(57)【要約】【課題】  加工精度を高めるのに適したラッピング装置、ローツール及びラッピング方法を提供することである。【解決手段】  複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーを研磨するラッピング装置であって、ラッピング面を提供するラップ定盤と；複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するローツールと；前記ローツールを前記ラップ定盤のラッピング面の方向に押し付ける押し付け機構と；前記ベンドセルの各セルに対して空気圧力を与える圧縮空気源と；を具備して構成する。【選択図】図３５
2006236573.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーを研磨するラッピング装置であって、
ラッピング面を提供するラップ定盤と；
複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するローツールと；
前記ローツールを前記ラップ定盤のラッピング面の方向に押し付ける押し付け機構と；
前記ベンドセルの各セルに対して空気圧力を与える圧縮空気源と；
を具備したことを特徴とするラッピング装置。
【請求項２】
前記ローツールの上面に固定され、前記ベンドセルの各々に対応する位置に複数の穴を有するエアプレートと、
前記圧縮空気源と前記エアプレートとの間に配置され、前記エアプレートの各穴に接続された複数の電気−空気変換レギュレータとを更に具備した請求項１記載のラッピング装置。
【請求項３】
複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーを研磨するラッピング方法であって、
ラップ定盤によりラッピング面を提供し、
複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するローツールの下面に接着されたローバーを、ラッピング面に対して押し付け、
前記各ベンドセルに対して個々に調整可能な空気圧を作用させ、
これにより前記ローバーを複数点で曲げて該ローバーのラッピング研磨を行なうことを特徴とするラッピング方法。
【請求項４】
複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーが接着されるローツールであって、
複数のスリットにより画成された複数のベンドセルと、
前記各ベンドセルの幅より広い幅を有する両端に形成された一対の固定セルと、
平行ばね機構と、
を具備したことを特徴とするローツール。
【請求項５】
ローツールアセンブリであって、
複数のスリットにより画成された複数のベンドセルと、平行ばね機構と、水平方向に伸長する挿入穴と、該挿入穴と上面とを接続する複数の第１の穴を有するローツールと；
前記ローツールの挿入穴中に挿入された、前記第１の穴の各々に連通する複数の空気溜を有するエアリードフレームと；
前記ローツールの上面に固定され、前記第１の穴の各々に連通する複数の第２の穴を有するエアプレートと；
を具備したことを特徴とするローツールアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、均質な磁気ヘッドスライダを大量生産するのに適した方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、磁気ヘッドスライダの製造工程において、磁気ヘッド薄膜を基板上に形成した後、磁気ヘッド薄膜をラップ加工することが行われている。このラップ加工によって、磁気ヘッド薄膜の磁気抵抗層やギャップの高さが一定にされる。
【０００３】
磁気抵抗層やギャップの高さには、サブミクロン単位の精度が要求されている。このため、ラッピング装置にも、高い精度でワークとしてのローバー（ＲｏｗＢａｒ）を加工することが求められている。
【０００４】
従来の磁気ヘッド加工プロセスは、ウエハーから複数の磁気ヘッド素子が一列に形成されたローバーを切り出すステップと、このローバーをローツールに接着するステップを含んでいる。この接着ステップは、例えば特開平１０−２７７４６９号に開示された接着装置を用いて実行される。
【０００５】
この接着装置は、ローツールに接着剤を定量塗布する接着剤塗布機構と、ローツールとローバーの間で接着剤を均一になじませるリンキング機構と、ローツールとローバーを位置決めした状態で接着剤の硬化を促す加圧機構とで構成されている。
【０００６】
特開平６−３４９２２２号では、複数個のローバーをローツールに接着し、その後１個のローバーを切り出すという方法が提案されている。しかし、この公開公報に開示された方法では、切断を繰り返すにつれてワークの剛性が小さくなり、反りの真直度に影響を及ぼすという問題がある。
【０００７】
上述したように、磁気ヘッドスライダは磁気抵抗膜の高さが一定になるようにラップ加工される。しかし、ローバーは極めて薄く、例えばその厚みは０．３ｍｍ程度である。
【０００８】
このため、ローバーをラッピング装置で直接ラッピングすることは困難であり、ローバーはローツールに接着された状態でラップ定盤にローバーを押し当ててラップ加工される。
【０００９】
このとき、米国特許５，０２３，９９１号や特開平５−１２３９６０号公報等で知られているように、ローバーに一体的に形成されたイレクトリカル・ラッピング・ガイド素子（ＥＬＧ素子）の抵抗値が、ラップ加工中常時測定される。
【００１０】
そして、測定された抵抗値により、磁気ヘッド素子の磁気抵抗膜が目標の高さになったか否かが検出される。抵抗値の測定により、磁気抵抗膜が目標の高さまでラップ加工されたことが検出されると、ラップ加工は停止される。
【００１１】
その後、ローバーのラップ加工面に複数のスライダの浮上面形状が加工される。次いで、ローバーは複数の磁気ヘッドスライダにカットされる。
【００１２】
更に、ローツールを加熱してローバーをローツールに接着している接着剤を溶かし、個々の磁気ヘッドスライダが製造される。
【００１３】
このようにウエハーから複数の磁気ヘッド素子が一列に形成されたローバーを切り出し、ローバー毎にラップ加工を行なうため、多数の磁気ヘッド素子の磁気抵抗膜を一度にラップ加工することができる。
【特許文献１】特開平１０−２７７４６９号公報
【特許文献２】特開平６−３４９２２２号公報
【特許文献３】米国特許第５，０２３，９９１号明細書
【特許文献４】特開平５−１２３９６０号公報
【特許文献５】米国特許第５，６０７，３４６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし、ローバー内の個々の磁気ヘッド素子の磁気抵抗膜の高さは、磁気抵抗膜の成膜の精度やローバーのローツールへの貼り付け精度等によりサブミクロンのオーダーでばらつきが存在する。従って、均一な特性の磁気ヘッドスライダを大量生産するためには、この種のばらつきを矯正しながらラッピングを行なう必要がある。
【００１５】
このラッピング加工時のサブミクロンオーダーのばらつきを矯正するため、従来から種々の方法が提案されている。例えば、特許文献５に開示されたようにローツールに複数の穴を形成し、各穴を介してアクチュエータの力をローツールに作用させることが提案されている。
【００１６】
しかし、所望の圧力分布を得るためには、各アクチュエータに比較的大きな力を印加する能力が要求されるので、このような複数の作用点に作用するためのアクチュエータの製造上の困難性から作用点（穴）の間隔をさほど小さくすることができず、加工精度を高めることが困難であるという問題がある。
