(57)【要約】【課題】印刷されたパターンの周辺領域が盛り上がるサドル現象の発生を抑制、防止することが可能なスクリーン印刷版、その製造方法、該スクリーン印刷版を用いた積層セラミック電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】非開口部３のスクリーンメッシュ２の厚みＴ３を、印刷開口部４の少なくとも一部の領域Ｔ１のスクリーンメッシュの厚みより薄くする。  また、印刷開口部４のスクリーンメッシュ２の厚みのうち、印刷開口部４の周辺領域４ａのスクリーンメッシュ２の厚みＴ２を、印刷開口部４の中央領域４ｂのスクリーンメッシュ２の厚みＴ１より薄くする。  非開口部３を構成する乳剤５が、非開口部３を構成するスクリーンメッシュ２の上下両面側に突出させないようにして、非開口部３を構成する乳剤５とスクリーンメッシュ２の厚みを実質的に同一にする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
版枠に張設されたスクリーンメッシュに乳剤を付与することにより、乳剤により非貫通状態とされた領域である非開口部と、乳剤により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とが形成されたスクリーン印刷版において、
前記非開口部のスクリーンメッシュの厚みが、前記印刷開口部の少なくとも一部の領域のスクリーンメッシュの厚みより薄いこと
を特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項２】
前記印刷開口部を、前記乳剤が付与された非開口部に近い周辺領域と、前記周辺領域に囲まれた中央領域とに分けた場合において、前記周辺領域のスクリーンメッシュの厚みが、前記中央領域のスクリーンメッシュの厚みより薄いことを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記スクリーンメッシュとともに前記非開口部を構成する乳剤が、前記非開口部を構成するスクリーンメッシュの上下両面側に突出しておらず、前記乳剤と前記スクリーンメッシュの厚みが実質的に同一であることを特徴とする請求項１または２記載のスクリーン印刷版。
【請求項４】
版枠に張設されたスクリーンメッシュに乳剤を付与することにより、乳剤により非貫通状態とされた領域である非開口部と、乳剤により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とが形成されたスクリーン印刷版の製造方法であって、
前記版枠に張設されたスクリーンメッシュの、前記印刷開口部の少なくとも中央領域を除く部分の厚みを薄くする加工を行う工程と、
前記版枠に張設されたスクリーンメッシュに乳剤を付与して、乳剤により非貫通状態とされた領域である非開口部と、乳剤により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とを形成する工程と
を具備することを特徴とするスクリーン印刷版の製造方法。
【請求項５】
前記スクリーンメッシュの厚みを薄くする工程において、金型を用いてスクリーンメッシュを押圧することを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷版の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷版を用いて、電極ペーストを印刷することにより、セラミックグリーンシート上に電極膜を形成する工程と、
前記電極膜が形成されたグリーンシートを積層、圧着して積層体を形成する工程と、
前記積層体を焼成する工程と
を具備することを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、スクリーン印刷版、その製造方法、およびスクリーン印刷版を用いてセラミックグリーンシート上に電極ペーストを印刷する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミック電子部品の代表的なものの１つに、例えば、図７に示すように、内部にセラミック層５３を介して複数の電極膜（内部電極）５２ａ，５２ｂが積層された積層セラミックコンデンサ素子５１の両端面５４ａ，５４ｂに、内部電極５２ａ，５２ｂと導通するように外部電極５５ａ，５５ｂが配設された構造を有する積層セラミックコンデンサがある。
【０００３】
