(57)【要約】【課題】  被検査体を高い真直度で移動させることができ、正確な検査を行うことができる検査装置を提供すること。【解決手段】  本発明の一態様にかかる検査装置は、一対のガイド軸５２の間にＸ方向に沿って移動可能に設けられたエアスライダ５１であって、ガイド軸５２との間で微小隙間を発生させるエアスライダ５１と、エアスライダ５１をＸ方向に移動させる直線駆動機構４０と、エアスライダ５１とともに移動し、マスクをＹ方向に保持するマスクホルダ７と、マスクホルダ７の上側に設けられ、Ｘ方向に沿って設けられたガラスレール７１と、Ｘ方向と垂直なＺ方向から、ガラスレール７１を挟むように設けられた一対のエアパッド７２と、一対のエアパッド７２に対応して設けられ、マスクホルダ７の上部を挟むように配置された一対のホルダ挟持具７３とを備えるものである。【選択図】  図６
2006194819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアを噴出することによって浮上するエアスライダを有し、前記エアスライダを浮上させた状態で水平方向に移動させながら、被検査体からの光を検出して検査を行う検査装置であって、
第１の方向に沿って固定された１対のガイド軸と、
前記一対のガイド軸の間に前記第１の方向に沿って移動可能に設けられたエアスライダであって、前記ガイド軸にエアを噴出し、前記ガイド軸との間で微小隙間を発生させるエアスライダと、
前記エアスライダを第１の方向に移動させる駆動機構と、
前記エアスライダとともに移動し、被検査体を鉛直方向に保持するホルダと、
前記被検査体からの光を検出する光検出器と、
前記ホルダの上側に設けられ、前記第１の方向に沿って設けられたレールと、
前記第１の方向と略垂直な第２の方向から、前記レールを挟むように設けられた一対のエアパッドと、
前記一対のエアパッドに対応して設けられ、前記ホルダの上部を挟むように配置された一対のホルダ挟持具とを備える検査装置。
【請求項２】
前記一対のホルダ挟持具の少なくとも一方が板バネを有し、
前記板バネが前記マスクホルダの上部を前記第２方向に押すことによって、前記ホルダを鉛直方向と平行な状態で移動させる請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記第２方向において、前記エアスライダが荷重を受ける部分と異なる位置に前記ホルダが配置されている請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記エアスライダの上側に設けられ、前記ホルダを支持するホルダ支持具をさらに備え、
前記ホルダ支持具の前記第２の方向における端部が上側に突出するよう形成され、
前記突出した部分に前記ホルダを配設することにより、前記エアスライダが荷重を受ける部分と異なる位置に前記ホルダが配置される請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記エアスライダが少なくとも前記ホルダの端部にそれぞれ配置されるよう２つ設けられ、
前記２つのエアスライダを連結する連結板をさらに備え、
前記連結板に前記ホルダ支持具が取り付けられている請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記ホルダ支持具の下面の少なくとも一部が曲面であり、
前記ホルダが前記エアスライダに対して傾斜可能に設けられている請求項４又は５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記一対のエアパッドにおいて、前記ホルダの前記エアスライダが加重を受ける部分側に配置されたエアパッドのエア圧が反対側に配置されたエアパッドのエア圧よりも高くなっている請求項３乃至６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記一対のエアパッドの少なくとも一方の前記第２の方向における位置を変位させ、前記被検査体の鉛直方向の位置ずれを補正する位置補正機構を備える請求項１乃至４のいずれか一項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関し、さらに詳しくは水平方向に被検査体を移動させる検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体検査装置、ＬＣＤ用検査装置、フォトマスク用検査装置等ではＣＣＤカメラ等により基板をモニターし欠陥等の確認作業を行う。また、基板全面を検査するためにＣＣＤカメラやマスクを精度よく移動させて検査を行う。これらの検査装置では被検査基板を水平に保持する方法と鉛直に保持する方法がある。水平に保持する方法では、ＣＣＤカメラ又は基板の可動構造を有する構成物を容易に設計、製作できるという利点がある。なおマスク検査装置においては１つのＣＣＤカメラのみにより検出を行いデータベースに記憶されているＣＡＤデータと比較し欠陥等の検査を行うＤｉｅ  Ｔｏ  Ｄａｔａｂａｓｅ方式と一定間隔に離れた２つのＣＣＤカメラのヘッドにより検出を行い、そのデータを比較して欠陥等の検査を行うＤｉｅ  ｔｏ  Ｄｉｅ方式が用いられている。
【０００３】
しかし近年の基板サイズの大型化によりマスクサイズも大きくなり、マスクを水平に保持すると自重によってマスクにたわみが生じる。また検査中にパーティクルが発生しマスク上に落ちることもある。これらにより検査にミスが生じることがあるため、マスクを鉛直に保持する方法を用いた検査装置が本件の出願人により開示されている。（特許文献１）。鉛直に保持する方法では被検査マスクのたわみを最小限に抑えることができる。さらにパーティクルの影響を少なくすることが出来る。またマスクを縦置きにすることにより小型化、省スペース化、軽量化が図れるという利点もある。
【０００４】
この検査装置では、まず、マスクを鉛直に保持した状態にする。このマスクに設けられたパターンを撮像するＣＣＤカメラなどの撮像手段を一定の高さで固定しておく。そして、ＣＣＤカメラの前を一定の速さでマスクを水平方向に移動させる。これにより、ＣＣＤカメラの前をマスクが通過し、水平方向に沿った１ライン分の画像が撮像される。そして、ＣＣＤカメラの高さを変え、マスクの水平移動を繰り返す。これにより、マスクの全面を検査することができる。
【０００５】
