(57)【要約】【課題】グリーンシートにペーストをパターン印刷する際の印刷面積のばらつきを抑制できるスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置を提供する。【解決手段】所定の印刷パターン２ａが形成されたスクリーン２をグリーンシート８上に配置し、該スクリーン２上にペースト９を供給するとともにスキージ３を当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシート８に上記印刷パターン２ａに対応した内部導体パターン１０を印刷するようにしたスクリーン印刷方法において、上記内部導体パターン１０の印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーン２の印刷パターン領域Ａ，Ｂを特定し、該特定した印刷パターン領域Ａ，Ｂに上記ペースト９が供給されるようペースト供給位置を変更する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の印刷パターンが形成されたスクリーンをグリーンシート上に配置し、該スクリーン上にペーストを供給するとともにスキージを当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷方法において、上記グリーンシート上の印刷パターンにおける印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペーストを供給し、上記印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーンの印刷パターン領域を特定し、該特定した印刷パターン領域に上記ペーストが供給されるようペースト供給位置を変更することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項２】
請求項１において、上記ペーストは、上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下作用に比べて溶剤の揮発による粘度増加の方が大きい傾向を有しており、上記印刷面積が小さくなる傾向にある印刷パターン領域を中心に供給されることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項３】
請求項１において、上記ペーストは、溶剤の揮発による粘度増加作用に比べて上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下の方が大きい傾向を有しており、上記印刷面積が大きくなる傾向にある印刷パターン領域を中心に供給されることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れかにおいて、上記グリーンシート上の印刷パターンを撮像し、該撮像された画像を解析してグリーンシート上の印刷パターンの印刷面積のばらつきの有無を求めることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
請求項４において、上記グリーンシートは一方向に間欠的に搬送され、上記撮像は、上記グリーンシートの搬送方向と直交する方向において少なくとも２ヶ所についてなされることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項６】
所定の印刷パターンが形成されたスクリーンをグリーンシート上に配置し、該スクリーン上にペーストを供給するとともにスキージを当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷方法において、上記ペーストは、上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下作用に比べて溶剤の揮発による粘度増加の方が大きい傾向を有しており、上記スクリーンのスキージの移動方向に直交する方向における両端部に供給されることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項７】
所定の印刷パターンが形成されたスクリーンをグリーンシート上に配置し、該スクリーン上にペーストを供給するとともにスキージを当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷方法において、上記ペーストは、溶剤の揮発による粘度増加作用に比べて上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下の方が大きい傾向を有しており、上記スクリーンのスキージの移動方向に直交する方向における中央部分に供給されることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項８】
