(57)【要約】      （修正有）【課題】  機械加工装置にワークを固定保持する加工テーブルにおいて、加工テーブル全体にほぼ均一な超音波振動を与え、機械加工速度および加工精度を向上させることを提供すること。【解決手段】  ボルト締めランジュバン型超音波振動子２のリアマス４の端部に接合された支持部品９のフランジ１２は、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２の中央部に位置する。支持部品９のフランジ１２をベース台に固定する。ボルト締めランジュバン型超音波振動子２のフロントマス３に設けられたメネジとチタン製のボルトにテーブル１１を接合する。また、テーブル１１とフロントマス３の間にはシリコングリースを薄く塗ってある。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作機械に取り付けられ加工されるワークを固定保持するテーブル装置において、１個以上のボルト締めランジュバン型超音波振動子を有し、超音波振動をテーブルに付与する超音波振動テーブル装置であり、テーブルとボルト締めランジュバン型超音波振動子のフロントマスが接続され、かつボルト締めランジュバン型超音波振動子を支持するための支持部品がボルト締めランジュバン型超音波捩動子のリアマスの端部と接続されていることを特徴とする超音波振動テーブル装置。
【請求項２】
前記ボルト締めランジュバン型超音波振動子のリアマスの端部と接続されている支持部品がベース台とボルト締めランジュバン型超音波振動子の中央部付近の位置で接続されていることを特徴とする超音波振動テーブル装置。
【請求項３】
複数のボルト締めランジュバン型超音波振動子を有する振動テーブルにおいて、ボルト締めランジュバン型超音波振動子と同数の超音波発振回路を有していることを特徴とする超音波振動テーブル装置。
【請求項４】
それぞれのボルト締めランジュバン型超音波振動子に印加する交流電圧の大きさを調整することを特徴とする請求項３に記載の超音波振動テーブル装置。
【請求項５】
前記超音波発振回路がそれぞれのボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数にほぼ等しい交流電圧を印加することを特徴とする請求項３に記載の超音波振動テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ガラス、セラミック、シリコーン、チタン、超硬金属などの難切削材料および一般の金属材料、有機材料、無機材料およびそれらを複合化した材料の切断、研削及び研磨加工に用いられる超音波振動テーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  一般に、ガラス、セラミック、シリコーン、チタン、超硬金属などの硬度が高い脆性材料を切断、研削等の加工を施すことは、非常に困難であり従来から工具に超音波振動を加え加工することが行われている。このような超音波切削加工は、切削抵抗が低減するため、切削ツールの摩擦熱が少なく加工面の熱歪が少なくなり、切削ツールの寿命が長くなると共に、加工精度の向上につながってくる。なお超音波切削加工について「超音波便覧」（丸善株式会社、平成１１年発行）６７９〜６８４ページに詳しく記載されている。【０００３】  また、ワークを固定するテーブルに振動を与え、これをワークに伝播させ、振動切削加工を行うことは、よく知られていることである。例えば、図１０に示す特開２００２−３５５７２６号公報の超音波振動テーブルは、工作機械のベッドに取り付けられ加工されるワークを固定可能にするテーブル装置であり、その概略の構成は以下の通りである。
まず、振動を発生する超音波振動子がある。そしてその超音波振動を増幅し、振動テーブルに伝達するためのアルミニム製の伝達ホーンがある。この伝達ホーンは超音波振動子と接する面は超音波振動子と同じ直径であるが外フランジより上部ではそれよりも直径は小さくなっている。そして、ケーシングの内フランジに外フランジをゴム板を挟んだ状態でボルト部材によって締結固定されている。
また、振動テーブルの下部から下方に突き出し、ケーシングの外側に形成された案内用凹部に挿入されて振動テーブルの横移動を制限しながら上下方向に案内するガイド部材を有している。【０００４】  さらに別の方式として図１１の平面図、図１２の側面図に示す特開２００３−２２０５３０号公報には、加工対象物（ワーク）を固定保持するテーブル１１の下面に３個のボルト締めランジュバン型超音波振動子２が固定され、テーブル１１の下面が本体ケースに接続されている構成の振動テーブルが開示されている。そしてこれらのボルト締めランジュバン型超音波振動子２によって円盤状のテーブル１１の上側表面に仮固定された加工対象物に超音波振動を付与することにより、硬脆材料から形成された加工対象物の極微小径穴あけ加工や溝入れ加工が容易になるとされている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  しかしながら、超音波切削加工においては、工具が大型化した場合は、ワークと接触する工具の加工部分に均一な超音波振動を与えることが非常に難しい。
