(57)【要約】【課題】プロービング装置において、大掛かりなシールド装置を要することなく微小信号のプロービングを可能とすることである。【解決手段】プロービング装置５０は、基台筐体６２、防振台６４、移動機構６６、基台筐体６２を介して接地５２に接続されるステージ６８とを有する機構装置６０を含んで構成される。ステージ６８の上方のプローブ７２は、信号ケーブル７８の他端の接続端子７７を介し、測定装置８０側の測定端子８１と接続される。シールド覆い７０は、ステージ６８に保持されるガラス基板４０上の測定対象のデバイス４２の上方に設けられ、デバイス４２の略等倍以上略４倍以下の面積を有し、接地に接続される。【選択図】図２
2006194699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に複数のデバイスが相互に離間して配置される被測定基板の微小信号をプロービングするプロービング装置であって、
前記絶縁基板を下面で保持し、接地電位に接続されるステージと、
被測定デバイスの測定端子に測定信号を入出力するプローブと、
前記デバイスの上面を覆い、前記接地電位に接続されるシールド覆いと、
を備え、
前記シールド覆いは、前記絶縁基板上における前記被測定デバイスの面積の略等倍以上略４倍以下の対向面積を有することを特徴とするプロービング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプロービング装置において、
前記シールド覆いは、前記ステージの平面に平行な導電性シールド板であることを特徴とするプロービング装置。
【請求項３】
請求項１に記載のプロービング装置において、
前記接地電位は、前記ステージを移動駆動する駆動体を支持する金属筐体と同電位であることを特徴とするプロービング装置。
【請求項４】
請求項１に記載のプロービング装置において、
前記複数のデバイスは、ガラス基板上に配置された透明電極を有するデバイスであることを特徴とするプロービング装置。
【請求項５】
請求項４に記載のプロービング装置において、
前記透明電極はＩＴＯ電極であることを特徴とするプロービング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロービング装置に係り、特に絶縁基板上に複数のデバイスが相互に離間して配置される被測定基板の微小信号をプロービングするプロービング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイの生産においては、ガラス基板に透明電極を配線することが行われ、さらに目的に応じてトランジスタやダイオード、抵抗、コンデンサ等の回路素子が作りこまれる。そして、生産性の向上のために、１枚のガラス基板上に複数の液晶ディスプレイ用のブロックが整列配置され、フォトリソグラフィ等の技術により、一度の工程で複数のブロックの加工が行われる。一例をあげると、１ｍ角を越えるガラス基板に、数ｃｍ角の小型液晶ディスプレイが１００個以上整列配置されて生産される。
【０００３】
そして、必要な工程において、生産途中あるいは完成したガラス基板の検査がプロービング装置とテスタとを用いて行われる。ガラス基板上にデバイスを作りこんでその特性を検査するのは、周知のＩＣ測定に類似する方法で行うことができる。すなわち、ガラス基板上のデバイス測定も、ガラス基板を保持し任意の位置に移動させることができるステージと、ガラス基板上の各ディスプレイ素子の測定端子に接触あるいは非接触によって測定信号を入出力するプローブと、プローブから測定器へ接続する接続部等を含むプロービング装置と、これに接続される適当な測定装置を用いて行われる。このプロービング装置による測定は、簡単なものでは配線の断線、短絡の試験が行われ、複雑なものではトランジスタの動作特性試験、液晶ディスプレイの点灯動作試験等が行われる。例えば、特許文献１には、ＸＹステージの上に表示パネルを保持し、プローブによりその特性を測定する表示パネル用プローブ装置等が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−６５４７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガラス基板上のデバイスの特性測定、特に液晶ディスプレイにおけるトランジスタ特性や画素の保持容量等を測定する場合には、低電流の測定が行われる。その場合、測定システムの内外からのノイズが大きいと、十分な測定精度が確保できない。そのため、ステージとプローブを含む部分をシールドすることが行われる。
