(57)【要約】【課題】  回転支持部側への高周波漏れを大幅に低減して回転支持部側での放電や材質劣化を回避でき、小型化しても大電力高周波を伝送可能である高周波伝送用ロータリージョイントを提供する。【解決手段】  端面が一定の隙間１５を隔てて直列に接続され、同心の軸心を中心に相対的に回転可能であり、内部に高周波伝送用の中空の導波路を有する１対の導波管１２、１４と、導波管の外部に設けられその相対的回転を支持し、かつ導波管内に封入したガスが隙間から漏れるのを防止する回転支持部２０とを備えた高周波伝送用ロータリージョイントであって、隙間１５から回転支持部まで内部空間が連通するチョーク構造部４０を有する。このチョーク構造部は、隙間１５に一端が連通し高周波の侵入を低減するチョーク空洞４１と、チョーク空洞内に形成される磁場が弱い位置に一端４６ａが連通し、他端が回転支持部まで連通するシール空洞４６とからなる。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面が一定の隙間を隔てて直列に接続され、同心の軸心を中心に相対的に回転可能であり、内部に高周波伝送用の中空の導波路を有する１対の導波管と、
前記導波管の外部に設けられ前記相対的回転を支持し、かつ前記隙間を気密にシールする回転支持部と、を備えた高周波伝送用ロータリージョイントであって、
前記隙間から回転支持部まで内部空間が連通するチョーク構造部を有し、該チョーク構造部は、
前記隙間に一端が連通し前記高周波の侵入を低減するチョーク空洞と、
該チョーク空洞内に形成される磁場が最も弱い位置に一端が連通し、他端が回転支持部まで連通するシール空洞とからなる、ことを特徴とする高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項２】
端面が一定の隙間を隔てて直列に接続され、同心の軸心を中心に相対的に回転可能であり、内部に高周波伝送用の中空の導波路を有する１対の導波管と、
前記導波管の外部に設けられ前記相対的回転を支持し、かつ前記隙間を気密にシールする回転支持部と、を備えた高周波伝送用ロータリージョイントであって、
前記隙間から回転支持部まで内部空間が連通するチョーク構造部を有し、該チョーク構造部は、
前記隙間に一端が連通し前記高周波の侵入を低減するチョーク空洞と、
該チョーク空洞内に一端が連通し他端が回転支持部まで連通するシール空洞と、
該シール空洞内に位置し、前記１対の導波管間を電気的に導通させるＲＦコンタクトとからなる、ことを特徴とする高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項３】
前記チョーク空洞は、前記隙間に一端が連通し、導波管の軸方向に延び、他端が前記隙間から前記高周波の１／４波長にほぼ相当する位置に位置する中空円筒形の第１空洞と、
該第１空洞の他端と一端が連通し、第１空洞の外側に円筒形の隔壁を隔てて軸方向に延び、他端が閉じた中空円筒形の第２空洞とからなる、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項４】
前記シール空洞の一端は、第１隙間と第２隙間の連通部に形成される磁場が最も弱い位置又はその近傍に位置する、ことを特徴とする請求項３に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項５】
前記導波管間の隙間は、導波管内に形成される電場が最も弱い位置又はその近傍に位置する、ことを特徴とする請求項１に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項６】
前記チョーク空洞及びシール空洞は、内部に形成される磁場が放電限界より十分小さくなるように、寸法が設定されている、ことを特徴とする請求項１に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項７】
前記ＲＦコンタクトは、前記１対の導波管に接触し、導波管の軸心を中心とする導電性リング部材である、ことを特徴とする請求項２に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項８】
