(57)【要約】      （修正有）【課題】主に圧電素板である振動子片のベベリング加工効率の良好な傾斜型遠心バレル研磨装置及びその加工容器を提供する。【解決手段】公転軸１を軸心にして回転する公転板２と、公転板に設けられた自転軸３と、この自転軸を軸心にして自転する加工容器ホルダー４と、容器ホルダー内に固定して保持される加工容器と、公転軸、及びこの自転軸を独自、又は連動して回転させ、かつ回転方向、回転数、及び回転時間を制御する駆動モータ、及び駆動回転機構を備えた傾斜型遠心バレル研磨装置において、公転軸に対する加工容器ホルダーの自転軸に対する角度が変えられること、及び／または、加工容器ホルダー内の加工容器の設置角度が変えられることを特徴とし、また、加工容器形状が略円筒形であり、加工容器の両端隅部はこの加工容器の円筒径よりも小さな所定の曲率をもつＲ加工部と平面部により構成され、蓋にて密封される構造をもつ。【選択図】  図１
2006281377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
公転軸を軸心にして回転する公転板と、該公転板に設けられた自転軸と、該自転軸を軸心にして自転する加工容器ホルダーと、該容器ホルダー内に固定して保持される加工容器と、該公転軸、及び該自転軸を独自、又は連動して回転させ、かつ回転方向、回転数、及び回転時間を制御する駆動モータ、及び駆動回転機構を備えた傾斜型遠心バレル研磨装置において、
該公転軸に対する加工容器ホルダーの自転軸に対する角度が変えられること、及び／または、該加工容器ホルダー内の加工容器の設置角度が変えられることを特徴とする傾斜型遠心バレル研磨装置。
【請求項２】
該加工容器の隅部が所定の曲率をもったＲ加工をされており、そのＲ加工形状に合わせて該加工容器の角度が該公転軸の軸心に対して変えられることを特徴とする請求項１記載の傾斜型遠心バレル研磨装置。
【請求項３】
装置設置面に対して水平方向に設けられた公転軸に固定された公転板と、該公転板に設けられた自転軸と、該自転軸に固定され自転する容器ホルダーと、該公転軸、及び該自転軸を回転させ、かつ回転方向、回転数、及び回転時間を制御する駆動モータ、及び駆動回転機構を備えた傾斜型遠心バレル研磨装置に使用される該加工容器ホルダー内に固定保持される加工容器において、
該加工容器形状は略円筒形であり、該加工容器の両端隅部は該加工容器の円筒径よりも小さな所定の曲率をもつＲ加工部と平面部により構成され、蓋にて密封される構造を有することを特徴とする加工容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子片などの圧電素板をべべリング加工する際に使用する傾斜型遠心バレル研磨装置、及びその装置に使用する加工容器に関するもので、特に小型で薄型の圧電素板である振動子片の効率の良いべべリング加工を実現できる傾斜型遠心バレル研磨装置、及びその装置に用いる加工容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、圧電振動子や圧電発振器のパッケージ外形寸法の小型化に伴い、べべリング加工を行う圧電素板の周波数の高周波化、及びその小型化が極めて急速に進んでいる。すなわち、圧電振動子や圧電発振器等の電子部品の小型化に伴い、その内部に搭載される圧電振動板を構成する圧電素板である振動子片についてもその外形寸法の小型化が必要とされると同時に、発振周波数の高周波化も進んでいることから振動子片の薄型化も必要とされるようになっている。
【０００３】
例えば、圧電材料のひとつである圧電素板の水晶振動子片では一般にＡＴカットと言われる結晶軸に対して斜めとなる角度で切断された後、ラッピングまたは必要によりベベリング加工を施すことによってその振動子片のクリスタルインピーダンス（以下ＣＩという）が改善される。
【０００４】
一方で、ＡＴカットなどの圧電素板は次式にあるように、圧電素板の厚みに依存するために、その表面に凹凸が発生すると周波数成分が分散するので、特に高周波領域ではＣＩが悪化してしまう。
周波数（ｋＨｚ）  =  １６７０（ｋＨｚ・ｍｍ）  /  厚み（ｍｍ） 
【特許文献１】特許第２８９７２０２号
【特許文献２】特開平１１−２４５１６０号公報
【特許文献３】特開２００４−９０１１３号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のべべリング加工では、加工容器と振動子片の運動差により加工容器の内壁において擦れることにより振動子片のべべリング加工が成されるので、加工容器内部の曲率Ｒを単純に小さくした場合、容器内に投入して効果的にべべリング加工が行われる振動子片の数が減少するという問題があった。
【０００７】
また、従来のべべリング加工の装置、及びその加工容器を用いたべべリング加工を振動子片に施す場合、加工された振動子片を使用した製品の製品特性として周波数可変幅を必要とするＶＣＸＯ（Voltage Controlled Crystal Oscillator）などでは、振動子片の振動部と成る部分をなるべく平らなまま残しておくことが求められるが、振動子片の小型化に伴って、それが困難となるという問題があった。