被検査マスクを鉛直に保持する方法では、検査用画像を撮像するためにマスクを水平軸方向に駆動する必要がある。この基板の移動の直進性（真直度、ヨーイング、ピッチング、ローリング）及び剛性は、検査装置の検査精度を決定する重要な要因であり、より高いレベルが要求されている。また、近年の配線幅の微細化によりマスクのパターン形状が微細化され、さらに高いレベルの直進性が要求されるようになってきている。
【０００６】
このような、マスクを水平に移動するための直線案内装置（リニアガイド）としては、エアスライダが用いられる。具体的には、マスクを保持するマスクホルダが取り付けられたエアスライダを空気圧によりガイド軸から２〜６μｍ程度の微小隙間だけ離間させる（特許文献２）。これにより、エアスライダが非接触により支持される。そして、エアスライダを非接触により支持した状態で、リニアモータなどの直線駆動機構により、水平方向にエアスライダを移動させる。これにより、滑らかにマスクが水平方向に沿って移動する。このエアスライダは断面矩形状のガイド軸の外周を囲むように設けられている。真直度を向上させるため、ガイド軸の上面、下面及び２側面の４面に対してエアを噴出して、各面に対してエアギャップを設けた状態としている。そして、各面に対するエアギャップを一定に保つように、エアを噴出する。したがって、エアスライダはガイド軸の上面、下面及び側面のいずれからも所定の微小隙間だけ離れた状態となる。これによりエアスライダは、ガイド軸に沿って真直度よく移動する。しかしながら、この直線案内装置では、ガイド軸の全周を囲む必要があるため、構造が複雑になってしまうという問題点があった。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−６８９４０号公報
【特許文献２】特開２００４−６０８３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のマスク検査装置では、マスクを鉛直に保持して水平に移動させる場合、以下のような問題点があった。従来のマスク検査装置では、エアスライダをステージの上に直接取り付け、ステージの面をエア浮上のための圧力面としている。このタイプのエアスライダでマスクを鉛直に保持しようとした場合、マスクが自重により前又は後に倒れてしまうことがあった。すなわち、エアスライダに回転モーメント荷重が加わるよ、マスクホルダが前後に倒れてしまう。このような前倒れ又は後倒れが発生すると、エアスライダにより発生する微小隙間が部分的に０となってしまい、いわゆるかじりが起きてしまう。特に、マスクのサイズが大きくなってくると、このような問題点はより顕著に表れてしまう。したがって、マスクを真直度良く水平に移動させることが困難となってしまうおそれがあった。この場合、検査精度が劣化してしまう。
【０００９】
この問題は、マスクに限るものではなく、基板を鉛直に保持して水平に移動させる直線案内装置を用いた検査装置で発生してしまう。
本発明は上記の問題点を鑑みてなされたものであり、真直度よく水平に基板を移動させることができる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の態様にかかる検査装置は、エアを噴出することによって浮上するエアスライダ（例えば、本発明の実施の形態にかかるエアスライダ５１）を有し、前記エアスライダを浮上させた状態で水平方向に移動させながら、被検査体（例えば、本発明の実施の形態にかかるマスク６）からの光を検出して検査を行う検査装置であって、第１の方向に沿って固定された１対のガイド軸（例えば、本発明の実施の形態にかかるガイド軸５２）と、前記一対のガイド軸の間に前記第１の方向に沿って移動可能に設けられたエアスライダであって、前記ガイド軸にエアを噴出し、前記ガイド軸との間で微小隙間を発生させるエアスライダと、前記エアスライダを第１の方向に移動させる駆動機構（例えば、本発明の実施の形態にかかる直線駆動機構４０）と、前記エアスライダとともに移動し、被検査体を鉛直方向に保持するホルダ（例えば、本発明の実施の形態にかかるマスクホルダ７）と、前記被検査体からの光を検出する光検出器（例えば、本発明の実施の形態にかかるＣＣＤカメラヘッド３ａ）と、前記ホルダの上側に設けられ、前記第１の方向に沿って設けられたレール（例えば、本発明の実施の形態にかかるガラスレール７１）と、前記第１の方向と垂直な第２の方向から、前記レールを挟むように設けられた一対のエアパッド（例えば、本発明の実施の形態にかかるエアパッド７２）と、前記一対のエアパッドに対応して設けられ、前記ホルダの上部を挟むように配置された一対のホルダ挟持具（例えば、本発明の実施の形態にかかるホルダ挟持具７３）とを備えるものである。これにより、直進性よく水平に基板を移動させることができ、正確に検査を行うことができる。
【００１１】
本発明の第２の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記一対のホルダ挟持具の少なくとも一方が板バネを有し、前記板バネが前記マスクホルダの上部を前記第２方向に押すことによって、前記ホルダを鉛直方向と平行な状態で移動させるものである。これにより、ホルダを鉛直方向と平行な状態で保持したまま、移動させることができる。
【００１２】
本発明の第３の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記第２方向において、前記エアスライダが荷重を受ける部分と異なる位置に前記ホルダが配置されているものである。これにより、ホルダが倒れるのを効果的に防ぐことができる。
【００１３】
本発明の第４の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記エアスライダの上側に設けられ、前記ホルダを支持するホルダ支持具（例えば、本発明の実施の形態にかかるホルダ支持具５４）をさらに備え、前記ホルダ支持具の前記第２の方向における端部が上側に突出するよう形成され、前記突出した部分に前記ホルダを配設することにより、前記エアスライダが荷重を受ける部分と異なる位置に前記ホルダが配置されるものである。これにより、簡易な構成で、ホルダが倒れるのを効果的に防ぐことができる。
【００１４】
本発明の第５の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記エアスライダが少なくとも前記ホルダの端部にそれぞれ配置されるよう２つ設けられ、前記２つのエアスライダを連結する連結板（例えば、本発明の実施の形態にかかる連結板）をさらに備え、前記連結板に前記ホルダ支持具が取り付けられているものである。これにより、簡易な構成で、ホルダを水平に保持することができる。