前記ＲＦコンタクトは、導電性が良く、回転にも支障をきたさない銅製の円形スプリングである、ことを特徴とする請求項２に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項９】
前記導波管内に、加圧されたＳＦ６ガスを封入する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項１０】
前記導波管内を、真空状態に減圧する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【請求項１１】
前記高周波は、周波数２ＧＨｚ以上の大電力のマイクロ波である、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の高周波伝送用ロータリージョイント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放射線治療装置等に用いる高周波伝送用ロータリージョイントに関する。
【背景技術】
【０００２】
マグネトロンやクライストロンで発生したマイクロ波を用いた放射線治療装置として、例えば［特許文献１］が開示されている。また、本発明の関連する高気圧気体中の放電に関しては、［非特許文献１］に記載されている。
【０００３】
［特許文献１］の放射線治療装置は、図９に示すように、電子銃、線形加速器及びターゲットを有する照射ヘッド５１と、この照射ヘッドを予め定めた球面座標上で支持しかつ移動させる支持移動機構５２と、床に設置されるマイクロ波発振器５３と、一端部がマイクロ波発振器に電磁気的に接続され他端部が線形加速器に電磁気的に接続される導波管部５４と、照射ヘッド内に位置する導波管部に設けられるＲＦ窓とを具備するものである。
【０００４】
またこのような放射線治療装置において、各導波管部５４は金属製の中空管であることから、複数の導波管部を回転可能にかつ電磁気的に接続するために、ロータリージョイントが用いられる。
このロータリージョイント（特許文献１におけるロータリＲＦカプラ）は、図１０に示すように、導波管５４の導波路はロータリージョイント５６の回転部材に取り囲まれた回転スペース５７ａ，５７ｂに連通し、この中を管内モード２ａ（２ｂ）でマイクロ波が導かれるようになっている。
なお、この図において、５８は軸受を示し、５９はλ／４波長チョークを示す。このようなロータリージョイント５６と導波管部５４との組み合わせにより、床等に固定されたクライストロン等の加速マイクロ波源から移動する照射ヘッドへ加速用のマイクロ波を円滑に供給することができる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１７５１１７号公報、「放射線治療装置」
【０００６】
【非特許文献１】放電ハンドブック、電気学会、オーム社、Ｐ１９７-２０５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した高周波伝播用ロータリージョイントでは、回転支持部へ高周波が漏れることによるベアリング部等での放電やシール材等の材質劣化を防ぐ必要がある。そのため、従来の高周波伝播用ロータリージョイントでは上述したλ／４波長チョーク５９のようなチョーク構造を採用し、回転支持部側への高周波漏れを低減している。
しかし、近年の高周波機器における技術動向は大電力で小型の方向に向かっており、大電力高周波を伝送可能な機器が望まれている。このような大電力を伝送するようなロータリージョイントの場合には、上述したような一般的なチョーク構造では、回転支持部側への高周波漏れを低減しきれないため、小型化すると放電や材質劣化などを引き起こすおそれがあった。
【０００８】
本発明はかかる問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、回転支持部側への高周波漏れを大幅に低減して回転支持部側での放電や材質劣化を回避でき、小型化しても大電力高周波を伝送可能である高周波伝送用ロータリージョイントを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の発明If necessary please amend cliams roperty of the three-dimentional objwct.によれば、端面が一定の隙間を隔てて直列に接続され、同心の軸心を中心に相対的に回転可能であり、内部に高周波伝送用の中空の導波路を有する１対の導波管と、
