(57)【要約】【課題】  支点突起付近でアーマチュア部が変形しにくいマイクロリレーを提供する。【解決手段】  アーマチュア部３０を有するアーマチュアブロック３と、アーマチュア部３０に結合した磁性体３２と、磁性体３２を吸引してアーマチュア部３０を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持しアーマチュアブロック３に結合したボディとを備える。ボディに当接しアーマチュア部３０がボディに対して回動する際の支点となる支点突起たる突起３６Ｂを、アーマチュア部３０の短手方向の略全幅にわたって設けるとともに、２個の磁性体３２を突起３６Ｂの両側に配置した。長方形状の磁性体３２の短手方向の両側に突起３６Ｂを配置する場合に比べ、アーマチュア部３０の回動軸に沿った方向での突起３６Ｂの寸法が大きくなっているから、突起３６Ｂ付近でアーマチュア部３０が変形しにい。【選択図】図１
2006210066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、
アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した複数個の磁性体と、
磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、
ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、
アーマチュア部において磁性体が結合した面に、ボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起を設けるとともに、アーマチュア部の回動軸に交叉する方向で支点突起を挟む両側にそれぞれ磁性体を配置し、
アーマチュア部の回動軸に沿った方向における支点突起の寸法を、該方向におけるいずれの磁性体の寸法よりも大きくしたことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、
アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、
磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、
アーマチュア部の磁性体が結合した面において、磁性体を挟む両側には、それぞれボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起が設けられ、
ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、
磁性体において支点突起に挟まれた部位に少なくとも１個の挿通穴を貫設するとともに、挿通穴に挿通されボディに当接して支点突起とともに支点となる少なくとも１個の第２の支点突起をアーマチュア部に設けたことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項３】
枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、
アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、
磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、
アーマチュア部の磁性体が結合した面において、磁性体を挟む両側には、それぞれボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起が設けられ、
ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、
磁性体において支点突起に挟まれた部位に、ボディに当接して支点突起とともに支点となる少なくとも１個の第２の支点突起を設けたことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項４】
枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、
アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、
磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、
アーマチュア部の磁性体が結合した面において、磁性体を挟む両側には、それぞれボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起が設けられ、
ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、
支点突起が並ぶ方向における磁性体の幅寸法を、支点突起に挟まれた部位において磁性体の他の部位よりも小さくするとともに、磁性体を挟む支点突起間の距離を、前記他の部位における磁性体の幅寸法よりも小さくしたことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項５】
枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、
アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、
磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、
ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、
ボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起を磁性体に設けたことを特徴とするマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体プロセスを用いて製造されるマイクロリレーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体プロセスを用いて製造されるマイクロリレーとして、電磁石装置を備え、磁性体と可動接点とが設けられたアーマチュア部を電磁石装置の磁力によって駆動することにより可動接点を固定接点に離接させる電磁式のマイクロリレーが提供されている。
【０００３】
ここで、磁性体をアーマチュア部に設ける方法としては、ニオブのような磁性体の膜をアーマチュア上に真空蒸着やスパッタリングによって形成する方法（例えば、特許文献１参照）の他に、機械加工によって形成された磁性体の板をアーマチュア部に結合させる方法がある。後者の方法は、前者の方法に比べ、磁性体の厚さ寸法を大きくして吸着力を増すことができるという利点がある。
【０００４】
後者の方法によって磁性体をアーマチュア部に設けたマイクロリレーの一例を図６に示す。このマイクロリレーは、枠状のフレーム部３１とフレーム部３１に対して回動可能なアーマチュア部３０とを有するアーマチュアブロック３と、アーマチュア部３０に結合した磁性体３２と、磁性体３２を吸引してアーマチュア部３０を回動させる電磁石装置２と、電磁石装置２を保持してアーマチュアブロック３のフレーム部３１に結合したボディ１とを備える。以下、上下は図６を基準として説明する。
【０００５】
ボディ１は、ボディ本体１Ａと、ボディ本体１Ａの上面に結合する薄膜１Ｂとからなる。ボディ本体１Ａは、ガラスからなる長方形板状であって、四隅の近傍にはそれぞれスルーホール１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄを上下に貫設してある。各スルーホール１０Ａ〜１０Ｄには、それぞれ内面に導電膜１１Ａ〜１１Ｄを設けてある。各導電膜１１Ａ〜１１Ｄは、それぞれ例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金からなり、めっき、蒸着、スパッタリング等により形成されている。各スルーホール１０Ａ〜１０Ｄの両端の開口部周辺には、それぞれ導電膜１１Ａ〜１１Ｄに電気的に接続されたランド１２を設けてある。図７に示すように、ボディ１の下面側の各ランド１２には、それぞれプリント配線板（図示せず）への表面実装に用いられるバンプ１３を設けてある。各バンプ１３は、それぞれ例えば金、銀、銅、はんだのような導電材料からなり、スルーホール１０Ａ〜１０Ｄを塞ぐ形でランド１２に載せられ熱溶着によって接合されている。
【０００６】
ボディ本体１Ａの上面には、それぞれランド１２に一対一に電気的に接続された２対の固定接点１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂを設けてある。各固定接点１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂは、それぞれ例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金からなる。
【０００７】
ボディ本体１Ａの中央には、十字型の貫通穴１６を上下に貫設してある。薄膜１Ｂは、ボディ本体１Ａの上面側に接合されて貫通穴１６の上側の開口を覆う。そして、ボディ１において薄膜１Ｂの下側には、電磁石装置２が収納される収容凹部１８が形成されている（図７参照）。薄膜１Ｂはシリコン又はガラスからなり、エッチング又は研磨によって５〜５０μｍ程度、好ましくは２０μｍ程度の厚さ寸法に形成されている。貫通穴１６の内面は、上方に向かって貫通穴１６の断面積を徐々に小さくするように傾斜しており、これによって電磁石装置２を収容しやすくしている。
【０００８】
電磁石装置２は、ヨーク２０と、永久磁石２１と、コイル２２Ａ，２２Ｂと、基板２３とからなる。ヨーク２０は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工あるいは鍛造加工することにより、長方形板状の中央片２０Ａの長手方向の両端から、矩形板状の脚片２０Ｂ，２０Ｃがそれぞれ中央片２０Ａの短手方向の同じ側（図６の上方）に立ち上がったコ字形状に形成されている。永久磁石２１は直方体形状であって、互いに背向する磁極面が互いに異なる極となるように着磁されている。永久磁石２１は、ヨーク２０の中央片２０Ａの上面の中央に一方の磁極面（図６の下面）を当接させてヨーク２０に取り付けられている。ここにおいて、永久磁石２１の他方の磁極面（図６の上面）は脚片２０Ｂ，２０Ｃの先端面と略面一となる。各コイル２２Ａ，２２Ｂは、それぞれ脚片２０Ｂ，２０Ｃと永久磁石２１との間で中央片２０Ａに直接巻回されている。基板２３は長方形状であり、長手方向をヨーク２０の中央片２０Ａの長手方向に直交させる向きで中央片２０Ａの下面に接合されている。基板２３の下面の長手方向の両端部にはそれぞれ導電膜２３Ａ（図７参照）を設けてあり、各コイル２２Ａ，２２Ｂの両端はそれぞれ導電膜２３Ａに電気的に接続されている。各導電膜２３Ａ上には、それぞれプリント配線板への表面実装に用いられるバンプ２４を設けてある。電磁石装置２は、ヨーク２０の中央片２０Ａの長手方向とボディ１の長手方向とを合わせて、例えば収容凹部１８の内面との間に充填された合成樹脂（図示せず）を介してボディ１に保持されている。
