(57)【要約】      （修正有）【課題】信頼性の高い固定絞りユニット及び静圧案内装置を提供する。【解決手段】固定絞りユニットは、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とを備えている。ここで、頭部ブロック（１１）は、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と、頭部ブロック平面（１１Ｂ）に開口している頭部ブロック貫通孔（１１Ｊ）とを有している。本体ブロック（１２）は、本体ブロック平面（１２Ｃ）と、本体ブロック平面（１２Ｃ）に開口している溝（１２Ｇ）と、溝（１２Ｇ）の底部に開口している本体ブロック貫通孔（１２Ｊ）とを有している。そして、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とは、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と本体ブロック平面（１２Ｃ）とを対向させて接合し、溝（１２Ｇ）と頭部ブロック平面（１１Ｂ）とによって絞り流路が形成される。  静圧案内装置は、固定絞りユニットを具備する。【選択図】図３
2006266358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
頭部ブロックと、
本体ブロックと
を具備する固定絞りユニットであって、
前記頭部ブロックが有する平面である頭部ブロック平面には、頭部ブロック貫通孔が開口しており、
前記頭部ブロック貫通孔は、前記頭部ブロックを貫通して前記頭部ブロックの有する他の面に開口しており、
前記本体ブロックは、溝が形成されている平面である本体ブロック平面を有しており、
前記溝の底部に開口して設けられている本体ブロック貫通孔は、前記本体ブロックを貫通して前記本体ブロックの有する他の面に開口しており、
前記頭部ブロックと、
前記本体ブロックとは、
ブロック間接合により、前記頭部ブロック平面と前記本体ブロック平面とを対向させて接合されており、
前記溝と前記頭部ブロック平面とによって形成されている第１プレート流路と、前記頭部ブロック貫通孔と、前記本体ブロック貫通孔とは、連通する流路を形成している
固定絞りユニット。
【請求項２】
請求項１に記載された固定絞りユニットであって、
前記ブロック間接合は脱着可能な接合である
固定絞りユニット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載された固定絞りユニットであって、
前記本体ブロックは、複数の本体プレートが本体プレート間接合をすることにより形成されており、
前記本体プレートは、平板形状をなしており、前記本体プレートの有する本体プレート第１主面に開口する本体プレート溝と、前記本体プレート溝の底部と前記本体プレートの有する本体プレート第２主面とに開口している本体プレート貫通孔とを有しており、
一の前記本体プレートが有する前記本体プレート溝と、他の前記本体プレートが有する前記本体プレート第２主面とは、第２プレート流路を形成しており、
前記第２プレート流路と、前記本体プレート貫通孔とは、連通する流路を形成している
固定絞りユニット。
【請求項４】
請求項３に記載された固定絞りユニットであって、
前記本体プレート間接合は脱着可能な接合である
固定絞りユニット。
【請求項５】
請求項３又は４に記載された固定絞りユニットであって、
前記本体プレートの少なくとも一つは、
胴部プレートと脚部プレートとが本体プレート内接合をすることにより形成されており、
ここで、前記胴部プレートは、平板形状をなしており、前記胴部プレートの有する両主面に開口しているスリットを有しており、
前記脚部プレートは、平板形状をなしており、前記脚部プレートの有する両主面に開口している脚部プレート貫通孔を有している
固定絞りユニット。
【請求項６】
請求項５に記載されている固定絞りユニットであって、
前記本体プレート内接合は脱着可能な接合である
固定絞りユニット。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか一項に記載された固定絞りユニットであって、
さらに、締結機構を具備し、
前記ブロック間接合と、前記本体プレート間接合と、前記本体プレート内接合の少なくとも一つは、
前記締結機構によりなされている
固定絞りユニット。
【請求項８】
請求項１から６までのいずれか一項に記載された固定絞りユニットであって、
前記溝又は前記スリットは直線形状をなして形成されている
固定絞りユニット。
【請求項９】
第１プレートと、
第２プレートと、
第３プレートと
を具備する固定絞りユニットであって、
前記第１プレートは、平板形状をなしており、前記第１プレートの有している第１主面と第２主面とに開口している第１空洞部を有しており、
前記第２プレートは、平板形状をなしており、前記第２プレートの有している第３主面と第４主面とに開口している第２スリットを有しており、
前記第３プレートは、平板形状をなしており、前記第３プレートの有している第５主面と第６主面とに開口している第３空洞部を有しており、
前記第１プレートと、
前記第２プレートとは、
前記第１主面と前記第３主面とを対向して接合されており、
さらに、前記第２プレートと、
前記第３プレートとは、
前記第４主面と前記第５主面とを対向させて接合されており、
前記第２スリットと、前記第１主面と、前記第５主面とによって、第３プレート流路が形成されており、
前記第３プレート流路と、前記第１空洞部と、前記第３空洞部とは、連通している
固定絞りユニット。
【請求項１０】
レールと、
前記レールに沿って移動する移動体と、
前記移動体に形成されている静圧ポケットに圧力流体を供給する圧力流体供給ラインと、
前記圧力流体供給ラインに設置されている請求項１から７までのいずれか一項に記載された固定絞りユニットと
を具備する静圧案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は固定絞りユニット及び固定絞りユニットを具備する静圧案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、マシニングセンタにおいては、被加工物を保持するテーブルの案内装置として、静圧案内装置が使用されている。静圧案内装置においては、移動体に形成されている静圧
ポケットに油圧油を供給し、この油圧油の静圧力によって移動体をレールに対して浮上させることで、移動体はレールに沿って円滑に移動可能となされている。油圧油を供給する流路には、静圧ポケット内の油圧油の圧力を調整するための絞りが設置されている。
