(57)【要約】【課題】  インクジェット記録ヘッドの製造工程で部材同士を接続する封止工程の信頼性を向上させる。【解決手段】  吐出口、各吐出口に連通する液路及び各液路に対応した開口部を有するインク吐出エレメントの開口部周囲に設けられた２つの溝５５０，５６０の間に封止材を注入し、開口部周囲との接続部が設けられたインク通路部材２１０を、インク吐出エレメント１６０と接続して、封止材によって外部から各液路へのインク供給経路２２０を封止する。【選択図】  図１５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット記録ヘッドであって、
開口部が設けられている第１の部材と、
前記開口部周囲と対向する部分において前記第１の部材と接続されており、該接続された部分が封止されている第２の部材と、を備えており、
前記第１の部材の前記開口部周囲及び前記第２の部材の前記対向する部分の少なくとも一方に、複数の溝が形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記複数の溝の数が３以上であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記複数の溝が、前記第１の部材の前記開口部周囲に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記インクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する複数の吐出口を有し、
前記吐出口が、前記第１の部材に設けられており、
前記開口部が、各吐出口に連通する液路及び各液路に対応して設けられており、
前記封止された部分が、外部から各液路へのインク供給経路を形成していることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド
【請求項５】
各液路内にインクを吐出させるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられており、前記第１の部材は、各エネルギー発生素子を選択的に駆動する電気回路が搭載された電気配線基板と電気的に接続されていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを用いて記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置。
【請求項７】
インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
第１の部材に開口部を設ける第１の製造工程と、
第２の部材の前記開口部周囲と対向する部分に、前記第１の部材と接続される接続部を設けるインク通路部材製造工程と、
前記第１の部材の前記開口部周囲及び前記第２の部材の前記接続部の少なくとも一方に、複数の溝を形成する溝形成工程と、
前記第１の部材の前記開口部周囲と前記第２の部材の前記接続部とを封止材によって封止する封止工程と、を備えることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記封止工程が、前記複数の溝の横断方向における中央付近に前記封止材を注入する注入工程と、
前記注入工程の後に、前記第１及び第２の部材を接続して固定する接続工程と、を含むことを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記封止材の量が前記複数の溝の容量未満であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記インクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する複数の吐出口を有しており、
前記第１の製造工程において、前記第１の部材に、前記吐出口、各吐出口に連通する液路及び各液路に対応して前記開口部を設け、
前記第２の製造工程において、前記第１の部材と接続されたときに外部から各液路へのインク供給経路を形成するように前記接続部を設ける、ことを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェット記録ヘッド及び該記録ヘッドの製造方法に関し、より詳細には、インクを吐出する複数の吐出口を有するインクジェット記録ヘッドであって、該吐出口が設けられた第１の部材と第２の部材とを接続して構成されるインクジェット記録ヘッド及び該記録ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インク滴を紙などの記録媒体に付着させて記録を行うインクジェット記録方式は、記録時の発生騒音が極めて小さく、かつ高速記録が可能であり、しかも普通紙に記録を行う事ができる等の理由で広く使用されている。中でもインクを吐出する為のエネルギーとして発熱素子から発生される熱エネルギーを用いた、いわゆるバブルジェット（登録商標）記録方式は、エネルギー発生素子の高集積化が容易な事から特に最近注目されている。
