(57)【要約】【課題】  積層体チップの製造に際して、下敷シートの折り曲げ作業に手間がかかるという問題を同時に解消する。【解決手段】  セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シート１１を、可撓性を有する下敷シート１３に貼着した状態で、多数個の積層体チップ１２が縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に切断する。次いで、下敷シート１３を、積層体チップ１２群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの対角線ＤＬ方向に積層体チップ１２群が外側に位置するように湾曲させた状態で、円筒状の収容治具１４′内に挿入する。次いで、下敷シート１３を収容治具１４′ごと加熱することにより、下敷シート１３に対する積層体チップ１２群の接着力を低下させるかなくすか又は下敷シート１３を焼失させる。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートを、可撓性を有する下敷シートに貼着した状態で、多数個の積層体チップが縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に切断し、
次いで、前記下敷シートを、前記積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させることを特徴とする積層体チップの製造方法。
【請求項２】
セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートを、可撓性を有する下敷シートに貼着した状態で、多数個の積層体チップが縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に切断し、
次いで、前記下敷シートを、前記積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させながら、前記斜めの方向に対して直角の方向に引き伸ばすことを特徴とする積層体チップの製造方法。
【請求項３】
セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートを、可撓性を有する下敷シートに貼着した状態で、多数個の積層体チップが縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に切断し、
次いで、前記下敷シートを、前記積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させた状態で加熱することにより、前記下敷シートに対する前記積層体チップ群の接着力を低下させるかなくすか又は当該下敷シートを焼失させることを特徴とする積層体チップの製造方法。
【請求項４】
前記加熱が、前記下敷シートを筒状の収容治具内に挿入した状態で行われることを特徴とする請求項３に記載した積層体チップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば積層型セラミックコンデンサ等のような積層型電子部品を製造するにあたって、セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートから、多数個の積層体チップを分割して製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の積層体チップを製造するにあたっては、まず、多数個の吸引穴が形成された載置台の上面に、内部電極が予め形成されたセラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートを載せ、各吸引穴から真空吸引して積層体シートを載置台上に吸着保持した状態で、当該積層体シートを昇降動カッタにて多数個の積層体チップが縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に押し切りするという方法が採用されている。
【０００３】
しかし、従来の方法では、積層体シートを昇降動カッタにて押し切りすることから、例えば積層体シートにおいて前の押し切りにて形成された切断面同士が、次の押し切りの際に互いに押し付けられて密着してしまう場合がある。このため、押し切りしただけでは、いくつかの積層体チップがくっつき合ったままになるという問題があった。
【０００４】
これに対して特許文献１には、切断工程を経た後に、可撓性を有する下敷シートと積層体チップ群とを互いに重ね合わせた状態で湾曲させるという方法が提案されている。この方法によると、隣接する積層体チップの切断面同士を切断後の湾曲にて引き離すことができるので、湾曲後に下敷シートを平らな状態に戻したりしても、一旦引き離された前記切断面同士が再び密着することを少なくできる。
