逃げ溝（１７）を設けたことを特徴とする。例えば図１に示すように、板状アームがダイヤルゲージ等の計測部（２）を任意の角度（φ１、φ２、φ３）で自在に支えかつ、該アームを支柱で計測器支持台に固定する計測器であり。さらに、計測器支持台の該底面形状により静圧で自体を浮上支持しながら使用する水平度計測器（２０）が提供できる。
【００１０】
請求項２の発明による計測器支持台は、静圧ベース底面内側が凹状（３１ｆ）であり底面外側が凸状で、該凸状面（３１ｅ）が静圧軸受面領域となりそこに圧縮空気の吐出口（１３）と圧縮空気の逃げ溝（１７）を設け、可変ベースを該静圧ベースの上で傾き自在に連結した、該可変ベース上面部に計測器を載置できることを特徴とする。図４に例示するように、１個の静圧ベース（３６ｃ）と２個の可変ベース（３６ａ，３６ｂ）、合計３個の部品で計測器支持台（３６）の概形を構成している。可変ベースはおのおの３点支持で下の部品に接地し、３点のうち1点が調整ネジ（３７ａ，３７ｂ）であるため、該調整ネジの上下により各可変ベースの上面部（３１ａ）の傾斜を変化させることができ、かつ、該底面形状により静圧で自体を浮上支持しながら使用する計測器支持台（３６）が提供できる。
【００１１】
請求項３の発明は、計測部（２ｂ、２ｃ）を連結する水平断面が中空状であるリフトの内側面に圧縮空気の吐出口を設けて、空隙を開け該リフトが抱え込むリニアガイドとの間に静圧軸受面領域を形成し、該リフトは直立したリニアガイドを抱え込んだまま上下にスライドすることを特徴とする計測器で、請求項２の計測器支持台の上面部において載置する。例えば図４に示すように、テストゲージ等の計測部を設置できるリフト（３２）を有し、円環状（図６）の該リフトはリニアガイド（３７）の側面（３７ｃ）を４方から空隙を開けて抱え込んでいる。リフトの内側面（３２ａ）とそれに対向するリニアガイドの凸面（ｉ２）との空隙（図７−ｈ３）は静圧軸受面領域を形成し、該領域のリフト内側面に圧縮空気の吐出口（３２ｅ）を設けてある。上限はリフトの上面部（３０ａ）とストッパーが当たるまで、下限はリフトの下面部（３０ｂ）と計測器支持台上面部（３１ａ）が当たるまでをストロークとし、直立したリニアガイドを抱え込んだままリフトを上下方向にスライドできる。このようなスライドする構造部を請求項２の発明による計測器支持台の可変ベース上面部に設けたことにより自体を静圧で浮上支持する垂直度・水平度計測器が提供できる。
【００１２】
請求項４の発明は、円筒スコヤーの底面内側が凹状（４９）であり底面外側が凸状（４８）で該凸状面が静圧軸受面領域となり、圧縮空気吐出口を該静圧軸受面領域に配置したことを特徴とする。例えば図９に示すように円筒スコヤー（４０）の底面部（４１ｂ）において、静圧気体軸受のための吐出口（４３）を底面の該静圧軸受面領域である底面凸状部（４８）に複数配置したことにより、静圧による気体潤滑で定盤等と非接触で自体を浮上し移動できることを特徴とする円筒スコヤーを提供できる。
【００１３】
請求項５の発明による計測器支持台は、枠状外装部（７１）の中空部分にコマ（７２）を挿入して一体の計測器支持台となり、該支持台上部面に計測器を載置できるが、該枠状外装部とコマの両方に、又は、枠状外装部とコマのいずれか一方において両者が接触する内部面（図１２−７２ｓ、７２ｓｓ）に圧縮空気のチャンバー（７５）を形成するための溝構造を設け、かつ、底部面（７０ｂ）においては内側部分が凹状（７９）となり、余の外側部分は凸状で、該凸状面に圧縮空気吐出口と逃げ溝（７７）を設けたことを特徴とする。図１１に例示するように、上部面（７０ａ）に計測器を載置したまま、  静圧軸受面領域を計測器支持台（７０）の底面に設け、静圧気体軸受の吐出口（７３）を底面の該静圧軸受面領域である底面凸状部（７８）に配置したことにより、静圧による気体潤滑で定盤と非接触で移動できることを特徴とする計測器支持台を提供できる。
【００１４】
請求項６の発明は、位置決め補正台の底面部に圧縮空気吐出口を設け該底面を静圧軸受面領域とし、圧縮空気吐出のオン・オフスイッチを有する持ち手角度自在なハンドル（５４）を設けたことを特徴とする。図１５に例示するように、底面部（５３ｂ）全体を静圧軸受面領域とし、浮上支持でテーブル上を移動できる静圧気体軸受の吐出口（５６）を支持台（５０）の該底面に設けたことにより、静圧による気体潤滑で下のテーブルと非接触で移動できることで、ボール盤での加工ポイントの位置決め補正を可能にし、しかも、静圧を停止して即座に作業者が任意の角度でハンドルを握った状態で自体を固定支持できることを特徴とする位置決め補正台（５０，５０ｔ）を提供できる。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１記載の発明によれば、ダイヤルゲージなどを計測部（２）として水平方向の平滑度を計測する際、浮上支持が出来る静圧気体軸受の吐出口を計測器支持台底面に設けたことより、静圧で自体は浮上支持し定盤と非接触で摩擦が著しく減少するため、計測器支持台の底面（１１ｂ）と定盤（３）との直接接触での摩擦による振動がないので、ダイヤルゲージの計測機構に無用の負荷がかからず、精度低下を防止でき、かつ自体が安定した水平移動するので精度の高い計測ができる。
【００１６】
