(57)【要約】【課題】本発明は、表示装置用配線及び前記配線を含む薄膜トランジスタ表示板に関する。【解決手段】本発明は、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する銅合金からなる表示装置用配線、並びに、基板、前記基板上に形成されているゲート線、前記ゲート線と交差するデータ線、前記ゲート線及び前記データ線に接続されている薄膜トランジスタ、及び前記薄膜トランジスタに接続されている画素電極を含み、前記ゲート線及び前記データ線のうちの少なくとも一つは、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する合金からなる薄膜トランジスタ表示板を提供する。【選択図】図２
2006221162.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅（Ｃｕ）、並びにモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する銅合金からなることを特徴とする、表示装置用配線。
【請求項２】
前記モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属は、銅合金の総重量に対して０.１乃至３重量％含まれていることを特徴とする、請求項１に記載の表示装置用配線。
【請求項３】
前記表示装置用配線は、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の表示装置用配線。
【請求項４】
基板と、
前記基板上に形成されたゲート線と、
前記ゲート線と交差して形成されたデータ線と、
前記ゲート線及び前記データ線に接続された薄膜トランジスタと
前記薄膜トランジスタに接続された画素電極とを含み、
前記ゲート線及び前記データ線のうちの少なくとも一つは、銅（Ｃｕ）と、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属とを含有する銅合金からなることを特徴とする、薄膜トランジスタ表示板。
【請求項５】
前記モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属は、銅合金の総重量に対して０.１乃至３重量％含まれていることを特徴とする、請求項４に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項６】
前記銅合金は、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含むことを特徴とする、請求項４に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項７】
前記アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属は、銅合金の総重量に対して０.１乃至３重量％含まれていることを特徴とする、請求項６に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項８】
基板と、
前記基板上に形成された、ゲート電極を含むゲート線と、
前記ゲート線上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上の所定の領域に形成された半導体層と、
前記ゲート絶縁膜及び前記半導体層上に形成されたソース電極を含むデータ線、及び前記ソース電極と所定の間隔をおいて対向しているドレイン電極と、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極の下部に形成された、前記ソース電極とドレイン電極より広い領域に形成された抵抗性接触部材と、
前記ドレイン電極に接続された画素電極とを含み、
前記ゲート線及び前記データ線のうちの少なくとも一つは、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属とを含有する銅合金からなることを特徴とする、薄膜トランジスタ表示板。
【請求項９】
前記モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属は、銅合金の総重量に対して０.１乃至３重量％含まれていることを特徴とする、請求項８に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項１０】
前記銅合金は、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含むことを特徴とする、請求項８に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項１１】
前記アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属は、銅合金の総重量に対して０.１乃至３重量％含まれていることを特徴とする、請求項１０に記載の薄膜トランジスタ表示板。
【請求項１２】
基板上に、ゲート電極を含むゲート線を形成し、
前記ゲート線上に、ゲート絶縁膜、半導体層、及び抵抗性接触部材を順に形成し、
前記抵抗性接触部材及び前記半導体層をエッチングしてパターニングし、
前記絶縁膜及び前記抵抗性接触部材上に、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属とを含有する銅合金層を形成し、
前記銅合金層の上部にフォトレジストパターンを形成し、前記フォトレジストパターンに沿って前記銅合金層をエッチングして、ソース電極を含むデータ線及び前記ソース電極と所定の間隔をおいて対向しているドレイン電極を形成し、
前記フォトレジストパターンを利用して前記抵抗性接触部材をエッチングし、
前記ドレイン電極に接続される画素電極を形成することを特徴とする、薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
【請求項１３】
前記ゲート線は、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する銅合金層で形成することを特徴とする、請求項１２に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
【請求項１４】
前記銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）は、銅合金の総重量に対して０.１乃至３重量％含まれていることを特徴とする、請求項１３に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
【請求項１５】
前記銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）は、銅合金の総重量に対して０.１乃至３重量％含まれていることを特徴とする、請求項１２に記載の薄膜トランジスタ表示板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置用配線及び前記配線を含む薄膜トランジスタ表示板に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（Liquid  Crystal  Display）は、現在最も広く使用されている平板表示装置（Flat  Panel  Display）のうちの一つであって、電極が形成されている二枚の基板とその間に挿入されている液晶層とからなり、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列させることによって、透過する光の量を調節する表示装置である。
