(57)【要約】【課題】  量産が容易な手段で密着性の良いフッ素樹脂をコーティングした転がり軸受を提供することを目的とする。【解決手段】  外輪と、内輪と、当該外輪及び当該内輪との間に間挿された複数の転動体と、を備え、転がり又は滑り接触する部位にフッ素樹脂を主成分とする被膜が形成された転がり軸受であって、前記被膜が、フッ素基よりも鉄原子との密着性が高い極性基を有する２フッ化物又は３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる第１フッ素樹脂層と、当該第１フッ素樹脂層の上に形成され、４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる第２フッ素樹脂層と、から形成されたものであることを特徴とする転がり軸受により解決する。【選択図】    図１
2006266405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外輪と、内輪と、当該外輪及び当該内輪との間に間挿された複数の転動体と、を備え、転がり又は滑り接触する部位にフッ素樹脂を主成分とする被膜が形成された転がり軸受であって、
前記被膜が、
フッ素基よりも鉄原子との密着性が高い極性基を有する２フッ化物又は３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる第１フッ素樹脂層と、
当該第１フッ素樹脂層の上に形成され、４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる第２フッ素樹脂層と、
からなるものであることを特徴とする転がり軸受。
【請求項２】
前記２フッ化物が、ポリビニリデンフルオライドである、請求項１記載の転がり軸受。
【請求項３】
前記３フッ化物が、ポリクロロトリフルオロエチレンである、請求項１又は２記載の転がり軸受。
【請求項４】
前記４フッ化物が、ポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の転がり軸受。
【請求項５】
前記転がり又は滑り接触する部位に、ディンプル状の窪みが形成された請求項１〜４のいずれか１項記載の転がり軸受。
【請求項６】
前記窪みは、その深さが０．１〜５μｍであることを特徴とする請求項５記載の転がり軸受。
【請求項７】
前記被膜の占める面積が、前記転がり又は滑り接触する部位に対し、７５％以上であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の転がり軸受。
【請求項８】
前記被膜の占める面積が、前記転がり又は滑り接触する部位に対し、７５〜９５％であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の転がり軸受。
【請求項９】
前記被膜は、その厚さが０．０５〜８．０μｍであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項記載の転がり軸受。
【請求項１０】
前記被膜を含む表層面の中心線平均粗さＲａが０．１５〜０．４５μｍであることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項記載の転がり軸受。
【請求項１１】
外輪と、内輪と、当該外輪及び当該内輪との間に間挿された複数の転動体と、を備え、転がり又は滑り接触する部位にフッ素樹脂を主成分とする被膜が形成された転がり軸受の製造方法であって、
前記転がり又は滑り接触する部位に、フッ素基よりも鉄原子との密着性が高い極性基を有する２フッ化物又は３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる被膜を形成した後、更に、４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる被膜を形成することを特徴とする転がり軸受の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転がり軸受及びその製造方法に関し、特に、耐久性及び潤滑性に優れた転がり軸受及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、油やグリースによる潤滑が不十分な環境で用いられる転がり軸受として、固体潤滑コーティング転がり軸受がある。これは、外輪、内輪、転動体等の転がり又はすべり接触する部位に、種々の手段を用いてポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等を主成分とする潤滑性膜でコーティングしたものである。ＰＴＦＥ等を主成分とする潤滑性膜でコーティングすることにより、摺動性の優れた乾性潤滑膜を形成することができる。
