(57)【要約】  【課題】露光装置等のソフトウエアを、購入実績、使用条件、使用実績、契約条件等を加味して合理的に価格決定し販売するソフトウエア販売方法を提供する。  【解決手段】ソフトウエア製品の販売条件に関わる全ての要因、すなわち購入者の購入実績、アップグレード・カスタム対応・カスタマーサービス等の時契約条件、使用期間・使用期限・起動時間・起動回数・ファイル入出力回数・ＣＰＵ処理時間・使用不可機能等の制約条件を含む使用条件、起動時間・起動回数・ファイル入出力回数・ＣＰＵ処理時間・特定機能の使用回数等の使用実績等の要因について、その状態（内容）を数値指標に変換し、各要因の数値指標を集計し、その累積値に基づいて販売条件を決定する。種々の要因を共通の尺度で評価し、これらを総合的かつ論理的に勘案して最終的な販売条件を設定しているので、合理的な販売条件の設定が行える。  【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ソフトウエア関連商品を販売する方法であって、
特定のユーザーによる過去の商品購入実績に関する情報、又は、前記特定のユーザーによる商品の過去の使用実績に関する情報に基づいて、
前記特定ユーザーが次回に所定ソフトウエア関連商品を購入する際の、前記所定ソフトウエア関連商品の価格を決定することを特徴とする
ソフトウエア販売方法。
【請求項２】
前記ソフトウエア関連商品は、ソフトウエアそのもの、又は、前記ソフトウエアの使用条件又はサービス条件に関するライセンスであることを特徴とする
請求項１に記載のソフトウエア販売方法。
【請求項３】
前記過去の商品購入実績情報は、前記特定ユーザーが過去に購入したソフトウエア、及び、ソフトウエアの使用条件又はサービス条件に関するライセンス商品の購入に関する情報を含むことを特徴とする
請求項２に記載のソフトウエア販売方法。
【請求項４】
複数のユーザーの商品購入実績情報を、ユーザーごとに管理することを特徴とする
請求項３に記載のソフトウエア販売方法。
【請求項５】
前記ライセンス商品は、ソフトウエアを使用する際の制約条件、前記ソフトウエアのアップグレードに関する項目、カスタム対応に関わる項目、カスタマーサービスに関する項目の何れかを含むことを特徴とする
請求項２〜４の何れかに記載のソフトウエア販売方法。
【請求項６】
前記過去の使用実績情報は、ソフトウエアの起動時間、起動回数、ファイル入出力回数、ＣＰＵ処理時間、前記ソフトウエアが備える機能の機能ごとの使用回数の何れかに関する情報を含むことを特徴とする
請求項１〜５の何れかに記載のソフトウエア販売方法。
【請求項７】
前記価格の決定は、前記特定ユーザーが次回に所定ソフトウエア関連商品を購入する際の割引率の決定を含むことを特徴とする
請求項１〜６の何れかに記載のソフトウエア販売方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子等の電子デバイスを製造する際のリソグラフィー工程で使用する、例えば露光装置の制御用ソフトウエアや露光結果の評価用ソフトウエア等のソフトウエア販売方法に関する。特に、ソフトウエアを利用形態及び利用履歴に応じた妥当な条件で利用者に提供することのできるソフトウエア販売方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子、液晶表示素子、ＣＣＤ等の撮像素子、プラズマディスプレイ素子、薄膜磁気ヘッド等の電子デバイス（本明細書中においては電子デバイスと総称する。）を製造する際のリソグラフィー工程の製造ラインは、マスクに形成されたパターンを感光基板に露光する露光装置を中心として、検査装置や計測装置、ウエハ処理装置、及び、制御装置あるいは管理装置等から構成される。これらの装置は、通常、通信ネットワークにより接続され、制御信号あるいは処理結果や検査結果のデータ等は、この通信ネットワークを介して装置間で伝送される。また、制御装置は、通常、外部の通信ネットワークとも接続され、上位の管理装置と通信可能な構成となっている。
【０００３】
露光装置等の装置において、装置の動作や装置を構成する各ユニットの動作は、コンピュータを有する制御系により制御される。すなわち、制御プログラムが各ユニットの制御系及び装置全体を制御する制御系にインストールされ、この制御プログラムが各制御系のコンピュータで実行されることにより、各ユニット及び各装置が所望の動作をする。
例えば露光装置においては、光学系（光源、照明光学系、投影光学系等）、アライメント系（例えばＦＩＡ系、ＬＳＡ系等）、ステージ系（ウエハステージ系、レチクルステージ系等）等の各ユニットに、そのユニットを制御する制御プログラムがインストールされる。また、全体を制御する制御部に全体を制御するプログラムがインストールされる。これらのプログラムが各制御部において実行されて各ユニットが協働して動作することにより、露光装置全体として所望の処理が行われる。
【０００４】
電子デバイスの製造ラインで使用される露光装置を初めとするこのような構成の装置において、処理精度を向上させる等の性能の改善、処理内容や処理手順の変更、あるいは機能の追加や変更等を行う場合は、制御プログラムの変更が必要となる。従って、このような場合、露光装置のユーザーは、ソフトウエアのバージョンアップを行う必要がある。すなわち、実質的に新たな制御ソフトウエアを購入する必要が生じる。
【０００５】
そのようなソフトウエアは、通常、１本のソフトウエアごとに料金が設定され、これを単位として取引される。また、大型のコンピュータシステムやネットワークを介した分散処理システム等のマルチユーザー環境で使用されるソフトウエアは、ソフトウエア本体とは別に、同時利用可能なアクセス権の数等による料金が設定される場合もある。
