(57)【要約】【課題】上部に薬液注入用および排出用の２つのノズルを有する平膜エレメントを安全かつ効率的に洗浄できる洗浄方法を提供すること。【解決手段】基板の両面が流路材、平膜の順で覆われ、流路材が配されたろ過室と連通する薬液注入用と薬液排出用の少なくとも２つのノズルを該基板の上部に有する平膜エレメントの洗浄方法であって、水頭差を用いて薬液を注入し、該薬液および該ろ過室に貯留していた処理水の混合液を循環させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の両面が流路材、平膜の順で覆われ、流路材が配されたろ過室と連通する薬液注入用と薬液排出用の少なくとも２つのノズルを該基板の上部に有する平膜エレメントの洗浄方法であって、水頭差を用いて薬液を注入し、該薬液および該ろ過室に貯留していた処理水の混合液を循環させることを特徴とする平膜エレメントの洗浄方法。
【請求項２】
一定時間循環させた後に、循環を停止して静置することを特徴とする請求項１に記載の平膜エレメントの洗浄方法。
【請求項３】
注入される薬液と排出される薬液の濃度が略同一となった時点で静置することを特徴とする請求項２に記載の平膜エレメントの洗浄方法。
【請求項４】
注入される薬液の比重が処理水より大きいことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の平膜エレメントの洗浄方法。
【請求項５】
前記平膜エレメントが流路材中の処理水流路が斜向させた構造を有する請求項１〜４のいずれかに記載の平膜エレメントの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、下水・廃水処理などに利用する膜式処理装置の平膜エレメントの洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
廃水処理では、活性汚泥と呼ばれる微生物により、廃水中の有機物を分解した後に、フロック化した汚泥と処理水を分離する活性汚泥処理プロセスが広く用いられている。
【０００３】
活性汚泥処理プロセスでは、処理効率を上げるために、活性汚泥を高濃度化すると分解処理が進む一方で、後段の沈殿池において汚泥の沈降性不良を生じる場合があり、水質の悪化を防止するための管理作業が煩雑という問題がある。
【０００４】
近年、この汚泥と処理水との固液分離に膜分離技術の適用が進められている。これは、活性汚泥槽内にろ過膜エレメントを浸漬して、この処理水側をポンプで吸引、あるいはサイホンなどのように水頭差を利用して活性汚泥中から処理水を得るものであり、通常、散気により活性汚泥槽内に形成される旋回流を利用して、膜面に堆積する汚泥をかきとりながら運転するものである。近年では、旋回流を効果的に使用するためにろ過膜エレメントの大型化（垂直方向への長尺化）が進んでいる。
【０００５】
運転は連続的に行われるが、一定期間運転すると旋回流では除去できない汚れが膜面に堆積するため、定期的に運転を停止して薬液洗浄を行う方法が取られる。平膜を使用した平膜エレメントの場合、活性汚泥槽内に浸漬したまま平膜エレメントの内部に薬液が注入される。しかし、平膜エレメント内部には予め処理水が貯留されている状態であるため、薬液が内部全体に均一に行き渡りにくいといった課題がある。この課題を解決するためにこれまで様々な検討が行われている。
【０００６】
特許文献１では、平膜エレメントに複数のノズルを設置し、内部の処理水を抜出して排水する一方で薬液を注入することで両液体の置換を行っている。また、特許文献２では、薬液を加圧循環することによって薬液の分散性向上を図るとともに薬液を処理水側から汚泥側へ透過させる方法を提案している。特許文献３では、平膜エレメントに２つのノズルを設置するとともに、両ノズル間に仕切を設けることで、薬液の流路を限定する方法が示されている。
【０００７】
近年、平膜エレメントが大型化する傾向にある中、上述した従来技術では、カバーできない問題が出てきている。大型化した平膜エレメントを安全かつ効率・効果的に薬液洗浄を行うためには、(1)平膜エレメント内部を過剰に加圧しないこと、(2)薬液量が少ないこと、(3)平膜エレメント構造が複雑すぎないこと、が必要である。
