(57)【要約】【課題】  ペースト膜の形状が変形しても、簡単かつ良好に所望形状のリブ状物に形成でき、高精度のリブ状物を有するペースト膜を確実に形成できるリブ状物の製造方法及びリブ状物の整形装置を提供する。【解決手段】  基板１１上に設けられたペースト膜１を、ペースト膜１の一端側から他端側に向かい走査するブレード１２により掻きとって、基板１１にリブ状物２を複数形成した後、リブ状物２の製造方法であって、リブ状物２の端部の一端部、他端部のいずれか一方、又は双方の乱れ部を除去して、端部を整形することを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられたペースト膜を、該ペースト膜の一端側から他端側に向かい走査するブレードにより掻きとって、前記基板上にリブ状物を複数形成するリブ状物の製造方法であって、
前記リブ状物の端部の前記一端部、他端部のいずれか一方、又は双方の乱れ部を除去して、前記端部を整形することを特徴とするリブ状物の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のリブ状物の製造方法において、
前記リブ状物の端部の前記一端部、他端部のいずれか一方、又は双方の乱れ部を除去して、前記端部を整形した後、前記リブ状物を乾燥することを特徴とするリブ状物の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載のリブ状物の製造方法において、
前記リブ状物を乾燥させた後、前記リブ状物の前記端部の前記一端部、前記他端部のいずれか一方又は双方の乱れ部を除去して、前記端部を整形することを特徴とするリブ状物の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載のリブ状物の製造方法において、
前記乱れ部分を除去すると共に、バキューム部が発生する不要物を吸い込むことを特徴とするリブ状物の製造方法。
【請求項５】
基板上の表面に互いに間隔を隔てて複数形成されたリブ状物の端部を整形する整形機構を備えたことを特徴とするリブ状物の整形装置。
【請求項６】
請求項５に記載のリブ状物の整形装置において、
前記整形機構は、必要に応じ前記リブ状物の乱れ部分を掻き取ってリブ状物を整形する掻き取り片を備えてなることを特徴とするリブ状物の整形装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載のリブ状物の整形装置において、
前記整形機構は、前記リブ状物の端部の乱れ部分を切断する先行刃と、切断された前記乱れ部分を掻き取る掻き取り片とからなることを特徴とするリブ状物の整形装置。
【請求項８】
請求項５から７のいずれかに記載のリブ状物の整形装置において、
前記整形機構の整形時に伴って発生する不要物を吸い込むバキューム部を備えてなることを特徴とするリブ状物の整形装置。
【請求項９】
請求項５から８のいずれか記載のリブ状物の整形装置において、
前記整形機構及び前記バキューム部は、リブ状物の外方に待避可能に支持されていることを特徴とするリブ状物の整形装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のリブ状物を形成する製造装置及び、形成されたリブ状物の整形装置に関り、特に、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａ  ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ）を製造するのに好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、前記ＰＤＰの製造に際しては、予め、ペースト膜が設けられ、そのペースト膜の表面を所望の深さ及び幅で掻き取ることでリブ状物が複数形成されるものが提案されている。（特許文献１及び２参照）
【０００３】
このリブ状物の製造装置は、図５（ａ）に示すように、水平に支持された基板３上にペースト膜１が設けられ、次いで図５（ｂ）に示すように、そのペースト膜１が上面からくし歯状をなすブレード４によって掻き取られることで、ペースト膜１に矩形状をなすリブ状物２が長手方向に沿って複数形成されるようになっている。ブレード４は、ペースト膜１の一端側（前方側）から他端側（後方側）に向かって走査されると、ペーストを幅方向に沿い間欠的に掻き取ることで、リブ状物２を形成している。このようにペースト膜１にリブ状物２が形成されると、図５（ｃ）に示すように、そのペースト膜１が所定の温度で加熱され、その後、焼成炉にて焼成される。符号５は、基板３を支持する基台である。
