(57)【要約】【課題】光学部品等の機器部品を支持する取付板の熱膨張に伴ない機器部品へ加わる外力の影響を少なくすることにより、機器部品の性能劣化を未然防止すること。【解決手段】熱歪緩和装置１０は、機器部品１２を設置する取付板１３と、この取付板１３の端部を固定するベース板１４とを具備し、取付板１３は、当該取付板１３の中央部の機器部品台座部１６の外側位置に、当該機器部品台座部１６の外側方向へ伸縮可能な伸縮手段１７とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器部品を設置する取付板と、この取付板の端部を固定するベース板とを具備し、
上記取付板は、当該取付板中央部の機器部品台座部の外側位置に、当該機器部品台座部の外側方向へ伸縮可能な伸縮手段を備え、
上記取付板の機器部品台座部は、上記ベース板側からの発熱の影響により熱膨張した際、上記伸縮手段により熱膨張を吸収し、取付板の変形を抑制するようにしたことを特徴とする熱歪緩和装置。
【請求項２】
機器部品を中央部の機器部品台座部に設置する取付板と、この取付板の端部を固定するベース板と、上記取付板に熱伝導的に設けられ、機器部品側からの発熱を吸収して外部へ放熱可能に上記ベース板側に支持固定される電子冷却装置とを具備し、
上記取付板は、上記機器部品台座部の外側位置に、当該機器部品台座部が外側方向へ伸縮可能な伸縮手段を備え、
上記取付板の機器部品台座部は、上記ベース板側からの発熱の影響により熱膨張した際、上記伸縮手段により熱膨張が吸収され、取付板の変形を抑制するようにしたことを特徴とする熱歪緩和装置。
【請求項３】
上記取付板は、方形状をなし、この方形状の取付板がベース板側へ固定される端部は、上記取付板の方形状の相対向する端部であることを特徴とする請求項１または２記載の熱歪緩和装置。
【請求項４】
機器部品を設置する機器部品台座部を有する方形状の取付板と、この取付板の端部を固定するベース板とを具備し、
上記取付板は、上記機器部品台座部の方形状４辺位置に、当該機器部品台座部が外側方向へ伸縮可能な伸縮手段を備え、
上記取付板の機器部品台座部は、上記ベース板側からの発熱の影響により熱膨張した際、上記伸縮手段により熱膨張が吸収され、取付板の変形を抑制するようにしたことを特徴とする熱歪緩和装置。
【請求項５】
上記取付板に設けられた伸縮手段は、上記機器部品台座部の外側位置に固定される端部より内側位置の表側および裏側の少なくとも一方に、板厚方向に所要の幅および深さを有するスリット部を備え、
上記取付板の機器部品台座部が、上記機器部品の自己発熱の影響により熱膨張した際、上記スリット部により熱膨張が吸収され、取付板の熱膨張による変形を抑制するようにしたことを特徴とする請求項１，３および４のいずれかに記載の熱歪緩和装置。
【請求項６】
上記取付板の機器部品台座部に、中心部から放射状スリットを設けたことを特徴とする請求項４記載の熱歪緩和装置。
【請求項７】
機器部品を設置する取付板の端部を伸縮手段により外側方向へ伸縮可能とし、取付板が温度上昇して熱膨張した際に、この熱膨張を、上記伸縮手段により吸収させて、取付板の変形を抑制することを特徴とする熱歪緩和方法。
【請求項８】
上記取付板の熱膨張により伸びる寸法分を、上記伸縮手段のスリット部により寸法吸収して、取付板の変形を抑制することを特徴とする請求項７記載の熱歪緩和方法。
【請求項９】
機器部品を設置する方形状の取付板の機器部品台座部の４辺を伸縮手段により外側方向へ伸縮可能にし、取付板が温度上昇して熱膨張した際に、この熱膨張により伸びる寸法分を、上記伸縮手段により吸収させて、取付板の変形を抑制することを特徴とする熱歪緩和方法。
【請求項１０】
上記熱膨張により伸びる寸法分を、方形状の取付板の４辺に機器台座部の外側位置に設けられる伸縮手段のスリット部により吸収することを特徴とする請求項９記載の熱歪緩和方法。
【請求項１１】
