(57)【要約】【課題】隔壁の構造を改善して排気特性を一層向上させることができるプラズマディスプレイ装置、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】本発明のプラズマディスプレイパネルは、同じ蛍光体が塗布されている隣接セル間を区切り、上部に溝２１０ａ’が形成されているロウ隔壁２１０ａと、ロウ隔壁２１０ａと交差するカラム隔壁２１０ｂと、を含むことを特徴とする。また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、ロウ隔壁及びカラム隔壁に区切られている放電セルと、放電セルに塗布されている蛍光体と、を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法において、ロウ隔壁のパターン及びカラム隔壁のパターンに沿ってロウ隔壁２１０ａ及びカラム隔壁２１０ｂを形成する段階と、ロウ隔壁２１０ｂの上部の一部をエッチングして溝２１０ａ’を形成する段階と、を含むことを特徴とする。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同じ蛍光体が塗布されている隣接セル間を区切り、上部に溝が形成されているロウ隔壁と、
前記ロウ隔壁と交差するカラム隔壁と、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記溝は、前記ロウ隔壁の上部に少なくとも１以上形成されることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記溝の幅は、前記ロウ隔壁の上部の幅に対して５％以上、９０％以下であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記溝の幅は、１０μｍ以上、２００μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
同じ蛍光体が塗布されている隣接セル間を区切り、上部に溝が形成されているロウ隔壁と、
前記ロウ隔壁と交差するカラム隔壁と、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
【請求項６】
ロウ隔壁及びカラム隔壁に区切られている放電セルと、前記放電セルに塗布されている蛍光体と、を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記ロウ隔壁のパターン及び前記カラム隔壁のパターンに沿って前記ロウ隔壁及び前記カラム隔壁を形成する段階と、
前記ロウ隔壁の上部の一部をエッチングして溝を形成する段階と、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
前記エッチングは、エッチング法あるいはサンドブラスト法により行われることを特徴とする請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
前記蛍光体は、直接パターニング方法により形成されることを特徴とする請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
前記直接パターニング方法は、インクジェット法あるいはディスペンス法であることを特徴とする請求項８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記ロウ隔壁及び前記カラム隔壁は同じ高さを有することを特徴とする請求項６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁が放電セルを区切り、
前記ロウ隔壁とカラム隔壁のうち低い方の隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
前記溝は、前記ロウ隔壁及び前記カラム隔壁のうち低い方の隔壁の上部中央に位置することを特徴とする請求項１１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１３】
前記低い方の隔壁は、前記ロウ隔壁であることを特徴とする請求項１２記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１４】
前記溝の幅は、前記ロウ隔壁の上部幅に対して５％以上、９０％以下であることを特徴とする請求項１１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
前記溝の幅は、１０μｍ以上２００μｍ以下であることを特徴とする請求項１１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１６】
相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁が放電セル間を区切り、
前記ロウ隔壁とカラム隔壁のうち低い方の隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
【請求項１７】
放電セルに塗布されている蛍光体を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
ガラスに形成されている誘電体の上部に隔壁用ペーストを塗布する段階と、
前記隔壁用ペーストに所定のパターンを有するフォトマスクを載置し、前記放電セルを区切るロウ隔壁及びカラム隔壁のパターンを形成する段階と、
前記ロウ隔壁及び前記カラム隔壁のパターンに沿って前記隔壁用ペーストをエッチングして相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁を形成する段階と、
前記ロウ隔壁と前記カラム隔壁のうち低い方の隔壁の上部に溝を形成する段階と、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】
前記ロウ隔壁の高さは、前記カラム隔壁のそれよりも低いことを特徴とする請求項１７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１９】
前記ロウ隔壁を形成するための前記フォトマスクのパターンの幅は、前記カラム隔壁を形成するための前記フォトマスクのそれよりも狭く、
前記ロウ隔壁を形成するためのパターンの一部の幅は、前記ロウ隔壁を形成するためのパターンの残りの部分のそれよりも狭いことを特徴とする請求項１７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２０】
前記ロウ隔壁を形成するためのパターンの中央部分の幅は、前記ロウ隔壁を形成するためのパターンの他の部分のそれよりも狭いことを特徴とする請求項１９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２１】
前記蛍光体は、直接パターニング方法により形成されることを特徴とする請求項１７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２２】
前記直接パターニング方法は、インクジェット法あるいはディスペンス法であることを特徴とする請求項２１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２３】
前記エッチングは、等方性エッチングであることを特徴とする請求項１７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２４】
パネルの放電領域に相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁が形成され、
前記パネルの非放電領域においては、全体のロウ隔壁のうち一部のロウ隔壁がカラム隔壁の高さと同じ高さを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２５】
前記パネルの放電領域に形成されている前記ロウ隔壁は、前記カラム隔壁よりも低いことを特徴とする請求項２４記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２６】
前記ロウ隔壁の高さは、前記カラム隔壁の高さに対して７０％以上８０％以下であることを特徴とする請求項２５記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２７】
前記ロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁は、残りのロウ隔壁よりも低いことを特徴とする請求項２５記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２８】
前記パネルの放電領域に形成されている前記ロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする請求項２４記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２９】
前記パネルの放電領域に形成されている前記カラム隔壁のうち少なくとも１カラム隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする請求項２４記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３０】
前記パネルの非放電領域に形成されている全体のロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする請求項２４記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３１】
前記パネルの非放電領域に形成されている全体のロウ隔壁のうち１以上のロウ隔壁の高さは前記カラム隔壁のそれよりも低く、
前記１以上のロウ隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする請求項２４記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３２】
パネルの放電領域に相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁が形成され、
前記パネルの非放電領域においては、全体のロウ隔壁のうち一部のロウ隔壁がカラム隔壁の高さと同じ高さを有することを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
【請求項３３】
放電領域及び非放電領域に形成されている放電セルに蛍光体が塗布されて形成されるプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
放電領域及び非放電領域のガラスに形成されている誘電体の上部に隔壁用ペーストを塗布する段階と、
前記隔壁用ペーストを所定のパターンに沿ってエッチングを行い、第１の高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁を形成する段階と、
前記第１の高さよりも低い第２の高さを有するロウ隔壁を形成するために、前記放電領域に形成されているロウ隔壁のうち１以上のロウ隔壁のそれぞれの上部をエッチングする段階と、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３４】
前記第２の高さを有する１以上のロウ隔壁のうち１以上の上部をエッチングすることを特徴とする請求項３３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３５】
前記放電領域におけるロウ隔壁とカラム隔壁のうち少なくとも一つの上部の一部をエッチングして溝を形成することを特徴とする請求項３３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３６】
前記第２の高さよりも低い高さを有するロウ隔壁の上部の一部をエッチングして溝を形成することを特徴とする請求項３４記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３７】
前記非放電領域のロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁の上部をエッチングする段階をさらに含むことを特徴とする請求項３３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３８】
前記ロウ隔壁の上部の一部をエッチングして溝を形成することを特徴とする請求項３７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３９】
