(57)【要約】【課題】  単一構造で互いに逆位相の２つの共振周波数の信号を出力でき、併せて異なる共振周波数を独立に調整できるようにした微小共振器を提供する。【解決手段】  支持部８〔８Ａ，８Ｂ〕で中空に保持された振動部６と、中空を挟んで振動部６と対向する下部電極となる入力電極３及び出力電極４とを有し、入力電極３及び出力電極４が、振動部６と交差する線上に沿って互いに対向して配置され、振動部６がねじれ振動とたわみ振動を起こすようになし、この異なる共振モードによる互いに近接した２つの共振周波数の出力信号が互いに１８０°位相を異にして成る。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単一構造からなり、異なる共振モードによる互いに近接した２つの共振周波数を有し、  前記２つの共振周波数の出力信号が互いに１８０°位相を異にして成る
ことを特徴とする微小共振器。
【請求項２】
１つまたは複数の支持部で中空に保持された振動部と、
前記中空を挟んで前記振動部と対向する下部電極となる入力電極及び出力電極とを有し、
前記入力電極及び出力電極が、前記振動部と交差する線上に沿って互いに対向して配置され、
前記振動部がねじれ振動とたわみ振動を起こすようにして成る
ことを特徴とする請求項１記載の微小共振器。
【請求項３】
前記振動部が２つの支持部を節としたたわみ振動と、２つの支持部を結ぶ線を軸としたねじれ振動を起こすようにして成る
ことを特徴とする請求項２記載の微小共振器。
【請求項４】
前記振動部が、２つの支持部を結ぶ線上のねじれの軸となる部分の両側に前記下部電極からの静電力を受ける羽部を有して成る
ことを特徴とする請求項３記載の微小共振器。
【請求項５】
前記支持部、前記振動部及び前記下部電極が多結晶シリコンにより形成されて成る
請求項２記載の微小共振器。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の微小共振器から成る
ことを特徴とするバンドパスフィルタ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の微小共振器を有して成る
ことを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
送信信号及び／又は受信信号の帯域制限を行うフィルタを備えた通信装置において、
前記フィルタとして、請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の微小共振器によるフィルタが用いられて成る
ことを特徴とする通信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小共振器、この微小共振器を用いたバンドパスフィルタ、この微小共振器を有する半導体装置、及びこの微小共振器による帯域フィルタを用いた通信装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の無線通信技術はめざましい発展を遂げており、無線通信技術を利用した通信機器においては小型化、軽量化が要求されている。これまで小型化が根案とされてきたＲＦ（高周波）信号処理部分に、半導体に用いる微細加工技術を使い、微細な機械構造を作製するマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム（ＭＥＭＳ：Micro Electro Mechanical Systems）技術が利用されてきている。その１つに機械的な共振を利用したメカニカルフィルタがあり、小型で集積化が可能であることから通信分野への応用が期待されている。このようなＭＥＭＳ素子のＲＦフィルタとしての利用がミシガン大学を始めとする研究機関から提案されている（非文献１参照）。
【０００３】
【非特許文献１】C.T-Nguyen, Micromechanical components for miniaturized low-power communications(invited plenary),proceedings,1999IEEE MTT-S International Microwave Symposium RF MEMS Workshop,June,18,1999,pp,48-77,
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
