(57)【要約】【課題】弁動作時のパーティクルの発生を低減できるとともに、弁の開口面積の変化率を小さくして制御流体を微小調整することができるダイアフラム弁を提供すること。【解決手段】ハウジングに第１作動室９と第２作動室１２とが弁孔１３を介して連通するように形成され、第１作動室９に収納される第１ダイアフラム７と、第２作動室１２に収納される第２ダイアフラム１０とを連結機構２６で連結し、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０を同期して移動させるダイアフラム弁１において、連結機構２６を弁孔１３の外側に配設する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングに第１作動室と第２作動室とが弁孔を介して連通するように形成され、前記第１作動室に収納される第１ダイアフラムと、前記第２作動室に収納される第２ダイアフラムとを連結機構で連結し、前記第１ダイアフラムと前記第２ダイアフラムを同期して移動させるダイアフラム弁において、
前記連結機構が前記弁孔の外側に配設されていることを特徴とするダイアフラム弁。
【請求項２】
請求項１に記載するダイアフラム弁において、
前記連結機構が、
前記ハウジングに対して前記弁孔の外側に形成された貫通孔に挿通される棒状部材と、
前記棒状部材の一端と前記第１ダイアフラムに連結する第１連結部材と、
前記棒状部材の他端と前記第２ダイアフラムに連結する第２連結部材と、を有することを特徴とするダイアフラム弁。
【請求項３】
請求項２に記載するダイアフラム弁において、
前記第２連結部材が、
前記棒状部材に固定される保持部材と、
前記保持部材に軸方向に移動可能に保持され、前記第２ダイアフラムを連結される位置調整部材と、
前記保持部材に対して前記位置調整部材を位置決め固定する位置決め手段とを有することを特徴とするダイアフラム弁。
【請求項４】
請求項２に記載するダイアフラム弁において、
前記棒状部材が、前記第１連結部材に連結する第１連結棒と、前記第２連結部材に連結する第２連結棒とを筒状ナットで接続したものであり、
前記第１連結棒と前記第２連結棒が前記筒状ナットの両端部から挿入され、当該挿入部分に逆ねじをきられていることを特徴とするダイアフラム弁。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか１つに記載するダイアフラム弁において、
前記第１ダイアフラムのストロークを調整するストローク調整機構を有することを特徴とするダイアフラム弁。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか１つに記載するダイアフラム弁において、
前記第１ダイアフラム弁が前記弁孔内に挿入される凸部を有し、前記凸部にテーパを形成したことを特徴とするダイアフラム弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１ダイアフラムと第２ダイアフラムとを同期して変位させるダイアフラム弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、第１ダイアフラムと第２ダイアフラムとを同期して変位させるダイアフラム弁として、例えば図７の中央縦断面図に示すものが知られている。ダイアフラム弁１００は、第１作動室１０１に収納される第１ダイアフラム１０２をエアオペレイト機構１０３で上下動させて弁座１０４に当接又は離間させ、入力ポート１０５から出力ポート１０６に流れる制御流体を制御する。第１作動室１０１には、弁孔１０７を介して第２作動室１０８が連通し、第２作動室１０８に第２ダイアフラム１０９が収納されている。弁孔１０７には、連結棒１１０が配設され、連結棒１１０の両端部を第１，第２ダイアフラム１０２，１０９に圧入して、第１ダイアフラム１０２と第２ダイアフラム１０９を連結している。
【０００３】
