(57)【要約】【課題】ガスセンサの特性を短時間で正確に評価することができるとともに、評価用ガスの消費量の少ないガスセンサの評価方法を提供する。【解決手段】先端部に酸素ガスを検出する検出部１ａを有する酸素センサ素子１を備えた酸素センサ１００の評価方法である。酸素センサ素子１は、ガス取り入れ孔４ａを有する有底筒状のプロテクタ４で覆われている。まず、チャンバー１０２内にガス検出室１ａが位置するようにガスセンサ１００を固定する。そして、減圧工程においてチャンバー１０２内を減圧後、給気工程において評価用ガスを給気し、評価工程において酸素センサ１００の特性を評価する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に伸びるとともに、先端部に被測定ガスを検出する検出部を有するガス検出素子と、該ガス検出素子の該検出部を覆い、ガス取り入れ孔を有する有底筒状のプロテクタと、を備えたガスセンサをチャンバー内に該検出部が位置するように固定し、該チャンバー内に評価用ガスを給気することにより該ガスセンサ素子の検出部に該評価用ガスを接触させ、該ガスセンサの特性を評価するガスセンサの評価方法であって、
前記チャンバー内を減圧する減圧工程と、該減圧工程後に前記評価用ガスを給気する給気工程と、該給気工程後に前記ガスセンサの特性を評価する評価工程とを有することを特徴とするガスセンサの評価方法。
【請求項２】
前記減圧工程と前記給気工程とからなるサイクルを前記評価工程前に複数回行うことを特徴とする請求項１記載のガスセンサの評価方法。
【請求項３】
前記減圧工程後の第一圧力と前記給気工程後の第二圧力との差圧は１６０ｋＰａ以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のガスセンサの評価方法。
【請求項４】
前記減圧工程は、前記チャンバー内に前記検出部が位置するように前記ガスセンサを固定した直後に行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のガスセンサの評価方法。
【請求項５】
前記評価工程は、前記チャンバー内を前記評価用ガスで加圧した状態で前記ガスセンサの特性を評価することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載のガスセンサの評価方法。
【請求項６】
前記ガスセンサは、前記ガスセンサ素子が多孔質の保持材で固定されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載のガスセンサの評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガスセンサの評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１記載のガスセンサの評価方法が知られている。この評価方法は、チャンバーにガスセンサを固定した後、チャンバー内に評価用ガスを給気することによりガスセンサ素子の先端部に形成された検出部に評価用ガスを接触させて、ガスセンサの特性を評価するものである。この際、複数のガスセンサがチャンバーに固定される。
【０００３】
このガスセンサの評価方法では、複数のガスセンサがチャンバーに固定されるため、一度に複数のガスセンサの評価が可能である。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１４１６８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記従来のガスセンサの評価方法において、ガスセンサ素子の検出部がガス取り入れ孔を有する有底筒状のプロテクタで覆われたガスセンサを用いた場合、ガスセンサの特性を正確に評価するために長時間を要することが明らかになった。
【０００６】
すなわち、このようなガスセンサは、チャンバーに取り付ける前にプロテクタ内に大気等の残留ガスが残留する。そして、ガスセンサの特性を正確に評価するためには、プロテクタ内の大気等の残留ガスを評価用ガスで置換し、ガスセンサ素子の検出部に評価用ガスを接触させる必要がある。ところが、プロテクタ内には残留ガスが残留しやすく、残留ガスを評価用ガスによって早期に置換することができない。特に、近年は、被水性向上の観点からプロテクタを二重にしたり、ガス取り入れ孔の直径を小さくする傾向にあり、この場合にはこの傾向が顕著になる。つまり、上記従来の評価方法では、チャンバー内に評価用ガスを給気することのみにより残留ガスを評価用ガスで置換することから、ガスセンサの検出部を確実に評価用ガスで満たすまでに長時間を要してしまうのである。
