(57)【要約】【課題】フラッシュランプの点灯時に、給電線が振動しても、断線しない、フラッシュランプ装置を提供すること。【解決手段】円筒管の両端に端壁部が形成されて密閉された発光管の内部に一対の電極が対向配置され、該電極に連設されたリード棒が前記端壁部より導出されてなるフラッシュランプと、リード棒に電気的に接続される給電線４とからなるフラッシュランプ装置において、給電線４は給電端子２によって端子台１に固定されるとともに、給電線端部に給電線４の移動を制限する柔軟な部材３０が設けられていることを特徴とする。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒管の両端に端壁部が形成されて密閉された発光管の内部に一対の電極が対向配置され、該電極に連設されたリード棒が前記端壁部より導出されてなるフラッシュランプと、リード棒に電気的に接続される給電線とからなるフラッシュランプ装置において、該給電線は給電端子によって端子台に固定されるとともに、給電線端部に給電線の移動を制限する柔軟な部材が設けられていることを特徴とするフラッシュランプ装置。
【請求項２】
該柔軟な部材は、給電線を端子台に固定するバンドであることを特徴とする、請求項１記載のフラッシュランプ装置。
【請求項３】
該柔軟な部材は、給電線端部の外周に設けられた管状部材であることを特徴とする、請求項１記載のフラッシュランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や薄膜トランジスタ製造の際の加熱に用いられるフラッシュランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体のイオン注入層の活性化等の熱処理工程において、従来まで、ハロゲンランプを使用した熱処理を行なっていた。この方法では、活性化可能な温度領域まで昇温するのに処理時間が１〜６０秒程度かかる。この時間によって熱伝導により活性化されるイオン注入層の厚みはどうしても厚くなってしまう。
従来までは、この方法で充分であったが、半導体の進む方向は、集積回路をさらに小型、高速化、省エネ化するための性能アップです。そのためには、イオン注入層の活性化させる層の深さをより浅くする必要がある。そうなると、ハロゲンランプによる熱処理では、処理時間がかかりすぎて深いところまで加熱してしまい、浅い層の活性化には不適です。
【０００３】
そこで出てきたフラッシュランプによる熱処理は、処理時間が１ｍｓｅｃ程度とハロゲンランプよりはるかに短時間で活性化可能な温度領域まで昇温処理できるので、浅い層の活性化に適している。
現在では、フラッシュランプによる熱処理装置が半導体工場に導入され、浅い層の活性化等の熱処理に使用されだした。
このようなフラッシュランプによる熱処理装置においては、図６に示すように、フラッシュランプへの給電のための給電線４の端部は、給電端子２の圧着部５を圧着することによって給電端子２と連結され、その給電端子２は固定ネジ３等を用いて熱処理装置の本体に設けられた端子台１に直接固定していた。
【０００４】
しかしながら、最近は、基板等の加熱条件を達成するために、フラッシュランプはより短いパルス幅でかつより高いエネルギーで瞬間的に点灯されることが要求されるようになってきた。
このような、より大きなエネルギーが投入されるフラッシュランプでは、給電線４が振動することが起き、それによって特に給電線４と端子２の接続部である圧着部５が断線する、という従来にはなかった新たな問題が生ずることがわかってきた。
【０００５】
このような点灯時に振動が発生する原因は、はっきりと解明されてはいないが、以下のように考えられる。
１、給電線の周りに生ずる磁界によって、ランプハウスなどの金属部分に渦電流が生じ、該渦電流によって給電線にローレンツ力が働く。この力はフラッシュランプ点灯時の一瞬に働くため、給電線は振動する。
２、複数のフラッシュランプが近接配置されていると、各給電線の周りに生ずる磁界の中に、他のランプの給電線が存在することで、他のランプの給電線にローレンツ力が生じる。この力はフラッシュランプ点灯時の一瞬に働くため、給電線は振動する。
これらが原因で給電線が振動すると考えられている。
【特許文献１】特開昭５７−１６２３４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本願発明は、フラッシュランプの点灯時に、給電線が振動しても、断線しない、フラッシュランプ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、フラッシュランプの点灯時の振動によって、給電線が振動して断線することを回避するために、給電線端部に給電線の移動を制限する柔軟な部材が設けられている。
より詳細には、該柔軟な部材は、給電線を端子台に固定するバンドである。
また、該柔軟な部材は、給電線端部の外周に設けられた管状部材である。
【発明の効果】
【０００８】
本願発明は、給電端子で固定された給電線端部に給電線の移動を制限する柔軟な部材を設けたことで、たとえフラッシュランプの点灯時に給電線に振動が発生しても、該振動のエネルギーがこの柔軟な部材に吸収されて、給電線と給電端子の接続部である圧着部に伝わることがなく該圧着部での断線を防ぐことができるフラッシュランプ装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は本発明に係るフラッシュランプ装置の全体を示す外観図である。
