(57)【要約】【課題】  平面基板とエア浮上ユニットとが干渉して破損や損傷を防止することのできるエア浮上搬送装置を提供すること。【解決手段】  平面基板の下方に配置されたエア浮上ユニットからエアを噴出して平面基板を浮上させつつ、送り機構によって前方へ移送するエア浮上搬送装置であって、前記平面基板の搬送方向の先端に位置するエア浮上ユニットの下流端近傍に前記平面基板の浮上量を大きくする機構を設けたので、平面基板とエア浮上ユニットとが干渉して破損したり、傷付くことを防止することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送面からエアを噴出して被浮上物を浮上させるエア浮上ユニットにおいて、ユニットの搬送面から被浮上物の下面およびユニット端部から中央部に向かってエアを噴出させるノズルを設けたことを特徴とするエア浮上ユニット。
【請求項２】
搬送面からエアを噴出して被浮上物を浮上させるエア浮上ユニットにおいて、ユニットの搬送面から被浮上物の下面およびユニット端部から中央部に向かってエアを噴出させながら、被浮上物を搬送することを特徴とする搬送方法。
【請求項３】
平面基板の下方および／または側方に配置されたエア浮上ユニットからエアを噴出 して平面基板を浮上させつつ、送り機構によって前方へ移送するエア浮上搬送装置であって、
前記平面基板の搬送方向の先端に位置するエア浮上ユニットの下流端近傍に前記平面基板の浮上量を大きくする機構を設けたことを特徴とするエア浮上搬送装置。
【請求項４】
前記浮上量を大きくする機構は、エア噴出量の大きなノズルであることを特徴とする請求項３に記載のエア浮上搬送装置。
【請求項５】
前記浮上量を大きくする機構は、前記平面基板の搬送方向と逆方向の流れ成分を有するノズルであることを特徴とする請求項３記載のエア浮上搬送装置。
【請求項６】
前記浮上量を大きくする機構は、エア浮上ユニットの下流端から中央に向かってエアを噴出するノズルであることを特徴とする請求項３に記載のエア浮上搬送装置。
【請求項７】
前記浮上量を大きくする機構は、エア浮上ユニットの下流端近傍に設けられた別体の噴出ノズルであることを特徴とする請求項３に記載のエア浮上搬送装置。
【請求項８】
前記エア浮上ユニットが複数設けられ、該浮上ユニットのいずれかの浮上力が他の浮上ユニットの浮上力と異なることを特徴とする請求項３に記載のエア浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶基板等の薄板の搬送装置に関し、特にエアによって浮上させることによって破損や傷を付けることなく搬送することのできるエア浮上ユニット、搬送方法、及びエア浮上搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶基板等の薄い平面基板をエア浮上させつつ搬送する装置は、種々提案されている。例えば、図４に示すようなエア浮上搬送装置において、平面基板１の下面に向かってエアを噴出する複数のノズル２を備えたエア浮上ユニット３が所定の間隔を有して配置されている。このような構成のエア浮上搬送装置において、図外の送り機構によって平面基板１を矢印Ａ方向へ搬送する際に、平面基板１の剛性が小さい場合、図に示すようにエア浮上ユニット３の不連続部のエアが噴出されていない箇所で撓みＴが発生してしまう。したがって、平面基板１がエア浮上ユニット３の隙間を乗り移る際に、エア浮上ユニット３と干渉して、平面基板１を破損したり、傷つける虞があった。
また、図５に示すように複数配置されたエア浮上ユニット３の高さ調整が不十分で高さズレＨが存在する場合、平面基板１の剛性が充分大きく撓みが殆ど生じない場合でも、平面基板１とエア浮上ユニット３が干渉する虞があった。
そこで、これらの欠点を解消するべく図６に示すような構成のエア浮上搬送装置が提案されている。このエア浮上搬送装置は、平面基板１の撓み量Ｔ或いは高さズレＨを考慮して、平面基板１全体の浮上量を大きくするためにノズル２からのエア噴出量を大きく設定したものである。
なお、上記技術に関連する先行技術として、下記の先行特許公報が知られている。
【特許文献１】特開２００３−２９２１５３号公報
【特許文献２】特開２００２−１５１５７１号公報
【特許文献３】特開２００２−１５１５７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、これら従来のノズルからのエア噴出量を大きく設定し、平面基板全体の浮上量を大きくするエア浮上搬送装置では、エア消費量が著しく増加するという問題があった。
【０００４】
この発明は、上記に鑑み提案されたもので、エア消費量の増加を抑制しつつ、平面基板の撓みや、エア浮上ユニットの高さ位置ズレによって平面基板とエア浮上ユニットとが干渉するのを防止できるエア浮上ユニット、搬送方法、及びエア浮上搬送装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、搬送面からエアを噴出して被浮上物を浮上させるエア浮上ユニットにおいて、ユニットの搬送面から被浮上物の下面およびユニット端部から中央部に向かってエアを噴出させるノズルを設けたことを特徴とする。