そして、このような積層セラミックコンデンサは、一般に、電極ペーストを印刷することによりその表面に電極膜（内部電極パターン）が形成されたセラミックグリーンシートを積層、圧着する工程を経て形成される積層体を、個々の素子に分割し、焼成した後、個々の素子に外部電極を付与することにより製造されている。
【０００４】
このような積層セラミックコンデンサに代表される積層セラミック電子部品が小型化するのに伴い、積層セラミック電子部品を構成するセラミック層や電極膜（内部電極）の薄層化が求められている。
【０００５】
ところで、積層セラミック電子部品の製造工程において、電極膜を形成する方法として、スクリーン印刷法により電極ペーストを印刷対象（セラミックグリーンシート）に印刷する方法が一般的に用いられている。
【０００６】
図８(ａ)はスクリーン印刷に用いられる、従来のスクリーン印刷版を示す図であり、(ｂ)はその要部（図８(ａ)のＲで示す領域）を拡大して示す図である。
スクリーン印刷法は、孔版印刷の１種で、図８(ａ)，(ｂ)に示すように、版枠６１に、例えば、網目状の材料からなるスクリーン（スクリーンメッシュ）６２を張り、画線部以外の領域には乳剤６３を付与（塗布）して目を塞ぐことにより、所望のパターンの印刷開口部６４を備えたスクリーン印刷版７０を用いて印刷を行う方法である。
具体的には、印刷開口部に、スキージなどによりペースト（例えば電極ペースト）を充填するとともに電極ペーストを印刷対象物（例えばセラミックグリーンシート）上に転写することにより印刷が行われる。
そして、このスクリーン印刷法により印刷されるペーストの膜厚は、通常スクリーンメッシュの厚みに比例する。
【０００７】
しかし、スクリーン印刷版に形成された印刷開口部からペーストを充填し、押し出した後、図９ (ａ)，(ｂ)に示すように、印刷対象物（例えばセラミックグリーンシート）７１からスクリーン印刷版７０を離す際に、印刷開口部６４の側面（乳剤により非開口部とされた領域の側面）６４ａに接していたペースト６５が伸張して、印刷されたペースト（印刷パターン）６５の周辺領域６５ａが盛り上がって、印刷パターン６５の中央領域６５ｂの厚みＴｃよりも周辺領域６５ａの厚みＴｐのほうが大きくなり、断面形状がサドル状になる、いわゆるサドル現象が発生する。そして、サドル現象が発生すると、積層体の圧着時に電極膜が変形したり、焼成時にクラックが発生したりするという問題点がある。
【０００８】
このサドル現象の発生を抑制する方法として、スクリーン印刷版の非開口部を構成する乳剤のうち、スクリーンメッシュ（スクリーン印刷版）の主面（図８(ａ)，(ｂ)では下面）から突出した部分（図８(ａ)，(ｂ)では下面側に突出しているが上面側に突出する場合もある）の厚みＴｅを薄くして、ペーストの、印刷開口部６４の側面（乳剤により非開口部とされた領域の側面）６４ａへの接触面積を減らして、版離れ時の伸長力を低減することが考えられる。
【０００９】
しかしながら、近年、電極膜の薄膜化が進むに伴って、スクリーン印刷版の厚みが薄くなり、乳剤とスクリーンメッシュからなるスクリーン印刷版の総厚みと、スクリーン印刷版を構成するスクリーンメッシュＴｍの厚みとの差が小さく、上述のスクリーンメッシュの主面から突出した乳剤の厚みＴｅの値が小さくなっているため、該乳剤の厚みＴｅを薄くして、版離れ時の伸長力を低減することには限界があるのが実情である。
【００１０】
すなわち、近年のレジスト平滑化技術の進歩により乳剤のみを成膜してレジスト膜を形成する場合には、レジスト膜の厚みを１μm以下のレベルにまで薄くすることができるが、スクリーンメッシュに乳剤を付与してスクリーン印刷版を作製する場合には、少なくともスクリーンメッシュの厚み分だけは、乳剤膜（レジスト膜）が形成されることになるため、印刷開口部の側面（乳剤により非開口部とされた領域の側面）とペーストの接触による版離れ時の伸長力によって引き起こされるサドル現象の問題は依然として解消されていないのが実情である。
【００１１】
また、この印刷パターン（ペーストパターン）の中央部と端部（周辺領域）の厚みの差を緩和する（すなわちサドル現象の発生を抑制、防止する）方法として、スクリーン印刷版の、印刷開口部の周辺領域（乳剤が付与された非開口部に近い領域）のスクリーンメッシュの開き目を、印刷開口部の中央領域の開き目よりも小さくし、印刷開口部の周辺領域におけるペーストの吐出量を抑制して、印刷パターンの端部（周辺領域）の膜厚を薄くする（すなわち、中央領域より端部（周辺領域）の厚みが厚くなることを抑制する）方法が提案されている（特許文献１）。
そして、この特許文献１の実施例では、印刷開口部のスクリーンメッシュの周辺領域にのみめっきを施すことにより、周辺領域のスクリーンメッシュの開き目を、中央領域の開き目よりも小さくすることが示されている。
