(57)【要約】【課題】濾過構造体を製造する方法及びこれを製造するためのシステムを提供する。【解決手段】この方法は、メッシュパターンを有する濾過網を準備して、前記濾過網に接着剤を噴射方式で均一に塗布した後、前記接着剤が塗布された濾過網に浄化物質を付着させる段階を含む。この際、前記接着剤は前記メッシュパターンのメッシュ間隔より小さいサイズを有するように噴射される。このシステムは濾過網、前記濾過網を移送させる濾過網移送装置、及び前記濾過網に接着液を噴射方式で塗布する接着剤噴射装置を具備する。【選択図】図２Ａ
2006043698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッシュパターンを有する濾過網を準備する段階と、
前記濾過網に接着剤を噴射方式で均一に塗布する段階と、
前記接着剤が塗布された前記濾過網に浄化物質を付着させる段階と、を含むことを特徴とする濾過構造体の製造方法。
【請求項２】
前記接着剤を噴射方式で塗布する段階は、
噴射ノズルを有する所定の噴射装置に前記接着剤を供給する段階と、
前記噴射装置に圧力を印加して前記供給された接着剤を噴射させる段階と、を含み、
前記接着剤は、前記噴射装置内で第１温度に維持されることを特徴とする請求項１に記載の濾過構造体の製造方法。
【請求項３】
前記浄化物質を付着させる段階の前に、前記濾過網に塗布された前記接着剤の温度を第２温度に変更させる調節段階をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の濾過構造体の製造方法。
【請求項４】
前記第２温度は、前記第１温度より低いことを特徴とする請求項３に記載の濾過構造体の製造方法。
【請求項５】
前記接着剤は、前記濾過網の前記メッシュパターンのメッシュ間隔より小さいサイズを有するように噴射されることを特徴とする請求項２に記載の濾過構造体の製造方法。
【請求項６】
前記接着剤は、ウレタン系、ポリウレタン系、水性ビニルウレタン系、エポキシ系、アクリル系、シリコン系、及び合成ゴム系の接着剤のうちから選択された少なくとも一つであることを特徴とする請求項１に記載の濾過構造体の製造方法。
【請求項７】
前記浄化物質は、活性炭、添着活性炭、無機吸着剤、及びレジンのうちから選択された少なくとも一つの物質であることを特徴とする請求項１に記載の濾過構造体の製造方法。
【請求項８】
第１位置と第２位置とを横切って配置される濾過網と、
前記第２位置で前記濾過網に連結されて、前記濾過網を前記第１位置から前記第２位置へ移送させる濾過網移送装置と、
前記第１位置と前記第２位置との間に配置されて、前記濾過網に接着液を噴射方式で塗布する接着剤噴射装置と、を具備することを特徴とする濾過構造体の製造システム。
【請求項９】
前記濾過網は、アルミニウムなどの金属性物質、または、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、エチレンビニルアセテート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、及びポリアミドからなる群より選択されるポリマー物質からなることを特徴とする請求項８に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１０】
前記濾過網は、所定のメッシュ間隔のメッシュパターンを有することを特徴とする請求項８に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１１】
前記接着剤噴射装置は、前記接着液を前記濾過網の前記メッシュパターンの前記メッシュ間隔より小さいサイズを有する接着液の液滴に変換し、当該接着液の液滴を前記濾過網に向けて移動させることを特徴とする請求項１０に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１２】
前記接着液は、ウレタン系、ポリウレタン系、水性ビニルウレタン系、エポキシ系、アクリル系、シリコン系、及び合成ゴム系の接着剤のうちから選択された少なくとも一つであることを特徴とする請求項８に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１３】
前記接着剤噴射装置は、所定の接着液原料容器に連結された一端を有する接着液供給ライン、前記接着液供給ラインの他端に連結された接着液貯蔵部、及び前記接着液貯蔵部に連結された少なくとも一つの噴射ノズルを具備することを特徴とする請求項８に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１４】