【０００３】
液晶表示装置の中でも現在主に用いられているのは、電界生成電極が二つの表示板に各々備えられている構造である。この中でも、一つの表示板には複数の画素電極が行列状に配列されており、他の表示板には一つの共通電極が表示板の全面を覆っている構造の形態が主流である。このような液晶表示装置での画像の表示は、各画素電極に別途の電圧を印加することによって行われる。このために、画素電極に印加される電圧をスイッチングするための三端子素子である薄膜トランジスタを各画素電極に接続し、この薄膜トランジスタを制御するための信号を伝達するゲート線と、画素電極に印加される電圧を伝達するデータ線とを表示板になす。薄膜トランジスタは、ゲート線を通じて伝達される走査信号に応じて、データ線を通じて伝達される画像信号を画素電極に伝達又は遮断するスイッチング素子としての役割を果たす。また、このような薄膜トランジスタは、自ら発光する素子である能動型有機発光表示素子（Active Matrix Organic Light Emitting Device; ＡＭ−ＯＬＥＤ）においても、これら各発光素子を個別的に制御するスイッチング素子としての役割を果たす。
【０００４】
このような薄膜トランジスタにおいて、ゲート電極を含むゲート線、ソース電極を含むデータ線、及びドレイン電極などの材料としてはクロム（Ｃｒ）が主に利用された。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、液晶表示装置又は有機発光表示素子の面積が次第に大型化される傾向に伴ってゲート線及びデータ線の長さも長くなるようになり、そのために、従来のクロム配線を利用すると相対的に高い抵抗によって信号遅延などの問題が発生する。
【０００６】
このような問題点を克服するために、低い比抵抗を有する銅（Ｃｕ）が大面積液晶表示装置に適した金属として知られているが、銅（Ｃｕ）は、ガラス基板との接着性及び下部層又は上部層への拡散問題のため、実際の工程に適用するには信頼性が劣る。
【０００７】
本発明は前記問題点を解決するためのものであって、低抵抗性及び信頼性を同時に確保できる表示装置用配線及び前記配線を含む薄膜トランジスタ表示板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による表示装置用配線は、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属とを含有する銅合金からなる。
【０００９】
また、本発明による薄膜トランジスタ表示板は、基板と、前記基板上に形成されたゲート線と、前記ゲート線と交差して形成されたデータ線と、前記ゲート線及び前記データ線に接続された薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに接続されている画素電極とを含み、前記ゲート線及び前記データ線のうちの少なくとも一つは、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属とを含有する銅合金からなる。
【００１０】
また、本発明による薄膜トランジスタ表示板は、基板と、前記基板上に形成されたゲート電極を含むゲート線と、前記ゲート線上に形成されているゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上の所定の領域に形成された半導体層と、前記ゲート絶縁膜及び前記半導体層上に形成された抵抗性接触部材と、前記抵抗性接触部材上に形成されており、前記抵抗性接触部材より狭い幅で形成されているソース電極を含むデータ線と、及び前記抵抗性接触部材上に形成されており、前記抵抗性接触部材より狭い幅で形成されており、前記ソース電極と所定の間隔をおいて対向しているドレイン電極と、並びに前記ドレイン電極に接続されている画素電極とを含み、前記ゲート線及び前記データ線のうちの少なくともある一つは、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属とを含有する銅合金からなる。
【００１１】
また、本発明による薄膜トランジスタ表示板の製造方法は、基板上に、ゲート電極を含むゲート線を形成し、前記ゲート線上に、ゲート絶縁膜、半導体層、及び抵抗性接触部材を順に積層して形成し、前記抵抗性接触部材及び前記半導体層をエッチングしてパターニングし、前記絶縁膜及び前記抵抗性接触部材上に、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属とを含有する銅合金層を形成し、前記銅合金層の上部にフォトレジストパターンを形成し、前記フォトレジストパターンに沿って前記銅合金層をエッチングして、ソース電極を含むデータ線、及び前記ソース電極と所定の間隔をおいて対向しているドレイン電極を形成し、前記フォトレジストパターンを利用して前記抵抗性接触部材をエッチングし、前記ドレイン電極に接続される画素電極をなす。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、銅にモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する銅合金からなる配線を用いることにより、銅の低い比抵抗の利点はそのまま利用しながらも配線の接着性を改善させ、上部膜及び/又は下部膜への拡散を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例について本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。しかし、本発明は多様な相違した形態で実現でき、ここで説明する実施例に限定されない。
【００１４】
図面においては、いろいろな層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示した。明細書全体を通じて類似な部分については同一図面符号を付けた。層、膜、領域、板などの部分が他の部分の「上にある」とすれば、これは他の部分の「直上にある」場合だけでなく、その中間に他の部分がある場合も含む。反対に、ある部分が他の部分の「直上にある」とすれば、中間に他の部分がないことを意味する。
【００１５】
まず、図１及び図２を参照して、本発明の一つの実施例による薄膜トランジスタ表示板の構造について詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一つの実施例による薄膜トランジスタ表示板の構造を示した配置図であり、図２は、図１の薄膜トランジスタ表示板をＩＩ−ＩＩ´線によって切断した断面図である。
【００１７】
図１及び図２のように、透明なガラスなどからなる絶縁基板１１０上に、ゲート信号を伝達する複数のゲート線１２１が形成されている。ゲート線１２１は横方向に延びており、各ゲート線１２１の一部は複数のゲート電極１２４をなす。また、各ゲート線１２１の他の一部は下方向に突出して複数の拡張部１２７を構成し、他の一部は外部回路に接続するためのゲート線の端部１２９をなす。
【００１８】