【００１２】
しかしながら、上記従来の方法では、スクリーン印刷版を作製する場合、印刷開口部のスクリーンメッシュの周辺領域にめっきを施すことが必要になるが、周辺領域にのみめっきを施すためには、通常、印刷開口部の中央領域をレジストで被覆して、周辺領域にのみめっきを施すことが必要になる。そして、そのためにはフォトリソグラフィーによるレジストの形成などの工程が必要で、スクリーン印刷版の製造コストが増大するばかりでなく、スクリーン印刷版の製造に手間がかかり、生産性の低下を招くという問題点がある。
【特許文献１】特開平８−１８６０５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本願発明は、上記課題を解決するものであり、印刷パターンの周辺領域が盛り上がって、断面形状がサドル状になる、いわゆるサドル現象が発生することを抑制、防止することが可能なスクリーン印刷版、その製造方法、該スクリーン印刷版を用いた積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために、本願発明（請求項１）のスクリーン印刷版は、
版枠に張設されたスクリーンメッシュに乳剤を付与することにより、乳剤により非貫通状態とされた領域である非開口部と、乳剤により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とが形成されたスクリーン印刷版において、
前記非開口部のスクリーンメッシュの厚みが、前記印刷開口部の少なくとも一部の領域のスクリーンメッシュの厚みより薄いこと
を特徴としている。
【００１５】
また、請求項２のスクリーン印刷版は、請求項１記載の発明の構成において、前記印刷開口部を、前記乳剤が付与された非開口部に近い周辺領域と、前記周辺領域に囲まれた中央領域とに分けた場合において、前記周辺領域のスクリーンメッシュの厚みが、前記中央領域のスクリーンメッシュの厚みより薄いことを特徴としている。
【００１６】
また、請求項３のスクリーン印刷版は、請求項１または２記載の発明の構成において、前記スクリーンメッシュとともに前記非開口部を構成する乳剤が、前記非開口部を構成するスクリーンメッシュの上下両面側に突出しておらず、前記乳剤と前記スクリーンメッシュの厚みが実質的に同一であることを特徴としている。
【００１７】
また、本願発明（請求項４）のスクリーン印刷版の製造方法は、
版枠に張設されたスクリーンメッシュに乳剤を付与することにより、乳剤により非貫通状態とされた領域である非開口部と、乳剤により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とが形成されたスクリーン印刷版の製造方法であって、
前記版枠に張設されたスクリーンメッシュの、前記印刷開口部の少なくとも中央領域を除く部分の厚みを薄くする加工を行う工程と、
前記版枠に張設されたスクリーンメッシュに乳剤を付与して、乳剤により非貫通状態とされた領域である非開口部と、乳剤により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とを形成する工程と
を具備することを特徴としている。
【００１８】
また、請求項５のスクリーン印刷版の製造方法は、請求項４記載のスクリーン印刷版の製造方法において、前記スクリーンメッシュの厚みを薄くする工程において、金型を用いてスクリーンメッシュを押圧することを特徴としている。
【００１９】
また、本願発明（請求項６）の積層セラミック電子部品の製造方法は、
請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷版を用いて、電極ペーストを印刷することにより、セラミックグリーンシート上に電極膜を形成する工程と、
前記電極膜が形成されたグリーンシートを積層、圧着して積層体を形成する工程と、
前記積層体を焼成する工程と
を具備することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２０】
本願発明（請求項１）のスクリーン印刷版は、版枠に張設されたスクリーンメッシュに乳剤を付与することにより、乳剤により非貫通状態とされた領域である非開口部と、乳剤により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とが形成されたスクリーン印刷版において、非開口部のスクリーンメッシュの厚みを、印刷開口部の少なくとも一部の領域のスクリーンメッシュの厚みより薄くするようにしているので、乳剤の厚みを含めた非開口部の厚みを低減することが可能になり、乳剤により非開口部とされた領域の側面に囲まれた領域である印刷開口部へのペーストの充填量が多くなり過ぎることを抑制するとともに、ペーストと印刷開口部の側面との接触面積を減らすことが可能になり、版離れ時の伸長力を低減して、印刷パターンの周辺領域が盛り上がるサドル現象の発生を抑制することが可能になる。
