(57)【要約】【課題】  一見しただけで表裏面を判別することが可能な円板状透明基板と、その加工方法を提供する。【解決手段】  この円板状ガラス基板１０を裏返すと、図１（ｂ）に示すように、第１の切欠１１は、基板１０の下側に位置するが、第２の切欠１２は、基板１０の左側に移動する。さらに、この基板１０を回転させても、第１の切欠１１が下側に、第２の切欠１２が右側に移動することはない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円周上の対向しない位置に第１の切欠と第２の切欠が設けられ、前記第１の切欠と第２の切欠が互いに長さの異なる直線状の切欠であることを特徴とする円板状透明基板。
【請求項２】
第１の切欠と第２の切欠は、１０〜１７０度の角度位置に形成されてなることを特徴とする請求項１記載の円板状透明基板。
【請求項３】
第１の切欠と第２の切欠は、いずれも基板の直径の１０％以上の長さを有することを特徴とする請求項１又は２記載の円板状透明基板。
【請求項４】
長い方の切欠の長さは、短い方の切欠の長さの１２０％以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の円板状透明基板。
【請求項５】
透明基板が、透明ガラス基板、又は透明結晶化ガラス基板であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の円板状透明基板。
【請求項６】
片面に光学膜が形成されてなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の円板状透明基板。
【請求項７】
両面に光学膜が形成され、各光学膜は、互いに機能が異なる膜であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の円板状透明基板。
【請求項８】
透明ガラス基板が、固体撮像素子用カバーガラスのマザーガラスであることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の円板状透明基板。
【請求項９】
透明ガラス基板が、レーザーダイオード用カバーガラスのマザーガラスであることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の円板状透明基板。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の円板状透明基板を準備する工程、前記円板状透明基板をシート材に貼り付ける工程、前記円板状透明基板を細断加工し、小板を作製する工程、各小板をシート材から剥離する工程、からなることを特徴とする円板状透明基板の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像素子用カバーガラス等の電子部品用基板のマザーガラスとして適し、表裏や方向を容易に判別できる円板状透明基板とその加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
固体撮像装置には、素子に入出射する光の性質に対応した性能を有する光学窓が使用される。このような光学窓に用いられるガラス板（カバーガラス）は、例えば円板状の透明ガラス基板（マザーガラス）を多数のガラス小板に細断加工することによって作製される。
【０００３】
また通常、固体撮像素子用カバーガラスの透光面には、各種の光学膜が形成される。例えば、固体撮像素子に効率良く光を導入するため、カバーガラスの片面には反射防止膜が形成される。また固体撮像素子が赤外線を受光すると、色調が実際と異なってしまうため、カバーガラスの他面に赤外線カットフィルターが形成されることもある。
【０００４】
ところで上記のように、片面又は両面に光学膜が形成された固体撮像素子用カバーガラスの表裏面を反対に使用すると、所望の光学特性が得られず、固体撮像装置の機能が著しく低下することになる。また、これらの光学膜は非常に薄く、しかも透明であるため、光学膜が形成された面を目視で判別することは殆ど不可能である。
【０００５】
