(57)【要約】【課題】  簡素な装置構成で、マスク板から光ディスクを離反させる際に塗布液の飛滴の発生を防止して塗布液の安定した塗布が可能となるブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法を提供し、もって、良好な表面性状を有する塗布液の塗布を可能とする。【解決手段】  開口２７を有するマスク２５を光ディスクＤ上に重ね合わせ、マスク２５上に塗布液４９を供給し、マスク２５上方で該マスク２５に対して相対移動するブレード５１により塗布液４９をマスク２５上に塗布した後、マスク２５と光ディスクＤとを離反させ、光ディスクＤ上にマスク２５の開口２７に応じた塗布液層を形成するブレード塗布方法であって、離反動作時におけるマスク２５と光ディスクＤとの相対移動速度Ｖを５０ｍｍ／ｓｅｃ〜２００ｍｍ／ｓｅｃとする。【選択図】  図１
2006198475.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布した後、前記マスクと前記平面基板とを離反させ、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布方法であって、
前記離反動作時における前記マスクと前記平面基板との相対移動速度を５０ｍｍ／ｓｅｃ〜２００ｍｍ／ｓｅｃとしたことを特徴とするブレード塗布方法。
【請求項２】
請求項１のブレード塗布方法により、ディスク状記録媒体の印刷面の少なくとも１層を形成することを特徴とするディスク塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面基板に対してブレードにより塗布液を塗布するブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状塗料を被塗布部材の塗布面に安定的に塗布するには、従来より種々の提案がなされている。例えば下記特許文献１に開示される塗布装置では、被塗布体に摺接する側枠と、その間に渡設した二枚のブレードよりなるポケット内に収容した塗布液を走行方向下流側ブレードの下端のギャップから被塗布体上に流出させて塗布するものであって、側枠が摺接する被塗布体上面に潤滑層を形成するための潤滑層形成手段を設けている。これにより、側枠下面の滑り性を改善し、塗布面にブレードの渡設方向に連続する横縞発生の防止を図っている。
【０００３】
また、下記特許文献２に開示される基板塗布装置では、下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に基板を挟んで送ることにより、基板の下面に塗布液を塗布するものであって、マイクロロッドバーの基板進入側に基板の前縁を下方から支えて基板前縁の撓みを制限する押上げ部材を設けている。これにより、基板の前縁中央付近の塗布厚がその両側より厚くなるのを防ぎ、均一な塗布厚での塗布を図っている。また、基板の後縁中央付近が塗布液槽の出口側せきに接触するのを防ぎ、均一な塗布厚での塗布を図っている。
【０００４】
さらに、下記特許文献３に開示されるロールコータでは、塗布処理すべき薄板を搬送する搬送台と塗布ロールとを設け、塗布ロールの下側に搬送台を移動通過させることにより液剤を薄板の表面に塗布するものであって、搬送台を基盤上面に薄板把持用の把持板を隙間を介在させて配置し、隙間の面方向中間部に薄板の中心を搬送台の移動方向に通る線分に対して線対称に弾性材を配置し、かつ把持板の周縁部を隙間規制手段により隙間を調整可能に規制している。これにより、把持板が塗布ロールを押圧して通過するとき、隙間の範囲内で傾動して接触侵入時の衝撃を緩和するように弾性材の反力（弾性力）を制御し、衝撃振動に伴う塗布ムラを生じないようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−２２４７６１号公報
【特許文献２】特開平９−１０６４６号公報
【特許文献３】特開平１０−１２８２２１号公報
【０００６】
