(57)【要約】 【課題】  載物ガラスの平面度を保ちつつ載物ガラス上の被測定物を鮮明に透過照明できる画像測定装置を提供する。【解決手段】  載物部２２０は、開口２４０する収納空間２６０を有する基台部２３０と、上面にワークが載置される載置面２８１を有し、かつ、基台部２３０の開口２４０を覆う位置に配設された載物ガラス２８０と、収納空間２６０内において移動自在に配設されているとともに載物ガラス２８０を通してワークを透過照明する照明手段２９０と、開口２４０を横切って架け渡され載物ガラス２８０を支持する支持板３００と、を備える。支持板３００は、厚み寸法ａに対して高さ寸法ｂが大きい扁平形状であり、かつ、その高さ方向（ｂ）を載物ガラス２８０の載置面２８１に垂直な方向とするとともにその厚み方向（ａ）を載物ガラス２８０の載置面２８１に平行な方向として配設されている。【選択図】 図１
2006266748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが載置される載物部と、前記載物部に載置されたワークを撮像する撮像手段と、前記ワークと前記撮像手段とを三次元的に相対移動させる移動機構と、前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて前記ワークの形状あるいは寸法を解析する解析部と、を備える画像測定装置において、
前記載物部は、
少なくとも上方に向けて開口する収納空間を有する基台部と、
上面に前記ワークが載置される載置面を有し、かつ、前記載置面を略水平にして前記基台部の前記開口を覆う位置に配設された光透過性板材と、
前記収納空間内において二次元的に移動自在に配設されているとともに前記光透過性板材を通して前記載置面に載置されたワークを透過照明する照明手段と、
前記開口を横切って架け渡され前記光透過性板材を支持する支持板と、
を備え、
前記支持板は、厚み寸法に対して高さ寸法が大きい扁平形状であり、かつ、その高さ方向を前記光透過性板材の前記載置面に垂直な方向とするとともにその厚み方向を前記光透過性板材の載置面に平行な方向として配設されている
ことを特徴とする画像測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の画像測定装置において、
前記支持板は、所定間隔をあけて複数枚設けられている
ことを特徴とする画像測定装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の画像測定装置において、
前記支持板は、複数枚設けられ、かつ、互いに交差する組が少なくとも一つ存在する
ことを特徴とする画像測定装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の画像測定装置において、
前記支持板は、前記光透過性板材の下面側において前記基台部の開口端縁に前記開口を横切る状態で架け渡され、
前記光透過性板材は、前記支持板上に載置されて支持されている
ことを特徴とする画像測定装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の画像測定装置において、
前記支持板は、前記光透過性板材に埋設されている
ことを特徴とする画像測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像測定装置に関する。例えば、透過型の照明で被測定物を照明しながら被測定物を撮像した画像データに基づいて被測定物の形状、寸法等を測定する画像測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物を撮像した画像データに基づいて被測定物の形状、寸法を測定する画像測定装置が知られている（例えば、特許文献１）。
図６に画像測定装置１００の構成を示す。
この画像測定装置１００は、画像測定機２００と、制御部６００と、入力手段７００と、出力手段８００と、を備える。
画像測定機２００は、ベースとなる架台２１０と、架台２１０上に配設されワークＷが載置される載物部２２０と、ワークＷを撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ４００と、ＣＣＤカメラ４００とワークＷとを三次元的に移動させる移動機構５００と、を備える。
【０００３】
図７は、画像測定機２００の載物部２２０の内部を透視した図である。
