(57)【要約】【課題】  吸着ノズルを本体ノズル部と先端ノズル部とに分割することで、電子部品に当接する先端ノズル部だけを容易に交換でき、しかも、固定ブロックによって２つのノズル部を別々に固定して一体化すことにより、面倒な接合作業を省いて優れた経済性を確保でき、高性能の吸着ノズルを安価に製造可能である、信頼性及び経済性に優れた電子部品の保持搬送機構を提供する。【解決手段】  吸着ノズル１１は、長尺の本体ノズル部１１ｂと、電子部品３に当接する先端ノズル部１１ａとに分割されて構成されている。このうち先端ノズル部１１ａは超硬度焼結体により形成されている。吸着ノズル１１の下部には両ノズル部１１ａ，１１ｂを別々に固定して一体化する固定ブロック１７が設けられている。固定ブロック１７の中央部には、切欠き部１７ａが水平方向に延びて形成されている。さらに固定ブロック１７の上部にはウレタンゴム等の緩衝材１８が設置されている。【選択図】  図１
2006128509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を保持し且つ往復動自在な可動保持手段と、進行及び停止するサイクルを繰り返しながら前記可動保持部を順次配置された工程処理機構まで搬送する搬送手段と、前記工程処理機構に対し前記電子部品の受け渡し及び受け取りを行うように前記可動保持手段を移動させるための保持部駆動手段とが設けられた電子部品の保持搬送機構において、
前記可動保持手段には、本体ノズル部と、先端ノズル部とに分割可能な吸着ノズルが配置され、
前記本体ノズル部及び前記先端ノズル部を別々に固定して両ノズル部を一体化する固定ブロックが設けられていることを特徴とする電子部品の保持搬送機構。
【請求項２】
前記吸着ノズルの先端ノズル部は、超硬度焼結体により形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品の保持搬送機構。
【請求項３】
前記固定ブロックには、前記本体ノズル部に前記先端ノズル部を取り付けた際の取付誤差を吸収するための切欠き部が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電子部品の保持搬送機構。
【請求項４】
前記固定ブロックには、前記可動保持部の移動時に発生する衝撃を緩和するための緩衝材が設置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の電子部品の保持搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を保持して工程処理機構に対し間欠的に搬送する電子部品の保持搬送機構に係り、特に、電子部品の保持手段に含まれる吸着ノズルの構成に改良を加えたものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体素子等の電子部品は、電極切断、電極加工、電気特性測定、マーキング、外観検査、テープ梱包等の複数の工程処理を順次施巣ことにより製造されている。そのような各種の工程処理を施す電子部品製造装置としては、具体的には、電子部品の搬入部と搬出部との間に工程処理を実施する機構を複数配置し、電子部品の保持搬送機構を用いて各工程処理機構へと順次搬送するタイプのものが知られている。
【０００３】
このタイプの電子部品製造装置における動作の概略は次の通りである。まず、電子部品の保持搬送機構は電子部品搬入部から電子部品を受け取り、吸着ノズル等の保持手段がこれを保持して、ターンテーブル等の搬送手段により工程処理機構まで搬送する。電子部品が工程処理機構に達すると、保持搬送機構は電子部品の搬送を停止し、電子部品を工程処理機構に受け渡す。電子部品を受け取った工程処理機構は該電子部品に対して所定の工程処理を実施する。工程処理完了後、保持搬送機構は工程処理機構から電子部品を受け取り、再び電子部品を保持した状態で次の工程処理機構まで搬送する。このような進行及び停止といったサイクルを繰り返しながら電子部品を各工程処理機構に送り込んで順次工程処理を行い、全ての工程が終了した時点で電子部品を電子部品搬出部から搬出する。
【０００４】
