(57)【要約】【課題】  ワークを載置する載置手段の弛みを除去し、ワークに対してテープ部材を一層良好に接着でき、テープ剥がしを容易に行え、かつワークへの塵埃の付着防止および真空吸引時のワークの位置ずれを防止することが可能なテープ接着装置を提供すること。【解決手段】  テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、ワークを載置する載置手段と、載置手段およびこの載置手段に載置されるワークを内在させると共に、内部を密封状態で閉塞可能な真空室と、ワークの法線方向に向かい、載置手段を移動させる移動手段と、真空室の内部に設けられると共に、ワークに対し、その法線方向において離間した部位でテープ部材を保持するテープ保持手段と、真空室の内部を真空吸引する吸引手段と、を具備すると共に、真空室の内部においてワークの外周縁部に当接し、該ワークの位置決めを行う位置決め手段が設けられているものである。【選択図】  図４
2006222231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、
上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、
上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、
上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、
上記真空室に対して空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、
上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させるテープ保持手段と、
上記真空室の内部において上記伸縮シートの上面に載置される上記ワークの外周縁部に当接し、該ワークの位置決めを行う位置決め手段と、
上記真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、
上記空気導入部を真空吸引する第２の吸引手段と、
上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、
を具備することを特徴とするテープ接着装置。
【請求項２】
前記伸縮シート部材は、ゴムシートであると共に、前記位置決め手段は、上記ゴムシートの表面から突出する状態で設けられているゴム突起であることを特徴とする請求項１記載のテープ接着装置。
【請求項３】
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、
上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、
上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、
上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、
上記真空室に対して空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、
上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させるテープ保持手段と、
上記真空室に先端部が出現可能に設けられていると共に、上記テープ部材を切断するための切断手段と、
上記真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、
上記空気導入部を真空吸引する第２の吸引手段と、
上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、
を具備し、上記テープ部材は、上記切断手段の先端部により、上記ワークの外周縁部に沿って切断可能に設けられていることを特徴とするテープ接着装置。
【請求項４】
前記テープ部材は樹脂をシート状に延伸することにより形成されていると共に、前記切断手段は、前記テープ部材に接触した際に、当該接触部分を熱によって溶かすことにより、前記テープ部材を熱切断することを特徴とする請求項３記載のテープ接着装置。
【請求項５】
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、
上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、
上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、
上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、
上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、
上記真空室に対して空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、
上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させるテープ保持手段と、
既に上記テープ部材が接着されている上記ワークから、該テープ部材を上記真空室内で剥がすためのテープ剥がし手段と、
上記真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、
上記空気導入部を真空吸引する第２の吸引手段と、
上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、
を具備することを特徴とするテープ接着装置。
【請求項６】
前記テープ部材は、紫外線硬化型テープであると共に、前記テープ剥がし手段は、該テープ部材に紫外線を照射する紫外線照射手段を具備することを特徴とする請求項５記載のテープ接着装置。
【請求項７】
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、
上記ワークの上部側に位置する上記テープ部材を、テープ保持手段に保持させるテープ保持ステップと、
伸縮シート部材の上面に上記ワークが載置され、かつ上記テープ保持手段によって該ワークの上部に上記テープ部材を張設状態で位置させた状態で、上記伸縮シート部材の上面側に位置する真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、上記伸縮シート部材により上記真空室から仕切られると共に該伸縮シート部材の下面側に位置する空気導入部を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、
上記吸引ステップによって、上記真空室および上記空気導入部が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出ステップと、
上記真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したことを検出した後に、上記第２の吸引手段の作動停止により上記空気導入部の真空吸引を停止すると共に、空気導入手段を作動させて該空気導入部に空気を導入する空気導入ステップと、
上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて上記テープ部材に接着させる接着ステップと、
上記接着ステップ経過後に、上記ワークに対して接着が為された上記テープ部材のうち、該ワークの表面からはみ出している部分を切断手段を用いて切断する切断ステップと、
を具備することを特徴とするテープ接着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対してテープ部材を接着させるテープ接着装置およびテープ接着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程においては、半導体ウエハ（以下、ウエハという。）の表面に回路パターンを形成した後に、ウエハ裏面を研磨して薄型化を図り、形成される半導体チップの小型化・薄型化に対応することがある。また、薬液を用いてケミカルエッチング処理を施して、該ウエハの薄型化を図る製造工程を行う場合もある。
【０００３】
かかる製造工程においては、ウエハ表面に粘着状の保護テープ（以下、テープ部材という。）を貼り付けている。それによって、ウエハ表面が汚染されたり、該ウエハの表面に傷がついて回路が損傷するのを防いでいる。
【０００４】
このようなウエハ表面に、テープ部材を接着させるテープ接着装置としては、特許文献１記載のものがある。この特許文献１記載のテープ接着装置では、本体側の部屋および上蓋側の部屋の両方とも真空にしている状態から、上蓋側の部屋を大気圧に切り替える。それによって、上蓋側の部屋と本体側の部屋との間に差圧が生じ、その差圧によって、ゴムシートが本体側の部屋に膨らむ。そして、この膨らみによって、ゴムシートがテープ部材を押し、ワークに対してテープ部材を接着させている。
【０００５】
また、他のテープ接着装置としては、特許文献２記載のものがある。この特許文献２記載のものでは、第１の真空室と第２の真空室との間の差圧を利用して、平滑性の高い基台の中央部をテープ部材側に向けて撓ませている。これと共に、中央部を撓ませた基台を、ウエハに貼付されたテープ部材に押し付けながら、昇降装置の駆動によりウエハを持ち上げている。このようにすることで、テープ部材の中央側から外方に向けて空気を押し出しながら、ウエハに対してテープ部材を接着している。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−７８０８号公報（段落番号０００７、図２〜４参照）
【特許文献２】特開２０００−３４９０４７号公報（要約、図１〜図５参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の特許文献１記載の構成は、着想レベルに留まっていて、その構成が具体的でない。そのため、かかる構成に基づいて実際に実施しようとした場合には、種々の不具合が生じる。例えば、特許文献１記載の構成では、ゴムシートが上部に位置しているため、該ゴムシートの自重による弛みを除去するためには、ゴムシートを張る際の張力をかなり高める必要がある。このため、ゴムシートの取付作業が困難となる、という課題を有している。
【０００８】
特に、テープ部材の接着を効率的に行うためには、テープ部材をウエハに接着する作業を開始する初期位置では、ゴムシートに対して接触しているテープ部材と、ウエハとの間の隙間が小さいのが通常である。かかる隙間が小さい状態において、ゴムシートに弛みが生じると、真空吸引を行う前の段階から、ウエハにテープ部材が接着し、かかる接着面に気泡が入り込む、という不具合が生じることがある。
【０００９】
また、特許文献１記載の構成では、複数の押しネジが設けられていて、これらの押しネジの全てを回転させる必要があり、押しネジを同時に回転させる必要がある場合、困難な作業となる。さらに、特許文献１記載の構成では、上蓋を取り除いた状態で、テープ部材やウエハを設置する必要がある。このため、工数が余分に掛かるものとなっている。
【００１０】
また、特許文献２記載の構成では、第１の真空室と第２の真空室との間の差圧を利用して、ガラス板等の基台を撓ませて、ウエハが貼付されたテープ部材に対して基台を接着させると共に、この接着状態から、さらにウエハが貼付されたテープ部材および基台を持ち上げている。このため、２段階の接着工程を有し、手間が掛かり、コスト的にも好ましくない。また、ウエハ等を持ち上げるために、別途昇降装置が必要となるので、構成が複雑となり、その分だけコストが掛かる。
【００１１】
ここで、本出願人は、特願２００３−２８９８０９および特願２００４−１５４０５０の出願を行い、これら従来のテープ接着装置を改良するようにしている。これらによれば、上述の特許文献１および特許文献２等に開示されている構成が備える、不具合が除去されている。
【００１２】
ところで、上述の特許文献１，２、特願２００３−２８９８０９および特願２００４−１５４０５０に開示されているテープ接着装置においては、いずれも、テープ部材を貼り付けるための構成が重点的に開示されている。そのため、ワークにテープが貼り付けられた後に、該テープ部材を剥がす構成については、開示されていない。ここで、テープ部材をワークから剥がす場合、ワークとテープ部材との間に生じる摩擦により、静電気が生じることが多い。かかる静電気が発生すると、該静電気のクーロン力によって、周囲の雰囲気を飛散している塵埃がワークに吸引され、該塵埃がワークに付着することがある。かかる塵埃の付着は、以後のプロセスにおいて、不良の原因となる。そのため、テープ部材を剥がす場合において、ワークに塵埃を付着させないことが望まれている。
【００１３】
ここで、テープ部材をワークから剥がす場合、現状では、例えばクリーンルームといった、周囲の雰囲気が清浄化された状態で、テープ部材をワークから剥がしている。しかしながら、クリーンルームを用いる場合でも、テープ部材の剥がしに伴なう静電気の発生は防止できないため、ワークに微細な塵埃が付着することのを防ぐことは難しい。
【００１４】
また、ワークにテープ部材を貼り付けると、通常、ワークの外周縁からテープ部材がはみ出す。このはみ出し部分の面積が大きい場合、テープ部材をワークの外周縁に沿って切断している。ここで、テープ部材を切断する場合、現状では刃物を用いて行っている。しかしながら、刃物を用いた切断では、テープ部材から切り屑等が発生してしまう。そして、この切り屑等が、例えばテープ接着装置の内部に留まると、新たにワークに対してテープ部材を接着させる場合、その切り屑等がワークやテープ部材に付着し、良好な接着状態が得られない、という問題も発生する。
【００１５】
また、特願２００３−２８９８０９および特願２００４−１５４０５０に開示されているテープ接着装置の内部にウエハを設置する場合、真空吸引に伴って生じる気流により、ウエハが振動する（暴れる）という問題が生じる。かかる振動（暴れ）が生じると、ウエハの上面の外周縁部等がテープ部材に接触してしまい、良好に接着を行えない、という問題が生じる。
【００１６】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、ワークを載置する伸縮シート部材の弛みを除去しつつ、ワークに対してテープ部材を一層良好に接着できると共に、テープ剥がしを容易に行え、かつワークへの塵埃の付着防止および真空吸引時のワークの位置ずれを防止することが可能なテープ接着装置、およびテープ接着方法を提供しよう、とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、上面にワークが載置される伸縮シート部材と、伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、伸縮シート部材の下面側であって空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、伸縮シート部材が載置される載置部と、真空室に対して空気の導通を防止する状態で伸縮シート部材を保持する保持部材と、伸縮シート部材に載置されるワークの上部でテープ部材を保持させるテープ保持手段と、真空室の内部において伸縮シートの上面に載置されるワークの外周縁部に当接し、該ワークの位置決めを行う位置決め手段と、真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、空気導入部を真空吸引する第２の吸引手段と、空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、を具備するものである。