このようなダイアフラム弁１００は、第１ダイアフラム１０２が上方へ移動して変位すると、第１作動室１０１の容積が増加するが、第１ダイアフラム１０２と同期して第２ダイアフラム１０９が上方へ移動し、第２作動室１０８の容積を減少させる。その後、第１ダイアフラム１０２が下方へ移動して変位すると、第１作動室１０１の容積が減少するが、第１ダイアフラム１０２と同期して第２ダイアフラム１０９が下方へ移動し、第２作動室１０８の容積を増加させる。従って、ダイアフラム弁１００は、開閉弁時に第１作動室１０１と第２作動室１０８の容積が相対的に増減し、バルブ全体の容積が変化せしないため、閉弁時に制御流体を二次側に押し出すのを防止できる（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１８５０５３号公報
【特許文献２】特開２００３−２７８９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のダイアフラム弁１００は、第１ダイアフラム１０２に連結棒１１０を圧入していても、連結棒１１０と第１ダイアフラム１０２との間に隙間Ｓができていた。制御流体は、隙間Ｓに入り込んで滞留し、それが固まってパーティクルになる恐れがあった。
また、ダイアフラム弁１００は、連結棒１１０が弁孔１０７内に配設されているため、弁孔１０７の断面積が大きかった。そのため、開口面積の変化率が、第１ダイアフラム１０２のストロークに対して大きくなり、制御流体を微小調整することができなかった。しかも、ダイアフラム弁１００は、連結棒１１０が弁孔１０７内にあるため、大きな膜径のダイアフラム１０２，１０９を使用しなければならず、押出量にばらつきが生じていた。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、弁動作時のパーティクルの発生を低減できるとともに、弁の開口面積の変化率を小さくして制御流体を微小調整することができ、さらに小さな膜径のダイアフラムを使って押出量のばらつきを抑えることができるダイアフラム弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るダイアフラム弁は、次のような構成を有している。
（１）ハウジングに第１作動室と第２作動室とが弁孔を介して連通するように形成され、第１作動室に収納される第１ダイアフラムと、第２作動室に収納される第２ダイアフラムとを連結機構で連結し、第１ダイアフラムと第２ダイアフラムを同期して移動させるダイアフラム弁において、連結機構が弁孔の外側に配設されていることを特徴とする。
【０００８】
（２）（１）に記載の発明において、連結機構が、ハウジングに対して弁孔の外側に形成された貫通孔に挿通される棒状部材と、棒状部材の一端と第１ダイアフラムに連結する第１連結部材と、棒状部材の他端と第２ダイアフラムに連結する第２連結部材と、を有することを特徴とする。
【０００９】
（３）（２）に記載の発明において、第２連結部材が、棒状部材に固定される保持部材と、保持部材に軸方向に移動可能に保持され、第２ダイアフラムを連結される位置調整部材と、保持部材に対して位置調整部材を位置決め固定する位置決め手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
（４）（２）に記載の発明において、棒状部材が、第１連結部材に連結する第１連結棒と、第２連結部材に連結する第２連結棒とを筒状ナットで接続したものであり、第１連結棒と第２連結棒が筒状ナットの両端部から挿入され、当該挿入部分に逆ねじをきられていることを特徴とする。
【００１１】
（５）（１）乃至（４）の何れか１つに記載の発明において、第１ダイアフラムのストロークを調整するストローク調整機構を有することを特徴とする。
（６）（１）乃至（５）の何れか１つに記載の発明において、第１ダイアフラム弁が弁孔内に挿入される凸部を有し、凸部にテーパを形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
次に、上記構成を有するダイアフラム弁の作用効果について説明する。
