(57)【要約】【課題】粒子画像から粒子の特徴情報を精度よく求めること。【解決手段】粒子を撮像する工程と、撮像して得られた複数の画素からなる多階調画像に対して構成画素数を増やす補間処理を行う工程と、補間処理された補間画像に基づいて粒子の特徴を表す情報を求める工程とを有する粒子画像処理方法。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子を撮像する工程と、撮像して得られた複数の画素からなる多階調画像に対して構成画素数を増やす補間処理を行う工程と、補間処理された補間画像に基づいて粒子の特徴を表す情報を求める工程とを有する粒子画像処理方法。
【請求項２】
粒子を撮像して得られた複数の画素からなる多階調画像に対して構成画素数を増やす補間処理を行う画素補間手段と、補間処理された補間画像に基づいて粒子の特徴を表す特徴情報を求める解析手段とを備える粒子画像処理装置。
【請求項３】
前記画素補間手段は、隣接する画素間に補間用画素を少なくとも１個挿入することによって補間を行う請求項２記載の粒子画像処理装置。
【請求項４】
補間用画素は、前記隣接する画素における階調と画素間の距離に応じて重み付けを行う加重平均とに基づいて求めた階調値を備える請求項３記載の粒子画像処理装置。
【請求項５】
前記階調値が輝度である請求項４記載の粒子画像処理装置。
【請求項６】
前記解析手段が、補間画像を２値化画像に変換する２値化手段と、２値化画像における粒子像の輪郭を形成する輪郭画素を追跡するチェインコードを生成し、生成されたチェインコードに基づいて粒子の特徴を表す特徴情報を算出する算出手段とを備える請求項２〜５の何れか１項に記載の粒子画像処理装置。
【請求項７】
前記特徴情報は、円相当径および円形度の少なくとも一方である請求項２〜６の何れか１項に記載の粒子画像処理装置。
【請求項８】
前記多階調画像が、濃淡画像である請求項２〜７の何れか１項に記載の粒子画像処理装置。
【請求項９】
粒子を含む懸濁液の流れを形成するフローセルと、懸濁液の流れに対して光を照射する光源と、光が照射された粒子を撮像する撮像部と、撮像部によって得られた複数の画素からなる多階調画像に対して構成画素数を増やす補間処理を行う画素補間手段および補間処理された補間画像に基づいて粒子の特徴を表す特徴情報を求める解析手段を有する画像処理部とを備える粒子画像分析装置。
【請求項１０】
粒子撮像装置によって粒子を撮像して得られた多階調画像に対して構成画素数を増やす補間処理を行う工程と、補間処理された補間画像に基づいて粒子の特徴を表す特徴情報を求める工程とをコンピュータに実行させる画像処理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は粒子を撮像し、その粒子像を画像解析することによって、粒子に関する情報を求める粒子画像処理方法と装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ファインセラミックス粒子やトナー、顔料、化粧品用パウダー、食品添加物、化学薬品のような種々の粒子状物質の製造過程や品質管理工程において、粒子物質の各粒子に関する様々な情報を測定し、粒子の解析を行うことが重要になってきている。
例えば、粒子の解析を行う装置として、粒子懸濁液の流れをシース液で取り囲んだ流れに変換するフローセルと、変換された懸濁液流に対して光を照射する光照射手段と、照射された粒子を撮像する撮像手段と、撮像された粒子像を解析する画像解析手段と、表示手段とを備え、画像解析手段は、撮像された各粒子像の面積および周囲長についての粒子データを測定し、その粒子データから粒子と円形度を算出する算出手段と、粒径による粒度頻度データに基づいてヒストグラムを作成すると共に粒径と円形度とに対応する２つのパラメータによる２次元スキャッタグラムを作成して表示手段にそれぞれ表示する図表作成手段と、撮像された各粒子像を格納する記憶手段と、記憶手段に格納された各粒子像を表示手段に一括表示する粒子像呼出手段からなることを特徴とする粒子画像分析装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−１３６４３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の方法や装置では、微小径の粒子画像に対して、粒子画像の解像度（分解能）が十分に得られない場合に、粒子の２値化画像によって得られる円相当径や、円形度の算出精度が低下してしまう場合があった。
