(57)【要約】【課題】  ワイヤ案内溝の偏摩耗や、ワイヤがワイヤガイド部材に潜り込むような潜り込み摩耗を抑制することができるワイヤソーのワイヤガイド部材を提供すること。【解決手段】  ワイヤソーのワイヤ５０を案内するワイヤガイド部材１は、外周面に形成されたワイヤ案内溝３と、ワイヤ案内溝３で周方向に離間させて埋設された複数の耐摩耗部材２とを備える。耐摩耗部材２には、ワイヤ案内溝３の表面よりも硬い材料を用いる。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面に形成されたワイヤ案内溝と、
前記ワイヤ案内溝で周方向に離間させて埋設され、前記ワイヤ案内溝の表面よりも硬い複数の耐摩耗部材と、を備えるワイヤソーのワイヤガイド部材。
【請求項２】
前記耐摩耗部材の硬さは、ガイドするワイヤの硬さと同程度以上であることを特徴とする請求項１に記載のワイヤガイド部材。
【請求項３】
前記耐摩耗部材の硬さは、ガイドするワイヤと共に用いられる砥粒の硬さと同程度以上であることを特徴とする請求項１もしくは請求項２に記載のワイヤガイド部材。
【請求項４】
前記耐摩耗部材は、ダイヤモンドであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のワイヤガイド部材。
【請求項５】
前記外周面に、第１の溝群と第２の溝群とからなる複数本の前記ワイヤ案内溝が形成され、
前記耐摩耗部材は、前記第１の溝群と前記第２の溝群のうち、ガイドするワイヤから受ける荷重が大きい溝群のワイヤ案内溝の少なくとも１本に埋設されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のワイヤガイド部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤソーのワイヤガイド部材に関するものであり、特に、ワイヤソーの溝ローラやガイドプーリに関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤソーは、高速で走行させたワイヤを被加工物に押し当てることで切断する装置であり、主に硬脆材の切断に用いられる。具体的には、シリコン、水晶、サファイア、ネオジウム、石材などの切断に適しており、これらの材料について高い寸法精度で薄板に切断する精密切断にも用いられる。
【０００３】
一般的にワイヤソーの固定砥粒ワイヤは、表面にダイヤモンド等の硬脆材からなる砥粒を固着させる。一方、ワイヤを案内するワイヤガイド部材である溝ローラやガイドプーリにおいて、ワイヤとの接触面となる溝は、ワイヤを傷めずに、かつ、ワイヤが滑らないようにするためゴムやウレタン等の樹脂材料で形成することが一般的である。そのため、使用に伴い溝ローラやガイドプーリの溝が摩耗することは避けられず、特に精密切断では、摩耗が原因で長期に渡って精度を維持することが困難であったり、溝形状の変形でワイヤが抜けにくくなり、断線することがあった。
【０００４】
このような摩耗への対策としては、ワイヤガイド部材の適切な交換時期を知るために、ワイヤが走行する溝よりも内面側に一定の間隔で摩耗の目印となる空洞を設けたり、異なる材質の材料を埋め込んだりすることで、一定量の摩耗が進行したときにその目印を露出するようにさせたワイヤガイド部材が知られている（特許文献１参照）。
【０００５】
また、ワイヤに固着された砥粒と同程度の硬度を有する物質によってワイヤガイド部材の表面をコーティングすることで、耐摩耗性を向上させることが知られている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平２０００−２９１７８４号
