(57)【要約】【課題】  所定の処理状態を安定して維持し、目的に応じた効率の良い処理を行うことができるような放電処理装置及び放電処理方法を提供する。【解決手段】  この放電処理装置は、液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極１２，１４と、これらの電極間に電圧を印加する電源装置２２と、電極間における放電状態を検出する放電状態検出手段２８と、前記放電状態検出手段の検出値に基づいて所定の放電状態を維持するように電極間における放電条件を調整する放電制御手段３６とを有する。【選択図】      図１
2006051441.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極と、
前記少なくとも一対の電極間に電圧を印加する電源装置と、
前記電極間における放電状態を検出する放電状態検出手段と、
前記放電状態検出手段の検出値に基づいて所定の放電状態を維持するように電極間における放電条件を調整する放電制御手段とを有することを特徴とする放電処理装置。
【請求項２】
前記放電制御手段は、電極間に印加する電圧を調整する印加電圧調整手段を有することを特徴とする請求項１に記載の放電処理装置。
【請求項３】
前記電源装置は、前記電極間にパルス電流を供給するためのコンデンサを備え、前記放電制御手段は、前記コンデンサの蓄電容量を調整する容量調整手段を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の放電処理装置。
【請求項４】
前記容量調整手段は、複数のコンデンサセグメントとこれら複数のコンデンサセグメントを選択的に接離する選択手段とを有することを特徴とする請求項３に記載の放電処理装置。
【請求項５】
前記容量調整手段は、可変容量コンデンサを有することを特徴とする請求項３に記載の放電処理装置。
【請求項６】
前記放電制御手段は、前記少なくとも一対の電極間の距離を調整する電極間距離調整手段を有することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の放電処理装置。
【請求項７】
前記放電状態検出手段は、放電電流を検出する電流計を有することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の放電処理装置。
【請求項８】
前記放電状態検出手段は、放電に伴う圧力変化または振動を検出するセンサを有することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の放電処理装置。
【請求項９】
前記放電状態検出手段は、放電に伴って発生する電磁波を検出する電磁波センサを有することを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の放電処理装置。
【請求項１０】
前記少なくとも一対の電極は、同軸状に配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の放電処理装置。
【請求項１１】
液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極間に電圧を印加する工程と、
前記電極間における放電状態を検出する工程と、
前記放電状態検出手段の検出値に基づいて所定の放電状態を維持するように電極間における放電条件を調整する工程とを有することを特徴とする放電処理方法。
【請求項１２】
液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極間に電圧を印加する電源装置と、
前記電極間における電流値を検出する電流検出手段と、
前記電流検出手段の検出値に基づいて前記電極間において所定の電気的状態を維持するように電極間における条件を調整する制御手段とを有することを特徴とする放電処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体中で放電を行って液体中で種々の処理を行う放電処理装置及び放電処理方法に閲する。
【背景技術】
【０００２】
液体中の殺菌方法として、液体中に浸漬した電極間に液体の絶縁破壊電圧未満の電圧を印加する電界処理法が知られているが、さらに電圧を上昇させて液体の絶縁破壊電圧以上の電圧を印加すると、電極間で放電を起こす。この放電に伴って紫外線や衝撃波等が発生することが知られており、これらは水中での各種の処理に利用することができる。放電現象は、大別して、複数の筋状の経路を介して放電するストリーマ放電と、さらに電離が進行して起きるアーク放電とに分けられる。前者では、紫外線等の発光による物理化学的な作用が主であるのに対して、後者では、大きな発熱により水が瞬間的に沸騰し、衝撃波が発生するので、機械的な破壊作用も大きい。これに対して、特許文献１に開示されているように、放電の衝撃を吸収して装置を保護することが提案されている。
