(57)【要約】【課題】  輝度差の部分を容易に抽出することが可能な擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置を実現する。【解決手段】  画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、既存の画像データから輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する。【選択図】                    図１
2006194657.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、
既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、
輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、
前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、
前記輝度差に対して加工処理を行い、
加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成することを特徴とする擬似欠陥画像作成方法。
【請求項２】
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、
既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、
輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、
前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、
前記輝度差に対して加工処理を行い、
加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成することを特徴とする擬似欠陥画像作成方法。
【請求項３】
前記輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、
((βＺｒ＋αＺｌ)／(α+β)＋(γＺｔ＋δＺｂ)／(δ＋γ))
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：α
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：β
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：γ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：δ
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｒ
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｌ
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｔ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｂ
で計算して置換することを特徴とする
請求項１若しくは請求項２記載の擬似欠陥画像作成方法。
【請求項４】
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成装置において、
既存の画像データが記憶される記憶手段と、
輝度ムラ欠陥部分を指定するための入力手段と、
前記既存の画像データに基づき指定された前記輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する演算制御手段と、
前記演算制御手段の制御により前記輝度ムラ欠陥部分を指定するための画面を表示させる表示手段と
を備えたことを特徴とする擬似欠陥画像作成装置。
【請求項５】
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成装置において、
既存の画像データが記憶される記憶手段と、
輝度ムラ欠陥部分を指定するための入力手段と、
前記既存の画像データに基づき指定された前記輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する演算制御手段と、
前記演算制御手段の制御により前記輝度ムラ欠陥部分を指定するための画面を表示させる表示手段と
を備えたことを特徴とする擬似欠陥画像作成装置。
【請求項６】
前記演算制御手段が、
前記輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、
((βＺｒ＋αＺｌ)／(α+β)＋(γＺｔ＋δＺｂ)／(δ＋γ))
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：α
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：β
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：γ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：δ
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｒ
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｌ
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｔ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｂ
で計算して置換することを特徴とする
請求項４若しくは請求項５記載の擬似欠陥画像作成装置。
【請求項７】
前記記憶手段が、
ハードディスク、ＲＡＭ、若しくは、フラッシュメモリであることを特徴とする
請求項４若しくは請求項５記載の擬似欠陥画像作成装置。
【請求項８】
前記記憶手段が、
フレキシブルディスク、ＵＳＢメモリ、若しくは、メモリカードであることを特徴とする
請求項４若しくは請求項５記載の擬似欠陥画像作成装置。
【請求項９】
画像デバイスの検査装置に適用したことを特徴とする
請求項４若しくは請求項５記載の擬似欠陥画像作成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置において、特に輝度差の部分を容易に抽出することが可能な擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像デバイス、例えば、液晶表示器等の表示手段やＣＣＤ（Charge-Coupled Devices）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）イメージセンサ等の撮像手段においては、その製造工程で生じる材料の不均一性、キズ、汚れ等に起因して局所的な輝度ムラ欠陥が発生し、当該輝度ムラ欠陥が或る限度以上の画像デバイスは不良品として排除される。
【０００３】
このため、画像デバイスの画像データを演算処理することにより、輝度ムラ欠陥を抽出して当該画像デバイスの要否を判定する検査装置が稼動している。そして、従来の画像デバイスの検査装置等に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開平０６−２０１５１６号公報
【特許文献２】特開平０７−０９８５７４号公報
【特許文献３】特開平１０−１４８６１９号公報
【特許文献４】特開平１１−１８３３２１号公報
【特許文献５】特開２０００−２１５３１０号公報
【特許文献６】特開２００１−３０５０７５号公報
【０００５】
図１１はこのような従来の画像デバイスの検査装置の一例を示す構成ブロック図である。図１１において１はカメラ等の画像撮影手段、２は画像撮影手段１から画像データを取得して蓄積する画像取得手段、３はＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算制御手段、４はＣＲＴ（Cathode Ray Tube）やＬＣＤ（Liquid Crystal Display）等の表示手段、５は検査パターンを発生させるパターン発生手段、６は被検査対象である液晶表示器等の画像デバイスである。
【０００６】
画像撮影手段１の出力である画像データは画像取得手段２に接続され、画像取得手段２の出力は演算制御手段３に接続される。演算制御手段４からの表示信号及び制御信号は表示手段４及びパターン発生手段５にそれぞれ接続され、パターン発生手段５の出力は画像デバイス６に接続される。
【０００７】
ここで、図１１に示す従来例の動作を簡単に説明する。演算制御手段３はパターン発生手段５を制御して検査パターンを発生させると共に画像デバイス６に発生させた検査パターンを表示させる。
【０００８】
一方、画像撮影手段１は画像デバイス６に表示された検査パターンを撮影し撮影した画像データを画像取得手段２に出力する。画像取得手段２は入力された画像データを蓄積すると共に演算制御手段３に出力する。
【０００９】
演算制御手段３は取得した画像データをフィルタリング処理やラベリング処理等の処理を行った後、輝度ムラ欠陥の限度サンプル（良品レベルか不良品レベルであるかの境界のもの）との間で対比して被検査対象である画像デバイス６の良否を判断する共に判定結果を表示手段４に適宜表示させる。
【００１０】
但し、画像デバイス６で生じる輝度ムラ欠陥は、その大きさや形状、位置、背景等の諸条件が様々であり、このような多様な輝度ムラ欠陥を図１１に示すような検査装置で的確に検出するためには、数多くの輝度ムラ欠陥の限度サンプルを収集して検査装置に設定する必要性があるものの、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの収集は非常に煩雑であり、実際に発生した輝度ムラ欠陥の限度サンプルを収集するだけでは不十分である場合が多い。
【００１１】
このため、実際に収集した輝度ムラ欠陥の画像データに基づき、演算制御手段３等が大きさや形状、位置、背景等の諸条件を適宜変更した擬似欠陥画像を計算により求めて、当該擬似欠陥画像を輝度ムラ欠陥の限度サンプルとして用いることにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことがある。
【００１２】
図１２はこのような擬似欠陥画像の生成方法を説明ずるフロー図である。図１２中”Ｓ００１”において演算制御手段３は、擬似欠陥画像を作成するか否かを判断し、もし、擬似欠陥画像を生成すると判断した場合には、図１２中”Ｓ００２”において演算制御手段３は，画像取得手段２等の蓄積されている既存の画像データ（必ずしも、限度サンプルに限るものではなく、良品サンプルであっても不良品サンプルであっても構わない）の輝度ムラ欠陥部分を指定する画面を表示手段４上に表示させる。
【００１３】