前記導波管の外部に設けられ前記相対的回転を支持し、かつ前記隙間を気密にシールする回転支持部と、を備えた高周波伝送用ロータリージョイントであって、
前記隙間から回転支持部まで内部空間が連通するチョーク構造部を有し、該チョーク構造部は、
前記隙間に一端が連通し前記高周波の侵入を低減するチョーク空洞と、
該チョーク空洞内に形成される磁場が最も弱い位置に一端が連通し、他端が回転支持部まで連通するシール空洞とからなる、ことを特徴とする高周波伝送用ロータリージョイントが提供される。
【００１０】
また本発明の第２の発明If necessary please amend cliams roperty of the three-dimentional objwct.によれば、端面が一定の隙間を隔てて直列に接続され、同心の軸心を中心に相対的に回転可能であり、内部に高周波伝送用の中空の導波路を有する１対の導波管と、
前記導波管の外部に設けられ前記相対的回転を支持し、かつ前記隙間を気密にシールする回転支持部と、を備えた高周波伝送用ロータリージョイントであって、
前記隙間から回転支持部まで内部空間が連通するチョーク構造部を有し、該チョーク構造部は、
前記隙間に一端が連通し前記高周波の侵入を低減するチョーク空洞と、
該チョーク空洞内に一端が連通し他端が回転支持部まで連通するシール空洞と、
該シール空洞内に位置し、前記１対の導波管間を電気的に導通させるＲＦコンタクトとからなる、ことを特徴とする高周波伝送用ロータリージョイントが提供される。
【００１１】
本発明の好ましい実施形態によれば、前記チョーク空洞は、前記隙間に一端が連通し、導波管の軸方向に延び、他端が前記隙間から前記高周波の１／４波長にほぼ相当する位置に位置する中空円筒形の第１空洞と、
該第１空洞の他端と一端が連通し、第１空洞の外側に円筒形の隔壁を隔てて軸方向に延び、他端が閉じた中空円筒形の第２空洞とからなる。
【００１２】
第１の発明の好ましい実施形態によれば、前記シール空洞の一端は、第１隙間と第２隙間の連通部に形成される磁場が最も弱い位置又はその近傍に位置する。
【００１３】
前記導波管間の隙間は、導波管内に形成される電場が最も弱い位置又はその近傍に位置する。
【００１４】
前記チョーク空洞及びシール空洞は、内部に形成される磁場が放電限界より十分小さくなるように、寸法が設定されている。
【００１５】
また第２の発明の好ましい実施形態によれば、前記ＲＦコンタクトは、前記１対の導波管に接触し、導波管の軸心を中心とする導電性リング部材である。
前記ＲＦコンタクトは、導電性が良く、回転にも支障をきたさない銅製の円形スプリングである。
【００１６】
導波管内に、加圧されたＳＦ６ガスを封入するのが好ましい。また前記導波管内を、真空状態に減圧してもよい。
【００１７】
また、前記高周波は、周波数２ＧＨｚ以上の大電力のマイクロ波である。
【発明の効果】
【００１８】
第１の発明If necessary please amend cliams roperty of the three-dimentional objwct.によれば、高周波伝送用ロータリージョイントのチョーク構造部における高周波漏れは、回転支持部まで連通する内部空間（シール空洞）内に電磁波が誘導されることが原因で引き起こされる。この誘導される電磁波はシール空洞の先端位置での磁場の強さにより、シール空洞へと誘導される。従って、チョーク空洞内に形成される磁場が最も弱い位置にシール空洞の先端を配置することにより、回転支持部への電磁波の誘導を激減させることができる。
【００１９】
ロータリージョイント内部の電磁場解析を行うことで、チョーク構造内部の磁場が０の位置を特定することが可能である。従って、磁場が０の位置（電界が集中している位置）に回転支持部に連通するシール空洞の先端を位置決めすることにより、シール空洞内への電磁波の誘導を抑止することができ、伝送している高周波の回転支持部側への漏れを激減することが可能となり、大電力の高周波を伝送するような場合においても、高周波漏れによる回転支持部側での放電や材質劣化などを回避することが可能となる。
【００２０】
