(57)【要約】【課題】  付着する汚れを自動的に分解除去できる赤外線透過窓材、それを用いる赤外線センサユニット、及び前記赤外線センサユニットを組込んだ燃焼装置を提供する【解決手段】  一端に開口１６を形成すると共に他端を閉塞してなる赤外線光路１４をその内部に備え、前記赤外線光路内に赤外線検出素子２２を配設してなるハウジング１２と、前記赤外線光路を閉塞する赤外線透過窓材１００であって赤外線透過基板２と前記赤外線透過基板の一面に形成した光触媒層４とからなる赤外線透過窓材と、前記赤外線透過窓材の光触媒層を照射する紫外線発光ダイオード３２とからなる赤外線センサユニット。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外線透過基板と、前記赤外線透過基板の一面に形成した光触媒層とからなる赤外線透過窓材。
【請求項２】
光触媒層が厚さ０．１〜１μｍの酸化チタン、酸化錫、酸化亜鉛、三酸化二ビスマス、三酸化タングステン、酸化第二鉄、又はチタン酸ストロンチウムで形成してなる請求項１に記載の赤外線透過窓材。
【請求項３】
赤外線透過基板が、シリコン、ゲルマニウム、サファイヤ、石英、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、塩化ナトリウム、塩化カリウム、臭化カリウム、フッ化カルシウム又は酸化マグネシウムで形成してなる請求項１又は２に記載の赤外線透過窓材。
【請求項４】
一端に開口を形成すると共に他端を閉塞してなる赤外線光路をその内部に備え、前記赤外線光路内に赤外線検出素子を配設してなるハウジングと、前記赤外線光路を閉塞して配設された請求項１乃至３の何れかに記載の赤外線透過窓材と、前記赤外線透過窓材の光触媒層を照射する紫外線発光ダイオードとからなる赤外線センサユニット。
【請求項５】
赤外線光路の光路軸に対して赤外線透過窓材の窓面を傾斜させて赤外線透過窓材を赤外線光路に取付けると共に、赤外線透過窓材の窓面に隣接するハウジング壁であって光路の開口側のハウジング壁にドレン排出口を形成してなる請求項４に記載の赤外線センサユニット。
【請求項６】
被加熱物を加熱する加熱手段と、前記加熱手段の加熱量の制御手段と、前記被加熱物から放射される赤外線の強度を検出する請求項４又は５に記載の赤外線センサユニットとを備え、前記赤外線センサユニットにより検出された赤外線の強度に基づいて前記加熱量の制御手段を制御することを特徴とする加熱装置。
【請求項７】
環状ケーシングに炎口を環状に形成してなるブンゼンバーナと、前記バーナに供給する燃料ガス流量を制御する調整弁と、前記環状ケーシングの下方に配設した請求項４又は５に記載の赤外線センサユニットと、赤外線センサユニットの検出信号を取込み前記調整弁の開度を制御する制御部とからなる燃焼装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外線透過窓材、それを用いる赤外線センサユニット、及び前記赤外線センサユニットを組込んだ燃焼装置に関する。更に詳述すれば、本発明は、赤外線透過基板の表面に光触媒層を形成し、この光触媒層に紫外線を照射することにより、窓材表面に付着した汚れを分解して除去する、赤外線透過窓材、それを用いる赤外線センサユニット、及び前記赤外線センサユニットを組込んだ燃焼装置に関する。該赤外線センサユニットは、家庭用コンロ等の燃焼装置に組込むことにより、鍋等の被加熱物の温度を非接触で、長期間にわたり、安定に測定できる。
【背景技術】
【０００２】
従来、火災等の不測の事故を防止することを目的として、コンロ等の燃焼装置に温度センサを取付け、鍋等の被加熱物の温度を監視することが行われている。
【０００３】
特許文献１には、コンロのバーナの下方に赤外線検出素子を取付け、被加熱物の放射する赤外線を非接触で前記赤外線検出素子で検出することにより、被加熱物の温度を測定することが記載されている。上記コンロにおいては、コンロの使用時に、調理中の油零れや湯零れ、ゴミの落下等により、赤外線検出素子の受光部が汚染されて検出感度の減少や変化が生じることを防止するため、赤外線検出素子の上方に窓材を取付けている。また、バーナーの斜め下方に赤外線検出素子を取付けて、油零れ等の影響を窓材ができる限り受けないようにすることも記載されている。しかし、一旦汚れた窓材の清浄方法に関する記載はない。従って、窓材が汚れた場合は、汚れを拭取る必要があり、利便性に欠けている。
