(57)【要約】      （修正有）【課題】  複数の光源を有する光照射装置において、ランプの不具合が発生しても、製造ラインを停止させることなくランプ交換を可能とすること。【解決手段】  光を放射する光源部１０は、複数の光源ユニット１１から構成され、各光源ユニット１１は支持体１２により個別に支持され、光が放射される方向とは反対側から着脱される。各光源ユニット１１内にはランプ、発光ダイオードなどの発光手段が内蔵され、それぞれの発光手段に電力を供給する点灯電源３０が独立して接続されている。支持体１２は曲面形状であり、インテグレータ２０には複数の光源ユニット１１からの光が、重ねあわされて入射する。インテグレータ２０から出射した光は、コリメータ２１、マスク２３を介してレジスト等の感光剤が塗布されたワーク２５に照射されマスク２３に形成されたパターンがワーク２５上の感光剤に露光形成される。【選択図】図１
2006278907.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光手段と、該発光手段からの光を指向性を持たせて放射させる光学部材とを含む光源ユニットを複数備え、
上記光源ユニットの各々から放射される光を、光が照射される領域において重ね合わせて照射する光照射装置において、
上記光源ユニットの各々には、光源ユニットを冷却する冷却手段が取り付けられているとともに、
上記光源ユニットは、上記光源ユニットを支持する、光出射口を有する支持体に対して個別に固定され、
光源ユニットの光が放射される方向とは反対側から上記支持体に装着もしくは支持体から離脱される
ことを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
上記支持体は、光源ユニットをスライドして挿入するガイドを設けた光出射口と、
光源ユニットの光軸方向の位置決めを行なうストッパと、光源ユニットを固定する固定手段とを備えている
ことを特徴とする請求項１の光照射装置。
【請求項３】
上記支持体からの光が出射する光出射口の各々には、光源ユニットが離脱された際、上記光出射口を閉じる遮光部材が設けられている
ことを特徴とする請求項１または請求項２の光照射装置。
【請求項４】
上記光源ユニットの各々には、上記発光手段に電力を供給する独立した給電回路が接続されている
ことを特徴とする請求項１，２または請求項３の光照射装置。
【請求項５】
上記光源ユニットの各々には、発光手段の点灯状態をモニタする機構が取り付けられている
ことを特徴とする請求項１，２，３または請求項４の光照射装置。
【請求項６】
上記発光手段は、石英ガラスからなる放電容器に一対のタングステン電極が対向配置しており、この放電容器に、０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3 水銀と、希ガスと、ハロゲンを封入し、電極間距離が０．５〜２．０ｍｍであり、３００〜４５０ｎｍの紫外光を効率よく放射する高圧水銀ランプである
ことを特徴とする請求項１，２，３，４または請求項５の光照射装置。
【請求項７】
上記高圧水銀ランプは、ハロゲン量が２×１０-4〜７×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3 封入されている
ことを特徴とする請求項６の光照射装置。
【請求項８】
上記発光手段は、紫外線を放射する発光ダイオードである
ことを特徴とする請求項１，２，３，４または請求項５の光照射装置。
【請求項９】
発光手段と、該発光手段からの光を指向性を持たせて放射させる光学部材とを含む複数の光源ユニットを備え、該光源ユニットは、上記光源ユニットを支持する光出射口を有する支持体に、光が放射される側の裏面側から個別に挿入して固定され、
上記光源ユニットの各々から放射される光が、光が照射される領域において重ね合わせて照射される光照射装置における光源ユニットの交換方法であって、
光照射中に、発光手段の異常により、上記光源ユニットを消灯させた、もしくは、上記光源ユニットが消灯したとき、
上記消灯したもしくは消灯させた光源ユニットを、他の光源ユニットを点灯させた状態で、上記支持体の裏面側から取り外すとともに、必要に応じて上記光源ユニットが消灯したことによる照度の低下を相殺するように他の光源ユニットに供給する電力を増やし、
他の光源ユニットを点灯させた状態で、上記取り外された光源ユニットが取り付けられていた個所に、支持体の上記裏面側から正常な光源ユニットを挿入して固定し、
上記正常な光源ユニットを点灯させるとともに、必要に応じて上記光源ユニットが点灯したことによる照度の増加を相殺するように他の光源ユニットに供給する電力を減らす
ことを特徴とする
光照射装置における光源ユニットの交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子や液晶表示基板の製造用の露光装置等に使用される光照射装置および光照射装置における光源ユニットの交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
これまで半導体素子や液晶表示基板の露光装置に用いられる光源として、主に数ｋＷから数１０ｋＷの大型の超高圧水銀ランプが用いられてきた。これらの光源は、信頼性も高くかなり以前から用いられている。しかし、近年液晶表示基板の大面積化が要求されており、それに伴って露光装置においても光照射領域の拡大が望まれており、露光用光源も大型化が要求されている。
露光用光源は、１ｋＷ程度の超高圧水銀ランプから使用され始め、現在の液晶露光用光源は２５ｋＷに達している。今後さらに大型化が要求されるが、光源の大型化はランプを構成するバルブや電極材料の大型化に直結し、製造コストと製作工数の大幅な増加に繋がり、超高圧水銀ランプの大型化は限界に近づきつつある。
その対策として、例えば特許文献１に記載されるように、１個の大型のランプではなく、複数の中型または小型のランプで光照射領域を照射する照明装置も提案されている。
【特許文献１】特開２００４- ３６１７４６号公報
【特許文献２】特開平１１−２９７２６８号公報
【特許文献３】特開２０００−８２３２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
