(57)【要約】【課題】  検査液をセルから容易に抜き取ることを可能にする。【解決手段】  セルに、カンチレバーセンサを装着しうるセンサ装着部２５と、カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく検査液を保持しうる容器１と、容器１の底部４に形成され水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面４１とを設ける。【選択図】        図１
2006194841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カンチレバーセンサを装着しうるセンサ装着部と、
上記カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、
該容器の底部に形成され、水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面とを備える
ことを特徴とする、カンチレバーセンサ用セル。
【請求項２】
光を反射する反射面を形成されたカンチレバーセンサを装着しうるセンサ装着部と、
上記カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、
該容器に設けられ、該容器の内部と外部との間で光を透過させる光透過部と、
該光透過部の表面に形成され、該センサ装着部に装着されたカンチレバーセンサの反射面に対して傾斜角を有する傾斜透過面とを備える
ことを特徴とする、カンチレバーセンサ用セル。
【請求項３】
光を反射する反射面を形成されたカンチレバーセンサを装着しうるセンサ装着部と、
上記カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、
該容器に設けられ、該容器の内部と外部との間で光を透過させる光透過部と、
該容器の底部に形成され、水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面と、
該光透過部の表面に形成され、該センサ装着部に装着されたカンチレバーセンサの反射面に対して傾斜角を有する傾斜透過面とを備える
ことを特徴とする、カンチレバーセンサ用セル。
【請求項４】
カンチレバーセンサと、
該カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、
該容器の底部に形成され、水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面とを備える
ことを特徴とする、カンチレバーセンサ用セル。
【請求項５】
光を反射する反射面を形成されたカンチレバーセンサと、
該カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、
該容器に設けられ、該容器の内部と外部との間で光を透過させる光透過部と、
該光透過部の表面に形成され、該カンチレバーセンサの反射面に対して傾斜角を有する傾斜透過面とを備える
ことを特徴とする、カンチレバーセンサ用セル。
【請求項６】
光を反射する反射面を形成されたカンチレバーセンサと、
該カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、
該容器に設けられ、該容器の内部と外部との間で光を透過させる光透過部と、
該容器の底部に形成され、水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面と、
該光透過部の表面に形成され、該カンチレバーセンサの反射面に対して傾斜角を有する傾斜透過面とを備える
ことを特徴とする、カンチレバーセンサ用セル。
【請求項７】
上記傾斜角が、０．５°以上である
ことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載のカンチレバーセンサ用セル。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のカンチレバーセンサ用セルを装着するセル装着部と、
上記カンチレバーセンサ用セル内のカンチレバーセンサに光を照射する光源と、
上記カンチレバーセンサ用セル内のカンチレバーセンサで反射した反射光を検出する光検出部と、
該光検出部で検出した反射光から上記カンチレバーセンサの変位量を測定する変位量測定部とを備える
ことを特徴とする、カンチレバーセンサシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カンチレバーセンサを用いた分析に用いるカンチレバーセンサ用セル及びカンチレバーセンサシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
カンチレバーを用いたセンサ（以下適宜、「カンチレバーセンサ」という）について、近年様々な開発が行なわれている。このカンチレバーセンサの動作原理は、カンチレバーセンサを構成するカンチレバーの表面と検出対象との相互作用により生じる表面応力の変化を、カンチレバーの変位量（たわみ量）により検出するというものである。
このようなカンチレバーセンサの例としては、ＤＮＡハイブリダイゼーション検出センサ（非特許文献１）、抗原抗体反応検出センサ（非特許文献２）、マイクロカンチレバー・バイオセンサ（特許文献１）などが挙げられる。
【０００３】
これらカンチレバーセンサにおいては、カンチレバーの変位量は「光てこ」による光学的な手法で測定されることが一般的である。光学的な手法は、圧電抵抗素子を用いた電気的な手法に比べて、感度が高いという利点を有するからである。具体的には、カンチレバーの先端部に、レーザー光をレンズにより点状に集光し、そこからの反射光位置をＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｄｅｖｉｃｅ）等により測定する。
【０００４】
ここで、検出対象が液体（以下適宜、「検査液」という）である場合、カンチレバーは、検査液を保持したセル内に固定され、検査液中に浸った状態で測定が行なわれる。したがって、検査液中のカンチレバーにレーザー光を集光して、該カンチレバーからの反射光を測定することとなる。
【０００５】
この際、該セルの検査液中のカンチレバーにレーザー光を集光する構成としては、セルの上側に設けられた開口部から検査液の液面を通して測定を行なう構成と、ガラス等の透明基板を検査液で満たされたセルの壁面（側面もしくは底面）に設けて、透明基板越しに測定を行なう構成との２通りが可能である。ここで、セル上方から液面を通して測定を行なう構成は、検査液の液面の揺れ等の影響を受けやすい。したがって、該容器の壁面に設けた透明基板越しに測定を行なうことが従来行なわれてきた。
また、このような測定システムは従来、密閉された容器（セル）にチューブを介してポンプにより検査液を注入することにより構成されてきた。
【０００６】
【非特許文献１】Ｓｃｉｅｎｃｅ，  Ｖｏｌ．２８８（２０００），ｐｐ．３１６−３１８
【非特許文献２】Ｓｅｎｓｏｒｓ  ａｎｄ  Ａｃｔｕａｔｏｒｓ  Ｂ，  Ｖｏｌ．７９（２００１），ｐｐ．１１５−１２６
【特許文献１】国際公開第９８／５０７７３号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記構成を用いた光学的手法で測定を行なう際、透明基板等のセル表面からの反射光とカンチレバーからの反射光とが共に検出系に入ってしまい、カンチレバーからの反射光位置のみを信号として取り出すことが困難になるという課題があった。
また、従来のようにポンプ等の機材を用いる場合、分析装置が大型化したり、チューブやポンプ等の機材類の洗浄が困難になったりする虞がある。したがって、ピペット等を用いて人の手によりセルに対して検査液を注入や抜き取りを行なうようにしたい。しかし、その場合には、カンチレバーセンサによる検査液の測定後、検査液をセルから抜き取る際にセル内に検査液が残留しやすく、検査液を容易に抜き取ることができなかった。
【０００８】
本発明は上記の課題に鑑みて創案されたもので、光学的手法で測定を行なう際にセル表面からの反射光による影響を排除することが可能なカンチレバーセンサ用セル及びカンチレバーセンサシステムを提供すること、並びに、検査液をセルから容易に抜き取ることが可能なカンチレバーセンサ用セル及びカンチレバーセンサシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の発明者は、上記課題を解決するべく鋭意検討した結果、カンチレバーセンサを装着するカンチレバーセンサ用セルの所定の部位に傾斜を設けることにより、カンチレバーセンサ用セル表面の反射光が測定に与える影響を排除することができ、また、カンチレバーセンサ用セルから検査液を抜き取ることが容易になることを見出し、本発明を完成させた。
【００１０】
即ち、本発明の要旨は、カンチレバーセンサを装着しうるセンサ装着部と、上記カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、該容器の底部に形成され、水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面とを備えることを特徴とする、カンチレバーセンサ用セルに存する（請求項１）。これにより、カンチレバーセンサ用セル内の検査液を抜き取る際、検査液は傾斜底面の低い部分に溜まるため、その溜まった検査液を抜き取るようにすれば、カンチレバーセンサ用セルから検査液を容易に抜き取ることが可能となる。
【００１１】
