(57)【要約】【課題】  アーマチュア部の支点突起付近が変形しにくいマイクロリレーを提供する。【解決手段】  アーマチュアブロック３のアーマチュア部３０に結合穴３９を貫設するとともに、結合穴３９を通じて磁性体３２に結合し磁性体３２との間にアーマチュア部３０を挟む接合補助部材５を設けた。接合補助部材５は、結合穴３９の上側の開口面に離間して対向するとともに結合穴３９を通じた接合部材６を介して磁性体３２に結合する本体部５１と、本体部５１の両端から下方に突設され先端がアーマチュア部３０に当接する脚部５２とを備える。接合補助部材５によってアーマチュア部３０が機械的に補強されるから、接合補助部材５を設けない場合に比べ、磁性体３２が電磁石装置２に吸引されたときにアーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近が変形しにくい。【選択図】図１
2006210068.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、
アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、
磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、
アーマチュア部には、磁性体を挟みそれぞれボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる複数個の支点突起がそれぞれ突設され、
ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、
アーマチュア部は、互いに離間した２個の支点突起の間において支点突起の突出方向に貫設された結合穴を有し、
アーマチュア部において磁性体が結合した面の反対面に当接する脚部と、結合穴の開口面に離間して対向する本体部とを有し、結合穴を通じて本体部と磁性体とにそれぞれ結合した接合部材を介して磁性体に結合した接合補助部材を備え、
脚部は、結合穴を挟む各支点突起についてそれぞれ支点突起の突出方向から見て支点突起の少なくとも一部に重なる範囲でアーマチュア部に当接することを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
接合補助部材において、本体部の接合部材に結合する部位と、脚部のアーマチュア部に当接する部位との間に、本体部とアーマチュア部との距離を変化させる方向について接合補助部材の他の部位よりも弾性変形しやすい変形部を設けたことを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体プロセスを用いて製造されるマイクロリレーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体プロセスを用いて製造されるマイクロリレーとして、電磁石装置を備え、磁性体が取り付けられ可動接点が設けられたアーマチュア部を電磁石装置の磁力によって駆動することにより可動接点を固定接点に離接させる電磁式のマイクロリレーが提供されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この種のマイクロリレーの一例を図４に示す。このマイクロリレーは、枠状のフレーム部３１とフレーム部３１に対して回動可能なアーマチュア部３０とを有するアーマチュアブロック３と、アーマチュア部３０に結合した磁性体３２と、磁性体３２を吸引してアーマチュア部３０を回動させる電磁石装置２と、電磁石装置２を保持してアーマチュアブロック３のフレーム部３１に結合したボディ１とを備える。以下、上下は図４を基準として説明する。
【０００４】
ボディ１は、ボディ本体１Ａと、ボディ本体１Ａの上面に結合する薄膜１Ｂとからなる。ボディ本体１Ａは、ガラスからなる長方形板状であって、四隅の近傍にはそれぞれスルーホール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを上下に貫設してある。各スルーホール１０Ａ〜１０Ｄには、それぞれ内面に導電膜１１Ａ〜１１Ｄを設けてある。各導電膜１１Ａ〜１１Ｄは、それぞれ例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金からなり、めっき、蒸着、スパッタリング等により形成されている。各スルーホール１０Ａ〜１０Ｄの両端の開口部周辺には、それぞれ導電膜１１Ａ〜１１Ｄに電気的に接続されたランド１２を設けてある。図５に示すように、ボディ１の下面側の各ランド１２には、それぞれプリント配線板（図示せず）への表面実装に用いられるバンプ１３を設けてある。各バンプ１３は、それぞれ例えば金、銀、銅、はんだのような導電材料からなり、スルーホール１０Ａ〜１０Ｄを塞ぐ形でランド１２に載せられ熱溶着によって接合されている。
