(57)【要約】【課題】生産性の向上に有効な光情報記録媒体の製造装置を提供する。  【解決手段】回転テーブルＴに固定されＵＶ硬化性樹脂36を塗布したスタンパ18に対し、センターピン11を下降して基板29をスタンパ18に貼り合わせた後、ＵＶ照射により樹脂36を硬化して、基板29表面にスタンパ18の情報記録面を転写した記録樹脂層を形成する転写工程と、センターピン11の上昇と空気放出孔24からの空気放出で、記録樹脂層一体化基板29をスタンパ18から剥離する剥離工程とを備えた光情報記録媒体の製造装置で、回転テーブルＴの一方が第１ステージＳ1にあるとき他方が第２ステージＳ2にあるように一対の回転テーブルＴ，Ｔを間欠的に往復旋回し、第１のステージＳ1で前記剥離工程，剥離した基板29の搬出および転写準備工程を行い、第２のステージＳ2で重り31載置後の転写本工程を行うことで、製造工程時間が従来の略半分となる。【選択図】図６
2006260664.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センターピンで支持され、その上面に光透過性重り部材を載置した光透過性基板と、上記センターピンを中心にして設定されるスタンパとの間に、このスタンパの記録面が転写された記録樹脂層が設定されるようにした光情報記録媒体を製造する装置において、
上記センターピンを中心軸部として設定され、その上面にスタンパの内径部に当てられるガイドリングを設定してスタンパを固定保持できるように構成した回転テーブルと、
上記回転テーブルの中心部で、上記センターピンの外周部に近接する位置に形成された空気放出孔と、
上記センターピンを昇降動作させる手段とを具備し、
回転テーブルに固定保持されて紫外線硬化性樹脂がリング状に塗布されたスタンパに対し、センターピンを下降させて光透過性基板をスタンパに貼り合わせるとともに、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させることで、光透過性基板の表面にスタンパの情報記録面を転写した記録樹脂層を形成する転写工程と、
上記センターピンを微少量上昇させるとともに、上記空気放出孔から空気を放出することで、光透過性基板に一体の記録樹脂層とテーブルに吸着されたスタンパとの間に空気層を形成して、記録樹脂層を一体化した光透過性基板をスタンパから剥離する剥離工程と、を備えた光情報記録媒体の製造装置であって、
旋回中心軸を挟んで対向配置された一対の回転テーブルが旋回中心軸周りに間欠的に往復旋回して、一方の回転テーブルが第１のステージにあるときに、他の回転テーブルが第２のステージにあるように構成されるとともに、
前記第１のステージでは、前記剥離工程，剥離した光透過性基板の搬出，スタンパへの紫外線硬化性樹脂の供給（塗布），センターピンへの光透過性基板の載置および センターピンの下降によるスタンパ上の紫外線硬化性樹脂への光透過性基板の載置という転写準備工程が行われ、
前記第２のステージでは、光透過性重り部材の載置によるディスク基板のスタンパへの貼り合わせおよび紫外線照射による樹脂層の硬化という転写本工程が行われるように構成されたことを特徴とする光情報記録媒体の製造装置。
【請求項２】
前記光透過性重り部材は、前記第２のステージにおいて昇降動作可能に設けられるとともに、前記昇降機構の下降動作により前記光透過性基板が光透過性重り部材の自重により下降する下降速度以上の速度で下降することを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばオーディオ用、ビデオ用、さらには情報機器用のデータ記録用等に用いられる光情報記録媒体の製造装置に係り、特に特許第２５０９９７８号、特許第２５０９９７９号の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の光情報記録媒体の一種である光ディスクは、例えば下記特許文献に示されるように、データが記録されたマスターとなるスタンパを回転テーブル上に載置固定し、紫外線によって硬化する性質を有する樹脂（以下、紫外線硬化性樹脂という）をスタンパの表面に塗布した後、回転テーブルに対し昇降動作可能なセンターピンで支持した光透過性ディスク基板および該ディスク基板に載置した光透過性重り部材をセンターピンとともに下降させることで、スタンパの樹脂塗布面にディスク基板を積層状態にして貼り合わせ、ディスク基板の上方から紫外線を照射して樹脂層を硬化させることで、ディスク基板に一体化された樹脂層の表面にスタンパの情報記録面（記録データ）を転写した後、記録樹脂層を一体化したディスク基板をスタンパから剥離することで、製造される。
【０００３】
【特許文献１】特許第２５０９９７８号、特許第２５０９９７９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記特許文献に示す装置では、回転テーブル上のスタンパへの紫外線硬化性樹脂の供給（塗布）、センターピンへのディスク基板の載置、ディスク基板への重り部材の載置、センターピンの下降によるディスク基板のスタンパへの貼り合わせ、紫外線照射による樹脂層の硬化、スタンパからのディスク基板の剥離、剥離したディスク基板（光ディスク）の搬出までの全ての工程を、単一のステージで行っている。
【０００５】