【００１７】
よって、本発明の他の目的は、加工精度を高めるのに適したラッピング装置、ローツール及びラッピング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明によると、複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーを研磨するラッピング装置であって、ラッピング面を提供するラップ定盤と；複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するローツールと；前記ローツールを前記ラップ定盤のラッピング面の方向に押し付ける押し付け機構と；前記ベンドセルの各セルに対して空気圧力を与える圧縮空気源と；を具備したことを特徴とするラッピング装置が提供される。
【００１９】
好ましくは、ラッピング装置は更に、ローツールの上面に固定され、ベンドセルの各々に対応する位置に複数の穴を有するエアプレートと、圧縮空気源とエアプレートとの間に配置され、エアプレートの各々に接続された複数の電気−空気変換レギュレータを具備している。
【００２０】
好ましくは、ローツールは平行ばね機構と、その両端に各ベンドセルの幅より広い幅の一対の固定セルを有している。押し付け機構は、自重でローバーをラッピング面に対して押し付けるラップヘッドと、ラップ加工圧力を調整可能に加圧する空圧シリンダとを含んでいる。
【００２１】
本発明の他の側面によると、複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーを研磨するラッピング方法であって、ラップ定盤によりラッピング面を提供し、複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するローツールの下面に接着されたローバーを、ラッピング面に対して押し付け、前記各ベンドセルに対して個々に調整可能な空気圧を作用させ、これにより前記ローバーを複数点で曲げて該ローバーのラッピング研磨を行なうことを特徴とするラッピング方法が提供される。
【００２２】
本発明の更に他の側面によると、複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーが接着されるローツールであって、複数のスリットにより画成された複数のベンドセルと、前記各ベンドセルの幅より広い幅を有する両端に形成された一対の固定セルと、平行ばね機構と、を具備したことを特徴とするローツールが提供される。
【００２３】
本発明の更に他の側面によると、ローツールアセンブリであって、複数のスリットにより画成された複数のベンドセルと、平行ばね機構と、水平方向に伸長する挿入穴と、該挿入穴と上面とを接続する複数の第１の穴を有するローツールと；前記ローツールの挿入穴中に挿入された、前記第１の穴の各々に連通する複数の空気溜を有するエアリードフレームと；前記ローツールの上面に固定され、前記第１の穴の各々に連通する複数の第２の穴を有するエアプレートと；を具備したことを特徴とするローツールアセンブリが提供される。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によると、ローバーの多点変位の制御が可能であるため、ローバーの目標形状を容易に得ることができ、高精度のラッピング加工を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
まず、図１（Ａ）〜図３（Ｂ）を参照して、本発明のローバー切り出し方法について説明する。このローバー切り出し方法は、図１（Ａ）〜図１（Ｃ）に示すローブロック接着プロセスと、図２（Ａ）〜図２（Ｃ）に示すローツール接着プロセスと、図３（Ａ）〜図３（Ｂ）に示すローブロック切断プロセスを含んでいる。
【００２６】
まず、図１（Ａ）に示すように、ダミーウエハー１２の一側面に接着剤を塗布する。次いで、図１（Ｂ）に示すように、ローブロック１１をダミーウエハー１２の接着剤が塗布された側面に押し当て、接着剤を均一になじませるためにダミーウエハー１２をローブロック１１に対して左右に複数回往復運動させる。
【００２７】
ローブロック１１はウエハーから切り出されたものであり、複数の磁気ヘッド素子が縦横に配列されている。ダミーウエハー１２はローブロック１１と同一材料から形成されている。ダミーウエハー１２に代えて、ローブロック１１と同一又は類似した熱膨張率を有する板状部材を使用するようにしても良い。
【００２８】
図１（Ｂ）のステップは一般的にリンキングステップと呼ばれる。リンキングの後に、図１（Ｃ）に示すように、加圧ヘッド１５でローブロック１１をダミーウエハー１２に押し付けながら、例えばエアノズルで接着部に空気を吹き付けて接着剤を硬化させ、ローブロック１１をダミーウエハー１２に接着する。
【００２９】
このようにローブロック１１にダミーウエハー１２を接着するのはローブロック１１の剛性を高めるためである。
【００３０】
次いで、図２（Ａ）に示すように、ローツール１０の一側面に接着剤を塗布する。次いで、図２（Ｂ）に示すように、ローツール１０の接着剤が塗布された面にローブロック１１にダミーウエハー１２が接着された一体化ブロック１３を押し当て、一体化ブロック１３に対してローツール１０を左右に複数回往復運動させ、接着剤を均一になじませる。このステップも、一般的にリンキングステップと呼ばれる。
【００３１】
次いで、図２（Ｃ）に示すように、加圧ヘッド１５で一体化ブロック１３をローツール１０に押し当てながら接着剤を硬化させ、一体化ブロック１３をローツール１０に接着する。
【００３２】
次いで、図３（Ａ）に示すように、スライサー１６でローツール１０に接着されたローブロック１１を切断し、図３（Ｂ）に示すようにローツール１０に接着された１個のローバー１４を得る。ローバー１４は一列に並んで形成された複数の磁気ヘッド素子を有している。
【００３３】
ローツール１０に接着されたローバー１４は、ラッピング工程等のその後の磁気ヘッドスライダ製造工程に供される。
【００３４】
そして、図３（Ｂ）でローバー１４を切り離した一体化ブロック１３は新たなローツールに接着され、図２（Ａ）〜図３（Ｂ）の各工程が繰り返される。
【００３５】
この方法によると、ローブロック１１は１個のローバー１４よりも剛性が高いため、接着の際の加圧などによるローブロックの反り量や、切断時の応力によるローバー１４の歪みを小さくすることができる。
【００３６】
更に、本発明方法では、予め剛性を高めるためローブロック１１にダミーウエハー１２を接着しているので、ローブロック１１の切断を繰り返してもその剛性が小さくなることはなく、切断本数によるローバーの真直度に悪影響を及ぼすことが防止される。
【００３７】
以下、上述した接着方法を実行するのに適した本発明の接着装置を図４〜図３４を参照して説明する。図４はローブロックにダミーウエハーを接着する装置の正面図であり、図５はその平面図である。
【００３８】
ダミーウエハー接着装置は、接着剤塗布アセンブリ２、レールアセンブリ３、リンキングアセンブリ４、接着アセンブリ５、第１予備加熱アセンブリ６、第２予備加熱アセンブリ７、オペレーションパネル８及び制御ユニット９から構成される。
【００３９】
この接着装置の接着作業には、図６（Ａ）〜図７（Ｂ）に示すダミーウエハー用移載ブロック１が使用される。ダミーウエハー用移載ブロック１はＬ形状をしており、ローブロック１１を位置決めするためのピン２０、接着面からの余分な接着剤の逃げのための溝２１を有している。
