(57)【要約】【課題】  周波数領域の特性インピーダンスを求める特性インピーダンス測定方法、特性インピーダンス測定装置及び特性インピーダンス算出プログラム、を提供すること。【解決手段】  線路の特性インピーダンスを測定する特性インピーダンス測定方法を提供する。線路の反射係数及び透過係数を測定する計数測定ステップと、計数測定ステップにより測定された反射係数及び透過係数から周波数領域における特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出ステップと、を有することを特徴とする。【選択図】  図２
2006266833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
線路の特性インピーダンスを測定する特性インピーダンス測定方法において、
前記線路の反射係数及び透過係数を測定する計数測定ステップと、
前記計数測定ステップにより測定された前記反射係数及び透過係数から周波数領域の特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出ステップと、
を有することを特徴とする特性インピーダンス測定方法。
【請求項２】
前記特性インピーダンス算出ステップは、
【数１】
2006266833.tif 000012
に基づき周波数領域の特性インピーダンスを算出する、
ことを特徴とする請求項１記載の特性インピーダンス測定方法。
【請求項３】
線路の特性インピーダンスを測定する特性インピーダンス測定装置において、
前記線路の反射係数及び透過係数を測定する計数測定手段と、
前記計数測定手段により測定された前記反射係数及び透過係数から周波数領域の特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出手段と、
を有することを特徴とする特性インピーダンス測定装置。
【請求項４】
前記特性インピーダンス算出手段は、
【数１】
2006266833.tif 000013
に基づき周波数領域の特性インピーダンスを算出する、
ことを特徴とする請求項３記載の特性インピーダンス測定装置。
【請求項５】
線路の反射係数及び透過係数に基づき該線路の特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出プログラムであって、
前記反射係数及び透過係数を入力する計数入力ステップと、
前記計数入力ステップにより入力された前記反射係数及び透過係数から周波数領域の特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出ステップと、を
コンピュータに実行させるための特性インピーダンス算出プログラム。
【請求項６】
前記特性インピーダンス算出ステップは、
【数１】
2006266833.tif 000014
に基づき周波数領域の特性インピーダンスを算出する、
ことを特徴とする請求項５記載の特性インピーダンス算出プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線板に形成された線路の特性インピーダンスを求める特性インピーダンス測定方法、特性インピーダンス測定装置及び特性インピーダンス算出プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
伝送線路には、負荷と信号源とのインピーダンスを整合して、信号の反射の低減や透過の向上が求められる。負荷と信号源とのインピーダンス整合の指標となる伝送線路の特性インピーダンスは、絶縁部の誘電率や線路の物理的な寸法によってほぼ決定され、例えばストリップ線路やマイクロストリップ線路の特性インピーダンスは導体の幅（断面積）を変えることによって調整されることが多い。
【０００３】
しかしながら、開発段階においては、設計された伝送線路が所望の性能を有しているか否か、特に特性インピーダンスが適切か否かを評価する必要がある。従来、基板に形成された伝送線路の特性インピーダンスを測定する方法として、ＴＤＲ（Ｔｉｍｅ
Ｄｏｍａｉｎ Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｒｙ）測定器が利用されている（例えば、特許文献１参照。）。ＴＤＲ測定は、立ち上がり特性のよいパルス信号を伝送線路に与え、伝送線路からの反射波形を高速でサンプリングし、該波形から所定の時間における特性インピーダンス（時間領域の特性インピーダンス）を求める測定方法である。