上記の電子部品製造装置では、搬送中の電子部品が工程処理機構に衝突してダメージを受けることがないよう、工程処理機構での処理ラインは、電子部品搬送経路である搬送ラインから上下方向あるいは水平方向に十分に離して設けられている。そのため、保持搬送機構が電子部品を工程処理機構に受け渡す際には、電子部品を搬送ラインから処理ラインへと移動させ、工程処理完了後、保持搬送機構が電子部品を工程処理機構から受け取る場合には、反対に電子部品を処理ラインから搬送ラインへと戻さなくてはならない。
【０００５】
つまり、電子部品を搬送ラインと処理ラインとの間で移動させる必要がある。したがって、電子部品の保持搬送機構では、電子部品の保持手段を往復動自在な可動保持手段としている。また、電子部品の保持搬送機構においては、前記可動保持手段を移動させるための保持部駆動手段も不可欠な要素となっている。具体的な保持部駆動手段としては、カム、レバー、ロッド等が用いられており、可動保持手段を所定のタイミングで、所定の移動量だけ、所定の移動速度で移動させるように構成されている。
【０００６】
ところで、電子部品の可動保持手段には電子部品を吸着する吸着ノズルが採用されている。吸着ノズルは通常、鋼からなり、長手方向にわたって貫通する吸入孔を有している。吸入孔の先端部は吸着ノズルの先端面中央部に開口されており、吸入孔の基端部は吸引チューブを介して吸入装置に接続されている。
【０００７】
このような吸着ノズルでは、電子部品の表面に先端面を当接させると同時に、吸入装置を用いて吸入孔から空気を吸入し、吸入孔内部を真空状態とすることによって電子部品を吸着する。この吸着状態のまま、電子部品をもち上げて次の工程処理機構まで搬送する。そして、搬送された電子部品が所定の位置に達すると、吸入孔内部の真空状態を解除して吸着力を無くし、電子部品をノズル先端面から工程処理機構の所定位置に移す。ここでの工程処理が終了すると、吸着ノズルは再度、電子部品の表面に先端面を当接させ、吸入孔内部を真空状態として電子部品を吸着し、次の位置まで搬送する。
【０００８】
前述したように、吸着ノズルでは全体を鋼により形成しているため、電子部品に当接する先端面も鋼からなる。これに対して、電子部品はその外周面がガラス繊維等を含んだ樹脂によって被覆されている。したがって、吸着ノズルが電子部品を吸着保持する際、吸着ノズルの先端面が電子部品に当たると、電子部品の樹脂成分によって吸着ノズルの先端面が著しく摩耗したり、先端外周面にエッジができるおそれがあった。吸着ノズルの先端外周面にエッジが生じると、電子部品を吸着する際に電子部品の表面に傷を付けてしまい、電子部品を不良品にさせる可能性がある。また、吸着ノズル先端面の摩耗とも相俟って、電子部品と吸着ノズル先端面との間に隙間ができるため、吸入孔内部の真空状態が不十分となり、吸着力が弱まることになる。その結果、搬送中に吸着ノズルから電子部品が落下したり、工程処理機構に対する搬送位置がずれる心配があった。
【０００９】
さらに吸着ノズル先端面が鋼からなる場合には、次のような不具合もあった。すなわち図７に示すように、電子部品３には樹脂部側面から横方向に伸びる水平リ−ド部２１が設けられているが、樹脂部の上面から上方に突出した垂直リ−ド部２２が出ている場合もある。このとき、電子部品を吸着する吸着ノズルが鋼でできていると、電気特性検査工程において正確な特性値が測定されないおそれがあった。
【００１０】
以上の問題に対処すべく、様々な従来技術が提案されている。例えば、特許文献１には、先端面がダイヤモンド又はｃＢＮを主成分とする超硬度焼結体によって形成された吸着ノズルが開示されている。この特許文献１に記載の吸着ノズルによれば、先端面を超硬度焼結体によって形成することで、その耐摩耗性が大幅に向上する。したがって、吸着ノズル先端面の摩耗やエッジの発生を回避でき、強い吸着力を維持可能である。これにより、電子部品の落下や搬送位置のずれを防止でき、保持搬送性能の信頼性を高めることができる。また、吸着ノズルを超硬度焼結体から形成したので、たとえ樹脂部の上面からリ−ド部（電極部）が出ていたとしても、鋼製のノズルのように電気特性を検査する際の阻害要因にはならない。したがって、電気特性値を正確に測定可能である。
