(57)【要約】【課題】所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができるアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータを提供する。【解決手段】本発明のアクチュエータ１００の共振周波数の調整方法は、交流電圧を印加することによって、第１の質量部１、１１が駆動し、それに伴い第２の質量部２が回動するアクチュエータ１００の共振周波数の調整方法であって、前記第１の質量部１、１１と前記第２の質量部２との少なくとも一方の質量部本体１４の所定箇所に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量部本体を有する第１の質量部と、質量部本体を有する第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するアクチュエータの共振周波数の調整方法であって、
前記第１の質量部と前記第２の質量部との少なくとも一方の前記質量部本体の所定箇所に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整することを特徴とするアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２】
前記第２の質量部は、光反射部を有する請求項１に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項３】
前記アクチュエータは、前記第１の質量部を一対備え、
前記一対の第１の質量部の一方は、前記第２の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第２の質量部の他端側に設けられている請求項１または２に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項４】
前記質量部本体に、前記質量調整用の物質を付加する付加領域が予め設定されており、その付加領域内の所定箇所に前記質量調整用の物質を付加する請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項５】
前記付加領域は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸から遠位の端部に設定される請求項４に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項６】
前記付加領域は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側に設定される請求項４に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項７】
前記付加領域は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸を介して両側にそれぞれ設定される請求項４ないし６のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項８】
前記回動中心軸を中心にほぼ対称となるように、前記付加領域内の所定箇所に前記質量調整用の物質を付加する請求項７に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項９】
質量部本体を有する質量部と、支持部と、前記質量部と前記支持部とを、前記質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記質量部が回動するアクチュエータの共振周波数の調整方法であって、
前記質量部の前記質量部本体の所定箇所に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整することを特徴とするアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１０】
前記質量部は、光反射部を有する請求項９に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１１】
前記質量部本体に、前記質量調整用の物質を付加する付加領域が予め設定されており、その付加領域内の所定箇所に前記質量調整用の物質を付加する請求項９または１０に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１２】
前記付加領域は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸から遠位の端部に設定される請求項１１に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１３】
前記付加領域は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側に設定される請求項１１に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１４】
前記付加領域は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸を介して両側にそれぞれ設定される請求項１１ないし１３のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１５】
前記質量部の回動中心軸を中心にほぼ対称となるように、前記付加領域内の所定箇所に前記質量調整用の物質を付加する請求項１４に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１６】
前記質量調整用の物質は、粒子である請求項４ないし８、１１ないし１５のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１７】
前記粒子の平均粒径は、１０μｍ以下である請求項１６に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１８】
前記付加領域の表面の表面粗さＲａは、１〜１００μｍである請求項１６または１７に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項１９】
前記質量部本体に凹部が設けられており、その凹部内が前記付加領域である請求項１６ないし１８のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２０】
前記付加領域内の所定箇所に前記粒子を付加する処理は、前記粒子を含む液状材料をノズルから液滴として吐出して前記付加領域内の所定箇所に付与し、該付与された液状材料を乾燥させることにより行なわれる請求項１６ないし１９のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２１】
前記付加領域内の所定箇所に前記粒子を付加する処理は、帯電した前記粒子をクーロン力により前記付加領域内の所定箇所に吸着させることにより行なわれる請求項１６ないし１８のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２２】
前記付加領域内の所定箇所は、導電性を有しており、
前記付加領域内の所定箇所に前記粒子を付加する処理は、帯電した前記粒子を含む雰囲気を形成し、該雰囲気中に当該アクチュエータを配置し、前記付加領域内の所定箇所を前記粒子と逆極性に帯電させ、前記粒子をクーロン力により前記付加領域内の所定箇所に吸着させることにより行なわれる請求項１６ないし１８のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２３】
前記質量調整用の物質は、繊維状炭素系物質である請求項４ないし８、１１ないし１５のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２４】
前記付加領域内の所定箇所に前記繊維状炭素系物質を付加する処理は、前記付加領域内の所定箇所に前記繊維状炭素系物質を生成することにより行なわれる請求項２３に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２５】
前記付加領域内の所定箇所は、触媒機能を有しており、
ＣＶＤ法を用いて、前記付加領域内の所定箇所に前記繊維状炭素系物質を成長させて集積する請求項２４に記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２６】
前記繊維状炭素系物質は、カーボンナノチューブである請求項２３ないし２５のいずれかに記載のアクチュエータの共振周波数の調整方法。
【請求項２７】
第１の質量部と、第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するアクチュエータであって、
前記第１の質量部と前記第２の質量部との少なくとも一方の所定箇所に質量調整用の物質が必要量付加されて、その質量が調整されることにより、共振周波数が調整されたものであることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２８】
質量部と、支持部と、前記質量部と前記支持部とを、前記質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記質量部が回動するアクチュエータであって、
前記質量部の所定箇所に質量調整用の物質が必要量付加されて、その質量が調整されることにより、共振周波数が調整されたものであることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザープリンタ等に用いられるアクチュエータとしてポリゴンミラー（回転多面体）が知られている。
しかし、このようなポリゴンミラーにおいて、より高解像度で品質のよい印字と高速印刷を達成するには、ポリゴンミラーの回転をさらに高速にしなければならない。
現在のポリゴンミラーには高速安定回転を維持するためにエアーベアリングが使用されているが、今以上の高速回転を得るのは困難となっている。また、高速にするためには、大型のモーターが必要であり、機器の小型化の面で不利であるという問題がある。
【０００３】
このようなポリゴンミラーを用いると、構造が複雑となり、コストが高くなるといった問題も生じる。
また、図１６に示すような、平行平板状に電極を配置した１自由度のねじり振動子は、その構造が簡単なことから、アクチュエータの研究初期から提案されている（例えば、非特許文献１参照）。また、前記ねじり振動子をカンチレバー方式とした１自由度静電駆動型振動子も提案されている（例えば、非特許文献２参照）。
【０００４】
図１６の１自由度静電駆動型ねじり振動子は、ガラス基板１０００上の両端部にスぺーサ１２００を介してシリコンの単結晶板からなる可動電極板１３００の両端固定部１３００ａを固定し、この可動電極板１３００の両端固定部１３００ａ間に、細巾のトーションバー１３００ｂを介して可動電極部１３００ｃを支持させ、また、その可動電極部１３００ｃに電極間隔を置いて対向させる固定電極１４００を、ガラス基板１０００上において前記可動電極部１３００ｃに対し平行配置している。可動電極板１３００と固定電極１４００との間にはスイッチ１６００を介して電源１５００が接続される。
【０００５】
前記構成を有するねじり振動子は、可動電極部１３００ｃと固定電極１４００との間に電圧を印加すると、静電引力によりトーションバー１３００ｂを軸として可動電極部１３００ｃが回転するものである。
このねじり振動子等のアクチュエータは、その共振周波数とほぼ等しい周波数で駆動されるのが好ましい。このアクチュエータの共振周波数は、可動電極部１３００ｃの形状や寸法、トーションバー１３００ｂのばね定数（ねじりばね定数）等により決まるので、アクチュエータの製造時の加工精度に大きく依存する。
