(57)【要約】【課題】  ピストンの微低速移動時においてピストンロッドに所定のフリクションを付与する油圧緩衝器を提供する。【解決手段】  作動油が封入されたシリンダ６２と、このシリンダ６２内に摺動可能に挿入されるピストンと、このピストンに連結されシリンダ６２から突出したピストンロッド６３と、シリンダ６２に対してピストンロッド６３が移動するのに伴って流れる作動油に抵抗を付与する作動油減衰力発生機構とを備える油圧緩衝器６１において、ピストンの微低速移動時にピストンロッド６３の外周面６３ａに摺接して弾性変形するオイルシール（弾性部材）６５をシリンダ６２側に設け、ピストンロッド６３の外周面６３ａに炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜９を形成したことを特徴とするものとした。【選択図】    図１
2006194343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動油が入れられたシリンダと、
このシリンダに摺動可能に挿入されるピストンと、
このピストンが連結されるピストンロッドと、
シリンダに対してピストンが移動するのに伴って流れる作動油に抵抗を付与する作動油減衰力発生機構とを備える油圧緩衝器において、
前記ピストンの微低速移動時に前記ピストンロッドの外周面に摺接して弾性変形する弾性部材を前記シリンダ側に設け、
前記ピストンロッドの外周面に炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜を形成したことを特徴とする油圧緩衝器。
【請求項２】
前記ＤＬＣコーティング膜は硬度が厚み方向に略一定であるトップ層とこのトップ層上に設けたオーバレイ層を備え、
このオーバレイ層の硬度がトップ層より低下していることを特徴とする請求項１に記載の油圧緩衝器。
【請求項３】
前記オーバレイ層の硬度が前記ＤＬＣコーティング膜の最表面に向かって厚み方向に減少することを特徴とする請求項２に記載の油圧緩衝器。
【請求項４】
前記オーバレイ層を研磨加工したことを特徴とする請求項２または３に記載の油圧緩衝器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば車両のサスペンション等に適用される油圧緩衝器に関し、特にピストンの微低速移動時においてピストンロッドに所定の減衰力を付与する構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の油圧緩衝器として、例えば特許文献１に記載のものが知られている。この油圧緩衝器は、オイルシールとガイドブッシュとの間に位置するロッドガイドに凹部を設け、この凹部内に環状のブッシュを配置するとともに、このブッシュの外側からコイルスプリングの弾性力でブッシュの内周面をピストンロッドに押圧する機構を備えており、これによってピストンの微低速移動時、ピストンロッドに所定のフリクションを付与している。
【特許文献１】特開平１０−１４１４１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような従来の油圧緩衝器にあっては、ピストンロッドの表面にＣｒめっき膜、ＴｉＮ膜等が形成された場合、ピストンロッドの動き出す際に作動油中の油性剤がピストンロッドの表面に付着される効果によって、ピストンロッドに付与されるフリクションが過剰に低下し、ピストンの微低速移動時の減衰力が不足する可能性があった。
【０００４】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、ピストンの微低速移動時においてピストンロッドに所定のフリクションを付与する油圧緩衝器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、作動油が入れられたシリンダと、このシリンダに摺動可能に挿入されるピストンと、このピストンが連結されるピストンロッドと、シリンダに対してピストンが移動するのに伴って流れる作動油に抵抗を付与する作動油減衰力発生機構とを備える油圧緩衝器において、ピストンの微低速移動時にピストンロッドの外周面に摺接して弾性変形する弾性部材をシリンダ側に設け、ピストンロッドの外周面に炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜を形成したことを特徴とするものとした。