(57)【要約】【課題】  積み上げられた板材を１枚ずつ把持して、その直ぐ下の板材を動かしてしまうことなく搬送できる吸引パッドおよび板材検査装置を提供すること。【解決手段】  吸引パッド３１は、作動アーム３２の先端に設けられ、板材Ｗをエア負圧発生源３３の吸引力によって吸着する。この吸引パッド３１は、作動アーム３２に取り付けられた吸引パッド本体３１ａと、吸引パッド本体３１ａの周縁部に設置され、板材Ｗが当接する吸盤部３１ｂと、吸盤部３１ｂおよび吸引パッド本体３１ａ内に囲繞されて形成され、エア負圧発生源３３に接続されたエア配管３５に連通する内部空間部３１ｃと、内部空間部３１ｃを介して吸盤部３１ｂに当接して吸引パッド本体３１ａに吸着される板材Ｗに対向して配置され、吸引パッド本体３１ａに設けた突起３１ｄと、を有している。【選択図】      図２
2006281381.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動アームの先端に設けられ、板材をエア負圧発生源の吸引力によって吸着する吸引パッドであって、
前記作動アームに取り付けられた吸引パッド本体と、
前記吸引パッド本体の周縁部に設置され、前記板材が当接する吸盤部と、
前記吸盤部および前記吸引パッド本体内に囲繞されて形成され、前記エア負圧発生源に接続されたエア配管に連通する内部空間部と、
前記内部空間部を介して前記吸盤部に当接して前記吸引パッド本体に吸着される前記板材に対向して配置され、前記吸引パッド本体に設けた突起と、を有し、
前記突起は、前記吸盤部の高さより低くなるように形成されたこと
を特徴とする吸引パッド。
【請求項２】
前記吸引パッド本体および前記突起を覆い通気性を有するカバー部材を前記吸引パッド本体に取り付けたこと
を特徴とする請求項１に記載の吸引パッド。
【請求項３】
前記突起の先端部は、弾性材によって形成されていること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載の吸引パッド。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の吸引パッドを設けた作動アームを用いて前記板材を吸着して搬送する搬送手段と、
この搬送手段で少なくとも所定位置から搬送開始位置までの搬送を含む搬送経路中に配置された検査手段を備え、
前記検査手段は、少なくとも、
前記板材の歪みを検出する歪み検査手段と、
前記板材の表面を検査する表面検査手段と、
前記板材の板厚を検査する板厚検査手段とを備えたこと
を特徴とする板材検査装置。
【請求項５】
前記検査手段は、前記搬送経路に沿って前記歪み検査手段、前記表面検査手段、および板厚検査手段が配置されたこと
を特徴とする請求項４に記載の板材検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸引パッドおよびその吸引パッドを用いた板材検査装置に係り、さらに詳述すると、積み重ねて配置された板材を１枚ずつ吸引することによって把持する吸引パッド、およびこの吸引パッドで板材を把持して所定位置に搬送して板材の表面等を検査する板材検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から表面が平らな部品や、金属板などの各種の板材等である被吸着部品を搬送する際に利用される搬送装置では、被吸着部品を、エア負圧発生源の吸引力によって吸引して把持する吸引パッド（吸引治具）が使用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図９は、従来の吸引パッドを備えた搬送装置の一例を示すであり、（ａ）は板材を持ち上げたときの状態を示す概略側面図、（ｂ）は板材を吸引したときの状態を示す吸引パッドの拡大断面図である。
【０００４】
図９（ａ）に示すように、板材５００を搬送する場合には、例えば、搬送装置１００が使用されている。搬送装置１００は、図示しない電動機によって回転する駆動車を有し、複数の作動アーム３００を昇降させる昇降機２００が設置されている。そして、作動アーム３００の先端には、板材５００をエア負圧発生源２１０の吸引力によって吸着して把持する吸引パッド４００が備えられている。
【０００５】
