(57)【要約】【課題】  ウエハに接着シートを貼付した後に、不要な部分を効率良く剥離できるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。【解決手段】  剥離シートＰＳに感熱接着性の接着シートＳが積層された原反ＬＳを半導体ウエハＷに貼付した後に、半導体ウエハの外周に沿って原反を切断し、半導体ウエハ上に位置する剥離シートＰＳ部分と半導体ウエハ回りの外周側に位置する原反部分Ｓ１を剥離するシート剥離装置５０。同装置は、ウエハＷを支持するテーブル４７に対して相対移動可能なロール１３５を備えており、当該ロールによって剥離テープＳＴを原反ＬＳに貼付し、その後に巻き取って剥離することで、ウエハＷに接着シートＳのみを残すようになっている。【選択図】          図６
2006013104.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離シートの一方の面に接着シートが積層された原反を繰り出して前記接着シートを板状体に貼付した後に、板状体の外周に沿って原反を切断し、板状体上に位置する剥離シート部分を板状体回りの外周側に位置する原反部分と共に剥離する装置において、
剥離用テープの貼付・巻取部を備え、当該貼付・巻取部は、前記板状体上に位置する剥離シート及び前記外周側に位置する剥離シートに跨るように剥離用テープを貼付した状態で、当該剥離用テープを巻き取ることで前記板状体上に位置する剥離シートを前記外周側に位置する原反部分と共に同時に剥離することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
剥離シートの一方の面に感熱接着性の接着シートが積層された帯状に連なる原反を繰り出して前記接着シートを板状体に貼付した後に、原反を幅方向に切断して枚葉状にするとともに、板状体の外周に沿って原反を切断し、板状体上に位置する剥離シート部分を板状体の外周側に位置する原反部分と共に剥離する装置において、
剥離用テープの貼付・巻取部を備え、当該貼付・巻取部は、前記板状体上に位置する剥離シート及び前記外周側に位置する剥離シートに跨るように剥離用テープを貼付した状態で、当該剥離用テープを巻き取ることで前記板状体上に位置する剥離シートを前記外周側に位置する原反部分と共に同時に剥離することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項３】
前記貼付・巻取部は、前記板状体を支持するテーブルに対して相対移動可能なロールを含み、当該ロールは、外周に剥離用テープが巻き掛けられた状態で原反上を回転して剥離用テープを剥離シート上に貼付する機能と、前記回転方向と反対側に回転して前記剥離を行う機能とを備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記剥離用テープは、板状体の直径よりも小さい幅に設けられていることを特徴とする請求項１，２又は３記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記板状体は半導体ウエハであることを特徴とする請求項１，２，３又は４記載のシート剥離装置。
【請求項６】
剥離シートの一方の面に接着シートが積層された原反を繰り出して前記接着シートを板状体に貼付した後に、板状体の外周に沿って原反を切断し、板状体上に位置する剥離シート部分を板状体回りに位置する外周側の原反部分と共に剥離する方法において、
前記板状体上に位置する剥離シート及び前記外周側に位置する剥離シートに跨るように剥離用テープを貼付する工程と、
前記剥離用テープを巻き取って前記板状体上に接着シートを残した状態で前記板状体上に位置する剥離シートを前記外周側に位置する原反部分と共に同時に巻き取りながら剥離する工程とを備えたことを特徴とするシート剥離方法。
【請求項７】
前記板状体は半導体ウエハであることを特徴とする請求項６記載のシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、特に、剥離シートに感熱接着性の接着シートが積層された原反を用いて接着シートを半導体ウエハに貼付した後に、当該半導体ウエハ上の接着シートを除く残りの原反部分を剥離若しくは除去することに適したシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路面が形成された半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）をチップに個片化した後、各チップをピックアップしてリードフレームに接着（ダイボンディング）することが行われている。このダイボンディングは、ウエハ処理工程において、ダイボンディング用感熱接着性の接着シートを予め貼付することにより行われる。
