(57)【要約】【課題】薄型で、フィルターの風速分布の均一なファンフィルターユニットを提供する。【解決手段】箱体状のチャンバー１と、このチャンバー１に外部から空気を吸込む吸込口２と、チャンバー１内にファン３と、このファン３を回転させるためのモータ４と、このモータ４を固定するモータサポート５と、ファン３の下流、及び、チャンバー１に隣接し空気を清浄化するフィルター６と、ファン３の外周部に誘導板７を備え、この誘導板７を空気が流れるにつれ、フィルター６と誘導板７との距離を小さくするという構成となっている。【選択図】図１
2006275312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱体状のチャンバーと、このチャンバーに外部から空気を吸込む吸込口と、前記チャンバー内にファンと、このファンを回転させるためのモータと、このモータを固定するモータサポートと、前記ファンの下流、及び、前記チャンバーに隣接し空気を清浄化するフィルターと、前記ファンの外周部に前記フィルターに向かうように空気の流れる方向を変化させる板状の誘導板を備えたことを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
誘導板を流れる空気が下流方向に向かうにつれ、誘導板とフィルターとの距離を小さくする誘導板を備えたことを特徴とする請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
誘導板が長方形形状であることを特徴とする請求項1または２記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺の一部分を円弧状に曲げたことを特徴とする請求項１または２記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺のすべてを円弧状に曲げたことを特徴とする請求項１または２記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、長方形形状の誘導板の長手方向に垂直な２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファンの回転中心を備えたことを特徴とする請求項３乃至５いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項７】
長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺のうち、外側にある１辺に、この辺の外周部に空気を流さないような直線側壁を備えたことを特徴とする請求項３乃至６いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項８】
直線側壁は、ファンの回転軸に対して平行になるように備え、前記直線側壁と前記フィルターとで隙間ができるように備えたことを特徴とする請求項７記載のファンフィルターユニット。
【請求項９】
ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、誘導板の最も広い面を形作っている4辺のうち長さの短い２辺が平行でなく、残りの２辺は下流方向に向かうにつれ、ファンの回転軸に対して内側に曲がることを特徴とした請求項１及び２記載のファンフィルターユニット。
【請求項１０】
ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、長さの短い２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファンの回転軸を備えたことを特徴とする請求項９記載のファンフィルターユニット。
【請求項１１】
４つの辺のうち、長さの最も長い辺に、この辺の外周部よりも外側に空気を流さないような曲線側壁を備えたことを特徴とする請求項９または１０記載のファンフィルターユニット。
【請求項１２】
曲線側壁は、ファンの回転軸に対して平行になるように備え、前記曲線側壁と前記フィルターとで隙間ができるように備えたことを特徴とする請求項９または１０記載のファンフィルターユニット。
【請求項１３】
ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、箱体状のチャンバーの１辺に対応して、それぞれ誘導板を備えた請求項１乃至１２いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項１４】
ファンがターボファンであることを特徴とする請求項１乃至１３いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項１５】
誘導板を底面に取り付けることを特徴とする請求項１乃至１４いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【請求項１６】
誘導板をモータサポートに取り付けることを特徴とする請求項１乃至１４いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットは、簡単な部品を用いてフィルター通過風速の分布を均一化することが求められている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
以下、そのファンフィルターユニットについて図１５を参照しながら説明する。
【０００４】
図に示すように、ケース１０１に上流から送風機１０２と、チャンバー１０３と、フィルター１０４の順に配置構成され、チャンバー１０３内の下流側からフィルター１０４の上流側に多孔板からなる拡散板１０５を設けたファンフィルターユニットにより、フィルター１０４の通過風速の分布を均一にできる。