載物部２２０は、上方に向けて開口（２４０）する収納空間２６０を有する基台部２３０と、基台部２３０の開口端縁２５０上に載置された載物ガラス２８０と、基台部２３０の収納空間２６０内において二次元的に移動自在に配設されているとともに載物ガラス２８０を通してワークを透過照明する照明手段２９０と、を備えている。
載物ガラス２８０は、４辺が基台部２３０の開口端縁２５０に載ることにより全周縁にて支持されている。
なお、照明手段２９０を二次元的（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる駆動機構は、詳しく図示しないが、基台部２３０の収納空間２６０内においてＸ方向およびＹ方向にそれぞれ配設されたビームと、両ビームを摺動するスライダと、により構成できる。
【０００４】
移動機構５００は、基台部２３０の両端辺において前後に移動自在に立設されたビーム支持体５１０と、ビーム支持体５１０の上端に支持されたＸビーム５２０と、Ｘビーム５２０に摺動可能に設けられたＸスライダ５３０と、を備える。
Ｘスライダ５３０から垂下する状態でＣＣＤカメラ４００はＸスライダ５３０の先端に取り付けられている。
【０００５】
制御部６００は、ＣＣＤカメラ４００および照明手段２９０の移動を制御するモーションコントローラ６１０と、ＣＣＤカメラ４００で撮像された画像データに基づいてワークＷの形状、寸法を解析する解析部を内蔵したホストコンピュータ６２０と、を備えている。入力手段７００としてはキーボードなどが例示され、出力手段８００としてはモニタやプリンタなどが例示される。
【０００６】
このような構成において、載物ガラス２８０の載置面２８１に被測定物Ｗとして例えばディスプレイパネルを載置する。ＣＣＤカメラ４００および照明手段２９０を被測定部位に応じて移動させ、照明手段２９０で透過照明しながらＣＣＤカメラ４００で被測定物Ｗを撮像する。すると、画像データに基づいて解析部（不図示）により画像解析されて被測定物Ｗの形状、寸法などが測定される。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−４１７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年では、被測定物Ｗが大型化してきており、例えば、被測定物Ｗとしてのディスプレイパネルは２５００ｍｍ×２５００ｍｍの大きさを有する。当然のことながら、この大きな被測定物Ｗを載置するための載物ガラス２８０も大型化されなければならない。
しかしながら、単純に載物ガラス２８０を大きくした場合、載物ガラス２８０をその４辺で支持するのみでは自重によりたわみが生じる。例えば、厚さ２５ｍｍで２５００ｍｍ×２５００ｍｍのガラスでは自重撓みが０．８ｍｍ〜１．８ｍｍ程度になる。
そして、図８に示されるように、載物ガラス２８０がたわんでしまうと、載物ガラス２８０に載置される被測定物Ｗもたわんでしまうことになる。このとき、被測定物Ｗを撮像するにあたって、被測定物Ｗのたわみにより被測定物Ｗの中央と端部とではＣＣＤカメラ４００からの撮像距離が異なってくるので、仮に被測定物Ｗの端部で焦点が合っていたとしても被測定物Ｗの中央ではＣＣＤカメラ４００の焦点が合わず、測定が正確に行われないという問題が生じる。
【０００９】
ここで、このような載物ガラス２８０のたわみを調整するのに載物ガラス２８０の下面を例えばジャッキで支持すればよいとも考えられる。しかし、この場合、ジャッキが邪魔になって照明手段２９０が移動できない部分ができ、さらに、ジャッキによって透過照明がケラレて影になる領域が生じてしまうという問題がある。
そのため、載物ガラス２８０の平面度を保ちつつ大型化でき、かつ、載物ガラス２８０上の被測定物Ｗを鮮明に透過照明できる構成が望まれていた。
【００１０】
本発明の目的は、載物ガラスの平面度を保ちつつ載物ガラス上の被測定物を鮮明に透過照明できる画像測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の画像測定装置は、ワークが載置される載物部と、前記載物部に載置されたワークを撮像する撮像手段と、前記ワークと前記撮像手段とを三次元的に相対移動させる移動機構と、前記撮像手段にて撮像された画像データに基づいて前記ワークの形状あるいは寸法を解析する解析部と、を備える画像測定装置において、前記載物部は、少なくとも上方に向けて開口する収納空間を有する基台部と、上面に前記ワークが載置される載置面を有し、かつ、前記載置面を略水平にして前記基台部の前記開口を覆う位置に配設された光透過性板材と、前記収納空間内において二次元的に移動自在に配設されているとともに前記光透過性板材を通して前記載置面に載置されたワークを透過照明する照明手段と、前記開口を横切って架け渡され前記光透過性板材を支持する支持板と、を備え、前記支持板は、厚み寸法に対して高さ寸法が大きい扁平形状であり、かつ、その高さ方向を前記光透過性板材の前記載置面に垂直な方向とするとともにその厚み方向を前記光透過性板材の載置面に平行な方向として配設されていることを特徴とする。
