(57)【要約】【課題】製造工程を単純にし、製造単価を低くすることができるＰＤＰの製造方法、放電電圧を低くし、効率を向上させることができるＰＤＰ、及び誘電体層と導電層が形成されたグリーンシートを提供する。【解決手段】本発明によるプラズマディスプレイパネルの製造方法は、誘電体層と電極パターンが形成されたグリーンシートを基板上にラミネートするステップと、基板を焼成するステップとを含む。また、プラズマディスプレイパネルは、基板と、基板上に形成されたブラック層と、ブラック層上に形成された電極と、電極とブラック層及び基板の上方の部分において互いに段差を有するように、電極とブラック層及び基板上に形成された誘電体層とを含む。  また、本発明によるグリーンシートは、誘電体層と、誘電体層上に形成された導電層とを含む。【選択図】図３
2006278338.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体層と電極パターンが形成されたグリーンシートを基板上にラミネートするステップと、
基板を焼成するステップと、
を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記グリーンシートを基板上にラミネートするステップは、
ベースフィルム上に誘電体層を形成するステップと、
前記誘電体層上に導電層を形成するステップと、
前記導電層をパターニングして電極パターンを形成するステップと、
・  を含むことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記電極パターンを形成するステップは、電極の断面が菱形状であり、前記誘電体層側の幅が反対側よりも次第に狭くなるように形成することを特徴とする、
請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記電極パターンを形成するステップは、電極の幅の比が高さに対して２５％以下となるように形成することを特徴とする、
請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
基板と、
前記基板上に形成されたブラック層と、
前記ブラック層上に形成された電極と、
前記電極とブラック層及び基板上の部分が互いに段差を有するように、前記電極とブラック層及び基板上に形成された誘電体層と、
を含むプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記電極は、前記基板側の幅が反対側よりも広く形成されることを特徴とする、請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記電極は、幅の比が高さに対して２５％以下となるように形成されることを特徴とする、請求項５に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
誘電体層と、
前記誘電体層上に形成された導電層と、
を含むグリーンシート。
【請求項９】
前記誘電体層は、高分子量のアクリル系バインダーが含まれることを特徴とする、請求項８に記載のグリーンシート。
【請求項１０】
前記導電層は、多官能性モノマーと、アクリル系バインダーと、が含まれることを特徴とする請求項８に記載のグリーンシート。
【請求項１１】
前記導電層は、電極パターン層であることを特徴とする、請求項８に記載のグリーンシート。
【請求項１２】
ベースフィルム上に誘電体層を形成するステップと、
前記誘電体層上に導電層を形成するステップと、
を含むグリーンシートの製造方法。
【請求項１３】
前記誘電体層を形成するステップは、誘電体グリーンシートをコートするステップを含むことを特徴とする、請求項１２に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１４】
前記導電層を形成するステップは、電極パターンを印刷するステップを含むことを特徴とする、請求項１２に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１５】
前記導電層を形成するステップは、導電グリーンシートをコートするステップを含むことを特徴とする、請求項１２に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１６】
前記導電層を形成するステップは、導電層上に電極パターンを形成するステップを含むことを特徴とする、請求項１２に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１７】
前記電極パターンを形成するステップは、前記導電層を２００ｍＪ／ｃｍ２以上４００ｍＪ／ｃｍ２以下で露光するステップを含むことを特徴とする、
請求項１６に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１８】
