(57)【要約】【課題】  機器の生産性が向上するとともに、機器の管理を並行して容易に行うことができるようにすることを目的とする。【解決手段】  本発明は、複数のコントローラとパソコンなどの情報装置を有する機器において、コントローラ間に機器の動作を制御するための第１の通信手段を設けるとともに、コントローラとパソコン間を前記第１の通信手段とは独立した第２の通信手段を設ける。【選択図】  図１
2006013678.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
演算処理装置を搭載した複数のコントローラによって機器の動作を制御するとともに、前記機器のデータを情報処理装置と通信する機器制御システムにおいて、前記複数のコントローラ間に前記機器の動作制御をする第1の通信手段と、前記複数のコントローラと前記情報処理装置との間に前記データを通信する第２の通信手段を設けたことを特徴とする機器制御システム。
【請求項２】
前記第２の通信手段はネットワーク通信技術で構成したことを特徴とする請求項１記載の機器制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機器を制御するシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＰＵなどの処理装置を搭載した複数のコントローラによって、機器の動作を制御するとともに、機器の管理データや状態データをパソコンなどと通信する機能を有する機器において、複数のコントローラ間は１つの通信手段によって、前記機器の動作を制御すると共に、前記複数のコントローラと前記パソコンとの間に前記機器の管理データや状態データを通信していた。
【特許文献１】特開平１１−１４５９７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、特に産業機器においては、機器の複雑化や高機能化また生産性向上のために、複数のコントローラを用いて機器の制御を行うようになってきている。また、機器管理のために前記複数のコントローラとパソコンなどの情報装置を通信接続して、コントローラからパソコンなどに通信されるデータによってデータ管理や生産管理を行うことが多い。また最近の動向としては機器の複雑化や高機能化に伴い、機器が取り扱うデータが膨大になってきている。
【０００４】
このような機器を制御する従来技術の機器制御システムにおいては、以下のような課題があった。
【０００５】
１つの通信手段を用いて、パソコンとコントローラが管理データや状態データの通信を行っている間に、機器の動作制御を行おうとしても、通信手段をデータ通信が占有していることから機器の動作制御を行う通信開始が遅くなり、機器の動作が遅れることから、機器の生産性を落としていた。
【０００６】
また、上記のような事象が発生するため、機器動作中はデータの通信を行わないようなインターロックをする場合があり、その場合はデータ通信が出来ないことから、機器の管理に支障が発生することがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記のような複数のコントローラとパソコンなどの情報装置を有する機器において、コントローラ間に機器の動作を制御するための第１の通信手段を設けるとともに、コントローラとパソコン間を前記第１の通信手段とは独立した第２の通信手段を設ける。
【０００８】
これら２つの通信手段を設けることにより、機器の動作を通信手段＃１を用いて行っている間に、パソコンとコントローラ間の通信は通信手段＃２を用いて行うことが出来ることから、パソコンとコントローラの通信によって機器の動作を行う通信が遅れることが無くなる。
【０００９】
これによって、機器の生産性が向上するとともに、機器の管理を並行して容易に行うことができるようになった。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、露光装置においてデータ通信手段と動作制御通信手段を個別に構成することにより、露光装置の生産性を向上させると共に、データ通信を滞りなく行わせることが出来るので露光装置の管理が容易になった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
(第１の実施例)
図１は本発明を最も良く表す図であり、機器の制御システムの一例である。
ここでは液晶パネルや半導体チップを生産する工程で用いられる露光装置を例として実施例の説明を行う。
【００１２】
図１において、通信手段＃２(１−（３）)はパソコン(１−（１）)と機器を制御するコントローラ１(１−（４）)とコントローラ２(１−（５）)とを接続している。通信手段＃１(１−（４）)は機器を制御する前記コントローラ１とコントローラ２を接続している。
【００１３】
