(57)【要約】【課題】回転翼を用いてケーシング内の空気を排出することにより，冷却液シール装置から徐々に漏れてくる水を大気空間に効果的に逃がす。また，冷却液センサを設けることにより，冷却液シール装置から漏れてくる水を早期に検出する。【解決手段】回転シャフト２４の内部には冷却水通路４４があり，ケーシング２０の内部には空気通路６０がある。冷却水通路４４と空気通路６０の間にはメカニカルシール３２がある。メカニカルシール３２から水蒸気の状態で漏れてくる冷却水は，空気通路６０内の回転翼６６により空気と共に半径方向外方に押しやられて，空気出口６４から出て行く。また，検出口８４には冷却液センサが接続されていて，漏水を検知できる。【選択図】図４
2006032099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の構成を備える回転対陰極Ｘ線管。
（ア）内部に第１の冷却液通路を備える回転対陰極。
（イ）前記回転対陰極に電子ビームを照射するための電子銃。
（ウ）前記回転対陰極と前記電子銃とを内部に収容する真空容器。
（エ）前記回転対陰極に固定された回転シャフト。
（オ）前記回転シャフトを内部に収容するケーシングであって，前記真空容器に取り付けられるケーシング。
（カ）前記回転シャフトと前記ケーシングの間に配置された軸受であって，前記回転シャフトを回転可能に支持する軸受。
（キ）前記回転シャフトと前記ケーシングの間に配置された回転真空シール装置。
（ク）前記回転シャフトの内部に形成された第２の冷却液通路であって，前記第１の冷却液通路に連通している第２の冷却液通路。
（ケ）前記ケーシングに形成された冷却液入口及び冷却液出口であって，前記第２の冷却液通路に連通している冷却液入口及び冷却液出口。
（コ）前記ケーシングの内部に形成された空気通路。
（サ）前記ケーシングに形成された空気入口及び空気出口であって，前記空気通路に連通している空気入口及び空気出口。
（シ）前記第２の冷却液通路と前記ケーシングとの間に配置された回転液密シール装置であって，前記第２の冷却液通路と前記空気通路との間を回転可能にシールする回転液密シール装置。
（ス）前記回転シャフトに固定されていて前記空気通路の内部に収容された回転翼であって，その回転中心から遠ざかる方向に延びる空気ガイドを備える回転翼。
【請求項２】
請求項１に記載の回転対陰極Ｘ線管において，前記空気通路に連通している冷却液センサを備えることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
【請求項３】
請求項２に記載の回転対陰極Ｘ線管において，前記冷却液センサは，１対の電極間の抵抗を検出することで冷却液の存在を検知するセンサであることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
【請求項４】
請求項２に記載の回転対陰極Ｘ線管において，前記冷却液は冷却水であり，前記冷却液センサは湿度センサであることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
【請求項５】
請求項４に記載の回転対陰極Ｘ線管において，前記湿度センサは，前記空気通路に流入する空気の湿度を検出する入口湿度センサと，前記空気通路から流出する空気の湿度を検出する出口湿度センサとからなることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
【請求項６】
請求項１に記載の回転対陰極Ｘ線管において，前記回転翼に，前記回転液密シール装置の回転側のシール部品が取り付けられていることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
【請求項７】
次の構成を備える回転対陰極Ｘ線管。
（ア）内部に第１の冷却液通路を備える回転対陰極。
（イ）前記回転対陰極に電子ビームを照射するための電子銃。
（ウ）前記回転対陰極と前記電子銃とを内部に収容する真空容器。
（エ）前記回転対陰極に固定された回転シャフト。
