(57)【要約】  【課題】吐出電極への配線が簡易で、隣接する吐出部間での電界干渉の少ない静電式インクジェットの液滴吐出ヘッド、および、その製造方法を提供する。  【解決手段】吐出基板と支持基板との間に形成されるインク流路に流路壁部を形成し、ここに吐出電極に接続する電極線および／またはチャンネル間の電界干渉を防止するためのシールド電極に接続する電極線を内包することにより、前記前記課題を解決する。【選択図】図１
2006043936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯電粒子が分散された溶液に静電力を作用させて、前記溶液の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、
前記液滴を吐出する貫通孔が、複数、形成された絶縁性の吐出基板と、
前記吐出基板に対面して所定間隔離間して配置される絶縁性の支持基板と、
前記吐出基板と支持基板との間に設定される溶液流路と、
前記貫通孔の個々に対応して設けられる前記溶液に静電力を作用させる吐出電極、あるいはさらに前記貫通孔の１以上に対応して前記吐出電極よりも溶液吐出側に設けられる前記貫通孔間における電界干渉を防止するためのシールド電極と、
少なくとも前記吐出基板に接触して前記溶液流路内に形成され、前記吐出電極と接続する電極線およびシールド電極と接続する電極線の少なくとも一方を内包する流路壁部とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記貫通孔の個々に対応して、前記貫通孔を通過して前記吐出基板の液滴吐出側に突出する溶液ガイドが前記支持基板に設けられる請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
吐出基板および支持基板の両者に接触して前記壁部が形成され、かつ、前記吐出電極が前記吐出基板に形成され、
前記吐出電極と接続する電極線が支持基板の裏面もしくは側面から外部に接続される請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記シールド電極が前記吐出基板に形成され、かつ、前記流路壁部がシールド電極と接続する電極線を内包する請求項１〜３のいずれか記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
１つの貫通孔に対して１つの流路壁部が形成され、各流路壁部に、対応する１つの貫通孔に対応する電極線が内包される請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
複数の貫通孔に対して１つの流路壁部が形成され、各流路壁部に、対応する複数の貫通孔に対応する電極線が内包される請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記溶液流路における溶液の流れ方向の一列の貫通孔に対して１つの流路壁部が形成され、各流路壁部に、対応する列の貫通孔に対応する電極線が内包される請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項３〜７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記吐出基板に、シールド電極、吐出電極、および貫通孔を形成する工程、
前記支持基板にインクガイドおよび吐出電極に接続する電極線を外部に接続する接続部を形成する工程、
前記吐出基板および支持基板の少なくとも一方に、吐出電極に接続する電極線あるいはさらにシールド電極に接続する電極線を内包する流路壁部を形成する工程、
および、前記吐出基板および支持基板の少なくとも一方に吐出電極と前記接続部とを接続する接続部材を配して、吐出基板と支持基板とを位置合わせして接合する工程を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記支持基板に流路壁部を形成して吐出電極に接続する電極線と前記接続部とを接続した状態としておき、
流路壁部の支持基板と逆端部および吐出電極の少なくとも一方に前記接続部材を配して、前記吐出基板と支持基板とを位置合わせして接合することにより、吐出電極と接続部とを接続する請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記吐出基板に流路壁部を形成して吐出電極と電極線とを接続した状態としておき、
流路壁部の吐出基板と逆端部および支持基板に形成した接続部の少なくとも一方に前記接続部材を配して、前記吐出基板と支持基板とを位置合わせして接合することにより、吐出電極と接続部とを接続する請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電粒子が分散された溶液に静電力を作用させることで液滴を吐出させる、静電式インクジェットの液体吐出ヘッド、および、この液体吐出ヘッドを製造する製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インク液滴を吐出することによって画像記録（描画）を行うインクジェットの液体吐出ヘッド（以下、吐出ヘッドとする）としては、インクを加熱してインクに発生した気泡の膨張力でインク液滴を吐出させる、いわゆるサーマルインクジェットの吐出ヘッドや、圧電素子によりインクに圧力を与えてインク液滴を吐出させる、いわゆるピエゾタイプのインクジェットの吐出ヘッドが知られている。
しかしながら、サーマルジェットヘッドでは、インクを部分的に３００℃以上に加熱するため、インクの材料が限定されるという問題があり、他方、ピエゾタイプのインクジェットでは、構造が複雑でコストが高いといった問題がある。
【０００３】
これらの問題を解決するインクジェットとして、帯電した色材粒子（微粒子）を含むインクを用い、インクに静電力を作用させ、この静電力でインク液滴を吐出する、静電式インクジェットが知られている。
静電式インクジェットの吐出ヘッドは、インク液滴を吐出するための多数の貫通孔（吐出口）が形成された絶縁性の吐出基板と、吐出口の個々に対応する吐出電極とを有し、吐出電極に所定の電圧を印加することにより、インクに静電力を作用させてインク液滴を吐出するものであり、画像データに応じて吐出電極への電圧印加ｏｎ／ｏｆｆを制御（吐出電極を変調駆動）することによりインク液滴を吐出して、画像データに対応する画像を記録媒体上に記録する。
【０００４】