【０００３】
インクジェット方式に使用されるインクジェット記録ヘッドには、一般に、インクを吐出するための吐出口と、その吐出口に供給されるインクを貯える液室と、吐出口と液室とを連通する流路と、その流路の一部に設けられたインク吐出のためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、液室に外部からインクを供給するための供給口と、装置の形状などにより形状は変わるが、供給口と連通してインクを供給するインク供給路によって構成される。
【０００４】
以下、従来技術によるインクジェット記録ヘッドの構成を詳細に説明する。
【０００５】
図１は一般的なインクジェット記録ヘッドの構成を示す分解図であり、図２は図１の部分拡大図であり、図３は図２のＡ−Ａ’での断面図である。図中、１１０はセラミックプレートであり、電気配線基板１２０と、図３において、インクを吐出するための吐出口１５１と、その吐出口１５１に供給されるインクを貯える液室１５３、吐出口１５１と液室１５３とを連通する流路１５２、流路１５２の一部に設けられたインク吐出のためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子１５４、液室１５３に外部からインクを供給するための供給口１５５を具えたシリコンチップ１５０との位置を決定して固定する。１９０は、シリコンチップ１５０と電気配線基板１２０とを電気的に接続する配線であり、その材料としてはＡｕやＡｌ等が使用される。
【０００６】
以後、セラミックプレート１１０、シリコンチップ１５０、電気配線基板１２０を一体的に形成されたエレメントをインク吐出エレメント１６０と呼ぶ。
【０００７】
図１に示されるように、インク吐出エレメント１６０に対して適度な位置を決定して、インク通路部材２１０が固定される。
【０００８】
図４はインクジェット記録ヘッドを組み立てた状態を示す斜視図であり、図５は図４のインクジェット記録ヘッドをセラミックプレート側から見た正面図である。
【０００９】
シリコンチップ１５０に形成される供給口１５５にインクを供給するインク通路部材２１０は、ある程度過熱されても可塑することの無い材質を使用する必要があり、本インクジェット記録ヘッドで使用したものはポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）であるが、耐熱温度が高くかつ、インクジェット記録ヘッドに使用されるインクと高温で高圧力環境内に浸水させて出てくる析出物によって吐出エレメント内のエネルギー発生素子１５４になんら悪影響を及ぼすことの無い材質であればよい。
【００１０】
また不図示のインクジェット記録ヘッドに脱着可能に構成されるインクタンクに貯蔵されるインクは、フィルター２１５で濾過されシリコンチップ１５０内にゴミやチリが侵入するのを防ぐ。該フィルター２１５は、金属の繊維を四方８μｍの間隔で織込まれたものである、つまり四方８μｍまでのゴミはフィルター２１５にてトラップされる。さらにインク通路部材２１０にはフィルター２１５から、シリコンチップ１５０に設けられたインク供給口１５５までのインク通路が設けられている。
【００１１】
図６は、組み立てたインクジェット記録ヘッドの構成を図３と同様に示す断面図である。
【００１２】
シリコンチップ１５０とインク通路部材２１０との接続部において、インク流路（２２０〜１５５）を外部から遮断する必要があり、インク吐出エレメント１６０とインク通路部材２１０を固定後、封止材を注入することによってこれが行われる。該封止工程はインク吐出エレメント１６０とインク通路部材２１０とを組み付け固定後に行うが、２つの工程に分けられ、注入口２４０より注入された封止材３０１と、注入口２４１より注入された封止材３０２とによって、インク流路は全周にわたり外部に対し遮断される。
【００１３】
図７はインク通路部材２１０の正面図であり、図８は図７の部分Ｂの拡大図である。上述のように封止材３０１及び３０２の注入はインク通路部材２１０をインク吐出エレメント１６０に組み付けた後に行うが、理解を容易にするため以下ではインク通路部材２１０単体を持って封止材３０１及び３０２の注入方法と流動状態を説明する。
