(57)【要約】【課題】半導体製造装置のモニタリング装置を得る。【解決手段】オンライン端末装置３の画面情報横取り部３１は、リアルタイムで半導体製造装置１とモニタ２のシリアル通信内容をモニタリングし、製造開始／製造終了の情報を、モニタ２のユーザＩ／Ｆ画面に書込む座標(x、y) 及び判断文字か否かをチェックする。  半導体製造装置１からモニタ２に、製造開始／製造終了の座標(x、y)及び製造開始／製造終了の判断文字が送信されたら、画面情報横取り部３１は、上位サーバ通信部３２へ製造開始／製造終了のトリガーを発行する。上位サーバ通信部３２は、上位サーバ４へ製造開始／製造終了の報告を行う。【選択図】図１
2006120986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モニタ及び半導体製造装置に接続されるオンライン端末装置を備え、このオンライン端末装置は、
前記モニタに前記半導体製造装置から送信される画面情報を取り込む画面情報取得手段と、
前記取り込んだ画面情報を所定の設定値と比較する比較手段と、
前記比較結果を利用して、半導体装置の製造開始及び製造終了を判断する判断手段とを有することを特徴とする半導体製造装置のモニタリング装置。
【請求項２】
前記半導体製造装置からの前記画面情報はシリアルで送信されることを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置のモニタリング装置。
【請求項３】
前記画面情報は、表示位置を示す座標情報及び文字コードの情報であることを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置のモニタリング装置。
【請求項４】
前記半導体製造装置の製造に関する履歴情報を蓄積する上位サーバを備え、前記半導体装置の製造開始及び又は製造終了を判断した場合に、該製造開始及び又は製造終了のトリガーを発行し、前記上位サーバへ報告することを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置のモニタリング装置。
【請求項５】
半導体製造装置と、
この半導体製造装置の稼動状況を表示するモニタと、
このモニタに前記半導体製造装置から送信される画面情報を取り込む画面情報取得手段と、
前記取り込んだ画面情報を所定の設定値と比較する比較手段と、
前記比較結果を利用して、半導体装置の製造開始及び製造終了を判断する判断手段とを有することを特徴とするオンライン化システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モニタリング装置に係り、特に半導体製造装置のモニタリング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造装置の稼動状況、例えば所望の半導体装置の製造開始あるいは製造終了等のモニタリングをすることが行われている。
【０００３】
例えば、半導体製造装置の稼動状態を示す複数種類の情報を検知するセンサから情報の種類ごとに出力されるセンサデータに基づいて、半導体製造装置の稼動状態を判断するモニタリング装置において、センサデータの種類ごとに所定の判定基準を記憶し、各センサデータが対応する判定基準を満足するか判断し、センサデータ毎に得られる判断結果に基づいて半導体製造装置の稼動状態を判断するモニタリング装置等が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
さらに、オンライン化が進んだ半導体製造工場では、半導体露光装置等の多様な半導体製造装置が半導体工場内にあるホストコンピュータのオンライン制御／監視システムに接続されることが多くなっている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
これらモニタリングのためには、半導体製造装置から所定の信号あるいは情報を取り込むため、専用の入出力機器を半導体製造装置に付加したり、また関連するソフトウエアの開発が必要であった。
【特許文献１】特開２００２−１１８０９９号公報
