(57)【要約】【課題】構造が簡単であり、移動部材の平面に占める機構のサイズを小さくすることができる移動装置を提供すること。【解決手段】第１アクチュエータ３０は、固定部材１１に固定されている第１回転駆動部３１と、第１回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて第１回転駆動部により偏芯回転を発生するための第１ロータリストロークベアリング３２と、第１ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により第２方向に沿って移動部材１３を移動させるための第１ガイド部３３とを有し、第２アクチュエータ４０は、固定部材に固定されている第２回転駆動部４１と、第２回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて第２回転駆動部により偏芯回転を発生するための第２ロータリストロークベアリング４２と、第２ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により第１方向に沿って移動部材を移動させるための第２ガイド部４３とを有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部材と、
前記固定部材に対して移動するための移動部材と、
前記固定部材と前記移動部材の間に配置されて前記固定部材と前記移動部材を接続しており、前記移動部材の移動方向である第１方向と、前記第１方向と直交する前記移動部材の移動方向である第２方向と、前記第１方向と前記第２方向により形成される平面における回転方向と、に沿って前記移動部材の移動を許容するコンプライアンス装置と、
前記固定部材と前記移動部材との間に配置されて、前記コンプライアンス装置の第１側部側の位置において前記第１方向に関して配列された複数の第１アクチュエータと、
前記固定部材と前記移動部材との間に配置されて、前記コンプライアンス装置の第１側部側の位置とは略直角方向の前記コンプライアンス装置の第２位置において前記第２方向に関して配置された第２アクチュエータと、を備え、
前記第１アクチュエータは、
前記固定部材に固定されている第１回転駆動部と、
前記第１回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて前記第１回転駆動部により偏芯回転を発生するための第１ロータリストロークベアリングと、
前記第１ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により前記第２方向に沿って前記移動部材を移動させるための第１ガイド部と、を有し、
前記第２アクチュエータは、
前記固定部材に固定されている第２回転駆動部と、
前記第２回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて前記第２回転駆動部により偏芯回転を発生するための第２ロータリストロークベアリングと、
前記第２ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により前記第１方向に沿って前記移動部材を移動させるための第２ガイド部と、を有していることを特徴とする移動装置。
【請求項２】
前記第１ガイド部は、前記第１ロータリストロークベアリングの端部に設けられた第１スライド部材と、前記移動部材に固定されて前記第１スライド部材を前記第１方向に案内する第１リニアガイド部材とを有し、
前記第２ガイド部は、前記第２ロータリストロークベアリングの端部に設けられた第２スライド部材と、前記移動部材に固定されて前記第２スライド部材を前記第２方向に案内する第２リニアガイド部材と、を有していることを特徴とする請求項１に記載の移動装置。
【請求項３】
前記第１回転駆動部と前記第２回転駆動部は、モータと、前記モータの前記出力軸の回転を減速する減速機と、を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の移動装置。
【請求項４】
前記コンプライアンス装置と前記第１ロータリストロークベアリングと前記第２ロータリストロークベアリングとは、前記第１方向と前記第２方向にそれぞれ直交する第３方向に沿って、前記固定部材に対する前記移動部材の移動を許容することを特徴とする請求項３に記載の移動装置。
【請求項５】
被搬送物を保持部により保持した状態で前記被搬送物を移動する移動装置を有する搬送装置であって、
前記移動装置は、
固定部材と、
前記保持部を有し、前記保持部により前記被搬送物を着脱自在に保持した状態で前記固定部材に対して移動するための移動部材と、
