(57)【要約】【課題】  不良率を低減することができる電子源及び電子源の製造方法、並びに表示装置及び電子機器を提供する。【解決手段】  基板１０に形成されたＸ方向配線１８ｘ１と、Ｘ方向配線１８ｘ１に接続された第１の素子電極１１と、基板１０に形成された複数本からなるＹ方向配線１９ｙ１，１９ｙ２と、第１の素子電極１１と対向するように第２の素子電極１２が複数個形成される。第１の素子電極１１と第２の素子電極１２ａ，１２ｂ間をそれぞれ接続する導電性膜１５ａ，１５ｂは、正規とする電子放出部１７ａと予備とする電子放出部１７ｂとを有する。【選択図】      図１
2006221900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成された第１の配線と、
前記第１の配線に接続された第１の素子電極と、
前記基板に形成された複数本からなる第２の配線と、
前記第１の素子電極と対向するように複数個形成され、それぞれ異なる前記第２の配線に接続された第２の素子電極と、
前記第１の素子電極と前記第２の素子電極との各間をそれぞれ接続する複数の導電性膜と、
前記複数の導電性膜にそれぞれ形成された複数の電子放出部と、を有することを特徴とする電子源。
【請求項２】
請求項１に記載の電子源において、
前記複数の電子放出部のうち使用する正規の電子放出部と、前記正規の電子放出部に替えて使用する予備の電子放出部と、を構成することを特徴とする電子源。
【請求項３】
請求項２に記載の電子源において、
前記電子放出部の複数個に対して、前記正規の電子放出部を（Ｎ―１）個、前記予備の電子放出部を１個とすることを特徴とする電子源。
【請求項４】
前記１〜３のいずれか一項に記載の電子源において、
前記第１の配線に接続された駆動信号を送信するための駆動信号送信部または階調信号を送信するための階調信号送信部と、
前記第２の配線に接続された前記第１の配線に接続された前記駆動信号送信部または前記階調信号送信部のうち他方の前記駆動信号送信部または前記階調信号送信部と、を備え、
前記階調信号は、入力された選択信号に基づいて、当該階調信号送信部に接続された複数本の前記第１の配線または前記第２の配線のうち前記選択信号により選択された前記複数本より少ない本数の前記第１または第２の配線に前記階調信号を送信することを特徴とする電子源。
【請求項５】
請求項４に記載の電子源において、
前記第１の配線に駆動信号送信部を接続し、前記第２の配線に階調信号送信部を接続したことを特徴とする電子源。
【請求項６】
基板に第１の素子電極と前記第１の素子電極に対向する複数の第２の素子電極を形成する素子電極形成工程と、
前記基板に前記複数の第２の素子電極のそれぞれに接続される第２の配線を形成する第２の配線形成工程と、
前記基板に前記第１の素子電極に接続される第１の配線を形成する第１の配線形成工程と、
前記第１の素子電極と前記第２の素子電極との各間をそれぞれ接続するために複数の導電性膜を該導電性膜の材料を含む機能液を液滴として吐出して形成する導電性膜形成工程と、
前記複数の導電性膜にそれぞれ電子放出部を形成する電子放出部形成工程と、を有することを特徴とする電子源の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の電子源を備えた表示装置において、
前記複数の電子放出部で１の画素を構成することを特徴とする表示装置。
【請求項８】
