(57)【要約】【課題】噴射ノズルからの鋼帯の幅方向における酸洗液の噴射量のばらつきを抑える。【解決手段】酸洗装置は、鋼帯の幅方向に複数の噴射口３１１〜３１９を設けて、各噴射口３１１〜３１９からポンプ１１から供給される酸洗液を噴射する噴射ノズル３１と、前記幅方向の順序で３つの噴射口を単位として、その単位毎にポンプ１１から供給する酸洗液の流量を調整する流量調整弁３４１，３４２，３４３とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸洗槽内の酸洗液に鋼帯を浸漬させつつ、前記鋼帯の表面に酸洗液を噴射して酸洗する鋼帯の酸洗方法において、
前記鋼帯の幅方向に複数の噴射口が設けられた噴射ノズルに、前記幅方向の順序で１又は２以上の噴射口を単位として、その単位毎に同流量の酸洗液を供給して、噴射ノズルから酸洗液を噴射させることを特徴とする鋼帯の酸洗方法。
【請求項２】
前記鋼帯の厚さが当該鋼帯に要求されている製品厚さになるように、前記単位毎の流量を決定することを特徴とする請求項１記載の鋼帯の酸洗方法。
【請求項３】
酸洗槽内の酸洗液に鋼帯を浸漬させつつ、前記鋼帯の表面に酸洗液を噴射して酸洗する鋼帯の酸洗装置において、
前記酸洗液の供給源と、
前記鋼帯の幅方向に複数の噴射口を設けて、前記供給源から供給される前記酸洗液を各噴射口から噴射する噴射ノズルと、
前記幅方向の順序で１又は２以上の噴射口を単位として、その単位毎に前記供給源から供給する酸洗液の流量を調整する流量調整手段と、
を備えることを特徴とする鋼帯の酸洗装置。
【請求項４】
前記流量調整手段は、前記鋼帯の厚さが当該鋼帯に要求されている製品厚さになるように、前記流量の調整を行うことを特徴とする請求項３記載の鋼帯の酸洗装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鋼帯を酸洗液で連続して酸洗する鋼帯の酸洗方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋼帯を酸洗する鋼帯の酸洗装置として、特許文献１に開示されているような装置がある。
特許文献１で開示されている鋼帯の酸洗装置では、噴流ノズルから鋼帯に酸液を吹き付けている。特許文献１では明らかにされていないが、一般的な噴射ノズル形状として、図６及び図７（Ａ）に示すようなものがある。
【０００３】
図６及び図７（Ａ）に示すように、噴射ノズル２０１は、鋼帯の幅方向に複数の噴射口２０１１，２０１２，２０１３，２０１４，２０１５，２０１６，２０１７，２０１８，２０１９が形成されており、その噴射口２０１１〜２０１９の背部から酸洗液が供給されるような構造になっている。この場合、噴射ノズル２０１において板幅方向の一側面側から、図示しないポンプ等により酸洗液が供給される。
【特許文献１】特開２０００−１７６５３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述したように、噴射ノズル２０１において板幅方向の一側面側から酸洗液を供給する場合、各噴射口２０１１〜２０１９からの酸洗液の噴射量が板幅方向においてばらつくようになる。ここで、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の各噴射口２０１１〜２０１９の酸洗液の噴射量を示しており、具体的には、この図７（Ｂ）に示すように、噴射ノズルへ２０１の酸洗液の供給位置から遠くなる噴射口ほど、酸洗液の噴射量が多くなる。
【０００５】
このように各噴射口２０１１〜２０１９からの酸洗液の噴射量がばらついてしまうと、それに応じて鋼帯の幅方向で板厚がばらついてしまうので、例えば鋼帯の品質が悪くなってしまう。すなわち、図７（Ａ）に示すように、酸洗液の供給位置から遠くなる噴射口ほど、酸洗液の噴射量が多くなり、鋼帯の板厚が、その噴射量の多さに応じて薄くなる。