このため、紫外線硬化性樹脂の供給（塗布）に始まって１枚の記録樹脂層一体化ディスク基板（光ディスク）を製造するまでの時間がかかり、生産性が悪いという問題があった。特に、ディスク基板が樹脂を押し潰してスタンパに密着するまでに約１分近くかかり、これが全工程時間の略半分を占めている。
【０００６】
そこで、発明者は、装置の全工程を第１のステージと第２のステージの２つに分けて、旋回する２つの回転テーブルが第１のステージと第２のステージを間欠的に順次通るように構成し、樹脂層を介してディスク基板をスタンパに貼り合わせて一体化する転写本工程を第２のステージで行い、その他の工程を第１のステージで行うようにすれば、工程時間が略半分になると考えて試作したところ、有効であることが確認されたので、本発明を提案するに至ったものである。
【０００７】
本発明は前記した従来の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、生産性の向上に有効な光情報記録媒体の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明に係る光情報記録媒体の製造装置においては、センターピンで支持された光透過性基板と、上記センターピンを中心にして設定されるスタンパとの間に、このスタンパの記録面が転写された記録樹脂層が設定されるようにした光情報記録媒体を製造する装置において、
上記センターピンを中心軸部として設定され、その上面にスタンパの内径部に当てられるガイドリングを設定してスタンパを固定保持できるように構成した回転テーブルと、
上記回転テーブルの中心部で、上記センターピンの外周部に近接する位置に形成された空気放出孔と、
上記センターピンを昇降動作させる手段とを具備し、
回転テーブルに固定保持されて紫外線硬化性樹脂がリング状に塗布されたスタンパに対し、センターピンを下降させて光透過性基板をスタンパに貼り合わせるとともに、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させることで、光透過性基板の表面にスタンパの情報記録面を転写した記録樹脂層を形成する転写工程と、
上記センターピンを微少量上昇させるとともに、上記空気放出孔から空気を放出することで、光透過性基板に一体の記録樹脂層とテーブルに吸着されたスタンパとの間に空気層を形成して、記録樹脂層を一体化した光透過性基板をスタンパから剥離する剥離工程と、を備えた光情報記録媒体の製造装置であって、
旋回中心軸を挟んで対向配置された一対の回転テーブルが旋回中心軸周りに間欠的に往復旋回して、一方の回転テーブルが第１のステージにあるときに、他の回転テーブルが第２のステージにあるように構成するとともに、
前記第１のステージでは、前記剥離工程，剥離した光透過性基板の搬出，スタンパへの紫外線硬化性樹脂の供給（塗布），センターピンへの光透過性基板の載置および センターピンの下降によるスタンパ上の紫外線硬化性樹脂への光透過性基板の載置という転写準備工程を行い、
前記第２のステージでは、光透過性重り部材の載置によるディスク基板のスタンパへの貼り合わせおよび紫外線照射による樹脂層の硬化という転写本工程を行うように構成した。
【０００９】
（作用）ガイドリングに係合して位置決めされて回転テーブルに固定保持され、かつその上面に紫外線硬化性樹脂がリング状に塗布されたスタンパに対し、光透過性基板を支持するセンターピン（および光透過性重り部材）を下降して光透過性基板をスタンパに貼り合わせるとともに、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させる転写工程により、光透過性基板の表面にスタンパの情報記録面を転写した記録樹脂層が形成される。
【００１０】
そして、光透過性基板とスタンパとの間に硬化された記録樹脂層が形成された状態で、センターピンを微小量上昇させて光透過性基板の中央部がスタンパ面から微小量離れ間隙を形成し、テーブル中央部からその間隙部に空気を送り込んで中央部から樹脂層を順次剥離する剥離工程により、樹脂層に剥離する力を作用させることなく基板と一体に樹脂層がスタンパから剥離されて、信頼性の高い状態で光情報記録媒体（光ディスク）が製造される。
【００１１】
特に、スタンパへの紫外線硬化性樹脂の供給（塗布）から、剥離した光透過性基板（光情報記録媒体）の搬出までの一連の製造工程の中で最も時間がとられる、光透過性基板のスタンパへの貼り合わせおよび紫外線照射による樹脂層の硬化という転写本工程を、第２のステージに位置する回転テーブルで行っている間に、第１のステージに位置する回転テーブルでは、その他の工程を行うとともに、第１，第２のステージ間における回転テーブルの移動は往復旋回動作で短時間ですむので、製造工程に要す時間が従来の略半分となる。
【００１２】
また、請求項２においては、請求項１に記載の光情報記録媒体の製造装置において、前記光透過性重り部材を、前記第２のステージにおいて昇降動作可能に設けるとともに、前記昇降機構の下降動作により前記光透過性基板が光透過性重り部材の自重により下降する下降速度以上の速度で下降するように構成した。
【００１３】
（作用）スタンパと光透過性基板間の樹脂層には、光透過性重り部材の自重に加えて昇降機構による加圧力も作用するので、光透過性基板のスタンパに対する沈下速度（樹脂層を押し潰す速度）が早く、短時間のうちに光透過性基板とスタンパが樹脂層を介在させた所定の厚さとなる。
【発明の効果】
