(57)【要約】      （修正有）【課題】本発明は、光ピックアップの調整検査を光ディスク装置における実際の動作と実質的に同じ状況において行うよう構成して、光ピックアップの性能を向上させることを目的とする。【解決手段】本発明に係る光ピックアップの調整検査装置及びその調整検査方法は、回折格子６の対物レンズ５に対向した面に接するよう配置された厚みの異なる第１のプレート１４と第２のプレート１５のいずれか一方を、光ピックアップからの光路に配置して、光ピックアップから回折格子６を介して入射した透過光を解析するよう構成されている。【選択図】図１
2006139842.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ピックアップを固定する光ピックアップ保持機構、
前記光ピックアップの対物レンズからの透過光の位相を変える位相変調素子である回折格子、
前記回折格子からの光を解析する光学測定機器、及び
前記回折格子の対物レンズに対向した面に配置された厚みの異なる第１のプレートと第２のプレートを有し、前記第１のプレートと前記第２のプレートのいずれか一方を光路に配置するプレート挿入機構、
を具備することを特徴とする光ピックアップの調整検査装置。
【請求項２】
前記第１のプレートと前記第２のプレートが前記回折格子と同じ材質により形成された請求項１に記載の光ピックアップの調整検査装置。
【請求項３】
光ピックアップを固定する光ピックアップ保持機構、
前記光ピックアップの対物レンズからの透過光の位相を変える位相変調素子であり、異なる材質により形成された複数の領域を有する回折格子、及び
前記回折格子の複数の領域のいずれか一方を光路に配置するよう移動させて前記回折格子からの光を解析する光学測定機器、
を具備することを特徴とする光ピックアップの調整検査装置。
【請求項４】
光ピックアップ保持機構は光ピックアップの対物レンズを回動可能に構成した請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光ピックアップの調整検査装置。
【請求項５】
光学測定機器の全体を一体的に保持固定する光学測定機器保持機構をさらに具備し、前記光学測定機器保持機構は前記回折格子からの光が入射される光学測定機器の検出レンズを回動可能に構成した請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光ピックアップの調整検査装置。
【請求項６】
光ピックアップ保持機構に光ピックアップを固定する工程、
前記光ピックアップの対物レンズから光学測定機器への光路に第１のプレートを配置する工程、
前記光ピックアップの対物レンズからの光が、第１のプレートと回折格子とを透過させ、前記回折格子からの透過光を解析する工程、
前記光ピックアップの対物レンズから光学測定機器への光路に第１のプレートの代わりに前記第１のプレートと厚みの異なる第２のプレートを配置する工程、及び
前記光ピックアップの対物レンズからの光が、第２のプレートと回折格子とを透過させ、前記回折格子からの透過光を解析する工程、
を有することを特徴とする光ピックアップの調整検査方法。
【請求項７】
前記第１のプレートと前記第２のプレートが前記回折格子と同じ材質により形成された請求項６に記載の光ピックアップの調整検査方法。
【請求項８】
光ピックアップ保持機構に光ピックアップを固定する工程、
前記光ピックアップの対物レンズからの光が、第１の材質で形成された回折格子を透過させ、前記回折格子からの透過光を解析する工程、及び
前記光ピックアップの対物レンズからの光が、前記第１の材質と屈折率が異なる第２の材質で形成された回折格子を透過させ、前記回折格子からの透過光を解析する工程、
を有することを特徴とする光ピックアップの調整検査方法。
【請求項９】
光ピックアップ保持機構は光ピックアップの対物レンズを回動して所望の位置に固定する請求項６乃至８のいずれか一項に記載の光ピックアップの調整検査方法。
【請求項１０】
光学測定機器保持機構に光学測定機器の全体を一体的に保持固定する工程を有し、
