(57)【要約】【課題】  ウエハへのテープ貼付方法に関し、テープのランニングコストを低減し、テープ貼り付け時にローテンション化が図れるとともに、真空下で気泡等なく貼り付ける方法を提供する。【解決手段】  ウエハ１が載置された吸着テーブル３９の直上に引き出した保護テープ３を上昇位置にあるテープ支持板４２，４３に貼り付けて固定し、貼付作業時に、各テープ支持板４２，４３を貼付ローラ５１の進行に伴い独立して下降動させると共に、少なくとも１つのテープ支持板４２を張力緩和機構６８により張力緩和方向に移動可能とする。【選択図】        図３
2006278927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハの直上に供給される広幅テープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ上に押圧することで貼り付け、その後テープをウエハ外形形状に切断するウエハへのテープ貼付方法において、
少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、ウエハが載置された吸着テーブルの直上に引き出したテープを上昇位置にあるテープ支持板に貼り付けて固定し、貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させると共に、少なくとも１つのテープ支持板を貼付作業時にテープにかかる張力が緩和される方向に移動可能としたことを特徴とするウエハへのテープ貼付方法。
【請求項２】
吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハ及びダイシングフレームの直上に供給される広幅のダイシングテープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ及びダイシングフレーム上に押圧することで貼り付け、その後にダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するウエハへのダイシングテープ貼付方法において、
少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、ウエハ及びダイシングフレームが載置された吸着テーブルの直上に引き出したダイシングテープを上昇位置にあるテープ支持板に貼り付けて固定し、貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させると共に、少なくとも１つのテープ支持板を貼付作業時にダイシングテープにかかる張力が緩和される方向に移動可能としたことを特徴とするウエハへのテープ貼付方法。
【請求項３】
上記ウエハへのテープ貼付方法において、チャックユニットで端部をクランプした幅広テープを、チャックユニットの移動により複数のテープ支持板の直上に引き出し、複数のテープ支持板にテープを貼り付けて固定した後にテープ支持板の外側の位置にてテープを切断し、その後ウエハを載置した吸着テーブルとテープを貼り付けたテープ支持板を真空チャンバ内にて真空状態にして貼付作業を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハへのテープ貼付方法。
【請求項４】
ウエハを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハの直上に広幅テープを供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハに対しテープを押圧しつつ転動する貼付ロールと、ウエハに貼り付いたテープをウエハ外形形状に切断するテープカッターとよりなるウエハへのテープ貼付装置において、
少なくとも吸着テーブルを挟んだ位置に複数のテープ支持板を設け、該テープ支持板はそれぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在とし、少なくとも１つのテープ支持板をテープのウエハへの貼付時にテープにかかる張力を緩和するよう移動可能とする張力緩和装置を設けたことを特徴とするウエハへのテープ貼付装置。
【請求項５】
ウエハ及びダイシングフレームを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対し広幅ダイシングテープを順次供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対しダイシングテープを押圧する貼付ロールと、ダイシングフレームに貼り付いたダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するテープカッターとよりなるウエハへのダイシングテープ貼付装置において、
少なくとも吸着テーブルを挟む位置に、複数のテープ支持板を設け、該テープ支持板はそれぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在とし、少なくとも１つのテープ支持板をテープのウエハ及びダイシングフレームへの貼付時にテープにかかる張力を緩和するよう移動可能とする張力緩和装置を設けたことを特徴とするウエハへのテープ貼付装置。
【請求項６】
上記ウエハへのテープ貼付装置において、広幅テープの端部にクランプしてテープ支持板上に引き出すチャックユニットと、テープをテープ支持板に貼り付けた後にテープ支持板の外側の位置にて切断する切断機構と、吸着テーブル、テープ支持板、及び貼付ローラを収納して真空状態で貼付作業を行える真空チャンバとを有することを特徴とする請求項４又は５に記載のウエハへのテープ貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ウエハへの各種テープの貼り付けを行う貼付方法及び貼付装置に関し、更に詳しくはウエハへの各種テープの貼り付け時にテープのランニングコストを低減し、テープ貼り付け時にローテンション化が図れるとともに、真空下で気泡等なく貼り付けることができる方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製品の製造過程において、その表面に多数の回路パターンを形成した半導体ウエハを用い、このウエハを各機能素子毎に切断（ダイシング工程）して個々の半導体チップ（ダイ）とし、その後、この半導体チップをダイパッド上に搭載・固着（ダイボンディング工程）した後ワイヤボンディング等を行いＩＣやＬＳＩ等の製品を完成させるのが一般的である。