しかしながら、従来のアクチュエータ（アクチュエータの製造方法）では、その共振周波数を所定値（一定値）に設定することが困難である。すなわち、従来のアクチュエータでは、その共振周波数を所定値に設定するためには、加工精度を格段に向上させる必要があり、歩留まりも低くなり、コストも高くなってしまう。
【０００６】
【非特許文献１】K.E.Petersen:“Silicon Torsional Scanning Mirror”,IBMJ.Res.Develop.,vol.24(1980)、P.631
【非特許文献２】河村他：“Ｓｉを用いたマイクロメカニクスの研究”、昭和６１年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集、P.753
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができるアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法は、質量部本体を有する第１の質量部と、質量部本体を有する第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するアクチュエータの共振周波数の調整方法であって、
前記第１の質量部と前記第２の質量部との少なくとも一方の前記質量部本体の所定箇所に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整することを特徴とする。
【０００９】
これにより、所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができる。この場合、アクチュエータの共振周波数は、第１の質量部、第２の質量部の慣性モーメントに依存し、その慣性モーメントが小さいほど、大きい（高い）。このため、例えば、質量部本体に質量調整用の物質を付加することにより、前記慣性モーメントが増大し、前記共振周波数を小さくすることができる。
また、アクチュエータの加工精度を特別に高くする必要がないので、歩留まりも高く、コストを低減することもできる。
また、このアクチュエータは、第１の質量部と第２の質量部とを有しているので、低電圧で大きい回転角度（振れ角）での駆動が可能である。
【００１０】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記第２の質量部は、光反射部を有することが好ましい。
本発明のアクチュエータは、各種のものに適用可能であるが、例えば光スキャナへの適用が好適であり、この場合、光の光路を容易に変更することができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記アクチュエータは、前記第１の質量部を一対備え、
前記一対の第１の質量部の一方は、前記第２の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第２の質量部の他端側に設けられていることが好ましい。
これにより、より確実に、低電圧で駆動が可能で、かつ、回転角度（振れ角）が大きいものとすることができる。
【００１１】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量部本体に、前記質量調整用の物質を付加する付加領域が予め設定されており、その付加領域内の所定箇所に前記質量調整用の物質を付加することが好ましい。
これにより、共振周波数の調整を容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸から遠位の端部に設定されることが好ましい。
これにより、慣性モーメントへの影響が大きい位置に付加領域を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００１２】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側に設定されることが好ましい。
これにより、慣性モーメントへの影響が大きい位置に付加領域を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００１３】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域は、前記質量部本体の、対応する前記質量部の回動中心軸を介して両側にそれぞれ設定されることが好ましい。
これにより、質量調整用の物質をバランス良く付加することができ、安定的に第２の質量部を回動させることができる。
【００１４】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記回動中心軸を中心にほぼ対称となるように、前記付加領域内の所定箇所に前記質量調整用の物質を付加することが好ましい。
これにより、質量調整用の物質がバランス良く付加され、安定的に第２の質量部を回動させることができる。
【００１５】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記アクチュエータが、前記第１の質量部を一対備え、前記一対の第１の質量部の一方は、前記第２の質量部の一端側に設けられ、他方は、前記第２の質量部の他端側に設けられている構成において、前記一方の第１の質量部の回動中心軸と、該一方の第１の質量部の質量部本体の前記回動中心軸からの遠位端（前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の先端）との間の距離をＬ１とし、前記他方の第１の質量部の回動中心軸と、該他方の第１の質量部の質量部本体の前記回動中心軸からの遠位端（前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の先端）との間の距離をＬ２とし、前記第２の質量部の回動中心軸と、該第２の質量部の質量部本体の前記回動中心軸からの遠位端（前記回動中心軸に対して、ほぼ垂直な方向の先端）との間の距離をＬ３としたとき、Ｌ１とＬ３とが、Ｌ１＜Ｌ３なる関係を満足し、かつ、Ｌ２とＬ３とが、Ｌ２＜Ｌ３なる関係を満足することが好ましい。
【００１６】
これにより、より容易かつ確実に、低電圧駆動が可能で、かつ、回転角度（振れ角）が大きいものとすることができる。
また、この場合、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記距離Ｌ１と、前記距離Ｌ２とがほぼ等しいことが好ましい。
これにより、アクチュエータを駆動する際、その制御が容易となり、さらに容易かつ確実に、低電圧駆動が可能で、かつ、回転角度（振れ角）が大きいものとすることができる。
【００１７】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記交流電圧の周波数が、前記第１の質量部と前記第２の質量部とが共振する振動系（２自由度振動系）の共振周波数のうち低いものとほぼ等しくなるように設定されていることが好ましい。
これにより、低電圧で高速動作が可能で、かつ、回転角度（振れ角）が大きいものとすることができる。また、このような構成とすることにより、第１の質量部の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００１８】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記第１の弾性連結部のばね定数をｋ１とし、前記第２の弾性連結部のばね定数をｋ２としたとき、ｋ１とｋ２とが、ｋ１＞ｋ２なる関係を満足することが好ましい。
これにより、第１の質量部の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００１９】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記第１の質量部の慣性モーメントをＪ１とし、前記第２の質量部の慣性モーメントをＪ２としたとき、Ｊ１とＪ２とがＪ１≦Ｊ２なる関係を満足することが好ましい。
これにより、第１の質量部の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
【００２０】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記第１の弾性連結部および前記第２の弾性連結部のうちの少なくとも一方は、その内部にピエゾ抵抗素子を備えていることが好ましい。
これにより、例えば、回転角度（振れ角）および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部の姿勢の制御に利用することができる。
【００２１】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法は、質量部本体を有する質量部と、支持部と、前記質量部と前記支持部とを、前記質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記質量部が回動するアクチュエータの共振周波数の調整方法であって、
前記質量部の前記質量部本体の所定箇所に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整することを特徴とする。
【００２２】
これにより、所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータを容易に得ることができる。この場合、アクチュエータの共振周波数は、質量部の慣性モーメントに依存し、その慣性モーメントが小さいほど、大きい（高い）。このため、例えば、質量部本体に質量調整用の物質を付加することにより、前記慣性モーメントが増大し、前記共振周波数を大きくすることができる。
また、アクチュエータの加工精度を特別に高くする必要がないので、歩留まりも高く、コストを低減することもできる。
【００２３】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量部は、光反射部を有することが好ましい。
本発明のアクチュエータは、各種のものに適用可能であるが、例えば光スキャナへの適用が好適であり、この場合、光の光路を容易に変更することができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量部本体に、前記質量調整用の物質を付加する付加領域が予め設定されており、その付加領域内の所定箇所に前記質量調整用の物質を付加することが好ましい。
これにより、共振周波数の調整を容易に行なうことができる。
【００２４】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸から遠位の端部に設定されることが好ましい。
これにより、慣性モーメントへの影響が大きい位置に付加領域を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸と、該回動中心軸からの遠位端との中間点より前記遠位端側に設定されることが好ましい。
これにより、慣性モーメントへの影響が大きい位置に付加領域を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域は、前記質量部本体の、前記質量部の回動中心軸を介して両側にそれぞれ設定されることが好ましい。
これにより、質量調整用の物質をバランス良く付加することができ、安定的に質量部を回動させることができる。
【００２５】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量部の回動中心軸を中心にほぼ対称となるように、前記付加領域内の所定箇所に前記質量調整用の物質を付加することが好ましい。