【０００３】
ウエハへの接着シートの貼付は、例えば、特許文献１に開示されるように、剥離シートに接着シートが積層された原反を用い、この原反をウエハ上に繰り出してプレスロールで押圧することにより行われる。この貼付を行った後は、ウエハ外周に沿ってカッターを回転させて原反を切断し、原反とウエハとの間に剥離ロールを潜り抜けさせてウエハ回りの原反が回収されるようになっている。そして、ウエハの形状に対応して当該ウエハ上に残された剥離シートに対して剥離用テープを貼付し、この剥離用テープを巻き取ることにより、接着シートをウエハに残した状態で剥離シートのみが剥離できる構成となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された構成にあっては、ウエハ回りの原反を除去する工程と、ウエハに貼付された原反部分から剥離シートを剥離する工程の二つの工程が必要となる。そのため、ウエハ回りの原反を除去する装置と、ウエハ上に貼付された原反部分から剥離シートを除去する剥離装置が必要となり、装置構成が極めて複雑になるという不都合がある。しかも、このような装置を用いた各処理の実行により、ウエハ処理時間が長くなって処理効率も低下させてしまう不都合を招来する。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、板状体に接着シートを貼付した後に、不要な部分を効率良く剥離できるようにし、装置構成を簡単にするとともに、板状体の加工処理工程の短縮化に寄与することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、剥離シートの一方の面に接着シートが積層された原反を繰り出して前記接着シートを板状体に貼付した後に、板状体の外周に沿って原反を切断し、板状体上に位置する剥離シート部分を板状体回りの外周側に位置する原反部分と共に剥離する装置において、
剥離用テープの貼付・巻取部を備え、当該貼付・巻取部は、前記板状体上に位置する剥離シート及び前記外周側に位置する剥離シートに跨るように剥離用テープを貼付した状態で、当該剥離用テープを巻き取ることで前記板状体上に位置する剥離シートを前記外周側に位置する原反部分と共に同時に剥離する、という構成を採っている。
【０００８】
また、本発明は、剥離シートの一方の面に感熱接着性の接着シートが積層された帯状に連なる原反を繰り出して前記接着シートを板状体に貼付した後に、原反を幅方向に切断して枚葉状にするとともに、板状体の外周に沿って原反を切断し、板状体上に位置する剥離シート部分を板状体の外周側に位置する原反部分と共に剥離する装置において、
剥離用テープの貼付・巻取部を備え、当該貼付・巻取部は、前記板状体上に位置する剥離シート及び前記外周側に位置する剥離シートに跨るように剥離用テープを貼付した状態で、当該剥離用テープを巻き取ることで前記板状体上に位置する剥離シートを前記外周側に位置する原反部分と共に同時に剥離する、という構成を採ることもできる。
【０００９】
本発明において、前記貼付・巻取部は、前記板状体を支持するテーブルに対して相対移動可能なロールを含み、当該ロールは、外周に剥離用テープが巻き掛けられた状態で原反上を回転して剥離用テープを剥離シート上に貼付する機能と、前記回転方向と反対側に回転して前記剥離を行う機能とを備えた構成とすることができる。
【００１０】
また、前記剥離用テープは、板状体の直径よりも小さい幅に設けられていることが好ましい。
【００１１】
更に、前記板状体は半導体ウエハを用いることができる。
【００１２】
また、本発明は、剥離シートの一方の面に接着シートが積層された原反を繰り出して前記接着シートを板状体に貼付した後に、板状体の外周に沿って原反を切断し、板状体上に位置する剥離シート部分を板状体回りに位置する外周側の原反部分と共に剥離する方法において、
前記板状体上に位置する剥離シート及び前記外周側に位置する剥離シートに跨るように剥離用テープを貼付する工程と、
前記剥離用テープを巻き取って前記板状体上に接着シートを残した状態で前記板状体上に位置する剥離シートを前記外周側に位置する原反部分と共に同時に巻き取りながら剥離する工程とを備える、という手法を採っている。
