(57)【要約】【課題】  手押し操作によりキャリアを搬送台車で移動させる場合に、移動時の振動の影響を低減して、キャリアに収納されたウェハ等の加工物の損傷や加工物の歩留まり低下を防ぐ。【解決手段】  搬送台車１００は、手押し操作により移動可能な搬送台車本体１１２と、搬送台車本体１１２上に設けられ、キャリア１４０を保持するアーム１１６と、を含み、アーム１１６に防振部材１２０が設けられる。防振部材１２０は、たとえばコイル状のバネを含む弾性体である。【選択図】      図１
2006013396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
手押し操作により移動可能な搬送台車本体と、
前記搬送台車本体上に設けられ、キャリアを保持するアームと、
を含み、
前記アームに防振部材が設けられたことを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送台車において、
前記防振部材は、弾性体であることを特徴とする搬送台車。
【請求項３】
請求項１または２いずれかに記載の搬送台車において、
前記防振部材は、コイル状のバネを含むことを特徴とする搬送台車。
【請求項４】
請求項２または３に記載の搬送台車において、
前記搬送台車本体上に載置されるとともに前記アームの一端を支持する支持体をさらに含み、
前記防振部材は、前記アームの他端側において、弾性定数が大きくなるように構成されたことを特徴とする搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送台車に関し、とくに、手押し操作により移動可能な搬送台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハ径が３００ｍｍを超えるウェハを複数収納して搬送する場合、キャリアの重量は７〜８ｋｇと重くなってしまい、人手で搬送するのは困難である。そのため、このようなキャリアの搬送は自動化されるようになっている。しかし、カスタムＬＳＩの製造工程や試作ライン等、自動化できないような場合は、キャリアの搬送を人手による手押し操作で行う必要がある。このような場合、人手で移動させる搬送台車（ＰＧＶ：person guided vehicle）を用いて、キャリアの搬送が行われる。
【０００３】
特許文献１には、加工物である複数枚の半導体基板を収納する半導体基板用キャリアを荷台に載せ、人手で移動させ、半導体製造装置または半導体検査装置のステーションに荷台との間で半導体基板用キャリアの受け渡しをする搬送台車が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−２４３４７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述したように、人手で搬送台車を移動させる場合、移動時に振動が生じ、振動により、キャリアに収納されたウェハが損傷することがあるという問題があった。また、移動時に振動が生じると、キャリア内のウェハ等の加工物にパーティクルが付着し、加工物の歩留まりが低下してしまうという問題もあった。
【０００５】
本発明の目的は、手押し操作によりキャリアを搬送台車で移動させる場合でも、移動時の振動の影響を低減して、キャリアに収納されたウェハ等の加工物の損傷や加工物の歩留まり低下を防ぐことができる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、手押し操作により移動可能な搬送台車本体と、搬送台車本体上に設けられ、キャリアを保持するアームと、を含み、アームに防振部材が設けられたことを特徴とする搬送台車が提供される。
【０００７】
ここで、キャリアとは、ウェハやリング等の加工物を収納する容器である。このように、搬送台車のアームに防振部材を設けることにより、搬送台車の移動時およびキャリアを搬送台車と他の装置との間で移載する際の両方でキャリアへの振動の影響を低減することができる。
【０００８】
本発明の搬送台車において、防振部材は、少なくともキャリアの一部をその上に保持するように設けることができる。
【０００９】
ここで、キャリアは、その両側面に搬送、移載用のガイド機能を有する受け部を設けた構成とすることができ、本発明の搬送台車において、アームは、受け部を支持してキャリアを保持することができる。
【００１０】
本発明の搬送台車において、防振部材は、弾性体とすることができる。
【００１１】