【特許文献１】特開２００３−３９３６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記の従来技術には次のような課題が指摘されていた。すなわち、超硬度焼結体を吸着ノズル先端部に形成させる際、超硬度焼結体側にも吸入孔を設けるが、この吸入孔と吸着ノズルの本体部分の吸入孔とがずれることがないよう、両者を確実に接合させなくてはならない。そこで従来では、吸着ノズルの本体部分に超硬度焼結体をろう付けする等の接合作業を行うか、あるいは吸着ノズルの本体部分と超硬度焼結体とを一体に焼結成形する作業が必要であった。このような接合作業又は焼結成形作業を伴うため、特許文献１の吸着ノズルでは、製造コストが高くなっていた。
【００１２】
また、超硬度焼結体を吸着ノズルの本体部分にろう付けする場合、良好なろう付け状態を確保するには両者の熱膨張係数が同一であることが重要である。このため、超硬度焼結体の片面には本体部分と同一材料からなる層を形成する必要があり、超硬度焼結体は鋼層と超硬度焼結体層からなる２層構造をとらざるを得なかった。
【００１３】
以上述べたように従来技術においては、超硬度焼結体と吸着ノズル本体との接合作業が面倒であるばかりでなく、２層構造を有する超硬度焼結体の製造自体にも手間がかかっていた。このため、経済的な負担は大きくなり、製造コストの増大は深刻であった。電子部品の製造分野ではコスト削減に対する要求は非常に厳しく、たとえ一部品であっても高価なものに関してはその改善が強く望まれていた。
【００１４】
本発明は、以上の課題を解決するために提案されたものであり、その目的は、吸着ノズルを本体側と先端側とに分割することで、電子部品に当接する先端側のノズル部だけを容易に交換でき、しかも、分割された２つのノズル部を別々に固定して一体化することにより面倒な接合作業を省いて優れた経済性を確保して、耐磨耗性の高い吸着ノズルを安価に製造することが可能である、耐久性と経済性の両立を図った電子部品の保持搬送機構を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明は、電子部品を保持し且つ往復動自在な可動保持手段と、進行及び停止するサイクルを繰り返しながら前記可動保持部を順次配置された工程処理機構まで搬送する搬送手段と、前記工程処理機構に対し前記電子部品の受け渡し及び受け取りを行うように前記可動保持手段を移動させるための保持部駆動手段とが設けられた電子部品の保持搬送機構において、次のような構成上の特徴を有している。
【００１６】
請求項１の発明は、前記可動保持手段には、本体ノズル部と、先端ノズル部とに分割可能な吸着ノズルが配置され、前記本体ノズル部及び前記先端ノズル部を別々に固定して両ノズル部を一体化する固定ブロックが設けられていることを特徴としている。
【００１７】
以上の請求項１の発明によれば、固定ブロックは本体ノズル部及び先端ノズル部を別々に固定するため、両者の位置調整が容易である。したがって、２つのノズル部を確実に一体化でき、ノズル部同士がずれて吸着力が弱まる心配がなく、吸着ノズルは優れた吸着力を発揮することができる。また、電子部品の吸着を続けているうちに先端ノズル部に磨耗やエッジが生じた場合には、先端ノズル部と本体ノズル部を分割して先端ノズル部だけを即座に交換することができるので、交換作業時間は短くて済み、しかも良好な保持搬送性能を維持するので信頼性が向上する。
【００１８】
請求項２の発明は、請求項１に記載の電子部品の保持搬送機構において、前記吸着ノズルの先端ノズル部は、超硬度焼結体により形成されていることを特徴としている。
このような請求項２の発明によれば、超硬度焼結体を有する耐摩耗性の高い吸着ノズルを、安価に製造できるといった作用効果がある。すなわち、固定ブロックにより２つのノズル部を一体化させている本発明では、ノズル部同士の接合作業や焼結成形作業が不要であり、超硬度焼結体からなる部分は鋼層と超硬度焼結体層の２層構造とする必要が無い。したがって、吸着ノズルの製造コストを大幅に削減することができる。
【００１９】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の電子部品の保持搬送機構において、前記固定ブロックには、前記本体ノズル部と前記先端ノズル部とを一体化するための切欠き部が設けられていることを特徴としている。