メカニカルフィルタの共振器の共振特性は、共振ピーク、反共振ピークを持つ非対称な形状である。このような共振特性を組み合わせてバンドパスフィルタを作製する場合、異なる共振周波数を有する複数の共振器、または信号の位相を変化させる為の周辺回路が必要になる。そのため、全体の面積が拡大し、フィルタの小型化を阻害していた。高調波を利用すれば、１つの共振器で反位相の２つの信号をつくり出すことが可能であるが、その場合、それぞれの周波数は独立に調節できない。
【０００５】
本発明は、上述の点に鑑み、単一構造で互いに逆位相の２つの共振周波数の信号を出力できる微小共振器、併せて異なる共振周波数を独立に調整できるようにした微小共振器を提供するものである。
また、本発明は、このような微小共振器を用いたバンドパスフィルタ、このような微小共振器を備えた半導体装置、及びこのような微小共振器を信号フィルタとして備えた通信装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る微小共振器は、単一構造からなり、異なる共振モードによる互いに近接した２つの共振周波数を有し、２つの共振周波数の出力信号が互いに１８０°位相を異にして成ることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る微小共振器の好ましい形態は、上記微小共振器において、１つまたは複数の支持部で中空に保持された振動部と、中空を挟んで振動部と対向する下部電極となる入力電極及び出力電極とを有し、入力電極及び出力電極が、前記振動部と交差する線上に沿って互いに対向して配置され、振動部がねじれ振動とたわみ振動を起こすようにして成る。
【０００８】
本発明に係る微小共振器の好ましい形態は、上記微小共振器において、振動部が２つの支持部を節としたたわみ振動と、２つの支持部を結ぶ線を軸としたねじれ振動を起こすようにして成る。
さらに、好ましい形態は、振動部が、２つの支持部を結ぶ線上のねじれの軸となる部分の両側に前記下部電極からの静電力を受ける羽部を有して成る。
さらに好ましい形態は、支持部、振動部及び下部電極が多結晶シリコンにより形成されて成る。
【０００９】
本発明に係るバンドパスフィルタは、上述したいずれかの微小共振器から成ることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る半導体装置は、上述したいずれかの微小共振器を有して成ることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る通信装置は、送信信号及び／又は受信信号の帯域制限を行うフィルタを備えた通信装置において、フィルタとして、上述したいずれかの微小共振器によるフィルタが用いられて成ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る微小共振器によれば、２つの振動モードを利用することで、単一構造で２つの異なる共振周波数を持つ微小共振器を提供することができる。異なる振動モードを起こすので、２つの共振周波数を独立に調整することができる。従って、所要の帯域幅のバンドパスフィルタに適用して好適ならしめる。
【００１３】
１つまたは複数の支持部で中空に保持された振動部と、中空を挟んで対向する下部電極となる入力電極及び出力電極とを有し、入出力電極を振動部と交差する線上にそって互いに対向するように配置し、振動部をねじれ振動とたわみ振動を起こすような構成とすることにより、単一構造で２つの共振周波数を独立に制御できる微小共振器を提供することができる。
振動部にねじれの軸となる部分の両側に羽部を有する構成とすることにより、ねじれ振動、たわみ振動を起こさせることができる。
【００１４】
本発明に係るバンドパスフィルタによれば、上記微小共振器を用いるので、帯域幅を任意に変えることが可能で、また中心周波数を任意に設定することができるバンドパスフィルタを提供することができる。
【００１５】
本発明に係る半導体装置によれば、半導体装置の構成要素となる共振器に上述の本発明による微小共振器を用いることにより、共振器が小型化され占有面積も小さくなり且つ優れた特性を有し、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【００１６】
本発明に係る通信装置によれば、帯域フィルタとして本発明の微小共振器によるフィルタを用いることにより、帯域フィルタが小型化され占有面積も小さくなり且つ優れたフィルタ特性が得られ、信頼性の高い通信装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