前記接着剤噴射装置は、前記接着液の温度を第１温度に調節する第１調節装置をさらに具備し、
前記第１調節装置は、前記接着液供給ライン及び前記接着液貯蔵部の周辺に配置されることを特徴とする請求項１３に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１５】
前記第１調節装置は、電熱装置であることを特徴とする請求項１４に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１６】
前記噴射ノズルは、前記接着液を微細な液滴に変換させる発散ノズルであることを特徴とする請求項１３に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１７】
前記接着剤噴射装置と前記濾過網移送装置との間に配置され、前記濾過網に浄化物質を供給する浄化物質供給装置をさらに具備することを特徴とする請求項８に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１８】
前記浄化物質は、活性炭、添着活性炭、無機吸着剤、及びレジンのうちから選択された少なくとも一つの物質であることを特徴とする請求項１７に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項１９】
前記浄化物質供給装置と前記接着剤噴射装置との間に配置されて、前記噴射された接着剤の温度を第２温度に調節する第２調節装置をさらに具備することを特徴とする請求項１７に記載の濾過構造体の製造システム。
【請求項２０】
前記第２調節装置は、冷却装置であることを特徴とする請求項１９に記載の濾過構造体の製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気濾過装置に使用される濾過構造体を製造するための装置及びこの装置を使用して濾過構造体を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業技術が進歩するにつれて、汚染物質が除去された空間であるクリーンルーム（ｃｌｅａｎ  ｒｏｏｍ）に対する需要が増加している。特に、半導体、光学器機、宇宙航空、電子、薬品、食品、及び病院などのような精密技術分野における生産性は、汚染物質の量に大きく影響を受ける。したがって、クリーンルームに対する需要が、これらの精密技術分野で大きく増加している。
【０００３】
クリーンルームとは、ほこり及び化学物質などの汚染物質の量が所定値より小さくなるように、汚染制御された空間を意味し、これと係わる技術的規格は米連邦規格２０９（Ｕ．Ｓ．Ｆｅｄｅｒａｌ  Ｓｔａｎｄａｒｄ２０９）で規定されている。このような汚染制御のために、クリーンルームは空気中のほこりを除去するためのほこりフィルタ（ｄｕｓｔ  ｆｉｌｔｅｒ）及び化学物質を除去するための化学フィルタ（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｆｉｌｔｅｒ）を具備する。ほこりフィルタ及び化学フィルタは所定のメッシュパターン（ｍｅｓｈ  ｐａｔｔｅｒｎ）を有する濾過網（ｆｉｌｔｅｒｉｎｇ  ｎｅｔ）及び濾過網を通過する空気の流れの経路を提供するケースから構成される。濾過網には所定の浄化物質（ｒｅｆｉｎｉｎｇ  ｍａｔｅｒｉａｌｓ）が付着されることができ、これら浄化物質の種類は除去しようとする汚染物質の種類によって決められる。
【０００４】
図１Ａ及び図１Ｂは、濾過網に活性炭を付着する従来技術の製造方法を説明するための図である。従来技術によると、活性炭３０を濾過網１０に付着させるために、濾過網１０には所定の接着剤２０がブラッシング（ｂｒｕｓｈｉｎｇ）処理によって塗布される。
【０００５】
しかし、ブラッシング処理は均一性が不十分な塗布方法であるので、接着剤２０が濾過網１０に均一に塗布されることができない。特に、（従来技術で一般的に使用される方法のように）ブラッシング処理が手作業で実行される場合、均一性はさらに不十分になる。その結果、図１Ａに示したように、接着剤２０は、所定領域２５において濾過網１０のメッシュパターンの一部または全部を満たすようになって、網詰まり現象（ｍｅｓｈ  ｃｌｏｓｉｎｇ  ｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ）が発生する。網詰まり現象によって、濾過網１０に占める接着剤２０の面積は大きく増加して、濾過網１０を通過する空気の流れのための断面領域の面積が減少する。このような空気の流れのための断面領域の減少は、圧力損失及びフィルタ寿命の短縮などの問題を誘発する原因になる。