また、本発明の別の要旨は、光を反射する反射面を形成されたカンチレバーセンサを装着しうるセンサ装着部と、上記カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、該容器に設けられ、該容器の内部と外部との間で光を透過させる光透過部と、該光透過部の表面に形成され、該センサ装着部に装着されたカンチレバーセンサの反射面に対して傾斜角を有する傾斜透過面とを備えることを特徴とする、カンチレバーセンサ用セルに存する（請求項２）。これにより、測定に用いる入射光及び反射光が上記傾斜透過面を通るようにすれば、カンチレバーセンサ用セル表面において生じる反射光（即ち、傾斜透過面で生じる反射光）は測定に用いる入射光及び反射光とは別の方向に向けて反射するようになるため、上記のカンチレバーセンサ用セル表面に生じる反射光が測定に与える影響を排除し、正確な測定を行なうことが可能となる。
【００１２】
さらに、本発明の更に別の要旨は、光を反射する反射面を形成されたカンチレバーセンサを装着しうるセンサ装着部と、上記カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、該容器に設けられ、該容器の内部と外部との間で光を透過させる光透過部と、該容器の底部に形成され、水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面と、該光透過部の表面に形成され、該センサ装着部に装着されたカンチレバーセンサの反射面に対して傾斜角を有する傾斜透過面とを備えることを特徴とする、カンチレバーセンサ用セルに存する（請求項３）。これにより、カンチレバーセンサ用セル内の検査液を抜き取る際、検査液は傾斜底面の低い部分に溜まるため、その溜まった検査液を抜き取るようにすれば、カンチレバーセンサ用セルから検査液を容易に抜き取ることが可能となる。また、測定に用いる入射光及び反射光が上記傾斜透過面を通るようにすれば、カンチレバーセンサ用セル表面に生じる反射光が測定に与える影響を排除し、正確な測定を行なうことが可能となる。
【００１３】
また、本発明の更に別の要旨は、カンチレバーセンサと、該カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、該容器の底部に形成され、水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面とを備えることを特徴とする、カンチレバーセンサ用セルに存する（請求項４）。これにより、カンチレバーセンサ用セル内の検査液を抜き取る際、検査液は傾斜底面の低い部分に溜まるため、その溜まった検査液を抜き取るようにすれば、カンチレバーセンサ用セルから検査液を容易に抜き取ることが可能となる。
【００１４】
さらに、本発明の更に別の要旨は、光を反射する反射面を形成されたカンチレバーセンサと、該カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、該容器に設けられ、該容器の内部と外部との間で光を透過させる光透過部と、該光透過部の表面に形成され、該カンチレバーセンサの反射面に対して傾斜角を有する傾斜透過面とを備えることを特徴とする、カンチレバーセンサ用セルに存する（請求項５）。これにより、測定に用いる入射光及び反射光が上記傾斜透過面を通るようにすれば、カンチレバーセンサ用セル表面に生じる反射光が測定に与える影響を排除し、正確な測定を行なうことが可能となる。
【００１５】
また、本発明の更に別の要旨は、光を反射する反射面を形成されたカンチレバーセンサと、該カンチレバーセンサと検査液とを接触させるべく上記検査液を保持しうる容器と、該容器に設けられ、該容器の内部と外部との間で光を透過させる光透過部と、該容器の底部に形成され、水平面に対して傾斜角を有する傾斜底面と、該光透過部の表面に形成され、該カンチレバーセンサの反射面に対して傾斜角を有する傾斜透過面とを備えることを特徴とする、カンチレバーセンサ用セルに存する（請求項６）。これにより、カンチレバーセンサ用セル内の検査液を抜き取る際、検査液は傾斜底面の低い部分に溜まるため、その溜まった検査液を抜き取るようにすれば、カンチレバーセンサ用セルから検査液を容易に抜き取ることが可能となる。また、測定に用いる入射光及び反射光が上記傾斜透過面を通るようにすれば、カンチレバーセンサ用セル表面に生じる反射光が測定に与える影響を排除し、正確な測定を行なうことが可能となる。
【００１６】
このとき、上記傾斜角は、０．５°以上であることが好ましい（請求項７）。
また、本発明の更に別の要旨は、上記のカンチレバーセンサ用セルを装着するセル装着部と、上記カンチレバーセンサ用セル内のカンチレバーセンサに光を照射する光源と、上記カンチレバーセンサ用セル内のカンチレバーセンサで反射した反射光を検出する光検出部と、該光検出部で検出した反射光から上記カンチレバーセンサの変位量を測定する変位量測定部とを備えることを特徴とする、カンチレバーセンサシステムに存する（請求項８）。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のカンチレバーセンサ用セル及びカンチレバーセンサシステムによれば、光学的手法で測定を行なう際にセル表面からの反射光による影響を排除することが可能となる。または、検査液をセルから容易に抜き取ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明について実施形態を示して説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において任意に変形して実施することができる。
【００１９】
［Ｉ．カンチレバーセンサ］
まず、本発明において用いるカンチレバーセンサについて説明する。カンチレバーセンサは、検出対象物質を検出するためのセンサであり、通常、カンチレバーと、カンチレバーに固定化された、上記検出対象物質と相互作用しうる特定物質とを有する。これにより、特定物質に検出対象物質を含む検査液が接触し、上記の検出対象物質と特定物質とが相互作用した場合には、カンチレバーセンサの表面に表面応力の変化が生じてカンチレバーセンサがたわむようになっている。したがって、このたわみの大きさ（以下適宜、「変位量」という）を測定すれば、検出対象物質の量、濃度、種類などを測定することが可能となる。
【００２０】
本発明のカンチレバーセンサ用セル（以下適宜、「センサ用セル」という）又はカンチレバーセンサシステム（以下適宜、「センサシステム」という）を用いる場合、カンチレバーセンサの変位量は光学式の測定器で測定されるので、変位量測定部として、センサシステムに、カンチレバーセンサに光を照射する光源と、光源から発せられた光がカンチレバーセンサに当たって反射した反射光を検出する光検出部とを備えさせ、また、カンチレバーセンサの表面（反射面）には光源からの光を反射できるように表面処理（例えば、反射膜を形成する等）を施すようにすればよい。これにより、光源からカンチレバーセンサに光を照射し、カンチレバーセンサの反射面で反射した反射光を光検出部で検出して反射光の反射角度を測定するようにして、カンチレバーセンサの変位量を測定することができる。
【００２１】
［１．検出対象物質］
検出対象物質は、カンチレバーセンサを用いて検出しようとする対象となる物質である。その種類や状態に特に制限は無いが、通常は、検査液中に溶解又は分散した状態で検出に用いられる。また、検出対象物質は、１種を単独で検出するようにしてもよいし、２種以上を任意の組み合わせで検出するようにしても良い。
【００２２】
検出対象物質は、通常、特定物質と特異的に相互作用する物質（以下適宜、「作用物質」という）である。ここで、特定物質と作用物質との「相互作用」とは、特に限定されるものではないが、通常は、共有結合、疎水結合、水素結合、ファンデルワールス結合、及び静電力による結合のうち少なくとも１つから生じる物質間に働く力による作用を示す。ただし、本明細書に言う「相互作用」との用語は最も広義に解釈すべきであり、いかなる意味においても限定的に解釈してはならない。共有結合としては、配位結合を含有する。また静電力による結合とは、静電結合の他、電気的反発も含有する。また、上記作用の結果生じる結合反応、合成反応、分解反応も相互作用に含有される。
【００２３】
相互作用の具体例としては、抗原と抗体との間の結合及び解離、タンパク質レセプターとリガンドとの間の結合及び解離、接着分子と相手方分子との間の結合及び解離、酵素と基質との間の結合及び解離、アポ酵素と補酵素との間の結合及び解離、核酸とそれに結合する核酸又はタンパク質との間の結合及び解離、情報伝達系におけるタンパク質同士の間の結合及び解離、糖タンパク質とタンパク質との間の結合及び解離、糖鎖とタンパク質、ウィルス、細菌等の微生物との間の結合及び解離などが挙げられるが、この範囲に限定されるものではない。さらに、 例えば、イムノグロブリンやその派生物であるＦ（ａｂ′）2、Ｆａｂ′、Ｆａｂ、レセプターや酵素とその派生物、核酸、天然あるいは人工のペプチド、人工ポリマー、糖質、脂質、無機物質あるいは有機配位子、ウイルス、細胞、薬物等が挙げられる。
【００２４】
［２．カンチレバー］
図１２は、後述する第１及び第２実施形態で用いるカンチレバーセンサの要部を表わす模式的な斜視図である。図１２に示すように、カンチレバーセンサ１０は、カンチレバー１１と、カンチレバー１１に固定された特定物質とを有する。なお、本実施形態においては、カンチレバー１１の図中上面に特定物質が固定化された相互作用部１２が形成され、検出対象物質は上記相互作用部１２においてカンチレバー１１に固定化された特定物質と相互作用できるようになっているものとする。なお、図１２においては特定物質の図示は省略してある。
【００２５】