所定の印刷パターンが形成されたスクリーンをグリーンシート上に配置し、該スクリーン上にペーストを供給するとともにスキージを当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷方法において、上記ペーストは、上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下作用に比べて溶剤の揮発による粘度増加の方が大きい傾向を有しており、上記スクリーンのスキージの移動方向に直交する方向における両端部に上記ペーストを常時供給する第１ペースト供給手段と、上記グリーンシート上の印刷パターンにおける印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーンの印刷パターン領域を特定し、該特定した印刷パターン領域に上記ペーストを供給する第２ペースト供給手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項９】
所定の印刷パターンが形成されたスクリーンをグリーンシート上に配置し、該スクリーン上にペーストを供給するとともにスキージを当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷方法において、上記ペーストは、溶剤の揮発による粘度増加作用に比べて上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下の方が大きい傾向を有しており、上記ペーストを上記スクリーンのスキージの移動方向に直交する方向における中央部分に上記ペーストを常時供給する第１ペースト供給手段と、上記グリーンシート上の印刷パターンにおける印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーンの印刷パターン領域を特定し、該特定した印刷パターン領域に上記ペーストを供給する第２ペースト供給手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項１０】
所定の印刷パターンが形成されたスクリーンをグリーンシート上に配置し、該スクリーン上にペーストを供給するとともにスキージを当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷装置において、上記グリーンシート上の印刷パターンを撮像する撮像カメラと、該撮像された画像を解析して上記印刷パターンの印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積のばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーンの印刷パターン領域を特定する特定領域算出手段と、上記印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペーストを供給し、上記ばらつきが生じたときには上記特定した印刷パターン領域にペーストが供給されるように供給位置を変更するペースト供給制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項１１】
請求項１０において、上記グリーンシートは一方向に間欠的に搬送され、上記撮像カメラは、上記グリーンシートの搬送方向と直交する方向に少なくとも２箇所で撮像可能に設置されており、上記グリーンシートの搬送が停止するごとにグリーンシート上の印刷パターンを撮像するように構成されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の印刷パターンが形成されたスクリーン上にペーストを供給するとともに、スキージを当接させた状態で一方向に移動させることによりグリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、積層コンデンサ等の積層型セラミック電子部品では、内部導体（印刷物）がパターン印刷されたセラミックグリーンシートを、該グリーンシートを挟んで内部導体が互いに対向するように積み重ねて圧着して積層体を形成し、該積層体を焼結して製造するという方法が採用されている。
【０００３】
このようなセラミックグリーンシートに内部導体をスクリーン印刷するには、セラミックグリーンシートに、内部導体に対応した印刷パターンが形成されたスクリーンを配置し、該スクリーン上に内部導体ペーストを供給するとともにスキージを当接させ、このスキージを一方向に移動させることによって上記内部導体ペーストを印刷領域全体に薄く伸ばしながらセラミックグリーンシートに印刷する方法が一般的に採用されている。
【０００４】
また上記スクリーンに内部導体ペーストを供給する場合には、ペーストが充填されたシリンジをスキージの移動方向と直交する方向に移動させつつペーストを上記スクリーン上に一様に供給するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】実開平６−２３７５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のスクリーン印刷では、スクリーン版をスキージングして印刷する関係上、同じスクリーン版の同じ印刷パターンであっても、スクリーン版にかかるテンションがばらつき、領域によって印刷面積がばらついてしまうという問題がある。