【０００３】
これらの電界処理、ストリーマ放電及びアーク放電は、用途によって使い分けることが好ましい。アーク放電では、衝撃波を伴う大きなエネルギーの発散により、処理効果も大きいが、騒音が発生するので環境上の問題が有り、装置の振動による寿命低下やメンテナンスコストの上昇等の問題も有る。また、電極の減耗も大きいので、特許文献２に開示されているように、電極間隔を自動調整可能とした装置も提案されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−７９３１２号公報
【特許文献２】特開２００４−８９８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、いずれの場合でも、装置のメンテナンスやスパークギャップの管理作業のために処理効率が低下する。そこで、アーク放電を抑制し、ストリーマ放電を安定的に維持させることが考えられる。しかしながら、特に、処理対象が湖沼水のような水質が一定でないものである場合、導電率等の特性値も変動するため、安定なストリーマ放電を維持するのは困難であった。
【０００６】
本発明は、前記事情に鑑みて為されたもので、多様な条件下において、所定の処理状態を安定して維持し、目的に応じた効率の良い処理を行うことができるような放電処理装置及び放電処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の放電処理装置は、液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極と、前記少なくとも一対の電極間に電圧を印加する電源装置と、前記電極間における放電状態を検出する放電状態検出手段と、前記放電状態検出手段の検出値に基づいて所定の放電状態を維持するように電極間における放電条件を調整する放電制御手段とを有することを特徴とする。
【０００８】
放電状態としては、アーク放電の状態とストリーマ放電の状態が典型的に挙げられる。ストリーマ放電の状態を維持する場合には、複数の電離放電路を維持しつつ、すなわち電界処理状態にならないようにしつつ、アーク放電には至らないように放電条件を制御する。アーク放電の状態を維持する場合には、ストリーマ放電状態にならないように放電条件を制御する。
【０００９】
請求項２に記載の放電処理装置は、請求項１に記載の発明において、前記放電制御手段は、電極間に印加する電圧を調整する印加電圧調整手段を有することを特徴とする。
請求項３に記載の放電処理装置は、請求項１または請求項２に記載の発明において、前記電源装置は、前記電極間にパルス電流を供給するためのコンデンサを備え、前記放電制御手段は、前記コンデンサの蓄電容量を調整する容量調整手段を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項４に記載の放電処理装置は、請求項３に記載の発明において、前記容量調整手段は、複数のコンデンサセグメントとこれら複数のコンデンサセグメントを選択的に接離する選択手段とを有することを特徴とする。
請求項５に記載の放電処理装置は、請求項３に記載の発明において、前記容量調整手段は、可変容量コンデンサを有することを特徴とする。
【００１１】
請求項６に記載の放電処理装置は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の発明において、前記放電制御手段は、前記少なくとも一対の電極間の距離を調整する電極間距離調整手段を有することを特徴とする。
請求項７に記載の放電処理装置は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の発明において、前記放電状態検出手段は、放電電流を検出する電流計を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項８に記載の放電処理装置は、前記放電状態検出手段は、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の発明において、放電に伴う圧力変化または振動を検出するセンサを有することを特徴とする。
請求項９に記載の放電処理装置は、前記放電状態検出手段は、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の発明において、放電に伴って発生する電磁波を検出する電磁波センサを有することを特徴とする。
