(57)【要約】  【課題】  マスター担体からスレーブ媒体にサーボ信号等の転写情報を磁気転写する際に、スレーブ媒体とマスター担体との密着性を高めて転写信号品質を向上するとともに、生産性を向上させる。  【解決手段】  転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成されたマスター担体３、４の情報担持面3b、4bと、転写を受けるスレーブ媒体２とを密着させ転写用磁界を印加して磁気転写を行う際に、ホルダーの押圧面に配置された弾性部材とマスター担体との間にマスター担体の転写パターン領域Ｐ以外の領域に孔を有するスペーサを、該スペーサの放射状部とマスター担体の転写パターン領域Ｐとを一致させた状態でマスター担体とスレーブ媒体とを押圧密着させる。【選択図】          図３
2006236429.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、
前記マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記ホルダーと前記弾性部材との間に、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、
前記マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記マスター担体と前記弾性部材との間に、該マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを備えたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項３】
前記スペーサの厚みが５μｍ超、100μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２記載の磁気転写装置。
【請求項４】
転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、
前記マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記弾性部材の前記マスター担体の背面に対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されていることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項５】
転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、
前記マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記弾性部材の前記ホルダーに対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されていることを特徴とする磁気転写装置。
【請求項６】
前記弾性部材の前記凸状に形成されている部分の厚みが５μｍ超、100μｍ以下であることを特徴とする請求項４または５記載の磁気転写装置。
【請求項７】
転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に弾性部材を配し、前記ホルダーと前記弾性部材との間に、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項８】
転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に弾性部材を配し、前記マスター担体と前記弾性部材との間に、該マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項９】
前記スペーサの厚みが５μｍ超、100μｍ以下であることを特徴とする請求項７または８記載の磁気転写方法。
【請求項１０】
転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に、前記弾性部材の前記マスター担体の背面に対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されている弾性部材を配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項１１】
転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に、該ホルダーに対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されている弾性部材を配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項１２】
