(57)【要約】【課題】  熱処理室内温度が高い場合でも、冷却時における被処理物温度の均一化をはかることができ、熱処理室内スペースも小さくて済む熱処理炉を提供する。【解決手段】  ヒータ２３をそなえた熱処理室（降温保持室１３）の側壁部に冷却用ガスの流入口７１と流出口７２とを設け、被処理物移送用のハースロール１５をそなえた熱処理炉において、中央部に上下に貫通する貫通穴３６を有しハースロール１５により支持されるトレイ３５上に、被処理物Ｗを保持し底面部が貫通穴３６を覆う被処理物保持体３０を載置するとともに、貫通穴３６にすきまをもって嵌合する平面形状を有し、鉛直軸線のまわりに回転駆動されるとともに、ハースロール１５により支持されたトレイ３５の下面より下側の下降位置と、所定の停止位置に停止したトレイ３５の貫通穴３６を経て該トレイの上面より上側に突出する上昇位置との間を昇降駆動される、支持台４０を具備した。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒータをそなえた熱処理室の側壁部に冷却用ガスの流入口と流出口とを設け、被処理物移送用のハースロールをそなえた熱処理炉において、
中央部に上下に貫通する貫通穴を有し前記ハースロールにより支持されるトレイ上に、被処理物を保持し底面部が前記貫通穴を覆う被処理物保持体を載置するとともに、
前記貫通穴にすきまをもって嵌合する平面形状を有し、鉛直軸線のまわりに回転駆動されるとともに、前記ハースロールにより支持された前記トレイの下面より下側の下降位置と、所定の停止位置に停止した前記トレイの前記貫通穴を経て該トレイの上面より上側に突出する上昇位置との間を昇降駆動される、支持台を具備したことを特徴とする熱処理炉。
【請求項２】
前記トレイに上向きに開口する複数個の穴を設け、前記ハースロールにより支持され所定の停止位置に停止した前記トレイの前記穴に、昇降駆動される棒体の下端部を嵌脱させ、該下端部と前記穴との嵌合により、前記トレイの位置ずれを防止するトレイ位置決め装置を設けたことを特徴とする請求項１記載の熱処理炉。
【請求項３】
前記ハースロールを、カーボンロールで構成したことを特徴とする請求項１または２記載の熱処理炉。
【請求項４】
前記流入口と前記流出口を、通気性を有する仕切板状の蓄熱体でそれぞれ覆ったことを特徴とする請求項１または２または３記載の熱処理炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、金属材料から成る被処理物の熱処理をおこなう熱処理炉に関し、詳しくは、被処理物の炉内移送手段としてハースロールをそなえた熱処理炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
鉄鋼材料などから成る被処理物の熱処理をおこなうハースローラタイプの熱処理炉においては、熱処理室における被処理物の温度（品温）の均一化をはかるために、ハースロールを正逆反復回転させて被処理物を前後に往復運動させるオシレーションがおこなわれている（たとえば、特許文献１，２参照。）。
【特許文献１】特公昭６１−１６９１２号公報（第１−３頁〔注〕特許法第６４条による補正有、第１図）
【特許文献２】特開２００２−５４８８１号公報（第２−４頁、図２）
【０００３】
ところが上記のオシレーションをおこなうためには、被処理物を往復移動するための移動用空間が必要であるので、熱処理室、従って炉体が大型化し、また熱処理室の側壁部に設けた流入口から流出口に向って熱処理室間を横断して流れるガスにより被処理物の冷却あるいは加熱をおこなう形式の炉においては、オシレーションによってもこの流入口側と流出口側の被処理物の温度差は解消できない。
【０００４】
そこで上記のオシレーション以外の方法で被処理物の均一冷却をはかるものとして、本出願人は、被処理物を搬送する搬送用ローラを上面にそなえ鉛直軸線のまわりに回転駆動される回転台を冷却室内に設けたローラハース式真空炉を提案した（特許文献３参照。）。
【特許文献３】特開平３−２５７１１９号公報（第２−３頁、第１図〜第４図）
【０００５】