本発明は、前記問題に鑑みてなされたものであり、鋼帯の幅方向に複数の噴射口が形成された噴射ノズルから酸洗液を噴射して鋼帯を酸洗する場合において、幅方向における酸洗液の噴射量のばらつきを抑えることができる鋼帯の酸洗方法及びその装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の鋼帯の酸洗方法は、酸洗槽内の酸洗液に鋼帯を浸漬させつつ、前記鋼帯の表面に酸洗液を噴射して酸洗する鋼帯の酸洗方法において、前記鋼帯の幅方向に複数の噴射口が設けられた噴射ノズルに、前記幅方向の順序で１又は２以上の噴射口を単位として、その単位毎に同流量の酸洗液を供給して、噴射ノズルから酸洗液を噴射させることを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２記載の鋼帯の酸洗方法は、請求項１記載の酸洗方法において、前記鋼帯の厚さが当該鋼帯に要求されている製品厚さになるように、前記単位毎の流量を決定することを特徴とする。
また、請求項３記載の鋼帯の酸洗装置は、酸洗槽内の酸洗液に鋼帯を浸漬させつつ、前記鋼帯の表面に酸洗液を噴射して酸洗する鋼帯の酸洗装置において、前記酸洗液の供給源と、前記鋼帯の幅方向に複数の噴射口を設けて、前記供給源から供給される前記酸洗液を各噴射口から噴射する噴射ノズルと、前記幅方向の順序で１又は２以上の噴射口を単位として、その単位毎に前記供給源から供給する酸洗液の流量を調整する流量調整手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項４記載の鋼帯の酸洗装置は、請求項３記載の鋼帯の酸洗装置において、前記流量調整手段が、前記鋼帯の厚さが当該鋼帯に要求されている製品厚さになるように、前記流量の調整を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１及び３記載の本発明によれば、各噴射口からの酸洗液の噴射量が鋼帯の幅方向でほぼ均一になり、噴射ノズルへの酸洗液の供給位置から遠くなる噴射口ほど酸洗液の噴射量が多くなってしまうのを防止し、幅方向における酸洗液の噴射量のばらつきを抑えることができる。
また、請求項２及び４記載の発明によれば、鋼帯の幅方向の板厚を、当該鋼帯で要求されている所望の製品厚さで一様にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明を実施するための最良の形態（以下、実施形態という。）を図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態は、本発明を適用した鋼帯の酸洗設備である。図１は、その酸洗設備を示す。
図１に示すように、酸洗設備は、酸洗槽１、噴射ノズル３１，３２、酸洗槽１に鋼帯１００を搬送する複数のローラ４，５，６，７、酸回収設備８、循環タンク９、原液タンク１０、ポンプ１１，１２及び制御部１３を備えている。ここで、鋼帯１００は例えばステンレス鋼帯である。
【００１１】
酸洗槽１は、フッ酸と硝酸とからなる酸洗液５０で満されている。また、酸洗槽１内の酸洗液５０内を通過させるように、１対の浸漬ローラ５，６が酸洗槽１内の両側に配置されている。そして、この各浸漬ローラ５，６それぞれに対応して、酸洗槽１外に搬送ローラ４，７が配置されている。このように配置された浸漬ローラ４〜７により鋼帯１００が酸洗槽１内の酸洗液５０内を通って搬送され、このとき、鋼帯１００が酸洗液５０内に浸漬して連続的に酸洗処理される。なお、本実施の形態では、鋼帯１００は、図１中において右側から左側に搬送される。
【００１２】
また、酸洗槽１において、鋼帯１００の搬送方向の下流側の浸漬ローラ６の近傍に第１及び第２噴射ノズル３１，３２が配置されている。各噴射ノズル３１，３２は、鋼帯１００の上下面側それぞれに配置されている。この第１及び第２噴射ノズル３１，３２は、後述のポンプ１１から供給される循環タンク９内の酸洗液（循環液）を噴射する。この第１及び第２噴射ノズル３１，３２は、鋼帯１００の搬送方向とは逆方向、すなわち搬送方向の上流側に向けて、当該鋼帯１００に沿うように酸洗液を噴射している。
【００１３】
