(57)【要約】【課題】  照射窓を通過する際における電子線のロスを小さくし、効率よく照射雰囲気中に電子線を取り出すことができる電子線照射装置を提供する。【解決手段】  この電子線照射装置は、Ｘ方向に搬送される被照射物５０に向けて電子線１４を照射する電子線照射装置である。Ｘ方向に伸びていると共に両端部１０６ｂが支持されて同一平面上かつＹ方向に並べて配置された複数のフィラメント１０６に対して略平行に配置されて、フィラメント１０６から放出された電子を電子線１４として引き出す引出し電極１２を備える。Ｘ方向に並列に配置される複数の長手窓２８、３０に仕切る長手桟２２を有し、前記引出し電極１２から引き出された電子線１４を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓１６を備える。フィラメント１０６は、コイル状に巻かれたコイル部１０８が長手窓２８、３０とＺ方向に対応する部位に形成されている。【選択図】  図１
2006198532.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照射幅方向に対して交差する方向に搬送される被照射物に向けて電子線を照射する電子線照射装置において、
電子を放出するものであって、被照射物が搬送される方向に伸びていると共に両端部が支持されて同一平面上かつ照射幅方向に並べて配置された複数のフィラメントと、
前記同一平面上に配置された複数のフィラメントに対して略平行に配置され、前記フィラメントから放出された電子を電子線として引き出す引出し電極と、
被照射物が搬送される方向に並列に配置される複数の長手窓に仕切る長手桟を有し、前記引出し電極から引き出された電子線を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓とを備え、
前記各フィラメントには、コイル状に巻かれたコイル部が前記長手窓と電子線の引出し方向に対応する部位に形成されていることを特徴とする電子線照射装置。
【請求項２】
前記コイル部は、フィラメントの両端部よりも電子線引出し方向の下流側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電子線照射装置。
【請求項３】
照射幅方向に対して交差する方向に搬送される被照射物に向けて電子線を照射する電子線照射装置において、
電子を放出するものであって、被照射物が搬送される方向に伸びていると共に両端部が支持されて同一平面上かつ照射幅方向に並べて配置された複数のフィラメントと、
前記同一平面上に配置された複数のフィラメントに対して略平行に配置され、前記フィラメントから放出された電子を電子線として引き出す引出し電極と、
被照射物が搬送される方向に並列に配置される複数の長手窓に仕切る長手桟を有し、前記引出し電極から引き出された電子線を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓とを備え、
前記各フィラメントには、略Ｕ字状に曲げられた湾曲部が前記長手窓と電子線の引出し方向に対応する部位に形成されていることを特徴とする電子線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電子線を被照射物に照射して、被照射物の架橋、改質、硬化、殺菌、その他の表面処理に用いられる電子線照射装置に関し、より具体的には、フィラメントから電子線を引出す引出し電極の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図を図７に示す。なお、これとほぼ同様の構造をした電子線照射装置が特許文献１の図３に記載されている。
【０００３】
図７において、この電子線照射装置は、電子線１４を走査しない非走査型（またはエリア型）と呼ばれ、被照射物５０が搬送される方向（Ｘ方向）に相対的に短く、このＸ方向と直交するＹ方向に相対的に長い平面形状（例えば矩形状）の電子線１４を発生させる装置である。なお、Ｙ方向は照射幅方向とも呼ばれる。
【０００４】
この電子線照射装置は、Ｙ方向に長く矩形状の開口部を有する筒状の真空容器２と、この真空容器２の中に収納されていてＹ方向に長い筒状のシールド電極４と、さらにこのシールド電極４の中に収納されている電子源５と、真空容器２の開口部に設けられて電子源５から放出された電子線を照射雰囲気中へ取り出す照射窓１６とを有している。
【０００５】