前記弾性部材の前記凸状に形成されている部分の厚みが５μｍ超、100μｍ以下であることを特徴とする請求項１０または１１記載の磁気転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報を担持したマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写を行う磁気転写装置および磁気転写方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体へのサーボ信号等のプリフォーマット記録もしくはデータ記録の方法として、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター担体）を、磁気記録層を有する磁気記録媒体（被転写媒体（スレーブ媒体））と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体が担持する情報に対応した磁化パターンを磁気記録媒体に転写記録する磁気転写方法が提案されている。
【０００３】
磁気記録媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクなどの円盤状媒体の場合には、この磁気記録媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置あるいは永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
上記磁気転写における転写品質を高めるにあたっては、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに隙間なく密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００５】
そこで、マスター担体をホルダーに保持して磁気記録媒体と押圧密着させる際に、マスター担体を平坦なホルダー面に吸着して平坦性を高めて、磁気記録媒体との密着性を向上させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、ホルダー面とマスター担体との間に弾性部材を介装して、マスター担体の微小弾性変形を許容して磁気記録媒体との密着性を高める方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
しかしながら、マスター担体に対してスレーブ媒体の全面を均等に押圧しても、実際には、各種歪、エアの残留等により全面を均等に密着させるのは困難であり、部分的に密着不良が発生し、転写不良を生起する。特に転写情報は、マスター担体の全面に均一に形成されるのではなく、後述の図３（Ａ）に示すように、例えばサーボパターンの場合には略放射状に部分的に形成されるものであり、この転写パターンの部分で密着性が確保できていれば良好な磁気転写が行えることが判明した。
【０００７】
そこで、弾性体をマスター担体のサーボ信号用の転写パターンに対応して、そのパターン部位に対応する領域を凸形状に形成した弾性部材により、スレーブ媒体の背面から押圧する方法が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００２−１６３８２３号公報
【特許文献２】特開２００３−１７３５２５号公報
【特許文献３】特開２００３−０９９９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献３に記載されているようにスレーブ媒体の背面から弾性部材で押圧する方法では、両面に磁気記録媒層を有するスレーブ媒体への信号記録は、片面ずつ逐次転写を行う必要がある。片面逐次転写は手間がかかると共に、弾性部材から発生する塵埃がスレーブ媒体に付着し、該塵埃がスレーブ媒体とマスター担体との間に介在する異物となり密着性に非常に大きな悪影響を与え、転写品質を低下させる虞が非常に高いという問題がある。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、磁気転写におけるスレーブ媒体とマスター担体との密着性を高め転写信号品質を向上させることができると共に、磁気記録媒体の製造時間を短縮し生産性を向上させることができる磁気転写装置および磁気転写方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第一の磁気転写装置は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、前記マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記ホルダーと前記弾性部材との間に、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の第二の磁気転写装置は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、前記マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記マスター担体と前記弾性部材との間に、該マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
