(57)【要約】【課題】  マスキングテープを基板から剥離する際に生じる基板の帯電を防止することができるマスキングテープの剥離装置を提供する。【解決手段】  剥離装置は、基板に貼り付けられたマスキングテープを剥離する。剥離手段は、マスキングテープを基板から剥離する。除電手段は、マスキングテープが基板から離れる部分に向けて、イオン化されたガスを放出する。これによって、剥離帯電が生じた基板およびマスキングテープに対して除電を行うことができる。【選択図】  図３
2006278750.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に貼り付けられたテープを剥離する剥離装置であって、
前記テープを前記基板から剥離する剥離手段と、
前記テープが前記基板から離れる位置に向けて、イオン化されたガスを放出する第１除電手段とを備える、剥離装置。
【請求項２】
開口部を有する筐体をさらに備え、
前記剥離手段は、前記開口部からその一部を突出させて前記テープを基板から剥離し、
前記第１除電手段は、前記筐体内に配置され、前記開口部に向けてイオン化されたガスを放出する、請求項１に記載の剥離装置。
【請求項３】
前記筐体内に取り付けられ、剥離テープを巻き付けた状態で収納するとともに当該剥離テープを供給する供給手段をさらに備え、
前記剥離手段は、前記供給手段から供給される剥離テープを前記テープに接着して回収することによって前記テープを前記基板から回収する、請求項２に記載の剥離装置。
【請求項４】
前記筐体の外部において、イオン化されたガスを基板に対して放出する第２除電手段をさらに備える、請求項２に記載の剥離装置。
【請求項５】
前記基板はガラス基板である、請求項１に記載の剥離装置。
【請求項６】
前記基板には有機ＥＬ材料および正孔輸送材料の少なくとも一方が塗布されている、請求項１に記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープの剥離装置に関し、より特定的には、基板に塗布される塗布物をマスクするために用いられるテープの剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に塗布液を塗布する処理工程において、塗布が不要な基板領域に塗布液が付着しないようにマスキングテープを用いることがある。具体的には、塗布が不要な基板領域にマスキングテープを貼り付けた後に塗布処理を行う。そして、塗布処理の完了後にマスキングテープを剥離するのである。なお、マスキングテープを剥離する方法としては、マスキングテープを人の手によって剥離する方法の他、剥離装置によってマスキングテープの一端を狭持して剥離することが考えられる。また、マスキングテープが貼り付けられた基板に樹脂溶液を塗布し、樹脂溶液を硬化させた後、樹脂溶液とともにマスキングテープを剥離する方法も考えられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−４２９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、粘着力のあるマスキングテープを基板から剥離する際、基板とマスキングテープとにおいて剥離帯電が生じ、基板およびマスキングテープが帯電することがある。基板が帯電することによって、最悪の場合には基板上のデバイスを破壊してしまうおそれがある。また、基板が帯電することによって基板にパーティクルが吸着されてしまうおそれがある。例えば、塗布処理の際にマスキングテープに付着した塗布物が乾燥して固化すると、マスキングテープを剥離する際にマスキングテープから落下して基板に付着するおそれがある。このようなパーティクルが基板に付着すると、基板の品質低下の原因となる。
【０００４】
それ故、本発明の目的は、テープを基板から剥離する際に生じる基板の帯電を防止することができるテープの剥離装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために、以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明は、基板に貼り付けられたテープを剥離する剥離装置であって、テープを基板から剥離する剥離手段と、テープが基板から離れる位置に向けて、イオン化されたガスを放出する第１除電手段とを備えている。
【０００６】
また、第２の発明においては、剥離装置は、開口部を有する筐体をさらに備えていもてよい。このとき、剥離手段は、開口部からその一部を突出させてテープを基板から剥離する。第１除電手段は、筐体内に配置され、開口部に向けてイオン化されたガスを放出する。
【０００７】
また、第３の発明においては、剥離装置は、筐体内に取り付けられ、剥離テープを巻き付けた状態で収納するとともに当該剥離テープを供給する供給手段をさらに備えていてもよい。このとき、剥離手段は、供給手段から供給される剥離テープをテープに接着して回収することによってテープを基板から回収する。
