(57)【要約】【課題】  基部へ伝わる振動を制御して、振動漏れを有効に防止し、安定した振動特性を実現できる圧電振動片と、圧電振動片を用いた圧電デバイスを提供すること。【解決手段】  一対の振動腕３４，３５と、この一対の振動腕が接続されるとともに、パッケージに接合される固定領域５２ａ，５２ｂを有する基部５１と、を備える圧電振動片３２であって、一対の振動腕３４，３５は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝３６，３７を有し、基部５１は、一対の振動腕３４，３５の各長溝３６，３７が幅方向の中央付近Ｏ１まで延伸して形成された延伸部３６ａ，３７ａを有しており、一対の振動腕の一方の長溝３６が延伸して形成された延伸部３６ａと、一対の振動腕の他方の長溝３７が延伸して形成された延伸部３７ａとが、中央付近Ｏ１を通る長手方向の仮想線Ｙ１を中心に略対称となっていることを特徴とする。【選択図】      図３
2006050186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の振動腕と、この一対の振動腕が接続されるとともに、パッケージに接合される固定領域を有する基部と、を備える圧電振動片であって、
前記一対の振動腕は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝を有し、
前記基部は、前記一対の振動腕の各長溝が幅方向の中央付近まで延伸して形成された延伸部を有しており、
前記一対の振動腕の一方の長溝が延伸して形成された延伸部と、前記一対の振動腕の他方の長溝が延伸して形成された延伸部とが、前記中央付近を通る長手方向の仮想線を中心に略対称となっている
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記延伸部は、前記固定領域とは反対側の領域に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記延伸部は、前記基部の幅方向の中央付近まで略最短距離となるように外縁に沿って形成されていることを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記振動腕を振動させるための励振電極は、前記延伸部には形成されていないことを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記基部は、前記固定領域と前記延伸部との間に、切り欠き部を有することを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記長溝は、前記振動腕の先端まで形成されていることを特徴とする、請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記長溝内には、幅方向に横切るように設けられ、前記長溝により幅方向に分離された前記振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部が形成されていることを特徴とする、請求項１ないし６のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項８】
パッケージと、このパッケージに接合される固定領域が設けられた基部を有し、この基部から平行に延びる一対の振動腕を有する圧電振動片と、を備えた圧電デバイスであって、
前記一対の振動腕は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝を有し、
前記基部は、前記一対の振動腕の各長溝が幅方向の中央付近まで延伸して形成された延伸部を有しており、
前記一対の振動腕の一方の長溝が延伸して形成された延伸部と、前記一対の振動腕の他方の長溝が延伸して形成された延伸部とが、前記中央付近を通る長手方向の仮想線を中心に略対称となっている
ことを特徴とする圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動腕を有する圧電振動片、及びこれを用いた圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、圧電デバイスは広く使用されている。
図８はこの圧電デバイスに用いられる圧電振動片１の概略斜視図、図９は図８のＡ−Ａ線概略切断断面図である。
ここでは、圧電振動片１は水晶で形成されており、一対の振動腕２，３と、基部４とを有する所謂音叉型の圧電振動片である。
【０００３】
すなわち、基部４は、その端部付近にパッケージと接着剤により接合固定される固定領域５，５（図８の平行斜線で示す部分）を有しており、この固定領域５，５と反対側に、一対の振動腕２，３が一体的に接続されて、振動腕２，３を支持するようになっている。