ここで、「前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有する」とは、この対応する部分の全域ではなく一部に孔を有するものであってもよい。また、この「孔」は貫通孔のみならず貫通しない窪みを含むものである。
【００１３】
第一および第二の磁気転写装置においては、前記スペーサの厚みが５μｍ超、100μｍ以下であることが好ましく、さらには10μｍ超、50μｍ未満であることがより好ましい。
【００１４】
本発明の第三の磁気転写装置は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、前記マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記弾性部材の前記マスター担体の背面に対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の第四の磁気転写装置は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、前記マスター担体と転写を受けるスレーブ媒体との重畳体を保持すると共に、該重畳体に転写用磁界を印加する際に前記マスター担体の背面側から該重畳体を押圧するホルダーと、前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に配される弾性部材とを備えた磁気転写装置において、
前記弾性部材の前記ホルダーに対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
第三および第四の磁気転写装置においては、弾性部材に設けられる凸状の部分の厚みが、５μｍ超、100μｍ以下であることが好ましく、さらには10μｍ超、50μｍ未満であることがより好ましい。
【００１７】
本発明の第一の磁気転写方法は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に弾性部材を配し、前記ホルダーと前記弾性部材との間に、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とするものである。
【００１８】
本発明の第二の磁気転写方法は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に弾性部材を配し、前記マスター担体と前記弾性部材との間に、該マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とするものである。
【００１９】
第一および第二の磁気転写方法においては、前記スペーサの厚みが５μｍ超、100μｍ以下であることが好ましく、さらには10μｍ超、50μｍ未満であることがより好ましい。
【００２０】
本発明の第三の磁気転写方法は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に、前記弾性部材の前記マスター担体の背面に対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されている弾性部材を配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とするものである。
【００２１】
本発明の第四の磁気転写方法は、転写する情報に対応した転写パターンが部分的に形成された表面を有するマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体との重畳体をホルダーにより前記マスター担体の背面側から押圧して保持した状態で、該重畳体に転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写方法において、
前記マスター担体の背面と前記ホルダーとの間に、該ホルダーに対向する面の、前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されている弾性部材を配した上で、前記ホルダーにより押圧することを特徴とする磁気転写方法。
【００２２】
第三および第四の磁気転写方法においては、弾性部材に設けられる凸状に形成されている部分の厚みが、５μｍ超、100μｍ以下であることが好ましく、さらには10μｍ超、50μｍ未満であることがより好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の第1および第２の磁気転写装置および方法によれば、前記ホルダーと前記弾性部材との間、もしくは、前記弾性部材と前記マスター担体との間に前記マスター担体の前記転写パターンが形成された領域以外の領域に対応する部分にのみ孔を有するスペーサを備えたことにより、マスター担体の凹凸パターン形成部とスレーブの記録面とを効率よく均一に密着させることができ、密着不良に起因する信号抜けの発生を防止して転写信号品位を高め信頼性を向上することができると共に、スレーブ媒体と弾性部材が接触していないため弾性部材から発生する塵埃のスレーブ媒体への付着を防止することができ、また両面に磁気記録層を有するスレーブ媒体に対して両面同時転写が可能であるため両面磁気記録型の磁気記録媒体を製造する製造時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【００２４】
