(57)【要約】【課題】  部品点数を増加させることなくマニホルド孔周縁部のシール性能を向上させることができ、スタック容積及びコスト増加を抑えることの可能な出力密度及び発電効率の高い燃料電池用セパレータを提供することを目的とする。【解決手段】  少なくとも燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒を流通させる各流路と、これら各流路に燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒を流通させるためのマニホルド孔１７とを備えた、金属板からなるセパレータ１５において、マニホルド孔１７の開口周縁部には、前記金属板を切り起こして立ち上がり形成した、少なくとも膜電極接合体１４の支えとなる支持台２１を、この金属板の一部として一体的に形成してある。この支持台２１が支えとなって、膜電極接合体１４の撓みを防止し、膜電極接合体１４及びセパレータ１５とシール部材２０との間の密着性を高め、これらの間のシール性能を向上させる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒を流通させる各流路と、これら各流路に燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒を流通させるためのマニホルド孔とを備えた、金属板からなる燃料電池用セパレータであって、
前記マニホルド孔の開口周縁部には、前記金属板を切り起こして立ち上がり形成した、少なくとも膜電極接合体の支えとなる支持台が一体的に形成されている
ことを特徴とする燃料電池用セパレータ。
【請求項２】
請求項１に記載の燃料電池用セパレータであって、
前記支持台は、前記金属板を切り起こすことで形成される前記マニホルド孔形成部分の前記金属板の一部からなる
ことを特徴とする燃料電池用セパレータ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の燃料電池用セパレータであって、
前記支持台は、少なくとも前記金属板から垂直に立ち上がる垂直片と、この垂直片の先端に水平に設けられる支持片と、該垂直片に形成され、前記各流路と前記マニホルド孔との間を流通する燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒の流通路となる流通孔とを備えた
ことを特徴とする燃料電池用セパレータ。
【請求項４】
請求項３に記載の燃料電池用セパレータであって、
前記支持台には、前記各流路と前記マニホルド孔間の流路高さを確保すると共にセパレータ表面に接して前記支持片の支えとなる突部が当該支持片に設けられた
ことを特徴とする燃料電池用セパレータ。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載される燃料電池用セパレータであって、
前記支持台の前記膜電極接合体の受けとなる面上には、膜電極接合体とその上に配置されるセパレータ間をシールするシール部材が配置されるようになっており、該膜電極接合体の受けとなる面が平坦面とされている
ことを特徴とする燃料電池用セパレータ。
【請求項６】
金属板に、燃料ガス流路、酸化剤ガス流路及び冷媒流路を形成すると同時にマニホルド孔形成部分に流路高さを確保する突部を形成する工程と、
前記マニホルド孔形成部分に、前記各流路と該マニホルド孔間を流通させる燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒の流通路となる流通孔を形成する工程と、
前記マニホルド孔形成部分に、該マニホルド孔周囲の一辺を残して切り込みを入れる工程と、
前記切り込みを入れたマニホルド孔形成部分を立ち上げた後、その立ち上げたマニホルド孔形成部分をさらに直角に折り曲げて前記流通孔が形成された垂直片と、その垂直片の先端に水平とされる支持片とを形成する工程とを備えた
ことを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料電池を構成するセパレータに関し、詳細には、膜電極接合体とセパレータ間のシール技術に関する。  
【背景技術】
【０００２】
例えば、高分子電解質膜の両面に水素と酸素を供給して起電力を発生させる燃料電池では、セパレータを金属板で形成したいわゆる金属セパレータと、カーボン粒子と樹脂を混合してなるいわゆるモールドセパレータの開発がなされている。