前記固定部材と前記移動部材の間に配置されて、前記移動部材の移動方向である第１方向と、前記第１方向と直交する前記移動部材の移動方向である第２方向と、前記第１方向と前記第２方向により形成される平面における回転方向と、に沿って前記移動部材の移動を許容するコンプライアンス装置と、
前記固定部材と前記移動部材の間に配置されて、前記コンプライアンス装置の第１側部側の位置において前記第１方向に関して配列された複数の第１アクチュエータと、
前記固定部材と前記移動部材の間に配置されて、前記コンプライアンス装置の第１側部側の位置とは略直角方向の前記コンプライアンス装置の第２位置において配置された第２アクチュエータと、を備え、
前記第１アクチュエータは、
前記固定部材に固定されている第１回転駆動部と、
前記第１回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて前記第１回転駆動部により偏芯回転を発生するための第１ロータリストロークベアリングと、
前記第１ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により前記第２方向に沿って前記移動部材を移動させるための第１ガイド部材と、を有し、
前記第２アクチュエータは、
前記固定部材に固定されている第２回転駆動部と、
前記第２回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて前記第２回転駆動部により偏芯回転を発生するための第２ロータリストロークベアリングと、
前記第２ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により前記第１方向に沿って前記移動部材を移動させるための第２ガイド部材と、を有していることを特徴とする移動装置を有する搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定部材に対して移動部材を移動させるための移動装置および移動装置を有する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
位置決めを行うためのステージなどとして適用できる縦横移動旋回テーブル機構が提案されており、このテーブル機構はたとえば組立装置、搬送装置、加工装置あるいは測定装置などに用いられる。縦横移動旋回テーブル機構は、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向の三軸方向に移動できる構造のものが提案されている。（たとえば特許文献１）。
【特許文献１】特許第２７０００５０号公報（第４頁ないし第６頁、図３、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に開示されているＸＹθテーブルでは、移動部材の下にモータが配置されるために、移動部材が上下動する機構、すなわちＸ，Ｙ方向に直交するＺ方向に移動する機構には使用することができない。ＸＹθテーブルのＸ，Ｙ，θ方向の移動機構は複雑であり、大きなスペースが必要であり重量が重くなる。モータの出力軸にはボールねじが取り付けられており、このボールねじはナットにかみ合っていて、回転運動を直線運動に変換する必要があり、機構が複雑であり、ボールねじのリード誤差や連結部の剛性、そしてバックラッシュの発生により、テーブルはＸ，Ｙ，θ方向に精度良く移動させることができない。モータとボールねじなどの部分は、移動部材のＸ，Ｙ平面に対して平行に取り付けられているために、Ｘ，Ｙ平面に占める機構部分の大きさを小さくすることができない。
【０００４】
そこで本発明は上記課題を解消し、構造が簡単であり、移動部材の平面に占める機構のサイズを小さくすることができる移動装置および移動装置を有する搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的は、第１の発明にあっては、固定部材と、前記固定部材に対して移動するための移動部材と、前記固定部材と前記移動部材の間に配置されて前記固定部材と前記移動部材を接続しており、前記移動部材の移動方向である第１方向と、前記第１方向と直交する前記移動部材の移動方向である第２方向と、前記第１方向と前記第２方向により形成される平面における回転方向と、に沿って前記移動部材の移動を許容するコンプライアンス装置と、前記固定部材と前記移動部材との間に配置されて、前記コンプライアンス装置の第１側部側の位置において前記第１方向に関して配列された複数の第１アクチュエータと、前記固定部材と前記移動部材との間に配置されて、前記コンプライアンス装置の第１側部側の位置とは略直角方向の前記コンプライアンス装置の第２位置において前記第２方向に関して配置された第２アクチュエータと、を備え、前記第１アクチュエータは、前記固定部材に固定されている第１回転駆動部と、前記第１回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて前記第１回転駆動部により偏芯回転を発生するための第１ロータリストロークベアリングと、前記第１ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により前記第２方向に沿って前記移動部材を移動させるための第１ガイド部と、を有し、前記第２アクチュエータは、前記固定部材に固定されている第２回転駆動部と、前記第２回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて前記第２回転駆動部により偏芯回転を発生するための第２ロータリストロークベアリングと、前記第２ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により前記第１方向に沿って前記移動部材を移動させるための第２ガイド部と、を有していることを特徴とする移動装置により、達成される。
【０００６】
第１の発明の構成によれば、移動部材は固定部材に対して移動するためのものである。コンプライアンス装置は、固定部材と移動部材の間に配置されて固定部材と移動部材を接続している。このコンプライアンス装置は、第１方向と、第２方向と、そして回転方向に沿って移動部材の移動を許容するものである。第１方向と第２方向は、移動部材の移動方向である。回転方向は、第１方向と第２方向により形成される平面における回転方向である。
【０００７】
複数の第１アクチュエータは、固定部材と移動部材との間に配置される。複数の第１アクチュエータは、コンプライアンス装置の第１側部側の位置において第１方向に関して配列される。第２アクチュエータは、固定部材と移動部材との間に配置されて、コンプライアンス装置の第１側部側の位置とは略直角方向のコンプライアンス装置の第２位置において第２方向に関して配置される。第１アクチュエータの第１回転駆動部は、固定部材に固定されている。第１ロータリストロークベアリングは第１回転駆動部の出力軸において偏芯して取り付けられていて第１回転駆動部により偏芯回転を発生する。第１アクチュエータの第１ガイド部は、第１ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により第２方向に沿って移動部材を移動させる。
【０００８】
第２アクチュエータの第２回転駆動部は、固定部材に固定されている。第２アクチュエータの第２ロータリストロークベアリングは、第２回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて第２回転駆動部により偏芯回転を発生する。第２アクチュエータの第２ガイド部は、第２ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により第１方向に沿って移動部材を移動させる。
【０００９】
これにより、第２アクチュエータは、移動部材を第１方向に沿って移動させることができる。第１アクチュエータは、移動部材を第２方向に沿って移動させることができる。そして、第１アクチュエータと第２アクチュエータを同時に動作させることにより、移動部材は、第１方向と第２方向により形成される平面における回転方向に移動させることができる。したがって、移動装置は第１方向、第２方向および回転方向に移動することができる。
このように第１回転駆動部と第２回転駆動部は、それぞれ第１方向への移動部材の移動と、第２方向への移動部材の移動および回転方向に関する移動部材の移動を発生させることができる。
しかも、コンプライアンス装置、第１アクチュエータおよび第２アクチュエータは、固定部材と移動部材の間で配置することができるので、第１方向と第２方向により形成させる平面から見た機構部分の大きさを小さくすることができ、構造が簡単であり安価である。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記第１ガイド部は、前記第１ロータリストロークベアリングの端部に設けられた第１スライド部材と、前記移動部材に固定されて前記第１スライド部材を前記第１方向に案内する第１リニアガイド部材とを有し、前記第２ガイド部は、第２ロータリストロークベアリングの端部に設けられた第２スライド部材と、前記移動部材に固定されて前記第２スライド部材を前記第２方向に案内する第２リニアガイド部材と、を有していることを特徴とする。
【００１１】
第２の発明の構成によれば、第１ガイド部は第１スライド部材と第１リニアガイド部材を有している。第１スライド部材は第１ロータリストロークベアリングの端部に設けられている。第１リニアガイド部材は、移動部材に固定されて第１スライド部材を第１方向に案内するためのものである。
