(57)【要約】  【課題】  偏芯量が低減された薄肉ディスクを高精度で成型する際に使用する情報記録媒体用スタンパを提供すること。  【解決手段】  スタンパ本体１１の表面に、情報記録媒体に微細パターンを転写するための凹凸形成部１３と、情報記録媒体の内周孔に対応する位置に形成され、ビッカース硬度が４５０以上の円柱状突起部１２とを備えた情報記録媒体用スタンパ１００であって、これを取り付けた金型の凹部と円柱状突起部１２とを嵌合させることにより、薄肉樹脂フィルムに微細パターンの転写及び内周孔の形成を同時に行うことができ、内周孔に対して同軸性が極めて高い情報記録媒体用基板を作成することが出来る。  【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周孔を有する情報記録媒体に微細パターンを転写するためのスタンパであって、
前記微細パターンが形成された平坦部と、
前記平坦部が設けられた面側の、前記情報記録媒体の前記内周孔に対応する位置に形成された円柱状突起部と、
を備えることを特徴とする情報記録媒体用スタンパ。
【請求項２】
前記円柱状突起部の表面は、Ｎｉ−Ｐの無電界めっき層であることを特徴とする請求項１記載の情報記録媒体用スタンパ。
【請求項３】
前記平坦部は、所定の半径位置に形成された少なくとも同心円又はスパイラル状の溝もしくはピット列による情報記録トラックを有し、
前記情報記録トラックは、当該情報記録トラックの仮想中心と前記円柱状突起部の仮想中心との偏芯量（Ｌ）が１５μｍ以下になるように形成されていることを特徴とする請求項１記載の情報記録媒体用スタンパ。
【請求項４】
前記平坦部と前記円柱状突起部とが一体に成型されていることを特徴とする請求項１記載の情報記録媒体用スタンパ。
【請求項５】
前記円柱状突起部のビッカース硬度が４５０以上であることを特徴とする請求項１記載の情報記録媒体用スタンパ。
【請求項６】
内周孔を有する情報記録媒体を成型するための金型であって、
前記情報記録媒体の前記内周孔に対応する位置に円柱状突起部を備えたスタンパを取り付ける第１の金型と、
前記スタンパの前記円柱状突起部と嵌合することにより前記情報記録媒体の前記内周孔を形成するための凹部を備える第２の金型と、
から構成されることを特徴とする情報記録媒体用金型。
【請求項７】
前記第１の金型に内蔵された加熱ヒーターと、前記第２の金型に内蔵された加熱ヒーターとを、さらに有することを特徴とする請求項６記載の情報記録媒体用金型。
【請求項８】
前記スタンパは、所定の半径位置に形成された少なくとも同心円又はスパイラル状の溝もしくはピット列による情報記録トラックが形成された平坦部を有し、前記情報記録トラックは、当該情報記録トラックの仮想中心と前記円柱状突起部の仮想中心との偏芯量（Ｌ）が１５μｍ以下になるように形成されていることを特徴とする請求項６記載の情報記録媒体用金型。
【請求項９】
内周孔を有する情報記録媒体であって、
請求項１記載の情報記録媒体用スタンパを用いて成型されたことを特徴とする情報記録媒体。
【請求項１０】
前記内周孔の外側に、所定の半径位置に形成された少なくとも同心円又はスパイラル状の溝もしくはピット列による情報記録トラックが形成された情報記録領域を有し、
前記情報記録トラックは、当該情報記録トラックの仮想中心と前記内周孔の仮想中心との偏芯量（Ｌ）が１５μｍ以下であることを特徴とする請求項９記載の情報記録媒体。
【請求項１１】
前記情報記録トラックを有する面には、段差が形成されないことを特徴とする請求項９記載の情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報記録媒体用スタンパ等に関し、より詳しくは、極めて薄い基板を成型するのに好適な情報記録媒体用スタンパ等に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、コンピューター用の情報量は拡大の一途を辿っているのに加え、音楽・静止画像・動画像の情報もディジタル化が進み、こうした用途においても情報量は飛躍的に増大している。例えば、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）は、情報信号面が転写された厚さ０．６ｍｍの円盤状の成形基板と、信号面の無い同様の厚さの基板を、信号面を内側にして製造される。また、ＤＶＤ−ＲＡＭの両面記録製品は、情報信号面が転写された厚さ０．６ｍｍの円盤状の２枚の成形基板を、情報信号面を内側にして貼り合わせて製造される。
