(57)【要約】【課題】    通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲット物質を、発光領域（レーザ光照射領域）に、適切な密度、サイズで連続的または断続的に供給できるようにすること。【解決手段】内部にプラズマ発光室Ａを形成する真空容器２と、前記真空容器２内のレーザ光照射位置Ａ１にレーザ光Ｌを集光させるレーザ光照射装置３と、前記真空容器２内のレーザ光照射位置Ａ１に液体ターゲットＴを吐出する液体ターゲット吐出ノズル４と、前記レーザ光照射位置Ａ１を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズル４に対向して配置され且つ前記レーザ光照射位置Ａ１を通過して到達した液体ターゲットＴを回収するターゲット回収器５と、ターゲット物質の化合物または化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲットＴとを備えたレーザ生成プラズマ方式による光源装置１。【選択図】  図１
2006128313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたレーザ生成プラズマ方式による光源装置、
（Ａ01）内部にプラズマ発光室を形成する真空容器、
（Ａ02）前記真空容器内のレーザ光照射位置にレーザ光を集光させるレーザ光照射装置、
（Ａ03）前記真空容器内のレーザ光照射位置に液体ターゲットを吐出する液体ターゲット吐出ノズル、
（Ａ04）前記レーザ光照射位置を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズルに対向して配置され且つ前記レーザ光照射位置を通過して到達した液体ターゲットを回収するターゲット回収器、
（Ａ05）ターゲット物質の化合物または化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ06）を備えた請求項１記載のレーザ生成プラズマ方式による光源装置、
（Ａ06）ターゲット物質であるアルカリ金属のハロゲン化合物またはターゲット物質である金属の化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット。
【請求項３】
下記の構成要件（Ａ07）を備えた請求項１または２記載のレーザ生成プラズマ方式による光源装置、
（Ａ07）極性溶媒を含む前記液体ターゲット。
【請求項４】
下記の構成要件（Ａ08）を備えた請求項１ないし３のいずれか記載のレーザ生成プラズマ方式による光源装置、
（Ａ08）ターゲット物質であるリチウムのハロゲン化合物またはターゲット物質である錫の化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット。
【請求項５】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ09）を備えたレーザ生成プラズマ方式による光源装置、
（Ａ01）内部にプラズマ発光室を形成する真空容器、
（Ａ02）前記真空容器内のレーザ光照射位置にレーザ光を集光させるレーザ光照射装置、
（Ａ03）前記真空容器内のレーザ光照射位置に液体ターゲットを吐出する液体ターゲット吐出ノズル、
（Ａ04）前記レーザ光照射位置を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズルに対向して配置され且つ前記レーザ光照射位置を通過して到達した液体ターゲットを回収するターゲット回収器、
（Ａ09）ターゲット物質の微粒子粉末が均一に分散する液体により構成された前記液体ターゲット。
【請求項６】
下記の構成要件（Ａ010）を備えた請求項５記載のレーザ生成プラズマ方式による光源装置、
（Ａ010）ターゲット物質である金属の微粒子が均一に分散した界面活性剤を含む液体により構成された前記液体ターゲット。
【請求項７】
下記の構成要件（Ａ011）を備えた請求項６記載のレーザ生成プラズマ方式による光源装置、
（Ａ011）ターゲット物質である錫の微粒子が均一に分散した界面活性剤を含む液体により構成された前記液体ターゲット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）では固体状のターゲット物質をレーザ光照射領域に連続的または断続的に供給してプラズマ発光させて所定の波長の光を得るレーザ生成プラズマ方式による光源装置に関し、特に、不要な波長領域の発光を抑制し且つ高出力の極端紫外光の発生を可能とする光源装置に関する。
本発明のレーザ生成プラズマ方式による光源装置は、例えば、狭帯域での１３.５ナノメートル極端紫外光を連続且つ安定して発光することができるので、光リソグラフィの極端紫外光源装置として使用可能である。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路の微細化に伴って、光リソグラフィ露光用光源の短波長化が進んでいる。これまで、水銀ランプのｇ線、ｉ線を経て、紫外線レーザとして波長２４８ｎｍのＫrＦレーザや深紫外レーザとして波長１９３ｎｍのＡrＦレーザと透過材料による屈折光学系を組み合わせた露光装置が使用されている。
