(57)【要約】【課題】  自動倉庫の設置面積を少なくすることによって、工場建設時の投資額削減や、工場運転時のランニングコストの削減ができ、さらに、任意のカセットに対し直接的にアクセス可能にすることによって、処理装置側の仕掛り要求に対し、直ちに仕掛りを供給することを可能とする。【解決手段】  ワークを格納している吊置兼用カセット６と、吊置兼用カセット６を置いた状態で格納する置棚９と、吊置兼用カセット６を吊り下げた状態で格納する吊棚７と、置棚９および吊棚７に沿って水平方向に走行するスタッカクレーンと、スタッカクレーン上を垂直方向に移動する吊置兼用ハンド移載部４と、吊置兼用カセット６を保持する吊置兼用ハンド５，１５とから構成されており、置棚９の上方から吊置兼用カセット６の取り出しおよび載置を行うとともに、吊棚７の下方から吊置兼用カセット６の取り出しおよび吊り下げを行う。【選択図】  図１
2006335493.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを格納している吊置兼用カセットと、吊置兼用カセットを置いた状態で保管する置棚と、置棚の上部に配置されており、吊置兼用カセットを吊り下げた状態で保管する吊棚と、置棚および吊棚に沿って水平方向に走行するスタッカクレーンと、当該スタッカクレーン上を垂直方向に移動するとともに、吊置兼用カセットを保持する保持部とを備えていることを特徴とする吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項２】
前記保持部が吊置兼用ハンドを備えており、前記吊置兼用カセットが、前記吊置兼用ハンドが嵌合するハンドガイドを備えており、吊置兼用カセット搬送時には、前記ハンドガイドに嵌合させた吊置兼用ハンドによって、吊置兼用カセットが保持される請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項３】
前記吊棚が吊棒を備えており、前記吊置兼用カセットが上面に吊掛フックを備えており、吊置兼用カセット保管時には、前記吊棒に前記吊掛フックを引掛けることによって、前記吊置兼用カセットが吊り下げ保持される請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項４】
前記吊棚が電磁石プレートを備えており、前記吊置兼用カセットが上面にプレートを備えており、吊置兼用カセット保管時には、磁化状態になっている電磁石プレートに前記プレートが磁着することによって、前記吊置兼用カセットが吊り下げ保持される請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項５】
前記吊棚が、支持腕部とこの支持腕部の側面に設けられた突起部とからなる一対のチャックを備えており、前記吊置兼用カセットが、前記突起部が嵌合する溝形状のチャックガイドを左右両外側面に備えており、吊置兼用カセット保管時には、前記チャックガイドに前記チャックを嵌合させることによって、前記吊置兼用カセットが吊り下げ保持される請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項６】
前記吊棚が吊掛用フックを備えており、前記吊置兼用カセットが上面に吊掛棒を備えており、吊置兼用カセット保管時には、前記吊掛用フックに前記吊掛棒を引掛けることによって、前記吊置兼用カセットが吊り下げ保持される請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項７】
前記吊置兼用カセットを外部から倉庫内に搬入する入庫口と、前記吊置兼用カセットを倉庫外へ搬出する出庫口とを有している請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項８】
前記吊置兼用カセットから所定のワークを取り出す工程、および吊置兼用カセット内の所定の位置へワークを格納する工程を実施する装置ローダを備えている請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項９】
前記スタッカクレーンの保持部が吊棚と置棚との間に配置されている請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項１０】
前記スタッカクレーンの走行台車が置棚の下側に配置されている請求項９記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項１１】
前記置棚と吊棚とからなる収納棚が横方向に２列並べて配置されており、前記スタッカクレーン台車が１列目の収納棚と２列目の収納棚との間を走行可能に配置されている請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項１２】
前記置棚と吊棚とからなる収納棚が縦方向に複数段並べて配置されており、１台のスタッカクレーンを前記複数段の収納棚で共用する請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項１３】
前記保持部が電磁石プレートを備えており、前記吊置兼用カセットがプレートを備えており、吊置兼用カセット搬送時には、磁化状態になっている前記電磁石プレートで前記プレートを磁着することによって、吊置兼用カセットが保持される請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項１４】
前記保持部が、支持腕部とこの支持腕部の側面に設けられた突起部とからなる一対のチャックを備えており、前記吊置兼用カセットが、前記突起部が嵌合する溝形状のチャックガイドを左右両外側面に備えており、吊置兼用カセット搬送時には、前記チャックガイドに前記チャックを嵌合させることによって、前記吊置兼用カセットが吊り下げ保持される請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【請求項１５】
前記保持部が吊掛用フックを備えており、前記吊置兼用カセットが上面に吊掛棒を備えており、吊置兼用カセット搬送時には、前記吊掛用フックに前記吊掛棒を引掛けることによって、吊置兼用カセットが吊り下げ保持される請求項１記載の吊置兼用縦型自動倉庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶基板や半導体基板を複数枚格納したカセットを複数個格納しており、格納されている任意のカセットに対し自動入出庫が可能な吊置兼用縦型自動倉庫に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板を格納したカセットを格納する、一般的な自動倉庫として、例えば特許文献1に開示されている自動倉庫がある。この自動倉庫は、文献1の４頁〜５頁および図１〜図４に開示されているように、中央にスタッカクレーンが走行する搬送路があり、その両側にカセットを格納する棚が設置されている。スタッカクレーンが入出庫口と棚との間で搬送を行うこの自動倉庫は、両側の棚を多段に設置することが可能であるため、収納カセット数が比較的多く、また、スタッカクレーンが任意の棚にアクセス可能であるため、必要なカセットを直ぐに取り出せるといった特徴を有している。
【０００３】
また、自動倉庫の他の例としては、特許文献２に開示されているコンベアストッカーがある。このコンベアストッカーは、文献２の３頁ならびに図１および図２に開示されているように、その上にパレットを載置して搬送するホイール式コンベアが上下方向に複数段設けられたストッカーと、前記ストッカーの両側に１つずつ設けられ、各々上下方向に移動して前記コンベアの１つに位置付けされ、その上に載置された前記パレットを動力によってその上に排出するリフタとを有している。このコンベアストッカーは、コンベアを集積するストッカーの部分に動力を用いず、リフタの動力によってパレットを１つずつタクト送りする方式であるため、安価でパレット効率がよいといった特徴を有している。
【０００４】