図１乃至図３に、本発明に係る微小共振器の一実施の形態を示す。本実施の形態で対象とする微小共振器は、マイクロスケール、ナノスケールの素子である。なお、図１は本実施の形態の斜視図、図２はその上面図、図３はその側面図である。
【００１９】
本実施の形態に係る微小共振器１は、図１乃至図３に示すように、表面を絶縁膜で被覆した半導体基板、あるいは絶縁性基板などの基板２上に下部電極となる入力電極３と出力電極４が形成され、この入力電極３及び出力電極４に対向するように微小な高さの中空部分（いわゆる微小空間）５を挟んで振動部となるビーム（いわゆる梁）６を備えて成る。このビーム、すなわち振動部６の両端は、支持部７〔７Ａ，７Ｂ〕を介して基板２上に形成された電極８〔８Ａ，８Ｂ〕に接続される。振動部６は、その幅方向の中心Ｏを通り、両支持部７Ａ，７Ｂを結ぶ軸線１０を中心に左右対称の形状をなし、支持部７Ａ，７Ｂの近傍に所要の幅Ａ及び所要の長さＢのくびれ部分１１〔１１Ａ，１１Ｂ〕を有して、このくびれ部分１１により中央の振動部分の両側に羽部１２〔１２Ａ，１２Ｂ〕を形成して構成される。
【００２０】
一方、入力電極３及び出力電極４は、振動部６の中心Ｏを通り、軸線１０と交差（本例では直交）する軸線１４上において、互いに対向して配置される。この場合、入力電極３及び出力電極４は振動部６のそれぞれの羽部１２Ａ．１２Ｂに対応して配置される。すなわち、入力電極３は、振動部６の一方の羽部１２Ａの下部に且つ羽部より多少軸線１０側に入り込むように配置される。また、出力電極４は、振動部６の他方の羽部の下部に且つ羽部１２Ｂより多少内側（軸線１０側）に入り込むように形成される。
【００２１】
次に、本実施の形態の微小共振器１の動作を説明する。振動部６には所要の直流バイアス電圧（以下ＤＣバイアス電圧という）が印加される。入力電極３に所要の周波数信号が入力されると、ＤＣバイアス電圧が印加された振動部６と入力電極３間に生じる静電力で振動部６が共振し、出力電極４から所要の周波数信号が出力される。このとき、振動部６では２つの異なる振動モードで振動されることになる。
【００２２】
すなわち、１つ目の振動モードは、入力電極３に入力された信号で微小空間５を隔てた振動部６の羽部１２Ａが静電駆動により振動する振動モードである。このときの振動部６は、その両端が支持部７Ａ，７Ｂによって固定されているため、軸線１０を中心に羽部１２Ａ，１２Ｂがくびれ部１１Ａ，１１Ｂの所でねじれるように振動する、所謂ねじれ振動を起こす。これにより、羽部１２Ｂを通じて出力電極４に信号が伝わり、共振器として機能する。２つ目の振動モードは、羽部１２Ａ及び羽部１２Ｂを含む振動部６が入力電極３に入力された信号により、支持部７Ａ，７Ｂを節として振動する、所謂たわみ振動である。
【００２３】
従って、本実施の形態に係る微小共振器１は、ねじれ振動とたわみ振動による２つの共振周波数を持つ共振器として機能する。ここで、振動部６の各部の寸法を変化させることで、２つの共振周波数を独立に変化させることが可能となる。
【００２４】
図４の微小共振器１において、振動部６の幅を３μｍ、くびれ部１１Ａ，１１Ｂの幅Ａ，長さＢをそれぞれ１μｍとして、羽部１２Ａ，１２Ｂの長さＬ1 を変化させたときの、ねじれ振動、たわみ振動の各共振周波数のシミュレーションによる計算結果を図５に示す。図５において、曲線ａはねじれ振動、曲線ｂはたわみ振動の場合である。羽部１２Ａ，１２Ｂの長さＬ1 を変化させることにより、ねじれ振動、たわみ振動に各共振周波数の差を任意に調整することが可能である。
また、振動部１２Ａ，１２Ｂの厚さを変化させることで、２つの共振周波数を高周波側、低周波側にシフトすることができる。
【００２５】
本実施の形態の微小共振器では、次のように考えることができる。図４において、くびれ部１１Ａ，１１Ｂの幅Ａ，長さＢ一定にして、羽部１２Ａ，１２Ｂの長さＬ1 を大きくすれば、支持部７Ａ，７Ｂを支点としたねじれの変位に対するばね定数が小さくなり、ねじれ振動の共振周波数が低くなる。たわみ振動も同様にたわみの変位に対するばね定数が小さくなり、たわみ振動の共振周波数も低くなる。
逆に、くびれ部１１Ａ，１１Ｂの幅Ａ，長さＢ一定にして、羽部１２Ａ，１２Ｂの長さＬ1 を小さくすれば、支持部７Ａ，７Ｂを支点としたねじれの変位に対するばね定数が大きくなり、ねじれ振動の共振周波数が高くなる。たわみ振動も同様にたわみの変位に対するばね定数が大きくなり、たわみ振動の共振周波数も高くなる。