【０００７】
そのうえ、従来のガスセンサの評価方法では、ガスセンサの検出部を確実に評価用ガスで満たすまでに長時間を要するため、チャンバー内に評価用ガスを長時間連続して給気することになり、多量の評価用ガスが必要となる。
【０００８】
本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、ガスセンサの特性を短時間で正確に評価することができるとともに、評価用ガスの消費量の少ない評価方法を提供することを解決すべき課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のガスセンサの評価方法は、軸方向に伸びるとともに、先端部に被測定ガスを検出する検出部を有するガス検出素子と、該ガス検出素子の該検出部を覆い、ガス取り入れ孔を有する有底筒状のプロテクタと、を備えたガスセンサをチャンバー内に該検出部が位置するように固定し、該チャンバー内に評価用ガスを給気することにより該ガスセンサ素子の検出部に該評価用ガスを接触させ、該ガスセンサの特性を評価するガスセンサの評価方法であって、
前記チャンバー内を減圧する減圧工程と、該減圧工程後に前記評価用ガスを給気する給気工程と、該給気工程後に前記ガスセンサの特性を評価する評価工程とを有することを特徴とする。
【００１０】
本発明のガスセンサの評価方法では、減圧工程にてチャンバー内を減圧することにより、プロテクタ内に残留した残留ガスを強制的に排出する。その後、給気工程にてチャンバー内に評価用ガスを給気することにより、検出部が評価用ガスに早期に接触することができる。このため、チャンバー内を減圧することなく、チャンバー内に評価用ガスを給気する方法と比べ、短時間で残留ガスを評価用ガスで置換することができる。また、その結果、多量の評価用ガスを必要とすることもない。
【００１１】
したがって、本発明のガスセンサの評価方法によれば、ガスセンサの特性を短時間で正確に評価することができるとともに、評価用ガスの消費量を少なくすることができる。
【００１２】
本発明のガスセンサの評価方法では、減圧工程と給気工程とからなるサイクルを評価工程前に複数回行うことが好ましい。減圧工程と給気工程とを繰り返すことにより、より早く、残留ガスを評価用ガスで置換することができる。そのため、ガスセンサの特性をより短時間で正確に評価することができる。なお、サイクルの回数は３回以上であることが好ましい。発明者らの試験結果によれば、サイクルの回数が３回以上であれば、特に効果的である。一方、実用的には８回が上限である。８回を超えて行っても、効果はほぼ上がらず、評価に長時間を要することとなってしまう。
【００１３】
さらに、本発明のガスセンサの評価方法では、減圧工程後の第一圧力と給気工程後の第二圧力との差圧は１６０ｋＰａ以上であることが好ましい。発明者らの試験結果によれば、第一圧力と第二圧力との差圧が１６０ｋＰａ以上であれば、ガスセンサの特性をより短時間で正確に評価することができることが判明した。
【００１４】
また、本発明のガスセンサの評価方法では、チャンバー内に検出部が位置するようにガスセンサを固定した直後に減圧工程を行うことが好ましい。つまり、取付け後に給気を行うことなく減圧工程を行うことで、プロテクタ内に残留する多量の残留ガスを排出することができ、ガスセンサの評価をより短時間で正確に評価することができる。
【００１５】
さらに、本発明のガスセンサの評価方法では、評価工程は、チャンバー内を評価用ガスで加圧した状態でガスセンサの特性を評価することが好ましい。検出部が評価用ガスで加圧された状態になり、プロテクタ内を評価用ガスで多量に満たすことができ、検出部に残留ガスが接触するのを防止できると考えられるからである。
【００１６】
ところで、ガスセンサ素子がプロテクタや保持部材に対して滑石等の多孔質の保持材で保持されているガスセンサが知られている。そして、この保持材の多孔質内にも残留ガスが含浸しており、その残留ガスがプロテクタ内に染み出してくることで、プロテクタ内を評価用ガスで満たすまでに長時間を要してしまうことがある。そこで、本発明のガスセンサの評価方法を用いることで、この保持材の多孔質内に含浸する残留ガスを強制的に排出することができ、保持材を有するガスセンサであっても、ガスセンサの特性を短時間で正確に評価することができる。
