(57)【要約】【課題】  記録媒体に記録された磁化が互いに反転する記録パターン間の磁化反転幅（磁化遷移幅）を狭くでき、磁化反転ノイズを低下させることが可能な垂直記録磁気ヘッド、およびその製造方法を提供する。【解決手段】  記録媒体Ｍとの対向面Ｆで記録媒体Ｍと対向する前端面３０ａを有する磁性材料製の主磁極３０を有し、主磁極３０に記録磁界を与えるコイル層３６を有している。主磁極３０のトレーリング側端面には、記録媒体Ｍの上面Ｍａ１から延びる仮想垂直線Ｌ１−Ｌ１に対して傾斜角度θ１だけトレーリング側に傾斜した傾斜面３０ｄが形成され、前記傾斜面３０ｄは前端面３０ａから記録媒体に対して離れる方向へ延びて形成されている。【選択図】    図３
2006139831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体との対向面で記録媒体と対向する前端面を有する磁性材料製の主磁極を有し、前記主磁極に記録磁界を与えるコイル層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極のトレーリング側端面には、前記記録媒体の上面から延びる仮想垂直線に対して傾斜角度θ１だけトレーリング側に傾斜した傾斜面が形成され、前記傾斜面は前記前端面から前記記録媒体に対して離れる方向へ延びて形成されていることを特徴とする垂直記録磁気ヘッド。
【請求項２】
前記傾斜角度θ１は、１°以上６°以下である請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項３】
前記傾斜角度θ１は、２°以上５°以下である請求項２記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項４】
前記傾斜角度θ１は、３°以上４°以下である請求項３記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項５】
前記主磁極のトレーリング側には、非磁性材料層を介して補助磁極が形成されている請求項１ないし４のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項６】
以下の工程を有することを特徴とする垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
（ａ）記録媒体との対向面と同一面上に形成された前端面から前記記録媒体に対して離れる方向側に形成された後端面にかけて膜厚寸法が徐々に小さくなるように絶縁層を形成し、このとき前記絶縁層の上面を傾斜面として形成する工程と、
（ｂ）前記絶縁層の上に、前記対向面で記録媒体と対向する前端面を有する主磁極を磁性材料で形成し、このとき前記絶縁層の上に形成された前記主磁極のトレーリング側端面に、前記記録媒体の上面から延びる仮想垂直線に対して傾斜角度θ１だけトレーリング側に傾斜した傾斜面を、前記前端面から前記記録媒体に対して離れる方向へ延びるように形成する工程と、
（ｃ）前記主磁極に記録磁界を与えるコイル層を形成する工程。
【請求項７】
前記（ｂ）工程で、前記傾斜角度θ１を１°以上６°以下で形成する請求項６記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記（ｂ）工程で、前記傾斜角度θ１を２°以上５°以下で形成する請求項７記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記（ｂ）工程で、前記傾斜角度θ１を３°以上５°以下で形成する請求項８記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記（ｂ）工程で、前記主磁極をスパッタ法で形成する請求項６ないし９のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記（ｂ）工程で、前記主磁極をめっき形成した後、前記主磁極の上面を斜め方向からエッチングして、前記傾斜面を形成する請求項６ないし９のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記（ｃ）工程の前に、前記主磁極のトレーリング側に非磁性材料層を形成し、前記（ｃ）工程の後に、前記非磁性材料層のトレーリング側に補助磁極を形成する請求項６ないし１１のいずれかに記載の垂直記録磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスクなどの記録媒体の媒体面に対して垂直方向に磁界を与えて記録を行う垂直磁気記録ヘッドに係り、特に記録媒体に記録された磁化が互いに反転する記録パターン間の磁化反転幅（磁化遷移幅）を狭くでき、磁化反転ノイズを低下させることが可能な垂直記録磁気ヘッド、およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下示す特許文献１（ＵＳ  ６，５０１，６１９  Ｂ１）のＦｉｇ１２および１６には、主磁極として機能するリード／ライトポール、あるいはコアレイヤと、リターンヨーク層として機能するリターンポールを有し、このコアレイヤとリターンポールとの間に、ギャップ層が形成された垂直記録磁気ヘッドが開示されている。
【０００３】
前記特許文献１のＦｉｇ１２および１６に開示された垂直記録磁気ヘッドでは、前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤから前記記録媒体であるデータストレージレイヤに向けて記録磁界が発生し、この記録磁界はデータストレージレイヤを通過した後、リターンポールに戻ってくる。前記データストレージレイヤは、前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤから垂直記録磁界が与えられることにより、垂直方向に磁化され、これによって、前記データストレージレイヤに記録信号が記録される。
【０００４】
前記特許文献１のＦｉｇ１２および１６に開示された垂直記録磁気ヘッドでは、リード／ライトポール、あるいはコアレイヤーのギャップ層側の面が、データストレージの上面（前記コアレイヤおよび前記リターンポールと対向する面）と垂直方向に対して、所定角度だけ前記リターンポール側に傾いた構造として構成されている。
【特許文献１】ＵＳ  ６，５０１，６１９  Ｂ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献１に開示された垂直記録磁気ヘッドでは、主磁極として機能するリード／ライトポール、あるいはコアレイヤから記録磁界が等方的に広がり、このときトレーリング側やリーディング側に向けて広がる記録磁界ほど磁界強度は弱くなる。垂直記録磁気ヘッドによる記録時には、記録媒体が垂直磁気記録ヘッドのリーディング側からトレーリング側に向けて移動するので、トレーリング側に広がった記録磁界は、記録媒体上に記録された前の記録パターン（リーディング側記録磁界によって記録された記録パターン）上に上書きされてゆく。このため、トレーリング側に広がって発生する磁界強度の弱い記録磁界が、磁化が互いに反転する記録パターン間の磁化反転幅（磁化遷移幅）を広くする現象を引き起こす。よって、前記記録パターン上に再生素子を走行させたときに、得られる再生出力には前記磁化反転幅が広いことに起因する磁化反転ノイズが増大するといった問題がある。従って、垂直記録磁気ヘッドでは、前記磁化反転幅を狭くして、磁化反転ノイズの減少を図ることが必要とされる。
