(57)【要約】  【課題】液晶パネルの画像の明るさに個体差を有していても、表示欠陥部の有無を高精度に判定でき、安定した検査精度を得ることができるようにする。  【解決手段】印加電圧Ｖにて透過率Ｔが可変される液晶パネル１と、液晶パネル１に表示された画像を取り込むＣＣＤカメラ５と、ＣＣＤカメラ５にて取り込まれた画像データを演算するコンピュータ装置６と、コンピュータ装置６からの表示指令信号に基づき液晶パネル１に表示させる画像データを生成するパターンジェネレータ３とを備え、コンピュータ装置６は、ＣＣＤカメラ５によって取り込まれた画像データに基づき画像の平均照度Ｌａを算出し、この平均照度Ｌａが設定範囲に収まるように印加電圧Ｖを可変させて調整し、平均照度Ｌａが設定範囲の状態にあるときの画像を解析して表示欠陥部１０ｂの有無を検出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加電圧にて透過率が可変される電気光学装置と、
上記電気光学装置に表示された画像を取り込む画像取り込み手段と、
上記画像取り込み手段にて取り込まれた画像データを演算する演算手段と、
上記演算手段からの表示指令信号に基づき上記電気光学装置に表示させる画像データを生成する画像生成手段と
を備え、
上記演算手段は、
上記画像取り込み手段によって取り込まれた画像データに基づき、上記画像の明るさを算出する明るさ算出手段と、
上記明るさが設定範囲に収まるように上記印加電圧を調整する印加電圧調整手段と、
画像の明るさが設定範囲のときの上記画像データを解析して表示欠陥部を検出する画像解析手段と
を有することを特徴とする電気光学装置用表示検査装置。
【請求項２】
上記画像取り込み手段は、上記電気光学装置からスクリーンに投影された画像を取り込む
ことを特徴とする請求項１記載の電気光学装置用表示検査装置。
【請求項３】
上記画像取り込み手段は、上記電気光学装置に表示された画像を直接取り込む
ことを特徴とする請求項１記載の電気光学装置用表示検査装置。
【請求項４】
上記電気光学装置が大型基板に複数設けられており、
上記画像取り込み手段は、上記各電気光学装置から上記画像を順に取り込む
ことを特徴とする請求項１或いは３記載の電気光学装置用表示検査装置。
【請求項５】
上記明るさ算出手段は、画像の中央部を検査エリアとして抽出し、該検査エリアの画像データに基づき上記明るさを算出する
ことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の電気光学装置用表示検査装置。
【請求項６】
上記印加電圧調整手段は、上記明るさ算出手段で算出した明るさと上記設定範囲との差に基づき電圧補正値を設定し、該電圧補正値で上記印加電圧を補正して設定する
ことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の電気光学装置用表示検査装置。
【請求項７】
印加電圧で透過率を可変する電気光学装置に表示された画像を解析して表示欠陥部の有無を検出する電気光学装置用表示検査方法において、
上記電気光学装置に表示された画像を取り込む工程と、
取り込まれた画像データに基づき上記画像の明るさを算出する工程と、
上記明るさが設定範囲に収まるように上記印加電圧を調整する工程と、
画像の明るさが設定範囲のときの上記画像データを解析して表示欠陥部を検出する工程と
を有することを特徴とする電気光学装置用表示検査方法。
【請求項８】
上記電気光学装置が大型基板に複数設けられており、
上記各電気光学装置から上記画像を順に取り込む
ことを特徴とする請求項７記載の電気光学装置用表示検査方法。
【請求項９】
上記画像の明るさは、該画像の中央部から抽出した画像データに基づき算出する
ことを特徴とする請求項７或いは８記載の電気光学装置用表示検査方法。
【請求項１０】
上記印加電圧は、上記画像の明るさと上記設定範囲との差に基づき設定された電圧補正値で該印加電圧を補正して設定される
ことを特徴とする請求項７〜９の何れかに記載の電気光学装置用表示検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像上に表示欠陥部が発生しているか否かを自動的に検出する電気光学装置用表示検査装置及び表示検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば電気光学装置の代表である液晶パネルの製造に際しては、ＴＦＴ素子の不良や液晶層に混入する異物などの影響で表示エリア内に欠陥部（点欠陥、線欠陥、シミムラ欠陥など）が発生する場合がある。そのため、製造ラインには、表示欠陥部の有無を調べる検査工程が組み込まれている。