【０００６】
しかし、上記のように、大きなガラス基板上に複数のデバイスを作り込む場合には、その大きなガラス基板全体の大きさに加え、ステージの移動範囲を含めた大きな空間をシールドすることが必要である。例えば、１ｍ角のガラス基板とすると、ステージはＸ方向にもＹ方向にも１ｍの移動範囲を有することが必要で、全体では２ｍ平方の面積を覆うシールドが必要となる。
【０００７】
このように、従来技術では、ガラス基板上に複数のデバイスを作りこむときのプロービング装置において、大掛かりなシールド装置が必要となり、プロービング装置の大型化、コストアップにつながっている。
【０００８】
本発明の目的は、大掛かりなシールド装置を要することなく微小信号をプロービングすることを可能とするプロービング装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
１．本発明の原理    最初に本発明の原理を説明する。本発明に係るプロービング装置は、絶縁基板上に複数のデバイスが相互に離間して配置される被測定基板をステージに保持し、複数のデバイスの中における被測定デバイスの測定端子に測定信号を入出力するプローブを用い、その特性を測定するためにプロービングを行うものである。このような場合、被測定デバイスの微小信号測定に影響するノイズとしては、隣接するデバイスからのノイズ、プロービング装置からのノイズ、及び被測定デバイスの上方からの空間ノイズの３つが考えられる。
【００１０】
ここで隣接するデバイスから被測定デバイスに影響するノイズと、被測定デバイスの上方からの空間ノイズとを比較すると、他の条件を同じとして、前者は、被測定デバイスと、これに隣接するデバイスとが対向する面の面積に応じてノイズの影響を受けるのに対し、後者は、被測定基板上の被測定デバイスの平面面積全体で空間ノイズの影響を受ける。したがって、デバイスの厚み寸法に比較して、その平面寸法が十分大きいときは、前者は後者に比較して十分小さくなる。
【００１１】
このようなデバイスとしては、ガラス基板上に液晶ディスプレイ用のトランジスタや画素及び配線等を配置したものや、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）のように絶縁基板上に半導体素子を作り込むもの等が上げられる。例えば、液晶ディスプレイ用のデバイスの場合、ガラス基板上のデバイスの厚みはせいぜい数μｍで、デバイスの平面寸法の数ｍｍ角あるいは数十ｍｍ角に比べ、圧倒的に小さい。一例として、厚みが３μｍ、平面寸法が５０ｍｍ×４０ｍｍのデバイスを、相互に５ｍｍの間隔を離してガラス基板上に配列する場合を取り上げる。このとき、被測定デバイスがこれに隣接するデバイスとが対向する面の面積は、３μｍ×（被測定デバイスの周囲の長さ）＝３μｍ×１８０ｍｍである。これに対し、被測定基板上の被測定デバイスの平面面積全体は、５０ｍｍ×４０ｍｍであり、圧倒的に被測定デバイスがこれに隣接するデバイスとが対向する面の面積よりも大きい。
【００１２】
このように、絶縁基板上に複数のデバイスが相互に離間して配置される場合には、デバイスの厚みが平面寸法と同程度である例外的な場合を除き、隣接するデバイスから被測定デバイスに影響するノイズは、被測定デバイスの上方からの空間ノイズに比べ、圧倒的に小さく、無視することができることがわかる。
【００１３】