ゲート線１２１は、銅（Ｃｕ）を主成分とする銅合金（Cu-alloy）からなる。銅合金は、銅（Ｃｕ）と、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する。
【００１９】
銅（Ｃｕ）は低い比抵抗を有する金属であって、表示装置の面積が大型化されるに伴って配線の長さが増加する場合にも、他の金属に比べて信号遅延のような問題点を著しく改善させることができる。しかし、銅（Ｃｕ）はガラス基板との接着性が不良であるため、配線のリフティング（lifting；持ち上がり）又はピーリング（peeling；剥がれ）が発生する恐れがある。また、銅の高い酸化性のために下部及び/又は上部層へ容易に拡散し、むしろ抵抗を増加させる恐れもある。
【００２０】
本発明ではこのような問題点を解決するために、銅を主成分として、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する銅合金を提供する。
【００２１】
前記銅合金を配線の材料として利用する場合、銅の低抵抗特性をそのまま維持しながらもガラス基板との接着性を改善させることができ、下部及び/又は上部層への拡散も著しく減少させることができる。特に、低抵抗性配線の利点を充分に発揮するためには、前記モリブデン、タングステン又はクロムのような金属は合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。下限０.１重量％は拡散防止特性を考慮して決められたものであり、この数値は臨界的な数値であり、これ以下であると拡散防止をはかることが困難となる。上限３重量％は配線の低抵抗性を考慮して決められたものであり、この数値は臨界的な数値であり、これ以上であると抵抗値が急に増加する。
【００２２】
また、銅合金は、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含むことができる。この場合、前記金属は、合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。
【００２３】
前記銅合金からなるゲート線１２１は、約３０乃至８０度の傾斜角を有するように傾いている。
【００２４】
ゲート線１２１上には、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）などからなるゲート絶縁膜１４０が形成されている。
【００２５】
ゲート絶縁膜１４０の上部には、水素化非晶質シリコン（hydrogenated  amorphous  silicon）などからなる複数の線状半導体層１５１が形成されている。線状半導体層１５１は縦方向に延びており、これから複数の突出部１５４がゲート電極１２４に向かって延びて出ている。また、線状半導体層１５１は、ゲート線１２１と会う地点の付近で幅が大きくなってゲート線１２１の広い面積を覆っている。
【００２６】
半導体層１５１の上部には、シリサイド（silicide）又はｎ型不純物が高濃度にドーピングされているｎ＋水素化非晶質シリコンなどの物質からなる複数の線状及び島型抵抗性接触部材１６１、１６５が形成されている。線状接触部材１６１は複数の突出部１６３を有しており、前記突出部１６３と島型接触部材１６５は対をなして半導体１５１の突出部１５４の上に位置している。
【００２７】
半導体層１５１と抵抗性接触部材１６１、１６５の側面もまた傾いており、その傾斜角は基板１１０に対して約３０乃至８０゜である。
【００２８】
抵抗性接触部材１６３、１６５及びゲート絶縁膜１４０の上には、各々複数のデータ線１７１、複数のドレイン電極１７５、及び複数のストレージキャパシタ用導電体１７７が形成されている。
【００２９】
データ線１７１は、縦方向に延びてゲート線１２１と交差し、データ電圧を伝達する。各データ線１７１からドレイン電極１７５に向かって延びた複数の枝がソース電極１７３をなす。一対のソース電極１７３とドレイン電極１７５は互いに分離されており、ゲート電極１２４に対して互いに反対側に位置している。
【００３０】
ソース電極１７３を含むデータ線１７１、ドレイン電極１７５、及びストレージキャパシタ用導電体１７７は、銅（Ｃｕ）を主成分とする銅合金からなる。銅合金は、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する。
【００３１】
前述のように、銅（Ｃｕ）は低い比抵抗を有する金属であって、表示装置の面積が大型化されるに伴って配線の長さが増加する場合にも、他の金属に比べて信号遅延のような問題点を著しく改善させることができる。しかし、銅は高い酸化性を有するため、下部及び/又は上部層へ容易に拡散する。このために、半導体層１５１と画素電極１９０との間に位置するデータ線１７１の場合、下部の半導体層１５１と上部の画素電極１９０へ拡散することがある。
【００３２】
本発明ではこのような問題点を解決するために、銅を主成分として、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含有する銅合金を提供する。
【００３３】
銅合金を配線の材料に利用する場合、銅の低抵抗特性をそのまま維持しながらも下部及び/又は上部への拡散も著しく減少させることができるので、低抵抗性配線への利点を極大化することができる。
【００３４】
特に、低抵抗性配線の利点を充分に発揮するためには、前記モリブデン、タングステン又はクロムのような金属は合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。下限０.１重量％は拡散防止特性を考慮して決められたものであり、この数値は臨界的な数値であり、これ以下であると拡散防止をはかることが困難となる。上限３重量％は配線の低抵抗性を考慮して決められたものであり、この数値は臨界的な数値であり、これ以上であると抵抗値が急に増加する。
【００３５】
また、前記合金は、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含むのがさらに望ましい。この場合、前記金属は、合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。
【００３６】
データ線１７１、ドレイン電極１７５、及びストレージキャパシタ用導電体１７７の側面、は約３０乃至８０度の傾斜角を有するように形成されている。
【００３７】
ゲート電極１２４、ソース電極１７３、及びドレイン電極１７５は、半導体１５１の突出部１５４と共に薄膜トランジスタ（Thin  Film  Transistor、ＴＦＴ）をなし、薄膜トランジスタのチャネルは、ソース電極１７３とドレイン電極１７５との間の突出部１５４に形成されている。ストレージキャパシタ用導電体１７７はゲート線１２１の拡張部１２７と重なっている。
【００３８】
抵抗性接触部材１６１、１６５は、その下部の半導体層１５４とその上部のソース電極１７３及びドレイン電極１７５の間に存在し、接触抵抗を低くする役割を果たす。特に、本発明において、抵抗性接触部材の突出部１６３及び島型抵抗性接触部材１６５は、ソース電極１７３及びドレイン電極１７５下部でソース電極１７３及びドレイン電極１７５より広い領域に形成されており、図２のように、チャネル領域でのその断面構造は、ソース電極１７３及びドレイン電極１７５より突出した形態に形成されている。
【００３９】