これにより、質量調整用の物質がバランス良く付加され、安定的に質量部を回動させることができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量調整用の物質は、粒子であることが好ましい。
粒子の質量は、微小であり、その付加する粒子の個数を調整することにより、共振周波数の調整を、より容易かつ正確に行なうことができる。
【００２６】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記粒子の平均粒径は、１０μｍ以下であることが好ましい。
このような寸法の粒子（ナノ粒子等の微粒子）は、特に、その寸法に依存する効果（ナノサイズ効果）により、自己帯電し、クーロン力（静電気力）により、付加領域（質量部本体）に付着（吸着）し、その付着状態を維持する。すなわち、付加領域からの粒子の離脱や移動を防止することができる。
【００２７】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域の表面の表面粗さＲａは、１〜１００μｍであることが好ましい。
これにより、粒子は、付加領域に強固に付着し、これによって、付加領域からの粒子の離脱や移動を防止することができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量部本体に凹部が設けられており、その凹部内が前記付加領域であることが好ましい。
これにより、粒子を、より確実に、付加領域内に付着させることができる。
【００２８】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域内の所定箇所に前記粒子を付加する処理は、前記粒子を含む液状材料をノズルから液滴として吐出して前記付加領域内の所定箇所に付与し、該付与された液状材料を乾燥させることにより行なわれることが好ましい。
これにより、粒子を付加する位置（液滴の着弾位置）および付加する粒子の数（粒子全体の質量）をそれぞれ正確に制御することができ、これによって、慣性モーメントを、より容易かつ正確に調整することができる。従って、共振周波数の調整を、より容易かつ正確に行なうことができる。
【００２９】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域内の所定箇所に前記粒子を付加する処理は、帯電した前記粒子をクーロン力により前記付加領域内の所定箇所に吸着させることにより行なわれることが好ましい。
これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
また、アクチュエータを駆動しつつ、粒子を付加することもできる。これにより、アクチュエータを駆動して共振周波数の測定を行ないつつ、粒子を付加して、共振周波数を調整することができる。これによって、共振周波数の調整を、より迅速かつ正確に行なうことができる。
【００３０】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域内の所定箇所は、導電性を有しており、
前記付加領域内の所定箇所に前記粒子を付加する処理は、帯電した前記粒子を含む雰囲気を形成し、該雰囲気中に当該アクチュエータを配置し、前記付加領域内の所定箇所を前記粒子と逆極性に帯電させ、前記粒子をクーロン力により前記付加領域内の所定箇所に吸着させることにより行なわれることが好ましい。
【００３１】
これにより、粒子を付加する位置および付加する粒子の質量をそれぞれ正確に制御することができ、これによって、慣性モーメントを、より容易かつ正確に調整することができる。従って、共振周波数の調整を、より容易かつ正確に行なうことができる。
また、アクチュエータを駆動しつつ、粒子を付加することもできる。これにより、アクチュエータを駆動して共振周波数の測定を行ないつつ、粒子を付加して、共振周波数を調整することができる。これによって、共振周波数の調整を、より迅速かつ正確に行なうことができる。
【００３２】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記質量調整用の物質は、繊維状炭素系物質であることが好ましい。
繊維状炭素系物質は、付加領域に直接生成することができるので、繊維状炭素系物質を、容易に、付加領域に付加することができ、これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００３３】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域内の所定箇所に前記繊維状炭素系物質を付加する処理は、前記付加領域内の所定箇所に前記繊維状炭素系物質を生成することにより行なわれることが好ましい。
これにより、繊維状炭素系物質を、容易に、付加領域に付加することができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
また、アクチュエータを駆動しつつ、繊維状炭素系物質を付加することもできる。これにより、アクチュエータを駆動して共振周波数の測定を行ないつつ、繊維状炭素系物質を付加して、共振周波数を調整することができる。これによって、共振周波数の調整を、より迅速かつ正確に行なうことができる。
【００３４】
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記付加領域内の所定箇所は、触媒機能を有しており、
ＣＶＤ法を用いて、前記付加領域内の所定箇所に前記繊維状炭素系物質を成長させて集積することが好ましい。
これにより、繊維状炭素系物質を付加する位置および付加する繊維状炭素系物質の質量をそれぞれ正確に制御することができ、これによって、慣性モーメントを、より容易かつ正確に調整することができる。従って、共振周波数の調整を、より容易かつ正確に行なうことができる。
また、アクチュエータを駆動しつつ、繊維状炭素系物質を付加することもできる。これにより、アクチュエータを駆動して共振周波数の測定を行ないつつ、繊維状炭素系物質を付加して、共振周波数を調整することができる。これによって、共振周波数の調整を、より迅速かつ正確に行なうことができる。
また、ＣＶＤ法を用いることにより、良好な品質の繊維状炭素系物質（例えば、カーボンナノチューブ）を容易に生成することができる。
本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法では、前記繊維状炭素系物質は、カーボンナノチューブであることが好ましい。
これにより、付加された質量調整用の物質の部分の機械的強度（形状の安定性）をより高くすることができる。
【００３５】
本発明のアクチュエータは、第１の質量部と、第２の質量部と、支持部と、前記第１の質量部と前記支持部とを、前記第１の質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第１の弾性連結部と、前記第１の質量部と前記第２の質量部とを、前記第２の質量部が前記第１の質量部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の第２の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記第１の質量部が駆動し、それに伴い前記第２の質量部が回動するアクチュエータであって、
前記第１の質量部と前記第２の質量部との少なくとも一方の所定箇所に質量調整用の物質が必要量付加されて、その質量が調整されることにより、共振周波数が調整されたものであることを特徴とする。
これにより、アクチュエータの共振周波数を所定値（一定値）にすることができる。
また、このアクチュエータは、第１の質量部と第２の質量部とを有しているので、低電圧で大きい回転角度（振れ角）での駆動が可能である。
【００３６】
本発明のアクチュエータは、質量部と、支持部と、前記質量部と前記支持部とを、前記質量部が前記支持部に対して回動可能となるように連結する、少なくとも一対の弾性連結部とを有し、
交流電圧を印加することによって、前記質量部が回動するアクチュエータであって、
前記質量部の所定箇所に質量調整用の物質が必要量付加されて、その質量が調整されることにより、共振周波数が調整されたものであることを特徴とする。
これにより、アクチュエータの共振周波数を所定値（一定値）にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータを添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第１実施形態について説明する。
【００３８】
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータを示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１に示すアクチュエータの電極の配置を示す平面図、図４は、印加する交流電圧の一例を示す図、図５は、印加した交流電圧の周波数と、第１の質量部および第２の質量部の回転角度（振れ角）との関係（第１の質量部および第２の質量部の共振曲線）を示すグラフ、図６は、図１に示すアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【００３９】
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１、図３および図６中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
また、図１では、第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５と、対向基板６とを区別し易いように、対向基板６を２点鎖線で示し、また、開口部６１は、図示されていない。
【００４０】
図１および図２に示すアクチュエータ１００は、質量部本体１４を有する一対の第１の質量部（駆動部）１、１１と、質量部本体１４を有する第２の質量部（可動部）２と、一対の支持部３、３とを備えている。
このアクチュエータ１００は、第２の質量部２が中心に位置し、第２の質量部２を介し、第１の質量部１が一端側（図１および図２中、右側）に設けられ、第１の質量部１１が他端側（図１および図２中、左側）に設けられている。
【００４１】
第１の質量部１、１１および第２の質量部２は、いずれも、ほぼ平板状をなしている。
また、第１の質量部１の図中右側に一方の支持部３が配置され、第１の質量部１１の図中左側に他方の支持部３が配置されている。
また、本実施形態では、第１の質量部１、１１は、互いにほぼ同一形状かつほぼ同一寸法で、第２の質量部２を介して、ほぼ対称に設けられている。
第２の質量部２の下面（後述する対向基板６側の面）には、光反射部２１が設けられている。
【００４２】
また、アクチュエータ１００は、図１に示すように、第１の質量部１、１１が対応する支持部３、３に対して回動可能となるように、第１の質量部１、１１と支持部３、３とを連結する一対の第１の弾性連結部４、４を有している。また、第２の質量部２が第１の質量部１、１１に対して回動可能となるように、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２とを連結する一対の第２の弾性連結部５、５を有している。
【００４３】
すなわち、第２の質量部２は第２の弾性連結部５、５を介して、第１の質量部１、１１にそれぞれ接続され、第１の質量部１、１１は、第１の弾性連結部４、４を介して支持部３、３にそれぞれ接続されている。また、第１の弾性連結部４と、第２の弾性連結部５とは同軸的に設けられており、これらの中心軸（中心線）が、第１の質量部１、１１および第２の質量部２の回動中心軸（回動中心線）（回転軸）４１となる。
これらの第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５は、後述するように、例えば、シリコン等を主材料として、好ましくは一体的に形成されている。
【００４４】