【０００３】
マシニングセンタにおいては、被加工物の切削加工により切粉が発生するため、油圧油に異物が混入しやすい。したがって、マシニングセンタに使用される絞りは、異物が詰まりにくく、また、詰まった異物の除去が容易であることが望ましい。
【０００４】
毛細管を用いた絞りにおいては、通常、通過流量は絞り率を比例定数として絞り前後の圧力差に比例する。そして絞り率は、流路の断面積が増加すると増加し、流路長が長くなると減少する。このため、絞りの目詰まりを防ぐことを目的として流路の断面積を大きくする場合、所望の絞り率を得るためには流路長を長くする必要がある。
【０００５】
従来知られている毛細管型の絞りを図１に示す。図１に示す絞りにおいては、本体１に設けられている抵抗スプール収容孔１Ａ内に、円柱状の抵抗スプール２が嵌挿されている。抵抗スプールの外周面には軸方向に溝２Ａが螺旋状に形成されている。この溝２Ａと抵抗スプール収容孔１Ａの内周面とによって流路が形成されている。このように円柱体の外周面に流路をレイアウトすることで、流路の占める空間をコンパクトにすることができる。
【０００６】
他の絞りとしては、オリフィス収容孔が形成されたオリフィスハウジングとオリフィス収容孔内に嵌挿された円柱状のオリフィス杵とから構成され、オリフィス杵の外周面には軸方向にオリフィス溝が形成されており、オリフィス溝とオリフィス収容孔の内周面とによって流体の通路が形成されているオリフィスユニットが存在する（特許文献１参照）。
【０００７】
また、可変式の絞りとしては、貫通孔を有する弁本体を流路上に回動可能に設け、弁本体の回動操作に応じて流路を流れる流体の量を調節する絞り弁が知られている。この絞り弁においては、弁本体の外周面に貫通孔に通じる切り欠き溝が設けられている。そして、切り欠き溝は、弁本体の回動範囲内において流路と貫通孔との有効断面積が変化するように、貫通孔の軸線に対して斜めに設けられていることを特徴としている（特許文献２参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開平８−３２６９８４
【特許文献２】特開２００３−２６９６２５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、信頼性の高い固定絞りユニットを提供することである。
本発明の他の目的は、設置されるスペースが小さい固定絞りユニットを提供することである。
本発明の更に他の目的は、低廉な固定絞りユニットを提供することである。
本発明の更に他の目的は、信頼性の高い静圧案内装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以下に、（発明を実施するための最良の形態）で使用される番号を用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号は、（特許請求の範囲）の記載と（発明を実施するための最良の形態）との対応関係を明らかにするために付加されたものである。ただし、それらの番号を、（特許請求の範囲）に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【００１１】
本発明の固定絞りユニットは、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とを備えている。ここで、頭部ブロック（１１）は、頭部ブロック（１１）の有する平面である頭部ブロック平面（１１Ｂ）と、頭部ブロック（１１）が有する他の面とに開口している頭部ブロック貫通孔（１１Ｊ）を有している。本体ブロック（１２）は、本体ブロック（１２）が有する平面である本体ブロック平面（１２Ｃ）に開口して形成されている溝（１２Ｇ）と、溝（１２Ｇ）の底部と本体ブロック（１２）が有する他の面とに開口している本体ブロック貫通孔（１２Ｊ）とを有している。そして、頭部ブロック（１１）と、本体ブロック（１２）とは、ブロック間接合により、頭部ブロック平面（１１Ｂ）と本体ブロック平面（１２Ｃ）とを対向させて接合されている。
【００１２】
これにより、溝（１２Ｇ）と頭部ブロック平面（１１Ｂ）とによって絞り流路として機能する第１プレート流路が形成される。そして、この第１プレート流路と、頭部ブロック貫通孔（１１Ｊ）と、本体ブロック貫通孔（１２Ｊ）とは、連通する流路を形成している。
【００１３】
本発明の固定絞りユニットにおいて、ブロック間接合は脱着可能である。
【００１４】
本発明の固定絞りユニットが備えている本体ブロック（２５）は、複数の本体プレート（２２、２３、２４）が本体プレート間接合をすることにより形成されている。ここで、本体プレート（２２、２３、２４）は、平板形状をなしており、本体プレート（２２、２３、２４）の有する本体プレート第１主面（２２Ｃ、２３Ｃ、２４Ｃ）に開口する本体プレート溝（２２Ｇ、２３Ｇ、２４Ｇ）と、本体プレート溝（２２Ｇ、２３Ｇ、２４Ｇ）の底部と本体プレート（２２、２３、２４）の有する本体プレート第２主面（２２Ａ、２３Ｅ、２４Ｅ）とに開口している本体プレート貫通孔（２２Ｊ、２３Ｋ、２４Ｋ）とを有している。そして、一の本体プレート（２４）が有する本体プレート溝（２４Ｇ）と、他の本体プレート（２３）が有する本体プレート第２主面（２３Ｅ）とは、第２プレート流路を形成している。この第２プレート流路と、本体プレート貫通孔（２３Ｋ）とは、連通する流路を形成している。
【００１５】
すなわち、プレートを積層して固定絞りユニットを構成することで、一の層に形成されている流路と他の層に形成されている流路とが連通するようになされている。
【００１６】
本発明の固定絞りユニットにおいて、本体プレート間接合は脱着可能である。
【００１７】
本発明の固定絞りユニットが備えている本体プレート（５５）の少なくとも一つは、胴部プレート（４３）と脚部プレート（４４）とが本体プレート内接合をすることにより形成されている。ここで、胴部プレート（４３）は、平板形状をなしており、胴部プレート（４３）の有する両主面（４３Ｃ、４３Ｄ）に開口しているスリット（４３Ｓ）を有している。さらに、脚部プレート（４４）は、平板形状をなしており、脚部プレート（４４）の有する両主面（４４Ｅ、４４Ｆ）に開口している脚部プレート貫通孔（４４Ｋ）を有している。
【００１８】
本発明の固定絞りユニットにおいては、本体プレート内接合は脱着可能である。
【００１９】