【特許文献２】特開平１１−９９４６５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図７は、摩耗が進んだワイヤガイド部材２０１（図１における溝ローラ１０、ガイドプーリ２０に相当）のワイヤ案内溝２０３における軸線方向に垂直な断面を示す模式図である。硬脆材を切削するワイヤ（図示せず）はウレタン等で形成されたワイヤガイド部材をも切削するため、使用開始前は円形の輪郭を有しているワイヤガイド部材２０１のワイヤ案内溝２０３は、使用に伴って摩耗していく。
【０００７】
しかしながら、使用時にワイヤ案内溝２０３がワイヤから受ける荷重は均一でないため、ワイヤ案内溝２０３の輪郭は円形を保って摩耗せずに、図７で模式的に示されるように円形から外れて歪んだ輪郭２０３ｂへ摩耗していく（以下、このような摩耗を「偏摩耗」という）。
【０００８】
図１及び図２に示されるような１本のワイヤが複数周にわたって巻回された溝ローラ１０においては、ワイヤ巻取・送出部１１のワイヤ案内溝で、他のワイヤ案内部１２のワイヤ案内溝と比べて、偏摩耗の現象は顕著に現れる。これは、図１に示されるガイドプーリ２０からの巻き取り及びガイドプーリ２０への送り出しが行われるワイヤ巻取・送出部１１に案内されるワイヤ５０には、ワイヤ案内部１２の溝に案内される場合と比べて大きな張力がかかり、ワイヤ巻取・送出部１１はその大きな張力がかかったワイヤ５０からの荷重を受けるためである。
【０００９】
また、図８は、摩耗が進んだワイヤガイド部材２０１におけるワイヤ案内溝２０３の断面を示す模式図である。このように、ワイヤガイド部材２０１では、図７に示されるような偏摩耗に加えて、ワイヤガイド部材２０１の半径方向と軸方向の両方向へ当初のワイヤ案内溝２０３を広げるように摩耗することで、砥粒２５１が固着されたワイヤ２５０がワイヤガイド部材２０１に潜り込むような摩耗も発生する（以下、このような摩耗を「潜り込み摩耗」という）。この潜り込み摩耗は、巻き取り及び送り出しの際にワイヤ２５０が破断する原因となるだけでなく、上述の溝ローラ１０のような複数のワイヤ案内溝が形成されたワイヤガイド部材では溝間のピッチが崩れるとなり、切断される薄板の寸法精度が低下する原因ともなっていた。
【００１０】
上述のような問題に対して、特許文献１に記載の発明は、その目的がワイヤガイド部材の中に目印を設けて交換時期を知ることにあるため、偏摩耗や潜り込み摩耗の抑制については対策となるものではなかった。
【００１１】
また、特許文献２に記載の発明は、ローラ全体が硬くされているため、表面を樹脂材料とする場合に比べて摩耗が大きくなることで減りやすくなり、摩耗が進行した時には従来の溝ローラと同様に偏摩耗や潜り込み摩耗が発生する恐れがあった。さらに、当該発明によれば、溝ローラと接触する間、ワイヤは硬度を向上させた溝ローラの表面と常に接触するため、ワイヤの寿命も低下しやすくなっていた。加えて、ＣＶＤ法（化学気相成長法）、ＰＶＤ法（物理蒸着）、電着等の処理を必要とするため、ワイヤガイド部材の製作に手間がかかるという問題があった。
【００１２】
そこで本発明は、偏摩耗及び潜り込み摩耗を抑制することができるワイヤソーのワイヤガイド部材の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のワイヤソーのワイヤガイド部材は、外周面に形成されたワイヤ案内溝と、上記ワイヤ案内溝で周方向に離間させて埋設され、上記ワイヤ案内溝の表面よりも硬い複数の耐摩耗部材と、を備える。
