(57)【要約】【課題】  放射線検出器に影響を及ぼすデータラインノイズについて自動的に検査することができる放射線検出器の検査方法を提供する。【解決手段】  ステップＳ１においてＦＰＤから収集された出力信号に基づき、ステップＳ２は、着目データラインの出力信号の平均値と、着目データライン及びこれに隣接する隣接データラインの出力信号の総平均値との差分を算出する。ステップＳ３は、ステップＳ２と並行して、着目データラインに応じた閾値を算出する。ステップＳ４において、ステップＳ２で算出された差分とステップＳ３で算出された閾値とを比較して、その結果に応じて着目データラインにデータラインノイズが発生したか否かを判断する（ステップＳ５、Ｓ６）。このように、ステップＳ２からステップＳ６までのノイズ検出過程は、所定の演算処理のみによって行われるので、データラインノイズを自動的に検出することができる。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線を検出する複数個の検出素子が交差する２軸方向である行と列に沿って配列され、行または列のいずれか一方に並ぶ各検出素子から得られる出力信号を複数のデータラインを介して読み出す放射線検出器について、データラインノイズを検出する放射線検出器の検査方法であって、全検出素子について一様な条件下で、全データラインから出力信号を読み出して１フレーム分の出力信号を収集する収集過程と、複数のデータラインのうち、着目するデータラインを着目データラインとして、着目データラインの出力信号の統計量と、少なくとも着目データラインに隣接するデータラインの出力信号の統計量との差分を、着目データラインに応じた閾値と比較することに基づいて、着目データラインにデータラインノイズが発生したか否かを判断するノイズ検出過程を備え、各データラインを順次に着目データラインに置き換えて、前記ノイズ検出過程を繰り返すことを特徴とする放射線検出器の検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の放射線検出器の検査方法において、前記収集過程を一定の時間間隔で繰り返し行い、前記ノイズ検出過程を各フレームについて繰り返し行い、前記ノイズ検出過程で判断された結果に基づいて、データラインノイズの発生率を算出することを特徴とする放射線検出器の検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の放射線検出器の検査方法において、前記収集過程を一定の時間間隔で繰り返し行う期間を第１期間とし、前記収集過程を行わない期間を第２期間として、前記第１期間と前記第２期間とを交互に繰り返し、前記ノイズ検出過程で判断された結果に基づいて、データラインノイズの発生率を算出することを特徴とする放射線検出器の検査方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の放射線検出器の検査方法において、前記収集過程を開始した後であって完了する前に、前記収集過程で収集され始めたフレームについて前記ノイズ検出過程を開始して、並行処理を行うことを特徴とする放射線検出器の検査方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４に記載の放射線検出器の検査方法において、前記差分は、着目データラインに接続されている各検出素子の出力信号の平均値と、着目データラインと、これに隣接するデータラインとにそれぞれ接続されている各検出素子の出力信号の平均値との差分であり、前記着目データラインに応じた閾値は、着目データライン、および、これに隣接するデータラインごとに各検出素子の出力信号の平均値を求め、これらの平均値の標準偏差または分散の５倍とし、前記ノイズ検出過程は、前記差分が前記閾値より大きい場合に、データラインノイズが発生したと判断することを特徴とする放射線検出器の検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の放射線検出器の検査方法において、前記着目データラインに隣接するデータラインの数は、複数であることを特徴とする放射線検出器の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、医療分野や、非破壊検査、ＲＩ（Radio  Isotope）検査、および光学検査などの工業分野や、原子力分野などに用いられる放射線検出器の検査方法に係り、特に、データラインノイズに発生を検知する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