前記光学測定機器保持機構は前記回折格子からの光が入射される光学測定機器の検出レンズを回動して所望の位置に固定する請求項６乃至８のいずれか一項に記載の光ピックアップの調整検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクを記録媒体として記録再生を行う光ディスク装置に用いられる光ピックアップの調整検査装置及びその調整検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスク装置においては、記録媒体である光ディスクに情報を記録又は再生するための手段として光ピックアップが用いられている。この光ピックアップには、半導体レーザ素子のような光源と、コリメータレンズやビームスプリッタなどの光学素子と、対物レンズ等を有して構成されている。光源から出射された光ビームは、コリメータレンズやビームスプリッタ等の光学素子を介して対物レンズに導かれ、対物レンズにより光ディスクの記録面上に集光するよう構成されている。記録時には光ビームにより光ディスクの記録面上のトラックに沿って情報を記録し、再生時には記録面により反射された光ビームを光検出器により検出して、記録面上の情報を再生している。
光ピックアップにおける対物レンズは、対物レンズ駆動装置によって電磁的な駆動力で光軸方向（フォーカシング方向）及びその光軸方向と直交する方向（トラッキング方向）の二軸方向に変位駆動される。これにより、光ビームが光ディスクの記録面に焦点を合わせつつトラック上を正確に走査する。
【特許文献１】特開平５−１５０１０８号公報
【特許文献２】特開平１０−１６２４３６号公報
【特許文献３】特開平１０−６４０９４号公報
【特許文献４】特開２００２−２０２２２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、高密度・大容量の光ディスクとしてＤＶＤ（Digital Versatile Disc)が用いられてきている。ＤＶＤは０．６ｍｍの基板を２枚貼り合わせて１つの記録媒体が形成されている。このような貼り合わせ型光ディスクの接着剤としては、耐熱性に優れた紫外線硬化樹脂が主に利用されている。この紫外線硬化樹脂は、比較的低粘度の樹脂であるために、貼り合わせ工法としては、主にスピンコート法が用いられている。
しかし、２枚の円板状基板をスピンコート法によって貼り合わせると、遠心力の影響でディスク半径方向の接着剤の膜厚分布が内外周にわたり不均一となるという欠点がある。即ち、光ディスクの最外周部分では接着剤の膜厚が厚くなり、最内周部分では接着剤の膜厚が薄くなっていた。例えば、貼り合わせ型ディスクをスピンコート法により作製したとき、半径方向の膜厚分布において膜厚の最内周と最外周での差が約２０μｍであるＤＶＤが存在していた。
【０００４】
このように、光ディスクにおいては内周と外周で膜厚差があるため、このような光ディスクに対して記録再生を行う光ピックアップにおいては、その製造工程における検査時に調整した球面収差と異なる状態で使用される場合があった。特に、近年の高密度記録再生を行う光ディスク装置においては、光ピックアップの検査時と異なる球面収差で使用されて記録再生動作を正確に行えないという大きな問題があった。なお、スピンコート法以外にも、スクリーン法、ロールコート法等の接着方法があるが、これらの工法においても、光ディスクの厚みを均一にすることは困難であった。
【０００５】
さらに、光ディスクは一般的にポリカーボネイトやアクリルのような樹脂による成型部品であるため、成型後に静的な反りを生じやすい特性を有する。このような反りが発生すると、対物レンズの光軸に対して光ディスクの記録面が傾き、入射光ビームに対して反射光ビームがずれる。さらに、反射光ビームの光軸ずれが許容値以上になると、反射光ビームが対物レンズの視野角から外れることとなり、光検出器に入射する反射光ビームが減少してしまうという問題がある。また、記録面が傾くとトラックピッチが等価的に狭くなることになるため、記録面上のビームスポット径を一定とすれば、再生時には隣接するトラック上のピットの影響を受けやすくなり、クロストークの増大を招く結果となる。