(57)【要約】【課題】磁気転写装置において、マスターディスクとスレーブディスクの位置決め精度を向上させること。【解決手段】第１の保持手段３に保持されたマスターディスク２の位置ずれ量を計測し、ステージ５を移動させてマスターディスク２の位置ずれを補正するとともに、第２の保持手段９により保持された状態でマスターディスク２の保持を開放した第１の保持手段３を原点位置に移動させ、マスターディスク２を再度保持せしめて位置を計測する構成としたことにより、ずれの蓄積や機構的な位置補正範囲をはずれることなく、常に中心部分の最適位置で高精度の位置決めが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スレーブディスクに対向して、このスレーブディスクに磁気転写を行うマスターディスクを保持する第１の保持手段と、この第１の保持手段を取り付け、前記マスターディスクをこのマスターディスクの面に沿って移動させるステージと、前記第１の保持手段に保持された前期マスターディスクを保持する第２の保持手段と、前記第１の保持手段に保持された前期マスターディスクの位置を計測する計測手段と、前記ステージの移動を駆動する位置補正コントローラとを備え、前記位置補正コントローラは、前記計測手段により計測された前期マスターディスクの位置ずれ量に基づき前記ステージを移動させて前期マスターディスクの位置ずれ量を補正するとともに、前記ステージを移動させ、前記第２の保持手段により保持されている前期マスターディスクの保持を開放した前記第１の保持手段を原点位置に移動させ、前記計測手段は前期マスターディスクの保持を開放し、原点位置に移動した前記第１の保持手段が再度保持する前期マスターディスクの位置を計測する構成としたディスク位置決め装置。
【請求項２】
第２の保持手段が、マスターディスクを搬送し、前記第１の保持手段による前記マスターディスクの保持位置に供給することを特徴とする請求項１記載のディスク位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマスターディスクとスレーブディスクを用いた磁気転写装置におけるディスク位置を調整する位置決め装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ディスク装置、ハードディスク装置などディスクを用いた装置の自動組立ではしばしばディスク同士の張り合わせ、スレーブディスクへのプレス工程などディスク形状のサンプルを面同士で密着させる工程がある。図３は、このような工程に関する従来技術を示すもので、スレーブディスク１がステージ６に吸引により取り付けられており、これに対向して、マスターディスク２がスライダ４に取り付けられた保持治具３により保持され、スライダ４によりスレーブディスク１の方向に移動することにより、お互いのディスク同士を密着させることができる。
【０００３】
さらにこの密着動作において、スレーブディスク１とマスターディスク２の中心位置を合わせて密着させるため、マスターディスク２の中心にはセンターマーク１０がついており、スレーブディスク１側に同軸上に設置されたＣＣＤカメラ７がこのセンターマーク１０の位置を計測し、正規の位置からのずれを検出する。そのずれ量に応じて位置補正コントローラ８がスライダー４上のＸＹステージ５を制御し、マスターディスク２の位置を補正するのである。以上の工程によりマスターディスク２の中心とスレーブディスク１の中心位置が精度よく合わされて磁気転写工程が実行可能となる。
【特許文献１】特開昭６３−０３２３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、マスターディスクとスレーブディスクは両者の中心位置を正確に合わせ、正確に密着させる必要があるが、実際の工程ではマスターディスクの初期位置はある程度のばらつきをもっており、例えば１ｍｍ程度の中心位置ずれがある場合、ＣＣＤカメラによる位置計測を行いこの１ｍｍの位置補正を行う。このとき、ＣＣＤカメラの精度についても、通常はある程度の誤差を持っており、図４に示すように実際のずれ量に対して、ＣＣＤカメラでの測定値はレンズのひずみなどにより誤差が生じ、これはずれ量が大きくなるほどに大となる。実際に周辺部では２％程度の誤差があり、マスターディスクの最初の位置ずれが１ｍｍあったとすると、計測結果で２０μｍの誤差が生じ、たとえばマスターディスクとスレーブディスクの位置合わせ精度を１０μｍとしようとしても、この計測誤差により実現不可能となる。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するもので、ディスクの位置決めを精度よく行うディスク位置決め装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のディスク位置決め装置は、スレーブディスクに対向して、このスレーブディスクに磁気転写を行うマスターディスクを保持する第１の保持手段と、この第１の保持手段を取り付け、前記マスターディスクをこのマスターディスクの面に沿って移動させるステージと、前記第１の保持手段に保持された前期マスターディスクを保持する第２の保持手段と、前記第１の保持手段に保持された前期マスターディスクの位置を計測する計測手段と、前記ステージの移動を駆動する位置補正コントローラとを備え、前記位置補正コントローラは、前記計測手段により計測された前期マスターディスクの位置ずれ量に基づき前記ステージを移動させて前期マスターディスクの位置ずれ量を補正するとともに、前記ステージを移動させ、前記第２の保持手段により保持されている前期マスターディスクの保持を開放した前記第１の保持手段を原点位置に移動させ、前記計測手段は前期マスターディスクの保持を開放し、原点位置に移動した前記第１の保持手段が再度保持する前期マスターディスクの位置を計測する構成としたものである。
【０００７】