【０００３】
コーティング方法としては、例えば、ＰＴＦＥを有機もしくは無機のバインダーと混合して適用部位にスプレーコーティングした後、乾燥もしくは焼付硬化させることにより行われていた。
【０００４】
しかし、ＰＴＦＥに代表されるフッ素樹脂は、そのままでは非粘着性であるため、従来のコーティング方法は、ＰＴＦＥ等の固体潤滑剤と母材（外輪、内輪、転動体）との密着性を高めるために、ある程度高温（１５０〜４００℃）での焼付処理が必要となる。そのため、焼付け工程時の加熱による母材の硬度の低下を招いたり、軸受に転用する場合に工程数の増加が必要となり、コストが高くなってしまうという問題を有していた。
【０００５】
一方、特開２００３−１４５０３９号公報には、ＰＴＦＥを被処理成品に噴射（ショットピーニング）することによって被処理製品の表面に被膜を形成する方法が開示されており、これにより安易な方法でフッ素樹脂被膜を得ることが出来るようになる（特許文献１）。
【０００６】
しかしながら、この技術は、非粘着性のフッ素樹脂をショットピーニングするため被膜が形成され難い、また、均一で密着性の良い被膜を得るためには十分な管理が必要となる等の問題を有しており、未だ改善の余地が残されていた。
【特許文献１】特開２００３−１４５０３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記の問題点に着目してなされたものであり、量産が容易な手段で密着性の良好なフッ素樹脂膜が形成された転がり軸受を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる課題解決のため、本発明は、外輪と、内輪と、当該外輪及び当該内輪との間に間挿された複数の転動体と、を備え、転がり又は滑り接触する部位にフッ素樹脂を主成分とする被膜が形成された転がり軸受であって、前記被膜が、フッ素基よりも鉄原子との密着性が高い極性基を有する２フッ化物又は３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる第１フッ素樹脂層と、当該第１フッ素樹脂層の上に形成され、４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる第２フッ素樹脂層と、から形成されたものであることを特徴とする転がり軸受を提供するものである。
【０００９】
このような構成とすることにより、量産が容易で密着性が良好なフッ素樹脂コーティングが可能となり、上記課題を解決するとともに、耐久性及び潤滑性に優れた転がり軸受を得ることができる。
【００１０】
上記発明の好ましい形態によれば、前記２フッ化物が、ポリビニリデンフルオライドであることが好ましい。また、前記３フッ化物が、ポリクロロトリフルオロエチレンであることが好ましい。また、前記４フッ化物が、ポリテトラフルオロエチレンであることが好ましい。
【００１１】
また、前記転がり又は滑り接触する部位に、ディンプル形状の窪みが形成されることが好ましい。前記窪みは、その深さが０．１〜５μｍであることが好ましい。これにより、固体潤滑剤被膜と前記転がり又は滑り接触する部位との結合性を向上させることができる。
【００１２】
前記被膜の占める面積が、前記転がり又は滑り接触する部位に対し、７５％以上であることが好ましい。これにより、十分な潤滑性を有する被膜を得ることができる。具体的には、前記被膜の占める面積が、前記転がり又は滑り接触する部位に対し、７５〜９５％であることが好ましい。これにより、十分な潤滑性を有する被膜を得ることができ、かつ、余分な被膜の剥離による音響特性の劣化を防止することができる。
【００１３】
前記被膜は、その厚さが０．０５〜８．０μｍであることが好ましい。被膜厚さを０．０５μｍ以上とすることにより、良好な潤滑性を保持することができ、８．０以下とすることにより、剥がれにくい十分な強度を有する固体潤滑剤被膜を得ることができる。
