(57)【要約】    【課題】入力側及び出力側の双方を積層化することにより、所望の昇圧比又は降圧比、及び所望の入出力インピーダンスを容易に得ることができる圧電トランスを実現する。    【解決手段】厚み方向に分極された第１の圧電体層２ａの表面には第１の電極層３ａを介して第２の圧電体層４が積層され、第２の圧電体層４の表面には第２の電極層（接地電極）５ｂを介して第１の圧電体層２ｂが積層されている。第１の圧電体層２ｂの表面には第１の電極層３ｂが形成されると共に、第１の圧電体層２ａの裏面には第２の電極層５ａが形成されている。そして、第１の電極層３ａ、３ｂは、互いに電気的に絶縁された入力電極６ａ、６ｂと出力電極７ａ、７ｂとを有し、入力電極同士、出力電極同士、及び接地電極同士は第１〜第３の外部電極８、９、１３を介してそれぞれ電気的に接続されている。  【選択図】図１
2006032384.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向に分極された圧電体層が、分極方向が交互になるように電極パターンの異なる複数種の電極層のうちのいずれかの電極層を介して複数積層された積層構造からなり、
前記電極層が、互いに電気的に絶縁された入力電極と出力電極とが同一平面上に形成された第１の電極層と、接地電極からなる第２の電極層とを有し、
前記入力電極同士、前記出力電極同士、及び前記接地電極同士が積層方向に互いに電気的に接続されていることを特徴とする圧電トランス。
【請求項２】
前記電極層は、前記入力電極及び前記出力電極のうちのいずれか一方の電極が形成された第３の電極層を有していることを特徴とする請求項１記載の圧電トランス。
【請求項３】
前記入力電極、前記出力電極、及び接地電極の一部が前記圧電体層の端縁に露出すると共に、前記入力電極同士が第１の外部電極を介して互いに電気的に接続され、前記出力電極同士が第２の外部電極を介して互いに電気的に接続され、かつ前記接地電極同士が第３の外部電極を介して互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の圧電トランス。
【請求項４】
前記第１の電極層は、前記出力電極及び前記入力電極のうちのいずれか一方の電極が前記圧電体層表面の中央部に形成され、他方の電極は前記一方の電極の周辺部に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の圧電トランス。
【請求項５】
前記第１の電極層は、前記入力電極と前記出力電極との間の電極間距離が所定距離に制御されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の圧電トランス。
【請求項６】
広がり振動モードを有することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の圧電トランス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電トランスに関し、より詳しくは冷陰極管等の点灯用インバータや熱陰極管の点灯、モータの起動、ＡＣアダプタ等、高出力が要求される用途に適した圧電トランスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、昇圧又は降圧用のトランスとして、圧電体の圧電効果を利用した圧電トランスの開発が盛んに行われており、厚み方向に分極された第１の圧電体と長さ方向に分極された第２の圧電体とを一体化させたローゼン型圧電トランスが広く知られている。
【０００３】
該ローゼン型圧電トランスでは、前記第１の圧電体の上下面に電圧を印加することにより前記第２の圧電体の片端面から出力電圧が得られるが、入力側と出力側に流れる電流が同一であり、入力側インピーダンスは低く、出力側インピーダンスが高いことから、入出力間で電圧が昇圧されることとなる。
【０００４】
ところで、圧電トランスは、圧電体の圧電性によって弾性エネルギー（機械的エネルギー）を電気的エネルギーに変換させ、これによりエネルギーを伝達しようとしたものであり、エネルギー変換効率は電気機械結合係数ｋで表される。そして、ローゼン型圧電トランスでは、通常、縦効果の電気機械結合係数ｋ３３に比べて著しく小さい横効果の電気機械結合係数ｋ３１を使用しなければならないため、励振効率が悪いという欠点があった。
【０００５】