５０ｎｍ以下の回路線幅を達成するべく、次々世代の露光装置用光源として、一気に短波長化を進めて複数世代での利用を可能とする波長１３.５ｎｍの極端紫外（Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ）光源の開発が期待されている。この極端紫外光には反射光学系による縮小投影法が組み合わされる。反射光学系にはモリブデン（Ｍｏ）とケイ素（Ｓｉ）を交互に積層したＭｏ／Ｓｉ多層膜鏡を用いることが予定されているが、反射できる波長の光は１３.５ｎｍを中心とした非常に狭い波長幅であるから、光源に求められる波長は１３.５ｎｍ±０.２ｎｍと目標を定められ、世界各国で国家的プロジェクトが進行中である。
【０００３】
これまでの基礎的な研究から１３.５ｎｍを効率良く発生する材料（ターゲット物質）としては、リチウム、錫、キセノンが候補として研究が進められている。光の発生方法としては、上記いずれかの物質に高強度のレーザ光を集光照射することにより、これらの物質の多価イオンプラズマから１３.５ｎｍの発光を得る方法が主流である。
前述のように、ターゲット物質にレーザ光を照射して所望の波長の光を発光させたい場合、使用可能な材料が、通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で気体、液体、固体等の種々の状態のものがある。
例えば、特許文献１（特開２００３−２９７７３７号公報）には、ターゲット物質として、リチウム、錫、キセノン等を使用する極端紫外光源装置が記載されている。前記特許文献１に記載された極端紫外光源装置は、ターゲット（２２）に電荷を与える電荷付与手段（２３）と電荷を帯びたターゲット（２２）を電磁場を利用して加速させる加速手段（２４）とを有するターゲット供給装置を備えている。また、前記特許文献１の段落番号「００３８」には、前記ターゲット（２２）の材料として、液体Ｘｅ、固体Ｘｅ、その他の液相あるいは固相の物質を使用することが記載されている。しかしながら、前記特許文献１には、通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲット物質を、前記ターゲット物質とは異なる物質の液体中に、所定割合で分散させたり、溶かしたりした状態で使用することについては全く記載されていない。
【特許文献１】特開２００３−２９７７３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、１３.５ｎｍの波長の極端紫外光を発光するターゲット物質として使用可能なリチウム、錫、キセノン等のうち、キセノンは通常状態（常温、常圧（大気圧）の状態）で気体であり、リチウム、錫は通常状態（常温、常圧（大気圧）の状態）で固体である。
所望の波長（例えば、１３.５ｎｍ）の極端紫外光を発光させるため、前記ターゲット物質をプラズマ発光領域（レーザ光照射領域）に供給する際に、満たさねばならない、次の３つの条件（１）〜（３）がある。
（１）ターゲット物質を連続的または断続的にプラズマ発光領域（レーザ光照射領域）に供給すること。
（２）３次元的に均一な密度のターゲット物質を一定サイズ（一定量）づつ供給すること。
（３）所望の波長の光を発光させるために最適な密度でターゲット物質を供給すること。
【０００５】
ターゲット物質としてキセノンを使用する場合、液化キセノン、気体キセノン等の流体状のキセノンを使用することは前記特許文献１に記載されている。前記流体状のキセノンを使用することにより、前記条件（１）〜（３）を満たすことは比較的容易である。しかし、前記キセノンは、必要としない波長域の発光が有り、また、高価であるという欠点もある。さらに、通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で気体のキセノンを液化し保存しておくための設備が必要になる。
ターゲット物質として通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のリチウム、錫等を使用する場合、固体そのままの状態では、前記（３）の最適条件より密度が高過ぎる。また、これらの固体のターゲットを連続的または断続的に供給する場合、板状または棒状の固体状態で供給する方法や、前記特許文献１に記載されているようにイオン化した分子、原子等の状態で供給する方法等が採用されるが、固体状態で供給する方法では、プラズマが均一に生成されないため、発光効率の最適化を行うことが極めて困難である。また、固体は密度が高いために発光に寄与しなかった余分なターゲット物質が多量のデブリ（ゴミ）となり、光源周辺に設置される光学素子に損傷を与える。また、前記特許文献１のように通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲットをイオン化した分子、原子等の状態で供給する方法では、イオン化するための装置が必要になる。