【００１４】
シリコンチップ１５０に設けられるインク供給口１５５と連通させる液室２２０の周囲には封止材を封入するための溝２１１が掘り込まれる。また該溝２１１には反対面に通じる注入口２４０が設けられ、図示反対面から該注入口２４０（図１及び図６参照）より注入された封止材は、シリコンチップ面１５６とで形成される管状流路を毛細管現象によって進み、図８に２１５で示される範囲において液室２２０と外部間での封止が行われる（該工程を以後、前封止工程と呼ぶ）。
【００１５】
さらに液室２２０の上部には同様に封止材を注入するための反対面に通じる注入口２４１が設けられており、少なくとも該注入口２４１に対し、液室２２０が下方にくるよう傾きを持った状態で、図示反対面から該注入口２４１より封止材を注入（図１及び図６参照）する。該注入口２４１より注入された封止材３０２は、自らの自重により、液室２２０方向に流動するが、後に述べるようにリブ２３０先端面とシリコンチップ面１５６との間には僅かなクリアランスｆが設けられており、図６に示されるように封止材３０２は毛管力をもって該クリアランスｆに浸透し、ｇ部で毛管力の働きが無くなり自らの表面張力により流動を停止する。
【００１６】
よって図８において２１６で示される範囲において、液室２２０の外部からの封止が行われる（該工程を以後、後ろ封止と呼ぶ）。またこの時、同時に配線１９０も封入することで、通電時のショ−トを防止する。
【００１７】
上述した封止材の注入は、液体を一定量排出することが可能なディスペーサによって行われ、例えば、注入口２４０では、図６に示されるように反対面では穴径を大きくし、ディスペーサの先端部が容易に入るよう配慮されている。
【００１８】
図９はインク通路部材２１０の断面図であり、前封止時の封止材通路２１１を形成するためのリブ２３１及び２３２と、後ろ封止時の封止材３０２をせき止めるためのリブ２３０を有する。これらのリブは、インク吐出エレメント１６０との組み付け時に少なくともリブ２３１及び２３２が確実にシリコンチップ面１５６に当接するようリブ２３０がリブ２３１及び２３２に対してｈだけ低くなるように形成される。
【００１９】
詳細には、インク通路部材２１０は、ビス１１２（図５参照）をボス先端面２１２（図７及び図９参照）とセラミックプレート面１１１面（図３及び図６参照）が当接するまで締め付けることによって、インク吐出エレメント１６０に固定される。該過程ではリブ２３１及び２３２がまずシリコンチップ面１５６に当接し、この時点ではボス先端面２１２とセラミックプレート面１１１間にはまだクリアランスが残され、その後該クリアランスが０になるまでビスを締め付けることで、リブ２３１及び２３２をシリコンチップ面１５６に押圧する。
【００２０】
この時リブ２３０がリブ２３１及び２３２に対して高さｈだけ低く形成されているため、シリコンチップ面１５６とでクリアランスが開くが、部品公差を考慮して、なるべく狭められるよう設定される。もしくはリブ２３１及び２３２がシリコンチップ面１５６に当接してからのビス１１２の締め付けによるインク通路部材２１０のたわみを利用して、リブ２３０をシリコンチップ面１５６に当接させることも可能であるが、部品の公差管理をより厳密に行う必要がある。
【００２１】
参考のため、逆にリブ２３０がリブ２３１及び２３２に対して高い場合を説明すると、まずリブ２３０がシリコンチップ面１５６に当接するため、その後ビス１１２の締め付けに対してリブ２３１及び２３２はシーソー状態になり、シリコンチップ面１５６には当接されず、封止材３０１が注入時に外部に漏れ出してしまう。
【００２２】
上記従来例とは多少異なるが、本発明の目的と類似する明瞭な提案として記録ヘッドのインク供給口とインク供給部材間の空隙の回りに熱膨張部材を設けた提案もある（例えば特許文献１）。
【特許文献１】特開平０７−０３２５９７号公報（第３〜４頁、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
以上説明したようにインクジェット記録ヘッドは、複数の部品を押圧や接着といった方法で接続してインク流路を形成している。
【００２４】
特に上記で説明したインクジェット記録ヘッドにおいて、シリコンチップの供給口とインク通路部材の接続部でのインク流路形成には、上述したように封止材を用いた封止工程が含まれる。このような封止工程を確実に行うためには、インク流路が確実に外部と遮断されると共に封止材が所定の部分以外、例えばインク流路部や外部等に流れ込まないように配慮する必要がある。
【００２５】
