(57)【要約】【課題】液晶表示装置のラビング工程において、ラビング布に付着した異物が次処理の基板に転写されることを防止する。【解決手段】表面に凹凸部を付け異物を除去し易くした異物除去基板５を設置する。そして、表面に配向膜が形成されたガラス基板をラビング処理した後であって、次のガラス基板７をラビングする前に、通常のラビング処理と同様に、ラビング布１を巻き付けたラビングローラー２を当該異物除去基板５に押しつけて一定方向に回転移動させる。リフレッシュされたラビング布１で次処理のガラス基板をラビングする間に当該異物除去基板５に付着した異物を除去する。【選択図】図２
2006139120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラビング布を巻き付けたラビングローラーを用いて配向膜が表面に形成された基板をラビング処理する工程と、
次の基板をラビング処理する前に前記ラビングローラーを異物除去基板上に押しつけて回転移動させることで、前記ラビング布に付着した異物を除去する工程と、
前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程と、
を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程において、ドライクリーナーを用いることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程において、除塵テープを用いることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記異物除去基板は前記基板と同一の材料から成ることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記異物除去基板の表面に凹凸が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、特に、液晶表示装置の製造工程の１つであるラビング工程に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の製造工程においては、液晶分子を所定の方向に配向させるために、ラビング工程が必要である。このラビング工程は、レーヨン等の布を金属ロールに巻き付け、この金属ロールを一定速度で回転させながら、表面に配向膜が形成されたガラス基板全面をその端からラビングする（擦る）というのが一般的である。
【０００３】
従来例に係わるラビング工程について図５を参照しながら説明する。レーヨンやナイロン等の繊維からできたラビング布１をラビングローラー２に巻きつけ、ステージ４上に設置され、表面に配向膜（不図示）が形成されたガラス基板３を一定方向に擦ることによって、ガラス基板３の表面に物理的なストライプ状の溝を形成する。このラビング工程により、ガラス基板３上に成膜された配向膜が所定の方向に揃い、後工程で注入する液晶分子を所定の方向に配向させることができる。
【０００４】
しかしながら、このラビング工程において、配向膜やその他薄膜、エッチング残渣などの剥がれやすいガラス基板があった場合には、ラビング布１によって配向膜が擦られるために、図６に示す如く、ラビング布１の表面、特に布のパイル１０先端に異物（剥離物）が付着することがある。そして、異物がラビング布１に付着した状態で引き続きラビング工程を行えば、次処理のガラス基板に異物が付着（転写）したり、配向膜表面に傷をつけてしまうことがある。
【０００５】
このような事態を避けるために、ラビング工程の度にラビング布を新しいものと交換することができる。また、ガラス基板の配向膜の形成されていない領域に異物除去部を設けた液晶表示装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−３１８３８０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、ガラス基板上の配向膜表面に異物が付着した部分や、傷がついた部分があると、液晶分子の配向が乱れるため、液晶表示のムラが発生し、液晶表示装置の品質が低下するという問題がある。
【０００７】
上記問題を解決するための方法として、上述のとおりラビング工程の度にラビング布を新しいものと交換することもできるが、生産性やコストを考慮し、同じラビング布で数十〜数百枚ラビング処理を行うのが通常である。また、ガラス基板上流側で表面に配向膜が形成されていない領域に異物除去部を設けたとしても、以下の問題がある。まず、同一基板上に異物除去のための専用パターンを形成する必要があるため、製造コストがかかる。      
【０００８】
また、セルギャップに影響するほどの高さの異物除去パターンを形成できないという問題がある。さらに、同一ガラス基板上で異物除去行為を行うと、異物除去機能を高めるどころか、この異物が飛散してしまい近傍の配向膜が形成された領域（表示領域）に付着してしまう可能性がある。さらにまた、ラビング布に付着した異物が次処理のガラス基板へ転写する可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液晶表示の製造方法は、上記課題に鑑みて為されたものであり、以下の特徴を有する。すなわち、本発明の液晶表示の製造方法は、ラビング布を巻き付けたラビングローラーを用いて配向膜が表面に形成された基板をラビング処理する工程と、次の基板をラビング処理する前に前記ラビングローラーを異物除去基板上に押しつけて回転移動させることで、前記ラビング布に付着した異物を除去する工程と、前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程と、を有することを特徴とするものである。
【００１０】
かかる製造方法によれば、異物除去基板を用いることでラビング布を異物がない状態に保つことができるため、次処理のガラス基板に異物が転写することを効果的に防止することができる。また、同じラビング布を繰り返しリフレッシュして使用することが可能であるため、ラビング布の交換工程を極力減らすことができ、生産性やコストの面で優れる。
【００１１】
また、異物除去基板を用いることでラビング布に付着した異物が当該異物除去基板へと転写されるが、異物除去基板を再び用いてラビング布をリフレッシュする際に当該基板に異物が残っているとすれば、再びラビング布へと異物が転写されるという問題がある。そこで、異物除去基板に付着した異物をその都度除去することで上記問題を解決することができる。また、かかる工程によれば、異物除去基板は繰り返しリフレッシュして使用することができるため、生産性やコストの面でも優れる。