放射線撮像装置の代表的な装置の一つである医用Ｘ線撮影装置において、近年、放射線検出手段として、フラットパネル型Ｘ線検出器（または、「二次元Ｘ線センサー」ともいい、以下では適宜「ＦＰＤ」と記載する）を搭載しているものが多い。
【０００３】
ＦＰＤの検出面には、Ｘ線に有感な複数個の検出素子が二次元マトリクス状に（たとえば、縦１５３６個×横１５３６個で）配列されている。各列ごとに設けられるデータラインは、その列の検出素子とそれぞれ並列に接続されている。このようなＦＰＤの検出面に被検体を透過したＸ線像が投影されると、各検出素子は、入射するＸ線像の濃淡に応じて電荷情報を発生する。発生した電荷情報は、検出素子に接続されるデータラインを通じて読み出される。読み出された電荷情報は、ＦＰＤから出力信号として外部へ出力され、画像処理が施される。なお、全ての検出素子から読み出される１フレーム分の出力信号に基づいて１枚のＸ線画像が生成される。
【０００４】
このＦＰＤの各部は、検出素子が形成される基板等のように、ガラス類を材料としたものが多い。このため、湿度などの環境によっては静電気を発生し易い性質を持つ。
【０００５】
静電気が発生すると、検出素子やデータラインを含む電気回路に作用し、電荷信号にノイズを混入させる場合があることがわかっている。静電気ノイズには、（１）１本のデータラインに接続される各検出素子に応じた出力信号の信号強度をそれぞれ上昇、あるいは低下させるもの、（２）１本のデータラインに接続される検出素子の連続した１部に応じた出力信号の信号強度を連続して上昇、あるいは低下させるもの、（３）同一の増幅器に共通して接続される複数のデータラインにそれぞれ接続される各検出素子に応じた出力信号の信号強度を上昇、あるいは低下させるものなどが、認められている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。このうち、（１）の現象を、特に「データラインノイズ」と呼ぶ。
【０００６】
たとえば、データラインノイズが発生すると、データラインノイズが発生したデータライン上の検出素子に対応する画素列に沿って、１本の筋が入ったＸ線画像となる。
【０００７】
ＦＰＤが、このような静電気ノイズの影響を受けやすいか否かは、得られるＸ線画像の品質を左右する。そこで、各ＦＰＤについて静電気ノイズの発生頻度や影響の度合いといった静電気ノイズ性能の検査は必要であるが、この検査は人間がモニタ等に表示されるＸ線画像を目視することによって行われる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−２５１８９２号公報（第８頁）
【特許文献２】特開２００４−１６５５６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、データラインノイズは、常に発生するわけではなく、また発生するデータラインの位置も同じとは限らない。むしろ、１秒間に数十フレーム分のペースで読み出したとしても、数十秒に１回から数十分に１回程度の頻度でしか発生しない。言い換えれば、その間は、静電気ノイズの影響を受けていない正常なＸ線画像が生成され続ける。しがたって、目視による静電気ノイズの検査は、それに費やす時間、また、労力といった手間がかかる。
【００１０】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、放射線検出器に影響を及ぼすデータラインノイズについて自動的に検査することができる放射線検出器の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、放射線を検出する複数個の検出素子が交差する２軸方向である行と列に沿って配列され、行または列のいずれか一方に並ぶ各検出素子から得られる出力信号を複数のデータラインを介して読み出す放射線検出器について、データラインノイズを検出する放射線検出器の検査方法であって、全検出素子について一様な条件下で、全データラインから出力信号を読み出して１フレーム分の出力信号を収集する収集過程と、複数のデータラインのうち、着目するデータラインを着目データラインとして、着目データラインの出力信号の統計量と、少なくとも着目データラインに隣接するデータラインの出力信号の統計量との差分を、着目データラインに応じた閾値と比較することに基づいて、着目データラインにデータラインノイズが発生したか否かを判断するノイズ検出過程を備え、各データラインを順次に着目データラインに置き換えて、前記ノイズ検出過程を繰り返すことを特徴とするものである。
