(57)【要約】【課題】  目視検査時に欠陥情報を表示し、オペレータの判定のばらつきを少なくするマクロ画像表示システムを提供する。【解決手段】  生産ラインの製造装置で製造された基板は、自動マクロ検査装置１０３で自動的に検査され、欠陥に関する基板情報データと、画像データとが作成される。これらデータは、目視マクロ検査装置１００の基板ごとに複数取り込まれ、データ処理部４０８にて、基板ごとの欠陥位置に基づいて欠陥の重なり合いが計算される。この計算結果は、画面表示されると共に、必要に応じて他のコンピュータ装置に出力される。【選択図】    図４
2006266766.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産ラインで基板を連続して製造しつつ、自動マクロ検査装置により基板上に発生した欠陥を検査した結果を画像表示するマクロ画像表示システムであって、
前記基板表面を撮像した画像データから前記基板上の欠陥の情報を取得し、前記欠陥の重なり合いを求め、欠陥の集中度合いを計算する演算手段と、
欠陥の集中度合いの計算結果を、前記画像データからなる前記基板表面のマクロ画像に対応付けて出力する出力手段と、
を備えることを特徴とするマクロ画像表示システム。
【請求項２】
前記出力手段は、欠陥の集中度合いが予め設定されている値を越えた場合に、ネットワーク接続された他のコンピュータ装置に欠陥の集中度合いの計算結果と、前記画像データとを含む警告情報を出力することを特徴とする請求項１に記載のマクロ画像表示システム。
【請求項３】
前記出力手段は、欠陥の集中度合いを前記マクロ画像に対応付けてモニタに表示させることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のマクロ画像表示システム。
【請求項４】
前記出力手段は、欠陥が集中している領域を有する前記マクロ画像の周囲を強調表示することを特徴とする請求項３に記載のマクロ画像表示システム。
【請求項５】
前記出力手段は、欠陥の集中度合いをレベル分けして表示することを特徴とする請求項３に記載のマクロ画像表示システム。
【請求項６】
前記出力手段は、欠陥の集中度合いの計算に使用した前記基板について撮像した画像を一覧表示することを特徴とする請求項３に記載のマクロ画像表示システム。
【請求項７】
前記演算手段と、前記出力手段とを前記基板の目視検査装置に設けたことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のマクロ画像表示システム。
【請求項８】
生産ラインで製造した基板の表面を撮像し、その画像データから前記基板上の欠陥の位置情報を作成する工程と、
前記欠陥履歴データ同士の欠陥の位置の重なり合いを計算する工程と、
重なり合いの計算結果を、前記生産ラインの生産条件にフィードバックすべく、前記画像データからなる前記基板表面のマクロ画像に対応付けて出力する工程と、
を備えることを特徴とするマクロ画像表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産ラインで使用されるマクロ画像表示システム及びマクロ画像表示方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（以下、ＦＰＤと略す）や、半導体ウェハの生産ラインでは、欠陥検査装置を設けて基板上の欠陥の有無を検査している。欠陥検査装置としては、被検査対象物にマクロ照明光を照射して、被検査対象物からの反射光を目視で検査する目視マクロ検査装置や、被検査対象物の表面画像をデジタル撮像手段で撮像し、撮像されたマクロ画像データを画像処理によって欠陥解析を行う自動マクロ検査装置が知られている。自動マクロ検査装置は、欠陥の種類と判定とを自動で精度良く行うことが困難であるため、目視マクロ検査装置と併用して使用される。
また、最近の目視マクロ検査では、自動マクロ検査装置において作成された被検査対象物のマクロ画像を表示モニタに表示し、このマクロ画像を参考にしながら目視マクロ検査を行うことにより、判定確度を高める手法がとられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−９０８０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ＦＰＤや半導体ウェハの製造工程においては、製造装置の動作条件に起因する欠陥が、連続して同じ位置に発生することがある。
しかしながら、従来の目視による検査方法では、オペレータの経験に基づいて被検査対象物を一枚ずつ検査しているので、欠陥が同じ場所に連続して発生したか否かの判定は、オペレータの熟練度によってばらつきがあった。