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によると、例えば車両が凹凸の小さい路面等を走行するようなピストンの微低速移動時、弾性部材はピストンロッドのＤＬＣコーティング膜に摺接して弾性変形し、弾性部材が持っている固有の減衰力をピストンロッドに付与し、車輪の振動を減衰する。このとき、ピストンロッドの移動に伴い作動油の流れが微少であり、作動油減衰力発生機構がピストンロッドに減衰力をほとんど付与しない。
【０００７】
炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜はその表面が平滑に形成されるため、作動油中に含まれる油性剤がピストンロッドの表面に付着される効果が抑えられ、ピストンが動き出す境界潤滑領域でピストンロッドに付与されるフリクションが増加する。これにより、ピストンの微低速移動時に弾性部材がＤＬＣコーティング膜に対して滑りにくく、弾性部材が弾性変形してピストンロッドに減衰力を付与する効果を高められる。
【０００８】
一方、例えば車両が凹凸の大きい路面等を走行するようなピストン速度の中高速時、作動油減衰力発生機構がシリンダに対してピストンロッドが移動するのに伴って流れる作動油に抵抗を付与し、車輪の振動を減衰する。このとき、弾性部材はピストンロッドのＤＬＣコーティング膜に摺接するが、平滑なＤＬＣコーティング膜によってピストンロッドに付与する摩擦力が小さく抑えられ、油圧緩衝器が円滑に伸縮作動する。したがって、油圧緩衝器は微低速域から中高速域に渡ってスムーズな作動特性が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１に示す油圧緩衝器６１は、車両に搭載され、図示しない車輪の懸架装置と車体の間に懸架スプリングと共に介装され、車輪の上下動に伴って伸縮作動して車輪の振動を減衰するものである。
【００１１】
油圧緩衝器６１は、作動油が封入された円筒状のシリンダ６２と、このシリンダ６２内に摺動可能に挿入されるピストン（図示せず）と、このピストンに連結されシリンダ６２から突出したピストンロッド６３と、シリンダ６２に対してピストンロッド６３が移動するのに伴って流れる作動油に抵抗を付与する作動油減衰力発生機構（図示せず）とを備える。
【００１２】
シリンダ６２の開口端部にはベアリング６４が装着されており、その外部側にはオイルシール６５が介装される。ピストンロッド６３はベアリング６４とオイルシール６５に摺接してシリンダ６２の開口端部から外部に突出している。
【００１３】
オイルシール６５は、合成ゴムより円盤状に形成され、ピストンロッド６３の外周面６３ａに摺接するシール部６５ａと、シリンダ６２のかしめ部６２ａと、ベアリング６４の環状凸部６４ａの間に挟持される外周部６５ｂが一体形成される。
【００１４】
オイルシール６５のシール部６５ａは、ピストンロッド６３の退出時にピストンロッド６３の外周面６３ａに付着した作動油を掻き取り、シリンダ６２内の作動油が外部に漏れることを防止する。
【００１５】
さらに、オイルシール６５のシール部６５ａは、ピストンの微低速移動時にピストンロッド６３の外周面６３ａに摺接して弾性変形する弾性部材として機能する。オイルシール６５のシール部６５ａは、ピストンの微低速移動時に弾性変形することにより、その合成ゴムが持っている固有の減衰力をピストンロッド６３に付与する構成とする。
【００１６】
オイルシール６５の形状及び寸法を変更して、ピストンロッド６３に付与する減衰力の大きさを任意に設定するようになっている。
【００１７】
そして、本発明の要旨とするところであるが、ピストンロッド６３の外周面６３ａに炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜９を形成する。ＤＬＣコーティング膜９の厚さは、例えば数μ程度以下の寸法である。
