(57)【要約】【課題】  各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきを減少することのできる液滴吐出装置及び該液滴吐出装置によって製造された各機能層の特性ばらつきが減少した電気光学装置の製造方法、該電気光学装置の製造方法によって製造された電子機器を提供する。【解決手段】  液滴吐出装置３０に、描画データに基づいた第１の駆動信号Ｓ１を生成する第１の回路部３２と、各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに基づいた制御信号Ｓ３に応じて第１の駆動信号Ｓ１を変化させて圧電素子４５を駆動制御させる第２の回路部５０を備えた。そして、第２の回路部５０では、１回の吐出駆動にてノズルから吐出される液滴の量が、全てのノズルで均一になるような制御信号Ｓ３が生成されるようにした。【選択図】    図５
2006281102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを具備し、アクチュエータを駆動させることによって前記各ノズルから液状組成物を吐出する液滴吐出装置において、
描画データに基づいた第１の駆動信号を生成する第１の駆動信号生成回路と、
前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じた制御信号を生成する制御信号生成回路と、
前記第１の駆動信号を前記制御信号に基づいて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性を補正する第２の駆動信号を生成する第２の駆動信号生成回路と
を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記第２の駆動信号生成回路は、可変抵抗素子であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出装置において、
前記可変抵抗素子は、ＭＯＳトランジスタで構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一つに記載の液滴吐出装置において、
前記アクチュエータは、圧電素子であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一つ記載の液滴吐出装置において、
前記第２の駆動信号生成回路は、前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきを与えるデータを書換え可能に記憶する記憶回路に接続されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
基板上にマトリクス状に配置された複数の画素電極と、前記各画素電極上にデータ信号に応じてその光学特性が制御される機能層と、を備えた電気光学装置を、液滴吐出ヘッドのノズルから前記画素電極上に、前記機能層を構成する機能材料を溶媒中に分散または溶解した液状組成物を吐出することによって形成する電気光学装置の製造方法において、
描画データに基づいた第１の駆動信号を前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性を補正する第２の駆動信号を生成し、該第２の駆動信号を、前記ノズルに対して設けられたアクチュエータに供給して同第２の駆動信号に基づいた量の前記液状組成物を前記画素電極上に吐出する吐出工程と、
前記画素電極上に吐出された前記液状組成物から前記溶媒を除去する除去工程と
を備えていることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記アクチュエータは、圧電素子であって、
前記吐出工程は、前記圧電素子に供給される駆動信号の大きさを前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させることで、前記各ノズル間の液滴吐出量のばらつきを減少させるようにしたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載の電気光学装置の製造方法によって製造された電気光学装置を具備したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイに替わるフラットパネルディスプレイとして有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（以下、有機ＥＬディスプレイ）が注目されている。有機ＥＬディスプレイは、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子）を発光素子として使用した自発発光型ディスプレイであるので、液晶ディスプレイのようにバックライトを使用しない。このため低消費電力化が図れる等の利点が挙げられる。
【０００３】
この種の有機ＥＬディスプレイにおける発光材料（以下、「有機ＥＬ材料」という）としては、一般に高分子系有機材料と低分子系有機材料とに分類されており、その中でも高分子系材料については、所定の溶媒に溶解または分散させて液状化し、それを液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して基板上に塗布させる液滴吐出法がある。この方法では、基板上に液滴を塗布した後、真空乾燥処理を施すことで液滴中の溶媒を蒸発させて前記有機材料から成る機能層（発光層や正孔輸送層等）を成膜化するようにしている。この液滴吐出法によると、液滴の直径をμｍオーダーにまでにすることができるので、機能層の高精細パターニングが可能となる。
【０００４】