【０００３】
モールドセパレータは、カーボン粉末と樹脂を混合して金型で成形するため、セパレータ形状を自由に設計することができる利点を有するが、その半面、高品質に成形するための成形コストが高い。
【０００４】
一方、金属セパレータは、耐食性を高めるための処理が必要となるが、展性・延性に富み、加工がし易いことや、熱・電気の良導体であること、また省スペース化が望めることで広く採用されつつある。
【０００５】
セパレータに最も要求される特性は、セパレータ両面におけるガスリーク、貼り合わせ部における冷却水のリーク、アノード・カソード・冷却水間の内部リーク全てが発生しないことである。
【０００６】
一般的に採用されている流路は、セパレータの両端にそれぞれ３つのマニホルド孔を設け、流入させる流体の種類に応じて３つの孔のうち１つをシール部材で囲って閉じた流路とし、残りの孔をその外周囲に設けたシール部材で囲んでいる（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
しかし、燃料電池の発電性能のより一層の向上を目的としてセパレータの薄板化が進められている中、特に金属薄板の場合、セパレータと膜電極接合体とはシール部材によって非接触状態で浮いた構造となるため、膜電極接合体と密着していないセパレータの部位が撓み、該膜電極接合体とシール部材間に隙間が生じる可能性がある。
【０００８】
これを改善するために、さらに従来は、さまざまな改良が試みられている。例えば、流路に支持部材を設け、この支持部材がセパレータ又は膜電極接合体を下から支えることによって沈み込みを防止し、シール部材との密着を保つようにした技術が知られている。
【０００９】
しかし、この技術を採用した場合、燃料電池を発電した際に、電解質膜の温度変化や吸水により膜電極接合体が膨張し、その膨張によって流路の凹部及び凸部に沿うように膜電極接合体にしわが生じてシール部材との間に隙間が生じることが考えられる。
【００１０】
そこで、さらに従来は、マニホルド孔内に臨むように櫛歯形状の支持部材を設けた金属セパレータの両面に、該支持部材を挟持させると共にシール部材全周に渡って設けられるフレーム部材を装着させることにより、セパレータを膜電極接合体に対して平面で挟持する構造が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００４−２０７０７１号公報（第４頁及び第５頁、第１図及び第２図）
【特許文献２】特開２００４−１６５０４３号公報（第７頁、第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献２に記載の技術では、セパレータの両面にフレーム部材を設ける構造であるので、部品点数が増加し、それに伴いスタック容積及びコストが増大する。また、この技術では、流路を確保するためにセパレータ厚さが必要となるため、省スペース化は見込めず、金属薄板をセパレータ材料として使うと厚み不足でフレームの変形により流路が封鎖され、発電不可能となる。
【００１２】
そこで、本発明は、部品点数を増加させることなく、特にマニホルド孔周縁部のシール性能を向上させることができ、スタック容積及びコスト増加を抑えることの可能な出力密度及び発電効率の高い燃料電池用セパレータ及び燃料電池用セパレータの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の燃料電池用セパレータは、少なくとも燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒を流通させる各流路と、これら各流路に燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒を流通させるためのマニホルド孔とを備えた金属板からなる。そして、本発明の燃料電池用セパレータは、マニホルド孔の開口周縁部に、金属板を切り起こして立ち上がり形成した、少なくとも膜電極接合体の支えとなる支持台をセパレータと一体的に形成した構造としている。
【００１４】
