(57)【要約】【課題】ノズル孔から液滴を吐出したとき、その液滴が着弾する着弾位置の精度が高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供すること。【解決手段】液滴吐出ヘッド２は、液状材料１１１を液滴として吐出する複数のノズル２５が形成されたノズルプレート１２８を有するものである。各ノズル２５の内周面２５１は、液状材料１１１に対して撥液性を有し、複数のノズル２５の少なくとも１つのノズル２５（ノズル２５Ｒ２）の内周面２５１において、当該内周面２５１の撥液性は、周方向に沿って変化しており、液滴をノズル２５の軸線２５３に対して、撥液性の大なる部分のある方向に傾斜するように吐出する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状材料を液滴として吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドであって、
前記ノズル孔の内周面は、前記液状材料に対して撥液性を有し、
前記撥液性は、前記内周面の周方向に沿って変化しており、前記液滴を前記ノズル孔の軸線に対して、前記撥液性の大なる部分のある方向に傾斜するように吐出することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
液状材料を液滴として吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドであって、
前記各ノズル孔の内周面は、前記液状材料に対して撥液性を有し、
前記複数のノズル孔の少なくとも１つのノズル孔の内周面において、該内周面の撥液性は、周方向に沿って変化しており、前記液滴を前記ノズル孔の軸線に対して、前記撥液性の大なる部分のある方向に傾斜するように吐出することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記内周面には、前記撥液性が最小となる撥液性最小部と、前記撥液性が最大となる撥液性最大部とが形成されており、
前記撥液性最小部から前記撥液性最大部にかけて、連続的または段階的に前記撥液性が増加している請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記撥液性最小部と前記撥液性最大部とは、前記ノズル孔の中心に対し互いに対向している請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記ノズル孔の内周面には、前記撥液性を有する撥液部が形成されており、
前記撥液性の大小は、前記軸線方向における、前記ノズルプレートの外面側の端部からの前記撥液部の距離に対応している請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５いずれかに記載の液滴吐出ヘッドと、
基体を保持するステージと、
前記ステージと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段の作動を制御する制御手段とを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
液状材料を塗布すべき塗布領域が形成された基体に対し、請求項１ないし５いずれかに記載の液滴吐出ヘッドを用いて液状材料を液滴として吐出して、該液滴を前記塗布領域に付与することを特徴とする液滴付与方法。
【請求項８】
前記ノズル孔は、前記撥液性の大なる部分が前記塗布領域の中心部側に位置するように調節され、前記液滴が前記塗布領域の中心部に着弾する請求項７に記載の液滴付与方法。
【請求項９】
前記液滴を吐出するとき、該液滴を吐出するノズル孔がそれに対応する前記塗布領域の中心部を通過しない場合には、前記ノズル孔は、前記撥液性の大なる部分が前記塗布領域の中心部側に位置するように調節されており、前記液滴が前記塗布領域の中心部に着弾する請求項７に記載の液滴付与方法。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれかに記載の液滴付与方法を用いて、基体上の所定の領域に液状材料の液滴を付与する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置のカラーフィルタ等を製造する方法としては、液滴吐出装置（インクジェット描画装置）を用いて、カラーフィルタ基板上に形成された多数の画素（画素領域）に対し、インク等の液状材料を液滴として付与することにより、各画素を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の液滴吐出装置には、複数のノズル（ノズル孔）が形成されたノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドが設置されている。この液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドを回転させることにより、ノズル同士の間隔、すなわち、ノズルピッチが画素ピッチに対応するように、ノズルピッチ（液滴吐出ヘッド）を調節している。さらに、この液滴吐出装置では、各画素に対応するノズルを選択して、その選択されたノズルから液滴を各画素に付与している。
しかしながら、このような液滴吐出装置（液滴吐出ヘッド）では、液滴を画素に吐出するとき、前記選択されたノズルが必ずしも画素の中心部を通過するとは限らないため、液滴が画素の中心部から外れた位置（例えば、画素の縁部や、液滴が付与されるべき画素と異なった画素等）に着弾するおそれがあった。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２７３８６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、ノズル孔から液滴を吐出したとき、その液滴が着弾する着弾位置の精度が高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出ヘッドは、液状材料を液滴として吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドであって、
前記ノズル孔の内周面は、前記液状材料に対して撥液性を有し、
前記撥液性は、前記内周面の周方向に沿って変化しており、前記液滴を前記ノズル孔の軸線に対して、前記撥液性の大なる部分のある方向に傾斜するように吐出することを特徴とする。
これにより、ノズル孔から液滴を吐出したとき、その液滴が着弾する着弾位置の精度が高くなり得る。
【０００６】
本発明の液滴吐出ヘッドは、液状材料を液滴として吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドであって、
前記各ノズル孔の内周面は、前記液状材料に対して撥液性を有し、
前記複数のノズル孔の少なくとも１つのノズル孔の内周面において、該内周面の撥液性は、周方向に沿って変化しており、前記液滴を前記ノズル孔の軸線に対して、前記撥液性の大なる部分のある方向に傾斜するように吐出することを特徴とする。
これにより、ノズル孔から液滴を吐出したとき、その液滴が着弾する着弾位置の精度が高くなり得る。
【０００７】
本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記内周面には、前記撥液性が最小となる撥液性最小部と、前記撥液性が最大となる撥液性最大部とが形成されており、