【００１４】
本発明のワイヤガイド部材によれば、ワイヤ案内溝の表面よりも硬い耐摩耗部材がワイヤ案内溝に周方向に離間させて埋設されているため、歪んだ形状に溝の輪郭が摩耗する偏摩耗や、ワイヤソーのワイヤがワイヤガイド部材に潜り込むように溝が摩耗する潜り込み摩耗を抑制することができる。さらに、部分的にワイヤ案内溝を硬くするため、ワイヤ案内溝の全体を硬くする場合と比べて、ワイヤの傷みを抑制することができる。
【００１５】
上記耐摩耗部材の硬さは、ガイドするワイヤの硬さと同程度以上であることが好ましい。また、上記耐摩耗部材の硬さは、ガイドするワイヤと共に用いられる砥粒の硬さと同程度以上であることが好ましい。このように構成することで、耐摩耗部材が早期に摩耗し、偏摩耗や潜り込み摩耗が発生することを抑制できる。
【００１６】
さらに、上記耐摩耗部材は、ダイヤモンドであることが好ましい。このように構成することで、ワイヤ案内溝の表面コーティング等の処理を行わずとも、ダイヤモンドをワイヤ案内溝に埋設するだけで容易に偏摩耗や潜り込み摩耗の発生を抑制することができる。
【００１７】
また、上記外周面に、第１の溝群と第２の溝群とからなる複数本の上記ワイヤ案内溝が形成され、上記耐摩耗部材は、上記第１の溝群と上記第２の溝群のうち、ガイドするワイヤから受ける荷重が大きい溝群のワイヤ案内溝の少なくとも１本に埋設されていることが好ましい。このように構成することで、ワイヤの張力による摩耗が相対的に激しい溝群の耐摩耗性を効果的に強化するとともに、ワイヤが耐摩耗部材と接触する箇所を減らすことで、ワイヤの寿命を延ばすことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ワイヤソーのワイヤガイド部材において、偏摩耗及び潜り込み摩耗を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態にかかるワイヤガイド部材が適用されるワイヤソーを概略的に示す全体図である。図１に示すように、ワイヤソー１００は、３本の溝ローラ１０と、複数のガイドプーリ２０と、一対のワイヤリール３０Ａ，３０Ｂと、ワイヤ５０とを備えている。
【００２１】
ワイヤ５０は、鋼鉄等からなるワイヤ、もしくは、鋼鉄等からなるワイヤの外周面にダイヤモンド等の砥粒が公知の方法によって固着されたものであり、ワイヤリール３０Ａに巻回されている。溝ローラ１０と、ガイドプーリ２０とは、図示しない軸及び軸受等の手段によって回転可能とされている。また、ワイヤリール３０Ａ，３０Ｂには、図示しない駆動手段が接続されている。この駆動手段によって、ワイヤリール３０Ａ，３０Ｂが回転され、ワイヤ５０はワイヤリール３０Ａからワイヤリール３０Ｂに向けて繰り出される。
【００２２】
ワイヤリール３０Ａから繰り出されたワイヤ５０は、ガイドプーリ２０に形成されたワイヤ案内溝によって案内されながら、３本の溝ローラ１０に巻きかけられる。溝ローラ１０には、複数列の平行なワイヤ案内溝が一定のピッチで形成されており、巻きかけられたワイヤ５０によってワイヤ列５０Ｒが形成される。ワイヤ列５０Ｒを形成したワイヤ５０は、他のガイドプーリ２０のワイヤ案内溝によって案内され、ワイヤリール３０Ｂに巻き取られる。なお、ワイヤリール３０Ｂに巻き取られたワイヤ５０は、駆動手段を反転させることで、ワイヤリール３０Ａに向けて繰り出すことが可能であり、ワイヤソー１００の使用にあたっては、このような駆動手段の正転と反転とを繰り返すこととなる。
【００２３】