上記の請求項３の発明によれば、固定ブロックに本体ノズル部及び先端ノズル部を別々に締め付ける時の取付誤差、あるいは本体ノズル部及び先端ノズル部を別々に加工することにより発生する加工誤差を、切欠き部で確実に吸収することができる。そのため、本体ノズル部と先端ノズル部の接合面がずれることがなく、２つのノズル部に分割される吸着ノズルを、一体物として扱うことができ、優れた吸着力を持つ吸着ノズルを簡単に製造可能である。
【００２０】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の電子部品の保持搬送機構において、前記固定ブロックには、前記可動保持部の移動時に発生する衝撃を緩和するための緩衝材が設置されていることを特徴とする。
以上のような請求項４の発明によれば、緩衝材が可動保持部の移動時に発生する衝撃を和らげることができるので、吸着ノズルから電子部品が落下することを防止でき、安定して電子部品を保持搬送することができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上述べたように、本発明によれば、吸着ノズルを本体ノズル部と先端ノズル部とに分割することで、電子部品に当接する先端ノズル部だけを容易に交換でき、しかも、固定ブロックによって２つのノズル部を別々に固定して一体化することにより、面倒な接合作業を省いて優れた経済性を確保でき、高性能の吸着ノズルを安価に製造可能である、信頼性及び経済性に優れた電子部品の保持搬送機構を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良な形態（以下、実施形態）の一例を図１〜図６を参照して具体的に述べる。まず、本実施形態の全体的な構成について図１及び図２を用いて説明し、続いて、本実施形態の特徴である吸着ノズル周辺の構成について図３〜図６に基づいて説明する。
【００２３】
［１．本実施形態の全体的な構成］
図１は本実施形態の構成の概略を示す垂直面の模式図、図２はその要部の配置関係を示す水平面の模式図である。図１、図２に示すように保持搬送機構１は、複数の電子部品３を保持し、これを円弧状に等間隔で順次配置された複数の工程ユニット（工程処理機構）２に対して進行及び停止するサイクルを繰り返しながら順次搬送するものである。
【００２４】
本実施形態に係る電子部品の保持搬送機構１は、図１に示すように、複数の保持ユニット１２(可動保持手段)と、保持ユニット１２を工程ユニット２に搬送するターンテーブル（搬送手段）１３を備えている。保持ユニット１２には電子部品３を保持する昇降自在な吸着ノズル１１が設けられている。吸着ノズル１１は本体部分(後述する本体ノズル部)に対し着脱自在な先端ノズル部１１ａを有しており、吸着ノズル１１が下降する際に先端ノズル部１１ａが正確に工程ユニット２への電子部品３の受け取り及び受け渡しを行うようになっている。さらに保持搬送機構１は、ターンテーブル１３駆動用のダイレクトドライブモータ１４、保持ユニット１２を個別に駆動するように互いに独立して設けられた複数の駆動ユニット１５、吸着ノズル１１復帰用のバネ１６を備えている。各部の詳細は次の通りである。
【００２５】
保持ユニット１２は、図１に示すように、吸着ノズル１１と、この吸着ノズル１１を上下方向に可動自在に支持する支持部１２ａとから構成されており、この支持部１２ａによりターンテーブル１３に取り付けられている。ターンテーブル１３は、円弧状に配置された複数の工程ユニット２の上方に、工程ユニット２と離間し、かつ、その外周部で工程ユニット２と重なるようにして水平配置されており、ターンテーブル１３の外周部には、複数の保持ユニット１２が複数の工程ユニット２と同じ間隔で配置されている。
【００２６】
この場合、複数の保持ユニット１２は、図２に示すように、１つの保持ユニット１２が１つの工程ユニット２と重なる場合に、他の保持ユニット１２も、いずれかの工程ユニット２とそれぞれ重なるようにして、ターンテーブル１３の外周部に配置されている。より詳細には、複数の工程ユニット２は、図１に示すように、電子部品３に工程処理を施す工程処理部２ａを備えており、工程処理部２ａの水平面上における中心が、ターンテーブル１３と同軸の１つの円上に等間隔で位置するようにして配置されている。そして、複数の保持ユニット１２は、その吸着ノズル１１の先端部の水平面上における中心が、工程ユニット２の工程処理部２ａの水平面上における中心が位置する円上に同じ間隔で位置するようにして配置されている。
