(57)【要約】【課題】被露光部材の上方に配置されたマスクに十分な光量の露光光を照射することのできる露光装置を提供する。【解決手段】露光用光源５から発せられた光をマスク３に向けて反射するコリメーションミラー１０と、コリメーションミラー１０で反射された光をマスク３に照射する露光光照射窓１２を有する光学素子収容ケース１１とを備えた露光装置において、光学素子収容ケース１１内の気体を外部に排出する排気ファン１４をコリメーションミラー１０の裏面側に設けるとともに、光学素子収容ケース１１外の気体を光学素子収容ケース１１内に吸入する吸気ファン１５を光学素子収容ケース１１に設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光用光源から発せられた光をマスクに向けて反射する反射体と、該反射体で反射された光を前記マスクに照射する露光光照射窓を有する光学素子収容ケースとを備えた露光装置において、
前記光学素子収容ケース内の気体を外部に排出する排気装置を前記反射体の裏面側に設けるとともに、前記光学素子収容ケース外の気体を前記光学素子収容ケース内に吸入する吸気装置を前記光学素子収容ケースに設けたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
露光用光源から発せられた光をマスクに向けて反射する反射体と、該反射体で反射された光を前記マスクに照射する露光光照射窓を有する光学素子収容ケースとを備えた露光装置において、
前記光学素子収容ケース内の気体を外部に排出する排気装置を前記反射体の裏面側に設けるとともに、前記光学素子収容ケースに外気取入れ用窓を設けたことを特徴とする露光装置。
【請求項３】
露光用光源から発せられた光をマスクに向けて反射する反射体と、該反射体で反射された光を前記マスクに照射する露光光照射窓を有する光学素子収容ケースとを備えた露光装置において、
前記光学素子収容ケース外の気体を前記光学素子収容ケース内に吸入する吸気装置を前記光学素子収容ケースに設けるとともに、前記光学素子収容ケースに排気用窓を前記反射体の裏面と対向するように設けたことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明基板等の被露光部材の上方に配置されたマスクに露光光を照射する露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
透明基板等の被露光部材上にレジストパターンを形成する場合に用いられる露光装置として、従来、図６に示されるものが知られている。同図において、符号１は被露光部材２の上方に配置されたマスク３に露光光４を照射する露光装置であって、この露光装置１の露光用光源５から発せられた光は反射ミラー６、平面ミラー７、シャッター８、インテグレータレンズ９、コリメーションミラー１０を経てマスク３に照射されるようになっている。また、符号１３はサーマルチャンバであり、図示されない温度制御機構により被露光部材２等が配されるサーマルチャンバ１３内の雰囲気温度が所定の温度に保たれる。さらに、サーマルチャンバ１３内の圧力をサーマルチャンバ１３の外部よりも陽圧に保つことにより、サーマルチャンバ１３内の雰囲気のクリーン度をサーマルチャンバ１３の周囲のクリーン度よりも高く維持するようにしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような露光装置のコリメーションミラー１０等の光学素子は光学素子収容ケース１１に収容されており、この光学素子収容ケース１１には、コリメーションミラー１０で反射された露光光をマスク３に照射するための露光光照射窓１２が形成されている。したがって、被露光部材２の表面に塗布されたフォトレジストが気化（蒸発）すると、昇華物となって露光光照射窓１２から光学素子収容ケース１１内に入り込む。このため、図６に示した露光装置では、光学素子収容ケース１１内に入り込んだレジスト昇華物がコリメーションミラー１０等の光学素子に付着し、露光量不足を引き起こすおそれがあった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、被露光部材の上方に配置されたマスクに十分な光量の露光光を照射することのできる露光装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、露光用光源から発せられた光をマスクに向けて反射する反射体と、該反射体で反射された光を前記マスクに照射する露光光照射窓を有する光学素子収容ケースとを備えた露光装置において、前記光学素子収容ケース内の気体を外部に排出する排気装置を前記反射体の裏面側に設けるとともに、前記光学素子収容ケース外の気体を前記光学素子収容ケース内に吸入する吸気装置を前記光学素子収容ケースに設けたことを特徴とする。
【０００５】