【０００６】
前記磁化反転は、主磁極として機能する前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤからの記録磁界強度が等しい界面である等磁界面を境にして生じる。
【０００７】
この等磁界面の記録媒体摺動方向における幅（等磁界面幅）は、前記磁化反転幅と相関がある。
【０００８】
また、前記等磁界面幅は、記録磁界の磁界傾度αと相関があり、この記録磁界傾度αの絶対値を大きくすれば、磁化反転幅を小さくすることができるため、磁化反転ノイズの現象を図ることが可能となるのである。
【０００９】
ここで、記録磁界傾度αと磁化反転幅との関係について以下に説明する。図２は、従来の一般的な垂直記録磁気ヘッドの主磁極と記録媒体、および主磁極の位置とこの主磁極から発生する記録磁界強度との関係を示した図である。
【００１０】
図２において符号１３０で示すのは、垂直記録磁気ヘッドの主磁極である。図２に示す磁界強度曲線２１１、２１２は、記録媒体Ｍの記録層であるハード膜Ｍａの上面Ｍａ１と下面Ｍａ２において、主磁極１３０を基準とした位置と、前記主磁極１３０から発生する記録磁界の磁界強度（記録磁界強度）との関係を示したものである。図２に示す符号２１１の曲線が前記上面Ｍａ１における記録磁界強度を表しており、符合２１２の曲線が前記下面Ｍａ２における記録磁界強度を表している。
【００１１】
図２に示すように、前記主磁極１３０側（図示Ｚ２方向側）に近づくにしたがって、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における記録磁界強度は徐々に大きくなり、前記主磁極１３０の前記前端面１３０ａにおけるトレーリング側端面１３０ｃと対向する領域では、前記記録磁界強度は急激に大きくなる。
【００１２】
同様に、前記ハード膜Ｍａの前記下面Ｍａ２における記録磁界強度も前記主磁極１３０側に近づくにしたがって徐々に大きくなり、前記主磁極１３０の前記前端面１３０ａにおけるトレーリング側端面１３０ｃと対向する領域では、前記記録磁界強度は急激に大きくなる。
【００１３】
そして、前記主磁極１３０の前記前端面１３０ａとの対向する領域では、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における前記記録磁界強度、および前記下面Ｍａ２における前記記録磁界強度は最大値を保持した状態となる。
【００１４】
さらに、前記主磁極１３０から図示Ｚ２方向へ離れるにしたがって、前記記録磁界強度は徐々に小さくなる。
【００１５】
図２に示す磁界強度曲線に重ねて示された直線２５０は、前記記録媒体Ｍを構成する前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃの大きさを表している。図２に示すように、前記垂直記録磁気ヘッドＨでは、記録層である前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃよりも、前記記録磁界強度が大きくなったときに、前記ハード膜Ｍａに磁化反転が起こり、前記ハード膜Ｍａが垂直方向へ磁化されて、磁気データが記録されることとなる。
【００１６】
磁化反転幅は、図２に示す前記記録磁界強度曲線のうち、前記上面Ｍａ１での前記記録磁界強度曲線２１１と、前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃを示す直線１５０との交点（ハ）から、前記下面Ｍａ２での記録磁界強度曲線２１２と前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃを示す前記直線１５０との交点（ニ）までの、記録媒体摺動方向である図示Ｚ１−Ｚ２方向における間隔Ｗ３である。この間隔Ｗ３を有する前記ハード膜Ｍａの領域で磁化反転が起こり、このＷ３が磁化反転幅Ｗ３である。この間隔Ｗ３を有する前記ハード膜Ｍａの領域（すなわち磁化反転が起こる領域）を領域Ｂとする。
【００１７】
前記磁化反転が生じる領域Ｂに対向する位置の前記ハード膜Ｍａ内に、等磁界面２００が存在している。したがって、等磁界面２００の上面２００ａから下面２００ｂ間の記録媒体摺動方向（図示Ｚ１−Ｚ２方向）における間隔（等磁界面幅）Ｗ４が、磁化反転幅Ｗ３と一致している。
【００１８】
図２においては、前記磁化反転幅Ｗ１内での前記上面Ｍａ１の記録磁界が、前記ハード膜Ｍａの上面Ｍａ１に対して垂直に伸びる仮想垂直線Ｌ３−Ｌ３からの傾斜角度θ３を有するとき、この傾斜角度θ３を小さくすれば、磁化反転幅を小さくすることができ、その結果、磁化反転ノイズの現象を図ることが可能となるのである。また、この傾斜角度θ３を小さくするには、記録媒体摺動方向（図２に示すＺ１−Ｚ２方向）の単位距離当りに変化する前記上面Ｍａ１に対して垂直方向（図２に示すＹ１−Ｙ２方向）の記録磁界強度として定義される、記録磁界の磁界傾度（記録磁界勾配）αの絶対値を大きくすることにより改善することができる。
【００１９】
前記特許文献１に開示された垂直記録磁気ヘッドでは、主磁極として機能する前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤからの記録磁界を、記録媒体の記録面に対して垂直方向から所定角度だけトレーリング側に傾斜させると、前記傾斜角度θ３を小さくすることができるため、記録磁界の磁界傾度αの絶対値を大きくすることが可能であると考えられる。
【００２０】
しかし、前記特許文献１のＦｉｇ１２および１６には、垂直記録磁気ヘッドのトレーリング側がどの方向であるかに関しての明確な記載は全くなされておらず、前記Ｆｉｇ１２および１６に開示された垂直記録磁気ヘッドは、確実に磁化反転幅を小さくすることができるものではない。
【００２１】
また、前記特許文献１には、Ｆｉｇ１２および１６に開示された垂直記録磁気ヘッドに形成された前記コアレイヤの前記ギャップ層側の面が傾斜していることに関し、成膜を行い易くするためである旨が記載されている。
【００２２】