なお、スクリーンメッシュの厚みを薄くした部分ではスキージ走行面にわずかに凹部（通常は数μm）が形成される場合もあるが、通常は、スキージが変形して凹部の形状に追従するため、ペーストが該凹部に残るというような問題が生じることはない。
【００２１】
また、請求項２のスクリーン印刷版のように、請求項１の発明の構成において、印刷開口部を、乳剤が付与された非開口部に近い周辺領域と、周辺領域に囲まれた中央領域とに分けた場合に、周辺領域のスクリーンメッシュの厚みを、中央領域のスクリーンメッシュの厚みより薄くすることにより、容易かつ確実に、印刷開口部の周辺領域へのペーストの充填量を減らして、ペーストの、印刷開口部の側面への接触面積を減らすことが可能になり、版離れ時の伸長力を低減して、サドル現象の発生を効率よく抑制することが可能になる。
【００２２】
また、請求項３のスクリーン印刷版のように、請求項１または２の発明の構成において、スクリーンメッシュとともに非開口部を構成する乳剤が、非開口部を構成するスクリーンメッシュの上下両面側に突出しないようにして、非開口部を構成する乳剤とスクリーンメッシュの厚みを実質的に同一にした場合、印刷開口部の側面の高さ（厚さ）を低く（薄く）して、印刷開口部の周辺領域へのペーストの充填量を減らすことが可能になるとともに、ペーストの印刷開口部の側面への接触面積を減らすことが可能になり、版離れ時の伸長力を低減して、サドル現象の発生を効率よく抑制、防止することが可能になる。
【００２３】
また、本願発明（請求項４）のスクリーン印刷版の製造方法のように、版枠に張設されたスクリーンメッシュの、前記印刷開口部の少なくとも中央領域を除く部分の厚みを薄くした後、版枠に張設されたスクリーンメッシュに乳剤を付与して、乳剤により非貫通状態とされた領域である非開口部と、乳剤により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とを形成するようにした場合、感光性の乳剤を用いてマスクを形成する場合のように、一般的な、乳剤の塗布、露光、現像の工程を経て、印刷開口部の少なくとも中央領域を除く部分の厚みの薄いスクリーン印刷版を効率よく製造することが可能になり、従来のように、例えば、めっきによりスクリーンメッシュの開き目を変更して対応するような場合に比べて、加工時間の短縮やコストの低減を図ることが可能になる。
【００２４】
また、請求項５のスクリーン印刷版の製造方法のように、請求項４の発明の構成において、スクリーンメッシュの厚みを薄くする工程において、金型を用いてスクリーンメッシュを押圧するようにした場合、コストの増大を招くことなく、スクリーンメッシュの所望の領域の厚みを容易かつ確実に薄くすることが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。
【００２５】
また、本願発明（請求項６）の積層セラミック電子部品の製造方法は、請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーン印刷版を用いて、電極ペーストを印刷することにより、セラミックグリーンシート上に電極膜を形成する工程と、電極膜が形成されたグリーンシートを積層、圧着して積層体を形成する工程と、積層体を焼成する工程とを備えており、サドル現象の生じていない平坦性に優れた電極膜（例えば内部電極パターン）を備えたセラミックグリーンシートを用いて積層体を形成するようにしてるので、積層体の圧着時に電極膜が変形したり、焼成時にクラックが発生したりすることを防止して、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００２７】
図１(ａ)は本願発明の一実施例（実施例１）にかかるスクリーン印刷版を示す図であり、(ｂ)はその要部（図１(ａ)のＲで示す領域）を拡大して示す図である。
以下に説明する方法により、図１(ａ)，(ｂ)に示すように、版枠１に張設されたスクリーンメッシュ２に乳剤５を付与して、乳剤５により非貫通状態とされた領域である非開口部３と、乳剤５により非貫通状態とされていない領域である印刷開口部４とを備えたスクリーン印刷版１０を製造した。
【００２８】
［スクリーン印刷版の作製］