請求項１０に記載の放電処理装置は、前記少なくとも一対の電極は、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の発明において、同軸状に配置されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項１１に記載の放電処理方法は、液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極間に電圧を印加する工程と、前記電極間における放電状態を検出する工程と、前記放電状態検出手段の検出値に基づいて所定の放電状態を維持するように電極間における放電条件を調整する工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項１２に記載の処理装置は、液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも一対の電極間に電圧を印加する電源装置と、前記電極間における電流値を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段の検出値に基づいて前記電極間において所定の電気的状態を維持するように電極間における条件を調整する制御手段とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１ないし請求項１２に記載の放電処理装置または放電処理方法によれば、多様な条件下において、所定の処理状態を安定して維持し、目的に応じた効率の良い処理を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、ストリーマ放電を維持する場合を例として、この発明の実施の形態を説明する。
図１及び図２に示すのは、この発明の第１の実施の形態の放電処理装置であって、これは被処理液を流通させる導管１０中に配置されている。すなわち、導管１０の内部には、導管１０の軸線に沿って延びる線状の高圧側電極１２と、これを取り囲む筒状の接地側電極１４とが配置されている。
【００１７】
高圧側電極１２は、導管１０の一側（ここでは上側）に軸方向に間隔を置いて設けられた開口フランジ１６から導管１０内に挿入された棒状の絶縁体からなる一対の高圧側支持部材１８により両端を支持されている。高圧側電極１２は、高圧側支持部材１８を挿通する導線２０ａにより導管１０の外部に導出され、電源装置２２の高圧端子に接続されている。
【００１８】
一方、接地側電極１４は同じく導管１０の開口フランジ２４から導管１０内に挿入された棒状の絶縁体からなる接地側支持部材２６により支持されている。接地側支持部材２６は図示例では１本であるが、複数を配置して強固に支持するようにしてもよい。接地側電極１４は、接地側支持部材２６を挿通する導線２０ｂにより導管１０の外部に導出され、電流計２８を介して接地されている。
【００１９】
この電流計２８は制御装置３０に接続されており、制御装置３０は、例えば実験的に求めた閾値と電流計２８により実測した放電電流値を比較して、アーク放電の発生またはストリーマ放電の消失を検知するようになっている。この場合、単に閾値との比較だけでなく、放電電流値の変化率や変化のパターンを考慮し、アーク発生時やストリーマ放電の消失（電離放電路が消失して電界処理状態へ退行する状態）の時のそれらの特徴を予めデータとして得ておいて、それと実測値を比較することにより、より迅速にかつ正確にアーク放電の発生またはストリーマ放電の消失を検知することができる。
【００２０】
電源装置２２は、電気エネルギーを時間的に圧縮したパルス電力として放電装置に供給するためのもので、電源３２と、電源３２からの電気エネルギーを蓄積するための充分な容量を持つコンデンサ３４と、コンデンサ３４に蓄積された電気エネルギーを所定のタイミングで電極に送るスイッチ３６を備えている。制御装置３０は、コンデンサ３４の充電電圧を電位計３８で測定し、これが所定の値になったときに放電するようにスイッチ３６を制御する。電源３２には、充電電圧調整手段として、例えばＤＣ／ＤＣコンバータ、パルス幅変調器（ＰＷＭ）及び／又は可変トランスを有するのが好ましい。
【００２１】
制御装置３０は、電流計２８の測定値がストリーマ放電の時よりも上昇して、アーク放電が発生していると判断される時には、アーク放電の発生を抑制するように、放電電圧の設定値を下げる。また、電流計２８の測定値がストリーマ放電の時よりも低下して、ストリーマ放電が消失しつつあると判断される時には、ストリーマ放電を継続するように放電電圧の設定値を上げる。この際の放電電圧の変化量は、一定であってもよく、あるいはアーク放電の発生の程度によって変化させてもよい。例えば、放電電圧を５ｋＶとした際にアーク放電が検出された場合には、次には４．８ｋＶで放電し、それでもアーク放電が発生したら、４．６ｋＶへ下げるようにする。また、アーク放電の発生が無い安定なストリーマ放電状態が継続する場合には、放電電圧の設定値を維持するようにする。
【００２２】
このように、この実施の形態では、電流計２８により放電電流を検出し、この検出値に基づいてアーク放電の発生またはストリーマ放電の消失を判断し、これに基づいて放電電圧を制御するので、全て電気的な工程により制御が迅速に行われる。また、制御工程において機械的な動作が無いので、構造が簡単であり、設備コストも小さく、従来の装置への設置も容易である。