請求項７に記載の表示装置を搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子源及び電子源の製造方法、並びに表示装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面電位型の電子放出素子としては、一対の素子電極間を接続する導電性膜に通電処理等によって電子放出部が形成されたものが知られている。電子放出素子の駆動は、導電性膜に接続された素子電極間に電圧を印加することによって行われ、電子放出部から電子が放出される。例えば、特許文献１に記載の電子放出素子は、第１の信号配線に第１の素子電極が接続するように形成され、前記第１の素子電極に対向するように第２の信号配線に接続された複数個の第２の素子電極が形成されている。各信号配線から電気信号を印加すると複数個設けられた電子放出部から電子を放出するようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００―３１１５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の電子放出素子に形成された複数個の電子放出部のうち１つに欠陥が生じると、該欠陥の発生した電子放出部から電子が放出されないので、電子放出量が低下してしまい、画像表示等の品質を確保できなくなる。このため、欠陥が生じたものは不具合品として取り扱われ、不良率が増加してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、不良率を低減することができる電子源及び電子源の製造方法、並びに表示装置及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の電子源は、基板に形成された第１の配線と、第１の配線に接続された第１の素子電極と、基板に形成された複数本からなる第２の配線と、第１の素子電極と対向するように複数個形成され、それぞれ異なる第２の配線に接続された第２の素子電極と、第１の素子電極と第２の素子電極との各間をそれぞれ接続する複数の導電性膜と、複数の導電性膜にそれぞれ形成された複数の電子放出部とを有することを要旨とする。
【０００７】
これによれば、第１の配線に接続された第１の素子電極には、複数個の第２の素子電極が対向するように形成され、両素子電極間を接続する導電性膜には電子放出部が形成される。第２の素子電極は、それぞれ異なる第２の配線に接続されている。従って、１の電子源に冗長素子を構成することにより、不良率を低減させることができる。また、第１の素子電極と各第２の素子電極間に印加電圧と電流を測定して、各電子放出部の可否を評価することができる。該評価により、規定の品質特性が得られない場合には、該当する電子放出部は、欠陥ありと判断され、予備の電子放出素子を用いることにより不良率を低減させることができる。他の使用方法としては、複数個ある全ての電子放出部に電圧を印加させ、電子放出量を増加させることにより、素子毎に輝度を調整することができる。
【０００８】
本発明の電子源は、複数の電子放出部のうち使用する正規の電子放出部と、正規の電子放出部に替えて使用する予備の電子放出部とを構成してもよい。
【０００９】
これによれば、複数あるうちのいくつかを正規の電子放出部と予備の電子放出部を構成することにより、例えば、正規の電子放出部に欠陥等が生じたときに、正規の電子放出部に替えて予備の電子放出部を用いることにより、電子放出量が確保されるので、不良率を低減させることができる。
【００１０】
本発明の電子源は、電子放出部の複数個に対して、正規の電子放出部を（Ｎ―１）個、予備の電子放出部を１個としてもよい。
【００１１】
これによれば、正規の電子放出部（Ｎ―１）個のうち１個に欠陥等の不具合が生じた場合に、予備の電子放出部１個と代替して使用するので、不良率を削減することができる。
【００１２】
本発明の電子源は、第１の配線に接続された駆動信号を送信するための駆動信号送信部または階調信号を送信するための階調信号送信部と、第２の配線に接続された第１の配線に接続された駆動信号送信部または前記階調信号送信部のうち他方の駆動信号送信部または階調信号送信部とを備え、階調信号は、入力された選択信号に基づいて、当該階調信号送信部に接続された複数本の第１の配線または第２の配線のうち選択信号により選択された複数本より少ない本数の第１または第２の配線に階調信号を送信してもよい。
【００１３】