このような静電式インクジェットの吐出ヘッドとして、例えば、特許文献１には、図１１に概念的に示すように、支持基板２０２と、インクガイド２０４と、吐出基板２０６と、吐出電極２０８と、バイアス電圧源２１２と、信号電圧源２１４とを備える吐出ヘッド２００が開示されている。
【０００５】
吐出ヘッド２００において、支持基板２０２と吐出基板２０６は、共に絶縁性の基板であり、所定間隔だけ離間して配置される。
吐出基板２０６には、インク液滴の吐出口２１８となる貫通孔（基板貫通孔）が多数形成され、前記支持基板２０２と吐出基板２０６との間隙が、この吐出口２１８にインクＱを供給するインク流路２１６となる。さらに、吐出基板２０６の上面（インク液滴Ｒの吐出側表面）には、吐出口２１８を囲んでリング状の吐出電極２０８が設けられる。吐出電極２０８には、バイアス電源２１２およびパルス電源である駆動電源２１４が接続され、かつ、両者を介して接地されている。
他方、支持基板２０２には、各吐出口２１８に対応して、吐出口２１８を挿通して吐出基板２０６から突出するインクガイド２０４が設けられる。インクガイド２０４の先端部２０４ａは、所定幅だけ切り欠かれて、先端部２０４ａにインクＱを供給するためのインク案内溝２２０が形成される。
【０００６】
このような吐出ヘッド２００を用いる参考文献１に開示される（インクジェット）記録装置においては、画像記録時には、記録媒体Ｐは対向電極２１０に支持される。
対向電極２１０は、吐出電極２０８の対向電極としての機能に加え、画像記録時に記録媒体Ｐを支持するプラテンとしても機能するものであり、吐出基板２０６の上面に対面するようにして、インクガイド２０４の先端部２０４ａと所定間隔離間して配置される。
【０００７】
吐出ヘッド２００において、画像記録時には、図示しないインクの循環機構により、帯電した色材粒子を含有するインクＱが、インク流路２１６内を、例えば図中右側から左側へ向かって流される。なお、インクＱの色材粒子は、吐出電極２０８に印加される電圧と同極性に帯電している。
また、記録媒体Ｐは、対向電極２１０に支持されて、吐出基板２０６と対面している。
さらに、吐出電極２０８には、バイアス電圧として、バイアス電源２１２から、例えば１．５ｋＶの直流電圧が、常時、印加されている。
【０００８】
このインクＱの循環およびバイアス電圧の印加により、インクＱの表面張力、毛管現象、バイアス電圧による静電力などの作用で、インクＱが、インクガイド２０４のインク案内溝２２０から先端部分２０４ａに供給され、吐出口２１８においてインクＱのメニスカスが形成され、かつ、色材粒子が吐出口２１８近傍に移動（静電力による泳動）して、インクＱが吐出口２１８や先端部分２０４ａにおいて濃縮された状態となっている。
この状態において、駆動電源２１４が吐出電極２０８に画像データ（駆動信号）に応じた、例えば５００Ｖのパルス状の駆動電圧を吐出電極２０８に印加すると、バイアス電圧に駆動電圧が重畳されて、インクＱの先端部分２０４ａへの供給および濃縮が促進され、インクＱおよび色材粒子の先端部２０４ａへの移動力および対向電極１４からの吸引力が、インクＱの表面張力を超えた時点で、色材粒子が濃縮されたインクＱの液滴（インク液滴Ｒ）が吐出される。
吐出されたインク液滴Ｒは、吐出された際の勢い、および、対向電極２１０による引力によって飛翔し、記録媒体Ｐに着弾して画像を形成する。
【０００９】
また、これ以外にも、特許文献２には、基板の表面に形成された電極アレイと、この電極アレイの上にインクを供給する供給手段と、電極アレイに駆動電圧を印加する電圧印加手段を有する静電式のインクジェット記録装置が開示され、特許文献３には、絶縁性の基材の一面に多数形成されたノズルとなる開口を有するインク供給路と、この開口を囲んで前記一面に形成される電極と、基材の中から前記インク供給路を介して開口にインクを供給する供給手段とを有する静電式のインクジェット記録装置が開示されている。
【００１０】
【特許文献１】特開平１０−２３０６０８号公報
【特許文献２】特開平８−１４９２５３号公報
【特許文献３】特開平９−３０９２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
近年では、このような静電式のインクジェットヘッド（静電式のインクジェット記録装置）にも、高い解像度に対応できる高記録密度化や高速化が要求されている。
高記録密度化を図るためには、インクの吐出部すなわち、基板に吐出口および吐出電極（あるいはさらにインクガイド）等を高密度で形成（高集積化）する必要がある。また、吐出部を二次元的に配列することも、高記録密度化および高速化に極めて有効である。
【００１２】
ところが、前述の各参考文献の構成からも明らかなように、吐出部を高密度化すると、吐出基板における各吐出電極に駆動電圧を印加するための配線が複雑かつ高密度化し、場合によっては、配線を多層化する必要もある。また、吐出部を二次元的に配列する場合には、その構造状、配線の多層化は、ある程度、必須になってしまう。
その結果、静電式インクジェットの吐出ヘッドは、高記録密度化に伴って、構造が複雑化してしまうという問題がある。加えて、吐出性能を維持して多層化する場合、吐出部への安定なインク供給や対向電極間距離の維持のために配線基板の厚さは制限される。このため、多層化のために配線側の距離を縮めたり、絶縁層厚を薄くする必要がある。しかし、それは絶縁耐圧を下げるという問題を生じさせる。
【００１３】
さらに、吐出部を高密度化や二次元化すると、当然、隣接する吐出部との距離が近くなるため、隣接する吐出部間で電界干渉を生じてしまい、その結果、吐出が不安定になる、高速（高い記録（液滴吐出）周波数）での吐出ができない等の問題も生じる。
【００１４】
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決することにあり、静電式インクジェットの液体吐出ヘッドであって、高記録密度な画像記録を可能とするために、高密度（高集積度）に吐出部（吐出孔および吐出電極、あるいはされらにインクガイド）等を形成した場合でも、多層配線化することなく、かつ、吐出電極に駆動電圧を供給するための配線を簡易に行うことができ、また、隣接する吐出部間における電界干渉（チャンネル間での電界干渉）も防止して、高速での吐出を安定して行うことができる液体吐出ヘッド、および、この液体吐出ヘッドを高精度かつ低コストに製造することを可能にする製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドは、帯電粒子が分散された溶液に静電力を作用させて、前記溶液の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記液滴を吐出する貫通孔が、複数、形成された絶縁性の吐出基板と、前記吐出基板に対面して所定間隔離間して配置される絶縁性の支持基板と、前記吐出基板と支持基板との間に設定される溶液流路と、前記貫通孔の個々に対応して設けられる前記溶液に静電力を作用させる吐出電極、あるいはさらに前記貫通孔の１以上に対応して前記吐出電極よりも溶液吐出側に設けられる前記貫通孔間における電界干渉を防止するためのシールド電極と、少なくとも前記吐出基板に接触して前記溶液流路内に形成され、前記吐出電極と接続する電極線およびシールド電極と接続する電極線の少なくとも一方を内包する流路壁部とを有することを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