【０００３】
更に、近年の光ディスクの大容量化に伴い、光学系も赤色レーザーから青色レーザーへと変わり、デジタル放送のＨＤＴＶ（Ｈｉｇｈ  Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ  Ｔｅｌｅｖｉｓｉｏｎ）クラスの画質で録画を行うために、ＢＤ（Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ）が製品化されている。このＢＤは、厚さ１．１ｍｍの基板に情報信号面を転写し、その情報信号面に厚さ０．１ｍｍのカバー層が設けられている。また、ＢＤの２層構造ディスクの記録容量は５０ＧＢにも達する。
【０００４】
従来、このような光ディスク用基板を製造する方法としては、射出成型が一般的である。例えば、図４は、従来の情報記録媒体用金型を説明するための図である。図４に示された情報記録媒体用金型４００は、可動金型４１が取り付けられた可動プラテン４０１と、固定金型４２が取り付けられている固定プラテン４０２と、から構成されている。可動金型４１と固定金型４２とは、軸ＡＸと同軸状に対向して配置されており、それらの間に金型キャビティ４７が画成される。ここでは、図４に示すように、可動金型４１の中心に設けられている円筒状のカットパンチ４４の中心軸を軸ＡＸとしている。固定金型４２の可動金型４１と対向する固定鏡面には、情報記録媒体用スタンパ５０が固定されている。情報記録媒体用スタンパ５０の内周は、スタンパホルダー４３により機械的に保持されており、また、情報記録媒体用スタンパ５０の外周部は、図示されない吸引溝により吸引保持されている。
【０００５】
情報記録媒体用金型４００の基本的な動作は以下の通りである。ノズルシリンダ（図示せず）内で溶融された樹脂は、スプールブッシュ４５を通り金型キャビティ４７内に充填される。樹脂が充填された後、可動プラテン４０１内に収容されている突き出しロッド（図示せず）によりカットパンチ４４がスプールブッシュ４５に向かって押し出される。カットパンチ４４の先端部が固定ブッシュ内に挿入されるまで押し出されると、金型キャビティ４７がゲートシールされ、光ディスク用基板の内周穴が成形される。ゲートシールされた金型キャビティ４７内の溶融樹脂は、可動金型４１により冷却されながら型締めされる。冷却後、可動金型４１が軸ＡＸに沿って型開き方向に移動し、固化した成形基板が固定鏡面から剥離される。次いで、エジェクター４６を軸ＡＸに沿って型締め方向に移動させて成形基板を型締め方向に押し出し、成形基板を可動鏡面から離型する。こうして光ディスク用基板が得られる。
【０００６】
一方、光ディスクの大容量化の求めに応じ、高ＮＡレンズの使用、青色レーザーを用いた光スポットサイズの微小化、トラックピッチの狭小化等により、光ディスクの高記録密度化が進んでいる。このため、光ディスクのトラッキングを、これまで以上に一層高精度に行わなければならず、トラッキングを困難にする一因として考えられる光ディスク用基板の偏芯量を低減する必要性が生じている。
射出成型においては、金型の調芯は、可動金型４１と固定金型４２とのガイドリングに設けられたテーパー部の嵌合により行われるため、可動プラテン４０１と固定プラテン４０２の平行度等の様々な要因により偏芯精度が左右されるという問題がある。尚、ここで「偏芯」とは、光ディスク用基板上に形成された情報記録トラックの仮想中心と、光ディスク用基板内周孔の仮想中心と、の「ずれ量」をいう。
【０００７】
このため、このような射出成型における偏芯量を低減する手法としては、例えば、一対の金型にそれぞれ設けられた凸部及び凹部を互いに嵌合させてキャビティのゲートシールを行い、光ディスク用基板の内周穴を成形する方法が報告されている（特許文献１参照）。また、射出成型以外の方法としては、例えば、予め微細なパターン形状が形成されたシリコーンウエハー等の原盤上に熱硬化性樹脂を塗布した後に基盤を貼り合わせ、熱硬化性樹脂を硬化させて原盤上の微細なパターンを転写する方法において、原盤の中央部に突起を設けることにより偏芯量を低減する手法が挙げられる（特許文献２参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−００９３９２号公報