また本発明は、搬送面からエアを噴出して被浮上物を浮上させるエア浮上ユニットにおいて、ユニットの搬送面から被浮上物の下面およびユニット端部から中央部に向かってエアを噴出させながら被浮上物を搬送することを特徴とする。
【０００６】
また本発明は、平面基板の下方および／または側方に配置されたエア浮上ユニットからエアを噴出して平面基板を浮上させつつ、送り機構によって前方へ移送するエア浮上搬送装置であって、前記平面基板の搬送方向の先端に位置するエア浮上ユニットの下流端近傍に前記平面基板の浮上量を大きくする機構を設けたことを特徴とする。
【０００７】
また本発明は、前記浮上量を大きくする機構は、エア噴出量の大きなノズルであることを特徴とする。
また本発明は、前記浮上量を大きくする機構は、前記平面基板の搬送方向と逆方向の流れ成分を有するノズルであることを特徴とする。
【０００８】
前記浮上量を大きくする機構は、エア浮上ユニットの下流端から中央に向かってエ
アを噴出するノズルであることを特徴とする。
前記浮上量を大きくする機構は、エア浮上ユニットの下流端近傍に設けられた別体
の噴出ノズルであることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明において、前記浮上量を大きくする機構は、エア浮上ユニットの下流端近傍に設けられた別体の噴出ノズルであることを特徴とする。また、前記エア浮上ユニットが複数設けられ、該浮上ユニットのいずれかの浮上力が他の浮上ユニットの浮上力と異なることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
この発明は上記した構成からなるので、以下に説明するような効果を奏することができる。 
【００１１】
本発明によれば、平面基板の下方に配置されたエア浮上ユニットからエアを噴出して平面基板を浮上させつつ、送り機構によって前方へ移送するエア浮上搬送装置であって、前記平面基板の搬送方向の先端に位置するエア浮上ユニットの下流端近傍に前記平面基板の浮上量を大きくする機構を設けたので、平面基板の撓みや、エア浮上ユニットの高さズレによって平面基板とエア浮上ユニットとが干渉して損傷するのを防止できる。また、エア消費量の増加を抑制することができる。
【００１２】
また本発明では、前記浮上量を大きくする機構は、エア噴出量の大きなノズルであるので、平面基板の先端部が大きく浮上してエア浮上ユニットの間隙で次のエア浮上ユニットに接触することがなく、平面基板を破損する虞がない。
【００１３】
また、本発明では、前記浮上量を大きくする機構は、前記平面基板の搬送方向と逆方向の流れ成分を有するノズルであるので、平面基板の進行方向と逆方向のエアにより、先端部が大きく浮上しエア浮上ユニットの間隙で次のエア浮上ユニットに接触することがない。また、ノズルのエア消費量が増加することもない。
【００１４】
また、本発明では、前記浮上量を大きくする機構は、エア浮上ユニットの下流端から中央に向かってエアを噴出するノズルであるので、平面基板の先端近傍におけるエアの排出が妨げられ、滞留するエア量が増して平面基板の浮上量が増す。しかも、ノズルからのエア消費量が増加することもない。また、前記浮上量を大きくする機構は、エア浮上ユニットの下流端近傍に設けられた別体の噴出ノズルであるので、エア浮上ユニット自体の構造を変えることなく、平面基板の撓みや、エア浮上ユニットの高さズレによって平面基板とエア浮上ユニットとが干渉して損傷するのを防止できる。さらに、エア浮上ユニットの浮上力に差を持たせることにより、フレキシブルな素材からなる被搬送物の場合に、これを所望の形状に変形させながら搬送あるいは支持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
平面基板の搬送方向の先端に位置するエア浮上ユニットの下流端近傍に、平面基板の浮上量を大きくする機構を設けたので、平面基板の撓みや、エア浮上ユニットの高さ位置ズレによって平面基板とエア浮上ユニットとが干渉して損傷するのを防止するという目的が達成できる。
【実施例】
【００１６】
以下、一実施の形態を示す図面に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、本発明に係るエア浮上搬送装置の第１の実施の形態を示す説明図である。ここで、エア浮上搬送装置は、平面基板１０の下方に配置されたエア浮上ユニット１１からエアを噴出して平面基板１０を浮上させつつ、図外の送り機構によって前方へ移送するものであって、平面基板１０の搬送方向Ａの先端に位置するエア浮上ユニット１１の下流端近傍１１ａに平面基板１０の浮上量を大きくする機構である平面基板１０の搬送方向Ａと逆方向の流れ成分を有する傾斜ノズル１２を設けたものである。
【００１７】
本実施の形態において、エア浮上ユニット１１は上に向かって開口した複数の垂直ノズル１３を有している。垂直ノズル１３へは、エア供給管１４から一括してエアが供給される。また、エア浮上ユニット１１の下流端近傍１１ａに設けられた傾斜ノズル１２にも同様に１４からエアが供給される。傾斜ノズル１２は、エア浮上ユニット１１の下流端から中央部に向かってエアを噴出させるものである。
【００１８】