ワイヤ列５０Ｒの下方には、シリコンインゴット等の被加工物Ｗが配置され、昇降移動が可能なテーブル（図示せず）によって、ワイヤ列５０Ｒに対して垂直に送られる。被加工物Ｗの切断は、高速走行するワイヤ５０によって形成されたワイヤ列５０Ｒに被加工物Ｗを押し当てることによって行う。
【００２４】
本発明のワイヤガイド部材とは、ワイヤを案内する部分（例えば、溝）を外周面に備えた部材のことであり、図１のワイヤソー１００においては、溝ローラ１０と、ガイドプーリ２０がこれにあたる。なお、ワイヤガイド部材は、ガイドローラ、グルーブローラ、もしくは、単にプーリと呼ばれるものを含む。ワイヤガイド部材の材料としては、ワイヤを傷めずに、かつ、ワイヤが滑らない材料である樹脂材料を用いることが好ましい。具体的には、ゴム、ウレタン、ポリエチレンなどの比較的柔らかい材料を用いることができる。
【００２５】
次に、図１に示される溝ローラ１０と、ガイドプーリ２０とを実施例として、本発明に係るワイヤガイド部材の実施の形態を説明する。
【００２６】
図２は、本発明が適用された溝ローラ１０を示す斜視図である。図２に示される溝ローラ１０Ａは、図１において符号１０（１０Ａ）で示されるものであり、ガイドプーリ２０からワイヤ５０を巻き取り、かつ、ワイヤ列５０Ｒを形成したワイヤ５０をガイドプーリ２０へ送出する箇所に配置されるものを示している。なお、ガイドプーリ２０からの巻き取り及びガイドプーリ２０への送出が行われるため、図１に示される３つの溝ローラ１０に設けられた溝のうち、ワイヤ５０から受ける荷重が最大となる溝は、溝ローラ１０Ａに設けられた溝のいずれかとなる。
【００２７】
溝ローラ１０の外周面には、複数列のワイヤ案内溝１１，１２が平行に形成されている。ワイヤ案内溝１１，１２は、両端の２つがワイヤ５０の巻き取り及び送出を担うワイヤ巻取・送出部１１とされ、両端の２つ以外は他の溝ローラ１０のワイヤ案内溝と協働してワイヤ列５０Ｒを形成するためのワイヤ案内部１２とされている。
【００２８】
ワイヤ巻取・送出部１１であるワイヤ案内溝の表面には、後述する耐摩耗部材である硬脆材２が、表面が露出する状態で互いに周方向に離間させて複数個埋設されている。
【００２９】
図２に示される溝ローラ１０では、ワイヤ巻取・送出部１１のみに硬脆材２を埋設して、固定している。換言すれば、この構成は、ワイヤ巻取・送出部１１のワイヤ案内溝を第１の溝群とし、ワイヤ案内部１２のワイヤ案内溝を第２の溝群とした場合、ワイヤ５０から受ける荷重が大きい第１の溝群を構成するワイヤ巻取・送出部１１に、耐摩耗部材である硬脆材２を埋設したものである。
【００３０】
このように構成することで、ワイヤ５０から受ける荷重が大きく、摩耗が激しいために、溝ローラ１０を交換する目安とされるワイヤ巻取・送出部１１の耐摩耗性を効果的に強化することができる。また、ワイヤ案内部１２ではワイヤが硬脆材２と接触しないこととなり、溝ローラ全体としてワイヤ５０が硬脆材２と接触する箇所が減らされるため、ワイヤ５０の寿命を延ばすことができる。
【００３１】
図２では、溝ローラ１０で最も端部に近いワイヤ案内溝であるワイヤ巻取・送出部１１が、ワイヤ５０から受ける荷重が大きい第１の溝群となる場合を示している。しかしながら、ワイヤソー１００の構成によって、ワイヤソー１００のワイヤ５０から受ける荷重が大きい溝の位置が図２に示される溝ローラ１０と異なる場合には、溝ローラ１０の端部に最も近いワイヤ案内溝（すなわち、図２のワイヤ巻取・送出部１１）よりも内側のワイヤ案内溝を第１の溝群を構成する溝としても良い。
【００３２】
なお、ワイヤ５０の寿命よりも溝ローラ１０の摩耗を防ぐことを重視する場合は、ワイヤ巻取・送出部１１とワイヤ案内部１２の両方に硬脆材２を埋設しても良い。