【０００８】
上述の特許文献１では、平膜エレメント内部の処理水と薬液とが置換するまで排水する構成である。発明者のこれまでの検討で、薬液注入用ノズルを平膜エレメントの下部に、排出用ノズルを上部に配置すると本発明の効果が高いが、両ノズルが平膜エレメントの上部にある場合には、比重の大きな薬液が平膜エレメント内部の下方に溜まろうとするため、完全に置換するまでにある程度の時間がかかり、(2)の条件で問題があることがわかった。また特許文献２は加圧循環を行う構成であるが、平膜エレメントでは過剰な加圧はエレメントの破損に繋がるため、(1)の条件を満たすことができない。特許文献３では、仕切を入れることにより膜面積が減少するといった問題と構造が複雑になるという点から(3)の条件を満足できない、という問題があることが分かった。
【０００９】
特許文献１に示されている従来技術の問題点を詳細に示す。図５は、平膜エレメント内部の薬液の流動状態を示した模式図であるが、平膜エレメント内に注入された薬液は、薬液の比重に関わるベクトル（図中３３）と薬液の排出に伴うベクトル（図中３４）の両方向に流れが分かれるため、せっかく注入した薬液の多くを排出して捨ててしまう形となり、予め平膜エレメント内に貯留されている処理水との置換に多くの時間を要するため、結果として大量の薬液の廃液を出すことになる。
【特許文献１】特開平７−１１６４８２ 号公報
【特許文献２】特開平１０−５７７８０号公報
【特許文献３】特開平９−１１７６４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、上部に薬液注入用および排出用の２つのノズルを有する平膜エレメントを安全かつ効率的に洗浄できる平膜エレメントの洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために本発明によれば、基板の両面が流路材、平膜の順で覆われ、流路材が配されたろ過室と連通する薬液注入用と薬液排出用の少なくとも２つのノズルを該基板の上部に有する平膜エレメントの洗浄方法であって、水頭差を用いて薬液を注入し、該薬液および該ろ過室に貯留していた処理水の混合液を循環させることを特徴とする平膜エレメントの洗浄方法が提供される。
【００１２】
また、本発明の平膜エレメントの洗浄方法は
１）一定時間循環させた後に、循環を停止して静置すること
２）注入される薬液と排出される薬液の濃度が略同一となった時点で静置すること
３）注入される薬液の比重が処理水より大きいこと
の方法を取ることにより、より好ましくなり、また
４）流路材中の処理水流路が斜向させた構成を有する平膜エレメント
に上記平膜エレメントの洗浄方法を適用させることで、さらに好ましいものとなる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、以下に説明するとおり、(1)平膜エレメント内部を過剰に加圧しない、(2)薬液量が少ない、(3)平膜エレメント構造が複雑すぎない、といった安全かつ効率的な洗浄方法を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明で使用される活性汚泥処理装置は、活性汚泥槽内に浸漬された上部に２つのノズルを有する平膜エレメント、平膜エレメントの薬液排出ノズルに接続される処理水ライン、平膜エレメントの薬液注入ノズルに接続される薬液注入ライン、および処理水ラインと薬液注入ラインを接続した循環ライン、により基本的に構成され、薬液の注入を水頭差で行うことができればよい。
【００１５】
以下、本発明の最良の実施形態の例を、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は本発明の洗浄方法を説明するための活性汚泥処理装置の一例を示す概略構成図であり、図２は平膜エレメント１の一例を示す概略斜視図であり、図３は図２の平膜エレメント１を用いたモジュール２を示す概略斜視図である。
【００１７】