【特許文献１】特開２００４−２３３３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ＴＤＲ測定による時間領域の特性インピーダンスだけでは、伝送線路の性能を把握できず伝送線路の設計に不都合が生じる場合がある。電子製品の動作周波数の高速化に伴い信号の周波数が高くなるほど、伝送線路の特性インピーダンスを安定に保つことが重要となる。線路を伝搬する信号が高速になれば、例えば、マイクロストリップ線路の特性インピーダンスは、他のパターンとの距離、グランド・プレーンの端からの距離、絶縁部の厚みやパターン
の厚さの変動等によって変動し得る。
【０００５】
ＴＤＲ測定は時間領域における特性インピーダンスを測定するものであるため、特性インピーダンスが周波数に依存して変動した場合、ＴＤＲ測定による評価だけでは伝送線路の精度のよい設計が困難となる。しかしながら、これまで特性インピーダンスの周波数依存性を測定する方法は提案されてこなかった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑み、周波数領域の特性インピーダンスを求める特性インピーダンス測定方法、特性インピーダンス測定装置及び特性インピーダンス算出プログラム、を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題に鑑み、本発明は、線路の特性インピーダンスを測定する特性インピーダンス測定方法において、線路の反射係数（例えばＳ１１）及び透過係数（例えばＳ１２）を測定する計数測定ステップと、計数測定ステップにより測定された反射係数及び透過係数から周波数領域の特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出ステップと、を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、線路の反射係数と透過係数を測定することで、周波数領域の特性インピーダンスを求めることができる。反射係数や透過係数は、例えばネットワークアナライザなどＳパラメータ測定機により測定される。
【０００９】
本発明の一形態おいて、周波数領域の特性インピーダンスは、特性インピーダンス算出ステップにより、後述の式（１４）により算出される。本発明によれば、反射係数と透過係数を式に代入するだけで短時間に周波数領域の特性インピーダンスを算出できる。
【００１０】
また、本発明は、線路の特性インピーダンスを測定する特性インピーダンス測定装置において、線路の反射係数及び透過係数を測定する計数測定手段（例えば図７のSパラメータ測定手段４１）と、計数測定手段により測定された反射係数及び透過係数から周波数領域の特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出手段（例えば図７の有損失特性インピーダンス算出手段４３）と、を有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の一形態において、特性インピーダンス算出手段は後述の式（１４）に基づき前記特性インピーダンスを算出する、ことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、線路の反射係数及び透過係数に基づき該線路の特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出プログラムであって、反射係数及び透過係数を入力する計数入力ステップ（例えば図７のSパラメータ入力手段４２による入力）と、計数入力ステップにより入力された反射係数及び透過係数から周波数領域の特性インピーダンスを算出する特性インピーダンス算出ステップと、をコンピュータに実行させる。
【００１３】
本発明の一形態において、特性インピーダンス算出ステップは後述の式（１４）に基づき特性インピーダンスを算出する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
周波数領域の特性インピーダンスを求める特性インピーダンス測定方法、特性インピーダンス測定装置及び特性インピーダンス算出プログラム、を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照しながら実施例を挙げて説明する。図１は、伝送線路を回路特性として示した回路図の一例を示す。ポート１からVi1（Ii1）が、ポート２からVi２（Ii２）が入力され、また、ポート１からVr1（Ir1）が、ポート２からVr２（Ir２）が出力する。図１の２ポート回路では、各ポートの電圧，電流は、入力波と出力波との和となる（V１＝Vi1＋Vr1、V２＝Vi２＋Vr２、I１＝Ii1＋Ir1、I2＝Ii２＋Ir２）。なお、ポート２側に負荷を接続した場合の負荷の抵抗をＺＰｏｒｔとする。