そこで、従来より、図１２に示すように、圧電セラミック円板１０１の径方向中心部分において厚み方向に相対向する複数の電極１０２を有する高インピーダンス部分１０３と、その外側に電極を有しない絶縁環状部分１０４、さらにその外側に厚み方向に相対向する複数の内部電極１０５ａ、１０５ｂを有する低インピーダンス部分１０６ａ、１０６ｂから構成された圧電トランスが提案されている（特許文献１）。
【０００６】
特許文献１では、分極方向が全て厚み方向とされ、しかも隣接する各層の分極方向は互いに逆方向とされているので、広がり振動モードで励振する場合、横効果の電気機械結合係数ｋ３１は縦効果の電気機械結合係数ｋ３３と略同等となり、励振効率が向上し、エネルギー変換効率の優れた圧電トランスを得ることが可能となる。
【０００７】
また、ローゼン型圧電トランスを改良したものとしては、図１３に示すように、圧電磁器板１１１の上下面に、その外周端縁を囲むように所定幅の導体層を形成して相対向する入力電極１１２を形成すると共に、前記圧電磁器板１１１のほぼ中心部分に貫通孔１１３を設け、その内側面に導体層を形成して出力電極１１４を形成し、かつ分極Ｐ１が厚み方向に施され、分極Ｐ２が外周より中心方向に施された圧電トランスも提案されている（特許文献２）。
【０００８】
特許文献２では、圧電磁器板１１１の中心部分に出力電極１１４を形成すると共に、その外周端面の上下に入力電極１１２を形成しているので、入力電極１１２の静電容量を大きくすることができ、したがって入力電極１１２への印加電圧を大きくしなくとも効率の良い電力供給を行うことができる。しかも、貫通孔１１３の孔径を変えることにより、出力電圧と入力電圧との静電容量比、すなわち昇圧比の変更を容易に行なうことが可能となる。
【０００９】
【特許文献１】特許第２６６６５６２号明細書
【特許文献２】特開平１１−１５０３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、圧電トランスの昇圧比は、入力側と出力側のインピーダンス比によって決定され、例えば、入力側のみを積層化して低インピーダンスとすることにより、出力側からは高い出力電圧を得ることができる。
【００１１】
そして、高出力が要求される場合は出力側のインピーダンスも低くする必要があり、このため出力側も積層化して昇圧比のみならず、出力インピーダンスも制御できるようにするのが望ましいと考えられる。
【００１２】
しかしながら、特許文献１では、圧電セラミック円板１０１の中心部分に出力電極１０２を形成し、該出力電極１０２の外方に入力電極１０５ａ、１０５ｂを形成しているため、図１２に示すように、入力電極１０５ａ、１０５ｂの積層化は容易であるが、出力電極１０２を積層化するためには、出力電極間をビアホール等で接続しなければならず、構造が複雑化するという問題点がある。
【００１３】
また、特許文献２（図１３）は、ローゼン型圧電トランスを改良したものであり、入力側は圧電磁器板１１１の厚み方向に分極されているが出力側は長さ方向に分極されており、このため厚み方向である入力側は積層化できても出力側を積層化することはできず、したがって出力インピーダンスを所望値に制御するのは困難である。
【００１４】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、入力側及び出力側の双方を積層化することにより、所望の昇圧比又は降圧比、及び所望の入出力インピーダンスを容易に得ることができる圧電トランスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために本発明に係る圧電トランスは、厚み方向に分極された圧電体層が、分極方向が交互になるように電極パターンの異なる複数種の電極層のうちのいずれかの電極層を介して複数積層された積層構造からなり、前記電極層が、互いに電気的に絶縁された入力電極と出力電極とが同一平面上に形成された第１の電極層と、接地電極からなる第２の電極層とを有し、前記入力電極同士、前記出力電極同士、及び前記接地電極同士が積層方向に互いに電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１６】
また、本発明の圧電トランスは、前記電極層は、前記入力電極及び前記出力電極のうちのいずれか一方の電極が形成された第３の電極層を有していることを特徴としている。
【００１７】