本発明に使用される平膜エレメント１は、基本的に上部に薬液注入ノズル２５、薬液排出ノズル２４を有した基板２１の両面に、処理水の通路となる流路材２２、平膜２３を固定した構造であり、流路材２２が配されている空間が処理水を貯留するろ過室２６となる。平膜２３の外側から内側にろ過を行い、ろ過室２６を介して、上部のノズルから処理水を取り出す構造である。
【００１８】
活性汚泥処理装置は、生物処理槽３と、生物処理槽３内の被処理水を固液分離した処理水を貯留する処理水槽４、および薬液を貯留する薬液槽５を持つ。生物処理槽３には、平膜エレメント１を複数枚装填したモジュール２が浸漬され、平膜エレメント１からの薬液排出ノズル２４は処理水ライン７を介して処理水槽４に、薬液注入ノズル２５は薬液注入ライン９を介して薬液槽５に接続され、またこの処理水ライン７と薬液注入ライン９が循環ライン８で接続されている。また、生物処理槽３にはブロア１２と接続した散気装置１５と原水流入ライン１０が付設されている。
【００１９】
通常のろ過運転では、原水供給ライン１０から供給される廃水を生物処理槽３内で生物処理を行いながら、一方で散気装置１５から供給されるエアーで平膜エレメント１の表面を洗浄しつつ平膜エレメント１の外から内側へ吸引ろ過を行い、流路材２２が配されているろ過室２６から処理水ライン７を通して処理水槽４に清澄な処理水を得る。吸引ろ過は、吸引ポンプ１１の使用、または生物処理槽３と処理水槽４との水頭差を利用して行われる。
【００２０】
継続してろ過運転を行うと、平膜エレメント１の表面にエアーでは除去できない濁質分が付着するため、ろ過運転を停止して薬液洗浄を行う。
【００２１】
本発明の薬液洗浄方法では、まず処理水ライン７のバルブ１７を閉じ、次にバルブ１６およびバルブ１８を開けることによって、薬液槽５の薬液を薬液注入ライン９を介して水頭差により平膜エレメント１内のろ過室２６に導入する。またこの時平膜エレメント１の薬液排出ノズル２４から吸引ポンプ１１でろ過室２６内の薬液および洗浄前から溜まっている処理水の混合液を吸引し、循環ライン８を介して、薬液槽５に戻す。以上の方法により、(1)水頭差を利用することで平膜エレメント内部を過剰に加圧しない、(2)薬液槽５内の薬液を無駄に捨てることない、(3)平膜エレメントを複雑な構造としない、安全かつ効率的な洗浄を実施することができる。
【００２２】
循環にあたっては、平膜エレメント１への薬液注入量および排出量が同等、もしくは薬液注入の水頭差による圧力内で加圧状態となるようにバランスをとるのが好ましい。薬液洗浄を良好に行うためには、平膜エレメント１の内側から外側に薬液を通過させる必要があるが、ろ過室２６が負圧状態になるとろ過が行われるため薬液の通過を阻害する。また、このろ過により混合液の量が増大し、薬液が必要以上に薄くなるといった問題も発生する。バランスを取る方法としては、薬液槽５にレベル計を設置しておき、レベルが所望のレベルまで下がった時点で吸引ポンプ１１を運転する方法や、薬液注入ライン９に流量計を設置しておき、この流量に応じて吸引ポンプ１１の吸引量を制御する方法が考えられる。
【００２３】
薬液は水頭差で注入されるが、この水頭差の上限については使用する平膜エレメント１の機械的強度に合わせて適宜設定することができるが、好ましくは２ｍ、さらに好ましくは１ｍ以下の水頭差で設定することが好ましい。平膜エレメントの薬液洗浄では、ろ過室２６内を数十ｋＰａ程度の加圧までに抑える必要があるが、ポンプを用いた加圧注入では圧力の制御が難しく、また想定した値以上に加圧される危険がある。
【００２４】
薬液槽５内の薬液は、エレメント１内のろ過室２６に予め貯留されている処理水の量を考慮し、最終的に混合液として所望の濃度となるように調整しておくことで、使用薬液量を必要最小限とすることができ好ましい。また、混合液をより効率的に使用するために、ある一定時間、例えば循環ライン８の混合液の濃度が薬液槽５内の混合液の濃度と略同一になった時点で吸引ポンプ１１の運転を停止し、混合液の全量を水頭差で平膜エレメント１に供給する方法が好ましく用いられる。この時、混合液の濃度を確認する方法の一例として、薬液槽５および循環ライン８にそれぞれｐＨ計１３、１４を設置する方法がある。なお、循環ライン８の混合液の濃度を薬液槽５内の混合液の濃度と完全に同じ値とすることは容易ではないため、本発明では、循環ライン８の混合液の濃度が薬液槽５内の混合液の濃度と略同一であるとは、薬液槽５内の混合液の濃度に対して循環ライン８の混合液が６０％以上のある濃度、望ましくは８０％以上のある濃度であることを指すものとし、この時点を以て循環を停止して静置する方法が好ましい。