これは、前記特許文献１のＦｉｇ１２あるいは１６では、リターンポールの前記ギャップ側の面が、前記データストレージレイヤの垂直な方向に対して、所定角度だけ傾いて傾斜面として形成される。この状態で、前記リターンポールの傾斜面に前記ギャップ層と前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤとをその状態のまま成膜すれば、前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤの成膜を容易に行うことができるが、前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤは前記リターンポールの前記傾斜面上に積層されて形成されるため、前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤのギャップ層側の面は、前記リターンポールの傾斜面と同じ角度で形成されることとなるからであると考えることができる。すなわち言い換えれば、前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤを、前記リターンポールを形成した後に、このリターンポールの上に積層するプロセスで製造すれば、前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤは、当然に前記リターンポールの形状に倣った形状で形成されるため、前記傾斜角度を有した状態で形成されるのである。
【００２３】
したがって、前記特許文献１には、前記リード／ライトポール、あるいはコアレイヤの前記傾斜角度と磁化反転幅の減少、あるいは磁化反転ノイズの低下との関係に関しては何らの記載もなされておらず、これらの関係は依然として不明である。
【００２４】
本発明は前記従来の課題を解決するものであり、記録媒体に記録された磁化が互いに反転する記録パターン間の磁化反転幅（磁化遷移幅）を狭くでき、磁化反転ノイズを低下させることが可能な垂直記録磁気ヘッド、およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明は、記録媒体との対向面で記録媒体と対向する前端面を有する磁性材料製の主磁極を有し、前記主磁極に記録磁界を与えるコイル層を有する垂直記録磁気ヘッドにおいて、
前記主磁極のトレーリング側端面には、前記記録媒体の上面から延びる仮想垂直線に対して傾斜角度θ１だけトレーリング側に傾斜した傾斜面が形成され、前記傾斜面は前記前端面から前記記録媒体に対して離れる方向へ延びて形成されていることを特徴とするものである。
【００２６】
本発明に関する垂直記録磁気ヘッドでは、主磁極のトレーリング側端面に、前記記録媒体の上面から延びる仮想垂直線に対して傾斜角度θ１だけトレーリング側に傾斜した傾斜面が、前端面からハイト方向へ延びて形成される。前記主磁極に前記傾斜面が形成されていると、磁界傾度α１の絶対値を大きくすることができ、これによって、磁化反転幅を小さくすることができるため、磁化反転ノイズを低くすることが可能となる。
【００２７】
この場合、前記傾斜角度θ１は、１°以上６°以下であるものとして構成することが好ましい。
【００２８】
また、前記傾斜角度θ１は、２°以上５°以下であるものとして構成することがさらに好ましい。
【００２９】
さらに好ましくは、前記傾斜角度θ１は、３°以上４°以下である。
前記のように前記傾斜角度を形成すると、磁化反転幅を適切に小さくすることができ、効果的に磁化反転ノイズを低くすることができる。
【００３０】
また、前記主磁極のトレーリング側には、非磁性材料層を介して補助磁極が形成されているものとして構成することができる。
【００３１】
また本発明の垂直記録磁気ヘッドの製造方法は、以下の工程を有することを特徴とするものである。
（ａ）記録媒体との対向面と同一面上に形成された前端面から前記記録媒体に対して離れる方向側に形成された後端面にかけて膜厚寸法が徐々に小さくなるように絶縁層を形成し、このとき前記絶縁層の上面を傾斜面として形成する工程と、
（ｂ）前記絶縁層の上に、前記対向面で記録媒体と対向する前端面を有する主磁極を磁性材料で形成し、このとき前記絶縁層の上に形成された前記主磁極のトレーリング側端面に、前記記録媒体の上面から延びる仮想垂直線に対して傾斜角度θ１だけトレーリング側に傾斜した傾斜面を、前記前端面からハイト方向へ延びるように形成する工程と、
（ｃ）前記主磁極に記録磁界を与えるコイル層を形成する工程。
【００３２】
この場合、前記（ｂ）工程で、前記傾斜角度θ１を１°以上６°以下で形成するものとして構成することが好ましい。
【００３３】
また、前記（ｂ）工程で、前記傾斜角度θ１を２°以上５°以下で形成するものとして構成することが更に好ましい。
【００３４】
さらに好ましくは、前記（ｂ）工程で、前記傾斜角度θ１を３°以上５°以下で形成する構成である。
【００３５】
また、前記（ｂ）工程で、前記主磁極をスパッタで形成するものとして構成することができる。
【００３６】
または、前記（ｂ）工程で、前記主磁極をめっき形成した後、前記主磁極の上面を斜め方向からエッチングして、前記傾斜面を形成するものとして構成することもできる。
【００３７】
また、前記（ｃ）工程の前に、前記主磁極のトレーリング側に非磁性材料層を形成し、前記（ｃ）工程の後に、前記非磁性材料層のトレーリング側に補助磁極を形成するものとして構成することができる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明に関する垂直記録磁気ヘッドでは、主磁極のトレーリング側端面に、記録媒体の上面から延びる仮想垂直線に対して傾斜角度θ１だけトレーリング側に傾斜した傾斜面が、前端面から記録媒体から離れる方向へ延びて形成される。前記主磁極に前記傾斜面が形成されていると、記録磁界の磁界傾度α１の絶対値を大きくすることができ、これによって、磁化反転幅を小さくすることができるため、磁化反転ノイズを低くすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
図１は本発明の垂直記録磁気ヘッドＨを示す部分縦断面図である。図１に示す垂直記録磁気ヘッドＨは記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを垂直方向に磁化させるものである。したがって、前記ハード膜Ｍａが前記記録媒体Ｍの記録層として機能する。
【００４０】
前記記録媒体Ｍは例えばディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Ｍａが、内方に磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転軸中心となって回転させられる。
【００４１】
図１に示すように、前記主磁極３０は記録媒体との対向面Ｆから、前記記録媒体から離れる方向（図示Ｙ２方向）に所定長さで形成されている。また前記主磁極３０の記録媒体との対向面Ｆには前端面３０ａが現れており、前記前端面３０ａのトラック幅方向（図示Ｘ１−Ｘ２方向）への幅寸法がトラック幅Ｔｗで形成されている。
【００４２】
