(57)【要約】【課題】  ポリイミド等の有機絶縁膜の表面荒れを抑制しつつ、効果的に有機絶縁膜上の変質層を除去して、半導体装置の表面リークを防止する。【解決手段】  半導体装置に接続電極を形成する。前記接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜を形成する。露出した接続電極の表面をドライエッチングで処理する。前記表面処理により有機皮膜の表層に形成された変質層を、酸素を用いないドライ工程により除去する。【選択図】  図４
2006222232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハの所定の箇所に位置する接続電極と、
前記接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜と、
前記有機皮膜の表面に形成される変質層と、
前記接続電極に連結される導体と
を備え、前記変質層は、前記導体間を隔てるために除去された除去領域を有し、前記除去領域に対応する位置にある有機皮膜が、１０〜１００ｎｍの深さに削れていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記導体は実装用の突起電極であり、隣接する突起電極の間隔は、２μｍ〜１００μｍであることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記導体は、再配線用の銅（Ｃｕ）配線であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
半導体装置に接続電極を形成し、
前記接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜を形成し、
前記露出した接続電極の表面をドライエッチングで処理し、
前記表面処理により前記有機皮膜の表層に形成された変質層を、酸素を用いないドライ工程により除去する
ステップを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記酸素を用いないドライ工程は、高周波（ＲＦ）プラズマエッチングであることを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記高周波（ＲＦ）プラズマエッチングは、パワーが４００Ｗ以下、温度が半田融点以下の条件で行なわれることを特徴とする請求項５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記変質層を、ウェット処理でライトエッチングした後に、酸素を含まない雰囲気中でドライエッチングまたはアッシングすることを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記接続電極上に突起電極を形成するステップをさらに含み、前記変質層の除去は、前記突起電極の形成後に行うことを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記接続電極上に突起電極を形成するステップをさらに含み、前記変質層の除去は、前記突起電極形成前に行うことを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
半導体装置に接続電極を形成し、
前記接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜を形成し、
前記露出した接続電極の表面をドライエッチングにより表面処理し、
前記表面処理により前記有機皮皮膜の表層に形成された変質層を、酸素を含む混合気体で除去し、
前記接続電極上に導体を形成する
ステップを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バンプ（突起）電極を有する半導体装置およびその製造方法に関し、特に、パッド等の金属表面の自然酸化膜を除去する際のドライエッチで有機絶縁膜表面に生じる変質層を除去して、表面リークを防止する手法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣチップなどの半導体装置にバンプと呼ばれる突起電極を設け、チップを直接基板上に実装する手法が主流になってきている。最近では、半導体装置の微細化とパッケージの小型化により、バンプの狭ピッチ化が進んでいる。
【０００３】
バンプは接続用の電極（パッド）上に形成されるが、半導体装置の表面は、デバイス保護のために、パッシベーション膜と、さらにその上に重ねられるポリイミドなどの有機絶縁膜（有機皮膜）で覆われている。パッシベーション膜と有機皮膜には、パッドを露出するための開口が設けられている。露出したパッド上にシード層を形成する際に、通常は前処理として、アルゴン（Ａｒ）によるドライエッチング（ＲＦエッチング）を行なって、パッド表面の自然酸化膜を除去する。