前記電極パターンを形成するステップは、炭酸ナトリウム溶液を０．１％以上０．４％以下で注入して現像するステップを含むことを特徴とする、
請求項１６に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項１９】
前記電極パターン層を形成するステップは、電極の断面が四角形状となるように形成することを特徴とする、
請求項１６に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項２０】
前記電極パターン層を形成するステップは、電極の断面が菱形状であり、前記誘電体層方向の幅が反対側よりも次第に狭くなるように形成することを特徴とする、
請求項１６に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項２１】
前記電極パターン層を形成するステップは、電極の幅の比が高さに対して２５％以下となるように形成することを特徴とする、
請求項１６に記載のグリーンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルに関し、より詳しくは、製造工程を単純にし、製造費用を低くすることができるプラズマディスプレイパネルとグリーンシートに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」という）は、前面パネルと後面パネルとの間に形成された隔壁が１個の単位セルをなすものであり、各セル内には、ネオン（Ｎｅ）、ヘリウム（Ｈｅ）またはネオン及びヘリウムの混合ガス（Ｎｅ＋Ｈｅ）のような主放電ガスと少量のキセノンを含有する不活性ガスが充填されている。高周波電圧により放電されるとき、不活性ガスは、真空紫外線（Ｖａｃｕｕｍ Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ Ｒａｙｓ）を発生し、隔壁間に形成された蛍光体を発光させて画像が表示される。このようなＰＤＰは、薄型かつ軽量の構成が可能であるので、次世代の表示装置として注目されている。
【０００３】
図１は、従来のＰＤＰの構造を示す概略斜視図である。図１に示すように、ＰＤＰは、画像がディスプレイされる表示面である前面ガラス１０１に、スキャン電極１０２とサステイン電極１０３とが対をなして形成された複数の維持電極対が配列された前面パネル１００と、背面をなす後面ガラス１１１上に、前記複数の維持電極対と交差して複数のアドレス電極１１３が配列された後面パネル１１０とが、一定の距離を置いて平行に結合される。
【０００４】
前面パネル１００には、１個の放電セルにおいて相互放電させ、セルの発光を維持するためのスキャン電極１０２及びサステイン電極１０３、すなわち、透明なＩＴＯ物質で形成された透明電極ａと、金属材質で作製されたバス電極ｂとを備えたスキャン電極１０２及びサステイン電極１０３が対をなして設けられている。ここで、バス電極をなす銀（Ａｇ）のような金属材質は、放電による光は透過せず、外部光に対しては反射をするものと知られており、コントラストを悪化させる問題があった。このような問題を解決するために、前記透明電極ａとバス電極ｂとの間に、コントラストを向上させるためのブラック層（図示せず）が形成される。スキャン電極１０２及びサステイン電極１０３は、放電電流を制限するとともに、電極対間を絶縁させる一つ以上の上部誘電体層１０４により覆われ、上部誘電体層１０４の上面には、放電条件を容易にするために、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を蒸着した保護層１０５が形成される。
【０００５】
後面パネル１１０は、複数個の放電空間、すなわち、放電セルを形成させるためのストライプ状（または、ウェル状）の隔壁１１２が平行を維持して配列される。また、アドレス放電を行って真空紫外線を発生させる複数のアドレス電極１１３が、隔壁１１２に対して平行に配置される。後面パネル１１０の上側面には、アドレス放電の際に画像表示のための可視光線を放出するＲ、Ｇ、Ｂ蛍光体１１４が塗布される。アドレス電極１１３と蛍光体１１４との間には、アドレス電極１１３を保護するための下部誘電体層１１５が形成される。
【０００６】
このように、前面パネルの製造過程と後面パネルの製造過程を経た後、上述した前面パネルと後面パネルを貼り合わせるための封止工程を通じて、ＰＤＰの製品が完成される。ここで、前面パネルと後面パネルが製造される過程をより詳述すると、以下の図２の通りである。
【０００７】
図２は、従来のＰＤＰの製造方法を示す図である。図２に示すように、従来のＰＤＰの製造方法は、図２の左側に示す前面パネルの製造過程、右側に示す後面パネルの製造過程、及び下側に示す組立過程を含む。
【０００８】