前記撥液性最小部から前記撥液性最大部にかけて、連続的または段階的に前記撥液性が増加していることが好ましい。
これにより、ノズル孔内の液状材料の液面を全体として、ノズル孔の軸線に対して確実に傾斜させることができ、よって、その方向に液滴を確実に吐出することができる。
【０００８】
本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記撥液性最小部と前記撥液性最大部とは、前記ノズル孔の中心に対し互いに対向していることが好ましい。
これにより、ノズル孔内の液状材料の液面の軸線に対する傾斜方向を容易に調節（設定）することができる。
本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記ノズル孔の内周面には、前記撥液性を有する撥液部が形成されており、
前記撥液性の大小は、前記軸線方向における、前記ノズルプレートの外面側の端部からの前記撥液部の距離に対応していることが好ましい。
これにより、ノズル孔内の液状材料の液面を全体として、ノズル孔の軸線に対して確実に傾斜させることができ、よって、その方向に液滴を確実に吐出することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置は、本発明の液滴吐出ヘッドと、
基体を保持するステージと、
前記ステージと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段の作動を制御する制御手段とを有することを特徴とする。
これにより、ノズル孔から液滴を吐出したとき、その液滴が着弾する着弾位置の精度が高くなり得る。
【００１０】
本発明の液滴付与方法は、液状材料を塗布すべき塗布領域が形成された基体に対し、本発明の液滴吐出ヘッドを用いて液状材料を液滴として吐出して、該液滴を前記塗布領域に付与することを特徴とする。
これにより、ノズル孔から液滴を吐出したとき、その液滴が着弾する塗布領域に対する着弾位置の精度が高くなり得る。
【００１１】
本発明の液滴付与方法では、前記ノズル孔は、前記撥液性の大なる部分が前記塗布領域の中心部側に位置するように調節され、前記液滴が前記塗布領域の中心部に着弾することが好ましい。
これにより、ノズル孔内の液状材料の液面を全体として塗布領域の中心部に対向させることができ、よって、液滴を塗布領域の中心部に確実に着弾させることができる。
【００１２】
本発明の液滴付与方法では、前記液滴を吐出するとき、該液滴を吐出するノズル孔がそれに対応する前記塗布領域の中心部を通過しない場合には、前記ノズル孔は、前記撥液性の大なる部分が前記塗布領域の中心部側に位置するように調節されており、前記液滴が前記塗布領域の中心部に着弾することが好ましい。
これにより、ノズル孔内の液状材料の液面を全体として塗布領域の中心部に対向させることができ、よって、液滴を塗布領域の中心部に確実に着弾させることができる。
【００１３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴付与方法を用いて、基体上の所定の領域に液状材料の液滴を付与する工程を有することを特徴とする。
これにより、ノズル孔から液滴を吐出したとき、その液滴が着弾する着弾位置の精度が高い電気光学装置の製造を行なうことができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、ノズル孔から液滴を吐出したとき、その液滴が着弾する着弾位置の精度が高い電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
なお、以下の説明では、液晶表示装置に用いるカラーフィルタ基板１０を製造する場合を想定しているが、本発明は、これに限定されず、カラーフィルタ基板１０以外の各種の電気光学装置の製造に適用することができる。
【００１５】
（液滴吐出装置の全体構成）
図１は、本発明の液滴吐出装置の斜視図である。なお、図１（図４も同様）は、Ｚ軸方向の長さを拡大して（誇張して）描かれている。
図１に示すように、液滴吐出装置１は、複数の液滴吐出ヘッド２をキャリッジ１０５に搭載してなるヘッドユニット１０３と、ヘッドユニット１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、後述する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。
【００１６】
また、液滴吐出装置１の近傍には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の液状材料１１１をそれぞれ貯留する３個のタンク１０１が設置されている。各タンク１０１と、ヘッドユニット１０３とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１１０を介して接続されている。各タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧縮空気の力によって、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２に送液（供給）される。
【００１７】
本発明において「液状材料」とは、カラーフィルタ基板１０の画素を形成するための材料を含み、液滴吐出ヘッド２のノズル（ノズル孔）２５から吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。また、ノズル２５から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。
本実施形態における液状材料１１１は、当該液状材料１１１を塗布すべきカラーフィルタ基板１０の画素（塗布領域）のフィルタ層を形成するための顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。
【００１８】
なお、以下の説明では、赤、緑、青の液状材料１１１を区別して言うときには、１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの符号を付し、色を区別しないで総称して言うときには、単に「液状材料１１１」と言う。
キャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、ヘッドユニット１０３をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでヘッドユニット１０３を回転させる機能も有しており、これにより、ヘッドユニット１０３のＺ軸回りの角度を微調整することができる。
【００１９】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、カラーフィルタ基板１０を製造するための基体１０Ａをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置された基体１０ＡのＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
【００２０】
上述のように、ヘッドユニット１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８によって、ステージ１０６に対するヘッドユニット１０３の相対位置が変わる。
なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。
【００２１】
（ヘッドユニット）