【特許文献２】特開平１０−２６１２４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、光ディスクの記録容量は、さらなる大容量化を求められている。例えば、ＢＤの２層媒体は、その記録容量５０ＧＢのディスクで、ＨＤＴＶの動画をＭＰＥＧ２  ＴＳ（Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｓｔｒｅａｍ）で記録した場合、記録可能な時間は約２７０分となる。現在の民生用のレコーダーには、ＨＤＤが標準搭載されており、その搭載容量は、最低クラスのレコーダーでも光ディスクのそれを上回っている。
このような光ディスクの記録容量の大容量化の手法には、様々なアプローチがある。例えば、ホログラム記録や近接場記録などである。その中でも多層記録を考えた場合、厚さが０．１ｍｍ以下の極めて薄い薄肉ディスクを成形し、これを複数枚積層した多層化ディスクとして用いる方法が簡便である。
【００１０】
しかし、射出成型機を用いる方法では、厚さ１ｍｍ程度の樹脂製基板であれば、特許文献１に記載された方法を用いることにより、偏芯精度を高めた成型が可能であるが、厚さ０．１ｍｍ以下の薄肉成形は、高速射出、高型締力の大型射出成型機を用いても困難であるという問題がある。
このため、薄肉ディスクを成形する方法としては、例えば、ナノインプリント法、熱転写法、超臨界成形法等のように、予め調製した厚さ０．１ｍｍ以下の薄い樹脂製シートに微細パターンを転写する方法が、実用化に向けて検討されているのが現状である。従って、このような方法を用いて薄肉ディスクを成形する場合に生じる偏芯を、最小限にとどめるための有効な手法が求められている。
【００１１】
本発明は、このように、偏芯量が低減された薄肉ディスクを高精度で成型する際に生じる問題を解決するためになされたものである。
即ち、本発明の目的は、偏芯量が低減された薄肉ディスクを高精度で成型する際に使用する情報記録媒体用スタンパを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、スタンパ用金型を提供することにある。
さらに、本発明の他の目的は、偏芯量が低減された薄肉ディスクを基板として有する情報記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために、本発明においては、従来の射出成型機におけるカットパンチと同様な効能を有する突起部をスタンパに形成している。
即ち、本発明によれば、内周孔を有する情報記録媒体に微細パターンを転写するためのスタンパであって、微細パターンが形成された平坦部と、平坦部が設けられた面側の、情報記録媒体の内周孔に対応する位置に形成された円柱状突起部と、を備えることを特徴とする情報記録媒体用スタンパが提供される。
ここで、本発明が適用される情報記録媒体用スタンパの円柱状突起部は、従来の射出成型機におけるカットパンチと同様な効能を有するために、そのビッカース硬度が４５０以上であることが好ましい。また、ビッカース硬度が４５０以上であることを達成する手法としては、円柱状突起部の表面が、Ｎｉ−Ｐの無電界めっき層により形成されていることが好ましい。
【００１３】
また、本発明が適用される情報記録媒体用スタンパの平坦部は、所定の半径位置に形成された少なくとも同心円又はスパイラル状の溝もしくはピット列による情報記録トラックを有し、この情報記録トラックは、情報記録トラックの仮想中心と円柱状突起部の仮想中心との偏芯量（Ｌ）が１５μｍ以下になるように形成されていることが好ましい。このような偏芯量（Ｌ）が小さいスタンパを用いることにより、高精度なトラッキングが可能な高記録密度の光ディスク用基板を作製することができる。
ここで、本発明が適用される情報記録媒体用スタンパの平坦部と円柱状突起部とが一体に成型されていることが好ましく、光ディスク用基板の偏芯精度を左右する要因をさらに低減することができる。
【００１４】