【００２６】
羽部１２Ａ，１２Ｂの長さＬ1、くびれ部１１Ａ，１１Ｂの長さＢを一定にして、くびれ部１１Ａ，１１Ｂの幅Ａを大きくすれば、ねじれの変位に対するばね定数が大きくなり、ねじれ振動による共振周波数が高くなる。たわみ振動も同様にたわみの変位に対するばね定数が大きくなり、たわみ振動の共振周波数も高くなる。
逆に、羽部１２Ａ，１２Ｂの長さＬ1、くびれ部１１Ａ，１１Ｂの長さＢを一定にして、くびれ部１１Ａ，１１Ｂの幅Ａを小さくすれば、ねじれの変位に対するばね定数が小さくなり、ねじれ振動による共振周波数が低くなる。たわみ振動も同様にたわみの変位に対するばね定数が小さくなり、たわみ振動の共振周波数も低くなる。
【００２７】
上述した本実施の形態の微小共振器１においては、ねじれ振動によって伝わる信号とたわみ振動により伝わる信号の位相が、互いに１８０°異なる。すなわち、ねじれ振動では、図６に示すように、軸線１０を中心にくびれ部１１Ａ，１１Ｂにおいて回動するように振動するため、羽部１２Ａが入力電極３から離れると、羽部１２Ｂは逆に出力電極４に近づき、羽部１２Ａが入力電極３に近づくと、羽部１２Ｂは出力電極４から離れることになり、入力信号に対して出力信号の位相が逆位相になる。一方、たわみ振動では、図７に示すように、振動部６が入力電極３に近づけば、出力電極４にも同様に近づき、振動部６が入力電極３から離れれば、出力電極４からも離れることになり、入力信号に対して出力信号の位相は同相になる。
【００２８】
本実施の形態の微小共振器１は、このようにねじれ振動によって伝わる信号と、たわみ振動によって伝わる信号の位相が１８０°異なるので、２つの共振ピークを近接させることで、バンドパスフィルタとして機能させることができる。すなわち、図８（図５も参照）に示すように、１つの微小共振器１からたわみ振動による共振特性ｂ1 と、これとは逆位相のねじれ振動による共振特性ａ1 が得られ（図８Ａ参照）、この２つの共振ピーク（中心周波数）を近接をさせることで、図８Ｂに示すように、所要の帯域幅の信号透過特性、いわゆるフィルタ特性ｃを有するバンドパスフィルタが得られる。図９に、この微小共振器１を用いたバンドパスフィルタの回路図を示す。図４、図５の例では、中心周波数１３０ＭＨｚについて述べたが、振動部６の幅，長さ，厚さを変化させることで、中心周波数、帯域幅を可変に設計することができる。
【００２９】
次に、図１０を用いて上述の微小共振器１の製造方法の一実施の形態を説明する。
先ず、図１０Ａに示すように、高抵抗のシリコン基板２１の上面に絶縁膜２２を形成する。本例では減圧ＣＶＤによる酸化シリコン膜（ＳｉＯ２膜）２２１と、プラズマＣＶＤによる窒化シリコン膜（ＳｉＮ膜）２２２との複合膜で絶縁膜２２を成膜する。
【００３０】
次に、図１０Ｂに示すように、絶縁膜２２上に導電性膜、本例では高濃度に不純物ドープされた多結晶シリコン層２３を減圧ＣＶＤにより形成する。そして、この多結晶シリコン層２３をパターニングし  下部電極となる入力電極３及び出力電極４と、入出力電極３、４の両側の駆動用電極８〔８Ａ，８Ｂ〕とを形成する。
【００３１】
次に、図１０Ｃに示すように、表面に犠牲層２４を形成する。本例では減圧ＣＶＤにより犠牲層２４となる酸化シリコン層（ＳｉＯ２膜）を形成する。その後、犠牲層２４に対して振動部の支持部となる部分に開口２５を形成する。ここで、形成する犠牲層２４の厚さｄは、下部電極と振動部間の中空部分（空間）の厚さに設定される。
【００３２】
次に、図１０Ｄに示すように、開口２５を埋めるように表面に導電膜、本例では高濃度に不純物ドープされた多結晶シリコン層２６を減圧ＣＶＤにより形成する。その後、パターニングしてくびれ部１１Ａ，１１Ｂ（図示せず）を有する振動部６と、駆動用電極８〔８Ａ，８Ｂ〕に接続した振動部６の支持部７〔７Ａ，７Ｂ〕を形成する。
【００３３】
次に、図１０Ｅに示すように、犠牲層２４を選択的に除去する。本例では犠牲層２４を酸化シリコン層で形成したので、フッ酸によるウェットエッチングによりこの酸化シリコン２４を除去する。これにより、下部電極となる入力電極３及び出力電極４と振動部６間に所要の中空（空間）５が形成された目的とする微小共振器１を得る。
【００３４】