【０００４】
赤外線検出素子の汚れを除去する方法としては、赤外線センサの開口部に、光触媒を有する赤外線集光用レンズを取付ける方法が開示されている（特許文献２）。この方法においては、発光器から光触媒に光を当てることにより、レンズに付着した汚れを光分解反応により分解除去することが記載されている。しかし、光触媒、及び光触媒に照射する光の種類等の具体的記載はない。
【０００５】
特許文献３には、焦電型赤外線検出装置の結像レンズの表面に結露した水滴による赤外線の反射や屈折を防止するため、結像レンズ基材の表面に赤外線が透過可能な光触媒性酸化チタン粒子を含有する表面層を形成することを開示している。この表面層に紫外線を照射することにより、レンズ表面の親水性を増加させ、これにより水滴を均一な吸着水層にさせるものである。しかし、光触媒により、レンズの汚れを分解することは記載されていない。従って、この文献は、本発明と直接的な技術的関係はない。
【特許文献１】特開２００２−３４０３３９号公報（図１、３）
【特許文献２】特許第３２０２５６２号公報（段落番号００１９〜００２２）
【特許文献３】特開平９−２２９７６７号公報（請求項１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、その目的とするところは付着する汚れを自動的に分解除去できる赤外線透過窓材、それを用いる赤外線センサユニット、及び前記赤外線センサユニットを組込んだ燃焼装置を提供することにある。
【０００７】
本発明は以下に記載するものである。
【０００８】
〔１〕  赤外線透過基板と、前記赤外線透過基板の一面に形成した光触媒層とからなる赤外線透過窓材。
【０００９】
〔２〕  光触媒層が厚さ０．１〜１μｍの酸化チタン、酸化錫、酸化亜鉛、三酸化二ビスマス、三酸化タングステン、酸化第二鉄、又はチタン酸ストロンチウムで形成してなる〔１〕に記載の赤外線透過窓材。
【００１０】
〔３〕  赤外線透過基板が、シリコン、ゲルマニウム、サファイヤ、石英、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、塩化ナトリウム、塩化カリウム、臭化カリウム、フッ化カルシウム又は酸化マグネシウムで形成してなる〔１〕又は〔２〕に記載の赤外線透過窓材。
【００１１】
〔４〕  一端に開口を形成すると共に他端を閉塞してなる赤外線光路をその内部に備え、前記赤外線光路内に赤外線検出素子を配設してなるハウジングと、前記赤外線光路を閉塞して配設された〔１〕乃至〔３〕の何れかに記載の赤外線透過窓材と、前記赤外線透過窓材の光触媒層を照射する紫外線発光ダイオードとからなる赤外線センサユニット。
【００１２】
〔５〕  赤外線光路の光路軸に対して赤外線透過窓材の窓面を傾斜させて赤外線透過窓材を赤外線光路に取付けると共に、赤外線透過窓材の窓面に隣接するハウジング壁であって光路の開口側のハウジング壁にドレン排出口を形成してなる〔４〕に記載の赤外線センサユニット。
【００１３】
〔６〕  被加熱物を加熱する加熱手段と、前記加熱手段の加熱量の制御手段と、前記被加熱物から放射される赤外線の強度を検出する〔４〕又は〔５〕に記載の赤外線センサユニットとを備え、前記赤外線センサユニットにより検出された赤外線の強度に基づいて前記加熱量の制御手段を制御することを特徴とする加熱装置。
【００１４】
