(57)【要約】【課題】  不活性ガスで内部がパージされた露光装置のメンテナンスを安全に行えるようにすることを目的とする。【解決手段】  本発明は、不活性ガスパージ空間内の不活性ガスを空気に置換する為の手段である空気供給用のタンクと、不活性ガスパージ空間のメンテ扉を開けると、装置がどのような状態においても、自動的にタンクの空気を不活性ガスパージ空間に供給出来る手段を設けることを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体露光装置において、不活性ガスを供給する手段と、前記不活性ガスが供給される密閉空間と、前記密閉空間に酸素を供給する手段と、前記密閉空間を開放する手段を有し、前記密閉空間の開放に伴い前記酸素供給手段が装置の状態に拘らず自動的に働くことを特徴とする半導体露光装置。
【請求項２】
前記酸素供給手段が作動出来る状態に無い場合、開放状態の前記密閉空間を密閉状態に出来なくする手段を有する事を特徴とする請求項１記載の半導体露光装置。
【請求項３】
前記酸素供給手段が作動できる状態にない場合、前記密閉空間の開放を出来なくする手段を有する事を特徴とする請求項１記載の半導体露光装置。
【請求項４】
前記密閉空間を開放する手段が、前記酸素を供給する手段を作動させることを特徴とする請求項１〜３いずれか記載の半導体露光装置。
【請求項５】
前記酸素供給手段は、常時酸素を供給手段内部に蓄える手段を有している事を特徴とする請求項１〜４いずれか記載の露光装置。
【請求項６】
前記酸素供給手段は、前記密閉空間の開放に伴い、一定量の酸素を供給する手段を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか又は５記載の半導体露光装置。
【請求項７】
前記酸素供給手段は、開放された前記密閉空間内部の前記不活性ガスを吸い出すことで、外気の酸素を開放された前記密閉空間に供給することを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体露光装置において装置の保守、点検、修理の為に装置内の不活性ガス（例えば窒素）に置換された密閉空間を開放した場合に、前記密閉空間内部の不活性ガスを自働的に空気に置換する不活性ガスパージ空間自動換気装置を備えた露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レチクルのパターンをウエハー上に投影露光（転写）する半導体露光装置では、半導体素子の微細化に伴い、益々高い装置精度（例えばウエハーとレチクルの位置合わせ精度やレチクパターンのウエハーへの転写精度）が求められている。転写精度を向上させるには、露光波長を短くする方法と、投影光学系の開口数を大きくする方法が有る。その為、露光装置の高精度化に伴い、露光波長はｉ線（３６５ｎｍ）、ＫｒＦレーザ（２４８ｎｍ）、ＡｒＦレーザ（１９３ｎｍ）と短波長化が進んできている。
【０００３】
ところが、露光光の短波長化に伴い、露光光路中の光学素子に不純物が付着し、光学特性低下（転写精度の劣化）の問題が起き始めた。不純物は主に空気中のアンモニアＮＨ３や亜硫酸ＳＯ２やＳｉ化合物と紫外光（露光光）が化学反応を起こして出来た二酸化珪素ＳｉＯ２や硫酸アンモニウム（ＮＨ４）２ＳＯ２である。
【０００４】
この対策として従来、露光光路中の光学素子を密閉し（パージ空間を形成し）、窒素などの不活性ガスをその空間に流していた。
【０００５】
更に波長の短いＦ２レーザ（１５７．６ｎｍ）を使用すると、今までは無視できた僅かの未パージ空間の存在も無視できなくなった。
【０００６】
主な原因は未パージ空間に存在する酸素により、露光光の透過率が下がり、ウエハー上で十分な照度が得られないことである。
【０００７】