【００１４】
前記被膜を含む表層面の中心線平均粗さＲは、０．１５〜０．４５μｍＲａであることが好ましい。長寿命化の効果が継続して得られるだけでなく、軸受として要求される表面粗さとすることにより、音響特性等が向上し、さらには固体潤滑剤による潤滑膜形成能力も維持することができる。
【００１５】
また、本発明は、外輪と、内輪と、当該外輪及び当該内輪との間に間挿された複数の転動体と、を備え、転がり又は滑り接触する部位にフッ素樹脂を主成分とする被膜が形成された転がり軸受の製造方法であって、前記転がり又は滑り接触する部位に、フッ素基よりも鉄原子との密着性が高い極性基を有する２フッ化物又は３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる被膜を形成した後、更に、４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる被膜を形成することを特徴とする転がり軸受の製造方法を提供するものである。
【００１６】
このような構成とすることにより、量産が容易で密着性が良好なフッ素樹脂コーティングが可能となり、上記課題を解決するとともに、耐久性及び潤滑性に優れた転がり軸受を得ることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、転がり又は滑り接触する部位に形成された被膜が、フッ素基よりも鉄原子との密着性が高い極性基を有する２フッ化物又は３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる第１フッ素樹脂層と、当該第１フッ素樹脂層の上に形成され、４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる第２フッ素樹脂層と、から形成されたものであるため、固体潤滑剤であるフッ素樹脂と基体との密着性に優れ、摩耗の激しい条件下でも固体潤滑膜を保持できる被膜を安価に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、図面を参照しつつ、本発明の実施形態に係る転がり軸受を説明する。図１は本発明の第１の実施形態に係る転がり軸受の部分断面図である。図１に記載されている転がり軸受１は、外輪１０と、内輪１２と、外輪１０及び内輪１２との間に転動自在に間挿された複数個の転動体としての複数個の玉１４と、複数個の玉１４をそれぞれに抱いて円周方向に等間隔に保持する保持器１６とを備えている。そして、外輪１０及び内輪１２のそれぞれの転がり接触する部位である軌道面１３（外輪１０側の軌道面は図示せず）と、転動体としての玉１４には、フッ素樹脂膜Ｆが形成されている。
【００１９】
図２は第２の実施形態に係る転がり軸受２の部分断面図である。図２に記載されている転がり軸受２も、外輪１０及び内輪１２のそれぞれの軌道面１３（外輪１０側の軌道面は図示せず）にフッ素樹脂膜Ｆが形成されている。但し、本実施形態に係る転がり軸受２には、玉１４にフッ素樹脂膜は形成されていない。
【００２０】
図３は第３の実施形態に係る転がり軸受３の部分断面図である。図３に記載されている転がり軸受３は、玉１４にフッ素樹脂膜Ｆが形成されている。但し、外輪１０及び内輪１２のそれぞれの軌道面１３（外輪１０側の軌道面は図示せず）にはフッ素樹脂膜が形成されてない。
【００２１】
図９は、フッ素樹脂膜Ｆの断面を模式的に表したものである。フッ素樹脂膜Ｆは、図９に示すように、母材５４（例えば図１における外輪１０、内輪１２、玉１４）の上部に形成された第１フッ素樹脂層５０と、第２フッ素樹脂層５２とからなる。第１フッ素樹脂層５０は、フッ素基よりも鉄原子との密着性が高い極性基を有する２フッ化物又は３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる。ここで、「極性基」とは、分子内で正負の電荷が不均等な分布を示す結果、電気的極性をもつ基をいう。一方、第２フッ素樹脂層５２は、４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂からなる。
【００２２】
フッ素樹脂膜Ｆは、その厚さが０．０５〜８．０μｍであることが好ましい。これにより、固体潤滑剤被膜と前記転がり又は滑り接触する部位との結合性を向上させることができる。