【００１６】
図２は、有損失特性インピーダンスの測定の手順の全体的な構成を示す図である。本実施の形態は、周知の方法で伝送線路のＳパラメータを測定して、周波数に対して損失のある特性インピーダンス（以下、有損失特性インピーダンスという）Lossy_Z0を求める。特性インピーダンスLossy_Z0を直接測定する方法は考案されていないので、本実施の形態の特性インピーダンス測定方法は、Ｓパラメータ（周波数依存性がある）から特性インピーダンスにかかる部分を抽出することで、有損失特性インピーダンスLossy_Z0を求めることを可能にするものである。
【００１７】
本実施の形態の特性インピーダンス測定方法は、まず、伝送線路のＳパラメータを周知の方法で測定する（Ｓｔｅｐ１）。Ｓパラメータ（Ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ
Ｐａｒａｍｅｔｅｒ）とは、散乱行列又はその要素のことで、２端子回路の場合には、ポート１及びポート２への入射波をそれぞれａ１ 、ａ２、反射波をｂ１、ｂ２とした場合、例えば式（２）で表される２次行列又はその要素である。Ｓパラメータは、回路に入って行く電力と、回路から出てくる電力を関係付けるパラメータで、高周波における回路の取り扱いを容易にする。すなわち、Ｓパラメータは、各端子対（ポート）から出入りする電力に関係する信号の波の大きさと位相によって回路の特性を表したものである。
【００１８】
【数２】
2006266833.tif 000003
Ｓ１１は入力反射係数、Ｓ１２は逆方向伝達係数、Ｓ２１は伝達係数、Ｓ２２は出力反射係数である。
【００１９】
ＳパラメータとＺパラメータとは、後述のように所定の関係を有することが知られている。したがって、Ｓパラメータが測定されれば、Ｚパラメータに変換することができる（Ｓｔｅｐ２）。なお、Ｚパラメータ（インピーダンスパラメータ）は、例えば式（３）で表される２次行列又はその要素である。
【００２０】
【数３】
2006266833.tif 000004
Ｚ１１は入力インピーダンス、Ｚ１２は逆方向伝達インピーダンス、Ｚ２１は順方向伝達インピーダンス、Ｚ２２は出力インピーダンスである。
【００２１】
ところで、有損失線路のＺパラメータは、有損失線路の特性インピーダンスLossy_Z0により式（４）のように定義される（詳しくは、「Digital Signal Integrity：Modeling and
Simulation with Interconnects and Package」 ,  Brian Young , Prentice Hall Modern
Semiconductor Design Series , Printed in the United States of America ,2001 ,  P170）を参照されたい）。
【００２２】
【数４】
2006266833.tif 000005
ただし、Lossy_Z0は有損失特性インピーダンス（複素数）、γは伝搬定数（複素数）、ｌは線路長である。
【００２３】
式（４）のＺパラメータとLossy_Z0との関係を、Ｓｔｅｐ２で求めたＺパラメータに対応づければ、周波数依存性を示す有損失特性インピーダンスLossy_Z0の大きさを求めることができる（Ｓｔｅｐ３）。したがって、図２に示すようにＳパラメータを測定することで有損失特性インピーダンスLossy_Z0の大きさを求めることが可能になる。
【００２４】
有損失特性インピーダンスLossy_Z0の求め方をより詳細に説明する。まず、式（３）のＺパラメータを、非対角成分に“１”が現れるように変形する。
【００２５】
【数５】
2006266833.tif 000006
なお、式（５）を求める際、Ｚ行列が対称行列であること（Ｚ１１＝Ｚ２２、Ｚ１２＝Ｚ２１）を使った。
【００２６】
式（４）の右辺と式（５）の右辺とを対比させると式（６）及び（７）が得られる。
【００２７】
【数６】
2006266833.tif 000007
双曲線正弦関数sinhθと双曲線余弦関数coshθとの間には式（８）の関係があるので、式（８）に式（６）と（７）を代入し、有損失特性インピーダンスLossy_Z0について整理すると、式（９）が得られる。