【特許文献２】特開平９−２０５０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、簡易な構成の、半導体製造装置のモニタリング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明の一態様によれば、モニタ及び半導体製造装置に接続されるオンライン端末装置を備え、このオンライン端末装置は、前記モニタに前記半導体製造装置から送信される画面情報を取り込む画面情報取得手段と、前記取り込んだ画面情報を所定の設定値と比較する比較手段と、前記比較結果を利用して、半導体装置の製造開始及び製造終了を判断する判断手段とを有する半導体製造装置のモニタリング装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、簡易な構成の、半導体製造装置のモニタリング装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。尚、各図において同一箇所については同一の符号を付すとともに、重複した説明は省略する。
【００１０】
図１は、本発明の実施の形態に係る半導体製造装置のモニタリング装置の構成を示す構成図である。図１に示すように、モニタリング装置１０は、半導体製造装置１と、モニタ２と、オンライン端末装置３と、上位サーバ４とから構成されている。モニタ２は、半導体製造装置１の製造プロセスの稼動状況等を表示するもので、半導体製造装置１の一部として組み込まれていてもよい。半導体製造装置１とモニタ２は、シリアルラインで接続され、相互にシリアル通信できるようになっている。オンライン端末装置３は、半導体製造装置１とモニタ２を接続しているシリアルラインに接続している。
【００１１】
さらに、オンライン端末装置３は、画面情報横取り部３１と、上位サーバ通信部３２とから構成されている。画面情報横取り部３１は、上述したシリアルラインを介して半導体製造装置１とモニタ２に接続している。画面情報横取り部３１と上位サーバ通信部３２は、相互に接続され、上位サーバ通信部３２は上位サーバ４に接続している。
【００１２】
半導体製造装置１とシリアルに接続しているモニタ２の画面には、半導体製造装置１の状態を表示するユーザインタフェース（以下、ユーザＩ／Ｆという）画面が設けられており、半導体製造装置１からユーザＩ／Ｆ画面に、シリアル通信により一定周期で、表示情報内容が送信されている。ユーザＩ／Ｆ画面は、例えばＶｉｓｕａｌＣ＋＋で作成されたアプリケーションによって実現することができる。
【００１３】
モニタ２上のユーザＩ／Ｆ画面が、半導体装置の製造に関する情報をテキスト形式に変換し、表示されるようになっている。本実施の形態では、テキスト形式に変換して、モニタ２画面へ表示するタイミングでファイル出力し、例えばＶｉｓｕａｌＢａｓｉｃで作成されたアプリケーションを組み込んだオンライン端末装置３が、そのファイルを読込み、動作するようになっている。
【００１４】
半導体製造装置１が出力する画面情報としては、例えば、半導体装置の製造開始を行う為のパラメータである処理条件、レシピ等の入力及び製造処理開始の実行入力についての情報である。さらに、半導体製造装置１は、モニタ２への表示位置を示す座標情報及び文字コードの情報も画面情報として出力する。製造中及び製造終了時は、半導体製造装置１の状態を表示するのみとなっている。すなわち、オペレータは、ユーザＩ／Ｆ画面を使用し、半導体製造装置１の製造開始がオペレートし、製造終了時は、終了されたのを目視で確認する。
【００１５】
半導体製造装置１には、図示しないメインコンピュータが組み込まれており、メインコンピュータがユーザＩ／Ｆを介して入力された情報を更新する。更新結果の表示の為に、モニタ２へ、画像情報である表示位置を示す座標情報と文字コードがシリアル通信にて送信される。
【００１６】
オンライン端末装置３の画面情報横取り部３１は、半導体製造装置１からモニタ２へ送信されるこれらの画像情報を取り込む画像情報取得手段を備えるとともに、半導体製造装置１の状態が製造開始／製造終了になるときに変化する、画面上の座標(x,y)と判断する文字を予め設定しておく。
【００１７】
例えば、製造開始については、表示座標(x、y)を（１，１）が表示の始点、判断文字を「EL01」と設定する。また、製造終了については、表示座標(x、y)を（２，１）が表示の始点、判断文字を「処理終了EL01」と設定する。ここで、「処理」は半導体装置の製造を意味し、「EL」は、半導体製造装置１が製造を開始及び終了するエレベータ、すなわち、半導体をセットするカセットを意味している。
【００１８】
