(57)【要約】  【課題】  出射軌道の飛行距離を変化させて２回の測定を行っても、試料成分が多数ある場合には飛行時間スペクトル上でピークが混在して同一種イオン由来のピークの判別が困難になる。  【解決手段】  データ処理部では、分析条件を変えて実行した２回の測定による飛行時間スペクトル上のピークの中心時間を比較して同一種イオン由来のピークを探す（Ｓ３）。その処理で判別不能なピークが存在した場合には（Ｓ４でＮ）、今度はピーク形状（例えばピーク半値幅）の類似性により同一種イオン由来のピークを探す（Ｓ５）。そして、全てのピークの対応関係が明確になったならば、飛行時間の差から各イオンの質量数を概算し（Ｓ６）、その概算値により周回軌道の周回数を確定する（Ｓ７）。その後に、周回数と飛行時間とから正確な質量数を求める（Ｓ８）。【選択図】  図７
2006278145.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン源から出発した各種イオンを略同一の軌道に沿って１乃至複数回繰り返し飛行させた後に検出器に導入することで、前記イオンを質量数に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置において、
a)前記イオン源を出発した位置から前記軌道に入るまで若しくはイオンが前記軌道を離れる位置から検出器に到達するまでの間での実効的な飛行距離、又は通過するイオンを減速させる又は加速させる力の付与の状態、が相違する少なくとも２つの態様で、それぞれイオンの飛行時間を測定する測定手段と、
b)前記測定手段による測定により得られる少なくとも２つの飛行時間スペクトルに現れるピークの形状を比較することにより同一種のイオンに由来するピークを見つけるピーク同定手段と、
c)前記ピーク同定手段により見い出された同一種のイオンに由来するピークから得られる飛行時間の差に基づいて該イオンの質量数を推定する処理手段と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
【請求項２】
イオン源から出発した各種イオンを略同一の軌道に沿って１乃至複数回繰り返し飛行させた後に検出器に導入することで、前記イオンを質量数に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置において、
a)前記イオン源を出発した位置から前記軌道に入るまで若しくはイオンが前記軌道を離れる位置から検出器に到達するまでの間の実効的な飛行距離、又は、通過するイオンを減速させる又は加速させる力の付与の状態、が相違する３つの態様で、それぞれイオンの飛行時間を測定する測定手段と、
b)前記測定手段による測定で得られる２つの飛行時間スペクトルに現れるピークのうち同一種のイオンに由来するピークを想定し、該想定の下に他の１つの飛行時間スペクトルに現れるピークの位置を仮定してその仮定の位置にピークが存在するか否かを判定することにより同一種のイオンに由来するピークを見つけるピーク同定手段と、
c)前記ピーク同定手段により見い出された同一種のイオンに由来するピークから得られる飛行時間の差に基づいて該イオンの質量数を推定する処理手段と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は飛行時間型質量分析装置に関し、更に詳しくは、分析対象であるイオンが略同一の軌道を周回運動又は往復運動するように飛行空間が形成された飛行時間型質量分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
飛行時間型質量分析装置（以下、ＴＯＦＭＳと略す）では、一般的に、電場により加速したイオンを電場及び磁場を有さない飛行空間内に導入し、検出器に到達するまでの飛行時間に応じて各種イオンを質量数毎に分離する。或る質量数差を有する２種類のイオンに対する飛行時間の差は飛行距離が長いほど大きくなるから、質量数分解能を高くするためにはできるだけ飛行距離を長く確保することが好ましい。しかしながら、装置の大きさなどの制限によって多くの場合、直線的な飛行距離を長くとることは困難であるため、飛行距離を実効的に長くするような各種の構成が従来より提案されている。
【０００３】