【００４０】
ダミーウエハー用移載ブロック１は更に、接着アセンブリ５でのローブロック１１とダミーウエハー１２の突き当てのための溝２４及び持ち運びを容易にするための溝２５を有している。
【００４１】
Ｌ形状をしていることにより、ダミーウエハー１２の接着面と反対な面を移載ブロック１により支持することができる。移載ブロック１は更に、ローブロック１１とダミーウエハー１２の固定のための、真空吸引用の丸穴２２と長穴２３を有している。長穴２３の長手方向長さは、ローブロック１１及びダミーウエハー１２の長手方向長さより若干短くなっている。
【００４２】
図８を参照すると、接着剤塗布アセンブリ２の正面図が示されている。図９は図８の右側面図、図１０は平面図である。接着剤塗布アセンブリ２は、接着剤をディスペンスするシリンジ３０を有している。
【００４３】
シリンジ３０の周囲はシリンジ加熱用の温調ブロック３２により包囲されている。シリンジ３０はシリンジ取り付け部３１に取り付けられており、このシリンダ取り付け部３１はシリンダ３４により上下に移動される。
【００４４】
シリンダ３４は支持部材３６に取り付けられており、この支持部材３６はロボット３５によりレールアセンブリ３に沿って左右に移動される。更に、シリンジ先端３０ａがシリンダ３４により下降された際の高さ方向の位置を調整ねじ３３により微調整することができる。
【００４５】
接着剤としてはホットメルトを使用している。シリンジ３０は温調ブロック３２により熱管理されており、使用する接着剤によってシリンジ３０の温度を任意に設定することができる。
【００４６】
本実施形態においては、シリンジ３０の温度を１４０℃に設定している。シリンジ取り付け部３１には、耐薬品性に優れた性質を有する導電性耐熱プラスチックを使用している。
【００４７】
支持部材３６は２つの調整ねじ３７を有しており、この調整ねじ３７を回転することによりロボット３５上の支持部材３６の位置を調整し、シリンジ先端３０ａを前後方向に微調整することができる。
【００４８】
図１１を参照すると、レールアセンブリ３の正面図が示されている。図１２は図１１の右側面図、図１３は平面図である。
【００４９】
レールアセンブリ３は、ダミーウエハー１２が設置されるＬ型ブロック４０、Ｌ型ブロック４０加熱用のヒータ４１、Ｌ型ブロック４０上でダミーウエハー１２の一端を突き当てる突き当てブロック４２を有している。
【００５０】
押さえブロック４３がＬ型ブロック４０上に調整可能に固定されており、この押さえブロック４３はダミーウエハー１２の突き当て時にダミーウエハー１２の挿入案内の役目と、Ｌ型ブロック４０にダミーウエハー１２を押さえ付ける役目をする。
【００５１】
レールアセンブリ３は更に、Ｌ型ブロック４０を取り付けるベース４４、位置決め用の位置決めブロック４５、ベース４４を支えるＬ型支持ブロック４６、及びシリンジ３０からの接着剤受け用の皿４７を有している。
【００５２】
Ｌ型ブロック４２は、ダミーウエハー１２の下部を吸引するための２つの丸穴４８と、側面を吸引する長穴４９が形成されており、これらの丸穴４８及び長穴４９を介して真空吸引することにより、ダミーウエハー１２が正しい位置にセットされていないときのエラー検出をする。
【００５３】
Ｌ型ブロック４０上に設置されるダミーウエハーは、ヒータ４１によって熱管理されており、ダミーウエハーを任意の温度に設定することができる。本実施形態においては１００℃に設定している。
【００５４】
押さえブロック４３には、ダミーウエハー１２をスムーズに挿入できるように、ダミーウエハー側面と対向する面に２つのベアリング５０が取り付けられている。これにより、ダミーウエハー１２を傷付けることなく、所定の位置にセットすることができる。
【００５５】
図１４を参照すると、リンキングアセンブリ４及び接着アセンブリ５の正面図が示されている。図１５は図１４の右側面図、図１６は左側面図、図１７は平面図をそれぞれ示している。本実施形態では、リンキングアセンブリ４と接着アセンブリ５は一体化されている。
【００５６】
リンキングアセンブリ４は、移載ブロック１を設置するためのリンキングベース６０、リンキングベース６０加熱用のヒータ６１、ダミーウエハー１２をクランプするクランプブロック６２、クランプブロック６２を作動するクランプシリンダ６３、クランプシリンダ６３をリンキングベース６０上に設置する退避シリンダ６４を有している。
【００５７】
リンキングアセンブリ４は更に、ダミーウエハー１２を往復直線運動させるための駆動機構を有している。この駆動機構はモータ６８と、モータ６８に取り付けられたリンキングストローク調整円板６７と、クランプブロック６２とリンキングストローク調整円板６７とを連結し、モータ６８の出力軸に対して偏心して取り付けられた連結棒６６と、リニア・モーション・ガイド（ＬＭガイド）６５を含んでいる。
【００５８】
リンキングアセンブリ４は更に、ローブロック１１を加圧する加圧ブロック６９、ＬＭガイド７０及び加圧用シリンダ７１を有している。
【００５９】
クランプブロック６２は導電性耐熱プラスチックから形成されている。加圧ブロック６９のローブロック１１との接触面にはゴム材が設けられており、ダミーウエハー１２とローブロック１１の欠けを防止している。
【００６０】
リンキングベース６０には、移載ブロック１の位置決め用のピン７２が設けられており、更に移載ブロック１とローブロック１１の固定のために真空吸引用の図示しない丸穴と同じく図示しない長穴が形成されている。
【００６１】
リンキングベース６０は断熱ブロック７６を介してアングルベース７５に固定されている。アングルベース７５は、図１６に示すようにアングルベース取り付け板９２に任意の角度を持って取り付けることができ、本実施形態ではこの取り付け角度を約４０度に設定している。アングルベース取り付け板９２は装置ベース９３に固定されている。
【００６２】
リンキングベース６０上の移載ブロック１はヒータ６１によって熱管理されており、移載ブロック１を任意の温度に設定することができる。本実施形態においては、移載ブロック１を約１４０℃の温度に設定している。
【００６３】
リンキングストローク調整円板６７の取り付け位置を変更することにより、ダミーウエハー１２の往復運動の距離を変更することができる。
【００６４】
接着アセンブリ５は、移載ブロック１を設置するための接着ベース８０、ダミーウエハー１２とローブロック１１の位置決めをする位置決めブロック８１、位置決めブロック８１で位置決めする面と反対側のダミーウエハー１２とローブロック１１の面を突き当てる突き当てブロック８２を有している。
【００６５】
突き当てブロック８２は突き当てシリンダ８３により移動され、突き当てシリンダ８３は上下シリンダ８４により上下動される。接着アセンブリ５は更に、ローブロック１１を加圧する加圧ブロック８５、加圧ブロック８５を移動する加圧用シリンダ８７、及び加圧ブロック８５の直線運動を案内するＬＭガイド８６を有している。更に、接着面の冷却用に２つのエアノズル８８が設けられている。
【００６６】
突き当てブロック８２と位置決めブロック８１は導電性耐熱プラスチックから形成されている。突き当てブロック８２のダミーウエハー１２とローブロック１１との接触面、及び加圧ブロック８５のローブロック１１との接触面にはゴム材が設けられており、ダミーウエハー１２とローブロック１１の欠けを防止している。
【００６７】
接着ベース８０には突き当てブロック８２の上下動用に長穴８９が形成されており、突き当てブロック８２が下がっているときには突き当てブロック８２は接着ベース８０の面より上方には突出しない。