また、工具が小型化した場合、超音波振動を与える装置も小型化しなければならない。超音波振動装置が小型化すればするほど工具に与えられる振動エネルギーは小さくなってしまう。このため、工具が小型であるときは、超音波切削加工能力は小さくなってしまう欠点がある。【０００６】一方、上記の超音波振動テーブルは、工具の形状と関係なく振動させることができる。しかし、図１０に示す特開２００２−３５５７２６号公報の超音波振動テーブルは、１個の超音波振動子の超音波放射面の面積がテーブルの面積に比較して小さいため図１３に示すようにテーブル全体には均一に振動変位が得られないという欠点がある。図１３の一点鎖線は振動していないときのテーブルの中心線を示す。そして二点鎖線はテーブルが振動しているときの振幅幅を示している。【０００７】  また、伝達ホーンにより超音波振動子の振動変位を増幅しているが、テーブルの１５ＫＨｚ以上の超音波振動においてはその振幅量は１０ミクロン以下でよい。そのような時は増幅するための伝達ホーンは不要である。そして、振動変位を増幅度と逆比例的にテーブルあるいはワークの重量により超音波振動テーブルの振動が大きく影響されるという問題点がある。【０００８】  さらに振動するテーブルと本来振動してはならないケーシングがガイド部材を通して接続するため、テーブルの振動が抑制され、ケーシングまたはベースに振動が漏れる。このため同じ振動変位をテーブルが持つためにより多くの電力を投入しなければならないため発熱の問題が生じる。そして超音波振動テーブルを取り付けた加工装置に不要な振動が伝達してしまい加工装置の性能を低下させてしまうという問題点もある。【０００９】  図１１、図１２に示す特開２００３−２２０５３０号公報の超音波振動テーブルは、テーブルの下面の外周部が本体ケースに接続されているため、特開２００２−３５５７２６号公報の超音波振動テーブルと同様に振動するテーブルと本来振動してはならない本体ケースが固着しているため、テーブルの振動が抑制され、本体ケースまたはベースに振動が漏れる。このため同じ振動変位をテーブルが持つためにより多くの電力を投入しなければならないため発熱の問題が生じる。そして超音波振動テーブルを取り付けた加工装置に不要な振動が伝達してしまい加工装置の性能を低下させてしまうという問題点もある。【００１０】  また、テーブルにだけ３個のボルト締めランジュバン型超音波振動子が固定されている。そして、電源が１個だけなので、３個のボルト締めランジュバン型超音波振動子に同一周波数の交流電圧を印加することになる。その結果、必然的に図１４に示すように本体ケースとの固着部が節となりテーブルの中央部が振動の腹となる、いわば太鼓の振動モードとほぼ同じようになる。なお、一点鎖線は振動していないときのテーブルの中心線を示す。そして二点鎖線はテーブルが振動しているときの振幅幅を示している。したがって、テーブルの中で大きな振動変位の差が出現するので、場所により、超音波加工の効果が発揮できないという問題点がある。【００１１】  さらに、この構成においてテーブルあるいは機械的負荷であるワークなどのボルト締めランジュバン型超音波振動子の上に位置する��のの重量が大きくなると、テーブルあるいはワークなどが振動の節に、そしてテーブル側と反対のボルト締めランジュバン型超音波振動子の面が振動の腹に近い状態になる。つまり、テーブルあるいはワークの重量により、テーブルの振幅量が大きく変化するという問題点がある。【００１２】  また、複数の超音波振動子を持つ超音波振動テーブルにおいて、個々の超音波振動子の固有振動数が異なるため、個々の超音波振動子に最適な周波数の交流電源を印加することができないため効率の低い駆動をしているという問題点もある。【００１３】  さらに複数の超音波振動子を持つ超音波振動テーブルにおいて、単一の周波数の交流電圧を印加しているので、テーブルは、中央部が大きく変位する振動モードになってしまう。つまり振動変位分布に問題がある。
