(57)【要約】  【課題】複数のチャンネルを有するインクジェット記録装置の記録ヘッドにおける、チャンネル間のインク吐出タイミングディレイを実質的になくすることが可能な記録ヘッドを提供すること。  【解決手段】多層構成のインク吐出用の制御基板を有する静電インクジェット記録装置の記録ヘッドであって、前記制御基板のインク吐出面でない面に、外部への接続用のパッド電極を配置し、前記制御基板の有する制御電極からの引き出し線を前記パッド電極まで導く配線パターンを有することを特徴とする記録ヘッド。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層構成のインク吐出用の制御基板を有する静電インクジェット記録装置の記録ヘッドであって、
前記制御基板のインク吐出面でない面に、外部への接続用のパッド電極を配置し、
前記制御基板の有する制御電極からの引き出し線を前記パッド電極まで導く配線パターンを有することを特徴とする記録ヘッド。
【請求項２】
前記制御基板のインク吐出面でない面が、前記制御基板のインク吐出面とは逆側の面である請求項１に記載の記録ヘッド。
【請求項３】
前記制御基板のインク吐出面でない面が、前記制御基板のインク吐出面およびそれと逆側の面以外の面である請求項１に記載の記録ヘッド。
【請求項４】
前記配線パターンを構成する各引き出し線の長さが、実質的に同じである請求項１〜３のいずれかに記載の記録ヘッド。
【請求項５】
前記パッド電極を配置する方向を、前記制御基板におけるインク吐出用ノズルの集積度の低い方向とした請求項１〜４のいずれかに記載の記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク滴を飛翔させて記録を行うインクジェット記録技術に関し、より具体的には、記録ヘッドに設けた個別電極により静電力を発生させてインク滴を吐出させるタイプのインクジェット記録技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、他の記録方式と比べて騒音が少なく、現像や定着などの処理が不要であるという利点を有し、普通紙への記録技術として注目されている。
【０００３】
中でも、基板上に薄膜からなる複数の制御電極を配列した電極アレイに電圧を印加し、静電力を用いてインク液面からインクあるいはその中の色材成分をインク滴として飛翔させる静電インクジェット記録方式が注目されている。この方式は、帯電した色材成分を含むインクを用い、色材の濃度を高めてインク滴を飛翔させる方式である。
【０００４】
一例を挙げると、例えば特許文献１に開示されている静電インクジェット記録装置は、インク中の色剤成分をインク滴の吐出位置に安定に供給し、また、インク滴の吐出位置が安定であって、インク滴を目詰まりなく安定して吐出・飛翔させることができるインクジェット記録装置であるとしている。
【０００５】
より具体的には、この装置は、配列された複数の貫通孔を有する多層絶縁性基板と、この多層絶縁性基板の上記貫通孔の周囲に形成され、前記静電力を作用させるための複数の制御電極およびこの制御電極から各々引き出され、スルーホールを介して上記多層絶縁性基板の層間に導かれた引き出し線を有する制御電極基板と、上記貫通孔の略中心位置に配置され、インク滴飛翔方向に突出された凸状インクガイドと、上記貫通孔を通してこの凸状インクガイドにインクを供給するインク供給手段とを具備するものである。
【０００６】
ここで、上記絶縁性基板としては多層基板が用いられており、制御電極から各々引き出された引き出し線を、スルーホールを介して多層基板の層間に導き、制御電極のない、より広い領域に引き出し線を形成している。これは、絶縁性基板表面に引き出し線を設けた場合には、この表面に形成された制御電極間の狭い間隔を通して複数の引き出し線を導くよう設定しなければならず、インク吐出部のピッチに限界があり、高解像度化が困難となるという問題を解消するためである。
【０００７】
すなわち、上記インクジェット記録装置においては、インク吐出部の貫通孔のピッチを従来のものより狭くすることが可能となり、より高解像度のインクジェット記録装置が実現できるとしている。
以下、これについて、より詳細に説明する。
【０００８】
図７は、上記インクジェット記録装置のヘッド主要部の構成を示す概略断面図、また、図８は、図７の表面領域の斜視図である。ここでは、制御基板１１１が一例として４層になっており、制御電極１４と接続される引き出し線１５が多層絶縁性基板の層間に分けて導かれている点が、従来のものと異なる点である。