吸引パッド４００は、図９（ｂ）に示すように、中央部にエア負圧発生源２１０に連通する内部空間部４１０を有する吸盤状に形成され、その開口側に多孔質金属体４２０が取り付けられている。吸引パッド４００は、内部空間部４１０内のエア抜きをして負圧にすることによって板材５００を吸着保持して、上方に持ち上げ、他の位置に移動している。なお、内部空間部４１０は、多孔質金属体４２０によって閉塞されている。
【特許文献１】特開２００４−２９９０８９号公報（段落００６１、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１および前記した従来の吸引パッド４００は、積み重ねた最上部の板材５０１の表面に押し当て、エア負圧発生源２１０により内部空間部４１０内を負圧にして吸着保持した場合、面接触により板材５００が密着しているため、図９（ｂ）に示すように、最上部の板材５０１にその下側の板材５０２が張り付いた状態で、これらの板材５０１，５０２がともに負圧で吸引される方向に膨らむように反り曲がる。
この状態で、昇降機２００の作動アーム３００を駆動させて吸引パッド４００を上昇させると、図９（ａ）に示すように、最上部の板材５０１に直ぐ下の板材５０２、あるいはさらに下の板材５０３が張り付いた状態で、複数の板材５００が持ち上がってしまうという問題点があった。
【０００７】
このため、最上部の板材５０１を１枚ずつ搬送すべきところを複数枚重ねて搬送してしまったり、あるいは搬送中に重ねて保持した板材５０２を落してしまったり、また、最上部の板材５０１を吸引して搬送するときに、下側の板材５０２を動かしてしまったりして、次の搬送動作に支障を来すという問題点があった。
【０００８】
また、板材５００の歪み、板厚、表面状態等の検査を行う場合は、各検査を行う位置に板材５００を搬送することや、あるいは複数枚が重ねて置かれた位置から板材５００を１枚ずつ保持して各検査位置に搬送することが求められるが、従来の吸引パッド４００の構成では、適切な対応ができなかった。
【０００９】
本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、積み上げられた板材を１枚ずつ把持して、その直ぐ下の板材を動かしてしまうことなく搬送できる吸引パッドおよび板材検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の吸引パッドは、作動アームの先端に設けられ、板材をエア負圧発生源の吸引力によって吸着する吸引パッドであって、前記作動アームに取り付けられた吸引パッド本体と、前記吸引パッド本体の周縁部に設置され、前記板材が当接する吸盤部と、前記吸盤部および前記吸引パッド本体内に囲繞されて形成され、前記エア負圧発生源に接続されたエア配管に連通する内部空間部と、前記内部空間部を介して前記吸盤部に当接して前記吸引パッド本体に吸着される前記板材に対向して配置され、前記吸引パッド本体に設けた突起と、を有し、前記突起は、前記吸盤部の高さより低くなるように形成されたことを特徴とする。
【００１１】
請求項１に記載の本発明によれば、吸引パッドが、積み重ねられた最上部の板材を吸引して持ち上げるときには、作動アームを下降させて吸引パッドを板材に当接させ、エア負圧発生源の吸引力によって板材を吸着する。最上部の板材は、吸引パッドによって吸引された箇所が、吸引方向に反り曲がりながら吸引され、突起に当接することにより、その変形が抑制されるため、小さく撓むように変形する。そうすると、最上部の板材と下側の板材との間に隙間ができるため、密着していた下側の板材が分離される。これにより、吸引パッドは、積み上げられた板材の最上部の板材のみを１枚ずつ持ち上げるようになる。
【００１２】
請求項２に記載の吸引パッドは、請求項１に記載の吸引パッドであって、前記吸引パッド本体および前記突起を覆い通気性を有するカバー部材を前記吸引パッド本体に取り付けたことを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の本発明によれば、カバー部材は、吸引パッド本体および突起を覆って設けられていることにより、板材が吸引パッドに吸引されたときに、例えば、金属等で形成された吸引パッド本体に当接して傷付くことを防止する。
【００１４】
請求項３に記載の吸引パッドは、請求項１または請求項２に記載の吸引パッドであって、前記突起の先端部は、弾性材によって形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載の本発明によれば、突起の先端部に弾性材があることによって、板材がエア負圧発生源の吸引力によって吸引されて突起に当接したときの衝撃を緩衝する。