ところで、液滴吐出法は、複数のノズルを有し、該各ノズルに圧電素子（ピエゾ素子）を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置を使用して行われる。この液滴吐出装置において、１装置に複数個の液滴吐出ヘッドを使用する場合はヘッドの個体差（製造ばらつき）によりヘッド毎に液滴吐出特性（液滴吐出量）に差が生じる。又、ヘッド内に列状に複数のノズルが形成されているヘッドにおいては、異なったノズル列間や同一列内であってもノズル位置（中央、端）によりノズルの液滴吐出特性（液滴吐出量）が異なりノズルの液滴吐出量を均一にすることが困難である。その結果、機能膜の膜厚といった機能層の特性ばらつきがない表示品位の低下に繋がっていた。
【０００５】
そこで、１個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う。このようにすることで、塗布される液滴の量を均一化することで、各ノズルの吐出量のばらつきを抑制して膜の特性ばらつきを無くしている。
【０００６】
また、他には、描画データに応じて圧電素子を駆動させる駆動信号を生成する駆動回路をノズルの数だけ設け、各駆動回路から、ノズルの液滴吐出量のばらつきに応じた駆動信号を出力することで機能層の特性ばらつきを無くすることが提案されている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平１１−２２１９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、駆動回路をノズルの数だけ設けると、その分、回路の規模が大きくなるとともにコスト高となってしまうという問題がある。一方、１個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行うようにしても、本質的にはノズルの吐出量のばらつきは解消されていない。
【０００８】
そこで、本発明の目的とするところは、各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきを減少することのできる液滴吐出装置及び該液滴吐出装置によって製造された各機能層の特性ばら
つきが減少した電気光学装置の製造方法、該電気光学装置の製造方法によって製造された電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを具備し、アクチュエータを駆動させることによって前記各ノズルから液状組成物を吐出する液滴吐出装置において、描画データに基づいた第１の駆動信号を生成する第１の駆動信号生成回路と、前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じた制御信号を生成する制御信号生成回路と、前記第１の駆動信号を前記制御信号に基づいて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性のばらつきを補正した第２の駆動信号を生成する第２の駆動信号生成回路とを備えている。
【００１０】
これによれば、第２の駆動信号生成回路によって生成される第２の駆動信号は、各ノズル間で液滴吐出特性にばらつきが補正された駆動信号であるので、例えば、同一の第１の駆動信号が入力された場合、各ノズルから吐出される液状組成物の吐出量の均一性が高くなる。また、第１の駆動信号生成回路は一つあればよく、例えば、第２の駆動信号生成回路を可変抵抗素子といった簡単な素子で構成することで、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを補正することができる液滴吐出装置を提供することができる。また、各ノズルは均一性の高い量の液滴を吐出することができるので、１個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う、所謂「ノズルずらし」をする必要はない。この結果、短時間で多くの描画を行うことができる。
【００１１】
この液滴吐出装置において、前記第２の駆動信号生成回路は、可変抵抗素子であってもよい。
これによれば、第２の駆動信号生成回路は簡単な構成になる。従って、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを減少させることができる液滴吐出装置を提供することができる。尚、ノズルの液滴吐出特性のばらつきとは、例えば、ノズルの液滴吐出量のばらつきのことである。
【００１２】
この液滴吐出装置において、前記可変抵抗素子は、ＭＯＳトランジスタで構成されていてもよい。
これによれば、第２の駆動信号生成回路の製造が簡単になる。従って、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出量のばらつきを減少させることができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００１３】
この液滴吐出装置において、前記アクチュエータは、圧電素子であってもよい。
これによれば、各ノズルに圧電素子を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置において、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出量のばらつきを減少させることができる。
【００１４】
この液滴吐出装置において、前記第２の駆動信号生成回路は、前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきを与えるデータを書換え可能に記憶する記憶回路に接続されていてもよい。
【００１５】
これによれば、例えば、データが書き換え可能な記憶回路をフラッシュＲＯＭ等で構成することにより、次に書き換えるまで第２の駆動信号の大きさを一定に保つことができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、基板上にマトリクス状に配置された複数の画素電