【００３３】
また、図２の溝ローラ１０は、ワイヤ案内溝１１，１２の数が８本であり、かつ、隣接するワイヤ案内溝の間隔が大きい場合を示しているが、切断条件に合わせて、ワイヤ案内溝の数を多くしたり、間隔を狭くしたりしても良い。ワイヤ案内溝の間隔を狭くする場合には、溝ローラ１０の軸線方向に垂直な断面をＶ字溝を有する山谷状とし、谷部分をワイヤ案内溝として、ワイヤ５０をガイドさせるようにしても良い。
【００３４】
上述した溝ローラ１０における硬脆材２を埋設する溝は、図１において符号１０（１０Ａ）を付した溝ローラと他の溝ローラ１０とで同じものとしても異なるものとしても良い。例えば、溝ローラ１０の全ての溝に硬脆材２を埋設しても良い。また、ワイヤソー１００の構成にあわせて、溝ローラ１０のそれぞれにおいて摩耗が激しい溝にのみ硬脆材２を埋設しても良い。
【００３５】
図３は、本発明が適用されたガイドプーリ２０を示す斜視図である。ガイドプーリ２０は、ワイヤ案内溝２１が１本のみとされている点を除いて、溝ローラ１０とほぼ同様の構成とされている。具体的には、ガイドプーリ２０の外周面には、ワイヤ案内溝２１が形成されている。ワイヤ案内溝２１には、ワイヤ５０がかけられ、ワイヤ５０を他のガイドプーリ２０もしくはワイヤリール３０Ａ，３０Ｂに向けて走行させる。ワイヤ案内溝２１の表面には、後述する耐摩耗部材である硬脆材２が、表面を露出させた状態で互いに周方向に離間させて複数個埋設されている。
【００３６】
図４は、溝ローラ１０やガイドプーリ２０のようなワイヤガイド部材１のワイヤ案内溝３における軸線方向に垂直な断面であって、使用前の状態を示す図である。図４に示されるように、ワイヤガイド部材１のワイヤ案内溝３（溝ローラ１０のワイヤ案内溝１１，１２及びガイドプーリ２０のワイヤ案内溝２１に相当）には、耐摩耗部材である硬脆材２が、表面を露出させた状態で周方向に離間させて埋設されている。
【００３７】
図４では、硬脆材２の数をワイヤ案内溝３の全周で６個としているが、ワイヤガイド部材の径や砥粒の硬度等に応じた数とすることができる。具体的には、ワイヤ表面に固着された砥粒を破壊したり脱落させたりするというように、ワイヤを傷める程の数としない限りは、埋設される硬脆材２の数は特に限定されない。より具体的には、直径９０ｍｍから２００ｍｍ程度のワイヤガイド部材を用いる場合、硬脆材の数を１２個から３６個程度に設定することができる。
【００３８】
また、図４では、ワイヤ案内溝３において硬脆材２の間隔を均一にした場合を示しているが、間隔を詰め過ぎることにより硬脆材が埋設できなかったり、使用中に取れたりするようなことがない限りは、硬脆材２の間隔は特に限定されない。例えば、ワイヤ案内溝３の一部では硬脆材２の間隔を狭めて配置し、それ以外では間隔を広げて配置するようにしても良い。
【００３９】
このように構成することで、歪んだ形状に溝の輪郭が摩耗する偏摩耗や、ワイヤソーのワイヤがワイヤガイド部材に潜り込むように溝が摩耗する潜り込み摩耗を抑制することができる。また、部分的にワイヤ案内溝を硬くするため、ワイヤ案内溝の全体を硬くする場合と比べて、ワイヤの傷みを抑制することができる。
【００４０】
図５は、ワイヤガイド部材１におけるワイヤ案内溝３の断面であって、耐摩耗部材である硬脆材２が埋設された部分を示す図である。図５に示されるように、硬脆材２はワイヤ案内溝３の表面に埋め込まれることで、表面を露出させた状態で固定されている。ピアノ線材からなるワイヤ５０には砥粒５１が固着されており、ワイヤ５０は、硬脆材２と接するようにしてワイヤ案内溝３を走行する。