次に、本発明によれば、内周孔を有する情報記録媒体を成型するための金型であって、情報記録媒体の内周孔に対応する位置に円柱状突起部を備えたスタンパを取り付ける第１の金型と、スタンパの円柱状突起部と嵌合することにより情報記録媒体の内周孔を形成するための凹部を備える第２の金型と、から構成されることを特徴とする情報記録媒体用金型が提供される。即ち、本発明が適用される情報記録媒体用金型は、可動金型に取り付けたスタンパの円柱状突起部を、対向する金型鏡面に設けられた凹部に嵌合させることにより、薄肉樹脂フィルムの中心に内周孔を形成するものである。
ここで、本発明が適用される情報記録媒体用金型は、第１の金型に内蔵された加熱ヒーターと第２の金型に内蔵された加熱ヒーターとを有する熱転写装置に取り付けられて用いられることが好ましい。
【００１５】
また、本発明によれば、上述した情報記録媒体用スタンパを用いることにより、内周孔を有する、偏芯量が極めて小さい情報記録媒体が提供される。即ち、情報記録媒体用スタンパの円柱状突起部を金型の凹部に嵌合させることにより、薄肉樹脂フィルムに微細パターンの転写及び内周孔の形成を同時に行うことができ、光ディスクの偏芯の要因が低減する。この結果、内周孔に対して同軸性が極めて高い光ディスク用基板が作製できる。
【００１６】
ここで、本発明が適用される内周孔を有する情報記録媒体は、内周孔の外側に、所定の半径位置に形成された少なくとも同心円又はスパイラル状の溝もしくはピット列による情報記録トラックが形成された情報記録領域を有し、情報記録トラックは、情報記録トラックの仮想中心と内周孔の仮想中心との偏芯量（Ｌ）が１５μｍ以下であることを特徴としている。
また、情報記録トラックを有する面には、段差が形成されないことを特徴とすれば、情報記録領域を拡げることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、偏芯量が低減された薄肉ディスクを高精度で成型する際に使用する情報記録媒体用スタンパが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面に基づき、本発明を実施するための最良の形態（実施の形態）について詳述する。尚、本発明は、以下の実施の形態に限定されない。
図１は、本実施の形態が適用される情報記録媒体用スタンパを説明するための図である。図１（ａ）は断面図であり、図１（ｂ）は平面図である。情報記録媒体用スタンパ１００は、例えば、ニッケル金属からなる円盤状のスタンパ本体１１から構成されている。スタンパ本体１１の片面側には、内周孔を有する情報記録媒体用基板を成形するために、情報記録媒体の中心孔に相当する位置に、スタンパ本体１１と一体に形成された円柱状突起部１２を備えている。また、円柱状突起部１２と同じ面側の平坦部には、情報記録媒体用基板の表面に所定のトラックピッチ（Ｔ）の微細パターンを転写するための凹凸形成部１３が形成されている。
スタンパ本体１１の厚さ（ｄ）は、特に限定されないが、通常、２８０μｍ〜３００μｍである。尚、スタンパ本体１１の凹凸形成部１３と反対側の面は、鏡面研磨されている。
【００１９】
円柱状突起部１２は、後述するように、情報記録媒体用スタンパ１００を成形金型に取り付け、薄肉樹脂フィルムを押圧して情報記録媒体用基板を形成する場合に、前述した情報記録媒体用金型４００（図４）におけるカットパンチ４４（図４）と同様な効能を有する。即ち、成形金型の可動金型に取り付けた情報記録媒体用スタンパ１００の円柱状突起部１２を、対向する金型鏡面に設けられた凹部に嵌合させることにより、情報記録媒体用基板の中心に内周孔を形成する。このため、円柱状突起部１２のビッカース硬度は、４５０以上であることが望ましい。円柱状突起部１２のビッカース硬度が４５０以上であることを実現するために、後述するように、円柱状突起部１２の表面は、Ｎｉ−Ｐの無電界めっき層により形成されていることが好ましい。
また、円柱状突起部１２の高さ（ｈ）は、特に限定されないが、後述する情報記録媒体を作製する方法において使用する薄肉樹脂フィルムの厚さ（ｈｓ）より大きくなるように形成されている。即ち、通常、ｈ＞ｈｓであり、好ましくは、ｈ＞２ｈｓである。
【００２０】
凹凸形成部１３には、スタンパ本体１１の所定の半径位置に、少なくとも同心円またはスパイラル状の溝もしくはピット列による情報記録トラックが、所定のトラックピッチ（Ｔ）で形成されている。