【００１３】
更に、前記シート剥離方法における板状体は半導体ウエハを用いることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、板状体上に位置する剥離シートと外周側の原反部分が同時に剥離若しくは除去できる構成となるため、装置構成を複雑にすることなく剥離を行うことができ、また、その処理時間の短縮化も図ることができる。
更に、板状体を支持するテーブルに対して相対移動可能なロールが剥離用テープを貼付する機能と、剥離用テープを巻き取る機能とを併せ持つ構成であるから、この点からも装置部品点数の削減を図ることができる。しかも、ロールが相対移動する場合に生じ易い他の装置構成部分との位置的な干渉も生じ難いものとなり、構造部品のレイアウトの自由度も拡大可能となる。
また、剥離用テープが幅狭のもので足りるため、材料の量的な無駄を少なく抑制することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１には、本発明のシート剥離装置及び剥離方法が適用された実施形態に係るウエハ処理装置の平面図が示され、図２には、ウエハ処理工程を経時的に説明するための概略断面図が示されている。これらの図において、ウエハ処理装置１０は、ＵＶ硬化型保護テープＰＴ（図２参照）が回路面をなす表面に貼付されたウエハＷを対象とし、ウエハＷの裏面にダイボンディング用感熱接着性の接着シートＳ（以下「接着シートＳ」という）を貼付した後に、ダイシングテープＤＴを介してリングフレームＲＦにウエハＷをマウントする一連の工程を処理する装置として構成されている。
【００１７】
前記ウエハ処理装置１０は、図１に示されるように、ウエハＷを収容するカセット１１と、このカセット１１から取り出されたウエハＷを吸着保持するロボット１２と、前記保護テープＰＴにＵＶ照射を行うＵＶ照射ユニット１３と、ウエハＷの位置決めを行うアライメント装置１４と、アライメント処理されたウエハＷの裏面に前記接着シートＳ（図２参照）を貼付する貼付装置１５と、接着シートＳが貼付された後のウエハＷにダイシングテープＤＴを貼付してウエハＷをリングフレームＲＦにマウントするテープ貼付ユニット１６及び前記保護テープＰＴを剥離するテープ剥離ユニット１７を含むマウント装置１８と、保護テープＰＴが剥離されたウエハＷを収納するストッカ１９とを備えて構成されている。
【００１８】
なお、前記貼付装置１５を除く他の構造部分は、本出願人によって既に出願された特願２００４−１３３０６９号と実質的に同一の構造であり、且つ、同一の作用を奏するものとなっている。従って、以下においては、前記出願と異なる貼付装置１５について説明するものとする。
【００１９】
前記貼付装置１５は、図３及び図４に示されるように、剥離シートＰＳの一方の面に感熱接着性の接着シートＳが積層された帯状の原反ＬＳを用いてウエハＷに貼付する機能と、ウエハＷ上に接着シートＳを残した状態となるように、原反ＬＳの残りの部分若しくは領域を剥離する機能を備えて構成されている。この貼付装置１５は、ウエハＷを支持する貼付テーブル４０と、この貼付テーブル４０に吸着されたウエハＷの裏面側（上面側）に前記接着シートＳを仮着する貼付ユニット４１と、原反ＬＳをウエハＷ毎に幅方向に切断して枚葉状にする切断手段４３と、貼付テーブル４０からウエハＷを吸着して移載する移載装置４５と（図１参照）、当該移載装置４５を介して移載されるウエハＷを吸着支持するとともにウエハＷの外周側にはみ出ている不要原反部分Ｓ１（図６参照）を切断手段４３で切断するための外周カット用テーブル４７と（図５参照）、当該外周カット用テーブル４７に併設されるとともに、仮着された接着シートＳをウエハＷに完全に接着するための接着用テーブル４８と、前記ウエハＷ上の剥離シートＰＳと、不要原反部分Ｓ１を同時に剥離するシート剥離装置５０とを備えて構成されている（図５参照）。
【００２０】
前記貼付テーブル４０は、上面側が吸着面として形成されているとともに、接着シートＳを一定程度に溶融してウエハＷに仮着を行うことのできる第１の温度、本実施形態では、略１１０℃に保たれるようになっている。この貼付テーブル４０は、図示省略するが、内側テーブル部と、これを囲む外側テーブル部とを備えて構成されている。内側テーブル部は、ウエハＷの支持面をなすように当該ウエハＷと略同一平面形状に設けられ、ウエハＷを略１１０℃に保つように構成されている。また、外側テーブル部は内側テーブル部の温度よりも低い温度、本実施形態では、約４０℃に保たれるように設けられている。そのため、ウエハＷよりも外側にはみ出る不要原反部分Ｓ１は弱い接着力で外側テーブル部に接着し、接着シートＳをウエハＷに貼付したときの当該ウエハＷ上に皺等を発生させることはない。
