(57)【要約】【課題】高温においても剥離や磨耗が生じにくく、ガラスにロール素材成分の脱離による欠点を生じないガラス製造設備用被覆部品およびその製造方法を提供する。【解決手段】ガラス製部材との当接部を有する母材と、少なくとも当接部の表面に形成されたコージェライトおよび／またはジルコンを主成分とする被覆第一層と、この被覆第１層の上に形成された酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムを主成分とする被覆第二層とを備える。母材は、シリカ製のロールであることが好ましい。シリカを主成分とする母材の表面に、コージェライトおよび／またはジルコンを主成分とする被覆第一層と、酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムを主成分とする被覆第二層を形成することが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス製部材との当接部を有する母材と、少なくとも前記当接部の表面に形成されたコージェライトおよび／またはジルコンを主成分とする被覆第一層と、この被覆第一層の上に形成された酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムを主成分とする被覆第二層とを備えたことを特徴とするガラス製造設備用被覆部品。
【請求項２】
前記母材は、シリカ製のロールである請求項１に記載のガラス製造設備用被覆部品。
【請求項３】
前記被覆第一層におけるコージェライトおよび／またはジルコン相の比率が７０体積％以上であり、かつ前記被覆第二層における酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウム相の比率が６０体積％以上である請求項１または２に記載のガラス製造設備用被覆部品。
【請求項４】
前記被覆第一層の厚さは、０．０３ｍｍ以上かつ０．３ｍｍ以下であり、前記被覆第二層の厚さは、０．０５ｍｍ以上かつ０．５ｍｍ以下であり、さらに前記被覆第二層は前記被覆第一層より厚いことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のガラス製造設備用被覆部品。
【請求項５】
母材の表面のうち少なくともガラス製部材との当接部に、コージェライトおよび／またはジルコンを主成分とする被覆第一層を粉末を原料とする溶射法により形成し、さらにこの被覆第一層の表面に酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムを主成分とする被覆第二層を粉末を原料とする溶射法により形成するガラス製造設備用被覆部品の製造方法。
【請求項６】
前記被覆第一および第二層の形成された母材を、４００℃以上かつ１２００℃以下の温度に加熱する請求項５に記載のガラス製造設備用被覆部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス製造設備用被覆部品およびその製造方法に関し、特にガラス板を高温の雰囲気下で搬送するために用いられるロール等のガラス製造設備用被覆部品およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フロート法等により製造された平板状のガラス板を、自動車の窓ガラスのような複雑な三次元形状に加工するには、高温下ではガラス板が軟化する現象を利用した方法が適用されている。すなわち、所定の寸法、形状に裁断したガラス板を炉の中に設置し、このガラス板を十分な温度に加熱した後、成形型を用いるなどして重力および／または外力により、緩やかな変形速度で変形させる成形方法が採用されている。
【０００３】
このような成形法を実現するためには、ガラス板を緩やかな温度曲線で加熱・冷却することと、成形時の変位速度を小さくすることが必要である。これらの要求を満たしながら十分な作業効率を得るためには、いわゆるバッチ式の設備ではなく多数のガラス板を連続的に成形できるトンネル炉方式の設備が有効である。このため、自動車用ガラスの成形では、緩やかな温度傾斜を持ったトンネル炉の中にガラス板を設置し、炉内に連続的に多数配した回転するロールにより搬送する機能が必須となっている。
【０００４】
