(57)【要約】【課題】  磁気ヘッドの製造プロセス途中のできるだけ早い段階での磁気ヘッドの検査を行える方法を提供する。【解決手段】  ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程を有し、前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部により、前記擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、前記軟磁性層側から前記磁性体の磁区構造を磁気光学効果または磁気力顕微鏡によって読み取り、磁区構造の変化を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断する磁気ヘッド早期検査工程を設ける。【選択図】  図１
2006309836.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ上にマトリクス状に配置された薄膜磁気ヘッドの形成領域に、記録ヘッド部、外部接続電極（ボンディングパッド）を含む積層膜をそれぞれ形成するウエハ工程と、
ウエハ上に複数の薄膜磁気ヘッドの部分が一列状に配列されたバー状磁気ヘッド集合体を切り出すウエハのバーの切り出し工程と、
ウエハのバーの切り出し工程後の切り出し面を研磨するバーのラッピング処理（研磨）工程と、
ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程と、
前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部により、前記擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、前記軟磁性層側から前記磁性体の磁区構造を磁気光学効果によって読み取り、磁区構造を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断する磁気ヘッド早期検査工程と、を有してなることを特徴とする薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項２】
ウエハ上にマトリクス状に配置された薄膜磁気ヘッドの形成領域に、記録ヘッド部、外部接続電極（ボンディングパッド）を含む積層膜をそれぞれ形成するウエハ工程と、
ウエハ上に複数の薄膜磁気ヘッドの部分が一列状に配列されたバー状磁気ヘッド集合体を切り出すウエハのバーの切り出し工程と、
ウエハのバーの切り出し工程後の切り出し面を研磨するバーのラッピング処理（研磨）工程と、
ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程と、
前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部により、前記擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、前記軟磁性層側から前記磁性体の磁区構造を磁気力顕微鏡によって読み取り、磁区構造を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断する磁気ヘッド早期検査工程と、を有してなることを特徴とする薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項３】
前記ウエハ工程において、マトリクス状に配置された薄膜磁気ヘッドの形成領域に、前記記録ヘッド部に加えてさらに再生ヘッド部が形成されてなる請求項１または請求項２に記載の薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項４】
前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部の通電コイルに外部接続電極（ボンディングパッド）から通電することにより、前記擬似垂直磁気記録媒体への垂直磁気記録が行なわれてなる請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項５】
前記擬似垂直磁気記録媒体形成工程において、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させてなる請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項６】
前記擬似垂直磁気記録媒体形成工程において、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接、擬似垂直磁気記録媒体としての保護膜、垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させてなる請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項７】
