(57)【要約】【課題】  液浸系の対物レンズを用いた場合に、基板の観察点に供給された液体を取り残すこと無く除去できる顕微鏡観察装置を提供する。【解決手段】  観察対象の基板１０Ａを支持する支持手段(ステージ部)と液浸系の対物レンズとを備えた液浸顕微鏡２０と、対物レンズを用いた基板の観察時に該基板の観察点に供給される液体２８および/または該液体の周辺に向けて空気を吹き出すことにより、液体を乾燥させる送風手段（ファンフィルタユニットのファン１６Ａ）とを備える。【選択図】      図１
2006194979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象の基板を支持する支持手段と、
液浸系の対物レンズと、
前記対物レンズを用いた前記基板の観察時に該基板の観察点に供給される液体および/または該液体の周辺に向けて空気を吹き出すことにより、前記液体を乾燥させる送風手段とを備えた
ことを特徴とする顕微鏡観察装置。
【請求項２】
請求項１に記載の顕微鏡観察装置において、
前記支持手段および前記対物レンズを収容する筐体をさらに備え、
前記送風手段は、前記筐体の上面に設置され、該上面から前記液体および/または該液体の周辺に向けて前記空気を吹き出すことにより、前記液体を乾燥させる
ことを特徴とする顕微鏡観察装置。
【請求項３】
請求項１に記載の顕微鏡観察装置において、
前記送風手段は、前記対物レンズの側方から前記液体および/または該液体の周辺に向けて前記空気を吹き出すことにより、前記液体を乾燥させる
ことを特徴とする顕微鏡観察装置。
【請求項４】
請求項３に記載の顕微鏡観察装置において、
前記送風手段は、前記基板の観察終了後に予め定めた時間だけ前記空気を吹き出すことにより、前記液体を乾燥させる
ことを特徴とする顕微鏡観察装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の顕微鏡観察装置において、
前記送風手段からの前記空気の吹き出し速度を調整する調整手段をさらに備えた
ことを特徴とする顕微鏡観察装置。
【請求項６】
請求項３から請求項５の何れか１項に記載の顕微鏡観察装置において、
前記送風手段は、前記液体より温度の高い空気を該液体および/または該液体の周辺に向けて吹き出すことにより、前記液体を乾燥させる
ことを特徴とする顕微鏡観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体の液浸観察に用いられる顕微鏡観察装置に関し、特に、半導体ウエハや液晶基板などの液浸観察に好適な顕微鏡観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路素子や液晶表示素子の製造工程では、半導体ウエハや液晶基板（総じて「基板」という）に形成された回路パターンの欠陥や異物などの観察が、顕微鏡観察装置を用いて行われる。顕微鏡観察装置とは、基板を自動搬送する機構と光学顕微鏡システムとを結びつけたものである。光学顕微鏡システムの対物レンズは乾燥系であり、この対物レンズと観察対象の基板との間は空気などの気体で満たされる（例えば特許文献１を参照）。そして、より高い分解能での観察を実現するために、観察波長を紫外域とすることが提案されている。
【特許文献１】特開２００１−１１８８９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、乾燥系の対物レンズを用いた装置では、対物レンズの開口数を“１”より大きくすることができないため、分解能の向上に限界がある。そこで、周知の液浸法を採用し、乾燥系の対物レンズに代えて液浸系の対物レンズを用いることが考えられる。液浸系の対物レンズを用いて、その先端と観察対象の基板との間を水などの液体で満たすことにより、液体の屈折率(＞１)に応じて対物レンズの開口数を“１”より大きくすることができ、分解能を向上させることができる。
【０００４】