なお、アーク放電の発生またはストリーマ放電の消失を抑制するように電源装置２２を制御する方法としては、パルスのサイクルを調整するようにしてもよく、これを単独で行っても、電圧調整と併用してもよい。
【００２３】
図３に示すのは、この発明の第２の実施の形態であって、全体の構成は図１に示すものと同様であるが、電源装置２２を制御する方法として、放電エネルギーの量を調整するようにしたものである。この電源装置２２では、複数のコンデンサセグメント３４ａを並列に配置するとともに、それぞれのコンデンサセグメント３４ａを個別に接離するスイッチ３９が設けられている。これらのコンデンサセグメント３４ａは、容量が互いに異なるものを用意しても、同じ容量のものを配置してもよい。いずれの場合も、その内のいくつかを選択して用いることにより、蓄積されるエネルギー、すなわち一回の放電のエネルギー量を調整することができる。
【００２４】
この実施の形態において、電流計２８の測定値がストリーマ放電の時よりも上昇して、アーク放電が発生していると判断される時には、制御装置３０は、コンデンサセグメント３４ａの容量を減らすように、使用するコンデンサセグメント３４ａを選択する。一方、電流計２８の測定値がストリーマ放電の時よりも低下して、ストリーマ放電が消失しつつあると判断される時には、制御装置３０は、コンデンサセグメント３４ａの容量を増やすように、使用するコンデンサセグメント３４ａを選択する。ストリーマ放電の消失が無い安定なストリーマ放電状態が継続する場合には、そのままの状態を維持するようにコンデンサセグメント３４ａを選択する。もちろん、この実施の形態の放電エネルギー量の調整を、先の電圧調整と併用して行っても良い。
【００２５】
図４ないし図６に示すのは、第２の実施の形態の変形例であって、可変容量コンデンサを用いて放電エネルギーの量を調整するようにしたものである。図４の装置では、可変容量コンデンサ４０の２枚の極板４０ａ，４０ｂの間の空間を密閉し、可動な隔壁４１によって２つの区画を形成し、一方をコンデンサ用オイル等の高誘電率流体４２ａで、他方を空気等の低誘電率流体４２ｂで充填したものである。そして、２つの区画の圧力を流体圧シリンダ等のアクチュエータ４３ａ，４３ｂによって調整できるようにしており、圧力を変えて隔壁４１を移動することにより、可変容量コンデンサ４０内の空間の平均誘電率を変化させ、容量を調整することができる。
【００２６】
また、図５に示す装置では、図４と同様の構成であるが、電極４０ａ，４０ｂを縦に配置した可変容量コンデンサ４０Ａであり、高誘電率流体４２ａと低誘電率流体４２ｂをその比重差で上下に分離するようにしたものである。図４の場合に比べて隔壁４１を省略することができる。
【００２７】
また、図６に示す装置では、可変容量コンデンサ４４の２枚の極板４４ａ，４４ｂの一方を平行移動させることにより、蓄電空間の容積を変化させて、容量を可変としている。これらの実施の形態では、コンデンサの容量を連続的に変化させることができるので、図３の実施の形態に比較して容量を微調整できるという利点が有る。もちろん、これらの実施の形態の可変容量コンデンサ４０，４４を、先の例のように複数設けて、選択的に使用してもよく、また、第１の実施の形態の電圧調整手段と併用して行っても良い。
【００２８】
さらに、図７に示す装置は、電極４０ａ，４０ｂ間の間隔ｄを可変とした可変容量コンデンサ４４Ａを用いたものである。
【００２９】
図８に示すのは、この発明の第３の実施の形態であって、全体の構成は図１に示すものと同様であるが、電源装置２２を制御する方法として、コンデンサ３４に充電されたエネルギーの内、放電に使われるエネルギーの量の割合を調整するようにしたものである。すなわち、この電源装置２２では、制御装置３０は、コンデンサ３４に蓄積された電気エネルギーを電極に送るスイッチ３６の接続のタイミングと切断のタイミングの双方を制御することができる。これにより、放電パルスの幅を調整することができる。したがって、放電開始後、電界処理の状態からストリーマ放電、アーク放電に至るプロセスの適当なタイミングでスイッチを遮断することにより、必要なストリーマ放電を発生させ、維持することができる。
【００３０】
すなわち、制御装置３０は、電流計２８の測定値がストリーマ放電の時よりも上昇して、アーク放電が発生していると判断される時には、アーク放電の発生を抑制するように、スイッチ３６の切断のタイミングを早める。また、電流計２８の測定値がストリーマ放電の時よりも低下して、ストリーマ放電が消失しつつあると判断される時には、ストリーマ放電を継続するようにスイッチ３６の切断のタイミングを遅くする。
【００３１】
