(57)【要約】【課題】ワイピングによるノズル周りのダメージを均一化してヘッドの長寿命化を図り、液体の残渣による液滴の吐出時の飛行曲がりが生じにくい液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるヘッドのワイピング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。【解決手段】ヘッド１１のノズルから液体をワークＷに吐出する液滴吐出装置１０であって、ヘッド１１のノズル面７０に接触することでノズル面７０を払拭するためのワイピング部４００と、ノズル面７０におけるワイピング部４００の接触方向を変えるための接触方向変更部５００とを有する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドのノズル面に接触することで前記ノズル面を払拭するためのワイピング部と、
前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えるための接触方向変更部と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記接触方向変更部は、前記ヘッドを前記ワイピング部に対して回転して前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えるためのヘッドの回転駆動部を有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記接触方向変更部は、前記ワイピング部を前記ヘッドに対して回転して前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えるためのワイピング部の回転駆動部を有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ワイピング部は、シート状部材と、前記シート状部材を前記ノズル面に対して相対的に移動する移動操作部と、を有していることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記ワイピング部は、前記ノズル面に対して相対的に移動するブレード状部材であることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置におけるヘッドのワイピング方法であって、
前記ヘッドのノズル面にワイピング部を接触することで前記ノズル面を払拭する際に、接触方向変更部が、前記ワイピング部が前記ノズル面を払拭するたびに、前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えることを特徴とする液滴吐出装置におけるヘッドのワイピング方法。
【請求項７】
ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで電気光学装置を製造する製造方法であって、
前記ヘッドのノズル面にワイピング部を接触することで前記ノズル面を払拭する際に、接触方向変更部が、前記ワイピング部が前記ノズル面を払拭するたびに、前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えて、その後ワークに対して前記液体を吐出することで前記電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで製造される電気光学装置であって、
前記ヘッドのノズル面にワイピング部を接触することで前記ノズル面を払拭する際に、接触方向変更部が、前記ワイピング部が前記ノズル面を払拭するたびに、前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えて、その後ワークに対して前記液体を吐出することで製造されることを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項８に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるヘッドのワイピング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、描画システムとして用いられることがあり、この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学装置の製造に用いられることがある。
インクジェット式で液滴を吐出する液滴吐出装置は、液滴を吐出するためのヘッドを有している。このヘッドのノズル面は、必要に応じてワイピングする必要があり、このためヘッドのワイピング方法が提案されている（たとえば特許文献１）。
【特許文献１】特開２００４−１６７４８８号公報（第１頁、図５６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種のワイピング装置は、走行するワイピングシートによりノズル面の拭き取りを行うのであるが、ワイピングシートに対しては洗浄液を吹き付けて含浸させるようになっている。このワイピングシートは、ヘッドのノズル面に対して同じ方向に沿って接触して拭き取ることから、ノズル面におけるワイピング方向が常に一定であり、ノズルの特定部位だけが傷むことから、ヘッドの寿命が短くなる傾向がある。
また、ヘッドのノズルの開口を形成している周辺部分において、ワイピングシートによるインクの拭き残しの残渣が一定方向に溜まってしまう。一定方向に残渣が残っているノズルからインクを吐出すると、そのインク滴は大きな飛行曲がりを発生しやすくなってしまう。このため、ヘッドはワークに対して正確な位置にインクを吐出して描画することができなくなる。