【０００６】
本発明は前述の事情に鑑み、次の記載内容（Ｏ01）〜（Ｏ04）を技術的課題とする。
（Ｏ01）通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲット物質を、発光領域（レーザ光照射領域）に、適切な密度、サイズで連続的または断続的に供給できるようにすること。
（Ｏ02）プラズマ発光により得られる所望の波長の光の出力制御が容易なプラズマ発光光源装置を提供すること。
（Ｏ03）デブリの発生が少なく、光源周辺に設置される光学素子に損傷を与えないプラズマ発光光源装置を提供すること。
（Ｏ04）不要な波長域の発光を抑制し、狭波長域での１３.５ｎｍの極端紫外光の発生が可能なプラズマ発光光源装置を提供すること。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００８】
（第１発明）
第１発明のプラズマ発光光源装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）内部にプラズマ発光室（Ａ）を形成する真空容器（２）、
（Ａ02）前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）にレーザ光（Ｌ）を集光させるレーザ光照射装置（３）、
（Ａ03）前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に液体ターゲット（Ｔ）を吐出する液体ターゲット吐出ノズル（４）、
（Ａ04）前記レーザ光照射位置（Ａ１）を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズル（４）に対向して配置され且つ前記レーザ光照射位置（Ａ１）を通過して到達した液体ターゲット（Ｔ）を回収するターゲット回収器（５）、
（Ａ05）ターゲット物質の化合物または化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
【０００９】
（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明のプラズマ発光光源装置では、プラズマ発光室（Ａ）は、真空状態に保持される。液体ターゲット吐出ノズル（４）は、前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に液体ターゲット（Ｔ）を吐出する。
前記レーザ光照射位置（Ａ１）を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズル（４）に対向して配置されたターゲット回収器（５）は、前記レーザ光照射位置（Ａ１）を通過して到達した液体ターゲット（Ｔ）を回収する。
レーザ光照射装置（３）は、前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に吐出された液体ターゲット（Ｔ）にレーザ光（Ｌ）を集光させる。前記レーザ光照射位置（Ａ１）において液体ターゲット（Ｔ）にレーザ光（Ｌ）が照射されると、プラズマが生成されてターゲット物質に応じた波長の光が発生する。
【００１０】
前記液体ターゲット（Ｔ）はターゲット物質の化合物または化合物塩が溶けた溶液により構成されているので、通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲット物質を、プラズマ発光領域（レーザ光照射領域）に、適切な密度、サイズ（体積、量）で連続的または断続的に供給することができる。したがって、プラズマ発光により得られる所望の波長の光の出力制御が容易なプラズマ発光光源装置を提供することができる。また、デブリの発生が少なく、光源周辺に設置される光学素子に損傷を与えないプラズマ発光光源装置を提供することができる。
【００１１】
（第１発明の形態１）
第１発明の形態１のプラズマ発光光源装置は、前記第１発明において下記の構成要件（Ａ06）を備えたことを特徴とする。
（Ａ06）ターゲット物質であるアルカリ金属のハロゲン化合物またはターゲット物質である金属の化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
（第１発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ06）を備えた第１発明の形態２のプラズマ発光光源装置では、ターゲット物質であるアルカリ金属または金属に応じた波長の光を発光させることができる。
【００１２】
（第１発明の形態２）