前記垂直磁気記録層と軟磁性層との間に中間層を介在させてなる請求項５または請求項６に記載の薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項８】
前記擬似垂直磁気記録媒体形成工程において、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、エアーギャップに相当する厚さを備える非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させてなる請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項９】
前記擬似垂直磁気記録媒体形成工程において、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、エアーギャップに相当する厚さを備える非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての保護膜、垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させてなる請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【請求項１０】
前記垂直磁気記録層と軟磁性層との間に中間層を介在させてなる請求項８または請求項９に記載の薄膜磁気ヘッドの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造工程途中において早期に薄膜磁気ヘッドの良否を判断することができる検査方法であって、特に、垂直磁気記録用の記録ヘッド部を有する薄膜磁気ヘッドの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えばハードディスクなどの磁気記録媒体（以下、単に「記録媒体」という）の面記録密度の向上に伴い、例えば、ハードディスクドライブなどの磁気記録装置に搭載さされる薄膜磁気ヘッドの性能の向上が求められている。
【０００３】
このような薄膜磁気ヘッドの記録方式として、例えば、信号磁界の向きを記録媒体の面内方向（長手方向）に設定する長手記録方式や、信号磁界の向きを磁気媒体の面と直交する方向に設定する垂直記録方式が知られている。
【０００４】
現在のところは長手記録方式が広く利用されているものの、記録媒体の面記録密度の向上に伴う市場動向を察すれば、今後は長手記録方式に代わり、垂直記録方式が有望視されるものと想定される。垂直記録方式では、高い記録密度を確保することが可能な上に、加えて、記録済みの記録媒体が熱揺らぎの影響を受けにくいという利点が存在するからである。
【０００５】
しかしながら、垂直記録方式において、高記録密度化を図るためには主磁極部のトラック幅がさらに狭小化されてきており、この主磁極部に流入する様々な外部磁界の影響が問題になりやすい。すなわち、主磁極部は記録媒体から漏れ磁界や、磁気ヘッド装置内で発生する様々な外部磁界の影響を受けて、磁気飽和に達したりあるいはこの主磁極で予期せぬ記録や消去と行ってしまうといった不具合が発生することがある。このため高記録密度化を図るために外部磁場耐性が必要とされ、外部磁場耐性を向上させるための種々の構造が提案されている。
【０００６】
また、垂直磁気記録用の記録ヘッド部を有する薄膜磁気ヘッドでは、記録ヘッド部と対向する磁気記録媒体の垂直磁気記録層の下部に配置されたいわゆる軟磁性裏打ち層も磁気ヘッドの機能の一部として働く。そのため、磁気ヘッドの仕様は、磁気記録媒体の仕様との関係も含めて考察しなけれならず、具体的な磁気ヘッド製品の良否の判断は、個々の薄膜ヘッドが最終製品として完成した時点で磁気記録媒体と組み合わせて行う必要がある。すなわち、出荷検査として抜き取りされた磁気ヘッド製品と、製品である磁気記録媒体とを組み合わせて実際の記録を行ない、磁気ヘッドの良否を判断する必要性がある。
【０００７】
【特許文献１】特開昭６１−２８６７６３号公報