露光用に用いられる超高圧水銀ランプに対する要求は非常に厳しく、まれに市場で放射する紫外線照度の維持特性を満たせないもの、照度値の変動がおおきくなるものが発生する場合がある。この件数は、市場で使われる超高圧水銀灯の中で必ずしも多いものではない。
しかし、そのような要求される性能を満たせないランプが発見された場合は、露光装置を停止させてランプを新しいものに交換しなければならない。
また、従来の露光機ではランプ交換時にはランプを消灯させ、交換した後に光学調整を行う必要があり、この間製造ラインを停止させなければならなかった。一つの液晶・半導体製造ラインの停止は莫大な損失となり、解消すべきものである。
前記特許文献１に記載されるように、１個の大型のランプではなく複数の中型または小型のランプで光照射領域を照射する照明装置であれば、仮に一個のランプを消灯させても比較的照度の低下は少ないので、ランプに不具合が発生した場合、不具合の発生したランプを消灯させ、他のランプを点灯させた状態で、製造ラインを停止させることなく引き続き処理を継続することは可能である。
【０００４】
しかし、他のランプを点灯させたまま不具合の発生したランプを交換することは、実際問題としては困難である。これは、ランプ点灯中はその付近が高温となっており、ランプの取り外し、取り付け作業が極めて困難であること、また、上記したようにランプを交換した後に光学調整を行う必要があるが、他のランプを点灯させたまま光学調整作業を行うことは難しい等の理由による。特に、特許文献１に記載されるように、支持体に光源部の光出射側を直接取り付けた構造の場合には、他のランプを点灯させたまま不具合の発生したランプを交換するのは困難であると考えられる。
このため、特許文献１に記載される複数のランプを用いた光照射装置であっても、ランプに不具合が発生した際には、全てのランプを消灯させ、作業可能な温度に低下するまで待ってランプを交換せざるをえない。
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであって、複数の光源を有する光照射装置において、ランプの不具合が発生しても、製造ラインを停止させることなくランプ交換を可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）発光手段と発光手段からの光を指向性を持たせて放射させる光学部材とを一つの光源ユニットとし、各光源ユニットには発光手段や該ユニット全体を冷却する冷却手段を取り付ける。
このような光源ユニットを、それを個別に支持する支持体に対して、光源ユニットの光が放射される方向とは反対側から挿入して取り付け、また引き出して取り外す。
（２）支持体には、取り付ける光源ユニットの数分だけ光出射口とガイドが設けられ、光源ユニットは上記ガイドに沿って挿入退避される。
また、上記ガイドには、光源ユニットの光軸方向の位置を決めるストッパと、その位置で光源ユニットと支持体を固定する固定手段が、支持体から光が出射する光出射口とは反対側に設けられる。
（３）また、支持体の各光出射口には、光源ユニットが離脱した際、光出射口を閉じる遮光部材が設けられている。
（４）各光源ユニットに対応させて、それぞれ独立して発光手段に電力を供給する給電回路を設け、ある光源ユニットが、点灯寿命時間を経過したり、不具合を生じたりした場合、対象となる光源ユニットのみ停止して交換する。
（５）光源ユニットの輝度をモニタするモニタ機構を取り付け、光源ユニットごとに発光手段の不具合を早期に検出し、交換を行なう。
（６）発光手段として、ランプを用いる場合、電極間寸法が短くて輝度の高く、電力の可変により照度調整が容易なものが適しており、例えば、石英ガラスからなる放電容器に一対のタングステン電極が対向配置しており、この放電容器に、０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3 水銀と、希ガスと、ハロゲンを封入し、電極間距離が０．５〜２．０ｍｍであり、３００〜４５０ｎｍの紫外光を効率よく放射する超超高圧水銀ランプがあげられる。
上記ハロゲン量の封入量は、２×１０-4〜７×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3 の範囲とするのが好ましい。
（７）光源ユニットの発光手段はランプでも良いが、発光ダイオード（ＬＥＤ）でも良い。発光手段がランプの場合、発光手段からの光を指向性を持たせて放射させる光学部材は、楕円集光鏡や放物面鏡などの反射ミラーが考えられるが、発光手段がＬＥＤの場合、光学部材は反射ミラー以外にもＬＥＤから放射される光の発散角を小さくするレンズを設けてもよい。なお、ランプと反射ミラー、ＬＥＤとレンズとは互いを接着し一体としても良い。
（８）上記光照射装置において、光照射中に、発光手段の異常により、上記光源ユニットを消灯させた、もしくは、上記光源ユニットが消灯したとき、上記消灯したもしくは消灯させた光源ユニットを、他の光源ユニットを点灯させた状態で、上記支持体の裏面側から取り外すとともに、必要に応じて上記光源ユニットが消灯したことによる照度の低下を相殺するように他の光源ユニットに供給する電力を増す。
そして、他の光源ユニットを点灯させた状態で、上記取り外された光源ユニットが取り付けられていた個所に、支持体の上記裏面側から正常な光源ユニットを挿入して固定し、上記正常な光源ユニットを点灯させるとともに、光源ユニットが点灯したことによる照度の増加を相殺するように他の光源ユニットに供給する電力を減らす。
なお、発光手段に供給する電力を増やす場合は、同時に各光源ユニットの冷却機構の能力も上げて、光源ユニットの加熱を防ぐようにしてもよい。
【発明の効果】
【０００６】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）発光手段を有する光源ユニットを複数設け、複数の光源ユニットを支持する支持体に対して、光源ユニットを光が放射される方向とは反対側から着脱させる。
このような構造であるため、光源ユニットの発光手段（例えばランプ）の交換や、光源ユニット自体の交換のために、支持体から光源ユニットを取り外したり、支持体に光源ユニットを取り付けたりするとき、光照射側に作業者が手を入れる必要がない。
このため、作業者は安全に作業をすることができ、また、光が照射される側に影響を与えることもない。