【０００４】
振動腕２，３は、その幅が基部４の幅に比べて小さく、互いに平行となるように基部４から細長く延びている。また、一対の振動腕２，３のそれぞれには、長手方向に沿って延びる長溝６，６が形成されている。この長溝６，６は、図９に示すように、振動腕２，３の表裏に設けられており、振動腕２，３のそれぞれに、長手方向に沿って厚みの薄い部分７，７を形成するようになっている。そして、この厚みの薄い部分７，７に効率よく電界を生じさせることで、振動腕２，３が小型化されても、所定の振動周波数を得ることができるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２６１５７５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、振動腕２，３は、振動腕２，３よりも幅の大きい基部４に接続されており、振動腕２，３の振動が基部４に伝わると、振動エネルギーは分散してしまうためＱ値が小さく、振動が安定しない状態が生ずる原因となってしまう。
また、振動腕２，３は、その外形や長溝６，６を例えばウエットエッチングで形成する際、水晶の異方性により、図９に示すように突起８が生じてしまうなど、複雑な形状をしており、振動腕２と振動腕３の形状は対称になっていない。そうすると、振動腕２と振動腕３の振動状態は相違し、振動腕２が基部４に伝える振動と、振動腕３が基部４に伝える振動とが、基部４の幅方向の中央Oではなく、中央Oからズレた位置で出会うことになる。このため、基部４は、図８において左右のバランスが崩れて捩れが生じるなど振動が不安定になり、振動漏れが生じたりする。
【０００７】
本発明は、基部へ伝わる振動を制御して、振動漏れを有効に防止し、安定した振動特性を実現できる圧電振動片と、この圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的は、第１の発明によれば、一対の振動腕と、この一対の振動腕が接続されるとともに、パッケージに接合される固定領域を有する基部と、を備える圧電振動片であって、前記一対の振動腕は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝を有し、前記基部は、前記一対の振動腕の各長溝が幅方向の中央付近まで延伸して形成された延伸部を有しており、前記一対の振動腕の一方の長溝が延伸して形成された延伸部と、前記一対の振動腕の他方の長溝が延伸して形成された延伸部とが、前記中央付近を通る長手方向の仮想線を中心に略対称となっている、圧電振動片により達成される。
【０００９】
第１の発明の構成によれば、基部は、一対の振動腕の各長溝が延伸して形成された延伸部を有している。このため、一対の振動腕の振動は、基部に伝わる際、長溝が延伸されることで形成された脆弱な延伸部に集中する。したがって、振動腕の振動が基部に伝わった際に分散されることを防止して、Ｑ値を大きくできる。
さらに、この延伸部は、幅方向の中央付近まで延伸されており、一対の振動腕の一方の長溝が延伸して形成された延伸部と、一対の振動腕の他方の長溝が延伸して形成された延伸部とが、中央付近を通る長手方向の仮想線を中心に略対称となっている。このため、一方の振動腕から基部に伝わった振動と、他方の振動腕から基部に伝わった振動は、基部の幅方向の中央付近まで、互いに対称な延伸部に沿って伝わり、中央付近で出会う。したがって、基部に伝達された振動は、幅方向の中央付近を中心にその両側でバランスよく伝達されて、基部の捩れを有効に防止するなど安定した振動とすることができ、振動漏れを防止する。
かくして、本発明の効果として、基部へ伝わる振動を制御して、振動漏れを有効に防止し、安定した振動特性を実現できる圧電振動片を提供することができる。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記延伸部は、前記固定領域とは反対側の領域に形成されていることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、延伸部は、固定領域とは反対側の領域に形成されている。したがって、振動腕の振動は、基部の固定領域から離れた位置にある延伸部に伝わるため、振動漏れをより防止する。
【００１１】
第３の発明は、第１または第２の発明のいずれかの構成において、前記延伸部は、前記基部の幅方向の中央付近まで略最短距離となるように外縁に沿って形成されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、延伸部は、基部の幅方向の中央付近まで略最短距離となるように外縁に沿って形成されているので、基部の余計なところに振動を伝えることを防止する。したがって、第１または第２の発明に比べて、より基部での振動の分散を防止してＱ値を大きくするとともに、振動漏れを防止できる。
