(57)【要約】【課題】  半導体集積回路等の精密機器を簡易に収納することができ、かつ、精密機器の破損や埃等の附着を防止することが可能な精密機器の収納容器用シートおよび同収納容器を提供する。【解決手段】  弾性を有するクッション層３の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層４を設け、また、上記クッション層の下面に、さらに保形性を有する硬質合成樹脂製のベース層２を設けてシート１を構成し、このシートを材料シートとして精密機器の収納部を成型加工し、あるいは所要の形状に成型した、保形性を有する硬質合成樹脂製の容器の上面に、弾性を有するクッション層３の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層４を設けてなるシートを敷設する構成とした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性を有するクッション層の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層を設けてなる精密機器の収納容器用シート。
【請求項２】
保形性を有する硬質合成樹脂製のベース層の上面に弾性を有するクッション層を設け、このクッション層の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層を設けてなる精密機器の収納容器用シート。
【請求項３】
前記クッション層を、圧縮硬さが４．９×１０４Ｐａ以下のもので構成してなる請求項１または２に記載の精密機器の収納容器用シート。
【請求項４】
保形性および可塑性を有する硬質合成樹脂製のベース層の上面に弾性を有するクッション層を設け、このクッション層の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層を設けてなる精密機器の収納容器用シートを材料シートとして精密機器の収納部を成型加工してなる精密機器の収納容器。
【請求項５】
前記クッション層を、圧縮硬さが４．９×１０４Ｐａ以下のもので構成してなる請求項４に記載の精密機器の収納容器。
【請求項６】
所要の形状に成型した、保形性を有する硬質合成樹脂製の容器の上面に、弾性を有するクッション層の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層を設けてなるシートを敷設してなる精密機器の収納容器。
【請求項７】
前記クッション層を、圧縮硬さが４．９×１０４Ｐａ以下のもので構成してなる請求項６に記載の精密機器の収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密機器を収納するための収納容器に用いられるシートおよび同収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハーや半導体集積回路等の電子部品、レンズ、ガラス等の光学用部品のような精密機器は、その破損等を防ぎつつ搬送を行うために専用の収納容器に納められて運搬、保管され、また自動組み付け機への部品供給治具として用いられる。
【０００３】
例えば、コンピュータの中央処理装置等に用いられるボールグリッドアレイタイプの半導体部品やピンリッドアレイタイプの半導体集積回路等のデバイスを収納するための収納容器は、デバイスのパッケージ下面外周部を支持部材で係止することにより本体を支持するとともに、デバイスの端子側下面に凹所を設けることによって端子が容器内底に接触することを防止する構造となっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上述のような構成からなる容器では、半導体の横方向の動きを抑制するために直立した側壁を一般的に設けているが、側壁を設けても容器の寸法公差によってデバイスが横方向に動いてしまうおそれがあり、上記寸法公差を小なるものとすれば、デバイスの出し入れが困難になるという問題がある。
【０００５】
また、デバイスのパッケージ下面と側面との交差箇所に傾斜した支持面を当接させてデバイスを支持する支持部材を用いることによって、直立した側壁を設けることなくデバイスを収納する収納容器も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
すなわち、精密機器たる半導体デバイスを収納する従来の容器では、デバイスの端子を損傷あるいは汚損しないように、いかに容器内底に接触させないように収容するかという技術的課題に対する解決を試みており、他の電子部品や光学部品についても同様の試みがなされてきている。
【０００７】
ところで、被収容物たる精密機器の外周形状に合わせて区画された収納容器の収納ポケット底面にクッション材を敷き詰めて、精密機器の底面をクッション材表面に当接させて収納する手段も一部で用いられてきたが、一般的に使用されているクッション材は発泡性樹脂やゴムであり、クッション材の一部が精密機器に触れて付着したり、発泡性樹脂の気泡中に潜む塵埃が精密機器を汚染したりというおそれがある。
【０００８】
