(57)【要約】【課題】基板の一面側の全面に亘って形成した全面電極膜等にスクライブを含むパターンニングを施すことなく太陽電池モジュールを形成できる太陽電池セルを用いた太陽電気モジュールを提供する。【解決手段】  基板１２の一面側に電極膜１４、ｐ型半導体層１６、ｎ型半導体層１８及び透明電極２０が、この順序で積層されて形成された複数枚の太陽電池セル１０が、電気的に直列的に接続された太陽電池モジュールにおいて、該太陽電池セル１０，１０・・の各々が直列に配設されており、太陽電池セル１０の両隣に位置する他の太陽電池セル１０，１０の側面と対応する基板１２の両側面の一方には、電極膜１４から延出されて露出状態の延出電極膜１４ａが形成されていると共に、前記両側面の他方側の側面には、電極面１４ａと接触することなく透明電極２０から延出された延出透明電極２０ａが形成され、太陽電池セル１０の延出電極膜１４ａと、隣接する太陽電池セル１０の延出透明電極２０ａとが電気的に接続されていることを特徴とする。【選択図】        図１
2006128574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が、この順序で積層されて形成された太陽電池セルにおいて、
該基板を形成する側面の一部には、前記電極膜から延出された延出電極膜が露出状態で形成されていると共に、
前記延出電極膜が形成された側面の反対面に位置する側面部分には、前記電極膜と接触することなく透明電極から延出された延出透明電極が形成されていることを特徴とする太陽電池セル。
【請求項２】
太陽電池セルが、基板と、モリブデン層から成る電極膜と、ＩｎＣｕＳ2又はＣｕＩｎＳｅ2から成るｐ型半導体層と、ＺｎＳ又はＣｄＳから成るｎ型半導体層と、ＡｌがドープされたＺｎＯから成る透明電極とから構成される太陽電池セルである請求項１記載の太陽電池セル。
【請求項３】
基板が、矩形状の基板である請求項１又は請求項２記載の太陽電池セル。
【請求項４】
基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が、この順序で積層されて形成された太陽電池セルを製造する際に、
該電極膜を形成する電極膜用金属粒子が基板の電極膜形成面に飛来する物理蒸着法を用い、前記電極膜用金属粒子の飛来方向に対し、前記基板の一面側と前記基板を形成する側面の一部とが露出面となるように、前記基板を傾斜状態に載置して、前記基板の露出面に電極膜用金属粒子を堆積して電極膜を形成した後、
前記基板の側面に形成した電極膜が露出した状態を保持しつつ、前記基板の一面側に形成した電極膜を覆うようにｐ型半導体層及びｎ型半導体層を形成し、
次いで、前記透明電極を形成する透明電極用金属粒子が基板の透明電極形成面に飛来する物理蒸着法を用い、前記ｎ型半導体層の上面及び前記電極膜を形成した側面の反対面が、前記透明電極用金属粒子の飛来方向に対して露出面となるように、前記ｐ型半導体層及びｎ型半導体層を形成した基板を傾斜状態に載置して、前記露出面に透明電極用金属粒子を堆積して透明電極を形成することを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
【請求項５】
基板上にモリブデン層から成る電極膜を形成した後、ＩｎＣｕＳ2又はＣｕＩｎＳｅ2から成るｐ型半導体層を形成し、
次いで、前記ｐ型半導体層上にＺｎＳ又はＣｄＳから成るｎ型半導体層を形成した後、前記ｎ型半導体層上にＡｌがドープされたＺｎＯから成る透明電極を形成する請求項４記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項６】
基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が、この順序で積層されて形成された複数個の太陽電池セルが、電気的に直列に接続された太陽電池モジュールにおいて、
該太陽電池セルの各々が直列に配設されており、前記太陽電池セルの両隣に位置する他の太陽電池セルの側面と対応する基板の両側面の一方には、前記電極膜から延出されて露出状態の延出電極膜が形成されていると共に、前記両側面の他方側の側面には、前記電極膜と接触することなく透明電極から延出された延出透明電極が形成され、
前記太陽電池セルの延出電極膜と、隣接する太陽電池セルの延出透明電極とが電気的に接続されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項７】