また、自動倉庫のさらに他の例としては、特許文献３に開示されている自動倉庫がある。この自動倉庫は、文献３の３頁ならびに図１および図２に開示されているように、建屋の左右のエリアの天井部にそれぞれ設けた、前後方向に移動自在なレール装置と、各レール装置間を接続する連結レールと、レール装置の外方へレール装置に連続し、米袋の入出庫エリアを通過する入出庫用レールと、各レール装置、連結レールおよび入出庫レールに沿って左右方向に自在に移動し、米袋を上方から吊り上げ、吊り卸しを行うことにより米袋の段積および入出庫を行う出し入れ装置とを備えている。この自動倉庫は、２台の出し入れ装置が、レール装置、連結レールおよび入出庫レールを自在に移動し、また、各レール装置が前後に移動することから、米袋を迅速に入出庫または段積みすることができるため、入出庫作業効率を大幅に改善することができるといった特徴を有している。
【特許文献１】特開平９−２０２４１１号公報
【特許文献２】特開昭６１−２０６７０６号公報
【特許文献３】特開平８−１５７０１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に開示されているような自動倉庫の場合、自動倉庫の幅は、カセットを格納する棚の幅の約３倍の寸法が必要になり、カセットのサイズが大きくなるほど、自動倉庫の設置幅および設置面積が大きくなる。例えば、２ｍ角の液晶基板を格納するカセットを保管する自動倉庫の場合、両側の棚の幅はそれぞれ２ｍ以上となり、カセットを搬送するために両棚間に設けられた空間の幅は２ｍ以上となり、その結果、自動倉庫の幅は６ｍ以上となる。即ち、このような自動倉庫を用いた場合には、自動倉庫の設置面積が大きくなり、工場面積に占める自動倉庫の割合が増加してしまい、その結果、工場設置面積増加による工場建設費用の増加だけでなく、工場全体のクリーン度を維持するための空調費も増加しランニングコストが高くなるといった問題が生じる。
【０００６】
そこで、このような問題を解決するために、自動倉庫の幅を削減する方法として、棚を１列にすることが考えられるが、その場合も、スタッカクレーン走行路は必要となるため、自動倉庫の幅は、棚の幅の約２倍必要である。この場合、自動倉庫の収納効率は約２／３に低下する。
【０００７】
また、上記特許文献２に開示されているコンベアストッカーの場合、各段のコンベア上のパレットは、投入した順序でしか払出しができず、任意のパレットを取り出すことができないといった問題があった。例えば、半導体工場や液晶工場の仕掛りは、機種や工程により違う種類の仕掛りと認識されるため、仕掛りの種類は非常に多くなる。従って、仕掛りの種類だけコンベアを用意することは不可能である。また、１台のコンベアに複数の種類の仕掛りが混在すると、液晶基板や半導体基板に対して製造処置を実施する処理装置からの仕掛り要求に対して、直ちに必要な仕掛りを供給できないといった問題があった。
【０００８】
また、上記特許文献３に開示されている自動倉庫の場合も、一番上に積まれている荷物以外は、直接取り出すことができないため、上記特許文献２に開示されているコンベアストッカーと同様、処理装置からの仕掛り要求に対して、直ちに仕掛りを供給できないといった問題があった。
【０００９】
本発明は係る実情に鑑みてなされたもので、その目的は、自動倉庫の設置面積を少なくすることによって、工場建設時の投資額削減や、工場運転時のランニングコストの削減ができ、さらに、任意のカセットに対し直接的にアクセス可能にすることによって、処理装置側の仕掛り要求に対し、直ちに仕掛りを供給することができる吊置兼用縦型自動倉庫を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、図１および図２に示すように、複数のワーク（例えば、ガラス基板）を格納している吊置兼用カセット６と、吊置兼用カセット６を置いた状態で保管する置棚９と、置棚９の上部に配置されており、吊置兼用カセット６を吊り下げた状態で保管する吊棚７と、置棚９および吊棚７に沿って走行するスタッカクレーン３と、当該スタッカクレーン３上を垂直方向に移動するとともに、吊置兼用カセット６を保持する保持部（例えば、吊置兼用ハンド５，１５）とから構成されている。このような構成を有している吊置兼用縦型自動倉庫において、吊棚７に保管されている吊置兼用カセット６は、吊棚７の下方から取り出すことができ、吊置兼用ハンド５，１５で保持されている吊置兼用カセット６は、吊棚７の下方から吊棚７に搬送することができる。一方、置棚９に保管されている吊置兼用カセット６は、置棚９の上方から取り出すことができ、吊置兼用ハンド５，１５で保持されている吊置兼用カセット６は、置棚９の上方から置棚９に搬送することができる。
【００１１】
このような吊置兼用縦型自動倉庫において、本発明では、保持部が吊置兼用ハンド５，１５を複数（例えば２本）備えており、前記吊置兼用カセット６が、図４に示すように、吊置兼用ハンド５，１５が嵌合する溝形状のハンドガイド２３ａ，２３ｂを左右両外側面に（例えば１つずつ）備えており、吊置兼用カセット搬送時には、各ハンドガイド２３ａ，２３ｂに嵌合させた状態の吊置兼用ハンド５，１５によって、吊置兼用カセット６を左右から挟み込み保持する構成としてもよい。
【００１２】
この場合において、置棚９に保管されている吊置兼用カセット６を搬送する際には、吊置兼用カセット６を上方に移動することによって吊置兼用カセット６を置棚９から取り出すことができ、吊棚７に保管されている吊置兼用カセット６を搬送する際には、吊置兼用カセット６を下方に移動することによって吊置兼用カセット６を吊棚７から取り出すことができる。従って、従来の自動倉庫では、カセット６を搬送する際には、カセットを棚の手前に移動してカセットを棚から取り出していたため、自動倉庫の幅はカセットを格納する棚の幅の約３倍の寸法が必要であったが、本発明によれば、吊置兼用縦型自動倉庫の幅を吊置兼用カセットの幅にスタッカクレーンの設置幅を加えた程度の寸法にすることができ、自動倉庫の設置面積や工場面積に占める自動倉庫の割合を縮小することができる。
【００１３】
さらに、図５に示すように、前記吊棚７が、吊棒８ａ，８ｂを複数（例えば２本）備えており、前記吊置兼用カセット６が、垂直板２２ａ２，２２ｂ２と吊掛板２２ａ１，２２ｂ１とからなる吊掛フック２２ａ，２２ｂを複数（例えば２本）備えており、吊置兼用カセット保管時には、吊置兼用カセット６の上面と吊掛フック２２ａ，２２ｂの吊掛板２２ａ１，２２ｂ１との間に挿入された状態の吊棒８ａ，８ｂによって、吊置兼用カセット６を吊り下げ保持する構成としてもよい。
【００１４】
この場合において、吊棚７に保管されている吊置兼用カセット６を搬送するには、吊置兼用ハンド５，１５によって吊置兼用カセット６を保持した状態で、吊棒８から吊掛フック２２ａ，２２ｂを外し、吊置兼用カセット６を吊棚７の下方に移動することによって、吊置兼用カセット６を吊棚７から取り出すことができる。一方、吊置兼用ハンド５，１５で保持している吊置兼用カセット６を吊棚７へ搬送し保管するには、吊棚７の下方に吊置兼用カセット６を移動し、吊置兼用カセット６を上昇した後、吊棒８に吊掛フック２２ａ，２２ｂを引掛けることによって、吊棚７に吊置兼用カセット６を吊り下げることができる。
【００１５】
さらにまた、図１１に示すように、前記吊棚７が、電磁石プレート２７を備えており、前記吊置兼用カセットとしてプレート２６を備えたプレート付吊置兼用カセット２５が用いられており、吊置兼用カセット保管時には、磁化状態になっている電磁石プレート２７にプレート２６が磁着することによって、プレート付吊置兼用カセット２５を吊り下げ保持する構成としてもよい。
【００１６】