【特許文献２】特開平６−５２５３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、最終製品になった状態での磁気ヘッドの検査では、もし、その検査結果が不良と判断されれば、その不良が発生したロット全体の全ての加工プロセスが無駄になってしまう。そのため、加工途中で、しかもできるだけ早期段階での検査を行える検査システムを構築することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような課題を解決するために、本発明の薄膜磁気ヘッド薄膜磁気ヘッドの検査方法は、ウエハ上にマトリクス状に配置された薄膜磁気ヘッドの形成領域に、記録ヘッド部、外部接続電極（ボンディングパッド）を含む積層膜をそれぞれ形成するウエハ工程と、ウエハ上に複数の薄膜磁気ヘッドの部分が一列状に配列されたバー状磁気ヘッド集合体を切り出すウエハのバーの切り出し工程と、ウエハのバーの切り出し工程後の切り出し面を研磨するバーのラッピング処理（研磨）工程と、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程と、前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部により、前記擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、前記軟磁性層側から前記磁性体の磁区構造を磁気光学効果によって読み取り、磁区構造を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断する磁気ヘッド早期検査工程と、を有してなるように構成される。
【００１０】
また、本発明の薄膜磁気ヘッド薄膜磁気ヘッドの検査方法は、ウエハ上にマトリクス状に配置された薄膜磁気ヘッドの形成領域に、記録ヘッド部、外部接続電極（ボンディングパッド）を含む積層膜をそれぞれ形成するウエハ工程と、ウエハ上に複数の薄膜磁気ヘッドの部分が一列状に配列されたバー状磁気ヘッド集合体を切り出すウエハのバーの切り出し工程と、ウエハのバーの切り出し工程後の切り出し面を研磨するバーのラッピング処理（研磨）工程と、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程と、前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部により、前記擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、前記軟磁性層側から前記磁性体の磁区構造を磁気力顕微鏡によって読み取り、磁区構造を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断する磁気ヘッド早期検査工程と、を有して構成される。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様として、前記ウエハ工程において、マトリクス状に配置された薄膜磁気ヘッドの形成領域に、前記記録ヘッド部に加えてさらに再生ヘッド部が形成されてなるように構成される。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様として、前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部の通電コイルに外部接続電極（ボンディングパッド）から通電することにより、前記擬似垂直磁気記録媒体への垂直磁気記録が行なわれてなるように構成される。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様として、前記擬似垂直磁気記録媒体形成工程において、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させてなるように構成される。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様として、前記擬似垂直磁気記録媒体形成工程において、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接、擬似垂直磁気記録媒体としての保護膜、垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させてなるように構成される。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様として、前記垂直磁気記録層と軟磁性層との間に中間層を介在させてなるように構成される。
【００１６】
また、本発明の好ましい態様として、前記擬似垂直磁気記録媒体形成工程において、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、エアーギャップに相当する厚さを備える非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させてなるように構成される。
【００１７】