太陽電池セルが、基板と、モリブデン層から成る電極膜と、ＩｎＣｕＳ2又はＣｕＩｎＳｅ2から成るｐ型半導体層と、ＺｎＳ又はＣｄＳから成るｎ型半導体層と、ＡｌがドープされたＺｎＯから成る透明電極とから構成される太陽電池セルである請求項６記載の太陽電池モジュール。
【請求項８】
太陽電池セルの延出電極膜と、隣接する太陽電池セルの透明電極とが、導電性接着剤によって電気的に接続されている請求項６又は請求項７記載の太陽電池モジュール。
【請求項９】
基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が、この順序で積層されて形成された複数個の太陽電池セルが、電気的に直列に接続された太陽電池モジュールを製造する際に、
該太陽電池セルとして、基板を形成する側面の一部には、前記電極膜から延出された延出電極膜が露出状態で形成されていると共に、前記延出電極膜の反対面となる側面部分には、前記電極膜と接触することなく透明電極から延出された延出透明電極が形成されている太陽電池セルを用い、
複数個の前記太陽電池セルを直列に並べ、前記太陽電池セルの延出電極膜と、隣接する太陽電池セルの延出透明電極とを電気的に接続することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項１０】
太陽電池セルとして、基板と、モリブデン層から成る電極膜と、ＩｎＣｕＳ2又はＣｕＩｎＳｅ2から成るｐ型半導体層と、ＺｎＳ又はＣｄＳから成るｎ型半導体層と、ＡｌがドープされたＺｎＯから成る透明電極とから構成される太陽電池セルを用いる請求項９記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項１１】
太陽電池セルの延出電極膜と、隣接する太陽電池セルの透明電極とを、導電性接着剤によって電気的に接続する請求項９又は請求項１０記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池セル及びその製造方法並びに太陽電池モジュール及びその製造方法に関し、更に詳細には基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が積層されて形成された太陽電池セル及びその製造方法、並びに複数個の太陽電池セルが電気的に直列に接続された太陽電池モジュール及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池に用いられている太陽電池セルとしては、基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が積層されて形成された太陽電池セル、いわゆる化合物半導体太陽電池セルが知られている。
かかる化合物半導体太陽電池セルは、結晶質シリコン等の薄膜を用いた結晶質太陽電池セルに比較して、低コストで生産可能であり、略同程度の起電力を得られることも可能であることが判明しつつある。
ところで、化合物半導体太陽電池セル単独の起電力では、実用に供し得る充分な電力を得ることができないため、通常、複数個の化合物半導体太陽電池セル（以下、単に太陽電池セルと称することがある）を電気的に直列に接続した太陽電池モジュールにして用いられる。
かかる太陽電池モジュールの製造方法としては、下記特許文献１に提案されている。
【特許文献１】特開２０００−２５２５０６号公報（図１及び図２、対応説明箇所）
【０００３】
上記特許文献１に提案されている製造方法の概要を図９に示す。先ず、図９（ａ）に示す様に、ガラス基板２００の一面側の全面にスパッタリング法で形成した全面電極膜をレーザによってスクライブして各太陽電池セル用の電極膜２０２，２０２・・を形成した後、電極膜２０２，２０２・・上に非晶質シリコンから成るｎ型半導体層と非晶質シリコンから成るｐ型半導体層とから構成される光電変換ユニット２０４を形成する。更に、この光電変換ユニット２０４上に、透明電電極としてのＩＴＯ膜２０６をスパッタリング法で形成する。
【０００４】
次いで、図９（ｂ）に示す様に、ＩＴＯ膜２０６及びｐ型半導体層とをレーザによってスクライブして太陽電池セルの部分と電極膜２０２の取出部とに分離する分離溝２０８を形成した後、電極膜２０２の取出部に接続孔２１０を形成する。この接続孔２１０は、光電変換ユニット２０４を構成するｐ型半導体層を貫通し、ｎ型半導体層に到達している。