第２ガイド部は、第２スライド部材と第２リニアガイド部材を有している。この第２スライド部材は、第２ロータリストロークベアリングの端部に設けられている。第２リニアガイド部材は、移動部材に固定されて第２スライド部材を第２方向に案内する。
これにより、スライド部材とリニアガイド部材を用いるだけで、偏芯回転を直線移動に変換して、移動部材を固定部材に対して第２方向と第１方向に移動することができる。
【００１２】
第３の発明は、第１の発明または第２の発明の構成において、前記第１回転駆動部と前記第２回転駆動部は、モータと、前記モータの前記出力軸の回転を減速する減速機と、を有していることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、第１回転駆動部と第２回転駆動部は、モータと減速機を有している。
これにより、第１回転駆動部のモータと第２回転駆動部のモータを用いるだけで、移動部材を固定部材に対して第１方向、第２方向および回転方向に移動することができる。
【００１３】
第４の発明は、第３の発明の構成において、前記コンプライアンス装置と前記第１ロータリストロークベアリングと前記第２ロータリストロークベアリングとは、前記第１方向と前記第２方向にそれぞれ直交する第３方向に沿って、前記固定部材に対する前記移動部材の移動を許容することを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、コンプライアンス装置と第１ロータリストロークベアリングと第２ロータリストロークベアリングとは、第１方向と第２方向にそれぞれ直交する第３方向に沿って、固定部材に対する移動部材の移動を許容する。
これにより、移動部材は、固定部材に対して第３方向への移動を行うことができる。
【００１４】
上記目的は、第５の発明にあっては、被搬送物を保持部により保持した状態で前記被搬送物を移動する移動装置を有する搬送装置であって、前記移動装置は、固定部材と、前記保持部を有し、前記保持部により前記被搬送物を着脱自在に保持した状態で前記固定部材に対して移動するための移動部材と、前記固定部材と前記移動部材の間に配置されて、前記移動部材の移動方向である第１方向と、前記第１方向と直交する前記移動部材の移動方向である第２方向と、前記第１方向と前記第２方向により形成される平面における回転方向と、に沿って前記移動部材の移動を許容するコンプライアンス装置と、前記固定部材と前記移動部材の間に配置されて、前記コンプライアンス装置の第１側部側の位置において前記第１方向に関して配列された複数の第１アクチュエータと、前記固定部材と前記移動部材の間に配置されて、前記コンプライアンス装置の第１側部側の位置とは略直角方向の前記コンプライアンス装置の第２位置において配置された第２アクチュエータと、を備え、前記第１アクチュエータは、前記固定部材に固定されている第１回転駆動部と、前記第１回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて前記第１回転駆動部により偏芯回転を発生するための第１ロータリストロークベアリングと、前記第１ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により前記第２方向に沿って前記移動部材を移動させるための第１ガイド部材と、を有し、前記第２アクチュエータは、前記固定部材に固定されている第２回転駆動部と、前記第２回転駆動部の出力軸に対して偏芯して取り付けられて前記第２回転駆動部により偏芯回転を発生するための第２ロータリストロークベアリングと、前記第２ロータリストロークベアリングによる偏芯回転により前記第１方向に沿って前記移動部材を移動させるための第２ガイド部材と、を有していることを特徴とする移動装置を有する搬送装置により、達成される。
【００１５】
これにより、第２アクチュエータは、移動部材を第１方向に沿って移動させることができる。第１アクチュエータは、移動部材を第２方向に沿って移動させることができる。そして、第１アクチュエータと第２アクチュエータを同時に動作させることにより、移動部材は、第１方向と第２方向により形成される平面における回転方向に移動させることができる。したがって、移動装置は第１方向、第２方向および回転方向に移動することができる。
このように第１回転駆動部と第２回転駆動部は、それぞれ第１方向への移動部材の移動と、第２方向への移動部材の移動および回転方向に関する移動部材の移動を発生させることができる。
しかも、コンプライアンス装置、第１アクチュエータおよび第２アクチュエータは、固定部材と移動部材の間で配置することができるので、第１方向と第２方向により形成させる平面から見た機構部分の大きさを小さくすることができ、構造が簡単であり安価である。  