【００１８】
このように構成した場合には、ワークは伸縮シート部材の上面に載置され、その上部には、テープ保持手段でテープ部材が保持される。この状態で、第１の吸引手段および第２の吸引手段を作動させ、真空室および空気導入部の真空排気を行う。その後に、空気導入手段を作動させて、空気導入部の内部に空気を導入する。すると、真空状態が維持されている真空室と、空気が導入された空気導入部との間の差圧によって、その境界部分を保持部材で密閉している伸縮シート部材は、真空室の内部に向かって膨張する。この膨張によって、伸縮シート部材はワークを持ち上げ、ワークがテープ部材に接触する。
【００１９】
その状態から、さらに伸縮シート部材が膨張すると、ワークの全面に対して良好にテープ部材を押し付けて、接着させることができる。このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。かかる接着では、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。また、伸縮シート部材の膨張を利用するため、ワークをテープ部材に向けて移動させる特別な構成が不要となる。このため、簡易な構成でワークをテープ部材に向けて移動させることができる。
【００２０】
ここで、テープ接着装置には、位置決め手段が設けられている。そして、この位置決め手段により、真空室の内部におけるワークの位置決めが良好に為される。このため、真空吸引に伴って真空室の内部で生じる気流により、ウエハが振動する（暴れる）といった事態が生じるのを防ぐことができる。それにより、ウエハの上面のうち、例えば外周縁部がテープ部材に接触する、といった事態が生じるのを防止することができ、ワークに対してテープ部材が不正常な状態で接着され、しわ等が生じたり、ワークとテープ部材との間に気泡が入り込んだりするのを、防ぐことができる。そのため、ワークに対するテープ部材の接着を、一層良好に行うことが可能となる。
【００２１】
また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、伸縮シート部材は、ゴムシートであると共に、位置決め手段は、ゴムシートの表面から突出する状態で設けられているゴム突起としたものである。
【００２２】
このように構成した場合には、伸縮シート部材がゴムシートであるため、真空室および空気導入部の圧力を種々変更することにより、該ゴムシートを真空室側に膨らませたり、逆に真空室側に膨らんでいる状態から戻したりする動作を容易に行うことができる。それによって、ワークをテープ部材に容易に接着させることが可能となる。また、ワークの外周縁部は、ゴム突起の外周部分に当接し、該ワークのゴムシートにおける位置決め固定が為される。このため、ワークの外周縁部に傷が生じる等の不具合が生じるのを防ぐことができる。また、ワークをゴムシートに直接載置できるため、ワークに反りが生じている場合でも、そのワークの反りにゴムシートを倣わせることが可能となる。それにより、剛性のある治具を用いてワークを保持する場合と比較して、ワークの保持を均一に行うことができ、テープ部材に対するワークの接着を良好に行うことが可能となっている。
【００２３】
さらに、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、上面にワークが載置される伸縮シート部材と、伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、伸縮シート部材の下面側であって空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、伸縮シート部材が載置される載置部と、真空室に対して空気の導通を防止する状態で伸縮シート部材を保持する保持部材と、伸縮シート部材に載置されるワークの上部でテープ部材を保持させるテープ保持手段と、真空室に先端部が出現可能に設けられていると共に、テープ部材を切断するための切断手段と、真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、空気導入部を真空吸引する第２の吸引手段と、空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、を具備し、テープ部材は、切断手段の先端部により、ワークの外周縁部に沿って切断可能に設けられているものである。
【００２４】
このように構成した場合には、ワークは伸縮シート部材の上面に載置され、その上部には、テープ保持手段でテープ部材が保持される。この状態で、第１の吸引手段および第２の吸引手段を作動させ、真空室および空気導入部の真空排気を行う。その後に、空気導入手段を作動させて、空気導入部の内部に空気を導入する。すると、真空状態が維持されている真空室と、空気が導入された空気導入部との間の差圧によって、その境界部分を保持部材で密閉している伸縮シート部材は、真空室の内部に向かって膨張する。この膨張によって、伸縮シート部材はワークを持ち上げ、ワークがテープ部材に接触する。
【００２５】
その状態から、さらに伸縮シート部材が膨張すると、ワークの全面に対して良好にテープ部材を押し付けて、接着させることができる。このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。かかる接着では、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。また、伸縮シート部材の膨張を利用するため、ワークをテープ部材に向けて移動させる特別な構成が不要となる。このため、簡易な構成でワークをテープ部材に向けて移動させることができる。
【００２６】
ここで、切断手段を用いることにより、ワークに対するテープ部材の接着後に、ワークの外周縁部からはみ出しているテープ部材を切断することが可能となる。このため、ワークに対してテープ部材を接着させた後に、テープ接着装置の外部において、別途、テープ部材のはみ出し部分を切断する、といった手間がかからなくなり、工数を削減することが可能となる。
【００２７】
また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、テープ部材は樹脂をシート状に延伸することにより形成されていると共に、切断手段は、テープ部材に接触した際に、当該接触部分を熱によって溶かすことにより、テープ部材を熱切断するものである。
【００２８】
このように構成した場合には、テープ部材のうち、ワークの外周縁部からはみ出している部分を、熱切断によって切断させることができる。そのため、刃物の押し付けによる切断と比較して、切り屑等が生じない。すなわち、刃物を押し当てて切断する方式を採用する場合、テープ部材の切断箇所から細かな切り屑等が発生し、その切り屑等がワークに付着する等すると、該ワークの後処理において不良の原因となり、好ましくない。しかしながら、熱切断でテープ部材を切断することにより、かかる不良の原因を、除去することが可能となる。また、刃物を押し当てて、テープ部材を切断する場合、当該刃物の刃先には鋭利さが常時求められ、いずれ磨耗による刃物交換等が必要となる。しかしながら、切断手段がヒータを内蔵する場合、カッターには鋭利さが必要とされることはなく、そのため、磨耗等の問題が発生するのを抑えることが可能となる。
【００２９】
また、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、上面にワークが載置される伸縮シート部材と、伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、伸縮シート部材の下面側であって空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、伸縮シート部材が載置される載置部と、真空室に対して空気の導通を防止する状態で伸縮シート部材を保持する保持部材と、伸縮シート部材に載置されるワークの上部でテープ部材を保持させるテープ保持手段と、既にテープ部材が接着されているワークから、該テープ部材を真空室内で剥がすためのテープ剥がし手段と、真空室の内部を真空吸引する第１の吸引手段と、空気導入部を真空吸引する第２の吸引手段と、空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、を具備するものである。
【００３０】
このように構成した場合には、ワークは伸縮シート部材の上面に載置され、その上部には、テープ保持手段でテープ部材が保持される。この状態で、第１の吸引手段および第２の吸引手段を作動させ、真空室および空気導入部の真空排気を行う。その後に、空気導入手段を作動させて、空気導入部の内部に空気を導入する。すると、真空状態が維持されている真空室と、空気が導入された空気導入部との間の差圧によって、その境界部分を保持部材で密閉している伸縮シート部材は、真空室の内部に向かって膨張する。この膨張によって、伸縮シート部材はワークを持ち上げ、ワークがテープ部材に接触する。
【００３１】
その状態から、さらに伸縮シート部材が膨張すると、ワークの全面に対して良好にテープ部材を押し付けて、接着させることができる。このように、伸縮シート部材の上面にワークを載置し、伸縮シート部材を膨張させることにより、ワークに対してテープ部材を、気泡の入り込みを防ぎながら接着させることができる。かかる接着では、伸縮シート部材の下面にワークを位置させていた場合と比較して、伸縮シート部材の弛みの影響を除去することができる。また、伸縮シート部材の膨張を利用するため、ワークをテープ部材に向けて移動させる特別な構成が不要となる。このため、簡易な構成でワークをテープ部材に向けて移動させることができる。
【００３２】
ここで、テープ部材を剥がすためのテープ剥がし手段が設けられている。このため、例えば、ワークに対してテープ部材が既に貼り付けられており、さらに別途の処理が既に終了してワークからテープ部材を剥がす必要が生じた場合に、簡単に剥がすことが可能となる。また、テープ部材の剥がしを、真空室の内部において行うため、第１の吸引手段および第２の吸引手段を作動させて真空室等の内部を真空吸引している状態で、テープ部材をワークから剥がせば、その剥がしに際して生じる静電気により、ワークの表面に塵埃が付着するのを防ぐことができる。それによって、テープ部材を剥がした後に行う後工程において、塵埃の付着によって処理に不具合が生じるのを防止することが可能となる。
【００３３】
さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、テープ部材は、紫外線硬化型テープであると共に、テープ剥がし手段は、該テープ部材に紫外線を照射する紫外線照射手段を具備するものである。
【００３４】
このように構成した場合には、テープ部材に貼り付けされたワークに対して、紫外線を照射する。それによって、紫外線硬化型テープ部材は硬化され、ワークから剥がれ易い状態となる。このため、テープ接着装置の内部における、テープ部材の剥がしの動作を、簡単に行うことが可能となる。
【００３５】
また、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法において、ワークの上部側に位置するテープ部材を、テープ保持手段に保持させるテープ保持ステップと、伸縮シート部材の上面にワークが載置され、かつテープ保持手段によって該ワークの上部にテープ部材を張設状態で位置させた状態で、伸縮シート部材の上面側に位置する真空室を第１の吸引手段で真空吸引させると共に、伸縮シート部材により真空室から仕切られると共に該伸縮シート部材の下面側に位置する空気導入部を第２の吸引手段で真空吸引させる吸引ステップと、吸引ステップによって、真空室および空気導入部が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出ステップと、真空到達度検出ステップによって設定された真空度に到達したことを検出した後に、第２の吸引手段の作動停止により空気導入部の真空吸引を停止すると共に、空気導入手段を作動させて該空気導入部に空気を導入する空気導入ステップと、空気導入ステップの後に、伸縮シート部材を真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて上記テープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップ経過後に、ワークに対して接着が為されたテープ部材のうち、該ワークの表面からはみ出している部分を切断手段を用いて切断する切断ステップと、を具備するものである。
【００３６】
このように構成した場合には、テープ保持ステップでは、テープ部材がテープ保持手段によって保持され、吸引ステップでは、真空室と空気導入部の両方の真空吸引が為される。かかる吸引ステップの後に、真空到達度検出ステップにおいて真空度の到達の検出を行う。そして、設定された真空度に到達したことが検出されると、今度は空気導入ステップにおいて空気導入手段を作動させて、空気導入部に空気を導入する。それによって、伸縮シート部材は、その上面側である真空室側に向かって膨張を開始する。この後に、接着ステップが開始され、伸縮シート部材の膨張によってワークが持ち上げられて、テープ部材に接着される。かかる膨張を、所定時間だけ継続実行すれば、膨張の継続によって、ワークの全面に亘ってテープ部材が接着される。この接着の後に、切断ステップにおいて、テープ部材のうち、ワークからはみ出している部分を、切断手段を用いて切断する。
【００３７】
このため、ワークに対してテープ部材を接着させた後に、テープ接着装置の外部において、別途、テープ部材のはみ出し部分を切断する、といった手間がかからなくなり、工数を削減することが可能となる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によると、ワークを載置するゴムシート等の伸縮シート部材の弛みを除去しつつ、ワークに対してテープ部材を一層良好に接着できる。また、テープ剥がしを容易に行えると共に、ワークへの塵埃の付着防止および真空吸引時のワークの位置ずれを防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明の一実施の形態に係るテープ接着装置１０について、図１から図１１に基づいて説明する。図１は、図２に示す蓋体部６０を透視した状態の本体部２０の平面図で、ゴムシート２５上にウエハ１１を載置した状態を示す図である。また、図２は、テープ接着装置１０において、蓋体部６０を閉じた状態を示す平面図である。また、図３はテープ接着装置１０の一部の内部構成（ゴムシート２５等）を透過した状態の側面図である。また、図４は、図１のテープ接着装置１０の排気系統及び制御系統の様子を簡略化して示す概略構成図である。