また、本発明の燃料電池用セパレータの製造方法は、金属板に、燃料ガス流路、酸化剤ガス流路及び冷媒流路を形成すると同時にマニホルド孔形成部分に流路高さを確保する突部を形成する工程と、マニホルド孔形成部分に、前記各流路と該マニホルド孔間を流通させる燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒の流通路となる流通孔を形成する工程と、前記マニホルド孔形成部分に、該マニホルド孔周囲の一辺を残して切り込みを入れる工程と、前記切り込みを入れたマニホルド孔形成部分を立ち上げた後、そのマニホルド孔形成部分をさらに直角に折り曲げて前記流通孔が形成された垂直片と、その垂直片の先端に水平とされる支持片とを形成する工程とを備える。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の燃料電池用セパレータによれば、金属板からなるセパレータに形成されるマニホルド孔の開口周縁部に、当該金属板を切り起こして立ち上がり形成した、膜電極接合体の支えとなる支持台をセパレータに一体的に形成しているので、このセパレータと膜電極接合体とを交互に積層して燃料電池スタックを形成したときに、前記支持台が膜電極接合体の支えとなるので、該膜電極接合体とシール部材及びセパレータとシール部材間が密着し、それらの間のシール性を高めることができる。
【００１６】
一方、本発明の燃料電池用セパレータの製造方法によれば、金属板のマニホルド孔形成部分となる部分に流路高さを確保する突部と、各流路とマニホルド孔間を流通させる流通孔とを形成し、そのマニホルド孔周囲の一辺を残して切り込みを入れた後、マニホルド孔形成部分を立ち上げて先端部を直角に折り曲げることにより膜電極接合体を支持する支持台を形成しているので、マニホルド孔を打ち抜き加工した際に発生する大きな抜きカスが生じることがなく、一連の折り曲げ工程で膜電極接合体を支持する支持台をセパレータに一体的に形成することができる。
【００１７】
したがって、本発明方法によれば、部品点数を削減でき、且つ単純な工程で膜電極接合体とセパレータ間のシール性を高めた燃料電池用セパレータを、低コストで製造することができ、製造作業に起因する歩留まりを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】
「燃料電池スタック及びセパレータの構成」
先ず、燃料電池スタックの全体構成について簡単に説明する。図１は燃料電池スタックの全体構成を示す斜視図である。
【００２０】
燃料電池スタック１は、図１に示すように、燃料ガス（水素ガス）と酸化剤ガス（酸素）の反応により起電力を生じる単位電池としての燃料電池単セル２を所定数だけ積層した積層体３とされ、その積層体３の両端に集電板４、絶縁板５およびエンドプレート６を配置し、該積層体３をタイロッド７で締め付け、そのタイロッド７の端部にナット（図示は省略する）を螺合させることで構成されている。
【００２１】
この燃料電池スタック１では、燃料ガス、酸化剤ガスおよび冷媒（冷却水）をそれぞれ各燃料電池単セル２のセパレータ（図示は省略する）に形成された各流路に流通させるための燃料ガス導入口８、燃料ガス排出口９、酸化剤ガス導入口１０、酸化剤ガス排出口１１、冷媒導入口１２および冷媒排出口１３を、一方のエンドプレート６に形成している。
【００２２】
かかる構成の燃料電池スタック１においては、燃料ガスは、燃料ガス導入口８より導入されて燃料電池用セパレータ（以下、単にセパレータという）に形成された燃料ガス流路を流れ、燃料ガス排出口９より排出される。酸化剤ガスは、酸化剤ガス導入口１０より導入されてセパレータに形成された酸化剤ガス流路を流れ、酸化剤ガス排出口１１より排出される。冷媒は、冷媒導入口１２より導入されてセパレータに形成された冷媒流路を流れ、冷媒排出口１３より排出される。
【００２３】
燃料電池単セル２は、図２に示すように、燃料ガスと酸化剤ガスがその両面から供給される膜電極接合体（MEA:membrane electrode assembly）１４と、この膜電極接合体１４の両面にそれぞれ配置される、厚みの薄い金属板からなるセパレータ１５とから構成される。
【００２４】
膜電極接合体１４は、例えば水素イオンを通す高分子電解質膜である固体高分子電解質膜と、アノード触媒とガス拡散層からなるアノード電極と、カソード触媒とガス拡散層からなるカソード電極（何れも図示は省略する）とからなる。かかる膜電極接合体は、アノード電極とカソード電極によって、固体高分子電解質膜をその両側から挟み込んだ積層構造とされる。
【００２５】