【０００８】
また、第４の発明においては、剥離装置は、筐体の外部において、イオン化されたガスを基板に対して放出する第２除電手段をさらに備えていてもよい。また、第５の発明においては、基板はガラス基板であってもよい。また、第６の発明においては、基板には有機ＥＬ材料および正孔輸送材料の少なくとも一方が塗布されていてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
第１の発明によれば、テープと基板とにおいて剥離帯電が生じる場所にイオン化ガスが放出されるので、テープおよび基板の帯電を防止することができる。
【００１０】
また、第２の発明によれば、テープと基板とにおいて剥離帯電が生じる場所、すなわち開口部付近の雰囲気をイオン化ガスとすることができるので、テープおよび基板の帯電を効果的に防止することができる。
【００１１】
また、第３の発明によれば、倦回されている部分から剥離テープが供給される際に剥離テープが帯電しても、剥離テープを第１除電手段によって除電することができる。したがって、剥離テープを用いてテープを剥離する場合でも、テープおよび基板の帯電を防止することができる。
【００１２】
また、第４の発明によれば、剥離処理が行われる前または後において基板を除電することができるので、基板の帯電をより確実に防止することができる。
【００１３】
また、第５の発明によれば、ガラス基板のように帯電が生じやすい基板であっても除電を行うことができる。
【００１４】
また、第６の発明によれば、導電性のテープを用いることができない場合であっても、テープおよび基板を除電することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１Ａ〜図１Ｃは、本発明の一実施形態に係るマスキングテープの剥離装置を示す図である。図１Ａは剥離装置の上面図であり、図１Ｂは剥離装置の側面図であり、図１Ｃは剥離装置の正面図である。図１Ａ〜図１Ｃに示す剥離装置は、塗布液を塗布する前の基板にマスキングテープを貼り付けるとともに、塗布後の基板からマスキングテープを剥離するものである。
【００１６】
剥離装置は、テーブル１、テーブル移動機構２、第１レール３、貼付ユニット４、剥離ユニット５、ユニット移動機構６、第２レール７、支持部材８、第１除電装置９１、および第２除電装置９２を備える。剥離装置は、装置自体および基板に埃やパーティクルが付着しないようにその周囲が外壁９０によって囲まれている。マスキングテープの貼付および剥離を行う対象となる基板は、テーブル１の上面（載置面）に載置される。テーブル１の載置面はＸＹ平面と平行である。テーブル１は、その下面がテーブル移動機構２の上部に固着される。テーブル移動機構２は、Ｘ軸方向に延びる第１レール３上に設置され、第１レール３に沿って滑動可能である。これによって、テーブル移動機構２は、テーブル１をＸ軸方向に平行移動させることができる。また、テーブル移動機構２は、テーブル１の中心であるＺ軸を中心に回転可能であり、Ｚ軸を中心にテーブル１を回転させることができる。なお、ここでは、テーブル１がＸ軸負方向側の端部に位置する状態を初期状態とする。
【００１７】
一方、支持部材８は、テーブル１の移動可能領域の上方で２本の第２レール７を支持する。各第２レール７は、Ｙ軸方向に延びる向きに支持される。１個の支持部材８および２本の第２レール７からなる組は２組設けられる。ユニット移動機構６は、第２レール７に沿って滑動可能なように４本（２組）の第２レール７に接続される。これによって、ユニット移動機構６はＹ軸方向に平行移動することが可能である。貼付ユニット４および剥離ユニット５は、ユニット移動機構６に固着される。図１Ａ〜図１Ｃでは、ユニット移動機構６に対してＹ軸負方向側に貼付ユニット４が固着され、ユニット移動機構６に対してＹ軸正方向側に剥離ユニット５が固着される。貼付ユニット４および剥離ユニット５は、それらの下面がテーブル１の上面よりも高い位置（Ｚ軸に関して正方向の位置）に配置される。以上によって、ユニット移動機構６は、テーブル１の移動可能領域の上方において貼付ユニット４および剥離ユニット５をＹ軸方向に移動させることが可能である。
【００１８】
また、第１および第２除電装置９１および９２は、イオン化されたガス（空気等）を放出するイオナイザである。第１および第２除電装置９１および９２は、イオン化されたガスを生成する機能を有するものであればよい。各除電装置９１および９２は送風口を有し、送風口から所定の向きにイオン化ガスが放出される。第１除電装置９１は、Ｘ軸負方向側の支持部材８に固着される。第１除電装置９１は、Ｘ軸負方向側の支持部材８の直下位置に達するまでの所定位置に位置するテーブル１に向けてイオン化ガスを放出する向きに配置される。第２除電装置９２は外壁９０に固着される。第２除電装置９２は、Ｘ軸正方向側の端部にテーブル１が位置する時にテーブル１に向けてイオン化ガスを放出する向きに配置される。
【００１９】
