(57)【要約】【課題】  変形したシート積層体であっても適切に切断することが可能なグリーンチップの製造方法を提供すること。【解決手段】  グリーンチップの製造方法は、シート積層体１における切断領域Ｄの各角部にそれぞれ設けられたアライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄを撮像する工程と、撮像したアライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄに基づいて各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄの距離ＡＢ，ＢＤ，ＡＣ，ＢＤを算出し、算出した各距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤをグリーンチップのシート積層体１からの取り個数に応じた数でそれぞれ割ることにより各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄにおける切断位置を決定する工程と、各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄにおけるそれぞれ対応する切断位置同士を結ぶ切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１に沿ってシート積層体１を切断する工程と、を備える。【選択図】  図１
2006278546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリーンシートが複数積層されてなるシート積層体を略方形状の切断領域で切断してグリーンチップを製造するグリーンチップの製造方法であって、
前記シート積層体における前記切断領域の各角部にそれぞれ設けられた複数のアライメントマークを撮像する工程と、
撮像した前記アライメントマークに基づいて、隣り合う前記アライメントマーク同士を結ぶ第一の辺の距離と、該第一の辺に対向する前記アライメントマーク同士を結ぶ第二の辺の距離とを算出する工程と、
前記算出した各距離を前記グリーンチップの前記シート積層体からの取り個数に応じた数で割ることにより前記各辺における切断位置を決定する工程と、
前記各辺におけるそれぞれ対応する前記切断位置同士を結ぶ線により前記シート積層体を切断する工程と、を備えることを特徴とするグリーンチップの製造方法。
【請求項２】
前記シート積層体を回転させる工程と、
前記第一の辺及び前記第二の辺にそれぞれ隣り合う前記アライメントマーク同士を結ぶ各辺の距離を算出する工程と、を更に備えることを特徴とする請求項１に記載されたグリーンチップの製造方法。
【請求項３】
グリーンシートが複数積層されてなるシート積層体を略方形状の切断領域で切断してグリーンチップを製造するグリーンチップの製造方法であって、
前記シート積層体における前記切断領域の各角部にそれぞれ設けられた複数のアライメントマークを撮像する工程と、
撮像した前記アライメントマークに基づいて、隣り合う前記アライメントマーク同士を結ぶ第一の辺の距離と、該第一の辺に隣り合う前記アライメントマーク同士を結ぶ二つの第二の辺がなす角度とを算出する工程と、
前記算出した距離を前記グリーンチップの前記シート積層体からの取り個数に応じた数で割ることにより前記第一の辺における切断位置を決定する工程と、
前記算出した角度を前記グリーンチップの前記シート積層体からの取り個数に応じた数で割ることにより前記切断位置における切断方向を決定する工程と、
前記切断位置から該切断位置における前記切断方向に前記シート積層体を切断する工程と、を備えることを特徴とするグリーンチップの製造方法。
【請求項４】
前記シート積層体を回転させる工程と、
二つの前記第二の辺のうち一方の辺の距離と、該辺に隣り合う前記アライメントマーク同士を結ぶ二つの辺がなす角度とを算出する工程と、を更に備えることを特徴とする請求項３に記載されたグリーンチップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンチップの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のグリーンチップの製造方法として、シート積層体に形成された複数の認識マークの撮像結果に基づいて切断予定位置を決定し、認識マーク間の中央付近の切断予定位置まで切断作業が進行したときに切断作業を中止し、隣接する認識マークのうち未切断側の認識マークを再度撮像して、切断予定位置の補正が必要であるか否かを判定し、補正が必要であると判定した場合には未切断の切断予定位置を全て補正した後に、切断作業を再開する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３５７６２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、シート積層体は、内部導体等が等間隔に形成された複数のグリーンシートが積層された後、加圧されて各グリーンシートが圧着されることにより形成される。この際、各グリーンシートに対して加える圧力が一様でない場合には、シート積層体が略台形等に変形し、等間隔に形成された内部導体等がシート積層体内でずれることがある。