また、図２に示すように、本実施形態のアクチュエータ１００は、第１の質量部１、１１および第２の質量部２に対向するように設けられた対向基板６を有している。
この対向基板６は、各種ガラスやシリコン等を主材料として構成され、支持部３、３に接合されている。
対向基板６は、図２および図３に示すように、第２の質量部２に対応する位置に開口部６１が形成されている。この開口部６１は、第２の質量部２が回動（振動）する際に、対向基板６に接触するのを防止する逃げ部を構成する。開口部（逃げ部）６１を設けることにより、アクチュエータ１００全体の大型化を防止しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）（振幅）をより大きく設定することができる。
【００４５】
なお、光反射部２１は、第２の質量部２の上面（対向基板６と反対側の面）に設けられていてもよい。この場合、逃げ部は、前記効果を十分に発揮し得る構成であれば、必ずしも対向基板６の下面（第２の質量部２と反対側の面）で開放（開口）していなくてもよい。すなわち、逃げ部は、対向基板６の上面（第２の質量部２側の面）に形成された凹部で構成することもできる。
【００４６】
また、図２および図３に示すように、対向基板６の上面（第１の質量部１、１１側の面）には、第１の質量部１に対応する位置に、一対の電極７が、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように設けられ、また、第１の質量部１１に対応する位置に、一対の電極７が、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように設けられている。すなわち、本実施形態では、一対の電極７が２組（合計４個）、設けられている。
【００４７】
第１の質量部１、１１と各電極７とは、図示しない電源に接続されており、第１の質量部１、１１と各電極７との間に交流電圧（駆動電圧）を印加できるよう構成されている。
なお、第１の質量部１、１１の各電極７と対向する面には、それぞれ、絶縁膜（図示せず）が設けられている。これにより、第１の質量部１、１１と各電極７との間での短絡が発生するのが好適に防止される。
上述したようなアクチュエータ１００は、第１の質量部１、１１と第１の弾性連結部４、４とからなる第１の振動系と、第２の質量部２と第２の弾性連結部５、５とからなる第２の振動系とを有する２自由度振動系を構成する。
【００４８】
このようなアクチュエータ１００は、次のようにして駆動する。
すなわち、第１の質量部１、１１と各電極７との間に、例えば、正弦波（交流電圧）等を印加する。具体的には、例えば、第１の質量部１、１１をアースしておき、図３中上側の２つの電極７に、図４（ａ）に示すような波形の電圧を印加し、下側の２つの電極７に、図４（ｂ）に示すような、図４（ａ）に示す波形の電圧に対して位相が１８０°ずれた波形の電圧を印加すると、第１の質量部１、１１と各電極７との間に、印加された電圧の大きさと、第１の質量部１、１１と対応する電極７との間の距離とに応じた大きさのクーロン力（静電気力）が生じる。
【００４９】
このクーロン力により、第１の質量部１、１１の図３中上側の各電極７に対応する部位が、対応する電極７の方へ引きつけられ、この次に、第１の質量部１、１１の図３中下側の各電極７に対応する部位が、対応する電極７の方へ引きつけられ、この動作が交互に繰り返されることによって、第１の質量部１、１１は、回動中心軸４１を中心に（第１の弾性連結部４を軸に）振動（回転）（回動）する。すなわち、第１の質量部１、１１は、回動中心軸４１を中心に正転（回転角度は１８０°以下）と反転（回転角度は１８０°以下）とを交互に繰り返す。
【００５０】
そして、この第１の質量部１、１１の振動（駆動）に伴って、第２の弾性連結部５を介して連結されている第２の質量部２も、回動中心軸４１を中心に（第２の弾性連結部５を軸に）振動（回転）（回動）する。すなわち、第２の質量部２も、回動中心軸４１を中心に正転（回転角度は１８０°以下）と反転（回転角度は１８０°以下）とを交互に繰り返す。
【００５１】
ここで、回動中心軸４１と、第１の質量部１の質量部本体１４の、回動中心軸４１からの遠位端（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の先端）１２との間の距離（長さ）をＬ１とし、回動中心軸４１と、第１の質量部１１の質量部本体１４の、回動中心軸４１からの遠位端（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の先端）１２との間の距離（長さ）をＬ２とし、回動中心軸４１と、第２の質量部２の質量部本体１４の、回動中心軸４１からの遠位端（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の先端）１３との間の距離（長さ）をＬ３としたとき、本実施形態では、第１の質量部１、１１が、それぞれ独立して設けられているため、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２とが干渉せず、第２の質量部２の大きさ（長さＬ３）にかかわらず、Ｌ１およびＬ２を小さくすることができる。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を大きくすることができ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
また、Ｌ１およびＬ２を小さくすることにより、第１の質量部１、１１と各電極７との間の距離を小さくすることができ、これにより、クーロン力が大きくなり、第１の質量部１、１１と各電極７に印加する交流電圧を小さくすることができる。
【００５２】
ここで、第１の質量部１、１１および第２の質量部２の寸法、すなわち、第１の質量部１、１１および第２の質量部２の各質量部本体１４の寸法は、それぞれ、Ｌ１＜Ｌ３かつＬ２＜Ｌ３なる関係を満足するよう設定されるのが好ましい。
前記関係を満たすことにより、Ｌ１およびＬ２をより小さくすることができ、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）をより大きくすることができ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をさらに大きくすることができる。
この場合、第２の質量部２の最大回転角度が、２０°以上となるように構成されるのが好ましい。
【００５３】
また、このように、Ｌ１およびＬ２を小さくすることにより、第１の質量部１、１１と各電極７との間の距離をより小さくすることができ、第１の質量部１、１１と各電極７に印加する交流電圧をさらに小さくすることができる。
これらによって、第１の質量部１、１１の低電圧駆動と、第２の質量部２の大回転角度での振動（回動）とを実現することができる。
【００５４】
このため、このようなアクチュエータ１００を、例えばレーザープリンタや、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の装置に用いられる光スキャナに適用した場合、より容易に装置を小型化することができる。
なお、前述したように、本実施形態では、Ｌ１とＬ２とはほぼ等しく設定されているが、Ｌ１とＬ２とが異なっていてもよいことは言うまでもない。
【００５５】
ところで、このような２自由度振動系のアクチュエータ１００では、第１の質量部１、１１および第２の質量部２の回転角度（振れ角）と、印加する交流電圧の周波数との間に、図５に示すような周波数特性が存在している。
すなわち、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２の回転角度とが大きくなる２つの共振周波数ｆｍ１［ｋＨｚ］、ｆｍ３［ｋＨｚ］（ただし、ｆｍ１＜ｆｍ３）と、第１の質量部１、１１の回転角度がほぼ０となる、１つの反共振周波数ｆｍ２［ｋＨｚ］とを有している。
【００５６】
このアクチュエータ１００では、第１の質量部１、１１と電極７との間に印加する交流電圧の周波数Ｆが、２つの共振周波数のうち低いもの、すなわち、ｆｍ１とほぼ等しくなるように設定するのが好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）を大きくすることができる。
なお、本明細書中では、Ｆ［ｋＨｚ］とｆｍ１［ｋＨｚ］とがほぼ等しいとは、（ｆｍ１−１）≦Ｆ≦（ｆｍ１＋１）の条件を満足することを意味する。
【００５７】
第１の質量部１、１１の平均厚さは、それぞれ、１〜１５００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第２の質量部２の平均厚さは、１〜１５００μｍであるのが好ましく、１０〜３００μｍであるのがより好ましい。
第１の弾性連結部４のばね定数ｋ１は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ/ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ/ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ/ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
一方、第２の弾性連結部５のばね定数ｋ２は、１×１０−４〜１×１０４Ｎｍ/ｒａｄであるのが好ましく、１×１０−２〜１×１０３Ｎｍ/ｒａｄであるのがより好ましく、１×１０−１〜１×１０２Ｎｍ/ｒａｄであるのがさらに好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
【００５８】
また、第１の弾性連結部４のばね定数ｋ１と第２の弾性連結部５のばね定数ｋ２とは、ｋ１＞ｋ２なる関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
さらに、第１の質量部１、１１の慣性モーメントをＪ１とし、前記第２の質量部２の慣性モーメントをＪ２としたとき、Ｊ１とＪ２とは、Ｊ１≦Ｊ２なる関係を満足することが好ましく、Ｊ１＜Ｊ２なる関係を満足することがより好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
【００５９】
ところで、第１の質量部１、１１と第１の弾性連結部４、４とからなる第１の振動系の固有振動数ω１は、第１の質量部１、１１の慣性モーメントＪ１と、第１の弾性連結部４のばね定数ｋ１とにより、ω１＝（ｋ１／Ｊ１）１／２によって与えられる。一方、第２の質量部２と第２の弾性連結部５、５とからなる第２の振動系の固有振動数ω２は、第２の質量部２の慣性モーメントＪ２と、第２の弾性連結部５のばね定数ｋ２とにより、ω２＝（ｋ２／Ｊ２）１／２によって与えられる。
このようにして求められる第１の振動系の固有振動数ω１と第２の振動系の固有振動数ω２とは、ω１＞ω２の関係を満足するのが好ましい。これにより、第１の質量部１、１１の回転角度（振れ角）を抑制しつつ、第２の質量部２の回転角度（振れ角）をより大きくすることができる。
【００６０】
なお、本実施形態のアクチュエータ１００は、一対の第１の弾性連結部４および一対の第２の弾性連結部５のうち少なくとも１つが、その内部にピエゾ抵抗素子を備えたものであるのが好ましい。これにより、例えば、回転角度（振れ角）および回転周波数を検出したりすることができ、また、その検出結果を、第２の質量部２の姿勢の制御に利用することができる。
【００６１】
さて、本発明では、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２との少なくとも一方の質量部本体１４の所定箇所に、質量調整用の物質（質量調整用物質）を必要に応じて所定量付加することにより、第１の質量部１、１１と、第１の弾性連結部４、４と、第２の質量部２と、第２の弾性連結部５、５とで構成される振動系全体の共振周波数（以下、単に「共振周波数」と言う）を調整することを特徴とする。