本発明の搬送台車において、防振部材は、コイル状のバネを含むことができる。また、防振部材は、ゴム等の弾性を有する材料により構成することもできる。
【００１２】
本発明の搬送台車は、搬送台車本体上に載置されるとともにアームの一端を支持する支持体をさらに含むことができ、防振部材は、アームの他端側において、弾性定数が大きくなるように構成することができる。たとえば、防振部材は、複数のバネを含むことができる。この場合、アームの他端側に設けられたバネは、アームの一端側に設けられたバネよりも弾性定数が大きくなるようにすることができる。これにより、キャリアの重さでアームの他端が落ち込んでも、他端側に設けられたバネの反発力により、アームを水平に保つことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、手押し操作によりキャリアを搬送台車で移動させる場合でも、移動時の振動の影響を低減して、キャリアに収納されたウェハ等の加工物の損傷や加工物の歩留まり低下を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本実施の形態における搬送台車の構成を示す側面模式図である。図２は、本実施の形態における搬送台車１００の構成を示す斜視図である。
本実施の形態における搬送台車１００は、半導体ウェハ等の工作物が収納されたキャリア１４０を手押し操作により移動させる。搬送台車１００は、搬送台車本体１１２と、キャスター１１８と、キャリア１４０を保持するアーム１１６と、搬送台車本体１１２上に載置されるとともにアーム１１６を移動可能に支持する移動機構１１４とを含む。図２に示すように、搬送台車１００は、二つのアーム１１６を有し、これらのアーム１１６の間にキャリア１４０が配置され、二つのアーム１１６でキャリア１４０を保持する。キャリア１４０の両側面には、受け部１４２が設けられており、受け部１４２が搬送台車１００のアーム１１６に保持されることにより、キャリア１４０がアーム１１６に保持される。
【００１６】
本実施の形態において、アーム１１６には防振部材１２０が設けられている。図３は、防振部材１２０を詳細に示す側面模式図である。
図３（ａ）は、キャリア１４０がアーム１１６に接する前の防振部材１２０の状態を示す図である。防振部材１２０は、キャリア１４０の受け部１４２と接してキャリア１４０を保持する保持台１２２と、弾性部材１２４と、弾性部材１２４を収容する収納部１２６とにより構成される。ここで、弾性部材１２４は、たとえばコイル状のバネである。図３に示した例では、各アーム１１６の防振部材１２０は、二つのバネを含む。ここで、二つのバネのうち移動機構１１４から遠い位置（アーム１１６の先端）に設けられたバネは、他方のバネよりも弾性定数が大きくなるようにすることができる。このようにすれば、キャリア１４０の重さでアーム１１６の先端が落ち込んでも、先端に設けられたバネの反発力により、アーム１１６を水平に保つことができる。また、弾性部材１２４は、ゴム等の弾性を有する材料により構成することもできる。
【００１７】
図３（ｂ）は、キャリア１４０がアーム１１６に接しているときの防振部材１２０の状態を示す図である。ここで、キャリア１４０の重みにより、弾性部材１２４が収縮している。弾性部材１２４は、アーム１１６がキャリア１４０を保持しているときにも、弾性限界内にある程度の弾性定数を有することが好ましい。このようにすれば、アーム１１６がキャリア１４０を保持した状態で搬送台車１００を移動させた場合に搬送台車１００に振動が生じても、防振部材１２０によりキャリア１４０への振動の影響が低減されるので、キャリア１４０に収納された加工物の損傷を防ぐことができる。また、振動の影響が低減されることにより、キャリア１４０に収容された加工物の歩留まり低下を防ぐこともできる。
【００１８】
図４は、本実施の形態における搬送台車と、半導体製造装置や半導体検査装置等の装置の構成を示す側面模式図である。
装置１３０は、搬送台車１００との間でキャリア１４０の受け渡しをするポート部１３２を有する。装置１３０と搬送台車１００の間には、ドッキング機構１３４が設けられている。ここで図示していないが、装置１３０のポート部１３２と搬送台車１００との位置あわせは、装置１３０に設けられた位置マークに搬送台車１００の位置マークを合わせることにより行う。
【００１９】