一方、デジタル音楽データ等のコンテンツデータは、近年、ネットワークを介して頒布する方法が種々提案されており、利用条件、課金方法等をきめ細かく利用者が選択できる方法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２０３０７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、リソグラフィー工程の製造ラインの露光装置等の装置の運用形態や利用形態は製造ラインごとに多種多様である。従って、そのような装置に搭載するソフトウエアは、製造ラインや装置の利用形態に応じて、実行可能な機能、実行可能な期間、実行可能時間、特定の処理の利用制限等を個別に設定して導入される。
そのようなソフトウエアに対して、従来のように１本のソフトウエアごとに設定された料金に基づいて販売あるいはバージョンアップを行うと、料金がソフトウエアの利用形態と乖離した不合理なものになるという問題がある。
【０００８】
また、露光装置を初めとするこれらの装置は、通常、大規模かつ高価なシステムであり、これに適用するソフトウエアは、ハードウエアと一体的であることはもちろん、前のバージョンあるいは前のシステムとの継承性等をも考慮して評価する必要がある。例えばソフトウエアやハードウエアのバージョンアップをある程度見込んで当初より販売される場合もある。従って、それらシステムの全体、バージョンアップの履歴等を十分把握した上で、個々のソフトウエア、バージョンアップの価格を設定しなければならない。
すなわち、このようなソフトウエアについては、購入実績、さらには、ハードウエアの購入状況（購入実績）、運用状況等を考慮して、そのソフトウエアの利用形態を把握し、それに基づいて合理的な価格を決定する必要がある。
【０００９】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、例えば露光装置等の装置に搭載するソフトウエアに対して、単なるソフトウエアという製品の枠を越えた種々の条件を加味して合理的に価格を決定し、そのソフトウエアを所望の形態、所望の条件で販売するソフトウエア販売方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために、本発明に係るソフトウエア販売方法は、ソフトウエア関連商品を販売する方法であって、特定のユーザーによる過去の商品購入実績に関する情報（１４１）、又は、前記特定のユーザーによる商品の過去の使用実績に関する情報（１４３）に基づいて、前記特定ユーザーが次回に所定ソフトウエア関連商品を購入する際の、前記所定ソフトウエア関連商品の価格を決定する（ステップＳ１３３及びＳ１３５等）ことを特徴とする（図９及び図１０参照）。（請求項１）
このようなソフトウエア販売方法においては、販売対象のプログラムに関わる要因のみならず、例えば過去の購入者の購入実績、使用実績あるいは使用条件等の要因をも勘案した合理的な販売条件の設定が行える。
【００１１】
好適には、前記ソフトウエア関連商品は、ソフトウエアそのもの、又は、前記ソフトウエアの使用条件又はサービス条件に関するライセンス（１４２）であることを特徴とする（図４参照）。（請求項２）
また好適には、前記過去の商品購入実績情報（１４１）は、前記特定ユーザーが過去に購入したソフトウエア、及び、ソフトウエアの使用条件又はサービス条件に関するライセンス商品の購入に関する情報を含むことを特徴とする（図３参照）。（請求項３）
また好適には、本発明に係るソフトウエア販売方法は、複数のユーザーの商品購入実績情報を、ユーザーごとに管理することを特徴とする（図３参照）。（請求項４）
【００１２】
好適には、前記ライセンス商品（１４２）は、ソフトウエアを使用する際の制約条件、前記ソフトウエアのアップグレードに関する項目、カスタム対応に関わる項目、カスタマーサービスに関する項目の何れかを含むことを特徴とする（図４参照）。（請求項５）
また好適には、前記過去の使用実績情報（１４３）は、ソフトウエアの起動時間、起動回数、ファイル入出力回数、ＣＰＵ処理時間、前記ソフトウエアが備える機能の機能ごとの使用回数の何れかに関する情報を含むことを特徴とする（図５参照）。（請求項６）
また好適には、前記価格の決定は、前記特定ユーザーが次回に所定ソフトウエア関連商品を購入する際の割引率の決定を含むことを特徴とする（図６参照）。（請求項７）
【００１３】
なお、本欄においては、各構成に対して、添付図面に示される対応する構成の符号を記載したが、これはあくまでも理解を容易にするためのものであって、何ら本発明に係る手段が添付図面を参照して後述する実施の形態の態様に限定されることを示すものではない。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、例えば露光装置等の装置に搭載するソフトウエアに対して単なるソフトウエアという製品の枠を越えた種々の条件を加味して合理的に価格を決定し、そのソフトウエアを所望の形態、所望の条件で販売するソフトウエア販売方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の一実施の形態について、図１〜図１０を参照して説明する。
本実施の形態においては、半導体メーカー等の電子デバイスの製造ラインにおいてリソグラフィー工程を担う露光装置システムに対して、露光装置に搭載されるソフトウエアの販売やバージョンアップを行うライセンス販売システムを例示して本発明を説明する。
【００１６】
まず、そのライセンス販売システムの構成について、図１を参照して説明する。