例えば、Ｆ２レーザ光の空気中での透過率は１％／ｍｍしかない。その為、パージが行われない投影レンズ下面とウエハー面の距離が２０ｍｍ程度である場合、ウエハー面で十分な照度が得られないからである。
【０００８】
この様な背景で、露光装置内には不活性ガスパージ空間が露光光路全域に拡大されて来た。その結果、露光装置を構成する多くのユニットが不活性ガスパージ空間内部に構成され、不活性ガスパージ空間内部のユニットを保守点検修理する為に、不活性ガスパージ空間を構成する壁（メンテ扉）を開放し、不活性ガスパージ空間内部にアクセスする回数が増えてきた。
【０００９】
不活性ガスパージ空間内部にアクセスする場合は、残留する不活性ガスによる酸欠の危険性があるので、従来以下の様な安全対策が施されてきた。
（１）ラベルを貼り、酸素マスク着用を作業者に義務付けていた。
（２）不活性ガスパージ空間内部に酸素濃度計と不活性ガスパージ空間のメンテ用扉にインターロック機構を設けていた。通常はメンテ用扉のインターロックは働いており、メンテ用扉は不用意に開かない構造になっている。メンテ時にメンテ用扉を開ける為には、不活性ガスパージ空間内部の換気を行い、酸素濃度計で不活性ガスパージ空間内部の酸素濃度が十分確保されている（例えば酸素濃度が１８％以上であることを確認し、酸欠の危険性が無いことを保証する）事を確認後、メンテ用扉のインターロックを解除していた。
【特許文献１】特開２００１−３２６１６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら上記従来例では以下の問題があった。
不活性ガスパージ空間内部用酸素濃度計と不活性ガスパージ空間のメンテ扉用インターロック機構を構成し、酸素濃度計で不活性ガスパージ空間内部が十分に換気され窒息の危険性の無い安全な酸素濃度であることを確認しないと、インターロック機構が働きメンテ用扉を開けることが出来ない従来システムにおいても、次の問題があった。
（１）通常はインターロック機構を作動させているが、デフィートスイッチと呼ばれるサービスマン用にインターロック機構を解除する機構を併せ持つことが多い。この場合、サービスマンがインターロックを解除し、不注意で不活性ガスパージ空間を開放してしまう場合がある。
（２）インターロック機構は酸素濃度計が安全な酸素濃度で有ることを確認して解除されるので、酸素濃度計が故障した場合は装置のメンテ扉が開かなくなってしまう。
（３）（２）の問題解決や、装置停止時に不活性ガスパージ空間内部のメンテを可能とする為に、装置停止時はインターロックを解除するシステムとした場合（装置を停止する前に窒素を空気に置換して安全を確保している）がある。その場合、装置が正常に停止した場合は問題無いが、ＥＭＯによる緊急停止時等には装置の電源供給が停止され、不活性ガスを空気に置換する機能は働かず、不活性ガスパージ空間内部が十分に換気されない状態で、不活性ガスパージ空間にアクセス可能となり、窒息の危険性が残っていた。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する為に本発明は、不活性ガスパージ空間内の不活性ガスを空気に置換する為の手段である空気供給用のタンクと、不活性ガスパージ空間のメンテ扉を開けると、装置がどのような状態においても、電気的制御を伴わずに自動的にタンクの空気を不活性ガスパージ空間に供給出来る手段（例えば、電気を用いないメカ手段）を設けた。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に依れば、不活性ガスパージ空間のメンテ扉を開けると、装置がどの様な状態でも、不活性ガスパージ空間内部に不活性ガス置換用の空気を自働的に供給できる。従って、不活性ガスパージ空間内部の不活性ガスを、作業者が安全に作業できるレベルの酸素濃度を有した空気に置換出来、不活性ガスパージ空間内部のユニットをメンテする際の窒息事故を確実に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（第１の実施例）