【００１６】
請求項４に記載の板材検査装置は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の吸引パッドを設けた作動アームを用いて前記板材を吸着して搬送する搬送手段と、この搬送手段で少なくとも所定位置から搬送開始位置までの搬送を含む搬送経路中に配置された検査手段を備え、前記検査手段は、少なくとも、前記板材の歪みを検出する歪み検査手段と、前記板材の表面を検査する表面検査手段と、前記板材の板厚を検査する板厚検査手段とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項４に記載の本発明によれば、板材検査装置は、前記吸引パッドを用いて板材を吸着して搬送することにより、積み重ねてある板材の最上部の板材のみを１枚ずつ把持して各種検査を行う所定位置に運ぶことが可能となる。
【００１８】
請求項５に記載の板材検査装置は、請求項４に記載の板材検査装置であって、前記検査手段は、前記搬送経路に沿って前記歪み検査手段、前記表面検査手段、および板厚検査手段が配置されたことを特徴とする。
【００１９】
請求項５に記載の本発明によれば、検査手段は、板材が搬送される搬送経路に沿って配置された歪み検査手段、表面検査手段、および板厚検査手段によって、歪み、表面、および板厚を順次に検査する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の請求項１に係る吸引パッドによれば、積み重ねられた最上部の板材を吸引したときに、最上部の板材と、その直ぐ下の板材との間に突起を介して隙間を形成して、両者を分離し易くするため、板材を１枚ずつ持ち上げることができる。このため、吸引パッドは、最上部の板材を吸引して持ち上げるときに、下側の板材を動かしたりしてしまうことなく確実に１枚の板材のみを把持して搬送することができる。
【００２１】
本発明の請求項２に係る吸引パッドによれば、カバー部材は、板材が吸引パッドに吸引されたときに、吸引パッド本体あるいは突起に当接して傷付くことを防止して、板材の品質を保持することができる。
【００２２】
本発明の請求項３に係る吸引パッドによれば、板材がエア負圧発生源の吸引力によって吸引されたときに、突起の先端部に弾性材が形成されていることによって、当該突起に当接することによるキズを防止することができる。
【００２３】
本発明の請求項４に係る板材検査装置によれば、吸引パッドが積み重ねてある板材を１枚ずつ把持して検査を行う場所に運ぶことができるため、検査効率が向上されて、作業者の補助など人手を介することなく自動的に検査を行うことができる。
【００２４】
本発明の請求項５に係る板材検査装置によれば、板材の歪み、表面、および板厚を効率よく順次検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照して発明を実施するための最良の形態を説明する。なお、吸引パッドおよび板材検査装置は、各種の板材等に使用可能であるが、一例として、アルミニウム合金板（板厚４〜８ｍｍ）を板材とした場合を説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る吸引パッドを用いた搬送装置を示す概略側面図である。
【００２６】
≪板材≫
まず始めに、後記する吸引パッド３１が保持する板材Ｗについて説明する。
図１に示す板材Ｗは、例えば、矩形状で厚肉のアルミニウム合金からなる。このような板材Ｗの場合では、圧延板をシヤー切断して、例えば長さが７ｍのものを形成して、合紙を介在させて約２０枚積み重ねた後、歪みを取り除くためにストレッチャーを行い、さらに所定の大きさに切断される。板材Ｗの大きさは、一例として縦および横の長さが１５２５ｍｍ×３０５０ｍｍと、１２５０ｍｍ×２５００ｍｍと、１０００ｍｍ×２０００ｍｍとの３種類がある。この板材Ｗは、冷間圧延板の場合、板厚が４〜８ｍｍの厚板であり、表面粗さ（Ｒａ）が約０．４μｍ程度に形成されている。なお、板材Ｗは、大きさが１５２５ｍｍ×３０５０ｍｍで、板厚が８ｍｍの場合、重さが約１００ｋｇある。
【００２７】
板材Ｗは、２０枚程度積み重ねた状態で、さらに歪みを取り除くために、上から所定の荷重を印加して約３４０℃に加熱されて焼鈍が行われる。その焼鈍の終了後の板材Ｗは、図１に示すように、搬送台車７や載置台の上に積み重ねられている。このとき、板材Ｗは、焼鈍を行ったことにより、上下の板材Ｗ同士が張り付いた状態にある。