上記取付板に、機器部品台座部の中心部から端部側に向かって放射状スリットを設け、この放射状スリットにより、上記機器部品台座部が温度上昇して熱膨張する際に、外側方向の膨張分を吸収し、上記機器部品台座部の変形を抑制することを特徴とする請求項１０記載の熱歪緩和方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、レーザー装置等の高精度の部品構成によるアラインメント調整が要求される熱歪緩和装置および熱歪緩和方法に係り、特に光学部品等の機器部品を搭載した機器に用いられ、機器部品へ外力が加えられ、変形による性能の劣化を未然に防止する熱歪緩和装置および熱歪緩和方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の熱歪緩和装置は、半導体製造装置等の光学部品を備えた装置において採用され、光学装置の、例えばレンズが熱膨張して、このレンズの支持部材に加わる圧力により変形して所定の精度、すなわち性能を維持することができなかった。そこで、レンズが熱膨張により変形した場合にでも、レンズ自体が支持部材側から圧力を受けないようにして、レンズ性能の維持を図るようにしたものがある。
【０００３】
このような、熱歪緩和装置として、特開２０００−３４３５７６号公報（特許文献１参照）に開示されたものがある。
【０００４】
この熱歪緩和装置によれば、図７に示すように、図示しない光学機器部品に搭載される光学部品１に熱歪緩和装置２が設けられる。の熱歪緩和装置２は、外郭を構成する、例えば鉄製のレンズ保持用支持部材３と、このレンズ保持用支持部材３の内側に、接着部材４を介して支持されるレンズ支持部材５と、このレンズ支持部材５に支持されるレンズ６とから構成される。
【０００５】
接着部材４は、所望の弾力性を有し、レンズ保持用支持部材３に対してレンズ支持部材５を接着して弾力的に保持している。また、このレンズ支持部材５は、レンズ６の熱膨張率とほぼ同じ膨張率を有し、レンズ６が熱膨張するに伴ない、同様に膨張するようになっている。接着部材４は、レンズ支持部材５が所定の大きさまで膨張した際、この膨張分（寸法）を吸収し得る程度の厚さを有している。接着部材４は、レンズ支持部材５の膨張分を吸収し得る程度の厚さを有することから、レンズ６が周囲から熱的影響を受け、熱膨張した際に、レンズ支持部材５を介して、接着部材４にて熱膨張分を吸収することができるようになっている。
【０００６】
従って、レンズ６が周囲から熱的影響を受けた際に、レンズ６自体が膨張しても、レンズ支持部材５側から外力を受けることがないので、このレンズ６自体に熱歪が生ぜず、光学部品としての性能維持が図られるようになっている。
【特許文献１】特開２０００−３４３５７６号公報（第８頁右欄第４４〜第９頁左欄第５行および図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
熱歪緩和装置２の構成によれば、光学部品１のレンズ６が熱膨張した際に、所望の性能が維持できるように対応したものであるが、レンズ６の熱膨張を寸法吸収させるために、接着部材４を設けねばならず、光学部品１として構成が複雑となる一方で、当該光学部品１全体が必要以上に大型化せざるを得なかった。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、機器部品を支持する取付板の熱膨張に伴ない機器部品、例えば光学部品へ加わる外力の影響を少なくする一方で、装置全体を大型化することなく、機器部品の性能劣化を未然に防止することができる熱歪緩和装置および熱歪緩和方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明によれば、機器部品を設置する平板状の取付板と、この取付板の端部を支持固定するベース板とを具備し、上記取付板は、当該取付板が支持固定される機器部品台座部の外側位置に、当該機器部品台座部が平面方向へ伸縮可能な伸縮手段を備え、上記取付板の機器部品台座部が、上記ベース板側からの発熱の影響により熱膨張した際、上記伸縮手段により寸法吸収され、取付板の機器部品台座部の熱膨張による変形を抑制するようにしたことを特徴とする熱歪緩和装置を提供する。