【０００４】
このときのドライエッチングで、有機皮膜の表層に変質層が発生し、絶縁性が損なわれてしまう。そこで、バンプ形成後に、マイクロ波（ＭＷ）アッシャーまたはＲＦアッシャーを用いて酸素アッシングを行うことにより変質層を除去する方法が提案されている（たとえば特許文献１および２参照。）。
【０００５】
図１は、従来のポリイミド変質層除去の手法を説明するための図である。半導体ウェーハ１１０上に絶縁膜１１１を介してアルミニウム（Ａｌ）またはアルミニウム合金の接続電極（パッド）１０１が形成されている。この接続電極１０１は、ゲート電極などの図示しない内部電極と接続されている。
【０００６】
接続電極１０１の中央部が露出するように、パッシベーション膜１０２とポリイミド膜１０３の所定の位置に開口１０８が設けられている。露出した接続電極１０１表面の自然酸化膜（不図示）を除去するために、Ａｒイオンによるドライエッチングを行なう。このときのドライエッチの影響で、ポリイミド膜１０３の表層に変質層１０４が形成される。
【０００７】
自然酸化膜を除去した接続電極１０１とポリイミド膜１０３（変質層１０４を含む）上に、チタニウム（Ｔｉ）膜１０５と銅（Ｃｕ）薄膜１０６を順次スパッタリングし、所定の位置にレジストマスク（不図示）を形成して、Ｃｕ薄膜１０６上にバンプ電極１０７を形成する。レジストマスクを除去し、バンプ電極１０７をマスクとしてＣｕ薄膜１０６とＴｉ膜１０５の不要な部分を除去する。次に、マイクロ波（ＭＷ）によるＯ2 ガスを使用したアッシングを行い、バンプ１０７間のポリイミド変質層１０４を除去する。
【０００８】
バンプ用の接続電極（パッド）以外にも、有機絶縁膜に囲まれた任意の導体の表面の自然酸化膜をドライ工程で除去する場合、有機絶縁膜に変質層が生じる。たとえば、再配線基板の接続電極上に銅（Ｃｕ）配線を形成するときや、下層配線と上層配線をコンタクトホールで接続する場合に、開口またはコンタクトホール内で、接続電極や下層配線の表面が露出する。このような導体表面の自然酸化膜を処理するプラズマエッチングの影響で、有機層間絶縁膜の表層が変質する。多層配線基板の有機層間絶縁膜に生じた変質層の除去方法として、酸素ガス、酸素ラジカル、あるいはオゾンによる光励起アッシングが提案されている（たとえば、特許文献３参照。）。
【特許文献１】特開平１０−５６０２０号公報
【特許文献２】特開平７−１３０７５０号公報
【特許文献３】ＷＯ９９／３８２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図１に示す従来の変質層の除去方法は、ＴＡＢ方式の金（Ａｕ）バンプを前提にしている。金（Ａｕ）は安定した金属であることから、酸素アッシングで変質層を処理してもバンプの表面が酸化されにくい。しかし、図１の手法では、ポリイミドのエッチングレートが小さく、変質層の除去を完全に行なうことができない結果、抵抗が１．０×１０6 Ω程度でリークが生じていた。これは、バンプが避雷針の役割を果たし、エッチングレートが落ちるためであると考えられる。特に、断面で見て、アンダーバンプメタル（ＵＢＭ）やバンプのように、ポリイミド層よりも高い位置に電極１０７が存在する場合、パッド間のポリイミド変質層を除去するのに困難が伴う。
【００１０】
さらに、図１の手法は、半田バンプや銅（Ｃｕ）配線を用いる製品には適切でないという問題がある。半田バンプ形成後に変質層を除去する酸素アッシングを行うと、バンプ表面に酸化膜が形成され、それがポリイミド等の有機絶縁膜の表面に飛散する。また、マイクロ波によるプラズマエッチングにより、ポリイミド表面が変色するなどの表面荒れが生じる。
【００１１】
そこで、図２に示すように、ポリイミド膜１０３にあらかじめスリット１０９を形成しておくことによって、電極間を分離することが考えられる。この構成では、接続電極１０１表面の自然酸化膜を除去するエッチング処理でポリイミド膜１０３の表層に変質層１０４が形成されても、スリット１０９の存在によりリークを防止することができる。
【００１２】
しかし、狭ピッチ化が進むと、スリット１０９のスペースを確保するのが困難となる。また、パッシベーション膜１０２と、スリット１０９が形成されたポリイミド膜１０３では、それぞれアンダーフィルとの密着性が異なり、組み立て時の均一性を保つのが困難になる。
【００１３】
そこで、本発明は、有機皮膜の表面荒れを抑制しつつ、効果的に有機絶縁膜上の変質層を除去する方法を提供することを課題とする。
【００１４】
また、表面リークが低減された信頼性の高い半導体装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明では、酸素（Ｏ2 ）アッシングによらずに、半導体装置の有機絶縁膜に生じた変質層を除去する。
【００１６】