本発明において用いるカンチレバー１１に制限はなく、公知のカンチレバーを任意に用いることができる。
カンチレバー１１の材料に制限は無く任意の材料を用いることができるが、通常は、可撓性を有するものを用いる。カンチレバー１１の材料の具体例としては、例えば、シリコン、窒化シリコンなどが挙げられる。
【００２６】
また、カンチレバー１１の形状にも制限は無いが、通常は、カンチレバー１１は自由端と固定端とを有する直方体形状の部材として形成される。また、他の例としては、三角形の一辺を固定端とした形状や、更にその三角形の内側を打ち抜いた形状も可能である。本実施形態においては、カンチレバー１１は、図１２に示したように、支持部材１３から直方体形状に延在して形成された部材であるとして説明する。
【００２７】
さらに、カンチレバー１１の寸法にも制限は無いが、通常は、長さＬ（即ち、自由端から固定端までの距離）が、カンチレバー表面と検出対象物質との相互作用により生じるたわみを確実に測定できるだけ充分に長く形成されていることが好ましい。寸法の一例を挙げれば、カンチレバー１１を直方体形状に形成した場合、長さＬは１０μｍ〜１０００μｍ、幅Ｗは５μｍ〜５００μｍ、厚さＴは０．１μｍ〜５μｍの範囲にそれぞれ設定することが好ましい。
【００２８】
また、カンチレバー１１の作製方法にも制限はなく、公知の方法を任意に用いることができる。例えば、既存の半導体プロセスなどにより、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）中で使用されるようなカンチレバーと同様にして作製することができる。
ところで、半導体形成プロセスを利用してカンチレバーを作製した場合、同一条件で作製した場合であっても、作製ロット間、ウエファ間、さらには同一ウエファ内の場所間で、膜厚や材質に差異が生じてしまうことがある。これには、半導体形成プロセス以外の技術においても生じうる。
【００２９】
上記の膜厚や材質の差異は、同一製造ロット同士であれば小さくなり、さらに同一ウエファ内から取り出したもの同士であればより小さくなる。さらに、同一ウエファ内でも、取り出した場所が近いところであればあるほど、その違いはさらに小さくなる。これを利用して、同一測定で用いられる複数のカンチレバーセンサ１０のカンチレバー１１は、同一のウエファから作製されることが好ましく、ウエファ上でも隣り合った位置で作製されることがより好ましい。
【００３０】
また、同一測定で用いられる複数のカンチレバーセンサ１０は互いに切り離さずに一体のまま用いることも好ましい。切り離さないことによって、これら複数のセンサを組み合わせて測定を行なうことが明示されるとともに、複数のカンチレバーセンサ１０の取り付け作業も簡易化される。
【００３１】
なお、カンチレバー１１表面には、相互作用部１２に凹凸が形成されるよう、凹凸パターン１４を形成することが好ましい。カンチレバーセンサ１０の検出感度を高めるためである。
【００３２】
さらに、カンチレバー１１の少なくとも片面には、光源からの入射光を反射する反射面１５が形成されている。図１２では、反射面１５は、相互作用部１２と反対側の面に設けられているが、これに限らず、反射面１５と相互作用部１２とが同一の面であっても良い。この反射面１５には、通常、反射面１５に入射した入射光を効果的に反射できるように表面処理が施される。具体的な表面処理は任意であるが、例えば、反射膜として金属膜を形成する等の処理が施される。後述する第１及び第２実施形態でも、反射面１５には金属膜（図示省略）が形成され、これにより、反射面１５に入射光を効果的に反射できるようになっているものとする。
【００３３】
［３．特定物質］
カンチレバーセンサ１０の相互作用部１２には、通常、検出対象物質と相互作用することによってカンチレバー１１にたわみが生じるように、特定物質が固定化されている。
特定物質は、その目的に応じて、任意の物質を用いることができる。具体例を挙げれば、酵素、抗体、レクチン、レセプター、プロテインＡ、プロテインＧ、プロテインＡ／Ｇ、アビジン、ストレプトアビジン、ニュートラアビジン、グルタチオン−Ｓ−トランスフェラーゼ、糖タンパク質等のタンパク質、ペプチド、アミノ酸、ホルモン、核酸、糖、オリゴ糖、多糖、シアル酸誘導体、シアル化糖鎖等の糖鎖、脂質、低分子化合物、上述以外の高分子有機物質、無機物質、若しくはこれらの融合体、または、ウイルス、若しくは細胞を構成する分子などの生体分子が挙げられる。また、このほか、例えば細胞等の生体分子以外の物質を特定物質として用いることもできる。なお、本発明の特定物質固定担体を分析に用いた場合には、これら特定物質は、検体中の検出対象物質と特定物質との相互作用（結合性等）を測定する際の標的物質となる。
【００３４】
また、上記の特定物質の例の中でも、タンパク質としては、タンパク質の全長であっても、結合活性部位を含む部分ペプチドであってもよい。また、アミノ酸配列、及びその機能が既知のタンパク質でも、未知のタンパク質でもよい。これらは、合成されたペプチド鎖、生体より精製されたタンパク質、あるいはｃＤＮＡライブラリー等から適当な翻訳系を用いて翻訳し、精製したタンパク質等でも標的物質として用いることができる。合成されたペプチド鎖は、これに糖鎖が結合した糖タンパク質であってもよい。これらのうち好ましくは、精製されたタンパク質である。
【００３５】
さらに、核酸としては、特に制限はなく、ＤＮＡ、ＲＮＡの他、アプタマー等の核酸塩基、ＰＮＡ等のペプチド核酸を用いることもできる。また、塩基配列あるいは機能が、既知の核酸でも、未知の核酸でもよい。好ましくは、タンパク質に結合能力を有する、核酸としての機能及び塩基配列が既知のものか、あるいは、ゲノムライブラリー等から制限酵素等を用いて切断単離してきたものを用いることができる。
【００３６】
また、糖鎖としては、その糖配列あるいは機能が、既知の糖鎖でも未知の糖鎖でもよい。好ましくは、既に分離解析され、糖配列あるいは機能が既知の糖鎖が用いられる。
さらに、低分子化合物としては、相互作用する能力を有する限り、特に制限はない。機能が未知のものでも、あるいはタンパク質に結合する能力が既に知られているものでも用いることができるが、医薬候補化合物等が好適に用いられる。
また、特定物質は、１種を単独で用いても良く、２種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。
【００３７】
なお、カンチレバーセンサ１０の相互作用部１２には、通常、検出対象物質と相互作用することによってカンチレバー１１にたわみが生じればよいので、検出対象物質と相互作用する合成化学物質が固定化されていてもよいし、場合によっては、特に物質が固定化されていない状態であっても構わない。
【００３８】
［４．特定物質の固定化法］
カンチレバー１１表面に特定物質を固定して相互作用部１２を形成する手法に制限は無いが、例えば、以下の固定化手法により固定化を行なうことができる。
図１３は、下記の固定化手法により特定物質を固定化した場合の相互作用部１２近傍を拡大して模式的に示す断面図である。なお、図１３において図１２と同符号のものは、図１２と同様のものを表わす。
【００３９】
カンチレバー１１表面に特定物質を固定化する場合は、図１３に示すように、カンチレバー１１表面に金属膜１６を成膜し、成膜した金属膜１６上に有機分子１７を固定して、この有機分子１７上に特定物質１８を固定化することができる。これにより、相互作用部１２は、カンチレバー１１の表面に成膜された金属膜１６と、金属膜１６上に固定された有機分子１７と、有機分子１７上に固定化された特定物質１８とを有する部分として形成される。なお、有機分子１７は、説明のため、有機分子１７を個々に描くのではなく有機分子１７が集合した層として描いてある。
【００４０】
金属膜１６は、その表面に有機分子１７を固定することができれば他に制限は無く、任意の材料で形成することができる。
また、金属膜１６は１層のみを単独で形成した単層構造の膜としてもよく、２以上の層を任意の組み合わせ及び厚みで積層した構造の膜としても良い。
また、金属膜１６が、同時に反射面１５に設けられる反射膜として機能するように構成しても良い。
【００４１】
ただし、金属膜１６の最外層は、金で形成されていることが好ましい。即ち、金属膜１６が単層構造を有している場合は金属膜１６自体を金で形成し、積層構造を有している場合は有機分子１７が固定される最も外側の層が金で形成されることが好ましい。これにより、金属膜１６に有機分子１７を簡単に固定することができる。
さらに、金属膜１６が積層構造を有している場合は、金属膜１６は、カンチレバー１１の表面と金属膜１６の最外層との間にクロムからなる層を有していることが好ましい。これにより、金属膜１６とカンチレバー１１表面との接着力が向上するという利点が得られる。
【００４２】
また、金属膜１６の膜厚に制限は無く任意であるが、通常１ｎｍ以上、好ましくは１０ｎｍ以上、また、通常１０μｍ以下、好ましくは５μｍ以下である。この範囲の下限を下回ると有機分子１７の固定が不十分になってしまう虞があり、上限を上回ると良好な金属膜を成膜できなくなるの虞があるためである。
【００４３】
さらに、上記の金属膜１６の形成方法に制限は無く、公知の方法を任意に用いることができるが、通常は、スパッタリング、蒸着などにより形成する。
なお、カンチレバー１１自体が金属により形成されている場合、カンチレバー１１の表面を金属膜１６として利用することも可能である。
【００４４】
上記の金属膜１６上には、有機分子１７が固定される。この有機分子１７は、金属膜１６に対して固定することができ、また、この有機分子１７上に特定物質１８を固定化することができるものであればその種類に制限は無く、公知の有機分子から固定化する特定物質１８の種類等に応じて適当なものを任意に用いることができる。