先ず、図２の左側に示す前面パネルの製造過程について説明する。前面パネルは、先ず、前面ガラスを準備した後（２００）、前面ガラスの上部に複数の維持電極対を形成する（２１０）。その後、維持電極対上に誘電体層を形成し（２２０）、維持電極対を保護すめために、ＭｇＯ物質からなる保護膜を誘電体層上に形成する（２３０）。
【０００９】
一方、図２の右側に示す後面パネルの製造過程は、次のとおりである。後面パネルは、前面パネルと同様に、後面ガラスを準備し（２４０）、前面パネルに形成された維持電極対と交差して複数のアドレス電極を後面ガラスに形成する（２５０）。その後、アドレス電極を覆うように下部誘電体層を形成し（２６０）、下部誘電体層の上側面に隔壁を形成し（２７０）、隔壁間の放電空間に蛍光層を形成する（２８０）。
【００１０】
このように製造された前面パネルと後面パネルは貼り合わせられ（２９０）、ＰＤＰが完成される（３００）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述したように、ＰＤＰの前面パネルの製造工程は、印刷、乾燥、及び露光工程を繰り返すことにより、工程時間が増加するという問題点があった。これにより、歩留まりが低下し、製造費用が上昇するという問題点が発生した。
【００１２】
本発明の目的は、グリーンシートを前面基板にラミネートさせ、バス電極と誘電体層を形成することにより、製造工程を単純にし、製造単価を低くすることができるＰＤＰの製造方法を提供するところにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、電極とブラック層及び基板上の部分がが互いに段差を有するように誘電体層を形成することにより、放電電圧を低くし、効率を向上させることができるＰＤＰを提供するところにある。
【００１４】
本発明の他の目的は、誘電体層と導電層が形成されたグリーンシートを提供するところにある。
【００１５】
本発明の他の目的は、誘電体層と電極パターン層が形成されたグリーンシートを提供するところにある。
【００１６】
本発明の他の目的は、誘電体層と導電層が形成されたグリーンシートの製造方法を提供するところにある。
【００１７】
本発明のさらに他の目的は、誘電体層と電極パターン層が形成されたグリーンシートの製造方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
前記の目的を達成するために、本発明によるＰＤＰの製造方法は、誘電体層と電極パターンが形成されたグリーンシートを基板上にラミネートするステップと、基板を焼成するステップとを含むことを特徴とする。
【００１９】
このような特徴によれば、前記グリーンシートを基板上にラミネートするステップは、ベースフィルム上に誘電体層を形成するステップと、前記誘電体層上に導電層を形成するステップと、前記導電層をパターニングして電極パターンを形成するステップとを含む。
【００２０】
このような特徴によれば、前記電極パターンを形成するステップは、電極の断面が菱形状であり、前記誘電体層側の幅が反対側よりも次第に狭くなるように形成する。
【００２１】
このような特徴によれば、前記電極パターンを形成するステップは、電極の幅の比が高さに対して２５％以下となるように形成する。
【００２２】
本発明の他の特徴によれば、ＰＤＰは、基板と、前記基板上に形成されたブラック層と、前記ブラック層上に形成された電極と、前記電極とブラック層及び基板上の部分が互いに段差を有するように、前記電極とブラック層及び基板上に形成された誘電体層とを含む。
【００２３】
このような特徴によれば、前記電極は、前記基板側の幅が反対側よりも広く形成される。
【００２４】
このような特徴によれば、前記電極は、幅の比が高さに対して２５％以下となるように形成される。
【００２５】
本発明のまた他の特徴によれば、グリーンシートは、誘電体層と、前記誘電体層上に形成された導電層とを含む。
【００２６】
このような特徴によれば、前記誘電体層は、高分子量のアクリル系バインダーが含まれる。
【００２７】
このような特徴によれば、前記導電層は、多官能性モノマーと、アクリル系バインダーとが含まれる。
【００２８】
このような特徴によれば、前記導電層は、電極パターン層である。
【００２９】
本発明のさらに他の特徴によれば、グリーンシートの製造方法は、ベースフィルム上に誘電体層を形成するステップと、前記誘電体層上に導電層を形成するステップとを含む。
【００３０】
このような特徴によれば、前記誘電体層を形成するステップは、誘電体グリーンシートをコートするステップを含む。
【００３１】
このような特徴によれば、前記導電層を形成するステップは、電極パターンを印刷するステップを含む。
【００３２】
このような特徴によれば、前記導電層を形成するステップは、導電グリーンシートをコートするステップを含む。
【００３３】
このような特徴によれば、前記導電層を形成するステップは、導電層上に電極パターンを形成するステップを含む。
【００３４】