(１)線径１８μmのステンレス製の線材を用い、メッシュ状にした後、加圧成形加工を行うことにより形成された、厚みが３０μmのスクリーンメッシュを準備した。
なお、線径１８μmの線材を用いた場合、図２(ａ)に示すように、交点ではスクリーンメッシュ２を構成する線材１２が重なるため、そのままでは少なくとも厚みが３６μmとなるが、メッシュ状にした状態でプレス加工することにより、図２(ｂ)に示すように、線材１２の交差部の山の部分１２ａが押し潰されて平坦になる結果、厚みが３０μmのスクリーンメッシュ２が得られる。なお、この加圧形成加工は省略してもよい。
【００２９】
(２)それから、図４(ａ)，(ｂ)に示すように、印刷開口部の周辺領域に対応する部分１１ａが突出した凸型の金型１１を用いて、スクリーンメッシュ２の、印刷開口部４となる領域内の周辺領域（非開口部３となる領域より内側の、幅：Ｗが１５０μmの領域）４ａと、非開口部３となる領域を押圧して、印刷開口部４の周辺領域４ａの厚みＴ２および非開口部３となる領域の厚みＴ３が２５μmとなり、印刷開口部４の中央領域４ｂの厚みＴ１が３０μm（スクリーンメッシュ２のもとの厚み）となるように加工した。
この加工により、周辺領域４ａおよび非開口部３のスクリーンメッシュ２の厚み（２５μm）が非開口部３のスクリーンメッシュの厚み（３０μm）より薄いという構成がもたらされることになる。
なお、金型１１を用いてプレス加工することにより、スクリーンメッシュ２の周辺領域４ａおよび非開口部３の厚みを薄くすることが可能になるのは、図２(ａ)，(ｂ)を用いて説明したメカニズムと同様であり、例えば、図３に示すように、スクリーンメッシュ２を構成する線材１２の交差部の山の部分１２ａがさらに扁平になるようにプレスすることにより、スクリーンメッシュ２の厚みをさらに薄くすることができる。
ただし、本願発明の実施例にかかるスクリーン印刷版を示す図１，図５および図６では、線材の形状を扁平にして示した場合、スクリーンメッシュの厚みが異なる領域の境目などの形状が不明瞭になり、かえって発明を理解しにくくなるおそれもあることから、スクリーンメッシュ２を構成する線材１２を、特に扁平形状として示さず、断面形状を円形にした状態で模式的に示している。
【００３０】
(３)次に、乳剤として、感光性樹脂組成物をバケットを用いて塗布した後、乾燥させて成膜することにより未露光のスクリーン印刷版を形成した。
【００３１】
(４)それから、乳剤（膜）に、電極パターンフィルムを真空密着処理により付与し、メタルハライドランプで露光処理した。
【００３２】
(５)次に、水現像を行い、未露光部（印刷開口部となるべき領域）の乳剤（膜）を除去した。なお、水現像を行うにあたっては、露光後のスクリーン印刷版（スクリーンメッシュ）を、水に浸漬して未露光部の大部分を溶出させ、さらに水圧スプレーガンにより水を噴射して、未露光部に残存する感光性樹脂を完全に除去した。
【００３３】
その後、乾燥させて、積層セラミックコンデンサ用の電極パターンに対応する形状を有する印刷開口部と、非開口部を備えるスクリーン印刷版を得た。
このスクリーン印刷版の各部の寸法は以下の通りであった。
印刷開口部の中央領域のスクリーンメッシュの厚みＴ１  ：３０μm
印刷開口部の周辺領域のスクリーンメッシュの厚みＴ２  ：２５μm
非開口部のスクリーンメッシュの厚みＴ３              ：２５μm
スクリーンメッシュの下面側から突出した乳剤の厚みＴ４：２μm
非開口部の総厚み                                Ｔ５：２７μm
【００３４】
このスクリーン印刷版を用いて、セラミックグリーンシート上に電極ペーストをスクリーン印刷し、乾燥させて電極膜を形成し、膜厚を測定した。その結果、印刷開口部の中央領域（スクリーンメッシュの厚みが３０μmの領域）に対応する電極膜の中央部の膜厚は１．５μmであった。
また、印刷開口部の周辺領域（スクリーンメッシュの厚みが２５μmの領域）に対応する電極膜の周辺部の膜厚は１．８μmであった。
【００３５】
また、比較のため、以下の比較例１および比較例２の２つのスクリーン印刷版を作製し、該スクリーン印刷版を用いて、上記実施例１と同様の方法で電極膜を形成し、その膜厚を測定した。
【００３６】
＜比較例１＞
(１)比較例１のスクリーン印刷版の条件
この比較例１では、以下のように、スクリーンメッシュの各部の厚みを３０μm一定として、スクリーン印刷版を作製した。
印刷開口部の中央領域のスクリーンメッシュの厚みＴ１  ：３０μm
印刷開口部の周辺領域のスクリーンメッシュの厚みＴ２  ：３０μm