【０００５】
ボディ本体１Ａの上面には、それぞれランド１２に一対一に電気的に接続された２対の固定接点１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂを設けてある。各固定接点１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂは、それぞれ例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金からなる。
【０００６】
ボディ本体１Ａの中央には、十字型の貫通穴１６を上下に貫設してある。薄膜１Ｂは、ボディ本体１Ａの上面側に接合されて貫通穴１６の上側の開口を覆う。そして、ボディ１において薄膜１Ｂの下側には、電磁石装置２が収納される収容凹部１８が形成されている（図５参照）。薄膜１Ｂはシリコン又はガラスからなり、エッチング又は研磨によって５〜５０μｍ程度、好ましくは２０μｍ程度の厚さ寸法に形成されている。貫通穴１６の内面は、上方に向かって貫通穴１６の断面積を徐々に小さくするように傾斜しており、これによって電磁石装置２を収容しやすくしている。
【０００７】
電磁石装置２は、ヨーク２０と、永久磁石２１と、コイル２２Ａ，２２Ｂと、基板２３とからなる。ヨーク２０は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工あるいは鍛造加工することにより、長方形板状の中央片２０Ａの長手方向の両端から、矩形板状の脚片２０Ｂ，２０Ｃがそれぞれ中央片２０Ａの短手方向の同じ側（図４の上方）に立ち上がったコ字形状に形成されている。永久磁石２１は直方体形状であって、互いに背向する磁極面が互いに異なる極となるように着磁されている。永久磁石２１は、ヨーク２０の中央片２０Ａの上面の中央に一方の磁極面（図４の下面）を当接させてヨーク２０に取り付けられている。ここにおいて、永久磁石２１の他方の磁極面（図４の上面）は脚片２０Ｂ，２０Ｃの先端面と略面一となる。各コイル２２Ａ，２２Ｂは、それぞれ脚片２０Ｂ，２０Ｃと永久磁石２１との間で中央片２０Ａに直接巻回されている。基板２３は長方形状であり、長手方向をヨーク２０の中央片２０Ａの長手方向に直交させる向きで中央片２０Ａの下面に接合されている。基板２３の下面の長手方向の両端部にはそれぞれ導電膜２３Ａ（図５参照）を設けてあり、各コイル２２Ａ，２２Ｂの両端はそれぞれ導電膜２３Ａに電気的に接続されている。各導電膜２３Ａ上には、それぞれプリント配線板への表面実装に用いられるバンプ２４を設けてある。電磁石装置２は、ヨーク２０の中央片２０Ａの長手方向とボディ１の長手方向とを合わせて、例えば収容凹部１８の内面との間に充填された合成樹脂（図示せず）を介してボディ１に保持されている。
【０００８】
アーマチュアブロック３は、５０〜３００μｍ程度、好ましくは２００μｍ程度の厚さ寸法を有するシリコン基板をエッチングして形成され、アーマチュア部３０と、アーマチュア部３０の全周を包囲してアーマチュア部３０を支持するフレーム部３１とを一体に備える。アーマチュア部３０の下面には、図６に示すように長方形平板状の磁性体３２が接合される。
【０００９】
アーマチュア部３０は、図６及び図７に示すように、下面（図６の上面）に磁性体３２が接合される長方形状の磁性体保持部３０Ａと、下面に可動接点３３Ａ，３３Ｂが固着される可動接点部３０Ｂとからなる。可動接点部３０Ｂは、磁性体保持部３０Ａの長手方向の両側において、弾性を有する連結部３４を介して磁性体保持部３０Ａに支持されている。
【００１０】
磁性体保持部３０Ａは、短手方向の両側が、弾性を有する弾性部３５を介してフレーム部３１に支持されている。弾性部３５は、磁性体保持部３０Ａの短手方向の両側に２個ずつ計４個設けられている。各弾性部３５は、それぞれ一端が磁性体保持部３０Ａの短手方向の端面に連結されるとともに他端がフレーム部３１の内周面に連結されている。弾性部３５は、上下方向での寸法をフレーム部３５よりも小さくしてあり、上方から見た幅寸法を上下方向での寸法よりもさらに小さくしてある。
【００１１】
また、磁性体保持部３０Ａの長手方向の中央部であって短手方向の両端には、それぞれ延設部３６を磁性体保持部３０Ａの短手方向へ突設してあり、各延設部３６の先端にはそれぞれ凸部３６Ａを突設してある。さらに、フレーム部３１の内周面において延設部３６の先端面に対向する各部には、それぞれ延設部３７が内側へ突設され、各延設部３７の先端面にはそれぞれ磁性体保持部３０Ａの凸部３６Ａが挿入される凹部３７Ａを設けてある。そして、凸部３６Ａが凹部３７Ａ内に位置することにより、フレーム部３１に対するアーマチュア部３０の前後左右（図７の上下左右）への移動は制限されている。また、延設部３６の下面には突起３６Ｂを下方へ突設してある。
