(57)【要約】【課題】所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができるアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータを提供する。【解決手段】本発明のアクチュエータ１００の共振周波数の調整方法は、交流電圧を印加することによって、第１の質量部１、１１が駆動し、それに伴い第２の質量部２が回動するアクチュエータ１００の共振周波数の調整方法であって、前記第１の質量部１、１１と前記第２の質量部２との少なくとも一方の質量部本体１４に、質量を調整するために除去され得る除去部８を設け、前記除去部８の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数を調整することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量部本体を有する第１の質量部と、質量部本体を有する第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するアクチュエータの共振周波数の調整方法であって、
前記第１の質量部と前記第２の質量部との少なくとも一方の前記質量部本体に、質量を調整するために除去され得る除去部を設け、
前記除去部の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数を調整することを特徴とするアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２】
前記除去部は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸から遠位の端部に設けられる請求項１に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項３】
前記除去部は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側に設けられる請求項１に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項４】
前記除去部は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸を介して両側にそれぞれ設けられる請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項５】
前記回動中心軸を中心にほぼ対称となるように前記除去部を除去する請求項４に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項６】
前記第２の質量部は、光反射部を有する請求項１ないし５のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項７】
前記アクチュエータは、前記第１の質量部を一対備え、
前記一対の第１の質量部の一方は、前記第２の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第２の質量部の他端側に設けられている請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項８】
前記除去部は、複数の突起を有し、該複数の突起の少なくとも１つを除去することにより、共振周波数を調整する請求項１ないし７のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項９】
前記突起の基端部は、その先端側の部分よりも細い請求項８に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１０】
前記突起が設けられている質量部において、該突起は、互いに、その質量部の回動中心軸からほぼ等しい距離に位置する請求項８または９に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１１】
前記突起が設けられている質量部において、該突起は、その質量部の回動中心軸に対してほぼ平行な方向に沿って並設される請求項８ないし１０のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１２】
前記突起が設けられている質量部において、該突起は、その質量部の回動中心軸に対してほぼ垂直な方向に沿って並設される請求項８または９に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１３】
質量部本体を有する質量部と、支持部と、前記質量部と前記支持部とを、前記質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記質量部が回動するアクチュエータの共振周波数の調整方法であって、
前記質量部の前記質量部本体に、質量を調整するために除去され得る除去部を設け、
前記除去部の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数を調整することを特徴とするアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１４】
前記除去部は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸から遠位の端部に設けられる請求項１３に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１５】
前記除去部は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側に設けられる請求項１３に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１６】
前記除去部は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸を介して両側にそれぞれ設けられる請求項１３ないし１５のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１７】
前記質量部の回動中心軸を中心にほぼ対称となるように前記除去部を除去する請求項１６に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１８】
前記質量部は、光反射部を有する請求項１３ないし１７のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１９】
前記除去部は、複数の突起を有し、該複数の突起の少なくとも１つを除去することにより、共振周波数を調整する請求項１３ないし１８のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２０】
前記突起の基端部は、その先端側の部分よりも細い請求項１９に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２１】
前記突起は、互いに、前記質量部の回動中心軸からほぼ等しい距離に位置する請求項１９または２０に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２２】
前記突起は、前記質量部の回動中心軸に対してほぼ平行な方向に沿って並設される請求項１９ないし２１のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２３】
前記突起は、前記質量部の回動中心軸に対してほぼ垂直な方向に沿って並設される請求項１９または２０に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２４】
前記共振周波数の調整には、粗調整と、微調整とが含まれ、
前記突起を除去することによる共振周波数の調整を、前記粗調整として行なう請求項８ないし１２、１９ないし２３のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２５】
前記質量部本体の構成材料と前記除去部の構成材料とが互いに異なる請求項１ないし７、１３ないし１８のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２６】
前記共振周波数の調整には、粗調整と、微調整とが含まれ、
前記質量部本体と構成材料の異なる前記除去部を除去することによる共振周波数の調整を、前記粗調整として行なう請求項２５に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２７】
前記除去部は、前記複数の突起の表面に設けられた膜を有し、該複数の膜の少なくとも１つを除去することにより、共振周波数を調整する請求項８ないし１２、１９ないし２４のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２８】
前記除去部は、膜を有し、該膜の少なくとも一部を除去することにより、共振周波数を調整する請求項１ないし２６のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２９】
前記共振周波数の調整には、粗調整と、微調整とが含まれ、
前記膜を除去することによる共振周波数の調整を、前記微調整として行なう請求項２７または２８に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項３０】
前記除去部が露出するようにマスクを設け、該マスクを用いて前記除去部に対してエッチングを施して該除去部の少なくとも一部を除去することにより、共振周波数を調整する請求項１ないし７、１３ないし１８のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項３１】
前記共振周波数の調整には、粗調整と、微調整とが含まれ、
前記エッチングにより前記除去部を除去することによる共振周波数の調整を、前記微調整として行なう請求項３０に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項３２】
第１の質量部と、第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するアクチュエータであって、
前記第１の質量部と前記第２の質量部との少なくとも一方の一部が必要量除去されて、その質量が調整されることにより、共振周波数が調整されたものであることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３３】
質量部と、支持部と、前記質量部と前記支持部とを、前記質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記質量部が回動するアクチュエータであって、
前記質量部の一部が必要量除去されて、その質量が調整されることにより、共振周波数が調整されたものであることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザープリンタ等に用いられるアクチュエータとしてポリゴンミラー（回転多面体）が知られている。