【００１４】
以上のようにこの発明に係る光情報記録媒体の製造装置によれば、製造工程時間が従来の略半分となるので、光情報記録媒体の生産量が著しく向上する。
請求項２によれば、光透過性基板のスタンパへの貼り合わせに要す時間がさらに短縮されるので、製造工程時間がより一層短くなって、光情報記録媒体の生産量がさらに向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
【００１６】
図１〜１５は、本発明の一実施例に係る光情報記録媒体の製造装置を示すもので、図１は光ディスク製造装置の要部断面図、図２は同装置のテーブル周辺を拡大して示す断面図、図３はスタンパに形成されたグルーブの最外周見切線を撮影するＣＣＤカメラとその映像を映し出すディスプレイ装置のモニタ画面の概要全体を示す図、図４は同装置の正面図、図５は同装置の右側面図、図６は同装置の平面図、図７は同装置の特にセンターピンを制御する制御回路における処理の流れを説明する図、図８はディスク基板搬入工程の説明図、図９は基板貼り合わせ工程の基板載置時の説明図、図１０は基板貼り合わせ工程の重り載置時の説明図、図１１は基板貼り合わせ工程の基板押圧時の説明図、図１２は基板貼り合わせ工程の基板押圧終了時の説明図、図１３は基板貼り合わせ工程の紫外線照射時の説明図、図１４は光ディスク剥離工程説明図、図１５は光ディスク搬出工程説明図である。
【００１７】
図１,２において、この製造装置にあっては、動作の中心となるセンターピン11を備える。このセンターピン11は、円筒状に構成され垂直の状態で設定される回転テーブルＴの軸部である支持部材13の中空部内に軸方向移動自在に設定されるもので、回転テーブルＴの軸部である支持部材13は、ベアリング機構14により基台10に垂直状態にして回転自在に支持されるようになる。符号13aは、回転テーブルＴの軸部である支持部材13とセンターピン11間に介装されたＯリングである。
【００１８】
上記支持部材13は、一体的に歯車131を備えて選択的に回転制御されるもので、支持部材13の上方には平面に広がるようにして受け台16が形成される。この受け台16には、円板状のテーブル本体17が載置設定されるもので、このテーブル本体17上に金属製または樹脂製のスタンパ18を負圧吸引力によって吸着固定保持できるようになっている。
【００１９】
円板状のテーブル本体17は、上面側にプレート収容凹部172が開口する円板状のプレートケース170と、プレートケース170のプレート収容凹部172に収容されて接着剤で固定された円板状の吸着プレート174で構成されている。符号172a,172bは、プレート収容凹部172の内外周側に形成された、吸着プレート174の担持面として機能する円環状の段差部で、プレート収容凹部172における段差部172a,172bで囲まれた領域と吸着プレート174とによって、吸着プレート174に対応する円板状の負圧室176が画成されている。
【００２０】
スタンパ載置面を構成する吸着プレート174は、通気性のある多孔質のセラミックスで構成されるとともに、吸着プレート174下面が負圧室176に臨むことから、多孔質のセラミックスで構成された吸着プレート174の上面全体に均一な負圧力が発生し、吸着プレート174に載置されたスタンパ18が吸着プレート174上面に発生する負圧吸引力によって吸着固定保持される。
【００２１】
なお、スタンパ18には、中心部に丸いガイド用の孔が形成されるもので、その上面にはグループや情報ビット等を記録する凹凸が形成されている。そして、テーブル本体17（プレートケース170）と一体的に形成されるガイドリング19によって、スタンパ18のテーブル本体17上の位置が固定設定される。即ち、ガイドリング19は、プレートケース170内径側にねじ固定されて、センターピン11の中心軸と同軸に配置されており、ガイドリング19の外周にスタンパ18の内径部（ガイド用の孔）が係合することで、スタンパ18のグルーブがセンターピン11の中心軸に対し位置決めされている。
【００２２】
また、円筒型の軸受けケース15の外側には、その上面側に円環状に開口する負圧室182が設けられた円環状のバキュームプレート180が軸方向移動可能に組み付けられるとともに、バキュームプレート180と軸受けケース15との間に介装された圧縮コイルスプリング184によって、バキュームプレート180の上面側が受け台16の底面に摺接するように配置されている。バキュームプレート180の負圧室182には、バキュームプレート180に設けた電磁弁186を介して図示しない負圧発生手段である真空源（真空ポンプ）Ｐの負圧が作用するように構成されており、プレートケース170および受け台16には、軸方向に延びる通路187(円孔187a,187b)が周方向等分複数箇所に設けられて、相対摺動するテーブル側の負圧室176とバキュームプレート180側の負圧室182間における連通が確保されている。符号188は、通路187を構成する円孔187a,187b間の機密性を確保するためのＯリングである。
【００２３】
テーブル本体17（プレートケース170）の外形は、受け台16のテーブル収容部の内形よりも僅かに小さく形成されて、テーブル本体17を受け台16のテーブル収容部内で水平方向および垂直方向に僅かに移動できるように構成されているが、受け台16の上面外周縁には、ねじ177aにより受け台16に固定された環状のプレートケース押さえ177が設けられて、受け台16からのプレートケース押さえ177の脱落が防止されるとともに、受け台16とプレートケース押さえ177間にＯリング178が介装されて、プレートケース170が受け台16に対し軸方向および周方向にがたつくことなく弾性的に支持されている。
