(57)【要約】【課題】  本発明は、トランジスタ特性のばらつきを抑制して歩留まりを向上させることができる半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】  搬送室から成膜室に半導体基板を搬送するステップと、成膜室において、半導体基板の表面上に、少なくとも金属と酸素を含む第１の絶縁膜を形成するステップと、成膜室から搬送室を介して窒化処理室に半導体基板を搬送するステップと、窒化処理室において、第１の絶縁膜に窒素を導入して窒化することにより、少なくとも金属、酸素、窒素を含む第２の絶縁膜を形成するステップと、窒化処理室から搬送室を介して熱処理室に半導体基板を搬送するステップと、熱処理室において、第２の絶縁膜に所定の熱処理を行うステップと、熱処理室から搬送室に半導体基板を搬送するステップとを有し、少なくとも、窒化処理室から搬送室を介して熱処理室に半導体基板を搬送するステップを行う際には、搬送室を、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にすることを特徴とする。【選択図】  図１
2006128547.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送室から成膜室に半導体基板を搬送するステップと、
前記成膜室において、前記半導体基板の表面上に、少なくとも金属と酸素を含む第１の絶縁膜を形成するステップと、
前記成膜室から前記搬送室を介して窒化処理室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記窒化処理室において、前記第１の絶縁膜に窒素を導入して窒化することにより、少なくとも金属、酸素、窒素を含む第２の絶縁膜を形成するステップと、
前記窒化処理室から前記搬送室を介して熱処理室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記熱処理室において、前記第２の絶縁膜に所定の熱処理を行うステップと、
前記熱処理室から前記搬送室に前記半導体基板を搬送するステップと
を有し、
少なくとも、前記窒化処理室から前記搬送室を介して前記熱処理室に前記半導体基板を搬送するステップを行う際には、前記搬送室を、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にする
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記熱処理室から前記搬送室に前記半導体基板を搬送した後、前記搬送室からゲート絶縁膜／ゲート電極形成室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室において、前記第２の絶縁膜上にゲート電極材を堆積し成膜することにより、膜を形成するステップと
をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
半導体基板を収納した搬送ボックスを、成膜室に移動させ連結するステップと、
前記搬送ボックスから前記成膜室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記成膜室において、前記半導体基板の表面上に、少なくとも金属と酸素を含む第１の絶縁膜を形成するステップと、
前記成膜室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送するステップと、
前記半導体基板を収納した前記搬送ボックスを、窒化処理室に移動させ連結するステップと、
前記搬送ボックスから前記窒化処理室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記窒化処理室において、前記第１の絶縁膜に窒素を導入して窒化することにより、少なくとも金属、酸素、窒素を含む第２の絶縁膜を形成するステップと、
前記窒化処理室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送するステップと、
前記半導体基板を収納した前記搬送ボックスを、熱処理室に移動させ連結するステップと、
前記搬送ボックスから前記熱処理室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記熱処理室において、前記第２の絶縁膜に所定の熱処理を行うステップと、
前記熱処理室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送するステップと
を有し、
少なくとも、前記窒化処理室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送するステップと、前記半導体基板を収納した前記搬送ボックスを、前記熱処理室に移動させ連結するステップと、前記搬送ボックスから前記熱処理室に前記半導体基板を搬送するステップとを行う際には、前記搬送ボックスを、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にする
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記熱処理室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送した後、前記半導体基板を収納した前記搬送ボックスを、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室に移動させ連結するステップと、
前記ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室において、前記第２の絶縁膜上にゲート電極材を堆積し成膜することにより、膜を形成するステップと
をさらに備えることを特徴とする請求項３記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