例えば特許文献１に記載のＴＯＦＭＳでは、８の字状の閉じた周回軌道を形成し、この軌道に沿ってイオンを多数回繰り返し周回させることで飛行距離を実効的に長くしている。こうした周回軌道を利用した構成における問題点を、図２により説明する。図２は、８の字状の周回軌道に代えて、単純化した円形状の周回軌道を有するＴＯＦＭＳの概略構成図である。
【０００４】
イオン源１を出発点として飛行を開始したイオンはゲート電極４を介して飛行空間２内に導入され、該飛行空間２内で略円形状の周回軌道３に乗るように案内される。この図２ではイオンを周回軌道３上で周回させるための電場を生成する電極については記載を省略している。イオンは周回軌道３を１乃至複数回周回した後、ゲート電極４を通過した直後に周回軌道３を離れ、飛行空間２から出てその外側に設けられた検出器５に到達して検出される。周回軌道３における周回数を多くすればするほどイオンの飛行距離は長くなるから、質量数が近いイオン同士の飛行時間の差も拡大し、その両イオンを互いに分離し易くなる。ところが、質量数の小さなイオンほど速い速度で周回軌道３を回るため、周回軌道３を回る間に、質量数の小さなイオンが周回遅れである質量数の大きなイオンに追いついてしまい、ほぼ同時に周回軌道３から離れて検出器５に飛び込むということが起こり得る。
【０００５】
このようにこの種のＴＯＦＭＳでは、質量数が近いイオン同士の分離性は向上するものの、逆に周回する間に追い越しや追いつきが発生するような比較的質量数が離れているイオン同士の分離は却って困難になる場合がある。なお、同一軌道を一方向に繰り返し飛行する周回軌道でなく例えば直線状や曲線状の軌道を往復飛行させる場合でも、往復回数を増すことにより飛行距離を長くとることができる反面、上記と同様にイオンの追いつき・追い越しが起こり得るから同じ問題が発生する。
【０００６】
このような問題を回避するために、本出願人は特願２００４−２０９５７６号により次のような手法を提案している。即ち、イオン源１を出発点として飛行を開始したイオンが周回軌道３に乗るまでの入射軌道、又は周回軌道３上を所定回数周回したイオンがその周回軌道３を離れて検出器５に到達するまでの出射軌道のいずれかにおいて、その軌道の実効的な飛行距離が相違する２つの状態においてそれぞれ同一質量数のイオンの飛行時間を測定する。その２回の測定の飛行時間の差は質量数に依存するため、その飛行時間差から質量数を算出することができる。また、実効的な飛行距離を変える代わりに、入射軌道上又は出射軌道上において所定の場（例えば電場）を飛行中のイオンに付与する力を変化させることで同一質量数のイオンがその場を通過する際の通過時間を変化させ、それによって飛行時間に差が生じるようにしてもよいことも明らかにしている。
【０００７】
このような構成によれば、上記飛行時間差に基づいて質量数の概算値を求め、これにより周回軌道の途中で追いつきや追い越しが生じた異なる質量数を有するイオンによるピークを区別し、周回数を確定した上で正確に質量数を算出することができる。
【０００８】
ところが、分析対象である試料に含まれる成分の数が多い場合、飛行時間を横軸に、信号強度を縦軸にとった飛行時間スペクトル上では多数のピークが存在し、上述したように飛行距離やイオンへ付与する力を変化させることで得た２つの飛行時間スペクトルを比べても、一方の飛行時間スペクトル上での或るピークが他方の飛行時間スペクトル上でどのピークに対応するのかの判別がつかない場合がある。この対応関係が明らかでないと飛行時間差が求まらず、そのため各ピークのイオンの周回数が確定しない。それによって、正確な質量数の算出もできなくなる。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−１３５０６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、例えば周回軌道を有する飛行時間型質量分析装置において、多数の成分を含むような試料を分析した場合でも、飛行時間スペクトルに現れる各ピークの元となるイオンの周回数を高い精度で求めることができ、ひいては各イオンの質量数を正確に求めることができる飛行時間型質量分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために成された第１発明は、イオン源から出発した各種イオンを略同一の軌道に沿って１乃至複数回繰り返し飛行させた後に検出器に導入することで、前記イオンを質量数に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置において、