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明によれば、機器部品を設置する平板状の取付板と、この取付板の端部を支持固定するベース板と、上記取付板に熱伝導的に設けられ、機器部品側からの発熱を吸収して外部へ放熱可能に上記ベース板側に支持固定される電子冷却装置とを具備し、上記取付板は、当該取付板が支持固定される機器部品台座部の外側位置に、当該機器部品台座部が平面方向へ伸縮可能な伸縮手段を備え、上記取付板の機器部品台座部が、上記ベース板側からの発熱の影響により熱膨張した際、上記伸縮手段により寸法吸収され、取付板の機器部品台座部の熱膨張による変形を抑制するようにしたことを特徴とする熱歪緩和装置を提供する。
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明によれば、機器部品を設置する機器部品台座部を有する方形状の取付板と、この取付板の機器部品台座部の端部を支持固定するベース板とを具備し、上記取付板は、当該取付板が支持固定される機器部品台座部の方形状４辺の外側位置に、当該機器部品台座部が平面方向へ伸縮可能な伸縮手段を備え、上記取付板の機器部品台座部が、上記ベース板側からの発熱の影響により熱膨張した際、上記伸縮手段により寸法吸収され、取付板の機器部品台座部の熱膨張による変形を抑制するようにしたことを特徴とする熱歪緩和装置を提供する。
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明によれば、機器部品を設置する取付板の機器部品台座部を伸縮手段により平面方向へ伸縮可能にし、取付板が温度上昇して熱膨張した際に、この熱膨張により伸びる寸法分を、上記伸縮手段により吸収させて、取付板の機器部品台座部の熱膨張による変形を抑制することを特徴とする熱歪緩和方法を提供する。
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明によれば、機器部品を設置する取付板の方形状の機器部品台座部の４辺を伸縮手段により平面方向へ伸縮可能にし、取付板が温度上昇して熱膨張した際に、この熱膨張により伸びる寸法分を、上記伸縮手段により吸収させて、取付板の機器部品台座部の熱膨張による変形を抑制することを特徴とする熱歪緩和方法を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、光学部品等の機器部品を支持固定する取付板の熱膨張に伴ない機器部品側へ加わる外力の影響を少なくしたことにより、機器部品の性能劣化を未然に防止することができる熱歪緩和装置および熱歪緩和方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明に係る熱歪緩和装置の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、本発明の熱歪緩和装置１０の実施形態を示す概要図である。
【００１７】
この熱歪緩和装置１０は、当該熱歪緩和装置１０を用いる、例えば電子装置（図示せず）の装置支持基台１１に設置される。熱歪緩和装置１０は、電子部品等の部品が組み込まれた機器部品１２を熱伝導的に固定する、取付金具としての長方形状の取付板１３と、この取付板１３の端部を支持固定するベース板１４と、取付板１３に熱伝導的に設けられ、機器部品１２側からの発熱を吸収して外部へ放熱可能なようにベース板１４側に支持固定される電子冷却装置１５とから構成される。
【００１８】
機器部品１２は、例えば光学部品および電子回路を備えたもので、熱歪緩和装置１０が作動することに伴ない、取付板１３側に加わる外力により変形した場合、性能劣化を起こし易い部品である。この機器部品１２は、所要の性能を保持しながら取り扱われるもので、取付板１３に外力が加わった際に、寸法精度に狂いが生じて性能劣化することがないように取付板１３側に設置される。
【００１９】
この取付板１３は、熱伝導性を有する金属、例えば銅（合金）またはアルミニウム（合金）製の平板状のもので、図２および図３に示すように、中央部において機器部品１２を設置する機器部品台座部１６を有し、この機器部品台座部１６の外側で且つ取付板１３の長手方向の相対向する辺部に、外側方向に伸縮可能に設けられる伸縮手段１７と、この伸縮手段１７の外側に設けられる固定用の取付耳部１８とから構成される。
【００２０】
取付板１３は、熱伝導性を有する一方で、熱膨張率も大きく、ベース板１４側に固定させた状態で加熱されることにより所定寸法膨張する。この膨張分を吸収させるために、ベース板１４側に伸縮手段１７が設けられる。
