(57)【要約】【課題】  工程の増加を招くことなく、Ｓｉ上に高温安定性の高いＮｉシリサイドを短時間で形成することができ、トランジスタ特性向上に寄与する。【解決手段】  シリコン基板上にＮｉ膜を形成した後、最終アニール温度ＴＨを８００℃としたアニール処理を施してＮｉシリサイド膜を形成する方法であって、アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、基板を４００℃近傍の第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで基板を６００℃近傍の第２のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで基板を７００℃近傍の第３のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで７００℃近傍の温度から８００℃までは、アニール温度を５０℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールする。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、最終アニール温度ＴＨを５００℃＜ＴＨ≦６００℃としたアニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、
アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、前記基板を４００℃近傍の第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を最終アニール温度ＴＨまで昇温した後にこの温度で一定時間アニールすることを特徴とするニッケル−シリコン化合物の形成方法。
【請求項２】
シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、最終アニール温度ＴＨを６００℃＜ＴＨ≦７００℃としたアニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、
アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、前記基板を４００℃近傍の第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を６００℃近傍の第２のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を最終アニール温度ＴＨまで昇温した後にこの温度で一定時間アニールすることを特徴とするニッケル−シリコン化合物の形成方法。
【請求項３】
シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、最終アニール温度ＴＨを７００℃＜ＴＨとしたアニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、
アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、前記基板を４００℃近傍の第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を６００℃近傍の第２のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を７００℃近傍の第３のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで７００℃近傍の温度から最終温度ＴＨまでは、アニール温度を５０℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールすることを特徴とするニッケル−シリコン化合物の形成方法。
【請求項４】
シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、アニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、
アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、
最終アニール温度ＴＨが５００℃以下の場合、前記基板を最終アニール温度ＴＨに昇温した後にこの温度ＴＨでアニールする１ステップアニールを行い、
５００℃＜ＴＨ≦６００℃の場合、前記基板を４００℃近傍の第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで最終アニール温度ＴＨまで昇温した後にこの温度ＴＨで一定時間アニールする２ステップアニールを行い、
６００℃＜ＴＨ≦７００℃の場合、前記基板を第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を６００℃近傍の第２のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を最終アニール温度ＴＨまで昇温した後にこの温度ＴＨで一定時間アニールする３ステップアニールを行い、