これによれば、第１の配線には、駆動信号送信部または階調信号送信部が接続され、第２の配線には第１の配線に接続された他方の駆動信号送信部または階調信号送信部が接続される。従って、駆動信号と階調信号の送信によって複数ある電子放出部を選択的に駆動することができる。
【００１４】
本発明の電子源は、第１の配線駆動信号送信部を接続し、第２の配線に階調信号送信部を接続してもよい。
【００１５】
これによれば、第１の配線に駆動信号が送信され、第２の配線は、選択信号により選択され、選択された第２の配線に階調信号が送信される。従って、複数個ある電子放出部を個別に独立させて駆動させることができる。
【００１６】
本発明の電子源の製造方法は、基板に第１の素子電極と第１の素子電極に対向する複数の第２の素子電極を形成する素子電極形成工程と、基板に複数の第２の素子電極のそれぞれに接続される第２の配線を形成する第２の配線形成工程と、基板に第１の素子電極に接続される第１の配線を形成する第１の配線形成工程と、第１の素子電極と第２の素子電極との各間をそれぞれ接続するために複数の導電性膜を該導電性膜の材料を含む機能液を液滴として吐出して形成する導電性膜形成工程と、複数の導電性膜にそれぞれ電子放出部を形成する電子放出部形成工程とを有することを要旨とする。
【００１７】
これによれば、基板に第１の素子電極と対向するように複数個の第２の素子電極を形成する。第２の素子電極は、それぞれ異なる第２の配線に接続する。それぞれの素子電極間は、導電性膜の材料を含む機能液を吐出して形成した導電性膜で接続し、該導電性膜に電子放出部を形成する。従って、１の電子源に冗長素子が形成され、複数個の素子電極のうち正規の電子放出部と予備の素子電極を選択することができる。例えば、正規の電子放出部に欠陥が生じても、正規の電子放出部に替えて予備の電子放出部を用いることにより、電子放出素子としての品質が確保されるので、不良率を低減させることができる。また、第１の素子電極と各第２の素子電極間に印加電圧と電流を測定して、各電子放出部の可否を評価することができる。該評価により、規定の品質特性が得られない場合には、該当する電子放出部は、欠陥ありと判断され、予備の電子放出素子を用いることにより不良率を低減させることができる。他の使用方法としては、複数個ある全ての電子放出部に電圧を印加させ、電子放出量を増加させることにより、素子毎に輝度を調整することができる。
【００１８】
本発明の表示装置は、複数の電子放出部で１の画素を構成することを要旨とする。
【００１９】
これによれば、複数の電子放出部がひとまとめして１画素単位に対応するように構成される。従って、例えば、正規の電子放出部に欠陥等の不具合が生じた場合、１画素の輝度が低下して不具合品となるところ、予備の電子放出部を代替として使用することにより画素表示の品質を確保することができる。また、正規の電子放出部と予備の電子放出部を有し、複数ある電子放出部を選択的に駆動させることができる。これにより、不良率を低減した表示装置を提供することができる。さらに、予備の電子放出素子や欠陥の生じた電子放出素子に対して駆動しない構成とすることにより、消費電力を抑えた表示装置を提供することができる。また、複数の電子放出部を個別に駆動させることにより画素毎の輝度の調整を容易に行うことができる。この場合の表示装置は、例えば、ＳＥＤ（表面電解ディスプレイ）等がこれに該当する。
【００２０】
本発明の電子機器は、上記の表示装置を搭載したことを要旨とする。
【００２１】
これによれば、品質特性の優れた表示装置を搭載した電子機器を提供することができる。この場合、電子機器は、例えば、上記ＳＥＤを搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子機器がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
【００２３】
まず、電子源１の構成について説明する。図１は、電子源１を示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００２４】