本発明の第６の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記ホルダ支持具の下面の少なくとも一部が曲面であり、前記ホルダが前記エアスライダに対して傾斜可能に設けられているものである。これにより、ホルダ支持具のかじりを防ぐことができる。
【００１５】
本発明の第７の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記一対のエアパッドにおいて、前記ホルダの前記エアスライダが加重を受ける部分側に配置されたエアパッドのエア圧が反対側に配置されたエアパッドのエア圧よりも高くなっているものである。これにより、ホルダが倒れるのを効果的に防ぐことができる。
【００１６】
本発明の第８の態様にかかる検査装置は、上述の検査装置において、前記一対のエアパッドの少なくとも一方の前記第２の方向における位置を変位させ、前記被検査体の鉛直方向の位置ずれを補正する位置補正機構を備えるものである。これにより、レールのうねり等による位置ずれに基づいて発生する鉛直方向の位置ずれを、補正することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、真直度よく水平に基板を移動させることができ、正確に検査を行うことができる検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明を適用可能な実施の形態が説明される。以下の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。説明の明確化のため、以下の記載は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、当業者であれば、以下の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能であろう。尚、各図において同一の符号を付されたものは同様の要素を示しており、適宜、説明が省略される。
【００１９】
本発明にかかる直線案内装置を用いたマスク検査装置について図１を用いて説明する。図１はマスク検査装置の構成を模式的に示す斜視図である。１はヘッド用角柱、２は定盤、３はヘッド部、３ａはＣＣＤカメラヘッド、４はバランスウェイト（カウンターウェイト）、５はワイヤー、７はマスクホルダ、８は鉛直方向駆動機構、９は第１基準面、１０は第２基準面、１１はエアパッド、１２はヘッド用直角ステージ、１６はヘッド用モータ、１８はモーターステージ、３０は水平方向移動機構である。
【００２０】
ステージとなる定盤２の上には、直方体のヘッド用角柱１が鉛直に取り付けられており、その横にマスクホルダ７が鉛直に立てられている。このヘッド用角柱１及び定盤２は加工の容易さの観点及び平面度を出すためにグラナイト（御影石）からなる。また金属やセラミックなどのグラナイト以外の材質でもよい。マスクホルダ７には被検査体であるマスクが取り付けられるようになっている。ここでは、ヘッド用角柱１と反対側にマスクが取り付けられている。なお、マスクホルダ７はマスクを検査することができるように、マスクに対応する部分が透明あるいは、中空となっている。これにより、ＣＣＤカメラヘッド３ａによりマスクのパターンを撮像することができる。検査時にはマスクホルダ７がＸ方向（水平方向）に移動する。ヘッド用角柱１の隣接する２面にヘッド用直角ステージ１２が設けられている。ヘッド用直角ステージ１２にはＣＣＤカメラヘッド３ａが取り付けられている。そしてヘッド用直角ステージ１２にはヘッド用角柱１のそれぞれの面との間にエアパッド１１が取り付けられている。ＣＣＤカメラヘッド３ａ、ヘッド用直角ステージ１２及びエアパッド１１等からなる移動部が上下に移動する。ヘッド用直角ステージ１２はヘッド用角柱１の第１基準面９及び第２に基準面１０に沿って移動する。ＣＣＤカメラヘッド３ａはマスクホルダ７に取り付けられたマスクからの透過光、反射光または散乱光を検出して、マスクの所定の領域を撮像する。
【００２１】
このヘッド用直角ステージ１２の上部にはワイヤーが取り付けられ、図１に示すように滑車を通じたその先には移動部と釣り合いが取れたバランスウェイト４が設けられている。ヘッド用直角ステージ１２はモーターステージ１８とラックアンドピニオン等からなる鉛直方向駆動機構８によって上下に移動する。具体的にはモーターステージ１８に取り付けられたヘッド用モータ１６を回転させ、ヘッド用直角ステージ１２を鉛直方向に移動させる。そのため、ワイヤー５はＣＣＤカメラヘッド３ａ、ヘッド用直角ステージ１２及びエアパッド１１等からなる移動部の重心位置に設けられていることが望ましい。これにより、高い真直度で鉛直方向の移動を行うことができる。この上下移動の制御は外部に設けられた制御用の処理装置により行われ、ＣＣＤカメラヘッド３ａをマスクの検査する位置に移動させることが可能となる。また装置内にはクリーンエアがダウンフローしておりパーティクルの発生を抑制している。
【００２２】
ＣＣＤカメラヘッド３ａを所定の位置で保持したまま、水平方向移動機構３０によりマスクホルダ７をＸ方向に一定速度で移動させ、マスクをＣＣＤカメラヘッド３ａの前を通過させる。水平方向移動機構３０はエアスライダなどを有する直線案内装置（リニアガイド）と、リニアモーター等を有する直線駆動機構とを備えている。水平方向移動機構３０については後述する。またマスクを水平にするために、マスクとマスクホルダ７の取り付け角度は調整できるようにしている。そして一定時間間隔でＣＣＤカメラの画像を検出する。この画像により、マスクに欠陥、異常がないか検査する。そしてＣＣＤカメラヘッド３ａを鉛直方向に一定距離移動させた後、再びＸ方向にマスクを移動させてマスクの画像の検出を行う。この動作を繰り返し行うことにより、マスクの全面が検査できる。例えば、Ｄｉｅ  Ｔｏ  Ｄａｔａｂａｓｅ方式では、処理装置のデータベースに記憶されたデータと検出画像との比較を行い、欠陥の有無を判定する。もちろん、一定間隔に離れた２つのＣＣＤカメラのヘッド等を用いて、Ｄｉｅ  ｔｏ  Ｄｉｅ方式により検査を行ってもよい。この鉛直方向の移動ステップとマスク水平方向の移動速度はＣＣＤカメラの視野範囲及び性能等により調整される。また、ＣＣＤカメラには自動焦点機構が設けられている。したがって、マスクホルダ７のＺ方向の位置がずれた場合でも、正確に検査を行うことができる。なお、欠陥等の検出方法については従来と同様の方法を用いることができるため、詳細な説明を省略する。なお、図１では水平方向移動機構の直線案内装置の詳細な形状等については省略して図示している。