【００４５】
ただし、上記の有機分子１７は、その末端にメルカプト基（−ＳＨ基）を有していることが好ましい。この場合、有機分子１７は金属膜１６に対して、安定な「硫黄原子−金属結合」で固定されるため、有機分子１７を金属膜１６に強固に固定することが可能となる。
有機分子１７の具体例を挙げると、１６−メルカプトヘキサデカン酸などが挙げられる。
【００４６】
なお、有機分子１７は１種を単独で用いても良く、２種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。
さらに、有機分子１７の固定量は任意であるが、通常は高密度に固定することが好ましい。これにより、固定化されている有機分子層の膜厚が均一化することができるという利点がある。
【００４７】
また、有機分子１７は金属膜１６表面に２次元的に固定してもよいが、３次元的に積層して構成するようにしても良い。さらに、有機分子１７を層として形成する場合、単層構造であっても積層構造であっても良い。ただし、通常は単層構造とすることが望ましい。複数層であるよりも、単層構造である方が、有機分子層の膜厚を制御することが容易であるためである。なお、図１３においては有機分子が単層に形成されたものを例として示した。
さらに、有機分子の固定方法に制限は無く、公知の方法を任意に用いることができるが、通常は、「硫黄原子−金属結合」により固定化される。
【００４８】
また、上記の有機分子１７上には特定物質１８が固定化され、これにより、金属膜１６及び有機分子１７を介して特定物質１８がカンチレバー１１表面に固定化されて、相互作用部１２が形成されている。
ここで、特定物質１８はどのような結合により有機分子１７に固定化されていてもよいが、通常は、共有結合によって固定化されていることが望ましい。これにより、特定物質１８を有機分子１７に強固に固定化することができる。このような場合、特定物質１８は、例えばエステル結合、アミド結合、−Ｃ＝Ｎ−結合、エーテル結合、チオエーテル結合、炭素原子による結合などを介して固定化されていることが望ましい。なお、特定物質１８は１種の結合により固定化されていても良く、任意の２種以上の結合により固定化されていても良い。
また、特定物質１８には、固定化するための官能基が結合していても良い。
【００４９】
また、有機分子１７上に特定物質１８を固定化する場合、その具体的な操作は任意である。通常は、特定物質１８の溶液を有機分子１７に接触させることにより、有機分子１７上に特定物質１８を固定化する。この場合に特定物質１８を希釈させる溶媒や分散媒は、特定物質１８の活性や構造の安定性等を考慮して調整することが好ましい。
後述する第１及び第２実施形態においては、カンチレバーセンサ１０の相互作用部１２には、金属膜１６及び有機分子１７を用いて特定物質１８が固定化されているものとする。
【００５０】
［II．第１実施形態］
以下、図面を用いて本発明の第１実施形態について説明する。
図１〜６は本実施形態のカンチレバーセンサ用セル又はカンチレバーセンサシステムについて説明するもので、図１はカンチレバーセンサ用セルを斜め上方向から見た模式的な斜視図、図２はカンチレバーセンサ用セルの模式的な分解斜視図、図３はカンチレバーセンサ用セルの模式的な縦断面図、図４は図３の要部を拡大して示す図、図５はカンチレバーセンサ用セルを斜め下方向から見た模式的な斜視図、図６は分析装置の概要を説明する模式的な図である。なお、図１〜図６において、実質同様の部材や部位については、同様の符号を付して説明するものとする。
【００５１】
図１に示すように、本実施形態のセンサ用セル１は、カンチレバーセンサ１０（図１では図示を省略）と検査液とを接触させるべく検査液を保持するための容器である。また、このセンサ用セル１は内部に検査液を保持するための空間を有している。そして、検査液について測定を行なう際には、空間に検査液を溜め、光源１０１からセンサ用セル１内部のカンチレバーセンサ１０に光を照射し、その反射光を光検出部１０２で検出して、上記の測定を行なうようになっている。
【００５２】
図２は、このセンサ用セル１の模式的な分解斜視図である。この図２に示すように、センサ用セル１は、セル本体２と、パッキン３と、透明板４と、保持用板５とをこの順に組み合わせて構成されている。
セル本体２は、上部に開口２１（図１参照）及び開口２２を有し、また、底部に開口２３を有する基材である。また、セル本体２の内部には中空部２Ａが形成されていて、中空部２Ａは、開口２１、開口２２及び開口２３と連通している。なお、中空部２Ａは測定時に検査液を溜めておくための空間を形成する場所である。
【００５３】
開口２１は、センサ用セル１の使用時にセル本体２内の中空部２Ａに検査液を注入するための液注入口であり、また、センサ用セル１の使用後に中空部２Ａ内の検査液を抜き出すための液排出口である。以下適宜、この開口２１を液注入口２１と呼ぶ。
液注入口２１を介した検査液の注入及び抜き出しは、通常はピペット（図１参照）１００を用いて行なうようになっている。したがって、液注入口２１の開口の大きさは、上記のピペット１００の出し入れを円滑に行なえるよう、ピペット１００の先端部に対して充分な大きさを有するように形成されている。
【００５４】
一方、開口２２は、センサ用セル１の中空部２Ａに対して検査液の注入又は抜き出しを行なう際、その注入又は抜き出しを円滑に行なうために設けられた空気穴である。以下適宜、この開口２２を空気穴２２と呼ぶ。
空気穴２２は、液注入口２１の様にピペット１００の出し入れを行なう必要は無く、空気の移動が可能であれば十分であることから、一般に液注入口２１に比べて小さい開口となる。
【００５５】
また、開口２３は、測定に用いる光（即ち、光源１０１からの入射光及び光検出部１０２で検出される反射光）が通るためのものである。したがって、開口２３は測定に用いる光の光路が確保されるよう、充分な大きさを有して形成されている。
さらに、セル本体２の底部には、開口２３の縁部全周に亘ってパッキン３及び透明板４を取り付けるための凹部２４が形成されている。したがって、凹部２４にパッキン３を介して透明板４を嵌め込むことで、開口２３は閉塞され、中空部２Ａに検査液を溜めておくことができるようになっている。
【００５６】
また、本実施形態では、セル本体２のカンチレバーセンサ１０を取り付ける面（以下適宜、「取付面」という）２Ｃと上面２Ｄとは平行に形成されているものとする。
さらに、セル本体２の下面２Ｂ及び凹部２４は、透明板４を装着した場合に、取付面２Ｃやセル本体２の上面２Ｄに対して透明板４が傾斜角を有するように形成されている。なお、取付面２Ｃは、中空部２Ａの天井面であり、また、開口２３に対向する中空部２Ａの内側面である。
【００５７】
具体的には、図１や後述する図３において、上面２Ｄを水平にした場合、図中左方が図中右側よりも低くなるように傾斜角を有して形成されている。これにより、本実施形態のセンサ用セル１を用いた測定では、センサ用セル１表面からの反射光による影響を排除することが可能となるとともに、検査液をセンサ用セル１から容易に抜き取ることが可能となる。なお、この点について詳細な説明は、透明板４の説明と共に後述する。
【００５８】
また、セル本体２の内部の取付面２Ｃには、カンチレバーセンサ１０を装着するためのセンサ装着部として、取付金具２５が設けられている。図３は組み立てた状態のセンサ用セル１の模式的な縦断面図であるが、取付金具２５は、図３に示すように、液注入口２１と空気穴２２との間の部分に設けられている。
【００５９】
図４は、図３の取付金具２５の周辺を拡大して示す模式的な断面図である。この図４に示すように、取付金具２５は、カンチレバーセンサ１０の支持部材１３を取付面２Ｃに押さえつけて固定するように構成されている。したがって、使用時には、取付金具によりカンチレバーセンサ１０をセンサ用セル１に装着できるようになっている。なお、装着の際には、相互作用部１２が上側となり、反射面１５が下側となるようにカンチレバーセンサ１０を装着するようにする。反射面１５を開口２３に対向させて、光源１０１からの入射光を反射面１５で反射できるようにするためである。
なお、センサ装着部は、カンチレバーセンサ１０をセンサ用セル１に装着できれば他に制限は無く、取付金具２５以外にも任意の部材により構成することができる。
【００６０】
また、センサ装着部は、カンチレバーセンサ１０を液注入口２１からできるだけ遠い位置に装着できるようにして設けることが好ましい。検査液の注入、抜き出し作業時にカンチレバーセンサ１０が破損するのを防ぐ為である。本実施形態においては、取付金具２５の液注入口２１とは反対側にカンチレバーセンサ１０が装着されるようになっているものとする。
【００６１】
また、パッキン３は、透明板４をセル本体２に装着した場合に透明板４とセル本体２との間に形成される隙間を塞ぐためのものである。
パッキン３の素材は、センサ用セル１の中空部２Ａに溜められる検査液が漏れ出すことを防ぐことができれば任意の素材で形成することができる。なお、本実施形態ではパッキン３としてゴム製のゴムパッキンを用いているものとする。
【００６２】
さらに、パッキン３の形状も本発明の趣旨を著しく損なわない限り任意であるが、本実施形態では、透明板４をセル本体２の凹部２４に装着した場合に透明板４とセル本体２とが接する部分に介装される形状となっている。具体的には、凹部２４に応じた形状の外縁を有するゴム板の中央部に、開口２３に応じた形状の孔３１を形成した形状となっている。この孔３１は、センサ用セル１を組み立てた場合に入射光及び反射光が通る窓として機能することになる。
【００６３】