本発明の第一の実施例について説明する。図１に本発明の第一の実施例を示す。１は原版であるレチクル、２はレチクルのパターンが投影露光されるウエハー、３は露光光源であるレーザ発振機、４はレチクル２を照明する照明光学系、５はレチクルのパターンをウエハー２に投影露光する投影光学系、６はウエハー２を所定位置に移動させるウエハーステージ、７はレチクル１を所定位置に位置決めするレチクルステージ、８はウエハー２をウエハーステージ６に乗せ降ろしするウエハー搬送系、９はレチクル１をレチクルステージ７に乗せ降ろしするレチクル搬送系、１０はウエハー２をウエハーステージ６上に保持するウエハーチャック、１２はウエハー２の傾きを測定するアライメントユニットＡ、１３はウエハー２の位置を測定するアライメントユニットＢ、１４はレチクル１の位置を測定するアライメントユニットＣ、１５は投影光学系５の下面とウエハー２上面の間の空間を構成するウエハーパージチャンバー、１６は照明光学系４下面と投影光学系５上面の間の空間を密閉するレチクルパージチャンバー、１７はウエハー２をウエハーチャンバー１５から出し入れするロードロックＡ、１８はレチクル１をレチクルチャンバー１６から出し入れするロードロックＢ、１９はウエハーパージチャンバー１５とレチクルパージチャンバー１８に窒素を供給する窒素パージ装置、２０はウエハーパージチャンバー１５の内部をメンテする際に開けるメンテ扉、２１はメンテ扉２０が開けられるとウエハーパージチャンバー１５の内部に供給する空気を蓄えておく空気タンク、２２はメンテ扉２０が開けられると自働的に空気タンク２１の空気をウエハーパージチャンバー１５の内部に供給する自動空気供給機構である。
【００１４】
本発明の特徴は、図２に示す従来例に無い空気タンク２１と自動空気供給機構２２が構成されていることであるが、まずは図２の従来例を元にウエハーパージチャンバー１５の内部ユニットのメンテナンス手順を説明する。
【００１５】
ウエハーパージチャンバー１５の内部をメンテナンスする例としては、ウエハーステージ６やアライメントユニットＢ１３やウエハー搬送系８の修理等が考えられる。ウエハーステージ６を修理する為にはメンテ扉２０をウエハーパージチャンバー１５から外して（又は開けて）、ウエハーパージチャンバー１５の内部にあるウエハーステージ６にアクセスする必要がある。その際に問題になるのが、通常ウエハーパージチャンバー１５の内部は窒素パージ装置１９から供給される窒素で窒素パージされていることである。その目的は従来例で説明したので省くが、窒素パージ空間内部は高い純度で窒素にパージされているので、人間が内部で作業をすると窒息の危険性がある。通常安全な酸素濃度は１８％以上といわれているが、窒素パージ動作中の窒素パージ空間の酸素濃度は１〜１０００ｐｐｍ（１００ｐｐｍ＝０．０１％）のレベルでありその中に人間が入れば確実に窒息する。
【００１６】
そこで従来は図２に示すような安全対策が施されていた。図２が図１と異なるところは、空気タンク２１と自動空気供給機構２２が構成されていないが、ウエハーパージチャンンバー１５内の酸素濃度を測定する酸素濃度計２３と酸素濃度計２３の測定値を元にメンテ扉を外して良いか判断するインターロック制御機構２５とメンテ扉２０の開動作（ウエハーパージチャンバー１５から外す）を禁止するメンテ扉インターロック機構２４が構成されている事である。
【００１７】
露光装置が動作している時は、窒素パージ装置１９より供給された窒素でウエハーパージチャンバー１５の内部は酸素濃度が１〜１０００ｐｐｍ程度に窒素パージされている。その時メンテ扉２０はインターロック制御機構２４によって、ウエハーパージチャンバー１５から外す事が出来なくなっているので、誤ってメンテ扉２０を外す等の作業ミスで窒息事故が発生しない様になっている。