また、網詰まり現象は、濾過網１０に付着する活性炭３０の量を増加させるので、フィルタの重さが増加するという問題が発生することもある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述した問題を解決するためになされたものである。したがって、本発明の目的は、接着剤及び浄化物質が均一に塗布されることができる濾過構造体の製造方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の他の目的は、接着剤及び浄化物質を均一に塗布することができる濾過構造体製造システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明の濾過構造体の製造方法は、噴射方式で接着剤を塗布する段階を含む濾過構造体の製造方法を提供する。この方法はメッシュパターンを有する濾過網を準備して、前記濾過網に接着剤を噴射方式で均一に塗布した後、前記接着剤が塗布された濾過網に浄化物質を付着させる段階を含む。
【０００９】
本発明の一実施の形態によれば、前記接着剤を噴射方式で塗布する段階は、噴射ノズルを有する所定の噴射装置に前記接着剤を供給した後、前記噴射装置に圧力を印加して前記供給された接着剤を噴射させる段階を含む。この際、前記接着剤は前記噴射装置内で第１温度に維持されることが望ましい。
【００１０】
本発明の他の実施の形態によれば、前記浄化物質を付着させる段階の前に、前記濾過網に塗布された前記接着剤の温度を第２温度に変更させる調節段階がさらに実施されることができる。この際、前記第２温度は、前記第１温度より低いことが望ましい。
【００１１】
望ましくは、前記接着剤は、前記濾過網の前記メッシュパターンのメッシュ間隔より小さいサイズを有するように噴射される。また、前記接着剤は、ウレタン系、ポリウレタン系、水性ビニルウレタン系、エポキシ系、アクリル系、シリコン系、及び合成ゴム系の接着剤のうちから選択された少なくとも一つであることが望ましい。これに加えて、前記浄化物質は、活性炭、添着活性炭、無機吸着剤、及びレジンのうちから選択された少なくとも一つの物質であることが望ましい。
【００１２】
上記の他の目的を達成するために、本発明の濾過構造体製造システムは、第１位置と第２位置とを横切って配置される濾過網と、前記第２位置で前記濾過網に連結されて前記濾過網を前記第１位置から前記第２位置へ移送させる濾過網移送装置と、前記第１位置と前記第２位置との間に配置されて前記濾過網に接着液を噴射方式で塗布する接着剤噴射装置と、を具備する。
【００１３】
本発明によれば、前記濾過網は、アルミニウムなどの金属性物質、または、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、エチレンビニルアセテート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、及びポリアミドからなる群より選択されるポリマー物質からなる。また、前記濾過網は、所定のメッシュ間隔のメッシュパターンを有することが望ましい。
【００１４】
また、前記接着液は、ウレタン系、ポリウレタン系、水性ビニルウレタン系、エポキシ系、アクリル系、シリコン系、及び合成ゴム系の接着剤のうちから選択された少なくとも一つでありうる。
【００１５】
本発明の一実施の形態によれば、前記接着剤噴射装置は、前記接着液を前記濾過網の前記メッシュパターンの前記メッシュ間隔より小さいサイズを有する接着液の液滴に変換し、当該接着液の液滴を前記濾過網に向けて移動させる装置である。このために、前記接着剤噴射装置は、所定の接着液原料容器に連結された一端を有する接着液供給ライン、前記接着液供給ラインの他端に連結された接着液貯蔵部、及び前記接着液貯蔵部に連結された少なくとも一つの噴射ノズルを具備する。この際、前記噴射ノズルは、前記接着液を微細な液滴に変換させる発散ノズルであることが望ましい。
【００１６】
本発明の一実施の形態によれば、前記接着剤噴射装置は、前記接着液の温度を第１温度に調節する第１調節装置をさらに具備する。この場合、前記第１調節装置は、前記接着液供給ライン及び前記接着液貯蔵部の周辺に配置されることが望ましい。本発明の一実施の形態によれば、前記第１調節装置は電熱装置である。
【００１７】
本発明の他の実施の形態によれば、前記接着剤噴射装置と前記濾過網移送装置との間には浄化物質供給装置がさらに配置される。前記浄化物質供給装置は、前記濾過網に活性炭、添着活性炭、無機吸着剤、及びレジンのうちから選択された少なくとも一つの浄化物質を供給する。
【００１８】