【００２４】
また、受け台16の外周等分３箇所には、テーブル本体17の上面をセンターピン11の中心軸に直交する水平面となるように調整するレバー式平面度調整機構190が設けられている。即ち、受け台16の外周下面側に放射状に延在してピン191回りに揺動するレバー192が設けられ、レバー192の一端部は、受け台16の底面壁に設けられた孔193を貫通してプレートケース170の底面を担持するロッド194の下端部を担持するとともに、レバー192の他端部は、受け台16の外周に設けられた軸方向に延びる調整ねじ195の下端部に当接するように構成されている。そして、各レバー式平面度調整機構190における調整ねじ195を回動することで、受け台16に対しプレートケース170（吸着プレート174）の表面（スタンパ載置面）を傾動させて、センターピン11の中心軸に直交する水平面として設定できる。
【００２５】
具体的には、ディスク基板29は、センターピン11の先端部の弁部材12によって水平に担持された形態でセンターピン11と一体に下降して下方のスタンパ18に貼り合わせられるが、このディスク基板29とスタンパ18とを平行状態を保持して貼り合わせができるように、装置の連続運転開始前に、スタンパ18をプレートケース170（吸着プレート174）に載置固定後、平面度調整機構190（の調整ねじ195）を使って、プレートケース170（吸着プレート174）の表面（スタンパ載置面）の傾斜を調整(下降するディスク基板29に対しスタンパ18が平行状態で接触するように調整)するようになっている。
【００２６】
また、レバー式平面度調整機構190と干渉しない受け台16の外周等分３箇所には、受け台16の外周壁を放射状に貫通する貫通孔202が設けられ、それぞれの貫通孔202には、マイクロメータヘッド200と、マイクロメータヘッド200の摘み201の回動に連係して進退する摺動ロッド204とが組み付けられており、マイクロメータヘッド200（の摘み201の回動）により、受け台16に対しプレートケース170の周方向位置を調整できる。即ち、吸着プレート174に載置固定されたスタンパ18におけるグルーブの中心とセンターピン11の中心（回転テーブルＴの回転中心）とが正確に一致していない場合が多いので、スタンパ18を吸着プレート174に載置固定した後、基板の自動貼り合わせ工程の運転開始前に、マイクロメータヘッド200（の摘み201の回動）により、吸着プレート170に載置固定されたスタンパ18におけるグルーブの中心とセンターピン11の中心（回転テーブルＴの回転中心）とが一致するように、受け台16内においてプレートケース170の周方向位置を調整する。
【００２７】
具体的には、図３に示すように、回転テーブルＴの上方には、吸着プレート174に載置固定されたスタンパ18の外周縁の一部を撮像するＣＣＤカメラ40が配置され、このＣＣＤカメラ40は、後述するチャンバ32や基板搬送機構40等の動作の邪魔にならない所定位置まで移動可能に構成されている。回転テーブルＴの上方所定位置に配置されたＣＣＤカメラ40が撮像した映像（スタンパ18の表面に形成されているグルーブの最外周見切線18aの映像）は、ディスプレイ装置42における直交座標と目盛線が設けられたモニタ画面44に映し出される。図３に図示されているモニタ画面44上には、斜線で示されるグルーブ形成領域の最外周見切線18aが直交座標のゼロ点近傍に映し出されている。そして、吸着プレート174に載置固定されたスタンパ18におけるグルーブの中心とセンターピン11の中心（回転テーブルＴの回転中心）とがずれていると、回転テーブルＴを回転させたときに、モニタ画面44に表示されるグルーブの最外周見切線18a位置が矢印Ｃに示すように一定しない（ふらつく）形態となり、一方、両中心が一致している場合は、モニタ画面44に表示されるグルーブの最外周見切線18a位置がふらつかない形態となる。そこで、作業者は、回転テーブルＴを例えば１２０度毎に間欠的に回転させつつモニタ画面44を見て、画面44に表示されるグルーブの最外周見切線18a位置のふらつきがなくなるように、マイクロメータヘッド200（の摘み201の回動）により、受け台16に対するテーブル本体17（プレートケース170）の水平位置を調整する、即ち、スタンパ18におけるグルーブの中心とセンターピン11の中心（回転テーブルＴの回転中心）とを一致させる。
【００２８】
ガイドリング19の上方の内周面側には、センターピン11の先端部外周に固定された環状の弁部材12が設けられて、ガイドリング19と弁部材12間にリング状の負圧発生用または加圧空気噴出用の通路210が設けられている。この通路210は、センターピン11を取り囲むように受け台16中央部寄りに設けられた円環状の負圧室212に連通し、負圧室212は、回転テーブルＴの軸部（支持部材）13に設けられた通路214、軸受けケース15に設けられた通路215および電磁弁216を介して負圧発生手段である真空源（真空ポンプ）Ｐに接続されており、ガイドリング19と弁部材12間の通路210に発生する負圧によって、余剰レジンを吸引回収できる。