すなわち、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２との少なくとも一方の質量部本体１４に、質量調整用の物質を付加する付加領域が予め設定されており、その付加領域内の所定箇所（一部または全体）に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整する。
【００６２】
本実施形態では、図１および図６に示すように、第２の質量部２の質量部本体１４に付加領域８が４つ設定されている。すなわち、第２の質量部２の質量部本体１４に、その上面（対向基板６と反対側の面）から下方に向って凹没する凹部（有底穴）８１が４つ形成されており、各凹部８１内がそれぞれ付加領域８に設定されている。このように第２の質量部２の質量部本体１４に付加領域８を設定することにより、第１の質量部１、１１の質量部本体１４に付加領域８を設定する場合に比べ、共振周波数の調整をより容易かつ確実に行なうことができる。
【００６３】
また、質量調整用の物質として、粒子（微粒子）が用いられる。粒子の質量は、微小であり、その付加する粒子の個数を調整することにより、共振周波数の調整を、より容易かつ正確に行なうことができる。
この粒子は、例えば、銀等の各種金属材料、各種樹脂材料、シリコン等を主材料として構成される。
【００６４】
ここで、金属材料を主材料とする粒子（金属製の粒子）を用いる場合は、熱処理等による変形を防止することができ、シリコンを主材料とする粒子（シリコン製の粒子）を用いる場合は、その効果がさらに大きい。
また、樹脂材料を主材料とする粒子（樹脂製の粒子）を用いる場合は、質量部本体１４に付加された（付着した）粒子に対し、例えば、レーザー光を照射することにより、その粒子を容易に除去することができる。
【００６５】
また、粒子の平均粒径（直径）は、１０μｍ以下であるのが好ましく、１μｍ以下であるのがより好ましく、１０ｎｍ〜１μｍ程度であるのがさらに好ましい。
このような寸法の粒子（ナノ粒子等の微粒子）は、特に、その寸法に依存する効果（ナノサイズ効果）により、自己帯電し、クーロン力（静電気力）により、付加領域８（質量部本体１４）に付着（吸着）し、その付着状態を維持する。すなわち、付加領域８からの粒子の離脱や移動を防止することができる。
【００６６】
また、質量部本体１４に凹部８１を設け、その凹部８１内を付加領域８とすることにより、粒子を、より確実に、付加領域８内に付着させることができる。すなわち、付加領域８内の所定箇所に粒子を付加する処理において、後述するように、粒子を含む液状材料をノズルから液滴として吐出して付加領域８内の所定箇所に付与し、その付与された液状材料を乾燥させる方法を用いる場合、付与された液状材料が付加領域８内から付加領域８の外側に流出してしまうのを防止することができる。
【００６７】
また、凹部８１の内面、すなわち、付加領域８の表面の表面粗さＲａ（ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１に規定）は、１〜１００μｍ程度であるのが好ましく、１〜１０μｍ程度であるのがより好ましい。
これにより、粒子は、付加領域８に強固に付着し、これによって、付加領域８からの粒子の離脱や移動を防止することができる。
【００６８】
また、各凹部８１（付加領域８）の形状、寸法は、互いに同一であり、凹部８１の平面視での形状は、ほぼ長方形をなしている。
また、各凹部８１は、それぞれ、質量部本体１４の、回動中心軸４１から遠位の端部（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の端部）に設けられる。すなわち、各付加領域８は、それぞれ、質量部本体１４の、回動中心軸４１から遠位の端部に設定される。
【００６９】
アクチュエータ１００の共振周波数は、第１の質量部１、１１、第２の質量部２の慣性モーメントに依存し、その慣性モーメントが小さいほど、大きい（高い）。従って、付加領域８を質量部本体１４の回動中心軸４１から遠位の端部に設定することにより、その慣性モーメントへの影響が大きい位置に付加領域８を位置させることができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【００７０】
各凹部８１（付加領域８）の位置は、それぞれ、前記質量部本体１４の回動中心軸４１から遠位の端部には限定されないが、各凹部８１（付加領域８）は、それぞれ、質量部本体１４の、回動中心軸４１と、回動中心軸４１からの遠位端（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の先端）１３との中間点１５より遠位端１３側に設けられる（設定される）のが好ましい。これにより、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
また、凹部８１（付加領域８）は、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように、質量部本体１４の、回動中心軸４１を介して両側にそれぞれ設けられる（設定される）。これにより、粒子をバランス良く付加することができ、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
【００７１】
また、凹部８１（付加領域８）は、回動中心軸４１に対して略垂直であり、質量部本体１４（第２の質量部２）の中心（重心）１６を通る中心線４２を中心にほぼ対称となるように設けられる（設定される）。これにより、粒子をバランス良く付加することができ、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
なお、凹部８１（付加領域８）の形状や配置は、前記のものに限定されないことは、言うまでもない。また、凹部８を省略してもよい。
また、質量調整用の物質として、粒子以外の物質を用いてもよい。
【００７２】
前記共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータ１００は、例えば、次のようにして製造することができる。この場合、アクチュエータ１００は、その共振周波数が目標値（目標共振周波数）よりも高い値になるように製造される。
図７〜図９は、それぞれ、図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図７〜図９中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００７３】
［Ａ１］  まず、図７（ａ）に示すように、シリコン基板（共通の基材）３０を用意する。
そして、図７（ｂ）に示すように、シリコン基板３０の一方の面に、第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５の形状に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスク３１を形成する。
【００７４】
次に、シリコン基板３０の他方の面に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行う。これにより、図７（ｃ）に示すように、支持部３、３の形状に対応するように、レジストマスク３２を形成する。
そして、このレジストマスク３２を介して、シリコン基板３０の他方の面側をエッチングした後、レジストマスク３２を除去する。これにより、図７（ｄ）に示すように、支持部３、３に対応する部分以外の領域に凹部３００が形成される。
【００７５】
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
なお、以下の各工程のエッチングにおいて、同様の方法を用いることができる。
【００７６】
次に、再度、シリコン基板３０の他方の面に、フォトレジストを塗布し、露光、現像を行う。これにより、図８（ｅ）に示すように、第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５を下面側から見た形状に対応するように、レジストマスク３３を形成する。
そして、このレジストマスク３３を介して、シリコン基板３０の他方の面側をエッチングした後、レジストマスク３３を除去する。これにより、図８（ｆ）に示すように、第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５に対応する部分以外の領域に凹部が形成される。
【００７７】
次に、金属マスク３１を介して、シリコン基板３０の一方の面側を、前記凹部３００に貫通するまでエッチングした後、金属マスク３１を除去する。なお、図８（ｇ）に示すように、この工程により、第２の質量部２の質量部本体１４に凹部８１が形成される。この後、必要に応じて、凹部８１の内面の表面粗さＲａが所定値になるように、質量部本体１４に対して処理を行なう。この処理には、例えば、酸素プラズマによるアッシングや、レーザーアブレーションなどを用いて行うことが出来る。
【００７８】
次に、図８（ｇ）に示すように、第２の質量部２の質量部本体１４の下面に、金属膜を成膜して光反射部２１を形成する。
金属膜の成膜方法としては、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤのような化学蒸着法（ＣＶＤ）、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、ゾル・ゲル法、ＭＯＤ法、金属箔の接合等が挙げられる。
なお、以下の各工程の金属膜の成膜において、同様の方法を用いることができる。
以上の工程により、図８（ｇ）に示すように、第１の質量部１、１１、第２の質量部２、支持部３、３、第１の弾性連結部４、４および第２の弾性連結部５、５が一体的に形成された構造体５０が得られる。
【００７９】
［Ａ２］  次に、図９（ｈ）に示すように、対向基板６を形成するためのシリコン基板６０を用意する。
そして、シリコン基板６０の一方の面に、開口部６１を形成する領域を除いた部分に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスクを形成する。
次に、この金属マスクを介して、シリコン基板６０の一方の面側を、他方の面側に貫通するまでエッチングした後、金属マスクを除去する。これにより、図９（ｉ）に示すように、開口部６１が形成された対向基板６が得られる。
【００８０】
次に、対向基板６上に、図９（ｊ）に示すように、電極７を形成する。
電極７は、対向基板６の開口部６１が形成された面に金属膜を成膜し、電極７の形状に対応するマスクを介して金属膜をエッチングした後、マスクを除去することにより形成することができる。
なお、電極７は、開口部６１を形成するのに先立って、形成するようにしてもよい。
【００８１】
［Ａ３］  次に、図９（ｋ）に示すように、前記工程［Ａ１］で得られた構造体５０の支持部３、３と、前記工程［Ａ２］で得られた対向基板６とを、例えば、直接接合、Ｎａイオンを含有するガラス材料を介した陽極接合等により接合して接合体を得る。
なお、対向基板６を形成するための基板としてガラス基板を用いる場合には、開口部６１の形成には、前述したようなエッチング法の他、例えば、ショットブラスト、サンドブラスト、レーザー加工等の方法を用いることができる。
また、この場合、前記構造体５０との接合には、例えば陽極接合等を用いることができる。
以上のようにして、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータ１００が製造される。
【００８２】
次に、得られたアクチュエータ１００の共振周波数を調整する。