アーム（２０ａ，２０ｂ）を板状とすることで、剛性を確保しつつ該計測器を軽量・小型化できる。軽量・小型化することで、僅かな空圧の供給で静圧による浮上を維持し、かつ狭い作業環境で利用することができる。したがって、医薬品や食料品を扱うクリーンルーム等、恒温、恒湿、防塵、で作業条件に制約がある場合に、非接触で計測動作を行う本計測器は、磨耗によるチリが無く、油潤滑のように汚れることも無く、空圧源（ｓ）からの供給気を清浄にコントロールさえすれば有効に活用できる。
【００１７】
請求項２記載の発明によれば、可変ベース（３６ａ，３６ｂ）の傾斜を任意に調整できるので、静圧による自体の浮上支持の際、計測部アームの伸縮で重心移動により計測器支持台の上面部が水平でなくなった場合でも、２本の調整ネジ（３７ａ，３７ｂ）で上面部を水平に修正でき、該水平修正がそのまま計測器支持台の上面部において直立設置した請求項３記載の発明によるリニアガイドの垂直修正になるので、静圧で浮上したまま垂直度・直角度計測が可能になる。
【００１８】
従来のこのような垂直度・直角度計測器は大きく重量があり移動・計測に際し作業者は計測器を両手で支持して計測をした。この場合、計測器底面と定盤との相互摩擦が大きく精度低下につながり、労力を浪費する。しかし、本発明は静圧で計測器自体を浮上支持するため、相互摩擦による磨耗が無く精度低下を防止でき、また、計測器移動の省力化・能率向上をはかって従来の問題克服した。
【００１９】
請求項３記載の発明によれば、リフト（３２）は静圧でリニアガイドをエアチャッキングするため、リフトの内側面（３２ａ）とリニアガイドの側面（３７ｃ）は非接触であるためスライド時の相互磨耗やガタが無く、かつ、静圧による抱え込みで常時センタリング効果があるため、精度の高い垂直方向の計測が維持できる。さらに、リフトを任意の高さで固定すれば本計測器は水平方向にも静圧で移動できるため、そのまま同じ計測部で水平度計測も可能になるメリットがある。
【００２０】
請求項４記載の発明によれば、浮上支持で定盤上などを移動できる静圧気体軸受の吐出口（４３）を円筒スコヤーの底面部（４１ｂ）に設けたことにより、静圧による気体潤滑で定盤等と非接触とすることで定盤等との摩擦を著しく減少し、側面からの微小な力で定盤上などを移動できるので、定盤のうえで移動するのは容易でない重量が過大な円筒スコヤー（４０）でも、静圧によりそれ自身を浮上させることで、簡便に計測ポイントまで移動できるため、計測作業を容易に継続できる利点がある。
【００２１】
従来は重量が過大なスコヤーであればチェーンブロック等で吊上げて移動したり、定盤の上に置いたままであったりしたが、請求項４記載の発明により人力では移動が困難な重量が過大なスコヤーでも、軽い力で移動できる。
【００２２】
請求項５の発明によれば、計測器を上部面に載置することができ、かつ、静圧軸受面領域を計測器支持台（７０）の底面に設け、静圧気体軸受の吐出口（７３）を底面の該静圧軸受面領域である底面凸状部（７８）に配置したことにより、静圧による気体潤滑で定盤と非接触で移動できる。しかも、構成上厚みを１０ｍｍ前後まで薄くすることができるため、既製のハイトゲージ等を載置して即座に静圧で浮上させたまま計測作業ができるため、水平方向のけがき、又は、水平度測定の作業効率を著しく向上できる。その他の利用法として、本支持台の上部にジャッキを設置して複数（３点以上）定盤に配置し、該ジャッキの上に重量物の下部面が当たるように裁置すれば、本支持台の個数を増やすだけで、重量物の水平調整が出来る搬送装置にも利用できる。
【００２３】
請求項６記載の発明によれば、底面部を静圧軸受面領域とし、浮上支持でテーブル上などを移動できる静圧気体軸受の吐出口を補正台（５０）の該底面部に設けたことにより、静圧による気体潤滑で下のテーブル等と非接触とすることでテーブル等との摩擦を著しく減少し、側面からの小さな力でテーブル等の上を移動できるので、例えば図１４のように、１個の材料をボール盤で加工する際、ボール盤のテーブル（６１）上に静圧で浮上支持する補正台（５０）を設置し、その上に材料を置けば、材料（Ｗｋ）が重量物であっても軽い力で移動できるので、加工ポイントの位置決め時間の短縮と省力化ができる利点がある。又、図１６に例示したように、１個の材料に複数の位置決めをする方法としてマシニングセンターでドリルによる浅い仮穴（F1）をもって、加工ポイントのマーキングをしておき、その後ボール盤での本加工で先ほどの仮穴にボール盤取付けの回転させたドリルの円錐状先端部（３ｅ）を軽くすり合わせるだけで、本補正台に材料を載せて浮上支持しておけば、ドリルの回転力が穴位置のセンタリングを行い正確な位置決めが終了し、そのままボーリング加工に移ることが可能になる。
【００２４】
従来は１個の材料をボール盤で反復して加工する際、材料が重量物である場合あるいは重量のあるバイスで材料を固定している場合は、次の加工ポイントの位置決めするたびにテーブル等との大きな摩擦があるため、労力と時間を浪費していた、又、位置決めの精度については、加工ポイントのマーキングの後ドリルの位置あわせは、その都度目視によるため材料を正面から見て左右方向の誤差を無くすのは容易だが、材料を側面から見て前後の誤差を無くすることは、作業者の姿勢が崩れ困難で非常に能率が悪かった。しかし、請求項6記載の発明により加工ポイントの位置決め時間の短縮と省力化・加工精度保持ができる利点がある。
【００２５】
従来は支持台の上面部、図１３では（５３ａ）に吐出口を設け材料を浮上させて移動する装置があったが、吐出口が上向きなため切削くずがその中に入り目詰まりを起こしていた。しかし、請求項６記載の発明では吐出口が底面部（５３ｂ）にあるため、加工から発生する切削くずが吐出口（５６）にはいらず、目詰まりを起こさない長所がある。