しかし、対物レンズを単に乾燥系から液浸系に交換するだけでは、上記の製造工程における基板の観察を効率よく行うことはできない。その観察を効率よく行うためには、液浸系の対物レンズの先端と基板の観察点との間に供給された液体を観察終了後に除去する機構が必要である。このような機構としては、注射針状のノズル部材の先端(開口)を対物レンズの先端近傍に配置し、ノズル部材を介して液体を吸引する構成が考えられる。ところが、このような構成では液体を除去しきれず取り残す可能性がある。
【０００５】
本発明の目的は、液浸系の対物レンズを用いた場合に、基板の観察点に供給された液体を取り残すこと無く除去できる顕微鏡観察装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の顕微鏡観察装置は、観察対象の基板を支持する支持手段と、液浸系の対物レンズと、前記対物レンズを用いた前記基板の観察時に該基板の観察点に供給される液体および/または該液体の周辺に向けて空気を吹き出すことにより、前記液体を乾燥させる送風手段とを備えたものである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の顕微鏡観察装置において、前記支持手段および前記対物レンズを収容する筐体をさらに備え、前記送風手段は、前記筐体の上面に設置され、該上面から前記液体および/または該液体の周辺に向けて前記空気を吹き出すことにより、前記液体を乾燥させるものである。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の顕微鏡観察装置において、前記送風手段は、前記対物レンズの側方から前記液体および/または該液体の周辺に向けて前記空気を吹き出すことにより、前記液体を乾燥させるものである。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の顕微鏡観察装置において、前記送風手段は、前記基板の観察終了後に予め定めた時間だけ前記空気を吹き出すことにより、前記液体を乾燥させるものである。
【０００８】
請求項５に記載の発明は、請求項３または請求項４に記載の顕微鏡観察装置において、前記送風手段からの前記空気の吹き出し速度を調整する調整手段をさらに備えたものである。
請求項６に記載の発明は、請求項３から請求項５の何れか１項に記載の顕微鏡観察装置において、前記送風手段は、前記液体より温度の高い空気を該液体および/または該液体の周辺に向けて吹き出すことにより、前記液体を乾燥させるものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の顕微鏡観察装置によれば、液浸系の対物レンズを用いた場合に、基板の観察点に供給された液体を取り残すこと無く除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を詳細に説明する。
（第１実施形態）
第１実施形態の顕微鏡観察装置１０は、図１(ａ),(ｂ)に示す通り、ミニエンバイロメント装置(１１〜１９)と、その内部に設置された液浸顕微鏡２０および風向き変更部材３０とで構成される。図１(ａ)は顕微鏡観察装置１０の上面図、図１(ｂ)は断面図である。また、ミニエンバイロメント装置(１１〜１９)の内部には、観察対象の基板１０Ａを自動搬送する機構(不図示)も設けられる。基板１０Ａは、半導体ウエハや液晶基板である。顕微鏡観察装置１０は、半導体回路素子や液晶表示素子の製造工程において、基板１０Ａに形成された回路パターンの欠陥や異物などの液浸観察（外観検査）に用いられる。回路パターンは、例えばエッチングパターンである。
【００１１】
ミニエンバイロメント装置(１１〜１９)の説明を行う。ミニエンバイロメント装置(１１〜１９)は、筐体１１と、その内部に設置された仕切り板１２,定盤１３,圧力調整機構１４と、筐体１１の上面１１Ａに設置された複数のファンフィルタユニット１６〜１９とで構成される。筐体１１の下面１１Ｂには、不図示の通気口が形成されている。筐体１１の内部は、基板１０Ａの液浸観察が行われる局所環境(minienvironment)であり、周囲（クリーンルーム内）より清浄度が高くなっている。
