(57)【要約】【課題】  製造コストの低減を図りつつ、摺動性を向上し、耐焼き付き性能を増大すること。【解決手段】  テーブル２の案内面（空気軸受面）に、軸受隙間より小さくなるように配置してあるタッチダウンすべり軸受１０（摺動部材）が着脱自在に設けてある。タッチダウンすべり軸受１０は、例えば、摺動性の優れたグラファイト材から形成してある。このタッチダウンすべり軸受１０は、テーブル２の案内面で、進行方向の前側・後側と、幅方向の外側とに配置してある。タッチダウンすべり軸受１０の突出量は、軸受隙間より小さく、数μｍであるが、空気軸受の剛性と負荷容量との兼ね合い、又は、用途によって設定する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドレールと、
当該ガイドレールに摺動自在に嵌合したテーブルと、
当該テーブルの案内面と前記ガイドレールの案内面との間に、軸受隙間を形成して、当該軸受隙間に圧縮気体を供給し、その気体潤滑膜によって前記テーブルを非接触状態に保持する空気軸受部と、を備えた静圧空気軸受直線案内に於いて、
前記テーブルの案内面に、軸受隙間より小さくなるように配置してある摺動部材を具備することを特徴とする静圧空気軸受直線案内。
【請求項２】
前記摺動部材は、グラファイト材を使用してあることを特徴とする請求項１に記載の静圧空気軸受直線案内。
【請求項３】
前記摺動部材は、前記ガイドレールに対して、着脱可能に構成してあることを特徴とする請求項２に記載の静圧空気軸受直線案内。
【請求項４】
前記摺動部材は、前記テーブルの案内面で、進行方向の前側・後側に配置してあることを特徴とする請求項３に記載の静圧空気軸受直線案内。
【請求項５】
前記摺動部材は、前記テーブルの案内面で、幅方向の外側に配置してあることを特徴とする請求項３に記載の静圧空気軸受直線案内。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の精密テーブルを、静圧空気軸受を用いて支持し、そのテーブルをガイドレールに対して非接触の状態で移動することができる静圧空気軸受直線案内に関する。
【背景技術】
【０００２】
静圧空気軸受直線案内に於いては、真直な四角柱状のガイドレールの外側にコの字形のテーブルを嵌合し、そのテーブルの案内面とガイドレールの案内面との間に軸受隙間を形成し、空気軸受部によって、この軸受隙間に圧縮気体を供給して、その気体潤滑膜によって、テーブルを非接触の状態に保持するようになっている。この軸受隙間は、全体にわたって均一に保持する必要がある。
【０００３】
従来の静圧空気軸受直線案内には、特にタッチダウン軸受が設けられておらず、その結果、かじりが発生するといったことがあり、焼き付きにくいセラミックス材を用いるなどの手段が一般的である。
【特許文献１】実公平６−４７１３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、静圧空気軸受直線案内を、長尺且つ低コストで製造する場合、耐焼付き性の点で優れていても、製造コストの観点から、高価なセラミックス材を用いる事が困難である。このような場合には、ステンレスやアルミ合金を用いるが、万一、空気軸受部の接触が発生した際、焼き付が発生するといったことがある。
【０００５】
本発明は、上述したような事情に鑑みてなされたものであって、製造コストの低減を図りつつ、摺動性を向上し、耐焼き付き性能を増大することができる、静圧空気軸受直線案内を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明の請求項１に係る静圧空気軸受直線案内は、ガイドレールと、
当該ガイドレールに摺動自在に嵌合したテーブルと、
当該テーブルの案内面と前記ガイドレールの案内面との間に、軸受隙間を形成して、当該軸受隙間に圧縮気体を供給し、その気体潤滑膜によって前記テーブルを非接触状態に保持する空気軸受部と、を備えた静圧空気軸受直線案内に於いて、
前記テーブルの案内面に、軸受隙間より小さくなるように配置してある摺動部材を具備することを特徴とする。
【０００７】
本発明の請求項２に係る静圧空気軸受直線案内は、前記摺動部材は、グラファイト材を使用してあることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項３に係る静圧空気軸受直線案内は、前記摺動部材は、前記ガイドレールに対して、着脱可能に構成してあることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項４に係る静圧空気軸受直線案内は、前記摺動部材は、前記テーブルの案内面で、進行方向の前側・後側に配置してあることを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項５に係る静圧空気軸受直線案内は、前記摺動部材は、前記テーブルの案内面で、幅方向の外側に配置してあることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、テーブルの案内面に、軸受隙間より小さくなるように配置してある摺動部材を具備することから、製造コストの低減を図りつつ、摺動性を向上し、耐焼き付き性能を増大することができる。