【００２６】
材料の上面部（Ｗｋ1）における加工ポイントの位置決めが終わった後、同ポイントのボーリング加工作業に移る時、右手でボーリングハンドルを操作し、左手で補正台（５０）側面に設置したハンドル（５４）を任意の角度で握ることによって、材料（Ｗｋ）を間接的に固定できるが、この時左手で補正台のハンドル（５４）を握ったまま、該ハンドルに設置した圧縮空気吐出のオン・オフスイッチを指一本でオフにし、支持台を安定させることにより、支持台の静圧は停止して、補正台はボール盤のテーブルの上に着地し、なおかつハンドルを左手で支えるため、ボーリング加工作業時にドリルの回転につれ回ろうとする材料に対向できるだけの十分な安定性を保つことができるという利点がある。
【００２７】
従来はあるポイントの加工が終了後、軽い材料ならば同じ材料の上面（Ｗｋ1）における次の加工ポイントの位置決めは片手で出来たが、材料が重量物である場合あるいは重量のあるバイスで材料を固定している場合は、どうしても両手でなければ次の加工ポイントへの位置決めのための材料の移動が出来ないところ、請求項６記載の発明は、たとえ材料が重量物である場合あるいは重量のあるバイスで材料を固定している場合であってでも、軽い材料を扱うように片手で次の加工ポイントの位置決めをすることが出来るようになる長所がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
計測器等の底面からの静圧により、定盤上を安定して浮上するという既存の発明を応用し、計測と搬送においてさらに使い勝手が良いよう、できうる限り少ない部品点数で十分な強度を確保しつつ以下の実施例を実現した。
【実施例１】
【００２９】
図１は本発明の第１実施例を示したものである。計測部のダイヤルゲージ（２）は計測器支持台（１０）の上部面（１１ａ）端に２種類のアームと支柱（２２）をもって設置し水平方向の平滑度計測をおこなう。上部面右端に支柱を設置するのは、支柱が支える計測部およびアームを図のように左方向へ向けて使用すると、２１ｂのつまみ辺りに位置する計測部およびアームの重心は、概ね計測器支持台の上方に位置するため、本計測器（２０）全体の重心の移動が少なく、自体の浮上支持の安定に資するからである。
【００３０】
計測部を固定していれば計測器支持台底面の傾斜は一定で安定静止状態を維持し、定盤上を水平縦横に平行移動できる。圧縮空気が空圧源（Ｓ）より一定圧で供給されれば、定盤（３）との間の空隙（ｈ）も一定で浮上し続けるので、精度の高い計測ができる計測器である。供給圧を任意の気圧に設定するにはコンプレッサーから空圧源までの間に、空気圧レギュレーターを介することになる。
【００３１】
２種類のアームがなす角度(φ２)を大きくし計測部の位置を左方向に移動した場合、計測部を連結した計測器支持台の重心も左方向に移動するため、その結果、空隙ｈ２は空隙ｈよりも小さくなり、底面（１１ｂ）は傾斜するが、そのまま安定静止状態を維持し計測を継続できる。また、計測部およびアームを図とは逆に右方向へ伸ばすと、空隙ｈ２は空隙ｈよりも大きくなり
底面傾斜は逆転する。しかも、先ほどより傾斜が急になるが、それでも安定静止状態を維持し計測を継続できる。ただ、底面は水平に近い状態がより安定であるため、計測部およびアームは図のように左方向へ伸ばして利用する方が好ましい。
【００３２】
側面図の計測器支持台はその断面図を示したものである。静圧用の圧縮空気は通常大気を用い、空圧源（Ｓ）のホースを支持台の側面の穴（Ｗ）に取り付けることによりそこから伸びるトンネル（１９）を通過して、チャンバー（１５）内に送り込まれる。チャンバーは外装部（１０ａ）にコマ（１４）が入ることにより環状の密閉された空間となり、内部は等圧の空気で満たされる。チャンバー内に送り込まれた圧縮空気はOリング（１４ｒ）によって密閉が保持される。その結果、チャンバーより圧縮空気が絞られ底面の６個全部の吐出口（１３）から排気され計測器支持台の底面（１１ｂ）と定盤（３）との間に発生した静圧により、定盤との間にわずかな空隙（ｈ）を継続して形成する。計測器支持台（１０）は、静圧用の圧縮空気が空圧源より一定圧で供給されれば、定盤との間の空隙（ｈ，ｈ２）も一定で浮上する。
【００３３】
コマ（１４）を支持台（１０）に固定する方法として、固定ボルトを用いたりあるいは、支持台の内凹部自体にねじ山を切り、ねじ状のコマを入れる等の方法が考えられるが、本例では固定ボルト（１８）でコマを固定することとした。底面図では内側凹状面（１２ａ）の中央部に固定ボルトを配置した。側面図において、固定ボルトはコマ中央部を下から上へ向かって貫通し、外装部下側に設けた雌ねじに入り締付け外装部とコマは一体化する。
【００３４】
図１の底面図は計測器支持台の底面を示した。形状を円形としたのは、旋盤による成形加工の容易さと、定盤との接触頻度を減らすためである。チャンバー（１５）内に送り込まれた圧縮空気は、底面の６つ全部の吐出口（１３）から排出される。そして、底面の６つの吐出口は等間隔で配置した。底面外周（ＣＬ）と内凹部外周（ＣＳ）は同心円で、底面凸部を底面の出来るだけ外側に配置して座りの安定を確保するため、内凹部外周（ＣＳ）の直径は底面外周（ＣＬ）の直径の１／２以上であることが好まれる。
【００３５】
