(57)【要約】 【課題】  振動体装置が備える水晶振動体等の振動体において、入力端子と出力端子間での浮遊容量による出力信号への影響を低減し、出力信号のＳ／Ｎの低下を防止する。【解決手段】  振動体装置１は振動体ユニット２と回路ユニット３を備える。振動体ユニット２は少なくとも一方が開放した振動体用実装基材2bと、外部の直流固定電位１０と接続される金属体４を備える。この振動体用実装基材2bには振動体2aが実装され、振動体に駆動信号を印加する入力端子2c、振動体2aから出力信号を取り出す出力端子2dを有する。金属体４を外部の直流固定電位１０に接続することによって、入力端子から出力端子へのノイズの侵入を低減する。【選択図】  図１
2006266888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方が開放した振動体用実装基材と、
この振動体用実装基材に実装される振動体と、
この振動体に駆動信号を印加する入力端子及び前記振動体から出力信号を取り出す出力端子を有する振動体ユニットを備え、
前記振動体ユニットは、外部の直流固定電位と接続される金属体を備えることを特徴とする振動体装置。
【請求項２】
少なくとも一方が開放した振動体用実装基材と、
この振動体用実装基材に実装される振動体と、
この振動体に駆動信号を印加する入力端子及び前記振動体から出力信号を取り出す出力端子を有する振動体ユニットと、
前記駆動信号の生成、及び／又は前記出力信号の検出を行う回路部品を実装した回路用実装基材を有する回路ユニットとを備え、
前記振動体ユニットは、外部の直流固定電位と接続される金属体を備えることを特徴とする振動体装置。
【請求項３】
前記振動体ユニットは、前記振動体を収納する前記振動体用実装基材の開放部分を真空封止する金属製カバーを備え、
この金属製カバーは外部の直流固定電位に接続して前記金属体を構成することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動体装置。
【請求項４】
前記振動体ユニットは、前記振動体を収納する振動体用実装基材の開放部分を真空封止するカバーを備え、
前記振動体用実装基材は前記カバーと接合する面に金属層を有し、この金属層は外部の直流固定電位に接続して前記金属体を構成することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動体装置。
【請求項５】
前記振動体用実装基材は、絶縁層と金属層とを重ねて層状に構成し、
この金属層は外部の直流固定電位に接続して前記金属体を構成することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動体装置。
【請求項６】
前記振動体用実装基材は、前記振動体を実装するベース部を金属部材、又は、前記振動体を実装するベース部に金属面を形成し、
このベース部に設けた金属部材又はベース部に形成した金属面は外部の直流固定電位に接続して前記金属体を構成することを特徴とする請求項１又は２に記載の振動体装置。
【請求項７】
前記金属体と外部の直流固定電位とを接続する接続体を備え、
この接続体は前記振動体用実装基材の外部に配置すると共に、一端を前記金属体に接続することを特徴とする請求項３乃至６の何れか一つに記載の振動体装置。
【請求項８】
前記金属体が接続する外部の直流固定電位は接地電位であることを特徴とする、請求項１乃至７の何れかに記載の振動体装置。
【請求項９】
前記金属体は前記回路用実装基材が備える接地電極に接続することを特徴とする、請求項８に記載の振動体装置。
【請求項１０】
前記金属体と前記接地電極とを接続する接続体を備え、
前記回路用実装基材は底面部に接地電極を備え、
前記接続体の一端を前記回路用実装基材の接地電極に接続することを特徴とする、請求項９に記載の振動体装置。
【請求項１１】
前記金属体が接続する外部の直流固定電位は直流電源の電源電位であることを特徴とする、請求項１乃至７の何れか一つに記載の振動体装置。
【請求項１２】
前記金属体を前記回路用実装基材が備える電源電位電極に接続することを特徴とする、請求項１１に記載の振動体装置。
【請求項１３】
前記金属体と前記電源電位電極とを接続する接続体を備え、
前記回路用実装基材は底面部に電源電位電極を備え、
前記接続体の一端を前記回路用実装基材の電源電位電極に接続することを特徴とする、請求項１２に記載の振動体装置。
【請求項１４】
前記接続体は可撓性を有するＦＰＣ又はＦＦＣであり、少なくとも一方の接続端は開口又は切り込みを有し、
この開口又は切り込みは、少なくとも露出面側の、内側縁部の内周面に接続電極を有し、
この接続電極、及び前記内側縁部が囲む空間部分に盛りつけた半田により、前記接続体を電気的及び機械的に接続を行うことを特徴とする、請求項７に記載の振動体装置。
【請求項１５】
前記接続体は線バネであることを特徴とする、請求項１４に記載の振動体装置。
【請求項１６】
前記線バネは、前記振動体ユニット及び前記回路ユニット、又は前記振動体ユニットと前記回路ユニットの何れか一方と接触する接触部を備え、この接触部は渦巻き形状であることを特徴とする請求項１５に記載の振動体装置。
【請求項１７】
請求項１乃至１６の何れか一つに記載の振動体装置の出力信号から当該振動体装置の角速度を算出することを特徴とする角速度センサー。
【請求項１８】
請求項１乃至１６の何れか一つに記載の振動体装置の出力信号を基準周波数信号として出力することを特徴とする発振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体装置及び角速度センサーに関し、特に、角加速度センサー（ジャイロ装置）に用いるほか、携帯電話等の移動体通信機器に用いる基準周波数源に用いる振動体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
角速度センサー（ジャイロ装置）や携帯電話等の移動体通信機器等は、周波数源として振動体装置を備えるものが知られている。
【０００３】
角速度センサー（ジャイロ装置）は、航空機、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等に用いられる他、様々な用途に用いられ、振動体装置は角速度に応じたコリオリ信号を検出することによって移動体の角速度を検出する。また、移動体通信機器では、振動体装置が生成する信号を基準周波数として用いている。
【０００４】