この第１及び第２噴射ノズル３１，３２は、鋼帯の幅方向に複数の噴射口が形成されている。図２（Ａ）は、第１ノズル３１の形状を示す。なお、第１ノズル３１の外観形状については、前記図６に示したような形状となる。また、第２噴射ノズル３２もこの第１噴射ノズル３１と同様な形状をなしている。
図２（Ａ）に示すように、第１噴射ノズル３１は、鋼帯１００の幅方向に並ぶように第１乃至第９噴射口３１１，３１２，３１３，３１４，３１５，３１６，３１７，３１８，３１９が形成されている。そして、第１噴射ノズル３１には、鋼帯１００の幅方向で所定数の噴射口が単位とされ、その単位毎に流量調整されて酸洗液が供給されるようになっている。本実施形態では、前記所定数が３個であり、すなわち、第１乃至第３噴射口３１１，３１２，３１３、第４乃至第６噴射口３１４，３１５，３１６及び第７乃至第９噴射口３１７，３１８，３１９毎に流量調整されて酸洗液が供給される。
【００１４】
このように前記単位毎に流量調整して酸洗液を供給するのを実現するために、前記単位毎に噴射口の背部を区画する一方で、酸洗液を供給する前記ポンプ１１と、この第１ポンプ１１の酸洗液の排出側と前記区画した部位（酸洗液取り込む部）３１ａ，３１ｂ，３１ｃとを接続する流路（管路）３３と、前記区画された各部位３１ａ，３１ｂ，３１ｃへの酸洗液の流量を調整するための第１乃至第３流量調整弁３４１，３４２，３４３とを備えている。ここで、第１ポンプ１１の酸洗液の排出側と前記区画された各部位３１ａ，３１ｂ，３１ｃとを接続する流路（管路）３３は、ポンプの酸洗液の排出側の流路を３つに分岐させ、その各分岐路３３１，３３２，３３３が前記区画された各部位３１ａ，３１ｂ，３１ｃに接続されている。そして、前記第１乃至第３流量調整弁３４１，３４２，３４３がその各分岐路３３１，３３２，３３３中にそれぞれ備えられている。
【００１５】
このように、前記単位毎に流量調整して酸洗液を供給するのを実現するための構成が実現されており、第１乃至第３流量調整弁３４１，３４２，３４３の弁開度が前記制御部１３により制御されるようになっている。そして、制御部１３は、上位コンピュータ３５からの情報に基づいて第１乃至第３流量調整弁３４１，３４２，３４３を制御するようになっている。具体的には、制御部１３は、第１乃至３流量調整弁３４１，３４２，３４３を制御して、第１及び第２噴射ノズル３１，３２からの酸洗液の噴射量、噴射流速又は噴射継続時間を制御する。
【００１６】
また、図１に示すように、酸洗槽１に、当該酸洗槽１の酸洗液５０が循環されるように酸回収設備８及び循環タンク９が流路２１により接続されている。
流路２１の酸洗液５０の取り込み部（取り込み口）２１ａは、酸洗槽１において、鋼帯１００の搬送方向の上流側、すなわち第１及び第２噴射ノズル３１，３２の噴射方向の延長線上に設けられている。さらに、前記取り込み部２１ａは、酸洗槽１内の酸洗液５０の液面位置近傍に設けられている。すなわち、酸洗液５０が酸洗槽１からオーバーフローにより流路２１に排出されるようになっている。この流路２１に排出された酸洗液は、酸回収設備８に流入される。
【００１７】
酸回収設備８は、酸洗液から鉄分を除去する。そして、酸回収設備８は、鉄分を除去した酸洗液を循環タンク９に供給する。循環タンク９では、酸回収設備８から供給されてくる酸洗液を貯めていく。第１ポンプ１１は、その循環タンク９に貯められた酸洗液を、前述したように、流路３３を介して前記第１及び第２噴射ノズル３１，３２に供給する。
循環タンク９は、原液タンク１０からの酸洗液の原液が流路２３を介して供給されるようになっている。すなわち、原液タンク１０に酸洗液の原液が貯蔵されており、この原液タンク１０から第２ポンプ１２により酸洗液の原液が循環タンク９に供給されるようになっている。
【００１８】
さらに、第２ポンプ１２により、原液タンク１０の酸洗液の原液が、流路２２を介して酸洗槽１にも供給されるようになっている。
次に前記構成の鋼帯の酸洗設備の作用等について説明する。
浸漬ローラ４〜７により、鋼帯１００を酸洗槽１の酸洗液５０内を搬送して、これにより鋼帯１００を浸漬して連続的に酸洗処理する。このとき、同時に、上位コンピュータ３５は、次のような条件を満たす酸洗液の流量を算出する。