また、経験の少ないオペレータの場合には、連続して発生した欠陥を見過ごしてしまうことがあり、製造装置の動作不良を発見するまでに時間を要したりすることがあった。
さらに、製造装置に起因して欠陥が連続して発生したことが判明した場合であっても、生産ラインの担当者は製造装置の設定等に対して詳細な知識がない場合があり、プロセス管理者等を探して製造装置の設定等に検討を行う必要があるので、迅速な対応をとることができなかった。
【０００４】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、目視検査時に欠陥情報を表示し、オペレータの判定のばらつきを少なくすることを目的とする。また、目視検査時に、オペレータによる見過ごしを無くし、不良品の発生を抑えることを目的とする。また、連続して欠陥が発生した場合に、そのような欠陥を目視で容易に把握することで、検査時間を少なくして検査効率を上げることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決する本発明は、生産ラインで基板を連続して製造しつつ、自動マクロ検査装置により基板上に発生した欠陥を検査した結果を画像表示するマクロ画像表示システムであって、前記基板表面を撮像した画像データから前記基板上の欠陥の情報を取得し、前記欠陥の重なり合いを求め、欠陥の集中度合いを計算する演算手段と、欠陥の集中度合いの計算結果を、前記画像データからなる前記基板表面のマクロ画像に対応付けて出力する出力手段と、を備えることを特徴とするマクロ画像表示システムとした。
【０００６】
このマクロ画像表示システムでは、自動マクロ検査装置で自動的に検査を行って作成した欠陥の情報を利用して、各基板の欠陥の重なり合いを計算する。欠陥の重なり合いの多いところは、欠陥の集中度合いが高く、製造上の問題が発生している可能性が高いので、そのような欠陥の集中度合いを、作業者等に確認させるように出力する。
【０００７】
また、本発明は、生産ラインで製造した基板の表面を撮像し、その画像データから前記基板上の欠陥の位置情報を作成する工程と、前記欠陥履歴データ同士の欠陥の位置の重なり合いを計算する工程と、重なり合いの計算結果を、前記生産ラインの生産条件にフィードバックすべく、前記画像データからなる前記基板表面のマクロ画像に対応付けて出力する工程と、を備えることを特徴とするマクロ画像表示方法とした。
【０００８】
このマクロ画像表示方法では、基板の撮像によって作成された欠陥位置の情報から欠陥履歴データを作成しつつ、欠陥の重なり合いが計算される。重なり合いの計算及び計算結果の出力は、基板を連続して製造する過程において行われる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、生産ラインで基板を連続して生産する際に、基板を生産しながら欠陥検査を行い、複数の基板に連続して発生した欠陥の集中度合いを計算するようにしたので、製造装置などに起因して発生する欠陥を確実に把握することができる。また、欠陥の集中度合いを画面表示するようにすると、オペレータの判定のばらつきが減少し、さらに目視検査時のオペレータの見逃しがなくなるので、基板の不良発生を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
図１には、マクロ画像表示システムを、マクロ検査装置を組み入れた半導体ウェハや、ＦＰＤ用ガラス基板を製造する生産工場に適用した例が図示されている。
最初に、目視マクロ検査装置１００を含むマクロ画像表示システムの概略について説明する。
目視マクロ検査装置１００は、上方からマクロ照明光をＦＰＤ用ガラス基板や、半導体ウェハなどのワーク上に照射し、ワークからの反射光を目視観察してワーク上の欠陥を検査するもので、生産ライン上に配設される製造装置１０１や、その他の装置とネットワークで接続されている。ここで、製造装置１０１としては、例えば、ＦＰＤ基板や、半導体基板などのワークにレジストを塗布する装置や、露光装置などがあげられ、このような製造装置１０１の動作条件は管理ＰＣ（パーソナルコンピュータ）１０２により管理されている。自動マクロ検査装置１０３は、ワークの全面の画像を撮像装置により取り込んで、画像処理を行い、予め登録されている欠陥に関するデータと比較を行うことで、欠陥の検査を行う装置である。自動マクロ検査装置１０３で検査した結果、被検査基板に欠陥があると判断されたときには、欠陥位置及び欠陥の種類などの欠陥情報からなる欠陥データが作成され、基板情報データ格納手段１０４に保存されるようになっている。また、自動マクロ検査装置１０３からは、ワーク全体から撮像した画像データが出力され、画像データ格納手段１０５に保存されるようになっている。
