(57)【要約】  【課題】  荷電粒子の電気移動度の粒径依存性を利用して粒子の分級や粒径計測を行う装置において、１台の装置で、狭い粒径バンド幅を設定した精密な粒径分布の測定と、広い粒径バンド幅を設定した粒径の時間変化の測定とを行えるようにする。  【解決手段】  荷電粒子を選択的に取り出すための出口スリット１３において、遮蔽板２１のスライド位置によって粒径の相違する荷電粒子が分離されるシースガスの流れ方向の開口幅を調節可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略一定流量で以てキャリアガスを流すガス送給手段と、そのガス流に様々な粒径を有する荷電粒子を投入する粒子投入手段と、その荷電粒子が前記ガス流を横切る方向に該荷電粒子を誘引する又は反発する静電場を形成するための電場形成手段と、前記荷電粒子がガス流を横切って到達し得る位置に配設された出口スリットと、を具備し、前記ガス流中に投入された荷電粒子が該ガス流を横切る際にその抵抗に応じてガス流の流れの方向に沿って粒径毎に異なる位置に荷電粒子を到達させ、前記出口スリットの開口位置に到達した荷電粒子のみを選択的に取り出すようにした微粒子分級装置において、
前記ガス流の流れの方向に沿った前記出口スリットの開口幅を調節するための調節手段を備えることを特徴とする微粒子分級装置。
【請求項２】
前記ガス流の流れの方向に沿って前記出口スリットの位置を調節するための位置調節手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の微粒子分級装置。
【請求項３】
前記出口スリットは前記ガス流の流れの方向の上流側に位置する上流側微粒子到達壁と下流側に位置する下流側微粒子到達壁との間に形成され、前記調節手段は該上流側微粒子到達壁又は下流側微粒子到達壁のいずれか一方をガス流の流れの方向に移動可能としたものであることを特徴とする請求項１に記載の微粒子分級装置。
【請求項４】
前記出口スリットは前記ガス流の流れの方向の上流側に位置する上流側微粒子到達壁と下流側に位置する下流側微粒子到達壁との間に形成され、前記位置調節手段は該上流側微粒子到達壁及び下流側微粒子到達壁の両方をガス流の流れの方向に移動可能としたものであることを特徴とする請求項２に記載の微粒子分級装置。
【請求項５】
略一定流量で以てキャリアガスを流すガス送給手段と、そのガス流に様々な粒径を有する荷電粒子を投入する粒子投入手段と、その荷電粒子が前記ガス流を横切る方向に該荷電粒子を誘引する又は反発する静電場を形成するための電場形成手段と、前記荷電粒子がガス流を横切って到達し得る位置に配設された検出器と、を具備し、前記ガス流中に投入された荷電粒子が該ガス流を横切る際にその抵抗に応じてガス流の流れの方向に沿って粒径毎に異なる位置に荷電粒子を到達させ、前記検出器の検出面に到達した荷電粒子のみを選択的に検出するようにした微粒子計測装置において、
前記ガス流の流れの方向に沿った前記検出器の検出面幅を調節するための調節手段を備えることを特徴とする微粒子計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノ粒子と呼ばれる微粒子を粒径に応じて分級するための微粒子分級装置及び、分級した微粒子の粒径分布や所定粒径を有する粒子の個数の時間変化などを計測するための微粒子計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、粒径分布の測定方法としては、粒子群にレーザ光を照射し、そこから発せられる回折光・散乱光の強度分布パターンから計算によって求める方法が一般的であった。しかしながら、こうした方法によって測定可能な粒径はサブミクロンレベルまでであり、それ以下の微小な粒子の粒径分布の計測には対応できなかった。これに対し、近年、帯電した微粒子の電場内での移動速度（電気移動度）の相違を利用した微分型電気移動度測定装置（ＤＭＡ＝Differential Mobility Analyzer）の技術開発の進展によって、いわゆるシングルナノ領域のきわめて微小な粒子の粒径分布の測定が可能となっている（例えば特許文献１、非特許文献１など参照）。
【０００３】