この提案によれば、被処理物の冷却むらおよびそれに伴う歪の発生が防止されるものであり、冷風により被処理物を冷却する冷却室をそなえた熱処理炉には好適に使用できる。しかし上記の回転台上の搬送用ローラの駆動機は、回転台に取付けられて炉内にあるため、たとえば１０００℃程度に加熱した鉄鋼材料から成る被処理物を、加温ガスにより冷却してマルテンサイト変態温度であるＭs点の直上温度に所定時間等温保持する降温保持処理をおこなう熱処理室においては、室内温度が３００℃を越えるため、上記の駆動機がこの高温に耐えることができず、上記の回転台を採用することはできない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明は上記従来の問題点を解決しようとするもので、熱処理室内温度が高い場合でも、冷却時における被処理物温度の均一化をはかることができ、熱処理室内スペースも小さくて済む熱処理炉を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１記載の熱処理炉は、ヒータをそなえた熱処理室の側壁部に冷却用ガスの流入口と流出口とを設け、被処理物移送用のハースロールをそなえた熱処理炉において、中央部に上下に貫通する貫通穴を有し前記ハースロールにより支持されるトレイ上に、被処理物を保持し底面部が前記貫通穴を覆う被処理物保持体を載置するとともに、前記貫通穴にすきまをもって嵌合する平面形状を有し、鉛直軸線のまわりに回転駆動されるとともに、前記ハースロールにより支持された前記トレイの下面より下側の下降位置と、所定の停止位置に停止した前記トレイの前記貫通穴を経て該トレイの上面より上側に突出する上昇位置との間を昇降駆動される、支持台を具備したことを特徴とする。
【０００８】
この請求項１記載の発明によれば、被処理物を保持した被処理物保持体を中央部に載置したトレイを、下降位置にある支持台の直上位置である停止位置に停止させ、支持台をトレイの貫通穴を経て上昇位置まで上昇駆動すれば、被処理物保持体はトレイ上から離間するので、この状態で支持台を回転駆動することにより、被処理物保持体、従って被処理物は鉛直軸線のまわりに回転駆動され、流入口から流出口へと流通する冷却用ガスによって被処理物は均一に冷却される。冷却後は支持台を停止させ下降位置まで下降駆動し、停止状態のトレイ上に被処理物保持体を移載すれば、支持台と干渉することなくトレイをハースロールにより次工程部へ移送できる。また支持台の昇降および回転駆動装置は、いずれも炉外に設けることができるので、熱処理室内温度が高い場合でも、支障なく被処理物の昇降・回転をおこなって、被処理物を均一冷却することができるのである。
【０００９】
また請求項２記載の熱処理炉は、請求項１記載の熱処理炉において、前記トレイに上向きに開口する複数個の穴を設け、前記ハースロールにより支持され所定の停止位置に停止した前記トレイの前記穴に、昇降駆動される棒体の下端部を嵌脱させ、該下端部と前記穴との嵌合により、前記トレイの位置ずれを防止するトレイ位置決め装置を設けたことを特徴とする。
【００１０】
この請求項２記載の発明によれば、支持台直上位置に停止したトレイを、下降駆動された棒体の先端部とトレイの穴との嵌合により停止位置に保持することができ、支持台による被処理物保持体の持上時、支持台による被処理物保持体回転による冷却中、および冷却後の被処理物保持体のトレイ上への移載時等の、全冷却工程中におけるトレイの位置ずれを防止して、冷却後の被処理物保持体をトレイの中央部のもとの位置に再載置して冷却室などの次工程部に移送することができる。
【００１１】
また請求項３記載の熱処理炉は、請求項１または２記載の熱処理炉において、前記ハースロールを、カーボンロールで構成したことを特徴とする。
【００１２】