図９及び図１０に示すのは、この発明の第３の実施の形態の変形例であって、主スイッチ３６ａでコンデンサ３４と高圧側電極１２とを接続した後、短絡スイッチ３６ｂによってコンデンサ３４を接地し、コンデンサ３４に充電されたエネルギーの内、放電に使われるエネルギーの量の割合を調整するようにしたものである。これにより、高圧側電極１２も接地されるので、アーク放電の発生を抑制する作用がより強くなる。なお、図１０の実施の形態では、短絡スイッチ３６ｂによってコンデンサ３４を回収用コンデンサ３５に接続し、エネルギーを回収するようにしたものである。
【００３２】
図１１に示すのは、この発明の第４の実施の形態の変形例であって、上述した第１ないし第３の実施の形態の変形例に相当するものである。すなわち、この実施の形態では、図１に示す接地側電極１４の替わりに導管１０の一部を導管兼接地側電極１１としたものである。兼用接地側電極１１は導電体で構成されるか、導電性の内張を施す。導管１０の他の部分は導電体である必要は無いが、金属等の導電体である場合には、同図に示すように、接続フランジ５６間に絶縁体５８を介在させて電流計２８の測定誤差を小さくすると良い。
【００３３】
図１２及び図１３に示すのは、この発明の第５の実施の形態の放電装置であって、アーク放電の発生またはストリーマ放電の消失を検知した時に、電極間の距離を調整することによって、アーク放電の発生またはストリーマ放電の消失を抑制するようにしたものである。図１２は、導管１０を含めた全体図であり、図１３は導管１０の部分を省略して示す図である。
【００３４】
高圧側電極１２は、先の実施の形態と同様に、導管１０の一側（ここでは上側）に軸方向に間隔を置いて設けられた開口フランジ１６から導管１０内に挿入された棒状の絶縁体からなる一対の高圧側支持部材１８により両端を支持されている。高圧側電極１２の端部は、高圧側支持部材１８を挿通する導線２０ａにより導管１０の外部に導出され、電源装置２２の高圧端子に接続されている。
【００３５】
また、接地側電極１４Ａは筒体を軸線を含む面に沿って２分割した一対の分割電極板１４ａ，１４ｂから構成され、各分割電極板１４ａ，１４ｂがそれぞれ導管１０の側部に対向して配置された一対の開口フランジ１６から導管１０内に挿入された棒状の絶縁体からなる接地側支持部材２６により支持されている。接地側電極１４Ａは、接地側支持部材２６を挿通する導線２０ｂにより導管１０の外部に導出され、アーク放電の発生またはストリーマ放電の消失検出用の電流計２８を介して接地されている。
【００３６】
各接地側支持部材２６は、開口フランジ１６の外側にそれぞれ設けられた支持駆動機構４６により、導管１０に直交する面内において水平方向に移動可能になっている。支持駆動機構４６は、電動モータ等の電気駆動アクチュエータや、エアシリンダ等の流体圧駆動アクチュエータなど、適宜のアクチュエータと、必要に応じて支持部材を直線駆動させるネジ送り機構等の駆動力変換機構と、所定の位置検出センサの出力に基づいて変位を制御するサーボ機構等を備えている。
【００３７】
この実施の形態において、電流計２８の測定値がストリーマ放電の時よりも上昇して、アーク放電が発生していると判断される時には、制御装置３０は、２つの分割電極板１４ａ，１４ｂを高圧側電極１２から離間させるように、アクチュエータを動作させる。また、電流計２８の測定値がストリーマ放電の時よりも低下して、ストリーマ放電が消失していると判断される時には、制御装置３０は、２つの分割電極板１４ａ，１４ｂを高圧側電極１２に接近させるように、アクチュエータを動作させる。アーク放電の発生またはストリーマ放電の消失が無い安定なストリーマ放電状態が継続する場合には、その距離を維持するようにする。
【００３８】
なお、この実施の形態では、駆動機構を２つの支持部材に対して個別に備えているが、これらを適当なリンク機構によって中心からの距離が等しくなるように連動させることにより、１つのアクチュエータで位置制御することもできる。また、この実施の形態では、電流計２８を１つのみ設置しているが、電流計２８を２つの分割電極板１４ａ，１４ｂに個別に設け、それぞれの放電電流を検知して、各分割電極板１４ａ，１４ｂの高圧側電極１２に対する位置を個別に制御するようにしてもよい。
【００３９】
さらに、上記の実施の形態では、図１４（ａ）に示すように、接地側電極を２分割した構成としたが、図１４（ｂ）に示すように、３つの分割電極板１４ａ，１４ｂ，１４ｃあるいはそれ以上に分割するようにしても良い。また、図１４（ｃ）に示すように、高圧側電極１２Ａを小径の筒状体で構成してもよい。さらに、図１４（ｄ）に示すように、分割電極板１４ａ，１４ｂの端部にこれを外方に延ばすようにした鍔部４８を形成してもよい。これにより、図１４（ｅ）に示すような端部効果によるアーク放電５０の発生を防止することができる。
【００４０】