図２は、図１に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよび基体を示す平面図である。
図２に示すヘッドユニット１０３は、複数の液滴吐出ヘッド２がキャリッジ１０５に搭載された構成となっている。図２中では、キャリッジ１０５を仮想線（二点鎖線）で表している。また、液滴吐出ヘッド２を示す実線は、液滴吐出ヘッド２のノズル面（ノズルプレート１２８）の位置を示している。
【００２２】
ヘッドユニット１０３には、赤色の液状材料１１１Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒとなる液滴吐出ヘッド２と、緑色の液状材料１１１Ｇを吐出する第２ヘッド２１Ｇとなる液滴吐出ヘッド２と、青色の液状材料１１１Ｂを吐出する第３ヘッド２１Ｂとなる液滴吐出ヘッド２との、計３個の液滴吐出ヘッド２が設置されている。
以下の説明では、これらの液滴吐出ヘッド２を総称する場合には、「液滴吐出ヘッド２」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２１Ｇ、第３ヘッド２１Ｂ」のように言う。
【００２３】
図２に示す基体１０Ａは、ストライプ配列のカラーフィルタ基板１０を製造するためのものである。この基体１０Ａには、赤の画素（吐出領域）１８Ｒと、緑の画素（吐出領域）１８Ｇと、青の画素（吐出領域）１８Ｂとがそれぞれ多数設けられている。液滴吐出装置１は、画素１８Ｒには赤色の液状材料１１１Ｒを付与し、画素１８Ｇには緑色の液状材料１１１Ｇを付与し、画素１８Ｂには青色の液状材料１１１Ｂを付与するように作動する。
【００２４】
各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、ほぼ長方形をなしている。基体１０Ａは、画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの長軸方向がＹ軸方向に平行になり、短軸方向がＸ軸方向に平行になるような姿勢でステージ１０６上に保持される。基体１０Ａ上には、Ｘ軸方向に沿っては画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８の順に３色の画素が繰り返し配列され、Ｙ軸方向に沿っては同色の画素が配列されている。Ｘ軸方向に並ぶ一組の画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、製造されたカラーフィルタ基板１０の一画素分に相当する。
【００２５】
（液滴吐出ヘッド）
図３は、液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基体の画素とを拡大して示す平面図、図４は、液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基体の画素とを拡大して示す正面図、図５は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図、図８は、図５に示す液滴吐出ヘッドのノズルを示す斜視図、図９は、図５に示す液滴吐出ヘッドのノズルの他の構成例を示す斜視図である。なお、図３中では、液滴吐出ヘッド２のノズル面は、基体１０Ａに対向する方向、すなわち鉛直下方に向いて設けられているが、見易くするために、液滴吐出ヘッド２のノズル面を実線で示す。
液滴吐出ヘッド２のノズル面には、多数のノズル（ノズル孔）２５がＸ軸方向に沿って等間隔に直線的に並んで形成されており、ノズル列を形成している。また、一つの液滴吐出ヘッド２に形成されるノズル２５の数は、特に限定されないが、通常、数十〜数百個程度とされる。
【００２６】
図５（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２は、インクジェットヘッドである。より具体的には、液滴吐出ヘッド２は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００２７】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル２５に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。
【００２８】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル２５から液状材料１１１が液滴として吐出される。
【００２９】
制御手段１１２（図１）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出される材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル２５毎に制御されてもよい。
なお、液滴吐出ヘッド２は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料１１１の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。
【００３０】
（制御手段）
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図６は、図５に示す液滴吐出ヘッドのノズルの他の構成例を示す斜視図である。
図６に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３とを備えている。
【００３１】
バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、複数の液滴吐出ヘッド２のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
【００３２】
入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から、液状材料１１１の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータを受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。
【００３３】
キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０５、すなわちヘッドユニット１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６、すなわち基体１０ＡのＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
【００３４】
処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２およびステージ位置検出手段３０３の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、ヘッドユニット１０３の位置と、基体１０Ａの位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわち基体１０Ａの移動速度を制御する。
【００３５】
また、処理部２０４は、前記描画パターンデータに基づいて、吐出タイミング毎のノズル２５のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド２に与える。この結果、液滴吐出ヘッド２における対応するノズル２５から、液状材料１１１が液滴として吐出される。
制御手段１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