【０００６】
また供給されてから時間が経っているペーストと新たに供給したペーストが混在することで、粘度差が生じ、これが印刷面積のばらつきの原因となる場合がある。
【０００７】
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、セラミックグリーンシートにペーストを印刷する際の印刷面積のばらつきを抑制できるスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、所定の印刷パターンが形成されたスクリーンをグリーンシート上に配置し、該スクリーン上にペーストを供給するとともにスキージを当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷方法において、上記グリーンシート上の印刷パターンにおける印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペーストを供給し、上記印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーンの印刷パターン領域を特定し、該特定した印刷パターン領域に上記ペーストが供給されるようペースト供給位置を変更することを特徴としている。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１において、上記ペーストは、上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下作用に比べて溶剤の揮発による粘度増加の方が大きい傾向を有しており、上記印刷面積が小さくなる傾向にある印刷パターン領域を中心に供給されることを特徴としている。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１において、上記ペーストは、溶剤の揮発による粘度増加作用に比べて上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下の方が大きい傾向を有しており、上記印刷面積が大きくなる傾向にある印刷パターン領域を中心に供給されることを特徴としている。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１ないし３の何れかにおいて、上記グリーンシート上の印刷パターンを撮像し、該撮像された画像を解析してグリーンシート上の印刷パターンの印刷面積のばらつきの有無を求めることを特徴としている。
【００１２】
請求項５の発明は、請求項４において、上記グリーンシートは一方向に間欠的に搬送され、上記撮像は、上記グリーンシートの搬送方向と直交する方向において少なくとも２ヶ所についてなされることを特徴としている。
【００１３】
請求項６の発明は、請求項１と同様のスクリーン印刷方法において、上記ペーストは、上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下作用に比べて溶剤の揮発による粘度増加の方が大きい傾向を有しており、上記スクリーンのスキージの移動方向に直交する方向における両端部に供給されることを特徴としている。
【００１４】
請求項７の発明は、請求項１と同様のスクリーン印刷方法において、上記ペーストは、溶剤の揮発による粘度増加作用に比べて上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下の方が大きい傾向を有しており、上記スクリーンのスキージの移動方向に直交する方向における中央部分に供給されることを特徴としている。
【００１５】
請求項８の発明は、請求項１と同様のスクリーン印刷方法において、上記ペーストは、上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下作用に比べて溶剤の揮発による粘度増加の方が大きい傾向を有しており、上記スクリーンのスキージの移動方向に直交する方向における両端部に上記ペーストを常時供給する第１ペースト供給手段と、上記グリーンシート上の印刷パターンにおける印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーンの印刷パターン領域を特定し、該特定した印刷パターン領域に上記ペーストを供給する第２ペースト供給手段とを備えたことを特徴としている。
【００１６】