さらに、本発明の圧電トランスは、前記入力電極、前記出力電極、及び接地電極の一部が前記圧電体層の端縁に露出すると共に、前記入力電極同士が第１の外部電極を介して互いに電気的に接続され、前記出力電極同士が第２の外部電極を介して互いに電気的に接続され、かつ前記接地電極同士が第３の外部電極を介して互いに接続されていることを特徴としている。
【００１８】
また、本発明の圧電トランスは、前記第１の電極層は、前記出力電極及び前記入力電極のうちのいずれか一方の電極が前記圧電体層表面の中央部に形成され、他方の電極は前記一方の電極の周辺部に形成されていることを特徴としている。
【００１９】
また、本発明の圧電トランスは、前記第１の電極層は、前記入力電極と前記出力電極との間の電極間距離が所定距離に制御されていることを特徴としている。
【００２０】
さらに、本発明の圧電トランスは、広がり振動モードを有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の圧電トランスによれば、厚み方向に分極された圧電体層が電極パターンの異なる複数種の電極層のうちのいずれかの電極層を介して複数積層された積層構造からなり、前記電極層が、互いに電気的に絶縁された入力電極と出力電極とが同一平面上に形成された第１の電極層と、接地電極からなる第２の電極層とを有し、前記入力電極同士、前記出力電極同士、及び前記接地電極同士が積層方向に互いに電気的に接続されているので、圧電体層が積層化されても入力電極及び出力電極は双方共、同一平面上に形成され、したがって所望の昇圧比又は降圧比を有し、所望の入出力インピーダンスを有する圧電トランスを容易に得ることができる。
【００２２】
また、本発明の圧電トランスは、前記電極層は、前記入力電極及び前記出力電極のうちのいずれか一方の電極が形成された第３の電極層を有しているので、入力電極及び出力電極の積層数を異ならせることができ、用途に応じた所望の昇圧比又は降圧比、及び入出力インピーダンスを有する圧電トランスを得ることが容易に可能となる。
【００２３】
また、本発明の圧電トランスは、前記入力電極と前記出力電極との間の電極間距離が、所定距離に制御されているので、共振特性にスプリアス振動分が重畳することもなく、所望の共振特性を有する圧電トランスを得ることが可能となる。
【００２４】
また、本発明の圧電トランスは広がり振動モードを有しているので、入力電極及び出力電極が中心対称性を有していなくとも、所望の昇圧比又は降圧比、及び入出力インピーダンスを有する共振特性の優れた圧電トランスを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づき詳説する。
【００２６】
図１は、本発明に係る圧電トランスの一実施の形態を示す斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
【００２７】
図１及び図２において、圧電トランス１は、第１の圧電体層２ａの表面に第１の電極層３ａを介して第２の圧電体層４が積層され、該第２の圧電体層４の表面には第２の電極層５ｂを介して第１の圧電体層２ｂが積層され、また第１の圧電体層２ｂの表面には第１の電極層３ｂが形成されると共に、第１の圧電体層２ａの裏面には第２の電極層５ａが形成されている。
【００２８】
第１の電極層３ａ、３ｂは、互いに電気的に絶縁された入力電極６ａ、６ｂと出力電極７ａ、７ｂとを有し、入力電極６ａと入力電極６ｂとは第１の外部電極８を介して電気的に接続され、出力電極７ａと出力電極７ｂとは第２の外部電極９を介して電気的に接続されている。また、入力電極６ａ、６ｂは入力端子１０に接続され、出力電極７ａ、７ｂは出力端子１１に接続されている。
【００２９】
第２の電極層５ａ、５ｂは接地電極１２ａ、１２ｂを構成し、接地電極１２ａと接地電極１２ｂとは第３の外部電極１３を介して電気的に接続され、接地電極１２ａ、１２ｂは接地端子４０に接続されている。
【００３０】
また、第１の圧電体層２ａ、２ｂは矢印Ｂ方向に分極され、第２の圧電体層４は矢印Ｃ方向に分極され、広がり振動モードによりエネルギーが伝達されるように構成されている。
【００３１】
図３は第１の圧電体層２（２ａ、２ｂ）と第１及び第２の電極層３（３ａ、３ｂ）、５（５ａ、５ｂ）の形状を模式的に示した斜視図であり、図４はその平面図、図５はその底面図である。
【００３２】