しかしながら、従来の構成によれば、例えば前封止工程において、シリコンチップ面とインク通路部材にあるリブによって形成される封止材の流路全体に封止材が流れこまない充填不良が発生し易い。また、逆にこれを防ぐために封止材を過度に充填することによって、インク流路内や外部等、所定の部分以外へ封止材が漏れるのを誘発することが生じ得る。
【００２６】
加えて、前後の封止工程に関して、リブ先端とシリコンチップ面との押圧力やクリアランスを均一に保つことが難しく、これらの値が不適切であるために、封止材の所定の部分以外への流出や封止不良が発生することがある。
【００２７】
本発明は以上のような状況に鑑みてなされたものであり、インクジェット記録ヘッドの製造工程で部材同士を接続する封止工程の信頼性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
上記目的を達成する本発明の一態様としてのインクジェット記録ヘッドは、インクジェット記録ヘッドであって、
開口部が設けられている第１の部材と、
前記開口部周囲と対向する部分において前記第１の部材と接続されており、該接続された部分が封止されている第２の部材と、を備えており、
前記第１の部材の前記開口部周囲及び前記第２の部材の前記対向する部分の少なくとも一方に、複数の溝が形成されている。
【００２９】
また、上記目的を達成する本発明の別の態様としてのインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
第１の部材に開口部を設ける第１の製造工程と、
第２の部材の前記開口部周囲と対向する部分に、前記第１の部材と接続される接続部を設けるインク通路部材製造工程と、
前記第１の部材の前記開口部周囲及び前記第２の部材の前記接続部の少なくとも一方に、複数の溝を形成する溝形成工程と、
前記第１の部材の前記開口部周囲と前記第２の部材の前記接続部とを封止材によって封止する封止工程と、を備えている。
【００３０】
すなわち、本発明では、インクジェット記録ヘッドを製造する際に、第１の部材に開口部を設け、第２の部材の開口部周囲と対向する部分に、第１の部材と接続される接続部を設け、第１の部材の開口部周囲及び第２の部材の接続部の少なくとも一方に、複数の溝を形成し、第１の部材の開口部周囲と第２の部材の接続部とを封止材によって封止する。
【００３１】
このようにすると、２つの部材の接続部分を封止材によって封止する際に、接続部分を構成する第１及び第２の部材の一方に複数の溝が設けられているので、封止材が毛細管現象によって溝内に略均一に拡散するために封止が確実に行われ、かつ溝のエッジで封止材自身の表面張力によって接続部分の外部へ封止材が流出するのを防止することができる。
【００３２】
従って、２つの部材を接続して構成されるインクジェット記録ヘッドの製造において、封止不良や封止材の所定部以外への流出といった問題の発生を防止し、封止の信頼性を向上させることができる。
【００３３】
なお、複数の溝の数は３以上であってもよい。溝を設ける位置としては、第１の部材の前記開口部周囲が好ましい。
【００３４】
記録ヘッドの構成としては、インクを吐出する複数の吐出口を有し、吐出口が、第１の部材に設けられており、開口部が、各吐出口に連通する液路及び各液路に対応して設けられており、封止された部分が、外部から各液路へのインク供給経路を形成するような構成であってもよい。
【００３５】
この場合、各液路内にインクを吐出させるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられており、第１の部材は、各エネルギー発生素子を選択的に駆動する電気回路が搭載された電気配線基板と電気的に接続されている構成としてもよい。
【００３６】
製造の際には、複数の溝の横断方向における中央付近に封止材を注入した後に、第１及び第２の部材を接続して固定するようにしてもよい。
【００３７】
注入する封止材の量は、複数の溝の容量未満であるのがよい。
【００３８】
また、本発明は上記のインクジェット記録ヘッドを用いた記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置にも適用できる。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、２つの部材の接続部分を封止材によって封止する際に、接続部分を構成する第１及び第２の部材の一方に複数の溝が設けられているので、封止材が毛細管現象によって溝内に略均一に拡散するために封止が確実に行われ、かつ溝のエッジで封止材自身の表面張力によって接続部分の外部へ封止材が流出するのを防止することができる。