第１発明の形態１のプラズマ発光光源装置は前記第１発明の形態１において下記の構成要件（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ07）極性溶媒を含む前記液体ターゲット（Ｔ）。
（第１発明の形態２の作用）
前記構成要件（Ａ07）を備えた第１発明の形態１のプラズマ発光光源装置では、前記液体ターゲット（Ｔ）が極性溶媒を含むので、前記ターゲット物質であるアルカリ金属のハロゲン化合物またはターゲット物質である金属の化合物塩を容易に均一に溶かすことができる。
【００１３】
（第１発明の形態３）
第１発明の形態３のプラズマ発光光源装置は前記第１発明または第１発明の形態１もしくは２において下記の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする。
（Ａ08）ターゲット物質であるリチウムのハロゲン化合物またはターゲット物質である錫の化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
（第１発明の形態３の作用）
前記構成要件（Ａ08）を備えた第１発明の形態３のプラズマ発光光源装置では、ターゲット物質であるリチウムまたは錫に応じた波長の光を発光させることができる。前記ターゲット物質がリチウムまたは錫である場合には、波長１３.５ｎｍを含む狭い帯域の極端紫外光を発生することができる。
【００１４】
（第２発明）
第２発明のレーザ生成プラズマ方式による光源装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ09）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）内部にプラズマ発光室（Ａ）を形成する真空容器（２）、
（Ａ02）前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）にレーザ光（Ｌ）を集光させるレーザ光照射装置（３）、
（Ａ03）前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に液体ターゲット（Ｔ）を吐出する液体ターゲット吐出ノズル（４）、
（Ａ04）前記レーザ光照射位置（Ａ１）を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズル（４）に対向して配置され且つ前記レーザ光照射位置（Ａ１）を通過して到達した液体ターゲットを回収するターゲット回収器（５）、
（Ａ09）ターゲット物質の微粒子粉末が均一に分散する液体により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
【００１５】
（第２発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ04），（Ａ09）を備えた第２発明のレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、プラズマ発光室（Ａ）は、真空状態に保持される。液体ターゲット吐出ノズル（４）は、前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に液体ターゲット（Ｔ）を吐出する。前記レーザ光照射位置（Ａ１）を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズル（４）に対向して配置されたターゲット回収器（５）は、前記レーザ光照射位置（Ａ１）を通過して到達した液体ターゲット（Ｔ）を回収する。
レーザ光照射装置（３）は、前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に吐出された液体ターゲット（Ｔ）にレーザ光（Ｌ）を集光させる。前記レーザ光照射位置（Ａ１）において液体ターゲット（Ｔ）にレーザ光（Ｌ）が照射されると、プラズマが生成されてターゲット物質に応じた波長の光が発生する。
【００１６】
前記液体ターゲット（Ｔ）はターゲット物質の微粒子粉末が均一に分散する液体により構成されているので、通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲット物質を、プラズマ発光領域（レーザ光照射領域）に、適切な密度、サイズ（体積、量）で連続的または断続的に供給することができる。したがって、プラズマ発光により得られる所望の波長の光の出力制御が容易なプラズマ発光光源装置を提供することができる。また、デブリの発生が少なく、光源周辺に設置される光学素子に損傷を与えないプラズマ発光光源装置を提供することができる。
【００１７】
（第２発明の形態１）
第２発明の形態１のレーザ生成プラズマ方式による光源装置は、前記第２発明において下記の構成要件（Ａ010）を備えたことを特徴とする。
（Ａ010）ターゲット物質である金属の微粒子が均一に分散した界面活性剤を含む液体により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