本構成によって、マスターディスクのずれによる位置誤差が生じても、マスターディスク保持冶具による補正によりずれの蓄積はなく、機構的な位置補正範囲をはずれることもなく、常に中心部分の最適位置で高精度の位置決めが可能となる。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように、本発明のディスク位置決め装置によれば、マスターディスクのずれによる位置誤差が生じても、マスターディスク保持冶具による補正により常に高精度の位置決めが可能となる。
【０００９】
また、マスターディスクの位置ずれを補正する場合、ＣＣＤカメラにより位置計測をして位置補正を行い、そのままの保持で再度の位置計測をして再度の位置補正を行うという工程でもある程度の高精度の位置決めは可能であるが、マスターディスクはその後の転写工程で保持治具からわずかであるがすべることにより、保持治具の掴む位置が少しづつずれ、そのずれ量は蓄積されるので、このような場合、長時間の使用によりＸＹステージでの位置補正範囲をはずれてしまい、量産工程が停止してしまうという事態となるが、本発明ではマスターディスクの位置計測、位置補正後、第２の保持治具で持ち直し再度位置計測、位置補正するため、このようなすべりによるずれの蓄積はなく機構的な位置補正範囲をはずれることもなく、常に中心部分の最適位置での位置補正が可能になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態におけるディスク位置決め装置の概略構成図であり、図３と同じ構成要素については同じ符号を用いている。
【００１１】
図１において、スレーブディスク１はステージ６に吸引により保持されている。このスレーブディスク１に対向してマスタディスク２が第１の保持治具３により保持されている。この保持治具３はマスターディスク２の面に平行に移動可能なＸＹステージ５により保持されており、さらにこのＸＹステージ５はスライダー４により保持されている。スレーブディスク１は光ディスクや磁気ディスクの場合中心部に穴があいており、この場合、図１に示すように、この穴を通してマスターディスク２の中心位置のマーク１０を見られるようにＣＣＤカメラ７を設置する。
【００１２】
以上の構成において、マスターディスク２はスライダー４による移動で、スレーブディスク１に密着しようとするが、その前にスレーブディスク１の中心穴よりＣＣＤカメラ７でマスターディスク２の中心部にあるマーク１０を検出し、その中心位置の計算でマスターディスク２のＸＹ方向のずれ量を計算する、その結果をもとに位置補正コントローラ８でＸＹステージ５を駆動し、マスターディスク２をＸＹ方向に移動させてスレーブディスク１の中心位置と合わせ、その後に密着動作をさせるのである。
【００１３】
ところで、前述のように、マスターディスク２の最初の位置ずれが例えば１ｍｍ程度あるとすると、ＣＣＤカメラ７の計測で２％すなわち２０μｍの誤差がでる場合がある。このとき、一旦最初の計測値にもとづきＸＹステージ５によりマスターディスク２のセンターマーク１０が中心位置にくるように位置補正を行い、その位置で第２の保持治具９を用いてマスターディスク２を保持し、第１の保持治具３によるマスターディスク２の保持を開放する。
【００１４】
この第１の保持治具３によりマスターディスク２を保持した状態で、第２の保持治具９を用いてマスターディスク２を保持するための第２の保持治具９の構成について、図２により説明する。第２の保持治具９は支点１２を中心に回動可能に構成され、その回動先端部にはマスターディスク２に当接し、保持するための保持部１３を備えている。保持部１３は、図２中下方向に切欠き部を設けた円弧形状を有しており、保持部１３がマスターディスク２と同軸位置に到達するまで第２の保持治具９が回動する際、すでにマスターディスク２を保持している、仮想線で示す第１の保持治具３と干渉することがないように構成されている。そして、保持部１３がマスターディスク２と同軸位置に到達後は、保持部１３がマスターディスク２に当接するまで第２の保持治具９全体がスレーブディスク１の方向に移動可能となっている。
【００１５】
この状態で位置補正量の蓄積がされないようＸＹステージ５で第１の保持治具３を原点位置に戻す。この状態で再度マスターディスク２を第１の保持治具３で保持し、第２の保持治具９での保持を開放する。ところで、この時点でマスターディスク２は２０μｍの位置ずれがあるが、再度ＣＣＤカメラ７で位置を計測するとこの場合は計測誤差があったとしても高々２０μｍ×２％＝０．４μｍであり、計測結果に基づきＸＹステージ５で位置補正をすることにより、位置誤差としては０．４μｍ以下となり、高精度の位置決めが行えるのである。
【００１６】
ところで、マスターディスク２は図示しない所定のカセットより供給されるため、そのときの供給ハンドラーを保持精度の良好なものにしておけば、上記供給ハンドラーをそのまま第２の保持治具９として兼用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
本発明のディスク位置決め装置は、位置ずれ量の蓄積を招くことなく、また機構的な位置補正範囲をはずれることもなく、常に中心部分の最適位置での位置補正が可能になるという効果を有し、対向面の相対位置決めを行うための用途にも広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施の形態における位置決め装置の概略構成図
【図２】本実施の形態の位置決め装置におけるの第２の保持治具の概略構成図
【図３】従来の位置決め装置の概略構成図
【図４】マスターディスク位置ずれ量とＣＣＤカメラによるずれ量測定値の関係を示すグラフ
【符号の説明】
【００１９】
１  スレーブディスク
２  マスターディスク
３  第１の保持治具
４  スライダー
５  ステージ
７  ＣＣＤカメラ
８  位置補正コントローラ
９  第２の保持治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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