このようにして歪みが取り除かれた板材Ｗは、昇降機３に設置された吸引パッド３１によって把持して持ち上げられ、搬送装置２が配置されている搬送経路に運ばれて、各検査が行われる所定場所に搬送される。
【００２８】
≪昇降機≫
次に、吸引パッド３１が設置されている昇降機３を説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る吸引パッドを示す図であり、（ａ）は拡大概略図、（ｂ）は（ａ）のＹ部拡大図である。図３は、本発明の実施形態に係る吸引パッドを示す図であり、カバー部材を離脱した状態の拡大底面図である。
図１に示すように、昇降機３は、作動アーム３２の先端部に取り付けられた吸引パッド３１を昇降させることによって、板材Ｗを上昇および下降させる装置である。
図２に示すように、作動アーム３２は、その先端に、板材Ｗをバルブ３４を介してエア負圧発生源３３の吸引力によって吸着して把持する吸引パッド３１がそれぞれ備えられている。この作動アーム３２は、例えば、６本設置されている。この吸引パッド３１および作動アーム３２の数は、搬送する板材Ｗの大きさや重さによって適宜に設置すればよく、例えば、９個や１０個や１２個等でもよい。
【００２９】
エア負圧発生源３３は、吸引パッド３１の内部空間部３１ｃ（図２（ａ）参照）内のエアを吸引する装置であり、真空ポンプやエアコンプレッサ等からなる。
バルブ３４は、吸引される吸引パッド３１内の空気圧を調整する開閉調整弁である。このバルブ３４は、一端がそれぞれの吸引パッド３１の吸引口３１ｆに接続され、他端がエア負圧発生源３３に接続されたエア配管３５の中間部に介設されている。
【００３０】
≪吸引パッド≫
図２（ａ）に示すように、吸引パッド３１は、吸引パッド本体３１ａと、吸盤部３１ｂと、内部空間部３１ｃと、突起３１ｄと、カバー部材３１ｅと、弾性材３１ｈとを有してなる。なお、吸引パッド３１の吸引力は、約３０ｋＰａ以上に設定され、１つの吸引パッド３１で約１３ｋｇの板材Ｗを持ち上げることが可能である。
【００３１】
吸引パッド本体３１ａは、ベアリング３６を介して作動アーム３２の先端部に取り付けられている。吸引パッド本体３１ａは、スチール等の金属製の略円盤状部材であり、内部空間部３１ｃに連通し、エア配管３５が接続される吸引口３１ｆを穿設している。吸引パッド本体３１ａの周縁部には、吸盤部３１ｂが設置され、また、中央部には、略円柱状の突起３１ｄが形成されている。
【００３２】
吸盤部３１ｂは、板材Ｗをエア負圧発生源３３の吸引力によって吸着したときに、その板材Ｗが吸着される箇所であり、吸引パッド本体３１ａの周縁部に固着されている。吸盤部３１ｂは、合成ゴムや軟質のプラスチック等の弾性材によって形成されている。この吸盤部３１ｂは、スカート状に拡開して、突起３１ｄより大きく突出した状態に形成されている。
【００３３】
前記内部空間部３１ｃは、エア負圧発生源３３に接続されたエア配管３５に連通する空間であり、吸盤部３１ｂの開口部３１ｇ内の吸引パッド本体３１ａと吸盤部３１ｂに囲繞されて形成されている。この内部空間部３１ｃは、吸盤部３１ｂが板材Ｗに当接したときに、この中のエアがエア負圧発生源３３によってエア抜きされることによって負圧となり、板材Ｗを吸引して吸引パッド３１に把持させる。
【００３４】
前記突起３１ｄは、例えば、開口部３１ｇ内の吸引パッド本体３１ａの中央部に一体形成された円柱状のものからなり、先端面に合成ゴム等からなる円板状に弾性材３１ｈが接着されている。突起３１ｄの高さｈ１は、吸盤部３１ｂの高さｈ２より低く形成されている。
【００３５】
カバー部材３１ｅは、開口部３１ｇ内に設けられ、内部空間部３１ｃおよび突起３１ｄの表面の弾性材３１ｈを覆って、吸引された板材Ｗが吸引パッド本体３１ａに当接して表面にキズが付くことを防止するための部材である。カバー部材３１ｅは、通気性を有する布等によって形成されている。
前記吸引口３１ｆは、吸引パッド本体３１ａの１箇所に穿設されたエア吸入用の貫通孔である。なお、この吸引口３１ｆは、突起３１ｄの周辺部位に等間隔に複数設けてもよい。
【００３６】
≪板材検査システム≫
図４は、各種検査が行われる板材検査装置と搬送装置との関係を示す概略平面図である。
次に、吸引パッド３１を利用して板材Ｗを検査する板材検査システム１を説明する。