【００１２】
すなわち、タッチダウンすべり軸受を設けることにより、高価なセラミック素材を用いることなく、通常のＳＵＳ素材でも、空気軸受部がかじることがなくなった。万一、空気軸受部に接触が発生しそうになった場合でも、摺動性の良いすタッチダウンすべり軸受で接触するため、耐焼付き性が向上する。その結果、例えば、装置の修理復旧が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態に係る静圧空気軸受直線案内を図面を参照しつつ説明する。
【００１４】
図１は、本発明の実施の形態に係る静圧空気軸受直線案内の正面図である。
【００１５】
図２は、図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【００１６】
図３は、図２の矢印Ｂの矢視図である。
【００１７】
図４（ａ）は、タッチダウンすべり軸受の正面図であり、（ｂ）は、その側面図であり、（ｃ）は、その底面図である。
【００１８】
図１、図２、及び図３に示すように、ガイドレール１は、真直で四角柱状をなし、その上側および両側が案内面となっている。
【００１９】
ガイドレール１には、断面略コ字状のテーブル２が摺動自在に嵌合してあり、テーブル２の底面の案内面と両側面の案内面には、夫々、空気軸受部としての複数の空気軸受パッド３が整列して組込んである。
【００２０】
これら複数の空気軸受パッド３によって、テーブル２の案内面とガイドレール１の案内面との間に、軸受隙間を形成して、この軸受隙間に圧縮気体を供給し、その気体潤滑膜によって、テーブル２を非接触状態に保持するようになっている。
【００２１】
さて、本実施の形態では、テーブル２の案内面（空気軸受面）に、軸受隙間より小さくなるように配置してあるタッチダウンすべり軸受１０（摺動部材）が着脱自在に設けてある。
【００２２】
図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、タッチダウンすべり軸受１０は、例えば、摺動性の優れたグラファイト材から形成してある。但し、相手部材（ガイドレール１）に対して摺動性が良ければ、グラファイト材に限定するものではない。
【００２３】
このタッチダウンすべり軸受１０は、テーブル２の案内面で、進行方向の前側・後側と、幅方向の外側とに配置してある。
【００２４】
このタッチダウンすべり軸受１０は、鉄等の金属製の間座１１を介してテーブル２に装着してあり、その両端部がネジ１２，１２により、テーブル２に着脱自在に固定してある。
【００２５】
これは、グラファイト材は、加工が困難であるため、寸法調整用の金属製の間座１１を介して、ネジ１２により固定している。
【００２６】
また、タッチダウンすべり軸受１０の突出量は、図４（ｂ）に示すように、軸受隙間より小さく、数μｍであるが、空気軸受の剛性と負荷容量との兼ね合い、又は、用途によって設定する。軸受隙間(浮上量)の５０％程度が目安である。実使用時に、接触しない様にするためである。
【００２７】
以上から、本実施の形態によれば、テーブル２の案内面に、軸受隙間より小さくなるように、タッチダウンすべり軸受１０が配置してあることから、製造コストの低減を図りつつ、摺動性を向上し、耐焼き付き性能を増大することができる。
【００２８】
すなわち、タッチダウンすべり軸受１０を設けることにより、高価なセラミック素材を用いることなく、通常のＳＵＳ素材でも、空気軸受パッド３がかじることがなくなった。万一、空気軸受パッド３に接触が発生しそうになった場合でも、摺動性の良いすタッチダウンすべり軸受１０で接触するため、耐焼付き性が向上する。その結果、例えば、装置の修理復旧が容易になる。
【００２９】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されず、種々変形可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施の形態に係る静圧空気軸受直線案内の正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図３】図２の矢印Ｂの矢視図である。
【図４】（ａ）は、タッチダウンすべり軸受の正面図であり、（ｂ）は、その側面図であり、（ｃ）は、その底面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  ガイドレール
２  テーブル
３  空気軸受パッド（空気軸受部）
１０  タッチダウンすべり軸受（摺動部材）
１１  間座
１２  ネジ
【図１】
2006266456.tif 000003
【図２】
2006266456.tif 000004
【図３】
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【図４】
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