半導体基板の所定領域上に選択的に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
前記半導体基板の表面部分において、前記ゲート電極の下方に位置するチャネル領域の両側にそれぞれ形成されたソース領域及びドレイン領域と
を有し、
前記ゲート絶縁膜における前記ゲート電極と接触する界面部分の炭素濃度は、５×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である
ことを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＭＯＳＦＥＴの微細化に伴って、ゲート絶縁膜の膜厚が薄くなっているため、ゲートリーク電流が増大するという問題が生じている。そこで、かかるゲートリーク電流を抑制するため、ゲート絶縁膜として、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）膜より比誘電率が高い高誘電率膜を適用することが提案されている。この高誘電率膜としては、例えば窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜などがある。
【０００３】
この窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜は、例えば半導体基板上にハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜を形成した後、当該ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜に窒素（Ｎ）を導入して窒化することにより形成される。
【０００４】
ところで、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜は、各原子間の結合力が弱いため、窒素（Ｎ）が導入されると、各原子を結合するための結合手が切断されることにより、多数の欠陥（穴）が形成される。
【０００５】
かかる窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜を酸化性雰囲気や大気に曝すと、ハフニウム（Ｈｆ）を触媒として、気中の酸素（Ｏ２）などが活性化することにより、酸素ラジカルが生成され、当該酸素ラジカルは、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜や半導体基板に容易に侵入する。
【０００６】
その結果、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜と半導体基板との間に低誘電率の界面絶縁膜が形成され、これにより、ゲート絶縁膜の実効比誘電率の低下や膜厚の増加が生じる。
【０００７】
さらに、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜のうちの窒素（Ｎ）が酸素（Ｏ）に置き換わることにより、当該窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜から窒素（Ｎ）が脱離する。
【０００８】
これにより、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜は、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）及び二酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）に分離されると同時に、これらが結晶化することから、耐熱性が劣化する。また、ドーパントであるボロンが、ゲート電極から窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜を突き抜けて半導体基板に拡散し易くなる。さらに、絶縁破壊が起こり易くなり、これによりゲート絶縁膜の寿命が劣化する。
【０００９】
これらは、ゲート閾値電圧の変動やトランジスタ特性にばらつきを生じさせるという問題があった。
【００１０】
以下、高誘電率のゲート絶縁膜を形成する方法に関する文献名を記載する。
【特許文献１】特開２００４−７１６９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、トランジスタ特性のばらつきを抑制して歩留まりを向上させることができる半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の一態様による半導体装置の製造方法は、
搬送室から成膜室に半導体基板を搬送するステップと、
前記成膜室において、前記半導体基板の表面上に、少なくとも金属と酸素を含む第１の絶縁膜を形成するステップと、
前記成膜室から前記搬送室を介して窒化処理室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記窒化処理室において、前記第１の絶縁膜に窒素を導入して窒化することにより、少なくとも金属、酸素、窒素を含む第２の絶縁膜を形成するステップと、
前記窒化処理室から前記搬送室を介して熱処理室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記熱処理室において、前記第２の絶縁膜に所定の熱処理を行うステップと、
前記熱処理室から前記搬送室に前記半導体基板を搬送するステップと
を有し、
少なくとも、前記窒化処理室から前記搬送室を介して前記熱処理室に前記半導体基板を搬送するステップを行う際には、前記搬送室を、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にする
ことを特徴とする。
【００１３】
また本発明の一態様による半導体装置の製造方法は、
半導体基板を収納した搬送ボックスを、成膜室に移動させ連結するステップと、
前記搬送ボックスから前記成膜室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記成膜室において、前記半導体基板の表面上に、少なくとも金属と酸素を含む第１の絶縁膜を形成するステップと、