板材検査システム１は、板材Ｗの歪みＨ１，Ｈ２（図５（ｂ）参照）、表面Ｗａおよび裏面ＷｂのキズＫ（図６（ａ）参照）の有無、板厚ｔ（図７（ａ）、（ｂ）参照）等を検査する装置である。板材検査システム１は、後記する吸引パッド３１（図２（ａ）参照）を用いて板材Ｗを吸着して搬送する搬送装置２（天井走行搬送装置２１）と、板材Ｗの歪みＨ１，Ｈ２（図５（ｂ）参照）を検出する歪み検査装置４と、板材Ｗの表面Ｗａおよび裏面ＷｂのキズＫ（図６（ａ）参照）等の有無を検出する表面検査装置５と、板材Ｗの板厚ｔ（図７（ａ）、（ｂ）参照）を検査（測定）する板厚検査装置６と、それらをコントロールする制御装置８とを備えている。
【００３７】
≪搬送装置≫
図４に示すように、搬送装置２は、板材Ｗを、後記する各検査を行う所定位置に搬送する装置であり、例えば、昇降機３をレール２２に沿って移動させる天井走行搬送装置２１と、ローラコンベア２３とからなる。搬送装置２は、例えば、複数からなる天井走行搬送装置２１と、ローラコンベア２３とを１列に連設して、搬送経路を形成する。搬送装置２は、図４に示すように、板材Ｗを搬送経路上の第１ゾーンＡ、第２ゾーンＢ、第３ゾーンＣ、および第４ゾーンＤの箇所に搬送して、搬送経路に沿って配置された板材検査システム１によって各種検査が実施できるようにしている。
【００３８】
第１ゾーンＡでは、天井走行搬送装置２１によって、焼鈍等の検査前処理工程（歪み除去処理等）を終了した板材Ｗが、昇降機３で持ち上げられてローラコンベア２３に移し、次の第２ゾーンＢに搬送される。
第２ゾーンＢでは、歪み検査装置４によって板材Ｗの歪みＨ１，Ｈ２（図５（ｂ）参照）の検査が行われ、板材Ｗを載置した搬送台車７１を搬送するローラコンベア２３が設けられている。
第３ゾーンＣでは、表面検査装置５によって板材Ｗの表面Ｗａ，Ｗｂ（図６（ａ）、（ｂ）参照）の検査が行われ、板材Ｗを搬送するローラコンベア２３が設けられている。
第４ゾーンＤでは、板厚検査装置６によって板材Ｗの板厚ｔ（図７（ａ）、（ｂ）参照）の測定が行われ、板材Ｗを搬送するローラコンベア２３が設けられている。
【００３９】
図１に示すように、天井走行搬送装置２１は、板材Ｗを吊り上げた状態で搬送する装置であり、複数の作動アーム３２を昇降させる昇降機３が設置されている。この天井走行搬送装置２１は、昇降機３を、図示しない電動機によって駆動車が回転してレール２２を走行させる。
ローラコンベア２３は、図示しない電動機によって駆動ローラが回転して、載置した板材Ｗや搬送台車７１（図５（ａ）参照）を搬送させる装置である。
【００４０】
図５は、本発明の実施形態に係る板材検査装置の一例を示す図であり、（ａ）は歪み検査装置を示す概略斜視図、（ｂ）は歪み検査装置によって板材の歪みを検出している状態を示す要部拡大概略図である。なお、図５（ｂ）は、板材Ｗの歪んだ状態を表すため、歪みＨ１，Ｈ２を誇張して示してある。
【００４１】
≪歪み検査装置≫
図５（ａ）に示すように、歪み検査装置４は、前記昇降機３によって定盤状の搬送台車７１（載置台）に載置され、搬送装置２によって搬送されて来た板材Ｗの歪みＨ１，Ｈ２を検出する装置である。この歪み検査装置４は、例えば、レーザー変位計４１と、直交座標ロボット装置４２と、位置検出センサ４３と、歪み検査制御装置４４とを備えてなる。歪み検査装置４は、位置検出センサ４３によって搬送台車７１の先端を検出して、その検出信号に基づいて歪み検査制御装置４４によって所定位置まで移動させて停止させた状態で、搬送台車７１上の板材Ｗの表面Ｗａに対して、レーザー変位計４１を直交座標ロボット装置４２で左右の幅方向および前方向に交互に移動させながら歪みＨ１，Ｈ２を検出する。
【００４２】
レーザー変位計４１は、図５（ｂ）に示すように、板材Ｗの表面Ｗａに向けてレーザー光を照射して、表面Ｗａで反射されるレーザー光を検出し、膨らんだ状態の歪みＨ１や凹んだ状態の歪みＨ２を検出する装置である。なお、歪み検査装置４に設置されるレーザー変位計４１は、これに限定されるものではなく、歪みＨ１，Ｈ２を検出することができるものであれば構わない。
【００４３】
直交座標ロボット装置４２は、図５（ａ）に破線の矢印で示すように、レーザー変位計４１を搬送装置２に対して搬送方向（矢印Ｘ方向）と同じ方向と、この搬送方向（矢印Ｘ方向）に直交する左右の幅方向とに移動させることが可能な装置である。
【００４４】
