(57)【要約】    【課題】  プローバのメンテナンスをする際の作業性を向上させることができる検査装置を提供する。    【解決手段】  撮像素子５を搬送し、所定位置に位置決めするためのプローバ２０と、プローバ２０の上部開口２２を開閉するヘッドプレート２１と、プローバ２０内部の撮像素子５に光学アダプタ１１等を介して光を照射する照明装置１０と、光学アダプタ１１等をを光軸上に選択配置可能に保持するＦ値アダプタ変換機構部１２とを備えている検査装置において、Ｆ値アダプタ変換機構部１２をヘッドプレート２１に設置されたＦ値アダプタ変換機構保持部１５に保持させた。【選択図】  図２
2006128155.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を搬送し、位置決めするためのプローバと、
前記プローバの上部開口を開閉するヘッドプレートと、
前記ヘッドプレートの上方に配置され、前記プローバ内部の前記被検査体に光学部材を介して光を照射する照明装置と、
前記ヘッドプレートに装着され、前記各々の光学部材を光軸上に選択配置可能に保持する保持機構とを備えていることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラに使用されるＣＣＤのような撮像素子の検査では、リソグラフィ工程により撮像素子をウエハ基板上に実装した後、ウエハ基板を複数のチップに分離する前に、その性能を検査する。この種検査装置としては、例えば特開２００２−２６１１４１号公報に記載されたものが知られている。
【０００３】
このような撮像素子検査装置の一例を図３に示す。
【０００４】
図３は従来の検査装置の断面を示す概念図である。
【０００５】
この検査装置は照明装置１１０とプローバ１２０とテスタ１３０とからなる。
【０００６】
照明装置１１０はプローバ１２０の上方に配置されている。照明装置１１０には被検査体である撮像素子１０５を照明する光源１１０Ａ、ミラー１１０Ｂ等が収納されている。
【０００７】
プローバ１２０内の所定位置に保持された撮像素子１０５に給電し、光を照射すると撮像素子１０５の各画素から信号が出力される。
【０００８】
プローバ１２０の上部開口１２２を開閉するヘッドプレート１２１には光を撮像素子１０５に照射するための開口部１２３が設けられている。
【０００９】
プローバ１２０内にはテスタ基板１３１、プローブカード１４０、ステージ１０６が配置されている。
【００１０】
３次元方向に駆動可能なステージ１０６にはウエハホルダ１０７を介して撮像素子１０５が載せられる。
【００１１】
撮像素子１０５は、給電用、信号用端子部（図示せず）を有する。
【００１２】
プローブカード１４０は撮像素子１０５の端子部と接触するプローブピン１４１を有する。
【００１３】
テスタ基板１３１にはプローブカード１４０が接続されている。
【００１４】
テスタ基板１３１はケーブル１３２を介してテスタ１３０に接続されている。
【００１５】
テスタ１３０は検査装置全体の制御を行うとともに、撮像素子１０５の評価を行う。
【００１６】
ところで、被検査体である撮像素子１０５の種類は様々であり、その入射瞳距離や照射領域、Ｆ値等は種類毎にまちまちである。そのため、撮像に使用する光束を撮像素子１０５に合わせて変える必要がある。
【００１７】
しかし、照明装置１１０の光学系を撮像素子１０５の種類毎に調整するのは煩雑であるので、従来、照明装置１１０から出た光束を、拡散板や絞りで構成される光学アダプタ１１１を用いて変換する方式が採用されている。
【００１８】
照明装置１１０には、Ｆ値を変更するための光学アダプタ１１１を保持するＦ値アダプタ変換機構部１１２が取り付けられている。なお、一度に複数の撮像素子を検査できるように光学アダプタ１１１が複数取り付けられる場合、光が互いに干渉しないように、光学アダプタ１１１間に遮光板を設けたり、各光学アダプタ１１１に絞りを設けたりする。また、Ｆ値アダプタ変換機構部１１２は照明装置１１０に設けられた駆動部（図示せず）によって矢印ａ（図４参照）に示すように上下方向へ移動できる。
【００１９】
また、近年、デジタルカメラの小型化にともない、撮像素子１０５の入射瞳位置が撮像素子１０５の受光面に近くなる傾向にあり、光学アダプタ１１１の先端部と撮像素子１０５との距離が短くなった。そのため、光学アダプタ１１１はプローバ１２０の上面よりも下方に位置することになる。
【００２０】
図４は検査状態を示す検査装置の概念図である。
【００２１】
図４では人間Ｍが操作部を操作して撮像素子１０５の検査が行われている。
【００２２】
撮像素子１０５はウエハの状態のままウエハホルダ１０７（図３参照）に載せられて検査される。ウエハホルダ１０７はステージ１０６（図３参照）に載せられて、検査位置まで搬送される。ステージ１０６は、検査される撮像素子１０５が光学系の照明領域に入るように、３次元方向に移動できる。
【００２３】
撮像素子１０５に給電し、その撮像素子１０５から信号を取り出して、テスタ１３０へ出力する。テスタ１３０は撮像素子１０５の評価を行う。
【特許文献１】特開２００２−２６１１４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
しかし、この検査装置のメンテナンスを行うときには以下のような問題がある。
【００２５】
図５はメンテナンス状態を示す検査装置の概念図である。
【００２６】
メンテナンスを行うにはヘッドプレート１２１を２点鎖線で示すように開ける必要がある。
【００２７】
ヘッドプレート１２１を開けるには照明装置１１０をヘッドプレート１２１よりも後方へ移動させる必要がある（図５参照）。
【００２８】