【０００４】
そこで本発明は上記課題を解消し、ワイピングによるノズル周りのダメージを均一化してヘッドの長寿命化を図り、液体の残渣による液滴の吐出時の飛行曲がりが生じにくい液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるヘッドのワイピング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的は、第１の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ヘッドのノズル面に接触することで前記ノズル面を払拭するためのワイピング部と、前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えるための接触方向変更部と、を有することを特徴とする液滴吐出装置により、達成される。
【０００６】
第１の発明の構成によれば、ワイピング部は、ヘッドのノズル面に接触することでノズル面を払拭する。接触方向変更部は、ノズル面におけるワイピング部の接触方向を変えるものである。
これにより、ワイピングによるノズル周りのダメージをできるだけノズル周りに沿って均一化することができ、ヘッドの長寿命化が図れる。しかも、ワイピングにより拭き取れなかった液体の残渣（液体の固形分など）が均一にノズルの開口の周辺部分に付着するために、ノズルから液滴を吐出する際に液滴の飛行曲がりが起きにくくなる。したがって、ワークに対する液滴の描画品質を上げることができる。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記接触方向変更部は、前記ヘッドを前記ワイピング部に対して回転して前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えるためのヘッドの回転駆動部を有していることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、接触方向変更部は、ヘッドをワイピング部に対して回転してノズル面に対してワイピング部の接触方向を変えるためのヘッドの回転駆動部を有している。
これにより、ヘッドの回転駆動部は、ヘッド側を回転することで、ノズル面におけるワイピング部の接触方向を確実に変えることができる。
【０００８】
第３の発明は、第１の発明の構成において、前記接触方向変更部は、前記ワイピング部を前記ヘッドに対して回転して前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えるためのワイピング部の回転駆動部を有していることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、接触方向変更部は、ワイピング部をヘッドに対して回転してノズル面におけるワイピング部の接触方向を変えるためのワイピング部の回転駆動部を有している。
これにより、ワイピング部の回転駆動部は、ワイピング部側を回転することで、ノズル面におけるワイピング部の接触方向を確実に変えることができる。
【０００９】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記ワイピング部は、シート状部材と、前記シート状部材を前記ノズル面に対して相対的に移動する移動操作部と、を有していることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、ワイピング部の移動操作部は、ワイピング部のシート状部材をノズル面に対して相対的に移動するようになっている。
これにより、シート状の部材は、ワイピング部に対して移動しながら払拭することができる。
【００１０】
第５の発明は、第１の発明ないし第３の発明のいずれか構成において、前記ワイピング部は、前記ノズル面に対して相対的に移動するブレード状部材であることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、ワイピング部は、ブレード状部材であり、このブレード状部材はノズル面に対して相対的に移動することができる。
これにより、簡単な構造のブレード状部材を用いるだけで、ノズル面の払拭を行うことができる。
【００１１】
上記目的は、第６の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置におけるヘッドのワイピング方法であって、前記ヘッドのノズル面にワイピング部を接触すること前記ノズル面を払拭する際に、接触方向変更部が、前記ワイピング部が前記ノズル面を払拭するたびに、前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えることを特徴とする液滴吐出装置におけるヘッドのワイピング方法により、達成される。
【００１２】
これにより、ワイピングによるノズル周りのダメージをできるだけノズル周りに沿って均一化することができ、ヘッドの長寿命化が図れる。しかも、ワイピングにより拭き取れなかった液体の残渣（液体の固形分など）が均一にノズルの開口の周辺部分に付着するために、ノズルから液滴を吐出する際に液滴の飛行曲がりが起きにくくなる。したがって、ワークに対する液滴の描画品質を上げることができる。
【００１３】