【特許文献１】特開２００１−１１６３１０号公報（第３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のファンフィルターユニットでは、拡散板を送風機下流側、及びファンフィルターユニットの厚み方向に設置させるため、ファンフィルターユニットの製品厚みが大きくなるという課題があった。また、拡散板は、フィルターの通過風速の分布を均一にするために、余計な圧力損失を発生させ、送風機性能を低減させるという課題があった。
【０００６】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、薄型のファンフィルターユニットで、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低減させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明のファンフィルターユニットは、箱体状のチャンバーと、このチャンバーに外部から空気を吸込む吸込口と、前記チャンバー内にファンと、このファンを回転させるためのモータと、このモータを固定するモータサポートと、前記ファンの下流、及び、前記チャンバーに隣接し空気を清浄化するフィルターと、前記ファンの外周部に前記フィルターに向かうように空気の流れる方向を変化させる板状の誘導板を備えたことを特徴としている。
【０００８】
また、本発明のファンフィルターユニットは、誘導板を流れる空気が下流方向に向かうにつれ、誘導板とフィルターとの距離を小さくする誘導板を備えたことを特徴としている。
【０００９】
また、本発明のファンフィルターユニットは、誘導板が長方形形状であることを特徴としている。
【００１０】
また、本発明のファンフィルターユニットは、長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺の一部分を円弧状に曲げたことを特徴としている。
【００１１】
また、本発明のファンフィルターユニットは、長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺のすべてを円弧状に曲げたことを特徴としている。
【００１２】
また、本発明のファンフィルターユニットは、ファンの回転軸に垂直な平面から見ると、長方形形状の誘導板の長手方向に垂直な２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファンの回転中心を備えたことを特徴としている。
【００１３】
また、本発明のファンフィルターユニットは、長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺のうち、外側にある１辺に、この辺の外周部に空気を流さないような直線側壁を備えたことを特徴としている。
【００１４】
また、本発明のファンフィルターユニットは、直線側壁は、ファンの回転軸に対して平行になるように備え、前記直線側壁と前記フィルターとで隙間ができるように備えたことを特徴としている。
【００１５】
また、本発明のファンフィルターユニットは、ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、誘導板の最も広い面を形作っている４辺のうち長さの短い２辺が平行でなく、残りの２辺は下流方向に向かうにつれ、ファンの回転軸に対して内側に曲がることを特徴としている。
【００１６】
また、本発明のファンフィルターユニットは、ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、長さの短い２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファンの回転軸を備えたことを特徴としている。
【００１７】
また、本発明のファンフィルターユニットは、４つの辺のうち、長さの最も長い辺に、この辺の外周部よりも外側に空気を流さないような曲線側壁を備えたことを特徴としている。
【００１８】
また、本発明のファンフィルターユニットは、曲線側壁は、ファンの回転軸に対して平行になるように備え、前記曲線側壁と前記フィルターとで隙間ができるように備えたことを特徴としている。
【００１９】
また、本発明のファンフィルターユニットは、ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、箱体状のチャンバーの１辺に対応して、それぞれ誘導板を備えたことを特徴としている。
【００２０】
また、本発明のファンフィルターユニットは、ファンがターボファンであることを特徴としている。
【００２１】
また、本発明のファンフィルターユニットは、誘導板を底面に取り付けることを特徴としている。
【００２２】
また、本発明のファンフィルターユニットは、誘導板をモータサポートに取り付けることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のファンフィルターユニットによれば、製品を薄型にすることができ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低減させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることのできるファンフィルターユニットが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
