(57)【要約】【課題】  簡易的な評価パネルを用いて、ＡＣ型ＰＤＰの構成材料の実用性を放電電圧特性や発光スペクトルの観点から精度良く評価できる装置を提供する。【解決手段】  放電電圧特性を、評価パネル３０の放電電極１３にパルス発生装置５９により印加した交流パルス電圧の電圧値と、電流測定装置６２により測定された電流値とに基づいて求める測定装置。及び発光スペクトルを、評価パネル３０の放電電極１３にパルス発生装置５９により交流パルス電圧を印加して光を発生させ、その光をスペクトル測定装置６３により測定する装置。【選択図】        図９
2006278043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
評価対象の交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして接続線とパルス発生装置との間に配置され、全放電電極に流れる電流値を測定する電流測定装置からなる評価パネルの放電電極の放電電圧特性を測定する測定装置。
【請求項２】
交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層と、放電電極層を覆うように形成された、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層とを有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして接続線とパルス発生装置との間に配置され、全放電電極に流れる電流値を測定する電流測定装置からなる評価パネルの放電電極の放電電圧特性を測定する測定装置。
【請求項３】
交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層、放電電極層を覆うように形成された交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層、そして誘電体層の上に形成された、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネルの保護層成形材料からなる保護層を有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして接続線とパルス発生装置との間に配置され、全放電電極に流れる電流値を測定する電流測定装置からなる評価パネルの放電電極の放電電圧特性を測定する測定装置。
【請求項４】
交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層と、放電電極層を覆うように形成された、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層とを有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられた観察窓、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして密閉容器内の評価パネルにて発光した光の光量を観察窓を介して測定するスペクトル測定装置からなる評価パネルの発光スペクトルを測定する測定装置。
【請求項５】
交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層、放電電極層を覆うように形成された交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層、そして誘電体層の上に形成された、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネルの保護層成形材料からなる保護層を有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられた観察窓、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして密閉容器内の評価パネルにて発光した光の光量を観察窓を介して測定するスペクトル測定装置からなる評価パネルの発光スペクトルを測定する測定装置。
【請求項６】
交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層、放電電極層を覆うように形成された交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層、そして誘電体層の上に形成された交流型プラズマディスプレイパネルの保護層成形材料からなる保護層を有するガラス基板からなるプラズマ発生用パネルと、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネル用の蛍光層形成材料から形成された蛍光層を有するガラス基板からなる蛍光発生用パネルとが、プラズマ発生用パネルの保護層と蛍光発生用パネルの蛍光層とが隙間を介して配置されてなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられた観察窓、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして密閉容器内の評価パネルにて発光した光の光量を観察窓を介して測定するスペクトル測定装置からなる評価パネルの発光スペクトルを測定する測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、交流型プラズマディスプレイパネルの構成材料を、放電電圧特性と発光スペクトルの観点から容易に評価するための放電電圧特性測定装置と発光スペクトルの測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