上記目的は、第７の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで電気光学装置を製造する製造方法であって、前記ヘッドのノズル面にワイピング部を接触することで前記ノズル面を払拭する際に、接触方向変更部が、前記ワイピング部が前記ノズル面を払拭するたびに、前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えて、その後ワークに対して前記液体を吐出することで前記電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法により、達成される。
【００１４】
これにより、ワイピングによるノズル周りのダメージをできるだけノズル周りに沿って均一化することができ、ヘッドの長寿命化が図れる。しかも、ワイピングにより拭き取れなかった液体の残渣（液体の固形分など）が均一にノズルの開口の周辺部分に付着するために、ノズルから液滴を吐出する際に液滴の飛行曲がりが起きにくくなる。したがって、ワークに対する液滴の描画品質を上げることができる。
その後ワークに対して液体を吐出することで、電気光学装置の製造品質を上げることができる。
【００１５】
上記目的は、第８の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで製造される電気光学装置であって、前記ヘッドのノズル面にワイピング部を接触することで前記ノズル面を払拭する際に、接触方向変更部が、前記ワイピング部が前記ノズル面を払拭するたびに、前記ノズル面における前記ワイピング部の接触方向を変えて、その後ワークに対して前記液体を吐出することで製造されることを特徴とする電気光学装置により、達成される。
【００１６】
ワイピングによるノズル周りのダメージをできるだけ均一化することができ、ヘッドの長寿命化が図れる。しかも、ワイピングにより拭き取れなかった液体の残渣（液体の固形分など）が均一にノズルの開口の周辺部分に付着するために、ノズルから液滴を吐出する際に液滴の飛行曲がりが起きにくくなる。したがって、ワークに対する液滴の描画品質を上げることができる。
その後ワークに対して液体を吐出することで、電気光学装置の品質を上げることができる。
【００１７】
第９の発明は、第８の発明に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器である。
これにより、品質を高めた電気光学装置を搭載した電子機器が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図である。
図１に示す液滴吐出装置１０は、描画システムとして用いることができる。この描画システムは、一例としていわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の製造ラインに組み込まれるものである。この液滴吐出装置１０は、たとえば有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成することができる。
【００１９】
液滴吐出装置１０は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するためのものである。液滴吐出装置１０のヘッド（機能液滴吐出ヘッドとも言う）は、有機ＥＬ素子の発光素子を形成できる。具体的には、有機ＥＬ素子の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板（ワークの一例）に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置１０は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置１０はたとえば２台用意することにより、１台目の液滴吐出装置１０が正孔注入／輸送層を形成し、もう１台の液滴吐出装置１０はＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色の発光層を形成することができる。
【００２０】
図１の液滴吐出装置１０はチャンバ１２の中に収容されている。チャンバ１２は別のチャンバ１３を有している。このチャンバ１３の中には、ワーク搬出入テーブル１４を収容している。ワーク搬出入テーブル１４は、ワークＷをチャンバ１２内へ搬入したりあるいは処理後のワークＷをチャンバ１２内のテーブル３０の上から搬出するためのテーブルである。
【００２１】
図１に示すチャンバ１２の中には、ヘッド１１のメンテナンスを行うメンテナンス部１５を収容している。またチャンバ１２の外側には、回収部１６を備えている。
メンテナンス部１５は、ワイピング部４００、吸引ユニット３８０、フラッシングユニット（図示せず）、吐出検査ユニット（図示せず）あるいは重量測定ユニット（図示せず）等を有している。
【００２２】
フラッシングユニットは、ヘッド１１から予備的に吐出された吐出用液滴を受けるためのものである。吸引ユニット３８０は、ヘッド１１のノズル面をキャップで封止してポンプによりキャップ内を負圧にすることで、ノズル内の液体と気泡を吸引して排出する。ワイピング部４００は、ノズル面を吸引した後にノズル面を払拭する。
吐出検査ユニットは、ヘッド１１から吐出される吐出用液滴の吐出状態を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の重量を測定する。
回収部１６は、たとえば吐出用液滴を回収する。
【００２３】