この場合において、吊棚７に保管されているプレート付吊置兼用カセット２５を搬送するには、吊置兼用ハンド５，１５によってプレート付吊置兼用カセット２５を保持した状態で、電磁石プレート２７を非磁化状態にして電磁石プレート２７とプレート２６との間の磁着力を解除し、この状態でプレート付吊置兼用カセット２５を吊棚７の下方に移動することによって、プレート付吊置兼用カセット２５を吊棚７から取り出すことができる。一方、吊置兼用ハンド５，１５で保持しているプレート付吊置兼用カセット２５を吊棚７に搬送して保管するには、プレート付吊置兼用カセット２５を吊棚７の真下まで移動し、プレート付吊置兼用カセット２５を上昇させて電磁石プレート２７にプレート２６を接触させた状態で、電磁石プレート２７を磁化状態にすることにより、電磁石プレート２７とプレート２６との磁着力によって、吊棚７にプレート付吊置兼用カセット２５を吊り下げることができる。
【００１７】
さらにまた、図１３に示すように、前記吊棚７が、Ｌ字形状に形成されたチャック３０ａ，３０ｂを複数（例えば２本）備えており、前記吊置兼用カセットとして、チャック３０ａ，３０ｂの突起部が嵌合する溝形状のチャックガイド２９ａ，２９ｂを左右両外側面に（例えば１つずつ）備えているガイド付吊置兼用カセット２８が用いられており、吊置兼用カセット保管時には、チャックガイド２９ａ，２９ｂに突起部を挿入し嵌合させた状態のチャック３０ａ，３０ｂによって、ガイド付吊置兼用カセット２８を吊り下げ保持する構成としてもよい。
【００１８】
この場合において、吊棚７に保管されているガイド付吊置兼用カセット２８を搬送するには、吊置兼用ハンド５，１５によってガイド付吊置兼用カセット２８を保持した状態で、チャック３０ａ，３０ｂの突起部とチャックガイド２９ａ，２９ｂとの嵌合を解除し、ガイド付吊置兼用カセット２８を吊棚７の下方に移動することによって、ガイド付吊置兼用カセット２８を吊棚７から取り出すことができる。一方、吊置兼用ハンド５，１５で保持しているガイド付吊置兼用カセット２８を吊棚７へ搬送して保管するには、吊置兼用ハンド５，１５で保持しているガイド付吊置兼用カセット２８を、格納する吊棚７の真下まで水平方向に移動し、次に、ガイド付吊置兼用カセット２８を上昇させた後、チャックガイド２９ａ，２９ｂにチャック３０ａ，３０ｂを嵌合させることによって、吊棚７にガイド付吊置兼用カセット２８を吊り下げることができる。
【００１９】
さらにまた、図１４および図１５に示すように、前記吊棚７が、支持腕部とこの支持腕部の下端部から水平方向に延設された突起部とからなるＬ字形状の吊掛用フック３３ａ，３３ｂを複数（例えば２本）備えており、前記吊置兼用カセット６として、横棒部材とこの横棒部材の前後両端部から下方に垂下された縦棒部材とからなる吊掛棒３２ａ，３２ｂを複数備えている吊掛棒付吊置兼用カセット３１が用いられており、吊置兼用カセット保管時には、突起部が横棒部材の下に挿入された状態の吊掛用フック３３ａ，３３ｂによって、吊掛棒付吊置兼用カセット３１を吊り下げ保持する構成としてもよい。
【００２０】
この場合において、吊棚７に保管されている吊掛棒付吊置兼用カセット３１を搬送するには、吊置兼用ハンド５，１５によって吊掛棒付吊置兼用カセット３１を保持した状態で、吊掛棒３２ａ，３２ｂから吊掛用フック３３ａ，３３ｂを抜き、吊掛棒付吊置兼用カセット３１を吊棚７の下方に移動することによって、吊掛棒付吊置兼用カセット３１を吊棚７から取り出すことができる。一方、吊置兼用ハンド５，１５で保持している吊掛棒付吊置兼用カセット３１を吊棚７へ搬送して保管するには、吊置兼用ハンド５，１５によって保持している吊掛棒付吊置兼用カセット３１を、格納する吊棚７のほぼ真下まで水平方向に移動し、吊置兼用ハンド移載部４を上昇した後、吊掛用フック３３ａ，３３ｂに吊掛棒３２ａ，３２ｂを引掛けることによって、吊棚７に吊掛棒付吊置兼用カセット３１を吊り下げることができる。
【００２１】
また、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、前述した構成において、さらに、前記吊置兼用カセットを外部から搬入する際に利用される入庫口と前記吊置兼用カセットを外部へ取り出す際に利用される出庫口とを有していてもよい。例えば、この入庫口１０および出庫口１１は置棚９に並設されている。この場合には、入庫口１０に載置された吊置兼用カセット６を吊置兼用ハンド５，１５によって吊棚７および置棚９に容易に搬送することができ、吊棚７および置棚９に格納されている吊置兼用カセット６を吊置兼用ハンド５，１５によって出庫口１１に容易に搬送することができる。
【００２２】
さらに、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、前述した構成において、前記吊置兼用カセット６から所定のワークを取り出す工程、および吊置兼用カセット６内の所定の位置へワークを格納する工程を実施する装置ローダ１２を備えていてもよい。この場合には、所定のワークを容易に取り出して、処理装置による処理工程を施すことができるとともに、処理工程が終了した後に、ワークを吊置兼用カセット６内に容易に格納することができる。
【００２３】
さらに、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、前述した構成において、前記スタッカクレーン３が吊棚７と置棚９との間に配置されていてもよい。なお、「スタッカクレーン３が吊棚７と置棚９との間に配置されている」という表現は、「スタッカクレーン３が吊棚７の直下および置棚９の直上に配置されている」という意味ではなく、正確には、「吊棚７の直下および置棚９の直上に配置された吊置兼用ハンド５，１５に、吊置兼用ハンド移載部を介してスタッカクレーン３が並設されている」という意味である。従って、正面から吊置兼用縦型自動倉庫を見た場合には、スタッカクレーン３が吊棚７の直下および置棚９の直上に配置されているように見えるが、上方から吊置兼用縦型自動倉庫を見た場合には、スタッカクレーン３が吊棚７および置棚９よりも奥側に配置されていることが分かる。
【００２４】
また、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、前述した構成において、図１６に示すように、置棚９および吊棚７に沿って走行するスタッカクレーン台車１３ａが、置棚９の下側空間部に配置されており、吊置兼用ハンド移載部４および吊置兼用ハンド５，１５を支持する支持部材１３ｂが、置棚９および吊棚７と筐体１の背板１ｅとの間に立設された構成としてもよい。この場合には、吊置兼用縦型自動倉庫の幅をさらに小さくすることができ、自動倉庫の設置面積や工場面積に占める自動倉庫の割合をさらに縮小することができる。
【００２５】
また、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、前述した構成において、図１７に示すように、第１置棚群９ａと第１吊棚群７ａとからなる第１収納棚と、第２置棚群９ｂと第２吊棚７ｂとからなる第２収納棚とが横方向に２列並べて配置されており、その間にスタッカクレーン１３を配置することで、第１収納棚と第２収納棚の両方でスタッカクレーン１３を使用するようにしたものである。この場合には、吊置兼用縦型自動倉庫の幅をさらに小さくすることができ、自動倉庫の設置面積や工場面積に占める自動倉庫の割合をさらに縮小することができる。
【００２６】
さらにまた、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、前述した構成において、図１８に示すように、第１置棚群９ａと第１吊棚群７ａとからなる第１収納棚と、第２置棚群９ｂと第２吊棚７ｂとからなる第２収納棚とが縦方向に２段並べて配置されており、１台のスタッカクレーン１３を第１収納棚および第２収納棚で共用するようにしたものである。この場合には、吊置兼用縦型自動倉庫の幅をさらに小さくすることができ、自動倉庫の設置面積をさらに縮小することができる。なお、収納棚は２段に限定されず、３段以上並べて配置されていてもよい。
【００２７】