交流型プラズマディスプレイパネル（以下、ＡＣ型ＰＤＰという）は、放電電極（表示電極ともいう）、誘電体層、そして保護層がこの順で積層されているフロントカバープレート（前面板ともいう）と、アドレス電極、隔壁、そして赤，緑，青の紫外線励起蛍光体からなる蛍光層とが配設されたバックプレート（背面板ともいう）とが、それぞれ保護層と蛍光層とが放電ガスが充填された空間を挟んで互いに向き合うように配置された構成となっている。
【０００３】
ＡＣ型ＰＤＰは、放電電圧（特に、放電開始電圧及び放電維持電圧）が低いこと、経時的に安定した発光が得られることなどが要求されている。これらの要求に応じるために、ＡＣ型ＰＤＰの構成材料については様々な研究が進められているが、その構成材料の実用性を評価するために、実製品と同じ構成のＡＣ型ＰＤＰを製造して放電電圧特性や発光特性を評価するのでは多大の時間と労力を必要とする。このため、各構成材料の実用性を簡易的に評価する方法が必要となる。
【０００４】
特許文献１の実施例には、保護層（酸化マグネシウム保護層）を簡易的に評価する方法として、ガラス基板上に形成された二本の電極線からなる放電電極、放電電極を覆うように形成された誘電体層、そして誘電体層の上に形成された酸化マグネシウム保護層からなる簡易的な評価パネル（評価用前面板）を用いて、その評価パネルの放電電圧特性を測定する方法が開示されている。この特許文献１の実施例では、評価パネルの放電電極に電圧を印加しながら、放電電極を観察することによって、放電が開始した電圧（Ｖｍａｘ）、放電電極の放電が一組でも途切れる電圧（Ｖｍｉｎ）、すべての放電電極の放電が消える電圧（Ｖｄｅｌ）を測定している。
【特許文献１】特開平９−１８５９４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように、簡易的な評価パネルを用いて、放電電圧特性を評価する方法は知られている。しかしながら、放電の開始や放電の途切れを観察により判断すると、測定者の違いに基づく測定結果のばらつきが生じやすいという問題がある。また、ＡＣ型ＰＤＰの発光特性についても簡易的な評価パネルを用いて評価することができれば好ましいが、そのような検討はなされていない。
従って、本発明の目的は、簡易的な評価パネルを用いて、ＡＣ型ＰＤＰの構成材料の実用性を放電電圧特性や発光スペクトルの観点から精度良く評価できる装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして接続線とパルス発生装置との間に配置され、全放電電極に流れる電流値を測定する電流測定装置からなる評価パネルの放電電極の放電電圧特性を測定する測定装置にある。
【０００７】
本発明はまた、交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層と、放電電極層を覆うように形成された、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層とを有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして接続線とパルス発生装置との間に配置され、全放電電極に流れる電流値を測定する電流測定装置からなる評価パネルの放電電極の放電電圧特性を測定する測定装置にもある。
【０００８】
本発明はまた、交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層、放電電極層を覆うように形成された交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層、そして誘電体層の上に形成された、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネルの保護層成形材料からなる保護層を有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして接続線とパルス発生装置との間に配置され、全放電電極に流れる電流値を測定する電流測定装置からなる評価パネルの放電電極の放電電圧特性を測定する測定装置にもある。
【０００９】