このような特徴によれば、前記電極パターンを形成するステップは、前記導電層を２００ｍＪ／ｃｍ２以上４００ｍＪ／ｃｍ２以下で露光するステップを含む。
【００３５】
このような特徴によれば、前記電極パターンを形成するステップは、炭酸ナトリウム溶液を０．１％以上０．４％以下で注入して現像するステップを含む。
【００３６】
このような特徴によれば、前記電極パターン層を形成するステップは、電極の断面が四角形状となるように形成する。
【００３７】
このような特徴によれば、前記電極パターン層を形成するステップは、電極の断面が菱形状であり、前記誘電体層側の幅が反対側よりも次第に狭くなるように形成する。
【００３８】
このような特徴によれば、前記電極パターン層を形成するステップは、電極の幅の比が高さに対して２５％以下となるように形成する。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によると、グリーンシートをラミネートさせ、ＰＤＰのバス電極と誘電体層を形成することにより、製造工程を単純にし、製造単価を低くすることができるようになる。また、バス電極とブラック層及び基板上の部分が互いに段差を有するように、誘電体層を形成することにより、放電電圧を低くし、効率を向上させることができる。
【００４０】
さらに、本発明によると、誘電体層と導電層が形成されたグリーンシートを提供することにより、導電層上に、必要に応じて、電極パターン層を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
前記の目的以外に本発明の他の目的及び特徴は、添付図面を参照した実施形態についての説明を通じて明白に表れる。
【００４２】
図３は、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法を示す図である。
図３に示すように、本発明のＰＤＰの製造方法は、先ず、前面ガラスを準備する（４１０）。また、誘電体層と電極パターン層が形成されたグリーンシートを準備する（４２０）。グリーンシートが準備されると、グリーンシートを前面ガラス上にラミネートする（４３０）。次いで、グリーンシートがラミネートされた前面ガラスを焼成すると、即ち誘電体層及び電極パターンを焼成すると、前面ガラス上に電極と誘電体層が形成される（４４０）。ここで、前記電極パターンにおいて、電極は、断面が菱形状であり、誘電体層方向の幅が、反対側よりも次第に狭くなるように形成される。即ち、電極上面を誘電体層が覆っており、電極上面における幅が第１の幅、電極下面における幅が第２の幅とすると、第２の幅が第１の幅よりも大きく、電極の幅は、電極下面から上面に向かって第２の幅から次第に狭くなり、電極の上面において第１の幅になる。別の言い方をすれば、電極は、前面ガラス基板側の幅が反対側よりも次第に広くなるように形成されている。
また、前記電極パターンにおいて、電極は、幅の比が高さに対して２５％以下となるように形成される。このようにして電極とブラック層及び基板上の部分に形成された誘電体層は、互いに段差を有するようになる。
【００４３】
このようにして形成されたＰＤＰは、基板上にブラック層が形成され、前記ブラック層上に電極が形成される。また、前記電極とブラック層及び基板の上面に誘電体層が形成される。このような誘電体層は、電極の幅と高さの比に応じて、平坦または段差を有するようになる。ここで、平坦とは、基板上に形成されたブラック層及び電極を覆う誘電体層の上面が平坦であることを意味する。一方、段差を有するとは、基板上に形成されたブラック層及び電極を覆う誘電体層が、基板、ブラック層、電極上の部分において段差を持つことを意味する。
電極の幅の比が高さに対して２５％以下となると、段差を有するようになる。一方、前記電極は、誘電体層側の幅が反対側よりも次第に狭くなるように形成される。
【００４４】
図４は、本発明の他の実施の形態によるグリーンシートの製造方法を示す図である。
図４を参照すると、本発明の実施の形態によるグリーンシート８１０は、導電層が形成されたグリーンシート７１０と、誘電体層が形成されたグリーンシート７５０とで形成される。
【００４５】
先ず、導電層が形成されたグリーンシート７１０は、ベースフィルム７２０上に導電層７３０が形成されている。また、導電層７３０は、カバーフィルム７４０で覆われている。このような導電層７３０は、感光性バインダーを含むように構成してもよい。すなわち、導電層７３０に多官能性モノマーとアクリル系バインダーを含むことにより、導電層をパターニングして電極が形成されるとき、電極にアンダーカットが形成され得るようにする。
【００４６】
続けて、誘電体層が形成されたグリーンシート７５０は、ベースフィルム７６０上に誘電体層７７０が形成されている。また、誘電体層７７０は、カバーフィルム７８０で覆われている。前記誘電体層７７０は、導電層をパターニングして電極を現像するとき、誘電体層が現像されないように、高分子量のアクリル系バインダーを含む。