【００２１】
また、前記貼付テーブル４０は、移動装置５２を介して前記ＵＶ照射ユニット１３側からウエハＷを受け取り可能な位置と、前記貼付ユニット４１の下部領域を通過して外周カット用テーブル４７の上方に達する位置との間を往復移動可能に設けられているとともに、昇降装置５３を介して上下に昇降可能に設けられている。図５に示されるように、移動装置５２は、一対のレール５４，５４と、これらレール５４に案内されて当該レール５４上を移動するスライドプレート５５と、このスライドプレート５５に固定されたブラケット５７に螺合する状態で貫通するボールスプライン軸５８と、当該ボールスプライン軸５８を回転駆動するモータＭ（図１参照）とを備えて構成され、モータＭの正逆回転駆動により貼付テーブル４０がレール５４に沿って図１中左右方向に往復移動するようになっている。また、昇降装置５３は、貼付テーブル４０の下面中央部に配置された上下動機構６２と、前記スライドプレート５５上に固定されたガイドブロック６３と、このガイドブロック６３に沿って昇降可能な四本の脚部材６４とにより構成され、前記上下動機構６２が上下方向に沿って進退することにより、貼付テーブル４０が昇降してウエハ処理の上流側からウエハＷを受け取ることが可能になっている。
【００２２】
前記貼付テーブル４０の上面には、貼付ユニット４１から繰り出される原反ＬＳを幅方向に切断するためのカッター受け溝４０Ａが形成されているとともに、貼付テーブル４０の移動方向に沿う両側面の上部には、ラック６５と、当該ラック６５の外側面に取り付けられたガイドバー６７が設けられている。
【００２３】
前記貼付ユニット４１は、図３及び図４に示されるように、貼付テーブル４０の上方に配置された板状のフレームＦの領域内に設けられている。この貼付ユニット４１は、ロール状に巻回された原反ＬＳを供給可能に支持する支持ロール７０と、原反ＬＳに繰り出し力を付与するドライブロール７１及びピンチロール７２と、支持ロール７０とピンチロール７２との間に配置された二つのガイドロール７４，７４及びこれらガイドロール７４，７４間に設けられたダンサロール７５と、原反ＬＳのリード端領域を貼付テーブル４０の上面に押圧してこれを挟み込む押圧部材７６と、原反ＬＳをウエハＷの裏面側（図３中上面側）に順次押し付けて仮着するプレスロール７８と、原反ＬＳの繰り出し方向において、プレスロール７８の直前位置に配置されたテンションロール７９及びガイドロール８０とを備えて構成されている。なお、プレスロール７８は加熱手段としてヒーターが内蔵されている。また、押圧部材７６の下面側は吸着部を有し、前記原反ＬＳの端部を吸着保持するようになっている。
【００２４】
前記ドライブロール７１は、フレームＦの背面側に設けられたモータＭ１によって回転駆動されるようになっている。また、押圧部材７６、プレスロール７８及びテンションロール７９は、それぞれシリンダ８２，８３，８４を介して上下に移動可能に設けられている。プレスロール７８は、ここでは詳細構造を図示していないが、その回転中心軸８６の両端側に、前記ラック６５に噛み合う一対のピニオンと、これらピニオンの更に外側位置に設けられて前記ガイドバー６７上を回転する一対のコロが配置されている（特願２００４−１３３０６９号参照）。
【００２５】
前記切断手段４３は、貼付テーブル４０の移動方向に沿って延びるアーム部９０と、このアーム部９０の先端側（図３中左端側）下面に設けられた一軸ロボット９１を介して進退可能に設けられたカッターユニット９２とを含む。カッターユニット９２は、一軸ロボット９１に沿って移動するブラケット９４に支持されたカッター上下用シリンダ９５と、当該カッター上下用シリンダ９５の先端に取り付けられたカッター９６とにより構成されている。ここで、カッター上下用シリンダ９５は、略鉛直面内において回転可能となる状態でブラケット９４に取り付けられおり、これにより、カッター９６の先端位置が略鉛直面内で円弧軌跡に沿う状態でカッター刃の角度調整を可能とし、後述する円周切りの時に接着シートＳがウエハＷよりはみ出さないように設定され、また、前記一軸ロボット９１により、アーム部９０の延出方向に沿って進退可能とされている。切断手段４３は、図１に示されるように、貼付テーブル４０の移動方向に対して直交する方向（図１中Ｙ方向）に向けられたガイド９７上を、モータＭ３の駆動により移動可能に支持されている。従って、カッター９６の先端が貼付テーブル４０のカッター受け溝４０Ａに入り込む姿勢とされて切断手段４３全体がガイド９７に沿って移動したときに、原反ＬＳを幅方向に切断して帯状の原反ＬＳがウエハＷ毎に枚葉化されることとなる。