【０００３】
上記ウエハを用いた半導体製品の製造工程において、ウエハには必要に応じて図１９（ａ）〜（ｄ）に示すように種々のテープの貼付作業が行われる。
【０００４】
１）保護テープ（図１９（ａ））
ウエハ１の裏面の研削（バックグラインド）時の保護として、ウエハ１の表面（回路パターン２の形成面）に保護テープ３が貼り付けられている。この保護テープ３をウエハ１に貼り付けるにはロール状の広幅保護テープ３をウエハ１上に供給し、貼付ローラの押圧転動により保護テープ３をウエハ１の表面に貼り付けた後、ウエハ１の外周に沿って保護テープ３をくり抜いている。
【０００５】
しかし、最近の半導体チップの小型化に伴い、ウエハ１の薄厚化が進み、これらの保護テープ３の貼り付けの際の張力が強すぎた場合、保護テープ３の貼り付け時の残存応力によってウエハ１が反ったり破損する場合があった。
【０００６】
また、最近の半導体の高密度化に伴い、ウエハの表面上に凹凸の大きいバンプが形成されたウエハやＭＥＭＳ（マイクロエレクトロメカニカルシステム）等表面に凹凸が大きいウエハも増加しているが、これらのウエハに大気中で保護テープを貼り付けると気泡が入り易い問題があり、真空下での貼り付けが要求されている。
【０００７】
このため、保護テープを上チャンバと下チャンバの間に挟み込み、真空チャンバ内を真空とし、差圧を利用してウエハ表面に貼り付けることが行われている（例えば、特許文献１）。
【０００８】
２）ダイアタッチフィルム（図１９（ｂ））
ウエハ１の裏面（研磨面）にダイ接着用のダイアタッチフィルム４（以下、ＤＡＦ４）を貼り付けることが行われている。ＤＡＦ４の貼り付けにおいても気泡なく貼り付けるために、上記１）の保護テープ３と同様、ＤＡＦ４をチャンバに挟み込んで真空下での差圧を利用した貼り付けが行われている（例えば、特許文献２）。
【０００９】
３）ダイシングテープ（図１９（ｃ））
ウエハ１の裏面（研磨面）にダイシングテープ５（以下、Ｄ／Ｃテープ５）を介してダイシングフレーム６（以下、Ｄ／Ｃフレーム６）を貼り付けることが行われているが、この場合は次の２通りの方法が採られている。
(i) Ｄ／Ｃフレーム６とＤ／Ｃテープ５を貼り合わせた後、真空チャンバ内でウエハ１の裏面とＤ／Ｃテープ５を貼り付け、Ｄ／Ｃフレーム６と一体化させる。
(ii)Ｄ／Ｃフレーム６とウエハ１の裏面に同時にＤ／Ｃテープ５を貼り付け、Ｄ／Ｃフレーム６に沿ってＤ／Ｃテープ５を切断する。
【００１０】
４）両面テープ（支持基板用）（図１９（ｄ））
上記１）の保護テープ３に代えて再剥離性両面テープ７を介して支持基板８等が貼り付けられることもあるが、この場合も再剥離性両面テープ７の貼り付けの際には保護テープ３の貼り付け時と同様に、気泡が入らないよう真空チャンバを用いて真空下で貼り付ける技術が用いられる。
【００１１】
【特許文献１】特開昭６０−８０２４９号公報
【特許文献２】特開２００４−２８１５３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記各種テープの貼付工程においては、以下に示すような問題があった。
【００１３】
１）保護テープ
従来の方法は、真空チャンバ方式を適用した場合、テープ後端をチャンバで挟み込んだ状態で貼付作業を行う必要があり、テープにバックテンションを与えて張力調整することができないため、ウエハの反りや破損を防止することができなかった。
【００１４】
また、真空下で自動貼り付けを行うにはチャンバでのテープ挟み込みが必要であり、テープのロスが多く、テープの挟み込み位置で粘着剤がチャンバに付着するという問題や、真空チャンバでテープを挟んだ状態で貼付作業を行うため、この部分で空気のリークが多く、真空度が上がらないという問題もある。
【００１５】
２）ＤＡＦ
ＤＡＦの場合も保護テープの場合と同じく、真空下で自動貼り付けを行うにはチャンバでのテープ挟み込みが必要であり、テープのロスが多いという問題や、真空チャンバでテープを挟んだ状態のまま作業を行うため、リークが多く真空度が上がらないという問題があった。
【００１６】
更に、従来方法の貼り付けはチャンバでのテープ挟み込みが必要なため、加熱貼り付けが必要な熱可塑性のＤＡＦの場合、チャンバ内の蓄熱によるＤＡＦの伸縮を吸収できず、ＤＡＦにシワが入るため、精度の良い貼り付けができないという問題が生じた。
【００１７】
３）Ｄ／Ｃテープ
上記(i)の方法は、Ｄ／Ｃテープの周囲がＤ／Ｃフレームに固定されているため、加熱の必要なＤ／Ｃテープを貼り付ける場合、チャンバ内の蓄熱によるＤ／Ｃテープの伸縮によりＤ／Ｃテープにシワが入り精度の良い貼り付けができないという問題があった。
【００１８】
４）両面テープ（支持基板用）
両面テープの場合も、気泡無く貼るためには真空チャンバ内で貼付作業を行う必要があり、この際、テープ後端部をチャンバで挟むため、保護テープ３と同様、張力調整することができないことや、テープのロス、粘着剤がチャンバに付着すること、及び貼付作業の際の真空度が上がらないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記の課題を解決するための請求項１の発明は、吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハの直上に供給される広幅テープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ上に押圧することで貼り付け、その後テープをウエハ外形形状に切断するウエハへのテープ貼付方法において、少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、ウエハが載置された吸着テーブルの直上に引き出したテープを上昇位置にあるテープ支持板に貼り付けて固定し、貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させると共に、少なくとも１つのテープ支持板を貼付作業時にテープにかかる張力が緩和される方向に移動可能とした構成を採用したものである。
【００２０】
