(57)【要約】【課題】複数の波長のレーザ光源を一体的に有し、かつ、自動パワー制御回路の設計を容易にして、安定した動作、低価格化を得られるようにし、また、複数のレーザ光源を有する場合にも適合するようにした。【解決手段】レーザ光を出力する光源と、入射したレーザ光を光ディスクに向けて集光して出射するとともに、前記光ディスクから反射した戻りレーザ光を受ける対物レンズと、前記光源と前記対物レンズとの間の光軸上に配置されたビームスプリッタと、前記光源と前記ビームスプリッタとの間の光軸上に配置され、前記光源からの光ビームの偏光状態を制御し、前記ビームスプリッタで分岐されるモニタ用光と直進するメイン光との割合を調整可能な半波長板と、前記ビームスプリッタから分岐されたモニタ用光を受けて、前記光源のビーム出力パワーを制御する自動パワー制御回路と備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出力する光源と、
入射したレーザ光を光ディスクに向けて集光して出射するとともに、前記光ディスクから反射した戻りレーザ光を受ける対物レンズと、
前記光源と前記対物レンズとの間の光軸上に配置されたビームスプリッタと、
前記光源と前記ビームスプリッタとの間の光軸上に配置され、前記光源からの直進光ビームを偏光し、前記ビームスプリッタで分岐されるモニタ用光と直進するメイン光との割合を調整可能な半波長板と、
前記ビームスプリッタから分岐されたモニタ用光を受けて、前記光源のビーム出力パワーを制御する自動パワー制御回路と
を具備したことを特徴とする光ヘッド。
【請求項２】
前記半波長板は、前記光源の光出射部の直後に配置されていることを特徴とする請求項１記載の光ヘッド。
【請求項３】
前記光源は、第１の光源であり、さらに前記第１の光源と前記対物レンズとの間に、前記ビームスプリッタを通るように光軸を設定した光学路とが構成されており、
さらに第２の光源を有し、また前記第１の光源と前記ビームスプリッタとの間に配置され、前記第２の光源からの光ビームを反射させて前記光軸に沿って前記対物レンズへ案内するための第１の光結合プリズムを有し、
前記半波長板は２枚であり、前記第１の光源と、前記第２の光源の出射部の直後のそれぞれに、前記半波長板が設けられていることを特徴とする請求項２記載の光ヘッド。
【請求項４】
前記自動パワー制御回路の出力は、前記第１と第２の光源の出力を制御するために共通に使用されることを特徴とする請求項３記載の光ヘッド。
【請求項５】
前記ビームスプリッタは、前記対物レンズ側から戻ってきた戻りレーザ光を分岐する反射面を有し、ここで反射されたレーザ光を、データ再生信号を得るためのメイン受光器に導くことを特徴とする請求項５記載の光ヘッド。
【請求項６】
レーザ光を出力する光源と、入射したレーザ光を光ディスクに向けて集光して出射するとともに、前記光ディスクから反射した戻りレーザ光を受ける対物レンズと、前記光源と前記対物レンズとの間の光軸上に配置されたビームスプリッタと、前記光源と前記ビームスプリッタとの間の光軸上で、前記光源の光出射部の直後に配置されに配置され、前記光源からの直進光ビームを偏光し、前記ビームスプリッタで分岐されるモニタ用光と直進するメイン光との割合を調整可能な半波長板と、前記ビームスプリッタから分岐されたモニタ用光を受けて、前記光源のビーム出力パワーを制御する自動パワー制御回路と、前記ビームスプリッタから分岐された戻りレーザ光を受ける受光部を有した光ヘッドと、
前記受光部からの出力信号を処理する信号処理回路を具備したことを特徴とする光ディスク装置。
【請求項７】
前記光源は、第１の光源であり、さらに前記第１の光源と前記対物レンズとの間に、前記ビームスプリッタを通るように光軸を設定した光学路とが構成されており、
さらに第２の光源を有し、また前記第１の光源と前記ビームスプリッタとの間に配置され、前記第２の光源からの光ビームを反射させて前記光軸に沿って前記対物レンズへ案内するための第１の光結合プリズムを有し、