チャンバ１２とチャンバ１３は、個別にエアー管理されており、チャンバ１２とチャンバ１３の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ１２とチャンバ１３を用いるのは、たとえば有機ＥＬ素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ１２とチャンバ１３の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。
【００２４】
次に、図１に示すチャンバ１２内の構成要素について説明する。
チャンバ１２の中には、フレーム２０、複数のヘッド１１、キャリッジ１９、液体貯留部３００、第１操作部２１、第２操作部２２、テーブル３０、ガイド基台１７を収容している。
図１のフレーム２０はＸ軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台１７はＹ軸方向に沿って設けられている。フレーム２０はガイド基台１７の上方にある。Ｘ軸は第１移動軸に相当し、Ｙ軸は第２移動軸に相当する。Ｘ軸とＹ軸は直交しており、Ｚ軸に対しても直交している。Ｚ軸は、図１において紙面垂直方向である。
【００２５】
第１操作部２１は、フレーム２０に沿ってキャリッジ１９と複数のヘッド１１を、Ｘ軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第２操作部２２は、テーブル３０を有している。このテーブル３０は、図１に示すようなワークＷを着脱可能に搭載することもできる。この第２操作部２２のテーブル３０は、複数のヘッド１１からワークＷに対して吐出用の液滴を与える際に、ワークＷを保持する。そして第２操作部２２は、ワークＷをＹ軸方向に沿ってガイド基台１７上を直線移動して位置決めすることができる。
【００２６】
第１操作部２１は、キャリッジ１９と複数のヘッド１１をＸ軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ２１Ａを有している。このモータ２１Ａは、たとえば送りねじを用いることにより、キャリッジ１９とこの複数のヘッド１１をＸ軸方向に直線移動することができる。モータ２１Ａは、この回転型の電動モータであってもよいし、リニアモータであってもよい。
【００２７】
第２操作部２２のモータ２２Ａは、テーブル３０をガイド基台１７に沿ってＹ軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ２２Ａはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ２２Ａとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。
【００２８】
第２操作部２２のテーブル３０は、搭載面３０Ａを有している。この搭載面３０Ａは、図１のＺ軸方向に垂直な面である。搭載面３０Ａは、吸着部３０Ｂを有している。この吸着部３０Ｂは、ワークＷを真空吸着により吸着することができるものである。これにより、ワークＷは、搭載面３０Ａに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。
【００２９】
次に、図２と図３を参照して、キャリッジ１９と複数のヘッド１１の構造例について説明する。
図２はキャリッジ１９と複数のヘッド１１の周りの形状例を示す斜視図であり、図３は、図２のＥ方向から見た正面図の例である。
キャリッジ１９は、図１に示すモータ２１ＡによりＸ軸方向に移動して位置決め可能である。キャリッジ１９はキャリッジのホルダー１９Ａを用いて複数のヘッド１１を交換可能に保持している。
【００３０】
図３に示すように、制御部２００の指令によりモータ６２が作動すると、ホルダー１９Ａと複数のヘッド１１のユニットがＺ軸方向に沿って上下動して位置決め可能である。そして、制御部２００の指令により、もう１つのモータ６３が作動することにより、各ヘッド１１は、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。
【００３１】
図３に示すように、複数のヘッド１１は各々ノズルプレート６４を有している。ノズルプレート６４の下面はノズル面７０である。複数のノズル面７０は、ノズルのノズル開口１２１ないし１２６を有している。各ヘッド１１は、液体貯留部３００に接続されている。
図３に示すように、１つ目のノズル面７０は２列のノズル列７０Ａ，７０Ｂを有し、中央のノズル面７０は２列のノズル列７０Ｃ，７０Ｄを有し、そして最後のノズル面７０は２列のノズル列７０Ｅ，７０Ｆを有している。
各ノズル列７０Ａ〜７０Ｆは、図３の紙面垂直方向に複数のノズル開口を有している。この液体貯留部３００は、ワークＷに吐出するための液体を貯留するものであり、液体貯留部３００は機能液貯蔵部ともいう。液体貯留部３００内の吐出用液体は、ノズル開口１２１ないし１２６からたとえば図４（Ａ）に示す圧電振動子７８９の作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。
【００３２】
図４（Ａ）は、複数のヘッド１１内に配置されている複数の圧電振動子７８９の例を示している。この圧電振動子７８９は、図３に示すヘッド１１の各ノズルに対応して１つずつ配列されている。図４（Ａ）の制御部２００は、駆動部２０１に信号を与えることにより、駆動部２０１は、複数の圧電振動子７８９の中の任意の圧電振動子を動作させることで、動作された圧電振動子７８９に対応するノズルの図３に示すノズル開口１２１ないし１２６からはインクジェット式で液滴を吐出させることができるようになっている。
【００３３】
次に、液体貯留部３００について、図５と図４（Ｂ）を参照して説明する。