その後、図９（ｃ）に示す様に、ＩＴＯ膜２０６、分離溝２０８及び接続孔２１０を含む全面に蒸着によって銀薄膜を形成した後、この銀薄膜にパターンニングを施して、ＩＴＯ膜２０６上にグリッド電極２１２を形成すると共に、接続孔２１０内に銀層を被着する。
更に、加熱処理によって接続孔２１０内の銀を、非晶質シリコンから成るｎ型半導体層等内を拡散し、電極膜２０２に達する導電性領域２１４を形成する。かかる導電性領域２１４によって、ＩＴＯ膜２０６と隣接する太陽電池セルの電極膜２０２とを電気的に接続できる。
【０００５】
図９に示す太陽電池モジュールの製造方法によれば、電気的に直列に接続された複数個の太陽電池セルを、一枚の基板２００上に同時に形成できる。
しかし、ＩＴＯ膜２０６と隣接する太陽電池セルの電極膜２０２との電気的に接続は、銀が非晶質シリコン中を拡散して形成した導電性領域２１４によってなされているため、確実性に欠ける。また、かかる導電性領域２１４を形成する形成時間が長く、太陽電池モジュールの生産性を低下する要因となるおそれがある。
一方、図９に示す太陽電池モジュールの製造方法と異なる太陽電池モジュールの製造方法も知られている。かかる太陽電池モジュールの製造方法を図８に示す。
【０００６】
図８に示す太陽電池モジュールの製造方法では、先ず、ガラス等から成る基板１００の一面側の全面にモリブデン等から成る全面電極膜をスパッタリング法や蒸着法によって形成した後、全面電極膜にレーザ光照射やメカニカルスクライブによって溝１０４，１０４・・を形成し、各セル用の電極膜１０２，１０２・・にパターンニングを施す［図８（ａ）］。
この電極膜１０２，１０２・・の全面に亘って形成した全面ｐ型半導体層１０５上に全面ｎ型半導体層１０７を形成する［図８（ｂ）］。
更に、形成した全面ｐ型半導体層１０５及び全面ｎ型半導体層１０７にレーザ光照射やメカニカルスクライブによって溝１１０，１１０・・を形成し、各セル用のｐ型半導体層１０６及びｎ型半導体層１０８をパターンニングする［図８（ｃ）］。この溝１１０の底面には、隣接するセルの電極膜１０２が露出している。
次いで、ｎ型半導体層１０８，１０８・・の全面に亘って、ＺｎＯ等から成る全面透明電極１１１をスパッタリング法や蒸着法によって形成する［図８（ｄ）］。
その後、全面透明電極１１１、ｎ型半導体層１０８及びｐ型半導体層１０６にメカニカルスクライブによって溝１１０，１１０・・を形成し、各セル用の透明電極１１２をパターンニングすることによって、一枚の基板１００上に透明電極１１２、ｎ型半導体層１０８、ｐ型半導体層１０６及び電極膜１０６から太陽電池セル１１６，１１６・・を形成できる［図８（ｅ）］。
形成された太陽電池セル１１６では、その透明電極１１２の一部が、ｐ型半導体層１０６及び電極膜１０６を貫通し、隣接する太陽電池セル１１６の電極膜１０２が底面を形成する溝１１０に充填されて形成されている。このため、太陽電池セル１１６，１１６・・の各々は、その透明電極１１２の一部が隣接する太陽電池セル１１６の電極膜１０２に接続され、電気的に直列に接続されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図８に示す太陽電池モジュールの製造方法では、金属の拡散による導電性領域を形成することなく電気的に直列に接続された複数個の太陽電池セル１１６，１１６・・を、一枚の基板１００上に同時に形成できる。このため、図８に示す太陽電池モジュールの製造方法によれば、図９に示す太陽電池モジュールの製造方法に比較して、太陽電池モジュールの生産性を向上し得る。
しかし、図８に示す太陽電池モジュールの製造方法では、基板１００の一面側の全面に亘って形成した全面電極膜のスクライブ、各セル用の電極膜１０２，１０２・・の全面に亘って形成した全面ｐ型半導体層１０５及び全面ｎ型半導体層１０７のスクライブ、及び各セル用のｎ型半導体層１０８，１０８・・の全面に亘って形成した全面透明電極１１１のスクライブを必要とする。
かかるスクライブの際には、通常、レーザ光照射やメカニカルスクライブを用いて行うが、モリブデンから成る全面電極膜の様に、高硬度の全面電極膜のパターンニングは困難である。
更に、全面透明電極１１１、ｎ型半導体層１０８及びｐ型半導体層１０６をスクライブして溝１１４，１１４・・を形成する際に、全面透明電極１１１の削り屑が溝１１４の壁面に露出するｎ型半導体層１０８及びｐ型半導体層１０６の露出面に付着し、溝１１４の底面に露出する隣接する太陽電池セル１１６の電極膜１０２と短絡するおそれがある。