【０００９】
各制御電極１４に電圧を印加するための引き出し線１５，１１５，１２５，１３５は、多層絶縁性基板表面および多層絶縁性基板の各層間からスルーホール１８を通して、表面の制御電極１４に接続されている。このようなヘッド構成にすることにより、従来、制御基板１１１の表面に形成されていた引き出し線を、多層絶縁性基板の深さ方向に重ねて配置できるため、配線領域を大幅に減少させることができる。
【００１０】
さらに、上記インクジェット記録装置においては、図９に示すように、上述のような配置（列状配置）を、多数並べることも示されている。図９に示す例では、４個のインク吐出部が３列並んだヘッドを、上方から見た図である。ここでは、インクガイドは点線で示されるように、３列に並んでいる。この場合には、矢印Ａの方向から解像度を、各列の間の距離と各列の角度（上記矢印Ａの方向に対する角度）を調整することにより、所望の解像度（実際には、限度はあるが）にすることが可能である。
【００１１】
【特許文献１】特許第３３４０３７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、上述のインクジェット記録装置を含めて、従来のインクジェット記録装置においては、インク吐出のタイミング変動を抑えるために、少なくとも制御電極への配線の長さを、複数の電極各々の間で均等にするという配慮はなされていなかった。すなわち、制御電極から基板外部（ドライバ出力端）と接続するパッドまでの配線長が、チャンネル（インクジェット記録装置の記録ヘッドを構成する各インク吐出ノズルに対応する）間で異なると、遅延時間の差が発生して、ドライバからの吐出信号に対する各々のチャンネルのインク吐出タイミングディレイに大きなバラつきが生じてしまう。
【００１３】
一例を挙げると、ドライバからの吐出信号に対して、制御電極の動作タイミングが、配線長１ｍｍ当たりで約０.３μｓｅｃ遅れるというデータがある（図６参照）。
この問題に対しては、例えば、上述のヘッドを構成するチャンネル数分（最大で）の電気的補正機能を保持させるという方法も考えられるが、これはかなり手間の掛かる方法といわざるを得ない。
【００１４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、上述のような問題点を解消したインクジェット記録装置の記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドともいう）を提供することにある。
より具体的には、本発明の目的は、複数のチャンネルを有するインクジェット記録装置の記録ヘッドにおける、チャンネル間のインク吐出タイミングディレイを実質的になくすることが可能な記録ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明に係る記録ヘッドは、多層構成のインク吐出用の制御基板を有する静電インクジェット記録装置の記録ヘッドであって、前記制御基板のインク吐出面でない面に、外部への接続用のパッド電極を配置し、前記制御基板の有する制御電極からの引き出し線を前記パッド電極まで導く配線パターンを有することを特徴とする。
【００１６】
ここで、本発明に係る記録ヘッドにおいては、前記制御基板のインク吐出面でない面が、前記制御基板のインク吐出面とは逆側の面であるか、もしくは、前記制御基板のインク吐出面およびそれと逆側の面以外の面であることが好ましい。
【００１７】
本発明に係る記録ヘッドにおいては、前記配線パターンを構成する各引き出し線の長さが、実質的に同じとしたことを特徴とする。
また、本発明に係る記録ヘッドにおいては、前記パッド電極を配置する方向を、前記制御基板におけるインク吐出用ノズルの集積度の低い方向とすることが好ましい。
【００１８】
なお、ここで、前記パッド電極を前記制御基板のインク吐出面でない面に配置するのが好ましい理由は、いうまでもなく、実装に際してはコネクタの接続スペース等が必要なため、前記制御基板のインク吐出面に配置した場合には、記録対象となる記録面との間で空間的な干渉が発生するためである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、複数のチャンネルを有するインクジェット記録装置の記録ヘッドにおける、チャンネル間のインク吐出タイミングディレイを実質的になくすることが可能な記録ヘッドを提供することができるという顕著な効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明を詳細に説明する。