【００２６】
前記移載装置４５は、図５に示されるように、ウエハＷを下面側に吸着する板状の吸着プレート１００と、この吸着プレート１００の上面側に設けられた温度調整ユニット１０１と、吸着プレート１００を支持するアーム１０２と、当該アーム１０２をＹ方向に移動させる一軸ロボット１０５とを含んで構成されている。吸着プレート１００は、貼付テーブル４０上で原反ＬＳが幅方向に切断されて枚葉状とされた後のウエハＷを吸着したときに、第１の温度である仮着時の温度（１１０℃）となっているウエハＷを、例えば、常温に冷却し、接着シートＳの粘性を低下若しくは消失させて前記カッター９６に接着剤の転移を防止する作用をなす。また、移載装置４５は、貼付テーブル４０から外周カット用テーブル４７にウエハＷを移載するとともに、当該外周カット用テーブル４７からウエハＷを接着用テーブル４８に移載し、更に、接着用テーブル４８で接着シートＳが完全に接着された後のウエハＷを次工程に移載する作用をなす。移載装置４５は、温度調整ユニット１０１により、貼付テーブル４０から外周カット用テーブル４７に移載する間、外周カット用テーブル４７から接着用テーブル４８に移載する間、接着用テーブル４８からマウント装置１８に移載する何れの工程においても、ウエハＷの温度調整を行い、ウエハを移載してからの温度調整時間を不要としたり、或いは短縮化を図ることができるようになっている。
【００２７】
前記一軸ロボット１０５は、図５に示されるように、前記切断手段４３のガイド９７の上方位置で当該ガイド９７と略平行に配置されている。この一軸ロボット１０５には、上下方向に直交する方向に延びるシリンダ１０６と、当該シリンダ１０６を介して昇降可能な昇降スライダ１０８が設けられ、当該昇降スライダ１０８に前記アーム１０２の基端側（図５中右端側）が連結されている。
【００２８】
前記外周カット用テーブル４７は、前記移載装置４５を介して貼付テーブル４０からウエハＷを受け取り、これを吸着してウエハＷ回りの不要原反部分Ｓ１を切断手段４３で切断するためのテーブルであり、また、以下に詳述するシート剥離装置５０でウエハＷ上の剥離シートＰＳと不要原反部分Ｓ１を同時に剥離する際にウエハＷを定位置に支持するためのテーブルである。この外周カット用テーブル４７は、本実施形態では第２の温度として常温に保たれるものであり、上面が吸着面として形成されているとともに、ウエハＷの外周縁回りに対応する円周溝４７Ａを備えて構成されている。外周カット用テーブル４７は、下面側にモータＭ４で駆動される回転機構１１０を介して昇降プレート１１１上に支持されて平面内で回転可能に設けられている。従って、前記カッター９６が円周溝４７Ａに入り込んで外周カット用テーブル４７が回転することにより、原反ＬＳを周方向に切断する機能、すなわち円周切りが達成されることとなる。なお、この周方向への切断は、カッターユニット９２を水平面内で回転可能に構成することによっても達成できる。
【００２９】
前記外周カット用テーブル４７を支持する昇降プレート１１１は、昇降装置１２０を介して昇降可能に設けられている。この昇降装置１２０は、図５に示されるように、昇降プレート１１１を支持する略Ｌ字状の支持体１２２の背面側に取り付けられたブロック１２３と、支持体１２２の両側に連結された一対の昇降側板１２４と、これら昇降側板１２４を上下方向にガイドする一対の起立ガイド１２５と、前記ブロック１２３を上下方向に貫通して延びるねじ軸１２６と、このねじ軸１２６の下端と、起立ガイド１２５の下端近傍に配置されたモータＭ５の出力軸にそれぞれ固定されたプーリ１２７，１２８と、これらプーリ１２７，１２８に掛け回されたベルト１２９とにより構成され、前記モータＭ５の駆動によってねじ軸１２６が回転することで外周カット用テーブル４７が昇降可能となっている。
【００３０】
前記接着用テーブル４８は、図示しないフレームを介して外周カット用テーブル４７の側方上部に配置されている。この接着用テーブル４８は、上面が吸着面として構成されており、前記移載装置４５を介して外周カット用テーブル４７からウエハＷが移載され、接着シートＳが仮着されているウエハＷを加熱して当該接着シートＳをウエハＷに完全に接着するようになっている。本実施形態では、接着用テーブル４８は、第３の温度として約１８０℃に制御される。