【００１１】
ここで、基板情報データ格納手段１０４には、例えば、図２に示すようなフォーマットの欠陥情報ファイルが電子ファイルとして格納されている。欠陥情報ファイルは、基板情報として、検査日時、ロットＩＤ（Ｉｄｅｎｔｉｃｉｃａｔｉｏｎ）、品種番号、工程番号、などの情報が格納されている。基板情報としては、基板ＩＤ、基板判定結果、基板判定理由が格納され、セル情報としては、セルＩＤ、セル判定結果、セル判定理由が格納されている。また、欠陥位置情報としては、欠陥位置座標と、欠陥判定結果とが格納されている。欠陥位置情報は、欠陥の位置を所定の直交座標系で表したもので、例えば、１番目の欠陥として、（ｘ，ｙ）＝（１００．０００，２００．００）と、（ｘ，ｙ）＝（１１０．０００，２２０．０００）との２つの座標が格納されている。そして、図３に示すように、これら２つの座標を対角とする長方形の領域内が欠陥のある位置として認識される。欠陥判定結果は、欠陥位置座標と関連付けて格納される情報で、「ＯＫ」、「ＮＧ」等のステータスが格納されている。これは、大きさや、種類に応じて欠陥を判断するときの指標である。
【００１２】
図１に示す目視マクロ検査装置１００は、基板情報データ格納手段１０４から欠陥情報ファイルを取得し、画像データ格納手段１０５から画像データを取得し、内部でデータ処理を行って、必要な情報を表示モニタ１０６に表示する。
管理ＰＣ１０７，１０８は、検査装置１００，１０３や、製造装置１０１の状態を離れたところからチェックするためのもので、生産ラインから離れたところに設置される。
このマクロ画面表示システムでは、目視マクロ検査を行っているオペレータ（検査者）や、工場のプロセスを管理しているスタッフが、目視マクロ検査装置１００の表示モニタ１０６や、管理ＰＣ１０７，１０８に表示される自動マクロ検査装置１０３で撮像された情報に基づいて、被検査基板であるＦＰＤ基板等の状態を把握することができる。また、表示モニタ１０６や、管理ＰＣ１０７，１０８に表示された情報は、製造装置１０１にフィードバックされ、製造装置１０１の動作条件の調整に参照されるようになっている。
【００１３】
次に、図４を参照して目視マクロ検査装置１００の構成について説明する。
目視マクロ検査装置１００は、目視マクロ検査制御部４０１を有し、目視マクロ検査制御部４０１には、外部装置である自動マクロ検査装置１０３及び基板搬送ロボット４０２が接続されており、さらに、基板ホルダユニット４０３と、基板回動ステージユニット４０４と、照明ユニット４０５と、データ入出力手段４０６とが接続されている。基板搬送ロボット４０２は、被検査基板を自動マクロ検査装置１０３から目視マクロ検査装置１００に搬送し、基板ホルダユニット４０３上に載置させる。基板ホルダユニット４０３は、基板回動ステージユニット４０４上に取り付けられており、被検査基板を保持するようになっている。基板回動ステージユニット４０４は、被検査基板をオペレータに対して様々な角度に回転できるように構成されている。照明ユニット４０５は、基板ホルダユニット４０３の上方からワークの表面にマクロ照明光を照射する装置である。このため、オペレータは、ジョイスティックなどの操作部を操作し、基板回動ステージユニット４０４を前後又は左右に傾斜させることにより、照明ユニット４０５に照らされたワークを様々な角度から目視観察することができる。また、目視マクロ検査制御部４０１は、ワーク（被検査基板）が基板搬送ロボット４０２により目視マクロ検査装置１００に搬入されると、当該ワークの情報をデータ入出力手段４０６に出力するように構成されている。
【００１４】
データ入出力手段４０６は、ワークの情報を受け取ったときに、外部の基板情報データ格納手段１０４及び画像データ格納手段１０５にアクセスし、欠陥情報ファイル及び画像データを取得するようになっている。さらに、データ入出力手段４０６は、キーボードやマウスなどの入力手段４０７と、データ処理手段４０８（演算手段）と、画像表示処理手段４０９とに接続されている。
データ処理手段４０８は、データ入出力手段４０６から取り込んだ欠陥情報ファイルから、欠陥ごとの情報を抽出し、欠陥履歴データを作成する機能を有する。また、後に詳細を説明するように、欠陥の重なりを計算する機能を有する。このデータ処理手段４０８には、データ入出力手段４０６の他に、欠陥履歴入出力手段４１０と、画像表示処理手段４０９とが接続されている。ここで、欠陥履歴データのデータ形式の一例を図５に示す。図５に示す欠陥履歴データＲＫＤは、１枚のワークの欠陥ごとに１つのデータが作成され、処理日付、検査期間、品種番号、工程番号、ロットＩＤ、基板ＩＤなどの生産情報が記載されている。また、欠陥履歴データには、重なり数の情報が付加されている。以下、欠陥履歴データは、図５に示すフォーマットを有するものとして説明する。