【００１２】
また、筐体１１の内部は、縦方向の仕切り板１２と水平方向の定盤１３とにより、３つの空間Ａ,Ｂ,Ｃに分割されている。つまり、定盤１３よりも上面１１Ａ側が、仕切り板１２によって２つの空間Ａ,Ｂに分割され、定盤１３よりも下面１１Ｂ側が、１つの空間Ｃとなっている。そして、空間Ａには液浸顕微鏡２０および風向き変更部材３０が収容され、空間Ｂには基板１０Ａの搬送系(不図示)が収容され、空間Ｃには例えばコンピュータなどが収容される。
【００１３】
なお、定盤１３は、液浸顕微鏡２０や基板１０Ａの搬送系(不図示)を支持する板状の部材であり、仕切り部材１２と対向する箇所に通気用の開口部１３Ａを有すると共に、端部にも同様の開口部１３Ｂ,１３Ｃを有する。さらに、定盤１３と同じ水平面内に設けられた圧力調整機構１４には、大きさを調整可能な通気用の開口部が設けられる。また、仕切り板１２には、搬送系により搬送される基板１０Ａの通過用の開口部１２Ａが設けられる。基板１０Ａは、開口部１２Ａを介して空間Ｂから空間Ａに搬送され、液浸顕微鏡２０による液浸観察が終了すると、開口部１２Ａを介して空間Ａから空間Ｂに回収される。
【００１４】
ファンフィルタユニット１６〜１９は、筐体１１の上面１１Ａに設置され、周囲（クリーンルーム内）の空気からゴミや塵などの微小な気体中パーティクルを除去した後、清浄な空気を筐体１１の内部に導入する機構である（ＦＦＵ；FAN FILTER UNIT）。ファンフィルタユニット１６〜１９のうち、１つのファンフィルタユニット１６は、筐体１１の内部の空間Ａに向けて清浄な空気を導入する。また、残りの３つのファンフィルタユニット１７〜１９は、筐体１１の内部の空間Ｂに向けて清浄な空気を導入する。
【００１５】
全てのファンフィルタユニット１６〜１９には、各々、筐体１１の上面１１Ａから筐体１１の内部（空間Ａ,空間Ｂ）に向けて空気を吹き出すダウンフローの送風手段として、ファン１６Ａ〜１９Ａが設けられる。さらに、全てのファンフィルタユニット１６〜１９には、各々、吹き出し口を覆うように発塵防止用のＵＬＰＡフィルタ(Ultra Low Penetoration Air Filter)１６Ｂ〜１９Ｂが装着される。なお、ファンフィルタユニット１９のファン１９ＡとＵＬＰＡフィルタ１９Ｂは図示省略した。
【００１６】
また、空間Ａの上部のファンフィルタユニット１６には、空間Ａに設置された液浸顕微鏡２０の光学系を保護するために、その吹き出し口を覆うようにケミカルフィルタ１６Ｃが装着される。ケミカルフィルタ１６Ｃは、有機系ガスを除去するフィルタと、アルカリ性ガス（例えばアンモニアガス）を除去するフィルタと、酸性ガスを除去するフィルタとの組み合わせからなり、ファン１６ＡとＵＬＰＡフィルタ１６Ｂとの間に配置される。なお、酸性ガスを除去するフィルタは省略しても構わない。
【００１７】
上記のように構成されたミニエンバイロメント装置(１１〜１９)において、筐体１１の内部のうち空間Ａには、ＵＬＰＡフィルタ１６Ｂによりゴミや塵などの微小な気体中パーティクルが除去され、且つ、ケミカルフィルタ１６Ｃにより化学物質（有機系ガスやアンモニアガスなど）が除去された清浄な空気が、ファン１６Ａにより吹き出される。また、空間Ｂには、ＵＬＰＡフィルタ１７Ｂ〜１９Ｂによりゴミや塵などの微小な気体中パーティクルが除去された清浄な空気が、ファン１７Ａ〜１９Ａにより吹き出される。
【００１８】