本発明のさらに他の実施の形態によれば、前記浄化物質供給装置と前記接着剤噴射装置との間には前記噴射された接着剤の温度を第２温度に調節する第２調節装置が配置される。この際、前記第２調節装置は、冷却装置であることが望ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の濾過構造体の製造方法によれば、接着剤は、噴射方式で濾過網に塗布される。これによって、接着剤は濾過網に均一に塗布されることができるので、濾過網での圧力損失を最小化することができる。また、接着剤が均一に塗布されることで、不要に付着する浄化物質の量を減らすことができるので、濾過構造体全体の重さを減らすことができる。さらに、浄化物質が均一に付着するため、濾過構造体の劣化速度が低下する。すなわち、本発明の濾過構造体の製造方法によれば、濾過構造体の寿命を延ばすことが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付の図面を参照して、本発明の望ましい実施の形態を詳細に説明する。しかし、本発明はここで説明される実施の形態に限定されず、他の形態に具体化されることもできる。むしろ、ここで紹介される実施の形態は、開示された技術内容が詳細で完全なものになるように、そして、当業者に本発明の思想を十分に伝達するように提供されるものである。図面において、層及び領域の厚さは明確性のために誇張されている。また、一の層が他の層または基板上にあると言及される場合、一の層は、他の層または基板上に直接形成されることができ、あるいは、一の層と他の層または基板との間に第３の層が介在されることもできることを意味する。
【００２１】
図２Ａ、図２Ｂ、及び図２Ｃは、本発明の一実施の形態による濾過構造体の製造方法を説明するための工程フローチャートである。
【００２２】
図２Ａを参照すれば、まず、所定のサイズ（メッシュ間隔）のメッシュパターンを有する濾過網を準備する（Ｓ５０）。濾過網は、アルミニウムからなることが望ましい。しかしながら、濾過網は、ポリエチレン（Ｐｏｌｙｅｈｙｌｅｎｅ；ＰＥ）、ポリプロピレン（Ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ；ＰＰ）、ポリスチレン（Ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ；ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ  Ｃｈｌｏｒｉｄｅ；ＰＶＣ）、エチレンビニルアセテート（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｖｉｎｙｌａｃｅｔａｔｅ；ＥＶＡ）、ポリエチレンテレフタルレート（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ；ＰＥＴ）、ポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ；ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（Ｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅ  Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ；ＰＢＴ）、ポリアセタール（Ｐｏｌｙａｃｅｔａｌ；ＰＡ）、及びポリアミド（Ｐｏｌｙａｍｉｄｅ；ＰＣ）からなる群より選択されるポリマー、または、他の金属性物質からなることができる。
【００２３】
次に、濾過網に接着剤を塗布する（Ｓ６０）。本実施の形態における塗布方法は、濾過網のメッシュパターンのメッシュ間隔より小さいサイズを有する接着液の液滴を濾過網に噴射する段階を含む。このように、微細なサイズを有する接着液の液滴が噴射されるので、接着剤は濾過網に均一に塗布されることができる。接着剤は、ウレタン系の接着物質であることが望ましく、ポリウレタン系、水性ビニルウレタン系、エポキシ系、アクリル系、シリコン系、または合成ゴム系の接着物質なども使用されることができる。
【００２４】
次に、接着剤が塗布された濾過網に浄化物質を付着させる（Ｓ７０）。浄化物質は添着活性炭であることが望ましく、活性炭、無機吸着剤、またはレジンなども使用されることができる。浄化物質の種類は除去しようとする汚染物質の種類に従って決められる。浄化物質が接着剤と接触する場合、浄化物質は、接着剤と接触した位置に固着される。したがって、浄化物質は多様な方法を通じて、濾過網に付着することができる。例えば、浄化物質は、接着剤が塗布された濾過網に振り撤かれた後、払い落とされる処理を通じて、濾過網に付着することができる。