【００４０】
従って、２つの部材を接続して構成されるインクジェット記録ヘッドの製造において、封止不良や封止材の所定部以外への流出といった問題の発生を防止し、封止の信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下に、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、以下の実施形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００４２】
なお、この明細書において、「記録」（画像形成とも称する）とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広く記録媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または媒体の加工を行う場合も表すものとする。
【００４３】
また、「記録媒体」（シートとも称する）とは、一般的な記録装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能なものも表すものとする。
【００４４】
さらに、「インク」とは、上記「記録」の定義と同様広く解釈されるべきもので、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成または記録媒体の加工、或いはインクの処理（例えば記録媒体に付与されるインク中の色剤の凝固または不溶化）に供され得る液体を表すものとする。
【００４５】
＜インクジェット記録装置＞
始めに、本発明に係るインクジェット記録ヘッドを搭載するインクジェット記録装置の構成について説明する。
【００４６】
図１０及び図１１は、本発明に係るインクジェット記録ヘッドを搭載した、インクジェット記録装置の一例を示しており、図１０は外装カバーを外した状態の斜視図、図１１は側面図である。
【００４７】
図中、５００は記録媒体を搬送する搬送装置、１００は本発明に係るインクジェット記録ヘッド、６００はインクジェット記録ヘッドを保持するヘッドキャリッジ、７００はインクジェット記録ヘッドにインクを供給するインクタンク、９００はインクジェット記録ヘッドの吐出性能回復させるヘッド回復ユニット、１０００は記録媒体としてのシートである。
【００４８】
搬送装置５００は、シート１０００を検知するセンサＳ１０及びＳ２０を備え、シート１０００を搬送するための搬送ローラ５１０及び５３０、該搬送ローラ５１０及び５３０上に位置し、インクジェット記録ヘッド１００のインク吐出部分に、空間が設けられたプラテン５１５、搬送ローラ５１０をシート１０００と接離可能に支持する支持軸５１１、搬送ローラ５１０をシート１０００に当接させる当接バネ５１２、搬送ローラ５１０をシート１０００から離間させる離間ソレノイド５１３、を備えている。
【００４９】
ヘッドキャリッジ６００は、インクジェット記録ヘッド１００を保持しており、回動可能なヘッドガイド６１０、ヘッドキャリッジ６００を図中Ｈ方向に往復移動可能に支持するキャリッジ軸６２０、ヘッドキャリッジ６００にキャリッジ軸６２０上を移動させる駆動力を発生するアクチュエータ６３０、アクチュエータ６３０の駆動力をヘッドキャリッジ６００へ伝える伝達ベルト６３５により構成される。
【００５０】
ヘッド回復ユニット９００は、記録ヘッドの吐出口面をキャッピングするキャップゴム９１０、ヘッド吐出口面をワイピングするワイプブレード９２０、またキャッピングゴム９１０を保持し、インクジェット記録ヘッド１００から吐出されたり、図示しないインクポンプにより吸出されたインクをキャッチする回復桶９３０を備えている。
【００５１】
次に上記インクジェット記録装置の記録時の動作について説明する。
【００５２】
搬送装置５００は、ホスト機器を介してユーザからの印刷指令を受信すると、図示しない中央演算装置（ＣＰＵ）により、ヘッド回復ユニット９００上に待機中のインクジェット記録ヘッド１００を、アクチュエータ６３０を駆動して搬送装置５００上に移動させる。次にユーザがシート１０００を投入してセンサＳ１０がこれを検出すると、搬送ローラ５１０及び５３０の駆動を開始して、シート１０００を図中Ｚ方向へ搬送する。シート１０００は次第に移動し、センサＳ２０を通過する。センサＳ２０でシートの通過を検知した記録装置は、検知された位置から算出して、シート１０００がインクジェット記録ヘッド１００が待機する位置まで移動したタイミングで、記録データに基づいてインクジェット記録ヘッドヘッド１００のインク吐出口よりインクを吐出して画像を記録する。