【００１７】
なお、このようなガスセンサは、ガスセンサ素子自体がジルコニア等を焼結してなるセラミックであり、セラミックは微視的に言えば気孔を不可避的に有している。また、保持材として滑石ガラス以外のセラミックを採用した場合においても、そのセラミックが気孔を不可避的に有している。このため、ガスセンサの構造自体で本件発明の課題を解決することは不可能である。
【００１８】
また、本発明の評価方法において、複数のガスセンサをチャンバー内に固定し、同時に評価することも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明のガスセンサの評価方法を酸素センサの評価方法に具体化した実施例１、２を試験１、２及び比較例とともに説明する。
【００２０】
まず、図１及び図２により、試験１、２、実施例１、２及び比較例で用いる酸素センサ１００を説明する。この酸素センサ１００は、酸素センサ素子１、酸素センサ素子１に積層されるセラミックヒータ２、酸素センサ素子１等を内部に保持する主体金具３、主体金具３の先端部に装着されるプロテクタ４等を有している。なお、酸素センサ素子１の軸に沿う方向のうち、評価用ガスに晒される側（図中の下側）を「先端側」とし、これと反対方向（図中の上側）に向かう側を「後端側」として説明する。ここで、酸素センサ１００がガスセンサであり、酸素センサ素子１がガスセンサ素子である。
【００２１】
酸素センサ素子１は軸線方向に延びるように配置されている。酸素センサ素子１の先端側の内部には、ガス検出室１ａが形成されており、このガス検出室１ａは２個の拡散体１ｂを介して幅方向（図面に対し直角方向）の両側で外部に連通している。ガス検出室１ａの一面側には、白金からなる検出電極が両面に形成されたジルコニア固体電解質体（図示せず）が設けられており、これにより酸素濃度を検出する。また、ガス検出室１ａの他面側には、検出電極と電気的に接続された端子電極が形成されている。これら検出電極及び端子電極が後述する素子用リード線１３〜１５に接続されている。ここで、ガス検出室１ａが特許請求の範囲の検出部である。
【００２２】
また、酸素センサ素子１に貼り合わせ層（図示せず）を介してセラミックヒータ２が積層されている。セラミックヒータ２は、軸線方向に延びるように配置されており、複数のアルミナグリーンシートの内部にＰｔを主体とする発熱抵抗体を備えている。このセラミックヒータ２は、ヒータ用リード線１１、１２を介して通電されることにより、発熱抵抗体が発熱して酸素センサ素子１を早期に活性化させる。
【００２３】
さらに、酸素センサ素子１の後端側には支持碍管１９が接着されている。この支持碍管１９は、酸素センサ素子１の軸線方向と平行に延設され、その延設された軸線方向と直交する方向の断面が略コ字形状を有する部材である。支持碍管１９の凹面側が酸素センサ素子１の側面側に向けて接着されている。この支持碍管１９の材質としては、シール部材６５を構成するガラス成分の熱膨張率に近い材質、具体的にはアルミナが使用される。支持碍管１９は酸素センサ素子１とシール部材６５との熱膨張差による酸素センサ素子１のクラックの発生を抑制するために設けられている。
【００２４】
主体金具３は、ＳＵＳ４３０製のものであり、酸素センサ１００をエンジンの排気管に取り付けるための雄ねじ３１と、取り付け時に取り付け工具をあてがう六角部３２とを有している。また、主体金具３には、径方向内側に向かって突出する金具側段部３３が設けられており、この金具側段部３３にパッキン５を介して酸素センサ素子１と絶縁を図るためのアルミナ製の円筒部材６が支持されている。具体的には、円筒部材６の径方向外側に向かって突出する突出部６１が金具側段部３３に支持されている。一方、突出部６１の後端側における主体金具３の内面と円筒部材６の外面との間には、滑石粉末からなる充填部材３４が配設され、さらにこの充填部材３４の後端側にスリーブ３５が主体金具３に内挿された状態で配置されている。
【００２５】