前記半波長板は２枚であり、前記第１の光源と、前記第２の光源の出射部の直後のそれぞれに、前記半波長板が設けられていることを特徴とする請求項６記載の光ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ヘッド及び光ディスク装置に関するものであり、特にレーザ光源の出力パワーを安定化する自動パワー制御部の構成に特徴を備えるものである。またこの発明の実施例は、今日のように多種類の光ディスクが開発された状況において、いずれの光ディスクに対しても情報の読み取りあるいは書込みが可能なように工夫された技術にも及ぶものである。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクとして、従来のコンパクトディスク（ＣＤ：Compact disk)よりも高密度化されたデジタルバーサタイルディスク（ＤＶＤ：Digital versatile video disk)が開発されて、近年は一般化している。今後は、さらに高密度化したハイ  デンシティ（High density）ＤＶＤ（ＨＤ  ＤＶＤ）が開発されてようとしている。
【０００３】
ＣＤに記録された情報再生を再生するには、約７８５nmの波長の赤色のレーザ光により、情報の読み取りが行われている。またＤＶＤに記録された情報を再生する場合には、約６５５nmの波長のレーザ光により、情報の読み取りが行われている。ＨＤ  ＤＶＤに記録された情報を再生するには、約４０５nmの波長のレーザ光が用いられる予定である。
【０００４】
また、レーザ光源を用いる光ヘッドに要求される機能として、通常は、レーザ光の出力を安定化するために、自動パワー制御回路を備えている。自動パワー制御回路は、レーザ光源から出射されるレーザ光の一部をモニタし、その光量の変化を検出し、その変化量をレーザ光源のパワー制御部にフィードバックしている。この制御回路としては、通常は電気的な処理を行うものが一般的である。
【０００５】
上記のように光ディスクの相違により、使用するレーザ光の波長が異なるために、第１の問題点として、例えば１つの情報再生装置において、上記の３種類の光ディスクを再生できるようにするならば、複数のレーザ光源（波長７８５nm用、波長６５５nm用、波長４０５nm用）を有する光ヘッドを用意する必要がある。このために光ヘッドの構成が複雑化、大型化するために、光ヘッドの構成も工夫することが要求される。
【０００６】
さらにまた、第２の問題点として、上記の自動パワー制御回路に関して、回路の一層の安定した動作が求められる。自動パワー制御回路においては、耐温度特性、耐久性が要望されている。しかし、上記のように複数のレーザ光源を装備する光ヘッドを考えた場合、回路に対する相互間の熱的影響の低減、価格の低減、特性ばらつきに対する対策が要望される。
【０００７】
複数の光源を有し、この複数の光源の光軸を共通光学系に一致させた光ヘッドは、例えば特許文献１に開示されている。また、ビームスプリッタ特性のばらつきに着目した文献として特許文献２がある。この特許文献２では、光ビームの進行方向において、ビームスプリッタの直前に１／２波長板を配置し、１／２波長板を回転調整することで、ビームスプリッタの特性ばらつきを補正している。また同時に、ビームスプリッタから進行方向の光ビームを分岐して、自動パワー制御回路にも導いている。
【特許文献１】特開２００４−１４００８号公報
【特許文献２】特開２００１−９３１８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１にあっては、３種類の波長のレーザ光源（波長７８５nm用、波長６５５nm用、波長４０５nm用）を一体化するというものではない。また、３種類の波長のレーザ光源を光ヘッドに用いるという点は着想していない。また特許文献２にあっては、ビームスプリッタの製造ばらつきを調整することを目的としており、光ビームの進行方向においてビームスプリッタの直前に１／２波長板を配置しなければならない。また、ビームスプリッタのばらつきを補正することにともない、自動パワー制御回路に導く光ビームを変化するために、自動パワー制御回路では、その変化分を補正する対策が必要であり、複雑化している。
【０００９】