【００３６】
次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。図７は、図６に示すヘッド駆動部に関する図であり、（ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャートである。
図７（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。図７（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は、駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル２５から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、ノズル２５のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数とノズル２５の数とは同じである。
【００３７】
処理部２０４は、ノズル２５のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。
【００３８】
図７（ｂ）に示す例では、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル２５のそれぞれから、周期２ＥＰで液状材料１１１が吐出される。また、これら２つのノズル２５に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル２５からほぼ同じタイミングで液状材料１１１が吐出される。
【００３９】
このような液滴吐出装置１では、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持された基体１０ＡをＹ軸方向に移動させ、ヘッドユニット１０３の下を通過させつつ、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出して、基体１０Ａ上の各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与する（着弾させる）ように作動する。以下、この動作を「ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査」と言うことがある。
【００４０】
ヘッドユニット１０３全体として基体１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の長さ（全吐出幅Ｗ）よりも、基体１０ＡのＸ軸方向の幅が小さいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査を１回行うことにより、基体１０Ａの全体に対して液状材料１１１を付与することができる。
これに対し、ヘッドユニット１０３の全吐出幅Ｗよりも、基体１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査と、キャリッジ移動機構１０４の作動によるヘッドユニット１０３のＸ軸方向の移動（これを「副走査」と呼ぶ）とを交互に繰り返し行うことにより、基体１０Ａの全体に対して液状材料１１１を付与することができる。
【００４１】
次に、液滴吐出ヘッド２のノズルプレート１２８について詳細に説明する。なお、第１ヘッド２１Ｒのノズルプレート１２８、第２ヘッド２１Ｇのノズルプレート１２８および第３ヘッド２１Ｂのノズルプレート１２８は、それぞれ、構成がほぼ同一であるため、以下、第１ヘッド２１Ｒのノズルプレート１２８について代表的に説明する。
図３および図４に示すように、第１ヘッド２１Ｒ（液滴吐出ヘッド２）のノズルプレート１２８には、複数のノズル２５が形成されているが、これらのノズ２５のうち、ノズル２５Ｒ１が画素１８Ｒ１に対応し、ノズル２５Ｒ２が画素１８Ｒ２に対応し、ノズル２５Ｒ３が画素１８Ｒ３に対応している。すなわち、第１ヘッド２１Ｒのノズルプレート１２８では、画素１８Ｒ１に液滴が塗布されるときに用いられるノズル２５は、ノズル２５Ｒ１であり、画素１８Ｒ２に液滴が塗布されるときに用いられるノズル２５は、ノズル２５Ｒ２であり、画素１８Ｒ３に液滴が塗布されるときに用いられるノズル２５は、ノズル２５Ｒ３である。
【００４２】
第１ヘッド２１Ｒの作動により、液滴が吐出されるとき、ノズル２５Ｒ１は、画素１８Ｒ１のＹ軸方向（描画方向）における中心部１８１を通過する。
また、同様に液滴が吐出されるとき、ノズル２５Ｒ２は、画素１８Ｒ２の中心部１８１を通過しない、すなわち、画素１８Ｒ３の中心部１８に対して図３中右側（図４も同様）を通過する。
また、同様に液滴が吐出されるとき、ノズル２５Ｒ３は、画素１８Ｒ３の中心部１８１を通過しない、すなわち、画素１８Ｒ３の中心部１８に対して図３中左側（図４も同様）を通過する。
【００４３】
さて、このようなノズルプレート１２８の外面（液滴吐出面）２５２および各ノズル２５の内周面２５１は、それぞれ、液状材料１１１に対して撥液性を有している。本実施形態では、これらの面に撥液性を持たせるために、当該撥液性を有する撥液膜（撥液部）２７が外面２５２と各内周面２５１とに連続して形成されている（図４、図５参照）。
図４に示すように、ノズル２５Ｒ１の内周面２５１には、撥液膜２７Ｒ１が形成されており、ノズル２５Ｒ２の内周面２５１には、撥液膜２７Ｒ２が形成されており、ノズル２５Ｒ３の内周面２５１には、撥液膜２７Ｒ３が形成されている。
【００４４】
液滴が吐出されるとき画素１８Ｒの中心部１８１からズレた位置を通過するノズル、すなわち、ノズル２５Ｒ２およびノズル２５Ｒ３では、それぞれの内周面２５１の撥液性の大きさが内周面２５１の周方向に沿って変化している。ノズル２５Ｒ２およびノズル２５Ｒ３の構成は、軸線２５３に対し、左右が反転していること以外は、ほぼ同一であるため（図４参照）、以下、ノズル２５Ｒ２を代表的に説明する。
【００４５】
この撥液性の大きさ（大小）は、Ｚ軸方向（ノズル２５Ｒ２の軸線２５３方向）における、ノズル２５Ｒ２の外面２５２側の端部２５４からの撥液膜２７Ｒ２の距離Ｌ（高さ）に対応している。例えば、撥液性が大きい（高い）部分は、撥液膜２７Ｒ２の距離Ｌが長く、撥液性が小さい（低い）部分は、撥液膜２７Ｒ２の距離Ｌが短い。
また、図８（図５）に示すように、撥液膜２７Ｒ２（内周面２５１）は、撥液性最小部２７１と、撥液性最大部２７２とを有している。撥液性最小部２７１は、内周面２５１において撥液性が最小となる部位、すなわち、撥液膜２７Ｒ２の距離Ｌが最小（Ｌｍｉｎ）となる部位である。また、撥液性最大部２７２は、内周面２５１において撥液性が最大となる部位、すなわち、撥液膜２７Ｒ２の距離Ｌが最大（Ｌｍａｘ）となる部位である。
また、撥液膜２７Ｒ２は、その距離Ｌ（撥液性）が撥液性最小部２７１から撥液性最大部（撥液性の大なる部分）２７２にかけて連続的に増加している（図８参照）。
【００４６】
このような撥液性最小部２７１と撥液性最大部２７２とが設けられていることにより、ノズル２５Ｒ２（キャビティ１２０）内の液状材料１１１のメニスカスによる湾曲状の液面１１３が内周面２５１から受ける力にアンバランスが生じて、液面１１３自体が軸線２５３に対して非対称となる、すなわち、液面１１３が全体として、軸線２５３に対して撥液性最大部２７２のある方向（以下、この方向を「撥液性最大部方向（図５中の矢印で示す方向）」という）に確実に傾斜し得る（図５参照）。これにより、液面１１３の撥液性最大部２７２側が撥液性最小部２７側より遅れてノズル２５Ｒ２から吐出するため、換言すれば、液面１１３に垂直な方向に液滴が吐出されるため、その結果、液滴を確実に撥液性最大部方向に吐出させることができ、よって、その液滴が画素１８Ｒ２に着弾する着弾位置の精度を高く設定することができる。