さらに、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、前述した構成において、前記保持部が、吊置兼用ハンド５，１５の他に、電磁石プレートを備えており、前記吊置兼用カセットがプレートを備えており、吊置兼用カセット搬送時には、磁着状態になっている電磁石プレートとプレートとが磁力によって接続され、電磁石プレートによってプレート付吊置兼用カセットを吊り下げ保持する構成としてもよい。また、前記保持部が、吊置兼用ハンド５，１５の他に、支持腕部とこの支持腕部の側面に設けられた突起部とからなる一対のチャックを備えており、前記吊置兼用カセットが、前記突起部が嵌合する溝形状のチャックガイドを左右両外側面に備えており、吊置兼用カセット搬送時には、前記チャックガイドに前記チャックを嵌合させることによって、前記吊置兼用カセットを吊り下げ保持する構成としてもよい。さらにまた、前記保持部が吊掛用フックを備えており、前記吊置兼用カセットが上面に吊掛棒を備えており、吊置兼用カセット搬送時には、前記吊掛用フックに前記吊掛棒を引掛けることによって、吊置兼用カセットを吊り下げ保持する構成としてもよい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、ワークを格納している吊置兼用カセットと、吊置兼用カセットを置いた状態で格納する置棚と、置棚の上部に配置されており、吊置兼用カセットを吊り下げた状態で格納する吊棚と、置棚および吊棚に沿って水平方向に走行するスタッカクレーンと、当該スタッカクレーン上を垂直方向に移動するとともに、吊置兼用カセットを保持する保持部とから構成されている。このような構成とすることにより、自動倉庫の設置面積を少なくすることができ、その結果、工場建設時の建設コストや、工場運転時のランニングコストを削減することができる。さらに、任意のカセットに対し直接的にアクセス可能とすることができるので、処理装置側の仕掛り要求に対し、直ちに仕掛りを供給することができるといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３０】
＜実施の形態１＞
図１は、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態１を示す正面図であり、図２は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を矢印Ａで示す方向（上方）から見た状態を示す上面図であり、図３は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を矢印Ｂで示す方向（右方）から見た状態を示す側面図である。
【００３１】
なお、この吊置兼用縦型自動倉庫の各構成要素は、天板１ａ，底板１ｂ，右側板１ｃ，左側板１ｄ，背板１ｅ，前板１ｆで形成された筐体１内に収納されているが、ここでは、図を分かりやすくするために、筐体１内に配置されているものについても実線を用いて示している。
【００３２】
本実施の形態１の吊置兼用縦型自動倉庫は、複数のワーク（例えば、ガラス基板）を格納している吊置兼用カセット６（図１においては８個図示されている。）と、吊置兼用カセット６を置いた状態で格納する置棚９（図１においては、６個並設されている。）と、置棚９の上部に配置されており、吊置兼用カセット６を吊り下げた状態で保管する吊棚７（図１においては、８個並設されている。）と、置棚９および吊棚７に沿って走行するスタッカクレーン３と、このスタッカクレーン３上を垂直方向に移動する保持部（これについては後述する）とから構成されている。
【００３３】
また、８個の吊棚７は筐体１の天板１ａに固定されており、５個の置棚９は筐体１の底板１ｂに固定されている。さらに詳しくは、右から２番目、３番目、４番目、６番目および７番目に配置されている吊棚７の下方には置棚９がそれぞれ配置されており、最も右側に配置されている吊棚７の下方には、置棚９が配置される代わりに、前板１ｆに開口部が設けられて入庫口１０が形成されており、最も左側に配置されている吊棚７の下方には、置棚９が配置される代わりに、前板１ｆに開口部が形成されて出庫口１１が形成されている。また、右から５番目に配置されている吊棚７の下方には、置棚９が配置される代わりに装置ローダ１２が配置されており、かつ、前板１ｆに開口部が形成されている。
【００３４】
入庫口１０は、吊置兼用縦型自動倉庫において新たに吊置兼用カセット６を保存する際に利用される搬入口であり、出庫口１１は、吊置兼用縦型自動倉庫から吊置兼用カセット６を取り出す際に利用される搬出口である。
【００３５】
また、装置ローダ１２は、所定のワークの吊置兼用縦型自動倉庫からの取り出しおよび吊置兼用縦型自動倉庫への格納を実施するものであり、例えば、吊置兼用ハンド５，１５によって所定の吊置兼用カセット６を装置ローダ１２内に搬送した後、装置ローダ１２によって、所定のワークを吊置兼用カセット６から取り出し、この取り出したワークを吊置兼用縦型自動倉庫外に設置された処理装置（図示せず）に供給することができるようになっている。また、装置ローダ１２は、処理装置による処理工程が終了したワークを、装置ローダ１２内に搬送された吊置兼用カセット６の所定の位置に格納することができるようになっている。
【００３６】
また、筐体１の背板１ｅには、スタッカクレーン走行路用レール板２が固定されており、このスタッカクレーン走行路用レール板２の前面（前板１ｆ側）には、スタッカクレーン走行路用レール板２上を水平方向に走行するスタッカクレーン３が配置されており、このスタッカクレーン３の前面に、保持部が配置されている。
【００３７】
前記保持部は、吊置兼用ハンド移載部４と、この吊置兼用ハンド移載部４上に設けられた一対の吊置兼用ハンド５，１５とで構成されている。そして、これら一対の吊置兼用ハンド５，１５は、水平方向に往復移動可能となっており、互いに内側に水平移動することで吊置兼用カセット６を挟み込んで保持し、互いに外側に水平移動することで吊置兼用カセット６の保持を解除することができるようになっている。また、吊置兼用ハンド移載部４は、スタッカクレーン３上を垂直方向に移動するものであり、この垂直移動動作によって、一対の吊置兼用ハンド５，１５により保持している吊置兼用カセット６を、垂直方向に移動することができるようになっている。
【００３８】
一方、前記スタッカクレーン３は、筐体１の背板１ｅに固定されたスタッカクレーン走行路用レール板２上を水平方向に走行することにより、一対の吊置兼用ハンド５，１５によって保持されている吊置兼用カセット６を水平方向に移動することができる。
【００３９】
前記一対の吊置兼用ハンド５，１５は、吊棚７と置棚９との間に形成されている水平搬送路１９に配置されており、吊置兼用ハンド移載部４、スタッカクレーン３およびスタッカクレーン走行路用レール板２は、吊棚７および置棚９と背板１ｅとの間に配置されている。
【００４０】
また、前記吊置兼用カセット６の左右両外側面には、一対の吊置兼用ハンド５，１５がそれぞれ嵌合する溝形状のハンドガイド２３ａ，２３ｂが手前から奥に向けて水平に形成されている。吊置兼用カセット６搬送時には、吊置兼用ハンド５，１５をハンドガイド２３ａ，２３ｂに嵌合させることにより、吊置兼用カセット６を落下させることなく保持できるようになっている（後述の図４参照）。
【００４１】
次に、吊置兼用縦型自動倉庫において吊置兼用カセットを吊り下げ保持するための手段および吊り下げ保持する方法の実施例について、図面を参照しつつ説明する。
【００４２】
＜実施例１＞
図４は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの実施例１を示す斜視図である。図５は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの実施例１を示す正面図であり、吊棚７に吊り下げた状態の吊置兼用カセットを示している。
【００４３】
吊置兼用カセット６は、前面側が開口した箱型形状となっており、その内側に左右一対の支持棒２１が上下方向に沿って複数対設けられている。そして、この左右一対の支持棒２１上にガラス基板２０等のワークを載せることによって、ワークを収納保持している。
【００４４】