以下に説明する実施形態においては、最初に、本発明に係るチャンネル間のインク吐出タイミングディレイ解消の効果が最大に発揮するに好適な、多層構成の制御基板を有する記録ヘッドの基本的な構成を説明し、その後に、この記録ヘッドにおける配線パターンの構成について説明する。
【００２１】
上述の記録ヘッドは、貫通孔を有する多層制御基板の下部の絶縁性貫通孔基板におけるインク流路と反対の面に積層された一層以上の絶縁層を備えるものであり、上記貫通孔と同一中心に配置される貫通領域を上記絶縁層に備えることにより、多層化に伴う貫通孔近傍の、インク吐出流路（後述するように、貫通孔２６とインクガイド３８とで形成されるものである）の伸長を防止するとともに、インクがメニスカス４１を形成する領域を確保することができ、良好な吐出性能を維持しつつ貫通孔ピッチをより狭くすることを可能とするものである。
【００２２】
図５は、上述の液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッド１２を有するインクジェット記録装置１０を示す模式的断面図である。インクジェット記録装置１０は、インクジェットヘッド１２と、インク循環手段１４と、記録媒体支持手段１６とを有する。
但し、図５に示されるインクジェットヘッド１２は、後述する多層制御基板１８の引き出し線（配線パターン）２８が異なる層間に配設された状態を模式的に示すものであり、その引き出し線２８の形成位置は、図５に示す位置に限定されるものではない。
【００２３】
インクジェットヘッド１２は、多層制御基板１８と、制御電極２４と、ヘッド基板３６と、インクガイド３８とを備える。
ここで、多層制御基板１８とヘッド基板３６とは、所定間隔を以って対向した状態で配置されており、多層制御基板１８とヘッド基板３６との間には、インク流路３９が形成されている。
【００２４】
また、ヘッド基板３６の上面（インク流路３９側）には、二次元配列されたインクガイド３８が設けられている。インクガイド３８の配設位置は、インク流路３９側を下方として（図５中における下方と対応する）、後述する多層制御基板１８の最下層に位置する絶縁性貫通孔基板２０に形成された貫通孔２６の位置と対応付けられている。
なお、図５に示すインクジェットヘッド１２において、インク吐出部の中心に位置するインクガイド３８は、円筒形状の柱状構造の上部が円錐形状に尖鋭化されているものを使用し、その先端が貫通孔２６を通過して絶縁性貫通孔基板２０の上面よりも上方に突出するように配設される。
【００２５】
また、インク流路３９は、後述するインク供給流路４２およびインク回収流路４４と接続されており、各インク吐出部にインクを供給するためのインクリザーバ（インク室）として機能する。また、このインクジェット記録装置１０（インクジェットヘッド１２）で使用されるインクは、正に帯電した帯電性粒子（インク粒子）を帯電制御剤やバインダーなどともに、１０8 Ωｃｍ以上の抵抗率を持つ絶縁性溶媒中に分散させた溶液である。
【００２６】
ここで、インクジェットヘッド１２は、制御電極２４と図示しない電圧印加手段とを接続する引き出し線２８（２８ａ，２８ｂ，……等）を形成する領域を提供するために、多層制御基板１８を備えるものであり、このように多層制御基板１８の層間に引き出し線２８ａ，２８ｂ，……等を形成することにより、吐出部の高密度化を可能としているものである。さらに、上記多層制御基板１８は、多層化に伴った貫通孔周辺の前記インク吐出流路の伸長を防ぐ構造的特徴を有するものである。
【００２７】
以下、この多層制御基板１８の多層構造について説明する。
【００２８】
多層制御基板１８は、絶縁性貫通孔基板２０と、一層以上の絶縁層２２と、制御電極２４と、制御電極２４から引き出された引き出し線２８（２８ａ，２８ｂ，……等）を有する。絶縁性貫通孔基板２０は、二次元配列された貫通孔２６を有し、その貫通孔２６の形成位置は、上述したインクガイド３８が貫通孔２６の略中央に位置するようインクガイド３８の配設位置と対応させて決められる。絶縁性貫通孔基板２０の下面には、貫通孔２６を包囲するリング形状の制御電極２４が形成されている。
【００２９】
