(57)【要約】【課題】本発明の目的は、識別表示盤として識別部の摩耗や剥がれが生じず、部材の再研磨などによっても消えることのない識別表示盤を提供する。【解決手段】バーコードからなる識別部を有する識別表示盤であって、上記識別部を白色系セラミックスおよび黒色系セラミックスからなる板状体を接合してなる識別部材から形成し、上記識別部を形成するセラミックス部材が比重３．０以上の緻密質セラミックスからなり、かつ識別部の厚みが０．５ｍｍ以上であることを特徴とする。【選択図】図１
2006236008.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バーコードからなる識別部を有する識別表示盤であって、上記識別部が白色系セラミックスおよび黒色系セラミックスからなる板状体を組み合わせて接合してなることを特徴とする識別表示盤。
【請求項２】
上記板状体が、厚み０．５ｍｍ以上、且つ比重３．０以上の緻密質セラミックスからなることを特徴とする請求項１に記載の識別表示盤。
【請求項３】
隣接する上記各板状体の段差が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載の識別表示盤。
【請求項４】
上記板状体は、樹脂系媒体を介して接合されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の識別表示盤。
【請求項５】
上記白色系セラミックスが白色を呈するアルミナ質セラミックス、上記黒色セラミックスが黒色を呈するアルミナ質セラミックスからなることを特徴とする請求項１〜４に記載の識別表示盤。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の識別表示盤を備えたことを特徴とする半導体・液晶製造装置用部材。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれかに記載の識別表示盤を備えたことを特徴とする研磨用定盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部材を認識、区別するためのバーコードによる識別部を成す識別表示盤に関し、特に、研磨用定盤等の半導体・液晶製造装置用部材に用いたものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から製品の値段表示や種類などを識別する表示部として、多岐にわたって図４で示されているようなバーコードからなる識別部１１を有する識別表示盤１が使用されている。
【０００３】
このバーコードは、ワイドバー１２ａ、ナローバー１２ｂと呼ばれる２本の幅の異なるバー及びワイドスペース１３ａ、ナロースペース１３ｂと呼ばれる２本の幅の異なるスペースを組み合わせることにより識別部１１を構成している。
【０００４】
近年ではセラミックスからなる構造部材においても、部材の履歴や管理上の問題からこれらのバーコードからなる識別部を付与することがある。
【０００５】
例えば、特許文献１は、耐熱性、耐酸性の優れたセラミックスからなる部材を得るために、部材の一面に無機系着色材を塗布して母材と異なる結晶組織とし、部材の表面にレーザー照射によりバーコードを刻印した識別部を付与している。このレーザー照射によるバーコード刻印は、図４に示すようなワイドバー１２ａ、ナローバー１２ｂに相当する部分を部材の表面にレーザーにより溶融させて黒色の溝からなるバーを形成するものである。
【０００６】
また、特許文献２には、図５（ａ）に示すようにセラミックスからなる部材６の表面に溝７を加工し、同図（ｂ）に示すように溝７に金属やガラスの黒色系のペースト８を充填し、同図（ｃ）に示すように５００〜７００℃で熱処理して焼き付けることによりバーコードからなる識別部１１を形成することが提案されている。
【０００７】
さらに、図６に示すように、部材６に溝７を形成し、その溝７に白色系のセラミックス又は白色系フッ素樹脂をコーティングや溶射９で充填してバーコードからなる識別部１１を形成している。
【特許文献１】特開平５−２０８８８１号公報
【特許文献２】特開平６−２１１５８４号公報