７００℃＜ＴＨの時、前記基板を第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を第２のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を７００℃近傍の第３のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで７００℃近傍の温度から最終温度ＴＨまでは、アニール温度を５０℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールすることを特徴とするニッケル−シリコン化合物の形成方法。
【請求項５】
前記各ステップ温度における一定時間のアニールは１０秒以上であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のニッケル−シリコン化合物の形成方法。
【請求項６】
前記各ステップ温度までの昇温速度は５０℃／ｓｅｃ以上であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のニッケル−シリコン化合物の形成方法。
【請求項７】
前記各ステップ温度までの昇温速度は５０℃／ｓｅｃ以上であり、前記７００℃近傍の温度から最終温度ＴＨまでの昇温は、５℃／ｓｅｃ程度であることを特徴とする請求項３又は４記載のニッケル−シリコン化合物の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスの電気的特性の向上をはかる技術に係わり、特にトランジスタの電気的性質の向上をはかるためのニッケル−シリコン化合物の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、トランジスタをはじめとする各種半導体素子の微細化や高集積化により、ＬＳＩをはじめとする各種半導体装置は大きく発展してきた。この要因の一つして、例えばトランジスタの微細化に伴ってトランジスタのオン抵抗が減少して、小さなトランジスタで大量の電流を流すことができるようになったことが挙げられる。
【０００３】
ところが、トランジスタのオン抵抗が減少するのに伴ってトランジスタの主要部であるソース・ドレイン及びゲートなどの寄生抵抗も無視できなくなった。そして、例えばソース・ドレイン及びゲートでの寄生抵抗を下げるために、金属とシリコンの化合物であるシリサイド或いはサリサイドと呼ばれる化合物が使用され始めた。例えば、シリサイドの材料としては、一般にはチタン（Ｔｉ）やタングステン（Ｗ）、或いはコバルト（Ｃｏ）などが用いられている。
【０００４】
しかしながら、トランジスタのゲートサイズが５０ｎｍ以下になろうとする昨今、より低抵抗なシリサイドの材料としてニッケル（Ｎｉ）が注目を集めている。例えば、ニッケルモノシリサイド（ＮｉＳｉ）は、Ｔｉ，Ｗ，或いはＣｏ等のシリサイドに比べてコンタクト抵抗や比抵抗がより小さい。このため、ＮｉＳｉは将来のトランジスタの主要部を形成するシリサイドやサリサイドの材料として期待されている。
【０００５】
一般的な半導体装置の製造プロセスによれば、できるだけ高温に耐えうるＮｉＳｉ膜を成膜することが理想的である。通常は、Ｎｉ膜をＳｉ膜上に成膜後、一気に昇温してＮｉＳｉ膜を形成する。その方法でＮｉシリサイドを作ると膜の厚さによって異なるが、１８ｎｍ程度の厚さのＮｉの場合は６００℃付近までしか、低い抵抗が得られない（例えば、非特許文献１参照）。それは、ＮｉＳｉが凝集を起こしたり、ＮｉＳｉ2 に組成変化して比抵抗が高くなったりするためである。
【０００６】
このような問題を回避するため、５０℃程度昇温した後にこの温度で数十秒アニールする処理を繰り返すステップアニール法が提案されている。しかしながら、この場合は、処理時間の増大を招くことになり、これがＬＳＩをはじめとする各種半導体装置への実用化を阻む要因となっている。
【０００７】
一方、高い温度まで丈夫なＮｉシリサイドを作るため、Ｎｉ膜とＳｉ基板との間にＩｒ或いはＣｏのメタル膜を付ける方法がある（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、この方法は、無駄な工程を増やしていくことになり、更に必要ないメタルがデバイスの上に残ることになる。
【特許文献１】米国特許（US 6,506,637 B2）
【非特許文献１】D.-X. Xu,et al, Thin Solid Film 326 (1998) 143-150