したがって、光源ユニットに不具合が発生したとき、光照射中であっても、不具合の発生した光源ユニットの取り外し、取り付けをすることができる。
（２）支持体に光源ユニットをスライドして挿入するガイドを設けたので、光源ユニットをガイドに沿って挿入、退避させることができ、光源ユニットの交換作業が容易である。  また、光源ユニットは支持体のストッパにより光軸方向の位置決めが容易に行なえ、光出射口とは反対側に設けられた固定手段により、光照射光口付近に手を近づけることなく固定される。
このため、光源ユニットを取り付けたとき、光源ユニットは所定の位置に位置決めされ、各光源ユニットについて光軸調整を行っておけば、光源ユニットを支持体に取り付けた後の光軸調整などは不要である。
また、発光手段と光学部材、例えばランプと集光ミラー、発光ダイオードとレンズを一体として構成することにより、光源ユニットの発光手段を交換する場合、発光手段と光学部材との位置合せ（軸調）が不要であり、発光手段の交換時間が短くなる。
（３）光源ユニットの発光手段それぞれに、独立して給電回路が接続し、また冷却機構を取り付けることにより、ランプの交換時や光源ユニットに不具合が生じた場合、他の光源ユニットに影響を与えることなく、対象の光源ユニットのみ電力の供給と冷却を停止して交換することができる
（４）光源ユニットが複数設けられているため、ｎ個の光源ユニットが消灯しても、各光源ユニットの光照射領域に与える影響は、ｎ／（光源の個数）である。
したがって、ある光源ユニットを交換するまでの間は、照度低下に相当する分だけ露光処理時間を長くしたり、他の光源ユニットの光強度を上げたりすることにより、対応することができる。
このため、消灯した光源ユニットの数が全体の個数に対して少ない場合には、製造ラインを止めることなく処理を続行することができる。
（５）各光源ユニットに設けられたモニタにより、各光源ユニットの不具合発生をいち早く検出し、露光処理時間を延ばす、また他の光源ユニットの光強度を上げるといった対応を取ることができる。このため、製品の不具合の発生を防ぐことができる。
（６）超超高圧水銀ランプは、入力を定格の±３０％程度まで変化させて、ランプから放射される光強度を変化させることができる。
したがって、発光手段として超超高圧水銀ランプを用いることにより、ある光源ユニットに不具合が発生したときに、他の光源ユニットから放射される光強度を上げて照度の低下を補い、照度を一定に保つように制御を行うことが容易になる。
また、ハロゲンの封入量を２×１０-4〜７×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3 とすると、ハロゲンの働きにより放電容器の黒化・白濁を抑制し、光透過率が維持される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
（１）第１の実施例
図１は、本発明の第１の実施例の光照射装置の概略構成を示す図である。
光を放射する光源部１０は、複数の光源ユニット１１から構成され、各光源ユニットは支持体１２により個別に支持される。各光源ユニット１１内には、後述するようにランプ１１ａと反射ミラー１１ｂあるいは発光ダイオードなどの発光手段が内蔵されている。
支持体１２は、放物面または楕円面に沿った緩やかな曲面形状であり、各光源ユニット１１から放射される光が、光照射領域であるインテグレータ２０の入射面において重なり合うように、支持体の周辺部に向かうにつれて、光源ユニットを徐々に傾けて支持している。インテグレータは照度分布を均一にする光学素子である。
なお、図１では、光源部１０とインテグレータ２０を接近させて記載しているが、実際には、光源部１０とインテグレータ２０の距離は図示したものより長く、また、支持体１２に形成される曲面形状は、更に緩やかである。
【０００８】
上記したように、インテグレータ２０には、複数の光源ユニット１１からの光が、重ねあわされて入射する。インテグレータ２０から出射した光は、コリメータ２１により平行光にされ、マスクステージ２２に保持されたマスク２３を介してワークステージ２４上に保持された、レジスト等の感光剤が塗布された液晶パネルや半導体素子といったワーク２５に照射される。マスクにはパターンが形成されており、マスク２３に形成されたパターンがワーク２５上の感光剤に露光形成される。
各光源ユニット１１には、それぞれの発光手段に電力を供給する点灯電源３０が、独立して接続されている。また、各点灯電源の制御回路は、図示しない光照射装置の装置制御部に接続され、発光手段の点灯および消灯、点灯時の発光手段への電力供給は、光源ユニット１１毎に制御される。点灯電源の構成及び動作および装置制御部については後述する。
【０００９】
以下、本実施例の各部の具体的構成例および動作、ランプ交換作業などについて説明する。
（Ａ）光源ユニットの構造
図２は発光手段としてランプを用いた光源ユニット１１の構成例を示す図である。同図（ａ）は、光源ユニット１１を光出射口側の反対側（以下後面側という）から見た図、同図（ｂ）は光出射口側（以下前面側という）から見た図を示している。なお、同図は、光源ユニット１１の内部構造が分かるように、光源ユニット１１のフレーム１１ｉの一部を切り欠いて示したものである。
光源ユニット１１は、内部に、発光手段であるランプ１１ａと、ランプ１１ａからの光を指向性を持たせて放射させる反射ミラー１１ｂとを有する。反射ミラー１１ｂにより反射したランプ１１ａの光は、光源ユニット前面の光出射口１１ｃから出射する。なお、反射ミラー１１ｂとしては、露光に必要な紫外線領域の光を反射し、不要な可視及び赤外線領域の光を透過する、波長選択する膜が形成されたミラーを使用する。
また、反射ミラー１１ｂの裏面側には、図２（ａ）に示すように、ランプの点灯状態を検出するモニタ１１ｎが取り付けられている（モニタ１１ｎについては後述する）。
【００１０】
出射口には前面ガラスが取り付けられており、ランプ１１ａが破損したとしても、破片等の光照射装置内への飛散を防ぐ。
光出射口１１ｃ付近の上面のフレーム１１ｉには、冷却風取り入れ口１１ｄが設けられ、冷却ファン１１ｅにより、ランプ１１ａ等を冷却する風が、光源ユニット１１内に引き込まれる。冷却風取り入れ口１１ｄには、金網１１ｆが張られ、ランプ１１ａの破損の際、破片等の光照射装置内への飛散を防ぐ。