【特許文献３】特開２００２−２３３９７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、これらバーコードからなる識別部１１を認識するためのバーコードリーダは、バーとスペースの幅の比率を読み込むことにより識別表示を認識するため、長期間の使用により、特許文献１〜３に示すような部材６に直接バーコードからなる識別部１１を刻印しているものは、老朽化による色落ちや剥離等により認識の許容範囲を超えて読み取り率が低下してしまうという課題があった。
【０００９】
詳細には、特許文献１に示されているレーザー照射によりバーを刻印する場合、レーザーにより形成された溝に不純物が付着し、それにより識別が困難になる。また、薬液や超音波での洗浄で剥がれやすく、機械的磨耗や再研磨により消えてしまい識別不可能となる問題がある。
【００１０】
特に、このような識別部１１を多用するウエハ研磨用定盤は、定盤上に複数のウエハをワックスで固定して載置し、その表面をポリッシングした後、ウエハを取外し、ワックスを除去するという工程を繰り返す。この繰り返し使用中の摩耗により、識別部１１が消耗しやすいという問題があった。
【００１１】
また、特許文献２に示されている方法では、５００〜７００℃で熱処理しなくてはならず、熱衝撃によりセラミックスが割れてしまったり、アルミナセラミックス等の酸化物セラミックスには密着するが、炭化珪素などのセラミックスについては、ガラスに含まれる成分とＳｉＣに含まれるＣとが焼結時に反応し、炭酸ガスとなり気泡が両者間に発生して、密着性が悪くなり焼結できないという問題がある。
【００１２】
さらに、特許文献３に示されている方法では、黒色系のセラミック盤に白色系のセラミックを溶射することにより、黒色系セラミック盤にも識別表示を可能とできたが、コーティングや溶射では密着性が弱く剥がれが生じることがあった。
【００１３】
このように従来なバーコードからなる識別部１１では、薬液や超音波での洗浄で剥がれやすく、機械的磨耗や再研磨により消えてしまい識別不可能となる問題があった。
【００１４】
本発明は、上述した課題に鑑みなされたものであって、その目的は、識別表示盤として識別部の摩耗や剥がれが生じず、ウエハ研磨用定盤として用いた際に、再研磨などによって消えることのない識別表示盤を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記問題点に鑑みて本発明の識別表示盤は、バーコードからなる識別部を有し、上記識別部が白色系セラミックスおよび黒色系セラミックスからなる板状体を組み合わせて接合してなる識別部材からなることを特徴とする。
【００１６】
また、上記板状体が厚み０．５ｍｍ以上、且つ比重３．０以上の緻密質セラミックスからなることを特徴とする。
【００１７】
さらに、隣接する上記各板状体の段差が１０μｍ以下であることを特徴とする。
【００１８】
またさらに、上記板状体は、樹脂系媒体を介して接合されていることを特徴とする。
【００１９】
さらにまた、上記白色系セラミックスが白色を呈するアルミナ質セラミックス、上記黒色セラミックスが黒色を呈するアルミナ質セラミックスからなることを特徴とする。
【００２０】
また、半導体・液晶製造装置用部材に上記識別表示盤を備えたことを特徴とする。
【００２１】
さらに、研磨用定盤に上記識別表示盤を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の識別表示盤は、バーコードからなる識別部を有し、上記識別部が白色系セラミックスおよび黒色系セラミックスからなる板状体を組み合わせて接合してなる識別部材からなることにより、摩耗や剥がれが生じず、また長寿命の識別表示盤とすることができる。
【００２３】
また、上記板状体が、厚み０．５ｍｍ以上、且つ比重３．０以上の緻密質セラミックスからなることにより、識別表示盤の主面が汚れたり老朽化した場合に主面を再度研磨しても長期間の使用に耐えることができる。
【００２４】
さらに、隣接する上記各板状体の段差が１０μｍ以下であることにより、主面の識別部にゴミや異物が固着することを防ぐことができ、読み取り率の低下を防止することができる。
【００２５】
またさらに、上記板状体は、樹脂系媒体を介して接合されていることにより、各板状体の接合層が薄くできるため寸法精度の高い識別表示盤とすることができる。
【００２６】
さらにまた、上記白色系セラミックスが白色を呈するアルミナ質セラミックス、上記黒色セラミックスが黒色を呈するアルミナ質セラミックスからなることにより、各特性が非常に近似するため加工性が優れ、段差を小さくすることができるため読み取り率の高いものとすることができる。