キャリア１４０を搬送台車１００から装置１３０に移載（搬出搬入）する際には、まず、搬送台車１００と装置１３０とを位置あわせするとともに、搬送台車１００をドッキング機構１３４により装置１３０に接続する。次いで、移動機構１１４によりアーム１１６を移動させて、搬送台車１００から装置１３０のポート部１３２上にキャリア１４０を移載する。キャリア１４０を装置１３０から搬送台車１００に移載する際にも、同様に位置あわせおよび接続を行った後に移動機構１１４によりアーム１１６を移動させて、装置１３０のポート部１３２上に載置されたキャリア１４０を搬送台車１００に移載する。
【００２０】
このとき、キャリア１４０の重さが重いと、キャリア１４０を保持するアーム１１６がキャリア１４０の重みで沈み込み、高さ方向の位置が変動することがある。とくにアーム１１６の先端部では重みのために沈みこみが大きくなり、アーム１１６が傾くことがある。これによりキャリア１４０の高さがずれることになる。キャリア１４０の高さがずれると、装置１３０のポート部１３２との高さにずれが起こり、移載を効率よく行うことができない。
【００２１】
本実施の形態においては、アーム１１６に防振部材１２０が設けられているので、アーム１１６がキャリア１４０の重みで傾くことなく、キャリア１４０を水平に保ったままでキャリア１４０をポート部１３２に移載することができる。また、キャリア１４０の重みにより、防振部材１２０が縮んでキャリア１４０の垂直方向における高さが変動するが、防振部材１２０の弾性定数に基づき、キャリア１４０の高さの変動を予測することができる。これにより、ポート部１３２の高さ調整が容易となり、キャリア１４０の移載を効率的に行うことができる。
【００２２】
以上のように、本実施の形態における搬送台車１００によれば、搬送台車１００の移動時に加えて、キャリア１４０を搬送台車１００と装置１３０との間で移載する際にも振動防止ができる。
【００２３】
図５に、振動防止機構をキャスター１８に設けた構成の搬送台車を参照例として示す。
ここで、搬送台車１０は、上述した搬送台車１００と同様、搬送台車本体１２と、キャスター１８と、キャリア１４０を保持するアーム１６と、アーム１６を移動可能に支持する移動機構１４とを含む。搬送台車１０の搬送台車本体１２とキャスター１８との間には、振動防止機構２０が設けられている。
【００２４】
このような構成とすることによっても、キャリア１４０をアーム１６で保持した状態で搬送台車１０を移動させる際に、振動防止機構２０により振動を低減することができ、キャリア１４０への振動の影響をある程度低減することができる。しかし、このような構成とすると、キャリア１４０を搬送台車１０から装置１３０のポート部１３２に移載する際に、振動防止機構２０への荷重が変動するために、搬送台車１０の高さが変動してしまう。そのため、キャリア１４０を搬送台車１００と装置１３０との間で移載する際には、キャリア１４０への振動の影響を低減するのが困難である。
【００２５】
また、キャリア１４０の重さにより、アーム１１６の先端が下がってアーム１１６が傾いてしまい、ポート部１３２との位置あわせが困難である。このため、キャリア１４０の移載を効率的に行うことが難しい。
【００２６】
以上、説明したように、本実施の形態における搬送台車１００のように、アーム１１６に防振部材１２０を設けることにより、搬送台車１００の移動時およびキャリア１４０を搬送台車１００と装置１３０との間で移載する際の両方でキャリア１４０への振動の影響を低減することができる。
【００２７】
以上、図面を参照して本発明の実施の形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】実施の形態における搬送台車の構成を示す側面模式図である。
【図２】実施の形態における搬送台車の構成を示す斜視図である。
【図３】図１に示した防振部材を詳細に示す側面模式図である。
【図４】実施の形態における搬送台車と、半導体製造装置や半導体検査装置等の装置の構成を示す側面模式図である。
【図５】振動防止機構をキャスターに設けた構成の搬送台車の側面模式図である。
【符号の説明】
【００２９】
１００  搬送台車
１１２  搬送台車本体
１１４  移動機構
１１６  アーム
１１８  キャスター
１２０  防振部材
１２２  保持台
１２４  弾性部材
１２６  収納部
１３０  装置
１３２  ポート部
１４０  キャリア
１４２  受け部
【図１】
2006013396.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006013396.tif 000005
【図４】
2006013396.tif 000006
【図５】
2006013396.tif 000007