また、本発明の好ましい態様として、前記擬似垂直磁気記録媒体形成工程において、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、エアーギャップに相当する厚さを備える非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての保護膜、垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させてなるように構成される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法は、ウエハ工程と、ウエハのバーの切り出し工程と、バーの切り出し面を研磨するラッピング処理（研磨）工程と、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程を有し、前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部により、前記擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、前記軟磁性層側から前記磁性体の磁区構造を磁気光学効果または磁気力顕微鏡によって読み取り、磁区構造の変化を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断する磁気ヘッド早期検査工程を設けて構成されているので、磁気ヘッドの検査を製造プロセスの早期段階で行うことができ、もし不良ヘッドが発生した場合には、その発生ロットについては早期にその後の加工プロセスを中止して、その後の無駄な加工作業を行わないようにすることができ、間接的に生産性の向上、製品コストの低減化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法の要部は、いわゆる、ウエハのバーの切り出し工程後の切り出し面を研磨するラッピング処理（研磨）工程によって研磨処理された磁気ヘッドのエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程を設け、しかる後、ウエハ上に予め形成されている記録ヘッド部により、擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、軟磁性層側から磁性体の磁区構造を磁気光学効果または磁気力顕微鏡によって読み取り、磁区構造の変化を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断してなるように構成している点にある。
【００２０】
この方法によれば、製造プロセス途中のできるだけ早い段階で磁気ヘッドの良否の判定を行うことができ、不良と判定された場合は、一連の関連ロットについてその後の無駄となる工程を早期に止めることができ、生産性向上に寄与することができる。
【００２１】
本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法を説明する前に、本発明の検査方法の理解が容易となるように磁気ヘッドに関する説明を簡潔にしておく、もちろん、磁気ヘッドそのものの構成は公知である。
【００２２】
磁気ヘッドに関する説明 
図６は、いわゆるスライダも含めた磁気ヘッドの１ユニットを模式的に示した概略斜視図である。図７は、図６に示される磁気ヘッドの再生ヘッド部（ＧＭＲ素子）２０および記録ヘッド部（誘導型磁気変換素子）３０の部分を極めて簡単に要部のみ模式的に示した拡大断面図である。図７においては、磁気ヘッドの作用が分かりやすいように垂直磁気記録媒体１も図面に模式的に併記してある。
【００２３】
図８は、図７中のＡ−Ａ矢視概略図であり、磁気ヘッドの再生ヘッド部（例えば、ＧＭＲ素子）２０および記録ヘッド部（垂直磁気記録の誘導型磁気変換素子）３０をエアベアリング面（ＡＢＳ）から見た構成を模式的に示した図面である。なお、理解が容易となるように、必要部材のみの最小限の記載としてある。
【００２４】
発明の内容の理解を容易にするために、図６〜図８に示されるように、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を定義する。Ｘ軸方向が磁気記録媒体の移動方向と一致している。
【００２５】
スライダも含めた磁気ヘッドの１ユニットは、図６に示されるように、基体の一態様であるスライダ１００と、再生ヘッド部２０と、記録ヘッド部３０とを備える複合型磁気ヘッドとして構成されている。
【００２６】
記録ヘッド部３０は、図７に示されるように主磁極３１と補助磁極３５と通電コイル３９を有しており、記録ヘッド部３０の通電コイル３９に電流を流して励磁すると、主磁極３１の先端と、磁気記録媒体の軟磁性層１１との間に垂直方向の磁界が生じ、これにより垂直磁気記録層１０に垂直方向への磁気記録がなされる。磁気記録媒体の軟磁性層１１に流れた磁束は、補助磁極３５へと戻り、磁気回路が形成される。
【００２７】
再生ヘッド部２０は、記録された磁気データを読み取るための例えばＧＭＲ素子２０から構成され、このものは磁気シールド層２１、２５との間に配置される。再生ヘッド部２０は、ＧＭＲ素子に代えてＴＭＲ素子やＡＭＲ素子などの他の再生用磁気ヘッド素子とすることもできる。