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載された従来のグリーンチップの製造方法では、たとえ切断作業を途中で中止して切断予定位置の補正を行ったとしても、直交格子状にグリーンチップを切断しているため、上述したような略台形等に変形したシート積層体を適切に切断することができなかった。すなわち、シート積層体を切断してグリーンチップとすると内部導体等についても同時に切断してしまい、内部導体等が外面に露出してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑み、変形したシート積層体であっても適切に切断することが可能なグリーンチップの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るグリーンチップの製造方法は、グリーンシートが複数積層されてなるシート積層体を略方形状の切断領域で切断してグリーンチップを製造するグリーンチップの製造方法であって、シート積層体における切断領域の各角部にそれぞれ設けられた複数のアライメントマークを撮像する工程と、撮像したアライメントマークに基づいて、隣り合うアライメントマーク同士を結ぶ第一の辺の距離と、その第一の辺に対向するアライメントマーク同士を結ぶ第二の辺の距離とを算出する工程と、算出した各距離をグリーンチップのシート積層体からの取り個数に応じた数で割ることにより各辺における切断位置を決定する工程と、各辺におけるそれぞれ対応する切断位置同士を結ぶ線によりシート積層体を切断する工程と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係るグリーンチップの製造方法では、隣り合うアライメントマーク同士を結ぶ第一の辺及び第二の辺の距離が、撮像されたアライメントマークに基づいて算出される。また、シート積層体の切断位置が、第一の辺及び第二の辺の距離をそれぞれグリーンチップの取り個数に応じた数で割ることにより決定される。このため、シート積層体の変形に伴ってアライメントマーク同士の距離が変化した場合でも、グリーンチップの取り個数に応じてシート積層体の切断位置が決定されることとなる。その結果、シート積層体を適切に切断することができ、グリーンチップに内部導体の露出不良が生じることがほとんどなくなる。
【０００８】
また、シート積層体を回転させる工程と、第一の辺及び第二の辺にそれぞれ隣り合うアライメントマーク同士を結ぶ各辺の距離を算出する工程と、を更に備えることが好ましい。このようにすると、切断する前に第一の辺及び第二の辺における切断位置を同時に求めることができるので、第一の辺における切断位置でシート積層体を切断した後に第二の辺における切断位置を算出してシート積層体の切断を行う場合に比べ、シート積層体の切断誤差を極めて少なくすることができる。
【０００９】
また、本発明に係るグリーンチップの製造方法は、グリーンシートが複数積層されてなるシート積層体を略方形状の切断領域で切断してグリーンチップを製造するグリーンチップの製造方法であって、シート積層体における切断領域の各角部にそれぞれ設けられた複数のアライメントマークを撮像する工程と、撮像したアライメントマークに基づいて、隣り合うアライメントマーク同士を結ぶ第一の辺の距離と、その第一の辺に隣り合うアライメントマーク同士を結ぶ二つの第二の辺がなす角度とを算出する工程と、算出した距離をグリーンチップのシート積層体からの取り個数に応じた数で割ることにより第一の辺における切断位置を決定する工程と、算出した角度をグリーンチップのシート積層体からの取り個数に応じた数で割ることにより切断位置における切断方向を決定する工程と、切断位置からその切断位置における切断方向にシート積層体を切断する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係るグリーンチップの製造方法では、隣り合うアライメントマーク同士を結ぶ第一の辺の距離と、その第一の辺に隣り合うアライメントマーク同士を結ぶ二つの第二の辺がなす角度とが、撮像されたアライメントマークに基づいて算出される。また、シート積層体の切断位置が、第一の辺の距離をグリーンチップの取り個数に応じた数で割ることにより決定される。そして、シート積層体の切断方向が、二つの第二の辺がなす角度をグリーンチップの取り個数に応じた数で割ることにより決定される。このため、シート積層体の変形に伴ってアライメントマーク同士の距離が変化した場合でも、その変形に応じてシート積層体の切断位置及び切断方向が決定されることとなる。その結果、シート積層体を適切に切断することができ、グリーンチップに内部導体の露出不良が生じることがなくなる。