本発明の第３および第４の磁気転写装置および方法によれば、マスター担体の背面とホルダーとの間に配される弾性部材の、マスター担体の背面に対向する面もしくはホルダーに対向する面の、マスター担体の前記転写パターンが形成された領域に対応する部分が凸状に形成されているために、マスター担体の凹凸パターン形成部とスレーブの記録面とを効率よく均一に密着させることができ、密着不良に起因する信号抜けの発生を防止して転写信号品位を高め信頼性を向上することができると共に、スレーブ媒体と弾性部材が接触していないため弾性部材から発生する塵埃のスレーブ媒体への付着を防止することができ、また両面に磁気記録層を有するスレーブ媒体に対して両面同時転写が可能であるため両面磁気記録型の磁気記録媒体を製造する製造時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は第1の実施形態に係る磁気転写装置の転写時の状態を示す要部斜視図である。図２は転写ホルダー10の分解斜視図、図３は、マスター担体とスペーサの平面図およびスペーサの断面図である。なお、各図は模式図でありその厚み等は実際の寸法とは異なる比率で示している。
【００２６】
図１に示す磁気転写装置１は、スレーブ媒体２の片面および他面に転写すべき情報をそれぞれ担持する磁気転写用マスター担体３および４と、該マスター担体３、４およびスレーブ媒体２の重畳体を押圧保持する、第1および第２のホルダー11および12からなる転写ホルダー10と、マスター担体３とホルダー11、マスター担体４とホルダー12のそれぞれの間に介装されるスペーサ５、６および弾性部材７、８と、転写ホルダー10の内部空間のエアを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る図示しない真空吸引手段からなる密着圧力印加手段と、転写ホルダー10を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加手段85とを備えてなる。
【００２７】
図２に示すように、転写ホルダー10は、相対的に接離移動可能な左側の第１のホルダー11と右側の第２のホルダー12とからなり、その内部に形成される内部空間に、スレーブ媒体２およびマスター担体３、４をそれぞれの中心位置を一致させた状態で収容して、この内部空間の減圧によりスレーブ媒体２とマスター担体３、４とを重ね合わせて対峙密着させるものである。第１のホルダー11および第２のホルダー12の背面の中心位置には、それぞれ支持軸が突設され、装置本体に支持され、回転機構に連係されて磁気転写時に回転駆動される。また、転写ホルダー10の内部空間は、密着時には所定の真空度に減圧されて、スレーブ媒体２とマスター担体３、４との密着力を得るととともに、密着面のエア抜きを行って密着性を高めるとともに、大気開放時および剥離時には圧縮空気の導入が行われる。
【００２８】
第1および第２のホルダー11および12は、マスター担体３、４の大きさに対応した円形状の吸着面11ａ、12ａを有し、その表面が平坦に仕上げられている。この吸着面１１ａには、吸気孔がほぼ均等に開口している（多孔質面でもよい）。図示していないが、この吸気孔には内部からホルダー11、12の外部に導出された吸気通路を経て真空ポンプに接続されて吸引され、吸着面11ａ、12ａに弾性部材およびスペーサを介してマスター担体を真空吸着し、好ましくはマスター担体の平坦性を吸着面11ａ、12ａに沿わせて矯正する。
【００２９】
マスター担体３、４は、中心孔３ａ、４ａが開口された剛体によりディスク状に形成されている。このマスター担体３、４は、基板の表面に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面３ｂ、４ｂである。
【００３０】
マスター担体３、４の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。軟磁性体は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体が使用される。
【００３１】
転写情報がサーボ信号の場合は、マスター担体３の情報担持面３ｂには、図３(Ｂ)に示すように、中心部から等間隔でほぼ放射方向（図示の場合は、若干湾曲している）に延びる細幅の領域にサーボパターン（転写パターン）が部分的に形成されている。このサーボパターンが形成されている領域（以下、これを転写パターン領域Ｐと称する。）がスレーブ媒体２と均一な密着が要求される部分であり、マスター担体４の情報担持面３ｂには、転写パターン領域Ｐとそれに隣接する非転写パターン領域が交互に形成されている。なお、マスター担体４の情報担持面４ｂには、マスター担体３の情報担持面３ｂの転写パターンと鏡像関係にある転写パターンが形成されている。
【００３２】