〔７〕  環状ケーシングに炎口を環状に形成してなるブンゼンバーナと、前記バーナに供給する燃料ガス流量を制御する調整弁と、前記環状ケーシングの下方に配設した〔４〕又は〔５〕に記載の赤外線センサユニットと、赤外線センサユニットの検出信号を取込み前記調整弁の開度を制御する制御部とからなる燃焼装置。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の赤外線透過窓材は、赤外線透過基板の一面に光触媒層を形成しているので、汚れが付着しても紫外線を照射することにより、汚れを分解除去でき、拭取る等の手間が大幅に減少する。その結果、この赤外線透過窓材を組込んだ赤外線センサユニットは、汚れに対する耐性が高まり、安定した素子出力を長期間にわたり与える。
【００１６】
更に、赤外線透過基板としてシリコンやゲルマニウム材料を用いる場合、特定の赤外線波長域において、光触媒層を形成した本赤外線透過基板は、赤外線透過率が光触媒層を形成していない場合よりも向上した。従って、この波長域で赤外線を検出することにより、高感度に赤外線を検出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明につき、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
（赤外線透過窓材）
図１は、本発明の赤外線透過窓材の一例を示す側面図である。図１中、１００は赤外線透過窓材で、赤外線透過基板２の一面に光触媒層４が形成されている。
【００１９】
赤外線透過基板２は、赤外線が透過できる材料で形成された平板である。その材質は、シリコン、ゲルマニウム、サファイヤ、石英、セレン化亜鉛、硫化亜鉛、塩化ナトリウム、塩化カリウム、臭化カリウム、フッ化カルシウム、酸化マグネシウム等が例示され、透過する赤外線の波長等に応じて適宜選択される。赤外線透過基板２の寸法も特に制限が無く、用途に応じて適宜選択される。
【００２０】
光触媒層４は、紫外線を照射することにより、光化学反応を引き起す光触媒が層状に前記赤外線透過基板２上に積層されている。光触媒層４の厚さは０．１〜１μｍが好ましい。光触媒層４の厚さが０．１μｍ未満の場合は、光触媒による汚れの分解作用が不十分になる。光触媒層４の厚さが１μｍを超える場合は、光触媒の汚れに対する分解作用は高くなるが、赤外線透過量が減少する。その結果、例えばこの赤外線透過窓材１００を、赤外線センサユニットの窓材として使用する場合は、センサの感度が低下する。更に、光触媒層４を形成する際の製造工程も煩雑になる。
【００２１】
光触媒層４を形成する光触媒は、その結晶の伝導帯と価電子帯との間のエネルギーギャップよりも大きなエネルギーの光（紫外線）が照射されると、価電子帯中の電子の励起が生じて、伝導電子と正孔とを生成する物質である。例えば、アナターゼ型酸化チタン、ルチル型酸化チタン、ブルッカイト型酸化チタン、酸化錫、酸化亜鉛、三酸化二ビスマス、三酸化タングステン、酸化第二鉄、チタン酸ストロンチウム等の公知の光触媒がある。  光触媒としては、アナターゼ型酸化チタン、ルチル型酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫、又はチタン酸ストロンチウムが好ましい。
【００２２】
光触媒層４を形成する方法としては、公知の方法が採用され得る。例えば、光触媒がアナターゼ型酸化チタンの場合を例にして説明する。この場合、大別して下記の３方法がある。他の光触媒の場合もほぼ同様の方法により形成できる。
（１）ゾル塗布焼成法
アナターゼ型酸化チタンゾルを、基板表面に、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、フローコーティング法、スピンコーティング法、ロールコーティング法等任意の方法で赤外線透過基板２に塗布し、アナターゼの結晶化温度以上の温度で焼成して、無定型酸化チタンをアナターゼ型酸化チタンに相転移させる。
（２）有機チタネート法
チタンアルコキシド（テトラエトキシチタン、テトラメトキシチタン、テトラプロポキシチタン、テトラブトキシチタン等）、チタンアセテート、チタンキレート等の有機チタネートをアルコール等の非水溶媒で希釈し、次いで部分的に加水分解を進行させながら、赤外線透過基板２塗布し、乾燥させる。乾燥することにより、水酸化チタンの脱水縮重合が起き、無定型酸化チタンの層が基板表面に形成される。その後、アナターゼの結晶化温度以上の温度で焼成する。