このような搬送ロールとしては、鉄基合金を主体とするものが適用されることもあるが、高温耐酸化性や炉内の温度分布の観点から、溶融シリカ粉末の結合体を主体にしたものが使用されることが多い。
【０００５】
一方、上記自動車用ガラスの成形よりも高温下でガラスを搬送する工程、すなわちフロート法等において固化したガラスリボンを搬送する工程で使用されるロールとしては、鉄基合金の母材の表面に被覆層を形成したものも多く用いられており、Ｃｏ基の耐熱合金を被覆したもの（特開平４−２６０６２２号、特開平８−１７５８２８号）、アスベスト系材料を被覆したもの、および酸化物セラミックスやセラミックスと金属の混合物を被覆したもの（特開平４−２６０６２２号、特開平４−２６０６２３号）など、多様な被覆金属ロールが提案され、実用に供されている。さらには被覆材料の特性の維持や剥離を防止するために、被覆層を多層にする試みもなされており、特開２０００−２７３６１４号公報にはＺｒＯ２系セラミックスの表面層と炭化クロム系サーメット下地層の組み合わせ等が提案されている。このようなより高温で使用される搬送用ロールを、自動車ガラス等の成形工程の搬送ロールに適用する試みもなされている。
【０００６】
【特許文献１】特開平４−２６０６２２号公報
【特許文献２】特開平８−１７５８２８号公報
【特許文献３】特開平４−２６０６２３号
【特許文献４】特開２０００−２７３６１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、これら従来の搬送ロールはいずれも、自動車用ガラス等の成形工程で使用される搬送ロールとして十分に満足できるものではない。特に近年の自動車用ガラスには、複雑な三次元形状であると同時に、視野面には傷等の微細な欠点が生じていないことが強く求められるようになっているため、製品品質に悪い影響を与えず、かつ長期間使用できる搬送ロールが求められている。
【０００８】
搬送ロールに関連するガラス板の品質不良には、ガラス自体のロール表面への固着に起因するものや、ロール表面への凝着物に起因するもの等があり、さらにはロール自体がガラスに対して及ぼす、物理的または化学的作用に起因するものがある。
【０００９】
鉄鋼材料をはじめとする金属系材料を素材とするロールを使用すると、使用温度域に長時間晒されることによるロール表面の変質に起因するガラス欠点が生じる。一般にロールの素材として利用できる金属材料は、Ｆｅ、ＮｉまたはＣｏを主体とし、高温での耐酸化性を向上させるためにＣｒやＡｌを添加した合金である。しかし、当該ロールが使用される５００〜７００℃の温度域では、その表面に十分な緻密さと高い密着性を有するＣｒやＡｌの酸化被膜は形成されず、Ｆｅ、ＮｉまたはＣｏの酸化物が混在した不連続な脱離しやすい酸化層が生成する。これらの酸化層は搬送されるガラスが接触すると、容易に分離し多くの粉状や燐片状のダストとなり、ガラス板に傷を付与したり、埋め込まれた異物欠点となることが多い。
【００１０】
金属系素材のロールの表面に特定の中間層を形成するなどして、溶射法等によりＺｒＯ２やＡｌ２Ｏ３等の酸化物セラミックス質の被膜を付与すると、金属系素材の耐酸化性の不足を補うことが可能である。しかし、自動車用窓ガラスの成形ラインのように温度の昇降を比較的頻繁に繰り返す用途においては、金属母材と熱膨張係数が大きく異なるこれらの被膜の密着性を保つことは非常に難しい。さらにロールの両端に位置する駆動力伝達部は、高温に晒されることにより劣化することを避けるため炉外に出される場合が多い。この結果、金属は本質的に良好な熱伝導性を有するため、金属ロールを通じて多くの熱が炉外に逃げ、成形設備の熱効率は非常に低くなってしまう。
【００１１】
炉外に逃げる熱を抑えることを一つの狙いとして、自動車用ガラス成形ラインの搬送ロールとして多用されている溶融シリカ粉末を結合させたロールは、一般的に多孔質であり、さらにその内部には強固に固着されていない微粉が存在する。この結果、当該ロールとガラスが強く接触すると、ロール自体から固着の弱い微細粒子が脱落する。このようにして生じた脱離シリカ粒子がガラス面に付着したまま成形設備中のより高温域に到達すると、粒子とガラスの親和性が高いために両者が強固に固着してしまい新たな欠点を生じる結果となる。
【００１２】
