(57)【要約】【課題】  インク供給装置の流路内に残留している気泡を容易に移動、除去可能な加圧チューブポンプ構成を提供する。【解決手段】  液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列しインクにより画像形成を行なうインクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドへ供給するインクを貯蔵するインクタンクと、複数の押圧ローラが周囲についた回転体の回転動作とチューブガイドによりチューブを押しつぶすことで前記インクタンクからインクジェット記録ヘッドへインクを加圧供給する加圧チューブポンプと、前記インクタンクから加圧チューブポンプを経てインクジェット記録ヘッドまでのインク流路をもつインク供給装置で構成し、  前記加圧チューブポンプが、液体輸送時に生じる圧力を積極的に変動させる構成のインクジェット記録装置とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列しインクにより画像形成を行なうインクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドへ供給するインクを貯蔵するインクタンクと、複数の押圧ローラが周囲についた回転体の回転動作とチューブガイドによりチューブを押しつぶすことで前記インクタンクからインクジェット記録ヘッドへインクを加圧供給する加圧チューブポンプと、前記インクタンクから加圧チューブポンプを経てインクジェット記録ヘッドまでのインク流路をもつインク供給装置で構成され、
前記加圧チューブポンプが、液体輸送時に生じる圧力を積極的に変動させる構成であることを特徴としたインクジェット記録装置。
【請求項２】
請求項１記載のインクジェット記録装置において、チューブポンプが、前記チューブポンプのチューブガイドに対する回転体の位相が、押圧ローラとチューブガイドによるチューブの押しつぶしがない位置を少なくとも１つ以上設けるような回転体上の押圧ローラの配置にすることで、チューブポンプによるインク輸送時に生じる脈動を積極的に生じさせ流路中の気泡除去を行なうことを特徴としたインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置、および記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに関する。本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に適用することができる。特に、高速かつ高画質な印字を行う記録装置に好適に適用される。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置は、ランニングコストが安く、装置の小型化も可能であり、さらに、複数色のインクを用いてカラー画像記録に対応することも容易であることから、コンピュータ関係の出力機器等に幅広く利用され、商品化されている。
【０００３】
一方、記録ヘッドの吐出口からインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子としては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは、発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によって液体を加熱させるもの等がある。
【０００４】
その中でも熱エネルギーを利用してインク滴を吐出させる方式のインクジェット記録方式のヘッドは、吐出口を高密度に配列することができるため、高解像度の記録が可能である。電気熱変換素子をエネルギー発生素子として用いた記録ヘッドは、小型化も用意であり、かつ最近の半導体分野における技術の進歩と信頼性の向上が著しいＩＣ技術やマイクロ加工技術の長所を十二分に活用でき、高密度実装化が容易で製造コストも安価なことから有利である。
【０００５】
また、最近では、より高詳細の印字を行うために、インクを吐出するためのノズルを、フォトリソ技術を用いて高精度に作成する方法等も利用されてきている。
【０００６】