【００１２】
このような構成において、基台部の開口を横切って架け渡された支持板によって光透過性板材が支持される。
そして、支持板は高さ寸法が厚み寸法より大きいので高さ方向からの応力には十分な剛性を有しており、この高さ方向を光透過性板材に垂直な方向としているので、支持板によって光透過性板材の重さが十分に支えられる。
従って、支持板による支持により光透過性板材の載置面はたわむことなくその平面度が保たれる。例えば、非常に大きな光透過性部材であったとしても支持板による支持によってその平面度が保たれる。
さらには、光透過性板材の載置面にワークが載置された際にも、光透過性板材およびワークの重量が支持板にて支えられ、光透過性板材およびワークの平面度が維持される。そして、このようにワークの平面度が保たれることからワークのたわみによる測定誤差が排除され、ワークの各ポイントが正確に測定されて測定精度が向上される。
【００１３】
また、ワークの平面度が保たれるので、撮像手段でワークの表面を撮像するにあたってワーク表面の任意の一点で焦点合わせをしておけば、撮像手段を光透過性板材の載置面と平行な水平方向に移動させるだけで常にワーク表面への合焦が維持される。よって、常に焦点が正確に合った状態でワークを撮像できるので、鮮明な撮像データに基づいて高精度な解析を行うことができる。また、撮像ポイントごとに焦点合わせをしなくてもよいので、測定効率を向上させることができる。
【００１４】
そして、支持板は、扁平形状であって、その厚み方向は光透過性板材の載置面に平行な方向であるので、照明手段から光透過性板材を通してワークを照明する光が支持板によって遮られることはほとんどなく、支持板で載置面の平面度を保ちつつも良好な透過照明によりワークが照明される。その結果、平面度が保たれたワークを撮像手段で鮮明に撮像できるという画期的な効果を奏する。
【００１５】
また、光透過性板材は支持板によって支持されていることから、この支持板によって光透過性板材の強度が補強されるので、光透過性板材自体の剛性がある程度小さくても、光透過性板材の平面度を維持することができる。従って、例えば、光透過性板材として、薄いガラスを使用してもよく、あるいは、透明プラスチックなどを使用してもよく、光透過性板材の材料コストを低廉にすることができる。
【００１６】
本発明では、前記支持板は、所定間隔をあけて複数枚設けられていることが好ましい。
【００１７】
このような構成において、複数枚の支持板で光透過性板材を支持するので、光透過性板材が大きくてその重さが重かったとしても、複数の支持板によって光透過性板材の重さを支えて載置面の平面度を維持することができる。
ここで、光透過性板材を支持するにあたっては、十分な剛性を有する一本の梁によって支持することも考えられるが、一本の梁で大きな光透過性板材を支持するには相当の太さの梁を必要とする。そして、このように太い梁を使用すると、照明手段からの透過照明が梁によって遮蔽されてしまい、ワークを十分に照明できない領域が生じてしまうことになる。
この点、本発明では支持板を複数とするので一枚の支持板にかかる負担は小さくなり、支持板一枚の剛性は多少低くてもよい。その結果、支持板の一枚一枚を非常に薄くすることができる。よって、支持板による透過照明の遮蔽を非常に少なくすることができる。
さらに、一枚一枚を薄くできることに加えて、複数の支持板が所定間隔をあけて配設されるので、照明手段からの透過照明に複数の支持板が同時に被って透過照明が遮られるようなことはなく、透過照明によってワークを良好に照明することができる。
【００１８】
本発明では、前記支持板は、複数枚設けられ、かつ、互いに交差する組が少なくとも一つ存在することが好ましい。
【００１９】
このような構成において、支持板を複数配設するにあたって、互いに交差させるようにするので、これら交差する支持板により一つの平面を規定することができる。そして、このように交差して一平面を規定する支持板によって光透過性板材を支持することで、光透過性板材を安定して支持することができる。
なお、互いに交差する組ができるように複数の支持板を配設するにあたっては、支持板を格子状に配設してもよく、あるいはハニカム状に配設してもよい。