【００２３】
このように、フッ素樹脂膜Ｆを第１フッ素樹脂層５０と第２フッ素樹脂層５２の２層構造にすることによって、高温での焼結処理を行うことなく、母材との密着性が高いフッ素樹脂膜Ｆを得ることができる。
【００２４】
フッ素樹脂膜Ｆが占める面積は、転がり又は滑り接触する部位の表面積を基準（１００％）としたときに、７５％以上であることが好ましい。これにより、十分な潤滑性を有する被膜を得ることができる。具体的には、前記被膜の占める面積が、前記転がり又は滑り接触する部位に対し、７５〜９５％であることが好ましい。これにより、十分な潤滑性を有する被膜を得ることができ、かつ、余分な被膜の剥離による音響特性の劣化を防止
【００２５】
次に、フッ素樹脂膜Ｆの形成方法について説明する。図４は外輪１０、内輪１２及び玉１４へのフッ素樹脂膜Ｆの形成方法の概要を説明したものである。フッ素樹脂膜Ｆの形成は、図４に示したショットピーニング装置２０を用いて行われる。このショットピーニング装置２０は、ショット材Ｓを充填したタンク２２と、タンク２２に接続された配管２４を備えている。更に、配管２４には、図示しない圧縮空気供給装置が接続されている。そして、図示しない圧縮空気供給装置から図面の矢印Ａ方向に圧縮空気が供給され、配管を介してショット材Ｓを適用部位に吹き付けるように構成されている。
【００２６】
ショット材Ｓが適用される部品は、外輪１０や内輪１２へショットピーニングする場合、転動面１３を側面に位置するように支持する。なお、図においては内輪１２に設けられた軌道面１３に向けてショットピーニング処理を施している例を示す。
【００２７】
そして、例えば２〜５ｒｐｍの回転速度で軸回転させながら、ショット材Ｓを１００ｍ／秒程度の速度で噴射する。ショットピーニングの時間はコーティング膜厚を目視しながら設定し、いずれも３６０秒で一定とした。なお、玉１４へショットピーニングする場合は、玉１４数個を網目状の容器に入れた状態でショット材Ｓが噴射される。
【００２８】
ショットピーニングは、外輪１０、内輪１２、玉１４のいずれも、それぞれ２回に分けて行われる。そして、第１回目と第２回目とでは、異なるショット材Ｓが用いられる。本実施形態で使用されるショット材の一般式の一例を図５に示す。
【００２９】
第１回目のショットピーニングに使用されるショット材は、図５の（ａ）に記載されている２フッ化物を主成分とするフッ素樹脂又は（ｂ）に記載されている３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂が使用される。そして、第２回目のショットピーニングに使用されるショット材は、図５の（ｃ）に記載されている４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂が使用される。なお、図中では２フッ化物（ａ）及び３フッ化物（ｂ）の極性基には何も表記がないが、その性質上、鉄原子との密着性が高い極性基であればいずれの種類でもよい。なお、図５中、ｎはカッコ内の化学式の繰り返し数であり、１０００以上の整数を意味する。
【００３０】
具体的には、２フッ化物を主成分とするフッ素樹脂としては、例えば、ダイキン化学工業社製のネオフロンＥＴＦＥ（商品名、ダイキン化学工業社製）等を挙げることができる。
【００３１】
また、３フッ化物を主成分とするフッ素樹脂としては、例えば、ダイキン化学工業社製のネオフロンＦＥＰ（商品名）、ネオフロンＰＦＡ（商品名）等を挙げることができる。
【００３２】
そして、４フッ化物を主成分とするフッ素樹脂としては、例えば、ダイキン化学工業社製のポリフロンＰＴＦＥ（商品名）等を挙げることができる。
【００３３】
上記のショット材Ｓの硬度は、ＨＲＣ５０以上であることが好ましい。
【００３４】
上記のショット材Ｓの粒径は、軸受の大きさによって適宜変更することができるが、好ましくは３０〜３００μｍ程度、より好ましくは３０〜１００μｍ、更に好ましくは３０〜６０μｍである。
【００３５】
なお、フッ素樹脂膜Ｆが形成される転がり又は滑り接触する部位に対する前処理として、フッ素樹脂をコーティングする前に、鋼球等のショット材にてショットピーニングを施し、あらかじめディンプル状の窪みを形成しておき、その上に第１フッ素樹脂層を形成してもよい。窪みの深さは、０．１〜５μｍであることが好ましい。