この振動体装置を携帯電話などの移動体通信機器の基準周波数源として用いるものとして水晶振動体を用いた発信器が知られている（例えば特許文献１，２参照）。
【０００５】
発信器の一構成例（特許文献１）では、集積回路素子を備えた第１パッケージと水晶振動体を備えた第２パッケージとを上下に重ね合わせ、第１パッケージ内の集積回路素子と第２パッケージ内の水晶振動体とを内部導体で接続し、第１パッケージのリードフレームと第２パッケージに設けたシールド面によって、集積回路素子を覆うことによって外部かから電磁界的遮蔽を行い、出力周波数を安定化させている。
【０００６】
発信器の他の構成例（特許文献２）では、能動素子を実装した第１の容器と振動素子を内蔵した第２の容器とを上下に重ね合わせ、第２の容器の外壁部に形成した切り欠きを用いることで第１の容器と第２の容器との間の電気的接続を行う構成によって、能動素子が損傷した際に、分離することで良品の再利用を可能としている。
【０００７】
また、振動体装置を角速度センサーに用いるものとして例えば特許文献３が知られている。この文献では、水晶振動体の入ったパッケージと回路基板の２体で構成されたセンサユニットを、一対の振動吸収材で保持する構成が開示されている。
【特許文献１】特開平１０−７０４１４号公報
【特許文献２】特開平１０−９８１５１号公報
【特許文献３】特開２００４−２７１４７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記した文献１に示す構成例では、発振回路周りの浮遊容量が不安定であることにより、発振回路の発振ループ内に発生する浮遊容量によって発振周波数が変化するという問題が指摘され、この問題を解決するために、発振回路を構成する集積回路素子の上下面を第２のパッケージのシールド面と第１のパッケージのリードフレームで覆うことで電磁界的な遮蔽を行う構成とし、この構成によって、発振器をセット機器のマザーボードに実装した際、そのマザーボードの配線パターンによる電磁界の影響や近傍に配置される他のデバイスや回路からの電磁界的な影響による周波数の変化をなくすことが開示されている。
【０００９】
これに対して、本出願の発明者は、発振回路を構成する集積回路素子に対する外部からの電磁界的な影響とは別に、振動体装置の出力に影響を与える要因として、振動体装置が備える水晶振動体等の振動体が出力する出力信号は、その振動体を駆動するための入力信号の変動によって影響を受けることを見出した。
【００１０】
図１８は、振動体装置の振動体及び駆動検出回路の概略を示している。なお、ここでは、振動体からの検出信号に基づいて角速度を検出する場合の構成について示している。
【００１１】
駆動検出回路１００において、駆動回路１０１は振動体１０２に駆動信号を供給して駆動させると共に、この駆動信号を同期検波回路１０３に出力する。振動体１０２の検出脚（図示していない）からはコリオリ検出信号が検出され、それぞれ初段ＡＭＰ（増幅器）１０４に入力されて増幅され、差動ＡＭＰ１０５によって２つのコリオリ検出信号の差分信号が増幅される。増幅された差分信号は、同期検波回路１０３によって駆動信号の位相に基づいて検波され、ローパスフィルタ１０６を経て出力信号として出力される。
【００１２】
本出願の発明者は、この駆動検出回路における浮遊容量の影響として、入力端子と出力端子とが浮遊容量によって交流的に接続することによる影響があることを見出した。
【００１３】
図１８中において、入力端子と出力端子との間において、破線で示した接続関係は、入力端子と出力端子とが浮遊容量ｚcによって交流的に接続したときの影響を示している。
【００１４】
入力端子と出力端子とが浮遊容量によって交流的に接続した場合には、振動体を駆動するための入力信号中のノイズ成分が浮遊容量ｚcを介して出力端子に流れ、出力電圧（Ｖout）に誤差が生じることになる。
【００１５】
通常、出力端子からの検出信号の信号レベルは微小であるため、入力信号中にノイズ成分が検出信号に重畳した場合の影響は無視しがたいものとなる。
【００１６】
前記した文献による構成では、発振回路を構成する集積回路素子に対して、外部からの電磁界的な影響を除く点について考慮しているが、振動体装置が備える水晶振動体等の振動体側における浮遊容量の影響は考慮しておらず、上記したような、入力端子と出力端子とが浮遊容量によって交流的に接続したときの影響によって、入力信号側から出力信号側にノイズが侵入するという課題について考慮されていない。
【００１７】
この浮遊容量による出力電圧への影響を低減させる構成として、振動体から得られるコリオリ検出信号を回路側へ送る配線の導体部や、振動体を振動させる駆動信号を回路側から供給する配線の導体部を、浮遊容量が発生するおそれがある構成部品から離しておく構成が考えられる。また、一般的技術として、シールドにより浮遊容量の影響を低減することも知られている。
【００１８】
しかしながら、振動体装置に用いる振動体は、通常、振動体を安定駆動させるために振動体をパッケージの内部に密封状態に収納した後、さらに、その周囲をシールド部材で覆う構成としているため、密閉状態にある導体部を浮遊容量が発生するおそれがある構成部品から離す構成とすることは困難である。また、水晶振動体等の振動体をシールド部材で覆う構成とするには、その周囲をシールド部材で覆う構成とする必要があるため、構造及びそのための加工が複雑となるという問題がある他、シールド部材を接地するために、発振回路等の電子回路部分を収納するもう一方のパッケージとの間で電気的な接続を行う必要がある。
【００１９】
このように、パッケージを重ね合わせる構成において電気的接続を行う場合には、パッケージ本体に形成したスルーホールを用いる構成が知られている。前記文献１には、パッケージの側面に端子を設ける構成が示され、また、前記文献２には、第２の容器の外周壁の外周面に半円状の切り欠きを設け、接地電極との接続に用いる構成が示されている。
【００２０】
このように、パッケージの側面に設けた端子によって電気的接続を行う構成では、機器の小型化に伴ってパッケージを小型化する際に端子も小さくする必要があるため、接地用に充分な面積を確保することが困難となるという課題がある。
【００２１】
また、スルーホールを用いてパッケージ間の接地を行う構成では、機器の小型化に伴ってパッケージを小型化する際に、スルーホールの穴径を小さく形成する他、接地電極の面積を小さくする必要がある。そのため、接地面積が小さくなり信頼性の高い接地が望めなくなるとい課題がある他に、加工においてスルーホールの穴径に制限があるため、機器の小型化が制限されるといった課題がある。