この発明において、被処理物移送用のハースロールは、ステンレス材や耐熱鋳鋼などから成る金属製のハースロールを用いることもできるが、請求項３記載の構成とすれば、カーボンは耐熱度が高く２０００℃程度までは強度低下が少なく、かつ炉内は無酸化性雰囲気または真空雰囲気に維持されているので、金属製ロールの使用が困難な１１００℃以上の炉温においてもハースロールが折損したり早期に消耗したりすることがなく、高温での熱処理を支障なくおこなうことができる。特にこの発明においてハースロールは、トレイを支持台直上位置に停止させたのち、支持台による被処理物保持体の上昇および回転駆動による冷却工程が終了し被処理物保持体がトレイ上に移載されるまでの間、回転を停止させた状態に保持する必要があるが、上記のように耐熱度が高いカーボンロールはこの停止状態でも変形を生じることがなく、金属製のハースロールの場合のような水冷も必要としないので、装置が簡潔なもので済む。
【００１３】
なおこの発明においてカーボンロールとは、焼成温度が１５００℃程度の通常の炭素材を主体とするロールの他、黒鉛ロールや炭素繊維複合炭素材であるＣ／Ｃコンポジット（以下Ｃ／Ｃ材という）製のロール、およびこれら各ロールにＡｌ２Ｏ３やＳｉＣ等による表面処理や含浸を施したものも含むものとし、特にＣ／Ｃ材製のロールは高温強度に優れているので好ましい。
【００１４】
また請求項４記載の熱処理炉は、請求項１または２または３記載の熱処理炉において、前記流入口と前記流出口を、通気性を有する仕切板状の蓄熱体でそれぞれ覆ったことを特徴とする。
【００１５】
この発明において、熱処理室の壁部に設けた冷却用ガスの流入口と流出口は、開閉用の蓋を設けたり、あるいはこの蓋のない開放状態のままのものとしてもよいが、請求項４記載の構成とすれば、ひとつの熱処理室において被処理物のヒータによる加熱工程と冷却用ガスによる冷却工程を連続しておこなう場合は、加熱工程時において加熱され蓄熱体が昇温蓄熱状態にあり、また別の加熱室において加熱された被処理物を熱処理室に受入れて冷却用ガスによる冷却をおこなう場合は、冷却工程開始前にヒータにより熱処理室内を昇温し蓄熱体を昇温蓄熱状態とすることにより、冷却用ガス送入による冷却工程開始時には冷却用ガスが蓄熱体通過により昇温して、被処理物への冷風吹付による過冷却が防止されるとともに、流入口および流出口の外側にある炉体やダクトなどの低温部材と被処理物の間に昇温状態の蓄熱体が介在して被処理物から上記低温部材への熱放射を抑制するので、この熱放射による停止状態の被処理物やハースロールによる移送中における被処理物の部分的な温度低下が防止され、被処理物の温度差が少量に抑制されるのである。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように請求項１記載の発明によれば、トレイの貫通穴を経て昇降する支持台により被処理物保持体を保持して回転させるようにしたので、熱処理室内温度が高い場合でも、冷却時における被処理物温度の均一化をはかることができる。またオシレーションをおこなう場合のような炉長方向の被処理物移動用空間は不要であり、さらに支持台により被処理物保持体のみを回転させトレイは回転させないので炉巾方向の必要スペースも小さく、熱処理室内スペースが小さくて済む。
【００１７】
また上記の効果に加えて、請求項２記載の発明によれば、支持台直上位置に停止したトレイを、冷却後の被処理物保持体をトレイ上に再載置するまでの間、トレイ位置決め装置により位置ずれ量の少ない状態で停止位置に保持することができ、トレイ上の被処理物保持体の位置ずれによる次工程部への移送時や次工程部における支障をきたすことがない。
【００１８】
また上記の効果に加えて、請求項３記載の発明によれば、停止状態で保持される時間の長いハースロールに、変形や早期の消耗が生じることがなく、水冷も必要としないので装置が簡潔なもので済む。
【００１９】
また上記の効果に加えて、請求項４記載の発明によれば、昇温蓄熱状態にある蓄熱体による、冷却用ガスの昇温作用および被処理物から流入口および流出口の外側部材への熱放射の抑制作用により、冷却工程開始時における被処理物の過冷却や、支持台による上昇・回転前の停止状態やハースロールによる移送中における被処理物の部分的な過冷却や温度低下が防止され、冷却時における被処理物温度を一層均一化させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下図１〜図３に示す一例により、この発明の実施の形態を説明する。図中、１は熱処理炉で、この例では被処理物Ｗを真空加熱後ガス焼入れするローラハース式真空炉から成る。