【００１１】
また、シート積層体を回転させる工程と、二つの第二の辺のうち一方の辺の距離と、その辺に隣り合うアライメントマーク同士を結ぶ二つの辺がなす角度とを算出する工程と、を更に備えることが好ましい。このようにすると、切断する前に第一の辺及び第二の辺における切断位置を同時に求めることができるので、第一の辺における切断位置でシート積層体を切断した後に第二の辺における切断位置を算出してシート積層体の切断を行う場合に比べ、シート積層体の切断誤差を極めて少なくすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、変形したシート積層体であっても適切に切断することが可能なグリーンチップの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１４】
まず、図２及び図３を参照して、本実施形態に係るグリーンチップの製造方法が適用されるシート積層体１の構成について説明する。図２は、シート積層体の斜視図である。図３は、シート積層体の分解斜視図である。
【００１５】
シート積層体１は、積層型電子部品（本実施形態では、積層型インダクタ）の製造過程における中間体である。シート積層体１は、図２に示されるように、略直方体形状を呈しており、複数の導体パターンＢ１〜Ｂ５が形成された複数（本実施形態では８枚）のグリーンシートＡ１〜Ａ８（いわゆる、セラミックグリーンシート）が積層されることにより構成される。シート積層体１は、各導体パターンＢ１〜Ｂ５が電気的に接続されてなる複数のコイル２を内部に有しており、後述する切断領域Ｄにおいてこれらのコイル２ごとに所定のパターンで切断されて分割されることで、内部にコイル２をそれぞれ有する複数のグリーンチップが製造されることとなる。
【００１６】
グリーンシートＡ１〜Ａ８は、例えば、フェライト（Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ−Ｍｇ系フェライト、Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト、Ｎｉ−Ｃｕ系フェライト等）あるいはガラス系セラミック（例えば、Ｓｒ、Ｃａ、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２）等を原料としたスラリーをドクターブレード法によりフィルム上に塗布することで形成される。グリーンシートＡ１〜Ａ８の厚みは、例えば２０μｍ程度に設定される。なお、シート積層体１の表面に位置するグリーンシートＡ１は、シート積層体１の厚みを調節するものとして機能する。
【００１７】
グリーンシートＡ１〜Ａ７の表面には、その各角部にそれぞれアライメントマークＭ１〜Ｍ７がスクリーン印刷やインクジェット印刷等によって形成されている。各アライメントマークＭ１〜Ｍ７は、各グリーンシートＡ１〜Ａ７において略同一となるような位置に形成されており、各グリーンシートＡ１〜Ａ７を積層する際の位置ずれを防止するための目印として機能する。なお、位置ずれを防止するため、アライメントマークＭ１〜Ｍ７の他に、位置決め用のスルーホール等を目印としてもよい。各アライメントマークＭ１〜Ｍ７によってそれぞれ囲まれる内側の略矩形状の各領域は、シート積層体１が切断されてグリーンチップが製造される切断領域Ｄとなっている。グリーンシートＡ１の表面に形成されているアライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄは、シート積層体１の表面に位置しており、後述する撮像部（例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ）１３によって撮像されて画像処理されることで、後述するシート積層体１の切断位置を定めるためのマークとなっている。アライメントマークＭ１〜Ｍ７は、本実施形態では略十字形状となっているが、撮像部１３で認識可能なものであれば他の形状としてもよい。
【００１８】
グリーンシートＡ３の表面には、複数の導体パターンＢ１が所定の間隔を有した状態で切断領域Ｄ内に整列して形成されている。各導体パターンＢ１は、コイル２の略１／２ターンに相当し、略Ｌ字状に形成されている。各導体パターンＢ１の一端には、導出部Ｂ１ａが一体的に形成されている。各導出部Ｂ１ａは、導体パターンＢ１をそれぞれ２つずつ接続しており、シート積層体１が切断される際に切断され、グリーンチップの側面に露出するようになっている。各導体パターンＢ１の他端は、グリーンシートＡ３を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極Ｃ１と電気的に接続されている。このため、各導体パターンＢ１は、積層された状態で、各スルーホール電極Ｃ１を介して対応する各導体パターンＢ２の一端と電気的に接続される。
