(57)【要約】【課題】  液晶パネルを減圧及び加熱する際の加熱に工夫を加えることにより、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる液晶パネルの処理装置を提供する。【解決手段】  液晶パネル１を収容する処理室２と、液晶パネル１を加熱する加熱装置３と、処理室２の内部を減圧する減圧ポンプ８と、処理室２の内部に回転可能に設けられると共に液晶パネル１を支持するための突出片１０を備えた回転体５と、回転体５を回転させるモータ２１とを有する液晶パネルの処理装置である。減圧ポンプ８による減圧及び加熱装置３による加熱により、液晶パネル１内の液晶及び有機物を処理室２内で揮発させる。揮発した液晶等は、減圧ポンプ８によって処理室２の外部へ運び出された後、ガスから分離して回収される。【選択図】        図２
2006198494.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルを収容する処理室と、
前記液晶パネルを加熱する加熱手段と、
前記処理室の内部を減圧する減圧手段とを有する液晶パネルの処理装置であって、
前記処理室の内部に回転可能に設けられると共に前記液晶パネルを支持するためのパネル支持手段を備えた回転体と、
該回転体を回転させる回転手段と
を有することを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の液晶パネルの処理装置において、前記減圧手段により前記処理室から排気されたガスに含まれる液晶及び有機物を凝集してガスから分離する液晶分離手段をさらに有することを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の液晶パネルの処理装置において、
前記回転体は自らの回転軸線を中心軸線とする円筒形状を有し、その円筒形状の外周面に前記パネル支持手段を有する
ことを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の液晶パネルの処理装置において、
前記加熱手段は前記回転体の回転軸線と平行に延びる発熱領域を有する
ことを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１つに記載の液晶パネルの処理装置において、
前記回転体は前記液晶パネルに対向する領域に開口を有する
ことを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項６】
処理室の内部に液晶パネルを収容し、
その液晶パネルを前記処理室内で旋回移動させながら、
前記処理室の内部を減圧及び加熱することにより、前記液晶パネル内の液晶を揮発させ、前記液晶パネル内の基板上に形成した固形有機物の一部を揮発させ、さらに固形有機物の残部を炭化させる
ことを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【請求項７】
請求項６記載の液晶パネルの処理方法において、
前記処理室を減圧することにより前記処理室から排気されたガスに含まれる液晶及び有機物を凝集してそれらをガスから分離する液晶分離工程と
を有することを特徴とする液晶パネルの処理方法
【請求項８】
請求項６又は請求項７記載の液晶パネルの処理方法において、
自らの回転軸線を中心軸線とする円筒形状の回転体の外周面に前記液晶パネルを取り付け、
前記回転体を前記回転軸線を中心として回転させることによって前記液晶パネルを旋回移動させる
ことを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの構成要素を再利用可能にする液晶パネルの処理装置及び処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記の液晶パネルは、例えば、ガラス等から成る一対の基板を環状のシール材によって貼り合わせ、それら一対の基板及びシール材によって囲まれる隙間内、いわゆるセルギャップ内に液晶を封入するという構造を有する。そしてさらに、基板の外側表面には偏光板等といった有機材料から成る要素が設けられ、さらに基板の内側表面にはカラーフィルタ、配向膜等といった有機材料から成る要素が設けられる。
【０００３】