【００４７】
本実施の形態のグリーンシート８１０は、導電層７３０が形成されたグリーンシート７１０と、誘電体層７７０が形成されたグリーンシート７５０とをコートして形成する。すなわち、誘電体層が形成されたグリーンシート７５０の誘電体層７７０上に、導電層が形成されたグリーンシート７１０の導電層７３０をコートすることにより、本実施の形態によるグリーンシート８１０が形成される。したがって、本実施の形態によるグリーンシート８１０は、ベースフィルム８２０上に誘電体層８３０が形成され、誘電体層８３０上に導電層８４０が形成される。また、導電層８４０上には、カバーフィルム８５０が付着される。
【００４８】
図５は、図４に示したグリーンシート上に電極パターン層を形成する方法を示す図である。
先ず、グリーンシート上に電極のマスクパターンを載置し、露光機によって電極パターンを露光する（４２１〜４２３）。この際のグリーンシートの電極層は、２００ｍＪ／ｃｍ２以上４００ｍＪ／ｃｍ２以下（例えば、３００ｍＪ／ｃｍ２）で露光する。次いで、グリーンシートを現像機によって現像工程に付すると、電極パターン層が形成される（４２４）。この際、グリーンシートは、０．１％以上０．４％以下（例えば、０．３％）の炭酸ナトリウム（Ｎａ２ＣＯ３）溶液で約２０秒間現像される。
【００４９】
したがって、グリーンシートの導電層に電極パターン層が形成される。これに対して、グリーンシートの誘電体層は、高分子量のアクリル系バインダーを含んでいるので、電極層の現像工程によって現像されない。
【００５０】
一方、前記実施の形態において、電極パターン層は、グリーンシート上の電極層をパターニングして形成しているが、誘電体層上に電極を印刷して電極パターン層を形成してもよい。このような場合、図４のグリーンシートは、誘電体層のみを含むようになる。
【００５１】
図６は、本発明の他の実施の形態によるグリーンシートを示す図である。図６に示すように、グリーンシート８１０のベースフィルム８２０上には、誘電体層８３０が形成され、誘電体層８３０上に電極パターン層８４０ａが形成される。このような電極パターン層８４０ａの電極は、電極の側面と誘電体層８３０が略直角（α＝９０°）をなすようになる。したがって、図６に示す電極パターン層を形成するための図４に示したグリーンシートの導電層８４０は、多官能性モノマーを含んでいなくてもよい。
【００５２】
図７は、図６に示したグリーンシートをガラス上にラミネートして前面基板を形成する例を示す図である。図７に示すように、ガラス９１０上には、ブラック層９２０が形成されている。また、グリーンシートの誘電体層８３０上には、電極パターン層８４０ａが形成されている。
【００５３】
先ず、ガラス９１０上に形成されたブラック層９２０と、グリーンシート上に形成された電極パターン層８４０ａとを整列させる。また、ガラス９１０上にグリーンシートをラミネートする。したがって、前面ガラス上に電極と誘電体層が形成されるようになる。
【００５４】
図８は、本発明の他の実施の形態によるグリーンシートを示す図である。
図８に示すように、グリーンシート８１０のベースフィルム８２０上には、誘電体層８３０が形成され、誘電体層８３０上に電極パターン層８４０ｂが形成される。このような電極パターン層８４０ｂの電極は、電極の側面と誘電体層８３０が、所定の傾き（０°＜α＜９０°）をなすようになる。そのため、電極パターン層８４０ｂの電極は、誘電体層８３０側の幅Ｗ１よりも、その反対方向の幅Ｗ２が大きくなる（Ｗ１＜Ｗ２）。本発明における上述した電極を菱形状の電極という。
【００５５】
図８に示す電極パターン層を形成するための図４に示したグリーンシートの導電層８４０は、多官能性モノマーを含む。
【００５６】
図９は、図８に示したグリーンシートをガラス上にラミネートして前面基板を形成する例を示す図である。図９に示すように、ガラス９１０上には、ブラック層９２０が形成されている。また、グリーンシートの誘電体層８３０上には、電極パターン層８４０ｂが形成されている。
【００５７】
先ず、前記ガラス９１０上に形成されたブラック層９２０と、グリーンシート上に形成された電極パターン層８４０ｂとを整列させる。また、ガラス９１０上にグリーンシートをラミネートする。したがって、前面ガラス上に電極と誘電体層が形成されるようになる。このような実施の形態によると、グリーンシートをラミネートする工程によって、誘電体層を電極パターン層の方向へ押さえるとき、電極の幅が徐々に増加する方向へ電極が誘電体層と密着することにより、電極と誘電体層との間にギャップＧａｐが発生しないようになる。
【００５８】
図１０は、本発明のまた他の実施の形態によるグリーンシートを示す図である。