このような性能劣化を改善するため、光ディスクの反りに追従して常に光軸が記録面に対し直角となるよう、対物レンズを含めた光学素子を回動させるチルトサーボ機構が光ディスク装置には用いられている。従って、このような光ディスク装置に用いられる光ピックアップを調整検査する場合にはチルト補正を考慮した調整検査を行うべきである。しかし、実際にはこのようなチルト補正を考慮した調整検査は従来行われていなかった。この結果、従来の光ディスク装置においては、製造工程において調整検査を行った光ピックアップを組み込んだ光ディスク装置であっても、コマ収差の補正のためチルト補正が行われたとき非点収差が大きくなる場合があった。
【０００６】
本発明は、光ピックアップの調整検査を光ディスク装置における実際の動作と実質的に同じ状況において行うよう構成して、光ピックアップの性能を向上させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る光ピックアップの調整検査装置は、請求項１に記載したように、光ピックアップを固定する光ピックアップ保持機構、
前記光ピックアップの対物レンズからの透過光の位相を変える位相変調素子である回折格子、
前記回折格子からの光を解析する光学測定機器、及び
前記回折格子の対物レンズに対向した面に配置された厚みの異なる第１のプレートと第２のプレートを有し、前記第１のプレートと前記第２のプレートのいずれか一方を光路に配置するプレート挿入機構、を具備する。このように構成された光ピックアップの調整検査装置は、光ピックアップの調整検査を実際の光ディスク装置における実際の動作と実質的に同じ状況で行うよう構成されているため、光ピックアップの性能を向上させることができる。また、この光ピックアップの調整検査装置は、光ディスクの内周と外周における膜厚差を考慮した光ピックアップの検査調整を行うことが可能であり、高密度記録再生を行う光ディスク装置に用いる光ピックアップを信頼性の高いものとすることができる。
【０００８】
本発明に係る光ピックアップの調整検査装置は、請求項２に記載したように、請求項１の前記第１のプレートと前記第２のプレートが前記回折格子と同じ材質により形成してもよい。
本発明に係る光ピックアップの調整検査装置は、請求項３に記載したように、光ピックアップを固定する光ピックアップ保持機構、
前記光ピックアップの対物レンズからの透過光の位相を変える位相変調素子であり、異なる材質により形成された複数の領域を有する回折格子、及び
前記回折格子の複数の領域のいずれか一方を光路に配置するよう移動させて前記回折格子からの光を解析する光学測定機器、を具備する。このように構成された光ピックアップの調整検査装置は、光ディスクの内周と外周における膜厚差を考慮した光ピックアップの検査調整を行うことができる。
【０００９】
本発明に係る光ピックアップの調整検査装置は、請求項４に記載したように、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光ピックアップ保持機構が、光ピックアップの対物レンズを回動可能に構成してもよい。このように構成された光ピックアップの調整検査装置は、チルト補正が行われる場合の光ピックアップの検査調整を行うことができる。
本発明に係る光ピックアップの調整検査装置は、請求項５に記載したように、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光学測定機器の全体を一体的に保持固定する光学測定機器保持機構をさらに具備し、前記光学測定機器保持機構は前記回折格子からの光が入射される光学測定機器の検出レンズを回動可能に構成してもよい。このように構成された光ピックアップの調整検査装置は、チルト補正が行われる場合の光ピックアップの検査調整を行うことができる。
【００１０】
本発明に係る光ピックアップの調整検査方法は、請求項６に記載したように、光ピックアップ保持機構に光ピックアップを固定する工程、
前記光ピックアップの対物レンズから光学測定機器への光路に第１のプレートを配置する工程、
前記光ピックアップの対物レンズからの光が、第１のプレートと回折格子とを透過させ、前記回折格子からの透過光を解析する工程、