【０００３】
従来、検査工程において、画面上に表れる表示欠陥部を検出するに際しては、先ず、検査対象の液晶パネルをプロジェクタにセットし、その後、液晶パネルの表示をスクリーン上に投影し、スクリーンに投影された表示画像を検査員が目視により検査して表示欠陥部の有無を調べていた。
【０００４】
しかし、検査員による目視検査では検査精度にばらつきが生じやすい。そのため、最近では、液晶パネルの表示状態を、予め設定した判定基準に従って自動的に検査することで、表示欠陥部の有無を自動判別する表示検査装置が種々提案されている。
【０００５】
例えば、特許文献１（特開２００１−２２８０５０号公報）や特許文献２(特開２００１−２２８０５１号公報)には、検査対象の液晶パネルをプロジェクタにセットし、液晶パネルの表示内容をスクリーン上に投影し、投影された画像をＣＣＤカメラで撮影し、撮影した画像を所定に画像処理し、処理後の画像データに基づいて液晶パネルの表示エリア内の表示欠陥部（点欠陥、線欠陥、シミムラ欠陥など）の有無を自動的に検出する表示検査装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２２８０５０号公報
【特許文献２】特開２００１−２２８０５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、液晶パネルの画像の明るさには個体差を有している。従って、表示エリア内の表示欠陥部の明るさが同一であっても、背景の明るさと表示欠陥部の明るさとの差（コントラスト）によって、欠陥の程度（濃い或いは薄い）に視認差が生じやすい。
【０００７】
従って、上述した各文献に開示されているように、液晶パネルに一定の電圧を印加して検査用表示パターンを表示させるに際し、特に、表示する画像が中間調である場合、その検査用表示パターンの明るさは液晶パネル毎に微妙に相違するため、表示欠陥部が同一の明るさであっても目立ち方が液晶パネル毎に異なってしまい視認差が生じる。
【０００８】
その結果、上述した各文献に開示されている技術では、表示欠陥部の有無を判定する精度をより高く設定することが困難で、表示品質にばらつきが生じやすい。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み、画像の明るさに個体差を有していても、表示欠陥部の有無を高精度に判定することができ、表示品質のばらつきを低減すると共に、安定した検査精度を得ることのできる電気光学装置用表示検査装置及び表示検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため本発明による第１の電気光学装置用表示検査装置は、印加電圧にて透過率が可変される電気光学装置と、上記電気光学装置に表示された画像を取り込む画像取り込み手段と、上記画像取り込み手段にて取り込まれた画像データを演算する演算手段と、上記演算手段からの表示指令信号に基づき上記電気光学装置に表示させる画像データを生成する画像生成手段とを備え、上記演算手段は、上記画像取り込み手段によって取り込まれた画像データに基づき、上記画像の明るさを算出する明るさ算出手段と、上記明るさが設定範囲に収まるように上記印加電圧を調整する印加電圧調整手段と、画像の明るさが設定範囲のときの上記画像データを解析して表示欠陥部を検出する画像解析手段とを有することを特徴とする。
【００１１】
このような構成では、電気光学装置に表示される画像から表示欠陥部を検出するに際し、先ず、画像の明るさを設定範囲に収まるように調整するので、電気光学装置毎に画像の明るさに個体差を有していても表示検査を行うに際しては、背景画像の明るさが均一化されるため、表示欠陥部の有無を高精度に判定することができる。その結果、表示品質のばらつきが低減され、安定した検査精度を得ることができる。
【００１２】
第２の電気光学装置用表示検査装置は、第１の電気光学装置用表示検査装置において、上記画像取り込み手段は、上記電気光学装置からスクリーンに投影された画像を取り込む