図５は従来知られている微分型電気移動度測定装置における静電分級器の基本的な構成の一例を示す図である。二重円筒を成す外筒１０と内筒１１との間には、上部に接続されたシースガス供給路１４を通してキャリアガスが鞘状に一定流量で下方向に流される。一方、外筒１０の外側の上部に接続されたサンプルガス供給路１５を通して外筒１０外面には、測定（分級）対象である荷電粒子が混入されたサンプルガスが供給される。また、外筒１０と内筒１１の間には直流電源１６により所定の直流電圧が印加される。
【０００４】
サンプルガスは外筒１０の側面に円環状に形成された入口スリット１２を通して外筒１０内側に吐き出されるが、そのガス中の荷電粒子は上記印加電圧に由来する静電力（クーロン力）により内筒１１に引き寄せられながら流下する。このとき、荷電粒子がシースガスの流れを横切る速度は、荷電粒子が流体から受ける抵抗力と静電力との釣合によって決まる。そのため、より大きな抵抗を受けるサイズの大きな粒子はゆっくりと、逆に小さな粒子は速く流れを横切ることができる。その結果、大きな粒子ほどシースガス流の下流側に流されて内筒１１に到達する。
【０００５】
内筒１１の所定位置（上部体１１ａと下部体１１ｂとの間）には円環状に出口スリット１３が形成されている。シースガスの流量と印加電圧とが一定である条件の下では、所定の粒径を有する荷電粒子のみが出口スリット１３の開口位置に到達するから、出口スリット１３の開口を通過する荷電粒子は粒径が揃ったものとなる。荷電粒子はその大部分が一価に荷電されているため、出口スリット１３を通過して内筒１１の内側の出口流路１７を通って来た荷電粒子を例えば図示しないファラデーカップ電流計に導入し、到達した荷電粒子によって流れる微小電流を測定すれば、その電流値から到達した粒子の個数を求めることができる。
【０００６】
また、この構成では、内筒１１へ印加する直流電圧を変化させると静電力が変化し、出口スリット１３に到達する荷電粒子の粒径が変化する。したがって、印加電圧を段階的に変化させながら上記のような到達粒子個数の計測を繰り返すことにより、例えば図６に示すような粒径分布のグラフを得ることができる。
【０００７】
さらにまた、上記構成の静電分級器では、出口スリット１３を通過する荷電粒子は粒径が揃ったものとなるから、粒径分布等の測定のみならず、特定の粒径を有する粒子を選別して収集することができる。したがって、例えば粒径の揃った微粒子を基板上に堆積させたい場合等、計測以外の別の目的に利用することも可能である。
【０００８】
一方、上記のような構成を有する微分型電気移動度測定装置では、印加電圧を時間経過に伴って走査することにより粒径分布を取得するため、厳密には、異なる粒径を有する粒子の個数を同一時点において計測しているわけではない。そのため、時間経過に伴って粒径分布が変化するような場合の計測には適さない。そこで、こうした粒径の時間的な変化を捉えるために、図７に示すような別の構成の電気移動度測定装置が提案されている。図７では、図５中に示した構成要素と同一又は相当する構成要素には同じ符号を付して対応関係を明確にしている。
【０００９】
この装置では、サンプルガスに混入した荷電粒子を入口スリット１２から外筒１０と内筒１１との間の空間に噴出させる点では基本的に上記構成と同じであるが、その空間に内筒１１を取り囲むように複数（この例では３個）の円環状の検出器１８ａ、１８ｂ、１８ｃがシースガスの流れの方向に沿って配設されている。上述したような電気移動度の相違を利用した分級の原理によって、各検出器１８ａ、１８ｂ、１８ｃにはそれぞれ粒径の相違する荷電粒子が到達することになる。したがって、各検出器１８ａ、１８ｂ、１８ｃの検出信号によりグラフを作成すると、例えば図８に示すようになる。この装置の構成では、各検出器１８ａ、１８ｂ、１８ｃにおいて、時間経過に応じてほぼリアルタイムで粒子個数に対応した検出信号を得ることができるから、或る１つの検出器１８ａ（又は１８ｂ、１８ｃ）による検出信号に基づいて、図９に示すような時間経過に伴う粒子個数の変化を調べることができる。
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−２６４７９０号公報
【特許文献２】特開平１０−２８８６００号公報
【非特許文献１】武内、田中、藪本、「ＤＭＡ（微分型静電分級器）を用いたナノ粒子計測とサイズ選別」、［Online］、ワイコフ科学株式会社、［平成１６年９月１４日検索］、インターネット＜http://www.wyckoff.co.jp/reference/dma_detail_4.pdf＞