【００４０】
図１に示すように、本体部２０の平面形状は、例えば略正方形といった方形を為している。本体部２０の底面には、複数（例えば４本）の支持脚２１（図３参照）が取り付けられている。また、図３に示すように、テープ接着装置１０は、本体部２０と、この本体部２０に対して回動自在に設けられている蓋体部６０とを有している。
【００４１】
図３および図４に示すように、本体部２０の内部には、蓋体部６０に対して近接対向する本体上面部２２が設けられている。本体上面部２２は、真空吸引時に負荷される圧力（特に蓋体部６０側から負荷される垂直荷重）を受け止めるために、適切な強度を有した構成となっている。また、本体部２０を支えると共にその一部となる側壁および底壁も、真空吸引時に負荷される圧力に、十分抗し得るだけの強度を有する構成である。
【００４２】
また、図１、図３および図４に示すように、本体上面部２２のうち、外周側には、シールリング２３が取り付けられている。シールリング２３は、Ｏリング状の部材であり、後述する蓋体部６０のリング当接部６３に当接する。それによって、テープ接着装置１０の内部を、外部（大気）から密閉し、該テープ接着装置１０の内部を真空吸引することを可能としている。
【００４３】
また、本体上面部２２のうち、シールリング２３よりも中央部側（図１および図４参照；以下、内径部２２ａという）には、載置部２２ｂが設けられている（図４参照）。載置部２２ｂは、後述するゴムシート２５を載置するための部分である。なお、載置部２２ｂは、その上方側（蓋体部６０側）が吸引排気された場合でも、上方側に撓むのを防ぐため、十分な肉厚を有している。
【００４４】
載置部２２ｂの略中央部分には、孔部２４（図４および図６参照）が設けられている。この孔部２４には、後述する空気管路３８が嵌め込まれている。そして、この空気管路３３を介して、後述する空気導入部５１に存在する空気を吸引し、または空気導入部５１に空気を供給することを可能としている。このため、孔部２４は、ゴムシート２５で覆われる状態となる。
【００４５】
なお、空気導入部５１は、図４、図６等においては、孔部２４のうち、ゴムシート２５と開口部３９とで囲まれた部分となっている。しかしながら、ゴムシート２５が上底面６４ａ側に向かって膨張すると、空気導入部５１の領域も拡大され、孔部２４と開口部３９等で囲まれる部分のみならず、載置部２２ｂの上面とゴムシート２５とで囲まれる部分も、空気導入部５１となる。
【００４６】
また、以下の説明においては、シールリング２３、リング当接部６３、内径部２２ａおよびゴムシート２５によって囲まれる空間を、真空室５０とする。
【００４７】
また、載置部２２ｂには、孔部２４を覆うように、伸縮シート部材としてのゴムシート２５が設けられている。このゴムシート２５は、その上面に、ワークとしてのウエハ１１が搭載される部材である。後述するように、ゴムシート２５にウエハ１１が搭載された状態で、ゴムシート２５を上側に膨らませると、ウエハ１１が後述するテープ部材１２に向かって上昇する。
【００４８】
ゴムシート２５は、例えば、ＥＰＴゴム（エチレンプロピレンゴム；Ethylene-Propylene Terpolymer Rubber）、クロロプレンといった、気泡の発生を低減できる材質によって構成されている。しかしながら、ゴムシート２５の材質は、かかるＥＰＴゴム、クロロプレンに限られるものではなく、通常の天然ゴム又は合成ゴム等を用いても良い。なお、ゴムシート２５の好ましい材質としては、上述のＥＰＴゴム、クロロプレンのような、気泡の発生を防ぐことができる材質である。
【００４９】
また、本実施の形態では、ゴムシート２５の上面に搭載されるウエハ１１は、その直径が１２インチとなっている。しかしながら、ウエハ１１のサイズは特に限定されず、例えば８インチウエハ、６インチウエハ等、他のサイズであっても良い。なお、ウエハ１１のサイズを変更する場合には、それに応じて他の部材（ゴムシート２５、押さえリング２６等）のサイズも変更されることになる。しかしながら、例えば８インチウエハ等の小さいサイズのウエハ１１への接着に際して、１２インチのウエハ１１の接着に対応しているテープ接着装置１０を利用しても良い。この場合、後述するように、治具を用いるようにするのが好ましい。
【００５０】
図１および図５に示すように、ゴムシート２５の上部であって外周縁部には、外観が略リング状となっている、保持部材としての押さえリング２６が取り付けられている。押さえリング２６は、ゴムシート２５を押さえつけるためのものである。この押さえリング２６は、内径部２２ａに対して、例えばネジ２６ａ（図１参照）によって、その上方側から押さえつけるものであって、周方向に沿って適宜の間隔で固定されている。なお、このネジ２６ａによる固定に際しては、該ネジ２６ａがゴムシート２５を貫通する状態となる。そのため、ゴムシート２５に対して、予めネジ２６ａの貫通孔に対応する孔を形成するようにしても良い。
【００５１】
また、図４に示すように、真空室５０を真空吸引するために、該真空室５０の内部には、空気管路３３の端部側が配置されている。この空気管路３３の一端部３３ａは、４本に分岐している（図４は、断面図のため、２本のみ表示）。そして、分岐している夫々の空気管路３３の開口部３４が、図４に示すように、真空室５０の内部に存在している。なお、開口部３４は、本実施の形態では、図１に示す平面図において、略９０度間隔となるように配置されている。また、開口部３４は、シールリング２３の内部側である内径部２２ａであって押さえリング２６とシールリング２３の間に存在している。しかしながら、開口部３４の位置は、この部位には限られず、例えば押さえリング２６の上方に差し掛かる部位に設けても良い。
【００５２】
また、空気管路３３は、内径部２２ａを貫通していて、本体部２０の下方において、または本体部２０の外部において、分岐状態から１つに合流している（図４参照）。また、空気管路３３の他端部３３ｂは、本体上面部２２の底壁２２ｃから下方に向かって突出している。そして、この他端部３３ｂに対して、管部材３５の一端部を接続し、該管部材３５の他端部３５ｂを真空ポンプ３６に接続する。それによって、真空ポンプ３６が作動すると、真空室５０を真空吸引することが可能となっている。
【００５３】
また、管部材３５の中途部分には、第１の弁部材３７が設けられている。この第１の弁部材３７は、真空室５０の内部を真空吸引するために、真空ポンプ３６側と連通するように切り替える（以下、この切り替えを、吸引側への切り替えという。）ことを可能としていると共に、大気導入側へ開放するように切り替える（図４において突出管部３５ａ側への切り替え；以下、この切り替えを、大気導入側への切り替えという。）ことも可能となっている。第１の弁部材３７の切り替えにより、管部材３５が大気導入側へ開放されると、該管部材３５を介して、真空室５０の内部に、大気が導入される。また、第１の弁部材３７としては、例えば、ソレノイドにより開閉可能な、電磁弁を用いることが可能であるが、モータ等の他の駆動源を用いて開閉する方式であっても良い。
【００５４】
また、真空ポンプ３６は、本実施の形態では、本体部２０の外部に設けられている。しかしながら、本体部２０の内部に、真空ポンプ３６を内蔵する構成を採用しても良い。なお、この真空ポンプ３６、空気管路３３、管部材３５、第１の弁部材３７等によって、第１の吸引手段が構成される。また、第１の弁部材３７、空気管路３３、管部材３５、突出管部３５ａ等によって、第２の空気導入手段が構成される。
【００５５】
また、これらの真空ポンプ３６、および第１の弁部材３７は、後述する制御装置９０に接続されていて、該制御装置９０からの制御指令に対応した信号を受信した後に作動する。
【００５６】
また、図４および図６に示すように、ゴムシート２５の裏面側に向かうように、上述の空気管路３３と同様の、空気管路３８が設けられている。この空気管路３８は、空気管路３３とは異なり、上述の孔部２４に挿通するように、１本のみ設けられている。また、空気管路３８の開口部３９は、該孔部２４の内部に存在している（図６参照）。なお、本実施の形態では、孔部２４が内径部２２ａの中心に位置しているため、開口部３９も、内径部２２ａの中心に位置する構成となる。
【００５７】
また、上述の空気管路３３と同様に、空気管路３８の他端部３８ｂは、本体上面部２２の底壁２２ｃから下方に向かって突出していると共に、この他端部３８ｂに対して、管部材４０の一端側が接続されている。また、管部材４０の他端部は、真空ポンプ３６に接続されている。それにより、真空ポンプ３６が作動すると、空気導入部５１を真空吸引することを可能としている。
【００５８】
また、管部材４０の中途部分にも、第２の弁部材４１が設けられている。この第２の弁部材４１も、上述の第１の弁部材３７と同様に、真空ポンプ３６側と連通するように切り替える（吸引側へ切り替える）ことを可能としていると共に、突出管部４０ａを介して大気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。第２の弁部材４１の切り替えにより、管部材４０が大気導入側へ開放されると、該管部材４０を介して、空気導入部５１に、大気が導入される。また、第２の弁部材４１も、制御装置９０に電気的に接続されている。
【００５９】
なお、真空ポンプ３６、第２の弁部材４１、空気管路３８、管部材４０によって、第２の吸引手段が構成される。また、第２の弁部材４１、空気管路３８、管部材４０、突出管部４０ａ等によって、空気導入手段が構成される。
【００６０】
さらに、図４に示すように、本体部２０の内部には、上述の管部材３５，４０と同様な管部材４２が設けられている。この管部材４２は、例えば本体部２０の後端側（蝶番６１側）に向かっていて、その一端側４２ａが本体部２０の背面から突出している。なお、管部材４２の一端側４２ａに、管継手を取り付けるようにしても良い。管部材４２の一端側４２ａには、柔軟に曲がることが可能なホース４３の一端側４３ａが連結されている。ホース４３は、本体部２０から上方の蓋体部６０側に向かって延伸していると共に、蝶番６１側から手前側（図１および図２に示す取手７３ａ側）に向かい蓋体部６０の上面側に沿って設けられている。そして、ホース４３の他端側４３ｂは、蓋体部６０の上面の径方向の略中心部分において、後述する空気管路６７の一端側と連結されている。
【００６１】
このように、管部材４２と空気管路６７の間に、柔軟に曲がるホース４３が設けられているため、蓋体部６０の開閉（回動）に対応可能となっている。
【００６２】
また、管部材４２の中途部分には、上述した第１の弁部材３７および第２の弁部材４１と同様の、第３の弁部材４４が設けられている。第３の弁部材４４も、真空ポンプ３６側と連通するように切り替える（吸引側へ切り替える）ことを可能としていると共に、突出管部４２ｂを介して大気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。なお、管部材４２が大気導入側へ開放されると、この管部材４２を介してテープ部材１２の裏面側（図４においてテープ部材１２の上面側）に大気が導入される。それにより、テープ部材１２の保持状態が解除される。また、第３の弁部材４４も、制御装置９０に電気的に接続されている。
【００６３】
なお、真空ポンプ３６、管部材４２、ホース４３、第３の弁部材４４、空気管路６７によって、第３の吸引手段が構成される。また、後述する吸着部材６６、真空ポンプ３６、管部材４２、ホース４３、第３の弁部材４４、空気管路６７、挟持部材７０によって、テープ保持手段が構成される。
【００６４】
ここで、本実施の形態では、上述のように、柔軟なホース４３を用いることにより、真空ポンプ３６で生じる吸引力を蓋体部６０側に伝達すると共に、蓋体部６０の開閉（回動）に対応させている。しかしながら、真空ポンプ３６で生じる吸引力を蓋体部６０側に伝達するための構成は、ホース４３を用いるものには限られない。例えば、真空吸引するためのホース４３等の部材が、テープ接着装置１０から外部に突出していていない構成が望まれる場合もある。
【００６５】
このような場合には、例えば、蓋体部６０のリング当接部６３に蓋側開口を形成すると共に、本体上面部２２のうち蓋側開口と対向する部位に本体側開口を形成する。これらと共に、蓋側開口または本体側開口の少なくとも一方の周囲に、リング状のゴムシールを突出するように取り付ける。また、蓋側開口には、管部材の一端側を連結し、該管部材の他端側を凹部６４に連通させる。また、本体側開口には、上述したのと同様の空気管路を設ける。このようにすれば、蓋体部６０を閉じたときに、管部材と空気管路とが接続される。また、ゴムシールがリング当接部６３と本体上面部２２の間に介在して、蓋側開口と本体側開口の両者を気密に塞ぐ状態となる。
【００６６】
また、本体部２０と蓋体部６０とが対向する部位のうち、蝶番６１が存在する部位に、折れ曲がり自在かつ伸縮自在な、蛇腹状の管継手を設け、この管継手を介して、本体部２０の内部に設けられる管部材と、蓋体部６０の内部を進行する空気管路とを連結するようにしても良い。
【００６７】
また、本実施の形態では、真空ポンプ３６は１つのみ設けられている。また、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４を大気導入側および吸引側に切り替えることによって、真空室５０、空気導入部５１、およびテープ部材１２の裏面側（上面側）の少なくとも１つの真空吸引や大気圧化を可能としている。
【００６８】
しかしながら、真空ポンプ３６は、１つには限られるものではなく、第１の吸引手段、第２の吸引手段および第３の吸引手段の夫々に対応させて、真空ポンプ３６を２つまたは３つ以上設けるように構成でしても良い。また、第１の弁部材３７、第２の弁部材４１および第３の弁部材４４といった三方弁を用いずに、吸引側の弁部材及び大気導入側の弁部材の両方を、夫々の管部材３５、管部材４０および管部材４２に設けるようにしても良い。このようにしても、真空室５０、空気導入部５１およびテープ部材１２の裏面側（上面側）の吸引／非吸引を良好に切り替えることができる。
【００６９】
さらに、図３に示すように、本体部２０の側壁の外面には、真空計４５が取り付けられている。この真空計４５は、本実施の形態では、２つ設けられている。しかしながら、本実施の形態では、管部材３５，４０，４２の個数に対応させて、３つ設けるのが好ましい。かかる真空計４５のうちの１つは、真空室５０の内部の気圧を測定するためのものである（以下、必要に応じて真空計４５ａという）。また、真空計４５のうちの他の１つは、空気導入部５１の気圧を測定するためのものである（以下、必要に応じて真空計４５ｂという。）。なお、かかる２つの真空計４５ａ，４５ｂも、制御装置９０に接続されている。
【００７０】