非開口部のスクリーンメッシュの厚みＴ３              ：３０μm
スクリーンメッシュの下面側から突出した乳剤の厚みＴ４：２μm
非開口部の総厚み                                Ｔ５：３２μm
その他の条件は、上記実施例１のスクリーン印刷版と同じとした。
【００３７】
(２)形成された電極膜の膜厚
印刷開口部の中央領域に対応する電極膜の中央部の膜厚：１．５μm
印刷開口部の周辺領域に対応する電極膜の周辺部の膜厚：２．３μm
【００３８】
＜比較例２＞
(１)比較例２のスクリーン印刷版の条件
この比較例２では、以下のように、スクリーンメッシュの各部の厚みを２５μm一定として、スクリーン印刷版を作製した。
印刷開口部の中央領域のスクリーンメッシュの厚みＴ１  ：２５μm
印刷開口部の周辺領域のスクリーンメッシュの厚みＴ２  ：２５μm
非開口部のスクリーンメッシュの厚みＴ３              ：２５μm
スクリーンメッシュの下面側から突出した乳剤の厚みＴ４：２μm
非開口部の総厚み                                Ｔ５：２７μm
その他の条件は、上記実施例１のスクリーン印刷版と同じとした。
【００３９】
(２)形成された電極膜の膜厚
印刷開口部の中央領域に対応する電極膜の中央部の膜厚：１．２μm
印刷開口部の周辺領域に対応する電極膜の周辺部の膜厚：１．８μm
【００４０】
上記結果から、本願発明の実施例にかかるスクリーン印刷版を用いた場合、比較例１および２のスクリーン印刷版を用いた場合よりも、電極膜の中央部と周辺部の膜厚の差を小さくすることができることが確認された。
【００４１】
［コンデンサの製造方法］
(１)焼成後の厚みが３．０μmとなるようなセラミックグリーンシートを形成し、その上に上記実施例１のスクリーン印刷版を用いて、内部電極形成用の電極パターンをスクリーン印刷することにより、セラミックグリーンシート上に電極パターン（内部電極膜）を形成した。
【００４２】
(２)それから、内部電極膜の形成されたセラミックグリーンシートを３００枚積層、圧着して積層体を作製した。
【００４３】
(３)そして、３００℃の温度条件で脱バインダーを行った後に、１１００〜１３００℃の温度条件で２時間焼成した。
【００４４】
(４)次いで、焼成後の積層体の両端面に外部電極形成用のＡｇペーストを塗布し、６００℃の温度で焼き付けることにより、内部電極と電気的に接続された外部電極を形成し、図７に示すような構造、すなわち、内部にセラミック層５３を介して複数の電極膜（内部電極）５２ａ，５２ｂが積層された積層セラミックコンデンサ素子５１の両端面５４ａ，５４ｂに、内部電極５２ａ，５２ｂと導通するように外部電極５５ａ，５５ｂが配設された構造を有する積層セラミックコンデンサを得た。
【００４５】
上記実施例１で作製したスクリーン印刷版を用いて、上述の手順で積層セラミックコンデンサを製造することにより、内部電極の変形やクラックのない、信頼性が高く、所望の特性を備えた積層セラミックコンデンサを作製することができた。
【００４６】
上述のように、本願発明（実施例１）のスクリーン印刷版は、非開口部のスクリーンメッシュの厚みを、印刷開口部の少なくとも一部の領域のスクリーンメッシュの厚みより薄くするようにしているので、乳剤の厚みを含めた非開口部の厚みを低減することが可能になり、乳剤により非開口部とされた領域の側面に囲まれた領域である印刷開口部へのペーストの充填量が多くなり過ぎることを抑制するとともに、ペーストと印刷開口部の側面との接触面積を減らすことが可能になる。その結果、版離れ時の伸長力を低減して、印刷パターンの周辺領域が盛り上がるサドル現象の発生を抑制することができる。
【００４７】
また、サドル現象の生じていない平坦性に優れた電極膜（例えば内部電極パターン）を備えたセラミックグリーンシートを用いて積層体を形成するようにしているので、積層体の圧着時に電極膜が変形したり、焼成時にクラックが発生したりすることを防止することが可能になり、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することができる。
【００４８】
なお、上記実施例１では、非開口部を構成する乳剤が、非開口部を構成するスクリーンメッシュの下面側に突出し、上面側には突出しない構造を有しているが、非開口部を構成する乳剤がスクリーンメッシュの上面側に突出するような構成とすることも可能である。
【実施例２】
【００４９】
図５(ａ)，(ｂ)は本願発明の他の実施例（実施例２）にかかるスクリーン印刷版の構成を示す図である。