請求項２の発明は、露光用光源から発せられた光をマスクに向けて反射する反射体と、該反射体で反射された光を前記マスクに照射する露光光照射窓を有する光学素子収容ケースとを備えた露光装置において、前記光学素子収容ケース内の気体を外部に排出する排気装置を前記反射体の裏面側に設けるとともに、前記光学素子収容ケースに外気取入れ用窓を設けたことを特徴とする。
【０００６】
請求項３の発明は、露光用光源から発せられた光をマスクに向けて反射する反射体と、該反射体で反射された光を前記マスクに照射する露光光照射窓を有する光学素子収容ケースとを備えた露光装置において、前記光学素子収容ケース外の気体を前記光学素子収容ケース内に吸入する吸気装置を前記光学素子収容ケースに設けるとともに、前記光学素子収容ケースに排気用窓を前記反射体の裏面と対向するように設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１の発明に係る露光装置によれば、光学素子収容ケース内の気体を外部に排出する排気装置を反射体の裏面側に設けたことにより、光学素子収容ケース内に入り込んだレジスト昇華物を反射体等の光学素子に付着する前に光学素子収容ケースの外部に排気装置によって排出することができる。したがって、光学素子収容ケース内に入り込んだレジスト昇華物が反射体等の光学素子に付着するのを抑制できるので、被露光部材の上方に配置されたマスクに十分な光量の露光光を照射することができる。また、光学素子収容ケース外の気体を光学素子収容ケース内に吸入する吸気装置を光学素子収容ケースに設けたことにより、光学素子収容ケースの下方に配置されたサーマルチャンバ内が排気装置の吸引力により負圧になることを防止できるので、サーマルチャンバの内部を常に陽圧に保つことができる。
【０００８】
請求項２の発明に係る露光装置によれば、光学素子収容ケース内の気体を外部に排出する排気装置を反射体の裏面側に設けたことにより、光学素子収容ケース内に入り込んだレジスト昇華物を反射体等の光学素子に付着する前に光学素子収容ケースの外部に排気装置によって排出することができる。したがって、光学素子収容ケース内に入り込んだレジスト昇華物が反射体等の光学素子に付着するのを抑制できるので、被露光部材の上方に配置されたマスクに十分な光量の露光光を照射することができる。また、光学素子収容ケースに外気取入れ用窓を設けたことにより、光学素子収容ケースの下方に配置されたサーマルチャンバ内が排気装置の吸引力により負圧になることを防止できるので、サーマルチャンバの内部を常に陽圧に保つことができる。
【０００９】
請求項３の発明に係る露光装置によれば、光学素子収容ケース外の気体を光学素子収容ケース内に吸入する吸気装置を光学素子収容ケースに設けるとともに、光学素子収容ケースに排気用窓を反射体の裏面と対向するように設けたことにより、光学素子収容ケース内に入り込んだレジスト昇華物を反射体等の光学素子に付着する前に排気用窓から光学素子収容ケースの外部に排出することができる。したがって、光学素子収容ケース内に入り込んだレジスト昇華物が反射体等の光学素子に付着するのを抑制できるので、被露光部材の上方に配置されたマスクに十分な光量の露光光を照射することができるとともに、光学素子収容ケース内の温度が高温になったりすることを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、図６に示したものと同一の部分には同一符号を付し、その部分の詳細な説明は割愛する。
図１は本発明の第１の実施形態に係る露光装置の概略構成を示す図であり、同図に示されるように、光学素子収容ケース１１には、光学素子収容ケース１１内の気体を外部に排出する排気装置としての排気ファン１４が設けられている。この排気ファン１４は露光用光源５から発せられた光をマスクに向けて反射するコリメーションミラー１０の裏面側に設けられており、光学素子収容ケース１１の天井部には、光学素子収容ケース１１外の気体を光学素子収容ケース１１内に吸入する吸気装置として吸気ファン１５が設けられている。
【００１１】
図２は排気ファン１４の詳細構成を示す図、図３は吸気ファン１５の詳細構成を示す図であり、これらの図に示されるように、排気ファン１４及び吸気ファン１５には、ケミカルフィルタ１６が付設されている。
排気ファン１４に設けたケミカルフィルタ１６によりレジスト昇華物が外部に排出されるのを防ぐことができる。また、吸気ファン１５に設けたケミカルフィルタ１６により光学素子収容ケース１１内に異物が外部から侵入するのを防ぐことができる。
【００１２】
このように構成される第１の実施形態に係る露光装置では、コリメーションミラー１０の裏面側に設けた排気ファン１４と、コリメーションミラー１０よりやや光源側寄りの天井に設けた吸気ファン１５とにより得られる気流により、露光光照射窓１２から光学素子収容ケース１１内に入り込んだレジスト昇華物をコリメーションミラー１０等の光学素子に付着する前に光学素子収容ケース１１の外部に排気ファン１４によって排出することができる。したがって、光学素子収容ケース１１内に入り込んだレジスト昇華物がコリメーションミラー１０等の光学素子に付着するのを抑制できるので、被露光部材２の上方に配置されたマスク３に十分な光量の露光光４を照射することができるとともに、露光用光源５から発せられる熱により光学素子収容ケース１１の内部が高温となることを防止することができる。