【００４７】
また、撥液性最小部２７１と撥液性最大部２７２とは、ノズル２５Ｒ２の中心（軸線２５３）に対し互いに対向するように設けられている。これにより、液面１１３の最も低い縁部１１３ａと、液面１１３の最も高い縁部１１３ｂとがノズル２５Ｒ２の中心に対し互いに対向することとなり、よって、液面１１３の傾斜方向を容易に調節（設定）することができる。換言すれば、効率よく所望の方向に液滴を吐出させることができる。
【００４８】
また、図４に示すように、ノズル２５Ｒ２では、撥液性最大部（撥液性の大なる部分）２７２が画素１８Ｒ２の中心部１８１側に位置している。これにより、液面１１３を全体として画素１８Ｒ２の中心部１８１に対向させることができ、よって、液滴を確実に中心部１８１の方向（撥液性最大部方向）に吐出させることができる。従って、ノズル２５Ｒ１からの液滴を中心部１８１に確実に着弾させることができる。
【００４９】
また、撥液性最小部２７１と撥液性最大部２７２とは、これらの高さの差が、液滴が中心部１８１に向って吐出するように調節されている。
液滴が中心部１８１に向って吐出する方向、すなわち、軸線２５３に対して傾斜した角度θが決定した場合、角度θは、ｔａｎθ＝ｋ（Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎ）／ｄで表現することができる。なお、ｋは係数であり、Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎはノズル２５Ｒ２の撥液性最小部２７１と撥液性最大部２７２と高さの差であり、ｄはノズル２５Ｒ２の直径である。
【００５０】
例えば、ノズル径ｄが２０〜３０μｍ程度であることが好ましく、差Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎは、０．５〜２μｍ程度とすることができる。また、係数ｋは、０．８〜１．５程度とすることができる。
一例として、ノズル２５Ｒ２が画素１８Ｒ２の中心部１８１から１５μｍズレた位置を通過する場合、ノズル２５Ｒ２の撥液性最小部２７１と撥液性最大部２７２と高さの差（Ｌｍａｘ−Ｌｍｉｎ）を１．３μｍと設定したならば、ノズル２５Ｒ２からの液滴が軸線２５３に対し約３°傾斜した方向に吐出して、当該液滴を画素１８Ｒ２の中心部１８１に着弾させることができる。なお、液滴が吐出するときのノズルプレート１２８の外面２５２と基体１０Ａの上面とは、０．３ｍｍ離間している。また、ノズル２５Ｒ２の直径は、およそ２５μｍである。
【００５１】
なお、撥液膜２７Ｒ２は、その距離Ｌが撥液性最小部２７１から撥液性最大部２７２にかけて連続的に増加しているが、これに限定されず、例えば、図９に示すように、前記距離Ｌが段階的に増加していてもよい。
本実施形態にあるような、微細な領域における液滴の形状は、段階的に撥液膜２７Ｒ２が形成されていても液面１１３は段階的に形成されず、安定したメニスカスを形成することができる。すなわち、撥液性が段階的、あるいは、不連続になっていてもよく、選択することができるノズル製造方法がより増え、また、製造上の工程管理もし易くなる。
また、ノズル２５Ｒ２の内周面２５１の撥液性の大少は、撥液膜２７の距離Ｌの大小（長短）によるのに限定されず、例えば、撥液膜２７の距離Ｌに大小の変化がなくとも、撥液性の強い撥水膜と、撥液性の弱い撥水膜とを設けることにより、内周面２５１の撥液性に差を生じさせることができる。
【００５２】
次に、ノズル２５Ｒ１について説明する。ノズル２５Ｒ１は、液滴が吐出されるとき画素１８Ｒ１（画素１８Ｒ）の中心部１８１を通過するノズルである。
図４に示すように、ノズル２５Ｒ１では、撥液膜２７Ｒ１の高さが内周面２５１の周方向に沿ってほぼ一定となっている、すなわち、撥液性が一定となっている。これにより、ノズル２５Ｒ１の液面１１３が全体としてＺ軸負方向に向く、すなわち、画素１８Ｒ１の中心部１８１に対向することとなり、よって、液滴を画素１８Ｒ１の中心部１８１に確実に着弾させることができる。
このように液滴が画素１８Ｒの中心部１８１に確実に着弾することにより、ノズル２５から吐出された液滴が、例えば、画素１８Ｒの縁部や、当該液滴が付与されるべき画素（画素１８Ｒ）と異なった画素等に着弾する（付与される）のを確実に防止することができる。
【００５３】
なお、ノズルプレート１２８の構成材料としては、特に限定されないが、各種金属材料を用いることができる。
また、撥液膜２７の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、フルオロアルキル基、アルキル基、ビニル基、エポキシ基、スチリル基、メタクリロキシ基等の撥水性官能基を有する各種カップリング剤、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、パーフルオロエチレン−プロペン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、パーフロロアルキルエーテルのようなフッ素系樹脂、シリコーン樹脂等の各種撥水性樹脂材料等を用いることができる。
【００５４】
また、撥液膜２７Ｒ２をノズルプレート１２８に設ける方法としては、特に限定されないが、例えば、浸漬法によりノズルプレート１２８全体に撥液膜を形成し、その後、外面２５２と反対の面側からノズル２５Ｒ２に向けて斜めにレーザ光を照射することにより、当該レーザ光に照射された部位の撥液膜を除去し、レーザ光の陰となった部位の撥液膜を残す。これにより、高さが異なる撥液膜、すなわち、撥液膜２７Ｒ２得ることができる。
【００５５】
次に、上述したような液滴吐出装置１（液滴付与方法）を用いてカラーフィルタ基板１０を製造する方法ついて、詳細に説明する。
図１０は、カラーフィルタ基板１０の製造方法を示す断面図である。図１０に示すように、基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板１２と、支持基板１２上に形成されたブラックマトリクス１４と、ブラックマトリクス１４上に形成されたバンク１６とを含む。ブラックマトリクス１４は、遮光性を有する材料で形成されている。
【００５６】
そして、ブラックマトリクス１４とブラックマトリクス１４上のバンク１６とは、支持基板１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素（領域）１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが規定されるように位置している。すなわち、支持基板１２、ブラックマトリクス１４およびバンク１６によって、画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが区画形成されている。画素１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＲが形成されるべき領域であり、画素１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＧが形成されるべき領域であり、画素１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【００５７】