【００１６】
このような本発明の液体吐出ヘッドにおいて、前記貫通孔の個々に対応して、前記貫通孔を通過して前記吐出基板の液滴吐出側に突出する溶液ガイドが前記支持基板に設けられるのが好ましい。
また、吐出基板および支持基板の両者に接触して前記流路壁部が形成され、かつ、前記吐出電極が前記吐出基板に形成され、前記吐出電極と接続する電極線が支持基板の裏面もしくは側面から外部に接続されるのが好ましく、さらに、前記シールド電極が前記吐出基板に形成され、かつ、前記流路隔壁がシールド電極と接続する電極線を内包するのが好ましい。
また、１つの貫通孔に対して１つの流路壁部が形成され、各流路壁部に、対応する１つの貫通孔に対応する電極線が内包されるのが好ましく、もしくは、複数の貫通孔に対して１つの流路壁部が形成され、各流路壁部に、対応する複数の貫通孔に対応する電極線が内包されるのが好ましく、もしくは、前記溶液流路における溶液の流れ方向の一列の貫通孔に対して１つの流路壁部が形成され、各流路壁部に、対応する列の貫通孔に対応する電極線が内包されるのが好ましい。
【００１７】
また、前記目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記本発明の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記吐出基板に、シールド電極、吐出電極、および貫通孔を形成する工程、前記支持基板にインクガイドおよび吐出電極に接続する電極線を外部に接続する接続部を形成する工程、前記吐出基板および支持基板の少なくとも一方に、吐出電極に接続する電極線あるいはさらにシールド電極に接続する電極線を内包する流路壁部を形成する工程、および、前記吐出基板および支持基板の少なくとも一方に吐出電極と前記接続部とを接続する接続部材を配して、吐出基板と支持基板とを位置合わせして接合する工程を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【００１８】
このような本発明の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記支持基板に流路壁部を形成して吐出電極に接続する電極線と前記接続部とを接続した状態としておき、流路壁部の支持基板と逆端部および吐出電極の少なくとも一方に前記接続部材を配して、前記吐出基板と支持基板とを位置合わせして接合することにより、吐出電極と接続部とを接続するのが好ましく、もしくは、前記吐出基板に流路壁部を形成して吐出電極と電極線とを接続した状態としておき、流路壁部の吐出基板と逆端部および支持基板に形成した接続部の少なくとも一方に前記接続部材を配して、前記吐出基板と支持基板とを位置合わせして接合することにより、吐出電極と接続部とを接続するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
上記構成を有する本発明の液体吐出ヘッドは、インクの吐出孔を有する吐出基板と、吐出基板と所定間隔離間する支持基板とを有し、両基板の間を吐出孔にインクを供給するためのインク流路とする静電式インクジェットの液体吐出いヘッドにおいて、インク流路に少なくとも吐出基板に接触する流路壁部を設け、この流路壁部に、吐出電極に接続する電極線や、吐出部間での電界干渉を防止するためのシールド電極に接続する電極線を通す。
従って、吐出電極を接続する電極線すなわち吐出電極の配線を通すことにより、配線の複雑化や多層配線化をすることなく、簡易な配線によって支持基板裏面や側面から外部の電源に接続することができ、従って、好記録密度化した場合でも、液体吐出ヘッドの構成を簡易にでき、かつ、多層配線化に伴う耐電圧の降下も防止できる。
また、流路壁部にシールド電極に接続する電極線を通した場合には、流路内でも隣接する吐出部間での電界干渉を抑制することができるので、インク液滴の吐出をより安定させることができ、また、高速吐出（高記録周波数）にも好適に対応することができる。
【００２０】
また、上記構成を有する本発明の液体吐出ヘッドの製造方法によれば、いわゆるフリップチップボンディングのセルフアライメントと同様に、電極線と吐出電極や、電極線と駆動電源の接続部との位置合わせを行うことができるので、従って、吐出基板と支持基板との位置合わせを簡易にして、前述のような優れた特性を有する本発明の液体吐出ヘッドを、高精度に、かつ高い生産性で低コストに製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の液体吐出ヘッド、および、この液体吐出ヘッドの製造方法について、添付の図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する。
【００２２】
図１に、本発明の静電式インクジェットの液体吐出ヘッドの一例を利用するインクジェット記録装置の一例の概念図を示す。なお、図１（Ａ）は、図３にａ線で示す位置の断面の図であるが、構成をより明瞭にするために、図３にｂ線で示す位置における断面とした図を図１（Ｂ）に示す。
【００２３】
図１に示すインクジェット記録装置１０（以下、記録装置１０とする）は、静電式のインクジェットによってインク液滴Ｒを吐出して、記録媒体Ｐに画像記録（描画）を行うものであり、基本的に、本発明の液体吐出ヘッド１２（以下、吐出ヘッド１２とする）と、記録媒体Ｐの保持手段１４と、インク循環系１６と、電圧印加手段１８とを有して構成される。
なお、本発明の吐出ヘッド１２が吐出するインクＱとしては、色材成分、帯電制御剤、バインダ等を含む帯電粒子（以下、色材粒子とする）を、１０8Ω以上の抵抗率を有する絶縁性の分散媒中にコロイド状に分散、浮遊させてなるインク等、静電式のインクジェットに利用される各種のインクＱ（溶液）が利用可能である。
【００２４】