【００２３】
次に図２を用いて水平方向移動機構３０について説明する。水平方向移動機構３０は上述の通り、マスクホルダ７の下部に配設された直線案内装置５０と直線駆動機構とを備えている。ここで直線駆動機構については、後述するため図示を省略する。さらに水平方向移動機構３０はマスクホルダ７の上部に配設された倒れ防止機構７０と位置補正機構８０とを備えている。
【００２４】
まず、直線案内装置５０について説明する。直線案内装置５０はエアスライダ５１とガイド軸５２と連結板５３とホルダ支持具５４とを備えている。定盤２の上にはエアスライダ５１が配設される。エアスライダ５１は定盤２に対してエアを噴出して、定盤２から浮上した状態でスライドする。このエアスライダ５１の両側には断面Ｌ字型のガイド軸５２がそれぞれ設けられている。ガイド軸５２は断面凸型のエアスライダ５１を囲むように設けられている。そして、エアスライダ５１の中央上部が開放するよう配設される。すなわち、ガイド軸５２は、エアスライダ５１の側面すなわちＸ方向に沿って、エアスライダ５１を挟むように配設される。そして、エアスライダ５１の上面の一部を覆うよう、断面Ｌ字型のガイド軸５２がエアスライダ５１の上側において側面から内側に突出するよう配設される。エアスライダ５１は外部のエアライン（図示せず）から導入された空気を排出する排気孔を備えている。エアスライダ５１は例えば、セラミックなどの焼結体からなり、排気孔が上面、下面及び側面に設けられている。そして、エアスライダ５１は下面、側面及び上面からエアを噴出する。したがって、エアの圧力により、エアスライダ５１の外側側面とガイド軸５２の内側側面との間、並びに、エアスライダ５１の上面とガイド軸５２の突出部分の下面との間に微小隙間が発生する。さらに定盤２の上面とエアスライダ５１の下面との間に微小隙間が発生する。これにより、エアスライダ５１が定盤２に対して浮上した状態となるため、非接触の状態で保持される。これにより、エアスライダ５１が非接触により支持される。よって、マスクホルダ７をＸ方向に沿って滑らかに移動させることができる。エアスライダ５１はガイド軸５２の間を移動する。すなわち、ガイド軸５２がエアスライダ５１のガイド軸となる。なお、ガイド軸５２は定盤２に対して固定されている。
【００２５】
ガイド軸５２の長さは、マスク及びマスクホルダ７のサイズによって決定される。すなわち、ガイド軸５２の長さは、マスクホルダ７のマスク全面を検査することができるような可動範囲となるように設定される。ガイド軸５２は例えば、エアスライダ５１のＸ方向のストロークが１８００ｍｍ程度になるような長さを有する。エアスライダ５１は図３に示すようにマスクホルダ７の端部にそれぞれ配置される。すなわち、２つのエアスライダ５１がマスクホルダ７の両端に対応するよう離間して設けられている。それぞれのエアスライダ５１はＸ方向において長さ３００ｍｍ程度である。エアスライダ５１の上にはこの２つのエアスライダ５１を連結する連結板５３が設けられている。すなわち、２つのエアスライダ５１は連結板５３によって連結され、Ｘ方向に沿って一体的に移動する。
【００２６】
連結板５３の上には、ホルダ支持具５４が設けられている。図２に示すようホルダ支持具５４の−Ｚ方向の端部上面にはマスクホルダ７が配設されている。このマスクホルダ７を取り付けるため、ホルダ支持具５４はホルダ支持具５４の−Ｚ側の端部において、上側に突出している。そして、このホルダ支持具５４の上側に突出している部分においてマスクホルダ７が取り付けられる。さらに、ホルダ支持具５４のＺ方向における中央部分は下側に突出している。そして、この下側に突出している部分が連結板５３に取り付けられる。したがって、エアスライダ５１と連結板５３とホルダ支持具５４とマスクホルダ７とが一体となって、Ｘ方向に沿って移動する。
【００２７】
この直線案内装置５０の構成について図４を用いて説明する。図４は直線案内装置５０の構成を示す断面図である。なお、図４はＹＺ平面における断面図である。また図４において、説明のため、マスクホルダ７は省略して図示している。
【００２８】
定盤２の上には直接、エアスライダ５１が載置されている。したがって、エアスライダ５１は定盤２の上面をエア浮上のための圧力面の一つとしている。断面凸字型のエアスライダ５１の両側にはガイド軸５２ａ、５２ｂがそれぞれ配置されている。ガイド軸５２ａ、５２ｂは定盤２に固定されている。エアスライダ５１から噴出されるエアによって、エアスライダ５１とガイド軸５２との間に微小隙間が発生する。エアスライダ５１の上側に突出している部分には断面矩形状の連結板５３が設けられている。連結板５３は上述の通り、２つのエアスライダ５１を連結するためのものである。なお、エアスライダ５１の数は２つ以外であってもよい。連結板５３のＺ方向における中央部が、エアスライダ５１によって支持される。すなわち、エアスライダ５１の上側に突出している部分が連結板５３のＺ方向における中央部を支持する。
【００２９】
さらに連結板５３の上側にホルダ支持具５４が取り付けられている。ホルダ支持具５４のＺ方向における中央部は、下側に突出している。したがって、ホルダ支持具５４において、この突出している部分が連結板５３に取り付けられる。すなわち、連結板５３のＺ方向における中央部に、ホルダ支持具５４が取り付けられる。また、ホルダ支持具５４は−Ｚ方向における端部が上側に突出している。上述の通り、この上側に突出している部分にマスクホルダ７が載置される。そして、本発明では、矢印６２方向に連結板５３が力を受けている場合でも、連結板５３に対するホルダ支持具５４の傾きをθ方向に変化させることができる。これにより、マスク６及びマスクホルダ７がエアスライダ５１に対して傾斜し、マスク６の位置をΔＹだけ変位させることができる。
【００３０】
なお、図５に示すようにホルダ支持具５４を連結板５３に取り付けてもよい。すなわち、ホルダ支持具５４から下方向に突出する突出部５４ａに位置決めピン５４ｂを設ける。そして、連結板５３の上面において位置決めピン５４ｂに対応する位置には位置決め穴を設ける。位置決めピン５４ｂと位置決め穴とを嵌合させることによって、ホルダ支持具５４を連結板５３に取り付けることができる。これにより、容易に正確な位置に取り付けることができる。なお、ここでホルダ支持具５４の突出部５４ａの下面は球面状に形成されている。これにより、簡易な構成で正確な位置にホルダ支持具５４を取り付けることができる。