請求項１に記載のファンフィルターユニットは、箱体状のチャンバーと、このチャンバーに外部から空気を吸込む吸込口と、前記チャンバー内にファンと、このファンを回転させるためのモータと、このモータを固定するモータサポートと、前記ファンの下流、及び、前記チャンバーに隣接し空気を清浄化するフィルターと、前記ファンの外周部に前記フィルターに向かうように空気の流れる方向を変化させる板状の誘導板を備えたものであり、製品を薄型にすることができ、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００２５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のファンフィルターユニットにおいて、誘導板を流れる空気が下流方向に向かうにつれ、誘導板とフィルターとの距離を小さくする誘導板を備えたものであり、製品を薄型にすることができ、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００２６】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のファンフィルターユニットにおいて、誘導板が長方形形状であることを特徴としたものであり、簡単な部品で誘導板を構成することができる。また、製品を薄型にすることができ、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００２７】
請求項４に記載の発明は、請求項１または２に記載のファンフィルターユニットにおいて、長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺の一部分を円弧状に曲げたことを特徴としたものであり、製品を薄型にすることができる。また、フィルターに空気を効果的に誘導でき、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００２８】
請求項５に記載の発明は、請求項１または２に記載のファンフィルターユニットにおいて、長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺のすべてを円弧状に曲げたことを特徴としたものであり、製品を薄型にすることができる。また、フィルターに空気を効果的に誘導でき、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００２９】
請求項６に記載の発明は、請求項３乃至５いずれかに記載のファンフィルターユニットにおいて、ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、長方形形状の誘導板の長手方向に垂直な２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファンの回転中心を備えたものであり、空気が誘導板に流入する時の圧力損失を小さくすることができる。また、製品を薄型にすることができ、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３０】
請求項７に記載の発明は、請求項３乃至６いずれかに記載のファンフィルターユニットにおいて、長方形形状の誘導板の長手方向に平行な２辺のうち、外側にある１辺に、この辺の外周部に空気を流さないような直線側壁を備えたものであり、製品を薄型にすることができる。また、誘導板外周部に空気が漏れることを防ぎ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３１】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のファンフィルターユニットにおいて、ファンの回転軸に対して平行になるように直線側板を備え、前記直線側壁と前記フィルターとで隙間ができるように備えたものであり、製品を薄型にすることができる。また、誘導板外周部に空気が漏れることを防ぎ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３２】
請求項９に記載の発明は、請求項１または２に記載のファンフィルターユニットにおいて、ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、誘導板の最も広い面を形作っている４辺のうち長さの短い２辺が平行でなく、残りの２辺は下流方向に向かうにつれ、ファンの回転軸に対して内側に曲がることを特徴としたものであり、製品を薄型にすることができ、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３３】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載のファンフィルターユニットにおいて、ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、長さの短い２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファンの回転中心を備えたものであり、空気が誘導板に流入する時の圧力損失を小さくすることができる。また、製品を薄型にすることができ、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３４】
請求項１１に記載の発明は、請求項９または１０に記載のファンフィルターユニットにおいて、４つの辺のうち、長さの最も長い辺に、この辺の外周部よりも外側に空気を流さないような曲線側壁を備えたものであり、製品を薄型にすることができる。また、誘導板外周部に空気が漏れることを防ぎ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３５】