【特許文献１】特許第３３８７８３３号公報
【特許文献２】特許第３３４６３５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来のリブ状物の製造装置にあっては、基板３上に設けられたペースト膜１の表面が、くし歯状のブレード４によって所望の深さ及び幅で掻き取られることで複数のリブ状物２が一括的に形成されるようになっており、形成する時、リブ状物２の始端部及び終端部に余分なペースト残りが生じる。このように形成されたリブ状物２の乱れ部分（ペースト残り）は、リブ状物２の上面に前面板を載せる場合、パネルとした時に排気やガス封入をする場合に障害となるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記のような従来の問題に鑑みなされたものであって、リブ状物を形成したとき、簡単かつ良好に所望形状のリブ状物に形成することができ、安定的にリブ状物を確実に製造することができるリブ状物の製造方法を提供することを目的とし、また、形成されたリブ状物の端部を整形するリブ状物の整形装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、  基板上に設けられたペースト膜を、該ペースト膜の一端側から他端側に向かい走査するブレードにより掻きとって、前記基板上にリブ状物を複数形成するリブ状物の製造方法であって、前記リブ状物の端部の前記一端部、他端部のいずれか一方、又は双方の乱れ部を除去して、前記端部を整形することを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のリブ状物の製造方法において、前記リブ状物の端部の前記一端部、他端部のいずれか一方、又は双方の乱れ部を除去して、前記端部を整形した後、前記リブ状物を乾燥することを特徴とする。
請求項３に係る発明は、請求項１に記載のリブ状物の製造方法において、前記リブ状物を乾燥させた後、前記リブ状物の前記端部の前記一端部、前記他端部のいずれか一方又は双方の乱れ部を除去して、前記端部を整形することを特徴とするリブ状物の製造方法。
請求項４に係る発明は、請求項３に記載のリブ状物の製造方法において、前記乱れ部分を除去すると共に、バキューム部が発生する不要物を吸い込むことを特徴とする。
請求項５に係る発明は、基板上の表面に互いに間隔を隔てて複数形成されたリブ状物の端部を整形する整形機構を備えたことを特徴とする。
請求項６に係る発明は、請求項５に記載のリブ状物の整形装置において、前記整形機構は、必要に応じ前記リブ状物の乱れ部分を掻き取ってリブ状物を整形する掻き取り片を備えてなることを特徴とする。
請求項７に係る発明は、請求項５又は６に記載のリブ状物の整形装置において、前記整形機構は、前記リブ状物の端部の乱れ部分を切断する先行刃と、切断された前記乱れ部分を掻き取る掻き取り片とからなることを特徴とする。
請求項８に係る発明は、請求項５から７のいずれかに記載のリブ状物の整形装置において、  前記整形機構の整形時に伴って発生する不要物を吸い込むバキューム部を備えてなることを特徴とする。
請求項９に係る発明は、請求項５から８のいずれか記載のリブ状物の整形装置において、
前記整形機構及び前記バキューム部は、リブ状物の外方に待避可能に支持されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１に係る発明によれば、ブレードが基板上に一端部から他端部に向かう複数のリブ状物を形成し、その後、形成されたリブ状物の両端部を整形することから、両端部が良好に整形された複数のリブ状物が形成された基板を得ることができる。
【０００８】
請求項２に係る発明によれば、リブ状物の端部はリブ状物の乾燥前に整形されるため、リブ状物の端部を整形する際には、リブ状物の端部が所定の粘度を有しているため、端部の整形を良好に行うことができる。
【０００９】
請求項３に係る発明によれば、リブ状物の端部は、リブ状物の乾燥後に整形されるため、リブ状物の端部を高精度に整形することができる。
【００１０】
請求項４に記載の発明によれば、リブ状物の端部を整形する際に生じる不要物が、バキューム部によって吸い込まれることにより、リブ状物の端部を良好に整形することができる。
【００１１】