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このように従来、トランジスタの電気的性質を向上させるためにソース・ドレイン及びゲート上にＮｉのシリサイドを形成する方法においては、高い温度まで安定したシリサイドを形成するために１ステップ５０℃程度のステップアニーリングを行うと、処理時間が長くなる問題があった。また、Ｎｉ膜とＳｉ基板との間にＩｒやＣｏ等のメタル膜を挿入する方法では、無駄な工程が増えると共に、必要のないメタル膜が残存するという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、工程の増加を招くことなく、Ｓｉ上に高温安定性の高いＮｉシリサイドを短時間で形成することができ、トランジスタ特性向上等に寄与し得るニッケル−シリコン化合物の形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
【００１１】
即ち本発明は、シリコン基板又はシリコン膜上にニッケル膜を形成した後、アニール処理を施してニッケル−シリコン化合物を形成する方法であって、アニール温度をステップ的に変えることのできるアニール装置を用い、次のようにアニールすることを特徴としている。
【００１２】
(1) 最終アニール温度ＴＨが５００℃以下の場合、前記基板を最終アニール温度ＴＨに昇温した後にこの温度ＴＨでアニールする、１ステップアニールを行う。
【００１３】
(2) ５００℃＜ＴＨ≦６００℃の場合、前記基板を４００℃近傍の第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで最終アニール温度ＴＨまで昇温した後にこの温度ＴＨで一定時間アニールする、２ステップアニールを行う。
【００１４】
(3) ６００℃＜ＴＨ≦７００℃の場合、前記基板を４００℃近傍の第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を６００℃近傍の第２のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を最終アニール温度ＴＨまで昇温した後にこの温度ＴＨで一定時間アニールする、３ステップアニールを行う。
【００１５】
(4) ７００℃＜ＴＨの時、前記基板を４００℃近傍の第１のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を６００℃近傍の第２のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで前記基板を７００℃近傍の第３のステップ温度まで昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次いで７００℃近傍の温度から最終温度ＴＨまでは、アニール温度を５０℃以内でステップ的に上げると共に各ステップで一定時間アニールする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ニッケル−シリコン化合物を形成する際のアニール処理として、少しずつステップ的に温度上昇させるのではなく、ある温度までは急峻に昇温した後にこの温度で一定時間アニールし、次の温度まで急峻に昇温した後にこの温度で一定時間アニールすることにより、トータルのアニール時間を短くすることができる。そして、急峻に昇温させる温度として、４００℃，６００℃，７００℃を設定することにより、Ｎｉシリサイドの抵抗増大を抑制することができる。
【００１７】
従って本発明によれば、工程の増加を招くことなく、Ｓｉ上に高温安定性の高いＮｉシリサイドを短時間で形成することができ、トランジスタ特性向上等に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【００１９】
図１（ａ）に、本発明者らが既に出願したステップアニーリング方法を示す。Ｓｉ基板上にＮｉ膜を形成した状態で、３００℃まで一気に昇温した後、ステップ的に温度を上げ（１０秒で５０℃）、各ステップ毎に３０秒の熱処理を行い，最終温度７００℃で５分の熱処理を施す。この方法では、高い温度まで低抵抗を持っているＮｉシリサイドを作ることが可能である。
【００２０】
しかしながら、この方法は、プロセスに必要な時間が１０分程度と長くなり、デバイスが貰う熱の量が多いのが短所である。そこで本発明者らは、そのようなサーマルバジェットの問題を解決するため、より短い時間でニッケルシリサイデーションが可能になる方法を検討した。
【００２１】
ステップアニーリング方法でステップの役割は、２つ考えられる。一つ目は、ステップがあるため、シングルステップで温度を上げるときよりサンプル内部の温度差が小さくできるということである。二つ目は、Ｎｉ＋ＳｉからＮｉ2 Ｓｉへの、更にそれからＮｉＳｉ，ＮｉＳｉ2 への位相変化に当たる温度での一定温度でのアニーリングである。もし、２つ目の効果があったら、図１（ａ）に示した多数のステップを１つ或いは２つに減らすことができると考えられる。
【００２２】
図１（ｂ）は、位相変化が起こる一定温度でのアニーリングが３００℃と６００℃で可能になった場合を想定した場合の図であり、実際のことではない。そのとき位相変化に必要な最短の時間がどのくらいかを実験で分かればシリサイド化するのに必要な時間を短くするのができることになる。