しかし、このようなポリゴンミラーにおいて、より高解像度で品質のよい印字と高速印刷を達成するには、ポリゴンミラーの回転をさらに高速にしなければならない。
現在のポリゴンミラーには高速安定回転を維持するためにエアーベアリングが使用されているが、今以上の高速回転を得るのは困難となっている。また、高速にするためには、大型のモーターが必要であり、機器の小型化の面で不利であるという問題がある。
【０００３】
このようなポリゴンミラーを用いると、構造が複雑となり、コストが高くなるといった問題も生じる。
また、図１６に示すような、平行平板状に電極を配置した１自由度のねじり振動子は、その構造が簡単なことから、アクチュエータの研究初期から提案されている（例えば、非特許文献１参照）。また、前記ねじり振動子をカンチレバー方式とした１自由度静電駆動型振動子も提案されている（例えば、非特許文献２参照）。
【０００４】
図１６の１自由度静電駆動型ねじり振動子は、ガラス基板１０００上の両端部にスぺーサ１２００を介してシリコンの単結晶板からなる可動電極板１３００の両端固定部１３００ａを固定し、この可動電極板１３００の両端固定部１３００ａ間に、細巾のトーションバー１３００ｂを介して可動電極部１３００ｃを支持させ、また、その可動電極部１３００ｃに電極間隔を置いて対向させる固定電極１４００を、ガラス基板１０００上において前記可動電極部１３００ｃに対し平行配置している。可動電極板１３００と固定電極１４００との間にはスイッチ１６００を介して電源１５００が接続される。
【０００５】
前記構成を有するねじり振動子は、可動電極部１３００ｃと固定電極１４００との間に電圧を印加すると、静電引力によりトーションバー１３００ｂを軸として可動電極部１３００ｃが回転するものである。
このねじり振動子等のアクチュエータは、その共振周波数とほぼ等しい周波数で駆動されるのが好ましい。このアクチュエータの共振周波数は、可動電極部１３００ｃの形状や寸法、トーションバー１３００ｂのばね定数（ねじりばね定数）等により決まるので、アクチュエータの製造時の加工精度に大きく依存する。
しかしながら、従来のアクチュエータ（アクチュエータの製造方法）では、その共振周波数を所定値（一定値）に設定することが困難である。すなわち、従来のアクチュエータでは、その共振周波数を所定値に設定するためには、加工精度を格段に向上させる必要があり、歩留まりも低くなり、コストも高くなってしまう。
【０００６】
【非特許文献１】K.E.Petersen:“Silicon Torsional Scanning Mirror”,IBMJ.Res.Develop.,vol.24(1980)、P.631
【非特許文献２】河村他：“Ｓｉを用いたマイクロメカニクスの研究”、昭和６１年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集、P.753
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができるアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法は、質量部本体を有する第１の質量部と、質量部本体を有する第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するアクチュエータの共振周波数の調整方法であって、
前記第１の質量部と前記第２の質量部との少なくとも一方の前記質量部本体に、質量を調整するために除去され得る除去部を設け、
前記除去部の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数を調整することを特徴とする。
【０００９】
これにより、所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができる。この場合、アクチュエータの共振周波数は、第１の質量部、第２の質量部の慣性モーメントに依存し、その慣性モーメントが小さいほど、大きい（高い）。このため、例えば、除去部の一部を除去することにより、前記慣性モーメントが減少し、前記共振周波数を大きくすることができる。
また、アクチュエータの加工精度を特別に高くする必要がないので、歩留まりも高く、コストを低減することもできる。
また、このアクチュエータは、第１の質量部と第２の質量部とを有しているので、低電圧で大きい回転角度（振れ角）での駆動が可能である。
【００１０】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸から遠位の端部に設けられることが好ましい。
これにより、慣性モーメントへの影響が大きい位置に除去部を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側に設けられることが好ましい。
これにより、慣性モーメントへの影響が大きい位置に除去部を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００１１】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸を介して両側にそれぞれ設けられることが好ましい。
これにより、除去部をバランス良く除去することができ、安定的に第２の質量部を回動させることができる。
【００１２】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記回動中心軸を中心にほぼ対称となるように前記除去部を除去することが好ましい。
これにより、除去部がバランス良く除去され、安定的に第２の質量部を回動させることができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記第２の質量部は、光反射部を有することが好ましい。
本発明のアクチュエータは、各種のものに適用可能であるが、例えば光スキャナへの適用が好適であり、この場合、光の光路を容易に変更することができる。
【００１３】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記アクチュエータは、前記第１の質量部を一対備え、
前記一対の第１の質量部の一方は、前記第２の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第２の質量部の他端側に設けられていることが好ましい。
これにより、より確実に、低電圧で駆動が可能で、かつ、回転角度（振れ角）が大きいものとすることができる。
【００１４】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、複数の突起を有し、該複数の突起の少なくとも１つを除去することにより、共振周波数を調整することが好ましい。
これにより、除去部を所定（一定）の質量分ずつ、容易に除去することができ、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００１５】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記突起の基端部は、その先端側の部分よりも細いことが好ましい。
これにより、突起をより容易に除去することができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記突起が設けられている質量部において、該突起は、互いに、その質量部の回動中心軸からほぼ等しい距離に位置することが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００１６】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記突起が設けられている質量部において、該突起は、その質量部の回動中心軸に対してほぼ平行な方向に沿って並設されることが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記突起が設けられている質量部において、該突起は、その質量部の回動中心軸に対してほぼ垂直な方向に沿って並設されることが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００１７】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記アクチュエータが、前記第１の質量部を一対備え、前記一対の第１の質量部の一方は、前記第２の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第２の質量部の他端側に設けられている構成において、前記一方の第１の質量部の回動中心軸と、該一方の第１の質量部の質量部本体の前記回動中心軸からの遠位端（前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の先端）との間の距離をＬ１とし、前記他方の第１の質量部の回動中心軸と、該他方の第１の質量部の質量部本体の前記回動中心軸からの遠位端（前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の先端）との間の距離をＬ２とし、前記第２の質量部の回動中心軸と、該第２の質量部の質量部本体の前記回動中心軸からの遠位端（前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の先端）との間の距離をＬ３としたとき、Ｌ１とＬ３とが、Ｌ１＜Ｌ３なる関係を満足し、かつ、Ｌ２とＬ３とが、Ｌ２＜Ｌ３なる関係を満足することが好ましい。
【００１８】
これにより、より容易かつ確実に、低電圧駆動が可能で、かつ、回転角度（振れ角）が大きいものとすることができる。
また、この場合、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記距離Ｌ１と、前記距離Ｌ２とがほぼ等しいことが好ましい。
これにより、アクチュエータを駆動する際、その制御が容易となり、さらに容易かつ確実に、低電圧駆動が可能で、かつ、回転角度（振れ角）が大きいものとすることができる。
【００１９】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記交流電圧の周波数が、前記第１の質量部と前記第２の質量部とが共振する振動系（２自由度振動系）の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定されていることが好ましい。
これにより、低電圧で高速動作が可能で、かつ、回転角度（振れ角）が大きいものとすることができる。また、このような構成とすることにより、第１の質量部の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００２０】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記第１の弾性連結部のばね定数をｋ１とし、前記第２の弾性連結部のばね定数をｋ２としたとき、ｋ１とｋ２とが、ｋ１＞ｋ２なる関係を満足することが好ましい。