凹凸形成部１３に形成された情報記録トラックの仮想中心と、円柱状突起１２の仮想中心との偏芯量（Ｌ）が、情報記録トラックに対して１５μｍ以下、好ましくは、５μｍ以下となるように形成されており、偏芯が極めて小さい状態に調製されている。
【００２１】
次に、本実施の形態が適用される情報記録媒体用スタンパの製造方法について説明する。
図２は、情報記録媒体用スタンパの作製方法を説明するための図である。先ず、図２（ａ）に示すように、表面を充分平滑に研磨したガラス基板２１を回転基盤（図示せず）上に載置し、所定の回転数で回転した状態で、ガラス基板２１上に、露光するとアルカリ可溶（ポジ型）となる感光性のフォトレジスト２３を塗布する（レジスト塗布）。ここで、ガラス基板２１は、中央部に、深さ（Ｄ）１００μｍ以上の円柱状溝部２２が形成されている。
【００２２】
次に、図２（ｂ）に示すように、露光装置を用いてレーザー光でフォトレジスト２３にランド／グルーブの潜像を形成する（レーザーカッティング）。この露光は、ガラス基板２１を回転させながら、カッティングレーザーをガラス基板２１の半径方向に一回転ごとに等距離ずつ移動させることにより、一定のトラックピッチでスパイラル状軌跡に沿って行われる。尚、ガラス基板２１は、ガラス（ＳｉＯ２）の他、シリコン（Ｓｉ）基板でも良い。
次に、図２（ｃ）に示すように、アルカリ現像液を用いる現像処理により、ガラス基板２１上にフォトレジストパターン２４を顕在化させる（現像）。尚、ネガ型のフォトレジストを用いた場合でも基本的には同様の工程になる。
【００２３】
続いて、図２（ｄ）に示すように、フォトレジストパターン２４上に導電膜２６を形成する（電極形成）。導電膜２６を形成する方法は、特に限定されないが、通常、スパッタリングまたは無電解めっき処理が挙げられる。これらの中でも、無電解めっき処理は、情報記録媒体用スタンパ２８（図２（ｆ））の円柱状突起部２９（図２（ｆ））のビッカース硬度が増大し、カットパンチの効能を高めることができるので好ましい。
【００２４】
無電解めっき処理に使用する無電解めっき液としては、例えば、銅、ニッケル、パラジウム、金、白金、ロジウム等の金属イオンを含んだものが好ましく用いられる。これらの中でも、ニッケルが好ましい。無電解めっき液は、通常、上記金属イオンの水溶性金属塩に、次亜リン酸ナトリウム、ヒドラジン、水素化ホウ素ナトリウム等の還元剤、酢酸ナトリウム、フェニレンジアミンや酒石酸ナトリウムカリウム等の錯化剤が配合されており、一般には無電解めっき液として市販されており容易にかつ安価に入手することができる。これらの無電解めっき液中でも、金属イオンとして、銅、ニッケルまたはこれらの合金を含有するものが好ましい。
【００２５】
このような無電解めっき液としては、例えば、Ｎｉ−Ｂ系無電解めっき液、Ｎｉ−Ｐ系無電解めっき液、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｐ系無電解めっき液、Ｃｕ系無電解めっき液等が挙げられる。これらの中でも、Ｎｉ−Ｐ系無電解めっき液が好ましい。
Ｎｉ−Ｂ系無電解めっき液は、硫酸ニッケル、錯化剤、ホウ素含有有機還元剤を含み、さらに、めっき液の建浴用または補充用液として２，２’−チオジエタノール、チオジグリコール酸等が含まれる。Ｎｉ−Ｐ系無電解めっき液は、硫酸ニッケル、塩化ニッケル、炭酸ニッケル等のニッケル塩；クエン酸、リンゴ酸、コハク酸等の錯化剤；次亜リン酸、次亜リン酸ナトリウム等の還元剤；鉄、タングステン、モリブデン、クロム等の成分の水溶性化合物を含有し、さらに、必要に応じて、公知の安定剤等を含有する。水溶性化合物としては、硫酸第一鉄、塩化第一鉄、硫酸第一鉄アンモニウム等の水溶性鉄化合物；タングステン酸ナトリウム、タングステン酸カリウム、タングステン酸アンモニウム等の水溶性タングステン化合物；モリブデン酸ナトリウム、モリブデン酸アンモニウム、塩化モリブデン等の水溶性モリブデン化合物；塩化クロム、臭化クロム、硫酸クロム等の水溶性クロム化合物が例示できる。これらの水溶性化合物は、一種単独又は二種以上混合して用いることができる。各成分配合量については、上述した組成の無電解ニッケル多元合金めっき皮膜を形成できる範囲内で適宜調整すればよい。
【００２６】