液体貯留部３００は、たとえば図４（Ｂ）に示すように複数の液体パック１１１ないし１１６と、これらの液体パックを収容している収容体３０１を有している。液体パック１１１ないし１１６は、この例では６つ示しているが、液体パックの数は特に限定されず１つあるいは２つ以上ないし５つ、あるいは７つ以上であっても勿論構わない。
たとえば各液体パック１１１ないし１１６は、可撓性を有する材料により作られていて、各液体パックには同じ種類もしくは異なる種類の吐出用液体が収容されている。収容体３０１内は、外部から圧縮空気を入れることにより、液体パック１１１ないし１１６を加圧して、各液体パック１１１ないし１１６から液体を別々に吐出させることもできる。また、液体パックの接続部１１１Ａとノズルプレート面７０の水頭差（圧力差）、および、ヘッドのポンプ作用によって、インクパックからヘッドへのインク供給は行うことができる。
【００３４】
図５の各液体パック１１１ないし１１６は、ヘッド１１の対応するノズル８１ないし８６に対して、液体供給チューブ９１ないし９６によりそれぞれ着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９１の一端部は、液体パック１１１の接続部１１１Ａに対して着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９１の他端部は、ヘッド１１の接続部８１Ａに対して着脱可能に接続されている。
同様にして、液体供給チューブ９２ないし９６の一端部は、各液体パック１１２ないし１１６の接続部１１２Ａないし１１６Ａに対して着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９２ないし９６の他端部は、ヘッド１１側の接続部８２Ａないし８６Ａに対してそれぞれ着脱可能に接続されている。
【００３５】
図５に示すように３つのヘッド１１のノズル８１ないし８６は、ノズル開口１２１ないし１２６を有している。各ノズル８１は、たとえば図５の紙面垂直方向に沿って数１０個若しくは数１０００個配列されていて、ノズル列を形成している。その他のノズル８２ないし８６も、紙面垂直方向に関してノズル列を形成している。ノズル開口１２１ないし１２６は、ノズルプレート６４のノズル面７０に面して形成されている。
このノズル面７０は、図５の例ではＺ軸方向の下方向Ｚ２に向いている。
【００３６】
図６は、図２に示すキャリッジのホルダー１９Ａとモータ６３および回転軸部材６３Ａなどを示している。
図２と図６に示すように、ホルダー１９Ａは、モータ６３の駆動により、回転軸部材６４Ａを介して軸６３Ｌに沿ってＲＴＡ方向に回転してインデックスすることができる。このモータ６３は、複数のヘッド１１の回転駆動部に相当する。この回転軸部材６３Ａとモータ６３は、ヘッド１１の接触方向変更部５００を構成している。
キャリッジのホルダー１９Ａは、アッパープレート１９Ｃとロアープレート１９Ｄおよびサイドプレート１９Ｅを有している。ロアープレート１９Ｄは、３つのヘッド１１を着脱可能に保持している。ヘッド１１のノズル面７０はＺ２方向に向いている。各ヘッド１１は等間隔をおいて配列されている。図６（Ｂ）に示すように、ノズル面７０は、それぞれ２列のノズル列７０Ａないし７０Ｆを有している。
【００３７】
図７は、図４に示すホルダー１９Ａと３つのヘッド１１の他に、ワイピング部４００の構造例を示している。
このワイピング部４００は、ワイピング用のシート部材４０１を、ワイピング方向ＷＤに沿って移動するための装置である。ワイピング部４００は、移動操作部４０３を有していて、この移動操作部４０３はロール体４０５からシート状部材４０１を巻き取り軸４０６に巻き取ることができる。移動操作部４０３の巻き取り軸４０６にはモータ４０７が接続されていて、このモータ４０７が制御部２００の指令により作動すると、巻き取り軸４０６は、ロール体４０５のシート状部材４０１をワイピング方向ＷＤに沿って巻き取っていく。
ホルダー１９Ａは、図２に示すモータ６２を作動することで、図２に示す送りねじ６２Ａが回転する。この送りねじ６２Ａの回転により、ホルダー１９Ａは、Ｚ２方向に下げたりＺ１方向に上げたりすることができる。ホルダー１９ＡがＺ２方向に下降されると、ノズル面７０がワイピング部材４０１の上面に接触する。
【００３８】
図８は、図１に示す吸引ユニット３８０の構造例を示している。
吸引ユニット３８０は、液体吸引装置とも呼んでおり、吸引ユニット３８０は複数のヘッド１１のノズル面７０に対応した構造になっている。吸引ユニット３８０は、複数のキャップ３８１を有していて、各キャップ３８１の中には吸収材３８２が収容されている。キャップ３８１は、チューブ３８３を介して吸引ポンプ３８４に接続されている。
図８（Ａ）に示すようにモータ６２が作動して送りねじ６２Ａが回転すると、ホルダー１９Ａとともに複数のヘッド１１がＺ２方向に下がり、各ノズル面７０はキャップ３８１により図８（Ｂ）に示すように封止される。
この封止状態で、ポンプ３８４が制御部２００の指令により作動すると、キャップ３８１内は負圧状態になり、これによりノズル開口１２１ないし１２６からは液体および気泡を吸引して廃液タンク３９０に排出することができる。各ノズル面７０の吸引が終了すると、図８のモータ６２の作動により、ホルダー１９Ａと複数のヘッド１１はＺ１方向に上昇することで、キャップ３８１による封止状態を解除することができる。
【００３９】
次に、本発明の実施形態である液滴吐出装置１０におけるヘッドのワイピング方法を含むヘッドのクリーニング方法について説明する。