多層制御基板１８は、上述したように、絶縁性貫通孔基板２０の上面に一層以上の絶縁層２２が積層されて形成されている。この例では、一例として、四層の絶縁層２２が積層される例を示している。これら積層された絶縁層２２は、絶縁性貫通孔基板２０に形成された貫通孔２６と略同一中心に配置される貫通領域３０を有する。この貫通領域３０は、絶縁層２２の最上面から絶縁性貫通孔基板２０の上面まで貫通して形成され、その孔形状は、例えば、円筒形状を成すものである。
【００３０】
なお、絶縁性貫通孔基板２０は、絶縁性材料、例えば、Ａｌ2 Ｏ3 あるいはＺｒＯ2 などのセラミックス、あるいはポリイミドなどの樹脂で形成されるものを使用すればよい。また、貫通領域３０の大きさは、絶縁性貫通孔基板２０に形成された貫通孔２６よりも十分に大きい（後述するように、インクガイド３８と貫通孔２６周辺部との間に形成されるメニスカス４１を安定に維持可能な大きさが好ましい）ものである。
【００３１】
多層制御基板１８の層間には、貫通孔毎に形成された各々の制御電極２４から引き出される引き出し線２８（２８ａ，２８ｂ，……等）が形成されている。制御電極２４は、この引き出し線２８（２８ａ，２８ｂ，……等）を介して、図示しない電圧印加手段に接続されている。
【００３２】
より具体的には、図５に示すように、図中左端部の制御電極２４ａの引き出し線２８ａが、絶縁性貫通孔基板２０とその直上に積層された絶縁層２２ａとの層間に形成されている。また、次の制御電極２４ｂの引き出し線２８ｂは、図中最下層の絶縁層２２ａと、その直上に積層された二層目の絶縁層２２ｂとの層間に形成されている。同様に、次の制御電極２４ｃの引き出し線２８ｃは、二層目の絶縁層２２ｂと、その直上に形成された三層目の絶縁層２２ｃとの層間に形成されている。
【００３３】
上述のように、引き出し線２８ａ，２８ｂ，……等を形成する領域を多層構成とされた基板の層間に設定することにより、引き出し線２８ａ，２８ｂ，……等を形成する領域を縮小させることができるために、貫通孔ピッチをより狭くすることが可能になるという利点が得られる。
【００３４】
さらに、上述の多層制御基板１８では、三層目の絶縁層２２ｃとその直上に形成された四層目の絶縁層２２ｄとの層間にシールド電極３２が形成されている。シールド電極３２は、多層制御基板１８の全面に共通な金属層であり、各制御電極２４から対向電極５０に向かって上方に発生している電気力線のうち、インクガイド３８の突出方向に発生している電気力線以外を遮蔽するためのものである。
【００３５】
ここで、各絶縁層２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄとしては、ある層間とそれに隣接する層間に配置された引き出し線２８が相互に絶縁されるように、また、多層制御基板１８の物理的強度を確保することができるように、３０〜５０μｍの層厚を有するものを使用することが好ましい。
【００３６】
また、絶縁性貫通孔基板２０の上面、および絶縁性貫通孔基板２０上に積層された絶縁層２２の表面には、撥インク膜３４が形成されている。撥インク膜用の材料としては、ＰＴＦＥ（Ｐoly tetra fluoro ethylene ），ＦＥＰ（Ｆluorinated ethylene propylene copolymer ），ＰＦＡ（Ｔetra fluoro ethylene - perfluoro alkylvinyl ether copolymer），パーフルオロシクロポリマー等を使用することができる。
多層制御基板１８は、上述のように構成されている。
【００３７】
上記インクジェットヘッド１２は、上述したヘッド基板３６と多層制御基板１８とを有し、多層制御基板１８の最下層の絶縁性貫通孔基板２０に形成された貫通孔２６に対応するインクガイド３８が、上記貫通孔２６の略中央に位置するように位置決めされて、ヘッド基板３６と多層制御基板１８とが対向するよう配設されて構成されている。そして、前述のように、上端が円錐形状に尖鋭化されているインクガイド３８の先端部分と貫通孔２６周辺部との間には、貫通孔２６を介して供給されたインクのメニスカス４１が形成される。
【００３８】
ここで、上記インクジェットヘッド１２では、上述したように、貫通孔２６周辺の絶縁層２２（２２ａ，２２ｂ，……）が貫通領域３０を有しているため、絶縁性貫通孔基板２０の上部に絶縁層２２を積層させて制御基板の多層化を行った場合においても、貫通孔２６の長さを伸長させることがなく、従って、メニスカス４１が形成される領域を含む貫通孔２６周辺の形状を変形させることがない。