【００１８】
図２に示すＤＬＣコーティング膜９は、アンバランスマグネトロンスパッタ（UBM）法（以下、「ＵＢＭスパッタ法」と称する）によって形成される。
【００１９】
スパッタの原理は、図３に示すように、アルゴン（Ar）等のスパッタガスを導入した真空中でターゲット１１を陰極として陽極の間でグロー放電させてプラズマを形成し、このプラズマ中のイオンをターゲット１１に衝突させてターゲット１１の原子を弾き飛ばし、この原子をターゲット１１と対向して配置された金属製ワーク１上に堆積させて皮膜を形成するようになっている。なお、ＤＬＣ成膜時には、ＤＬＣ中への水素量を制御するため、メタン（ＣＨ４）等の炭化水素ガス或いは水素ガスがスパッタガスとともに使用されることもある。
【００２０】
ＵＢＭスパッタ法において、スパッタ蒸発源１０にターゲット１１の中心部と周辺部で異なる磁気特性を有する磁石１２，１３が配置されて、プラズマを形成しつつ強力な磁石１２により発生する磁力線の一部がワーク１の近傍に達し、チャンバ内のＡｒをイオン化させ、イオンアシスト効果が生じる。また、ワーク１にバイアス電圧を印加することによって、イオンアシスト効果を調整し、ＤＬＣコーティング膜９の硬度を制御することができる（例えば、特開２００２-２５６４１５号参照）。これは、スパッタガスイオンのワーク表面上への衝突の強さ（バイアス電圧により調整される）が硬度に影響するためである。
【００２１】
図４は、ＵＢＭスパッタ装置２０の基本構成を示す。真空チャンバ２１に４つのスパッタ蒸発源１０ａ〜１０ｄが設けられ、その中央に配置された自公転式ワークテーブル２６上にワーク１が置かれ、ワーク１に外周からコーティングが行われる。スパッタ蒸発源１０ａ〜１０ｄには皮膜材料となる平板状ターゲットが取り付けられる。真空チャンバ２１にはアルゴン等のスパッタガスとメタンガス等の炭化水素ガスが所定量充填される。
【００２２】
スパッタ蒸発源１０ａ，１０ｃにはターゲットとしてグラファイトを使用し、スパッタ蒸発源１０ｂ，１０ｄにはターゲットとして金属を使用する。金属として、例えばクロム（Cr）、タングステン（W）、チタン（Ti）、シリコン（Si）、タングステンカーバイト（WC）が用いられる。
【００２３】
ＤＬＣコーティング膜９は、図２に示すように、ワーク（ピストンロッド６３の母材）１の表面にボンド層２、中間層３、硬度が厚み方向に略一定であるトップ層４、硬度がトップ層４より低下しているオーバレイ層５が順に積層して形成される。
【００２４】
そして、オーバレイ層５はその硬度がＤＬＣコーティング膜９の最表面に向かって厚み方向に減少し、その表面が研磨機により研磨され、所定の平滑度を持つ構成とする。
【００２５】
オーバレイ層５の硬度が、ＤＬＣコーティング膜９の最表面に向かって厚み方向に減少するため、最表面からの深さに応じて硬度が増加し、トップ層４に達するまでに研磨が進まなくなる。このため、成膜条件など様々なばらつきの中でオーバレイ層５の性質がばらついても、現実的な短時間の研磨により、高い平滑度を有するなじみ面（ならし面）を再現よく作製できる。
【００２６】
図５は、上記ＤＬＣコーティング膜９を形成するのにあたって、ターゲット出力（スパッタ電源の電力）が時間変化する様子を示している。なお、金属の蒸着量及び炭素の蒸着量はターゲット出力に比例するため、図５の縦軸は膜中での金属と炭素の比率とみることもでき、一方、膜厚は堆積時間に比例するため、図５の横軸は膜厚とみることもできる。なお、便宜上、金属ターゲット出力は、後述のボンド層２における値を１００％とし、グラファイトターゲット出力は後述のトップ層４の値を１００％として表現することとする。
【００２７】
ボンド層２は、金属ターゲット１０ｂ，１０ｄのみをスパッタして、金属膜として形成される。このボンド層２を形成するのにあたって、図５に示すように、スパッタ蒸発源１０ｂ，１０ｄの金属ターゲット出力を１００％とし、スパッタ蒸発源１０ａ，１０ｃのグラファイトターゲット出力を０％と一定にして、所定時間だけスパッタが行われる。
【００２８】
