(57)【要約】【課題】この発明は、質量が一様な重ウラン酸アンモニウム粒子を形成することができる重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置及びその製造方法を提供することを、その課題とする。【解決手段】前記課題を解決するためのこの発明における手段としては、複数のノズルと、前記複数のノズルそれぞれから落下する硝酸ウラニル含有の液滴に、光を照射する光照射手段と、前記光照射手段により照射された液滴の落下状態に応じて、各ノズルへの硝酸ウラニル含有の滴下原液の供給量を調節する流量調節器とを有することを特徴とする重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと、前記複数のノズルそれぞれから落下する硝酸ウラニル含有の液滴に、光を照射する光照射手段と、前記光照射手段により照射された液滴の落下状態に応じて、各ノズルへの硝酸ウラニル含有の滴下原液の供給量を調節する流量調節器とを有することを特徴とする重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置。
【請求項２】
前記光照射手段が、周期的に点滅する光を照射するストロボ光照射手段である前記請求項１に記載の重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置。
【請求項３】
前記光照射手段から発せられる光を検知する光センサーと、前記光センサーから出力される検知信号を入力することにより各ノズルから滴下される液滴量が同一となるように前記流量調節器を制御する制御手段とを有する前記請求項１に記載の重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置。
【請求項４】
複数のノズルから滴下される硝酸ウラニル含有の液滴に、ストロボ光照射手段によって周期的に点滅する光を照射し、前記ストロボ光照射手段により照射された液滴の滴下状態に応じて、各ノズルに供給される硝酸ウラニル含有の滴下原液の供給量を調節することを特徴とする重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置。
【請求項５】
複数のノズルそれぞれから落下する硝酸ウラニル含有の液滴に、光照射手段により光を照射し、照射された液滴の落下状態に応じて各ノズルへの硝酸ウラニル含有の滴下原液の供給量を調節することを特徴とする重ウラン酸アンモニウム粒子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置及びその製造方法に関し、さらに詳しくは、質量の均一な重ウラン酸アンモニウム粒子を得ることができる重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高温ガス炉用燃料は、一般的に以下のような工程を経て製造される。まず、酸化ウランの粉末を硝酸に溶かして、硝酸ウラニルを含有する硝酸ウラニル原液とする。次に、この硝酸ウラニル原液に純水および増粘剤等を添加し、攪拌することにより硝酸ウラニル含有の滴下原液に調製する。調製された滴下原液は、所定の温度に冷却され、粘度を調製後、細径の滴下ノズルを用いてアンモニア水溶液に滴下される。
【０００３】
このアンモニア水溶液に滴下された液滴は、アンモニア水溶液表面に達するまでの間に、アンモニアガスが吹きかけられる。このアンモニアガスによって、液滴表面がゲル化され、これにより、アンモニア水溶液表面到達時における変形が防止される。アンモニア水溶液中における硝酸ウラニルは、アンモニアと十分に反応し、重ウラン酸アンモニウム粒子（以下、「ＡＤＵ粒子」と略する場合がある。）となる。
【０００４】
このＡＤＵ粒子は、乾燥された後、大気中で焙焼され、三酸化ウラン粒子となる。さらに、三酸化ウラン粒子は、還元および焼結されることにより、高密度のセラミック状の二酸化ウラン粒子となる。この二酸化ウラン粒子をふるい分け、すなわち分級して、所定の粒径を有する燃料核微粒子を得る（非特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、従来の重ウラン酸アンモニウム粒子の製造装置は、重ウラン酸アンモニウム粒子の生産量を向上させるため、複数の滴下原液供給ノズルを備えており、いずれの滴下原液供給ノズルから落下するＡＤＵ粒子においても同じ一定の質量を有するようにするためには、各滴下原液供給ノズルから滴下される滴下原液の流量を一定にする必要があった。そのためには、流量調節器を設け、滴下原液の滴下量を一定に保つようにしていた。この流量調節器のみでは、滴下原液の流量を一定に保つことは困難であるので、形成された重ウラン酸アンモニウム粒子の粒径は不揃いになるという問題があった。