極と、前記各画素電極上にデータ信号に応じてその光学特性が制御される機能層と、を備えた電気光学装置を、液滴吐出ヘッドのノズルから前記画素電極上に、前記機能層を構成する機能材料を溶媒中に分散または溶解した液状組成物を吐出することによって形成する電気光学装置の製造方法において、描画データに基づいた第１の駆動信号を前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性のばらつきが無い第２の駆動信号を生成し、該第２の駆動信号を、前記ノズルに対して設けられたアクチュエータに供給して同第２の駆動信号に基づいた量の前記液状組成物を前記画素電極上に吐出する吐出工程と、前記画素電極上に吐出された前記液状組成物から前記溶媒を除去する除去工程とを備えている。
【００１７】
これによれば、第２の駆動信号生成回路によって生成される第２の駆動信号は、各ノズル間で液滴吐出特性にばらつきが補正された駆動信号であるので、例えば、同一の第１の駆動信号が入力された場合、各ノズルから吐出される液状組成物の吐出量のばらつきが抑えられる。また、第１の駆動信号生成回路は一つあればよく、例えば、第２の駆動信号生成回路を可変抵抗素子といった簡単な素子で構成することで、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを減少させることができる液滴吐出装置を提供することができる。また、各ノズルは均一の高い量の液滴を吐出することができるので、１個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う、所謂「ノズルずらし」をする必要はない。この結果、短時間で多くの描画を行うことができる。
【００１８】
この電気光学装置の製造方法において、前記アクチュエータは、圧電素子であって、前記吐出工程は、前記圧電素子に供給される駆動信号の大きさを前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させることで、前記各ノズル間の液滴吐出量のばらつきを減少させるようにしてもよい。
【００１９】
これによれば、各ノズルに圧電素子を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置において、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを減少させることができる。
【００２０】
本発明の電子機器は、上記記載の電気光学装置の製造方法によって製造された電気光学装置を具備している。
これによれば、膜の特性ばらつきがない表示品位の優れた電気光学装置を備えた電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態を図面に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置及び該液滴吐出装置を使用して製造された電気光学装置の一例としての有機ＥＬディスプレイについて各図に従って説明する。
【００２２】
図１は、有機ＥＬディスプレイを説明する正面図であり、図２は、有機ＥＬディスプレイの図１中ａ−ａ線での断面図である。
図１に示すように、有機ＥＬディスプレイ１は、ディスプレイ部２と、該ディスプレイ部２の下側部（図１中Ｙ矢印方向）に接続されたフレキシブル回路基板３とから構成されている。
【００２３】
ディスプレイ部２は、基板４を備えている。基板４は、本実施形態では、光透過性を有するガラスで構成されている。基板４は、図１に示すように、その中央に略四角形状の塗布領域５を備えている。また、基板４上であって、塗布領域５以外の領域（以下、「非塗布領域」という）６には、一対の走査線駆動回路７が形成されている。
【００２４】
塗布領域５には、行方向（Ｘ矢印方向）にｍ個の画素８が、また列方向（Ｙ矢印方向）にｎ個の画素８が、それぞれ行方向及び列方向に等ピッチで形成されている。つまり、塗布領域５には、ｍ×ｎ個の画素８がマトリクス状に形成されている。
【００２５】
ｍ×ｎ個の画素８には、赤色用有機ＥＬ素子９Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子９Ｇ及び青色用有機ＥＬ素子９Ｂが形成されている。そして、Ｘ矢印方向に沿っては、赤色用有機ＥＬ素子９Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子９Ｇ、青色用有機ＥＬ素子９Ｂ、赤色用有機ＥＬ素子９Ｒ、緑色用有機ＥＬ素子９Ｇ、…の順に繰り返して配置されている。また、Ｙ矢印方向（列方向）に沿っては、同色の有機ＥＬ素子９Ｒ，９Ｇ，９Ｂが配置されている。
【００２６】
図２は、有機ＥＬディスプレイ１の図１中ａ−ａ線での断面図である。
図２に示すように、各色用有機ＥＬ素子９Ｒ，９Ｇ，９Ｂは、基板４上に形成された回路形成層４ａ上に形成されている。この回路形成層４ａは、各色用有機ＥＬ素子９Ｒ，９Ｇ，９Ｂに駆動電力を供給する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）１０といった各種回路素子や走査線駆動回路７（図１参照）を構成する回路素子の一部または全部が形成された層である。
【００２７】
回路形成層４ａ上の塗布領域５に対応した領域には、各画素８をマトリクス状に区画するバンク１１（隔壁）が形成されている。バンク１１は、回路形成層４ａ上に形成された親液性バンク１１ａと、該親液性バンク１１ａ上に形成された撥液性バンク１１ｂとから構成されている。親液性バンク１１ａは、元来、親液性を備えた材料であって、例えば、酸化珪素（ＳｉＯ２）で構成されたものである。また、親液性を備えていないものであっても、通常用いられる公知の親液化処理を施すことで表面を親液化したものであってもよい。一方、撥液性バンク１１ｂは、元来、撥液性を備えた材料、例えば、フッ素系樹脂で構成されたものであってもよい。また、撥液性を備えていないものであっても、通常用いられるアクリル樹脂やポリイミド樹脂等の有機樹脂をパターン形成し、ＣＦ4プラズマ処
理等により表面を撥液化したものであってもよい。
【００２８】