【００１２】
さらに、磁性体保持部３０Ａの四隅には、第２の延設部３８を設けてある。各第２の延設部３８の下面には、それぞれ第２の突起３８Ａが下方へ突設されている。
【００１３】
磁性体３２は、電磁軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイ、フェライトなどの磁性材料を機械加工して形成され、磁性体保持部３０Ａの下面に結合している。磁性体３２を磁性体保持部３０Ａに結合させるには、例えば、磁性体３２の上面と磁性体保持部３０Ａの下面との間に低融点ガラスを介在させた状態で加熱して低融点ガラスを溶融させた後、冷却する。
【００１４】
アーマチュア部３０の上下方向での寸法はフレーム部３１の上下方向での寸法よりも小さく、フレーム部３１の下面に対して第２の突起３８Ａの下面や磁性体３２の下面が窪むようにしてある。
【００１５】
アーマチュアブロック３は、例えばフレーム部３１の下面がボディ１の上面に陽極接合されることによってボディ１に結合する。ここにおいて、突起３６Ｂはボディ１の上面に当接し、アーマチュア部３０は突起３６Ｂを支点としてボディ１に対し図７に線Ｘで示す長手方向の中心を軸とする回動が可能となっている。つまり、突起３６Ｂが支点突起である。また、各可動接点３３Ａ，３３Ｂはそれぞれ１組の固定接点１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂに対向し、第２の突起３８Ａの先端面はボディ１の上面に離間して対向する。さらに、磁性体３２は、上方から見てアーマチュア部３０の回動軸Ｘを挟んで互いに異なる側に位置する各部が、互いに異なる脚片２０Ｂ，２０Ｃの先端面に対しそれぞれ薄膜１Ｂを挟んで対向する。
【００１６】
また、アーマチュアブロック３の上側は、例えばパイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスからなる長方形板状のカバー４によって覆われる。カバー４は、例えば陽極接合によってフレーム部３１の上面に接合される。また、カバー４の下面には、アーマチュア部３０の可動範囲を確保するための凹部（図示せず）を設けてある。
【００１７】
上記のマイクロリレーの動作を説明する。コイル２２Ａ，２２Ｂに通電すると、磁性体３２が通電方向に応じた一方の脚片２０Ｂに吸引され、アーマチュア部３０は、突起３６Ｂを支点として回動し、一方の可動接点３３Ａを一対の固定接点１４Ａ，１４Ｂに接触導通させる。ここにおいて、固定接点１４Ａ，１４Ｂ間は可動接点３３Ａを介して電気的に接続される。このとき、可動接点３３Ａの固定接点１４Ａ，１４Ｂに対する接触圧は連結部３４の弾性により適度に保たれている。また、第２の突起３８Ａがボディ１の上面に当接することにより、アーマチュア部３０の可動範囲が制限され、磁性体３２と薄膜１Ｂとの接触による破損が防止されている。コイル２２Ａ，２２Ｂへの通電を停止すると、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０Ｂ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束により、アーマチュア部３０の姿勢は維持される。
【００１８】
次に、コイル２２Ａ，２２Ｂへの通電方向を逆にすると、弾性部３５の弾性力と、磁性体３２が他方の脚片２０Ｃに吸引される力とにより、アーマチュア部３０は、突起３６Ｂを支点として上記とは反対側へ回動し、他方の可動接点３３Ｂを別の一対の固定接点１５Ａ，１５Ｂに接触導通させる。ここにおいて、固定接点１５Ａ，１５Ｂ間は可動接点３３Ｂを介して電気的に接続される。コイル２２Ａ，２２Ｂへの通電を停止すると、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０Ｃ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束により、アーマチュア部３０の姿勢は維持される。つまり、上記のマイクロリレーは、交互に開閉する２組の接点を有するラッチング型のリレーである。
【特許文献１】特開平５−１１４３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかし、上記従来のマイクロリレーでは、突起３６Ｂが磁性体３２の両側に位置するために、磁性体３２が電磁石装置２に吸引されたときにアーマチュア部３０に曲げ力が加わり、アーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近が短手方向の中央部を下方へ突出させるように弾性変形しやすかった。このようなアーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近の変形は、設計上意図されていないので、特性が設計値からずれる原因となる。