（オ）前記回転シャフトを内部に収容するケーシングであって，前記真空容器に取り付けられるケーシング。
（カ）前記回転シャフトと前記ケーシングの間に配置された軸受であって，前記回転シャフトを回転可能に支持する軸受。
（キ）前記回転シャフトと前記ケーシングの間に配置された回転真空シール装置。
（ク）前記回転シャフトの内部に形成された第２の冷却液通路であって，前記第１の冷却液通路に連通している第２の冷却液通路。
（ケ）前記ケーシングに形成された冷却液入口及び冷却液出口であって，前記第２の冷却液通路に連通している冷却液入口及び冷却液出口。
（コ）前記ケーシングの内部に形成された空気通路。
（サ）前記ケーシングに形成された空気入口及び空気出口であって，前記空気通路に連通している空気入口及び空気出口。
（シ）前記第２の冷却液通路と前記ケーシングとの間に配置された回転液密シール装置であって，前記第２の冷却液通路と前記空気通路との間を回転可能にシールする回転液密シール装置。
（ス）前記空気通路に連通している湿度センサ。
【請求項８】
請求項７に記載の回転対陰極Ｘ線管において，前記湿度センサは，前記空気通路に流入する空気の湿度を検出する入口湿度センサと，前記空気通路から流出する空気の湿度を検出する出口湿度センサとからなることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか１項に記載の回転対陰極Ｘ線管と，前記電子銃と前記回転対陰極との間に高電圧を印加する高圧電源とを備えるＸ線発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転対陰極の内部を冷却する冷却液の回転シールからの漏れに対応できる回転対陰極Ｘ線管に関し，また，そのような回転対陰極Ｘ線管を備えるＸ線発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回転対陰極Ｘ線管の回転対陰極はその内部を冷却水で冷却している。回転対陰極は冷却水で冷却されながら回転するので，その冷却水通路は，メカニカルシールやオイルシールなどの回転液密シール装置によってシールされている。このシール部分は，一般に弾性力によってシール機能を維持しているが，シール面の荒れや摩耗によって液密性が劣化してくると，徐々に漏水してくる。漏水した水が軸受や，電気ブラシ，真空シール装置などに付着すると，それらの部品の寿命を短くしてしまう。したがって，漏水があっても，その水が上記部品に付着しないように構造を改善したり，漏水をすぐに検知して回転液密シール装置の交換を促すようにしたりすることが望まれる。
【０００３】
本発明に関連のある従来技術としては，次のようなものが知られている。次の特許文献１は，回転対陰極Ｘ線管の基本的な構造と冷却液シール装置を開示している。また，特許文献２は，漏水センサを備えた回転対陰極Ｘ線管を開示している。
【特許文献１】特開平７−２２０６６７号号公報
【特許文献２】特開平２−１９７０９８号号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の特許文献２は，回転対陰極Ｘ線管の真空容器内において，対陰極（ターゲット）の下方に受け皿を配置して，この受け皿によって対陰極から漏れて落ちてくる冷却水を受け止めている。そして，受皿に所定の深さまで水が溜まると，水がセンサに触れて，水漏れ信号が発生する。この水漏れ信号を検出したら，電子ビームの照射を止めるとともに，ブザーを駆動させて，水漏れを使用者に知らせるようになっている。
【０００５】
上述の漏水センサは次のような問題がある。上述の漏水センサは，対陰極の表面から真空容器の空間内へと漏れて落ちてくる漏水を問題にしている。このような漏水は，ターゲットが電子ビーム照射によって侵食されることによって冷却水通路が露出することによる水漏れや，ターゲットの溶接継手からの水漏れなどを想定しているものと思われる。
【０００６】