図１は、本実施の形態のライセンス販売システム１０の全体構成を示すブロック図である。
ライセンス販売システム１０は、ライセンスサーバ１００、顧客システム２００及び通信ネットワーク３００を有する。
【００１７】
ライセンスサーバ１００は、露光装置を提供する露光装置メーカー側のシステムであって、半導体メーカー等の顧客側システムに設置される露光装置に搭載するソフトウエアの管理、バージョンアップ及び新たなソフトウエアの販売等を行うサーバである。
なお、ソフトウエアの販売形態は様々であるが、一般的には、新規のソフトウエアの販売（この場合、通常１本以上の使用ライセンスを含む）、既に搭載しているソフトウエアのバージョンアップ、既に搭載しているソフトウエアに対する使用ライセンスのみの追加販売等が考えられる。本実施の形態においては、このような販売形態を全て含んで、単にソフトウエアの販売と総称する。
また、本明細書中において単にライセンスと称した場合、これはソフトウエアを使用するためのライセンス（使用ライセンス）を意味する。
【００１８】
ライセンスサーバ１００は、ソフトウエア（ライセンス）を顧客に販売する際、販売対象のソフトウエア（ライセンス）の種類や数、ソフトウエアの使用条件、その顧客の購入実績、その顧客のソフトウエアの使用実績、及び、購入後の対応等に関する契約事項（販売時契約条件）等の要因に基づいて、例えば販売価格の割引率等の特典を含む販売条件（購入条件）を決定する。ライセンスサーバ１００においては、販売条件を決定するためのそれらの各要因の内容を、要因ごとに予め定めた換算基準に基づいて数値指標に換算する。この数値指標の累積値に基づいて、販売条件を決定する。本実施の形態においては、この数値指標をカウント数と称する。
【００１９】
ライセンスサーバ１００の構成を図２に示す。
ライセンスサーバ１００は、顧客ライセンス管理処理部１１０、顧客ライセンス使用状況管理処理部１２０、販売条件設定処理部１３０及びデータベース１４０を有する。
また、データベース１４０は、顧客ライセンス管理データベース１４１、販売条件：カウント数設定データベース１４２、顧客ライセンス使用量状況監視データベース１４３及び販売条件：割引率設定データベース１４４を有する。
【００２０】
まず、データベース１４０の構成を説明する。
顧客ライセンス管理データベース１４１は、顧客が過去に購入したソフトウエア（ライセンス）について、使用条件等を含む情報を購入履歴情報として蓄積したデータベースである。
顧客ライセンス管理データベース１４１に蓄積される購入履歴情報の一例を図３に示す。
【００２１】
図３に示すように、顧客ライセンス管理データベース１４１には、顧客ＩＤ、製品名及びライセンス番号ごとに、使用条件、販売時契約条件及び使用実績監視の設定の有無が記憶されている。
具体的には、アップグレードライセンスの条件の有無、種々の使用制約条件の設定の有無、カスタム対応の条件の有無、カスタマーサービスの条件の有無、及び、種々の使用量のモニタリング（監視）の設定の有無が、ＯＮ（設定有）及びＯＦＦ（設定無）という形態で登録されている。
より具体的には、使用制約条件には、使用期間、使用期限、起動時間上限、起動回数上限、ファイル入出力回数上限、ＣＰＵ処理時間上限及び使用禁止の機能の条件を含む。
また、監視の設定対象の使用量には、起動時間、起動回数、ファイル入出力回数、ＣＰＵ処理時間及び各機能の使用回数を含む。
【００２２】
なお、各ライセンスに対する具体的な条件の内容は、後述する販売条件：カウント数設定データベース１４２に、製品ごとに別途設定されている。
顧客ライセンス管理データベース１４１の内容は、後述する販売条件設定処理部１３０により、販売条件を決定する処理を行う際に参照される。
また、顧客ライセンス管理データベース１４１の内容は、ソフトウエア（ライセンス）が販売されるごとに、後述する顧客ライセンス管理処理部１１０により更新される。
【００２３】
販売条件：カウント数設定データベース１４２は、製品ごとの使用条件等の条件内容、及び、その条件内容に対するカウント数が記録されたデータベースである。
【００２４】
製品ごとの条件内容としては、顧客ライセンス管理データベース１４１の購入履歴情報とほぼ同じの項目に対して、具体的な内容が設定される。例えば、「アップグレードライセンスとして２年間無償で最新バージョンアップ」、「使用期間として３年間」、「使用期限として２００６年１２月まで」、「起動時間上限として１００００時間」、「起動回数上限として３０００回」、「ファイル入出力回数上限として１００００回」、「ＣＰＵ処理時間上限として５０００時間」、「使用禁止とする機能として“レポートファイル出力機能”」、「カスタム対応として顧客ごとの計測結果ファイル形式読み込み対応」、あるいは、「カスタマーサービスとして１年間の無償オンラインサポート」と言うような内容が、製品ごとに設定される。
また、モニタリング（監視）対象の使用量の項目については、カウント数に換算する際の単位が設定される。例えば、「起動単位時間として１０００時間」、「起動単位回数として１０００回」、「ファイル入出力単位回数として３０００回」、「ＣＰＵ処理単位時間として１０００時間」、あるいは、「各機能の使用単位回数として５０００回」という内容が、製品ごとに設定される。
【００２５】
これらの各条件内容に対するカウント数は、販売条件：カウント数設定データベース１４２内にカウント数設定データベーステーブルとして記憶される。
カウント数設定データベーステーブルの一例を図４に示す。
図４に示すように、カウント数設定データベーステーブルには、製品ごとに、１ライセンスあたりのカウント数、及び、前述した各条件項目の各内容に対するカウント数、すなわち、アップグレードライセンスカウント数、各制約条件のカウント数、カスタム対応とカスタマーサービスのカウント数、及び、各使用量の単位時間及び単位回数あたりのカウント数が設定されている。
