(57)【要約】【課題】  気密室内を高真空状態にできるだけ短時間で達成できるようにするため、内部に設置される装置に使用される螺子体の螺子溝内の残留気体をも、迅速且つ確実に除去できるようにすることにある。【解決手段】  周面に螺子溝４を刻設した螺子桿３に頭部２を付設した構成の螺子体１にあって、螺子桿３の一部を軸方向に沿って削切して切欠部５を形成し、或いはこの螺子体１に装着される座金６であって、一部に周縁から中心にかけての径方向に沿ってスリット７を開口形成した構成とし、気密室内に於けるディバイスに開設された螺子孔１１に、座金６を装着した螺子体１を螺合締付けした形態で、螺子孔１１内に螺子桿３の切欠部５との間で、螺子溝４と連通する気体通路１２を形成し、更にスリット７と気体通路１２とを連通させた姿勢にして気体の流出通路を確保する。【選択図】        図１
2006064103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高真空状態が要求される気密室内で使用され、周面に螺子溝（４）を刻設した螺子桿（３）に頭部（２）を付設した構成の螺子体（１）にあって、前記螺子桿（３）の一部を軸方向に沿って削切して、切欠部（５）を形成することを特徴とする螺子体。
【請求項２】
請求項１に記載の螺子体（１）に装着される座金（６）であって、一部に周縁から中心にかけての径方向に沿ってスリット（７）を開口形成したことを特徴とする座金。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高真空状態が要求される気密室内で使用される螺子体と座金に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
或る種の装置、例えば放射光装置、電子顕微鏡装置等では、その稼働作業に際し、装置が設置される気密室内に真空度１０-6ミリバール以上といった極めて高真空状態が要求される。
【０００３】
処が気密室内に組み込まれている各種の装置は多数の部品から構成されているので、各部材間に残留する気体をほぼ完全に吸引するためには高性能の真空装置を稼働させて長時間を費やさなければならず、甚だ作業効率の悪いものになっている。気密室内に上記レベルの真空状態を得るためには、例えば多数の螺子孔に螺合されている多数本の螺子体１本１本の螺子溝に残留する気体の除去をも要求するものである。
【０００４】
この観点から、従来の螺子体や座金に改良を加えた発明が提案されている。
【特許文献１】特開２０００−１４１２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この特許文献１に於いて、その図１０の実施例では、ネジの軸の中心に軸方向に沿って貫通穴を設けて気体流出路を形成した構成、図１１の実施例では、ネジ部にこのネジ部よりも深く気抜き溝を軸方向に沿って設けて気体流出路を形成した構成、図１２の実施例では、ネジ等の頭部に、軸方向と直交する方向に放射状の気抜き溝を設けて気体流出路を形成した構成、図１４の実施例では、ワッシャーに放射状の気抜き溝を設けて気体流出路を形成した構成、が夫々開示されている。
【０００６】
しかしながら、軸の中心に軸方向に沿って貫通穴を設けるには、軸とドリルとの位置合せ精度を高くしながらの作業となるので、極めて高い技術を要し、しかも手間暇とコストが嵩む欠点、不都合の問題がある。
【０００７】
この問題は、ネジ部に気抜き溝を軸方向に沿って設ける場合、ネジ等の頭部に軸方向と直交する方向に放射状の気抜き溝を設ける場合にも生じ、特に頭部に気抜き溝を設けた場合には、締付力が落ちる不安もある。
【０００８】
更に、ワッシャーはドーナツ円板形状であるから、気抜き溝を刻設することは、やはり技術的に困難な作業である。
【０００９】
よって本発明は、上述した従来技術の欠点、不都合、不満を解消するべく開発されたもので、気密室内を高真空状態にできるだけ短時間で達成できるようにするため、内部に設置される装置に使用される螺子体の螺子溝内の残留気体をも、迅速且つ確実に除去できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明は、高真空状態が要求される気密室内で使用され、周面に螺子溝を刻設した螺子桿に頭部を付設した構成の螺子体にあって、螺子桿の一部を軸方向に沿って削切して、切欠部を形成することを特徴とする構成である。
【００１１】