（３）電子ビーム蒸着法
酸化チタンのターゲットに電子ビームを照射することにより、基板表面に無定型酸化チタンの層を形成する。その後、アナターゼの結晶化温度以上の温度で焼成する。
（赤外線センサユニット）
上記赤外線透過窓材１００は、例えば、以下に記載する赤外線センサユニットの窓材として好適である。
【００２３】
図２は、赤外線センサユニットの一例を示す側面図である。図２中、１１０は赤外線センサユニットである。
【００２４】
図２中、１２はハウジングで、その内部には赤外線光路１４が形成されている。前記赤外線光路１４の一端は外部に向って解放された開口１６が形成され、他端は底壁１８により閉塞されている。前記底壁１８には、センサ搭載用基板２０が立設されている。
【００２５】
前記センサ搭載用基板２０上には、所定数（本図では２個）の赤外線検出素子２２が搭載され、この赤外線検出素子２２の出力は、不図示のリード線により赤外線センサユニット１１０の外部に取り出される。
【００２６】
前記赤外線光路１４の一端側には、赤外線光路１４を覆って、赤外線透過窓材１００が取付けられている。赤外線透過窓材１００は、その光触媒層４を赤外線光路１４の開口の方に向け、赤外線透過基板２を底壁２２側に向けている。更に、赤外線透過窓材１００は、その窓面２４を赤外線光路１４の光路軸Ｘに対して所定角度θ傾斜して取付けられている。
【００２７】
この傾斜角度θは特に制限が無く、後述するように滴下する汚れが赤外線透過窓材１００の窓面２４を伝って流下できる程度の角度とすることが好ましい。通常θは３０〜８０°程度が好ましい。
【００２８】
前記開口１６側の窓面２４に隣接して、ハウジング１２のハウジング壁１２ａには、ドレン排出口２６が形成されており、前記窓面２４を伝って流下する汚れ２８は、このドレン排出口２６からハウジング１２外部に排出される。
【００２９】
前記ドレン排出口２６の開口１６側のハウジング壁１２ａには、紫外線発光ダイオード取付孔３０が形成され、その内部に、所定数（本図では３個）紫外線発光ダイオード（紫外線ＬＥＤ）３２が取付けられている。なお、３４は、紫外線発光ダイオードのリード線である。
【００３０】
次に、上記赤外線センサユニット１１０の動作を説明する。
【００３１】
温度が測定されるべき被測定物（不図示）から、温度に応じて放射される赤外線は、赤外線センサユニット１１０の開口１６を通って赤外線光路１４内に入り、次いで赤外線透過窓材１００を通って赤外線検出素子２２により検出される。赤外線透過窓材１００の窓面２４は、時間の経過と共に、外部から侵入する汚れにより汚染される。
【００３２】
一方、紫外線発光ダイオード３２からは、紫外線が窓面２４に向けて照射されている。紫外線の照度は、０．１ｍＷ／ｃｍ2以上が好ましく、１．０ｍＷ／ｃｍ2以上が特に好ましい。この照射される紫外線により、光触媒層４の光触媒が活性化され、前記付着した汚れを分解する。更に、窓面２４は傾斜しているので、汚れ２８は流下する。
この作用により、赤外線センサユニット１００は、長期間にわたり、汚れを分解除去でき、その結果長期間赤外線検出感度の変動が防止される。
（燃焼装置）
図３は、本発明燃焼装置の一例であるコンロ１２０を示すものである。
【００３３】
図３中、４２は天板で、加熱口４４が形成されている。前記加熱口４４の周りには、五徳４６が配設されている。４８は、加熱口４４の下方に設けられたバーナで、環状ケーシング部５０と、前記環状ケーシング部５０に連結された混合管５２と、混合管５２に連結されたガスノズル５４とからなる。ガス配管５６から供給されるガスは、ノズル５４を通って混合管５２内で空気が混合された後、環状ケーシング部５０に形成された炎口５８から炎５９となって放出される。これらは、加熱手段の一例を構成している。
【００３４】
炎５９により、被加熱物６０は加熱され、被加熱物の温度に対応した赤外線が被加熱物から放射される。前記放射された赤外線は、環状ケーシング部５０の下方に配設された汁受皿６２の中央に穿設された赤外線透過孔６４を通って赤外線センサユニット１１０に到達する。
【００３５】