請求項５に係る発明によれば、整形機構がリブ状物の一端部と他端部の乱れ部分を整形することから、基板上には、両端部が良好に整形されたリブ状物が形成されることになり、高精度に整形されたリブ状物が形成された基板を得ることができる。
【００１２】
請求項６に係る発明によれば、掻き取り片がリブ状物の乱れ部分を掻き取り、除去するため、リブ状物の端部を整形することができる。
【００１３】
請求項７に係る発明によれば、リブ状物の端部の乱れ部分を切断する先行刃と、切断された乱れ部分を掻き取る掻き取り片とで整形機構が構成されるので、リブ状物の乱れ部分の除去を確実に行うことができる。
【００１４】
請求項８に係る発明によれば、バキューム部が、整形時に発生する不要物を吸い込むので、
リブ状物が形成された基板上が汚染されるおそれがなくなり、形成されたリブ状物に対する信頼性を高めることができる。
【００１５】
請求項９に係る発明によれば、整形機構及びバキューム部が、基板の外方に待避可能に支持されるので、整形位置や待避位置に容易に移動することができ、整形の自動化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照し、この発明の第１の実施形態について説明する。図１は、この発明の第１の実施形態に係るリブ状物の製造方法を示す図である。
本実施形態に係るリブ状物の製造方法は、図１に示されるように、基板１１の表面にペーストを塗布して形成されたペースト膜１にブレード１２に形成されくし歯１３を突き刺して、ブレード１２を一定方向に移動させることにより、複数のリブ状物２を形成する方法である。
【００１７】
ペーストは、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末と樹脂と溶剤と分散剤を含むペーストであり、ガラス粉末はＳｉＯ2、ＺｎＯ、ＰｂＯ等を主成分として、その軟化点が３００℃〜６００℃であることが必要である。
ペーストは、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末を３０〜９５重量％、樹脂を０．３〜１５重量％、溶剤と分散剤を３〜７０重量％それぞれ配合することが好ましい。ペーストをこのように構成することにより所定の粘度を有するペーストを得ることができ、基板１１上に形成されたリブ状物２のだれを抑制して焼成することによりセラミックリブを精度良く形成することができる。
【００１８】
図１（ａ）において、ペーストの基板１１表面への塗布は、スクリーン印刷法、ディップ法又はドクタブレード法等の既存の手段により行われる。
ペースト膜１が基板１１の表面に形成されると、同図（ｂ）に示されるように、ペースト膜１には、ブレード１２によって、同図（ｃ）に示すリブ状物２が形成される。
【００１９】
ペースト膜１にリブ状物２を形成するリブ状物の製造装置３０にあっては、概略的には図１（ｂ）に示すように、上記基板１１を支持する基台１４ａと、その基板１１の上方に設けられるブレード１２とから概ね構成されている。
ペースト膜１の形成された基板１１表面に接触させるブレード１２には複数のくし歯１３が等間隔にかつ同一方向に形成されている。このブレード１２はペーストとの反応やペーストに溶解されることのない金属、セラミック又はプラスチック等により作られ、特に、寸法精度、耐久性の観点からセラミック若しくはＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏ基の合金が好ましい。
基台１４ａは、ガラス製等の長方形状体をなす基板１１に対応する大きさであって、図示しない真空引き装置によって基板１１を固定することで該基板１１を水平に支持している。
【００２０】
ブレード１２は、図示しない送り機構によって駆動されたとき、図１（ｃ）に示すように、ペースト膜１の一端側（前方側）から他端側（後方側）に向かって走査されることで、ペースト膜１を長手方向に沿い間欠的に掻き取ってリブ状物２を形成するものである。そのため、ブレード１２は、板状で、かつ、下端部に長手方向に所定のピッチで長方形状の複数のくし歯１３が設けられると共に、隣接するくし歯１３、１３間に長方形状のスリットが設けられている。
なお、上記送り機構としては、図示していないが、ペースト膜１に対してブレード１２を高さ方向に位置決めするアクチュエータ、ペースト膜１の一端側から他端側に向かいブレード１２を走査させるスクリュー軸などで構成される。
【００２１】
この実施形態のリブ状物の製造装置３０は、上記のように構成されているので、次に、その動作について以下に説明する。