【００１９】
グリーンシートＡ４〜Ａ６の表面には、それぞれ複数の導体パターンＢ２〜Ｂ４が所定の間隔を有した状態で切断領域Ｄ内に整列して形成されている。各導体パターンＢ２〜Ｂ４は、それぞれコイル２の略３／４ターンに相当し、略Ｕ字状に形成されている。各導体パターンＢ２〜Ｂ４の一端には、積層された状態で各スルーホール電極Ｃ１〜Ｃ３と電気的に接続される領域がそれぞれ含まれている。各導体パターンＢ２〜Ｂ４の他端は、グリーンシートＡ４〜Ａ６を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極Ｃ２〜Ｃ４とそれぞれ電気的に接続されている。このため、各導体パターンＢ２〜Ｂ４は、積層された状態で、各スルーホール電極Ｃ２〜Ｃ４を介して対応する各導体パターンＢ３〜Ｂ５の一端とそれぞれ電気的に接続される。なお、各導体パターンＢ２〜Ｂ４では、それぞれの向きが互いに異なっている。すなわち、導体パターンＢ２と導体パターンＢ３とでは、その向きが略９０°ずれて形成されており、導体パターンＢ３と導体パターンＢ４とでは、その向きが略９０°ずれて形成されている。
【００２０】
グリーンシートＡ７の表面には、複数の導体パターンＢ５が所定の間隔を有した状態で切断領域Ｄ内に整列して形成されている。各導体パターンＢ５は、コイル２の略３／４ターンに相当し、略Ｌ字状に形成されている。各導体パターンＢ５の一端は、積層された状態で、各スルーホール電極Ｃ４と電気的に接続される領域が含まれている。各導体パターンＢ５の他端には、導出部Ｂ５ａが一体的に形成されている。各導出部Ｂ５ａは、図３における手前側と奥側の導体パターンＢ５を除く導体パターンＢ５をそれぞれ２つずつ接続しており、シート積層体１が切断される際に切断され、グリーンチップの側面に露出するようになっている。
【００２１】
各導体パターンＢ１〜Ｂ５、導出部Ｂ１ａ，Ｂ５ａ及びスルーホール電極Ｃ１〜Ｃ４は、切断領域Ｄの境界付近が余白となるように、銀又は銅を主成分とする導体ペーストをスクリーン印刷することにより形成される。本実施形態においては、図示の都合上、導体パターンＢ１〜Ｂ５がグリーンシートＡ３〜Ａ７上に８行１０列に整列して形成されているように描いているが、実際には導体パターンＢ１〜Ｂ５が１００行５０列に整列して形成されており、１つのシート積層体１から５０００個のグリーンチップが製造される。
【００２２】
グリーンシートＡ８の裏面、すなわちシート積層体１におけるアライメントマークＭ１が形成されている面と反対側の面には、シート状の支持体３が接着されて設けられている（図２参照）。支持体３は、熱が加えられることでシート積層体１との接着力が低下する熱剥離シートとなっている。この支持体３としては、他に、紫外線が照射されることにより接着力が低下するＵＶ剥離シート、加湿されることにより接着力が低下するアクア剥離シート等を用いることができる。
【００２３】
続いて、図３を参照して、上述した構成のシート積層体１の製造方法について説明する。
【００２４】
まず、グリーンシートＡ１〜Ａ８を用意する。次に、各グリーンシートＡ１〜Ａ８の所定の位置、すなわちスルーホール電極Ｃ１〜Ｃ４を形成する予定位置に、レーザー加工等によってスルーホールを形成する。
【００２５】
次に、各グリーンシートＡ１〜Ａ７にアライメントマークＭ１〜Ｍ７を形成すると共に、各グリーンシートＡ３〜Ａ７に導体パターンＢ１〜Ｂ５、導出部Ｂ１ａ，Ｂ５ａ及びスルーホール電極Ｃ１〜Ｃ４を形成する。
【００２６】
次に、各グリーンシートＡ１〜Ａ８を、各グリーンシートＡ１〜Ａ７に形成されたアライメントマークＭ１〜Ｍ７が重なるようにして、図３に示した順に積層して圧着した後に、グリーンシートＡ８側に支持体３を接着する。このようにして、支持体３に接着されたシート積層体１が得られることとなる。なお、このときのシート積層体１の寸法は、例えば、縦方向及び横方向の長さがそれぞれ１００ｍｍ程度となる。
【００２７】
続いて、導体パターンの露出不良等が生じることなく適切にシート積層体１を切断することが可能となる、本実施形態に係るグリーンチップの製造方法について説明する。
【００２８】
まず、図６を参照して、本実施形態に係るグリーンチップの製造方法を実施するためのグリーンチップの製造装置１０について説明する。図６は、グリーンチップの製造装置を示す概略図である。
【００２９】
グリーンチップの製造装置１０は、シート積層体１の切断領域Ｄ内における所定位置でシート積層体１を切断して、グリーンチップを製造するものである。そのために、グリーンチップの製造装置１０は、位置決めテーブル１１、テーブル駆動部１２、撮像部１３、画像処理部１４、制御部１５及び図示しない切断部材を備えている。
【００３０】