【００２９】
また、センターピン11には、その軸線部に空気通路22が形成されているもので、この通路22は、弁部材12の外側の通路210に開口するように形成した通路23に連通し、図示しない加圧空気供給源から空気通路22を介して通路23に送り込まれた空気が、通路210を介してテーブル17の中心部に配置された基板29の内周側底部に向けて放出されるように構成されている。
【００３０】
このセンターピン11は、駆動機構25によって図１矢印Ａで示すように上下方向に移動制御されるようになっている。上記駆動機構25は、サーボモータ251によって回転される螺軸252を備え、この螺軸252に螺合される移動体253によってセンターピン11を支持するようにしているもので、サーボモータ251の回転角によって、センターピン11がμｍ単位で上下方向に精密に移動制御されるようにしている。そして、上記サーボモータ251は、マイクロコンピュータ等によって構成されるようになる制御回路26によりその回転角が制御される。
【００３１】
センターピン11の上方に設けられている弁部材12は、ディスク基板29の載置部としても機能するもので、この弁部材12の上方に円錐台形状のガイドピン27が突設されている。そして、ガイドピン27で中心位置が設定されるようにして上記弁部材12にディスク基板29が載置設定されるようになる。符号28は圧縮コイルスプリングで、ディスク基板29の内径部をガイドピン27に係合させるようにしてディスク基板29を弁部材12に載置する際に、ディスク基板29の内径部とガイドピン28とが厳密に一致しない形態であっても、ディスク基板29を介して作用する押圧力で圧縮コイルスプリング28が圧縮されてガイドピン27が下降することで、自動的にディスク基板29の内径部にガイドピン27が係合する形態となる。
【００３２】
このディスク基板29は、例えばエポキシ、エポキシビニルエステル、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネイト等の熱可塑性樹脂、あるいはガラスによって構成される。
【００３３】
上記弁部材12は、センターピン11が下降したときに、回転テーブルＴのガイドリング19の上端面と面一に設定されるようになるものである。
【００３４】
また、回転テーブルＴ上に固定保持されるスタンパ18の面上には、光ディスクの記録層を形成するための材料であるレジン36が載置設定される。このレジン36は紫外線を照射することによって硬化する2P樹脂材料でなるもので、末端にアクリル基および／またはメタアクリル基を有する液状樹脂、例えばエポキシ樹脂のアクリル酸および／またはメタクリル酸エステル、アクリル基／またはメタクリル基を末端に有するウレタン樹脂、またこの液状樹脂をアクリル基およびまたはメタクリル基を有する反応性モノマーで希釈したもの等よりなる。
【００３５】
そして、このレジン36は、回転テーブル17を回転させながら、ノズル等によって定量スタンパ18上にリング状にして載置されるようにする。
【００３６】
また、上記センターピン11によって支持されるようになるディスク基板29の上方には、紫外線照射装置４のチャンバ32が配置設定され、チャンバ32内には、移動台30によってガラス等の透明体によって構成された円板状の重り31が配置設定される。上記移動台30（移動台30）は、チャンバ32内において図１矢印Ｂで示すように所定量上下移動自在に設定される。この移動台30は、チャンバ32内側に沿って延びる円筒状の立壁を有し、図の状態のように下方向に移動設定された状態で、チャンバ32と協働して、上記基台15の上面部に回転テーブルＴの周囲に対応して密封されるチャンバ室33を形成するようになる。
【００３７】
上記チャンバ室33内には、図では示していないが、重り31の上方には紫外線源が設定されているもので、透明な重り31を透過して内部に紫外線が照射されるようにしている。
【００３８】
移動台30は、駆動機構35によって図１矢印Ｂで示すように上下方向に移動制御されるようになっている。上記駆動機構35は、サーボモータ351によって回転される螺軸352を備え、この螺軸352に螺合される移動体353の筒状枠部354によって移動台30（重り31）を支持するようにしているもので、サーボモータ251の回転角によって、重り31がμｍ単位で上下方向に精密に移動制御されるようにしている。そして、上記サーボモータ351は、制御回路26によりその回転角が制御される。
【００３９】
移動台30は、下端側が縮径された円環状下部30a内に、円環状スペーサ部材30bを一体化した重り（ガラス）31が上下移動可能に収容されるとともに、円環状下部30a上に円環状上部30ｃを積層一体化した形態で移動体353の枠部354に固定されている。筒状の枠部354の下端部には、伸縮可能なリング状の弾性材355が取着一体化されている。また、スペーサ部材30ｂと円環状上部30ｃ間には、所定の隙間（ディスク基板29がレジン36を押し潰してスタンパに接近する最大沈下量よりも大きく設定された微小隙間）ｄが形成されており、予め移動台30を下端位置（スタンパ18に貼り合わせるディスク基板29の最下端下降位置）まで下降設定しておくことで、ディスク基板29に重り31の自重だけを作用させることも、あるいはサーボモータ351により移動体353の枠部354を微小隙間ｄを超えて下降動作させて、円環状上部30ｃが円環状スペーサ部材30b（重り31）を下方に押圧し、サーボモータ351駆動による移動台30の下降に伴う重り31の自重以上の加圧力をディスク基板29に作用させる（ディスク基板29がレジン36を押し潰して（広げて）下降する下降速度を高める）ことも可能に構成されている。特に、36の粘性が高くてディスク基板29の下降に時間がとられるような場合には、スタンパ18への貼り合わせに要す時間を短縮するべく、サーボモータ251の駆動により重り31の自重以上の加圧力をディスク基板29に作用させて、強制的にレジン36を押し潰す（広げる）ように設定することが望ましい。