【００２３】
実験のはじめで、厚さ２０ｎｍのＮｉ膜を堆積したバルクＳｉをＲＴＡ装置に入れて、それぞれの温度での抵抗変化を観察した。それは、特別な温度で抵抗の変化があるかを確認するための実験であり、その抵抗の変化が見られる温度で位相の変化が起こると思っているからである。このため、位相変化が確かにできるようにそれぞれの温度でのアニーリング時間は５分ずつ上げるようにした。温度上昇率は１秒当たり２００℃，１００℃，５０℃を試した。
【００２４】
図２（ａ）（ｂ）に示されるように、シングルアニーリングでは特別な抵抗の変化が見られなかった。また、２００℃／ｓｅｃ，１００℃／ｓｅｃの温度上昇率では３００℃を超えると抵抗の増大が認められ、更にこれらの温度上昇率では特別な差がないので、５０℃／ｓｅｃの温度上昇率で実験を続けた。なお、温度上昇率があまりに低いとトータルの処理時間が長くなるため、温度上昇率は５０℃／ｓｅｃ以上が望ましい。
【００２５】
図３（ａ）に示したように、２ステップアニーリング方法を用意して、２つの温度でアニーリングを行うと、抵抗の変化が見られるか試した。この２ステップアニーリング方法は、例えばＴＬが３００℃の場合は５０℃／ｓｅｃの温度上昇率で３００℃まで温度を上げていき、３００℃で５分間同じ温度を維持し、次いで望んでいる温度まで５０℃／ｓｅｃの温度上昇率で温度を上げていき、その温度で再び５分間同じ温度を維持し、その後５０℃／ｓｅｃの温度下降率で２０℃まで温度を下げることになっている。
【００２６】
このような温度プロファイルを使って実験した結果が、図３（ｂ）である。ＴＬを３００℃にしながらＴＨを７００℃にした場合と、ＴＬを４００℃にしながらＴＨを６００℃にした場合、抵抗の変化が見られる。その理由で、３００℃と７００℃の温度で温度を一定に維持するステップ（dwell time）を入れた後、それより高い温度まで温度を上げていってアニーリングする方法と、４００℃と６００℃の温度で一定に維持するステップを入れた後、それより高い温度まで温度を上げていってアニーリングする方法を試した。そのとき、dwell time を５分，３０秒，１０秒など、変化させながら実験を行った。
【００２７】
その結果、図３（ｂ）に示すように、３００℃と７００℃の場合は特に低い抵抗は見られなかったが４００℃と６００℃の場合は７００℃まで低い抵抗が得られた。また、図４に示すように、dwell time を１０秒にしてもその低い抵抗は見られたので、dwell time は１０秒に決めた。なお、一定温度でのアニール時間が１０秒よりも短くなると抵抗の上昇が見られるため、一定時間でのアニール時間は１０秒以上が望ましい
これまでの説明を整理すると、図５のようになる。即ち、５００℃までの比較的低い温度までは１つのステップで温度を急峻に上げ、その温度を一定時間（例えば１０秒間）だけ維持する、１ステップアニーリングを行う。そして、アニール後に温度を急峻に下げる。なお、急峻な温度上昇及び下降の速度は５０℃／ｓｅｃ程度である。
【００２８】
６００℃でアニーリングする場合は、４００℃まで温度を急峻に上げ、この温度を１０秒間保持した後、６００℃まで温度を急峻に上げ、この温度を１０秒間だけ維持してアニーリングする、２ステップアニーリングを行う。７００℃でアニーリングするときには、４００℃，６００℃で１０秒間ずつの待ち時間を経て７００℃でアニーリングする、３ステップアニーリングを行う。これにより、十分に短い時間で７００℃までの高い温度まで低い抵抗を持っているＮｉシリサイドの製作が可能となった。
【００２９】
図５に示したように、アニーリングは５００℃以下，６００℃，７００℃の３つの部分に分けられていて、４００℃と６００℃の特別な温度で一定時間アニーリングする方法になるので、このアニーリング方法の名称をＳＴＡ（Specific Temperature Annealing）と付けた。なお、ＳＴＡにおける４００℃と６００℃という温度は、必ずしも厳密なものではなく、これらの温度の近傍（例えば±１０℃の範囲）であれば、上記と同様の効果が認められた。
【００３０】
また、７００℃以上でアニールする場合は、低い抵抗のＮｉシリサイドを可能にするため、図６に示すように、７００℃以上でのアニーリングはステップアニーリングを使うようにした。そのときにアニーリング時間は１０秒で５０℃ずつ温度を上げていき、その温度で１０秒間一定温度でアニーリングする方法である。例えば、７００℃からステップアニーリングを行うと、７００℃から７５０℃まで１０秒で温度を上げていき、７５０℃で１０秒間の一定温度アニーリングを行う。その後、８００℃まで１０秒間で温度を上げていき、８００℃で１０秒間アニーリングする。
【００３１】
このように、温度を上げながらアニーリングした後、アニーリングが終わったら１秒当たり５０℃の温度下降率で２０℃まで温度を下げていきアニーリングが終了したことになる。そのようにして高温まで抵抗の低いシリサイドが可能になる。つまり、７００℃までの比較的低温ではＳＴＡでシリサイデーションして、７００℃以上ではステップアニーリングすることになる。そのようにアニーリングするときの温度プロファイルを、図６に示す。９００℃までアニーリングするとき、既存のステップアニーリングでは１０分以上かかったが、その方法にすると必要な時間は２分２２秒となる。