図３及び図４に示すように、第１の圧電体層２は円板状に形成されると共に、該第１の圧電体層２の表面には一端が中央部端縁に露出するように短冊状の出力電極７が形成され、さらに該出力電極７を取り囲むような形態で前記出力電極７を除く略全域に入力電極６が形成されている。すなわち、入力電極６と出力電極７とは電極間距離ｔを有して第１の電極層３を形成し、第１の圧電体層２の表面に積層されている。
【００３３】
ここで、電極間距離ｔが過度に大きくなるとスプリアス振動分が共振特性と重畳するおそれがあるため、電極間距離ｔは共振特性にスプリアス振動分が重畳しないような所定距離（例えば、１．５ｍｍ以下）に設定される。
【００３４】
尚、図４に示すように、第１の圧電体層２の表面周縁部の所定域には、第１の電極層３が形成されていない半円状の第１の非導電部１４が設けられている。
【００３５】
また、図３及び図５に示すように、第１の圧電体層２の裏面略全域には第２の電極層５を構成する接地電極１２が形成され、かつ裏面周縁部の所定域には第２の電極層５が形成されていない半円状の第２及び第３の非導電部１５、１６が設けられている。
【００３６】
また、第２の圧電体層４は、図６に示すように、第１の圧電体層２と同一の外径寸法を有する円板状に形成されている。
【００３７】
このように第１〜第３の非導電部１４〜１６が第１の圧電体層２に設けられたことにより、入力電極６、出力電極７、及び接地電極１２が相互に導通状態とならないようにされている。
【００３８】
すなわち、図１及び図２に示すように、入力電極６ａと入力電極６ｂとが第１の外部電極８を介して電気的に接続されても、第１の圧電体層２ｂの裏面に形成された第２の非導電部１５ｂにより、接地電極１２ａ、１２ｂが入力電極６ａ、６ｂと電気的に接続されるのを回避することができ、短絡を防止することができる。
【００３９】
同様に、出力電極７ａと出力電極７ｂとが第２の外部電極９を介して電気的に接続されても、第１の圧電体層２ｂの裏面に形成された第３の非導電部１６により、出力電極７ａ、７ｂが接地電極１２ａ、１２ｂと電気的に接続されるのを回避することができ、接地電極１２ａと接地電極１２ｂとが第３の外部電極１３を介して電気的に接続されても、第１の圧電体層２ｂの表面に形成された第１の非導電部１４ｂにより、入力電極６ａ、６ｂが接地電極１２ａ、１２ｂと電気的に接続されるのを回避することができる。
【００４０】
このように本実施の形態の圧電トランスは、矢印Ｂ方向に分極された第１の圧電体層２ａの表面には第１の電極層３ａを介して矢印Ｃ方向に分極された第２の圧電体層４が積層され、該第２の圧電体層４の表面には第２の電極層５ｂを介して第１の圧電体層２ｂが積層され、また第１の圧電体層２ｂの表面には第１の電極層３ｂが形成されると共に、第１の圧電体層２ａの裏面には第２の電極層５ａが形成され、さらに、第１の電極層３ａ、３ｂは、互いに電気的に絶縁された入力電極６ａ、６ｂと出力電極７ａ、７ｂとを有し、入力電極６ａと入力電極６ｂとは第１の外部電極８を介して電気的に接続され、出力電極７ａと出力電極７ｂとは第２の外部電極９を介して電気的に接続されているので、入力電極６ａ、６ｂ及び出力電極７ａ、７ｂの双方共積層構造とされた圧電トランスを得ることができ、所望の昇圧比及び所望の入出力インピーダンスを有する圧電トランスを容易に得ることができる。
【００４１】
また、入力電極６ａ、６ｂと出力電極７ａ、７ｂとの電極間距離ｔもスプリアス振動分が共振特性と重畳しないような所定距離に制御されているので、入力電極及び出力電極が中心対称性を有していなくとも、共振特性の優れた広がり振動モードの圧電トランスを得ることができる。
【００４２】
しかも入力電極６ａ、６ｂ、出力電極７ａ、７ｂ、及び接地電極１２ａ、１２ｂ間は非導電部１４〜１６を設けることにより相互に導通状態とならないようにしているので、これら入力電極６ａ、６ｂ、出力電極７ａ、７ｂ、及び接地電極１２ａ、１２ｂ間で短絡が生じることもない。
【００４３】
図７は本発明の圧電トランスの第２の実施の形態を示す断面図であって、本第２の実施の形態では、第１の圧電体層２（２ａ〜２ｎ）と第２の圧電体層４（４ａ〜４ｍ）とが第１の電極層３（３ａ〜３ｍ）又は第２の電極層５（５ｂ〜５ｎ）を介して多数積層され、第１の実施の形態と同様、第１の電極層３（３ａ〜３ｎ）は，互いに電気的に絶縁された入力電極６（６ａ〜６ｎ）と出力電極７（７ａ〜７ｎ）とを有し、第２の電極層５（５ａ〜５ｎ）は接地電極１２（１２ａ〜１２ｎ）を構成している。そして、入力電極６同士は第１の外部電極１７を介して相互に接続され、出力電極７同士は不図示の第２の外部電極を介して相互に接続され、接地電極１２同士は第３の外部電極１８を介して相互に接続されている。