【００１５】
また、図４に示す欠陥履歴入出力手段４１０は、欠陥履歴格納手段４１１に対してデータの入出力処理を行う。
画像表示処理手段４０９は、マクロ回折画像表示装置４１２と、マクロ干渉画像表示装置４１３とに接続されており、データ処理の結果を画像表示するための処理を行う。
【００１６】
ここで、データ処理手段４０８で行われる欠陥位置の重なり合いの計算の概略について、図６及び図７を用いて説明する。
図６には、それぞれ欠陥履歴格納手段４１１に格納されている欠陥履歴データＲＫＤ１と、欠陥履歴データＲＫＤ２とが図示されている。これら欠陥履歴データＲＫＤ１，ＲＫＤ２に格納されている欠陥位置の関係を模式的に示すと、図７のようになる。図７において、斜線で示す部分が、欠陥が重なっている部分である。つまり、データ処理手段４０８は、欠陥履歴入出力手段４１０を介して欠陥履歴格納手段４１１から複数の欠陥履歴データＲＫＤ（例えば、欠陥履歴データＲＫＤ１，ＲＫＤ２）を随時取得し、図７に示すように欠陥の重なっている部分を計算により求める。
【００１７】
さらに、欠陥の重なり合いを計算する方法の詳細について、図８を用いて説明する。
欠陥履歴格納手段４１１には、図５に示すような欠陥履歴データＲＫＤが複数格納されている。欠陥履歴データＲＫＤには、前記のように検査期間等の生産情報が記載されており、これら生産情報に基づいて欠陥の重なり合いが計算される。ここで、重なり合いの計算を行うにあたっては、例えば、ロットＩＤが、Ａ１２３４００のロットについてだけ重なりを計算するなど、計算のための条件を設定する必要がある。条件とは、欠陥履歴データＲＫＤに含まれる生産情報の少なくとも１つを特定したものである。
入力手段４０７は、重なり合いを計算するときに条件を設定するためのデータ入力を行う。そして、入力手段４０７で入力されたデータに基づき、データ処理手段４０８が欠陥の重なり合いを計算するときの条件を欠陥履歴入出力手段４１０に通知する。欠陥履歴入出力手段４１０は、通知された条件に基づいて、欠陥履歴格納手段４１１から該当する欠陥履歴データＲＫＤを抽出し、データ処理手段４０８に渡す。データ処理手段４０８は、欠陥履歴格納手段４１１から抽出した欠陥履歴データＲＫＤに基づいて、重なり合い計算を行う。
【００１８】
次に、データ処理手段４０８の重なり計算の処理について、図９及び図１０のフローチャートを参照して説明する。
まず、検索条件入力工程（ステップＳ９０１）では、欠陥の重なり合いを計算するにあたり、複数の欠陥履歴データＲＫＤから計算対象となるデータを検索するために、日付、ロットＩＤ、品種番号、工程番号、自動マクロ検査装置１０３を特定する装置号機番号等、生産情報の条件の入力を、入力手段４０７から受け付ける。検索の条件は、直近に製造された基板の集合が抽出されるようにしても良いし、前日や、それ以前に製造された基板を含む集合が抽出されるようにしても良い。
欠陥履歴データ読み込み工程（ステップＳ９０２）では、検索条件入力工程（ステップＳ９０１）で取得した検索条件に合致したデータを、欠陥履歴格納手段４１１から読み込む。ここで、このとき読み込まれる欠陥数は、Ｍ（正の整数）とする。
【００１９】
次に、重なり情報初期データ作成工程（ステップＳ９０３）にて、読み込んだ欠陥履歴データＲＫＤの全てに対して、重なり数ｌ＝０を初期値として重なり情報データＬＫＤを作成する。ここで、重なり数ｌ＝０とは、当該欠陥は、他のどの欠陥とも重なっていないことを意味する。これに対して、例えば、図７の斜線の部分に示すように、図６の欠陥履歴データＲＫＤ１の欠陥位置と、欠陥履歴データＲＫＤ２の欠陥位置とが重なっているときには、どちらの欠陥も重なり数ｌ＝０であったなら、図７の斜線部分は重なり数ｌ＝１になる。なお、重なり情報データＬＫＤは、欠陥履歴データＲＫＤと同じデータ形式で作成される。また、初期値として作成される重なり数ｌ＝０の重なり情報データＬＫＤは、欠陥履歴格納手段４１１から最初に読み込まれる欠陥履歴データＲＫＤと同じ内容のデータになる。
【００２０】
変数初期設定工程（ステップＳ９０４）では、重なり合いを計算するときの初期設定として、重なり数ｌ＝０、重なり数ｌ＝０のときの欠陥数Ｎｌ＝Ｍ、重なり情報データ番号ｍ＝１、重なり情報データ番号ｎ＝２を設定する。ここで、欠陥数Ｎｌは、重なり数ｌのときの欠陥の数を表す。重なり情報データ番号ｍは、Ｍ個の欠陥履歴データＲＫＤに対して連番を付けたときの番号で、ｍ＝１〜Ｍ−１の範囲の値を取り得る。重なり情報データ番号ｎは、前記重なり情報初期データ作成工程（ステップＳ９０３）で作成される重なり情報データに対して連番を付けたときの番号で、（ｍ＋１）からＮｌまでの値を取り得る。