【００２７】
また、半導体・液晶製造装置用部材に上記識別表示盤を備えたことにより、部材の長期間の管理が可能となる。
【００２８】
さらに、研磨用定盤に上記識別表示盤を備えたことにより、部材の洗浄や再研磨を繰り返しても識別部の認識率が低下しない長寿命の定盤とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
【００３０】
本発明の識別表示盤は、図１にその斜視図を示すように、バーコードからなる識別部１１を有する識別表示盤１であって、上記識別部１１が白色系セラミックスからなる板状体３および黒色系セラミックスからなる板状体２を組み合わせて接合してなるものである。
【００３１】
なお、ここでバーコードは、一般に図４で示すように、ワイドバー２ａ、ナローバー２ｂと呼ばれる２本の幅の異なるバーと、ワイドスペース３ａ、ナロースペース３ｂと呼ばれる２本の幅の異なるスペースを組み合わせることにより表示を構成するものである。
【００３２】
本発明では、図２の斜視図に示すようにこのワイドバー２ａ、ナローバー２ｂを成す部位を黒色系セラミックスからなる板状体２から、ワイドスペース３ａとナロースペース３ｂを成す部位を白色系セラミックスからなる板状体３を組み合わせて接合したことで、部材そのものに、レーザーやコーティング・溶射品により識別部を形成したものに比較して、耐食性や耐摩耗性が格段に向上し、識別部の長寿命化が達成できる。これは、従来の識別部の深さ方向の厚みが０．１〜０．５ｍｍ程度であるのに対し、このセラミックスからなる板状体２、３で形成した識別部１１は、容易にその厚みを１ｍｍ以上と厚くすることができ、その使用方法により厚みを調整して製作することで、摩耗により消滅することもなく、また剥がれの生じない識別表示盤１とすることができる。
【００３３】
また、上記黒色系セラミックスを成す板状体２は、例えば、黒色を呈する炭化珪素、窒化珪素、黒色系アルミナを主成分とするセラミックスからなり、白色系セラミックスからなる板状体３は、例えば、白色を呈するアルミナ、ジルコニア、コージェライトを主成分とするセラミックスからなり、白色系セラミックスにアルミナを使用すると、硬度が高く剛性があることから耐摩耗性に優れ、またジルコニアを使用すると結晶粒子が細かく強度が高いため、さらに耐摩耗性が良好である。また、コージライトを使用する場合は、耐摩耗性はその他のセラミックスに劣るものの、耐熱衝撃性が高いため、耐熱性部品の管理に使用する場合に使用することで、割れなどが発生しない識別表示盤１とすることができる。黒色系セラミックスに黒色アルミナを使用すると、白色系セラミックスにアルミナを使用して組み合わせることで、アルミナ部材同士からなるバーコードとすることができる。また、窒化珪素や炭化珪素等の被酸化物セラミックスを使用すると硬度や強度、さらに耐熱性などを併せ持つ識別部を形成することができる。
【００３４】
特に、白色系セラミックスとしては、白色を呈するアルミナ質セラミックス、黒色セラミックスとしては、黒色を呈するアルミナ質セラミックスが好ましい。これは、詳細を後述するように、その機械的特性、熱的特性が近似していることによる。機械的特性が近似していることは、硬度が同様であることから接合後の主面の研削加工において、その加工面の平面度の精度を向上させることができる。また、熱的特性が近似していることは、熱膨張係数が同様であることから、温度の変化する環境下で使用しても接合面が剥離することを防ぐことができる。また、収縮率が近似していることから、焼成前に板状体２、３の接合面に有機物等を添加した接合や、圧着による接合によっても焼成により剥離しない強固な識別部１１とすることができるためである。
【００３５】
また、上記セラミックス以外でも、白色や黒色の組み合わせが可能であれば使用することができる。
【００３６】
また、識別部１１を形成する板状体２、３は、厚みが０．５ｍｍ以上で、且つ比重３．０以上の緻密質セラミックスからなることが好ましい。
【００３７】
セラミックスの焼結性は、その種類によっても異なるが、比重の大きいセラミックスは耐摩耗性が高い傾向にある。したがって、板状体２、３に比重が３．０以上の緻密質セラミックスを使用することにより、超音波洗浄や機械的磨耗による脱落を大幅に軽減できる。一方、比重が３．０未満であれば、超音波洗浄や機械的磨耗によるセラミックス結晶粒子の脱落が生じ、脱落したセラミックスの結晶粒子によりウエハ等の加工物に傷を付ける可能性がある。
