(57)【要約】【課題】  扉付きのＸ線遮蔽ボックスを用いることなく、Ｘ線の漏洩を確実に防止しながら被検査物の移動を簡易に行えるようにしたＸ線検査方法及びその装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間に被検査物５を配置してＸ線を照射し、該被検査物５を上記Ｘ線カメラ２による撮像で検査するＸ線検査装置において、上記被検査物５を収容するトレイ１０を、Ｘ線の照射光軸上はその透過性がよい素材を用い、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき側面１４はＸ線の遮蔽材料により形成する。上記Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間には、それらに対して許容される範囲内の漏洩隙間を介して上記トレイ１０が移動自在に挿入される挿入間隙４を設ける。【選択図】        図１
2006194835.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線源とＸ線カメラとの間に被検査物を配置して上記Ｘ線源からＸ線を照射し、該被検査物を上記Ｘ線カメラによる撮像で検査するＸ線検査方法において、
上記被検査物を、Ｘ線の照射光軸上はその透過性がよい素材を用い、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき部位はＸ線の遮蔽材料により形成したトレイに収容し、
上記撮像に際し、Ｘ線源とＸ線カメラとの間に、それらに対して許容される範囲内の漏洩隙間を介して上記トレイを挿入する、
ことを特徴とするＸ線検査方法。
【請求項２】
Ｘ線源とＸ線カメラとの間に被検査物を配置して上記Ｘ線源からＸ線を照射し、該被検査物を上記Ｘ線カメラによる撮像で検査するＸ線検査装置において、
上記被検査物を収容するトレイを、Ｘ線の照射光軸上はその透過性がよい素材を用い、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき部位はＸ線の遮蔽材料により形成し、
上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間に、それらに対して許容される範囲内の漏洩隙間を介して上記トレイが移動自在に挿入される挿入間隙を設けた、
ことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間の挿入間隙に、上記トレイを移送するコンベヤを配設した、
ことを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間におけるトレイの挿入間隙に、トレイがＸ線の漏洩のない適正な位置にあるか否かを検出して不適正な位置にある場合にＸ線照射を停止するためのトレイ検知センサーを設けた、
ことを特徴とする請求項２または３に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
上記トレイに、上記トレイ検知センサーを作動させる作用域を持った蓋を被着し、
上記トレイ検知センサーが、トレイの挿入間隙の上位に位置するＸ線源におけるＸ線照射口の周囲近傍に複数設けられ、且つ、トレイがＸ線の漏洩のない適正な位置にあるときにのみそれらの各センサーが上記蓋の作用域で作動するように配置されている、
ことを特徴とする請求項４に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
上記トレイに、その内部の被検査物を操作するマニピュレータを設けた、
ことを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物を専用トレイ内にセットして観察するＸ線検査方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から知られているＸ線検査装置では、通常、扉付きのＸ線遮蔽ボックス内に被検査物を収容してＸ線を照射している。そのため、被検査物の特定位置を観察しようとする場合などには、外部からの操作によって被検査物を移動させる必要があり、そのような被検査物の移動に対応させるためには、上記Ｘ線遮蔽ボックス内にそのための移動機構等を設けておくことが必要不可欠になり、設備が大型化するとともに操作が煩雑で、検査を簡易に行うことが困難になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の技術的課題は、上述した扉付きのＸ線遮蔽ボックスを用いることなく、しかもＸ線の漏洩を確実に防止しながら被検査物の移動を簡易に行えるようにしたＸ線検査方法及びその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するための本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線カメラとの間に被検査物を配置して上記Ｘ線源からＸ線を照射し、該被検査物を上記Ｘ線カメラによる撮像で検査するＸ線検査方法において、上記被検査物を、Ｘ線の照射光軸上はその透過性がよい素材を用い、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき部位はＸ線の遮蔽材料により形成したトレイに収容し、上記撮像に際し、Ｘ線源とＸ線カメラとの間に、それらに対して許容される範囲内の漏洩隙間を介して上記トレイを挿入することを特徴とするものである。