位置検出センサ４３は、搬送台車７１の先端を検出する光スイッチ等からなる。なお、歪み検査装置４は、この位置検出センサ４３によって検出した搬送台車７１の位置に基づいて、直交座標ロボット装置４２を駆動させたり、搬送台車７１を一時停止させたりして、その上に載置されている板材Ｗの位置を検出する。
【００４５】
歪み検査制御装置４４は、位置検出センサ４３からの信号に基づいて搬送装置２、直交座標ロボット装置４２、およびレーザー変位計４１を駆動させる装置である。歪み検査制御装置４４は、レーザー変位計４１、直交座標ロボット装置４２、位置検出センサ４３および制御装置８（図４参照）に電気的に接続されている。
【００４６】
図６は、本発明の実施形態に係る板材検査装置の一例を示す図であり、（ａ）は表面検査装置を示す概略斜視図、（ｂ）は表面検査装置によって板材の表面を検査している状態を示す概略側面図である。
【００４７】
≪表面検査装置≫
図６（ａ）に示すように、表面検査装置５は、前記昇降機３によって搬送台車７１上に載置されてあった板材Ｗ（図５（ａ）参照）をローラコンベア２３上の直接載せて、ローラコンベア２３によって搬送される板材Ｗの表面Ｗａおよび裏面ＷｂのキズＫ等の異常箇所の有無を検査する装置である。この表面検査装置５は、例えば、ＣＣＤカメラ５１と、照明具５２と、カメラ支持体５３と、表面検査制御装置５４とを備えてなる。表面検査装置５は、ＣＣＤカメラ５１によって撮影した板材Ｗの表面Ｗａおよび裏面Ｗｂの画像を表面検査制御装置５４に記憶されたメモリ画像と比較してキズＫ等を検出する装置である。
【００４８】
ＣＣＤカメラ５１は、板材Ｗを撮影するカメラであり、板幅全体を撮影できるように複数設置されており、ここでは、表面Ｗａの中央部とその左右との３箇所と、裏面Ｗｂの中央部とその左右との３箇所をそれぞれ撮影するように設置されている。
【００４９】
照明具５２は、６台のＣＣＤカメラ５１によって撮影する板材Ｗの表面Ｗａおよび裏面Ｗｂをそれぞれ一定の照明状態とするためのランプである。
カメラ支持体５３は、図示しないブラケットによってＣＣＤカメラ５１および照明具５２を保持するアーチ状の金属製部材であり、ローラコンベア２３を跨ぐように設置されている。
【００５０】
表面検査制御装置５４は、ＣＣＤカメラ５１を制御したり、このＣＣＤカメラ５１によって撮影した板材Ｗの表面Ｗａおよび裏面Ｗｂの画像と記録されているメモリ画像とを比較してキズＫ等の有無を判定したりする装置である。表面検査制御装置５４は、各ＣＣＤカメラ５１、照明具５２、および制御装置８（図４参照）に電気的に接続されている。
【００５１】
図７は、本発明の実施形態に係る板材検査装置の一例を示す図であり、（ａ）は板厚検査装置を示す概略斜視図、（ｂ）は板厚検査装置によって板材の板厚を測定している状態を示す概略側面図である。
【００５２】
≪板厚検査装置≫
図７（ａ）、（ｂ）に示すように、板厚検査装置６は、板材Ｗの前端部の３箇所と後端部の３箇所との合計６箇所の板厚ｔを測定して、板厚ｔが不均衡な箇所があるか検査する装置である。板厚検査装置６は、例えば、対向して配置された２台の床置き式の板厚検査ロボット６ａ，６ｂからなる。板厚検査装置６は、昇降機３によって前記ローラコンベア２３から上昇させた板材Ｗを搬送装置２によって２台の板厚検査装置６，６間に搬送して、機械式板厚測定器６１で板厚ｔを検査する。板厚検査装置６は、例えば、板厚検査ロボット６ａ，６ｂと、機械式板厚測定器６１と、伸縮アーム６２と、装置本体６３と、板厚検査制御装置６４と、を備えてなる。
【００５３】
板厚検査ロボット６ａ，６ｂは、天井走行搬送装置２１によって矢印Ｘの搬送方向に搬送されて来た板材Ｗの前端部および後端部の各３箇所の板厚ｔを機械式板厚測定器６１，６２により測定させる装置である。
【００５４】
機械式板厚測定器６１は、板材Ｗの板厚ｔを測定する測定器であり、板厚検査ロボット６ａ，６ｂに設けられた各伸縮アーム６２の先端にそれぞれ設置されたマイクロメータからなる。
伸縮アーム６２は、図示しない電動装置または油圧装置によって機械式板厚測定器６１を移動させる装置であり、板厚検査ロボット６ａ，６ｂにそれぞれ３本ずつ設置されている。
【００５５】
装置本体６３は、各伸縮アーム６２を水平に等間隔に並設してなり、天井走行搬送装置２１のレール２２の下の床面に設置されている。