【００２７】
なお、図１中においては、図面の簡略化の観点から、２個の工程ユニット２と２個の保持ユニット１２のみが示されているが、実際には、図２に示すように、円周方向に多数の工程ユニット２が配置されており、ターンテーブル１３の外周部にも多数の保持ユニット１２が配置されている。また、ダイレクトドライブモータ１４は、図１に示すように、ターンテーブル１３の下方に同軸上に配置されており、ターンテーブル１３を直接駆動するようになっている。
【００２８】
一方、各駆動ユニット１５は、図１に示すように、工程ユニット２の各々に対応して設けられており、保持ユニット１２の吸着ノズル１１の上端部に当接して吸着ノズル１１を下方に押し下げるための操作ロッド１５ａと、それを駆動する駆動部１５ｂとを備えている。複数の駆動ユニット１５は、ターンテーブル１３の上方に、保持ユニット１２の搬送経路から離間し、且つこのターンテーブル１３を介して、対応する工程ユニット２の上方にそれぞれ重なるようにして配置され、接続部１５ｃにより工程ユニット２と一体的に固定されている。
【００２９】
さらに、駆動ユニット１５は、駆動部１５ｂによって操作ロッド１５ａを上下動させることにより、吸着ノズル１１を上方位置と下方位置との間で昇降させ、吸着ノズル１１の保持した電子部品３を、搬送経路上の搬送ラインと工程ユニット２の工程処理部２ａ上の処理ラインとの間で移動させるようになっている。より詳しくは、各駆動ユニット１５は、その操作ロッド１５ａの水平面上における中心が、対応する各工程ユニット２の工程処理部２ａの水平面上における中心と重なるようにして配置されている。
【００３０】
また、保持ユニット１２の支持部１２ａ上面にはバネ１６が設けられている。バネ１６は、駆動ユニット１５の操作ロッド１５ａが元の位置に復帰する際に吸着ノズル１１を下方位置から上方位置に押し上げて復帰させるものである。なお、駆動ユニット１５による吸着ノズル１１の駆動制御パターン、すなわち、操作ロッド１５ａの動作による吸着ノズル１１の上方位置−下方位置間の移動時間、移動量、移動速度、移動タイミング、荷重等の駆動制御パターンは、各駆動ユニット１５に対応する工程ユニット２に応じて、各工程毎に個別に設定されている。
【００３１】
［２．本実施形態に係る吸着ノズル周辺の構成］
本発明に係る本実施形態では、保持ユニット１２に含まれる吸着ノズル１１の構成に特徴があり、この点に関して図３〜図６を用いて詳しく説明する。図３〜図５は本実施形態の要部を示す垂直面の模式図であり、図３及び図４は側面図、図５は正面図である。図６は本実施形態における吸着ノズルの垂直面の断面図である。
【００３２】
図３〜図６に示すように、吸着ノズル１１は、長尺の本体ノズル部１１ｂと、電子部品３に当接する先端ノズル部１１ａとに分割されて構成されている。このうち先端ノズル部１１ａは超硬度焼結体により形成されている。これらノズル部１１ａ，１１ｂにはそれぞれ吸入孔１１ｃ(図６に図示)が貫通されており、両ノズル部１１ａ，１１ｂが一体化する時、吸入孔１１ｃは連通して単一の孔となるように配置されている。また、本体ノズル部１１ｂ側上部には接続孔１１ｄ(図６に図示)が設けられており、吸引チューブ２０を介して吸入装置(図示せず)に接続されている(図３、図４参照)。
【００３３】
また、図３〜図５に示すように、吸着ノズル１１の下部には両ノズル部１１ａ，１１ｂを別々に固定して一体化する固定ブロック１７が設けられている。固定ブロック１７の中央部には、切欠き部１７ａが水平方向に延びて形成されている。さらに固定ブロック１７の上部にはウレタンゴム等の緩衝材１８が設置されている。緩衝材１８は吸着ノズル１１の上昇した際にタ−ンテ−ブル１３の下面に当るようになっている。
【００３４】
なお、固定ブロック１７に設置した緩衝材１８がタ−ンテ−ブル１３の下面に当ることで電子部品３の搬送ラインの高さが規制される。つまり、固定ブロック１７は電子部品３の搬送ライン高さを決めるための基準ともなっている。また、図３及び図４に示すように、固定ブロック１７はノックピン１９によりタ−ンテ−ブル１３に固定されている。固定ブロック１７とノックピン１９との間は打込み式固定であり、吸着ユニット１２とノックピン１９との間は自由にスライド自在である。
【００３５】
［３．本実施形態の動作］