また、透明板４は、セル本体２の底部に形成された凹部２４に装着され、センサ用セル１の底部を形成するものである。したがって、上述したように、透明板４を装着することにより、開口２３が閉塞され、センサ用セル１内に検査液を溜めて保持することができるようになっている。
【００６４】
さらに、透明板４は、センサ用セル１の内部と外部との間で光（具体的には、入射光及び反射光）を透過させる光透過部として機能するものである。したがって、透明板４は、入射光及び反射光が透過できる素材で形成されていることが望ましい。また、透明板４の形状は、開口２３を閉塞できる形状に形成することが好ましい。本実施形態では、透明板４はガラス製の、凹部２４に嵌め込むことができ、また、開口２３全体を覆うことができる大きさの平板として形成されているものとする。
【００６５】
さて、凹部２４の説明で述べたように、セル本体２の凹部２４及び下面２Ｂは、セル本体２の取付面２Ｃ及び上面２Ｄに対して傾斜して形成されていて、これにより、凹部２４に透明板４を装着した場合には、センサ用セル１の底部を形成する透明板４もセル本体２の取付面２Ｃ及び上面２Ｄに対して傾斜するようになっている。
【００６６】
また、上記の通り、本実施形態においては、セル本体２の凹部２４及び下面２Ｂを水平にした場合に透明板４は図１や図３の図中左方が低くなるように傾斜するので、センサ用セル１の底面（傾斜底面）となる透明板４の上面４１も、図１や図３の図中左方が低くなるように傾斜することになる。なお、センサ用セル１の底面と透明板の上面とは同じ面となるため、以下適宜、両者を同じ符号４１で示す。
【００６７】
したがって、センサ用セル１内に検査液を溜める際、センサ用セル１の底面４１の液注入口２１に対応する部分（真下に位置する部分）が他の部分よりも低くなるように、底面４１と水平面との間に傾斜角を設けることができる。具体的には、例えば、センサ用セル１の上面２Ｄが水平面と平行になるようにセンサ用セル１を置けばよい。これにより、センサ用セル１内の中空部２Ａにおいて、液注入口２１に対応する部位が空気穴２２に対応した部位よりも深くなる。
【００６８】
このように、中空部２Ａの液注入口２１に対応する部位が他の部位よりも低くなるようにすれば、中空部２Ａ内の検査液を抜き出す際、検査液が液注入口２１に対応する部位に溜まるようになるため、中空部２Ａ内の検査液を容易に抜き取ることができる。即ち、従来は、センサ用セルの底面が水平面と平行になるように形成されていたため、検査液の水位が減った場合にセンサ用セル内の検査液がセンサ用セルの底面全体に広がり、検査液を抜き取る場合に検査液がセンサ用セル内に残留しやすかった。しかし、本実施形態では、底面４１に傾斜角をもたせることにより、センサ用セル１内の検査液は抜き取り時に水位が減った場合でも液注入口２１に対応する部位に集まってくるため、センサ用セル１内の検査液を容易に抜き取ることが可能となる。したがって、検査液を吸い出す際に、液量が少なくなった場合でも、効率的に抜き出し作業を続けることが可能となる。
【００６９】
一方、センサ用セル１に検査液を注入する際には、上記の傾斜によって、検査液は液注入口２１に対応する部分から水位を増すようにして徐々に溜まっていくため、センサ用セル１内のカンチレバーセンサ１０に検査液の流れによる影響を与える虞をなくすることができる。即ち、従来、ポンプやピペット１００等でセンサ用セルに検査液を注入する際には、センサ用セル内に生じる検査液の流れにより、カンチレバーセンサの変位量が変化する虞があった。また、これを防ごうとすれば、検査液の注入を慎重にせざるを得ず、操作が難しくなっていた。しかし、本実施形態では、底面４１を傾斜させることにより、注入した検査液は次第に透明板４の低い場所から高い場所へと移動し、水位を増すようにして溜まっていくため、上記のような流れによる影響を抑制することができる。
【００７０】
したがって、センサ用セル１を設計する際には、上記の検査液を有効に抜き出す観点からは、液注入口２１は、その使用時に底面４１を有する透明板４が傾斜により最も低くなっている位置の上に設けられることが好ましい。一方、空気穴２２は、上記の検査液を気泡無く注入する観点からは、その使用時に底面４１を有する透明板４が傾斜により最も高くなっている位置の上に設けられることが好ましい。
【００７１】
上記のように検査液の注入又は排出を容易に又は流れの影響を排除して行なう観点からは、上記の水平面と底面４１との間の傾斜角は、通常０．５°以上、好ましくは１°以上、より好ましくは５°以上、また、通常４５°以下、好ましくは３０°以下、より好ましくは１０°以下が望ましい。この下限を下回ると検査液が意図した方向に集まらなくなる虞があり、上限を上回るとセンサ用セル１を満たすのに必要な検査液の量が多くなりすぎる虞がある。
【００７２】
さらに、透明板４が取付面２Ｃや上面２Ｄに対して傾斜するようになっているため、光透過部である透明板４の両面、即ち、透明板４の上面４１及び下面４２は、ともに、カンチレバーセンサ１０の反射面１５に対して傾斜角を有する傾斜透過面として機能する。即ち、通常はカンチレバーセンサ１０はその反射面１５が取付面２Ｃや上面２Ｄに対して平行又は略平行となるように取り付けられるため、透明板４を傾斜させたことにより、透明板４の上面４１及び下面４２と、カンチレバーセンサ１０の反射面１５との間に傾斜角を設けることができるのである。
【００７３】
一般に、光源１０１からカンチレバーセンサ１０に向けて照射された光の一部は、センサ用セル１の表面、具体的には、透明板４の表面４１，４２で反射する。従来は、透明板４の表面で反射した上記の反射光と、カンチレバーセンサ１０の反射面１５から反射した検出すべき反射光との角度が同一である為に、共に光検出部１０２で検出されてしまうため、カンチレバーセンサ１０からの反射光のみを信号として取り出すことが困難であった。しかし、本実施形態のように透明板４の表面４１，４２と、カンチレバーセンサ１０の反射面１５との間に傾斜角を設ければ、透明板４の表面４１，４２で反射した反射光は、カンチレバーセンサ１０の反射面１５で反射した検出すべき反射光とは別の方向に進行する。これにより、光検出部１０２では透明板４の表面４１，４２で反射した反射光を検出しないようにすることができるのである。
【００７４】
透明板４の表面には、センサ用セル１の内側に面する上面４１と、外側に面する下面４２とがある。したがって、上記上面４１及び下面４２の両方が反射面１５に対して傾斜していることが好ましい。しかし、何らかの理由でいずれか一方の面しか傾斜させることができない場合には、通常、光源からの入射光はセンサ用セル１の外側の面（下面）４１でより強く反射するため、上記下面４１をカンチレバーセンサ１０の反射面１５に対して傾斜させるようにすることが好ましい。
【００７５】
本実施形態では、カンチレバーセンサ１０を、その反射面１５が取付面２Ｃと平行になるように装着している。したがって、透明板４が取付面２Ｃに対して傾斜していることにより、反射面１５と透明板４の上面４１及び下面４２との間に傾斜角が形成されるようになっている。
【００７６】
なお、カンチレバーセンサ１０の反射面１５と透明板４の表面４１，４２とが傾斜している限り、その具体的な構成は任意である。したがって、上記の構成の他、例えば透明板４の表面４１，４２を取付面２Ｃと平行にし、カンチレバーセンサ１０の反射面１５を取付面２Ｃに対して傾斜させるようにしても良い。また、少なくとも入射光及び反射光が通る光路部分に傾斜透過面が形成されていれば本実施形態のように透明板４の全面が傾斜透過面となっていなくても良く、その一部だけが傾斜透過面として機能するように形成されていても良い。
【００７７】
上記のようにセンサ用セル１表面での反射による影響を排除する観点からは、上記のカンチレバーセンサ１０の反射面１５と透明板４の表面４１，４２との間の傾斜角は、通常０．５°以上、好ましくは１°以上、より好ましくは５°以上、また、通常４５°以下、好ましくは３０°以下、より好ましくは１０°以下が望ましい。カンチレバーセンサ１０の変位量は通常は０．１°以下程度であるから、上記範囲の下限以上だけ傾斜透過面をカンチレバーセンサ１０の反射面１５に対して傾斜させておけば測定中を通じて確実にセンサ用セル１表面での反射による影響を排除することができるためである。また、傾斜角度が上記範囲の上限を上回ると、センサ用セル１を満たすのに必要な検査液の量が多くなりすぎる虞がある。
本実施形態においては、透明板４は水平面及びカンチレバーセンサ１０の反射面１５に対して、０．５°以上の傾斜角を有して装着されるようになっているものとする。
【００７８】
また、保持用板５は、透明板４がセル本体２から脱離しないように透明板４を押さえつけて保持するための板部材である。その素材は本発明の趣旨を著しく損なわない限り任意である。また、その形状も、入射光及び反射光を遮らないようにし、また、透明板４を保持することができる限り任意である。本実施形態では、保持用板５は、中央部の開口２３に相当する部位に設けられた孔５１を有し、セル本体２の下面２Ｂ全体を覆う金属板として形成されているものとする。なお、この孔５１は、センサ用セル１を組み立てた場合に入射光及び反射光が通る窓として機能することになる。
【００７９】
さらに、保持用板５に透明板４を押さえつけさせる手法も任意である。例えば、セル本体２に対して保持用板５をねじ止めにして取り付けるようしても良い。本実施形態でも、ねじ止め（図示省略）により保持用板５を取り付けるようにしている。
【００８０】
したがって、センサ用セル１を組み立てる場合には、セル本体２内の取付金具２５にカンチレバーセンサ１０を装着し、その後、パッキン３、透明板４及び保持用板５をこの順に取り付ける。これにより、図５に示すように、センサ用セル１は、透明板４の開口２３及び孔３１，５１に対応する部分を介して、カンチレバーセンサ１０に対して光を照射され、また、カンチレバーセンサ１０からの反射光を検出されるようになっている。