パソコンは露光動作を行うための、露光時間やマスクとガラス基板の位置合わせを行うためのパラメータを記憶したレシピと呼ばれる複数のファイルを有しているとともに、それらの表示や編集を行うことが可能である。また、コントローラ１やコントローラ２から通信される機器の管理データや状態データをファイルとして記憶して表示する機能を有する。
【００１４】
コントローラ１は機器ユニット＃１(１−（６）)を動作させるとともに、機器全体の動作シーケンスを制御する主要なコントローラであり、コントローラ２はコントローラ１の指示によって機器ユニット＃２(１−（７）)を動作させる。一般的にこのような構成はマスター／スレーブ方式の制御システムと呼ばれ、本例ではコントローラ１ がマスター、コントローラ２がスレーブとなる。
【００１５】
露光動作のシーケンスは、概ね図２のシーケンスで行われている。
【００１６】
最初にパソコンから前記レシピが各コントローラに通信手段＃２を用いてダウンロードされる。次にパソコンが露光動作を指示すると、コントローラ１とコントローラ２が通信しながら各機器ユニットを駆動して一連の露光動作が行われる。露光動作中に各コントローラ１，２は各機器ユニット１，２の動作時間や温度／湿度などの環境などの管理データや状態データをパソコンに通信し、パソコンはそれらのデータを内部の記憶装置に記憶しておき、後からモニターすることが可能である。
【００１７】
図３は本発明の効果を表したタイミング・チャート図である。
【００１８】
露光動作を開始(図３−（１）)すると、コントローラ１は機器ユニット１を動作させる。機器ユニット１の動作中に管理データや状態データ通信が発生すると、機器ユニット１は前記必要データを通信手段＃１を用いてパソコンに通信する。機器ユニット１の動作が終了すると、通信手段＃１がまだ前記データの通信中であっても、コントローラ１は通信手段＃２を用いてコントローラ２に１回目の動作指示(図３−（２）、（３）)を行う。コントローラ２はコントローラ１の前記動作指示に従って機器ユニット２を動作させ、動作が終了した時点で通信手段＃２を用いて、動作指示による動作が終了した旨をコントローラ１に通信(図３−（４）、（５）)する。次にコントローラ１は機器ユニット１の２回目の動作終了後、コントローラ２に通信手段＃２を用いてコントローラ２に２回目の動作指示(図３−（６）、（７）)を行う。コントローラ２は１回目の動作と同様に、コントローラ１の動作指示に従って機器ユニット２を動作させる。機器ユニット２の動作中にデータ通信の必要性があると、機器ユニット２は必要データを通信手段＃１を用いてパソコンに通信する。機器ユニット２の動作が終了すると、通信手段＃１がまだ前記データの通信中であっても、コントローラ１は通信手段＃２を用いて、２回目の動作指示による動作が終了した旨をコントローラ１に通信(図３−（８）、（９）)する。
【００１９】
このように、通信手段が２つに分かれているので、通信手段＃１の状態に係わらず、通信手段＃２を用いてコントローラ間が通信可能となり、データ通信による遅延なく露光動作を行うことが出来るようになると共に、データ通信も滞りなく行うことが出来る。
【００２０】
尚、図４は従来技術の構成例であり、図１との相違点は通信手段＃１が無く、通信手段＃２をデータ通信と動作制御通信を共用して使用している。このため、従来、データ通信中は動作制御を行う通信が待たされることがあるので、露光装置が動作待ちとなり、生産性を落とす要因となっていた。
【００２１】
(他の実施例)
本発明の例は、１つの動作制御と１つのデータ通信の構成例を述べたが、通信手段を増やすことにより、複数の動作制御や複数のデータ通信を行うことも可能である。本発明の例は２つのコントローラの例だが、もちろん３つ以上のコントローラを接続して通信することも可能である。上記３つ以上のコントローラを接続する場合の動作制御は、各々のコントローラを任意の通信手段で接続しても構わない。
【００２２】
例えば、（１）コントローラ１とコントローラ２は通信手段＃３で接続して動作制御する。（２）コントローラ２とコントローラ３は通信手段＃４で接続して動作制御する。
【００２３】
本発明の例では、露光装置がパソコンとデータ通信する例を取り上げたが、インターネットやＬＡＮ（Local Area Network）を介して、露光装置外部のパソコンなどとの通信も可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の基本的な構成例を示す図。
【図２】本発明の露光シーケンスを示す図。
【図３】本発明のタイミング・チャートを示す図。
【図４】従来の構成を示す図。
【符号の説明】
【００２５】
１  パソコン
２  通信手段＃１
３  通信手段＃２
４  コントローラ１
５  コントローラ２
６  機器ユニット１
７  機器ユニット２
【図１】
2006013678.tif 000003
【図２】
2006013678.tif 000004
【図３】
2006013678.tif 000005
【図４】
2006013678.tif 000006