【０００９】
アーマチュアブロック３は、５０〜３００μｍ程度、好ましくは２００μｍ程度の厚さ寸法を有するシリコン基板をエッチングして形成され、アーマチュア部３０と、アーマチュア部３０の全周を包囲してアーマチュア部３０を支持するフレーム部３１とを一体に備える。アーマチュア部３０の下面には、図８に示すように長方形平板状の磁性体３２が接合される。
【００１０】
アーマチュア部３０は、図８及び図９に示すように、下面（図８の上面）に磁性体３２が接合される長方形状の磁性体保持部３０Ａと、下面に可動接点３３Ａ，３３Ｂが固着される可動接点部３０Ｂとからなる。可動接点部３０Ｂは、磁性体保持部３０Ａの長手方向の両側において、弾性を有する連結部３４を介して磁性体保持部３０Ａに支持されている。
【００１１】
磁性体保持部３０Ａは、短手方向の両側が、弾性を有する弾性部３５を介してフレーム部３１に支持されている。弾性部３５は、磁性体保持部３０Ａの短手方向の両側に２個ずつ計４個設けられている。各弾性部３５は、それぞれ一端が磁性体保持部３０Ａの短手方向の端面に連結されるとともに他端がフレーム部３１の内周面に連結されている。弾性部３５は、上下方向での寸法をフレーム部３５よりも小さくしてあり、上方から見た幅寸法を上下方向での寸法よりもさらに小さくしてある。
【００１２】
また、磁性体保持部３０Ａの長手方向の中央部であって短手方向の両端には、それぞれ延設部３６を磁性体保持部３０Ａの短手方向へ突設してあり、各延設部３６の先端にはそれぞれ凸部３６Ａを突設してある。さらに、フレーム部３１の内周面において延設部３６の先端面に対向する各部には、それぞれ延設部３７が内側へ突設され、各延設部３７の先端面にはそれぞれ磁性体保持部３０Ａの凸部３６Ａが挿入される凹部３７Ａを設けてある。そして、凸部３６Ａが凹部３７Ａ内に位置することにより、フレーム部３１に対するアーマチュア部３０の前後左右（図９の上下左右）への移動は制限されている。また、延設部３６の下面には突起３６Ｂを下方へ突設してある。
【００１３】
さらに、磁性体保持部３０Ａの四隅には、第２の延設部３８を設けてある。各第２の延設部３８の下面には、それぞれ第２の突起３８Ａが下方へ突設されている。
【００１４】
磁性体３２は、電磁軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイ、フェライトなどの磁性材料を機械加工して形成され、磁性体保持部３０Ａの下面に結合している。磁性体３２を磁性体保持部３０Ａに結合させるには、例えば、磁性体３２の上面と磁性体保持部３０Ａの下面との間に低融点ガラスを介在させた状態で加熱して低融点ガラスを溶融させた後、冷却する。
【００１５】
アーマチュア部３０の上下方向での寸法はフレーム部３１の上下方向での寸法よりも小さく、フレーム部３１の下面に対して第２の突起３８Ａの下面や磁性体３２の下面が窪むようにしてある。
【００１６】
アーマチュアブロック３は、例えばフレーム部３１の下面がボディ１の上面に陽極接合されることによってボディ１に結合する。ここにおいて、突起３６Ｂはボディ１の上面に当接し、アーマチュア部３０は突起３６Ｂを支点としてボディ１に対し図９に線Ｘで示す長手方向の中心を軸とする回動が可能となっている。つまり、突起３６Ｂが支点突起である。また、各可動接点３３Ａ，３３Ｂはそれぞれ１組の固定接点１４Ａ，１４Ｂ，１５Ａ，１５Ｂに対向し、第２の突起３８Ａの先端面はボディ１の上面に離間して対向する。さらに、磁性体３２は、上方から見てアーマチュア部３０の回動軸Ｘを挟んで互いに異なる側に位置する各部が、互いに異なる脚片２０Ｂ，２０Ｃの先端面に対しそれぞれ薄膜１Ｂを挟んで対向する。
【００１７】
また、アーマチュアブロック３の上側は、例えばパイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスからなる長方形板状のカバー４によって覆われる。カバー４は、例えば陽極接合によってフレーム部３１の上面に接合される。また、カバー４の下面には、アーマチュア部３０の可動範囲を確保するための凹部（図示せず）を設けてある。
【００１８】
上記のマイクロリレーの動作を説明する。コイル２２Ａ，２２Ｂに通電すると、磁性体３２が通電方向に応じた一方の脚片２０Ｂに吸引され、アーマチュア部３０は、突起３６Ｂを支点として回動し、一方の可動接点３３Ａを一対の固定接点１４Ａ，１４Ｂに接触導通させる。ここにおいて、固定接点１４Ａ，１４Ｂ間は可動接点３３Ａを介して電気的に接続される。このとき、可動接点３３Ａの固定接点１４Ａ，１４Ｂに対する接触圧は連結部３４の弾性により適度に保たれている。また、第２の突起３８Ａがボディ１の上面に当接することにより、アーマチュア部３０の可動範囲が制限され、磁性体３２と薄膜１Ｂとの接触による破損が防止されている。コイル２２Ａ，２２Ｂへの通電を停止すると、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０Ｂ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束により、アーマチュア部３０の姿勢は維持される。