図２は、貼付ユニット４の内部構成を模式的に示す図で、図１ＡにおいてＹ軸正方向視の図である。図２に示すように、貼付ユニット４は、筐体１０、供給リール１１、回収リール１２、ガイドローラ１３〜１５、可動ローラ１６、調整ローラ１７、テープ分離部材１８、エアシリンダ１９、可動部材２０、切断部２１、および、第３除電装置９３を備える。貼付ユニット４は、基板にマスキングテープ２４を貼付するものである。
【００２０】
図２に示す筐体１０の内部において、供給リール１１、回収リール１２、各ガイドローラ１３〜１５、および調整ローラ１７は、筐体１０によってその回転軸が支持される。マスキングテープ２４は、供給リール１１に巻き付けられて収納されている。なお、本実施形態では、供給リール１１は、マスキングテープ２４をベーステープ２５に貼り付けて１本のテープとした状態で収納している。つまり、供給リール１１に巻き付けられているテープは、マスキングテープ２４とベーステープ２５との２層からなる構成である。供給リール１１に巻き付けられているテープは、ガイドローラ１３〜１５、テープ分離部材１８の先端部分、および調整ローラ１７を順に通って回収リール１２に巻き付けられる。
【００２１】
図２において、テープ分離部材１８は、筐体１０の下面に形成された開口部２６付近に配置される。切断部２１は、マスキングテープ２４を切断するための切断刃２２を有しており、ガイドローラ１５とテープ分離部材１８の先端部分との間に配置される。可動ローラ１６は、テープ分離部材１８の先端部分近傍に配置される。可動部材２０は、その一端で可動ローラ１６の回転軸を支持する。可動部材２０の他端は、伸縮動作を行うエアシリンダ１９に接続される。可動部材２０の支点２３は筐体１０に固定されており、可動部材２０は支点２３を中心に回転可能に支持される。これらのエアシリンダ１９および可動部材２０によって、エアシリンダ１９の伸縮動作に応じて可動ローラ１６を上下方向に移動させる（正確には、支点２３を中心とした円弧上を移動させる）ことができる（図２に示す矢印参照。）。なお、可動ローラ１６は、筐体１０の下面よりも下方に突出した位置まで移動することが可能である。
【００２２】
また、第３除電装置９３は、上記第１および第２除電装置９１および９２と同様、イオン化されたガスを放出するイオナイザである。第３除電装置９３は筐体１０内部に固設される。第３除電装置９３は、イオン化されたガス（イオン化ガス）を開口部２６に向けて放出する向きに配置される。図２においては、Ｘ軸正方向にガスを放出する向きに配置される。なお、図示していないが、筐体１０内には、第３除電装置９３のイオン量および風量を指示するためのコントローラが取り付けられていてもよい。また、第３除電装置９３の周囲のイオン濃度を計測するセンサが取り付けられていてもよい。
【００２３】
図３は、剥離ユニット５の内部構成を模式的に示す図で、貼付ユニット４と同様に図１ＡにおいてＹ軸正方向視の図である。図３に示すように、剥離ユニット５は、筐体３０、供給リール３１、回収リール３２、ガイドローラ３３〜３５、調整ローラ３６、可動ローラ３７、エアシリンダ３８、可動部材３９、および、第４除電装置９４を備える。剥離ユニット５は、基板に貼付されたマスキングテープを剥離するものである。
【００２４】
図３に示す筐体３０の内部において、回収リール３２、供給リール３１、各ガイドローラ３３〜３５、および調整ローラ３６は、筐体３０によってその回転軸が支持される。剥離テープ４１は、供給リール３１に巻き付けられて収納されている。剥離テープ４１は、基板に貼り付けられたマスキングテープ２４にその粘着面を接着することによってマスキングテープ２４を基板から剥離するために用いられる。なお、マスキングテープ２４を完全に覆うことができるように、剥離テープ４１の幅はマスキングテープ２４の幅よりも広い。また、剥離テープ４１は、上述したマスキングテープ２４とは異なり、他のテープに貼り付けられていない１層の構成である。剥離テープ４１は、ガイドローラ３３および３４、可動ローラ３７、ガイドローラ３５、および調整ローラ３６を順に通って回収リール３２に巻き付けられる。
【００２５】
また、可動ローラ３７は、筐体３０の下面に形成された開口部４２付近に配置される。剥離テープ４１は、可動ローラ３７によって、粘着面がマスキングテープの方向を向くように案内される。可動部材３９は、その一端で可動ローラ３７の回転軸を支持する。可動部材３９の他端は、伸縮動作を行うエアシリンダ３８に接続される。可動部材３９の支点４０は筐体３０に固定されており、可動部材３９は支点４０を中心に回転可能に支持される。これらのエアシリンダ３８および可動部材３９によって、エアシリンダ３８の伸縮動作に応じて可動ローラ３７を上下方向に移動させる（正確には、支点４０を中心とした円弧上を移動させる）ことができる（図３に示す矢印参照。）。なお、可動ローラ３７は、筐体３０の下面よりも下方に突出した位置まで移動することが可能である。
【００２６】