本発明の目的は上述の問題点を解消する超音波振動テーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】  本発明は、工作機械に取り付けられ加工されるワークを固定保持するテーブル装置において、１個以上のボルト締めランジュバン型超音波振動子を有し、超音波振動をテーブルに付与する超音波振動テーブル装置であり、テーブルとボルト締めランジュバン型超音波振動子のフロントマスが接続され、かつボルト締めランジュバン型超音波振動子を支持するための支持部品がボルト締めランジュバン型超音波振動子のリアマスの端部と接続されている超音波振動テーブル装置とするものである。【００１５】  本発明はまた、前記ボルト締めランジュバン型超音波振動子のリアマスの端部と接続されている支持部品がベース台とボルト締めランジュバン型超音波振動子の中央部付近の位置で接続されている超音波振動テーブル装置にある。【００１６】  本発明はまた、複数のボルト締めランジュバン型超音波振動子を有する振動テーブルにおいて、ボルト締めランジュバン型超音波振動子と同数の超音波発振回路を有している超音波振動テーブル装置にある。【００１７】  本発明はまた、それぞれのボルト締めランジュバン型超音波振動子に印加する交流電圧の大きさを調整する超音波振動テーブル装置にある。【００１８】  本発明はまた、前記超音波発振回路がそれぞれのボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数にほぼ等しい交流電圧を印加する超音波振動テーブル装置。
【発明の効果】
【００１９】  本発明の超音波振動テーブルは、テーブル表面にほぼ均一の大きさの超音波振動が励起できるので、この面に保持固定されるワークにも場所によらず、ほぼ均一の大きさの超音波振動が伝播する。その結果、テーブルに保持固定されるワークの位置及びワークの大きさにほぼ影響を受けることなく、前記保持固定されたワークの加工速度の向上と難加工材料の加工および加工精度の向上が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】  本発明を、添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の第１の構成の超音波振動テーブル１の平面図であり、そして図２は図１のＡ−Ａ線での側面断面図である。【００２１】  ボルト締めランジュバン型超音波振動子２については、「超音波工学」（丸善株式会社コロナ社、１９９３年発行）１２〜２２ページに詳しく記載されている。
一般的なボルト締めランジュバン型超音波振動子２の構成を図１５の平面図および図１５のＡ−Ａ線で切断した側面断面図を図１６に示す。電極板６の両側に圧電セラミック５を配置し、その外側にフロントマス３とリアマス４を配置し、これらをボルト７とナット８で締め付けて一体化した振動子をボルト締めランジュバン型超音波振動子２と呼んでいる。出力側のフロントマス３には連結ねじが設けてある。このボルト締めランジュバン型超音波振動子２は、ある周波数の交番電界が圧電セラミックに加わることによって生ずる振動が機械的接合面を通して金属ブロック（フロントマスとリアマス）を含めた範囲で定在波を発生したとき、機械的共振を起こす。【００２２】  図１及び図２に示す超音波振動テーブル１は、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２も用いたものである。その構成は、以下の通りである。フロントマス３はアルミ合金製であり、形状は円柱状で、そしてその寸法は直径３０ｍｍ、長さは４０ｍｍである。また、フロントマス３の超音波放射面にはテーブル１１を接合するためのメネジが設けられている。さらにフロントマス３の超音波放射面と反対側の面にもメネジが設けられている。
圧電セラミック５はＰＺＴ系の材料であり、形状はリング状であり外径３０ｍｍφ、内径１２ｍｍφそして厚さ７．５ｍｍである。また、２個の圧電セラミック５の間にある電極板はリン青銅製である。形状は外径３０ｍｍφ、内径１２ｍｍφそして厚さ０．２５ｍｍである。図面を簡単化するため電極板は図示しない。リアマス４もアルミ合金製であり、その直径は３０ｍｍ、長さは４０ｍｍであり、中心部に１２ｍｍの貫通した穴が設けてある。また、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２を支持するためとベース台１０に取り付けるためのステンレスＳＵＳ３０３製の支持部品９がある。支持部品９の形状は、円筒形をしている。
さらに、これらを締め付け一体化するための直径１０ｍｍのボルト７とナット８はステンレス製である。【００２３】  ボルト７とナット８で締め付けることにより一体化したボルト締めランジュバン型超音波振動子２の支持部品９のフランジ１２は、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２の中央部に位置する。この位置はボルト締めランジュバン型超音波振動子２の振動の節であるところで、フランジ１２もほぼ振動の節になっている。したがって、ここでベース台１０にフランジ１２を図示しないボルトにより接合することでボルト締めランジュバン型超音波振動子２の振動を他の部分に伝播させることを防ぐことができる。【００２４】  支持部品９が、リアマス４の端部を支持することでボルト締めランジュバン型超音波振動子２を固定しているので、従来の方法では無負荷であったリアマス４の端部にボルト締めランジュバン型超音波振動子の重量による負荷が加わるので、例えテーブル１１、ワークやワークを取り付ける固定器などがなくても、無負荷運転にならない。