前記成膜室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送するステップと、
前記半導体基板を収納した前記搬送ボックスを、窒化処理室に移動させ連結するステップと、
前記搬送ボックスから前記窒化処理室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記窒化処理室において、前記第１の絶縁膜に窒素を導入して窒化することにより、少なくとも金属、酸素、窒素を含む第２の絶縁膜を形成するステップと、
前記窒化処理室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送するステップと、
前記半導体基板を収納した前記搬送ボックスを、熱処理室に移動させ連結するステップと、
前記搬送ボックスから前記熱処理室に前記半導体基板を搬送するステップと、
前記熱処理室において、前記第２の絶縁膜に所定の熱処理を行うステップと、
前記熱処理室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送するステップと
を有し、
少なくとも、前記窒化処理室から前記搬送ボックスに前記半導体基板を搬送するステップと、前記半導体基板を収納した前記搬送ボックスを、前記熱処理室に移動させ連結するステップと、前記搬送ボックスから前記熱処理室に前記半導体基板を搬送するステップとを行う際には、前記搬送ボックスを、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にする
ことを特徴とする。
【００１４】
また本発明の一態様による半導体装置は、
半導体基板の所定領域上に選択的に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極と、
前記半導体基板の表面部分において、前記ゲート電極の下方に位置するチャネル領域の両側にそれぞれ形成されたソース領域及びドレイン領域と
を有し、
前記ゲート絶縁膜における前記ゲート電極と接触する界面部分の炭素濃度は、５×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の半導体装置及びその製造方法によれば、トランジスタ特性のばらつきを抑制して歩留まりを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
（１）第１の実施の形態
図１に、本発明の第１の実施の形態によるゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０の構成を示す。このゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０の中央部付近には、略８角形の形状に形成された搬送室２０が配置され、当該搬送室２０の周囲には、搬入室３０と、搬出室４０と、成膜室５０と、窒化処理室６０と、熱処理室７０と、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室８０とが配置されている。
【００１８】
搬入室３０は、外部からゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０の搬送室２０に半導体基板を搬入するためのものであり、搬出室４０は、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０の搬送室２０から外部に半導体基板を搬出するためのものである。
【００１９】
搬送室２０の中央部付近には、例えばアームからなる搬送機構９０が配置され、当該搬送機構９０は、各室３０〜８０間における半導体基板の搬送を行う。また搬送室２０には、図示しない排気機構が設けられ、搬送室２０の内部を所望の圧力に調整することができ、さらに搬送室２０には、図示しないガス供給源が接続され、所望のガスが供給されるようになされている。
【００２０】
よって、搬送室２０を、例えば約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又はアルゴンなどの不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にすることにより、半導体基板を酸化性雰囲気や大気に曝すことなく、所望の室３０〜８０に搬送することができる。
【００２１】
成膜室５０は、半導体基板上にハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜を形成するためのものである。窒化処理室６０は、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜に窒素（Ｎ）を導入して窒化することにより、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜を形成する。
【００２２】
熱処理室７０は、半導体基板上に形成されている膜に対して所定の熱処理（アニール）を行うためのものである。ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室８０は、半導体基板上に形成された窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜上にゲート電極材を堆積し成膜する。
【００２３】
なお、各室３０〜８０には、搬送室２０と同様に、それぞれ図示しない排気機構及びガス供給源が設けられ、これによりゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０の各室２０〜３０は、それぞれ独立した雰囲気を形成することができる。
【００２４】