前記蛍光体は、直接パターニング方法により形成されることを特徴とする請求項３３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４０】
前記直接パターニング方法は、インクジェット法あるいはディスペンス法であることを特徴とする請求項３９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４１】
ガラスに形成されている誘電体の上部に隔壁用ペーストを形成する段階と、
前記隔壁用ペーストの上部にカラム方向とロウ方向のパターンが相異なる幅を有するフォトマスクを載置してロウ隔壁及びカラム隔壁のパターンを形成する段階と、
相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁を形成するために前記ロウ隔壁のパターンとカラム隔壁のパターンに沿って前記隔壁用ペーストをエッチングする段階と、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４２】
前記カラム方向のパターンの幅が前記ロウ方向のパターンのそれよりも広いことを特徴とする請求項４１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４３】
前記カラム方向のパターンの幅は、ロウ方向のパターンのそれよりも２倍以上３倍以下に広いことを特徴とする請求項４２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４４】
前記カラム隔壁の高さは、前記ロウ隔壁のそれよりも高いことを特徴とする請求項４１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４５】
前記コート膜は、隔壁用ペーストあるいはグリーンシートから形成されることを特徴とする請求項４１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４６】
前記グリーンシートのドライフィルムは、複数の層よりなることを特徴とする請求項４５記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４７】
前記ドライフィルム層は、それぞれ相異なる誘電定数を有する複数の層よりなることを特徴とする請求項４６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４８】
前記複数のドライフィルム層のうちパネルの表示面から近い隔壁を形成するドライフィルム層が暗い色を有することを特徴とする請求項４６記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４９】
請求項４１記載の製造方法により形成される隔壁を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項５０】
ベースフィルムと、
前記ベースフィルム上に形成されている黒色層と隔壁層を含む隔壁用ドライフィルムと、
前記隔壁用ドライフィルムの上部に形成されるカバーフィルムと、を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項５１】
前記黒色層の膜厚は、０．１μｍ以上、１０μｍ以下であることを特徴とする請求項５０記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項５２】
前記隔壁層は、材質が異なる複数の層よりなることを特徴とする請求項５０記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項５３】
前記複数の層は、誘電率が異なることを特徴とする請求項５２記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項５４】
前記黒色層は、前記隔壁用ドライフィルムの最上層あるいは最下層であることを特徴とする請求項５０記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁用グリーンシート。
【請求項５５】
請求項５０記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁用グリーンシートを用いて前面基板あるいは背面基板に隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイ装置及びプラズマディスプレイパネルに係り、さらに詳しくは、隔壁を含むプラズマディスプレイ装置、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマディスプレイパネルは、前面パネルと背面パネルとの間に形成された隔壁が１つの単位セルをなしており、各セル内にはネオン（Ｎｅ）、ヘリウム（Ｈｅ）またはネオン及びヘリウムの混合気体（Ｎｅ＋Ｈｅ）などの主放電気体と少量のキセノンを含む不活性ガスが充填されている。高周波電圧により放電が発生すると、不活性ガスは真空紫外線(Vacuum Ultraviolet rays)を発生し、隔壁間に形成された蛍光体を発光させて画像を表現する。このようなプラズマディスプレイパネルは、薄くて軽い構成を採用できるので、次世代表示装置として脚光を浴びている。
【０００３】
図１は、一般的なプラズマディスプレイパネルの構造を示す図である。
【０００４】
図１に示すように、プラズマディスプレイパネルは、画像が表示される表示面としての前面ガラス１０１に走査電極１０２及び維持電極１０３が対をなして形成された複数の維持電極対が配列されている前面パネル１００と、背面を形成する背面ガラス１１１上に前記複数の維持電極対と交差する複数のアドレス電極１１３が配列されている背面パネル１１０とが、所定の間隔を持って平行に配置されている。
【０００５】
前面パネル１００は、１つの放電セルで相互放電を起こし且つセルの発光を維持するための走査電極１０２及び維持電極１０３、すなわち透明な物質よりなる透明電極ａと金属材質よりなるバス電極ｂによって構成される走査電極１０２及び維持電極１０３の対を備える。走査電極１０２及び維持電極１０３は、放電電流を制限し、電極対間を絶縁させる上部誘電体層１０４によって覆わられる。さらに、上部誘電体層１０４上には、放電条件を容易にするために酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着した保護層１０５が形成される。
【０００６】
背面パネル１１０には、複数の放電空間、すなわち放電セルを形成するためのストライプ状の隔壁１１２が平行に配される。さらに、アドレス放電を行い真空紫外線を発生させる多数のアドレス電極１１３が隔壁１１２に対して平行に配置される。背面パネル１１０の上面にはアドレス放電時に画像を表示するための可視光を放出するＲ，Ｇ，Ｂ蛍光体１１４が塗布される。アドレス電極１１３と蛍光体１１４との間にはアドレス電極１１３を保護するための下部誘電体層１１５が形成される。
【０００７】
ここで、隔壁１１２の上面には、前面ガラス１０１の外部から吸収した外部光の反射を減らす光遮断の機能と、前面ガラス１０１の色純度(Purity)及びコントラスト(Contrast)を高めるなどの機能とを有する黒色層１１６が設けられている。
【０００８】
一方、このような構造を有する従来のプラズマディスプレイパネルにおいて、背面パネル上における複数の放電空間、すなわち放電セルを形成するための隔壁１１２は、その構造によってストライプ状(stripe type)とウェル状(well type)に大別される。このような隔壁１１２の構造は、輝度特性、排気特性及び蛍光体の塗布面積などを考慮に入れ、様々に採用できる。
【０００９】
図２〜図４は、従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す図である。
【００１０】
図２を参照すると、背面ガラス１１１上の下部誘電体層１１５の上部に形成された隔壁１１２は、一列に配列されているストライプ状の構造を有し、バス電極と透明電極よりなる走査電極（図示せず）及び維持電極（図示せず）と垂直に配列されている。このようなストライプ状の隔壁構造は、バス電極が放電空間上に露出しているため、背面ガラス１１１のアドレス電極１１３との相互作用が円滑であり、製造工程が簡単である。しかし、前記ストライプ状の隔壁構造は、放電時に発生した可視光がその隔壁のストライプの方向に漏洩してしまうという不具合がある。さらに、蛍光体の印刷及び排気は容易であるが、隣接セルに影響を与える誤放電を起こし、しかも蛍光体の塗布面積が小さいため、発光効率が高くないという不具合がある。
【００１１】
一方、図３を参照すると、背面ガラス１１１上の下部誘電体層１１５の上部に形成された隔壁１１２は、格子型のウェル状の構造を有し、バス電極と透明電極よりなる走査電極（図示せず）及び維持電極（図示せず）と水平または垂直に配列されている。このようなウェル状の隔壁構造は、各放電セルの蛍光体の塗布面積が大きいため、輝度の増加を図ることができ、全方向におけるクロストーク(cross-talk)を防止することができる。しかしながら、前記ウェル状の隔壁構造は、製造工程が複雑であり、プラズマディスプレイパネルの製造工程のうち排気工程にあいて不純物ガスの外部への排気が容易ではないという欠点がある。
【００１２】
よって、このようなウェル状の隔壁構造の排気特性を高めるために、従来では、図４の如く放電セルを区切る第１の隔壁１１２ａと第２の隔壁１１２ｂの高さを異ならせて排気特性の向上を図った。しかし、このような隔壁構造は、隔壁高さの不均衡が原因でプラズマディスプレイパネルの騷音問題が発生する。すなわち、プラズマディスプレイパネルの内部においてプラズマの発生時にガラスに振動(vibration)が生じて騷音が発生する。図４に示すように、第１の隔壁１１２ａと第２の隔壁１１２ｂは相異なる高さを有するため、隔壁とガラスとの密着力が低下して大騷音が発生するおそれがある。特に、高い高度を有する地域においては、プルラズミディスプレイパネルの内部と外部の圧力差が低下し、このため、外部からの押圧力が減少してしまうので、騷音が大きくなるという問題点がある。また、パネルの排気工程後の焼成工程で発生した不純物ガスが放電領域に影響を及ぼしてプラズマディスプレイパネルの画質を悪化させるという問題点がある。
【００１３】
一方、前記プラズマディスプレイパネルの隔壁間に塗布されて形成される蛍光体層は、マスクを利用したスクリーン印刷法(Screen Printing)やディスペンス装置を利用したディスペンス法(Dispensing)により形成される。
【００１４】
スクリーン印刷法を用いたプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法について説明すると、先ず、蛍光体ペーストを準備し、それをマスクを用いて隔壁間で複数回印刷する。
【００１５】
これにより、各ピクセル領域において赤色、緑色、青色のうちいずれか１つの色を示す蛍光体が印刷され、この印刷工程を数回繰り返して適度な厚さと均一性を有する蛍光体層を形成する。すなわち、赤色を示す全ピクセル領域に対して赤色の蛍光体ペーストを用いて同時に印刷を行い、その後、他のマスクを用いて緑色の蛍光体ペーストを印刷し、最後に、他のマスクを用いて青色の蛍光体ペーストを印刷する。
【００１６】
このような印刷工程は、８０℃以上１５０℃以下の温度で乾燥させる過程を含む。前記過程を経てすべての蛍光体を印刷すると、その後、３５０℃以上５５０℃以下で焼成することにより蛍光体層を形成する。
【００１７】
しかし、スクリーン印刷法を用いて隔壁間に蛍光体層を形成する方法は、安価の装備を採用できるという利点はあるが、蛍光体ペーストによってマスクが塞がれてしまうことがあり、工程の信頼性が低下する。また、印刷される蛍光体層の厚さを的確に調節することができなく、マスクを介してペーストを印刷するスクィーズ(squeeze)の摩耗(abrasion)による不良が発生する可能性があることから、製造コストの上昇をもたらすという不具合がある。
【００１８】
一方、前記プラズマディスプレイパネルの構造において、背面パネルの蛍光体層は、マスクを用いたスクリーン印刷法またはディスペンス装置を用いたディスペンス法により形成される。
【００１９】
スクリーン印刷法を用いてプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の形成方法を説明すると、先ず、蛍光体ペーストを準備し、マスクを用いて蛍光体ペーストを隔壁間で複数回印刷する。