【０００６】
【非特許文献１】長谷川正義、三島良績  監修「原子炉材料ハンドブック」昭和５２年１０月３１日発行  ２２１−２４７頁、日刊工業新聞社
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明は、従来技術の問題点を解決し、質量が一様な重ウラン酸アンモニウム粒子を形成することができる重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置及び重ウラン酸アンモニウム粒子製造方法を提供することを、その課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するためのこの発明における手段として、
請求項１は、複数のノズルと、前記複数のノズルそれぞれから落下する硝酸ウラニル含有の液滴に、光を照射する光照射手段と、前記光照射手段により照射された液滴の落下状態に応じて、各ノズルへの硝酸ウラニル含有の滴下原液の供給量を調節する流量調節器とを有することを特徴とする重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置であり、
請求項２は、前記光照射手段が、周期的に点滅する光を照射するストロボ光照射手段である前記請求項１に記載の重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置であり、
請求項３は、前記光照射手段から発せられる光を検知する光センサーと、前記光センサーから出力される検知信号を入力することにより各ノズルから滴下される液滴量が同一となるように前記流量調節器を制御する制御手段とを有する前記請求項１に記載の重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置であり、
請求項４は、複数のノズルから滴下される硝酸ウラニル含有の液滴に、ストロボ光照射手段によって周期的に点滅する光を照射し、前記ストロボ光照射手段により照射された液滴の滴下状態に応じて、各ノズルに供給される硝酸ウラニル含有の滴下原液の供給量を調節することを特徴とする重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置であり、
請求項５は、複数のノズルそれぞれから落下する硝酸ウラニル含有の液滴に、光照射手段により光を照射し、照射された液滴の落下状態に応じて各ノズルへの硝酸ウラニル含有の滴下原液の供給量を調節することを特徴とする重ウラン酸アンモニウム粒子の製造方法である。
【発明の効果】
【０００９】
この発明においては、硝酸ウラニル含有の滴下原液が複数のノズルに供給される。複数のノズルから、滴下原液が連続的に滴下される。連続的に滴下される滴下原液に光照射手段により光が照射される。光を照射された液滴の落下状態を視覚により、又は光センサーにより検知し、液滴の落下状態に応じて流量調節器を調節することにより、各ノズルから落下する液滴の重量を調節する。これによって、各ノズルから落下する液滴の重量を均一にすることができる。
【００１０】
前記光照射手段により光を照射された液滴の滴下状態を光センサーで検知する場合には、各ノズルから滴下される液滴列毎に光センサーが配置される。
【００１１】
光照射手段により光が照射されている状態のところに液滴が落下すると、液滴により光が遮られるので光センサーは検知信号を制御手段に出力する。制御手段は、液滴列毎に配置されている光センサーから出力される検知信号に基づき同じ時間に液滴が光センサに到達する光を遮っているか否かを判断し、また液滴が光を遮る時間を計測することにより、いずれのノズルから落下する液滴と他のノズルから落下する液滴との落下状態が異なるかを判断する。制御手段は、各ノズルから落下するいずれの液滴も同じタイミングで落下するように、流量調節器を自動制御する。
【００１２】
光照射手段がストロボ光照射手段であるときには、次のようにして流量調節器が制御される。
【００１３】