ここで、図２〜図６に、本実施の形態によるゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０を用いて、ゲート絶縁膜及びゲート電極を形成する方法を示す。まず図２に示すように、半導体基板１００上に素子分離絶縁膜１１０A及び１１０Bを形成した後、希フッ酸を用いて洗浄を行うことにより、半導体基板１００上に形成されている自然酸化膜を除去する。
【００２５】
そして、この自然酸化膜を除去した半導体基板１００をゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０の搬入室３０に載置すると、搬送室２０の搬送機構９０は、搬入室３０から半導体基板１００を取り出す。このとき、搬送室２０を、図示しない排気機構によって、例えば約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気にする。なお、この場合、図示しないガス供給源から、アルゴンなどの不活性ガスや窒素を搬送室２０に供給することにより、当該搬送室２０を、不活性ガス雰囲気又は窒素雰囲気にしても良い。
【００２６】
そして、搬送機構９０は、この半導体基板１００を成膜室５０に搬入する。図３に示すように、この成膜室５０に、例えばテトラキスジエチルアミノハフニウム（ＴＤＥＡＨ）、テトラキスジメチルアミノシリコン（ＴＤＭＡＳ）、及び酸素を導入することにより、成膜室５０は、ＭＯＣＶＤ（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）法を用いて、半導体基板１００の基板表面上に、膜厚が約５ｎｍのハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０を形成する。なお、この場合、ＭＯＣＶＤ法ではなく、スパッタ法、ＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）法などを用いて、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０を形成しても良い。
【００２７】
そして、搬送機構９０は、成膜室５０から半導体基板１００を取り出した後、当該半導体基板１００を熱処理室７０に搬入する。熱処理室７０は、例えば６００〜８００℃の酸化性雰囲気で、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０に熱処理を行うことにより、当該ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０の膜質を向上させる。なお、この熱処理は行わなくても良い。
【００２８】
そして、搬送機構９０は、熱処理室７０から半導体基板１００を取り出した後、当該半導体基板１００を窒化処理室６０に搬入する。窒化処理室６０は、窒素を含むプラズマを用いて、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０に１０〜２５ａｔ％の窒素を導入して窒化することにより、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜１２０を形成する。なお、ａｔ％は原子組成比を表す。
【００２９】
因みに、この場合、窒素を含むプラズマを用いて窒素を導入したが、窒素を含むガスを用いて熱処理を行うことにより、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０に窒素を導入しても良い。
【００３０】
そして、搬送機構９０は、窒化処理室６０から半導体基板１００を取り出した後、当該半導体基板１００を熱処理室７０に搬入する。
【００３１】
ところで、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０は、各原子間の結合力が弱く、窒素（Ｎ）が導入されると、各原子を結合するための結合手が切断されることにより、多数の欠陥が形成される。
【００３２】
そこで熱処理室７０は、半導体基板１００に対して、例えば８００〜１０００℃の窒素雰囲気中で熱処理を行うことにより、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜１２０に形成された多数の欠陥を修復する。
【００３３】
なお、多数の欠陥が形成された窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜１２０を酸化性雰囲気や大気に曝すと、ハフニウム（Ｈｆ）を触媒として活性化した酸素ラジカルが、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜や半導体基板に侵入することにより、トランジスタ特性の劣化を引き起こす。
【００３４】
しかしながら、本実施の形態のように、搬送室２０を、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にすれば、搬送室２０の搬送機構９０が、窒化処理室６０から熱処理室７０に半導体基板１００を搬送する際、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝すことを防止することができる。
【００３５】
これにより、トランジスタ特性の劣化やばらつきを抑制することができ、従って歩留まりを向上させることができる。
【００３６】
因みに、トランジスタ特性の劣化を抑制するためには、少なくとも、窒化処理室６０から熱処理室７０に半導体基板１００を搬送するまで、搬送室２０を、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にすれば良い。
【００３７】
そして、搬送機構９０は、熱処理室７０から半導体基板１００を取り出した後、当該半導体基板１００をゲート絶縁膜／ゲート電極形成室８０に搬入する。図４に示すように、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室８０は、半導体基板１００を約７００℃に加熱し、モノシラン（ＳｉＨ４）ガスを用いて、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜１２０上に膜厚が約１５０ｎｍのポリシリコン膜１３０を形成する。なお、ゲート電極材としては、ポリシリコンに限らず、例えばアモルファスシリコン、シリコンゲルマニウム、金属などを使用しても良い。