【００２０】
本発明では、前記支持板は、前記光透過性板材の下面側において前記基台部の開口端縁に前記開口を横切る状態で架け渡され、前記光透過性板材は、前記支持板上に載置されて支持されていることが好ましい。
【００２１】
このような構成によれば、基台部の開口を横切って配設された支持板の上に光透過性板材を載置することによって、光透過性板材を支持し、載置面の平面度を維持することができる。
【００２２】
本発明では、前記支持板は、前記光透過性板材に埋設されていることが好ましい。
【００２３】
このような構成によれば、光透過性板材に支持板が埋設されているので、組立てにあたって部品点数を少なくできる。
例えば、組み立てにあたって、複数の支持板の高さを正確に揃える手間を省くことができるので、組み立て効率を向上させることができる。
また、支持板と光透過性板材と別々に配置することに比べ、支持板が光透過性板材に埋設されている分だけ支持板を別個に設けるスペースが必要なくなるので、全体に小型化を図ることができる。
【００２４】
さらに、支持板を光透過性板材の下面に配設する場合、照明手段は支持板のさらに下に配設されてしまうので載置面に載置されたワークと照明手段との距離が広くなってしまうところ、支持板が光透過性板材に埋設されているので、光透過性板材の直下において照明手段を光透過性板材に近接させてワークを照明できるので、ワークを良好に照明することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の画像測定装置に係る第１実施形態について説明する。なお、第１実施形態における画像測定装置１００の基本的構成としては、背景技術（図６）で説明した構成に同様であるが、載物部２２０の構成に特徴を有する。
図１は、第１実施形態において画像測定機２００の構成を示す図である。図２は、図１中のＹ方向に平行なII-II線による断面図である。図３は、図１中のＸ方向に平行なIII-III線による断面図である。
【００２６】
画像測定機２００は、ベースとなる架台２１０と、架台２１０上に配設されワークＷが載置される載物部２２０と、ワークＷを撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ４００と、ＣＣＤカメラ４００とワークＷとを三次元的に移動させる移動機構５００と、を備える。
【００２７】
載物部２２０は、上方に向けて開口（２４０）する収納空間２６０を有する基台部２３０と、基台部２３０の開口端縁２５０上に載置された光透過性板材としての載物ガラス２８０と、基台部２３０の収納空間２６０内において二次元的に移動自在に配設されているとともに載物ガラス２８０を通してワークＷを透過照明する照明手段２９０と、基台部２３０の開口２４０を横切って架け渡され載物ガラス２８０を支持する支持板３００と、を備えている。
【００２８】
基台部２３０は、全体に略直方体形状であって、上面が開口（２４０）して内部に収納空間２６０を有する。そして、基台部２３０は、Ｙ方向に短辺２７１を有し、Ｘ方向に長辺２７２を有する。
【００２９】
載物ガラス２８０は、平面に加工された載置面２８１を上面に有する略長方形の薄板状であり、載物ガラス２８０の大きさは基台部２３０の開口２４０の大きさに一致している。
図２および図３に示されるように、基台部２３０の開口端縁２５０は断面Ｌ字状に形成され、内側が一段低くなった段差部２５１が形成されている。そして、この段差部２５１に載物ガラス２８０の縁が載置されており、四角枠状の段差部２５１により載物ガラス２８０の全周縁が支持されている。
このように載物ガラス２８０が基台部２３０の開口端縁２５０に支持されるように配設されることにより、基台部２３０の開口２４０が覆われて収納空間２６０が閉塞される。
【００３０】
ここで、載物ガラス２８０の面積は非常に大きく、例えば、２５００ｍｍ×２５００ｍｍである。なお、厚みについては、それほどの厚みは必要なく、例えば、１０〜２５ｍｍ程度でよい。
【００３１】
照明手段２９０は、基台部２３０の収納空間２６０内に配設され、二次元的に移動可能に設けられている。ここで、照明手段２９０を二次元的（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる駆動機構は、詳しく図示しないが、基台部２３０の収納空間２６０内においてＸ方向およびＹ方向にそれぞれ配設されたビームと、両ビームを摺動するスライダと、により構成できる。
【００３２】
支持板３００は、厚み寸法ａに対して高さ寸法ｂが大きい扁平板状であって、載物ガラス２８０の直下において、３枚配設されている。