図３に示すように、各ノズル面７０のノズル開口１２１ないし１２６からは、それぞれ液滴がワークＷに対して吐出して描画される。このような液滴の吐出により、ワークＷの面には液滴による描画動作を行うことができる。描画動作の途中あるいは描画動作が終了すると、ノズル面７０には、インクである機能性液体が付着したり、各ノズル開口内において液体が詰まったり気泡が混入することがある。
このようなノズル面における液滴の吐出性能の低下を防ぐために、図８に示す吸引ユニット３８０を用いて、ノズル開口１２１ないし１２６の液体の詰まりおよび気泡の吸引を行う。
【００４０】
上述したように、図８（Ａ）のキャップ３８１は、それぞれ対応するノズル面７０に対して図８（Ｂ）に示すように封止する。そしてポンプ３８４が作動すると、各キャップ３８１内は負圧になるので、ノズル開口１２１ないし１２６からは粘性の高まった液体や気泡をチューブ３８３を通じて廃液タンク３９０に排出することができる。
このような吸引作業が終了すると、ノズル面のワイピング動作に移る。
【００４１】
ノズル面をワイピングする方法は、次のように行う。
図１に示すモータ２１Ａが制御部２００の指令により作動すると、キャリッジ１９とともに複数のヘッド１１が、Ｘ軸（−）に沿って直線移動することで、各ヘッド１１は、ワイピング部４００の真上に達する。図６に示すホルダー１９Ａと３つのヘッド１１Ａは、Ｚ２方向に下がり、図７に示すようにノズル面７０がシート状部材４０１の上面に接する。
ワイピング部４００は、シート状部材４０１を移動操作部４０３によりワイピング方向ＷＤに沿って移動させている。これによって、シート状部材４０１は、各ノズル面７０に接触して払拭することができる。図９と図７は、各ノズル面７０の配列方向Ｌと、ワイピング方向ＷＤが平行な場合を示している。ノズル面７０は、図９に示すようにして第１回目のワイピングが行われる。
【００４２】
次に、次の描画作業を行った後に、ノズル面７０を吸引後にワイピングする場合には、図１０（Ａ）に示すように、ヘッド１１の配列方向Ｌが、ワイピング方向ＷＤに対して姿勢角度θたとえば３０度傾いた状態にインデックスされる。このヘッド１１の配列方向Ｌのインデックスは、図７に示す接触方向変更部５００が行う。接触方向変更部５００のモータ６３が作動すると、回転軸部材６３Ａとホルダー１９Ａはともに軸６３Ｌを中心としてたとえば図１０に示すように姿勢角度θ＝＋３０度回転することができる。
【００４３】
図１０（Ｂ）は、さらに次に描画を行った後にノズル面７０を吸引してワイピングする場合の例を示している。この場合には、ヘッド１１の配列方向Ｌは、ワイピング方向ＷＤに対して姿勢角度θ＝−３０度だけ傾いている。つまり図１０（Ｂ）の各ヘッド１１の配列方向Ｌは、図１０（Ａ）の配列方向Ｌに比べて６０度時計回りに回転したことになる。図９と図１０に示す例では、配列方向Ｌが、ワイピング方向ＷＤに対して＋３０度と−３０度に設定されている例を示している。しかしワイピング回数が増えていくごとに、この姿勢角度θは、＋３０度あるいは−３０度とは異なる角度になるように配列方向Ｌを反時計方向もしくは時計方向に対して角度をふっていくようにする。
【００４４】
これにより、図１１（Ｂ）の比較例に示すようなノズル１２１ないし１２６の周囲部分４８０において、一方向に特定なダメージ部分４８１が生じる恐れが無くなり、図１１（Ａ）の本発明の実施形態に示すようにノズル１２１ないし１２６の周囲部分４８０には、ほぼ周囲部分４８０の円周方向に沿って均一もしくは均質なわずかなダメージ部分４８５を形成するだけである。つまり、ワイピングによるノズル周りのダメージ部分の均質化もしくは均一化して特定な部分に大きなダメージを与えないようにして、ヘッドの長寿命化を図ることができる。
【００４５】
また、図１１（Ｃ）に示すように、ノズル１２１ないし１２６において、その周囲部分４８０に対して液体の残渣（液体の固形部など）が、周囲部分４８０に対してほぼ均一に付着する。つまり、ワイピングにより取り切れなかった液体の残渣が均一に付着することから、ノズル１２１ないし１２６が液滴を吐出する場合に、液滴の飛行曲がりが起こりにくくなる。
【００４６】
以上のようにして、シート状部材４０１のワイピング方向ＷＤは、図１０に示すように一定方向にする代わりに、複数のヘッド１１の配列方向Ｌが、ワイピング方向ＷＤに対して任意の角度でしかも配列方向Ｌのワイピング方向ＷＤに対する姿勢角度θが、同じ値にならないように＋方向と−方向にふっていく。
このような姿勢角度θを＋方向や−方向を異なる角度ごとにふっていく作業は、ヘッドがワークに対して描画してノズル面を吸引してワイピングするごとに行っても良いし、ある一定時間が経過したごとに行っても良い。
【００４７】
図１２と図１３は、本発明の別の実施形態を示している。図１２と図１３に示す実施形態が、図７と図９に示す実施形態と異なるのは、次の点である。
図７と図９の実施形態では、図７に示す接触方向変更部５００のモータ６３が作動することにより、回転軸部材６３Ａとホルダー１９Ａおよび複数のヘッド１１が、軸６３Ｌを中心としてＲＴＡ方向にインデックス可能である。これに対して、シート状部材４０１のワイピング方向ＷＢは一定で変更する構造ではない。
【００４８】
これに対して、図１２と図１３に示す別の実施形態では、複数のヘッド１１の配列方向Ｌの向きの変更は行わず、その代わりに接触方向変更部５００が、ワイピング部４００自体を軸５５０Ｌを中心として、ＲＴ方向に沿ってインデックスできるようになっている。