本発明はまた、交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層と、放電電極層を覆うように形成された、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層とを有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられた観察窓、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして密閉容器内の評価パネルにて発光した光の光量を観察窓を介して測定するスペクトル測定装置からなる評価パネルの発光スペクトルを測定する測定装置にもある。
【００１０】
交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層、放電電極層を覆うように形成された交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層、そして誘電体層の上に形成された、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネルの保護層成形材料からなる保護層を有するガラス基板からなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられた観察窓、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして密閉容器内の評価パネルにて発光した光の光量を観察窓を介して測定するスペクトル測定装置からなる評価パネルの発光スペクトルを測定する測定装置にもある。
【００１１】
本発明はまた、交流型プラズマディスプレイパネル用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線を一組とする放電電極を二組以上有する放電電極層、放電電極層を覆うように形成された交流型プラズマディスプレイパネル用の誘電体層成形材料からなる誘電体層、そして誘電体層の上に形成された交流型プラズマディスプレイパネルの保護層成形材料からなる保護層を有するガラス基板からなるプラズマ発生用パネルと、評価対象の交流型プラズマディスプレイパネル用の蛍光層形成材料から形成された蛍光層を有するガラス基板からなる蛍光発生用パネルとが、プラズマ発生用パネルの保護層と蛍光発生用パネルの蛍光層とが隙間を介して配置されてなる評価パネル、評価パネルを減圧不活性ガス雰囲気にて収容する密閉容器、密閉容器に備えられた観察窓、密閉容器に備えられ、その内部に収容された評価パネルの放電電極を外部に接続する接続線、接続線に接続して、各放電電極の二本の電極線間に交流パルス電圧を印加するパルス発生装置、そして密閉容器内の評価パネルにて発光した光の光量を観察窓を介して測定するスペクトル測定装置からなる評価パネルの発光スペクトルを測定する測定装置にもある。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の測定装置を利用することにより、ＡＣ型ＰＤＰの構成材料の実用性を放電電圧特性や発光スペクトルの観点から簡易に、かつ精度良く評価できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の測定装置では、ＡＣ型ＰＤＰの構成材料の放電電圧特性と発光スペクトルとを簡易的な評価パネルを用いて測定する。本発明の測定装置に有利に用いることのできる評価パネルについて、添付図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１乃至図３は、放電電極形成材料用の評価パネルの例を示す図面である。図１は、平面図（評価パネルを上から見た図）であり、図２は図１の放電電極部の一部拡大図であり、図３は、図１のＡ−Ａ線断面図（評価パネルを放電電極に対して垂直方向から見た断面図である。）である。
図１乃至図３において、放電電極形成材料用評価パネル１０は、ＡＣ型ＰＤＰ用の放電電極形成材料から形成された二本の電極線１２ａ、１２ｂを一組とする放電電極１３を十組有するガラス基板１１からなる。放電電極１３の各電極線１２ａ、１２ｂは、それぞれ接続電極１４ａ、１４ｂを介して、ガラス基板１１の両端に形成された取り付け電極１５ａ、１５ｂと接続している。
【００１５】
電極線１２ａ、１２ｂ、接続電極１４ａ、１４ｂ及び取り付け電極１５ａ、１５ｂは、評価対象となるＡＣ型ＰＤＰ用の放電電極形成材料から形成される。放電電極形成材料としては、酸化スズ、ＩＴＯ、銀、銅、アルミニウムなどがある。
【００１６】
放電電極形成材料用評価パネルのサイズは、例えば、以下の通りである。
ガラス基板１１のサイズ：縦５０ｍｍ、横５０ｍｍ、厚さ０．５ｍｍ
電極線１２ａ、１２ｂの幅：０．３ｍｍ
電極線１２ａ、１２ｂの長さ（図２のａ）：１５ｍｍ
電極線１２ａ、１２ｂの厚さ：０．００４ｍｍ（４μｍ）
各放電電極１３の電極線１２ａ、１２ｂの間隔（図２のｂ）:０．１ｍｍ
放電電極１３の長さ（電極線１２ａ、１２ｂが対向している部分の長さ、図２のｃ）：１０ｍｍ