【００３８】
また、識別部１１の深さ方向の厚みＴが０．５ｍｍ以上であることが好ましく、特にこの識別表示盤を、表面にウエハを複数載置して研磨する研磨用定盤に備えた場合、識別部１１の厚みが小さいと薬液や超音波での洗浄で剥がれやすく、機械的磨耗や再研磨により消えてしまう。通常、１回の再研磨で約０．１〜０．２ｍｍの研削代が必要なために従来の識別方法では再研磨の際に消えてしまい、再刻印が必要となる。そのため、セラミックスからなる板状体２、３で形成することで厚みを大きく、自由に設定できるため、識別部１１の読み取り率を長期間にわたって高いものに保持することができる。
【００３９】
また、識別部１１において隣接する上記各板状体の段差が、１０μｍ以下であることが好ましい。これは、識別部１１の表面に小さな凹凸があると不純物付着の原因になり、識別部１１に溜まって読み取りできなくなったり、凹凸から識別部１１の成分が衝撃等により剥がれ落ち、ウエハ等の加工物に傷を付けるなどの問題が生じるためであり、この段差が１０μｍ以下の微小なものとすることで、読み取り効率を向上させることができる。なお、このように段差を微小なものとするためには、異なるセラミックスからなる板状体２、３を接着剤で接合した後、その表面を研磨する工程で調整できるが、板状体２、３が白色系、黒色系のアルミナ等、機械的特性の優れた同一なセラミックスからなることで、より研磨を容易にでき、その段差もより微小なものとすることができる。
【００４０】
また、上記板状体は、エポキシ樹脂等の樹脂系媒体を介して接合することが好ましい。
【００４１】
これは、その用途により変えることもできるが、本発明のように特に構造部材の管理に使用する場合、薬液や腐食性ガスなどに曝される環境下でも剥離しないように考慮する必要がある。そこでエポキシ樹脂系の接着剤は耐食性が優れ、また接着強度も１０ＭPａを超える強度があるため、長期間の使用に耐えることができるためである。
【００４２】
また、上記のような樹脂系媒体を介した接合は、どのようなセラミックスからなる焼結体同士の組み合わせでも容易に接合することができ、ワイドバー２ａ、ナローバー２ｂ及びワイドスペース３ａ、ナロースペース３ｂの４種類の板状体２、３を予め加工して準備しておくことで、目的の識別部１１を容易に製作することができる。
【００４３】
なお、上記樹脂系媒体を介して接合するとは、板状体２、３となるセラミックスを焼成する前に樹脂バインダーを使用した接合、および焼結後の樹脂系接着剤を使用した接合を示すものであり、焼結後のセラミックスは硬いが、その寸法精度は良好に加工することが可能であるため、各素材の寸法精度や変形度合いにより、加工を加えることで良好なバーコードとすることが可能である。ここで、白色を呈するアルミナ質セラミックス、黒色セラミックスとしては、焼成前の接合が可能であるが、異種のセラミックス同士の接合は焼成後の接合を用いる。
【００４４】
また、板状体２、３を形成するセラミックスは、焼結前のシートなどの成形体には、成形助剤や焼結助剤といったバインダーが含まれているため、この表面にポリビニールアルコール等の樹脂系媒体を塗布して張り合わせて接合することで、その素材同士を一体化することができる。これにより、焼成後に接着剤を使用して固定する工程が省けることや、接着剤を使用できない環境下、例えば高温下や酸・アルカリの強い雰囲気下での使用することが可能となる。
【００４５】
また、白色系セラミックスからなる板状体３は、アルミナやジルコニアまたは白色系コージェライトなどから形成したもので、酸化雰囲気で焼成した焼結体を所定の厚みに研削加工して得ることができ、黒色系セラミックスからなる板状体３は、炭化珪素、窒化珪素、黒色アルミナなどから形成したもので、プレス成形やＣＩＰ成形などにより得た成形体を還元雰囲気により焼成し、得られた焼結体を所定の幅と厚みに研削加工することで得られる。
【００４６】
さらに、識別部１１の表面は、識別部１１を埋め込む部分の形状に合わせて、円形状の側面であれば円形状に、凹みに形成したい場合もその形状に合わせて自由に変えることができる。
【００４７】
また、セラミックス製識別表示盤１は図３（ｂ）に示すように、半導体・液晶製造装置用部材５として用いることが好ましい。
【００４８】