【００４０】
装置の全体構成は、図４〜６において示されており、旋回中心軸Ｃ１周りに往復旋回可能な円板状の旋回テーブル2を備えている。旋回テーブル2には、旋回中心軸Ｃ１を挟んで、一対の回転テーブルＴ，Ｔが対向して配置され、図示しない駆動モータの回転により旋回テーブル2（一対の回転テーブルＴ，Ｔ）が旋回中心軸Ｃ１周りに間欠的に往復旋回して、一方の回転テーブルＴが第１のステージＳ１にあるときに、他の回転テーブルＴが第２のステージＳ２にあるように構成されている。
【００４１】
そして、第１のステージＳ１では、第２のステージＳ１における本転写工程によって記録樹脂層41を転写形成したディスク基板29を、スタンパ18から剥離する剥離工程および剥離したディスク基板29の搬出入機構40による搬出の他に、レジン供給ノズル37を介してのスタンパ18への新たなレジン36の供給（塗布），搬出入機構40によるセンターピン11へのディスク基板29の載置およびセンターピン11の下降によるスタンパ18上のレジン36へのディスク基板29の載置という転写準備工程が行われる。一方、第２のステージＳ２では、重り31の載置によるディスク基板29のスタンパ18への貼り合わせおよび上方の紫外線照射装置4からの紫外線照射による樹脂層41の硬化という転写本工程が行われるように設定されている。
【００４２】
図７は、上記のように構成される装置により光ディスクの記録樹脂層を製造する工程の、特にセンターピン11の動きを制御する制御回路26における処理の流れを示している。
【００４３】
まず、ステージＳ１に位置する回転テーブルＴのスタンパ18の面上にレジン供給ノズル37によってセンターピン11を中心とするリング状にレジン36を設定した後、ステップ101において、センターピン11が図８で示すように上昇位置に設定される。そして、このセンターピン11が上昇設定された状態で、基板搬送機構40によってディスク基板29がセンターピン11上に搬送され、このセンターピン11に形成した弁部材12上に基板29が設定される。
【００４４】
センターピン11にディスク基板29が設定されたならば、ステップ102において、センターピン11をスタンパ18と基板29との間隔が接近する第１の位置とされるまで下降する。すなわち、図９で示すようになるもので、この状態ではディスク基板29の下面がリング状にされたレジン36に接触する直前の状態とされる。
【００４５】
このようにセンターピン11が下降設定されたならば、次にステップ103のようにセンターピン11をミクロン単位で１〜数秒毎に下降させるように制御する。すなわち、ディスク基板29はミクロン単位で間欠的に下降されるもので、この下降の過程においてレジン36のリングの一部が基板29の面に接し、この接触部が徐々に拡大されてレジン36のリングの全周が基板29と接触されるようになる。
【００４６】
このようにディスク基板29がリング状にされたレジン36に接触する際に、このレジン36中に気泡が混入することがある。しかし、上記のように例えば１秒間にミクロン単位で間欠的に基板29を下降させ、基板29とレジン36とがまず１か所で接触した後、この接触点が左右にリングに沿って延長され、リング状に接触部が形成されるようにすると、レジン36中に気泡が入り込むことが効果的に抑制されるようになる（図９参照）。
【００４７】
ステップ104では、スタンパ18と基板29との間隔が第２の位置となったか否かを判定しているもので、この間隔が第２の位置となった状態で、ステップ105に進む。ここで、上記第２の位置は基板29にレジン36のリングの全周が接触されるようになる、経験的に求められた値である。
【００４８】
ステップ105では、センターピン11を素早く下降させ、このセンターピン11の弁部材12における基板支持面が、スタンパ18の面から所定の高さとされる位置、具体的にはスタンパ18の面から製造される光ディスクの樹脂による記録層41の厚さに相当する高さ位置（図９仮想線で示す位置）であって、弁部材12が回転テーブルＴの中央凹部に収容された位置に設定されるようにする。
【００４９】
ステップ105の後、ステップ105Ａにおいて旋回テーブル2を所定方向(図６において時計回り)に旋回させる。即ち、旋回テーブル2が１８０度旋回して、第１のステージＳ１にあった回転テーブルＴが第２のステージＳ２に移動し、かつ第２のステージＳ２にあった回転テーブルＴが第１のステージＳ１に移動する。第２のステージＳ２の上方には、紫外線照射装置のチャンバ32が配置され、チャンバ32の下部には、昇降動作可能な移動台30が設けられている。移動台30（重り31）は上昇設定されており、第１のステージＳ１（第２のステージＳ２）から第２のステージＳ２（第１のステージＳ１）への回転テーブルＴの移動が妨げられることはない。