ダイアフラム弁は、第１ダイアフラムと第２ダイアフラムとを連結機構で連結して、第１ダイアフラムと第２ダイアフラムを同期して移動させるが、連結機構を弁孔の外側に設けて流路内の凹凸を少なくしているので、制御流体が流路内で滞留して固まりにくく、弁動作時のパーティクルの発生を低減できる。また、ダイアフラム弁は、連結機構を弁孔の外側に設けたことにより、弁孔の流路断面積を小さくできるので、第１ダイアフラムのストロークに対する開口面積の変化率が小さくなり、制御流体を微小調整することができる。さらに、ダイアフラム弁は、連結機構を弁孔の外側に設けたので、膜径の小さいダイアフラムを使って押出量のばらつきを抑えることができる。
【００１３】
ハウジングに形成した貫通孔に棒状部材を挿通し、棒状部材の一端を第１連結部材を介して第１ダイアフラムに連結する一方、棒状部材の他端を第２連結部材を介して第２ダイアフラムに連結すれば、第１ダイアフラムと第２ダイアフラムとを簡単な連結構造で連結することができる。
【００１４】
第２連結部材が、保持部材に位置調整部材を摺動可能に取り付け、位置決め手段を用いて位置調整部材を保持部材に対して位置決め固定すると、第２ダイアフラムが位置調整部材と一体的に軸方向に移動してセット位置を調整されるので、第２作動室の容積を変更して、流体押し出し量を調整することができる。
【００１５】
また、筒状ナットの両端開口部から第１連結棒と第２連結棒をそれぞれ挿入し、その挿入部分に逆ねじをきっておけば、筒状ナットを所定方向に回転させると第１，第２連結棒を近づけ、筒状ナットを所定方向と反対方向に回転させると第１，第２連結棒を遠ざけられる。第１連結棒が第１連結部材を介して第１ダイアフラムに連結し、第２連結棒が第２連結部材を介して第２ダイアフラムに連結しているため、筒状ナットを回転させれば、第１ダイアフラムと第２ダイアフラムの位置関係を変更して、流体押し出し量を調整することができる。
【００１６】
また、ストローク調整機構を用いて第１ダイアフラムのストロークを調整すれば、開口面積を変化させることができるので、制御流体の流量又は圧力を任意に制御することができる。
第１ダイアフラムに弁孔に挿入される凸部を設け、その凸部にテーパを設ければ、開口面積を緩やかに変化させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、本発明に係るダイアフラム弁の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、ダイアフラム弁１の中央断面図であって、閉弁状態を示す。図２は、ダイアフラム弁１の中央断面図であって、開弁状態を示す。図３は、図１のＡ−Ａ断面図である。
ダイアフラム弁１は、例えば、半導体製造装置で使用されるレジスト液をウエハに供給する供給管路上に配設され、レジスト液の供給と遮断を制御するために使用される。ダイアフラム弁１は、エアオペレイト式の開閉弁であって、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０とを連結する連結機構２６を弁孔１３の外側に配設し、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０とを同期して移動させるものである。
【００１８】
ダイアフラム弁１は、図中上側から第１カバー２、第１シリンダ３、ボディ４、第２シリンダ５、第２カバー６を図示しない取付ねじで一体化し、「ハウジング」を形成している。第１カバー２、第１シリンダ３、ボディ４、第２シリンダ５、第２カバー６は、耐腐食性を確保するために、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の樹脂で成形されている。
【００１９】
第１シリンダ３とボディ４は、第１ダイアフラム７の外縁部を狭持し、ボディ４に穿設された入力ポート８に連通する第１作動室９を形成している。また、ボディ４と第２シリンダ５は、第２ダイアフラム１０の外縁部を狭持し、ボディ４に穿設された出力ポート１１に連通する第２作動室１２を形成している。第１作動室９と第２作動室１２は、同径の略円柱状に形成され、弁孔１３を介して連通している。第１作動室９、第２作動室１２、弁孔１３は同軸上に形成されている。第１作動室９には、弁孔１３の開口部に弁座１４が突設され、第１ダイアフラム７が弁座１４に当接又は離間して流路を開閉するようになっている。第１ダイアフラム７には、弁座１４から弁孔１３へと挿入される凸部１５が設けられ、凸部１５の外周面に先端部に向かって小径となるテーパを形成されている。