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、粒子を撮像して得られた画像データの画素を補間して粒子画像を高解像度化することにより、その画像を２値化した画像から求められる円相当径や円形度の算出精度を向上させることを特徴とする粒子画像処理技術を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、粒子を撮像する工程と、撮像して得られた複数の画素からなる多階調画像に対して構成画素数を増やす補間処理を行う工程と、補間処理された補間画像に基づいて粒子の特徴を表す情報を求める工程とを有する粒子画像処理方法を提供するものである。
【０００５】
また、この発明は、粒子を撮像して得られた複数の画素からなる多階調画像に対して画素を補間して構成画素数を増やす補間処理を行う画素補間手段と、補間処理された補間画像に基づいて粒子の特徴を表す特徴情報を求める解析手段とを備える粒子画像処理装置を提供するものである。
【発明の効果】
【０００６】
この発明によれば、多階調画像に対して画素が補間され、補間された画像に基づいて粒子の特徴情報が求められるので、精度の高い特徴情報を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面に基づいてこの発明の実施形態を説明する。
この発明の実施形態としての粒子画像分析装置の外観図を図１に示す。図１に示されるように、粒子画像分析装置は、粒子画像撮像装置２１とデータ分析装置２２とから構成される。粒子撮像装置２１とデータ分析装置２２とは通信ケーブルによって接続され、粒子撮像装置２１で撮像された撮像画像は通信ケーブルを介してデータ分析装置２２に送信される。
【０００８】
データ分析装置２２は、粒子撮像装置２１から送信されてきた撮像画像を画像処理する粒子画像処理装置１１と、粒子画像処理装置１１から出力された粒子画像や分析データなどを表示するためのモニターテレビ１２と、粒子画像処理装置１１に対するデータの入力や操作を行うためのキーボード１３と、粒子画像処理装置１１で動作するプログラムを読み取るためのプログラム読み取り部１５（図４参照）から主として構成される。
【０００９】
次に、粒子撮像装置２１の撮像部の構成について、図２を用いて説明する。吸引ピペット１は、サンプルフィルター２、バルブ１６、バルブ１７を介してポンプ18に接続されている。また、バルブ１６とバルブ１７の間に試料をチャージングするための試料チャージングライン３が接続され、試料チャージングライン３には、試料チャージングライン３にチャージングされた粒子懸濁液を押し出すためのシリンジ４が接続されている。また、試料チャージングライン３はフローセル５に接続されている。フローセル５は、粒子懸濁液の流れをシース液で包んで流すことにより、流体力学的効果によって、扁平な流れを形成することができるセルである。また、試料液ボトル６は、シース液チャンバー７、フローセル５を介して廃液チャンバー１４に接続されている。
【００１０】
ストロボ８とビデオカメラ１０とはフローセル５を挟んで配置され、フローセル５とビデオカメラ１０の間には対物レンズ９が配置されている。なお、この実施形態では、撮像倍率は２０倍、解像度は５１２×５１２画素である。
【００１１】
次に、粒子撮像装置２１の動作について説明する。