図１（ａ），（ｂ）において、電子源１は、基板１０に１つの第１の素子電極１１と２つの第２の素子電極１２ａ，１２ｂと、導電性膜１５ａ，１５ｂと、第１の配線としてのＸ方向配線１８ｘ１と、第２の配線としてのＹ方向配線１９ｙ１，１９ｙ２等を備えている。第１の素子電極１１は、接続端子２２を介してＸ方向配線１８ｘ１に接続されている。第１の素子電極１１に対向するように第２の素子電極１２ａ，１２ｂが形成され、両素子電極間（１１と１２ａ，１１と１２ｂ）を接続するように、それぞれ導電性膜１５ａ，１５ｂが形成されている。導電性膜１５ａ，１５ｂには、それぞれ電子放出部１７ａ，１７ｂが形成されている。ここで、電子放出部１７ａを正規として使用し、電子放出部１７ｂは予備として存在する。正規とする電子放出部１７ａを有する導電性膜１５ａに接続されている第２の素子電極１２ａは、Ｙ方向配線１９ｙ１に接続され、予備の電子放出部１７ｂを有する導電性膜１５ｂに接続されている第２の素子電極１２ｂは、Ｙ方向配線１９ｙ２に接続されている。なお、Ｘ方向配線１８ｘ１の下には絶縁膜２１が形成され、Ｘ方向配線１８ｘ１とＹ方向配線１９ｙ１，１９ｙ２との絶縁性が確保されるようになっている。
【００２５】
基板１０としては、石英ガラス、Ｎａ等の不純物含有量を減少させたガラス、青板ガラス、青板ガラスにスパッタ法等により形成したＳｉ０2を積層したガラス等、アルミナ等のセラミックス、およびＳｉ基板等を用いることができる。
【００２６】
素子電極１１，１２ａ，１２ｂとしては、一般的な導体材料を用いることができる。例えば、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕ、Ｍｏ、Ｗ、Ｐｔ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄ等の金属もしくは合金等を用いることができる。
【００２７】
導電性膜１５ａ，１５ｂ及び接続端子２２としては、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂ等の金属、ＰｄＯ、ＳｎＯ2、Ｉｎ2Ｏ3、ＰｂＯ、Ｓｂ2Ｏ3等の金属酸化物等を用いることができる。
【００２８】
次に、電子源１の製造に用いる液滴吐出装置３０の構成について説明する。図２は、液滴吐出装置３０の構成を示す斜視図である。
【００２９】
液滴吐出装置３０は、基板１０の所定位置に対して機能液を液滴として吐出して付着させるための装置である。基板１０は、電子源１が複数個形成される基板である。
【００３０】
図２において、液滴吐出装置３０は、吐出ヘッド３５を備えたキャリッジ３８と、吐出ヘッド３５の位置を制御するヘッド位置制御装置３１と、基板１０を所定位置に吸着する吸着テーブル３９と、吸着テーブル３９に載置された基板１０の位置を補正させる基板位置制御装置３２と、吐出ヘッド３５に対して基板１０を正規走査移動させる正規走査駆動装置３３と、基板１０に対して吐出ヘッド３５を副走査移動させる副走査駆動装置３４と、基板１０を液滴吐出装置３０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置３６と、液滴吐出装置３０の全般の制御を司るコントロール装置３７で構成されている。
【００３１】
ヘッド位置制御装置３１、基板位置制御装置３２、正規走査駆動装置３３、副走査駆動装置３４の各装置はベース５０の上に設置される。また、それらの装置は必要に応じてカバー５１によって覆われている。
【００３２】
基板供給装置３６は、基板１０を収容する基板収容部４０と、基板１０を搬送するロボット４１を有している。ロボット４１は、床、地面等といった設置面に置かれる基台４２と、基台４２に対して昇降移動する昇降軸４３と、昇降軸４３を中心として回転する第１アーム４４と、第１アーム４４に対して回転する第２アーム４５と、第２アーム４５の先端下面に設けられた吸着パッド４６とを有する。吸着パッド４６は、エアー吸引力によって基板１０を吸着できる。