【００２８】
【数７】
2006266833.tif 000008
次に、ＳパラメータからＺパラメータへの変換式を求める。式（１０）は、ＳパラメータとＺパラメータとの関係を示す式である。ただし、Iは単位行列、ＺＰｏｒｔはＳパラメータ測定時のポートインピーダンス（ポート２のインピーダンス）を示す。
【００２９】
【数８】
2006266833.tif 000009
式（１０）を整理するとＺパラメータは式（１１）のように表せる。式（１１）が対称行列であるとすると（Ｓ１１=Ｓ２２、Ｓ１２＝Ｓ２１）、Ｚ１１及びＺ１２は、式（１２）及び（１３）のように表せる。式（１２）と（１３）により、ＳパラメータをＺパラメータへ変換できる。
【００３０】
【数９】
2006266833.tif 000010
式（１２）及び（１３）で表されたＺ１１とＺ１２を式（９）に代入すると式（１４）が得られる。式（１４）は、Ｓパラメータと有損失特性インピーダンスLossy_Z0との関係を示すものであるので、式（１４）を用いればＳパラメータから直接Lossy_Z0を算出できる。以上のようにして、Ｓパラメータから有損失特性インピーダンスLossy_Z0を求める式が得られた。なお、Ｚパラメータが既知の場合、式（９）からLossy_Z0を算出してもよい。
【００３１】
【数１０】
2006266833.tif 000011
【実施例１】
【００３２】
実際のコプレーナ線路のＳパラメータを測定し、式（１４）を用いて有損失特性インピーダンスLossy_Z0を算出する。本実施例では、式（１４）により算出した有損失特性インピーダンスLossy_Z0と、シミュレータにより求めた有損失特性インピーダンスLossy_Z0_SIMとを比較し、算出された有損失特性インピーダンスLossy_Z0の精度を検証する。
【００３３】
図３（ａ）はコプレーナ線路の平面図を、図３（ｂ）は図３（ａ）のＡＡ線断面図を、それぞれ示す。図３のコプレーナ線路は、サファイア基板１０上の中央に信号線１１を設け、信号線の左右に接地層１２が配置されている。
【００３４】
信号線の線路長Ｌは、測定する信号の周波数範囲を考慮し共振の起こらない長さとした。共振は、線路長Ｌが信号波長λの半波長倍の場合に起こるので、線路長Ｌは信号波長の半波長λ／２よりも充分小さいλ／４以下で決定する。具体的には線路長Ｌを１ｍｍとした。
【００３５】
実測された信号線１１の幅Ｓは０．０３７〔ｍｍ〕、信号線１１と接地層１２との距離Ｗは０．０２４〔ｍｍ〕、信号線の厚みｔは０．００６８〔ｍｍ〕、サファイア基板の厚みｈは１．０７〔ｍｍ〕である。なお、信号線は銅（導電率５．８ｅ＋７〔Ｓ／ｍ〕）で形成し、サファイア基板１０の比誘電率は１０．４である。
【００３６】
図４（ａ）は、Ｓパラメータのうち反射係数Ｓ１１と透過係数Ｓ１２の測定結果を示す。Ｓパラメータはおよそ０．１ＧＨｚ〜１６ＧＨｚの範囲で測定した。なお、Ｓパラメータの測定には、基準器により校正された市販のＳパラメータ測定装置「Ａｇｉｌｅｎｔ
Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ、Ｅ８３６４Ｂ ＰＮＡ Ｓｅｒｉｅｓ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ａｎａｌｙｚｅｒ」を使用した。
【００３７】
図４（ｂ）は、図４（ａ）の反射係数Ｓ１１と透過係数Ｓ１２を式（１４）に代入して得られたLossy_Z0を示す。また、図４（ｂ）には比較のため、シミュレーションソフト「Ａｎｓｏｆｔ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、Ａｎｓｏｆｔ ２Ｄ
Ｅｘｔｒａｃｔｏｒ Ｖｅｒｓｉｏｎ ６．０．５２９」で求めた有損失特性インピーダンスLossy_Z0_SIMをプロットしている。
【００３８】
図４（ｂ）によれば、有損失特性インピーダンスLossy_Z0と有損失特性インピーダンスLossy_Z0_SIMは、Ｓパラメータを測定した周波数の全域でほぼ同じ値を示している。したがって、実際のコプレーナ線路を用いてＳパラメータを測定し、式（１４）を用いて算出した有損失特性インピーダンスLossy_Z0は、シミュレーションソフトと同様、高精度に確からしいことが検証される。
【実施例２】
【００３９】