【００２０】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、アーマチュア部の支点突起付近が変形しにくいマイクロリレーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
請求項１の発明は、枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、アーマチュア部には、磁性体を挟みそれぞれボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる複数個の支点突起がそれぞれ突設され、ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、アーマチュア部は、互いに離間した２個の支点突起の間において支点突起の突出方向に貫設された結合穴を有し、アーマチュア部において磁性体が結合した面の反対面に当接する脚部と、結合穴の開口面に離間して対向する本体部とを有し、結合穴を通じて本体部と磁性体とにそれぞれ結合した接合部材を介して磁性体に結合した接合補助部材を備え、脚部は、結合穴を挟む各支点突起についてそれぞれ支点突起の突出方向から見て支点突起の少なくとも一部に重なる範囲でアーマチュア部に当接することを特徴とする。
【００２２】
この発明によれば、アーマチュア部において磁性体が電磁石装置に吸引されたときに変形しやすい支点突起付近が接合補助部材によって機械的に補強されるから、アーマチュア部の支点突起付近が変形しにくい。また、接合補助部材に脚部を設けることにより、接合補助部材において磁性体に結合する本体部をアーマチュア部から離間させているので、熱で接合補助部材が変形したとしても脚部を確実にアーマチュア部に当接させてアーマチュア部の機械的強度を確保することができる。
【００２３】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、接合補助部材において、本体部の接合部材に結合する部位と、脚部のアーマチュア部に当接する部位との間に、本体部とアーマチュア部との距離を変化させる方向について接合補助部材の他の部位よりも弾性変形しやすい変形部を設けたことを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、脚部がアーマチュア部に追従しやすくなるから、脚部をより確実にアーマチュア部に当接させてアーマチュア部の機械的強度を確保することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は、アーマチュア部が、互いに離間した２個の支点突起の間において支点突起の突出方向に貫設された結合穴を有し、アーマチュア部において磁性体が結合した面の反対面に当接する脚部と、結合穴の開口面に離間して対向する本体部とを有し、結合穴を通じて本体部と磁性体とにそれぞれ結合した接合部材を介して磁性体に結合した接合補助部材を備え、脚部は、結合穴を挟む各支点突起についてそれぞれ支点突起の突出方向から見て支点突起の少なくとも一部に重なる範囲でアーマチュア部に当接するので、アーマチュア部において磁性体が電磁石装置に吸引されたときに変形しやすい支点突起付近が接合補助部材によって機械的に補強されるから、アーマチュア部の支点突起付近が変形しにくい。また、接合補助部材に脚部を設けることにより、接合補助部材において磁性体に結合する本体部をアーマチュア部から離間させているので、熱で接合補助部材が変形したとしても脚部を確実にアーマチュア部に当接させてアーマチュア部の機械的強度を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２７】
なお、本実施形態の基本構成は従来例と共通であるので、共通する部分については同じ符号を付して説明を省略する。
【００２８】
本実施形態のアーマチュア部３０には、図２に示すように、長手方向の中央部に２個の結合穴３９を短手方向に並べて貫設してある。
【００２９】
また、本実施形態は、弾性を有する材料からなり各結合穴３９の上側の開口をそれぞれ覆う接合補助部材５を備える。接合補助部材５は、図１に示すように、結合穴３９の上側の開口面に離間して対向するとともに結合穴３９を通じて磁性体３２に結合する本体部５１と、本体部５１の両端から下方に突設され先端がアーマチュア部３０の上面に当接する脚部５２とを有する。そして、接合補助部材５は、磁性体３２との間にアーマチュア部３０の磁性体保持部３０Ａを挟むことによってアーマチュア部３０に結合するとともに磁性体３２をアーマチュア部３０に保持する。
【００３０】