ことを特徴とする。
【００１３】
このような構成では、スクリーンに投影された画像を取り込むようにしたので、例えば電気光学装置がプロジェクタに装着された状態で使用されるものでは、実際の使用態様に即した表示状態に基づいて表示検査を行うことができ、高い検査精度を得ることができる。
【００１４】
第３の電気光学装置用表示検査装置は、第１の電気光学装置用表示検査装置において、上記画像取り込み手段は、上記電気光学装置に表示された画像を直接取り込むことを特徴とする。
【００１５】
このような構成では、電気光学装置に表示された画像を直接取り込むようにしたので、生産ラインの中途において、簡単に表示検査を行うことができ生産性が向上する。
【００１６】
第４の電気光学装置用表示検査装置は、第１、第３の電気光学装置用表示検査装置において、上記電気光学装置が大型基板に複数設けられており、上記画像取り込み手段は、上記各電気光学装置から上記画像を順に取り込むことを特徴とする。
【００１７】
このような構成では、電気光学装置が大型基板に複数設けられている状態で表示検査を行うようにしたので、各電気光学装置の表示検査を連続して行うことができ、検査効率が良くなり生産性が向上する。
【００１８】
第５の電気光学装置用表示検査装置は、第１〜第４の電気光学装置用表示検査装置において、上記明るさ算出手段は、画像の中央部を検査エリアとして抽出し、該検査エリアの画像データに基づき上記明るさを算出することを特徴とする。
【００１９】
このような構成では、光学系の収差により生じる外周の暗い部分を排除し、画像の中央部を検査エリアとして抽出するようにしたので、画像の明るさを適正に算出することができる。
【００２０】
第６の電気光学装置用表示検査装置は、第１〜第５の電気光学装置用表示検査装置において、上記印加電圧調整手段は、上記明るさ算出手段で算出した明るさと上記設定範囲との差に基づき電圧補正値を設定し、該電圧補正値で上記印加電圧を補正して設定することを特徴とする。
【００２１】
このような構成では、印加電圧を画像の明るさと設定範囲との差に基づいて電圧補正値を設定し、この電圧補正値で印加電圧を補正するようにしたので、画像の明るさを調整する時間を短縮させることができ、検査タクトへの影響を最小とすることができる。
【００２２】
又、本発明による第１の電気光学装置用表示検査方法は、印加電圧で透過率を可変する電気光学装置に表示された画像を解析して表示欠陥部の有無を検出するものにおいて、上記電気光学装置に表示された画像を取り込む工程と、取り込まれた画像データに基づき上記画像の明るさを算出する工程と、上記明るさが設定範囲に収まるように上記印加電圧を調整する工程と、画像の明るさが設定範囲のときの上記画像データを解析して表示欠陥部を検出する工程とを有することを特徴とする。
【００２３】
このような構成では、電気光学装置に表示される画像から表示欠陥部を検出するに際し、先ず、画像の明るさを設定範囲に収まるように調整するので、画像の明るさに個体差を有していても表示検査を行うに際しては、背景画像の明るさが均一化されるため、表示欠陥部の有無を高精度に判定することができる。その結果、表示品質のばらつきが低減され、安定した検査精度を得ることができる。
【００２４】
第２の電気光学装置用表示検査方法は、第１の電気光学装置用表示検査装置において、上記電気光学装置が大型基板に複数設けられており、上記各電気光学装置から上記画像を順に取り込むことを特徴とする。
【００２５】
このような構成では、電気光学装置が大型基板に複数設けられている状態で表示検査を行うようにしたので、各電気光学装置の表示検査を連続して行うことができ、検査効率が良くなり生産性が向上する。
【００２６】
第３の電気光学装置用表示検査装置は、第１、第２の電気光学装置用表示検査装置において、上記画像の明るさは、該画像の中央部から抽出した画像データに基づき算出することを特徴とする。
【００２７】
このような構成では、光学系の収差により生じる外周の暗い部分を排除し、画像の中央部から抽出した画像データに基づいて明るさを算出するようにしたので、画像の明るさを適正に算出することができる。
【００２８】
第４の電気光学装置用表示検査装置は、第１〜第３の電気光学装置用表示検査装置において、上記印加電圧は、上記画像の明るさと上記設定範囲との差に基づき設定された電圧補正値で該印加電圧を補正して設定されることを特徴とする。