カラーフィルタ基板１０を製造する際には、まず、以下の手順にしたがって基体１０Ａを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板１２上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス１４を形成する。ブラックマトリクス１４の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板１２は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板１２およびブラックマトリクス１４を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク１６が得られる。以上の工程によって、基体１０Ａが得られる。
なお、バンク１６に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いてもよい。その場合は、金属薄膜（ブラックマトリクス１４）は不要となり、バンク層は、１層のみとなる。
【００５８】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ａを親液化する。この処理によって、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６とで規定されたそれぞれの凹部（画素の一部）における支持基板１２の表面と、ブラックマトリクス１４の表面と、バンク１６の表面とが親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク１６の表面がフッ化処理（撥液性に処理）され、このことで、バンク１６の表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板１２の表面およびブラックマトリクス１４の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。
なお、支持基板１２の材質、ブラックマトリクス１４の材質、およびバンク１６の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもあり、そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
【００５９】
上記のようにして画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成された基体１０Ａは、液滴吐出装置１のステージ１０６上に運ばれ、ステージ１０６に保持される。液滴吐出装置１は、ステージ移動機構１０８を作動させて基体１０ＡをＹ軸方向に移動させてヘッドユニット１０３の下を通過させながら、各液滴吐出ヘッド２から液状材料１１１の液滴を吐出して、各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与する。このとき、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、画素１８Ｒに対しては、赤色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｒを吐出し、画素１８Ｇに対しては、緑色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｇを吐出し、画素１８Ｂに対しては、青色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｂを吐出する。吐出された液状材料（液滴）は１１１Ｒ、１１１Ｇおよび１１１Ｂは、前述したように、それぞれ、画素１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂの中心部１８１に確実に着弾することとなる。
【００６０】
各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂが付与されたら、基体１０Ａを図示しない乾燥装置へ搬送し、各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ内の液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを乾燥させる。これにより、各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ上にフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢが得られる。なお、液滴吐出装置１での液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの付与と、乾燥装置での乾燥とを繰り返し行って積層することによって最終的なフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを形成してもよい。
【００６１】
その後、基体１０Ａを図示しないオーブン内に搬送し、このオーブンにて、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。
次いで、基体１０Ａを図示しない保護膜形成装置へ搬送し、この保護膜形成装置にて、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜（オーバーコート）２０を形成する。
フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜２０が形成された後に、乾燥装置にて保護膜２０を完全に乾燥させる。さらに、図示しない硬化装置にて保護膜２０を加熱して完全に硬化することで、基体１０Ａはカラーフィルタ基板１０となる（図１０（ｄ）参照）。
【００６２】
以上説明したような本発明は、カラーフィルタ基板１０の製造に限らず、例えばエレクトロルミネッセンス表示装置等の他方式の画像表示装置の製造にも適用することができる。
図１１は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の製造方法を示す断面図である。以下、本発明により有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を製造する場合について説明するが、前述したカラーフィルタ基板１０を製造する場合との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００６３】
図１１に示す基体３０Ａは、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を製造するための基板である。この基体３０Ａは、マトリクス状に配置された複数の画素（吐出領域）３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成されている。
具体的には、基体３０Ａは、支持基板３２と、支持基板３２上に形成された回路素子層３４と、回路素子層３４上に形成された複数の画素電極３６と、複数の画素電極３６の間に形成されたバンク４０とを有している。支持基板３２は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の画素電極３６のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）電極である。また、複数の画素電極３６は、回路素子層３４上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素を規定する。そして、バンク４０は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極３６のそれぞれを囲む。また、バンク４０は、回路素子層３４上に形成された無機物バンク４０Ａと、無機物バンク４０Ａ上に位置する有機物バンク４０Ｂとからなる。