【００８１】
このように、センサ用セル１の底面にある透明板４を傾斜して取り付けることだけで、検査液の注入及び抜き出しが容易に行なえるようになると共に、透明板４からの反射光の影響を排除してカンチレバー１０の変位量の測定が行なえるようになるという、２つの利点を同時に実現することができるため、安価なセンサ用セルを実現することが可能となる。
【００８２】
図６は、上記のセンサ用セル１を装着して検査液中の検出対象物質の濃度の測定を行なうための分析装置（カンチレバーセンサシステム）の概要を示す模式的な正面図である。この分析装置は、セル装着部１０３と、光源１０１と、光検出部１０２と、変位量測定部１０４とを備えている。
【００８３】
セル装着部１０３は、上記センサ用セル１を分析装置に装着するためのものである。また、セル装着部１０３には、センサ用セル１の傾斜底面である底面４１（図６では図示省略）が水平面に対して傾斜角を有するようにセンサ用セル１を装着できるようになっている。本実施形態では、センサ用セル１の上面２Ｄ及び取付面２Ｃ（図６では図示省略）が水平面と平行になり、これにより、底面４１が水平面に対して傾斜角を有するようにセンサ用セル１を装着できるようになっているものとする。
【００８４】
また、光源１０１は、セル装着部１０３に装着されたセンサ用セル１内のカンチレバーセンサ１０に対して入射光を照射するものである。光源１０３の種類は、本発明の趣旨を著しく損なわない限り任意であるが、本実施形態では、レーザー光を発する光源１０３を用いるものとする。
【００８５】
さらに、光検出部１０２は、センサ用セル１内のカンチレバーセンサ１０で反射した反射光を検出するものである。光検出部１０２の種類も、本発明の趣旨を著しく損なわない限り任意であるが、例えばＰＳＤ素子やＣＣＤなどを用いることができる。本実施形態では、光検出部１０２としてＰＳＤ素子を用いるものとする。この光検出部１０２で検出された反射光についての情報、特に、反射光を検出した位置の移動距離の情報は、変位量測定部１０４に送られるようになっている。
【００８６】
変位量測定部１０４は、光検出部１０２で検出した反射光からカンチレバーセンサ１０の変位量を測定するものであり、コンピュータに上記変位量測定用のプログラムを読み込ませて構成したものである。したがって、この変位量測定部１０４では、光検出部１０２で検出した情報を受け取って、カンチレバーセンサ１０に生じた変位量を測定するようになっている。即ち、カンチレバーセンサ１０にたわみによる変位が生じていれば、光検出部１０２が反射光を検出する位置が移動することになるため、この移動距離の情報を用いることで、変位量測定部１０４はカンチレバーセンサ１０に生じる変位の大きさを測定することができるようになっているのである。
【００８７】
本実施形態のセンサ用セル１及び分析装置は以上のように構成されているので、使用時には、まず、検出しようとする検出対象物質に応じた特定物質を固定化したカンチレバーセンサ１０を用意する。そして、このカンチレバーセンサ１０をセル本体２の取付金具２５によりセル本体２に装着する。なお、本実施形態では２個のカンチレバーセンサ１０を装着した例を示すが、装着するカンチレバーセンサ１０の数は１個でも２個以上でもよい。また、装着する際、カンチレバーセンサ１０の反射面１５は、セル本体２の上面２Ｄ及び取付面２Ｃと平行になるようにしておく。
【００８８】
次に、パッキン３を介して透明板４を凹部２４に取り付け、保持用板５によりパッキン３及び透明板４を押圧して固定し、センサ用セル１を組み立てる。この際、透明板４がセル本体２の上面２Ｄ、取付面２Ｃ及びカンチレバーセンサ１０の反射面１５に対して傾斜角を有することになるため、傾斜底面及び傾斜透過面である底面４１（即ち、透明板４の上面４１）、並びに、傾斜透過面である透明板４の下面４２も、セル本体２の上面２Ｄ、取付面２Ｃ及びカンチレバーセンサ１０の反射面１５に対して傾斜角を有することになる。
【００８９】
続いて、組み立てたセンサ用セル１を分析装置１のセル装着部１０３に装着する。この際、セル本体２の上面２Ｄが水平面と平行になるように装着を行なう。これにより、傾斜底面及び傾斜透過面である底面４１（即ち、透明板４の上面４１）、並びに、傾斜透過面である透明板４の下面４２は、水平面に対して傾斜角を有することになる。
【００９０】
このように装着を行なった後、ピペット１００で、液注入口２１からセンサ用セル１内の中空部２Ａに検査液を注入する。この際、底面４１が水平面に対して傾斜しているので、カンチレバーセンサ１０の位置が移動したりカンチレバーセンサ１０表面の特定物質がカンチレバーセンサ１０から離脱したりする虞は無い。
【００９１】
検査液の注入後、光源１０１からカンチレバーセンサ１０に向けてレーザー光を照射する。照射されたレーザー光は、カンチレバーセンサ１０の反射面１５で反射し、反射光は光検出部１０２で検出される。この際、入射光及び反射光であるレーザー光が反射しうる透明板４の上面４１及び下面４２は、傾斜透過面として反射面１５に対して傾斜角を有して形成されているため、透明板４の上面４１及び下面４２での反射光が光検出部１０２に入って測定に好ましくない影響を与えることを防止することができる。
【００９２】
そして、光検出部１０２で検出された情報は変位量測定部１０４に送られ、変位量測定部１０４でカンチレバーセンサ１０に生じた変位の量が測定されるのである。
測定後、検査液はピペット１００等により、センサ用セル１から取り除かれる。この際、底面４１が水平面に対して傾斜しているので、検査液を吸い出す際に、液量が少なくなった場合でも、効率的に抜き出し作業を続けることが可能である。
【００９３】
検査液の抜き出し後、センサ用セル１の洗浄を行なう。洗浄は、洗浄用液体をセンサ用セル１に対して注入及び除去すること、もしくはその繰り返しによって行っても良いし、または、センサ用セル１を分解して、各部品を洗浄処理しても良い。なお、洗浄用液体に制限は無く本発明の趣旨を著しく損なわない限り任意であり、例えば、水や、エタノール、アセトン等の有機溶媒、次亜塩素酸ナトリウム溶液等の消毒液などを用いることができる。
【００９４】
以上のように、本実施形態のセンサ用セル１及び分析装置によれば、センサ用セル１内の検査液を抜き取る際、センサ用セル１から検査液を用意に抜き取ることが可能となる。
また、測定に用いる入射光及び反射光が傾斜透過面４１，４２を通るようにすれば、センサ用セル１表面に生じる反射光が測定に与える影響を排除し、正確な測定を行なうことが可能となる。
【００９５】
［III．第２実施形態］
以下、図面を用いて本発明の第２実施形態について説明する。以下に示す第２実施形態としてのセンサ用セルの概要は、光透過部である透明板４をセンサ用セルの側面に設けるようになっているほかは、上記第１実施形態で説明したセンサ用セルと実質的に同様に構成されている。
【００９６】
図７〜１１は本実施形態のカンチレバーセンサ用セル又はカンチレバーセンサシステムについて説明するもので、図７はカンチレバーセンサ用セルを斜め上方向から見た模式的な斜視図、図８はカンチレバーセンサ用セルの模式的な分解斜視図、図９は取付金具にカンチレバーセンサを装着した状態のセル本体の模式的な正面図、図１０は組み立て後のセンサ用セルを図９のＡ−Ａ面で切った模式的な断面図、図１１は分析装置の概要を説明する模式的な図である。なお、図７〜図１１において、実質同様の部材や部位については、同様の符号を付して説明するものとする。
【００９７】
図７に示すように、本実施形態のセンサ用セル１′は、第１実施形態のセンサ用セル１と同様、カンチレバーセンサ１０と検査液とを接触させるべく検査液を保持するための容器であり、内部に検査液を保持するための空間を有している。そして、検査液について測定を行なう際には、空間に検査液を溜め、光源１０１からセンサ用セル１内部のカンチレバーセンサ１０に光を照射し、その反射光を光検出部１０２で検出して、上記の測定を行なうようになっている。
【００９８】
図８は、このセンサ用セル１′の模式的な分解斜視図である。この図８に示すように、センサ用セル１′は、セル本体６と、パッキン７と、透明板８と、保持用板９とをこの順に組み合わせて構成されている。
セル本体６は、上部に開口６１及び開口６２を有し、また、側面に開口６３を有する基材である。また、セル本体６の内部には中空部６Ａが形成されていて、中空部６Ａは、開口６１、開口６２及び開口６３と連通している。なお、中空部６Ａは測定時に検査液を溜めておくための空間を形成する場所であり、以下、両者を同様の符号６Ａで示す。
【００９９】
開口６１は、第１実施形態で説明した液注入口２１と同様に機能する液注入口であり、その開口の大きさは、ピペット１００の先端部に対して充分な大きさを有するように形成されている。以下適宜、この開口６１を液注入口６１と呼ぶ。
一方、開口６２は、第１実施形態で説明した空気穴２２と同様に機能する空気穴であり、液注入口６１の様にピペット１００の出し入れを行なう必要はなく、空気の移動が可能であれば十分であることから、一般に液注入口６１に比べて小さい開口となる。以下適宜、この開口６２を空気穴６２と呼ぶ。
【０１００】
また、開口６３は、測定に用いる光（即ち、光源１０１からの入射光及び光検出部１０２で検出される反射光）が通るためのものである。したがって、開口６３は測定に用いる光の光路が確保されるよう、充分な大きさを有して形成されている。
ただし、開口６３は、第１実施形態の開口２３とは異なり、上部がセル本体６の上面６Ｄにかけて開口していて、液注入口６１及び空気穴６２に連通している。
【０１０１】