【００２６】
販売条件：カウント数設定データベース１４２の内容は、購入実績、使用条件に対するカウント数を求めるために参照される。すなわち、顧客ライセンス管理データベース１４１を参照して検出した各顧客が購入したソフトウエア（ライセンス）に設定されている使用条件について、各条件項目の内容に対するカウント数が、販売条件：カウント数設定データベース１４２を参照して検出される。
なお、販売条件：カウント数設定データベース１４２に記憶されている製品ごとの使用条件等の条件内容、及び、その条件内容に対するカウント数の情報は、ライセンスサーバ１００の図示せぬ端末装置等を介して、ソフトウエア提供者側のオペレータ等により予め入力される。
【００２７】
顧客ライセンス使用量状況監視データベース１４３は、各ライセンスのモニタリング（監視）対象の使用量項目ごとに、モニタ結果の使用量に基づくカウント数を記録するデータベースである。
ライセンスごとの使用量は、後述する顧客ライセンス使用状況管理処理部１２０により適宜モニタされる。顧客ライセンス使用状況管理処理部１２０は、販売条件：カウント数設定データベース１４２のカウント数設定データベーステーブルに設定されている各使用量の単位時間あるいは単位回数あたりのカウント数を参照して、モニタ値をカウント数に換算し、顧客ライセンス使用量状況監視データベース１４３に記憶する。
【００２８】
顧客ライセンス使用量状況監視データベース１４３に蓄積されている情報の一例を図５に示す。
図５に示すように、顧客ライセンス使用量状況監視データベース１４３には、顧客のＩＤ、製品名及びライセンス番号ごとに、起動時間、起動回数、ファイル入出回数、ＣＰＵ処理時間及び各機能の使用回数の使用量が、カウント数に換算されて記憶される。
【００２９】
販売条件：割引率設定データベース１４４は、算出されたカウント数の累積値と、その顧客がソフトウエア（ライセンス）を購入する（バージョンアップする）時の特典とを記載したデータベースである。
販売条件：割引率設定データベース１４４に記憶されている情報の一例であって、割引レベルを４段階とした場合の例を図６に示す。
図６に示すように、販売条件：割引率設定データベース１４４には、累積カウント数ごとの割引レベル（図６（Ａ））、及び、各製品の割引レベルごとの価格の割引率（特典）（図６（Ｂ））が登録されている。
販売条件：割引率設定データベース１４４の内容は、ライセンスサーバ１００の図示せぬ端末装置等を介して、オペレータ等により予め入力される。
以上が、データベース１４０の説明である。
【００３０】
ライセンスサーバ１００の顧客ライセンス管理処理部１１０は、販売されたソフトウエア（ライセンス）について、顧客、製品及びライセンス別に、使用条件、販売時契約条件及び使用実績監視の設定の有無の情報を、顧客ライセンス管理データベース１４１に登録する。
【００３１】
顧客ライセンス使用状況管理処理部１２０は、ライセンスごとの使用量をモニタ（監視）し、これをカウント数に換算して顧客ライセンス使用量状況監視データベース１４３に記録する。
使用量の監視は、起動時間、起動回数、ファイル入出力回数、ＣＰＵ処理時間及び各機能の使用回数について行う。
また、カウント数へは、販売条件：カウント数設定データベース１４２に記憶されている使用量項目ごとの単位時間、単位回数あたりのカウント数を参照して換算する。
【００３２】
販売条件設定処理部１３０は、顧客にソフトウエア（ライセンス）を販売する際に、使用条件等の種々の要因を勘案して割引率等の特典を決定し、販売価格等の販売条件を決定する。
販売条件設定処理部１３０は、顧客ライセンス管理データベース１４１及び販売条件：カウント数設定データベース１４２を参照して、購入実績、使用条件（使用制約条件）及び販売時契約条件の種々の項目に対するカウント数を検出する。また、顧客ライセンス使用量状況監視データベース１４３及び販売条件：カウント数設定データベース１４２を参照して、使用実績に対するカウント数を検出する。
【００３３】
これらの検出したカウント数を合計し、さらに販売条件：カウント数設定データベース１４２を参照して販売対象のソフトウエアやライセンスの種類や数に対応するカウント数を加えて累積カウント数を検出する。
そして、累積カウント数に基づいて、販売条件：割引率設定データベース１４４を参照し、最終的な特典を決定する。
なお、販売条件設定処理部１３０による販売価格の決定処理の流れは、後に詳細に説明する。
以上、ライセンスサーバ１００の構成の説明である。
【００３４】
顧客システム２００は、露光装置を使用し、デバイスの製造を行う例えば半導体メーカー等のシステムである。
図７は、顧客システム２００の構成を示すブロック図である。
顧客システム２００は、管理コンピュータ２１０、１台以上の露光装置２２０、１台以上の計測装置２３０及び通信ネットワーク２４０を有する。
【００３５】
管理コンピュータ２１０は、顧客システム２００の全体を管理するホストコンピュータである。管理コンピュータ２１０は、通信ネットワーク２４０を介して露光装置２２０及び計測装置２３０と接続されており、通信ネットワーク２４０を介してこれら各装置にその動作や処理を制御する信号を送出する。また、露光装置２２０及び計測装置２３０から通信ネットワーク２４０を介して処理、動作の進捗状況を示す情報や、処理結果、検査結果、測定結果を示す情報を受信し、顧客システム２００の製造ライン全体の状況を把握しする。これにより、顧客システム２００の製造ラインで適切に露光処理が行えるように、再び露光装置２２０や計測装置２３０の管理及び制御を行う。