【００２２】
上記したように、従来の振動体装置では、振動体側において、浮遊容量による出力電圧への課題が考慮されていない。
【００２３】
また、この課題に対して、浮遊容量を接地によって解消しようとした場合には、パッケージ間で接地接続のための構成が必要となり、加工上や接地性能の点で課題がある。
【００２４】
そこで、本発明は従来の問題を解決し、振動体装置が備える水晶振動体等の振動体において、入力端子と出力端子間での浮遊容量による出力信号への影響を低減することを目的とし、出力信号のＳ／Ｎの低下を防止することができる。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明の振動体装置の一態様は振動体ユニットを備える構成とする。振動体ユニットは少なくとも一方が開放した振動体用実装基材と、外部の直流固定電位と接続される金属体を備える。この振動体用実装基材には、振動体、振動体に駆動信号を印加する入力端子、及び振動体から出力信号を取り出す出力端子が設けられて振動体ユニットが形成される。
【００２６】
振動体ユニットが備える金属体は、入力端子から出力端子へのノイズの侵入を低減する。
【００２７】
また、本発明の振動体装置の他の態様は振動体ユニットと回路ユニットと備える構成とする。振動体ユニットは、前記態様と同様に、少なくとも一方が開放した振動体用実装基材と、外部の直流固定電位と接続される金属体を備える。この振動体用実装基材には、前記態様と同様に、振動体、振動体に駆動信号を印加する入力端子、及び振動体から出力信号を取り出す出力端子が設けられ、振動体ユニットが形成される。
【００２８】
また、回路ユニットは、駆動信号の生成、及び／又は出力信号の検出を行う回路部品を実装した回路用実装基材を有する。回路ユニットで生成した駆動信号は振動体ユニットに供給されて、振動体を駆動する。また、回路ユニットは、振動体ユニットの振動体からの出力信号を取り込む。
【００２９】
金属体と外部の直流固定電位とを電気的に接続すると、入力端子と金属体の間、及び金属体と出力端子との間に存在する浮遊容量に流れる交流電流を実質的に零とすることができ、これによって、入力端子から出力端子へのノイズの侵入を低減させる。
【００３０】
金属体は、複数の形態で実現することができる。
【００３１】
金属体の第１の形態は金属製カバーの形態である。この金属製カバーは、振動体を収納する振動体用実装基材の開放部分を真空封止する金属製カバーを備え、外部の直流固定電位に接続する。
【００３２】
この金属製カバーと外部の直流固定電位とは、接続体によって接続する。この接続体は振動体用実装基材の外部に配置すると共に、一端を金属製カバーの露出面に接続する。接続体を上記構成とすることで、接続が容易となる他、接続体の太さや形状などの設計自由度が高くとることができる。
【００３３】
また、金属体の第２の形態は、振動体用実装基材の一面に設けた金属層の形態である。振動体ユニットは、振動体を収納する振動体用実装基材の開放部分を真空封止するカバーを備え、振動体用実装基材はこのカバーと接合する面に金属層を有し、金属層は外部の直流固定電位に接続する。
【００３４】
この金属層と外部の直流固定電位とは、接続体によって接続する。この接続体は振動体用実装基材の外部に配置すると共に、一端を前記金属層の接続端子に接続する。接続体を上記構成とすることで、前記態様と同様に、接続が容易となる他、接続体の太さや形状などの設計自由度が高くとることができる。
【００３５】
また、金属体の第３の形態は、振動体用実装基材を絶縁層と金属層とを重ねて層状に構成した形態である。振動体用実装基材は、絶縁層と金属層とを重ねて層状に構成し、金属層は外部の直流固定電位に接続する。
【００３６】
この金属層と外部の直流固定電位とは、接続体によって接続する。この接続体は振動体用実装基材の外部に配置すると共に、一端を金属層の接続端子に接続する。接続体を上記構成とすることで、前記態様と同様に、接続が容易となる他、接続体の太さや形状などの設計自由度が高くとることができる。
【００３７】
また、金属体の第４の形態は、振動体用実装基材の振動体を実装するベース部を金属部材で構成、又は、振動体を実装するベース部に金属面を形成する構成とし、このベース部に設けた金属部材又はベース部に形成した金属面は外部の直流固定電位に接続する。
【００３８】
このベース部に設けた金属部材又は金属面と外部の直流固定電位とは、接続体によって接続する。この接続体は、振動体用実装基材の外部に配置すると共に、一端を振動体用実装基材のベース部の接続端子に接続する。接続体を上記構成とすることで、前記態様と同様に、接続が容易となる他、接続体の太さや形状などの設計自由度が高くとることができる。
【００３９】
金属体が接続する外部の直流固定電位は接地電位とすることができる。金属体を接地電位に接続する場合には、回路用実装基材が備える接地電極に接続する。また、この接地電極への接続において、金属体と接地電極とを接続する接続体の一端を、回路用実装基材の底面部に設けた接地電極に接続する。
【００４０】
また、金属体が接続する外部の直流固定電位は直流電源の電源電位とすることができる。金属体を直流電源の電源電位に接続する場合には、金属体を回路用実装基材が備える電源電位電極に接続する。また、この電源電位電極への接続において、金属体と電源電位電極とを接続する接続体の一端を、回路用実装基材の底部の電源電位電極に接続する。
【００４１】
また、接続体はＦＰＣやＦＦＣ、あるいは線バネ等の可撓性を持つものとすることができる。
【００４２】
可撓性を持つ接続体をＦＰＣやＦＦＣとする場合には、少なくとも一方の接続端は開口又は切り込みを有し、この開口又は切り込みは、少なくとも露出面側の、内側縁部の内周面に接続電極を有した構成とし、この接続電極、及び内側縁部が囲む空間部分に盛りつけた半田により、接続体を電気的及び機械的に接続する。
【００４３】
また、可撓性を持つ接続体を線バネとする場合には、線バネは、振動体ユニット及び回路ユニット、又は振動体ユニットと回路ユニットの何れか一方と接触する接触部を備える。この接触部は渦巻き状の形状とすることができ、この渦巻き形状によって振動体ユニットや回路ユニットに対する接触力を生成することができる。この渦巻き形状は、線バネに端部に設ける構成に限らず、中間部分に設ける構成としてもよい。
【００４４】