また、近年より小型化、高集積化が進む精密機器の各ポケットは当然のことながら小型化し、したがって１つの収納容器に形成されるポケット数は増大する傾向にあり、これら多数のポケットそれぞれにクッション材を敷設することは困難である。
【特許文献１】特開２０００−３１５７２３号公報（第２頁、第１０図）
【特許文献２】特表２００１−５０８７３５号公報（第８〜９頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、精密機器を簡易に収納することができ、かつ、精密機器の破損や埃等の附着を防止することが可能な精密機器の収納容器用シートおよび同収納容器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係るシートは、弾性を有するクッション層の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層を設けてなる構成のものとしてあり、上記クッション層の下面に、さらに保形性を有する硬質合成樹脂製のベース層を設けた構成のものとしてある。
【００１１】
また、本発明に係る収納容器は、保形性および可塑性を有する硬質合成樹脂製のベース層の上面に弾性を有するクッション層を設け、このクッション層の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層を設けてなる精密機器の収納容器用シートを材料シートとして精密機器の収納部を成型加工し、あるいは所要の形状に成型した、保形性を有する硬質合成樹脂製の容器の上面に、弾性を有するクッション層の上面に合成樹脂製の軟質フィルム層を設けてなるシートを敷設した構成のものとしてある。
【００１２】
そして、前記クッション層を、圧縮硬さが４．９×１０４Ｐａ以下のもので構成したものとしてある。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るシートおよび収納容器によれば、クッションシート層がその緩衝性能により精密機器を外部からの衝撃から保護することができ、さらに、軟質フィルム層によって精密機器との当接箇所に、クッションシート層から塵埃が発生するおそれを防止することができる。
【００１４】
また、本発明に係るシートおよび収納容器は、性質の異なるシート、フィルムを積層形成することによって一体に形成されているので、各収納ポケットにクッション材等の緩衝材を個別に敷き入れる必要がなく、作業負担の軽減を図り、作業効率を高めることが可能となる。
【００１５】
さらに、クッションシート層の弾力性を圧縮硬さが４．９×１０４Ｐａ以下のものとしてあることによって微視的には精密機器の底部が軟質フィルム層に沈み込み、かつ軟質フィルム層と精密機器底面との間に適度の静止摩擦力が生じ、したがって収納容器に個別の精密機器を収容するポケットを設けなくても精密機器を垂直方向だけでなく水平方向にも安定して収納することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係るシートおよび収納容器の実施例を、添付図面に示す具体例に基づいて詳細に説明する。
図１はシート１の拡大断面を示し、保形性および可塑性を有する硬質ベース層２と、弾性を有するクッションシート層３と、厚みの極めて薄い軟質フィルム層４が積層されている。
【００１７】
前記硬質シート層２は、例えば０．３〜１．０ｍｍ程度の厚さを有しており、容器形状を保持するために硬化性の合成樹脂材料により形成されていて、硬質シート層の素材としては、例えばポリカーボネイト、ポリスチレン、ポリスチレンテレフタレート等が用いられる。
【００１８】
また前記クッションシート層３は、例えば１．０ｍｍ程度の厚さを有しており、圧縮硬さが４．９×１０４Ｐａ以下、すなわち０．５ｋｇｆ／ｃｍ２（ＪＩＳ  Ｋ−６７６７）以下の独立気泡または連続気泡を有する発泡性合成樹脂材、例えば発泡ウレタン、発泡ポリエチレンによって形成されている。
【００１９】
なお、クッションシート層の素材としては上記発泡性合成樹脂材やその他ゴム等の単一材料で構成する場合もあれば、複数の材料を積層したもので構成する場合もあるし、これらの他に、例えば適度の粘性を有するジェル状物質を樹脂製の袋体に充填して、前記圧縮硬さ４．９×１０４Ｐａ以下と同程度の物性を発揮するように調整したものを使用する場合もある。
【００２０】
また、前記軟質フィルム層４は、例えば１０μｍ程度の厚さを有する極めて薄い軟質の樹脂性フィルムで構成されていて、その素材としては例えば塩化ビニール、ポリスチレンテレフタレート、ポリエチレン等の合成樹脂材料が用いられる。
【００２１】
ここで、前記硬質シート層２、クッションシート層３および軟質フィルム層４のうち、少なくとも被収容物と接触する軟質フィルム層４にはともに導電性能または帯電防止性能（１０３〜１０１２Ω／ｃｍ３）が発揮できるように、例えばカーボンブラックや導電性金属粉等の導電性材料が混入されている。
なお、導電性材料を全ての層に混入させる場合もあるし、導電性材料を混入させず、後加工で帯電防止処理を施すようにする場合もある。
【００２２】