【００１２】
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程が、ドライクリーナーを用いること特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記異物除去基板上に付着した異物を除去する工程が、除塵テープを用いることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記異物除去基板が前記基板と同一の材料から成ることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記異物除去基板の表面に凹凸が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の製造方法によれば、ラビング布及び異物除去基板を異物がない状態に保つことができ、次処理の基板に異物が転写することを効果的に防止することができるため、結果として液晶表示装置の品質の向上を図ることができる。また、ラビング布の交換工程を減らすため、生産性に優れる。また、ラビング布と異物除去基板は繰り返しリフレッシュして使用ができ、コストを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。まず、図１に示すように、表面に配向膜（不図示）が形成されたガラス基板３をステージ４上に設置する。ここで、配向膜には例えば、ポリイミド系の樹脂が用いられる。
【００１８】
次に、レーヨンやナイロン等の繊維からできたラビング布１を巻き付けたラビングローラー２を、ガラス基板３に押しつけてその端から一定方向に回転移動させ、ガラス基板３の全面をラビング処理する。
【００１９】
次に、図２に示すように、一度ラビング処理した後のラビング布１を巻き付けたラビングローラー２を、ステージ４の前段に設置された異物除去基板５を用いてリフレッシュする。図３は異物除去基板５を用いてラビング布１をリフレッシュする工程を示す断面図である。
【００２０】
本発明では、通常のラビング処理と同様に、ラビングローラー２を異物除去基板５に押しつけて一定方向に回転移動させる。ここで、異物除去基板５として、ガラス基板３と同じガラス基板を使用することができる。なお、異物除去基板５の表面は、平坦であってもある程度の異物除去効果はあるが、ラビング布に付着した異物６をより除去し易くするためには、図３に示すように凹凸部とすることが好ましい。異物６を凹凸部の段差で引っ掛け、擦り取ることができるからである。また、このような凹凸部はガラス基板表面に金属薄膜から成るストライプパターンによって形成することができる。また、異物除去基板５の厚みは、ガラス基板３と同じであることがラビングローラー２の押圧力を揃える上で好ましい。
【００２１】
かかる異物除去工程によれば、図３に示す如く、ラビング処理により付着した異物６が、ラビング布１から異物除去基板５へと転写されるため、ラビング布１をリフレッシュすることができる。
【００２２】
そして、この工程を実行している間にステージ４上では次処理のガラス基板７を設置する。次に、リフレッシュされたラビング布１で次処理のガラス基板７をラビングするが、この間に図４に示すように、上記工程によって異物除去基板５上に転写された異物６を除去する。異物除去基板５は、ガラス基板３と違って表面に配向膜や素子がないため、異物を除去し易く、容易にリフレッシュ可能である。
【００２３】
異物除去基板５上に付着した異物を除去する方法としては、例えばドライクリーナー８を用いることができる（図４（ａ））。すなわち、ドライクリーナー８から放出される風力によって異物除去基板５に付着した異物６を一掃することができる。ドライクリーナーによる異物の除去は、特別な薬品を用いる必要がないため、時間もコストも極めて少なく抑えることができる。
【００２４】
また、他の方法としては、除塵テープ９を巻いたローラーを用いることができる（図４（ｂ））。すなわち、接着性のある除塵テープ９を巻いたローラーを異物除去基板５に押しつけて回転移動させることで、異物が除塵テープに接着（転写）する。そして、異物が接着した除塵テープ９を異物除去基板５から剥離することによって、異物除去基板５上の異物を除去することができる。
【００２５】
そして、さらに次の基板をラビング処理する前に、ラビングローラー２を上記処理によって異物が除去された異物除去基板５に押しつけて一定方向に回転移動させ、ラビング布１に付着した異物６を除去する。その後、異物が除去されたラビングローラー２を用いて次の基板のラビング処理を行う。以下、上記工程、即ち、異物除去基板５のクリーニング、異物除去基板５によるラビングローラー２の異物除去、ラビング処理の繰り返しとなる。
【００２６】
以上一連の工程により、ラビング布１は、ラビング処理が行われる度に異物のないクリーンな異物除去基板５を用いてリフレッシュされるため、ラビング布１に付着した異物が次処理のガラス基板７に転写することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態にかかる液晶表示装置の製造方法を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態にかかる液晶表示装置の製造方法を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態にかかる液晶表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態にかかる液晶表示装置の製造方法を示す斜視図である。
【図５】従来の液晶表示装置の製造方法を示す斜視図である。
【図６】従来の液晶表示装置の製造方法を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１  ラビング布            ２  ラビングローラー      ３  ガラス基板
４  ステージ              ５  異物除去基板          ６  異物
７  次処理のガラス基板    ８  ドライクリーナー      ９  除塵テープ
１０  パイル
【図１】
2006139120.tif 000003
【図２】
2006139120.tif 000004
【図３】
2006139120.tif 000005
【図４】
2006139120.tif 000006
【図５】
2006139120.tif 000007
【図６】
2006139120.tif 000008