また、光ディスク等のディスク状記録媒体に塗布液を１００μｍ程度の厚さに塗布して、印刷可能な塗布液層（インク受理層）９を形成する従来のディスク塗布装置１としては、図６に示すものがある。このディスク塗布装置１は、光ディスクＤを吸着載置する吸着台２、光ディスクＤを吸着台２と共に上下方向に移動させるエアシリンダ３、円形縁部４ａで画成された開口８を有するマスク板（マスク）４、及びマスク板４上を所定の隙間を保ちながら水平駆動されて塗布液６を光ディスクＤに塗布し、塗布液層９を形成するブレード５を備えている。
【０００７】
このようなディスク塗布装置１による塗布液６の塗布は、図６（ａ）に示すように、吸着台２上に光ディスクＤを載置して吸着固定した後、エアシリンダ３を作動して光ディスクＤを上昇させ、これによりマスク板４を光ディスクＤ上に重ね合わせる。そして、マスク板４上に塗布液６を供給しながら、マスク板４上方でブレード５を矢印Ａ方向に相対移動することにより、塗布液６をマスク板４の開口８から露出する光ディスクＤの塗布面７に塗布する。次いで、図６（ｂ）に示すように、エアシリンダ３を作動して吸着台２を下降（矢印Ｂ方向）させてマスク板４から光ディスクＤを離反させ、光ディスクＤ上にマスク板４の開口８に応じた塗布液層９を形成する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示される塗布装置は、簡素な構造での構成が可能となるが、塗布具の一部が被塗布体上に支持され、下流側ブレードと被塗布体との相対的な間隔を維持して塗布を行うため、被塗布体は帯状のものに限られ、ブレードの両端側に未塗布部の生じる欠点があった。
【０００９】
また、特許文献２に開示される基板塗布装置は、基板をニップして下側からマイクロロッドバーで塗布を行うことから、全幅方向での塗布は可能となるものの、被塗布体が帯状や矩形状のものに限られた。そして、液膜の厚みが厚くなると、マイクロロッドバーの下流側でビードが乱れて塗布面にスジの発生する問題があった。
【００１０】
さらに、特許文献３に開示されるロールコータは、ディスク形状となる被塗布体の塗布を可能とし、各塗布体の全面塗布も可能となるが、塗布体のそれぞれを弾性体で支持するため、設備が大がかりとなり、これに加え、液膜厚みが厚くなれば、上記した基板塗布装置と同様に、スジの発生する問題があった。
【００１１】
このように、従来の技術では、装置が大がかりになることや、特に塗布厚みが厚くなると、ブレードと塗布面との隙間に押し込まれる塗布液の量が多くなり、ブレードに歪みが生じて塗布方向に略平行なスジが発生したり、ブレードが通過した直後の液界面の乱れが顕著となり、上記と同様に塗布方向に略平行なスジが発生し、良好な塗膜面の確保が困難となる欠点があった。
【００１２】
また、図６に示す従来のディスク塗布装置１により光ディスクＤの塗布面７に塗布液６を塗布すると、図７（ａ）に示すように、塗布液６はマスク板４の上面及び開口８から露出する光ディスクＤの塗布面７に連続して塗布される。マスク板４から光ディスクＤを離反させるべく吸着台２を下降させると、粘性を有する塗布液６は開口８の円形縁部４ａにおいて上下方向に引き伸ばされ（図７（ｂ））、マスク板４と光ディスクＤとの間に略円筒形の液膜６Ａが形成される（図７（ｃ））。更に、光ディスクＤが下降すると、図７（ｄ）に示すように、やがて液膜６Ａが破断して塗布液６が飛滴６Ｂとなって周囲に飛び散る。飛滴６Ｂは、光ディスクＤの塗布面７に塗布された塗布液層（インク受理層）９上に付着して表面性状を劣化させ、その後の印刷等において不具合を生じる問題があった。
【００１３】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、簡素な装置構成で、マスク板から光ディスクを離反させる際に塗布液の飛滴の発生を防止して塗布液の安定した塗布が可能となるブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法を提供し、もって、良好な表面性状を有する塗布液の塗布を可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る上記目的は、下記構成により達成できる。