図２は外装部にコマを挿入していない状態での計測器支持台断面図を示した。１１ｓ、１１ｓｓ、１１ｄの各面で囲まれる外装部内部面の空間は１１ｓ、１１ｓｓを側面とする円柱形であり、挿入するコマも同じ外形である。コマの外径は外装部の内側面（１１ｓ）の径より公差分だけ小さくほぼ同寸で、コマは外装部の内側面（１１ｓ）に沿って挿入する。その結果、外装部の内部面（１１ｇ，１１ｕ，１１ｔ）とコマの側面（１４ａ）の４面で閉鎖された環状チャンバー（１５）が形成される。該チャンバーの密閉度を上げるため、外装部とコマとの接触面（１１ｓ）でありかつ、チャンバーより下の位置においてＯリング（１４ｒ）等の環状パッキンを設けるのが好ましい。
【００３６】
計測器支持台の底面にある６本の溝（１７）は、図１の底面内側凹部（１６）の空間に生じる空気だまりを外部へ逃がすために設けた気体排気溝である。溝数を多くしたり溝幅を広げたりすると、空気が逃げ易いので圧縮空気の消費量は増えるがニューマチィックハンマー（振動）発生は起き難い。また排気ムラが無いよう気体排気溝と吐出口（１３）とは等間隔で、かつ溝は固定ボルト（１８）から見て放射状に配置するのが好ましい。吐出口の穴径は小さいと絞り効果が大きく静圧剛性が上がるが、汚れによる目づまりが生じ易い。穴径は大きいと汚れによる目づまりが生じ難いが、絞り効果は小さく静圧剛性が下がり浮上支持が難しくなる。そのため、使用目的に応じて吐出口の穴径を決めるのが好ましい。
【００３７】
図１における支持台の底面（ＣＬ）と（ＣＳ）の間の静圧軸受面領域であるドーナツ型の外側凸状面（１２ｂ）の表面は、鏡面仕上げであることおよび、鏡面仕上げ状態を維持するために、計測器支持台に鉄鋼材を用いた場合は焼きいれなどで硬度を高めておくことが好ましい。なぜなら、該凸部平面に何らかの衝撃でひずみ突出部を生じると、その部分が定盤と接触し支持台の浮上支持が難しくなるためである。
【００３８】
図３は水平投影したアームの分解図である。２種類のアーム部材（２０ａ，２０ｂ）を板状としたのは加工性のよさからで、２０ａ，２０ｂを各部材断面長手方向が垂直に立つよう２枚づつ並列に連結して１本のアームとすることで軽量でも強度を確保した。また、図１側面図に示したように支柱から計測部へ向かってアーム幅を小さくし、アームの中ほどで、つまみとつまみの間に複数の円形孔を設けたのは剛性を確保しつつ更なる軽量化とアーム（２０ｂ）への集中する過重負担の軽減を果たすためである。また、リンク構造なのでつまみ（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ）の調整で角度（φ１、φ２、φ３）を変更し計測部を自在な位置に設定できる。
【００３９】
リンク構造の組立は、凸ナットａ(20na)の凸部(20nt)をアームａの端穴（20ah）とカラａ（20ka）の内部のホール１（２０ｈ１）を貫通し、反対方向から凸リングａ(20ra)の凸部(20rt)をもう一方の並列した一個のアームａ端穴を貫通し、カラａのホール１内部にいたることによって、ホール１の内部で凸ナットａの凸部と凸リングａの凸部が間隔を開けて対向しかつ、凸ナットａと凸リングａで２枚の並列したアームａを挟み込む構成となる。さらに、つまみａ(21a)先端の雄ネジを凸リングａの逃げ穴（20ｈ）を貫通し凸ナットａの凸部内の雌ネジまで進入させ、ネジ機構で締め付けるようにする。つまみｂ（21b），つまみｃ（21c）いずれも同じように締め付けるようにするが、リンク構造の要になるつまみｂは４枚の板状アームを挟み込む。カラcよりもカラｂ、カラbよりもカラaと、径も長さも小さくしアーム支持の安定を図るのが好ましい。板状アームは並列だが平行に配置しないのは計測部側のアームの重量を減らしてつまみ（２１ｃ）側のアーム部分へ集中する過重負担を軽減するためである。それに対し凸ナットとつまみで締付けるアームの部分は全て平行に配置するのは、他の部品の形状を単純にできるからである。その結果、２種類の板状アームは各ポイント（ｐ１，ｐ２，ｐ３，ｐ４）で微妙に折れた形状になる。
【００４０】
本リンク構造により、３個のつまみ締付の緩和によるアーム姿勢の変更、更なる締付によるアーム姿勢の固定を個々のつまみで独立してできるため、アームの先端に設置した計測部の位置決めを容易に果たすことができる。また、リンク構造になお強度を加えたい場合は、アーム部材の厚み（２０ｚ）を厚くしたり、材質を変更するなど設計変更が非常に簡単で、しかも加工過程は変更せずにできるという利点がある。
【実施例２】
【００４１】
図４は本発明の第２実施例を示したものである。請求項２の発明による計測器支持台の上に、請求項３の発明による計測器を設置したもので1個の計測器（３０）とし、第２実施例とした。３層のベースからなる支持台（３６）の上面部にリニアガイドを長手方向垂直に設置し、上端は４本の固定ボルト（３４ｂ）でストッパーと固定し、下端は４本の固定ボルト（３９ａ）で可変ベースと固定する。該リニアガイドの直立状態の維持を４本の支柱（３８）とストッパー（３４）が果たす。リニアガイドを囲い込んで上下にスライドするリフトに複数の計測部を設置できる。左側の計測部（２ｂ）は主に垂直度計測を、右側の計測部（２ｃ）は水平度計測を目的とし、いずれの場合も静圧で定盤上にて本計測器自体を浮上しながら計測作業できる設計とした。
【００４２】
左側の計測部（２ｂ）で垂直度計測を行う場合、リフト（３２）が垂直に上下する必要があるので、リニアガイド（３７）を垂直に補正するため支持台を３層構造にした。なぜならば、自体を浮上しながら計測作業するが、計測部アーム（３２bｍ）の伸縮で自体の重心が移動する場合があり、底面（３１ｂ）と定盤との間の空隙は、重心移動があった側が小さくなりリニアガイドが傾く。そのため、支持台に設けた２本の調整ネジ（３７ａ，３７ｂ）でリニアガイドの垂直調整を計測前に実施することになる。