上記したのと同様にしてノズルから滴下される液滴に、光照射手段であるストロボ光照射手段により、周期的に点滅する光（ストロボ光とも称される。）が照射される。ノズルから順次に滴下される複数の液滴がストロボ光に照射されると、ノズルから滴下している複数の液滴が静止状態であるかのように観察される。複数のノズルから同じタイミングで滴下されるいずれの液滴も同じ高さ位置にあると観察されるときには、複数のノズルがいずれも同じ形状及び寸法を有しているから、複数のノズルから滴下されるいずれの液滴も同じ濃度、同じ粒径、同じ重量であると判断することができる。ところが、複数のノズルから同じタイミングで滴下される複数の液滴が同じ高さ位置にないと観察されるときには、複数のノズルから滴下される複数の液滴につきその粒径及び重量が相違すると判断される。そのときには、流量調節器を操作することによりノズルに供給される滴下原液の供給量が調整されて、複数のノズルのいずれからも同じタイミングでいずれの液滴も同じ重量及び同じ粒径をもって滴下されるようになる。
【００１４】
したがって、この発明によると、質量および粒径が一様なＡＤＵ粒子を容易に製造することができる重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置（以下において、ＡＤＵ粒子製造装置と称することがある。）及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１に、この発明の重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置の一例を示す。なお、この発明に係るＡＤＵ粒子製造装置は、図１に示される装置に限られることはない。図１に示されるように、重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置１は、複数のノズル２を備えたノズル装置２Ａと、振動器３と、光照射手段の一例であるストロボ光照射手段４と、流量調節器７と、滴下原液供給管８と、セパレーター９と、ポンプ１０と、滴下原液貯留槽１１と、反応槽１２とを備える。
【００１６】
前記ノズル２は、前記滴下原液供給管８を通って送液された滴下原液を反応槽１２内に蓄えられたアンモニア水溶液に滴下するノズルである。
【００１７】
前記ノズル装置２Ａは、複数のノズル２を、ノズル２それぞれの一端が下方に向かうように、かつノズル２の軸線を平行にして横一列に配列してなる。複数のノズル２は、いずれも同一構造を有してなる。ノズル２が管体であるときには、複数のノズル２はいずれも同じ開口径、同じ軸線長さ、同じ材質にて形成されてなる。つまり、複数のノズル２は滴下原液の滴下につき同じ条件となるように設計されている。
【００１８】
前記ノズル２の材料としては、耐腐食性、耐熱性および耐衝撃性に優れた材料であればよく、例えば、ガラス、ステンレス鋼、アルミニウム、マグネシウム、ジルコニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金またはジルコニウム合金等を挙げることができる。
【００１９】
前記ノズル２の断面形状としては、円形、楕円形または多角形等を挙げることができ、特に、円形であるのが好ましい。
【００２０】
また、前記ノズル２の内径は、０．１〜６ｍｍであるのが好ましく、特に、０．１〜２ｍｍであるのが好ましい。
【００２１】
前記内径が０．１ｍｍ未満であると、ノズルが目詰まりを起こすことがある。また、前記内径が６ｍｍよりも大きいと、滴下原液の表面張力により、ノズル先端から、液滴が落下しにくくなってしまう。その結果、先端部で、液滴が大きくなり、形成されるＡＤＵ粒子の大きさが大きくなりすぎることがある。
【００２２】
前記ノズル２の本数としては、２〜３２本であるのが好ましく、特に、４〜１６本であるのが好ましい。
【００２３】
また、複数のノズル２は、前記したように横一列に配置されるのが好ましく、場合によっては、ノズル２の先端を水平面に投影したときの投影先端部が円形、楕円形、又は方形となるような列をもって複数のノズル２が配置されていても良い。
【００２４】
このノズル装置２Ａは、前記反応槽１２の水平断面における中心部に液滴が落下するように、前記反応槽１２の上方に配置される。複数のノズル２それぞれは、その他端に滴下原液供給管８が結合されている。前記ノズル装置２Ａには、振動器３が装着される。この振動器３は、前記ノズル装置２Ａ全体に一定の周波数を有する振動を付与することにより複数のノズル２を同時に一定の周波数で振動させるように、形成される。
【００２５】
前記振動器３としては、振動モータ等の振動発生器を用いることができる。
【００２６】
前記振動器３による振動の周波数としては、５０〜２００Ｈｚであるのが好ましい。