板厚検査制御装置６４は、機械式板厚測定器６１、伸縮アーム６２および昇降機３をコントロールするとともに、機械式板厚測定器６１によって測定した板材Ｗの板厚ｔの検出データ信号を制御装置８に送信する装置である。板厚検査制御装置６４は、各板厚検査ロボット６ａ，６ｂ、昇降機３、および制御装置８（図４参照）に電気的に接続されている。なお、ここでは、作動アーム３２の吸引パッド３１に保持した状態で板厚ｔを測定しているが、例えば、ローラコンベア２３（図６（ａ）、（ｂ）参照）上の板材Ｗを測定する構成としても構わない。
【００５６】
図４に示す制御装置８は、搬送装置２、昇降機３、歪み検査装置４、表面検査装置５、および板厚検査装置６をコントロールして板材Ｗを所定位置に移動させる信号をそれら装置に出力するとともに、歪み検査装置４、表面検査装置５、および板厚検査装置６で検査した板材Ｗの検査情報を集中管理して記録等を行う装置である。制御装置８は、天井走行搬送装置２１、ローラコンベア２３、各昇降機３、歪み検査制御装置４４、表面検査制御装置５４、および板厚検査制御装置６４にそれぞれ電気的に接続されている。
【００５７】
≪作用≫
次に、本発明の実施形態に係る吸引パッドおよび検査装置の作用を、図４を主に各図を参照しながら説明する。
まず、焼鈍等の検査前処理工程（歪み除去処理等）が終了した板材Ｗは、搬送台車７または載置台（図示せず）上に約２０枚積み重ねた状態で搬送経路上の第１ゾーンＡに運ばれる。図１に示すように、この第１ゾーンＡでは、搬送台車７を天井走行搬送装置２１のレール２２の下方に移動して、昇降機３の吸引パッド３１によって板材Ｗを１枚ずつ持ち上げて第２ゾーンＢへ搬送する。
【００５８】
図２（ａ）に示すように、吸引パッド３１によって積み重ねられた最上部の板材Ｗ１を吸引して持ち上げるときには、作動アーム３２を下降させて吸引パッド３１を板材Ｗ１に押し付け、エア負圧発生源３３の吸引力によって板材Ｗ１を吸着する。そうすると、最上部の板材Ｗ１は、吸引パッド３１によって吸引された箇所が、吸引方向に反り曲がり、その吸引された中央部が突起３１ｄの表面にあるカバー部材３１ｅに当接する。これにより、板材Ｗ１は、突起３１ｄによって吸引による変形が抑制されるため、小さく撓むように変形する。その結果、最上部の板材Ｗ１と下側の板材Ｗ１との間に隙間ｄができるため、下側の板材Ｗ２が分離される。これにより、吸引パッド３１は、積み上げられた板材Ｗの最上部の板材Ｗ１のみを１枚ずつ確実に持ち上げるようになる。
このとき、持ち上げられた板材Ｗ１は、下側の板材Ｗ２を動かしたりしてしまうことなく、次にその板材Ｗ２を持ち上げるときに支障を来たすことがない。
【００５９】
また、吸引パッド３１によって持ち上げた板材Ｗを搬送台車７上に下降させて載置するときは、バルブ３４を制御することにより、内部空間部３１ｃの負圧状態が解消されて、板材Ｗが吸引パッド３１から離れる。このようにして、板材Ｗは、所定位置に搬送されて落下される。なお、板材Ｗが吸引パッド３１に張り付いて落下し難い場合には、エア負圧発生源３３によって圧縮エアを噴出させることにより、板材Ｗを吸引パッド３１から強制的に落下させることが可能である。このように吸引パッド３１は、板厚ｔ（図７（ａ）、（ｂ）参照）が４〜８ｍｍのアルミニウム合金の厚板等の比較的重い板材Ｗを持ち上げて運ぶハンドラーとして最適な機能を備えている。
【００６０】
第２ゾーンＢでは、板材Ｗを載置した搬送台車７１がローラコンベア２３によって第１ゾーンＡから搬送されて来て、歪み検査装置４によって板材Ｗの歪みＨ１，Ｈ２の検査が行われる。この歪み検査装置４による板材Ｗの検査が終了すると、図６（ｂ）に示すように、板材Ｗは、昇降機３によって搬送台車７１から降ろされてローラコンベア２３の上に直接載置されて第３ゾーンＣに搬送される。
【００６１】
第３ゾーンＣでは、表面検査装置５のＣＣＤカメラ５１によって板材Ｗの表面Ｗａ，ＷｂにキズＫ等の欠陥や異常箇所がないか検査が行われる。この表面検査装置５による板材Ｗの表面検査が終了すると、板材Ｗは、ローラコンベア２３によって、次の検査が行われる第４ゾーンＤに搬送される。
【００６２】
第４ゾーンＤでは、ローラコンベア２３によって搬送されて来た板材Ｗが、図７（ｂ）に示すように、天井走行搬送装置２１に設けられた昇降機３によってローラコンベア２３上から持ち上げられて、板厚検査装置６，６間に水平に配置される。その板材Ｗは、板厚検査装置６の機械式板厚測定器６１によって板厚ｔの６点測定が行われて、各所が所定の板厚ｔになっているか検査される。
【００６３】