また、本体上面部２２のうち、例えば後述する蝶番６１から最も離間している２つのコーナ部分のうち、一方のコーナ部分２２ｄ（図１参照）には、センサ４６が設けられている。センサ４６は、例えば磁気センサを用いていて、本体部２０に対して蓋体部６０が、所定だけ近接するまで閉じたか否かを検出するものである。なお、このセンサ４６も、制御装置９０に接続されていて、この制御装置９０に対して蓋体部６０が閉じているか否かの検出信号を送信する。そして、制御装置９０は、蓋体部６０が閉じている状態に対応した検出信号を受信したときのみ、真空ポンプ３６等に対して作動に対応した信号を送信する。
【００７１】
次に蓋体部６０の構成について説明する。図１、図２および図５に示すように、蓋体部６０は、本体部２０に対して蝶番６１を介して接続されている。すなわち、蝶番６１を支点として、蓋体部６０は回動可能となっている。また、図１に示すように、蓋体部６０には、２つのダンパ部材６２の各一端側６２ａが取り付けられている。また、ダンパ部材６２の各他端側６２ｂは、本体上面部２２に取り付けられている。このダンパ部材６２は、伸縮自在となっていると共に、内部に存在する粘性体（油等）の粘性抵抗によって、急激に蓋体部６０が本体部２０に対して降下するのを防止している。
【００７２】
なお、ダンパ部材６２は、バネ部材（不図示）も内蔵していて、蓋体部６０が開いた状態（例えば、図７（ａ）に示す状態）を維持可能となっている。しかしながら、蓋体部６０が開いた状態を維持する必要がない場合には、バネ部材を省略する構成としても良い。
【００７３】
また、図３及び図４に示すように、蓋体部６０のうち、本体部２０のシールリング２３に当接する部分は、リング当接部６３となっている。リング当接部６３は、シールリング２３との当接によって、真空室５０を密閉する。なお、かかる密閉を良好にするために、リング当接部６３は、本実施の形態では同一平面をなす、平板状の部分から構成されている。
【００７４】
図３〜図５に示すように、蓋体部６０のうち、本体部２０と対向する対向面であって、リング当接部６３よりも内径側の部位には、凹部６４が形成されている。この凹部６４は、リング当接部６３よりも窪んだ状態に形成されている。この凹部６４は、上述の内径部２２ａに対応する大きさを有している。このため、蓋体部６０を閉じて、シールリング２３がリング当接部６３に当接する密閉状態となると、この凹部６４、シールリング２３、内径部２２ａ、およびゴムシート２５で囲まれた空間が出現する。そして、この空間が、真空室５０となる。
【００７５】
また、凹部６４のうち、上方に位置する底面（以下、上底面６４ａという。）は、ゴムシート２５が膨張する際に、テープ部材１２の周縁部が上方へ移動するのを押さえる（受け止める）部分となる。このため、凹部６４は、テープ部材１２の周縁部を受け止めて、該テープ部材１２のウエハ１１に対する接着を良好に行える深さに設定されている。
【００７６】
凹部６４には、嵌合凹部６５が設けられている。嵌合凹部６５は、凹部６４から上面側に向かって窪んでいる部位であり、また凹部６４よりも小径に設けられている。この嵌合凹部６５には、例えば多孔質セラミックスのような、多孔質の材質からなる吸着部材６６が嵌め込まれる。かかる吸着部材６６を介して、テープ部材１２は、吸引保持される。なお、吸着部材６６は、嵌合凹部６５への嵌め込みに対応して、該嵌合凹部６５より僅かに小さな寸法を有している。
【００７７】
また、図４および図６に示すように、蓋体部６０には、空気管路６７が設けられている。空気管路６７は、その断面形状が略Ｌ字を為すように設けられている。それにより、空気管路６７の一端側は、蓋体部６０の上面に沿う状態で設けられると共に、空気管路６７の他端側は、蓋体部６０を貫いて、嵌合凹部６５に到達する状態で設けられている。なお、空気管路６７の他端側のうち、嵌合凹部６５に対して開口している部分を、開口部６８とする。また、本実施の形態では、蓋体部６０の上面には、固定部材６７ａが設けられていて、空気管路６７は、この固定部材６７ａを介して、蓋体部６０の上面に取り付けられている。
【００７８】
ここで、嵌合凹部６５には、該嵌合凹部６５の上底面６５ａよりも僅かに窪んだ窪み部６９が設けられるようにするのが好ましい。この場合、窪み部６９は、嵌合凹部６５の直径よりも小さい直径を有する形状とし、吸着部材６６の外周部分を窪み部６９以外の嵌合凹部６５の上底面６５ａで受け止めるようにする。かかる窪み部６９が存在する場合、窪み部６９と吸着部材６６の間で生じている負圧が、大面積化される。そのため、吸着部材６６は、ウエハ１１に対して大面積の状態で吸着可能となる。
【００７９】
また、図３、図５および図８に示すように、嵌合凹部６５の外側であって、凹部６４の内部には、テープ部材１２の隅部を固定するための挟持部材７０が設けられている。図５に示すように、挟持部材７０は、板バネ７１を具備し、この板バネ７１の一端側がネジ７２によって凹部６４に取り付けられている。また、板バネ７１の他端側は、付勢力によって上底面６４ａに押し付けられているが、板バネ７１の他端側は、板バネ７１の付勢力に抗しながら開放可能となっている。なお、本実施の形態では、挟持部材７０は、凹部６４の周方向において、略９０度間隔で４つ設けられている。
【００８０】
また、蓋体部６０の側壁部分であって蝶番６１と対向する部分には、取手７３ａが取り付けられている。そのため、作業者は取手７３ａを把持して蓋体部６０を容易に開閉することができる。なお、本体部２０の側壁部分には、相対向するように２つずつ、計４つの取手７３ｂが設けられている。この取手７３ｂを持つことで、テープ接着装置１０を容易に移動させることができる。
【００８１】
また、図２、図８および図９に示すように、テープ接着装置１０には、開閉ロック手段としてのロック機構８０が設けられている。ロック機構８０は、本体部２０側に取り付けられているブロック部８１を具備している。このブロック部８１には、ネジ孔８２が設けられていて、該ネジ孔８２には、レバー部材８３のネジ部８４が捻じ込まれる。また、レバー部材８３は、ネジ部８４と、このネジ部８４の軸線からずれる方向に向かって突出する把持部８５と、を具備している。
【００８２】
このうち、ネジ部８４には、ネジ孔８２と螺合するためのネジ山が形成されている。このネジ部８４には、クランプ部材８６が挿通される。また、把持部８５は、作業者が把持する部分であり、かかる把持によりレバー部材８３を回転させることが可能となる。
【００８３】
ネジ部８４に挿通されるクランプ部材８６は、直方体部材であり、ネジ部８４に対して回動自在に設けられている。このクランプ部材８６の長手は、蓋体部６０の側縁方向に対して垂直を為す配置にすることができ、その場合には、蓋体部６０の上部にクランプ部材８６が差し掛かって、蓋体部６０の開放が阻止される。また、クランプ部材８６の長手が蓋体部６０の側縁方向に対して平行を為す配置にすることもでき、その場合には、蓋体部６０の上部にクランプ部材８６が差し掛からなく、蓋体部６０の開放を許容する状態となる。
【００８４】
なお、本実施の形態では、蓋体部６０のうち、クランプ部材８６と対向する部位には、ボルト８７が取り付けられていて、かかるボルト８７に対してクランプ部材８６が当接する構成となっている。
【００８５】
また、図４に示すように、テープ接着装置１０には、制御手段としての制御装置９０が設けられている。制御装置９０は、上述したように、真空ポンプ３６、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４、真空計４５、センサ４６に対して電気的に接続されている。この制御装置９０には、オン作動を行うための操作ボタン（不図示）が連結されている。このため、センサ４６がオン作動を許可する蓋体部６０の閉塞状態において、作業者が操作ボタンを押すと、真空ポンプ３６が作動する。
【００８６】
ここで、制御装置９０は、初めに第２の弁部材４１および第３の弁部材４４を吸引側に切り替えると共に、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えた状態を維持して、所定時間だけゴムシート２５およびウエハ１１の真空吸引を行うように、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４の夫々に対して制御信号を発する。そして、所定時間経過後に、第１の弁部材３７に対して制御信号を発し、第１の弁部材３７を大気導入側から吸引側に切り替えて、真空室５０に対しても、真空吸引を行う。
【００８７】
また、制御装置９０は、真空室５０および空気導入部５１が、所定の真空度に到達したことがセンサ４６によって計測された場合に、第２の弁部材４１に対して、大気導入側に切り替えるための制御指令を発する。それによって、ゴムシート２５が膨張し、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が開始される。さらに、この状態から所定時間経過して接着が終了した後に、制御装置９０は、第１の弁部材３７に対して大気導入側に切り替えるための制御指令を発する。かかる切り替えにより、真空室５０および空気導入部５１の両方とも、大気圧と等しい状態となり、接着動作が終了する。
【００８８】
さらに、制御装置９０は、真空ポンプ３６を逆回転させると共に第１の弁部材３７または第３の弁部材４４を吸引側と同じ側に切り替える。それにより、真空室５０の内部に空気が加圧状態で導入される。なお、真空ポンプ３６を逆回転させる構成を採用せずに、真空ポンプ３６の吐出側に接続されている管部材、および真空ポンプ３６の流入側に別途接続されている大気を導入可能な管部材との間の接続を切り替える等により、真空室５０の内部の加圧状態を実現するように構成しても良い。
【００８９】
なお、上述の所定の真空度としては、約２０Ｐａ程度とする場合が、その一例として挙げられる。しかしながら、所定の真空度はこれに限られるものではなく、大気圧よりも低い状態であれば、どのような真空度であっても良い。また、制御装置９０は、接着が終了した後には、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替える作動と共に、真空ポンプ３６を停止させるように、真空ポンプ３６に対して制御指令を発するように構成しても良い。しかしながら、この場合には、真空ポンプ３６を動作継続させる場合と比較して、次の真空吸引の際の吸引時間が、多少長くなる。
【００９０】
以上のような構成を有するテープ接着装置１０の作用（動作）について、以下に説明する。なお、この作用（動作）については、図１０に示す動作フローに基づいて、実行される。
【００９１】
最初に作業者は、蓋体部６０を開放させ、ゴムシート２５にウエハ１１を載置すると共に、テープ部材１２を挟持部材７０に取り付ける（ステップＳ１０）。この場合、テープ部材１２が板バネ７１と上底面６４ａとによって挟持される状態とする。それにより、テープ部材１２の裏面は、吸着部材６６に当接する状態となると共に、テープ部材１２の粘着面（表面）が、下方を向く状態となる。
【００９２】
なお、挟持部材７０によりテープ部材１２を取り付けた場合、真空ポンプ３６を作動させるようにしても良い。真空ポンプ３６を蓋体部６０の開放状態において作動させた場合には、管部材４２、空気管路６７を介して吸引保持力が吸着部材６６に伝達される。それにより、テープ部材１２が吸着部材によって吸引保持される状態となる。そして、このテープ部材１２の吸引保持によって、蓋体部６０の開放状態において、テープ部材１２にしわが存在しない状態となる。
【００９３】
次に、センサ４６によって蓋体部６０が閉じたことが検出されるまで、蓋体部６０を本体部２０に対して降下させる（ステップＳ１１）。そして、センサ４６がこの降下による蓋体部６０の閉塞状態を検出したか否かを、制御装置９０は判断する（ステップＳ１２）。そして、センサ４６が閉塞状態を検出した場合には、制御装置９０は真空ポンプ３６の作動を許可する。この状態において、作業者が操作ボタンを押したときに、真空ポンプ３６が作動を開始する。
【００９４】
また、蓋体部６０が閉じ状態となった後に、作業者は、クランプ部材８６を回転させて、該クランプ部材８６の先端部分が蓋体部６０の上面に差し掛かる状態とする。この後に、作業者がレバー部材８３を把持し、該レバー部材８３を閉じ方向に回転させ、クランプ部材８６の下面をボルト８７に当接させる。この当接状態において、さらにレバー部材８３を閉じ方向に回転させると、蓋体部６０は、クランプ部材８６によって押され、リング当接部６３がシールリング２３に押し付けられる。なお、レバー部材８３を回転させる場合、全てのレバー部材８３を順次少しずつ回転させていき、ロック状態に偏りが生じないようにするのが好ましい。
【００９５】
そして、所定だけレバー部材８３を閉じ回転させると、リング当接部６３によりシールリング２３が押圧されて弾性変形し、真空室５０の内部が外部から気密に閉塞される状態となる（ステップＳ１３）。このように、ロック機構８０により蓋体部６０の開放をロックすると、真空室５０の内部が加圧されても、蓋体部６０が持ち上がって開放することがなく、真空室５０を外部から封止することができる。
【００９６】
次に、作業者が操作ボタンを押すと、制御装置９０がその押し込みを検知して、真空ポンプ３６に対して作動のための指令を発する。それにより、真空ポンプ３６が作動して、真空室５０、テープ部材１２およびゴムシート２５の真空吸引を行う（吸引ステップに対応）。なお、蓋体部６０の開放状態において、テープ部材１２の吸引保持が為されている場合には、この吸引保持が継続される状態となる。また、上述の真空ポンプ３６の作動に際しては、初めは第２の弁部材４１および第３の弁部材４４を吸引側に切り替えると共に、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えて、テープ部材１２およびゴムシート２５の真空吸引を先に行う（ステップＳ１４）。
【００９７】
そして、かかるテープ部材１２およびゴムシート２５の真空吸引を所定時間行った後に、第１の弁部材３７を大気導入側から吸引側に切り替えて、テープ部材１２およびゴムシート２５と共に、真空室５０の真空吸引行う（ステップＳ１５）。
【００９８】
所定時間、真空ポンプ３６が真空吸引を行うと、真空室５０およびゴムシート２５の裏面側が、所定の真空度に達したことが、真空計４５によって検出される（ステップＳ１６；真空度到達検出ステップに対応）。かかる真空計４５が所定の真空度を検出すると、所定の検出信号を制御装置９０に対して送信する。すると、制御装置９０は、真空ポンプ３６の作動を維持したままで、第２の弁部材４１を大気導入側に切り替える（ステップＳ１７；空気導入ステップに対応）。それによって、空気導入部５１には、突出管部４０ａを介して大気が導入される。
【００９９】
空気導入部５１に大気が導入されると、真空室５０と空気導入部５１に存在する圧力差によって、ゴムシート２５が真空室５０側に向かって膨張する。この場合、ゴムシート２５の膨張によってウエハ１１が持ち上げられ、該ウエハ１１の上面がテープ部材１２に接触する。そして、ウエハ１１の上面に対して、テープ部材１２の接着が開始される（ステップＳ１８；接着ステップに対応）。
【０１００】