したがって、被測定デバイスの微小信号測定に影響するノイズの対策としては、プロービング装置からのノイズの対策、及び被測定デバイスの上方からの空間ノイズの対策を考えればよい。そこで、かかる知見に基づき、本発明に係るプロービング装置は次のような構成をとる。すなわち、プロービング装置からのノイズは絶縁基板を保持するステージの下方からくるので、まずステージを接地に接続してこのノイズを遮断する。そして空間ノイズを遮断するために、被測定デバイスの上方に接地に接続するシールド覆いを設ける。このようにすることで、被測定デバイスは、２つのシールド材にはさまれる。このとき、ステージ及びシールド覆いが被測定デバイスを十分覆う面積を有することで、２つのシールド材の隙間から入り込むノイズも抑制することができる。
【００１４】
２．課題解決手段    本発明に係るプロービング装置は、絶縁基板上に複数のデバイスが相互に離間して配置される被測定基板の微小信号をプロービングするプロービング装置であって、前記絶縁基板を下面で保持し、接地電位に接続されるステージと、被測定デバイスの測定端子に測定信号を入出力するプローブと、前記デバイスの上面を覆い、前記接地電位に接続されるシールド覆いと、を備え、前記シールド覆いは、前記絶縁基板上における前記被測定デバイスの面積の略等倍以上略４倍以下の対向面積を有することを特徴とする。
【００１５】
また、前記シールド覆いは、前記ステージの平面に平行な導電性シールド板であることが好ましい。
【００１６】
また、本発明に係るプロービング装置において、前記接地電位は、前記ステージを移動駆動する駆動体を支持する金属筐体と同電位であることが好ましい。
【００１７】
また、本発明に係るプロービング装置において、前記複数のデバイスは、ガラス基板上に配置された透明電極を有するデバイスであることが好ましい。
【００１８】
また、前記透明電極はＩＴＯ電極配線であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
上記構成により、ステージを接地電位とし、被測定デバイスの上面に接地電位に接続されるシールド覆いを設け、そのシールド覆いの大きさは被測定デバイスの面積の等倍以上４倍以下としたので、シールド覆いの端部から回り込む空間ノイズもほとんど被測定デバイスに影響を及ぼさないようにできる。なお、一般にマイクロストリップ及びストリップラインで用いられているように、できるだけ広い幅で、好ましくはデバイス幅の２倍以上の接地面積を確保することがよいことが知られているので、シールド覆いの大きさを被測定デバイスの面積の４倍以下とできる。このように、絶縁基板全体を覆うことなく、測定デバイスの面積の４倍程度の面積のシールド覆いですむので、大掛かりなシールド装置を要することなく微小信号をプロービングすることが可能となる。
【００２０】
また、シールド覆いはステージの上面に平行としたので、ステージとシールド覆いとがあたかも、いずれも接地電位の接続される平行平板状となり、その間の空間に被測定デバイスが配置される。したがって、簡単な構成で、十分に外部ノイズからの影響を抑制できる。
【００２１】
また、接地電位はステージを移動駆動する駆動体を支持する金属筐体と同電位としたので、機構部分とステージがともに同電位しかも接地電位となり、ステージに機構部分からのノイズが影響することを抑制できる。
【００２２】
また、複数のデバイスは、ガラス基板上に配置された透明電極を有するデバイスであるとしたので、液晶ディスプレイデバイスに適用できる。また、透明電極はＩＴＯ電極であるとしたので、一般的な構成の液晶ディスプレイデバイスに適用することができる。
【００２３】
上記のように、本発明のプロービング装置によれば、大掛かりなシールド装置を要することなく微小信号をプロービングすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態に付き詳細に説明する。最初に、本発明の原理を模擬的な実験結果で説明し、ついで本発明の実施の形態についての具体的構成等を説明する。
【００２５】