線状半導体層１５１は、ソース電極１７３とドレイン電極１７５との間を始めとしてデータ線１７１及びドレイン電極１７５に覆われずに露出された部分を有しており、大部分の領域で線状半導体層１５１の幅がデータ線１７１の幅より小さいが、前述のように、ゲート線１２１と会う部分で幅が大きくなってデータ線１７１の断線を防止する。
【００４０】
データ線１７１、ドレイン電極１７５、ストレージキャパシタ用導電体１７７、及び露出された半導体層１５１の上には、平坦化特性が優れており、感光性を有する有機物質、プラズマ化学気相蒸着（Plasma  Enhanced  Chemical  Vapor  Deposition、ＰＥＣＶＤ）で形成されるａ−Ｓｉ：Ｃ：Ｏ、ａ−Ｓｉ：Ｏ：Ｆなどの低誘電率絶縁物質、又は無機物質である窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）などからなる保護膜１８０が単一層又は複数層で形成されている。例えば、有機物質で形成する場合には、ソース電極１７３とドレイン電極１７５との間の半導体層１５４が露出された部分で保護膜１８０の有機物質が接触することを防止するために、有機膜の下部に窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）又は酸化ケイ素（ＳｉＯ２）からなる絶縁膜（図示せず）が追加的に形成されてもよい。
【００４１】
保護膜１８０には、ゲート線１２１の端部１２９、ドレイン電極１７５、ストレージキャパシタ用導電体１７７、及びデータ線１７１の端部１７９を各々露出させる複数の接触孔１８１、１８５、１８７、１８２が形成されている。
【００４２】
保護膜１８０の上には、ＩＴＯ又はＩＺＯからなる複数の画素電極１９０、及び複数の接触補助部材８１、８２が形成されている。
【００４３】
画素電極１９０は、接触孔１８１、１８５、１８７、１８２を介してドレイン電極１７５、ストレージキャパシタ用導電体１７７、及びデータ線１７１と各々物理的・電気的に接続されてドレイン電極１７５からデータ電圧の印加を受け、ストレージキャパシタ用導電体１７７にデータ電圧を伝達する。
【００４４】
データ電圧が印加された画素電極１９０は、共通電圧の印加を受ける他の表示板（図示せず）の共通電極（図示せず）と共に電場を生成することによって液晶層の液晶分子を再配列させる。
【００４５】
また、前述のように、画素電極１９０と共通電極（図示せず）は液晶キャパシタ（liquid  crystal  capacitor）を構成して、薄膜トランジスタが遮断された後にも印加された電圧を維持するが、電圧維持の能力を強化するために液晶キャパシタと並列に接続された他のキャパシタを設け、これを「ストレージ電極（storage  electrode）」という。ストレージ電極は、画素電極１９０及びこれと隣接するゲート線１２１［これを「前段ゲート線」という］の重なりなどで形成され、ストレージ電極の静電容量、つまり、保持容量を増やすためにゲート線１２１を拡張した拡張部１２７を設けて重なり面積を大きくする一方、画素電極１９０に接続され、拡張部１２７と重なるストレージ電極用導電体１７７を保護膜１８０の下に設けて二つの間の距離を近くする。
【００４６】
低誘電率有機物質で保護膜１８０をなす場合には、画素電極１９０を隣接するゲート線１２１及びデータ線１７１と重ねて開口率（aperture  ratio）を高めることができる。
【００４７】
接触補助部材８１、８２は、接触孔１８１、１８２を介してゲート線１２１の端部１２９及びデータ線１７１の端部１７９に各々接続される。この接触補助部材８１、８２はゲート線１２１及びデータ線１７１の端部と駆動集積回路のような外部装置との接着性を補完し、これらを保護する。
【００４８】
以下、図１及び図２に示した前記薄膜トランジスタ表示板を本発明の一実施例によって製造する方法について、図３Ａ乃至図７Ｂと図１及び図２を参照して詳細に説明する。
【００４９】
図３Ａ、図４Ａ、図５Ａ、及び図７Ａは、図１及び図２に示した薄膜トランジスタ表示板を本発明の一実施例によって製造する方法の中間段階での薄膜トランジスタ表示板を順に羅列した配置図であり、図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ´線に沿って切断した断面図であり、図４Ｂは、図４ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ´線に沿って切断した断面図であり、図５Ｂは、図５ＡのＶＢ−ＶＢ´線に沿って切断した断面図であり、図６は、図５Ｂに連続する工程による断面図であり、図７Ｂは、図７ＡのＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ´線によって切断した断面図である。
【００５０】
まず、図３Ａ及び図３Ｂに図示したように、透明ガラスなどの絶縁基板１１０上に銅合金層を形成する。
【００５１】
銅合金層は、銅を主成分として、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含む。
【００５２】
前記モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属は、合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれている。
【００５３】
また、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含んでもよい。この場合、前記金属は、合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。
【００５４】
続いて、銅合金層をエッチング液を利用した湿式エッチングでパターニングする。この場合、銅合金層は純粋の銅層と違い、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）エッチング液又はリン酸５０乃至８０％、硝酸２乃至１０％、酢酸２乃至１５％、及び残量の脱塩水を含むアルミニウムエッチング液又はクロムエッチング液を使用するのが望ましい。
【００５５】
したがって、複数のゲート電極１２４、複数の拡張部１２７、及び外部回路に接続するためのゲート線の端部１２９を含むゲート線１２１が形成される。
【００５６】
その次に、図４Ａ及び図４Ｂに図示したように、ゲート電極１２４を含むゲート線１２１を覆うように、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）又は酸化ケイ素（ＳｉＯ２）を蒸着してゲート絶縁膜１４０を形成する。ゲート絶縁膜１４０の積層温度は約２５０乃至５００℃、厚さは約２００乃至５００ｎｍ程度であるのが好ましい。
【００５７】
そして、ゲート絶縁膜１４０上に真性非晶質シリコン層及び不純物がドーピングされた非晶質シリコン層の３層膜を連続して積層し、不純物がドーピングされた非晶質シリコン層と真性非晶質シリコン層を写真エッチングして、複数の突出部１５４と複数の不純物半導体パターン１６４を各々含む線状の真性半導体層１５１を形成する。
【００５８】
次に、図５Ａ及び図５Ｂに図示したように、不純物がドーピングされた非晶質シリコン層１６１上に、同時スパッタリングなどの方法で、銅を主成分としてモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含む銅合金層を形成する。この場合、銅合金層は約３００ｎｍ程度の厚さで形成し、スパッタリング温度は約１５０℃程度で行う。