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述のように、従来の電気移動度測定装置（静電分級器）はその使用目的に応じて、つまりシャープな粒径バンド幅を設定して高精度な粒径分布特性を得たい場合（或いはきわめて粒径の揃った粒子を取り出したい場合）と、比較的ブロードな粒径バンド幅を設定して粒子個数（密度）の時間的変化を測定したい場合とでそれぞれ構成が相違しており、両方の測定を行いたいユーザは両方の装置を用意しておく必要がある。そのため、ユーザにとってコスト的な負担が大きく、必要に応じていずれかの測定を選択的に行えるような利便性の高い装置が要望されている。
【００１２】
本発明はかかる課題を解決するために成されたものであり、その第１の目的とするところは、シャープな粒径バンド幅を設定した高精度な粒径分布特性測定或いは粒子の選別と、ブロードな粒径バンド幅を設定した粒子密度の時間変化の測定との両方を簡便に切り替えて実行することができる微粒子分級装置及び微粒子計測装置を提供することにある。
【００１３】
また特許文献２に記載の装置では、入口スリット１２と出口スリット１３との離間距離Ｌを変化させることで、内筒１１へ印加する直流電圧を変化させることなしに、出口スリット１３から取り出す荷電粒子の粒径を変えることができるようになっている。そこで、上述のように粒径バンド幅を適宜に設定しつつその粒径のサイズ自体も変えることができれば、使用目的に応じた一層自由な測定が可能となる。
【００１４】
本発明の第２の目的とするところは、粒径バンド幅の任意の設定と粒径自体の任意の設定とを簡単な構成で実現することができる微粒子分級装置及び微粒子計測装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記第１の目的を達成するために成された第１発明は、略一定流量で以てキャリアガスを流すガス送給手段と、そのガス流に様々な粒径を有する荷電粒子を投入する粒子投入手段と、その荷電粒子が前記ガス流を横切る方向に該荷電粒子を誘引する又は反発する静電場を形成するための電場形成手段と、前記荷電粒子がガス流を横切って到達し得る位置に配設された出口スリットと、を具備し、前記ガス流中に投入された荷電粒子が該ガス流を横切る際にその抵抗に応じてガス流の流れの方向に沿って粒径毎に異なる位置に荷電粒子を到達させ、前記出口スリットの開口位置に到達した荷電粒子のみを選択的に取り出すようにした微粒子分級装置において、
前記ガス流の流れの方向に沿った前記出口スリットの開口幅を調節するための調節手段を備えることを特徴としている。
【００１６】
また上記第２の目的を達成するために、上記第１発明に係る微粒子分級装置では、前記ガス流の流れの方向に沿って前記出口スリットの位置を調節するための位置調節手段をさらに備える構成とすることができる。
【００１７】
また上記第１の目的を達成するために成された第２発明は、略一定流量で以てキャリアガスを流すガス送給手段と、そのガス流に様々な粒径を有する荷電粒子を投入する粒子投入手段と、その荷電粒子が前記ガス流を横切る方向に該荷電粒子を誘引する又は反発する静電場を形成するための電場形成手段と、前記荷電粒子がガス流を横切って到達し得る位置に配設された検出器と、を具備し、前記ガス流中に投入された荷電粒子が該ガス流を横切る際にその抵抗に応じてガス流の流れの方向に沿って粒径毎に異なる位置に荷電粒子を到達させ、前記検出器の検出面に到達した荷電粒子のみを選択的に検出するようにした微粒子計測装置において、
前記ガス流の流れの方向に沿った前記検出器の検出面幅を調節するための調節手段を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