【００１９】
酸洗処理後の鋼帯１００の厚さを当該鋼帯１００に要求されている所望の製品厚さにするとの前提で、前記各分岐路３３１，３３２，３３３から前記区画された各部位３１ａ，３１ｂ，３１ｃに供給する酸洗液の流量をそれぞれ同じ流量にする。すなわち、噴射ノズル３１，３２から噴射される酸洗液の流量が多すぎると、酸洗処理後の鋼帯１００の板厚が薄くなりすぎ、その一方で、噴射ノズル３１，３２から噴射される酸洗液の流量が少なすぎると、酸洗処理後の鋼帯１００の板厚が厚くなりすぎるので、このような現象を考慮しつつ、前記各分岐路３３１，３３２，３３３から前記区画された各部位３１ａ，３１ｂ，３１ｃにそれぞれ同じ流量の酸洗液を供給する。
【００２０】
また、酸洗液５０内を鋼帯１００を単に移動させるだけでもその鋼帯１００の表面上に当該鋼帯１００の搬送方向に流れが発生するので、第１及び第２噴射ノズル３１，３２からの噴流により搬送方向の流れに抗して搬送方向の上流側に流れが生じるような流量にする。例えば、第１及び第２噴射ノズル３１，３２からの酸洗液の噴射形態が噴流となるような流量にする。
【００２１】
上位コンピュータ３５は、以上のような条件を満たすような流量を算出する。そして、上位コンピュータ３５は、その流量の算出結果に基づいて、制御情報を制御部１３に出力する。制御部１３は、上位コンピュータ３５からの制御情報に基づいて、第１乃至第３流量調整弁３４１，３４２，３４３の弁開度を制御する。
これにより、第１及び第２噴射ノズル３１，３２から酸洗液が噴流形態として噴射され、鋼帯１００の上下面近傍では、鋼帯１００の搬送方向とは反対方向に流れが生じる。また、このとき、図２（Ｂ）に実線として示すように、第１及び第２噴射ノズル３１，３２の各噴射口からの酸洗液の噴射量は、鋼帯１００の幅方向で略一様となる。より詳しくは、前記単位としての３個の噴出口だけをみれば、図２（Ｂ）に点線として示すように、その３個の噴出口のうちの中央に位置される噴射口からの流量が最大となる流量分布になる。しかし、その最大流量と最小流量の差分（偏差）は、従来の噴射ノズルにおける最大流量と最小流量（図７（Ｂ）参照）との差分（偏差）よりも小さくなっており、第１及び第２噴射ノズル３１，３２全体としてみれば、その幅方向でのばらつきは抑えられているといえる。
【００２２】
さらに、酸洗液が、第１及び第２噴射ノズル３１，３２の噴射方向の延長線上に位置されている前記取り込み部２１ａからオーバーフローにより流路２１に排出されるようになる。これにより、図３に示すように、酸洗処理により発生する鋼帯１００の表面から発生するスラッジが、当該鋼帯１００の上下面から速やかに除去されるようになり、さらには、取り込み部２１ａにより、系外の酸回収設備８に排出されるようになる。
【００２３】
流路２１に排出された酸洗液は、酸洗回収８により鉄分が除去された後、循環タンク９で一旦貯蔵される。そして、循環タンク９に貯蔵された酸洗液は、第１ポンプ１１により第１及び第２ノズル３１，３２に供給されて、第１及び第２ノズル３１，３２は、このように循環されて供給されてくる酸洗液を噴射する。すなわち、酸洗液を循環させることで、第１及び第２ノズル３１，３２により酸洗液を連続噴射する。
【００２４】
一方、循環タンク９の酸洗液の量が少なくなった場合やその濃度が低下した場合に、原液タンク１０から原液が補給され、また、酸洗槽１の酸洗液の量が少なくなった場合やその濃度が低下した場合に、原液タンク１０から原液が補給される。
次に効果を説明する。
前述したように、第１及び第２噴射ノズル３１，３２において、鋼帯１００の幅方向で所定数の噴射口を単位として、その単位毎に流量調整をして酸洗液を供給している。これにより、第１及び第２噴射ノズル３１，３２の各噴射口からの酸洗液の噴射量を鋼帯１００の幅方向で略一様とし、その幅方向での酸洗液の噴射量のばらつきを抑えている。これにより、鋼帯の幅方向の板厚を一様にすることができる。
【００２５】