上記実施例１では、印刷開口部の周辺領域のスクリーンメッシュの厚みを、印刷開口部の中央領域のスクリーンメッシュの厚みよりも薄くして、非開口部のスクリーンメッシュの厚みと同じになるようにしているが、図５(ａ)，(ｂ)に示すように、この実施例２では、印刷開口部４の周辺領域４ａと中央領域４ｂとで、スクリーンメッシュ２の厚みを同じにする一方、非開口部３のスクリーンメッシュ２の厚みを印刷開口部４のスクリーンメッシュの厚みよりも薄くするようにしている。
【００５０】
なお、図５(ａ)，(ｂ)に示すスクリーン印刷版の他の構成は、図１(ａ)，(ｂ)に示した上記実施例１のスクリーン印刷版と同様である。また、図５(ａ)，(ｂ)において、図１(ａ)，(ｂ)と同一符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。
【００５１】
この実施例２のスクリーン印刷版の場合にも、乳剤により非開口部とされた領域の側面に囲まれた領域である印刷開口部へのペーストの充填量が多くなり過ぎることを抑制するとともに、ペーストと印刷開口部の側面との接触面積を減らすことが可能になる。その結果、版離れ時の伸長力を低減して、印刷パターンの周辺領域が盛り上がるサドル現象の発生を抑制することができる。
【００５２】
また、サドル現象の生じていない平坦性に優れた電極膜（例えば内部電極パターン）を備えたセラミックグリーンシートを用いて積層体を形成することにより、積層体の圧着時に電極膜が変形したり、焼成時にクラックが発生したりすることを防止することが可能になり、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することができる。
【実施例３】
【００５３】
図６(ａ)，(ｂ)は本願発明の他の実施例（実施例３）にかかるスクリーン印刷版の構成を示す図である。
上記実施例１では、非開口部３を構成する乳剤５が、非開口部３を構成するスクリーンメッシュ２の下面側に突出した構成を有しているが、図６(ａ)，(ｂ)に示すように、この実施例３では、非開口部３を構成する乳剤５が、非開口部３を構成するスクリーンメッシュ２の上下両面側に突出しておらず、非開口部３を構成する乳剤５の厚み（すなわち非開口部の総厚みＴ５）とスクリーンメッシュ２の厚みＴ３が実質的に同一となるようにしている。
【００５４】
なお、図６(ａ)，(ｂ)に示すスクリーン印刷版の他の構成は図１(ａ)，(ｂ)に示した上記実施例１のスクリーン印刷版と同様である。また、図６(ａ)，(ｂ)において、図１(ａ)，(ｂ)と同一符号を付した部分は、同一または相当する部分を示している。
【００５５】
スクリーンメッシュ２とともに非開口部３を構成する乳剤５が、非開口部３を構成するスクリーンメッシュ２の上下両面側に突出しないようにして、非開口部３を構成する乳剤５の厚み（すなわち非開口部３の総厚みＴ５）とスクリーンメッシュ２の厚みＴ３を実質的に同一にした場合、印刷開口部４の側面の高さをさらに小さくして、印刷開口部へのペーストの充填量が多くなり過ぎることを抑制するとともに、ペーストと印刷開口部の側面との接触面積をさらに確実に減らすことが可能になる。その結果、版離れ時の伸長力を低減して、印刷パターンの周辺領域が盛り上がるサドル現象の発生をより確実に抑制することができる。
【００５６】
また、サドル現象の生じていない平坦性に優れた電極膜（例えば内部電極パターン）を備えたセラミックグリーンシートを用いて積層体を形成することにより、積層体の圧着時に電極膜が変形したり、焼成時にクラックが発生したりすることを防止することが可能になり、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することができる。
実施例３では、印刷開口部の周辺領域４ａのスクリーンメッシュの厚みＴ２を、印刷開口部の中央領域４ｂのスクリーンメッシュの厚みよりも薄くして、非開口部のスクリーンメッシュの厚みと同じようにしているが、印刷開口部４の周辺領域４ａと中央領域４ｂとで、スクリーンメッシュ２の厚みを同じにする一方、非開口部３のスクリーンメッシュ２の厚みを印刷開口部４のスクリーンメッシュの厚みよりも薄くしてもよい。
【００５７】
なお、上記実施例では、スクリーンメッシュを構成する線材が扁平になるようにプレス加工して、スクリーンメッシュを薄くするようにした場合を例にとって説明したが、線材が交差する交差部において線材が所定の間隔をおいて対向するように構成されたスクリーンメッシュを用いる場合には、その隙間を小さくしたり、なくしたりすることにより、線材を扁平な形状に変形させなくても、スクリーンメッシュの厚みを薄くすることが可能である。