【００６８】
また、接着ベース８０には移載ブロック１、ローブロック１１及びダミーウエハー１２を固定するための真空吸引用の丸穴９４と長穴９５が形成されている。接着ベース８０は支持ブロック９０を介してアングルベース７５に取り付けられている。突き当てシリンダ８３には専用のレギュレータが設けられており、突き当て力の調整が可能である。
【００６９】
図１８を参照すると、第１予備加熱アセンブリ６の左側面図が示されている。図１９は図１８の平面図である。
【００７０】
第１予備加熱アセンブリ６は、ダミーウエハー１２が挿入される複数の溝１０３を有する加熱ブロック１００、加熱ブロック１００を加熱するヒータ１０１、装置ベース９３に熱を伝えないための断熱ブロック１０２を有している。
【００７１】
加熱ブロック１００は櫛歯形状をしており、ダミーウエハー１２への熱伝導効率を高めている。加熱ブロック１００の溝１０３中に挿入されたダミーウエハー１２はヒータ１０１によって熱管理されており、ダミーウエハー１２の温度を任意の温度に設定することができる。
【００７２】
本実施形態においては、ダミーウエハー１２を１００℃に設定している。断熱ブロック１０２は導電性耐熱プラスチックから形成されており、加熱ブロック１００の取り付け及び位置決め用にピン１０４が断熱ブロック１０２に圧入されている。
【００７３】
図２０を参照すると、第２予備加熱アセンブリ７の左側面図が示されている。図２１は図２０の平面図である。
【００７４】
第２予備加熱アセンブリ７は、複数のローブロック１１を載置する加熱ブロック１１０、加熱ブロック１１０を加熱するヒータ１１１、装置ベース９３に熱を伝えないための断熱ブロック１１２を有している。加熱ブロック１１０は、ローブロック１１の長手方向の長さより若干短い幅の丘部１１３を有しており、ローブロック１１の取扱いを容易にしている。
【００７５】
加熱ブロック１１０上に載置されたローブロック１１はヒータ１１１によって熱管理されており、ローブロック１１を任意の温度に設定することができる。本実施形態においては約１００℃に設定している。
【００７６】
断熱ブロック１１２は導電性耐熱プラスチックから形成されており、加熱ブロック１１０の取り付け及び位置決め用にピン１１４が断熱ブロック１１２に圧入されている。
【００７７】
図２２を参照すると、オペレーションパネル８の正面図が示されている。オペレーションパネル８は、塗布アセンブリ２、リンキングアセンブリ４及び接着アセンブリ５の動作ボタン１２０〜１２２、非常停止ボタン１２３、アラームリセットボタン１２４を有している。
【００７８】
オペレーションパネル８は更に、塗布アセンブリ２、リンキングアセンブリ４及び接着アセンブリ５に対応するアラーム表示灯１２５〜１２７、各アセンブリのエラー以外を表示するアラーム表示灯１２８、動作表示灯１２９、及び自動／手動切替えスイッチ１３０を有している。
【００７９】
図４を再び参照すると、制御ユニット９はシーケンサー、シリンジコントローラ、ロボットコントローラ、モータコントローラ、各シリンダ駆動用の電磁弁、ワークバキューム用の真空イジェクタ、真空センサ、ヒータの熱管理を行なう温調ユニットを有している。
【００８０】
以下、上述したダミーウエハー接着装置の動作について説明する。まず準備として、ダミーウエハー１２、ローブロック１１及び移載ブロック１をそれぞれ第１予備加熱アセンブリ６、第２予備加熱アセンブリ７及びリンキングアセンブリ４に搭載して加熱する。これにより、ダミーウエハー１２、ローブロック１１及び移載ブロック１は約１００℃まで加熱される。
【００８１】
第１予備加熱アセンブリ６上のダミーウエハー１２を、レールアセンブリ３上に接着面を上方に向けて設置する。次に、オペレーションパネル８の接着材塗布アセンブリ２動作ボタン１２０を押すと、接着面への接着剤の塗布が開始される。
【００８２】
まず、レールアセンブリ３上の丸穴４８と長穴４９により、ダミーウエハー１２が正確な位置に設置されているか否かをバキュームにて検出する。次に、図２３に示すように、シリンジ３０の先端３０ａがダミーウエハー１２の接着面の左端より数ｍｍ離れた地点にくるようにロボット３５が移動する。
【００８３】
次いで、矢印Ａに示すように、上下シリンダ３３を作動してシリンジ３０の先端３０ａと接着面との間の距離が数十μｍとなる位置までシリンジ３０を移動させる。
【００８４】
シリンジ３０を所定位置まで移動させた後、矢印Ｂに示すようにロボット３５をレールアセンブリ３に沿って移動して、シリンジ３０の先端３０ａをダミーウエハー１２の接着面の右端より数ｍｍ離れた位置まで移動させ、その間にシリンジ３０がダミーウエハー１２への接着剤の塗布を行なう。
【００８５】
その後、上下シリンダ３３を作動してシリンジ３０を矢印Ｃに示すように上昇させ、ロボット３５は初期位置まで移動し、バキュームが解除される。これにより、ダミーウエハー１２の接着面への接着剤の塗布が完了する。
【００８６】
接着剤の塗布が完了すると、ダミーウエハー１２をリンキングアセンブリ４上に設置された移載ブロック１に搭載する。更に、予備加熱アセンブリ７から１つのローブロック１１を取り出し、その側面を位置決めピン２０に突き当てて、移載ブロック１上のダミーウエハー１２と接着面を合わせてローブロック１１を移載ブロック１上に設置する。
【００８７】
移載ブロック１の左側面がリンキングベース６０上の位置決めピン７２に当接していることを確認し、オペレーションパネル８のリンキングアセンブリ動作ボタン１２１を押すと、リンキングが開始される。
【００８８】
まず、バキュームによって移載ブロック１がリンキングベース６０上の正しい位置に設置されているか否か、及びローブロック１１が正しい位置に設置されているか否かを検出する。
【００８９】
次に、加圧シリンダ７１を作動して図２４の加圧ブロック６９を矢印Ａに示すように下降し、ローブロック１１の接着面と反対の面を加圧する。
【００９０】
その後、退避シリンダ６４が動作し、矢印Ｂに示すようにクランプブロック６２をクランプ位置まで上昇させる。次いで、クランプシリンダ６３を動作させて、クランプブロック６２により矢印Ｃに示すようにダミーウエハー１２をクランプする。
【００９１】
次いで、リンキング動作用のモータ６８が動作し、それに連動してクランプブロック６２にクランプされたダミーウエハー１２がローブロック１１に対して矢印Ｄに示すように往復運動する。
【００９２】
複数回往復運動をした後、クランプブロック６２、退避シリンダ６４及び加圧ブロック６９が初期位置まで戻され、バキュームが解除され、リンキングが完了する。リンキング完了後、移載ブロック１を接着アセンブリ５に移動する。
【００９３】
接着アセンブリ５では、移載ブロック１を位置決めブロック８１に突き当てて、オペレーションパネル８の接着アセンブリ操作ボタン１２２を押すと、接着が開始される。リンキングアセンブリ４同様にバキュームが動作し、上下シリンダ８４が上昇する。
【００９４】
次いで、図２５に示すように、突き当てシリンダ８３が動作して突き当てブロック８２を矢印Ａに示すようにダミーウエハー１２及びローブロック１１の左端面に突き当てる。
【００９５】
その後、加圧シリンダ８７が動作して、加圧ブロック８５を矢印Ｂに示すように下降させ、ローブロック１１の接着面と反対の面を加圧する。この加圧の間、数秒間エアがエアノズル８８より放出され、接着部を冷却する。
【００９６】