以上で各種の検査が終了する。なお、歪み検査装置４、表面検査装置５および板厚検査装置６で検査した各板材Ｗのデータは、制御装置８に送られ、所定の規格に合致しているか判別されるとともに、収録され集中的に管理される。
【００６４】
≪突起の他の構成≫
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造および変更が可能であり、本発明はこれら改造および変更された発明にも及ぶことは勿論である。
【００６５】
図８は、吸引パッドの突起の変形例を示す図であり、（ａ）は四角柱状の突起を示す斜視図、（ｂ）複数の設けた突起を示す斜視図、（ｃ）略筒状の突起を示す斜視図である。
【００６６】
突起３１ｄは、図２（ａ）および図３に示すように吸引パッド本体３１ａの中央部に形成された円柱状のものに限定されるものではない。例えば、図８（ａ）に示す突起３１ｉのように四角柱形状のものでもよい。また、図８（ｂ）に示す突起３１ｊのように比較的小さな円柱形状のものを複数形成したものでもよい。さらに、図８（ｃ）に示す突起３１ｋのように略筒状のものでもよい。
【００６７】
なお、前記実施形態では、アルミニウム合金からなる厚板を板材Ｗとして使用した場合について説明したが、表面が平らな部材であれば、吸引パッド３１によって把持して検査や加工等を行う場合にも同様にして適用できるものである。
また、検査手段は、歪み検査手段と、表面検査手段と、板厚検査手段とを備える構成として説明したが、例えば、板材の表面粗さを検査する表面粗さ検査手段等の他の検査手段を備える構成としても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施形態に係る吸引パッドを用いた搬送装置を示す概略側面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る吸引パッドを示す図であり、（ａ）は拡大概略図、（ｂ）は（ａ）のＹ部拡大図である。
【図３】本発明の実施形態に係る吸引パッドを示す図であり、カバー部材を離脱した状態の拡大底面図である。
【図４】各種検査が行われる板材検査装置と搬送装置との関係を示す概略平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る板材検査装置の一例を示す図であり、（ａ）は歪み検査装置を示す概略斜視図、（ｂ）は歪み検査装置によって板材の歪みを検出している状態を示す要部拡大概略図である。
【図６】本発明の実施形態に係る板材検査装置の一例を示す図であり、（ａ）は表面検査装置を示す概略斜視図、（ｂ）は表面検査装置によって板材の表面を検査している状態を示す概略側面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る板材検査装置の一例を示す図であり、（ａ）は板厚検査装置を示す概略斜視図、（ｂ）は板厚検査装置によって板材の板厚を測定している状態を示す概略側面図である。
【図８】吸引パッドの突起の変形例を示す図であり、（ａ）は四角柱状の突起を示す斜視図、（ｂ）複数の設けた突起を示す斜視図、（ｃ）略筒状の突起を示す斜視図である。
【図９】従来の吸引パッドを備えた搬送装置の一例を示すであり、（ａ）は板材を持ち上げたときの状態を示す概略側面図、（ｂ）は板材を吸引したときの状態を示す吸引パッドの拡大断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１      板材検査システム（板材検査装置）（検査手段）
２      搬送装置
４      歪み検査装置（歪み検査手段）
５      表面検査装置（表面検査手段）
６      板厚検査装置（板厚検査手段）
２１    天井走行搬送装置（搬送手段）
３１    吸引パッド
３１ａ  吸引パッド本体
３１ｂ  吸盤部
３１ｃ  内部空間部
３１ｄ，３１ｉ，３１ｊ，３１ｋ  突起
３１ｅ  カバー部材
３１ｇ  開口部
３１ｈ  弾性材
３２    作動アーム
３３    エア負圧発生源
３５    エア配管
ｈ１    突起の高さ
ｈ２    吸盤部の高さ
Ｈ１，Ｈ２  歪み
ｔ      板厚
Ｗ      板材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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