【００３３】
副走査駆動装置３４によって駆動されて移動する吐出ヘッド３５の軌道下にあって正規走査駆動装置３３の一方の脇位置に、キャッピング装置６５およびクリーニング装置６６が配置される。また、他方の脇位置に電子天秤６７が配置されている。クリーニング装置６６は吐出ヘッド３５を洗浄するための装置である。電子天秤６７は、吐出ヘッド３５に設けられた吐出ヘッド３５のノズル部から吐出される機能液の液滴重量を測定する機器である。そして、キャッピング装置６５は吐出ヘッド３５が待機状態にあるときノズル部の乾燥および目詰まりを防止するための装置である。
【００３４】
吐出ヘッド３５の近傍には、その吐出ヘッド３５と一体に移動するヘッド用カメラ６８が配置されている。また、ベース５０上に設けられた支持装置（図示せず）に支持された基板用カメラ６９が基板１０を撮影できる位置に配置される。
【００３５】
コントロール装置３７は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部４７と、入力装置としてのキーボード４８と、表示装置としてのＣＲＴ等のディスプレイ４９とを有する。
【００３６】
次に、液滴吐出装置３０に備えられた吐出ヘッド３５について説明する。図３は、吐出ヘッド３５を示し、（ａ）は、一部破断した斜視図であり、（ｂ）は、側断面図である。
【００３７】
図３（ａ）において、吐出ヘッド３５は、例えば、ステンレス製のノズルプレート７１と、ノズルプレート７１の対向した振動板７２と、それらを互いに接合する複数の仕切部材７３とを有する。ノズルプレート７１と振動板７２との間には、仕切部材７３によって複数の機能液室７４と機能液溜り部７５とが形成されている。複数の機能液室７４と機能液溜り部７５とは通路７８を介して互いに連通している。機能液室７４は、仕切部材７３によって区画され、均等間隔で配列して形成されている。
【００３８】
振動板７２の適所には機能液供給孔７６が形成され、この機能液供給孔７６に管路８４を介して機能液９０を貯留する供給タンク７７が接続される。供給タンク７７は、機能液９０を機能液供給孔７６へ供給する。供給された機能液９０は機能液溜り部７５に充満し、さらに通路７８を通って機能液室７４に充満する。
【００３９】
ノズルプレート７１には、機能液室７４から機能液９０をジェット状に噴射するためのノズル７０が設けられている。また、振動板７２の機能液室７４を形成する面の裏面には、該機能液室７４に対応させて機能液加圧体７９が取り付けられている。この機能液加圧体７９は、図３（ｂ）に示すように、圧電素子材８０とこれを挟持する一対の電極８１ａおよび８１ｂを有する。圧電素子材８０は、電極８１ａおよび８１ｂへの通電によって矢印Ｂで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより機能液室７４の容積が増大する。すると、増大した容量分に相当する機能液９０が機能液溜り部７５から通路７８を通って機能液室７４へ流入する。
【００４０】
次に、圧電素子材８０への通電を解除すると、該圧電素子材８０と振動板７２は共に元の形状へ戻る。これにより、機能液室７４も元の容積に戻るため機能液室７４の内部にある機能液９０の圧力が上昇し、ノズル７０から基板１０へ向けて機能液９０が液滴８３となって噴射する。なお、ノズル７０の周辺部には、液滴８３の飛行曲がりやノズル７０の孔詰まり等を防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液層８２が設けられている。
【００４１】
次に、電子源１の製造工程について説明する。図４は、電子源１の製造工程を模式的に示した断面図である。
【００４２】
図４（ａ）は、素子電極形成工程を示す。図４（ａ）において、第１および第２の素子電極１１，１２を形成する。基板１０の上に、第１の素子電極１１と第１の素子電極と対向するように第２の素子電極１２ａ，１２ｂを形成する。形成方法としては、導電体材料のペーストを印刷法により所望の形状に形成した後、これを加熱処理する方法や導電体材料を含む機能液９０を液滴吐出装置３０によって基板１０に吐出した後に加熱処理する方法や真空蒸着、スパッタ法等により素子電極材を堆積後、フォトリソグラフィー法を用いて所定の形状の電極を形成する方法等を採用することができる。