上記の液晶パネルは、携帯電話機、携帯情報端末機、その他のＩＴ（Information Technology）機器等といった電子機器に装備されて、近年、市場に多量に供給されている。近年のＩＴ関連技術及び液晶表示技術の発展にはめざましいものがあり、そのため、電子機器及び液晶表示装置の使用寿命は非常に短くなっている。そのため、廃棄される液晶パネルの量も、近年、非常に多くなっている。また、工場で生産される液晶パネルの数も多くなっており、それに対応して工場から廃棄される液晶パネルの数も多くなっている。
【０００４】
このように多量に廃棄される液晶パネルを何等の後処理も無く、単に廃棄することは、環境汚染等といった社会問題を誘発するおそれもあるので好ましくない。このため、最近では、液晶パネルの構成部品をリサイクル、すなわち再利用することが望まれている。液晶パネルの構成部品を再利用するために、従来、ＶＴＲ（Vacuum Thermal Recycle：減圧加熱再処理）と呼ばれる処理方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この方法では、処理対象である液晶パネルを反応炉等といった処理室内に収容し、その処理室内を減圧及び加熱する。液晶パネルの内部には液晶、有機材料等といった環境を汚染し易い物質が含まれているが、上記の減圧及び加熱により、液晶、有機物等を処理室内で揮発させることができる。そして、揮発した液晶及び揮発した有機物を排気装置によって搬送して処理室の外へ運び出し、その運び出したガスを冷却等することによって液晶、有機物等を凝集させてガスから分離して回収する。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２３０２２９号公報（第４〜７頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来のＶＴＲ処理では、液晶パネルから液晶、有機物等を効率良く回収することができなかった。本発明者はその原因を知るために種々の実験を行い、その結果、従来の処理装置では、処理対象である液晶パネルが処理室の内部に単に静止状態で置かれるだけであったため、その液晶パネルを加熱する際、１つの液晶パネルを処理室内で均一に加熱すること、及び液晶パネルが複数ある場合にそれらの液晶パネルを処理室内で均一に加熱することが不十分であることが、大きな原因であることを知見した。
【０００８】
本発明は、上記の知見に基づいて成されたものであって、液晶パネルを減圧及び加熱する際の加熱に工夫を加えることにより、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る液晶パネルの処理装置は、液晶パネルを収容する処理室と、前記液晶パネルを加熱する加熱手段と、前記処理室の内部を減圧する減圧手段とを有する液晶パネルの処理装置であって、前記処理室の内部に回転可能に設けられると共に前記液晶パネルを支持するためのパネル支持手段を備えた回転体と、該回転体を回転させる回転手段とを有することを特徴とする。
【００１０】
この構成において、回転手段を用いて行われる回転体の回転は、液晶パネルを均一に加熱するために行われるものである。また、回転体は１枚の金属材料によって円筒形状（すなわち、ドラム状）に形成されるものであっても良いし、あるいは、１枚の網状部材を円筒形状に成形することによって形成しても良い。また、「処理室」は液晶パネルを気密に収容できる構造体であることが必要である。また、その内部を減圧した場合にも損傷することがないように、高い機械的な強度を有していることが必要である。
【００１１】
また、「加熱手段」は、例えば、通電によって発熱する発熱線を用いた加熱機器、あるいは、その他任意の構造の加熱機器を用いることができる。「加熱手段」は、処理室の内部、すなわち液晶パネルの周りを２００℃〜４００℃（２００℃及び４００℃を含む）に加熱することが望ましい。２００℃未満であると液晶パネル内の液晶の揮発及び有機物の揮発が不十分になるおそれがあるからである。また、４００℃を越えて加熱すると熱負荷が大きくなり過ぎてそれに耐えうる構造を構築することに過剰なコストがかかるからである。
【００１２】