図１０は、アクチュエータの共振周波数の測定に用いられる装置を示すブロック図、図１１は、図１に示すアクチュエータの共振周波数の調整方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図１１中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００８３】
本実施形態では、付加領域８内の所定箇所に粒子を付加する処理は、粒子を含む液状材料（有機溶媒または無機溶媒中に粒子が分散している液状材料）をノズルから液滴として吐出して付加領域８内の所定箇所に付与し、その付与された液状材料を乾燥させる（溶媒を除去する）ことにより行なわれる。
これにより、粒子を付加する位置（液滴の着弾位置）および付加する粒子の数（粒子全体の質量）をそれぞれ正確に制御することができ、これによって、慣性モーメントを、容易かつ正確に調整することができる。従って、共振周波数の調整を、容易かつ正確に行なうことができる。
【００８４】
ここで、本明細書において「液状材料」とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料を言う。すなわち、ノズルから吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、粒子（固体物質）が混入していても全体として流動体であればよい。以下、粒子を含む液状材料を、単に、「液状材料」とも言う。
この液状材料を付加領域８内の所定箇所に付与する処理（工程）には、図１１（ａ）に示すように、ノズル９２を有する液滴吐出ヘッド９１を備え、液状材料をそのノズル９２から液滴として吐出する液滴吐出装置９を用いる。
【００８５】
また、図１０に示すように、アクチュエータ１００の第１の質量部１、１１や第２の質量部２の振幅、すなわち、回転角度（振れ角）を測定する装置として、レーザードップラーベロシティ（ＬＤＶ）２００、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数を変更（設定）する装置として、ＦＦＴアナライザー４００をそれぞれ用いる。
まず、アクチュエータ１００の共振周波数を求める。
【００８６】
この場合、まずは、ＦＦＴアナライザー４００により、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数を所定値（例えば、１Ｈｚ）に設定し、その交流電圧をアクチュエータ１００に印加してアクチュエータ１００を駆動する。そして、レーザードップラーベロシティ２００により、アクチュエータ１００の第２の質量部２の光反射部２１にレーザー光を照射し、その反射光を受光して、第２の質量部２の回転角度（振れ角）を測定する。この場合、実際は、レーザードップラーベロシティ２００により、第２の質量部２の振幅が測定される。なお、この場合、レーザードップラーベロシティ２００で計測したデータ（情報）は、ＦＦＴアナライザー４００へ入力され、ＦＦＴアナライザー４００の中で、所定の周波数における振幅データが蓄積される。
【００８７】
次に、ＦＦＴアナライザー４００により、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数を所定数高い値に変更し、アクチュエータ１００を駆動させて、レーザードップラーベロシティ２００により、第２の質量部２の回転角度を測定する。
そして、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数が所定値（例えば、１００ｋＨｚ）になるまで、前記第２の質量部２の回転角度の測定を繰り返し行なう。この測定結果から、共振周波数が求まる。
なお、前記共振周波数の測定においては、アクチュエータ１００に印加する交流電圧の周波数を増大させていったが、逆に、その交流電圧の周波数を減少させていってもよい。
【００８８】
次に、求めた共振周波数と、目標値とを比較し、粒子を付加する箇所（位置）およびその箇所に付加する粒子の数（粒子全体の質量）、すなわち、液状材料の液滴を着弾させる箇所（位置）およびその箇所における液滴の吐出回数を決定する。
この場合、液滴の吐出回数と、ノズルから吐出する液状材料の量とは比例し、また、ノズルから吐出する液状材料の量と、付加される粒子の数（粒子全体の質量）とは比例する。そして、予め、アクチュエータ１００の共振周波数と目標値との差と、液滴を着弾させる箇所およびその箇所における液滴の吐出回数との関係を示す検量線が作成されており、この検量線に基づいて、液滴を着弾させる箇所およびその箇所における液滴の吐出回数を求める。また、例えば、液滴を着弾させる箇所を固定し（一定にし）、アクチュエータ１００の共振周波数と目標値との差と、液滴の吐出回数との関係を示す検量線を作成しておき、この検量線に基づいて、液滴の吐出回数を求めるようにしてもよい。
【００８９】
なお、粒子を付加する必要があるか否かも、前記検量線から判別することができるようになっており、粒子を付加する必要がない場合は、共振周波数の調整を終了する。すなわち、現在のアクチュエータ１００の共振周波数が目標値よりも高い場合（このケースは、僅かに高いだけである）でも、液滴の吐出回数を１回（最低回数）に設定してもアクチュエータ１００の共振周波数と目標値との差が広がってしまうときは、共振周波数の調整を終了する。
【００９０】
次に、第２の質量部２の質量部本体１４の目標箇所（目標位置）に、目標質量分の粒子を付加する。
この場合、下記（１）または（２）の条件を満足するように粒子を付加するのが好ましく、（１）および（２）の条件を満足するように粒子を付加するのがより好ましい。
（１）  回動中心軸４１を介して一端側と他端側とで、回動中心軸４１を中心とする慣性モーメントがほぼ等しくなるようにする。
【００９１】
（２）  回動中心軸４１を介して一端側と他端側とが、ほぼ釣り合う（一端側と他端側とのバランスがとれる）ようにする。
すなわち、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように、粒子を付加するのが好ましい。これにより、粒子がバランス良く付加され、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
また、下記（３）の条件を満足するように粒子を付加するのが好ましい。
【００９２】
（３）  中心線４２を介して一端側と他端側とが、ほぼ釣り合う（一端側と他端側とのバランスがとれる）ようにする。
すなわち、中心線４２を中心にほぼ対称となるように、粒子を付加するのが好ましい。これにより、粒子がバランス良く付加され、安定的に第２の質量部２を回動させることができる。
第２の質量部２の質量部本体１４の目標箇所に、目標質量分の粒子を付加する処理においては、具体的には、まず、図１１（ａ）に示すように、図示しないステージ上に載置されたアクチュエータ１００と、液滴吐出ヘッド９１とを相対的に移動させ、ノズル９２を付加領域８上の目標位置に位置させる。
【００９３】
次に、液状材料の液滴をノズル９２から目標回数吐出する。これにより、図１１（ｂ）に示すように、目標量の液状材料８６が目標箇所に付与される。なお、図示例では、凹部８１内の底面全体に液状材料８６が付与された例が示されている。
次に、図示しない乾燥装置（加熱装置）により、液状材料８６を加熱して、その液状材料８６を乾燥させる（溶媒を除去する）。
【００９４】
これにより、図１１（ｃ）に示すように、第２の質量部２の質量部本体１４の付加領域８内の目標箇所（図示例では、凹部８１内の底面全体）に、目標質量分の粒子８７が付加される。この場合、前述したように、粒子８７は、自己帯電しており、クーロン力により、付加領域８に付着し、その付着状態を維持する。すなわち、付加領域８からの粒子の離脱や移動が阻止される。
このように粒子を付加することにより、第２の質量部２の質量、慣性モーメントが増大し、これにより、共振周波数が減少する。
【００９５】
ここで、液状材料中の粒子または溶媒、または、液状材料全体（粒子および溶媒）を帯電させ、第２の質量部２の質量部本体１４の付加領域８内のうちの粒子を付加する領域を、前記液状材料と逆極性に帯電させてもよい。これにより、ノズル９２から吐出した液滴は、クーロン力により付加領域８内の粒子を付加する領域に向って吸引され、着弾する。これによって、より確実に、粒子を目標箇所に付加することができる。
前記粒子を付加する領域を帯電させるには、例えば、その部位に、絶縁膜を介して、電極を設けておき、その電極に通電する。
【００９６】
次に、前記のようにして、アクチュエータ１００の共振周波数を求める。
この場合、アクチュエータ１００の共振周波数が目標値よりも低いときは、質量部本体１４に付加された（付着した）粒子のうちの一部を除去して、アクチュエータ１００の共振周波数を目標値よりも高くし、再び、前記のようにして、アクチュエータ１００の共振周波数を求める。粒子を除去する方法としては、例えば、レーザー光を照射する方法等を用いることができる。
【００９７】
そして、前記のようにして、求めた共振周波数と、目標値とを比較し、粒子を付加する箇所（位置）およびその箇所に付加する粒子の数（粒子全体の質量）、すなわち、液状材料の液滴を着弾させる箇所（位置）およびその箇所における液滴の吐出回数を決定し、粒子を付加し、また、粒子を付加する必要がない場合は、共振周波数の調整を終了する。
粒子を付加する必要がなくなるまで、前記共振周波数の測定、粒子の付加を繰り返し行ない、粒子を付加する必要がなくなると、共振周波数の調整を終了する。
このようにして、付加領域８内の所定箇所に粒子が必要に応じて所定量付加されることにより、第２の質量部２の質量、慣性モーメントが調整され、共振周波数が目標値に設定（調整）される。
【００９８】
以上説明したように、本実施形態によれば、所定（一定）の共振周波数を有するアクチュエータ１００を容易に製造することができる。
また、アクチュエータ１００を製造する際、最後に、アクチュエータ１００の共振周波数の調整を行なうので、アクチュエータ１００の加工精度を特別に高くする必要がなく、これにより、歩留まりも高く、コストを低減することもできる。
また、アクチュエータ１００は、第１の質量部１、１１と、第２の質量部２とを有しているので、低電圧で大きい回転角度（振れ角）での駆動が可能である。
【００９９】
なお、本発明では、付加領域８内の所定箇所に粒子（質量調整用の物質）を付加する処理は、前述した方法以外の方法を用いて行なってもよい。
また、本実施形態では、付加領域８は、第２の質量部２の質量部本体１４の上面側に設定するが、本発明では、これに限らず、例えば、第２の質量部２の質量部本体１４の下面側に設定してもよく、また、第２の質量部２の質量部本体１４の上面側および下面側に設定してもよい。
【０１００】
また、本実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に付加領域８を設定するが、本発明では、これに限らず、例えば、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４に、付加領域８を設定してもよい。また、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４と、第２の質量部２の質量部本体１４とに、付加領域８を設定してもよい。
【０１０１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図１２は、本発明のアクチュエータの第２実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータを示す平面図、図１３は、図１２中のＢ−Ｂ線断面図である。
【０１０２】
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１２中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図１３中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