位置決めテーブル１１は、シート積層体１を載置するための水平な載置面を有する載置板である。位置決めテーブル１１は、図６に示されるように、載置面と平行であると共に互いに直交する軸Ｘと軸Ｙとを有し、さらに各軸Ｘ，Ｙと直交する軸Ｚを有している。位置決めテーブル１１は、テーブル駆動部１２によって駆動され、軸Ｘ，Ｙに沿って直線移動すると共に、軸Ｚ周りに回動可能となっている。テーブル駆動部１２は、内部に図示しないモータを有し、制御部１５からの制御信号に基づいて位置決めテーブル１１を駆動させる。
【００３１】
撮像部１３は、位置決めテーブル１１の上部に配置されており、制御部１５の制御信号に基づいて位置決めテーブル１１上を移動し、位置決めテーブル１１上に載置されたシート積層体１の表面を撮像する。画像処理部１４は、撮像部１３が撮像したシート積層体１の表面に形成されている各アライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄを画像処理し、各アライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄの座標データ（Ｘａ，Ｙａ）〜（Ｘｄ，Ｙｄ）を算出する。また、画像処理部１４は、算出した各アライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄの座標位置に基づいて、シート積層体１の切断位置を算出する（詳しくは後述する）。
【００３２】
制御部１５は、画像処理部１４によって算出された切断位置に基づいてテーブル駆動部１２を駆動させるための制御信号をテーブル駆動部１２に出力する。また、制御部１５は、撮像部１３を動作させるための制御信号を撮像部１３に出力する。
【００３３】
切断部材は、シート積層体１を切断するものであり、位置決めテーブル１１の上部に位置し、制御部１５の指示により上下動する。切断部材は、シート積層体１を切断する際、シート積層体１に接着された支持体３を切断しないように、支持体３に食い込む程度まで下降する。切断部材としては、例えばダイサ、ナイフを用いることができる。
【００３４】
続いて、図１を参照して、上述したグリーンチップの製造装置１０でシート積層体１を切断し、本実施形態に係るグリーンチップを製造する方法について説明する。図１は、本発明に係るグリーンチップの製造方法が適用されるシート積層体の上面図である。図１では、圧着の際に略台形状に変形したシート積層体１として、図示の都合上大きく歪んで描かれているが、実際には、シート積層体１の対向する各辺の寸法差は１μｍ程度である。以下では、図１に示されるような変形したシート積層体１に基づいてグリーンチップの製造方法を説明するが、本発明は特に変形していないシート積層体１についても適用が可能である。
【００３５】
まず、シート積層体１を位置決めテーブル１１に載置する。そして、グリーンチップの製造装置１０を作動させると、制御部１５が撮像部１３を作動させて位置決めテーブル１１上に載置されたシート積層体１を撮像し、画像処理部１４がシート積層体１の表面に形成されているアライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄの座標データ（Ｘａ，Ｙａ）〜（Ｘｄ，Ｙｄ）を算出する。
【００３６】
次に、画像処理部１４では、算出した各座標データ（Ｘａ，Ｙａ）〜（Ｘｄ，Ｙｄ）に基づいて、隣り合う各アライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄを結ぶ各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄの距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤを算出するための処理を実行する。具体的には、距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤは、以下のように求められる。
ＡＢ＝√（（Ｘａ−Ｘｂ）２＋（Ｙａ−Ｙｂ）２）
ＣＤ＝√（（Ｘｃ−Ｘｄ）２＋（Ｙｃ−Ｙｄ）２）
ＡＣ＝√（（Ｘａ−Ｘｃ）２＋（Ｙａ−Ｙｃ）２）
ＢＤ＝√（（Ｘｂ−Ｘｄ）２＋（Ｙｂ−Ｙｄ）２）
なお、本実施形態では、例えば、ＡＢ＝８０．０２ｍｍ、ＣＤ＝８０．０４ｍｍ、ＡＣ＝８０．００ｍｍ、ＢＤ＝８０．０８ｍｍ程度となっている。
【００３７】