近年では、より高速に高詳細の画像の記録を実現するため、より印字幅が長い記録ヘッドの実現も望まれている。具体的には、ヘッドの長さが４インチ〜１３インチなどの長さのものも要求されてきている。
【０００７】
前記長尺ヘッドの構成を図１〜３に示す。
【０００８】
長尺ヘッド構成としては支持板上に複数の記録素子基板と前記基板に対応した個別フィルタを配置することでインク流路を形成したヘッド形態が考えられている。しかし前記各記録素子基板と個別フィルタで囲まれ形成された空間である個別液室内にはインク供給時などに発生する気泡が溜まり、印字時に気泡がノズルの目詰まりを引き起こしインク不吐出を発生させてしまう。
【０００９】
前記のごとく長尺化された記録ヘッドへのインク供給方法の従来技術としては例えば記録ヘッドのインク流路上流側に設けられた加圧チューブポンプにより記録ヘッド内に正圧を連続的に加えながらインクを供給し、記録ヘッド内、もしくは流路内（チューブ）に残留している気泡を移動、除去させている。
【００１０】
又、別の従来例としては、特許文献１及び特許文献２をあげることが出来る。
【特許文献１】特開平１０−０２４５９２号公報
【特許文献２】特開２００３−１５９８０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら上記加圧チューブポンプによる加圧回復方式による泡抜け除去方式では、流路のインク内の気泡自体の浮力や、気泡と流路壁面とで発生する表面張力による気泡の管壁への貼り付き、などの力により気泡は移動しないことがある。
【００１２】
また、加圧チューブポンプによる流路内のインクの流れが層流の場合、気泡が貼り付いている管壁付近の流速分布は図１５の如く小さいために、管壁に貼り付いている気泡は流れにくい。
【００１３】
また、ポンプ自体の流量を多くして前記気泡部の流速を速くする方法も考えられるが、そのためにはポンプ自体の能力を上げ必要があり、製品コストアップ、装置の大型化、など他の製品化への弊害が生じてしまう。
【００１４】
よって本発明は、上記構成のインク供給装置の流路内に残留している気泡を容易に移動、除去可能な加圧チューブポンプ構成を備えたインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明は、液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列しインクにより画像形成を行なうインクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドへ供給するインクを貯蔵するインクタンクと、複数の押圧ローラが周囲についた回転体の回転動作とチューブガイドによりチューブを押しつぶすことで前記インクタンクからインクジェット記録ヘッドへインクを加圧供給する加圧チューブポンプと、前記インクタンクから加圧チューブポンプを経てインクジェット記録ヘッドまでのインク流路をもつインク供給装置で構成され、前記加圧チューブポンプが、液体輸送時に生じる圧力を積極的に変動させる構成であることを特徴としたインクジェット記録装置である。
【００１６】
加えて、本発明は上記チューブポンプの、前記チューブポンプのチューブガイドに対する回転体の位相が、押圧ローラとチューブガイドによるチューブの押しつぶしがない位置を少なくとも１つ以上設けるような回転体上の押圧ローラの配置にすることで、チューブポンプによるインク輸送時に生じる脈動を積極的に生じさせ流路中の気泡除去を行なうことを特徴としたインクジェット記録装置である。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように本発明では、記録素子基板と個別インクフィルタ間に形成されたインク溜まりである個別液室形状を円管形状の円管流路を複数個分ノズル列長さ方向に配置させることにより、加圧ポンプによるインクの流量が同一でも円管流路内の流速が速くなり、すべてのノズルへのインク供給が可能となり、さらには個別フィルタ下部に残留する残留泡をインクを加圧ポンプで加圧することでスムーズにノズルより外部に排出することが可能となる。また、前記円管流路断面形状が円形であるために、球形である気泡と円管流路壁との間に隙間が生じることがなくインク加圧したときに前記隙間からのインクのみのすり抜けにより残留泡が移動不可能なことが無くなり、個別フィルタ内の気泡除去が容易な構成になる。また、前記複数個の円管流路の断面積をそれぞれ異ならせることにより個別液室内の残留泡除去がさらに容易な構成となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