【００２８】
もっとも、本発明において検査の対象となる薄膜磁気ヘッドは、再生ヘッド部２０を設けずに記録ヘッド部３０のみを備える構成であってもよい。また、本実施の形態では、素子２０，３０は、それぞれ１個ずつ設けられているが、その数は何ら限定されるものではない。
【００２９】
図６に示されるようにスライダ１００は、磁気記録媒体対向面側にレール部１１１、１１２、１１３を有し、これらのレール部の表面がＡＢＳを構成している。図６に示される例では、レール部１１１、１１２、１１３の数は３本であるが、これに限定されるものではない。例えば、１〜２本のレール部を有してもよいし、ＡＢＳはレール部を持たない平面であってもよい。また、浮上特性改善等のために、ＡＢＳに種々の幾何学的形状が付されるように構成してもよい。
【００３０】
再生ヘッド部２０および記録ヘッド部３０は、図６に示されるように、レール部１１３の空気流出端部ＴＲの側に設けられている。記録媒体移動方向は、図中のＸ軸方向と一致しており、磁気記録媒体が高速移動した時に動く空気の流出方向と一致する。空気は流入端部ＬＥから入り、流出端部ＴＲから流出する。スライダ１００の空気流出端部ＴＲの端面には、再生ヘッド部２０に接続されたボンディングパッド９５ａ，９５ｂ及び記録ヘッド部３０に接続されたボンディングパッド９５ｃ，９５ｄが設けられている。
【００３１】
本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法の説明 
次いで、本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法について詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法の好適な一例を示すフローチャートである。図２は、ウエハ工程後のバーの切り出し工程を模式的に示す概略斜視図である。図３は、ウエハから成膜・加工された磁気ヘッドを組み立てるまでの状況を模式的に示した製造概略図である。
【００３３】
以下、工程順に、順次説明する。
【００３４】
〔ウエハ工程〕
準備されたウエハを用い、ヘッドの多数個取りができるようにウエハ上にマトリクス状の薄膜磁気ヘッドの形成領域を形成する（アドレス形成）。その後、個々の薄膜磁気ヘッドの形成領域に、記録ヘッド部、再生ヘッド部、および外部接続電極（ボンディングパッド）を含む積層膜を形成するウエハ工程（ステップＳ１）が行われる。
【００３５】
つまり、セラミック基体となるべきＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣ等のウエハが用意され、薄膜形成技術等を用いて、ウエハ上の多数の磁気ヘッド素子のマトリクス状の形成領域に、それぞれ、各素子を形成するための積層膜および外部接続電極（ボンディングパッド）等が形成される。
【００３６】
図２（Ａ）は、このウエハ工程を経たウエハ１１５を示している。ただし、図２（Ａ）では、ウエハ１１５に形成された要素は省略されており、マトリックス状に配置された個々の磁気ヘッド素子の領域Ｒのみを示している。
【００３７】
〔ウエハのバーの切り出し工程〕
次に、図２（Ａ）に示されるウエハ１１５を切断して、基体上に複数の磁気ヘッドの構成部分が一列状に配列された各バー（バー状磁気ヘッド集合体）１１６をダイヤモンドカッター等で切り出すウエハのバーの切り出し工程が行われる（ステップＳ２）。
【００３８】
図２（Ｂ）はこのバー１１６を示している。このバー１１６の図２（Ｂ）のＸＺ平面に平行な上面は磁気ヘッドのＡＢＳ側の面であり、このＡＢＳには図８に示されるような各素子を形成する積層膜の端面などが現れ、また、図２（Ｂ）中のＹＺ平面に平行で手前に見えている面には図６中のボンディングパッド９５ａ〜９５ｄ等が現れる。しかしながらが、それらは図２（Ｂ）の図面では記載が省略されている。
【００３９】
〔ラッピング処理（研磨）工程〕
次いで、図２（Ｂ）に示されるバー１１６に対して、ウエハのバーの切り出し工程後の切り出し面を研磨するラッピング処理（研磨）工程が行われる（ステップＳ３）。すなわち、いわゆる記録ヘッド部のスロートハイトや、いわゆる再生ヘッド部のＭＲハイトなどを設定するために、ＡＢＳにラッピング処理（研磨）を施す工程が設けられる。この処理では、例えば、バー１１６を固定治具にセットして、定盤に押し当てダイヤモンド砥粒を含む懸濁液を滴下し、定盤を回転してＡＢＳを研磨する作業が行われる。
【００４０】