【００１８】
ウエハーステ−ジ６をメンテナンスする時は、窒素パージ装置１９を停止してウエハーパージチャンンバー１５への窒素の供給を停止する。その後不図示の換気装置等を動作させて、ウエハーパージチャンンバー１５の内部を空気に置換する。同時に（あるいは一定時間後）酸素濃度計２３でウエハーパージチャンバー１５内部の酸素濃度を測定する。若し酸素濃度が規定値（例えば１８％以上）に達しない場合はメンテ扉２０を外すと危険であるとインターロック制御機構２５が判断し、換気装置の動作を引き続き行う一方、メンテ扉インターロック２４でメンテ扉２０の開動作の禁止を続行する。その後換気動作が引き続き行われることでウエハーパージチャンバー１５内部の酸素濃度が上昇し、酸素濃度計２３が酸素濃度１８％以上を計測すると、インターロック制御機構２５がメンテ扉２０を外しても安全であると判断し、メンテ扉インターロック機構２４を動作させメンテ扉２０の開動作禁止を解除する。メンテ扉インターロック機構は、例えば一般的なシャフトが出入りし、出っ張ったシャフトがメンテ扉２０の穴に入りメンテ扉２０の開動作を禁止する等の機構でよい。
【００１９】
しかしながら従来例では、デフィートスイッチと呼ばれるインターロック制御機構を無効にする機能を働かせた場合や、装置停止時には電源が遮断されメンテ扉インターロック機構２４が働かず、メンテ扉２０を自由に外す事が出来た。特にＥＭＯと呼ばれる緊急停止装置が働いた場合はウエハーパージチャンンバー１５内部を換気する機能も働かず、メンテ扉２０を外すことは窒息の危険性があった。
【００２０】
メンテ扉インターロック機構２４は、電源停止時のメンテナンス性（及び電源が供給できない場所での作業性）を考慮して電源停止時は働かない（メンテ扉２０を自由に外せる）システムを組むことが多いが、電源停止時にもインターロックが働くシステムを採用しても必ずそのシステムを解除する機構があり、その取り扱いを誤ると窒息の危険性は無視できなかった。
【００２１】
そこで本発明は装置がどのような状態である場合でも、メンテ扉２０を外しても窒息の危険性が無い様に、メンテ扉２０を外すとメカ機構で自動的に（電気の駆動を伴わない）ウエハーパージチャンバー１５の中に空気を供給する機構を設けた。
【００２２】
具体的には図１に示す様に、ウエハーパージチャンバー１５に供給する空気を蓄えておく空気タンク２１とメンテ扉２０を外すと空気タンク２１の空気をウエハーパージチャンバー１５の内部に供給する自動空気供給機構２２が構成されている。
【００２３】
尚、図１では、図２にある酸素濃度計２３、メンテ扉インターロック機構２４、インターロック制御機構２５が構成されていないが、図２の従来例に本発明の機能を追加することは、窒息事故防止の二重の安全対策となりより有効となる。
【００２４】
次に図３を元に空気タンク２１と自動空気供給機構２２の動作を説明する。主な構成は、メンテ扉２０をウエハーパージチャンバー１５に固定する扉つまみ３１と空気タンク２１の空気のウエハーパージチャンバー１５への流入を制御するエアー供給弁３７とエアー供給弁３７を駆動する回転レバー３３等である。
【００２５】
通常の露光装置可動状態では、エアー供給ライン４１から供給された空気は逆支弁４０を通過して空気タンク２１に蓄えられる。蓄えられた空気はエアー供給ラインＢ４２の先でエアー供給弁３７で閉じられているので、ウエハーパージチャンバー１５に供給されることは無い。若し、露光装置に供給される設備エアーが停止する等して、エアー供給ライン４１の圧力が下がっても、逆支弁４０が働き空気タンク２１にはエアーが蓄えられつづける。
【００２６】