【０００５】
また、上記課題を解決するための本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線カメラとの間に被検査物を配置して上記Ｘ線源からＸ線を照射し、該被検査物を上記Ｘ線カメラによる撮像で検査するＸ線検査装置において、上記被検査物を収容するトレイを、Ｘ線の照射光軸上はその透過性がよい素材を用い、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき部位はＸ線の遮蔽材料により形成し、上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間に、それらに対して許容される範囲内の漏洩隙間を介して上記トレイが移動自在に挿入される挿入間隙を設けたことを特徴とするものである。
【０００６】
上記本発明のＸ線検査装置の好ましい実施形態においては、上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間の挿入間隙に、上記トレイを移送するコンベヤが配設される。
また、本発明のＸ線検査装置における他の好ましい実施形態においては、上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間におけるトレイの挿入間隙に、トレイがＸ線の漏洩のない適正な位置にあるか否かを検出して不適正な位置にある場合にＸ線照射を停止するためのトレイ検知センサーが設けられる。
この場合に、上記トレイに、上記トレイ検知センサーを作動させる作用域を持った蓋を被着し、上記トレイ検知センサーが、トレイの挿入間隙の上位に位置するＸ線源におけるＸ線照射口の周囲近傍に複数設けられ、且つ、トレイがＸ線の漏洩のない適正な位置にあるときにのみそれらの各センサーが上記蓋の作用域で作動するように配置されているものとするのが望ましい。
更に、上記Ｘ線検査装置においては、上記トレイに、その内部の被検査物を操作するマニピュレータを設けることができる。
【０００７】
上記構成を有するＸ線検査方法及びその装置においては、Ｘ線源とＸ線カメラとの間に形成したトレイの挿入間隙に被検査物を収容したトレイを挿入し、それをＸ線が漏洩しない範囲内において任意に移動させて被検査物にＸ線を照射し、Ｘ線カメラで撮像することができ、しかも、上記被検査物を収容するトレイは、Ｘ線の照射光軸上はその透過性がよい素材を用い、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき部位はＸ線の遮蔽材料により形成した簡易なものであるため、容易にＸ線検査を行うことが可能になる。
また、上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間におけるトレイの挿入間隙に、トレイがＸ線の漏洩のない適正な位置にあるか否かを検出して不適正な位置にある場合にＸ線照射を停止するためのトレイ検知センサーを設けることにより、作業者が安全にＸ線検査を行うことができる。
【発明の効果】
【０００８】
以上に詳述したように、本発明のＸ線検査方法及びその装置によれば、扉付きのＸ線遮蔽ボックス等を用いることなく、しかも、Ｘ線の漏洩を確実に防止しながら、被検査物の移動を簡易に行ってＸ線検査を実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明に係るＸ線検査装置の実施の一例を示し、図２はそのＸ線検査装置において用いるトレイの構成を、また、図３は装置全体の概要を断面によって示している。
図１のＸ線検査装置は、上下に対向して配置されたＸ線源１とＸ線カメラ２とが、相互に支柱部３において連結され、上位に位置するＸ線源１とその下位に位置するＸ線カメラ２との間に、被検査物を収容するトレイ１０の挿入間隙４を設けている。
なお、Ｘ線源１が上位でその下位にＸ線カメラ２を配置する必要はなく、上下が逆であっても何ら差し支えない。
【００１０】
被検査物５を収容する上記トレイ１０は、図２に示すように、両端部に操作用の取っ手１２を有する透明アクリル製のベース板１１上に、外部へのＸ線の漏洩を防止すべき部位をＸ線の遮蔽材料により形成し、Ｘ線の照射光軸上には画質の悪化を防ぐために透過性のよい素材を用いた被検査物５の収容部１３を設けている。具体的には、上記収容部１３は、その側面１４にＸ線の漏洩を遮蔽するステンレス等の板を用い、その正面側の一部に鉛ガラス等のＸ線漏洩を防ぐ透明素材からなる観察窓１４ａを設け、また、上記収容部１３には蓋１５を設けて、少なくとも、この蓋１５におけるＸ線の照射光軸上には、前記ベース板１１と同様に、Ｘ線の透過性のよいアクリル／カーボン等の板からなる透過窓１５ａを設けている。
【００１１】
上記トレイ１０は、上記Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間の挿入間隙４に、可及的に隙間なく、しかも移動自在に挿入できるように形成されるが、トレイ１０の出し入れのために若干の漏洩隙間の存在は避けることができないものである。しかしながら、この漏洩隙間は、Ｘ線の漏洩が許容される範囲内のものとする必要がある。