電子源５は、電子を放出するフィラメント６と、フィラメント６から放出された電子を電子線１４として引き出す引出し電極１２とを有しており、これらはいずれもシールド電極４の中に配置されている。なお、シールド電極４及び引出し電極１２は互いに同電位にされ、それらと各フィラメント６との間には、フィラメント６側を負極にして、電子線１４の引き出し用の引出し電圧Ｖｅが印加される。この引出し電圧Ｖｅを調整することにより、電子線１４の発生量を調整している。なお、各フィラメント６とシールド電極４との間には、フィラメント６から放出された電子を引出し電極１２側へ押し戻す作用をするリフレクタ１０を設ける場合がある。
【０００６】
照射窓１６は、真空容器２の開口部に沿って設けられた窓枠１８と、真空領域と照射雰囲気とを分離するものであって、真空容器２の開口部を塞ぐ窓箔２０と、この窓箔２０を窓枠１８に固定する押さえ枠２６とを有している。
【０００７】
照射窓１６は、多量の電子線１４を取り出すために電子線密度を高くすると窓箔２０の冷却が困難となるので、Ｘ方向の開口長さを大きくすることにより開口領域を広くする必要がある。しかし、Ｘ方向の開口長さが大きくなると、熱抵抗により窓箔２０のＸ方向の中央付近の温度が上昇してしまうと共に窓箔２０の機械的強度が小さいという問題がある。これらの問題を解決するために、照射窓１６のＸ方向のほぼ中央部（以下、「Ｘ方向の中央部」を単に「中央部」と称する。）に、Ｙ方向に伸びる（Ｙ方向に長い）長手桟２２が配置されている。このように、Ｙ方向に伸びる長手桟２２を照射窓１６のほぼ中央部に設けることによって、照射窓１６のＸ方向の開口長さを広げている。また、長手桟２２は、Ｙ方向に伸びることによって、Ｘ方向に複数の長手窓２８、３０が形成されるように照射窓１６を仕切っている。なお、この長手桟２２は中央桟と呼ばれることもある。さらに、この長手桟２２には、この例のように冷却水路２４が形成されている場合もあり、この場合には冷却桟と呼ばれることもある。
【０００８】
窓箔２０は、真空容器２と同電位にされ、引出し電極１２等との間には、引出し電極１２等の側を負極にして、電子線１４の加速用の加速電圧Ｖａが印加される。
【０００９】
このようにして、電子源５から引き出されかつ加速された電子線１４は、窓箔２０を透過して真空容器２外（照射雰囲気中）に取り出され、Ｘ方向に搬送される被照射物５０に向けて照射され、被照射物５０の改質等の処理に供される。
【００１０】
ここで、電子源５と照射窓１６との位置関係について、図８を参照しつつ説明する。図８は、図７の電子線照射装置のフィラメント６、引出し電極１２及び照射窓１６の概略を示す斜視図である。
【００１１】
図８において、Ｘ方向に直線状に伸びる複数本のフィラメント６が、同一平面上でＹ方向に複数本並べて配置されている。この複数本の各フィラメント６は、互いに電気的に並列接続されており、給電導体８によって両端部６ｂが支持されると共にこの給電導体８を経由してフィラメント変圧器（図示せず）から加熱用のフィラメント電力が供給される。  
【００１２】
引出し電極１２は、Ｙ方向に長い長方形の板状部材であって多数の孔１３を有しており、同一平面上に配置された複数本のフィラメント６に対して略平行（平行を含む）かつ電子線１４引出し方向（Ｚ方向）の下流側に配置されている。
【００１３】
照射窓１６は、同一平面上に配置された複数本のフィラメント６とＺ方向に対応する部位に設けられている。また、長手桟２２は、フィラメント６のほぼ中央部とＺ方向に対応する部位に配置されると共に、Ｙ方向に伸びている。なお、「フィラメント６のほぼ中央部とＺ方向に対応する部位」とは、フィラメント６のほぼ中央部６ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ１が照射窓１６と交差する部位を意味する。
【００１４】
また、特許文献１の図４に開示されるように、電子線の引出し方向Ｚに互いに間をあけて配置された２枚の引出し電極を有する電子線照射装置の例もある。この場合、２枚の引出し電極は、互いに同じ構造をしており、電気的に同電位に結合されている。
【００１５】
【特許文献１】特開２００３−４８９８号公報（段落０００２〜０００８、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
図７及び図８を参照しつつ説明した電子線照射装置並びに特許文献１の図３に記載の電子線照射装置における課題について、図９を参照しつつ説明する。図９は、（ａ）が従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図、（ｂ）が（ａ）の電子線照射装置において電子線１４が照射窓１６を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。