【特許文献１】特開平８−１７２０２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１の方法では、切断工程を経た後に、互いに重なり合った下敷シートと積層体チップ群とを、例えば積層体チップ群の縦列方向に沿って湾曲させたのち、横列方向に沿って湾曲させるという２回の曲げ作業を経なければ、全ての切断面間を引き離すことができない。このため、当該曲げ作業に手間がかかる分だけ、生産性が低下すると共に製造コストが嵩むという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明はこのような問題を解消した積層体チップの製造方法を提供することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この技術的課題を解決するため、請求項１の発明は、セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートを、可撓性を有する下敷シートに貼着した状態で、多数個の積層体チップが縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に切断し、次いで、前記下敷シートを、前記積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させるというものである。
【０００８】
請求項２の発明は、セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートを、可撓性を有する下敷シートに貼着した状態で、多数個の積層体チップが縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に切断し、次いで、前記下敷シートを、前記積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させながら、前記斜めの方向に対して直角の方向に引き伸ばすというものである。
【０００９】
請求項３の発明は、セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートを、可撓性を有する下敷シートに貼着した状態で、多数個の積層体チップが縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に切断し、次いで、前記下敷シートを、前記積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させた状態で加熱することにより、前記下敷シートに対する前記積層体チップ群の接着力を低下させるかなくすか又は当該下敷シートを焼失させるというものである。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項３に記載した積層体チップの製造方法において、前記加熱が、前記下敷シートを筒状の収容治具内に挿入した状態で行われるというものである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明によると、セラミック製グリーンシートを複数枚重ね合わせてなる積層体シートを、可撓性を有する下敷シートに貼着した状態で、多数個の積層体チップが縦列方向と横列方向とに並ぶようにマトリクス状に切断し、次いで、前記下敷シートを、前記積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させることにより、前記積層体チップ群における縦列方向に平行な切断面間と、横列方向に平行な切断面間とを１回の湾曲にて同時に引き離すことができる。すなわち、前記下敷シートの曲げ作業を１回行うだけで、前記積層体チップ群における全ての切断面間を引き離すことができる。
【００１２】
つまり、１回の曲げ作業で、全ての積層体チップを互いにくっつき合うことを効果的に抑制することができるから、下敷シートの曲げ作業の手間を減らすことができて、積層体チップの生産性向上及び製造コスト抑制に寄与することができるという効果を奏する。
【００１３】
請求項２の発明によると、切断工程を経た後に、下敷シートを、積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させながら、前記斜めの方向に対して直角の方向に引き伸ばすことにより、前記積層体チップ群における全ての切断面間を、請求項１の場合よりも大きな間隔で引き離すことができる。これにより、前記した効果を助長することができるという効果を奏する。
【００１４】
請求項３の発明によると、切断工程を経た後に、下敷シートを、積層体チップ群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に前記積層体チップ群が外側に位置するように湾曲させた状態で加熱するから、１回の曲げ作業にて前記積層体チップ群における全ての切断面間を引き離すことができるだけでなく、前記加熱中も、前記積層体チップ群における全ての切断面間を引き離した状態に維持することができる。これにより、隣接する積層体チップ同士が加熱により融着（一体化）するのを確実に防止することができるという効果を奏する。
【００１５】
しかも、前記加熱により、前記下敷シートに対する前記積層体チップ群の接着力を低下させるかなくすか又は前記下敷シートを焼失させるので、前記下敷シートから前記各積層体チップをばらばらの状態で簡単に分離することができるという効果を奏する。
【００１６】