このように、ホルダ支持具５４の下面の少なくとも一部を下に凸の曲面とする。そして、この曲面においてホルダ支持具５４と連結板５３とを接触させる。ここで、位置決めピン５４ｂを位置決め穴より小さく形成し、ある程度の隙間を持った状態で、位置決めピン５４ｂを位置決め穴に差し込む。このような構成により、ホルダ支持具５４が連結板５３に対して傾斜可能に配設される。すなわち、ホルダ支持具５４がエアスライダ５１及び連結板５３に対して転がり接触によって傾斜自在に保持される。換言すると、ホルダ支持具５４の曲面と連結板５３の上面を転がり接触により傾斜可能にしているの、接触面のかじりを防止することができる。このように突出部５４ａの下面を球面状とし、この球面を接触面とする。これにより、ホルダ支持具５４が傾斜自在に保持される。このような構成により、マスクホルダ７を傾斜させる方向に力が加わった場合でも、接触面でのかじりを防止することができる。
【００３１】
このように、エアスライダ５１のＺ方向における中央において連結板５３はエアスライダ５１に支持される。さらに、連結板５３のＺ方向における中央においてホルダ支持具５４は連結板５３に支持される。したがって、ホルダ支持具５４からの荷重は矢印６２に示すように、連結板５３のＺ方向の中央において連結板５３に加わる。また、連結板５３からの荷重は矢印６１に示すように、エアスライダ５１のＺ方向における中央においてエアスライダ５１に加わる。すなわち、エアスライダ５１の上方向に突出している部分の上面が荷重を受ける部分となる。一方、マスクホルダ７はＺ方向における端部においてホルダ支持具５４に支持されている。
【００３２】
マスクホルダ等に対して矢印６３に示すような回転モーメント荷重が加わってしまうと、マスクホルダ７が前後（Ｚ方向）に倒れてしまう。そして、図４に示すように角度θだけ倒れるとΔＹ＝ｌ・ｓｉｎθだけＹ方向にずれが生じてしまう。ここで、ｌはマスクのパターン面と、連結板５３のＺ方向における中心との間の距離である。すなわち、ｌはマスクのパターン面と連結板５３にエアスライダ５１の鉛直方向の荷重が加わる位置との間の距離である。Ｙ方向に位置ずれが生じたままマスクの検査を行うと、異なった位置でマスクのパターンが撮像されてしまう。よって、誤検出をしてしまうおそれがある。さらに、許容範囲以上、マスクホルダ７が倒れてしまうと、エアスライダ５１とガイド軸５２との間のギャップがなくなり、いわゆるかじりが発生してしまう。なお、上述の説明では、マスクホルダ７が後ろ側に倒れる後倒れについて説明したが、前方向に倒れる前倒れについても同様の問題が生じるおそれがある。なお、特に指定のない限り、−Ｚ方向を前方向とし、＋Ｚ方向を後方向とする。したがって、マスクホルダにおいて図１におけるＣＣＤカメラヘッド側が後面となり、ＣＣＤカメラヘッド３ａと反対側が前面となる。このように図４及び図５に示した構成により、連結板５３とホルダ支持具５４との間で発生するかじりを防止することができる。したがって、傾斜角θを容易に調整することが可能になる。
【００３３】
本発明では、このようなマスクホルダの前倒れ及び後倒れを防ぐため、図２に示すように倒れ防止機構７０を設けている。この倒れ防止機構７０について以下に説明する。倒れ防止機構７０はガラスレール７１とエアパッド７２とホルダ挟持具７３と角柱７７とレール支持具７８とを備えている。この倒れ防止機構７０の構成について図２及び図６を用いて説明する。なお、図６ではマスクホルダ７の前面にマスク６が配設されている例を図示している。
【００３４】
マスクホルダ７の上側にはＸ方向に沿ってガラスレール７１が設けられている。ガラスレール７１のＸＹ面に対向するよう一対のエアパッド７２が設けられている。エアパッド７２は前側及び後ろ側の両方にそれぞれ設けられている。すなわち、Ｚ方向においてエアパッド７２はガラスレール７１を挟み込むように配設される。エアパッド７２はガラスレール７１に対してエアを噴出することができるようになっている。すなわち、エアパッド７２はその側面からガラスレールに対してエアを噴出する。エアパッド７２から噴出されるエアによって、ガラスレール７１とエアパッド７２の間には微小隙間が発生する。これにより、エアパッド７２が非接触により支持される。そして、エアパッド７２は、この微小隙間を保ったまま、Ｘ方向にスライドする。前側すなわち−Ｚ方向のエアパッド７２には、ホルダ挟持具７３が取り付けられている。このホルダ挟持具７３はマスクホルダ７の前面に取り付けられる。後ろ側、すなわち、＋Ｚ方向のエアパッド７２にはてこ７４が取り付けられる。てこ７４の側面にはホルダ挟持具７３がネジ７９によって取り付けられる。すなわち、マスクホルダ７はホルダ挟持具７３ａとホルダ挟持具７３ｂとによって挟持される。
【００３５】
このようにマスクホルダ７の前面にはエアパッド７２ｂとホルダ挟持具７３ｂが設けられている。また、マスクホルダ７の後面にはエアパッド７２ａとホルダ挟持具７３ａとが設けられている。すなわち、一対のエアパッド７２のそれぞれにホルダ挟持具７３が取り付けられている。そして、一対のホルダ挟持具７３によってマスクホルダ７の上部を挟持する。エアパッド７２はガラスレール７１に対してエアを噴出している。そして、エアパッド７２ａからのエアによりガラスレール７１を押す力とエアパッド７２ｂからのエアによりガラスレール７１を押す力とが釣り合う位置がマスクホルダ７の上部の位置となる。したがって、図４で示したようにマスクホルダ７が倒れるのを防ぐことができる。すなわち、マスクホルダ７が前方向に倒れそうになった場合、エアパッド７２ａとガラスレール７１との間のギャップが狭くなる。ガラスレール７１とエアパッド７２ａとの間の空間におけるエア圧力が高くなる。よって、エアパッド７２ａからのエアがガラスレール７１を押す力が強くなり、マスクホルダ７が前方向に倒れようとする力を支えることができる。これにより、マスクホルダ７が前方向に倒れるのを防ぐことができる。
【００３６】
一方、マスクホルダ７が後方向に倒れそうになった場合、エアパッド７２ｂとガラスレール７１との間のギャップが狭くなる。ガラスレール７１とエアパッド７２ｂとの間の空間におけるエア圧力が高くなる。よって、エアパッド７２ｂからのエアがガラスレール７１を押す力が強くなり、マスクホルダ７が後方向に倒れようとする力を支えることができる。これにより、マスクホルダ７が後方向に倒れるのを防ぐことができる。このように、エアパッド７２から噴出されるエアにより、回転モーメント荷重によってマスクホルダ７が倒れるのを支える力がエアパッド７２とガラスレール７１との間に発生する。そして、エアパッド７２とガラスレール７１との間のギャップが狭くなれば、この支える力が強くなる。このエアの噴出により発生する力を利用することにより、マスクホルダ７が倒れるのを効果的に防止することができる。さらに、マスクホルダ７の前側及び後側にエアパッド７２を設けることにより、前倒れ及び後倒れを防止することができる。
