(57)【要約】      （修正有）【課題】  工程間搬送経路を経由して、異なる工程の処理装置間で直接に物品を搬送でき、搬送時間も短く、かつ工程内搬送経路と工程間搬送経路の間のストッカを不要にすることが可能な天井走行車システムを提供する。【解決手段】  処理装置１６のロードポート２６ａから処理装置２０のロードポート２６ｂへ物品を搬送する。各ロードポート２６に対応して天井バッファ２８を設け、天井走行車１４は、ロードポート２６との間でも、また天井バッファ２８との間でも、物品を受け渡し自在にする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井走行車が、各々走行レールを備えた、第１の工程内搬送経路から工程間搬送経路を介して第２の工程内搬送経路へ走行して、工程内搬送用の走行レールの下方に設けた処理装置のロードポート間で物品を搬送するようにしたシステムにおいて、
前記走行レールの側方に天井バッファを設けると共に、前記天井走行車に該天井バッファとの間で物品を受け渡すための、受け渡し手段を設けたことを特徴とする、天井走行車システム。
【請求項２】
前記受け渡し手段が、ロードポート上と天井バッファ上との間で、昇降台を移動させるための手段であることを特徴とする、請求項１の天井走行車システム。  
【請求項３】
走行レールの走行方向に関して前記ロードポートとほぼ同じ位置に、前記天井バッファを配置したことを特徴とする、請求項１または２の天井走行車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は天井走行車システムに関し、特に異なる工程間での物品のダイレクト搬送に関する。
【背景技術】
【０００２】
天井走行車システムでは、クリーンルームなどの天井付近に設置した走行レールを用いて天井走行車を走行させて、物品を搬送する。ところで大規模なシステムでは、搬送経路は工程内搬送経路（イントラベイルート）と工程間搬送経路（インターベイルート）とに分割されている。そして１つの工程間搬送経路に複数の工程内搬送経路が接続されている。通常のシステムでは、工程内搬送経路と工程間搬送経路との境界にストッカを配置して、処理装置からストッカまでと、ストッカから工程間搬送経路を経て搬送先の工程内搬送経路との境界のストッカまで、及びこのストッカから搬送先の処理装置のロードポートまでに、搬送作業を分割している。これでは多数のストッカが必要で、また途中でストッカでの一時保管を繰り返すので、搬送に要する時間も長い。これに対して特許文献１は、１つの工程内搬送経路に面した処理装置から他の工程内搬送経路に面した処理装置まで、物品を直接搬送することを提案している。しかしながら搬送先のロードポートが塞がっている可能性が搬送に制約を与える。例えば、搬送先のロードポートが現時点では塞がっている場合、割り付け可能な天井走行車に物品の搬送を割り付けた場合に、天井走行車の到着までにロードポートが空くかどうかを予測するのは難しい。またロードポートが長時間空かない場合、物品の搬送が遅くなる。
【特許文献１】特許第３５０８１３０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、搬送先のロードポートが塞がっている可能性による制約を実質的に受けずに、短時間で工程間搬送ができ、しかも工程内搬送経路と工程間搬送経路の間の受け渡し用のストッカを不要にすることが可能な天井走行車システムを提供することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、天井バッファにコンベヤ等を設けなくても、天井走行車を用いて天井バッファとロードポートとの間で物品の受け渡しができるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、ロードポートと天井バッファ間の物品の受け渡しを容易にし、かつロードポートへの停止制御機構を天井バッファへの停止制御に兼用できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明の天井走行車走行車システムは、天井走行車が、各々走行レールを備えた、第１の工程内搬送経路から工程間搬送経路を介して第２の工程内搬送経路へ走行して、工程内搬送用の走行レールの下方に設けた処理装置のロードポート間で物品を搬送するようにしたシステムにおいて、前記走行レールの側方に天井バッファを設けると共に、前記天井走行車に該天井バッファとの間で物品を受け渡すための、受け渡し手段を設けたことを特徴とする。なお処理装置は広義に解し、搬送する物品を加工する装置（狭義の処理装置）の他に、物品の検査装置などを含む。また天井バッファは、クリーンルームなどの建屋内の天井付近にあるバッファを意味し、必ずしも天井で支持されているバッファとの意味ではない。