また、本発明の振動体装置を用いて、振動体装置の出力信号から角速度を算出する角速度センサーを構成することができる。なお、ここで、角速度センサーは水晶振動子等のセンサー素子を意味するものではなく、これら素子を構成してなる装置を意味し、また、ジャイロ装置を含むものである。
【００４５】
また、本発明の振動体装置を用いて、振動体装置の出力信号を基準周波数信号として出力する発振装置を構成することができる。
【発明の効果】
【００４６】
本発明は、振動体装置が備える水晶振動体等の振動体において、入力端子と出力端子間での浮遊容量による出力信号への影響を低減することができる。また、出力信号のＳ／Ｎ比の低下を防止することができる。
【００４７】
また、金属体の接続を簡易な構成によって容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
以下、本発明の振動体装置について図を用いて詳細に説明する。
【００４９】
図１は本発明の振動体装置の概略構成を説明するための第１の態様を示す図である。本発明の振動体装置１（図１では１Ａ）は、振動体ユニット２と回路ユニット３とを備える振動体装置であって、振動体ユニット２は外部の直流固定電位と接続される金属体を備える。図１に示す第１の態様では、この金属体を金属製カバー４で構成する例を示している。
【００５０】
振動体ユニット２は振動体２ａを備え、この振動体２ａに駆動信号を供給することで振動させ、振動体２ａが備える固有の周波数信号を出力したり、振動体ユニット２を含む振動体装置１に加わる力によって生じるコリオリ信号を出力する。
【００５１】
固有の周波数信号は、例えば、移動体通信機器の基準周波数信号として用いることができる。また、コリオリ信号は移動体の角速度を検出して、航空機、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等に用いられる。
【００５２】
振動体ユニット２は、少なくとも一方が開放した振動体用実装基材２ｂを有し、この振動体用実装基材２ｂには振動体２ａが実装される。振動体用実装基材２ｂのベース部２ｅ上には、絶縁層を介して振動体２ａに駆動信号を印加する入力端子２ｃ、及び振動体２ａから出力信号を取り出す出力端子２ｄが設けられる。
【００５３】
振動体２ａの一例としては、例えば、二脚の音叉型水晶振動子や三脚の音叉型水晶振動子を用いることができる。三脚の音叉型水晶振動子は、入力端子を構成する駆動電極、出力端子を構成する検出電極、及びアース電極が形成された三脚の音叉型水晶振動子である。
【００５４】
振動体用実装基材２ｂ上には回路配線が形成され、中央部に振動体２ａを収納する凹部が形成された基材である。振動体用実装基材２ｂの形状は、矩形平板に限らす任意の形状とすることができる。
【００５５】
振動体用実装基材２ｂの凹部に形成された回路配線は、裏面の外縁部に配設された外部接続電極（図示していない）を必要に応じて接続されている。この外部接続電極としては、例えば、振動体２ａからの検出信号を回路ユニット３に送る検出信号用接続電極、回路ユニット３からの駆動信号を振動体２ａに送る駆動信号用接続電極の他、振動体用実装基材２ｂと回路用実装基材３ｂとを半田で連結するための連結用金属パターンとして使用される。
【００５６】
入力端子２ｃ及び出力端子２ｄは回路ユニット３と接続され、入力端子２ｃは回路ユニット３から送られた駆動信号を振動体２ａに供給する。振動体２ａは、駆動信号の供給によって所定の周波数で振動する。この振動で生じた信号は出力端子２ｄから取り出され、回路ユニット３に送られる。
【００５７】
回路ユニット３は、回路部品３ａを実装した回路用実装基材３ｂを備える。この回路部品３ａは、振動体ユニット２の振動体２ａに送る駆動信号の生成や、振動体２ａから取り出された出力信号の検出を行うための回路を構成する。回路部品３ａは、例えば、ＩＣ素子３a1やチップ部品３a2等を備える。
【００５８】
回路部品３ａは回路用実装基材３ｂの両面実装とすることができ、これによって、回路部品３ａを高密度で実装することができ、回路用実装基材３ｂを小型化することができる。また、ＩＣ素子３a1は、フリップチップボンディングにより接続することができ、これによって、回路用実装基材３ｂの小型化を図ることができる。
【００５９】
回路用実装基材３ｂは、振動体用実装基材２ｂの外形とほぼ一致する外形を有した例えば矩形平板状の基材であり、回路配線（図示していない）が形成される。回路素子は両面実装してもよい。
【００６０】
また、回路用実装基材３ｂの外縁部には、環状に突起した部分を形成し、この突起部の上面に、前記した振動体用実装基材２ｂに設けた外部接続電極と対応して、外部接続電極を配設する構成とすることができる。この構成により、振動体用実装基材２ｂと回路用実装基材３ｂの各外部接続電極どうしを、半田や導電性接着材等を用いて接続することにより、振動体用実装基材２ｂと回路用実装基材３ｂとの機械的な積層と、電気的な接続とを行うことができる。
【００６１】
なお、上記した突起部は環状形状に限らず、外部接続電極の配置位置に応じて独立した形状により構成してもよい。また、上記突起部は回路用実装基材３ｂに設ける構成に限らず、振動体用実装基材２ｂが回路用実装基材３ｂと対向する対向側に設ける構成や、振動体用実装基材２ｂと回路用実装基材３ｂの双方に設ける構成としてもよい。
【００６２】
上記したように、回路ユニット３の回路用実装基材３ｂに設けた外部接続電極３ｃと、振動体ユニット２の振動体用実装基材２ｂに設けた外部接続電極とをつきあわせて接続することによって、振動体ユニット２と回路ユニット３との間において駆動信号や出力信号の授受を行うことができるが、振動体ユニット２と回路ユニット３との間の電気的接続は、上記構成に限らず他の構成としてもよい。
【００６３】
本発明の第１の態様の振動体装置１Ａにおいて、振動体用実装基材２ｂは金属製カバー４を備え、この金属製カバー４は外部直流固定電位１０に接続され、この外部直流固定電位に保持される。金属製カバー４は、振動体用実装基材２ｂの開口部を密封するカバーとして用いることができる。開口部の密閉は、金属製カバー４の外周部分を、振動体ユニット２の振動体用実装基材２ｂの外縁部に設けた突出部２b1に載置し、接着剤等で接合することによって行う。この際、真空状態で行うことで真空密封することができる。振動体用実装基材２ｂがセラミック材である場合には、金属製カバー４との間は、W（タングステン）メタライズにNiAuメッキされた層を挟んで接合することができる。
【００６４】
金属製カバー４は、開口部を真空密封することによって振動体２ａが設けられる空間を真空状態に保持し、振動体２ａの空気等による影響を排除して振動を安定させる。