【００４３】
４本の支柱（３８）はリニアガイドをストッパー（３４）を介して支え、かつ、異物との接触から保護する役目も果たす。また、リニアガイド設置ではストッパー側の固定ボルトと可変ベース側の固定ボルトにより、リニアガイドに上下方向の引っ張り応力が働くような実施が好ましい。なぜなら、ストッパー・支柱・支持台と本計測器全体が引っ張り応力により一体化が強まることと、リニアガイドが歪みにくいことから、計測精度の維持につながるからである。
【００４４】
右側の計測部（２ｃ）で水平方向の計測を行うには、本計測器（３０）自体を浮上しながら定盤上を水平に移動させれば実施できる。自体を浮上させる静圧ベースの静圧発生のしくみは、実施例１の００３０項〜００３７項で述べた技術と同様である。
【００４５】
図５の平面図は本計測器を真上から見たもので、中央部の固定ボルト（３４ｂ）４個はストッパーを貫通しリニアガイド上端の雌ねじ穴に入り固定している。余の４個ある固定ボルト（３４ｐ）はストッパーを貫通し各４本の支柱上端の雌ねじ穴に入り固定している。支柱下端は固定ボルト（図４−破線）で可変ベースａと固定している。図上方の計測部（２ｄ）は図４において隠れていたもので、３個目の計測部を設けることができることを示した。３個の計測部と固定つまみを上下左右各々９０度の方向に配置にしたのは、本計測器自体が少ない微調整で水平浮上となるよう、バランスを狙った為である。又、材料強度の点から加工後の肉厚確保のため、ストッパーの中央部より見て、計測部および固定ボルトを各々等角度で放射状に配置するのが好ましい。
【００４６】
図６はリニアガイドとリフトの形状を示した。リニアガイド断面図を見ると、概形は１辺のガイド幅が（ｊ）の正方形であるが４方の角は面（ｉ４）を取り、各側面にガイド溝が深さ（ｋ）で入り込んでいる。各側面の１辺は２つのガイド凸面（ｉ２）と１つのガイド溝幅（ｉ１）およびコーナー面（ｉ３）で構成される。８面ある各ガイド凸面は硬度が高く鏡面仕上げでかつ、平面度の高い状態が高精度計測に好ましい。リニアガイド断面図については図７で詳述する。
【００４７】
リフト断面図の下には、リフト内装部と外装部を分解した平面図と側面図を上下に並べて示した。リフトの側面全体を覆うリフト外装部（３２ｍ）は薄手の円筒状であり、内装部（３２ｎ）の外周面（３２ｆ）に焼きばめ法で密着させるため、焼きばめ加工に適した材質と内周面（３２ｇ）の表面仕上げを必要とする。又、形状を円筒としたのも焼きばめ加工に適した形態だからである。
【００４８】
リフト外装部の右側にリフト内装部（３２ｎ）平面図と側面図を上下に並べて図示した。リフト内装部の横断面は概ね円環状であるが、側面から見ると横断面の径（Ｌ１）より上下の長さ（Ｌ２）の方が長くしてある。Ｌ２はＬ１の1.5倍以上あることが好ましい。また、径（Ｌ１）はリフト外装部の内周面の径（Ｌ３）より公差分小さくなり、該公差は焼きばめで密着する為のものであることを考慮する必要がある。円環状エア通路はリフト内装部の上下長手方向の両端寄りで２箇所設けて、ベルト状の溝を深さ（ｈ６）で形成し内装部の周囲全体を走っている。エア通路を上下長手方向の両端に寄せることでスライド動作にガタ発生の予防を図った。さらに、両端に寄せて設けた２つのエア通路には、静圧を発生させる絞り機能をもつチャンバー（３２ｂ）を周囲にそれぞれ８個づつ設けた。
【００４９】
図７は本計測器のチャンバーのある位置で水平切断した横断面と、圧縮空気の流れを示した。周囲４箇所の円形は支柱の断面を表し、中程の比較的大きな円形とその内部はリニアガイドを抱え込んだリフトの断面を示した。リフト断面図の中の内側面（３２ａ）で囲まれた正方形は中空で、該正方形をなす４つの内側面の中にリニアガイド（３７）を抱え込む。ガイド凸面（ｉ２）が静圧軸受面領域となるため、ガイド凸面のなかほどに吐出口（３２ｅ）が向かうよう８箇所全てのガイド凸面に向けて同じく８箇所の吐出口を配置する。エア通路から圧縮空気を絞って吐出口へ供給するチャンバー（３２ｂ）をエア通路と吐出口の間に設ける。以上の構成で空圧源（ｓ）から供給された圧縮空気は外装部（３２ｍ）内を１周するエア通路（３３ｃ）を巡り矢印の方向で８箇所のチャンバーに向かい、そこからさらに絞られ各８箇所の吐出口から噴出して、４方８箇所の全ガイド凸面で静圧が発生し、その結果、空隙（ｈ３）を保持してエアチャッキングする。リニアガイドの各側面中程にガイド溝（３７ｇ）を設けることにより、リニアガイド４方のコーナーを占めるガイド凸面の静圧軸受面領域のみでエアチャッキングするため、静圧のセンタリング効果により、リフトが水平方向での回転力に対向してブレのないスライドを実現できる。さらに、ガイド溝がそのまま静圧の排気溝になるため、静圧独特の振動の予防にもなる。また、リニアガイドの４方の角に面（ｉ４）を設けたが、これも排気溝になるため、やはり振動の予防になる。円筒形の外装部（３２ｍ）は、内装部（３２ｎ）の側面全部を覆い、かつ、焼きばめで密着するが、密閉目的のパッキン装着を省略できるからである。
【００５０】