本発明の固定絞りユニットは、さらに、締結機構（７４、７６、８６、８８、２１４、２１６）を備えている。そして、本発明の固定絞りユニットにおいては、ブロック間接合と、本体プレート間接合と、本体プレート内接合の少なくとも一つは締結機構（７４、７６、８６、８８、２１４、２１６）によりなされている。
【００２０】
本発明の固定絞りユニットにおいては、溝（３２Ｇ、３３Ｇ、３４Ｇ、３５Ｇ、３６Ｇ）又はスリット（４３Ｓ、４５Ｓ、４７Ｓ、４９Ｓ、５１Ｓ）が直線形状である。
【００２１】
本発明の固定絞りユニットは、第１プレート（６３）と、第２プレート（６４）と、第３プレート（６５）とを備えている。ここで、第１プレート（６３）は、平板形状をなしており、第１プレート（６３）の有している第１主面（６３Ｄ）と第２主面（６３Ｃ）とに開口している第１空洞部（６３Ｓ）を有している。第２プレート（６４）は、平板形状をなしており、第２プレート（６４）の有している第３主面（６４Ｃ）と第４主面（６４Ｄ）とに開口している第２スリット（６４Ｓ）を有している。第３プレート（６５）は、平板形状をなしており、第３プレート（６５）の有している第５主面（６５Ｃ）と第６主面（６５Ｄ）とに開口している第３空洞部（６５Ｓ）を有している。そして、第１プレート（６３）と、第２プレート（６４）とは、第１主面（６３Ｄ）と第３主面（６４Ｃ）とを対向して接合されており、さらに、第２プレート（６４）と、第３プレート（６５）とは、第４主面（６４Ｄ）と第５主面（６５Ｃ）とを対向させて接合されている。この結果、第２スリット（６４Ｓ）と、第１主面（６３Ｄ）と、第５主面（６５Ｃ）とによって、第３プレート流路が形成されている。そして、第３プレート流路と、前記第１空洞部（６３Ｓ）と、前記第３空洞部（６５Ｓ）とは、連通している
【００２２】
本発明の静圧案内装置は、レール（１１２、１１３）と、レール（１１２、１１３）に沿って移動する移動体（１１４）と、移動体（１１４）に形成されている静圧ポケット（１１４Ｈ、１１４Ｉ、１１４Ｊ、１１４Ｓ、１１４Ｔ、１１４Ｕ）に圧力流体を供給する圧力流体供給ライン（１０１）と、圧力流体供給ライン（１０１）に設置されている請求項１から７までのいずれか一項に記載された固定絞りユニット（１３１、１３２、１３３）とを備えている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、信頼性の高い固定絞りユニットが提供される。
更に本発明によれば、設置されるスペースが小さい固定絞りユニットが提供される。
更に本発明によれば、低廉な固定絞りユニットが提供される。
更に本発明によれば、信頼性の高い静圧案内装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
添付図面を参照して、本発明による固定絞りユニット及び固定絞りユニットを具備する静圧案内装置を実施するための最良の形態を以下に説明する。
【００２５】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る固定絞りユニットを図２及び図３に示す。
【００２６】
図２及び図３に示す固定絞りユニットは、頭部プレート１１と本体部材１２とを具備している。頭部プレート１１及び本体部材１２は、平板形状をなして形成されている。そして、頭部プレート１１及び本体部材１２がそれぞれ有している主面１１Ａ及び１１Ｂ並びに主面１２Ａ及び１２Ｂは同形状となされている。
【００２７】
頭部プレート１１には、主面１１Ａのほぼ中央の位置に、頭部プレート１１の厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔１１Ｊが形成されている。貫通孔１１Ｊは、頭部プレート１１の一方の主面１１Ｂに開口する小径部１１ｂと、他方の主面１１Ａに開口している大径部１１ａと、小径部１１ｂと大径部１１ａとを滑らかに接続する中間部１１ｃとを有している。ここで、大径部１１ａ、小径部１１ｂ及び中間部１１ｃは同軸上に配置されている。大径部１１ａは、小径部１１ｂよりも大きい内径を有しており、また、内周面にはめねじが形成されている。
【００２８】
本体部材１２には、主面１２Ｃ上に溝１２Ｇが形成されている。溝１２Ｇは、端部１２ｘと端部１２ｙとの間の複数箇所で屈曲しており、前述した小径部１１ｂの内径と等しい幅及び深さを有している断面略正方形に形成されている。さらに、本体部材１２には、本体部材１２の厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔１２Ｊが形成されている。貫通孔１２Ｊは、端部１２ｙにおいて溝１２Ｇの底に開口している小径部１２ｂと、主面１２Ａに開口している大径部１２ａと、小径部１２ｂと大径部１２ａとを滑らかに接続する中間部１２ｃとを有している。ここで、大径部１２ａ、小径部１２ｂ及び中間部１２ｃは同軸上に配置されている。そして、小径部１２ｂの内径は小径部１１ｂの内径と等しい。大径部１２ａは、小径部１２ｂよりも大きい内径を有しており、内周面にはめねじが形成されている。
【００２９】
頭部プレート１１と本体部材１２とは、主面１１Ｂと主面１２Ｃとを対向させて接合されている。ここで、貫通孔１１Ｊは、溝１２Ｇの端部１２ｘに対して開口している。これにより、溝１２Ｇと主面１１Ｂとが流路を形成する。油圧油に例示される流体は、この流路を主面１１Ｂに沿う方向に流下する。この流路は、貫通孔１１Ｊ及び貫通孔１２Ｊによって、図示されない配管と接続可能となされている。
【００３０】
本発明の第１の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、一の部材の有する平面に形成されている溝と他の部材の有する平面とによって流路が形成されている。このような固定絞りユニットにおいては、溝のレイアウトを変えることにより、流路を平面上で自由にレイアウトすることができる。したがって、絞りの目詰まりを防止するために流路断面積を大きくし、そのために流路長が長くなった場合であっても、コンパクトな絞りユニットを実現することが可能である。しかも、本発明の第１の実施の形態に係る固定絞りユニットは構造が単純であるために製造コストを抑えることができる。
【００３１】
なお、第１の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、貫通孔１１Ｊの有する大径部１１ａの開口を頭部プレート１１の側面に設けてもよく、貫通孔１２Ｊの有する大径部１２ａの開口を本体部材１２の側面に設けてもよい。また、頭部プレート１１及び本体部材１２の形状は互いに異なっていてもよい。
【００３２】
（第２の実施の形態）