【００２９】
このような構成では、印加電圧を画像の明るさと設定範囲との差に基づいて電圧補正値を設定し、この電圧補正値で印加電圧を補正するようにしたので、画像の明るさを調整する時間を短縮させることができ、検査タクトへの影響を最小とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、図面に基づいて本発明の一形態を説明する。図１〜図７に本発明の第１形態を示す。図1には表示検査装置の概略構成図が示されている。
【００３１】
同図において、１は検査対象である電気光学装置としての液晶パネルである。液晶パネル１の構成は特に限定されないが、一般的には、一対の透明基板と、この両透明基板間に注入された電気光学物質としての液晶とを有している。
【００３２】
又、２は画像投影手段としてのプロジェクタであり、このプロジェクタ２に対して外部から液晶パネル１が装着される。このプロジェクタ２に、液晶パネルを背面から照射する光源としてのランプ２ａが内装されている。尚、このランプ２ａの光量は予め一定量に設定され、或いは後述するコンピュータ装置６によって制御される。
【００３３】
３は画像生成手段としてのパターンジェネレータであり、液晶パネル１に表示させる検査用画像データを生成する。又、４は液晶パネル１上の画像を撮影するスクリーン、５は撮像素子の代表であるＣＣＤ５ａを内蔵する画像取り込み手段としてのＣＣＤカメラである。
【００３４】
ＣＣＤカメラ５はスクリーン４上に拡大投影された画像を撮影するものであり、このＣＣＤカメラ５に設けられているＣＣＤ５ａの解像度（画素数）は、液晶パネル１の解像度（画素数）の少なくとも２〜３倍有している。従って、図６に示す液晶パネル１上の画像１０に表れる１画素分の表示欠陥部１０ｂが、ＣＣＤ５ａでは少なくとも２〜３画素以上の画素で撮影される。
【００３５】
又、６は演算手段としてのコンピュータ装置であり、パターンジェネレータ３及びＣＣＤカメラ５を含む装置全体を制御して、液晶パネル１の画面上に表れる表示欠陥部１０ｂの有無を検出する。７はモニタなどの表示装置であり、コンピュータ装置６に接続され、ＣＣＤカメラ５で撮影した画像、及び、検査結果などが表示される。
【００３６】
パターンジェネレータ３は、コンピュータ装置６からの表示指令信号に基づき、液晶パネル１に表示させる全白表示用画像、及び検査用中間調画像を生成し、当該画像を液晶パネル１に表示させる。
【００３７】
この液晶パネル１をプロジェクタ２にセットすると、このプロジェクタ２に設けられているランプ２ａから液晶パネル１の背面に照射された光が、液晶パネル１を透過し、液晶パネル１上の表示画像がスクリーン４に拡大投影される。
【００３８】
コンピュータ装置６が、パターンジェネレータ３に対し、全白表示用画像信号、或いは検査用中間調画像信号を出力すると、このパターンジェネレータ３は全白表示用画像、或いは検査用中間調画像を生成し、液晶パネル１に全白画像、或いは中間調画像を表示させる。
【００３９】
そして、スクリーン４に拡大投影された液晶パネル１上の表示画像をＣＣＤカメラ５で撮影し、その画像データを所定にＡ／Ｄ変換した後、コンピュータ装置６へ出力する。コンピュータ装置６は、ＣＣＤカメラ５で撮影した画像データに基づき、その明るさを示す照度Ｌから、スクリーン４に拡大投影された画像の階調が、予め設定されている中間調の範囲内に収まっているか否かを調べ、範囲から外れている場合は、パターンジェネレータ３に対し、補正信号を出力し、スクリーン４に拡大投影された画像の階調が、予め設定されている中間調の範囲内に収まるように制御する。
【００４０】
又、コンピュータ装置６は、液晶パネル１の表示画像の階調が所定に調整された後、ＣＣＤカメラ５で撮影した画像データを取り込み、液晶パネル１の画面上に表れる表示欠陥部１０ｂが発生しているか否かの表示検査を実行し、その結果を表示装置７に表示する。
【００４１】
コンピュータ装置６で実行される液晶パネル１の階調表示制御、及び表示検査は、具体的には、図２に示す表示検査ルーチンに従って処理される。
【００４２】