具体的には、本発明の第１の側面では、有機皮膜上の変質層が除去され、かつ有機皮膜表面に対するダメージが低減された半導体装置を提供する。この半導体装置は、
（ａ）半導体ウェーハの所定の箇所に位置する接続電極と、
（ｂ）接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜と、
（ｃ）有機皮膜の表面に形成される変質層と、
（ｄ）前記接続電極に連結される導体と
を備え、前記変質層は、導体間を隔てるために除去された除去領域を有し、除去領域に対応する位置にある有機皮膜が、１０〜１００ｎｍの深さに削れていることを特徴とする。
【００１７】
この構成では、絶縁劣化した変質層の除去領域で導体間が離隔されるので、接合リークを防止できる。また、有機皮膜の削れ量が１０〜１００ｎｍと極めて少ないので、組み立て性がよい。
【００１８】
前記接続電極に接続する導体は、たとえば、実装用の突起電極、あるいは、再配線層の銅（Ｃｕ）配線である。
【００１９】
いずれの場合も、変質層の除去により各導体が電気的に独立し、接合リークを低減して動作の信頼性を確保することができる。
【００２０】
本発明の第２の側面では、有機皮膜の変質層が除去された半導体装置の製造方法を提供する。半導体装置の製造方法は、
（ａ）半導体装置に接続電極を形成し、
（ｂ）  前記接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜を形成し、
（ｃ）露出した接続電極の表面をドライエッチングで処理し、
（ｄ）前記表面処理により有機皮皮膜の表層に形成された変質層を、酸素を用いないドライ工程により除去する
ステップを含む。
【００２１】
酸素を用いないことで、変質層を除去する過程で導体部分の酸化を防止することができる。
【００２２】
良好な実施例では、酸素を用いないドライ工程は、高周波（ＲＦ）プラズマエッチングである。
【００２３】
高周波（ＲＦ）プラズマエッチングを採用することによって、変質層を効果的に除去するとともに、変質層の除去に伴う有機皮膜表面の黒色化などの表面荒れを低減することができる。
【００２４】
また別の良好な実施例では、変質層を、ウェット処理でライトエッチングした後に、酸素を含まない雰囲気中でドライエッチングまたはアッシングする。
【００２５】
ウェットエッチングと、酸素を用いないドライエッチングまたはアッシングを組み合わせることによって、有機皮膜やデバイスへのダメージを低減しつつ、絶縁劣化した変質層を効果的に除去することができる。
【００２６】
一実施形態では、上記の方法において、接続電極上に突起電極を形成するステップをさらに含む。変質層の除去は、たとえば突起電極の形成後に行う。
【００２７】
この場合、酸素を用いない高周波（ＲＦ）エッチングで変質層を処理することで、突起電極の酸化や有機皮膜の表面荒れを引き起こすことなく、変質層を除去できる。
【００２８】
また、隣接する突起電極の間隔が狭い場合でも、プラズマが変質層表面へ十分に行き渡り、短時間に変質層を除去することができる。
【発明の効果】
【００２９】
効果的に有機皮膜表層の変質層を除去し、半導体装置の接合リークを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、添付図面を参照して、本発明の良好な実施形態を説明する。
【００３１】
図３および図４は、本発明の第１実施形態の半導体装置の製造工程を示す図である。
【００３２】
まず、図３（ａ）に示すように、図示しない回路が形成され絶縁膜で覆われた半導体ウェーハ２０の所定の位置に、接続電極としてアルミニウム（Ａｌ）パッド１１を形成し、全面をパッシベーション膜（カバー膜）１２で覆う。パッシベーション膜１２の所定の箇所を、Ａｌパッド１１の表面が露出するまで除去して開口を形成する。露出したＡｌパッド１１とパッシベーション膜１２の全体を覆って、感光性または非感光性のポリイミド保護膜（有機皮膜）１３を形成する。ポリイミド膜１３の厚さは、設計に応じて、１〜２０μｍである。このポリイミド膜１３の所定の箇所をエッチングして、Ａｌパッド１１の表面が露出するように、開口２３を形成する。さらに、スパッタリングの前処理として、アルゴン（Ａｒ）によるＲＦ（高周波）エッチングを行ない、露出したＡｌパッド１１の表面の自然酸化膜（不図示）を除去する。このときのドライエッチングで、ポリイミド膜１３の表面が変質して変質層１４が形成される。この変質層１４では、抵抗が１．０×１０4 Ω程度まで低下しており、リーク層となる。そこで、後の工程で、この変質層１４を除去することになる。
【００３３】
次に、図３（ｂ）に示すように、チタニウム（Ｔｉ）１５、銅（Ｃｕ）１６を連続スパッタしてシード層２５を形成する。
【００３４】