また、フレーム１１ｉに冷却風取り入れ口１１ｄが設けられているだけでなく、冷却風を反射ミラー１１ｂの内側に取り入れるように、反射ミラー１１ｂにも開口１１ｍ（例えば４個所）が設けられている。
【００１１】
光源ユニット１１の光出射口１１ｃの四隅は、図２（ｂ）に示すように後述する支持体との位置決めやシャッタの開閉手段との関係で、前面ガラス１１ｐが切り欠かれ、光源ユニット１１のフレームが位置決め部１１ｇとして残される。
ランプ１１ａには略円筒形状のベース部１１ｒが取り付けられ、反射ミラー１１ｂはベース部１１ｒに固定される。
光源ユニット１１内には、図２（ｂ）に示すように上記ベース部１１ｒを固定するための板１１ｊが取り付けられ、板ばね１１ｋを介して、ランプ１１ａが固定されている。
ランプ１１ａと反射ミラー１１ｂは、あらかじめ光学的な位置決めをした状態で、一体として固定されており、光源ユニット１１のランプ１１ａを交換する際には、両者を一組として交換する。このように構成することで、反射ミラー１１ｂに対するランプ１１ａの位置調整（軸調整）が不要であり交換時間が短くなる。もちろん、ランプ１１ａのみを交換する構成でも問題ない。
また、ランプ１１ａの両端子には、ランプ１１ａに電力を供給するためのケーブル１１ｕ，１１ｖが接続され、ケーブル１１ｕ，１１ｖの他端は、光源ユニット１１の後面側に設けられたコネクタ１１ｈに接続され、このコネクタ１１ｈを介して、後述する点灯電源からランプ１１ａに電力が供給される。
【００１２】
発光手段として用いるランプ１１ａの種類としては、超高圧水銀ランプ、超超高圧水銀ランプ、キセノン水銀ランプ、メタルハライドランプ等があげられるが、半導体素子や液晶表示基板の露光に使用される３００〜４５０ｎｍの紫外光を効率よく放射し、かつ高い輝度を有し高い照度が得やすいという点で、石英ガラスからなる放電容器に一対のタングステン電極が対向配置しており、この放電容器に、０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3 の水銀と、希ガスと、ハロゲンを封入し、電極間距離が０．５〜２．０ｍｍの超超高圧水銀ランプが有利である。
さらに、上記ランプ１１ａにおいて、ハロゲンの封入量を２×１０-4〜７×１０-3μｍｏｌ／ｍｍ3 とすると、ハロゲンの働きにより放電容器の黒化・白濁を抑制し、光透過率が維持される。ハロゲンを封入し放電容器を構成する石英ガラスでの白濁の発生、その成長を防止するようにした高圧水銀ランプは、例えば前記特許文献２に記載されている。
【００１３】
(Ｂ) 支持体の構造、光源ユニットの支持体への取り付け
図３，４，５を用いて、光源ユニットを支持する支持体１２の構造と、支持体１２に光源ユニット１１が取り付けられた様子を示す。なお、支持体１２は、前記したように緩やかな曲面を有するが、これらの図では直線で示す。
図３は、光源ユニット１１が取り付けられた支持体１２を、光が出射する側とは反対側（後面側）から見た斜視図である。
同図左上に切り欠いて示すように、支持体１２には、取り付ける光源ユニット１１の数に応じて貫通孔１２ａが設けられる。この貫通孔１２ａの前面側は、光出射口１２ｅであり、後面側は光源ユニット１１の挿入口となる。
光源ユニット１１は、この貫通孔１２ａに対し、支持体１２の後面側から、貫通孔１２ａの底板１２ｂや側板１２ｃに沿わせスライドさせて挿入する。
挿入された光源ユニット１１は、前記光源ユニット１１の光出射口１１ｃの四隅に設けた位置決め部１１ｇが、支持体１２の光出射側に設けた位置決めの角部１２ｄ（図中１ヵ所しか見えないが四隅に設けられている）にぶつかり、光源ユニット１１から出射される光の光軸方向の位置が決まる。
【００１４】
図４（ａ）は光源ユニット１１が支持体１２に取り付けられた状態を示す断面図である。光源ユニット１１は、支持体１２の位置決めの角部１２ｄに、光源ユニット１１の位置決め部１１ｇが押し付けられ、光軸方向（図面左右方向）の位置が決まる。この状態で、支持体１２の後面側から、光源ユニット１１を支持体１２の位置決めの角部１２ｄに押さえつけて固定する固定部材１２ｆのねじ１２ｇを締めて固定する。
その後、光源ユニット１１の後面に設けたコネクタ１１ｈに、ランプ点灯や冷却ファンの電源等のケーブル１２ｉが接続される。
支持体１２の光出射側の光出射口１２ｅの上部には、光源ユニットの冷却風を取り込むランプ冷却風導風口１２ｈが設けられている。ランプ冷却風導風口１２ｈは、光源ユニット１１が挿入される貫通孔１２ａに連通し、その導風口１２ｈは、光源ユニット１１が支持体１２の貫通孔１２ａに挿入され固定されたとき、光源ユニット１１の冷却風取り入れ口１１ｄと連通する。
これにより、光源ユニット１１の冷却ファン１１ｅが排気動作すると、冷却風は、支持体１２のランプ冷却風導風口１２ｈから光源ユニット１１の冷却風取り入れ口１１ｄに取り込まれ、光源ユニット１１が冷却される。
図４（ｂ）に光源ユニット１１のベース部１１ｒ付近の拡大図を示す。
同図に示すようにベース部１１ｒは、接着等により反射ミラー１１ｂ及びランプ１１ａに固定され、ベース部１１ｒの側面には、通風孔１１ｓが設けられている。この通風孔１１ｓはランプ１１ａとベース部１１ｒの間に設けられた空間１１ｔを介して反射ミラー１１ｂ内の空間と連通している。また通風孔１１ｓには金網が取り付けられている。
上記のように反射鏡の首部に放電ランプを固定し、この首部に冷却排風穴を設けて、冷却風を流すようにした光源装置は、例えば特許文献３に開示されている。
【００１５】
支持体１２は、取り付けられた光源ユニット１１を安定して保持できるように、十分な幅（貫通孔の奥行き）が必要である。光源ユニット１１の長さの半分以上の長さを有することが望ましい。
光源ユニット１１の取り外しは、電源ケーブル１２ｉをコネクタ１１ｈからはずし、固定部材１２ｆのねじ１２ｇ（図４参照）を緩め、光源ユニット１１の後面に設けた取手１１ｑ（図２参照）を持ち、貫通孔１２ａに沿って光源ユニット１１をスライドさせながら後面側に引き抜く。
【００１６】
図５は、光源部をインテグレータ側から見た図であり、光源ユニット１１が取り付けられた状態を示している。
同図に示すように、光源ユニット１１は縦横方向に配置される。支持体１２の各光出射口１２ｄの上部には、上記したランプ冷却風導風口１２ｈが、また四隅には位置決めの角部１２ｄが設けられている。