図１に示すように、前記記録媒体Ｍは矢印Ｄ方向に移動するので、前記主磁極３０の図１に示すＺ２方向側は、図１に示すＺ１方向側よりも先行して記録媒体上を走行するため「リーディング側」となる。一方、図１に示すＺ１方向側は、図１に示すＺ２方向側よりも遅れて記録媒体上を走行することとなるので「トレーリング側」となる。
【００４３】
図１に示すように、前記主磁極３０の上面（トレーリング側端面）３０ｃには、前記記録媒体Ｍを構成する前記ハード膜Ｍａの上面Ｍａ１（すなわち前記記録媒体の上面）に対して垂直方向に延びる平坦面３０ｅと、前記ハード膜Ｍａの上面Ｍａ１から垂直方向に延びる仮想垂直線Ｌ１−Ｌ１に対して前記トレーリング側に傾斜角度θ１だけ傾斜した状態で形成された傾斜面３０ｄが形成されている。前記傾斜面３０ｄは、前記前端面３０ａから前記記録媒体に対して離れる方向へ所定距離延びて形成されている。
【００４４】
前記傾斜角度θ１は１°以上６°以下の範囲内で形成されることが好ましい。前記傾斜角度θ１が１°以上６°以下の範囲内であると、後記するように、記録磁界曲線の傾斜角度θ２を小さくできるため磁界傾度α１の絶対値を大きくでき、磁化反転幅を小さくすることができるため、これによって磁化反転ノイズを低く抑えることが可能となる。
【００４５】
また前記傾斜角度θ１は２°以上５°以下であることが更に好ましく、３°以上４°以下であることが更に好ましい。前記傾斜角度θ１が２°以上５°以下であると、適切に前記磁化反転幅を小さくでき、また３°以上４°以下であると、さらに磁化反転幅を小さくすることができる。
【００４６】
前記主磁極３０の前記前端面３０ａの幅寸法、すなわちトラック幅Ｔｗとしては０．０５μｍ〜１．０μｍであり、好ましくは０．０５μｍ〜０．２μｍである。
【００４７】
なお、前記主磁極３０の前記トレーリング側端面３０ｃに接した状態で、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２などの無機材料からなる非磁性材料層５１（ギャップ層）が形成されている。
【００４８】
図１に示す垂直記録磁気ヘッドＨでは、後記するコイル層３６に記録電流が与えられると、コイル層３６を流れる電流の電流磁界によって主磁極３０に記録磁界が誘導される。図１に示すように、前記対向面Ｆでは、主磁極３０の前端面３０ａからの漏れ記録磁界が、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを貫通しソフト膜Ｍｂを通過する。このとき、主磁極３０の前端面３０ａに洩れ記録磁界の磁束φが集中し、この集中している磁束φにより前記ハード膜Ｍａが垂直方向へ磁化されて、磁気データが記録される。
【００４９】
前記垂直記録磁気ヘッドＨでは、前記主磁極３０に誘導された記録磁界は前記前端面３０ａから等方的に広がり、このとき、主磁極３０からの記録磁界強度が等しい界面である等磁界面１００を境にして磁化反転が生じる。
【００５０】
図１に示す記録磁界強度曲線１１１、１１２は、前記記録媒体Ｍの記録層である前記ハード膜Ｍａの上面Ｍａ１と下面Ｍａ２において、前記主磁極３０を基準とした位置と、前記主磁極３０から発生する記録磁界の磁界強度（記録磁界強度）との関係を示したものである。図１に示す符号１１１の記録磁界強度曲線が前記上面Ｍａ１における記録磁界強度を表しており、符合１１２の記録磁界強度曲線が前記下面Ｍａ２における記録磁界強度を表している。
【００５１】
図１に示す記録磁界強度曲線１１１、１１２においては、記録磁界強度曲線１１１，１１２の右側に記載した矢印に示すように、図示下方（図１に示すＹ１方向）に行くにしたがって記録磁界強度が大きくなり、図示上方（図１に示すＹ２方向）に行くにしたがって記録磁界強度が小さくなることを示している。
【００５２】
図１に示すように、前記主磁極３０から図示Ｚ１方向に所定距離だけ離れた領域では、前記主磁極３０からの記録磁界が及んでおらず、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における記録磁界強度、および前記下面Ｍａ２における記録磁界強度はともにゼロとなっている。
【００５３】
そして、前記主磁極３０側（図示Ｚ２方向側）に近づくにしたがって、符号１１１で示すように、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における記録磁界強度は徐々に大きくなり、前記主磁極３０の前記前端面３０ａにおけるトレーリング側端面３０ｃと対向する領域にかけては、前記記録磁界強度は急激に大きくなる。
【００５４】
同様に、符号１１２で示すように、前記ハード膜Ｍａの前記下面Ｍａ２における記録磁界強度も前記主磁極３０側に近づくにしたがって徐々に大きくなり、前記主磁極３０の前記前端面３０ａにおけるトレーリング側端面３０ｃと対向する領域にかけては、前記記録磁界強度は急激に大きくなる。
【００５５】
このように、前記主磁極３０に近づくにしたがって、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における前記記録磁界強度と前記下面Ｍａ２における前記記録磁界強度がともに急激に大きくなるが、図１に示すように、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における前記記録磁界強度の方が、前記下面Ｍａ２における前記記録磁界強度よりも大きくなっている。
【００５６】
そして、前記主磁極３０の前記前端面３０ａとの対向する領域では、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における前記記録磁界強度、および前記下面Ｍａ２における前記記録磁界強度は最大値を保持した状態となる。
【００５７】
そして、前記領域Ｃから図示Ｚ２方向へ離れるにしたがって、すなわち前記主磁極３０から離れるにしたがって前記記録磁界強度は徐々に小さくなり、前記主磁極３０から所定距離離れた位置では、記録磁界強度はゼロとなる。
【００５８】
図１に示す記録磁界強度曲線１１１、１１２に重ねて示された直線１５０は、前記記録媒体Ｍを構成する前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃの大きさを表している。図１に示すように、前記垂直記録磁気ヘッドＨでは、記録層である前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃよりも、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１および前記下面Ｍａ２における前記記録磁界強度が大きくなったときに、前記ハード膜Ｍａに磁化反転が起こり、前記ハード膜Ｍａが前記上面Ｍａ１に対して垂直方向（図示Ｙ１−Ｙ２方向）へ磁化されて、前記ハード膜Ｍａに磁気データが記録されることとなる。
【００５９】