【００３８】
そして、搬送機構９０が、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室８０から半導体基板１００を取り出し、これを搬出室４０に載置すると、半導体装置１００は、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０の外部に取り出され、パターニングが行われる。
【００３９】
図５に示すように、フォトリソグラフィ工程、ＲＩＥ（Reactive Ion Etching）工程などを実行することにより、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜からなるゲート絶縁膜１４０と、ポリシリコン膜からなるゲート電極１５０とを形成する。
【００４０】
図６に示すように、ゲート電極１５０及び半導体基板１００表面に、ドーパントのイオン注入を行った後、熱処理を行うことにより、ソース領域１６０Ａ及びドレイン領域１６０Ｂを形成する。
【００４１】
以上の方法により製造されたＭＯＳＦＥＴ２００は、図６に示すように、半導体基板１００の表面部分に素子分離のための素子分離絶縁膜１１０Ａ及び１１０Ｂが形成され、当該素子分離絶縁膜１１０Ａ及び１１０Ｂにより分離された素子領域の中央部付近には、半導体基板１００表面上に形成された窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜からなるゲート絶縁膜１４０を介して、ポリシリコン膜からなるゲート電極１５０が形成されている。
【００４２】
なお、この場合、ゲート絶縁膜１４０におけるゲート電極１５０と接触する界面部分の炭素濃度は、５×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下である。
【００４３】
このように、窒化処理室６０から熱処理室７０に半導体基板１００を搬送する際に、搬送室２０を、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にした場合には、半導体基板１００を大気などに曝す場合と比較して、クリーンルーム内の物質から排出され、浮遊している有機物の付着を抑制することができ、ゲート絶縁膜１４０におけるゲート電極１５０と接触する界面部分の炭素濃度を抑制することができる。
【００４４】
これにより、ゲート絶縁膜１４０が絶縁破壊することを抑制することができ、当該ゲート絶縁膜１４０の信頼性を向上することができる。
【００４５】
特に、６５ｎｍ世代以降のデバイスにおいては、界面部分の炭素による絶縁破壊等の不良の影響が大きくなるため、本実施の形態を適用することによって、デバイスの信頼性をより向上することができる。
【００４６】
またゲート電極１５０の下方に位置し、かつ半導体基板１００の表面付近には、チャネル領域１７０が形成されている。
【００４７】
このチャネル領域１７０と素子分離絶縁膜１１０Ａの間には、ソース領域１６０Ａが形成されると共に、チャネル領域１７０と素子分離絶縁膜１１０Ｂの間には、ドレイン領域１６０Ｂが形成されている。
【００４８】
ここで図７に、半導体基板１００を窒化処理室６０から熱処理室７０に搬送する際、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝さない本実施の形態の場合と、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝した比較例の場合とにおいて、当該半導体基板１００を切り取ることによって製造された各ＭＯＳＦＥＴのゲート閾値電圧の分布を示す。
【００４９】
この図７に示すように、半導体基板１００を窒化処理室６０から熱処理室７０に搬送する際、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝した比較例の場合には、当該半導体基板１００から製造された各ＭＯＳＦＥＴのゲート閾値電圧は、−０.６２Ｖ〜−０.５４Ｖ程度の範囲に存在し、非常にばらつきが大きく、従って歩留まりが低い。
【００５０】
これに対して、半導体基板１００を窒化処理室６０から熱処理室７０に搬送する際、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝さない本実施の形態の場合には、比較例の場合よりも閾値電圧のばらつきを大幅に抑制することができ、従って歩留まりを大幅に向上させることができる。
【００５１】
また図８に、半導体基板１００を窒化処理室６０から熱処理室７０に搬送する際、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝さない本実施の形態の場合と、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝した比較例の場合とにおいて、当該半導体基板１００から切り取られることによって製造された各ＭＯＳＦＥＴの経時絶縁破壊（ＴＤＤＢ）特性を示す。
【００５２】
この場合、電子を半導体基板１００からゲート絶縁膜１４０に向かって注入し、ゲート絶縁膜１４０に１２ＭＶ／ｃｍのストレス電界を加えた後、各ＭＯＳＦＥＴが絶縁破壊した時間を測定した。なお、横軸は、各ＭＯＳＦＥＴが絶縁破壊した絶縁破壊時間を示し、縦軸は、ワイブル関数（すなわち絶縁破壊確率）を示す。
【００５３】
この図８に示すように、半導体基板１００を窒化処理室６０から熱処理室７０に搬送する際、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝した比較例の場合には、当該半導体基板１００から製造された各ＭＯＳＦＥＴのうち、絶縁破壊時間が短いものが多く、従ってゲート絶縁膜１４０の寿命は短い。また絶縁破壊時間にばらつきが大きく、トランジスタの信頼性は低い。