請求項９の発明は、請求項１と同様のスクリーン印刷方法において、上記ペーストは、溶剤の揮発による粘度増加作用に比べて上記スキージの移動に伴うペーストのローリング作用に起因する粘度低下の方が大きい傾向を有しており、上記ペーストを上記スクリーンのスキージの移動方向に直交する方向における中央部分に上記ペーストを常時供給する第１ペースト供給手段と、上記グリーンシート上の印刷パターンにおける印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーンの印刷パターン領域を特定し、該特定した印刷パターン領域に上記ペーストを供給する第２ペースト供給手段とを備えたことを特徴としている。
【００１７】
請求項１０の発明は、所定の印刷パターンが形成されたスクリーンをグリーンシート上に配置し、該スクリーン上にペーストを供給するとともにスキージを当接させた状態で移動させることにより上記グリーンシートに上記印刷パターンを印刷するようにしたスクリーン印刷装置において、上記グリーンシート上の印刷パターンを撮像する撮像カメラと、該撮像された画像を解析して上記印刷パターンの印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積のばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーンの印刷パターン領域を特定するばらつき特定算出手段と、上記印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペーストを供給し、上記ばらつきが生じたときには上記特定した印刷パターン領域にペーストが供給されるように供給位置を変更するペースト供給制御手段とを備えたことを特徴としている。
【００１８】
請求項１１の発明は、請求項１０において、上記グリーンシートは一方向に間欠的に搬送され、上記撮像カメラは、上記グリーンシートの搬送方向と直交する方向に少なくとも２箇所で撮像可能に設置されており、上記グリーンシートの搬送が停止するごとにグリーンシート上の印刷パターンを撮像するように構成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１の発明に係るスクリーン印刷方法によれば、スクリーン印刷されたグリーンシートの印刷面積のばらつきの有無を求め、該印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペーストを供給し、印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当するスクリーンの印刷パターン領域にペーストを供給するようにしている。このように印刷面積のばらつき部分に相当するスクリーンの特定領域に新しいペーストを供給することにより、最終的に印刷されるパターンの面積をスクリーン版内でのばらつきがないようにすることができる。即ち、本発明は、印刷面積のばらつきに対応して、ペーストの性状を鑑みながら新しいペーストを特定領域に供給することにより、印刷面積を所望のものに合わせることが可能である。
【００２０】
請求項２の発明では、経時変化により粘度増加傾向にあるペーストを、印刷面積が小さくなる傾向にある領域を中心に供給するようにしたので、狙いとする基準印刷面積より小さめに印刷されているところに、経時変化で粘度が高くなるペーストを新しく供給することによって、小さめに印刷される傾向と新しいペーストの滲み易さとで印刷面積のばらつきが相殺されることとなり、最終的に所望の印刷面積に近づけることができる。
【００２１】
請求項３の発明では、経時変化により粘度低下傾向にあるペーストを、印刷面積が大きくなる傾向にある領域を中心に供給したので、経時変化で粘度が低くなるペーストを新しく供給することによって、大きめに印刷される傾向と新しいペーストの滲みにくさとで印刷面積のばらつきが相殺されることとなり、最終的に所望の印刷面積に近づけることができる。
【００２２】
請求項４の発明では、グリーンシート上の印刷パターンを撮像し、該撮像された画像を解析して印刷面積のばらつきの有無を求めるようにしたので、印刷面積のばらつきの有無を自動的にかつ精度よく検出することができる。
【００２３】
請求項５の発明では、間欠的に搬送されるグリーンシートの搬送方向と直交する方向において少なくとも２カ所で撮像したので、少ないカメラ台数で印刷パターンの略全域を撮像することが可能となる。またカメラの撮像位置を変更できるようにした場合には、１台のカメラで２カ所以上の撮像が可能となる。
【００２４】
請求項６の発明では、経時変化によって粘度増加傾向にあるペーストを、スクリーンの両端部に供給するようにしたので、印刷面積が小さくなる傾向にあるスクリーンの両端部にペーストを供給することにより、印刷パターン全体の印刷面積のばらつきを抑制することができる。即ち、スクリーンをスキージングした際、スキージング方向と直交する方向における中央部と端部とでは、スクリーンにかかるテンションが異なるために、ペーストの版離れの状態が異なる。つまり、スクリーン印刷枠に近い端部付近は、スクリーン版にかかるテンションが比較的強く、版離れが良好な状態で印刷が行われる。その結果、スクリーンの両端部は中央部に比べて印刷面積が小さめになる傾向がある。そこで経時変化で粘度増加傾向にあるペーストを使用した場合には、スクリーンの両端部に供給機会毎に常にペーストを供給することにより、全体として印刷面積のばらつきの少ないスクリーン印刷が可能となる。