ここで、この磁化反転が生じる領域の記録媒体摺動方向（図示Ｚ１−Ｚ２方向）の幅（磁化反転幅）は、前記等磁界面の記録媒体摺動方向における幅（等磁界面幅）と相関があり、磁化反転幅が小さければ前記等磁界面幅も小さくなる。
【００６０】
また、前記等磁界面幅と、後記する記録磁界の磁界傾度α１（記録磁界勾配）も相関があり、前記等磁界面幅が小さいと、前記記録磁界傾度α１も小さくなる。
【００６１】
そして、記録磁界の磁界傾度α１と磁化反転幅も相関があり、前記記録磁界傾度α１を小さくすると、前記磁化反転幅も小さくすることができるのである。
【００６２】
そして、この磁化反転幅を小さくすると、磁化反転ノイズを低くすることが可能となるのである。
【００６３】
ここで、磁化反転幅と記録磁界の磁界傾度α１と等磁界面幅との関係について、図１を用いて説明する。
【００６４】
まず磁化反転幅は、図１に示す前記記録磁界強度曲線１１１、１１２のうち、前記上面Ｍａ１での前記記録磁界強度曲線１１１と、前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃを示す直線１５０との交点（イ）から、前記下面Ｍａ２での記録磁界強度曲線１１２と前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃを示す前記直線１５０との交点（ロ）までの、記録媒体摺動方向である図示Ｚ１−Ｚ２方向における間隔Ｗ１である。この間隔Ｗ１を有する前記ハード膜Ｍａの領域で磁化反転が起こり、このＷ１が磁化反転幅Ｗ１である。この領域をＡとする。
【００６５】
垂直記録磁気ヘッドＨでは、前記磁化反転が生じる領域Ａに対向する位置の前記ハード膜Ｍａ内に前記等磁界面１００が存在している。そして、等磁界面１００の上面１００ａから下面１００ｂ間の記録媒体摺動方向（図示Ｚ１−Ｚ２方向）における間隔（等磁界面幅）Ｗ２が、磁化反転幅Ｗ１と一致する。
【００６６】
図１に示すように、前記磁化反転幅Ｗ１内における前記上面Ｍａ１の記録磁界強度曲線１１１が、前記ハード膜Ｍａの上面Ｍａ１に対して垂直に伸びる仮想垂直線Ｌ２−Ｌ２からの傾斜角度θ２を有して傾斜している。
【００６７】
一般的に、垂直記録磁気ヘッドでは、前記した等磁界面１００を境にして磁化反転が起こる。そして、前記したとおり、前記等磁界面１００の前記等磁界面幅Ｗ２が磁化反転幅Ｗ１と一致している。
【００６８】
したがって、一般的に垂直記録磁気ヘッドでは、前記磁化反転幅Ｗ１（前記等磁界面幅Ｗ２）を小さくするためには、前記傾斜角度θ２を小さくするように改善することが必要である。すなわち、前記傾斜角度θ２を小さくすると、その結果として前記磁化反転幅Ｗ１が小さくなるため、磁化反転ノイズを低下させることができるのである。
【００６９】
また、この傾斜角度θ２を小さくするには、記録媒体摺動方向（図１に示すＺ１−Ｚ２方向）の単位距離当りに変化する、前記上面Ｍａ１に対して垂直方向（図１に示すＹ１−Ｙ２方向）の磁界強度として定義される磁界傾度α１（記録磁界勾配）の絶対値を大きくすることにより、改善することができる。
【００７０】
本発明の垂直記録磁気ヘッドＨでは、前記主磁極３０がトレーリング側に傾斜した傾斜面３０ｄを有して構成されている。このように傾斜面３０ｄを有して主磁極３０を構成すると、前記傾斜角度θ２を小さくすることができるのである。この点について、以下に詳説する。
【００７１】
図２は、前記主磁極３０に前記傾斜角度θ１を有する傾斜面３０ｄが形成されていない比較例の主磁極１３０における、前記主磁極１３０の位置と、前記主磁極１３０から発生する記録磁界強度との関係を示した図であり、図１に相当する図である。図２に示す記録磁界強度曲線２１１、２１２も、前記記録媒体Ｍの記録層である前記ハード膜Ｍａの上面Ｍａ１と下面Ｍａ２において、前記主磁極１３０を基準とした位置と、前記主磁極１３０から発生する記録磁界の磁界強度（記録磁界強度）との関係を示したものである。図２に示す符号２１１が前記上面Ｍａ１における記録磁界強度を表しており、符合２１２が前記下面Ｍａ２における記録磁界強度を表している。
【００７２】
図２に示す記録磁界強度曲線２１１、２１２においても、記録磁界強度の右側に記載した矢印に示すように、図示下方（図２に示すＹ１方向）に行くにしたがって記録磁界強度が大きくなり、図示上方（図２に示すＹ２方向）に行くにしたがって記録磁界強度が小さくなることを示している。
【００７３】
図２に示すように、前記主磁極１３０に、前記主磁極３０に形成された前記傾斜面３０ｄが形成されていない場合でも、記録磁界強度曲線２１１、２１２は、前記主磁極１３０から図示Ｚ１方向に所定距離だけ離れた領域では、前記主磁極１３０からの記録磁界が及んでおらず、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における記録磁界強度、および前記下面Ｍａ２における記録磁界強度はともにゼロとなっている。
【００７４】
そして、前記主磁極１３０側（図示Ｚ２方向側）に近づくにしたがって、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における記録磁界強度は徐々に大きくなり、前記主磁極１３０の前記前端面１３０ａにおけるトレーリング側端面１３０ｃと対向する領域では、前記記録磁界強度は急激に大きくなる。
【００７５】
同様に、前記ハード膜Ｍａの前記下面Ｍａ２における記録磁界強度も前記主磁極１３０側に近づくにしたがって徐々に大きくなり、前記主磁極１３０の前記前端面１３０ａにおけるトレーリング側端面１３０ｃと対向する領域では、前記記録磁界強度は急激に大きくなる。
【００７６】
このように、前記主磁極１３０に近づくにしたがって、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における前記記録磁界強度と前記下面Ｍａ２における前記記録磁界強度がともに急激に大きくなるが、図２に示すように、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における前記記録磁界強度の方が、前記下面Ｍａ２における前記記録磁界強度よりも大きくなっている。
【００７７】
そして、前記主磁極１３０の前記前端面１３０ａとの対向する領域では、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における前記記録磁界強度、および前記下面Ｍａ２における前記記録磁界強度は最大値を保持した状態となる。
【００７８】
そして、前記主磁極１３０から図示Ｚ２方向へ離れるにしたがって、前記記録磁界強度は徐々に小さくなり、記録磁界強度はゼロとなる。
【００７９】