この方法を用いれば、平膜エレメント内外で均一な濃度の混合液を供給できることになり、平膜エレメントの全部位で均一に混合液を膜の内側から外側に通過させることができる。
【００２５】
前述したように、本発明の洗浄方法は、薬液の比重が処理水の比重より大きいときに大きな効果が得られる。廃液の量を増やさないように循環により混合液の量を保ちつつ、薬液（混合液）の比重による流れのベクトル３３と薬液（混合液）の循環による流れのベクトル３４の合力で薬液をろ過室２６の全域に分散させることができる。なお、ベクトル３３と３４はろ過室２６内での流れのベクトルを表している。
【００２６】
本発明で使用される薬液は、特に限定されるものではなくが、次亜塩素酸ナトリウム、過酸化水素、塩酸、硫酸、硝酸、シュウ酸、リンゴ酸、水酸化ナトリウム、その他の薬液を適宜選択して使用することができる。
【００２７】
本発明に使用される平膜エレメントは、前述したように、基本的に上部に薬液注入ノズル２５、薬液排出ノズル２４を有した基板２１の両面に、処理水の通路となる流路材２２、平膜２３を固定した構造であるが、本発明の効果をより高めるために流路材の処理水通路を斜向させたものを用いるのが好ましい。斜向とは、平膜エレメント１を使用状態に配置した際、鉛直および水平方向以外の方向に通路を有しているものであり、総通路断面積の６０％以上が斜向しているものを用いるのが好ましい。また、図４のように基板の表面を凹凸を持つ形状とすることで流路材２２の機能を基板に持たせた基板６１のような構造を用いてもよい。
【００２８】
基板２１は略平板状のものであれば特に限定されず、材質としては、ＡＳＴＭ試験法のＤ６３８におけるヤング率が３００ＭＰａ程度以上の剛性を持つ材質であれば特に限定されるものではないが、ステンレスなどの金属類、アクリロニトリルブタジエンスチレンゴム（ＡＢＳ樹脂）、塩化ビニルなどの樹脂、繊維強化樹脂（ＦＲＰ）などの複合材料、その他の材質などを適宜選択、使用することができる。
【００２９】
流路材２２は、ろ過室２６を形成できる厚みを持ち、また処理水の流路を確保できる形状であれば特に限定されるものではないが、一例として、空隙率が４０％〜９６％程度の、ネット、不織布、セラミック・金属等の多孔質材料、を好ましく用いることができる。
【００３０】
平膜２３としては、特に限定されるものではなく、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリビニルアルコール、セルロースアセテート、ポリアクリロニトリル、塩素化ポリエチレン、ポリ弗化ビニリデン、ポリビニルフルオライド、その他の材質を適宜選択して使用することができる。連続で散気するような環境下で使用する場合には、耐久性の高いポリオレフィン系やフッ素系の材質を特に好ましく使用することができ、ＭＬＳＳ(Mixed Liquor and Suspended Solid)濃度が１０００ｍｇ／リットル以下の比較的清澄な原水の場合には、ポリアクリロニトリルやセルロースアセテート、ポリスルホンなどを特に好ましく使用することができる。そして、平膜の孔径についても、多孔質であれば特に限定するものではないが、特に活性汚泥水の固液分離を行う場合にはその膜のろ過性能を決定する細孔の孔径が０．０１〜２０μｍ程度の範囲内にあるものが好ましい。
【００３１】