以上の構成を有する本実施形態では、次のようにして電子部品３の保持、搬送を行っている。まず、複数の保持ユニット１２の吸着ノズル１１により複数の電子部品３を吸着保持した状態で、ターンテーブル１３を回転させることにより、複数の電子部品３を複数の工程ユニット２に順次搬送する。電子部品３を保持した各保持ユニット１２は個々の工程ユニット２に対応する各停止位置に達した時点で、ターンテーブル１３を停止させる。
【００３６】
この場合、個々の工程ユニット２に対応する各停止位置にある各保持ユニット１２の吸着ノズル１１の水平面上における中心は、当該工程ユニット２の水平面上における中心、およびその工程ユニット２に対応する駆動ユニット１５の操作ロッド１５ａの水平面上における中心と重なる。すなわち、各停止位置にある各保持ユニット１２の吸着ノズル１１を、各駆動ユニット１５の操作ロッド１５ａによって駆動できる状態となる。このような状態から、各駆動ユニット１５において、操作ロッド１５ａを上下動させることにより、電子部品３を、ターンテーブル１３による搬送経路上の搬送位置と工程ユニット２の工程処理部２ａ上の処理位置との間で移動させる。
【００３７】
図３に示すように、前工程から電子部品３を搬送してきた直後は、吸着ノズル１１は上昇位置にあり、電子部品３の高さ関係は搬送ライン高さにある。この状態から、各駆動ユニット１５において、駆動部１５ｂにより操作ロッド１５ａを下降させることにより、復帰用のバネ１６を収縮させながら、吸着ノズル１１を上方位置から下方位置に押し下げる(図３から図４へ)。
【００３８】
この時、吸着ノズル１１が操作ロッド１５ａに押されることに伴って、固定ブロック１７はノックピン１９のスライドにあわせて真下に移動する。そして、電子部品３が処理ライン高さに達すると、吸着ノズル１１は吸着を解除し、電子部品３を工程ユニット２の所定の位置に搭載する。このような操作により、吸着ノズル１１のノズル先端部１１ａに保持した電子部品３を、ターンテーブル１３による搬送経路上の搬送位置から工程ユニット２の工程処理部２ａ上の処理位置まで移動させ、工程ユニット２に受け渡すことができる。
【００３９】
そして、各工程ユニット２により各電子部品３に工程処理を施した後、各保持ユニット１２の吸着ノズル１１により各電子部品３を再び吸着保持し、この状態のまま、各駆動ユニット１５において、駆動部１５ｂにより操作ロッド１５ａを上昇させる。上昇した操作ロッド１５ａが吸着ノズル１１から離れると、復帰用のバネ１６の蓄勢力によって吸着ノズル１１及び固定ブロック１７を下方位置から上方位置に押し上げて復帰させる(図４から図３へ)。この時、バネ１６が蓄勢力により固定ブロック１７の上面がタ−ンテ−ブル１３下面に当るが、緩衝材１８があるため、その衝撃を緩和している。以上のようにして、吸着ノズル１１ノズル先端部１１ａに保持した電子部品３を、工程ユニット２工程処理部２ａ上の処理位置から、ターンテーブル１３による搬送経路上の搬送位置に復帰させる。
【００４０】
そして、電子部品３が処理ライン高さから搬送ライン高さに戻ると、タ−ンテ−ブル１３は１ピッチ分だけ回転し、次の工程ユニット２へと電子部品３を搬送する。上述したような、ターンテーブル１３の回転による保持ユニット１２の水平移動、各停止位置での停止、電子部品３の処理位置への下降、電子部品３の搬送位置への上昇をサイクルとして繰り返すことによって、各電子部品３に対し、複数の工程ユニット２による複数の工程を順次施すことができる。
【００４１】
［４．本実施形態の作用効果］
上記のような本実施形態の作用効果は次の通りである。すなわち、固定ブロック１７が先端ノズル部１１ａ及び本体ノズル部１１ｂを固定し一体化するので、２つのノズル部１１ａ，１１ｂ同士を接合させる作業や焼結成形作業が不要であり、吸着ノズル１１を簡単に製造することができる。
【００４２】
また、固定ブロック１７は先端ノズル部１１ａ及び本体ノズル部１１ｂを別々に固定する上に、切欠き部１７ａを形成しているので取付誤差や加工誤差の吸収が容易である。したがって、２つのノズル部１１ａ，１１ｂを確実に一体化して固定できる。このため、ノズル部１１ａ，１１ｂ同士がずれて吸入孔１１ｃが詰まることがなく、高い吸着力を発揮することができる。
【００４３】