【００６５】
金属製カバー４は、入力端子２ｃの間において浮遊容量Ｚcを介して交流的な接続を行うことによって、駆動信号に含まれるノイズ成分を入力端子２ｃから金属製カバー４を介して外部直流固定電位１０側に流し、これによって、出力端子２ｄ側へのノイズ成分の侵入を防ぐ。
【００６６】
以下、図２を用いて、本発明の振動体装置１の作用、特に金属体の作用について説明する。なお、図２に示す回路は、振動体装置によって角速度検出を行う場合の構成を示している。
【００６７】
図２では、振動体ユニット２（破線で囲む部分）側の構成と、回路ユニット３側の構成を示している。回路ユニット３側は駆動検出回路１００を備える。この駆動検出回路１００は、振動体ユニット２への駆動信号の供給と振動体ユニット２からの出力信号の検出とを行う。駆動検出回路１００から供給された駆動信号は、振動体ユニット２内の入力端子２ｃを通して振動体１０２に入力される。振動体１０２は駆動信号によって駆動し、その検出信号を振動体ユニット２内の出力端子を通して出力する。検出信号は、駆動検出回路１００に送られる。
【００６８】
駆動検出回路１００における動作は前記図１８で示した駆動検出回路１００と同様である。駆動回路１０１は、駆動信号を供給して振動体１０２を駆動させると共に、駆動信号を同期検波回路１０３に出力する。振動体装置１がＸ方向及びＹ方向と直交する仮想の回転軸（図示していない）の回りで回転すると、振動体１０２の検出脚（図示していない）からはコリオリ検出信号が検出され、それぞれ初段ＡＭＰ（増幅器）１０４に入力されて増幅され、差動ＡＭＰ１０５によって両コリオリ検出信号の差分信号が増幅される。増幅された差分信号は、同期検波回路１０３によって、駆動回路１０１からの駆動信号の位相に基づいて検波され、ローパスフィルタ１０６を経て出力信号として出力される。
【００６９】
なお、上記回路は角速度を検出する場合の構成例を示しているが、出力信号を基準周波数信号として出力する発振装置とすることもできる。
【００７０】
振動体ユニット２において、振動体１０２に対する駆動信号の入力は入力端子２ｃを通して行われ、振動体１０２からの検出信号（コリオリ検出信号）の出力は出力端子を通して行われる。
【００７１】
図２は、振動体ユニット２に金属製カバー４を設けた構成において、入力端子との出力端子との間の関係を模式的に示している。振動体ユニット２に設けた金属製カバー４は、浮遊容量Ｚc，Ｚc´を介することによって、入力端子との間及び出力端子との間を交流的に接続する。金属製カバー４は、例えば、接地あるいは直流電源に接続することで直流固定電位に保持されている。
【００７２】
この状態において、入力端子側の駆動信号にノイズ成分が生じた場合には、このノイズ成分は、浮遊容量Ｚcを介して金属製カバー４に流れる。ここで、金属製カバー４は外部の直流固定電位に接続されているため、ノイズ成分は金属製カバー４を通して直流固定電位側に流れる。
【００７３】
このとき、金属製カバー４と出力端子との間においても、浮遊容量Ｚc´によって交流的な接続が行われるが、入力端子側から金属製カバー４を通して見たときの直流固定電位側のインピーダンスと、同じく入力端子側から金属製カバー４を通して見たときの出力端子側に存在する浮遊容量のインピーダンスとを比較すると、直流固定電位側のインピーダンスは出力端子側のインピーダンスよりも十分に小さいため、入力端子側で発生したノイズ成分は、入力端子側に流れることなく、直流固定電位側に流れる。
【００７４】
したがって、本発明の振動体装置では、振動体ユニット２に金属製カバー４を設けることによって、入力端子側で発生したノイズ成分が出力端子側に流れ込むことを防ぐことができ、出力信号のＳ／Ｎ比の低下を防止することができる。
【００７５】
以下、本発明の振動体装置の第２の態様〜第７の態様について、図３〜図８を用いて説明する。
【００７６】
図３は本発明の振動体装置の第２の態様を説明するための図である。本発明の第２の態様の振動体装置１Ｂは、図１で示した第１の態様と同様の振動体ユニット２と回路ユニット３とを備えた構成において、金属体として、金属製カバー４に代えてカバー５の一部に金属面６を備えた構成である。この金属面の構成の他は、前記図１で示した第１の態様の構成と同様であるため、ここでは、金属面の構成についてのみ説明する。
【００７７】
本発明の第２の態様の振動体装置１Ｂにおいて、振動体用実装基材２ｂは絶縁性カバー５を備え、この絶縁性カバー５は、振動体用実装基材２ｂの開口部を密封する。開口部の密閉は、絶縁性カバー５の外周部分を、振動体ユニット２の振動体用実装基材２ｂの外縁部に設けた突出部２b1に載置し、絶縁性の接着剤等で接合することによって行うことができ、この際に、真空状態で行うことで真空密封する。絶縁性カバー５は、開口部を真空密封することによって振動体２ａが設けられる空間を真空状態に保持し、振動体２ａの空気等による影響を排除して振動を安定させる。
【００７８】
絶縁性カバー５の一部には金属面６が設けられる。この金属面６は、絶縁性カバー５上にメッキや塗布等によって金属材を付着させて形成する他、絶縁性カバー５上に金属製シールを貼ることによって形成してもよい。金属面６の絶縁性カバー５上での配置位置は、例えば、絶縁性カバー５を振動体用実装基材２ｂに取り付けて開口部を密封した際に、入力端子２ｃの上方位置等の近傍位置とすることができる。また、金属面６は、絶縁性カバー５の内側面（絶縁性カバー５を取り付けた際に開口部内に向かって内側となる面）に設ける他、外側面（絶縁性カバー５を取り付けた際に外側となる面）に設けてもよい。
【００７９】
金属面６は、入力端子２ｃの間において浮遊容量Ｚcを介して交流的な接続を行うことによって、駆動信号に含まれるノイズ成分を入力端子２ｃから金属面６を介して外部直流固定電位１０側に流し、これによって、出力端子２ｄ側へのノイズ成分の侵入を防ぐ。
第２の態様が備える金属面６による作用及び回路の動作は、前記した第１の態様と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００８０】
図４は本発明の振動体装置の第３の態様を説明するための図である。本発明の第３の態様の振動体装置１Ｃは、図１で示した第１の態様と同様の振動体ユニット２と回路ユニット３とを備えた構成において、金属体として、金属製カバー４に代えて振動体用実装基材２ｂの一部に金属層７を設ける構成である。この金属層の構成の他は、前記図１で示した第１の態様の構成と同様であるため、ここでは、金属層の構成についてのみ説明する。