a)前記イオン源を出発した位置から前記軌道に入るまで若しくはイオンが前記軌道を離れる位置から検出器に到達するまでの間の実効的な飛行距離、又は、通過するイオンを減速させる又は加速させる力の付与の状態、が相違する少なくとも２つの態様で、それぞれイオンの飛行時間を測定する測定手段と、
b)前記測定手段による測定により得られる少なくとも２つの飛行時間スペクトルに現れるピークの形状を比較することにより同一種のイオンに由来するピークを見つけるピーク同定手段と、
c)前記ピーク同定手段により見い出された同一種のイオンに由来するピークから得られる飛行時間の差に基づいて該イオンの質量数を推定する処理手段と、
を備えることを特徴としている。
【００１２】
また上記課題を解決するために成された第２発明は、イオン源から出発した各種イオンを略同一の軌道に沿って１乃至複数回繰り返し飛行させた後に検出器に導入することで、前記イオンを質量数に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置において、
a)前記イオン源を出発した位置から前記軌道に入るまで若しくはイオンが前記軌道を離れる位置から検出器に到達するまでの間の実効的な飛行距離、又は、通過するイオンを減速させる又は加速させる力の付与の状態、が相違する３つの態様で、それぞれイオンの飛行時間を測定する測定手段と、
b)前記測定手段による測定で得られる２つの飛行時間スペクトルに現れるピークのうち同一種のイオンに由来するピークを想定し、該想定の下に他の１つの飛行時間スペクトルに現れるピークの位置を仮定してその仮定の位置にピークが存在するか否かを判定することにより同一種のイオンに由来するピークを見つけるピーク同定手段と、
c)前記ピーク同定手段により見い出された同一種のイオンに由来するピークから得られる飛行時間の差に基づいて該イオンの質量数を推定する処理手段と、
を備えることを特徴としている。
【００１３】
第１及び第２発明に係る飛行時間型質量分析装置において、上記「軌道」とは周回毎に全く同一の軌道ではなく、例えば周回毎に少しずつ軌道がずれる螺旋状のような軌道も含むものとする。また、直線状又は曲線状にイオンが往復する往復軌道も含むものとする。
【発明の効果】
【００１４】
第１及び第２発明に係る飛行時間型質量分析装置においては、分析対象の試料が多数の成分を含むものである場合、飛行時間スペクトル上では周回数の異なるイオンによるピークが混在するため、測定手段による態様の異なる２つの飛行時間スペクトルに現れているピークの中心時間を比べてもピークの対応関係を見い出せないことがある。
【００１５】
第１発明に係る飛行時間型質量分析装置では、その場合に、ピークの形状、具体的にはピークの幅（半値幅）や強度の情報、或いは同位体分布などを利用して同一種のイオンに由来するピークを見つける。一般にこの種の質量分析装置では、同一時刻にイオン源を発した同一質量数のイオンは同一時刻に検出器に到達するように時間的な収束が保証されるが、そのばらつきは質量数に関係する。即ち、ピークの幅は質量数に依存することになり、ピーク形状が類似しているものは同一質量数を持つイオンに由来するピークであると高い確率で以て推定することができる。
【００１６】
したがって、第１発明に係る飛行時間型質量分析装置によれば、同一試料についてたかだか２回の測定作業を実行することにより、該試料に含まれる成分数が多くても各成分に対するイオンのおおよその質量数を算出し、それに基づいてそれぞれ周回数を確定させて正確な質量数を求めることができる。したがって、幅広い質量数範囲にわたるイオンの質量分析を効率的に行うことができる。
【００１７】
一方、第２発明に係る飛行時間型質量分析装置では、３回の測定を実行して、その結果得られる３つの飛行時間スペクトルに基づいて同一種イオンに由来するピークを見出す。これにより、同一試料についての測定回数を第１発明よりも増やす必要はあるものの、同一種イオンに由来するピークをより高い信頼性を以て見い出すことができ、質量分析の精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
[実施例１]
本発明に係る飛行時間型質量分析装置の一実施例（実施例１）について、図面を参照して具体的に説明する。図１は本実施例によるＴＯＦＭＳの概略構成図である。既に説明した図２と同一又は相当する構成要素には同一符号を付している。