【００５４】
これに対して、半導体基板１００を窒化処理室６０から熱処理室７０に搬送する際、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝さない本実施の形態の場合には、比較例の場合よりも絶縁破壊時間が長いものが多く、従ってゲート絶縁膜１４０の寿命は長い。また、比較例の場合よりも絶縁破壊時間にばらつきが少ないため、トランジスタの信頼性を向上させることができる。
【００５５】
（２）第２の実施の形態
図９に、本発明の第２の実施の形態によるゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置３００の構成を示す。このゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置３００には、成膜室３１０と、窒化処理室３２０と、熱処理室３３０と、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室３４０とが、それぞれ所定位置に配置され、各室３１０〜３４０には、それぞれ搬送室３５０〜３８０が接続されている。
【００５６】
各搬送室３５０〜３８０には、例えばアームからなる搬送機構３９０〜４２０がそれぞれ設置され、搬送機構３９０〜４２０は、各室３１０〜３４０との間で半導体基板１００の受け渡しを行う。
【００５７】
また各搬送室３５０〜３８０には、図示しない排気機構がそれぞれ設けられ、各搬送室３５０〜３８０の内部を所望の圧力に調整することができ、さらに各搬送室３５０〜３８０は、図示しないガス供給源が接続され、所望のガスが供給されるようになされている。
【００５８】
よって、各搬送室３５０〜３８０を、例えば約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又はアルゴンなどの不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にすることにより、酸化性雰囲気や大気に曝すことなく、各室３１０〜３４０との間で、半導体基板１００の受け渡しをすることができる。
【００５９】
搬送ボックス４３０は、搬送室３５０〜３８０のうち所望の搬送室に、半導体基板１００を搬送するためのものである。この搬送ボックス４３０には、搬送室３５０〜３８０と同様に、図示しない排気機構が設けられ、搬送ボックス４３０の内部を所望の圧力に調整することができ、さらに搬送ボックス４３０には、図示しないガス供給源が接続され、所望のガスが供給されるようになされている。
【００６０】
よって、搬送ボックス４３０を、例えば約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又はアルゴンなどの不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にすることにより、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝すことなく、所望の搬送室３５０〜３８０に搬送することができる。
【００６１】
ここで、本実施の形態によるゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置３００を用いて、ゲート絶縁膜及びゲート電極を形成する方法について、第１の実施の形態を説明する際に使用した図２〜図６を参照しながら説明する。なお、各室３１０〜３４０で行われる処理は、第１の実施の形態によるゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置１０のうち、対応する各室５０〜８０で行われる処理と同一である。
【００６２】
まず、素子分離絶縁膜１１０A及び１１０Bが形成され、自然酸化膜が除去された半導体基板１００を搬送ボックス４３０に収納した後、当該搬送ボックス４３０を搬送室３５０に移動させ連結する。
【００６３】
搬送室３５０の搬送機構３９０は、搬送ボックス４３０から半導体基板１００を取り出し、当該半導体基板１００を成膜室３１０に搬入する。図３に示すように、成膜室３１０は、例えばＭＯＣＶＤ法を用いて、半導体基板１００の基板表面上に、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０を形成する。
【００６４】
搬送機構３９０は、成膜室３１０から半導体基板１００を取り出した後、当該半導体基板１００を搬送ボックス４３０に収納する。そして、搬送ボックス４３０を搬送室３７０に移動させ連結する。
【００６５】
搬送室３７０の搬送機構４１０は、搬送ボックス４３０から半導体基板１００を取り出し、当該半導体基板１００を熱処理室３３０に搬入する。熱処理室３３０は、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０に熱処理を行うことにより、当該ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０の膜質を向上させる。なお、この熱処理は行わなくても良い。
【００６６】
搬送機構４１０は、熱処理室３３０から半導体基板１００を取り出した後、当該半導体基板１００を搬送ボックス４３０に収納する。そして、搬送ボックス４３０を搬送室３６０に移動させ連結する。
【００６７】
搬送室３６０の搬送機構４００は、搬送ボックス４３０から半導体基板１００を取り出し、当該半導体基板１００を窒化処理室３２０に搬入する。窒化処理室３２０は、ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＸ）膜１２０に窒素を導入して窒化することにより、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜１２０を形成する。
【００６８】