支持板３００は、Ｙ方向において対向する長辺２７２同士を架橋するように架け渡されており、三枚の支持板３００はＹ方向において互いに平行であるとともにＸ方向を等間隔のピッチで刻んで設けられている。
そして、支持板３００の高さ方向（ｂ）は載物ガラス２８０に垂直な方向である。また、支持板３００の厚み方向（ａ）は、水平方向であり、すなわち、載物ガラス２８０に平行な方向である。
支持板３００は、基台部２３０の開口端縁２５０を段差部２５１からさらに切り込んだ細溝２５２に嵌設されている。
このように基台部２３０の開口２４０を横切って配設された３枚の支持板３００の上に載物ガラス２８０が載置され、支持板３００により載物ガラス２８０が支持されている。
【００３３】
なお、支持板３００の厚みａとしては、照明手段２９０からの透過照明に影響しない程度の薄さであれば特に限定されないが、例えば、０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ程度にすることが例として挙げられる。支持板３００を形成する材料は特に限定されないが、例えば、金属薄板とすることが例として挙げられる。
また、支持板３００を設けるにあたっては、支持板３００自体がたわまないようにその長さは短い方が好ましく、本実施形態であれば、短辺２７１であるＹ方向に架橋することが好ましい。
【００３４】
なお、ＣＣＤカメラ４００を移動させる移動機構５００や制御部６００の構成については背景技術で説明した構成と同じであるので、同一部材には同一の符号を付して詳細な説明を割愛する。
【００３５】
このような構成を備える画像測定装置１００でワークＷを画像解析するにあたっては、まず、載物ガラス２８０の載置面２８１にワークＷを載置する。ワークＷとしては、例えば、大型の平面ディスプレイパネル等が例として挙げられる。次に、照明手段２９０により載物ガラス２８０を通してワークＷを透過照明する。
このとき、載物ガラス２８０の下面には支持板３００が設けられてはいるが、水平方向において支持板３００は扁平であって薄いので、ワークＷを真下から照明する照明手段２９０の光が支持板３００で遮られることはほとんどない。
この状態で、ＣＣＤカメラ４００の焦点をワークＷの表面に合わせる。ＣＣＤカメラ４００の焦点がワーク表面に合ったところで、移動機構５００によってＣＣＤカメラ４００をＸ方向およびＹ方向に移動させながらＣＣＤカメラ４００でワーク表面を撮像する。撮像された撮像データは解析部によって画像処理され、ワークＷの形状および寸法が測定される。なお、ＣＣＤカメラ４００を移動させるにあたって、ＣＣＤカメラ４００と照明手段２９０とが常に対向状態となるように照明手段２９０をＣＣＤカメラ４００の移動に応じた位置に移動させることが好ましい。
【００３６】
このような構成を備える第１実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（１）基台部２３０の開口２４０を横切って架け渡された支持板３００によって載物ガラス２８０が支持されるので、載物ガラス２８０が自重でたわむことはなく載置面２８１の平面度を保つことができる。このとき、支持板３００の高さ寸法ｂを大きくしているので支持板３００は高さ方向（ｂ）から掛かる載物ガラス２８０の重みを十分に支えることができる。
さらには、載物ガラス２８０にワークＷが載置されたときでも、載物ガラス２８０の重さに加えてワークＷの重さも支持板３００によって支持することができる。その結果、載置面２８１に載置されるワークＷの平面度を維持することができる。このようにワークＷの平面度を維持できるのでワークＷのたわみによる測定誤差を排除してワークＷの各ポイントを正確に測定でき、測定精度を向上させることができる。
【００３７】
（２）支持板３００によってワークＷの平面度を維持することができるので、ＣＣＤカメラ４００でワークＷの表面を撮像するにあたってワーク表面の任意の一点で焦点合わせをしておけば、ＣＣＤカメラ４００を載物ガラス２８０の載置面２８１と平行な水平方向に移動させるだけで常にワーク表面への合焦を維持することができる。よって、常に焦点が正確に合った状態でワークＷを撮像できるので、鮮明な撮像データに基づいて高精度な解析を行うことができる。また、撮像ポイントごとに焦点合わせをしなくてもよいから、測定効率を向上させることができる。
【００３８】