これらの微粉の脱離を防止するためには、表面層を緻密化させることが有効であることは言うまでもない。このため、表面層の気孔にゾルゲル法によりＳｉＯ２等の無機物を含浸させる方法や、溶射法等によって表面にＺｒＯ２やＡｌ２Ｏ３等のセラミックス層を形成させる方法が提案されている。しかし、前者では含浸に要する溶媒を抜く際に生じるクラックに起因して、含浸した無機物質が新たな脱離粒子となる現象を防ぐことが困難である。一方、後者においては、母材と被膜の熱膨張量が顕著に異なっており、さらには被膜の熱膨張の方が大きい組み合わせであるため、被膜を剥離させずにこのロールを高温下で実用に供することは極めて困難である。さらにシリカロールの外周にセラミックスのスリーブを嵌める提案（特開平７−１０９１３９号）もされているが、粒子が脱落せず熱膨張係数がシリカよりも小さいセラミックススリーブを工業的に作製することが困難であるため、この提案は実現することができない。
【００１３】
フロート法によるガラス製造ラインに用いるシリカロールの表面に酸化ジルコニウムや酸化アルミニウムを主体とした、耐摩耗性の高い被膜を溶射法等によって形成する試みが提案されている。しかし、シリカとセラミックスの熱膨張の差が極めて大きいため、被膜の剥離を防ぐことは極めて困難である。即ち、溶射皮膜の形成時には皮膜となるセラミックスはロール表面で、溶融温度から急激に冷やされ収縮しようとするのに対し、母材は余り温度が上昇しないため、皮膜中には大きな内部応力が残留する。母材が熱膨張がセラミックスより大きい金属製であれば、溶射時にこれを予熱する方法等によって、この残留応力を大幅に低減することが可能である。しかし、シリカの熱膨張はセラミックスより大幅に小さいため、予熱等の方法も有効ではなく、この大きな残留応力を低減することはできない。このように大きな残留応力を有する皮膜は、それ自身の不均一性や外部からの不均一な熱的、機械的応力の付加によって、容易に剥離することは言うまでもない。フロートラインに比べ、ロール内の熱分布や付加される熱変動が大きい自動車ガラス成形ラインのロールに対し、ここで提案された技術を適用することは事実上不可能である。
【００１４】
前述したように自動車用ガラス成形ラインの搬送ロールとして、さまざま素材のロールが実用に供されたり、提案されたりしているが、ロールを起因とするガラス欠点を大幅に減少させ、長期にわたり安定的に使用できるロールは見出されていないのが実情である。
【００１５】
本発明はこのような課題を解決するものであり、従来よりも皮膜が剥離し難くまたクラックの生じ難いガラス板の製造設備用被覆部品およびその製造法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
以上の目的を達成するために本発明は、ガラス製部材との当接部を有する母材と、少なくとも前記当接部の表面に形成されたコージェライトおよび／またはジルコンを主成分とする被覆第一層と、この被覆第一層の上に形成された酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムを主成分とする被覆第二層とを備えたことを特徴とするガラス製造設備用被覆部品を提供する。
【００１７】
また、本発明の一態様として、前記母材は、シリカ製のロールであることが好ましい。また、前記被覆第一層におけるコージェライトおよび／またはジルコン相の比率が７０体積％以上であり、かつ前記被覆第二層における酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウム相の比率が６０体積％以上であることが好ましい。また、前記被覆第一層の厚さは、０．０３ｍｍ以上かつ０．３ｍｍ以下であり、前記被覆第二層の厚さは、０．０５ｍｍ以上かつ０．５ｍｍ以下であり、さらに前記被覆第二層は前記被覆第一層より厚いことが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、母材の表面のうち少なくともガラス製部材との当接部に、コージェライトおよび／またはジルコンを主成分とする被覆第一層を粉末を原料とする溶射法により形成し、さらにこの被覆第一層の表面に酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムを主成分とする被覆第二層を粉末を原料とする溶射法により形成するガラス製造設備用被覆部品の製造方法を提供する。