まず、図１に示すように、基板１１の表面にペースト膜１が設けられてペースト成膜工程が行われ（（ａ）参照）、次いで、ブレード１２がペースト膜１に対し前方側である一端側から後方側である他端側に向かい走査されると、ペースト膜１の表面がくし歯状のブレード１２によって掻き取られることにより、基板１１の表面にリブ状物２が複数形成される形成工程が行われる（（ｂ）参照）。
このとき、リブ状物２の始端及び終端部に乱れ部分（ペースト残り）が生じる。
【００２２】
基板１１上にリブ状物２が形成されると、基板１１はリブ状物の整形装置１０に搬送される。
リブ状物の整形装置１０は、図１（ｃ）に示されるように、基板１１を支持する基台１４と、リブ状物２の両端部を整形する掻き取り片２２とを有する構成とされている。掻き取り片２２は、２箇所に設けられており、例えばへら状の板体をなしている。
リブ状物２が形成された基板１１がリブ状物の整形装置１０に搬送されると、基板１１は、基台１４に装着され固定されると共に、掻き取り片２２がリブ状物２の一端部と他端部に位置して、図１（ｃ）に示されるように、掻き取り片２２がブレード１２の走査方向と直交する方向ｂに走査されることにより、リブ状物２の一端部及び他端部の乱れ部分を除去し、整形する。
すなわち、掻き取り片２２が各リブ状物２の端部が配列する方向に沿って走査されて、リブ状物２の端部の乱れ部分を除去することにより、各リブ状物の両端部が整形されることになる。
リブ状物２の両端部が整形されると、図１（ｄ）に示されるように、リブ状物２は乾燥され、そして、焼成炉において所望温度により焼成される。
【００２３】
このように、リブ状物２が乾燥される前に、掻き取り片２２がリブ状物２の両端部を整形するため、リブ状物２の乱れ部分が確実に除去され、リブ状物２の両端部が良好に整形することができる。
すなわち、掻き取り片２２がリブ状物２の両端部を整形する際には、リブ状物２は所定の粘度を有しているため、掻き取り片２２がリブ状物２の両端部を整形することにより切屑や切粉が発生することがなく、さらに、リブ状物２が所定の粘度を有していることから、掻き取り片２２がリブ状物２を整形する際に、リブ状物２の両端部を変形させることなく、良好に乱れ部分を整形することができる。
このように、リブ状物２の各端部が簡単かつ良好に整形することができ、高精度のリブ状物２を確実に製造することができる。
なお、本実施形態においては、リブ状物の整形装置には、掻き取り片２２が２箇所に設けられているが、１箇所又は３箇所以上に設けてもよい。
例えば、掻き取り片２２が１箇所にのみ設けられていてもよく、この場合には、リブ状物の整形装置１０の基台１４が回転可能に支持されており、掻きとり片２２がリブ状物２の一端部の乱れ部分を排除した後に、基台１４が約１８０°回転して、さらに掻き取り片２２がリブ状物の他端部の乱れ部分を整形することになる。
【００２４】
この発明の第２の実施形態について説明する。図２は、この発明の第２の実施形態に係るリブ状物の製造方法を示す図である。
図２（ａ）に示されるように、基板１１の上面には、ペースト膜１が形成され、図２（ｂ）に示されるように、リブ状物の製造装置３０は、基板１１上にリブ状物２を形成する。そして、図２（ｃ）に示すように、形成されたリブ状物２は、乾燥される。リブ状物２が乾燥されると、基板１１は、リブ状物の整形装置１０に搬送される。
図２（ｄ）において、リブ状物の整形装置１０は、リブ状物２の端部の乱れ部分を除去して該端部を整形する整形機構２０を２箇所備えている。整形機構２０は、図３に示すように、軸回りに回転自在に回転する先行刃２１と、その先行刃２１の後方位置に設けられた掻き取り片２２とからなっている。
先行刃２１は、乾燥工程の終了後、つまりリブ状物２が乾燥されたとき、回転しながら図２、図３におけるリブ状物２の各端部が配列する方向（矢印ｂ方向）に走査されることで、その一端部の乱れ部分を切断して該一端部を整形するようになっている。
すなわち、先行刃２１は、リブ状物が形成された一端部において、ブレード１２が走査した方向と直交する方向ｂに走査して、各リブ状物２の一端部の乱れ部分を除去して、各リブ状物の一端部を整形する。
すなわち、先行刃２１は、各リブ状物２の端部が配列する方向に走査されることにより、各リブ状物２の端部の乱れ部分を除去して、リブ状物２の両端部を整形することになる。
【００２５】