（１）  開口を有するマスクを平面基板上に重ね合わせ、前記マスク上に塗布液を供給し、前記マスク上方で該マスクに対して相対移動するブレードにより前記塗布液を前記マスク上に塗布した後、前記マスクと前記平面基板とを離反させ、前記平面基板上に前記マスクの開口に応じた塗布液層を形成するブレード塗布方法であって、前記離反動作時における前記マスクと前記平面基板との相対移動速度を５０ｍｍ／ｓｅｃ〜２００ｍｍ／ｓｅｃとしたことを特徴とするブレード塗布方法。
【００１５】
このようなブレード塗布方法によれば、離反動作時におけるマスクと平面基板との相対移動速度を５０ｍｍ／ｓｅｃ〜２００ｍｍ／ｓｅｃとしたので、双方の間に生じる液膜の発生を抑制することができる。従って、離反動作に伴って成長する液膜が自然破壊する際に飛滴を生じて、この飛滴が平面基板に付着することを未然に防止できる。これにより、表面性状の良好な塗布液層を形成することができる。
【００１６】
（２）  （１）に記載のブレード塗布方法により、ディスク状記録媒体の印刷面の少なくとも１層を形成することを特徴とするディスク塗布方法。
【００１７】
このようなディスク塗布方法によれば、大面積の塗布が可能な塗布装置を用いてディスク状記録媒体の印刷面のうち少なくとも１層を形成することにより、均一で高品位な塗布液層を形成することができる。これにより、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層（インク受理層）を、必要十分なインク受理能力を持たせた厚みで形成可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法によれば、マスクと平面基板とを離反するときに、マスクと平面基板との間に生じる液膜の成長を抑制することができる。これにより、成長した液膜が自然破壊する際に生じる飛滴が平面基板に付着することを未然に防止できる。また、これによりディスク状記録媒体の印刷面に均一で高品位な塗布液層を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係るブレード塗布方法及びこれを用いたディスク塗布方法を達成するのに好適なブレード塗布装置について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明に係る塗布装置の概略を表す構成図、図２は図１に示した塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。
【００２０】
本実施の形態によるブレード塗布装置１００は、例えば平面基板の一例であるディスク状記録媒体、例えば光ディスクＤを被塗布部材とする液膜の塗布に用いられる。
まず、ブレード塗布装置１００の構成について説明する。
図１に示すように、ブレード塗布装置１００の塗布部１１には、光ディスクＤが吸着載置可能となる円形状の吸着台１３が設けられる。この吸着台１３の上面には複数の吸着孔１５が開口されて、各吸着孔１５には吸引路１７を介して真空ポンプ１９が接続される。吸着台１３は、真空ポンプ１９が作動することで吸着孔１５を介して光ディスクＤを上面に吸着保持することができる。
【００２１】
また、吸着台１３は、昇降軸２１によって下面中央が上下方向に移動自在に支持される。この昇降軸２１の上下移動は、マスク剥離手段の一例であるエアシリンダ２３の駆動によりなされる。
そして、吸着台１３の上方にはマスク板（マスク）２５が設けられ、マスク板２５は光ディスクＤの塗布面５７を露出させる開口２７を有している。吸着台１３に載置された光ディスクＤは、エアシリンダ２３の駆動によって昇降軸２１が上昇して、上限位置に到達したときに、外周縁がマスク板２５の開口縁部２５ａによって覆われる。
【００２２】