また第２の発明If necessary please amend cliams roperty of the three-dimentional objwct.によれば、シール空洞内に導波管間を電気的に導通させるＲＦコンタクトを設けることにより、ＲＦコンタクトによりその部分の電場の発生を抑制し、ＲＦコンタクトより奥への電磁場誘導を抑止することができる。
【００２１】
そこで、導電性が良く、回転にも支障をきたさない銅製の円形スプリングなどをＲＦコンタクトとしてシール空洞中に設け、シール部や軸受部への高周波漏れを低減させることにより、放電や材質劣化といった問題の解決を可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００２３】
図１は、非特許文献１に開示された隙間と交流放電電圧との関係図である。この図は、高気圧ＳＦ６中における放電特性を示している。ＳＦ６（６フッ化硫黄）は、電子を付着して負イオンになりやすい負性気体の１つであり、ガス絶縁方式の絶縁媒体として特に適している。また、大気絶縁と比較して高絶縁耐力を有するために機器の小型化ができる特徴を有する。
しかし、図１からわかるように、ＳＦ６ガスの絶縁耐力（交流放電電圧）は、大気圧よりも加圧するほど高まる。そのため、絶縁媒体としては加圧されたＳＦ６ガスを用いることが好ましい。この交流放電電圧は、例えば２ａｔｍ以上の加圧下では、隙間にほぼ比例して増大する。従って、隙間が小さいほど低い電圧で放電が起こることがわかる。
２ａｔｍのＳＦ６ガス中における放電限界電圧は、電界形式や印加電圧形態により変動するが、約１４ＭＶ／ｍである。従って、変動幅と安全係数を考慮して１０ＭＶ／ｍ以下であれば放電を回避できるといえる。
【００２４】
図２は、従来のロータリージョイントの模式的断面図である。この図に示すように、従来のロータリージョイント１は、１対の導波管１２、１４、回転支持部２０及びチョーク構造部３０を備える。
１対の導波管１２、１４は、端面１２ａ、１４ａが一定の隙間１５を隔てて直列に接続され、同心の軸心Ｚ-Ｚを中心に相対的に回転可能であり、内部に高周波伝送用の中空の導波路１２ｂ、１４ｂを有する。
回転支持部２０は、導波管１２、１４の外部に設けられた軸受２２とガスシール２４とからなり、軸受２２で前記相対的回転を支持し、ガスシール２４で隙間を気密にシールする。導波管１２、１４内には、好ましくは加圧されたＳＦ６ガスを封入し、このガスが隙間１５から漏れるのをガスシール２４で防止する。なお導波管内を、真空状態に減圧してもよい。
チョーク構造部３０は、前記隙間３５から回転支持部２０まで内部空間が連通し、高周波の侵入を低減するようになっている。
【００２５】
図３は、図２に示した従来のチョーク構造部の拡大図である。この図は、周波数約１１ＧＨｚの大電力マイクロ波を伝送する場合を示している。なお図中の各寸法は具体例である。
この図に示すように、従来のチョーク構造部３０は、中空円筒形の第１空洞３２及び第２空洞３４と、第２空洞３４から回転支持部２０まで連通するシール空洞３６とからなる。
中空円筒形の第１空洞３２は、隙間３５に一端が連通し、導波管１２、１４の軸方向に延びる。中空円筒形の第２空洞３４は第１空洞３２の他端と一端が連通し、第１空洞３２の外側に円筒形の隔壁３７を隔てて軸方向に延び、他端が閉じている。シール空洞３６は、一端が第２空洞３４の外方端に連通し、図示しない回転支持部２０まで連通している。
【００２６】
図４は、図３に示した従来のチョーク構造部内の電磁場のシミュレーション結果である。ここで曲線は等電位線、丸印は磁場の強さを表しており、円が大きいほど磁場が強い。また磁場の方向は○に×を重ねた記号が紙面に向かう方向、○が紙面から向かってくる方向である。
この図に示すように、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ地点でそれぞれ電場は、１０，  ４．２，  ８．３，  ０．７ＭＶ／ｍとなる。
また、導波管壁面でのエネルギー損失は２７８Ｗ、チョーク構造部でのエネルギー損失は５６Ｗであった。導波管全体の壁損失に比べ、チョーク構造部でのエネルギー損失が約２０％に達し、かつ、チョーク構造部の最大電場は導波管端面の最大電場の約８０％に達している。