次に、図３（ｃ）に示すように、Ａｌ電極１１に対応する箇所が開口するパターンのレジスト１７を形成し、ニッケル（Ｎｉ）、半田を連続めっきする。半田の材料として、Ｓｎ／Ｃｕ、Ｓｎ／Ａｇ、Ｓｎ／Ａｇ／Ｃｕ、Ｐｂ／Ｓｎなど、接続に適した材料を用いる。
【００３５】
次に、図３（ｄ）に示すように、レジスト１７をたとえば有機溶剤で除去し、その後、ニッケル（Ｎｉ）めっき層１８をマスクとして、不要な部分のＣｕ膜１６とＴｉ膜１５をウェットエッチングにより除去する。
【００３６】
次に、図４（ｅ）に示すように、たとえば周波数１３．５６ＭＨｚのＲＦ電源を備えたエッチング・アッシング装置（不図示）を用い、窒素（Ｎ2 ）ガスをガス圧４０Ｐａ、流量５００ｓｃｃｍで供給し、パワー２００Ｗで６０秒間処理することによって、隣接する半田めっき層１９の間の変質層１４を除去する。処理温度は、半田の融点以下とする。変質層１４を除去した後の抵抗値は１．０×１０11Ω以上になり、ポリイミド膜１３の絶縁性が回復する。
【００３７】
最後に、図４（ｆ）に示すように、リフローを行なって、バンプ２２を形成し、半導体装置１０を完成する。ポリイミド膜１３上の変質層１４には、酸素を用いないＲＦエッチングにより除去された除去領域２１が形成されている。この除去領域２１により、バンプ２２間の電気的な分離が確実になされる。
【００３８】
このように、第１実施形態の半導体装置の製造方法では、高周波（ＲＦ）エッチングを用いるので、微小の隙間さえあれば、プラズマがポリイミド膜１３の表面に届く。したがって、突起電極となる半田めっき層１９を形成した後でも、変質層１４を除去できる。図４（ｅ）の例では、隣接する半田めっき層１９の間の間隔は１０〜２０μ程度と非常に狭いが、ＲＦエッチングにより、変質層１４は確実に除去される。半導体装置の微細化が進む中で、隣接する半田めっき層１９の間の隙間が１０μｍ以下となる場合もあるが、隙間の間隔が２μｍ〜１００μｍの範囲でも、変質層１４を除去することができる。
【００３９】
半導体装置１０がマザーボードやパッケージボードに実装された後に、熱応力などの影響を回避するために、最終的なバンプ（突起電極）２２は、ある程度の高さを確保する必要がある。この場合も、狭ピッチで形成される半田めっき層１９の高さが１００μｍあるいは１２０μｍ程度であっても、ＲＦエッチングにより変質層１４を確実に除去できる。
【００４０】
さらに、変質層１４の除去に酸素（Ｏ2 ）を用いないことで、半田めっき層１９の表面の酸化が抑制されるので、変質層１４の除去を、リフローの前後を問わずに行なえる。
【００４１】
変質層１４の除去にともなって、ポリイミド膜１３の表面が削れるが（不図示）、マイクロ波による酸素アッシングと異なり、削れ量は１０〜２０ｎｍ程度と極めて少ない。したがって、組み立て性がよい。ポリイミド膜１３の削れ量が１０〜１００ｎｍであれば、組み立て性を良好に維持できるので、この範囲内で半田めっき層１９の高さや間隔に応じて、エッチング条件を適宜調整することも可能である。
【００４２】
さらに、マイクロ波（ＭＷ）を用いた場合は、ポリイミド膜１３の表面が黒く変色するなどの表面荒れが起きるが、ＲＦエッチングにすることで、ポリイミド膜１３の表面荒れがほとんど発生しない。
【００４３】
なお、変質層１４を除去する際のガスは、Ｎ2 の他にＨ2、Ｎｅ、Ｈｅ、またはこれらの組み合わせ（たとえばＮ2−Ｈ2）を使用することができる。
【００４４】
図５は、第１実施形態の半導体装置の製造工程の変形例を示す図である。変形例では、リフロー後に変質層１４の除去を行なう。
【００４５】
図５（ｅ）は、図３（ｄ）のレジストおよび不要なシード層の除去に引き続く工程である。図３（ａ）〜図３（ｄ）までは上述したのと同じ工程であり、説明を省略する。図５（ｅ）において、リフローにより、半田バンプ（突起電極）２２を形成する。
【００４６】
次に、図５（ｆ）に示すように、たとえば周波数１３．５６ＭＨｚのＲＦ電源を備えたエッチング・アッシング装置（不図示）を用い、窒素（Ｎ2 ）ガスをガス圧４０Ｐａ、流量５００ｓｃｃｍで供給し、パワー２００Ｗで６０秒間処理することによって、隣接する半田バンプ２２の間の変質層１４を除去する。変質層１４を除去した後の抵抗値は１．０×１０11Ω以上となる。
【００４７】
次に、図５（ｇ）に示すように、再度リフローを行なって、バンプ２２の表面を清浄化する。図５（ｇ）の再リフローは任意であり、組み立て性に問題がなければ、図５（ｆ）で工程を終了してもよい。変質層１４の除去に酸素を用いないので、バンプ２２の表面は比較的良好に維持されているからである。
【００４８】
この変形例においても、図３および図４と関連して述べたのと同様の効果が得られる。
【００４９】
図６および図７は、本発明の第２実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。第２実施形態では、シード層２５の最下層のＴｉ膜１５をスパッタリングする際にポリイミドの表層（変質層１４を含む）に打ち込まれたＴｉ粒子が、アッシングの妨げとなるため、変質層１４の表面をウェット処理でライトエッチングして、Ｔｉ粒子を除去する。