（３）支持板３００は、扁平形状であって、その厚み方向（ａ）は載物ガラス２８０の載置面２８１に平行な方向であるので（図３参照）、ＣＣＤカメラ４００から載物ガラス２８０を通してワークＷを照明する光が支持板３００によって遮られることはほとんどなく、支持板３００で載置面２８１の平面度を維持しつつも良好な透過照明によりワークＷを照明することができる。その結果、ＣＣＤカメラ４００で鮮明にワークＷを撮像できるという画期的な効果を奏する。
【００３９】
（４）載物ガラス２８０は支持板３００によって支持されるので、載物ガラス２８０の剛性をある程度小さくしても載物ガラス２８０の平面度を維持でき、さらには、ワークＷが載置された際には載物ガラス２８０およびワークＷの重さを支持板３００で支持することができる。よって、載物ガラス２８０として、薄いガラスを使用してもよく、載物ガラス２８０の材料コストを低廉にすることができる。
【００４０】
（５）複数枚の支持板３００で載物ガラス２８０を支持するので、載物ガラス２８０が大きくてその重さが重かったとしても、複数の支持板３００によって載物ガラス２８０の重さを支えて載置面２８１の平面度を維持することができる。そして、支持板３００を複数とするので一枚の支持板３００にかかる負担は小さくなり、支持板一枚の剛性は多少低くてもよい。その結果、支持板３００の一枚一枚を非常に薄くすることができる。よって、支持板３００による透過照明の遮蔽を非常に少なくすることができる。
【００４１】
（６）支持板３００の一枚一枚を薄くできることに加えて、各々が所定間隔をあけて配設されるので、照明手段２９０からの透過照明に複数の支持板３００が同時に被って透過照明を遮るようなことはなく、透過照明によってワークＷを良好に照明することができる。
【００４２】
（変形例１）
次の、本発明の変形例１について図４を参照して説明する。
変形例１の基本的構成は、第１実施形態に同様であるが、支持板３００の配設位置が異なっている。すなわち、変形例１においては、図４に示されるように、二枚の支持板３００が互いに直交するように配設されている。
【００４３】
このような変形例１のように、支持板３００を二枚配設するにあたって互いに直交させるようにするので、これら直交する支持板３００により一つの平面が規定される。そして、このように直交して一平面を規定する二枚の支持板３００によって載物ガラス２８０を支持することで、載物ガラス２８０を安定して支持することができる。
【００４４】
なお、複数の支持板３００を交差させるように配設するにあたっては、格子状に配設してもよく、あるいはハニカム状に配設してもよい。
【００４５】
（第２実施形態）
次に本発明の第２実施形態について図５を参照して説明する。
第２実施形態の基本的構成は、第１実施形態に同様であるが、第２実施形態は、支持板３００が載物ガラス２８０に埋設されている点に特徴を有する。
図４において、４枚の支持板３００が設けられているところ、３枚がＹ方向に沿って互いに平行に配設されており、１枚がＸ方向に沿って配設され前記３枚の支持板３００に直交している。なお、支持板３００の端部３１０は載物ガラス２８０から突出している。
【００４６】
これら４枚の支持板３００は、載物ガラス２８０を成型する際に溶融したガラスに挿入され、支持板３００が埋設された状態で溶融ガラスが固化されることにより載物ガラス２８０と支持板３００とが一体化される。
【００４７】
このように支持板３００が埋設された載物ガラス２８０を基台部２３０の開口２４０を覆うように配設し、載物ガラス２８０から突出した支持板３００の端部３１０を基台部２３０の開口端縁２５０に係止する。これにより、支持板３００にて載物ガラス２８０の重さが支持されて、載物ガラス２８０の載置面２８１の平面度が保たれる。
【００４８】
このような第２実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（７）載物ガラス２８０に支持板３００が埋設されているので、組立てにあたって部品点数を少なくできる。例えば、組み立てにあたって、複数の支持板３００の高さを正確に揃える手間を省くことができるので、組み立て効率を向上させることができる。
【００４９】
（８）載物ガラス２８０と支持板３００とを別部材として別個に配置することに比べ、支持板３００が載物ガラス２８０に埋設されている分だけ支持板３００を別個に設けるスペースが必要なくなるので、全体に小型化を図ることができる。
【００５０】