第１の実施の形態においては、固定絞りユニットが頭部プレートと本体部材の二つの部材から構成されており、その間に流路が形成されている。ここで、さらに本体部材を複数の板状部材から構成して、板状部材の間にも流路を形成することが可能である。
【００３３】
本発明の第２の実施の形態に係る固定絞りユニットを図４に示す。
【００３４】
図４に示す固定絞りユニットは、頭部プレート２１、本体プレート２２、２３及び２４を具備している。頭部プレート２１、本体プレート２２、２３及び２４は平板形状をなして形成されている。ここで、本体プレート２２、２３及び２４が接合して形成されるユニット２５は、図２に示す固定絞りユニットにおける本体部材１２に対応する。そして、頭部プレート２１、本体プレート２２、本体プレート２３及び本体プレート２４がそれぞれ有している主面２１Ａ及び２１Ｂ、主面２２Ａ及び２２Ｃ、主面２３Ｃ及び２３Ｅ、並びに、主面２４Ｃ及び２４Ｅは同形状となされている。
【００３５】
頭部プレート２１は、頭部プレート１１と同形状に形成されている。したがって、頭部プレート２１においても、頭部プレート２１の厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔２１Ｊが形成されている。そして、貫通孔２１Ｊは、主面２１Ｂに開口する小径部２１ｂと、他方の主面２１Ａに開口している大径部２１ａと、小径部２１ｂと大径部２１ａとを滑らかに接続する中間部２１ｃとを有している。
【００３６】
本体プレート２２は、本体部材１２と同形状に形成されている。したがって、本体プレート２２においても、主面２２Ｃに溝２２Ｇが形成されている。そして、溝２２Ｇは、端部２２ｘと端部２２ｙとの間の複数箇所で屈曲している。さらに、本体プレート２２には、本体プレート２２の厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔２２Ｊが形成されている。貫通孔２２Ｊは、端部２２ｙにおいて溝２２Ｇの底に開口している小径部２２ｂと、主面２２Ａに開口している大径部２２ａと、小径部２２ｂと大径部２２ａとを滑らかに接続する中間部２２ｃとを有している。
【００３７】
本体プレート２３は、本体プレート２２と同じ基本形状に形成されている。したがって、本体プレート２３においても、端部２３ｘと端部２３ｙとの間の複数箇所で屈曲している溝２３Ｇが主面２３Ｃに形成されている。さらに、本体プレート２３には、本体プレート２３を厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔２３Ｋが形成されている。ただし、貫通孔２３Ｋは、全体が溝２３Ｇの幅と等しい内径に形成されている。
【００３８】
本体プレート２４は、本体プレート２２と同じ基本形状に形成されている。したがって、本体プレート２４においても、端部２４ｘと端部２４ｙとの間の複数箇所で屈曲している溝２４Ｇが主面２４Ｃに形成されている。さらに、本体プレート２４には、本体プレート２４を厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔２４Ｋが形成されている。ただし、貫通孔２４Ｋにおいては、溝２４Ｇの端部のうち主面２４Ｃのほぼ中央に位置している端部２４ｘの底に開口して形成されている。また、貫通孔２４Ｋは、全体が溝２４Ｇの幅と等しい内径に形成されている。
【００３９】
頭部プレート２１と本体プレート２３とは、主面２１Ｂと主面２３Ｃとを対向させて接合されている。ここで、貫通孔２１Ｊは、溝２３Ｇの端部２３ｘに対して開口している。そして、本体プレート２３と本体プレート２４とは、主面２３Ｅと主面２４Ｃとを対向させて接合されている。ここで、貫通孔２３Ｋは、溝２４Ｇの端部２４ｙに対して開口している。さらに、本体プレート２４と本体プレート２２とは、主面２４Ｅと主面２２Ｃとを対向させて接合されている。ここで、貫通孔２４Ｋは、溝２２Ｇの端部２２ｘに対して開口している。
【００４０】
これにより、溝２３Ｇと主面２１Ｂとは平面上にレイアウトされている流路を形成している。油圧油に例示される流体は、この流路を主面２１Ｂに沿う方向に流下する。同様に、溝２４Ｇと主面２３Ｅと、溝２２Ｇと主面２４Ｅとは、それぞれ平面上にレイアウトされている流路を形成している。これらの平面上にレイアウトされている流路は、貫通孔２３Ｋ及び２４Ｋにより直列に接続されており、一つの絞り流路を形成している。そしてこの絞り流路は、貫通孔２１Ｊ及び貫通孔２２Ｊよって、図示されない配管と接続可能となされている。
【００４１】
図４に示す本発明の第２の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、平面上にレイアウトされている流路が積層していることにより、絞り流路が３次元空間にレイアウトされている。この結果、本発明の第２の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、絞りユニットをコンパクトに構成することが可能となっている。
【００４２】
なお、図４に示す本発明の第２の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、頭部プレート２１と本体プレート２２との間の本体プレートの数を増減することにより、絞り率を変えることが可能である。この場合に、本体プレート２３と本体プレート２４とを、主面２３Ｃと２４Ｅとを対向させて接合したときに、貫通孔２４Ｋが溝２３Ｇの端部２３ｘに対して開口するように、本体プレート２３と本体プレート２４とを形成しておくことができる。本体プレート２３及び２４をこのように形成しておけば、本体プレート２３及び２４と同一形状を有する新たな本体プレートを、図４に示されている本体プレート２４と本体プレート２２との間に順次増設していくことで絞り率を減少させることが可能である。すなわち、固定絞りユニットを部材の積層構造により構成して、同一形状の部材が積層構造の中に繰り返し出現している構成とすることにより、少種類の部品から様々な絞り率を有する固定絞りユニットを製造することが可能となる。部品の種類を抑えることで、固定絞りユニットのコストダウンが図られる。
【００４３】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態に係る固定絞りユニットを図５に示す。
【００４４】
図５に示す固定絞りユニットは、頭部プレート３１と、本体プレート３２、３３、３４、３５及び３６とを具備している。頭部プレート３１並びに本体プレート３２、３３、３４、３５及び３６は、平板形状をなして形成されており、これらのプレートがそれぞれ有している主面３１Ａ及び３１Ｂ、主面３２Ａ及び３２Ｃ、主面３３Ｃ及び３３Ｆ、主面３４Ｃ及び３４Ｆ、主面３５Ｃ及び３５Ｆ、並びに、主面３６Ｃ及び３６Ｆは同形状となされている。