【００６４】
回路素子層３４は、支持基板３２上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜４２と、絶縁膜４２上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子４４と、複数のスイッチング素子４４を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜４５とを有する層である。それぞれのスイッチング素子４４のゲート電極４４Ｇおよびソース電極４４Ｓは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜４５上には複数の画素電極３６が位置する。層間絶縁膜４５には、各スイッチング素子４４のドレイン電極４４Ｄに対応する部位にスルーホール４４Ｖが設けられており、このスルーホール４４Ｖを介して、スイッチング素子４４と、対応する画素電極３６との間の電気的接続が形成されている。また、バンク４０に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子４４が位置している。つまり、図１１中の上側から観察すると、複数のスイッチング素子４４のそれぞれは、バンク４０に覆われるように位置している。
【００６５】
基体３０Ａの画素電極３６とバンク４０とで規定される凹部は、画素３８Ｒ、画素３８Ｇ、画素３８Ｂに対応する。画素３８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＲが形成されるべき領域であり、画素３８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＧが形成されるべき領域であり、画素３８Ｂは、青の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【００６６】
このような基体３０Ａは、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて製造することができる。
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、この基体３０Ａを親液化する。この処理によって、画素電極３６とバンク４０とで規定された画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂにおける画素電極３６の表面、無機物バンク４０Ａの表面、および有機物バンク４０Ｂの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体３０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク４０Ｂの表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで有機物バンク４０Ｂの表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極３６の表面および無機物バンク４０Ａの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。
【００６７】
なお、画素電極３６の材質、無機バンク４０の材質、および有機バンク４０の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
また、表面処理が施された複数の画素電極３６のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成してもよい。正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂが、画素電極３６と、後述の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢとの間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。
【００６８】
上記のようにして画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成された基体３０Ａに対し、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、本発明の液滴吐出装置１を用いて、前述したカラーフィルタ基板１０の場合と同様に、各画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに対し、それぞれ、液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを付与する。液状材料２１１Ｒは、赤色の有機発光材料を含むものであり、液状材料２１１Ｇは、緑色の有機発光材料を含むものであり、液状材料２１１Ｂは、青色の有機発光材料を含むものである。
【００６９】
その後、基体３０Ａを乾燥装置へ移送して、各画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに付与された液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを乾燥させることにより、各画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ上に発光層２１１ＦＲ、ＦＧ、ＦＢが得られる。
次に、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク４０を覆うように対向電極４６を設ける。対向電極４６は陰極として機能する。
【００７０】
その後、封止基板４８と基体３０Ａとを、互いの周辺部で接着することで、図１１（ｄ）に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０が得られる。なお、封止基板４８と基体３０Ａとの間には不活性ガス４９が封入されている。
有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０において、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから発光した光は、画素電極３６と、回路素子層３４と、支持基板３２と、を介して射出する。このように回路素子層３４を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。
【００７１】
以上、本発明を液晶表示装置（カラーフィルタ基板）の製造や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適用した場合について説明したが、本発明は、これらに限定されず、例えば、プラズマ表示装置の背面基板の製造や、電子放出素子を備えた画像表示装置（ＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）またはＦＥＤ（Field Emission Display）と呼ばれることもある）の製造にも適用することができる。