【００２５】
一方、接着剤を塗布する段階Ｓ６０において、接着液の液滴のサイズは、接着液の粘性、噴射ノズルの構造、及び接着液に印加される圧力などによって決められる。特に、接着液の粘性は、温度に依存する物理的特性であるので、接着液の液滴のサイズを調節するために接着液の温度を所定の温度に調節する処理がさらに実施されることもできる。例えば、接着剤を塗布する段階Ｓ６０は、噴射ノズルを具備する噴射装置に接着液を供給し（Ｓ６１）、供給された接着液を所定の第１温度に加熱した後（Ｓ６２）、噴射ノズルを通じて、加熱された接着液を噴射する段階（Ｓ６３）を含むことができる（図２Ｂ参照）。
【００２６】
このように、接着液を加熱することで、接着液が噴射装置内で冷却されて硬化する現象は防止されることができる。その結果、接着液の硬化による噴射装置の故障を防止することができる。本実施の形態によれば、第１温度は、４０℃を超えないように調節されることが望ましい。
【００２７】
本発明の他の実施の形態によれば、加熱されて塗布された接着液を所定の第２温度に調節する段階（Ｓ６５）がさらに実施されることができる（図２Ｃ参照）。一般的に、接着液の粘性は温度に反比例するので、加熱された接着液は浄化物質が付着するのに不十分な粘性を有することもできる。したがって、必要によって、図２Ｃに示したように、浄化物質を付着させる段階（Ｓ７０）の前に、濾過網に塗布された接着液を冷却させる段階（Ｓ６５）をさらに実施することができる。
【００２８】
上述の本実施の形態によれば、図３Ａに示したように、接着液１３５は、噴射方式で塗布されるので、濾過網１００に均一に塗布される。これによって、浄化物質（例えば、添着活性炭）１４５も、図３Ｂに示したように、濾過網１００に均一に付着する。
【００２９】
図４Ａ乃至図４Ｄは本発明の実施の形態による濾過構造体を製造するためのシステムを概略的に示す装置図である。
【００３０】
図４Ａを参照して、本発明による濾過構造体製造システムの第１の実施の形態を説明する。本実施の形態によれば、所定のサイズのメッシュパターン（ｍｅｓｈ  ｐａｔｔｅｒｎｓ）を有する濾過網１００が互いに離隔された第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とを横切るように配置される。濾過網１００は、アルミニウムからなることが望ましい。しかしながら、濾過網１００は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、エチレンビニルアセテート、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、及びポリアミドからなる群より選択されるポリマー、または、他の金属性物質からなることもできる。
【００３１】
第２位置Ｐ２には、濾過網１００の一端に連結された濾過網移送装置１１０が配置される。初期段階において第１位置Ｐ１に配置される濾過網１００の一部分を第１部分と仮定する場合、濾過網移送装置１１０は、所定時間（δｔ＞０）経過した後に、第１部分が第２位置Ｐ２に近くなるように濾過網１００を移送させる。望ましくは、濾過網移送装置１１０は固定された軸を中心に濾過網１００を巻き取るローラであることができる。濾過網１００が下方に緩むことを防止するために、所定の支持部１２０が濾過網１００の下部に配置されることができる。
【００３２】
濾過網１００の上方には、濾過網１００に接着液１３５を噴射するための接着剤噴射装置１３０が配置される。接着剤噴射装置１３０によって、接着液１３５は微細な液滴の形態で濾過網１００に付着する。接着液１３５の液滴は、濾過網１００のメッシュパターンのメッシュ間隔より小さいサイズを有し、かつ濾過網１００に向けて移動する。このような接着液１３５の液滴を形成するため、接着剤噴射装置１３０は、図５Ａに示したように、所定の噴射ノズル１３１を具備する。これに加えて、接着剤噴射装置１３０は、噴射ノズル１３１に連結される接着液貯蔵部１３２を具備する。接着液貯蔵部１３２は、接着液供給ライン１３３を通じて所定の接着液供給容器に連結される。言い換えれば、接着液供給ライン１３３の一端は接着液原料容器に連結され、接着液供給ライン１３３の他端は接着液貯蔵部１３２に連結されている。この際、噴射ノズル１３１は接着液１３５を微細な液滴として噴射することが可能になるように、発散ノズル（ｄｉｖｅｒｇｅｎｔ  ｎｏｚｚｌｅ）であることが望ましい。
【００３３】