【００２１】
続いて、重なり数ｌについてループ（ステップＳ９０５及びステップＳ９１６）と、重なり情報データ番号ｍについてループ（ステップＳ９０７及びステップＳ９１５）と、重なり情報データ番号ｎについてループ（ステップＳ９０８及びステップＳ９１４）とで３重のループを形成し、重なり比較工程（ステップＳ９０９）、重なり部分判定工程（ステップＳ９１０）、重なり範囲設定工程（ステップＳ９１１）、及び重なり解析データ記録工程（ステップＳ９１２）を実行するようになっている。
重なり比較工程（ステップＳ９０９）は、１つ目の重なり情報データＬＫＤ１と、２つ目の重なり情報データＬＫＤ２との重なり合いを計算する。そして、欠陥の重なり合いを計算した結果を参照して、重なり部分判定工程（ステップＳ９１０）において、重なり合いの有無を判定する。重なり情報データＬＫＤ１，ＬＫＤ２との間で欠陥位置の重なり合いがある場合には、重なり範囲設定工程（ステップＳ９１１）で、重なった部分の座標を抽出し、設定する。
【００２２】
例えば、図１１に示すように、重なり情報データＬＫＤ１の欠陥座標が[ＸＡ（ｍ，ｌ），ＹＡ（ｍ，ｌ）]−[ＸＢ（ｍ，ｌ），ＹＢ（ｍ，ｌ）]であり、２番目の重なり情報データＬＫＤ２の欠陥座標が[ＸＡ（ｎ，ｌ），ＹＡ（ｎ，ｌ）]−[ＸＢ（ｎ，ｌ），ＹＢ（ｎ，ｌ）]である場合には、欠陥位置に矩形の重なり合いが発生しており、重なった矩形の始点座標が[ＸＡ（ｋ，ｌ＋１），ＹＡ（ｋ，ｌ＋１）]と設定され、重なった矩形の終点座標が[ＸＢ（ｋ，ｌ＋１），ＹＢ（ｋ，ｌ＋１）]と設定される。このようにして、重なり合いが認められた部分の情報を、ｋ番目の欠陥として、重なり情報データＬＫＤに記録する（ステップＳ９１２）。
【００２３】
さらに具体的には、最初のループでは、重なり数ｌ＝０において、重なり情報データ番号ｍ＝１、つまり１番目の重なり情報データＬＫＤが選択され、重なり情報データ番号ｎ＝２（＝ｍ＋１）、つまり、２番目の重なり情報データＬＫＤが選択され、これら２つのデータＬＫＤとの間で重なり合う領域の有無が調べられる。重なる領域があった場合には、その部分は、１回重なっているので、重なり数ｌ＝１の重なり情報データＬＫＤとして登録される。このようにして、重なり数ｌ＝０の欠陥同士の重なり合いを調べ、重なっているものに対しては、重なり数ｌ＝１の重なり情報データＬＫＤを作成する。さらに、重なり数ｌ＝１のうちの１番目の重なり情報データＬＫＤと、重なり数ｌ＝１のうち２番目の重なり情報データＬＫＤとの重なり合いを調べ、重なり合いがあった場合には、その領域を重なり数ｌ＝２の重なり情報データＬＫＤとして登録する。以降、全ての重なり情報データＬＫＤについて重なり合いの頻度を計算する。全ての重なり情報データＬＫＤに対して、欠陥同士の重なり合いを調べ、最大で重なり数ｌ＝Ｍまでの重なり情報データＬＫＤを作成する。
【００２４】
このようにして得られる重なり情報データＬＫＤでは、重なり数ｌが大きいものは、集中度合いが高い欠陥の存在を示す。例えば、Ｍ個の欠陥履歴データＲＫＤに示される各欠陥の一部が互いに重複していた場合には、その重複部分の座標を含む、重なり数ｌ＝Ｍの重なり情報データＬＫＤが作成される。また、重なり数ｌが小さい重なり情報データＬＫＤで特定される領域は、集中して発生していない欠陥であることを示す。
【００２５】
なお、図９及び図１０のフローチャートに示す重なり計算処理では、２つの重なり情報データＬＫＤとの欠陥の矩形範囲とを比較して、重なりがあるときは、重なった矩形について重なり数ｌをインクリメント（＋１）して、新たな重なり情報データとして記録したが、比較した２つの重なり情報データＬＫＤのどちらか一方、又は両方の矩形に含まれる範囲について、重なり数をインクリメントする方法も考えられる。また、図９及び図１０のフローチャートに示す重なり計算処理では、欠陥の位置を矩形として取り扱ったが、中心座標と、半径とで定義される円形として取り扱うことも可能である。
さらに、図９及び図１０のフローチャートに示す重なり計算処理では、欠陥の重なり合いを、欠陥履歴データＲＫＤから算出したが、自動マクロ検査装置１０３が出力する欠陥画像から求めることもできる。例えば、画像の１ピクセルごとに欠陥か否かのフラグを設け、１ピクセルごとに画像同士の重なり合いを比較する。すなわち、重なり合ったピクセルのフラグを加算して、ピクセルごとの重なり合いとして、欠陥の重なり合いを求めることもできる。
【００２６】