そして、図２に示すように、バンク１１によって区画形成された各凹状領域１２の底部には、画素電極１３が形成されている。各画素電極１３上には、本実施形態においては、正孔輸送層１４、発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂの順に積層されてなる機能層１６が形成されている。各画素電極１３は、対応する薄膜トランジスタ１０とコンタクトホールＨを介して電気的に接続されている。各発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂは、それぞれ有機発光材料で構成されている。発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂのうち、発光層１５Ｒは、赤色の光を出射する発光層であり、発光層１５Ｇは、緑色の光を出射する発光層であり、発光層１５Ｂは、青色の光を出射する発光層である。
【００２９】
各バンク１１及び発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ上全面に渡って陰極１７が形成されている。この陰極１７は、非塗布領域６の一部を覆うように形成されている。また、回路形成層４ａの外周縁部には陰極１７全面を覆うように封止部材１８が形成されている。そして、前記した画素電極１３、正孔輸送層１４、赤用発光層１５Ｒ及び陰極１７が積層されて図１に示した赤色用有機ＥＬ素子９Ｒが構成される。また、画素電極１３、正孔輸送層１４、緑用発光層１５Ｇ及び陰極１７が積層されて緑色用有機ＥＬ素子９Ｇが構成される。同様に、画素電極１３、正孔輸送層１４、青用発光層１５Ｒ及び陰極１７が積層されて青色用有機ＥＬ素子９Ｂが構成される。
【００３０】
このような構成を有する有機ＥＬディスプレイ１は、図２に示すように、所定の画素電極１３上に形成される正孔輸送層１４の膜厚と、他の画素電極１３上に形成される正孔輸送層１４の膜厚とが均一になっている。つまり、全ての正孔輸送層１４の膜厚は均一であ
る。また、各正孔輸送層１４上に形成される発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂも、正孔輸送層１４と同様に、同色の発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ同士でその膜厚が均一になっている。
【００３１】
尚、説明の便宜上、基板４上に、回路形成層４ａ、バンク１１（凹状領域１２）及び画素電極１３が形成されたものを電気光学用基板としての素子基板１９という。
また、図１に示すように、一対の走査線駆動回路７は、非塗布領域６には塗布領域５を挟むようにして配置されている。各走査線駆動回路７は、前記したマトリクス状に配置された画素８のうちの所望の１行の画素８群を選択する走査信号を出力する。
【００３２】
一方、フレキシブル回路基板３上にはデータ線駆動回路２０と制御回路２１とが形成されている。データ線駆動回路２０は、前記走査線駆動回路７が出力した走査信号によって選択された行の画素５群に対して、その各色用有機ＥＬ素子９Ｒ，９Ｇ，９Ｂの発光輝度を決定するデータ信号を出力する。制御回路２１は、各走査線駆動回路７及びデータ線駆動回路２０の駆動を制御するための各種制御信号を生成し、その生成した制御信号を各駆動回路７，２０にそれぞれ出力する。
【００３３】
次に、有機ＥＬディスプレイ１の機能層１６を形成するために用いられる液滴吐出装置の一例について図３〜図６に従って説明する。
図３（ａ）は、液滴吐出装置の一部斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出装置の全体構成図である。この液滴吐出装置３０は、素子基板１９の各画素電極１３上に、公知の液滴吐出法を用いて、正孔輸送層１４を成膜するときに使用するものである。即ち、正孔輸送層１４を構成する膜形成成分としての正孔輸送層材料を溶媒に溶解または分散した液状組成物Ｌを、この液滴吐出装置３０によって液滴化して各画素電極１３上に塗布した後、その素子基板１９を加熱して同液状組成物Ｌ中の溶媒を蒸発させて正孔輸送層１４を成膜化する。尚、機能層１６を構成する正孔輸送層１４以外の他の層である発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂも、正孔輸送層１４と同様に、発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂを構成する膜形成成分としての各色用発光材料を溶媒に溶解または分散した液状組成物Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂを液滴化して、各正孔輸送層１４上に塗布する。その後、その素子基板１９を加熱して同液状組成物中の溶媒を蒸発させて発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂを成膜化する。そして、発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂを形成するための液滴吐出装置は、正孔輸送層１４を成膜するときに使用される液滴吐出装置３０と同様な構成をしているので、以下の説明では、正孔輸送層１４を形成する液滴吐出装置３０のみを説明し、他の液滴吐出装置については、その説明を省略する。
【００３４】
図３（ａ）は、液滴吐出装置３０の全体構成を示す斜視図である。図３（ａ）に示すように、液滴吐出装置３０には、直方体形状に形成される基台３１が備えられている。本実施形態では、この基台３１の長手方向を図１中Ｙ矢印方向に合わせ、同Ｙ矢印方向と直交する同基台３１の短手方向を図１中Ｘ矢印方向に合わせてある。
【００３５】
基台３１には、第１の回路部３２が内蔵されている。この第１の回路部３２は、液状組成物Ｌを吐出する位置を与える位置データ及び後記する液滴の吐出量に関するデータである描画データを記憶する第１のメモリＭ１、及び記憶された描画データに基づいて液滴吐出装置３０の全体の駆動を制御するための第１の駆動信号Ｓ１（図５参照）を生成して出力する第１の駆動信号生成回路としての第１の駆動信号出力回路３３とを備えている。
【００３６】
基台３１の上面３１aには、Ｙ矢印方向に延びる一対の案内凹溝３４が同Ｙ矢印方向全