また、基板１００として、金属板の一面側にＳｉＯ2膜等の絶縁膜を形成した基板１００を用いた場合には、全面電極膜のスクライブを施す際に、絶縁膜も同時にスクライブして絶縁性を損ない、隣接する太陽電池セル１１６との間に短絡を生ずるおそれもある。
そこで、発明の課題は、基板の一面側の全面に亘って形成した全面電極膜等にスクライブを含むパターンニングを施すことなく太陽電池モジュールを形成できる太陽電池セル及びその製造方法、並びに前記太陽電池セルを用いた太陽電気モジュール及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者等は、前記課題を解決すべく検討を重ねた結果、基板上に形成された電極膜の一部が側面の一部に延出されて延出電極膜が形成されていると共に、延出電極膜が形成された側面の反対側に位置する側面にｎ型半導体層上に形成された透明電極の一部が延出されて延出透明電極が形成されている複数個の太陽電池セルを用い、太陽電池セルの側面に延出されている電極膜と、他の太陽電池セルの側面に延出されている透明電極とを電気的に接続することによって太陽電池モジュールを容易に形成できることを知り、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が、この順序で積層されて形成された太陽電池セルにおいて、該基板を形成する側面の一部には、前記電極膜から延出された延出電極膜が露出状態で形成されていると共に、前記延出電極膜が形成された側面の反対面に位置する側面部分には、前記電極膜と接触することなく透明電極から延出された延出透明電極が形成されていることを特徴とする太陽電池セルにある。
更に、本発明は、基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が、この順序で積層されて形成された太陽電池セルを製造する際に、該電極膜を形成する電極膜用金属粒子が基板の電極膜形成面に飛来する物理蒸着法を用い、前記電極膜用金属粒子の飛来方向に対し、前記基板の一面側と前記基板を形成する側面の一部とが露出面となるように、前記基板を傾斜状態に載置して、前記基板の露出面に電極膜用金属粒子を堆積して電極膜を形成した後、前記基板の側面に形成した電極膜が露出した状態を保持しつつ、前記基板の一面側に形成した電極膜を覆うようにｐ型半導体層及びｎ型半導体層を形成し、次いで、前記透明電極を形成する透明電極用金属粒子が基板の透明電極形成面に飛来する物理蒸着法を用い、前記ｎ型半導体層の上面及び前記電極膜を形成した側面の反対面が、前記透明電極用金属粒子の飛来方向に対して露出面となるように、前記ｐ型半導体層及びｎ型半導体層を形成した基板を傾斜状態に載置して、前記露出面に透明電極用金属粒子を堆積して透明電極を形成することを特徴とする太陽電池セルの製造方法でもある。
【０００９】
また、本発明は、基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が、この順序で積層されて形成された複数個の太陽電池セルが、電気的に直列に接続された太陽電池モジュールにおいて、該太陽電池セルの各々が直列に配設されており、前記太陽電池セルの両隣に位置する他の太陽電池セルの側面と対応する基板の両側面の一方には、前記電極膜から延出されて露出状態の延出電極膜が形成されていると共に、前記両側面の他方側の側面には、前記電極膜と接触することなく透明電極から延出された延出透明電極が形成され、前記太陽電池セルの延出電極膜と、隣接する太陽電池セルの延出透明電極とが電気的に接続されていることを特徴とする太陽電池モジュールにある。
更に、本発明は、基板の一面側に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極が、この順序で積層されて形成された複数個の太陽電池セルが、電気的に直列に接続された太陽電池モジュールを製造する際に、該太陽電池セルとして、基板を形成する側面の一部には、前記電極膜から延出された延出電極膜が露出状態で形成されていると共に、前記延出電極膜の反対面となる側面部分には、前記電極膜と接触することなく透明電極から延出された延出透明電極が形成されている太陽電池セルを用い、複数個の前記太陽電池セルを直列に並べ、前記太陽電池セルの延出電極膜と、隣接する太陽電池セルの延出透明電極とを電気的に接続することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法でもある。