【００４４】
このように入力電極及び出力電極の双方を多層化することができ、所望の入出力インピーダンスを有する圧電トランスを容易に得ることができる。
【００４５】
図８は本発明の圧電トランスの第３の実施の形態を示す断面図であって、本第３の実施の形態では、最上層及び最下層の第１の圧電体層２ａ、２ｎの表面にのみ第１の電極層３（３ａ、３ｂ）が形成され、その他の第１の圧電体層２と第２の圧電体層４の間には、入力電極１９（１９ａ、１９ｂ…）のみが形成され出力電極が形成されていない第３の電極層２０（２０ａ、２０ｂ…）が介装されている。入力電極６、１９同士は第１の外部電極２１を介して電気的に接続され、出力電極７同士は不図示の第２の外部電極を介して電気的に接続され、接地電極１２同士は第３の外部電極２２を介して電気的に接続されている。
【００４６】
第３の電極層２０は、具体的には図９に示すように、第１の圧電体層２の表面中央部を除く略全域に入力電極２３が形成され、また、第１の圧電体層２の所定域には非導電部２４、２５が形成され、さらに、第１の圧電体層２の裏面略全域には、第１の実施の形態（図５参照）と同様、接地電極１２が形成されると共に周縁部の所定域には非導電部２６、２７が形成されている。
【００４７】
このように本第３の実施の形態では、最上層及び最下層の第１の圧電体層２ａ、２ｎの表面にのみ第１の電極層３ａ、３ｂが形成され、その他の第１の圧電体層２と第２の圧電体層４の間には、入力電極１９ａ、１９ｂ…のみが形成され出力電極が形成されていない第３の電極層２０ａ、２０ｂ…を介装させることにより、入力電極６、１９と出力電極７との積層数を異ならせており、これにより昇圧比や入出力インピーダンスを自在に制御することが可能となる。
【００４８】
図１０は本発明の圧電トランスの第４の実施の形態を示す断面図であって、本第４の実施の形態では、圧電体層（第１及び第２の圧電体層２８、２９）が角型形状に形成されている。
【００４９】
すなわち、第４の実施の形態は、第１の実施の形態と同様、第１の圧電体層２８の表面に第１の電極層４１（入力電極３０及び出力電極３１）が形成され、第１の圧電体層２８の裏面に第２の電極層３２（接地電極３３）が形成され、入力電極３０同士は第１の外部電極３４を介して接続され、出力電極３１同士は第２の外部電極３５を介して接続され、接地電極３３同士は第３の外部電極３６を介して接続されている。
【００５０】
このように第１及び第２の圧電体層２８、２９を角型形状とした場合であっても、第１〜第３の実施の形態と同様、入力電極３０及び出力電極３１の双方共、積層化することができ、所望の昇圧比及び入出力インピーダンスを有する圧電トランスを容易に得ることができる。
【００５１】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。上記第１〜第４の実施の形態では、昇圧する場合について述べたが、入力側と出力側とを入れ替えることにより、同様に所望の降圧比を有する圧電トランスを容易に得ることができる。
【００５２】
また、上記第３の実施の形態では、入力電極のみが形成された第３の電極層を第１の圧電体層と第２の圧電体層との間に介装しているが、出力電極のみが形成された電極層を適宜介装するのも好ましく、入力電極及び出力電極が任意の積層数を有することにより、所望の昇圧比又は降圧比、及び入出力インピーダンスを有する圧電トランスを容易に得ることができる。
【００５３】
また、上記実施の形態では、広がり振動モードを有する圧電トランスについて説明したが、他の振動モードの場合も同様に適用できる。
【００５４】
次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
【実施例】
【００５５】
まず、第１及び第２の圧電体層を構成する圧電セラミックス素体を作製した。
【００５６】
すなわち、Ｐｂ（Ｍｎ，Ｎｂ）Ｏ３を５重量％含有した組成相境界（ＭＰＢ）近傍のＰＺＴ系圧電セラミック材料を、所定の酸化物原料を混合させて固相反応を生じさせ合成した。次いで、バインダ含有量が２重量％となるように前記圧電セラミック材料にバインダを添加し、造粒した後プレス成形を施し、次いで温度１２５０℃で２時間焼成し、直径１４ｍｍ、厚み０．６ｍｍの円板形状の圧電セラミック素体を作製した。
【００５７】