幅に渡って形成されている。その基台３１の上側には、案内凹溝３４に対応する図示しない直動機構を備えたステージ３５が取付けられている。ステージ３５の直動機構は、公知の直動機構であって、例えば案内凹溝３４に沿ってＹ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）
と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構である。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるＹ軸モータに連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ３５が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ矢印方向に沿って所定の速度で往動又は復動する（Ｙ矢印方向に移動する）ようになっている。尚、本実施形態では、ステージ３５が案内凹溝３４（基台３１）の最も手前側に配置する位置（図１における実線位置）を往動位置として、同案内凹溝３４（基台３１）の最も奥側に配置する位置（図３（ａ）における２点鎖線位置）を復動位置とする。
【００３７】
そのステージ３５の上面には、載置面３６が形成され、該載置面３６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面３６に基板４（素子基板１９）を載置すると、前記基板チャックによって、基板４（素子基板１９）が載置面３６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００３８】
基台３１のＸ矢印方向両側には、一対の支持アーム３７a，３７bが立設され、その支持アーム３７a，３７bには、Ｘ矢印方向に延びる案内部材３８が架設されている。案内部材３８は、その長手方向の幅がステージ３５のＸ矢印方向よりも長く形成され、その一端が支持アーム３７a側に張り出すように配置されている。
【００３９】
案内部材３８の上側には、前記した正孔輸送層１４を構成するための液状組成物Ｌを収納する収容タンク３９が配設されている。液状組成物Ｌは、正孔輸送層１４を構成する機能材料としての正孔輸送層材料を溶媒に溶解または分散させて液状体化したものである。
【００４０】
一方、その案内部材３８の下側には、Ｘ矢印方向に延びる上下一対の案内レール４０がＸ矢印方向全幅にわたり設けられている。案内レール４０には、キャリッジ４１がＸ矢印方向に沿って移動可能となるように取付けられている。つまり、Ｘ矢印方向はキャリッジ４１の走査方向に一致する。尚、このキャリッジ４１の直動機構は、公知の直動機構であって、例えば案内レール４０に沿ってＸ矢印方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、そのネジ軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータに連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ４１が同ステップ数に相当する分だけＸ矢印方向に沿って往動又は復動する。
【００４１】
また、キャリッジ４１には、液滴吐出ヘッド４２が一体に設けられている。
図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッド４２の下面（ステージ３５側の面）を下側から見た場合の斜視図である。液滴吐出ヘッド４２は、その下面４２ａに複数個のノズルＮを構成するノズルプレートＰを備えている。各ノズルＮは、Ｘ矢印方向及びＹ矢印方向に等ピッチになるように形成されている。また、各ノズルＮは、基板４上に形成される各画素電極１３と同じピッチになるように形成されている。
【００４２】
図４〜図６は、それぞれ、液滴吐出装置３０の詳細な構成を説明するための図である。図４は、液滴吐出ヘッド４２の一部断面斜視図である。
図４に示すように、液滴吐出ヘッド４２は、枠体４３Ａと、収容ケース４３Ｂと、枠体４３Ａと収容ケース４３Ｂとで挟まれて固定された振動板４４を備えている。また、液滴吐出ヘッド４２は、枠体４３Ａの下面（図３（ｂ）に示す液滴吐出ヘッド４２の下面４２ａに相当する）に固着された前記ノズルプレートＰと、収容ケース４３Ｂに収容支持された圧電素子（ピエゾ素子）４５とを備えている。
【００４３】
振動板４４は、可撓性を有するフィルムであって、例えば本実施形態では有機物で構成
されている。
枠体４３Ａは、前記収容タンク３９（図３（ａ）参照）と図示しないチューブを介して連結され、該収容タンク３９内の液状組成物ＬをノズルＮに導く流路４６と、該液状組成物Ｌを一時的に保持する保持室４７が形成されている。そして、収容タンク３９から供給された液状組成物Ｌは流路４６を介して保持室４７に一時的に保持されるようになっている。各ノズルＮは、一つの保持室４７に対応して形成されている。各ノズルＮは、テーパ状の第１孔部４８と、該孔部４８に連結した円柱状の第２孔部４９とから構成されている。
【００４４】
一方、収容ケース４３Ｂには、圧電素子４５を駆動制御するための第２の駆動信号Ｓ２（図５参照）を生成する第２の回路部５０を内蔵した支持体Ｃが支持固定されている。支持体Ｃは、ノズルＮに対応した位置に同ノズルＮの数だけ設けられている。
【００４５】
そして、第２の回路部５０から圧電素子４５に第２の駆動信号Ｓ２が供給されると、それまで伸びていた圧電素子４５が縮んでもとの状態に戻るように歪み、それに伴って、振動板４４が変形する。すると、流路４６内の液状組成物Ｌが保持室４７に吸引される。続いて、圧電素子４５が伸びるように歪むと、振動板４４が圧電素子４５によって押されて変形する。このときに、保持室４７内の液状組成物Ｌのうち、例えば、数１０ピコリットルの液状組成物Ｌが、ノズルＮを通ることで粒状に形成された液滴Ｑとして吐出される。
【００４６】
図５は、液滴吐出装置３０の電気的構成を説明するためのブロック図であり、図６は、その回路図である。