【００１０】
かかる本発明において、太陽電池セルとして、基板と、モリブデン層から成る電極膜と、ＩｎＣｕＳ2又はＣｕＩｎＳｅ2から成るｐ型半導体層と、ＺｎＳ又はＣｄＳから成るｎ型半導体層と、ＡｌがドープされたＺｎＯから成る透明電極とから構成される太陽電池セルを好適に用いることができる。
この基板として、矩形状の基板を用いることによって、基板の側面の一面に延出電極膜や延出透明電極を容易に形成できる。
更に、太陽電池モジュールにおいて、太陽電池セルの延出電極膜と、隣接する太陽電池セルの透明電極とを、導電性接着剤によって電気的に接続することによって、両者を確実に接続できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る太陽電池セルは、基板上に電極膜、ｐ型半導体層、ｎ型半導体層及び透明電極を、この順序で積層して形成したものであり、基板の一面側の全面に亘って形成した全面電極膜等にスクライブを含むパターンニングを施すことなく製造できる。
更に、かかる太陽電池セルを用いて形成した太陽電気モジュールは、個別に製造された複数個の太陽電池セルを、その側面側に形成された延出電極膜と、隣接する太陽電池セルの延出透明電極とを電気的に接続することによって、容易に複数個の太陽電池セルを直列に電気的に接続できる。
この様に、本発明に係る太陽電池モジュールでは、基板の一面側の全面に亘って形成した全面電極膜等にスクライブを含むパターンニングを施すことなく製造できる。このため、全面電極膜等にスクライブを含むパターンニングを施す際に発生する問題、例えば高硬度のモリブデンから成る全面電極膜にスクライブを含むパターンニングを施す困難性、或いは、このパターンニングの際に、基板を削り取ることによって生じる基板の削り屑に因る短絡のおそれ等を解消できる。
その結果、信頼性の高い太陽電池モジュールを容易に得ることができ、その製造コストの低減を図ることも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明に係る太陽電池モジュールの一例を図１及び図２に示す。図１は太陽電池モジュールの横断面図であり、図２は太陽電池モジュールの上面図である。図１及び図２に示す太陽電池モジュールは、複数個の太陽電池セル１０，１０・・が電気的に直列に接続されている。
かかる太陽電池セル１０は、長方形状の基板１２の一面側に電極膜１４、ｐ型半導体層１６、ｎ型半導体層１８及び透明電極２０が、この順序で積層されて形成されているものである。
この太陽電池セル１０を構成する基板１２の側面の一面には、電極膜１４から延出された延出電極膜１４ａが形成されており、延出電極膜１４ａが形成された側面の反対面には、電極膜１４と接触することなく透明電極２０から延出された延出透明電極２０ａが形成されている。
かかる形状の複数個の太陽電池セル１０，１０・・から成る太陽電気モジュールでは、太陽電池セル１０の延出電極膜１４ａと、隣接する太陽電池セル１０の延出透明電極２０ａとが接続され、複数個の太陽電池セル１０，１０・・が電気的に直列に接続されている。
この延出電極膜１４ａと延出透明電極２０ａとの接続は、図１及び図２に示す様に、導電性接着剤２２によって接続されている。
【００１３】
図１及び図２に示す太陽電池モジュールを構成する太陽電池セル１０を製造する際には、先ず、図３に示す様に、ガラスやセラミック等の絶縁材料から成る長方形状の基板１２の一面側に、モリブデン等の導電層から成る電極膜１４と、電極膜１４から基板１２の側面に延出された延出電極膜１４ａとを物理蒸着法（ＰＶＤ法）によって形成する。
かかる電極膜１４と延出電極膜１４ａとをＰＶＤ法によって形成する際に、図４（ａ）（ｂ）に矢印で示す電極膜１４を形成する電極膜用金属粒子の飛来方向に対して、基板１２の一面側と基板１２の側面の一面とが露出面となるように、載置台２４に基板１２を傾斜して載置する。この様に、ＰＶＤ法によって基板１２に電極膜１４等を形成する際に、基板１２を傾斜することによって、電極膜用粒子の飛来方向に対して露出面となっている基板１２の一面側に電極膜１４を形成できると同時に、基板１２の側面に電極膜１４から延出された延出電極膜１４ａを形成できる。