【００３７】
なお、本発明では、マスクホルダ７がホルダ支持具５４の前側（−Ｚ側）に配設されている。エアスライダ５１によって支えられ、エアスライダ５１の移動に伴って移動する構造物を移動体とする。すなわち移動体は連結板５３、ホルダ支持具５４、マスクホルダ７、マスク６、エアパッド７２、ホルダ挟持具７３、てこ７４、補正モータ７５、カム７６及びネジ７９を含んでいる。もちろん、移動体は、これ以外の構成部品を含んでいてもよい。ここで、マスクホルダ７は、エアスライダ５１の荷重を受ける部分よりも−Ｚ方向に配設されている。したがって、移動体の重心はエアスライダ５１のＺ方向の中心より前側になる。すなわち、Ｚ方向における移動体の重心の位置はエアスライダ５１に加わる荷重の位置よりも前側になる。この場合、マスクホルダ７は前方に倒れやすくなる。よって、エアパッド７２ａのエア圧をエアパッド７２ｂのエア圧より高くすることが好ましい。これにより、マスクホルダ７が倒れるのを効果的に防止することができる。このように、マスクホルダ７が倒れやすい方向に対応するエアパッド７２のエア圧を高くすることが好ましい。すなわち、一対のエアパッド７２において、マスクホルダ７のエアスライダ５１が加重を受ける部分側のエアパッド７２ａのエア圧が反対側のエアパッド７２ｂのエア圧よりも高くなっていることが好ましい。
【００３８】
マスクホルダ７が倒れるのを支える力は、エアパッド７２からのエア圧とエアパッドのエア噴出面積とにより決まる。エア圧はエアパッドから噴出されるエアの噴出量とエアパッド７２とガラスレールとのギャップ等によって決まる。エア噴出面積は排気孔の大きさや数によって決まる。例えば、エアパッド７２ａとガラスレール７１とのギャップが３μｍのとき、支える力が５ｋｇｆとなるように、エアの噴出量及び噴出面積を設定する。これにより、回転モーメント荷重が加わった場合でも、マスクホルダ７を支えることができる。もちろん、マスクホルダ７が倒れるのを支える力は、マスクホルダ７などの重量や大きさに応じて、所望の値に設定することができる
【００３９】
このように、本発明ではマスクホルダ７の上部に進行方向に沿って設けられたガラスレール７１を挟むように２つのエアパッド７２を設けている。すなわち、進行方向（Ｘ方向）とは垂直な方向（Ｚ方向）に対向する２つのエアパッド７２を設け、この２つのエアパッド７２をガラスレール７１の両側に配置している。２つのエアパッド７２にはマスクホルダ７を挟持するホルダ挟持具７３がそれぞれ取り付けられる。よって、マスクホルダ７をガラスレール７１に沿って移動する。これにより、マスクホルダ７の下部に設けられた直線案内装置５０で、直進性よくマスクホルダ７を移動させることができる。よって、正確な検査を行うことができる。
【００４０】
なお、ガラスレール７１と直線案内装置５０との間のでＺ方向に位置ずれが生じていることがある。すなわち、Ｚ方向におけるガラスレール７１の位置と直線案内装置５０の位置と差によって、マスクホルダ７の上下でＺ方向の位置に差が生じる場合がある。個の場合、マスクホルダ７の上部と下部が、Ｚ方向に異なる位置となった状態で移動する。マスクホルダ７は一定角度傾斜した状態で移動してしまう。すなわち、マスクホルダ７はＺ方向の位置ずれに基づく角度だけ前又は後に倒れた状態で、移動してしまう。これを防ぐため、本発明では板バネを有するホルダ挟持具７３ｂをガラスレール７１の前側に設けている。
【００４１】
ホルダ挟持具７３ｂを構成する板バネは、その弾性力によってエアパッド７２ｂとマスクホルダ７を押すように取り付けられる。そして、この板バネは平行リンクとして機能する。板バネは、マスクホルダ７の上下が同じ位置にある場合、変形しない。この場合、板バネが変形しない常態でマスクホルダ７が鉛直方向と平行に配置される。マスクホルダ７の上下でＺ方向の位置に差が生じた場合、板バネが変形する。この場合、板バネの弾性力によってガラスレール７１の側面とマスクホルダ７の側面とが平行になる。板バネの弾性力によってマスクホルダ７の側面が押され、マスクホルダ７が鉛直方向と平行な状態となる。これにより、ガラスレール７１の側面とマスクホルダ７の側面とが平行な状態でマスクホルダ７をＸ方向に移動させることができる。
【００４２】
さらに、本発明ではガラスレール７１のうねりによって生じるＹ方向の位置ずれを補正する位置補正機構８０が設けられている。すなわち、ガラスレールの側面が正確にＸ軸と平行になっていない場合、マスクホルダ７がＸ軸に対して平行に移動できなくなってしまう。換言すると、ガラスレール７１が曲がっていた場合、マスクホルダ７のＸ方向の位置が変わると、Ｚ方向におけるマスクホルダ７の上部の位置が変わってしまう。このとき、マスクホルダ７は位置ずれに応じて微小角度傾斜した状態で移動する。この場合、図４に示したようにＹ方向に位置ずれが発生してしまう。この位置ずれを補正するための位置補正機構について図７を用いて説明する。位置補正機構８０はホルダ挟持具７３ａに取り付けられたてこ７４と、補正モータ７５と、カム７６と、ネジ７９とを備えている。
【００４３】
ガラスレール７１の後ろ側のエアパッド７２ａにはてこ７４が取り付けられている。エアパッド７２ａはてこ７４の上部に取り付けられている。てこ７４はエアパッド７２ａの下方に延設されており、その途中で一度屈曲している。すなわち、エアパッド７２ａに取り付けられたてこ７４は下方に延び、その途中で一度＋Ｚ方向に屈曲して、再度下方に延びている。
【００４４】
そして、＋Ｚ方向に屈曲した部分の下側にはカム７６が取り付られている。カム７６は偏心カムや等速カムであり、補正モータ７５の回転運動を往復運動に変える。カム７６はてこ７４の側面と接触するように取り付けられている。これにより、てこ７４の下部の位置はカム７６の回転によって規制される。そして、カム７６には補正モータ７５が取りけられている。この補正モータ７５を駆動させることにより、カム７６が回転する。カム７６が回転すると、てこ７４のＺ方向の位置が変位する。すなわち、補正モータによりカム７６を回転させると、カム７６とてこ７４との接触位置がＺ方向ずれる。これにより、てこ７４の下部を＋Ｚ方向及び−Ｚ方向に変位させることができる。