上述の漏水センサは，冷却水シール装置の劣化によって徐々に漏水するような状況には対応できない。冷却水シール装置から水漏れがあるときは，対陰極から真空装置内に水が落ちるのではなくて，回転対陰極を支持するケーシングの内部空間に水が侵入するような状況になる。そのような漏水があると，上述のように，ケーシングに収納された軸受や，電気ブラシ，真空シール装置などの部品の寿命を短くしてしまう。上述の特許文献２に開示の漏水センサはこのよう水漏れには対処できない。しかも，冷却水シール装置から徐々に漏れてくる水は，液体の状態ではなくて，細かい霧状の水滴や水蒸気の状態でケーシングの内部空間に拡散していくことがあるので，受け皿に水を溜めるタイプの漏水センサでは，そのような漏水を必ずしも検知できないし，また，微小な水漏れを早期に発見することもできない。さらには，微小な水漏れの段階では，水蒸気の形で水を外部空間に逃がすことができれば部品寿命を延ばすことができて効果的であるが，特許文献２の技術は，そのようなことも不可能である。
【０００７】
本発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり，その目的は，冷却液シール装置から徐々に漏れてくる水を大気空間に効果的に逃がすことができる回転対陰極Ｘ線管を提供することにある。また，本発明の別の目的は，冷却液シール装置から漏れてくる水を早期に検出することができる回転対陰極Ｘ線管を提供することにある。本発明のさらに別の目的は，そのような回転対陰極Ｘ線管を備えるＸ線発生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、回転対陰極を支持するケーシングの内部に空気通路を形成して，この空気通路に外部から空気を導入し，かつ，その空気を外部に排出できるようにしている。そして，そのように空気を自動的に流通させるために回転翼を利用している。すなわち，本発明は次の（ア）乃至（ス）の構成を備えている。（ア）内部に第１の冷却液通路を備える回転対陰極。（イ）前記回転対陰極に電子ビームを照射するための電子銃。（ウ）前記回転対陰極と前記電子銃とを内部に収容する真空容器。（エ）前記回転対陰極に固定された回転シャフト。（オ）前記回転シャフトを内部に収容するケーシングであって，前記真空容器に取り付けられるケーシング。（カ）前記回転シャフトと前記ケーシングの間に配置された軸受であって，前記回転シャフトを回転可能に支持する軸受。（キ）前記回転シャフトと前記ケーシングの間に配置された回転真空シール装置。（ク）前記回転シャフトの内部に形成された第２の冷却液通路であって，前記第１の冷却液通路に連通している第２の冷却液通路。（ケ）前記ケーシングに形成された冷却液入口及び冷却液出口であって，前記第２の冷却液通路に連通している冷却液入口及び冷却液出口。（コ）前記ケーシングの内部に形成された空気通路。（サ）前記ケーシングに形成された空気入口及び空気出口であって，前記空気通路に連通している空気入口及び空気出口。（シ）前記第２の冷却液通路と前記ケーシングとの間に配置された回転液密シール装置であって，前記第２の冷却液通路と前記空気通路との間を回転可能にシールする回転液密シール装置。（ス）前記回転シャフトに固定されていて前記空気通路の内部に収容された回転翼であって，その回転中心から遠ざかる方向に延びる空気ガイドを備える回転翼。
【０００９】
また，この回転対陰極Ｘ線管は，漏水を検出するために，前記空気通路に連通した冷却液センサを備えることができる。この冷却液センサは，液体状態の水を検出するものであってもよいし，水蒸気の状態の水を検出するものであってもよい。前者のセンサの例としては，１対の電極間の抵抗を検出することで冷却液の存在を検知するセンサを挙げることができる。後者のセンサの例としては，湿度センサを挙げることができる。湿度センサを用いる場合は，空気通路に流入する空気の湿度を検出する入口湿度センサと，空気通路から流出する空気の湿度を検出する出口湿度センサとを併用することができる。こうすることで，漏水に起因する水分量を把握することができる。
【００１０】
本発明の回転対陰極Ｘ線管は，前記回転翼を省略して冷却液センサだけを用いることもできる。その場合は，冷却液センサとして湿度センサを用いることが好ましい。
【００１１】