これにより、第１の質量部の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００２１】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記第１の質量部の慣性モーメントをＪ１とし、前記第２の質量部の慣性モーメントをＪ２としたとき、Ｊ１とＪ２とがＪ１≦Ｊ２なる関係を満足することが好ましい。
これにより、第１の質量部の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００２２】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記第１の弾性連結部および前記第２の弾性連結部のうちの少なくとも一方は、その内部にピエゾ抵抗素子を備えていることが好ましい。
これにより、例えば、回転角度（振れ角）および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部の姿勢の制御に利用することができる。
【００２３】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法は、質量部本体を有する質量部と、支持部と、前記質量部と前記支持部とを、前記質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記質量部が回動するアクチュエータの共振周波数の調整方法であって、
前記質量部の前記質量部本体に、質量を調整するために除去され得る除去部を設け、
前記除去部の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数を調整することを特徴とする。
【００２４】
これにより、所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができる。この場合、アクチュエータの共振周波数は、質量部の慣性モーメントに依存し、その慣性モーメントが小さいほど、大きい（高い）。このため、例えば、除去部の一部を除去することにより、前記慣性モーメントが減少し、前記共振周波数を大きくすることができる。
また、アクチュエータの加工精度を特別に高くする必要がないので、歩留まりも高く、コストを低減することもできる。
【００２５】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸から遠位の端部に設けられることが好ましい。
これにより、慣性モーメントへの影響が大きい位置に除去部を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側に設けられることが好ましい。
これにより、慣性モーメントへの影響が大きい位置に除去部を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００２６】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸を介して両側にそれぞれ設けられることが好ましい。
これにより、除去部をバランス良く除去することができ、安定的に質量部を回動させることができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量部の回動中心軸を中心にほぼ対称となるように前記除去部を除去することが好ましい。
これにより、除去部がバランス良く除去され、安定的に質量部を回動させることができる。
【００２７】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量部は、光反射部を有することが好ましい。
本発明のアクチュエータは、各種のものに適用可能であるが、例えば光スキャナへの適用が好適であり、この場合、光の光路を容易に変更することができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、複数の突起を有し、該複数の突起の少なくとも１つを除去することにより、共振周波数を調整することが好ましい。
これにより、除去部を所定（一定）の質量分ずつ、容易に除去することができ、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００２８】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記突起の基端部は、その先端側の部分よりも細いことが好ましい。
これにより、突起をより容易に除去することができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記突起は、互いに、前記質量部の回動中心軸からほぼ等しい距離に位置することが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００２９】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記突起は、前記質量部の回動中心軸に対してほぼ平行な方向に沿って並設されることが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記突起は、前記質量部の回動中心軸に対してほぼ垂直な方向に沿って並設されることが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００３０】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記共振周波数の調整には、粗調整と、微調整とが含まれ、
前記突起を除去することによる共振周波数の調整を、前記粗調整として行なうことが好ましい。
これにより、共振周波数の調整を、より容易、迅速、かつ正確に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量部本体の構成材料と前記除去部の構成材料とが互いに異なることが好ましい。
これにより、除去部のみを容易に除去することができ、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００３１】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記共振周波数の調整には、粗調整と、微調整とが含まれ、
前記質量部本体と構成材料の異なる前記除去部を除去することによる共振周波数の調整を、前記粗調整として行なうことが好ましい。
これにより、共振周波数の調整を、より容易、迅速、かつ正確に行なうことができる。
【００３２】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、前記複数の突起の表面に設けられた膜を有し、該複数の膜の少なくとも１つを除去することにより、共振周波数を調整することが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易、かつ正確に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部は、膜を有し、該膜の少なくとも一部を除去することにより、共振周波数を調整することが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易、かつ正確に行なうことができる。
【００３３】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記共振周波数の調整には、粗調整と、微調整とが含まれ、
前記膜を除去することによる共振周波数の調整を、前記微調整として行なうことが好ましい。
これにより、共振周波数の調整を、より容易、迅速、かつ正確に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記除去部が露出するようにマスクを設け、該マスクを用いて前記除去部に対してエッチングを施して該除去部の少なくとも一部を除去することにより、共振周波数を調整することが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易、かつ正確に行なうことができる。
【００３４】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記共振周波数の調整には、粗調整と、微調整とが含まれ、
前記エッチングにより前記除去部を除去することによる共振周波数の調整を、前記微調整として行なうことが好ましい。
これにより、共振周波数の調整を、より容易、迅速、かつ正確に行なうことができる。
【００３５】
本発明のアクチュエータは、第１の質量部と、第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するアクチュエータであって、
前記第１の質量部と前記第２の質量部との少なくとも一方の一部が必要量除去されて、その質量が調整されることにより、共振周波数が調整されたものであることを特徴とする。
これにより、アクチュエータの共振周波数を所定値（一定値）にすることができる。
また、このアクチュエータは、第１の質量部と第２の質量部とを有しているので、低電圧で大きい回転角度（振れ角）での駆動が可能である。
【００３６】
本発明のアクチュエータは、質量部と、支持部と、前記質量部と前記支持部とを、前記質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記質量部が回動するアクチュエータであって、
前記質量部の一部が必要量除去されて、その質量が調整されることにより、共振周波数が調整されたものであることを特徴とする。
これにより、アクチュエータの共振周波数を所定値（一定値）にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータを添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第１実施形態について説明する。
【００３８】
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータを示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１に示すアクチュエータの電極の配置を示す平面図、図４は、印加する交流電圧の一例を示す図、図５は、印加した交流電圧の周波数と、第１の質量部および第２の質量部の回転角度（振れ角）との関係（第１の質量部および第２の質量部の共振曲線）を示すグラフ、図６は、図１に示すアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【００３９】
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１、図３および図６中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