【００３６】
また、管理コンピュータ２１０は、インターネット３００とも接続され、図１に示すように、インターネット３００を介してライセンスサーバ１００と通信可能に接続される。
管理コンピュータ２１０は、ライセンスサーバ１００と通信を行い、露光装置２２０や計測装置２３０に適用する新たなソフトウエアあるいは改良されたソフトウエアの情報を受信する。
この情報に基づいて、顧客システム２００の製造ラインの責任者等の判断により、新たなソフトウエアを購入する可能性が生じた場合には、顧客システム２００からインターネット３００を介してライセンスサーバ１００に対して、販売条件の問い合わせを行う。
この問い合わせに対してライセンスサーバ１００においては、本発明に関わる販売条件の決定処理を行い、その結果を顧客システム２００に通知する。
【００３７】
これを管理コンピュータ２１０において受信した顧客側は、製造責任者等がソフトウエアの購入の検討を行う。
最終的に、ライセンスサーバ１００から新たなソフトウエアを購入することとなった場合は、インターネット３００を介してライセンスサーバ１００にその要求を行い、ライセンスサーバ１００からソフトウエアの配信を受ける。なお、購入ソフトウエアの配布方法は、オンライン配信に限定されるものではなく、記録メディアに記録し郵送する方法もあり得る。
そして、配信したソフトウエアを、例えば露光装置２２０や計測装置２３０に搭載し、露光装置２２０や計測装置２３０の処理、動作の更新を行う。
【００３８】
また、管理コンピュータ２１０は、ライセンスサーバ１００からソフトウエアを購入する際に、その使用量を制限する契約や、使用量に応じて料金が決定される契約となっている場合には、露光装置２２０における処理履歴に関わる情報をインターネット３００を介して露光装置２２０から獲得し、適宜、インターネット３００を介してライセンスサーバ１００に送出する。
【００３９】
なお、顧客システム２００は、通常、露光装置の使用者すなわちデバイスメーカーごとに構成される。従って、図１に示すように、ライセンス販売システム１０としては、１つのライセンスサーバ１００に対して複数の顧客システム２００が含まれる構成となる。ただし、ここでは、その内の１つの顧客システム２００を例示して、単に顧客システム２００として説明を行う。
【００４０】
露光装置２２０は、デバイス製造ラインのリソグラフィー工程において、レチクル上に形成された所望のパターンの像を感光材料が塗布された基板（ウエハ）上に投影し、ウエハ上にそのパターンを転写する装置である。露光装置システム１０は、複数の露光装置２２０を具備し、複数のウエハに対して同時にパターンの転写が行えるようになっている。  露光装置２２０の構成について、図８を参照して簡単に説明する。
図８は、露光装置２２０の構成を示す図である。
【００４１】
露光装置２２０においては、図示しない照明光学系から出射された露光光ＥＬが、コンデンサレンズ４０１を介してレチクルＲに形成されたパターン領域ＰＡに均一な照度分布で照射される。レチクルＲは、ベース４０３上の２次元平面内において移動及び微小回転ができるように支持されたレチクルステージ４０２上に保持され、主制御系４１５が、駆動装置４０４を介してレチクルステージ４０２の動作を制御する。レチクルＲは、周辺に形成されたレチクルアライメントマークが、ミラー４０５、対物レンズ４０６、マーク検出系４０７からなるレチクルアライメント系で検出されることによって投影レンズＰＬの光軸ＡＸに関して位置決めされる。
【００４２】
レチクルＲのパターン領域ＰＡを透過した露光光ＥＬは、例えば両側テレセントリックな投影レンズＰＬに入射され、ウエハＷ上の各ショット領域に投影される。投影レンズＰＬは、露光光ＥＬの波長に関して最良に収差補正されており、その波長のもとでレチクルＲとウエハＷとは互いに共役になっている。また、照明光ＥＬは、ケラー照明であり、投影レンズＰＬの瞳ＥＰ内の中心に光源像として結像される。
【００４３】
ウエハＷは、ウエハホルダー４０８を介してウエハステージ４０９上に載置される。ウエハホルダー４０８上には、ベースライン計測等で使用する基準マーク４１０が設けられている。ウエハステージ４０９は、投影レンズＰＬの光軸ＡＸに垂直な面内でウエハＷを２次元的に位置決めするＸＹステージ、投影レンズＰＬの光軸ＡＸに平行な方向（Ｚ方向）にウエハＷを位置決めするＺステージ、ウエハＷを微小回転させるステージ、及び、Ｚ軸に対する角度を変化させてＸＹ平面に対するウエハＷの傾きを調整するステージ等を有する。
【００４４】
ウエハステージ４０９の上面の一端にはＬ字型の移動ミラー４１１が取り付けられ、移動ミラー４１１の鏡面に対向した位置にレーザー干渉計４１２が配置される。レーザー干渉計４１２は、Ｘ軸に沿って移動鏡４１１にレーザービームを照射する２個のＸ軸用のレーザー干渉計及びＹ軸に沿って移動鏡４１１にレーザービームを照射するＹ軸用のレーザー干渉計より構成され、Ｘ軸用の１個のレーザー干渉計及びＹ軸用の１個のレーザー干渉計により、ウエハステージ４０９のＸ座標及びＹ座標が計測される。また、Ｘ軸用の２個のレーザー干渉計の計測値の差により、ウエハステージ４０９のＸＹ平面内における回転角が計測される。
【００４５】
レーザー干渉計４１２により計測されたＸ座標、Ｙ座標及び回転角を示す位置計測信号ＰＤＳはステージコントローラ４１３及び主制御系４１５に供給される。主制御系４１５は、位置計測信号ＰＤＳをモニタしつつウエハステージ４０９の位置を制御する制御信号をステージコントローラ４１３へ出力する。その結果、ステージコントローラ４１３が駆動系４１４を駆動しウエハステージ４０９の位置を制御する。
【００４６】