セパレータ１５は、図３（Ａ）に示すように、発電に寄与するアクティブ領域（高分子電解質膜と接する中央部分の領域）に、燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒を流通させるための凹凸形状（いわゆるコルゲート形状）とした各流路１６を有している。そして、このセパレータ１５には、前記各流路１６に流入させる流体の種類に応じた３つのマニホルド孔１７、１８、１９を両端に有し、そのうちの一つのマニホルド孔１７、１７を弾性材料からなるシール部材２０によって前記流路１６と結び、それ以外のマニホルド孔１８、１９の周囲をシール部材２０で囲うようにしている。
【００２６】
そして特に本実施の形態では、図３（Ｂ）に示すように、マニホルド孔１７の開口周縁部に、膜電極接合体１４の支えとなる支持台２１を、金属板からなるセパレータ１５のマニホルド孔形成部分を切り起こして立ち上がり形成させたことで、当該セパレータ１５と一体的に形成させている。
【００２７】
支持台２１は、セパレータ１５から垂直に立ち上がる垂直片２２と、この垂直片２２の先端に水平に設けられる支持片２３と、流路１６とマニホルド孔１７間の流路高さを確保すると共にセパレータ表面１７ａに接して支持台２１の支えとなる突部２４と、流路１６とマニホルド孔１７との間を流通する燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒の流通路となる流通孔２５とを有して形成されている。
【００２８】
垂直片２２は、平面矩形状とされたマニホルド孔１７の開口一側縁部にセパレータ１５に対して垂直に起立して設けられている。この垂直片２２には、板厚方向に貫通する複数の小穴が流通孔２５として複数形成されている。かかる流通孔２５は、小さな小穴であってもよいし、或いはスリットとして形成されていてもよい。
【００２９】
支持片２３は、垂直片２２の先端にマニホルド孔１７とは反対側に向かって水平に延びるようにして設けられている。この支持片２３は、図２に示すように、膜電極接合体１４を下から支える役目をすると共に、該膜電極接合体１４の上に積層される一つ上のセパレータ１５と当該膜電極接合体１４間をシールするシール部材２０と対向する位置に設けられてそれらの間を隙間無くシールする。また、この支持片２３の膜電極接合体１４の受けとなる面２３ａは、凹凸の無い平らな平坦面とされている。そのため、支持片２３によって膜電極接合体１４をしわにすることなく面状態で密着させることができ、しわの発生に起因するシール性の劣化を防止することが可能となる。
【００３０】
突部２４は、支持片２３の一部を絞り成形して突出させることにより形成され、セパレータ表面１５ａにその先端を接触させて当該支持片２３の支えとしている。本実施の形態では、支持片２３に所定間隔を置いて突部２４を複数個形成してある。
【００３１】
以上のように形成されたセパレータ１５では、マニホルド孔１７の開口周縁部に、膜電極接合体１４の支えとなる支持台２１を金属板からなるセパレータの一部として一体的に形成してあるので、当該支持台２１が、このセパレータ１５の上に積層される膜電極接合体１４とその一つ上に積層されるセパレータ１５の支えとなり、該膜電極接合体１４の撓みを防止し、該膜電極接合体１４とシール部材２０間を隙間無く密着させてシール性能を大幅に向上させることができる。そのため、本実施の形態のセパレータ１５を使用すれば、膜電極接合体１４の撓みに起因する流体漏れを無くすことができる。
【００３２】
また、本実施の形態のセパレータ１５によれば、金属板を切り起こして立ち上がり形成することで膜電極接合体１４の支えとなる支持台２１をセパレータ１５に一体的に形成しているので、従来のように膜電極接合体１４の支えをセパレータ１５とは別体の部材を作製して位置決めし固定する一切の工程及び部材が不要となる。それに伴う支えの固定位置不良や脱落などが発生しなくなる。また、支持台２１をセパレータ１５に一体的に形成していることから従来のようのマニホルド孔１７を打ち抜き加工することによって打ち抜かれた大きな打ち抜きカスが発生せず、その抜きカス処理も不要になる。
【００３３】
また、本実施の形態のセパレータ１５によれば、流路１６とマニホルド孔１７との間を流通する燃料ガス、酸化剤ガス及び冷媒の流通路となる流通孔２５を、支持台２１の垂直片２２に形成したので、従来のガスシール剤による流路よりも流路抵抗の少ない流路の形成が可能となり、膜電極接合体１４へのガス供給や冷却水の循環が容易となり、主力密度及び発電効率の向上を実現することができる。