次に、画像処理部１４では、シート積層体１からのグリーンチップの取り個数（本実施形態においては５０００個）の数に応じて、算出した距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤを割り、切断領域Ｄにおける切断線を算出する処理を行う。具体的には、本実施形態において、シート積層体１の内部に１００行５０列にコイル２が形成されているため、切断領域Ｄの境界付近における余白部分を考慮して、ＡＢ，ＣＤをグリーンチップの取り列数である５２で割り、ＡＣ，ＢＤをグリーンチップの取り行数である１０２で割る。そうすると、ＡＢの切断ピッチが１．５３８８ｍｍ、ＣＤの切断ピッチが１．５３９２ｍｍ、ＡＣの切断ピッチが０．７８４３ｍｍ、ＢＤの切断ピッチが０．７８５１ｍｍと求められ、これらの切断ピッチにより各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄを分割することで、各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄにおける切断位置がそれぞれ求められる。そして、対向する辺Ｌａｂ，Ｌｃｄと辺Ｌａｃ，Ｌｂｄとにおいて対応する切断位置同士を直線で結ぶことにより、列方向の切断線Ｗ１〜Ｗ５１及び行方向の切断線Ｌ１〜Ｌ１０１が定められることとなる。なお、図１においては、切断線を一部省略して描いている。
【００３８】
こうして、画像処理部１４によって各切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１が定められると、制御部１５がテーブル駆動部１２に指示して位置決めテーブル１１を動作させ、各切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１に沿って図示しない切断部材によりシート積層体１を切断する。具体的には、まず、テーブル駆動部１２が位置決めテーブル１１を動作させて、切断線Ｗ１と切断部材とが平行となるように調節する。そして、切断部材をシート積層体１へと下降させ、シート積層体１を切断線Ｗ１に沿って切断する。同様の手順で切断線Ｗ２から切断線Ｗ５１まで順次切断すると、制御部１５がテーブル駆動部１２に指示して位置決めテーブル１１を略９０°回転させる。そして、切断線Ｌ１〜Ｌ１０１についても、切断線Ｗ１〜Ｗ５１を切断する場合と同様の手順で順次切断する。
【００３９】
そして、シート積層体１を全ての切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１に沿って切断すると、シート積層体１及び支持体３に熱を加えて支持体３をシート積層体１から剥離する。こうして、シート積層体１から５０００個のグリーンチップが製造されることとなる。その後、グリーンチップの角部分を除去するためのグリーンバレル工程を経て、各グリーンチップが所定温度（例えば、８５０℃〜８９０℃程度）にて焼成されることで、積層方向から見て略台形状の素体４が形成される。そして、この素体４の両端に端子電極５が形成されることで、積層型インダクタ６が形成されることとなる（図５（ａ）参照）。なお、この積層型インダクタ６は、１００５タイプ等の種々の大きさのタイプで形成することができる。
【００４０】
ところで、各グリーンシートＡ１〜Ａ８を積層して圧着する際に、各グリーンシートＡ１〜Ａ８に対して加える圧力が一様でない場合には、シート積層体１が略台形状に変形することとなる（図１参照）。そのため、シート積層体１の内部においては、一例として図４に示されるように、各グリーンシートＡ１〜Ａ８の圧着前には整列していた各導体パターンＢ１〜Ｂ５が歪んで、各導体パターンＢ１〜Ｂ５にずれが生じてしまう。このとき、従来のグリーンチップの製造方法のように各切断線２０に沿ってシート積層体１を直交格子状に切断すると、導体パターンＢ１〜Ｂ５についても切断されて、側面に導体パターンＢ１等が露出した露出不良を有する積層型インダクタ３０が製造されてしまうこととなる（図５（ｂ）参照）。
【００４１】
しかしながら、本実施形態では、シート積層体１の表面の各角部にそれぞれ設けられたアライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄを撮像部１３によって撮像し、距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤを算出している。そして、シート積層体１からのグリーンチップの取り個数に応じて距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤを割ることにより切断位置を算出し、対応する切断位置を結ぶ直線によって切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１を定めている。このため、グリーンシートＡ１〜Ａ８を圧着してシート積層体１を形成する際に、シート積層体１が変形して各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄの距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤが変化した場合でも、各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄの距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤに応じてシート積層体１の切断位置が決定される。これにより、変形したシート積層体１であっても適切に切断することができ、グリーンチップの側面に導体パターンが露出することがほとんどなくなる。そのため、シート積層体１の切断精度が±１０μｍであることが求められる１００５タイプの積層型インダクタ６を製造する際には、特に有効となる。