【００３６】
また、ショットピーニングによる被膜を含む表層面の中心線平均粗さＲａは、０．１５〜０．４５μｍであることであることが好ましい。中心線平均粗さは、粗さ測定器を用いて、粗さ曲線を中心線から折り返し、その粗さ曲線と中心線によって得られた面積を長さＬで割った値をマイクロメートル（μｍ）で表す。
【００３７】
また、上記の実施形態に係る転がり軸受は玉軸受を例に説明したが、本発明はこれに限らず、ころ軸受にも適用することができる。従って、転動体に関しては、玉１４に限らずコロやニードルにも上述したフッ素樹脂膜Ｆを形成することができる。
【００３８】
また、フッ素樹脂膜Ｆは、その構造上、外輪１０及び内輪１２の転動面１１，１３に限らず、ころ頭部と滑り接触する内輪つば面にも同様に形成することが可能であり、つば面の焼付き防止のために応用することができる。
【００３９】
また、本発明の実施形態に係る転がり軸受においては、フッ素樹脂膜Ｆの形成手段としてショットピーニング法により行った例を示したが、これに限定されず、同じ機械加工として一般的に知られているタンブラやバレルおよびボールミルを用いても同様にフッ素樹脂膜Ｆを形成することができる。
【００４０】
また、ころがり軸受１〜３の外部にフッ素樹脂膜Ｆが排出されて軸受周囲が汚染されることを嫌う場合は、図６に示すようなシール２６を装着したシール付き軸受とするのが望ましい。なお、この場合、仮に転動面に過剰に付着していたフッ素樹脂膜Ｆ（図示せず）が転動中に剥離しても、剥離したフッ素樹脂膜Ｆは軸受回転の遠心力によって外輪１０の内周面２８に集合するため、必ずしも内輪１２とシール２６とを接触させた密閉構造とする必要はない。
【００４１】
［試験例］
本発明の実施形態に係るラジアル玉軸受（実施例１〜８）を製造し、これらを被試験軸受２０として、以下に説明する回転試験を実施することにより、本発明の効果を検討した。
【００４２】
フッ素樹脂膜Ｆの形成は、表１の条件で行った。ここで、第１フッ素樹脂層５０を構成する２フッ化物としてはポリビニリデンフルオライドを使用し、３フッ化物としてはポリトリクロロトリフルオロエチレンを使用した。そして、第２フッ素樹脂層５２を構成する４フッ化物としては、ポリテトラフルオロエチレンを使用した。フッ素樹脂膜Ｆの形成条件は、ショット圧０．２〜０．６ＭＰａ、ショット時間約３６０秒とした。
【００４３】
表中、「前処理の有無」と記載された欄は、前処理として、フッ素樹脂膜Ｆの形成予定部位に対しショットピーニング処理を施し、予め表面に凹凸を形成したか否かを示すものである。前処理を行った場合を「有」、行わなかった場合を「無」とした。なお、前処理にはショット材Ｓとして鋼球を用いた。
【００４４】
また、「ショット材種類」と記載された欄は、ショット材Ｓとして使用したフッ化物の種類とそのフッ化物を噴射した順序を意味する。
【００４５】
さらに、「コーティング部位」と記載された欄は、ショット材Ｓでコーティングした部位を示したものである。ここで、「内輪」及び「外輪」は、内輪及び外輪にそれぞれ設けられた軌道面を意味する。
【００４６】
回転試験に用いた試験装置の概略を図７、図８に示す。図７はてこ式加圧装置３０の正面図である。また、図８は図７のてこ式加圧装置３０の断面を左側面から見た図である。
【００４７】
被試験軸受３２は支持軸受３４で回転自在に支承された回転軸３６に装着し、図面上方の負荷レバー３８を介して被試験軸受３２に対してラジアル荷重Ｆｒを図面下向き方向Ｗに負荷しながら回転軸３６を回転させた。なお、てこ式加圧装置３０の設定条件は以下のとおりである。回転数：７５０ｒｐｍ、ラジアル荷重Ｆｒ：９０ｋｇｆ、潤滑：白灯油１５ｃｃ塗布。
【００４８】
試験中、振動検出部４０で被試験軸受３２の振動を検出するとともに、熱電対４２で被試験軸受３２の外輪の温度上昇を測定した。そして、温度が初期温度から１５℃以上となった時点又は振動が初期値の２倍以上となった時点で試験を終了した。その間、試験開始から試験終了までの時間を測定し、この時間を耐久寿命時間とした。そして、比較例１（ＰＴＦＥを前処理無しで直接噴射したもの）の耐久寿命時間を１として、他の被試験軸受の「寿命比」の相対比を求めた。
【００４９】