支持体１２に支持される光源ユニット１１の数は、要求される光照射領域の面積や照度から設計される。
例えば、光源ユニット１１の発光手段が１００Ｗの超超高圧水銀ランプの場合、従来の１灯の１ｋＷの超高圧水銀ランプを用いた光照射装置と同等な特性を得るためには、１０台の光源ユニットが必要である。同様に、光源ユニットの発光手段が２００Ｗの超超高圧水銀ランプであって、１灯２０ｋＷの超高圧水銀ランプを用いた光照射装置と同等な特性を得るためには、１００台の光源ユニット１１が支持体１２に取り付けられる。
【００１７】
（Ｃ）光源ユニットの冷却
前述したように、各々の光源ユニット１１の光出射口１１ｃ付近の上面には冷却風取り入れ口１１ｄが設けられ、また、光源ユニット１１の後面（光出射口とは反対側）には、冷却風を排気させる冷却ファン１１ｅが取り付けられており、この冷却ファン１１ｅにより、冷却風は図４の矢印のように流れる。
すなわち、ランプ冷却風導風口１２ｈから取り入れられた冷却風は、光源ユニット１１の冷却風取り入れ口１１ｄを介して、光源ユニット１１内に導入される。この冷却風は、反射ミラー１１ｂに設けられた開口１１ｍを介して反射ミラー１１ｂ内に流入し、ランプ１１ａの上部や反射ミラー１１ｂの上部反射面を冷却する。そして、ランプ１１ａと反射ミラー１１ｂとを接続するベース部１１ｒに設けられた前記空間１１ｔを介して、通風孔１１ｓに至り、通風孔１１ｓより反射ミラー１１ｂの裏面側に抜け、冷却ファン１１ｅにより外部に排気される。
冷却ファン１１ｅの動作は後述するように光照射装置の装置制御部により制御され、排気量が調整される。なお、冷却風の流れは、上記とは逆方向、即ち、光源ユニット１１の後面に設けたファンにより、冷却風を光源ユニット１１内に押し込み、光出射口付近の開口から吹き出すようにしても良い。
【００１８】
（Ｄ）シャッタ機構
次に、支持体１２に設けられるシャッタ機構について説明する。
支持体１２の各光出射口１２ｅには、図６に示すシャッタ機構が設けられる（前記図３〜図５ではシャッタ機構については省略されている）。
図６に示すように、光源ユニット１１が挿入されると、シャッタ１２ｒが光出射側に倒れて開き、光源ユニット１１が離脱すると、光出射口１２ｅをふたするように立ち上がり閉となり、光照射装置からの反射光を遮光する。
図７にシャッタ機構の具体的構成例を示す。シャッタ１２ｒは、支持体１２に、コイルばね１２ｓ付きの蝶番１２ｔにより取り付けられており、コイルばね１２ｓにより、シャッタ１２ｒは閉じる方向に付勢されている。
支持体１２の位置決めの角部１２ｄには、コイルばね１２ｖを取り付けた連動用棒１２ｕが設けられている。
連動用棒１２ｕは、貫通孔１２ａに光源ユニット１１が挿入されると押されて光出射側に伸び、光源ユニット１１がなくなると、貫通孔１２ａ側に引っ込む。
【００１９】
図８によりシャッタ機構の動作を説明する。
図８（ａ）に示すように、光源ユニット１１が支持体１２から取り外されている場合、シャッタ１２ｒは蝶番１２ｔのばねの力により支持体１２に押し付けられ光出射口を閉じている。連動用棒１２ｕもコイルばね１２ｖの力により、貫通孔１２ａ側に引っ込んでいる。
図８（ｂ）に示すように、光源ユニット１１が貫通孔１２ａに挿入されと、連動用棒１２ｕが光源ユニット１１の位置決め部１１ｇに押されて光出射側に移動し、シャッタ１２ｒを押す。これによりシャッタ１２ｒが開き始める。
図８（ｃ）に示すように支持体１２の貫通孔１２ａに光源ユニット１１が完全に挿入されると、連動用棒１２ｕは光源ユニット１１によりさらに押され、シャッタ１２ｒは光出射側に倒れて、光出射口が開く。
また、支持体１２から光源ユニット１１が離脱されると、連動用棒１２ｕはコイルばね１２ｖの力により、支持体１２の方に移動し、シャッタ１２ｒは、蝶番１２ｔのコイルばねの力により支持体１２の光出射口１２ｅのほうに移動し、シャッタ１２ｒが光出射口１２ｅを閉じる（図８（ａ）の状態に戻る）。
【００２０】
（Ｅ）支持体の他の構成例
上述した支持体１２は、貫通孔１２ａの側板１２ｃ、底板１２ｂ等が光源ユニット１１を挿脱する際のガイドを兼ねていたが、貫通孔１２ａの奥行きを短くし、上記ガイドを別途設けてもよい。
図９、図１０、図１１に上記のように構成した支持体の構造例を示す。なお、支持体１２１は、前記したように緩やかな曲面を有するが、これらの図では直線で示す。
図９は、光源ユニット１１が取り付けられた支持体１２を、光が出射する側とは反対側（後面側）から見た斜視図である。
同図に示すように支持体１２は、貫通孔を有する枠状体１２１と該枠状体１２１に立設したガイド１２２から構成される。ガイド１２２は、各枠状体１２１の四隅に取り付けられており、長手方向に直交する平面で切ったときの断面は略Ｌ字状である。上記枠状体１２１の貫通孔の奥行き方向の長さとガイド１２２の長手方向の長さを合わせた長さは、取り付けられた光源ユニット１１を安定して保持できるように、前記したように光源ユニット１１の長さの半分以上の長さを有することが望ましい。
【００２１】
上記枠状体１２１の前面側は、光出射口１２ｅであり、ガイド１２２の後面側は光源ユニット１１の挿入口となる。
図１０に示すように、光源ユニット１１は上記ガイド１２２に沿わせてスライドさせて挿入される。なお、図示していないが、上記枠状体１２１の四隅には、前記した位置決めの角部が設けられ、光源ユニット１１を挿入したとき、前記光源ユニット１１の光出射口１１ｃの四隅に設けた位置決め部１１ｇとぶつかり、光源ユニット１１から出射される光の光軸方向の位置が決まる。
光源ユニット１１の支持体１２への固定は、前記したように光源ユニット１１に設けられた固定部材をねじ等により、ガイド１２２に固定するするようにしてもよいが、例えば、図１１に示すように、ばねを用いてもよい。
すなわち、同図に示すように、光源ユニット１１を上記ガイド１２２に沿ってスライド挿入させたのち、光源ユニット１１の後面側を、両端をガイド１２２に係止させたばね１２４で抑えつけるようにしてもよい。
【００２２】
（Ｆ）光源ユニットのランプ点灯状態の検出
前記した図２に示したように、各光源ユニット１１には、ランプの点灯状態を検出するモニタ１１ｎが取り付けられている。