【００１９】
次に、コイル２２Ａ，２２Ｂへの通電方向を逆にすると、弾性部３５の弾性力と、磁性体３２が他方の脚片２０Ｃに吸引される力とにより、アーマチュア部３０は、突起３６Ｂを支点として上記とは反対側へ回動し、他方の可動接点３３Ｂを別の一対の固定接点１５Ａ，１５Ｂに接触導通させる。ここにおいて、固定接点１５Ａ，１５Ｂ間は可動接点３３Ｂを介して電気的に接続される。コイル２２Ａ，２２Ｂへの通電を停止すると、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０Ｃ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束により、アーマチュア部３０の姿勢は維持される。つまり、上記のマイクロリレーは、交互に開閉する２組の接点を有するラッチング型のリレーである。
【特許文献１】特開平５−１１４３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
しかし、上記従来のマイクロリレーでは、突起３６Ｂが磁性体３２の両側に位置するために、磁性体３２が電磁石装置２に吸引されたときにアーマチュア部３０に曲げ力が加わり、アーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近が短手方向の中央部を下方へ突出させるように弾性変形しやすかった。このようなアーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近の変形は、設計上意図されていないので、特性が設計値からずれる原因となる。
【００２１】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、支点突起付近でアーマチュア部が変形しにくいマイクロリレーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
請求項１の発明は、枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した複数個の磁性体と、磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、アーマチュア部において磁性体が結合した面に、ボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起を設けるとともに、アーマチュア部の回動軸に交叉する方向で支点突起を挟む両側にそれぞれ磁性体を配置し、アーマチュア部の回動軸に沿った方向における支点突起の寸法を、該方向におけるいずれの磁性体の寸法よりも大きくしたことを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、支点突起の両側に磁性体を配置したことにより、支点突起の間に磁性体を配置する場合に比べ、アーマチュア部の回動軸に沿った方向での支点突起の寸法を大きくすることができるから、支点突起付近でアーマチュア部が変形しにくい。
【００２４】
請求項２の発明は、枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、アーマチュア部の磁性体が結合した面において、磁性体を挟む両側には、それぞれボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起が設けられ、ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、磁性体において支点突起に挟まれた部位に少なくとも１個の挿通穴を貫設するとともに、挿通穴に挿通されボディに当接して支点突起とともに支点となる少なくとも１個の第２の支点突起をアーマチュア部に設けたことを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、第２の支点突起を設けない場合に比べ、磁性体が電磁石装置に吸引されたときにアーマチュア部の支点突起付近に作用する曲げ力が小さくなるから、支点突起付近でアーマチュア部が変形しにくい。
【００２６】
請求項３の発明は、枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、アーマチュア部の磁性体が結合した面において、磁性体を挟む両側には、それぞれボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起が設けられ、ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、磁性体において支点突起に挟まれた部位に、ボディに当接して支点突起とともに支点となる少なくとも１個の第２の支点突起を設けたことを特徴とする。
【００２７】