図示例の記録装置１０において、吐出ヘッド１２は、一例として、記録媒体Ｐの一辺の全域に対応するインク液滴Ｒの吐出口２４の列（以下、ノズル列とする）を有する、いわゆるラインヘッドである。
記録装置１０においては、記録媒体Ｐを保持手段１４で保持して、記録媒体Ｐを吐出ヘッド１２と対面して所定の記録位置に位置した状態で、保持手段１４を吐出ヘッド１２のノズル列と直交する方向に移動（走査搬送）することにより、ノズル列によって記録媒体Ｐの全面を二次元的に走査する。この走査に同期して、吐出ヘッド１２の各吐出口２４から、記録画像に応じて変調してインク液滴Ｒを吐出することにより、記録媒体Ｐにオンデマンドで画像を記録する。
また、画像記録時には、インク循環系１６によって、吐出ヘッド１２（後述するインク流路３２）を含む所定の循環経路でインクＱを循環することにより、各吐出口２４にインクＱを供給する。
【００２５】
吐出ヘッド１２は、静電力によってインクＱ（インク液滴Ｒ）を吐出する静電式インクジェットの液体吐出ヘッドであって、図１および図２に示すように、基本的に、吐出基板１９と、支持基板２０と、インクガイド２２とを有して構成される。また、吐出基板１９と支持基板２０との間には、インクの流れ方向（図中矢印ｆ方向）に延在して、両基板に接触する流路壁部３６が形成される。
【００２６】
吐出基板１９は、Ａｌ2Ｏ3やＺｒＯ2などのセラミックス材料やポリイミドなどの絶縁性材料からなる基板である。吐出基板１９を貫通して、インクＱのインク液滴Ｒを吐出するための吐出口２４が、多数、穿孔される。
吐出ヘッド１２は、図２の概略斜視図、および、図３の吐出基板１９（吐出電極３０よりも上）を取り除いた上面図に示すように、より高解像度で高速な画像記録が可能な好適例として、格子状に二次元的に配列された吐出口２４を有する。
【００２７】
なお、本発明の液体吐出ヘッドは、図示例のように格子状に吐出口２４を有するものに限定はされず、例えば、隣接するノズル列を互いに半ピッチ分ずらして、千鳥格子状に吐出口を配列したものであってもよい。あるいは、二次元的に吐出口を配列した構成ではなく、１列のノズル列のみを有するものであってもよい。
また、本発明は、図示例のようなラインヘッドに限定はされず、記録媒体Ｐをノズル列の長さに対応する所定長ずつ断続的に搬送しつつ、この断続的な搬送に同期して、ノズル列と直交する方向に液体吐出ヘッドを移動して描画を行う、いわゆるシャトルタイプの液体吐出ヘッドであってもよい。
さらに、本発明の液体吐出ヘッドは、モノクロの画像記録に対応する１種のインクのみを吐出する吐出ヘッドであってもよく、カラー画像記録に対応する複数種のインクを吐出する液体吐出ヘッドであってもよい。
【００２８】
吐出基板１９の上面（液滴吐出側＝記録媒体Ｐ側の面  以下、こちら方向を上、逆方向を下と称する）の吐出口２４および制御電極３０の上部以外の領域は、好ましい態様として、シールド電極２６によって略全面的に被覆されている。
シールド電極２６は、導電性の金属板などで形成される全吐出口２４に共通のシート状電極で、所定電位に保持され（接地による０Ｖを含む）ている。図示例においては、シールド電極２６は、図１（Ａ）に示すように、接地によって０Ｖに保持されている。このようなシールド電極２６を有することにより、互いに隣接する吐出口２４（吐出部）の電気力線を遮蔽して、吐出部間における電界干渉を防止して、インク液滴Ｒの吐出を安定できる。
また、必要に応じて、各シールド電極２６の表面を撥インク処理してもよい。
【００２９】
シールド電極２６の上面には、好ましい態様として、立体障壁２８が配置される。
立体障壁２８は、各吐出口２４を個々に囲んで分離することにより、吐出口２４同士でのインクＱの混合の防止、すなわち各吐出口２４（吐出部）毎のインクＱのメニスカスの確実な分離を図るためのものである。
図示例においては、図２に示すように、各吐出口２４を分離するように格子状に壁で立体障壁２８が形成されている。しかしながら、本発明は、これに限定はされず、個々の吐出口２４を分離することができれば、例えば、各吐出口２４を個々に囲む円筒状の立体障壁等であってもよい。
また、立体障壁２８の壁面をへのインクの這い上がりを確実に防止し、吐出口２４同士を確実に防止するために、例えば撥インク処理等により、立体障壁２８の表面を撥インク性とするのが好ましい。なお、シールド電極２６や立体障壁２８の撥インク処理は、それぞれの形成材料やインクＱの分散媒等に応じた公知の方法で行えばよい。
【００３０】
吐出基板１９の下面には、各吐出口２４に対応して、吐出電極３０が設けられる。
図示例において、吐出電極３０は、吐出口２４を囲むリング状の電極であり、後述する電極線３８に接続するための接続部３０ａが形成される。
【００３１】
なお、本発明において、吐出電極３０は、図示例のようなリング状に限定はされず、吐出口２４を囲む矩形であってもよく、あるいは、吐出口２４の全域を囲むものにも限定はされず、例えば、略Ｃ字状等、吐出口２４を囲む電極の一部が除去されているような形状の吐出電極も、好適に利用可能である。
また、Ｃ字状のように、一部が除去されている場合には、インク流路３２のインクの流れ方向に対して、上流側を除去するのが好ましい。このように、上流側の一部を除去した構成とすることにより、吐出電極に駆動電圧を印加した際に、静電力によってインク中のに掛かる反発力を低減することができ、後述するメニスカス（インクガイド２２）への色材粒子の泳動（インクの濃縮）を効率良く行うことができる。
【００３２】
支持基板２０も、ガラス等の絶縁性の材料で形成される基板である。
吐出基板１９と支持基板２０とは、所定の間隔だけ離間して配置され、その間隙がインクＱを各吐出口２４に供給するインク流路３２となる。
インク流路３２は、後述するインク循環系１６に接続されており、インク循環系１６が所定の経路でインクＱを循環することにより、インク流路３２にインクＱが流れ（図中矢印ｆ方向）、各吐出口２４にインクが供給される。
【００３３】
支持基板２０の上面には、インクガイド２２が設けられる。
インクガイド２２は、インク流路３２から吐出口２４に供給されたインクＱを案内して、メニスカスの形状や大きさを調整してメニスカスを安定させ、かつ、自身に電界（静電力）を集中させてメニスカスに電界を集中させることにより、インク液滴Ｒを吐出し易くするためのもので、吐出口２４を貫通して吐出基板１９の表面から記録媒体Ｐ（保持手段１４）側に突出するように、各吐出口２４に対応して配置される。
互いに対応する吐出口２４、吐出電極３０、およびインクガイド２２によって、１ドットの液滴吐出に対応する１つの吐出部（１チャンネル）が形成され、インクガイド２２の先端部が、インクの飛翔位置となる。
【００３４】