請求項１２に記載の発明は、請求項９または１０に記載のファンフィルターユニットにおいて、曲線側壁は、ファンの回転軸に対して平行になるように備え、前記曲線側壁と前記フィルターとで隙間ができるように備えたものであり、製品を薄型にすることができる。また、誘導板外周部に空気が漏れることを防ぎ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３６】
請求項１３に記載の発明は、請求項１乃至１２いずれかに記載のファンフィルターユニットにおいて、ファンの回転軸に対して垂直な平面から見ると、箱体状のチャンバーの１辺に対応して、それぞれ誘導板を備えたものであり、製品を薄型にでき、且つ、圧力損失の小さい誘導板を複数使用することにより、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３７】
請求項１４に記載の発明は、請求項１乃至１３いずれかに記載のファンフィルターユニットにおいて、ファンがターボファンであることを特徴としたものであり、製品を薄型にでき、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３８】
請求項１５に記載の発明は、請求項１乃至１４いずれかに記載のファンフィルターユニットにおいて、誘導板を底面に備えたものであり、製品を薄型にでき、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００３９】
請求項１６に記載の発明は、請求項１乃至１４いずれかに記載のファンフィルターユニットにおいて、誘導板をモータサポートに備えたものであり、製品を薄型にでき、且つ、圧力損失の小さい誘導板により、送風機性能を低下させずに、フィルターの通過風速の分布を均一にすることができる。
【００４０】
以下、本発明のファンフィルターユニットの形態について、図１〜図１４を参照しながら説明する。
【００４１】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１におけるファンフィルターユニットの構成を示す分解図である。図２は誘導板を取り付けた斜視図である。図３は誘導板の形状を示すファンの回転軸に垂直な平面から見た上視図である。図４は誘導板の形状を示す側面図である。図５は誘導板の位置を示すファンの回転軸に垂直な平面から見た上視図である。図６は誘導板に直線側面を備えた斜視図である。図７は誘導板に直線側面を備えた斜視図である。
【００４２】
図１に示すように、本発明のファンフィルターユニットは、箱体状のチャンバー１と、このチャンバー１に外部から空気を吸込む吸込口２と、チャンバー１内にファン３と、このファン３を回転させるためのモータ４と、このモータ４を固定するモータサポート５と、ファン３の下流、及び、チャンバー１に隣接し空気を清浄化するフィルター６と、ファン３の外周部にフィルター６に向かうように空気の流れる方向を変化させる板状の誘導板７を備えるという構成となっている。
【００４３】
ここで、チャンバー１は立方体としたが、図１のような構成とすれば、必ずしも立方体にする必要はない。
【００４４】
また、モータサポート５は、チャンバー１の側面８もしくは底面９に取り付けられる。
【００４５】
また、誘導板７は、ファン３の外周部に取り付けるとしたが、ファン３に近づけすぎるとファン３と誘導板７がお互い干渉しあい、干渉音を発生させる。そのため、適度な隙間を設けて干渉音を防止する必要がある。本実施の形態では、１５ｍｍの隙間を備えた。ファン３の外径に対して、０．０５倍以上の隙間は必要である。
【００４６】
ここで、本実施の形態において、ファン３はターボファンを構成した。ファン３から遠心方向に空気を吐出するターボファンが誘導板７による効果が大きい。
【００４７】
図２に示すように、誘導板７は、誘導板７に空気が流れるにつれ、下流に向かいフィルター６との距離を小さくするという特徴をもった構成となっている。しかし、下流に向かい、フィルター６と誘導板７の距離を急激に小さくするのは大きな圧力損失になるため、ファンフィルターユニットの風量特性を低下させる。そのため、適度な角度の誘導板７を備えて、圧損の小さい誘導板７を備える必要がある。本実施の形態では、底面９に対して誘導板を２０°の角度で備えた。
【００４８】
図３に示すように、誘導板７は長方形形状という構成となっている。
【００４９】
ここで、誘導板７の形状は、長方形形状としたが、フィルター６に向かうように空気の流れる方向を変化させることができれば、長方形形状にする必要はない。
【００５０】
図４に示すように、誘導板７は長方形形状の誘導板７の長手方向に平行な２辺の一部分を円弧状に曲げた構成となっている。
【００５１】
ここで、図４では、誘導板７の長手方向に平行な辺の両端を直線、真中を円弧形状としたが、長手方向に平行な辺の一部を円弧形状とすればよい。
【００５２】
また、誘導板７の長手方向に平行な辺のすべてを円弧状にしてもよい。
【００５３】
なお、ファン３の外径に対して、チャンバー１が十分に大きい場合など、長手方向の位置が９０°変わってしまう場合がある。この時は、長手方向に垂直な２辺を円弧状とする。つまり、誘導板７を流れる空気の向きに平行な向きに近い２辺を円弧状とする。
【００５４】
図５に示すように、ファン３の回転軸に対して垂直な平面から見ると、長方形形状の誘導板７の長手方向に垂直な２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファン３の回転中心１０を備えるという構成となっている。
【００５５】