そこで、この発明は複数の波長のレーザ光源を一体的に有し、かつ、自動パワー制御回路の設計を容易にして、安定した動作、低価格化を得られるようにし、また、複数のレーザ光源を有する場合にも適合する光ヘッド及び光ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明の一実施形態では、レーザ光を出力する光源と、入射したレーザ光を光ディスクに向けて集光して出射するとともに、前記光ディスクから反射した戻りレーザ光を受ける対物レンズと、前記光源と前記対物レンズとの間の光軸上に配置されたビームスプリッタと、前記光源と前記ビームスプリッタとの間の光軸上に配置され、前記光源からの直進光ビームを偏光し、前記ビームスプリッタで分岐されるモニタ用光と直進するメイン光との割合を調整可能な半波長板と、前記ビームスプリッタから分岐されたモニタ用光を受けて、前記光源のビーム出力パワーを制御する自動パワー制御回路を備える。また前記半波長板は、前記光源の光出射部の直後に配置されている。
【発明の効果】
【００１１】
上記のように、半波長板を配置し、調整することにより、自動パワー制御回路のモニタ素子へ導く光量を効率的に設定することができる。半波長板は、電気素子と異なり温度変動に影響を受けにくく、また耐久性も優れている。これにより安定したレーザ光出力を維持、管理することが可能であり、製品の信頼性を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながらこの発明の一実施の形態について説明する。図１はこの発明が適用された光ヘッドである。１１は、光ディスクである。この光ディスク１１は、ＣＤ、又はＤＶＤ，又はＨＤ  ＤＶＤであり得る。１２は、３波長対応できる対物レンズであり、光源側の光軸上を通って入射したレーザ光を、光ディスク１１に向けて集光して出射するとともに、また光ディスク１１から反射した戻りレーザ光を受ける。
【００１３】
対物レンズ１２のレーザ光の入射側には、回折素子及びλ/4板１３が配置されている。一方、２１は、第１の波長（４０５nm）の第１のレーザ光を出力する第１のレーザ光源である。第１の光源２１から出射されたレーザ光は、光軸Ｓ１上を通り、立上げミラー１４で反射されて進行方向を変換され、光軸Ｓ２上のコリメートレンズ１５を通り、先の回折素子及びλ/4板１３を通って、対物レンズ１２に入射する。
【００１４】
なお、光軸Ｓ１と光軸Ｓ２とは、一直線上にあってもよく、この場合は、立上げミラー１４は不要である。また、図では、光軸Ｓ２が、第３のレーザ光源２３の配置方向と平行に伸びているように示すが、実際には、紙面と垂直は方向へ伸びている。
【００１５】
２２は、第２の波長（６５５nm）の第２のレーザ光を出力する第２のレーザ光源である。この第２の光源２２から出射された第２のレーザ光は、第１のレーザ光源２１と立上げミラー１４との間の光軸Ｓ１上に配置された第１の光結合プリズム３１に入射する。この第１の光結合プリズム３１は、第２のレーザ光を波長選択膜面３１ａで反射して、光軸Ｓ１上に合わせ、立上げミラー１４（対物レンズ１２）方向へ進行させる。
【００１６】
２３は、第３の波長（７８５nm）の第３のレーザ光を出力する第３のレーザ光源である。この第３の光源２３から出射された第３のレーザ光は、第１の光結合プリズム３１と立上げミラー１４との間の光軸Ｓ１上に配置された第２の光結合プリズム３２に入射する。この第２の光結合プリズム３２は、第３のレーザ光を波長選択膜面３２１で反射して、光軸Ｓ１上に合わせ、立上げミラー１４（対物レンズ１２）方向へ進行させる。
【００１７】
光ディスク１１から反射した戻りレーザ光は、対物レンズ１２、回折素子及びλ/4板１３、コリメートレンズ１５、立上げミラー１４を介して戻ってくる。
【００１８】
今、第３のレーザ光源２３が用いられているとすると、戻りレーザ光は、立上げミラー１４から第２の光結合プリズム３２に入射し、この第２の光結合プリズム３２の波長選択膜面３２１で反射されて、第３のレーザ光源２３と一体化して設けられている、受光器２３ａに向かって受光される。