また、第４除電装置９４は、上記第１および第２除電装置９１および９２と同様、イオン化されたガスを放出するイオナイザである。第４除電装置９４は筐体３０内部に固設される。第４除電装置９４は、イオン化ガスを開口部４２に向けて放出する向きに配置される。図３においては、Ｘ軸正方向にガスを放出する向きに配置される。なお、図示していないが、筐体３０内には、第４除電装置９４のイオン量および風量を指示するためのコントローラが取り付けられていてもよい。また、第４除電装置９４の周囲のイオン濃度を計測するセンサが取り付けられていてもよい。
【００２７】
なお、図３においては、供給リール３１から回収リール３２までの全区間で剥離テープ４１が張設されていると、可動ローラ３７が上下方向に移動することによって、剥離テープ４１に余計な力が加えられたり剥離テープ４１がたるんだりすることがある。そこで、他の実施形態では、剥離ユニット５は、供給リール３１から供給された剥離テープ４１（供給リール３１および回収リール３２に巻き取られていない部分の剥離テープ４１）の長さを調節する機構をさらに備えていてもよい。具体的には、ガイドローラ３３〜３５または調整ローラ３６を、剥離テープ４１に加えられる張力に応じて（換言すれば、可動ローラ３７の移動に応じて）移動するようにしてもよい。これによって、供給リール３１および回収リール３２に巻き取られていない部分の剥離テープ４１の長さを一定とすることができ、剥離テープ４１に余計な力が加えられたり剥離テープ４１がたるんだりすることを防止することができる。
【００２８】
次に、以上のように構成される剥離装置が有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置の製造工程において用いられる場合を例として剥離装置の動作を説明する。有機ＥＬ表示装置を製造する際、基板（ガラス基板）に対して正孔輸送材料や有機ＥＬ材料といった塗布液が塗布される。ここで、塗布が不要な基板領域に塗布液が塗布されることを防止するために、マスキングテープを基板に貼り付ける工程（貼付工程）が行われる。次に、マスキングテープが貼り付けられた基板に対して塗布液を塗布する工程（塗布工程）が行われる。さらに、塗布工程が完了した基板からマスキングテープを剥離する工程（剥離工程）が行われる。剥離装置は、上記貼付工程および剥離工程において用いられる。
【００２９】
図４Ａ〜図４Ｃを用いて、有機ＥＬ表示装置の製造工程の概要を説明する。図４Ａは、貼付工程が施された基板を示す図である。本実施形態における貼付工程においては、剥離装置は２本のマスキングテープ２４を基板５０に貼り付ける。図４Ａに示すように、１本のマスキングテープ２４は、略正方形の基板５０の一辺から所定長さ離れた位置に当該一辺と平行に貼り付けられる。もう１本のマスキングテープは、当該一辺に対向する辺から所定長さ離れた位置に当該対向する辺と平行に貼り付けられる。なお、マスキングテープ２４を基板に貼り付ける際の剥離装置の具体的な動作については後述する（図６Ａ〜図６Ｃ参照）。貼付工程が完了した基板は、図示しない塗布装置に搬送されて塗布工程が施される。
【００３０】
図４Ｂは、塗布工程が施された基板を示す図である。図４Ｂにおいて点線で囲まれる斜線領域５１は、塗布液が塗布された領域を示す。塗布工程においては、図４Ｂに示すように、マスキングテープ２４が貼り付けられた基板５０に対して塗布液が塗布される。塗布方法としては、例えばノズルから塗布液を基板５０に向けて吐出する方法が考えられる。図４Ｂでは、マスキングテープ２４に垂直な方向（図４Ｂにおける上下方向）のストライプ状に塗布液が塗布される。なお、塗布工程においては、基板５０の搬送時に塗布液が流動することを防止する目的で、塗布中または塗布直後に基板５０を加熱する処理（予備加熱処理）が行われることがある。この予備加熱処理や自然乾燥によって、基板５０に塗布された塗布液が硬化する。そのため、マスキングテープ２４を剥離する際にマスキングテープ２４から塗布物が剥がれ落ちて基板５０に付着するおそれがある。塗布工程が完了した基板５０は、剥離装置に搬送されて剥離工程が施される。
【００３１】
図４Ｃは、剥離工程が施された基板を示す図である。図４Ｃにおいて斜線で示される領域５２〜５４は、塗布液が塗布された基板領域を示す。剥離工程においては、塗布液が塗布された後の基板５０から剥離装置によってマスキングテープ２４が剥離される。なお、マスキングテープ２４を基板から剥離する際の剥離装置の具体的な動作については後述する（図７Ａ〜図７Ｄ参照）。図４Ｃに示すように、領域５２と領域５３との間の基板領域は、マスキングテープ２４が貼り付けられていた領域であるので、塗布液が付着していない。領域５３と領域５４との間の基板領域についても、領域５２と領域５３との間の基板領域と同様に塗布液が付着していない。本実施形態においては、以上のようにマスキングテープを用いることによって、塗布不要な基板領域に塗布液が付着することを防止することができる。なお、図４Ｃに示す一点鎖線領域５５は、１枚の有機ＥＬ表示装置として用いられる領域であり、一点鎖線領域５５の外側の領域は切断されて破棄される。
【００３２】