【００２５】
請求項７の発明では、経時変化によって粘度低下傾向にあるペーストを、スクリーンの中央部分に供給するようにしたので、印刷面積が大きくなる傾向にあるスクリーンの中央部分にペーストを供給することにより、印刷パターン全体の印刷面積のばらつきを抑制することができる。
【００２６】
請求項８の発明では、経時変化によって粘度が増加する傾向にあるペーストをスクリーンの両端部に供給し、印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当するスクリーンの特定領域にペーストを供給するようにしたので、スクリーンの印刷面積が小さくなる傾向にある両端部にペーストを常に供給しつつ、ばらつきが生じた部分に相当するスクリーンの特定領域にペーストを供給することにより、印刷パターン全体の印刷面積のばらつきをより一層抑制することができる。
【００２７】
請求項９の発明では、経時変化によって粘度が低下する傾向にあるペーストをスクリーンの中央部分に供給し、印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当するスクリーンの特定領域にペーストを供給するようにしたので、スクリーンの印刷面積が大きくなる傾向にある中央部分にペーストを常に供給しつつ、ばらつきが生じた部分に相当するスクリーンの特定領域にペーストを供給することにより、印刷パターン全体の印刷面積のばらつきをより一層抑制することができる。
【００２８】
請求項１０の発明では、印刷パターンを撮像する撮像カメラと、該撮像された画像を解析して印刷面積のばらつきの有無をを求め、該ばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当するスクリーンの印刷パターン領域を特定し、印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペーストを供給し、ばらつきが生じたときには特定領域にペーストを供給するようにしたので、最終的に印刷される印刷パターン面積を版内でのばらつきがないようにすることができ、狙いとする基準印刷面積に近づけることができ、請求項１と同様の効果が得られる。
【００２９】
請求項１１の発明では、間欠的に搬送されるグリーンシートの搬送方向と直交する方向において少なくとも２カ所で撮像したので、印刷面積のばらつきの有無を自動的にかつ精度よく検出することができるとともに、少ないカメラ台数で印刷パターンの略全域を撮像することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００３１】
図１及び図２は本発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置及び該スクリーン印刷装置によるスクリーン印刷方法を説明するための図であり、図１はスクリーン印刷装置の全体構成図、図２はペースト供給部の側面図である。
【００３２】
図において、１はスクリーン印刷装置を示しており、これは例えば積層型セラミック電子部品（不図示）を製造するためのものであり、該電子部品の内部導体に対応した所定の印刷パターン２ａが形成されたスクリーン２と、該スクリーン２の上面を矢印ｂ方向に往復移動可能に配設されたスキージ３及びスクレーパ４とを備えたスクリーン印刷部５と、上記スクリーン２の上面にペースト９を供給する注射器型のシリンジ６を備えたペースト供給部７と、不図示のキャリアフィルムに形成された薄膜状のセラミックグリーンシート８を一方向ａに間欠的に搬送するグリーンシート搬送部（不図示）とを備えている。
【００３３】
上記スキージ３は搬送方向ａに所定の傾斜角度をなすように傾斜させて配置されており、上記スクレーパ４はスキージ３の搬送方向ａ下流側を囲むように配置されている。このスキージ３及びスクレーパ４は不図示の往復駆動機構により上記ｂ方向に往復駆動される。
【００３４】
上記ペースト供給部７は、ペースト９が充填されたシリンジ６の先端部にノズル６ａを接続し、該シリンジ６に不図示の圧縮空気供給管を介して圧縮空気供給源を接続した構造となっている。この圧縮空気供給管には電磁バルブ（不図示）が介設されており、該電磁バルブにより上記ペースト９の吐出タイミング及び吐出量が制御される。
【００３５】
上記シリンジ６は、上記スキージ３の搬送方向ａ上流側に配置されており、該スキージ３とともに矢印ｂ方向に移動可能となっている。また上記シリンジ６は不図示のシリンダ機構，モータ機構によりスキージ３の移動方向ｂと直交する方向ｃに独立して往復移動駆動される。なお、上記シリンジ６の配置位置については、図２の二点鎖線で示すように、シリンジ６をスキージ３とスクレーパ４との間に配置してもよい。またシリンジ６に真空吸引源を接続し、ノズル６ａからペースト９を押し出した後に真空吸引するようにしてもよい。これによりノズル６ａからペースト９の液垂れを防止できるとともに、吐出量の精度を高めることができる。