【００１７】
図９（ｂ）において、照射窓１６を通過する前、即ち、窓箔２０を透過する前の電子線１４の線量は、照射窓１６のほぼ中央部において最も大きくなる。これは、フィラメント６の両端部６ｂが給電導体８（図８参照）によって支持されていることによって温度が低くなり、一方、フィラメント６の中央部は支持されるものがないため温度が高くなることによるものである。即ち、フィラメント６の熱分布（電子流分布) は、両端部６ｂが低く中央部６ａが高い一山型となり、温度が高いフィラメント６の中央部では放出される電子量が増加する。これにより、照射窓１６を通過（即ち、窓箔２０を透過）前の電子線量分布は、照射窓１６のほぼ中央部において最も大きい一山型となる。
【００１８】
しかしながら、フィラメント６の熱分布（電子流分布) が最大値となるフィラメント６の中央部６ａは、前述のとおり、開口されていない照射窓１６の中央部（即ち、長手桟２２が配置されている部位）とＺ方向に対応する。従って、フィラメント６の中央部６ａから放出されて引出し電極１２によって引き出された電子線１４は長手桟２２によって遮られ、この分の電子線がロス（図９（ｂ）中に示す領域Ｇ）となる。その結果、照射窓１６を通過した後の電子線量分布は、冷却桟が配置されている部位の電子線量が小さい二山型となる。即ち、照射窓１６を通過する際における電子線１４のロスが大きくなり、効率よく電子線を照射雰囲気中に取り出すことが出来ないといった課題がある。なお、このような課題は、長手桟２２が、フィラメント６の中央部６ａとＺ方向に対応する場合に限られず、フィラメント６の両端部６ｂから離れた中央部６ａでない部位に設けられている場合にも生じ得る。さらに、このような場合には、複数の長手桟２２が設けられている場合も考え得る。
【００１９】
そこで、この発明は、照射窓を通過する際における電子線１４のロスを小さくし、効率よく照射雰囲気中に電子線を取り出すことができる電子線照射装置を提供することを主たる目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
この発明において、以下の特徴は単独で、若しくは、適宜組合わされて備えられている。前記課題を解決するためのこの発明に係る電子線照射装置は、照射幅方向に対して交差する方向に搬送される被照射物に向けて電子線を照射する電子線照射装置において、電子を放出するものであって、被照射物が搬送される方向に伸びていると共に両端部が支持されて同一平面上かつ照射幅方向に並べて配置された複数のフィラメントと、前記同一平面上に配置された複数のフィラメントに対して略平行に配置され、前記フィラメントから放出された電子を電子線として引き出す引出し電極と、被照射物が搬送される方向に並列に配置される複数の長手窓に仕切る長手桟を有し、前記引出し電極から引き出された電子線を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓とを備え、前記各フィラメントには、コイル状に巻かれたコイル部が前記長手窓と電子線の引出し方向に対応する部位に形成されていることを特徴とする。
【００２１】
上記構成によれば、各フィラメントには、コイル状に巻かれたコイル部が長手窓とＺ方向に対応する部位に形成されている。従って、各フィラメントにおけるコイル部では、Ｘ方向の単位長さ当たりのフィラメントの表面積が大きくなり、このコイル部から放出される電子の量が、コイル部が形成されている部位とは異なる他の部位よりも多くなる。
【００２２】
なお、ここで「各フィラメント」とは、全てのフィラメントのみならず、１本乃至数本のフィラメントを除いたフィラメントをも含む意味である。
【００２３】
この発明に係る電子線照射装置において、前記コイル部は、フィラメントの両端部よりも電子線引出し方向の下流側に形成されていることが好ましい。
【００２４】
上記構成によれば、フィラメントのコイル部と引出し電極との距離が小さくなり、長手窓とＺ方向に対応するフィラメントの部位から放出される電子を引き出しやすくなる。
【００２５】
この発明に係る電子線照射装置は、照射幅方向に対して交差する方向に搬送される被照射物に向けて電子線を照射する電子線照射装置において、電子を放出するものであって、被照射物が搬送される方向に伸びていると共に両端部が支持されて同一平面上かつ照射幅方向に並べて配置された複数のフィラメントと、前記同一平面上に配置された複数のフィラメントに対して略平行に配置され、前記フィラメントから放出された電子を電子線として引き出す引出し電極と、被照射物が搬送される方向に並列に配置される複数の長手窓に仕切る長手桟を有し、前記引出し電極から引き出された電子線を透過させて照射雰囲気中に取り出す照射窓とを備え、前記各フィラメントには、略Ｕ字状に曲げられた湾曲部が前記長手窓と電子線の引出し方向に対応する部位に形成されていることを特徴とする。