これは、半導体や液晶製造装置用部材５は、腐食性ガスなどの影響またはスラリー等を使用するポリッシング用定盤に使用されることにより、そのセラミックスや金属部材の表面が腐食されて摩耗してしまうことから、腐食にも強く寿命の長いセラミックスバーコードを使用することで、これまでの部材の識別管理がさらに信頼性の置けるものとなる。
【００４９】
また、図３（ａ）に示すように、半導体・液晶製造装置用部材が研磨用定盤４であることが好ましい。
【００５０】
これは、本発明のセラミック製バーコードを使用すると、その厚みは、１ｍｍ以上とすることができ、さらには、３〜１０ｍｍ程度とすることも可能である。
【００５１】
したがって、ウエハ研磨用定盤としてその剛性が耐えうる厚みを予め設定し、その厚みまでは、バーコードによる識別機能が消滅しないような厚みに設定することで達成することができる。
【００５２】
また、識別表示盤の識別部に、摺動や汚れなどの発生があるようなものでは、その母材がセラミックではなくても、接着剤などで固定することでその機能を果し得る。
【実施例】
【００５３】
次に、本発明の実施例を示す。ここで、以下に示す方法で実験を行った。
【００５４】
実験１として、本発明実施例としてφ２００ｍｍ×厚み２０ｍｍの円盤をセラミックスで製作し、これにバーコードからなる識別部を有する識別表示盤を形成した。
【００５５】
従来の比較例として、試料Ｎｏ．１は、白色系セラミックスのアルミナの表面にワイドバー、ナローバーに相当する部分をレーザーにより溶融させて黒色の溝からなるバーを形成した識別部を有する円盤を用意した。試料Ｎｏ．２は、同様の円盤の表面にブラスト加工によりバーコードのワイドバー、ナローバーを約０．５ｍｍの深さで溝を加工し、この溝に黒色のガラスペーストを塗布して約７００℃で焼付けした識別部とした。また、試料Ｎｏ．３は円盤の材質に黒色系セラミックスの炭化珪素を使用して、その表面にスペース部として約０．５ｍｍの深さにブラスト加工し、ここに白色系フッ素樹脂をコーティングした識別部とした。また、試料Ｎｏ．４として黒色系セラミックスの炭化珪素からなる円盤を使用してスペース部を約０．５ｍｍの深さにブラスト加工し、ここに白色系アルミナセラミックスを溶射した識別部とした。
【００５６】
本発明の試料として、試料Ｎｏ．５〜１６は白色系セラミックス（アルミナ、ジルコニア、コージェライト）と黒色系セラミックス（黒色アルミナ、炭化珪素、窒化珪素）のからなる各板状体を組み合わせてバーコードからなる識別部を形成した識別表示盤をアルミナセラミックスからなる円盤に装着した。また、バーコードからなる識別部の形成及び円盤への装着はエポキシ系接着剤と無機接着剤を使用した。
【００５７】
それぞれ、バーコードからなる識別部をＣＯＤＥ３９の規格に基づき、ナローバーの幅は０．５ｍｍ、ワイドバーの幅は１．２５ｍｍで作製した。このとき識別表示盤の識別部の深さ方向である板状体の厚みを０．３ｍｍ、０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、３．０ｍｍと変えたものを用意した。
【００５８】
評価方法は小型のポリッシング装置を用い、鉄製の下定盤の上にウレタン製のクロスを貼り、テスト用の円盤にはワックスを使用して直径１５０ｍｍのセラミックス製のウエハを装着してクロス上に置き、押圧力０．５ｋｇｆ／ｃｍの荷重をかけて１時間下定盤と円盤を回転させながらスラリー（コロイダルシリカ）を定期的に注入して、ポリッシングした。次にポリッシングの完了後にウエハを剥がし、６０℃のＫＯＨ５％内に円盤を浸漬して、エンビのブラシで表面を１５分ブラッシングし、ワックスを除去した後、水温４０℃の純水中で５０Ｈｚ、１０００Ｗの超音波を１５分かけて洗浄した。さらに洗浄完了後、円盤を乾燥させてバーコードの読み取りの確認を行い、読み取り率１００％であることを確認した後に約１００℃のヒータで円盤の表面を暖め、ここにセラミックスウエハを貼り、冷却後再度ポリッシングするという手順を繰り返し行った。読み取り用のバーコードリーダはキーエンス製ＢＬ６０１を使用し、読み取りの高さはバーコード部より１５ｃｍ離して約１０°傾けた状態で読み取りを行った。また、識別部の表面の汚れや、ゴミの付着により読み取りが困難になった場合は、識別部の主面を約１０〜２０μｍの厚みで研削加工して評価を続けた。
【００５９】
評価方法は、各識別部の主面の段差を測定し、さらにバーコードが読み取りできなくなるまでの時間を記録した。
【００６０】
結果は表１に示す通りである。
【表１】