第１発明に係る微粒子分級装置では、電場形成手段により形成される静電場やガス送給手段によるガス流量を一定に保った条件の下で、静電場によって誘引又は反発された荷電粒子を選択的に取り出すための出口スリットの開口幅が調節手段により可変となっている。この開口幅を狭くすれば取り出される荷電粒子の粒径バンド幅が狭くなり、逆に開口幅を広げれば取り出される荷電粒子の粒径バンド幅が広くなる。したがって、計測や分級の目的に応じてオペレータが調節手段により適宜開口幅を調節することによって、シャープな粒径バンド幅を設定した高精度な粒径分布特性測定或いは粒子の選別と、ブロードな粒径バンド幅を設定した粒子密度の時間変化の測定との両方を自由に実行することができる。これにより、従来のように両用途にそれぞれ適した装置を用意する必要がなくなり、測定・分級のコストを大幅に下げることができる。
【００１９】
第１発明に係る微粒子分級装置の一実施態様として、前記出口スリットは前記ガス流の流れの方向の上流側に位置する上流側微粒子到達壁と下流側に位置する下流側微粒子到達壁との間に形成され、前記調節手段は該上流側微粒子到達壁又は下流側微粒子到達壁のいずれか一方をガス流の流れの方向に移動可能としたものである構成とすることができる。さらに具体的には、前記調節手段は例えば上流側微粒子到達壁又は下流側微粒子到達壁の一部を成すスライド式の遮蔽板を出口スリットの開口の前方又は後方に設ける構成とし、その遮蔽板の移動によって開口幅を調節できるようにするとよい。もちろん、こうした遮蔽板の移動はモータ等の駆動力によって行えるようにしてもよいし、オペレータが手動で行うようにしてもよい。
【００２０】
また第１発明に係る微粒子分級装置において位置調節手段をさらに備えた構成では、位置調節手段により出口スリットの開口の位置がガス流の流れの方向、つまり到達する荷電粒子の粒径のサイズ方向に変わるため、例えば上記調節手段により出口スリットの開口幅を一定に保ったまま位置調節手段によりその開口の位置を変えることで、粒径バンド幅を一定に維持しながら取り出される荷電粒子の粒径（サイズ）を変えることができる。もちろん、位置調節手段により荷電粒子の粒径の中心値を任意に設定した状態で、調節手段により粒径バンド幅を調節することもできる。このようにして、取り出す荷電粒子の粒径（サイズ）とその粒径バンド幅とを任意に設定できるので、使用目的に応じた、より一層柔軟で適切な測定が１台の装置で行える。
【００２１】
この構成の一実施態様としては、上述のように上流側微粒子到達壁と下流側微粒子到達壁との間に出口スリットを形成し、該上流側微粒子到達壁及び下流側微粒子到達壁の両方をガス流の流れの方向に移動可能としたものを位置調節手段とすればよい。この構成によれば、上流側微粒子到達壁と下流側微粒子到達壁とをそれぞれ適宜に移動させるだけで、出口スリットの開口幅の調節と出口スリットの位置の調節とが可能となり、構造も非常に簡単であってコストを抑えることができる。
【００２２】
第２発明に係る微粒子計測装置では、電場形成手段により形成される静電場やガス送給手段によるガス流量を一定に保った条件の下で、静電場によって誘引又は反発された荷電粒子を選択的に検出するための検出器の検出面の幅が調節手段により可変となっている。この検出面幅を狭くすれば検出される荷電粒子の粒径バンド幅が狭くなり、逆に検出面幅を広げれば検出される荷電粒子の粒径バンド幅が広くなる。したがって、計測の目的に応じてオペレータが調節手段により適宜検出面幅を調節することによって、シャープな粒径バンド幅を設定した高精度な粒径分布特性測定と、ブロードな粒径バンド幅を設定した粒子密度の時間変化の測定との両方を自由に実行することができる。これにより、従来のように両用途にそれぞれ適した装置を用意する必要がなくなり、測定のコストを大幅に下げることができる。
【００２３】
なお、第２発明に係る分級装置の具体的な態様として、前記調節手段は例えば上記と同様にスライド式の遮蔽板を検出面の前方に設ける構成とし、その遮蔽板の移動によって検出面幅を調節できるようにするとよい。また、こうした機械的な方法のほかに、検出面を部分的に非能動化し得る（例えば、荷電粒子が到達しても電流が流れないようにしたり電流が検出信号に反映されないようにする）場合には、そうした機能を用いて検出面幅を実質的に変化させてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
［実施例１］
まず第１発明に係る微粒子分級装置の一実施例（実施例１）について図面を参照して説明する。この実施例の装置の基本的な構成は図５に示したものと同じであるので全体構成については記載を省略する。即ち、既述のように、円環状に開口した入口スリットからシースガス流中に投入された荷電粒子は、内筒と外筒との間に印加された直流電圧により形成される静電場によってシースガス流を横切るように移動するが、その際にシースガス流の抵抗を受けて、大きなサイズの荷電粒子ほど下流側に流される。