中間層３は、スパッタ蒸発源１０ｂ，１０ｄの金属ターゲットとスパッタ蒸発源１０ａ，１０ｃのグラファイトターゲットを同時にスパッタし、ターゲット出力を次第に変化させて金属と炭素の傾斜組成膜として形成される。この中間層３を形成するのにあたって、図５に示すように、スパッタ蒸発源１０ｂ，１０ｄの金属ターゲット出力を１００％から時間に対して比例的に減少させる一方、スパッタ蒸発源１０ａ，１０ｃのグラファイトターゲット出力を０％から時間に対して比例的に増加させて、所定時間だけスパッタが行われる。
【００２９】
図５に示すように、トップ層４は、通常、スパッタ蒸発源の金属組成比を０％（金属ターゲット出力を０％）とし、スパッタ蒸発源のグラファイト組成比を１００％（グラファイトターゲット出力１００％）と略一定にして所定時間だけスパッタが行われる。この場合、トップ層の硬度は、厚みによらず略一定であり、通常のDLC膜の硬度となる。
【００３０】
なお、場合によっては、トップ層４の靱性を高めるために、金属ターゲットもスパッタして、トップ層の金属の比率を０〜１８％の範囲に設定することにより、トップ層４の密着性や靱性を高め、高荷重によってワーク１が変形するような場合、割れや、剥離が生じることを防止することも可能である。図６に示すように、トップ層４に含まれる金属の比率と靱性及び硬度の関係ように、金属の比率を０〜１８％の範囲に設定することにより、トップ層４の靱性と硬度を好ましい範囲に設定できる。
【００３１】
オーバレイ層５は、通常、スパッタ蒸発源１０ａ，１０ｃのグラファイトターゲットのみをスパッタし、ＤＬＣコーティング膜９として形成される。なお、トップ層とオーバレイ層の構成元素比率は同じであり、例外的に、トップ層に金属を含有させる場合はオーバレイ層５の形成時にも金属ターゲットがスパッタされる。このオーバレイ層５を形成するのにあたって、図５に示すように、スパッタ蒸発源１０ｂ，１０ｄの金属ターゲット出力を０％とし、スパッタ蒸発源１０ａ，１０ｃのグラファイトターゲット出力を１００％と一定にして、所定時間だけスパッタが行われる。
【００３２】
オーバレイ層５において、バイアス電圧は、オーバレイ層５の最表面に向かって単調に減少させており、例えば、トップ層形成時の値から所定の減少率をもって低下させている（図５のA）。或いは、バイアス電圧は、中間層及びトップ層形成時の値から所定値だけ減少させてもよい（図５のB）。オーバレイ層５は、バイアス電圧を低下させることにより硬度が低下することが知られており、オーバレイ層５は、トップ層４から硬度の低下したＤＬＣコーティング膜９となる。非常に高い硬度を有するトップ層４の研磨は既存の方法では困難であるが、トップ層４より硬度の低いオーバレイ層５を研磨することにより、高い表面平滑度を有する研磨表面（ならし面）が得られる。なお、ワーク１に印加するバイアス電圧が小さくなると、イオンアシスト効果が弱まるため、硬度が低下する。
【００３３】
特に、工業的に量産可能な形で再現性よく、研磨により高い平滑度を有するならし面を作製するために、オーバレイ層５において、バイアス電圧は、トップ層４の形成時の値から単調に低下させることが好ましい（図５のA）。つまり、オーバレイ層５において、硬度をトップ層４とオーバレイ層５の境界からオーバレイ層５の最表面に向かって単調に低下している。この場合、重要なことは、最表面からの深さに応じて硬度が増加するため、トップ層４に達するまでに研磨が不可能となり、オーバレイ層５の厚さの範囲で研磨が進まなくなることである。通常の非常に高い硬度を有するＤＬＣコーティング膜９の研磨は、研磨に適したオーバレイ層を有さないため良好に行えないが、硬度を低下させたオーバレイ層５では良好な研磨が可能となる。成膜条件など様々なばらつきの中でオーバレイ層５の性質がばらついても、上記のオーバレイ層５を設けるだけで量産に適した現実的な短時間の研磨により、高い平滑度を有するならし面を有するＤＬＣコーティング膜９を再現よく作製できる。
【００３４】
なお、オーバレイ層５は、製膜時のバイアス電圧を所定値以下に下げるとともに、炭化水素ガスや水素ガスからの水素の含有量を増やすことにより、その硬度を減少させることもできる。
【００３５】