【０００５】
好ましくは、前記受け渡し手段を、ロードポート上と天井バッファ上との間で、昇降台を移動させるための手段とする。受け渡し手段は、好ましくは昇降台を走行レールの側方に横移動させるための手段と、昇降台を昇降させる手段とで構成する。
【０００６】
また好ましくは、走行レールの走行方向に関して、前記ロードポートとほぼ同じ位置に前記天井バッファを配置する。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の天井走行車システムでは、第１の工程内搬送経路に面した処理装置から、工程間搬送経路を経て、第２の工程内搬送経路に面した処理装置へ直接物品を搬送できる。仮に搬送先のロードポートが塞がっている場合、その付近の天井バッファに物品を仮置きすれば良く、搬送先のロードポートが塞がっているため物品を搬送できないとの問題をほぼ解消できる。また天井走行車への搬送作業の割り付けでは、搬送先のロードポートか天井バッファへほぼ確実に物品を受け渡すことができるため、空きの天井走行車があれば搬送作業を割り付け可能である。さらに搬送元の処理装置側では、搬送待ちの物品を天井バッファに仮置きして、ロードポートが塞がることを防止したり、天井バッファの物品よりも先にロードポートの物品を搬送して、搬送順序を変更するなどのことができる。またこの発明では、工程内搬送経路と工程間搬送経路との境界のストッカなどを不要にすることが可能となる。
【０００８】
請求項２の発明では、天井走行車の受け渡し手段で、天井バッファとロードポートとの間で物品を受け渡しできるので、天井バッファにロードポートとの物品の受け渡し用のコンベヤなどを設ける必要がない。
【０００９】
請求項３の発明では、走行レールの走行方向に沿った位置でロードポートとほぼ同じ位置に、天井バッファを配置し、例えばロードポートと向かい合うように天井バッファを配置する。このためロードポートへの天井走行車の停止制御用のドッグ（マーク）などを天井バッファへの停止制御に兼用でき、走行レールなどへのドッグの取り付け作業が簡単になる。また天井バッファとロードポート間の受け渡しでは、天井走行車を走行させる必要がないか、あるいは走行させても僅かの走行距離でよい。このため天井バッファとロードポート間の受け渡しが容易になる。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図９に、実施例との変形を示す。図において、２は天井走行車システムで、クリーンルームなどに設置され、半導体基板や液晶基板などを工程内及び工程間で搬送する。４は走行レールで、工程内搬送用のイントラベイルート６，７と、工程間搬送用のインターベイルート８とに区分され、走行方向は一方通行である。インターベイルート８にはショートカット（短縮路）１０が設けられ、イントラベイルート６，７とインターベイルート８は合流部１２や分岐部１３で接続されている。図１では２つのイントラベイルート６，７を示したが、実際にはより多数のイントラベイルートがインターベイルート８に接続されている。以下、イントラベイルート６，７やインターベイルート８をまとめて、ルート６〜８ということがある。
【００１２】
搬送制御用のコントローラ９の指令により、例えば複数台の天井走行車１４がルート６〜８を走行し、半導体処理装置や液晶処理装置あるいはこれらの検査装置などの処理装置１６〜２３間で、例えばカセット２４の単位で物品を搬送する。処理装置１６〜２３には各１個所〜複数個所にロードポート２６が、走行レールの下方に設けられ、カセット２４の出し入れを行う。またロードポート２６に対応して、例えば走行レール４の走行方向に関してロードポート２６とほぼ同じ位置で、かつ処理装置１６〜２３から見て走行レール４の向かい側などに、天井バッファ２８を設けて、カセット２４を仮置きできるようにする。なお天井バッファ２８は走行レール４の側方に設け、必ずしも処理装置１６〜２３の向かい側に設ける必要はない。そして好ましくは、各ロードポート２６に対して、走行レール４の走行方向に関して同じ位置で、天井バッファ２８との間で物品を受け渡しできるようにする。
【００１３】
図１の、イントラベイルート６に面した処理装置１６のロードポート２６ａから、インターベイルート８を経て、イントラベイルート７に面した処理装置２０のロードポート２６ｂへカセットを搬送するとする。天井バッファ２８を設けずに、ロードポート２６ａからロードポート２６ｂへ直接カセットを搬送すると、ロードポート２６ｂが荷下ろし可能でない場合、カセットを搬送してきた天井走行車１４が、イントラベイルート７を例えば周回しながら待機することになる。そしてイントラベイルート６からイントラベイルート７への長距離搬送で、天井走行車が到着した際のロードポート２６ｂの状態を予測するのは難しく、例えば前のカセットの到着が遅れたなどの理由で、後続のカセットを搬送してきた天井走行車が到着した際に、ロードポート２６ｂが荷下ろし不能のことがある。