冷却終了後、突き当てシリンダ８３、上下シリンダ８４及び加圧シリンダ８７が順に初期位置まで戻り、最後にバキュームが解除され、接着アセンブリ５の動作が終了する。
【００９７】
これにより、ローブロック１１はダミーウエハー１２に接着され、一体化ブロック１３が得られる。この一体化ブロック１３が図２６及び図２７に示すローツール接着装置によりローツール１０と接着される。
【００９８】
図２６を参照すると、上述した一体化ブロック１３にローツール１０を接着するローツール接着装置の正面図が示されている。図２７は図２６の平面図である。
【００９９】
ローツール接着装置は、接着剤塗布アセンブリ１５２、レールアセンブリ１５３、リンキングアセンブリ１５４、接着アセンブリ１５５を含んでいる。ローツール接着装置は更に、第１予備加熱アセンブリ１５６、第２予備加熱アセンブリ１５７、オペレーションパネル１５８、制御ユニット１５９を含んでいる。
【０１００】
図２８（Ａ）はローツール用移載ブロック１５１の正面図であり、図２８（Ｂ）はその平面図である。図２９（Ａ）は図２８（Ａ）の右側面図、図２９（Ｂ）は図２８（Ａ）の左側面図である。
【０１０１】
ローツール用移載ブロック１５１はＬ形状をしており、一体化ブロック１３を位置決めするための位置決めピン１６０を有している。更に、ローツール１０と一体化ブロック１３は厚みが異なるため、接着面を合わせるための溝１６１が形成されている。
【０１０２】
ローツール用移載ブロック１５１は更に、接着アセンブリ１５５でローツール１０と一体化ブロック１３の突き当てのための溝１６４と、持ち運びを容易にするための溝１６５を有している。Ｌ形状をしていることにより、ローツール１０がローツール用移載ブロック１５１上に容易に載置される。
【０１０３】
更に、ローツール１０と一体化ブロック１３の固定のため、真空吸引用の丸穴１６２と長穴１６３が形成されている。長穴１６３の長手方向の長さは、ローツール１０及び一体化ブロック１３の長手方向長さより若干短くなっている。
【０１０４】
図３０を参照すると、接着剤塗布アセンブリ１５２の正面図が示されている。図３１は図３０の右側面図、図３２は平面図である。接着剤塗布アセンブリ１５２は接着剤を所定量ディスペンスするシリンジ１７０を有している。シリンジ１７０はシリンジ取り付け部１７１に取り付けられている。接着剤としてはシアノ系の瞬間接着剤を使用している。
【０１０５】
シリンジ取り付け部１７１は支持部材１７６に取り付けられた上下シリンダ１７４により上下方向に移動される。支持部材１５２はレールアセンブリ１５３に沿って左右方向に移動可能なロボット１７５に搭載されている。
【０１０６】
部材１７２がシリンジ取り付け部１７１と連結されており、この部材１７２に微調整ねじ１７３が設けられている。微調整ねじ１７３を回転することにより、シリンジ１７０が上下シリンダ１７４によって下降された際のシリンジ先端１７０ａの高さ方向の位置を微調整することができる。
【０１０７】
支持部材１７６には２つの調整ねじ１７７が設けられており、この調整ねじ１７７を回転することによりシリンジ先端１７０ａの位置を前後方向に微調整することができる。
【０１０８】
レールアセンブリ１５３は上述したレールアセンブリ３と類似しており、ダミーウエハー１２に対応したレールアセンブリ３の寸法をローツール１０に対応するように変更している。
【０１０９】
リンキングアセンブリ１５４も上述したリンキングアセンブリ４に類似しており、リンキングアセンブリ４のダミーウエハー用移載ブロック１に対応するリンキングベース６０上のバキューム用の長穴７４をローツール用移載ブロック１５１に対応するようにその寸法を変更している。
【０１１０】
接着アセンブリ１５５もローツール用移載ブロック１５１に対応するように幾つかの寸法変更をした点を除いて、上述した接着アセンブリ５に類似している。
【０１１１】
即ち、ダミーウエハー用移載ブロック１に対応する接着ベース８０上のバキューム用の長穴９５、接着ベース８０の突き当てブロック８２用長穴８９、位置決めブロック８１の位置及び冷却用ノズル８８の位置をローツール用移載ブロック１５１に対応するように寸法変更している。
【０１１２】
図３３を参照すると、第１予備加熱アセンブリ１５６の左側面図が示されている。図３４は図３３の平面図である。第１予備加熱アセンブリ１５６は、それぞれローツール１０が挿入される複数の溝１８３を有する加熱ブロック１８０、加熱ブロック１８０を加熱するヒータ１８１、装置ベース９３に熱を伝えないための断熱ブロック１８２を有している。
【０１１３】
加熱ブロック１８０は高低２段に形成されており、ローツール１０の取扱いを容易にしている。加熱ブロック１８０は複数の溝１８３が形成された櫛歯形状をしており、ローツール１０への熱伝導効率を高めている。
【０１１４】
断熱ブロック１８２は導電性耐熱プラスチックから形成されている。加熱ブロック１８０の取り付け及び位置決め用に断熱ブロック１８２にピン１８４が圧入されている。
【０１１５】
第２予備加熱アセンブリ１５７は上述したダミーウエハー接着装置の第２予備加熱アセンブリ７と同様である。オペレーションパネル１５８と制御ユニット１５９もダミーウエハー接着装置のオペレーションパネル８及び制御ユニット９と同様である。
【０１１６】
ローツール接着装置の動作は、上述したダミーウエハー接着装置の動作と同様である。しかし、ダミーウエハー接着装置ではローブロックとダミーウエハーを接着するが、ローツール接着装置では一体型ブロック１３とローツール１０を接着する点が相違する。
【０１１７】
ダミーウエハー接着装置とローツール接着装置で接着を終了したワークは、切断用スライサーに設置されて、ローツール１０に接着された１個のローバー１４が一体型ブロック１３から切り離される。
【０１１８】
残りの一体化ブロック１３はローツール接着装置を用いて新たなローツールに接着され、切断と接着が繰り返される。
【０１１９】
ローツール１０に接着されたローバー１４は以下に説明するラッピング装置により研磨される。図３５を参照すると、ラッピング装置２００の断面図が示されている。図３６はラッピング装置２００の平面図である。
【０１２０】
ラッピング装置２００はラッピング面２０２ａを提供するラップ定盤２０２と、ラップユニット２０４とから構成される。ラップユニット２０４はアーム２０８を介して回転軸２０６に取り付けられたラップベース２１０と、ラップベース２１０に固定されたボールジョイント２１２によりラップベース２１０に対して回動可能に取り付けられたラップヘッド２１４を含んでいる。
【０１２１】
ラップベース２１０は開口２１５を有しており、この開口２１５中にラップヘッド２１４が挿入されている。ラップベース２１０の下面には複数の（例えば４個の）座面２１６が設けられており、座面２１６はラッピング面２０２ａ上を摺動する。
【０１２２】
ラップヘッド２１４にはローツール２１８が例えばねじ止め等により固定されている。ローツール２１８上にはエアプレート２２０が固定されている。ラップヘッド２１４の上方にはラップヘッド加圧用の３個の空圧シリンダ２２２が設けられている。
【０１２３】
各空圧シリンダ２２２は配管２２４，２２６を介して図示しない電気−空圧変換レギュレータ及び圧縮空気源２２８に接続されている。
【０１２４】
エアプレート２２０には後述する複数個の角穴が形成されており、各角穴はエアチューブ２３０を介して電気−空圧変換レギュレータ２３２に接続されている。各電気−空圧変換レギュレータ２３２は圧縮空気源２２８に接続されている。
【０１２５】