また、円筒部材６の内部には、アルミナ製のホルダ６２と、ホルダ６２と酸素センサ素子１及びセラミックヒータ２とを固定するための接着部材６３とが先端側から順に配置されている。さらに、円筒部材６と酸素センサ素子１及びセラミックヒータ２との間に充填される滑石粉末からなる第２充填部材６４と、その後端側において、酸素センサ素子１及びセラミックヒータ２を取り囲むように配置されるガラスシールからなるシール部材６５とを有している。第２充填部材６４は、ガラス成分を１２質量％含有する滑石混合粉末を溶融、固化させたものである。また、シール部材６５は、結晶化ガラス粉末（シリカ、ホウ酸亜鉛マグネシウム系ガラス）を溶融、固化することで形成されている。ここで、第２充填部材６４が特許請求の範囲の多孔質の保持材である。
【００２６】
さらに、主体金具３の後端側内側には、ＳＵＳ３０４製の内筒７の先端側が挿入されている。この内筒７は、先端側の拡径した開口端部７１を主体金具３の後端側内部に挿入した状態で主体金具３の後端部３６を内側先端方向に加締めることで、主体金具３に固定されている。また、主体金具３の後端部３６を加締めることを通じ、充填部材３４がスリーブ３５を介して圧縮充填される構造になっている。また、内筒７は、円筒部材６の後端部を保護している。さらに、内筒７は、後端側に配置されるセパレータ９を先端側から支持している。
【００２７】
外筒８は、筒状に形成されたＳＵＳ３０４製のものであり、先端側が内筒７に対して同軸状に連結されている。外筒８と内筒７とは外側から重なりを生じるように配置されており、その重なり部の少なくとも一部が周方向の内側に向けて加締められることで、互いに連結されている。
【００２８】
一方、主体金具３の先端側外周には、主体金具３の先端から突出する酸素センサ素子１の先端部を覆うと共に、複数のガス取り入れ孔４ａを有する金属製のプロテクタ４が溶接によって取り付けられている。このプロテタタ４は、二重構造をなしており、外側には一様な外径を有する有底円筒状の外側プロテクタ４１、内側には後端部の外径が先端部の外径よりも大きく形成された有底円筒状の内側プロテタタ４２が配置されている。内側フロテクタ４２の底部の外面は、外側プロテクタ４１の底部の内面にスポット溶接されており、外側プロテクタ４１と内側プロテクタ４２とは一体化されている。
【００２９】
また、外筒８内にはセパレータ９が挿入配置されている。セパレータ９には、ヒータ用リード線１１、１２と素子用リード線１３〜１５とを挿入するための挿通孔９１が先端側から後端側にかけて貫設されている。これらヒータ用リード線１１、１２及び素子用リード線１３〜１５は、外部において、図示しないコネクタに接続されるようになっている。このコネクタを介してＥＣＵ等の外部機器と各リード線１１、１２、１３〜１５とは電気信号の入出力が行われことになる。また、各リード線１１、１２、１３〜１５は詳細に図示しないが、導線を樹脂からなる絶縁皮膜にて披覆した構造を有している。
【００３０】
さらに、セパレータ９の後端側には、外筒８の後端側の開口部を閉塞するための略円柱状のゴムキャップ１８が配置されている。このゴムキャップ１８は、外筒８の後端内に装着された状態で、外筒８の外周を径方向内側に向かって加締めることにより、外筒８に固着されている。ゴムキャップ１８にも、ヒータ用リード線１１、１２と素子用リード線１３〜１５とを挿入するための挿通孔１８ａが先端側から後端側にかけて貫設されている。
【００３１】
以上の構成をした酸素センサ１００では、酸素を含むガスがガス取り入れ孔４ａからプロテタタ４内に進入し、さらに拡散体１ｂを介してガス検出室１ａに進入する。これにより、検出電極及び端子電極に酸素濃度に応じた検出電流が流れ、この検出電流は素子用リード線１３〜１５により酸素センサ１００の外に取り出される。こうして、酸素濃度を知ることができる。
【００３２】
以上の本発明の評価を、実施例１、２の酸素センサの評価方法で説明する。以下、実施例１、２を比較例とともに示す。
【実施例１】
【００３３】
（準備）
実施例１で使用する検査装置を図３により説明する。この検査装置は、ベンチ１０１とチャンバー１０２とを備えている。ベンチ１０１には、酸素センサ１００を固定する取付孔１０１ａが設けられている。チャンバー１０２内には、給気筒１０３及び排気筒１０４が接続されている。給気筒１０３はチャンバー１０２内に評価用ガスを給気し、排気筒１０４はチャンバー１０２内から評価用ガスを排気する。さらに、チャンバー１０２の下部にはゴムパッキン１０５が設けられている。
【００３４】
このベンチ１０１の取付孔１０１ａに酸素センサ１００の後端側から挿入する。その後、酸素センサ１００の先端側がチャンバー１０２内に収納されるように、チャンバー１０２を近づける。そして、チャンバー１０２をベンチ１０１方向に押圧し、チャンバー１０２のゴムパッキン１０５とベンチ１０１とで主体金具３の六角部３２を挟持する。こうして、プロテクタ４で覆われた酸素センサ素子１がチャンバー１０２内で封止状態となるように酸素センサ１００を固定する。