【００５０】
図６（ａ）〜図６（ｄ）の工程は、第１実施形態の図３（ａ）〜図３（ｄ）と同様である。すなわち、開口２３内で露出するＡｌパッド１１上の自然酸化膜を、Ａｒガスを用いたＲＦエッチングで除去し、Ｔｉ膜１５およびＣｕ膜１６で構成されるシード層２５を形成し、レジスト１７をパターニングして、Ｎｉめっきおよび半田めっきを連続して行なう。レジスト１７および不要な部分のＣｕ膜１６およびＴｉ膜１５を除去する。
【００５１】
次に、図７（ｅ）に示すように、０．５％のフッ酸（ＨＦ）でライトエッチングを行い、ポリイミド表層（変質層１４を含む）に打ち込まれたＴｉ粒子を除去する。Ｔｉ粒子をあらかじめ除去することによって、ドライエッチングレートを確保することができる。
【００５２】
次に、図７（ｆ）に示すように、Ｎ2 ガスを用いたＲＦエッチングまたは既存のマイクロ波（ＭＷ）アッシング装置を用いてＮ2 ガスを供給するアッシングを行なう。なお、ここでは、既存のマイクロ波（ＭＷ）アッシング装置を利用して変質層１４を除去する場合のドライ工程を、便宜上「ＭＷアッシング」を称することとする。
【００５３】
ＲＦエッチングの場合は、第１実施形態と同様の条件、あるいは、あらかじめＴｉ粒子が除去されている分、ＲＦパワーを４００Ｗよりも低く設定することができる。既存のＭＷアッシング装置を用いる場合は、Ｎ2 をガス圧０．６ｔｏｒｒ、流量５００〜１０００ｓｃｃｍで供給し、パワーが１５００Ｗ、温度１５０℃で６０秒の処理を３セット繰り返す。これにより、ポリイミド膜１３の抵抗は、１．０×１０11Ω以上に回復する。
【００５４】
最後に、図７（ｇ）に示すように、リフローを行いバンプ（突起電極）２２を形成して半導体装置１０を完成する。半導体装置１０において、変質膜１４が除去された除去領域２１で、隣接するバンプ２２間が隔離されるので、接合リークを低減して動作の信頼性を向上することができる。なお、図示はしないが、変質膜１４の除去領域に対応する位置のポリイミド膜１３は、１０〜２０ｎｍ程度、削り取られている。
【００５５】
第２実施形態では、ウェットエッチングを組み合わせて、あらかじめ変質層１４に打ち込まれたＴｉ粒子を除去することによって、既存のマイクロ波（ＭＷ）アッシャーの利用を可能にした。しかし、ポリイミド膜１３の表面の削れ量や、表面変色を考えると、ウェットでのライトエッチングを組み合わせる場合でも、ドライ工程は、ＲＦエッチングを用いることが望ましい。
【００５６】
図８は、第２実施形態の半導体装置の製造工程の変形例１である。変形例１では、シード層除去後にリフローを行い、リフロー後に、ウェットでのライトエッチングと、酸素を用いないＲＦエッチングまたはＭＷアッシングを行なう。
【００５７】
図８（ｅ）は、図６（ｄ）に引き続く工程である。図８（ｅ）において、シード層を構成するＣｕ膜１６とＴｉ膜１５を除去した状態で、リフローを行ってバンプ（突起電極）２２を形成する。リフロー後に、０．５％のフッ酸（ＨＦ）で、変質層１４の表面を軽くエッチングしてＴｉ粒子を除去する。リフロー後にウェットでのライトエッチングを行なうことにより、半田がバンプ２２下部のＴｉ膜１５の周囲まで入り込み、サイドエッチを防止できるというメリットがある。
【００５８】
次に、図８（ｆ）に示すように、Ｎ2 ガスを供給してＲＦエッチング、または既存のマイクロ波（ＭＷ）アッシャーを用いる場合は、Ｎ2 でＭＷアッシングを行ない、変質層１４を除去する。
【００５９】
最後に、図８（ｇ）に示すように、再リフローを行なって、バンプ２２の表面を清浄化する。もっとも、図８（ｇ）の工程は任意であり、再リフローを行わなくても組み立て性に問題はない。
【００６０】
図９は、第２実施形態の半導体装置の製造工程の変形例２である。変形例２では、シード層除去後にウェットでのライトエッチングを行い、その後、リフローを行なって、Ｎ2 ガスによるＲＦエッチングまたはＭＷアッシングで変質層を除去する。
【００６１】
図９（ｅ）は、図６（ｄ）に引き続く工程である。シード層を構成するＣｕ膜１６とＴｉ膜１５をウェットエッチングで除去した後、続けてウェットにてライトエッチングを行うことにより、変質層１４の表面に打ち込まれたＴｉ粒子を除去する。この方法は、ウェット処理を連続して行なえる点と、Ｔｉのエッチング液によるＣｕの溶解を防止できるというメリットがある。
【００６２】
次に、図９（ｆ）に示すように、リフローを行なって、バンプ（突起電極）２２を形成する。
【００６３】
次に、図９（ｇ）に示すように、Ｎ2 ガスを供給してＲＦエッチング、または既存のマイクロ波（ＭＷ）アッシャーを用いる場合は、Ｎ2 でＭＷアッシングを行ない、変質層１４を除去する。
【００６４】