なお、有機ＥＬ表示装置を製造する際、基板５０に対して正孔輸送材料や赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料といった塗布液が塗布される。図５は、有機ＥＬ表示装置の製造工程を示す図である。具体的な製造工程の順序は、基板Ｐの上面にバンク（壁）を形成した後、テープ剥離装置を用いて各塗布液の塗布工程毎に貼付工程および剥離工程が行われる（図５参照）。例えば、赤色の有機ＥＬ材料を基板Ｐに塗布する際は、塗布工程前にマスキングテープ２４が貼り付けられ、塗布工程後にマスキングテープ２４を剥離して、ベーク処理が行われる。そして、他の色の有機ＥＬ材料についても赤色の有機ＥＬ材料の場合と同様に、貼付工程、塗布工程、剥離工程、およびベーク処理工程が行われる。
【００３３】
次に、剥離装置の動作を詳細に説明する。まず、貼付工程における剥離装置の動作を説明する。貼付工程においては、まず、剥離装置の動作開始前にテーブル１に基板が載置される。なお、詳細は後述するが、マスキングテープ２４はＸ軸方向と平行に貼り付けられる。したがって、マスキングテープ２４を貼り付ける方向が所望の方向となるように、テーブル１上の基板はテーブル移動機構２の回転動作によってその向きが調整される。初期状態において、テーブル１は、例えば図１Ａに示す位置のように、２つの支持部材８の間の外側に配置される。初期状態における貼付ユニット４は、２つの支持部材８の間にテーブル１が位置する場合にテーブル１の直上空間となる位置にユニット移動機構６により移動されて配置される。
【００３４】
以上に示した初期状態から、まず、第１および第２除電装置９１および９２が動作を開始する。すなわち、第１および第２除電装置９１および９２は、イオン化ガスを生成して送風口から放出する。なお、各除電装置９１および９２から放出されるイオン量およびガスの風量は、各除電装置の動作前に作業者によって予め設定される。次に、テーブル１の移動が開始される。すなわち、テーブル１は、貼付ユニット４に近づく方向（図１ＡではＸ軸正方向）に移動する。ここで、初期状態において、第１除電装置９１からのガスがテーブル１上の基板５０に放出される。これによって、基板５０の周囲の雰囲気がイオン化ガスとなるので、基板５０を除電することができる。また、テーブル１が移動することによって、テーブル１上の基板５０にまんべんなくガスを放出することができるので、基板５０の全領域を確実に除電することができる。以上のように、本実施形態においては、剥離装置に搬送されてきた基板を貼付処理前に除電することができるので、搬送されてきた基板が帯電していたとしても効果的に除電を行うことができる。
【００３５】
テーブル１の移動が開始された後、さらに、第３除電装置９３が動作を開始する。すなわち、第３除電装置９３は、イオン化ガスを生成して送風口から放出する。なお、第３除電装置９３から放出されるイオン量およびガスの風量は、第３除電装置９３の動作前に作業者によって予め設定される。次に、テープの送り動作が開始される。すなわち、貼付ユニット４の供給リール１１、回収リール１２、および調整ローラ１７が回転駆動を開始する。これによって、供給リール１１からテープが供給されるとともに、回収リール１２にテープが巻き取られて回収される。なお、供給リール１１、回収リール１２、および調整ローラ１７によるテープの送り速度は、テーブル１の移動速度と等しくなるように設定される。
【００３６】
ここで、供給リール１１からテープが供給される際、供給リール１１に巻き付けられている部分からテープが剥離されるとテープが帯電する。しかし、筐体１０の開口部２６付近において、第３除電装置９３からのガスがテープに放出されるので、テープを除電することができる。また、開口部２６付近の雰囲気がイオン化ガスとなるので、テープが貼付される基板５０を除電することができる。
【００３７】
図６Ａ、図６Ｂおよび図６Ｃは、貼付工程の動作時における筐体１０の開口部付近の様子を示す図である。なお、図６Ａ〜図６Ｃにおいては、図面を見やすくする目的で筐体１０、エアシリンダ１９および可動部材２０の記載を省略している。テーブル１が貼付ユニット４直下の所定位置に達すると、切断部２１はマスキングテープ２４を切断する（図６Ａ）。具体的には、切断部２１は、切断刃２２をマスキングテープ２４へ向けて突出させてマスキングテープ２４に食い込ませることによってマスキングテープ２４を切断する。ここで、ガイドローラ１５からテープ分離部材１８へ送られてくるテープは、マスキングテープ２４およびベーステープ２５の２層からなる。切断刃２２は、マスキングテープ２４およびベーステープ２５のうちでマスキングテープ２４のみを切断する厚さまで食い込むように調整されている。したがって、切断部２１によってマスキングテープ２４は切断されるが、ベーステープ２５は切断されない。
【００３８】