【００１９】
コリメートレンズは、各レーザ光源２１，２２，２３からのレーザ光が、安定して対物レンズ１２に入射するように、広がり角を制御している。また先の回折素子及びλ/4板１３において、λ/4板は、進行レーザ光が、円偏波となるように偏光している。さらに、回折素子及びλ/4板１３において、第１及び第２のレーザ光源２１、２２に基づく、戻りレーザ光は、1/4λ板により偏光方向が変換されてＳ偏光となる。そして直後に配置された回折素子によりサーボ信号などに利用するために領域分割される。
【００２０】
今、第２のレーザ光源２２が使用されているときの戻りレーザ光について説明する。光ディスク１１で反射した戻りレーザ光は、対物レンズ１２、回折素子及びλ/4板１３、コリメートレンズ１５、立上げミラー１４、第２の光結合プリズム３２の経路を通り、ビームスプリッタ４０に入射する。ビームスプリッタ４０に入射した戻りレーザ光は、波長選択膜４０ａで反射されて、メイン受光器４２に入射する。メイン受光器４２では、戻りレーザ光を、例えば４分割フォトダイオード部の中心で受ける。各フォトダイオードの出力は、増幅された後、合成されて高周波再生信号Ｈとして得られる。また、各フォトダイオード出力を増幅したのち、減算処理・加算処理を組み合わせた信号処理部に入力する。信号処理部は、トラッキングエラー、フォーカスエラーなどの信号を検出することができる。
【００２１】
次に、第３のレーザ光源２３が使用されているときの戻りレーザ光について説明する。この場合の戻りレーザ光も先の第２のレーザ光源２２が使用されているときと同様に、メイン受光器４２に導かれる。
【００２２】
ビームスプリッタ４０は、上記したように戻りレーザ光を、メイン受光器４２に導くこともできるが、進行レーザ光の一部を、自動パワー制御（ＡＰＣ）用受光器４３に導くこともできる。ビームスプリッタ４０が効率的に利用されている。即ち、第１及び第２のレーザ光源２１、２２からのレーザビームは、ビームスプリッタ４０の波長選択膜面４０ｂでそのわずかな一部が反射され、自動パワー制御用受光器４３に入射している。この受光器４３で検出されたレーザ光の強度の変化は、第１及び第２のレーザ光源２１、２２の利得制御回路に選択的に入力され、レーザ光の出力を設定されたパワーに安定化するように動作している。
【００２３】
ここで本発明の装置では、半（（1/2)λ））波長板が、レーザ光源の出射部の直後に配置されているところに特徴点がある。
【００２４】
またこの発明の装置では、波長の短いレーザ光を出力する第１のレーザ光源２１を優先的（反射回数が少ない）に配置している。第１のレーザ光源２１からのレーザ光は、光ディスク１１に到達するまでに、１回の反射である。第２と第３のレーザ光源２２、２３の場合は、レーザ光が光ディスク１１に到達するまでに２回の反射である。このことは、レンズの開口数の大きい方に対応した第１のレーザ光源２１を優先的に配置し、少ない反射回数で、ディスクに到達するように設計していることでもある。波長が短く開口数が大きいと、それだけ、厳格な設計を要求されるからである。つまり第１のレーザ光（波長４０５nm）の光軸Ｓ１にレーザビームを合成する順序としては、ダイクロイックプリズムを用いて第２のレーザ光（波長６５５nm）を合成している。そしてこの合成部の後で光軸Ｓ１に対して、第３のレーザ光（波長７８５nm）が合成されるように設計されている。
【００２５】
図２には、図１の光ヘッドに適用された本発明の基本的な構成を示している。そして図１と同じ部品には図１と同一符号を付している。ここでは、第１のレーザ光源２１又は第２のレーザ光源２２の光ビームの出射部の直後に半波長（1/2）λ板１６を配置している。この半波長板１６は、その光軸を中心として回転することで、偏光状態を制御することができる。このために、ビームスプリッタ４０に入射した光が透過して直進する光Ｂ１の割合と、波長選択膜面４１ａで反射されて、ＡＰＣ用受光器４３に導かれる光Ｂ２の割合とを任意に容易に設定することができる。この結果、従来は、ＡＰＣ用受光器４３の出力をＡＰＣ回路４３ａにて減衰器、増幅器を用いて設定していたものを省略することが可能である。