【００５９】
その次に、銅合金層上にフォトレジストを塗布した後に露光及び現像して、フォトレジストパターンを形成する。
【００６０】
次に、前記フォトレジストパターンを利用して銅合金層をエッチングする。ここで使用されるエッチング液としては、例えば、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）エッチング液、又はリン酸５０乃至８０％、硝酸２乃至１０％、酢酸２乃至１５％、及び残量の脱塩水を含むアルミニウムエッチング液又はクロムエッチング液を利用してもよい。
【００６１】
このようにして、ソース電極１７３、ドレイン電極１７５、ストレージキャパシタ用導電体１７７、及びデータ線の端部１７９が形成される。
【００６２】
次に、前記フォトレジストパターンを除去しない状態で、前記フォトレジストパターンをマスクとしてチャネル領域に露出された不純物半導体層１６１、１６５部分を乾式エッチングする。ここで用いる乾式エッチングとは、塩素ガス（Ｃｌ２）を利用したプラズマエッチングである。
【００６３】
この場合、フォトレジストパターンをマスクとして乾式エッチングを行うので、不純物半導体層の突出部１６３と島型抵抗性接触部材１６５はソース電極１７３及びドレイン電極１７５より広い領域が露出される。
【００６４】
前記のように、データ線１７１形成時に利用したフォトレジストパターンを利用して下部の不純物半導体層１６１、１６５をエッチングすることにより、乾式エッチング時に銅合金層に塩素ガス（Ｃｌ２）が直接接触されることを防止することができる。
【００６５】
したがって、図６のように、複数の突出部１６３を各々含む複数の線状抵抗性接触部材１６１と複数の島型抵抗性接触部材１６５を完成する一方、その下の真性半導体１５４部分を露出させる。
【００６６】
また、露出された真性半導体１５４部分の表面を安定化させるために酸素（Ｏ２）プラズマを実施するのが好ましい。
【００６７】
次に、図７Ａ及び図７Ｂに図示したように、平坦化特性が優れていて感光性を有する有機物質、プラズマ化学気相蒸着（ＰＥＣＶＤ）で形成されるａ−Ｓｉ：Ｃ：Ｏ、ａ−Ｓｉ：Ｏ：Ｆなどの低誘電率絶縁物質、又は無機物質である窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）などを単一層又は複数層で形成して保護膜１８０を形成する。
【００６８】
その次に、保護膜１８０上にフォトレジストを塗布した後、光マスクを通して感光膜に光を照射した後に現像する。次に、酸素（Ｏ２）によって銅合金層が酸化されることを防止するために、ＣＦ４又はＳＦ６のようなフッ素系ガスとＮ２ガスを利用した乾式エッチングを行う。最後に、フォトレジストパターンを除去することによって、複数の接触孔１８１、１８５、１８７、１８２を形成する。
【００６９】
その次に、最後に図１及び図２に図示したように、基板上にＩＴＯ又はＩＺＯをスパッタリングで積層し、写真エッチング工程で複数の画素電極１９０と複数の接触補助部材８１、８２を形成する。
【００７０】
以下では、有機発光表示素子用薄膜トランジスタ表示板について、図８乃至図２４Ｂを参照して詳細に説明する。
【００７１】
図８は、本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の構造を示した配置図であり、図９Ａ及び図９Ｂは、図８の薄膜トランジスタ表示板をＩＸＡ−ＩＸＡ´及びＩＸＢ−ＩＸＢ´線によって切断した断面図である。
【００７２】
ガラス基板の絶縁基板１１０上に、ゲート信号を伝達する複数のゲート線１２１が形成されている。ゲート線１２１は横方向に延びており、各ゲート線１２１の一部は突き出されて複数の第１ゲート電極１２４ａをなす。また、ゲート線１２１と同一層で第２ゲート電極１２４ｂが形成されており、第２ゲート電極１２４ｂには、縦方向に延びた維持電極１３３が接続されている。
【００７３】
ゲート線１２１、第１及び第２ゲート電極１２４ａ、１２４ｂ、及び維持電極１３３は、銅（Ｃｕ）を主成分とする銅合金からなる。銅合金は、銅（Ｃｕ）と、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含有する。
【００７４】
銅（Ｃｕ）は低い比抵抗を有する金属であって、表示装置の面積が大型化されるに伴って配線の長さが増加する場合にも他の金属に比べて信号遅延のような問題点を著しく改善させることができる。しかし、銅（Ｃｕ）はガラス基板との接着性が不良であって配線のリフティング又はピーリングが発生する恐れがある。また、銅は、高い酸化性によって下部及び/又は上部層へ容易に拡散し、むしろ抵抗を増加させる恐れもある。
【００７５】
本発明ではこのような問題点を解決するために、銅を主成分として、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含有する銅合金を提供する。
【００７６】
前記銅合金を配線の材料に利用する場合、銅の低抵抗特性をそのまま維持しながらもガラス基板との接着性を改善させることができ、下部及び/又は上部層への拡散も著しく減少させることができる。したがって、低抵抗性配線への利点を極大化することができる。
【００７７】
特に、低抵抗性配線の利点を充分に発揮するためには、前記モリブデン、タングステン又はクロムのような金属は合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。下限０.１重量％は拡散防止特性考慮して決められたものであり、この数値は臨界的な数値であり、これ以下であると拡散防止をはかることが困難となる。上限３重量％は配線の低抵抗性を考慮して決められたものであり、この数値は臨界的な数値であり、これ以上であると抵抗値が急に増加する。
【００７８】
また、銅合金は、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含むことができる。この場合、前記金属は、合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。
【００７９】
ゲート線１２１と維持電極１３３の側面は傾いており、傾斜角は基板１１０に対して３０乃至８０度をなす。
【００８０】
ゲート線１２１の上には、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）などからなるゲート絶縁膜１４０が形成されている。
【００８１】
ゲート絶縁膜１４０の上部には、水素化非晶質シリコンなどからなる複数の線状半導体１５１と島型半導体１５４ｂが形成されている。線状半導体１５１は縦方向に延びており、これから複数の突出部が第１ゲート電極１２４ａに向かって延びて、第１ゲート電極１２４ａと重なる第１チャンネル部１５４ａをなす。また、線状半導体１５１は、ゲート線１２１と会う地点の付近で幅が拡張されている。島型半導体１５４ｂは第２ゲート電極１２４ｂと交差する第２チャンネル部を含み、維持電極１３３と重なる維持電極部１５７を有する。
【００８２】
線状半導体１５１及び島型半導体１５４ｂの上部には、シリサイド又はｎ型不純物が高濃度にドーピングされているｎ＋水素化非晶質シリコンなどの物質からなる複数の線状及び島型抵抗性接触部材１６１、１６５ａ、１６３ｂ、１６５ｂが形成されている。線状接触層１６１は複数の突出部１６３ａを有しており、この突出部１６３ａと島型接触層１６５ａは対をなして線状半導体１５１の突出部１５４ａ上に位置する。また、複数の突出部１６３ｂ及び島型接触層１６５ｂは第２ゲート電極１２４ｂを中心に対向して対をなし、島型半導体１５４ｂの上部に位置する。