【００５０】
回転テーブルＴが第２のステージＳ２に移動すると、チャンバ32内で上方設定されている移動台30が下降して、図１，図１０に示すように、重り31を基板29上に載置する。同時に、電磁弁216がガイドリング19と弁部材12との間の通路210を吸気通路に切り替える。すなわち、この状態では、スタンパ18とディスク基板29との間に、図１０に示すように、リング状のレジン36により囲まれた部屋が形成され、この部屋が真空源（真空ポンプ）Ｐによって吸気されるようになるものであり、さらにレジン36に対しては、重り31の荷重が作用し、図１１に示すように、レジン36を徐々に押し潰す（押し拡げる）ようになる。
【００５１】
このようにしてディスク基板29とレジン36とが接触されて、さらにレジン36に気泡が混入しているような場合でも、リング状のレジン36の全周が基板29に接触された状態で、その中心部から微量の真空でレジン36を吸い込むような動作がされる。このようにレジン36が内側に吸い込み移動されることによって、レジン36の内部の気泡は外周方向に押し出されるようになるものであり、このような現象は繰返し実験により確認された。
【００５２】
ステップ106では上記の状態を所定時間、例えば50秒間待機するもので、この間に重り31の荷重によってリング状のレジン36が押し広げられ、デイスク基板29がレジン36の高さの低下と共に下降する。そして、レジン36がスタンパ18と基板29との間に広がり終わった状態で、ディスク基板29が上記下降位置設定されたセンターピン11の弁部材12に当って停止し、図１１に示すような状態となる。この場合スタンパ18と基板29との間の隙間は、センターピン11の下降設定位置により数値的に正確に設定されるようになり、スタンパ18のデータ記録面のレジン36の厚さの制御が、容易且つ正確に行われる。
【００５３】
ここで、ガイドリング19によってスタンパ18の取付け位置が正確に設定されると共に、スタンパ18の剥離防止が効果的に行われるものであるが、このガイドリング19の内側であるスタンパ18の内周縁の下側に、真空源（真空ポンプ）Ｐに連通された通路210が開口されている。したがって、上記のようにスタンパ18の面上にレジン36を広げた場合、その内周縁からスタンパ18の裏面にレジンが回り込むことがあっても、この回り込みレジンは真空吸引によって確実に回収除去されるようになる。
【００５４】
上記のようにスタンパ18と基板29との間にレジン36による層が形成されたならば、図１３で示すように、テーブル17とともに基板29、重り31等を回転させ状態で、紫外線を透明な重り31を介して上記広げられたレジン36面に均一に照射し、このレジンを硬化させて記録樹脂層41が形成されるようにする。まお、この状態では、移動台30は、下方設定位置から僅かに上昇した位置に設定されて、移動台30による重り３１の担持が解除されており（重り３１が移動台30から切り離されており）、移動台30が回転テーブルＴの回転を妨げることはない。そして、この記録樹脂層41のスタンパ18に対向する面には、このスタンパ18に形成された凹凸による記録が転写され、この樹脂層41によって、光デイスクの記録面が形成されるようになる。
【００５５】
このようにしてディスク基板29と一体化されるようにして、記録面の形成された樹脂層41が形成され、光ディスクの基本構造が完成されるものであるが、この後は基板29と樹脂層41を一体にして、スタンパ18の面から剥離する必要がある。そこで、ステージＳ２において転写本工程が終了すると、移動台30（重り31）が上方に上昇するとともに、ステップ106Ａにおいて旋回テーブル2を逆方向（ステップ105Ａにおける旋回方向と逆方向、即ち図６において反時計回り）に旋回させる。即ち、旋回テーブル2が１８０度旋回して、第２のステージＳ２にあった回転テーブルＴが第１のステージＳ１に移動し（戻り）、かつ第１のステージＳ１にあった回転テーブルＴが第１のステージＳ２に移動する。
【００５６】
そして、この第１のステージＳ１において、上記記録樹脂層41をスタンバ18から剥離しようとする場合には、樹脂層41をスタンパ18から引き離す方向に上昇させると、スタンパ18も樹脂と一体的に回転テーブルＴから離れてしまうおそれがあるが、この装置にあっては、記録樹脂層41をスタンパ18から、スタンパ18を浮き上がらせることなしに容易に剥離させるようにしているもので、以下にその剥離工程を説明する。
【００５７】
まず、ステップ107で示し図１４で示すように、センターピン11を微小量上昇させる。また弁部材12は下方の位置に設定し、電磁弁216を閉じてガイドリング19と弁部材12間の通路210の真空源（真空ポンプ）Ｐとの連通を遮断しておく。そして、センターピン11の中心軸部に形成される空気通路22から弁部材12に形成した通路23に空気を送り込み、通路210から上方に放出させる。この空気は通路210からディスク基板29の中央部の下面、さらに記録樹脂層41とスタンパ18の間に送り込まれるようになり、樹脂層41をスタンパ18の面から剥離させる。
【００５８】
そして、この状態でステップ108のようにセンターピン11をさらに上昇させると、図１５で示されるように樹脂層41はスタンパ18の面から円滑に剥離され、ディスク基板29と一体になって、搬送位置まで上昇される。このように搬送位置まで上昇されたならば、搬送機構40によって樹脂層41の形成されたディスク基板29を吸着し、所定の格納位置に搬送する。このように記録樹脂層41の形成されたディスク基板29は、図では示されていないが、反射層、記録膜の形成工程、あるいは保護膜形成工程を経て光ディスクが完成されるものである。