（第１の実施形態）
（１）記録ヘッドの説明
図１に示すように記録ヘッドＨ１０００は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドである。
【００２０】
そして、記録ヘッドＨ１０００は、図２の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００１とインク供給ユニットＨ１００２のインク供給部材Ｈ１５００から構成される。さらに、図３の分解斜視図、図１１の断面図に示すように、記録素子ユニットＨ１００１は、記録素子基板Ｈ１１００、２枚のプレートの張り合わせにより構成されている第１のプレートＨ１２００、電気配線基板Ｈ１３００、第２のプレートＨ１４００、インク流入フィルターＨ１６００、個別フィルターＨ１６０１で構成されている。
【００２１】
（１−１）記録素子ユニット
図４（ａ）は、記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明する図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板Ｈ１１０８で薄膜が形成されている。また、インク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口Ｈ１１０１が形成され、インク供給口Ｈ１１０１の両側に電気熱変換素子Ｈ１１０２がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列されており、前記電気熱変換素子Ｈ１１０２、及び、Ａｌ等の電気配線が成膜技術により形成されている。また、該電気配線に電力を供給するために電極Ｈ１１０３が設けられている。前記インク供給口Ｈ１１０１は、前記Ｓｉ基板Ｈ１１０８の結晶方位を利用して、異方性エッチングを行う。ウエハー面に＜１００＞、厚さ方向に＜１１１＞の結晶方位を持つ場合、アルカリ系（ＫＯＨ、ＴＭＡＨ、ヒトラジン等）の異方性エッチングにより、約５４．７度の角度でエッチングが進行する。この方法を用いて、所望の深さにエッチングする。また、前記Ｓｉ基板Ｈ１１０８上には、ノズルプレートＨ１１１０が具備され、電気熱変換素子Ｈ１１０２に対応したインク流路Ｈ１１０４、ノズルＨ１１０５、発泡室Ｈ１１０７がフォトリソ技術により形成されている。また、前記ノズルＨ１１０５は前記電気熱変換素子Ｈ１１０２に対向するように設けられており、インク供給口Ｈ１１０１から供給されたインクを電気熱変換素子Ｈ１１０２により気泡を発生させてインクを吐出させるものである。
【００２２】
第１のプレートＨ１２００は、例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）材料で形成されている。なお、第１のプレートの素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板Ｈ１１００の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。第１のプレートＨ１２００の素材は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちいずれであってもよい。
【００２３】
第１のプレートＨ１２００は、２枚のプレート、第１−１プレートＨ１２０１、第１−２プレートＨ１２０２を接着剤などで接着することで張り合わせた構成より成り、２枚のプレートＨ１２０１、Ｈ１２０２にはそれぞれ記録素子基板Ｈ１１００にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０３が形成されており、記録素子基板Ｈ１１００のインク供給口Ｈ１１０１が第１のプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１に対応し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００は第１のプレートＨ１２００に対して位置精度良く接着固定される。その接着剤は、例えば、粘度が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤、もしくは紫外線硬化併用型の熱硬化接着剤であり、接着層の厚みは５０μｍ以下が望ましい。また、第１のプレートＨ１２００は、位置決め基準となるＸ方向基準Ｈ１２０４、Ｙ方向基準Ｈ１２０５、Ｚ方向基準Ｈ１２０６を有している。