前記光ピックアップの対物レンズから光学測定機器への光路に第１のプレートの代わりに前記第１のプレートと厚みの異なる第２のプレートを配置する工程、及び
前記光ピックアップの対物レンズからの光が、第２のプレートと回折格子とを透過させ、前記回折格子からの透過光を解析する工程、を有する。このような工程を有する本発明の光ピックアップの調整検査方法は、光ピックアップの製造工程における調整検査を実際の光ディスク装置における実際の動作と実質的に同じ状況において行うよう構成しているため、光ピックアップの性能を向上させることができる。
【００１１】
本発明に係る光ピックアップの調整検査方法は、請求項７に記載したように、請求項６の前記第１のプレートと前記第２のプレートが前記回折格子と同じ材質により形成してもよい。
本発明に係る光ピックアップの調整検査方法は、請求項８に記載したように、光ピックアップ保持機構に光ピックアップを固定する工程、
前記光ピックアップの対物レンズからの光が、第１の材質で形成された回折格子を透過させ、前記回折格子からの透過光を解析する工程、及び
前記光ピックアップの対物レンズからの光が、前記第１の材質と屈折率が異なる第２の材質で形成された回折格子を透過させ、前記回折格子からの透過光を解析する工程、を有する。このような工程を有する光ピックアップの調整検査方法は、光ディスクの内周と外周における膜厚差を考慮した光ピックアップの検査調整を行うことができる。
【００１２】
本発明に係る光ピックアップの調整検査方法は、請求項９に記載したように、請求項６乃至８のいずれか一項に記載の光ピックアップ保持機構が光ピックアップの対物レンズを回動して所望の位置に固定してもよい。このような工程を有する光ピックアップの調整検査方法は、チルト補正が行われる場合の光ピックアップの検査調整を行うことができる。
本発明に係る光ピックアップの調整検査方法は、請求項１０に記載したように、請求項６乃至８のいずれか一項に光学測定機器保持機構に光学測定機器の全体を一体的に保持固定する工程を有し、
前記光学測定機器保持機構は前記回折格子からの光が入射される光学測定機器の検出レンズを回動して所望の位置に固定してもよい。このような工程を有する光ピックアップの調整検査方法は、チルト補正が行われる場合の光ピックアップの検査調整を行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、光ピックアップの製造工程における調整検査を光ディスク装置における実際の動作と実質的に同じ状況において行うよう構成して、精度の高い調整検査を行い光ピックアップの性能を向上させることができる。
また、本発明における光ピックアップの調整検査装置及び調整検査方法においては、光ディスクの内周と外周における膜厚差を考慮した光ピックアップの検査調整を行うことが可能となり、高密度記録再生を行う光ディスク装置に調整検査された光ピックアップを用いて正確な記録再生動作を行うことができる。
さらに、本発明における光ピックアップの調整検査装置及び調整検査方法においては、光ディスクの内周と外周における膜厚差を考慮した光ピックアップの検査調整を行うことができるとともに、チルト補正が行われた場合の光ピックアップの検査調整を行うことが可能となり、高密度記録再生を行う光ディスク装置に高精度な記録再生動作を行わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る光ピックアップの調整検査装置及び調整検査方法の好適な実施の形態を添付の図面を参照しつつ説明する。以下においては、被検出対象物をＤＶＤ記録再生装置に用いられている光ピックアップを例に説明するが、本発明に係る光ディスク装置は、ＤＶＤ記録再生装置の光ピックアップに限定されるものではなく、光ディスクを記録再生する光ピックアップに適用できる。
【００１５】
《実施の形態１》