次に、欠陥データの表示方法について図１２を参照して説明する。なお、図１２には、マクロ画像及び欠陥の表示の一例としてのマクロ画像表示画面１１００が示してある。
マクロ画像表示画面１１００は、マップ表示部１１０１を有している。マップ表示部１１０１は、マクロ画像及び欠陥を表示する表示部で、その側方には、画面制御部１１０２と、表示設定部１１０３とが上下に並んで配置されている。画面制御部１１０２は、画面の表示方法などの制御を行うもので、表示設定部１１０３は、欠陥データの表示方法について設定を行う部分である。さらに、マップ表示部１１０１の下方には、サムネイル表示部１１０４が配置されている。サムネイル表示部１１０４は、マクロ画像を一覧として縮小表示する部分である。
【００２７】
ここで、図１３に、マップ表示部１１０１の一例を示す。図１３において、マップ表示部１１０１には、マクロ画像１２０１が表示される。マクロ画像１２０１は、図１に示す自動マクロ検査装置１０３で液晶パネルを６面取りするマザーガラス全体を撮像したもので、セル１２０２内に欠陥１２０３が表示されている。欠陥が存在するセル１２０２には、枠の色を変えるなどの強調表示が行われる。欠陥の有無は、欠陥履歴データＲＫＤに記載されている欠陥座標に基づいて判断される。このようなマクロ画像１２０１を目視マクロ検査装置１００の表示モニタ１６０や管理ＰＣ１０７，１０９の表示モニタに表示することで、検査者は、画面上に強調表示されたセルを瞬時に把握でき、目視マクロ検査で当該セルの観察を行うことで、短時間での検査が可能になる。また、欠陥１２０３については、発生頻度順、つまり重なりの多い順に、色を区別して強調表示が行われている。重なりの多い順は、データ処理手段４０８（図８参照）において複数の欠陥履歴データＲＫＤで重ね合わせ計算を行った結果に基づいて決定される。これにより、検査者は、欠陥の集中する位置を重点的に観察することができ、効率的な検査が行える。
【００２８】
次に、図１２に示す表示設定部１１０３の一例について、図１４を参照して説明する。表示設定部１１０３の上部には、欠陥表示一覧１３０１が設けられている。欠陥表示一覧１３０１は、欠陥の重なっている部分を、重なっている回数（重なり数ｌ）に応じて色分けして表示するときに、その重なり回数に対して割り当てられるレベルと、色とを関連付けて表示している。図１４においては、重なっている回数が増加、つまりレベルが上がるにつれて、緑から赤に段階的に色分けが行われるように設定されている。レベルの設定は、欠陥表示一覧１３０１の下側に配置された重なりレベル表示設定ボタン１３０２を押すことで行うことができる。この際に、図１５に示すような重なりレベル表示設定画面１４０１がポップアップ表示等される。重なりレベル表示設定画面１４０１には、重なりレベルを設定する重なりレベル選択部１４０２が設けられている。この重なりレベル選択部１４０２は、プルダウンリストでレベルが選択できるようになっている。また、重なり数設定部１４０３が設けられており、重なりレベル選択部１４０２で選択したレベルに対応する重なり数を設定できるようになっている。さらに、重なり表示色設定部１４０４が設けられており、重なりレベル選択部１４０２で選択したレベルに対して、強調表示する色を選択できるようになっている。
【００２９】
また、図１４に示す表示設定部１１０３において、重なりレベル表示設定ボタン１３０２と、欠陥表示一覧１３０１との間には、表示条件１３０３が配列表示されている。表示条件１３０３は、この画面の下側に設けられた表示条件設定ボタン１３０４を押すことで設定できる。ここで、表示条件設定ボタン１３０４を押した際に、表示される設定用の画面の一例を図１６に示す。この表示条件設定画面１５０１は、期間設定部１５０２において重なり計算をする期間の設定がなされ、基板数上限設定部１５０３によって表示するワーク数の上限が設定され、ロット数上限設定部１５０４によってロット数の上限が設定される。さらに、ロット範囲設定部１５０５によって連続したロットの範囲が設定され、品種設定部１５０６で品種番号が設定される。工程設定部１５０７で工程番号が設定され、装置号機設定部１５０８で装置号機が設定される。なお、各設定部１５０２〜１５０８には、チェックボックスが付されており、チェックボックスにチェックした項目について設定ができるようになっている。
【００３０】