図示例の吐出ヘッド１２において、インクガイド２２は、一例として、吐出電極３６と中心を一致する、下方（基部側）の円筒部分と、その上（先端部）の円錐部分部とを有する形状である。インクガイド２２の最大径部分は、吐出電極３６の内径よりも、若干、小さくなっている。また、電界密度を集中させるために、インクガイド２２の先端部には金属を蒸着してもよい。
【００３５】
吐出電極３０やインクガイド２２のサイズには特に限定はなく、記録密度、吐出孔の大きさ、インクの種類等に応じて、適宜、設定すればよい。ここで、吐出電極３０の内径と、吐出電極３０の表面からインクガイド２２の先端までの距離は、内径：距離の比で１：０．５〜１：２の範囲、特に、１：０．７〜１：１．７の範囲とするのが好ましい。すなわち、吐出電極３０の内径をｒ、吐出電極表面からインクガイド先端までの距離をｈとした際に、ｈ／ｒ＝０．５〜２、特にｈ／ｒ＝０．７〜１．７となるように、吐出電極内径および／または吐出電極表面からインクガイド先端までの距離を設定するのが好ましい。
この範囲とすることによって、吐出電極３０によって形成される電界を好適に収束して、強い電界を形成することができ、従って、吐出電極３０に印加する駆動電圧を低くしても、確実にインク液滴を吐出することができる。
【００３６】
また、本発明においては、インクガイドは図示例の形状に限定はされず、各種の形状が利用可能である。例えば、図示例における下方の円筒部分を有さない円錐状であってもよく、四角錐や六角錐などの角錐状の形状であってもよく、下方の角柱部と上方の角錐部とを有する形状でもよい。さらに、参考文献１に開示されるインクガイドのように、先端部などにインクを案内する切り欠き部や溝等を有するものであってもよい。
【００３７】
また、インクガイドは、以上のように先端部に向けて、漸次、細くなる形状に限定はされず、円柱状や角柱状等の太さが均一のものであってもよい。
しかしながら、インクガイドの先端部すなわちメニスカス先端部での電界集中を考慮すると、少なくとも上部は先端に向けて次第に細くなる形状とするのが好ましく、特に、円錐状や角錐状のように先端部分を先鋭な形状とするのが好ましい。また、インクガイドの先端部を細くすることにより、メニスカスを細くして吐出性を向上でき、かつ、インク液滴Ｒも微小にできるというメリットも有る。
【００３８】
図１および図２、さらには、吐出電極３０より上の吐出基板１９を取り除いた上面図である図３に示すように、図示例の吐出ヘッド１２において、インク流路３２内には、インクの流れ方向（図中矢印ｆ方向）の１列の吐出部（互いに対応する吐出口２４、吐出電極３０、およびインクガイド２２）に対応して、吐出基板１９と支持基板２０とを接続するようにインク流れ方向に延在する流路壁部３６が形成される。なお、流路壁部３６は、支持基板２０と同様の絶縁材料で形成すればよい。
また、流路壁部３６内には、上下（吐出基板１９から支持基板２０まで）に貫通して、各吐出電極３０（その接続部３０ａ）に接続される電極線３８が配置される。電極線３８は、支持基板２０を貫通して裏面に至り、接続部８０において、それぞれに対応する電圧印加手段１８に接続される（図１（Ｂ）参照  なお、電圧印加手段は、図中、最も左の吐出部のみに示す）。
【００３９】
電圧印加手段１８は、駆動電源５０とバイアス電源５２とが直列に接続されたもので、インクＱの色材粒子の帯電電位と同極側（例えば正極）が吐出電極３０に接続されて、他極側は設置されている。
駆動電源５０は、例えばパルス電源であって、記録画像（画像データ＝吐出信号）に応じて変調したパルス状の駆動電圧を吐出電極３０に供給する。バイアス電源５２は、画像記録中に、所定のバイアス電圧を、常時、吐出電極３０に印加する。このようなバイアス電源５２（バイアス電圧の印加）を有することにより、駆動電圧の低減を図ることができ、消費電圧の低減や駆動電源の低コスト化を図ることができる。
【００４０】
図示例の吐出ヘッド１０においては、このようにインク流路３２に電極線３８を内包する流路壁部３６を形成し、吐出電極３０に接続し、かつ、支持基板２０の裏面まで貫通する個々の吐出電極３０に対応する電極線３８を流路壁部３６内に配置（流路壁部３６が電極線３８を内包）することにより、静電式インクジェットの吐出ヘッドにおいて、図示例のような二次元的な吐出口２４（吐出部）の配列を有する場合にも、吐出電極に駆動電圧を供給する配線を簡略化して、吐出ヘッド１２の構成を大幅に簡略化できる。
【００４１】
図１１に示す特許文献１に開示される例のように、通常の静電式インクジェットの液体吐出ヘッドは、吐出口が形成された吐出基板の表面あるいは裏面に吐出電極が形成される。そのため、吐出電極に駆動電圧を供給するための配線を吐出基板内で設定する必要があり、高解像度化等のために吐出部を高密に配置すると、配線が複雑になり、場合によっては配線を多層化する必要が生じる。特に、図２や図３に示すように、二次元的に吐出部を形成した場合には、多層配線化が必須になってしまう。そのため、従来の静電式インクジェットでは、液体吐出ヘッドの設計が難しく、かつ、構成が非常に複雑になってしまう。
これに対し、本発明の吐出ヘッド１０においては、インク流路３２内に流路壁部３６を形成し、この流路壁部３６が、吐出電極３０に接続する電極線３８を内包する。そのため、支持基板２０すなわち吐出ヘッド１２の裏面から、各吐出電極３０と電圧印加手段１８（駆動電源５０およびバイアス電源５２）との接続を行うことができ、吐出電極３０への配線を大幅に簡略化でき、従って設計を簡易にし、かつ、構成も簡略にできる。
【００４２】
図示例の吐出ヘッド１０は、インクの流れ方向の一列の吐出部に対して１つの流路壁部３０を有するものであるが、本発明は、これに限定はされない。
例えば、図示例のようにインクの流れ方向の一列の全ての吐出部に対応するのではなく、インク流れ方向に同列の複数個ずつの吐出部に対応して、インクの流れ方向に延在する流路壁部を形成してもよい。また、個々の吐出部に対して流路壁部を形成し、此処に、吐出電極３０に接続する電極線３８（あるいは、後述するようにシールド電極２６に接続する電極線）を内包してもよく、あるいは、適宜、設定された複数の吐出部に対して１つの流路壁部を形成し、対応する吐出部３０に吐出電極３０に接続する電極線３８（同前）を内包してもよい。
【００４３】
また、図４（図３と同様に、吐出基板を取り除いた上面図）に示すように、個々の吐出部に対応して流路壁部４０を設け、此処に電極線３８を内包させ、対応する吐出電極３０（接続部３０ａ）に接続してもよい。なお、図４に示す構成は、各吐出口２４への色材粒子の供給性の点で有利である。