かかる基板１２の傾斜角は、１０〜４５°とすることが好ましく、特に２０°程度とすることが好ましし。
ところで、図３に示す基板１２の一面側のうち、延出電極膜１４ａを形成する側面の反対面側の端縁近傍は、基板１２の一面側が露出する露出面（基板端まで０．１〜１．０ｍｍほどの隙間）に形成されている。このため、この端縁近傍を露出面に保持して電極膜１４を形成するには、図４（ａ）に示す様に、基板１２の端縁近傍に隣接する他の基板１２の端部（延出電極膜１４ａを形成する側面側）を載置した状態としてもよく、図４（ｂ）に示す様に、基板１２の端縁近傍を覆うマスク部材としての庇２４ａを載置台２４から延出してもよい。
【００１４】
この様にして形成した電極膜１４上には、図５に示す様に、基板１２の側面に形成した延出電極膜１４ａを露出した状態を保持しつつ、電極膜１４を覆うようにｐ型半導体層１６及びｎ型半導体層１８を形成する。
ｐ型半導体層１６は、基板１２の一面側に形成した電極膜１４上に、インジウム層と銅層とを積層して成る金属膜を、電極膜１４を覆うように形成した後、この金属膜に硫化処理又はセレン化処理を施すことによって、ＣｕＩｎＳ2又はＣｕＩｎＳｅ2から成るｐ型半導体層１６を形成できる。
更に、形成したｐ型半導体層１６をＫＣＮ溶液による洗浄によって、硫化銅やセレン化銅等の不純物を除去するＫＣＮ処理を施す。
かかるインジウム層と銅層とは、電極膜１４を給電層とする電解めっきによって、電極膜１４を覆うように形成できる。この電解めっきの際には、延出電極膜１４ａの端面にめっき金属が析出しない様に、延出電極膜１４ａにドライフィルム等のマスク部材を被着する。
尚、インジウム層と銅層との形成は、スパッタリング法又は蒸着法によっても形成できるが、基板１２の一面側が露出する部分には、インジウムや銅の粒子が付着（堆積）しない様に、マスク部材を被着することが必要である。
【００１５】
形成したｐ型半導体層１６上に、図５に示す様に、ｐ型半導体層１６を覆うようにｎ型半導体層１８を形成する。このｎ型半導体層１８は、化学的溶液析出法によって形成できる。
ＺｎＳから成るｎ型半導体層１８を形成するには、ＺｎＳＯ4（０．１ｍｏｌ／リットル）、チオ尿素（０．６ｍｏｌ／リットル）及びＮＨ3水溶液（３ｍｏｌ／リットル）が混合されて８０℃に維持された混合液に、ｐ型半導体層１６を形成した基板１２を約１０分間程浸漬することによって形成できる。
また、ＣｄＳから成るｎ型半導体層１８を形成するには、ヨウ化カドミウム（０．００１５ｍｏｌ／リットル）、ＮＨ3水溶液（１．０ｍｏｌ／リットル）及びヨウ化アンモニウム（０．０１ｍｏｌ／リットル）を混合した液に基板１２を入れ、加温して約４０℃になったところで、チオ尿素（０．１５ｍｏｌ／リットル）を入れ、８０℃で５分間浸漬することによって形成できる。
【００１６】
次いで、図６に示す様に、ｎ型半導体層１８の上面に透明電極２０に形成すると共に、透明電極２０から延出された延出透明電極２０ａを、延出電極膜１４ａを形成した側面の反対面に形成する。この透明電極２０及び延出透明電極２０ａは、ＡｌがドープされたＺｎＯによって形成されている。
かかる透明電極２０と延出透明電極２０ａとを物理蒸着法（ＰＶＤ法）によって形成する。この透明電極２０と延出透明電極２０ａとをＰＶＤ法によって形成する際に、図７（ａ）（ｂ）に矢印で示す透明電極２０を形成する透明電極用金属粒子の飛来方向に対して、ｎ型半導体層１８の上面と延出電極膜１４ａを形成した側面の反対面とが露出面となるように載置台２６に基板１２を傾斜して載置する。この様に、ＰＶＤ法によってｎ型半導体層１８の上面等に透明電極２０を形成する際に、基板１２を傾斜することによって、透明電極用粒子の飛来方向に対して露出面となっているｎ型半導体層１８の上面に透明電極２０を形成できると同時に、延出電極膜１４ａを形成した側面の反対面に延出透明電極２０ａを形成できる。
ところで、ｎ型半導体層１８の上面のうち、延出電極膜１４ａ側の端縁近傍は、ｎ型半導体層１８の上面が露出する露出面（基板端まで０．１〜１．０ｍｍほどの隙間）に形成されている。このため、この端縁近傍をｎ型半導体層１８の上面が露出した状態で保持して透明電極２０を形成するには、図７（ａ）に示す様に、ｎ型半導体層１８の上面の端縁近傍を覆うマスク部材としての庇２６ａを載置台２６から延出してもよく、図７（ｂ）に示す様に、ｎ型半導体層１８の上面の端縁近傍に隣接する他の基板１２の端部（延出透明電極２０ａを形成する側面側）を載置した状態としてもよい。