ユーザの操作によって輝度ムラ欠陥部分が指定されると、図１２中”Ｓ００３”において演算制御手段３は、輝度ムラ欠陥部分を切り取ると共に図１２中”Ｓ００４”において演算制御手段３は、切り取った輝度ムラ欠陥部分を任意の画像に貼り付けて擬似欠陥画像を生成する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし、図１２に示すような従来の擬似欠陥画像の生成方法では既存の画像データから単純に輝度ムラ欠陥部分を切り取った場合には、輝度差ではなく輝度の絶対値となり、背景部分を含んだ値となってしまうため、このまま任意の画像に貼り付けると境界が不連続になってしまう言った問題点があった。
【００１５】
例えば、図１３はこのような不具合の状況を説明するための画像データと画素情報との関係を示す説明図であり、図１３中”ＰＤ０１”に示すような既存の画像データに基づき擬似欠陥画像を生成する場合、図１３中”ＬＮ０１”に示す線上の一列の画素情報をグラフにすると図１３中”ＣＨ０１”に示すような特性曲線になる。
【００１６】
そして、図１３中”ＲＧ０１”に示す領域を輝度ムラ欠陥部分として指定した場合には、図１３中”ＣＨ０２”に示すように切り取られ、言い換えれば、図１３中”ＢＧ０１”に示す背景部分も併せて切り取られてしまうので、図１３中”ＣＨ０２”に示す切り取られた輝度ムラ欠陥部分には図１３中”ＢＧ０２”に示すような背景部分が含まれてしまう。このため、輝度の絶対値をこのまま任意の画像に貼り付けると境界が不連続になってしまうことになる。
【００１７】
一方、このように輝度の絶対値ではなく輝度差の部分のみを切り取る方法としては、平滑化フィルタ処理により輝度ムラ欠陥を消した画像を生成し、元の画像データから当該フィルタ処理をした画像を減算することが考えられるものの、一般的に輝度ムラ欠陥を消すような平滑化フィルタの設計は容易ではないと言った問題点があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、輝度差の部分を容易に抽出することが可能な擬似欠陥画像作成方法及びこれを用いた装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、
既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００１９】
請求項２記載の発明は、
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成方法であって、
既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００２０】
請求項３記載の発明は、
請求項１若しくは請求項２記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
前記輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、
((βＺｒ＋αＺｌ)／(α+β)＋(γＺｔ＋δＺｂ)／(δ＋γ))
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：α
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：β
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：γ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：δ
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｒ
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｌ
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｔ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｂ
で計算して置換することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００２１】
請求項４記載の発明は、
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成装置において、
既存の画像データが記憶される記憶手段と、輝度ムラ欠陥部分を指定するための入力手段と、前記既存の画像データに基づき指定された前記輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値を用いて計算して置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する演算制御手段と、前記演算制御手段の制御により前記輝度ムラ欠陥部分を指定するための画面を表示させる表示手段とを備えたことにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００２２】
請求項５記載の発明は、
画像デバイスの輝度ムラ欠陥を抽出して良否を判断する欠陥検査装置で用いられる限度サンプルを擬似的に作成する擬似欠陥画像作成装置において、
既存の画像データが記憶される記憶手段と、輝度ムラ欠陥部分を指定するための入力手段と、前記既存の画像データに基づき指定された前記輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、前記既存の画像データから前記輝度ムラ除去部分を減算して輝度差を求め、前記輝度差に対して加工処理を行い、加工処理された前記輝度差を任意の画像に順次貼り付けての擬似欠陥画像を生成する演算制御手段と、前記演算制御手段の制御により前記輝度ムラ欠陥部分を指定するための画面を表示させる表示手段とを備えたことにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００２３】