（第２発明の形態１の作用）
第２発明の形態１のレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、前記液体ターゲット（Ｔ）が界面活性剤を含む液体により構成されるので、ターゲット物質である金属の微粒子を、均一に分散させることが容易である。
なお、前記界面活性剤としては、陰イオン界面活性剤である硫酸ドデシルナトリウム（Sodium Dodecyl Sulfateすなわち、ＳＤＳ）や、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）等を使用可能である。
【００１８】
（第２発明の形態２）
第２発明の形態２のレーザ生成プラズマ方式による光源装置は、前記第２発明の形態１において下記の構成要件（Ａ011）を備えたことを特徴とする。
（Ａ011）ターゲット物質である錫の微粒子が均一に分散した界面活性剤を含む液体により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
（第２発明の形態２の作用）
前記構成要件（Ａ011）を備えた第２発明の形態２のレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、前記液体ターゲット（Ｔ）が界面活性剤を含む液体により構成されているので、ターゲット物質である錫の微粒子を均一に分散させることが容易である。ターゲット物質である錫に応じた波長の光を発光させることができる。前記ターゲット物質が錫の微粒子である場合には、波長１３.５ｎｍを含む狭い帯域の極端紫外光を発生することができる。
【発明の効果】
【００１９】
前記本発明は次の作用効果（Ｅ01）〜（Ｅ04）を奏することができる。
（Ｅ01）通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲット物質の液体ターゲット中の含有率を容易に調節することができる。したがって、発光領域（レーザ光照射領域）に、前記ターゲット物質を、適切な密度、適切なサイズ（体積、量）で連続的または断続的に供給することができる。
（Ｅ02）プラズマ発光により得られる所望の波長の光の出力制御が容易なプラズマ発光光源装置を提供することができる。
（Ｅ03）デブリの発生が少なく、光源周辺に設置される光学素子に損傷を与えないプラズマ発光光源装置を提供することができる。
（Ｅ04）不要な波長域の発光を抑制し、狭波長域での１３.５ｎｍの極端紫外光の発生が可能なプラズマ発光光源装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（実施例１）
図１は本発明のレーザ生成プラズマ方式による光源装置の実施例１の要部説明図である。
図１において、レーザ生成プラズマ方式による光源装置１は、内部にプラズマ発光室Ａを形成する真空容器２を有している。真空容器２に支持されたレーザ光照射装置３から出射したレーザ光Ｌは、プラズマ発光室Ａ内のレーザ光照射位置Ａ１に集光する。前記レーザ光照射位置Ａ１を挟んで上方には液体ターゲット吐出ノズル４が配置され、下方には回収口５ａと外部タンク５ｂとを有するターゲット回収器５が配置されている。
【００２１】
液体ターゲット吐出ノズル４は、その先端に吐出口を有している。液体ターゲット吐出ノズル４から吐出される液体ターゲットＴの吐出流の直径を変更（調整）するには、吐出口の口径が異なる液体ターゲット吐出ノズル４に交換する。また、前記液体ターゲット吐出ノズル４に供給する液体ターゲットＴを収容する図示しない液体ターゲット供給用タンク内の圧力は調節可能であり、前記圧力を調節することにより、液体ターゲット吐出ノズル４から吐出される液体ターゲットＴの吐出量を調節することが可能である。このような液体ターゲット吐出ノズル４から吐出される液体ターゲットＴの吐出流の直径および流量を調節するための技術は、従来の前記液化キセノンをターゲットとして使用する従来技術と同じ技術を使用可能である。
【００２２】
液体ターゲット吐出ノズル４から吐出された液体ターゲットＴはレーザ光照射位置Ａ１を通過する際に高出力のレーザ光Ｌにより照射され、プラズマＰの生成（プラズマ発光）に使用される。生成したプラズマＰからは、液体ターゲットＴに含まれるターゲットに応じた波長の光が四方八方に一様に放射される。
【００２３】
（実施例１の液体ターゲットＴ）
実施例１の液体ターゲットＴは、塩化リチウム（アルカリ金属のハロゲン化合物）を極性溶媒（水、メタノール、またはエタノール）に溶かした液体により構成されている。
前記極性溶媒および塩化リチウムを含む液体ターゲットＴの中の塩化リチウム（アルカリ金属のハロゲン化合物）の濃度や、前記液体ターゲット吐出ノズル４からの液体ターゲットＴの吐出量等を調整することにより、前記プラズマＰから放射される波長約１３.５ｎｍの光（極端紫外光）の強度を調節可能である。
【００２４】