【００２０】
これにより、各ピクセル領域において赤色、緑色、青色のうちいずれか１つの色を示す蛍光体が印刷され、この印刷動作を数回繰り返して適度な厚さと均一性を有する蛍光体層を形成する。すなわち、赤色を示す全ピクセル領域に対して赤色の蛍光体ペーストを用いて同時に印刷を行い、その後、他のマスクを用いて緑色の蛍光体ペーストを印刷して、最後に、他のマスクを用いて青色の蛍光体ペーストを印刷する。
【００２１】
このような印刷工程は、８０℃以上、１５０℃以下の温度で乾燥させる過程を含む。前記過程を経てすべての蛍光体を印刷すると、その後、３５０℃以上５５０℃以下で焼成することにより蛍光体層を形成する。
【００２２】
しかし、スクリーン印刷法を用いて隔壁間に蛍光体層を形成する方法は、安価の装備を採用できるという利点はあるが、蛍光体ペーストによってマスクが塞がれてしまうことがあり、工程の信頼性が低下する。また、印刷される蛍光体層の厚さを的確に調節することができなく、マスクを介してペーストを印刷するスクィーズ(squeeze)の摩耗(abrasion)による不良が発生する可能性があることから、製造コストの上昇をもたらすという不具合がある。
【００２３】
かかるスクリーン印刷法の問題点を考慮に入れ、近年、直接パターニング方法の１つであるディスペンス装置を用いたディスペンス法を用いて蛍光体層を形成している。
【００２４】
図５は、従来のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層をディスペンス装置を用いて形成する過程を説明するための図である。
【００２５】
図５に示すように、ディスペンス装置はサーバー５１０、加圧ポンプ５２０、ヘッダ５３０などを備える。サーバー５１０から供給される蛍光体スラリー５５０は、加圧ポンプ５２０によってヘッダ５３０に加圧されて供給される。
【００２６】
先ず、ヘッダ５３０にはスラリー室(slurry chamber)５３０ａ及びノズル５４０が設置されており、スラリー室５３０ａに供給された蛍光体スラリー５５０はノズル５４０から連続的に吐出される。
【００２７】
また、ヘッダ５３０は、ヘッダ注射器具（図示せず）によって直線的に駆動されるようになっている。このヘッダ注射器具は、ヘッダ５３０を注射させる同時に、ノズル５４０から蛍光体スラリー５５０を連続的に吐出させる。このため、背面パネル１１０上の隔壁１１２間に蛍光体スラリーが均一に塗布される。その後、３５０℃以上５５０℃以下の温度下で焼成することで蛍光体層が形成される。
【００２８】
上記の如く、ディスペンス装置を用いて蛍光体層を形成する場合、蛍光体スラリーが隔壁間に均一に塗布される。しかしながら、蛍光体スラリーの粘度は、通常スクリーン印刷法による蛍光体層の形成時に用いられる蛍光体ペーストの粘度よりも低い。ゆえに、このような蛍光体スラリーの粘度特性は、放電セル内に形成された蛍光体の混色を引き起こすという問題点がある。すなわち、低い粘度を有する蛍光体スラリーを隔壁間にディスペンスするとき、所望の放電セルにのみ蛍光体スラリーを形成しなければならないが、スラリーは高い広がり性のために隣接放電セルへ流れ込み、蛍光体の混色を誘発させる。特に、このような蛍光体の混色は、ディスペンス装置とパネルの隔壁との不整合(misalingnment)が原因でよく発生する。
【００２９】
また、蛍光体の混色は、蛍光体スラリーをディスペンスするに際し、放電セル構造によって、すなわち隔壁の構造がロウ隔壁とカラム隔壁よりなる閉鎖型(Closed  Type)である場合、よく発生する。すなわち、蛍光体スラリーのディスペンスに際して、蛍光体スラリーが、閉鎖型の隔壁のうちロウ隔壁の上部に沿って流れていき、隣り合うロウ隔壁の上部に流入してしまい、他の放電セルに希望としない蛍光体が形成される。ここで、ロウ隔壁とは、同じ色の蛍光体、例えばＲだけの蛍光体、Ｇだけの蛍光体あるいはＢだけの蛍光体が塗布されている放電空間を１つの単位ピクセル(one unit pixel)に区切るための隔壁のことであり、カラム隔壁とは、Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光体が塗布されている放電空間において、Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光体間のそれぞれを分離して単位ピクセルに区切るための隔壁のことである。
【００３０】
一方、高い粘度を有する蛍光体スラリーの場合、混色を防止することはできるが、スラリーがディスペンス装置のノズルを塞いで安定した噴射ができなくなり、その結果、蛍光体スラリーを所望の通りに塗布することができなくなるという問題が生じる。
【００３１】
一方、図４の従来による、高さの差があるウェル状の隔壁構造を形成する方法を説明すると、次のようになる。
【００３２】
図６Ａ〜図６Ｅは、従来のプラズマディスプレイパネルの段差を有するウェル状の隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【００３３】
先ず、図６Ａに示すように、電極（図示せず）が実装された背面ガラス１１１上に下部誘電体１１５を形成し、下部誘電体１１５上には所定の厚さを有する隔壁用ペースト１１２を印刷法やコート(coating)法などにより形成する。その後、ラミネート工程を行い隔壁用ペースト１１２上にドライフィルムレジン(Dry Filｍ Resin： 以下、ＤＦＲという)１２０を形成し、次いで、ＤＦＲ１２０上に所定のパターンを有するフォトマスク１２１を整列して真空紫外線のような光を照射する露光工程を行う。
【００３４】
図６Ｂに示すように、ＤＦＲ１２０の露光工程後、現像工程を行う。このような現像工程により、光に露出していない領域（以下、「未露光領域」という）のＤＦＲ１２０は隔壁用ペースト１１２上に残留し、一方、光に露出している領域（以下、「露光領域」という）のＤＦＲ１２０はエッチングされて除去される。
【００３５】
図６Ｃに示すように、現像工程を経た隔壁用ペースト１１２及びＤＦＲ１２０上に位置したサンドブラスト装置(sand blasting device)１３０を駆動することにより、砂粒子を隔壁用ペースト１１２に噴射する。このとき、隔壁用ペースト１１２は砂粒子のスパッタリングによってカットされる一方、隔壁にあたるペースト１１２はＤＦＲ１２０のパターンによって保護される。
【００３６】
図６Ｄに示すように、ＤＦＲ１２０によって保護されて形成された隔壁に剥離工程を行ってＤＦＲ１２０を除去し、第１の隔壁１１２ａと第２の隔壁１１２ｂを形成する。
【００３７】
一方、従来では、図６Ａ〜図６Ｄの如く隔壁ペーストの上部にＤＦＲを形成して露光をすることにより、所定のパターンを有する第１の隔壁１１２ａ及び第２の隔壁１１２ｂを形成できるが、これとは異なり、隔壁ペースト自体に感光性物質を含ませて露光工程を行うことにより、第１の隔壁１１２ａ及び第２の隔壁１１２ｂを形成することもでき、また、グリーンシートを用いて誘電体の上部に形成した後、露光工程を行い第１の隔壁１１２ａ及び第２の隔壁１１２ｂを形成することもできる。
【００３８】
次に、図６Ｅに示すように、第２の隔壁１１２ｂ上部に隔壁用ペーストを直接パターニング方法を用いて所定の高さに形成することで、相異なる高さを有する第１の隔壁１１２ａと第２の隔壁１１２ｂを形成する。
【００３９】
このように、第１の隔壁１１２ａと第２の隔壁１１２ｂの高さを異ならせるウェル状の隔壁構造を製造するにあたり、第１の隔壁１１２ａと第２の隔壁１１２ｂの高さを異ならせるためには、先ず、同じ高さを有する第１の隔壁と第２の隔壁を形成し、その後、第２の隔壁にペーストをさらに塗布して露光を経て形成することをことを余儀なくされている。それゆえ、製造工程が複雑であり、さらに露光工程が数回行われるため、隔壁膜の均一性が低下するという不具合がある。
【００４０】
一方、図１の黒色層１１６は、隔壁１１２の上面にスクリーン印刷法(Screen printing)により形成される。すなわち、所定の圧力が加えられるスクィーズ(squeeze)を用いてスクリーンマスクが配置されている隔壁１１２上に、黒色層用ペーストを印刷する。印刷した黒色層用ペーストは乾燥し、印刷と乾燥工程は数回繰り返される。
【００４１】
しかし、スクリーン印刷法による黒色層の形成では、図７に示すように、黒色層１１６をスクリーン印刷法を用いて隔壁１１２上に形成するとき、所望の黒色層の膜厚が数μｍである場合、均一な塗布が困難であるという欠点がある。
【００４２】
このように、黒色層１１６を所定の厚さに均一に塗布することができない場合は、プラズマディスプレイパネルの輝度にバラツキが発生する。さらに、プラズマディスプレイパネルの誘電率変化によって駆動特性にバラツキが発生するという不具合がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００４３】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、その目的は、隔壁の構造を改善して排気特性を一層向上させることができるプラズマディスプレイ装置、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することにある。
【００４４】
本発明の目的は、隔壁の構造を改善して、ディスペンス装置と隔壁間の整列特性及び蛍光体スラリーの粘度特性とは関係なく混色を防止することができるプラズマディスプレイ装置、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することにある。
【００４５】
本発明の目的は、隔壁の構造を改善して騷音を減らすことができるプラズマディスプレイ装置、プラズマディスプレイパネル及びプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することにある。
【００４６】
本発明の目的は、隔壁の製造工程を改善して製造工程を減らし、さらに隔壁膜の均一性を向上させることができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することにある。
【００４７】
本発明の目的は、隔壁の製造工程を改善して製造工程数を減らし、さらに黒色層の膜厚均一性を向上させることができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供するためのことである。
【課題を解決するための手段】
【００４８】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、同じ蛍光体が塗布されている隣接セル間を区切り、上部に溝が形成されているロウ隔壁と、前記ロウ隔壁と交差するカラム隔壁と、を含むことを特徴とする。
【００４９】
前記溝は、前記ロウ隔壁の上部に少なくとも１以上形成されることを特徴とする。
【００５０】
前記溝の幅は、前記ロウ隔壁の上部幅に対して５％以上、９０％以下であることを特徴とする。
【００５１】
前記溝の幅は、１０μｍ以上、２００μｍ以下であることを特徴とする。
【００５２】
本発明のプラズマディスプレイ装置は、同じ蛍光体が塗布されている隣接セル間を区切り、上部に溝が形成されているロウ隔壁と、前記ロウ隔壁と交差するカラム隔壁と、を含むことを特徴とする。
【００５３】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前記ロウ隔壁のパターン及び前記カラム隔壁のパターンに沿って前記ロウ隔壁及び前記カラム隔壁を形成する段階と、前記ロウ隔壁の上部の一部をエッチングして溝を形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【００５４】
前記エッチングは、エッチング法あるいはサンドブラスト法により行われることを特徴とする。
【００５５】
前記蛍光体は、直接パターニング方法により形成されることを特徴とする。
【００５６】
前記直接パターニング方法は、インクジェット法あるいはディスペンス法であることを特徴とする。
【００５７】
前記ロウ隔壁及び前記カラム隔壁は同じ高さを有することを特徴とする。
【００５８】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁が放電セルを区切り、前記ロウ隔壁とカラム隔壁のうち低い方の隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする。
【００５９】
前記溝は、前記ロウ隔壁及び前記カラム隔壁のうち低い方の隔壁の上部中央に位置することを特徴とする。
【００６０】
前記低い方の隔壁は、前記ロウ隔壁であることを特徴とする。