次に、サムネイル表示部１１０４の一例を図１７に示す。サムネイル表示部１１０４は、図１６に示す表示条件設定画面１５０１で設定された条件に見合う範囲で、自動マクロ検査装置１０３で撮像された各ワークのマクロ画像を一覧で表示する。一覧は、ワークのマクロ画像を縮小表示した縮小マクロ画像１６０１に基板ＩＤ表示１６０２とともに表示されている。縮小マクロ画像１６０１の数が多い場合には、縮小マクロ画像１６０１をスクロールするスクロールバー１６０３が表示される。このようなサムネイル表示部１１０４によれば、検査者は、サムネイル表示部１１０４の縮小マクロ画像１６０１により、複数の基板結果画像を一度に見ることができ、基板上の欠陥の情報を瞬時に把握することができる。なお、サムネイル表示部１１０４の縮小マクロ画像１６０１をマウス等でクリックすると、その基板ＩＤを有するマクロ画面がマップ表示部１１０１に拡大表示されるようになっている。
【００３１】
さらに、画面制御部１１０２の一例を図１８に示す。画面制御部１１０２は、拡大ボタン１７０１と、縮小ボタン１７０２とを有し、画面サイズを変更できるようになっている。縮小ボタン１７０２の下には、欠陥表示ボタン１７０３が設けられている。欠陥表示ボタン１７０３は、マップ表示部１１０１（図１２参照）に表示される欠陥を、表示したり、非表示にしたり切り替えるボタンである。非表示が選択された場合には、欠陥を示す表示のない生データが表示される。さらに、その下側には、欠陥履歴表示ボタン１７０４が設けられている。この欠陥履歴表示ボタン１７０４は、マップ表示部１１０１に表示される欠陥の重なり部分を表示したり、非表示にしたり切り替えることができる。一番下側には、サムネイル表示切替ボタン１７０５が設けられている。サムネイル表示切替ボタン１７０５は、サムネイル表示部１１０４で表示させる所定範囲内の縮小マクロ画像１６０１を、全て表示するか、欠陥のあるものだけを表示するかを切り替えるボタンである。そして、これらボタン１７０３〜１７０５の横には、各ボタンの操作により設定されたステータスを表示するステータス表示部１７０６，１７０７，１７０８が、各ボタン１７０３〜１７０５に対応付けて設けられている。ステータス表示部１７０６〜１７０８は、「表示中」や、「欠陥のみ」などの文字が表示されており、欠陥等の表示が選択された場合や、欠陥を有するものサムネイル表示が選択された場合には、対応するステータス表示部１７０６〜１７０８が点灯表示されるようになっている。
【００３２】
このマクロ画面表示システムでは、自動マクロ検査装置１０３が作成した情報に基づいて目視マクロ検査装置１００のデータ処理手段４０８が欠陥の重なり合いを計算し、欠陥の集中度合いが所定のレベルに達した場合には、目視マクロ検査装置１００から生産ライン外の管理ＰＣ１０７，１０８に警告を出力させることもできる。この場合には、例えば、図１４に示す表示設定部１１０３で設定した欠陥の集中度合いがレベル５に達したら、データ入出力手段４０６がその部分の重なり情報データＬＫＤと、そのワークの画像データとを添付した警告データを作成し、ネットワークを経由して、管理ＰＣ１０７，１０８に送信する。管理ＰＣ１０７，１０８としては、不具合が発生している生産ラインのプロセス管理者が常時監視している端末装置や、そのようなプロセス管理者に情報が伝達される可能性が高い端末装置があげられる。
これら管理ＰＣ１０７，１０８では、図１２に示すようなマクロ画像表示画面１１００をモニタ表示可能なプログラムがインストールされており、警告データに基づいて、必要な情報が画面表示される。プロセス管理者は、この画面を確認して、管理ＰＣ１０７，１０８に必要な指示を入力する。そして、この管理ＰＣ１０７，１０８は、必要な指示に基づいて指示データを作成し、不具合が発生している製造装置１０１の管理ＰＣ１０２に送信する。なお、必要な指示は、マクロ画像表示画面１１０１に直接書き込む領域を設けて、ここに書き込むようにしても良いし、他のエディタで作成されるテキストデータを指示データの送信時に添付するようにしても良い。
【００３３】
製造装置１０１の管理ＰＣ１０２は、プロセス管理者からの指示データを受け取ったら、製造装置１０１にエラー表示をさせたり、警報を鳴らしたりして、生産ラインにいる担当者に知らせる。また、プロセス管理者が作成した必要な指示を管理ＰＣ１０２に画面表示する。担当者は、画面表示された必要な指示を読んで製造装置１０１の条件を調整したり、製造装置１０１の修理をしたりする。
そして、製造装置１０１の調整等を行ったら、その後に製造されたワークを前記と同様に自動マクロ検査装置１０３、及び目視マクロ検査装置１００で検査する。不具合が解消されれば、その部分の欠陥がなくなるので、マクロ画像表示画面１１０１上の欠陥表示が小さくなったり、セル１２０２の強調表示が解除されたりする。したがって、目視マクロ検査装置１００のオペレータは、目視で簡単に、製造装置１０１の改善を確認できる。一方、不具合が解消されずに、欠陥が減少しないと、マクロ画像表示画面１１０１は変化しないので、前記の警告データが再度出力される。