図５に示すように、液滴吐出装置３０は、前記したように、第１及び第２の回路部３２，５０及び圧電素子４５を備えている。
【００４７】
第１の回路部３２の第１の駆動信号出力回路３３は、第１のメモリＭ１に記憶された描画データに基づいて、電圧信号である第１の駆動信号Ｓ１を生成する。この描画データは、ステージ３５上の所定の位置に基板４が載置された場合に、主走査方向（図３中Ｘ矢印方向）に沿って配置された画素電極１３上に対向する位置にキャリッジ４１を順次走査させるとともに、画素電極１３上に対向する位置に至る毎に圧電素子４５を駆動させるためのデータである。この描画データは、各圧電素子４５間の吐出特性のばらつきを考慮していないデータである。そして、この第１の駆動信号Ｓ１は、第２の回路部５０に供給される。
【００４８】
各第２の回路部５０は、第２のメモリＭ２、第２の駆動信号生成回路としての第２の駆動信号出力回路５０ａ及び制御信号生成回路としての信号生成回路５０ｂを備えている。
第２のメモリＭ２は、フラッシュＲＯＭで構成されている。第２のメモリＭ２は、各ノズルＮの吐出特性のばらつきを補正する補正データを記憶する。ここで、ノズルＮの吐出特性のばらつきとは、本実施形態においては、同一の駆動信号を供給して圧電素子（ピエゾ素子）４５を駆動制御させて対応するノズルＮから液状組成物Ｌを吐出させた場合の吐出量（液滴Ｑの量）のノズルＮ間のばらつきである。
【００４９】
補正データは、例えば、第２のメモリＭ２に如何なるデータを記憶させていない状態で、各第１の駆動信号出力回路３３から同一の大きさの第１の駆動信号Ｓ１を第２の駆動信号出力回路５０ａを介して第２の駆動信号Ｓ２として対応する全ての圧電素子４５に出力させる。その結果、圧電素子４５が駆動制御されて各ノズルＮから液滴Ｑが吐出されるが、このとき、吐出された後の飛翔中の液滴Ｑを図示しないカメラで撮影し、その撮影された図から１回の吐出駆動にて吐出される液滴Ｑの大きさを測定する。そして、この測定結果に基づいて、１回の吐出駆動にて吐出される液滴Ｑの量が、全てのノズルＮで吐出量にばらつきが少なくなるような駆動信号の大きさを設定する。そして、この１回の吐出駆動
にて吐出される液滴Ｑのばらつきが全てのノズルＮで減少するような駆動信号が第２の駆動信号Ｓ２となるように、第１の駆動信号Ｓ１を補正するための補正データを第２のメモリＭ２に書き込む。このとき、この第２のメモリＭ２は、フラッシュＲＯＭで構成されているため、常時、一旦記憶された補正データは、次に書き換えるまで記憶保持される。このような吐出量の測定には、他にも一定の撥液性を有する基板上に吐出して、着弾した液滴の径を測定する様な方法を用いることもできる。  信号生成回路５０ｂは、第２のメモリＭ２からの補正データに従った大きさの制御信号Ｓ３を生成する回路であり、例えば、公知の昇圧回路で構成されている。本実施形態では、制御信号Ｓ３は、電圧信号である。
【００５０】
第２の駆動信号出力回路５０ａは、第１の駆動信号出力回路３３から出力される第１の駆動信号Ｓ１の大きさ（電圧値）を、信号生成回路５０ｂから出力される制御信号Ｓ３の大きさ（電圧値）に応じて変化させることで第２の駆動信号Ｓ２を生成する。そして、第２の駆動信号出力回路５０ａは、生成した第２の駆動信号Ｓ２を圧電素子４５に供給する。
【００５１】
図６に示すように、本実施形態の第２の駆動信号出力回路５０ａは、ＮチャネルＭＯＳトランジスタで構成されている。ＭＯＳトランジスタのドレインは第１の駆動信号出力回路３３に電気的に接続されており、ソースは圧電素子４５に電気的に接続されている。また、ＭＯＳトランジスタのゲートは、第２の駆動信号出力回路５０ａに電気的に接続されている。このため、ＭＯＳトランジスタのドレイン／ソースの導電率は、ゲートに供給される制御信号Ｓ３の大きさによって変化するので、圧電素子４５には、第１の駆動信号Ｓ１が制御信号Ｓ３に応じて変化した第２の駆動信号Ｓ２が供給される。つまり、ＭＯＳトランジスタで構成することで、第２の駆動信号出力回路５０ａを可変抵抗素子として使用する。
【００５２】
この結果、例えば、第１の回路部３２から同一の大きさの第１の駆動信号Ｓ１を、第２の駆動信号出力回路５０ａを介して第２の駆動信号Ｓ２として対応する全ての圧電素子４５に供給させた場合、各ノズルＮからは、１回の吐出駆動にて吐出される液滴Ｑの量が全てのノズルＮで同一となる。つまり、同一の第１の駆動信号Ｓ１が入力された場合、各ノズルＮから吐出される液滴Ｑの吐出量は均一となる。
【００５３】
次に、図７〜図９に従って有機ＥＬディスプレイ１の製造方法を説明する。有機ＥＬディスプレイ１は、機能層１６が液滴吐出装置３０によって成膜されるものであり、同機能層１６以外の各層は、公知の方法によって成膜されるものである。従って、機能層１６以外の各種層の成膜方法は、その説明を省略する。
【００５４】
図７（ａ）に示すように、正孔輸送層材料が溶媒中に溶解または分散した液状組成物Ｌを吐出するキャリッジ４１を選択する。このキャリッジ４１の液滴吐出ヘッド４２は、前記したように、図７（ａ）中Ｘ矢印方向に沿って延設された案内レール４０に支持されてＸ矢印方向または反Ｘ矢印方向（走査方向）に移動可能である。
【００５５】
先ず、キャリッジ４１の位置を案内レール４０に沿って調整して、液滴吐出ヘッド４２のノズルＮが、素子基板１９の所定の画素電極１３（例えば１行目の画素電極１３群）と対向する位置に合わせる。この状態で、図７（ａ）に示すように、ノズルＮから液滴化した液状組成物Ｌを吐出して対向する画素電極１３上に塗布する。すると、バンク１１の親液性バンク１１ａに接触することによって画素電極１３上全面に液状組成物Ｌが濡れ広がる。また、このとき、撥液性バンク１１ｂによって隣接した他の画素電極１３上には液状組成物Ｌが濡れ広がることはない。このとき、各ノズルＮから吐出される液状組成物Ｌの吐出量は均一となる。
【００５６】
続いて、図７（ｂ）に示すように、キャリッジ４１をＸ矢印方向に沿って各画素ピッチずつ移動させながら、ノズルＮから液滴化した液滴Ｑを吐出して、１行分のｍ個の画素電極１３上に液状組成物Ｌを塗布する（吐出工程）。