ここで処理を終了してもよいが、図９（ｈ）に示すように、任意で再リフローを行ない、バンプ２２の表面を清浄化する。
【００６５】
いずれの変形例においても、ウェット処理によるライトエッチングと、酸素を用いないドライ工程を組み合わせることにより、バンプ２２間の変質層１４を確実に除去することができる。
【００６６】
図１０および図１１は、本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程を示す図である。第３実施形態では、アンダーバンプメタル（ＵＢＭ）を形成した状態で、ドライ工程で変質層を除去する。
【００６７】
まず、図１０（ａ）に示すように、露出するＡｌパッド１１上の自然酸化膜を、Ａｒガスを用いたＲＦエッチングで除去する。なお、図において、Ａｌパッド１１が形成されている半導体ウェーハは省略する。
【００６８】
次に、図１０（ｂ）に示すように、Ｔｉ膜１５およびＣｕ膜１６を順次スパッタリングして、シード層２５を形成する。
【００６９】
次に、図１０（ｃ）に示すように、Ａｌパッド１１に対応する位置が開口するパターンにレジスト１７を加工し、ニッケル（Ｎｉ）めっきと、金（Ａｕ）めっきを連続して行ない、Ｎｉめっき層１８および金薄膜２４によるアンダーバンプメタル（ＵＢＭ）を形成する。
【００７０】
次に、レジスト１７を除去し、Ｎｉめっき層１８をマスクとして、不要な部分のＣｕ膜１６とＴｉ膜１５を、ウェットエッチングで除去する。
【００７１】
次に、図１１（ｅ）に示すように、Ｎ2、Ｎ2−Ｈ2、Ｈｅ、Ｈ2、Ｎｅなどの気体を用いて、ＲＦエッチングより変質層１４を除去する。変質層１４の除去を、アンダーバンプメタル（ＵＢＭ）を形成した時点で行なうので、プラズマをバンプ間の狭い空間に導入する必要がない。したがって、酸素を用いないＲＦエッチングに代えて、既存のマイクロ波（ＭＷ）アッシング装置を利用することもできる。ＭＷアッシャーを利用する場合は、Ｎ2、Ｎ2−Ｈ2、Ｈｅ、Ｈ2、Ｎｅの他、酸素混合ガスを用いることもできる。
【００７２】
酸素混合ガスとして、たとえばＣＨＦ3／Ｏ2 ガスを用いる。この場合の条件は、ＭＷパワーを１０００Ｗ、ステージ温度を１５０℃、ガス圧を０．６ｔｏｒｒ、ガス流量を１５／４８５ｓｃｃｍで３０秒の処理とする。供給ガスとして酸素（Ｏ2）、Ｏ2／ＣＦ4、Ｏ2／ＳＦ4 を用いた場合は、所定量のエッチングを行なう前に、ポリイミド膜１３が変色するなどの異常が発生し、適用は不可であった。
【００７３】
最後に、図１１（ｆ）に示すように、印刷法によりバンプ（突起電極）２２を形成して半導体装置１０を完成する。
【００７４】
第３実施形態では、アンダーバンプメタル（ＵＢＭ）を形成した時点で変質層１４を除去するので、既存のＭＷアッシング装置の利用が可能になる。また、ＵＢＭの最上層を金（Ａｕ）薄膜２４とすることで、酸素混合気体の使用も可能になる。しかし、Ｎｉめっき層１８の側壁の酸化防止の観点から、酸素を含まない気体を用いることが望ましい。また、ポリイミド膜１３の表面荒れを防止する観点から、ＲＦエッチングによることが望ましい。
【００７５】
図１２は、本発明の第４実施形態に係る半導体装置の製造工程を説明するための図である。第４実施形態では、変質層の除去方法を、再配線層（ＲＤＬ）への銅（Ｃｕ）配線の形成に適用する。
【００７６】
図１２（ａ）は、銅（Ｃｕ）配線３１を形成後に、変質層１４がウェーハ上に残っている状態を示す断面図および平面図である。
【００７７】
まず、銅（Ｃｕ）配線を形成するに先立って、所定の回路（不図示）が形成され絶縁膜で覆われた半導体ウェーハ２０上に、図示しない内部電極と接続されるＡｌパッド（接続電極）１１を形成する。Ａｌパッド１１および半導体ウェーハ２０の全面を覆って、パッシベーション膜（カバー膜）１２を形成する。パッシベーション膜１２の所定の箇所を、Ａｌパッド１１の表面が露出するまで除去して開口を形成する。露出したＡｌパッド１１とパッシベーション膜１２の全体を覆って、ポリイミド保護膜（有機皮膜）１３を形成する。このポリイミド膜１３の所定の箇所をエッチングして、Ａｌパッド１１の表面が露出するように開口２３を形成し、スパッタリングの前処理として、アルゴン（Ａｒ）によるＲＦ（高周波）エッチングを行なう。これにより、露出したＡｌパッド１１表面の自然酸化膜（不図示）を除去する。このときのドライエッチングで、ポリイミド膜１３の表面が変質して変質層１４が形成される。この変質層１４では、抵抗が１．０×１０4 Ω程度まで低下しており、リーク層となる。
【００７８】
次に、チタニウム（Ｔｉ）１５、銅（Ｃｕ）１６を連続スパッタしてシード層を形成し、レジストパターン（不図示）を形成して、Ｃｕめっきを行い、銅（Ｃｕ）配線３１を形成する。レジストを除去し、不要な部分のＣｕ膜１６およびＴｉ膜１５を除去する。
【００７９】