【００１２】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記振動腕を振動させるための励振電極は、前記延伸部には形成されていないことを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、励振電極は延伸部には形成されていないため、延伸部が形成されている基部が積極的に振動して、歪んでしまうような事態を防止できる。
【００１３】
第５の発明は、第１ないし第４の発明のいずれかの構成において、前記基部は、前記固定領域と前記延伸部との間に、切り欠き部を有することを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、基部は、固定領域と延伸部との間に、切り欠き部を有する。したがって、振動腕の振動がこの固定領域に伝達し難くなり、第１ないし第４の発明に比べて、より振動漏れを防止できる。
【００１４】
第６の発明は、第１ないし第５の発明のいずれかの構成において、前記長溝は、前記振動腕の先端まで形成されていることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、長溝は、前記振動腕の先端まで形成されている。このため、振動腕は付け根から先端まで同じ構造となり、振動腕全体が安定した屈曲振動をすることになる。したがって、基部に延伸されている延伸部には安定した振動が伝わって、第１ないし第５の発明に比べて、より振動漏れを効果的に防止できる。
【００１５】
第７の発明は、第１ないし第６の発明のいずれかの構成において、前記長溝内には、幅方向に横切るように設けられ、前記長溝により幅方向に分離された前記振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部が形成されていることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、長溝内には、幅方向に横切るように設けられ、長溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を一体に接続する支持部が形成されている。これにより、支持部は、長溝により幅方向に分離された振動腕を構成する材料を支持するため、振動腕は、捩れ方向の剛性を強化して、安定した振動が可能となる。したがって、基部に延伸された延伸部には安定した振動が伝わって、第１ないし第６の発明に比べて、より振動漏れをより効果的に防止できる。
【００１６】
また上記目的は、第８の発明によれば、パッケージと、このパッケージに接合される固定領域が設けられた基部を有し、この基部から平行に延びる一対の振動腕を有する圧電振動片と、を備えた圧電デバイスであって、前記一対の振動腕は、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝を有し、前記基部は、前記一対の振動腕の各長溝が幅方向の中央付近まで延伸して形成された延伸部を有しており、前記一対の振動腕の一方の長溝が延伸して形成された延伸部と、前記一対の振動腕の他方の長溝が延伸して形成された延伸部とが、前記中央付近を通る長手方向の仮想線を中心に略対称となっている圧電デバイスにより達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１８】
図１は、本発明の実施形態にかかる圧電デバイスである例えば圧電振動子３０の概略平面図であり、図２は図１のＢ−Ｂ線概略断面図、図３は圧電振動子３０に用いられる圧電振動片の概略斜視図、図４は図３のＣ−Ｃ線切断断面図である。なお、作図の便宜上、図１および図２では、励振電極が図示されていない。
これらの図において、圧電振動子３０は、パッケージ２８内に圧電振動片３２を収容している。
【００１９】
パッケージ２８は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される複数の基板を積層した後に、焼結して形成されており、圧電振動片３２を収容する所定の内部空間Ｓ１を形成するようにされている。
また、パッケージ２８の開放された上端にある開放端面に、例えば、低融点ガラス等の接合材３８を介して、蓋体３９が接合されることにより、封止されている。
【００２０】
また、パッケージ２８の図１及び図２において左端部付近には、内部空間Ｓ１に露出するようにして、幅方向両端にＡｕまたはＮｉメッキが施された電極部３１ａ，３１ｂが所定の間隔を隔て形成されている。この電極部３１ａ，３１ｂは、パッケージ２８内を引き回されて実装端子部３３，３３と接続され、互いに異極となって駆動電圧を供給するものである。
【００２１】