【００４１】
耐摩耗部材は、ワイヤ案内溝の表面よりも硬い材料で構成されている。このような材料を耐摩耗部材として用いることで、ワイヤガイド部材の摩耗、特に上述の偏摩耗や潜り込み摩耗の発生を抑制できる。
【００４２】
耐摩耗部材の硬さは、ワイヤソーで走行するワイヤの硬さと同程度以上であることが好ましい。このような材料を用いることで、耐摩耗部材が早期に摩耗することを抑制できる。ここで、ワイヤの硬さとは、砥粒を固着させていない場合はワイヤの材料そのものの硬さがワイヤの硬さであり、砥粒を固着させたワイヤでは砥粒の硬さがワイヤの硬さとなる。砥粒を固着させていない場合とは、図５に示されるワイヤ５０のような固定砥粒ワイヤと呼ばれるものの代わりに、いわゆる遊離砥粒ワイヤを用いる場合を意味する。遊離砥粒ワイヤを用いる場合、砥粒が固着されていないピアノ線材であるワイヤに砥粒（スラリ）をかけながら被加工物を切断する。なお、耐摩耗部材の摩耗を抑制するという観点からは、固定砥粒ワイヤもしくは遊離砥粒ワイヤのいずれを用いる場合であっても、耐摩耗部材の硬さは、ガイドするワイヤと共に用いられる砥粒の硬さと同程度以上にすると良い。
【００４３】
耐摩耗部材の材料としては、ワイヤに固着された砥粒と同じ材料を用いることができ、具体的にはダイヤモンド等の硬脆材を用いることができる。特に、十二面体のダイヤモンドは、ワイヤ案内溝への埋め込みが簡単であり、面の数が多いことからワイヤと硬脆材とが平面で接しやすくなり、ワイヤを傷つけにくくなることから、耐摩耗部材として好適である。
【００４４】
ダイヤモンド以外の硬脆材としては、ＷＡ（白色アルミナ）やＧＣ（緑色炭化珪素）を用いることができる。
【００４５】
耐摩耗部材の大きさは、ワイヤ案内溝の溝幅に応じたものとすれば良い。例えば、溝幅が０．５ｍｍ、ピッチが１ｍｍで形成されたワイヤ案内溝の場合、耐摩耗部材として用いるダイヤモンドには５０〜６０メッシュ（球形と仮定した場合の直径は０．３５ｍｍ程度）や６０〜８０メッシュ（球形と仮定した場合の直径は０．３ｍｍ程度）のものを用いることができる。
【００４６】
耐摩耗部材の埋設は、半田ごて、ピンセット等の手段を用いて耐摩耗部材を押し込むことで行う。前述のようにワイヤガイド部材１には、ウレタン、ポリエチレンなどの比較的柔らかい材料が用いられるため、半田ごて、ピンセット等の手段によって押し込むことで、耐摩耗部材をワイヤ案内溝の表面に簡単に埋め込むことができる。なお、ワイヤガイド部材の材料に応じて、半田ごてを用いて、耐摩耗部材とワイヤガイド部材に熱を与えながら耐摩耗部材を埋設しても良い。
【００４７】
このように、耐摩耗部材は埋め込むことで固定できるため、ワイヤ案内溝の表面コーティング等の処理を行う場合と比べて、簡単な作業により偏摩耗や潜り込み摩耗の発生を抑制できる。また、ワイヤガイド部材はゴムなどの樹脂材料からなるため、固定砥粒ワイヤを作製する場合のように、電着や高熱で溶かしたボンド材料を用いることはできないが、耐摩耗部材は、埋設される、すなわち埋め込まれることで、ワイヤガイド部材に保持された状態が維持される。さらに、ケミカルボンド等を用いた耐摩耗部材のワイヤガイド部材への接着と比べて、耐摩耗部材の埋め込みは、保持力が高く、その保持力も維持される。
【００４８】
図５においては、ワイヤ案内溝３の断面形状は略Ｖ字としているが、ワイヤを案内できる形状であれば、特に限定されない。具体的には、円の一部とした形状、Ｖ字の底を平面とした形状やＵ字底を有する形状であっても良い。また、ワイヤ案内溝３の断面形状を略Ｖ字とした場合、ワイヤ案内溝３の側壁がなす角θは６０°〜９０°の範囲とすることができる。