接触方向変更部５００は、ワイピング部４００の回転駆動部としてのモータ５０１と、回転軸部材５０２を有している。回転軸部材５０２は、ワイピング部４００のケーシング４４０に連結されている。ケーシング４４０は、ロール体４０５と巻き取り軸４０６を回転可能に保持している。巻き取り軸４０６は、モータ４０７により回転することでシート状部材４０１を巻き取ることができる。
【００４９】
モータ５０１が制御部２００の指令により作動すると、たとえば図１３に示すようにワイピング部４００はヘッド１１の配列方向Ｌに対して姿勢角度θ１だけインデックスすることができる。これに対して複数のヘッド１１の配列方向Ｌは、固定されたものである。描画作業の途中もしくは描画作業を終了した後に、各ノズル面７０をワイピングする度に、接触方向変更部５００のモータ５０１が作動して、ワイピング部４００自体をヘッド１１に対して軸５５０Ｌを中心としてインデックスすることができる。このインデックスの際の姿勢角度θ１は、ワイピングする度に異なる値にしていく。
【００５０】
これによって、図７と図１０に示す実施形態と同様にして図１２と図１３に示す実施形態においても、ワイピングによりノズル周りのダメージを均一化もしくは均質化することにより、ヘッドの長寿命化を図れる。またワイピングによりふき取れなかった液体の残渣がノズルに対して円周方向に沿って均一に付着するために、このノズルから吐出される液滴は飛行曲がりが起きにくい。
【００５１】
次に、図１４と図１５を参照してさらに別の実施形態について説明する。
図１４の実施形態に示すワイピング部４００は、ブレート状部材４７１を用いている点が異なる。このブレード状部材４７１は、上下動操作部４７２によりＺ方向に沿って上下動して位置決めできる。ブレード状部材４７１は図１４（Ｂ）に示すようにその長手方向Ｈの向きは変更することができない。これに対して、接触方向変更部５００は、ホルダー１９Ａと複数のヘッド１１の配列方向Ｌの姿勢角度θを変更することができる。
【００５２】
ブレード状部材４７１が図１４（Ｂ）に示すように位置決めされていると、各ヘッド１１はＸ（−）方向に沿って移動される。つまり、固定されたブレード状部材４７１と移動する各ヘッド１１との相対的な移動により、ブレード状部材４７１はノズル面７０に接触してノズル面７０を拭き取っていくことができる。
描画途中もしくは描画終了すると、再びノズル面を払拭する場合には、図１４（Ｃ）に示すように、ブレード状部材４７１は固定のままで、各ヘッド１１の配列方向Ｌを姿勢角度θだけ傾ける。そして各ヘッド１１は、Ｘ（−）方向に移動することで、たとえばノズル面７０はブレード状部材４７１により払拭することができる。この配列方向Ｌの姿勢角度θは、ワイピングをする度に変更していくことができ、配列方向Ｌは反時計方向あるいは時計方向に異なった角度をふっていくのである。
【００５３】
本発明の実施形態では、ワイピングによるノズル周りのダメージをできるだけ均一化することができ、ヘッドの長寿命化が図れる。しかも、ワイピングにより拭き取れなかった液体の残渣（液体の固形分など）が均一にノズルの開口の周辺部分に付着するために、ノズルから液滴を吐出する際に液滴の飛行曲がりが起きにくくなる。したがって、ワークに対する液滴の描画品質を上げることができる。ヘッドの回転駆動部は、ヘッド側を回転することで、ノズル面におけるワイピング部の接触方向を確実に変えることができる。
【００５４】
本発明の実施形態では、ワイピング部の回転駆動部は、ワイピング部側を回転することで、ノズル面におけるワイピング部の接触方向を確実に変えることができる。シート状の部材は、ワイピング部に対して移動しながら払拭することができる。簡単な構造のブレード状部材を用いるだけで、ノズル面の払拭を行うことができる。
【００５５】
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、電気光学装置（デバイス）を製造するのに用いることができる。この電気光学装置（デバイス）としては液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。
【００５６】
図１５は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機ＥＬ装置の製造に用いる場合の有機ＥＬ装置の構造例を示している。有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に対して、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００５７】
有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。
【００５８】
有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００５９】
また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
【００６０】
次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図１６は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【００６１】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えている。着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【００６２】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。
【００６３】