これ以外にも、４つ、６つ、８つ等の適宜決定した複数の吐出部の（略）中央位置などに対応する吐出部の数に応じた電極線を内包する流路壁部を形成し、対応する吐出部の吐出電極の接続する構成であってもよい。
【００４４】
なお、後述する各態様を含め、何れの構成であっても、構成上可能な範囲で、図１や図３に示すように、吐出電極３０に接続される電極線３８は、対応する吐出部のインクガイド２２に対して、インクの流れ方向の下流に配置するのが好ましい。れにより、電極線が形成する静電力がインクガイド２２に作用することを防止して、吐出部における色材粒子の濃縮を安定できる。
また、図示例においては、生産性に優れ、かつ、簡易な配線が可能な好ましい例として、電極線３８と電圧印加手段１８との接続を、支持基板２０の裏面で行っているが、本発明は、これに限定はされず、支持基板２０の側面において、電極線３８と電圧印加手段１８との接続をおこなってもよく、支持基板２０の裏面での接続と側面との接続の両者を有する構成でもよい。
【００４５】
前述のように、吐出基板１９と支持基板２０との間に形成されるインク流路３２には、インク循環系１６によってインクが供給される。
インク循環系１６は、インクＱを貯留するインクタンクやインクＱを供給するポンプを有するインク供給手段５４と、インク供給手段５４とインク流路３２のインク流入口（インク流路３２の図１中の右側端部）とを接続するインク供給流路５６と、インク流路３２のインク流出口（同左側端部）とインク供給手段５４とを接続するインク回収流路５８とを有して構成される。また、これ以外にもインクの補充手段等を有してもよい。
【００４６】
インクＱは、インク供給手段５４からインク供給流路５６を経て吐出ヘッド１２のインク流路３２に供給されて、インク流路３２を流れ（図中矢印ｆ方向）、インク流路３２からインク回収流路５８を経てインク供給手段５４に戻る経路で循環され、これによりインク流路２４から各ノズル２８に供給される。
【００４７】
前述のように、保持手段１４は、記録媒体Ｐを保持して吐出ヘッド１２のノズル列方向と直交方向（以下、走査方向とする）に走査搬送するものである。
図示例において、保持手段１４は、吐出ヘッド１２（吐出基板１９）の上面に対面した状態で記録媒体Ｐを保持するプラテンとしても作用する対向電極６０と、対向バイアス電源６２と、対向電極６０を走査方向に移動することにより、記録媒体Ｐを走査方向に走査搬送する走査搬送手段（図示省略）とを有して構成される。この走査搬送により、記録媒体Ｐは、吐出ヘッド１２の吐出口２４（ノズル列）によって、全面を二次元的に走査され、各吐出口２４から変調して吐出されたインク液滴Ｒによって画像を記録される。
【００４８】
対向電極６０による記録媒体Ｐの保持手段には、特に限定はなく、静電気を利用する方法、治具を用いる方法、吸引による方法等、公知の方法によればよい。
また、対向電極６０の移動方法にも、特に限定はなく、公知の板状部材の移動方法を利用すれば良い。なお、本発明の吐出ヘッド１２を利用する記録装置においては、記録媒体Ｐを固定して、吐出ヘッド１２を移動（走査）することにより、ノズル列で記録媒体Ｐを走査するようにしてもよい。
対向バイアス電源６２は、吐出電極３０（＝色材粒子）と逆極性のバイアス電圧を対向電極６０に印加するものである。なお、バイアス電源７２の他極側は、接地されている。
【００４９】
以下、記録装置１０における画像記録の作用について説明する。
画像記録時には、インク循環系１６によって、インク供給手段５４〜インク供給流路５６〜吐出ヘッド１２のインク流路３２〜インク回収流路５８〜インク供給手段５４の経路でインクＱが循環される。この循環により、インク流路３２にインクＱが流れ（例えば、２００ｍｍ／ｓのインク流）、これにより各吐出口２４にインクが供給される。
また、画像記録時には、バイアス電源５２が吐出電極３０に１００Ｖのバイアス電圧を印加している。さらに、記録媒体Ｐは対向電極６０に保持され、対向電極６０には、対向バイアス電源６２が−１０００Ｖのバイアス電圧を印加している。従って、吐出電極３０と対向電極６０（記録媒体Ｐ）との間には、１１００Ｖ分のバイアス電圧が印加され、その分の電界（静電力）が形成されている。
【００５０】
このインクＱの循環、バイアス電圧による静電力、インクＱの表面張力、毛管現象、インクガイド２２の作用などにより、吐出口２４にはインクＱのメニスカスが形成され、また、色材粒子（本例では正に帯電）が吐出口２４（メニスカス）に泳動してインクＱが濃縮され、この濃縮の作用によってメニスカスがさらに成長し、インクＱの表面張力と静電力等とのバランスが取れることによってメニスカスが安定した状態となっている。
【００５１】
この状態において、駆動電源５０が吐出電極３０に例えば２００Ｖの駆動電圧を印加すると、インクＱおよびメニスカスに作用する静電力が大きくなり、かつ、メニスカスでのインクＱの濃縮が促進されて、メニスカスが急激に成長し、メニスカスの成長力、色材粒子のメニスカスへの移動力、および対向電極６０からの吸引力が、インクＱの表面張力を超えた時点で、色材粒子が濃縮されたインクＱのインク液滴Ｒが吐出される。
吐出されたインク液滴Ｒは、吐出された際の勢い、および、対向電極６０による引力によって飛翔し、記録媒体Ｐに着弾して画像を形成する。
【００５２】
前述のように、画像記録時には、記録媒体Ｐは吐出ヘッド１２と対面した状態で、ノズル列と直交する走査方向に走査搬送されている。
従って、この走査搬送に同期して、画像データ（インク液滴Ｒの吐出信号）に応じて変調して各吐出電極３０に駆動電圧を印加（吐出電極３０を駆動）することにより、記録する画像に応じて変調してインク液滴Ｒを吐出して、記録媒体Ｐの全面にオンデマンドで画像記録を行うことができる。
【００５３】
図１等に示す吐出ヘッド１２は、吐出電極３０と電極線３８とが接続されているが、本発明は、これに限定はされず、シールド電極２６を電極線に接続してもよい。
図５に、その一例を、図６に、その上面図（図３と同）を示す。なお、図５（Ａ）は、図６にａ線で示す位置の断面の図であるが、構成をより明瞭にするために、図６にｂ線で示す位置における断面とした図を図５（Ｂ）に示す。
図５および図６においては、シールド電極２６が電極線４４に接続され、吐出電極３０が支持基板２０の上面（インク流路３２の底面）に形成される以外は、基本的に、前記吐出ヘッド１２と同様の構成を有するので、同じ部材には同じ符号を付して、以下の説明は、異なる点を主に行う。また、図５に示す例のように、吐出電極３０が支持基板２０の上面に形成される構成においては、吐出電極３０の上方にもシールド電極２６を形成するのが好ましい。
【００５４】