本図下方にこの横断面では現れない固定つまみ（３３）を破線で配置を示した。固定つまみ（３３）の一端は雄ネジ構造でリフト外装部側面の穴（３２ｒ）を貫通しさらに、リフト内装部の雌ネジ穴（３２ｐ）に侵入して固定できる。そして、リフト内側面（３２ｂ）を貫き突出した先端（３３ｅ）が対向するリニアガイド溝に向かい、固定つまみを締めれば、先端（３３ｅ）がリニアガイド溝にぶつかり、かつ、固定つまみ先端が貫いたリフト内側面に対向するリフト内側面（３２ｃ）とその向かい側のリニアガイド凸面（ｉ２ｃ）２面とが接触し、リニアガイドを両方から挟み込む形となる。このようにして、リニアガイドのスライドストローク内における任意の位置でリフトを固定できる。また、リフトを上下にスライドさせる際には、該固定つまみを指でつまんだまま緩め、リニアガイドを挟み込みから開放する。固定つまみを締めるまではリフトが落ちないように指でつまんだまま支持する必要がある。
【００５１】
図８は３層構造の支持台（３６）を分解したものである。上から可変ベースａ（３６ａ），可変ベースｂ（３６ｂ）、静圧ベース（３６ｃ）、その下のコマは静圧ベースの一部となる。可変ベースａは該底面に設置したピース２個と調整ネジＹの３点で可変ベースｂの上部面の窪みである３箇所のシンク（３６ｓ）に接地する。可変ベースｂは該底面に設置したピース２個と調整ネジＸの３点で静圧ベース上部面の３箇所のシンクに接地する。シンクの配置はピース２個と調整ネジの合計３点の配置と対応しており、該３点の配置は各々のベース中心を中央に見る正三角形を形成し、２つのドーナツ状上部面（３６ｂｆ、３６ｃｓ）の縁にあたらない中ほどに設定するのが強度上好ましい。そして、シンク窪みの底もピースと調整ネジの接地させる先端の形状も平面とする。又、シンク窪みの底もピースと調整ネジの接地させる先端の形状を半球形としても良いが、その場合シンクの球半径の方を大きくしシンク内でピースや調整ネジの先端を点接地させるとベース同士が緩やかに噛合う状態で、座りを安定させるのが好ましい。
【００５２】
各調整ネジは、設置する可変ベースの底面から下方へ突出し、他の設置した２個のピースと同様の突出程度が好ましい。また、調整ネジＹはホールＹ（３７ｈｙ）内の雌ネジに対応し、調整ネジＸはホールＸ２（３７ｈｘ２）内の雌ネジに対応し、可変ベースａホールＸ（３７ｈｘ）を貫通するだけである。そのため、可変ベースａの厚み分だけ調整ネジＸの長さを調整ネジＹより長くするのが好ましい。中央部から見た、２つの調整ネジ（３７ａ，３７ｂ）のなす角度（θ）は９０度とするが、リニアガイドの垂直微調整を調整ネジの最小回転で実現するためである。
【００５３】
コマ（３６ｋ）の外形は大小２つの円柱を上下に重ね、側面から見ると凸状の階段構造の回転体である。この形状に対応し静圧ベースの内部をくり抜き、静圧ベースの下方からコマを挿入すると、凸状階段構造の回転体のコマと凹状にくり抜いた静圧ベース内部の階段構造の回転体空間（陰のため省略）に公差を残して噛合う構成が好ましい。コマの上部面（３６ｋａ）は静圧ベース中央のホール（３６ｈ）に覗くことができ、該ホール最上部より突出しないのが好ましい。凸状階段構造の回転体のコマは凹状にくり抜いた静圧ベース内部の階段構造の回転体空間よりも公差分小さく、コマの上部面と底面（図４−３１ｆ）の２面以外は凹状にくり抜いた静圧ベース内部空間の面（陰のため省略）に接触するのが好ましい。このようにコマは静圧ベースと一体となり、その結果、両者が閉鎖する空間（図４―３５）は静圧発生のための円環状チャンバーを形成する。チャンバーと底面（３１ｂ）等の形状および静圧発生にしくみは実施例１の００３０項〜００３７項で述べた技術と重複するため省略する。ただし、静圧ベースには中央のホール（３６ｈ）があるため空気の漏れを止めるパッキンを追加して設けるのが好ましい。図８ではパッキンとなるＯリングの描写を省略したが、図４に示したようにコマと静圧ベースが上下で接触する面（３６ｋｆ）に設置するのが好ましく、この点が実施例１と異なる。
【００５４】
固定ボルト（図４−３９b）はコマを静圧ベースに固定する役割を果たすが、本図８では省略した。締付ボルト（３９）が入る雌ねじは一番上の可変ベースａ下部面中央の穴（陰のため省略）に切ってあり、可変ベースｂを静圧ベースと可変ベースａが上下から挟み込んで締付ける構成となる。締付ボルトは固定はせず、遊びをもたせることによって、００１７、００４２，００５２項で述べた調整ネジの上下により支持台の上面部（３１ａ）の傾斜の微調整ができ、そのまま、リニアガイドの垂直補正にもなる。さらに、締付ボルトの遊びにバネを挿入することで弾力性のある締付けを実現する。該バネは狭いスペースでも十分な弾性を発揮する皿バネ（３９ｓ）が好ましい。皿バネの装着にあたり、一番下がワッシャー（３９ｗ）でその上に複数の皿バネを交互に向きを変え各穴をそろえて配置し、締付ボルトのネジ山のある方を上にして該各穴を全て貫通させる。また、図には示さなかったが締付ボルトによる過剰締付を防止するために、重なった皿バネを側面から包み込む円筒状の部品を組み込むことも有益と考えられる。以上のように、３層構造の支持台は締付剛性を確保したフレキシブルなクランプで、リニアガイドの直立保持と簡便な垂直補正を実現した。
【実施例３】
【００５５】
図９は本発明の第３の実施例を示したものである。円筒スコヤ（４０）自体が静圧による浮上支持で容易に定盤上を移動できる。静圧用の圧縮空気は、空圧源（Ｓ）のホースを円筒スコヤの側面の穴（Ｗ）に取り付けることにより、そこから伸びるトンネル（４２）を通過して、チャンバー（４５）内に送り込む。チャンバーはコマ（４４）が入ることによりドーナツ状の空間となっており、その内部は等圧の圧縮空気で満たされる。チャンバーから圧縮空気が絞られ底面の全部の吐出口（４３）から排気され円筒スコヤの底面（４１ｂ）と定盤（３）との間に発生した静圧により、定盤との間にわずかな空隙（ｈ）を継続して形成する。静圧用の圧縮空気が一定圧で供給されれば、定盤との間の空隙も一定で浮上し続ける。静圧発生の詳しいしくみは実施例１の００３０項〜００３７項で述べた。