同じく請求項２の発明は、吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハ及びダイシングフレームの直上に供給される広幅のダイシングテープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ及びダイシングフレーム上に押圧することで貼り付け、その後にダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するウエハへのダイシングテープ貼付方法において、少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、ウエハ及びダイシングフレームが載置された吸着テーブルの直上に引き出したダイシングテープを上昇位置にあるテープ支持板に貼り付けて固定し、貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させると共に、少なくとも１つのテープ支持板を貼付作業時にダイシングテープにかかる張力が緩和される方向に移動可能とした構成を採用したものである。
【００２１】
同じく請求項３の発明は、上記請求項１又は２に記載のウエハへのテープ貼付方法において、チャックユニットで端部をクランプした幅広テープを、チャックユニットの移動により複数のテープ支持板の直上に引き出し、複数のテープ支持板にテープを貼り付けて固定した後にテープ支持板の外側の位置にてテープを切断し、その後ウエハを載置した吸着テーブルとテープを貼り付けたテープ支持板を真空チャンバ内にて真空状態にして貼付作業を行う構成を採用したものである。
【００２２】
同じく請求項４の発明は、ウエハを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハの直上に広幅テープを供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハに対しテープを押圧しつつ転動する貼付ロールと、ウエハに貼り付いたテープをウエハ外形形状に切断するテープカッターとよりなるウエハへのテープ貼付装置において、少なくとも吸着テーブルを挟んだ位置に複数のテープ支持板を設け、該テープ支持板はそれぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在とし、少なくとも１つのテープ支持板をテープのウエハへの貼付時にテープにかかる張力を緩和するよう移動可能とする張力緩和装置を設けた構成を採用したものである。
【００２３】
同じく請求項５の発明は、ウエハ及びダイシングフレームを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対し広幅ダイシングテープを順次供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対しダイシングテープを押圧する貼付ロールと、ダイシングフレームに貼り付いたダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するテープカッターとよりなるウエハへのダイシングテープ貼付装置において、少なくとも吸着テーブルを挟む位置に、複数のテープ支持板を設け、該テープ支持板はそれぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在とし、少なくとも１つのテープ支持板をテープのウエハ及びダイシングフレームへの貼付時にテープにかかる張力を緩和するよう移動可能とする張力緩和装置を設けた構成を採用したものである。
【００２４】
同じく請求項６の発明は、上記請求項４又は５に記載のウエハへのテープ貼付装置において、広幅テープの端部にクランプしてテープ支持板上に引き出すチャックユニットと、テープをテープ支持板に貼り付けた後にテープ支持板の外側の位置にて切断する切断機構と、吸着テーブル、テープ支持板、及び貼付ローラを収納して真空状態で貼付作業を行える真空チャンバとを有する構成を採用したものである。
【発明の効果】
【００２５】
上記請求項１の貼付方法の発明や、請求項４の貼付装置の発明によれば、ウエハへのテープ貼付時に複数のテープ支持板のうち少なくとも１つのテープ支持板を張力緩和機構により移動可能とすることで、各テープ支持板の間隔を変化させることができるので、テープ張力を緩和しながらウエハに貼り付けることが可能となり、貼り付け時の残存応力を低減（ローテンション化）できるので、ウエハの反りや破損を防止できる。
【００２６】
また、ＤＡＦ等において、熱可塑性のテープを使用する場合であっても機器の蓄熱に伴うテープ伸縮をテープ支持板の張力緩和機構により吸収し、シワのない貼り付けが可能となり、特に蓄熱し易い真空チャンバ内であってもシワのない精度の良い貼り付けができるようになる。
【００２７】
次に、上記請求項２の貼付方法の発明や、請求項５の貼付装置の発明によれば、従来、Ｄ／ＣテープとＤ／Ｃフレームを貼り合わせた後、Ｄ／Ｃフレームとウエハを真空チャンバ内で貼り合わせしていたものが、Ｄ／ＣフレームとウエハにＤ／Ｃテープを同時に貼り付けすることが可能となり、真空チャンバ内での同時貼り付けも可能となった。
【００２８】
また貼り付けに伴うＤ／Ｃテープに加わる張力をテープ支持板の張力緩和機構により吸収しウエハに対するローテンション化が可能になり、更に、熱可塑性のＤ／Ｃテープであってもシワを生じさせることなく貼り付け可能となった。
【００２９】
また、上記請求項３の貼付方法の発明や、請求項６の貼付装置の発明によれば、チャック引き出し方式を採用し、更に、テープ支持板に貼り付け後のテープをカットするようにしたので、必要最小限のテープのみを真空チャンバ内に供給できるようになり、テープのチャンバの挟み込みにより使用できない部分が無くなり、テープのランニングコストを低減しながら真空チャンバ内でのテープの貼り付けを自動化できるようになった。
【００３０】
また、真空チャンバの上下チャンバでのテープ挟み込みが不要となるので、チャンバに付着した粘着剤の処理が不要となるとともに、真空チャンバの真空度を高めることが可能となった。
【００３１】
更に、真空チャンバ内にてテープを貼り付けることができるので、ＭＥＭＳ等の表面の凹凸が大きなウエハでも真空度を高めて精度良くテープの貼り付けができるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、この発明の実施の形態を図示例と共に説明するが、背景技術で説明したものと同一の部品は同一の符号を付して説明する。