次に、以上のように構成されたエア浮上搬送装置の動作とともに、搬送方法について説明する。先ず、図１に示すようにエア浮上ユニット１１の下流端に傾斜ノズル１２を設けたので、平面基板１０の搬送方向Ａへのエアの流れが阻止されるとともに、逆向きのエア流によって、この付近で滞留するエア量が増し、平面基板１０の先端が上にＬだけ持ち上げられる。このため、平面基板１０の剛性が小さく撓みが生じたり、エア浮上ユニット１１の高さ調整が不十分であっても、平面基板１０がエア浮上ユニットの隙間を乗り移る際にエア浮上ユニット１１と接触して、破損したりする虞がない。また、傾斜ノズル１２からのエア噴出量は、垂直ノズル１３からのエア噴出量と同じであるので、装置全体のエア消費量の増加を招くこともない。
【００１９】
また、図２は本発明のエア浮上搬送装置の第２の実施の形態を示す説明図である。この実施の形態において、図２に示すように平面基板１０の浮上量を大きくする機構である別体の噴出ノズル１５がエア浮上ユニット２１の下流に設けられている。噴出ノズル１５は、エア浮上ユニット２１の下流端から中央部に向かってエアを噴出させるものである。
【００２０】
以上のように構成されたエア浮上搬送装置においても、エア浮上ユニット２１の下流端から中央部向かってエアが噴出され、平面基板１０の搬送方向Ａへのエアの流れが阻止されるとともに、逆向きのエア流によって平面基板１０の先端が上にＬだけ持ち上げられる。このため、平面基板１０の剛性が小さく撓みが生じたり、エア浮上ユニット２１の高さ調整が不十分であっても、平面基板１０がエア浮上ユニットの隙間を乗り移る際にエア浮上ユニット２１と接触して、破損したりする虞がない。また、噴出ノズル１５からのエア噴出量は、垂直ノズル１３からのエア噴出量とほぼ同じであるので、エア消費量の増加を招くこともない。更に、噴出ノズル１５は別体に設けられているので、自由に噴出方向および噴出量を調整することができる。
【００２１】
図３は、本発明のエア浮上搬送装置の第３の実施の形態を示す説明図である。この実施の形態において、浮上量を大きくする機構は、エア浮上ユニット３１の下流端近傍に設けた、エア噴出量の大きなノズル３０である。ノズル３０は、エア浮上ユニット３１に配置されたエア供給管３２に連通しており、垂直にエアを噴出する。また、垂直ノズル１３もエア供給管３２にそれぞれ連通している。なお、エア噴出量の大きなノズル３０の替わりに、垂直ノズル１３の配置密度を増して、噴出エア量を増してもよい。
【００２２】
次に、以上のように構成されたエア浮上搬送装置は、エア浮上ユニット３１の下流端で噴出エア量が増えるので、平面基板１０の先端が上にＬだけ持ち上げられる。このため、平面基板１０の剛性が小さく撓みが生じたり、エア浮上ユニット２１の高さ調整が不十分であっても、平面基板１０がエア浮上ユニットの隙間を乗り移る際にエア浮上ユニット２１と接触して、破損したりする虞がない。
また、エア浮上ユニット全体のエア噴出量を増して、平面基板１０の浮上量を全体に大きくする方法に比べて、エア消費量を少なくすることができる。
尚、本発明の第２の実施の形態において、別体の噴出ノズル１５は垂直にエアを噴出する噴出エア量の大きなノイズであってもよい。
【００２３】
図７は、本発明の第４の実施形態を示すものである。
この第４実施形態では、平面基板１０の周囲の４方向にそれぞれエア浮上ユニット３１を設け、これらのエア浮上ユニット３１から平面基板１０の下面の外側から内側へ向かってエアを噴出させるようにしたものである。
この第４実施形態にあっても、噴出されるエアによって平面基板１０を浮上させることができる。
なお、上記各実施形態において、複数のエア浮上ユニットのエアの浮上力（エアの風量および／または圧力）に強弱を付けることにより、例えばフレキシブルな素材で形成された被搬送物を所定の形状に撓ませた状態で搬送することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明に係るエア浮上搬送装置の第１の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図２は、同エア浮上搬送装置の第２の実施の形態を示す斜視図である。
【図３】図３は、同エア浮上搬送装置の第３の実施の形態を示す斜視図である。
【図４】図４は、従来のエア浮上搬送装置で剛性の小さい平面基板を搬送した場合を示す説明図である。
【図５】図５は、従来のエア浮上搬送装置で高さ調整が不十分な場合を示す説明図である。
【図６】図６は、従来のエア浮上搬送装置において全ノズルからのエア吐出量を増加した場合を示す説明図である。
【図７】図７は、本発明に係るエア浮上搬送装置の第４の実施形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２５】
１０      エア浮上搬送装置
１１、２１、３１  エア浮上ユニット
１１ａ    下流端近傍
１２      傾斜ノズル
１３      垂直ノズル
１４、３２  エア供給管
１５      噴出ノズル
３０      ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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