【００２４】
記録素子基板Ｈ１１００は、図１に示すように第１のプレート上Ｈ１２００に千鳥状に配置され、同一色による幅広の記録を可能としている。例えば、ノズル群の長さが１インチ＋αの４つの記録素子基板Ｈ１１００ａ、Ｈ１１００ｂ、Ｈ１１００ｃ、Ｈ１１００ｄを千鳥状に配置し、４インチ幅の記録を可能にしている。
【００２５】
また、各記録素子基板の吐出口群の端部は、千鳥状に隣接する記録素子基板のノズル群の端部と、記録方向に対して、重複する領域（Ｌ）を設け、各記録素子基板による印刷に隙間が生じることを防止している。例えば、ノズル群Ｈ１１０６ａとノズル群Ｈ１１０６ｂに重複領域Ｈ１１０９ａ、Ｈ１１０９ｂを設けている。
【００２６】
電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００に対してインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、記録素子基板Ｈ１１００を組み込むための開口部を有しており、裏面には第２のプレートＨ１４００が接着固定される。また、電気配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３に対応する電極端子Ｈ１３０２と、この配線端部に位置し記録装置本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１を有している。電気配線基板Ｈ１３００と記録素子基板Ｈ１１００は、電気的に接続されており、接続方法は、例えば、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３と電気配線基板Ｈ１３００の電極端子Ｈ１３０２を金ワイヤーＨ１３０３（不図示）を用いたワイヤーボンディング技術によりにより電気的に接続される。電気配線基板Ｈ１３００の素材としては、例えば、配線が二層構造のフレキシブル配線基板が使用され、表層はポリイミドフィルムで覆われている。
【００２７】
第２のプレートＨ１４００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳＵＳ板で形成されている。なお、第２のプレートの素材は、ＳＵＳに限られることなく、耐インク性を有し、良好な平面性を有する材料で作られてもよい。そして、第２のプレートＨ１４００は、第１のプレートＨ１２００に接着固定された記録素子基板Ｈ１１００および該記録素子基板を取り込む開口部を有し、第１のプレートに接着固定される。
【００２８】
第２のプレートの開口部Ｈ１４０２と記録素子基板Ｈ１１００の側面によって形成される溝部には、第１の封止剤Ｈ１３０４が充填され、前記電気配線基板Ｈ１３００の電気実装部を封止している。また、記録素子基板の電極Ｈ１１０３は、第２の封止剤Ｈ１３０５で封止し、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。
【００２９】
（１−２）インク供給ユニット
インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形により形成され、共通液室Ｈ１５０１と、Ｚ方向基準面Ｈ１５０２を具備している。そして、Ｚ基準面Ｈ１５０２は、記録素子ユニットを位置決め固定するとともに、記録ヘッドＨ１０００のＺ基準となっている。
【００３０】
また図１１のごとくインク供給部材Ｈ１５００にはインク流入口Ｈ１５１０が設けてああり、前記記録素子基板Ｈ１１００内のインク流入フィルタＨ１６０１に連結されており、プリンタ本体からのインクの流入口となっている。
【００３１】