また、図１では、第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５と、対向基板６とを区別し易いように、対向基板６を２点鎖線で示し、また、開口部６１は、図示されていない。
【００４０】
図１および図２に示すアクチュエータ１００は、質量部本体１４を有する一対の第１の質量部（駆動部）１、１１と、質量部本体１４を有する第２の質量部（可動部）２と、一対の支持部３、３とを備えている。
このアクチュエータ１００は、第２の質量部２が中心に位置し、第２の質量部２を介し、第１の質量部１が一端側（図１および図２中、右側）に設けられ、第１の質量部１１が他端側（図１および図２中、左側）に設けられている。
【００４１】
第１の質量部１、１１および第２の質量部２は、いずれも、ほぼ平板状をなしている。
また、第１の質量部１の図中右側に一方の支持部３が配置され、第１の質量部１１の図中左側に他方の支持部３が配置されている。
また、本実施形態では、第１の質量部１、１１は、互いにほぼ同一形状かつほぼ同一寸法で、第２の質量部２を介して、ほぼ対称に設けられている。
【００４２】
第２の質量部２の上面（後述する対向基板６と反対側の面）には、光反射部２１が設けられている。
また、アクチュエータ１００は、図１に示すように、第１の質量部１、１１が対応する支持部３、３に対して回動可能となるように、第１の質量部１、１１と支持部３、３とを連結する一対の第１の弾性連結部４、４を有している。また、第２の質量部２が第１の質量部１、１１に対して回動可能となるように、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２とを連結する一対の第２の弾性連結部５、５を有している。
【００４３】
すなわち、第２の質量部２は第２の弾性連結部５、５を介して、第１の質量部１、１１にそれぞれ接続され、第１の質量部１、１１は、第１の弾性連結部４、４を介して支持部３、３にそれぞれ接続されている。また、第１の弾性連結部４と、第２の弾性連結部５とは同軸的に設けられており、これらの中心軸（中心線）が、第１の質量部１、１１および第２の質量部２の回動中心軸（回動中心線）（回転軸）４１となる。
【００４４】
これらの第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５は、後述するように、例えば、シリコン等を主材料として、好ましくは一体的に形成されている。
また、図２に示すように、本実施形態のアクチュエータ１００は、第１の質量部１、１１および第２の質量部２に対向するように設けられた対向基板６を有している。
この対向基板６は、各種ガラスやシリコン等を主材料として構成され、支持部３、３に接合されている。
【００４５】
対向基板６は、図２および図３に示すように、第２の質量部２に対応する位置に開口部６１が形成されている。この開口部６１は、第２の質量部２が回動（振動）する際に、対向基板６に接触するのを防止する逃げ部を構成する。開口部（逃げ部）６１を設けることにより、アクチュエータ１００全体の大型化を防止しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）（振幅）をより大きく設定することができる。
なお、逃げ部は、前記効果を十分に発揮し得る構成であれば、必ずしも対向基板６の下面（第２の質量部２と反対側の面）で開放（開口）していなくてもよい。すなわち、逃げ部は、対向基板６の上面（第２の質量部２側の面）に形成された凹部で構成することもできる。
【００４６】
また、図２および図３に示すように、対向基板６の上面（第１の質量部１、１１側の面）には、第１の質量部１に対応する位置に、一対の電極７が、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように設けられ、また、第１の質量部１１に対応する位置に、一対の電極７が、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように設けられている。すなわち、本実施形態では、一対の電極７が２組（合計４個）、設けられている。
【００４７】
第１の質量部１、１１と各電極７とは、図示しない電源に接続されており、第１の質量部１、１１と各電極７との間に交流電圧（駆動電圧）を印加できるよう構成されている。
なお、第１の質量部１、１１の各電極７と対向する面には、それぞれ、絶縁膜（図示せず）が設けられている。これにより、第１の質量部１、１１と各電極７との間での短絡が発生するのが好適に防止される。
【００４８】
上述したようなアクチュエータ１００は、第１の質量部１、１１と第１の弾性連結部４、４とからなる第１の振動系と、第２の質量部２と第２の弾性連結部５、５とからなる第２の振動系とを有する２自由度振動系を構成する。
このようなアクチュエータ１００は、次のようにして駆動する。
すなわち、第１の質量部１、１１と各電極７との間に、例えば、正弦波（交流電圧）等を印加する。具体的には、例えば、第１の質量部１、１１をアースしておき、図３中上側の２つの電極７に、図４（ａ）に示すような波形の電圧を印加し、下側の２つの電極７に、図４（ｂ）に示すような、図４（ａ）に示す波形の電圧に対して位相が１８０°ずれた波形の電圧を印加すると、第１の質量部１、１１と各電極７との間に、印加された電圧の大きさと、第１の質量部１、１１と対応する電極７との間の距離とに応じた大きさのクーロン力（静電気力）が生じる。
【００４９】
このクーロン力により、第１の質量部１、１１の図３中上側の各電極７に対応する部位が、対応する電極７の方へ引きつけられ、この次に、第１の質量部１、１１の図３中下側の各電極７に対応する部位が、対応する電極７の方へ引きつけられ、この動作が交互に繰り返されることによって、第１の質量部１、１１は、回動中心軸４１を中心に（第１の弾性連結部４を軸に）振動（回転）（回動）する。すなわち、第１の質量部１、１１は、回動中心軸４１を中心に正転（回転角度は１８０°以下）と反転（回転角度は１８０°以下）とを交互に繰り返す。
そして、この第１の質量部１、１１の振動（駆動）に伴って、第２の弾性連結部５を介して連結されている第２の質量部２も、回動中心軸４１を中心に（第２の弾性連結部５を軸に）振動（回転）（回動）する。すなわち、第２の質量部２も、回動中心軸４１を中心に正転（回転角度は１８０°以下）と反転（回転角度は１８０°以下）とを交互に繰り返す。
【００５０】
ここで、回動中心軸４１と、第１の質量部１の質量部本体１４の、回動中心軸４１からの遠位端（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の先端）１２との間の距離（長さ）をＬ１とし、回動中心軸４１と、第１の質量部１１の質量部本体１４の、回動中心軸４１からの遠位端（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の先端）１２との間の距離（長さ）をＬ２とし、回動中心軸４１と、第２の質量部２の質量部本体１４の、回動中心軸４１からの遠位端（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の先端）１３との間の距離（長さ）をＬ３としたとき、本実施形態では、第１の質量部１、１１が、それぞれ独立して設けられているため、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２とが干渉せず、第２の質量部２の大きさ（長さＬ３）にかかわらず、Ｌ１およびＬ２を小さくすることができる。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を大きくすることができ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００５１】
また、Ｌ１およびＬ２を小さくすることにより、第１の質量部１、１１と各電極７との間の距離を小さくすることができ、これにより、クーロン力が大きくなり、第１の質量部１、１１と各電極７に印加する交流電圧を小さくすることができる。
ここで、第１の質量部１、１１および第２の質量部２の寸法、すなわち、第１の質量部１、１１および第２の質量部２の各質量部本体１４の寸法は、それぞれ、Ｌ１＜Ｌ３かつＬ２＜Ｌ３なる関係を満足するよう設定されるのが好ましい。
【００５２】
前記関係を満たすことにより、Ｌ１およびＬ２をより小さくすることができ、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）をより大きくすることができ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をさらに大きくすることができる。
この場合、第２の質量部２の最大回転角度が、２０°以上となるように構成されるのが好ましい。
また、このように、Ｌ１およびＬ２を小さくすることにより、第１の質量部１、１１と各電極７との間の距離をより小さくすることができ、第１の質量部１、１１と各電極７に印加する交流電圧をさらに小さくすることができる。
【００５３】
これらによって、第１の質量部１、１１の低電圧駆動と、第２の質量部２の大回転角度での振動（回動）とを実現することができる。
このため、このようなアクチュエータ１００を、例えばレーザープリンタや、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の装置に用いられる光スキャナに適用した場合、より容易に装置を小型化することができる。
【００５４】
なお、前述したように、本実施形態では、Ｌ１とＬ２とはほぼ等しく設定されているが、Ｌ１とＬ２とが異なっていてもよいことは言うまでもない。
ところで、このような２自由度振動系のアクチュエータ１００では、第１の質量部１、１１および第２の質量部２の回転角度（振れ角）と、印加する交流電圧の周波数との間に、図５に示すような周波数特性が存在している。
すなわち、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２の回転角度とが大きくなる２つの共振周波数ｆｍ１［ｋＨｚ］、ｆｍ３［ｋＨｚ］（ただし、ｆｍ１＜ｆｍ３）と、第１の質量部１、１１の回転角度がほぼ０となる、１つの反共振周波数ｆｍ２［ｋＨｚ］とを有している。
【００５５】
このアクチュエータ１００では、第１の質量部１、１１と電極７との間に印加する交流電圧の周波数Ｆが、２つの共振周波数のうち低いもの、すなわち、ｆｍ１とほぼ等しくなるように設定するのが好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
なお、本明細書中では、Ｆ［ｋＨｚ］とｆｍ１［ｋＨｚ］とがほぼ等しいとは、（ｆｍ１−１）≦Ｆ≦（ｆｍ１＋１）の条件を満足することを意味する。
【００５６】