【００７２】
＜本発明の電子機器の実施形態＞
前述したような方法で製造されたカラーフィルタ基板１０を備えた液晶表示装置や、前述したような方法で製造されたエレクトロルミネッセンス表示装置等の画像表示装置１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
【００７３】
図１２は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。
図１３は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
【００７４】
図１４は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００７５】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
【００７６】
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
【００７７】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
【００７８】
なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
【００７９】
以上、本発明の液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、一つの液滴吐出ヘッド２に形成されるノズル２５の数は、通常、数十〜数百個程度とされるが、これに限定されず、１つであってもよい。
【００８０】
また、ノズルプレートの外面および各ノズルの内周面に撥液性を持たせるために、これらの面に撥液膜を設けるのに限定されず、例えば、ノズルプレート自体が撥液性を有する材料で構成されていてもよい。ノズルプレート自体が撥液性を有する材料で構成されている場合、撥液膜を設けていた面（部位）以外の面が、液状材料に対して親液性を有するように処理（親液処理）されている。
また、撥液膜の距離Ｌｍｉｎは、零であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の液滴吐出装置の斜視図。
【図２】図１に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよび基体を示す平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基体の画素とを拡大して示す平面図。
【図４】液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基体の画素とを拡大して示す正面図。
【図５】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図。
【図６】図１に示す液滴吐出装置のブロック図。
【図７】（ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。
【図８】図５に示す液滴吐出ヘッドのノズルを示す斜視図。
【図９】図５に示す液滴吐出ヘッドのノズルの他の構成例を示す斜視図。
【図１０】カラーフィルタ基板の製造方法を示す断面図。
【図１１】有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を示す断面図。
【図１２】、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図。
【図１３】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図１４】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。
【符号の説明】
【００８２】
１……液滴吐出装置  ２……液滴吐出ヘッド  ２１Ｒ……第１ヘッド  ２１Ｇ……第２ヘッド  ２１Ｂ……第３ヘッド  ２５、２５Ｒ１、２５Ｒ２、２５Ｒ３……ノズル  ２５１……内周面  ２５２……外面  ２５３……軸線  ２５４……端部  ２７、２７Ｒ１、２７Ｒ２、２７Ｒ３……撥液膜  ２７１……撥液性最小部  ２７２……撥液性最大部  １０１……タンク  １０３……ヘッドユニット  １０４……キャリッジ移動機構  １０５……キャリッジ  １０６……ステージ  １０８……ステージ移動機構  １１０……チューブ  １１１、１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ、２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ……液状材料  １１２……制御手段  １１３……液面  １１３ａ、１１３ｂ……縁部  １２０……キャビティ  １２２……隔壁  １２４……振動子  １２４Ａ、１２４Ｂ……電極  １２４Ｃ……ピエゾ素子  １２６……振動板  １２８……ノズルプレート  １２９……液たまり  １３０……供給口  １３１……孔  ２００……バッファメモリ  ２０２……記憶手段  ２０３……駆動信号生成部  ２０４……処理部  ２０６……走査駆動部  ２０８……ヘッド駆動部  ＡＳ……アナログスイッチ  ＤＳ……駆動信号  ＳＣ……選択信号  ＥＳ……吐出信号  １０Ａ、３０Ａ……基体  １０……カラーフィルタ基板  １２、３２……支持基板
１４……ブラックマトリクス  １６、４０……バンク  ２０……保護膜  １８Ｒ、１８Ｒ１、１８Ｒ２、１８Ｒ３、１８Ｇ、１８Ｂ、３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ……画素  １８１……中心部  １１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ……フィルタ層  ３０……有機エレクトロルミネッセンス表示装置  ３４……回路素子層  ３６……画素電極  ４０Ａ……無機物バンク  ４０Ｂ……有機物バンク  ４２……絶縁膜  ４４……スイッチング素子  ４４Ｇ……ゲート電極  ４４Ｓ……ソース電極  ４４Ｄ……ドレイン電極  ４４Ｖ……スルーホール  ４５……層間絶縁膜  ４６……対向電極  ４８……封止基板  ４９……不活性ガス  ３０２……キャリッジ位置検出手段  ３０３……ステージ位置検出手段  １０００……画像表示装置  １１００……パーソナルコンピュータ  １１０２……キーボード  １１０４……本体部  １１０６……表示ユニット  １２００……携帯電話機  １２０２……操作ボタン  １２０４……受話口  １２０６……送話口  １３００……ディジタルスチルカメラ  １３０２……ケース（ボディー）  １３０４……受光ユニット  １３０６……シャッタボタン  １３０８……回路基板  １３１２……ビデオ信号出力端子  １３１４……データ通信用の入出力端子  １４３０……テレビモニタ  １４４０……パーソナルコンピュータ  ３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂ……正孔輸送層  ２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ……発光層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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