次にウエハーパージチャンバー１５の内部をメンテする場合を説明する。メンテ扉２０を外す場合はまずメンテ扉２０をウエハーパージチャンバー１５に固定している扉つまみ３１を外す（緩める）が、扉つまみ３１を緩めるとつまみの先端位置（回転レバー３３との接触位置）は右方向に移動する。一方回転レバー３３は支点３４を中心に回転できる構造になっており、バネＡ３２で時計方向に力を受けているが、扉つまみ３１が直接回転レバー３３を反時計方向に力を与えているので扉つまみ３１が固定された状態では、反時計方向に回った位置で保持されている。この位置では回転レバー３３の先端についた突き当て部３６はエアー供給弁３７に接触しておらず、エアー供給弁３７を動かす力は発生していない。
【００２７】
扉つまみ３１を緩めると回転レバー３３との接触位置が右方向に移動する。すると、回転レバー３３はバネＡ３２による時計方向の力によって支点３４を中心に時計方向に回転する。すると回転レバー３３の先端部にある突き当て部３６はエアー供給弁３７に接触する。一方エアー供給弁３７はバネＢ３８によって左方向に力を受け、左位置に移動してウエハーパージチャンバー１５にＯリング３９を挟んで接触している。尚、空気タンク２１のエアー供給ラインＢ４２はエアー供給弁３７に繋がっており、エアー供給弁３７が左位置に有る時はＯリング３９によって、空気タンク２１のエアーがウエハーパージチャンバー１５の内部に供給されることは無い。
【００２８】
ところが回転レバー３３が時計方向に回転すると、回転レバー３３の先端部にある突き当て部３６はエアー供給弁３７に接触し、更に回転方向に移動しつづけると、突き当て部３６はエアー供給弁３７を右方向に移動させることになる。エアー供給弁３７が右に移動するとＯリング３９を潰すことが出来なくなり、空気タンク２１のエアーがウエハーパージチャンバー１５の内部に供給される。
【００２９】
更に回転レバー３３が時計方向に回転すると、突き当て部３６はエアー供給弁３７との接触が無くなり、エアー供給弁３７はバネＢ３８によって左方向に戻る。すると、空気タンク２１からウエハーパージチャンバー１５へのエアーの供給は停止し、空気タンク２１へのエアーの蓄積が再開される。従って、無駄なエアーの供給を防止できる。
【００３０】
この様にして、メンテ扉２０を開けるとメカ機構で自動的にウエハーパージチャンバー１５内部に空気を供給出来、窒素パージによって低かったウエハーパージチャンバー１５内部の酸素濃度を窒息の危険の無い安全な酸素濃度にすることが出来る。
【００３１】
尚、メンテ扉２０を絞める時は、回転レバーは今までとは逆に時計方向に回った位置から、扉つまみ３１の力によって半時計方向に回転し、初期の位置に戻る。回転の途中で突き当て部３６はエアー供給弁３７に接触するが、エアー供給弁３７はウエハーパージチャンバー１５と接触した位置（空気タンク２１のエアー供給を遮断する位置）からは左に移動出来ないので、突き当て部３６の根元に構成されたバネＣ３５が縮むことで回転レバー３３は突き当て部３６が回転レバー３３と接触しない位置まで半時計方向に移動する（初期の位置に戻る）。
【００３２】
尚、ウエハーパージチャンバー１５内部のウエハーステージ６のメンテの例を説明したが、露光装置内の不活性ガスパージ空間の内部にアクセスする全ての場合に適用できる。
【００３３】
更にメンテ扉２０を開けた時に隙間から出てくる窒素で窒息することがない様に、空気タンク２１の空気は、扉近辺からパージ空間内部に吹き込むと良い。
【００３４】
又空気タンク２１の体積Ｖ１は、ウエハーパージチャンバー１５の体積Ｖ２の窒素に、酸素濃度２０％の空気をＶ１混ぜて体積Ｖ１＋Ｖ２の酸素濃度が１８％となる量と仮定すると、Ｖ１＝９Ｖ２となる。この仮定はＶ１とＶ２が同じ圧力と仮定しているが、空気タンクの圧力を０．３Ｍｐａ、ウエハーパージチャンバー１５の圧力を１０００Ｐａ（＝０．００１Ｍｐａ）とすると、Ｖ１＝９／３／１００Ｖ２＝０．０３Ｖ２となる。これに漏れ量と安全率を考慮して空気タンクの体積と空気の圧力を決定すれば良い。