このようなラッピング処理（研磨）工程の後には、研磨処理後のバー１１６を洗浄する工程を設けることが望ましい。洗浄の仕方としては、例えば、アルコールなどで油分を拭き取ってもよいし、超音波洗浄等を行ってもよい。さらには、研磨面をスパッタエッチングやイオンビームエッチング等により清浄化するクリーニング工程を設けることが望ましい。ただし、これらの洗浄工程やクリーニング工程は、必ずしも必要ではなく、ラッピング処理（研磨）工程の後に、後述する擬似垂直磁気記録媒体形成工程を行なうようにしてもよい。
【００４１】
〔擬似垂直磁気記録媒体形成工程〕
上記ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体が順次、堆積される擬似垂直磁気記録媒体形成工程が設けられる（ステップＳ４）。
【００４２】
エアベアリング面（ＡＢＳ）の上に実質的に直接、堆積形成される擬似垂直磁気記録媒体の構成は、一般に使用される垂直磁気記録媒体の構成と同一あるいは類似の構成とされる。そのため、この擬似垂直磁気記録媒体形成工程の理解が容易となるように、図７に示されている一般的な垂直磁気記録媒体１の構造について簡単に説明しておく。
【００４３】
垂直磁気記録媒体の説明 
図７に示されるように垂直磁気記録媒体１におけるデータトラック付近の構造は、基板１５と、この基板１５の上に形成された配向層１４と、この配向層１４の上に形成された軟磁性層１１と、この軟磁性層１１の上に形成された中間層１２と、この中間層１２の上に形成された垂直磁気記録層１０と、この上に形成される保護層１３とを有し構成されている。
【００４４】
基板１５としては、ガラス基板、ＮｉＰ被着アルミ合金基板、Ｓｉ基板などが好適に用いられる。配向層１４としては、例えば、軟磁性層１１のトラック幅方向への磁気異方性磁界を付与するためのＰｔＭｎ等の反強磁性材料を用いることができる。その他、配向を制御するための非磁性合金であってもよい。
【００４５】
軟磁性層１１としては、ＮｉＦｅ、Ｆｅ系合金、ＣｏＮｉＦｅ系合金、Ｃｏ系アモルファス合金、軟磁性／非磁性層の多層膜、軟磁性フェライト等が挙げられる。軟磁性層１１はいわゆる軟磁性裏打ち層と呼ばれるものである。
【００４６】
中間層１２は、例えば、この中間層の上に形成される垂直磁気記録層の垂直磁気異方性および結晶粒径を制御するために設けられ、例えば、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｒｕ、ＣｏＴｉ非磁性合金が用いられる。その他、同様な作用をする非磁性金属、合金、もしくは低透磁率の合金を用いてもよい。
【００４７】
垂直磁気記録層（データトラック）１０としては、ＳｉＯ2の酸化物系材料の中にＣｏＰｔなどの強磁性粒子をマトリックス状に含有させた媒体や、ＣｏＣｒ系合金、ＦｅＰｔ合金、Ｃｏ／Ｐｄ系の人工格子型多層合金などが好適に用いられる。
【００４８】
垂直磁気記録層（データトラック）１０の表面には、通常、ＣＶＤ法などを用いてＤＬＣやカーボンなどの保護層１３が形成される。
【００４９】
図７には示されていないが、垂直磁気記録媒体１は、基板上に垂直磁気記録層が所定の凹凸パターンで多数の記録要素に分割され、垂直磁気記録層が非磁性層でガードされて形成されてなる、いわゆるディスクリートタイプの磁気記録媒体であってもよい。非磁性層の材料としては、例えば、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、フェライトなどの非磁性酸化物、ＡｌＮなどの窒素化物、ＳｉＣなどの炭化物が用いられる。
【００５０】
以上、垂直磁気記録媒体１の構成に関する説明を終え、当該構成の理解ができた状況のもとに本発明の要部工程である擬似垂直磁気記録媒体の形成に関する説明、すなわち擬似垂直磁気記録媒体形成工程の説明を以下に行う。
【００５１】
〔ＡＢＳへの擬似垂直磁気記録媒体の形成に関する説明〕  
ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程が行われる（ステップＳ４）。
【００５２】
すなわち、図４に示されるように研磨処理された磁気ヘッドのエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層１０および軟磁性層１１が順次、堆積形成される。各層の堆積には、例えば、スパッタ等の真空薄膜形成技術を用いればよい。形成される垂直磁気記録層１０および軟磁性層１１の材質や厚さ等に関しては、出来るだけ実製品と同じか、あるいはそれと同等の材質および厚さとするのがよい。
【００５３】
また、図５に示されるように、より実際の製品に近づけるように擬似垂直磁気記録媒体として、エアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、保護層１３、垂直磁気記録層１０、中間層１２および軟磁性層１１を順次堆積させるのも好ましい態様である。
【００５４】