【００２５】
本実施例の装置が図５に示した従来の装置と異なるのは、上記のようにして粒径毎に分離された荷電粒子を取り出すための出口スリット１３の周辺の構造にある。図１はこの出口スリット１３付近の詳細構成を示す断面図である。
【００２６】
内筒１１の下部体１１ｂ（第１発明における下流側微粒子到達壁）は、位置が固定された略円筒形状の基部２０と、その基部２０に対して上下動可能で且つ基部２０と電気的な接続を保った状態に嵌挿された円筒状の遮蔽板２１と、から成る。この遮蔽板２１の上縁端と内筒１１の上部体１１ａの下縁端との間に、円環状の出口スリット１３の開口が形成されるから、図１（ａ）に示すように遮蔽板２１を上方にスライド移動させた状態では開口幅はＤ１と狭くなり、逆に図１（ｂ）に示すように遮蔽板２１を下方にスライド移動させた状態では開口幅はＤ２と広くなる。即ち、この遮蔽板２１が第１発明における調節手段に相当する。
【００２７】
上述したように、荷電粒子はこの出口スリット１３の開口幅の方向（シースガス流の流れの方向）に沿って粒径が相違するものとなるから、開口幅を広げればそれだけ開口を通過する荷電粒子の粒径の幅、つまり粒径バンド幅は広くなる。他方、開口幅を狭めればそれだけ開口を通過する荷電粒子の粒径バンド幅は狭くなり、粒径の揃った荷電粒子が取り出されることになる（図４（ｂ）参照）。したがって、計測や分級の目的に応じて遮蔽板２１の位置を調節し、出口スリット１３の開口幅を変化させればよい。
【００２８】
なお、遮蔽板２１はオペレータが手で上下動させる構成としてもよいが、例えばモータ等の駆動源からの駆動力によって遮蔽板２１を上下動させる構成としてもよい。また、必ずしもこうした形態に限定されるものではなく、出口スリット１３の開口幅を変化させることが可能である構成でありさえすればよい。
【００２９】
［実施例２］
次に第２発明に係る微粒子計測装置の一実施例（実施例２）について図面を参照して説明する。この実施例２の装置の基本的な構成は図７に示したものと同じであるので全体構成については記載を省略する。本実施例の装置が図７に示した従来の装置と異なるのは、荷電粒子を検出するための検出器１８ａ（又は１８ｂ、１８ｃ）の検出面の周辺の構造にある。図２はこの検出器１８ａの検出面付近の詳細構成を示す図である。検出器１８ａにあって荷電粒子を受ける検出面１８１の前方には、シャッタホルダ３０により上下動可能に保持されたシャッタ３１が配設されている。このシャッタ３１の上縁端と上側のシャッタホルダ３０の下縁端との間に形成された導入口を介して、検出面１８１がシースガス流に面して露出する。
【００３０】
したがって、図２（ａ）に示すようにシャッタ３１を上方にスライド移動させた状態では実効的な検出面１８１の幅はＤ１と狭くなり、検出器１８ａで検出される荷電粒子の粒径バンド幅は狭くなる。逆に図２（ｂ）に示すようにシャッタ３１を下方にスライド移動させた状態では実効的な検出面１８１の幅はＤ２と広くなり、検出器１８ａで検出される荷電粒子の粒径バンド幅は広くなる。即ち、計測の目的に応じてシャッタ３１の位置を調節し、実効的な検出面１８１の幅を変化させればよい。
【００３１】
図２の例は機械的に検出面の一部を被覆することで検出面幅を調節していたが、電気的に検出面幅を実効的に調節する構成とすることも可能である。例えば、検出器の検出面を予めシースガス流の流れの方向に複数に分割して形成しておき、その分割された複数の検出面を能動化する個数を選択することで検出面幅を調節するようにすることができる。また、こうして分割した各検出面で得られる電流を加算する際に不要な検出面で得られた電流の加算を行わないような演算処理を行ってもよい。
【００３２】
［実施例３］
次に、上記実施例１による微粒子計測装置の変形例である実施例３の微粒子計測装置について図面を参照して説明する。図３は実施例３による微粒子計測装置の概略構成図である。既に説明した図１及び図４と同一構成要素には同一符号を付して詳しい説明を省略する。
【００３３】