ここで、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間における、接着の態様には、図１１（ａ），（ｂ）に示すような、２通りがある。まず、その１通り目としては、図１１（ａ）に示すような、ウエハ１１がテープ部材１２に対して傾斜せずに平行な状態を維持して、該ウエハ１１の上面の略中央部分から、テープ部材１２に接着する場合である。
【０１０１】
この場合には、ウエハ１１がゴムシート２５の膨張により持ち上げられると、吸着部材６６での保持により弛みが解消されているテープ部材１２に対して、ウエハ１１の中央部分から接触する。この接触状態から、さらにゴムシート２５が膨張する場合、ゴムシート２５の中央部分は、ウエハ１１の中央部がテープ部材１２に触れるため、これ以上移動できないが、引き続きゴムシート２５の周辺側が、膨張により上方へ移動して、ウエハ１１をテープ部材１２に順次接触させてゆく。
【０１０２】
このため、ウエハ１１は、ゴムシート２５が膨張するにつれて、周辺部の撓みがなくなり、テープ部材１２に対し、中心側から周辺側に向かって順次接着が進行する。なお、この状態のまま、所定時間経過すると、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が、確実に実行された状態となる。
【０１０３】
以上のような接着態様では、ウエハ１１（テープ部材１２）の中央部分から外方に向かって、空気を逃がしながら、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間の接着が実行される。なお、この接着態様においては、真空ポンプ３６は、真空室５０側を真空吸引している状態を継続している。このため、上述の接着態様と相俟って、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間に存在する空気が排除されることによって、ウエハ１１とテープ部材１２との接着が、良好な状態で為される。
【０１０４】
また、接着の態様の２通り目としては、図１１（ｂ）に示すような、ウエハ１１がテープ部材１２に対して傾斜した状態で、該傾斜しているウエハ１１のうちの最も高い部分（以下、上端とする。）から、テープ部材１２に接着する場合である。この場合には、まず傾斜しているウエハ１１のうち、上端からテープ部材１２に対する接着が開始される。つまり、ウエハ１１がゴムシート２５の膨張に伴なって持ち上げられると、吸着部材６６での保持により弛みが解消されているテープ部材１２に対して、ウエハ１１のうち上端から接着が開始される。
【０１０５】
ここで、テープ部材１２は吸着部材６６によって保持されているため、テープ部材１２がウエハ１１により押されても、テープ部材１２は上方に移動しない。そのため、ゴムシート２５が徐々に膨張すると、ウエハ１１のうちテープ部材１２への接触部分（上端部分）を支点としつつ、ウエハ１１の傾斜角度が徐々に狭まる状態で、該ウエハ１１が持ち上げられる。そして、このウエハ１１の持ち上げは、ウエハ１１の傾斜角度がゼロとなるまで実行される。なお、ウエハ１１の傾斜角度がゼロとなって所定時間経過すると、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が、確実に実行された状態となる。
【０１０６】
以上のような接着態様では、ウエハ１１（テープ部材１２）の上端から、他方側の端部に向かって、空気を逃がしながら、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間の接着が実行される。なお、この接着態様においても、真空ポンプ３６は、真空室５０側を真空吸引している状態を継続している。このため、上述の接着態様と相俟って、ウエハ１１の上面とテープ部材１２との間に存在する空気が排除されることによって、ウエハ１１とテープ部材１２との接着が、良好な状態で為される。
【０１０７】
以上のようにして、制御装置９０は、第１の弁部材３７の吸引側への切り替え状態を継続したまま、第２の弁部材４１の大気導入側への切り替えを、所定時間継続させる（ステップＳ１９）。それによって、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着が実行された状態となる。
【０１０８】
なお、ウエハ１１に対してテープ部材１２が接着される際に、空気管路３８と空気管路６７を介して同時に真空排気されるため、最終的には真空室５０とテープ部材１２の裏面側とが、同一の圧力となる。このため、真空吸引が進行すると、テープ部材１２は、吸着部材６６から容易に離れる状態となる。
【０１０９】
ステップＳ１９において、制御装置９０が所定時間経過したと判断した場合には、制御装置９０は、真空ポンプ３６を逆回転させると共に、第３の弁部材４４を真空吸引と同じ側（加圧側）に切り替える。同時に、第１の弁部材３７および第２の弁部材４１を閉じるようにする。
【０１１０】
それにより、テープ部材１２が吸着部材６６から離れると共に、真空室５０には、空気管路６７を介して空気が加圧状態で導入される。この場合、まず真空室５０の真空吸引の解除により、ゴムシート２５の膨張が解除され、ゴムシート２５が載置部２２ｂに載置される状態となる。次に、真空室５０は、大気圧よりも高い加圧状態となり、テープ部材１２は、ウエハ１１に向かって押し付けられ、加圧される（ステップＳ２０；加圧ステップに対応）。かかる加圧により、テープ部材１２とウエハ１１との間の密着性が高められる。
【０１１１】
なお、本実施の形態では、加圧によりテープ部材１２等に付与される圧力は、１ｃｍ2 当たり４〜５ｋｇ程度となっている。また、第３の弁部材４４のみならず、第１の弁部材３７を真空吸引と同じ側（加圧側）に切り替えるようにしても良い。この場合、空気管路６７を介してのみならず、空気管路３３を介しても、真空室５０に対して加圧状態で空気が導入される。
【０１１２】
また、真空ポンプ３６を第１〜第３の弁部材３７，４１，４４の個数分だけ設ける場合、第１の弁部材３７と第３の弁部材４１が接続される真空ポンプ３６のうち少なくとも一方を逆回転させて真空室５０の内部を加圧する。また、第２の弁部材４１を大気導入側に切り替えると共に真空ポンプ３６を停止させるか、または第２の弁部材４１を真空吸引側に切り替えると共に真空ポンプ３６を正回転させて空気導入部５１を真空吸引する。このようにすれば、ウエハ１１に対してテープ部材１２を良好に密着させることができる。
【０１１３】
真空室５０における加圧状態が所定時間経過したと、制御装置９０が判断した場合、制御装置９０は真空ポンプ３６の作動を停止させ、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４を大気導入側に切り替える（ステップＳ２１）。それによって、テープ部材１２の裏面側、真空室５０および空気導入部５１は、大気圧となり、上述の加圧状態が解除される。
【０１１４】
なお、上述のステップＳ２１において、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４を大気導入側に切り替えた場合、真空ポンプ３６の作動は継続したままの状態を維持している。それによって、次のウエハ１１に対する接着作業に、素早く対応可能となっている。しかしながら、かかる作動を停止させるようにしても良い。
【０１１５】
その後に、作業者はレバー部材８３を開き方向に回転させて、蓋体部６０を開放させる。そして、作業者は、挟持部材７０によるテープ部材１２の保持を解いて、テープ部材１２が接着された状態のウエハ１１を取り出す（ステップＳ２２）。以上のようにして、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着が終了する。
【０１１６】
なお、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着が終了した以後は、例えばダイシングプロセスといった、次工程に進行する。
【０１１７】
このような構成のテープ接着装置１０によれば、ゴムシート２５の膨張を利用して、ウエハ１１の上面にテープ部材１２を接着させることができる。このため、簡易な構成でありながら、大気圧と真空状態との間の圧力差によって、確実にウエハ１１の上面にテープ部材１２を接着させることができる。特に、ゴムシート２５を用いていることにより、テープ部材１２に対してウエハ１１が、いわゆる片当たりの状態で接触したとしても、ゴムシート２５の弾性変形によって、容易にウエハ１１の姿勢を持ち直すことができる。このため、ウエハ１１の上面に対するテープ部材１２の接着性を、良好とすることができる。
【０１１８】
また、上述のテープ接着装置１０を用いた場合、真空室５０の内部を加圧することができる。このため、ウエハ１１とテープ部材１２との間における密着性を一層高めることができ、ウエハ１１とテープ部材１２との間の接着を、一層確実にすることができる。このため、テープ部材１２がウエハ１１から簡単に剥離するのを防ぐことができる。
【０１１９】
また、ゴムシート２５の上面に、ウエハ１１を載置している。このため、ゴムシート２５の弛みの影響を除去することができる。このように、弛みの影響が除去されるので、ゴムシート２５に大きな張力を付与する構成を備えなくて済み、構成の簡略化を図ることができる。また、ゴムシート２５に付与する張力が小さくて済むので、テープ接着装置１０を製造する作業者の工数を削減することができる。また、ゴムシート２５を押さえリング２６で押さえつける際に、気密性を向上させることができる。
【０１２０】
さらに、ゴムシート２５の膨張を利用するため、ウエハ１１を上方のテープ部材１２へ移動させる特別な構成を要さずに済む。このため、簡易な構成で、ウエハ１１をテープ部材１２に向けて（上方へ向けて）移動させることができる。
【０１２１】
また、テープ部材１２は、吸着部材６６によって吸着保持される。そのため、例えばテープフレームといった、テープ部材１２を張設するための部材、および張設するための部材を支持するための手段を別途設ける必要がなくなり、凹部６４の内部に存在する構成を簡略化することができる。また、テープ部材１２は吸着部材６６によって吸着保持されるため、テープ部材１２に対して張力を加える必要がなく、張力負荷によってテープ部材１２が伸びてしまうのを防止することができる。また、テープ部材１２を保持する際に、該テープ部材１２が張設されないため、テープ部材１２に対して張力を加えずに済む。このため、ウエハ１１に接着されたテープ部材１２に、張力に対応した収縮が生じるのを防ぐことができ、テープ部材１２の接着状態を良好にすることが可能となる。
【０１２２】
また、吸着部材６６は、多孔質セラミックスから構成されている。このため、テープ部材１２の全面に亘って確実に、かつ均一に吸着保持することができる。それによって、テープ部材１２に弛みが生じるのを防ぐことができる。
【０１２３】
さらに、テープ部材１２は、挟持部材７０によって挟持される。それにより、真空室５０の内部が真空吸引され、テープ部材１２の表面と裏面とで圧力差が生じなくなっても、テープ部材１２が吸着部材６６から落下するのを防ぐことができる。それにより、ウエハ１１に対して、テープ部材１２を良好に接着させることができる。
【０１２４】
また、蓋体部６０と本体部２０の間には、ロック機構８０が設けられている。このロック機構８０を用いて、蓋体部６０の開放をロックすると、真空室５０の内部が加圧されても、蓋体部６０が持ち上がって開放するのを防ぐことができる。それにより、真空室５０を外部から封止することができ、加圧状態を継続することができる。
【０１２５】
さらに、制御装置９０は、真空ポンプ３６、第１〜第３の弁部材３７，４１，４４、真空計４５、センサ４６に接続されていて、これらの作動を制御することができる。特に、制御装置９０は、真空ポンプ３６を作動させて、真空室５０および空気導入部５１の真空吸引を行い、この真空吸引の後に、第２の弁部材４１を大気導入側に作動させて、空気導入部５１に大気を導入している。それによって、ゴムシート２５を真空室５０側に向かって膨張させることができ、弛みを除去したゴムシート２５の膨張を利用して、ウエハ１１の上面に対して、確実にテープ部材１２を接着させることが可能となる。
【０１２６】
また、制御装置９０は、真空室５０および空気導入部５１の真空吸引を行うに際して、第１の弁部材３７を大気導入側に切り替えると共に、第２の弁部材４１を真空吸引側に切り替えて、先に空気導入部５１の吸引排気を行っている。このため、真空室５０に対して空気導入部５１の圧力が最初は低下する。そのため、ゴムシート２５は、載置部２２ｂに向かって押し付けられ、先に真空室５０側に向かって膨張するのが防止される。それによって、第２の弁部材４１が大気導入側に切り替え作動される前の段階で、ウエハ１１とテープ部材１２とが接着されてしまうのを防ぐことができる。
【０１２７】
また、制御装置９０は、第２の弁部材４１を大気導入側に切り替えて所定時間経過した後に、真空ポンプ３６を逆回転させると共に、第３の弁部材４４を真空吸引と同じ側（加圧側）に切り替えるように制御している。それにより、真空室５０には、空気管路６７を介して空気が加圧状態で導入され、テープ部材１２は、ウエハ１１に向かって押し付けられる。それによって、ウエハ１１に対するテープ部材１２の接着性（密着度）を高めることができ、テープ部材１２がウエハ１１から簡単に剥離するのを防ぐことができる。
【０１２８】
（第２の実施の形態）
以下、本発明の第２の実施の形態について、図１２から図１８に基づいて説明する。図１２は、本実施の形態に係るテープ接着装置１００を示すと共に、図１５に示す蓋体部６０を透視した状態の本体部２０の平面図である。また、図１３はテープ接着装置１００の一部の内部構成（解除レバー１３５等）を透視した状態の側面図である。また、図１４は、テープ接着装置１００の構成を示す正面図である。また、図１５は、テープ接着装置１００のうち蓋体部６０およびバランサ機構１１０を中心とした構成を示す平面図である。
【０１２９】
本実施の形態のテープ接着装置１００は、ワークとしてガラス基板１０１を用いていて、このガラス基板１０１の上面にテープ部材１２を接着している。そのため、テープ接着装置１００は、基本的な構成は、上述の第１の実施の形態におけるテープ接着装置１０と同様となっている。そのため、上述の第１の実施の形態で説明したのと同様の部分については、その説明を省略する。
【０１３０】
なお、本実施の形態でガラス基板１０１に接着されるテープ部材１２は、上述の第１の実施の形態におけるテープ部材１２と同様の、紫外線硬化型のＵＶテープ（シート）である。そのため、ガラス基板１０１にテープ部材１２を接着した後に、紫外線を照射すれば、テープ部材１２が硬化し、ガラス基板１０１から剥がれ易くなる性質を備えている。しかしながら、テープ部材１２は、紫外線硬化型には限られず、偏光フィルムをテープ部材１２として利用しても良い。また、偏光フィルムと機能的には同じである偏光板をテープ部材１２としても良い。また、ガラス基板１０１は、例えば液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等に用いられるマザーガラス基板であり、大型のサイズ（例えば、２５インチ〜３５インチ、もしくはそれ以上）となっている。しかしながら、ガラス基板１０１は、小型のサイズであっても良い。また、本実施の形態では、ガラス基板１０１は、その平面形状が矩形状を為している。しかしながら、ガラス基板１０１は、その平面形状が円形状、楕円形状等、矩形状以外の他の形状を為していても良い。