【００３５】
更に本実施例では空気タンク２１を１個、メンテ扉２０も１個の場合で説明したが、無論それぞれ複数個構成されても良い。その場合空気タンク２１は複数のメンテ扉２０様に兼用しても良いし、複数のメンテ扉２０毎に小型の空気タンク２０を設けてもよい。
【００３６】
（第２の実施例）
一般にメンテ扉２０を外した後のウエハーパージ空間１５への窒素パージ再開は、不図示のメンテ扉２０取り付け確認センサーが、メンテ扉２０が取り付いていることを確認したら開始される。従って、メンテ扉２０を外した後空気タンク２１にエアーが供給されない場合は、第一の実施例は機能しなくなる。そこで第二の実施例は、第一の実施例に、一度メンテ扉２０を外した後空気タンク２１にエアーが蓄えられないと、メンテ扉２０を取り付け出来ない機能を追加している。図４，図５で第二の実施例を説明する。図４，図５は第一の実施例に追加した機能のみ図示してある。メンテ扉２０、ウエハーパージチャンバー１５、扉つまみ３１の機能は第一の実施例と同じであるが、エアーシリンダー４３、バネＤ４４、つまみストッパー４５が新たに構成されている。つまみストッパー４５は上下に移動可能で、図５の様に下位置にあると扉つまみ３１はメンテ扉２０をウエハーパージチャンバー１５に固定する位置まで移動できない構造となっている。（メンテ扉２０を取り付けることが出来ない）。つまみストッパー４５の上下はバネＤ４４と空気タンク２１のエアー圧力を利用してエアーシリンダー４３が行っている。つまり図４に示すように、空気タンク２１にエアー圧力があるとき（エアーが蓄えられている時）は、空気タンク２１のエアー圧力がエアーシリンダー４３に供給され、エアーシリンダー４３はバネＤ４４の力に打ち勝ってつまみストッパー４５を上位置に押し上げている。つまみストッパー４５を上位置にある場合は、扉つまみ３１はメンテ扉２０をウエハーパージチャンバー１５に固定できる。つまりメンテ扉２０を取り付けることが出来る。一方図５に示すように空気タンク２１にエアーが無い場合は、エアーシリンダー４３にエアー圧力が供給されず、エアーシリンダー４３はつまみストッパー４５を上に押し上げる力を発生しない。従ってつまみストッパー４５はバネＤ４４によって下位置に移動される。その結果、扉つまみ３１はメンテ扉２０をウエハーパージチャンバー１５に固定する位置まで移動することが出来ない。言い換えるとメンテ扉２０を取り付けることが出来ない。
【００３７】
（第３の実施例）
図７，８に第三の実施例を示す。目的は第２の実施例と逆で、空気タンク２１にエアーが蓄えられていない場合は、メンテ扉２０を開かなくすることである。構成や機能は第二の実施例と同じであり、異なるのはつまみストッパーａ４８が扉つまみ３１が抜けるのを防止する構造になっていることである。
【００３８】
図７に示すように、空気タンク２１にエアーが蓄えられていない場合は、つまみストッパーａ４８が下位置に下がり扉つまみ３１が抜けなくなっている。一方、図８に示すように、空気タンク２１にエアーが蓄えられている場合は、つまみストッパーａ４８が上位置に上がり、扉つまみ３１が抜けるつまりメンテ扉２０が外せる。
【００３９】
（第４の実施例）
第一の実施例において、ウエハーパージチャンバー内部に供給するエアーを使用して不図示ファンを駆動し、ウエハーパージチャンバー内部に空気を強制的に供給しても良い。
【００４０】
この場合エアーはファンの駆動源のみとしても良いし、ファン駆動後ウエハーパージチャンバー内部に供給しても良い。
【００４１】
（第５の実施例）
第１の実施例では、１個メンテ扉の例を説明したが、複数のメンテ扉を有する場合は各々のメンテ扉に空気タンクを設けると良い。そうする事で開放するメンテ扉近辺（メンテ作業に必要な空間）のみに空気タンクのエアーを供給出来るので、空気タンクを小さくすることが出来る。