ハウジング４１そのものの形状は、円筒形や直方体など種々の形状を選択することができるが、板状の平膜エレメント１を充填密度が高くするためには直方体にするのが好ましい。また、本平膜モジュールを生物処理槽内に設けて使用する場合には、散気による旋回流がハウジング４１内を通過し、平膜エレメント間の流路６を通過するように上下端部を開放することが好ましい。また、各平膜エレメント１の薬液注入ノズル２５と薬液排出ノズル２４をチューブ４４を介してそれぞれ接続できる集合管４３を付設している構造も好ましく使用することができる。材質は特に限定されず、形状の保持が可能な種々の材質を適宜選択して使用することができる。
【実施例】
【００３２】
（実施例１）
上部両端からそれぞれ５０ｍｍの位置に薬液注入ノズル２５と薬液排出ノズル２４を有したＡＢＳ樹脂製の基板２１（サイズ、５００ｍｍ幅×１５００ｍｍ長×６ｍｍ厚み）の両面にポリ弗化ビニリデン製の平膜２３を貼り付けた図４に示す膜面積１．４ｍ２の平膜エレメント１を製作した。この基板の表面には、深さ０．５ｍｍ、幅２ｍｍで平膜エレメント１の上下方向に対して１５°斜向した溝が有り、流路材２２と同様に処理水の流路となる。
【００３３】
この平膜エレメント１を図１の活性汚泥処理装置に取付けた。生物処理槽３は透明なアクリル製であり、中にＲＯ水を充填することでエレメント表面が水槽の側面から観察できるようにした。
【００３４】
薬液として５０００ｐｐｍの次亜塩素酸ナトリウムを想定し、これと同じ比重（１．０１２）となるように、ＲＯ水に塩化ナトリウムおよび薬液の分散状況を目視確認できるようメチルバイオレットを添加した５リットルの薬液模擬水を用意した。
【００３５】
この薬液模擬水を薬液槽５に入れ、バルブ１７以外を開けることで薬液模擬水を薬液注入ライン９を通して平膜エレメント内に導入し、吸引ポンプで循環ライン８から薬液槽５に戻す循環運転を行った。この時、薬液注入の水頭差は０．５ｍであり、また薬液を排出する吸引ポンプの圧力は−５ｋＰａであった。
【００３６】
薬液の注入開始から、生物処理槽の側面から平膜の表面を観測し、平膜表面の色、および平膜裏側のろ過室の色（影）がメチルバイオレッドで変化する様子を観察し、平膜エレメント１内での薬液模擬水の分散状況を確認した。その結果、約３０秒で平膜エレメント１全体が着色した。
【００３７】
（実施例２）
上部両端からそれぞれ５０ｍｍの位置に薬液注入ノズル２５と薬液排出ノズル２４、また下部に薬液排出ノズル３５を有したＡＢＳ樹脂製の基板１２１（サイズ、５００ｍｍ幅×１５００ｍｍ長×６ｍｍ厚み）の両面に図４と同様にポリ弗化ビニリデン製の平膜２３を貼り付けた膜面積１．４ｍ２の図６に示す平膜エレメント１０１を製作した。この基板の表面には、深さ０．５ｍｍ、幅２ｍｍで平膜エレメント１の上下方向に対して１５°斜向した溝が有り、流路材２２と同様に処理水の流路となる。
【００３８】
この平膜エレメント１０１を図８の活性汚泥処理装置に取付た。生物処理槽３は透明なアクリル製であり、中にＲＯ水を充填することでエレメント表面が水槽の側面から観察できるようにした。
【００３９】
薬液として５０００ｐｐｍの次亜塩素酸ナトリウムを想定し、これと同じ比重（１．０１２）となるように、ＲＯ水に塩化ナトリウムおよび薬液の分散状況を目視確認できるようメチルバイオレットを添加した５リットルの薬液模擬水を用意した。
【００４０】
この薬液模擬水を薬液槽５に入れ、バルブ１７以外を開けることで薬液模擬水を薬液注入ライン９を通して平膜エレメント内に導入し、吸引ポンプで循環ライン８から薬液槽５に戻す循環運転を行った。この時、薬液注入の水頭差は０．５ｍであり、また薬液を排出する吸引ポンプの圧力は−４ｋＰａであった。
【００４１】
薬液の注入開始から、生物処理槽の側面から平膜の表面を観測し、平膜表面の色、および平膜裏側のろ過室の色（影）がメチルバイオレッドで変化する様子を観察し、平膜エレメント１内での薬液模擬水の分散状況を確認した。その結果、薬液排出ノズル３５から薬液模擬水を抜出すことでさらに分散を加速させる効果が得られ、約２０秒で平膜エレメント１０１全体が着色した。
【００４２】
（比較例１）