【００２６】
上記構成によれば、フィラメントは、略Ｕ字状に曲げられた湾曲部が長手窓とＺ方向に対応する部位に形成されている。従って、湾曲部では、Ｘ方向の単位長さ当たりのフィラメントの表面積が大きくなり、各フィラメントから放出される電子の量が多くなる。
【発明の効果】
【００２７】
請求項１に記載の発明によれば、長手窓とＺ方向に対応するフィラメントの部位から放出される電子の量が多くなり、照射窓を通過する前の電子線量分布が、長手窓において大きい複数の山が形成された電子線量分布（以下「多山型」と称する）となる。即ち、長手窓に対応した山型ができ、例えば長手窓の数が２つであれば二山型の電子線量分布となる。従って、照射窓を通過する際における電子線のロスを小さくし、効率よく電子を取り出すことが可能となる。
【００２８】
請求項２に記載の発明によれば、長手窓とＺ方向に対応するフィラメントの部位から放出される電子を引き出しやすくなるので、照射窓を通過する際における電子線のロスをより一層小さくすることができる。これにより、更に効率よく電子を取り出すことが可能となる。
【００２９】
請求項３に記載の発明によれば、長手窓とＺ方向に対応するフィラメントの部位から放出される電子の量が多くなり、照射窓を通過する前の電子線量分布が、長手窓において大きい多山型となる。即ち、長手窓に対応した山型ができ、例えば長手窓の数が２つであれば二山型の電子線量分布となる。従って、照射窓を通過する際における電子線のロスを小さくし、効率よく電子を取り出すことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
図１は、この発明に係る電子線照射装置の一例を示す概略断面図であって、１段の引出し電極１２を備えている。図２は、図１の電子線照射装置のフィラメント１０６、引出し電極１２及び照射窓１６の概略を示す斜視図である。図３は、（ａ）がこの発明に係る電子線照射装置の一例を示す概略断面図、（ｂ）が（ａ）の電子線照射装置において電子線１４が照射窓１６を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。なお、図７〜図９に示した従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００３１】
図１において、この電子線照射装置は、従来例におけるフィラメント６に代わるフィラメント１０６を有する電子源１０５を備えている。また、引出し電極１２には従来例と同様にして引出し電圧Ｖｅ及び加速電圧Ｖａが印加される。ここで、フィラメント１０６には、長手窓２８、３０の数と同じ数のコイル部１０８が形成されている。本実施形態におけるコイル部１０８の数は２個であり、これらをそれぞれ、第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂと称する。これらのコイル部１０８ａ、１０８ｂは、それぞれ、フィラメント１０６がコイル状に巻かれた部位であり、本実施形態では、例えば１ターン（即ち、巻かれた回数が１回）のコイルが形成されている。言い換えれば、Ｙ方向矢視において、円形（真円及び楕円のいずれも含む）に巻かれたコイル部１０８がフィラメント１０６に形成されていることとなる。ただし、コイル部１０８においてフィラメント１０６の表面が互いに接触しないよう、コイルとコイルとの間に隙間が形成されるようにフィラメント１０６を巻く必要がある。
【００３２】
図２において、引出し電極１２には、引出し電極１２を貫通する多数の孔１３が形成されている。なお、図２では、便宜上、孔１３の数を制限して図示しているが、実際には更に多数の孔１３が形成されている。
【００３３】
図１及び図２に図示されるように、第１コイル部１０８ａは、長手窓２８とＺ方向に対応する部位に形成されている。より詳しく言えば、長手窓２８の中央部２８ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ２と交差するフィラメント１０６の部位に第１コイル部１０８ａが形成されている。
【００３４】