【００２０】
第１カバー２と第１シリンダ３の間には、ピストン室１６が第１作動室９と同軸上に形成され、樹脂製のピストン１７が摺動可能に装填されている。ピストン１７は、ピストン室１６を上室１６ａと下室１６ｂに区画し、下端面に第１ダイアフラム７が螺設されて一体化されている。上室１６ａには、圧縮ばね１８が縮設され、ピストン１７を介して第１ダイアフラム７に図中下向きの力を常時作用させ、シール力を確保している。下室１６ｂには、操作ポート１９が連通し、操作ポート１９に圧縮エアを供給すれば、ピストン１７に図中上向きの力を作用させて第１ダイアフラム７を弁座１４から離間させ、圧縮エアの供給を停止すれば、ピストン１７に作用する図中上向きの力を解除して第１ダイアフラム７を弁座１４に当接させることができる。
【００２１】
ピストン１７の外周面には、一対の摺動凸部２０，２０が垂設され、その摺動凸部２０，２０を第１カバー２に形成されたガイド溝２１，２１に摺動可能にはめ合わせることにより、ピストン１７の回転を制限している。従って、ピストン１７は、ピストン室１６の内壁にガイドされて軸方向にのみ移動する。
【００２２】
一方、第２シリンダ５と第２カバー６との間には、保持部材２２を収納するための収納室２３が形成されている。収納室２３は、第２作動室１２と同軸上に形成され、保持部材２２を摺動可能に装填されている。保持部材２２の外周面には、一対の保持凸部２４，２４が垂設され、保持凸部２４，２４を第２シリンダ５に形成されたガイド溝２５，２５に摺動可能に嵌め合わせることにより、保持部材２２の回転を制限している。従って、保持部材２２は、収納室２３の内壁にガイドされて軸方向にのみ移動する。
【００２３】
第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０は、連結機構２６を介して連結している。連結機構２６は、弁孔１３の外側に配設され、ピストン（「第１連結部材」に相当。）１７、保持部材２２、一対の連結棒（「棒状部材」に相当。）２７，２７、位置調整部材３６などで構成されている。
【００２４】
第１シリンダ３、ボディ４、第２シリンダ５には、連結棒２７，２７を軸方向に挿通するために、一対の貫通孔２８，２８，２９，２９，３０，３０が形成されている。貫通孔２８，２９，３０は、連結棒２７の直径より大径に形成され、連結棒２７が移動時にこじれるのを防止している。連結棒２７は、第１雄ねじ３１を摺動凸部２０に垂直に貫き通し、第１雄ねじ３１の先端部に締付ナット３２を締め付けることにより、ピストン１７と一体化されている。また、連結棒２７は、第２雄ねじ３３が摺動凸部２０を垂直に貫き通し、第２雄ねじ３３の先端部に締付ナット３４を締め付けることにより、保持部材２２と一体化されている。連結棒２７は、同軸上に配設されているピストン１７と保持部材２２に対して垂直に連結するため、軸方向に移動し、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０を同期して移動させることができる。
【００２５】
保持部材２２は、樹脂を射出成形したものであり、有底円柱形状の開口部３５を備える。位置調整部材３６は、開口部３５に摺動可能に装填され、第２ダイアフラム１０を螺設されている。位置調整部材３６は、雄ねじ３７が保持部材２２に貫き通されて位置調整ナット３８を締め付けられ、開口部３５と位置調整部材３６との間に縮設された圧縮ばね３９の弾圧力で軸方向のガタを防止されている。従って、第２ダイアフラム１０は、位置調整ナット３８の締付量によって位置調整部材３６の保持位置を変位させると、軸方向に上下動し、セット位置を調整される。位置調整ナット３８は、第２カバー６の孔を通じて外部に露出し、外部から第２ダイアフラム１０のセット位置を調整できるようになっている。なお、保持部材２２と位置調整部材３６により「第２連結部材」が構成され、位置調整部材３６の雄ねじ３７と位置調整ナット３８により、「位置決め手段」が構成されている。
【００２６】