【００５６】
図１０は文字通りの円筒形スコヤで実施例を示した。図９のスコヤと大きく異なるのはパイプ状なので内部は空洞であり、コマへ上下に貫通する排気口（４７ｈ）を設ければ静圧の排気を自体の内部を貫通し下から上へ逃がせることである。本図を例示したのは円筒スコヤの重量が過大である場合、自体を浮上させる底面での静圧剛性の強化を考慮する必要性が生じる為である。空圧源から供給するエア節約のため、供給空圧を上げない底面の静圧剛性強化法として例えば、底面凸状部（４８）である静圧軸受面の面積を拡大するため、溝（４７）の幅を狭めたり、本数を減らしたりする。この場合、溝の深さを深くして排気の逃げを確保する。別の方法として、底面凸状部の溝を一切なくしてしまう。この場合、コマ（４４）と蓋（４２）を貫通する排気口・排気出口（４７ｅ）を設け、該排気口・排気出口と円筒スコヤの空洞（４０e）を通じて排気の逃げを確保する。また、底面凸状部ほどではないが底面凹状部（４９）でも円筒スコヤ自体を浮上させる力が働くため、排気の逃げが大きすぎると該底面凹状部で自体を浮上させる力が無くなりエアを浪費し易く、排気の逃げが小さすぎるとエアの浪費はなく浮上し易いが振動（ニューマチィックハンマー）が起き易い欠点がある。いづれにしても、排気のコントロールは本計測器の大きさと作業環境と密接した問題なため、状況に応じ排気用の溝、排気口・排気出口の形状等を設定するのが好ましい。
【００５７】
円筒スコヤ底面の構造および材質は実施例1と概ね同じである。蓋は円筒スコヤ上端に空洞を覆うように埋め込んで取り付け、固定ボルト（４２ｂ）で固定した。
【実施例４】
【００５８】
図１１は本発明の第４の実施例を示した。計測器支持台（７０）の概形は円盤状であり、円環状の外装部（７１）と円柱状のコマ（７２）の２個の主要部品で構成する。外装部とコマを円環状、円柱状としたのは旋盤加工でにおける作業性の容易さからである。平面図は該支持台を上から見たもので、外装部とのコマは同心円に配置する。この円形の上部面にハイトゲージ等の計測器を載せて計測作業を行うが、大型の計測器を載せたい場合は平面図と同じ水平投影面積のみを拡大すれば安定した載置ができ、厚み（７０ｈ）を大きくする必要がない。その結果、低い位置からの計測と、低い重心での安定利用ができる点が最大の長所である。また、載せたい計測器の底面積が小さい場合、計測器の底面にマグネット装着の物ならばそのまま使用できるが、マグネットでなければコマを貫通するボルト穴（７４）等を設け、該ボルト穴を貫通するボルトを用いて計測器と本支持台を上部面（７２ａ）で固定することも可能である。
【００５９】
チャンバー、底部面（７０ｂ）等の形状および静圧発生のしくみは実施例１の００３０項〜００３７項で述べたことと重複するため省略する。ただし、外装部は円環状なので内部が中空のため空気の漏れを止めるパッキンをチャンバーより高い位置と低い位置に２ヶ所（７２ｒ１、７２ｒ２）、コマの側面（７２ｓ）に設けるのが好ましく、この点が実施例１と異なる。
【００６０】
実施例１乃至実施例３のいずれの場合においても、計測器を設置する定盤表面の平滑度、平坦度は精度のより高い状態が好ましい。
【００６１】
請求項５ではチャンバー形成のための溝構造を設ける場所につき外装部とコマの両方、又は外装部かコマのいずれか、という３つの選択肢を示したが、本実施例では成形加工の工程の少なさから、枠状の外装部のみに溝構造を設ける方法をとった。
【００６２】
図１２は外装部を側面から見て縦断面図を示した。コマの入る穴径（ｍ２）よりも若干小さい径（ｍ１）を形成するするエッジ（ｅｇ）を設けることのより、その下部面（７１ｄ）に下から挿入したコマが当たって停止することとなる。停止したコマは２個のＯリング（７２ｒ１，７２ｒ２）の弾力による密着力で固定できる。７２ｓ、７２ｓｓの２面は元来１個の面であったが、旋盤による突っ切りで２個に分断された。そうして出来た７１ｅ、７１ｆ、７１ｇの３つの切削面がチャンバー形成のための溝構造を構成する。静圧発生のしくみについては実施例1の００３０〜００３７項と重なるので省略する。
【実施例５】
【００６３】
図１３，１４は本発明の第５の実施例を示したものである。位置決め補正台（５０，５０ｔ）は静圧による浮上支持で支持台下のテーブル等と非接触となり、容易にボール盤等のテーブル（６１）上を移動できる。静圧用の圧縮空気は、空圧源（S）の供給ホースを補正台の側面穴（Ｗ）に取り付け、側面から内部まで貫くトンネル（５９）を経て、チャンバー（５５）内に送り込む。チャンバー内は等圧の圧縮空気で満たされ、さらに絞られ底面の全部の吐出口（５６）から排気され補正台底面部（５３ｂ）とテーブルとの間で発生する静圧により、テーブルとの間にわずかな空隙（ｈ）を継続して形成する。支持台は、静圧用の圧縮空気が空圧源より一定圧で供給されれば、テーブルとの間の静圧による空隙も一定で浮上し続ける。
【００６４】
図１５の位置決め補正台の底面部（５３ｂ）の表面は、静圧軸受面領域であるから鏡面仕上げであること、および、鏡面仕上げ状態を維持するために、支持台に鉄鋼材を用いた場合は焼きいれなどで硬度を高めておくことが好ましい。理由は、衝撃による歪みで底面に突出部が生じると、該突出部との接触により安定した浮上支持が難しくなるからである。