ローツール２１８に接着されたローバー１４のラッピングに際しては、図３６においてラップ定盤２０２は図示しないモータにより矢印Ｒ方向に回転され、ラップユニット２０４は図示しない駆動機構によって、回転軸２０６を中心に矢印Ｓ方向に揺動される。
【０１２６】
荒研磨の間は、ラップ定盤２０２は約５０ｒｐｍで回転され、仕上げ研磨時には約１５ｒｐｍで回転される。一方、ラップユニット２０４は荒研磨、仕上げ研磨にかかわらず１分間に約１０回程度揺動される。
【０１２７】
図３７を参照すると、ローツール２１８及びローツール２１８上に固定されるエアプレート２２０の分解斜視図が示されている。図３８はローツール２１８及びエアプレート２２０の分解断面図である。エアプレート２２０は図３８において矢印２２１近傍でローツール２１８にねじ止め固定される。
【０１２８】
ローツール２１８及びエアプレート２２０は例えばステンレス鋼から形成されている。ローツール２１８は複数のスリット２３４により画成された縦方向に伸長する複数のベンドセル２３６と、各ベンドセル２３６の幅より広い幅を有する両端に形成された一対の固定セル２３８を有している。
【０１２９】
図３８に最も良く示されるように、ローツール２１８には角穴２４０とＬ形状の穴又はスリット２４２が形成されており、これらの穴２４０，２４２により２つの薄肉部２４４，２４６が画成されている。これらの薄肉部２４４，２４６は互いに平行であり且つ板厚が同一であり、平行ばね機構を構成する。
【０１３０】
エアプレート２２０にはローツール２１８に固定されたとき、各ベンドセル２３６に対応する位置に複数の角穴２５０が形成されている。各角穴２５０は穴２５２を介してエアチューブ２３０に接続されている。ローツール２１８の上面とエアプレート２２０の下面はそれぞれ３μｍ以下の平面度となるように研磨されている。
【０１３１】
ローツール２１８の下面の前端部には研磨すべきローバー１４が接着されている。ローバー１４には複数の磁気ヘッド素子と、加工モニタ用抵抗素子であるエレクトリカル・ラッピング・ガイド素子（ＥＬＧ素子）が形成されている。
【０１３２】
ローバー１４のラッピング時には、ローツール２１８の前端面２１８ａに中継プリント配線板が装着され、この中継プリント配線板のパッドとＥＬＧ素子の端子とはワイヤーボンディングされ、ＥＬＧ素子の抵抗変化が測定される。
【０１３３】
ローツール２１８に接着されたローバー１４のラッピング研磨時の圧力は、図３５に示したラップヘッド２１４の自重と、ラップヘッド２１４を加圧する空圧シリンダ２２２の加圧力により決定される。荒研磨時には圧力を高く設定し、仕上げ研磨時には圧力を低く設定してラッピング研磨が行われる。
【０１３４】
そして、圧力の微調整はローツール２１８の各ベンドセル２３６に加える推力により達成される。即ち、電気−空圧変換レギュレータ２３２により調整された空気圧がエアプレート２２０に供給されると、図３８に示した角穴２５０にエアが充填され、
発生力Ｆ（Ｎ）＝圧力Ｐ（ＭＰａ）×面積Ｓ（ｍ2）
なる関係で推力が発生し、ローツール２１８の各ベンドセル２３６の背面を押す。ローツール２１８は平行ばね機構を有しているため、この推力によりローバー１４の近傍が矢印Ａ方向に僅かばかり変位する。
【０１３５】
この変位量は空気の供給圧に依存するので、それぞれのベンドセル２３６に対して電気−空圧変換レギュレータ２３２で調整された空気圧を与えると、ローバー１４の局所的変形を補正して真っ直ぐにラップ研磨することが可能となる。
【０１３６】
エアプレート２２０に空気圧を供給すると、ローツール２１８とエアプレート２２０は互いに離れるので、上述したように矢印２２１近傍でエアプレート２２０をローツール２１８に対して２本のねじで固定する。
【０１３７】
エア漏れが僅かに発生するが、エアプレート２２０とローツール２１８の互いの接触面を研磨面にして、それぞれ平面度２μｍ以下にすれば、空気供給圧とベンドセル２３６の変位量の関係はほぼ直線となる。
【０１３８】
空気漏れが大きいと絶対変位量が小さくなるだけでなく、ヒステリシスが大きくなるため、空気漏れはできるだけ避ける必要がある。
【０１３９】
ローツール２１８は複数のベンドセル２３６と両端に配置された一対の固定セル２３８を有している。固定セル２３８はベンドセル２３６よりも幅が厚いため、固定セル２３８の剛性はベンドセル２３６の剛性よりも高くなっている。
【０１４０】
よって、図３９に示すようにローツール２１８にローバー１４が真っ直ぐに接着され、実際にラップ加工を行なうと、図４０（Ａ）に示すようにローバー１４に分布荷重（ラップ圧）が加わり、固定セル２３８よりもベンドセル２３６の方が大きく撓み、ラップ加工時にはローバー１４は図４０（Ｂ）に示すように中央部分がへこんだ状態となる。
【０１４１】
即ち、ベンドを行なわなくても自然に「引き」の状態となり、このオフセットした状態からベンド制御を行なうため、本発明では「引き」を設ける必要がない。
【０１４２】
図４１はベンド状態の模式図を示している。即ち、エアプレート２２０に供給する空気圧を０〜０．５Ｍパスカルの範囲内で制御して、ローツール２１８の各ベンドセル２３６に加える推力を矢印２５４で示すように変化させる。
【０１４３】
両端の固定セル２３８で左右差制御を行ない、それぞれのベンドセル２３６を任意に変位させることにより、ローバー１４の目標形状を得ることができ、高精度のラッピング加工を実現することができる。
【０１４４】
図４２を参照すると、エアリードフレームを使用するローツールアセンブリ２６０の断面図が示されている。ローツールアセンブリ２６０はローツール２６２と、ローツール２６２に挿入されるエアリードフレーム２６４と、ローツール２６２に搭載固定されるエアプレート２６６から構成される。
【０１４５】
ローツール２６２は角穴２６８と、Ｌ形状の穴２７０と、水平方向に開口された挿入穴２７２を有している。角穴２６８とＬ形状穴２７０により一対の平行な薄肉部２７４，２７６が画成され、これらの薄肉部２７４，２７６が平行ばね機構を構成する。
【０１４６】
ローツール２６２の挿入穴２７２にはエアリードフレーム２６４が挿入されている。エアリードフレーム２６４は、図４３（Ａ）の平面図及び図４３（Ｂ）の断面図に示されるように、伸長した突起２８０により画成された複数の空気溜２７８と、ローツール２６２の各スリットに対応する複数のスリット２８４を有している。
【０１４７】
例えば、エアリードフレーム２６４の空気溜２７８はエッチング加工で形成する。突起２８０の先端にはゴムコーティング又は樹脂コーティング２８２を施す。
【０１４８】
ローツール２６２は、第１実施形態のローツール２１８と同様に、スリットにより画成された複数のベンドセルと、両端の一対の固定セルを有している。
【０１４９】
ローツール２６２はローツール内に挿入されたエアリードフレーム２６４の各空気溜２７８に連通する複数の穴２８６を有している。エアプレート２６６にはローツール２６２の穴２８６に連通する複数の穴２８８が形成されている。
【０１５０】
空気漏れ対策として、ローツール２６２の穴２８６とエアプレート２６６の穴２８８の間に例えばＯ−リング等のシール２９０が介装される。
【０１５１】
エアリードフレーム２６４は０．２ｍｍ以下の板厚を有している。エアリードフレーム２６４が薄板であるため、エアが空気溜２７８に供給されると図４２の点線のようにエアリードフレーム２６４は撓もうとするため、結果的にローバー１４の近傍が微小変位する。
【０１５２】
供給する空気圧を電気−空圧変換レギュレータでアナログ的に変化させれば、ローバー１４の変位量を任意に取ることが可能となる。