図２に示す磁界強度曲線に重ねて示された直線２５０は、前記記録媒体Ｍを構成する前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃの大きさを表している。図２に示すように、前記垂直記録磁気ヘッドＨでは、記録層である前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃよりも、前記記録磁界強度が大きくなったときに、前記ハード膜Ｍａに磁化反転が起こり、前記ハード膜Ｍａが垂直方向へ磁化されて、磁気データが記録されることとなる。
【００８０】
磁化反転幅は、図２に示す前記記録磁界強度曲線のうち、前記上面Ｍａ１での前記記録磁界強度曲線２１１と、前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃを示す直線１５０との交点（ハ）から、前記下面Ｍａ２での記録磁界強度曲線２１２と前記ハード膜Ｍａの保磁力Ｈｃを示す前記直線１５０との交点（ニ）までの、記録媒体摺動方向である図示Ｚ１−Ｚ２方向における間隔Ｗ３である。この間隔Ｗ３を有する前記ハード膜Ｍａの領域で磁化反転が起こり、このＷ３が磁化反転幅Ｗ３である。この間隔Ｗ３を有する前記ハード膜Ｍａの領域（すなわち磁化反転が起こる領域）を領域Ｂとする。
【００８１】
前記磁化反転が生じる領域Ｂに対向する位置の前記ハード膜Ｍａ内に、前記等磁界面２００が存在している。したがって、等磁界面２００の上面２００ａから下面２００ｂ間の記録媒体摺動方向（図示Ｚ１−Ｚ２方向）における間隔（等磁界面幅）Ｗ４が、磁化反転幅Ｗ３と一致する。
【００８２】
図２において、前記磁化反転幅Ｗ１内での前記上面Ｍａ１の記録磁界強度曲線２１１が、前記ハード膜Ｍａの上面Ｍａ１に対して垂直に伸びる仮想垂直線Ｌ３−Ｌ３からの傾斜角度θ３を有して傾斜している。
【００８３】
図２に示す主磁極３０の形態、すなわち図１に示す前記主磁極３０のように前記傾斜角度θ１を有する傾斜面３０ｄが形成されていない形態であると、前記傾斜角度θ１を有する傾斜面３０ｄが形成された図１に示す主磁極３０の場合と比較して、前記ハード膜Ｍａの前記上面Ｍａ１における記録磁界強度曲線２１１の前記傾斜角度θ３が大きくなってしまう。すなわち、図１に示す前記傾斜角度θ２と図２に示す前記傾斜角度θ３とを比較すると、θ２＜θ３となる。
【００８４】
これは、図１に示す前記主磁極３０のように、前記傾斜角度θ１を有する傾斜面３０ｄが形成されていると、主磁極３０の前記前端面３０ａから飛び出す記録磁界も、前記傾斜角度θ１だけ傾いた方向に向かって広がるため、前記トレーリング側の記録磁界が前記リーディング側に傾き、図１に示すような記録磁界強度曲線１１１、１１２を示すが、図２に示す前記主磁極１３０のように、前記傾斜面３０ｄが形成されていないと、前記主磁極１３０の前記前端面１３０ａから飛び出す記録磁界も、前記ハード膜Ｍａの上面Ｍａ１に対して垂直方向に向かって広がるため、前記トレーリング側の記録磁界が前記トレーリング側に大きく傾いて、図２に示すような記録磁界強度曲線２１１、２１２の分布となるためである。
【００８５】
このように、図１に示す前記主磁極３０では前記傾斜面３０ｄが形成されているため、前記傾斜角度θ２を小さくすることが可能となる。ここで、前記傾斜角度θ２は、磁化反転幅Ｗ１と相関があるため、前記傾斜角度θ２が大きくなると、前記磁化反転幅Ｗ１も大きくなる。そして、前記傾斜面３０ｄが形成されている形態の主磁極３０を用いて記録媒体Ｍへの記録を行うと、前記傾斜角度θ２が、前記傾斜面３０ｄが形成されていない主磁極１３０の前記傾斜角度θ３よりも小さくすることができるため、前記傾斜面３０ｄが形成されている前記主磁極３０の磁化反転幅Ｗ１は、前記傾斜面３０ｄが形成されていない前記主磁極１３０の場合の磁化反転幅Ｗ３よりも小さくすることが可能なのである。
【００８６】
このとき、前記等磁界面１００の前記等磁界面幅Ｗ２も前記磁化反転幅Ｗ１と同じ大きさであるため、前記等磁界面幅Ｗ２も、図２に示す前記等磁界面２００の前記等磁界面幅Ｗ４よりも小さくすることが可能となる。
【００８７】
このように、前記傾斜角度θ１を有する傾斜面３０ｄが形成されている主磁極３０の場合には、前記傾斜面３０ｄが形成されていない場合と比較して、磁化反転幅Ｗ１を小さくすることができるため、磁化反転ノイズの低下を図ることができるのこととなる。
【００８８】
ここで、前記記録磁界の磁界傾度α１とは、前記したように、記録媒体摺動方向の単位面積当りに変化する、前記上面Ｍａ１に対して垂直方向の磁界強度である。また前記傾斜角度θ３は、前記したように、記録媒体摺動方向の間隔で規定される前記磁化反転幅Ｗ１内での前記上面Ｍａ１の記録磁界強度曲線２１１について、前記上面Ｍａ１に対して垂直に伸びる仮想垂直線Ｌ３−Ｌ３からの傾斜角度として定義される。そのため、共に記録媒体摺動方向と磁界強度とに関係する磁界傾度α１と傾斜角度θ３とは相関関係を有し、この傾斜角度θ３が小さくなれば、この磁界傾度α１の絶対値が大きくなる。
【００８９】
図１１は、前記主磁極３０に形成された前記傾斜面３０ｄの前記傾斜角度θ１と、前記傾斜角度θ２の逆正接値である磁界傾度α１との関係、および前記主磁極３０に形成された前記傾斜面３０ｄの前記傾斜角度θ１と、前記主磁極３０から生じる最大記録磁界強度との関係を示したグラフである。図１１に示すグラフでは、記録磁界強度が４Ｋ［Ｏｅ］のときと、最大強度（グラフの右側縦軸）のときについての測定結果を示している。
【００９０】
なお、図１１に示すグラフでは、前記磁界傾度α１を、記録媒体摺動方向（図１に示す示Ｚ１−Ｚ２方向）の単位距離（ｎｍ）に対する、前記上面Ｍａ１の垂直方向（図１に示すＹ１−Ｙ２方向）の磁界強度である磁界傾度（記録磁界勾配）α１［Ｏｅ／ｎｍ］によって表している。このα１［Ｏｅ／ｎｍ］の絶対値が大きいほど、前記傾斜角度θ２が小さいことを表している。
【００９１】
図１１に示すように、前記傾斜面３０ｄの前記傾斜角度θ１が１°以上６°以下とすると、記録磁界強度が４Ｋ［Ｏｅ］のときと、最大強度のときの双方において、前記磁界傾度α１の絶対値を１０３［Ｏｅ／ｎｍ］以上とすることができる。また、前記傾斜面３０ｄの前記傾斜角度θ１を２°以上５°以下にすると、記録磁界強度が４Ｋ［Ｏｅ］のときと、最大強度のときの双方において、前記磁界傾度α１の絶対値を１０６［Ｏｅ／ｎｍ］以上とすることができる。さらに、前記傾斜面３０ｄの前記傾斜角度θ１を３°以上４°以下にすると、記録磁界強度が４Ｋ［Ｏｅ］のときと、最大強度のときの双方において、前記磁界傾度α１の絶対値を１０８［Ｏｅ／ｎｍ］以上とすることができる。
【００９２】
また、前記傾斜面３０ｄの前記傾斜角度θ１を前記範囲内としても、主磁極３０から生じる磁界傾度α１は著しく低下しないことが解る。
【００９３】
本発明の垂直記録磁気ヘッドＨでは、前記したように主磁極３０を有し、前記主磁極３０の前記トレーリング側端面３０ｃに所定の傾斜角度θ１で傾斜された前記傾斜面３０ｄが形成されている。このような本発明の垂直記録磁気ヘッドＨの実施例を、図３を用いて説明する。
【００９４】