２は、円筒状の鋼製の炉体で、３は被処理物装入用の入口、４は同じく取出用の出口で、それぞれエアシリンダ式の開閉装置５により開閉駆動される扉６，７をそなえている。炉体２内は、前室１１、加熱室１２、本発明における熱処理室である降温保持室１３、冷却室１４の四つに区画され、加熱室１２および降温保持室１３は、図示しない真空排気装置に接続され、降温保持室１３および冷却室１４は、図示しない窒素ガス供給源に接続されている。１５は炉長全長にわたって設けた、被処理物搬送用のハースロールで、この例ではＣ／Ｃコンポジット製のカーボンロールから成る。上記の降温保持室１３は、加熱室１２で高温に加熱された被処理物を、所定の温度に冷却し該冷却温度に所定時間等温保持する熱処理室である。
【００２１】
加熱室１２は、四周を黒鉛製の断熱壁２０により囲繞され、室内に電熱式のヒータ２１をそなえ、また降温保持室１３は、加熱室１２と同様な断熱壁２２により四周を囲繞された室内に電熱式のヒータ２３をそなえるとともに、付帯装置として支持台４０、トレイ位置決め装置６０、蓄熱体７０等をそなえているが、これらの付帯装置については後述する。冷却室１４は、雰囲気ガス冷却用のクーラ２４と、雰囲気ガス循環用のファン（図示しない）をそなえている。そして上記各室間の扉２５，２６，２７は、エアシリンダ式の開閉装置２８により開閉されるようになっている。
【００２２】
この例における熱処理対象物である被処理物Ｗは、図１には略図示してあるが、図２に示すように鋼製の多数個の小物部品から成り、円板状の底板３１上に複数枚の円板状の棚板３２をスペーサを介して多段積みして成る被処理物保持体３０の各段部に、それぞれ複数個載せられ、この被処理物保持体３０をトレイ３５上に載置して炉内移送し後述の熱処理をおこなう。トレイ３５はカーボン製の角板状を呈し、中央部に上下に貫通する貫通穴３６を有し、上記被処理物保持体３０の底板３１はこの貫通穴３６を覆う大きさの平面形状を有し、この貫通穴３６を覆う状態で被処理物保持体３０はトレイ３５の中央部に載置される。
【００２３】
また図２において前記支持台４０は、上記トレイ３５の貫通穴３６にすきまをもって嵌合する、貫通穴３６より小直径の円板状体から成り、この支持台４０を昇降・回転駆動する駆動装置４１の駆動軸４２の上端部に固定取付けされている。駆動装置４１は、炉体２の下向きの開口部４３に気密取付けしたブラケット４４の縦梁部４４ａに設けたガイドレール４５に沿って軸受４６を昇降自在にガイドし、この軸受４６により駆動軸４２の下端部を回転自在に支持し、軸受４６の昇降駆動用のエアシリンダ４７を設けて昇降駆動機構４８を構成するとともに、ブラケット４９を介して軸受４６に取付けたモータ５１付きの減速機５０の出力軸に取付けた駆動スプロケット５２と、駆動軸４２の下部に取付けた従動スプロケット５３とにチエン５４を巻掛けて回転駆動機構５５を構成して成る。
【００２４】
駆動軸４２は、ブラケット４４に取付けた気密シール式の軸受５６により、昇降および回転自在に支持され、この駆動軸４２の上端部に取付けた支持板４０は、昇降駆動機構４８によってその上面が、図２に示すトレイ３５の下面より下側に位置する下降位置と、トレイ３５の貫通穴３６を経てトレイ３５の上面より上側に突出する上昇位置との間を、昇降駆動される。
【００２５】
また図１および図２において、前記トレイ位置決め装置６０は、炉体２および断熱壁２０を貫通して上下方向に向いた棒体６１を、エアシリンダ式の昇降装置６２により昇降駆動するものであり、ハースロール１５により移送されたトレイ３５がその貫通穴３６が前記支持台４０の直上部に達した所定の停止位置で停止したとき、下降駆動された棒体６１の下端部６１ａがトレイ３５に設けた穴３７に嵌合するように、配置されている。この例では上記の穴３７は、トレイ３５の前端部および後端部寄りで且つトレイ左右巾の中心位置に、２個設けてあり、この穴位置に対応して２台のトレイ位置決め装置６０を配置してある。なお穴３７の直径は棒体６１の下端部６１ａの直径より所定量（たとえば１０mm）大きい寸法としてある。
【００２６】