上記構成の本発明に係る液晶パネルの処理装置によれば、回転体によって液晶パネルを旋回移動させながらその液晶パネルを減圧及び加熱するようにしたので、液晶パネルを均一に加熱することができ、それ故、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。
【００１３】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理装置は、前記減圧手段により前記処理室から排気されたガスに含まれる液晶及び有機物を凝集してガスから分離する液晶分離手段とをさらに有することが望ましい。液晶及び有機物の凝集は、例えば、それらを含むガスを冷却することによって実現できる。この実施態様に係る処理装置によれば、液晶分離手段によって液晶及び有機物を確実に回収できる。
【００１４】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理装置において、前記回転体は自らの回転軸線を中心軸線とする円筒形状を有し、その円筒形状の外周面に前記パネル支持手段を有することが望ましい。このように回転体を円筒形状に形成し、その外周面に液晶パネルを支持するようにずれば、多数の液晶パネルを処理室内に整然と配置でき、しかも、それらの液晶パネルを処理室内で安定して旋回移動させることができる。
【００１５】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理装置において、前記加熱手段は前記回転体の回転軸線と平行に延びる発熱領域を有することが望ましい。こうすれば、複数の液晶パネルを回転体の軸線方向に並べた場合でも、それらの液晶パネルを均一に加熱できる。
【００１６】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理装置において、前記回転体は前記液晶パネルに対向する領域に開口を有することが望ましい。こうすれば、回転体に取り付けられた液晶パネルを回転体の内側から上記の開口を通して輻射熱によって直接に加熱できるようになるので、加熱効率を高めることができる。
【００１７】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理方法は、処理室の内部に液晶パネルを収容し、その液晶パネルを前記処理室内で旋回移動させながら、前記処理室の内部を減圧及び加熱することにより、前記液晶パネル内の液晶を揮発させ、前記液晶パネル内の基板上に形成した固形有機物の一部を揮発させ、さらに固形有機物の残部を炭化させることを特徴とする。上記構成において、「旋回移動」とは液晶パネルから外れた軸線を中心としてその液晶パネルを回転させることである。
【００１８】
上記構成の本発明に係る液晶パネルの処理方法によれば、液晶パネルを旋回移動させながらその液晶パネルを減圧及び加熱するようにしたので、液晶パネルを均一に加熱することができ、それ故、液晶パネルから液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。
【００１９】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理方法は、前記処理室を減圧することにより前記処理室から排気されたガスに含まれる液晶及び有機物を凝集してそれらをガスから分離する液晶分離工程とをさらに有することが望ましい。液晶及び有機物の凝集は、例えば、それらを含むガスを冷却することによって実現できる。この実施態様に係る処理方法によれば、液晶分離手段によって液晶及び有機物を確実に回収できる。
【００２０】
次に、本発明に係る液晶パネルの処理方法においては、自らの回転軸線を中心軸線とする円筒形状の回転体の外周面に前記液晶パネルを取り付け、前記回転体を前記回転軸線を中心として回転させることによって前記液晶パネルを旋回移動させることが望ましい。こうすれば、液晶パネルを均一に加熱することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る液晶パネルの処理装置及び処理方法を一実施形態を例示して説明する。まず、本実施形態に係る処理装置を説明する前に、処理対象である液晶パネルについて簡単に説明する。
【００２２】