図５に示す吐出ヘッドにおいては、電極線４４が吐出基板１９を貫通して、吐出基板１９の上面に形成されるシールド電極２６に接続される。また、電極線４４の一部（図１中右側端部近傍）は、支持基板２０を貫通して、裏面より接地される（図５（Ｂ）参照）。
ここで、シールド電極２６は、全ての吐出部で共通であるので、シールド電極２６と電極線とを接続する場合において、複数の吐出部に対応して１つの流路壁部を形成する場合には、個々の吐出部毎に電極線を接続する必要はない。従って、図示例のように、１列の吐出部に対応する流路壁部４０を形成した場合には、この列の全吐出部に対応する電極線４４を内包させ、シールド電極２６に接続（一カ所でも複数箇所でも可）するのが好ましい。電極線４４を一列の吐出部の全域に対応して設けることにより、各吐出部間での電界干渉抑制性の点で有利である。
また、本例においては、吐出電極３０は、吐出基板１９の裏面ではなく、支持基板２０の上面（インク流路３２の底面）に形成される。
【００５５】
このように、シールド電極２６と流路壁部３６に内包される電極線３８に接続した線構成によれば、シールド電極をインク流路３２内に配置したのと同様になるので、各吐出部間に置ける電界干渉（チャンネル間の電界干渉）をより好適に防止して、安定したインク液滴Ｒの吐出が可能になる。
また、この態様では、好ましい態様として、吐出電極３０を支持基板２０の上面に設けることにより、配線を裏面から出すことを可能にして、吐出部を高密度化や二次元化した際の配線の複雑化も防止している。
【００５６】
このようにシールド電極２６を流路壁部が内包する電極線に接続する構成においても、図３に示すように、個々の吐出部に対応して流路壁部を形成して、シールド電極２６に接続する電極線を内包してもよく、あるいは、一列の複数の吐出部に対応してインク流れ方向に延在する複数の流路壁部を有してもよく、あるいは、適宜設定した複数の吐出部に共通の流路壁部を形成して、シールド電極に接続する電極線を内包してもよい。
【００５７】
さらに、本発明の吐出ヘッドにおいては、流路壁部が内包する電極線に接続されるのは、吐出電極のみ、あるいは、シールド電極のみに限定はされず、図７の概念図および図８の上面図（図３と同）に示すように、流路壁部３６に、吐出電極３０用の電極線３８と、シールド電極２６用の電極線４４を内包して、両電極を対応する電極線に接続してもよい（電極線３８は前記図１（Ｂ）を、電極線４４は前記図５（Ｂ）を、それぞれ参照）。
このような構成とすることにより、支持基板１９の裏面から電圧印加手段１８に接続できることによる吐出電極３０への配線の簡易性と、シールド電極２６に接続する電極線４４がインク流路内に存在することによる吐出部間での電界干渉抑効果の両者を得ることができる。
【００５８】
なお、このように吐出電極３０とシールド電極２６の両者に対応する電極線を流路壁部に内包する構成においても、図３に示すように、各吐出部で個々に流路壁部３６を形成してもよく、あるいは、一列の複数の吐出部に対応してインク流れ方向に延在する複数の流路壁部を有してもよく、あるいは、複数の吐出部に共通の流路壁部を形成してもよく、さらには、図８に示すように、インクの流れ方向（矢印ｆ方向）の一列の吐出部に共通の流路壁部４０を設けて、もよい。
また、吐出電極３０に対しては個々に電極線３８ａを設ける必要があるが、前述のように、シールド電極２６は全吐出部で共通であるので、先の例と同様、電界干渉抑制の点では、図８に示すように、１列の全吐出部に対応する電極線４４有するのが好ましい。
【００５９】
なお、シールド電極２６に接続する電極線は、流路壁部３６を貫通している必要ななく、流路壁部の途中までであってもよい。従って、電極線にシールド電極のみを接続する場合には、流路壁部３６は吐出基板１９と支持基板２０とに接合している必要はなく、吐出基板１９からインク流路３２内に垂下されたような構成であってもよい。
また、図示例においては、電極線は、共に支持基板１９の裏面から外部に接続されるが、本発明は、これに限定はされず、支持基板１９内を配線して、支持基板１９の側面から外部に接続してもよい。
【００６０】
このような本発明の吐出ヘッドは、例えば、半導体製造技術等を利用して作製することができる。
図９に、本発明の吐出ヘッドの製造方法の一例を概念的に示す。なお、図９（および、後述する図１０）に示す例は、本発明の製造方法を図１等に示す吐出ヘッド１０の製造に利用した例であるが、それ以外の図４〜図８で例示した各態様の吐出ヘッドも、この方法に準じて製造する事ができる。
【００６１】
まず、図９（Ａ）に示すように、絶縁性基板７０の両面に金属層７２を形成する。なお、絶縁性基板としては、ポリイミド等の有機材料製の基板、ガラス製基板、アルミナやジルコニア等の無機材料製の基板が用いられる。
次いで、図９（Ｂ）に示すように、所定位置の金属層７２を除去してパターン形成してシールド電極２６および吐出電極３０を形成し、図９（Ｃ）に示すように、絶縁性基板７０の前記所定位置に貫通孔すなわち吐出口２４を形成して、吐出基板１９とする。なお、金属層７２の除去や絶縁性基板７０の穿孔は、レーザ加工やエッチング等の公知の方法で行えばよい。
さらに、図９（Ｄ）に示すように、吐出基板１９の表面にポリイミド等の絶縁性材料層を形成して、レーザ加工やエッチング等によって加工して立体障壁２８を形成し、吐出電極３０の所定位置にハンダや金等からなるバンプ（接続部材）７４を形成する。
【００６２】
他方、図９（Ｅ）に示すように、別の絶縁性基板７６の一面に金属層７８を形成する。絶縁性基板７６は先と同様のものを用いればよい。
次いで、図９（Ｆ）に示すように、金属層７８の所定領域を除去してパターン形成して電圧印加手段１８との接続部８０を形成し、かつ、絶縁性基板７６の所定部に貫通孔８２を形成し、図９（Ｇ）に示すように、貫通孔６６にメッキなどの金属を充填して電極線３８を形成する。
その後、図９（Ｈ）に示すように、絶縁性基板６０の表面（接続部６４と逆面）に先と同様にして絶縁性材料層８４を形成して、絶縁性材料層８４の所定部位を除去（加工）して、図９（Ｉ）に示すように、インクガイド２２の針状の先端部２２ａを形成し、かつ、電極線３８に対応する領域の絶縁性材料層８４を除去する。
さらに、図９（Ｊ）に示すように、絶縁性材料層８４および絶縁性基板７６の所定領域を除去して、インクガイド２２および流路壁部３６を形成して、支持基板２０とする。
なお、加工は、先と同様、レーザ加工やエッチング等の公知の方法で行えばよい。
【００６３】
このようにして吐出基板１９および支持基板２０を形成したら、吐出電極３０に形成したバンプ７４と、電極線３８の上端とを位置合わせして、３００℃程度熱を加えてバンプ７４を溶解して吐出電極３０と電極線３８とを固着し、あるいはさらに他の所定の接合部も固定することにより、図９（Ｋ）に示すように、吐出ヘッド１２とする。