【００４５】
てこ７４は屈曲部分において、ネジ７９によりホルダ挟持具７３ａに取り付けられている。このてこ７４はホルダ挟持具７３ａに対してネジ７９を回転中心として回転する。すなわち、てこ７４の下部が＋Ｚ方向に押されると、てこ７４の上部は−Ｚ方向に変位する。一方、てこ７４の下部が−Ｚ方向に引かれると、てこ７４の上部は＋Ｚ方向に変位する
したがって、補正モータ７５の回転に応じて、てこ７４の上部の位置が変位する。てこ７４の上部の位置が変位すると、てこ７４に取り付けられたエアパッド７２ａとガラスレール７１とのギャップが変わる。すなわち、エアパッド７２ａはてこ７４の上部の変位に追従して、Ｚ方向に移動する。これにより、エアパッド７２ａとガラスレール７１との間のギャップが変化する。このギャップの変化により、ガラスレール７１のうねりを打ち消すようにする。すなわち、ガラスレール７１が−Ｚ方向にずれる位置にエアパッド７２が移動した場合、エアパッド７２ａを−Ｚ方向に移動させるようカム７６を回転させる。これにより、エアパッド７２ａとガラスレール７１との間のエア圧がエアパッド７２ｂとガラスレール７１との間のエア圧よりも高くなる。したがって、エアパッド７２ａはエアパッド７２ｂよりもガラスレール７１を押す力が強くなる。これにより、マスクホルダ７の上部は後ろ側（＋Ｚ側）に変位する。したがって、ガラスレール７１のうねりを補正することができる。ガラスレール７１が−Ｚ方向にずれることにより生じる後倒れを防ぐことができる。
【００４６】
一方、ガラスレール７１が＋Ｚ方向にずれている場合、エアパッド７２ａを＋Ｚ方向に移動させるようカム７６を回転させる。これにより、エアパッド７２ａとガラスレール７１との間のエア圧がエアパッド７２ｂとガラスレール７１との間のエア圧よりも低くなる。したがって、エアパッド７２ａはエアパッド７２ｂよりもガラスレール７１を押す力が弱くなる。これによりマスクホルダ７の上部は前側（−Ｚ側）に変位する。したがって、ガラスレール７１のうねりを補正することができる。ガラスレール７１が＋Ｚ方向にずれることにより生じる前倒れを防ぐことができる。
【００４７】
このように倒れ防止機構７０及び位置補正機構８０により、ガラスレール７１のうねりに起因するマスクホルダ上部の位置ずれを補正することができる。よって、マスクホルダ上部の位置ずれに基づく、マスクの倒れを防止することができる。したがって、マスクの上下の位置ずれを防ぐことができ、正確に検査を行うことができる。
【００４８】
なお、ガラスレール７１は例えば、図８に示すように取り付けることができる。図８はガラスレール７１の取り付けるための構成を説明するための図であり、定盤２を上から見た模式図である。ガラスレール７１は定盤２の中央にＸ方向に沿って設けられている。Ｘ方向の両端部及び中央には角柱７７が設けられている。すなわち、３つの角柱７７が略等間隔に設けられている。角柱７７の上部にはガラスレール固定具７８が図６に示すように設けられている。このガラスレール固定具７８によってガラスレール７１と角柱７７が固定される。また、角柱７７はＺ方向において、ガラスレール７１の両側にそれぞれ配置されることが好ましい。これにより、ガラスレール７１の反りを防ぐことができる。角柱７７はヘッド用角柱１と同様にグラナイトなどから構成される。
【００４９】
この、倒れ防止機構７０及び位置補正機構８０の制御について図９を用いて説明する。図９は直線案内装置及び倒れ防止機構と位置補正機構との制御システムを模式的に示す図である。４１は処理装置、４２はリニアモータドライバ、４３はリニアモータコントローラ、４４はリニアモータヨーク、４５はリニアモータコイル、８２は補正モータドライバ、８３はギア、８４は補正モータコントローラ、８５はメモリである。
【００５０】
上述のように、直線案内装置５０を用いてマスクホルダ７を移動させるため、リニアモータヨーク４４とリニアモータコイル４５とリニアモータドライバ４２とを備える直線駆動機構が設けられている。リニアモータヨーク４４はＸ方向に沿って定盤２に固定されている。このリニアモータヨーク４４にはＸ方向に沿ってＮ極とＳ極が所定のピッチで交互に配置されている。リニアモータドライバ４２から供給される電流によってリニアモータコイル４５に電流が流れる。この電流に応じてリニアモータコイル４５に生じる磁場が変化し、リニアモータヨーク４４での磁場に基づいてリニアモータコイル４５がＸ方向に沿って移動する。リニアモータコイル４５は例えば、マスクホルダ７などに取り付けられている。よって、リニアモータコイル４５が移動することによって、マスクホルダ７が移動する。なお、リニアモータについては従来と同様のものを用いることができるため、詳細な説明については省略する。
【００５１】
処理装置４１は、通常のパーソナルコンピュータ等であり、所定の処理を行う中央処理装置（ＣＰＵ）及び撮像した画像データ等を記憶するメモリやハードディスク等の記憶装置を備えている。処理装置４１はリニアモータドライバ４２を制御するリニアモータコントローラ４３、補正モータドライバ８２を制御する補正モータコントローラ８４及び補正情報を記憶するメモリ８５とを備えている。処理装置４１はマスクホルダ７を所定の位置に移動させるようリニアモータドライバ４２を制御することができる。例えば、マスクホルダ７を＋Ｘ方向に移動させるときモータドライバ４２にＣＷパルスを出力し、−Ｘ方向に移動させるときＣＣＷパルスを出力する。そして、リニアモータドライバ４２は、このＣＷパルス又はＣＣＷパルスに基づいて、リニアモータコイル４５に流す電流を制御する。ＣＷパルス又はＣＣＷパルスによってリニアモータコイル４５が駆動し、マスクホルダ７が所定の位置に移動する。さらに、処理装置４１にはＸ方向におけるマスクホルダ７の現在位置が記憶される。
【００５２】
処理装置４１はさらに、補正モータコントローラ８４を備えている。処理装置４１の補正モータコントローラ８４はマスクホルダ７のＸ方向の位置に基づいて補正モータドライバ８２を制御する。すなわち、ガラスレール７１はそのうねりにより側面が平坦ではなくなる場合がある。この場合、マスクホルダ７のＸ方向の位置が変わるとガラスレールのＺ方向の位置が変化する。処理装置４１の補正モータコントローラ８４は、このうねりを打ち消し、マスクホルダ７が高い真直度で移動するよう、補正モータドライバ８２を制御する。具体的には、処理装置４１のメモリ８５にはマスクホルダ７のＸ方向における位置とその位置における位置ずれとが対応付けて記憶されている。この位置ずれ量が補正すべき値となる。ここでＺ方向における位置ずれは、上述の通り、補正モータ７５を回転させることにより補正される。