【００３３】
図１乃至図１０は、この発明に係るウエハへのテープ貼付方法及び装置の一例としてウエハ１に保護テープ３を貼り付ける方法及び装置を示すもので、図１は装置の全体構造を示す平面図であり、機台１０上に貼り付け前のウエハ１を上下多段に収納している貼付前ウエハ収納部１１と、供給されたウエハ１に対してアライメントを行うアライメント部１２と、２つの支持枠１３間でアライメント後のウエハ１に対して保護テープ３を貼り付けるテープ貼付機構と、貼付済ウエハ１′を収納する貼付済ウエハ収納部１４と、貼付前ウエハ収納部１１からアライメント部１２、テープ貼付機構、及び貼付済ウエハ収納部１４へとウエハ１を吸着して順次移送する搬送ロボット１５が設けられている。
【００３４】
上記アライメント部１２は、特にその構造を詳細に図示していないが、上下動と回転が自在となる吸着回転テーブル１６と、この吸着回転テーブル１６の外周に配置したセンサユニット１７とで構成され、吸着回転テーブル１６が、搬送ロボット１５により貼付前ウエハ収納部１１から取り出されたウエハ１を吸着支持し、この後、回転することにより、ウエハ１に形成してあるノッチ９をセンサユニット１７で検出し、ウエハ１の位置決めを行うことになる。
【００３５】
上記テープ貼付機構のうち、テープをウエハへ供給するテープ送り機構は、図１及び同図II−II矢視図である図２に示すように、支持枠１３，１３間の上部に位置し、広幅ロール方式の保護テープ３を巻回しているテープ供給リール１８と、テープ供給リール１８から保護テープ３を下方に誘導する一対のガイドローラ１９と、保護テープ３から離型シート２０を剥がす剥離ローラ２１と、剥がれた離型シート２０を下方に誘導するガイドローラ群２２と、この離型シート２０を巻き取る離型シート巻き取りリール２３と、離型シート２０の剥がれた保護テープ３を下部に誘導する下位ガイドローラ２４と、剥離ローラ２１と下位ガイドローラ２４間を移動するテープの傾斜状の走行路に平行に適宜手段にて移動自在な上流側テープチャックユニット２５と、下位ガイドローラ２４の前方に位置し、テープ貼付部上を水平方向に適宜手段にて前後往復移動自在の下流側テープチャックユニット２６とで形成されている。
【００３６】
上流側テープチャックユニット２５は、支持枠１３，１３の対向する内面に設けた傾斜状に設けられたレール２７に沿って適宜駆動源で往復移動可能なように設けられ、この上流側テープチャックユニット２５は、保護テープ３の粘着面となる下面を受ける非粘着処理が施されたローラ２８と、保護テープ３上からローラ２８に対してシリンダ２９で進退動自在となり、保護テープ３をローラ２８とで挟持するテープチャック３０を設けて形成され、図２の実線で示す上部原位置から同図二点鎖線の下部前進位置に移動することにより、その移動ストローク分だけ保護テープ３を引き出すことになる。
【００３７】
下流側テープチャックユニット２６は、支持枠１３，１３の対向する内面に水平方向に設けられたレール３１，３１間に、適宜駆動源で水平に一定ストロークを往復移動する下テープチャック３２と、この下テープチャック３２の前方に位置し、適宜駆動源で水平に一定ストロークを往復移動する貼付ローラ３３と、シリンダ３４等による上下動と適宜駆動源で水平に一定ストロークを往復移動することができ、下テープチャック３２とで保護テープ３を挟持する上テープチャック３５と、上テープチャック３５の前面にこの上テープチャック３５と一体に昇降動するよう配置され、上テープチャック３５の前後方向の移動方向に対して直交するテープの幅方向に移動自在となるカッター刃３６とで形成されている。
【００３８】
上記テープ貼付機構のうち、ウエハ１への保護テープ３の貼り付けは、開閉自在となる一対の下部チャンバ３７と上部チャンバ３８からなる真空チャンバ内で行われるようになっている。
【００３９】
下部チャンバ３７内の上面には、ウエハ１を上にして吸着保持する円形の吸着テーブル３９が設けられており、この吸着テーブル３９の中心部直下の位置に、シリンダ４０の作用で上下動して吸着テーブル３９上面から突出することにより、吸着テーブル３９からウエハ１を取り出す際にウエハ１を持ち上げるウエハ持上ピン４１が設けられている。
【００４０】
また、上記吸着テーブル３９を挟むようにテープ走行方向前後の位置に、ウエハ１への貼付直前の保護テープ３を支持するためのテープ支持板４２，４３が設けられており、これらテープ支持板４２，４３は、それぞれその下部にある駆動ユニット４４，４５によりその上面が吸着テーブル３９の上面とほぼ同じ高さから若干上昇した位置まで独立して昇降動可能となっている。
【００４１】
また下部チャンバ３７は、テープ走行方向に設けられたレール４６上を移動するガイド部材４７に固定されており、また、レール４６に並行に設けられモータ４８により可逆回転するボールネジ４９に螺合したナット部材５０がガイド部材４７に固定されているので、モータ４８の回転に従って、下部チャンバ３７は上部チャンバ３８の真下の原位置からテープ走行方向に沿う前進位置と若干の後退位置までの間を移動自在となっている。
【００４２】
上部チャンバ３８内の下面には、ウエハ１に保護テープ３を押圧して貼り付けるために、テープ幅方向に平行な軸を有し昇降動とテープ走行方向に沿う後退動が可能な貼付ローラ５１が設けられ、また、チャンバ内を真空にするためと大気圧へ戻すための空気の通路としての真空アダプタ５２が接続されている。
【００４３】
また、上部チャンバ３８は、支持枠１３に設けられた昇降シリンダ５３と開閉シリンダ５４の伸縮動作により上下に昇降動を行い、最下降状態で原位置にある下部チャンバ３７に重なり、上下チャンバにより囲まれた内部は密閉され、この状態で適宜な吸引源（図示しない）を通じて真空アダプタ５２を介して空気が抜かれて真空状態となる。
【００４４】
上部チャンバ３８のテープ送り方向前方で、下部チャンバ３７の最前進位置の真上には、下部チャンバ３７内の吸着テーブル３９に吸着されたウエハ１に貼り付けられた保護テープ３をウエハ１の外形形状に切り取るテープカッター機構５５が設けられている。
【００４５】