【００２７】
前記周波数が前記範囲よりも低い場合は、ノズル２の先端部から液滴が落下せず、しかも、ノズル２の先端部において、液滴が成長してしまい、その結果、所望の大きさのＡＤＵ粒子を得ることができないことがある。また、前記周波数が前記範囲より高い場合は、液滴が球形状になる前に、反応槽１２に蓄えられたアンモニア水溶液に到達してしまい、所望の形状を有するＡＤＵ粒子を得ることができないことがある。
【００２８】
前記ストロボ光照射手段４は、前記ノズル２から滴下された液滴に周期的に点滅する光を照射する。
【００２９】
前記ストロボ光照射手段４としては、例えば、ストロボ放電管等を挙げることができる。
【００３０】
前記ストロボ光照射手段４は、前記ノズル２から滴下される液滴を照射することのできる位置に配置されるのが好ましい。
【００３１】
前記流量調節器７は、ノズル２に供給する滴下原液の流量を調整することができる限り公知の流量調節器を採用することができる。この例においては、滴下原液供給管８の途中に介装される。もっともこの流量調節器７が配置される位置としては、特に制限は無い。
【００３２】
前記流量調節器７で調節される滴下原液の流量は、ノズル２から滴下される液滴の重量及び滴下原液の粘度等に応じて適宜に決定される。
【００３３】
前記流量調節器７を備える滴下原液供給管８の一端がノズル２に結合され、他端は、図１に示すように、セパレーター９および一つのポンプ１０を介して滴下原液貯留槽１１に接続される。また、セパレーター９を用いることなく、各々の滴下原液供給管８が、各々の滴下原液供給管８に備えられたポンプを介して滴下原液貯留槽１１に接続されることもできる。
【００３４】
前記滴下原液供給管８は、耐薬品性、耐腐食性を有し、かつ、ノズル２近傍において、可撓性を有する管であるのが好ましい。
【００３５】
前記滴下原液供給管８の材料としては、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金等の無機材料またはポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン樹脂、天然ゴム、ブチルゴム等の高分子材料を挙げることができ、単独で用いてもよく、二種上を組み合わせて用いてもよい。
【００３６】
前記ポンプ１０は、前記滴下原液貯留槽１１内に蓄えられた滴下原液を、流量調節器７および滴下原液供給管８を介してノズル２に供給するポンプである。
【００３７】
前記ポンプ１０としては、公知のポンプを用いることができる。
【００３８】
前記滴下原液貯留槽１１は、滴下原液を貯留するタンクである。なお、場合によっては、この滴下原液貯留槽１１にて、滴下原液を調製し、貯留するようにしても良い。
【００３９】
前記滴下原液貯留槽１１の材料としては、耐薬品性および耐腐食性を有する材料であればよく、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン合金等の無機材料またはポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリフルオロエチレン樹脂等の高分子材料を挙げることができる。
【００４０】
前記滴下原液貯留槽１１の容積および形状は、特に、制限はなく、形成するＡＤＵ粒子の生産量に応じて、適宜、決定されることができる。
【００４１】
この発明に係るＡＤＵ粒子製造装置１を用いて、以下のようにして、ＡＤＵ粒子を製造することができる。
【００４２】
滴下原液貯留槽１１に、所定濃度に調製された滴下原液を供給する。
【００４３】
ポンプ１０により、セパレーター９を介して、それぞれの滴下原液供給管８に滴下原液が供給される。
【００４４】
そして、滴下原液は、流量調節器７を通り、振動器３により振動するノズル２から反応槽１２に蓄えられたアンモニア水溶液に滴下される。
【００４５】
滴下された液滴には、ノズル２と反応槽１２との間に配置されたストロボ光照射手段４により、周期的な光が照射される。
【００４６】
ストロボ光照射手段４によりストロボ光が落下する液滴に照射されると、図２に示されるように、ノズル２から落下する複数の液滴列が静止したように目視で観察される。例えば、図２に示されるように、縦の軸線を互いに平行にして横一列に配列された複数のノズル２から落下する液滴が瞬間的にストロボ光により、各ノズル２の先端から一列になって落下する状態が、固定されたように目視で観察される。
【００４７】