【００２１】
伸縮手段１７は、図２に示すように、相対向する辺部全長に亘り、凹溝である表側スリット部１９ａおよび裏側スリット部１９ｂをそれぞれ平行に設けている。
【００２２】
表側スリット部１９ａおよび裏側スリット部１９ｂを有するスリット領域は、図３に示すように、幅寸法ｆ１を有し、各スリット部１９ａ，１９ｂ相互に所定の間隔を取り、且つ相反する向きに設けられる幅ｄ，深さｌの直線状スリットである。また、伸縮手段１７の外側位置に設けられる取付耳部１８には、取付板１３をベース板１４側に固定させるための締付ネジ２０用のネジ孔１８ａを設けている。
【００２３】
これらの各スリット部１９ａおよび１９ｂからなる伸縮手段１７は、所要の伸縮幅（寸法吸収可能幅）を得るため、図４（ａ）に示すように、通常維持には、幅寸法ｆ１を有し、また、最大収縮時には、図４（ｂ）に示すように、幅寸法ｆ２になるように設けられる。従って、所要の最大伸縮幅は、ｆ１−ｆ２の寸法幅である。
【００２４】
なお、表側スリット部１９ａおよび裏側スリット部１９ｂは、相互に逆の位置に設けてもよい。
【００２５】
このように構成される伸縮手段１７は、取付板１３がベース板１４側から受ける放熱を受けて熱膨張した際、この熱膨張により伸長する寸法分を表側スリット部１９ａおよび裏側スリット部１９ｂの幅ｄおよび深さｌにより充分に吸収し得るようになっている。また、伸縮手段１７は、取付板１３が伸長した際、伸縮手段１７側において、機器部品１２の重量に耐え得る程度の強度を保持させている。
【００２６】
取付耳部１８は、取付板１３の機器部品台座部１６上に機器部品１２を設置した状態で、図１に示すように、ベース板１４側へ支持固定するもので、締付ネジ２０によりネジ孔２０ａを介して固定している。ベース板１４は、剛性を有する金属、例えば鉄・ニッケル系合金製の平板状のもので、機器部品１２を支持固定した取付板１３および電子冷却装置１５、更には、図示しない発熱を伴なう電子機器等の機器の組立体を装置支持基台１１側へ固定するものである。
【００２７】
装置支持基台１１は、図１に示すように、熱歪緩和装置１０のベース板１４側を複数の締付ネジ２１により固定している。
【００２８】
電子冷却装置１５は、図１に示すように、ベース板１４側に支持固定されるもので、ペルチェ素子１５ａと、このペルチェ素子１５ａの吸熱側に設けられ、取付板１３に熱伝導的に配置された吸熱板１５ｂと、ペルチェ素子１５ａの放熱側に設けられる放熱板１５ｃと、この放熱板１５ｃからの放熱を外部へ放出する作用を有する放熱フィン群１５ｄとから構成される。具体的には、電子冷却装置１５は、吸熱板１５ｂ側が取付板１３の機器部品台座部１６の裏面側へ熱伝導的に接合される一方で、放熱板１５ｃ側をベース板１４側へ支持固定される。
【００２９】
また、装置支持基台１１は、電子冷却装置１５側からの放熱作用を促進させるために、ペルチェ素子１５ａ側から突出して設けられる放熱フィン１５ｄを空隙部に設置している。
【００３０】
次に、熱歪緩和装置１０の作用について、図１〜図４を参照して説明する。
【００３１】
図１に示すように、熱歪緩和装置１０を作動させると、ベース板１４側の電子冷却装置１５の放熱板１５ｃおよび発熱を伴なう電子機器等の機器が自己発熱する。
【００３２】
この電子冷却装置１５およびその他の機器側からの発熱は、ベース板１４を介して、あるいは輻射熱により直接に取付板１３側へ熱伝導し、その中央部の機器部品台座部１６が加熱されて熱膨張する。この機器部品台座部１６が熱膨張すると、取付板１３の機器部品台座部１６の両端部が伸長し、その伸長分が表側スリット部１９ａおよび裏側スリット部１９ｂからなるスリット領域が収縮することにより吸収される。
【００３３】
この表側スリット部１９ａおよび裏側スリット部１９ｂの収縮の状態は、図４（ａ）に示すように、各スリット部１９ａ，１９ｂのスリット領域の通常の幅寸法ｆ１から、図４（ｂ）に示すように、両スリット部１９ａ，１９ｂの最大収縮状態の幅寸法ｆ２へ変化する。すなわち、伸縮手段１７は、機器部品台座部１６側から最大で上記熱膨張分相当寸法（ｆ１−ｆ２）分だけ押圧され収縮する。
【００３４】