本実施例では、マイクロストリップ線路のＳパラメータを測定し、式（１４）を用いて有損失特性インピーダンスLossy_Z0を算出する。そして、実施例１と同様に、式（１４）により算出した有損失特性インピーダンスLossy_Z0と、シミュレータにより求めた有損失特性インピーダンスLossy_Z0_SIMとを比較し、算出された有損失特性インピーダンスLossy_Z0の精度を検証する。
【００４０】
図５（ａ）はマイクロストリップ線路の平面図を、図５（ｂ）は図５（ａ）のBB線断面図を、それぞれ示す。図５のマイクロストリップ線路は、ＦＲ−４基板上の中央に信号線２１を設け、信号線２１の上下に“コ”の字状のプローブパット部２２が配置されている。プローブパッド部２２には、下層の配線と電気的に接続するためのビア２３が設けられている。
【００４１】
信号線２１の線路長Ｌは、測定する信号の周波数範囲を考慮し共振の起こらない長さとした。具体的には、３次元解析ツールを用いてマイクロストリップ線路を最適化し、
ｆｒｅｓ＝１／２×Ｃ×１／（Ｌ×√Ｅｅｆｆ）  …（１５）
の式から共振の起こらない線路長Ｌを算出した。具体的には線路長Ｌを０．２ｍｍとした。なお、ｆｒｅｓは共振周波数〔Ｈｚ〕、Ｃは光速（３ｅ＋１１〔ｍｍ／ｓ〕、Ｅｅｆｆは実効比誘電率（ＦＲ−４基板の場合２程度）、である。また、信号線は銅（導電率５．８ｅ＋７〔Ｓ／ｍ〕）で形成した。
【００４２】
実測された信号線２１の幅Ｓは０．１４２〔ｍｍ〕、信号線の厚みｔは０．０４５〔ｍｍ〕、基板の厚みｈは０．１２５〔ｍｍ〕である。
【００４３】
図６（ａ）は、Ｓパラメータのうち反射係数Ｓ１１と透過係数Ｓ１２の測定結果を示す。Ｓパラメータはおよそ０．１ＧＨｚ〜２０ＧＨｚの範囲で測定した。なお、Ｓパラメータの測定は、基準器により校正された市販のＳパラメータ測定装置「Ａｇｉｌｅｎｔ
Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ、Ｅ８３６４Ｂ ＰＮＡ Ｓｅｒｉｅｓ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ａｎａｌｙｚｅｒ」を使用した。
【００４４】
図６（ｂ）は、図６（ａ）の反射係数Ｓ１１と透過係数Ｓ１２を式（１４）に代入して得られたLossy_Z0を示す。また、図６（ｂ）には比較のため、シミュレーションソフト「Ａｎｓｏｆｔ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、Ａｎｓｏｆｔ ２Ｄ
Ｅｘｔｒａｃｔｏｒ Ｖｅｒｓｉｏｎ ６．０．５２９」で求めた有損失特性インピーダンスLossy_Z0_SIMをプロットしている。
【００４５】
図６（ｂ）によれば、有損失特性インピーダンスLossy_Z0と有損失特性インピーダンスLossy_Z0_SIMは、Ｓパラメータを測定した周波数の全域でほぼ同じ値を示している。したがって、実際のマイクロストリップ線路を用いてＳパラメータを測定し、式（１４）を用いて算出した有損失特性インピーダンスLossy_Z0は、シミュレーションソフトと同様、高精度に確からしいことが検証される。
【００４６】
以上のように、本実施の形態の特性インピーダンス測定方法は、Ｓパラメータを測定することで有損失特性インピーダンスを求めることができる。実施例１及び２に示したように、シミュレータによっても有損失特性インピーダンスを得ることができるが、本実施の形態の特性インピーダンス測定方法であれば、シミュレーションソフトに比べ非常に短時間に有損失特性インピーダンスを得ることができる。
【００４７】
本実施の形態の有損失特性インピーダンス測定方法は、高周波数であっても測定の容易なＳパラメータから有損失の特性インピーダンスを求めることができるため、実用上極めて有効となる。有損失特性インピーダンスが得られれば、ＴＤＲ測定器で測定した時間領域の特性インピーダンスと共に、設計された伝送線路を評価することができ、開発時間の短縮、コスト低減等が可能になる。なお、本実施例では、ＳパラメータからＺパラメータに変換したが、Ｙパラメータ（アドミッタンス・パラメータ）又はｈパラメータ（ハイブリッド・パラメータ）に変換しても、有損失特性インピーダンスを算出することができる。
【実施例３】
【００４８】
本実施例では、Ｓパラメータから有損失特性インピーダンスを求める有損失特性インピーダンス測定装置及び有損失特性インピーダンス算出プログラムについて説明する。図７（ａ）は、有損失特性インピーダンス測定装置のブロック図を示す。Ｓパラメータ測定手段４１は、Ｓパラメータ、特に反射係数Ｓ１１と透過係数Ｓ２１を測定する。Ｓパラメータ測定手段４１により測定されたＳパラメータはＳパラメータ入力手段４２に入力され、有損失特性インピーダンス算出手段４３が式（１４）により有損失特性インピーダンスLossy_Z0を算出する。