【００３２】
このときのシート抵抗の変化を図７に示す。８５０℃までは低い抵抗が得られたが、９００℃では抵抗が急激に高くなった。図７の９００℃のデータはエラー・バーを示している。
【００３３】
これまで説明した方法と、ＳＴＡとステップアニーリングの併用によって、先に提案したステップアニーリング方法と同じくらいの低抵抗をもっと短い時間で、同じくらいの高い温度まで持つＮｉシリサイドを作ることが可能になった。即ち、ＳＴＡとステップアニーリングとの併用はより短い時間でシリサイデーションすることが可能な新しい方法である。
【００３４】
図８は、本実施形態をＭＯＳトランジスタの製造に適用した実施例を示す工程断面図である。
【００３５】
まず、図８（ａ）に示すように、Ｓｉ基板１１上にゲート酸化膜１２を介してポリＳｉ膜を堆積し、ポリＳｉ膜をゲート電極パターンに選択エッチングすることにより、ゲート電極１３を形成する。その後、全面にＳｉ窒化膜を堆積した後にエッチバックすることによりゲート側壁絶縁膜１４を形成する。
【００３６】
次いで、図８（ｂ）に示すように、全面にＮｉ膜１５をスパッタリングにより、例えば厚さ５０ｎｍに形成する。
【００３７】
次いで、図８（ｃ）に示すように、アニール処理を施してＮｉ膜１５をシリサイド化する。具体的には、最終アニール温度ＴＨを８００℃として、まず５０℃／ｓｅｃ程度の急峻な速度で４００℃まで昇温した後に、この温度で１０秒間アニールする。続いて、６００℃まで５０℃／ｓｅｃで昇温した後に、この温度で１０秒間アニールする。続いて、７００℃まで５０℃／ｓｅｃで昇温した後に、この温度で１０秒間アニールする。
【００３８】
次いで、７００℃以上でのアニーリングは先に説明したステップアニーリングを使うようにした。即ち、７００℃から７５０℃まで１０秒で温度を上げていき、７５０℃で１０秒間の一定温度アニーリングを行う。その後、８００℃まで１０秒間で温度を上げていき、８００℃で１０秒間アニーリングする。
【００３９】
このようにして、ソース・ドレイン領域にＮｉシリサイド膜１６が形成される。このＮｉシリサイド膜１６は、高耐圧であると共に十分に低抵抗である。
【００４０】
次いで、図８（ｄ）に示すように、シリサイド化せずに残ったＮｉ膜１５を除去する。これにより、ソース・ドレイン及びゲートにＮｉシリサイドを用いたＭＯＳトランジスタが作製される。
【００４１】
このように本実施形態によれば、Ｓｉ上に高温安定性の高い低抵抗のＮｉシリサイドを短時間で形成することができ、ソース・ドレインの低抵抗化をはかり、トランジスタ特性向上に寄与することができる。
【００４２】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。実施形態では、４００℃，６００℃，７００℃におけるアニール時間を１０秒としたが、この時間は適宜偏向可能である。但し、これより短いとステップアニールの効果が無くなるので、１０秒以上が望ましい。逆に、長すぎるアニール時間はトータルのアニール時間の増大を招くことになるため、数十秒以内が望ましい。また、７００℃を超える温度までの昇温は１ステップで５０℃以下が望ましく、この場合の昇温速度は１０秒で５０℃程度、即ち５℃／ｓｅｃ程度が望ましい。
【００４３】
また、実施形態ではＳｉ基板上にＮｉ膜を形成してシリサイド化したが、シリコン膜の上でシリサイド化する方法に適用することも可能である。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】ステップアニーリング方法と２ステップアニーリング方法における処理時間と温度との関係を示す図。
【図２】シングルアニーリングにおける処理時間と温度との関係、加熱温度とシート抵抗との関係を示す図。
【図３】２ステップアニーリングにおける処理時間と温度との関係、加熱温度とシート抵抗との関係を示す図。
【図４】３ステップアニーリングにおける処理時間と温度との関係、加熱温度とシート抵抗との関係を示す図。
【図５】最終アニーリング温度の違いによる最適なアニーリング方法を説明するための図。
【図６】最終アニール温度が７００℃以上の場合のアニーリング方法を説明するための図。
【図７】図６のアニーリング方法におけるシート抵抗の変化を示す図。
【図８】本発明をＭＯＳトランジスタの製造に適用した例を示す工程断面図。
【符号の説明】
【００４５】
１１…Ｓｉ基板
１２…ゲート酸化膜
１３…ゲート電極
１４…側壁絶縁膜
１５…Ｎｉ膜
１６…Ｎｉシリサイド膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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