処理対象である液晶パネルは任意の表示モードによって構成できる。例えば、液晶駆動方式でいえば、単純マトリクス方式及びアクティブマトリクス方式のいずれであっても良い。また、液晶モードの種別でいえば、ＴＮ（Twisted Nematic）、ＳＴＮ（Super Twisted Nematic）、負の誘電率異方性を持つ液晶（すなわち、垂直配向用液晶）、その他任意の液晶を用いることができる。また、採光方式でいえば、反射型、透過型又は半透過反射型のいずれであっても良い。
【００２３】
単純マトリクス方式とは、各画素に能動素子を持たず、走査電極とデータ電極との交差部が画素またはドットに対応し、駆動信号が直接に印加されるマトリクス方式である。この方式に対する液晶モードとしては、ＴＮ、ＳＴＮ、垂直配向モードが用いられる。次に、アクティブマトリクス方式とは、画素又はドットごとに能動素子が設けられ、書き込み期間では能動素子がＯＮ状態となってデータ電圧が書き込まれ、他の期間では能動素子がＯＦＦ状態になって電圧が保持されるマトリクス方式である。この方式で使用する能動素子には３端子型と２端子型がある。３端子型の能動素子には、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）がある。また、２端子型の能動素子には、例えば、ＴＦＤ（Thin Film Diode）がある。
【００２４】
上記の反射型とは、太陽光、室内光等といった外部光を液晶パネルの内部で反射させて表示に用いる方式である。また、透過型とは、液晶パネルを透過する光を用いて表示を行う方式である。また、半透過反射型とは、反射型表示と透過型表示の両方を選択的に行うことができる方式である。採光方式として透過型及び半透過反射型が採用される場合には、液晶パネルの表示面と反対側の面に照明装置が設けられる。
【００２５】
上記の各種方式の液晶パネルは、例えば、図３に示すように構成される。この液晶パネル１は、透光性のガラス、プラスチック等によって形成された第１基板５１と、同じく透光性のガラス、プラスチック等によって形成された第２基板５２とを有する。これらの基板は、環状のシール材５３によって貼り合わされている。そして、第１基板５１、第２基板５２、及びシール材５３によって囲まれる隙間内、いわゆるセルギャップ内に液晶５４が封入される。
【００２６】
第１基板５１及び第２基板５２の外側の表面には偏光板５６ａ及び５６ｂが貼着等によって装着される。液晶パネル１の採光方式如何によってはいずれか一方の偏光板は不要になる場合もある。また、偏光板５６ａ，５６ｂ以外の光学要素、例えば位相差板等が偏光板５６ａ，５６ｂに加えて又はそれらに代えて用いられることもある。第１基板５１及び第２基板５２の内側表面には、カラーフィルタ、配向膜、反射膜、樹脂層、オーバーコート層、その他、有機物を主体とした種々の要素が設けられる。
【００２７】
第１基板５１は第２基板５２の外側へ張り出す張出し部５７を有する。本実施形態では、この張出し部５７に３個の駆動用ＩＣ５８が実装されている。この実装は、例えばＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film：異方性導電膜）を用いたＣＯＧ（Chip On Glass）技術によって行うことができる。また、張出し部５７の辺端に配線基板５９が接続され、この配線基板５９を介して駆動用ＩＣ５８へ所定の信号が供給される。なお、基板５１上に駆動用ＩＣ５８を直接に実装するというＣＯＧ技術に代えて、配線基板５９上に駆動用ＩＣ５８を実装する実装方法を採用することもできる。
【００２８】
図３に示す液晶パネル１が単純マトリクス方式である場合には、第１基板５１及び第２基板５２のそれぞれの内側の表面、すなわち液晶５４側の表面にＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウムスズ酸化物）等によって電極が形成され、それらの電極が互いに対向する部分に画素又は表示用のドット領域が形成される。そして、それらの画素等に印加する電圧を画素ごとに制御することにより、第１基板５１の外側表面又は第２基板５２の外側表面に適宜の像を表示する。
【００２９】