そのため固体撮像素子用カバーガラスに用いられるマザーガラスの搬送ケースや梱包ケースには、マザーガラスの表裏面を識別するためのマーキングが形成され、基板の方向を揃えるように細心の注意が払われている。しかしながら、マザーガラスの表面に光学膜を成膜する際、作業者が、成膜装置へのセッティング面を誤り、本来成膜すべき面に、光学膜が形成されなかったり、片面に２種類の異なる光学膜が重ねて成膜されるという作業ミスを完全に防止できていないのが現実である。
【０００６】
このような作業ミスを解消するためには、ガラス自体に表裏面を識別できるマーキングを形成すれば良く、従来よりガラス基板の表面にレーザーを用いてマーキングを施し、表裏面を識別することが提案されている。（例えば特許文献１、２）
【特許文献１】特開平９−２７８４９４号公報
【特許文献２】特開２００３−１１４３２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ガラス基板の表面にレーザーで形成したマーキングは、印刷や着色剤で形成したマーキングのように使用中に消えたり、剥がれることはないものの、非常に見づらく、作業者が凝視しないと識別できないという欠点がある。またレーザーによってガラス表面に溝部や凹部が形成され、ガラス基板の機械的強度が低下する虞れもある。
【０００８】
本発明の目的は、一見しただけで表裏面を判別することが可能な円板状透明基板と、その加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記技術的課題を解決するためになされた本発明の円板状透明基板は、円周上の対向しない位置に第１の切欠と第２の切欠が設けられ、前記第１の切欠と第２の切欠が互いに長さの異なる直線状の切欠であることを特徴とする。
【００１０】
また本発明の円板状透明基板の加工方法は、円周上の対向しない位置に第１の切欠と第２の切欠が設けられ、前記第１の切欠と第２の切欠が互いに長さの異なる直線状の切欠である円板状透明基板を準備する工程、前記円板状透明基板をシート材に貼り付ける工程、前記円板状透明基板を細断加工し、小板を作製する工程、各小板をシート材から剥離する工程、からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の円板状透明基板は、円周上の対向しない位置に第１の切欠と第２の切欠が設けられ、第１の切欠と第２の切欠が互いに長さの異なる直線状の切欠であるため、一見しただけで、表裏や方向の判別が可能である。そのため成膜工程において、作業者が、基板の表裏面を逆さまにした状態で成膜装置にセッティングするのを防止でき、また成膜後の工程においても、基板の表裏面を間違って保管したり、加工するのを防止できる。さらに上記二つの切欠は、いずれも直線状の切欠であるため、加工が容易であり、しかも基板の機械的強度が低下し難いという効果もある。
【００１２】
また本発明の円板状透明基板の加工方法は、上記の円板状透明基板を、シート材に貼り付けた後、基板のみを細断加工し、小板を作製するため、細断した後も、小板はシート材に付着しており、位置ずれを起こすことがなく、作業効率の向上が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の円板状透明基板は、円周上の対向しない位置に第１の切欠と第２の切欠が設けられ、第１の切欠と第２の切欠は、互いに長さの異なる直線状の切欠であるため、二つの切欠の位置関係で、基板の表裏面や向きを容易に判別できる。つまり第１の切欠と第２の切欠とは、基板の表面と裏面とでは異なる位置に存在することになり、両者が同じ位置関係で見えることはない。尚、上記した直線状の切欠は、目視で直線に見える線であれば、全体的或いは部分的に湾曲していても構わない。
【００１４】
本発明において、第１の切欠と第２の切欠を、円周上の対向しない位置に設けた理由は、これらの切欠を円周上の対向する位置（１８０度の角度位置）に形成すると、表裏面で基板が同じ形に見えるからである。従って、第１の切欠と第２の切欠は、対向する位置に形成しないようにする必要があり、具体的には、１０〜１７０度の角度位置に形成することが好ましい。より好ましい角度位置は、２０〜１５０度、さらに好ましくは３０〜１４０度である。