また、露光装置２２０は、レーザー光源４１６、ビーム整形光学系４１７、ミラー４１８、レンズ系４１９、ミラー４２０、ビームスプリッタ４２１、対物レンズ４２２、ミラー４２３、受光素子４２４、ＬＳＡ演算ユニット４２５及び投影レンズＰＬを構成部材とするＴＴＬ方式のアライメント光学系を有する。図８には、ＴＴＬ方式のアライメント系は１組しか示していないが、紙面と直交するＹ軸方向にもう１組設けられる。
なお、図８中のＴＴＬ方式のアライメント光学系の光路中に示した実線は、ウエハＷとの結像関係を表し、破線は瞳ＥＰとの共役関係を表す。
【００４７】
また、露光装置２２０は、オフ・アクシス方式のアライメント光学系（以下、アライメントセンサと称する）を投影光学系ＰＬの側方に備える。このアライメントセンサは、基板表面のアライメントマーク付近を撮像した信号（ｎ次元信号）を信号処理（画像処理を含む）して、マークの位置情報を検出するＦＩＡ（Field Image Alignment）方式のアライメントセンサである。
このＦＩＡ方式アライメントセンサは、ウエハＷを照明するための照射光を出射するハロゲンランプ４２６、ハロゲンランプ４２６から出射された照明光を光ファイバー４２８の一端に集光するコンデンサレンズ４２７、及び、照明光を導波する光ファイバー４２８を有する。
【００４８】
光ファイバー４２８から出射された照明光は、ウエハＷ上に塗布されたフォトレジストの感光波長（短波長）域と赤外波長域とをカットするフィルタ４２９を通過して、レンズ系４３０を介してハーフミラー４３１に達する。ハーフミラー４３１によって反射された照明光は、ミラー４３２によってＸ軸方向とほぼ平行に反射された後、対物レンズ４３３に入射し、さらに投影レンズＰＬの鏡筒下部の周辺に投影レンズＰＬの視野を遮光しないように固定されたプリズム（ミラー）４３４で反射されてウエハＷを垂直に照射する。
【００４９】
ウエハＷからの反射光は、プリズム４３４、対物レンズ４３３、ミラー４３２、ハーフミラー４３１を介して、レンズ系４３５によって指標板４３６上に結像される。この指標板４３６は、対物レンズ４３３とレンズ系４３５とによってウエハＷと共役に配置され、矩形の透明窓内にＸ軸方向とＹ軸方向のそれぞれに伸びた直線状の指標マークを有する。従って、ウエハＷのマークの像は、指標板４３６に結像され、このウエハＷのマークの像と指標マークとは、リレー系４３７，４３９及びミラー４３８を介してイメージセンサ４４０に結像する。
【００５０】
イメージセンサ４４０で光電変換され出力された信号（ｎ次元信号）は、ＦＩＡ演算ユニット４４１に、レーザー干渉計４１２からの位置計測信号ＰＤＳとともに入力される。
ＦＩＡ演算ユニット４４１は、入力された画像信号からアライメントマークを検出し、そのアライメントマークの指標マークに対するマーク像のずれを求める。位置計測信号ＰＤＳによって表されるウエハステージ４０９の停止位置から、ウエハＷに形成されたマークの像が指標マークの中心に正確に位置した時のウエハステージ４０９のマーク中心検出位置に関する情報ＡＰ２を出力する。
このようにしてＦＩＡ演算ユニット４４１は、サーチアライメント及びファインアライメントの各アライメント処理時に、各々、所定のアライメントマーク像の位置検出及びそのずれの検出を行う。
【００５１】
主制御系４１５は、露光装置２２０の各構成部が協働して動作し露光装置２２０が全体として所望の動作をするように、露光装置２２０の各構成部を制御する。主制御系４１５は、主に、各ステージ制御系や各アライメント系等の各ユニットの制御部（コントローラ）を介して、各ユニットを制御する。
また、主制御系４１５は、通信ネットワーク２４０により管理コンピュータ２１０と通信可能に接続されている。
主制御系４１５は、通信ネットワーク２４０を介して、管理コンピュータ２１０から露光装置２２０の処理内容や処理シーケンス等の情報を含むパラメータや制御信号を受信し、露光装置２２０の各部を制御する。
【００５２】
また、通信ネットワーク２４０を介して、露光装置２２０のバージョンアップ、すなわち、露光装置２２０の各制御部の制御ソフトウエアのバージョンアップが行われる。露光装置２２０の各ユニットあるいは特定の機能の制御プログラムをバージョンアップする場合、主制御系４１５は、通信ネットワーク２４０を介して管理コンピュータ２１０から新しいバージョンのソフトウエアを受信する。主制御系４１５は、受信したソフトウエアを、適用対象のユニットの制御系にローディングすることにより、あるいは適用対象のプログラムモジュールを更新することにより、ソフトウエアをバージョンアップする。
なお、露光装置２２０のメインプログラムとも言うべき主制御系４１５自身の処理を規定するソフトウエアは、管理コンピュータ２１０の制御により、通信ネットワーク２４０を介して管理コンピュータ２１０から直接にローディングされる。
【００５３】
また、主制御系４１５は、例えば管理コンピュータ２１０からの要求に応じて、露光処理の過程において得られた種々のデータを、通信ネットワーク２４０を介して管理コンピュータ２１０に送信する。製造ラインの処理精度の維持のために定期的に、あるいは、何らかの障害に対応するために、露光装置２２０における処理内容を検査したい場合や解析したい場合がある。このような場合、例えば管理コンピュータ２１０からの要求に応じて、主制御系４１５は、例えばＥＧＡ計測時の波形信号データや、アライメント時の位置計測データ等のデータを、通信ネットワーク２４０を介して管理コンピュータ２１０に送信する。
以上、露光装置２２０の構成の説明である。
【００５４】