前記吊置兼用カセット６の上面には、断面が横向きＬ字形状に形成された複数の吊掛フック（例えば、２本の吊掛フック２２ａ，２２ｂ）が、後述する吊棒８ａ，８ｂを挿入するための開口部を同方向に向けて（図４では開口部を右側に向けて）設けられている。これら吊掛フック２２ａ，２２ｂは、吊置兼用カセット６の上面に形成された垂直板２２ａ２，２２ｂ２と、この垂直板２２ａ２，２２ｂ２の上端部から図中右方向に水平に延設された吊掛板２２ａ１，２２ｂ１とからなる。また、吊掛板２２ａ１，２２ｂ１の先端下部には、下方に若干突出した突起部が形成されている。
【００４５】
また、吊棚７の内部上方には、長手方向が奥から手前に向かう方向（背板１ｅ側から前板１ｆ側に向かう方向）に沿うように、複数の吊棒（２本の吊棒８ａ，８ｂ）が配置固定されている。この吊棒８ａ，８ｂの配置間隔は、上記吊掛フック２２ａ２２ｂの配置間隔と同じである。また、吊棒８ａ，８ｂ自体の幅は、吊掛フック２２ａ，２２ｂの吊掛板２２ａ１，２２ｂ１の幅よりも小さくなっている。これにより、吊り下げ保管時に吊掛フック２２ａ，２２ｂが左方向にずれた場合でも、吊掛板２２ａ１，２２ｂ１の先端下部に形成された突起部が吊棒８ａ，８ｂに当接するので、吊掛フック２２ａ，２２ｂが吊棒８ａ，８ｂから外れてしまうことがない。
【００４６】
次いで、任意の吊棚７に吊り下げ保持されている吊置兼用カセット６を吊置兼用ハンド５，１５によって搬送する（取り出す）動作について説明する。
【００４７】
図６は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫において、吊棚に吊り下げ保持されている吊置兼用カセットを吊置兼用ハンドによって搬送する（取り出す）動作の一例を示すフローチャートである。
【００４８】
ステップＳ１では、スタッカクレーン３を、吊棚に吊り下げ保持されている吊置兼用カセット６の真下まで水平移動させる。ステップＳ２では、開いた状態の吊置兼用ハンド５，１５がハンドガイド２３ａ，２３ｂの対向位置にくるまで、吊置兼用ハンド移載部４を上昇させる。ステップＳ３では、吊置兼用ハンド５，１５を内側に水平移動させて吊置兼用カセット６を保持する。ステップＳ４では、吊置兼用ハンド移載部４を垂直方向に僅かに上昇させて、吊掛フック２２ａ，２２ｂが吊棒８ａ，８ｂから外れる位置まで移動させる。ステップＳ５では、スタッカクレーン３を水平方向に移動（図５の例では左側に移動）させて、吊掛フック２２ａ，２２ｂが吊棒８から外れる位置まで移動する。ステップＳ６では、この移動位置で吊掛兼用ハンド移載部４を下降させて、吊置兼用カセット６をスタッカクレーン走行路用レール板２の高さまで（すなわち、水平搬送路１９まで）下降させる。これにより、吊棚７から吊置兼用カセット６が取り出される。
【００４９】
続いて、吊置兼用ハンドによって保持している吊置兼用カセットを任意の吊棚へ搬送して吊り下げ保持する動作について説明する。
【００５０】
図７は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫において、吊置兼用ハンドによって保持されている吊置兼用カセットを吊棚へ搬送して吊り下げ保持する動作の一例を示すフローチャートである。
【００５１】
ステップＳ１１では、吊置兼用カセット６を吊置兼用ハンド５，１５で保持した状態で、格納する吊棚７の下方位置までスタッカクレーン３を水平移動させる。このとき、吊棚７の真下の位置からすこしずれた位置、すなわち、吊置兼用ハンド移載部４が上昇した時に吊掛フック２２ａ，２２ｂが吊棒８ａ，８ｂに当たらない位置まで、吊置兼用カセット６を水平移動させる。ステップＳ１２では、吊掛フック２２ａ，２２ｂが吊棒８ａ，８ｂの位置よりも少し上にくるまで、すなわち、吊掛フック２２ａ，２２ｂが水平移動した時に、吊掛板２２ａ１，２２ｂ１が吊棒８ａ，８ｂに当たらない位置まで、吊置兼用ハンド移載部４を上昇させて吊置兼用カセット６を上昇させる。ステップＳ１３では、吊掛フック２２ａ，２２ｂの吊掛板２２ａ１，２２ｂ１が吊棒８ａ，８ｂにフック（吊掛け）できる位置まで、スタッカクレーン３を水平移動させる。ステップＳ１４では、吊掛フック２２ａ，２２ｂの吊掛板２２ａ１，２２ｂ１が吊棒８ａ，８ｂに掛かる位置まで、吊置兼用ハンド移載部４を僅かに下降させる。ステップＳ１５では、吊置兼用ハンド５，１５を外側に開いて、吊置兼用カセット６の保持を解除する。ステップＳ１６では、吊掛兼用ハンド移載部４をスタッカクレーン走行路用レール板２の高さまで（すなわち、水平搬送路１９まで）下降させる。これにより、吊置兼用カセット６が吊棚７に吊り下げ保持される。
【００５２】
続いて、置棚に載置されている吊置兼用カセットを吊置兼用ハンドによって搬送する（取り出す）動作について説明する。
【００５３】
図８は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫において、置棚に載置されている吊置兼用カセットを吊置兼用ハンドよって搬送する（取り出す）動作の一例を示すフローチャートである。
【００５４】
ステップＳ２１では、スタッカクレーン３を、置棚に載置されている吊置兼用カセット６の真上まで水平移動させる。ステップＳ２２では、開いた状態の吊置兼用ハンド５，１５がハンドガイド２３ａ，２３ｂの対向位置にくるまで、吊置兼用ハンド移載部４を下降させる。ステップＳ２３では、吊置兼用ハンド５，１５を内側に水平移動させて吊置兼用カセット６を保持する。ステップＳ２４では、吊掛兼用ハンド移載部４を上昇させて、吊置兼用カセット６をスタッカクレーン走行路用レール板２の高さまで（すなわち、水平搬送路１９まで）上昇させる。これにより、置棚７から吊置兼用カセット６が取り出される。
【００５５】
続いて、吊置兼用ハンドによって保持されている吊置兼用カセットを任意の置棚へ搬送して載置する動作について説明する。
【００５６】
図９は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫において、吊置兼用ハンドによって保持されている吊置兼用カセットを置棚へ搬送して載置する動作の一例を示すフローチャートである。
【００５７】
ステップＳ３１では、吊置兼用カセット６を吊置兼用ハンド５，１５で保持した状態で、スタッカクレーン３を格納先の置棚９の真上まで水平移動させる。ステップＳ３２では、吊置兼用カセット６の底面が置棚９の底面に接触するまで、吊置兼用ハンド移載部４を下降させる。ステップＳ３３では、吊置兼用ハンド５，１５を外側に水平移動させて吊置兼用カセット６の保持を解除する。ステップＳ３４では、吊掛兼用ハンド移載部４をスタッカクレーン走行路用レール板２の高さまで（すなわち、水平搬送路１９まで）上昇させる。これにより、吊置兼用カセット６が置棚９に載置される。
【００５８】
＜実施例２＞
図１０は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの実施例２を示す斜視図である。図１１は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの実施例２を示す正面図であり、吊棚７に吊り下げ保持した状態の吊置兼用カセットを示している。
【００５９】
本実施例２では、吊置兼用カセットとして、上面にプレート２６を備えたプレート付吊置兼用カセット２５が用いられており、吊棚７の内部上面には電磁石プレート２７が配置されている。
【００６０】
このような構成とすれば、吊置兼用カセット保管時には、電磁石プレート２７を磁化状態とすることにより、この電磁石プレート２７にプレート付吊置兼用カセット２５のプレート２６が磁着することによって、プレート付吊置兼用カセット２５が吊棚7に吊り下げ保持される。
【００６１】
そして、この状態で吊棚７に保管されているプレート付吊置兼用カセット２５を搬送するには、吊置兼用ハンド５，１５によってプレート付吊置兼用カセット２５を保持した状態で、電磁石プレート２７を非磁着状態にする。これにより、電磁石プレート２７とプレート２６との間の磁着力が解除されるので、この状態で吊掛兼用ハンド移載部４を下降させることにより、プレート付吊置兼用カセット２５を吊棚７の下方に移動することができる。これにより、プレート付吊置兼用カセット２５を吊棚７から取り出すことができる。