また、第２コイル部１０８ｂは、長手窓３０とＺ方向に対応する部位に形成されている。より詳しく言えば、第１コイル部１０８ａと同様に、長手窓３０の中央部３０ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ３と交差するフィラメント１０６の部位に第２コイル部１０８ｂが形成されている。
【００３５】
第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂは、いずれも、フィラメント１０６の両端部１０６ｂよりもＺ方向の下流側に形成されている。即ち、コイルがＺ方向の下流側に向けて巻かれていることを意味する。従って、コイル状に巻かれていないほぼ直線状のフィラメント１０６の部位（例えばフィラメント１０６の両端部１０６ｂ）と引出し電極１２とのＺ方向の距離は、フィラメント１０６の第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂと引出し電極１２とのＺ方向の距離と比して大きい。換言すれば、フィラメント１０６のほぼ第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂと引出し電極１２とのＺ方向の距離は、コイル状に巻かれていないフィラメント１０６の部位と引出し電極１２とのＺ方向の距離と比して小さい。
【００３６】
なお、前述したように、長手窓２８と長手窓３０との間には長手桟２２が設けられており、この長手桟２２は、Ｙ方向に伸びている。また、長手桟２２とフィラメント１０６のほぼ中央部１０６ａとがＺ方向に対応する。即ち、フィラメント１０６のほぼ中央部１０６ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ１は、長手桟２２と交差することとなる。
【００３７】
次に、本実施形態の電子線照射装置における作用効果について、図３を参照しつつ説明する。
【００３８】
図３（ｂ）において、電子線１４が照射窓１６を通過する前の電子線量分布は、冷却桟２２とＺ方向に対応する部位において電子線量が小さくなる二山型となる。これは、長手窓２８、３０とＺ方向に対応するフィラメント１０６の部位（即ち、第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂ）のフィラメント１０６の表面積が大きくなり、各コイル部１０８ａ、１０８ｂから放出される電子の量が、コイル部１０８ａ、１０８ｂが形成されている部位とは異なる他の部位（即ち、直線状の部位）よりも多くなるからである。従って、照射窓１６を電子線１４が通過する際（即ち、窓箔２０を電子線１４が透過する際）における電子線１４のロス（図３（ｂ）中に示す領域Ｇ）を小さくし、効率よく電子線１４を取り出すことが可能となる。
【００３９】
さらに、第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂはフィラメント１０６の両端部１０６ｂよりもＺ方向下流側に形成されているので、第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂと引出し電極１２との距離が小さくなる。また、第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂは、それぞれ、長手窓２８、３０とＺ方向に対応する部位に形成されているので、照射窓１６を通過する際における電子線１４のロス（領域Ｇ）をより一層小さくすることが可能となる。
【００４０】
次に、この発明に係る電子線照射装置の他の例について、図４〜図６を参照しつつ説明する。図４は、この発明に係る電子線照射装置の他の例を示す概略断面図である。この電子線照射装置は、図１に図示されるフィラメント１０６に代わるフィラメント１１６を有する電子源１１５を備えている。図５は、図４の電子線照射装置のフィラメント１１６、引出し電極１２及び照射窓１６の概略を示す斜視図である。図６は、（ａ）がこの発明に係る電子線照射装置の他の例を示す概略断面図、（ｂ）が（ａ）の電子線照射装置において電子線１４が照射窓１６を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。なお、以下においては、前記実施形態との相違点を主体に説明する。
【００４１】
図４において、フィラメント１１６には、長手窓２８、３０の数と同じ数の湾曲部１１８が形成されている。本実施形態における湾曲部１１８の数は２個であり、これらをそれぞれ、第１湾曲部１１８ａ及び第２湾曲部１１８ｂと称する。これらの湾曲部１１８ａ、１１８ｂは、それぞれ、Ｙ方向矢視において、フィラメント１１６がＵ字状に曲げられた部位である。
【００４２】