同図に示されたモニタ１１ｎは、可視赤外領域に感度を有した照度モニタである。反射ミラー１１ｂの裏面側に設けられ、反射ミラー１１ｂを透過する可視赤外領域の光の照度を測定する。測定された照度は、電気信号に変換され、後述する光照射装置の装置制御部に送信する。
露光に使用されるのは紫外領域の光であるが、ランプ１１ａから放射される紫外線の強度と、可視光または赤外線の強度は相関性を有するので、可視光または赤外線の照度を測定することにより、紫外線の照度低下を検出することができる。
装置制御部は光源ユニットから送信された照度信号に基づき、あらかじめ設定された基準照度値と比較して、基準照度値以下の場合は、ランプの交換時期が来たことを示す警告を表示する。
【００２３】
なお、ランプ１１ａの点灯状態を検出するモニタは、ランプ１１ａに供給される電力を検出するものでも良い。その一例として、ランプ１１ａに供給される電流値や、ランプに電流が流れている時間から点灯時間を計測する方法について簡単に説明する。
ランプ１１ａは点灯時には電流が流れるが、消灯時には電流が流れない。したがって、ランプ点灯中に電流が流れなくなった場合は、ランプ１１ａが何らかの原因で消灯したことを示す。各光源ユニット１１に接続されている点灯電源の制御回路において、ランプに供給される電流値を検出し、電流値が０になった時は、ランプが点灯中に消灯したことを示す信号を装置制御部に送信する。装置制御部はこの信号に基づきランプ交換が必要であることを示す警告を表示する。
また、各光源ユニット１１に接続されている点灯電源において、ランプ１１ａに供給される電流が流れている時間から点灯時間を計測し、その時間信号を装置制御部に送信するようにしてもよい。
装置制御部は光源ユニット１１から送信された点灯時間信号に基づき、あらかじめ設定された点灯寿命時間と比較して、点灯寿命時間を超えた場合は、ランプの交換時期が来たことを示す警告を表示する。
【００２４】
（Ｇ）点灯電源および装置制御部
図１２に光照射装置全体を制御する装置制御部と、各光源ユニットごとに設けられた点灯電源との接続関係を示す。
図１２に示すように、各光源ユニット１１には、それぞれの発光手段であるランプに電力を供給する点灯電源３０が独立して接続されている。また、各点灯電源３０の制御回路４０は、光照射装置の装置制御部５０に接続されている。
装置制御部５０は、露光装置の制御系から送られてくる露光面照度のモニタ信号、点灯指令信号等を受信するとともに、各点灯電源３０の制御回路４０から送られてくるランプ点灯信号、ランプ電流信号、ランプ電力信号、ランプ点灯時間信号、各光源ユニット１１に設けられたモニタ１１ｎからのモニタ信号等のランプ点灯状態を示す信号、また、冷却ファン駆動出力信号等を受信する。
そして、各点灯電源３０の制御回路４０へ、ランプ点灯指令、ランプ電力制御信号、冷却ファン１１ｅの駆動制御信号等の制御信号を送出するとともに、表示部５１にランプ交換が必要になったことや、異常状態の発生等の情報を表示する。
【００２５】
図１３は点灯電源３０の第１の構成例を示す図であり、同図はＤＣ電源と給電回路を一体にして点灯電源を構成した場合を示している。
同図に示すように、点灯電源３０は、ＤＣ電源である１次整流平滑回路３１と給電回路３２とスタータ３３とランプ電流を検出する電流モニタ３４から構成され、上記給電回路３２は、インバータ回路３２ａ、昇圧回路であるトランス３２ｂ、2 次整流平滑回路３２ｃから構成される。
また、上記ＤＣ電源である一次整流平滑回路３１は、光照射装置が設置される工場の商用電源等に接続される。
上記点灯電源３０には制御回路４０が接続され、制御回路４０は、装置制御部５０から送られてきた制御信号に基づき、ランプ１１ａの点灯／消灯制御、ランプ１１ａに供給される電力のフィードバック制御、冷却ファン１１ｅの駆動制御を行う。また、ランプ１１ａの点灯状態を示す信号や、冷却ファン１１ｅの駆動出力信号などの信号を前記装置制御部４０に送出する。
【００２６】
装置制御部５０から、点灯電源３０の制御回路４０に、ランプ点灯信号が入力されると、スタータ３３が動作し、光源ユニット１１のランプ１１ａが点灯される。
ランプ１１ａが点灯すると、制御回路４０には、給電回路３２の出力側に設けられたランプ電流を検出する電流モニタ３４からの電流信号や、給電回路３２の２次整流平滑回路３２ｃの電圧信号が入力され、ランプ１１ａの安定した点灯が保たれるよう電力が制御される。
また、制御回路４０は、ランプ１１ａに電流が流れたことを電流モニタ３４により検出すると、ランプ１１ａが点灯したとして、ランプ点灯信号を装置制御部５０に送るとともに、冷却ファン１１ｅの駆動信号を出力し、冷却ファン１１ｅを回転させる。
また、装置制御部５０から、制御回路４０に対し電力指令信号が入力されると、制御回路４０は、ランプ１１ａに供給する電力を変化させ、ランプ１１ａの明るさ、即ち光照射面での照度を変える。
ランプ１１ａが消灯すると、点灯電源３０の給電回路３２の出力側には電流は流れなくなる。ランプ点灯中、電流モニタ３４が電流値０を検出すると、ランプ１１ａが何らかの原因で消灯したとして、制御回路４０はランプ消灯信号を装置制御部５０に出力する。
また、制御回路４０はランプ１１ａに電流が流れている時間をカウントし、ランプ１１ａの点灯時間を計測し、点灯時間信号を装置制御部５０に出力する。
【００２７】
図１４（ａ）に点灯電源の別の構成例を示す。同図は図１３の１次整流平滑回路３０ａに相当する部分を、ＤＣ電源として点灯電源本体３０’とは別体とした構成例である。
この場合、点灯電源本体３０’は、昇圧された電力をランプに供給する給電回路３２と、スタータ３３と、ランプの供給電力を検出する例えば電流モニタ３４のみの構成となり、給電回路３２には、別体で設けたＤＣ電源３５から直流電圧が供給される。
なお、図１３では給電回路３２がインバータ回路３２ａとトランス３２ｂと２次整流平滑回路３２ｃで構成される場合を示したが、給電回路を図１４（ａ）に示すように、降圧チョッパ回路３２ｄと平滑回路３２ｅから構成してもよい。
図１４（ｂ）は上記ＤＣ電源３５の構成例を示す図である。ＤＣ電源は、例えば一次整流平滑回路３５ａとインバータ回路３５ｂとトランス３５ｃと２次整流平滑回路３５ｄかから構成され、商用電源から供給される電圧をインバータ回路３５ｂとトランス３５ｃにより昇圧し、例えば３７０Ｖの直流電圧を給電回路３２に供給する。なお、昇圧する必要がない場合には、前記図１３に示したように、ＤＣ電源を整流・平滑回路から構成することもできる。