放電電極１３の間隔（図２のｄ）：０．３ｍｍ
接続電極１４ａ、１４ｂの幅：０．５ｍｍ
接続電極１４ａ、１４ｂの長さ（図２のｅ）：５ｍｍ
取り出し電極１５ａ、１５ｂの幅：１０ｍｍ
【００１７】
図１の放電電極形成材料用評価パネル１０は、放電電圧特性の測定に用いる。放電電圧特性の測定については後述する。
【００１８】
図４及び図５は、誘電体層形成材料用の評価パネルの例を示す図面である。図４は、評価パネルの平面図であり、図５は図４のＢ−Ｂ線断面図である。
図４及び図５において、誘電体層形成材料用評価パネル２０は、前記の放電電極形成材料用評価パネルの十組の放電電極からなる放電電極層２１を覆うように、ＡＣ型ＰＤＰ用の誘電体層成形材料からなる誘電体層２２が形成された構成となっている。このため、放電電極形成材料用評価パネルと同じ部分は同一符号で表し、その説明は省略する。
【００１９】
誘電体層形成材料用評価パネル２０において、誘電体層２２は、評価対象となるＡＣ型ＰＤＰ用の誘電体層成形材料から形成される。誘電体層成形材料としては、酸化鉛系ホウ珪酸ガラスなどがある。誘電体層２２の厚さ（ガラス基板表面からの厚さ）は、例えば、０．０１ｍｍ（１０μｍ）である。
【００２０】
誘電体層形成材料用評価パネル２０は、放電電圧特性及び発光スペクトルの測定に用いる。放電電圧特性及び発光スペクトルの測定については後述する。
【００２１】
図６は、保護層形成材料用の評価パネルの例を示す断面図である。この図は、放電電極に対して垂直方向から見た断面図である。
図６において、保護層形成材料用評価パネル３０は、前記の誘電体形成材料用評価パネルの誘電体層２２の上に、ＡＣ型ＰＤＰ用の保護層成形材料からなる保護層３１が形成された構成となっている。このため、前記の誘電体層形成材料用評価パネルと同じ部分は同一符号で表し、その説明は省略する。
【００２２】
保護層形成材料用評価パネル３０において、保護層３１は、評価対象となるＡＣ型ＰＤＰ用の保護層成形材料から形成される。保護層成形材料としては、酸化マグネシウムなどがある。保護層３１の厚さは、例えば、０．０００２ｍｍ（０．２μｍ）である。
【００２３】
保護層形成材料用評価パネル３０は、放電電圧特性及び発光スペクトルの測定に用いる。放電電圧特性及び発光スペクトルの測定については後述する。
【００２４】
図７及び図８は、蛍光層形成材料用の評価パネルの例を示す図面である。図７は、評価パネルの平面図であり、図８は図７のＣ−Ｃ線断面図である。
図７及び図８において、蛍光層形成材料用評価パネル４０は、電圧の印加によりプラズマを発生するプラズマ発生用パネル４１と、ＡＣ型ＰＤＰ用の蛍光層形成材料から形成された蛍光層４２を有するガラス基板４３からなる蛍光発生用パネル４４とからなる。プラズマ発生用パネル４１は、前記の保護層形成材料用評価パネルと同じ構成であるため、各部分を保護層形成材料用評価パネルと同一符号で表し、その説明は省略する。プラズマ発生用パネル４１と蛍光発生用パネル４４とは、プラズマ発生用パネルの保護層３１と蛍光発生用パネルの蛍光層４２とがスペーサ４５によって形成された隙間４６を介して対向するように配置されている。
【００２５】
蛍光層形成材料用評価パネル４０において、蛍光層４２は、評価対象となるＡＣ型ＰＤＰ用の蛍光体成形材料から形成される。蛍光層成形材料としては、ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ（青色蛍光体）、Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ（Ｓｒ，Ｂａ，Ｍｇ）Ｏ・ａＡＬ2Ｏ3：Ｍｎ及び（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3：Ｔｂ（緑色蛍光体）、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ及びＹ2Ｏ3；Ｅｕ（赤色蛍光体）などがある。蛍光層４２の厚さは、例えば、０．０１２ｍｍ（１２μｍ）である。
スペーサ４５の厚さ（隙間４６の間隔）は、例えば、０．１ｍｍ（１００μｍ）である。スペーサ４５の材料には、ガラス板やマイカ板を用いることができる。スペーサ４５の固定には、接着剤や粘着テープを用いることができる。
【００２６】
次に、評価パネルとして保護層形成材料用評価パネルを用いた場合を例にとり、本発明の放電電圧特性測定装置及び発光スペクトル測定装置の構成の例について、図９を参照しながら説明する。
図９の測定装置５０において、保護層形成材料用評価パネル３０は、取り外し可能な箱体５１と底板５２とから構成された密閉容器５３に収容される。密閉容器５３の箱体５１の上部には、孔部５４と、その孔部を覆うように配置された透明ガラス板５５と箱体５１とガラス板５５とを封止するためのパッキング材５６からなる観察窓５７が備えられている。箱体５１には、評価パネルの取り出し電極１５ａ、１５ｂと接続して、放電電極１３を外部に接続するための接続線５８ａ、５８ｂが備えられている。
【００２７】