2006236008.tif 000003
【００６１】
表１の示すように比較例の試料Ｎｏ．１〜４は、バーコードからなる識別部の表面のバーとスペースの段差が５０μｍ以上有り、その識別部の有効な厚みが０．２ｍｍ以下と小さいことから、汚れや摩耗による剥がれにより、読み取り可能な時間が短いものとなっている。その原因は次のようなものであった。比較例の試料Ｎｏ．１は、３７５Ｈを超えたあたりからレーザー刻印部のナローバー／ワイドバーにところどころ剥がれが見え始めて４５０Ｈで読み取り不能となった。また試料Ｎｏ．２については、８２５Ｈを超えたあたりからナローバー／ワイドバーにところどころ剥がれが見え始めて９６０Ｈで読み取り不能となった。また、試料Ｎｏ．３については、５０Ｈで剥がれ発生し読み取り不能であった。また、試料Ｎｏ．４については１４０Ｈを超えたところからナローバー／ワイドバーにところどころ剥がれが見え始めて１５０Ｈでは読み取り不能となった。
【００６２】
本発明の試料Ｎｏ．５〜１６は、バーコードからなる識別部の形成するそれぞれの板状体の段差が、試料Ｎｏ．５〜８の黒色アルミナとアルミナの組み合わせは０．００５ｍｍ、試料Ｎｏ．９〜１２の炭化珪素とジルコニアの組み合わせが０．０１ｍｍ、試料Ｎｏ．１３〜１６の窒化珪素とコージライトの組み合わせは０．０２ｍｍであった。この段差は、セラミックスの比重が３．０未満と低いものは、研削加工の際に剛性が低くたわみが発生するためであり、比重が３．０以上のセラミックスの材質を組み合わせることで段差が１０μｍ以下に抑えることができるため好ましいことが分かった。
【００６３】
また、読み取り不能となるまでの寿命は、バーコードの識別部を形成する板状体の厚みが０．３ｍｍのもので、平均１１００〜１３００Ｈ程度で再加工ができなくなる厚みに達し寿命となった。したがって、０．５ｍｍ、１．０ｍｍ、３．０ｍｍと板状体の厚みを大きくしたものは、さらに寿命が伸びている。特に試料Ｎｏ．５〜８の黒色アルミナとアルミナの組み合わせは、他の組み合わせと比較しても寿命が長く、識別部の表面の段差が小さいことからゴミの付着や汚れも少なく、読み取り率が良好であった。
【００６４】
このように識別部を形成する板状体の厚さ３．０ｍｍのものでは、どの組み合わせにおいても４０００Ｈを超えて、読み取りが可能であった。
【００６５】
また、接合媒体はエポキシ系樹脂を使用した場合と比較して、無機のものは接着強度が弱く試料Ｎｏ．１４は、９３０Ｈ使用した所で、板状体の接合部が剥離してしまった。
【００６６】
このようにバーコードからなる識別部を板状体のセラミックスで形成することにより、バーコードの読み取り寿命が格段に伸びている。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の識別表示盤の斜視図である。
【図２】（ａ）は本発明の識別部を成す板状体を示す分解斜視図であり、（ｂ）は本発明の識別部を成す板状体の厚みを増した場合を示す分解斜視図である。
【図３】（ａ）は本発明の識別表示盤を有する研磨用定盤を示す斜視図であり、（ｂ）は本発明の識別表示盤を有する半導体製造装置用部材を示す斜視図である。
【図４】バーコードからなる識別部を有する識別表示盤を示す正面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は従来の識別部の形成方法を示す断面図および正面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は従来の識別部の形成方法を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１：識別表示盤
２、３：板状体
２ａ：ワイドバー
２ｂ：ナローバー
３ａ：ワイドスペース
３ｂ：ナロースペース
４：研磨定盤
５：半導体・液晶製造装置用部材
６：セラミックスからなる部材
７：溝
８：ペースト
９：コーティングや溶射
１０：板状体
１１：識別部
１２ａ：ワイドバー
１２ｂ：ナローバー
１３ａ：ワイドスペース
１３ｂ：ナロースペース
【図１】
2006236008.tif 000004
【図２】
2006236008.tif 000005
【図３】
2006236008.tif 000006
【図４】
2006236008.tif 000007
【図５】
2006236008.tif 000008
【図６】
2006236008.tif 000009