【００４２】
また、本実施形態では、各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄについて同時に切断位置を算出しているので、シート積層体１の切断誤差が少ないものとなっている。
【００４３】
ここで、本発明に係るグリーンチップの製造方法の有効性を示すために、本発明に係るグリーンチップの製造方法を用いて製造されたグリーンチップと、従来の方法によって製造されたグリーンチップとにおいて、導体パターンがグリーンチップの側面に露出したグリーンチップの割合を示す露出不良率を求めるための試験を行った。試験の結果、本発明に係るグリーンチップの製造方法では、２０万個程度の検体数に対して露出不良率が０．０１３％であったのに対して、従来のグリーンチップの製造方法では、１０万個程度の検体数に対して露出不良率が０．６４％であった。このことから、本発明に係るグリーンチップの製造方法では、変形したシート積層体１であっても適切に切断することができると共に、歩留まりの向上が図られ、量産性に優れているものであるといえる。
【００４４】
次に、図１及び図７を参照して、本実施形態に係るグリーンチップの製造方法の別の実施形態について説明する。図７は、別の実施形態に係るグリーンチップの製造方法が適用されるシート積層体１の上面図である。別の実施形態に係るグリーンチップの製造方法において、各アライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄを撮像して各辺の距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤを算出するまでの工程は上述した工程と同じであるため、その説明を省略する。
【００４５】
画像処理部１４では、距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤを算出すると、次に切断領域Ｄの対角に位置するアライメントマークＭ１ｂ，Ｍ１ｃ間の距離ＢＣ及びアライメントマークＭ１ａ，Ｍ１ｄ間の距離ＡＤを算出する。具体的には、距離ＢＣ，ＡＤは、以下の式により求められる。
ＢＣ＝√（（Ｘｂ−Ｘｃ）２＋（Ｙｂ−Ｙｃ）２）
ＡＤ＝√（（Ｘａ−Ｘｄ）２＋（Ｙａ−Ｙｄ）２）
【００４６】
次に、以上のように求められた距離ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤを用いて、以下の式により各辺の成す角度α〜δを算出する。
α＝ｃｏｓ−１（（ＡＢ２＋ＡＣ２−ＢＣ２）／（２・ＡＢ・ＡＣ））
β＝ｃｏｓ−１（（ＡＢ２＋ＢＤ２−ＡＤ２）／（２・ＡＢ・ＢＤ））
γ＝ｃｏｓ−１（（ＡＣ２＋ＣＤ２−ＡＤ２）／（２・ＡＣ・ＣＤ））
δ＝ｃｏｓ−１（（ＢＤ２＋ＣＤ２−ＢＣ２）／（２・ＢＤ・ＣＤ））
そして、これら各辺の成す角α〜δに基づいて、以下の式により辺Ｌａｂと辺Ｌｃｄとが成す角度θ１及び辺Ｌａｃと辺Ｌｂｄとが成す角度θ２を算出する。
θ１＝α＋β−１８０
θ２＝γ＋δ−１８０
なお、本実施形態では、例えば、θ１＝０．０１４３２°、θ２＝０．０５７２８°程度となる。
【００４７】
次に、画像処理部１４では、シート積層体１からのグリーンチップの取り個数に応じて、算出した距離ＡＢ，ＡＣ及び角度θ１，θ２を割り、シート積層体１における切断線を算出する処理を行う。具体的には、本実施形態において、シート積層体１の内部に１００行５０列にコイル２が形成されているため、切断領域Ｄの境界付近における余白部分を考慮して、辺Ｌａｂの距離ＡＢをグリーンチップの取り列数である５２で割り、辺Ｌａｃの距離ＡＣをグリーンチップの取り行数である１０２で割る。そうすると、辺Ｌａｂの切断ピッチが１．５３８８ｍｍ、辺Ｌａｃの切断ピッチが０．７８４３ｍｍと求められ、これらの切断ピッチにより各辺Ｌａｂ，Ｌａｃを分割することで、各辺Ｌａｂ，Ｌａｃにおける切断位置がそれぞれ求められる。また、角度θ１をグリーンチップの取り列数である５２で割ることで列方向の切断線の角度ピッチが０．００２７５４°と求められ、角度θ２をグリーンチップの取り行数である１０２で割ることで行方向の切断線の角度ピッチが０．０００５６１６°と求められる。なお、辺Ｌａｂの切断ピッチ及び辺Ｌａｃの切断ピッチを求める際、距離ＡＢ，ＣＤの平均値をグリーンチップの取り列数である５２で割って辺Ｌａｂの切断ピッチとし、距離ＡＣ，ＢＤの平均値をグリーンチップの取り行数である１０２で割って辺Ｌａｃの切断ピッチとしてもよい。
【００４８】