（９）載物ガラス２８０とは別部材として用意された支持板３００を載物ガラス２８０の下面に配設する場合、照明手段２９０は支持板３００のさらに下に配設されてしまうので載置面２８１に載置されたワークＷと照明手段２９０との距離が広くなってしまうところ、支持板３００が載物ガラス２８０に埋設されているので、照明手段２９０を載物ガラス２８０の直下で載物ガラス２８０に近接させて配設することができる。その結果、照明手段２９０とワークＷとの距離を接近させることができ、ワークＷを良好に照明することができる。
【００５１】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
例えば、ワークＷをＣＣＤカメラ４００で撮像するにあたって、載物ガラス２８０に載置されたワークＷの位置を固定した状態でＣＣＤカメラ４００を移動させる例を示したが、ワークＷとＣＣＤカメラ４００を相対移動させる構成であればよく、例えば、載物ガラス２８０あるいは載物ガラス２８０を含む載物部２２０が二次元的に移動自在に設けられていてもよい。
【００５２】
支持板３００は、断面矩形状である場合に限らず、例えば、断面三角形状であってもよいことはもちろんである。
【００５３】
支持板３００の高さ寸法ｂは一様でなくてもよく、例えば、端部の高さ寸法ｂを大きくし、かつ、中央にいくに従って高さ寸法ｂが小さくなるようにしてもよい。このように中央部で支持板３００の高さ寸法ｂが小さくなれば、ワークＷが主として載置される載物ガラス２８０の中央領域において支持板３００にて遮蔽される透過照明を非常に少なくすることができる。また、例えば支持板３００をアーチ状に形成することで構造的にも安定させることができる。
【００５４】
支持板３００を配設するパターンが限定されないことはもちろんであり、例えば、載物ガラス２８０の端寄りに支持板３００を密に配し、載物ガラス２８０の中央領域には支持板３００の枚数を少なく、あるいは載物ガラス２８０の中央部には支持板３００を配しなくてもよい。中央領域に支持板３００を配さないことで主としてワークＷが載置される中央領域で透過照明が支持板３００でケラレる光量を少なくするとともに、端寄りに配された支持板３００によって載物ガラス２８０の平面度を維持できる。
【００５５】
また、支持板３００は移動自在に設けられ、ワークＷの載置位置あるいはワークＷの撮像ポイントに応じて支持板３００の位置を変更可能としてもよい。
【００５６】
第２実施形態において、支持板３００の端部３１０が載物ガラス２８０から突出している場合を例にして説明したが、支持板３００が載物ガラス２８０に埋設されることで載物ガラス２８０の強度が増していればよいので、支持板３００が完全に載物ガラス２８０に埋設され、端部３１０が載物ガラス２８０から突出していなくてもよいことはもちろんである。
そして、このように支持板３００の端部３１０が載物ガラス２８０から突出していない場合、基台部２３０の開口端縁２５０に設けられた段差部２５１に載物ガラス２８０の縁を載置すれば、基台部２３０の開口部分に載物ガラス２８０を配設することができるところ、支持板３００は、少なくとも載物ガラス２８０の縁部では載物ガラス２８０の下面と面一であって、載物ガラス２８０の縁を基台部２３０の開口端縁２５０の段差部２５１に載置した際に、支持板３００が前記段差部２５１に当接するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、画像測定装置に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】第１実施形態において画像測定機の構成を示す図。
【図２】図１中のＹ方向に平行なII-II線による断面図。
【図３】図１中のＸ方向に平行なIII-III線による断面図。
【図４】変形例１を示す図。
【図５】第２実施形態を示す図。
【図６】画像測定装置の構成を示す図。
【図７】画像測定機の載物部の内部を透視した図。
【図８】載物ガラスがたわんだ様子を示す図。
【符号の説明】
【００５９】
１００…画像測定装置、２００…画像測定機、２１０…架台、２２０…載物部、２３０…基台部、２４０…開口、２５０…開口端縁、２５１…段差部、２５２…細溝、２７１…短辺、２７２…長辺、２８０…載物ガラス、２８１…載置面、２９０…照明手段、３００…支持板、３１０…支持板の端部、４００…ＣＣＤカメラ、５００…移動機構、５１０…ビーム支持体、５２０…Ｘビーム、５３０…Ｘスライダ、６００…制御部、６１０…モーションコントローラ、６２０…ホストコンピュータ、７００…入力手段、８００…出力手段、Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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