また、図１２では、質量部１７、支持部３、３および弾性連結部１８、１８と、対向基板６とを区別し易いように、対向基板６を２点鎖線で示す。
【０１０３】
以下、第２実施形態について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図１２および図１３に示すように、第２実施形態のアクチュエータ１００は、質量部本体１４を有する質量部１７と、一対の支持部３、３と、質量部１７が支持部３、３に対して回動可能となるように、質量部１７と支持部３、３とを連結する一対の弾性連結部１８、１８とを備えている。
【０１０４】
そして、前記第１実施形態と同様に、質量部１７の質量部本体１４の所定箇所に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整する。すなわち、質量部１７の質量部本体１４に、質量調整用の物質を付加する付加領域８が予め設定されており、その付加領域８内の所定箇所（一部または全体）に、質量調整用の物質を必要に応じて所定量付加することにより、共振周波数を調整する。
具体的には、前記第１実施形態と同様に、付加領域８は、質量部１７の質量部本体１４に４つ設定されている。すなわち、質量部１７の質量部本体１４に、その上面（対向基板６と反対側の面）から下方に向って凹没する凹部（有底穴）８１が４つ形成されており、各凹部８１内がそれぞれ付加領域８に設定されている。
【０１０５】
また、光反射部２１は、質量部１７の上面に設けられている。
また、対向基板６には、開口部６１が形成されておらず、対向基板６の上面（質量部１７側の面）には、質量部１７に対応する位置に、一対の電極７が、回動中心軸４１を中心にほぼ対称となるように設けられている。
質量部１７と各電極７とは、図示しない電源に接続されており、質量部１７と各電極７との間に交流電圧（駆動電圧）を印加できるよう構成されている。
なお、質量部１７の各電極７と対向する面には、絶縁膜（図示せず）が設けられている。これにより、質量部１７と各電極７との間での短絡が発生するのが好適に防止される。
【０１０６】
このアクチュエータ１００は、質量部１７と弾性連結部１８、１８とからなる振動系を有し、１自由度振動系を構成する。
このアクチュエータ１００は、次のようにして駆動する。
すなわち、質量部１７と各電極７との間に、例えば、正弦波（交流電圧）等を印加する。具体的には、例えば、質量部１７をアースしておき、一方の電極７に、図４（ａ）に示すような波形の電圧を印加し、他方の電極７に、図４（ｂ）に示すような、図４（ａ）に示す波形の電圧に対して位相が１８０°ずれた波形の電圧を印加すると、質量部１７と各電極７との間に、印加された電圧の大きさと、質量部１７と対応する電極７との間の距離とに応じた大きさのクーロン力（静電気力）が生じる。
【０１０７】
このクーロン力により、質量部１７の一方の電極７に対応する部位が、対応する電極７の方へ引きつけられ、この次に、質量部１７の他方の電極７に対応する部位が、対応する電極７の方へ引きつけられ、この動作が交互に繰り返されることによって、質量部１７は、回動中心軸４１を中心に（弾性連結部１８を軸に）振動（回転、回動）する。すなわち、質量部１７は、回動中心軸４１を中心に正転（回転角度は１８０°以下）と反転（回転角度は１８０°以下）とを交互に繰り返す。
上記以外は、前記第１実施形態と同様であるので、その説明を省略する。
【０１０８】
以上説明したように、この第２実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。
また、後述する第３実施形態および第４実施形態は、それぞれ、この第２実施形態にも適用することができる。
なお、本実施形態では、付加領域８は、質量部１７の質量部本体１４の上面側に設定するが、本発明では、これに限らず、例えば、質量部１７の質量部本体１４の下面側に設定してもよく、また、質量部１７の質量部本体１４の上面側および下面側に設定してもよい。
【０１０９】
＜第３実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図１４は、本発明のアクチュエータの第３実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１４中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【０１１０】
以下、第３実施形態について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図１４に示すように、第３実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に付加領域８が２つ設定されている。各付加領域８は、それぞれ、第２の質量部２の質量部本体１４の、回動中心軸４１から遠位の端部（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の端部）に設定される。
そして、各付加領域８全体に、それぞれ、触媒１０１が設けられており、各付加領域８全体が、それぞれ、触媒機能を有している。各触媒１０１は、それぞれ、例えば、鉄等の各種金属材料等を主材料として形成（例えば、金属膜で構成）することができる。なお、各触媒１０１の表面が、それぞれ、付加領域８の表面である。
【０１１１】
また、質量調整用の物質として、繊維状炭素系物質が用いられる。そして、共振周波数の調整において、付加領域８内の所定箇所（本実施形態では、付加領域８全体）に繊維状炭素系物質を付加する処理は、付加領域８内の所定箇所（本実施形態では、付加領域８全体）に繊維状炭素系物質を生成すること（成長させて集積すること）により行なわれる。これにより、繊維状炭素系物質を、容易に、付加領域８に付加することができ、これによって、共振周波数の調整をより容易に行なうことができる。
【０１１２】
また、繊維状炭素系物質としては、例えば、単層カーボンナノチューブ、多層カーボンナノチューブ等のカーボンナノチューブ、カーボンナノファイバー、ＣＮナノチューブ、ＣＮナノファイバー、ＢＣＮナノチューブ、ＢＣＮナノファイバー、炭素繊維（例えば、気相成長により調製されたもの）等が挙げられるが、特に、カーボンナノチューブが好ましい（カーボンナノチューブを主成分とするものが好ましい）。
これにより、付加された質量調整用の物質の部分の機械的強度（形状の安定性）をより高くすることができる。
なお、繊維状炭素系物質は、１本鎖構造（分岐鎖を有さない直鎖状構造）を有するものであってもよいし、分岐鎖構造を有するものであってもよい。
【０１１３】
また、本実施形態では、前記繊維状炭素系物質を付加する処理において、付加領域８全体に、繊維状炭素系物質を生成するが、これに限らず、付加領域８の一部に、繊維状炭素系物質を生成してもよい。付加領域８の一部に繊維状炭素系物質を生成する場合は、例えば、繊維状炭素系物質を生成する箇所（付加領域８の一部）に、触媒１０１を設け、その箇所（付加領域８の一部）に触媒機能を付与すればよい。
【０１１４】
繊維状炭素系物質のうち、例えば、カーボンナノチューブを用いる場合、そのカーボンナノチューブは、例えば、ＣＶＤ法（化学蒸着法）（化学気相成長法）、アーク放電法、レーザーアブレーション法、ＨｉＰＣＯ法等により、付加領域８に生成（成長させて集積）することができる。
これらの中でも、カーボンナノチューブの生成方法としては、ＣＶＤ法を用いるのが好ましい。
【０１１５】
また、ＣＶＤ法としては、例えば、ＣＣＶＤ法（触媒ＣＶＤ法）を用いることができ、特に、ＡＣＣＶＤ法（アルコール触媒ＣＶＤ法）を用いるのが好ましい。
ここで、ＣＣＶＤ法（ＣＶＤ法）は、ガス状の含炭素材料（炭素を含む材料）を熱分解し、生成した炭素からカーボンナノチューブを合成する（生成させる）方法である。このＣＣＶＤ法（ＣＶＤ法）、特に、ＡＣＣＶＤ法によれば、カーボンナノチューブを緻密に（高密度で）配列させることができる。すなわち、良好な品質のカーボンナノチューブを容易に生成することができる。
【０１１６】
具体的には、アクチュエータ１００をガス状の含炭素材料を含有する雰囲気中（雰囲気下）に配置し、この含炭素材料を熱分解し、炭素を生じさせる。この熱分解により生じた炭素雰囲気中で、触媒１０１が機能し、カーボンナノチューブの生成が促進されて、この触媒１０１（付加領域８）上に、カーボンナノチューブが集積される。
含炭素材料としては、加熱により炭素化されるものであればよく、特に限定されないが、例えば、一酸化炭素、メタン、エタン、プロパン、ブタン等の飽和炭化水素、エチレン、プロピレン、ブテン、イソブテン等の不飽和炭化水素、アセチレン等のアセチレン系化合物、ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレン等の芳香族炭化水素、および、これらの混合物（例えば、ナフサや軽油等）等が挙げられる。
【０１１７】
また、ＡＣＣＶＤ法の場合は、含炭素材料として、各種アルコールが用いられる。
含炭素材料を熱分解する方法としては、電気炉等の高温による加熱方法、マイクロ波による加熱方法、レーザーによる加熱方法等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
含炭素材料を熱分解する方法として、高温による加熱方法を用いる場合、その温度は、６００〜１０００℃程度であるのが好ましく、７００〜９００℃程度であるのがより好ましい。
ガス状の含炭素材料を導入する際には、水素ガスをキャリアーガスとして使用するのが好ましい。また、含炭素材料には、硫化水素やメルカプタン等のイオウ化合物を添加するのが好ましい。これにより、カーボンナノチューブを、触媒１０１（付加領域８）の表面に対してほぼ垂直に成長させることができる。
【０１１８】
この第３実施形態では、処理時間等の処理条件を調整することによって、付加領域８に、繊維状炭素系物質（例えば、カーボンナノチューブ等）を所定量だけ正確に付加することができる。すなわち、繊維状炭素系物質を付加する位置および付加する繊維状炭素系物質の質量をそれぞれ正確に制御することができ、これによって、慣性モーメントを、より容易かつ正確に調整することができる。従って、共振周波数の調整を、より容易かつ正確に行なうことができる。
【０１１９】
共振周波数の調整においては、例えば、予め、アクチュエータ１００の共振周波数と目標値との差と、処理時間との関係を示す検量線を作成しておき、この検量線に基づいて、処理時間を求める。
また、この第３実施形態では、アクチュエータ１００を駆動しつつ、繊維状炭素系物質を付加領域８に付加することもできる。
この方法を採用する場合は、共振周波数の調整において、アクチュエータ１００を駆動して共振周波数の測定を行ないつつ、繊維状炭素系物質を付加領域８に付加してゆき、測定した共振周波数と目標値とが一致したときに、繊維状炭素系物質を付加する処理を中止する。これにより、共振周波数の調整を、より迅速かつ正確に行なうことができる。
【０１２０】
以上説明したように、この第３実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。
なお、本実施形態では、付加領域８は、第２の質量部２の質量部本体１４の上面側に設定するが、本発明では、これに限らず、例えば、第２の質量部２の質量部本体１４の下面側に設定してもよく、また、第２の質量部２の質量部本体１４の上面側および下面側に設定してもよい。
【０１２１】
また、本実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に付加領域８を設定するが、本発明では、これに限らず、例えば、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４に、付加領域８を設定してもよい。また、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４と、第２の質量部２の質量部本体１４とに、付加領域８を設定してもよい。