【００３１】
前記シート剥離装置５０は、図６に示されるように、外周カット用テーブル４７の側方に配置されている。このシート剥離装置５０は、外周カット用テーブル４７上のウエハＷに貼付されている原反ＬＳのうち、ウエハＷ上に位置する剥離シートＰＳと、ウエハＷの外周側に位置する不要原反部分Ｓ１に剥離用テープＳＴを貼付して巻き取ることにより、これらを同時に剥離する装置として構成されている。なお、剥離用テープＳＴは、ウエハＷの直径よりも相当に幅狭となる帯状のものが採用され、すなわち、後述する剥離が不都合なく実現できる程度の幅に設けられ、これにより、材料の消費を抑制できるようになっている。
【００３２】
前記シート剥離装置５０を更に詳述すると、図６に示されるように、シート剥離装置５０は、角柱部材を縦横に結合して略直方体の外形をなすように設けられたベースフレームＢＦと、このベースフレームＢＦの上部で略鉛直面内に配置された支持プレート１３０と、当該支持プレート１３０に回転可能に支持されたロール状の剥離用テープＳＴを繰出可能に支持する繰出ロール１３２と、この繰出ロール１３２から繰り出された剥離用テープＳＴをガイドする上部ガイドロール１３３及び下部ガイドロール１３４と、下部ガイドロール１３４を経て繰り出される剥離用テープＳＴを不要原反部分Ｓ１とウエハ上の剥離シートＰＳを跨ぐように貼付する機能及び貼付された剥離用テープＳＴを巻き取る機能とを備えた貼付・巻取部を構成するロール１３５と、このロール１３５を軸方向両側で回転可能に支持するブラケット１３７を上下方向に移動させるシリンダ１３９を備えた支持アーム１４０と、前記ロール１３５をウエハＷの面に沿って相対移動させるように前記支持アーム１４０を支持する一軸ロボット１４２と、前記剥離用テープＳＴを巻き取る巻取ロール１４４とを備えて構成されている。
【００３３】
前記繰出ロール１３２の側方位置には、正逆回転可能なモータＭ６が配置されている。このモータＭ６の出力軸と繰出ロール１３２の軸回りにはプーリ１４６，１４７が固定され、これらのプーリ１４６，１４７間にベルト１４９が掛け回されて繰出ロール１３２が正逆回転可能に設けられている。また、上部ガイドロール１３３は、支持プレート１３０の背面側に配置されたモータＭ７により回転可能に設けられ、上部ガイドロール１３３の外周面に接する位置にピンチロール１５１が配置されている。このピンチロール１５１はシリンダ１５３を介して上部ガイドロール１３３に対して離間接近可能に設けられている。なお、前記支持アーム１４０は、平面形状が略Ｌ字状をなし、その一辺側が一軸ロボット１４２のレール部１４２Ａに沿って移動可能に設けられている。
【００３４】
前記巻取ロール１４４は、揺動アーム１５４の自由端側に支持されている。揺動アーム１５４は、その基部がベースフレームＢＦの下部に配置されたブラケット１５５に支持され、当該ブラケット１５５と回転アーム１５４との間に設けられたコイルスプリング１５６により自由端側が図７中反時計方向に付勢されて駆動ロール１５８の外周面に接するように設けられている。この駆動ロール１５８の回転軸には図示しないプーリが固定されており、ブレーキ付きモータＭ８の出力軸に固定されたプーリ１６０との間に掛け回されたベルト１６１を介して回転するように設けられている。なお、図７中符号１６２は、ガイドロールを示す。
【００３５】
次に、前記シート剥離装置５０による剥離方法を含むウエハ処理工程の全体的な動作について説明する。
【００３６】
回路面に保護テープＰＴが貼付されたウエハＷがロボット１２によってＵＶ照射ユニット１３に移載されて所定のＵＶ処理を受け、ＵＶ硬化処理後のウエハＷは、再びロボット１２を介してアライメントテーブル３４に移載されてアライメント処理が行われる。その後再びロボット１２を介して当該ウエハＷが貼付テーブル４０に移載される。この時、前記保護テープＰＴがテーブル面に接する状態で吸着される。従って、この状態では、ウエハＷの裏面が上面側となる。
【００３７】
図３に示されるように、貼付テーブル４０が貼付ユニット４１の所定位置に移動すると、押圧部材７６の下面側に吸着保持されている原反ＬＳのリード端領域が、押圧部材７６の下降によって貼付テーブル４０の上面に当接することとなる。この当接完了後に、プレスロール７８が下降してウエハＷの上面との間に原反ＬＳを挟み込み、ウエハＷ領域以外の不要原反部分Ｓ１は外側テーブル部に当接することとなる。次いで、押圧部材７６が吸着を解除して上昇する。
【００３８】