テープカッター機構５５は、支持枠１３に固定された昇降シリンダ５６と、同じく支持枠１３に上下方向に延びて設けられたレール５７と、レール５７に沿って上下移動自在で昇降シリンダ５６のシリンダ軸の伸縮に伴って昇降動するガイド部材５８と、このガイド部材５８に取り付けられた駆動モータ５９によりウエハ１の外形に沿って回転するテープカッター６０とからなる。
【００４６】
このテープカッター機構５５は、前記レール４６に沿って移動し最前進位置に達した下部チャンバ３７内のウエハ１に貼り付けられた保護テープ３に対し、昇降シリンダ５６の作用により下降した後、駆動モータ５９の駆動によりウエハ１の外形に沿ってテープカッター６０が回転し、広幅の保護テープ３をウエハ１の形状に切り抜く。
【００４７】
ウエハ１の形状に切り取られた保護テープ３が貼り付いた貼付済ウエハ１′は、図１９（ａ）に示す状態となり、その後搬送ロボット１５により貼付済ウエハ収納部１４に収納され、テープ支持板４２と４３に貼り付いたウエハ形状を切り抜かれた保護テープ３の残部（廃棄テープカス３′）は、上下動と前進後退動及び回転軸６１を軸とした回転が可能で、テープを挟み込む作用を有し、チャック部に非粘着処理が施された廃棄テープチャック６２によりテープ廃棄ボックス６３に収納される。
【００４８】
上記下部チャンバ３７内の吸着テーブル３９とテープ支持板４２，４３の詳細を図３の平面図、図４の一部切り欠き左側面図、及び図５の一部切り欠き右側面図を加えて説明する。
【００４９】
下部チャンバ３７内に設けられた吸着テーブル３９は、ウエハ１を支持する部分が吸引源となる吸着テーブル吸引ホース６４と接続したポーラスな吸着部材となっており、この吸着テーブル吸引ホース６４は、前記上部チャンバ３８に接続された真空アダプタ５２と別の吸引源に接続され、チャンバ内を真空とした際にもウエハ１を吸着保持するために真空アダプタ５２より強力な負圧がかかるようになっている。
【００５０】
また、テープ支持板４２は、シリンダやパルスモータ等の適宜手段にて上下昇降動する駆動ユニット４４の軸６５の上端部に取り付けらた昇降板６９に、張力緩和機構６８を介して取り付けられ、テープ支持板４３は、シリンダやパルスモータ等の適宜手段にて上下昇降動する駆動ユニット４５の軸６６の上端部に直接取り付けられている。
【００５１】
なお、軸６５，６６やウエハ持上ピン４１等の周囲は適宜なシール部材で空気漏れが防止されている。
【００５２】
そして、テープ支持板４２が取り付けられた昇降板６９とテープ支持板４３は、昇降動をガイドするガイド６７により両端部を支えられてスムーズな昇降動を確保しており、それぞれのテープ支持板４２と４３は駆動ユニット４４と４５により別個独立して上下動可能となっている。
【００５３】
これら駆動ユニット４４と４５は、パルスモータ等により制御された昇降動運動を与えるものや、調整された所定の速度で下降動を与えるシリンダ等を用いることができる。
【００５４】
前記テープ進行方向前側のテープ支持板４２に設けられた張力緩和機構６８は、テープ貼付時にテープに加わる張力を緩和するため、貼付ローラ５１の押圧転動方向と逆向き（図ではテープ送り方向と逆向き）にテープ支持板４２が前記昇降板６９に対して微少距離水平移動可能なようになっており、バネ等適宜緩衝材を用いてテープ支持板４２を水平方向に移動させるか、あるいは適宜な駆動ユニットを用いてテープ支持板４２を張力を制御しながら又は強制的に移動させるかするようになっている。
【００５５】
一方、後側のテープ支持板４３には、その中央付近に前述の廃棄テープチャック６２が廃棄テープカス３′を挟むための切欠部７０が設けられている。
【００５６】
なお、下部チャンバ３７の周囲上面部の上部チャンバ３８の周囲下面部と合わさる部分には、空気漏れを防ぐためのシール部材７１が設けられている。
【００５７】
以上、下部チャンバ３７内のテープ支持板４２，４３について説明したが、この発明におけるテープ支持板は、この実施形態のものに限定されるものではなく、３つ以上のテープ支持板を用いたり、テープ支持板に種々の形状や配置を採用してもよい。
【００５８】
この実施形態の装置を用いて、テープに熱可塑性のものを用いた場合、貼付ローラ５１の貼付作業のみならず、加熱に伴ってテープ全体が伸縮するが、テープの送り方向への伸縮は図示の張力緩和機構６８が吸収し、テープの幅方向の伸縮はテープ幅方向両端の側辺をテープ支持板に貼り付けずフリーとしたので張力の変化を逃がすことができ、テープ側辺のうちテープ支持板４２，４３に貼り付いた部分は円形のウエハ１から離れた位置にあるので問題は生じない。
【００５９】
しかしテープ伸縮の吸収に万全を期すため、例えばテープ支持板４２，４３をそれぞれテープ幅方向中央部付近で間隔を空けて分割し、分割した一方に他方との間隔を変化させるような張力緩和機構を組み込むようにしてもよい。
【００６０】
次に、上部チャンバ３８を昇降動させる機構を、図１VI−VI矢視図の図６を加えて説明すると、支持枠１３に固定された昇降シリンダ５３と、同じく支持枠１３に上下方向に延びて設けられたレール７２と、レール７２に沿って上下移動自在となるスライダ７３に取り付けられ昇降シリンダ５３のシリンダ軸の伸縮に伴って昇降動するガイド部材７４と、このガイド部材７４に取り付けられた開閉シリンダ５４のシリンダ軸７５の下端に上部チャンバ３８が取り付けられており、更にガイド部材７４と上部チャンバ３８との間に設けられた複数のガイド７６によりガイド部材７４に対する上部チャンバ３８のスムーズな昇降動を得るようにしている。
【００６１】
上部チャンバ３８は最下端まで下降動して真下の下部チャンバ３７と合わさることにより真空チャンバを形成するようになっている。
【００６２】
また、上記上部チャンバ３８のテープ送り方向前方には、両支持枠１３，１３に水平方向に延びるレール９２，９２が設けられ、これら両レール９２，９２にそれぞれスライダ９３，９３を嵌合し、この各スライダ９３に垂直方向に延びるレール９４を接続し、これら両レール９４，９４にそれぞれスライダ９５，９５を嵌合し、これら両スライダ９５，９５にガイド部材９６の両端部を接続し、このガイド部材９６の中央に回転軸６１を介して廃棄テープチャック６２が取り付けられている。
【００６３】
そして、スライダ９３のレール９２に沿った横方向移動、スライダ９５のレール９４に沿う上下昇降動、廃棄テープチャック６２の回転軸６１を中心とした回転動作、及び廃棄テープチャック６２のチャッキング動作は、それぞれ適宜手段（図示せず）にて駆動されるようになっており、こうすることにより廃棄テープチャック６２の前進後退動、上下昇降動、回転、及びテープのチャッキング動作が可能になっている。