【０１２２】
＜第４実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータの第４実施形態について説明する。
図１５は、本発明のアクチュエータの第４実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図１４中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【０１２３】
以下、第４実施形態について、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図１５に示すように、第４実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に付加領域８が２つ設定されている。各付加領域８は、それぞれ、第２の質量部２の質量部本体１４の、回動中心軸４１から遠位の端部（回動中心軸４１に対してほぼ垂直な方向（長手方向）の端部）に設定される。
そして、各付加領域８全体に、それぞれ、図示しない絶縁膜を介して電極１０２が設けられており、各付加領域８全体が、それぞれ、導電性を有している。各電極１０２は、それぞれ、例えば、各種金属等の導電性材料で形成（例えば、金属膜で構成）することができる。なお、各電極１０２の表面が、それぞれ、付加領域８の表面である。
各電極１０２は、それぞれ、図示しない電源に接続されており、各電極１０２に通電して、各電極１０２を所定の極性に帯電させることができるように構成されている。
【０１２４】
共振周波数の調整において、付加領域８内の所定箇所（本実施形態では、付加領域８全体）に粒子を付加する処理は、所定の極性に帯電した粒子を含む雰囲気を形成し、アクチュエータ１００をその雰囲気中（雰囲気下）に配置し、各電極１０２（付加領域８）を前記粒子と逆極性に帯電させることにより行なわれる。これにより、粒子は、クーロン力により、各電極１０２に向って吸引され、各電極１０２に吸着される。
【０１２５】
各電極１０２への通電を中止しても、第１実施形態で述べたように、電極１０２に付着した粒子の付着状態は維持される。
なお、本実施形態では、前記粒子を付加する処理において、付加領域８全体に、粒子を付加するが、これに限らず、付加領域８の一部に、粒子を付加してもよい。付加領域８の一部に粒子付加する場合は、例えば、粒子を付加する箇所（付加領域８の一部）に、電極１０２を設ければよい。
【０１２６】
この第４実施形態では、処理時間（電極１０２への通電時間）等の処理条件を調整することによって、付加領域８に、粒子を所定量だけ正確に付加することができる。すなわち、粒子を付加する位置および付加する粒子の質量をそれぞれ正確に制御することができ、これによって、慣性モーメントを、より容易かつ正確に調整することができる。従って、共振周波数の調整を、より容易かつ正確に行なうことができる。
【０１２７】
共振周波数の調整においては、例えば、予め、アクチュエータ１００の共振周波数と目標値との差と、処理時間との関係を示す検量線を作成しておき、この検量線に基づいて、処理時間を求める。
また、この第４実施形態では、アクチュエータ１００を駆動しつつ、粒子を付加領域８に付加することもできる。
この方法を採用する場合は、共振周波数の調整において、アクチュエータ１００を駆動して共振周波数の測定を行ないつつ、粒子を付加領域８に付加してゆき、測定した共振周波数と目標値とが一致したときに、粒子を付加する処理を中止する。これにより、共振周波数の調整を、より迅速かつ正確に行なうことができる。
【０１２８】
以上説明したように、この第４実施形態によっても、前記第１実施形態と同様の効果が得られる。
なお、本実施形態では、付加領域８は、第２の質量部２の質量部本体１４の上面側に設定するが、本発明では、これに限らず、例えば、第２の質量部２の質量部本体１４の下面側に設定してもよく、また、第２の質量部２の質量部本体１４の上面側および下面側に設定してもよい。
【０１２９】
また、本実施形態では、第２の質量部２の質量部本体１４に付加領域８を設定するが、本発明では、これに限らず、例えば、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４に、付加領域８を設定してもよい。また、第１の質量部１、１１のいずれか一方または両方の質量部本体１４と、第２の質量部２の質量部本体１４とに、付加領域８を設定してもよい。
以上説明したようなアクチュエータ１００は、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡等の光スキャナ、イメージング用ディスプレイ、光通信用デバイス（例えば、光スイッチ、アッテネータ）、機械的な共振を電気的な共振に変換する共振器等に好適に適用することができる。
【０１３０】
以上、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータについて、図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータは、前記各実施形態のうちの任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせるようにしてもよい。
また、本発明のアクチュエータの共振周波数の調整方法およびアクチュエータでは、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成（構成物）や、工程を付加することもできる。
【０１３１】
以下に、第１の質量部と第２の質量部とを有するアクチュエータ（第１実施形態、第３および第４実施形態等）についての変形例（１）〜（９）を簡単に説明する。
（１）前述した実施形態では、第１の弾性連結部を一対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、二対以上であってもよい。
（２）前述した実施形態では、第２の弾性連結部を一対有するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、二対以上であってもよい。
【０１３２】
（３）前述した実施形態では、光反射部２１が第２の質量部２の一方の面に設けられている構成について説明したが、例えば、両方の面に設けられている構成であってもよい。
（４）前述した実施形態では、対向基板６上に電極７が設けられている構成について説明したが、対向基板６と第１の質量部１、１１の両方に設けられていてもよい。
（５）前述した実施形態では、第１の質量部１、１１に対応する位置に、それぞれ一対の電極７を設けたが、これに限らず、それぞれ、電極７を１つ、もしくは３つ以上設けてもよい。
なお、第１の質量部１、１１に対応する位置に、それぞれ１つの電極７を設けた場合は、例えば、オフセット電圧を加えた、最小電位がグランド電位である正弦波（交流電圧）等を印加するのが好ましい。
【０１３３】
（６）前述した実施形態では、第１の弾性連結部および第２の弾性連結部の形状として図示の構成のものについて説明したが、これに限定されず、例えば、その形状が、クランク形状等であってもよいし、分岐した構造を有するものであってもよい。
（７）前述した実施形態では、第１の質量部１、１１の電極７と対向する面に、短絡防止用の絶縁膜が設けられている構成について説明したが、例えば、このような絶縁膜は、電極７の表面に設けられていてもよいし、両方に設けられていてもよい。
【０１３４】
（８）前述した実施形態では、第１の質量部が、一対設けられる構成のものであったが、単一の第１の質量部が第２の質量部を囲むように設けられる構成のものであってもよい。
（９）前述した実施形態では、交流電圧を印加することにより生じるクーロン力により、第１の質量部を駆動するように構成されているが、駆動方式は、これに限らず、例えば、電磁力（ローレンツ力）により駆動する駆動方式、ピエゾアクチュエータ（圧電素子を備えたアクチュエータ）により駆動する駆動方式等、各種の駆動方式を採用することができる。
また、前述した変形例（２）〜（７）、（９）は、それぞれ、単一の質量部を有するアクチュエータ（第２実施形態等）にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３５】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータを示す平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示すアクチュエータの電極の配置を示す平面図である。
【図４】印加する交流電圧の一例を示す図である。
【図５】印加した交流電圧の周波数と、第１の質量部および第２の質量部の回転角度との関係（第１の質量部および第２の質量部の共振曲線）を示すグラフである。
【図６】図１に示すアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【図７】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図８】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図９】図１に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
【図１０】アクチュエータの共振周波数の測定に用いられる装置を示すブロック図である。
【図１１】図１に示すアクチュエータの共振周波数の調整方法を説明するための図である。
【図１２】本発明のアクチュエータの第２実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータを示す平面図である。
【図１３】図１２中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１４】本発明のアクチュエータの第３実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【図１５】本発明のアクチュエータの第４実施形態であって、共振周波数の調整を行なう前の状態のアクチュエータの第２の質量部を示す平面図である。
【図１６】従来のアクチュエータを説明するための図である。
【符号の説明】
【０１３６】
１００……アクチュエータ  １、１１……第１の質量部  ２……第２の質量部  １２、１３……遠位端  １４……質量部本体  １５……中間点  １６……中心  １７……質量部  １８……弾性連結部  ２１……光反射部  ３……支持部  ４……第１の弾性連結部  ５……第２の弾性連結部  ６……対向基板  ６０……シリコン基板  ６１……開口部  ７……電極  ８……付加領域  ８１……凹部  ８６……液状材料  ８７……粒子  ９……液滴吐出装置  ９１……液滴吐出ヘッド  ９２……ノズル  １０１……触媒  １０２……電極  ３０……シリコン基板  ３００……凹部  ３１……金属マスク  ３２、３３……レジストマスク  ４１……回動中心軸  ４２……中心線  ５０……構造体  Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３……距離  ２００……レーザードップラーベロシティ  ４００……ＦＦＴアナライザー  １２００……スペーサ  １３００……可動電極板  １３００ａ……両端固定部  １３００ｂ……トーションバー  １３００ｃ……可動電極部  １４００……固定電極  １５００……電源  １６００……スイッチ  １０００……ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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