第１の質量部１、１１の平均厚さは、それぞれ、１〜１５００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第２の質量部２の平均厚さは、１〜１５００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第１の弾性連結部４のばね定数ｋ１は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ/ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ/ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ/ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
【００５７】
一方、第２の弾性連結部５のばね定数ｋ２は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ/ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ/ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ/ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
また、第１の弾性連結部４のばね定数ｋ１と第２の弾性連結部５のばね定数ｋ２とは、ｋ１＞ｋ２なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
【００５８】
さらに、第１の質量部１、１１の慣性モーメントをＪ１とし、前記第２の質量部２の慣性モーメントをＪ２としたとき、Ｊ１とＪ２とは、Ｊ１≦Ｊ２なる関係を満足することが好ましく、Ｊ１＜Ｊ２なる関係を満足することがより好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
【００５９】
ところで、第１の質量部１、１１と第１の弾性連結部４、４とからなる第１の振動系の固有振動数ω１は、第１の質量部１、１１の慣性モーメントＪ１と、第１の弾性連結部４のばね定数ｋ１とにより、ω１＝（ｋ１／Ｊ１）１／２によって与えられる。一方、第２の質量部２と第２の弾性連結部５、５とからなる第２の振動系の固有振動数ω２は、第２の質量部２の慣性モーメントＪ２と、第２の弾性連結部５のばね定数ｋ２とにより、ω２＝（ｋ２／Ｊ２）１／２によって与えられる。
【００６０】
このようにして求められる第１の振動系の固有振動数ω１と第２の振動系の固有振動数ω２とは、ω１＞ω２の関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
なお、本実施形態のアクチュエータ１００は、一対の第１の弾性連結部４および一対の第２の弾性連結部５のうち少なくとも１つが、その内部にピエゾ抵抗素子を備えたものであるのが好ましい。これにより、例えば、回転角度（振れ角）および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部２の姿勢の制御に利用することができる。
【００６１】
さて、本発明では、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２との少なくとも一方の質量部本体１４に、質量を調整するために除去され得る除去部を設け、その除去部の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、第１の質量部１、１１と、第１の弾性連結部４、４と、第２の質量部２と、第２の弾性連結部５、５とで構成される振動系全体の共振周波数（以下、単に「共振周波数」と言う）を調整することを特徴とする。
【００６２】
本実施形態では、図１および図６に示すように、第２の質量部２の質量部本体１４に除去部８を設け、その除去部８の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数を調整する。第２の質量部２の質量部本体１４に除去部８を設けることにより、第１の質量部１、１１の質量部本体１４に除去部８を設ける場合に比べ、共振周波数の調整をより容易かつ確実に行なうことができる。
【００６３】
また、除去部８は、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように、質量部本体１４の、回動中心軸４１を介して両側にそれぞれ設けられる。これにより、突起８１をバランス良く除去することができ、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
また、各除去部８は、それぞれ、質量部本体１４の、回動中心軸４１から遠位の端部（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の端部）、図示例では、質量部本体１４の、回動中心軸４１からの遠位端（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の先端）１３に設けられる。
【００６４】
アクチュエータ１００の共振周波数は、第１の質量部１、１１、第２の質量部２の慣性モーメントに依存し、その慣性モーメントが小さいほど、大きい（高い）。従って、除去部８を質量部本体１４の遠位端１３や前記端部に設けることにより、その慣性モーメントへの影響が大きい位置に除去部８を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００６５】
各除去部８の位置は、それぞれ、前記質量部本体１４の遠位端１３や端部には限定されないが、各除去部８は、それぞれ、質量部本体１４の、回動中心軸４１と、遠位端１３との中間点１５より遠位端１３側に設けられるのが好ましい。除去部８を質量部本体１４の中間点１５より遠位端１３側に設けることにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００６６】
また、各除去部８は、それぞれ、除去可能な複数（図示例では５個）の突起８１と、各突起８１の上面（対向基板６と反対側の面）にそれぞれ設けられ、除去可能な膜８２とで構成される。これにより、除去部８を所定（一定）の質量分ずつ、容易に除去することができ、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
また、各除去部８のそれぞれにおいて、突起８１は、質量部本体１４の遠位端１３に、回動中心軸４１から離間する方向に向って突出するように立設される。
【００６７】
また、各除去部８のそれぞれにおいて、突起８１は、回動中心軸４１に対してほぼ平行な方向に沿って、等間隔で並設される。これにより、突起８１は、互いに、回動中心軸４１からほぼ等しい距離に位置する。これによって、突起８１を除去したときの、第２の質量部２の慣性モーメントの変化量が、各突起８１において一定になり、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００６８】
また、突起８１は、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように設けられる。これにより、突起８１をバランス良く除去することができ、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
また、突起８１は、回動中心軸４１に対して略垂直であり、質量部本体１４（第２の質量部２）の中心（重心）１６を通る中心線４２を中心にほぼ対称となるように設けられる。これにより、突起８１をバランス良く除去することができ、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
【００６９】
また、突起８１の基端部（根本部）８１１は、その先端側の部分よりも細い。これにより、突起８１をより容易に除去することができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。この場合、突起８１の基端部８１１は、その先端側から基端側に向って徐々に細くなっているのが好ましい。すなわち、基端部８１１の幅と厚さとの少なくとも一方が、その先端側から基端側に向って漸減している（例えば、基端部８１１は、平面視において、Ｖ字状の形状をなしている）のが好ましい。
また、各突起８１の形状、寸法は、同一であるのが好ましい。これにより、突起８１を除去したときの、第２の質量部２の慣性モーメントの変化量が、各突起８１において一定になり、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００７０】
質量部本体１４と、各突起８１とは、後述するように、例えば、シリコン等を主材料として、好ましくは一体的に形成される。
なお、本実施形態では、質量部本体１４の構成材料と、各突起８１の構成材料とは、同一であるが、これらは互いに異なっていてもよい。
また、突起８１の形状や配置は、前記のものに限定されないことは、言うまでもない。
また、膜８２の構成材料と、突起８１や質量部本体１４の構成材料とは、互いに異なるのが好ましい。これにより、膜８２のみを容易に除去することができ、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。膜８２は、後述するように、例えば、金、アルミニウム等の金属材料で形成（金属膜で構成）することができる。
【００７１】
なお、前記各除去部８の複数の膜８２は、例えば、突起８１上ではなく、前記除去部８とは別の除去部（除去部８から独立した除去部）として、質量部本体１４上に設けてもよい。また、突起８１上に膜８２を設けつつ、さらに、前記除去部８とは別の除去部として、質量部本体１４上に複数の膜を設けてもよい。また、質量部本体１４上に設けられる膜は、単一の膜であってもよい。
【００７２】
質量部本体１４上に前記単一の膜を設ける場合は、その膜の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数の微調整を行なう。
また、質量部本体１４上に設けられる膜は、中間点１５より遠位端１３側に設けられるのが好ましく、回動中心軸４１から遠位の端部に設けられるのがより好ましい。
また、突起８１上に設けられる膜８２や質量部本体１４上に設けられる膜の構成材料と、光反射部２１の構成材料とは、同一であってもよく、また、異なっていてもよい。
また、質量部本体１４上に設けられる膜と、光反射部２１とを共用してもよい。
【００７３】
前記共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータ１００は、例えば、次のようにして製造することができる。この場合、アクチュエータ１００は、その共振周波数が目標値（目標共振周波数）よりも低い値になるように製造される。
図７〜図９は、それぞれ、図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図７〜図９中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００７４】
［Ａ１］  まず、図７（ａ）に示すように、シリコン基板（共通の基材）３０を用意する。