図２において、バルブ１６、１７が開くと、粒子懸濁液はポンプ１８によって吸引ピペット１から吸引され、サンプルフィルター２を通りフローセル５の上部の試料チャージングライン３へ引き込まれる。サンプルフィルター２によって、懸濁液中の粗大な粒子ごみが取り除かれ、流路の細い（狭い）フローセル５が詰まらないようにしている。またこのサンプルフィルタ２は、粗大な凝集塊をほぐす効果も持っている。
【００１２】
チャージングライン３に引きこまれた粒子懸濁液は、バルブ１６、１７を閉じてシリンジ４を動作させることによってフローセル５に導かれ、内部のサンプルノズル（図示しない）の先端から懸濁液が押し出される。それと同時にシース液もシース液ボトル６からシース液チャンバー７を介してフローセル５に送り込まれ、粒子懸濁液はそのシース液で取り囲まれ、液体力学的に懸濁液は偏平に絞られてフローセル５の内を流れ、廃液チャンバー１４を介して排出される。このように偏平に絞られた懸濁液流に対して、ストロボ８からパルス光を周期的に照射することによって、粒子の静止画像が対物レンズ９を介してビデオカメラ１０で撮像される。
【００１３】
粒子を懸濁するための溶媒は粒子特性（粒径や比重）に応じて最適なものを選べばよい。
また、懸濁液の流れを確実に偏平にあるいは細かく絞り込むために懸濁液の特性に応じて、例えば溶媒の粘度や比重に応じて、シース液の粘度や比重を変更するのが好ましい。図２には図示していないが、複数種類のシース液ボトルを設け、測定する試料に応じて使用するシース液の種類を容易に切り換えられるような機構を付加してもよい。
【００１４】
懸濁液流の偏平な面をビデオカメラ１０で撮像すれば、ビデオカメラ１０の撮像エリア全体にわたって粒子像を捉えることができ、図３に示すように１回の撮像で多数の粒子を撮像できる。また、撮像される粒子の重心とビデオカメラ１０の撮像面との距離をほぼ一定にすることができるので、粒子の大きさに関わらず常にピントの合った粒子像が得られる。
【００１５】
図４はデータ分析装置２２の構成を示すブロック図である。同図で示すように、データ分析装置２２は、ビデオカメラ１０から送信されてきた撮像画像を画像処理する粒子画像処理装置１１と、粒子画像処理装置１１から出力された粒子画像や分析データなどを表示するためのモニターテレビ１２と、粒子画像処理装置１１に対するデータの入力や操作を行うためのキーボード１３と、画像処理装置１１で動作するプログラムを読み取るためのプログラム読み取り部１５から主として構成される。
【００１６】
粒子画像処理装置１１は、ビデオカメラ１０の撮像により得られる複数の画素からなる濃淡画像に対して画素を補間して補間画像を生成する画像補間手段、つまり高解像度化部１１ｆと、高解像度化部１１ｆから得られる補間画像の画像信号を２値化データに変換する２値化部１１ａと、２値化された粒子画像データをエッジトレースするエッジトレース部１１ｂと、エッジトレースして得られたデータを解析処理する解析部１１ｃと、画像データや処理データなどを格納するデータ記憶部１１ｄと、プログラム読み取り部１５によってプログラム記録媒体から読み取られた粒子画像解析用プログラムを格納するプログラム記憶部１１ｅを備える。
【００１７】
ここで、プログラム読み取り部１５はＣＤ−ＲＯＭドライブ、プログラム記録媒体はＣＤ−ＲＯＭから構成される。
そして、画像処理部１１は、ビデオカメラ１０からの画像信号をキーボード１３から入力される処理条件に応じて処理し、処理結果をモニターテレビ１２に表示する。
ここで、粒子画像処理装置１１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭからなるパーソナルコンピュータにより構成される。
【００１８】
データ分析装置２２における画像処理の手順を図５のフローチャートに示す。
まず、ビデオカメラ１０からの画像信号は、画像処理部１１に取り込まれてＡ／Ｄ変換され、濃淡画像である画像データとして取り込まれる（ステップＳ１）。次に、懸濁液流に対する照射光の強度むら（シューディング）を補正するためのバックグラウンド補正が行われる（ステップＳ２）。
【００１９】