図４及び図５において、第１湾曲部１１８ａは、長手窓２８とＺ方向に対応する部位に形成されている。より詳しく言えば、長手窓２８の中央部２８ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ２と交差するフィラメント１１６の部位に第１湾曲部１１８ａが形成されている。
【００４３】
また、第２湾曲部１１８ｂは、長手窓３０とＺ方向に対応する部位に形成されている。より詳しく言えば、第１湾曲部１１８ａと同様に、長手窓３０の中央部３０ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ３と交差するフィラメント１１６の部位に第２湾曲部１１８ｂが形成されている。
【００４４】
第１湾曲部１１８ａ及び第２湾曲部１１８ｂは、いずれも、フィラメント１１６の両端部１１６ｂよりもＺ方向の下流側に形成されている。即ち、Ｚ方向の下流側に向けてＵ字状に曲げられていることを意味する。従って、曲げられていないほぼ直線状のフィラメント１１６の部位（例えばフィラメント１１６の両端部１１６ｂ）と引出し電極１２とのＺ方向の距離は、フィラメント１１６の第１湾曲部１１８ａ及び第２湾曲部１１８ｂと引出し電極１２とのＺ方向の距離と比して大きい。換言すれば、フィラメント１１６の第１湾曲部１１８ａ及び第２湾曲部１１８ｂと引出し電極１２とのＺ方向の距離は、Ｕ字状に曲げられていないフィラメント１１６の部位と引出し電極１２とのＺ方向の距離と比して小さい。
【００４５】
また、長手桟２２とフィラメント１１６のほぼ中央部１１６ａとがＺ方向に対応する点は、図１〜図３に図示される電子線照射装置と同様である。即ち、フィラメント１１６のほぼ中央部１１６ａを通過するＺ方向の仮想線Ｌ１は、長手桟２２と交差することとなる。
【００４６】
なお、湾曲部１１８においてフィラメント１１６をＵ字状に曲げる場合、フィラメント１１６の断面積が小さくなることがないように曲げる必要がある。例えば、Ｖ字状のように断面積が小さくなるようにフィラメント１１６を曲げると、電界が集中し、また、フィラメント１１６の寿命が短くなる点において好ましくない。言い換えれば、フィラメント１１６の断面積が小さくならなければ、Ｙ方向矢視において椀状のような略Ｕ字状であっても良い。
【００４７】
次に、本実施形態の電子線照射装置における作用効果について、図６を参照しつつ説明する。
【００４８】
図６（ｂ）において、電子線１４が照射窓１６を通過する前の電子線量分布は、冷却桟２２とＺ方向に対応する部位において電子線量が小さくなる二山型となる。これは、長手窓２８、３０とＺ方向に対応するフィラメント１１６の部位（即ち、第１湾曲部１１８ａ及び第２湾曲部１１８ｂ）のフィラメント１１６の表面積が大きくなり、フィラメント１１６から放出される電子の量が多くなるからである。従って、照射窓１６を電子線１４が通過する際（即ち、窓箔２０を電子線１４が透過する際）における電子線１４のロス（図６（ｂ）中に示す領域Ｇ）を小さくし、効率よく電子を取り出すことが可能となる。
【００４９】
さらに、第１湾曲部１１８ａ及び第２湾曲部１１８ｂはフィラメント１１６の両端部１１６ｂよりもＺ方向下流側に形成されているので、第１湾曲部１１８ａ及び第２湾曲部１１８ｂと引出し電極１２との距離が小さくなる。これにより、長手窓２８、３０とＺ方向に対応するフィラメントの部位（即ち、各湾曲部１１８ａ、１１８ｂ）から放出される電子を引き出しやすくなる。また、第１湾曲部１１８ａ及び第２湾曲部１１８ｂは、それぞれ、長手窓２８、３０とＺ方向に対応する部位に形成されているので、照射窓１６を通過する際における電子線１４のロス（領域Ｇ）をより一層小さくすることが可能となる。
【００５０】
なお、電子の放出量を多くできる点においてはコイル部１０８が形成されたフィラメント１０６の方が湾曲部１１８が形成されたフィラメント１１６よりも優れているが、フィラメントの加工の容易さの観点からいえば、湾曲部１１８が形成されたフィラメント１１６の方がコイル部１０８が形成されたフィラメント１０６よりも優れている。
【００５１】
また、フィラメント１０６、１１６は、同一平面上に複数個配置されているが、コイル部１０８及び湾曲部１１８は、それぞれ、電子線照射装置が備える全てのフィラメント１０６、１１６に形成されていることが好ましい。
【００５２】
なお、本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が可能である。例えば、本実施形態では、１段の引出し電極を備えた電子線照射装置について説明したが、これに限るものではない。例えば、Ｚ方向に２段の引出し電極又は３段の引出し電極を備えた電子線照射装置についても、この発明を適用することができる。