さらに、本発明の一態様として、前記被覆第一および第二層の形成された母材を、４００℃以上かつ１２００℃以下の温度に加熱することが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したとおり本発明に係るガラス製造用被覆部品は、ガラス製部材との当接部を有する母材と、少なくとも前記当接部の表面に形成されたコージェライトおよび／またはジルコンを主成分とする被覆第一層と、この被覆第一層の上に形成された酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムを主成分とする被覆第二層とを備えている。よって、被覆第一層が熱膨脹率が小さくかつ機械的強度の低いセラミックスを主体とする材料であるため、シリカ母材との熱膨張量の差異が小さく、かつ被覆第二層に生じる内部応力を緩和することができる。また、被覆第二層が機械的強度の大きな耐磨耗性に富んだセラミックスを主体としているため、ガラスの揺動等に起因する磨耗や衝突に対しきわめて高い耐久性を発揮する。
【００２０】
このようなガラス製造設備用被覆部品の一つであるロールは、高温雰囲気下の自動車ガラスの成形ラインにおけるガラス搬送に適用された場合、最終のガラス製品の欠点発生を低く押さえることができ、ロール自体も被膜の剥離やクラックの発生がなく長期間にわたって安定して使用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明に係る高温でのガラス搬送用ロール等に最適な被覆部品の好ましい実施形態について詳説する。図１に示すように、シリカ等からなる母材表面（少なくともガラス製品と当接する部位）を被覆するセラミックス製の第一層は、Ａｌ、ＳｉおよびＭｇの複合酸化物であるコージェライトおよび／またはＺｒおよびＳｉの酸化物であるジルコンを主成分とするものである。コージェライトおよびジルコンの熱膨張率は極めて小さく、シリカロール母材等との整合性がよい。また、第一層の表面を被覆するセラミックス製の第二層は、酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムを主とするものであり、これらのセラミックスは比較的高い機械的強度と硬さを有しており、被膜としての耐磨耗性は必然的に高い。第一層を構成するコージェライトおよび／またはジルコンの機械的強度は、第二層を構成する酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムに比較して大幅に低い。このため、被膜を形成する際に生じた第二層内の高い内部応力が一定以上の大きさを超えると、第一層内には該応力によって微小なクラック等が誘起され、第二層に生じた内部応力は低減される。結果的に、本発明が提供するシリカ母材上の二層のコーティング被膜を自動車ガラス等を成形する設備の搬送ロール等に適用すると、実用に際しても被膜が剥離せず安定して長期間使用することができ、ロールからの発塵に起因するガラスの欠点も減じることが可能になる。
【００２２】
本発明による被覆部品の被覆第一層を構成する材料の成分はコージェライトおよび／またはジルコンが７０％体積以上であることが好ましく、より好ましいのは８０体積％以上である。コージェライトおよび／またはジルコンがこれらの量を下回ると、被覆層の熱膨張係数が大きくなり、被膜とシリカ母材の密着強度が低下する。特に６００℃以上の高温下で被覆部品に頻繁な熱衝撃が付加されることが予想される場合には、被覆第一層はコージェライトの含有率を９０％以上とするのがよい。
【００２３】
被覆第一層成分の残部として、粒子の結合強度を向上させるためにβ−スポジメンやシリカ等を、硬さを増すためにＺｒＯ２やＡｌ２Ｏ３等を選ぶことができる。また、この残部には不可避不純物が含まれることは言うまでもない。
【００２４】
本発明による被覆部品の被覆第二層を構成する材料の成分は酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムが６０％体積以上であることが好ましく、より好ましいのは７５体積％以上である。酸化ジルコニウムおよび／または酸化アルミニウムがこれらの量を下回ると、機械的強度が低下し長期間の実用に耐える耐磨耗性が得にくくなる。特に被覆部品に対し機械的応力のみではなく、熱的な応力が付与されることが想定される場合には、被覆第二層の成分は酸化ジルコニウムを８０％以上とするのがよい。