【００６４】
次に下流側テープチャックユニット２６を図７の平面図及び図８の左側面図（図７VIII−VIII矢視図）を加えて説明すると、下流側テープチャックユニット２６の貼付ローラ３３、上テープチャック３５、及び、カッター刃３６は、両支持枠１３に設けられたレール３１，３１に嵌合したスライダ７７，７７に接続された移動体７８に設けられており、この移動体７８は適宜駆動手段によりレール３１に沿って移動可能となっている。
【００６５】
また上テープチャック３５は、移動体７８の両側に内面方向に向けて設けられている上下方向に延びたレール７９，７９に嵌合したスライダ８０，８０と一体となり、シリンダ３４の動作にて上下昇降動自在となっており、更に、カッター刃３６は、この上テープチャック３５の上面にテープ幅方向に延びたレール８１に沿って適宜駆動手段により移動するカッターユニット８２と一体に設けられており、貼付ローラ３３、上テープチャック３５、及びカッター刃３６は移動体７８のテープ送り方向の移動により一体に移動し、また、シリンダ３４の作用により上テープチャック３５、及びカッター刃３６は上下に昇降動し、更に、カッター刃３６はカッターユニット８２の移動に従いテープ幅方向への移動を行うようになっている。
【００６６】
上テープチャック３５の下面には保護テープ３を必要に応じて吸着保持するための吸着パッド８３が複数箇所設けられている。
【００６７】
一方、下テープチャック３２は上面に非粘着処理が施され、両支持枠１３の移動体７８のスライダ７７が嵌合したレール３１の下側に平行に設けられたレール８４に嵌合したスライダ８５と一体となり、移動体７８とは独立してテープ送り方向に適宜手段により移動自在となっている。
【００６８】
また、この下テープチャック３２の先端部上面には下降及びテープ幅方向に横切る際のカッター刃３６の刃先を逃がすカッター溝８６が設けられている。
【００６９】
次に上部チャンバ３８と下部チャンバ３７の詳細及び貼付工程時の動作を、図３IX−IX矢視図である図９（ａ）及び図１０（ｂ）を加えて説明すると、上部チャンバ３８内の上面にテープ走行方向に沿って延びたレール８７を取り付け、このレール８７にスライダ８８を嵌合し、上部チャンバ３８上に貼付ローラ駆動モータ８９を設け、この貼付ローラ駆動モータ８９の回転を上部チャンバ３８内の駆動ベルト９０に伝達し、この駆動ベルト９０にスライダ８８を取り付けることによりスライダ８８をレール８７に沿って往復走行させ、このスライダ８８の下面に昇降ユニット９１を介して上記貼付ローラ５１が取り付けられている。
【００７０】
図９（ａ）で、下部チャンバ３７内では、両テープ支持板４２，４３の上面に貼り付けられ、かつ後端部を切断された保護テープ３は、後端側のテープ支持板４３が駆動ユニット４５の作用により図９（ａ）二点鎖線図で示すように下降し、保護テープ３の後端部がウエハ１に接近した状態となる。
【００７１】
次に図１０（ｂ）に示すように、上部チャンバ３８が下降動して下部チャンバ３７に重なり両チャンバが密閉状態となった後、真空アダプタ５２を介して内部の空気を抜き、チャンバ内を真空状態とし、貼付ローラ５１は昇降ユニット９１の動作により下降した後、貼付ローラ駆動モータ８９の駆動によりスライダ８８と共に水平移動し、図中二点鎖線図及び矢印で示すように移動し、吸着テーブル３９上に載置したウエハ１と保護テープ３を上から押圧しながら転動し、保護テープ３はウエハ１に貼り付けされることになる。
【００７２】
その際、貼付ローラ５１のテープ送り方向への移動に伴い、保護テープ３にはテープの傾斜に沿ったテープ送り方向とは逆の方向への張力が加わるが、前側のテープ支持板４２に設けられた張力緩和機構６８によりテープ支持板４２が図示矢印方向に後退動して保護テープ３に加わる張力を緩和するので、保護テープ３は平面方向への張力が緩和された状態でウエハ１上に貼り付けられ、薄膜状のウエハ１に対して反りや破損が生じるのを防ぐことになる。
【００７３】
なお、張力緩和機構６８は張力方向にスムーズに移動させるため、傾斜させて設けられている。
【００７４】
また、本実施形態では貼付ローラ５１の移動に伴うテープ張力に追従させるようにしているが、テープ貼り付け前に予め張力を緩和させておき、テープを貼り付けることもできる。
【００７５】
次に、ウエハ１に対する保護テープ３の貼付方法の全体工程を、図１１乃至図１７の（ａ）〜（ｊ）に示す工程図を主体に用いて説明する。
【００７６】
図１１（ａ）の実線で示すものは初期の状態を示し、下流側テープチャックユニット２６の下テープチャック３２と貼付ローラ３３、上テープチャック３５、及びカッター刃３６が下位ガイドローラ２４に接近した原位置にあり、下テープチャック３２と下降した上テープチャック３５で保護テープ３の一端を挟持し、下部チャンバ３７は、上部チャンバ３８の真下の原位置に待機し、下部チャンバ３７内の吸着テーブル３９の上面には貼付前ウエハ供給部１１から供給された一枚のウエハ１が位置決め載置され、ウエハ１の前後位置にあるテープ支持板４２及び４３は駆動ユニット４４及び４５の作用によって上昇位置にある。また、上流側テープチャックユニット２５は、テープチャック３０がローラ２８から離反して保護テープ３の挟持を解き、かつ上部の原位置に待機している。
【００７７】
次に、上流側テープチャック２５は、チャック３０がローラ２８に接近動して保護テープ３の途中をチャッキングし、この上流側テープチャックユニット２５と下流側テープチャックユニット２６が同期移動することで一定の張力を保持しながら、図１１（ａ）の二点鎖線で示すように、上流側テープチャックユニット２５と下流側テープチャックユニット２６がそれぞれ前進位置に移動し、保護テープ３を下位ガイドローラ２４の前方へ所定長さだけ引き出すと共に、下部チャンバ３７も同図二点鎖線で示すテープ前進方向とは逆方向に若干後退動する。
【００７８】
図１１（ｂ）のように、下流側テープチャックユニット２６が前進位置に停止し、下部チャンバ３７が後退位置に停止して下部チャンバ３７内の吸着テーブル３９の直上に保護テープ３が臨んだ状態となると、図示二点鎖線で示すように、下流側テープチャックユニット２６は、上テープチャック３５が保護テープ３の先端を吸着パッド８３の作用により吸着した状態で上昇し、保護テープ３が引き離された下テープチャック３２は後退動して原位置に戻り、下部チャンバ３７内のテープ支持板４３の外側の位置で停止する。