上述の本実施の形態に係る微小共振器１によれば、振動部６の両端側にくびれ部１１Ａ，１１Ｂを有し、振動部６の軸線１０と直交する軸線１４上に相対向して入力電極３及び出力電極４を配置した構成とすることにより、単一の構造でねじれ振動とたわみ振動の２つの共振モードを起こし、２つの異なる共振周波数を有する共振器を実現することができる。そして、この微小共振器１では、振動部６の寸法、厚さを変化させることで、各共振周波数の周波数を独立に制御することができる。
【００３５】
本実施の形態の微小共振器１は、ねじれ振動によって伝わる信号と、１次のたわみ振動によって伝わる信号は、位相が１８０°異なるので、２つの共振ピークを近接させることで、バンドパスフィルタとして機能させることができる。バンドパスフィルタとして利用する際、２つの共振周波数の差を制御することにより、信号透過帯域を任意に変えることができる。また、振動部６の厚さを制御することにより、バンドパスフィルタの中心周波数を任意に設定することが可能になる。
【００３６】
上述の実施の形態では、微小共振器の振動部をその両端が支持された、いわゆる両持ち梁構造としたが、その他、振動部をその一端が支持された、いわゆる片持ち梁構造とした場合にも本発明は適用することができる。
【００３７】
本発明に係る他の実施の形態においては、上述の微小共振器を用いて、信号フィルタ、ミキサー、及びそれらが含まれるＳｉＰ（システム・イン・パッケージ）デバイスモジュール、ＳｏＣ（システム・オン・チップ）デバイスモジュール等の半導体装置を構成することができる。
本実施の形態に係る半導体装置によれば、半導体装置の構成要素となる共振器に上述の単一構造で２つの異なる共振周波数を持ち、２つの共振周波数を独立に調整できる微小共振器を用いることにより、共振器の小型化、占有面積の低減が図られ、且共振器として優れた特性を有し、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【００３８】
上述した実施の形態の静電駆動型の微小共振器は、高周波（ＲＦ）フィルタ、中間周波数（ＩＦ）フィルタ等の帯域信号フィルタとして用いることができる。
【００３９】
本発明は、上述した実施の形態の微小共振器によるフィルタを用いて構成される携帯電話、無線ＬＡＮ機器、無線トランシーバ、テレビチューナ、ラジオチューナ等の、電磁波を利用して通信する通信装置を提供することができる。
【００４０】
次に、本例のフィルタを適用した通信装置の構成例を、図１１を参照して説明する。
まず送信系の構成について説明すると、Ｉチャンネルの送信データとＱチャンネルの送信データを、それぞれデジタル／アナログ変換器（ＤＡＣ）２０１Ｉ及び２０１Ｑに供給してアナログ信号に変換する。変換された各チャンネルの信号は、バンド・パス・フィルタ２０２Ｉ及び２０２Ｑに供給して、送信信号の帯域以外の信号成分を除去し、バンド・パス・フィルタ２０２Ｉ及び２０２Ｑの出力を、変調器２１０に供給する。
【００４１】
変調器２１０では、各チャンネルごとにバッファアンプ２１１Ｉ及び２１１Ｑを介してミキサ２１２Ｉ及び２１２Ｑに供給して、送信用のＰＬＬ（phase-locked loop）回路２０３から供給される送信周波数に対応した周波数信号を混合して変調し、両混合信号を加算器２１４で加算して１系統の送信信号とする。この場合、ミキサ２１２Ｉに供給する周波数信号は、移相器２１３で信号位相を９０°シフトさせてあり、Ｉチャンネルの信号とＱチャンネルの信号とが直交変調されるようにしてある。
【００４２】
加算器２１４の出力は、バッファアンプ２１５を介して電力増幅器２０４に供給し、所定の送信電力となるように増幅する。電力増幅器２０４で増幅された信号は、送受信切換器２０５と高周波フィルタ２０６を介してアンテナ２０７に供給し、アンテナ２０７から無線送信させる。高周波フィルタ２０６は、この通信装置で送信及び受信する周波数帯域以外の信号成分を除去するバンド・パス・フィルタである。
【００４３】
受信系の構成としては、アンテナ２０７で受信した信号を、高周波フィルタ２０６及び送受信切換器２０５を介して高周波部２２０に供給する。高周波部２２０では、受信信号を低ノイズアンプ（ＬＮＡ）２２１で増幅した後、バンド・パス・フィルタ２２２に供給して、受信周波数帯域以外の信号成分を除去し、除去された信号をバッファアンプ２２３を介してミキサ２２４に供給する。そして、チャンネル選択用ＰＬＬ回路２５１から供給される周波数信号を混合して、所定の送信チャンネルの信号を中間周波信号とし、その中間周波信号をバッファアンプ２２５を介して中間周波回路２３０に供給する。
【００４４】