【００１２】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、収集過程で読み出された１フレーム分の出力信号について、所定の演算処理のみによって着目データラインにデータラインノイズが発生したか否かの判断をするノイズ検出過程を備えているので、データラインノイズを自動的に検出することができる。また、各データラインを着目データラインとしてノイズ検出過程を繰り返すので、いずれの位置のデータラインにデータラインノイズが発生しても、確実に検出することができる。
【００１３】
なお、着目データラインに隣接するデータラインとは、着目データラインの両側にそれぞれ位置する１本のデータラインに限られず、着目データラインの両側にそれぞれ位置する複数本のデータラインとしてもよい。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の放射線検出器の検査方法において、前記収集過程を一定の時間間隔で繰り返し行い、前記ノイズ検出過程を各フレームについて繰り返し行い、前記ノイズ検出過程で判断された結果に基づいて、データラインノイズの発生率を算出することを特徴とするものである。
【００１５】
［作用・効果］請求項２に記載の発明によれば、収集過程を繰り返すことで収集される複数のフレームのそれぞれについて、データラインノイズを自動的に検出することができる。よって、データラインノイズの発生頻度が低くても、的確に検出することができる。
【００１６】
また、算出されるデータラインノイズが含まれているフレームの発生率によって、放射線検出器の静電気ノイズ性能を把握することができる。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の放射線検出器の検査方法において、前記収集過程を一定の時間間隔で繰り返し行う期間を第１期間とし、前記収集過程を行わない期間を第２期間として、前記第１期間と前記第２期間とを交互に繰り返し、前記ノイズ検出過程で判断された結果に基づいて、データラインノイズの発生率を算出することを特徴とするものである。
【００１８】
［作用・効果］請求項３に記載の発明によれば、収集過程を行わない第２期間を周期的に設けることで、１度に読み出される出力信号の量を低減することができる。
【００１９】
また、収集過程を行わない第２期間があっても、放射線検出器の静電気ノイズ性能を推定することができ効率がよい。
【００２０】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の放射線検出器の検査方法において、前記収集過程を開始した後であって完了する前に、前記収集過程で収集され始めたフレームについて前記ノイズ検出過程を開始して、並行処理を行うことを特徴とするものである。
【００２１】
［作用・効果］請求項４に記載の発明によれば、収集過程とノイズ検出過程とを並行して行うことで、より短時間に放射線検出器の検査を行うことができる。
【００２２】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４に記載の放射線検出器の検査方法において、前記差分は、着目データラインに接続されている各検出素子の出力信号の平均値と、着目データラインと、これに隣接するデータラインとにそれぞれ接続されている各検出素子の出力信号の平均値との差分であり、前記着目データラインに応じた閾値は、着目データライン、および、これに隣接するデータラインごとに各検出素子の出力信号の平均値を求め、これらの平均値の標準偏差または分散の５倍とし、前記ノイズ検出過程は、前記差分が前記閾値より大きい場合に、データラインノイズが発生したと判断することを特徴とするものである。
【００２３】
［作用・効果］請求項５に記載の発明によれば、経験的に精度よくデータラインノイズを検出することができる。
【００２４】
また、請求６に記載の発明は、請求項５に記載の放射線検出器の検査方法において、前記着目データラインに隣接するデータラインの数は、複数であることを特徴とするものである。
【００２５】
［作用・効果］請求項６に記載の発明によれば、着目データラインに隣接するデータラインを、着目データラインの両側にそれぞれ位置する複数本のデータラインとすることで、データラインノイズの検出精度を向上させることができる。
【００２６】
なお、本明細書は、次のような検出素子検査装置に係る発明も開示している。
【００２７】