【００６２】
一方、吊置兼用ハンド５，１５で保持されているプレート付吊置兼用カセット２５を吊棚７へ搬送して保管するには、スタッカクレーン２を水平移動させて、プレート付吊置兼用カセット２５を保管する吊棚７の真下まで移動し、次に、吊置兼用ハンド移載部４を上昇させて電磁石プレート２７とプレート２６とを接触させる。そして、この状態で、電磁石プレート２７を磁化状態とすることにより、電磁石プレート２７とプレート２６とが磁着する。この後、吊置兼用ハンド５，１５を外側に開いてプレート付吊置兼用カセット２５の保持を解除することによって、吊棚７にプレート付吊置兼用カセット２５を吊り下げ保持することができる。
【００６３】
＜実施例３＞
図１２は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの実施例３を示す斜視図である。図１３は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの実施例３を示す正面図であり、吊棚７に吊り下げ保持した状態の吊置兼用カセットを示している。
【００６４】
本実施例３では、吊置兼用カセットとして、左右両外側面の上端部に水平方向に沿って（手前から奥に向けて）形成されたチャックガイド２９ａ，２９ｂを備えたガイド付吊置兼用カセット２８が用いられている。このチャックガイド９２ａ，９２ｂは、正面から見て横向き略コ字状に形成されており、その内部上面は開口部側から内奥側に向かって上方に傾斜する傾斜面に形成されている。
【００６５】
また、吊棚７の内部上方には、Ｌ字形状に形成された一対のチャック３０ａ，３０ｂが、左右方向に往復移動可能に設けられている。このチャック３０ａ，３０ｂは、吊棚７の天井面から垂下された支持腕部３０ａ１，３０ｂ１と、この支持腕部３０ａ１，３０ｂ１の下端部から水平方向内側に延設された突起部３０ａ２，３０ｂ２とからなり、この突起部３０ａ２，３０ｂ２の先端部には上方に突出した三角形状の嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３が形成されている。この嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３は、ガイド付吊置兼用カセット２８に設けられたチャックガイド２９ａ，２９ｂの上面に形成された傾斜面に嵌合する形状となっている。このような嵌合構造とすることで、ガイド付吊置兼用カセット２８を吊り下げているときに、チャック３０ａ，３０ｂが左側または右側に多少ずれたとしても、チャック３０ａ，３０ｂがチャックガイド２９ａ，２９ｂから簡単に外れてしまうことはない。
【００６６】
また、チャックガイド２９ａ，２９ｂの開口部の幅（ここでは垂直方向の寸法）は、突起部３０ａ２，３０ｂ２の先端部（嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３を含む）の高さよりも充分に大きく形成されている。これにより、ガイド付吊置兼用カセット２８を僅かに上方向に上昇させてチャック３０ａ，３０ｂの嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３とチャックガイド２９ａ，２９ｂの上面との嵌合を解除すれば、チャックガイド２９ａ，２９ｂからチャック３０ａ，３０ｂの嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３を容易に外すことができる。
【００６７】
このような構造を有しているため、吊置兼用カセット保管時には、ガイド付吊置兼用カセット２８のチャックガイド２９ａ，２９ｂにチャック３０ａ，３０ｂの嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３を挿入嵌合させておくことにより、ガイド付吊置兼用カセット２８を吊棚７に吊り下げ保持することができる。
【００６８】
そして、この状態で吊棚７に保管されているガイド付吊置兼用カセット２８を搬送する（取り出す）には、吊置兼用ハンド５，１５によってガイド付吊置兼用カセット２８を保持した状態で吊置兼用ハンド移載部４を僅かに上昇させて、チャック３０ａ，３０ｂの嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３とチャックガイド２９ａ，２９ｂの上面との嵌合を解除し、この状態で、左右のチャック３０ａ，３０ｂを外側に水平移動させて、チャックガイド２９ａ，２９ｂからチャック３０ａ，３０ｂを外す。この後、吊掛兼用ハンド移載部４を下降させて、ガイド付吊置兼用カセット２８を吊棚７の下方に移動することによって、ガイド付吊置兼用カセット２８を吊棚７から取り出すことができる。
【００６９】
一方、吊置兼用ハンド５，１５で保持しているガイド付吊置兼用カセット２８を吊棚７へ搬送して保管するには、スタッカクレーン２を水平移動させて、保持しているガイド付吊置兼用カセット２８を、格納する吊棚７の真下まで移動する。次に、吊置兼用ハンド移載部４を上昇させてチャック３０ａ，３０ｂの突起部３０ａ３，３０ｂ３とチャックガイド２９ａ，２９ｂとが対向する位置までガイド付吊置兼用カセット２８を上昇させる。このとき、チャック３０ａ，３０ｂはすでに外側に開いた状態となっている。この状態で、左右のチャック３０ａ，３０ｂを内側に水平移動させて、チャックガイド２９ａ，２９ｂにチャック３０ａ，３０ｂの嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３を嵌め込み、吊置兼用ハンド移載部４を僅かに下降させてチャック３０ａ，３０ｂの嵌合爪部３０ａ３，３０ｂ３とチャックガイド２９ａ，２９ｂの上面とを嵌合（接触）させる。この後、吊置兼用ハンド５，１５を外側に開いてガイド付吊置兼用カセット２８の保持を解除することによって、吊棚７にガイド付吊置兼用カセット２８を吊り下げることができる。
【００７０】
なお、チャックガイド２９ａ，２９ｂの本数はこれに限定されるものではなく、左右にそれぞれ２本ずつ、上下方向に一定の間隔を存して配置されていてもよい。これに対し、チャック３０ａ，３０ｂの突起部の数は、１個でもよいし、チャックガイド２９ａ，２９ｂの本数に合わせて２個設けてもよい。ただし、２個設ける場合には、上下方向の間隔をチャックガイド２９ａ，２９ｂの間隔と同じ間隔にしておく必要がある。
【００７１】
また、チャック３０ａ，３０ｂの幅は、チャックガイド２９ａ，２９ｂの長さ（即ち、ガイド付吊置兼用カセット２８の側面の幅）と同じ幅でもよく、これより短い幅でもよい。さらに、チャックガイド２９ａ，２９ｂの長さよりも幅の狭いチャックを左右にそれぞれ複数本配置して、各チャックガイド２９ａ，２９ｂにこれら複数本のチャックを嵌合させる構造としてもよい。
【００７２】
＜実施例４＞
図１４は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの実施例４を示す斜視図である。図１５は、図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの実施例４を示す正面図であり、吊棚７に吊り下げた状態の吊置兼用カセットを示している。
【００７３】
本実施例４では、吊置兼用カセットとして、複数の吊掛棒（例えば、２本の吊掛棒３２ａ，３２ｂ）を上面に備えている吊掛棒付吊置兼用カセット３１が用いられている。これら吊掛棒３２ａ，３２ｂはそれぞれ、長手方向が奥から手前に向かう方向に沿うように配置された横棒部材３２ａ１，３２ｂ１と、この横棒部材３２ａ１，３２ｂ１の前後両端部から下方に垂下された縦棒部材３２ａ２，３２ｂ２とからなり、この縦棒部３２ａ２，３２ｂ２の下端部が吊置兼用カセット３１の上面に固定された構造となっている。
【００７４】