従って、図４のシミュレーション結果から、従来のチョーク構造部はエネルギー損失が多く、かつ発生する最大電場が高いことがわかる。
【００２７】
図５は、本発明の第１実施形態のロータリージョイントの断面図である。本発明のロータリージョイントは、マグネトロンやクライストロンで発生した大電力（１０ＭＷ以上）で約１１ＧＨｚの高周波を伝送するために用いる。
この図に示すように、本発明のロータリージョイント１０は、１対の導波管１２、１４、回転支持部２０及びチョーク構造部４０を備える。
１対の導波管１２、１４は、端面１２ａ、１４ａが一定の隙間１５を隔てて直列に接続され、同心の軸心Ｚ-Ｚを中心に相対的に回転可能であり、内部にマグネトロンやクライストロンで発生した高周波を伝送するための中空の導波路１２ｂ、１４ｂを有する。回転支持部２０は、導波管１２、１４の外部に設けられた軸受２２とガスシール２４とからなり、軸受２２で前記相対的回転を支持し、ガスシール２４で隙間を気密にシールする。導波管１２、１４内には、好ましくは加圧されたＳＦ６ガスを封入し、このガスが隙間１５から漏れるのをガスシール２４で防止する。なお導波管内を、真空状態に減圧してもよい。
チョーク構造部４０は、前記隙間３５から回転支持部２０まで内部空間が連通し、高周波の侵入を低減するようになっている。
【００２８】
図６は、図５に示したチョーク構造部の拡大図と電磁場のシミュレーション結果である。なお図中の電場以外の数字は単位ｍｍの寸法である。この例において、チョーク空洞４１及びシール空洞４６は、内部に形成される磁場が放電限界より十分小さくなるように寸法が設定されている。
【００２９】
この図に示すように、本発明において、チョーク構造部４０は、チョーク空洞４１とシール空洞４６とからなる。また導波管１２、１４の隙間１５は、導波管内に形成される電界が最疎で磁場が最大の位置に位置する。
チョーク空洞４１は、隙間１５に一端が連通し高周波の侵入を低減する機能を有する。シール空洞４６は、チョーク空洞４１内に形成される電界が密で磁場が小の位置に一端４６ａが連通し、他端が回転支持部２０まで連通する。
チョーク空洞４１は、中空円筒形の第１空洞４２及び第２空洞４４からなる。中空円筒形の第１空洞４２は、隙間１５に一端４２ａが連通し、導波管１２、１４の軸方向に延び、他端４２ｂが隙間１５から高周波の１／４波長（約６．５ｍｍ）にほぼ相当する位置に位置する。中空円筒形の第２空洞４４は、第１空洞４２の他端４２ｂと一端４４ａが連通し、第１空洞４２の外側に円筒形の隔壁４７を隔てて軸方向に延び、他端４４ｂが閉じている。
シール空洞４６の一端４６ａは、第１隙間４２と第２隙間４４の連通部に形成される電界が最密で磁場が最小の位置に位置する。
【００３０】
図６に示すように、本発明においてチョーク構造部の最大電場は、６．９ＭＶ／ｍであり、導波管内の最大電場に対して約６９％であり、従来の約８０％から大幅に低減されている。また、シール空洞４６の最大電場は約０．０３ＭＶ／ｍであり、従来の０．７ＭＶ／ｍの約１／２０以下となり、導波管内の最大電場に対して約０．３％に大幅に低減されている。
従って、回転支持部２０に入り込む高周波エネルギーは、導波管内を伝送するエネルギーに対して非常に小さい（０．００２％程度）ことがわかる。
【００３１】
図４（従来例）と図６（本発明）を比較するとさらに以下のことがわかる。
従来例では、シール空洞３６の隙間を微小（０．２５ｍｍ）にしても回転支持部側に高周波が漏れていることがわかる。この隙間を更に狭くすることで高周波の漏れ量を減らすことが原理的にはできる。しかし、軸受やシールの精度、加工精度、同心度等の機械的な寸法誤差により、隙間を狭くすると局所放電の要因となる。
一方、本発明では、電場が最も強い位置に、回転支持部２０へと繋がるシール空洞４６を配置しているので、隙間が広くても高周波の漏れ量を減らすことができる。従って、本発明はシール空洞４６の隙間が広く、隙間の大きさに対して漏れ出す高周波の漏れ量が左右されない点で非常に有益な構造となっている。
【００３２】
本発明において隔壁４７の右端（Ｒの部分）は、チョーク空洞４１において最大電場の発生する場所である。実際の機械的精度や周波数変動により、最大電場は上昇する条件もあるため、この部分に発生する電場は極力抑える必要がある。