Ｎｉ−Ｃｕ−Ｐ系無電解めっき液は、硫酸ニッケル等のニッケル塩、硫酸銅等の銅塩、ホスフィン酸ナトリウム等の還元剤及びクエン酸三ナトリウム等の錯化剤を主成分として含有する。Ｃｕ系無電解めっき液は、硫酸銅、塩化銅、酸化銅等の第二銅塩；エチレンジアミン四酢酸またはその塩（ナトリウム塩、カリウム塩等）、ロッシェル塩等の銅錯化剤；ホルムアルデヒド等の還元剤を含有する。さらに、三塩化砒素、三酢酸砒素、ひ酸、三酸化二ひ素、二水酸化トリフェニルひ素、アルサニル酸等のＡｓ化合物；三酸化二アンチモン、五酸化二アンチモン、塩化アンチモン、吐酒石、しゅう酸アンチモンカリウム、ヘキサフルオロアンチモン酸塩、ヘキサクロロアンチモン酸塩等のＳｂ化合物；硝酸ビスマス、水酸化ビスマス、しゅう酸ビスマス、酢酸酸化ビスマス、ホウ酸ビスマス、酸化ビスマス等のＢｉ化合物；硫酸ベリリウム、塩化ベリリウム、硝酸ベリリウム、酢酸ベリリウム、臭化ベリリウム、ベリリウム酸ナトリウム、しゅう酸ベリリウム、フッ化ベリリウム等のＢｅ化合物を含有するものが挙げられる。
【００２７】
無電解めっき液とガラス基板２１とを接触させる方法としては、ガラス基板２１を無電解めっき液中に浸漬することが好ましい。無電解めっき液とガラス基板２１とを接触させる温度としては、１５℃〜１２０℃が好ましく、さらに好ましくは２５℃〜８５℃である。接触させる時間は、例えば、１分〜１６時間であり、１０分〜６０分間程度であることが好ましい。
【００２８】
続いて、図２（ｅ）に示すように、フォトレジストパターン２４上に形成された導電膜２６を電極として、電気めっき（電鋳）を行い、例えば、厚さ（ｄ）３００μｍ程度のめっき膜２７を形成する（めっき）。
電気めっき処理（電鋳）において使用されるめっき液は、通常、溶媒に、１種又は２種類以上の金属塩、有機電解質、リン酸等の酸、アルカリ物質等の各種電解質を溶解させたものが用いられる。溶媒としては、極性溶媒であれば特に限定されないが、例えば、水；メタノール、エタノール等のアルコール類；エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート類；ジメチルカーボネート、エチルメチルカーボネート、ジエチルカーボネート等の直鎖状カーボネート類、又はこれらの混合溶媒等が挙げられる。
【００２９】
金属塩としては、析出させる金属、合金等を考慮して適宜選択される。金属塩の金属としては、例えば、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ａｓ、Ｃｒ、Ｓｅ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｔｅ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｈｇ、Ｔｌ、Ｐｂ、Ｂｉ、Ｗ、Ｐｏ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ等が挙げられる。これらの中でも、Ｎｉ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｓｎ、Ｚｎが好ましく、さらに、Ｎｉが特に好ましい。尚、これらの金属は、それぞれ単独で、または、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００３０】
めっき液の主成分である金属塩の具体例としては、例えば、ニッケルめっき液としては、硫酸ニッケル、硫酸ニッケル、塩化ニッケル、スルファミン酸ニッケル、塩化ニッケル等；銅めっき液としては、結晶硫酸銅、ホウフッ化銅、シアン化銅、ピロリン酸銅等；クロムめっき液としては、クロム酸等；亜鉛めっき液としては、硫酸亜鉛、酸化亜鉛等；カドミウムめっき液としては、酸化カドミウム等；スズめっき液としては、硫酸第一スズ、スズ酸カリ等；銀めっき液としては、シアン化銀等；金めっき液としては、金；白金めっき液としては、塩化白金酸等；ロジウムめっき液としては、ロジウム、リン酸ロジウム等；ルテニウムめっき液としては、ルテニウム錯体等；黄銅めっき液としては、シアン化第一銅等が挙げられる。
【００３１】