マスキングテープ２４が切断部２１によって切断された後、テープがさらに送られると、マスキングテープ２４の切断位置がテープ分離部材１８の先端部分に達する。テープ分離部材１８の先端部分ではベーステープ２５が鋭角に折り曲げられるので、マスキングテープ２４はベーステープ２５から剥離される。これによってマスキングテープ２４が上記先端部分から下方に突出する。可動ローラ１６は、マスキングテープ２４が上記先端部分から下方に突出したタイミングで、エアシリンダ１９の伸縮動作によって下方（Ｚ軸負方向）に移動する（図６Ｂ）。可動ローラ１６は、基板５０の上面付近まで移動することによってマスキングテープ２４の先端を基板５０に接触させる。これによって、マスキングテープ２４の先端が基板５０に貼り付けられる。マスキングテープ２４を基板５０に接触させると、可動ローラ１６は上方に移動して元の位置に戻る。
【００３９】
また、可動ローラ１６が上下方向に移動している間もテーブル１の移動動作およびテープの送り動作は継続されている。したがって、マスキングテープ２４の先端が基板５０に貼り付けられると、続いて供給されるマスキングテープ２４が先端から順に基板５０に貼り付けられていく（図６Ｃ）。一方、マスキングテープ２４を切断してから所定長さのテープが送られると、切断部２１は再度マスキングテープ２４を切断する。なお、この所定長さは、基板５０に貼り付けるマスキングテープ２４の長さである。切断部２１による再度の切断が行われた後、テープがさらに送られることによってマスキングテープ２４が終端まで基板５０に貼り付けられる。なお、可動ローラ１６を上下方向に移動させることによって、マスキングテープ２４の終端を基板５０に接触させるようにしてもよい。また、マスキングテープ２４の貼り付け動作中、可動ローラ１６をマスキングテープ２４を介して基板５０に押しつけたままとしてもよい。以上の動作によって、１本のマスキングテープ２４を基板５０に貼り付ける処理が完了する。
【００４０】
なお、Ｘ軸正方向側にテーブル１が達すると、第２除電装置９２からのイオン化ガスがテーブル１上の基板５０に放出されることとなる。これによって、マスキングテープ２４を貼付した後の基板５０に対して除電を行うことができる。
【００４１】
以上の動作によって、Ｘ軸方向に沿ってマスキングテープ２４を貼り付けることができる。複数本のマスキングテープ２４を基板に貼り付ける場合には、剥離装置は上記の動作を複数回繰り返す。なお、マスキングテープ２４の先端を貼り付けるＸ軸方向の位置は、マスキングテープ２４を切断するタイミングを調整することによって任意の位置に設定することができる。一方、マスキングテープ２４を貼り付けるＹ軸方向の位置は、ユニット移動機構６によって貼付ユニット４をＹ軸方向に予め移動させることによって任意の位置に設定することができる。
【００４２】
次に、剥離工程における剥離装置の動作を説明する。剥離工程においては、まず、剥離装置の動作開始前にテーブル１に基板５０が載置される。基板５０は、剥離すべきマスキングテープ２４がＸ軸方向を向くように載置される。テーブル１上の基板５０の向きはテーブル移動機構２の回転動作によって調整される。剥離工程におけるテーブル１の初期位置は、貼付工程と同様、２つの支持部材８の間の外側の位置である。また、初期状態において、剥離ユニット５は、基板５０から剥離すべきマスキングテープ２４の延長線上に可動ローラ３７が位置するように配置される。基板５０から剥離すべきマスキングテープ２４の位置と可動ローラ３７の位置とがＹ軸方向に関して同じになるように剥離ユニット５が配置される。
【００４３】
以上に示した初期状態から、まず、第１および第２除電装置９１および９２が動作を開始する。すなわち、第１および第２除電装置９１および９２は、イオン化ガスを生成して送風口から放出する。なお、各除電装置９１および９２から放出されるイオン量およびガスの風量は、各除電装置の動作前に作業者によって予め設定される。次に、テーブル１の移動が開始される。テーブル１は、剥離ユニット５に近づく方向（図１ＡではＸ軸正方向）に移動する。ここで、初期状態において、第１除電装置９１からのガスがテーブル１上の基板５０に放出される。これによって、基板５０の周囲の雰囲気がイオン化ガスとなるので、基板５０を除電することができる。また、テーブル１が移動することによって、テーブル１上の基板５０にまんべんなくガスを放出することができるので、基板５０の全領域を確実に除電することができる。以上のように、本実施形態においては、剥離装置に搬送されてきた基板を剥離処理前に除電することができるので、搬送されてきた基板が帯電していたとしても効果的に除電を行うことができる。
【００４４】
テーブル１の移動が開始された後、さらに、第４除電装置９４が動作を開始する。すなわち、第４除電装置９４は、イオン化ガスを生成して送風口から放出する。なお、第４除電装置９４から放出されるイオン量およびガスの風量は、第４除電装置９４の動作前に作業者によって予め設定される。次に、剥離テープ４１の送り動作が開始される。すなわち、剥離ユニット５の供給リール３１、回収リール３２、および調整ローラ３６が回転駆動を開始する。これによって、供給リール３１から剥離テープ４１が供給されるとともに、回収リール３２に剥離テープ４１が巻き取られて回収される。なお、供給リール３１、回収リール３２、および調整ローラ３６による剥離テープ４１の送り速度は、テーブル１の移動速度と等しくなるように設定される。