本発明のＸ線発生装置は，上述のような回転対陰極Ｘ線管と，前記電子銃と前記回転対陰極との間に高電圧を印加する高圧電源とを備えることを特徴としている。回転対陰極Ｘ線管が冷却液センサを備えている場合には，この冷却液センサの出力信号を高圧電源に送ることで，漏水のときに高圧電源の動作を停止させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の回転対陰極Ｘ線管は，ケーシングの内部の空気通路の空気を回転翼によって外部に排出するので，空気通路内に漏れ出た水蒸気や霧状の水滴の状態の冷却水をすみやかに外部に排出することができる。これにより，ケーシングの内部の軸受や，電気ブラシ，真空シール装置などの部品に水蒸気が結露するのを防ぐことができ，これらの部品の寿命を長くできる。また，上記回転翼に加えて，空気通路に連通する冷却液センサを設けることで，回転液密シール装置から漏れ出してくる冷却水を検出することができて，オペレータに対して回転液密シール装置の交換を促すことができる。さらには，回転翼を省略して湿度センサだけを用いても，わずかな漏水を早期に発見できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下，図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明する。図１〜図３は本発明の回転対陰極Ｘ線管の一実施例の要部を示すものであり，図１はその回転中心線を含む切断面で切断した断面図である。この図面は，特に冷却水の経路を良く表している。図２は回転中心線を含む別の切断面で切断した断面図であり，特に空気の経路を良く表している。図３は図１の右方向から見た背面図である。図１は図３の１−１線断面図であり，図２は図３の２−２線断面図である。
【００１４】
図１において，回転対陰極Ｘ線管は真空容器１０と，その内部に収容された回転対陰極１２と電子銃１４を備えている。電子銃１４と回転対陰極１２の間に高圧電源から高電圧を印加することで，電子銃１４から電子ビーム１６を発生させることができる。この電子ビーム１６を，円筒状の回転対陰極１２の外周面に照射することで，Ｘ線が発生する。回転対陰極１２は対陰極組立体１８に属しており，この対陰極組立体１８を真空容器１０に取り付けることで，回転対陰極１２を真空容器１０の内部空間の所定の位置に配置することができる。
【００１５】
対陰極組立体１８はケーシング２０を備えている。このケーシング２０のフランジ２２は真空容器１０に気密に取り付けることができる。回転対陰極１２には回転シャフト２４が固定されている。回転シャフト２４の外周面とケーシング２４の内壁の間には，回転真空シールのための磁性流体シール装置２６と，回転シャフト２４を回転可能に支持する転がり軸受２８，２９と，回転シャフト２４からケーシング２０に電流を逃がす電気ブラシ３０と，冷却水を回転シールするメカニカルシール３２が配置されている。磁性流体シール装置２６は本発明における回転真空シール装置に相当する。メカニカルシール３２は本発明における回転液密シール装置に相当する。ケーシング２０の内壁にはダイレクトモータのステータ３４が固定されている。一方，回転シャフト２４の外周面にはダイレクトモータのロータ３６が固定されている。このダイレクトモータの働きにより，回転シャフト２４が回転し，その結果，回転対陰極１２が回転する。
【００１６】
回転対陰極１２の内部には第１の冷却水通路３８が形成されている。この第１の冷却水通路３８は，仕切り板３９によって，第１の流入側通路４０と第１の流出側通路４２に分かれている。回転シャフト２４の内部には第２の冷却水通路４４が形成されている。この第２の冷却水通路４４も，仕切りパイプ４５によって，内側の第２の流入側通路４６と，外側の第２の流出側通路４８に分かれている。仕切り板３９は仕切りパイプ４５に固定されていて，その仕切りパイプ４５の根元（図１の右端）はケーシング２０に固定されている。回転対陰極１２と回転シャフト２４は回転するが，その内部の仕切り板３９と仕切りパイプ４５は静止している。第１の流入側通路４０は第２の流入側通路４６に連通しており，第１の流出側通路４２は第２の流出側通路４８に連通している。ケーシング２０には冷却水入口５０と冷却水出口５２が形成されている。冷却水入口５０には入口用配管ニップル５４が取り付けられ，冷却水出口５２には出口用配管ニップル５６が取り付けられる（図３も参照）。冷却水入口５０に入った冷却水は，第２の流入側通路４６を通って第１の流入側通路４０に入り，回転対陰極１２を内面から冷却する。戻り側の冷却水は，第１の流出側通路４２と第２の流出側通路４８を通って，冷却水出口５２から出て行く。