【００６１】
前記溝の幅は、前記ロウ隔壁の上部幅に対して５％以上、９０％以下であることを特徴とする。
【００６２】
前記溝の幅は、１０μｍ以上、２００μｍ以下であることを特徴とする。
【００６３】
本発明のプラズマディスプレイ装置は、相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁が放電セル間を区切り、前記ロウ隔壁とカラム隔壁のうち低い方の隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする。
【００６４】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、ガラスに形成されている誘電体の上部に隔壁用ペーストを塗布する段階と、前記隔壁用ペーストに所定のパターンを有するフォトマスクを載置し、前記放電セルを区切るロウ隔壁及びカラム隔壁のパターンを形成する段階と、前記ロウ隔壁及び前記カラム隔壁のパターンに沿って前記隔壁用ペーストをエッチングして相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁を形成する段階と、前記ロウ隔壁と前記カラム隔壁のうち低い方の隔壁の上部に溝を形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【００６５】
前記ロウ隔壁の高さは、前記カラム隔壁のそれよりも低いことを特徴とする。
【００６６】
前記ロウ隔壁を形成するための前記フォトマスクのパターンの幅は、前記カラム隔壁を形成するための前記フォトマスクのそれよりも狭く、前記ロウ隔壁を形成するためのパターンの一部の幅は、前記ロウ隔壁を形成するためのパターンの他の部分のそれよりも狭いことを特徴とする。
【００６７】
前記ロウ隔壁を形成するためのパターンの中央部分の幅は、前記ロウ隔壁を形成するためのパターンの他の部分のそれよりも狭いことを特徴とする。
【００６８】
前記蛍光体は、直接パターニング方法により形成されることを特徴とする。
【００６９】
前記直接パターニング方法は、インクジェット法あるいはディスペンス法であることを特徴とする。
【００７０】
前記エッチングは、等方性エッチングであることを特徴とする。
【００７１】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、パネルの放電領域に相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁が形成され、前記パネルの非放電領域においては、全体のロウ隔壁のうち一部のロウ隔壁がカラム隔壁の高さと同じ高さを有することを特徴とする。
【００７２】
前記パネルの放電領域に形成されている前記ロウ隔壁は、前記カラム隔壁よりも低いことを特徴とする。
【００７３】
前記ロウ隔壁の高さは、前記カラム隔壁のそれに対して７０％以上、８０％以下であることを特徴とする。
【００７４】
前記ロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁は、残りのロウ隔壁よりも低いことを特徴とする。
【００７５】
前記パネルの放電領域に形成されている前記ロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする。
【００７６】
前記パネルの放電領域に形成されている前記カラム隔壁のうち少なくとも１カラム隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする
【００７７】
前記パネルの非放電領域に形成されている全体のロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする。
【００７８】
前記パネルの非放電領域に形成されている全体のロウ隔壁のうち前記カラム隔壁の高さよりも低い高さを有するロウ隔壁の上部に溝が形成されることを特徴とする。
【００７９】
本発明のプラズマディスプレイ装置は、パネルの放電領域に相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁が形成され、前記パネルの非放電領域においては、全体のロウ隔壁のうち一部のロウ隔壁がカラム隔壁の高さと同じ高さを有することを特徴とする。
【００８０】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、放電領域及び非放電領域のガラスに形成されている誘電体の上部に隔壁用ペーストを塗布する段階と、前記隔壁用ペーストを所定のパターンに沿ってエッチングを行い、第１の高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁を形成する段階と、第１の高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁を形成する段階と、前記放電領域に形成されているロウ隔壁のうち所定のロウ隔壁の上部をエッチングし、前記第１の高さよりも低い第２の高さを有するロウ隔壁を形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【００８１】
前記放電領域に形成されている前記第２の高さを有するロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁の上部をエッチングし、前記第２の高さよりも低い高さを有するロウ隔壁を形成することを特徴とする。
【００８２】
前記放電領域におけるロウ隔壁とカラム隔壁のうち少なくとも一つの上部の一部をエッチングして溝を形成することを特徴とする。
【００８３】
前記第２の高さよりも低い高さを有するロウ隔壁の上部の一部をエッチングして溝を形成することを特徴とする。
【００８４】
前記非放電領域のロウ隔壁のうち少なくとも一つのロウ隔壁の上部をエッチングして前記第１の高さよりも低いロウ隔壁を形成する段階をさらに含むことを特徴とする。
【００８５】
前記ロウ隔壁の上部の一部をエッチングして溝を形成することを特徴とする。
【００８６】
前記蛍光体は、直接パターニング方法により形成されることを特徴とする。
【００８７】
前記直接パターニング方法は、インクジェット法あるいはディスペンス法であることを特徴とする。
【００８８】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、ガラスに形成されている誘電体の上部に隔壁用ペーストを形成する段階と、前記隔壁用ペーストの上部にカラム方向とロウ方向のパターンが相異なる幅を有するフォトマスクを載置してロウ隔壁及びカラム隔壁のパターンを形成する段階と、前記ロウ隔壁のパターンとカラム隔壁のパターンに沿って前記隔壁用ペーストをエッチングし、相異なる高さを有するロウ隔壁とカラム隔壁を形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【００８９】
前記カラム方向のパターンの幅が前記ロウ方向のパターンのそれよりも広いことを特徴とする。
【００９０】
前記カラム方向のパターンの幅は、ロウ方向のパターンのそれよりも２倍以上、３倍以下に広いことを特徴とする。
【００９１】
前記カラム隔壁の高さは、前記ロウ隔壁のそれよりも高いことを特徴とする。
【００９２】
前記コート膜は、隔壁用ペーストあるいはグリーンシートから形成されることを特徴とする。
【００９３】
前記グリーンシートのドライフィルムは、複数の層よりなることを特徴とする。
【００９４】
前記ドライフィルム層は、それぞれ相異なる誘電定数を有する複数の層よりなることを特徴とする。
【００９５】
前記複数のドライフィルム層のうちパネルの表示面から近い隔壁を形成するドライフィルム層が暗い色を有することを特徴とする。
【００９６】
本発明のプラズマディスプレイパネルの隔壁用グリーンシートは、ベースフィルムと、前記ベースフィルム上に形成されている黒色層と隔壁層を含む隔壁用ドライフィルムと、前記隔壁用ドライフィルムの上部に形成されるカバーフィルムと、を含むことを特徴とする。
【００９７】
前記黒色層の膜厚は、０．１μｍ以上、１０μｍ以下であることを特徴とする。
【００９８】
前記隔壁層は、材質が異なる複数の層よりなることを特徴とする。
【００９９】
前記複数の層は、誘電率が異なることを特徴とする。
【０１００】
前記黒色層は、前記隔壁用ドライフィルムの最上層あるいは最下層であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０１０１】
本発明は、ロウ隔壁とカラム隔壁の高さ差と隔壁の上部に形成された溝とを用いて、排気特性を向上させることができる。
【０１０２】
本発明は、ロウ隔壁とカラム隔壁の高さ差と隔壁の上部に形成された溝とを用いて、蛍光体を塗布するに際し、蛍光体の隣接放電セルへの流入を防止でき、しかも蛍光体の混色を防止することができる。
【０１０３】
本発明は、放電領域と非放電領域におけるロウ隔壁とカラム隔壁の高さ差を用いて、プラズマ発生による騷音（ノイズ）を減らすことができる。
【０１０４】
本発明は、マスクのロウパターンの幅とカラムパターンの幅を異ならせて隔壁形成の工程を減らすことができ、グリーンシートを用いて隔壁膜の均一性を向上させることができる。
【０１０５】
本発明は、グリーンシートを用いて黒色層の形成工程を減らすことができ、黒色層の均一性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０１０６】
以下、本発明による具体的な実施例を添付図を参照して説明する。
【０１０７】
＜実施例１＞
図８は、本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す斜視図である。図８を説明するに先立ち、以下の事項に留意されたい。図示されていないが本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、従来と同様にして、画像が表示される表示面としての前面パネルと背面を形成する背面パネルが所定の間隔を開けて配置されている。図８では、隔壁構造が背面パネルに形成される場合を例に挙げて、背面パネルのみを図示する。
【０１０８】
前面パネルの前面ガラスの上部には、走査電極と維持電極が対をなして形成された維持電極対が備えられ、走査電極及び維持電極が平行に配列されている前面ガラスの上部には、放電電流を制限する上部誘電体層が積層される。また、上部誘電体層には、プラズマ放電時に発生するスパッタリングによる上部誘電体層の損傷を防止すると共に２次電子の放出効率を高めるために酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着した保護層が形成される。
【０１０９】
背面パネルの背面ガラスの上部には、前面ガラスの上部に平行に配列されている維持電極対と交差するアドレス電極が配設されており、アドレス電極の上部には壁電荷蓄積のための下部誘電体層が形成される。また、下部誘電体層上には放電セルを区切る隔壁が形成され、放電セル空間には蛍光体層が塗布される。この蛍光体層は、放電時にＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のいずれかの色を有する可視光線を発生する。
【０１１０】
図８に示すように、本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルに形成された隔壁のタイプは、ロウ隔壁２１０ａとカラム隔壁２１０ｂによって放電セルを区切る 閉鎖型(Closed Type)である。このとき、ロウ隔壁２１０ａの上部には溝２１０ａ'が形成される。溝２１０ａ'はロウ隔壁２１０ａの上部に少なくとも１以上形成されることが好ましい。ただし、溝２１０ａ'はカラム隔壁２１０ｂと当接するロウ隔壁２１０ａの上部の一部に形成されることが好ましい。このような溝２１０ａ'は、図示の如く必ずしも角型(angled shape)をとる必要はなく、スムーズな曲線(smoothly curved shape)で形成されても良い。このような溝２１０ａ'はカラム隔壁２１０ｂと共に、特定蛍光体のスラリーの隣接放電セルへの流入を防止する。
【０１１１】