【００４５】
ここで、供給リール３１から剥離テープ４１が供給される際、供給リール１１に巻き付けられている部分から剥離テープ４１が剥離されると剥離テープ４１が帯電する。しかし、筐体１０の開口部２６付近において、第４除電装置９４からのガスが剥離テープ４１に放出されるので、剥離テープ４１を除電することができる。
【００４６】
図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ、および図７Ｄは、剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図である。なお、図７Ａ〜図７Ｄにおいては、図面を見やすくする目的で筐体３０、エアシリンダ３８および可動部材３９の記載を省略している。
【００４７】
初期状態からテーブル１が移動することによって、基板５０に貼り付けられたマスキングテープ２４の先端が可動ローラ３７の直下位置に達する（図７Ａ）と、可動ローラ３７はエアシリンダ３８の伸縮動作によって下方（Ｚ軸負方向）に移動する。図３および図７Ａ等に示すように、可動ローラ３７は、基板５０の方向へ凸となるように剥離テープを張設している。したがって、可動ローラ３７が基板５０の上面付近まで移動することによって、剥離テープ４１の粘着面はマスキングテープ２４の先端に接触する（図７Ｂ）。これによって、剥離テープ４１とマスキングテープ２４とが接着される。剥離テープ４１をマスキングテープ２４に接触させると、可動ローラ３７は上方に移動して元の位置に戻る。このとき、マスキングテープ２４の先端は剥離テープ４１に接着されているので、マスキングテープ２４の先端は基板５０から剥離される（図７Ｃ）。
【００４８】
また、可動ローラ３７が上下方向に移動している間もテーブル１の移動動作および剥離テープ４１の送り動作は継続されている。したがって、剥離テープ４１がマスキングテープ２４の先端に接着すると、剥離テープ４１が続いて供給されることによって、マスキングテープ２４は先端から順に剥離テープ４１に接着されていく（図７Ｄ）。すなわち、剥離テープ４１の送り動作によって可動ローラ３７が回転すると、マスキングテープ２４は先端から順に剥離テープ４１に接触するので両者が接着されていく。その後もテーブル１の移動動作および剥離テープ４１の送り動作は継続されるので、マスキングテープ２４は終端まで剥離テープ４１に接着されて基板５０から剥離される。剥離テープ４１に接着されたマスキングテープ２４は、剥離テープの送り動作によって筐体３０の内部に回収され、ガイドローラ３５および調整ローラ３６を通って回収リール３２に回収される。なお、マスキングテープ２４の上面には塗布物が付着しているが、マスキングテープ２４が回収される際、この上面は剥離テープ４１によって覆われている。したがって、マスキングテープ２４の上面に付着した塗布物が落下して基板に付着するおそれがない。
【００４９】
また、剥離テープ４１によってマスキングテープ２４が基板５０から剥離される際、マスキングテープ２４および基板５０に剥離帯電が生じる。しかし、上述したように、剥離ユニット５の開口部４２付近の雰囲気は第４除電装置９４によってイオン化ガスとなっているので、マスキングテープ２４および基板５０を除電することができる。また、Ｘ軸正方向側にテーブル１が達すると、第２除電装置９２からのイオン化ガスがテーブル１上の基板５０に放出されることとなる。これによって、マスキングテープ２４を剥離した後の基板５０に対してさらに除電を行うことができるので、基板５０の帯電を確実に防止することができる。
【００５０】
以上の動作によって、１本のマスキングテープ２４を基板５０から剥離する処理が完了する。なお、複数本のマスキングテープ２４を基板５０から剥離する場合には、剥離装置は上記の動作を複数回繰り返す。
【００５１】
以上のように、本実施形態によれば、基板に貼り付けられたマスキングテープを剥離する際、マスキングテープが剥離される箇所に向けてイオン化ガスが放出されるので、基板およびマスキングテープを除電することができる。したがって、帯電によって基板上のデバイスが破壊されることを防止することができる。また、帯電によってパーティクル等が基板に吸着されることを防止することができるので、基板の品質低下を防止することができる。さらに、本実施形態によれば、第１および第２除電装置９１および９２によって剥離処理の前後においても基板５０に対して除電を行うことができるので、基板５０の帯電をより確実に防止することができる。また、各除電装置９１〜９４は、弱い風量で効果的に除電を行うことができるように、除電を行うべき領域にできるだけ近い位置に配置されることが好ましい。
【００５２】