【００１９】
図１において、イオン源１から引き出された各種イオンはゲート電極４により飛行空間２内の周回軌道３に乗る。そして、イオンは周回軌道３に沿って１乃至複数回、周回運動した後にゲート電極４を通過した直後に周回軌道３を離れて飛行空間２から出射する。飛行空間２の出射口の外側には反射器（反射用電極）６が設置され、該反射器６により形成される電場によってイオンは折り返されて検出器５へと到達する。制御部８の制御の下に電圧印加部９から反射器６に印加する電圧を適宜に変化させて反射器６内での電場の電位勾配を変えると、同一種のイオンの折り返し位置が変化する。これにより、実効的な出射軌道の距離を変化させることができる。
【００２０】
いま、図１において次のように定めることとする。
Ｌｉｎ：イオン源１からゲート電極４までの飛行距離（以下、入射側飛行距離という）
Ｃｔ ：周回軌道３の１周の距離
Ｌｏｕｔ１ ：ゲート電極４から反射器６までの飛行距離（以下、出射側前半飛行距離という）
Ｌｏｕｔ２ ：反射器６から検出器５までの飛行距離（以下、出射側後半飛行距離という）
ｄ１ ：反射器６の１段目の電場間隔
ｄ２ ：反射器６の２段目の電場間隔
Ｖ１：反射器６の１段目の電圧
Ｖ２：反射器６の２段目の電圧
ｔ１：原子質量１００のイオンが周回軌道３を１周回るのに要した時間
ｔ２：イオン源１からのイオンの出発時点を０としたときに、イオンを反射器６へ向けて排出するような電圧をゲート電極４に印加するときの経過時間
ｍ ：イオンの質量数
Ｕ ：イオン源で加速されたイオンの運動エネルギー
【００２１】
こここでは一例として、上記パラメータを、Ｌｉｎ＝０．２５[ｍ]、Ｃｔ＝２[ｍ]、Ｌｏｕｔ１＝０．２５[ｍ]、Ｌｏｕｔ２＝０．５[ｍ]、ｄ１＝０．００８[ｍ]、ｄ２＝０．０６[ｍ]、Ｖ１＝２１００[Ｖ]、Ｖ２＝１３５０[Ｖ]、ｔ２＝５００μｓ、Ｕ＝３０００[ｅＶ]と定める。
【００２２】
時刻０においてイオンがイオン源１から加速されて、入射飛行軌道を飛行した後、周回軌道３に乗るものとする。ゲート電極４に印加される電圧によって発生する電場は、原子質量１００であるイオンが周回軌道を１周した時点で、入射飛行軌道を経て到来したイオンが周回軌道３に乗るような電場から既に周回軌道３に乗っているイオンが周回軌道３を回り続けるような電場に切り替わるものとする。また、ｔ２（５００μｓ）において、ゲート電極４に印加される電圧によって発生する電場は、それまで周回軌道３を周回していたイオンが周回軌道３を離れて反射器６に向かう出射軌道を進むような電場に切り替わるものとする。
【００２３】
このとき、質量数が１００〜２５００のイオンについての質量数と飛行時間との関係は図３に示すようになる。質量数の小さなイオンは飛行速度が速いため、質量数の大きなイオンよりも周回軌道３を多くの回数回ることになる。
【００２４】
いま仮に原子質量単位が１００毎のイオンが観測されたとすると、図４に示すように、上記図３に示すカーブ上の特定の点のみがプロットされた図となる。但し、実際に検出器５においては質量数は不明であるので、信号強度が等しいと仮定した場合には、図５に示すような飛行時間スペクトルが得られることになる。図５では異なる回数だけ周回したイオンのピークが混じってしまっており、どのピークが何回周回したイオンに対応するのかが判別できない。
【００２５】
いま説明を簡単にするために飛行時間６２０〜６４０μｓの範囲にのみ着目する。図６（ａ）はＶ１＝２１００[Ｖ]としたときの６２０〜６４０μｓの範囲のスペクトルである。これに対し、反射器６の１段目の電圧をＶ１＝２０５０[Ｖ]に変化させて２回目の測定を行う。電圧Ｖ１を下げたことにより、イオンは反射器６の奥まで入って折り返すから出射軌道の距離が長くなり、その分だけ飛行時間は長くなる。このときの６２０〜６４０μｓの範囲のスペクトルを図６（ｂ）に示す。このように多数のスペクトルが存在する場合（つまり多数の成分を同時に分析する場合）、図６（ａ）と図６（ｂ）とのピークの対応関係が不明確である。
【００２６】
具体的に言うと、図６（ａ）において６３３、６３６μｓ付近のピークＰ２、Ｐ１については、図６（ｂ）において６３３．５、６３７μｓ付近のピークＰｂ、Ｐａがそれぞれ対応することは容易に判別できる。ところが、図６（ａ）において６２３μｓ付近でごく近接している２本のピークについては、図６（ｂ）においていずれのピークに対応するのかを判別するのは困難である。