この発明によれば、第２の支点突起を設けない場合に比べ、磁性体が電磁石装置に吸引されたときにアーマチュア部の支点突起付近に作用する曲げ力が小さくなるから、支点突起付近でアーマチュア部が変形しにくい。また、磁性体が電磁石装置に吸引されたときに第２の支点突起付近に生じる曲げ力を磁性体とアーマチュア部とが受けることになるから、請求項２の発明のように第２の支点突起をアーマチュア部に設ける場合に比べ、第２の支点突起付近でアーマチュア部がより変形しにくくなる。
【００２８】
請求項４の発明は、枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、アーマチュア部の磁性体が結合した面において、磁性体を挟む両側には、それぞれボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起が設けられ、ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、支点突起が並ぶ方向における磁性体の幅寸法を、支点突起に挟まれた部位において磁性体の他の部位よりも小さくするとともに、磁性体を挟む支点突起間の距離を、前記他の部位における磁性体の幅寸法よりも小さくしたことを特徴とする。
【００２９】
この発明によれば、磁性体の幅寸法を均一とする場合に比べて支点突起間の距離が小さくなるから、支点突起付近でアーマチュア部が変形しにくい。
【００３０】
請求項５の発明は、枠状のフレーム部、フレーム部に一端が結合しフレーム部の内側へ突出して弾性を有する弾性部、フレーム部に囲まれ弾性部を介してフレーム部に対して回動可能に支持されたアーマチュア部を有するアーマチュアブロックと、アーマチュア部の回動方向の一方側の面に結合した磁性体と、磁性体を吸引してアーマチュア部を回動させる電磁石装置と、電磁石装置を保持してアーマチュアブロックのフレーム部に対し磁性体と同じ側に結合したボディとを備え、ボディには固定接点が設けられ、アーマチュア部にはアーマチュア部の回動に伴って固定接点に離接する可動接点が設けられたマイクロリレーにおいて、ボディに当接しアーマチュア部がボディに対して回動する際の支点となる支点突起を磁性体に設けたことを特徴とする。
【００３１】
この発明によれば、支点突起を磁性体に設けたことにより、アーマチュア部に曲げ力がかかりにくくなるから、支点突起付近でアーマチュア部が変形しにくい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、アーマチュア部の回動軸に交叉する方向で支点突起を挟む両側にそれぞれ磁性体を配置することによりアーマチュア部の回動軸に沿った方向への支点突起の延長を可能とし、または、磁性体に貫設された挿通穴に挿通され支点突起とともに支点となる第２の支点突起をアーマチュア部に設け、または、支点突起とともに支点となる第２の支点突起を磁性体に設け、または、支点突起が並ぶ方向における磁性体の幅寸法を、支点突起に挟まれた部位において磁性体の他の部位よりも小さくして支点突起間の距離を小さくし、または、支点突起をアーマチュア部に設ける代わりに磁性体に設けたので、支点突起付近でアーマチュア部が変形しにくい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の各実施形態の基本構成はそれぞれ従来例と共通であるので、共通する部分については同じ符号を付して図示及び説明を省略する。
【００３４】
（実施形態１）
本実施形態は、図１に示すように、突起３６Ｂを延出部３６間に跨りアーマチュア部３０の磁性体保持部３０Ａの短手方向の略全幅にわたって設けるとともに、アーマチュア部３０の長手方向すなわちアーマチュア部３０の回動軸Ｘに交叉する方向で突起３６Ｂを挟む両側にそれぞれ１個ずつ磁性体３２を配置したことを特徴とする。
【００３５】
詳しく説明すると、本実施形態の突起３６Ｂは、下端面が磁性体保持部３０Ａの他の部位の下面と平行であって、下端に近付くほど長手方向の寸法と短手方向の寸法とがともに小さくなるように長手方向の両端面と短手方向の両端面とがそれぞれ傾斜した角錐台形状に形成されている。また、突起３６Ｂの下端面は、アーマチュア部３０の短手方向に長細い形状となっている。さらに、アーマチュア部３０の短手方向すなわちアーマチュア部３０の回動軸Ｘに沿った方向における突起３６Ｂの下端面の寸法は、該方向におけるいずれの磁性体３２の寸法よりも大きくなっている。
【００３６】
上記構成によれば、従来例に比べ、アーマチュア部３０の回動軸Ｘに沿った方向での突起３６Ｂの寸法が大きくなっているから、突起３６Ｂ付近でアーマチュア部３０が変形しにくい。
【００３７】
（実施形態２）
本実施形態は、図２に示すように、磁性体３２の中央部に矩形状の挿通穴３２Ａを上下に貫設するとともに、挿通穴３２Ａに挿通される角錐台形状の第３の突起３９をアーマチュア部３０の磁性体保持部３０Ａの中央部から下方へ突設したことを特徴とする。アーマチュア部３０の回動軸Ｘに沿った方向（図２の上下方向）から見た第３の突起３９の寸法形状は、突起３６Ｂの寸法形状と略同じとしてある。また、第３の突起３９と各突起３６Ｂとは下方から見てアーマチュア部３０の回動軸Ｘ上に並ぶ。そして、第３の突起３９は、ボディ１の上面に当接し、アーマチュア部３０が回動する際には突起３６Ｂとともに支点となる。つまり、第３の突起３９が第２の支点突起である。
【００３８】