【０１３１】
図１２に示すように、テープ接着装置１００の平面形状は、略矩形を為すように設けられている。すなわち、本体部２０、本体上面部２２、孔部２３、ゴムシート２５、蓋体部６０、凹部６４等は、その平面形状が略矩形状に形成されている。また、シールリング２４、押さえリング２６、テープフレーム２８等は、コーナ部分がＲを有する矩形リング状に設けられている。同様に、孔部２３および凹部６４等も、コーナ部分がＲを有する矩形状に設けられている。
【０１３２】
また、図１２に示すように、本実施の形態における本体部２０は、全体の平面形状が略矩形を為すように設けられている。そのため、本体部２０の本体上面部２２等もその平面形状が略矩形状を為すように設けられている。
【０１３３】
また、図１３および図１５等に示すように、本実施の形態のテープ接着装置１００には、開閉補助手段の一部をなすバランサ機構１１０が設けられている。バランサ機構１１０は、大面積のガラス基板１０１に対応させて大面積・重量化した蓋体部６０の開閉を、容易にするための機構である。このバランサ機構１１０は、図１５に示すように、蝶番６１を挟んで、蓋体部６０とは反対側の部位にウエイト１１１を取付可能な機構である。また、バランサ機構１１０は、略矩形のハウジング１１２を備えていて、このハウジング１１２の内部に、ウエイト１１１、取付軸１１４等の各部材が収納される。
【０１３４】
また、図１３および図１５に示すように、バランサ機構１１０は、取付固定部１１３を有している。取付固定部１１３は、蓋体部６０のうち、上面側かつ後端側（蝶番６１が設けられている側）であって、一対の蝶番６１の間の部位に取り付けられている。また、取付固定部１１３の後端側（蓋体部６０から離間する側）には、取付軸１１４が取り付けられている。すなわち、取付軸１１４は、取付固定部１１３を介して、蓋体部６０に取り付けられている。取付軸１１４は、大径部１１４ａと小径部１１４ｂとを有している。そして、大径部１１４ａと小径部１１４ｂとに、それぞれウエイト１１１を取り付け可能としている。
【０１３５】
なお、大径部１１４ａと小径部１１４ｂとの間に存在する段差部分１１４ｃでは、小径部１１４ｂに取り付けられるウエイト１１１を受け止め可能となっている。また、本実施の形態では、大径部１１４ａに取り付けられるウエイト１１１は、小径部１１４ｂに取り付けられるウエイト１１１よりも軽い。しかしながら、大径部１１４ａおよび小径部１１４ｂに取り付けられるウエイト１１１の重量は、適宜選択可能である。
【０１３６】
また、大径部１１４ａのうち、段差部分１１４ｃから所定の寸法だけ蓋体部６０に向かう部位には、カラー１１５が取り付けられている。カラー１１５は、上述のウエイト１１１の取り付け位置を定めるためのものである。また、大径部１１４ａのうち、カラー１１５よりも蓋体部６０側の所定の部位には、カラー１１６が取り付けられている。このカラー１１６には、後述するジョイントピン１３３が係止される。また、カラー１１６の外周面には、突出部分に対応する係止ピン１１７が、外径側に向かって突出している。係止ピン１１７は、後述する切欠部１３４に入り込む部分である。なお、係止ピン１１７は、本実施の形態では、本体上面部２２に対して略平行を為す状態で延伸している。
【０１３７】
また、小径部１１４ｂの先端部分には、留めリング１１８が取り付けられる。留めリング１１８は、蓋体部６０の開閉に伴って取付軸１１４が回動しても、ウエイト１１１が取付軸１１４から抜けずに取付状態を維持するための部材である。
【０１３８】
また、図１３および図１５に示すように、本体部２０の内部には、開閉補助手段の一部をなす支持台１２０が設けられていて、この支持台１２０には回転軸１２２を挿通させる挿通孔１２１が設けられている。回転軸１２２は、開閉補助手段の一部をなすアーム１３０を回動自在に支持する。このアーム１３０の下端側には、軸孔１３１が形成されていて、軸孔１３１には、挿通孔１２１を挿通する回転軸１２２が挿通する。それによって、アーム１３０は、支持台１２０に対して回動自在に支持される。なお、本実施の形態では、アーム１３０は、本体部２０の中心線Ｌ（図１２参照）を挟んで一対設けられる。そのため、支持台１２０も、本体部２０の内部において一対設けられている。また、回転軸１２２は、一対の支持台１２０の両方を貫く長さ寸法を有している。
【０１３９】
図１６は、アーム１３０付近の構成を示す部分側面図である。図１６に示すように、一対のアーム１３０は、細長の板状部材のうち、その短片（図１６における上端部分）が、その長片に対して鈍角を為して折れ曲がる外観を呈している。このアーム１３０の一端側（下端側）には、上述した軸孔１３１が形成されているが、該アーム１３０の他端側（上端側）にも、通孔１３２が形成されている。ここで、通孔１３２が設けられているアーム１３０の上端側は、蓋体部６０の閉じ状態において、取付軸１１４よりも上方に位置している。また、通孔１３２には、一対のアーム１３０の両方に跨る、ジョイントピン１３３が差し込まれる。かかるジョイントピン１３３の存在により、一対のアーム１３０の両方が一体的に回動可能となっている。
【０１４０】
ここで、ジョイントピン１３３は、取付軸１１４の上方側において、一対のアーム１３０の両方に跨るように掛け渡されている。そのため、ジョイントピン１３３は、常に取付軸１１４の上方に位置している。また、蓋体部６０の閉じ状態においては、ジョイントピン１３３は、上述したカラー１１６に係止する状態となる。
【０１４１】
また、図１６に示すように、アーム１３０には、切欠部１３４が設けられている。この切欠部１３４は、アーム１３０の略中央部分に設けられている。図１６においては、切欠部１３４は、アーム１３０のうち後端側（蓋体部６０から離間する側）の側面から切り欠かれていると共に、下方から上方に向かうように切り欠かれている。それにより、アーム１３０には、切り欠きの頂部１３０ａよりも下方に位置する下方突出部１３０ｂが存在する構成となる。このため、切欠部１３４に係止ピン１１７が入り込むと、該係止ピン１１７の後端側への移動が下方突出部１３０ｂの存在により規制される。それにより、切欠部１３４に係止ピン１１７が入り込んだ状態が維持され、蓋体部６０の開放状態を維持可能となる。
【０１４２】
また、図１３および図１６に示すように、アーム１３０には、解除レバー１３５の一端側１３５ａが連結されている。解除レバー１３５の一端側１３５ａは、アーム１３０のうち切欠部１３４よりも下方側において連結されている。また、解除レバー１３５の他端側１３５ｂは、本体部２０のうち、手前側の側面から突出している。この他端側１３５ｂには、鍔部を有する把持部１３６が取り付けられている。そのため、把持部１３６を手前側に引くことにより、回転軸１２２を支点としてアーム１３０を手前側に向けて回動させることが可能となる。なお、係止ピン１１７が切欠部１３４に嵌まり込んだ状態において、アーム１３０を手前側に回動させると共に蓋体部６０を手で僅かに持ち上げる等することにより、該係止ピン１１７の切欠部１３４への嵌まり込みを解除することが可能となる。
【０１４３】
また、図１２、図１５および図１７に示すように、本実施の形態のテープ接着装置１００には、開閉ロック手段としてのロック機構１４０が設けられている。ロック機構１４０は、蓋体部６０の閉じ状態を確実にするための部材である。図１７に示すように、ロック機構１４０は、蓋体部６０に設けられている受け部１４１と、本体部２０に設けられているロック本体部１４２と、レバー部１４３と、を有している。このうち、受け部１４１には、孔部１４４が形成されている。孔部１４４には、後述するロックピン１４５が入り込む。
【０１４４】
また、ロック本体部１４２には、レバー部１４３が設けられている。レバー部１４３には、ロックピン１４５が連動するように設けられている。すなわち、レバー部１４３を作業者が把持し、該レバー部１４３を例えば１８０度程度回転させると、ロックピン１４５が受け部１４１側の孔部１４４に入り込む。それにより、蓋体部６０の開放が、ロックされる。また、ロックピン１４５が孔部１４４に入り込んでいる状態から、レバー部１４３を例えば１８０度程度回転させると、孔部１４４に入り込んでいるロックピン１４５が、該孔部１４４から抜ける。なお、ロックピン１４５を孔部１４４に出入させる方式としては、例えばネジ方式、回転によりバネの付勢力を解除する方式、カム方式等、種々の方式を用いることが可能である。
【０１４５】
また、ロック機構１４０としては、ロックピン１４５を孔部１４４に出入させる方式を用いなくても良く、スライドロック方式等、他の方式を用いても良い。
【０１４６】
図１８は、図１２のＡ−Ａ線に沿う側断面図を右側、図１２のＢ−Ｂ線に沿う側断面図を左側に配置し、短ピン１５０と長ピン１５１の中心線Ｘを境界線として繋ぎ合わせた半断面図である。図１２および図１８に示すように、本実施の形態においては、押さえリング２６には、ピン部材および第１の支持部材としての短ピン１５０と、ピン部材および第２の支持部材としての長ピン１５１とが設けられている。短ピン１５０は、押さえリング２６の上面から上方に向かい、略１ｍｍ程度突出しているピン部材である。また、長ピン１５１は、同じく押さえリング２６の上面から上方に向かい、略１．７ｍｍ程度突出しているピン部材である。
【０１４７】
なお、短ピン１５０と長ピン１５１の突出長さは、この長さに限られるものではなく、長ピン１５１の長さが短ピン１５０よりも長く、かつテープ部材１２が当初は上底面６４ａに接触しないものの、ゴムシート２５の膨張に際してテープ部材１２が上底面６４ａに接触するものであれば、どのような長さであっても良い。
【０１４８】
ここで、本実施の形態では、押さえリング２６には、短ピン１５０と長ピン１５１とが、合計１０本設けられている（図１２参照）。このうち、押さえリング２６の左側長手片２６ｂと右側長手片２６ｃには、短ピン１５０と長ピン１５１とが、それぞれ合計３本設けられている。また、押さえリング２６の上側短手片２６ｄと下側短手片２６ｅには、短ピン１５０と長ピン１５１とが、それぞれ合計２本設けられている。また、左側長手片２６ｂには、下方部に長ピン１５１が、中央部と上方部には短ピン１５０が配置されている。また、右側長手片２６ｃには、上方部に長ピン１５１が、中央部と下方部には短ピン１５０が配置されている。さらに、上側短手片２６ｄには、左側部に長ピン１５１が、右側部には短ピン１５０が配置されていると共に、下側短手片２６ｅには、右側部に長ピン１５１が、左側部には短ピン１５０が配置されている。
【０１４９】
このように配置された、４本の長ピン１５１を結ぶと、長方形に近い形状の平行四辺形が形成される。また、図１８に示すように、短ピン１５０と長ピン１５１の上部には、テープフレーム２８が設置される。テープフレーム２８は、例えば紫外線硬化型のＵＶ（Ultra Violet light）テープといったテープ部材１２の張設状態を維持するためのものである。そのため、テープフレーム２８の上面は、テープ部材１２で覆われた状態となる。なお、テープ部材１２を、テープフレーム２８に張設する場合、該テープ部材１２の粘着面が、下方側（ガラス基板１０１側）を向いた状態で張設する。
【０１５０】
また、テープフレーム２８には、複数の位置決めピン（不図示）が取り付けられている。また、ゴムシート２５、ガラス基板１０１、押さえリング２６、短ピン１５０、長ピン１５１、テープフレーム２８およびテープ部材１２の位置関係について、図１８に示す。この図に示すように、ゴムシート２５にガラス基板１０１が搭載された状態では、テープ部材１２とガラス基板１０１との間に、所定の隙間５０ａが存在する。しかしながら、隙間５０ａは、後述するようにゴムシート２５を膨らませた場合、該ゴムシート２５に搭載されているガラス基板１０１が持ち上げられて、ガラス基板１０１とテープ部材１２とが良好に接着される程度に設定されている。
【０１５１】
以上のような構成を有するテープ接着装置１００の作用（動作）について、以下に説明する。なお、テープ接着装置１００の作用（動作）も、基本的には上述の第１の実施の形態で述べたテープ接着装置１０の動作と同様であるため、共通する部分の説明については省略または略記する。
【０１５２】
最初に作業者は、ゴムシート２５の上部にガラス基板１０１を載置する。次に、テープフレーム２８に対してテープ部材１２を張設する。その後に、テープフレーム２８を押さえリング２６上に設置する（ステップＳ１０；図１８参照）。
【０１５３】
この場合、押さえリング２６に設けられている短ピン１５０と長ピン１５１の上部に、テープフレーム２８が設置されるが、短ピン１５０と長ピン１５１の長さの相違により、テープフレーム２８は、長ピン１５１に当接している４箇所の近傍以外の部分（短ピン１５０との当接部分および短ピン１５０と長ピン１５１との間の部分）が、下方に向かって撓む。なお、テープフレーム２８に張設されているテープ部材１２も、テープフレーム２８に長ピン１５１が当接している４箇所の近傍以外の部分が、下方に向かって撓む。以上のようにして、ガラス基板１０１とテープ部材１２の設置が終了する。
【０１５４】
次に、作業者は、把持部１３６を把持して、手前側に引く。この場合、作業者は蓋体部６０を軽く後端側に押す（図１３において時計回りに回動させる）ようにするのが好ましい。すると、解除レバー１３５を介してアーム１３０が手前側に向かう力を受けるため、該アーム１３０は回転軸１２２を支点として手前側に向かって回転する。このとき、蓋体部６０が僅かに持ち上がる（図１３において僅かに時計回りに回動する）ことにより、係止ピン１１７は、下方突出部１３０ｂの下端側を乗り越える。そして、切欠部１３４に対する係止ピン１１７の嵌め込みが解かれる。それによって、蓋体部６０は、閉じ方向に向かって回転する（図１３において反時計回りに回動する）ことが可能となる。
【０１５５】
続いて、センサ４３によって蓋体部６０が閉じたことが検出されるまで、蓋体部６０を本体部２０に対して降下させる（ステップＳ１１）。そして、蓋体部６０を閉じた後に、ロック機構１４０のレバー部１４３を回転させる。それにより、ロックピン１４５が孔部１４４に入り込み、蓋体部６０のリング当接部６３（図３参照）がシールリング２４に押し付けられると共に、蓋体部６０がロックされる。なお、以降の各ステップは、上述した第１の実施の形態で述べた真空室５０の加圧前までのステップ（図１０参照）と同様となっている。そして、各ステップを経過すると、ガラス基板１０１とテープ部材１２との間に気泡が入り込まないようにして、ガラス基板１０１に対してテープ部材１２を確実に接着することができる。
【０１５６】