図３は、本発明の垂直記録磁気ヘッドＨの実施形態であるインダクティブヘッドを含む磁気ヘッドを示す部分縦断面図である。
【００９５】
図３に示す符号２１はスライダであり、Ａｌ２Ｏ３・ＴｉＣなどの非磁性材料で形成されている。前記スライダ２１の対向面２１ａは記録媒体Ｍに対向し、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ２１が記録媒体Ｍの表面から浮上し、またはスライダ２１が記録媒体Ｍに摺動する。図３においてスライダ２１に対する記録媒体Ｍの移動方向はＤ方向である。
【００９６】
スライダ２１のトレーリング側端面２１ｂには、Ａｌ２Ｏ３またはＳｉＯ２などの無機材料による非磁性絶縁層２２が形成されて、この非磁性絶縁層２２の上に読取り部ＨＲが形成されている。
【００９７】
読取り部ＨＲは下部シールド層２３と上部シールド層２６と、下部シールド層２３と上部シールド層２６との間の無機絶縁層（ギャップ絶縁層）２５内に位置する読取り素子２４とを有している。読取り素子２４は、ＡＭＲ、ＧＭＲ、ＴＭＲなどの磁気抵抗効果を利用した素子である。
【００９８】
読取り部ＨＲの上にＡｌ２Ｏ３またはＳｉＯ２などの無機材料による分離層２７が形成されて、分離層２７の上に、本発明の垂直記録磁気ヘッドＨの実施形態である記録用のインダクティブヘッドＨｗが設けられている。インダクティブヘッドＨｗの記録媒体との対向面Ｈｗａは、スライダ２１の対向面２１ａとほぼ同一面である。
【００９９】
なお、読取り部ＨＲを設けず、スライダ２１のトレーリング側端部に記録用のインダクティブヘッドＨｗのみを搭載してもよい。
【０１００】
前記分離層２７の上面には、前記記録媒体との対向面Ｆから前記記録媒体に対して離れる方向へ所定距離だけ延びて形成された絶縁層２９が形成されている。この絶縁層２９は、前記記録媒体との対向面Ｆと同一面上に形成された前端面２９ａから前記記録媒体に対して離れる方向側に形成された後端面２９ｂにかけて膜厚寸法が徐々に小さくなっており、したがって、前記絶縁層２９の上面２９ｃは傾斜面として形成されている。
【０１０１】
図示しない前記メッキ下地層および前記絶縁層２９の上に、前記傾斜角度θ１が形成された前記主磁極３０が形成されている。この主磁極３０は、前記対向面Ｆに現れている部分がトラック幅方向への幅寸法が前記トラック幅Ｔｗとなるように形成されている。
【０１０２】
図３に示すように、前記主磁極３０の前記傾斜面３０ｄは前記絶縁層２９の上に形成されており、前記主磁極３０の前記平坦面３０ｅは分離層２７の上に形成されている。
【０１０３】
この主磁極３０の基端から前記主磁極３０と一体となり、前記記録媒体に対して離れる方向へトラック幅方向への幅寸法が前記トラック幅Ｔｗよりも広がって延びるヨーク部３１が形成されている。この主磁極３０とヨーク部３１とで第１の磁性部６０が構成される。この第１の磁性部６０は強磁性材料でめっきされたものであり、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｏなどの飽和磁束密度の高い材料で形成されている。
【０１０４】
なお、前記分離層２７の上に、および前記絶縁層２９の上には、ＮｉＦｅなどの導電性金属膜などからなるメッキ下地層が形成され、このメッキ下地層の上に前記主磁極３０および前記ヨーク部３１が形成されていても良い。
【０１０５】
前記主磁極３０のトレーリング側端面３０ｃには、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２などの無機材料からなる非磁性材料層５１（ギャップ層）が形成されている。
【０１０６】
前記非磁性材料層５１の上には、パーマロイなどの強磁性材料によって、第２の磁性部６１として機能する補助磁極３４が形成されている。前記補助磁極３４の前端面３４ａは、記録媒体との前記対向面Ｆに露出している。また、前記対向面Ｆよりも奥側で、前記補助磁極３４の接続部３４ｂと第１の磁性部６０とが、磁気的に接続されている。これにより、前記補助磁極３４、ヨーク部３１、主磁極３０を結ぶ磁路が形成されている。
【０１０７】
前記接続部３４ｂの周囲において、コイル絶縁下地層３５が形成されている。このコイル絶縁下地層３５の上にＣｕなどの導電性材料によりコイル層３６が形成されている。このコイル層３６はフレームメッキ法などで形成されたものであり、接続部３４ｂの周囲に所定の巻き数となるようにスパイラル（螺旋）状にパターン形成されている。コイル層３６の巻き中心側の接続端３６ａ上には同じくＣｕなどの導電性材料で形成された底上げ層３７が形成されている。
【０１０８】
ただし、前記コイル層３６は、前記主磁極３０や前記ヨーク部３１の周囲に所定の巻き数となるように、膜厚方向に向かってトロイダル状に巻き回された構造としても良い。
【０１０９】
コイル層３６および底上げ層３７は、レジスト材料などの有機材料のコイル絶縁層３８で被覆されている。図示はしないが、コイル絶縁層３８が、さらにＡｌ２Ｏ３などの無機絶縁層で覆われていてもよい。このコイル絶縁層３８の上に、前記補助磁極３４が形成されている。
【０１１０】
また、底上げ層３７の上面は、コイル絶縁層３８の表面に露出しており、リード層３９に接続されている。リード層３９から底上げ層３７およびコイル層３６に記録電流の供給が可能となっている。
【０１１１】
そして、前記補助磁極３４およびリード層３９が、無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層４１に覆われている。
【０１１２】
図３に示すように、前記対向面Ｆには、前記補助磁極３４の前端面３４ａ、および主磁極３０の前端面３０ａが現れている。
【０１１３】
図３に示すインダクティブヘッドＨｗでは、前記リード層３９を介して前記コイル層３６に記録電流が与えられると、前記コイル層３６を流れる電流の電流磁界によって前記補助磁極３４と前記ヨーク部３１および前記主磁極３０に記録磁界が誘導される。図３に示すように、前記対向面Ｆでは、前記主磁極３０の前記前端面３０ａと前記補助磁極３４の前記前端面３４ａからの漏れ記録磁界が、前記記録媒体Ｍの前記ハード膜Ｍａを貫通し前記ソフト膜Ｍｂを通過する。このとき、前記主磁極３０の前記前端面３０ａに洩れ記録磁界の磁束φが集中し、この集中している磁束φにより前記ハード膜Ｍａが垂直方向へ磁化されて、磁気データが記録される。
【０１１４】
このとき、前記主磁極３０は前記傾斜面３０ｄが形成されているため、前記記録媒体を構成する前記ハード膜Ｍａに生じる前記傾斜角度θ２を小さくすることができるため、磁化反転幅Ｗ１を小さくし、磁化反転ノイズを低くすることが可能となる。
【０１１５】
以下に、本発明の本発明の垂直記録磁気ヘッドＨの実施形態であるインダクティブヘッドを含む磁気ヘッドの製造方法を説明する。
【０１１６】
なお、以下に述べる工程では、前記分離層２７から下方（図３に示すＺ２方向）の構成部材を形成する方法は省略し、前記分離層２７から前記補助磁極までの各構成部材の形成方法を中心に説明する。