【０１５３】
エアリードフレーム２６４の空気溜２７８からの空気漏れはゴムコーティング又は樹脂コーティング２８２がローツール２６２の内面に接触するため防止され、ローツール２６２とエアプレート２６６との間の空気漏れはシール２９０により防止される。
【０１５４】
よって、本実施形態のローツールアセンブリ２６０は、上述した実施形態のローツール２１８及びエアプレート２２０のような高い平面度を要求されることはない。
【０１５５】
上述した説明においては、ローバー１４は複数の磁気ヘッド素子が一列に並んで形成されたバー状態のものとしているが、図４４（Ａ）に示すように各磁気ヘッド素子間をハーフカットしたローバー１４Ａ、図４４（Ｂ）に示すようにローツール２１８に接着後各磁気ヘッド素子間を完全に切断したワーク１４Ｂにも本発明は適用することができる。
【０１５６】
本発明は以下の付記を含むものである。
【０１５７】
（付記１）  ウエハーから複数のヘッド素子が縦横に配列されたローブロックを切り出し、
該ローブロックの一側面に板状部材を接着し、
該板状部材が接着された前記ローブロックの前記一側面に対向する側面にローツールを接着し、
前記ローブロックを切断して、前記ローツールに接着された複数のヘッド素子が一列に配列されたローバーを切り出す、
各ステップから成ることを特徴とするローバーの切り出し方法。
【０１５８】
（付記２）  前記板状部材はダミーウエハーから構成される付記１記載の方法。
【０１５９】
（付記３）  前記板状部材が接着された前記ローブロックの切断面に他のローツールを接着するステップと、
前記ローブロックの切断ステップを繰り返す付記１記載の方法。
【０１６０】
（付記４）  複数のヘッド素子が縦横に配列されたローブロックを板状部材に接着する装置であって、
前記ローブロックを位置決めする位置決めピンを有する移載ブロックと；
前記板状部材の一側面に接着剤を塗布する接着剤塗布アセンブリと；
前記移載ブロックに搭載された前記板状部材をクランプするクランパーと、該クランパーを往復直線動させる駆動機構と、前記移載ブロック上に搭載された前記ローブロックを前記板状部材の一側面に押し付ける第１加圧ブロックとを有するリンキングアセンブリと；
前記移載ブロック上に搭載された板状部材及びローブロックの位置決めを行なう位置決めブロックと、前記ローブロックを前記板状部材の一側面に押し付ける第２加圧ブロックと、エアを接着部に吹き付けるエアノズルとを有する接着アセンブリと；
を具備したことを特徴とする装置。
【０１６１】
（付記５）  前記板状部材を予備加熱する第１予備加熱アセンブリと；
前記ローブロックを予備加熱する第２予備加熱アセンブリと；
前記板状部材が搭載される第１ブロックと、該第１ブロックと協働して前記板状部材を概略垂直に保持する第２ブロックとを有するレールアセンブリとを更に具備した付記４記載の装置。
【０１６２】
（付記６）  前記移載ブロックはＬ形状をしており、真空吸引用の穴を有している付記４記載の装置。
【０１６３】
（付記７）  前記レールアセンブリの前記第１ブロックはＬ形状をしており、
前記レールアセンブリは、前記Ｌ形状第１ブロック上に搭載された前記板状部材の一端を突き当てる第３ブロックと、前記第１ブロックを加熱するヒータを更に含んでいる付記５記載の装置。
【０１６４】
（付記８）  前記接着剤塗布アセンブリは接着剤をディスペンスするシリンジと、該シリンジを所定温度に加熱する温度調整ブロックと、該シリンジを上下方向に移動するシリンダと、該シリンジを前記レールアセンブリに沿って移動させるロボットとを含んでいる付記５記載の装置。
【０１６５】
（付記９）  前記接着アセンブリは前記位置決めブロックで位置決めされた前記板状部材及びローブロックの反対側の側面を突き当てる突き当てブロックを更に有している付記４記載の装置。
【０１６６】
（付記１０）  前記接着アセンブリは前記移載ブロックを搭載する接着ベースを更に含んでおり、該接着ベースは前記移載ブロック、板状部材及びローブロックを真空吸引する真空吸引穴を有している付記４記載の装置。
【０１６７】
（付記１１）  板状部材が一側面に接着されたローブロックの該一側面に対向する側面にローツールを接着する装置であって、
前記ローブロックを位置決めする位置決めピンを有する移載ブロックと；
前記ローツールが搭載される第１ブロックと、該第１ブロックと共働して前記ローツールを概略垂直に保持する第２ブロックとを有するレールアセンブリと；
前記レールアセンブリに保持された前記ローツールの一側面に接着剤を塗布する接着剤塗布アセンブリと；
前記移載ブロックを搭載するリンキングベースと、該移載ブロックに搭載された前記ローツールをクランプするクランパーと、該クランパーを往復直線運動させる駆動機構と、前記移載ブロック上に搭載された前記ローブロックを前記ローツールの一側面に押し付ける第１加圧ブロックとを有するリンキングアセンブリと、
前記移載ブロックを搭載する接着ベースと、前記移載ブロック、前記移載ブロック上に搭載されたローブロック及びローツールの位置決めを行なう位置決めブロックと、前記ローブロックを前記ローツールの一側面に押し付ける第２加圧ブロックとを有する接着アセンブリと；
を具備したことを特徴とする装置。
【０１６８】
（付記１２）  複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーを研磨するラッピング装置であって、
ラッピング面を提供するラップ定盤と；
複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するローツールと；
前記ローツールを前記ラップ定盤のラッピング面の方向に押し付ける押し付け機構と；
前記ベンドセルの各セルに対して空気圧力を与える圧縮空気源と；
を具備したことを特徴とするラッピング装置。
【０１６９】
（付記１３）  前記ローツールの上面に固定され、前記ベンドセルの各々に対応する位置に複数の穴を有するエアプレートと、
前記圧縮空気源と前記エアプレートとの間に配置され、前記エアプレートの各穴に接続された複数の電気−空気変換レギュレータを更に具備した付記１２記載のラッピング装置。
【０１７０】
（付記１４）  前記ローツールは平行ばね機構と、その両端に前記各ベンドセルの幅より広い幅の一対の固定セルを有している付記１２記載のラッピング装置。
【０１７１】
（付記１５）  前記押し付け機構は自重で前記ローバーを前記ラッピング面に対して押し付けるラップヘッドと、ラップ加工圧力を調整可能に加圧する空圧シリンダと含んでいる付記１４記載のラッピング装置。
【０１７２】
（付記１６）  複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーを研磨するラッピング方法であって、
ラップ定盤によりラッピング面を提供し、
複数のスリットにより画成された複数のベンドセルを有するローツールの下面に接着されたローバーを、ラッピング面に対して押し付け、
前記各ベンドセルに対して個々に調整可能な空気圧を作用させ、
これにより前記ローバーを複数点で曲げて該ローバーのラッピング研磨を行なうことを特徴とするラッピング方法。
【０１７３】
（付記１７）  複数のヘッド素子が一列に形成されたローバーが接着されるローツールであって、
複数のスリットにより画成された複数のベンドセルと、
前記各ベンドセルの幅より広い幅を有する両端に形成された一対の固定セルと、
平行ばね機構と、
を具備したことを特徴とするローツール。
【０１７４】