【００５３】
記録の終了したシートはさらに、搬送装置により排出される。複数枚のシートに記録を行う場合には、上述の動作が繰り返される。
【００５４】
＜第１の実施形態＞
以下、上記で説明したようなインクジェット記録装置に搭載される、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの実施形態について説明する。
【００５５】
インクジェット記録ヘッドの基本的構成は、従来例で述べたものと同様であるので省略し、以下では本発明に係る封止方法を適用した実施形態について詳細な説明を加える。
【００５６】
図１２はインク吐出エレメント１６０の斜視図であり、図１３は図１２のＣ−Ｃ’での断面図である。図１２に示されるように、本実施形態では、インク通路部材２１０との接続において封止が必要な範囲に周回状の２本の封止溝５５０−ａ，ｂが掘り込まれている。この封止溝５５０−ａ，ｂは図１３で示されるように断面がＶ字型をしており、例えば異方性エッチング等により形成される。
【００５７】
本実施形態の封止方法によれば、インク吐出エレメント１６０とインク通路部材２１０を組み付ける前に、あらかじめ図１３に示される範囲ｋ間に封止材を注入する。注入方法は封止溝５５０−ａ，ｂに沿って封止材を連続注入するか、任意のピッチで所定量を滴下していく。
【００５８】
図１４は封止材注入後の様子を図１３と同様に示す断面図であり、注入された封止材６５０は、封止溝５５０−ａ，ｂエッジ部で自身の表面張力が働き範囲ｋで高さｊの凸形状となる。
【００５９】
上記の工程の後、インク吐出エレメント１６０とインク通路部材２１０との組み付けを行う。
【００６０】
図１５はインク通路部材２１０を組み付けた状態を示す断面図である。インク通路部材２１０の封止溝５５０−ａ，ｂと相対する位置に形成されたリブ７５０及び７５１（従来例において述べた理由により、リブ７５１はリブ７５０に対して僅かに低く形成される）が、凸状に形成された封止材６５０を押し潰すことで封止効果が得られる。
【００６１】
説明したように本実施形態では、部材同士を組み付ける前にあらかじめ封止範囲に設けられた溝に封止材を注入しておくので封止材６５０の注入状況を確認できるため、封止材の充填不足による封止不良のような問題の発生を防止できる。
【００６２】
また、組み付けの際に凸部が押しつぶされる封止材６５０は主に封止溝５５０−ａ，ｂに流入するため、液室２２０及び外部方向に押し出される封止材６５０の流出量を抑制することができる。
【００６３】
好適には、注入する封止材６５０の量を２つの封止溝５５０−ａ、ｂを合計した容積未満に抑えることが望ましい。具体的には、図１４で示される封止材６５０の断面積が封止溝５５０−ａ，ｂを合計した断面積より小さくなるようにすると良い。
【００６４】
以上説明したように本実施形態によれば、説明したような封止方法を用いることで、充填不足に起因した封止不良、及び所定の部分以外への封止材の流出といった問題が発生するのを防止し、所望の部分を確実に封止して所望するインク流路を形成することができる。
【００６５】
尚、従来問題となっていたインク通路部材２１０に形成される封止リブ、本実施形態においてはリブ７５０及び７５１の精度や誤差は封止材６５０の凸量ｊにより吸収される。すなわち、想定されるリブ７５０及び７５１の面精度に応じて、凸量ｊを適度に設定すればよい。これは封止溝５５０−ａ，ｂ間のピッチや封止材６５０の物性を調整することで達することができる。
【００６６】
＜第２の実施形態＞
以下、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第２の実施形態について説明する。第２の実施形態も第１の実施形態と同様なインクジェット記録ヘッドであり、以下の説明では上記第１の実施形態と同様な部分については説明を省略し、第２の実施形態の特徴的な部分を中心に説明する。
【００６７】
第１の実施形態では封止部に沿って封止溝を２本設けたが、第２の実施形態は、この封止溝の数を適宜増やすことで、封止工程の信頼性を一層向上させるものである。
【００６８】
図１６は、シリコンチップ面１５６に３本の封止溝５５０−ａ，ｂ，ｃを設けた、本実施形態のインク吐出エレメント１６０の断面図であり、該図に表される範囲ｍ間に封止材を注入する。
【００６９】
図１７は図１６の封止溝５５０−ｂ上に封止材を注入した様子を表す断面図であり、封止材６５０は封止溝５５０−ａ及びｃのエッジ部で自身の表面張力が働き範囲ｍで凸形状を形成する。
【００７０】