ボルト締めランジュバン型超音波振動子２を無負荷運転するとボルト締めランジュバン型超音波振動子２あるいは超音波発振回路が破損する恐れがある。【００２５】  テーブル１１はアルミ合金製である。ボルト締めランジュバン型超音波振動子２のフロントマス３に設けられたメネジとチタン製のボルトによりボルト締めランジュバン型超音波振動子２にテーブル１１を接合する。また、テーブル１１とフロントマス３の間にはシリコングリースを薄く塗ってある。このシリコングリースによりボルト締めランジュバン型超音波振動子２の超音波振動をテーブル１１に損失を無視できるほど小さくして伝えることができる。【００２６】  次にこの超音波振動テーブル１の動作例について説明する。図３は図１、図２に示した超音波振動テーブル１のテーブル１１、固定器１３、固定板１４およびワーク１５だけを示す平面図、そして、図４はその側面図である。これ以外は図面の都合上図示することを省略した。
ダイサーにこの超音波振動テーブル１を取り付ける。そして切削すべきセラッミク製のワーク１５を固定するカーボン製の固定板１４にワックスで仮接合する。カーボン板はワークとともに切断されるが、それより下の位置の部材にはダメージを与えないために使用される。さらにワーク１５を取り付けたカーボン製の固定板１４を固定器１３に真空により接合する。固定器１５はテーブル１１にネジ７により接合される。なお、テーブルにワークを含む固定板、固定器を保持固定するには、ワックスによる接着、テーブルにネジ等により固定する、磁気的に固定する、静電的に固定する、冷凍して固定するなどの方法がある。【００２７】  次に、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２に超音波発振回路１６より約２０Ｋｈｚの交流電圧を印加する。これによりボルト締めランジュバン型超音波振動子２は超音波振動する。【００２８】  次に図５を用いて超音波発振回路１６の説明をする。超音波発振回路１６はボルト締めランジュバン型超音波振動子２の共振周波数に対応する周波数の大きさを調整できる正弦波電圧を印加する。図５中の振動子はボルト締めランジュバン型超音波振動子２である。【００２９】  図５に示すＰＬＬ（Ｐｈａｓｅ−ｌｏｃｋｅｄ−ｌｏｏｐ）回路は、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２の共振周波数に対応する周波数の矩形波電圧を発生させる。この矩形波電圧は、ドライバー回路にて電力増幅されたのち、整合回路にて電気力率の改善が行われ、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２に正弦波電圧として印加される。【００３０】  整合回路とボルト締めランジュバン型超音波振動子２との間に備えられた電圧／電流検出回路は、ボルト締めランジュバン型超音波振動子に付与される交流電圧、交流電流、およびこれらの位相を検出する。【００３１】  電力制御部は、電圧／電流検出回路にて検出された交流電圧、交流電流、およびこれらの位相をもとにボルト締めランジュバン型超音波振動子に付与されている電力を算出する。そして、電力制御部は、ボルト締めランジュバン型超音波振動子に所定の大きさの電力が付与されるように、算出した電力値をもとにドライバー回路の電力増幅率を制御する。【００３２】  一方、位相回路は、電圧／電流検出回路から出力される、ボルト締めランジュバン型超音波振動子に流れる電流を電流電圧変換した信号を入力し、周波数制御ブロックの制御周波数がボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数になるように、その信号を位相シフトさせた後、パルス状の電圧に変換した電圧信号をＰＬＬ回路に出力する。【００３３】  ＰＬＬ回路は、位相回路が出力するパルス状の電圧と、ＰＬＬ回路が出力する矩形波電圧との位相が一致するように、ＰＬＬ回路が出力する矩形波電圧の周波数を制御する。このような制御により、上記のようにボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数が、たとえば環境温度の変動によって僅かに変動した場合にも、ボルト締めランジュバン型超音波振動子に常にその共振周波数に対応する周波数の交流電圧を印加することができる。