このような構成のテープ接着装置１００によれば、ワークとしてガラス基板１０１を用いた場合でも、上述の第１の実施の形態の場合と同様に、ゴムシート２５の膨張を利用して、該ガラス基板１０１の上面にテープ部材１２を接着させることができる。すなわち、簡易な構成でありながら、大気圧と真空状態との間の圧力差によって、ガラス基板１０１の上面に確実にテープ部材１２を接着させることができる。
【０１５７】
また、テープ接着装置１００には、バランサ機構１１０が設けられている。そのため、作業者が蓋体部６０を開閉する動作を行い易くなり、作業者の負担を軽減することができる。特に、バランサ機構１１０は、取付軸１１４を具備し、この取付軸１１４にウエイト１１１が取り付けられるので、蝶番６１を挟んで蓋体部６０とウエイト１１１との重量的なバランスを保つことが可能となる。そのため、蓋体部６０の開閉動作を一層行い易くなる。
【０１５８】
また、バランサ機構１１０は、アーム１３０を具備し、このアーム１３０には係止ピン１１７が嵌まり込む切欠部１３４が設けられている。このため、蓋体部６０を開放させ、係止ピン１１７が切欠部１３４に入り込んで突き当たると、係止ピン１１７は下方突出部１３０ｂの存在により、該切欠部１３４から抜けるのが防止され、入り込みが維持される。それによって、アーム１３０の回動が阻止され、蓋体部６０の開放状態を維持可能となり、作業者は蓋体部６０を手で押さえる等して、蓋体部６０の開放状態を維持する必要がなくなる。そのため、作業者は他の作業を行うことができ、テープ接着装置１００は利便性に優れる。
【０１５９】
さらに、押さえリング２６には、短ピン１５０と長ピン１５１が設けられていて、これら短ピン１５０と長ピン１５１とによってテープフレーム２８が支持される。そのため、テープフレーム２８に固定されているテープ部材１２は、長ピン１５１の支持部位の近傍においては、高さ位置が高くなり、それ以外の部分においては、高さ位置が低くなる。そのため、テープ部材１２がガラス基板１０１へ接触するのを長ピン１５１で防止できると共に、短ピン１５０を設けることにより、テープ部材１２の全体が長ピン１５１で支持されている場合と比較して、テープ部材１２の高さ位置を下げることができる。この場合、テープ部材１２の撓みを考慮すれば、該テープ部材１２の上方において、スペース的に余裕を持たせることが可能となる。
【０１６０】
また、蓋体部６０に存在する凹部６４の深さを必要以上に深くせずに済む。このため、スペース的な余裕が少ない場合には、凹部６４を切削する等して深くすることができ、任意に調整可能となる。すなわち、テープ部材１２を上方から押さえ付ける上底面６４ａの深さを適切に調整すれば、ゴムシート２５の膨張によって持ち上げられるガラス基板１０１と、テープ部材１２との間の接着性を良好にすることが可能となる。
【０１６１】
また、上述の実施の形態では、テープ接着装置１００には、ロック機構１４０が設けられている。そのため、テープ部材１２の接着作業中に、蓋体部６０が開放するのを防止でき、蓋体部６０の閉じ状態を確実に維持することができる。
【０１６２】
以上、本発明の第１および第２の実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
【０１６３】
上述の第１の実施の形態においては、ワークとして、ウエハ１１を用いる場合について説明している。しかしながら、ワークとしては、ウエハ以外に液晶等のガラス基板や特殊ガラス材、有機ＥＬ用のガラス基板等、各種ＭＥＭＳ（micro electro mechanical systems）に用いられるデバイスを形成するための基板、各種メディア（ＤＶＤ等）の基板等を採用しても良い。また、ワークはこれらの例示には限られず、上述したような貼付および後述するような剥がし等を行うものであれば、どのようなものであっても良い。また、上述の実施の形態では、真空化後に大気（空気）を導入しているが、空気以外のもの、例えばアルゴンガス等を導入して、加圧する状態としても良い。
【０１６４】
また、テープ部材１２は、上述の各実施の形態のものには限られず、ＵＶ硬化型（紫外線硬化型）テープ、偏光フィルム、保護シート、透明電極等、ワークの表面に接着可能であれば、種々のものを用いることができる。
【０１６５】
また、上述の各実施の形態において、テープ接着装置１０，１００の内部に、ワークの表面に接着されているテープ部材１２を剥離させるためのテープ剥がし手段を設けるようにしても良い。このようなテープ剥がし手段を具備することにより、真空吸引されるテープ接着装置１０の内部において、テープ部材１２を剥がすことができる。そのため、テープ剥がしが為されるに際して、ワークの表面に埃が付着するのを防ぐことができる。特に、現状では、クリーンルーム内でテープ部材１２を剥離させても、ワークの表面に埃が付着するのを防止することが困難であるが、上述のテープ接着装置１０，１００を利用する場合、真空内部においてテープ部材１２の剥離が為されるため、ワークに埃が付くのを、一層確実に防ぐことができる。
【０１６６】
また、上述の真空室５０の内部において、テープ部材１２をワークから剥がす場合、テープ部材１２の剥がし時に発生する静電気による、ワークの表面への塵埃の付着を防止することができる。すなわち、テープ部材１２の剥がしを真空室５０の内部で行う場合、剥がしに際して仮に静電気が発生したとしても、外部雰囲気を飛散している塵埃が、ワークの表面に付着するのを防止することができる。
【０１６７】
ここで、テープ剥がし手段の具体的な例としては、例えば蓋体部６０または本体部２０の内部に、テープ部材１２の一端部を吸引保持させるための吸引保持機構を設けるようにしても良い。吸引保持機構を設ける場合、上述した真空ポンプ３６の吸引を利用することにより、テープ部材１２の一端部を摘む力を与えるようにする構成を採用しても良い。また、例えば別途のクランプ機構を設けることにより、テープ部材１２の一端部を摘むことが可能に構成しても良い。また、例えば、テープ部材１２の表面に対する接着力が、ワークとテープ部材１２との間における接着力よりも強くなる、接着手段を設けて、この接着手段をテープ部材１２の表面に接触させることにより、ワークからテープ部材１２を剥がすように構成しても良い。
【０１６８】
なお、ワークとして液晶等のガラス基板を用いる場合、真空室５０の内部でテープ部材を剥がす作業は、特に重要となる。また、テープ部材１２を剥がした後に、偏光フィルム等の、新たなテープ部材に相当する部材を、真空室５０の内部において貼り付けるようにしても良い。このようにすれば、ガラス基板を用いて種々の加工を行う場合において、工数を削減することが可能となる。
【０１６９】
また、例えば、テープ部材１２が紫外線硬化型テープである場合、テープ剥がし手段は、紫外線照射手段を具備する構成を採用するようにするのが好ましい。この場合、テープ部材１２に対して、紫外線照射手段から紫外線を照射すれば、テープ部材１２が硬化され、ワークに対するテープ部材１２の粘着力を大幅に低減させることができる。それによって、ワークからのテープ部材１２の剥離を、容易に行うことが可能となる。
【０１７０】
また、上述の各実施の形態においては、ワークにテープ部材１２を貼り付け、その貼付の状態のまま、真空室５０の内部からワークおよびテープ部材１２を取り出している。しかしながら、真空室５０の内部において、テープ部材１２を適宜の大きさに切断するための切断手段を、テープ接着装置１０の内部に設けるようにしても良い。例えば、蓋体部６０側に、ワークの外周に沿って回転可能な、テープ部材１２の切断手段としての、刃物を備えるカッターを設けるようにしても良い。この場合、ワークの上面にテープ部材１２を貼り付けた後に、テープ部材１２をワークの外周縁部に沿って切断するようにすれば、テープ部材１２の余分な部分を切断するための作業を、別途行わずに済む。
【０１７１】
また、上述の切断手段は、例えばカッターに相当する、切断手段の先端部を加熱するための、ヒータを内蔵する構成を採用しても良い。かかるヒータを内蔵する場合、先端部がテープ部材１２に接触すると、熱によってテープ部材１２が溶ける。そのため、先端部をテープ部材１２に押し当てて、該先端部をテープ部材１２に対して相対的に移動させれば、簡易にテープ部材１２を切断することが可能となる。
【０１７２】
ここで、切断手段がヒータを内蔵する場合、刃物を押し当ててテープ部材１２を切断する方式と比較して、切り屑等の発生を防ぐことが可能となる。すなわち、刃物を押し当てて切断する方式を採用する場合、テープ部材１２の切断箇所から細かな切り屑等が発生し、その切り屑等がワークに付着する等すると、該ワークの後処理において不良の原因となり、好ましくない。しかしながら、切断手段がヒータを内蔵する場合、かかる切り屑等が発生するのを防止できるため、かかる不良の原因を、除去することが可能となる。また、刃物を押し当てて、テープ部材１２を切断する場合、当該刃物の刃先には、常に鋭利さが求められ、磨耗によっていずれ刃物交換等が必要となる。しかしながら、切断手段がヒータを内蔵する場合、切断手段の先端部には鋭利さが必要とされることはなく、そのため、磨耗等の問題が発生するのを抑えることが可能となる。
【０１７３】
なお、切断手段としては、上述のヒータ以外に、レーザ光を照射するレーザ光照射装置を具備する構成を採用しても良い。レーザ光を照射する場合も、ヒータと同様に、テープ部材１２を熱によって溶かしながら切断することが可能となる。
【０１７４】
また、上述の各実施の形態においては、ゴムシート２５には、ワークの位置決めの機能が存在せず、ゴムシート２５の上面に単純にワークを載置する構成を採用している。しかしながら、ゴムシート２５にワークの位置決めの機能を持たせるようにしても良い。例えば、図１９に示すように、ゴムシート２５の上面から上方に向かって突出する、位置決め手段としてのゴム突起２７を設けるようにしても良い。かかるゴム突起２７は、例えばゴムシート２５を形成するに際して、一体的に成形することが可能である。
【０１７５】
このゴム突起２７は、所定のワーク（ウエハ１１等）のサイズに対応させて、当該ワークをゴムシート２５に載置した後に、該ワークの外周縁部に沿うように設けられる。この場合、ゴム突起２７は、少なくとも３つ以上、ゴムシート２５に設けるようにする。それにより、ワークをゴムシート２５上に載置した場合、該ワークの外周を良好に保持することが可能となる。
【０１７６】
なお、ワークがウエハ１１である場合、該ウエハ１１の周方向における位置決めも行うべく、ウエハ１１のオリフラ部分に当接するためのゴム突起２７を、追加的に設けるようにしても良い。このようにすれば、ゴムシート２５の上面におけるウエハ１１の位置決めのみならず、ウエハ１１の回転方向（周方向）における位置決めも、良好に行うことが可能となる。
【０１７７】
ここで、ゴムシート２５にゴム突起２７を設ける場合、ワークを最初にゴムシート２５上に載置し、そのワークの外周縁部がゴム突起２７に当接する。それにより、ワークを最初に載置する際に、該ワークのゴムシート２５の上面における位置が定められる。この状態で真空ポンプ３６が作動して、例えば真空室５０の内部において、ワークが真空吸引により生じる気流によりゴムシート２５上を移動したり、振動し（暴れ）よう、としても、ゴム突起２７により、その移動、振動（暴れ）が防止される。そのため、かかるワークの移動、振動（暴れ）により、適正な接着が開始される以前にワークの一部がテープ部材１２に接触してしまう、といった不具合を防止可能となり、良好な接着を実現することが可能となる。
【０１７８】
また、ワークの位置決め固定のために、別途、治具を用いずに済む。このため、治具の設置等の工数を削減することが可能となる。また、治具は、通常は金属から形成されており、所定の剛性を有している。このため、治具を用いたワークの位置決めでは、ワーク（ウエハ１１等）に反りが生じていても、該治具が有する剛性によって、治具の変形が抑制される。それによって、ワークに反りが生じている場合には、治具に対して、ワークが部分的にしか接触しない、という問題を有している。しかしながら、ゴムシート２５にゴム突起２７を設ける構成を採用する場合、該ゴムシート２５の有する柔軟性により、ゴムシート２５をワークの反りに倣わせることが可能となる。それにより、ワークの保持を均一に行うことができ、テープ部材１２に対するワークの接着を良好に行うことが可能となっている。
【０１７９】
また、例えばリング状の治具を用いると共に、ワークがウエハ１１である場合、当該治具は、ウエハ１１の外周部分を支持する状態となる。このため、ウエハ１１の中央部分が凹み、テープ部材１２のウエハ１１に対する接着が、ウエハ１１の外周部分から開始される、という不具合が生じるケースも考えられる。しかしながら、ゴム突起２７を設ける場合、かかるウエハ１１の中央部分の凹みが生じなく、ウエハ１１の中央部分からの接着を行うことができる。そのため、ウエハ１１に対して、テープ部材１２を、一層良好に接着させることが可能となる。
【０１８０】
なお、ゴムシート２５が膨らむ場合、該ゴムシート２５の中央部分から膨らんでいく。そのため、ゴム突起２７の高さ寸法を抑えて、例えばワークの厚み寸法と大差がない状態にすれば、ゴムシート２５が膨らんだ場合でも、ゴム突起２７の頂部がテープ部材１２に接触するのを防止することが可能となる。
【０１８１】
ここで、ゴム突起２７は、その外観が略円柱形状、略三角柱形状、または略四角柱形状となるように設けられている。そして、ゴム突起２７は、ワークの外周縁部に対して、略１点となる状態で接触し、ワークをゴムシート２５の上面に載置し易くなっている。しかしながら、ゴム突起２７は、必ずしも略円柱形状等に限られるものではなく、種々の形状を採用することが可能である。また、図１９には、ゴムシート２５と一体的に設けられるゴム突起２７が示されている。しかしながら、ゴム突起２７は、ゴムシート２５と一体的に設ける必要はない。例えば、ゴムシート２５の上面に、ゴムシート２５とは別途のゴム部材を貼り付けするようにして、ゴム突起２７を形成するようにしても良い。さらに、位置決め手段の材質は、必ずしもゴム突起２７には限られない。例えば、スポンジ、シリコン等の各種の樹脂等から形成されていても良く、その他、例えば、アルミニウム等の金属材質から形成されていても良い。
【０１８２】
また、位置決め手段は、ゴムシート２５に形成されるものには限られない。例えば、シリンダロッドを真空室５０の内部に向かって突出可能に設けると共に、シリンダロッドの突出側の先端に、ワークの外周縁部に当接し、かつワークの位置決めを行うための当接部材を取り付けるようにしても良い。かかる構成の場合、ゴムシート２５の上面にワークを載置すると、シリンダロッドが真空室５０の内部側に向かって延伸し、当接部材がワークの外周縁部に当接し、ワークの位置決め／保持が為される。なお、かかる位置決めのポジションは、ワークがテープ部材１２に対して良好に接着可能な部位に設定されている。
【０１８３】
このように、シリンダロッド等を用いて位置決め手段を構成した場合でも、ゴム突起２７を設ける場合と同様に、ワークのゴムシート２５の上面における位置が定められ、真空吸引時にワークが移動したり、振動し（暴れ）たりする、といった不具合が発生するのを防止することが可能となる。なお、かかるシリンダロッド等を用いた位置決めでは、ゴムシート２５が膨らみ始めた際に、当設部材がワークの外周縁部から逃げるように駆動されるようにするのが好ましい。このようにすれば、テープ部材１２に対するワークの接着を、一層スムーズに行うことが可能となる。