第１カバー２には、ストローク調整ロッド４０がピストン室１６の上室１６ａから外部に突き出すように螺合し、ストローク調整ロッド４０に固設されたハンドル４１を回転させることにより、ストローク調整ロッド４０の下端位置を変位させてピストン１７の移動量を決定し、第１ダイアフラム７のストローク量を調整できるようにされている。ストローク調整ロッド４０は、ハンドル４１の下端面をストッパ４２に係合することにより回転を制限され、所定位置で保持される。
【００２７】
このようなダイアフラム弁１は、入力ポート８にレジスト液の供給源を接続し、出力ポート１１にノズルを接続することにより、半導体製造装置に組み付けられる。ダイアフラム弁１は、図１及び図３に示す初期状態では、第１ダイアフラム７が圧縮ばね１８の弾圧力で弁座１４に押しつけられ、弁座１４をシールしている。そのため、入力ポート８に供給されたレジスト液は、弁に遮断され、出力ポート１１に流れない。
【００２８】
操作ポート１９に圧縮エアを供給して下室１６ｂを加圧すると、図２に示すように、ピストン１７が圧縮ばね１８に抗して図中上方へ移動し、第１ダイアフラム７を弁座１４から離間させる。入力ポート８に供給されたレジスト液は、第１作動室９から弁座１４、弁孔１３、第２作動室１２を介して出力ポート１１へと流れ、図示しないノズルからウエハに噴出される。このとき、第１作動室９の容積が第１ダイアフラム７の上昇により増加するが、第１ダイアフラム７と同期して第２ダイアフラム１０が上昇して第２作動室１２の容積を減少させるため、弁全体の容積が変化しない。
【００２９】
その後、操作ポート１９への圧縮エアの供給を停止すると、図１及び図３に示すように、ピストン１７が圧縮ばね１８の弾圧力で下降し、第１ダイアフラム７を弁座１４に押しつけてシールする。これにより、レジスト液が、出力ポート１１に流れなくなり、ノズルからウエハに供給されなくなる。第１ダイアフラム７の下降に伴って第１作動室９の容積が減少するが、第１ダイアフラム７と同期して第２ダイアフラム１０が下降し、第２作動室１２の容積を増加させるため、弁全体の容積が変化しない。特に、第１ダイアフラム７は弁座１４に着座する直前に薄膜部が変位してレジスト液を第２作動室１２に押し出すが、これに伴って第２ダイアフラム１０の薄膜部が変位して第２作動室１２の容積を増加させるため、レジスト液が出力ポート１１から押し出されない。
【００３０】
このように、ダイアフラム弁１は、閉弁時に第２作動室１２の容積変化によってレジスト液を吸い戻すサックバック機能を有する。ダイアフラム弁１は、寸法公差や組立公差により第１ダイアフラム７や第２ダイアフラム１０のセット位置が製品毎にばらつき、閉弁時に出力ポート１１からレジスト液を押し出す量がゼロにならないことがある。押し出し量がゼロより多い場合には、レジスト液をノズルの先端部から所定量まで吸い戻すことができず、レジスト液がウエハに余分に滴下したり、レジスト液が外気に接触して変質する恐れがある。また、押し出し量がゼロより少ない場合には、レジスト液をノズルの先端部から所定量を超えて吸い戻し過ぎ、ウエハに塗布するレジスト液の量が少なくなる恐れがある。
【００３１】
このような不具合を解消するために、ダイアフラム弁１は、第２ダイアフラム１０のセット位置を調整して、第２作動室１２の容積を変化させられるようになっている。即ち、例えば、ダイアフラム弁１は、出力ポート１１に流量計を取り付けて入力ポート８に流体を供給し、出力ポート１１から流体を押し出す量を検出する。押し出し量がゼロより多いときには、位置調整ナット３８を工具等で所定方向に回転させて第２ダイアフラム１０のセット位置を下降させ、サックバック量を大きくする。一方、押し出し量がゼロより少ないときには、位置調整ナット３８を工具等で所定方向と反対方向に回転させて第２ダイアフラム１０のセット位置を上昇させ、サックバック量を小さくする。
【００３２】