搬送機構４００は、窒化処理室３２０から半導体基板１００を取り出した後、当該半導体基板１００を搬送ボックス４３０に収納する。そして、搬送ボックス４３０を搬送室３７０に移動させ連結する。搬送室３７０の搬送機構４１０は、搬送ボックス４３０から半導体基板１００を取り出し、当該半導体基板１００を熱処理室３３０に搬入する。
【００６９】
この場合、本実施の形態のように、搬送ボックス４３０，搬送室３６０及び３７０を、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、又は不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にすれば、窒化処理室３２０から熱処理室３３０に半導体基板１００を搬送する際、半導体基板１００を酸化性雰囲気や大気に曝すことを防止することができる。
【００７０】
これにより、トランジスタ特性の劣化やばらつきを抑制することができ、従って歩留まりを向上させることができる。
【００７１】
因みに、トランジスタ特性の劣化を抑制するためには、少なくとも、窒化処理室３２０から熱処理室３３０に半導体基板１００を搬送する際、搬送室３６０、搬送ボックス４３０及び搬送室３７０を、約１０−３Ｔｏｒｒの減圧雰囲気、不活性ガス雰囲気、又は窒素雰囲気にすれば良い。
【００７２】
熱処理室３３０は、半導体基板１００に窒素雰囲気中で熱処理を行うことにより、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜１２０に形成された多数の欠陥を修復する。
【００７３】
搬送機構４１０は、熱処理室３３０から半導体基板１００を取り出した後、当該半導体基板１００を搬送ボックス４３０に収納する。そして、搬送ボックス４３０を搬送室３８０に移動させ連結する。
【００７４】
搬送室３８０の搬送機構４２０は、搬送ボックス４３０から半導体基板１００を取り出し、当該半導体基板１００をゲート絶縁膜／ゲート電極形成室３４０に搬入する。図４に示すように、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室３４０は、窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜１２０上にポリシリコン膜１３０を形成する。
【００７５】
そして、搬送機構４２０が、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室３４０から半導体基板１００を取り出し、当該半導体基板１００を搬送ボックス４３０に収納すると、半導体基板１００は、ゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置３００の外部に取り出される。
【００７６】
そして、図５に示すように、ポリシリコン膜１３０及び窒化ハフニウムシリケート（ＨｆＳｉＯＮ）膜１２０にパターニングを行うことにより、ゲート絶縁膜１４０及びゲート電極１５０を形成した後、図６に示すように、ソース領域１６０Ａ及びドレイン領域１６０Ｂを形成することにより、ＭＯＳＦＥＴ２００を製造する。
【００７７】
以上の方法により製造されたＭＯＳＦＥＴ２００は、第１の実施の形態と同様に、ゲート絶縁膜１４０におけるゲート電極１５０と接触する界面部分の炭素濃度が、５×１０２２ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以下であり、これにより第１の実施の形態と同様の効果を有する。
【００７８】
なお上述の実施の形態は一例であって、本発明を限定するものではない。例えばハフニウム（Ｈｆ）に代えて、例えばジルコニウム（Ｚｒ）など、他の金属を使用しても良い。すなわち、半導体基板上に少なくとも金属と酸素を含む絶縁膜を形成した後、当該絶縁膜を窒化することにより、少なくとも金属、酸素、窒素を含む絶縁膜を形成しても良い。
【００７９】
また、成膜室５０及び３１０と窒化処理室６０及び３２０とが、別々の反応室である例と示したが、これらが一つの反応室で構成されていても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態によるＭＯＳＦＥＴの製造方法における工程別素子の断面構造を示す縦断面図である。
【図３】同ＭＯＳＦＥＴの製造方法における工程別素子の断面構造を示す縦断面図である。
【図４】同ＭＯＳＦＥＴの製造方法における工程別素子の断面構造を示す縦断面図である。
【図５】同ＭＯＳＦＥＴの製造方法における工程別素子の断面構造を示す縦断面図である。
【図６】同ＭＯＳＦＥＴの製造方法における工程別素子の断面構造を示す縦断面図である。
【図７】半導体基板を酸化性雰囲気又は大気に曝さない本実施の形態の場合と、酸化性雰囲気又は大気に曝した比較例の場合とにおける、ＭＯＳＦＥＴのゲート閾値電圧の分布を示す説明図である。
【図８】半導体基板を酸化性雰囲気又は大気に曝さない本実施の形態の場合と、酸化性雰囲気又は大気に曝した比較例の場合とにおける、ＭＯＳＦＥＴの経時絶縁破壊（ＴＤＤＢ）特性を示す説明図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態によるゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０、３００  ゲート絶縁膜／ゲート電極形成装置
２０、３５０、３６０、３７０、３８０  搬送室
３０  搬入室
４０  搬出室
５０、３１０  成膜室
６０、３２０  窒化処理室
７０、３３０  熱処理室
８０、３４０  ゲート絶縁膜／ゲート電極形成室
９０、３９０、４００、４１０、４２０  搬送機構
１００  半導体基板
１２０  ハフニウムシリケート膜、窒化ハフニウムシリケート膜
１３０  ポリシリコン膜
１４０  ゲート絶縁膜
１５０  ゲート電極
１６０  ソース領域、ドレイン領域
２００  ＭＯＳＦＥＴ
４３０  搬送ボックス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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