なお、ファン３の外径に対して、チャンバー１が十分に大きい場合など、長手方向の位置が９０°変わってしまう場合がある。この時は、長手方向に平行な２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファン３の回転中心１０を備えるという構成となっている。
【００５６】
図６に示すように、長方形形状の誘導板７の長手方向に平行な２辺のうち、外側にある１辺に、この辺の外周部に空気を流さないような直線側壁１１を備えるという構成となっている。
【００５７】
ここで、長方形形状の誘導板７の長手方向に平行な２辺のうち、外側にある１辺すべてに直線側壁１１を備えなくても、誘導板７の効果を十分に得られれば、１辺すべてを直線側壁１１にする必要はない。
【００５８】
なお、ファン３の外径に対して、チャンバー１が十分に大きい場合など、長手方向の位置が９０°変わってしまう場合がある。この時は、長手方向に垂直な２辺のうち、外側にある１辺に、この辺の外周部に空気を流さないような直線側壁１１を備えることとする。
【００５９】
図７に示すように、直線側壁１１は、ファン３の回転軸に対して平行になるように備え、直線側壁１１とフィルター６とで隙間ができるように備えるという構成となっている。
【００６０】
ここで、隙間を備えたのは、直線側壁１１によりフィルター６の入口をふさがないようにするためである。フィルター６に固定枠があるとすれば、固定枠と直線側壁１１は接するように備えればよい。
【００６１】
以上のように本実施の形態によれば、ファン３の外周部にフィルター６に向かうように空気の流れる方向を変化させる板状の誘導板７を備えることにより、ファンフィルターユニットを薄型にできる。また、送風機性能を低下させずに、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００６２】
また、本実施の形態によれば、誘導板７を備えることにより、ファンフィルターユニットを薄型にでき、送風機性能を低下させずに、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００６３】
また、本実施の形態によれば、長方形形状の誘導板７を備えることにより、安い制作費で、ファンフィルターユニットを薄型にでき、送風機性能を詠歌させずに、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００６４】
また、本実施の形態によれば、誘導板７を誘導板７の長手方向に平行な２辺の一部分を円弧状に曲げた構成とすることにより、誘導板７の長手方向に平行な２辺すべてを直線にするよりも、さらに、小さな圧力損失で、フィルター６に向かうように空気の流れる方向を変化させることができる。
【００６５】
また、ファンフィルターユニットを薄型にでき、送風機性能を低下させずに、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００６６】
また、本実施の形態によれば、長方形形状の誘導板７の長手方向に垂直な２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファン３の回転中心１０を備えることにより、誘導板７に流入する空気の流れに沿わせることができ、入り口付近での圧力損失を小さくすることができる。
【００６７】
また、本実施の形態によれば、誘導板７の長手方向に平行な２辺のうち、外側にある１辺に、この辺の外周部に空気を流さないような直線側壁１１を備えることにより、誘導板７を流れる空気が、誘導板７の外周部に流出することを防ぎ、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００６８】
また、本実施の形態によれば、直線側壁１１は、ファン３の回転軸に対して平行になるように備え、直線側壁１１とフィルター６とで隙間ができるように備えることにより、誘導板７を流れる空気が、誘導板７の外周部に流出することを防ぎ、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００６９】
（実施の形態２）
図８は誘導板の形状を示すファンの回転軸に対して垂直な平面から見た上視図である。図９は誘導板の位置を示すファンの回転軸に垂直な平面から見た上視図である。図１０は誘導板に曲線側面を備えた斜視図である。図１１は誘導板に曲線側面を備えた斜視図である。図１２は誘導板を４つ備えた斜視図である。図１３は誘導板をチャンバーの底面に備えた斜視図である。図１４は誘導板をモータサポートに備えた斜視図である。
【００７０】
図８に示すように、本発明のファンフィルターユニットは、ファン３の回転軸に対して垂直な平面から見ると、誘導板７の最も広い面を形作っている４辺のうち長さの短い２辺が平行でなく、残りの２辺は下流方向に向かうにつれ、内側に曲がるように備えるという構成となっている。
【００７１】
ここで、誘導板７は、４つの辺からなるとしたが、ファン３の回転軸に対して垂直な平面から見ると、空気が流れる誘導板７の上流側から内側に曲がって下流側に流れるという構成となればよい。
【００７２】
図９に示すように、ファン３の回転軸に対して垂直な平面から見ると、誘導板７の長さの短い２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファン３の回転中心１０を備えるという構成となっている。
【００７３】
図１０に示すように、誘導板７の４つの辺のうち、長さの最も長い辺に、この辺の外周部よりも外側に空気を流さないような曲線側壁１２を備えるという構成となっている。
【００７４】
図１１に示すように、曲線側壁１２は、ファン３の回転軸に対して平行になるように備え、曲線側壁１２とフィルター６とで隙間ができるように備えるという構成となっている。