図１は本発明に係る実施の形態１の光ピックアップの調整検査装置の構成を示すブロック図である。図１において、光ピックアップ１は光ピックアップ保持機構１７に載置され固定されている。光ピックアップ１に設けられた半導体レーザ２からの光は、コリメートレンズ３、ビームスプリッタ４、及び対物レンズ５を通過して出射される。対物レンズ５から出射された光は、結像位置にある回折格子６に入射され、０次回折光、±１次回折光、±２次回折光、・・・に回折される。回折格子６はピエゾステージ１６に設けられており、ピエゾ素子により光軸方向（フォーカシング方向）及びその光軸方向と直交する方向（トラッキング方向）の二軸方向に変位駆動されるよう構成されている。回折された光は、光学測定機器１８に入射される。光学測定機器１８の検出レンズ７の瞳面上に０次回折光と＋１次回折光、そして０次回折光と−１次回折光が重なり、すなわちシェアリング干渉光が重なり、干渉縞を形成する。検出レンズ７の瞳面に形成された干渉縞は、第１の結像レンズ９を介してＣＣＤで構成された第１の受像部１０で受像される。第１の受像部１０においては、受像された光を解析装置により解析して、表示装置により表示する。
【００１６】
回折格子６は、透過光の位相を部分的に変える位相変調素子であり、たとえば石英ガラスにマスクをしてエッチングすることにより製造される。回折格子６は、一定の厚みを有する基板の一方の表面に複数の格子溝が所定の間隔を有して形成されている。具体的には、回折格子６を構成する四角形基板の一方の面には、回折格子６の移動方向に並設した複数、例えば３つの領域が形成されている。第１の領域には回折格子６の移動方向と直交する方向に延設された複数の格子溝が一定の間隔を有して形成されている。第２の領域には第１の領域の格子溝と４５°の角度を有する方向に平行に延設された複数の格子溝が一定の間隔を有して形成されている。また、第３の領域には第２の領域の格子溝と９０°の角度を有する方向に平行に延設された複数の格子溝が一定の間隔を有して形成されている。
したがって、移動手段により回折格子６を第１の領域の格子溝と直交する方向へ移動させていくことにより、対物レンズ５を透過した光が第１の領域、第２の領域、及び第３の領域に順次入射し、光の回折方向(位相)を変換するよう構成されている。
【００１７】
対物レンズ５が原因となる各種収差により生じる基本的な干渉縞パターンには、デフォーカスによる干渉縞パターン、コマ収差による干渉縞パターン、非点収差による干渉縞パターン、球面収差による干渉縞パターン等がある。一般に、これらの収差は単独で存在せず、現実の干渉縞パターンにおいては複数の収差が複合して形成されている。
実施の形態１の光ピックアップの調整検査装置においては、ＣＣＤで構成された第１の受像部１０において、第１の結像レンズ９からの光が解析され干渉縞パターン（フリンジ画像)に基づいて各収差が抽出される。
【００１８】
第１の受像部１０における解析装置は、第１の領域、第２の領域、及び第３の領域のそれぞれに入射した光から得られる干渉縞から収差を解析する。解析装置における収差解析は公知の位相シフト法を用いて行なわれる。位相シフト法においては、０次回折光と＋１次回折光、そして０次回折光と−１次回折光による干渉領域における所定のライン上に複数の点を定め、これら複数の点における光強度の位相分布を求めて各収差を評価する。この干渉解析により光ピックアップ１のフォーカスずれとトラッキングずれが解消するよう調整される。なお、解析装置における収差解析方法については、例えば特許文献４に開示されている。
【００１９】
また、対物レンズ５から出射され、回折格子６を通過した光は、ハーフミラー８を透過して第２の結像レンズ１１を通り第２の受像部１２に結像される。ＣＣＤで構成された第２の受像部１２ではスポット画像が受像される。第２の受像部１２においては、スポット画像の形成位置の解析を行い、調整検査対象である光ピックアップ１は調整検査装置における所定の位置に固定される。
【００２０】