【００１３】
また、光学素子収容ケース１１外の気体を光学素子収容ケース１１内に吸入する吸気ファン１５を光学素子収容ケース１１に設けたことにより、光学素子収容ケース１１の下方に配置されたサーマルチャンバ１３内が排気ファン１４の吸引力により負圧になることを防止できるので、サーマルチャンバ１３の内部を常に陽圧に保つことができる。
本実施の形態では排気ファン１４と吸気ファン１５とを設けたことにより、レジスト昇華物がコリメーションミラー１０等に付着する前に確実に排出させられるような気流が得られるとともに、サーマルチャンバ１３内の雰囲気温度や圧力も安定した状態に保つことができる。
【００１４】
図４は本発明の第２の実施形態に係る露光装置の概略構成を示す図であり、同図に示されるように、光学素子収容ケース１１には、光学素子収容ケース１１内の気体を外部に排出する排気装置としての排気ファン１４が設けられている。この排気ファン１４は露光用光源５から発せられた光をマスク３に向けて反射するコリメーションミラー１０の裏面側に設けられており、光学素子収容ケース１１の天井部には、外気取入れ用窓１７が設けられている。
【００１５】
このように構成される第２の実施形態に係る露光装置では、コリメーションミラー１０の裏面側に排気ファン１４を設けたことにより、露光光照射窓１２から光学素子収容ケース１１内に入り込んだレジスト昇華物をコリメーションミラー１０等の光学素子に付着する前に光学素子収容ケース１１の外部に排気ファン１４によって排出することができる。したがって、光学素子収容ケース１１内に入り込んだレジスト昇華物がコリメーションミラー１０等の光学素子に付着するのを抑制できるので、被露光部材２の上方に配置されたマスク３に十分な光量の露光光４を照射することができるとともに、露光用光源５から発せられる熱により光学素子収容ケース１１の内部が高温となることを防止することができる。
【００１６】
また、光学素子収容ケース１１に外気取入れ用窓１７を設けたことにより、光学素子収容ケース１１の下方に配置されたサーマルチャンバ１３内が排気ファン１４の吸引力により負圧になることを防止できるので、サーマルチャンバ１３の内部を常に陽圧に保つことができる。
図５は本発明の第３の実施形態に係る露光装置の概略構成を示す図であり、同図に示されるように、光学素子収容ケース１１には、光学素子収容ケース１１外の気体を光学素子収容ケース１１内に吸入する吸気装置として吸気ファン１５が設けられているとともに、排気用窓１８がコリメーションミラー１０の裏面と対向するように設けられている。
【００１７】
このように構成される第３の実施形態に係る露光装置では、光学素子収容ケース１１に吸気ファン１５が設けるとともに、光学素子収容ケース１１に排気用窓１８をコリメーションミラー１０の裏面と対向するように設けたことにより、露光光照射窓１２から光学素子収容ケース１１内に入り込んだレジスト昇華物をコリメーションミラー１０等の光学素子に付着する前に排気用窓１８から光学素子収容ケース１１の外部に排出することができる。したがって、光学素子収容ケース１１内に入り込んだレジスト昇華物がコリメーションミラー１０等の光学素子に付着するのを抑制できるので、被露光部材２の上方に配置されたマスク３に十分な光量の露光光４を照射することができる。また、光学素子収容ケース１１内の温度が高温になったりすることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す排気ファンの概略構成を示す図である。
【図３】図１に示す吸気ファンの概略構成を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る露光装置の概略構成を示す図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る露光装置の概略構成を示す図である。
【図６】従来の露光装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００１９】
１  露光装置
２  被露光部材
３  マスク
４  露光光
５  露光用光源
６  球面ミラー
７  平面ミラー
８  シャッター
９  インテグレータレンズ
１０  コリメーションミラー
１１  光学素子収容ケース
１２  露光光照射窓
１３サーマルチャンバ
１４  排気ファン
１５  吸気ファン
１６  ケミカルフィルタ
１７  外気取入れ用窓
１８  排気用窓
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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