計測装置２３０は、例えば、ウエハに形成されているパターン等の位置を測定する重ね合わせ計測装置等の測定装置である。計測装置２３０には、必要に応じて露光処理が終了したウエハが、計測対象物として投入される。計測装置２３０は、それらのウエハから、例えばアライメントマーク等の特定のパターンの位置を計測する。計測結果の重ね合わせ計測結果ファイル等のデータは、通信ネットワーク２４０を介して管理コンピュータ２１０に送られる。
なお、顧客システム２００には、種々の計測装置が必要に応じて各々１〜数台設置される。
【００５５】
通信ネットワーク２４０は、顧客の工場、事業所あるいは会社に対して設けられたいわゆるイントラネットと言われる通信ネットワークである。通信ネットワーク２４０は、管理コンピュータ２１０、複数の露光装置２２０及び複数の計測装置２３０を、相互にデータ転送可能に接続する。
以上、顧客システム２００の構成の説明である。
【００５６】
ライセンス販売システム１０の  通信ネットワーク３００は、図１に示すように、ライセンスサーバ１００及び前述したように各々が１つのネットワークシステムである複数の顧客システム２００を接続する大規模な通信ネットワークであり、本実施の形態においてはインターネットである。
以上、ライセンス販売システム１０の構成の説明である。
【００５７】
次に、ライセンス販売システム１０におけるソフトウエア販売（バージョンアップを含む）の処理の流れについて図９及び図１０のフローチャートを参照して説明する。
図９及び図１０は、顧客システム２００からソフトウエアの価格問い合わせがあった場合に、その販売価格を決定する方法を示すフローチャートである。
以下、この販売価格の決定処理を中心に、ソフトウエアの販売（バージョンアップ）の流れを説明する。
【００５８】
まず、ソフトウエア提供者（露光装置メーカー）は、新しいソフトウエアを販売しようとする場合、あるいはソフトウエアのバージョンアップをしようとする場合、その情報を、例えばインターネット３００を介して顧客システム２００に流す。
顧客は、その情報に基づいてソフトウエアの購入あるいはバージョンアップを検討し、必要に応じてより詳細な情報及び価格の情報等の提供を求めて、インターネット３００を介してライセンスサーバ１００に対して問い合わせを行う。
以下、そのような問い合わせに価格の問い合わせが含まれていた場合に、ライセンスサーバ１００で行う価格決定の処理について説明する。
【００５９】
ライセンスサーバ１００は、顧客からの価格問い合わせを受け取ると、顧客ライセンス管理データベース１４１から、図３に例示した顧客が過去に購入したライセンス（ソフトウエア）の情報である購入履歴情報をロードする（ステップＳ１０３）。
次に、購入履歴情報の制約条件の情報を参照し、顧客の所有する各ライセンスに何らかの制約条件があるか否かをチェックする（ステップＳ１０５）。
制約条件がある場合には、図４に示す販売条件：カウント数設定データベース１４２から、その顧客が所有する各製品の制約条件ごとのカウント数をロードし（ステップＳ１０７）、全制約条件についてのカウント数の合計を算出する（ステップＳ１０９）。
【００６０】
次に、ステップＳ１０３でロードした購入履歴情報を再度参照し、顧客の所有する各ライセンスに何らかの使用量監視の設定がなされているか否かをチェックする（ステップＳ１１１）。
使用量監視の設定有りの場合は、図５に例示した顧客ライセンス使用量状況監視データベース１４３から、その顧客の各ライセンスの監視対象の使用量に対するカウント数換算値をロードし（ステップＳ１１３）、その顧客の各ライセンスの全使用量に対するカウント数の合計を算出する（ステップＳ１１６）。
【００６１】
次に、ステップＳ１０３でロードした購入履歴情報を再度参照して、顧客の所有する各ライセンスにカスタム対応の設定が有るか否かをチェックする（ステップＳ１１７）。カスタム対応の設定有りの場合は、図４に例示した販売条件：カウント数設定データベース１４２から、その顧客が所有する各製品のカスタム対応情報（対応カウント数）をロードし（ステップＳ１１９）、カスタム対応に関わるカウント数の合計を算出する（ステップＳ１２１）。
【００６２】
次に、ステップＳ１０３でロードした購入履歴情報を再度参照して、顧客の所有する各ライセンスに、カスタム対応又はカスタマーサービスの設定が有るか否かをチェックする（ステップＳ１２３（図１０））。カスタム対応又はカスタマーサービスの設定有りの場合は、図４に例示した販売条件：カウント数設定データベース１４２から、その顧客が所有する各製品のカスタマーサービス情報（カウント数）をロードし（ステップＳ１２５）、カスタマーサービスに関わるカウント数の合計を算出する（ステップＳ１２７）。
【００６３】
以上の処理が終了したら、その顧客の所有する各製品について、ライセンスのカウント数、ステップＳ１０９で求めた制約条件に対するカウント数、ステップＳ１１５で求めた使用量に対するカウント数、ステップＳ１２１で求めたカスタム対応に対するカウント数、及び、ステップＳ１２７で求めたカスタマーサービスに対するカウント数の総計を算出する（ステップＳ１２９）。
さらに、新規購入ライセンスのカウント数とステップＳ１２９で求めたカウント数総計値との累積カウント数を算出する（ステップＳ１３１）。
【００６４】
この累積カウント数に基づいて、図６に例示した販売条件：割引率設定データベース１４４を参照して割引率を導出し（ステップＳ１３３）、新規購入ライセンスの販売価格を算出する（ステップＳ１３５）。
販売価格を算出したら、ライセンスサーバ１００は、算出した新規購入ライセンスの販売価格を、インターネット３００を介して顧客システム２００に通知する（ステップＳ１３７）。
【００６５】