このルーチンは、プロジェクタ２に液晶パネル１がセットされる毎に起動され、先ず、ステップＳ１で、パターンジェネレータ３に対し全白画像表示指令信号を出力する。図４に示すように、本形態は、電圧無印加状態で光透過率を１００％とし、電圧を印加するに従い透過率が低くなるノーマリホワイト表示の液晶パネル１が採用されている。但し、検査対象となる液晶パネル１は、電圧無印加状態で光透過率を０％とするノーマリブラック表示であっても良い。
【００４３】
パターンジェネレータ３は、コンピュータ装置６からの全白画像表示指令信号に従い、液晶パネル１に表示させる全白表示用画像を生成し、液晶パネル１に全白画像を表示させる。液晶パネル１に表示された全白画像は、ランプ２ａから照射された光によりスクリーン４に拡大投影され、投影された白色画像がＣＣＤカメラ５で撮影される。コンピュータ装置６は、ステップＳ２において、ＣＣＤカメラ５で撮影した１フレーム分の白色画像データを取り込み、ステップＳ３へ進み、スクリーン４に投影された白色画像の照度Ｌが設定範囲か否かを判定し、液晶パネル１の光透過率が適正か否かを調べる。
【００４４】
そして、白色画像の照度Ｌが設定範囲内のときは光透過率が適正であると判定しステップＳ４へ進み、又、設定範囲から外れているときは光透過不良と判定し、ステップＳ１２へジャンプする。
【００４５】
又、白色画像の照度Ｌが設定範囲内と判定されてステップＳ４へ進むと、全白画像処理を実行し、全白画像全体に表示欠陥があるか否か、及び全白画像の表示品位が良好か否かを調べる。尚、全白画像中に表示欠陥、或いは表示品位が損なわれる箇所がある場合はルーチンを終了する。一方、表示欠陥及び表示品位が損なわれる箇所が無い場合は、ステップＳ５へ進み、ステップＳ５以下で、中間調表示制御を行うと共に、欠陥部検出処理を行う。  先ず、ステップＳ５では、パターンジェネレータ３に対し、検査用中間調画像を生成させるための表示指令信号を出力する。すると、パターンジェネレータ３は、予め設定されている中間調（例えば３００ルックス相当）の表示画像を生成し、液晶パネル１に当該検査用中間調画像を表示させる。尚、本形態では、パターンジェネレータ３から液晶パネル１に印加する電圧によって、２５６階調の画像が表示可能となっている。
【００４６】
液晶パネル１に表示された中間調の画像は、ランプ２ａからの照射光によりスクリーン４に拡大投影され、投影された中間調の画像がＣＣＤカメラ５で撮影される。
【００４７】
すると、ステップＳ６において、ＣＣＤカメラ５で撮影した１フレーム分の中間調の画像データを、Ａ／Ｄ変換した後に取り込む。そして、図３に示すように、取り込んだ画像１０を複数エリア（本形態では１６エリア）に分割し、同図にハッチングで示す中央の数エリア（本形態では４エリア）１０ａを抽出し、（以下、この抽出したエリアを「検査エリア１０ａ」と称する）、この検査エリア１０ａ内の明るさである平均照度Ｌａを算出する。
【００４８】
ＣＣＤカメラ５で撮影した画像は光学系の収差により、外周部が暗く、中央部が明るくなる分布を有している。そのため、全体画像１０に基づいて照度の平均値を算出すると、その平均値が低い値となってしまう。本形態では、画像１０の照度が比較的安定している中央部分を検査エリア１０ａとして設定し、この検査エリア１０ａ内の平均照度Ｌａを算出することで、平均照度Ｌａが低い値となることを防止し、適正な平均照度Ｌａを得ることができるようにしている。
【００４９】
次いで、ステップＳ７で、平均照度Ｌａと適正照度範囲とを比較し、平均照度Ｌａが適正範囲に収まっているか否かを調べる。具体的には、平均照度Ｌａと、適正照度を規定する上限値と下限値とを比較し、平均照度Ｌａが上限値と下限値との間にあるときは適正と判定し、この範囲から外れているとき、すなわち、平均照度Ｌａが下限値よりも低く、或いは上下値よりも高いときは不適正と判定する。
【００５０】
図４に２つの液晶パネルのＶ−Ｔ特性を示す。同図に示すように、ノーマリホワイト表示型の各液晶パネルは、印加電圧Ｖを増加すると中間領域では透過率Ｔが急激に立ち下がる特性を示す。尚、ノーマリブラック表示型の液晶パネルでは逆の特性となる。
【００５１】
従って、中間調領域では、印加電圧Ｖの僅かな増減でも透過率Ｔが大きく変化する。このＶ−Ｔ曲線は液晶パネル１毎の個体差によりばらつきがある。例えば、図４に破線で示すＶ−Ｔ曲線を基本的な液晶パネル１の特性とし、実線で示すＶ−Ｔ曲線を検査対象である液晶パネル１の特性とした場合、同一の印加電圧ｖ１（例えば２[V]）であっても、破線で示すＶ−Ｔ曲線では透過率Ｔが５０％となるが、実線で示すＶ−Ｔ曲線では透過率Ｔが約７５％となってしまう。透過率Ｔが異なれば、当然、スクリーン４に拡大投影される画像の照度が相違することになる。尚、図５は図４のV部を、印加電圧Ｖを示す横軸のみを長くして拡大表示したものである。