接着剤噴射装置１３０と濾過網移送装置１１０との間には、濾過網１００の上部表面に所定の浄化物質１４５を供給する浄化物質供給装置１４０が配置される。供給された浄化物質１４５は濾過網１００に塗布された接着液１３５によって、濾過網１００に付着する。本発明によれば、浄化物質１４５は、活性炭、添着活性炭、無機吸着剤、及びレジンのうちから選択された少なくとも一つの物質であることが望ましい。浄化物質１４５の種類は、除去しようとする汚染物質の種類に従って決められる。
【００３４】
次に、図４Ｂを参照して本発明による濾過構造体製造システムの第２の実施の形態を説明する。上述の第１の実施の形態と比べる場合、本発明の第２の実施の形態による濾過構造体製造システムは、第１調節装置１５１及び第２調節装置１５２をさらに具備する。本発明によれば、第１調節装置１５１は接着液１３５の噴射特性を最適化させ、第２調節装置１５２は接着液１３５の接着特性を最適化させる。例えば、第１調節装置１５１は接着剤噴射装置１３０の周辺に配置されて、接着液１３５の温度を所定の第１温度に維持させ、第２調節装置１５２は塗布された接着液１３５の温度を所定の第２温度に調節する。本発明によれば、第２温度は一般的に第１温度に比べて低い。
【００３５】
一般的に知られたように、液体の粘性は温度に反比例し、液体の噴射特性は粘性が低いほど向上する。したがって、接着液１３５の接着特性が劣化されない範囲で、接着液１３５の温度が増加することが噴射特性の向上のために望ましい。本実施の形態によれば、接着液１３５は第１調節装置１５１によって、おおよそ常温乃至４０℃の温度に調節される。すなわち、第１温度は、おおよそ通常で４０℃であることが望ましい。
【００３６】
また、塗布された接着液１３５は、所定の温度（すなわち、第２温度）で最適の接着特性を有する。第２調節装置１５２は、最適の接着特性を有するように接着液１３５の温度を調節する。接着液１３５の接着特性は温度だけではなく、液体の含量にも影響を受ける。したがって、第２調節装置１５２には接着液１３５を乾燥させるための所定の乾燥装置がさらに含まれることもできる。
【００３７】
図５Ｂは、接着剤噴射装置１３０が第１調節装置１５１を具備する実施の形態を説明するための装置断面図である。図５Ｂを参照すれば、上述の第１の実施の形態で説明した接着剤噴射装置１３０のまわり（例えば、側面及び上部）には、第１調節装置１５１が配置される。第１調節装置１５１は、電流を使用して熱を発生させる電熱装置または水といった冷媒が流れる冷却管であることができる。
【００３８】
望ましくは、第１調節装置１５１の動作は、所定の制御器（図示しない）によって電子的に制御される。また、第１調節装置１５１の動作を制御するため、制御器には接着剤噴射装置１３０の内部温度をモニタリングすることができる温度センサ（図示しない）が電子的にさらに連結されることが望ましい。
【００３９】
本実施の形態の変形例によれば、接着剤噴射装置１３０は、図５Ｃに示したように、第１空気注入ライン１３４がさらに連結されることができる。第１空気注入ライン１３４を通じて供給される圧縮された空気により、接着液貯蔵部１３２に貯蔵された接着液１３５はさらに効率的に噴射されることができる。
【００４０】
次に、図４Ｃを参照して、本発明による濾過構造体製造システムの第３の実施の形態を説明する。上述の第１の実施の形態と比べる場合、本発明の第３の実施の形態による濾過構造体製造システムは、接着剤噴射装置１３０と浄化物質供給装置１４０とが一体型で構成されることができる。
【００４１】
接着液１３５は噴射される際に冷却されることができるので、濾過網１００に塗布された直後にも、接着液１３５は最適化された接着特性を有することができる。この場合、図４Ｃ及び図５Ｄに示したように、接着剤噴射装置１３０と浄化物質供給装置１４０は、一体的に構成されることができる。すなわち（上記の第２の実施の形態で説明した第２調節装置１５２がなく）、濾過網１００上に接着液１３５を噴射した後、直ちに浄化物質１４５を供給することができる濾過構造体製造システムを構成することができる。
【００４２】
浄化物質供給装置１４０は、図５Ｄに示したように、浄化物質１４５が供給される供給ライン１４１と排出される排出口１４２とを有する。排出口１４２は、濾過網１００の上部面と対向するように形成される。供給ライン１４１のまわりには圧縮された空気を供給する第２空気注入ライン１４３が配置されることができる。第２空気注入ライン１４３によって、浄化物質１４５はより容易に濾過網１００の上部面に排出されることができる。
【００４３】
本発明の変形例によれば、接着剤噴射装置１３０は、図４Ｄに示したように、所定の軸線を基準に回転することができる。これに加えて、浄化物質供給装置１４０も、図示したように、所定の軸線を基準に回転することができる。このような構造のシステムを利用して濾過網を製造する段階は、濾過網１００に接着液１３５を塗布する第１段階及び濾過網１００に浄化物質１４５を付着する第２段階を含む。この際、第１段階と第２段階において濾過網１００は互いに反対方向に動くことが望ましい。第１段階では回転する接着剤噴射装置１３０が作動し、第２段階では回転する浄化物質供給装置１４０が作動する。