【００４９】
Ｓパラメータ測定手段４１は、別体に構成されていてもよく、その場合、Ｓパラメータは、ネットワークやメモリカード等の記録媒体を介してＳパラメータ入力手段４２により入力される。なお、Ｓパラメータ入力手段４２への入力は、無線、有線を問わない。
【００５０】
Ｓパラメータ入力手段４２及び有損失特性インピーダンス算出手段４３は、情報処理装置、例えばコンピュータが提供する機能を利用して実現される。図７（ｂ）は、該コンピュータのハードウェア構成図の一例を示す。
【００５１】
図７（ｂ）のコンピュータは、それぞれバス３９で相互に接続されているＣＰＵ３１、入出力制御部３２、ドライブ装置３３、通信部３４、主記憶部３５、記憶装置３６、表示制御部３７を有するように構成される。
【００５２】
ＣＰＵ３１は、コンピュータが行う処理を統括的に制御し、例えば、有損失特性インピーダンス算出プログラムを主記憶部３５にロードして実行する。入出力制御部３２は、キーボード及びマウスなどにより入力される様々な操作指示を処理するために用いられる。通信部３４は、インターネットやＬＡＮなどのネットワークに接続するためのインターフェイスであり、例えばモデム、ルータ等で構成される。主記憶部３５は、オペレーティングシステムやプログラム、データを一時保管する記憶領域である。
【００５３】
ドライブ装置３３は、ＤＶＤ−ＲＯＭやＣＤ−ＲＯＭ、フラッシュメモリ等の記憶媒体３８が挿入可能であり、記録媒体３８からプログラムやデータを読み込み、また記録媒体３８にプログラムやデータを書き込むことも可能である。表示制御部３７は、ＧＵＩ（Ｇｒａｐｈｙｃａｌ
Ｕｓｅｒ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）画面を形成し、ユーザが操作する際に各種ウィンドウやデータ等を表示する。
【００５４】
記憶装置３６には、有損失特性インピーダンス算出プログラム４０が記録媒体３８やインターネットを介してインストールされている。有損失特性インピーダンス算出プログラム４０は、図７（ｂ）のコンピュータを、Ｓパラメータ入力手段４２及び有損失特性インピーダンス算出手段４３として機能させる。
【００５５】
例えば、Ｓパラメータ入力手段４２は、Ｓパラメータ測定手段４１が測定したＳパラメータを、入出力制御装置３２を制御し、通信装置３４やドライブ装置３３を介して取得する。有損失特性インピーダンス算出手段４３は、入力されたＳパラメータ及び式（１４）を用いて有損失特性インピーダンスLossy_Z0を算出する。算出結果は、表示装置３７により表示してもよいし、ファイルとして記憶装置３６や記憶装置３８に保存してもよい。
【００５６】
本実施例によれば、周波数領域の特性インピーダンスを求める特性インピーダンス測定特性インピーダンス測定装置及び特性インピーダンス算出プログラムを提供できる。なお、図７（ｂ）のコンピュータのハードウェア構成は一例であるので、Ｓパラメータ及び式（１４）により有損失特性インピーダンスLossy_Z0を算出できる情報処理装置であれば、特性インピーダンス算出プログラムを実行できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】伝送線路を回路特性として示した回路図の一例である。
【図２】有損失特性インピーダンスの測定の手順の全体的な構成を示す図である。
【図３】コプレーナ線路の平面図及び断面図である。
【図４】Ｓパラメータの測定結果及び得られた有損失特性インピーダンスの一例である。
【図５】マイクロストリップ線路の平面図及び断面図である。
【図６】Ｓパラメータの測定結果及び得られた有損失特性インピーダンスの一例である。
【図７】有損失特性インピーダンス測定装置のブロック図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０          サファイア基板
１１、２１    信号線
１２          接地層
２３          ビア
【図１】
2006266833.tif 000015
【図２】
2006266833.tif 000016
【図３】
2006266833.tif 000017
【図４】
2006266833.tif 000018
【図５】
2006266833.tif 000019
【図６】
2006266833.tif 000020
【図７】
2006266833.tif 000021