また、前述したように、鋼帯１００の厚さを当該鋼帯１００で要求されている所望の製品厚さにするとの前提で酸洗液の噴射量の流量調整を行っているので、鋼帯１００は幅方向の板厚が所望の製品厚さで一様なものとなる。
また、前述したように、第１及び第２噴射ノズル３１，３２が鋼帯１００の上下面に向けて、或いは沿うように酸洗液を噴射させている。これにより、鋼帯１００の上下面からスラッジを速やかに排除するとともに、スラッジを含む酸洗液を酸洗槽１外に排出している。よって、スラッジが酸洗槽１に留まり、沈殿してしまうことを防止することができ、鋼帯付近に残存するスラッジを確実に排除できる。この結果、鋼帯の酸洗効率が低下してしまうことや面荒れが発生してしまうことを防止し、さらには、スラッジ除去のために操業を停止させることもないので、生産性を向上させることができる。また、肌荒れを防止することで、ライン速度が低下してしまうことも防止できる。
【００２６】
また、第１及び第２噴射ノズル３１，３２が噴射する酸洗液から鉄分が除去されているので、酸洗効率を向上させることができる。さらに、鋼帯１００の搬送方向に対向するように酸洗液を噴射させているので、鋼帯１００と酸洗液との相対速度が大きくなる効果により、鋼帯界面での酸洗効率を向上させることができる。
さらに、そのように鉄分を除去した酸洗液を噴射しているので、鋼帯１００の上面近傍と下面近傍との酸洗液の濃度や液体温度にばらつきをなくすことができる。
【００２７】
例えば、ステンレス鋼、特に高Ｃｒ、高Ｍｏ系の鋼種においては、一般鋼に比べて熱間圧延時にロールで面荒れしやすく、表面品質が劣化しやすい。肌荒れを防止する手法としては、酸洗ラインでの通板速度を低下させたり、酸洗液の濃度を濃くしたり、酸洗ラインを２回通板させたり、或いは研削ラインで肌荒れ部研削除去したりすること等が挙げられる。しかし、いずれの手法も製造上のコストアップ、リードタイム増等の問題があった。これに対して、酸洗液の温度を上昇させたり、酸洗液の濃度を濃くしたりして、酸洗条件を変化させることで対応することもできる。しかし、この対応には時間がかかり、さらに温度や濃度にばらつきがでるといった問題がある。
【００２８】
これに対し、本実施形態では、鉄分を除去した酸洗液を噴射しているので、それによる鋼帯１００の表面付近の酸洗液の攪拌効果により、鋼帯１００の上面近傍と下面近傍との酸洗液の濃度や温度に短時間でばらつきをなくすことができる。これにより、鋼帯１００の上下面を同一品質に仕上げることができるようになる。
なお、酸洗槽外にスラッジを排出することなく、単に噴射ノズル等により鋼帯の表面に流れを発生させれば、同様な効果を得ることもできると考えられる。しかし、スラッジを排出しない限りは、酸洗槽内でスラッジが堆積するのは必至であり、そのような状況下で鋼帯の表面に流れを発生させても、本実施形態における効果と同様な効果を得ることはできない。
【００２９】
以上、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、前述の実施形態として実現されることに限定されるものではない。
すなわち、前述の実施形態では、第１及び第２噴射ノズル３１，３２の噴射口が９個の場合を説明した。しかし、これに限定されるものではなく、噴射口の数は、９個未満或いは１０個以上であってもよい。
【００３０】
また、前述の実施形態では、第１及び第２噴射ノズル３１，３２において、鋼帯１００の幅方向において流量調整をする噴射口の単位として、３個にしているが、これに限定されるものではない。例えば、前記単位をなす噴射口の数を少なくし、例えば１つの噴射口を前記単位とし、前記各単位（１つの噴射口）毎に酸洗液の流量を調整すれば、鋼帯１００の幅方向での酸洗液の噴射量のばらつきを、さらに抑えることができる。しかし、この場合、前記各単位（１つの噴射口）毎に酸洗液の流量を調整する必要があるので、その流量調整が煩雑になることから、その調整手間の兼ね合いで、前記単位をなす噴射口の数を決定することが好ましい。
【００３１】