従って、本実施の形態のダイアフラム弁１は、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０とを連結機構２６で連結して、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０を同期して移動させるが、連結機構２６を弁孔１３の外側に設けて流路内の凹凸を少なくしているので、レジスト液が流路内で滞留して固まりにくく、弁動作時のパーティクルの発生を低減できる。また、ダイアフラム弁１は、連結機構２６を弁孔１３の外側に設けたことにより、弁孔１３の流路断面積を小さくできるので、第１ダイアフラム７のストロークに対する開口面積の変化率が小さくなり、レジスト液を微小調整することができる。さらに、ダイアフラム弁１は、連結機構２６を弁孔１３の外側に設けたので、膜径の小さい第１，第２ダイアフラム７，１０を使って第１，第２ダイアフラム７，１０の上下動に伴う変形量小さくし、レジスト液の押出量のばらつきを抑えることができる。
【００３３】
ここで、本実施の形態のダイアフラム弁１や従来のダイアフラム弁１００は、レジスト液を約５０ｍｓｅｃの高スピードで制御することがある。
この場合に、従来のダイアフラム弁１００は、第１ダイアフラム１０２のストロークに対する開口面積変化が大きいため、二次側にウォータハンマが発生する恐れがあった。これに対して、本実施の形態のダイアフラム弁１は、ストロークに対する開口面積変化を緩やかにして流量を少しずつ変化するため、二次側のウォータハンマの発生を抑制することができる。
【００３４】
第１シリンダ３、ボディ４、第２シリンダ５に形成した貫通孔２８，２９，３０に連結棒２７を挿通し、連結棒２７の第１雄ねじ３１を締付ナット３２で摺動凸部２０に固定することにより、連結棒２７の一端をピストン１７を介して第１ダイアフラム７に連結する一方、連結棒２７の第２雄ねじ３３を締付ナット３４で保持凸部２４に固定することにより、連結棒２７の他端を保持部材２２を介して第２ダイアフラム１０に連結するので、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０とを簡単な連結構造で連結することができる。
【００３５】
保持部材２２に位置調整部材３６を摺動可能に取り付け、第２カバー６の外部から位置調整ナット３８を回転させて位置調整部材３６を保持部材２２に対して位置決め固定すると、第２ダイアフラム１０が位置調整部材３６と一体的に軸方向に移動してセット位置を調整されるので、第２作動室１２の容積を変更し、流体押し出し量を調整することができる。特に、ダイアフラム弁１は、位置調整ナット３８を外部から操作できるので、流体押し出し量の調整が容易である。
【００３６】
また、ハンドル４１を回転させてストローク調整ロッド４０の下端位置を調整すれば、第１ダイアフラム７の全開位置を変更して開口面積を変えられるので、レジスト液の流量又は圧力を任意に制御することができる。
第１ダイアフラム７に弁孔１３に挿入される凸部１５を設け、その凸部１５にテーパを設けているので、開口面積を緩やかに変化させることができる。
【００３７】
尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００３８】
（１）例えば、上記実施の形態では、二方弁のダイアフラム弁１を使用したが、図４及び図５に示すように、分岐弁５１に連結機構２６を設けてもよい。分岐弁５１は、ダイアフラム弁１とほぼ同様の構造を有するが、異なる点について説明すると、弁孔１３の第２ダイアフラム側開口部に弁座５２を設けるとともに、弁孔１３に第３ポート５３を連通させる。この場合、第１ポート８又は第２ポート１１から供給した流体を第３ポート５３から出力してもよいし、第３ポート５３に供給した流体を第１ポート８と第２ポート１１に分流してもよい。また、分岐弁５１は、図４及び図５に示すように、第２ダイアフラム１０を保持部材５４に直接螺設してもよい。
【００３９】