（実施例２）
実施例２のレーザ生成プラズマ方式による光源装置の機械的構成は、前記実施例１の図１の光源装置と同一である。
実施例２の液体ターゲットＴは、前記実施例１のターゲット物質である塩化リチウム（アルカリ金属のハロゲン化合物）の代わりにフッ化リチウム（アルカリ金属のハロゲン化合物）を使用する。その他の構成は前記実施例１と同一である。
この実施例２も前記実施例１と同様に、前記極性溶媒（水、メタノール、またはエタノール）およびフッ化リチウムを含む液体ターゲットＴの中のフッ化リチウム（アルカリ金属のハロゲン化合物）の濃度や前記液体ターゲット吐出ノズル４からの液体ターゲットＴの吐出量等を調整することにより、前記プラズマＰから放射される波長約１３.５ｎｍの光（極端紫外光）の強度を調節可能である。
【００２５】
（実施例３）
実施例３のレーザ生成プラズマ方式による光源装置の機械的構成は、前記実施例１の図１の光源装置と同一である。
実施例３の液体ターゲットＴは、前記実施例１のターゲット物質である塩化リチウム（アルカリ金属のハロゲン化合物）の代わりに塩化錫、または硫酸錫（金属の化合物塩）を使用する。その他の構成は前記実施例１と同一である。
この実施例２も前記実施例１と同様に、前記極性溶媒（水、メタノール、またはエタノール）および、塩化錫または硫化錫を含む液体ターゲットＴの中の塩化錫または硫化錫（金属の化合物塩）の濃度や前記液体ターゲット吐出ノズル４からの液体ターゲットＴの吐出量等を調整することにより、前記プラズマＰから放射される波長約１３.５ｎｍの光（極端紫外光）の強度を調節可能である。
【００２６】
（実施例４）
実施例４のレーザ生成プラズマ方式による光源装置の機械的構成は、前記実施例１の図１の光源装置と同一である。
実施例４の液体ターゲットＴは、前記実施例１のターゲット物質である塩化リチウム（アルカリ金属のハロゲン化合物）の代わりに錫ナノ粒子粉末（金属微粒子粉末）を使用し、界面活性剤（例えば、硫酸ドデシルナトリウム、ポリエチレングリコール等）、および極性溶媒（水、メタノール、またはエタノール）を含む液体を使用している。
この実施例４は、前記極性溶媒（水、メタノール、またはエタノール）、界面活性剤（硫酸ドデシルナトリウム、またはポリエチレングリコール）、および、錫ナノ粒子粉末（金属微粒子粉末、ターゲット物質の微粒子粉末）を含む液体ターゲットＴの中の錫ナノ粒子粉末の濃度や前記液体ターゲット吐出ノズル４からの液体ターゲットＴの吐出量等を調整することにより、前記プラズマＰから放射される波長約１３.５ｎｍの光（極端紫外光）の強度を調節可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を下記に例示する。
（Ｈ01）前記各実施例では、波長１３.５ｎｍの極端紫外光を発生する光源装置（レーザ生成プラズマ方式による光源装置）について説明したが、本発明は、通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲット物質が分散または溶解した液体ターゲットを使用して、他の波長の光を発光するレーザ生成プラズマ方式による光源装置にも適用することが可能である。
（Ｈ02）本発明は次世代の半導体リソグラフィ用光源装置（１３.５ｎｍを発生するための光源装置）として使用可能である。将来、１３.５ｎｍのリソグラフィシステムが実用化された時には世界各所の半導体製造ラインで利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は本発明のレーザ生成プラズマ方式による光源装置の実施例１の要部説明図である。
【符号の説明】
【００２９】
２…真空容器、
３…レーザ光照射装置、
４…液体ターゲット吐出ノズル、
５…ターゲット回収器、
Ａ…プラズマ発光室、
Ａ１…レーザ光照射位置、
Ｌ…レーザ光、
Ｔ…液体ターゲット、
【図１】
2006128313.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月4日(2004.11.4)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
（第１発明）
第１発明のレーザ生成プラズマ方式による光源装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）内部にプラズマ発光室（Ａ）を形成する真空容器（２）、
（Ａ02）前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）にレーザ光（Ｌ）を集光させるレーザ光照射装置（３）、
（Ａ03）前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に液体ターゲット（Ｔ）を吐出する液体ターゲット吐出ノズル（４）、