複数本の棒状のフラッシュランプ１２がランプハウス１０内に紙面に平行に並べて配置されている。フラッシュランプ１２からの放射は窓１３を介してその下におかれた基板等のワークを加熱する。フラッシュランプ１２の端部は給電線１４に接続され、本体に設けられた端子台１に固定されている。端子台１からは給電線１５を介して電源装置１１に電気的に接続されている。給電線１４，１５の端部の固定部分近傍には給電線押さえ１７が設けられている。フラッシュランプ１２には点灯始動用のトリガワイヤ回路が設けられているが、この図では省略されている。
【００１０】
図２は、フラッシュランプ装置に用いられる一般的なフラッシュランプである。  
フラッシュランプ１２は、発光管１８が石英ガラスからなり、発光管１８の外径φ８    ｍｍ〜φ１８ｍｍ、肉厚１ｍｍ〜１．５ｍｍ、発光管全長１２０ｍｍ〜１１００ｍｍであり、内部にはキセノンガスが１３．３ｋＰａ〜６６．５ｋＰａ（１００Ｔｏｒｒ〜５００Ｔｏｒｒ）（２５℃換算）封入されている。係る発光管１８内部において電極１９が対向配置され、各電極１９に連設されたリード棒２０が前記発光管１８の端壁部を介して気密に導出されている。発光管１８の外周にはトリガワイヤ２１が設けられている。リード棒２０の外端部には給電線１４が接続され、フラッシュランプ１２に給電される。このフラッシュランプ１２において、電極１９間距離即ちアークの長さは例えば７０ｍｍ〜１０００ｍｍである。フラッシュランプ１２は、トリガワイヤ２１による高電圧によって電極１９間に放電破壊が生じ、その後給電線１４を介して電極１９間に主放電が生じて、閃光放電が生成される。
【００１１】
以下、本願発明を、給電線押さえ１７の具体的な構成に基づいて、説明する。
【実施例１】
【００１２】
図３は、本発明の第１の実施例である。給電線押さえ１７として、弾性体で出来た結束バンド３０で固定した構造を説明する図である。
第１の実施例は、給電端子２を固定ネジ３等によって本体に設けられた端子台１に固定する。更に、ゴム、樹脂等の弾性体からなるバンド、たとえば結束バンド３０を、端子台１の固定用孔３１に通してから、給電端子２近傍の給電線４をも束ねることで、給電端子２近傍の給電線４の端部を端子台１に固定している。これによって、給電線４に振動が生じても、その振動は弾性体の結束バンド３０で緩和されることによって、給電線４と給電端子２の接続部である圧着部５に伝わることはなく、該圧着部５が破断する等の問題が生じない。なお、結束バンド３０の数は１本に限らず、複数本の結束バンド３０によって給電線４を端子台１に取り付けても良い。また、圧着部５を保護するためにチューブ等の被覆保護部材３２を設けても良い。
【００１３】
図４は、本発明の第２の実施例である。給電線押さえ１７として、弾性体３３で挟み固定する構造を説明する図である。
第２の実施例は、給電端子２を固定ネジ３等によって本体に設けられた端子台１に固定するとともに、給電線４の固定端子２近傍をゴム、樹脂等の弾性体３３で挟み、固定用部品３４で固定する。これによって、給電線４に振動が生じても、その振動はゴム等の弾性体３３で吸収されて、給電線４と給電端子２の接続部である圧着部５に伝わることはなく、該圧着部５が破断する等の問題が生じない。なお、複数のフラッシュランプを並列に並べて使用するランプ装置の場合には、１つの幅広なゴム、樹脂等の弾性体３３で複数のフラッシュランプの給電線４の端部を一括して挟み、固定するようにしても良い。
【００１４】
図５は、本発明の第３の実施例である。給電線押さえ１７として、給電線４の端部近傍に管状部材３５を設けた構造を説明する図である。
第３の実施例は、給電端子２を固定ネジ３等によって本体に設けられた端子台１に固定するとともに、給電線４の固定端子２近傍にゴム、樹脂等の弾性体からなる管状部材３５をその一端が圧着部５を取り囲むように挿入して取り付ける。これによって、給電線４に振動が生じ、その振動が弾性体の管状部材３５に伝わっても、管状部材３５が撓むことで振動が吸収される。これによって、振動が給電線４と給電端子２との接続部である圧着部５に伝わることはなく、該圧着部５が破断する等の問題が生じない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るフラッシュランプ装置の全体を示す外観図である。
【図２】フラッシュランプ装置に用いられる一般的なフラッシュランプの図である。
【図３】本発明の第１の実施例である、フラッシュランプの給電線を結束バンドで固定した状態を説明する図である。
【図４】本発明の第２の実施例である、フラッシュランプの給電線をゴム等の弾性体で挟み固定した状態を説明する図である。
【図５】本発明の第３の実施例である、フラッシュランプの給電線の端部近傍に管状部材を設けた状態を説明する図である。
【図６】従来の、フラッシュランプの給電線の固定構造の図である。
【符号の説明】
【００１６】
１  端子台
２  給電端子
３  固定ネジ
４  給電線
５  圧着部
１０  ランプハウス
１１  電源装置
１２  フラッシュランプ
１３  窓
１４、１５  給電線  
１７  給電押さえ
１８  発光管
１９  電極
２０  リード棒
２１  トリガワイヤ
３０  結束バンド
３１  固定用孔
３２  被覆保護部材
３３  弾性体
３４  固定用部品
３５  管状部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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