【００４４】
図６は、本発明による効果を説明するため、本発明と従来技術の方法に従って製造された濾過網の濾過性能を時間に従って測定したグラフである。グラフで横軸は使用時間であり、縦軸は汚染物質の除去効率を示す。実験で使用された汚染物質はオゾンであり、使用された濾過網は、接着剤を塗布する方法が異なる。すなわち、接着剤は従来技術による濾過網２００の場合、ブラッシング処理で塗布され、本発明の濾過網３００の場合、噴射方式で塗布された。
【００４５】
図６を参照すれば、従来技術の方法に従って製造された濾過網２００は、おおよそ１２００分間使用される場合、その除去効率が８０％まで減少する。これに比べて、本発明の方法に従って製造された濾過網３００は、おおよそ２１００分ほど使用される場合、同一の除去効率すなわち、８０％に到逹する。結果的に、本発明による場合、従来の方法に比べて濾過網の寿命が７５％ほど改善する効果を得ることができる。
【００４６】
図７は、本発明で得ることができる他の効果を説明するため、本発明と従来技術の方法に従って製造された濾過網での圧力損失の程度を測定したグラフである。この実験でも、接着剤は従来技術の濾過網２００の場合、ブラッシング処理で塗布され、本発明の濾過網３００の場合、噴射方式で塗布された。図７を参照すれば、本発明による圧力損失は、従来技術での圧力損失に比べておおよそ８０％のレベルである。これは図３Ａで説明したように、接着剤１３５が噴射方式で均一に塗布されたためと解釈される。このように損失される圧力が減少することに従って、クリーンルームに使用されるファンの稼動率を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１Ａ】従来技術による濾過構造体の製造方法を説明するための図である。
【図１Ｂ】従来技術による濾過構造体の製造方法を説明するための図である。
【図２Ａ】本発明の一実施の形態による濾過構造体の製造方法を説明するための工程フローチャートである。
【図２Ｂ】本発明の他の実施の形態による濾過構造体の製造方法を説明するための工程フローチャートである。
【図２Ｃ】本発明のさらに他の実施の形態による濾過構造体の製造方法を説明するための工程フローチャートである。
【図３Ａ】本発明の一実施の形態による濾過構造体の製造過程を説明するための図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施の形態による濾過構造体の製造過程を説明するための図である。
【図４Ａ】本発明の第１の実施の形態による濾過構造体を製造するためのシステムを概略的に示す装置図である。
【図４Ｂ】本発明の第２の実施の形態による濾過構造体を製造するためのシステムを概略的に示す装置図である。
【図４Ｃ】本発明の第３の実施の形態による濾過構造体を製造するためのシステムを概略的に示す装置図である。
【図４Ｄ】本発明の濾過構造体を製造するためのシステムの変形例を概略的に示す装置図である。
【図５Ａ】図４Ａに示す接着剤噴射装置を概略的に説明するための装置断面図である。
【図５Ｂ】図４Ｂに示す接着剤噴射装置を概略的に説明するための装置断面図である。
【図５Ｃ】図５Ｂに示す接着剤噴射装置の変形例を概略的に説明するための装置断面図である。
【図５Ｄ】図４Ｃに示す接着剤噴射装置を概略的に説明するための装置断面図である。
【図６】本発明で得ることができる技術的効果を説明するためのグラフである。
【図７】本発明で得ることができる技術的効果を説明するためのグラフである。
【符号の説明】
【００４８】
１００    濾過網、
１１０    濾過網移送装置、
１２０    支持部、
１３０    接着剤噴射装置、
１３１    噴射ノズル、
１３２    接着液貯蔵部、
１３４，１４３    空気注入ライン、
１３５    接着液、
１４０    浄化物質供給装置、
１４１    供給ライン、
１４２    排出口、
１４５    浄化物質、
１５１，１５２    調節装置。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図６】
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【図７】
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