【００４５】
頭部プレート３１には、頭部プレート３１の厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔３１Ｊが形成されている。貫通孔３１Ｊは、頭部プレート３１の一方の主面３１Ｂに開口する小径部３１ｂと、他方の主面３１Ａに開口している大径部３１ａと、小径部３１ｂと大径部３１ａとを滑らかに接続する中間部３１ｃとを有している。ここで、大径部３１ａ、小径部３１ｂ及び中間部３１ｃは同軸上に配置されている。大径部３１ａは、小径部３１ｂよりも大きい内径を有しており、また、内周面にはめねじが形成されている。
【００４６】
本体プレート３２には、主面３２Ｃに溝３２Ｇが形成されている。溝３２Ｇは、端部３２ｘと端部３２ｙとを有する直線形状をなしており、前述した小径部３１ｂの内径と等しい幅及び深さを有している断面略正方形に形成されている。さらに、本体プレート３２には、本体プレート３２の厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔３２Ｊが形成されている。貫通孔３２Ｊは、端部３２ｙにおいて溝３２Ｇの底に開口している小径部３２ｂと、主面３２Ａに開口している大径部３２ａと、小径部３２ｂと大径部３２ａとを滑らかに接続する中間部３２ｃとを有している。ここで、大径部３２ａ、小径部３２ｂ及び中間部３２ｃは同軸上に配置されている。そして、小径部３２ｂの内径は小径部３１ｂの内径と等しい。大径部３２ａは、小径部３２ｂよりも大きい内径を有しており、内周面にはめねじが形成されている。
【００４７】
本体プレート３３には、主面３３Ｃに溝３３Ｇが形成されている。溝３３Ｇは、端部３３ｘと端部３３ｙとを有する直線形状をなしており、前述した小径部３１ｂの内径と等しい幅及び深さを有している断面略正方形に形成されている。さらに、本体プレート３３には、本体プレート３３の厚さ方向に貫通している断面円形の貫通孔３３Ｋが形成されている。貫通孔３３Ｋは、その一端を溝３３Ｇの端部３３ｙにおいて溝３３Ｇの底部に開口しており、他端を主面３３Ｆに開口している。ここで、貫通孔３３Ｋは、溝３３Ｇの幅と等しい内径に形成されている。
【００４８】
本体プレート３４、３５及び３６においても、本体プレート３３と同様に、それぞれ直線形状をしており、端部３４ｘ及び３４ｙを有する溝３４Ｇ、端部３５ｘ及び３５ｙを有する溝３５Ｇ、並びに、端部３６ｘ及び３６ｙを有する溝３６Ｇが形成されている。さらに、貫通孔３４Ｋがその一端を溝３４Ｇの端部３４ｙにおける底部に開口して形成されており、貫通孔３５Ｋ及び３６Ｋが、それぞれの一端を溝３５Ｇの端部３５ｙにおける底部及び溝３６Ｇの端部３６ｙにおける底部に開口して形成されている。
【００４９】
頭部プレート３１と本体プレート３３とは、主面３１Ｂと主面３３Ｃとを対向させて接合されている。ここで、貫通孔３１Ｊは溝３３Ｇの端部３３ｘに対して開口している。同様に、本体プレート３３と本体プレート３４とは、主面３３Ｆと主面３４Ｃとを対向させて接合されており、本体プレート３４と本体プレート３５とは、主面３４Ｆと主面３５Ｃとを対向させて接合されており、本体プレート３５と本体プレート３６とは、主面３５Ｆと主面３６Ｃとを対向させて接合されており、本体プレート３６と本体プレート３２とは、主面３６Ｆと主面３２Ｃとを対向させて接合されている。ここで、貫通孔３３Ｋは溝３４Ｇの端部３４ｘに対して開口しており、貫通孔３４Ｋは溝３５Ｇの端部３５ｘに対して開口しており、貫通孔３５Ｋは溝３５Ｇの端部３５ｘに対して開口しており、貫通孔３６Ｋは溝３２Ｇの端部３２ｘに対して開口している。
【００５０】
上記により、溝３３Ｇと主面３１Ｂとは平面上にレイアウトされた流路を形成しており、同様に、溝３４Ｇと主面３３Ｆと、溝３５Ｇと主面３４Ｆと、溝３６Ｇと主面３５Ｆと、溝３２Ｇと主面３６Ｆとは、それぞれ平面上にレイアウトされた流路を形成している。これらの平面上にレイアウトされた流路は、貫通孔３３Ｋ、３４Ｋ、３５Ｋ及び３６Ｋにより直列に接続されて一つの絞り流路を形成している。そしてこの絞り流路は、貫通孔３１Ｊ及び貫通孔３２Ｊによって、図示されない配管と接続可能となされている。
【００５１】
本発明の第３の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、各本体プレートに形成されている溝が直線形状をしているため、溝が複雑な形状をしている場合に比較して、本体プレート一枚当りの加工の工数は少なくなる。この結果、固定絞りユニットの製造コストを下げることが可能である。
【００５２】
（第４の実施の形態）
図５に示す本発明の第３の実施の形態に係る固定絞りユニットに換えて、図６に示す本発明の第４の実施の形態に係る固定絞りユニットのように、溝及び貫通孔を有している本体プレートが、スリットを有している胴部プレートと貫通孔を有している脚部プレートとが接合されて形成されている実施の形態とすることも可能である。
【００５３】
図６に示す本発明の第４の実施の形態に係る固定絞りユニットは、頭部プレート４１と、胴部プレート４３、４５、４７、４９及び５１と、脚部プレート４４、４６、４８、５０及び４２とを具備している。
【００５４】
ここで、頭部プレート４１は頭部プレート３１と同形状に形成されている。そして、胴部プレート４３と脚部プレート４４とは、主面４３Ｄと主面４４Ｅとを対向させて接合することで、ユニット５５を形成する。このユニット５５の形状がプレート３３の形状と同じになるように、胴部プレート４３及び脚部プレート４４は形成されている。同様に、胴部プレート４５と脚部プレート４６、胴部プレート４７と脚部プレート４８、胴部プレート４９と脚部プレート５０、胴部プレート５１と脚部プレート４２とは、それぞれ接合されることで、本体プレート３３、３４、３５、３６及び３２と同じ形状となるように形成されている。
【００５５】
したがって、胴部プレート４３、４５、４７、４９及び５１には、厚さ方向に貫通しているスリット４３Ｓ、４５Ｓ、４７Ｓ、４９Ｓ及び５１Ｓがそれぞれ設けられている。そして、脚部プレート４４、４６、４８、５０及び４２には、厚さ方向に貫通している貫通孔４４Ｋ、４６Ｋ、４８Ｋ、５０Ｋ及び４２Ｊがそれぞれ設けられている。例えば、胴部プレート４３に形成されているスリット４３Ｓは、主面４３Ｃ及び４３Ｄに開口しており、脚部プレート４４に形成されている貫通孔４４Ｋは、主面４４Ｅ及び４４Ｆに開口している。
【００５６】