【００１４】
従来例では、搬送効率の低下を防止するため、ロードポート２６ａからロードポート２６ｂへの直接搬送を行わない。そしてイントラベイルート６とインターベイルート８の境界の合流部１２や分岐部１３に図示しないストッカ（自動倉庫）を配置し、同様にインターベイルート８とイントラベイルート７の境界の合流部１２や分岐部１３にもストッカを配置する。カセットの搬送を、
・  ロードポート２６ａからイントラベイルート６の出口側のストッカまでと、
・  このストッカからイントラベイルート７の入口側のストッカまで、
・  及びこのストッカからロードポート２６ｂまで、
の３つの搬送作業に分割し、ロードポート２６ｂが空いて荷下ろし可能になると、イントラベイルート７の入口側のストッカからカセットを搬送する。しかしながらこの従来例では多数のストッカが必要で、しかも１つの搬送作業を複数に分割して実行するため、搬送時間が長くなる。
【００１５】
実施例では、ロードポート２６ａからロードポート２６ｂへ直接カセットを搬送したり、あるいはロードポート２６ｂが塞がっている場合、その向かい側の天井バッファ２８へカセットを搬送できる。ロードポート２６ｂとその向かい側の天井バッファが共に塞がっている場合は少ないので、ロードポート２６ａへカセットが出されると、ロードポート２６ｂが塞がっていても天井走行車１４でカセットの搬送を開始し、ロードポート２６ｂかその向かい側の天井バッファに荷下ろしすればよい。天井バッファにカセットを荷下ろしした場合、ロードポート２６ｂが荷下ろし可能になるのを待って、天井バッファからロードポート２６ｂへカセットを受け渡しする。天井バッファはロードポートと走行レールに沿って同じ位置にあるので、空きの天井走行車をこれらに面した位置に停止させて、天井バッファからカセットをピックアップしてロードポートへ受け渡しできる。
【００１６】
搬送元のロードポート２６ａのカセットに対して、天井走行車１４を長距離搬送用に割り付けられないような場合、ロードポート２６ａが塞がるのを防止するため、例えば空の天井走行車１４が通過する際に、ロードポート２６ａからその向かい側の天井バッファへカセットを受け渡ししておく。するとカセットを搬送する天井走行車が到着するまでの間、ロードポート２６ａが塞がるのを防止できる。また後から出すカセットを先に搬送するために、先に出したカセットを天井バッファに仮置きして、搬送の順序を変更できる。
【００１７】
図２に、実施例でのベイ間の搬送手順を示す。搬送元側の処理装置でロードポートへカセットを受け渡しすると、搬送先のロードポート側へ天井走行車でインターベイルートなどを経由して搬送する。搬送用の天井走行車を割り付けられない場合や、カセットの搬送順序を変更する場合、搬送元側の天井バッファにカセットを仮置きしておく。搬送先のロードポートが荷下ろし可能であれば、到着した天井走行車からロードポートへ直接カセットを荷下ろしする。そうでない場合、搬送先のロードポートと走行レールに関して同じ位置の天井バッファへカセットを仮置きし、搬送に用いた天井走行車は次の搬送作業を割り付ける。そして搬送先のロードポートが荷下ろし可能になると、空の天井走行車が通過した際に、天井バッファからロードポートへカセットを受け渡しする。
【００１８】
図３〜図８を参照して、天井走行車１４の構造や天井バッファ２８の構造や取り付けなどを説明する。走行レール４は天井３５から吊り下げボルト３７などにより支持され、下部には給電レール３６を一体に取り付けている。天井走行車１４は走行レール４内を走行する走行駆動部４０と、給電レール３６から例えば非接触給電により給電を受ける非接触給電部４２を備えている。なお給電レール３６には、天井走行車１４とコントローラ９間の通信線並びにロードポート２６に対する停止制御用のドッグなどが配置され、非接触給電部４２には、非接触給電用のコイルの他に、コントローラとの通信線に対して信号を送受信する送受信部、並びにドッグを検出するためのセンサが設けられている。
【００１９】