また、実際の磁気記録の状態にできるだけ近づけるために、図４におけるエアベアリング面（ＡＢＳ）と垂直磁気記録層１０との間に、エアーギャップに相当する厚さを備える非磁性層（図示していない）を堆積形成するようにしたり、図５におけるエアベアリング面（ＡＢＳ）と保護層１３との間に、エアーギャップに相当する厚さを備える非磁性層（図示していない）を堆積形成するようにしてもよい。
【００５５】
〔磁気ヘッド早期検査工程〕
次いで、ウエハ上に形成された記録ヘッド部３０により、擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、前記軟磁性層１１側から磁性体１０、１１の磁区構造を磁気光学効果または磁気力顕微鏡によって読み取り、磁区構造の変化を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断する磁気ヘッド早期検査工程が行われる（ステップＳ５）。
【００５６】
すなわち、磁気ヘッドの記録・再生面であるＡＢＳ側に、擬似垂直磁気記録媒体を形成した後に、実際に、堆積された擬似垂直磁気記録媒体に磁気記録を行って、磁気ヘッドの良否を判断する。擬似垂直磁気記録媒体への垂直磁気記録は、ウエハ上に形成された記録ヘッド部３０の通電コイル３９に外部接続電極（ボンディングパッド）から通電することにより行うことができる。
【００５７】
磁気光学効果（磁気光学カー効果）とは、物質に光を入射した場合、反射光の偏光状態や反射率が磁化によって変わる現象をいい、磁気力顕微鏡とは、磁性膜をコーティングさせたカンチレバーを用い、それをサンプル上でスキャニングさせる。これによって、サンプル上に磁気的なポテンシャルが生じている場合、カンチレバーに引力又は斥力が生じて３次元的な磁気情報を得ることのできる装置をいう。
【００５８】
本発明の検査方法の対象となる薄膜磁気ヘッドは、ウエハのバーの切り出し工程、ラッピング処理（研磨）工程を経た一群の仕掛り品の一連のロットの中から検査用サンプルとして抜き取られたものである。
【００５９】
検査が完了して磁気ヘッドが正常に作動して「良品」と判断された場合には、次の加工プロセスに移行できる。「不良」と判断された場合には、抜き出された検査用サンプルの母集団となる一連のロットは全て、その後の加工が中止される。
【００６０】
「良品」として判断された一連のロットは次なる加工プロセスに移行する。
【００６１】
〔ＡＢＳへの保護膜の形成〕
次いで、バー１１６のＡＢＳ側の面に対して、保護膜を形成する工程が設けられる（ステップＳ６）。この保護膜を成膜する前にクリーニング工程（スパッタエッチングやイオンビームエッチング）を設けるようにしてもよい。さらには、保護膜形成の前に、シリコンを主成分とする下地膜を形成する工程を設けることも好ましい態様である。
【００６２】
保護膜としては、耐久性、耐腐食性に優れるダイアモンドライクカーボン膜（ＤＣＬ膜）が好適例として挙げられる。保護膜の膜厚は、１〜３０ｎｍ程度とされる。
【００６３】
〔レールエッチング工程〕
保護膜を形成した後に、バー１１６のＡＢＳ側の面のレール１１１，１１２領域以外の領域を選択的にエッチングして、レール１１１，１１２を形成する工程が設けられる（ステップＳ７）。
【００６４】
〔個々の磁気ヘッドに分離する工程〕
最後に、機械加工により切断してバー１１６を個々の磁気ヘッドに分離する工程が設けられる（ステップＳ８）。これにより、いわゆる磁気ヘッドの１ユニットが完成する（図３の（III）工程を参照）。
【００６５】
このように形成された磁気ヘッド単体は、ヘッド組み立て工程によりヘッドジンバルアセンブリの中に組み込まれる（図３の（IV）工程を参照）。
【実施例】
【００６６】
φ６インチのＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣウエハを準備し、ヘッドの多数個取りができるようにウエハ上にマトリクス状の薄膜磁気ヘッドの形成領域を形成した。次いで、これらの各領域にそれぞれ、垂直磁気記録用の記録ヘッド部、再生ヘッド部（スピンバルブＧＭＲ多層膜）、および外部接続電極（ボンディングパッド）を形成すべく積層膜を形成した。
【００６７】
次に、ウエハを切断して、基体上に複数の磁気ヘッドの構成部分が一列状に配列された各バー（バー状磁気ヘッド集合体）をダイヤモンドカッターで切り出した。
【００６８】
次いで、切り出したバーの切り出し面を研磨して、記録ヘッド部のスロートハイトを設定した。
【００６９】
研磨処理後のバーを洗浄した後、研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層を順次、堆積させた。垂直磁気記録層しては、ＣｏＣｒＰｔ材料を用い、その厚さは２０ｎｍとした。軟磁性層としては、ＮｉＦｅ材料を用い、その厚さは１００ｎｍとした。
【００７０】