【００５９】
また、スタンパ18は、テーブル本体17表面に作用する負圧吸引力によって吸着保持されているが、スタンパ18をテーブル本体17から取外して新たなものに交換したい場合は、電磁弁186を閉じてテーブル本体17の表面に作用する負圧吸引力（負圧室176に作用する負圧）を解除することで、スタンパ18をテーブル17から取外すことも、新たなものに取り替えることも簡単にできる。
【００６０】
このように、本実施例装置では、第１のステージにおいて、剥離工程，剥離したディスク基板の搬出，スタンパへの紫外線硬化性樹脂の供給（塗布），センターピンへの光透過性基板の載置および センターピンの下降によるスタンパ上のレジンへのディスク基板の載置という転写準備工程が行われている一方で、前記第２のステージでは、光透過性重り部材の載置によるディスク基板のスタンパへの貼り合わせおよび紫外線照射による樹脂層の硬化という転写本工程が行われるので、１枚の光ディスクにおける記録樹脂層の形成を単一のステージで行う場合の略半分の時間で行うことができる。
【００６１】
なお、前記した実施例における基板の貼り合わせ工程では、ディスク基板29に重り31の自重を作用させて、ディスク基板29をスタンパ18に貼り合わせるように構成されているが、駆動機構35の駆動（サーボモータ251の駆動）により移動体353を微小隙間ｄを超えて下降動作させることで、重り31の自重以上の加圧力をディスク基板29に作用させて、ディスク基板29がレジン36を押し潰して（広げて）下降する下降速度を高めるようにして、第２のステージにおける転写本工程時間を短縮するようにしてもよい。特に、第２のステージにおける転写本工程時間が短縮されれば、もともと第２のステージにおける転写本工程より短時間で終了する第１のステージにおける転写準備工程を、短縮された第２のステージにおける転写本工程時間に合わせることは何ら問題がない。
【００６２】
また、前記した実施例では、スタンパ載置面を構成する吸着プレート174が通気性のある多孔質のセラミックスで構成されていたが、吸着プレート174の素材はセラミックスに限定されるものではなく、カーボンその他の通気性のある多孔質材で構成してもよい。
【００６３】
また、前記した実施例では、吸着プレート174を通気性のある多孔質部材で構成し、吸着プレート174表面に作用する負圧吸引力によってスタンパを固定保持するように構成されているが、従来技術と同様、吸着プレート174を永久磁石で構成し、磁性材で構成したスタンパを磁気吸着力によって吸着プレート174に固定保持するように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の一実施例に係る光ディスク製造装置の要部断面図である。
【図２】同装置のテーブル周辺を拡大して示す断面である。
【図３】スタンパに形成されたグルーブの最外周見切線を撮影するＣＣＤカメラとその映像を映し出すディスプレイ装置のモニタ画面の概要全体を示す図である。
【図４】同装置の正面図である。
【図５】同装置の右側面図である。
【図６】同装置の平面図である。
【図７】上記装置の特にセンターピンを制御する制御回路における処理の流れを説明する図でる。
【図８】ディスク基板搬入工程の説明図である。
【図９】基板貼り合わせ工程の基板載置時の説明図である。
【図１０】基板貼り合わせ工程の重り載置時のである。
【図１１】基板貼り合わせ工程の基板押圧時の説明図である。
【図１２】基板貼り合わせ工程の基板押圧終了時の説明図である。
【図１３】基板貼り合わせ工程の紫外線照射時の説明図である。
【図１４】光ディスク剥離工程説明図である。
【図１５】光ディスク搬出工程説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
2  旋回テーブル
4  紫外線照射装置
Ｔ  回転テーブル
Ｃ１  旋回中心軸
Ｓ１  第１のステージ
Ｓ２  第２のステージ
10  基台
11  センターピン
12  ディスク基板載置部である弁部材
13  回転テーブルの軸部である支持部材
Ｔ  回転テーブル
16  受け台
17  テーブル本体
18  スタンパ
19  ガイドリング
22  加圧空気通路
23  加圧空気通路
25  センターピン駆動機構
26  制御回路
29  ディスク基板
31  重り（ガラス）
32  チャンバ
35  重り駆動機構
36  レジン
37  レジン供給ノズル
40  ディスク基板搬出入機構
170  プレートケース
174  吸着プレート
176、182、212  負圧室
Ｐ  負圧発生手段である真空源（真空ポンプ）
180  バキュームプレート
187（187a,187b）  通路
210  吸気用または加圧空気噴射用の通路
352  駆動機構を構成する螺軸
352  駆動機構を構成するサーボモータ
353  駆動機構を構成する移動体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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