なお、上記実施形態においては、有機ＥＬ材料を塗布する場合に剥離装置を用いる場合を例として説明したが、本発明に係る剥離装置は、有機ＥＬ材料を塗布する場合に限らず、例えばＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）の蛍光材料、レジスト液、ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）液等を基板に塗布する際に用いられるマスキングテープを剥離する場合にも本発明を適用することができる。その他、耐塗布液として用いるマスキングテープを剥離する場合に限らず、他の用途でマスキングテープを剥離する場合にも本発明を適用することができる。
【００５３】
なお、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料の塗布液を基板に塗布する際にマスキングテープを用いる場合、導電性のマスキングテープを用いることができない。これらの塗布液がマスキングテープに付着すると基板を汚染する可能性があるからである。このように導電性のマスキングテープを用いることができない場合であっても、本発明によればマスキングテープおよび基板を除電することができる。したがって、有機ＥＬ材料や正孔輸送材料の塗布液を基板に塗布する際にマスキングテープを用いる場合には本発明が特に有効である。
【００５４】
なお、本実施形態においては、剥離テープを用いてマスキングテープを剥離する剥離方法を例として説明したが、マスキングテープの剥離方法はどのような方法であってもよい。例えば、基板に貼り付けられたマスキングテープの一端を狭持して当該一端を引っ張ってマスキングテープを剥離する方法であっても、マスキングテープおよび基板には帯電が生じるので、本発明を適用することができる。
【００５５】
また、上記実施形態においては、剥離テープの送り速度と等しい速度でテーブルを移動させるようにしたが、他の実施形態においては、剥離ユニットを移動させるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、マスキングテープを基板から剥離する剥離装置において、マスキングテープを基板から剥離する際に生じる基板の帯電を防止すること等を目的として利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１Ａ】本実施形態に係るマスキングテープの剥離装置の上面図
【図１Ｂ】本実施形態に係るマスキングテープの剥離装置の側面図
【図１Ｃ】本実施形態に係るマスキングテープの剥離装置の正面図
【図２】貼付ユニット４の内部構成を模式的に示す図
【図３】剥離ユニット５の内部構成を模式的に示す図
【図４Ａ】貼付工程が施された基板を示す図
【図４Ｂ】塗布工程が施された基板を示す図
【図４Ｃ】剥離工程が施された基板を示す図
【図５】有機ＥＬ表示装置の製造工程を示す図
【図６Ａ】貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図
【図６Ｂ】貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図
【図６Ｃ】貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図
【図７Ａ】剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図
【図７Ｂ】剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図
【図７Ｃ】剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図
【図７Ｄ】剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図
【符号の説明】
【００５８】
１  テーブル
２  テーブル移動機構
３  第１レール
４  貼付ユニット
５  剥離ユニット
６  ユニット移動機構
７  第２レール
８  支持部材
１０  筐体
１１、３１  供給リール
１２、３２  回収リール
１３〜１５、３３〜３５  ガイドローラ
１６、３７  可動ローラ
１７、３６  調整ローラ
１８  テープ分離部材
１９、３８  エアシリンダ
２０、３９  可動部材
２１  切断部
２２  切断刃
２３、４０  支点
９０  外壁
９１〜９４  除電装置
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2006278750.tif 000009
【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６Ａ】
2006278750.tif 000012
【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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