対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【００６４】
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、上記カラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
また、他の電気光学装置としては、ＳＥＤ（表面電界ディスプレイ）を含むＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）や、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、ノズル面を吸引してワイピングするごとに、ノズル面に対するワイピング部のシート状部材の払拭方向を変えることにより、ヘッドの長寿命化が図れるばかりでなく、液滴の飛行曲がりが起きにくくなる。このため、この液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、品質の優れた各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【００６５】
本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００６６】
図１７は、電子機器の一例である携帯電話１０００の形状例を示している。携帯電話１０００は、本体部１００１と表示部１００２を有している。表示部１００２は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を用いている。
【００６７】
図１８は、電子機器の他の例であるコンピュータ１１００を示している。コンピュータ１１００は本体部１１０１と表示部１１０２を有している。表示部１１０２は、上述したような電気光学装置の一例である有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を使用することができる。
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、ワークの一例である印刷対象に対して、白黒もしくはカラー印刷（印字）することにも使用できる。この場合には、液体貯留部は、インクカートリッジであり、このインクカートリッジは、１種類もしくは複数種類のインク（たとえばブラック、イエロー、マゼンダ、シアン、ライトシアン、ライトマゼンダ等）を別々に貯留しておく。各インクは液体の一例である。
【００６８】
また上述した実施形態の液滴吐出装置は、インクパックである液体パックがヘッド１１とは別の位置に配置されているいわゆるオフキャリッジタイプのものである。しかしこれに限らずヘッド１１が搭載されているキャリッジに対して液体パックを搭載するいわゆるオンキャリッジタイプの液滴吐出装置であっても勿論構わない。
【００６９】
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図。
【図２】図１の液滴吐出装置のキャリッジ、ホルダーおよび複数のヘッドを示す斜視図。
【図３】図２のＥ方向から見た各要素の正面図。
【図４】ヘッドの圧電振動子の例および液体貯留部の構造例を示す図。
【図５】液体貯留部およびヘッドの接続例を示す図。
【図６】複数のヘッドと複数のヘッドの接触方向変更部の例を示す図。
【図７】複数のヘッドと接触方向変更部およびワイピング部の構造例を示す図。
【図８】吸引ユニットの構造例を示す図。
【図９】複数のヘッドの配列方向Ｌとワイピング方向ＷＤが一致していて、ノズル面をワイピングしている様子を示す平面図。
【図１０】複数のヘッドの配列方向Ｌがワイピング方向ＷＤに対して姿勢角度θで傾きながらワイピングしている様子を示す平面図。
【図１１】ノズルの周囲におけるダメージの比較例と本発明の実施形態におけるノズルの周囲部分におけるダメージの均一化の例と、そしてノズルの全周にわたって均等に形成された液体の残渣の例を示す図。
【図１２】本発明の別の実施形態を示していて、ワイピング部側が固定側のヘッドに対して接触方向の変更ができる構造を示す図。
【図１３】複数のヘッドの配列方向Ｌに対してワイピング方向ＷＤが姿勢角度θで傾いてワイピングしている状態を示す平面図。
【図１４】本発明のさらに別の実施形態を示す図。
【図１５】本発明の液滴吐出装置により製造される有機ＥＬ装置の形状例を示す断面図。
【図１６】本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。
【図１７】本発明の実施形態により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。
【図１８】電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。
【符号の説明】
【００７１】
１０・・・液滴吐出装置、１１・・・ヘッド、７０・・・ノズル面、４００・・・ワイピング部、４０１・・・ワイピング用のシート状部材、４０３・・・移動操作部、４７１・・・ワイピング部のブレード状部材、５００・・・接触方向変更部、θ，θ１・・・ワイピング時の姿勢角度、Ｗ・・・ワーク、ＷＤ・・・ワイピング方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2006198509.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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