【００３９】
すなわち、図７，図８を用いて説明した、多層構造を有する従来のインクジェットヘッドのように、インク吐出流路が伸長することがない。そして、これに従って、多層化に伴って派生するインクの流路抵抗の増加を防止して、良好な吐出性能を維持することができるという効果が得られる。
【００４０】
さらに、絶縁層２２（２２ａ，２２ｂ，……等）により、各吐出部が相互に離隔されているとともに、貫通領域３０における絶縁性貫通孔基板２０の上面と、絶縁性貫通孔基板２０の上面に積層された絶縁層２２の表面には、上述した撥インク膜３４が形成されているため、ある吐出部に形成されたメニスカス４１と、それと隣接する吐出部に形成されたメニスカス４１とが相互に干渉することがなく、良好なメニスカス４１の安定性を確保することができるという効果も得られる。
【００４１】
ここで、インクジェットヘッド１２には、図示しない電圧印加手段が接続されている。この電圧印加手段は、制御電極２４に常に一定の所定電圧を印加するバイアス電圧源と、画像データや印字データ等の吐出データ（吐出信号）に応じた所定電位の駆動電圧（例えば、パルス電圧）を制御電極２４に印加する信号電圧源とを有する。
【００４２】
また、インク循環手段１４は、インクジェットヘッド１２にインクを循環させるインク還流機構４０と、インク供給流路４２と、インク回収流路４４とを有する。
インク還流機構４０は、インク供給流路４２およびインク回収流路４４を介して、インクジェットヘッド１２に接続されている。
【００４３】
インク還流機構４０は、図示しないインクタンクと、インクポンプとを有しており、インクタンク内には、インクが所定量入れられている。インクタンク内では、図示しない濃度調整機構により、インクの絶縁性溶媒中の帯電性粒子、帯電制御剤およびバインダーなどの濃度が所定の濃度範囲に入るように常に調整されている。
【００４４】
インクタンク内で図示しない濃度調整機構により濃度調整されたインクは、インク還流機構４０のインクポンプから所定の圧力でインク供給流路４２を介してインクジェットヘッド１２のインク流路３９へ供給されている。インク流路３９内は、インクで満たされ、個々の貫通孔２６を通り、インクガイド３８へインクが供給される。また、インクジェットヘッド１２で使用されたインクは、インク回収流路４４を介してインク還流機構４０に回収される。
【００４５】
また、記録媒体支持手段１６は、対向電極５０と、対向電極５０に負の高電圧を印加する対向電極電圧源５２とを有し、インクジェットヘッド１２に対向する位置に記録媒体Ｐを支持して配置されている。対向電極５０は、インクジェットヘッド１２のインク液滴の吐出面と対面するように配置され、対向電極電圧源５２の負側の端子は対向電極５０に接続され、その正側の端子は接地されている。
【００４６】
また、記録媒体Ｐは、対向電極５０のインクジェットヘッド１２からのインク液滴吐出面側に支持されている。この記録媒体Ｐは、対向電極５０の図中下側の表面に、例えば静電吸着によって支持されており、対向電極５０は、記録時には、記録媒体Ｐのプラテンとして機能する。
【００４７】
以下、上述のように構成されるインクジェットヘッド１２を備えるインクジェット記録装置の作用について説明する。
【００４８】
インクジェットヘッド１２には、前述のように一定濃度の帯電性粒子を含むインクが、インク還流機構４０〜インク供給流路４２〜インク流路３９〜インク回収流路４４〜インク還流機構４０の順路で循環している。この循環により、インクＱが、インク流路３９に所定の流速（例えば、２００ｍｍ／ｓ）で流れ、各貫通孔２６に供給される。
【００４９】
画像記録時には、図示されていない電圧印加手段のバイアス電圧源から制御電極２４に０Ｖの電圧が印加され、バイアス電圧源から対向電極５０に−２ｋＶの電圧が常時印加されているので、制御電極２４と対向電極５０との間に電位差２．０ｋＶ分の電界が形成されている。
【００５０】
ここで、インクＱの循環、バイアス電圧による静電力、インクＱの表面張力、および毛管現象等により、インクガイド３８と貫通孔２６との間には、少なくともインクガイド３８の先端部分を覆うメニスカス４１が形成されている。色材粒子（ここでは、正に帯電）がメニスカス４１に泳動してメニスカス４１を形成するインクを濃縮し、この濃縮の作用によりメニスカス４１がさらに成長する。そして、インクＱの表面張力と静電力等とがバランスすることによってメニスカス４１が安定した状態となっている。