本発明の第４の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、各本体プレートに形成されているスリットが直線形状をしているため、スリットが複雑な形状をしている場合に比較して、本体プレート一枚当りの加工の工数は減少する。この結果、固定絞りユニットの製造コストを下げることが可能である。
【００５７】
なお、本発明の第４の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいは、スリットに複数の屈曲部を設けて、一枚のプレートに形成されている溝の長さを長くすることも可能である。この場合には、プレート１枚当たりの加工の工数は増加するが、一つの固定絞りユニットを製造するために必要なプレートの数を減少させることができる。
【００５８】
（第５の実施の形態）
図７に示す本発明の第５の実施の形態に係る固定絞りユニットのように、図６に示す本発明の第４の実施の形態に係る固定絞りユニットを構成している部材から、脚部プレート４４、４６、４８及び５０を除いた構成とすることも可能である。
【００５９】
図７に示す第５の実施の形態に係る固定絞りユニットは、頭部プレート６１と、胴部プレート６３、６４、６５、６６及び６７と、脚部プレート６２とを具備している。頭部プレート６１、胴部プレート６３、６４、６５、６６及び６７、並びに、脚部プレート６２は、頭部プレート４１、胴部プレート４３、４５、４７、４９及び５１、並びに、脚部プレート４２とそれぞれ同じ形状に形成されている。
【００６０】
頭部プレート６１と胴部プレート６３とは、主面６１Ｂと主面６３Ｃとを対向させて接合されている。ここで、貫通孔６１Ｊの小径部６１ｂはスリット６３Ｓの端部３３ｘに対して開口している。同様に、胴部プレート６３と胴部プレート６４とは主面６３Ｄと主面６４Ｃとを対向させて接合されており、胴部プレート６４と胴部プレート６５とは主面６４Ｄと主面６５Ｃとを対向させて接合されており、胴部プレート６５と胴部プレート６６とは主面６５Ｄと主面６６Ｃとを対向させて接合されており、胴部プレート６６と胴部プレート６７とは主面６６Ｄと主面６７Ｃとを対向させて接合されており、胴部プレート６７と脚部プレート６２とは、主面６７Ｄと主面６２Ｃとを対向させて接合されている。ここで、スリット６３Ｓの端部６３ｙはスリット６４Ｓの端部６４ｘに対して開口しており、スリット６４Ｓの端部６４ｙはスリット６５Ｓの端部６５ｘに対して開口しており、スリット６５Ｓの端部６５ｙはスリット６６Ｓの端部６６ｘに対して開口しており、スリット６６Ｓの端部６６ｙはスリット６７Ｓの端部６７ｘに対して開口しており、貫通孔６２Ｊの小径部６２ｂはスリット６７Ｓの端部６７ｙに対して開口している。
【００６１】
これにより、スリット６３Ｓと主面６１Ｂ及び６４Ｃとは、平面上にレイアウトされた流路を形成している。油圧油に例示される流体は、この流路を主面６１Ｂ及び６４Ｃに沿う方向に流下する。同様に、スリット６４Ｓと主面６３Ｄ及び６５Ｃと、スリット６５Ｓと主面６４Ｄ及び６６Ｃと、スリット６６Ｓと主面６５Ｄ及び６７Ｃと、スリット６７Ｓと主面６６Ｄ及び６２Ｂとはそれぞれ平面上にレイアウトされた流路を形成している。これらの平面上にレイアウトされた流路は、流路の端部において次々と接続されて一つの絞り流路を形成している。そしてこの絞り流路は、貫通孔６１Ｊ及び貫通孔６２Ｊによって、図示されない配管と接続可能となされている。
【００６２】
図７に示す第５の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、スリットを有しているプレートと、貫通孔又はスリットに例示される空洞部を有する２枚のプレートとが、スリットを有しているプレートが空洞部を有する２枚のプレートに挟まれて接合されていることで、平面上にレイアウトされた流路が形成されている。
【００６３】
また、第５の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、貫通孔のみが形成されているプレートを具備していないために、固定絞りユニットをコンパクトに形成することができる。
【００６４】
（第６の実施の形態）
本発明の第６の実施の形態に係る固定絞りユニットを図８に示す。本実施の形態に係る固定絞りユニットは、第１の実施の形態に係る固定絞りユニットを分解組立可能としたものである。
【００６５】
図８に示す第６の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、頭部プレート７１、本体プレート７２、シール部材７３、並びに、ボルト７４、ナット７６及びワッシャ７５を具備している。
【００６６】
頭部プレート７１は、頭部プレート１１と同形状に形成されており、さらに、頭部プレート７１の四隅に、厚さ方向に貫通しているボルト孔７１Ｍをそれぞれ有している。本体プレート７２は、本体部材１２と同形状に形成されており、さらに、本体プレート７２の四隅に、厚さ方向に貫通しているボルト孔７２Ｍをそれぞれ有している。シール部材７３は、本体部材７２の主面７２Ｃと同じ形状を有しているシート状をしており、一部が切り抜かれている。この切り抜き部７３Ｇの形状は、本体プレートの主面７２Ｃに開口している溝７２Ｇの開口部の形状と同じである。シール部材７３の四隅には、ボルト孔７３Ｍがそれぞれ設けられている。
【００６７】
頭部プレート７１と本体プレート７２とは、主面７１Ｂと主面７１Ｂに対向している主
面７２Ｃとの間にシート部材７３を挟んでいる。ボルト孔７１Ｍ、７２Ｍ及び７３Ｍは、頭部プレートの主面７１Ａと本体プレート７２の主面７２Ａとに開口している連続したボルト孔を形成している。そして、このボルト孔にボルト７４が主面７２Ａの側から挿入されており、主面７１Ａから突出しているボルト７４のねじ部にナット７６及びワッシャ７５が取り付けられている。
【００６８】
第６の実施の形態に係る固定絞りユニットは、各部材どうしをボルト及びナットに例示される締結機構により脱着可能に接合することで、分解組立が可能となされている。このように固定絞りユニットを分解組立可能とすることで、固定絞りユニットに詰まった異物を取り除くことが容易になる。また、固定絞りユニットを定期的に分解して清掃すれば、目詰まりを未然に防ぐことも可能となるので、固定絞りユニットの信頼性を高めることができる。
【００６９】
また、頭部プレート７１と本体プレート７２との間にシール部材が設置されていることにより、頭部プレート７１と本体プレート７２との間の流体の密封性が高められている。
【００７０】