（１）放射線を検出する複数個の検出素子が交差する２軸方向である行と列に沿って配列され、行または列のいずれか一方に並ぶ各検出素子から得られる出力信号を複数のデータラインを介して読み出す放射線検出器について、データラインノイズを検出する放射線検出器の検査装置であって、複数のデータラインのうち、着目するデータラインを着目データラインとして、着目データラインの出力信号の統計量と、少なくとも着目データラインに隣接するデータラインの出力信号の統計量との差分を算出する差分算出手段と、着目データラインに応じた閾値を算出する閾値算出手段と、前記差分算出手段によって算出された差分と、前記閾値算出手段によって算出された閾値とを比較し、この結果に基づいて、着目データラインにデータラインノイズが発生したか否かを判断する比較手段と、を備え、各データラインを順次に着目データラインに置き換えて、データラインノイズを検出する放射線検出器の検査装置。
【００２８】
前記（１）に記載の発明によれば、請求項１に記載の放射線検出器の検査方法を好適に実現することができる。
【００２９】
（２）前記（１）に記載の放射線検出器の検査装置において、全検出素子について一様な条件下で、各データラインから読み出された出力信号を記憶する記憶手段とを備え、前記差分算出手段、および前記閾値算出手段は、それぞれ前記記憶手段に記憶される出力信号に基づいて算出することを特徴とする放射線検出器の検査装置。
【００３０】
前記（２）に記載の発明によれば、記憶手段を備えることで、データラインノイズの検出を好適に行うことができる。
【発明の効果】
【００３１】
この発明に係る放射線検出器の検査方法によれば、収集過程で読み出された１フレーム分の出力信号について、所定の演算処理のみによって着目データラインにデータラインノイズが発生したか否かの判断をするノイズ検出過程を備えているので、データラインノイズを自動的に検出することができる。また、各データラインを着目データラインとしてノイズ検出過程を繰り返すので、いずれの位置のデータラインにデータラインノイズが発生しても、確実に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照してこの発明の実施例１を説明する。
図１は、実施例１に係る放射線検出器の検査方法を行う放射線撮像装置の全体構成を示すブロック図である。放射線撮像装置としては、医療用のＸ線撮像装置を例にとって説明する。
【００３３】
Ｘ線撮像装置は、被検体（図示省略）を載置可能な天板２と、図示省略の被検体に向けてＸ線を照射するＸ線管３と、被検体Ｍを透過したＸ線を検出するフラットパネル型Ｘ線検出器（以下、適宜「ＦＰＤ」という）４と、Ｘ線管３の管電圧や管電流を制御するＸ線管制御部５と、このＸ線管制御部５とＦＰＤ４とを統括的に制御する主制御部６とを備えている。ＦＰＤ４は、この発明における放射線検出器に相当する。
【００３４】
Ｘ線撮像装置は、このほかに、ＦＰＤ４から出力される出力信号を記憶する記憶部７と、出力信号を処理するデータ処理部８とを備えている。さらに、データ処理部８は、差分算出部１１と閾値算出部１２と比較部１３と発生率算出部１４とを備えている。
【００３５】
天板２は、Ｘ線透過材料などで構成される。Ｘ線管３とＦＰＤ４とは、天板２を挟んで対向配置される。主制御部６は、Ｘ線管制御部５の制御と連携して、ＦＰＤ４の駆動動作および読出し動作を制御する。Ｘ線管制御部５は、主制御部６の制御に基づいて、Ｘ線管３から所定の線量のＸ線を照射させる。ＦＰＤ４は、主制御部６の制御に基づいて、入射するＸ線を検出し、出力信号を読み出す。
【００３６】
図２はＦＰＤ４の要部の垂直断面図であり、図３はＦＰＤ４の要部の平面図である。図示するようにＸ線の入射側から順に、バイアス電圧を印加する印加電極３１と、Ｘ線を電荷信号に変換するＸ線変換層３３と、変換された電荷信号を収集する電荷収集電極３５とアクティブマトリクス基板３７とが積層されている。すなわち、ＦＰＤ４は、直接、Ｘ線を電荷に変換する直接変換タイプである。
【００３７】
Ｘ線変換層３３としては、アモルファス・セレン等が例示される。また、アクティブマトリクス基板３７としては、電気絶縁性を有するガラス基板等が例示される。
【００３８】
電荷収集電極３５は、平面視２次元マトリクス状に分離形成されている。さらに、アクティブマトリクス基板３７上には、電荷収集電極３５ごとに、電荷信号を蓄積するコンデンサＣａと、電荷収集電極３５とコンデンサＣａとをソースＳに接続し、電荷信号を取り出すスイッチング素子である薄膜トランジスタ（Tｈin Film Transistors）Ｔｒとが分離形成されている。これら１組の電荷収集電極３５とコンデンサＣａと薄膜トランジスタＴｒとは、これに応じた領域のＸ線変換層３３および印加電極３１と併せて、１個の検出素子ｄを構成する。
【００３９】