貼付テーブル４０が図３中右側に移動してプレスロール７８が回転するとともに、順次繰り出される原反ＬＳの接着シートＳがウエハＷの上面に貼付されることとなる。この貼付に際しては、ウエハＷの外周よりはみ出る不要原反部分Ｓ１が、外側テーブルに弱い接着力で接着しているため、プレスロール７８がウエハＷ上を回転しているときに、原反ＬＳのテンションとプレスロール７８の押圧力によって引っ張られることにより皺を発生させるような不都合は生じない。なお、プレスロール７８は内蔵する加熱手段であるヒーターによって略１１０℃を維持するように制御されている。
【００３９】
このようにして原反ＬＳの接着シートＳ部分がウエハＷに貼付されて、図４に示すように前記押圧部材７６がカッター受け溝４０Ａを通過した直後の上方位置に至ると、貼付テーブル４０は、外周カット用テーブル４７の略真上位置に到達することとなる。そして、押圧部材７６が下降して原反ＬＳを貼付テーブル４０に当接させる。この後、切断手段４３のカッター９６が前記カッター受け溝４０Ａ内に入り込み、カッターユニット９２を支持しているアーム部９０が図４中紙面直交方向に移動して原反ＬＳを幅方向に切断して枚葉状にする。この切断が完了すると、前記押圧部材７６は当該押圧部材７６の下面側に位置する原反ＬＳを吸着して上昇位置に戻り、次のウエハＷへの接着に備える。また、切断手段４３は、カッター上下用シリンダ９５の上昇により、カッター９６の刃先位置が上昇する位置に変位し、貼付テーブル４０の上面位置から離れる方向、すなわち、図４中上方に向かって退避することとなる。
【００４０】
次いで、前記移載装置４５の吸着プレート１００が一軸ロボット１０５の作動とシリンダ１０６の下降によって貼付テーブル４０の上方に位置するように移動し、吸着プレート１００の面位置を下降させて原反ＬＳが貼付されたウエハＷを吸着保持する。これにより、貼付テーブル４０は、次の処理対象となるウエハＷを吸着保持する元の位置（図３参照）に移動すると同時に、外周カット用テーブル４７が上昇して当該カット用テーブル４７の上面に、吸着プレート１００に吸着されているウエハＷが移載される。この際、貼付テーブル４０にて仮着温度となったウエハＷは、吸着プレート１００に吸着されている間に温度調整作用（冷却作用）を受けて、略常温まで降温された状態に保たれる。
【００４１】
外周カット用テーブル４７にウエハＷが移載されて吸着保持されると、移載装置４５は、外周カット用テーブル４７の上方位置から離れる方向に移動する一方、切断手段４３が外周カット用テーブル４７上に移動する。そして、一軸ロボット９１を所定量移動させ、カッター上下用シリンダ９５を下降させることによってカッター９６がウエハＷの外周縁に略対応した位置で下方に突き抜けて先端が円周溝４７Ａ内に受容される。この状態で、外周カット用テーブル４７が回転機構１１０によって水平面内で回転し、カッター９６を介してウエハＷの外周より外側にはみ出ている不要原反部分Ｓ１を周方向に沿って切断する（図８（Ａ），（Ｂ）参照）。この切断が終了すると、切断手段４３は、外周カット用テーブル４７の上方位置から再び退避する位置に移動する一方、剥離装置５０によって以下に説明する剥離処理が行われることとなる。
【００４２】
すなわち、シート剥離装置５０は、初期位置でロール１３５が図１の状態すなわち外周カット用テーブル４７に対して右側に後退した位置にあり、剥離動作に際して、一軸ロボット１４２により外周カット用テーブル４７側に前進するようになっている。ロール１３５が前進する際には、モータＭ６が剥離用テープＳＴを繰り出す方向に回転するとともに、モータＭ７によって上部ガイドロール１３３とロール１３５との間の剥離用テープＳＴに一定のテンションを付与することとなる。この時ブレーキ付きモータＭ８は、ブレーキがかけられ、ロック状態となっている。ロール１３５が不要原反部分Ｓ１の右端上部（図８（Ｂ）参照）に達すると、シリンダ１３９によってロール１３５が下降し、剥離用テープＳＴがウエハＷの径方向に沿って剥離シートＰＳの図８（Ｃ）中左右全領域に貼付される。つまり、剥離用テープＳＴが不要原反部分Ｓ１とウエハＷ上の剥離シートＰＳ部分を跨ぐように貼付される。次に、前記モータＭ６及びＭ７が反転するとともに、ロール１３５が剥離用テープＳＴを貼付する時とは逆の方向に回転しながら初期位置に戻ることとなり（図８（Ｄ）参照）、これにより、不要原反部分Ｓ１と共にウエハＷ上の剥離シートＰＳ部分を同時に剥離することとなる（図８（Ｅ）参照）。そして、剥離が完了した時に、ブレーキ付きモータＭ８のロックが解除され、駆動ロール１５８が当該モータによって回転し、巻取ロール１４４側に巻き取られるとともに、繰出ロール１３２が原反ＬＳの繰出方向に回転し、これにより、剥離用テープＳＴによって剥離された原反ＬＳの不要な部分若しくは領域が巻き取られることとなる。巻き取りが進むにつれ、回転アーム１５４は、図７の矢印方向に遥動し、二点鎖線で示すように巻き取りが行われる。