図１は、絶縁基板上のデバイスに対する空間ノイズの影響を把握するため、模擬実験の構成と、それによって測定された空間ノイズの模様を説明する図である。模擬実験は、図１（ａ）の左側に示す構成図のように、絶縁体の樹脂テーブル１０の上に絶縁基板を模擬した厚さ１ｍｍの硬質塩化ビニール板１２を置き、その上にデバイスを模擬した５ｍｍ×５ｍｍの銅箔１４を置いたものについて、銅箔１４が拾うノイズを測定することで行った。銅箔１４が拾うノイズの測定は、銅箔１４にシールドケーブル２０の芯線１６の一端を接続し、他端をテスタの測定器を模擬したスペクトルアナライザ２６の測定部２２に接続した。シールドケーブル２０のシールド編線１８は、スペクトルアナライザ２６の筐体ＧＮＤに接続し、その筐体ＧＮＤは、端子２８に接地される。
【００２６】
図１（ａ）の右側の図は、そのようにして構成したときのスペクトルアナライザ２６の画面で、横軸が周波数、縦軸がｄＢｍで示されるノイズレベルである。測定は、０Ｈｚから１ＭＨｚの周波数範囲で行った。縦軸は１０ｄＢ／ｄｉｖで、フルスケールで１００ｄＢに相当する。このように、相当大きいレベルのノイズが銅箔１４によって拾われていることがわかる。
【００２７】
図１（ｂ）は、金属製のステージを模擬した鉄板３０を、絶縁基板を模擬した厚さ１ｍｍの硬質塩化ビニール板１２の下に配置し、それを接地２８に接続した場合を示す図である。図１（ａ）と同様の要素には同一の符号を付してある。図１（ｂ）の右側の図は、図１と同じスケールで示すスペクトルアナライザ２６の画面である。このように、絶縁基板の下に導体ステージを設け、それを接地に接続するだけでもノイズレベルは−２０ｄＢ以上も改善されることがわかる。
【００２８】
図１（ｃ）は、さらに、銅箔１４の上部に、シールド覆いを模擬した前面ベタの銅層が設けられる回路基板３２を、銅層が銅箔４に対向するようにして配置し、銅層を接地２８に接続した場合を示す図である。図１（ｂ）と同様の要素には同一の符号を付してある。図１（ｃ）の右側の図は、図１と同じスケールで示すスペクトルアナライザ２６の画面である。このように、銅箔の上部に導体のシールド覆いを設け、それを接地に接続すると、さらにノイズレベルが改善され、ほぼ測定誤差の範囲におさまることがわかる。
【００２９】
このように、模擬実験においては、絶縁基板上に配置されるデバイスを模擬した塩化ビニール板上の銅箔の拾うノイズが相当多いこと、そのノイズは、ステージを模擬した鉄板を接地に接続し、さらにシールド覆いを模擬した全面銅層を接地に接続し、銅箔の上面を覆うことで、大幅にノイズが改善されることがわかる。ここでは、測定系全体を覆うような大掛かりなシールド設備、例えばシールドルームや、シールドケースを用いていない。用いているのは、ステージの接地と、デバイスを模擬した銅箔の上を覆う全面銅層を有する板材である。したがって、この模擬実験により、条件によっては、大掛かりなシールド装置を要することなく微小信号をプロービングすることが可能であることがわかる。
【００３０】
次に、本発明の実施の形態におけるプロービング装置の具体的構成を説明する。以下においては、微小信号の測定対象をガラス基板上に複数整列配置された液晶ディスプレイ用配線パターンとしたが、さらに液晶ディスプレイを構成する回路素子が作りこまれてもよく、あるいは半完成液晶ディスプレイや、完成液晶ディスプレイであってもよい。液晶ディスプレイはパッシブ型でもアクティブ型でもよく、その構成を問わない。また、ガラス基板上のデバイスでなくても、絶縁基板上に配列されるデバイスであればよく、例えば、ＬＳＩウエファ上のデバイスや、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）等の半導体デバイスであってもよい。
【００３１】
また、以下に説明する周波数、ガラス基板の寸法、デバイスの寸法等の数値は、説明のための一例であって、以下に詳述されるシールド覆いが小型である成立要件を満たす範囲であれば、いかなる数値であってもよい。
【００３２】
また、デバイスの特性をプロービングするためにデバイスの測定端子に信号を入出力するプローブは、複数のプローブ針を有するいわゆる接触型プローブとして説明するが、非接触式プローブであってもよい。例えば、プローブと測定端子との間を高周波信号で交信して特性測定を行ってもよく、光センサをプローブに設け、デバイスの光学的測定を行う部分を測定端子として扱って特性測定を行うものとしてもよい。
【００３３】