【００５２】
図６に示すような画像１０に表れる表示欠陥部１０ｂの検出は、この表示欠陥部１０ｂの明るさと、その背景の明るさとの差（コントラスト）によって認識されるものであるため、背景の明るさが液晶パネル１毎に相違した場合、表示欠陥部１０ｂの検出に誤差が生じやすくなる。すなわち、例えば表示欠陥部１０ｂの照度が４００ルックスであっても、背景画像の照度が１５０ルックスの場合と２５０ルックスの場合とでは、前者はコントラストが大きいため表示欠陥部１０ｂに対する視認性は良好であるが、後者はコントラストが小さいため、表示欠陥部１０ｂの視認性が低下する。
【００５３】
従って、本形態では、ステップＳ７において、平均照度Ｌａと予め設定した適正照度範囲とを比較し、平均照度Ｌａが適正照度範囲に収まっている、適正状態のときはステップＳ８へ進み、平均照度Ｌａが適正照度範囲から外れている、不適正状態のときはステップＳ９へ分岐する。適正照度範囲は、例えば特定中間調を表す透過率Ｔ（例えば５０％）に対応する照度を中心値とし、その±数％の範囲に設定されている。
【００５４】
先ず、平均照度Ｌａが不適正と判定された場合について説明する。ステップＳ９へ分岐すると、平均照度Ｌａが適正照度範囲に収まるように印加電圧Ｖを調整して、液晶パネル１の透過率を適正にする制御を行う。すなわち、平均照度Ｌａが適正照度範囲を上回っている（明るい）か、下回っている（暗い）かを調べ、上回っているときは、現在の印加電圧Ｖに電圧補正値（例えば0.1[V]）だけ加算して、透過率Ｔを低くする補正を行う。又、平均照度Ｌａが適正照度範囲を下回っている場合は、現在の印加電圧Ｖから電圧補正値（例えば0.1[V]）だけ減算して、透過率Ｔを高くする補正を行う。尚、ノーマリブラック表示型の液晶パネルでは補正が逆となる。
【００５５】
例えば図４に示すように、その破線で示すＶ−Ｔ曲線が基本的な液晶パネルの特性とし、実線で示すＶ−Ｔ曲線を有する液晶パネル１の中間調表示を調整しようとする場合、最初に印加電圧ｖ１で中間調表示が行われる。すると、実線で示すＶ−Ｔ曲線では、透過率Ｔが約７５％（例えば２５０〜３００ルックス相当）となり明るいため、ステップＳ９では、印加電圧Ｖを電圧補正値分だけ増加させる。印加電圧Ｖを電圧補正値でステップ的に補正することで、透過率Ｔが次第に下がり、印加電圧がｖ２に達したとき基本的な液晶パネルの透過率Ｔと等しくなる。
【００５６】
そして、印加電圧Ｖを所定に補正した後、ステップＳ１１へ進み、印加電圧Ｖの調整回数、及び補正後の印加電圧Ｖが予め設定された許容電圧（例えば５[V]）内か否かを調べ、印加電圧Ｖの調整回数が設定回数（例えば４回）内で、且つ、補正後の印加電圧Ｖが許容電圧内のときは、ステップＳ５へ戻り、液晶パネル１に対し、補正後の印加電圧Ｖに基づき検査用中間調画像を表示させて、再度、中間調表示制御を行う。一方、印加電圧Ｖの調整回数が設定回数（例えば４回）を越え、或いは補正後の印加電圧Ｖが許容電圧を越えているときは、調整不能と判定し、ステップＳ１２へ進む。
【００５７】
ステップＳ３或いはステップＳ１１からステップＳ１２へ進むと、当該液晶パネル１が光透過不良、或いは調整不良である旨を、表示装置７などに表示すると共に、コンピュータ装置６に記憶するなどの不良処理を実行して、１つの液晶パネル１の表示検査を終了する。
【００５８】
一方、ステップＳ７で平均照度Ｌａが、適正照度範囲内と判断されて、ステップＳ８へ進むと、現在の中間調画像を処理し、処理した画像データに基づき、画像１０全体に、点欠陥、線欠陥、シミムラ欠陥などの表示欠陥部１０ｂがあるか否か、及び画像１０全体の表示品位が良好か否かの解析を行う。この画像解析は、例えば背景画像の照度に対し、それよりも高い照度の部位が存在するか、或いは低い照度の部位が存在するか、すなわちコントラストの生じている部位が存在するか否かで行い、存在する場合は表示欠陥部１０ｂ有りと判定する。
【００５９】
そして、ステップＳ１０へ進み、その判定結果を表示装置７に表示して、１つの液晶パネル１の表示検査を終了する。