このとき、溝２１０ａ'の幅Ｗ２は、好ましくは、ロウ隔壁の上部幅Ｗ１に対して５％以上、９０％以下に形成される。これは、隔壁の機械的な強度と放電セルへの蛍光体スラリーの塗布時の広がり(spreading)特性を考慮したものである。すなわち、溝２１０ａ'の幅Ｗ２がロウ隔壁の上部幅Ｗ１に対して９０％を超えると、隔壁の機械的な強度が低下して崩壊される危険があり、溝の幅Ｗ２がロウ隔壁の上部幅Ｗ１に対して５％未満であれば、後述するプラズマディスプレイパネルを製造するに際し、蛍光体が所望の放電セルに塗布されるだけでなく、隣接放電セルに流入してしまい、このために生じる蛍光体の混色を充分に防止できないからである。ロウ隔壁の上部２１０ａに形成される溝の幅Ｗ２は、好ましくは１０μｍ以上２００μｍ以下となる。溝の幅Ｗ２に対する数値も、上記の如く隔壁の機械的な強度と放電セルへの蛍光体スラリーの塗布時に生じる広がり特性を考慮したものである。
【０１１２】
また、このような隔壁を有する本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルは、図４の従来の隔壁構造を有するプラズマディスプレイパネルに比べて不純物ガスの排気特性を一層向上させる。すなわち、本発明の第１の実施例と同様にして隔壁の上部に溝２１０ａ'を形成すると、溝２１０’は不純物ガスの排気通路の役割をする所定の空間を形成し、その結果、排気特性がさらに向上する。
【０１１３】
本発明に係るプラズマディスプレイ装置は、前記プラズマディスプレイパネルを駆動するための駆動部（図示せず）を含んでなり、プラズマディスプレイパネルの隔壁構造は上記のとおりである。
【０１１４】
図９Ａ〜図９Ｅは、本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成過程を順次に示す。
【０１１５】
先ず、図９Ａに示すように、電極（図示せず）が実装された背面ガラス２００上に下部誘電体１３０ｂを形成し、下部誘電体１３０ｂ上には印刷法やコート(coating)法などを用いて所定の厚さの隔壁用ペースト２１０を形成する。その後、ラミネート工程を行い隔壁用ペースト上にＤＦＲ２１１を形成し、次いで、ＤＦＲ２１１上に所定のパターンを有するフォトマスク２１２を整列して真空紫外線（ＵＶ）のような光を照射する露光工程を行う。
【０１１６】
図９Ｂに示すように、ＤＦＲ２１１の露光工程後、現像工程を行う。このような現像工程により、未露光領域のＤＦＲ２１１は隔壁用ペースト２１０上に残留し、一方、露光領域のＤＦＲ２１１はエッチングされて除去される。
【０１１７】
図９Ｃに示すように、現像工程を経た隔壁用ペースト２１０及びＤＦＲ２１１上に位置したサンドブラスト装置(sand blasting device)２１３を駆動することにより、砂粒子を隔壁用ペースト２１０に噴射する。このとき、隔壁用ペースト２１０は砂粒子のスパッタリングによってカットされる一方、隔壁にあたるペースト２１０はＤＦＲ２１１のパターンによって保護される。
【０１１８】
図９Ｄに示すように、ＤＦＲ２１１によって保護されて形成された隔壁２１０に剥離工程を行ってＤＦＲ２１１を剥離し、同じ高さのロウ隔壁２１０ａとカラム隔壁２１０ｂを形成する。ロウ隔壁２１０ａとカラム隔壁２１０ｂの高さを同一にする理由は、前面パネルに対する隔壁の支持強度を維持するためである。
【０１１９】
一方、本発明では、図９Ａ〜図９Ｄの如く隔壁ペーストの上部にＤＦＲを形成して露光を行うことにより、所定のパターンを有するロウ隔壁及びカラム隔壁を形成できるが、これとは異なり、隔壁ペースト自体に感光性物質を含ませて露光工程を行うことにより、ロウ隔壁及びカラム隔壁を形成することもできる。すなわち、ロウ隔壁及びカラム隔壁にパターンを形成する工程は、露光工程のほかにパターンを形成し得る工程であれば何れも使用可能である。
【０１２０】
次に、図９Ｅに示すように、エッチング法あるいはサンドブラスト法によりロウ隔壁２１０ａの上部の所定幅をエッチングして溝２１０ａ'を形成する。
【０１２１】
この方法により作製されるロウ隔壁２１０ａとカラム隔壁２１０ｂは、プラズマディスプレイパネルの放電セルを区切る。
【０１２２】
一方、隔壁によって区切られている放電セルには蛍光体スラリーが塗布されて蛍光体層が形成される。蛍光体の塗布方法としては、従来汎用されているスクリーン印刷法(screen printing method)を採用できるが、好ましくは、直接パターニング法(direct patterning method)を採用する。ここで、直接パターニング法とは、スクリーン印刷法の如くパターンマスクのような補助手段を用いて蛍光体パターンを形成せず、蛍光体のスラリーをインクジェット装置のノズルやディスペンス装置のノズルを用いて放電セルに直接的に塗布して蛍光体層を形成する方法のことである。したがって、蛍光体層の形成方法は、放電セルに直接的に塗布する直接パターニング法であれば何れも採用可能である。しかし、好ましくは、インクジェット法あるいはディスペンス法を用いて形成する。もちろん、スクリーン印刷法も採用できる。
【０１２３】
＜実施例２＞
図１０は、本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す斜視図である。図１０を説明するに先立ち、以下の点に留意されたい。図示されていないが本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、従来と同様にして、画像が表示される表示面としての前面パネルと背面を形成する背面パネルが所定の間隔を開けて配置されている。
【０１２４】
前面パネルの前面ガラスの上部には、走査電極と維持電極が対をなして形成された維持電極対が備えられ、走査電極及び維持電極が平行に配列されている前面ガラスの上部には、放電電流を制限する上部誘電体層が積層される。また、上部誘電体層には、プラズマの放電時に発生するスパッタリングによる上部誘電体層の損傷を防止すると共に２次電子の放出効率を高めるために酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着した保護層が形成される。
【０１２５】
背面パネルの背面ガラスの上部には、前面ガラスの上部に平行に配列されている維持電極と交差する方向でアドレス電極が配設されており、アドレス電極の上部には壁電荷蓄積のための下部誘電体層が形成される。また、下部誘電体層上には放電セルを区切る隔壁が形成され、放電セル空間には蛍光体層が塗布される。この蛍光体層は、放電時に、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のいずれかの色を有する可視光線を発生する。
【０１２６】
このような構造を有する本発明のプラズマディスプレイパネルに形成された隔壁のタイプは、図１０に示すように、背面ガラス上の下部誘電体層６３０ｂの上部でロウ隔壁６１０ａとカラム隔壁６１０ｂによって放電セルを区切るウェル状(Well Type)であり、ロウ隔壁６１０ａとカラム隔壁６１０ｂは相異なる高さを有する。ここで、ロウ隔壁６１０ａとは、同じ色の蛍光体、例えばＲだけの蛍光体、Ｇだけの蛍光体あるいはＢだけの蛍光体が塗布されている放電空間を１つの単位ピクセル(one unit pixel)に区切るための隔壁のことであり、カラム隔壁６１０ｂとは、Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光体が塗布されている放電空間において、Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光体間のそれぞれを分離して単位ピクセルに区切るための隔壁のことである。
【０１２７】
一方、ロウ隔壁６１０ａの高さはカラム隔壁６１０ｂの高さよりも低い。これは、ロウ隔壁６１０ａとカラム隔壁６１０ｂによって区切られている放電セルに蛍光体を塗布するに際し、蛍光体の粘度特性(viscosity characteristic)が原因で蛍光体が隣接放電セルに流入してしまし、このために生じる蛍光体の混色を防止するためである。すなわち、Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光体が塗布されている放電空間においてＲ，Ｇ，Ｂ蛍光体間のそれぞれを分離するカラム隔壁６１０ｂをロウ隔壁６１０ａよりも高くする。言い換えれば、カラム隔壁６１０ｂに比べてロウ隔壁６１０ａを低く形成する。このように形成された隔壁は、排気特性を向上させ、しかも放電特性を向上させる。
【０１２８】
このように形成されたカラム隔壁６１０ｂよりも低いロウ隔壁６１０ａは、上部の中央に形成される溝６１０ａ'を有する。溝２１０ａ'は、好ましくは、ロウ隔壁２１０ａの上部に少なくとも１以上形成される。このような溝２１０ａ'は、ロウ隔壁の上部のどの部分にも形成できる。このような溝６１０ａ'の模様は、必ずにも角型(angle type)をとる必要はなく、スムーズな曲線(smmmthly curved shape)で形成されても良い。さらに、溝６１０ａ'の最低部分が底(bottom)に当接しても良い。このような溝２１０ａ'はカラム隔壁２１０ｂと共に、特定蛍光体のスラリーの隣接放電セルへの流入を防止する。
【０１２９】
このとき、好ましくは、溝６１０ａ'の幅Ｗ２はロウ隔壁の上部幅Ｗ１に対して５％以上、９０％以下にする。ここで、溝６１０ａ'の幅Ｗ２がロウ隔壁６１０ａの上部幅Ｗ１に対して５％未満であれば、プラズマディスプレイパネルを製造するに際し、蛍光体が所望の放電セルに塗布されるだけでなく、隣接放電セルに流入してしまい、このために生じる蛍光体の混色を充分に防止することができない。また、溝６１０ａ'の幅Ｗ２がロウ隔壁６１０ａの上部幅Ｗ１に対して９０％以上であれば、隔壁の機械的な強度が低下して崩壊されるおそれがある。ロウ隔壁６１０ａ上部に形成された溝の幅Ｗ２は、好ましくは１０μｍ以上、２００μｍ以下である。このような溝６１０ａ'の幅Ｗ２に対する数値も、上記の如く隔壁の機械的な強度と放電セルへの蛍光体スラリーの塗布時に生じる広がりを考慮に入れたものである。
【０１３０】
また、このような隔壁を有する本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイパネルは、図４の従来の隔壁構造を有するプラズマディスプレイパネルに比べて不純物ガスの排気特性を一層向上させる。すなわち、本発明の第２の実施例と同様にして隔壁の上部に溝６１０ａ'を形成すると、溝２１０’は不純物ガスの排気通路の役割をする所定の空間を形成し、その結果、排気特性がさらに向上する。
【０１３１】
一方、本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイ装置は、前記プラズマディスプレイパネルを駆動するための駆動部（図示せず）を含んでなり、プラズマディスプレイパネルの隔壁構造は上記のとおりである。
【０１３２】
このような本発明に係るプラズマディスプレイパネルにおける隔壁の形成過程を説明すると、次の図１１Ａ〜図１１Ｄのようになる。
【０１３３】
図１１Ａ〜図１１Ｄは、本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイパネルにおける隔壁の形成過程を順次に示す。
【０１３４】
先ず、図１１Ａに示すように、電極（図示せず）が実装された背面ガラス６００上に下部誘電体６３０ｂを形成し、下部誘電体６３０ｂ上には印刷法やコート法などを用いて所定の厚さの隔壁用ペースト６１０を形成する。
【０１３５】
その後、ラミネート工程を行い隔壁用ペースト６１０上にＤＦＲ６１１を形成し、次いで、ＤＦＲ６１１上に所定のパターンを有するフォトマスク６１２を整列して真空紫外線の如き光を照射する露光工程を行う。このとき、形成されるフォトマスクのパターンにおいて、ロウ隔壁を形成するロウ方向のパターン６１２ａの幅とカラム隔壁を形成するカラム方向のパターン６１２ｂの幅が異なっている。
【０１３６】
すなわち、図示の如くカラム方向のパターン６１２ｂ幅がロウ方向のパターン６１２ａ幅よりも広く、また、ロウ方向のパターン６１２ａの中央部分のパターンの幅、すなわち隣接するカラムパターンの間の中央部分の幅が、ロウ方向のパターン６１２ａの周辺部分のパターン幅よりも狭い。これは、カラム方向のパターン６１２ｂの幅とロウ方向のパターン６１２ａの幅を異ならせることにより、以降に形成されるカラム隔壁とロウ隔壁の高さに差を付けるためである。また、ロウ方向のパターン６１２ａの中央部分のパターンの幅を狭くする理由は、低いロウ隔壁に溝を形成してプラズマディスプレイパネルの排気特性を高めて放電効率を向上させるためである。
【０１３７】
図１１Ｂに示すように、ＤＦＲ６１１の露光工程後、現像工程を行う。このような現像工程により、未露光領域のＤＦＲ６１１は隔壁用ペースト６１０上に残留する一方、露光領域のＤＦＲ６１１はエッチングされて除去される。
【０１３８】