この電極部３１ａ，３１ｂの上には、接着剤である例えば導電性接着剤４３，４３が塗布されている。導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたエポキシ系またはポリイミド系、またはシリコーン系導電性接着剤等を利用することができる。
そして、この導電性接着剤４３，４３の上に、圧電振動片３２が載置されている。すなわち、圧電振動片３２は、後述するように、基部５１の振動腕３４，３５側と反対側の端部であって、基部５１の幅方向両端付近に引出電極５２ａ，５２ｂを有し、この引出電極５２ａ，５２ｂが導電性接着剤４３，４３に対向するようにして載置されている。
このようにして、圧電振動片３２は、導電性接着剤４３，４３を介してパッケージ２８に片持ち式に支持固定され、また、パッケージ２８に設けた電極部３１ａ，３１ｂが、圧電振動片３２に駆動電圧を供給するようになっている。
【００２２】
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図示する形状とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、基部５１と、この基部５１から図１において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５とを備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
【００２３】
一対の振動腕３４，３５は、図３に示すように、それぞれ長手方向に沿って延びる長溝３６，３７を有している。長溝３６，３７は、図４に示すように、振動腕３４，３５の表裏面（図４において上下面）に形成されており、振動腕３４，３５の幅方向の端面は略Ｈ型となっている。そして、振動腕３４側の長溝３６，３６の内面には、励振電極４６，４６が設けられており、振動腕３５側の長溝３７，３７の内面には励振電極４７，４７が設けられている。励振電極４６，４７は、互いに異極となって対向するように配置されている電極であって、振動腕３４，３５を積極的に振動させるための電極である。
【００２４】
すなわち、図３に示すように、長溝３７内の励振電極４７は、基部５１の表面に引き出されて、基部５１の幅方向の中央付近Ｏ１を通って、引出電極５２ａと接続され、この引出電極５２ａは振動腕３４の側面に設けられた励振電極４７と接続されている。また、長溝３６内の励振電極４６は、振動腕３４と振動腕３５とをつなぐ基部５１の自由端側である股部Ｍ付近を通って、振動腕３５の側面に設けられた励振電極４６と接続され、この励振電極４６は基部５１の図３における右側の側面に引き出されて引出電極５２ｂと接続されている。
【００２５】
このようにして、図３及び図４に示すように、長溝３６，３７により幅方向に分離された振動腕３４，３５の幅が小さくなった部分３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂにおいて、電界を効率よく発生させ、圧電振動片３２のＣＩ値（クリスピタルインピーダンス値）を低く抑えることができる。したがって、このような圧電振動片３２のＣＩ値を、従来の圧電振動片のＣＩ値となるように形成して、振動腕３４，３５の長さを短くできる。
【００２６】
基部５１は、一対の振動腕３４，３５が一体的に接続されるとともに、パッケージ２８に接合される固定領域を有する部分である。すなわち、基部５１は、細長い矩形状の振動腕３４と振動腕３５とをつなげる機能と、パッケージ２８に固定される機能の２つを有する部分であり、股部Ｍを通る短手方向の仮想線Ｘ１よりも固定領域側（図３では下側）である。なお、本実施形態の場合、上述のように引出電極５２ａ，５２ｂの部分がパッケージ２８と接合されているため、この引出電極５２ａ，５２ｂが設けられた領域が固定領域となる。
【００２７】
ここで、基部５１は、一対の振動腕３４，３５に設けられた長溝３６，３７が、図３に示すように、それぞれ基部５１に延伸して形成された延伸部３６ａ，３７ａを有している。この延伸部３６ａ，３７ａは、溝状となっているため基部５１の他の部分に比べて脆弱な部分となって、基部５１に伝達された振動を集中させている。
なお、延伸部３６ａ，３７ａは、図３における裏面にも形成されているが、裏面の延伸部は表面の延伸部３６ａ，３７ａと同様の構成であるため、以下、表面の延伸部３６ａ，３７ａについてのみ説明する。
【００２８】
延伸部３６ａ，３７ａは、振動腕側の長溝３６，３７を形成すると同時に、例えばウエットエッチングにより一体に形成されており、本実施形態では、基部５１の振動腕３４，３５との境界付近において、長溝３６，３７の幅よりも大きな幅とならず、長溝３６，３７と同様の深さを有する有底の溝から形成されている。