【００８１】
本発明の第３の態様の振動体装置１Ｃにおいて、振動体用実装基材２ｂの外縁部の突出部２b1には、その表面に金属層７が設けられる。この金属層７は、突出部２b1上にメッキや塗布等によって金属材を付着させて形成する他、突出部２b1上に金属製シールを貼ることによって形成してもよい。金属層７の突出部２b1上での配置位置は、図４（ａ）に示すように、突出部２b1の全面に設ける他、図４（ｂ）に示すように、突出部２b1の入力端子２ｃの近傍位置とすることもできる。
【００８２】
金属層７は、入力端子２ｃの間において浮遊容量Ｚcを介して交流的な接続を行うことによって、駆動信号に含まれるノイズ成分を入力端子２ｃから金属層７を介して外部直流固定電位１０側に流し、これによって、出力端子２ｄ側へのノイズ成分の侵入を防ぐ。
【００８３】
なお、この第３の態様では、振動体用実装基材２ｂをカバーで覆う構成の他、カバーで覆わない構成としてもよい。カバーで覆う構成の場合には、このカバーは金属製カバーとすることもあるいは絶縁性カバーとすることもできる。
【００８４】
第３の態様が備える金属層７による作用及び回路の動作は、前記した第１の態様と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００８５】
図５は本発明の振動体装置の第４の態様を説明するための図である。本発明の第４の態様の振動体装置１Ｄは、図４で示した第３の態様と同様の振動体ユニット２と回路ユニット３とを備えた構成において、振動体用実装基材２ｂの上面に設けた金属層７に代えて、振動体用実装基材２ｂ内部に金属層８を設ける構成である。この金属層の構成の他は、前記図４で示した第３の態様の構成と同様であるため、ここでは、金属層の構成についてのみ説明する。
【００８６】
本発明の第４の態様の振動体装置１Ｄにおいて、振動体用実装基材２ｂを積層により構成し、その積層中に金属層８を挟み込むことで構成する。なお、振動体用実装基材２ｂを構成する基材としてセラミックを用いる場合には、WメタライズにNiAuメッキされた層を金属層８として構成することができる。
【００８７】
また、金属層８は、振動体用実装基材２ｂの環状の全周囲に沿って設ける構成の他、入力端子２ｃの近傍にのみ設ける構成としてもよい。
【００８８】
金属層８と外部直流固定電位１０との接続は、外部接続電極８ａを介して行うことができる。
【００８９】
金属層８は、入力端子２ｃの間において浮遊容量Ｚcを介して交流的な接続を行うことによって、駆動信号に含まれるノイズ成分を入力端子２ｃから金属層８を介して外部直流固定電位１０側に流し、これによって、出力端子２ｄ側へのノイズ成分の侵入を防ぐ。
【００９０】
なお、この第４の態様では、振動体用実装基材２ｂをカバーで覆う構成の他、カバーで覆わない構成としてもよい。カバーで覆う構成の場合には、このカバーは金属製カバーとすることもあるいは絶縁性カバーとすることもできる。
【００９１】
第４の態様が備える金属層８による作用及び回路の動作は、前記した第１の態様と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【００９２】
図６は本発明の振動体装置の第５の態様を説明するための図である。本発明の第５の態様の振動体装置１Ｅは、図４で示した第３の態様と同様の振動体ユニット２と回路ユニット３とを備えた構成において、振動体用実装基材２ｂの上面に設けた金属層７に代えて、振動体用実装基材２ｂのベース部２ｅ上に金属部材あるいは金属面９（以下金属面９として説明する）を設ける構成である。この金属面の構成の他は、前記図４で示した第３の態様の構成と同様であるため、ここでは、金属面の構成についてのみ説明する。
【００９３】
本発明の第５の態様の振動体装置１Ｅにおいて、振動体用実装基材２ｂのベース部２ｅ上に金属部材あるいは金属面９を設ける構成とする。
【００９４】
なお、振動体用実装基材２ｂを構成する基材としてセラミックを用いる場合には、WメタライズにNiAuメッキされた層を金属面９として構成することができる。また、ベース部２ｅ上に金属製のシールを貼ることで形成してもよい。
【００９５】
また、金属面９は、ベース部２ｅ全面に設ける構成の他、入力端子２ｃの近傍にのみ設ける構成としてもよい。
【００９６】
金属面９と外部直流固定電位１０との接続は、外部接続電極（図示していない）を介して行うことができる。
【００９７】
金属面９は、入力端子２ｃの間において浮遊容量Ｚcを介して交流的な接続を行うことによって、駆動信号に含まれるノイズ成分を入力端子２ｃから金属面９を介して外部直流固定電位１０側に流し、これによって、出力端子２ｄ側へのノイズ成分の侵入を防ぐ。
【００９８】
なお、この第５の態様では、振動体用実装基材２ｂをカバーで覆う構成の他、カバーで覆わない構成としてもよい。カバーで覆う構成の場合には、このカバーは金属製カバーとすることもあるいは絶縁性カバーとすることもできる。
【００９９】
第５の態様が備える金属面９による作用及び回路の動作は、前記した第１の態様と同様であるため、ここでの説明は省略する。
【０１００】
次に、本発明の振動体装置が備える金属体と外部直流固定電位との接続の態様（第６の態様、第７の態様とする）について図７，図８を用いて説明する。なお、ここでは、前記した第１の態様が備える金属製カバーの例を用いて説明するが、第２の態様〜第５の態様についても同様に適用することができる。
【０１０１】
第６の態様は、外部直流固定電位として接地電位を用いる態様である。図７において、ケーブル、ＦＰＣ、ＦＦＣ等の接続体１１を用いて、その一端を金属製カバー４に接続し、他端を回路ユニット３側の接地電極３dに接続することにより接地する。これにより、金属製カバー４は接地電位に保持される。
【０１０２】
また、第７の態様は、外部直流固定電位として直流電源の電源電位を用いる態様である。図８において、ケーブル、ＦＰＣ、ＦＦＣ等の接続体１１を用いて、その一端を金属製カバー４に接続し、他端を回路ユニット３側の電源電極３eに接続することにより、直流電源の電源電位１２に接続する。これにより、金属製カバー４は直流電源の電源電位に保持される。なお、直流電源の電源電位１２は、電源電位そのものに限らず、電源電位から設定した所定の電位としてもよい。
【０１０３】