４４は横送り部で、昇降駆動部４６並びに昇降台４８を、走行レール４の側方へ移動させる。横移動の方向は走行レールの左右両側でも良いが、実施例では処理装置１６等の反対側（図３の左側）の１方向である。横送り部４４は走行レールの片方の側方に対して、昇降駆動部４６と昇降台４８とを進退させる。天井走行車１４の横送り部４４には、図４に示すように、例えば一対のリニアガイド６４で昇降駆動部をガイドし、ラテラルドライブ６５で走行レール４の側方に進退させる。落下防止体５０を天井走行車１４の例えば前後に設けて、搬送物品の例としてのカセット２４が走行中の振動などにより、昇降台４８から落下するのを防止する。カセット２４は半導体基板などを収容し、昇降台４８はカセット２４の上面から突き出したフランジなどをチャックして支持する。
【００２０】
天井バッファ２８は、走行レール４の片方の側方で、例えば処理装置１６等の反対側に設ける。天井バッファ２８には落下防止柵５６を設けて、カセット２４が落下するのを防止し、ここでは落下防止柵５６は天井バッファ２８の４周に同じ高さに配置したように示したが、例えば天井走行車１４側を低く、その反対側を高くしてもよい。天井バッファ２８は例えば一対の平行なパイプ状の支持体５８で支持し、支持体５８の両端に端部板３３などを設けて、吊り下げボルト６０などで例えば天井３５から吊り下げる。６１は天井バッファ２８に設けた位置決めピンで、カセット２４の底面の凹部に嵌り合って、カセット２４を位置決めする。
【００２１】
落下防止手段は、落下防止柵５６と位置決めピン６１とからなり、落下防止柵５６は位置決めピン６１よりも高く天井バッファから上に突き出しているので、落下防止柵５６の天井走行車１４寄りの部分の高さが、落下防止手段の頂部の高さとなる。なお落下防止柵５６を設けない場合、位置決めピン６１の高さが、落下防止手段の頂部の高さとなる。天井バッファ２８には、天井３５から下向きに床面３９へ向けて吹き出すクリーンエアの流れを遮断しないために、開口６２を設ける。さらに好ましくは天井バッファ２８の材質を透明なプラスチックとして、カセット２４の有無を簡単に目視できるようにする。
【００２２】
処理装置１６等にはコンベヤなどを備えたロードポート２６を設け、８４はカセット２４を処理装置１６等の内部に出し入れするための出入口である。ここでは、端部板６３を吊り下げボルト６０で天井３５から支えたが、鎖線で示す支柱７８により処理装置１６等により支持しても良い。
【００２３】
各部分の高さについて説明すると、走行中の天井走行車１４でのカセット２４の底面の高さＨ1は、例えば２５００〜３０００mm程度、ロードポート２６の高さＨ2は例えば８００〜１０００mm程度で、人がロードポート２６にカセット２４を搬出入できるようにしてある。天井バッファ２８の高さＨ3は人と干渉しない高さとすることが好ましく、例えば２０００mm以上の高さとする。落下防止柵５６の天井走行車１４寄りの面の頂部と、走行中の天井走行車１４でのカセット２４の底面との高さの差Ｄは、例えば３０〜３００mm程度とし、ここでは１００mmとする。
【００２４】
図４に示すように、天井バッファ２８は平面視でロードポート２６と走行レール４での走行方向に関して同じ位置に設け、ロードポート２６は走行レール４の直下にあり、天井バッファ２８は走行レール４から見て処理装置１６等の反対側で、ロードポート２６よりも高い位置にある。天井走行車１４の走行方向に沿って、走行レール４の左右両側に平面視で同じ位置にロードポート２６と天井バッファ２８とを設けることが好ましく、これらの位置の差（天井走行車の走行方向に沿った位置の差で、シフトと呼ぶ）は、例えば３００mm以下とする。走行レール４の下部の給電レールにドッグ（天井走行車の制御用のマーク）を設け、ドッグ７５はロードポート２６よりも走行方向上流側に設けたロードポートの予告用のドッグで、ドッグ７６は停止制御用のドッグである。なお２つのドッグ７５，７６のうち一方のみを設けても良い。そして実施例では、走行レール４の走行方向に沿っての天井バッファ２８の位置は、ロードポート２６の位置と同じで、ロードポート２６に対して天井走行車１４が停止すると、そのまま天井バッファ２８に対しても正しい位置で停止できる。
【００２５】
取り付け上の都合などで、天井走行車１４の走行方向に沿って、天井バッファ２８をロードポート２６と同じ位置に設置できない場合、例えばロードポート２６から天井走行車の走行方向に沿って５〜３０cm程度の範囲で、例えば走行方向前方にシフトさせて配置しても良い。この場合、天井バッファ２８に停止するためには、天井走行車１４はドッグ７５，７６から求めたロードポート用の停止位置から、所定距離だけ前方にシフト分ずらせた位置に停止すればよい。また天井バッファ２８を、ロードポート２６よりも天井走行車の走行方向手前側（上流側）にシフトさせる場合、手前側のドッグ７５を用いて停止制御を行えばよい。
【００２６】