また図２に示すように降温保持室１３の断熱壁２２の側壁部には、冷却用ガスの流入口７１と流出口７２が対向して設けられ、流入口７１に連通する炉体２の給気口７３と、流出口７２に連通する炉体２の排気口７４との間をダクトで接続したガス循環路７５には、冷却用ガス循環用の送風機と、冷却用ガス温度調節用のクーラおよびヒータ（いずれも図示しない）が設けてある。そして流入口７１および流出口７２は、通気性を有する仕切板状の蓄熱体７６でそれぞれ覆ってある。この蓄熱体７６としてこの例では、多数枚の狭巾のステンレス板を格子状に枠組みして溶接により一体化したものを用いている。
【００２７】
次に上記構成の熱処理炉１における被処理物Ｗの処理方法の例を、図３も参照しつつ説明する。先ず、空気焼入鋼（この例では冷間ダイス鋼ＳＫＤ１１）製の被処理物Ｗを、被処理物保持体３０に段積みし、これをトレイ３５の中央部に載置した状態で入口３から前室１１内に装入後、扉２５を開いて加熱室１２内に移送し、この加熱室１２内を真空排気して所定の真空雰囲気中でヒータ２１により被処理物Ｗを、図３にも示すように１０００℃に加熱する。
【００２８】
この加熱工程終期に、降温保持室１３内も加熱室１２内と同程度に真空排気するとともに、ヒータ２３により降温保持室１３内を約５００℃に昇温させておく。加熱工程後の昇温した被処理物Ｗを、扉２６を開いて降温保持室１３内に移送し、トレイ３５の先端位置を図示しない光電スイッチ等で検出して、トレイ３５の貫通穴３６が下降位置にある支持台４０の直上部に達した状態でハースロール１５を停止し、２基のトレイ位置決め装置６０の棒体６１を下降駆動してその各先端部６１ａをトレイ３５の２個所の穴３７，３７に嵌合させて、トレイ３５の位置ずれを防ぐ。
【００２９】
そして扉２６を閉じて窒素ガスの導入により降温保持室１３内をほぼ大気圧の窒素ガス雰囲気とし、駆動装置４１により、支持台４０を上昇させて被処理物保持体３０をトレイ３５上から所定距離上昇させたのち、支持台４０、従って被処理物保持体３０を、鉛直軸線のまわりに回転駆動する。次いでガス循環路７５の各機器を動作させて、図示しないヒータにより被処理物Ｗのマルテンサイト変態開始点温度であるＭs点（ＳＫＤ１１の場合約４００℃）より高い４５０℃に加温した窒素ガスを、流入口７１から降温保持室１３内へ送入して回転中の被処理物保持体３０に吹付け、被処理物Ｗを冷却し、冷却時間ｔ１経過により前記Ｍs点の直上温度である５００℃に降温した被処理物Ｗを、この温度に所定の保持時間ｔ２だけ保持して等温保持処理をおこなう。図３に示す被処理物の温度曲線は、被処理物保持体３０上の全被処理物Ｗの平均的な温度を示し、実際には各被処理物の位置などによって降温遅れなどがあるため、上記の保持時間ｔ２の等温保持により全被処理物を等温化し、後工程での焼入れによる品質の均一化をはかるものである。
【００３０】
上記の冷却工程と等温保持工程から成る降温保持処理の完了時点で、ガス循環路７５による冷却用ガスの循環吹付は停止し、駆動装置４１により支持台４０を回転停止後下降させて、被処理物保持体３０を停止中のトレイ３５上へ再載置する。トレイ３５は、トレイ位置決め装置６０によりほぼ当初の停止位置に保持されているので、被処理物保持体３０はトレイ３５の中央部へ再載置される。次いでトレイ位置決め装置６０の棒体６１を上昇端位置まで上昇させたのち、扉２７を開きハースロール１５によりトレイ３５を冷却室１４内に移送し、この冷却室１４内において冷却用ガスの吹付けにより被処理物Ｗの急冷処理をおこなって、ガス焼入品を得、熱処理全工程を終了する。後続の被処理物Ｗに対しても上記と同工程で熱処理をおこなえばよい。
【００３１】
上記の降温保持室１３における処理工程においては、被処理物Ｗは支持台４０により鉛直軸線のまわりに回転駆動されつつ冷却用ガスにより冷却されるので、各被処理物Ｗの温度差の少ない均一冷却をおこなうことができ、また所定温度まで冷却するのに要する冷却時間ｔ１および等温保持処理をおこなうための保持時間ｔ２も短くて済むのである。
【００３２】