【０００８】
本発明は、以上のような技術的背景のもとで成されたものであり、従がってその目的は、主に圧電素板である振動子片のべべリング加工効率の著しく良好な傾斜型遠心バレル研磨装置、及びそれに使用する加工容器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために本発明は、公転軸を軸心にして回転する公転板と、公転板に設けられた自転軸と、この自転軸を軸心にして自転する加工容器ホルダーと、容器ホルダー内に固定して保持される加工容器と、公転軸、及びこの自転軸を独自、又は連動して回転させ、かつ回転方向、回転数、及び回転時間を制御する駆動モータ、及び駆動回転機構を備えた傾斜型遠心バレル研磨装置において、公転軸に対する加工容器ホルダーの自転軸に対する角度が変えられること、及び／または、加工容器ホルダー内の加工容器の設置角度が変えられることを特徴とする。
【００１０】
また、加工容器の隅部が所定の曲率をもったＲ加工をされており、そのＲ加工形状に合わせて加工容器の角度が、公転軸の軸心に対して変えられることを特徴とする。
【００１１】
また、装置設置面に対して水平方向に設けられた公転軸に固定された公転板と、この公転板に設けられた自転軸と、自転軸に固定され自転する容器ホルダーと、公転軸、及び自転軸を回転させ、かつ回転方向、回転数、及び回転時間を制御する駆動モータ、及び駆動回転機構を備えた傾斜型遠心バレル研磨装置に使用される加工容器ホルダー内に固定保持される加工容器において、加工容器形状は略円筒形であり、加工容器の両端隅部はこの加工容器の円筒径よりも小さな所定の曲率をもつＲ加工部と平面部により構成され、蓋にて密封される構造を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置、及びそれに使用される加工容器により、小型化高周波化が進んだ小型の矩形状をした圧電素板の長辺方向のべべリング加工を、チッピング不良の発生を抑制して、著しく効率良く加工することが出来る。
【００１３】
また、本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置、及びそれに使用される加工容器により、出力される周波数の可変幅を必要とするＶＣＸＯ（Voltage Compensated Crystal Oscillator）といった製品に用いる圧電素板の振動部をべべリング加工後もなるべく平らなまま残しておきたいといった要求にも対応するべべリング加工を行うことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。 なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１５】
図１は本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置６を正面方向から見た概略の正面模式図である。なお、図１乃至図５において、説明を明瞭にするために一部図示せず、また寸法も一部誇張された概略図としている。
【００１６】
図１の本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置６においては、公転軸１を軸心にして回転する公転板２と、公転板２に設けられた自転軸３と、自転軸３を軸心にして自転する加工容器ホルダー４と、加工容器ホルダー４内に固定して保持されるこの図１には図示されていない加工容器５と、公転軸１、及び自転軸３を独自、又は連動して回転させ、かつ回転方向、回転数、及び回転時間を制御し、装置６に内蔵されているため図示されてはいないが、駆動モータ、及び駆動回転機構を備えた傾斜型遠心バレル研磨装置であり、公転軸１に対する加工容器ホルダー４の自転軸３に対する角度が変えられること、または、加工容器ホルダー４内の加工容器５の設置角度を変えて設定することが出来る。ここで公転軸１の回転方向と自転軸３の回転方向とは正逆どちらの回転方向でもかまわない。装置６に内蔵され図示されていないが、十分な強度をもった角度調整機構を装置６の内部に付加することにより、加工容器５内に収容される加工対象の振動子片に最も適した加工容器５の傾斜角度を設定することが出来る。また、図１で見える本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置６内の加工容器ホルダー４の数量は二つだが、これに限られるものでは無く、それ以上の数量でも全く構わず、この場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
【００１７】