【００３６】
ここで、スクリーン印刷を連続して長時間運転する場合には、図３に示すように、シリンジ６より容量の大きいペーストタンク２０を別途配置し、該ペーストタンク２０に接続されたペーストチューブ２１をスクリーン２上に配索し、該ペーストチューブ２１をｂ，ｃ方向に移動させるように構成してもよい。
【００３７】
上記スクリーン印刷装置１は、セラミックグリーンシート８にスクリーン印刷された内部導体パターン１０を撮像する９台の撮像カメラ１１ａ〜１１ｉと、該撮像カメラ１１ａ〜１１ｉにより撮像された画像を解析して内部導体パターン１０の印刷面積のばらつきの有無を求め、印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当する上記スクリーン２の印刷パターン領域Ａ，Ｂを特定する特定領域算出部１２と、印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペースト９を供給し、印刷面積にばらつきが生じたときには上記印刷パターン領域Ａ，Ｂに上記シリンジ６内のペースト９を供給するペースト供給制御部１３とを備えている。
【００３８】
上記各撮像カメラ１１ａ〜１１ｉは、セラミックグリーンシート８の内部導体パターン１０の各コーナ部，各コーナー部の間及び中央部に臨む位置にそれぞれ配置されている。このようにして内部導体パターン１０の略全域を同時に撮像するようになっている。
【００３９】
上記特定領域算出部１２は、予め入力された狙いとする基準印刷面積と上記撮像された内部導体パターン１０の印刷面積とを比較し、基準印刷面積から所定値を超えて印刷面積がばらついた部分を算出するように構成されている。即ち、狙いとする基準印刷面積より実際の印刷面積が小さくなっているか，又は大きくなっているかを検出する。
【００４０】
上記ペースト供給制御部１３は、特定された印刷パターン領域Ａ，Ｂに基づいて、スクレーパ４によるスクレーピング時にシリンジ６を上記領域Ａ，Ｂに移動させ、電磁バルブを駆動して所定量のペースト９を供給するように構成されている。
【００４１】
次に、上記スクリーン印刷装置１によるスクリーン印刷方法を説明する。
【００４２】
所定間隔でもって間欠的にａ方向に搬送されたセラミックグリーンシート８がスクリーン印刷部５に位置すると、該セラミックグリーンシート８にスクリーン２が当接して位置決めされ、シリンジ６がｃ方向に移動しつつペースト９をスクリーン２の印刷パターン２ａ上に塗布する。続いてスクレーパ４とスキージ３がｂ方向に移動してスクレーピングとスキージングを行いセラミックグリーンシート８に内部導体パターン１０を印刷する。
【００４３】
このスクリーン印刷が終了すると、セラミックグリーンシート８がａ方向に所定量移動して停止し、上記同様に次のスクリーン印刷が行われるとともに、各撮像カメラ１１ａ〜１１ｉの撮像位置に内部導体パターン１０が位置する。
【００４４】
この各撮像カメラ１１ａ〜１１ｉが内部導体パターン１０を撮像し、特定領域算出部１２が内部導体パターン１０の印刷面積を測定し、該測定した印刷面積と基準印刷面積とを比較し、該基準印刷面積より小さくなっているばらつき部分を算出し、該ばらつき部分に相当するスクリーン２の印刷パターン領域Ａ，Ｂを特定する。この印刷パターン領域Ａ，Ｂが特定されると、ペースト供給制御部１３がシリンジ６を上記領域Ａ，Ｂに移動させ、該領域Ａ，Ｂにシリンジ６内のペースト９′を所定量供給する。また印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペースト９を供給する。
【００４５】
上記ペースト９は、スクレーピング，スキージング時の該ペースト９のローリング作用に起因する粘度低下作用に比べて溶剤の揮発による粘度増加の方が大きい傾向を有している。このため内部導体パターン１０のｃ方向における両端部、即ち、上記印刷パターン領域Ａ，Ｂに相当する部分の印刷面積が小さくなる傾向にある。このため、スクリーン２の両端部の印刷パターン領域Ａ，Ｂにシリンジ６内の新たなペースト９′を供給することで、印刷面積が小さめに印刷される領域Ａ，Ｂと、供給された新しいペースト９′の滲み易さとで印刷のばらつきが相殺されることとなり、もって狙いとする基準印刷面積が得られることとなる。
【００４６】
一方、ペーストが、溶剤の揮発による粘度増加作用に比べてローリング作用に起因する粘度低下作用の方が大きい傾向を有している場合には、内部導体パターン１０のｃ方向における中央部分の印刷面積が大きくなる傾向にある。従って、ペーストが経時変化で粘度低下傾向にある場合には、スクリーン２の中央部分に新たなペーストを供給することによって、狙いとする基準印刷面積が得られることとなる。
【００４７】