上記構成によれば、第３の突起３９を設けない場合に比べ、磁性体３２が電磁石装置２に吸引されたときにアーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近に作用する曲げ力が小さくなるから、突起３６Ｂ付近でアーマチュア部３０が変形しにくい。
【００３９】
（実施形態３）
本実施形態は、図３に示すように、角錐台形状の突起３２Ｂを磁性体３２の中央部から下方へ突設したことを特徴とする。アーマチュア部３０の回動軸Ｘに沿った方向（図３の上下方向）から見て、磁性体３２の突起３２Ｂの寸法形状は、アーマチュア部３０の突起３６Ｂにおいて磁性体３２の平板状の部位よりも下方へ突出する部位の寸法形状と略同じとしてある。また、磁性体３２の突起３２Ｂとアーマチュア部３０の各突起３６Ｂとは下方から見てアーマチュア部３０の回動軸Ｘ上に並ぶ。そして、磁性体３２の突起３２Ｂは、ボディ１の上面に当接し、アーマチュア部３０が回動する際には突起３６Ｂとともに支点となる。つまり、磁性体３２の突起３２Ｂが第２の支点突起である。
【００４０】
上記構成によれば、磁性体３２に突起３２Ｂを設けない場合に比べ、磁性体３２が電磁石装置２に吸引されたときにアーマチュア部３０の突起３６Ｂ付近に作用する曲げ力が小さくなるから、突起３６Ｂ付近でアーマチュア部３０が変形しにくい。また、第２の支点突起を磁性体３２に設けたことにより、磁性体３２が電磁石装置２に吸引されたときにアーマチュア部３０において第２の支点突起付近に生じる曲げ力を磁性体３２とアーマチュア部３０とが受けることになるから、実施形態２のように第２の支点突起をアーマチュア部３０に設ける場合に比べ、アーマチュア部３０において第２の支点突起付近がより変形しにくくなっている。
【００４１】
（実施形態４）
本実施形態は、図４に示すように、磁性体３２の長手方向の中央部すなわち突起３６Ｂに挟まれる部位において、短手方向の両端部に、それぞれ磁性体３２の短手方向の寸法を他の部位よりも小さくする切り欠き３２Ｃを設けるとともに、各突起３６Ｂを切り欠き３２Ｃに入り込むようにそれぞれ他方の突起３６Ｂに近付く方向へ延長したことを特徴とする。これにより、突起３６Ｂ間の距離は、長手方向の両端部での磁性体３２の短手方向の寸法よりも小さくなっている。
【００４２】
上記構成によれば、磁性体３２において電磁石装置２に吸引される部位の面積を確保しながらも、従来例に比べ、アーマチュア部３０の回動軸Ｘに沿った方向での各突起３６Ｂの寸法がそれぞれ大きくなったことと、突起３６Ｂ間の距離が短くなったこととにより、突起３６Ｂ付近でアーマチュア部３０が変形しにくい。
【００４３】
（実施形態５）
本実施形態は、図５に示すように、アーマチュア部３０に突起３６Ｂを設ける代わりに、ボディ１の上面に当接してアーマチュア部３０が回動する際の支点となる支点突起３２Ｄを、磁性体３２の長手方向の中央部に、磁性体３２の短手方向での全幅にわたって下方へ突設したことを特徴とする。支点突起３２Ｄは、アーマチュア部３０の短手方向に長く、下端に近付くほど長手方向の寸法と短手方向の寸法とがともに小さくなるように長手方向の両端面と短手方向の両端面とがそれぞれ傾斜した角錐台形状に形成されている。支点突起３２Ｄの下端面は、磁性体保持部３０Ａの下面と平行であって、アーマチュア部３０の短手方向に長細い形状となっており、下方から見てアーマチュア部３０の長手方向での中央部に重なる。
【００４４】
上記構成によれば、支点突起３２Ｄを磁性体３２に設けたことにより、磁性体３２が電磁石装置２に吸引されたときに従来例のような曲げ力がアーマチュア部３０に発生しないから、支点突起３２Ｄ付近でアーマチュア部３０が変形しにくい。
【００４５】
なお、実施形態３及び本実施形態において、薄膜１Ｂの材料としてシリコンを用いる場合には、アーマチュアブロック３のフレーム部３１をボディ本体１Ａの上面に陽極接合する際に磁性体３２の突起３２Ｂや支点突起３２Ｄが薄膜１Ｂに溶着してしまわないように、上記陽極接合の前に、突起３２Ｂや支点突起３２Ｄにおいて薄膜１Ｂに当接する下端部に予め銀を固着させておくことが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態１の要部を示す下面図である。
【図２】本発明の実施形態２の要部を示す下面図である。
【図３】本発明の実施形態３の要部を示す下面図である。
【図４】本発明の実施形態４の要部を示す下面図である。
【図５】本発明の実施形態５の要部を示す下面図である。
【図６】従来例を示す分解斜視図である。
【図７】同上を示す斜視図である。
【図８】同上の要部を示す分解斜視図である。
【図９】同上のアーマチュアブロックを示す平面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  ボディ
２  電磁石装置
３  アーマチュアブロック
１４Ａ  固定接点
３０  アーマチュア部
３１  フレーム部
３２  磁性体
３２Ａ  挿通穴
３２Ｂ  突起
３２Ｄ  支点突起
３３Ａ  可動接点
３５  弾性部
３６Ｂ  突起
３９  第３の突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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