【００６０】
このように、本形態では、液晶パネル１上の表示検査を行うに際し、液晶パネル１毎に相違する中間調画面の明るさを、同一レベルに調整するようにしたので、背景の明るさの違いによる表示欠陥部１０ｂの有無判定の検出誤差、視認誤差が少なくなり、自動検査による判定のばらつきが抑制され、高い判定精度を得ることができる。
【００６１】
又、プロジェクタ２からスクリーン４に投影された画像１０を取り込んで、表示欠陥部１０ｂの有無を判定するようにしたので、液晶パネル１がプロジェクタ２に組み込まれて使用されるものにあっては、実際の使用態様に即した表示状態に基づいて表示検査を行うので、高い検査精度を得ることができる。
【００６２】
ところで、上述した表示検査ルーチンのステップＳ９において、平均照度Ｌａが適正照度範囲から外れているときは、印加電圧Ｖを予め設定されている電圧補正値でステップ補正することで、平均照度Ｌａが適正照度範囲に収まるように制御しているが、平均照度Ｌａと適正照度範囲の中心値とのずれ量に応じて電圧補正値を可変するようにしても良い。
【００６３】
すなわち、上述したステップＳ９では、平均照度Ｌａと適正照度範囲の中心値との差分による照度差Ｌｎを算出し、その照度差Ｌｎに基づき、図７に示す電圧補正値設定テーブルを参照して、電圧補正値Ｖｎを設定する。そして、この電圧補正値Ｖｎを印加電圧Ｖに加算して、今回の印加電圧Ｖを設定する。
【００６４】
図７に示すように、電圧補正値テーブルに格納されている照度差Ｌｎと電圧補正値Ｖｎとは、双曲線に近い特性に設定されており、照度差Ｌｎが大きい場合は電圧補正値Ｖｎが小さくなり、照度差Ｌｎが小さい場合は、電圧補正値Ｖｎが大きくなる。尚、図示しないが、この電圧補正値テーブルは、照度差Ｌｎがマイナス側の場合も設定されている。又、照度差Ｌｎがプラス側とマイナス側とでは異なる特性としても良い。
【００６５】
電圧補正値Ｖｎを、照度差Ｌｎに応じて可変させることで、中間調表示の調整時間の短縮化が実現でき、検査タクトへの影響を最小とすることができ、検査効率をより一層向上させることができる。
【００６６】
又、図８に本発明の第２形態による表示検査装置の概略構成図を示す。上述した第１形態では、スクリーン４に拡大投影された画像をＣＣＤカメラ５で撮像し、撮像した画像１０に基づいて液晶パネル１の中間調表示を調整すると共に、この液晶パネル１の表示検査を行うようにしたが、本形態では、液晶パネル１の表示画像を直接ＣＣＤカメラ５で撮像するようにしたものである。
【００６７】
液晶パネル１は、対向一対の透明基板１ａ，１ｂを有し、両透明基板１ａ，１ｂ間に電気光学物質としての液晶が封入されており、一方の透明基板１ａには画素毎にＴＦＴ(Thin Film Transistor)及び画素電極が形成されていると共に、一端に端子１ｃが形成されている。又、他方の透明基板１ｂには各画素共通の対向電極が形成されている。
【００６８】
液晶パネル１の表示検査を行うに際しては、一方の透明基板１ａ側を光源としてのバックライト１１上に載置し、透明基板１ａに設けられている端子１ｃに、検査用プローブ（図示せず）を接触させて、液晶パネル１に対し給電及び、図１に示すパターンジェネレータ３からの信号を送信する。
【００６９】
次いで、第１形態と同様、液晶パネル１にパターンジェネレータ３で生成した、全白画像、及び中間調画像を表示させる。尚、この全白画像、及び中間調画像の表示方法は第１形態と同様である。
【００７０】
そして、液晶パネル１の表示画像を、その上方に対設されているＣＣＤカメラ５により撮影し、このＣＣＤカメラ５で撮影した画像１０に基づき、コンピュータ装置６は、図２に示す表示検査ルーチンを実行し、中間調表示を調整すると共に、この液晶パネル１の表示検査を行う。
【００７１】
本形態では、液晶パネル１の表示をＣＣＤカメラ５で直接撮影するようにしたので、液晶パネル１を一々プロジェクタ２に装着する手間が省けるばかりでなく、スクリーン４を用意する必要がないので、生産ラインの中途において、簡単に表示検査を行うことができ、より高い生産効率を得ることができる。
【００７２】
又、図９に本発明の第３形態による表示検査装置の概略構成図を示す。上述した第２形態では、液晶パネル１を１つずつバックライト１１にセットして表示検査を行うようにしているが、本形態では、大型基板２１に多数の液晶パネル１を形成した状態で、各液晶パネル１の表示検査を個別に行うようにしたものである。