【００７９】
次に、図１２（ｃ）のように、下流側テープチャックユニット２６の上テープチャック３５が下降動し、保護テープ３の先端を上昇位置にあるテープ支持板４２上に押し付けて貼着する。この貼着後に上テープチャック３５は吸着パッド８３の保護テープ３の吸引作用を停止して上昇し、図示二点鎖線で示すように上昇位置で後退動して原位置に戻り、先に戻っている下テープチャック３２の直上で間隔をおいて停止する。
【００８０】
上記上テープチャック３５の移動に伴い、貼付ローラ３３も図示二点鎖線で示すように連動して後退動し、テープ支持板４２からテープ支持板４３の直上まで転動することにより、保護テープ３をテープ支持板４２及びテープ支持板４３上に貼り付ける。
この時、両テープ支持板４２と４３の間の保護テープ３は張力緩和機構６８により所定の張力に保たれる。
【００８１】
図１２（ｄ）に示すように、上テープチャック３５と貼付ローラ３３が下テープチャック３２の上方に位置する原位置に戻ると、上テープチャック３５が下降動し、下テープチャック３２とで保護テープ３の途中をチャッキングする。そして、この状態でカッター刃３６が保護テープ３を横切る方向に往復作動し、該保護テープ３を上テープチャック３５の前面に沿って直線状に切断する。
なお、図７と図８と共に説明したように、上テープチャック３５と貼付ローラ３３は同じ移動体７８に設けてあるので、後退動は同時に行われるが、上テープチャック３５と貼付ローラ３３の移動は別々に行うような機構にしてもよい。
【００８２】
カッター刃３６が保護テープ３をカットすると、図１２（ｄ）二点鎖線のように、下部チャンバ３７は前進移動し、その結果、両テープ支持板４２と４３に貼着された保護テープ３は、カッター刃３６により切断された部分より後側を残して下部チャンバ３７と共に移動する。
【００８３】
図１３（ｅ）に示すように、下部チャンバ３７は上部チャンバ３８の真下の原位置まで前進移動した後停止し、その後、図示二点鎖線で示すように、テープ送り方向後側のテープ支持板４３が駆動ユニット４５の駆動により下降して、保護テープ３の後側端部がウエハ１の上面に接近するようにし、また、上部チャンバ３８が下降動して両チャンバが合わさりチャンバ内を密閉状態とする。
【００８４】
次に、図１３（ｆ）に示すように、密閉状態となったチャンバ内の空気を真空アダプタ５２を介して抜き、チャンバ内を真空状態とした後、上部チャンバ３８内に設けられていた貼付ローラ５１が下降してウエハ１の前側端部付近を保護テープ３上から押圧し、この状態で貼付ローラ５１が前進動し、ウエハ１上の保護テープ３を押圧しながら転動することにより、ウエハ１上全面にわたってテープ３を貼り付ける。
【００８５】
この時、貼付ローラ５１の前進動に伴い、前側のテープ支持板４２も駆動ユニット４４の制御された駆動によって順次下降動させることにより、保護テープ３の貼付ロール５１に押圧される部分をスムーズにウエハ１の上面へ下降させてゆく。
【００８６】
同時に、前述のように前側のテープ支持板４２に設けられた張力緩和機構６８が、貼付ローラ５１の移動に伴う保護テープ３に対して後側に加わる張力を、テープ支持板４２が後方に移動を許されることにより緩和する（図１０参照）。
【００８７】
図１４（ｇ）に示すように、貼付ローラ５１がウエハ１全面に対して保護テープ３の押圧による貼付を終了してウエハ１の後端部に達すれば、貼付ローラ５１は上昇動を行い、真空アダプタ５２を介してチャンバ内に空気を導入して大気圧をかける。大気圧に戻った後、上部チャンバ３８は上昇動を行う。
【００８８】
次に、下部チャンバ３７は、前進動して図示二点鎖線で示すテープカッター６０の下の位置まで移動し、テープカッター６０は、昇降シリンダ５６（図２参照）の作用によりウエハ１の周縁部に達するまで下降動する。
【００８９】
更に、図１５（ｈ）に示すように、駆動モータ５９の駆動により、テープカッター６０がウエハ１の外形に沿って保護テープ３を切断し、回転終了後に昇降シリンダ５６の作用によりテープカッター６０は上昇動して初期位置まで移動する。この作業中に、隣の上部チャンバ３８内では、貼付ローラ５１が初期位置に戻る。
【００９０】
次に、廃棄テープチャック６２が下降動と前進動を行って、この廃棄テープチャック６２がテープ支持板４３に貼り付けられた保護テープ３の後端部のうち切欠部７０にある保護テープ３の上下面を挟み込む。
【００９１】
次に、図１６（ｉ）に示すように、廃棄テープチャック６２は上昇動を行い、保護テープ３はウエハ１に貼り付けられた部分をウエハ１上に残し、テープカッター６０で切り取られた外側の部分（廃棄テープカス３′）が廃棄テープチャック６２に沿って上に引き上げられる。但し、図示二点鎖線で示すように、廃棄テープチャック６２で引き上げた反対側の前端部は、前側のテープ支持板４２に貼り付いたままの状態となる。
【００９２】
この状態で、下部チャンバ３７が後退動して図１６（ｉ）中の二点鎖線で示す上部チャンバ３８の真下の原位置まで戻ると、廃棄テープチャック６２と前側のテープ支持板４２との距離が廃棄テープカス３′の前後端部の距離より離れることになり、図１７（ｊ）に示すように、廃棄テープカス３′は自然にテープ支持板４２から外れることになる。
【００９３】
図示二点鎖線で示すように、廃棄テープチャック６２は回転軸６１を中心とした回転とチャッキングの解除を行ない、廃棄テープカス３′はテープ廃棄ボックス６３内に落ち込み、下部チャンバ３７では、シリンダ４０が動作しウエハ持上ピン４１が上昇し、テープ貼付済ウエハ１′を持ち上げ、持ち上げられたテープ貼付済ウエハ１′は搬送ロボット１５により貼付済ウエハ収納部１４へと移載される。
【００９４】
以上、この発明のウエハへの基板への貼付方法及び貼付装置を、ウエハ１への保護テープ３の貼り付けを例として説明したが、この発明の対象となるテープは保護テープ３に限定されることなく、図１９で示したＤＡＦ４、Ｄ／Ｃテープ５、又は再剥離性両面テープ７等に適用でき、また、テープの種類も熱可塑性テープ等種々の性質のテープを用いることができる。なお、テープの種類や性質を代えた場合は、それに応じて上述した実施形態を適宜構造を変更すること、例えば、熱可塑性テープを用いる場合は吸着テーブル３９等にヒータを加えたりすればよい。
【００９５】