スペーサ５は、プラスチックフィルムなどで形成されたものであり、図３（Ａ）に示すように、マスター担体３の非転写転写パターン領域に対応する領域に裏面に貫通する孔51が設けられ、内周の内リング部52と、外周の外リング部53と、内リング部52と外リング部53を連結する、マスター担体３の転写パターン領域Ｐに対応した複数の放射部54とを有する形状に構成されている。スペーサ５は全領域に渡って略均一な厚みを有し、その厚みｔsは５μｍ超、100μｍ以下であることが好ましい。厚みｔsが５μｍ超であれば凸部としての機能が効果的であり、また100μｍ以下であればスペーサ自体の柔軟性を十分に有するため、弾性部材との密着も良好となるからである。なお、さらに好ましい厚みは10μｍ超、50μｍ未満である。なお、スペーサ６はスペーサ５と略同一形状を有する。
【００３３】
スペーサの材料としては、ポリイミドフィルム、アラミドフィルムなどを用いることができ、孔の形成は、打ち抜きなど機械的な方法により行うことができる。
【００３４】
スペーサ５は、弾性部材７とマスター担体３の背面との間に、マスター担体３の転写パターン領域Ｐと該スペーサ５の放射部54との位置が加圧方向（重畳される方向）に垂直な面内において一致するように位置決めされて第１のホルダー11に保持される。同様に、スペーサ６は、弾性部材８とマスター担体４の背面との間に、マスター担体４の転写パターン領域と該スペーサ６の放射部との位置が一致するように位置決めされて第２のホルダー12に保持される。
【００３５】
弾性部材７、８はマスター担体の背面に接触して押圧するもので、弾性特性を有する材料により円盤状に形成され、ホルダーの押圧面11ａ、12ａに保持される。弾性部材の具体的材料としては、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、テフロン（登録商標）ゴム、バイトンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが挙げられる。弾性部材は全面に亘って略均一な厚みで構成されており、その厚みｔdは、100μｍ以上、3000μｍ以下であることが望ましい。厚みｔdが3000μｍ以下であれば弾性材料としての機能（柔軟性）が効果的であり、また100μｍ以上であれば柔らか過ぎず、密着時に弾性部材が過度に変形することを抑制し、マスター担体とスレーブ媒体との均一な密着に好ましいためである。なお、さらに好ましい厚みは300μｍ以上、700μｍ以下である。
【００３６】
磁界印加手段85は、図示のように転写ホルダー10の両側に配設された電磁石装置80を備えてなり、この電磁石装置80の転写ホルダー10の半径方向に延びるギャップ51を有するコア82にコイル83が巻き付けられてなる。両電磁石装置80はトラック方向と平行な同一の向きの磁界を発生させるものである。また、磁界印加手段85としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよい。垂直記録の場合の磁界印加手段は、転写ホルダー10の両側に配設された、極性の異なる電磁石または永久磁石から構成することができる。すなわち、垂直記録の場合は、トラック面に垂直な方向に転写用磁界を発生させるものである。
【００３７】
また、磁界印加手段85は、転写ホルダー10の開閉動作を許容するように、両側の電磁石装置80が接離移動するか、電磁石装置80、80間に転写ホルダー10が挿入されるように電磁石装置80，80またはホルダー10が移動するようになっている。
【００３８】
次に、上記磁気転写装置１による磁気転写方法について説明する。
【００３９】
非転写媒体たるスレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体である。その磁気記録層は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層である。磁気転写を行う際には、スレーブ媒体２の磁化を、予め面内記録なら面内トラック方向に、また垂直記録なら垂直方向に初期直流磁化しておく。このスレーブ媒体２をマスター担体３、４と密着させ、初期直流磁化方向と略逆向きのトラック方向または垂直方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行う。
【００４０】
上記磁気転写装置の転写ホルダー10は、一組のマスター担体３、４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず第１のホルダー11の押圧面に弾性部材７を保持させ、さらに、不図示の位置決め機構によりスペーサ５の放射部４３とマスター担体３の転写パターン領域Ｐとが一致するように位置決めして保持させる。同様に、第２のホルダー12の押圧面に弾性部材８を保持させ、スペーサ６の放射部とマスター担体４の転写パターン領域Ｐの位置がその重畳方向に垂直な面内において一致するように位置決めして保持させる。
【００４１】