請求項４の発明によると、前記加熱が前記下敷シートを筒状の収容治具内に挿入した状態で行われるので、前記加熱により、前記下敷シートに対する前記積層体チップ群の接着力が低下するかなくなるか又は前記下敷シートを焼失させた後も、前記各積層体チップは、周囲に飛び散ることなく前記収容治具内に収容されたままになる。従って、加熱後における前記積層体チップ群の取り扱いが容易になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明の実施形態を図面（図１〜図７）に基づいて説明する。
【００１８】
図１〜図４は本発明の第１実施形態を示している。図１は積層体シートを切断する工程を示す側断面図、図２は下敷シートに貼着された積層体チップ群を示す概略斜視図、図３は下敷シートを湾曲させる工程を示す概略斜視図、図４は図３のＩＶ−ＩＶ視断面図である。
【００１９】
図１に示すように、下敷シート１３を介して積層体シート１１が載置される載置台１は中空状に形成されたものである。載置台１の上面には、上下方向に貫通する多数個の吸引穴２が穿設されている一方、下面には、真空ポンプ等の吸引源（図示せず）に連通接続された真空吸引口３が穿設されている。第１実施形態では、前述の吸引源を駆動させて各吸引穴２から外気を吸引することにより、載置台１の上面に積層体シート１１を下敷シート１３ごと吸着保持するように構成されている。
【００２０】
積層体シート１１は、内部電極（図示せず）が予め形成されたセラミック製グリーンシートの複数枚を、重ね合わせた状態でプレス成形することにより一体化させた平面視略矩形状のものである。また、下敷シート１３は、例えば合成樹脂のような可撓性を有する素材製で平面視略矩形状のものである。下敷シート１３の片面（表面）には、加熱にて発泡するようにした発泡性接着層（図示せず）が設けられている。なお、前記発泡性接着層に代えて、加熱にて軟化させることにより前記下敷シートに対する前記積層体チップ群の接着力を低下させるか又はなくすようにした熱軟化性接着層を採用してもよい。
【００２１】
第１実施形態では、下敷シート１３の表面に積層体シート１１を貼着した状態で、積層体シート１１が下敷シート１３の四周側縁から外にはみ出さないように、下敷シート１３の表裏面の面積が積層体シート１１の表裏面の面積より一回り大きく設定されている。
【００２２】
積層体チップを製造するに際しては、まず、載置台１の上面に、発泡性接着層を上にして下敷シート１３を載せ、この下敷シート１３の表面に積層体シート１１を発泡性接着層を介して貼着する。
【００２３】
積層体シート１１の貼着後は、各吸引穴２から真空吸引して積層体シート１１を載置台１上に吸着保持した状態で、昇降動カッタ４を、積層体シート１１に向けて押し切るように下降動させたのち上昇動させるという切断動作を実行する。そして、前述の切断動作を、積層体シート１１の向かい合う二辺に平行なＸ軸方向に適宜ピッチＰ１の間隔で繰り返したのち、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に適宜ピッチＰ２の間隔で繰り返すことにより、積層体シート１１を、多数個の積層体チップ１２が縦列方向（Ｘ軸方向）と横列方向（Ｙ軸方向）とに並ぶようにマトリクス状に分割する（図１及び図２参照）。
【００２４】
次いで、下敷シート１３の裏面に接着剤（図示せず）を塗布したのち、図３に示すように、下敷シート１３を、円筒状に形成された収容治具１４の外周面に、積層体チップ１２群における縦列方向（Ｘ軸方向）と横列方向（Ｙ軸方向）とに対して傾斜する斜めの方向（一方の対角線ＤＬ方向）に湾曲するように巻き付ける。この巻き付けに際して、積層体チップ１２群は収容治具１４の半径外側に位置させている。
【００２５】
上記のように、下敷シート１３を、積層体チップ１２群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に積層体チップ１２群が外側に位置するように湾曲させると、積層体チップ１２群における縦列方向に平行な切断面間と、横列方向に平行な切断面間とを、１回の湾曲にて同時に引き離すことができる（前記各切断面間に隙間ＶＡを形成することができる）。すなわち、下敷シート１３の曲げ作業を１回行うだけで、積層体チップ１２群における全ての切断面間を引き離すことができる。
【００２６】
つまり、１回の曲げ作業で、全ての積層体チップ１２を互いにくっつき合うことを効果的に抑制する（くっつかないようにする）ことができるから、下敷シート１３の曲げ作業の手間を減らすことができて、積層体チップ１２の生産性向上及び製造コスト抑制に寄与することができるという効果を奏する。
【００２７】
この巻き付けの工程においては、下敷シート１３を、積層体チップ１２群における斜めの方向（一方の対角線ＤＬ方向）に積層体チップ１２群が外側に位置するように、収容治具１４の外周面に巻き付けながら、前記下敷シート１３を、前記斜めの方向に対して直角の方向（他方の対角線ＤＬ′方向、図３参照）に引き伸ばすようにしてもよい。
【００２８】
このようにすると、積層体チップ１２群における全ての切断面間を、より大きな間隔で引き離すことができる。換言すると、積層体チップ１２群における全ての切断面間の引き離し間隔（隙間ＶＡ）をより広げることができる。これにより、隣接する積層体チップ１２の切断面同士のくっつき抑制効果を助長することができるという効果を奏する。