もし、全てのノズル２から落下する液滴の粒径及び容積が同一であり、全てのノズル２から同時に液滴が落下する場合には、全てのノズル２から落下する液滴は横一列に観察される。もしも、同じタイミングでノズル２から落下するいずれかの液滴が横一列に配列されていない状態に目視で観察されるならば、横一列になっていない液滴は他の液滴よりも重量が大きいか、又は少ないと判断することができる。
【００４８】
そこで、横一列になっていない液滴を落下させているノズル２に結合される滴下原液供給管８における流量調節器７を操作することによりノズル２に供給される滴下原液の流量を微調整し、全てのノズル２から落下する液滴が横一列に観察されるようになるとその流量の微調整を終了する。
【００４９】
このように、複数のノズル２から滴下される液滴にストロボ光を照射するだけで、目視により全てのノズル２から滴下される液滴が同じ重量の液滴であるかどうかを判断することができ、また全てのノズル２から滴下される液滴が同じ重量の液滴となるように簡単に調整することができる。
【００５０】
図１に示される重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置によると、全てのノズル２から滴下される全ての液滴が同じ重量の液滴になるように、簡単に調整することができる。
【００５１】
全てのノズル２から滴下される全て同じ重量に調整された液滴が、反応槽内に貯留されるアンモニウム水溶液に滴下されるので、この反応槽で、均一な重量の重ウラン酸アンモニウム粒子が形成される。
【００５２】
次にこの発明の他の例を示す。
【００５３】
図３に示される重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置が、図１に示される重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置と相違するところは、光照射手段としてストロボ光照射手段４の代わりに連続照射光を照射する連続光照射手段４Ａと、各ノズル２から滴下される液滴の落下軌跡を挟んで前記連続光照射手段４Ａと対向配置された複数の光センサー例えば光電変換素子５と、複数の光電変換素子５から出力される光検知信号に基づいて複数のノズル２から滴下されるいずれかの液滴の遅れを計測し、前記各ノズル２に接続された滴下原液供給管８に介装される各流量調節器７に駆動制御信号を出力する制御部６とを備えることである。
【００５４】
複数の前記光電変換素子５は、複数のノズル２の数に等しい数の光電変換素子５−１、５−２、・・・５−８からなる。
【００５５】
前記光電変換素子としては、公知の素子を用いることができ、例えば、ＣｄＳ、ＰｂＳ、ＰｂＳｅ赤外線センサー、フォトトランジスター、フォトダイオード、アモルファスＳｅまたはアモルファスＳｉ等を挙げることができる。
【００５６】
各光電変換素子５−１〜５−８それぞれは、例えば図４に示されるように、各ノズル２から紙面に対して垂直方向に落下する液滴２１を挟んで連続光照射手段４Ａである前記光源２０とは反対側に、各液滴２１の落下軌跡毎に配置される。各光電変換素子５−１〜５−８は、光源２０と光電変換素子５−１〜５−８との間に液滴が通過しないときには、光電変換された一定の出力Ａの検知信号を出力し、光源２０と光電変換素子５−１〜５−８との間を液滴が通過すると液滴に吸収された分だけ強度の小さくなった光が光電変換素子５−１〜５−８に到達し、光電変換素子５−１〜５−８は光電変換され、前記出力Ａよりも低下した出力Ｂの検知信号を出力する。したがって、この光電変換素子５−１〜５−８から出力される検知信号により光源２０と各光電変換素子５−１〜５−８との間を液滴が通過したことが検知される。
【００５７】
各光電変換素子５−１〜５−８から出力された検知信号は制御部６に出力される。制御部６は、各光電変換素子５−１〜５−８から出力される信号を区別する。例えば光電変換素子５−１から出力される検知信号は、光源２０と光電変換素子５−１との間に液滴が通過しないときには、一定の電圧の連続信号となっているが、光源２０と光電変換素子５−１との間に、落下して来た液滴が位置すると、光電変換素子５−１から出力される検知信号の出力が低下する。制御部６では、入力する出力低下検知信号を切り出して図５に示すような正のパルス信号に変換する。
【００５８】
ノズル２から液滴が間欠的に落下すると、光源２０と光電変換素子５−１との間に定期的に液滴が通過する。したがって、光電変換素子５−１から出力される検出信号を入力する制御部６においては、図５に示すように、光電変換素子５−１から継続的に出力される検知信号を、一定間隔のパルス信号として認識する。制御部６は、各光電変換素子５−２〜５−８から出力される検知信号を、同様に、一連の連続するパルス信号として認識する。