そして、第１のホルダー11と第２のホルダー12とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、第２のホルダー12を第１のホルダー11に接近移動させ閉状態とする。スレーブ媒体２およびマスター担体３、４を収容した転写ホルダー10の内部空間を真空吸引することにより減圧し、スレーブ媒体２とマスター担体３、４とに均一に密着力を加え密着させる。密着力の印加のために、真空吸引に加えて、外部から機械的に加圧してもよい。
【００４２】
その後、転写ホルダー10の両側に電磁石装置50を接近させ、転写ホルダー10を回転させつつ電磁石装置50によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３、４の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録層に転写記録する。上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３、４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した軟磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３、４の転写パターンに応じた磁化パターンが表裏それぞれに転写記録される。
【００４３】
本実施の形態によれば、マスター担体３、４にスレーブ媒体２を密着させる際に、それぞれのマスター担体３、４の背面に備えられているスペーサ５、６の放射部によって、マスター担体３、４の背面の主に転写パターン領域が押圧されるため、転写パターン領域でのスレーブ媒体との密着性を高め、密着不良に伴う転写不良を防止して良好な磁気転写を行うことができる。弾性部材はマスター担体の背面に配置されており、スレーブ媒体は弾性部材と接触しないため、弾性部材から発生する塵埃がスレーブ媒体に付着しにくいために塵埃による密着不良を防止し、また、両面同時転写により迅速に磁気記録媒体を製造することができる。
【００４４】
図４は、本発明の第２の実施形態の磁気転写装置の転写ホルダー10の分解斜視図を示すものである。第２の実施形態の磁気転写装置の全体構成概略は第1の実施形態の図１と同様である。以下の実施形態においては、主として第１の実施形態と異なる点を説明する。また、磁気転写装置と同様の構成要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００４５】
第１の実施形態の磁気転写装置においては、スペーサ５、６が弾性部材７、８とマスター担体３、４との間に配置されているのに対して、本実施形態においては、スペーサ５が第１のホルダー11と弾性部材７との間、スペーサ６が第２のホルダー12と弾性部材８との間にそれぞれ配置されている。スペーサ５および６は、第1の実施形態の場合と同様に、それぞれの放射部がマスター担体の転写パターン領域と一致するように位置決めされてホルダーに保持される。したがって、マスター担体とスレーブ媒体との密着時には、転写パターン領域に特に押圧力が加わるため、転写パターン領域の密着性が高まり、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４６】
なお、第1および第２の実施形態のようにスペーサ６を備えたものは、後述の第３および第４のように弾性部材を加工するよりも簡便に同様の効果を得ることができる。
【００４７】
図５は本発明の第３の実施形態に係る磁気転写装置の転写ホルダー10の分解斜視図を示すものである。
【００４８】
本実施形態はスペーサを有していない点および、弾性部材の一面の、マスター担体の転写パターン領域に対応した領域が凸状に形成されている点で第１および第２の実施形態と異なる。
【００４９】
図６は本実施形態における弾性部材の平面図および断面図を示すものである。弾性部材17、18はマスター担体の背面に接触してマスター担体を押圧するもので、弾性特性を有する材料により円盤状に形成されている。この弾性部材の一面17ａは、図６(Ａ)に示すように、マスター担体３の前記転写パターン領域Ｐに対応して該転写パターン領域Ｐの部分を主に押圧する凹凸形状とされている。すなわち、前記一面17ａは、内周の内リング部72と、外周の外リング部73と、内リング部72と外リング部73を連結するマスター担体３の転写パターン領域Ｐに対応した複数の放射部74とが凸状に形成され、その他の部分は凹部71（裏面に貫通していてもよい）に形成されている。なお、ここでは、凸状に形成された内リング部、該リング部を備えるものとしたが、マスター担体３の転写パターン領域Ｐに対応した放射部74のみが凸状に形成された形状であってもよい。
【００５０】
弾性部材17および18の材料は、先の実施形態の弾性部材７，８と同様であり、圧力印加時に押圧面積が過剰に増大しない程度の弾性特性を有している。具体的材料としては、シリコンゴム、ポリウレタンゴム、フッ素ゴム、ブタジエンゴム、テフロン（登録商標）ゴム、バイトンゴムなど一般的なゴムや、スポンジゴム等の発泡樹脂などが挙げられる。
【００５１】