【００７５】
ここで、隙間を備えたのは、曲線側壁１２によりフィルター６の入口をふさがないようにするためである。フィルター６に固定枠があるとすれば、固定枠と直線側壁１１は接するように備えればよい。
【００７６】
図１２に示すように、ファン３の回転軸に対して垂直な平面から見ると、チャンバー１の外周の１辺に対応して、それぞれ誘導板７を備えるという構成となっている。
【００７７】
ここで、チャンバー１の外周の１辺に対応して、それぞれ誘導板７を備えるとしたが、十分な誘導板７の効果が得られれば、誘導板の数は、チャンバー１の外周の辺の数よりも少なくてもよい。
【００７８】
図１３に示すように、誘導板７に底面９に接するような接地面１３ａを備え、接地面１３ａを底面９に取り付けるという構成となっている。
【００７９】
ここで、誘導板７とモータサポート５とは隙間を備え、ファン３の回転時の振動により、接触するのを防ぐことができる。
【００８０】
図１４に示すように、誘導板７にモータサポート５に接するような接地面１３ｂを備え、接地面１３ｂをモータサポート５に取り付けるという構成となっている。
【００８１】
ここで、誘導板７とチャンバー１の底面９とは隙間を備え、ファン３の回転時の振動により、接触するのを防ぐことができる。
【００８２】
以上のように本実施の形態によれば、誘導板７を流れる空気の下流方向に向かうにつれ、内側に曲がるように備えることにより、ファンフィルターユニットを薄型にできる。  また、ファン３の回転軸に向かうように空気を誘導でき、送風機性能を低下させずに、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００８３】
また、本実施の形態によれば、誘導板７の長さの短い２辺のうち、上流側にある１辺の延長線上にファン３の回転中心１０を備えることにより、誘導板７に流入する空気の流れに沿わせることができ、入り口付近での圧力損失を小さくすることができる。
【００８４】
また、本実施の形態によれば、誘導板７の４つの辺のうち、長さの最も長い辺の外周部よりも外側に空気を流さないような曲線側壁１２を備えることにより、誘導板７を流れる空気が、誘導板７の外周部に流出することを防ぎ、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００８５】
また、本実施の形態によれば、曲線側壁１２は、ファン３の回転軸に対して平行になるように備え、直線側壁１２とフィルター６とで隙間ができるように備えることにより、誘導板７を流れる空気が、誘導板７の外周部に流出することを防ぎ、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００８６】
また、本実施の形態によれば、チャンバー１の外周の１辺に対応して、それぞれ誘導板７を備えることにより、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００８７】
また、本実施の形態によれば、誘導板７を底面９に備えることにより、ファンフィルターユニットを薄型にできる。また、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【００８８】
また、本実施の形態によれば、誘導板７をモータサポート５に備えことにより、ファンフィルターユニットを薄型にできる。また、フィルター６の通過風速の分布を均一にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
本発明にかかるファンフィルターユニットは、ファン外周部にフィルターに向かうように空気の流れる方向を変化させる誘導板を備えることで、薄型でフィルターの通過風速の分布が均一なファンフィルターユニットなどに適用することにおいて有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の実施の形態１におけるファンフィルターユニットの構成を示す分解図
【図２】同送風装置における誘導板を取り付けた斜視図
【図３】同送風装置における誘導板の形状を示すファンの回転軸に垂直な平面から見た上視図
【図４】同送風装置における誘導板の形状を示す側面図
【図５】同送風装置における誘導板の位置を示すファンの回転軸に垂直な平面から見た上視図
【図６】同送風装置における誘導板に直線側面を備えた斜視図
【図７】同送風装置における誘導板に直線側面を備えた斜視図
【図８】本発明の実施の形態２におけるファンの回転軸に垂直な平面から見た上視図
【図９】同送風装置における誘導板の位置を示すファンの回転軸に垂直な平面から見た上視図
【図１０】同送風装置における誘導板に曲線側面を備えた斜視図
【図１１】同送風装置における誘導板に曲線側面を備えた斜視図
【図１２】同送風装置における誘導板を４つ備えた斜視図
【図１３】同送風装置における誘導板をチャンバーの底面に備えた斜視図
【図１４】同送風装置における誘導板をモータサポートに備えた斜視図
【図１５】従来のファンフィルターユニットを示す断面図
【符号の説明】
【００９１】
１      チャンバー
２      吸込口
３      ファン
４      モータ
５      モータサポート
６      フィルター
７      誘導板
８      側面
９      底面
１０    回転中心
１１    直線側壁
１２    曲線側壁
１３ａ  接地面
１３ｂ  接地面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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