したがって、ＦＰＤ４の検出面には、図３に示すように、多数個の検出素子ｄは、交差する２軸方向である行と列に沿って配列されていると見ることができる。たとえば、縦３０ｃｍ×横３０ｃｍ程の広さの検出面には、縦４０９６個×横４０９６個の検出素子ｄが配列されている。なお、各検出素子ｄは、生成されるＸ線画像を構成する各画素と対応関係にある。
【００４０】
さらに、アクティブマトリクス基板３７には、検出素子ｄの行ごとにゲートライン４１が敷設されているとともに、検出素子ｄの列ごとにデータライン４３とが敷設されている。各ゲートライン４１は、各行の薄膜トランジスタＴｒのゲートに共通接続されている。また、各データライン４３は、各列の薄膜トランジスタＴｒのドレインに共通接続されている。なお、行と列は、方向を区別するために便宜上用いているに過ぎず、列ごとにゲートライン４１を設け、行ごとにデータライン４３を設けると考えてもよい。
【００４１】
ＦＰＤ４は、さらに、アクティブマトリクス基板３７の一端側に、ゲートドライバ回路４６を、他の一端側にアンプアレイ回路４７とを有している。さらに、これらゲートドライバ回路４６とアンプアレイ回路４７とを制御するＦＰＤ制御回路５０を備えている。このＦＰＤ制御回路５０は、主制御部６によって制御される。
【００４２】
ゲートドライバ回路４６には、アクティブマトリクス基板３７から引き出された各ゲートライン４１が接続されている。
【００４３】
アンプアレイ回路４７には、複数個の増幅器４９が設けられ、アクティブマトリクス基板３７から引き出された各データライン４３が１本づつ各増幅器４９に接続されている。
【００４４】
このようなＦＰＤ４内の動作について説明する。印加電極３１にバイアス電圧を印加した状態でＸ線が入射すると、Ｘ線変換層３３において電荷信号が発生し、この電荷信号は電荷収集電極３５を介してコンデンサＣａに蓄積される。
【００４５】
ＦＰＤ制御回路５０の制御に基づき、ゲートドライバ回路４６は、順次にゲートライン４１を選択して走査信号を与える。選択された各ゲートライン４１は、走査信号を薄膜トランジスタＴｒのゲートに転送する。これによって、オン状態に移行した薄膜トランジスタＴｒを経由して、コンデンサＣａに蓄積された電荷信号がデータライン４３に読み出される。読み出される電荷信号はアンプアレイ回路４７に供給される。アンプアレイ回路４７は、ＦＰＤ制御回路５０の制御に基づき、電荷信号を各増幅器４９で増幅する。増幅された電荷信号は、ＦＰＤ４から外部へ出力信号として出力される。
【００４６】
記憶部７は、ＦＰＤ４から出力される出力信号を記憶する。記憶部７は、ＲＡＭ（Random Access Memory）やＨＤＤ（Hard Disk Drive）に代表される記憶媒体等によって実現されている。なお、出力信号は、ＦＰＤ４と記憶部７との間にＡ／Ｄ変換器（図示省略）によって、デジタル化されている。記憶部７は、記憶手段に相当する。
【００４７】
次に、データ処理部８の各部について説明する。なお、データ処理部８の各部の諸機能は、各種処理を実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）や、演算処理の作業領域となるＲＡＭ（Random-Access Memory）や、各種情報を記憶する固定ディスク等の記憶媒体等によって実現されている。
【００４８】
差分算出部１１は、いずれかのデータライン４３を着目データラインＬ０として、その着目データラインＬ０に接続されている各検出素子ｄに応じた出力信号の平均値Ａ（Ｌ）を求める。差分算出部１１は、差分算出手段に相当する。
【００４９】
また、着目データラインＬ０の両側（前後）に位置する、それぞれｎ本のデータライン４３を隣接データラインＬ±ｉ（ｉは１以上ｎ以下の整数とし、＋、−はそれぞれ前後方向を示す）として、着目データラインＬ０および隣接データラインＬ±ｉに接続されている各検出素子ｄの出力信号の総平均値Ａを求める。
【００５０】
そして、着目データラインＬ０の出力信号の平均値Ａ（０）と、着目データラインＬ０および隣接データラインＬ±ｉの出力信号の総平均値Ａとの差分Ｂを求める。
【００５１】
閾値算出部１２は、着目データラインＬ０とその隣接データラインＬ±ｉごとに、出力信号の平均値Ａ（０）、Ａ（±ｉ）を求める。そして、これらの平均値Ａ（０）、Ａ（±ｉ）からその標準偏差を求め、さらに、この標準偏差を５倍したものを閾値Ｃとして得る。閾値算出部１２は、閾値算出手段に相当する。
【００５２】
比較部１３は、差分算出部１１によって算出された差分Ｂと、閾値算出部１２によって算出された閾値Ｃとを比較する。その結果に基づいて、着目データラインＬ０についてデータラインノイズが発生したか否かを判断する。比較部１３は、比較手段に相当する。