次に、画像処理部１４では、以上のようにして求められた切断位置及び角度ピッチに基づいて、各切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１を定める処理を行う。具体的には、各切断線Ｗ１〜Ｗ５１は、辺Ｌａｂ上においてアライメントマークＭ１ａからの距離が１．５３８８ｍｍ〜７８．４７８８ｍｍ（辺Ｌａｂにおける切断ピッチの１〜５１倍）となる切断位置をそれぞれ通ると共に、辺Ｌａｃに対する傾きが０．００２７５４°〜０．１４０４５４°（角度θ１における角度ピッチの１〜５１倍）となるようにそれぞれ定められる。一方、各切断線Ｌ１〜Ｌ１０１は、辺Ｌａｃ上においてアライメントマークＭ１ａからの距離が０．７８４３ｍｍ〜７９．２１４３ｍｍ（辺Ｌａｃにおける切断ピッチの１〜１０１倍）となる切断位置をそれぞれ通ると共に、辺Ｌａｂに対する傾きが０．０００５６１６°〜０．０５６７２１６°（角度θ２における角度ピッチの１〜１０１倍）となるようにそれぞれ定められる。
【００４９】
こうして、画像処理部１４によって各切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１が定められると、上述した実施形態と同様にシート積層体１を各切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１に沿って切断して、グリーンチップを製造する。
【００５０】
以上のように、別の実施形態では、シート積層体１の表面の各角部にそれぞれ設けられたアライメントマークＭ１ａ〜Ｍ１ｄを撮像部１３によって撮像し、距離ＡＢ，ＡＣ及び角θ１，θ２を算出している。そして、シート積層体１からのグリーンチップの取り個数に応じて距離ＡＢ，ＡＣを割ることにより切断位置を算出し、同じくグリーンチップの取り個数に応じて角θ１，θ２を割って得られた角度ピッチに基づいて各切断位置を通過する切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１を定めている。これにより、変形したシート積層体１であっても適切に切断することができ、グリーンチップの側面に導体パターンが露出することがほとんどなくなる。そのため、シート積層体１の切断精度が±１０μｍであることが求められる１００５タイプの積層型インダクタ６を製造する際には、特に有効となる。
【００５１】
また、本実施形態では、各辺Ｌａｂ，Ｌａｃについて同時に切断位置を算出しているので、シート積層体１の切断誤差が少ないものとなっている。
【００５２】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では、各辺Ｌａｂ，Ｌｃｄ，Ｌａｃ，Ｌｂｄについて切断位置を求めた後に各切断線Ｗ１〜Ｗ５１，Ｌ１〜Ｌ１０１に沿ってシート積層体１を切断したが、例えば辺Ｌａｂ，Ｌｃｄについて切断位置を求めて各切断線Ｗ１〜Ｗ５１に沿ってシート積層体１を切断した後、辺Ｌａｃ，Ｌｂｄについて切断位置を求めて各切断線Ｌ１〜Ｌ１０１に沿ってシート積層体１を切断してもよい。
【００５３】
また、本実施形態では、本発明に係るグリーンチップの製造方法をグリーンシートＡ１〜Ａ８を積層したシート積層体１を切断してグリーンチップを製造するために用いたが、この他に多層構造の樹脂基板等を切断する場合にも本発明を適用することができる。
【００５４】
また、本実施形態では、シート積層体１から積層型インダクタ６を製造する場合について説明したが、これに限られず、その他の積層型電子部品（例えば、積層型バリスタ、積層型コンデンサ、積層型フィルタ）に対して適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本実施形態に係るグリーンチップの製造方法が適用されるシート積層体の上面図である
【図２】シート積層体の斜視図である。
【図３】シート積層体の分解斜視図である。
【図４】シート積層体の内部の様子を示す図である
【図５】（ａ）は本発明に係る方法で製造されたグリーンチップを用いて形成された積層型インダクタの斜視図であり、（ｂ）は従来の方法で製造されたグリーンチップを用いて形成された積層型インダクタの斜視図である。
【図６】グリーンチップの切断装置を示す概略図である。
【図７】別の実施形態に係るグリーンチップの製造方法が適用されるシート積層体の上面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１…シート積層体、Ａ１〜Ａ８…グリーンシート、Ｂ１〜Ｂ５…導体パターン、Ｂ１ａ，Ｂ５ａ…導出部、Ｃ１〜４…スルーホール電極、Ｄ…切断領域、Ｍ１〜Ｍ７…アライメントマーク、ＡＢ，ＣＤ，ＡＣ，ＢＤ…距離、θ１，θ２…角度。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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