更にこのように封止材を注入すると、封止溝５５０−ｂにより、封止材６５０に毛細管力が作用し、該凸形状は溝に沿って均一に形成されるというメリットがある。
【００７１】
図１８はインク通路部材２１０を組み付けた状態を示す断面図であり、封止リブ７５０及び７５１により押し潰される封止材６５０は、封止溝５５０−ａ及びｃにトラップされ、液室２２０内や外部への流出を防ぐことができる。
【００７２】
好適には、注入する封止材６５０の量を封止溝５５０−ａ〜ｃを合計した容積未満に抑えることが望ましい。具体的には、図１７で示される封止材６５０の断面積が封止溝５５０−ａ〜ｃを合計した断面積より小さくなるようにすると良い。
【００７３】
また、シリコンチップ面１５６上に注入された封止材６５０は、必ずしも凸形状を持つ必要はない。このような具体的一例を図１９に示す。図１９に示す例では、注入された封止材６５０はシリコンチップ面１５６に対し凹形状を持ち、流動性を持った状態でインク通路部材を組み付ける。組み付け後の封止材を硬化させる工程で、図２０に示すように部材に傾きを与えることで、封止材はリブ７５０及び７５１と先端シリコンチップ面１５６をまたいだ形で硬化する。
【００７４】
このようにすると、少ない量の封止材で両部材の接合部を確実に封止できると共に、各溝エッジ部で封止材６５０の表面張力が働くため、所定の部分以外への封止材の流出を防止することができる。
【００７５】
この方法は封止溝の数に関わらず、例えば、第１の実施形態においても封止溝の一方に直接封止材を注入することで可能である。
【００７６】
以上、封止溝の数を３本にした例を述べたが、例えば図２１に示すように、両サイドの溝を中央の溝よりも大きく形成したり、図２２に示すように、封止材注入時に封止材が流入しない溝の数を増やすことでインク通路部材２１０組み付け時に、液室２２０内や外部へ封止材が流入するのをより確実に防ぐことができる。
【００７７】
また、封止溝の数を３より多くする場合には、図２３で示すように、注入する封止材の量を１つの封止溝の容量より多くすることで、封止材に作用する毛細管力を増加させ凸形状を封止溝に沿ってより安定させることができる。
【００７８】
以上説明したように本実施形態によれば、封止溝を３本以上設ける場合、溝の本数や形状、封止材の注入量の組み合わせにより、より封止効果を向上させると共に、封止材のインク流路内や外部への流出を一層確実に防止することができる。
【００７９】
＜第３の実施形態＞
以下、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第３の実施形態について説明する。第３の実施形態も第１及び第２の実施形態と同様なインクジェット記録ヘッドであり、以下の説明では上記の実施形態と同様な部分については説明を省略し、第３の実施形態の特徴的な部分を中心に説明する。
【００８０】
上記第１及び第２の実施形態では、あらかじめ封止溝に沿って封止材を注入しておく手法を述べたが、第３の実施形態では従来の封止工程に本発明による封止溝を適用するものである。
【００８１】
図２４は、シリコンチップ面１５６に封止溝５５０−ａ，ｂを設けたインク吐出エレメント１６０に、従来のインク通路部材２１０を組み付けた状態を断面図にて示したものである。
【００８２】
この状態で、従来と同様に前後封止工程を行うが、詳細な説明は既に従来の技術の項で説明したものと同様なため省略する。
【００８３】
まず前封止工程では、図２５に示すように、注入口２４０より注入された封止材６５１はリブ２３１及び２３２とシリコンチップ面１５６とで形成される管流路による毛細管力に加え、封止溝５５０−ａ，ｂによってもさらに毛細管力を得ることができる。よって封止材６５１が所定の位置まで進まないことに起因する充填不良を防止できるという効果が得られる。
【００８４】
また後ろ封止工程においても、注入口２４１より注入した封止材６５２は、自らの自重により、液室２２０方向に流動しクリアランスｆに流入するが封止溝５５０のエッジ部で自らの表面張力によって流動を停止する。その結果、従来あった封止材６５２の液室２２０内への流入を防止できるという効果が得られる。
【００８５】
なお、本実施形態においても第２の実施形態に述べたように封止溝の本数をさらに増やすことでより効果を得ることができる。
【００８６】
すなわち、前封止部においては注入された封止材６５１に作用する毛細管力がより大きくなり、後ろ封止部においても複数封止溝の本数を増やすことで封止材６５２が液室２２０内へ流入することを一層確実に防止することができる。
【００８７】
＜他の実施形態＞