【００３４】  また、図６に示すようにボルト締めランジュバン型超音波振動子に直列にコイルまたはコンデンサを接続して見かけのボルト締めラン��ュバン型超音波振動子の共振周波数を移動させることができることは言うまでもない。【００３５】  ボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数が、他の振動モードに接近しているときには、ボルト締めランジュバン型超音波振動子に直列にコイルまたはコンデンサを接続して見かけのボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数を移動させることは効率の高い振動を励起させるためには不可欠である。【００３６】  ボルト締めランジュバン型超音波振動子の振動はアルミ製のテーブルを通してワークに伝播する。ワークに超音波振動が励起されると、超音波加工の効果によりダイサーの切断能力は大きく向上する。【００３７】  切断効果の具体的な数値ではダイサーのスピンドル電流が約２０パーセント低くなり、ブレードの消耗量は約４０パーセント小さくなった。【００３８】  これは「超音波便覧」（丸善株式会社、平成１１年発行）６７９〜６８４ページに詳しく記載されている効果である。つまり、超音波切削加工は、切削抵抗が低減するため、切削ツールの摩擦熱が少なく加工面の熱歪が少なくなり、切削ツールの寿命が長くなることを証明している。【００３９】  また、ダイサーの加工条件を変えても同様の効果が確認できた。さらに切断されたセラッミク製のワークのチッピングも大幅に減少した。このように加工精度の向上にもつながった。これについても「超音波便覧」（丸善株式会社、平成１１年発行）６７９〜６８４ページに詳しく記載されている内容の効果が確認された。【００４０】  図７は本発明の第２の構成を示す平面図、図８は図７のＡ−Ａ線での側面断面図である。ワークの寸法が大きい場合に対応するため４個のボルト締めランジュバン型超音波振動子２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄを持つ超音波振動テーブル１である。リアマス４の端部に接合した支持部品９のフランジ１２がボルト締めランジュバン型超音波振動子２の中央部に位置することを特徴とするボルト締めランジュバン型超音波振動子２は図１、図２に示したものと同じ構成である。【００４１】  ボルト７およびナット８で締め付けることにより一体化したボルト締めランジュバン型超音波振動子２の支持部品９のフランジ１２は、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２の中央部に位置する。この位置はボルト締めランジュバン型超音波振動子２の振動の節であるところで、フランジ１２もほぼ振動の節になっている。したがって、ここでベース台１０にフランジ１２を接合することによりボルト締めランジュバン型超音波振動子２の振動を他の部分に伝播させることを防ぐことができる。【００４２】  支持部品９が、リアマス４の端部を支持することでボルト締めランジュバン型超音波振動子２を固定しているので、ボルト締めランジュバン型超音波振動子２及びテーブル１１の重量による負荷がボルト締めランジュバン型超音波振動子２のリアマス４側に加わるので、ワークやワークを取り付ける固定器がなくても、無負荷運転にならない。
ボルト締めランジュバン型超音波振動子２を無負荷運転するとボルト締めランジュバン型超音波振動子２あるいは超音波発振回路１６が破損する恐れがある。【００４３】  図７、図８のように比較的大きなワークを取り付ける構成であるので、大きな電気的な入力が必要であり、このようなときには特にボルト締めランジュバン型超音波振動子を無負荷運転するとボルト締めランジュバン型超音波振動子あるいは超音波電源が破損する恐れがある。このようなときには本発明の構成は特に有効である。【００４４】  図９の超音波発振回路１６ａ、１６ｂは、２個以上のボルト締めランジュバン型超音波振動子２のそれぞれに各ボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数に対応する周波数の正弦波電圧を印加するものである。３個以上の超音波発振回路１６は図面の都合上、省略した。【００４５】  図９の超音波発振回路は、個々のボルト締めランジュバン型超音波振動子を駆動する４個の超音波発振回路１６から構成されている。各々の超音波発振回路１６は図５に示したものと同じ構成である。また、４個の超音波発振回路１６は１個の収納ケースに収められている。【００４６】  図９の超音波発振回路を用いると、各々のボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数が変動した場合であっても、各々の超音波発振回路１６によって各々のボルト締めランジュバン型超音波振動子に常にその共振周波数に対応する周波数の交流電圧を印加することができる。