中間周波回路２３０では、供給される中間周波信号をバッファアンプ２２５を介してバンド・パス・フィルタ２３２に供給して、中間周波信号の帯域以外の信号成分を除去し、除去された信号を自動ゲイン調整回路（ＡＧＣ回路）２３３に供給して、ほぼ一定のゲインの信号とする。自動ゲイン調整回路２３３でゲイン調整された中間周波信号は、バッファアンプ２３４を介して復調器２４０に供給する。
【００４５】
復調器２４０では、供給される中間周波信号をバッファアンプ２４１を介してミキサ２４２Ｉ及び２４２Ｑに供給して、中間周波用ＰＬＬ回路２５２から供給される周波数信号を混合して、受信したＩチャンネルの信号成分とＱチャンネルの信号成分を復調する。この場合、Ｉ信号用のミキサ２４２Ｉには、移相器２４３で信号位相を９０°シフトさせた周波数信号を供給するようにしてあり、直交変調されたＩチャンネルの信号成分とＱチャンネルの信号成分を復調する。
【００４６】
復調されたＩチャンネルとＱチャンネルの信号は、それぞれバッファアンプ２４４Ｉ及び２４４Ｑを介してバンド・パス・フィルタ２５３Ｉ及び２５３Ｑに供給して、Ｉチャンネル及びＱチャンネルの信号以外の信号成分を除去し、除去された信号をアナログ／デジタル変換器（ＡＤＣ）２５４Ｉ及び２５４Ｑに供給してサンプリングしてデジタルデータ化し、Ｉチャンネルの受信データ及びＱチャンネルの受信データを得る。
【００４７】
ここまで説明した構成において、各バンド・パス・フィルタ２０２Ｉ，２０２Ｑ，２０６，２２２，２３２，２５３Ｉ，２５３Ｑの一部又は全てとして、本例の構成のフィルタを適用して帯域制限することが可能である。また、図９の例では、無線送信及び無線受信を行う通信装置としたが、有線の伝送路を介して送信及び受信を行う通信装置が備えるフィルタに適用してもよく、さらに送信処理だけを行う通信装置や受信処理だけを行う通信装置が備えるフィルタに、本例の構成のフィルタを適用してもよい。
【００４８】
本実施の形態に係る通信装置によれば、帯域フィルタに本発明の微小振動子によるフィルタを用いることにより、帯域フィルタの小型化、占有面積の低減が図られ、且優れたフィルタ特性が得られ、信頼性の高い通信装置を提供することができる。
【００４９】
図１１の例では、無線送信及び無線受信を行う通信装置としたが、有線の伝送路を介して送信及び受信を行う通信装置が備えるフィルタに適用してもよく、さらに送信処理だけを行う通信装置や受信処理だけを行う通信装置が備えるフィルタに、上述下実施の形態の構成のフィルタを適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係る微小共振器の一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る微小共振器の一実施の形態を示す上面図である。
【図３】本発明に係る微小共振器の一実施の形態を示す側面図である。
【図４】本実施の形態の２つの共振周波数を独立に制御できる説明に供するモデル図である。
【図５】本実施の形態の微小共振器の振動部の長さＬ1 を変化させたときの各共振周波数のシミュレーションによる計算結果を示すグラフである。
【図６】本発明に係る微小共振器の一方の振動モードの説明に供する説明図である。
【図７】本発明に係る微小共振器の他方の振動モードの説明に供する説明図である。
【図８】Ａ，Ｂ  本発明の微小共振器をバンドパスフィルタに適用したときの、フィルタ特性の説明図である。
【図９】本発明の微小共振器によるバンドパスフィルタの回路図である。
【図１０】本発明の微小共振器の製造方法の一実施の形態を示す製造工程図である。
【図１１】本発明に係る通信装置の一実施の形態を示す構成図である。
【符号の説明】
【００５１】
１・・微小共振器、２・・基板、３・・入力電極、４・・出力電極、５・・空間、６・・振動部、７〔７Ａ，７Ｂ〕・・支持部、８〔８Ａ，８Ｂ〕・・駆動用電極、１０、１４・・軸線、１１〔１１Ａ，１１Ｂ〕・・くびれ部、１２〔１２Ａ，１２Ｂ〕・・羽部
【図１】
2006222562.tif 000003
【図２】
2006222562.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006222562.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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