筐体１１の上面１１Ａから空間Ａ,Ｂに吹き出された空気は、下方に向かって流れ（ダウンフロー）、定盤１３の通気用の開口部１３Ａ〜１３Ｃと、圧力調整機構１４の通気口を介して、定盤１３より下面１１Ｂ側の空間Ｃに到達する。そして、さらに下方に向かって流れ、下面１１Ｂの通気口(不図示)を介して、筐体１１の外部（クリーンルーム内）に排気される。なお、図１の矢印は、空気の流れを表している。このように、ミニエンバイロメント装置(１１〜１９)を用いることで、クリーンルーム内の清浄度を全体的に高くするより安価に、基板１０Ａの液浸観察に必要な高い清浄度を実現することができる。
【００１９】
また、ミニエンバイロメント装置(１１〜１９)では、仕切り板１２の真下（定盤１３のうち仕切り板１２と対向する箇所）に設けた開口部１３Ａにより、仕切り板１２に沿って下方に流れる空気を乱すことなくスムーズに空間Ｃまで導くことができる。さらに、圧力調整機構１４の通気口の大きさを調整し、空間Ａの内部圧力Ｐ１を空間Ｂの内部圧力Ｐ２よりも高くすることによって、空間Ａ,Ｂにおける空気の流れ方向を、仕切り板１２の開口部１２Ａを介して空間Ａ側から空間Ｂ側へ流れるように設定することができる。
【００２０】
したがって、仕切り板１２の開口部１２Ａを介して空間Ａ,Ｂが繋がっている場合でも、空間Ｂに吹き出された空気（有機系ガスを含む空気）が、開口部１２Ａを介して空間Ａに広がることは殆どないと考えられる。このため、空間Ａをファンフィルタユニット１６からの空気（有機系ガスを含まない空気）によって安定的に満たすことができる。つまり、局所的にＴ.Ｏ.Ｃ.（Total Organic Carbon：全有機炭素）などのアウトガスの少ない環境を作り出すことができる。その結果、空間Ａでは、液浸顕微鏡２０の光学系を通過する検査光（例えば深紫外光）と有機系ガスとの化学反応が起こることはなく、その光学系（例えばレンズ表面の膜など）を保護することができる。
【００２１】
さらに、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａによって空間Ａに吹き出された空気は、液浸顕微鏡２０による基板１０Ａの液浸観察時に基板１０Ａの観察点に供給される液体２８および/または液体２８の周辺にも到達する。このため、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａは、基板１０Ａの観察点に供給される液体２８および/または液体２８の周辺に向けて空気を吹き出す手段（請求項の「送風手段」に対応）としても機能することになる。
【００２２】
また、空間Ａの液浸顕微鏡２０の近傍には風向き変更部材３０が固定的に設置され、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａによって空間Ａに吹き出された空気（ダウンフロー）の一部を略９０度方向に反射するため、その流れ方向（風向き）を下向きから横向きに変更することができる。このため、液浸顕微鏡２０の側方から液体２８および/または液体２８の周辺に向けて空気を吹き付けることができる。風向き変更部材３０は、板部材（例えば板金）である。
【００２３】
次に、空間Ａの液浸顕微鏡２０について説明する。図２に示す通り、液浸顕微鏡２０には、観察対象の基板１０Ａを支持するステージ部(２１,２２)と、液浸系の観察光学系(２４,２５)と、液体供給機２６と、液体吸引機２７とが設けられる。また、液浸顕微鏡２０には、図示省略したが、制御部や、照明光学系、ＴＴＬ方式のオートフォーカス機構なども設けられる。
【００２４】
ステージ部(２１,２２)は、シリンジ２１とＸＹＺステージ２２とで構成されている。シリンジ２１は、ＸＹＺステージ２２により鉛直方向に移動可能、水平面内で移動可能に支持されている。基板１０Ａは、例えば現像装置から搬送されてシリンジ２１の上面に載置され、例えば真空吸着により固定的に支持される。なお、ＸＹＺステージ２２は、基板１０Ａの焦点合わせ時に、シリンジ１１を鉛直方向に移動させる。焦点合わせ動作は、不図示の制御部がオートフォーカス機構を用いて行う。また、基板１０Ａの予め定めた観察点を観察光学系(２４,２５)の視野内に位置決めする際、ＸＹＺステージ２２は、シリンジ２１を水平面内で移動させる。ＸＹＺステージ２２のベース部材は液浸顕微鏡２０の本体に固定されている。