【００１５】
また第１の切欠と第２の切欠の長さの差が小さいと、表裏面で基板が同じ形に見える。従って、２種類の切欠の長さは、一見しただけで区別できるような長さに設定することが望ましい。具体的には、長い方の切欠の長さが、短い方の切欠の長さの１２０％以上であることが好ましい。より好ましくは１３０％以上である。
【００１６】
また切欠の長さが短すぎると、その位置を確認するのが困難となるため、第１の切欠と第２の切欠は、いずれも基板の直径の１０％以上の長さを有することが好ましい。より好ましくは、１２％以上である。ただし切欠が長くなりすぎると、基板の表面積が減少し、一枚の基板から採れる小板（製品）の数が減少するため好ましくない。従って、長い方の切欠の長さは、基板の直径の２０％以下であることが好ましい。より好ましくは１５％以下である。
【００１７】
本発明の円板状透明基板は、ガラス基板、結晶化ガラス基板、或いはプラスチック基板から作製することができる。特にガラス基板と結晶化ガラス基板は、優れた耐熱性や耐候性を備えているため、固体撮像素子用カバーガラスやレーザーダイオード用カバーガラス等の用途に適している。
【００１８】
ガラス基板の材質としては、質量％で、ＳｉＯ2  ５２〜７０％、Ａｌ2Ｏ3  ５〜２０％、Ｂ2Ｏ3  ５〜２０％、ＲＯ（アルカリ土類金属酸化物）  ４〜３０％、ＺｎＯ  ０〜５％の基本組成を有する無アルカリガラスが耐候性に優れ、また質量％で、ＳｉＯ2  ５８〜７５％、Ａｌ2Ｏ3  ０．５〜１５％、Ｂ2Ｏ3  ５〜２０％、Ｒ2Ｏ（アルカリ金属酸化物）  １〜２０％、ＲＯ  ０〜２０％、ＺｎＯ  ０〜１０％の基本組成を有するアルミノホウケイ酸ガラスが溶融性に優れているため好ましい。
【００１９】
また結晶化ガラス基板の材質としては、質量％で、ＳｉＯ2  ５５〜８０％、Ａｌ2Ｏ3  １５〜３０％、Ｌｉ2Ｏ＋Ｎａ2Ｏ  １〜１０％、Ｋ2Ｏ  ０〜１０％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＢａＯ＋ＺｎＯ  ０．５〜５％、ＴｉＯ2＋ＺｒＯ2＋Ｐ2Ｏ5  ０．５〜１５％、Ａｓ2Ｏ3＋Ｓｂ2Ｏ3  ０〜２％の組成を有し、内部にβ−石英固溶体結晶を析出し、３０〜３８０℃における平均熱膨張係数が−１０〜＋２５×１０-7／℃の結晶化ガラスが耐熱性に優れているため好ましい。
【００２０】
またガラス基板中のＵ、Ｔｈ量を各々１０ｐｐｂ以下に規制すると、ガラス基板からのα線放出量が低減し、α線に起因する固体撮像素子のソフトエラーを抑えることができるため好ましい。
【００２１】
また必要に応じて、基板表面には、各種の光学膜を形成することができる。例えば、固体撮像素子用カバーガラスの場合、ガラス基板の片面に反射防止膜を形成したり、さらに他方の面に赤外線カットフィルターを形成することができる。
【００２２】
反射防止膜は、可視領域の光を反射する機能を備える光学膜であり、通常、高屈折率層と低屈折率層を交互に３〜１０層積層させた多層膜から形成される。また、この多層膜には、高屈折率層と低屈折率層の間の屈折率を有する中屈折率層が追加されることもある。
【００２３】
また赤外線カットフィルターは、赤外領域の光を遮断する機能を備える光学フィルターであり、通常、高屈折率層と低屈折率層を交互に３０〜６０層積層させた多層膜から形成される。
【００２４】
次に、本発明の円板状透明基板を使用して、電子部品用基板を製造する方法の一例を説明する。
【００２５】
まず所定のガラス組成となるようにガラス原料を調合し、溶融炉内で溶融した後、ダウンドロー法、フロート法、ロールアウト法等の方法で板状に成形する。また溶融ガラスを押し出し成形等でインゴット状に成形してから、それを板状にスライス加工しても良い。次に、必要に応じて板状ガラスの表面を研磨した後、円板状に研削加工し、所定の寸法の円板状ガラス基板を作製する。また円板状ガラス基板の円周上の一部に、直線状の第１の切欠を形成し、さらに第１の切欠と対向しない円周上の一部に、直線状の第２の切欠を形成する。この時、第２の切欠は、第１の切欠とは異なる長さにする。尚、２つの切欠は、ガラス基板を研削したり、切断することによって形成すれば良い。