実施の形態１の調整検査装置には、プレート挿入機構１３が設けられている。プレート挿入機構１３は、回折格子６の対物レンズ５に対向した面に接するように配置された厚みの異なる第１のプレート１４と第２のプレート１５を有している。第１のプレート１４と第２のプレート１５は、回折格子６の対物レンズ５に対向した面に接して移動するよう構成されている。したがって、プレート挿入機構１３により、第１のプレート１４と第２のプレート１５のいずれか一方が光路に配置されるよう構成されている。回折格子６、第１のプレート１４、及び第２のプレート１５は、光透過の同じ材質（石英ガラス）により形成されている。第１の実施の形態において、回折格子６の全体の厚みは０．３ｍｍである。また、第１のプレート１４の厚みは０．３ｍｍであり、第２のプレート１５の厚みは０．４ｍｍである。これらの厚みは、使用される光ディスク装置に応じて所望の厚みが選択される。
【００２１】
実施の形態１の調整検査装置において、光ピックアップの調整検査動作を行う場合、上記のように構成されたプレート挿入機構１３により第１のプレート１４と第２のプレート１５を移動して、対物レンズ５からの光が第１のプレート１４又は第２のプレート１５を介して回折格子６に結像する。回折格子６と第１のプレート１４とを組み合わせた光ピックアップの調整検査動作が、光ディスクの内周部分を走査している場合であり、回折格子６と第２のプレート１５とを組み合わせた光ピックアップの調整検査動作が、光ディスクの外周部分を走査している場合である。
上記のように実施の形態１の調整検査装置においては、光ディスクの内周と外周における膜厚差を考慮した光ピックアップの検査調整を行っており、高密度記録再生を行う光ディスク装置に対応した光ピックアップを調整検査して製造することができる。
【００２２】
なお、実施の形態１の調整検査装置では、プレート挿入機構１３により第１のプレート１４と第２のプレート１５を移動して回折格子６の実質的な厚みを変更するよう構成した例で説明したが、回折格子６の材質を変更しても同様な効果を得る構成となる。例えば、回折格子の一方を石英（屈折率：１．４６）で形成し、他方を光透過性のプラスチック樹脂（屈折率：１．６７）で形成して、移動できるように構成してもよい。その場合には、プレート挿入機構は不要となる。
【００２３】
《実施の形態２》
以下、本発明に係る実施の形態２の光ピックアップの調整検査装置及び調整検査方法について説明する。実施の形態２の光ピックアップの調整検査装置において、前述の実施の形態１の光ピックアップの調整検査装置と異なる点は、光ピックアップ１を保持する光ピックアップ保持機構１７Ａが設けられている点である。その他の構成は実施の形態１の光ピックアップの調整検査装置と同じであるため、同じ機能、動作を行う要素には同じ符号を付して、それらの説明は実施の形態１の説明を援用する。
【００２４】
図２は本発明に係る実施の形態２の光ピックアップ１の調整検査装置の構成を示すブロック図である。図２に示すように、実施の形態２において、光ピックアップ１の対物レンズ５から出射された光は、結像位置にある回折格子６に入射され、回折される。回折格子６はピエゾステージ１６に設けられており、ピエゾ素子により光軸方向（フォーカシング方向）及びその光軸方向と直交する方向（トラッキング方向）の二軸方向に変位駆動されるよう構成されている。回折された光は、検出レンズ７の瞳面上に干渉縞を形成する。検出レンズ７の瞳面に形成された干渉縞は、第１の結像レンズ９を介してＣＣＤで構成された第１の受像部１０で受像される。第１の受像部１０においては、受像された光を解析装置により解析して、表示装置により表示する。
【００２５】
また、対物レンズ５から出射され、回折格子６を通過した光は、ハーフミラー８を透過して第２の結像レンズ１１を通り第２の受像部１２に結像される。ＣＣＤで構成された第２の受像部１２ではスポット画像が受像される。第２の受像部１２においては、スポット画像のサイズ及びその形成位置を解析して、当該光ピックアップ１のフォーカスずれとトラッキングずれが解消するよう調整される。
【００２６】
実施の形態２の光ピックアップ１の調整検査装置においては、光ピックアップ１を保持する光ピックアップ保持機構１７Ａが設けられている。光ピックアップ保持機構１７Ａは、光ピックアップ１の対物レンズ５を所望角度θ１だけ回動（図２における反時計方向）させて、所望の位置で固定できるよう構成されている。すなわち、対物レンズ５の光軸と光学測定機器１８における検出レンズ７の光軸が所望角度θ１を有する状態である。この回動機構は、当該光ピックアップ１が設けられる光ディスク装置のチルト補正機構を考慮したものである。実施の形態２においては、光ピックアップ保持機構１７Ａが対物レンズ５を角度０．１度、０．５度、及び０．１度だけ反時計方向に回動させた位置で固定できるよう構成されている。