即ち、加工容器の両端の隅部が所定の曲率をもったＲ加工１０をされていれば、加工対象の振動子片にべべリング加工により転写する先のＲ加工形状に合わせて加工容器５の角度を、公転軸の軸心１２に対して最適なものとするように先述の装置６内部の角度調整機構により変えて設定することが出来るものである。
【００１８】
図２は本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置６の内部に設置される加工容器５を公転軸の軸心１２の方向から見た概略の模式図である。この図２では、加工容器ホルダー４は図示されていない。また図２では公転板２に対して設置されている加工容器５は４つと成っているが、これ以上の加工容器５の数量でも全く構わず、この場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。なお、この図２は模式図で加工容器５のそれぞれの断面を楕円形状とはしていない。
【００１９】
図３は本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置６の内部に設置される加工容器ホルダー４とその内部に設置される加工容器５を自転軸３に平行の方向から見た概略の模式図である。本発明ではこの図３に図示されているように、装置６の装置設置面１３に対して水平方向に設けられた公転軸１に対する加工容器ホルダー４の自転軸３に対する角度を変えられること及び、加工容器ホルダー４内の加工容器５の設置角度を変えることが出来るため、所望する最適な小さなＲ形状を加工対象物の振動子片に転写することが出来る。
【００２０】
図４は本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置６の内部に設置される加工容器５と装置６の公転軸１との配置の関係と、本発明の加工容器５の形状を示す概略の模式図である。本発明の加工容器５形状は略円筒形であり、加工容器５の両端隅部はこの加工容器５の円筒径１５よりも小さな所定の曲率をもつＲ加工された加工容器５の両端隅部と平面部１７により構成され、蓋体にて密封される構造を有する。また、蓋体は加工容器５の公転、及び自転の際には加工容器５自体から外れないような構造になっているが図示はされていない。また、加工対象の振動子片の寸法と要求される転写したいＲ形状に合わせて、加工容器５両端が所望のＲ形状をもつ加工容器５を選定して加工を行うことも出来る。本発明の加工容器５では、加工容器５両端部のＲ形状を加工容器５の円筒径１５よりも小さいＲ寸法とすることにより、従来は実現が困難であった小径のＲ形状を振動子片に転写することが実現出来る。
【００２１】
図５は従来の傾斜型遠心バレル研磨装置６の内部に設置される加工容器５と装置６の公転軸１との配置の関係と、従来の加工容器５の形状を示す概略の模式図である。すなわち、円筒形加工容器の両端で円筒径１５が直径となる加工容器５であり、加工容器５の直線部位に対して、加工容器５両端部のＲ加工１０では、加工対象の振動子片は単なる横滑り運動からＲ（曲線）運動へと変化するために、円筒形の加工容器５を用いて公転軸１に対して傾斜が無い場合の振動子片の長辺部が優先的に加工されることに成る。また、同じく円筒形の加工容器５を用い、公転軸１に対して加工容器５に傾斜がある場合、加工容器５両端部への振動子片の衝突により振動子片の短辺部の加工も成されるが円筒径１５よりも小さなＲ加工が出来なかった。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置を正面方向から見た概略の正面模式図である。
【図２】本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置の内部に設置される公転板と、加工容器を公転軸心の方向から見た概略の模式図である。
【図３】本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置の内部に設置される加工容器ホルダーとその内部に設置される加工容器を自転軸に平行の方向から見た概略の模式図である。
【図４】本発明の傾斜型遠心バレル研磨装置の内部に設置される加工容器と装置の公転軸との配置の関係と、本発明の加工容器の形状を示す概略の模式図である。
【図５】従来の傾斜型遠心バレル研磨装置の内部に設置される加工容器と装置の公転軸との配置の関係と、従来の加工容器の形状を示す概略の模式図である。
【符号の説明】
【００２３】
１    公転軸
２    公転板
３    自転軸
４    加工容器ホルダー
５    加工容器
６    傾斜型遠心バレル研磨装置
９    加工容器の隅部
１０  Ｒ加工
１２  公転軸の軸心
１３  装置設置面
１５  加工容器の円筒径
１７  平面部
【図１】
2006281377.tif 000003
【図２】
2006281377.tif 000004
【図３】
2006281377.tif 000005
【図４】
2006281377.tif 000006
【図５】
2006281377.tif 000007