従来は、ＡＰＣ回路４３ａからの出力レベルを、半導体レーザ駆動回路５０５に与える場合、ＡＰＣ回路４３では温度補償回路を装備する必要があった。しかし温度補償回路を設ける場合、回路構成が複雑であり、また特性が経年変化する可能性があり、製品の信頼性を高める上で問題があった。しかし、この発明の方法であると、一度、半波長板１６の回転角度を決めてしまえば、ビームスプリッタ４０に入射した光が透過して直進する光Ｂ１の割合と、波長選択膜面４１ａで反射されて、ＡＰＣ用受光器４３に導かれる光Ｂ２の割合とが機械的に決まり、温度変化が無く安定した機能を発揮することになる。またこの半波長板１６は、レーザ光源２１、又は２２の光束の幅Ｗ全体に配置されるので、効率的に分割の割合を決めることができる。
【００２６】
図３はさらにこの発明の特徴部を具体的に示した図である。図１に示した部品と同じ部品には図１と同一符号を付している。第１のレーザ光源２１のビーム出射部の直後には、半波長板１６ａが配置されて、この半波長板１６ａを通過した光は、第１の光結合レンズ３１を介して、ビームスプリッタ４０に入射する。ここで、ビームスプリッタ４０に入射した光が透過して直進する光Ｂ１の割合と、波長選択膜面４１ａで反射されて、ＡＰＣ用受光器４３に導かれる光Ｂ２の割合とは、先の半波長板１６ａの光軸周りへの回転角により調整される。
【００２７】
また、第２のレーザ光源２２のビーム出射部の直後には、半波長板１６ａが配置されて、この半波長板１６ｂを通過した光は、第１の光結合レンズ３１を介して、ビームスプリッタ４０に入射する。ここで、ビームスプリッタ４０に入射した光が透過して直進する光Ｂ１の割合と、波長選択膜面４１ａで反射されて、ＡＰＣ用受光器４３に導かれる光Ｂ２の割合とは、先の半波長板１６ｂの光軸周りへの回転角により調整される。
【００２８】
したがって、第１と第２のレーザ光源２１、２２の光学系統において、ビームスプリッタ４０から直進する光Ｂ１の割合と、波長選択膜面４０ａ反射されて、ＡＰＣ用受光器４３に導かれる光Ｂ２の割合とは、それぞれ半波長板１６ａと、１６ｂで個々に調整可能である。
【００２９】
上記のように、本発明において、半波長板１６ａ，１６ｂはそれぞれ対応する光源のビーム出射部の直後に配置されることで、有意義な効果を発揮することができる。もし、単純にビームスプリッタ４０の光入射部の直前に配置された場合は、上記のような複数の光源に対応する構成を簡単な構成で実現できなくなる。しかし、本発明の配置方法であれば、構成を簡単にして、ＡＰＣ用の光を容易に確保することができる。また複雑で、高価で信頼性の薄いＡＰＣ回路を使用する必要が無くなる。
【００３０】
図４（Ａ）および図４（Ｂ）は、それぞれ、第１の光結合プリズム３２および第２の光結合プリズムの波長選択膜の膜特性反転波長帯に求められる膜特性反転特性を、示している。
【００３１】
図４（Ａ）には、第１の光結合プリズム３１（ダイクロイックプリズム）の波長選択膜面３１ａの特性の例を示し、図４（Ｂ）には、第２の光結合プリズム３２（トリクロイックプリズム）の波長選択膜面３２ａの特性の例を示している。この特性図は、縦軸に反射率（％）、横軸に波長を示している。したがって、透過率（％）を計算する場合には、透過率（％）＝（１００−反射率（％））で計算できる。ここで膜特性反転波長とは、透過と、反射の特性が入れ替わる波長帯のことである。
【００３２】
図４（Ａ）において、膜特性反転波長帯１は、図１ないし図３を用いて説明した通り、好ましくは４０５〜６５５ｎｍの間に規定される。また、図４（Ｂ）において、膜特性反転波長帯２の波長特性は、図１ないし図３を用いて説明した通り、６５５〜７８５ｎｍの間に規定される。なお、一般に、レーザ素子から出力されるレーザ光の波長は、レーザ素子の温度およびその周囲温度の変動により、例えば１０ｎｍ／５℃程度変動することが知られている。また、出力レーザ光の中心波長にも、個体差がある。もちろん、波長７８５ｎｍのレーザ光を出力するレーザ素子から出力されるレーザ光の波長も、レーザ素子の温度およびその周囲温度の変動により、同様に変動する。また、出力レーザ光の中心波長にも、個体差がある。このため、実際には、膜特性反転波長帯の波長帯域は、これらの温度変動の影響を含んで規定されることはいうまでもない。