しかも、この移動装置を用いることにより、被搬送物は、第１方向、第２方向および回転方向に沿って移動して位置決めすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の移動装置の好ましい実施形態を示す斜視図である。図２は、図１の移動装置１０をＧ方向から見た側面図であるが、一部分の図示を省略している。
図１に示す移動装置１０は、固定部材１１、移動部材１３、コンプライアンス装置２０、複数の第１アクチュエータ３０，３０および１つの第２アクチュエータ４０を有している。
【００１７】
図１と図２に示す固定部材１１と移動部材１３は、たとえば平板状の部材である。固定部材１１と移動部材１３は、平行に配置されている。移動部材１３は、固定部材１１に対してＸ方向、Ｙ方向、θ方向に移動でき、しかも好ましくはＺ方向にも移動が許容されている。
Ｘ方向は第１方向に相当し、Ｙ方向は第２方向に相当し、θ方向は回転方向に相当する。またＺ方向は、第３方向に相当する。Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は、それぞれ直交している。θ方向は、Ｘ方向とＹ方向が形成する平面における回転方向であり、言い換えればＺ方向を中心とする回転方向である。Ｘ方向とＹ方向が形成する平面は、固定部材１１の平面である。また移動部材１３の平面は、Ｘ方向とＹ方向の平面に一致している。
【００１８】
図１と図２に示すように、固定部材１１と移動部材１３の間には、コンプライアンス装置２０が配置されている。図１に示す第１アクチュエータ３０と第２アクチュエータ４０は、それぞれ固定部材１１と移動部材１３の間に配置されている。
図１と図２に示すコンプライアンス装置２０の構造例について、図３を参照しながら説明する。
【００１９】
図３は、コンプライアンス装置２０のＺ方向に関する縦断面における構造例を示している。図３では、固定部材１１と移動部材１３の間にコンプライアンス装置２０が配置されている。コンプライアンス装置２０は、固定部２１と可動部２２を有している。固定部２１の上端部は固定部材１１の下面側に固定されている。可動部２２は移動部材１３の上面側に固定されている。
【００２０】
コンプライアンス装置２０は、固定部材１１に対して移動部材１３をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動を許容するための装置である。このコンプライアンス装置２０は、従動装置あるいは追従装置などとも呼ぶことができ、コンプライアンス装置２０は、移動部材１３を固定部材１１に対してＸ方向、Ｙ方向、θ方向およびＺ方向に沿って移動を許容することができる。
【００２１】
図３の固定部２１は、ピストン２１Ｃを有している。ピストン２１Ｃの上面側と下面側には、圧力室２１Ａ，２１Ｂが形成されている。この圧力室２１Ａ，２１Ｂへは圧縮空気の供給および排出によりピストン２１ＣがＺ方向に沿って移動することができる。このピストン２１Ｃは、シリンダ２１Ｄの中に収容されており、シリンダ２１Ｄは、圧縮空気の給排出ポート２１Ｅを有している。このシリンダ２１Ｄには、ガイド筒部２１Ｆとプレート２１Ｇが連結されている。
ガイド筒部２１Ｆは、摺動部材２１Ｈをボール２１Ｎを用いてＺ方向に沿ってガイドして移動するためのものである。この摺動部材２１Ｈは、摺動部材本体２１Ｉとピストン２１Ｃを有している。摺動部材本体２１Ｉとピストン２１Ｃは相互に連結されている。
これにより、シリンダ２１Ｄ内では、ピストン２１Ｃの両側の圧力室２１Ａ，２１Ｂに対して圧縮空気を給排気することにより、摺動部材２１Ｈのピストン２１Ｃと摺動部材本体２１Ｉは、Ｚ方向に沿って移動することができるようになっている。摺動部材２１Ｈとガイド筒部２１Ｆの間には、リテーナ２１Ｊと２つのスプリング２１Ｋ，２１Ｌを有している。
【００２２】
このスプリング２１Ｋ，２１Ｌは、リテーナ２１ＪをＺ方向に関して中立位置に保持するために付勢力をリテーナ２１Ｊの上と下から与える。リテーナ２１Ｊは、摺動部材２１ＨのＺ方向の移動に伴ってその方向に移動するが、スプリング２１Ｋ，２１Ｌに摺動部材２１Ｈからの力が作用しなくなった時には、摺動部材２１Ｈは中立位置に復帰される。
摺動部材２１Ｈの内側には、可動部２２が配置されている。この可動部２２はテーブル２２Ａを有している。テーブル２２Ａは、ベース板２２Ｂを有している。このベース板２２Ｂの上面側と下面側には、平面スライド要素２２Ｃを備えている。平面スライド要素２２Ｃは複数のボール２２Ｄである。ガイド筒部２１Ｆとカバー板２１Ｍの間には、このスライド要素２２Ｃ，２２Ｃを介してベース板２２Ｂが挟まれた状態になっている。これにより、テーブル２２Ａのベース板２２Ｂは、摺動部材２１Ｈに対して、Ｘ方向とＹ方向で形成される平面内において移動と回転ができるようになっている。
【００２３】