図２は、プロービング装置５０の構成を示す図である。図２には、プロービング装置５０の構成要素ではないが、その測定対象として、ガラス基板４０と、ガラス基板４０上に相互に離間して整列配置される複数のデバイス４２が示されている。デバイス４２は、液晶ディスプレイ用にパターン形成された透明電極配線パターンである。
【００３４】
また、図２には、プロービング装置５０の構成要素ではないが、これに接続される測定装置８０が破線で示されている。測定装置８０は、測定対象のデバイス４２の特性を測定する機能を有する電気特性測定器で、測定制御回路及び測定回路等を含む測定部８２と、測定装置筐体８４を含んで構成されるものを用いることができる。測定装置筐体８４は、太い導体線で最短の距離で接地５４に接続されるのが好ましい。
【００３５】
プロービング装置５０は、ガラス基板４０上に相互に離間して配置されるデバイス４２の微小信号をプロービングする機能を有する装置である。プロービング装置５０は、ステージ６８を含む機構装置６０と、ステージ６８の上方に設けられるシールド覆い７０、プローブ７２、及び測定装置８０への接続端子７７を有する信号ケーブル７８等を含んで構成される。
【００３６】
機構装置６０は、金属製の基台筐体６２と、石等でなる防振台６４と、その上に搭載されＸＹ方向及びＺ軸周りのθ回転の移動が可能な移動機構６６と、移動機構６６に取り付けられるステージ６８とを有する。また、図示されていないが、移動機構６６を制御する制御部が設けられる。制御部は、測定装置８０と信号線で接続されることで、機構装置６０と測定装置８０とが協働して動作を行うことができる。
【００３７】
移動機構６６は、その金属部分の適当な接続点から、基台筐体６２に接続され、基台筐体６２は、接地５２に接続される。接地５２への接続は、最短の長さで太い導体線で行うのが好ましい。移動機構６６は、基台筐体６２を介して接地５２に接続されるが、これは基台筐体６２が、大きな金属の塊のため、導体線よりはるかに少ない電気抵抗となるためであり、もちろんそれよりも少ない電気抵抗で接地５２に接続が可能なときは、移動機構６６を直接に接地５２と接続してもよい。なお、測定装置８０側の接地５４と、機構装置６０側の接地５２とは、もちろん同じ接地としてもよい。
【００３８】
機構装置６０のステージ６８は、測定対象のガラス基板４０を保持する機能を有し、移動機構６６の動作により、ガラス基板４０を任意の位置及び向きに移動させるためものである。かかるステージ６８は、上面が平坦なテーブル状の平板で、少なくとも上面部分が金属層からなり、その金属層は、ステージ６８の移動距離を考慮して、最短の長さとなるように太い導体線で基台筐体６２と接続される。すなわち、ステージ６８は、機構装置６０の構成を考慮し、もっとも電気抵抗が少ないパスで接地５２に接続されるのが望ましい。
【００３９】
機構装置６０のステージ６８の上方に設けられるプローブ７２は、デバイス４２の測定端子にプローブ針で接触して測定信号を入出力する機能を有するものである。測定端子が複数のときは、それに対応してプローブ針も複数設けられる。プローブ７２は、信号ケーブル７８の他端の接続端子７７によって測定装置８０側の接続端子８１に接続される。信号ケーブル７８は、信号を伝送する芯線７４と、全体を電磁シールドするシールド編線７６を含んで構成され、芯線７４の一端がプローブ７２のプローブ針に接続され、他端は接続端子７７の信号線を介し、測定装置８０の測定部８２に接続される。そして、シールド編線７６は、接続端子７７のケースを介し、測定装置８０の測定装置筐体８４に接続される。すなわち、シールド編線７６は、測定装置筐体８４を介して、接地５４に接続されるが、これは測定装置筐体８４が、大きな金属ケースのため、導体線よりはるかに少ない電気抵抗となるためであり、もちろんそれよりも少ない電気抵抗で接地５４又は接地５２に接続が可能なときは、シールド編線７６を直接に接地５４又は接地５２と接続してもよい。
【００４０】