【００１７】
次に，図２と図４を参照して，空気の流れを説明する。図２においてケーシング２０の背面５８の近傍において，ケーシング２０の内部に空気通路６０が形成されている。図４は空気通路６０の近傍を拡大して示した断面図である。ケーシング２０の背面５８には二つの空気入口６２（図３も参照）が形成されている。また，ケーシング２０の外周壁にはひとつの空気出口６４が形成されている。空気入口６２と空気出口６４は空気通路６０に連通している。空気通路６０の中には回転翼６６が収納されている。この回転翼６６は回転シャフト２４に固定されている。空気出口６４は回転翼６６の外周よりも半径方向の外側に位置している。一方，空気入口６２は回転翼６６の外周よりも半径方向の内側に位置している。回転翼６６とケーシング２０の間にはメカニカルシール３２が設けられている。このメカニカルシール３２は，回転側にある炭素製の回転リング６８と，静止側にあるＳｉＣ製のシートリング７０からなる。回転リング６８は回転翼６６の環状の溝の内部に収納されている。その溝の内部にはゴムシート７１があり，このゴムシートの７１の弾性力によって回転リング６８はシートリング７０に押し付けられている。回転リング６８がシートリング７０に接触しながら回転することで，第２の流出側通路４８の内部の冷却水と，空気通路６０の内部の空気との間がシールされている。
【００１８】
転がり軸受２９のアウターレースは軸受押さえ７２によって軸方向に位置決めされている。軸受押さえ７２は，皿ばね７４を介して，皿ばね押さえ７６によって軸方向の力（図４の左向きの力）を受けている。上述の回転翼６６には，皿ばね押さえ７６の突出部７８を覆うように，凹部８０が形成されている。皿ばね押さえ７６と回転翼６６との隙間Ｇは０．３〜０．５ｍｍである。
【００１９】
空気通路６０内で回転翼６６が回転すると，回転翼６６の円盤状の空気ガイド８２によって，空気通路６０内の空気が半径方向外方に押しやられる。その結果，空気出口６４から空気が出て行く。すると，空気通路６０内の圧力が低下するので，空気入口６２から空気が空気通路６０内に流入する。このようにして，回転対陰極の回転中は，空気通路６０内をケーシング２０の外部の大気が流通する。
【００２０】
図５は回転翼６６の一部を切り欠いて示した斜視図である。この回転翼６６は円盤状の空気ガイド６８を備えていて，この空気ガイド６８は，その断面形状において，回転中心８２から遠ざかる方向に延びている。回転翼６６が回転すると，空気ガイド６８の周囲の空気は，その粘性によって空気ガイド６８と一緒に回転し，さらに，遠心力によって，矢印８４に示すように空気ガイド６８に沿って半径方向の外方に押しやられる。空気ガイド６８の形状は円盤状のほかに，ファンで使われるような羽根のような形状でもよい。
【００２１】
図４に戻って，回転翼６６の機能を説明する。メカニカルシール３２のシール面が劣化してくると，シール面から徐々に冷却水が漏れて空気通路６０の内部に漏れ出してくる。漏れ量が少ないときは，細かい霧状の水滴や水蒸気の状態で漏れてくる。従来の回転対陰極では，この水滴や水蒸気は，転がり軸受２９に触れることで，そこに結露する。さらには，この水蒸気は，図２に示すように，電気ブラシ３０や，転がり軸受２８，磁性流体シール装置２６のところまで流れていって，そこに結露するおそれがある。このようにして，メカニカルシール３２から漏れた水が，ケーシング２０内の各種の部品の寿命を早める危険性がある。これに対して，本発明では，図４に示すように，空気通路６０内の空気が，回転翼６６の回転によって空気出口６４から出て行くので，メカニカルシール３２から霧状の水滴や水蒸気の形で水が漏れてきても，その水滴や水蒸気は空気とともに空気出口６４からすみやかに排出される。したがって，水蒸気がケーシング２０の内部の各部品のところまで流れていって結露する心配はほとんどない。また，回転翼６６と皿ばね押さえ７６との隙間Ｇが狭いので，水蒸気が遠心力に逆らってこの隙間Ｇを通過することは難しくなっている。
