(57)【要約】【課題】  従来の超音波洗浄装置では、超音波と洗浄液又は流体ジェットによる洗浄であるので、微細な付着物の除去や汚物の除去が迅速に行われないという問題がある。【解決手段】  被洗浄基板９に対してホーン１０が適宜傾斜されて装着され、ホーン１０の先端に柔軟性の材質からなる球面振動体１１が装着され、ホーン１０の先端と対向する背面に圧電体振動子１２が装着され、圧電体振動子１２には高周波発振器１３及び低周波発振器１４が接続され、ホーン１０の側部に注水ノズル１５が装着され、注水ノズル１５からの洗浄液は球面振動体１１に沿って流れるように噴射されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄される被洗浄基板と、該被洗浄基板に対して傾斜して装着されたホーンの先端に球面振動体を装着し、前記先端と対向する背面に圧電体振動子を装着した振動子本体と、該振動子本体の前記圧電体振動子に接続された発振器と、前記球面振動体の側部に装着された注水ノズルと、該注水ノズルに洗浄液を供給する洗浄液供給装置とからなり、前記発振器からの発振信号によって前記球面振動体より超音波振動を発生するとともに、前記注水ノズルから洗浄液を噴射して、前記被洗浄基板の異物を除去することを特徴とする超音波洗浄装置。
【請求項２】
前記球面振動体は合成樹脂からなる振動伝達体で構成されていることを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。
【請求項３】
前記発振器として、高周波発振器と低周波発振器が接続され、前記圧電体振動子を多周波振動子とすることを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子本体の側部から注水した洗浄液を先端の球面振動体に回り込ませて被洗浄基板を洗浄する超音波洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の超音波洗浄装置としては、図２に示すように、ハウジング１の側部に洗浄液を供給する洗浄液供給口１ａを形成し、この洗浄液供給口１ａに洗浄液供給装置２が接続され、ハウジング１の端部にノズル１ｂを形成し、ノズル１ｂの前面に被洗浄基板３が装着され、ノズル１ｂの対向する背面に圧電体振動子４が装着され、圧電体振動子４に発振器５が接続された超音波洗浄装置が提案され、又、図３に示すように、ハウジング６の側部に気体を供給する気体供給口６ａを形成し、気体供給口６ａに気体供給装置７が接続され、ハウジング６の先端にノズル６ｂを形成し、ノズル６ｂの前面に被洗浄基板３が装着され、ノズル６ｂの対向する背面に液体供給口６ｃが形成され、この液体供給口６ｃに液体供給装置８が接続された超音波洗浄装置が提案されている。
【０００３】
このように構成された図２の従来例では、洗浄液供給口１ａからハウジング１内に供給された洗浄液は、背面に装着された圧電体振動子４から発生した超音波で加速されるとともに、圧電体振動子４から発生した超音波を洗浄液とともにノズル１ｂから押し出すようにして、ノズル１ｂの前面に装着された被洗浄基板３を洗浄するように構成され、さらに、図３の洗浄装置では、ハウジング６の背面の液体供給口６ｃに液体供給装置８から供給された洗浄液はハウジング６の側部の気体供給口６ａに気体供給装置７からから供給された気体と混合され、ノズル６ｂから吐出される洗浄液は気体が膨張する速度によって水滴が飛ばされ、それによって、衝撃波を発生して、流体ジェットでノズル４ｂの前面に装着された被洗浄基板３を洗浄するように構成している。
【０００４】
しかしながら、このように構成された図２の超音波洗浄装着では、ハウジング１に供給された洗浄液は、圧電体振動子４で発生した超音波によって加速されるだけであるから、あまり加速が付かず、洗浄液とともに放射される超音波で被洗浄基板を洗浄するために、微細な付着物の除去や汚物の除去が迅速に行われないという問題があり、又、図３の洗浄装置では、ノズル６ｂから気体と洗浄液との混合物が吐出されると、気体が拡散膨張する速度で水滴を飛ばすようにしているが、洗浄液の流体ジェットでは、微細な付着物の除去や汚物の除去が迅速に行われないという問題があった。
【特許文献１】特願２００１−３６６４３２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、従来の超音波洗浄装置では、超音波と洗浄液又は流体ジェットによる洗浄であるので、微細な付着物の除去や汚物の除去が迅速に行われないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明では、振動子本体は、洗浄される被洗浄基板に対してホーンが傾斜して装着され、球面振動体がホーンの先端に装着され、圧電体振動子がホーンの先端と対向する背面に装着されて構成され、発振器が振動子本体の圧電体振動子に接続され、注水ノズルが球面振動体の側部に装着され、洗浄液供給装置から注水ノズルに洗浄液を供給され、発振器からの発