次に、図１２（ｂ）に示すように、Ｎ2、Ｎ2−Ｈ2、Ｈｅ、Ｈ2、Ｎｅなどの気体を用いて、ＲＦエッチングより変質層１４を除去する。第４実施形態では、銅（Ｃｕ）配線３１間の比較的広い領域で変質層１４を除去するので、ＲＦエッチングに代えて、既存のマイクロ波（ＭＷ）アッシング装置を利用することもできる。ＭＷアッシャーを利用する場合は、Ｎ2、Ｎ2−Ｈ2、Ｈｅ、Ｈ2、Ｎｅの他、酸素混合ガスを用いることもできる。
【００８０】
酸素混合ガスとして、たとえばＣＦ4／Ｏ2 ガスを用いる。この場合の条件は、ＭＷパワーを１０００Ｗ、ステージ温度を１５０℃、ガス圧を０．６ｔｏｒｒ、ガス流量を４／１９６ｓｃｃｍで３０秒の処理を２セット行なう。もっとも、銅（Ｃｕ）配線３１の表面酸化防止と、ポリイミド膜１３の過剰な表面削れや表面荒れを抑制する観点から、酸素を用いないＲＦエッチングで変質層１４を除去することが望ましい。
【００８１】
以上述べたように、第１〜第４のいずれの実施形態においても、酸素を用いないＲＦエッチングにより、ポリイミド表層に発生した変質層を効果的に除去することができる。
【００８２】
状況に応じて、既存のマイクロ波（ＭＷ）アッシング装置を利用することもできるが、ポリイミド膜の表面の状態を良好に維持し、組立て性を確保するためには、ＲＦエッチングが望ましい。
【００８３】
なお、有機皮膜はポリイミドに限定されず、たとえば、フェノール系樹脂を用いてもよい。この場合も酸素を用いないドライ工程により、有機皮膜表面の変質層を効果的に除去することができる。
【００８４】
最後に、以上の説明に関して、以下の付記を開示する。
（付記１）  半導体ウェーハの所定の箇所に位置する接続電極と、
前記接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜と、
前記有機皮膜の表面に形成される変質層と、
前記接続電極に連結される導体と
を備え、前記変質層は、前記導体間を隔てるために除去された除去領域を有し、前記除去領域に対応する位置にある有機皮膜が、１０〜１００ｎｍの深さに削れていることを特徴とする半導体装置。
（付記２）  前記導体は実装用の突起電極であり、隣接する突起電極間の間隔は、２μｍ〜１００μｍであることを特徴とする付記１に記載の半導体装置。
（付記３）  前記導体は実装用の突起電極であり、突起電極の高さは５μｍ〜１２０μｍであることを特徴とする付記１または２に記載の半導体装置。
（付記４）  前記導体は、再配線層の配線であることを特徴とする付記１に記載の半導体装置。
（付記５）  半導体装置に接続電極を形成し、
前記接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜を形成し、
前記露出した接続電極の表面をドライ工程で処理し、
前記表面処理により前記有機皮膜の表層に形成された変質層を、酸素を用いないドライ工程により除去する
ステップを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
（付記６）  前記酸素を用いないドライ工程は、高周波（ＲＦ）プラズマエッチングであることを特徴とする付記５に記載の半導体装置の製造方法。
（付記７）  前記高周波（ＲＦ）プラズマエッチングは、パワーが４００Ｗ以下、半田融点以下の温度で行なわれることを特徴とする付記６に記載の半導体装置の製造方法。
（付記８）  前記変質層を、ウェット処理でライトエッチングした後に、酸素を含まない雰囲気中でドライエッチングまたはアッシングすることを特徴とする付記５に記載の半導体装置の製造方法。
（付記９）  前記接続電極上にシード層を形成するステップをさらに含み、前記ライトエッチングは、前記変質層中に打ち込まれたシード層の金属粒子を除去できるエッチャントを用いることを特徴とする付記８に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１０）  前記変質層の除去は、Ｎ2 、Ｈ2 、Ｎｅ、Ｈｅ、またはこれらの組み合わせから成る気体を用いて行なうことを特徴とする付記５に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１１）  前記接続電極上に突起電極を形成するステップをさらに含み、前記変質層の除去は、前記突起電極の形成後に行うことを特徴とする付記５に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１２）  前記変質層の除去は、リフロー前に行なうことを特徴とする付記１１に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１３）  前記変質層の除去は、リフロー後に行なうことを特徴とする付記１１に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１４）  