【００５８】
本願発明はさらにその他の点においても各実施例に限定されるものではなく、版枠の構成、乳剤の種類、スクリーンメッシュの構成や材質、印刷開口部の具体的な形状、スクリーンメッシュの厚みを薄くする具体的な方法などに関し、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
上述のように、本願発明のスクリーン印刷版は、スクリーンメッシュに乳剤を付与することにより、非貫通状態とした非開口部と、非貫通状態とされていない領域である印刷開口部とを備えたスクリーン印刷版において、非開口部のスクリーンメッシュの厚みを、印刷開口部の少なくとも一部の領域のスクリーンメッシュの厚みより薄くするようにしているので、乳剤の厚みを含めた非開口部の厚みを低減して、印刷開口部へのペーストの充填量が多くなりすぎることを抑制するとともに、ペーストと印刷開口部の側面との接触面積を減らすことが可能になり、版離れ時の伸長力を低減して、印刷パターンの周辺領域が盛り上がるサドル現象の発生を抑制することが可能になる。
また、本願発明のスクリーン印刷版を用いて、電極ペーストを印刷した平坦性に優れた電極膜を備えたセラミックグリーンシートを積層する工程を経て積層セラミック電子部品を製造することにより、積層体の圧着時に電極膜が変形したり、焼成時にクラックが発生したりすることを防止して、信頼性の高い積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。
したがって、本願発明は、電極ペーストなどのペーストを印刷して平坦性に優れた印刷パターンを形成することが必要な技術分野や、電極ペーストを印刷したセラミックグリーンシートを積層する工程を経て製造される積層セラミック電子部品の分野などに広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】(ａ)は本願発明の一実施例（実施例１）にかかるスクリーン印刷版を示す図であり、(ｂ)はその要部を拡大して示す図である。
【図２】(ａ)，(ｂ)はスクリーンメッシュの厚みを説明するための図である。
【図３】スクリーンメッシュの厚みをさらに薄くした場合のスクリーンメッシュの構造を示す図である。
【図４】印刷開口部の周辺領域のスクリーンメッシュの厚みを、中央領域のスクリーンメッシュの厚みより薄くする方法を説明する図であって、(ａ)は平面図、(ｂ)は金型でスクリーンメッシュを押圧している状態を示す正面断面図である。
【図５】(ａ)は本願発明の他の実施例（実施例２）にかかるスクリーン印刷版を示す図であり、(ｂ)はその要部を拡大して示す図である。
【図６】(ａ)は本願発明のさらに他の実施例（実施例３）にかかるスクリーン印刷版を示す図であり、(ｂ)はその要部を拡大して示す図である。
【図７】本願発明のスクリーン印刷版を用いて製造される積層セラミック電子部品の一例である積層セラミックコンデンサの構造を示す図である。
【図８】(ａ)は従来のスクリーン印刷版を示す図であり、(ｂ)はその要部を拡大して示す図である。
【図９】(ａ)は版離れ時にサドル現象が発生する状況を説明する図、(ｂ)は断面形状がサドル状になった印刷パターンを拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００６１】
１        版枠
２        スクリーンメッシュ
３        非開口部
４        印刷開口部
４ａ      印刷開口部となる領域内の周辺領域
４ｂ      印刷開口部の中央領域
５        乳剤
１０      スクリーン印刷版
１１      金型
１１ａ    印刷開口部の周辺領域に対応する部分
１２      線材
１２ａ    線材の交差部の山の部分
Ｔ１      印刷開口部の中央領域のスクリーンメッシュの厚み
Ｔ２      周辺領域のスクリーンメッシュの厚み
Ｔ３      非開口部のスクリーンメッシュの厚み
Ｔ４      スクリーンメッシュの下面側から突出した乳剤の厚み
Ｔ５      非開口部の総厚み
５１      積層セラミックコンデンサ素子
５２ａ，５２ｂ    内部電極
５３              セラミック層
５４ａ，５４ｂ    端面
５５ａ，５５ｂ    外部電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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