接続線５８ａ、５８ｂは、放電電極１３の電極線１２ａ、１２ｂの間に交流パルス電圧を印加するためのパルス発生装置５９が接続されている。接続線５８ａとパルス発生装置５９との間には電流を電圧に変換するための電圧−電流変換装置６０と電圧測定装置（例えば、オシロスコープ）６１とからなる電流測定装置６２が配置されていて、全放電電極に流れる電流値を測定できるようになっている。そして密閉容器５３の観察窓５７の上方には、保護層形成材料用評価パネル３０にて発光した光（プラズマ）の光量を測定するためのスペクトル測定装置６３が配置されている。パルス発生装置５９、電流測定装置６２及びスペクトル測定装置６３に接続する制御装置６４は、パルス発生装置５９にて印加した交流パルス電圧の電圧値を記憶し、その印加電圧値と電流測定装置６２に計測された電流値とから放電電圧特性（放電開始電圧、放電維持電圧）を求める機能と、スペクトル測定装置６３にて計測された発光スペクトルを、時間を計測しながら記録する機能とを有する。なお、測定装置５０は、放電電圧特性と発光スペクトルとの測定が可能な構成されており、放電電圧特性を測定する際は、スペクトル測定装置６３は使用せず、発光スペクトルを測定する際は、電流測定装置６２は使用しない。
【００２８】
放電電圧特性及び発光スペクトルの測定に際して、密閉容器５３の内部は、ロータリポンプ（真空ポンプ）６５と不活性ガスボンベ６６から導入される不活性ガスとにより、減圧不活性ガス雰囲気に調整される。内部圧力は、例えば、６．６７×１０4Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）であり、不活性ガスには、通常のＡＣ型ＰＤＰの放電ガスとして利用されているネオン−キセノン混合ガスあるいはヘリウム−キセノン混合ガスが用いられる。密閉容器５３の内部雰囲気の調整は、例えば、ロータリポンプ接続バルブ６７を開けて（不活性ガスボンベ接続バルブ６８は閉じる）、密閉容器５３内をロータリポンプ６５を用いて、圧力計７０の値が０．１３Ｐａ（１×１０-3Ｔｏｒｒ）以下になるまで減圧し、次いで、ロータリポンプ接続バルブ６７を閉じて、容器内部を５〜１０分間間減圧状態で保持する。次いで、不活性ガスボンベ接続バルブ６８を開いて、流量バルブ６９にて不活性ガスの流量を調整しながら、密閉容器内に不活性ガスを導入する。そして、圧力計７０の値が６．６７×１０4Ｐａとなったら不活性ガスボンベ接続バルブ６８を閉じる。減圧操作と不活性ガスの導入操作は３回以上行なうことが好ましい。
【００２９】
放電電圧特性の測定は、例えば、次のようにして行なう。
保護層形成材料用評価パネル３０の十組全ての放電電極１３に電流が全く流れないもしくは殆ど流れない電圧値（Ｖ0）にて、パルス発生装置５９により交流パルス電圧を放電電極１３に印加する。次いで、電流測定装置６２にて全放電電極に流れる電流値を測定しながら、パルス発生装置５９にて交流パルス電圧の印加電圧値を１Ｖずつ上昇させて、交流パルス電圧を印加する。
【００３０】
図１０（ａ）は、保護層形成材料用評価パネル３０の放電電極に印加電圧値を上昇させて交流パルス電圧を印加したときの全放電電極に流れる電流値の変化を概略的に示した図である。
図１０（ａ）に示すように、印加電圧値を電圧値（Ｖ0）から上昇させていくと、電流値は印加電圧の上昇に伴って増加する。そして、電圧値（Ｖ1）にて電流値が急激に増加する。さらに電圧値を上昇させていくと、電流値は激しく変動しながら増加する。そして、電圧値（Ｖ2）を超えて上昇させていく、電流値は安定し、印加電圧値の上昇に比例して増加する。
電圧値（Ｖ1）は、十組の放電電極のうちの少なくとも一組の放電電極が放電を開始した電圧値であり、一般に放電開始電圧と呼ばれる電圧値である。
電圧値（Ｖ2）は、十組全ての放電電極が放電した電圧値である。
【００３１】
上記の電圧値（Ｖ2）が判明したら、次に電流測定装置６２にて全放電電極に流れる電流値を測定しながら、印加電圧値を１Ｖずつ低下させて、交流パルス電圧を印加する。
図１０（ｂ）は、保護層形成材料用評価パネル３０の放電電極に印加電圧値を低下させて交流パルス電圧を印加したときの全放電電極に流れる電流値の変化を概略的に示した図である。
図１０（ｂ）に示すように、電圧値を低下していくと、電圧値（Ｖ2）を超えて小さくなっても電流値は安定して、印加電圧値の低下に伴って減少する。さらに、印加電圧値を低下させていくと、電圧値（Ｖ3）を超えて小さくなると電流値は激しく変動しながら減少する。そして、さらに電圧値を低下させていくと、電圧値（Ｖ4）にて電流値は急激に減少して０となる。
電圧値（Ｖ3）は、十組の放電電極のうちの少なくとも一組の放電電極の放電が途切れた電圧値である。
電圧値（Ｖ4）は、十組全ての放電電極の放電が途切れた電圧値であり、一般に、放電維持電圧と呼ばれる電圧値である。
【００３２】
本発明の測定装置では、電流測定装置によって計測された電流値に基づいて放電電極の放電状態を把握して、放電開始電圧や放電維持電圧などの放電電圧特性を測定するので、測定者の違いに基づく測定結果のばらつきが生じにくい。