オーバレイ層５は、図７に示すテープ研磨機等の表面研磨機により研磨され、所定の平滑度を持つ。図７に示すように、研磨は、ゴム５１によりテープ５２を押した状態で、ワーク１の軸方向にテープ５２を送ることにより行われる。研磨にはダイヤモンド砥粒（粒径１〜３０μｍ）を用いることが好ましいが、オーバレイ層５の硬度を著しく小さくすれば、シリカ（SiO2）、アルミナ（Al2O3）も使用可能である。ダイヤモンド砥粒を用いテープ研磨機で研磨する場合は、テープ５２の送り速度が５〜２０ｍｍ／秒、テープ５２の押付け力２０〜８０ｋｇの条件で研磨がなされ、良好なならし面が得られる。研磨時間を長くすると研磨表面の微小突起の高さはより減少する。オーバレイ層５は、研磨加工が施されることにより、高硬度と高い表面平滑度を併せ持ち、ピストンの微低速移動時に樹脂製オイルシール６５とのフリクションを高めるとともに、ピストンの中高速移動時に樹脂製オイルシール６５とのフリクションを下げることができる。
【００３６】
なお、ならし効果が期待できる摺動条件下では、オーバレイ層５の研磨加工を省くことも可能である。
【００３７】
以上のように構成されて、次に作用について説明する。
【００３８】
車両の走行時、車輪が路面から受ける入力によって油圧緩衝器６１が伸縮作動する。油圧緩衝器６１は路面の凹凸の大小に応じてオイルシール６５と作動油減衰力発生機構がそれぞれピストンロッド６３に減衰力を付与し、車輪の振動を減衰する。
【００３９】
車両が凹凸の小さい路面等を走行するようなピストンの微低速移動時、オイルシール６５のシール部６５ａは、ピストンロッド６３のＤＬＣコーティング膜９に摺接して弾性変形し、その合成ゴムが持っている固有の減衰力をピストンロッド６３に付与し、車輪の振動を減衰する。このとき、ピストンロッド６３の移動に伴い作動油の流れが微少であり、作動油減衰力発生機構がピストンロッド６３に減衰力をほとんど付与しない。
【００４０】
炭素を主成分としたアモルファス構造体からなるＤＬＣコーティング膜９はその表面が平滑に形成されるため、作動油中に含まれる油性剤がピストンロッド６３の表面に付着される効果が抑えられ、ピストンが動き出す境界潤滑領域でピストンロッド６３に付与されるフリクションが増加する。これにより、ピストンの微低速移動時にオイルシール６５のシール部６５ａがＤＬＣコーティング膜９に対して滑りにくく、オイルシール６５のシール部６５ａが弾性変形してピストンロッド６３に減衰力を付与する効果を高められる。
【００４１】
本実施例のＤＬＣコーティング膜９を研磨加工で表面をならすことにより、その表面が平滑に形成され、作動油中に含まれる油性剤がピストンロッド６３の表面に付着される効果が抑えられ、ピストンロッド６３に付与されるフリクションが増加する作用を高められる。これにより、ピストンの微低速移動時にオイルシール６５のシール部６５ａがＤＬＣコーティング膜９に対して滑りにくく、オイルシール６５のシール部６５ａが弾性変形してピストンロッド６３に減衰力を付与する効果を高められる。
【００４２】
図８に、研磨後のＤＬＣコーティング膜９の摩擦係数をバウデン−レーベン試験により求めた結果を、Ｃｒめっき膜、ＴｉＮ膜に比較して示す。この試験は、相手材のＮＢＲ（ニトリルゴム）製シートに鋼球圧子を裏に所定荷重で当てて、所定ストロークの条件下で移動速度を変化させて行った。
【００４３】
図８の試験結果から、研磨後のＤＬＣコーティング膜９の摩擦係数は、Ｃｒめっき膜、ＴｉＮ膜に対して移動速度０の近傍で高い値となり、移動速度０を越えると低い値となることがわかる。
【００４４】
ピストンロッドの表面にＣｒめっき膜、ＴｉＮ膜が形成されている従来の油圧緩衝器にあっては、作動油中の油性剤の効果によってピストンロッドに付与されるフリクションがストライベック曲線と異なる挙動を示し、ピストンロッドの動き出しが過剰にスムーズになり、ピストンの微低速移動時にて減衰特性に悪影響を及ぼす可能性があった。
【００４５】
これに対して本発明の油圧緩衝器６１は、ピストンロッド６３の外周面６３ａにＤＬＣコーティング膜９を形成したため、ＤＬＣコーティング膜９の表面上に作動油中の油性剤が付着されにくい状態となって潤滑効果が出にくいため、微低速域の摩擦係数が高くなり、オイルシール６５が付与する減衰特性が安定して得られる。