【００４３】
図４（ｂ）は、第２の配線としてのＹ方向配線形成工程を示す。図４（ｂ）において、Ｙ方向配線１９を形成する。Ａｇペーストを所定の形状にスクリーン印刷し、これを加熱焼成してＹ方向配線１９ｙ１，１９ｙ２を形成する。Ｙ方向配線１９ｙ１は、第２の素子電極１２ａと接続するように、Ｙ方向配線１９ｙ２は、第２の素子電極１２ｂと接続するようにそれぞれ形成する。
【００４４】
図４（ｃ）は、絶縁膜形成工程を示す。図４（ｃ）において、絶縁膜２１を形成する。ガラスペーストを所定位置に印刷し、これを加熱焼成して絶縁膜２１を形成する。絶縁膜２１は、Ｙ方向配線１９とＸ方向配線１８ｘ１と絶縁するための膜である。
【００４５】
図４（ｄ）は、第１の配線としてのＸ方向配線形成工程を示す。図４（ｄ）において、Ｘ方向配線１８ｘ１を形成する。絶縁膜２１の上にＡｇペーストを印刷し、これを加熱焼成してＸ方向配線１８ｘ１を形成する。Ｘ方向配線１８ｘ１は、Ｙ方向配線１９ｙ１，１９ｙ２に対してほぼ直交して形成される。
【００４６】
図４（ｅ）は、導電性膜形成工程を示す。図４（ｅ）において、導電性膜１５ａ，１５ｂ及び接続端子２２を形成する。前述の液滴吐出装置３０を用いて、液滴吐出装置３０の吐出ヘッド３５から素子電極間（１１と１２ａ，１１と１２ｂ）に向けて導電性膜１５の材料を含む機能液９０を液滴８３として吐出する。同時期に、第１の素子電極１１とＸ方向配線１８ｘ１の間に向けて導電性膜１５と同材料を含む機能液９０を液滴８３として吐出する。その後、乾燥／焼成を行って、導電性膜１５ａ，１５ｂ及び接続端子２２を形成する。
【００４７】
図４（ｆ）は、電子放出部形成工程を示す。図４（ｆ）において、電子放出部１７ａ，１７ｂを形成する。電子放出部１７は、例えば、通電処理を行うことによって形成される。通電処理は、一対の素子電極間（１１と１２ａ，１１と１２ｂ）に電圧を印加して、導電性膜１５に電流を流すことによって行う。両素子電極１１，１２間に電圧を印加して電流を流すと、導電性膜１５の一部に電子放出部１７が形成される。通電処理によれば導電性膜１５の局所部に破壊、変形もしくは変質等の構造の変化した部位が形成される。なお、同図（ｅ）において、例えば、異なる機能液を吐出して導電性膜１５の一部に他の膜厚よりも薄い膜厚とする潜像部を形成し、該潜像部に電子放出部１７を形成することもできる。
【００４８】
上記工程が終了すると、電気的特性検査等の所定の工程を経て、電子源１が完成する。
【００４９】
次に電子源１を備えた表示装置１００について説明する。図５は、電子源１のマトリクス構成を示す模式図である。図５において、Ｘ方向配線１８は、１８ｘ１，１８ｘ２，…１８ｘｍのｍ本で構成され、Ｙ方向配線１９は、１９ｙ１，１９ｙ２，…１９ｙｎのｎ本で構成されている。Ｘ方向配線１８は、高電位側電極を兼ね、Ｙ方向配線１９は、低電位側電極を兼ねている。Ｘ方向配線１８ｘｍとＹ方向配線１９ｙｎは、それぞれ外部端子として引き出されている。
【００５０】
Ｘ方向配線１８は、Ｘ方向に配列した電子放出素子２の各行に駆動信号を送信する駆動信号送信部１０６に接続されている。Ｙ方向配線１９は、Ｙ方向に配列した電子放出素子２の列に階調信号を送信する階調信号送信部１０７に接続されている。それぞれの電子放出素子２に印加される電圧は、該電子放出素子２に印加される駆動信号と階調信号の差電圧として供給される。本実施形態においては、Ｘ方向配線１８は高電位、Ｙ方向配線１９は低電位になるよう接続されているので、Ｘ方向配線１８が高電位供給用配線に相当し、Ｙ方向配線１９は、低電位供給配線に相当する。
【００５１】