さらに、セル本体６の開口６３が形成されたほうの側面には、開口６３の縁部全周に亘ってパッキン７及び透明板８を取り付けるための凹部６４が形成されている。したがって、凹部６４にパッキン７を介して透明板８を嵌め込むことで、開口６３はセル本体６の上面６Ｄに開口した部分以外を閉塞され、中空部６Ａに検査液を溜めておくことができるようになっている。
【０１０２】
また、セル本体６の下面６Ｂ及び上面６Ｄは平行に形成されている。
さらに、セル本体６内の底面（底部）６Ｅは、液注入口６１に対応する位置に形成され、セル本体２の下面６Ｂ及び上面６Ｄと平行に形成された最深底面部６Ｆと、最深底面部６Ｆよりも空気穴６２側に形成された傾斜底面部（傾斜底面）６Ｇとを備えている。詳しくは、傾斜底面部６Ｇが空気穴６２側（図６，７中では右側）から液注入口６１側（図６，７中では左側）に進むに従って次第に低くなるように形成され、底面６Ｅにおいて液注入口６１の真下に形成された最深底面部６Ｆが最も低くなるようになっている。
【０１０３】
このため、センサ用セル１′内の中空部６Ａにおいて、その底面６Ｅを、液注入口６１に対向する部位が空気穴６２に対応した部位よりも深くなるように傾斜させることが可能とになる。即ち、センサ用セル１′内に検査液を溜める際、液注入口６１に対応する最深底面部６Ｆが他の部分（即ち、傾斜底面部６Ｇ）よりも低くなるように、傾斜底面部６Ｇと水平面との間に傾斜角を設けることができるのである。具体的には、例えば、センサ用セル１′の上面６Ｄが水平面と平行になるようにセンサ用セル１′を設置すればよい。
【０１０４】
このように、中空部６Ａの液注入口６１に対応する最深底面部６Ｆが他の部位よりも低くなるようにすれば、第１実施形態と同様に、中空部６Ａ内の検査液を抜き出す際、検査液が液最深底面部６Ｆに溜まるようになるため、中空部６Ａ内の検査液を容易に抜き取ることができ、さらに、センサ用セル１′内のカンチレバーセンサ１０に検査液の流れによる影響を与える虞をなくすることができる。
【０１０５】
したがって、第１実施形態と同様に、センサ用セル１′を設計する際には、上記の検査液を有効に抜き出す観点からは、液注入口６１′は、底面６Ｅが傾斜により最も低くなっている位置（本実施形態では、最深底面部６Ｆ）の上に設けられることが好ましい。一方、空気穴６２は、上記の検査液を気泡無く注入する観点からは、底面６Ｅが傾斜により最も高くなっている位置の上に設けられることが好ましい。
なお、傾斜底面部６Ｇが有する傾斜角の望ましい範囲は、第１実施形態と同様である。
【０１０６】
また、セル本体６においては、中空部６Ａのカンチレバーセンサ１０を装着する面（取付面）６Ｃと、セル本体６の開孔６３が形成された側面６Ｈに対して逆の側面６Ｉとは平行に形成されている。なお、取付面６Ｃは、開口６３に対向する中空部６Ａの内側面である。
【０１０７】
さらに、セル本体６の開孔６３が形成された側面６Ｈ及び凹部６４は、透明板８を装着した場合に、取付面６Ｃに対して透明板８が傾斜角を有するように形成されている。これにより、本実施形態のセンサ用セル１′を用いた測定でも、第１実施形態と同様に、センサ用セル１表面からの反射光による影響を排除することが可能となる。なお、この点について詳細な説明は、透明板８の説明と共に後述する。
【０１０８】
また、セル本体６の内部の取付面６Ｃには、カンチレバーセンサ１０を装着するためのセンサ装着部として、取付金具６５が設けられている。図９は、取付金具６５にカンチレバーセンサ１０を装着した状態のセル本体６の模式的な正面図である。センサ装着部６５は、図９に示すように、液注入口６１と空気穴６２との間の部分に設けられている。
【０１０９】
図１０は、組み立て後のセンサ用セル１′を、図９のＡ−Ａ面で切った模式的な断面図である。この図１０に示すように、取付金具６５は、第１実施形態の取付金具２５と同様に、カンチレバーセンサ１０の支持部材１３を取付面６Ｃに押さえつけて固定するように構成されている。したがって、使用時には、取付金具６５によりカンチレバーセンサ１０をセンサ用セル１′に装着できるようになっている。なお、装着の際には、相互作用部１２が取付面６Ｃ側となり、反射面１５が開口６３側となるようにカンチレバーセンサ１０を装着するようにする。反射面１５を開口６３に対向させて、光源１０１からの入射光を反射面１５で反射できるようにするためである。
なお、センサ装着部は、カンチレバーセンサ１０をセンサ用セル１′に装着できれば他に制限は無く、取付金具６５以外にも任意の部材により構成することができる。
【０１１０】
また、第１実施形態と同様に、カンチレバーセンサ１０を液注入口６１からできるだけ遠い位置に装着できるようにセンサ装着部を設けることが好ましい。本実施形態においても、取付金具６５の液注入口６１とは反対側にカンチレバーセンサ１０が装着されるようになっているものとする。
【０１１１】
さらに、中空部６Ａは、取付面６Ｃが形成されている部分、即ち、カンチレバーセンサ１０を装着するための部分は幅広に形成されているが、その上部は、透明板８を装着した場合に透明板８との間に所定の隙間だけが形成されるように、幅狭に形成されている。即ち、取付面６Ｃの上部においては、セル本体６には、透明板８に所定の隙間が形成される程度に中空部６Ａに張り出した凸部６６が形成されたようになっていて、これにより、中空部６Ａが狭められているのである。
【０１１２】
この凸部６６が形成されていることにより、測定に用いる検査液の量を少なく抑制することができる。
【０１１３】
また、液注入口６１から連続する内側面６Ｊは、液注入口６１が次第に狭くなるように、中空部６Ａの内側に向けて傾斜して形成されている。これにより、測定に用いる検査液の量を少なく抑制することができる。
【０１１４】
また、パッキン７は、第１実施形態のパッキン３と同様、透明板８をセル本体６に装着した場合に透明板８とセル本体５との間に形成される隙間を塞ぐためのものである。パッキン７の素材は第１実施形態と同様であるが、その形状は、透明板８をセル本体６の凹部６４に装着した場合に透明板８とセル本体６とが接する部分に介装されるよう、中央部に、開口６３に応じた切欠７１を形成した略Ｕ字形状となっている。この切欠７１は、センサ用セル１′を組み立てた場合に入射光及び反射光が通る窓として機能することになる。
【０１１５】
また、透明板８は、セル本体６の側面６Ｈに形成された凹部６４に装着され、センサ用セル１′の側壁を形成するものである。
さらに、透明板８は、第１実施形態の透明板４と同様、センサ用セル１′の内部と外部との間で光を透過させる光透過部として機能するものである。したがって、透明板８は、入射光及び反射光が透過できる素材で、開口６３を閉塞できる形状に形成することが好ましい。本実施形態では、透明板８はガラス製の、凹部６４に嵌め込むことができ、また、開口６３の側方部分全体を覆うことができる大きさの平板として形成されているものとする。これにより、透明板８を装着した場合に開口６３の側方部分が閉塞され、センサ用セル１′内に検査液を溜めて保持することができるようになっている。
【０１１６】
さて、凹部６４の説明で述べたように、セル本体６の凹部６４及び側面６Ｈは、取付面６Ｃや側面６Ｉに対して傾斜して形成されていて、これにより、凹部６４に透明板８を装着した場合にセンサ用セル１′の側壁を形成する透明板８も取付面６Ｃや側面６Ｉに対して傾斜するようになっている。
【０１１７】
したがって、光透過部である透明板８の両面、即ち、透明板８の内側面８１及び外側面８２は、ともに、カンチレバーセンサ１０の反射面１５に対して傾斜角を有する傾斜透過面として機能する。即ち、通常はカンチレバーセンサ１０はその反射面１５が取付面６Ｃや側面６Ｉに対して平行又は略平行となるように取り付けられるため、透明板８を取付面６Ｃや側面６Ｉに対して傾斜させたことにより、透明板８の内側面８１及び外側面８２と、カンチレバーセンサ１０の反射面１５との間に傾斜角を設けることができるのである。
【０１１８】
このため、第１実施形態の傾斜透過面４１，４２と同様、透明板８の表面８１，８２で反射した反射光がカンチレバーセンサ１０の反射面１５で反射した検出すべき反射光とは別の方向に進行するようにすることができる。これにより、光検出部１０２では透明板８の表面８１，８２で反射した反射光を検出しないようにすることができるのである。
【０１１９】
本実施形態では、カンチレバーセンサ１０を、その反射面１５が取付面６Ｃ及び側面６Ｉと平行になるように装着している。したがって、透明板８が取付面６Ｃ及び側面６Ｉに対して傾斜していることにより、反射面１５と透明板８の内側面８１及び外側面８２との間に傾斜角が形成されるようになっている。
【０１２０】
なお、カンチレバーセンサ１０の反射面１５と透明板８の表面８１，８２とが傾斜している限り、第１実施形態と同様に、その具体的な構成は任意である。
また、上記のようにセンサ用セル１表面での反射による影響を排除する観点からは、上記のカンチレバーセンサ１０の反射面１５と透明板８の表面８１，８２との間の傾斜角の望ましい範囲も、第１実施形態と同様である。
【０１２１】
また、保持用板９は、透明板８がセル本体６から脱離しないように透明板８を押さえつけて保持するための板部材である。この保持用板９は、第１実施形態の保持用板５と同様に、中央部の開口６３に相当する部位に設けられた孔９１を有し、セル本体６の側面６Ｈ全体を覆う金属板として形成されているものとする。なお、この孔９１は、センサ用セル１′を組み立てた場合に入射光及び反射光が通る窓として機能することになる。
さらに、保持用板９に透明板８を押さえつけさせる手法も第１実施形態と同様である。
【０１２２】