また上記の例では冷却用ガスの流入口７１および流出口７２を蓄熱体７６で覆った構成としたので、降温保持工程開始前のヒータ２３による加熱によって、蓄熱体７６を蓄熱・昇温状態としておくことにより、ガス循環路７５による冷却用ガスの循環開始時に低温のダクト系内の流通により昇温が不充分な低温の冷却用ガスが流入口７１から流入する場合でも、このガスは蓄熱体７６により昇温するので被処理物Ｗの過冷却を防止することができ、これに加えて、高温の被処理物Ｗが降温保持室１３内へ送入されたとき、流入口７１および流出口７２の外側にある給気口７３部や排気口７４部やこれらに接続されたダクトなどの低温部材への被処理物Ｗからの熱放射が、昇温状態の蓄熱体７６により抑制され、停止状態やハースロール１５による移送中の被処理物Ｗの流入口７１および流出口７２に対面する側の部分的な温度低下が防止されるので、被処理物Ｗの一層均一な冷却が達成される。
【００３３】
この発明は上記の例に限定されるものではなく、たとえば被処理物保持体３０としては、金網などの通気性を有するバスケットなどを用いてもよく、また各室の圧力や加熱・冷却温度は被処理物Ｗの材質や形状などに応じて、上記以外のものとしてもよい。また蓄熱体７６としては、穴あき板形式のものなどを用いてもよい。またガス循環路７５は、炉体２の外部に設けたが、炉体２内、すなわち炉体２と断熱壁２２の間の空間部にガス循環路７５を形成してもよい。
【００３４】
またこの発明は、上記の連続式熱処理炉のほか、一室で被処理物の高温度への加熱と、それに続く上記の冷却と等温保持をおこなう、加熱室を兼ねた降温保持室に、前室を兼ねた冷却室を連設した２つの熱処理室から成るバッチ式の熱処理炉などにも、適用できるものである。さらにこの発明は、上記の降温保持室から成る熱処理室のほか、加熱後の被処理物を冷却用ガスによりガス焼入れする熱処理室をそなえた熱処理炉や、上記のガス焼入れではなく油焼入れをおこなう熱処理炉などにも、適用できるものである。
【実施例】
【００３５】
上記構成の熱処理炉１（降温保持室１３の容積＝５ｍ３、蓄熱体７６は下記のように着脱）により被処理物Ｗ（直径１０mm，長さ３０mmのＳＫＤ１１製品）を被処理物保持体３０に５００個積載した状態で、上記の例の処理方法と温度等を同条件で、加熱および降温保持処理をおこない、降温保持室１３（ガス循環路７５の循環風量＝１２０ｍ３／分）における冷却時間ｔ１＝３０分、保持時間ｔ２＝３０分の降温保持処理直後の被処理物の温度Ｔを測定した結果を次に示す。
［実施例１］  蓄熱体７６は上記の例と同じ装着状態で、被処理物保持体３０を支持台４０により１０回転／分の速度で回転させつつ、降温保持処理をおこなったところ、被処理物Ｗの温度Ｔは４３０℃〜４４０℃の範囲にあり、良好な均一冷却状態であった。
［実施例２］  蓄熱体７６を流入口７１および流出口７２部から取外し、被処理物保持体３０の回転は実施例１と同条件で降温保持処理をおこなったところ、被処理物Ｗの温度Ｔは４２０℃〜４５０℃の範囲にあり、均一冷却状態であった。
［比較例］  蓄熱体７６を実施例２と同じく取外すとともに、支持台４０は使用せず被処理物保持体３０はトレイ３５上に載置した停止状態で、降温保持処理をおこなったところ、被処理物の温度Ｔは３９０℃〜４８０℃の範囲にばらつき、一部の被処理物はＭs点以下に過冷却されていた。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】この発明の実施の形態の一例を示す熱処理炉の縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１の熱処理炉による熱処理の例を示す被処理物の処理温度曲線である。
【符号の説明】
【００３７】
１…熱処理炉、１３…降温保持室、１５…ハースロール、２３…ヒータ、３０…被処理物保持体、３５…トレイ、３６…貫通穴、３７…穴、４０…支持台、４１…駆動装置、４８…昇降駆動機構、５５…回転駆動機構、６０…トレイ位置決め装置、６１…棒体、６１ａ…先端部、６２…昇降装置、７１…流入口、７２…流出口、７６…蓄熱体。
【図１】
2006266616.tif 000003
【図２】
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【図３】
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