【００２２】
この実施例では，空気通路６０内に漏れ出た水分を検出するために，ケーシング２０に検出口８４が形成されている。この検出口８４は空気通路６０に連通している。検出口８４は回転翼６６の外周よりも半径方向の外側に位置している。この検出口８４に冷却水センサが接続される。図４の例では，検出口８４に配管ニップル８６が接続されていて，この配管ニップル８６に冷却水センサが接続される。
【００２３】
図６は冷却水検出装置８８を備えた回転対陰極Ｘ線管の側面図である。上述の配管ニップル８６にホース９０が接続されていて，このホース９０の先端は液体容器９２の内部空間に開放している。ホース９０から冷却水９４が落ちてくると，液体容器９２の中に溜まる。所定の水位まで水９５が溜まると，漏液センサ９６が作動して，漏水があったことを示す信号が出力される。この漏液センサ９６は，１対の電極間の抵抗を検出することで冷却水の存在を検知するものである。上記漏水信号が出力された場合には，この出力信号を高圧電源に送って，高圧電源の動作を自動的に停止させる。そして，回転対陰極の回転を止めて，送水も止める。さらに，警報音を出したり，警報ランプを点灯したりして，オペレータに漏水を知らせる。この警報を受けて，オペレータはメカニカルシールを交換することができる。
【００２４】
図７は回転対陰極を水平配置から直立配置に変えた例である。上述の図６に示した例は，回転対陰極の回転中心線９８が水平の場合であるが，図７の例は回転対陰極の回転中心線９８が直立している。この場合，漏水の流れは図８に示すようになる。図８は，図７の直立配置における漏水の流れを示す断面図である。メカニカルシール３２から漏れた冷却水１００は矢印に示すように流れて行き，最終的に，配管ニップル８６から出て行く。直立配置にした場合，メカニカルシール３２の高さ位置よりも検出口８４の方が下方に位置しているので，メカニカルシール３２から漏れた冷却水１００は検出口８４まで流れていくことができ，最終的に，配管ニップル８６から排出される。
【００２５】
次に，冷却水センサとして湿度センサを用いた例を説明する。図９はそのような例を示す側面図である。検出口８４（図４を参照）のところには湿度センサ１０２が接続されている。この湿度センサ１０２は，細かな霧状の水滴，あるいは，水蒸気の状態で漏れ出てくる冷却水を早期に検出することができる。なお，この実施例で使用したものは温湿度センサであり，温度センサと湿度センサを組み合わせたものである。
【００２６】
図１０はさらに別の例を示す。この例では，空気入口６２のひとつに流入空気用の別の検出口１０４を形成して，この検出口１０４に流入空気用の湿度センサ１０６を設けている。これを入口湿度センサ１０６と呼ぶことにする。そして，出口側の検出口８４に設けた湿度センサ１０２を出口湿度センサ１０２と呼ぶことにする。このようにすると，流入空気の湿度と流出空気の湿度とを比較することができ，ケーシング内の空気通路内で増加した水分量（すなわち，メカニカルシールから漏れ出た水分量）を把握することができる。
【００２７】
図１１は，入口湿度センサと出口湿度センサを用いて湿度変化を測定したグラフである。横軸は回転対陰極が回転している状態での経過時間（単位は分）である。時間測定の原点は，湿度センサで測定を開始した時点である。左側の縦軸の目盛りは絶対湿度（単位は１立方ｍ当たりのグラムである）と温度（単位は℃）に共通の目盛りである。右側の縦軸の目盛りは相対湿度（単位は％）である。温湿度センサで測定できるものは，相対湿度と温度である。この相対湿度と温度に基づいて絶対湿度を算出することができる。図１１のグラフは，相対湿度及び温度の測定値と，算出した絶対湿度を示している。
【００２８】