（Ａ04）前記レーザ光照射位置（Ａ１）を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズル（４）に対向して配置され且つ前記レーザ光照射位置（Ａ１）を通過して到達した液体ターゲット（Ｔ）を回収するターゲット回収器（５）、
（Ａ05）ターゲット物質の化合物または化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明のレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、プラズマ発光室（Ａ）は、真空状態に保持される。液体ターゲット吐出ノズル（４）は、前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に液体ターゲット（Ｔ）を吐出する。
前記レーザ光照射位置（Ａ１）を挟んで前記液体ターゲット吐出ノズル（４）に対向して配置されたターゲット回収器（５）は、前記レーザ光照射位置（Ａ１）を通過して到達した液体ターゲット（Ｔ）を回収する。
レーザ光照射装置（３）は、前記真空容器（２）内のレーザ光照射位置（Ａ１）に吐出された液体ターゲット（Ｔ）にレーザ光（Ｌ）を集光させる。前記レーザ光照射位置（Ａ１）において液体ターゲット（Ｔ）にレーザ光（Ｌ）が照射されると、プラズマが生成されてターゲット物質に応じた波長の光が発生する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（第１発明の形態１）
第１発明の形態１のレーザ生成プラズマ方式による光源装置は、前記第１発明において下記の構成要件（Ａ06）を備えたことを特徴とする。
（Ａ06）ターゲット物質であるアルカリ金属のハロゲン化合物またはターゲット物質である金属の化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
（第１発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ06）を備えた第１発明の形態１のレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、ターゲット物質であるアルカリ金属または金属に応じた波長の光を発光させることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（第１発明の形態２）
第１発明の形態２のレーザ生成プラズマ方式による光源装置は前記第１発明の形態１において下記の構成要件（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ07）極性溶媒を含む前記液体ターゲット（Ｔ）。
（第１発明の形態２の作用）
前記構成要件（Ａ07）を備えた第１発明の形態２のレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、前記液体ターゲット（Ｔ）が極性溶媒を含むので、前記ターゲット物質であるアルカリ金属のハロゲン化合物またはターゲット物質である金属の化合物塩を容易に均一に溶かすことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（第１発明の形態３）
第１発明の形態３のレーザ生成プラズマ方式による光源装置は前記第１発明または第１発明の形態１もしくは２において下記の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする。
（Ａ08）ターゲット物質であるリチウムのハロゲン化合物またはターゲット物質である錫の化合物塩が溶けた溶液により構成された前記液体ターゲット（Ｔ）。
（第１発明の形態３の作用）
前記構成要件（Ａ08）を備えた第１発明の形態３のレーザ生成プラズマ方式による光源装置では、ターゲット物質であるリチウムまたは錫に応じた波長の光を発光させることができる。前記ターゲット物質がリチウムまたは錫である場合には、波長１３.５ｎｍを含む狭い帯域の極端紫外光を発生することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
前記本発明は次の作用効果（Ｅ01）〜（Ｅ04）を奏することができる。
（Ｅ01）通常状態（常温、常圧（大気圧）状態）で固体のターゲット物質の液体ターゲット中の含有率を容易に調節することができる。したがって、発光領域（レーザ光照射領域）に、前記ターゲット物質を、適切な密度、適切なサイズ（体積、量）で連続的または断続的に供給することができる。
（Ｅ02）プラズマ発光により得られる所望の波長の光の出力制御が容易なレーザ生成プラズマ方式による光源装置を提供することができる。
（Ｅ03）デブリの発生が少なく、光源周辺に設置される光学素子に損傷を与えないレーザ生成プラズマ方式による光源装置を提供することができる。
（Ｅ04）不要な波長域の発光を抑制し、狭波長域での１３.５ｎｍの極端紫外光の発生が可能なレーザ生成プラズマ方式による光源装置を提供することができる。