【００８３】
半導体１５１、１５４ｂと抵抗性接触部材１６１、１６５ａ、１６３ｂ、１６５ｂの側面もまた傾いており、傾斜角は３０乃至８０度である。
【００８４】
抵抗性接触部材１６１、１６５ａ、１６３ｂ、１６５ｂ及びゲート絶縁膜１４０の上には、各々複数のデータ線１７１、複数の第１ドレイン電極１７５ａ、複数の電源線１７２、及び第２ドレイン電極１７５ｂが形成されている。
【００８５】
データ線１７１及び電源線１７２は縦方向に延びてゲート線１２１と交差し、データ電圧と電源電圧を各々伝達する。各データ線１７１で第１ドレイン電極１７５ａに向かって延びた複数の枝が第１ソース電極１７３ａをなし、各電源線１７２で第２ドレイン電極１７５ｂに向かって延びた複数の枝が第２ソース電極１７３ｂをなす。一対の第１及び第２ソース電極１７３ａ、１７３ｂと第１及び第２ドレイン電極１７５ａ、１７５ｂは互いに分離されており、各々第１及び第２ゲート電極１２４ａ、１２４ｂに対して互いに反対側に位置している。
【００８６】
第１ゲート電極１２４ａ、第１ソース電極１７３ａ、及び第１ドレイン電極１７５ａは線状半導体１５１の突出部１５４ａと共にスイッチング用薄膜トランジスタをなし、第２ゲート電極１２４ｂ、第２ソース電極１７３ｂ、及び第２ドレイン電極１７５ｂは島型半導体１５４ｂと共に駆動用薄膜トランジスタをなす。この時、電源線１７２は島型半導体１５４ｂの維持電極部１５７と重なっている。
【００８７】
データ線１７１、第１及び第２ドレイン電極１７５ａ、１７５ｂ、及び電源線１７２は、銅（Ｃｕ）を主成分とする銅合金からなる。銅合金は、銅（Ｃｕ）とモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含む。
【００８８】
前述のように、銅（Ｃｕ）は低い比抵抗を有する金属であって、表示装置の面積が大型化されるに伴って配線の長さが増加する場合にも他の金属に比べて信号遅延のような問題点を著しく改善させることができる。しかし、銅は高い酸化性を有するために下部及び/又は上部層へ容易に拡散する。このために、半導体層１５１と画素電極１９０との間に位置するデータ線１７１の場合、下部の半導体層１５１と上部の画素電極１９０へ拡散する恐れがある。
【００８９】
本発明ではこのような問題点を解決するために、銅を主成分としてモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含有する銅合金を提供する。
【００９０】
銅合金を配線の材料に利用する場合、銅の低抵抗特性をそのまま維持しながらも下部及び/又は上部への拡散も著しく減少させることができるので、低抵抗性配線への利点を極大化することができる。
【００９１】
特に、低抵抗性配線の利点を充分に発揮するためには、前記モリブデン、タングステン又はクロムのような金属は合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。下限０.１重量％は拡散防止特性を考慮して決められたものであり、この数値は臨界的な数値であり、これ以下であると拡散防止をはかることが困難となる。上限３重量％は配線の低抵抗性を考慮して決められたものであり、この数値は臨界的な数値であり、これ以上であると抵抗値が急に増加する。
【００９２】
また、前記合金は、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含むことができる。この場合、前記金属は、合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。
【００９３】
データ線１７１、第１及び第２ドレイン電極１７５ａ、１７５ｂ、及び電源線１７２もゲート線１２１と同様に、その側面が約３０乃至８０度の角度で各々傾いている。
【００９４】
抵抗性接触部材１６１、１６３ｂ、１６５ａ、１６５ｂは、その下部の線状半導体１５１及び島型半導体１５４ｂとその上部のデータ線１７１、第１ドレイン電極１７５ａ、１７５ｂ、電源線１７２の間に存在して接触抵抗を低くする役割を果たす。
【００９５】
また、図９Ａ及び図９Ｂのように、複数の突出部１６３ａと島型接触層１６５ａは、上部の第１ソース電極１７３ａと第１ドレイン電極１７５ａより広い領域に形成されている。また、複数の突出部１６５ａと島型接触層１６５ｂは、上部の第２ソース電極１７３ｂと第２ドレイン電極１７５ｂより広い領域に形成されている。
【００９６】
線状半導体１５１は第１ソース電極１７３ａと第１ドレイン電極１７５ａとの間、データ線１７１及び第１ドレイン電極１７５ａに覆われない露出された部分を有しており、大部分の領域では線状半導体１５１の幅がデータ線１７１の幅より小さいが、前述のようにゲート線１２１と会う部分で幅が大きくなって、ゲート線１２１による段差部分でデータ線１７１が断線することを防止する。
【００９７】
データ線１７１、第１及び第２ドレイン電極１７５ａ、１７５ｂ、電源線１７２と露出された半導体１５１、１５４ｂ部分の上には、平坦化特性が優れており、感光性を有する有機物質又はプラズマ化学気相蒸着（ＰＥＣＶＤ）で形成されるａ−Ｓｉ：Ｃ：Ｏ、ａ−Ｓｉ：Ｏ：Ｆなどの低誘電率絶縁物質などからなる保護膜１８０が形成されている。
【００９８】
保護膜１８０を有機物質で形成する場合には、線状半導体１５１及び島型半導体１５４ｂが露出された部分に有機物質が直接接触することを防止するために、有機膜の下部に窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）又は酸化ケイ素（ＳｉＯ２）からなる無機絶縁膜が追加的に形成されることができる。
【００９９】
保護膜１８０には、第１ドレイン電極１７５ａ、第２ゲート電極１２４ｂ、第２ドレイン電極１７５ｂ、及びゲート線の端部１２９とデータ線の端部１７９を各々露出させる複数の接触孔１８９、１８３、１８５、１８１、１８２が形成されている。
【０１００】
保護膜１８０上には、ＩＴＯ又はＩＺＯからなる複数の画素電極１９０、複数の接続部材１９２、及び複数の接触補助部材８１、８２が形成されている。
【０１０１】
画素電極１９０は、接触孔１８５を介して第２ドレイン電極１７５ｂと各々物理的・電気的に接続されており、接続部材１９２は、接触孔１８９、１８３を介して第１ドレイン電極１７５ａと第２ゲート電極１２４ｂを接続する。接触補助部材８１、８２は、接触孔１８１、１８２を介してゲート線の端部１２９及びデータ線の端部１７９に各々接続されている。
【０１０２】
保護膜１８０の上部には、有機絶縁物質又は無機絶縁物質からなっており、有機発光セルを分離させるための隔壁８０３が形成されている。この隔壁８０３は、画素電極１９０の周縁の周辺を囲んで有機発光層７０が充填される領域を限定する。
【０１０３】
隔壁８０３に囲まれた画素電極１９０上の領域には発光層７０が形成されている。発光層７０は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）のうちのいずれか一つを発光する有機物質からなり、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）の発光材料が順に反復的に配置されている。