また、塗布部１１には、光ディスクＤの中央部上方に、マスクキャップ着脱手段２９が具備される。マスクキャップ着脱手段２９は、キャップ吸着ノズル３１と、真空ポンプ３３と、昇降手段３５とからなる。マスクキャップ着脱手段２９は、真空ポンプ３３の駆動によってキャップ吸着ノズル３１の下端に、マスクキャップ３７を吸着保持する。この状態で昇降手段３５が駆動されることで、キャップ吸着ノズル３１が下降して、光ディスクＤの中央部の穴にマスクキャップ３７が挿着されるようになっている。なお、マスクキャップ（センターキャップ）は、これに限らず、他の機械的手段で脱着してもよい。例えば、マスクキャップ３７の下方から突き上げてマスク板２５から浮き上がらせ、マスクキャップ３７を、その側方からすくい取る等の方法がある。
【００２３】
開口２７より外側のマスク板２５の上方には塗布液供給手段４１が設けられている。塗布液供給手段４１は、塗布液供給ノズル４３と、塗布液供給装置４５と、ノズル昇降装置４７とからなる。塗布液供給手段４１は、塗布液供給装置４５から供給される塗布液４９を、塗布液供給ノズル４３からマスク板２５上に滴下供給する。この際、塗布液供給ノズル４３は、塗布液４９を滴下供給するときだけノズル昇降装置４７によってマスク板２５の近傍高さに移動し、通常は塗布工程に支障とならない位置まで上昇して待機状態とされる。
ここで、塗布液４９は、例えば、液粘度が１５０ｃＰ〜８００ｃＰのものが利用でき、特に、２００ｃＰ〜６００ｃＰの塗布液４９が好適に用いられる。
【００２４】
塗布液供給手段４１によってマスク板２５上に供給された塗布液４９のさらに外側には、ブレード５１が待機状態で配置される。ブレード５１は、移動手段５３によってマスク板２５上を所定の隙間を保ちながら水平駆動され、前側面５５で塗布液４９を押しながら、図２に示すように、マスク板２５の開口２７によって露出された光ディスクＤの塗布面５７に塗布液４９を塗布するように移動する。
【００２５】
ブレード５１は、図１の紙面垂直方向に長尺に形成されたステンレス材等の金属材料からなり、ブレード５１長手方向に垂直方向の断面形状が、略台形形状に形成されている。また、ブレード５１の下面とマスク板２５との間には隙間（ギャップ）Ｇが形成され、塗布液４９はブレード５１の前側面５５により流れが案内されるに伴い押圧されることで、このギャップＧに押し込まれる。そして、塗布面５７に対面するブレード５１の下面（押圧面５９）を通過することで塗布液４９がマスク板２５の開口２７内に充填される。その結果、塗布面５７に塗布液４９が平坦に塗布されるようになる。
【００２６】
上記した真空ポンプ１９、エアシリンダ２３、真空ポンプ３３、昇降手段３５、塗布液供給装置４５、ノズル昇降装置４７、移動手段５３は、それぞれが制御部６３によって動作が制御される。
【００２７】
また、マスク板２５の開口２７は、ブレード５１の長手方向に沿って連続する少なくとも５０ｍｍを超える開口を有することで、詳細を後述する本発明に係るブレード塗布による均一塗布性の効果が顕著となる。本実施の形態においては、開口２７が直径１２０ｍｍ程度の円形状に形成される。
【００２８】
本実施の形態によるブレード塗布装置１００においては、塗布時における塗布液層の膜厚が、少なくとも１００μｍ以上で塗布される。このような１００μｍ以上の厚みの塗布である場合、薄膜の塗布の場合と比較して、塗布液層の表面性状は塗布面５７の表面に倣う傾向が低くなり、ブレード５１の形状が大きな影響を及ぼすことになる。つまり、塗布面５７の凹凸に影響されにくく、ブレード５１による塗布液４９の圧力、ブレード５１形状による塗布液４９の濡れ上がり性等が、塗布液層の表面性状を決定する主要因となる。
【００２９】
本ブレード塗布装置１００は、ディスク状記録媒体（光ディスク）の記録層の少なくとも１層を形成するディスク塗布装置として使用する場合、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層（インク受理層）を形成することができる。このディスク塗布装置によれば、印刷層への印刷の際、良好な色再現性が確保できるように、必要十分な厚みの印刷層を形成することができる。実際には、塗布液層が塗布時１５０μｍ程度の厚みであると、乾燥後の目減り時において３０μｍ程度の塗膜が形成され、この３０μｍ程度のインク受理層が良好な色再現性を可能にする。
【００３０】