また、吊棚７の内部上方には、Ｌ字形状に形成された一対の吊掛用フック３３ａ，３３ｂが、同方向に向いた状態（図１５では右方向に向いた状態）で設けられている。この吊掛用フック３３ａ，３３ｂは、吊棚７の天井面から垂下された支持腕部３３ａ１，３３ｂ１と、この支持腕部３３ａ１，３３ｂ１の下端部から水平方向右側に延設された突起部３３ａ２，３３ｂ２とからなり、この突起部３３ａ２，３３ｂ２の先端部には上方に突出した三角形状の係合爪部が形成されている。この係合爪部は、ガイド付吊置兼用カセット３１に設けられた吊掛棒３２ａ，３２ｂの横棒部材３２ａ１，３２ｂ１の側面に係合する形状となっている。このような係合構造とすることで、ガイド付吊置兼用カセット３１を吊り下げているときに、ガイド付吊置兼用カセット３１が右方向に多少ずれたとしても、吊掛棒３２ａ，３２ｂが吊掛用フック３３ａ，３３ｂから簡単に外れてしまうことはない。
【００７５】
また、吊掛棒３２ａ，３２ｂの横棒部材３２ａ１，３２ｂ１の、ガイド付吊置兼用カセット３１上面からの高さは、吊掛用フック３３ａ，３３ｂの突起部３３ａ２，３３ｂ２の先端部（係合爪部を含む）の高さよりも充分に大きく形成されている。これにより、ガイド付吊置兼用カセット３１を僅かに上方向に上昇させて吊掛用フック３３ａ，３３ｂの突起部３３ａ２，３３ｂ２と吊掛棒３２ａ，３２ｂの横棒部材３２ａ１，３２ｂ１との係合を解除すれば、吊掛用フック３３ａ，３３ｂから吊掛棒３２ａ，３２ｂを容易に外すことができる。
【００７６】
このような構造を有しているため、吊置兼用カセット保管時には、ガイド付吊置兼用カセット３１の吊掛棒３２ａ，３２ｂに吊掛用フック３３ａ，３３ｂの突起部３３ａ２，３３ｂ２を挿入係合させておくことにより、ガイド付吊置兼用カセット３１を吊棚７に吊り下げ保持することができる。
【００７７】
そして、この状態で吊棚７に保管されているガイド付吊置兼用カセット３１を搬送する（取り出す）には、吊置兼用ハンド５，１５によってガイド付吊置兼用カセット３１を保持した状態で吊置兼用ハンド移載部４を僅かに上昇させて、各吊掛棒３２ａ，３２ｂと各吊掛用フック３３ａ，３３ｂとの係合を解除し、この状態で、スタッカクレーンを水平方向に移動（図１５では右方向に移動）させて、吊掛棒３２ａ，３２ｂが吊掛用フック３３ａ，３３ｂから外れる位置まで移動する。この後、吊掛兼用ハンド移載部４を降下させて、ガイド付吊置兼用カセット３１をスタッカクレーン走行路用レール板の高さまで降下させる。これにより、吊棚７からガイド付吊置兼用カセット３１を取り出すことができる。
【００７８】
一方、吊置兼用ハンド５，１５で保持しているガイド付吊置兼用カセット３１を吊棚７へ搬送して保管するには、スタッカクレーンを水平移動させて、保持しているガイド付吊置兼用カセット３１を、格納する吊棚７の真下まで移動する。次に、吊置兼用ハンド移載部４を上昇させて、吊掛用フック３３ａ，３３ｂの突起部３３ａ２，３３ｂ２と、吊掛棒３２ａ，３２ｂの横棒部材３２ａ１，３２ｂ１とガイド付吊置兼用カセット３１の上面との間に形成される開口部とが対向する位置までガイド付吊置兼用カセット３１を上昇させる。次に、吊掛棒３２ａ，３２ｂの横棒部材３２ａ１，３２ｂ１とガイド付吊置兼用カセット３１の上面との間に形成される開口部に、吊掛用フック３３ａ，３３ｂの突起部３３ａ２，３３ｂ２が挿入されるまで、スタッカクレーンを水平移動（図１５では左方向に移動）させる。次に、吊掛用フック３３ａ，３３ｂの突起部３３ａ２，３３ｂ２に、吊掛棒３２ａ，３２ｂの横棒部材３２ａ１，３２ｂ１が係合（接触）するまで、吊置兼用ハンド移載部４を僅かに降下させる。この後、吊置兼用ハンド５，１５を外側に開いてガイド付吊置兼用カセット３１の保持を解除することによって、吊棚７にガイド付吊置兼用カセット３１を吊り下げることができる。
【００７９】
なお、吊掛用フック３３ａ，３３ｂおよび吊掛棒３２ａ，３２ｂの本数は２本に限定されるものではなく、例えば、３本以上配置されていてもよい。また、長手方向が左右方向に沿うように、図１５に示す吊掛棒３２ａ，３２ｂを９０°回転させた状態で吊掛棒が配置されており、かつ、横板部および縦板部の長手方向が左右方向に沿うように、図１５に示す吊掛用フック３３ａ，３３ｂを９０°回転させた状態で吊掛用フックが配置されていてもよい。
【００８０】
＜実施の形態２＞
図１６は、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態２に係る吊置兼用縦型自動倉庫を示す側面図である。
【００８１】
本実施の形態２では、置棚９および吊棚７に沿って走行するスタッカクレーン台車１３ａが、置棚９の下側空間部に配置されており、吊置兼用ハンド移載部４および吊置兼用ハンド５，１５を支持する支持部材１３ｂが、置棚９および吊棚７と筐体１の背板１ｅとの間に立設された配置構成となっている。すなわち、図３に示す実施の形態１のスタッカクレーン走行路用レール板２が、本実施の形態２では実質的にスタッカクレーン台車１３として置棚９の下側空間部に配置された構成となっている。なお、支持部材１３ｂに支持された吊置兼用ハンド移載部４および吊置兼用ハンド５，１５の構成は、上記実施の形態１と同じであるので、ここでは説明を省略する。
【００８２】
＜実施の形態３＞
図１７は、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態３に係る吊置兼用縦型自動倉庫を示す側面図である。
【００８３】
本実施の形態３では、複数の置棚からなる第１置棚群９ａと複数の吊棚からなる第１吊棚群７ａとからなる第１収納棚と、複数の置棚からなる第２置棚群９ｂと複数の吊棚からなる第２吊棚７ｂとからなる第２収納棚とが横方向に２列並べて配置されており、その間にスタッカクレーン１３を配置することで、第１収納棚と第２収納棚の両方をスタッカクレーン台車１３ａで使用するようにしたものである。
【００８４】
本実施の形態３では、スタッカクレーン台車１３ａを、第１置棚群９ａおよび第２置棚群９ｂの下側空間部に配置し、第１収納棚と第２収納棚との間に第１支持部材１３ｂ１および第２支持部材１３ｂ２を立設している。この第１支持部材１３ｂ１および第２支持部材１３ｂ２は、下端部がスタッカクレーン台車１３ａに固定されている。そして、第１支持部材１３ｂ１は、第１収納棚において吊置兼用カセットの搬送を行う第１吊置兼用ハンド移載部４ａおよび第１吊置兼用ハンド５ａ，１５ａからなる保持部を支持しており、第１吊置兼用ハンド移載部４ａは第１支持部材１３ｂ１上を垂直方向に移動する。また、第２支持部材１３ｂ２は、第２収納棚において吊置兼用カセットの搬送を行う第２吊置兼用ハンド移載部４ｂおよび第２吊置兼用ハンド５ｂ，１５ｂからなる保持部を支持しており、第２吊置兼用ハンド移載部４ｂは第２支持部材１３ｂ２上を垂直方向に移動する。
【００８５】
なお、第１支持部材１３ｂ１に支持された第１吊置兼用ハンド移載部４ａおよび第１吊置兼用ハンド５ａ，１５ａの構成、および第２支持部材１３ｂ２に支持された第２吊置兼用ハンド移載部４ｂおよび第２吊置兼用ハンド５ｂ，１５ｂの構成は、上記実施の形態１と同じであるので、ここでは説明を省略する。
【００８６】
＜実施の形態４＞
図１８は、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態４に係る吊置兼用縦型自動倉庫を示す側面図、図１９は同正面図である。
【００８７】
本実施の形態４では、第１置棚群９ａと第１吊棚群７ａとからなる第１収納棚と、第２置棚群９ｂと第２吊棚７ｂとからなる第２収納棚とが縦方向に２段並べて配置されており、１台のスタッカクレーン１３を第１収納棚および第２収納棚で共用している実施形態である。なお、収納棚の段数はこれに限定されるものではなく、収納棚を３段以上並べて配置してもよい。
【００８８】
本実施の形態４では、スタッカスタッカクレーン台車１３ａを、第１置棚群９ａの下側空間部に配置し、第１収納棚および第２収納棚と筐体１の背板１ｅとの間に支持部材１３ｂを配置している。この支持部材１３ｂは、下端部がスタッカクレーン台車１３ａに固定されている。そして、支持部材１３ｂは、第１収納棚および第２収納棚において吊置兼用カセットの搬送を行う吊置兼用ハンド移載部４および吊置兼用ハンド５，１５からなる保持部を支持しており、吊置兼用ハンド移載部４は第１支持部材１３ｂ上を垂直方向に移動する。