このセンサユニット１１０は、図２に記載された構造を有するものである。赤外線は図２に示す赤外線センサユニット１１０の開口１６から赤外線光路１４内に入り、次いで赤外線透過窓材１００を通って赤外線検出素子２２により検出される。赤外線は検出波長が異なる複数の赤外線検出素子２２を備えて、波長の異なる赤外線を同時に検出することにより、測定誤差を減少させることができる。
【００３６】
赤外線検出素子２２の出力は、制御部６５に送られ、信号処理が行われる。例えば、赤外線検出素子２２の出力が被加熱物６０の過熱状態や、被加熱物６０が存在しないことを示す場合は、調整弁６６に信号が送られ、調整弁６６が閉じられ、コンロ１２０に供給される混合ガスの供給が停止される。即ち、これらは前記加熱手段の加熱量の制御手段の一例を構成している。
【００３７】
赤外線透過窓材１００の窓面２４は、調理時に被加熱物６０内の内容物があふれ出て汚染されることがある。大部分の汚れは、窓面２４を伝って流下し、ドレン排出口２６から外部に排出される。
【００３８】
一方、紫外線発光ダイオード３２からは、紫外線が窓面２４に向けて照射されている。この照射される紫外線により、光触媒層４の光触媒が活性化され、外部に排出されずに窓面２４に付着して残っている汚れが分解される。
【００３９】
なお、上記説明においては、コンロを例として説明したが、これに限られず各種の燃焼装置に同様にして赤外線センサユニットを組込める。
【００４０】
赤外線透過窓材に施された酸化チタン等の光触媒層は紫外線発光ダイオードより放射される紫外線により活性化され、ゴミ、油等の汚れを分解する。このため赤外線透過窓材は長時間にわたり赤外線の透過率が低下しない。その結果、長期間赤外線検出感度の変動が防止される。尚、火炎、太陽光、室内灯から発せられる紫外線もある程度光触媒能の発現に寄与することが期待できるが、紫外線量が少ない事、またコンロへの取り付け上の問題で前記紫外線の十分な照射量を期待出来ないので、紫外線発光ダイオードを設け安定した紫外線を窓材へ供給する。
【００４１】
更に、本発明の窓材は超親水性、親油性も期待出来る為、調理中に水や油が飛散し付着したとしても、水滴状にならず、従って赤外線の屈折、反射を防止する効果もある。
【実施例】
【００４２】
次に、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４３】
実施例１
（赤外線透過窓材の製造）
図４に酸化チタンの光触媒層を有する赤外線透過窓材の製造フローを示す。
【００４４】
まず、シリコン、ゲルマニウム及びサファイアからなる赤外線透過基板を溶剤（アセトン）で洗浄し、清浄な基板表面を得た。次に、光触媒層を形成しない基板面に粘着テープを貼着してマスキングした。光触媒研究所製光触媒ゾル（ＰＡＯー１１５）を容器に小分けし、前記基板を浸積した後、３０ｍｍ／分の一定速度で基板を引き上げた。
【００４５】
急激な乾燥を防ぐ為、室温で１時間乾燥し、次いで９０℃のオーブンで１時間乾燥した。その後、１℃／分の昇温速度で３００℃まで昇温し、その温度で２時間焼成して、赤外線透過窓材を得た。
【００４６】
上記製造した、酸化チタンを光触媒層とする赤外線透過窓材の光触媒層の膜厚を触針式膜厚計で測定した結果、光触媒層の膜厚は０．２μｍであつた。
【００４７】
図５〜７に、製造した赤外線透過窓材の赤外線透過率の測定結果を示した。図中，ａは光触媒層を形成する前の基板の赤外線透過率曲線を示し、ｂは光触媒層を形成した基板の赤外線透過率曲線を示す。赤外線透過率の測定はフーリエ変換赤外分光計（ＦＴ−ＩＲ）を用いた。光触媒層の厚さが０．２μｍ程度であれば、著しい透過率の低下は認められなかった。
【００４８】
赤外線透過基板がシリコン、またはゲルマニウムの場合、これらの基板に酸化チタンの光触媒層を形成すると、基板自身よりも透過率が向上した波長域が認められた。光触媒層を形成することにより、光触媒層に対する赤外線の反射率が低下したためと思われる。
【００４９】
図４に示す工程を繰返すことにより、光触媒層の厚さを大きくできる。
【００５０】