液晶パネル１がアクティブマトリクス方式である場合には、第１基板５１及び第２基板５２のそれぞれの内側の表面にＩＴＯ等によって電極が形成され、それらの電極が互いに対向する部分に画素又は表示用のドット領域が形成され、さらにそれらの画素の１つ１つにＴＦＤ（Thin Film Diode）等といった２端子素子や、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）等といった３端子素子等から成るスイッチング素子が付設される。そして、各画素に印加される電圧をそれらのスイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦによって画素ごとに制御することにより、第１基板５１の外側表面又は第２基板５２の外側表面に適宜の像を表示する。ＴＦＤ、ＴＦＴ等といったスイッチング素子は、Ｃｒ、Ｔａ、その他種々の金属類によって形成される。
【００３０】
上記のような液晶パネル１において、カラー表示を行う場合には、一対の基板の５１，５２のうちの一方にカラーフィルタが設けられる。カラーフィルタは、特定の波長域の光を選択的に透過する複数のフィルタによって形成される。例えば、３原色であるＢ（青），Ｇ（緑），Ｒ（赤）の１色ずつを基板上の各表示用ドット領域に対応させて所定の配列、例えばストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列で並べることによってカラーフィルタが形成される。このように３つの異なった色の組み合わせによってカラー表示を行う場合は、それら３つの表示ドット領域の集まりによって１つの画素が形成される。一方、白黒等といった２色によってモノカラー表示を行う場合は、１つの表示ドット領域によって１つの画素が形成される。
【００３１】
上記の液晶パネル１は、市場に供給された後に使用寿命に達した場合には廃棄される。また、液晶パネル１の製造過程において何等かの不良が発生した場合にはその液晶パネル１は廃棄される。このように廃棄される液晶パネル１に対して適切なリサイクル処理が行われないと、偏光板５６ａ，５６ｂ、シール材５３、電極等といった有機物や、液晶５４等が放置されて環境を汚染する可能性がある。そのため、液晶パネル１内の液晶や有機物をリサイクル処理することが望まれている。
【００３２】
図１は、そのようなリサイクル処理を実施するための処理装置であって、本発明に係る液晶パネルの処理装置の一実施形態を示している。この処理装置は、処理対象である液晶パネル１を収容する処理室としてのチャンバ２と、チャンバ２の内部に設けられていてその外周面で液晶パネル１を支持する回転体５と、液晶パネル１を加熱する加熱装置３と、チャンバ２の内部へガスを供給するガス供給装置４と、チャンバ２の排気ポートに接続された液晶分離装置７と、液晶分離装置７の後段に設けられた減圧手段としての減圧ポンプ８と、その減圧ポンプ８の排気ポートに接続された後処理フィルタ９とを有する。以上の各要素は、ガス流路１１によってつながっている。
【００３３】
ガス供給装置４は、窒素ガス、アルゴンガス等といった不活性ガスをチャンバ２の内部へ供給して、チャンバ２の内部及びガス流路１１を流れるキャリアガスの流れを形成する
ことができる。
【００３４】
チャンバ２は、例えば図２に示すように、円筒形状に形成されている。そして、そのチャンバ２の内部に回転体５が設けられている。回転体５も円筒形状に形成されている。この回転体５は、例えば１枚の金属板、例えばステンレス板を円筒形状に成形することによって形成されている。そして、回転体５の外周面にはパネル支持手段としての複数の突出片１０が設けられている。処理対象である複数の液晶パネル１はそれらの突出片１０によって下から受けられて回転体５の外周面上に支持されている。なお、チャンバ２及び回転体５の形状は円筒形状に限られるものではなく、角筒形状あるいはその他の任意の形状に形成することができる。本実施形態において、複数の液晶パネル１は、回転体５の外周面上に上下方向に３段にわたって支持され、且つ回転体５の円周方向にわたって複数個が等間隔に支持されている。
【００３５】
回転体５の底面の中心部には回転軸１９が固定されており、この回転軸１９は軸受２０によってチャンバ２の底部に回転可能に支持されている。軸受２０はチャンバ２を気密に封止している。回転軸１９は電動モータ２１の出力軸に接続されている。この電動モータ２１が作動すると、回転軸１９が回転し、それに伴って回転体５が中心軸線Ｘ０を中心として矢印Ａのように回転する。この回転は、例えば約１０ｒｐｍに設定される。回転方向は矢印Ａの逆方向であっても良い。