このように、取付板１３の機器部品台座部１６は、加熱温度や熱膨張率に応じて膨張する一方で、機器部品台座部１６は変形しない。従って、機器部品台座部１６が熱膨張した際、機器部品台座部１６上に設置した機器部品１２が、外力を受けなく、また、たとえ僅かに受けたとしても、機器部品台座部１６自体は変形せず、機器部品１２へ外力が加わらないため、寸法精度に狂いが生ぜず、性能劣化を未然に防止することができる。
【００３５】
次に、本発明の熱歪緩和装置１０に用いた長方形状の取付板１３に対し、正方形状を有する取付板３０の実施例について、図５および図６を参照して説明する。
【００３６】
この取付板３０は、図５に示すように、中央部の機器部品台座部３１と、この機器部品台座部３１の方形状４辺側から外側へ突出して設けた取付耳部３２と、機器部品台座部３１の方形状４辺のそれぞれの端部に沿って形成された伸縮手段３３とから構成される。
【００３７】
取付耳部３２には、取付板３０をベース板１４側に支持固定させるための締付ネジ２０用のネジ孔３２ａを設けている。伸縮手段３３は、表側スリット部３４ａおよび裏側スリット部３４ｂと、機器部品台座部３１の中心部から機器部品台座部３１の方形状４辺の交わる角部側へ放射状に形成した放射状スリット部３５とから構成される。この放射状スリット部３５は、取付板３０が温度上昇して熱膨張する際に、外側方向の膨張作用力を吸収し、取付板３０の熱膨張による変形を抑制するために設けられる。
【００３８】
次に、取付板３０を用いた熱歪緩和装置１０の作用について、図１〜図６を参照して説明する。
【００３９】
図１に示すように、熱歪緩和装置１０を作動させると、ベース板１４側の電子冷却装置１５の放熱板１５ｃおよび発熱を伴なう電子機器等の機器が自己発熱する。
【００４０】
この電子冷却装置１５およびその他の機器側からの発熱は、ベース板１４を介して、あるいは輻射熱により直接に取付板１３側へ熱伝導し、その中央部の機器部品台座部１６が加熱されて熱膨張する。この機器部品台座部３１が熱膨張すると、取付板３０の正方形状４辺の端部に設けた各伸縮手段３３が収縮する。
【００４１】
この各伸縮手段３３の収縮の状態は、図４（ａ）に示すように、熱膨張していないスリット部１９ａ，１９ｂの通常の幅寸法ｆ１から、図４（ｂ）に示すように、両スリット部１９ａ，１９ｂのスリット領域の最大収縮状態の幅寸法ｆ２へ変化する。すなわち、伸縮手段１７は、機器部品台座部３１側から上記熱膨張分相当の寸法（ｆ１−ｆ２）分だけ押圧され収縮する。
【００４２】
また、取付板３０の正方形状４辺側の各伸縮手段１７の収縮に合わせて、放射状スリット部３５側も同時に、図５に示すように、矢視ｘ方向へ押圧力が加わり、創造線αで示す位置まで狭まるようになる。
【００４３】
取付板３０の機器部品台座部３１は、上記のように熱膨張しても変形しない構成としたから、加熱温度や熱膨張率に応じて膨張する一方で、機器部品台座部３１は変形しない。従って、機器部品台座部３１が熱膨張した際、機器部品台座部３１上に設置した機器部品１２が外力を受けなく、また、たとえ僅かに受けたとしても、機器部品台座部３１自体が変形せず、機器部品１２へ外力が加わらないため、寸法精度に狂いが生ぜず、性能劣化を未然に防止することができる。
【００４４】
なお、本発明の実施形態である熱歪緩和装置１０に設けた取付板１３は、この機器部品台座部１６に形成した表側および裏側スリット１９ａおよび１９ｂは、少なくとも１つを形成したものであってもよく、更には、必要により３つ以上形成させることもできる。
【００４５】
また、取付板１３に形成した表側および裏側スリット１９ａおよび１９ｂの形状について、図３に示すように、その幅ｄおよび深さｌは、任意の寸法に設定することができる。この場合に、取付板１３の熱膨張率を勘案して表側および裏側スリット１９ａおよび１９ｂの数や組合せは任意にすることができる。また、同時に表側および裏側スリット１９ａおよび１９ｂの寸法設定をすることができる。
【００４６】
更に、熱歪緩和装置１０の取付板１３に形成した伸縮手段１７の表側スリット部１９ａおよび裏側スリット部１９ｂは、図７（ａ）に示すように、外側へ開口させないで、取付板１３の板厚内に伸縮手段１７として円形状または方形状の空洞部４０を設けるか、図７（ｂ）に示すように、断面Ｈ形状の空洞部４１を設けた構成にしてもよい。