図４に示す工程の繰返し回数と、膜厚の関係を図８に示した。両者には直線的比例関係があるので、希望する光触媒層の膜厚を工程の繰返し回数で管理する事ができる。
【００５１】
シリコン基板及びサファイア基板に対する図４に示す工程の繰返し回数と、得られた赤外線透過窓材の赤外線透過率との関係を図９及び図１０に示す。シリコン基板の場合、約１０μｍ以上の波長域では工程の繰返し回数が増すにつれ、赤外線透過率の減少が認められるが、１０μｍ以下の波長域では逆に透過率の上昇が認められた。従って、１０μｍ以下の波長域で温度を検知する場合には、効率よく温度を測定できる。
【００５２】
サファイア基板の場合は、工程繰返し回数が増すに従い、単純に赤外線透過率が減少する傾向が見られた。特に、３μｍ付近の赤外線透過率の減少が顕著であった。
【００５３】
（脱色試験例）
本発明の赤外線透過窓材の光触媒層の触媒活性を確認する目的で、メチレンブルーを用いる脱色試験を行なった。メチレンブルーは酸化還元反応の反応性の大小を示す指標になる試薬である。メチレンブルーが還元されると、青色から無色に変化するので、触媒の還元力の有無を色の変化で確認することができる。
【００５４】
次に、試験方法について説明する。試薬はメチレンブルーを水で１０ｍｇ／１に希釈したものを用いた。基板はガラスとし、図４に示す工程を１回、２回及び５回施した。光触媒層は、酸化チタンで形成した。
【００５５】
ガラスに試薬を０．１ｍｌ滴下し、ブラックライトで１．０ｍＷ／ｃｍ2の紫外線を照射し、一定時間ごとに試薬の脱色の有無を目視で観察した。その結果を表１に示す。光触媒層が厚くなるほど脱色時間が短縮された。
【００５６】
比較試験例として酸化チタンの光触媒層を形成していないガラス基板を用いて、上記脱色試験例と同様に操作した。この場合、６０分経過後もメチレンブルーの脱色は起きなかった。
【００５７】
【表１】
2006266827.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の赤外線透過窓材の一例を示す断面図である。
【図２】本発明の赤外線センサユニットの一例を示す断面図である。
【図３】本発明の赤外線センサユニットを組込んだ燃焼装置の一例を示す構成図である。
【図４】本発明の赤外線透過窓材の製造工程の一例を示すフロー図である。
【図５】シリコンを基板とする赤外線透過窓材の赤外線透過率曲線である。
【図６】ゲルマニウムを基板とする赤外線透過窓材の赤外線透過率曲線である。
【図７】サファイアを基板とする赤外線透過窓材の赤外線透過率曲線である。
【図８】光触媒層の製造工程の繰返し回数と、光触媒層厚さの関係を示すグラフである。
【図９】シリコン基板に形成した光触媒層厚さと、赤外線透過率との関係を示す赤外線透過率曲線である。
【図１０】サファイア基板に形成した光触媒層厚さと、赤外線透過率との関係を示す赤外線透過率曲線である。
【符号の説明】
【００５９】
１００    赤外線透過窓材
２    赤外線透過基板
４    光触媒層
１１０    赤外線センサユニット
１２    ハウジング
１４    赤外線光路
１６    開口
１８    底壁
２０    センサ搭載用基板
２２    赤外線検出素子
２４    窓面
Ｘ    光路軸
θ    角度
１２ａ    ハウジング壁
２６    ドレン排出口
２８    汚れ
３０    紫外線発光ダイオード取付孔
３２    紫外線発光ダイオード
３４    リード線
１２０    コンロ
４２    天板
４４    加熱口
４６    五徳
４８    バーナ
５０    環状ケーシング部
５２    混合管
５４    ガスノズル
５６    ガス配管
５８    炎口
５９    炎
６０    被加熱物
６２    汁受皿
６４    赤外線透過孔
６５    制御部
６６    調整弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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