【００３６】
加熱装置３は、例えば通電によって発熱するヒータ線６を用いて構成され、さらに輻射熱を放出する発熱領域３ａを有している。この発熱領域３ａは、回転体５の回転軸線Ｘ０と平行に配置されている。また、発熱領域３ａは、回転体５に装着された複数の液晶パネル１の上下方向の１列を全て加熱できるように上下方向に関して十分な長さを有している。
【００３７】
加熱装置３は、チャンバ２の内部（すなわち、液晶パネル１の周囲）を、例えば２００℃〜４００℃（２００℃及び４００℃を含む）に加熱する。２００℃未満であると液晶パネル１内の液晶の揮発及び有機物の揮発が不十分になるおそれがあるからである。また、４００℃を越えて加熱すると熱負荷が大きくなり過ぎてそれに耐えうる構造を構築することに過剰なコストがかかるからである。
【００３８】
図１において、減圧ポンプ８は、例えばロータリーポンプ、ドライポンプ等によって形成される。ロータリーポンプ８は、それ自体周知の回転式容積移送式真空ポンプの一種であり、ステータ内において偏心状態で回転する偏心ロータと、ステータ内壁に摺動する翼板との作用で定常流を吐き出す構造のポンプである。また、ドライポンプとは、油又は液体を運動する部分のすきまを密閉する目的に使用しない容積移送式真空ポンプである。本実施形態において、減圧ポンプ８はチャンバ２の内部を１Ｐａ〜１０Ｐａの範囲内の適宜の気圧まで減圧する。
【００３９】
液晶分離装置７は、コンデンサ部１４と容器１６とを有する。コンデンサ部１４にはチャンバ２から排気されるガスが流れ込むようになっており、さらにそのコンデンサ部１４には冷却液通路１７が設けられる。チャンバ２から排出されてガス流路１１を流れるガスはコンデンサ部１４において冷却液通路１７を流れる冷却液、例えば冷却水によって冷却される。このとき、揮発した液晶や揮発した有機物がガスの中に含まれていれば、そのガスが冷却されたとき、ガス中の液晶や有機物が凝集してガスから分離される。分離した液晶や有機物は、容器１６の中に回収される。
【００４０】
以下、上記処理装置によって行われるリサイクル処理について説明する。
まず、図３に示す液晶パネル１の複数個を破砕すること無く図２の回転体５の外周面に装着して、さらにチャンバ２内へ入れる。これらの液晶パネル１は、市場で寿命が尽きて廃棄されたものや、液晶パネルの製造過程で不良品として廃棄されたもの等である。なお、図３の配線基板５９は予め取り外しておいても良い。
【００４１】
次に、図１の減圧ポンプ８を作動してチャンバ２内を減圧、例えば１Ｐａ〜１０Ｐａの範囲内の適宜の気圧まで減圧する。そしてさらに、加熱装置３によってチャンバ２内を比較的低温域、例えば２００℃〜４００℃（２００℃及び４００℃を含む）内の適宜の温度に加熱する。以上の減圧及び加熱により、図１の液晶パネル１内の偏光板５６ａ，５６ｂ等といった固形有機物の一部、及び液晶５４等をチャンバ２内で揮発させる。また、残部の固形有機物を炭化させる。
【００４２】
チャンバ２からはガスが排出される。排出されたそのガスは液晶分離装置７のコンデンサ部１４へ送られ、そのコンデンサ部１４において冷却液通路１７を流れる冷却液によって冷却される。この冷却により、ガスに含まれる液晶及び有機物が凝集されてガスから分離され、灰を含まない質の良い液晶、液状有機物、及び固形有機物が容器１６に回収される。液晶及び有機物が分離された後のガスは、減圧ポンプ８を通って後処理フィルタ９、例えば活性炭フィルタへ運ばれ、この後処理フィルタ９により清浄化されて無害化された後、外気に放出される。
【００４３】
本実施形態では、図２において、回転体５を回転させることによって複数の液晶パネル１を矢印Ａのように旋回移動させながらそれらの液晶パネル１を減圧及び加熱するようにしている。そのため、複数の液晶パネル１を均一に加熱することができる。そしてそれ故、複数の液晶パネル１から液晶等を回収する際の回収効率を高めることができる。
【００４４】
また、加熱装置３の発熱領域３ａは複数の液晶パネル１の上下方向の１列分を均等に加熱できるだけの上下方向の長さを有している。そのため、加熱装置３は複数の液晶パネル１を均一に加熱できる。
【００４５】
（第２実施形態）