駆動信号送信部１０６と階調信号送信部１０７は、コンピュータ本体部４７に接続されており、ＣＰＵが予め記憶されたプログラムソフトに基づいて演算処理を行う。ＣＰＵは、駆動信号送信部１０６には、駆動信号を送信し、駆動信号送信部１０６は、各行のＸ方向配線１８に駆動信号を送信する。階調信号送信部１０７には、階調信号と選択信号を送信し、選択信号により選択されたＹ方向配線１９に階調信号を送信する。
【００５２】
このようなマトリクス配線を用いて、個別に電子放出素子２を選択し、独立して駆動することができ、例えば、電子放出部１７ａを正規として駆動し、電子放出部１７ｂは予備として通常は駆動せず、例えば、電子放出部１７ａに欠陥が生じたような場合に、電子放出部１７ａに替えて予備の電子放出部１７ｂを使用する。
【００５３】
その他の電子放出素子の駆動方法としては、階調信号送信部１０７にフラッシュメモリ等の書き換え可能な記憶装置を搭載して、選択された配線に階調信号を送信することも可能である。また、Ｙ方向配線１９のそれぞれの配線と階調信号送信部１０７との間にヒューズ等を設けて機械的に配線の選択を行うことも可能である。
【００５４】
図６は、マトリクス配置の電子源１を用いて構成した表示装置としてのＳＥＤ（表面電界ディスプレイ）１００を示す側断面図である。
【００５５】
図６において、ＳＥＤ１００は、電子源１を固定するリアプレート１０１と、フェースプレート１０２とを有する。フェースプレート１０２は、ガラス基板１０３と蛍光体１０４とメタルバック１０５等を有する。リアプレート１０１とフェースプレート１０２は、ガラス材等を用いて図示しない支持枠を介して接続されている。接続は、真空中で、約４５０度の温度で焼成して行われる。
【００５６】
ＳＥＤ１００の表示動作は、素子電極１１，１２ａ間に１０数ボルトの電圧が印加されると、電子放出部１７ａの第２の素子電極１２ａ側から第１の素子電極側に向かって電子ｅが放出される。放出された電子ｅは、メタルバックに印加された１０数ボルトの電圧で加速されて蛍光体１０４に衝突し、蛍光体１０４が発光することによって表示を行う。表示装置１００がカラー表示タイプの場合には、蛍光体１０４は、画素毎に三原色に対応できるように分けられて形成される。
【００５７】
次に、表示装置としてのＳＥＤ１００を搭載した電子機器１１０について説明する。図７は、電子機器の一例のテレビ受像機１１０を示す斜視図である。
【００５８】
図７において、テレビ受像機１１０のディスプレイ部１１１には、ＳＥＤ１００が組み込まれている。電子機器は、この他に、例えば、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品が挙げられる。
【００５９】
なお、電子源１は、ＳＥＤ１００への適用に限定されず、電子源１をコヒーレント電子源として使用する様々な機器、例えば、コヒーレント電子ビーム収束装置、電子線ホログラフィー装置、単色化型電子銃、電子顕微鏡、多数本コヒーレント電子ビーム作成装置、電子ビーム露光装置等にも適用することができる。
【００６０】
従って、本実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００６１】
（１）Ｘ方向配線１８ｘ１に接続された第１の素子電極１１に対向するように第２の素子電極１２ａ，１２ｂが形成され、両素子電極（１１と１２ａ，１１と１２ｂ）間を接続する導電性膜１５ａ，１５ｂにはそれぞれ正規とする電子放出部１７ａと予備の電子放出部１７ｂが形成される。電子放出部１７ａ，１７ｂに接続されている第２の素子電極１２ａ，１２ｂは、それぞれ異なるＹ方向配線１９ｙ１，１９ｙ２に接続されている。従って、正規とする電子放出部１７ａに欠陥が生じた場合には、予備の電子放出部１７ｂを駆動することにより、電子放出量は確保されるので、不良率を低減することができる。
【００６２】
（２）正規とする電子放出部１７ａに駆動させ、予備とする電子放出部１７ｂには駆動させないので、消費電力を抑えることができる。
【００６３】
（３）第２の素子電極１２ａ，１２ｂ毎に駆動させ、電子放出部１７ａ，１７ｂから放出される電子放出量の調整を行うことにより、画素の輝度調整を行うことができる。