図１８は、ウエハ１とＤ／Ｃフレーム６にＤ／Ｃテープ５を貼り付けるテープ貼付装置の実施形態を示すもので、当該実施形態における下部チャンバ３７の平面図であり、この実施形態の吸着テーブル１０１は、中央のウエハ１を吸着固定するウエハ吸着テーブル１０２と、ウエハ吸着テーブル１０２の周囲４ヶ所に設けられ、Ｄ／Ｃフレームを吸着固定するためのＤ／Ｃフレーム吸着パッド１０３とからなる。
【００９６】
この実施形態の場合、吸着テーブル１０１上に表面側の回路形成面側に保護テープ３等が貼り付けられたウエハ１をその裏面側を上にして載置すると共にＤ／Ｃフレーム６を載置してＤ／Ｃテープ５を貼り付けるものであり、テープ支持板４２と４３は、Ｄ／Ｃフレーム吸着パッドの外側に設けられているが、この吸着テーブル１０１以外の各部の構成や作用は、ウエハ１のみに保護テープ３を貼り付ける実施形態の下部チャンバ３７と同じである。
【００９７】
なお、この実施形態の場合、図示していないが、Ｄ／Ｃフレーム６を吸着テーブル１０１上のＤ／Ｃフレーム吸着パッド１０３上に移送する手段や、Ｄ／Ｃテープ５を貼り付け後にＤ／Ｃフレーム６に沿ってＤ／Ｃテープ５を切断するテープカッターや、Ｄ／Ｃテープ５を介してウエハ１が貼り付けられたＤ／Ｃフレーム６を次工程へ移送する手段や、必要に応じて他の手段を加えれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】この発明の装置の全体を示す平面図
【図２】図１のII−II矢視図
【図３】下チャンバの平面図
【図４】下チャンバの一部切欠左側面図
【図５】下チャンバの一部切欠右側面図
【図６】図１のVI−VI矢視図
【図７】テープチャックユニットの平面図
【図８】テープチャックユニットの左側面図（図７VIII−VIII矢視図）
【図９】（ａ）は真空チャンバ部を拡大した図３IX−IX矢視図
【図１０】（ｂ）は真空チャンバ部を拡大した図３IX−IX矢視図
【図１１】（ａ）（ｂ）はこの発明の貼付方法を示す説明図
【図１２】（ｃ）（ｄ）は同上の説明図
【図１３】（ｅ）（ｆ）は同上の説明図
【図１４】（ｇ）は同上の説明図
【図１５】（ｈ）は同上の説明図
【図１６】（ｉ）は同上の説明図
【図１７】（ｊ）は同上の説明図
【図１８】この発明の第２の実施形態における下部チャンバの平面図
【図１９】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）はこの発明のテープ貼付状態図
【符号の説明】
【００９９】
１      ウエハ
１′    貼付済ウエハ
２      回路パターン
３      保護テープ
３′    廃棄テープカス
４      ＤＡＦ
５      Ｄ／Ｃテープ
６      Ｄ／Ｃフレーム
７      再剥離性両面テープ
８      支持基板
９      ノッチ
１０    機台
１１    貼付前ウエハ収納部
１２    アライメント部
１３    支持枠
１４    貼付済ウエハ収納部
１５    搬送ロボット
１６    吸着回転テーブル
１７    センサユニット
１８    テープ供給リール
１９    ガイドローラ
２０    離型シート
２１    剥離ローラ
２２    ガイドローラ群
２３    離型シート巻き取りリール
２４    下位ガイドローラ
２５    上流側テープチャックユニット
２６    下流側テープチャックユニット
２７    レール
２８    ローラ
２９    シリンダ
３０    テープチャック
３１    レール
３２    下テープチャック
３３    貼付ローラ
３４    シリンダ
３５    上テープチャック
３６    カッター刃
３７    下部チャンバ
３８    上部チャンバ
３９    吸着テーブル
４０    シリンダ
４１    ウエハ持上ピン
４２，４３    テープ支持板
４４，４５    駆動ユニット
４６    レール
４７    ガイド部材
４８    モータ
４９    ボールネジ
５０    ナット部材
５１    貼付ローラ
５２    真空アダプタ
５３    昇降シリンダ
５４    開閉シリンダ
５５    テープカッター機構
５６    昇降シリンダ
５７    レール
５８    ガイド部材
５９    駆動モータ
６０    テープカッター
６１    回転軸
６２    廃棄テープチャック
６３    テープ廃棄ボックス
６４    吸着テーブル吸引ホース
６５，６６    軸
６７    ガイド
６８    張力緩和機構
６９    昇降板
７０    切欠部
７１    シール部材
７２    レール
７３    スライダ
７４    ガイド部材
７５    シリンダ軸
７６    ガイド
７７    スライダ
７８    移動体
７９    レール
８０    スライダ
８１    レール
８２    カッターユニット
８３    吸着パッド
８４    レール
８５    スライダ
８６    カッター溝
８７    レール
８８    スライダ
８９    貼付ローラ駆動モータ
９０    駆動ベルト
９１    昇降ユニット
９２    レール
９３    スライダ
９４    レール
９５    スライダ
９６    ガイド部材
１０１  吸着テーブル
１０２  ウエハ吸着テーブル
１０３  Ｄ／Ｃフレーム吸着パッド
【図１】
2006278927.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006278927.tif 000007
【図６】
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【図７】
2006278927.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2006278927.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2006278927.tif 000017
【図１６】
2006278927.tif 000018
【図１７】
2006278927.tif 000019
【図１８】
2006278927.tif 000020
【図１９】
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