【００３５】
実施例１の酸素センサ１００の評価方法では、図４に示すグラフＡ１のパターンにより、給気筒１０３、排気筒１０４からチャンバー１０２内に評価用ガスを給気、排気して、チャンバー１０２内を減圧、加圧した。Ａ１のパターンを具体的に説明すると、チャンバー１０２内にガス検出室１ａが位置するようにガスセンサ１００を固定した後、給気筒１０３を閉じて、排気筒１０４からチャンバー１０２内のガスを排気した。これにより、プロテクタ４内に残留する残留ガスを強制的に排気することができる（減圧工程）。減圧工程開始から３秒後、排気筒１０４を閉じ、給気筒１０３を開いて評価用ガスを給気した（給気工程）。なお、実施例１では、３秒後のチャンバー１０２内の第一圧力Ｐａ＝−９０（ｋＰａ）となっている。また、実施例１では、評価用ガスはＣＯ2及びＮ2の混合ガスを使用した。開始から８秒後、給気筒１０３を閉じ、排気筒１０４を開いて再度排気した。なお、実施例１では、８秒後のチャンバー１０２内の第二圧力Ｐｂ＝８０（ｋＰａ）となっている。そして、実施例１では、減圧工程と排気工程とからなるサイクルを３サイクル連続して行い、３サイクル後にチャンバー１０２内を常圧（０ｋＰａ）に保った。その際の素子用リード線１３〜１５の検出電流Ｉｐを測定した。その結果をグラフＢ１に示す。
【００３６】
グラフＢ１によれば、約２１秒から約３２秒の間に、検出電流Ｉｐが少し増加する部分が現れている。これは、第２充填部材６４等に残存する僅かな残留ガスがガス検出室１ａに滲み出してくるためと考えられる。そして、その残留ガスが拡散体１ｂ及びガス取り入れ孔４ａを介してプロテタタ４外へ拡散して行き、約３５秒後には検出電流Ｉｐが安定し、酸素センサ１００の評価が可能となることがわかる。
【実施例２】
【００３７】
実施例２の酸素センサの評価方法においても、実施例１と同様の準備を行い、図５に示すグラフＡ２のパターンにより、給気筒１０３、排気筒１０４からチャンバー１０２内に評価用ガスを給気、排気して、チャンバー１０２内を減圧、加圧した。ただし、Ａ２のパターンはＡ１のパターンとは少し異なり、３サイクルを連続して行い、３サイクル目の最後からチャンバー１０２内を約８０ｋＰａに保った。その際の素子用リード線１３〜１５の検出電流Ｉｐを測定した。その結果をグラフＢ２に示す。なお、その他の条件は実施例１と同様である。
【００３８】
グラフＢ２によれば、実施例１のような検出電流Ｉｐが少し増加する部分（図４における約２１秒から約３２秒の間）が現れていない。これは、３サイクル目の最後からチャンバー１０２内を約８０ｋＰａに保ったため、例え第２充填部材６４等に僅かな残留ガスが残っていても、それがプロテクタ４に滲み出し難いためと考えられる。その結果、約３０秒後には検出電流Ｉｐが安定し、酸素センサ１００の評価が可能となることがわかる。
【比較例】
【００３９】
比較例の酸素センサの評価方法においても、実施例１と同様の準備を行った。ただし、給気筒１０３からチャンバー１０２内に評価用ガスを給気するとともに、排気筒１０４から自然に排気した。この際、実施例１、２のように強制的にチャンバー１０２内を減圧、加圧することはしなかった。そして、素子用リード線１３〜１５の検出電流Ｉｐを測定した。その結果を図６のグラフに示す。
【００４０】
図６によれば、検出電流Ｉｐが安定するためには、約２００秒を要することがわかる。この結果、評価用ガスの消費量が多量になってしまう。
【００４１】
つまり、実施例１、２のように、チャンバー１０２内を減圧する減圧工程と、減圧工程後に評価用ガスえを給気する給気工程とを有することで、短時間で残留ガスを評価用ガスで置換することができた。また、その結果、評価用ガスが少量で済んだ。
【００４２】
したがって、実施例１、２の酸素センサの評価方法によれば、酸素センサの特性を短時間で正確に評価することができるとともに、評価用ガスの消費量を少なくすることができる。
【００４３】
さらに、実施例２のように、チャンバー１０２内を評価用ガスで加圧した状態でガスセンサの特性を評価すると、第２充填部材６４等に残存する僅かな残留ガスがプロテクタ４に染み出しがたいため、実施例１の評価方法よりも、さらに短時間で酸素センサ１００の評価が可能となる。