図３、図４（ａ）に示されるように、掻き取り片２２は、例えばへら状の板体をなしており、先行刃２１の走査方向に対して所定の角度Ａを設けた状態で略垂直に立設されるとともに下端を基台１４に当接させ、先行刃２１に追従移動すると共に、先行刃２１によって切断された乱れ部分の破片Ｐを掻き取って基板１１の反対側に除去するようになっている。また、この掻き取り片２２は、リブ状物２の端部に沿い単独で移動することで、リブ状物２の端部の乱れ部分を掻き取って除去するようにもなっている。そのため、掻き取り片２２が単独でリブ状物２の乱れ部分を掻き取る際には、先行刃２１とは独立的に移動するように支持されている。
なお、リブ状物２において、整形機構２０の先行刃２１によって切断除去される乱れ部分、及び掻き取り片２２によって掻き取られる乱れ部分とは、形成されたリブ状物２の形状が変形又は余分なペーストが被着している部分のことをいう。
【００２６】
また、整形機構２０による整形時、それに伴って発生する不要物を吸い込むバキューム部２３が備えられている。バキューム部２３は、整形機構２０の先行刃２１がリブ状物２の一端部を切断したときに発生する切粉やその周辺に浮遊しているじん埃等を吸引すると共に、掻き取り片２２によって掻き取られた破片を吸引するようになっており、従って、整形によって生じる不要物を全て吸い込むようになっている。このバキューム部２３は、真空吸引源（図示せず）に接続されている。
【００２７】
このような整形機構２０及びバキューム部２３は、降下することで、リブ状物２に対して整形すべき位置である前方に位置決めされた後、それぞれが独立的に駆動されることで所定の作業を行うようになっているが、作業外のときには、上昇移動して基板１１の上面から待避するようになっている。図３中の矢印ｂは、整形機構２０及びバキューム部２３の移動方向を示し、図３中のＰは、掻き取られた破片である。
【００２８】
この実施形態のリブ状物の製造装置３０は、上記のように構成されているので、次に、その動作について以下に説明する。
まず、図２に示すように、基板１１の表面にペースト膜１が設けられてペースト成膜工程が行われ（（ａ）参照）、次いで、ブレード１２がペースト膜１に対し前方側である一端側から後方側である他端側に向かい走査されると、ペースト膜１の表面がくし歯状のブレード１２によって掻き取られることにより、基板１１の表面にリブ状物２が複数形成される形成工程が行われ（（ｂ）参照）、その後、上記リブ状物２が加熱されることで所望温度に乾燥される乾燥工程が行われる（（ｃ）参照）。
【００２９】
上記形成工程において、ブレード１２がペースト膜１の一端からペーストを掻き取り始めると、一端部では所望形状と異なる形状となり、変形してしまう一方、ブレード１２がペースト膜１の他端部を通過すると、他端部が変形することになる。
この実施形態においては、図３に示されるように、上記乾燥工程が行われた後、つまりリブ状物２が乾燥されると、整形機構２０がリブ状物２の一端部及び他端部に向かって降下して、切断すべき位置に位置決めされる。次いで、図２（ｂ）に示されるように、整形機構２０の先行刃２１が回転しながらリブ状物２の一端部、他端部に沿い走査されることで、リブ状物２を含むリブ状物２の一端部及び他端部の乱れ部分が切断され、その一端部が整形されることとなる。
【００３０】
このとき、整形機構２０においては、先行刃２１に追従して掻き取り片２２が移動し、掻き取り片２２が先行刃２１によって切断された破片を掻き取る。
従って、基板１１の上面に形成されたリブ状物２の先端部が、整形機構２０とバキューム部２２とによって整形されることになる。
一方、上記整形機構２０により整形時、それに伴って切粉等が発生するが、先行刃２１及び掻き取り片２２の移動にバキューム部２３が追従して、該バキューム部２３が、先行刃２１の切断に伴って発生する切粉やその周辺に浮遊しているじん埃等を吸引すると共に、掻き取り片２２によって掻き取られた破片Ｐを吸引するので、整形機構２０の整形時に生じる不要物を全て吸い込むことができる。
従って、整形機構２０の整形によって生じた不要物を全て吸い取るので、整形されたリブ状物２及び基板１１の上面が汚染されるおそれがない。
【００３１】
リブ状物２の一端部及び他端部の乱れ部分が除去されて整形されると、次に、図２（ｃ）に示されるように、整形機構２０及びバキューム部２３が上昇して基板１１上から退避する。
このように、リブ状物２の端部が整形されると、リブ状物２は、焼成炉に搬送され、所望温度により焼成される。
【００３２】
従って、この発明の製造方法によれば、リブ状物２の乾燥工程が行われた後、リブ状物２の端部の乱れ部分を除去して整形する工程を有するので、つまり、リブ状物２の始端部や終端部の形状が乱れても、各リブ状物２の両端部を簡単かつ良好に整形することができ、高精度のリブ状物２を確実に基板１１の上面に製造することができる。