【００４２】
（第６の実施例）
図６に第４の実施例を示す。第１，第２の実施例では空気を供給することでウエハーパージチャンバー１５内部の酸素濃度を高めていたが、第三の実施例は、ウエハーパージチャンバー１５内部の窒素を吸出しメンテ扉２０とウエハーパージチャンバー１５の隙間から空気を吸い込むことでウエハーパージチャンバー１５内の酸素濃度を高めている。メンテ扉２０、ウエハーパージチャンバー１５、扉つまみ３１の機能は第一の実施例と同じであるが、パッキン４６と排気ライン４７が構成され、空気タンク２１が無くなっている。露光装置可動状態では、メンテ扉２０に固定されたパッキン４６がウエハーパージチャンバー１５と排気ライン４７の隙間を埋めている。従ってウエハーパージチャンバー内の窒素が排気ライン４７によって外部に吸い出されることは無い。
【００４３】
一方、メンテ扉２０を外すとパッキン４６も外されてウエハーパージチャンバー１５内部と排気ライン４７が繋がる。従ってウエハーパージチャンバー１５内部の窒素が排気ライン４７によって外部に排気される。と同時にメンテ扉２０とウエハーパージチャンバー１５の隙間から空気がウエハーパージチャンバー内部に入り、ウエハーパージチャンバー１５内部の酸素濃度を高めることが出来る。
【００４４】
従って、第１，第２の実施例と同様に、メンテ扉２０を外すとメカ手段で自動的にウエハーパージチャンバー１５内部の酸素濃度を窒息の危険の無い安全な高さに高めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図２】従来例を示す図である。
【図３】第１の実施例を詳細に説明する図である。
【図４】空気タンクにエアーが有る場合はメンテ扉を閉めることが出来ることを示す、第２の実施例を示す図である。
【図５】空気タンクにエアーが無い場合はメンテ扉を閉めることが出来ないことを示す、第二の実施例を示す図である。
【図６】排気ラインを用いて酸素濃度を高めることを示す第３の実施例を示す図である。
【図７】空気タンクにエアーが無い場合は、メンテ扉を外すことが出来ないことを示す、第３の実施例を示す図である。
【図８】空気タンクにエアーが有る場合はメンテ扉を外すことが出来ることを示す、第３の実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  レチクル
２  ウエハー
３  レーザは発振機
４  照明光学系
５  投影光学系
６  ウエハーステージ
７  レチクルステージ
８  ウエハー搬送系
９  レチクル搬送系
１０  ウエハーチャック
１２  アライメントユニットＡ
１３  アライメントユニットＢ
１４  アライメントユニットＣ
１５  ウエハーパージチャンバー
１６  レチクルパージチャンバー
１７  ロードロックＡ
１７ａ  外側扉
１７ｂ  内側扉
１８  ロードロックＢ
１９  窒素パージ装置
２０  メンテ扉
２１  空気タンク
２２  自動空気供給機構
２３  酸素濃度計
２４  メンテ扉インターロック機構
２５  インターロック制御機構
３１  扉つまみ
３２  バネＡ
３３  回転レバー
３４  支点
３５  バネＣ
３６  突き当て部
３７  エアー供給弁
３８  バネＢ
３９  Ｏリング
４０  逆支弁
４１  エアー供給ライン
４２  エアー供給ラインＢ
４３  エアーシリンダー
４４  ばねＤ
４５  つまみストッパー
４６  パッキン
４７  排気ライン
４８  つまみストッパーａ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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