【００３４】
また、本実施の形態のセパレータ１５によれば、支持片２３の支えとなる突部２４を該支持片２３に形成したので、支持台２１の上に積層される膜電極接合体１４及びその上に積層されるセパレータ１５が撓むことなくシール部材２０と密着し、撓みに起因する流体漏れを無くすことができ、ガスシールを確実なものとすることができる。また、本実施の形態のセパレータ１５では、突部２４を形成したことで、燃料電池単セル２の複数個を積層するスタッキング時の押圧により流路が封鎖されることなく、ガス供給や冷却水循環の阻害を防止することができる。
【００３５】
また、本実施の形態のセパレータ１５によれば、支持台２１の膜電極接合体１４の受けとなる面２３ａを平坦面としているので、支持片２３によって膜電極接合体１４をしわにすることなく面状態で密着させることができ、しわの発生に起因するシール性の劣化を防止できる。
【００３６】
「セパレータの製造方法」
次に、上記のように構成されたセパレータ１５の製造方法について説明する。図４から図６はマニホルド孔の開口周縁部に支持台を形成する製造方法の一例を順次示す工程図であり、図７から図９はその支持台を形成する金型による一連の工程図を示す。
【００３７】
本実施の形態のセパレータ１５を製造するには、先ず図４に示すように、金属板のアクティブ領域に凹条部及び凸条部を形成して流路１６を形成すると同時に、マニホルド孔形成部分２６に突部２４を形成する。次に、図５に示すように、マニホルド孔形成部分２６に流通孔２５を複数形成すると共に残りのマニホルド孔１８、１９を孔開け加工した後、マニホルド孔形成部分２６の一辺を残して略コ字状の切り込み孔２７を入れる。
【００３８】
次に、図６に示すように、マニホルド孔形成部分２６を垂直に立ち上げた後、その先端側をマニホルド孔１７とは反対側に水平となるように折り曲げる。このように製造することで、マニホルド孔１７の開口周縁部にセパレータ１５と一体化された支持台２１が形成される。
【００３９】
前記製造工程を金型による製造工程から見ると、先ず、図７（Ａ）に示すように、凹凸形状からなる流路１６を形成すると同時に、突部２４を形成するために大きな凸部を形成する予備成形を行う。すなわち、流路１６を形成するための第１流路形成用凸部２８と突部２４を形成するための第１突部形成突起２９とを形成した下型ダイ３０と、それらの受けとなる第１流路形成凹部３１と第１突部形成用凹部３２とを形成した上型ダイ３３とを用い、その下型ダイ３０の上に配置した金属板３４を上型ダイ３３で挟み込むようにして加圧する。
【００４０】
次に、図７（Ｂ）に示すように、細部を成形して最終製品形状となる流路１６及び突部２４を形成する仕上げ成形を行う。すなわち、流路１６を形成するための第２流路形成用凸部３５と突部２４を形成するための第２突部形成突起３６とを形成した下型ダイ３７と、それらの受けとなる第２流路形成凹部３８と第２突部形成用凹部３９とを形成した上型ダイ４０とを用い、その下型ダイ３７の上に配置した金属板３４を上型ダイ４０で挟み込むようにして加圧する。
【００４１】
次に、図８（Ａ）に示すように、流通孔２５を形成するための穴抜き加工及びマニホルド孔１７を形成するための切り込み加工を行い。すなわち、流通孔２５を形成するための流通孔形成用孔４１とマニホルド孔１７を形成するための平面略コ字状の切り込み形成用孔４２とを有した下型ダイ４３と、流通孔形成用パンチ４４と切り込み形成用パンチ４５とこれらパンチを保持ガイドすると共に金属板３４を下型４３に押え付けるホルダー４６、４７とを有した上型とにより、マニホルド孔形成部分２６に流通孔２５と切り込みをそれぞれ同時に形成する。
【００４２】
次に、図８（Ｂ）に示すように、切り込みを入れたマニホルド孔形成部分２６を垂直に起立させる第１曲げ加工を行う。すなわち、マニホルド孔形成部分２６と対応する位置に上下動自在に設けられた第１曲げダイ４８と、金属板３４を下型ダイ４９に押え付けると共にマニホルド孔形成部分２６を折り曲げ位置から折り曲げるための第２曲げダイ５０とにより、前記第１曲げダイ４８を上方に突き上げてマニホルド孔形成部分２６を第２曲げダイ５０との協働作用によって垂直に起立するように折り曲げる。
【００４３】