請求項６記載の発明は、
請求項４若しくは請求項５記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
前記演算制御手段が、
前記輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、
((βＺｒ＋αＺｌ)／(α+β)＋(γＺｔ＋δＺｂ)／(δ＋γ))
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：α
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：β
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：γ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離：δ
右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｒ
左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｌ
下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｔ
上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値：Ｚｂ
で計算して置換することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００２４】
請求項７記載の発明は、
請求項４若しくは請求項５記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
前記記憶手段が、
ハードディスク、ＲＡＭ、若しくは、フラッシュメモリであることにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００２５】
請求項８記載の発明は、
請求項４若しくは請求項５記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
前記記憶手段が、
フレキシブルディスク、ＵＳＢメモリ、若しくは、メモリカードであることにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００２６】
請求項９記載の発明は、
請求項４若しくは請求項５記載の発明である擬似欠陥画像作成方法であって、
画像デバイスの検査装置に適用したことにより、大きさ，形状、位置、背景、コントラスト等の異なる擬似欠陥画像が容易に生成できるので画像デバイスの検査もまた容易になる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２，３，４，５，６，７及び請求項８の発明によれば、既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、更に、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の８個の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、既存の画像データから減算して輝度差（背景部分を含まない輝度ムラ欠陥部分：以下、単に輝度ムラ欠陥部分（輝度差））を求めることにより、輝度差の部分を容易に抽出することが可能になる。
【００２８】
また、輝度ムラ欠陥部分（輝度差）に対して加工処理を適宜行い、大きさ，形状、位置、背景、コントラスト等を変えて輝度ムラ欠陥部分（輝度差）を生成し擬似欠陥画像を生成することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００２９】
また、請求項９の発明によれば、画像デバイスの検査装置に適用、具体的には、画像デバイスの検査装置を構成する演算制御手段に擬似欠陥画像作成装置の機能を持たせることにより、大きさ，形状、位置、背景、コントラスト等の異なる擬似欠陥画像が容易に生成できるので画像デバイスの検査もまた容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る擬似欠陥画像作成装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【００３１】
図１において７は既存の画像データが記憶されているハードディスク、ＲＡＭ（Random Access Memory）やフラッシュメモリ等の記憶手段、８はＣＰＵ等の演算制御手段、９はＣＲＴやＬＣＤ等の表示手段、１０はキーボードやポインティングデバイス等の入力手段である。また、７，８，９及び１０は擬似欠陥画像作成装置５０を構成している。
【００３２】
記憶手段７の出力は演算制御手段８に接続され、演算制御手段８からの表示信号は表示手段９に接続される。また、入力手段１０の出力が演算制御手段８に接続される。
【００３３】
ここで、図１に示す実施例の動作を図２、図３、図４、図５、図６、図７、図８、図９及び図１０を用いて説明する。図２は擬似欠陥画像作成装置５０の動作を説明するフロー図、図３は輝度ムラ欠陥部分を指定するために表示手段９に表示される表示画面の一例を示す説明図、図４、図５、図６及び図７は画像処理の過程の画像データを示す説明図、図８及び図９は輝度ムラ除去画像の作成過程を示す説明図、図１０は画像データと画素情報との関係を示す説明図である。
【００３４】