【００５７】
その後、他の行の画素電極１３上にも前記と同様にして、液状組成物Ｌを順次塗布することで素子基板１９上にある全ての画素電極１３上に液状組成物Ｌを塗布する（図７（ｃ）参照）。
【００５８】
その後、液状組成物Ｌが塗布された素子基板１９を、例えば、図示しないホットプレート上に載置して素子基板１９を加熱して塗布された液状組成物Ｌ中の溶媒を蒸発して除去する（除去工程）。
【００５９】
この結果、図８に示すように、全ての画素電極１３上に正孔輸送層１４が形成される。このとき、各ノズルＮから吐出される液滴Ｑの吐出量は均一であるので、形成される正孔輸送層１４の膜厚は、各凹状領域１２内において等しくなる。
【００６０】
その後、膜形成成分である赤用発光層材料が溶媒中に溶解または分散した液状組成物Ｌｒを吐出する液滴吐出ヘッド、緑用発光層材料が溶媒中に溶解または分散した液状組成物Ｌｇを吐出する液滴吐出ヘッド、青用発光層材料が溶媒中に溶解または分散した液状組成物Ｌｂを吐出する液滴吐出ヘッドを順次選択する。そして、図９（ａ）に示すように、各液滴吐出ヘッドのノズルから液滴化した液状組成物Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂを吐出して先に成膜した各正孔輸送層１４上に塗布する（吐出工程）。
【００６１】
その後、再び、液状組成物Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂが塗布された素子基板１９を、例えば、図示しないホットプレート上に載置して素子基板１９を加熱して塗布された液状組成物Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂ中の溶媒を蒸発して除去する（除去工程）。
【００６２】
この結果、図９（ｂ）に示すように、全ての画素電極１３上に各赤、緑及び青用発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂが形成される。このとき、各ノズルＮから吐出される液状組成物Ｌｒ，Ｌｇ，Ｌｂの吐出量は均一であるので、形成される赤用発光層１５Ｒ同士、緑用発光層１５Ｇ同士、及び青用発光層１５Ｂ同士の各膜厚は、各凹状領域１２間で等しくなる。
【００６３】
その後、バンク１１と各発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂとの上に、ＬｉＦ層、Ｃａ層、Ａｌ層等を蒸着方法等により積層し、陰極１７を形成する。その後、封止部材１８によりディスプレイ部２を封止する。さらに、ディスプレイ部２と、別途製造されたフレキシブル回路基板３とを接続して、有機ＥＬディスプレイ１が製造される。
【００６４】
上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）本実施形態によれば、液滴吐出装置３０に、描画データに基づいた第１の駆動信号Ｓ１を生成する第１の回路部３２と、各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに基づいた制御信号Ｓ３に応じて第１の駆動信号Ｓ１を変化させて圧電素子４５を駆動制御させる第２の回路部５０を備えた。そして、第２の回路部５０では、１回の吐出駆動にてノズルＮから吐出される液滴の量が、全てのノズルで均一になるような制御信号Ｓ３が生成されるようにした。従って、例えば、同一の第１の駆動信号Ｓ１が入力された場合、各ノズルＮから吐出される液滴Ｑの吐出量は全て均一になる。この結果、全ての正孔輸送層１４の膜厚を均一にすることができる。
（２）しかも、本実施形態によれば、第１の回路部３２は一つあればよく、且つ、第２の駆動信号出力回路５０ａをＭＯＳトランジスタで構成したので、回路規模を大きくせずに低コストで、且つ、各ノズルＮの液滴Ｑの吐出量のばらつきを減少させることができる液
滴吐出装置３０を提供することができる。
（３）本実施形態によれば、正孔輸送層１４以外の各発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂも、上記と同様な液滴吐出装置を使用して形成した。従って、例えば、同一の第１の駆動信号Ｓ１が入力された場合、各ノズルＮから吐出される液滴の吐出量は全て均一になる。この結果、同色の発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ同士でその膜厚を均一にすることができる。（４）本実施形態によれば、同一の第１の駆動信号Ｓ１が入力された場合、各ノズルＮは均一な量の液滴Ｑを吐出することができるので、１個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う、所謂「ノズルずらし」をする必要はない。この結果、短時間で多くの描画を行うことができる。
（５）本実施形態によれば、各ノズルＮの吐出特性のばらつきを補正する補正データを記憶する第２のメモリＭ２をフラッシュＲＯＭで構成した。従って、一旦、補正データを記憶させると、次に新たな補正データに書き換えるまでは、その補正データを記憶させる必要がない。この結果、液滴吐出装置３０を使用する毎に補正データを記憶させるという煩わしさを解消することができる。
（６）本実施形態によれば、第１及び第２の駆動信号Ｓ１，Ｓ２は、それぞれ電圧信号である。従って、液滴Ｑを吐出するアクチュエータとして電圧駆動素子である圧電素子を使用した液滴吐出装置３０の各ノズルに圧電素子を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置において、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルＮの液滴Ｑの吐出量のばらつきを減少させることができる。