【００５３】
なお、データラインノイズとは、１本のデータライン４３に接続される各検出素子ｄに応じた出力信号の信号強度をそれぞれ上昇、あるいは低下させるものをいう。このデータラインノイズは、主として静電気を原因として発生する。
【００５４】
発生率算出部１４は、比較部１３の判断結果に基づいて、データラインノイズの発生率σを算出する。
【００５５】
次に、実施例１に係る放射線検出器の検査方法について、図４を参照して説明する。図４は、放射線検出器の検査方法の手順を示すフローチャートであり、図５が放射線検出器の検査方法のタイミングチャートである。
【００５６】
＜ステップＳ１＞  Ｘ線非照射の状態で、出力信号を読み出す
主制御部６は、Ｘ線管制御部５に対してＸ線を照射しないように制御する。これによって、Ｘ線管３からＸ線は発生せず、ＦＰＤ４の各検出素子ｄは互いに一様な条件下に置かれる。
【００５７】
主制御部６は、さらに、ＦＰＤ４を駆動、および読出し制御する。ＦＰＤ４は、記憶部７に出力信号を出力する。
【００５８】
ここで、各ゲートライン４１が順次に薄膜トランジスタＴｒを駆動して、各データライン４３から全ての検出素子ｄに応じた出力信号が１個ずつ読み出されて、１フレーム分の出力信号が収集される過程が、この発明における収集過程に相当する。
【００５９】
この収集過程を、図５に示すように、時刻Ｔ１から時刻Ｔ２までの収集期間の間、一定の時間間隔（頻度）で繰り返す。
【００６０】
本実施例の場合、この収集期間は１０分であり、一定の時間間隔は、１秒あたりに３０フレーム分を収集する（３０回収集過程を繰り返す）。したがって、収集期間に、フレーム１８０００枚分の出力信号が収集される。なお、これらの値は、例示に過ぎず、適宜に設計変更できる。
【００６１】
ＦＰＤ４から読み出された出力信号は、記憶部７に記憶される。
【００６２】
＜ステップＳ２＞  差分を算出する。
図６は、ＦＰＤの検出面を示す模式図である。図６に示すように、本実施例では、着目データラインＬ０の両側（前後）に位置する、それぞれ５本のデータライン４３を、隣接データラインＬ−５、Ｌ−４、………、Ｌ−１、Ｌ＋１、Ｌ＋２、………、Ｌ＋５とする。隣接データラインは合せて１０本であり、これらを特に区別しないときはＬ±ｉと記載する。
【００６３】
差分算出部１１は、まず、着目データラインＬ０の出力信号の平均値Ａ（０）を求める。つぎに、着目データラインＬ０および各隣接データラインＬ±ｉの出力信号の総平均値Ａを求める。そして、平均値Ａ（０）と総平均値Ａとの差分Ｂを求める。
【００６４】
＜ステップＳ３＞  閾値を算出する
閾値算出部１２は、着目データラインＬ０の出力信号の平均値Ａ（０）を求める。次に、その隣接データラインＬ±ｉごとに、出力信号の平均値Ａ（−５）、Ａ（−４）、………、Ａ（−１）、Ａ（＋１）、Ａ（＋２）、………、Ａ（＋５）を求める。よって、求められる隣接データラインＬ±ｉの出力信号の平均値は１０個であり、これらを特に区別しないときはＡ（±ｉ）と記載する。
【００６５】
さらに、平均値Ａ（０）と平均値Ａ（±ｉ）から、その標準偏差を求め、この標準偏差を５倍したものを閾値Ｃとして得る。
【００６６】
＜ステップＳ４＞  差分が閾値より大きいか？
比較部１３は、差分算出部１１によって算出された差分Ｂと、閾値算出部１２によって算出された閾値Ｃとを比較する。その結果、差分Ｂが閾値Ｃよりも大きい場合は、ステップＳ６に進む。そうではない場合は、ステップＳ５に進む。
【００６７】
＜ステップＳ５＞  ノイズなしと判断する
比較部１３は、着目データラインＬ０にデータラインノイズが発生していないと判断する。
【００６８】
＜ステップＳ６＞  ノイズ発生と判断する
比較部１３は、着目データラインＬ０にデータラインノイズが発生したと判断する。
【００６９】
ここで、１本のデータライン４３を着目データラインＬ０として、ステップＳ２からステップＳ６までの処理過程は、この発明におけるノイズ検出過程に相当する。
【００７０】
＜ステップＳ７＞  検査されていないデータラインがあるか？
着目データラインＬ０として上述のノイズ検出過程を行っていないデータライン４３がある場合は、ステップＳ２に戻り、未済のデータライン４３を着目データラインＬ０と置き換えてノイズ検出過程を繰り返す。
【００７１】
まず、同一のフレーム内で、検査されていないデータライン４３がある場合は、そのフレームの全てのデータライン４３についてノイズ検出過程を行うまで、ステップＳ２に繰り返し戻る。
【００７２】