図２中”Ｓ１０１”において擬似欠陥画像作成装置５０、具体的には演算制御手段８は、擬似欠陥画像を作成するか否かを判断し、もし、擬似欠陥画像を生成すると判断した場合には、図２中”Ｓ１０２”において演算制御手段８は，記憶手段７に記憶されている既存の画像データ（必ずしも、限度サンプルに限るものではなく、良品サンプルであっても不良品サンプルであっても構わない）を読み出して輝度ムラ欠陥部分を指定する画面を表示手段９上に表示させる。
【００３５】
例えば、演算制御手段８は、図３中”ＤＳ１１”に示すような輝度ムラ欠陥部分を指定する画面を表示手段９上に表示させる。
【００３６】
より具体的には、第１に、演算制御手段８は、記憶手段９に記憶されている既存の画像データを読み込み、そのまま、或いは、画像データに輝度ムラ欠陥を強調する画像処理を施して、図４中”ＰＤ２１”、或いは、図５中”ＰＤ３１”に示すような画像データを生成して表示手段９上に表示させる。
【００３７】
第２に、演算制御手段８は、図４中”ＰＤ２１”、或いは、図５中”ＰＤ３１”に示すような画像データに対して、２値化処理を行い図６中”ＰＤ４１”に示すような画像データを生成して表示手段９上に表示させる。ここで、２値化処理とは、輝度値がある閾値以上である画素を”１”、閾値未満である画素を”０”とする処理である。
【００３８】
第３に、演算制御手段８は、図６中ＰＤ４１”に示すような画像データに対してノイズ除去処理を行い図７中”ＰＤ５１”に示すような画像データを生成して表示手段９上に表示させる。
【００３９】
ここで、当該ノイズ除去処理とは、値が”１”の画素が多く存在する領域内に値が”０”の画素があった場合には当該画素の値を”１”とし、一方、値が”０”の画素が多く存在する領域内に値が”１”の画素があった場合には当該画素の値を”０”とする処理である。
【００４０】
そして、図７中”ＤＰ５１”に示す値が”１”である画素の領域が輝度ムラ欠陥部分に相当することになる。
【００４１】
ちなみに、”画像処理”、”２値化処理”及び”ノイズ除去処理”の各種パラメータ等を変更された場合、演算制御手段８は、画像データに対して各種処理を再度行い図４〜図７に示すような画像データ（未処理、処理途中、或いは、最終処理結果の画像データ）の再表示を行う。
【００４２】
このように、ユーザは、図３中”ＤＳ１１”に示す表示画面を入力手段１０を用いて操作して”画像処理”、”２値化処理”及び”ノイズ除去処理”の各種パラメータ等を変更調整しながら、図４〜図７に示すような画像データ（未処理、処理途中、或いは、最終処理結果の画像データ）の再表示を確認することにより、輝度ムラ欠陥部分がうまく指定されているかをインタラクティブに確認しながら領域指定を行うことが可能になる。
【００４３】
図３中”ＤＳ１１”に示すような画面において入力手段１０を用いたユーザの操作によって輝度ムラ欠陥部分が指定されると、図２中”Ｓ１０３”において演算制御手段８は、輝度ムラ欠陥部分を切り取り、背景部分を除去した輝度差を求める。
【００４４】
例えば、演算制御手段８は、切り取った輝度ムラ欠陥部分から以下に示す手順で輝度ムラ除去画像を作成し、切り取った輝度ムラ欠陥部分から輝度ムラ除去画像を減算することにより、輝度差を求める。
【００４５】
先ず第１に、演算制御手段８は、輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算する。
【００４６】
例えば、図８において図面右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離を”α”、図面左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離を”β”、図面下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離を”γ”、図面上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素までの距離を”δ”、図面右側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値を”Ｚｒ”、図面左側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値を”Ｚｌ”、図面下側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値を”Ｚｔ”、図面上側の輝度ムラ欠陥部分でない画素の輝度値を”Ｚｂ”した場合、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を”Ｚ”は、
Ｚ＝((βＺｒ＋αＺｌ)／(α+β)＋(γＺｔ＋δＺｂ)／(δ＋γ))    （１）
となり、輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を式（１）を用いて順次置換して行く。
【００４７】
第２に、演算制御手段８は、式（１）を用いて順次置換された輝度ムラ欠陥部分に対して、更に、各画素の輝度値を周辺の８個の画素の輝度値の平均値で置換してより滑らかにする。
【００４８】
例えば、図９中”Ｚ”に示す輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値を、図９中”１”、”２”、”３”、”４”、”５”、”６”、”７”及び”８”に示すようなその周辺の画素の輝度値の平均値で置き換える。
【００４９】
ちなみに、このような第２の処理は輝度ムラ欠陥部分の全ての画素に対して行われるので、周辺の８個の画素の輝度値も順次変化して行くことになるので、当該第２の処理を繰り返すことにより、より平衡に近い状態になる。
【００５０】
最後に、演算制御手段８は、切り取った輝度ムラ欠陥部分から上述ように求められた輝度ムラ除去画像を減算することにより、輝度差（背景部分を含まない輝度ムラ欠陥部分：以下、単に輝度ムラ欠陥部分（輝度差）と表現する。）を求める。