（７）本実施形態によれば、各第１の駆動信号出力回路３３から同一の大きさの第１の駆動信号Ｓ１を第２の駆動信号出力回路５０ａを介して第２の駆動信号Ｓ２として対応する全ての圧電素子４５に出力した。そして、各ノズルＮから液滴Ｑを吐出させ飛翔中の液滴Ｑをカメラで撮影し、その撮影された図から１回の吐出駆動にて吐出される液滴Ｑの大きさを測定し、その測定結果に基づいて、１回の吐出駆動にて吐出される液滴Ｑの量が、全てのノズルＮで偏差が無くなるような駆動信号の大きさを設定するようにした。そして、この１回の吐出駆動にて吐出される液滴Ｑの量が全てのノズルＮで偏差が無くなるような駆動信号を、第２の駆動信号Ｓ２とし、その第２の駆動信号Ｓ２と第１の駆動信号Ｓ１との差を与えるデータを補正データとして第２のメモリＭ２に書き込むようにした。従って、簡単に、補正データを得ることが得きる。
（第２実施形態）
次に、第１実施形態で説明した電気光学装置としての有機ＥＬディスプレイ１の電子機器の適用について図１０に従って説明する。有機ＥＬディスプレイ１は、モバイル型のパーソナルコンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ等種々の電子機器に適用できる。
【００６５】
図１０は、大型テレビ６０の斜視図である。この大型テレビ６０は、有機ＥＬディスプレイ１を搭載した大型テレビ用の表示ユニット６１と、スピーカー６２と、複数の操作ボタン６３とを備えている。この場合、表示ユニット６１は、その有機ＥＬ素子を構成する機能層の膜厚が均一に形成されるので、表示品位の良好な大型テレビ６０を提供することができる。
【００６６】
尚、発明の実施形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
○上記第１実施形態では、各第１の駆動信号出力回路３３から同一の大きさの第１の駆動信号Ｓ１を、第２の駆動信号出力回路５０ａを介して第２の駆動信号Ｓ２として対応する全ての圧電素子４５に出力した。そして、各ノズルＮから液滴Ｑを吐出させ飛翔中の液滴Ｑをカメラで撮影し、その撮影された図から１回の吐出駆動にて吐出される液滴Ｑの大きさを測定し、補正データを取得するようにした。これを、そうではなく、例えば、各第１の駆動信号出力回路３３から同一の大きさの第１の駆動信号Ｓ１を第２の駆動信号出力回路５０ａを介して第２の駆動信号Ｓ２として対応する全ての圧電素子４５に出力し、所定のターゲット上に塗布させる。そして、その塗布した液滴Ｑの大きさを測定し、その結
果から補正データを取得するようにしてもよい。
【００６７】
○上記第１実施形態では、機能層１６は、正孔輸送層１４、及び、各赤、緑及び青用発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂで構成されていたが、これに限定されるものではなく正孔輸送層１４、及び、各赤、緑及び青用発光層１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂ以外に、例えば、電子輸送層といった層を含んだものであってもよい。要は、液滴吐出法で形成される膜であれば、どんなものであってもよい。
【００６８】
○上記第１実施形態では、アクチュエータとして圧電素子４５に適応したが、これに限定されるものではなく、例えば、抵抗素子であってもよい。この場合、第１及び第２の駆動信号Ｓ１，Ｓ２は、それぞれ電流信号であって、抵抗素子は、第２の駆動信号Ｓ２の電流値によって加熱され、それにより、液状組成物Ｌを加熱膨張させることで、所定量の液滴Ｑを吐出させる。このような場合においても、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。
【００６９】
○上記実施形態では、電気光学装置として有機ＥＬディスプレイ１に具体化して好適な効果を得たが、有機ＥＬディスプレイ以外の例えばデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いたディスプレイ、電子放出素子を用いたディスプレイ（ＦＥＤ）やＳＥＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ）に具体化してもよい。また。電子写真装置の光ヘッド（光プリンタのヘッドやデジタルラボのヘッド）に使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】有機ＥＬディスプレイの正面図。
【図２】有機ＥＬディスプレイの断面図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出装置の全体斜視図、（ｂ）は、液滴吐出装置に取付けられる液滴吐出ヘッドの全体斜視図。
【図４】液滴吐出ヘッドの斜視図。
【図５】液滴吐出装置のブロック図。
【図６】液滴吐出装置の回路図。
【図７】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、それぞれ、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図８】同じく、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図９】（ａ），（ｂ）は、それぞれ、有機ＥＬディスプレイの製造方法を説明するための図。
【図１０】第２実施形態を説明するための図。
【符号の説明】
【００７１】
Ｎ…ノズル、４２…液滴吐出ヘッド、４５…アクチュエータとしての圧電素子、Ｌ…液状組成物、３０…液滴吐出装置、Ｓ１…第１の駆動信号、３３…第１の駆動信号生成回路としての第１の駆動信号生成回路、Ｓ３…制御信号、５０ａ…第２の駆動信号生成回路としての第２の駆動信号出力回路、５０ｂ…制御信号生成回路としての信号生成回路、Ｓ２…第２の駆動信号、５０ａ…第２の駆動信号出力回路、Ｍ２…記憶回路としての第２のメモリ、１３…画素電極、１６…機能層、１…電気光学装置としての有機ＥＬディスプレイ、６０…電子機器としての大型テレビ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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