上部の片端から５０ｍｍの位置に設けたノズル５１を薬液注入用に、下部の他端側から５０ｍｍの位置に設けたノズル５２を薬液排出用に設置したＡＢＳ樹脂製の基板２２１（サイズ、５００ｍｍ幅×１５００ｍｍ長×６ｍｍ厚み）の両面にポリ弗化ビニリデン製の平膜２３を貼り付けた図７に示す膜面積１．４ｍ２の平膜エレメント２０１を製作した。この基板の表面には、深さ０．５ｍｍ、幅２ｍｍで平膜エレメント１の上下方向に対して１５°斜向した溝が有り、流路材２２と同様に処理水の流路となる。
【００４３】
この平膜エレメント２０１を図１の活性汚泥処理装置に取付た。生物処理槽３は透明なアクリル製であり、中にＲＯ水を充填することでエレメント表面が水槽の側面から観察できるようにした。
【００４４】
薬液として５０００ｐｐｍの次亜塩素酸ナトリウムを想定し、これと同じ比重（１．０１２）となるように、ＲＯ水に塩化ナトリウムおよび薬液の分散状況を目視確認できるようメチルバイオレットを添加した５リットルの薬液模擬水を用意した。
【００４５】
この薬液模擬水を薬液槽５に入れ、バルブ１７以外を開けることで薬液模擬水を薬液注入ライン９を通して平膜エレメント内に導入し、吸引ポンプで循環ライン８から薬液槽５に戻す循環運転を行った。この時、薬液注入の水頭差は０．５ｍであり、また薬液を排出する吸引ポンプの圧力は−５ｋＰａであった。
【００４６】
薬液の注入開始から、生物処理槽の側面から平膜の表面を観測し、平膜表面の色、および平膜裏側のろ過室の色（影）がメチルバイオレッドで変化する様子を観察し、平膜エレメント１内での薬液模擬水の分散状況を確認した。その結果、平膜エレメント２０１のエッジ部５４以外のエリアは約４０秒で着色したが、エッジ部５４のエリアは１５分後にも着色していなかった。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、下水・廃水処理に用いられる平膜エレメントの洗浄方法に限らず、上水処理で用いられる平膜エレメントなどにも応用することができるが、その応用範囲が、これらに限られるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に用いられる活性汚泥処理装置の一例を示す模式図である。
【図２】本発明に用いられる平膜エレメントの一例を示す概略斜視図である。
【図３】本発明に用いられるモジュールの一例を示す概略斜視図である。
【図４】本発明に用いられる基板の他の例を示す概略斜視図である。
【図５】図２の平膜エレメントのろ過室内での混合液の流れを示した模式図である。
【図６】本発明に用いられる平膜エレメントの他の例でのろ過室内での混合液の流れを示した模式図である。。
【図７】従来の平膜エレメントの一例およびろ過室内での混合液の流れを示したを示す模式図である。
【図８】図６の平膜エレメントを用いた活性汚泥処理装置の一例を示す模式図である。
【図９】図２のＡ−Ａ断面を表した模式図である。
【符号の説明】
【００４９】
１    平膜エレメント
２    モジュール
３    生物処理槽
４    処理水槽
５    薬液槽
６    流路
７    処理水ライン
８    循環ライン
９    薬液注入ライン
１０  原水供給ライン
１１  吸引ポンプ
１２  ブロア
１３  ｐＨ計
１４  ｐＨ計
１５  散気装置
１６  バルブ
１７  バルブ
１８  バルブ
２１  基板
２２  流路材
２３  平膜
２４  薬液排出ノズル
２５  薬液注入ノズル
２６  ろ過室
３１  薬液（混合液）
３２  薬液（混合液）
３３  薬液（混合液）の比重による流れのベクトル
３４  薬液（混合液）の循環による流れのベクトル
３５  薬液排出ノズル
４１  ハウジング
４２  集水管
４３  集水管
４４  チューブ
５１  薬液注入ノズル
５２  薬液排出ノズル
５３  薬液（混合液）の流れ
５４  エッジ部
６１  基板
１０１  平膜エレメント
１２１  基板
２０１  平膜エレメント
２２１  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006198462.tif 000009
【図８】
2006198462.tif 000010
【図９】
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