そして、１つのフレームについてノイズ検出過程を終了すると、その他の未済のフレームについても、同様にステップＳ２に戻ってノイズ検出過程を繰り返す。
【００７３】
図５に示すタイミングチャートにおいては、収集過程が終了する時刻Ｔ２から時刻Ｔ３までのノイズ検出期間に渡って、このノイズ検出過程を繰り返し行うことになる。
【００７４】
この結果、繰り返し行われた収集過程で収集された全てのフレームについて、ノイズ検出過程を行った場合には、ステップＳ８に進む。
【００７５】
たとえば、ゲートライン４１がｎ本あるとすると、本実施例の場合、ノイズ検出過程を（１８０００×ｎ）回、繰り返すことになる。
【００７６】
＜ステップＳ８＞  発生率を算出する
発生率算出部１４は、比較部１３の判断結果に基づいて、データラインノイズの発生率σを算出する。発生率σは、具体的には、収集期間に対して、データラインノイズが含まれるフレーム数の割合、データラインノイズが発生したデータライン４３の本数の割合が例示される。あるいは、収集したフレーム数に対して、データラインノイズが含まれるフレーム数の割合を発生率σとしてもよい。
【００７７】
たとえば、３枚のフレームが、データラインノイズが含まれると判断された場合は、本実施例の場合、発生率σは、０．３フレーム／ｍｉｎとなる。
【００７８】
このように、実施例１に係る放射線検出器の検査方法によれば、ステップＳ２からステップＳ６までのノイズ検出過程は演算処理のみで実現できるので、着目データラインＬ０にデータラインノイズが発生したか、否かを自動的に検査することができる。
【００７９】
また、ステップＳ７によって、各データライン４３について、ノイズ検出過程を繰り返し行うので、いずれの位置にデータラインノイズが発生しても確実に検出することができる。
【００８０】
また、ステップＳ１において、収集過程を繰り返し行うことで、複数のフレームについてデータラインノイズの有無を検査することができる。よって、データラインノイズの発生頻度が低くても、検出可能である。
【００８１】
また、ステップＳ８において、算出されたデータラインノイズの発生率σによって、放射線検出器の静電気ノイズ特性を把握することができる。
【００８２】
また、ステップＳ２からステップＳ６までのノイズ検出過程において、着目データラインＬ０または隣接データラインＬ±ｉの出力信号の平均値や標準偏差の統計量から、差分Ｂと閾値Ｃとを与えることで、経験的に精度よくデータラインノイズを検出することができる。
【００８３】
また、隣接データラインＬ±ｉを複数本とすることで、データラインノイズを検出精度を向上させることができる。
【００８４】
また、記憶部７を備えることで、収集過程とノイズ検出過程とを含む一連のデータラインノイズの検査方法を好適に行うことができる。
【００８５】
また、ＦＰＤ４の検査方法は、ＦＰＤ４から出力された出力信号を演算処理する機能を有していれば実現することができるので、Ｘ線撮像装置を検査装置として用いることもできる。
【００８６】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００８７】
（１）上述した実施例では、収集過程を繰り返す収集期間が終了する時刻Ｔ２に、ノイズ検出過程を繰り返すノイズ検出期間が開始するものであったがこれに限られない。少なくとも着目データラインＬ０と隣接データラインＬ±ｉの対象となるデータライン４３の出力信号があれば、ノイズ検出過程を行うことができる。よって、収集期間が開始する時刻Ｔ１から、所定時間遅れてノイズ検出期間を開始するようにして、収集過程とノイズ検出過程とを並行して行うようにしてもよい。
【００８８】
また、１回の収集過程を開始した後であって完了する前に、その収集過程で収集され始めたフレームの各データライン４３から順次に、ノイズ検出過程を行っていくように構成してもよい。
【００８９】
また、データ処理部８を、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）で実現することで、収集過程とノイズ検出過程とのリアルタイムな並行処理を好適に実現することができる。これにより、収集期間の終了とともにデータラインノイズの検査も終了させることができる。
【００９０】
（２）上述した実施例では、収集期間は１つであり、その期間にわたって一定の時間間隔で収集過程を繰り返し行うものであったが、これに限られない。たとえば、一定の時間間隔で収集過程を行う収集期間（第１期間に相当）を、収集を行わない期間（第２期間に相当）とを交互に繰り返すようにしてもよい。
【００９１】