図１１Ｃに示すように、現像工程を経た隔壁用ペースト６１０及びＤＦＲ６１１上に位置したサンドブラスト装置７１０を駆動することにより、砂粒子を隔壁用ペースト６１０に噴射する。このとき、隔壁用ペースト６１０は砂粒子のスパッタリングによってカットされる一方、隔壁にあたるペースト６１０はＤＦＲ６１１のパターンによって保護される。ＤＦＲ６１１は現像工程によって除去される。これにより、カラム隔壁とロウ隔壁は同じ高さになる。
【０１３９】
その後、エッチング液を塗布して等方性エッチングを行うと、パターン幅の差によってエッチング量が変わり、図１１Ｄの如くロウ隔壁６１０ａはカラム隔壁６１０ｂよりも低くなる。また、図１１Ｃのロウ隔壁の上部の中央部のパターン幅がロウ隔壁の上部の周辺部のパターン幅よりも狭いため、図１１Ｄに示すようにロウ隔壁６１０ａ上部の中央部に溝６１０ａ'が形成される。
【０１４０】
このような方法により作製されるロウ隔壁とカラム隔壁はプラズマディスプレイパネルの放電セルを区切る。
【０１４１】
一方、隔壁によって区切られている放電セルには蛍光体スラリーが塗布されて蛍光体層を形成する。蛍光体の塗布方法といては、従来に汎用されているスクリーン印刷法を採用できるが、好ましくは、直接パターニング法を採用する。ここで、直接パターニング法とは、スクリーン印刷法の如くパターンマストのような補助手段を用いて蛍光体パターンを形成せず、蛍光体のスラリーをインクジェット装置のノズルやディスペンス装置のノズルを用いて放電セルに直接的に塗布して蛍光体層を形成する方法のことである。したがって、蛍光体層の形成方法は、放電セルに直接的に塗布する直接パターニング法であれば何れも採用可能である。しかし、好ましくは、インクジェット法あるいはディスペンス法を採用する。
【０１４２】
＜実施例３＞
図１２は、本発明の第３の実施例に係るプラズマディスプレイパネルにおける隔壁構造を示す斜視図である。
【０１４３】
図１２を説明するに先立ち、以下の点に留意されたい。図示されていないが本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、従来と同様にして、画像が表示される表示面としての前面パネルと背面を形成する背面パネルが所定の間隔を開けて配置されている。
【０１４４】
前面パネルの前面ガラスの上部には、走査電極と維持電極が対をなして形成された維持電極対が備えられ、走査電極及び維持電極が平行に配列されている前面ガラスの上部には、放電電流を制限する上部誘電体層が積層される。また、上部誘電体層には、プラズマ放電時に発生するスパッタリングによる上部誘電体層の損傷を防止すると共に２次電子の放出効率を高めるために酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着した保護層が形成される。
【０１４５】
背面パネルの背面ガラスの上部には、前面ガラスの上部に平行に配列されている維持電極と交差する方向でアドレス電極が配設されており、アドレス電極の上部には壁電荷蓄積のための下部誘電体層が形成される。また、下部誘電体層上には放電セルを区切る隔壁が形成され、放電セル空間には蛍光体層が塗布される。この蛍光体層は、放電時に、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のいずれかの色を有する可視光線を発生する。
【０１４６】
このような構造を有する本発明のプラズマディスプレイパネルに形成された隔壁のタイプは、図１２に示すように、背面ガラス７００上の下部誘電体層７３０の上部でロウ隔壁７１０ａとカラム隔壁７１０ｂによって放電セルを区切るウェル状(well type)であり、映像が表示される放電領域Ａと映像が表示されない非放電領域Ｂにおけるロウ隔壁７１０ａとカラム隔壁７１０ｂは相異なる高さを有する。
【０１４７】
ここで、ロウ隔壁７１０ａとは、同一色の蛍光体、例えばＲだけの蛍光体、Ｇだけの蛍光体あるいはＢだけの蛍光体が塗布されている放電空間を１つの単位ピクセルに区切るための隔壁のことであり、カラム隔壁７１０ｂとは、Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光体が塗布されている放電空間において、Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光体間のそれぞれを分離して単位ピクセルに区切るための隔壁のことである。
【０１４８】
先ず、放電領域Ａにおける隔壁を説明すると、図１２に示すように、ロウ隔壁７１０＿ｅｆｆとカラム隔壁７１０ｂは相異なる高さを有する。ロウ隔壁７１０＿ｅｆｆの高さはカラム隔壁７１０ｂの高さよりも低い。これは、ロウ隔壁７１０＿ｅｆｆとカラム隔壁７１０ｂによって区切られている放電セルに蛍光体を塗布するに際し、蛍光体の粘度特性が原因で蛍光体が隣接放電セルに流入してしまい、このために生じる蛍光体の混色を防止するためのである。すなわち、Ｒ，Ｇ，Ｂ蛍光体が塗布されている放電空間においてＲ，Ｇ，Ｂ蛍光体間のそれぞれを分離してカラム隔壁７１０ｂをロウ隔壁７１０＿ｅｆｆよりも高くする。言い換えれば、カラム隔壁７１０ｂに比べてロウ隔壁７１０＿ｅｆｆを低く形成する。
【０１４９】
このとき、ロウ隔壁７１０＿ｅｆｆは、基準高さを有するロウ隔壁７１０ａと基準高さよりも低い高さを有するロウ隔壁７１０ａ'とよりなる。このとき基準高さは、カラム隔壁７１０ｂの高さの７０％以上、８０％以下の高さである。もし、ロウ隔壁７１０ａの基準高さがカラム隔壁７１０ｂの高さの７０％未満であれば、基準高さよりも低い高さを有するロウ隔壁７１０ａ'を形成するに困難がある。また、ロウ隔壁７１０ａの高さがカラム隔壁７１０ｂの高さの８０％を超過すると、蛍光体の混色を充分に防止できなくなる。このとき、基準高さよりも低いロウ隔壁７１０ａ'は排気特性を一層向上させる。
【０１５０】
また、放電領域におけるロウ隔壁７１０＿ｅｆｆおよびカラム隔壁７１０ｂの上部に溝７１０ｄ，７１０ｅが形成できる。ここで、ロウ隔壁７１０＿ｅｆｆおよびカラム隔壁７１０ｂの上部に溝７１０ｄ，７１０ｅを形成する理由は、蛍光体の混色を一層抑えて排気特性を向上させるためのである。
【０１５１】
一方、図１２に示すように、非放電領域Ｂにおけるロウ隔壁７１０_ｎoｎのうち一部のロウ隔壁７１０ｃは、カラム隔壁７１０ｂと同じ高さを有する。また、残りのロウ隔壁７１０ａ”は、カラム隔壁７１０ｂよりも低い高さを有する。このように非放電領域Ｂにおける、カラム隔壁７１０ｂよりも低いロウ隔壁７１０ａ”は、排気特性を一層向上させる。このとき、カラム隔壁７１０ｂよりも低いロウ隔壁７１０ａ”は、その上部に溝７１０ｆが形成できる。このような溝７１０ｆは排気特性を向上させる。
【０１５２】
このように図４に示す従来の隔壁構造とは異なり、非放電領域Ｂにおけるロウ隔壁７１０ｃとカラム隔壁７１０ｂの高さはほとんど同じであるため、ガラスとの密着力が増大して、騷音が減少する。また、放電領域Ａと非放電領域Ｂにおける隔壁の高さをそれぞれ異なせることにより、プラズマディスプレイパネルの製造時に発生する異物の放電領域への流入を防止することができる。また、放電領域Ａに形成されたロウ隔壁７１０＿ｅｆｆはカラム隔壁７１０ｂよりも低い高さを有し、その上部に溝７１０ｄが形成されることから、蛍光体が希望としない放電セルに塗布されることを防止し、排気特性を高める。
【０１５３】
一方、本発明のプラズマディスプレイ装置は、上記の如きプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を含み、プラズマディスプレイパネルを駆動するための駆動部（図示せず）を含んでなる。
【０１５４】
かかる本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を説明すると、次の図１３Ａ〜図１３Ｆのようになる。
【０１５５】
図１３Ａ〜図１３Ｆは、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【０１５６】
先ず、図１３Ａに示すように、電極（図示せず）が実装された背面ガラス７００上に下部誘電体７３０を形成し、下部誘電体７３０上には印刷法やコート法などにより所定の厚さの隔壁用ペースト７１０を 形成する。このとき、パネルの放電領域Ａに形成される隔壁用ペースト７１０と非放電領域Ｂに形成される隔壁用ペースト７１０は同じ厚さを有する。
【０１５７】
その後、ラミネート工程を行い隔壁用ペースト７１０上にＤＦＲ７１１を形成し、次いで、ＤＦＲ７１１上に所定のパターンを有するフォトマスク７１２を整列して真空紫外線のような光を照射する露光工程を行う。
【０１５８】
図１３Ｂに示すように、ＤＦＲ７１１露光工程後、現像工程を行う。このような現像工程により、未露光領域のＤＦＲ７１１は隔壁用ペースト７１０上に残留する一方、露光領域のＤＦＲ７１１はエッチングされて除去される。
【０１５９】
図１３Ｃに示すように、現像工程を経た隔壁用ペースト７１０及びＤＦＲ７１１上に位置したサンドブラスト装置７５０を駆動することにより、砂粒子を隔壁用ペースト７１０に噴射する。このとき、隔壁用ペースト７１０は砂粒子のスパッタリングによってカットされる一方、隔壁にあたるペースト７１０はＤＦＲ７１１のパターンによって保護される。
【０１６０】
図１３Ｄに示すように、ＤＦＲ７１１によって保護されて形成された隔壁に剥離工程を行を行ってＤＦＲ７１１を除去し、ロウ隔壁７１０ｃとカラム隔壁７１０ｂを形成する。このとき、形成されるロウ隔壁７１０ｃとカラム隔壁７１０ｂは同じ高さ、すなわち第１の高さを有する。
【０１６１】
このように図１３Ａ〜図１３Ｄにおける隔壁の製造方法は、放電領域Ａと非放電領域Ｂに同一に適用される。
【０１６２】
一方、本発明では、図１３Ａ〜図１３Ｄの如く隔壁ペーストの上部にＤＦＲを形成して露光を行うことにより、所定のパターンを有するロウ隔壁７１０ｃ及びカラム隔壁７１０ｂを形成できるが、これとは異なり、隔壁ペースト自体に感光性物質を含ませて露光工程を行うことにより、ロウ隔壁７１０ｃ及びカラム隔壁７１０ｂを形成することもできる。
【０１６３】
次に、図１３Ｅに示すように、放電領域Ａのロウ隔壁７１０ｃの上部をエッチングして第１の高さよりも低い第２の高さ、すなわち基準高さを有するロウ隔壁７１０ａを形成する。これにより、放電領域Ａには相異なる高さを有するロウ隔壁７１０ａとカラム隔壁７１０ｂが形成され、非放電領域Ｂには同じ高さ、すなわち第１の高さを有するロウ隔壁７１０ｃとカラム隔壁７１０ｂが形成される。
【０１６４】
その後、放電領域Ａにおけるロウ隔壁７１０ａのうち１以上のロウ隔壁７１０ａの上部がエッチングされ、第２の高さよりも低い高さを有するロウ隔壁７１０ａ'が形成される。また、非放電領域Ｂにおけるロウ隔壁７１０ｃのうち１以上のロウ隔壁７１０ｃ上部がエッチングされ、第１の高さよりも低いロウ隔壁７１０ａ”が形成される。
【０１６５】
次いで、図１３Ｆに示すように、放電領域Ａでは、ロウ隔壁７１０＿ｅｆｆの上部とカラム隔壁７１０ｂのうちいずれかの隔壁の上部がエッチングされて溝７１０ｄ，７１０ｅが形成される。また、非放電領域Ｂでは、第１の高さよりも低い高さを有するロウ隔壁７１０ａ”の上部がエッチングされて溝７１０ｆが形成される。
【０１６６】
このような方法により作製されるロウ隔壁とカラム隔壁は、プラズマディスプレイパネルの放電セルを区切る。
【０１６７】
一方、隔壁によって区切られている放電セルには蛍光体スラリーが塗布されて蛍光体層を形成する。蛍光体の塗布方法としては、従来に汎用されているスクリーン印刷法を採用できるが、好ましくは、直接パターニング法を採用する。ここで、直接パターニング法とは、スクリーン印刷法のごとくパターンマスクのような位置合わせ手段を用いて蛍光体パターンを形成せず、蛍光体のスラリーをインクジェット装置のノズルやディスペンス装置のノズルを用いて放電セルに直接的に塗布して蛍光体層を形成する方法のことである。したがって、蛍光体層の形成方法は、放電セルに直接的に塗布する直接パターニング法であれば何れも採用可能である。しかし、好ましくは、インクジェット法またはディスペンス法を採用する。
【０１６８】
次に、本発明による段差を有するウェル状の隔壁の製造方法を詳しく説明する。
【０１６９】
図１４は、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法を順次に示す図である。
【０１７０】
図１４に示すように、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、図１４の左側に羅列されている前面パネル製造過程と、右側に羅列されている背面パネル製造過程と、下側に羅列されているシーリング過程などを有する組み立て過程と、を含む。
【０１７１】