さらに、電子部品３の吸着を続けているうちに先端ノズル部１１ａに磨耗やエッジが生じたとしても、先端ノズル部１１ａと本体ノズル部１１ｂを分割して(つまり先端ノズル部１１ａを本体ノズル部１１ｂから外して)、先端ノズル部１１ａだけを交換することができる。これにより、交換作業時間を短縮化でき、作業コストを低減できる。しかも、良好な保持搬送性能を長く維持できるため、信頼性の向上に寄与することができる。
【００４４】
また、本実施形態では、先端ノズル部１１ａを超硬度焼結体から形成しているため、吸着ノズル１１先端面の耐摩耗性を高めることができる。さらに、先端ノズル部１１ａの寿命が延びるため、交換頻度を低く、経済的である。なお、先端ノズル部１１ａが超硬度焼結体なので、電子部品３が樹脂部上面に出ている電極を持っていても、正確な電気特性値を測定できる。しかも、固定ブロック１７により両ノズル部１１ａ，１１ｂを固定させる本実施形態では、先端ノズル部１１ａを鋼層と超硬度焼結体層という２層構造にする必要が無く、製造コストの大幅な削減が可能である。なお、超高硬度焼結体は導電性を有することから、これにアースを接続した構成として電子部品３に対する電気的な影響を抑制することができる。
【００４５】
さらに本実施形態では、保持ユニット１２の上昇時に発生する衝撃を、緩衝材１８がタ−ンテ−ブル１３下面に当ることで和らげているため、吸着ノズル１１に吸着された電子部品３が衝撃によって吸着ノズル１１から落下することがない。したがって、安定して電子部品３を保持搬送することができる。なお、本実施形態では、駆動ロッド１５ａにて吸着ノズル１１が押し下げられると、固定ブロック１７も下降し、それに伴ってバネ１６が収縮する。その後、収縮されたバネ１６が元に戻る力を利用して吸着ノズル１１及び固定ブロック１７を上昇させている。つまり、バネ１６を使用することで保持ユニット１２の構成の簡易化を図ることができる。
【００４６】
［５．他の実施形態］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で、他にも多種多様な変形例が同様に実施可能である。例えば、複数の可動保持手段を搬送可能な各種の搬送手段に同様に対応可能である。また、搬送手段を複数設置した製造ラインにも適用可能である。さらに、保持ユニット１２と操作ロッド１５ａを下降開始から上昇完了まで真空吸着や機械的手段によって結合させ、移動速度を駆動ユニット１５によって制御してもよい。また、上記実施形態においては、保持ユニット１２を駆動する駆動ユニット１５を各工程ユニット２毎に設けたが、これに限らず、駆動ユニット１５を保持ユニット１２毎に設けることも可能である。
【００４７】
さらには、吸着ノズル１１の先端ノズル部１１ａを超高硬度焼結体によって形成する実施形態としては、先端ノズル部１１ａの表面を、ダイヤモンドやｃＢＮの超硬質粒子を気相合成した超高硬度被膜（ダイヤモンド被膜、または、ｃＢＮ被膜）によって被覆するようにして良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の基本的な実施形態として、複数の電子部品を保持してこれを搬送する保持ユニット駆動制御装置の１つの形態における構成の概略を示す垂直面の模式図。
【図２】図１に示す保持ユニット駆動制御装置の要部の配置関係を示す水平面の模式図。
【図３】図１に示す駆動ユニットの具体的な複数の構成例を示す模式図。
【図４】図１に示す駆動ユニットと保持ユニットの動作を説明する説明図。
【図５】本発明を適用した別の実施形態の一例を示す模式図。
【図６】 
【図７】本発明を適用したさらに別の実施形態の一例を示す模式図。
【符号の説明】
【００４９】
１…電子部品の保持搬送機構
２…工程ユニット（工程処理機構）
２ａ…工程処理部
３…電子部品
１１…吸着ノズル
１１ａ…先端ノズル部
１１ｂ…本体ノズル部
１２…保持ユニット（可動保持手段）
１２ａ…支持部
１３…ターンテーブル（搬送手段）
１４…ダイレクトドライブモータ
１５…駆動ユニット
１５ａ…操作ロッド
１５ｂ…駆動部
１５ｃ…接続部
１６…バネ
１７…固定ブロック
１８…緩衝材
１９…ノックピン
２０…吸引チューブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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