次に、このブレード塗布装置１００を用いた塗布液の塗布方法を説明する。
図３は本発明に係る塗布方法の手順を（ａ）〜（ｃ）で表した説明図、図４は本発明に係る塗布方法の手順を（ｄ）〜（ｇ）で表した説明図、図５は塗布の完了した被塗布部材の平面図である。
【００３１】
まず、制御部６３の指令により、図３（ａ）に示すように、昇降軸２１の下降位置において、吸着台１３上に光ディスクＤが吸着され、図３（ｂ）に示すように、エアシリンダ２３の駆動によって吸着台１３が上昇して光ディスクＤがマスク板２５の開口縁部２５ａに当接する。次いで、図３（ｃ）に示すように、マスクキャップ着脱手段２９の駆動により、マスクキャップ３７が光ディスクＤの中央穴に挿着される。
【００３２】
そして、図４（ｄ）に示すように、塗布液供給手段４１によりマスク板２５上に滴下された塗布液４９を、ブレード５１が移動手段５３によって図中右方から左方に移動する。すると、図４（ｅ）に示すように、ブレード５１が光ディスクＤの塗布面５７を塗布液４９と共に通過して、光ディスクＤの塗布面５７に所定厚の塗布液層が形成される。
【００３３】
次いで、図４（ｆ）に示すように、マスクキャップ着脱手段２９が駆動され、マスクキャップ３７が光ディスクＤから脱着される。これにより、光ディスクＤの中央部には塗布液４９の塗布されない円形段部６９が形成されることとなる。次いで、エアシリンダ２３の駆動によって、図４（ｇ）に示すように、吸着台１３が下降することによりマスク板２５の開口縁部２５ａから光ディスクＤが下方へと離反する。
【００３４】
該離反時におけるマスク板２５と光ディスクＤとの相対移動速度（換言すれば、エアシリンダ２３の作動速度）Ｖは、５０ｍｍ／ｓｅｃ〜２００ｍｍ／ｓｅｃの範囲内に設定されている。これにより、塗布面５７に塗布された塗布液４９は、マスク板２５上の塗布液４９と剪断により分離される。この結果、光ディスクＤの外周縁にはマスク板２５に覆われていたことで、塗布液４９の塗布されていない図５に示す非塗布部７１が形成されるこ０ととなる。
【００３５】
離反時におけるマスク板２５と光ディスクＤとの相対移動速度（離反速度）Ｖを、５０ｍｍ／ｓｅｃ〜２００ｍｍ／ｓｅｃとしたのは、相対移動速度Ｖが５０ｍｍ／ｓｅｃ以下であると、マスク板２５と光ディスクＤとの間に形成される液膜４９Ａが大きく成長し、該液膜４９Ａが自然破壊するときに塗布液４９の液滴となって周囲に飛散して塗布液層に付着し、塗布液層の表面性状を劣化させるからである。また、２００ｍｍ／ｓｅｃを超えると、装置の耐久性や振動による不具合を考慮する必要性が生じ得る。
【００３６】
以上のように、相対移動速度Ｖを、５０ｍｍ／ｓｅｃ〜２００ｍｍ／ｓｅｃとすることにより、マスク板２５と光ディスクＤとの間に形成される液膜４９Ａの発生が大幅に抑制され、これにより液膜４９Ａの破壊に伴う塗布液４９の液滴が周囲に飛び散り、光ディスクＤに塗布された塗布液層に付着して塗布液層の表面性状を劣化させることが防止される。また、相対移動速度Ｖが速すぎることによる塗布液層への影響を回避することができる。
なお、マスク板２５の開口形状を適宜変更することによって、塗布部の形状は自由に設定できる。
【００３７】
このようにして塗布液４９の塗布が完了した光ディスクＤは、図示は省略するが、吸着台１３から取り外され、次工程の塗布液４９の乾燥工程へと移送される。
【００３８】
なお、上記のブレード塗布装置１００においては、ブレード５１をステンレス材により形成したが、本発明はこれに限らず、例えば樹脂材料や硬質ゴムであってもよい。また、本実施形態では、光ディスクの印刷面の塗布に本ブレード塗布装置を用いているが、対象物はこれに限らず、厚膜を形成するものであれば、種々の対象物に塗布することができる。
【００３９】
本実施形態のブレード塗布方法によれば、離反動作時におけるマスク２５と光ディスクＤとの相対移動速度Ｖを５０ｍｍ／ｓｅｃ〜２００ｍｍ／ｓｅｃとしたので、双方の間に生じる液膜４９Ａの発生を抑制することができる。従って、離反動作に伴って成長する液膜４９Ａが自然破壊する際に飛滴を生じて、この飛滴が光ディスクＤに付着することを未然に防止できる。これにより、表面性状の良好な塗布液層を形成することができる。