先ず、図１４の左側に羅列されている前面パネルの製造過程を説明すると、まず、基材(substrate)になる前面ガラスが準備され（Ｓ６００）、前面ガラスの上部に複数の維持電極対が形成される（Ｓ６０１）。その後、維持電極対の上部には放電電流を制限する上部誘電体層が形成され（Ｓ６０２）、上部誘電体層の上部には、プラズマの放電時に発生するスパッタリングによる上部誘電体層の損傷を防止すると共に２次電子の放出効率を高めるために酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着した保護層が形成される（Ｓ６０３）。
【０１７２】
一方、図１４の右側に羅列されている背面パネルの製造過程を説明すると、前面パネルの場合と同様に、先ず、基材になる背面ガラスが準備され（Ｓ６１０）、背面ガラスに前面パネルに形成された維持電極と交差する複数のアドレス電極が形成される（Ｓ６１１）。その後、アドレス電極の上部には壁電荷蓄積のための下部誘電体層が形成され（Ｓ６１２）、下部誘電体層の上部には放電セルを区切る隔壁が形成され（Ｓ６１３）、隔壁によって区切られている放電セルには蛍光体が塗布されて蛍光体層が形成される（Ｓ６１４）。
【０１７３】
次いで、得られた前面パネルと背面パネルを密着、合体させて（Ｓ６２０）プラズマディスプレイパネルを形成する（Ｓ６３０）。
【０１７４】
このように製造された、本発明に係るプラズマディスプレイパネルにおける隔壁の形成方法を説明すると、次の図１５Ａ〜図１５Ｃのようになる。
【０１７５】
図１５Ａ〜図１５Ｃは、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁製造方法を順次に示す図である。
【０１７６】
先ず、図１５Ａに示すように、電極（図示せず）が実装された背面ガラス８００上に下部誘電体８３０を形成し、下部誘電体８３０上には印刷法やコート法などを用いて所定の厚さの隔壁用ペースト８１０を形成する。
【０１７７】
その後、隔壁用ペースト８１０上にラミネート工程を行いＤＦＲ８１１を形成し、前記ＤＦＲ８１１上にカラム方向のパターン８１２ｂ幅がロウ方向のパターン８１２ａ幅よりも広いフォトマスク８１２を整列して真空紫外線のような光を照射する露光工程を行う。ここで、カラム方向のパターン８１２ｂ幅をロウ方向のパターン８１２ａ幅よりも広くする理由は、以降に形成されるロウ隔壁とカラム隔壁の高さに差をつけるためである。好ましくは、カラム隔壁をロウ隔壁よりも高く形成する。これは、カラム隔壁がＲ，Ｇ，Ｂ蛍光体間のそれぞれを分離して単位ピクセルに区切る隔壁であって、蛍光体間の混色を防止し、プラズマディスプレイパネルの排気特性を向上させる役割をするからである。
【０１７８】
このとき、カラム方向のパターン８１２ｂ幅はロウ方向のパターン８１２ａ幅よりも２倍以上、３倍以下である。ここで、カラム方向のパターン８１２ｂ幅がロウ方向のパターン８１２ａ幅よりも２倍以下であれば、プラズマディスプレイパネルの排気特性の大幅な向上が望めないほか、蛍光体の混色が防止できない。カラム方向のパターン８１２ｂ幅がロウ方向のパターン８１２ａ幅よりも３倍以上、すなわちロウ方向のパターン８１２ａ幅がカラム方向のパターン８１２ｂ幅の１／３倍以下であれば、ロウ隔壁の機械的な強度が低下して崩壊されるおそれがある。
【０１７９】
図１５Ｂに示すように、ＤＦＲ８１１の露光工程後、現像及びエッチング工程を行う。このような現像工程により、未露光領域のＤＦＲ８１１は隔壁用ペースト８１０上に残留し、露光領域のＤＦＲ８１１はエッチングされて除去される。
【０１８０】
現像工程後、等方性エッチングを行いエッチング液を塗布すると、広いパターン幅を有するカラム方向のパターン８１２ｂの方が、狭いパターン幅を有するロウ方向のパターン８１２ａによりも隔壁用ペーストのエッチングが不十分であり、このため、ロウ隔壁よりも高いカラム隔壁を形成するようになる。
【０１８１】
その後、図１５ｃに示すように、ＤＦＲ８１１によって保護されて形成された隔壁８１０に剥離工程を行ってＤＦＲ８１１を除去し、相異なる高さを有するロウ隔壁８１０ａとカラム隔壁８１０ｂを形成する。
【０１８２】
一方、本発明のロウ隔壁とカラム隔壁は、図１５Ａ〜図１５Ｃに示すように、隔壁用ペーストの上部にＤＦＲを形成して露光を行うことにより、相異なる高さを有するロウ隔壁及びカラム隔壁を形成できるが、これとは異なり、隔壁ペースト自体に感光性物質を含ませて露光工程を行うことにより、相異なる高さを有するロウ隔壁及びカラム隔壁を形成することもでき、グリーンシートを用いて形成することもできる。
【０１８３】
特に、グリーンシートを用いて相異なる高さを有するロウ隔壁及びカラム隔壁を形成する場合、隔壁の厚さを均一に制御できることから、プラズマディスプレイパネルの均一性を向上させるという効果がある。このような本発明に係るプラズマディスプレイパネルのグリーンシートを説明すると、次のようになる。
【０１８４】
図１６は、本発明に係るプラズマディスプレイパネルのグリーンシートの一実施例を示すのである。図１６に示すように、下部にはベースフィルム９０１が形成され、ベースフィルム９０１上部には第１のドライフィルム９０２が形成され、その上部には第１のドライフィルム９０２と違う誘電定数を有する材質で第２のドライフィルム９０３が形成され、第２のドライフィルム９０３上部にはカバーフィルム９０４が形成される。このように第１のドライフィルム９０２と第２ドライフィルム９０３が誘電定数が相異なる材質に形成される理由はプラズマディスプレイパネルの消費全力を減少させるためである。また第１のドライフィルム９０２と第２ドライフィルム９０３中で、第１のドライフィルム９０２は、第２のドライフィルム９０３より暗い色を有する材質に形成される。これは第１のドライフィルム９０２がパネルの表示面から近い隔壁を形成するドライフィルム層なので、第１のドライフィルムが暗い色を持った材質に形成されればプラズマディスプレイパネルのコントラストが向上するからである。一方、図１６ではドライフィルムが二層である場合を示すが、ドライフィルム層は一層または３層以上に形成されることもできる。
【０１８５】
このような構造を有するグリーンシートを形成する過程を説明すると、次のようになる。
【０１８６】
図１７ａ〜図１７ｃは、本発明の一実施例による隔壁用グリーンシート製造方法を示す。
【０１８７】
先ず、図１７ａを参照すると、隔壁を形成するための第１のドライフィルム９０２は次のように形成される。コーター(Coater)９３０からの隔壁用第１のスラリー９０２ａが、コンベヤーベルト９２０上に形成されているポリエチレン・テレフタレート(polyethylene terephthalate：ＰＥＴ)製のベースフィルム９０１上に、所定の厚さに塗布される。
【０１８８】
その後、図１７ｂに示すように、ベースフィルム９０１に塗布されている第１のスラリー９０２ａを乾燥させて第１のドライフィルム９０２を形成し、その上部に第２のスラリー９０３ａを塗布して乾燥させて第２のドライフィルム９０３を形成する。このとき、第１のスラリー９０２ａと第２のスラリー９０３ａは相異なる誘電定数を有する材質よりなる。これは、第１のスラリー９０２ａと第２のスラリー９０３ａが相異なる誘電定数を有する材質より形成すると、プラズマディスプレイパネルの駆動時に電力消費を節減することができるからである。また、第１のスラリーは第２のスラリーの色よりも暗い色を有する。すなわち、第１のドライフィルムは第１のスラリーにより形成され、パネルの表示面から近い隔壁は第１のドライフィルムにより形成されることから、プラズマディスプレイパネルのコントラストを向上させるために、第１のスラリー９０２ａに第２のスラリー９０３ａよりも暗い色を持たせる。
【０１８９】
その後、図１７ｃに示すように、第２のドライフィルム９０３上にカバーフィルム９０４を覆ってロール状に巻き取るなることにより、最終的にグリーンシート９００を得る。
【０１９０】
このようなグリーンシートを用いて隔壁を形成する場合も、図１５Ａ〜図１５Ｃで前述したような方法を用いて相異なる高さを有する隔壁を形成する。
【０１９１】
したがって、本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、隔壁用ペーストやグリーンシートを用いてロウ方向のパターンマスクとカラム方向のパターンマスクの幅とを異ならせ、１回の露光工程とエッチング工程を経て形成される相異なる高さを有する隔壁を含むことを特徴とする。
【０１９２】
このようにロウ方向のパターンマスクの幅とカラム方向のパターンマスクの幅とを異ならせ、１回の露光工程とエッチング工程を行い、相異なる高さを有する隔壁を形成することにより、隔壁の製造工程を減らしてプラズマディスプレイパネルの製造コストを下げることができる。
【０１９３】
また、プラズマディスプレイパネルの製造方法において、グリーンシートを用いる場合は、隔壁膜の均一化ができることから、プラズマディスプレイパネルの均一性を向上させることができる。
【０１９４】
このようなグリーンシートは黒色層をさらに含むこともできる。これに対して図面を参照して詳しく説明する。
【０１９５】
図１８は、本発明に係るプラズマディスプレイパネルのグリーンシートの他の実施例を示す図である。
【０１９６】
図１８に示すように、本発明の他の実施例による隔壁用グリーンシート１０００は、ベースフィルム１０１０と、ベースフィルム１０１０上に形成されている隔壁用ドライフィルム１０２０と、隔壁用ドライフィルム１０２０上に形成されているカバーフィルム１０３０と、よりなる。
【０１９７】
ベースフィルム１０１０はＰＥＴ製のフィルムである。ベースフィルム１０１０は隔壁用ドライフィルム１０２０の形成の土台となる。また、ドライフィルム１０２０を保護する保護層機能を持っている。
【０１９８】
隔壁用ドライフィルム１０２０は、プラズマディスプレイパネルに実質的に形成されるフィルム層であって、以降、プラズマディスプレイパネルの隔壁を形成する。
【０１９９】
本発明の他の実施例による隔壁用ドライフィルム１０２０は、黒色層１０２１と隔壁層１０２２を含む。これにより、プラズマディスプレイパネルを製造するとき、別途の黒色層の形成工程が不要になるので、製造工程を減らすことができる。
【０２００】
また、ドライフィルム１０２０に黒色層１０２１を予め含ませることにより、 プラズマディスプレイパネルに黒色層を直接的に形成するのに比べて、一層均一な厚さを実現でき、厚さ調節を容易にできる。これにより、プラズマディスプレイパネルの輝度バラツキと駆動特性のバラツキを防止することができる。
【０２０１】
このとき、本発明の他の実施例による黒色層１０２１の厚さは、０．１μｍ以上１０μｍ以下にする。ここで、０．１μｍは、黒色層の固有機能である光遮断機能と色純度及びコントラストの向上機能を持てる最小値であり、１０μｍは放電により発生するプラズマディスプレイパネルの内部光を黒色層が吸収するにより、コントラストの低下を抑えられる最大値である。
【０２０２】
カバーフィルム１０３０は、ドライフィルム１０２０上に形成され、ドライフィルム１０２０の保護機能を有するフィルム層である。
【０２０３】
図１９は、本発明に係るプラズマディスプレイパネルのグリーンシートのさらに他の実施例を示す図である。図１９に示すように、本発明の一実施例による変形の隔壁用グリーンシート１１００は、ベースフィルム１１１０と、ベースフィルム１１１０上に形成されている隔壁用ドライフィルム１１２０と、隔壁用ドライフィルム１１２０上に形成されているカバーフィルム１１３０と、よりなる。
【０２０４】
本発明のさらに他の実施例によるドライフィルム１１２０は、黒色層１１２１を含み、材質の異なる複数の隔壁層１１２２，１１２３を含む。このとき、複数の隔壁層、すなわち第１の隔壁層１１２２と第２の隔壁層１１２３は、相異なる誘電率を有する材質を用いることで、プラズマディスプレイパネルの電力消費を低減することができる。
【０２０５】
プラズマディスプレイパネルの隔壁は、プラズマ放電により発生する漏洩電流を吸収してキャパシタンスを形成する。ここで、第１の隔壁層１１２２が第２の隔壁層１１２３よりも低い誘電率を有する材質からなると、第１の隔壁層により形成された隔壁は相対的に低い誘電率を有するので、キャパシタンスが減少し、最終的にプラズマディスプレイパネルの電力消費を減らすことができる。
【０２０６】
本発明のさらに他の実施例では、誘電率の異なる材質よりなる複数の隔壁層を一例として説明したが、プラズマディスプレイパネルの駆動時に影響を及ぼせるまた他の要因により、隔壁層の材質を異ならせてドライフィルム１１２０を形成することが可能である。また、隔壁層の数または厚さをも異らせることができる。
【０２０７】
ベースフィルム１１１０及びカバーフィルム１１３０は、図１８のベースフィルム１０１０及びカバーフィルム１０３０と同じ機能を有するので、これに対する説明は省略する。