弾性部材の一面の凸状部上面から他面までの厚みｔは、100以上、3000μｍ以下であることが望ましい。厚みｔが3000μｍ以下であれば弾性材料としての機能（柔軟性）が効果的であり、また100μｍ以上であれば柔らか過ぎて密着時に弾性部材が過度に変形することを抑制し、マスター担体とスレーブ媒体との均一な密着に好ましいためである。なお、さらに好ましい厚みは300μｍ以上、700μｍ以下である。また、凸状部の厚みｔ’は、５μｍ越、100μｍ以下の範囲であることが好ましい。厚みｔ’が５μｍ越であれば凸状部としての機能が効果的であり、また100μｍ以下であれば密着時に凸状部の形状が安定しマスター担体の転写パターン領域とを容易に一致させることができるからである。なお、さらに好ましい凸状部厚みｔ’は10μｍ越、50μｍ未満である。
【００５２】
均一な弾性部材に対して、例えばウォータージェット加工法により凹部を形成し、部分的に凸状部を備えた形状に加工する。  弾性部材17は、その一面17ａがマスター担体３の背面に対向するようにして、マスター担体３の転写パターン領域Ｐと該一面17ａの放射部74との位置が加圧方向（重畳される方向）に垂直な面内において一致するように位置決めされて第１のホルダー11に保持される。同様に、弾性部材18は、凸状部が設けられた一面がマスター担体４の背面に対向するようにして、マスター担体４の転写パターン領域と該一面の凸状放射部との位置が一致するように位置決めされて第２のホルダー12に保持される。
【００５３】
本実施の形態によれば、マスター担体３、４にスレーブ媒体２を密着させる際に、それぞれのマスター担体３、４の背面に備えられている弾性部材17、18の放射部によって、マスター担体３、４の背面の主に転写パターン領域が押圧されるため、転写パターン領域でのスレーブ媒体との密着性を高め、密着不良に伴う転写不良を防止して良好な磁気転写を行うことができる。弾性部材はマスター担体の背面に配置されており、スレーブ媒体は弾性部材と接触しないため、弾性部材から発生する塵埃がスレーブ媒体に付着しにくいために塵埃による密着不良を防止し、また、両面同時転写により迅速に磁気記録媒体を製造することができる。
【００５４】
図７は本発明の第４の実施形態に係る磁気転写装置の転写ホルダー10の分解斜視図を示すものである。
【００５５】
本実施形態は第３の実施形態と同様に、スペーサを有しておらず、片面がマスター担体の転写パターン領域に対応した領域が凸状に形成されている弾性部材を備えている。
【００５６】
第４の実施形態の磁気転写装置においては、弾性部材17、18の、凸状部が形成された面がマスター担体３、４の背面に対向するように配置されているのに対して、本実施形態においては、弾性部材17、18の凸状部が形成された面がホルダーの吸着面に対向するように配置されている。またここでは、マスター担体３、４の転写パターン領域が鏡像関係にあるため、それぞれの背面に設けられる弾性部材の凸状部の形状も弾性部材17と18で鏡像関係にあり、マスター担体の転写パターンと凸状放射部が一致するように弾性部材17がマスター担体４の背面に、弾性部材18がマスター担体３の背面に配置される。
【００５７】
弾性部材17、18は、第３の実施形態の場合と同様に、それぞれの凸状放射部がマスター担体の転写パターン領域と一致するように位置決めされてホルダーに保持される。したがって、マスター担体とスレーブ媒体との密着時には、転写パターン領域に特に押圧力が加わるため、転写パターン領域の密着性が高まり、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５８】
なお、上記実施形態では、マスター担体３および４の転写パターンが鏡像関係にあるとしたが、両パターンは必ずしも鏡像関係にあるとは限らない。
【００５９】
また、上記第1および第２の実施形態において、スペーサは必ずしも２つ設ける必要はなく、いずれか一方のホルダー側にのみ備えるようにしてもよい。また、同様に上記第３および第４の実施形態において、一面に凸部形状とされた弾性部材を必ずしも両ホルダーに備える必要はなく、一方のホルダー側には厚みの均一な弾性部材を備え、他方のホルダー側にのみ、一面に凸部形状を有する弾性部材を備えるようにしてもよい。
【実施例】
【００６０】
以下、本発明の磁気転写装置の実施例および比較例について説明する。
【００６１】
マスター担体としては、スタンパ法により作製したＮｉ基板上にＦｅＣｏ磁性層および保護層を成膜して形成したマスター担体を用いた。マスター担体は、ディスク内径20ｍｍ、ディスク外径32ｍｍとした。
【００６２】
実施例１〜９の磁気転写装置は、上述の第２の実施形態において説明したものである。すなわち、略均一な厚みの弾性部材と、マスター担体の非転写領域に対応する領域に孔を有するスペーサを備え、該スペーサを弾性部材とマスター担体の背面との間に介装させた状態でマスター担体とスレーブ媒体を密着させる磁気転写装置を用いた。スペーサは、ポリイミドフィルムからなり、打ち抜き加工したものを用いた。
【００６３】
実施例１０〜１８の磁気転写装置は、上述の第３の実施形態において説明したものである。すなわち、スペーサを備えず、マスター担体の転写領域に対応する領域が凸状に形成された弾性部材を備え、該弾性部材の凸状に形成された部分を備えた面をマスター担体の背面と対向するように配置した状態でマスター担体とスレーブ媒体を密着させる磁気転写装置である。