【００３３】
図５は、本発明に係る光ディスク装置の構成を示すブロック図である。光ピックアップヘッド（ＰＵＨアクチュエータ）５０から出射されるレーザ光が、光ディスク１１の情報記録層に集光することで、光ディスク１１に情報を記録し、また光ディスク１１から情報を再生できる。破線で囲むブロックが、図１で説明した光ヘッドの部分に相当する。
【００３４】
光ディスク１１から反射したレーザ光は、ＰＵＨ５０のフォトディテクタ（ＰＤ）５１で電気信号として検出される。ＰＤ５１の出力信号は、プリ増幅器５２で増幅され、コントローラ（レンズ位置制御量設定装置（主制御装置））５００と接続されたサーボ回路（レンズ位置制御装置）５０１、ＲＦ信号処理回路（出力信号処理回路）５０２、およびアドレス信号処理回路５０３に出力される。
【００３５】
サーボ回路５０１では、ＰＵＨ５０に搭載された対物レンズのフォーカスサーボ（対物レンズの焦点位置に対する、光ディスク１１の記録層と対物レンズとの間の距離の差の制御）信号およびトラッキングサーボ（対物レンズの光ディスク１１のトラックを横切る方向の位置の制御）信号が生成され、各信号が、それぞれ、ＰＵＨ５０の図示しないフォーカスアクチュエータとトラッキングアクチュエータ（レンズ位置制御機構）とに出力される。
【００３６】
ＲＦ信号処理回路５０２では、ＰＤ５１により検出され、再生された信号からユーザーデータや管理情報が取り出され、アドレス信号処理回路５０３では、アドレス情報、すなわちＰＵＨ５０の対物レンズが現在対向している光ディスク１１のトラックまたはセクタを示す情報が取り出され、コントローラ５００に出力される。
【００３７】
コントローラ５００においては、アドレス情報を元に、所望の位置のユーザーデータ等のデータを読み出すために、あるいは所望の位置にユーザーデータや管理情報を記録するためのデータ処理が実行される。またＰＵＨ５０の位置を制御するための制御信号も生成される。
【００３８】
また、コントローラ５００では、情報の記録や情報の再生に際し、レーザ素子（ＬＤ）から出力されるレーザ光の強度が指示される。なお、コントローラ５００の指示により、所望の位置のアドレス（トラックあるいはセクタ）に既に記録されているデータが消去可能である。
【００３９】
光ディスクへの情報の記録時には、（コントローラ５００の制御により）記録信号処理回路５０４において、光ディスクへの記録に適した記録波形信号に変調された記録データすなわち記録信号がレーザ駆動回路（ＬＤＤ）５０５に供給される。ＰＵＨ５０のレーザ素子からは、ＬＤＤ５０５から供給されるレーザ駆動信号に対応して、記録すべき情報に応じて強度が変化されたレーザ光が出力される。これにより、光ディスクＤに情報が記録される。
【００４０】
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】この発明に係る光ヘッドの全体的な部品配置構成例を示す図である。
【図２】この発明に係る光ヘッドの要部を、図１から取り出して示す図である。
【図３】この発明に係る光ヘッドの要部の他の例を、図１から取り出して示す図である。
【図４】図１から図３に示した第１、第２の光結合プリズムの波長選択膜面における光反射特性の例を示す説明図である。
【図５】この発明に係る光ディスク装置の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１１…光ディスク、１２…対物レンズ、１３…回折素子及びλ/4板、１４…立上げミラー、１５…コリメートレンズ、２１、２２、２３…第１、第２、第３のレーザ光源、３１、３２…光結合プリズム、４０…ビームスプリッタ、４２…メイン受光器、４３…ＡＰＣ用受光器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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