図５は、天井バッファ２８へカセット２４を受け渡し中の状態を示す。昇降台４８はベルトやロープ、帯板などの吊持材６６により昇降駆動部４６により支持され、吊持材６６の繰り出し／巻き取りにより、昇降台４８が昇降する。６７はタイミングベルトなどのエンドレスのベルトで、ベルト６７のループの上側を固定部６８で横送り部４４に固定してある。またベルト６７のループの下側は、固定部６９で昇降駆動部４６に固定してある。７０，７１は一対のスプロケット（ギア）で、７２はボールネジ、７３はボールネジ駆動機構、７４はフレームである。そしてボールネジ７２を回転させてフレーム７４を図５の左右方向に移動させると、固定部６９はフレーム７４の２倍のストロークで左右動する。なおこれ以外に、昇降駆動部４６はリニアガイドなどにより左右動をガイドされている。昇降駆動部４６の横送りの機構は任意である。
【００２７】
図６〜図８に、天井走行車の停止制御や、天井バッファあるいはロードポートとの物品の受け渡しを示す。ロードポートに天井走行車が停止する場合、ドッグの検出信号に従って停止制御を行えばよい。実施例では、天井走行車の走行方向に沿って、天井バッファはロードポートと同じ位置にあるので、ロードポートに停止する際と同じ制御をすれば、天井バッファに対しても正しい位置に停止できる。なお天井バッファがロードポートに対してシフトしている場合、シフトに応じて停止位置を変更すればよい。
【００２８】
天井走行車と天井バッファ間の物品の受け渡し（図７）では、横送り部のラテラルドライブを用いて、昇降駆動部を天井バッファ側へと前進させ、昇降台を下降させる。ラテラルドライブを前後進させる間、物品の底面は天井バッファの落下防止柵や位置決めピンよりもやや高い位置にあるので、これらと干渉することはない。そして昇降台を下降させ、例えば天井バッファへカセットを荷下ろしする場合、位置決めピンでガイドして受け渡しすればよい。そして天井バッファに受け渡しされたカセットは、位置決めピンと落下防止柵により、地震時などに強い力が加わっても落下しないようにする。受け渡しを終了すると、昇降台を上昇させ、ラテラルドライブを後退させればよい。この間に昇降台を下降／上昇させるストロークは僅かで良く、受け渡しに要する時間も短い。
【００２９】
図８に天井バッファからロードポートへの受け渡しを示す。実施例では、天井バッファとロードポートは、天井走行車の走行方向に沿った位置が同じなので、受け渡しの間に天井走行車が走行する必要がない。天井バッファからロードポートへカセットを受け渡しする場合、ラテラルドライブを天井バッファ側へ前進させ、昇降台を下降して天井バッファから昇降台にカセットを受け渡しする。このステップをステップｃとする。次いで昇降台を上昇させ、ラテラルドライブを後退させる。仮に天井バッファとロードポートの間に、走行方向に沿った位置のシフトがある場合、シフト分だけ天井走行車を走行させる。天井走行車の直下にロードポートがあるので、昇降台を下降させ、カセットをロードポートへ受け渡しする。このステップをステップｃ’とする。次いで昇降台を上昇させると、受け渡しが完了する。
【００３０】
ロードポートから天井バッファへ受け渡しする場合、図８の後半の３ステップと、前半の５ステップの順序を反転して行えば良く、ここでステップｃ’のロードポートへの受け渡しでは、ロードポートから昇降台へカセットを受け渡しする。またステップｃの天井バッファから昇降台へのカセットの受け渡しに代えて、昇降台から天井バッファにカセットを受け渡しする。
【００３１】
図９に変形例の天井走行車システム７２を示す。図１〜図８と同じ符号は同じものを表し、図１〜図８の実施例に関する記載は、特に断らない限り、変形例にもそのまま当てはまる。ただし天井走行車は、走行レール４の左右両側の天井バッファへカセットを横送りできるものとする。図９の変形例では、処理装置１６，１７間の隙間に、１カセット分あるいは複数カセット分の天井バッファ２８を設け、パイプなどの支持体９４により、例えば処理装置１６，１７から支持する。天井バッファ２８とロードポート２６は、天井走行車の停止位置が異なるので、天井バッファ２８への停止制御用にドッグ７５’，７６’を設ける。天井バッファ２８の高さ位置は図３と同様で、落下防止柵５６の頂部が天井走行車で搬送中のカセットの底面よりもやや低い高さとする。
【００３２】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  インターベイルートを経由して異なるイントラベイルート間で、処理装置から処理装置へ、直接カセットなどの物品を搬送できる。即ち、搬送先のロードポートが使用可能な場合は直接ロードポートへ荷下ろしし、搬送先のロードポートが塞がっている場合は、ロードポートに対応した天井バッファへ荷下ろしすればよい。