磁性体３２と接合補助部材５とを結合する方法としては、例えば金や金・錫合金などの融点の低い材料からなる接合部材６を結合穴３９内で磁性体３２と接合補助部材５との間に介装しこれを加熱して溶融させてから冷却する方法や、接合補助部材５の一部を磁性体３２に溶着させる方法が考えられる。後者の方法では、接合補助部材５の一部が接合部材となる。接合補助部材５の材料には、磁性体３２との結合に前者の方法を用いる場合には例えば磁性体３２と同様の材料を用い、後者の方法を用いる場合には例えば金や金・錫合金などの融点の低い材料を用いる。
【００３１】
また、接合補助部材５は、図２に示すようにアーマチュア部３０の回動軸Ｘに沿った方向に長細い形状となっており、各脚部５２はそれぞれ延設部３６の上面に当接する。つまり、接合補助部材５の各脚部５２は、それぞれ支点突起たる突起３６Ｂの突出方向である下方から見て突起３６Ｂに重なる範囲でアーマチュア部３０に当接している。これにより、アーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近が機械的に補強されている。
【００３２】
さらに、本体部５１の長手方向の両端部には、それぞれ貫通穴５３を上下に貫設してあり、接合補助部材５において貫通穴５３の近傍は他の部位よりも弾性変形しやすい変形部となっている。
【００３３】
上記構成によれば、接合補助部材５によってアーマチュア部３０が機械的に補強されるから、従来例のように接合補助部材５を設けない場合に比べ、磁性体３２が電磁石装置２に吸引されたときにアーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近が変形しにくい。
【００３４】
ここで、接合補助部材５が脚部５２を有さない平坦な形状であった場合、例えばフレーム部３１とボディ１とを陽極接合する際の熱で接合補助部材５が長手方向の両端部を上方へ反らせるように変形すると、接合補助部材５が延設部３６から離れ、変形防止の効果が十分に得られなくなることが考えられる。一方、本実施形態では、接合補助部材５において、アーマチュア部３０に当接する脚部５２を設けることにより、磁性体３２に結合する本体部５１をアーマチュア部３０から離間させているので、上記のように接合補助部材５が変形したとしても脚部５２を確実にアーマチュア部３０に当接させてアーマチュア部３０の機械的強度を確保することができる。さらに、接合補助部材５に貫通穴５３を設けて変形しやすくしたことにより、接合補助部材５がアーマチュア部３０に追従しやすくなるから、貫通穴５３を設けない場合に比べ、より確実に脚部５２をアーマチュア部３０に当接させることができる。
【００３５】
なお、接合補助部材５の形状は必ずしも本実施形態の形状に限られず、例えば図３に示すように各脚部５２をそれぞれ先端に近付くほど他方の脚部５２から離れるように傾斜させてもよい。
【００３６】
また、変形部を設ける方法は、上記のような貫通穴５３を設ける方法に限られず、例えば厚さ寸法を小さくすることによって変形しやすくしてもよい。
【００３７】
さらに、変形部を設ける場所は、必ずしも本体部５１でなくともよく、本体部５１において接合部材６に結合する部位と脚部５２においてアーマチュア部３０に当接する部位との間であればよい。例えば接合補助部材５が図３のような形状であれば、変形部を脚部５２に設けてもよく、本体部５１と脚部５２とに跨って設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態の要部を示す断面図である。
【図２】同上の要部を示す平面図である。
【図３】同上の別の形態の要部を示す断面図である。
【図４】従来例を示す分解斜視図である。
【図５】同上を示す斜視図である。
【図６】同上の要部を示す分解斜視図である。
【図７】同上のアーマチュアブロックを示す平面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  ボディ
２  電磁石装置
３  アーマチュアブロック
５  接合補助部材
６  接合部材
１４Ａ  固定接点
３０  アーマチュア部
３１  フレーム部
３２  磁性体
３３Ａ  可動接点
３５  弾性部
３６Ｂ  突起
３９  結合穴
５１  本体部
５２  脚部
【図１】
2006210068.tif 000003
【図２】
2006210068.tif 000004
【図３】
2006210068.tif 000005
【図４】
2006210068.tif 000006
【図５】
2006210068.tif 000007
【図６】
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【図７】
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