以上のことから、可動部２２のテーブル２２Ａは、固定部２１に対してＸＹ平面内におけるコンプライアンス機能を有している。しかも、固定部２１の摺動部材２１Ｈは、ガイド筒部２１Ｆに対してボール２１Ｎを用いてＺ方向に移動できるようになっていて、Ｚ方向にもコンプライアンス機能を有している。
またテーブル２２Ａは、平面スライド要素２２Ｃを用いて、ＸＹ方向による平面内における移動と、Ｚ方向を中心としてθ方向に回転できるコンプライアンス機能も有している。
【００２４】
次に、図１と図２に示す第１アクチュエータ３０と第２アクチュエータ４０について説明する。
図示例では２つの第１アクチュエータ３０は、固定部材１１と移動部材１３の間に配置されている。２つの第１アクチュエータ３０は、コンプライアンス装置２０の第１側部１０Ａ側において、Ｘ方向に関して配列されている。１つの第２アクチュエータ４０は、固定部材１１と移動部材１３の間に配置されていて、コンプライアンス装置２０の第２側部１０ＢにおいてＹ方向に関して配置されている。第１側部１０Ａと第２側部１０Ｂは、コンプライアンス装置２０の一方の側部と他方の側部であるが、第１側部１０Ａと第２側部１０Ｂは、図１のＨから見て略直交に交差している位置である。
【００２５】
図２では、１つの第１アクチュエータ３０と第２アクチュエータ４０を図示している。図１と図２に示す第１アクチュエータ３０は、第１回転駆動部３１と、第１ロータリストロークベアリング３２および第１ガイド部３３を有している。第１回転駆動部３１はモータ３１Ａと減速機３１Ｂを有している。モータ３１Ａと減速機３１Ｂは固定部材１１に対して固定されている。減速機３１Ｂは固定部材１１の穴を通じて固定部材１１の上面側から下面側に突出している。
【００２６】
第１ロータリストロークベアリング３２は、固定部材１１と移動部材１３の間に位置されている。第１ガイド部３３の第１スライド部材３３Ａは、第１ロータリストロークベアリング３２の下端部に固定されている。第１ガイド部３３の第１リニアガイド部材３３Ｂは、移動部材１３の上面側に固定されている。２つの第１リニアガイド部材３３Ｂは、それぞれＸ方向に沿って直列に配列されている。
【００２７】
図１に示す第２アクチュエータ４０は、第２回転駆動部４１と、第２ロータリストロークベアリング４２および第２ガイド部４３を有している。第２回転駆動部４１はモータ４１Ａと減速機４１Ｂを有している。モータ４１Ａと減速機４１Ｂは固定部材１１に固定されている。減速機４１Ｂは固定部材１１の穴を通り固定部材１１の上面側から下面側に突出している。第２ロータリストロークベアリング４２は、固定部材１１と移動部材１３の間に配置されている。
第２ガイド部４３の第２スライド部材４３Ａは、第２ロータリストロークベアリング４２の下端部に固定されている。第２ガイド部４３の第２リニアガイド部材４３Ｂは、移動部材１３の上面に対して固定されている。第２リニアガイド部材４３Ｂは、Ｙ方向に沿って配置されている。
【００２８】
図４は、第１アクチュエータ３０と第２アクチュエータ４０の構造例を示している。第１アクチュエータ３０と第２アクチュエータ４０の構造は同じものを採用することができる。減速機３１Ｂ（４１Ｂ）は、出力軸３１Ｃ（４１Ｃ）を有していて、この出力軸３１Ｃ（４１Ｃ）は、第１ロータリストロークベアリング３２（第２ロータリストロークベアリング４２）の偏芯シャフト４５に対して接続されている。
このために、モータ３１Ａ（４１Ａ）が、制御部１００からの指令により動作すると、偏芯シャフト４５は偏芯による回転動作を行うことができる。
【００２９】
図５は、図４に示す第１ロータリストロークベアリング３２（第２ロータリストロークベアリング４２）の内部構造例を示している。偏芯シャフト４５は、ボールゲージ４６に対して複数のボール４７によりＺ方向に移動可能に支持されている。ガイドブッシュ４８は、ボール４７を介してボールゲージ４６をさらにＺ方向に移動可能にし、しかもθ方向に偏芯シャフト４５を回転できるように支持している。
【００３０】
図６は、図１に示す第１スライド部材３３Ａ（第２スライド部材４３Ａ）と、第１リニアガイド部材３３Ｂ（第２リニアガイド部材４３Ｂ）の連結構造例を示している。第１スライド部材３３Ａ（第２スライド部材４３Ａ）は、第１リニアガイド部材３３Ｂ（第２リニアガイド部材４３Ｂ）に沿って、Ｘ方向（Ｙ方向）に直線移動可能になっている。第１スライド部材３３Ａ（第２スライド部材４３Ａ）は、第１リニアガイド部材３３Ｂ（第２リニアガイド部材４３Ｂ）に対してＺ方向に抜けないようにするために、たとえば突部４９によりかみ合うようにして連結されている。
図１と図２に示すように、２つの第１アクチュエータ３０、１つの第２アクチュエータ４０、そしてコンプライアンス装置２０は、固定部材１１と移動部材１３の間においてＺ方向に向けて配置されているので、図１のＨ方向から見て移動部材１３の平面に占める機構部分のサイズ（占有面積）を小さくすることができる。