【０１８４】
また、上述の各実施の形態では、テープ接着装置１０，１００は、通常の雰囲気内に設置されている。しかしながら、かかるテープ接着装置１０，１００を、真空雰囲気中に設置するようにしても良い。このようにすれば、ワークにテープ部材１２を接着し、各種の処理を行った後に、その真空雰囲気中でワークからテープ部材１２を剥がす、といった作業を行うことが可能となる。また、テープ接着装置１０，１００の周囲を、真空雰囲気とすることにより、テープ接着装置１０，１００の真空室５０を、所定の真空度に早く到達させることが可能となる。
【０１８５】
なお、テープ接着装置１０，１００を真空雰囲気中に設置する場合、テープ接着装置１０，１００よりも大型の真空チャンバ内に設置する等すれば良い。
【０１８６】
また、テープ接着装置１０，１００に対してワークを搬送するための、搬送ロボットを設置するようにしても良い。この場合、ワークに対するテープ部材１２の接着を、一層自動化させることが可能となる。また、上述の実施の形態では、テープ接着装置１０の内部に、ワークを一枚ずつ設置している。しかしながら、ワークを複数枚収納可能なカセットをテープ接着装置１０，１００の内部に設置し、かかるカセットからワークを順次取り出すようにしても良い。
【０１８７】
また、上述の各実施の形態では、ゴムシート２５の上面にワークを載置している。しかしながら、かかるゴムシート２５の上面に、例えば樹脂を材質とするシート状部材を載置し、このシート状部材の上部に、ワークを載置するようにしても良い。このようにすれば、ゴムシート２５がこすれる等によって生じる、ワークに対する塵埃の付着を防止することができ、後の洗浄処理装置を用いた洗浄工程等を削減することが可能となる。
【０１８８】
また、上述の各実施の形態では、シールリング２３を本体上面部２２に取り付けている。しかしながら、シールリング２３は、蓋体部６０側に取り付けるようにしても良い。このように構成した場合には、本体上面部２２にリング当接部が設けられることになる。
【０１８９】
さらに、上述の各実施の形態では、伸縮シート部材として、ゴムシート２５を用いた場合について説明している。しかしながら、伸縮シート部材は、ゴムシート２５に限られるものではなく、例えばエラストマー樹脂等の樹脂を材質とする等、ゴム材質以外の材質から構成されていても良い。また、上述の実施の形態では、保持部材として、押さえリング２６を用いる場合について説明している。しかしながら、保持部材は押さえリング２６に限られるものではなく、例えば内径部２２ａに塗布する接着剤等の接着性を有する材質を、保持部材として用いても良い。また、保持部材の形状は、リング状に限られるものではなく、外径が多角形をなすリング形状等、種々の形状を採用することが可能である。
【０１９０】
また、上述の第１の実施の形態では、テープ保持手段が吸着部材６６を有し、この吸着部材６６によってテープ部材１２を吸着保持する場合について説明している。しかしながら、テープ部材１２を保持するための構成は、これには限られない。例えば、リング状のテープフレームを用いて、テープ部材１２を張設する構成を採用しても良い。
【０１９１】
また、上述の第１の実施の形態では、テープ部材１２を吸着保持するために、多孔質セラミックスを材質とする吸着部材６６を用いているが、吸着部材は、多孔質体であればどのような材質であっても良い。多孔質体の他の例としては、スポンジ体が挙げられる。
【０１９２】
また、制御手段としては、予め制御条件が設定されているものでも良く、作業者側で任意に制御条件を設定可能な構成でも良い。さらに、シール部材は、本体部２０と蓋体部６０との間を気密に閉塞できる構成であれば、どのような形状・構成であっても良い。
【０１９３】
また、上述の第１の実施の形態では、開閉ロック手段として、ロック機構８０を用いた場合について説明している。しかしながら、開閉ロック手段は、ロック機構８０には限られない。例えば、本体部２０側に差込穴を設けると共に、蓋体部６０側にバネによる付勢力を受けながら回動する爪部を設け、蓋体部６０を閉じた場合に爪部が差込穴に嵌まり込むようにし、爪部の差込穴の内部での係止によって、蓋体部６０の開放がロックされるように構成しても良い。また、開閉ロック手段を省略する構成を採用しても良い。また、第１の実施の形態において、ロック機構１４０を設けるようにすると共に、第２の実施の形態において、ロック機構８０を設けるようにしても良い。
【０１９４】
また、上述の第１の実施の形態におけるテープ接着装置１０は、加圧を行える蓋体部６０を具備している。しかしながら、テープ接着装置１０は、かかる蓋体部６０と、空気管路６７等を具備せずに加圧を行えないタイプの蓋体部とを容易に交換可能としても良い。
【０１９５】
さらに、上述の第１の実施の形態においては、吸着部材６６は、多孔質セラミックスから構成されている。この場合において、多孔質セラミックスを別途加熱する機構を設け、該吸着部材６６にセラミックスヒータといった、加熱のための機能を持たせるようにしても良い。この場合には、テープ部材１２が加熱されるため、テープ部材１２のワーク（ウエハ１１等）に対する接着性（粘着性）が良好となる。このため、テープ部材１２をワークに対して一層強固に接着させることが可能となる。
【０１９６】
また、上述の各実施の形態では、ゴムシート２５の上面にウエハ１１、ガラス基板１０１等のワークを載置し、ゴムシート２５を上方向に膨張させてテープ部材１２に接触させるようにしたが、これらの位置関係を上下方向について逆に配置してもよい。すなわち、ゴムシート２５を最上部に、ワークを中間に、テープ部材１２を最下部に配置し、ゴムシート２５を下方向に膨張させてテープ部材１２に接触させることも可能である。なお、そのような場合には、第１の真空室と第２の真空室の位置関係を上下方向について逆にする必要がある。また、接着を行う前に、ワークが重力によって落下することを防止するために、ゴムシート２５にワークを固定するための手段を設ける必要がある。具体的には、例えば、ゴムシート２５に粘着部材等を設けて、この粘着部材によってワークを固定するようにしたり、ワークに設けられた係止部材と係合する係止部材をワークに設けて固定したりすることができる。その場合、ワークがテープ部材１２に接着した後に、ゴムシート２５の膨張が解除されて復元すると、ワークがテープ部材１２から剥がれることも想定されるので、例えば、電磁的な手段によってワークをゴムシート２５に固定しておき、接着が完了した時点で電磁力を解除するようにしてもよい。そのような構成によれば、ワークが自重によってテープ部材１２に押し付けられることから、テープ部材１２とワークの間に接着が不十分な部分が存在している場合であっても、当該部分が剥がれることを防止できる。
【０１９７】
また、上述の各実施の形態では、真空中においてワークをテープ部材１２に接着するようにしたが、例えば、常圧下において接着することも可能である。すなわち、ワークが載置されたゴムシート２５の上下において、ワークがテープ部材１２側に移動するように気圧差が生じれば、これらを接着することができるからである。具体的には、ゴムシート２５の上面側に位置する第１の真空室５０を大気開放状態とし、ゴムシート２５の下面側に位置する第２の真空室５１を加圧状態とすることによってもゴムシート２５をテープ部材１２側に移動させてこれらを接着させることができる。または、ゴムシート２５の下面側に位置する第２の真空室５１を大気開放状態とし、ゴムシート２５の上面側に位置する第１の真空室５０を減圧状態とすることでもゴムシート２５をテープ部材１２側に移動させてこれらを接着させることができる。なお、その場合に、大気開放状態とする側の真空室の容量を十分に大きく形成すれば、大気開放としなくても当初の目的を達成することができる。このように、第１の室となる第１の真空室５０の内部の圧力を、第２の室となる第２の真空室５１の圧力より低くなるようにすることで、ゴムシート２５を上方向に膨張させることができる。なお、ゴムシート２５を下方向に膨張させる場合は、第１の室の内部の圧力を第２の室の内部の圧力より高くすることで達成される。ここで、空気管路３３、管部材３５、突出管部３５ａ、真空ポンプ３６、第１の弁部材３７、空気管路３８、管部材４０、突出管部４０ａ、第２の弁部材４１等によって調整手段が構成される。なお、調整手段としては、真空ポンプではなく、例えば、加圧ポンプを使用することも可能である。すなわち、第１の室の内部の圧力と第２の室の内部の圧力との間に圧力差が生じればよいので、真空ポンプのみならず加圧ポンプも使用することができる。
【０１９８】
また、上述の各実施の形態においては、空気導入部５１は、図４等においては一箇所のみ図示されている。しかしながら、空気導入部５１は、一箇所のみ設ける構成には限られず、複数箇所設ける、かつそれぞれに空気管路３８を接続するようにしても良い。例えば、ワークとして、大型のガラス基板１０１を用いる場合でも、複数箇所の空気導入部５１／空気管路３８の存在により、より早く空気を行き渡らせて、ゴムシート２５を膨らませることが可能となる。なお、複数箇所の空気導入部５１は、本体上面部２２の径方向の中心部分に設けると共に、この中心部分の空気導入部５１を囲むように、複数の外側の空気導入部５１配置するのが好ましい。そして、外側の空気導入部５１は、大型のワーク以外の貼付を行う場合、遮蔽等して使用しないようにするようにしても良い。また、ワークに対するテープ部材１２の貼付状況に応じて、それぞれの外側の空気導入部５１に対する空気の導入を制御するようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１９９】
本発明のテープ接着装置およびテープ接着方法は、ウエハを用いた半導体集積回路の製造過程や液晶を用いた液晶表示装置の製造過程において利用することができる。すなわち、半導体製造産業等において利用することができる。また、ガラス基板を用いたディスプレイの製造産業等において利用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０２００】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、ウエハをゴムシート上に配置した状態で蓋体部を透視して示す平面図である。
【図２】図１のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示す平面図である。
【図３】図１のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示すと共に内部構成の一部を透視した状態について示す側面図である。
【図４】図１のテープ接着装置の排気系統及び制御系統の様子を簡略化して示す概略構成図である。
【図５】図１のテープ接着装置において、ゴムシートおよびテープ部材を保持する構成のうち、押さえリング付近を拡大して示す部分的な側断面図である。
【図６】図１のテープ接着装置において、ゴムシートおよびテープ部材を保持する構成のうち、空気導入部付近を拡大して示す部分的な側断面図である。
【図７】図１のテープ接着装置の構成を示す図であり、（ａ）は蓋体部を開いた状態を示す内部を一部透視した側面図であり、（ｂ）は蓋体部を閉じた状態を示す正面側から見た要部断面図である。
【図８】図１のテープ接着装置のうち、蓋体部の内部構成を透視して示すと共に、蓋体部と本体部との間に存在するロック機構の取り付けの様子を示す側面図である。
【図９】図１のテープ接着装置の構成を示す背面図である。
【図１０】図１のテープ接着装置を用いて、ウエハに対してテープ部材を接着する場合の動作フローを示す図である。
【図１１】図１のテープ接着装置を用いて、ウエハを持ち上げてテープ部材に接着させる場合の接着の態様を示すイメージ図であり、（ａ）はテープ部材に対してウエハの中央部分から接着が開始される場合を示す図であり、（ｂ）はテープ部材に対して傾斜しているウエハの上端から接着が開始される場合を示す図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を透視して示す平面図である。
【図１３】図８のテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示すと共に内部構成の一部を透視した状態について示す側面図である。
【図１４】図８のテープ接着装置の構成を示す正面図である。
【図１５】図８のテープ接着装置のうち蓋体部を中心とした構成を示す平面図である。
【図１６】図８のテープ接着装置のうち、アーム付近の構成を示す部分側面図である。
【図１７】図８のテープ接着装置のうち、ロック機構付近の構成を示す部分側面図である。
【図１８】図８のテープ接着装置のＡ−Ａ線に沿う側断面図を右側、Ｂ−Ｂ線に沿う側断面図を左側に配置し、短ピンと長ピンの中心線Ｘを境界線として繋ぎ合わせた半断面図である。
【図１９】図１のテープ接着装置の変形例に係り、ゴムシートにゴム突起が設けられた様子を拡大して示す側断面図である。
【符号の説明】
【０２０１】
１０，１００…テープ接着装置
１１…ウエハ（ワーク）
１２…テープ部材
２０…本体部
２２…本体上面部
２２ｂ…載置部
２４…孔部
２５…ゴムシート（伸縮シート部材）
２６…押さえリング（保持部材）
２７…ゴム突起（位置決め手段）
３３…空気管路（第１の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
３５…管部材（第１の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
３６…真空ポンプ（第１の吸引手段の一部、第２の吸引手段の一部、第３の吸引手段の一部）
３７…第１の弁部材（第１の吸引手段の一部、第２の空気導入手段の一部）
３８…空気管路（第２の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）
４０…管部材（第２の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）
４１…第２の弁部材（第２の吸引手段の一部、空気導入手段の一部）
４２…管部材（テープ保持手段の一部、第３の吸引手段の一部）
４３…ホース（テープ保持手段の一部、第３の吸引手段の一部）
４４…第３の弁部材（テープ保持手段の一部、第３の吸引手段の一部）
４５（４５ａ，４５ｂ）…真空計
５０…真空室
５１…空気導入部
６０…蓋体部
６１…蝶番
６２…ダンパ部材
６３…リング当接部
６４…凹部
６４ａ…上底面
６５…嵌合凹部
６６…吸着部材（テープ保持手段の一部）
６７…空気管路（テープ保持手段の一部、第３の吸引手段の一部）
８０，１４０…ロック機構
９０…制御装置（制御手段）
１０１…ガラス基板（ワーク）
１１０…バランサ機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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