図３（ａ）に示すように、内筒１１の下部体１１ｂとしては、略円筒形状の基部２０の上縁に円筒状の遮蔽板２１が上下動可能で且つ基部２０と電気的な接続を保った状態で嵌め込まれており、遮蔽板２１を上下にスライド移動させることで、遮蔽板２１の上縁端と内筒１１の上部体１１ａの下縁端との間に形成される出口スリット１３の開口幅を調整できる点は実施例１と同様である。これに加え、この実施例３では、内筒１１の上部体１１ａ（本発明における上流側微粒子到達壁）は、位置が固定された円筒状の保持部２２と、該保持部２２内に上下動可能に嵌挿された可動部２３とから成り、可動部２３は駆動機構２４により手動でスライド移動するように構成されている。
【００３４】
即ち、上記実施例１の構成では、出口スリット１３の開口の上縁部の位置は固定され、その下縁部の位置のみが遮蔽板２１の上下動に応じて上下するようになっていたが、この実施例３の構成では、出口スリット１３の開口の上縁部の位置も可動部２３の上下動に応じて上下するようにされている。
【００３５】
これにより、図３（ａ）に示すように、可動部２３を下方にスライド移動させ、それに合わせて遮蔽板２１も下方にスライド移動させた状態では、入口スリット１２と出口スリット１３との離間距離Ｌは大きくなる。一方、図３（ｂ）に示すように、可動部２３を上方にスライド移動させ、それに合わせて遮蔽板２１も上方にスライド移動させた状態では、図３（ａ）の場合と出口スリット１３の開口幅を同一としながらも離間距離Ｌは小さくなる。既に説明したように、内筒（ここでは可動部２３）へ印加する直流電圧が一定である条件の下では粒径の大きな荷電粒子ほど入口スリット１２から離れた位置に到達するから、上述したように離間距離Ｌを調節することで、出口スリット１３から取り出される荷電粒子の粒径を変えることができる。
【００３６】
即ち、遮蔽板２１と可動部２３との位置をそれぞれ適当に調節することにより、図４（ａ）に示すように、粒径のバンド幅を同一に維持しながら選択する粒径を変えることができる。また、図４（ｂ）に示すように、選択する粒径を任意に設定した状態で、粒径のバンド幅も狭くしたり広げたり任意に変えることができる。したがって、この構成によれば、目的に応じて様々な粒径測定や微粒子選択が行える。
【００３７】
もちろん、この構成においても、可動部２３を上下させる駆動機構２４を手動でなくモータで駆動するようにしてもよい。遮蔽板２１と可動部２３とをそれぞれモータ等で移動させる構成とすれば、例えば粒径を走査する、或いは粒径バンド幅を自動で設定する等の制御が可能となる。
【００３８】
また、上記実施例はいずれも本発明の一例にすぎないから、上記記載以外の点においても、本発明の趣旨の範囲で適宜に修正、変更、追加などを行っても本願発明に包含されることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】第１発明の一実施例（実施例１）による微粒子分級装置の要部の構成図。
【図２】第２発明の一実施例（実施例２）による微粒子計測装置の要部の構成図。
【図３】実施例１の変形例である実施例３による微粒子計測装置の概略構成図。
【図４】実施例３による微粒子計測装置の動作説明のための図。
【図５】従来の微分型電気移動度測定装置の概略構成図。
【図６】図４の装置で得られる測定結果の一例を示す図。
【図７】従来の他の構成による電気移動度測定装置の概略構成図。
【図８】図５の装置で得られる測定結果の一例を示す図。
【図９】図５の装置で得られる測定結果の一例を示す図。
【符号の説明】
【００４０】
１０…外筒
１１…内筒
１１ａ…上部体
１１ｂ…下部体
１２…入口スリット
１３…出口スリット
１４…シースガス供給路
１５…サンプルガス供給路
１６…直流電源
１７…出口流路
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ…検出器
１８１…検出面
２０…基部
２１…遮蔽板
２２…保持部
２３…可動部
２４…駆動機構
３０…シャッタホルダ
３１…シャッタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006122890.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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