また、延伸部３６ａ，３７ａは、それぞれ基部５１の幅方向の中央付近Ｏ１まで形成され、この中央付近Ｏ１を通る長手方向の仮想線Ｙ１を中心に、一方の振動腕３４の長溝３６が延伸して形成された延伸部３６ａと、他方の振動腕３５の長溝３７が延伸して形成された延伸部３７ａとが、略対称となるように形成されている。
【００２９】
すなわち、延伸部３６ａ，３７ａは、基部５１へ伝達された振動を集中させるだけではなく、集中した振動を中央付近Ｏ１に積極的に導くとともに、延伸部３６ａ側の振動の導かれ方と、延伸部３７ａ側の振動の導かれ方を同じにして、仮想線Ｙ１を中心に基部５１の左右のバランスをとっている。
そして、本実施形態における中央付近Ｏ１は、振動腕３４と振動腕３５とが振動した際の支点となるように設定され、これにより、図３において仮想線Ｙ１より左側の振動腕３４と右側の振動腕３５とのバランスをとっている。
【００３０】
また、延伸部３６ａ，３７ａは、振動漏れを防ぐためには、固定領域５２ａ，５２ｂから離れた位置に形成されることが望ましく、このため、基部５１の固定領域５２ａ，５２ｂとは反対側の領域に形成されている。
さらに、延伸部３６ａ，３７ａは、基部５１の余計な部分に振動が伝わって、振動エネルギーが減少してしまうことを防止するため、上述した延伸部３６ａ，３７ａの機能を阻害しない範囲において、中央付近Ｏ１まで略最短距離となるように、圧電振動片３２の外縁に沿って形成されている。すなわち、図３では、圧電振動片３２の仮想線Ｙ１の左側について、振動腕３４から股部Ｍにかけての外縁は略Ｌ字状に形成されているため、延伸部３６ａも略Ｌ字状に形成され、延伸部３７ａは仮想線Ｙ１を中心に延伸部３６ａと略対称となっている。
【００３１】
なお、この圧電振動片３２の外縁は、水晶の異方性により、実物は図３のように形がきれいにＬ字状に整っているわけではないので、外縁に沿った形状というのは、おおよそ沿っている形状であれば構わず、例えば図５（ａ）に示すように、一定の曲率を有しながらカーブしていてもよい。また、図５（ｂ）に示すように、延伸部３６ａと延伸部３７ａとが中央付近Ｏ１において一体に接続されていてもよい。
【００３２】
そして、このような延伸部３６ａ，３７ａには、振動腕３４，３５に設けられたような励振電極４６，４７が形成されておらず、基部５１で積極的に振動が生じないようにされている。すなわち、図３に示すように、延伸部３６ａ，３７ａを含む基部５１には、励振電極４６，４７が引き回されて接続用の電極が形成されているが、この接続用の電極については、異極となる電極が対向しないように配置されることで、基部５１で積極的に振動することを防止している。
具体的には、励振電極４７から基部に引き出された電極は、中央付近Ｏ１を通って、引出電極５２ａと接続しているが、この中央付近Ｏ１を通っている接続用の電極は、異極となる励振電極４６と対向するように配置されていない。また、長溝３６内の励振電極４６は、延伸部３６ａの溝状の底面（図３では底面の一部）と、この底面につながった内側側面（溝状の仮想線Ｙ１側の内面）とに一体的に引き回され、股部Ｍを避けるようにして振動腕３５の側面の励振電極４６と接続されているが、延伸部３６ａの溝状の底面と内側側面とに形成されている接続用の電極は、異極となる励振電極４７とは対向するように配置されていない。
【００３３】
また、基部５１は、固定領域５２ａ，５２ｂと振動腕３４，３５との間、本実施形態では、固定領域５２ａ，５２ｂと延伸部３６ａ，３７ａとの間に、切り欠き部５４，５４が形成されており、これにより振動腕３４，３５の振動がこの固定領域５２ａ，５２ｂに伝達し難くなり、振動漏れを防止している。
【００３４】
本発明の実施形態は以上のように構成されており、基部５１は、一対の振動腕３４，３５の長溝３６，３７がそれぞれ延伸して形成された延伸部３６ａ，３７ａを有するため、振動腕３４，３５の振動は、基部５１に伝わる際、脆弱な延伸部３６ａ，３７ａに集中するため、基部５１での振動エネルギーの分散を防止する。したがって、基部５１が振動エネルギーを吸収することを抑えてＱ値を大きくできる。
さらに、延伸部３６ａ，３７ａは、基部５１の幅方向の中央付近Ｏ１まで形成されており、中央付近Ｏ１を通る長手方向の仮想線Ｙ１を中心に、振動腕３４から延伸された延伸部３６ａと、振動腕３５から延伸された延伸部３７ａとが、略対称となっている。したがって、基部５１に伝達された振動は、仮想線Ｙ１を中心にして、その両側でバランスよく伝達されて、基部５１の捩れを有効に防止するなど安定した振動とすることができ、振動漏れを防止できる。そして、中央付近Ｏ１は、振動腕３４と振動腕３５とが振動した際の支点となり、これにより、仮想線Ｙ１より左側の振動腕３４と右側の振動腕３５との振動のバランスをとって、圧電振動片３２全体の安定した振動を可能とする。
【００３５】
図６は、本発明の実施形態の第１の変形例に係る圧電振動片６０の概略斜視図である。なお、図６では、理解の便宜のため励振電極を図示していない。