【０２０８】
本発明のさらに他の実施例による黒色層は、隔壁用ドライフィルムの最上層あるいは最下層よりなる。これは、プラズマディスプレイパネルの前面基板と背面基板のどちらが表示面として用いられるかによって決定される。すなわち、黒色層は表示面側に形成することにより、光遮断機能と色純度及びコントラスト機能の向上を図ることができる。
【０２０９】
図２０（ａ）〜図２０（ｃ）は、本発明の他の実施例による誘電体用グリーンシートを形成する方法を示す図である。
【０２１０】
先ず、図２０（ａ）に示すように、内部に低融点の黒色硝子顔料、有機溶液、結合剤及び添加剤が混合した黒色層スラリー１２０１ａが含まれているコーター１２２０によって、スラリーは、コンベヤーベルト１２３０上に形成されているＰＥＴ製のベースフィルム１２０３上に所定の速度で所定の厚さに塗布される。ベースフィルム上に形成された黒色層スラリー１２０１ａは、乾燥区域（図示せず）を経てドライフィルムの黒色層を形成する。
【０２１１】
その後、図２０（ｂ）に示すように、内部に低融点の硝子、有機溶液、結合剤及び添加剤が混合した隔壁層スラリー１２０２ａが含まれているコーター１２２０によって、スラリーは、コンベヤーベルト１２５０上に形成されている前記ドライフィルムの黒色層１２０１上に所定の速度で所定の厚さに塗布される。黒色層１２０１上に形成された隔壁層スラリー１２０２ａは、乾燥区域（図示せず）を経てドライフィルムの隔壁層を形成する。
【０２１２】
次いで、図２０（ｃ）に示すように、ベースフィルム１２０３上に形成されている隔壁用ドライフィルム１２１０上にカバーフィルム１２０４を形成した後、ロール(Roll)状に巻き取ることにより、最終的に隔壁用グリーンシート１２００を形成する。
【０２１３】
本発明の他の実施例では、隔壁用グリーンシート１２００を用いてプラズマディスプレイパネルの前面基板あるいは背面基板に隔壁を形成させることができる。すなわち、プラズマディスプレイパネルの構造によって前面基板または背面基板に隔壁が形成される。ここで、プラズマディスプレイパネルは、前面基板と背面基板との間に形成された隔壁が単位セルをなして形成されたものと言える。
【０２１４】
図２１（ａ）〜図２１（ｅ）は、本発明の他の実施例によるグリーンシートを用いたプラズマディスプレイパネルの背面基板の製造工程を説明するための図である。
【０２１５】
先ず、図２１（ａ）を参照すれば、アドレス電極１３０１が形成された背面ガラス１３００上に誘電体層１３０２が形成される。
【０２１６】
図２１（ｂ）を参照すれば、誘電体層１３０２上には隔壁用グリーンシート１３０３を用いて隔壁層１３０４及び黒色層１３０５が含まれている隔壁用ドライフィルム１３０６を形成する。具体的に、隔壁用グリーンシート１３０３のうちカバーフィルム（図示せず）をカバーフィルム除去用ローラ（図示せず）を用いて除去し、同時に、隔壁用ドライフィルム１３０６とベースフィルム１３０９を誘電体１３０２上にラミネートローラ(lamination roller)１３１０を用いてラミネート(laminating)した後、ベースフィルム１３０９を除去する。
【０２１７】
図２１（ｃ）を参照すれば、隔壁用ドライフィルム１３０６上に所定のフォトレジスト(Photo Resist)膜、例えばＤＦＲ１３１１がラミネート工程などの方法により形成される。その後、ＤＦＲ１３１１上にはフォトマスク１３１２が整列され、このようなフォトマスク１３１２による露光工程を行い、次いで現像工程を行う。
【０２１８】
このような現像工程により、露光領域のＤＦＲ１３１１は隔壁用ドライフィルム１３０６上に残留し、非露光領域のＤＦＲ１３１１はエッチング及び除去されて、図２１（ｄ）のような形状となる。
【０２１９】
図２１（ｄ）を参照すれば、エッチング装置（図示せず）が現像工程を経た隔壁用ドライフィルム１３０６及びＤＦＲ１３１１上にエッチング液を噴射する。このとき、ドライフィルムの隔壁層１３０４とドライフィルムのブラック層１３０５は、ＤＦＲ１３１１のパターンによって保護され、ＤＦＲ１３１１パターンが形成されていない隔壁用ドライフィルム１３０６はエッチングされる。図２１（ｄ）では、ＤＦＲ１３１１パターンで保護されていない領域では、隔壁層１３０４が途中まで除去された状態を示しているが、誘電体層１３０２が露出するまで隔壁層１３０４を除去しても良い。
【０２２０】
図２１（ｅ）を参照すれば、エッチング工程によって、除去されずに残った隔壁層１３０４から隔壁１３１３が形成され、除去されずに残ったブラック層１３０５から、隔壁１３１３上に配置されるブラック層１３１４が形成される。その後、隔壁１３１３間の放電空間に蛍光体１３１５が形成されることで、背面基板が得られる。
【０２２１】
このように、隔壁用グリーンシートのドライフィルムに黒色層が含まれていることから、プラズマディスプレイパネルの製造時に均一な厚さを有する黒色層を形成することができる。さらに、ドライフィルム形成時に黒色層の膜厚を調節することにより、得られるプラズマディスプレイパネルの黒色層の膜厚を容易に調節することができる。このため、輝度のバラツキ及び駆動特性のバラ好きを抑えることができ、プラズマディスプレイパネルの製造工程を単純化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２２２】
【図１】一般的なプラズマディスプレイパネルの構造を示す図である。
【図２】従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す図である。
【図３】従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す図である。
【図４】従来のプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す図である。
【図５】従来のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層をディスペンス装置を用いて形成する過程を説明するための図である。
【図６Ａ】従来のプラズマディスプレイパネルの段差を有するウェル状(well type)の隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【図６Ｂ】従来のプラズマディスプレイパネルの段差を有するウェル状(well type)の隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【図６Ｃ】従来のプラズマディスプレイパネルの段差を有するウェル状(well type)の隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【図６Ｄ】従来のプラズマディスプレイパネルの段差を有するウェル状(well type)の隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【図６Ｅ】従来のプラズマディスプレイパネルの段差を有するウェル状(well type)の隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【図７】従来のスクリーン印刷法を用いて形成した黒色層を示す図である。
【図８】本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す斜視図である。
【図９Ａ】本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図９Ｂ】本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図９Ｃ】本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図９Ｄ】本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図９Ｅ】本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１０】本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す斜視図である。
【図１１Ａ】本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１１Ｂ】本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１１Ｃ】本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１１Ｄ】本発明の第２の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１２】本発明の第３の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁構造を示す斜視図である。
【図１３Ａ】本発明の第３の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１３Ｂ】本発明の第３の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１３Ｃ】本発明の第３の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１３Ｄ】本発明の第３の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１３Ｅ】本発明の第３の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１３Ｆ】本発明の第３の実施例に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成過程を順次に示す図である。
【図１４】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法を順次に示す図である。
【図１５Ａ】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【図１５Ｂ】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【図１５Ｃ】本発明に係るプラズマディスプレイパネルの隔壁の製造方法を順次に示す図である。
【図１６】本発明に係るプラズマディスプレイパネルのグリーンシートの一実施例を示す図である。
【図１７】図１７ａ〜図１７ｃは、本発明の一実施例に係る隔壁用グリーンシートの製造方法を示す図である。
【図１８】本発明に係るプラズマディスプレイパネルのグリーンシートの他の実施例を示す図である。
【図１９】本発明に係るプラズマディスプレイパネルのグリーンシートのさらに他の実施例を示す図である。
【図２０】図２０ａ〜図２０ｃは、本発明の他の実施例に係る誘電体用グリーンシートを形成する方法を示す図であり、
【図２１】図２１ａ〜図２１ｅは、本発明の他の実施例によるグリーンシートを用いたプラズマディスプレイパネルの背面基板の製造工程を説明するための図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｅ】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１１Ｃ】
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【図１１Ｄ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１３Ｄ】
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【図１３Ｅ】
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【図１３Ｆ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図６Ｄ】
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【図９Ｄ】
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【図９Ｅ】
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【図１２】
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【図１４】
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