機構装置６０のステージ６８の上方で、プローブ７２の周りに設けられるシールド覆い７０は、被測定デバイス４２の微小信号の測定に外部からのノイズが影響することを抑制する機能を有する電磁シールド板である。具体的には、ステージ６８の上面に略平行で、その間にガラス基板４０とその上のデバイス４２を配置し、デバイス４２に接触しない程度の隙間間隔で配置される金属板で構成することができる。あるいはステージ６８の上面に対向する面に金属層が設けられた板材でもよい。この金属部分は、信号ケーブル７８のシールド編線７６に接続され、したがって測定装置筐体８４を介し接地５４に接続される。この金属部分を接地５２に接続する態様も可能である。
【００４１】
図３は、プローブ７２周辺の斜視図であり、図４は、シールド覆い７０を破線とし、プローブ７２とデバイス４２との関係部分を拡大した図である。これらの図から示されるように、デバイス４２には測定端子９２が設けられ、プローブ７２にはそれに対応してプローブ針９４が設けられる。図４の例では、測定端子９２は複数の端子部が並べられているが、それぞれが小さい寸法のため、図面上ではその領域としてのみ示してある。
【００４２】
プローブ針９４は、先端が各測定端子９２に接触するようにプローブ７２の本体に取り付けられ、互いに電気的に分離された複数の導体針である。例えば、複数の折れ曲がり針をプローブ７２の本体に取り付けたもの、あるいは複数のループ状の線材を先端がプローブ７２の本体から突き出るようにして埋め込んで取り付け、その先端を加工して針状にしたもの等をプローブ針９４として用いることができる。かかるプローブ針９４を備えるプローブ７２は、いわゆるプローブカードと呼ばれるものを用いることができる。
【００４３】
フレキシブル基板９０は、可撓性の絶縁基板に複数本の導体パターンが配線されたもので、プローブ７２と信号ケーブル７８との間を中継する機能を有する。つまり、信号ケーブル７８は、複数本の芯線７４を適当な絶縁材で相互に分離しながら、電磁シールド性能を満たすようにシールド編線７６で覆い、さらに全体を絶縁材で被覆して構成されるので、相当な重量を有し、また可撓性に制限がある。そこで、デバイス４２に接触あるいは退避するプローブの動きを妨げないように、フレキシブル基板９０がプローブ７２と信号ケーブル７８との間に設けられる。フレキシブル基板９０の各導体パターンの一端は、複数のプローブ針９４におけるそれぞれの後端部に接続され、他端は信号ケーブル７８の複数の芯線７４に接続される。
【００４４】
図５は、ガラス基板４０上のデバイス４２の配置状況を示す図で、図６は、シールド覆い７０の大きさとデバイス４２の大きさの関係を説明する図である。デバイス４２は、ガラス基板４０上に整列配置され、各デバイス４２の大きさは、Ｌ１×Ｌ２で、隣り合うデバイス４２との間隔は、Ｓ１及びＳ２である。例えば、具体的には、ガラス基板４０は略１ｍ×略１．４ｍの大きさで、デバイス４２は、Ｌ１＝５０ｍｍ、Ｌ２＝４０ｍｍ、隙間Ｓ１＝Ｓ２＝５ｍｍである。このようなデバイス４２の大きさは、例えば携帯電話等に用いられる液晶ディスプレイの標準的な大きさに相当する。デバイス４２の厚みは、配線厚み等で代表されるが、一例としておよそ３μｍである。
【００４５】
次に、かかる構成におけるプロービング装置５０におけるシールド覆い７０の作用について、特に、微小信号測定が可能となるシールド覆い７０とデバイス４２との関係について説明する。
【００４６】
まず、上記の寸法及び配置のデバイス４２の微小信号測定におけるシールド覆い７０の大きさを検討する。本発明の原理のところで説明したように、デバイス４２の微小信号測定に影響するノイズとしては、隣接するデバイス４２からのノイズ、機構装置６０の駆動装置等からのノイズ、及びデバイス４２の上方からの空間ノイズの３つが考えられる。そして、上記のようなデバイス４２の平面寸法及び厚みの場合、隣接するデバイス４２からのノイズの影響は、空間ノイズの影響に比べ十分小さいので、無視することができる。
【００４７】
次に、機構装置６０からのノイズは、ステージ６８を接地５２に効率よく接続することで抑制できる。このためには、図２で説明したように、接地５２に接続される基台筐体６２に、ステージ６８を、その移動を考慮した最短距離で接続するのが好ましい。
【００４８】