【００４３】
以上の剥離が完了すると、移載装置４５が外周カット用テーブル４７上に移動し、再びウエハＷを吸着した後に当該ウエハＷを温度調整ユニットを介して完全接着に必要な温度に上昇させながら接着用テーブル４８の上面に移載する。
【００４４】
接着用テーブル４８に移載されたウエハＷは、当該接着用テーブル４８が第３の温度となる略１８０℃を維持するように制御されていることで、接着シートＳがウエハＷに完全に接着する作用を受けることとなる。そして、所定時間経過後に、前記移載装置４５の吸着プレート１００によってウエハＷが吸着されて再び常温に戻す温度調整作用を受ける。
【００４５】
移載装置４５に吸着されている間に温度降下したウエハＷは、マウント装置１８側に移載されダイシングテープＤＴを介してリングフレームＲＦにマウントされ、その後に保護テープＰＴの剥離を剥離してストッカに収納され、ウエハ処理の一連の動作を完了する。なお、マウント工程以後の処理については、前述した特願２００４−１３３０６９号と同一である。
【００４６】
このような本実施形態によれば、ウエハ上に位置する剥離シートと外周側の原反部分が同時に剥離若しくは除去できる構成となるため、装置構成を複雑にすることなく剥離を行うことができ、ウエハ処理時間の短縮化も図ることができる。また、前記プレスロールの押圧力により、ウエハＷに接着シートＳを貼付するに際し、剥離シートＰＳに積層された原反ＬＳの状態で貼付する構成としたから、つまり、接着シートＳを貼付する前段階で接着シートＳと剥離シートＰＳとを分離しない構成としたから、プレスロール７８と接着シートＳとの間に剥離シートＰＳが介在した状態で貼付圧力を受けるため、接着シートＳがプレスロール７８によって傷ついてしまうおそれも確実に防止することが可能となる。
【００４７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００４８】
例えば、前記実施形態では、剥離シートＰＳの一方の面に接着シートＳが積層された帯状の原反ＬＳを用いた場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、予め枚葉状に設けられた原反を採用してウエハＷに接着シートＳを貼付して不要な部分を剥離するようにしてもよい。
また、シート剥離装置５０は、実質的に同様の作用を生じさせることができるものであれば、装置各部の構成、レイアウト等を任意に変更してもよい。
更に、前記接着シートＳは、ダイボンディング用のシートに限定されるものではなく、貼付して保護膜を形成する保護用シートであってもよい。
また、板状体としては、半導体ウエハに限らず、光ディスクや、ＤＶＤ等の情報記録媒体でもよく、板状体の平面形状は円形の対象物だけでなく、偏光板等の多角形のものでもよい。これらの板状体を処理対象とする場合の接着シートとしては、両面粘着シート等を用いることが考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本実施形態に係るシート剥離装置及び剥離方法が適用されたウエハ処理装置の全体構成を示す概略平面図。
【図２】ウエハ処理工程を経時的に説明するための概略断面図
【図３】原反の接着シートを仮着する初期段階を示す概略正面図。
【図４】前記接着シートを仮着して原反を幅方向に切断するときの概略正面図。
【図５】本実施形態の要部概略斜視図。
【図６】シート剥離装置の概略拡大斜視図。
【図７】シート剥離装置の概略正面図。
【図８】（Ａ）〜（Ｅ）は、前記シート剥離装置による剥離工程を示す概略断面図。
【符号の説明】
【００５０】
４７  外周カット用テーブル
５０  シート剥離装置
１３５  貼付・巻取部を構成するロール
ＰＳ  剥離シート
Ｓ  接着シート（感熱接着性の接着シート）
Ｓ１  不要原反部分
ＬＳ  原反
Ｗ  半導体ウエハ
【図１】
2006013104.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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