このバックグラウンド補正は、具体的には、粒子フローセル５を通過していない時に光照射して得られる画像データを、測定前にあらかじめ取り込んでおき、その画像データと実際の粒子撮像画面の画像データとを比較演算することであり、画像処理として一般的によく知られた処理である。
【００２０】
次に、高解度化処理、つまり画素補間処理が行われる（ステップＳ３）。具体的には、粒子画像の全画素につき、隣接する２つの画素間に補間用画素が挿入される。補間用画素としては、隣接する画素における階調、ここでは輝度の平均値を有するように形成され、ここでは、いわゆる線形補間が行われる。
【００２１】
まず、隣接する画素に１つの画素を補間する場合について説明する。図６の（ａ）に示すように互いに接する４つの画素Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄに着目すると、これらは図６の（ｂ）に示すように補間用画素Ｐａｂ，Ｐａｃ，Ｐｃｄ，Ｐｂｄ，Ｐｍによって補間される。この場合、画素Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄの各輝度が、
Ｐａ＝Ａ
Ｐｂ＝Ｂ
Ｐｃ＝Ｃ
Ｐｄ＝Ｄ
であると、補間画素Ｐａｂ，Ｐａｃ，Ｐｃｄ，Ｐｂｄ，Ｐｍの各輝度は、
Ｐａｂ＝（１／２）Ａ＋（１／２）Ｂ
Ｐａｃ＝（１／２）Ａ＋（１／２）Ｃ
Ｐｃｄ＝（１／２）Ｃ＋（１／２）Ｄ
Ｐｂｄ＝（１／２）Ｂ＋（１／２）Ｄ
Ｐｍ＝（１／４）Ａ＋（１／４）Ｂ＋（１／４）Ｃ＋（１／４）Ｄ
となる。
【００２２】
次に、隣接する画素に２つの画素を補間する場合について説明する。図６の（ａ）に示すように互いに接する４つの画素Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄに着目すると、これらは図６の（ｃ）に示すように補間用画素Ｐａｂ１，Ｐａｂ２，Ｐａｃ１，Ｐａｃ２，Ｐｃｄ１，Ｐｃｄ２，Ｐｂｄ１，Ｐｂｄ２，Ｐｍ１，Ｐｍ２，Ｐｍ３，Ｐｍ４によって補間される。この場合、画素Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄの各輝度が、
Ｐａ＝Ａ
Ｐｂ＝Ｂ
Ｐｃ＝Ｃ
Ｐｄ＝Ｄ
であると、補間画素Ｐａｂ１，Ｐａｂ２，Ｐａｃ１，Ｐａｃ２，Ｐｃｄ１，Ｐｃｄ２，Ｐｂｄ１，Ｐｂｄ２，Ｐｍ１，Ｐｍ２，Ｐｍ３，Ｐｍ４の各輝度は、
Ｐａｂ１＝（２／３）Ａ＋（１／３）Ｂ
Ｐａｂ２＝（１／３）Ａ＋（２／３）Ｂ
Ｐａｃ１＝（２／３）Ａ＋（１／３）Ｃ
Ｐａｃ２＝（１／３）Ａ＋（２／３）Ｃ
Ｐｃｄ１＝（２／３）Ｃ＋（１／３）Ｄ
Ｐｃｄ２＝（１／３）Ｃ＋（２／３）Ｄ
Ｐｂｄ１＝（２／３）Ｂ＋（１／３）Ｄ
Ｐｂｄ２＝（１／３）Ｂ＋（２／３）Ｄ
Ｐｍ１＝（２／３）（２／３）Ａ＋（２／３）（１／３）Ｂ＋（１／３）（２／３）Ｃ＋（１／３）（１／３）Ｄ
Ｐｍ２＝（２／３）（１／３）Ａ＋（２／３）（２／３）Ｂ＋（１／３）（１／３）Ｃ＋（１／３）（２／３）Ｄ
Ｐｍ３＝（１／３）（２／３）Ａ＋（１／３）（１／３）Ｂ＋（２／３）（２／３）Ｃ＋（２／３）（１／３）Ｄ
Ｐｍ４＝（１／３）（１／３）Ａ＋（１／３）（２／３）Ｂ＋（２／３）（１／３）Ｃ＋（２／３）（２／３）Ｄ
となる。
【００２３】
このように、線形補間は、周囲４画素からの距離による加重平均で補間画素の画素濃度（本実施形態では輝度）を求めている。画素間の距離は画素中心間の距離であり、周囲４画素（補間前の画素）の隣接する画素中心間の距離を１としている。図６の（ａ）において、画素Ｐａの画素中心から補間用画素中心までのＹ方向の距離をＰ、画素Ｐａの画素中心から補間用画素中心までのＸ方向の距離をＱとし、画素Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄの画素濃度が、
Ｐａ＝Ｋ
Ｐｂ＝Ｌ
Ｐｃ＝Ｍ
Ｐｄ＝Ｎ
であると、補間用画素の画素濃度は、
（１−Ｐ）（１−Ｑ）Ｋ＋（１−Ｐ）ＱL＋Ｐ（１−Ｑ）M＋ＰＱＮ
と表わされる。