次に、シリコン基板３０の上面に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行う。これにより、図７（ｂ）に示すように、支持部３、３の形状に対応するように、レジストマスク３２を形成する。
そして、このレジストマスク３２を介して、シリコン基板３０の他方の面側をエッチングした後、レジストマスク３２を除去する。これにより、図７（ｃ）に示すように、支持部３、３に対応する部分以外の領域に凹部３００が形成される。
【００７５】
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
なお、以下の各工程のエッチングにおいて、同様の方法を用いることができる。
【００７６】
次に、再度、シリコン基板３０の上面に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行う。これにより、図８（ｄ）に示すように、第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５を、図２中下面側から見た形状に対応するように、レジストマスク３３を形成する。
そして、このレジストマスク３３を介して、シリコン基板３０の上面側を、下面側に貫通するまでエッチングした後、レジストマスク３３を除去する。これにより、図８（ｅ）に示すように、第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５が形成された構造体５０が得られる。なお、この工程により、第２の質量部２の質量部本体１４に複数の突起８１が設けられる。
【００７７】
この後、第２の質量部２の質量部本体１４上に、金属膜を成膜して光反射部２１を形成し、また、各突起８１上に、それぞれ、金属膜を成膜して膜８２を形成する。光反射部２１の金属材料（構成材料）と、膜８２の金属材料（構成材料）とは、互いに、異なっていてもよく、また、同一であってもよい。また、光反射部２１の形成と、膜８２の形成とは、いずれか一方を先に行なってもよく、また、同時に行なってもよい。
【００７８】
金属膜の成膜方法としては、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤのような化学蒸着法（ＣＶＤ）、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、ゾル・ゲル法、ＭＯＤ法、金属箔の接合等が挙げられる。
なお、以下の各工程の金属膜の成膜において、同様の方法を用いることができる。
【００７９】
［Ａ２］  次に、図９（ｆ）に示すように、対向基板６を形成するためのシリコン基板６０を用意する。
そして、シリコン基板６０の一方の面に、開口部６１を形成する領域を除いた部分に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスクを形成する。
次に、この金属マスクを介して、シリコン基板６０の一方の面側を、他方の面側に貫通するまでエッチングした後、金属マスクを除去する。これにより、図９（ｇ）に示すように、開口部６１が形成された対向基板６が得られる。
【００８０】
次に、対向基板６上に、図９（ｈ）に示すように、電極７を形成する。
電極７は、対向基板６の開口部６１が形成された面に金属膜を成膜し、電極７の形状に対応するマスクを介して金属膜をエッチングした後、マスクを除去することにより形成することができる。
なお、電極７は、開口部６１を形成するのに先立って、形成するようにしてもよい。
【００８１】
［Ａ３］  次に、図９（ｉ）に示すように、前記工程［Ａ１］で得られた構造体５０の支持部３、３と、前記工程［Ａ２］で得られた対向基板６とを、例えば、直接接合、Ｎａイオンを含有するガラス材料を介した陽極接合等により接合して接合体を得る。
なお、対向基板６を形成するための基板としてガラス基板を用いる場合には、開口部６１の形成には、前述したようなエッチング法の他、例えば、ショットブラスト、サンドブラスト、レーザー加工等の方法を用いることができる。
【００８２】
また、この場合、前記構造体５０との接合には、例えば陽極接合等を用いることができる。
以上のようにして、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータ１００が製造される。
なお、本製造方法では、シリコン基板３０の凹部３００側からエッチングを施して第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５を一体的に形成したが、これに限らず、例えば、シリコン基板３０の凹部３００と反対側からエッチングを施して第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５を一体的に形成してもよい。
【００８３】
次に、得られたアクチュエータ１００の共振周波数を調整する。
図１０は、アクチュエータの共振周波数の測定に用いられる装置を示すブロック図である。
図１０に示すように、本実施形態では、アクチュエータ１００の第１の質量部１、１１や第２の質量部２の振幅、すなわち、回転角度（振れ角）を測定する装置として、レーザードップラーベロシティ（ＬＤＶ）２００、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数を変更（設定）する装置として、ＦＦＴアナライザー４００をそれぞれ用いる。
【００８４】
本実施形態では、まず、共振周波数の粗調整を行ない、この後に、共振周波数の微調整を行なう。すなわち、粗調整においては、必要に応じて、少なくとも１つの突起８１（膜８２が設けられた突起８１）を除去し、微調整においては、必要に応じて、少なくとも１つの膜８２を除去する。これにより、共振周波数の調整を、容易、迅速、かつ正確に行なうことができる。
【００８５】
［粗調整］
まず、アクチュエータ１００の共振周波数を求める。
この場合、まずは、ＦＦＴアナライザー４００により、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数を所定値（例えば、１Ｈｚ）に設定し、その交流電圧をアクチュエータ１００に印加してアクチュエータ１００を駆動する。そして、レーザードップラーベロシティ２００により、アクチュエータ１００の第２の質量部２の光反射部２１にレーザー光を照射し、その反射光を受光して、第２の質量部２の回転角度（振れ角）を測定する。この場合、実際は、レーザードップラーベロシティ２００により、第２の質量部２の振幅が測定される。なお、この場合、レーザードップラーベロシティ２００で計測したデータ（情報）は、ＦＦＴアナライザー４００へ入力され、ＦＦＴアナライザー４００の中で、所定の周波数における振幅データが蓄積される。
【００８６】
次に、ＦＦＴアナライザー４００により、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数を所定数高い値に変更し、アクチュエータ１００を駆動させて、レーザードップラーベロシティ２００により、第２の質量部２の回転角度を測定する。
そして、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数が所定値（例えば、３２ＫＨｚ）になるまで、前記第２の質量部２の回転角度の測定を繰り返し行なう。この測定結果から、共振周波数が求まる。
【００８７】
なお、前記共振周波数の測定においては、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数を増大させていったが、逆に、その交流電圧の周波数を減少させていってもよい。
次に、求めた共振周波数と、目標値とを比較し、除去すべき突起８１の数および箇所（位置）を決定する。
この場合、予め、アクチュエータ１００の共振周波数と目標値との差と、除去すべき突起８１の数との関係を示す検量線が作成されており、この検量線に基づいて、除去すべき突起８１の数を求める。なお、突起８１を除去する必要があるか否かも、前記検量線から判別することができるようになっており、突起８１を除去する必要がない場合は、粗調整を終了し、微調整に移行する。
【００８８】
次に、図示しないレーザー装置により、除去すべき突起８１に対してレーザー光を照射し、その突起８１を切断し、除去する。
この場合、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように、突起８１を除去するのが好ましい。これにより、突起８１がバランス良く除去され、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
【００８９】
また、中心線４２を中心にほぼ対称となるように、突起８１を除去するのが好ましい。これにより、突起８１がバランス良く除去され、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
また、レーザー光を照射して突起８１を除去することにより、突起８１をより容易に除去することができる。
なお、突起８１を切断（除去）する方法としては、前記レーザー光の照射に限らず、例えば、エッチング法、機械的に衝撃を与える方法、ダイシング等を用いることができる。
【００９０】
突起８１を除去することにより、第２の質量部２の質量、慣性モーメントが減少し、これにより、共振周波数が増大する。
次に、前記のようにして、アクチュエータ１００の共振周波数を求める。
そして、前記のようにして、求めた共振周波数と、目標値とを比較し、除去すべき突起８１の数および箇所（位置）を決定し、その突起８１を切断し、除去し、また、突起８１を除去する必要がない場合は、粗調整を終了し、微調整に移行する。
突起８１を除去する必要がなくなるまで、前記共振周波数の測定、突起８１の除去を繰り返し行ない、突起８１を除去する必要がなくなると、粗調整を終了し、微調整に移行する。
【００９１】
［微調整］
まず、前記粗調整において求めた共振周波数と、目標値とを比較し、除去すべき膜８２の数および箇所（位置）を決定する。
この場合、予め、アクチュエータ１００の共振周波数と目標値との差と、除去すべき膜８２の数との関係を示す検量線が作成されており、この検量線に基づいて、除去すべき膜８２の数を求める。なお、膜８２を除去する必要があるか否かも、前記検量線から判別することができるようになっており、膜８２を除去する必要がない場合は、微調整を終了し、この共振周波数の調整を終了する。
【００９２】
次に、図示しないレーザー装置により、除去すべき膜８２に対してレーザー光を照射し、その膜８２を除去する。
この場合、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように、膜８２を除去するのが好ましい。これにより、膜８２がバランス良く除去され、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
【００９３】
また、中心線４２を中心にほぼ対称となるように、膜８２を除去するのが好ましい。これにより、膜８２がバランス良く除去され、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