【００６４】
比較例の磁気転写装置は、スペーサを備えずかつ表面に凹凸のない略均一な厚みを有する弾性部材を備えた磁気転写装置である。
【００６５】
各例において、弾性部材としては、ウレタンゴムあるいはニトリルゴム（ＮＢＲ）からなるものを用いた。
【００６６】
弾性部材の厚み、凸部厚み、スペーサの有無、スペーサの厚み以外はすべて同一条件下で磁気転写を行った。被転写媒体としては、市販のハードディスクを用いた。
【００６７】
実施例１〜９および比較例の弾性部材の厚みおよびスペーサの厚みは表１に示すとおりである。また、実施例１０〜１８の弾性部材の厚みおよび弾性部材の凸部厚みは表２に示すとおりである。ここで、実施例１０〜１８における弾性部材の厚みは、図６（Ｂ）に示すｔ、凸部厚みは、ｔ’である。
【００６８】
＜評価方法＞
実施例１〜１８および比較例の磁気転写装置を用いて磁気転写を行い製造した磁気記録媒体について、それぞれ信号出力のエンベロープモジュレーションを測定し、その最大値Ｍmaxと最小値Ｍminiの加算値、減算値の比｛（Ｍmax−Ｍmini）／(Ｍmax＋Ｍmini)｝×100（％）の値（以下、これをモジュレーション値という。）を求めた。このモジュレーション値が小さいほど信号値のブレが小さいことを意味し、転写信号の品質が良好であることを示す。すなわち、モジュレーション値が小さいほど転写時におけるマスター担体とスレーブ媒体との密着状態が良好であることを意味する。ここでは、モジュレーション値が３％以下であれば優（◎）、３％超、10％未満であれば良（○）、10％以上、15％未満であれば可（△）、15％以上であれば不可（×）として評価した。
【表１】
2006236429.tif 000003
【００６９】
表１および表２に示すように、スペーサを備えず、かつ、均一な厚みの弾性部材を備えた比較例に対し、スペーサを備えた実施例１〜９および凸部を有する弾性部材を備えた実施例１０〜１８においては、モジュレーション値が抑制され、転写信号が良好であった。
【００７０】
実施例１〜７においてスペーサの厚みが、５μｍ越、100μｍ以下にある実施例は、この範囲外の厚みのスペーサを有する実施例３〜５と比較して転写信号の品質が高かった。同様に、実施例１０から１６において弾性部材の凸部厚みが好ましい範囲５μｍ越、100μｍ以下にある実施例は、この範囲外の厚みの凸部を有する弾性部材を用いた実施例１２〜１４と比較して信号の品質が高かった。
【００７１】
しかしながら、弾性部材の厚みが90μｍである実施例８、実施例１７および弾性部材の厚みが3,500μｍである実施例９、4000μｍである実施例１８は、スペーサの厚みもしくは弾性部材の凸部の厚みが５μｍ越、100μｍ以下の範囲にあるにも拘わらず信号の品質は可程度であった。これは、弾性部材の厚みが90μｍでは薄すぎて、加圧時に弾性部材が過度に変形しマスター担体とスレーブ媒体との密着に不均一な部分が発生したためであり、厚みが3,500μｍ、4000μｍでは厚すぎて弾性部材の剛性が高くなり、その結果柔軟性が低下しやはり密着に不均一な部分が発生したためと考えられる。なお、スペーサの厚みもしくは弾性部材の凸部の厚みのより好ましい範囲である10μｍ越、50μｍ以下の条件を満たすもののうち、弾性部材の厚みが薄すぎたり厚すぎたりしない実施例１および実施例１０では評価が優であり非常に品質よく転写を行うことができた。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】第１の実施形態にかかる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図
【図２】転写ホルダーの分解斜視図
【図３】マスター担体とスペーサの平面図およびスペーサの断面図
【図４】第２の実施形態に係る磁気転写装置の転写ホルダー分解斜視図
【図５】第３の実施形態に係る磁気転写装置の転写ホルダー分解斜視図
【図６】弾性部材の平面図および断面図
【図７】第４の実施形態に係る磁気転写装置の転写ホルダー分解斜視図
【符号の説明】
【００７３】
１    磁気転写装置
２    スレーブ媒体
３、４    マスター担体
3b、4b    情報担持面
５、６    スペーサ
７、８    弾性部材
10    転写ホルダー
11    第1のホルダー
12    第２のホルダー
17、18    一面に凸部を有する弾性部材
51    孔
52    内リング部
53    外リング部
54    放射部
80    電磁石装置
85    磁界印加手段
【図１】
2006236429.tif 000004
【図２】
2006236429.tif 000005
【図３】
2006236429.tif 000006
【図４】
2006236429.tif 000007
【図５】
2006236429.tif 000008
【図６】
2006236429.tif 000009
【図７】
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