【００５１】
この状態において、信号電圧源から、例えば駆動電圧６００Ｖが制御電極２４に重畳されると、この制御電極２４に印加される６００Ｖと対向電極５０に印加される−２ｋＶによって、制御電極２４と対向電極５０との間に形成される電界は、電位差２．６ｋＶの電界に強められる。この強められた電界によって形成される静電気力により、インク液滴が、メニスカス４１から対向電極５０に向けて飛翔して、記録媒体Ｐに着弾する。
【００５２】
このようにして、画像情報に応じて駆動電圧を制御するとともに記録媒体Ｐの被走査領域を全面走査することにより画像を記録することができる。
【００５３】
ところで、上記インクジェットヘッド１２においては、シールド電極３２は、多層制御基板１８の全面に共通の金属層であると説明したが、各制御電極から対向電極５０に向かって上方に発生している電気力線のうち、インクガイド３８の突出方向に発生している電気力線以外を遮蔽するという上述の目的を達成するものであれば、その形状や配設位置は特に限定されない。
【００５４】
次に、基本的に上述のように構成された記録ヘッドの多層構成の制御基板における、配線パターンの作製（配置）状況を説明する。なお、以下の説明では、一例として、１２００チャンネル（５０×２４）の制御電極を有する多層制御基板を２分して電源を供給するようにした場合を説明する。
【００５５】
図１は、本発明の好適な実施形態に係る記録ヘッドの多層制御基板２０における配線パターンの配置状況の概要を示す図、図２（ａ），（ｂ）は、図１中の四角で囲んだ領域Ｒ部分の拡大図、また、図３（ａ），（ｂ）は、図２（ａ）中の四角で囲んだ領域Ｓ部分の拡大図である。なお、図２，図３は、いずれも理解を助けるための誇張された模式図であり、実際の構造とは必ずしも一致していない。
【００５６】
図２では、上述の５０×２４チャンネルの制御電極のうち、５×１２チャンネルについて、そこでの配線パターンの詳細な配置状況を示しており、図３では、さらにそのうちの２つの制御電極とそれに隣接する配線パターンの配置状況を示している。
なお、図２，図３とも、（ａ）は配線パターンの平面的な配置を、（ｂ）は立体的な配置を示している。
【００５７】
図１に示すように、多層制御基板２０は、その中央部に１２００チャンネルの制御電極を配置した制御電極エリア２０Ａを、また、その両外側部に外部接続のための６００チャンネル分のパッド電極を配置したパッド電極エリア２０Ｂを有しており、全体の大きさが約３０×４０ｍｍである。
【００５８】
図２中、図２（ａ）が、上記制御電極エリア２０Ａとパッド電極エリア２０Ｂとを、その上面から見た図である。但し、ここでは、制御電極エリア２０Ａとパッド電極エリア２０Ｂ内の電極、並びに配線パターンが見易いように、その上方に形成されている保護層，絶縁層等を除去した形で示している。
【００５９】
また、図２（ｂ）は、図２（ａ）中の制御電極エリア２０Ａ内においてはその制御電極を通る平面で、制御電極エリア２０Ａを出てパッド電極エリア２０Ｂまでは、後述する制御電極間を通る配線パターンの内の一つを通る平面で、それぞれ紙面に垂直な平面（いわゆる、縦断面）で切断した、異なる断面における縦断面図を組み合わせた図（すなわち、図２（ａ）中のＸ−Ｘ矢視断面図）である。
【００６０】
同様に、図３（ｂ）は、図３（ａ）中のＹ−Ｙ矢視断面図である。なお、図３（ａ）においても、制御電極２４（２４ａ１，２４ｂ１，……等）とこの制御電極に隣接する配線パターン（引き出し線：２８ａ１，２８ｂ１，……等）が見易いように、その上方に形成されている保護層，絶縁層等を除去して示している。
【００６１】
図２，図３では、ここで配線パターン作成対象としている１２列の制御電極（図２中で横方向における配列数）を、制御電極間に適正に挿通し得る３本の引き出し線を用い、また、高さ方向に４段（＝１２列／３本）の配線層を用いて接続する際に、好適に使用し得る配線パターンの一例を示している。
【００６２】
すなわち、この例では、左側から３列ずつ（例えば、ａ，ｂ，ｃ；ｄ，ｅ，ｆ……等）を１つのグループとして、上述の３本の配線パターンを用いて、３列のパッド電極エリア（ｃ，ｂ，ａ；ｆ，ｅ，ｄ……等）にそれぞれ接続し（引き出し）ている。また、ここでは、１２列の制御電極を４つにグループ化して、各グループ毎に異なる層を用いて配線しているので、配線の近接度が低く抑えられるという利点がある。