【００４４】
次に、以下の試験１、２を行い、酸素センサ１００の特性を短時間で正確に評価する方法を調べた。
（試験１）
【００４５】
（試験方法）
試験１の酸素センサ１００の評価方法では、実施例１と同様の準備を行い、図７に示すパターンにより、給気筒１０３、排気筒１０４からチャンバー１０２内に評価用ガスを給気、排気して、チャンバー１０２内を減圧、加圧した。この際、第一圧力Ｐａ＝−９０（ｋＰａ）、第二圧力Ｐｂ＝８０（ｋＰａ）とし、減圧工程３秒間、給気工程５秒間を１サイクルとして、ｎサイクルを連続して行い、ｎサイクル目の最後から一定の第二圧力Ｐｂ＝８０（ｋＰａ）で保った。そして、３０秒後における素子用リード線１３〜１５の検出電流Ｉｐを測定した。このようにして、ｎ＝１〜６について試験を行った。その結果を図８に示す。なお、その他の条件は実施例１と同様とする。
【００４６】
（評価）
図８によれば、サイクルｎ＝２以上の場合、検出電流Ｉｐが安定している。これにより、２回以上サイクルを繰り返した後、酸素センサ１００の特性をより早期に評価することができる。
【００４７】
（試験２）
（試験方法）
試験１と同様、図７に示すパターンにより、給気筒１０３、排気筒１０４からチャンバー１０２内に評価用ガスを給気、排気して、チャンバー１０２内を減圧、加圧した。ただし、３サイクルを連続して行い、３サイクル目の最後から下記の一定の第二圧力Ｐｂで保った。なお、第一圧力Ｐａ＝−９０（ｋＰａ）とした。そして、第二圧力Ｐｂが５０（ｋＰａ）、８０（ｋＰａ）、１００（ｋＰａ）、２００（ｋＰａ）、３００（ｋＰａ）、４００（ｋＰａ）の場合について、３０秒後における素子用リード線１３〜１５の検出電流Ｉｐを測定した。その結果を図９に示す。なお、その他の条件は試験１と同様である。
【００４８】
（評価）
図９によれば、Ｐｂ＝８０（ｋＰａ）以上の場合、検出電流Ｉｐが安定している。これにより、チャンバー１０２内を第一圧力Ｐａと第二圧力Ｐｂとの差圧を１６０ｋＰａ以上とすることで、酸素センサ１００の特性をより早期に評価することができる。
【００４９】
また、本実施例では、評価用ガスとしてＣＯ2及びＮ2の混合ガスを使用したが、これ以外に、Ｏ2が混合した評価用ガス（例えばＯ2１６％の評価用ガス）を使用することもできる。そのため、実施例１の酸素センサの評価方法によれば、任意の酸素濃度の評価ガスを使用した酸素センサ１００の評価が可能である。
【００５０】
以上において、本発明を実施例１、２に即して説明したが、本発明は上記実施例１、２に制限されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更して適用できることはいうまでもない。例えば、チャンバー１０２内の減圧、加圧を１サイクルのみ行うだけでもよい。この場合、実施例１、２のような顕著な効果は得られないものの、比較例に比べれば、十分な効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は内燃機関の排気ガスの評価方法に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】実施例１等の酸素センサの断面図である。
【図２】実施例１等の酸素センサの要部拡大断面図である。
【図３】実施例１等の検査装置の断面図である。
【図４】実施例１に係り、評価用ガスをガス室に給気、排気するパターンを示すグラフと検出電流との関係を表すグラフである。
【図５】実施例２に係り、評価用ガスをガス室に給気、排気するパターンを示すグラフと検出電流との関係を表すグラフである。
【図６】比較例の検出電流を表すグラフである。
【図７】試験１、２に係り、評価用ガスをガス室に給気、排気するパターンを示すグラフである。
【図８】試験１に係り、サイクルの回数と検出電流との関係を表すグラフである。
【図９】試験２に係り、圧力と検出電流との関係を表すグラフである。
【符号の説明】
【００５３】
１００…ガスセンサ(酸素センサ）
１…ガスセンサ素子（酸素センサ素子）
１ａ…検出部（ガス検出室）
４…プロテクタ
４ａ…ガス取り入れ孔
６４…多孔質の保持材（第２充填部材）
１０２…チャンバー
Ｐａ…第一圧力
Ｐｂ…第二圧力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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