【００２７】
そこで、この実施例のＴＯＦＭＳでは、ピークの中心時間だけでは同一種のイオンに由来するピークの判別ができない場合に、ピークの形状の情報を利用する。ここで言うピーク形状の情報とは、ピークの半値幅、強度のほか、組成による同位体分布などが考えられる。原理的にはピークの半値幅は質量数に依存するため、Ｖ１＝２１００[Ｖ]とした１回目の測定で得られた飛行時間スペクトルと、Ｖ１＝２０５０[Ｖ]とした２回目の測定で得られた飛行時間スペクトルとで類似した形状のピークを探すことで、同一種のイオンに由来する対応したピークを見い出すことができる。
【００２８】
この実施例のＴＯＦＭＳにおける分析手順を、図７に示すフローチャートに従って説明する。即ち、上述したように反射器６の１段目の電圧Ｖ１を所定の値（上記例では２１００[Ｖ]）に設定して１回目の測定を実行し、飛行時間スペクトルデータを収集する（ステップＳ１）。このデータに基づいて作成されるのが、例えば図６（ａ）である。次に、反射器６の１段目の電圧Ｖ１を変化させて（上記例では２０５０[Ｖ]）２回目の測定を実行し、飛行時間スペクトルデータを収集する（ステップＳ２）。このデータに基づいて作成されるのが、例えば図６（ｂ）である。
【００２９】
データ処理部７では、２つの飛行時間スペクトルに現れているピークの中心時間（ピークトップに対応した飛行時間）を比較して同一種イオンに由来するピークの判別を試みる（ステップＳ３）。例えば、１回目の測定による飛行時間スペクトルにおける１個のピークに対して所定の遅延時間幅を設定し、２回目の測定による飛行時間スペクトルにおいてその遅延時間幅内にピークが１個のみ存在した場合には両者は同一種イオンに由来するピークであると判断する。これに対し、２回目の測定による飛行時間スペクトルにおいてその遅延時間幅内にピークが複数存在した場合には同一種イオンに由来するピークが判別できなかったものとする。上記「所定の遅延時間幅」は、１回目と２回目の測定の条件の相違の下で、最も大きな質量数のイオンの飛行時間の差を考慮して決めることができる。
【００３０】
そして、全てのピークの判別が可能であった場合（ステップＳ４でＹ）にはステップＳ６へと進み、判別できなかったピークが存在する場合にはステップＳ５の処理を実行する。ステップＳ５では、上述したように１回目の測定による飛行時間スペクトルにおけるピークの形状と類似した形状のピークを２回の測定による飛行時間スペクトルにおいて探索する。実際には、全てのピーク形状を調べる必要はなく、１回目の測定による飛行時間スペクトルにおける１個のピークに対して、２回目の測定による飛行時間スペクトルにおいてその遅延時間幅内に存在する複数のピークについて調べれば十分である。基本的にはピークの半値幅で比較すればよいが、１回目と２回目の測定の測定間隔が短ければ同一種のイオンに対する信号強度は同程度得られる筈なので、信号強度を比較してもよい。また、同位体が存在する場合には同位体分布パターンを利用することができる。これによって、例えば図６（ａ）及び（ｂ）に示したピークについても対応関係を明らかにすることができる。
【００３１】
上記ステップＳ３及びＳ５により２つの飛行時間スペクトルにおいてピークの対応関係が明らかになったならば、各イオンについて飛行時間の差から質量数を概算する（ステップＳ７）。そして、その質量数の概算値から周回数を確定する（ステップＳ８）。周回数が確定したならば、各イオンの飛行時間に基づいて正確な飛行時間を算出し直す（ステップＳ９）。このようにして、目的試料に含まれる各イオンについてそれぞれ高い精度で質量数を求めることができる。
【００３２】
[実施例２]
次に、本発明に係る飛行時間型質量分析装置の他の実施例（実施例２）について説明する。この実施例２によるＴＯＦＭＳは、上記実施例１とは分析手順が相違するので、その点について図８に示すフローチャートに従って説明する。
【００３３】
即ち、上述したように反射器６の１段目の電圧Ｖ１を所定の値（例えば２１００[Ｖ]）に設定して１回目の測定を実行し、飛行時間スペクトルデータを収集する（ステップＳ１１）。次に、反射器６の１段目の電圧Ｖ１を変化させて（例えば２０５０[Ｖ]）２回目の測定を実行し、飛行時間スペクトルデータを収集する（ステップＳ１２）。さらに、反射器６の１段目の電圧Ｖ１を変化させて（例えば２０００[Ｖ]）３回目の測定を実行し、飛行時間スペクトルデータを収集する（ステップＳ１３）。