従って、加重平均を用いた線形補間によって、補間用画素の画素濃度（本実施形態では輝度）を容易に求めることが可能である。
【００２４】
次に、粒子画像の輪郭を的確に抽出するための前処理として輪郭強調処理を行う（ステップＳ３ａ）。具体的には、一般的によく知られたラプラシアン強調処理を行う。
【００２５】
次に、画像データをある適当なスレシホールドレベルで２値化すると、各粒子画像は図７に示すような２値化画像となる（ステップＳ４）。次に、２値化された各粒子画像に対してエッジ点が（輪郭を表す輪郭画素）かどうかを判定するとともに、着目しているエッジ点に対して隣合うエッジ点がどの方向にあるかの情報、すなわちチェインコードを生成する（ステップＳ５）。次に、このチェインコードを参照しながら粒子画像のエッジトレースを行い、粒子画像の解析パラメータとして、各粒子画像の面積（総画素数）Ｓｔ、直行カウント数Ｅｔ、斜行カウント数Ｅｓおよびコーナーカウント数Ｃｎを求める（ステップＳ６）。
【００２６】
ここで、ステップＳ５、Ｓ６における処理を図７を用いて具体的に説明すると、粒子画像（図７のハッチング部分）の輪郭を形成する輪郭画素（エッジ点）の中心点ａ〜ｎを直線で結び、全輪郭画素を点ａから反時計方向方向（又は時計方向）に順次着目し、現在の着目輪郭画素と次の着目輪郭画素とを結ぶ直線が縦又は横方向を向くとき現在の着目輪郭画素を第１画素とみなし、現在の着目輪郭画素と次の着目輪郭画素とを結ぶ直線が斜め方向を向くとき現在の着目輪郭画素を第２画素とみなし、第１および第２画素の数を計数する。
【００２７】
ここで、第１画素の合計数が直行カウント数Ｅｔであり、第２画素の合計数が斜行カウント数Ｅｓである。
また、図７において、着目する１つの輪郭画素とその両側に隣接する２つの輪郭画素とを結ぶ直線が、着目した輪郭画素において角度をもって交差する場合にその輪郭画素を屈曲点とみなし、全輪郭画素の各々に着目して屈曲点の数を計数する。屈曲点の合計数がコーナーカウント数Ｃｎである。
なお、図７に図示される粒子画像では、
面積Ｓｔ＝総画素数＝２５であり、
第１画素は、点ｃ、ｅ、ｇ、ｈ、ｊ、ｋ、ｌ、ｍを含む画素であるので、Ｅｔ＝８となり、
第２画素は、点ａ、ｂ、ｄ、ｆ、ｉ、ｎを含む画素であるので、Ｅｓ＝６となり、
屈曲点は、点ａ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、ｉ、ｊ、ｎであるので、Ｃｎ＝９となる。
【００２８】
必要な撮像処理が終了すると（ステップＳ７）、各粒子画像に対して求められた解析パラメータに基づいて、まず、周囲長Ｌが次式で算出される（ステップＳ８）。
Ｌ＝０．９８０×Ｅｔ＋１．４０６×Ｅｓ−０．０９１×Ｃｎ・・・（１）
（但し、２画素間の距離を１とする。）
式（１）はVossepoelの式として知られている。
次に、面積Ｓが次式で算出される（ステップＳ９）。
Ｓ＝Ｓｔ−０．５Ｌ・・・（２）
（但し、２画素間の距離を１とする）
次に、円相当径Ｒｓが次式で算出される（ステップＳ１０）。
Ｒｓ＝ａ×Ｓ1/2×ｋ＋ｂ・・・（３）
ここで、ｋは１画素の寸法、ａ、ｂは補正係数である。
【００２９】
次に、円形度Ｘが次式で算出される（ステップＳ１１）。
Ｘ＝（粒子画像と同じ面積をもつ円の周囲長）／（粒子画像の周囲長）
＝πＲｓ／Ｌ・・・（４）
となる。
以上のようにして、多数の粒子画像の各々について周囲長、面積、円相当径および円形度などの粒子の形状を表す形状情報を得ることができるので、これらを用いて粒子画像を統計的に解析することができる。
【００３０】
図８は、直径２μｍのラテックス粒子を撮像して求めた円形度分布のヒストグラムである。図８（ａ）は前述のように画素補間を行った場合、（ｂ）は画素補間を行わない場合（比較例）を示す。これらのヒストグラムは、１０００フレームの撮像画素から３４６９個の粒子を抽出して作成された。
図８（ｂ）では円形度の裾がほぼ０．９まで伸び、円形度１．０で表される粒子が極端に多く、分布が不自然である。これに対し、図８（ａ）では、円形度の裾が０．９を完全に上回る一方、円形度１．０の粒子が大きく減り、ピークはほぼ０．９８であり、分布幅は狭く、シャープになっている。