なお、膜８２を除去する方法としては、前記レーザー光の照射に限定されないことは、言うまでもない。
【００９４】
ここで、膜８２を除去することにより、第２の質量部２の質量、慣性モーメントが微小量減少し、これにより、共振周波数が微小数増大する。
次に、前記のようにして、アクチュエータ１００の共振周波数を求める。
そして、前記のようにして、求めた共振周波数と、目標値とを比較し、除去すべき膜８２の数および箇所（位置）を決定し、その膜８２を除去し、また、膜８２を除去する必要がない場合は、微調整を終了し、この共振周波数の調整を終了する。
【００９５】
膜８２を除去する必要がなくなるまで、前記共振周波数の測定、膜８２の除去を繰り返し行ない、膜８２を除去する必要がなくなると、微調整を終了し、この共振周波数の調整を終了する。
このようにして、突起８１や膜８２（除去部８）の少なくとも一部が必要に応じて除去されることにより、第２の質量部２の質量、慣性モーメントが調整され、共振周波数が目標値に設定（調整）される。
以上説明したように、本実施形態によれば、所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータ１００を容易に製造することができる。
【００９６】
また、アクチュエータ１００を製造する際、最後に、アクチュエータ１００の共振周波数の調整を行なうので、アクチュエータ１００の加工精度を特別に高くする必要がなく、これにより、歩留まりも高く、コストを低減することもできる。
また、アクチュエータ１００は、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２とを有しているので、低電圧で大きい回転角度（振れ角）での駆動が可能である。
【００９７】
なお、本実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に除去部８を設けるが、本発明では、これに限らず、例えば、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４に、除去部８を設けてもよい。また、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４と、第２の質量部２の質量部本体１４とに、除去部８を設けてもよい。
【００９８】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図１１は、本発明のアクチュエータの第２実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータを示す平面図、図１２は、図１１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【００９９】
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１１中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図１２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
また、図１１では、質量部１７、支持部３、３および弾性連結部１８、１８と、対向基板６とを区別し易いように、対向基板６を２点鎖線で示す。
以下、第２実施形態について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１００】
図１１および図１２に示すように、第２実施形態のアクチュエータ１００は、質量部本体１４を有する質量部１７と、一対の支持部３、３と、質量部１７が支持部３、３に対して回動可能となるように、質量部１７と支持部３、３とを連結する一対の弾性連結部１８、１８とを備えている。
そして、前記第１実施形態と同様に、質量部１７の質量部本体１４に除去部８を設け、その除去部８の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数を調整する。
また、対向基板６には、開口部６１が形成されておらず、対向基板６の上面（質量部１７側の面）には、質量部１７に対応する位置に、一対の電極７が、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように設けられている。
【０１０１】
質量部１７と各電極７とは、図示しない電源に接続されており、質量部１７と各電極７との間に交流電圧（駆動電圧）を印加できるよう構成されている。
なお、質量部１７の各電極７と対向する面には、絶縁膜（図示せず）が設けられている。これにより、質量部１７と各電極７との間での短絡が発生するのが好適に防止される。
このアクチュエータ１００は、質量部１７と弾性連結部１８、１８とからなる振動系を有し、１自由度振動系を構成する。
このアクチュエータ１００は、次のようにして駆動する。
【０１０２】
すなわち、質量部１７と各電極７との間に、例えば、正弦波（交流電圧）等を印加する。具体的には、例えば、質量部１７をアースしておき、一方の電極７に、図４（ａ）に示すような波形の電圧を印加し、他方の電極７に、図４（ｂ）に示すような、図４（ａ）に示す波形の電圧に対して位相が１８０°ずれた波形の電圧を印加すると、質量部１７と各電極７との間に、印加された電圧の大きさと、質量部１７と対応する電極７との間の距離とに応じた大きさのクーロン力（静電気力）が生じる。
【０１０３】
このクーロン力により、質量部１７の一方の電極７に対応する部位が、対応する電極７の方へ引きつけられ、この次に、質量部１７の他方の電極７に対応する部位が、対応する電極７の方へ引きつけられ、この動作が交互に繰り返されることによって、質量部１７は、回動中心軸４１を中心に（弾性連結部１８を軸に）振動（回転）（回動）する。すなわち、質量部１７は、回動中心軸４１を中心に正転（回転角度は１８０°以下）と反転（回転角度は１８０°以下）とを交互に繰り返す。
上記以外は、前記第１実施形態と同様であるので、その説明を省略する。
この第２実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。
また、後述する第３実施形態、第４実施形態および第５実施形態は、それぞれ、この第２実施形態にも適用することができる。
【０１０４】
＜第３実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図１３は、本発明のアクチュエータの第３実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【０１０５】
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１３中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第３実施形態について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図１３に示すように、第３実施形態では、各除去部８は、それぞれ、第２の質量部２の質量部本体１４の、回動中心軸４１から遠位の端部（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の端部）、図示例では、質量部本体１４の前記遠位の端部における右側端および左側端に設けられる。
【０１０６】
また、各除去部８は、それぞれ、複数（図示例では、右側に５個、左側に５個、合計で１０個）の突起８１と、各突起８１の上面（対向基板６と反対側の面）にそれぞれ設けられた膜８２とで構成される。
また、各除去部８のそれぞれにおいて、突起８１は、質量部本体１４の右側端および左側端に、中心線４２から離間する方向に向って突出するように立設される。
また、各除去部８のそれぞれにおいて、突起８１は、回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向に沿って、等間隔で並設される。これにより、共振周波数の調整を容易に行なうことができる。
この第３実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。
【０１０７】
なお、本実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に除去部８を設けるが、本発明では、これに限らず、例えば、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４に、除去部８を設けてもよい。また、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４と、第２の質量部２の質量部本体１４とに、除去部８を設けてもよい。
【０１０８】
＜第４実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第４実施形態について説明する。
図１４は、本発明のアクチュエータの第４実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【０１０９】
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１４中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第４実施形態について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図１４に示すように、第４実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に、その質量部本体１４の構成材料と異なる構成材料の除去部８が設けられており、それ以外は、前記第１実施形態と同様である。
【０１１０】
この除去部８の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、共振周波数を調整する。この調整は、粗調整として行なわれる。
この場合、除去部８の構成材料と質量部本体１４の構成材料とが異なるので、除去部８のみを容易に除去することができ、共振周波数の調整を容易に行なうことができる。
また、除去部８を除去する方法としては、特に限定されず、例えば、レーザー光の照射等が挙げられる。
また、質量部本体１４には、除去可能な微調整用の除去部（例えば、膜）が設けられるのが好ましい。そして、共振周波数の調整において、粗調整と、微調整とを行なうのが好ましい。
この第４実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。
【０１１１】
なお、本実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に除去部８を設けるが、本発明では、これに限らず、例えば、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４に、除去部８を設けてもよい。また、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４と、第２の質量部２の質量部本体１４とに、除去部８を設けてもよい。微調整用の除去部についても同様である。