【００３４】
データ処理部７では、まず１回目及び２回目の測定による２つの飛行時間スペクトルに現れているピークの中心時間（ピークトップに対応した飛行時間）を比較して同一種イオンに由来するピークの判別を試みる（ステップＳ１４）。ピークの判別方法は実施例１と同様に、例えば、１回目の測定による飛行時間スペクトルにおける１個のピークに対して所定の遅延時間幅を設定し、２回目の測定による飛行時間スペクトルにおいてその遅延時間幅内にピークが１個のみ存在した場合には両者は同一種イオンに由来するピークであると判断する。これに対し、２回目の測定による飛行時間スペクトルにおいてその遅延時間幅内にピークが複数存在した場合には同一種イオンに由来するピークが判別できなかったものとする。
【００３５】
そして、全てのピークの判別が可能であった場合（ステップＳ１５でＹ）にはステップＳ１７へと進み、判別できなかったピークが存在する場合にはステップＳ１６の処理を実行する。ステップＳ１６では、上述したように１回目及び２回目の測定による飛行時間スペクトルに加え、３回目の測定による飛行時間スペクトル上に現れているピークの中心位置を考慮する。具体的には、１回目の測定による飛行時間スペクトルにおける１個のピークに対して、２回目の測定による飛行時間スペクトルにおいてその遅延時間幅内に存在する有る１個のピークが対応していると仮定し、３回目の測定による飛行時間スペクトルにおいて対応するピークの出現位置を想定する。そして３回目の測定による飛行時間スペクトルにおいて想定されたピークの出現位置に実際にピークが存在していた場合に、２回目の測定による飛行時間スペクトルにおける仮定が正しかったものと結論付ける。
【００３６】
例えば図９の飛行時間スペクトルで説明すると、１回目の測定（Ｖ１＝２１００[Ｖ]）では近接している２本のピークが、Ｖ１＝２０５０[Ｖ]、Ｖ１＝２０００[Ｖ]と分析条件を変化させて出射側距離を変化させることでピーク間隔が開いてゆく。したがって、１回目と２回目の２回の測定結果ではピークの確定が困難な場合であっても、上述したように３回目の測定による飛行時間スペクトルを加えることでピークを容易に確定させることができるようになる。
【００３７】
なお、上記実施例はいずれも本発明の一実施例であるから、本発明の趣旨の範囲で適宜に修正、変更、追加などを行えることは明らかである。例えば、上記実施例では、イオンが周回軌道を離れてから検出器に到達するまでの間に反射器を設けてその反射器に印加する電圧を変化させることで実効的な飛行距離を変えていたが、飛行距離を変える手法はこれに限らない。また、飛行距離を変えるのではなく、イオンが通過する電場などの変化させることでイオンに対する減速或いは加速度合いを変えて飛行時間に差が生じるようにしてもよい。例えば、本出願人が特願２００４−２０９５７６号により提案したような様々な形態に対し、本発明を適用することができることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施例（実施例１）によるＴＯＦＭＳの概略構成図。
【図２】従来のＴＯＦＭＳの概略構成図。
【図３】質量数が１００〜２５００のイオンについての質量数と飛行時間との関係を示す図。
【図４】図３において原子質量単位が１００毎のイオンが観測された場合の質量数と飛行時間との関係を示す図。
【図５】図４の場合で信号強度が同一であるとした場合の飛行時間スペクトルを示す図。
【図６】飛行時間６２０〜６４０μｓの範囲内における１回目の測定と２回目の測定の飛行時間スペクトルの一例を示す図。
【図７】実施例１によるＴＯＦＭＳの分析手順を示すフローチャート。
【図８】本発明の他の実施例（実施例２）によるＴＯＦＭＳの分析手順を示すフローチャート。
【図９】３回の測定の飛行時間スペクトルの一例を示す図。
【符号の説明】
【００３９】
１…イオン源
２…飛行空間
３…周回軌道
４…ゲート電極
５…検出器
６…反射器
７…データ処理部
８…制御部
９…電圧印加部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2006278145.tif 000010
【図９】
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