【００２５】
観察光学系(２４,２５)には、液浸系の対物レンズ２４と、接眼レンズ２５などが設けられる。対物レンズ２４と接眼レンズ２５は、液浸顕微鏡２０の本体に固定されている。対物レンズ２４は、その先端（下面）と基板１０Ａとの間が液浸媒質（液体２８）で満たされたときに、光学系の収差が補正されるように設計されている。対物レンズ２４の先端が、液体２８との接触部分となる。
【００２６】
また、不図示の照明光学系には、照明光源などが設けられる。観察波長は、例えば可視域や紫外域である。なお、可視域の波長の照明光源を用いる場合は接眼レンズ２５を用いた基板１０Ａの液浸観察が可能となる。しかし、紫外域の波長の照明光源を用いる場合は、接眼レンズ２５からの観察はできないので、接眼レンズ２５の代わりにＣＣＤカメラなどを設けて撮像し、モニタ装置に表示して観察する。
【００２７】
液体供給機２６は、液浸媒質の液体２８を基板１０Ａの観察点に供給する機構であり、吐出ノズルと加圧ポンプと液体タンクなどにより構成される。吐出ノズルは、対物レンズ２４の周辺近傍に配置され、その先端が対物レンズ２４の先端近傍に配置される。加圧ポンプは、液体タンクから所定量の液体を吐出ノズルに送り出す。その結果、吐出ノズルの先端から吐出した液体２８は、対物レンズ２４の先端と基板１０Ａとの間（空間）に到達する。このように、吐出ノズルを介して液体２８が供給され、表面張力により「液滴」を形成する。液体２８の供給は、液浸観察の前に、不図示の制御部が自動的に行う。
【００２８】
液浸顕微鏡２０の対物レンズ２４と接眼レンズ２５（または不図示のＣＣＤカメラ）を用いた基板１０Ａの液浸観察は、基板１０Ａの観察点に液体２８が供給され、且つ、基板１０Ａが対物レンズ２４の焦点面に位置決めされた状態で行われる。また、基板１０Ａの液浸観察は、ファンフィルタユニット１６〜１９によるダウンフロー環境下で行われる。この液浸観察時、空間Ａは有機系ガスを含まない空気によって満たされ、液浸顕微鏡２０はクリーンな環境で使用されるため、液浸顕微鏡２０の光学系（対物レンズ２４など）を確実に保護できる。
【００２９】
液浸顕微鏡２０では、接眼レンズ１５の視野位置（あるいはＣＣＤカメラの撮像面）に基板１０Ａの拡大像（パターン像）が形成され、この像により基板１０Ａの観察が行われる。また、対物レンズ２４の先端と基板１０Ａの観察点との間を満たす液体２８の屈折率(＞１)に応じて、対物レンズ２４の開口数を“１”より大きくすることができ、乾燥系の装置（対物レンズの開口数≦１）と比較して分解能を確実に向上させることができる。
【００３０】
ちなみに、分解能は、対物レンズ２４の開口数ＮＡと、観察波長λと、定数ｋとを用いて、「分解能＝ｋ×λ／ＮＡ」と表される。定数ｋの値には、２点間の分解能を議論する場合、通常“０.６１”が用いられる。また、対物レンズ２４の開口数ＮＡは、対物レンズ２４の開き角θと、対物レンズ２４と基板１０Ａとの間の媒質の屈折率ｎとを用いて、「ＮＡ＝ｎ×sinθ」と表される。このように、分解能は、対物レンズ２４と基板１０Ａとの間の屈折率ｎの増加に反比例して小さくなる（向上する）。
【００３１】
なお、液浸媒質の液体２８としては、例えば純水を使用する。純水は、半導体製造工程などで容易に大量入手できるものである。また、基板１０Ａ上のフォトレジストに対する悪影響がないため、基板１０Ａの非破壊検査が可能となる。また、純水は環境に対する悪影響もなく、不純物の含有量が極めて低いため、基板１０Ａの表面を洗浄する作用も期待できる。半導体製造工程で使用される純水は一般に「超純水」と呼ばれる。これは一般に「純水」と呼ばれるものより純度が高く、比抵抗は１８.２ＭΩ・ｃｍ以上である。本実施形態においても超純水を用いるのがより好ましい。
【００３２】