したがって、センサ用セル１′を組み立てる場合には、セル本体６内の取付金具６５にカンチレバーセンサ１０を装着し、その後、パッキン７、透明板８及び保持用板９をこの順に取り付ける。これにより、図７に示すように、センサ用セル１′は、透明板８の開口６３並びに切欠７１及び孔９１に対応する部分を介して、カンチレバーセンサ１０に対して光を照射され、また、カンチレバーセンサ１０の反射面１５からの反射面を検出されるようになっている。
【０１２３】
図１１は、上記のセンサ用セル１′を装着して検査液中の検出対象物質の濃度の測定を行なうための分析装置（カンチレバーセンサシステム）の概要を示す模式的な上面図である。この分析装置は、第１実施形態と同様に、セル装着部１０３と、光源１０１と、光検出部１０２と、変位量測定部１０４とを備えている。
【０１２４】
セル装着部１０３は、第１実施形態と同様、上記センサ用セル１′を分析装置に装着するためのものである。ただし、本実施形態においては、セル本体６の下面６Ｂ、上面６Ｄ及び最深底面部６Ｆが水平面と平行になり、これにより、傾斜底面部６Ｇが水平面に対して傾斜角を有するように、センサ用セル１′を装着できるようになっているものとする。
また、光源１０１、光検出部１０２及び変位量測定部１０４は第１実施形態と同様に構成され、また、同様に機能することにより、カンチレバーセンサ１０の変位の大きさを測定できるようになっている。
【０１２５】
本実施形態のセンサ用セル１′及び分析装置は以上のように構成されているので、使用時には、第１実施形態と同様に、検出しようとする検出対象物質に応じた特定物質を固定化したカンチレバーセンサ１０を用意する。そして、このカンチレバーセンサ１０をセル本体６の取付金具６５によりセル本体６に装着する。なお、本実施形態でも２個のカンチレバーセンサ１０を装着した例を示すが、装着するカンチレバーセンサ１０の数は１個でも２個以上でもよい。また、装着する際、カンチレバーセンサ１０の反射面１５は、セル本体６の取付面６Ｃ及び側面６Ｉと平行になるようにしておく。
【０１２６】
次に、パッキン７を介して透明板８を凹部６４に取り付け、保持用板９によりパッキン７及び透明板８を押圧して固定し、センサ用セル１′を組み立てる。この際、カンチレバーセンサ１０の反射面１５がセル本体６の取付面６Ｃ及び側面６Ｉと平行になっているため、透明板８の表面８１，８２はカンチレバーセンサ１０の反射面１５に対して傾斜角を有することになる。
【０１２７】
続いて、組み立てたセンサ用セル１′を分析装置１のセル装着部１０３に装着する。この際、セル本体６の上面６Ｄ及び最深底面部６Ｆが水平面と平行になるように装着を行なう。これにより、傾斜底面部６Ｇは、水平面に対して傾斜角を有することになる。
このように装着を行なった後、ピペット１００で、液注入口６１からセンサ用セル１′内の中空部６Ａに検査液を注入する。この際、傾斜底面部６Ｇが水平面に対して傾斜しているので、第１実施形態と同様、カンチレバーセンサ１０の変位量が変化する虞は無い。
【０１２８】
検査液の注入後、光源１０１からカンチレバーセンサ１０に向けてレーザー光を照射する。照射されたレーザー光は、カンチレバーセンサ１０の反射面１５で反射し、反射光は光検出部１０２で検出される。この際、入射光及び反射光であるレーザー光が反射しうる透明板８の外側面８１及び内側面８２は、傾斜透過面として反射面１５に対して傾斜角を有して形成されているため、第１実施形態と同様、透明板８の外側面８１及び内側面８２での反射光が光検出部１０２に入って測定に好ましくない影響を与えることを防止することができる。
【０１２９】
そして、光検出部１０２で検出された情報は変位量測定部１０４に送られ、変位量測定部１０４でカンチレバーセンサ１０に生じた変位の量が測定されるのである。
測定後、検査液はピペット１００等により、センサ用セル１′から取り除かれる。この際、傾斜底面部６Ｇが水平面に対して傾斜しているので、検査液を吸い出す際に、液量が少なくなった場合でも、効率的に抜き出し作業を続けることが可能である。
また、検査液の抜き出し後、第１実施形態と同様にセンサ用セル１の洗浄を行なう。
【０１３０】
以上のように、本実施形態のセンサ用セル１′及び分析装置によっても、センサ用セル１′内の検査液を抜き取る際、センサ用セル１′から検査液を容易に抜き取ることが可能となる。
また、測定に用いる入射光及び反射光が傾斜透過面８１，８２を通るようにすれば、センサ用セル１′表面に生じる反射光が測定に与える影響を排除し、正確な測定を行なうことが可能となる。
【０１３１】
［IV．その他］
以上、本発明のカンチレバーセンサ用セル及びカンチレバーセンサシステムについて実施形態を示して説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り任意に変形して実施することができる。
例えば、上記実施形態においては、ピペット１００を用いて検査液の注入及び抜き出しを行なうようにしたが、ポンプ等の機材を用いる用にしても良い。ただし、ポンプ等の機材を用いた場合、分析装置が大型化したり、チューブやポンプ等の機材類の洗浄が困難になったりする虞があるため、通常は、ピペット１００等を用いて人手により操作を行なうようにすると簡便に測定を行なうことができる。
【０１３２】
また、例えば、カンチレバーセンサ１０とセンサ装着部２５，６５とを一体に形成してもよい。
さらに、上記第１及び第２実施形態の各構成要素をそれぞれ組み合わせて実施するようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
本発明のカンチレバーセンサ用セル及びセンサシステムは産業上の任意の分野で用いることが可能であるが、例えば、医療、食品分析、生体分析などの分野に用いて好適である。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本発明の第１実施形態について説明するもので、カンチレバーセンサ用セルを斜め上方向から見た模式的な斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態について説明するもので、カンチレバーセンサ用セルの模式的な分解斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態について説明するもので、カンチレバーセンサ用セルの模式的な縦断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態について説明するもので、図３の要部を拡大して示す図である。
【図５】本発明の第１実施形態について説明するもので、カンチレバーセンサ用セルを斜め下方向から見た模式的な斜視図である。
【図６】本発明の第１実施形態について説明するもので、分析装置の概要を説明する模式的な正面図である。
【図７】本発明の第２実施形態について説明するもので、カンチレバーセンサ用セルを斜め上方向から見た模式的な斜視図である。
【図８】本発明の第２実施形態について説明するもので、カンチレバーセンサ用セルの模式的な分解斜視図である。
【図９】本発明の第２実施形態について説明するもので、取付金具にカンチレバーセンサを装着した状態のセル本体の模式的な正面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態について説明するもので、組み立て後のセンサ用セルを図９のＡ−Ａ面で切った模式的な断面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態について説明するもので、分析装置の概要を説明する模式的な上面図である。
【図１２】本発明の第１及び第２実施形態で用いるカンチレバーセンサの要部を表わす模式的な斜視図である。
【図１３】本発明の第１及び第２実施形態で用いるカンチレバーセンサの相互作用部近傍を拡大して模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【０１３５】
１，１′  カンチレバーセンサ用セル
２，６  セル本体
２Ａ，６Ａ  中空部
２Ｂ，６Ｂ  下面
２Ｃ，６Ｃ  取付面
２Ｄ，６Ｄ  上面
６Ｅ  底面
６Ｆ  最深底面部
６Ｇ  傾斜底面部（傾斜底面）
６Ｈ，６Ｉ  側面
６Ｊ  内側面
３，７  パッキン
４，８  透明板（光透過部）
５，９  保持用板
１０  カンチレバーセンサ
１１  カンチレバー
１２  相互作用部
１３  支持部材
１４  凹凸パターン
１５  反射面
１６  金属膜
１７  有機分子
１８  特定物質
２１，６１  開口（液注入口）
２２．６２  開口（空気穴）
２３，６３  開口
２４，６４  凹部
２５，６５  取付金具（センサ装着部）
３１，５１，９１  孔
４１  上面（傾斜透過面，傾斜底面）
４２  下面（傾斜透過面）
６６  凸部
７１  切欠
８１  外側面（傾斜透過面）
８２  内側面（傾斜透過面）
１００  ピペット
１０１  光源
１０２  光検出部
１０３  セル装着部
１０４  変位量測定部
【図１】
2006194841.tif 000003
【図２】
2006194841.tif 000004
【図３】
2006194841.tif 000005
【図４】
2006194841.tif 000006
【図５】
2006194841.tif 000007
【図６】
2006194841.tif 000008
【図７】
2006194841.tif 000009
【図８】
2006194841.tif 000010
【図９】
2006194841.tif 000011
【図１０】
2006194841.tif 000012
【図１１】
2006194841.tif 000013
【図１２】
2006194841.tif 000014
【図１３】
2006194841.tif 000015