【００５３】
また、本実施形態において、照射窓１６が長手桟２２によってＸ方向に二つの長手窓２８、３０に仕切られているが、長手窓の数が三つ以上となるように仕切られていても良い。このとき、一つのフィラメント１０６、１１６に形成されるコイル部１０８及び湾曲部１１８の数は、それぞれ、長手窓の数と同数であることが好ましい。
【００５４】
また、本実施形態において、第１コイル部１０８ａ及び第２コイル部１０８ｂには、それぞれ、１ターンのコイルが形成されているが、ターン数はこれに限られず、複数ターンであっても良い。ターン数が多くなるにつれて加工が困難となるものの、複数ターン巻かれることによってコイル部におけるフィラメントの表面積が大きくなるので、長手窓２８、３０とＺ方向に対応する部位におけるフィラメント１０６から放出される電子の量が多くなる。
【００５５】
また、本実施形態では、Ｙ方向に対して直交するＸ方向に被照射物５０が搬送されているが、被照射物が搬送される方向は必ずしも直交する方向には限られず、Ｙ方向に万遍なく電子線を照射させることができる方向であれば良い。
【００５６】
また、本実施形態では、二つの長手窓２８、３０がＸ方向に並べて形成されているが、長手窓の数はこれに限られない。この場合、コイル部１０８及び湾曲部１１８は、長手窓の数と同数の曲部を有していることが好ましい。
【００５７】
さらに、長手窓２８、３０は、さらに小さくＹ方向に仕切られていても良い。この場合、引出し電極１２の形状は、Ｙ方向の仕切りの有無に影響されるものではなく、長手窓２８、３０とＺ方向に対応する曲部を有していれば良い。
【００５８】
また、本実施形態では、２つのコイル部１０８ａ、１０８ｂを有するフィラメント１０６の例と、２つの湾曲部１１８ａ、１１８ｂを有するフィラメントの例とについて説明したが、１つのコイル部と１つの湾曲部とを有するフィラメントであっても良い。
【００５９】
また、本実施形態では、全てのフィラメント１０６、１１６がコイル部１０８又は湾曲部１１８を有しているが、これに限られず、一部のフィラメント（例えば、１本）が、従来例に示すフィラメント６と同様にＸ方向に直線状に伸びているものであってもよい。即ち、被照射物５０の表面処理に影響を与えない範囲であれば、必ずしも全てのフィラメントがコイル部１０８又は湾曲部１１８を有している必要はない。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】この発明に係る電子線照射装置の一例を示す概略断面図である。
【図２】図１の電子線照射装置のフィラメント、引出し電極及び照射窓の概略を示す斜視図である。
【図３】（ａ）はこの発明に係る電子線照射装置の一例を示す概略断面図、（ｂ）は（ａ）の電子線照射装置において電子線が照射窓を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。
【図４】この発明に係る電子線照射装置の他の例を示す概略断面図である。
【図５】図４の電子線照射装置のフィラメント、引出し電極及び照射窓の概略を示す斜視図である。
【図６】（ａ）はこの発明に係る電子線照射装置の他の例を示す概略断面図、（ｂ）は（ａ）の電子線照射装置において電子線が照射窓を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。
【図７】従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図である。
【図８】図７の電子線照射装置のフィラメント、引出し電極及び照射窓の概略を示す斜視図である。
【図９】（ａ）は従来の電子線照射装置の一例を示す概略断面図、（ｂ）は（ａ）の電子線照射装置において電子線が照射窓を通過する前後の電子線量分布を示す概略図である。
【符号の説明】
【００６１】
１２  引出し電極
１４  電子線
１６  照射窓
２２  長手桟
５０  被照射物
１０６  フィラメント
１０６ａ  中央部
１０６ｂ  端部
１０８  コイル部
１０８ａ  第１コイル部
１０８ｂ  第２コイル部
１１６  フィラメント
１１６ａ  中央部
１１６ｂ  端部
１１８  湾曲部
１１８ａ  第１湾曲部
１１８ｂ  第２湾曲部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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