ガラス基板２１に設けたフォトレジストパターン２４上にめっき膜２７を形成した後、図２（ｆ）に示すように、めっき膜２７を剥離し、洗浄、その裏面を平滑に研磨する打ち抜き加工を行い、光ディスク用基板を得るための情報記録媒体用スタンパ２８を作製する（めっき膜剥離）。ここで、情報記録媒体用スタンパ２８は、中央部に円柱状突起部２９が形成されている。
【００３２】
次に、本実施の形態が適用される情報記録媒体用スタンパを取り付けた金型について説明する。
図３は、本実施の形態が適用される情報記録媒体用金型を説明するための図である。図３に示すように、情報記録媒体用金型３００は、上下方向に移動が可能な第１の金型３１と、固定された第２の金型３２とから構成されている。第１の金型３１には、マイクロ波による急速加熱及び温度調節が可能な可動側ヒーター３３が内蔵され、また同様に、第２の金型３２には、マイクロ波による急速加熱及び温度調節が可能な可動側ヒーター３３が内蔵されている。第１の金型３１には、適当な保持手段（図示せず）により情報記録媒体用スタンパ１００が取り付けられており、情報記録媒体用スタンパ１００の片面に形成された円柱状突起部１２及び凹凸形成部１３が第２の金型３２側に向けられている。第２の金型３２の第１の金型３１に対向する面上には薄肉樹脂フィルム３７が載置され、薄肉樹脂フィルム３７の外周部が吸引溝３５により吸引されて固定されている。第２の金型３２には、情報記録媒体用スタンパ１００の円柱状突起部１２が嵌合するように形成された金型凹部３６が設けられている。
【００３３】
次に、情報記録媒体用金型３００を用いて情報記録媒体を作製する方法について説明する。
図３に示すように、第１の金型３１を薄肉樹脂フィルム３７の方向（矢印Ａ）へ押し下げ、可動側ヒーター３３により、第１の金型３１を所定の温度まで加熱する。第１の金型３１を加熱する温度は、薄肉樹脂フィルム３７のガラス転移温度より１０℃以上、好ましくは３０℃以上高温の温度である。但し、通常、３００℃以下、好ましくは２５０℃以下である。加熱温度が過度に高いと、成型後の薄肉樹脂フィルム３７を冷却するために長時間要し、生産性が低下するので好ましくない。尚、第１の金型３１と同様に、第２の金型３２も固定側ヒーター３４により所定の温度まで加熱する。
【００３４】
次に、設定温度まで加熱した第１の金型３１を、第２の金型３２上に固定された薄肉樹脂フィルム３７に押圧し、情報記録媒体用スタンパ１００の中央部に設けられた円柱状突起部１２と第２の金型３２の金型凹部３６とを嵌合させる。このとき、情報記録媒体用スタンパ１００の表面に形成された凹凸形成部１３の微細パターンが薄肉樹脂フィルム３７に転写されるとともに、薄肉樹脂フィルム３７の中央部が、情報記録媒体用スタンパ１００の円柱状突起部１２によって打ち抜かれ、内周孔が形成される。
【００３５】
薄肉樹脂フィルム３７の厚さは、特に限定されないが、通常、５０μｍ〜１５０μｍである。薄肉樹脂フィルム３７の材料は、熱可塑性樹脂であれば特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂；ポリアミド６、ポリアミド６６等のポリアミド樹脂；ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂；ポリメタクリレート等のポリアクリル樹脂等の他、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリノルボルネン等が挙げられる。
【００３６】
上述したように、本実施の形態が適用される情報記録媒体用金型３００は、第１の金型３１に取り付けた情報記録媒体用スタンパ１００の中央部に設けられた円柱状突起部１２が、従来の情報記録媒体用金型４００（図４）におけるカットパンチ４４（図４）と同様な効能を有し、この円柱状突起部１２と第２の金型３２の金型鏡面に設けられた金型凹部３６とが嵌合することによって、薄肉樹脂フィルム３７に内周孔を形成するため、内周孔に対する光ディスクの偏芯量（Ｌ）を極めて小さい範囲にまで低減することができる。
即ち、情報記録媒体用金型３００によれば、従来の射出成型において光ディスクの偏芯を生じる要因である独立可動のカットパンチを用いず、情報記録媒体用スタンパ１００を取り付けた第１の金型３１を、第２の金型３２上に固定された薄肉樹脂フィルム３７に押圧する工程により、薄肉樹脂フィルム３７に微細パターンの転写及び内周孔の形成を同時に行うことができる。このため、光ディスクの偏芯の要因が、情報記録媒体用スタンパ１００上に設けた円柱状突起部１２とマスタリング時の情報記録トラックとの間に生じる偏芯のみとなり、内周孔に対して同軸性が極めて高い薄肉の情報記録媒体用基板を作成することが出来る。