【００４７】
また、熱歪緩和装置１０の取付板１３の形状として、方形状のものを例示したが、図８に示すように、円形状の取付板５０を採用することができる。この取付板５０は、機器部品取付台座部５１の外周縁に沿って円形状のスリット部５２を設け、その外側に知複数の取付板５３を配置した構成のものである。
【００４８】
更にまた、熱歪緩和装置１０の取付板３０に図５に示すほう形状のものを例示したが、この取付板３０の形状に類似するものとして、図９に示すように、方形状の取付板６０を採用することができる。取付板６０は、中央部の機器部品台座部６１の周縁部の４方に取付耳部６２を配置し、機器部品台座部６１と取付耳部６２の境界部にそれぞれスリット部６３を設けた構成のものである。
【００４９】
また、熱歪緩和装置１０に設けた電子冷却装置１５は、必ずしも必要なものではなく、放熱フィン１５ｄのみによる自然空冷方式あるいは、例えばファン（図示せず）を用いた強制空冷方式を採用してもよい。更には、放熱フィン１５ｄに冷媒配管（図示せず）を熱伝導的に配設した構成を採用することもできる。
【００５０】
また、熱歪緩和装置１０に用いられる取付板１３および３０の伸縮手段１７および３３として、例えば表側スリット部１９ａ，３４ａおよび裏側スリット部１９ｂ，３４ｂを設けたが、この構成に限らず取付板１３，３０を全体的に弾力性ある、例えば強化ゴムのような素材を用いて製作することもできる。
【００５１】
また、伸縮手段１７，３３は、取付板１３および３０の機器部品台座部１６および取付板３０の板厚に比して薄肉に形成し、弾力性を付与して伸縮可能とさせた構成であってもよい。
【００５２】
更にまた、本発明の実施形態である熱歪緩和装置１０に設けた機器部品１２の取付板１３は、方形状のものに限らず、円形状のものであってもよい。その場合に、取付板１３に設けられるスリット部の形状は、図５および図６に示すものと同様形状にするのが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係る熱歪緩和装置の実施形態の概要を示す一部縦断面図。
【図２】図１の機器部品を支持固定する取付板の平面図。
【図３】図１の機器部品を支持固定する取付板の側面図。
【図４】図１のＡ部の拡大図で、（ａ）は、取付板に設けた伸縮手段が伸縮していない状態を示し、（ｂ）は、伸縮手段が収縮している状態を示す。
【図５】図２に示す取付具の他の実施例を示す平面図。
【図６】図５に示す取付具の側面図。
【図７】図２に示す伸縮手段の更に他の実施例を示す取付板の要部の断面図。
【図８】図２に示す取付板の他の実施例を示す平面図。
【図９】図２に示す取付板の更に他の実施例を示す平面図。
【図１０】従来の熱歪緩和装置を縦断して示す斜視図。
【符号の説明】
【００５４】
１０  熱歪緩和装置
１１  装置支持基台
１２  機器部品
１３，３０，５０，６０  取付板
１４  ベース板
１５  電子冷却装置
１５ａ  ペルチェ素子
１５ｂ  吸熱板
１５ｃ  放熱板
１５ｄ  放熱フィン
１６，３１，５１，６１  機器部品台座部
１７，３３  伸縮手段
１８，３２，５２，６３  取付耳部
１８ａ，３２ａ  ネジ孔
１９ａ，３４ａ  表側スリット部
１９ｂ，３４ｂ  裏側スリット部
２０，２１  締付ネジ
３５  放射状スリット部
４０，４１  空洞部
５２，６３  スリット部
ｄ  幅
ｌ  深さ
ｆ１，ｆ２  幅寸法
【図１】
2006013377.tif 000003
【図２】
2006013377.tif 000004
【図３】
2006013377.tif 000005
【図４】
2006013377.tif 000006
【図５】
2006013377.tif 000007
【図６】
2006013377.tif 000008
【図７】
2006013377.tif 000009
【図８】
2006013377.tif 000010
【図９】
2006013377.tif 000011
【図１０】
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