具体的には、図７に示すように、収集過程を行う第１期間は、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの期間と、時刻ｔ３から時刻ｔ４までの期間と、時刻ｔ５から時刻ｔ６までの期間と、時刻ｔ７から時刻ｔ８までの期間である。また、収集過程を行わない第２期間は、時刻ｔ２から時刻ｔ３までの期間と、時刻ｔ４から時刻ｔ５までの期間と、時刻ｔ６から時刻ｔ７までの期間と、時刻ｔ８から時刻ｔ９までの期間である。このように第１期間と第２期間とを交互に繰り返すことで、１度に読み出される出力信号の量を低減することができる。これにより、記憶部７の負荷を低減させることができ、データ処理部８の負荷も分散させることができる。また、このように構成することで、データ処理部８の演算量を減らすことができるので、ＦＰＤ４の静電気ノイズ特性を効率よく検査することができる。
【００９２】
（３）上述した実施例では、閾値として、平均値Ａ（０）と平均値Ａ（±ｉ）から、その標準偏差を求め、この標準偏差を５倍したものを閾値Ｃとして得ていたが、これに限られない。たとえば、標準偏差を分散に変更してもよい。また、「５倍」についても適宜に変更できる
【００９３】
また、差分Ｂを、着目データラインＬ０の出力信号の平均値Ａ（０）と、着目データラインＬ０および隣接データラインＬ±ｉの出力信号の総平均値Ａとの差であるが、これに限られない。たとえば、隣接データラインＬ±ｉの出力信号のみの平均値Ａ´を求めて、この平均値Ａ´と着目データラインＬ０の出力信号の平均値Ａ（０）との差を差分としてもよい。
【００９４】
さらに、差分Ｂは、平均値の差としていたが、これに限られず、その他の統計量の差を差分としてもよい。この場合は、閾値Ｃもその統計量の標準偏差または分散に基づくものとして適宜に変更することができる。
【００９５】
（４）上述した実施例では、ステップＳ１で、Ｘ線を照射せずにＦＰＤ４から出力信号を読み出すように構成したが、これに限られない。たとえば、天板２に被検体等を載置せずに、Ｘ線管３から一様にＸ線を照射させるように構成してもよい。これによっても、ＦＰＤ４の全検出素子ｄについて一様な条件下で、出力信号を読み出すことができる。
【００９６】
（５）上述した実施例の検出素子ｄは、入射したＸ線をＸ線変換層３３によって電荷信号に直接的に変換するものであったが、これに限られない。たとえば、入射したＸ線をシンチレータによって光に変換し、光感応型の物質で形成された半導体層によってその光を電荷情報に変換する間接型の検出素子であってもよい。
【００９７】
（７）また、上述した実施例においては、Ｘ線の入射を検出するＸ線撮像装置であったが、入射するものはＸ線に限定されない。Ｘ線以外の放射線（中性子線、γ線、β線を含む）、を入射させる場合にも適用できる。
【００９８】
（８）上述した実施例では、Ｘ線検出器の用途を特定していないが、たとえば、医用分野に用いられるＸ線撮影装置に適用してもよい。また、Ｘ線以外の放射線を用いる装置にも適用することができ、また、非破壊検査、ＲＩ（Radio  Isotope）検査などの産業分野などに用いられる放射線撮影装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】実施例１に係る放射線検出器の検査方法を行う放射線撮像装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】ＦＰＤの要部の垂直断面図である。
【図３】ＦＰＤの要部の平面図である。
【図４】放射線検出器の検査方法の手順を示すフローチャートである。
【図５】放射線検出器の検査方法のタイミングチャートである。
【図６】ＦＰＤの検出面を示す模式図である。
【図７】変形例に係る放射線検出器の検査方法のタイミングチャートである。
【符号の説明】
【０１００】
４  …フラットパネル型Ｘ線検出器（ＦＰＤ）
６  …主制御部
７  …記憶部
８  …データ処理部
１１  …差分算出部
１２  …閾値算出部
１３  …比較部
１４  …発生率算出部
４３  …データライン
５０  …ＦＰＤ制御回路
ｄ  …検出素子
Ｌ０  …着目データライン
Ｌ±ｉ  …隣接データライン
Ａ（０）  …着目データラインの出力信号の平均値
Ａ  …着目データラインおよび隣接データラインの出力信号の総平均値Ａ
Ｂ  …差分
Ｃ  …閾値
σ  …発生率
【図１】
2006308519.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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