次に、上記した振動体装置を用いた本発明の角速度センサー及び発振器について、図９〜図１７を用いて説明する。以下では、主に角速度センサーを用いて説明する。図９〜図１１は本発明の角速度センサーの金属ケースを外した状態の概略図であり、図１２は本発明の角速度センサーの各構成部材の概略図であり、図１３は本発明の角速度センサーの接続体の概略図であり、図１４は本発明の角速度センサーの接続体の接続端部分の概略図であり、図１５〜図１７は本発明の角速度センサーの別の態様の金属ケースを外した状態の概略図である。
【０１０４】
図９〜図１１は金属ケース４３を外した状態の角速度センサーを示しており、図９は振動吸収部材を取り付けた状態であり、図１０，図１１は振動吸収部材を取り外した状態である。
【０１０５】
図９において、角速度センサー２１は、ピン２３が設けられた基台２２上に振動体装置１を取り付けてなり、振動体装置１の上下端には第１の振動吸収部材４１と第２の振動吸収部材４２が取り付けられている。なお、ピン２３は、角速度センサー２１を外部装置に固定すると共に、外部装置との間で電源接続を行ったり、信号の授受を行う。
【０１０６】
第１の振動吸収部材４１と第２の振動吸収部材４２には振動体装置１を嵌入させるための凹部が形成され、その凹部内に振動体装置１の上端及び下端を嵌入させることで、振動体装置１を保持する。また、第１の振動吸収部材４１と第２の振動吸収部材４２の外周部分は、金属ケース４３内に圧入される。第１の振動吸収部材４１及び第２の振動吸収部材４２は同一の部材を用いて共用化することにより、振動体装置１の上部と下部に同じ振動吸収特性を持たせることができ、角速度センサー２１の検出精度を向上させることができる他、振動体装置１の支持構造を単純化することができる。振動吸収部材の材料としては、絶縁性材料を用いることができる。
【０１０７】
なお、第１の振動吸収部材４１と第２の振動吸収部材４２は、露出した回路配線や回路部品の少なくとも一部を接触させる構成とすることにより、金属製カバーのみが配設されて部品の配設が少ない正面方向に対する振動吸収特性と、複数のチップ部品が配設された裏面方向に対する振動吸収特性を同程度とすることができ、角速度センサーの検出精度を向上させることができる。
【０１０８】
図１０，図１１は振動吸収部材を取り外した状態において、図中の矢印Ａ方向から見た面を示し、図１１は図中の矢印Ｂ方向から見た面を示している。図１０では振動体装置１の金属製カバー４が現れ、図１１では振動体装置１の回路ユニット３の裏面部分が現れている。
【０１０９】
図１０において、金属製カバー４の表面には、接続体としてのケーブル３１の一端が半田３２によって取り付けられている。また、図１１において、回路ユニット３の裏面の外部接続電極（図示していない）には、ケーブル３１の他端が取り付けられている。このケーブル３１は、金属製カバー４に外部直流固定電位を接続するための構成として用いる他、振動体ユニット２への駆動電流の供給や、振動体ユニット２からの検出信号の送信に用いてもよい。
【０１１０】
図１２において、角速度センサー２１は、振動体ユニット２と回路ユニット３は両ユニットを重ね合わせてセンサユニットを形成し、その上下を第１の振動吸収部材４１及び第２の振動吸収部材４２の凹部に嵌入して挟み、ケーブル３１によって金属製カバー４の外部直流固定電位に接続し、さらに、これらの振動吸収部材の外周部分に属ケース４３を圧入することで構成される。
【０１１１】
図１３は、ケーブル３１の一構成例を示している。ケーブル３１は、例えば、ＦＰＣやＦＦＲで形成することができ、一方の端部には金属製カバー４と接続するための第１電極３３が設けられ、他方の端部には回路ユニット３の接地電極あるいは電源電極と接続するための第２電極３４が設けられる。なお、ケーブル３１には、上記した直流固定電位と接続するための配線の他に、駆動信号や検出信号を送信するための配線を設けることがきる。また、ケーブル３１はベース３５を備え、このベース３５を基台２２に取り付けることによって、基台２２を介してケーブル３１を振動体装置１に固定することができる。
【０１１２】
図１４は、ケーブル３１が金属製カバー４と接続する接続部分の一構成例を示している。ケーブル３１が金属製カバー４と接続する接続部分は、例えば、図１４（ａ）に示すように、中心部分に開口部３６ａが形成された環状形状とすることができ、この環状形状の内周部分には電極面を設けることができる。
【０１１３】
ケーブル３１と金属製カバー４との接続は、金属製カバー４上にケーブル３１の接続部分を配置し、前記開口部３６ａ及びその外周部分の電極３７の上方から半田３２を盛りつけることで行うことができる。半田３２は、図１４（ｃ）に示すように、開口部３６ａを通して金属製カバー４と機械的に接続し、外周部分の電極３４を介して金属製カバー４と電気的に接続する。
【０１１４】
図１４（ｂ）は、ケーブルの接続部分の別の構成例を示している。接続部分は、一部に切り欠きが形成された湾状部３６ｂが形成された円弧形状とすることができ、この円弧形状の内周部分には電極面を設けることができる。ケーブル３１と金属製カバー４との接続は、金属製カバー４上にケーブル３１の接続部分を配置し、前記湾状部３６ｂ及びその外周部分の電極３７の上方から半田３２を盛りつけることで行うことができる。半田３２は、図１４（ｃ）に示すように、湾状部３６ｂを通して金属製カバー４と機械的に接続し、外周部分の電極３７を介して金属製カバー４と電気的に接続する。
【０１１５】
次に、図１５〜図１７を用いて、本発明の角速度センサーの別の態様について説明する。この態様は、前記態様中のケーブルに代えて線バネを用いた態様であり、その他の構成については前記した態様と同様であるため、ここでは線バネの構成についてのみ説明する。
【０１１６】
図１５，図１６は、別の態様において異なる方向から見た状態を示し、図１５は金属製カバー側（矢印Ａの方向）から見た状態を示し、図１６は回路ユニット３側（矢印Ｂの方向）から見た状態を示している。
【０１１７】
この態様において、線バネ５１は金属材によりＵ字状に形成され、振動体ユニット２と回路ユニット３とを挟み付ける方向にバネ力を有し、このバネ力によって線バネ５１を振動体ユニット２と回路ユニット３を挟んだ状態で取り付けると共に、金属製カバー４との電気的接続を行うことができる。したがって、この線バネによれば、前記態様のケーブルが備える電気的接続の作用に加えて、ユニットへの取り付け作用を備えることができる。また、線バネ５１のバネ力を、振動体ユニット２と回路ユニット３との固定あるいは製造中の仮固定に利用してもよい。
【０１１８】