前記変質層の除去後に、再度リフローを行なうことを特徴とする付記１３に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１５）  前記接続電極上に突起電極を形成するステップをさらに含み、前記変質層の除去は、前記突起電極形成前に行うことを特徴とする付記５に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１６）  前記接続電極上に再配線用の銅（Ｃｕ）配線を形成するステップをさらに含み、前記変質層の除去は、前記銅（Ｃｕ）配線の形成後に行うことを特徴とする付記５に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１７）  前記変質層を、ウェット処理でライトエッチングした後に、酸素を含まない雰囲気中で高周波（ＲＦ）またはマイクロ波（ＭＷ）により除去することを特徴とする付記５に記載の半導体装置の製造方法。
（付記１８）  半導体装置に接続電極を形成し、
前記接続電極の中央部が露出するように、隣接する接続電極間を連続的に覆う有機皮膜を形成し、
前記露出した接続電極の表面をドライエッチングにより表面処理し、
前記表面処理により前記有機皮皮膜の表層に形成された変質層を、酸素を含む混合気体で除去し、
前記接続電極上に導体を形成する
ステップを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
（付記１９）  前記混合気体はＣＨＦ3／Ｏ2 であり、前記変質層の除去後に、前記接続電極上に突起電極を形成するステップをさらに含むことを特徴とする付記１８に記載の半導体装置の製造方法。
（付記２０）  前記混合気体はＣＦ4 ／Ｏ2 であり、変質層の除去前に、前記接続電極上に再配線用の銅（Ｃｕ）配線を形成するステップをさらに含むことを特徴とする付記１８に記載の半導体装置の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】従来のポリイミド変質層の除去方法を説明するための図である。
【図２】従来のポリイミド変質層の分離方法を説明するための図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る半導体装置の製造工程図（その１）である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る半導体装置の製造工程図（その２）である。
【図５】第１実施形態に係る半導体装置の製造方法の変形例であり、図３（ｄ）に引き続く工程を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る半導体装置の製造工程図（その１）である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る半導体装置の製造工程図（その２）である。
【図８】第２実施形態に係る半導体装置の製造方法の変形例１であり、図６（ｄ）に引き続く工程を示す図である。
【図９】第２実施形態に係る半導体装置の製造方法の変形例２であり、図６（ｄ）に引き続く工程を示す図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程図（その１）である。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る半導体装置の製造工程図（その２）である。
【図１２】本発明の第４実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８６】
１０  半導体装置
１１  接続電極（パッド）
１２  パッシベーション膜（カバー）
１３  ポリイミド保護膜（有機皮膜）
１４  変質層
１５  Ｔｉ膜
１６  Ｃｕ層  
１７  レジスト
１８  Ｎｉめっき層（ＵＢＭ）
１９  半田めっき層
２０  半導体ウェーハ
２１  変質層除去領域
２２  半田バンプ（突起電極）
２５  シード層
３１  再配線用Ｃｕ配線
【図１】
2006222232.tif 000003
【図２】
2006222232.tif 000004
【図３】
2006222232.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2006222232.tif 000008
【図７】
2006222232.tif 000009
【図８】
2006222232.tif 000010
【図９】
2006222232.tif 000011
【図１０】
2006222232.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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