【００３１】
次に、図７ないし図１１を参照しながら、図１に示す移動装置１０の動作例について説明する。
図７は、移動装置１０がＩＣハンドラ装置に用いられた場合の移動装置１０の動作例を示すフロー図である。図８は、図１に示すように、各モータ３１Ａ，４１Ａが動作していない基準状態を示している。図８の基準状態では、固定部材１１と移動部材１３の中心は一致している。
図９は移動部材１３が固定部材１１に対してＸ方向へ移動した例を示している。図１０は、移動部材１３が固定部材１１に対してＹ方向へ移動した例を示している。図１１は、移動部材１３が固定部材１１に対してθ方向へ回転移動した例を示している。
【００３２】
図７のステップＳＴ１では、たとえばＩＣ（半導体集積回路）のソケット位置をカメラの撮影により認識する。ステップＳＴ２では、図１の移動部材１３の下面側に着脱可能に装着されているＩＣの位置をカメラにより認識する。
ステップＳＴ３では、ＩＣソケットとＩＣの位置関係をカメラの撮像データに基づいて、図１に示す制御部１００が比較する。
【００３３】
ステップＳＴ４では、その位置の比較の結果、移動部材１３をＸ方向に移動して位置補正が必要である場合には、ステップＳＴ５において図８から図９に示すような動作を行う。すなわち、第２駆動部のモータ４１Ａを回転動作させることにより、偏芯シャフト４５がＲＡ方向に偏芯回転する。この場合に第１駆動部のモータ３１Ａ，３１Ａは駆動しない。
モータ４１Ａの回転駆動により偏芯シャフト４５がＲＡ方向に偏芯回転することにより、第２ロータリストロークベアリング４２の第２スライド部材４３Ａは、第２リニアガイド部材４３Ｂに沿って直線移動することになる。これによって、移動部材１３は固定部材１１に対して図９に示すＸ１方向にだけ直線移動することができる。この場合に図１に示す第１スライド部材３３Ａは第１リニアガイド部材３３Ｂに沿ってＸ方向に移動するのを補助する。
【００３４】
図７に戻ると、ステップＳＴ４において、Ｘ方向の位置補正が不要であるか、あるいはステップＳＴ５のＸ方向への位置の動作が終了すると、ステップＳＴ６に移る。
ステップＳＴ６では、図１の制御部１００がＹ方向への位置の補正が必要であるかを判断し、ステップＳＴ７においてＹ方向への位置の移動が必要である場合には、図１０に示す動作を行う。すなわち、図１の制御部１００は、モータ３１Ａ，３１Ａに対して指令を送るが、モータ４１Ａには指令を送らない。モータ３１Ａ，３１Ａが回転動作することにより、第１ロータリストロークベアリング３２，３２の偏芯シャフト４５，４５が、それぞれ反対方向ＲＡとＲＢ方向に偏芯回転する。
これによって、移動部材１３は固定部材１１に対してＹ１方向に移動する。この時に第２ロータリストロークベアリング４２の第２スライド部材４３Ａは、第２リニアガイド部材４３Ｂに沿ってＹ方向に移動するのを補助する。
【００３５】
ステップＳＴ６において、Ｙ方向における位置補正が不要である場合、あるいはステップＳＴ７におけるＹ１方向動作が終了すると、ステップＳＴ８に移る。この場合には、θ方向の補正が必要かどうかを判断し、θ方向の補正が必要である場合には、図１１の動作を行う。このθ方向の動作が不要である場合には、終了する。
【００３６】
図１１に示すθ方向の動作を行う場合には、図１の制御部１００は、３つのモータ３１Ａ，３１Ａ，４１Ａに対して駆動信号を送る。これによりモータ３１Ａ，３１Ａ，４１Ａは、それぞれＲＢ方向に回転することにより、移動部材１３は固定部材１１に対してＺ軸を中心としてθ方向に回転することができる。
このようにして、移動部材１３は固定部材１１に対してＸ方向、Ｙ方向の移動およびθ方向の回転を行うことで、ＩＣとＩＣソケットの相互の位置合わせを行って、ＩＣのバンプをＩＣソケットのテストピンに対して正確に位置決めできることになる。
移動装置１０は、ＸＹθ移動機構もしくはＸＹθテーブル機構などとも呼ぶことができる。
【００３７】
また図１の第１ロータリストロークベアリング３２と第２ロータリストロークベアリング４２は、Ｚ方向に関して移動部材１３を固定部材１１に対して移動を許容することができる。しかもコンプライアンス装置２０を可動部２２が固定部２１に対してやはりＺ方向に移動を許容できるようになっている。
このことから、移動部材１３は固定部材１１に対してＺ方向に移動することを許容できる。
【００３８】
図１２は、本発明の移動装置１０が適用されたＩＣハンドラ２００の例を示している。このＩＣハンドラ２００は、搬送する被搬送物の搬送装置の一例である。被搬送物は、この場合にはＩＣデバイスである。