【００４０】
本実施形態のディスク塗布方法によれば、大面積の塗布が可能な塗布装置を用いて光ディスクＤの印刷面のうち少なくとも１層を形成することにより、均一で高品位な塗布液層を形成することができる。これにより、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷を行うための印刷層（インク受理層）を、必要十分なインク受理能力を持たせた厚みで形成可能となる。
【００４１】
なお、本発明に係るブレード塗布装置は、前述した各実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形や改良等が可能である。
【実施例１】
【００４２】
次に、上記の実施形態と同様の構成のブレード塗布装置によって光ディスクに塗布液を塗布した実施例、及び比較例を説明する。
塗布液には、光ディスクに受理層を形成するための表１に示す素材からなるものを用いた。この塗布液を１００〜２００μｍの範囲で光ディスクの表面に塗布した。なお、塗布液の液粘度は、２５℃でＢ型粘度計（ビスメトロン）により測定した結果、５００ｃＰであった。
【００４３】
【表１】
2006198475.tif 000003
【００４４】
マスクと光ディスクとを離反させるマスク剥離手段としてエアシリンダを用い、相対移動速度Ｖを適宜変更しながら光ディスクの塗布面に塗布液を塗布し、各相対移動速度において液膜発生の有無、及び光ディスクに形成されたインク受理層（塗布液層）の表面性状を比較し、評価した。
【００４５】
評価基準は、「液膜発生なし」を良(○)、「液膜発生あり」を可（△）、「塗布液の飛滴飛散あり」を不可（×）とした。
なお、使用したエアシリンダは、ＳＭＣ社製、ＭＰＧ−Ｍ−３２−７５(シリンダ径  Φ３２ｍｍ、ストローク  ７５ｍｍ、Ｍａｘ圧  １．６ＭＰａ)であり、最大速度は、実測値で１８７．５ｍｍ／ｓｅｃであった。
評価結果を表２に示す。
【００４６】
【表２】
2006198475.tif 000004
【００４７】
表２に示すように、相対移動速度Ｖが２５ｍｍ／ｓｅｃでは、液膜の発生が確認され、更に該液膜が破壊する際に液滴が周囲に飛散して、インク受理層（塗布液層）の表面性状に影響を及ぼしていることが分かった。また、相対移動速度Ｖを５０ｍｍ／ｓｅｃ以上とすると、液膜の発生は認められず、従って、液滴の飛散による表面性状の劣化もなく、良好な塗布が可能であることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る塗布装置の概略基本構成を表す構成図である。
【図２】図１に示した塗布装置の外観の概略を表した斜視図である。
【図３】本発明に係る塗布方法の基本手順を（ａ）〜（ｃ）で表した説明図である。
【図４】本発明に係る塗布方法の基本手順を（ｄ）〜（ｇ）で表した説明図である。
【図５】塗布の完了した被塗布部材の平面図である。
【図６】従来のディスク塗布装置により塗布液を塗布する状態を示し、（ａ）はブレードにより光ディスクに塗布液が塗布された状態を示す斜視図、（ｂ）はマスク板から光ディスクが離反した状態を示す斜視図である。
【図７】従来のディスク塗布装置によりマスク板から光ディスクが離反する過程の各状態を（ａ）〜（ｄ）で表した説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
２５  マスク板（マスク）
２７  開口
４９  塗布液（塗布液層）
５１  ブレード
１００  ブレード塗布装置
Ｄ    光ディスク（ディスク状記録媒体、平面基板）
Ｖ    相対移動速度
【図１】
2006198475.tif 000005
【図２】
2006198475.tif 000006
【図３】
2006198475.tif 000007
【図４】
2006198475.tif 000008
【図５】
2006198475.tif 000009
【図６】
2006198475.tif 000010
【図７】
2006198475.tif 000011