図２、３は、上述した構成のシート１をプレス等の成型手段により収納容器たるトレー６を形成したものであり、成型後においても前記硬質ベース層２によって保形される。
同図２に示されるトレー６は、半導体集積回路等の電子部品やレンズ、ガラス等の光学部品等の精密機器を収納するのに広く用いられるタイプのものであり、容器の上面には上述した成型によって仕切り用の枠７が突設され、この枠７によって複数の精密機器収納エリア８、８に区画されている。
【００２３】
上記収納エリア８、８は個々の精密機器の外形寸法に合わせて形成する場合もあるが、本発明の収納容器では精密機器の水平方向の動きを抑えることができて安定して精密機器を収容できるので、１つのエリア内に複数の精密機器を収容することができる。
したがって、前記枠７も外周のものだけで構成する場合もある。
【００２４】
図３、４は、精密機器の収納容器たるキャリアテープ９を構成した例を示しており、例えば、図３に示すように、長尺の蓋シート１０を用いて、精密機器１１を個別に収容する収納ポケット１２用の開口１２ａを塞ぐようにして蓋シート１０に溶着させることによって、キャリアテープ９に収容された精密機器１１の安全性を十分に確保しつつ、精密機器を搬送することが可能となる。
【００２５】
上述した図２乃至図５に示される収納容器たるトレー６やキャリアテープ９では、硬質シート層２が容器形状を保ちつつ、クッションシート層３がその緩衝性能により精密機器を外部からの衝撃から保護することができ、さらに精密機器１１が収容される最外層を軟質フィルム層４により構成してあるので、軟質フィルム層の表面に当接する精密機器１１の当接箇所（端子等）１１ａの傷つきの防止とともに、精密機器１１の収納エリア８やポケット１２内での水平方向の動きを規制して安定した収納を実現できる。
【００２６】
なお、上述した各実施例では、３層構造をなすシート１をプレス加工によって容器を成型する旨の説明を行ったが、容器の成型方法は、その用途、形状等に応じて、真空成型、真空プレス成形等の他の成型方法を用いる場合もある。
【００２７】
上述した実施例の収納容器は、シート１を成型して容器自体を形成するものとしてあるが、図６、７に示される実施例のもののように、予め所定の容器形状に加工が施された基材容器１３（図６、７に示される実施例では半導体ウェハー収納用の容器）の容器内面に、クッションシート層４と軟質フィルム層５とからなる本発明のシート１Ａを貼り付けることによって形成する場合もある。
【００２８】
この場合には、基材容器１３が硬質シート層２の役割を果たすことから、シートに容器形状を保持するための硬質シート層２を用いる必要が無く、クッションシート層３と軟質フィルム層４とよりなるシート１Ａを貼り付けることによって従来から用いられている収納容器に対してもシート１Ａを接着して使用することができる。
【００２９】
なお図６、７の実施例のものでは、周壁部１４、部品支持段部１５および内底面１６のいずれにもシート１Ａを設けてあるが、被収納物が当接する上記支持段部１５だけにシート１Ａを設ける場合もある。
【００３０】
さらに、複数の精密機器収納容器を重ねて精密機器１１の搬送を行う場合には、図８に示されるように、硬質シート層２のさらに下面となる最下層にクッションシート層３ａをさらに加えた４層構造のシート１Ｂを用いて容器の成型加工を行い、例えば図９に示されるように収納容器１７を重ね合わせることによって、精密機器１１を上下の精密機器収納容器１７どうしで挟持して使用できる構成とする場合もある。
【００３１】
このように精密機器１１を挟持することによって、上方の容器の底面によって精密機器の上方への移動が規制され、精密機器が収納ポケットから脱落するのを防止することができる。
【００３２】
なお、精密機器２にクッション層３ａが接触することが機器の管理上問題となるような場合には、図８、９に示されるクッションシート層３ａのさらに下層に別の軟質フィルム層を積層形成し、上下の容器における軟質フィルム層によって各精密機器を挟持する構造とする場合もある。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係るシートの実施例を示す断面図。
【図２】本発明に係る容器の実施例を示す平面図。
【図３】図２のIII−III線断面図。
【図４】本発明に係る容器の他の実施例を示す平面図。
【図５】図４のV−V線断面図。
【図６】本発明に係る容器のさらに他の実施例を示す平面図。
【図７】図６のVII−VII線断面図。
【図８】本発明に係るシートの他の実施例を示す断面図。
【図９】図８のシートによる容器の具体例を示す断面図。
【符号の説明】
【００３４】
１、１Ａ、１Ｂ  シート
２  硬質シート層
３  クッションシート層
４  硬質フィルム層
６  トレー
７  枠
８  収納エリア
９  キャリアテープ
１０  蓋シート
１１  精密機器
１２  ポケット
１３  基材容器
１４  周壁部
１５  部品支持段部
１６  内底面
１７  収納容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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