【００２９】
下敷シート１３を収容治具１４の外周面に巻き付けた後は、当該下敷シート１３を収容治具１４ごと前記発泡性接着層の発泡温度にまで加熱する。すると、積層体チップ１２群における全ての切断面間を引き離した状態のままで、前記発泡性接着層が発泡して、下敷シート１３に対する積層体チップ１２群の接着力が急激に低下するか又はなくなるから、その後、積層体チップ１２群は下敷シート１３から簡単に剥離又は脱落する。下敷シート１３は加熱にて焼失させてもよい。
【００３０】
上記のように、下敷シート１３を、積層体チップ１２群における斜めの方向（一方の対角線ＤＬ方向）に積層体チップ１２群が外側に位置するように湾曲させた状態で加熱すると、この加熱中も、積層体チップ１２群における全ての切断面間を引き離した状態に維持することができる。これにより、隣接する積層体チップ１２同士が加熱により融着（一体化）するのを確実に防止することができるという効果を奏する。
【００３１】
しかも、前記加熱により、下敷シート１３に対する積層体チップ１２群の接着力を低下させるかなくすか又は下敷シート１３を焼失させるので、下敷シート１３から各積層体チップ１２をばらばらの状態で簡単に分離（取り外し）することができるという効果を奏する。
【００３２】
図５及び図６は本発明の第２実施形態を示している。図５は下敷シートを湾曲させる工程を示す概略斜視図、図６は図５のＶＩ−ＶＩ視断面図である。
【００３３】
第２実施形態では収容治具の利用の仕方が第１実施形態の場合と相違している。すなわち、第２実施形態においては、載置台１の上面に発泡性接着層を上にして下敷シート１３を載せてから、積層体シート１１を、多数個の積層体チップ１２が縦列方向（Ｘ軸方向）と横列方向（Ｙ軸方向）とに並ぶようにマトリクス状に分割するまでの手順は、第１実施形態の場合と同様である。
【００３４】
積層体シート１１の切断後は、図５に示すように、下敷シート１３を、積層体チップ１２群における縦列方向（Ｘ軸方向）と横列方向（Ｙ軸方向）とに対して傾斜する斜めの方向（対角線ＤＬ方向）に積層体チップ１２群が外側に位置するように略筒状に湾曲させた状態で、円筒状の収容治具１４′内に挿入する。
【００３５】
次いで、下敷シート１３を収容治具１４′ごと、前記発泡性接着層の発泡温度にまで加熱する。すると、積層体チップ１２群における全ての切断面間を引き離した状態のままで、前記発泡性接着層が発泡して、下敷シート１３に対する積層体チップ１２群の接着力が急激に低下するか又はなくなるから、この場合も、積層体チップ１２群は下敷シート１３から簡単に剥離又は脱落する。下敷シート１３は加熱にて焼失させてもよい。
【００３６】
上記のように、下敷シート１３の加熱を、当該下敷シート１３を収容治具１４′内に挿入した状態で行うと、前記加熱により、下敷シート１３に対する積層体チップ１２群の接着力が低下するかなくなるか又は下敷シート１３を焼失させた後も、各積層体チップ１２は、周囲に飛び散ることなく収容治具１４′内に収容されたままになる。従って、加熱後における積層体チップ１２群の回収・運搬等の取り扱いが容易になるという効果を奏する。
【００３７】
本発明は、前述の実施形態に限らず、様々な態様に具体化することができる。例えば積層体シートや下敷シートの平面視形状は略矩形状に限るものではなく、円形状や多角形状などの様々な形状を採用することができる。
【００３８】
例えば下敷シートは、収容治具の外周面に巻き付けたり、収容治具内に湾曲状態で挿入したりするに限らず、図７に示すように、下敷シート１３を、山型基台２１における一方の傾斜面２１ａから丸角コーナ部２１ｂを超えて他方の傾斜面２１ｃまでスライド移動させることにより、当該下敷シート１３を、積層体チップ１２群における縦列方向と横列方向とに対して傾斜する斜めの方向に積層体チップ１２群が外側に位置するように湾曲させてもよい。
【００３９】
その他、各部の構成は図示の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１実施形態における積層体シートを切断する工程を示す側断面図である。
【図２】下敷シートに貼着された積層体チップ群を示す概略斜視図である。
【図３】下敷シートを湾曲させる工程を示す概略斜視図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ視断面図である。
【図５】第２実施形態における下敷シートを湾曲させる工程を示す概略斜視図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ視断面図である。
【図７】下敷シートを湾曲させる工程の別例を示す側断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
ＤＬ  対角線
ＶＡ  隙間
１１  積層体シート
１２  積層体チップ
１３  下敷シート
１４  収容治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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