従って、図８（ａ）は、図８（ｂ）に比べて、円形度の測定が精度よく行われることを示している。
【００３１】
このように、粒子を撮像して得られた粒子の濃淡画像に画素を線形補間して拡大画像を形成することにより、画素を線形補間する前の濃淡画像の２値化画像に比べ、画素を線形補間した拡大画像の２値化画像は、輪郭を形成する輪郭画素が増える。そのため、その輪郭画素に基づいて求められる周囲長、面積、円相当径および円形度などの粒子の形状を表す形状情報はより粒子の形状を反映したものとなる。
【００３２】
上記実施形態の画像解析対象は、ファインセラミックス、顔料、化粧品用パウダーのような無機物の粉体および食品添加物のような有機物の粉体を含むものであり、多結晶からなる粒子であってもよい。
【００３３】
上記実施形態では、粒子を撮像して得られた濃淡画像を用いて、高解像度化としての線形補間を行ったが、粒子を撮像して得られたカラー画像などの多諧調画像を用いて、線形補間を行ってもよい。
【００３４】
また、上記実施形態において、パルス光源としてストロボを使用したが、パルスレーザ光源を用いても良い。
【００３５】
また、上記実施形態において、スロボとビデオカメラはフローセルを挟んで配置されたが、フローセルにおいて粒子懸濁液が偏平な流れに変換される場合、ストロボは、粒子懸濁液流の偏平な一面に直交して光を照射し、撮像部はその光軸上に配置されることが好ましい。
【００３６】
上記実施形態において、記録媒体はＣＤ−ＲＯＭを使用したが、磁気テープやカセットテープ、フロッピー（登録商標）ディスクやハードディスクなどの磁気ディスクやＣＤ−ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤなどの光ディスク、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード、あるいはマスクＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュＲＯＭなどによる半導体メモリであってもよい。
また、粒子画像分析装置をインターネットを含む通信ネットワークと接続可能なシステム構成とし、記録媒体を通信ネットワークからプログラムをダウンロードするように流動的にプログラムを担持する媒体としてもよい。尚、そのダウンロード用プログラムは予め粒子画像処理装置に格納しておく。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】この発明による実施例の粒子画像分析装置の外観図である。
【図２】この発明による実施例の粒子画像装置の要部構成説明図である。
【図３】この発明の実施例による画像の説明図である。
【図４】この発明による実施例のデータ分析装置の構成を示すブロック図である。
【図５】この発明の実施例のデータ分析装置の動作を示すフローチャートである。
【図６】この発明の実施例における粒子画像の画素と補間用画素の説明図である。
【図７】この発明の実施例における２値化画像の説明図である。
【図８】実施例と比較例の円形度分布のヒストグラムである。
【符号の説明】
【００３８】
１    吸引ピペット
２    サンプルフィルター
３    試料チャージングライン
４    シースシリンジ
５    フローセル
６    シース液ボトル
７    シース液チャンバー
８    ストロボ
９    対物レンズ
１０    ビデオカメラ
１１    粒子画像処理装置
１２    モニターテレビ
１３    キーボード
１４    廃液チャンバー
２１    粒子撮像装置
２２    データ分析装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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