また、共通液室Ｈ１５０１は前記第１−２プレートＨ１２０２に配置されている個別フィルタＨ１６００をすべて覆うことにより前記第１−２プレートＨ１２０２とインク供給部材Ｈ１５００が接着剤などで張り合わされており、さらには前記共通液室には供給されたインクがヘッド外へ流出されるためのインク流出口Ｈ１５１２が設けられている。
【００３２】
（１−３）記録素子ユニットとインク供給ユニットの結合
先述の図２に示した通り、記録ヘッドＨ１０００は、記録素子ユニットＨ１００１をインク供給部材Ｈ１５００に結合することにより完成する。
【００３３】
結合は以下のように行われる。
【００３４】
インク供給部材Ｈ１５００の開口部と記録素子ユニットＨ１００１を第３の封止剤Ｈ１５０３により封止し、共通液室Ｈ１５０１を密閉する。そして、インク供給部材のＺ基準Ｈ１５０２に記録素子ユニットＨ１００１のＺ基準Ｈ１５０２を、例えば、ビスＨ１９００等により位置決め固定する。第３の封止剤Ｈ１５０３は、耐インク性があり、かつ、常温で硬化し、かつ、異種材料間の線膨張差に耐えられる柔軟性のある封止剤が望ましい。
【００３５】
また、記録素子ユニットＨ１００１の外部信号入力端子Ｈ１３０１部分は、例えば、インク供給部材Ｈ１５０１の裏面に、位置決め固定される。
【００３６】
（２）駆動回路の説明
本願の記録ヘッドＨ１０００は図１に示されるように４つの記録素子基板Ｈ１１００がチッププレートＨ１２００の上に精度良く配列され、さらに４つの記録素子基板Ｈ１１００が電気配線基板Ｈ１３００で配線されている。図８はこの４つの記録素子基板間の信号配線を示す回路図である。図中Ｈ１１００ａ〜Ｈ１１００ｄがそれぞれ４つの記録素子基板に相当し、各記録素子基板は図６および図７に示す奇数、偶数２つのノズル列の駆動回路から成り立っている。ＨＥＡＴＯ、ＥおよびＩＤＡＴＡＯ、Ｅは素子毎に奇偶別々に取り出されており、記録素子基板毎にＨＥＡＴ１〜８およびＩＤＡＴＡ１〜８の信号名で示されている。それ以外の信号は記録素子基板間で共通に配線されている。ＬＴＣＬＫ、ＤＣＬＫ、ＨＥＡＴ１〜８、ＩＤＡＴＡ１〜８は外部信号入力端子Ｈ１３０１に接続され、電源系であるＶＨ、ＧＮＤＨ、ＶＤＤ、ＧＮＤは電源端子Ｈ１３０２に接続されている。
【００３７】
図４は記録素子基板Ｈ１１００の構成を示す図で、インク供給口Ｈ１１０１を挟んで両側に奇数、偶数２つのノズル列がノズルピッチの半分ずらして配置されている。これら２つの駆動回路は記録素子基板上に半導体プロセスにより形成され、ＨＥＡＴＯ、ＥおよびＩＤＡＴＡＯ、Ｅの信号はそれぞれの駆動回路で独立に配線されているが、それ以外の信号（ＤＣＬＫ、ＬＴＣＬＫ）と電源（ＶＤＤ、ＧＮＤ、ＶＨ、ＨＧＮＤ）は記録素子基板内においても共通配線となっている。奇数および偶数ノズル列には共に６４０ノズルが６００ｄｐｉピッチで配列されており、前述のようにハーフピッチ分ずれているため、記録素子基板としては１２００ｄｐｉ、１２８０ノズルを構成することになる。各ノズル列の駆動回路は全く同じであるため、図６により駆動回路の概要を説明する。６４０の各ノズルにはそれぞれ吐出ヒータＨ１１０２−１〜１２７９が設けられ、各吐出ヒータを駆動することによりノズル内のインクを発泡させ、インク滴を吐出する。吐出ヒータは２０個づつ、３２の駆動ブロックに分割されており、時分割で駆動される。駆動ブロックはＢＥ０〜３１の信号により選択され、駆動ブロック内に属する２０個の吐出ヒータはトランジスタＥ１００６−１〜２０のＯＮ／ＯＦＦにより吐出するか否かが決定させる。
【００３８】
図９の駆動タイミングチャートと図６により記録ヘッドＨ１０００の駆動について説明する。ＰＲＩＮＴ信号は１カラムの吐出を開始するタイミングを与えるパルス信号で、パルスの立ち上がりタイミングで駆動回路の動作が開始する。駆動回路が動作を開始すると最初にＬＴＣＬＫが生成され、それから数１００ｐｓ後に転送クロックＤＣＬＫが転送データ分、すなわち２５クロック出力される。ＩＤＡＴＡ１〜８の各信号にはＤＣＬＫに同期して転送データが出力され、２５ビットシフトレジスタＥ１００１にシリアル転送される。そして、シフトレジスタＥ１００１に格納されたデータは次の駆動ブロックの最初に出力されるＬＴＣＬＫのタイミングで２５ビットラッチＥ１００２に記憶される。そのため、最初の転送データにしたがって実際の駆動がなされるのはその次のブロックの転送が行われるタイミングである。