【００５３】
補正モータ７５とカム７６との間には、ギヤ８３が設けられている。ギヤ８３は補正モータ７５の回転速度を変える。補正モータ７５の回転は、ギヤ８３により回転速度が変わって、カム７６に伝達される。これにより、カム７６は図７に示したように、Ｚ方向において、てこ７４の上部を移動させることができる。処理装置４１は例えば、てこ７４の上部を＋Ｚ方向に移動させるとき、ＣＷパルスを出力し、−Ｚ方向に移動させるとき、ＣＣＷパルスを出力する。ここで補正モータドライバ８２はＣＷパルスかＣＣＷパルスかによって、補正モータ７５の回転方向を変化させ、てこ７４の移動方向を変化させることができ。そして、補正モータドライバ８２はパルス数に応じて補正モータ７５を駆動させる。これにより、カム７６の回転を制御することができる。ここで、Ｚ方向における位置ずれに対応するパルス数が処理装置４１には記憶されている。したがって、処理装置４１は、マスクホルダ７のＸ方向に位置に対応した制御パルスを出力する。
【００５４】
このように、処理装置４１にＸ方向における位置とその位置における位置ずれ量に対応するパルス数を対応付けた補正情報を記憶させておく。処理装置４１はこの補正情報に基づいて、リニアモータドライバ４２と補正モータドライバ８２を制御する。具体的にはリニアモータドライバ４２によって移動させる位置に応じて、補正モータ７５が所定の回転をするよう制御する。すなわち、補正モータドライバ８２はリニアモータドライバ４２によって移動させる位置に応じて、Ｚ方向におけるてこ７４の位置が決まるよう補正モータ７５を回転させる。これにより、Ｘ方向に位置に応じて、ガラスレールのうねりが打ち消されるようにＺ方向の位置が決定される。
【００５５】
上述のＸ方向における位置とその位置における位置ずれ量に対応するパルス数を対応付けた補正情報は、基準となるマスクを検査することによって求めることができる。すなわち、補正を行わない状態で、一度あるいは複数回検査を行う。そして、撮像した画像においてＹ方向の位置ずれが発生している場合、そのＸ座標とその位置におけるＹ方向の位置ずれ量を求める。このＹ方向における位置ずれ量から、ガラスレール７１のＺ方向における位置ずれ量を算出する。すなわち、ガラスレール７１がＺ方向にずれた場合、図４に示したように検査対象のマスクのＹ方向の位置にずれが生じる。したがって、補正しない状態で撮像した画像のＹ方向の位置ずれから、ガラスレール７１のＺ方向の位置ずれを算出することができる。そして、Ｘ方向にマスクホルダ７を１ストローク移動させ、その間のＹ方向の位置ずれを所定の間隔で算出する。そして、このようにして算出したＹ方向の位置ずれから、１ストローク分のＺ方向の位置の変化を順次算出する。そして、この１ストローク間のＺ方向の位置の変化と、その位置変化を出力パルスに換算した値を処理装置４１に記憶させる。この位置変化とその出力パルスに換算した値はＸ方向における位置と対応付けられて、メモリ８５に記憶される。そして、このメモリ８５に記憶されている補正情報に基づいて、補正モータを制御する。このように制御することによって、直進性よく、マスクホルダ７を移動させることができる。よって、正確な検査を行うことができる。
【００５６】
なお、本発明は、被検査体をマスク以外とし、マスク検査装置に以外の検査装置に用いてもよい。例えば、半導体装置基板や表示装置用基板などを検査することができる。すなわち、本発明は、基板を鉛直に配置した状態で水平にスライドさせる直線案内装置を有する検査装置に対して利用することができる。上述の説明で図示した、直線案内装置５０、直線駆動機構、倒れ防止機構７０及び位置補正機構８０は例示であり、図示したもの以外の構成であってもよい。また、エアスライダ５１やエアパッド７２に供給する気体は空気以外の気体であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明にかかる検査装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明にかかる検査装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図３】本発明にかかる検査装置の直線案内装置に用いられるエアスライダとそれに取り付けられる構成部品の構成を模式的に示す側面図である。
【図４】本発明にかかる検査装置に用いられる直線案内装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図５】本発明にかかる検査装置における一部の構成を示す断面図である。
【図６】本発明にかかる検査装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図７】本発明にかかる検査装置の構成を模式的に示す上面図である。
【図８】本発明にかかる検査装置のガラスレールを取り付けるための構成を説明するための図である。
【図９】本発明にかかる検査装置の制御システムを模式的に示す図である
【符号の説明】
【００５８】
１  ヘッド用角柱、２  定盤、３ａ  ＣＣＤカメラヘッド、
４  バランスウェイト（カウンターウェイト）、５  ワイヤー、６  マスク、
７  マスクホルダ、９  第１基準面、１０  第２基準面、１１  エアパッド、
１２  ヘッド用直角ステージ、１６  ヘッド用モータ、１８  モーターステージ
３０  水平方向移動機構、４０  直線駆動機構、４１  処理装置、
４２  リニアモータドライバ、４３  リニアモータコントローラ、
４４  リニアモータヨーク、４５  リニアモータコイル、５０  直線案内装置、
５１  エアスライダ、５２  ガイド軸、５３  連結板、５４  ホルダ支持具、
７０  倒れ防止機構、７１  ガラスレール、７２  エアパッド、
７３  ホルダ挟持具、７４  てこ、７５  補正モータ、７６  カム、７７  角柱
７８  レール支持具、７９  ネジ、８０  位置補正機構、８２  補正モータドライバ
８３  ギヤ、８４  補正モータコントローラ、８５  メモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006194819.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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