また、この実施の形態の電極間距離の調整を、先の実施の形態の電気的な調整と併用して行っても良い。図１５は、そのような実施の形態の一例を示すもので、図１２の電極間距離の調整と、図２の電圧調整の双方を行うようにしたものである。このように、電気的な調整と機械的な調整を併用することにより、被処理液体の特性の変化等の処理条件の変化に幅広く対応して、常に安定的にストリーマ放電を維持し、好適な処理を行うことができる。
【００４１】
上記の実施の形態では、導管１０内において放電を行って液体を処理する実施の形態を説明したが、この発明の装置は、これに限られず、液体中において使用される任意の装置として採用することができる。例えば、図１６に示すのは、この発明の第６の実施の形態であり、湖沼等の水を処理するための装置である。この放電処理装置は、ボートのような水上を走行可能な搬送手段の底部に放電装置を設置したもので、図１６は船体の前方から見た図である。
【００４２】
すなわち、この実施の形態では、船体５２から垂下して設けられた一対のアーム５４によって、図１３に示す放電装置が水中において支持されている。この装置では、船体５２の走行に伴って電極板内の水が後方に流れ、水の処理がなされるので、例えば、湖沼において発生するアオコ（藻）のような微生物の処理に好適である。この場合、放電装置の前方に微生物を濃縮させる前処理手段を設けたり、後方に微生物の死骸を受ける回収手段を設けたりしてもよい。
なお、この実施の形態では、放電装置として、図１３及び図１４（ｄ）に示すものを用いたが、第１ないし第５の実施の形態のいずれか、あるいはこれらの適宜の組み合わせを用いることができる。
【００４３】
さらに、上記の実施の形態では、高圧側及び接地側の電極を同軸に配置した構成としたが、この発明の装置は、これに限られず、一方、あるいは双方が平板状の電極であってもよく、用途や状況に応じてその他の任意の形状を採用することができる。また、上記の実施の形態では、流れる液体を処理するように構成したが、この発明の装置は、これに限られず、静止した液体を処理するようにしてもよいことは言うまでもない。
【００４４】
また、上記の実施の形態では、この発明の装置をストリーマ放電を維持するように用いたが、勿論、アーク放電を維持するように用いても良く、電界処理状態を維持するように用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】この発明の第１の実施の形態の放電処理装置を示す図である。
【図２】この発明の第１の実施の形態の放電処理装置の要部である電源装置を示す図である。
【図３】この発明の第２の実施の形態の放電処理装置の要部である電源装置を示す図である。
【図４】この発明の第２の実施の形態の電源装置の変形例を示す図である。
【図５】この発明の第２の実施の形態の電源装置の他の変形例を示す図である。
【図６】この発明の第２の実施の形態の電源装置のさらに他の変形例を示す図である。
【図７】この発明の第２の実施の形態の電源装置のさらに他の変形例を示す図である。
【図８】この発明の第３の実施の形態の放電処理装置の要部である電源装置を示す図である。
【図９】この発明の第３の実施の形態の変形例の放電処理装置の要部である電源装置を示す図である。
【図１０】この発明の第３の実施の形態のさらなる変形例の放電処理装置の要部である電源装置を示す図である。
【図１１】この発明の第４の実施の形態の放電処理装置を示す図である。
【図１２】この発明の第５の実施の形態の放電処理装置を示す図である。
【図１３】この発明の第５の実施の形態の要部を示す図である。
【図１４】（ａ）ないし（ｅ）は、この発明の第５の実施の形態の電源装置の要部である分割電極板の種々の形状をそれぞれ示す図である。
【図１５】この発明の第５の実施の形態の放電処理装置の要部である電源装置を示す図である。
【図１６】この発明の第６の実施の形態の放電処理装置を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１２  高圧側電極
１４，１４Ａ  接地側電極
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ  分割電極板
２２  電源装置
２８  電流計（放電状態検出手段）
３０  制御装置
３４  コンデンサ
３４ａ  コンデンサセグメント（容量調整手段）
３６  スイッチ（放電制御手段）
３９  スイッチ
４０，４４  可変容量コンデンサ
４６  支持駆動機構（電極間距離調整手段）
５２  船体（移動手段）
【図１】
2006051441.tif 000003
【図２】
2006051441.tif 000004
【図３】
2006051441.tif 000005
【図４】
2006051441.tif 000006
【図５】
2006051441.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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