【００８９】
また、図１９に示すように、第１吊棚群７ａと第２置棚群９ｂの中央部分には、吊置兼用ハンド５，１５で保持した状態の吊置兼用カセットが通過可能なように、下部水平搬送路１９ａと上部水平搬送路１９ｂとを繋ぐ、吊棚約１個分の垂直搬送路１８が形成されており、吊置兼用ハンド５，１５は、この垂直搬送路１８を通って、第１収納棚と第２収納棚との間を自由に移動できるようになっている。
【００９０】
なお、支持部材１３ｂに支持された吊置兼用ハンド移載部４および吊置兼用ハンド５，１５の構成は、上記実施の形態１と同じであるので、ここでは説明を省略する。
【００９１】
なお、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の保持部の構成は、上記した構成に限定されるものではない。例えば、吊置兼用ハンドの他に、図１１に示すような電磁石プレート２７を備えており、置棚に格納されていた吊置兼用カセット２５を搬送する際に、磁化状態になっている電磁石プレート２７で吊置兼用カセット２５の上面に設けられているプレート１６を磁着することによっても、吊置兼用カセット２５を吊り下げ保持するようにしてもよい。また、吊置兼用ハンドの他に、図１３に示すようなチャック３０ａ，３０ｂを備えており、置棚に格納されていた吊置兼用カセット２８を搬送する際に、このチャック３０ａ，３０ｂによっても吊置兼用カセット２８を吊り下げ保持するようにしてもよい。また、吊置兼用ハンドの他に、図１５に示すようなＬ字形状の吊掛用フック３３ａ，３３ｂを備えており、置棚に格納されていた吊置兼用カセット３１を搬送する際に、この吊掛用フック３３ａ，３３ｂによっても吊置兼用カセット３１を吊り下げ保持するようにしてもよい。
【００９２】
以上説明した本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、吊置兼用カセットを吊ることも置くこともできる吊置兼用ハンドを棚の中段に備えており、この吊置兼用ハンドによって、上の棚へは吊置兼用カセットを吊った状態で保管し、下の棚へは吊置兼用カセットを置いた状態で保管することができるため、自動倉庫の設置幅を小さくすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
本発明の吊置兼用縦型自動倉庫は、半導体工場や液晶工場の自動倉庫だけでなく、仕掛り在庫を格納するあらゆる自動倉庫として利用可能である。また、本発明の吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットは、自動で入出庫を行う自動倉庫だけでなく、手動で入出庫を行う倉庫でも利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態１を示す正面図である。
【図２】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を矢印Ａで示す方向から見た状態を示す上面図である。
【図３】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を矢印Ｂで示す方向から見た状態を示す側面図である。
【図４】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの一例を示す斜視図である。
【図５】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットの一例を示す正面図である。
【図６】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫において、吊棚にある吊置兼用カセットを吊置兼用ハンドへ移載する動作の一例を示すフローチャートである。
【図７】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫において、吊置兼用ハンドにある吊置兼用カセットを吊棚へ移載する動作の一例を示すフローチャートである。
【図８】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫において、置棚にある吊置兼用カセットを吊置兼用ハンドへ移載する動作の一例を示すフローチャートである。
【図９】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫において、吊置兼用ハンドにある吊置兼用カセットを置棚へ移載する動作の一例を示すフローチャートである。
【図１０】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットのさらに他の例を示す斜視図である。
【図１１】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットのさらに他の例を示す正面図である。
【図１２】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットのさらに他の例を示す斜視図である。
【図１３】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットのさらに他の例を示す正面図である。
【図１４】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットのさらに他の例を示す斜視図である。
【図１５】図１に示す吊置兼用縦型自動倉庫を構成する吊置兼用カセットのさらに他の例を示す正面図である。
【図１６】本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態２に係る吊置兼用縦型自動倉庫を示す側面図である。
【図１７】本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態３に係る吊置兼用縦型自動倉庫を示す側面図である。
【図１８】本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態４に係る吊置兼用縦型自動倉庫を示す側面図である。
【図１９】本発明の吊置兼用縦型自動倉庫の実施の形態４に係る吊置兼用縦型自動倉庫を示す正面図である。
【符号の説明】
【００９５】
１              筐体
２              スタッカクレーン走行路用レール板
３              スタッカクレーン
４              吊置兼用ハンド移載部
５，１５        吊置兼用ハンド
６              吊置兼用カセット
７              吊棚
８ａ，８ｂ      吊棒
９              置棚
１０            入庫口
１１            出庫口
１２            装置ローダ
１３ａ          スタッカクレーン台車
１３ｂ          支持部材
１８            垂直搬送路
１９            水平搬送路
２０            ガラス基板
２１            支持棒
２２ａ，２２ｂ  吊掛フック
２３ａ，２３ｂ  ハンドガイド
２５            プレート付吊置兼用カセット
２６            プレート
２７            電磁石プレート
２８            ガイド付吊置兼用カセット
２９ａ，２９ｂ  チャックガイド
３０ａ，３０ｂ  チャック
３１            吊掛棒付吊置兼用カセット
３２ａ，３２ｂ  吊掛棒
３３ａ，３３ｂ  吊掛用フック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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