【００２８】
図１５（ａ）は、図１４（ａ）の変形例であり、スタータを用いない例である。
この場合、スタータに代えて外部トリガー用高圧回路３６を用い、始動用高圧パルスをオープン電圧に重畳させずに、外部トリガーによりランプの外側から供給して絶縁破壊させランプを点灯させる。
図１４（ａ）、図１５（ａ）のように、ＤＣ電源を別体とすると、例えば図１５（ｂ）に示すように、商用電源が供給される一つのＤＣ電源３５に対して、複数の点灯電源本体３０’と光源ユニット１１の組を接続することができる。
このようにすれば、個々の光源ユニットそれぞれにＤＣ電源を設ける必要がなく、装置全体の大きさを小型化することができる。
【００２９】
（Ｈ）本実施例の光照射装置の動作  
図１６により、本実施例の光照射装置の動作について説明する。
(i) 装置制御部５０から、各光源ユニット１１の点灯電源に点灯信号が送られ、点灯電源は各光源ユニット１１のランプ１１ａに電力を供給し、光源ユニット１１のランプ１１ａを点灯させる。
(ii)ランプ１１ａが点灯すると、各光源ユニット１１から紫外線を含む光が放射される。前記図１に示したように、光源ユニット１１からの光はインテグレータ２０の入射面で重ね合わされる。
また、ランプ１１ａの点灯と連動して、各光源ユニット１１の冷却ファン１１ｅが動作し、冷却風によりランプ１１ａや反射ミラー１１ｂ等が冷却される。
(iii)図２に示した照度モニタ１１ｎによる照度測定や、点灯電源３０によりランプ１１ａに供給される電力の検出、ランプの点灯時間の計測により得られた照度信号、電力信号、点灯時間信号等の各光源ユニット１１のランプ１１ａの点灯状態を示す信号は、装置制御部５０に送られ、あらかじめ設定された基準値と比較される。
【００３０】
(iv)照度信号、電力信号、点灯時間信号等が基準値による許容範囲から外れておらずランプ１１ａの点灯状態に問題がなく、また、照射面に設けられた照度モニタにより検出される照度が許容範囲にあれば、各ランプ１１ａの出力（各光源ユニット１１からの出力）が安定後、図１に示した露光処理を行う液晶基板または半導体基板等のワーク２５が順次ワークステージ２４に搬入され、パターンが形成されたマスク２３と位置合せされた後、紫外線を含む光を照射し露光処理される。
（ｖ）露光処理中、装置制御部５０は、照度信号、電力信号、点灯時間信号等のランプの点灯状態を示す信号を基準値と常に比較し、上記信号が基準値による許容範囲から外れると、装置制御部５０はランプの交換が必要なことを表示部５１に表示する。
【００３１】
（Ｉ）ランプ交換時の作業手順
次にランプ交換時（光源ユニット取り外し時）の作業手順について説明する。
作業者は、装置制御部５０の表示部５１の表示に基づき、必要と判断すれば、ランプの交換作業を行う。なお、以下の説明では、支持体１２が図３〜図５で示したものである場合について説明するが、前記図９、図１０、図１１に示した構造の支持体の場合も作業手順は同様である。
まず、交換の対象となる光源ユニット１１への電源供給を止める。光源ユニット１１から、前記図４に示した電源ケーブル１２ｉと固定手段１２ｆを取り外し、光源ユニットの後面の取手１１ｑ（図２、図３参照）を持ち、支持体１２の貫通孔１２ａから後面側に引き抜く。
なお、光源ユニット１１を引き抜くと、図８に示したようにシャッタ１２ｒが閉じるので、光照射装置からの反射光が、支持体１２の後面側にもれることがなく、作業者が光にさらされることがない。
また、光源ユニット１１を固定する固定手段１２ｆが、光源ユニット１１の後面（支持体１２の後面側）に設けられているので、作業者は光が照射され、また高温になっている光源ユニット１１の前面や、支持体１２の光照射口付近に手を近づける必要はなく、安全に交換作業が行える。
【００３２】
図１７に示すように、交換対象の光源ユニット１１を取り外した時、他の光源ユニット１１はそのまま光を出射しており、光照射装置は露光処理動作を継続している。
取り外した光源ユニット１１のランプ１１ａを新しいものに交換する。この時、ランプが反射ミラー１１ｂに固定された一体構造であり、ランプと反射ミラーを一式で同時に交換できるようにしておけば、ランプ１１ａと反射ミラー１１ｂの位置合せ（軸調）を行う必要がなく、交換時間が短くなる。
ランプ１１ａの交換が終われば、光源ユニット１１を上記したのと逆の手順で支持体１２に取り付け、電力を供給してランプ１１ａを点灯させる。
なお、ランプの交換は、あらかじめ新しいランプを取り付けた予備の光源ユニットを準備しておき、光源ユニットごと交換しても良い。
【００３３】
（Ｊ）ランプ交換時（光源ユニット取り外し時）の照度制御
上記したように、ランプ交換時も、光照射装置は露光処理動作を継続する。この時、光照射領域の照度は、取り外された光源ユニットの数分だけ低下する。
しかし、例えば、光源ユニット１１を１００個用いた装置の場合、１個の光源ユニット１１が消灯していたとしても、照度低下は１／１００となり、露光処理のプロセスマージンに含まれ、実質的な問題はない場合が多い。したがって、消灯している（取り外している）光源ユニット１１の数が少なければ、問題なく露光処理を継続することができる。
使用する光源ユニットの数が比較的少ない、また、プロセスマージンが厳しいなどの理由で、光源ユニット１１を取り外した時の照度低下が、そのままでは露光処理に影響を与える場合は、照度が低下する１／（光源の個数）の割合だけ、露光時間を長くしたり、あるいは、他の光源ユニット１１のランプ１１ａの電力を上げることにより光強度を上げ、照度を維持する。
なお、超超高圧水銀ランプを用いれば、入力電力を変化させられる幅が広いので、光強度を変化させて照度を一定に制御し露光処理をおこなう場合には有利である。
【００３４】
光強度を上げる場合は、図１２に示した装置制御部５０から、交換対象以外の光源ユニット１１の点灯電源の制御回路４０に、ランプ１１ａの電力を上げるように電力増加指令を送る。点灯電源３０の制御回路４０はその信号に基づき、ランプ１１ａに供給する電力を大きくする。
ランプからの光強度は供給電力に比例して大きくなり、光照射面の照度は、光を出射する光源ユニット減っても維持される。