液体吸引機２７は、基板１０Ａの観察終了後、液浸媒質の液体２８を基板１０Ａの観察点から吸引する機構であり、吸引ノズルと吸引ポンプと廃液タンクなどにより構成される。吸引ノズルは、対物レンズ２４の周辺近傍に配置され、その先端が対物レンズ２４の先端近傍に配置される。吸引ポンプは、対物レンズ２４の先端と基板１０Ａとの間の液体２８を吸引ノズルを介して周りの空気と一緒に吸引する。つまり、液体２８を基板１０Ａから除去する。吸引された液体２８は例えばフィルタにより空気とは選別され、廃液タンクに集められる。このように、吸引ノズルを介して液体２８が吸引される。液体２８の吸引は、液浸観察の後で、不図示の制御部が自動的に行う。
【００３３】
ところが、上記の液体吸引機２７を用いた場合には、液体２８を除去しきれずに取り残す可能性がある。取り残される液体の付着箇所は、図３に示す通り、観察時に液体２８と接触していた箇所８Ａ,８Ｂであり、対物レンズ２４の先端（特に先球レンズ２４Ａの先端）や、基板１０Ａの観察点などである。これらの箇所８Ａ,８Ｂに液体が取り残されたまま放置すると、対物レンズ２４（特に先球レンズ２４Ａ）の先端の劣化や、基板１０Ａの観察点の溶解が進むことがあり、好ましくない。
【００３４】
しかし、本実施形態の顕微鏡観察装置１０では、ファンフィルタユニット１６〜１９によるダウンフロー環境下で基板１０Ａの液浸観察が行われ、常に（基板１０Ａの観察中だけでなく観察終了後も）、液体２８および/または液体２８の周辺に向けて空気が吹き出され続ける。このため、上記の液体吸引機２７を用いた吸引では除去しきれなかった液体２８を乾燥によって取り残すこと無く確実に除去することができる。したがって、対物レンズ２４の先端の劣化や基板１０Ａの観察点の溶解などを最小限に抑えることができる。
【００３５】
さらに、本実施形態の顕微鏡観察装置１０では、液浸顕微鏡２０を収容する筐体１１の空間Ａの上部に設置されたファンフィルタユニット１６のファン１６Ａを液体乾燥用の送風手段として利用するため、周囲（クリーンルーム内）よりも清浄度の高い局所環境に液浸顕微鏡２０を設置するだけで、上記の液体吸引機２７を用いた吸引では除去しきれなかった液体２８を乾燥によって確実に除去することができる。
【００３６】
また、本実施形態の顕微鏡観察装置１０では、液浸顕微鏡２０の近傍に設置された風向き変更部材３０により、一部の空気の流れ方向を下向きから横向きに変更して、対物レンズ２４の側方から液体２８および/または液体２８の周辺に向けて空気を吹き付けるため、上記の液体吸引機２７を用いた吸引では除去しきれなかった液体２８を乾燥によって急速に除去することができる。空気の流れ方向を横向きにした場合、取り残された液体に風が直接当たるため、乾燥を早めることができる。
【００３７】
さらに、本実施形態の顕微鏡観察装置１０では、液体２８を除去する際に、液体吸引機２７を用いた吸引と、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａ（および風向き変更部材３０）を用いた乾燥とを併用するため、基板１０Ａの観察終了後、瞬時に液体２８を除去することができる。
液体２８が対物レンズ２４の先端や基板１０Ａの観察点に接触している時間が短いほど、対物レンズ２４の劣化や基板１０Ａの溶解などが起き難い。つまり、対物レンズ２４や基板１０Ａ（微細パターン）を保護できる。また、対物レンズ２４の劣化や基板１０Ａの溶解に起因する汚染物の発生も最小限に抑えることができる。
【００３８】
なお、上記した第１実施形態では、液浸顕微鏡２０の近傍に風向き変更部材３０を固定的に設置する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。同様の風向き変更部材を可動に設置して、基板１０Ａの観察終了までは空気の流れを下向きに維持し、観察終了後に下向きから横向きに変更するように構成してもよい。この場合には、上記と同様の時間で液体２８を乾燥させることができ、液浸顕微鏡２０の可動部（例えばステージ部(２１,２２)）に起因するゴミの撒き散らしの影響を低減することもできる。