【００６４】
図９に示される例においては、支持基板２０側に流路壁部３６を形成して、両基板を接合して吐出ヘッドを作製したが、本発明は、これに限定はされず、吐出基板１９側に流路壁部３６を形成して、両基板を接合して吐出ヘッドを作製したてもよい。
図１０に、その一例を概念的に示す。また、各種の加工は、先の例と同様に、レーザ加工やエッチング等の公知の方法で行えばよく、材料も、同様のものを用いればよい。
【００６５】
まず、図１０（Ａ）に示すように、絶縁性材料層８６の上に金属層を形成した後、所定領域を除去してパターン形成して吐出電極３０を形成する。次いで、図１０（Ｂ）に示す用に、絶縁性材料層の上に基板層８８を形成し、基板層８８の上に金属層９０を形成し、さらに、金属層９０の上に先の例と同様にして立体障壁２８を形成する。さらに、図１０（Ｃ）に示すように、金属層９０および基板層８８の所定部を穿孔して、パターン形成して吐出基板１９およびシールド電極２６を形成する。
次いで、図１０（Ｄ）に示すように、絶縁性材料層８６の所定領域を除去して、電極線用の貫通孔９２を有する流路壁部３６を形成する。さらに、図１０（Ｅ）に示すように、この貫通孔９２に金属を充填して電極線３８を形成し、電極線３８の下端部に先と同様のバンプ７４を形成する。
【００６６】
他方、図１０（Ｆ）に示すように、絶縁性基板９４の一面に金属層９６を形成し、図１０（Ｇ）に示すように、絶縁性基板９４の所定領域を除去して、インクガイド２２の基部２２ｂを有する支持基板２０とする。
次いで、図１０（Ｈ）に示すように、金属層９６の所定領域を除去し、かつ、支持基板２０の所定部を穿孔して貫通孔９５を形成して、図１０（Ｉ）に示すように、この貫通孔９５に金属材料を充填して、電圧印加手段１８との接続部８０を形成する。
さらに、図１０（Ｊ）に示すように、インクガイド２２の基部２２ｂの上部に絶縁性材料層９８を形成して、図１０（Ｋ）に示すように、不要な領域を除去／加工して、インクガイドの先端部２２ａとして、インクガイド２２が形成された支持基板２０とする。
【００６７】
このようにして吐出基板１９および支持基板２０を形成したら、電極線３８に形成したバンプ７４と、電圧供給手段１８との接続部８０の上端とを位置合わせして、同様に３００℃程度熱を加えてバンプ７４を溶解して接続部８０と電極線３８とを固着し、あるいはさらに他の所定の接合部も固定することにより、図１０（Ｌ）に示すように、吐出ヘッド１２とする。
【００６８】
このような本発明の製造方法において、吐出基板１９と支持基板２０（バンプ７４と電極線３８）との位置合わせは、フリップチップボンダー等を用いればよい。この際において、吐出基板１９と支持基板２０との位置合わせの精度は、バンプ７４のサイズと電極線３８の太さとで決まるため、ほぼ、セルフアライメントで位置合わせすることが可能である。すなわち、前述のように優れた特性を有する本発明の吐出ヘッドを、簡易な工程、優れた生産性、低コストで、高精度に製造することができる。
また、前述のように、吐出電極３０に接続する電極線３８を支持基板２０の裏面より取り出せるので、二次元配列化や高解像度化に伴う配線の複雑化を防止できる。また、流路壁部３６を有するために、吐出基板１９と支持基板２０の撓みの発生等も防止できる。
【００６９】
以上、本発明の液体吐出ヘッド、および、液体吐出ヘッドの製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の変更や改良をしてもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】（Ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの一例を利用するインクジェット記録装置の一例の概念図、（Ｂ）は、その一部の図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの概略斜視図である。
【図３】図１に示す液体吐出ヘッドの上面を概念的に示す図である。
【図４】本発明の液体吐出ヘッドの別の例の上面を概念的に示す図である。
【図５】（Ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの別の例の概念図、（Ｂ）は、その一部の図である。
【図６】図５に示す液体吐出ヘッドの別の例の上面を概念的に示す図である。
【図７】本発明の液体吐出ヘッドの別の例の概念図である。
【図８】図７に示す液体吐出ヘッドの別の例の上面を概念的に示す図である。
【図９】（Ａ）〜（Ｋ）は、図１に示す液体吐出ヘッドの製造方法を説明するための概念図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｌ）は、図１に示す液体吐出ヘッドの製造方法の別の例を説明するための概念図である。
【図１１】従来の液体吐出ヘッドの一例を説明するための概念図である。
【符号の説明】
【００７１】
１０  （インクジェット）記録装置
１２，２００  （液体）吐出ヘッド
１４  保持手段
１６  インク循環系
１８  電圧印加手段
１９，２０６  吐出基板
２０，２０２  支持基板
２２，２０４  インクガイド
２４，２１８  吐出口
２６  ガード電極
２８  立体障壁
３０，２０８  吐出電極
３２，２１６  インク流路
３６，４０  流路壁部
３８，４４  電極線
５０，２１４  駆動電源
５２，２１２  バイアス電源
５４  インク循環手段
５６  インク供給流路
５８  インク回収流路
６０，２１０  対向電極
６２  対向バイアス電源
７０，７６，９４  絶縁性基板
７２，７８，９０，９６  金属層
７４  バンプ
８０  接続部
８２，９２，９６  貫通孔
８４，８６，９８  絶縁性材料層
８８  基板層
【図１】
2006043936.tif 000003
【図２】
2006043936.tif 000004
【図３】
2006043936.tif 000005
【図４】
2006043936.tif 000006
【図５】
2006043936.tif 000007
【図６】
2006043936.tif 000008
【図７】
2006043936.tif 000009
【図８】
2006043936.tif 000010
【図９】
2006043936.tif 000011
【図１０】
2006043936.tif 000012
【図１１】
2006043936.tif 000013