また、ランプ１１ａの出力が大きくなるので、ランプ１１ａの温度が高くなり、したがって、光源ユニット１１は、冷却風量を増加させる必要がある。そのため、点灯電源３０の電流モニタ３４が、入力電力の増加に伴い、電流が増えたことを検出する。
制御回路４０は、電流増加信号を装置制御部５０に送信する。装置制御部５０は、電流増加信号に基づき、光源ユニットの冷却ファンの回転数を上げるような指令を、光源ユニット１１の制御回路４０に送り、制御回路４０は冷却風量を増加させる。
また、ランプ１１ａを交換した光源ユニット１１が支持体１２に取り付けられると、装置制御部５０は、光源ユニット１１の制御回路４０に、ランプ１１ａの電力を下げるように電力減少指令を送る。点灯電源３０の制御回路４０はその信号に基づき、ランプ１１ａに供給する電力を交換前の電力に戻す。
なお、支持体１２に予備の光源ユニットを取り付けておき、通常は点灯させず、光源ユニットの交換時に点灯させるようにしても良い。
【００３５】
（２）第１の実施例の変形例
図１８は上記第１の実施例の光照射装置の変形例を示す図である。
同図に示すように、各光源ユニット１１からの光をファィバ２６に入射し、インテグレータ２０の入射面にまで導光する。
このように構成すれば、すべての光源ユニット１１を一つの支持体に取り付ける必要がなくなるので、光照射装置の設計の自由度があがるとともに、小型化が可能となる。
各ファイバ２６は、光出射口付近で、ファイバ支持部材２７によりまとめられて保持される。
ファイバ支持部材２７は、第１の実施例の光源ユニットの支持体１２と同様に、放物面または楕円面に沿った緩やかな曲面形状であり、各ファイバ２６の光出射口から放射される光が、光照射領域であるインテグレータ２０の入射面において重なり合うように、支持部材の周辺部に向かうにつれて、ファイバ２６を徐々に傾けて支持している。
【００３６】
（３）第２の実施例
第１の実施例においては光源ユニット１１の発光手段がランプの場合について説明したが、光源ユニットの発光手段として紫外線を放射する発光ダイオード（ＵＶ−ＬＥＤ）を用いることもできる。
図１９に発光手段として発光ダイオード（ＬＥＤ）を使用した場合の光源ユニット１１の構成例を示す。
ＬＥＤは、近年３８０ｎｍや３６５ｎｍの紫外線を放射するものが開発されている。現状まだ出力が小さいので、一つのユニットに複数設ける。
図１９に示すように、ＵＶ−ＬＥＤ１１１は一枚の電源供給用の基板１１２上に複数並べて配置する。基板１１２の裏面側には放熱用のフィン１１３を設け、ＬＥＤ１１１の加熱を防ぎ、光源ユニット１１の後面から冷却ファン１１ｅにより排気する。
【００３７】
ＵＶ−ＬＥＤ１１１はＵＶを放射する発光素子１１１ａをミラー面１１１ｂの中に収めた小さなユニットとして市販されており、放射される光の発散角が大きい。そのため光出射側には、集光レンズ１１１ｃが取り付けられる。この集光レンズ１１１ｃが、発光手段からの光を指向性を持たせて放射させる光学部材となる。
また、各光源ユニット１１には、第１の実施例と同様に、照度モニタ１１ｎを取り付け、発光手段であるＬＥＤ１１１の照度をモニタし、装置制御部５０に送信する。
なお、このモニタ１１ｎは、各光源ユニット１１に接続されている点灯電源において、ＬＥＤ１１１に供給される電力や点灯時間を検出するものでも良い。
第１の実施例と同様に、装置制御部５０の表示部５１は、検出された照度信号、電力信号、点灯時間信号に基づき、ＬＥＤ１１１の交換が必要になった場合、そのことを表示する。
その他の構成は、第１の実施例の光照射ユニットと同様であり、またその動作、交換手順なども前記した通りである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の第１の実施例の光照射装置の概略構成を示す図である。
【図２】発光手段としてランプを用いた光源ユニット１１の構成例を示す図である。
【図３】光源ユニット１１が取り付けられた支持体１２を、光が出射する側とは反対側（後面側）から見た斜視図である。
【図４】光源ユニット１１が支持体１２に取り付けられた状態を示す断面図である。
【図５】光源部をインテグレータ側から見た図である。
【図６】支持体に設けられるシャッタ機構を示す図である。
【図７】シャッタ機構の具体的な構成例を示す図である。
【図８】シャッタ機構の動作を説明する図である。
【図９】支持体の他の構成例を示す図（後面側から見た斜視図）である。
【図１０】図９に示す支持体への光源ユニットの取り付けを説明する図である。
【図１１】図９に示す支持体への光源ユニットの固定方法の一例を示す図である。
【図１２】光照射装置全体を制御する装置制御部と各光源ユニットごとに設けられた点灯電源との接続関係を示す図である。
【図１３】点灯電源の構成例を示す図である。
【図１４】点灯電源の他の構成例およびＤＣ電源の構成例を示す図である。
【図１５】点灯電源の他の構成例および共通のＤＣ電源を用いた場合の構成例を示す図である。
【図１６】本発明の第１の実施例の光照射装置の動作を説明する流れ図である。
【図１７】光源ユニット交換作業を説明する図である。
【図１８】第１の実施例の光照射装置の変形例を示す図である。
【図１９】発光手段としてＬＥＤを用いた光源ユニットの構成を示す図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０      光源部
１１      光源ユニット
１２      支持体
２０      インテグレータ
２１      コリメータ
２２      マスクステージ
２３      マスク
２４      ワークステージ
２５      ワーク
２６      光ファイバ
２７      ファイバ支持部材
３０      点灯電源
３２      給電回路
３５      ＤＣ電源
４０      制御回路
５０      装置制御部
５１      表示部
１１１    発光ダイオード（ＬＥＤ）
１１２    基板
１１３    フィン
１２１    支持体
１２２    ガイド
【図１】
2006278907.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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