【００５１】
例えば、図１０中”ＰＤ６１”に示すような既存の画像データに基づき擬似欠陥画像を生成する場合、図１０中”ＬＮ６１”に示す線上の一列の画素情報をグラフにすると図１０中”ＣＨ６１”に示すような特性曲線になる。
【００５２】
そして、図１０中”ＲＧ６１”に示す領域を輝度ムラ欠陥部分として指定した場合には、図１０中”ＣＨ６２”に示すように切り取られ、図１０中”ＲＧ６２”及び”ＲＧ６３”に示す領域から明らかなように、図１０中”ＢＧ６１”に示す背景部分は除去されるので、図１０中”ＣＨ６２”に示す切り取られた輝度ムラ欠陥部分（輝度差）には背景部分が含まれず、輝度ムラ欠陥部分（輝度差）をこのまま任意の画像に貼り付けても境界が不連続になることを防止できることになる。
【００５３】
図２中”Ｓ１０４”において演算制御手段８は、輝度ムラ欠陥部分（輝度差）に対して、サイズ変換、コントラスト変換、色変換、ラジアン変換、位置変換、或いは、回転変換等の加工処理を適宜行い、大きさ，形状、位置、背景、コントラスト等を変えて複数の輝度ムラ欠陥部分（輝度差）を生成する。
【００５４】
最後に、図２中”Ｓ１０５”において演算制御手段８は、生成された各種条件の異なる複数の輝度ムラ欠陥部分（輝度差）を任意の画像に順次貼り付けて複数の擬似欠陥画像を生成する。
【００５５】
この結果、既存の画像データに基づき輝度ムラ欠陥部分の各画素の輝度値を、周囲の輝度ムラ欠陥部分ではない画素の輝度値を用いて計算して置換し、更に、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の８個の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求め、既存の画像データから減算して輝度差（背景部分を含まない輝度ムラ欠陥部分：以下、単に輝度ムラ欠陥部分（輝度差））を求めることにより、輝度差の部分を容易に抽出することが可能になる。
【００５６】
また、輝度ムラ欠陥部分（輝度差）に対して、サイズ変換、コントラスト変換、色変換、ラジアン変換、位置変換、或いは、回転変換等の加工処理を適宜行い、大きさ，形状、位置、背景、コントラスト等を変えて輝度ムラ欠陥部分（輝度差）を生成し擬似欠陥画像を生成することにより、輝度ムラ欠陥の限度サンプルの不足を補うことができる。
【００５７】
なお、図１に示す実施例においては記憶手段７としてハードディスク、ＲＡＭやフラッシュメモリ等を例示しているが、フレキシブルディスク、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ、メモリカード等の脱着可能な外部の記憶手段であっても勿論構わない。
【００５８】
また、図１に示す実施例では、輝度ムラ欠陥部分の一画素の輝度値をその周辺の８個の画素の輝度値の平均値で置換して輝度ムラ除去画像を求めているが、周辺の画素の個数については何ら”８個”に限定されるわけではなく、より平衡に近い状態になるように周辺の画素の個数を適宜選択すれば良い。
【００５９】
また、図１に示す実施例では擬似欠陥画像作成装置５０単体として動作しているが、画像デバイスの検査装置に適用、具体的には、画像デバイスの検査装置を構成する演算制御手段に擬似欠陥画像作成装置５０の機能を持たせることにより、大きさ，形状、位置、背景、コントラスト等の異なる擬似欠陥画像が容易に生成できるので画像デバイスの検査もまた容易になる。
【００６０】
また、擬似欠陥画像作成装置５０によって作成して擬似欠陥画像をデータベース化して画像デバイスの検査装置に導入しても勿論構わない。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明に係る擬似欠陥画像作成装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【図２】擬似欠陥画像作成装置の動作を説明するフロー図である。
【図３】表示画面の一例を示す説明図である。
【図４】画像処理の過程の画像データを示す説明図である。
【図５】画像処理の過程の画像データを示す説明図である。
【図６】画像処理の過程の画像データを示す説明図である。
【図７】画像処理の過程の画像データを示す説明図である。
【図８】輝度ムラ除去画像の作成過程を示す説明図である。
【図９】輝度ムラ除去画像の作成過程を示す説明図である。
【図１０】画像データと画素情報との関係を示す説明図である。
【図１１】従来の画像デバイスの検査装置の一例を示す構成ブロック図である。
【図１２】擬似欠陥画像の生成方法を説明ずるフロー図である。
【図１３】画像データと画素情報との関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  画像撮影手段
２  画像取得手段
３，８  演算制御手段
４，９  表示手段
５  パターン発生手段
６  画像デバイス
７  記憶手段
１０  入力手段
５０  擬似欠陥画像作成装置
【図１】
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【図２】
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【図１１】
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【図１２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１３】
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