（２）上記実施の形態では、一対の連結棒２７，２７で第１ダイアフラム７に連結するピストン１７と第２ダイアフラム１０に連結する保持部材２２を連結して、連結機構２６を構成した。これに対して、図６に示すダイアフラム弁６１のように、第１連結棒６２と第２連結棒６３を筒状ナット６４で棒状に連結し、「棒状部材」とし、連結機構６５を構成してもよい。第１連結棒６２を貫通孔２８、２９に遊嵌して、一端３１を締付ナット３２で摺動凸部２０に螺合するとともに、他端を筒状ナット６４に螺合する一方、第２連結棒６３を貫通孔２９，３０に遊嵌して、一端３３を締付ナット３４で保持部材６６の保持凸部２４に固定するとともに、他端を筒状ナット６４に螺合することにより、第１連結棒６２と第２連結棒６３を軸方向にがたつかせることなく連結する。第１連結棒６２と第２連結棒６３を摺動凸部２０と保持凸部２４に対してそれぞれ垂直に連結すれば、第１，第２連結棒６２，６３の同軸性を出して、第１ダイアフラム７と第２ダイアフラム１０を同期して移動させることができる。そして、筒状ナット６４が外部に露出するようにボディ４に切欠部６７を設け、筒状ナット６４に挿入される第１連結棒６２の雄ねじと第２連結棒６３の雄ねじを逆ねじにした場合には、筒状ナット６４を外部から指でつまんで或いは工具で保持して所定方向又は逆方向に回転させると、第１，第２連結棒６２，６３が近づいたり遠ざかったりする。第１，第２連結棒６２，６３の位置関係が変化すると、第１ダイアフラム７が弁座１４に当接して移動を制限されるため、第２ダイアフラム１０のセット位置が変化し、出力ポート１１からの押し出し量を調整できる。
【００４０】
（３）例えば、上記実施の形態では、摺動凸部２０と保持凸部２４をピストン１７と保持部材１２にそれぞれ一体成形したが、別部材としてもよい。
【００４１】
（４）例えば、上記実施の形態では、ダイアフラム弁１を半導体製造装置に取り付けて、レジスト液の供給を制御するために使用したが、使用用途はこれに限定されず、液晶製造装置等に取り付けてもよい。また、ダイアフラム弁１はエアオペレイト式開閉弁であったが、手動弁や電磁弁としてもよい。また、電動アクチュエータ（モータなど）を駆動手段として用いてもよい。
【００４２】
（５）例えば、上記実施の形態では、ハウジングを構成する部材２，３，４，５，６や保持部材２２を樹脂で形成したが、金属であってもよい。
【００４３】
（６）例えば、上記実施の形態では、ノーマルクローズタイプのダイアフラム弁１について説明したが、ダイアフラム弁１をノーマルオープンタイプとしてもよい。
【００４４】
（７）例えば、上記実施の形態では、ピストン１７の摺動凸部２０，２０をガイド溝２１，２１に嵌め合わせ、保持部材２２の保持凸部２４，２４をガイド溝２５，２５に嵌め合わせることにより、ピストン１７と保持部材２２の回転を制限したが、ピストン１７と保持部材２２の回転を制限するものであれば、回転制限機構の構造はこれに限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態に係り、ダイアフラム弁の中央縦断面図であって、閉弁状態を示す。
【図２】同じく、ダイアフラム弁の中央断面図であって、開弁状態を示す。
【図３】同じく、図１のＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明のダイアフラム弁の第１変形例を示す中央縦断面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】本発明のダイアフラム弁の第２変形例を示す中央縦断面図である。
【図７】従来のダイアフラム弁の中央縦断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１，５１，６１  ダイアフラム弁
２  第１カバー
３  第１シリンダ
４  ボディ
５  第２シリンダ
６  第２カバー
７  第１ダイアフラム
９  第１作動室
１０  第２ダイアフラム
１２  第２作動室
１３  弁孔
１５  凸部
２２，５４，６６  保持部材
２６，６５  連結機構
２７  連結棒
３６  位置調整部材
３８  位置調整ナット
３９  圧縮ばね
４０  ストローク調整ロッド
４１  ハンドル
６２  第１連結棒
６３  第２連結棒
６４  筒状ナット
【図１】
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【図２】
2006194298.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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