【０１０４】
又は、隔壁８０３に囲まれた画素電極１９０上の領域に正孔注入層（図示せず）が形成された後、正孔注入層の上に発光層７０が形成されてもよい。この場合、正孔注入層は、ポリ（３,４−エチレンジオキシチオフェン）−ポリ（スチレンスルホン酸）（ＰＥＤＯＴ/ＰＳＳ）で形成されてもよい。
【０１０５】
隔壁８０３上には、隔壁８０３と同一な模様のパターンからなり、低い比抵抗を有する導電物質からなる補助電極２７２が形成されている。補助電極２７２は、以降に形成される共通電極２７０と接触して共通電極２７０の抵抗を減少させる役割を果たす。
【０１０６】
隔壁８０３、発光層７０、及び補助電極２７２上には共通電極２７０が形成されている。共通電極２７０は、アルミニウム（Ａｌ）などの低い抵抗性を有する金属からなる。本実施例では背面発光型有機発光表示素子を例示しているが、前面発光型有機発光表示素子又は両面発光型有機発光表示素子の場合には、共通電極２７０がＩＴＯ又はＩＺＯなどの透明な導電物質で形成されてもよい。
【０１０７】
以下、図８乃至図９Ｂに示した有機発光表示素子を製造する方法について、図１０乃至図２４Ｂを参照して詳細に説明する。
【０１０８】
まず、図１０乃至図１１Ｂのように、透明ガラス又はプラスチック素材などからなる絶縁基板１１０上にゲート用金属層を積層する。
【０１０９】
ゲート用金属層は、銅（Ｃｕ）を主成分としてモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含有する銅合金層で形成する。ここで、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属は銅合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれている。また、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ケイ素（Ｓｉ）、チタン（Ｔｉ）、及びタンタル（Ｔａ）から選択された少なくとも一つの金属をさらに含むことができる。この場合、前記金属は、合金の総重量に対して０.１乃至３重量％で含まれているのが好ましい。
【０１１０】
続いて、エッチング液を利用して銅合金層をエッチングして、複数のゲート電極１２４ａを含むゲート線１２１、第２ゲート電極１２４ｂ、及び維持電極１３３を形成する。ここで、銅合金層は純粋な銅層とは違い、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）エッチング液又はリン酸５０乃至８０％、硝酸２乃至１０％、酢酸２乃至１５％、及び残量の脱塩水を含むアルミニウムエッチング液又はクロムエッチング液を使用することができる。
【０１１１】
次に、図１２乃至図１３Ｂに図示したように、ゲート絶縁膜１４０、真性非晶質シリコン層、及び不純物非晶質シリコン層の３層膜を連続して積層し、不純物非晶質シリコン層と真性非晶質シリコン層を写真エッチングして、複数の線状不純物半導体１６４と複数の突出部１５４ａを各々含む線状半導体１５１及び島型半導体１５４ｂをなす。ゲート絶縁膜１４０の材料としては窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）が好ましく、積層温度は約２５０乃至５００℃、厚さは約２００乃至５００ｎｍ程度が好ましい。
【０１１２】
次に、図１４Ａ及び図１４Ｂに図示したように、不純物半導体１６４上に、共同スパッタリングなどの方法で、銅（Ｃｕ）を主成分としてモリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、及びクロム（Ｃｒ）から選択された少なくとも一つの金属を含む銅合金層を形成する。この場合、銅合金層は約３００ｎｍ程度の厚さで形成し、スパッタリング温度は約１５０℃程度である。
【０１１３】
その次に、銅合金層の上にフォトレジストを塗布した後に露光及び現像して、フォトレジストパターンを形成する。
【０１１４】
次に、前記フォトレジストパターンを利用して銅合金層をエッチングする。ここで使用されるエッチング液としては、例えば、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）エッチング液又はリン酸５０乃至８０％、硝酸２乃至１０％、酢酸２乃至１５％、及び残量の脱塩水を含むアルミニウムエッチング液又はクロムエッチング液を利用することができる。
【０１１５】
このようにして、複数の第１ソース電極１７３ａを有する複数のデータ線１７１、複数の第１及び第２ドレイン電極１７５ａ、１７５ｂ、及び複数の第２ソース電極１７３ｂを有する電源線１７２を形成する。
【０１１６】
次に、データ線１７１、電源線１７２、及び第１及び第２ドレイン電極１７５ａ、１７５ｂ上部のフォトレジストパターンを除去しない状態で、前記フォトレジストパターンをマスクとして、露出された不純物半導体１６４部分を乾式エッチングする。ここで用いる乾式エッチングは、塩素ガス（Ｃｌ２）を利用したプラズマエッチングである。前記のように、データ線１７１形成時に利用したフォトレジストパターンを利用して下部の不純物半導体１６４をエッチングすることによって、乾式エッチング時に銅合金層に塩素ガス（Ｃｌ２）が直接接触することを防止することができる。
【０１１７】
この場合、フォトレジストパターンをマスクとして乾式エッチングを行うので、図１６Ａ及び図１６Ｂに示されているように、それぞれの複数の突出部１６３ａ、１６３ｂと島型抵抗性接触部材１６５ａ、１６５ｂは上部のソース電極１７３ａ、１７３ｂとドレイン電極１７５ａ、１７５ｂより広い領域に形成され、チャネル領域でその断面構造は、ソース電極１７３ａ、１７３ｂとドレイン電極１７５ａ、１７５ｂより突出した構造を示す。
【０１１８】
このようにして、複数の突出部１６３ａを各々含む複数の線状抵抗性接触部材１６１と複数の島型抵抗性接触部材１６５ａ、１６５ｂ、１６３ｂを完成する一方、その下の線状真性半導体１５１及び島型真性半導体１５４ｂの一部分を露出させる。
【０１１９】
次に、真性半導体１５１、１５４ｂの露出された表面を安定化させるために酸素プラズマを次いで実施する。
【０１２０】
次に、図１７乃至図１８Ｂのように、有機絶縁物質又は無機絶縁物質を塗布して保護膜１８０を形成し、写真工程で乾式エッチングして複数の接触孔１８９、１８５、１８３、１８１、１８２を形成する。接触孔１８９、１８５、１８３、１８１、１８２は、第１及び第２ドレイン電極１７５ａ、１７５ｂ、第２ゲート電極１２４ｂの一部、ゲート線の端部１２９、及びデータ線の端部１７９を露出させる。
【０１２１】
次に、図１９乃至図２０Ｂに図示したように、画素電極１９０、接続部材１９２、及び接触補助部材８１、８２８をＩＴＯ又はＩＺＯで形成する。
【０１２２】
次に、図２１乃至図２２Ｂのように、一つのマスクを利用した写真エッチング工程で隔壁８０３と補助電極２７２を形成する。
【０１２３】
次いで、図２３乃至図２４Ｂに図示したように、正孔注入層（図示せず）上に発光層７０を形成する。
【０１２４】
最後に、発光層７０上に共通電極２７０を形成する。
【０１２５】
以上、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されるものではなく、特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者のいろいろな変形及び改良形態もまた本発明の権利範囲に属する。