【００２７】
上記のように構成された実施の形態２の光ピックアップ１の調整検査装置においては、まず光ピックアップ保持機構１７Ａが回動していない位置、すなわち対物レンズ５が角度０度の位置で光ピックアップ１の調整検査動作が行われる。光ピックアップ１の調整検査動作を行う場合、プレート挿入機構１３により第１のプレート１４と第２のプレート１５を移動して、対物レンズ５からの光が第１のプレート１４又は第２のプレート１５を介して回折格子６に結像させる。すなわち、回折格子６と第１のプレート１４とを組み合わせて光ディスクの内周部分を走査しているときの調整検査動作と、回折格子６と第２のプレート１５とを組み合わせて光ディスクの外周部分を走査しているときの調整検査動作が行われる。
【００２８】
次に、光ピックアップ保持機構１７Ａが対物レンズ５を所望角度θだけ回動した状態で光ピックアップ１を保持して、上記の調整検査動作が行われる。この場合には、回折格子６と第２のプレート１５とを組み合わせて光ディスクの外周部分を走査しているときの調整検査動作が行われる。したがって、実施の形態２の光ピックアップ１の調整検査装置においては、光ディスク装置がそのとき使用されている光ディスクに対してチルト補正を行った場合の調整検査動作が行われる。
なお、実施の形態２の光ピックアップ１の調整検査装置においては、光ピックアップ保持機構１７Ａが回動した状態で光ディスクの外周部分を走査しているときの調整検査動作を行ったが、このとき回折格子６と第１のプレート１４とを組み合わせて光ディスクの内周部分を走査しているときの調整検査動作を続いて行ってもよい。
【００２９】
上記のように実施の形態２の調整検査装置においては、光ディスクの内周と外周における膜厚差を考慮した光ピックアップの検査調整を行うとともに、チルト補正が行われた場合の光ピックアップの検査調整を行うことができる。したがって、このように調整検査された光ピックアップを用いた光ディスク装置は、高密度記録再生を高精度に行うことができる。
【００３０】
《実施の形態３》
以下、本発明に係る実施の形態３の光ピックアップの調整検査装置及び調整検査方法について説明する。実施の形態３の光ピックアップの調整検査装置において、前述の実施の形態１の光ピックアップの調整検査装置と異なる点は、光学測定機器１８を保持する光学測定機器保持機構１８Ａが設けられている点である。その他の構成は実施の形態１の光ピックアップの調整検査装置と同じであるため、同じ機能、動作を行う要素には同じ符号を付して、それらの説明は実施の形態１の説明を援用する。
【００３１】
図３は本発明に係る実施の形態３の光ピックアップ１の調整検査装置の構成を示すブロック図である。図３に示すように、実施の形態３において、光ピックアップ１の対物レンズ５から出射された光は、結像位置にある回折格子６に入射され、回折される。回折格子６はピエゾステージ１６に設けられており、ピエゾ素子により光軸方向（フォーカシング方向）及びその光軸方向と直交する方向（トラッキング方向）の二軸方向に変位駆動されるよう構成されている。回折された光は、検出レンズ７の瞳面上に干渉縞を形成する。検出レンズ７の瞳面に形成された干渉縞は、第１の結像レンズ９を介してＣＣＤで構成された第１の受像部１０で受像される。第１の受像部１０においては、受像された光を解析装置により解析して、表示装置により表示する。
【００３２】
また、対物レンズ５から出射され、回折格子６を通過した光は、ハーフミラー８を透過して第２の結像レンズ１１を通り第２の受像部１２に結像される。ＣＣＤで構成された第２の受像部１２ではスポット画像が受像される。第２の受像部１２においては、スポット画像のサイズ及びその形成位置を解析して、当該光ピックアップ１のフォーカスずれとトラッキングずれが解消するよう調整される。
【００３３】