このように、本実施の形態のライセンス販売システム１０によれば、露光装置等に搭載されるソフトウエア（ライセンス）を販売するにあたり、新規ソフトウエア購入者の過去のライセンス（ソフトウエア）購入実績、アップグレード・カスタム対応・カスタマーサービス等の販売時契約条件、使用期間・使用期限・起動時間・起動回数・ファイル入出力回数・ＣＰＵ処理時間・使用不可機能等の制約条件を含む使用条件、起動時間・起動回数・ファイル入出力回数・ＣＰＵ処理時間・特定機能の使用回数等の使用実績等の種々の条件を加味して、販売価格の割引率等の販売条件を決定している。従って、ソフトウエア自体に依存する条件に加えて、装置、処理、システム等に関わる種々の条件をも考慮して合理的に販売条件を決定することができる。
【００６６】
露光装置等のシステムにおいては、例えばシステムが大規模で高価であること、ソフトウエアとハードウエア（装置）の依存性が強いこと、システムを適切に効率よく稼動させるためのソフトウエアの提供者（すなわちハードウエアの提供者）と利用者との連係度合いが強いこと等の背景から、ソフトウエアを販売する際にそのソフトウエアの価値の評価は、ソフトウエア単体として決定される価値に、システム全体の構成、導入履歴、バージョンアップ履歴、利用実態等々をも加味して行うのが適切である。
本実施の形態のライセンス販売システム１０であれば、そのような条件を網羅的に、かつ細かい項目についても十分に考慮して評価しており、適切に販売条件を決定することができる。
また、それら多面的な各項目の内容を、唯一の数値指標に変換して販売条件の決定のための処理の中に取り込んでおり、それらの各項目の内容を客観的に評価することができ、合理的に販売条件を決定することができる。
【００６７】
なお、本実施の形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって本発明を何ら限定するものではない。本実施の形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含み、また任意好適な種々の改変が可能である。
【００６８】
例えば、図３〜図５に例示した各データベース及びテーブルの項目内容やカウント数換算値は、これに限定されるものではなく任意に設定してよい。
例えば、使用制約条件及び監視の設定対象として、露光装置における処理量を設定してもよい。処理量は、例えば、露光処理を施すウエハの枚数、ロットの数あるいは露光ショットの数等の露光装置における露光処理に直接的に関わる量である。このような項目を参照して販売条件を決定することにより、より一層、ソフトウエアの評価を適切に行い、適切な販売価格を設定することができる。すなわち、ソフトウエアの利用状況をシステム全体の中で、また、露光装置あるいは露光処理に対して直接的に検出することができる。
【００６９】
また、本実施の形態の方法により決定される販売条件は、ソフトウエア購入価格の割り引きに限られるものではない。例えば、カスタマーサービスの無償提供、使用制約条件の解除や緩和等の特典を設定するようにしてもよい。販売条件への反映方法は任意である。
また、本実施の形態においては、露光装置の制御プログラム、ユニットプログラム等の販売について説明をしたが、本発明は、その他、リソグラフィー関連以外の全ての分野の任意のソフトウエアの販売に対しても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係るライセンス販売システムの構成を示す図である。
【図２】図２は、図１に示したライセンス販売システムのライセンスサーバの構成を示す図である。
【図３】図３は、図２に示したライセンスサーバの顧客ライセンス管理データベースに蓄積されるデータを例示する図である。
【図４】図４は、図２に示したライセンスサーバの販売条件：カウント数設定データベースに蓄積されるデータを例示する図である。
【図５】図５は、図２に示したライセンスサーバの顧客ライセンス使用量状況監視データベースに蓄積されるデータを例示する図である。
【図６】図６は、図２に示したライセンスサーバの販売条件：割引率設定データベースに蓄積されるデータを例示する図である。
【図７】図７は、図１に示したライセンス販売システムの顧客システムの構成を示す図である。
【図８】図８は、図７に示した顧客システムの露光装置の構成を示す図である。
【図９】図９は、図２に示したライセンスサーバにおけるソフトウエア販売価格の決定処理の流れを示す第１のフローチャートである。
【図１０】図１０は、図２に示したライセンスサーバにおけるソフトウエア販売価格の決定処理の流れを示す第２のフローチャートである。
【符号の説明】
【００７１】
１０…ライセンス販売システム
１００…ライセンスサーバ
１１０…顧客ライセンス管理処理部
１２０…顧客ライセンス使用状況管理処理部
１３０…販売条件設定処理部
１４０…データベース
１４１…顧客ライセンス管理データベース
１４２…販売条件：カウント数設定データベース
１４３…顧客ライセンス使用量状況監視データベース
１４４…販売条件：割引率設定データベース
２００…顧客システム
２１０…管理コンピュータ
２２０…露光装置
２３０…計測装置
２４０…通信ネットワーク
３００…インターネット
【図１】
2006059158.tif 000003
【図２】
2006059158.tif 000004
【図３】
2006059158.tif 000005
【図４】
2006059158.tif 000006
【図５】
2006059158.tif 000007
【図６】
2006059158.tif 000008
【図７】
2006059158.tif 000009
【図８】
2006059158.tif 000010
【図９】
2006059158.tif 000011
【図１０】
2006059158.tif 000012