そして、デバイス４２の上方からの空間ノイズは、シールド覆い７０を接地５４に効率よく接続することで抑制できる。このためには、シールド覆い７０を接地電位に接続するのが好ましい。
【００４９】
このようにして、シールド覆い７０を接地５４又は接地５２に接続し、同じく接地５２に接続されたステージ６８とで平行平板のシールド隙間を形成し、その中にデバイス４２を配置することで、デバイス４２に対する上部空間結合を絶ち、デバイス４２の微小信号測定に対する外部ノイズの影響を抑制することができる。この場合、シールド覆い７０の大きさは、デバイス４２を十分覆う必要がある。すなわち、平行平板型シールドの周辺の開口から電気力線が弧を描いて内部に回り込むからである。
【００５０】
これを防ぐためには、一般にマイクロストリップ及びストリップラインで用いられているように、できるだけ広い幅で、好ましくはデバイス幅の２倍程度の接地面積を確保することが望ましい。
【００５１】
図６は、デバイス４２とシールド覆い７０の寸法関係を示す図である。ここで、シールド覆い７０の寸法をＬ３×Ｌ４とすると、Ｌ３＝Ｌ１、Ｌ４＝Ｌ２を最低条件として、上記のマイクロストリップ及びストリップラインの経験から、Ｌ３＝２×Ｌ１、Ｌ４＝２×Ｌ２とすることが望ましい。また、シールド覆い７０の中のプローブ７２の位置関係は、図６の位置関係を実現する上で、デバイス４２の測定端子との関係で最適な位置に配置されることが望ましい。デバイス４２が矩形でなく、任意の形状を有しているときは、上記のことから、シールド覆いは、絶縁基板上における被測定デバイスの面積の４倍以上の対向面積を有することが好ましい。
【００５２】
上記の例では、シールド覆い７０の大きさは、１００ｍｍ×８０ｍｍ以上であり、ガラス基板４０の大きさに比べれば、圧倒的に小さい。したがって、プロービング装置５０全体をシールドするような大掛かりなシールド装置を要することなく微小信号をプロービングすることが可能になる。
【００５３】
上記のように、デバイスの略等倍から略４倍の間の面積を有するシールド覆いを接地に接続し、同じく接地に接続されたステージとで平行平板のシールド隙間を形成し、その中にデバイスを配置する構成をとることで、デバイスの微小信号測定に対する外部ノイズの影響を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の原理を説明するための模擬実験の構成と、それによって測定された空間ノイズの模様を示す図である。
【図２】本発明に係る実施の形態におけるプロービング装置周辺の構成を示す図である。
【図３】本発明に係る実施の形態において、プローブ周辺の斜視図である。
【図４】本発明に係る実施の形態において、シールド覆いを破線とし、プローブとデバイス４２との関係を示す拡大図である。
【図５】本発明に係る実施の形態におけるガラス基板上のデバイスの配置状況を示す図である。
【図６】本発明に係る実施の形態における、シールド覆いの大きさとデバイスの大きさの関係を説明する図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  樹脂テーブル、１２  硬質塩化ビニール板、１４  銅箔、１６，７４  芯線、１８，７６  シールド編線、２０  シールドケーブル、２２，８２  測定部、２６  スペクトルアナライザ、２８，５２，５４  接地、３０  鉄板、３２  回路基板、４０  ガラス基板、４２  デバイス、５０  プロービング装置、６０  機構装置、６２  基台筐体、６４  防振台、６６  移動機構、６８  ステージ、７２  プローブ、７７，８１  接続端子、７８  信号ケーブル、８０  測定装置、８４  測定装置筐体、９０  フレキシブル基板、９２  測定端子、９４  プローブ針。
【図１】
2006194699.tif 000003
【図２】
2006194699.tif 000004
【図３】
2006194699.tif 000005
【図４】
2006194699.tif 000006
【図５】
2006194699.tif 000007
【図６】
2006194699.tif 000008