【００１２】
また、上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間におけるトレイの挿入間隙４には、図３に示すように、トレイ１０がＸ線の漏洩のない適正な位置にあるか否かを検出して、不適正な位置にある場合にはＸ線の照射を停止するトレイ検知センサー１８を設けている。更に具体的には、上記トレイ１０に被着する蓋１５の周辺に、Ｘ線の遮蔽材料からなる縁枠１５ｂを設け、この縁枠１５ｂによって、上記トレイ検知センサー１８を作動させる作用域を形成させ、そして、上記トレイ検知センサー１８は、トレイ１０の挿入間隙４の上位に位置するＸ線源１におけるＸ線照射口１ａの周囲近傍に複数設けられ、且つ、トレイ１０が、図３に示すようにＸ線の漏洩のない適正な位置にあるときにのみ、それらの各センサー１８が上記蓋１５の縁枠１５ｂに接触して作動し、被検査物５にＸ線を照射するように配置されている。
【００１３】
逆に、Ｘ線照射口１ａ付近にある複数のトレイ検知センサー１８のいずれかが蓋１５の縁枠１５ｂによって形成される作用域を外れた場合には、そのセンサー出力に基づき、図示しない制御装置による制御でＸ線源１からのＸ線照射が直ちに停止される。これにより万が一にもトレイ１０の外部へのＸ線の漏洩をなくすことができる。
【００１４】
なお、上記トレイ１０は、上記Ｘ線源とＸ線カメラとの間におけるトレイの挿入間隙４にそれを挿入する関係で、上下面が一定間隔で平行に形成されて移動操作が容易であり、また、外部へのＸ線の漏洩を防止する必要な構成を採るなどの必要はあるが、図２を参照して説明したような構成に限るものではなく、Ｘ線検査装置の構造により自由な形状に形成することができる。
【００１５】
上記構成を有するＸ線検査装置においては、Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間に、被検査物５を収容した上記トレイ１０を挿入して、上記Ｘ線源１からＸ線を照射し、該被検査物５を上記Ｘ線カメラ２により撮像し、それをモニターに表示することにより、その被検査物５を簡易にＸ線検査することができ、その際、上記被検査物５を、外部へのＸ線の漏洩を防止できるようにしたトレイ１０に収容して操作するので、作業者はこのトレイ１０を操作するだけでＸ線源１とＸ線カメラ２との間に被検査物５を容易に位置決め配置できるばかりでなく、トレイ１０の移動で容易に観察位置の変更を行うこともできる。
【００１６】
また、上記トレイ１０はＸ線の外部漏洩を防ぎ、被検査物５に照射されるＸ線はトレイ１０内に封じられて、外側には許容された微量の漏洩しかなく、トレイ１０からの漏洩が生じる場合にはトレイ検知センサー１８によってＸ線の照射を停止させるので、作業者は安全にＸ線検査を行うことができる。更に、従来のようなボックス型Ｘ線シールド構造としないので、装置の低コスト化、小型化、検査の簡易化を図ることができる。
【００１７】
図４は、本発明のＸ線検査装置におけるトレイの他の構成例を示し、このトレイ１０Ａでは、被検査物５の収容部１３の側面１４の一部に、該側面１４を貫通して、上記トレイ１０Ａの内部の被検査物５を外部から被爆することなく操作できるようにしたマニピュレータ２０を設けている。作業者は、このマニピュレータ２０を操作することで、被検査物５の観察位置を変更することが可能になる。このマニピュレータ２０は、外部から操作子２０ａの回転あるいは出し入れ、その他の適宜操作手段によって被検査物５を操作できるものとすることができる。
ここで、上記図４に示したトレイ２０Ａのその他の構成は、実質的に図２で説明したものと同一であるから、同一部分に同一符号を付してそれらの説明を省略する。
【００１８】
また、図５は本発明に係るＸ線検査装置の他の実施例を示すもので、この実施例では、上記Ｘ線源１とＸ線カメラ２との間の挿入間隙４に、上記トレイ１０を移送するベルトコンベヤ２２を配設し、Ｘ線カメラ２で撮像した被検査物の画像を、画像処理装置、自動検査装置を介して処理するようにしている。これにより、多数の被検査物を検査する作業を自動化することができる。
この図５に示す実施例のその他の構成は、実質的に図１で説明したものと同一であるから、同一部分に同一符号を付してそれらの説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の実施例を示す斜視図である。
【図２】上記実施例において用いるトレイの開蓋状態の斜視図である。
【図３】上記実施例の概略的断面図である。
【図４】上記実施例において用い得る他のトレイの構成を示す要部斜視図である。
【図５】本発明の他の実施例を示す模式的正面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１    Ｘ線源
２    Ｘ線カメラ
４    挿入間隙
５    被検査物
１０    トレイ
１４    側面
１５    蓋
２０    マニピュレータ
２２    コンベヤ
【図１】
2006194835.tif 000003
【図２】
2006194835.tif 000004
【図３】
2006194835.tif 000005
【図４】
2006194835.tif 000006
【図５】
2006194835.tif 000007