(57)【要約】【課題】  吸着マットを使用するために、高圧で気体を供給しなければならず、吸着マットは耐薬品性の問題があり、吸着マットはある程度使用すると廃棄しなければならず、ケース内の保守が必要となるという問題がある。【解決手段】  ケース８の内部に捕集振動管９が装着され、ケース８の上部に排気管１０が装着され、ケース８の下部を通して、供給管１１の一端が捕集振動管９の中心に挿入するように装着され、供給管１１の他端に気体供給装置１２が接続され、捕集振動管９の側部に振動伝達板１３の一端が固着され、他端はランジュバン型振動子１４の結合ホーン１４ａとダミーホーン１５の間に装着され、ランジュバン型振動子１４は結合ホーン１４ａと金属ブロック１４ｂの間に圧電体振動子１６が挟持されるように構成され、圧電体振動子１６に発振器１７が接続され、ケース８の下部に廃液管１８が接続され、廃液管１８に廃液装置１９が接続されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液粒子を含んだ気体を供給する気体供給装置に連結された供給管と気体を排出する排気管とを接続するケースと、該ケースの内部に装着した捕集振動管と、前記ケースの側部を通して、前記捕集振動管に一端が固着された振動伝達板と、該振動伝達板の他端に固着された超音波振動発生装置と、該超音波振動発生装置に接続された発振器とからなり、前記振動発生装置から発生された超音波振動を前記振動伝達板を介して前記捕集振動管に伝達し、前記供給管より供給された気体から液粒子を分離することを特徴とする超音波気水分離装置。
【請求項２】
前記振動発生装置はランジュバン型振動子の結合ホーンとダミーホーンとから構成され、前記振動伝達板は前記結合ホーンとダミーホーンの間に挟持固定されていることを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波振動で捕集振動管を振動させて、気水から液体を分離する超音波気水分離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の気水分離装置としては、図２に示すように、ケース１内に吸着マット２を装着し、ケース１の上端に排気管３を装着し、ケース１の下端に装着した供給管４に気体供給装置５が接続され、ケース１の下部に廃液管６及び廃液管６に廃液装置７が接続された装置が提案されている。
【０００３】
このように構成された従来の気水分離装置では、気体供給装置５から供給されたミストを含有する気体はケース１内の吸着マット２に吸着され、この吸着マット２で吸着されたミストは液滴となって廃液管６から廃液装置７で回収されるように構成されているが、この従来例では、吸着マット２をケース内に装着しているため、供給管から圧力の高い気体を供給しなければ、吸着マット２で吸着されれず、又、吸着マット２を使用しているために、吸着マット２の耐薬品性の問題があり、さらに、ある程度使用した吸着マット２は廃棄しなければならないので、産業廃棄物となり、又、吸着マット２を使用しているために、ケース１内の保守が必要となるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする問題点は、従来の気水分離装置では、吸着マットを使用するために、高圧で気体を供給しなければならず、又、吸着マットは耐薬品性の問題があり、さらに、吸着マットはある程度使用すると廃棄しなければならず、さらに、吸着マットを使用しているために、ケース内の保守が必要となるという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明では、ケースは液粒子を含んだ気体を供給する気体供給装置に連結された供給管と気体を排出する排気管に接続され、捕集振動管はケースの内部に装着され、振動伝達板はケースの側部を通して捕集振動管に一端が固着され、超音波振動発生装置は振動伝達板の他端に固着され、発振器は超音波振動発生装置に接続され、振動発生装置から発生された超音波振動を振動伝達板を介して捕集振動管に伝達し、供給管より供給された気体から液粒子を捕集振動管で分離するものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の超音波気水分離装置では、捕集振動管の側部に超音波振動発生装置に連結された振動伝達板を固着し、超音波振動発生装置からの超音波振動を振動伝達板を介して捕集振動管に伝達することにより、超音波振動が捕集振動管の外側から中心に向かって超音波が集中合成される事により、捕集振動管の中心部分の音圧が高くなることから、供給管から供給された気体に含まれている液体粒子は供給管付近に集中して、液体粒子が大きくなると、供給管を伝わって落下し、ケースの廃液管から液体粒子蚤が回収され、液体粒子が除去された気体は排気管から排気されるので、振器を接続することにより、被洗浄基板を低周波超音波で振動させ、高周波超音波で洗浄液をジェット噴流とすることにより、さらに強力に被洗浄基板に付着している異物を除去することができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明では、ケースは液粒子を含んだ気体を供給する気体供給装置に連結された供給管と気体を排出する排気管に接続され、捕集振動管はケースの内部に装着され、振動伝達板はケースの側部を通して捕集振動管に一端が固着され、超音波振動発生装置は振動伝達板の他端に固着され、超音波振動発生装置は圧電体振動子振動子を金属ブロックと結合ホーンで挟持したランジュバン型振動子で構成され、このランジュバン型振動子の結合ホーンとダミーホーンの間に振動伝達板を挟持固定し、発振器は超音波振動発生装置に接続され、振動発生装置から発生された超音波振動を振動伝達板を介して捕集振動管に伝達し、供給管より供給された気体から液粒子を捕集振動管で分離するものである。
【実施例】
【０００８】
図１は本発明の実施例の超音波気水分離装置の側面断面図、図２は図１の装置の平面断面図で、ケース８の内部に捕集振動管９が装着され、ケース８の上部に排気管１０が装着され、ケース８の下部を通して、供給管１１の一端が捕集振動管９の中心に挿入するように装着され、供給管１１の他端に気体供給装置１２が接続され、捕集振動管９の側部に振動伝達板１３の一端が固着され、他端はランジュバン型振動子１４の結合ホーン１４ａとダミーホーン１５の間に装着され、ランジュバン型振動子１４は結合ホーン１４ａと金属ブロック１４ｂの間に圧電体振動子１６が挟持されるように構成され、圧電体振動子１６に発振器１７が接続され、又、ケース８の下部に廃液管１８が接続され、廃液管１８に廃液装置１９が接続されている。
【０００９】
このように構成された本実施例の超音波気水分離装置では、発振器１７から発振出力がランジュバン型振動子１４の圧電体振動子１６に印加されると、ランジュバン型振動子１４の結合ホーン１４ａとダミーホーン１５の間に装着された振動伝達板１３が振動し、ケース８内の捕集振動管９を超音波振動するので、捕集振動管９に伝達された超音波振動は捕集振動管９から中心方向に集中合成されるので、供給管１１から供給された気体の中の液体粒子が捕集振動管９の中心付近に集中され、この液体粒子が集中すると、粒子が大きくなって質量が高くなり、液滴となって供給管１１を伝わって落下するので、落下した液滴はケース８の下部に溜まり、廃液管１８から廃液装置１９に流されて回収される。
【００１０】
このように、本実施例では、捕集振動管９に超音波振動を伝達することにより、捕集振動管９の中心に音波が集中し、この集中した音波によって供給された気体に含まれるミストが集まって大きな液滴となり、質量が高くなることによりケース８内に落下して回収され、ミストが除去された気体はケース８の上部の排気管１０から排気され、吸着マットを使用しないので、気体の供給は圧力損失が無いため、供給圧力を低減でき、耐薬品性の問題が無く、産業廃棄物が無くなり、又、ケース８内の保守を必要としないという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００１１】
なお、上記実施例において、ランジュバン型振動子を使用した例を示したが、超音波振動を発生するものであれば他の発生装置でも使用することができ、又、発振器からの発振周波数を変更することにより、捕集される液滴の大きさを制御することができ、さらに、ミストを発生する洗浄装置、乾燥装置、食品製造装置、半導体ウェット処理装置、液晶ウェット処理装置、精密洗浄装置等に設置して、有害、無害のミストを捕集することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例の超音波気水分離装置の側面断面図である。
【図２】図１の超音波気水分離装置の平面断面図である。
【図３】従来の気水分離装置の側面断面図である。
【符号の説明】
【００１３】
８                ケース
９                捕集振動管
１０              排気管
１１              供給管
１２              気体供給装置
１３              伝達振動板
１４              ランジュバン型振動子
１５              ダミーホーン
１６              圧電体振動子
１７              発振器
１８              廃液管
１９              廃液装置
【図１】
2006122823.tif 000003
【図２】
2006122823.tif 000004
【図３】
2006122823.tif 000005