【００５９】
複数の各ノズル２の先端から同時に落下するいずれの液滴も同じ重量であるならば、いずれの液滴も光源２０と光電変換素子５−１〜５−８との間を同時に通過する。したがって、制御部６では、図５に示すように、光電変換素子５−１〜５−８についてのパルス信号は同時に検出され、同期している。
【００６０】
ここで、例えば、数あるノズルの中で或るノズル２から滴下される液滴の重量が他のノズル２から滴下される液滴の重量と相違する場合には、制御部６においては、図６に示すように、光電変換素子５−２についてのパルス信号が他の光電変換素子５−１、５−３〜５−８についてのパルス信号より遅れて検出される。
【００６１】
制御部６においては、光電変換素子５−２についてのパルス信号が他の光電変換素子５−１、５−３〜５−８についてのパルス信号よりも遅れていることを検出すると、図４に示されるように、光電変換素子５−２と光源２０との間を通過する液滴を滴下するノズル２における滴下状態が異常であると判断する。制御部６が光電変換素子５−２についてのノズル２における異常を検出すると、制御部６は、流量調節器７に駆動制御信号を出力し、この駆動制御信号を入力する流量調節器７によりノズル２に供給される滴下原液の供給量が調整される。
【００６２】
流量調節器７による制御は、制御部６において検知される光電変換素子５−２についてのパルス信号が他の光電変換素子５−１、５−３〜５−８についてのパルス信号と同期するまで流量調節器７に駆動制御信号を出力し続ける制御、及び、光電変換素子５−２についてのパルス信号と他の光電変換素子についてのパルス信号との時間差と流量調節器７における制御量との関係を示す検量線とを予めメモリに記憶しておき、光電変換素子５−２についてのパルス信号の遅れを前記メモリ内の検量線に当てはめて流量調節器７の制御量を決定し、流量調節器７に所定の制御信号を出力する制御等のいずれであっても良い。
【００６３】
上記した制御部６を備えた重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置であると、複数のノズルから滴下される液滴の重量を自動的に調節、制御することができる。したがって、この重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置によると、重量にばらつきのない重ウラン酸アンモニウム粒子を製造することができる。
【００６４】
以上、この発明に係る重ウラン酸アンモニウム粒子製造装置の一例について、特に手動又は自動により複数のノズルから滴下される液滴の重量をばらつきなく、均一にする装置を説明した。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】図１は、この発明に係るＡＤＵ粒子製造装置の一例を示す説明図である。
【図２】図２は、この発明に係るＡＤＵ粒子製造装置により、高さを一定に保持した液滴を示す図である。
【図３】図３は、この発明に係るＡＤＵ粒子製造装置の他の例を示す説明図である。
【図４】図４は、図３に示されるＡＤＵ粒子製造装置における光源、光電変換素子及び制御部を示す説明図である。
【図５】図５は、図３に示されるＡＤＵ粒子製造装置において、各ノズルから同じ重量の液滴が同期して落下しているときに検出されるパルス信号列を示す説明図である。
【図６】図６は、図３に示されるＡＤＵ粒子製造装置において、各ノズルから異なる重量の液滴が同期せずに落下しているときに検出されるパルス信号列を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６６】
１  ＡＤＵ粒子製造装置
２  ノズル
３  振動器
４  ストロボ光照射手段
５  光電変換素子
５−１〜５−８  光電変換素子
６  制御部
７  流量調節器
８  滴下原液供給管
９  セパレーター
１０  ポンプ
１１  滴下原液貯留槽
１２  反応槽
２０  光源
２１  液滴
【図１】
2006056756.tif 000003
【図２】
2006056756.tif 000004
【図３】
2006056756.tif 000005
【図４】
2006056756.tif 000006
【図５】
2006056756.tif 000007
【図６】
2006056756.tif 000008