また、前述の実施形態では、１つのポンプ１１から酸洗液を供給する場合を説明した。しかし、これに限定されるものではない。例えば、前記単位毎にポンプを備えるようにしてもよい。この場合、各ポンプの出力を制御することで、前記単位毎に、供給する酸洗液の流量を調整することができる。
また、前述の実施形態では、噴射ノズル３１，３２により鋼帯１００の表面に沿って酸洗液の流れを発生させるとともに、この流れに乗せて当該表面に存在するスラッジを酸洗槽１外に排出する場合について説明した。しかし、これに限定されるものではない。
【００３２】
例えば、鋼帯１００の上側に配置されている第１噴射ノズル３１のみを備えるようにしてもよい。また、制御部１３により制御して、第１噴射ノズル３１と第２噴射ノズル３２とで、噴射量や噴射流速を異ならせるようにしてもよい。これにより、鋼帯１００の上側と下側とで流速が異なるようになる。例えば、第１噴射ノズル３１の方の噴射量を多くしたり、噴射速度を大きくしたりする。
【００３３】
酸性槽１の底へのスラッジの堆積量が少ない場合には、鋼帯１００上にスラッジが直接堆積してしまうことの方が問題になると考えられる。このようなことから、第１噴射ノズル３１のみを備えるようにしたり、第１噴射ノズル３１の方の噴射量を多くすることで、そのような問題となる鋼帯１００上に堆積するスラッジを除去することができ、さらに、結果的には、鋼帯１００の上下面を同一品質に仕上げることができるようになる。
【００３４】
また、前述の実施形態において、噴射ノズル３１，３２の形状を具体的に説明した。しかし、これに限定されるものではない。
図４及び図５は、他の形状の噴射ノズル４０を示す。図４及び図５に示すように、噴射ノズル４０は、酸洗液が供給される供給部４１と、供給部４１に供給された酸洗液を噴射するノズル部４２とから構成される。供給部４１は、所定数の噴射口（前記単位の噴射口）に対応されて区画されており、その区画されている部位４１ａ，４１ｂ，４１ｃそれぞれにポンプからの酸洗液を供給する分岐路が接続されている。ノズル部４２は、鋼帯１００に対向する側の側壁がなく、開口された形状をなすとともに、中間位置近傍で鋼帯１００側に屈曲した形状をなしている。
【００３５】
また、他の手段、手法を用いて、鋼帯１００の表面に沿って酸洗液の流れを発生させるとともに、この流れに乗せて当該表面に存在するスラッジを酸洗槽１外に排出するようにしてもよい。
なお、前述の実施形態の説明において、第１ポンプ１１は、酸洗液の供給源を実現しており、第１及び第２噴射ノズル３１，３２は、鋼帯の幅方向に複数の噴射口を設けて、各噴射口から供給源から供給される酸洗液を噴射する噴射ノズルを実現しており、第１乃至第３流量調整弁３４１，３４２，３４３及び制御部１３は、幅方向の順序で１又は２以上の噴射口を単位として、その単位毎に供給源から供給する酸洗液の流量を調整する流量調整手段を実現している。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態の鋼帯の酸洗設備の構成を示す図である。
【図２】前記鋼帯の酸洗設備の噴射ノズルの形状と当該噴射ノズルからの酸洗液の噴射量の分布を示す図である。
【図３】スラッジの発生の説明に使用した図である。
【図４】他の噴射ノズルの形状を示す側面図である。
【図５】他の噴射ノズルの形状を示す平面図である。
【図６】従来の噴射ノズルの形状を示す斜視図である。
【図７】前記従来の噴射ノズルの形状と当該噴射ノズルからの酸洗液の噴射量の分布を示す図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  酸洗槽
４，５，６，７  浸漬ローラ
８  酸回収設備
９  循環タンク
１０  原液タンク
１１，１２  ポンプ
１３  制御部
３１，３２  噴射ノズル
３１１〜３１９  噴射口
３４１，３４２，３４３  流量調整弁
３５  上位コンピュータ
【図１】
2006037210.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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