なお、シール部材がなくても十分な密封性が得られる場合には、シール部材は必ずしも必要ではない。
【００７１】
（第７の実施の形態）
本発明の第７の実施の形態に係る固定絞りユニットを図９に示す。本実施の形態に係る固定絞りユニットは、図４に示す第２の実施の形態に係る固定絞りユニットを分解組立可能としたものである。
【００７２】
図９に示す第７の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、頭部プレート８１、本体プレート８２、８３及び８４、並びに、ボルト８８、ナット８６及びワッシャ８５を具備している。
【００７３】
頭部プレート８１は、頭部プレート２１と同形状に形成されており、さらに、頭部プレート８１の四隅に、厚さ方向に貫通しているボルト孔８１Ｍをそれぞれ有している。同様に、本体プレート８２、８３及び８４は、本体プレート８２、８３、８４とそれぞれ同形状に形成されており、さらに、厚さ方向に貫通しているボルト孔８２Ｍ、８３Ｍ及びは８４Ｍを四隅にそれぞれ有している。したがって、本体プレート８２、８３及び８４から構成されるユニット９０は、図４に示すユニット２５及び図２に示す本体部材１２に対応する。
【００７４】
ボルト孔８１Ｍ、８３Ｍ、８４Ｍ及び８２Ｍは、連通している４本のボルト孔を形成している。そして、このボルト孔にボルト８８が本体プレート８２の側から挿入されており、頭部プレート８１から突出しているボルト８８のねじ部にナット８６及びワッシャ８５が取り付けられている。
【００７５】
第７の実施の形態に係る固定絞りユニットは、各部材どうしをボルト及びナットに例示される締結機構により脱着可能に接合することで、分解組立が可能となされている。このように固定絞りユニットを分解組立可能とすることで、固定絞りユニットに詰まった異物を取り除くことが容易になる。また、固定絞りユニットを定期的に分解して清掃すれば、目詰まりを未然に防ぐことも可能となるので、固定絞りユニットの信頼性を高めることができる。
【００７６】
（第８の実施の形態）
本発明の第８の実施の形態に係る固定絞りユニットを図１０に示す。本実施の形態に係る固定絞りユニットは、図６に示す第４の実施の形態に係る固定絞りユニットを分解組立可能としたものである。
【００７７】
図１０に示す第８の実施の形態に係る固定絞りユニットにおいては、頭部プレート２０１、胴部プレート２０３、２０５、２０７、２０９及び２１１、脚部プレート２０２、２０４、２０６、２０８及び２１０、並びに、ボルト２１４、ナット２１６及びワッシャ２１５を具備している。
【００７８】
頭部プレート２０１は、頭部プレート４１と同形状に形成されており、さらに、頭部プレート２０１の四隅に、厚さ方向に貫通しているボルト孔２０１Ｍをそれぞれ有している。同様に、胴部プレート２０３、２０５、２０７、２０９及び２１１は、胴部プレート４３、４５、４７、４９及び５１とそれぞれ同形状に形成されており、さらに、厚さ方向に貫通しているボルト孔２０３Ｍ、２０５Ｍ、２０７Ｍ、２０９Ｍ及び２１１Ｍを四隅にそれぞれ有している。そして、脚部プレート２０２、２０４、２０６、２０８及び２１０は、脚部プレート４２、４４、４６、４８及び５０とそれぞれ同形状に形成されており、さらに、厚さ方向に貫通しているボルト孔２０２Ｍ、２０４Ｍ、２０６Ｍ、２０８Ｍ及び２１０Ｍを四隅にそれぞれ有している。したがって、胴部プレート２０３及び２０４から構成されるユニット２２０は、図５に示す本体プレート３３及び図６に示すユニット５５に対応している。
【００７９】
ボルト孔２０１Ｍ、２０３Ｍ、２０４Ｍ、２０５Ｍ、２０６Ｍ、２０７Ｍ、２０８Ｍ、２０９Ｍ、２１０Ｍ、２１１Ｍ及び２０２Ｍは、連通している４本のボルト孔を形成している。そして、このボルト孔にボルト２１４が本体プレート２０２の側から挿入されており、頭部プレート２０１から突出しているボルト２１４のねじ部にナット２１６及びワッシャ２１５が取り付けられている。
【００８０】
第８の実施の形態に係る固定絞りユニットは、各部材どうしをボルト及びナットに例示される締結機構により脱着可能に接合することで、分解組立が可能となされている。このように固定絞りユニットを分解組立可能とすることで、固定絞りユニットに詰まった異物を取り除くことが容易になる。また、固定絞りユニットを定期的に分解して清掃すれば、目詰まりを未然に防ぐことも可能となるので、固定絞りユニットの信頼性を高めることができる。
【００８１】
（第９の実施の形態）
本発明の第９の実施の形態に係る静圧案内装置を図１１に示す。
【００８２】
図１１に示す静圧案内装置は、レール１１２及び１１３、移動体１１４、圧力流体供給ライン１０１、可変絞り１２１、固定絞り１３１、１３２及び１３３、並びに、供給ポンプ１０５を備えている。レール１１２は、レール上部１１２Ａがレール下部１１２Ｂよりも横に張り出した略逆Ｌ字形状をなしており、レール１１３も同様にレール上部１１３Ａとレール下部１１３Ｂから形成される略逆Ｌ字形状をなしている。レール１１２及び１１３はレール上部の張り出しが互いに外側を向いた状態で配置されている。移動体にはレール１１２及び１１３の形状にそれぞれ対応する形状の溝１１４Ａ及び１１４Ｂが形成されており、溝１１４Ａ及び１１４Ｂにそれぞれレール１１２及び１１３が嵌合している。移動体１１４はレール１１２及び１１３に沿って摺動可能とされている。さらに移動体１１４には、静圧ポケット１１４Ｈ、１１４Ｉ及び１１４Ｊがレール上部１１２Ａをコ字状に囲む配置をなして形成されており、同様に、静圧ポケット１１４Ｓ、１１４Ｔ及び１１４Ｕがレール上部１１３Ａをコ字状に囲む配置をなして形成されている。供給ポンプ１０５から延伸している圧力流体供給ライン１０１は、途中の分岐部１０１Ａにおいて移動体１１４に形成されている静圧ポケットと同数に分岐しており、絞りを介して各静圧ポケットにそれぞれ接続されている。圧力流体供給ライン１０１により、油圧油に例示される圧力流体が、各静圧ポケットに供給される。圧力流体供給ライン１０１には、分岐部１０１Ａと各静圧ポケットとの間に、各静圧ポケットに供給される圧力流体の圧力を調節するための絞りが、各静圧ポケットに対応して設置されている。図１１においては、静圧ポケット１１４Ｈ、１１４Ｉ及び１１４Ｊにそれぞれ対応している可変絞り１２１及び固定絞り１３１、固定絞り１３２、並びに、固定絞り１３３のみが示されている。
【００８３】
図１１に示す静圧案内装置は、本発明に係る固定絞りユニットを圧力流体供給ライン１０１に設置されている固定絞り１３１、１３２及び１３３として備えている。固定絞りユニットと圧力流体供給ライン１０１との接続の状態を、第１の実施の形態に係る固定絞りユニットの場合を例として図１２に示す。