【００６４】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
【００６５】
（変形例１）図１において、第１の素子電極１１に対して２つの第２の素子電極１２ａ，１２ｂを形成したが、これに限定されず、２つを超える個数の第２の素子電極を形成してもよい。図８は、変形例１における電子源１を示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図８において、第１の素子電極１１に対して４つの第２の素子電極１２ａ〜１２ｄが形成されている。各素子電極間には導電性膜１５ａ〜１５ｄが形成され、導電性膜１５ａ〜１５ｄに電子放出部１７ａ〜１７ｄが形成されている。第１の素子電極１１は第１の配線１１８に接続され、第２の素子電極１２ａ〜１２ｄに対して共通電極を成している。第２の素子電極１２ａ〜１２ｄは、それぞれ異なる第２の配線１１９ａ〜１１９ｄに接続されている。また、各配線１１８，１１９ａ〜１１９ｄの各間には絶縁膜１２０が形成されており、各配線間を絶縁している。このような構成にしても、電子放出部１７ａ〜１７ｄのうち１つを予備とする電子放出素子とすることにより、いずれかの電子放出部の欠陥が生じても、予備の電子放出部を駆動することができるので、不良品とすることなく良品として使用でき、不良率を低減することができる。なお、予備を１つとするのが好ましいが、予備を２つ以上としてもよい。
【００６６】
（変形例２）図８において、第２の配線１１９ａ〜１１９ｄのうち第２の配線１１９ａ，１１９ｂと第１の配線１１８を下層とする多層構造を有する電子源１としたが、第２の配線１１９ａ〜１１９ｄの全部を下層に形成し、第１の配線１１８を上層に形成してもよい。このような構造にすることにより、高密度化を図ることができる。また、第１の配線１１８のレイアウト設計の自由度が広がり、第１の配線１１８に接続される第１の素子電極１１のほぼ全方位において複数個の第２の素子電極１７を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本実施形態における電子源１を示し、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、Ａ−Ａ断面図。
【図２】液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図３】吐出ヘッドを示し、（ａ）は、一部破断した斜視図であり、（ｂ）は、側断面図。
【図４】電子源１の製造工程を模式的に示した断面図。
【図５】電子源のマトリクス構成を示す模式図。
【図６】表示装置の一例のＳＥＤ（表面電界ディスプレイ）を示す側断面図。
【図７】電子機器の一例のテレビ受像機を示す斜視図。
【図８】変形例１における電子源１を示し、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、Ｃ−Ｃ断面図。
【符号の説明】
【００６８】
１…電子源、１０…基板、１１…第１の素子電極、１２ａ〜１２ｄ…第２の素子電極、１５ａ〜１５ｄ…導電性膜、１７ａ〜１７ｄ…電子放出部、１８（１８ｘ１，１８ｘ２，…１８ｘｍ）…第１の配線としてのＸ方向配線、１９（１９ｙ１，１９ｙ２…１９ｙｎ）…第２の配線としてのＹ方向配線、２１，１２０…絶縁膜、２２…接続端子、３０…液滴吐出装置、３５…吐出ヘッド、８３…液滴、９０…機能液、１００…表示装置としてのＳＥＤ、１０６…駆動信号送信部、１０７…階調信号送信部、１１０…電子機器としてのテレビ受像機、１１１…ディスプレイ部、１１８…変形例における第１の配線，１１９ａ〜１１９ｄ…変形例における第２の配線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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