【００４６】
図９に、研磨後のＤＬＣコーティング膜９のフリクション特性を測定した振動試験の結果を、ＤＬＣコーティング膜を形成しないものに比較して示す。この試験は、相手材を所定荷重で押し当てて、０．２ｍｍのストローク範囲でサイン波の速度特性を持って往復動させて行った。
【００４７】
図９の試験結果から、研磨後のＤＬＣコーティング膜９のフリクション特性は、ＤＬＣコーティング膜を形成しないものに比較して、ストローク変化に対して比例してフリクションが増減するリニア特性となり、静フリクション（起動フリクション）の値に大きな変化はないが、トータルのフリクションとしては大きくなっていることがわかる。
【００４８】
一方、車両が凹凸の大きい路面等を走行するようなピストン速度の中高速時、作動油減衰力発生機構がシリンダ６２に対してピストンロッド６３が移動するのに伴って流れる作動油に抵抗を付与し、車輪の振動を減衰する。このとき、オイルシール６５のシール部６５ａは、ピストンロッド６３のＤＬＣコーティング膜９に摺接するが、平滑なＤＬＣコーティング膜９によってピストンロッド６３に付与する摩擦力が小さく抑えられ、油圧緩衝器６１が円滑に伸縮作動する。したがって、油圧緩衝器６１は微低速域から中高速域に渡ってスムーズな作動特性が得られる。
【００４９】
一般に作動油にはいくつかの添加剤が含まれており、この添加剤の一つである油性剤は、図１０の（ａ）に示すように、Ｃｒめっき、ＴｉＮ等の金属表面に付着され、境界潤滑領域で直接接触を防いで摩擦を低減させる効果があるが、図１０の（ｂ）に示すように、ＤＬＣコーティング膜に付着されにくいという特性がある。
【００５０】
なお、ピストンの微低速移動時にピストンロッド６３の外周面６３ａに摺接して弾性変形する弾性部材は、前記実施形態におけるオイルシール６５のシール部６５ａに限らず、シリンダの開口端に設けられるダストシールに設けても良く、あるいはこの弾性部材として他のゴム部材をシリンダとピストンロッドの間に介装しても良い。
【００５１】
本発明は上記の実施形態に限定されずに、その技術的な思想の範囲内において種々の変更がなしうることは明白である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、車両に搭載される油圧緩衝器に限らず、他の機械に介装される油圧緩衝器にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態を示す油圧緩衝器の側面図。
【図２】同じくＤＬＣコーティング膜の断面図。
【図３】同じくスパッタ法の原理を示す説明図。
【図４】同じくＵＢＭスパッタ装置の構成図。
【図５】同じくターゲット出力が変化する様子を示す特性図。
【図６】同じくトップ層に含まれる金属の比率と靱性及び硬度の関係を示す特性図。
【図７】研磨方法を示す図である。
【図８】ＤＬＣコーティング膜の摩擦係数をＣｒめっき膜、ＴｉＮ膜の摩擦係数に比較して示したグラフ。
【図９】ＤＬＣコーティング膜のフリクション特性を測定した振動試験の結果を示したグラフ。
【図１０】油性剤の効果を説明する図。
【符号の説明】
【００５４】
１  ワーク
２  ボンド層
３  中間層
４  トップ層
５  オーバレイ層
９  ＤＬＣコーティング膜
１０ａ〜１０ｄ  スパッタ蒸発源
２０  ＵＢＭスパッタ装置
６１  油圧緩衝器
６２  シリンダ
６３  ピストンロッド
６５  オイルシール（弾性部材）
【図１】
2006194343.tif 000003
【図２】
2006194343.tif 000004
【図３】
2006194343.tif 000005
【図４】
2006194343.tif 000006
【図５】
2006194343.tif 000007
【図６】
2006194343.tif 000008
【図７】
2006194343.tif 000009
【図８】
2006194343.tif 000010
【図９】
2006194343.tif 000011
【図１０】
2006194343.tif 000012