【産業上の利用可能性】
【０１２６】
低抵抗性及び信頼性を同時に確保できる表示装置用配線及び前記配線を含む薄膜トランジスタ表示板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明の一つの実施例による薄膜トランジスタ表示板の構造を示した配置図である。
【図２】図１の薄膜トランジスタ表示板をＩＩ−ＩＩ´線によって切断した断面図である。
【図３Ａ】本発明の一つの実施例による薄膜トランジスタ表示板の製造工程中の平面図である。
【図３Ｂ】図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ´線に沿って切断した断面図である。
【図４Ａ】本発明の一つの実施例による薄膜トランジスタ表示板の製造工程中の平面図である。
【図４Ｂ】図４ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ´線に沿って切断した断面図である。
【図５Ａ】本発明の一つの実施例による薄膜トランジスタ表示板の製造工程中の平面図である。
【図５Ｂ】図５ＡのＶＢ−ＶＢ´線に沿って切断した断面図である。
【図６】図５Ｂに連続する工程による断面図である。
【図７Ａ】本発明の一つの実施例による薄膜トランジスタ表示板の製造工程中の平面図である。
【図７Ｂ】図７ＡのＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ´線によって切断した断面図である。
【図８】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の構造を示した配置図である。
【図９Ａ】図８の薄膜トランジスタ表示板をＩＸＡ−ＩＸＡ´線によって切断した断面図である。
【図９Ｂ】図８の薄膜トランジスタ表示板をＩＸＢ−ＩＸＢ´線によって切断した断面図である。
【図１０】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の平面図である。
【図１１Ａ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１１Ｂ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１２】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の平面図である。
【図１３Ａ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１３Ｂ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１４Ａ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１４Ｂ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１５】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の平面図である。
【図１６Ａ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１６Ｂ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１７】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の平面図である。
【図１８Ａ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１８Ｂ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図１９】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の平面図である。
【図２０Ａ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図２０Ｂ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図２１】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の平面図である。
【図２２Ａ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図２２Ｂ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図２３】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の平面図である。
【図２４Ａ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【図２４Ｂ】本発明の一つの実施例による有機発光表示素子の製造工程中の断面図である。
【符号の説明】
【０１２８】
７０  有機発光層
８１、８２  接触補助部材
１１０  絶縁基板
１２１  ゲート線
１２４  ゲート電極
１２４ａ  第１ゲート電極
１２４ｂ  第２ゲート電極
１２７  拡張部
１２９  ゲート線の端部
１３３  維持電極
１４０  ゲート絶縁膜
１５１  線状半導体層
１５４、１６３、１６３ａ  突出部
１５４ａ  第１チャネル部
１５４ｂ  島型半導体
１５７  維持電極部
１６１、１６３ｂ、１６５ａ、１６５ｂ  抵抗性接触部材
１６４  島型抵抗性接触部材
１６５  不純物半導体層
１７１  データ線
１７２  電源線
１７３  ソース電極
１７３ａ  第１ソース電極
１７３ｂ  第２ソース電極
１７５  ドレイン電極
１７５ａ  第１ドレイン電極
１７５ｂ  第２ドレイン電極
１７７  ストレージキャパシタ用導電体
１７９  データ線の端部
１８０  保護膜
１８１、１８２、１８３、１８５、１８７、１８９  接触孔
１９０  画素電極
１９２  接続部材
２７２  補助電極
８０３  隔壁
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１９】
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【図２０Ａ】
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【図２０Ｂ】
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【図２１】
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【図２２Ａ】
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【図２２Ｂ】
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【図２３】
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【図２４Ａ】
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【図２４Ｂ】
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