次いで、Ａｇを主成分とする導電性ペーストを用意し、圧電セラミック素体の表裏両面に前記導電性ペーストを塗布し、乾燥させて膜厚１０μｍの導電層を形成し、その後、印加電圧３ｋＶ／ｍｍ、温度８０℃で３０分間、圧電セラミック素体の厚み方向に分極処理を施した。
【００５８】
次に、入力電極、出力電極、及び接地電極に相当する部位をマスクし、表面露出した部位の導電層を溶剤で除去し、これにより、入力電極及び出力電極を有する第１の電極層が表面に形成され、かつ接地電極からなる第２の電極層が裏面に形成された第１の圧電体層を得た。
【００５９】
尚、出力電極は、表面中央領域に幅１．５ｍｍの短冊状となうように形成し、出力電極と入力電極との間の電極間距離ｔは１ｍｍとなるように形成した（図３参照）。
【００６０】
また、分極処理済みの圧電セラミック素体の表裏両面に形成された導電層を、溶剤を使用して全て除去し、第２の圧電体層を得た。
【００６１】
次いで、第２の圧電体層の表裏両面にエポキシ系接着剤を塗布し、第１の圧電体層と第２の圧電体層とで分極方向が逆方向となるように、第２の圧電体層を上下一対の第１の圧電体層で挟着し、さらに、入力電極同士、出力電極同士、及び接地電極同士が、電気的に接続されるように導電性ペーストを塗布した後、焼付けて第１〜第３の外部電極を形成し、これにより圧電トランスを作製した。
【００６２】
次に、ファンクションジェネレータを使用し、周波数を変えながら振幅１０Ｖの電圧を入力し、出力電圧をオシロスコープで測定することにより、負荷インピーダンスを１５ｋΩ、２７ｋΩ、１０ＭΩに設定したときの共振特性を測定した。
【００６３】
図１１はその測定結果を示している。横軸は周波数（ｋＨｚ）、縦軸は入力電圧Ｖinに対する出力電圧Ｖoutの比、すなわち昇圧比である。また図中、□印は負荷インピーダンスが１０ＭΩ、○印は負荷インピーダンスが２７ｋΩ、△印は負荷インピーダンスが１５ｋΩを示している。
【００６４】
この図１１に示すように、いずれの負荷インピーダンスにおいても周波数が約１７０ｋＨｚ付近で昇圧比がピークを有しており、良好な共振特性を有することが分かった。
【００６５】
尚、上記実施例では、プレス成形加工により圧電セラミック素体を作製しているが、所謂シート工法で圧電セラミック素体を作製してもよい。すなわち、セラミック素原料を湿式粉砕等してセラミックスラリーを作製し、その後ドクターブレード法等でセラミックスラリーに成形加工を施してセラミックグリーンシートを作製し、所定枚数のセラミックグリーンシートを積層した後、焼成処理を行うことにより圧電セラミック素体を作製しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明に係る圧電トランスの一実施の形態（第１の実施の形態）を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１に示す第１の圧電体層及び第１及び第２の電極層の形状を模式的に示した斜視図である。
【図４】図３の平面図である。
【図５】図３の底面図である。
【図６】図１に示す第２の圧電体層の斜視図である。
【図７】圧電トランスの第２の実施の形態を示す断面図である。
【図８】圧電トランスの第３の実施の形態を示す断面図である。
【図９】第３の実施の形態における第１の圧電体層及び第１及び第２の電極層の形状を模式的に示した斜視図である。
【図１０】圧電トランスの第４の実施の形態を示す断面図である。
【図１１】実施例における圧電トランスの共振特性を示す図である。
【図１２】特許文献１の圧電トランスの断面図である。
【図１３】特許文献２の圧電トランスの斜視図である。
【符号の説明】
【００６７】
２  第１の圧電体層
３  第１の電極層
４  第２の圧電体層
５  第２の電極層
６  入力電極
７  出力電極
８  第１の外部電極
９  第２の外部電極
１２  接地電極
１３  第３の外部電極
１７  第１の外部電極
１８  第３の外部電極
１９  入力電極
２０  第３の電極層
２１  第１の外部電極
２２  第３の外部電極
２８  第１の圧電体層
２９  第２の圧電体層
２９  第１の電極層
３０  入力電極
３１  出力電極
３２  第２の電極層
３３  接地電極
３４  第１の外部電極
３５  第２の外部電極
３６  第３の外部電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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