次に、図９（Ａ）に示すように、垂直に起立させたマニホルド孔形成部分２６を、流通孔２５付近を所定高さで垂直に残してその先端側をさらに直角に折り曲げる第２曲げ加工を行う。すなわち、前記した図８（Ｂ）の下型ダイ４９をそのまま利用し、曲げパンチ５１を水平方向にスライドさせてマニホルド孔形成部分２６を前記第２曲げダイ５０に押し付けてマニホルド孔形成部分２６の先端側を、前記凸部２４の先端が金属板３４の表面に当接するまで折り曲げる。このような工程を経ることで、図９（Ｂ）に示すように、最終製品形状のセパレータ１５が形成される。
【００４４】
本実施の形態のセパレータの製造方法によれば、切り込み及び折り曲げ工程の一連の工程で膜電極接合体１４及びその膜電極接合体１４の一つ上に積層されるセパレータ１５の支えとなり、且つ膜電極接合体１４の撓み防止及び膜電極接合体１４とセパレータ１５間のシール性能を向上させるための支持台２１を、当該セパレータ１５の一部を使用して一体的に形成することができるため、セパレータ１５とは別部品を使用して支持台を形成する場合に比べて部品点数を削減することができると共に、単純な工程で製造することができ、製造コストを低減できる。また、製造作業に起因する歩留まりの向上を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本実施の形態の燃料電池スタックの全体構成を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態の燃料電池単セルの断面図である。
【図３】本実施の形態のセパレータを示し、（Ａ）はセパレータの平面図、（Ｂ）はセパレータに形成した支持台部分の要部拡大斜視図である。
【図４】マニホルド孔の開口周縁部に支持台を形成する製造方法の一例を順次示す工程図であり、図４（Ａ）はマニホルド孔形成部分を示すセパレータの要部拡大斜視図、図４（Ｂ）は流路形成及び突部形成工程を示すセパレータの要部拡大斜視図である。
【図５】マニホルド孔の開口周縁部に支持台を形成する製造方法の一例を順次示す工程図であり、図５（Ａ）はマニホルド孔形成及び流通孔形成工程を示すセパレータの要部拡大断面図、図５（Ｂ）は切り込み形成工程を示すセパレータの要部拡大断面図である。
【図６】マニホルド孔の開口周縁部に支持台を形成する製造方法の一例を順次示す工程図であり、図６（Ａ）はマニホルド孔形成部分を垂直に立ち上げる立ち上げ工程を示すセパレータの要部拡大断面図、図６（Ｂ）はマニホルド孔形成部分の先端側を水平に折り曲げる水平折り曲げ工程を示すセパレータの要部拡大断面図である。
【図７】本実施の形態のセパレータの製造工程を金型による製造工程から見たときの一連の工程図であり、図７（Ａ）は流路及び突部形成用の予備成形金型の要部拡大断面図、図７（Ｂ）は流路及び突部形成用の仕上げ金型の要部拡大断面図である。
【図８】本実施の形態のセパレータの製造工程を金型による製造工程から見たときの一連の工程図であり、図８（Ａ）は流通孔を形成する穴抜き加工及びマニホルド孔を形成する切り込み加工を行う金型の要部拡大断面図、図８（Ｂ）はマニホルド孔形成部分を垂直に起立させる第１曲げ加工用の金型の要部拡大断面図である。
【図９】本実施の形態のセパレータの製造工程を金型による製造工程から見たときの一連の工程図であり、図９（Ａ）はマニホルド孔形成部分の先端側を直角に折り曲げる第２曲げ加工用の金型の要部拡大断面図、図９（Ｂ）は完成したセパレータの要部拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１…燃料電池スタック
２…燃料電池単セル
１４…膜電極接合体
１５…セパレータ
１６…流路
１７、１８、１９…マニホルド孔
２０…シール部材
２１…支持台
２２…垂直片
２３…支持片
２４…突部
２５…流通孔
２６…マニホルド孔形成部分
３４…金属板
【図１】
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【図２】
2006221905.tif 000004
【図３】
2006221905.tif 000005
【図４】
2006221905.tif 000006
【図５】
2006221905.tif 000007
【図６】
2006221905.tif 000008
【図７】
2006221905.tif 000009
【図８】
2006221905.tif 000010
【図９】
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