また、上記した螺子体に装着される座金であって、一部に周縁から中心にかけての径方向に沿ってスリットを開口形成したことを特徴とする構成である。
【発明の効果】
【００１２】
上記した螺子体の構成にあって、螺子孔に螺合した状態での螺子孔と螺子体の螺子桿との間には、螺子桿の一部を軸方向に沿って削切して設けた切欠部によって気体通路が形成されることになるので、螺子桿に周設された螺子溝空間はこの気体通路と連通し、真空のための吸引操作が行われると、螺子溝内に残留する気体は気体通路を介して排出除去されることになる。
【００１３】
また、上記した座金を上記した螺子体に装着し、この座金のスリットを螺子体の螺子桿の切欠部に対応させた状態で螺子孔に螺子体を螺合させると、前記した螺子孔と螺子体の螺子桿との間に形成される気体通路とスリットとが連通し、螺子溝内に残留する気体は気体通路、スリットを介して排出除去されることになる。
【００１４】
従って、高真空状態が要求される気密室内にあって設置されている各種装置に、本発明に係る螺子体と座金を使用することにより、螺子溝内までの気体を迅速且つ確実に排出除去することができる。
【００１５】
そして本発明の螺子体は、螺子桿の一部を軸方向に沿って単に削切するだけであるので、また座金は、周縁から中心にかけての径方向に沿ってスリットを単に開口形成するだけであるので、共に成形が極めて簡単であり、成形コストも低く抑えることができる等、多くの優れた作用効果を奏する。
と構造が簡単で
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の螺子体１は、例えば六角プレート状の頭部２に螺子桿３を付設した構成で、螺子桿３の周面には螺子溝４が刻設されているが、更のこの螺子桿３の一部は軸方向に沿って削切されて切欠部５を形成する構成となっている。
【００１７】
また、上記した螺子体１に装着される本発明の座金６は、一部に周縁から中心にかけての径方向に沿ってスリット７を開口形成した構成である。
【実施例１】
【００１８】
図１（ａ）は、気密室内に於ける或る種の装置の所定のディバイスとして、プレート８とブロック９とを本発明の螺子体１を介して一体連結する場合を示すもので、プレート８及びブロック９には内周面に雌螺旋１０が刻設された螺子孔１１が開設されてあり、本発明の座金６を装着した状態で螺子体１を螺子孔１１に螺合締付けした形態では、螺子孔１１内に螺子桿３の切欠部５との間で、螺子溝４と連通する気体通路１２が形成されることになる。
【実施例２】
【００１９】
同じく図１（ａ）にあって、螺子体１を螺子孔１１に螺合締付けした形態での螺子体１に装着した座金６を、そのスリット７が螺子桿３の切欠部５に対応させて気体通路１２とを連通させた姿勢にし、気体の流出通路を確保する。
【実施例３】
【００２０】
さて、図２は本発明に係る螺子体１の成形治具１３の一例を示すもので、ブロック材１４の一面に、内面に雌螺旋１０を刻設した治具溝１５を平行に多数設ける。この治具溝１５は径方向の断面が半円形以上の円弧形である。
【００２１】
そこで夫々の治具溝１５に螺子体１’を螺合組付けすると、各螺子体１’の螺子桿３’の長さ方向に沿った一部が、略かまぼこ形状状にブロック材１４の一面から突出して露出する。そこで、例えばフライスカッター１６等をブロック材１４のこの一面に面接させながら図面でＡ方向に摺動させると、上記略かまぼこ形状状に突出した螺子桿３’の長さ方向に沿った一部が削切されることになるので、螺子桿３に切欠部５を形成した螺子体１を極めて簡単に成形することができるのである。
【００２２】
尚、この切欠部５を形成するための螺子桿３’の削切量は、螺子の締め付け強度と気体の抜き効果の双方を配慮して適宜に設定する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（ａ）は、本発明に係る螺子体と座金を所定のディバイスに螺合組付けした状態を示す断面図、（ｂ）は螺子体の正面図、（ｃ）は座金の正面図である。
【図２】本発明に係る螺子体の成形治具の断面説明図である。
【符号の説明】
【００２４】
１    螺子体
１’  螺子体
２    頭部
３    螺子桿
３’  螺子桿
４    螺子溝
５    切欠部
６    座金
７    スリット
８    プレート
９    ブロック
１０  雌螺旋
１１  螺子孔
１２  気体通路
１３  成形治具
１４  ブロック材
１５  治具溝
１６  フライスカッター
【図１】
2006064103.tif 000003
【図２】
2006064103.tif 000004