【００２５】
被覆第二層成分の残部として、酸化ジルコニウムの相を安定化させるために酸化イットリウム、酸化マグネシウム、酸化セリウムまたは酸化カルシウム等、成膜の作業性を向上させるためにシリカや酸化チタニウム等を添加することは問題ない。また、この残部には不可避不純物が含まれることは言うまでもない。
【００２６】
被覆第一層の厚さは０．０３ｍｍ以上かつ０．３ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましいのは０．０５ｍｍ以上かつ０．２ｍｍ以下である。この厚さが０．０３ｍｍ以下であると、被覆第二層を形成した際の応力緩和作用が十分でなくなり、一方、被膜の厚さが０．３ｍｍを超えると、被覆部品に外部から力が作用した際に、層内に大規模な割れが発生し被膜の剥離が生じる傾向にある。
【００２７】
被覆第二層の厚さは０．０５ｍｍ以上かつ０．５ｍｍ以下であることが好ましく、より好ましいのは０．１ｍｍ以上かつ０．４ｍｍ以下である。厚さが０．０５ｍｍ以下であると、被覆部品の耐磨耗性が実用上十分ではなくなり、一方、被膜の厚さが０．５ｍｍを超えると、被覆第二層形成時に蓄えられる内部応力が大きくなりすぎ、剥離が生じやすくなる。
【００２８】
さらに、被覆第二層は被覆第一層より厚く形成されていることが重要である。第二層の厚さが第一層より薄いと、第二層の残留応力により第一層にマイクロクラックが生じる前に、第二層自体が損傷する可能性が大きくなる。
【００２９】
本発明になる被覆部品の被膜層は、溶射法によって形成されるのが一般的である。第一層の溶射皮膜は、サンドブラスト等によって表面を粗化したシリカ母材に、プラズマ溶射法または高速フレーム溶射法によって形成することができるが、これらの方法に限定されるものではない。コージェライト被膜の形成には、その融点がセラミックスとしては比較的低いため高速フレーム法等も適用できるが、プラズマ溶射法によるのが好ましい。また、第二層の溶射皮膜はプラズマ溶射法により形成されるのが一般的であるが、この方法に限定されるものではない。
【００３０】
溶射皮膜は原料が溶融した飛沫の基板への衝突、凝着、積層によって形成されるため、皮膜の表面はかなりの凹凸を有しており、この大きな凹凸を残したままでは、被膜とガラスが摺動した場合に被膜の一部が脱落する可能性が低くない。したがって、第二層の表面の粗さはＲａ（中心線平均粗さ）を１．６以下とするのが好ましい。表面粗さを調整する方法は、溶射後のダイヤモンド工具等による機械的な研磨や溶射原料の微粉末化を選択することができるが、これに限定されるものではない。
【００３１】
さらに被膜を形成した後、溶射や仕上げ加工で被膜内に蓄積された内部応力を開放するために、熱処理を行うことが有効である。熱処理は一般的には大気中で行うが、窒素中やアルゴン中等の非還元雰囲気でこれを実施することもできる。熱処理温度は４００℃以上かつ１２００℃以下であることが好ましく、より好ましいのは５００℃以上かつ１０００℃以下である。熱処理温度が４００℃以下であると内部応力が十分には開放されず、１２００℃以上ではガラス搬送に用いられるロール等の焼結シリカ母材では焼結による収縮等が生じ、これらの母材に形成した被膜は剥離することが多い。
【実施例】
【００３２】
以下に本発明の実施例を挙げてさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。例１では、二種の基礎的な検討により本発明の提供するシリカ母材への被覆部品と非被覆部品および他の被覆部品の特性を比較した結果を示す。
【００３３】
例１）
−密着強度の測定−
直径６０ｍｍ、厚さ２０ｍｍの円板状多孔質シリカ焼結体とステンレス鋼（ＳＵＳ３１０Ｓ）を準備し、その円板状のシリカまたはステンレス母材の表面にプラズマ溶射法（Ｎｏ．６および７の被覆第一層のみは高速フレーム溶射法）を用いて、種々の一層または二層の皮膜を形成した。そして図２に示すように、１５ｍｍ×１５ｍｍの被膜面を有する密着強度測定用の試験片（シリカ母材１１、溶射被覆層１０）を切出し、これをアルミニウム合金製の２つの冶具１３に二液性のエポキシ接着層１２を介して接着した後、冶具１３をそれぞれ引張方向１４に引張ることで引張試験を行った。なお、引張試験は測定温度：２０℃±２℃、引張速度：毎分０．１ｍｍで実施した。強度測定に用いた試料が有する被膜の構成と測定結果は表１に示すとおりである。