一方、 HYPERLINK "http://www.shimadzu.co.jp/products/surface/products/epma/index.html" 電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）を用いて、試験開始時と試験終了時のコーティング部位の被膜面積率を測定した。即ち、被膜処理後のコーティング部位の表面をＥＰＭＡにより観察（倍率×２０００、３０視野）し、コーティング部位の２００μｍ四方を１０００倍に拡大した際に、フッ素樹脂膜を被膜する前の元素特性Ｘ線強度の１０倍以上の強度を有する領域に被膜が形成されているとした。そして、その結果を画像解析して被膜後の被膜面積率を算出し、その平均値を面積率とした。
【００５０】
また、以下の要領により、コーティング部位の被膜厚さを測定した。即ち、まず、被膜の保護を目的として、熱硬化性の樹脂であるポリアドイミドをピロリンドンに溶解した化合物をコーティング部位に被覆し、１００℃で２時間保持し、表面層を硬化させた。次に、被膜を保護した前記転動体を切断し、さらに切断片をエポキシ樹脂に埋め込み、その切断面をバフ研磨で鏡面仕上げをした後、３％ピクラールで５秒間腐食を行い、スパッタにより表面にナノオーダーのクロム層を被覆して通電性を付与し、電子顕微鏡で観察（倍率×５０００、３０視野）した。
【００５１】
電子顕微鏡観察では、固体潤滑剤の種類により２次電子線像と反射電子線像を使い分け、膜厚を明瞭に確認するようにした。さらに詳細に説明すると、各々の１視野について、横方向に被覆面が横断されるように観察し、そして縦方向に６分割を行い、この５点の平均値を求め、それを１視野あたりの膜厚とした。これと同じ要領で３０視野行い、その平均値を被膜厚さとした。
【００５２】
中心線平均粗さの測定は、粗さ測定器を用いて、中心線平均粗さを算出することにより行った。
【００５３】
試験の結果をフッ素樹脂膜Ｆの形成条件と併せて表１に示す。試験の結果、本発明の実施形態に係る転がり軸受（実施例１〜８）は、比較例（比較例１〜４）と比べてフッ素樹脂膜Ｆの耐久性や寿命が向上していることが判明した。そのため、本発明の実施形態に係る転がり軸受（実施例１〜８）では、２フッ化物、３フッ化物の極性基により、金属とフッ素樹脂の接着が良好となり、密着性が良くかつ均一にフッ素樹脂をコーティングでき、フッ素樹脂の良好な摺動特性を持続的に維持することができることが推測された。
【００５４】
【表１】
2006266405.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明に係る転がり軸受は、例えば、自動車用コンプレッサー軸受のように、潤滑条件の厳しい環境下で使用される軸受に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る転がり軸受の部分断面図である。
【図２】第２の実施形態に係る転がり軸受２の部分断面図である。
【図３】第３の実施形態に係る転がり軸受３の部分断面図である。
【図４】外輪１０、内輪１２及び玉１４へのフッ素樹脂膜Ｆの形成方法の概要を説明した図である。
【図５】本実施形態で使用されるショット材の一般式の一例示す図である。
【図６】シール２６を取付けたシール付き軸受の一例を示す図である。
【図７】てこ式加圧装置３０の正面図である。
【図８】図７のてこ式加圧装置３０の断面図である。
【図９】フッ素樹脂膜Ｆの断面を模式的に表したものである。
【符号の説明】
【００５７】
１〜３：転がり軸受、１０：外輪、１２：内輪、１１及び１３：軌道面、１４：玉、１６：保持器、２０：ショットピーニング装置、２２：タンク、２４：配管、２６：シール、２８：外輪の内周面、３０：てこ式加圧装置、３２：被試験軸受、３４：支持軸受、３６：回転軸、４０：振動検出部、４２：熱電対、５０：第１フッ素樹脂層、５２：第２フッ素樹脂層、Ｆ：フッ素樹脂膜
【図１】
2006266405.tif 000004
【図２】
2006266405.tif 000005
【図３】
2006266405.tif 000006
【図４】
2006266405.tif 000007
【図５】
2006266405.tif 000008
【図６】
2006266405.tif 000009
【図７】
2006266405.tif 000010
【図８】
2006266405.tif 000011
【図９】
2006266405.tif 000012