なお、以上説明した実施形態は、インクを吐出する為のエネルギーとして発熱素子から発生される熱エネルギーを用いた、いわゆるバブルジェット（登録商標）記録方式を採用したインクジェット記録ヘッドに本発明を適用した場合を例に挙げて説明したが、２つの部材の接続部分を封止することによってインク供給経路が形成されるインクジェット記録ヘッドであれば、本発明は他の方式（例えば、圧電素子を用いた方式等）のインクジェット記録ヘッドにも適用できる。
【００８８】
また、本発明に係るインクジェット記録ヘッドを用いて記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置の機械的構成としては、記録ヘッドを搭載したキャリッジを移動させる間に記録を行うシリアル記録方式であっても、記録媒体の幅に対応した長さの記録ヘッドに対して記録媒体を相対的に移動させつつ記録を行うフルライン記録方式であってもよい。
【００８９】
上記の実施形態では、実施形態ではシリコンチップ面のみに封止溝を形成したが、このような溝をインク通路部材側、もしくは両方に施しても同様な効果が得られるのは明らかである。
【００９０】
更に、上記の実施形態では封止溝の形状をＶ字形としたが、封止溝の形状はこれに限定されず、例えば、断面が四角状や半円状でも同様の効果が得られることは明らかである。
【００９１】
また、本発明による封止工程は、上記の実施形態のように封止部分全体に渡って行う場合だけでなく、封止部分の少なくとも一部分に適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】インクジェット記録ヘッドの分解図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’での断面図である。
【図４】インクジェット記録ヘッドを組み立てた状態を示す斜視図である。
【図５】図４のインクジェット記録ヘッドをセラミックプレート側から見た正面図である。
【図６】組み立てたインクジェット記録ヘッドの構成を図３と同様に示す断面図である。
【図７】インク通路部材の正面図である。
【図８】図７の部分Ｂの拡大図である。
【図９】インク通路部材の断面図である。
【図１０】本発明実施の形態のインクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を示す模式図
【図１１】本発明実施の形態のインクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例を示す断面模式図
【図１２】本発明の第１の実施形態のインク吐出エレメントの斜視図である。
【図１３】図１２のＣ−Ｃ’での断面図である。
【図１４】図１３に封止材を注入した様子を示す図である。
【図１５】第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図１６】第２の実施形態のインク吐出エレメントの断面図である。
【図１７】図１６に封止材を注入した様子を示す図である。
【図１８】第２の実施形態のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図１９】第２の実施形態のインク吐出エレメントに封止材を注入した様子を示す別の断面図である。
【図２０】図１９の封止材を硬化させた様子を示す断面図である。
【図２１】第２の実施形態の変形例のインク吐出エレメントに封止材を注入した様子を示す断面図である。
【図２２】第２の実施形態の変形例のインク吐出エレメントに封止材を注入した様子を示す断面図である。
【図２３】第２の実施形態の変形例のインク吐出エレメントに封止材を注入した様子を示す断面図である。
【図２４】第３の実施形態のインクジェット記録ヘッドの断面図である。
【図２５】図２４に封止材を注入した様子を示す断面図である。
【符号の説明】
【００９３】
１００  インクジェット記録ヘッド
１１０  セラミックプレート
１２０  電気配線基板
１５０  シリコンチップ
１６０  インク吐出エレメント
１５１  吐出口
１５２  流路
１５３  液室
１５４  エネルギー発生素子
１５５  インク供給口
２１０  インク通路部材
５００  搬送装置
５１０、５３０  搬送ローラ
５５０  封止溝
６５０  封止材
６００  ヘッドキャリッジ
７００  インクタンク
９００  回復ユニット
１０００  シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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