(2)  このためイントラベイルートとインターベイルートとの間のストッカなどが不要で、１つの長距離搬送作業を複数に分割しないので搬送時間も短い。また天井バッファとロードポートとの間の受け渡しは、空きの天井走行車が通りかかった時点で行えば良く、走行レールに沿った位置が同じなので、受け渡しの間に天井走行車が走行する必要はない。このため昇降台の横送りと昇降のみで短時間でカセットを受け渡しできる。
(3)  搬送元のロードポートから向かい側などの天井バッファへ、カセットなどの物品を仮置きしておくことにより、ロードポートが塞がることを防止でき、また物品間の搬送順序を変更できる。
(4)  ロードポートとロードポートとの間に天井バッファを設ける余地がない場合でも、天井バッファを増設できる。この結果、天井走行車システムの搬送効率を改善できる。
(5)  天井バッファは人と干渉しない高さに設けることができ、特に天井バッファの高さを、天井走行車で搬送中の物品の底面よりやや低い高さとすると、天井バッファの下側に広いスペースをとることができ、また天井バッファと天井走行車間の受け渡し時の、昇降台の昇降ストロークを短くできる。
(6)  天井バッファとロードポートを天井走行車の走行方向に沿ってほぼ同じ位置に配置すると、ロードポートへの停止制御用のドッグなどを用いて、天井バッファへの停止制御を行える。この結果、レールへのドッグの取付などを簡単にできる。またロードポートと天井バッファ間の受け渡し時の、天井走行車の走行を不要にし、あるいはこの間の走行距離を僅かにできる。
(7)  天井バッファに位置決めピンを設けると、天井バッファがカセットを荷下ろしする際にガイドでき、しかも落下防止に有効である。また落下防止柵を設けると、地震時の落下なども確実に防止できる。
(8)  天井バッファに開口を設けると、クリーンエアの流れを遮断することがない。
(9)  天井バッファの材質を透明にする、もしくは天井バッファに開口を設けると、カセットの有無を簡単に目視できる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施例の天井走行車システムのレイアウトを示す平面図
【図２】実施例の天井走行車システムでの、処理装置から処理装置への搬送手順を示す図
【図３】実施例の天井走行車システムでの、天井走行車と天井バッファを示す正面図
【図４】実施例の天井走行車システムでの、天井走行車の走行レールと天井バッファとを示す要部平面図
【図５】実施例での、天井走行車の横移動機構を模式的に示す図
【図６】実施例での、天井バッファへの停止制御を示すフローチャート
【図７】実施例での、天井走行車と天井バッファ間の受け渡し制御を示すフローチャート
【図８】実施例での、天井バッファからロードポートへの受け渡し制御を示すフローチャート
【図９】変形例での、天井走行車の走行レールと天井バッファとを示す要部平面図
【符号の説明】
【００３４】
２          天井走行車システム
４          走行レール
６，７      イントラベイルート
８          インターベイルート
９          コントローラ
１０        ショートカット
１２        合流部
１３        分岐部
１４        天井走行車
１６〜２３  処理装置
２４        カセット
２６        ロードポート
２８        天井バッファ
３５        天井
３６        給電レール
３７        吊り下げボルト
３９        床面
４０        走行駆動部
４２        非接触給電部
４４        横送り部
４６        昇降駆動部
４８        昇降台
５０        落下防止体
５６        落下防止柵
５８        支持体
６０        吊り下げボルト
６１        位置決めピン
６２        開口
６３        端部板
６４        リニアガイド
６５        ラテラルドライブ
６６        吊持材
６７        ベルト
６８，６９  固定部
７０，７１  スプロケット
７２        ボールネジ
７３        ボールネジ駆動機構
７４        フレーム
７５，７６  ドッグ
７８        支柱
８４        出入口
９２        天井走行車システム
９４        支持体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006051886.tif 000009
【図８】
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【図９】
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