ここで転送されるデータ内容は駆動されるブロックの番号ＢＥＮＢ０〜４が５ビット、続いてそのブロックで駆動される電気熱変換素子Ｈ１１０２の駆動データが２０ビットの合計２５ビットである。駆動ブロックＢＥＮＢ０〜４は５→３デコーダＥ１００３でＢＥ０〜３１にデコードされ、トランジスタＥ１００５−１〜３２のベース電極に接続される。よって、常に３２個のトランジスタＥ１００５−１〜３２の内、１個だけが駆動されることになり、指定ブロックに属する電気熱変換素子の一端にのみ駆動電源（ＶＨ）が供給されることになる。一方、電気熱変換素子Ｈ１１０２−１〜１２７９のもう一端はセグメント毎に３２個づつ並列接続されて、それぞれ２０個のトランジスタＥ１００６−１〜２０のコレクタ電極に接続されている。これらのトランジスタの駆動はベース電極に接続されているＡＮＤゲートＥ１００４−１〜２０出力により制御される。ＡＮＤゲートの一方の入力には２０ビットの駆動データ信号が接続され、もう一方には電気熱変換素子を実際に駆動するタイミングを与えるパルス信号ＨＥＡＴ１〜８が接続されている。よって、トランジスタＥ１００６−１〜２０は上記２信号のＡＮＤで制御されることになり、その結果２０ビットの駆動データによって指定されたセグメントに対してＨＥＡＴ１〜８のパルスタイミングで駆動されることになる。以上のようにして、ＰＲＩＮＴ信号が発効すると駆動回路が動作を開始し、最初に０ブロック目が駆動され順次１、２、…となって、最後に３１ブロック目は駆動が完了して、全記録素子基板の全ノズルの吐出が制御される。
【００３９】
（３）インクジェット記録装置の説明
本発明のインクジェット記録装置Ｍ４０００は、図５に示すように、例えば、写真画質の記録に対応して６色分の記録ヘッドが具備されている。記録ヘッドＨ１０００Ｂｋは、ブラックインク用の記録ヘッドであり、記録ヘッドＨ１０００Ｃはシアンインク用、記録ヘッドＨ１０００Ｍマゼンタインク用、記録ヘッドＨ１０００Ｙはイエローインク用、記録ヘッドＨ１０００ＬＣはライトシアンインク用、記録ヘッドＨ１０００ＬＭはライトマゼンタインク用である。これらの記録ヘッドＨ１０００を、記録装置本体Ｍ４０００に載置されているキャリッジＭ４００１の位置決め手段及び電気的接点Ｍ４００２によって固定支持する。
【００４０】
そして、これらの記録ヘッドを、先述の駆動回路によって制御し、記録媒体に対して記録を行うものである。なお、図５の記録装置では、記録ヘッドが記録媒体幅分のノズルを有するフルラインタイプであり、記録ヘッドは固定で、記録媒体が矢印の方向に走査することで記録を行う方式である。
【００４１】
また、これに対して、図１０の記録装置では、記録ヘッドが主走査方向（キャリッジ移動方向）に往復移動しながら記録を行う、シリアル駆動方式の記録装置である。
【００４２】
インクジェット記録装置のインク供給装置の概略図を図１３に示す。（インクタンク）→（記録ヘッドへのインク供給のための加圧ポンプ）→（記録ヘッドのインク流入口Ｈ１５１０）→（共通液室）→（インク流出口）→（インクタンク）という経路でインク供給装置のインク供給路が接続されており、記録ヘッドへインクが供給される。
【００４３】
図１１（Ａ）〜（Ｄ）は本実施例内のインク供給装置内の加圧チューブポンプの構成、さらには動作を示した図であり、（Ａ）〜（Ｄ）の各タイミング時にインク供給路内のインクに加わる圧力値を示したものが図１２であり、図１１の（Ａ）〜（Ｄ）のタイミングと図１２の圧力変動グラフ内の（Ａ）〜（Ｄ）のタイミングは一致しているものである。図１１に示すように、本実施例の加圧チューブポンプ構成は円盤形状である回転体の周上にチューブを連続的にシゴク押圧ローラが複数配置されている。また、押圧ローラでチューブをシゴクために、チューブを押し圧ローラ側にポンプバネにより押しつぶす方向にチューブガイドが加圧付勢されている。また通常のチューブポンプは図１４の如く押圧ローラを回転体上に複数配置することでチューブを連続的にシゴキ、絶えずインクに正圧を加えることでインク供給を行なっていたが、本実施例では加圧チューブポンプ動作時に回転する回転体上の複数の押圧ローラ配置を特に、前記回転体が回転時に前記チューブガイドと押圧ローラとでチューブを周期的にシゴかないタイミングを設ける様な配置にする。