このように本実施形態によれば、スクリーン印刷された内部導体パターン１０を撮像カメラ１１ａ〜１１ｉで撮像し、該撮像した内部導体パターン１０の印刷面積のばらつきの有無を求め、印刷面積のばらつきがないときには前回供給した領域に続けてペースト９を供給し、印刷面積にばらつきが生じたときには該ばらつき部分に相当するスクリーン２の印刷パターン領域Ａ，Ｂにペースト９を供給するようペースト供給位置を変更したので、印刷面積のばらつき部分に相当するスクリーン２の特定パターン領域Ａ，Ｂに新しいペーストを供給することにより、最終的に印刷されるパターンの面積をスクリーン２内でのばらつきがないようにすることができる。その結果、内部導体パターン１０の印刷面積のばらつきを抑制でき、電子部品の電気的特性のばらつきを防止できる。
【００４８】
即ち、ペースト９が経時変化により粘度が増加する傾向にある場合には、印刷面積が小さくなる傾向にあるスクリーン２の両端部，つまり上記印刷パターン領域Ａ，Ｂを中心に供給するようにしたので、狙いとする基準印刷面積より小さめに印刷されているところに、経時変化で粘度が高くなるペースト９を新しく供給することによって、小さめに印刷される傾向と新しいペーストの滲み易さとで印刷面積のばらつきが相殺されることとなり、最終的に所望の印刷面積に近づけることができる。
【００４９】
ここで、上記ペーストの性状が、経時変化により粘度増加傾向にあることが予め判っている場合には、ペーストの供給位置をスクリーンの両端部分に常時固定するようにしてもよい。また、スクリーンの両端部分にペーストを常時供給しつつ、セラミックグリーンシートの印刷面積のばらつきの有無を求め、該ばらつきが生じた部分に相当するスクリーンの印刷領域に新しくペーストを供給するようにしてもよい。
【００５０】
一方、ペーストが経時変化により粘度が低下する傾向にある場合には、印刷面積が大きくなる傾向にあるスクリーン２の中央部分を中心に供給する。これにより、印刷面積が大きめに印刷される傾向と新しいペーストの滲みにくさとで印刷面積のばらつきが相殺されることとなり、最終的に所望の印刷面積に近づけることができる。
【００５１】
ここで、上記ペーストの性状が、経時変化により粘度低下傾向にあることが予め判っている場合には、ペーストの供給位置をスクリーンの中央部分に常時固定するようにしてもよい。また、スクリーンの中央部分にペーストを常時供給しつつ、セラミックグリーンシートの印刷面積のばらつきの有無を求め、該ばらつきが生じた部分に相当するスクリーンの印刷領域に新しくペーストを供給するようにしてもよい。
【００５２】
上記実施形態では、内部導体パターン１０を９台の撮像カメラ１１ａ〜１１ｉで撮像するようにしたが、本発明では、図４に示すように、セラミックグリーンシート８の搬送方向ａと直角方向ｃに４台の撮像カメラ１１ａ〜１１ｄを配置し、各カメラ１１ａ〜１１ｄによりセラミックグリーンシート８が停止するたびに内部導体パターン１０を撮像するようにしてもよい。この場合には、少ない台数で内部導体パターン１０の略全域を撮像することができる。またカメラの撮像位置を変更できるように構成してもよく、この場合には１台のカメラで２カ所以上の撮像が可能となる。
【００５３】
さらに上記撮像カメラの配置位置については、予め面積変化の生じ易い箇所を配置してもよく、ランダムに配置してもよい。さらには、内部導体パターンを撮像するにあたっては、搬送が停止するごとに行う必要はなく、高速シャッタ，ラインセンサ等を用いることによってセラミックグリーンシートの搬送中に印刷面積を測定することも可能である。
【００５４】
さらに上記実施形態では、長尺状のセラミックグリーンシート８を連続して間欠搬送する場合を説明したが、本発明では、スクリーン印刷前にセラミックグリーンシートを予め所定間隔ごとにシャーリング等により切断し、切断した各シートを順次間欠的に搬送するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷装置を説明するための全体構成図である。
【図２】上記スクリーン印刷装置のペースト供給部の側面図である。
【図３】上記ペースト供給部の他の例を示す図である。
【図４】上記スクリーン印刷装置の撮像カメラの他の例による配置関係を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１          スクリーン印刷装置
２          スクリーン
２ａ        印刷パターン
３          スキージ
６          シリンジ
７          ペースト供給部
８          セラミックグリーンシート
９          ペースト
１０        内部導体パターン（印刷物）
１１ａ〜１１ｉ  撮像カメラ
１２        特定領域算出部
１３        ペースト供給制御部
Ａ，Ｂ      特定した印刷パターン領域
【図１】
2006051757.tif 000003
【図２】
2006051757.tif 000004
【図３】
2006051757.tif 000005
【図４】
2006051757.tif 000006