図４は、本発明に係る液晶パネルの処理装置及び処理方法の他の実施形態で用いられるチャンバ２を示しており、図２に示したチャンバ２に代えて用いられるものである。本実施形態において、図４に示す構造以外の構造は図１に示した構造を用いることができる。
【００４６】
図２に示した先の実施形態では、加熱装置３が回転体５の外側に設けられると共に加熱装置３の１つの側面領域に発熱領域３ａが形成されていた。これに対し、図４に示す本実施形態では、加熱装置２３が回転体５の内部に設けられていて、その加熱装置２３の外周の全面が発熱領域となっている。なお、図２の実施形態と同様に、加熱装置２３の一部の領域を発熱領域とすることも可能である。また、加熱装置２３の外周の全面を発熱領域とするのではなく、円周方向でいくつに分けられた領域を発熱領域とすることもできる。
【００４７】
回転体５の内部に加熱装置２３を設けた本実施形態によれば、複数の液晶パネル１をさらに一層、均一に加熱できる。特に、加熱装置２３の円周方向内の複数の領域を発熱領域とした場合、及び加熱装置２３の円周方向の全面を発熱領域とした場合には、液晶パネル１を加熱する領域が増えるので、液晶パネル１を加熱する際の効率が向上する。
【００４８】
（第３実施形態）
図５は、本発明に係る液晶パネルの処理装置及び処理方法のさらに他の実施形態で用いられるチャンバ２を示しており、図２に示したチャンバ２や図４に示したチャンバ２に代えて用いられるものである。本実施形態において、図５に示す構造以外の構造は図１に示した構造を用いることができる。
【００４９】
図２や図４に示した先の実施形態では、回転体５を１枚の金属板を円柱形状に成形することによって形成した。これに対して図５に示す本実施形態では、回転体３５を１枚の金属板を円柱形状に成形すると共にその周面のうち液晶パネル１を装着する領域に液晶パネル１よりも少し小さい面積の開口３６を設けてある。このように液晶パネル１の裏側に開口３６を設けたことにより、本実施形態では各液晶パネル１を加熱装置２３から放射される輻射熱によって効率良く加熱できる。
【００５０】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、以上の実施形態では、液晶分離装置７として冷却方式の液晶分離装置を用いたが、その他任意の構造の液晶分離装置を用いることもできる。また、液晶や有機物の回収または、封止材やシール材の分解の為に窒素やアルゴンといった不活性ガス若しくは酸素等の活性ガスを適宜選択して処理室内に流入させ、処理効率を上げることが可能である。この場合には、例えば、図１に符号４で示したガス供給装置４を利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る液晶パネルの処理装置及び処理方法の一実施形態を示す図である。
【図２】図１の装置で用いられるチャンバ及びその内部構造を一部分解して示す斜視図である。
【図３】処理対象である液晶パネルの一実施例を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る液晶パネルの処理装置及び処理方法の他の実施形態の要部を一部分解して示す斜視図である。
【図５】本発明に係る液晶パネルの処理装置及び処理方法のさらに他の実施形態の要部を一部分解して示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５２】
１．液晶パネル、  ２．チャンバ、  ３，２３．加熱装置、  ３ａ．発熱領域、
５，３５．回転体、  ６．ヒータ線、  ７．液晶分離装置、  ８．減圧ポンプ、
９．後処理フィルタ、  １０．突出片、  １１．ガス流路、
１４．コンデンサ部、  １６．容器、  １７．冷却通路、  １９．回転軸、
２０．軸受、  ２１．電動モータ、  ３６．開口、  ５１．第１基板、
５２．第２基板、  ５３．シール材、  ５４．液晶、  ５６ａ，５６ｂ．偏光板、
５７．張出し部、  ５８．駆動用ＩＣ、  ５９．配線基板、  Ｘ０．回転中心軸線
【図１】
2006198494.tif 000003
【図２】
2006198494.tif 000004
【図３】
2006198494.tif 000005
【図４】
2006198494.tif 000006
【図５】
2006198494.tif 000007