【００３３】
また、整形時に伴って不要物が発生するが、その発生した不要物は、バキューム部２３によって吸い取られるので、リブ状物２及び基板１１上が汚染されるおそれがない。
このような、リブ状物２をプラズマディスプレイに使用した場合、リブ状物２の両端部が良好に整形されるので、アドレス放電電圧にばらつきが生じるのを防ぐことができ、安定した放電を得ることができる。
【００３４】
そして、この実施形態の整形装置１０によれば、先行刃２１及び掻き取り片２２とからなる整形機構２０が、リブ状物２の端部の乱れ部分を除去してその端部を整形するのでリブ状物２の始端部や終端部の形状が乱れても、両端部が良好に整形されたリブ状物を得ることができる。
【００３５】
しかも、整形機構２０の掻き取り片２２が、必要に応じリブ状物２の乱れ部分を先行刃２１と独立して掻き取って整形するので、掻き取り片２２のみによってもリブ状物２の乱れ部分を良好に除去することができる。
更に、整形機構２０及びバキューム部２３が上下方向に移動可能に支持され、従って、整形位置や待避位置に容易に移動することができるので、整形の自動化を図ることができる。
その上、バキューム部２３が、整形時に発生する不要物を吸い込み、確実に除去することができるので、リブ状物２及び基板１１上が汚染されるおそれがないばかりでなく、リブ状物の整形に対する信頼性を高めることができる。
なお、本実施形態においては、リブ状物の整形装置１０は、整形機構２０を２箇所設けられているが、これに限られない。
例えば、リブ状物の整形装置１０には、整形機構２０及びバキューム部２３がそれぞれ１箇所づつ設けられていてもよく、この場合には、リブ状物の整形装置１０の基台１４は、回転可能に支持されており、整形機構２０及びバキューム部２３がリブ状物２の一端部を整形すると、基台１４が約１８０°回転し、リブ状物２の他端部を整形機構２０及びバキューム部２３が整形することになる。
また、掻き取り片２２は、略垂直に立設され、先行刃２１の走査方向に所定の角度Ａを設けられ、乱れ部分の破片Ｐを基板１１とは反対側に掻き取って除去する場合について説明したが、掻き取り片２２の配置に関しては、図４（ｂ）に示すように、進行方向に略直交するように下端を基板１１に当接させるとともに、掻き取り片２２に所定の角度Ｂのすくい角を設けて破片Ｐを除去するようにしてもよく、また、図４（ｃ）に示すように、掻き取り片２２に走査方向に対する角度Ｃと、すくい角Ｄの双方を設けて、破片Ｐをすくい上げながら基板１１とは反対方向に除去するようにしてもよい。かかる掻き取り片２２の形態については、上記第１の実施の形態に対して適用してもよい。
【００３６】
そして、整形機構２０として、先行刃が回転刃で構成された例を示したが、カッターのような切刃（固定刃）で代用することができる。このようなことは掻き取り片２２についても同様のことが当てはまり、従って、整形機構２０としての具体的構成は図示実施形態に限定されるものではない。
また、整形機構２０及びバキューム２３部が上昇することで基板１４の上面から待避する例を示したが、それ以外の場所に待避してもよい。従って、本発明において、要は、所期の機能が得られればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】この発明の第１の実施形態に係るリブ状物の製造方法を示す図であって、ペースト成膜工程から乾燥工程までを示す説明図である。
【図２】この発明の第２の実施形態に係るリブ状物の製造方法を適用したリブ状物の製造装置を示す概略図である。
【図３】整形機構を示す、平面から見た説明図である。
【図４】掻き取り片の配置形態を示す図である。
【図５】従来のリブ状物の製造方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    ペースト膜
２    リブ状物
１１    基板
１２    ブレード
２０    始端側整形機構
２１    先行刃
２２    掻き取り片
２３    バキューム部
【図１】
2006278007.tif 000003
【図２】
2006278007.tif 000004
【図３】
2006278007.tif 000005
【図４】
2006278007.tif 000006
【図５】
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