また、情報記録媒体用金型３００によれば、薄肉樹脂フィルム３７に微細パターンの転写及び内周孔の形成を同時に行うことができるため、情報記録トラックが転写された面には、段差が形成されない。このため、情報記録媒体の情報記録領域を拡大することができる。
【００３７】
本実施の形態が適用される情報記録媒体用金型３００を用いて成形された極薄肉の情報記録媒体用基板は、上述したように、偏芯量（Ｌ）が極めて小さく、同軸性が高められている。具体的には、情報記録媒体用金型３００を用いて成形された、厚さ０．０７５ｍｍのポリカーボネート樹脂からなる薄肉樹脂フィルム３７を、外径１２０ｍｍの情報記録媒体用基板とした場合の偏芯量（Ｌ）は、片側偏芯量として、通常、１５．０μｍ（０−Ｐ）以下、好ましくは、５．０μｍ（０−Ｐ）以下である。尚、偏芯量（Ｌ）は、光学顕微鏡によって求められる。
【００３８】
ここで、一般に光ディスクの偏芯に起因するトラッキングサーボの追従誤差（ｅ）の許容量は、通常、トラックピッチ（Ｔ）の（１／２０）程度である。また、サーボの原理によれば、追従誤差（ｅ）とサーボゲイン（Ｇ）との関係は、ｅ＝Ｌ／（１＋Ｇ）となる。通常、Ｇは、１０００倍以上であるので、トラックピッチ（Ｔ）、偏芯量（Ｌ）及びサーボゲイン（Ｇ）との間に、Ｔ／２０≧Ｌ／（１＋Ｇ）≒Ｌ／１０００の関係が成り立つ。
このような関係より、Ｌ≦５０Ｔなる関係式を満たすようなディスクを作成すれば、誤差の少ないトラッキングサーボが可能となる。
現在提案されている、ＢＤ等の青色レーザーを記録再生光学系に用いた高記録密度ディスクにおけるトラックピッチ（Ｔ）は、０．３２μｍであるから、Ｌ≦５０Ｔ＝１６μｍとなる。一方、前述したように、本実施の形態が適用される情報記録媒体用金型３００は、これを用いることにより、極薄肉且つ偏芯量（Ｌ）が１５μｍ以下の情報記録媒体用基板を作製することができるから、ＢＤ等の青色レーザーに対応する高記録密度ディスクを成型することができる。
【００３９】
以上詳述したように、本実施の形態が適用される情報記録媒体用スタンパ１００は、従来の射出成型機におけるカットパンチと同様な効能を有する円柱状突起部１２を中央部に備えることにより、これを取り付けた情報記録媒体用金型３００を用いて、薄肉樹脂フィルム３７に微細パターンの転写及び内周孔の形成を同時に行うことができる。このため、光ディスクの偏芯の要因が低減し、内周孔に対して同軸性が極めて高い情報記録媒体用基板を作成することが出来る。また、部品点数が減少するため、金型の構造が単純になり、金型の製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本実施の形態が適用される情報記録媒体用スタンパを説明するための図である。
【図２】情報記録媒体用スタンパの作製方法を説明するための図である。
【図３】本実施の形態が適用される情報記録媒体用金型を説明するための図である。
【図４】従来の情報記録媒体用金型を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４１】
１１…スタンパ本体、１２,２９…円柱状突起部、１３…凹凸形成部、２１…ガラス基板、２２…円柱状溝部、２３…フォトレジスト、２４…フォトレジストパターン、２６…導電膜、２７…めっき膜、２８,５０,１００…情報記録媒体用スタンパ、３１…第１の金型、３２…第２の金型、３３…可動側ヒーター、３４…固定側ヒーター、３５…吸引溝、３６…金型凹部、３７…薄肉樹脂フィルム、４１…可動金型、４２…固定金型、４３…スタンパホルダー、４４…カットパンチ、４５…スプールブッシュ、４６…エジェクター、４７…金型キャビティ、３００，４００…情報記録媒体用金型、４０１…可動プラテン、４０２…固定プラテン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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