振信号によって球面振動体より超音波振動を発生するとともに、注水ノズルから洗浄液を噴射して、被洗浄基板の異物を除去するものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の超音波洗浄装置では、ホーンの先端に球面振動体を装着し、この球面振動体に側部から洗浄液を注水ノズルで供給することにより、球面振動体の前面に洗浄液を流し、この洗浄液に圧電体振動子で発生した超音波をホーンで拡大して照射することにより、球面振動体の前面の洗浄液をジェット噴流とし、さらに、球面振動体より発生して超音波で被洗浄基板を振動させ、洗浄液のジェット噴流により衝撃波を発生させることにより、被洗浄基板に付着している異物を剥がして除去することができるという利点があり、又、発振器に高周波発振器と低周波発振器を接続することにより、被洗浄基板を低周波超音波で振動させ、高周波超音波で洗浄液をジェット噴流とすることにより、さらに強力に被洗浄基板に付着している異物を除去することができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明では、振動子本体は、洗浄される被洗浄基板に対してホーンが傾斜して装着され、球面振動体がホーンの先端に装着され、圧電体振動子がホーンの先端と対向する背面に装着されて構成され、高周波発振器と低周波発振器が振動子本体の圧電体振動子に接続され、注水ノズルが球面振動体の側部に装着され、洗浄液供給装置から注水ノズルに洗浄液を供給され、低周波発振器からの発振信号によって球面振動体より発生する低周波の超音波により被洗浄基板を振動し、高周波発振器からの高周波の超音波により、注水ノズルから噴射された洗浄液をジェット噴流として、被洗浄基板の異物を除去するものである。
【実施例】
【０００９】
図１は本発明の実施例の超音波洗浄装置の側面図で、被洗浄基板９に対してホーン１０が適宜傾斜されて装着され、ホーン１０の先端に柔軟性の材質からなる球面振動体１１が装着され、ホーン１０の先端と対向する背面に圧電体振動子１２が装着され、圧電体振動子１２には高周波発振器１３及び低周波発振器１４が接続され、ホーン１０の側部に注水ノズル１５が装着され、この注水ノズル１５に洗浄液供給装置１６が接続され、注水ノズル１５からの洗浄液は球面振動体１１に沿って流れるように噴射されている。
【００１０】
このように構成された本実施例の超音波洗浄装置では、洗浄液供給装置１６から注水ノズルに洗浄液が供給されると、注水ノズル１５から洗浄液を球面振動体１１に沿って噴射され、球面振動体１１の周囲及び被洗浄基板９の面に溜まるので、高周波発振器１３及び低周波発振器１４を駆動すると、低周波発振器１４によって発生した低周波の超音波は球面振動体１１を通り、被洗浄基板９の表面に溜まった洗浄液を介して被洗浄基板９を振動し、又、高周波発振器１３によって発生した高周波の超音波は球面振動体１１の表面に流れている洗浄液をジェット噴流とすることにより、被洗浄基板９の表面に溜まった洗浄液に被洗浄基板９の低周波振動とジェット噴流の高周波振動により衝撃波を発生するので、被洗浄基板９の表面に付着した異物を低周波振動と高周波振動による洗浄液の衝撃波によって除去することができる。
【００１１】
このように、本実施例では、球面振動体１１の表面に注水ノズル１５から洗浄液を噴射し、高周波発振器１３による洗浄液のジェット噴流の高周波振動と、低周波発振器１４による被洗浄基板９の低周波振動により、洗浄液に衝撃波が発生し、この衝撃波により被洗浄基板９に付着している異物を除去することができるという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
なお、上記実施例において、ホーン１０に装着した圧電体振動子１２に高周波発振器１３及び低周波発振器１４を接続したが、予め決められた周波数の１つの発振器を接続しても、被洗浄基板９の振動と洗浄液のジェット噴流による衝撃波を発生することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例の超音波洗浄装置の側面図である。
【図２】従来の超音波洗浄装置の側面断面図である。
【図３】従来の他の超音波洗浄装置の側面断面図である。
【符号の説明】
【００１４】
９                被洗浄基板
１０              ホーン
１１              球面振動体
１２              圧電体振動子
１３              高周波発振器
１４              低周波発振器
１５              注水ノズル
１６              洗浄液供給装置
【図１】
2006122822.tif 000003
【図２】
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【図３】
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