この図において、図１ないし図５の圧電振動片３２と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３６】
この圧電振動片６０において、上述した本発明の実施形態と主に異なるのは、振動腕３４，３５に設けられた長溝３６，３７が振動腕３４，３５の先端まで形成されている点である。
すなわち、長溝３６，３７は振動腕３４，３５の先端を突き抜け、自由端側の端面も略Ｈ型となるように形成することで、振動腕３４，３５は、基部５１側の根元から自由端側の先端まで、幅方向のいずれを切断しても、その端面が略同様となるように形成されている。
なお、このように長溝３６，３７を先端まで形成することで、振動腕３４，３５の周波数が高くなってしまうが、例えば振動腕３４，３５と同様あるいはそれ以上の比重を有する錘を長溝３６，３７内に設けることで、周波数を下げることができる。
【００３７】
本発明の実施形態の第１の変形例は以上のように構成されており、長溝３６，３７は、振動腕３４，３５の先端まで形成されているので、振動腕３４，３５は根元から先端まで、全長にわたって同じ構造となり、振動腕３４，３５全体が安定した屈曲振動をすることになる。したがって、延伸部３６ａ，３７ａには安定した振動が伝わって、上述した実施形態と比べて、より振動漏れを効果的に防止できる。
【００３８】
図７は、本発明の実施形態の第２の変形例に係る圧電振動片７０の概略斜視図である。なお、図７では、理解の便宜のため励振電極を図示していない。
この図において、図１ないし図６の圧電振動片３２，６０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３９】
この圧電振動片７０において、上述した本発明の実施形態およびその第１の変形例と主に異なるのは、振動腕３４，３５に設けられた長溝３６，３７内に幅方向に沿ったバーが形成されている点である。
すなわち、図７に示されるように、振動腕３４，３５の各長溝３６，３７には、それぞれ、複数のサイドバー状の支持部６２が設けられている。
【００４０】
具体的には、各支持部６２は、各長溝３６，３７内を幅方向（図７のＸ方向）に横切るように設けられている。また、各支持部６２は、長溝３６により幅方向に分離された振動腕３４を構成する材料の部分３４ａ，３４ｂや、長溝３７により幅方向に分離された振動腕３５を構成する材料の部分３５ａ，３５ｂを一体に接続するようになっている。さらに、本実施形態における支持部６２は、長溝３６，３７内の底部３４ｃ，３５ｃと一体となっている。
【００４１】
本発明の実施形態の第２の変形例は以上のように構成されており、長溝３６，３７には、それぞれ支持部６２が設けられているので、これらの支持部６２が長溝３６，３７内の底部３４ｃ，３５ｃと一体となって、長溝３６，３７により幅方向に分離された振動腕を構成する材料３４ａ，３４ｂ，３５ａ，３５ｂを支持し、変形が生じないようにする。このため、振動腕３４，３５は捩れ方向の剛性が強化され、安定した振動が可能となる。したがって、延伸部３６ａ，３７ｂには安定した振動が伝わって、上述した実施形態に比べて、より振動漏れを防止できる。
【００４２】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜相互に組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明の圧電デバイスは、パッケージ内に圧電振動片を含むものであれば、圧電発振器、圧電振動子、フィルタ等その名称を問わずに適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態に係る圧電デバイスである例えば圧電振動子の概略平面図。
【図２】図１のＢ−Ｂ線概略切断断面図。
【図３】本発明の実施形態に係る圧電振動片の概略斜視図。
【図４】図３のＣ−Ｃ線切断断面図。
【図５】本発明の基部に延伸された長溝について、図１および図３とは異なる形状を表した図。
【図６】本発明の実施形態の第１の変形例に係る圧電振動片の概略斜視図。
【図７】本発明の実施形態の第２の変形例に係る圧電振動片の概略斜視図。
【図８】従来の圧電デバイスに用いられる圧電振動片の概略斜視図。
【図９】図８のＡ−Ａ線概略切断断面図。
【符号の説明】
【００４４】
２８・・・パッケージ、３０・・・圧電振動子、３２，６０，７０・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、３６，３７・・・長溝、５１・・・基部、５２ａ，５２ｂ・・・固定領域（引出電極）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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