【００６５】
図１５は位置決め補正台（５０）を下から見た形状を示した。底面部の吐出口は、静圧に剛性を持たせること、また支持台内部チャンバー（５５）をボーリング加工により形成する作業性の点からも、面全体に等間隔で行列状に配置するの好ましい。
【００６６】
図１３のハンドル（５４）は、ボール盤加工に際し、加工ポイントの位置決めが終わった後、左手で補正台のハンドルを握ったまま、該ハンドルに設置した圧縮空気吐出のオン・オフスイッチ（５１）を指一本でオフにし、静圧を停止して位置決め補正台を着地させる。そこで右手を使ってボーリング作業に移るが左手で補正台のハンドル（５４）を握っているので、材料を間接的に固定しており安定した作業ができる。このように、左右双方の手はそれぞれ同じハンドルを握ったまま、位置決め・精度の高いセンタリング・固定・加工の一連の動作を反復してできるので効率がよい。
【００６７】
図１３には、補正台への材料取付手段として、穴型・Ｔ溝型の２つのタイプを例示したが、作業目的に応じて使い分けるのが好ましい。Ｔ溝型のハンドルに空圧源のホースが連結されていないのは、圧縮空気吐出のオン・オフスイッチを足踏み式である場合を想定した物で、スイッチを足踏み式にした場合でも加工の一連の動作を反復するのに効率がよい。足踏み式スイッチの描写は省略した。
【００６８】
図１３のハンドルがリンク構造で伸縮するものであるので、位置きめ時と加工時とでハンドルの長さを使い分けでき、作業効率を向上させることができる。
又、アーム部材の長さや部品点数を変えることにより、作業者の環境に合わせることが容易である。
【００６９】
図１６はボール盤加工を例に、位置決め補正のしくみを説明するものである。材料の加工予定域（Ｆ２）のセンター（α２）に合わせてもみつけ加工による仮穴（Ｆ１）を設けた後、ドリル（３）で本加工する場合を想定し側面図を描いた。目視でドリルの先端のセンター(α１)に仮穴のセンター(α２)が向かうよう位置決め補正台に載った材料を移動する。しかし、両センター（α1、α２）は容易に一致しないが、回転したドリルをゆっくり降下させ円錐先端部（３ｅ）を仮穴に軽くすり合わせるだけで、浮上支持されている材料は降下するドリルの回転力によって微細な横方向の位置補正がなされ、両センター（α1、α２）一直線になり加工予定域へ正確なボーリングを行える。従来は両センターが一致しないままボーリング加工し、当然に加工予定域からズレてしまい不良品になったり、ドリルを破損させることもあったが、本発明によりこのような問題を克服できた。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は平滑度、垂直の計測あるいは重量物の移動について、設計、加工、組立、いずれの場面でも利用されうる。静圧で浮上支持しようとする目的物が鉄鋼製品などの重量物であるほど、利用価値が広がる。また逆に材料が小さく、小型の定盤上で計測したい場合は、計測器・計測器のアーム・計測器支持台のいずれも小型の物を用いれば本発明の効果を実現できる。また、実施例１，２，３、４を組み合わせて使用すればある程度の３次元測定が簡便になる。大型の３次元測定器のように熱変異、自重によるたわみ等の構造的ひずみがほとんど問題にならず、低コストで場所もとらず、多くの現場で既存の設備をかえず精度向上を実現でき利用可能性は高い。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】計測器の実施方法を示した説明図    （実施例１）
【図２】計測器支持台外装部の断面図        （実施例１）
【図３】アーム分解図                      （実施例１）
【図４】計測器の実施方法を示した説明図    （実施例２）
【図５】計測器の平面図                    （実施例２）
【図６】リニアガイド・リフト断面図        （実施例２）
【図７】計測器の断面図                    （実施例２）
【図８】計測器支持台の分解図              （実施例２）
【図９】計測器の実施方法（円柱）を示した説明図  （実施例３）
【図１０】計測器の実施方法（円筒）を示した説明図  （実施例３）
【図１１】計測器支持台の実施方法を示した説明図    （実施例４）
【図１２】外装部の断面図                          （実施例４）
【図１３】位置決め補正台の実施方法を示した説明図  （実施例５）
【図１４】位置決め補正台の正面図                  （実施例５）
【図１５】位置決め補正台の底面図                  （実施例５）
【図１６】補正の説明図                            （実施例５）
【符号の説明】
【００７２】
１０    計測器支持台
２０    計測器
３０    計測器
４０    計測器（円筒スコヤ）
７０    計測器支持台
５０    位置決め補正台
ｈ      空隙
ｈ２    空隙
ｈ３    空隙
【図１】
2006064489.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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