【００６３】
具体的には、第１のグループが最下層に、第２のグループがその上層に、第３のグループがさらにその上層に、というように各グループ毎に異なる層を用いて配線しているが、これに伴って生じる配線長の差は、層間の距離の差（１層当たり約３０μｍ程度）の２〜３倍であるので、無視することが可能である。
【００６４】
上述のように、多層（４層）に、また、平面内では３列に配置された配線パターンの具体的配置を図３（ａ），（ｂ）に示す。両図に示すように、制御基板２０中における配線パターンは、余裕を持って好適な配置状態で配置されている。
【００６５】
なお、図２（ａ），（ｂ）に示した配線パターンの場合の平均配線長は、前述の基板全体のサイズ等から、約１２ｍｍとなる。また、制御電極間の距離が約５００μｍであることから、各チャンネル間における配線長の差は、最大で、約２ｍｍとなる。この値は、遅延時間に換算すると、約０.６μｓｅｃとなり、許容できない値ではない。
【００６６】
上述の、各チャンネル間における配線長の差をさらに縮小するには、例えば、図４にその一例を示すように配線することにより、制御電極間に適正に挿通し得る３本の配線パターンを用いて、（ａ，ｂ，ｃ）の制御電極を（ａ，ｂ，ｃ）のパッド電極にそれぞれ接続（引き出し）することも可能である。
【００６７】
この例では、各チャンネル間における配線長の差は、最大で約０.３ｍｍとなり、この値は、遅延時間に換算すると、約０.１μｓｅｃとなり、いうまでもなく、十分許容できる値となる。
【００６８】
上記実施形態によれば、複数のチャンネルを有する記録ヘッドにおける、チャンネル間のインク吐出タイミングディレイを実質的になくすることが可能な記録ヘッドを実現することができるという顕著な効果を奏するものである。
【００６９】
なお、上記実施形態は、本発明の一例を示したものであり、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更や改良を行ってもよいことはいうまでもない。
【００７０】
例えば、チャンネル間のインク吐出タイミングディレイを実質的になくすための、制御電極からパッド電極に至る引き出し線の配線パターンは、例示したものに限られることはなく、他のパターンによることも可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェット記録装置の記録ヘッドの制御基板の要部構成を示す図である。
【図２】（ａ）は図１中の四角で囲んだ領域Ｒ部分の拡大図であり、（ｂ）はそのＸ−Ｘ矢視断面図である。
【図３】（ａ）は図２中の四角で囲んだ領域Ｓ部分の拡大図であり、（ｂ）はそのＹ−Ｙ矢視断面図である。
【図４】他の実施形態に係る記録ヘッドの制御基板の要部構成の要部（一部）を示す図である。
【図５】一実施形態に係るインクジェット記録装置の記録ヘッドの概略構成を示す模式的断面図である。
【図６】ドライバからの吐出信号に対して、制御電極の動作タイミングが、配線長により遅れることを説明する図である。
【図７】従来のインクジェット記録装置のヘッド主要部の構成を示す概略断面図である。
【図８】図７に示す従来のインクジェット記録装置のヘッド主要部の表面領域を示す斜視図である。
【図９】図７，図８に示すヘッドを二次元配列する場合の配置例を示す図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０  インクジェット記録装置
１２  インクジェットヘッド
１４  インク循環手段
１６  記録媒体支持手段
１８  多層制御基板
２０  絶縁性貫通孔基板
２２  絶縁層
２４（２４ａ，２４ｂ，……，２４ａ１，２４ａ２，……，２４ｂ１，２４ｂ２，……）  制御電極
２６  貫通孔
２８（２８ａ，２８ｂ，……，２８ａ１，２８ａ２，……，２８ｂ１，２８ｂ２，……）  引き出し線（配線パターン）
３０  貫通領域
３２  シールド電極
３４  撥インク膜
３６  ヘッド基板
３８  インクガイド
３９  インク流路
４０  インク還流機構
４１  メニスカス
４２  インク供給流路
４４  インク回収流路
４６  パッド電極
５０  対向電極
５２  対向電極電圧源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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