周波数変動が±５ＭＨｚあると、回転支持部側に漏れる電磁場強度は±１０％変化する。そこで、隔壁４７の右端のＲを大きくすることで、電界分布の状態を緩和することが好ましい。
【００３３】
図７は、本発明の第２実施形態のロータリージョイントの断面図であり、図８は、図６に示したチョーク構造部の拡大図である。この図において、１３ａはシール固定ピース、１３ｂは軸受ナット、１６は軸受固定ピースである。
【００３４】
図８に示すように、本発明において、チョーク構造部４０は、チョーク空洞４１、シール空洞４６及びＲＦコンタクト４８からなる。
チョーク空洞４１は、隙間１５に一端が連通し高周波の侵入を低減する機能を有する。シール空洞４６は、チョーク空洞４１内に一端が連通し、他端が回転支持部２０まで連通する。ＲＦコンタクト４８は、シール空洞４６内に位置し、１対の導波管１２、１４の間を電気的に導通させる機能を有する。
【００３５】
チョーク空洞４１は、中空円筒形の第１空洞４２及び第２空洞４４からなる。中空円筒形の第１空洞４２は、隙間１５に一端が連通し、導波管１２、１４の軸方向に延び、他端が隙間１５から高周波の１／４波長（約６．５ｍｍ）にほぼ相当する位置に位置する。中空円筒形の第２空洞４４は、第１空洞４２の他端と一端が連通し、第１空洞４２の外側に円筒形の隔壁４７を隔てて軸方向に延び、他端が閉じている。
【００３６】
図８の実施例において、ＲＦコンタクト４８は、１対の導波管１２、１４に接触し、導波管の軸心を中心とする導電性リング部材である。この導電性リング部材は、例えば導電性が良く、回転にも支障をきたさない銅製の円形スプリングである。
ＲＦコンタクト４８は、１対の導波管１２、１４が軸心Ｚ-Ｚを中心に相対的に回転可能であり、かつ導波管１２、１４の間を電気的に導通させる限りで、どのような構造でもよく、例えば導電性がありかつ導波管の少なくとも一方とスムースに摺動する金属製Ｏリング又はスリップリングであってもよい。
【００３７】
上述した構成により、導波管１２、１４の間に高周波により発生する電場をＲＦコンタクト４８により、その導通部分において０にすることができる。チョーク構造部における高周波漏れは、回転支持部まで連通する内部空間（シール空洞）内に電磁波が誘導されることが原因で引き起こされるので、シール空洞内に導波管間を電気的に導通させるＲＦコンタクトを設けることにより、ＲＦコンタクトによりその部分の電場の発生を抑制し、ＲＦコンタクトより奥への電磁場誘導を抑止することができる。
【００３８】
なお、本発明は上述した実施例及び実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】非特許文献１に開示された隙間と交流放電電圧との関係図である。
【図２】従来のロータリージョイントの模式的断面図である。
【図３】従来のチョーク構造部の拡大図である。
【図４】従来のチョーク構造部内の電磁場のシミュレーション結果である。
【図５】本発明の第１実施形態のロータリージョイントの断面図である。
【図６】本発明のチョーク構造部の拡大図と電磁場のシミュレーション結果である。
【図７】本発明の第２実施形態のロータリージョイントの断面図である。
【図８】本発明のチョーク構造部の拡大図である。
【図９】特許文献１の「放射線治療装置」の全体模式図である。
【図１０】特許文献１の「ロータリＲＦカプラ」の説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  ロータリージョイント、１２、１４  導波管、
１２ａ、１４ａ  端面、１２ｂ、１４ｂ  導波路、
１５  隙間、２０  回転支持部、２２  軸受、２４  ガスシール、
３０  チョーク構造部、３２  第１空洞、３４  第２空洞、
３６  シール空洞、３７  隔壁、
４０  チョーク構造部、４１  チョーク空洞、４２  第１空洞、
４２ａ  一端、４２ｂ  他端、
４４  第２空洞、４４ａ  一端、４４ｂ  他端、
４６  シール空洞、４６ａ  一端、４７  隔壁、
４８  ＲＦコンタクト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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