例えば、図１１に示すような本実施例のチューブポンプ構成では、回転体上に９０度の間隔に押圧ローラを配置させることにより、前記回転体の回転時にチューブをしごかないタイミング（図１１の（Ｄ）のタイミング）を設けることで，図１２のグラフの（Ｄ）ポイントの如く、周期的にインク中の圧力値をゼロにすることができる。本実施例のごとく、加圧チューブポンプ動作時にインク中に加わる圧力が周期的に一瞬ゼロにさせ、大きい脈動の振幅を発生させながらインクを輸送させることで、図１２（Ｄ）→（Ａ）のタイミング時の流路内のインクの流れは乱流状態をつくることができ（図１６）、管壁付近の速度分布を上げることが出来る為に、管壁と表面張力により貼りついてなかなか流れない気泡を容易に流すことが可能となる。
【００４４】
本実施例では加圧チューブポンプの脈動を積極的に発生させながらインク供給を行なう為に、チューブポンプ内の押圧ローラ配置によりチューブを押し潰さないタイミングを周期的に設けることで脈動を発生させたが、脈動の発生手段は本実施例にこだわるものではなく、例えば従来構成のチューブポンプ（図１４）の回転体の回転速度を変えながら回転体を回転させることで脈動を発生させる方法、さらには図１４の従来構成のチューブポンプのチューブガイドを周期的に解除させながら回転体を回転させることで積極的にインク内に脈動を発生させる方法なども考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】従来例と本発明の記録ヘッドの外観斜視図。
【図２】従来例と本発明の記録ヘッドの分解斜視図。
【図３】従来例と記録素子ユニットの分解斜視図。
【図４】記録素子基板を説明する図（ａ）斜視図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図。
【図５】インクジェット記録装置（フルライン方式）を説明する図。
【図６】奇数のノズル列の駆動回路を説明する図。
【図７】偶数のノズル列の駆動回路を説明する図。
【図８】４つの記録素子基板間の信号配線を説明する図。
【図９】駆動タイミングチャート図。
【図１０】インクジェット記録装置（シリアル駆動方式）を説明する図。
【図１１】本発明の加圧チューブポンプの簡略断面と動作タイミングを示す図。
【図１２】本発明の加圧チューブポンプ動作時のインク圧力値を示すグラフ。
【図１３】本発明のインク供給装置を示す簡略図。
【図１４】従来例のチューブポンプ構成を示す断面簡略図。
【図１５】流路内のインクの速度分布を示す（層流時）。
【図１６】流路内のインクの速度分布を示す（乱流時）。
【符号の説明】
【００４６】
Ｈ１０００  記録ヘッド
Ｈ１００１  記録素子ユニット
Ｈ１００２  インク供給ユニット
Ｈ１１００  記録素子基板
Ｈ１１０１  インク供給口
Ｈ１１０２  電気熱変換素子
Ｈ１１０３  電極
Ｈ１１０４  インク流路
Ｈ１１０５  ノズル
Ｈ１１０６  ノズル群
Ｈ１１０７  発泡室
Ｈ１１０８  Ｓｉ基板
Ｈ１１１０  ノズルプレート
Ｈ１２００  第１のプレート
Ｈ１２０３  個別液室
Ｈ１２０４  Ｘ方向基準
Ｈ１２０５  Ｙ方向基準
Ｈ１２０６  Ｚ方向基準
Ｈ１２０７  円管流路
Ｈ１３００  電気配線基板
Ｈ１３０１  外部信号入力端子
Ｈ１３０２  電極端子
Ｈ１３０３  金ワイヤー（不図示）
Ｈ１３０４  第１の封止剤
Ｈ１３０５  第２の封止剤
Ｈ１４００  第２のプレート
Ｈ１５００  インク供給部材
Ｈ１５０１  共通液室
Ｈ１５０２  Ｚ基準面
Ｈ１５０３  第３の封止剤（不図示）
Ｈ１５０４  インク供給口（不図示）
Ｈ１５１０  インク流入口
Ｈ１５１２  インク流出口
Ｈ１６００  個別フィルタ
Ｈ１８００  インクタンク
Ｈ１８０２  チューブ
Ｈ１９００  ビス
Ｍ４０００  インクジェット記録装置
Ｍ４００１  キャリッジ
Ｍ４００２  電気的接点
Ｅ１００１  シフトレジスタ
Ｅ１００２  ２５ビットラッチ
Ｅ１００３  デコーダ
Ｅ１００４  ＡＮＤゲート
Ｅ１００５  トランジスタ
Ｅ１００６  トランジスタ
Ｋ１０００  記録媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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