【００８４】
図１２に示すように、頭部プレート１１が有する貫通孔１１Ｃの大径部１１ａ及び本体部材１２が有する貫通孔１２Ｃの大径部１２ａに、圧力流体供給ライン１０１が管継手１０２及び１０３を介して接続されている。
【００８５】
図１１に示す圧力流体供給ライン１０１に設けられている各絞りは、移動体１１４に作用する重力及び静圧ポケット１１４Ｊ及び１１４Ｕ内の圧力流体が移動体１１４に及ぼす下向きの力と、静圧ポケット１１４Ｈ及び１１４Ｓ内の圧力流体が移動体１１４に及ぼす上向きの力とがバランスし、同時に、静圧ポケット１１４Ｉ内の圧力流体が移動体１１４に及ぼす水平方向の力と静圧ポケット１１４Ｔ内の圧力流体が移動体１１４に及ぼす水平方向の力とがバランスする絞り率となされている。この結果、移動体１１４は圧力流体の静圧力によって支持され、移動体１１４とレール１１２及び１１３との固体接触がなくなる。したがって、移動体１１４はレール１１２及び１１３に沿って円滑に摺動可能とされる。また、移動体１１４はその摺動方向に垂直な面内での運動が制限される。
【００８６】
本発明の第９の実施の形態に係る静圧案内装置は、本発明の第１から第８までの実施の形態のいずれか一つに係る固定絞りユニットを具備している。本発明の第１から第８までの実施の形態のいずれか一つに係る固定絞りユニットにおいては、一の部材の有する平面に形成されている溝と他の部材の有する平面とによって流路が形成されている。このような固定絞りユニットにおいては、溝のレイアウトを変えることにより、流路を平面上で自由にレイアウトすることができる。このため、流路長が長い場合であっても絞りユニットをコンパクトに構成することができる。したがって、流路長についての制約が少ないために、流路断面積を大きくとることで絞りの目詰まりを防止することが可能である。したがって、静圧案内装置の信頼性が向上する。
【００８７】
また、本発明の第９の実施の形態に係る静圧案内装置は、本発明の第６から第８までの実施の形態のいずれか一つに係る固定絞りユニットを具備することにより、固定絞りの目詰まりが生じた場合に、固定絞りユニットを分解して異物を取り除くことが可能である。したがって静圧案内装置の信頼性が向上する。
【００８８】
これまで述べたことから明らかなように、本発明の第９の実施の形態に係る静圧案内装置は、絞りの目詰まりを起こしにくいために、被加工物を加工する際に切粉が発生するマシニングセンタに好適である。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】従来知られている毛細管型の絞りを示す図である。
【図２】第１の実施の形態における固定絞りユニットを示す図である。
【図３】第１の実施の形態における固定絞りユニットを示す分解斜視図である。
【図４】第２の実施の形態における固定絞りユニットを示す分解斜視図である。
【図５】第３の実施の形態における固定絞りユニットを示す分解斜視図である。
【図６】第４の実施の形態における固定絞りユニットを示す分解斜視図である。
【図７】第５の実施の形態における固定絞りユニットを示す分解斜視図である。
【図８】第６の実施の形態における固定絞りユニットを示す分解斜視図である。
【図９】第７の実施の形態における固定絞りユニットを示す分解斜視図である。
【図１０】第８の実施の形態における固定絞りユニットを示す分解斜視図である。
【図１１】第９の実施の形態における静圧案内装置の断面を示す図である。
【図１２】固定絞りユニットと圧力流体供給ラインとの接続状態を示す図である。
【符号の説明】
【００９０】
１…絞り本体
１Ａ…抵抗スプール収容孔
２…抵抗スプール
２Ａ…溝
１１、２１、３１、４１、６１、７１、８１、２０１…頭部プレート
１２…本体部材
２５、５５、９０、２２０…ユニット
２２、２３、２４、３２、３３、３４、３５、３６、７２、８２、８３、８４…本体プレート
４３、４５、４７、４９、５１、６３、６４、６５、６６、６７、２０３、２０５、２０７、２０９、２１１…胴部プレート
４２、４４、４６、４８、５０、６２、２０２、２０４、２０６、２０８、２１０…脚部プレート
１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｃ、２１Ａ、２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｃ、２３Ｃ、２３Ｅ、２４Ｃ、２４Ｅ、３１Ａ、３１Ｂ、３２Ａ、３２Ｃ、３３Ｃ、３３Ｆ、３４Ｃ、３４Ｆ、３５Ｃ、３５Ｆ、３６Ｃ、３６Ｆ、４３Ｃ、４３Ｄ、４４Ｅ、４４Ｆ、６１Ｂ、６２Ｂ、６３Ｃ、６３Ｄ、６４Ｃ、６４Ｄ、６５Ｃ、６５Ｄ、６６Ｃ、６６Ｄ、６７Ｃ、６７Ｄ、７１Ａ、７１Ｂ、７２Ａ、７２Ｃ…主面
１１Ｊ、１２Ｊ、２１Ｊ、２２Ｊ、２３Ｋ、２４Ｋ、３１Ｊ、３２Ｊ、３３Ｋ、３４Ｋ、３５Ｋ、３６Ｋ、４２Ｊ、４４Ｋ、４６Ｋ、４８Ｋ、５０Ｋ、６１Ｊ、６２Ｊ…貫通孔
１１ａ、１２ａ、２１ａ、２２ａ、３１ａ、３２ａ…大径部
１１ｃ、１２ｃ、２１ｃ、２２ｃ、３１ｃ、３２ｃ…中間部
１１ｂ、１２ｂ、２１ｂ、２２ｂ、３１ｂ、３２ｂ、６１ｂ、６２ｂ…小径部
１２Ｇ、２２Ｇ、２３Ｇ、２４Ｇ、３２Ｇ、３３Ｇ、３４Ｇ、３５Ｇ、３６Ｇ、７２Ｇ…溝
１２ｘ、１２ｙ、２２ｘ、２２ｙ、２３ｘ、２３ｙ、２４ｘ、２４ｙ、３２ｘ、３２ｙ、３３ｘ、３３ｙ、３４ｘ、３４ｙ、３５ｘ、３５ｙ、３６ｘ、３６ｙ、６３ｘ、６３ｙ、６４ｘ、６４ｙ、６５ｘ、６５ｙ、６６ｘ、６６ｙ、６７ｘ、６７ｙ…端部
４３Ｓ、４５Ｓ、４７Ｓ、４９Ｓ、５１Ｓ、６３Ｓ、６４Ｓ、６５Ｓ、６６Ｓ、６７Ｓ…スリット
７３…シール部材
７１Ｍ、７２Ｍ、７３Ｍ、８１Ｍ、８２Ｍ、８３Ｍ、８４Ｍ、２０１Ｍ、２０２Ｍ．２０３Ｍ、２０４Ｍ、２０５Ｍ、２０６Ｍ、２０７Ｍ、２０８Ｍ、２０９Ｍ、２１０Ｍ、２１１Ｍ…ボルト孔
７３Ｇ…切り抜き部
７４、８８、２１４…ボルト
７５、８５、２１５…ワッシャ
７６、８６、２１６…ナット
１１２、１１３…レール
１１２Ａ、１１３Ａ…レール上部
１１２Ｂ、１１３Ｂ…レール下部
１１４…移動体
１１４Ａ、１１４Ｂ…溝
１１４Ｈ、１１４Ｉ、１１４Ｊ、１１４Ｓ、１１４Ｔ、１１４Ｕ…静圧ポケット
１０１…圧力流体供給ライン
１０１Ａ…分岐部
１０５…供給ポンプ
１２１…可変絞り
１３１、１３２、１３３…固定絞り
１０２、１０３…管継手
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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