しかし、光学アダプタ１１１はプローバ１２０の上面よりも下方に位置しているので、そのまま照明装置１１０をヘッドプレート１２１よりも後方へ移動させると、プローバ１２０と機械的に干渉する。
【００２９】
したがって、照明装置１１０の移動に先立ち、光学アダプタ１１１をプローバ１２０の上面よりも上方へ移動させ、その後、照明装置１１０をヘッドプレート１２１よりも後方へ退避させなければならず、作業性が悪い。
【００３０】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、プローバのメンテナンスをする際の作業性を向上させることができる検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、被検査体を搬送し、位置決めするためのプローバと、前記プローバの上部開口を開閉するヘッドプレートと、前記ヘッドプレートの上方に配置され、前記プローバ内部の前記被検査体に光学部材を介して光を照射する照明装置と、前記ヘッドプレートに装着され、前記各々の光学部材を光軸上に選択配置可能に保持する保持機構とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３２】
この発明の検査装置によれば、プローバのメンテナンスをする際の作業性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３４】
図１はこの発明の一実施形態に係る検査装置の検査状態を示す検査装置の概念図である。
【００３５】
この検査装置は照明装置１０とプローバ２０とテスタ３０とからなる。
【００３６】
照明装置１０はプローバ２０の上方に配置され、前後方向（図１の左右方向）へ移動可能である。照明装置１０は被検査体（ターゲット）である例えばＣＣＤ等の撮像素子５を照明する。
【００３７】
照明装置１０の一部を構成する光学アダプタ（光学部材）１１を光軸上に保持するＦ値アダプタ変換機構部（保持機構）１２がＦ値アダプタ変換機構保持部１５を介してヘッドプレート２１に取り付けられている。
【００３８】
Ｆ値アダプタ変換機構部１２はネジ（図示せず）を用いてＦ値アダプタ変換機構保持部１５に固定されている。
【００３９】
Ｆ値アダプタ変換機構保持部１５は、タップネジ（図示せず）を用いて、プローバ２０の上部開口２２を開閉するヘッドプレート２１に、固定されている。また、ヘッドプレート２１には照明光を撮像素子５に導くための開口部２５が設けられている。
【００４０】
なお、図示しないが、Ｆ値アダプタ変換機構部１２は瞳距離を変えるための上下移動機構と光学アダプタ１２を交換するための水平移動機構とを備えている。
【００４１】
光学アダプタ１１、Ｆ値アダプタ変換機構部１２の一部はプローバ２０の上面より下方へ入り込んでいる。
【００４２】
プローバ２０内の所定位置に保持された撮像素子５に給電し、光を照射すると撮像素子５の各画素から信号が出力される。
【００４３】
テスタ３０は検査装置全体の制御を行うとともに、撮像素子５の評価を行う。
【００４４】
プローバ２０内には図示しないテスタ基板、プローブカード、ステージが配置されている（図３参照）。
【００４５】
撮像素子５は、給電用、信号用の端子部（図示せず）を有している。
【００４６】
撮像素子５に給電し、その撮像素子５からの信号をテスタ３０へ出力して、テスタ３０で撮像素子５の評価を行う。
【００４７】
図２はこの発明の一実施形態に係る検査装置のメンテナンス状態を示す検査装置の概念図である。
【００４８】
プローバ２０のメンテナンスは以下のように行われれる。
【００４９】
まず、照明装置１０を後方へ移動させる。上述したように、Ｆ値アダプタ変換機構部１２はＦ値アダプタ変換機構保持部１５を介してヘッドプレート２１に取り付けられているので、照明装置１０の移動に先立ち、Ｆ値アダプタ変換機構部１２を上方へ移動させる作業は不要である。
【００５０】
照明装置１０の移動後、ヘッドプレート２１を開け、メンテナンス作業に着手する。
【００５１】
この実施形態によれば、プローバ２０のメンテナンスをする際にＦ値アダプタ変換機構部１２を上方へ移動させる作業を省略できるので、プローバ２０のメンテナンスの際の作業性を向上させることができる。
【００５２】
なお、Ｆ値アダプタ変換機構保持部１５に３次元方向へ動かすことができる微調整機構を追加することによって手元で微調整を行うことができ、作業性を更に向上させることができる。
【００５３】
なお、図１ではＦ値アダプタ変換機構保持部１５をヘッドプレート２１の上面に固定したが、ヘッドプレート２１の下面又は開口部２５の内周面に固定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】図１はこの発明の一実施形態に係る検査装置の検査状態を示す検査装置の概念図である。
【図２】図２はこの発明の一実施形態に係る検査装置のメンテナンス状態を示す検査装置の概念図である。
【図３】図３は従来の検査装置の断面を示す概念図である。
【図４】図４は検査状態を示す検査装置の概念図である。
【図５】図５はメンテナンス状態を示す検査装置の概念図である。
【符号の説明】
【００５５】
５  撮像素子（被検査体）
１０  照明装置
１１  光学アダプタ（光学部材）
１２  Ｆ値アダプタ変換機構部（保持機構）
２０  プローバ
２１  ヘッドプレート
２２  上部開口
【図１】
2006128155.tif 000003
【図２】
2006128155.tif 000004
【図３】
2006128155.tif 000005
【図４】
2006128155.tif 000006
【図５】
2006128155.tif 000007