【０１１７】
まず図４に示すように、前記上部シールド層２６の上に、Ａｌ２Ｏ３またはＳｉＯ２などの無機材料によって分離層２７を形成し、この分離層２７の上に、リフトオフ用のレジスト層Ｒをパターン露光によって形成する。前記レジスト層Ｒは、切欠き形成された下方部Ｒ１と、この下方部Ｒ１よりも上方に形成された上方部Ｒ２とで構成されている。前記上方部Ｒ２の前端面は前記下方部Ｒ１の前端面よりも前記対向面Ｆ側に位置しており、前記上方部Ｒ２の前記前端面は、前記対向面から所定距離だけ前記記録媒体から離れる方向側に位置するように形成される。
【０１１８】
次に図５に示すように、前記分離層２７の上に、前記記録媒体との対向面Ｆからハイト方向へ所定距離だけ延びるように、リフトオフ法によって絶縁層２９を形成する。この絶縁層２９は、前記記録媒体との対向面Ｆと同一面上に形成された前端面２９ａから記録媒体から離れる方向側に形成された後端面２９ｂにかけて膜厚寸法が徐々に小さくなるように形成し、前記絶縁層２９の上面２９ｃを傾斜面として形成する。このとき、前記レジスト層Ｒにも、前記絶縁層２９と同じ材料層７０が形成される。
【０１１９】
次に図６に示すように、前記レジスト層Ｒを除去した後、前記分離層２７および前記絶縁層２９の上に、前記主磁極３０およびヨーク部３１から構成される第１の磁性部６０を形成する。前記主磁極３０およびヨーク部３１は公知の方法によって形成でき、例えばスパッタ法によって形成することができる。前記第１の磁性部６０は、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｏなどの飽和磁束密度の高い材料で形成することができる。
【０１２０】
このとき、前記主磁極３０は、前記絶縁層２０および前記分離層２７の上方に形成される。前記主磁極３０のうち、前記分離層の上で前記絶縁層２９が形成されていない部分に形成された部分が前記平坦面３０ｅとなり、前記絶縁層２９の上に形成された部分が前記傾斜面３０ｄとなる。
【０１２１】
次に図７に示すように、前記主磁極３０のトレーリング側端面３０ｃに、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２などの無機材料からなる非磁性材料層５１（ギャップ層）を形成した後、コイル絶縁下地層３５、コイル層３６、接続端３６ａ、底上げ層３７、コイル絶縁層３８を公知の方法で形成した後、図８に示すように、第２の磁極部６１として機能する補助磁極３４、保護層４１を公知の方法で形成すると、図３に示される磁気ヘッドを得ることができる。
【０１２２】
なお、前記コイル層３６は、前記主磁極３０や前記ヨーク部３１の周囲に所定の巻き数となるように、膜厚方向に向かってトロイダル状に巻き回して製造しても良い。
【０１２３】
また、前記主磁極３０およびヨーク部３１は、前記したスパッタ法以外の方法によっても形成できる。例えば図５に示す工程の後、図９に示すように、前記分離層２７および前記絶縁層２９の上に、ＮｉＦｅなどの磁性材料によって図示しないめっき下地膜をスパッタなどの公知の方法にて形成した後、図示しないめっき下地層の上に、レジスト層をめっき下地層上にパターン露光によって形成し、このめっき下地膜を電極として使用して主磁極３０およびヨーク部３１から構成される第１の磁性部６０をメッキ形成する。
【０１２４】
次に、前記第１の磁性部６０の上面６０ａを、ＣＭＰなどの公知の方法によって図示Ｄ１−Ｄ１線まで削り込む。前記第１の磁性部６０を図示Ｄ１−Ｄ１線まで削り込んだ状態を示したのが図１０である。
【０１２５】
次に図１０に示すように、まず図示矢印Ｅ方向からイオンミリングを行った後、図示矢印Ｇ方向からイオンミリングを行い、図示Ｄ２−Ｄ２線に示すように前記第１の磁性部６０の前記上面６０ａを削り込む。このとき、前記矢印Ｅ方向からのイオンミリング工程時に、前記主磁極３０の前記傾斜面３０ｄが主に形成されるとともに、前記矢印Ｇ方向からのイオンミリング工程時に、前記主磁極３０の前記平坦面３０ｅが主に形成される。
【０１２６】
なお、図１０に示す工程では、前記第１の磁性部６０の前記上面６０ａを削り込む方法としてイオンミリングを例に挙げて説明したが、本発明では他の異方性を有するエッチング方法を用いることも可能である。
【０１２７】
前記図示矢印Ｅ方向の角度θ４は、図１０に示す状態（すなわち、前記第１の磁性部６０の前記上面６０ａを、図９に示すＤ１−Ｄ１線まで削り込んだ状態）の前記上面６０ａから延びる仮想垂直線Ｌ４−Ｌ４線に対して、例えば４５から７５°の範囲内である。
【０１２８】
その後は、図７および図８に示す工程と同様にして、前記磁気ヘッドを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】本発明の垂直記録磁気ヘッドの部分縦断面図と記録媒体、および磁界強度曲線を示す部分断面図、
【図２】主磁極に傾斜角度θ１が形成されていない比較構造の垂直記録磁気ヘッドの部分縦断面図と記録媒体、および磁界強度曲線を示す部分断面図、
【図３】図１に示す垂直記録磁気ヘッドの実施形態であるインダクティブヘッドを含む磁気ヘッドを示す部分縦断面図、
【図４】図３に示す磁気ヘッドの製造方法を示す一工程図、
【図５】図４に示す工程の次に行う一工程図、
【図６】図５に示す工程の次に行う一工程図、
【図７】図６に示す工程の次に行う一工程図、
【図８】図７に示す工程の次に行う一工程図、
【図９】図３に示す磁気ヘッドの他の製造方法を示す一工程図、
【図１０】図９に示す工程の次に行う一工程図、
【図１１】主磁極に形成された傾斜面の傾斜角度θ１と、磁界傾度との関係、および主磁極から生じる最大記録磁界強度との関係を示したグラフ
【符号の説明】
【０１３０】
２９  絶縁層
２９ａ  前端面
２９ｂ  後端面
２９ｃ  上面
３０  主磁極
３０ａ  前端面
３０ｃ  トレーリング側端面
３０ｄ  傾斜面
３０ｅ  平坦面
３１  ヨーク部
３４  補助磁極
３４ａ  前端面
３６  コイル層
１００  等磁界面
【図１】
2006139831.tif 000003
【図２】
2006139831.tif 000004
【図３】
2006139831.tif 000005
【図４】
2006139831.tif 000006
【図５】
2006139831.tif 000007
【図６】
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【図７】
2006139831.tif 000009
【図８】
2006139831.tif 000010
【図９】
2006139831.tif 000011
【図１０】
2006139831.tif 000012
【図１１】
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