またガラス基板の全周をＣ面取やＲ面取すると、端面からの割れやクラックが防止できるため好ましい。次に、円板状ガラス基板を洗浄し、外観検査（傷、汚れ、内部欠陥、カケ、平面度等）を行う。その後、必要に応じて、円板状ガラス基板の片面、又は両面に、真空蒸着法やスパッタリング法で、各種の光学膜（反射防止膜、赤外線カットフィルター、導電膜、帯電防止膜等）を形成する。例えば、一方の面に、ＳｉＯｘ−ＴｉＯｘ系列の４層膜からなる反射防止膜を形成し、他方の面に、ＳｉＯｘ−ＬａＯｘ−ＴｉＯｘ系列の４０層膜からなる赤外線カットフィルターを形成する。
【００２６】
次いで、ガラス基板をシート材に貼り付け、ダイシング切断機を用いてガラス基板を所定の寸法に細断加工し、多数枚のガラス小板（電子部品用基板）を作製する。この時、ガラス基板のみならず、シート材まで細断すると、ガラス基板がバラバラになるため、シート材を細断しないように注意する必要がある。最後に各ガラス小板をシート材から剥離する。尚、シート材としては、粘着性を有するシート材であれば、いずれも使用可能であるが、紫外線硬化樹脂シートを使用すると、ガラス基板を細断加工した後、紫外線をシートに照射することによって樹脂が硬化し、ガラス小板をシートから容易に剥離できるため好適である。
【実施例】
【００２７】
以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
【００２８】
まず質量％で、ＳｉＯ2  ６０％、Ａｌ2Ｏ3  １５％、Ｂ2Ｏ3  １０％、ＲＯ  １５％の組成を有し、２１０×２１０×０．５ｍｍの寸法を有する板状ガラスを準備した。次いで、この板状ガラスを円筒研削機を用いて、直径２０１ｍｍの円板状に研削加工した。次いで、外周加工機を用いて、図１（ａ）に示すように、直径２００ｍｍの円板状で、円周上の一部（基板１０下側）に、直線状の第１の切欠１１（長さ３４．５ｍｍ）を有し、また第１の切欠１１から半時計回りに９０度の位置に相当する部分（基板１０の右側）に、直線状の第２の切欠１２（長さ２４．８ｍｍ）を有する円板状ガラス基板１０を作製した。
【００２９】
この円板状ガラス基板１０を裏返すと、図１（ｂ）に示すように、第１の切欠１１は、基板１０の下側に位置するが、第２の切欠１２は、基板１０の左側に移動する。さらに、この基板１０を回転させても、第１の切欠１１が下側に、第２の切欠１２が右側に移動することはない。
【００３０】
その後、この円板状ガラス基板１０を洗浄し、一方の面に反射防止膜を成膜し、他方の面に赤外線カットフィルターを成膜した。次いで、円板状ガラス基板１０を紫外線硬化樹脂シートに貼り付け、ダイシング切断機を用いて細断加工し、９×９×０．５ｍｍの寸法を有する多数枚のガラス小板（固体撮像素子用カバーガラス）を作製した後、紫外線を照射してガラス小板をシートから剥離した。
【００３１】
このように円板状透明基板の円周上の対向しない位置に第１の切欠と第２の切欠を設け、第１の切欠と第２の切欠を、長さの異なる直線状の切欠とすることで、基板の表裏面を容易に判別することができる。
【００３２】
また、この円板状透明基板をシート材に貼り付けてから、細断加工することによって、作業性良く電子部品用基板を製造することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の円板状透明基板は、表裏面を容易に判別することができるため、成膜工程、保管工程、切断工程等において、作業者が表裏面を混同することがなく、作業性の向上を図ることができる。よって表裏面で機能が異なる固体撮像素子用カバーガラスやレーザーダイオード用カバーガラス等に使用されるマザーガラスとして好適である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の円板状透明基板を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０  円板状ガラス基板
１１  第１の切欠
１２  第２の切欠
【図１】
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