このため、各々のボルト締めランジュバン型超音波振動子に振幅の大きな超音波振動を発揮させることができる。【００４７】  なお、従来は、複数のボルト締めランジュバン型超音波振動子を駆動する際には、これらの複数のボルト締めランジュバン型超音波振動子を電気的に並列に接続して、並列接続されたボルト締めランジュバン型超音波振動子に一台の超音波発振回路を用いて交流電圧が印加される。しかしながら、上記のように複数のボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数は、負荷そして温度の変動により個々のボルト締めランジュバン型超音波振動子ごとに変化する。１個の超音波発振回路では個々のボルト締めランジュバン型超音波振動子の共振周波数の交流電圧を印加することはできない。このため、このような駆動装置を用いた場合には、各々のボルト締めランジュバン型超音波振動子を十分に超音波振動させることができず、振動テーブルが十分にその性能を発揮できない場合がある。【００４８】  また、複数のボルト締めランジュバン型超音波振動子に上記のように一台の超音波発振回路を用いて交流電圧が印加すると、テーブルの中央部の振動変位が大きくなってしまう。【００４９】  各々のボルト締めランジュバン型超音波振動子に常にその共振周波数に対応する周波数の交流電圧を印加する超音波発振回路により超音波振動テーブルを動作させると、テーブルの振動はほぼ均一になり、この振動は、ワークに伝播する。ワークに超音波振動が励起されると、超音波加工の効果によりダイサーの切断能力は大きく向上する。【００５０】  切断効果の具体的な数値ではダイサーのスピンドル電流が約２０パーセント低くなり、ブレードの消耗量は約４０パーセント小さくなった。【００５１】  なお超音波振動テーブルは、振動数が１５ＫＨｚ以下になってしまうと騒音が大きくなってしまい、１００ＫＨｚを超えるランジュバン型の超音波振動子の振動振幅は小さく振動テーブルの振動源としては適さない。【００５２】  したがって、超音波振動テーブルは、ボルト締めランジュバン型超音波振動子に印加する交流電圧の周波数が１５ＫＨｚ以上、１００ＫＨｚ以下であることが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】  本発明の超音波振動テーブルは、機械加工設備などにおいて使用される加工テーブルとして用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】  本発明の第１の構成の超音波振動テーブルを示す平面図である。
【図２】  本発明の第１の構成の超音波振動テーブルを示す側面図である。
【図３】  テーブルにワーク、固定板および固定器を取り付けた平面図である。
【図４】  テーブルにワーク、固定板および固定器を取り付けた側面図である。
【図５】  図１の超音波振動テーブルのボルト締めランジュバン型超音波振動子を駆動する超音波発振回路の一例を示す電気回路ブロック図である。
【図６】  図１のボルト締めランジュバン型超音波振動子に回路素子を直列に接続した例を示す電気回路ブロック図である。
【図７】  本発明の第２の構成の超音波振動テーブルを示す平面図である。
【図８】  本発明の第２の構成の超音波振動テーブルを示す側面図である。
【図９】  複数のボルト締めランジュバン型超音波振動子を持つ超音波振動テーブルの超音波発振回路の一例を示す電気回路ブロック図である。
【図１０】  従来の超音波振動テーブルの側面図である。
【図１１】  従来の別の超音波振動テーブルの平面図である。
【図１２】  従来の別の超音波振動テーブルの側面図である。
【図１３】  従来の超音波振動テーブルのテーブル面の振動変位を示す図である。
【図１４】  従来の別の超音波振動テーブルのテーブル面の振動変位を示す図である。
【図１５】  従来のボルト締めランジュバン型超音波振動子の平面図である。
【図１６】  従来のボルト締めランジュバン型超音波振動子の側面断面図である。
【符号の説明】
【００５５】１    超音波振動テーブル
２    ボルト締めランジュバン型超音波振動子
３    フロントマス
４    リアマス
５    圧電セラミック
６    電極板
７    ボルト
８    ナット
９    支持部品
１０  ベース台
１１  テーブル
１２  フランジ
１３  固定器
１４  固定板
１５  ワーク
１６  超音波発振回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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