線バネ５１と金属製カバー４との電気的接続、及び線バネ５１と回路ユニット３側の外部接続電極３cとの電気的接続は、線バネ５１が持つバネ力によって、線バネ５１が備える接点を金属製カバー４や外部接続電極３cに位置合わせするだけで行うことができ、前記した態様のような半田を接続するための作業を省くことができる。
【０１１９】
図１７は、線バネの更に別の態様を示す図である。この態様は、図１５，図１６で示した線バネにおいて、接続端を渦状の形成するものである。図１７は、金属製カバー４側から見た状態を示している。線バネ５２の先端に形成した渦状部分５３は、線バネの端部を渦状に湾曲させることで形成される。線バネ５２は渦状形状とすることにより、その先端を金属製カバー４側に付勢する弾力が生じ、これによって、振動体ユニット２と回路ユニット３とを挟む力が増加して、線バネと金属製カバーとの電気的接触を良好とすることができる。
【０１２０】
なお、図１７では、金属製カバー４側の線バネ端部のみを示しているが、回路ユニット３の裏面側の線バネ端部についても同様に渦状の形成することができる。
【０１２１】
上記した図９〜図１７では、金属体として金属製カバーを用いた例を示しているが、図１，図２〜図６に示した第１〜第５の態様の金属体についても同様に適用することができる。
【０１２２】
また、前記したケーブル３１，及び線バネ５１，５２に示した構成によれば、金属製カバー３等の金属体の外部直流固定電位への接続を、振動体ユニット及び回路ユニットの外側で行うことができる。これにより、振動体ユニットや回路ユニットの内部で接続を行うために、スルーホールを形成するといった加工工程が不要となり、また、その加工工程により生じる制限がないため、小型化が容易となるという利点を奏することができる。
【０１２３】
また、振動体ユニットや回路ユニットの構成が変更された場合であっても、外側で接続する構成とすることで、電極の個数や位置の変更に対して容易に対応することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０１２４】
本発明の振動体装置を備える角速度センサーは、航空機、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等に適用することができる。
【０１２５】
また、本発明の振動体装置を用いた発信器は携帯電話などの移動体通信機器の基準周波数源に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明の振動体装置の概略構成を説明するための第１の態様を示す図である。
【図２】本発明の振動体装置の金属体の作用を説明するための図である。
【図３】本発明の振動体装置の第２の態様を説明するための図である。
【図４】本発明の振動体装置の第３の態様を説明するための図である。
【図５】本発明の振動体装置の第４の態様を説明するための図である。
【図６】本発明の振動体装置の第５の態様を説明するための図である。
【図７】本発明の振動体装置の第６の態様を説明するための図である。
【図８】本発明の振動体装置の第７の態様を説明するための図である  。
【図９】本発明の角速度センサーの振動吸収部材を取り付けた状態を示す図である。
【図１０】本発明の角速度センサーの振動吸収部材を取り外した状態を示す図である。
【図１１】本発明の角速度センサーの振動吸収部材を取り外した状態を示す図である。
【図１２】本発明の角速度センサーの各構成部材の概略図である。
【図１３】本発明の角速度センサーの接続体の概略図である。
【図１４】本発明の角速度センサーの接続体の接続端部分の概略図である。
【図１５】本発明の角速度センサーの別の態様の金属カバーを外した状態の概略図である。
【図１６】本発明の角速度センサーの別の態様の金属カバーを外した状態の概略図である。
【図１７】本発明の角速度センサーの別の態様の金属カバーを外した状態の概略図である。
【図１８】振動体装置の振動体及び駆動検出回路の概略を示す図である。
【符号の説明】
【０１２７】
１，１Ａ〜１Ｅ  振動体装置  
２  振動体ユニット
２ａ  振動体
２ｂ  振動体用実装基材
２ｃ  入力端子
２ｄ  出力端子
２ｅ  ベース部
３  回路ユニット
３ａ  回路部品
３a1  ＩＣ素子
３a2  チップ部品
３ｂ  回路用実装基材
３ｃ  外部接続電極
３ｄ  接地電極
３ｅ  電源電極
４  金属製カバー
５  カバー
６  金属面
７，８  金属層
９  金属面
１０  外部直流固定電位
１１  接続体
２１  角速度センサー
２２  基台
２３  ピン
３１  ケーブル
３２  半田
３３  第１電極
３４  第２電極
３５  ベース
３６ａ  開口部
３６ｂ  湾曲部
３７  電極
４１  第１の振動吸収部材
４２  第２の振動吸収部材
４３  金属ケース
５１，５２  線バネ
５３  渦状部分
１００  駆動検出回路
１０１  駆動回路
１０２  振動体
１０３  同期検出回路
１０４  初段ＡＭＰ
１０５  差動ＡＭＰ
１０６  ローパスフィルタ
【図１】
2006266888.tif 000003
【図２】
2006266888.tif 000004
【図３】
2006266888.tif 000005
【図４】
2006266888.tif 000006
【図５】
2006266888.tif 000007
【図６】
2006266888.tif 000008
【図７】
2006266888.tif 000009
【図８】
2006266888.tif 000010
【図９】
2006266888.tif 000011
【図１０】
2006266888.tif 000012
【図１１】
2006266888.tif 000013
【図１２】
2006266888.tif 000014
【図１３】
2006266888.tif 000015
【図１４】
2006266888.tif 000016
【図１５】
2006266888.tif 000017
【図１６】
2006266888.tif 000018
【図１７】
2006266888.tif 000019
【図１８】
2006266888.tif 000020
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月28日(2005.4.28)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、振動体装置及び角速度センサーに関し、特に、角速度センサー（ジャイロ装置）に用いるほか、携帯電話等の移動体通信機器に用いる基準周波数源に用いる振動体装置に関する。