図１０に示すように、グリーンシート８１０のベースフィルム８２０上には、誘電体層８３０が形成され、誘電体層８３０上に電極パターン層８４０ｃが形成される。このような電極パターン層８４０ｃの電極は、電極の側面と誘電体層８３０が、所定の傾き（０°＜α＜９０°）をなすようになる。そのため、電極パターン層８４０ｃの電極は、誘電体層８３０側の幅よりも、反対方向の幅が大きくなる。また、電極パターン層８４０ｃの電極は、幅Ｗの比が高さＨに対して２５％以下となるようにする。本発明における上述した電極を菱形状の電極という。
【００５９】
図１０に示す電極パターン層を形成するための図４に示したグリーンシートの導電層８４０は、多官能性モノマーを含む。
【００６０】
図１１は、図１０に示したグリーンシートをガラス上にラミネートして前面基板を形成する例を示す図である。
【００６１】
先ず、前記ガラス９１０上に形成されたブラック層９２０と、グリーンシート上に形成された電極パターン層８４０ｂとを整列させる。また、ガラス９１０上にグリーンシートをラミネートする。したがって、前面ガラス上に電極と誘電体層が形成されるようになる。このような実施の形態によると、グリーンシートをラミネートする工程によって、誘電体層を電極パターン層の方向へ押さえるとき、電極の幅が徐々に増加する方向へ電極が誘電体層と密着することにより、電極と誘電体層との間にギャップＧａｐが発生しないようになる。
また、電極の高さを高くすること、即ち電極の幅に対して高さを相対的に高くすることにより、電極とブラック層及びガラス９１０の直上に形成される誘電体層が互いに段差を有するようになる。すなわち、ブラック層９２０直上の誘電体層の高さＨ１、電極直上の誘電体層の高さＨ２、及びガラス９１０直上の誘電体層の高さＨ３は、ほぼ同じになる。また、電極の上面に形成された誘電体層の膜厚と、電極の側面に形成された誘電体層の膜厚とが略同一の厚さになる。このような実施の形態によると、放電電圧を低くし、効率を増加させることができるようになる。
【００６２】
以上説明した内容を通じて、当業者であれば、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で多様な変更及び修正が可能であるということが分かる。したがって、本発明の技術的範囲は、明細書の詳細な説明に記載された内容に限定されるものではなく、特許請求の範囲により決まらねばならない。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、ＰＤＰ関連の技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】従来のＰＤＰの構造を示す概略斜視図である。
【図２】従来のＰＤＰの製造方法を示す図である。
【図３】本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法を示す図である。
【図４】本発明の他の実施の形態によるグリーンシートの製造方法を示す図である。
【図５】図４に示したグリーンシート上に電極パターン層を形成する方法を示す図である。
【図６】本発明の他の実施の形態によるグリーンシートを示す図である。
【図７】図６に示したグリーンシートをガラス上にラミネートして前面基板を形成する例を示す図である。
【図８】本発明の他の実施の形態によるグリーンシートを示す図である。
【図９】図８に示したグリーンシートをガラス上にラミネートして前面基板を形成する例を示す図である。
【図１０】本発明のまた他の実施の形態によるグリーンシートを示す図である。
【図１１】図１０に示したグリーンシートをガラス上にラミネートして前面基板を形成する例を示す図である。
【符号の説明】
【００６５】
７１０、７５０  グリーンシート
７２０、７６０  ベースフィルム
７３０  導電層
７４０、７８０  カバーフィルム
７７０  誘電体層
８１０  グリーンシート
８２０  ベースフィルム
８３０  誘電体層
８４０  導電層
８４０ａ、８４０ｂ、８４０ｃ  電極パターン層
８５０  カバーフィルム
９１０  ガラス
９２０  ブラック層
Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３  誘電体層の高さ
Ｗ１、Ｗ２  幅
【図１】
2006278338.tif 000003
【図４】
2006278338.tif 000004
【図７】
2006278338.tif 000005
【図８】
2006278338.tif 000006
【図９】
2006278338.tif 000007
【図１０】
2006278338.tif 000008
【図１１】
2006278338.tif 000009
【図２】
2006278338.tif 000010
【図３】
2006278338.tif 000011
【図５】
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【図６】
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