（付記１８）  前記ローツールは平面度３μｍ以下の上面を有している付記１７記載のローツール。
【０１７５】
（付記１９）  ローツールアセンブリであって、
複数のスリットにより画成された複数のベンドセルと、平行ばね機構と、水平方向に伸長する挿入穴と、該挿入穴と上面とを接続する複数の第１の穴を有するローツールと；
前記ローツールの挿入穴中に挿入された、前記第１の穴の各々に連通する複数の空気溜を有するエアリードフレームと；
前記ローツールの上面に固定され、前記第１の穴の各々に連通する複数の第２の穴を有するエアプレートと；
を具備したことを特徴とするローツールアセンブリ。
【０１７６】
（付記２０）  前記エアリードフレームは前記ローツールのスリットに対応する複数の第２スリットを有しており、前記各空気溜は伸長した突起により画成され、該各突起の先端には前記ローツールの内面に接触するコーティングが形成されている付記１９記載のローツールアセンブリ。
【図面の簡単な説明】
【０１７７】
【図１】図１（Ａ）〜図１（Ｃ）はローブロックのダミーウエハーへの接着プロセスを示す図である。
【図２】図２（Ａ）〜図２（Ｃ）は一体化ブロックのローツールへの接着プロセスを示す図である。
【図３】図３（Ａ）及び図３（Ｂ）はローブロック切断プロセスを示す図である。
【図４】ダミーウエハー接着装置の正面図である。
【図５】図４の平面図である。
【図６】図６（Ａ）はダミーウエハー用移載ブロックの正面図であり、図６（Ｂ）はその平面図である。
【図７】図７（Ａ）はダミーウエハー用移載ブロックの右側面図であり、図７（Ｂ）はその左側面図である。
【図８】接着剤塗布アセンブリの正面図である。
【図９】接着剤塗布アセンブリの右側面図である。
【図１０】接着剤塗布アセンブリの平面図である。
【図１１】レールアセンブリの正面図である。
【図１２】レールアセンブリの右側面図である。
【図１３】レールアセンブリの平面図である。
【図１４】リンキング及び接着アセンブリの正面図である。
【図１５】接着アセンブリの右側面図である。
【図１６】リンキングアセンブリの左側面図である。
【図１７】リンキング及び接着アセンブリの平面図である。
【図１８】第１予備加熱アセンブリの左側面図である。
【図１９】第１予備加熱アセンブリの平面図である。
【図２０】第２予備加熱アセンブリの左側面図である。
【図２１】第２予備加熱アセンブリの平面図である。
【図２２】オペレーションパネルの正面図である。
【図２３】接着剤塗布アセンブリの動作説明図である。
【図２４】リンキングアセンブリの動作説明図である。
【図２５】接着アセンブリの動作説明図である。
【図２６】一体化ブロックとローツールの接着装置正面図である。
【図２７】図２６の接着装置の平面図である。
【図２８】図２８（Ａ）はローツール用移載ブロックの正面図であり、図２８（Ｂ）はその平面図である。
【図２９】図２９（Ａ）はローツール用移載ブロックの右側面図であり、図２９（Ｂ）はその左側面図である。
【図３０】接着剤塗布アセンブリの正面図である。
【図３１】接着剤塗布アセンブリの右側面図である。
【図３２】接着剤塗布アセンブリの平面図である。
【図３３】第１予備加熱アセンブリの左側面図である。
【図３４】第１予備加熱アセンブリの平面図である。
【図３５】ラッピング装置の縦断面図である。
【図３６】ラッピング装置の平面図である。
【図３７】ローツール及びエアプレートの分解斜視図である。
【図３８】ローツール及びエアプレートの分解断面図である。
【図３９】ローツール正面図である。
【図４０】図４０（Ａ）及び図４０（Ｂ）はラップ圧の影響を説明する図である。
【図４１】ベンド状態を示す模式図である。
【図４２】エアリードフレームを使用するローツールアセンブリの断面図である。
【図４３】図４３（Ａ）はエアリードフレームの平面図であり、図４３（Ｂ）は図４３（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４４】図４４（Ａ）はローツールに接着されたハーフカットのローバーを示す図であり、図４４（Ｂ）はローツールに接着された完全カットのローバーを示す図である。
【符号の説明】
【０１７８】
１  ダミーウエハー用移載ブロック
２  接着剤塗布アセンブリ
３  レールアセンブリ
４  リンキングアセンブリ
５  接着アセンブリ
６  第１予備加熱アセンブリ
７  第２予備加熱アセンブリ
８  コントロールパネル
９  制御ユニット
１０  ローツール
１１  ローブロック
１２  ダミーウエハー
１３  一体化ブロック
１４  ローバー
２００  ラッピング装置
２０２  ラップ定盤
２０４  ラップユニット
２１８  ローツール
２２０  エアプレート
２３６  ベンドセル
２３８  固定セル
【図１】
2006236573.tif 000003
【図２】
2006236573.tif 000004
【図３】
2006236573.tif 000005
【図４】
2006236573.tif 000006
【図５】
2006236573.tif 000007
【図６】
2006236573.tif 000008
【図７】
2006236573.tif 000009
【図８】
2006236573.tif 000010
【図９】
2006236573.tif 000011
【図１０】
2006236573.tif 000012
【図１１】
2006236573.tif 000013
【図１２】
2006236573.tif 000014
【図１３】
2006236573.tif 000015
【図１４】
2006236573.tif 000016
【図１５】
2006236573.tif 000017
【図１６】
2006236573.tif 000018
【図１７】
2006236573.tif 000019
【図１８】
2006236573.tif 000020
【図１９】
2006236573.tif 000021
【図２０】
2006236573.tif 000022
【図２１】
2006236573.tif 000023
【図２２】
2006236573.tif 000024
【図２３】
2006236573.tif 000025
【図２４】
2006236573.tif 000026
【図２５】
2006236573.tif 000027
【図２６】
2006236573.tif 000028
【図２７】
2006236573.tif 000029
【図２８】
2006236573.tif 000030
【図２９】
2006236573.tif 000031
【図３０】
2006236573.tif 000032
【図３１】
2006236573.tif 000033
【図３２】
2006236573.tif 000034
【図３３】
2006236573.tif 000035
【図３４】
2006236573.tif 000036
【図３５】
2006236573.tif 000037
【図３６】
2006236573.tif 000038
【図３７】
2006236573.tif 000039
【図３８】
2006236573.tif 000040
【図３９】
2006236573.tif 000041
【図４０】
2006236573.tif 000042
【図４１】
2006236573.tif 000043
【図４２】
2006236573.tif 000044
【図４３】
2006236573.tif 000045
【図４４】
2006236573.tif 000046