図１１のグラフにおいて，入口相対湿度と出口相対湿度を比較すると，経過時間が１０８分のところから出口相対湿度が増加し始めて，約３００分のところまで徐々に湿度が増加していくことが分かる。絶対湿度で表しても，同様の経過を示している。この経過は，メカニカルシールのシール面がちょうど劣化を始めるときの状態を示している。このように湿度センサを用いることで，冷却水の漏れを初期の状態で早期に発見することができる。このような漏水を検知したら，警報を出すことができ，これによって，オペレータにメカニカルシールの交換を促すことができる。
【００２９】
図１２は本発明のさらに別の実施例を示す。この実施例は，回転翼６６を備えているだけで，冷却水センサは備えていない。この場合には，メカニカルシール３２から霧状の水滴や水蒸気の状態で漏れる冷却水を，空気とともに外部に排出する機能だけを有する。この実施例は，二つの空気入口６２と二つの空気出口６４を備えている。このような構造だけでも，ケーシングの内部の各種の部品の結露を防ぐことができ，それらの部品の寿命を延ばすことができる。メカニカルシール３２についてはは，所定の使用時間ごとに定期的に交換するようにすれば，液体状態での水漏れの危険性は少なくなる。
【００３０】
本発明はさらに，回転翼を省略して，冷却水センサとして湿度センサを用いることもできる。すなわち，図９（単一の湿度センサを有する）または図１０（二つの湿度センサを有する）に示す例において，ケーシングの内部の回転翼を省略することができる。この場合，回転翼による空気の流通機能がなくなるので，ケーシングの外部に小型の空気ポンプを取り付けて，そこからの乾燥空気をケーシングの空気入口に導入すればよい。空気ポンプの送風量はきわめてわずかなものでよい。
【００３１】
上述の実施例では，冷却液として冷却水を使用する例を示したが，水以外の冷却液を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】図１は本発明の回転対陰極Ｘ線管の一実施例の要部の断面図である。
【図２】図１の回転対陰極Ｘ線管を別の切断面で切断した断面図である。
【図３】図１の右方向から見た背面図である。
【図４】空気通路の近傍を拡大して示した断面図である。
【図５】回転翼の一部を切り欠いて示した斜視図である。
【図６】冷却水検出装置を備えた回転対陰極Ｘ線管の側面図である。
【図７】回転対陰極の回転中心線が直立した例の側面図である。
【図８】図７の配置における漏水の流れを示す断面図である。
【図９】冷却水センサとして湿度センサを用いた例の側面図である。
【図１０】冷却水センサとして湿度センサを用いた別の例の側面図である。
【図１１】湿度変化を測定したグラフである。
【図１２】本発明のさらに別の実施例の断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０  真空容器
１２  回転対陰極
１４  電子銃
１８  対陰極組立体
２０  ケーシング
２４  回転シャフト
２６  磁性流体シール装置
２８，２９  転がり軸受
３０  電気ブラシ
３２  メカニカルシール
３８  第１の冷却水通路
４４  第２の冷却水通路
５０  冷却水入口
５２  冷却水出口
６０  空気通路
６２  空気入口
６４  空気出口
６６  回転翼
８４  検出口
８８  冷却水検出装置
９６  漏液センサ
１０２，１０６  湿度センサ
【図１】
2006032099.tif 000003
【図２】
2006032099.tif 000004
【図３】
2006032099.tif 000005
【図４】
2006032099.tif 000006
【図５】
2006032099.tif 000007
【図６】
2006032099.tif 000008
【図７】
2006032099.tif 000009
【図８】
2006032099.tif 000010
【図９】
2006032099.tif 000011
【図１０】
2006032099.tif 000012
【図１１】
2006032099.tif 000013
【図１２】
2006032099.tif 000014