【００７３】
すなわち、大型基板２１に形成されている液晶パネル１の表示検査を行うに際しては、先ず、光源としてのバックライト１１１上に、液晶パネル１が多数形成されている大型基板２１を載置する。このバックライト１１１は大型基板２１全体を照射する大きさを有していると共に、図示しないテーブル上に固定されている。
【００７４】
そして、大型基板２１をバックライト１１１を介して載置するテーブルと、その上方に対設するＣＣＤカメラ５（図１参照）とを相対移動させて、ＣＣＤカメラ５を１つの液晶パネル１上に対峙させる。尚、図においては左下の液晶パネル１の表示画像をＣＣＤカメラ５で撮影する状態が示されている。
【００７５】
次いで、上述した第２形態と同様の手順で、当該液晶パネル１に設けられている端子（図示せず）に検査用プローブ（図示せず）を接触させて、液晶パネル１に給電すると共にパターンジェネレータ３（図１参照）からの信号を送信する。その後、第１形態と同様、液晶パネル１にパターンジェネレータ３で生成した、全白画像、及び中間調画像を表示させ、液晶パネル１に表示された画像をＣＣＤカメラ５により撮影し、このＣＣＤカメラ５で撮影した画像１０に基づき、コンピュータ装置６が、図２に示す表示検査ルーチンを実行し、中間調表示を調整すると共に、この液晶パネル１の表示検査を行う。
【００７６】
そして、１つの液晶パネル１の表示検査が所定に終了すると、バックライト１１１を固定するテーブルとＣＣＤカメラ５とを相対移動させて、例えば図の矢印で示すように、ＣＣＤカメラ５を隣の液晶パネル１へ移動させ、当該液晶パネル１の表示検査を行う。これを繰り返すことで、大型基板２１に設けられている全ての液晶パネル１に対して表示検査を行う。
【００７７】
このように、本形態では、液晶パネル１を個々に切り出す前の大型基板２１の状態で、大型基板２１に形成されている全ての液晶パネル１に対して表示検査を自動的に行うようにしたので、検査効率が良くなり生産性が向上する。
【００７８】
尚、上述した各形態では、透過型液晶装置の例を用いて説明したが、例えばＬＣｏＳ(Liquid Crystal on Silicon）のような反射型液晶装置にも、本発明を適用することができる。この場合、例えば、第１形態では、ランプ２ａをプロジェクタ２内のスクリーン４側に配設し、このランプ２ａから反射型液晶装置の反射電極に照射された光の反射光をスクリーン４に投影し、投影された画像の平均照度Ｌａが適正照度範囲に収まるように透過率Ｔを補正する。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明で採用する電気光学装置は、液晶パネルに限るものでなく、有機エレクトロルミネッセンス装置や無機エレクトロルミネッセンス装置のエレクトロルミネッセンス装置、電気泳動装置等に適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】第１形態による表示検査装置の概略構成図
【図２】同、表示検査ルーチンを示すフローチャート
【図３】同、ＣＣＤカメラで取り込んだ画像データから検査エリアを抽出する状態の説明図
【図４】同、液晶パネルに対する印加電圧と透過率との関係を示すＶ−Ｔ特性図
【図５】同、図４のV部を横軸側のみを長くして拡大表示したＶ−Ｔ特性図
【図６】同、液晶パネル上の画像に表れる欠陥部の説明図
【図７】同、電圧補正値設定テーブルの特性図
【図８】第２形態による表示検査装置の概略構成図
【図９】第３形態による表示検査装置の説明図
【符号の説明】
【００８１】
１  液晶パネル
１ａ，１ｂ  基板
１ｃ  端子
２  プロジェクタ
２ａ  ランプ
３  パターンジェネレータ
４  スクリーン
５  ＣＣＤカメラ
６  コンピュータ装置
７  表示装置
１１，１１１  バックライト
１０  画像
１０ａ  検査エリア
１０ｂ  欠陥部
２１  大型基板
Ｌ  照度
Ｌａ  平均照度
Ｌｎ  照度差
Ｔ  透過率
Ｖ  印加電圧
Ｖｎ  電圧補正値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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