また、モニタ２の表示画面上で左上の隅は、（１，１）を表している。始点座標（１，１）を固定としているので、終点座標は、製造開始を判断するテキスト文字数分、右へシフトさせた座標となる。例えば、「EL01」の終点は、（１，４）となる。ここでは、製造終了か否かは「処理終了」の文字コードで判断する。
【００１９】
オンライン端末装置３の画面情報横取り部３１は、所定の設定値と比較する比較手段を備え、リアルタイムで半導体製造装置１とモニタ２のシリアル通信内容をモニタリングし、製造開始／製造終了の情報を、モニタ２のユーザＩ／Ｆ画面に書込む座標(x、y) 及び判断文字か否かを比較してチェックする。
【００２０】
さらに、画面情報横取り部３１は、所定の半導体装置の製造開始及び製造終了を判断する判断手段を備えている。半導体製造装置１からモニタ２に、製造開始／製造終了の座標(x、y)及び製造開始／製造終了の判断文字が送信されたら、画面情報横取り部３１は、所定の半導体装置の製造開始及び製造終了を判断し、上位サーバ通信部３２へ製造開始／製造終了のトリガーを発行する。
【００２１】
上位サーバ通信部３２は、画面情報横取り部３１から発行された製造開始／製造終了のトリガーに従い、上位サーバ４へ製造開始／製造終了の報告を行う。
【００２２】
上位サーバ４は、製造開始あるいは製造終了の報告を、半導体装置の製造に関するデータベースへ履歴として保存する。
【００２３】
上述した画面情報横取り部３１と上位サーバ通信部３２の機能は、例えばソフトウエア処理で実現することができる。
【００２４】
次に、図２に示すフローチャートにより、画面情報横取り部３１での処理の流れを説明する。
【００２５】
まず、画面情報横取り部３１は、シリアル通信の内容である表示テキストを取得する（ステップ２１）。
【００２６】
次いで、取得したテキスト情報が文字か否かをチェックする（ステップ２２）。文字でない場合には、ステップ２１に戻り、表示テキストの取得が繰り返される。
【００２７】
文字が「開始文字」と判断される場合には、開始テキストファイルを出力する（ステップ２３）。尚、このファイル出力は、共有フォルダ内にストアされる。
【００２８】
文字が「終了文字」と判断される場合には、終了テキストファイルを出力する（ステップ２４）。尚、このファイル出力は、共有フォルダ内にストアされる。
【００２９】
次に、図３に示すフローチャートにより、上位サーバ通信部３２での処理の流れを説明する。
【００３０】
まず、上位サーバ通信部３２は、共有フォルダ内の監視を行う（ステップ３１）。
【００３１】
次いで、フォルダ内のファイルの有無をチェックする（ステップ３２）。
【００３２】
ファイルが無い場合には、ステップ３１に戻り、ファイルの有無チェックが繰り返される。
【００３３】
「開始ファイル」有りと判断する場合には、開始情報を上位サーバへ転送する（ステップ３３）。
【００３４】
次いで、「終了ファイル」有りと判断する場合には、終了情報を上位サーバへ転送する（ステップ３４）。
【００３５】
本発明の実施形態によれば、半導体製造装置からモニタへ出力されるシリアル通信を横取りすることで、製造状況を監視する簡易な構成のモニタリング装置が実現する。
【００３６】
また、オンライン化のために、特別の半導体製造装置の改造を要せずに、半導体製造装置から得られる画面出力信号を利用するため、追加のハードを不要とし、システム構築のコストを大幅に削減できる
本発明は上記した実施の形態に限定されることなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれるものであることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態に係るモニタリング装置の構成を示すシステム構成図である。
【図２】画面情報横取り部での処理の流れを示すフローチャート図である。
【図３】上位サーバ通信部での処理の流れを示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【００３８】
１・・・半導体製造装置、  ２・・・モニタ、  ３・・・オンライン端末装置、３１・・・画面情報横取り部、  ３２・・・上位サーバ通信部、  ４・・・上位サーバ、  １０・・・モニタリング装置。
【図１】
2006120986.tif 000003
【図２】
2006120986.tif 000004
【図３】
2006120986.tif 000005