次いで、ウエハ上に形成された記録ヘッド部の通電コイルに外部接続電極から通電することにより、擬似垂直磁気記録媒体の垂直磁気記録層に垂直磁気記録を行なった。
【００７１】
垂直磁気記録をする前および垂直記録をした後の磁性体の磁区構造の変化を、軟磁性層側から磁気力顕微鏡によって読み取った。
【００７２】
意図して、正規の薄膜磁気ヘッド仕様から大きく外れる磁気ヘッドサンプル（いわゆる不良サンプル）を作製して上記の実験を行ない、垂直磁気記録をする前および垂直記録をした後の磁性体の磁区構造の変化を、軟磁性層側から読み取った。すると、通電前には磁壁が観察されなかった場所に、通電後に磁壁が観察された。この磁壁が観察された箇所を記録ヘッド部のＡＢＳの形態と重ね合わせて確認したところ、図８に示される補助磁極３５（ライトシールド３５）の端部Ｅに磁束が集中し、エッジで書き込み（消去）が発生していることが確認できた。
【００７３】
また、擬似垂直磁気記録媒体の構成要素の一つである垂直磁気記録層を設けない場合（すなわち、軟磁性層のみとした場合）には、上記の実験における磁壁の変化は確認できなかった。従って、本発明の方法を実施するうえで、垂直磁気記録層が擬似垂直磁気記録媒体の必須の構成要件であることが確認できた。また、軟磁性層についても同様であった。
【００７４】
また、上記の磁気力顕微鏡による観察から磁気光学効果による観察に代えた場合においても、同様に直磁気記録をする前および垂直記録をした後の磁性体の磁区構造の変化を、軟磁性層側から読み取れることが確認できた。
【００７５】
上記の結果より本発明の効果は明らかである。
【００７６】
すなわち、本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法は、ウエハ工程と、ウエハのバーの切り出し工程と、バーの切り出し面を研磨するラッピング処理（研磨）工程と、ラッピング処理工程後に研磨処理されたエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接または非磁性層を介して、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層の磁性体を順次、堆積形成させる擬似垂直磁気記録媒体形成工程を有し、前記ウエハ上に形成された記録ヘッド部により、前記擬似垂直磁気記録媒体に垂直磁気記録を行い、前記軟磁性層側から前記磁性体の磁区構造を磁気光学効果または磁気力顕微鏡によって読み取り、磁区構造の変化を観察することにより薄膜磁気ヘッドの良否を判断する磁気ヘッド早期検査工程を設けて構成されているので、磁気ヘッドの検査を製造プロセスの早期段階で行うことができ、もし不良ヘッドが発生した場合には、その発生ロットについては早期にその後の加工プロセスを中止して、その後の無駄な加工作業を行わないようにすることができ、間接的に生産性の向上、製品コストの低減化を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
記録用の誘導型磁気変換素子、再生用の磁気抵抗効果素子を有する薄膜磁気ヘッドを備えるハードディスク装置の産業に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】図１は、本発明の薄膜磁気ヘッドの検査方法の好適な一例を示すフローチャートである。
【図２】図２は、ウエハ工程後のバーの切り出し工程を模式的に示す概略斜視図である。
【図３】図３は、ウエハから成膜・加工された磁気ヘッドを組み立てるまでの状況を模式的に示した製造概略図である。
【図４】図４は、研磨処理された磁気ヘッドのエアベアリング面（ＡＢＳ）の上に、直接、擬似垂直磁気記録媒体としての垂直磁気記録層および軟磁性層を順次、堆積形成させた状態を示す断面図である。
【図５】図５は、図４の変形例を示す断面図である。
【図６】図６は、いわゆるスライダも含めた磁気ヘッドの１ユニットを模式的に示した概略斜視図である。
【図７】図７は、図６に示される磁気ヘッドの再生ヘッド部および記録ヘッド部の部分を極めて簡単に要部のみ模式的に示した拡大断面図である。
【図８】図８は、図７中のＡ−Ａ矢視概略図であり、磁気ヘッドの再生ヘッド部および記録ヘッド部をエアベアリング面（ＡＢＳ）から見た構成を模式的に示した図面である。
【符号の説明】
【００７９】
１…垂直磁気記録媒体
１０…垂直磁気記録層
１１…軟磁性層
２０…再生ヘッド部
２１、２５…磁気シールド層
３０…記録ヘッド部
３１…主磁極
３５…補助磁極
３９…通電コイル
１００…スライダ
１１５…ウエハ
１１６…バー（バー状磁気ヘッド集合体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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