【００４９】
図６は、ワイヤガイド部材１のワイヤ案内溝３における軸線方向に垂直な断面であって、使用によって摩耗した状態を示す模式図である。硬脆材２を埋設したワイヤ案内溝３の表面は、埋設した硬脆材２の表面が露出する部分とそれ以外の部分とで硬さが異なる。そのため、硬脆材２を埋設した部分はそれ以外の部分と比べて摩耗が抑制される。例えば、図４に示されるように硬脆材２を６個埋め込んだ場合、使用に伴って、ワイヤ案内溝３の軸線方向に垂直な断面は円形から六角形状３ｂへ摩耗していく。
【００５０】
また、ワイヤ案内溝３の表面に硬脆材２が埋設されているため、ワイヤは硬脆材２のそれぞれを支点としつつワイヤ案内溝３を走行する。これにより、硬脆材２が埋設されていないワイヤ案内溝の場合と比べて、ワイヤが走行する軌道が安定し、ワイヤガイド部材１の偏摩耗や潜り込み摩耗が抑制される。
【００５１】
このように、本発明のワイヤガイド部材によれば、ワイヤ案内溝の表面よりも硬い耐摩耗部材がワイヤ案内溝で周方向に離間させて埋設されているため、歪んだ形状に溝の輪郭が摩耗する偏摩耗や、ワイヤソーのワイヤがワイヤガイド部材に潜り込むように溝の形状が摩耗する潜り込み摩耗を抑制することができる。
【００５２】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が可能であることは勿論である。
【００５３】
例えば、図５に示されるワイヤ５０は、ピアノ線材に砥粒を電着もしくはボンドで固着した固定砥粒ワイヤと呼ばれるものであるが、本発明の実施の形態はこれに限定されない。具体的には、固定砥粒ワイヤではない、遊離砥粒ワイヤであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施形態にかかるワイヤガイド部材が適用されるワイヤソーを概略的に示す全体図である。
【図２】図１のワイヤソーにおける溝ローラを示す斜視図である。
【図３】図１のワイヤソーにおけるガイドプーリを示す斜視図である。
【図４】ワイヤガイド部材のワイヤ案内溝における軸線方向に垂直な断面であって、使用前の状態を示す図である。
【図５】ワイヤガイド部材におけるワイヤ案内溝の断面であって、耐摩耗部材が表面を露出させた状態で埋設された部分を示す図である。
【図６】ワイヤガイド部材のワイヤ案内溝における軸線方向に垂直な断面であって、使用によって摩耗した状態を示す模式図である。
【図７】摩耗が進んだワイヤガイド部材のワイヤ案内溝における軸線方向に垂直な断面を示す模式図である。
【図８】摩耗が進んだワイヤガイド部材におけるワイヤ案内溝の断面を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５５】
１…ワイヤガイド部材、２…硬脆材、３，３ｂ…ワイヤ案内溝、１０，１０Ａ…溝ローラ（ワイヤガイド部材）、１１…ワイヤ巻取・送出部（ワイヤ案内溝）、１２…ワイヤ案内部（ワイヤ案内溝）、２０…ガイドプーリ（ワイヤガイド部材）、２１…ワイヤ案内溝、３０Ａ，３０Ｂ…ワイヤリール、５０…ワイヤ、５０Ｒ…ワイヤ列、５１…砥粒、１００…ワイヤソー、Ｗ…被加工物。
【図１】
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【図２】
2006255841.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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