【００３４】
この実施の形態によれば、目視マクロ検査装置１００のデータ処理手段４０８において複数のワークの欠陥位置の重なり合いを計算するようにしたので、製造装置１０１などに起因して欠陥が連続して発生した場合に、客観的に、かつ確実に発生状況を把握することができる。このため、生産ラインで製造された基板表面の欠陥検査をリアルタイムで行い、かつ欠陥の集中が確認された場合に、すみやかに製造装置１０１の点検等を行い、不具合を解消することが可能になる。
また、重なり合いを計算するにあたり、重なり数ｌを定義し、欠陥が重なるたびに重なり数ｌを増加させたので、重なり数ｌで欠陥の集中度合いを客観的に、かつ段階的にデータ化することができる。したがって、画面表示や、警告の要否を適確に行えるようになる。このため、オペレータの熟練度によらず、均一な評価が行えるようになる。
さらに、マクロ画像表示画面１１０１に、ワークごと、セルごとに画像を表示し、さらに、欠陥のあるセルに強調表示をしたり、欠陥の集中度合いに応じて異なる表示を行ったりするので、目視による確認がしやすく、適確、かつ迅速な評価が可能になる。ここにおいて、同じ生産ラインや、製造装置１０１で異常が発生した可能性がある場合には、その製造装置１０１等についての欠陥履歴データＲＫＤを抽出して重なり合い計算を行い、画面表示させることで、傾向を簡単に把握することができる。
そして、欠陥の集中度合いが所定のレベルを越えた場合には、ネットワークを通じて警告を発するようにしたので、プロセス管理者が生産ラインから離れたところにいる場合でも、適確な措置を講じることができ、作業効率を向上させることができる。
【００３５】
なお、本発明は、前記の実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、データ入出力手段４０６、入力手段４０７、データ処理手段４０８、欠陥履歴入出力手段４１０、欠陥履歴格納手段４１１、及び画像表示処理手段４０９を目視マクロ検査装置１００と別体のコンピュータ装置に設けても良い。
また、コンピュータ装置にプログラムをインストールして実行させ、前記各手段４０６〜４１１までを実行することで、実施の形態における各処理を行わせるようにしても良い。このような場合でも前記した作用及び効果を実現することができる。ここにおいて、プログラムは、コンピュータ装置に読み取り可能な記録媒体に記録しても良いし、ネットワークを介してダウンロード可能にしておいても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態におけるマクロ画像表示システムの概略構成を示す図である。
【図２】欠陥情報ファイルの一例を示す図である。
【図３】欠陥位置を示す模式図である。
【図４】目視マクロ検査装置の構成を示す図である。
【図５】欠陥履歴データの一例を示す図である。
【図６】欠陥履歴データの一例を示す図であって、２つの欠陥履歴データの重なり合いを説明するための図である。
【図７】２つの欠陥の重なり合いを示す模式図である。
【図８】目視マクロ検査装置において欠陥の重なり合いを計算するための主な構成を示す図である。
【図９】欠陥の重なり合い計算を示すフローチャートである。
【図１０】欠陥の重なり合い計算を示すフローチャートである。
【図１１】欠陥位置が重なり合う領域を重なり情報データを抽出する処理を説明するための模式図である。
【図１２】マクロ画像表示画面の構成を示す図である。
【図１３】マクロ画像表示画面のマップ表示部の一例を示す図である。
【図１４】マクロ画像表示画面の表示設定部の一例を示す図である。
【図１５】重なりレベル表示を設定する画面の一例を示す図である。
【図１６】マクロ画像の表示条件を設定する画面の一例を示す図である。
【図１７】マクロ画像表示画面のサムネイル表示部の一例を示す図である。
【図１８】マクロ画像表示画面の画面制御部の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３７】
１００    目視マクロ検査装置
１０６    表示モニタ
１０７，１０８    管理ＰＣ（他のコンピュータ装置）
４０６    データ入出力手段（出力手段）
４０８    データ処理手段（演算手段）
４０９    画像表示処理手段（出力手段）
１２０１    マクロ画像
１２０２    セル表示
１２０３    欠陥表示
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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