【００３４】
【表１】
2006037168.tif 000003
【００３５】
−被膜の耐熱サイクル性試験−
次いで、直径６０ｍｍ、長さ６００ｍｍのロール状多孔質シリカ焼結体とステンレス鋼（ＳＵＳ３１０Ｓ）を準備し、その外周面にプラズマ溶射法（Ｎｏ．６および７の被覆第一層のみは高速フレーム溶射法）を用いて、種々の一層または二層の皮膜を形成し、これらの被覆されたロール材から厚さ１５ｍｍの円板状試験片（シリカ母材２１、溶射被覆層２０）を切出した。この試験片を７００℃に加熱した電気炉に投入し３０分保持した後、炉外に取り出し、水温を１０℃に温度制御（冷却水導入口２３から冷却水を導入し、冷却水導出口２４から排出する）した図３に示す金属製水冷箱２２の上面に置いて冷却する試験を繰り返した。熱サイクル試験に用いた試料が有する被膜の構成と試験結果とは、上記表１に示すとおりである。
【００３６】
前述の２種の評価試験によって、評価対象とした被膜の中では、本発明が提供する被膜（Ｎｏ．１，２および４）のみが双方の試験で良好な結果を示すことを確認した。
【００３７】
例２）
焼結シリカのロール素材に本発明が提供する二層溶射被膜を次のように形成した。始めにシリカロールの表面を円筒研削用＃１２０のダイヤモンド砥石で研削し、洗浄した後、９９．５％コージェライトからなる溶射被膜を、大気プラズマ溶射法（スルーザー・メテコ社の１ＭＢ型装置を使用）により８０μｍの厚さに成膜した。さらに、このコージェライト皮膜の上に同じ溶射機を用いて、酸化イットリウムで部分安定化した酸化ジルコニウムの皮膜を２００μｍ成膜した。この２層の溶射被膜の表面をダイヤモンド砥石を用いて湿式研削し、平均総膜厚：２３０μｍ、十点平均粗さ：Ｒｚ＝０．５まで仕上げた。このようにして同様なコージェライト２層被覆ロールを６０本作製した。
【００３８】
この６０本のロールを、全数で２６５本のロールを有するガラス成形ライン（炉内雰囲気温度：３５０〜７５０℃程度）の高温域を中心に配した。この成形ラインを二層被覆ロール導入前と同様の操作条件で運転し、種々の形状を有する約５０，０００枚のガラス板を継続的に成形した。後段の成形ゾーンは、ＷＯ９９／６５８３３に開示されている装置が使用されている。これらのガラス板の中で、ロール起因と考えられる微小な付着物に起因する不良率は約０．１％であり、被覆ロールを導入する直前の同じ不良率：約１．１％の十分の一であった。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
以上説明したとおり、本発明は、加熱炉内でガラス板を搬送するためのローラコンベアで使用されるロールに適用できる。また、ロール以外にも加熱雰囲気下で各種ガラス製品を取り扱うための装置または冶具（ガラス製部材を挟持、支持、保持または載置するための治具等）に適用できることは明らかである。また、ガラスの製造以外の用途にも適用でできる。さらに、ロールや装置または冶具の母材としてシリカの代わりに、超硬合金等のサーメット、アルミナ、ジルコニア等の酸化物系セラミックス、窒化珪素、ＳｉＣ等の非酸化物系セラミックス、またはカーボン等を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係るロールの一つの実施の形態を示す断面図である。
【図２】被覆層の密着強度を測定するための試験方法の概略を示す側面図である。
【図３】被覆試料の耐熱サイクル性を測定するための試験方法の概略を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０： 溶射被膜
１１： シリカ母材
１２： エポキシ接着剤
１３：アルミ製冶具
１４：引張方向
２０：溶射被膜（円周面のみ）
２１：シリカ母材
２２：水冷箱
２３：冷却水導入口
２４：冷却水導出口
【図１】
2006037168.tif 000004
【図２】
2006037168.tif 000005
【図３】
2006037168.tif 000006