放電電圧特性の評価対象が放電電極形成材料あるいは誘電体層成形材料である場合は、評価パネルに前述の放電電極形成材料用評価パネルあるいは誘電体層成形材料用評価パネルを用いる以外は、同様の装置構成で、同様の操作により電圧特性を測定することができる。
【００３３】
発光スペクトルの測定は、保護層形成材料用評価パネル３０の放電電極１３にパルス発生装置５９により交流パルス電圧を印加し、評価パネル３０の保護層３１の上に発生した光（プラズマ）のスペクトルをスペクトル測定装置６３にて計測することにより行なう。印加電圧値は、上記放電電圧特性の測定方法により測定された電圧値（Ｖ1）以上でかつ電圧値（Ｖ2）以下とすることが好ましい。制御装置６４にて印加電圧の印加時間を計測しながら、発光した光の光量を計測して、その経時的な変化を見ることにより、保護層の経時的な安定性を評価することができる。
【００３４】
発光スペクトルの評価対象が誘電体層成形材料あるいは蛍光層成形材料である場合は、評価パネルに前述の誘電体層成形材料用評価パネルあるいは蛍光層形成材料用評価パネルを用いること以外は、同様の装置構成で、同様の操作により発光スペクトルを測定することができる。但し、蛍光層形成材料評価パネルを用いて蛍光層成形材料の発光スペクトルを測定する場合、蛍光層にて発生した光を蛍光発生用パネル側から測定すると、蛍光層の光の吸収によって光量が低くなる傾向にある。このため、蛍光層形成材料評価パネルの蛍光層にて発生した光は、プラズマ発生用板側から測定することが好ましい。
【００３５】
蛍光層形成材料の発光スペクトルを測定する場合の、評価パネルの密閉容器内の配置の好ましい例を添付図面の図１１に示す。
図１１において、蛍光層形成材料用評価パネル４０は、蛍光発生用パネル４４が密閉容器５３の底板５２側となるように配置されており、蛍光層４２にて発生した光は、プラズマ発生用パネル４１を透過してスペクトル測定装置６３にて検出されるようになっている。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の測定装置に有利に用いることができる放電電極形成材料用評価パネルの平面図である。
【図２】図１の放電電極部の一部拡大図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明の測定装置に有利に用いることができる誘電体層形成材料用評価パネルの平面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】本発明の測定装置に有利に用いることができる保護層形成材料用評価パネルの断面図である。
【図７】本発明の測定装置に有利に用いることができる保護層形成材料用評価パネルの平面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ線断面図である。
【図９】本発明に従う、放電電圧特性と発光安定特性との評価を実施することができる測定装置の構成図である。
【図１０】本発明の測定装置を用いて、放電電圧特性の評価を行なったときの印加電圧値と全放電電極に流れる電流値との関係を概略的に示す図であり、（ａ）は、保護層形成材料用評価パネルの放電電極に印加電圧値を上昇させて交流パルス電圧を印加したときの全放電電極に流れる電流値の変化を示し、（ｂ）は、保護層形成材料用評価パネルの放電電極に印加電圧値を低下させて交流パルス電圧を印加したときの全放電電極に流れる電流値の変化を示す図である。
【図１１】本発明の測定装置を用いて蛍光層形成材料の発光安定特性の発光スペクトルを測定する際の、蛍光層形成材料用評価パネルの配置の例を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  放電電極形成材料用評価パネル
１１  ガラス基板
１２ａ、１２ｂ  電極線
１３  放電電極
１４ａ、１４ｂ  接続電極
１５ａ、１５ｂ  取り付け電極
２０  誘電体層形成材料用評価パネル
２１  放電電極層
２２  誘電体層
３０  保護層形成材料用評価パネル
３１  保護層
４０  蛍光層形成材料用評価パネル
４１  プラズマ発生用パネル
４２  蛍光層
４３  ガラス基板
４４  蛍光発生用パネル
４５  スペーサ
４６  隙間
５０  測定装置
５１  箱体
５２  底板
５３  密閉容器
５４  孔部
５５  透明ガラス板
５６  パッキング材
５７  観察窓
５８ａ、５８ｂ  接続線
５９  パルス発生装置
６０  電圧−電流変換装置
６１  電圧測定装置
６２  電流測定装置
６３  スペクトル測定装置
６４  制御装置
６５  ロータリポンプ（真空ポンプ）
６６  不活性ガスボンベ
６７  ロータリポンプ接続バルブ
６８  不活性ガスボンベ接続バルブ
６９  流量バルブ
７０  圧力計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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