【０１１２】
＜第５実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第５実施形態について説明する。
図１５は、本発明のアクチュエータの第５実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【０１１３】
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１５中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
以下、第５実施形態について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図１５に示すように、第５実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に、除去部８が露出するようにマスクを兼ねる光反射部２１を設け、必要に応じて、その光反射部２１をマスクとして用い、除去部８に対してエッチングを施して除去部８の少なくとも一部を除去することにより、共振周波数を調整する。この調整は、微調整として行なわれる。
【０１１４】
また、第２の質量部２の質量部本体１４と、除去部８とは、例えば、シリコン等を主材料として、好ましくは一体的に形成される。
なお、本実施形態では、質量部本体１４の構成材料と、除去部８の構成材料とは、同一であるが、これらは互いに異なっていてもよい。
また、光反射部（マスク）２１は、本実施形態では、質量部本体１４の上面（対向基板６と反対側の面）に、その上面全体を覆い、除去部８のみが露出するように設けられている。この光反射部２１は、例えば、金／クロム、金等の金属膜で構成することができる。
【０１１５】
また、使用するエッチング方法としては、特に限定されないが、ドライエッチングを用いるのが好ましい。例えば、質量部本体１４および除去部８をシリコンで形成し、光反射部２１を金／クロムや金で形成し、エッチングガスとして、例えば、ＳＦ６を用いることができる。
このように、除去部８を除去する方法として、エッチング法、特にドライエッチングを用いることにより、エッチング時間（処理時間）等のエッチング条件（処理条件）を調整することによって、除去部８から所定量だけを正確に除去することができる。
【０１１６】
共振周波数の調整においては、例えば、予め、アクチュエータ１００の共振周波数と目標値との差と、エッチング時間との関係を示す検量線を作成しておき、この検量線に基づいて、エッチング時間を求める。
また、質量部本体１４には、除去可能な粗調整用の除去部が設けられるのが好ましい。そして、共振周波数の調整において、粗調整と、微調整とを行なうのが好ましい。
この第５実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。
【０１１７】
なお、本実施形態では、光反射部２１がマスクを兼ねるが、本発明では、これに限らず、例えば、別途、マスクを設けてもよい。
また、本実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に除去部８を設けるが、本発明では、これに限らず、例えば、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４に、除去部８を設けてもよい。また、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４と、第２の質量部２の質量部本体１４とに、除去部８を設けてもよい。粗調整用の除去部についても同様である。
【０１１８】
以上説明したようなアクチュエータ１００は、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の光スキャナ、イメージング用ディスプレイ、光通信用デバイス（例えば、光スイッチ、アッテネータ）、機械的な共振を電気的な共振に変換する共振器等に好適に適用することができる。
以上、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータについて、図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１１９】
例えば、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータは、前記各実施形態のうちの任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせるようにしてもよい。
また、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータでは、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成（構成物）や、工程を付加することもできる。
以下に、第１の質量部と第２の質量部とを有するアクチュエータ（第１実施形態、第３〜第５実施形態等）についての変形例（１）〜（９）を簡単に説明する。
【０１２０】
（１）前述した実施形態では、第１の弾性連結部を一対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、二対以上であってもよい。
（２）前述した実施形態では、第２の弾性連結部を一対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、二対以上であってもよい。
（３）前述した実施形態では、光反射部２１が第２の質量部２の一方の面に設けられている構成について説明したが、例えば、両方の面に設けられている構成であってもよい。
【０１２１】
（４）前述した実施形態では、対向基板６上に電極７が設けられている構成について説明したが、対向基板６と第１の質量部１、１１の両方に設けられていてもよい。
（５）前述した実施形態では、第１の質量部１、１１に対応する位置に、それぞれ一対の電極７を設けたが、これに限らず、それぞれ、電極７を１つ、もしくは３つ以上設けてもよい。
なお、第１の質量部１、１１に対応する位置に、それぞれ１つの電極７を設けた場合は、例えば、オフセット電圧を加えた、最小電位がグランド電位である正弦波（交流電圧）等を印加するのが好ましい。
【０１２２】
（６）前述した実施形態では、第１の弾性連結部および第２の弾性連結部の形状として図示の構成のものについて説明したが、これに限定されず、例えば、その形状が、クランク形状等であってもよいし、分岐した構造を有するものであってもよい。
（７）前述した実施形態では、第１の質量部１、１１の電極７と対向する面に、短絡防止用の絶縁膜が設けられている構成について説明したが、例えば、このような絶縁膜は、電極７の表面に設けられていてもよいし、両方に設けられていてもよい。
（８）前述した実施形態では、第１の質量部が、一対設けられる構成のものであったが、単一の第１の質量部が第２の質量部を囲むように設けられる構成のものであってもよい。
【０１２３】
（９）前述した実施形態では、交流電圧を印加することにより生じるクーロン力により、第１の質量部を駆動するように構成されているが、駆動方式は、これに限らず、例えば、電磁力（ローレンツ力）により駆動する駆動方式、ピエゾアクチュエータ（圧電素子を備えたアクチュエータ）により駆動する駆動方式等、各種の駆動方式を採用することができる。
また、前述した変形例（２）〜（７）、（９）は、それぞれ、単一の質量部を有するアクチュエータ（第２実施形態等）にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２４】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータを示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示すアクチュエータの電極の配置を示す平面図である。
【図４】印加する交流電圧の一例を示す図である。
【図５】印加した交流電圧の周波数と、第１の質量部および第２の質量部の回転角度との関係（第１の質量部および第２の質量部の共振曲線）を示すグラフである。
【図６】図１に示すアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【図７】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図８】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図９】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図１０】アクチュエータの共振周波数の測定に用いられる装置を示すブロック図である。
【図１１】本発明のアクチュエータの第２実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータを示す平面図である。
【図１２】図１１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１３】本発明のアクチュエータの第３実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【図１４】本発明のアクチュエータの第４実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【図１５】本発明のアクチュエータの第５実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【図１６】従来のアクチュエータを説明するための図である。
【符号の説明】
【０１２５】
１００……アクチュエータ  １、１１……第１の質量部  ２……第２の質量部  １２、１３……遠位端  １４……質量部本体  １５……中間点  １６……中心  １７……質量部  １８……弾性連結部  ２１……光反射部  ３……支持部  ４……第１の弾性連結部  ５……第２の弾性連結部  ６……対向基板  ６０……シリコン基板  ６１……開口部  ７……電極  ８……除去部  ８１……突起  ８１１……基端部  ８２……膜  ３０……シリコン基板  ３００……凹部  ３２、３３……レジストマスク  ４１……回動中心軸  ４２……中心線  ５０……構造体  Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３……距離  ２００……レーザードップラーベロシティ  ４００……ＦＦＴアナライザー  １２００……スペーサ  １３００……可動電極板  １３００ａ……両端固定部  １３００ｂ……トーションバー  １３００ｃ……可動電極部  １４００……固定電極  １５００……電源  １６００……スイッチ  １０００……ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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