実施の形態３の光ピックアップ１の調整検査装置においては、光学測定機器を保持する光学測定機器保持機構１８Ａが設けられている。光学測定機器保持機構１８Ａは、光学測定機器の検出レンズ７が所望角度θ２だけ回動（図３における反時計方向）して所定角度で停止するよう構成されている。すなわち、対物レンズ５の光軸と光学測定機器における検出レンズ７の光軸が所望角度θ２を有する状態である。この検出レンズ７が所望角度θ２だけ回動する構成は、当該光ピックアップ１が設けられる光ディスク装置のチルト補正機構を考慮したものである。
【００３４】
上記のように構成された実施の形態３の光ピックアップ１の調整検査装置においては、まず光学測定機器保持機構１８Ａが回動していない位置、すなわち検出レンズ７が角度０の位置で光ピックアップ１の調整検査動作が行われる。光ピックアップ１の調整検査動作を行う場合、プレート挿入機構１３により第１のプレート１４と第２のプレート１５を移動して、対物レンズ５からの光が第１のプレート１４又は第２のプレート１５を介して回折格子６に結像させる。すなわち、回折格子６と第１のプレート１４とを組み合わせて光ディスクの内周部分を走査しているときの調整検査動作と、回折格子６と第２のプレート１５とを組み合わせて光ディスクの外周部分を走査しているときの調整検査動作が行われる。
【００３５】
次に、光学測定機器保持機構１８Ａは検出レンズ７が所望角度θ２だけ回動した位置で光ピックアップ１の上記の調整検査動作が行われる。この場合には、回折格子６と第２のプレート１５とを組み合わせて光ディスクの外周部分を走査しているときの調整検査動作が行われる。したがって、実施の形態３の光ピックアップ１の調整検査装置においては、光ディスク装置がそのとき使用されている光ディスクに対してチルト補正を行った場合の調整検査動作が行われる。
なお、実施の形態３の光ピックアップ１の調整検査装置においては、光学測定機器保持機構１８Ａが回動した状態で光ディスクの外周部分を走査しているときの調整検査動作を行ったが、このとき回折格子６と第１のプレート１４とを組み合わせて光ディスクの内周部分を走査しているときの調整検査動作を続いて行ってもよい。
【００３６】
上記のように実施の形態３の調整検査装置においては、光ディスクの内周と外周において膜厚差を考慮した光ピックアップの検査調整を行うとともに、チルト補正が行われた場合の光ピックアップの検査調整を行うことができる。したがって、このように調整検査された光ピックアップを用いた光ディスク装置は、高密度記録再生を高精度に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、光ピックアップの製造工程における調整検査を実際の光ディスク装置における実際の動作と実質的に同じ状況において行うよう構成し、信頼性の高い光ピックアップを提供することができ、光ディスク装置において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る実施の形態１の光ピックアップの調整検査装置の構成を示すブロック図
【図２】本発明に係る実施の形態２の光ピックアップの調整検査装置の構成を示すブロック図
【図３】本発明に係る実施の形態３の光ピックアップの調整検査装置の構成を示すブロック図
【符号の説明】
【００３９】
１    光ピックアップ
２    半導体レーザ
３    コリメートレンズ
４    ビームスプリッタ
５    対物レンズ
６    回折格子
７    検出レンズ
８    ハーフミラー
９    第１の結像レンズ
１０    第１の受像部
１１    第２の結像レンズ
１２    第２の受像部
１３    プレート挿入機構
１４    第１のプレート
１５    第２のプレート
１６    ピエゾステージ
１７    光ピックアップ保持機構
１７Ａ  光ピックアップ保持機構
１８    光学測定機器
１８Ａ  光学測定機器保持機構 
【図１】
2006139842.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006139842.tif 000005