かかる基板１２の傾斜角は、１０〜４５°とすることが好ましく、特に２０°程度とすることが好ましし。
【００１７】
図６に示す複数個の太陽電池セル１０，１０・・を用いて太陽電池モジュールを製造する際には、複数個の太陽電池セル１０，１０・・を直列に並べ、太陽電池セル１０の延出電極膜１４ａと、隣接する太陽電池セル１０の延出透明電極２０ａとを電気的に接続することによって、複数個の太陽電池セル１０，１０・・を電気的に直列に接続できる。かかる接続の際に、導電性接着剤２２によって隣接する太陽電池セル１０と接続することによって、両太陽電池セル１０，１０を確実に接続できる。
尚、図１及び図２に示す太陽電池モジュールにおいて、各太陽電池セル１０の透明電極２０を露出した状態に保持して、太陽電池セル１０，１０・・を樹脂封止してもよい。
【００１８】
図１〜図７に示す太陽電池セル１０及び太陽電池モジュールは、基板の一面側の全面に亘って形成した全面電極膜等にスクライブを含むパターンニングを施すことなく製造できる。このため、全面電極膜等にスクライブを含むパターンニングを施す際に生じる問題点、例えば高硬度のモリブデンから成る全面電極膜にスクライブを含むパターンニングを施す困難性や全面電極膜にスクライブを含むパターンニングと同時に基板を削り取ることによって生じる基板の削り屑に因る短絡のおそれ等を解消でき、信頼性の高い太陽電池モジュールを得ることができる。
また、図１〜図７においては、基板１２として、ガラスやセラミック等の絶縁材料から成る基板１２を用いているが、全面電極膜等にスクライブを含むパターンニングを施すことなく太陽電池セル１０を形成できるため、金属板の一面側にＳｉＯ2膜等の絶縁膜を形成した基板を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る太陽電池モジュールの一例を説明するための横断面図である。
【図２】図１に示す太陽電池モジュールの上面図である。
【図３】太陽電池セルの一製造工程を説明するための横断面図である。
【図４】図３に示す電極膜の形成工程で用いられる載置台を説明する説明図である。
【図５】太陽電池セルの一製造工程を説明するための横断面図である。
【図６】完成した太陽電池セルの横断面図である。
【図７】図６に示す透明電極の形成工程で用いられる載置台を説明する説明図である。
【図８】従来の太陽電池モジュールの製造方法を説明するための工程図である。
【図９】他の従来の太陽電池モジュールの製造方法を説明するための工程図である。
【符号の説明】
【００２０】
１０  太陽電池セル
１２  基板
１４ａ  延出電極膜
１４  電極膜
１６  ｐ型半導体層
１８  ｎ型半導体層
２０  透明電極
２０ａ  延出透明電極
２２  導電性接着剤
２４，２６  載置台
２４ａ，２６ａ  庇
【図１】
2006128574.tif 000003
【図２】
2006128574.tif 000004
【図３】
2006128574.tif 000005
【図４】
2006128574.tif 000006
【図５】
2006128574.tif 000007
【図６】
2006128574.tif 000008
【図７】
2006128574.tif 000009
【図８】
2006128574.tif 000010
【図９】
2006128574.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月5日(2004.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
図９に示す太陽電池モジュールの製造方法によれば、電気的に直列に接続された複数個の太陽電池セルを、一枚の基板２００上に同時に形成できる。
しかし、ＩＴＯ膜２０６と隣接する太陽電池セルの電極膜２０２との電気的に接続は、銀が非晶質シリコン中を拡散して形成した導電性領域２１４によってなされているため、確実性に欠ける。また、かかる導電性領域２１４を形成する形成時間が長く、太陽電池モジュールの生産性を低下する要因となるおそれがある。
一方、図９に示す太陽電池モジュールの製造方法と異なる太陽電池モジュールの製造方法も、下記特許文献２によって知られている。かかる太陽電池モジュールの製造方法を図８に示す。
【特許文献２】特開２００２−３１９６８６号公報（図１及びその対応説明箇所）