ＩＣハンドラ２００は、本体２０１を有している。この本体２０１は、支柱２０２により支えられており、本体２０１はサポート部材２０３により本発明の好ましい実施形態の移動装置１０を支持している。図１２の例では２つの移動装置１０が本体２０１にも設けられている。各移動装置１０は、図１に示す構造例の移動装置１０と同じ構造のものである。移動部材１３の下部には、ＩＣを着脱可能に吸着するためのノズル２１０を有している。このノズル２１０は、真空吸引装置に接続されていて、真空吸引装置の動作により、ノズル２１０はＩＣを着脱可能に吸着することができる。
【００３９】
図１３は、移動装置１０および被搬送物であるデバイスＤを示している。制御部１００は、カメラ１０１Ａと１０１Ｂを接続している。カメラ１０１Ａは、たとえば図１３に示すテスタ３００のテストボード（ＩＣソケット）３０１のテストピン３０２の位置を画像として取り込むものである。これにより制御部１００はカメラ１０１Ａを通じてテストピン３０２の位置を把握することができる。カメラ１０１Ｂは、ノズル２１０に吸着されたデバイスＤのバンプ４００の位置を画像として取り込んでいる。これにより制御部１００は、バンプ４００の位置を画像認識する。
【００４０】
制御部１００は、これらのカメラ１０１Ａ，１０１Ｂにより認識されたテストピン３０２とバンプ４００の位置の比較の結果、制御部１００はモータ３１Ａ，４１Ａに駆動信号を送ることにより、必要に応じてＸ方向、Ｙ方向、θ方向に関して任意に移動することができるのである。
【００４１】
本発明の実施形態では、第２アクチュエータは、移動部材を第１方向に沿って移動させることができる。第１アクチュエータは、移動部材を第２方向に沿って移動させることができる。そして、第１アクチュエータと第２アクチュエータを同時に動作させることにより、移動部材は、第１方向と第２方向により形成される平面における回転方向に移動させることができる。したがって、移動装置は第１方向、第２方向および回転方向に移動することができる。
このように第１回転駆動部と第２回転駆動部は、それぞれ第１方向への移動部材の移動と、第２方向への移動部材の移動および回転方向に関する移動部材の移動を発生させることができる。しかもコンプライアンス装置、第１アクチュエータおよび第２アクチュエータは、固定部材と移動部材の間で配置することができるので、第１方向と第２方向により形成させる平面から見た機構部分の大きさを小さくすることができ、構造が簡単であり安価である。
【００４２】
本発明の実施形態では、スライド部材とリニアガイド部材を用いるだけで、偏芯回転を直線移動に変換することができる。第１回転駆動部のモータと第２回転駆動部のモータを用いるだけで、移動部材を固定部材に対して第１方向、第２方向および回転方向に移動することができる。移動部材は、固定部材に対して第３方向への移動を行うことができる。
【００４３】
ところで本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
図１に示す移動装置１０では、Ｘ方向に関して２つの第１アクチュエータ３０を配置している。しかしこれに限らず第１アクチュエータ３０は３つ以上配列しても勿論構わない。また第２アクチュエータ４０は２つ以上配列しても良い。コンプライアンス装置２０の構造は、一例に過ぎず他の形状を採用することも勿論可能である。
【００４４】
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の移動装置の好ましい実施形態を示す斜視図。
【図２】図１のＧ方向から見た移動装置の側面図。
【図３】コンプライアンス装置のＺ方向に関する縦断面図。
【図４】第１アクチュエータと第２アクチュエータの構造例を示す側面図。
【図５】第１ロータリストロークベアリングと第２ロータリストロークベアリングの断面構造例を示す図。
【図６】第１ガイド部と第２ガイド部の構造例を示す図。
【図７】本発明の移動装置の動作例を示すフロー図。
【図８】固定部材に対する移動部材が基準の位置にある状態を示す図。
【図９】移動部材が固定部材に対してＸ方向に移動した例を示す図。
【図１０】移動部材が固定部材に対してＹ方向に移動した例を示す図。
【図１１】移動部材が固定部材に対してθ方向に回転移動した例を示す図。
【図１２】本発明の移動装置がＩＣハンドラに装着された例を示す図。
【図１３】図１２の移動装置をより詳しく示す斜視図。
【符号の説明】
【００４６】
１０・・・移動装置、１１・・・固定部材、１３・・・移動部材、２０・・・コンプライアンス装置、３０・・・第１アクチュエータ、３１・・・第１回転駆動部、３２・・・第１ロータリストロークベアリング、３３・・・第１ガイド部、４０・・・第２アクチュエータ、４１・・・第２回転駆動部、４２・・・第２ロータリストロークベアリング、４３・・・第２ガイド部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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