（第２実施形態）
第２実施形態の顕微鏡観察装置４０は、図４に示す通り、上記した第１実施形態の風向き変更部材３０（図１）に代えて、液体乾燥専用の送風機３１を設けたものである。送風機３１も空間Ａの液浸顕微鏡２０の近傍に配置される。送風機３１は、ファン３１Ａと、その吹き出し口に装着された発塵防止用（パーティクル除去用）のＵＬＰＡフィルタ３１Ｂとで構成され、対物レンズ２４の側方から液体２８および/または液体２８の周辺に向けて（横向きに）空気を吹き出すように配置される。
【００３９】
したがって、ファンフィルタユニット１６〜１９によるダウンフロー環境下で基板１０Ａの液浸観察が行われた後、送風機３１のファン３１Ａを動作させることにより、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａから吹き出された空気だけでなく、送風機３１のファン３１Ａから吹き出された空気も、液体２８および/または液体２８の周辺に向けて導くことができ、上記の液体吸引機２７を用いた吸引では除去しきれなかった液体２８を乾燥によって強制的に効率よく除去できる。空気の流れ方向を横向きにした場合、取り残された液体に風が直接当たるため、乾燥を早めることができる。さらに、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａと送風機３１のファン３１Ａとの併用により、さらに乾燥を早めることができる。
【００４０】
また、液体乾燥専用の送風機３１のファン３１Ａ（請求項３〜請求項６の「送風手段」に対応する）の動作時間を制御し、基板１０Ａの観察終了後に予め定めた時間だけ空気を吹き出すように設定することにより、乾燥によって液体を強制的に効率よく除去しつつ、液浸顕微鏡２０の可動部（例えばステージ部(２１,２２)）に起因するゴミの撒き散らしの影響を低減することもできる。
【００４１】
送風機３１のファン３１Ａの動作開始のタイミングとしては、基板１０Ａの液浸観察を上記の接眼レンズ２５を用いて行う場合、液浸顕微鏡２０の制御部(不図示)に観察終了を知らせるボタンが観察者によって操作されたタイミングに基づいて判断すればよい。ボタン操作のタイミングで直ぐにファン３１Ａを動作開始させてもよいし、ボタン操作のタイミングから一定時間が経過した時点でファン３１Ａを動作開始させてもよい。
【００４２】
また、基板１０Ａの液浸観察に不図示のＣＣＤカメラを用いる場合、ファン３１Ａの動作開始のタイミングとしては、ＣＣＤカメラによる観察画像の取り込みが終了したタイミングに基づいて、液浸顕微鏡２０の制御部(不図示)が判断すればよい。観察画像の取り込み後、直ぐにファン３１Ａを動作開始させてもよいし、一定時間が経過した時点でファン３１Ａを動作開始させてもよい。
【００４３】
さらに、ファン３１Ａの動作時間（上記の予め定めた時間）は、(１)液体供給機２６による液体２８の供給量と液体吸引機２７による液体２８の吸引性能に応じて、吸引後の液体の取り残し量を概算し、(２)液体の取り残し量とファン３１からの空気の吹き出し速度とに応じて、取り残された分の乾燥に必要な時間を概算し、この時間をファン３１Ａの動作時間として決定すればよい。
【００４４】
また、送風機３１のファン３１Ａからの空気の吹き出し速度（風速）を調整し、例えば動作開始時を低速とし、徐々に速度を上げて、動作終了時を高速とする（つまり液体に残量に応じて空気の吹き出し速度を設定する）ことにより、取り残された液体が周辺に飛び散る事態を回避しつつ、液体を乾燥によって強制的に効率よく除去することができる。空気の吹き出し速度の調整は、周知の電圧切換回路によって行うことができる。
【００４５】
なお、上記した第２実施形態では、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａと送風機３１のファン３１Ａとを組み合わせる例（送風手段）を説明したが、本発明はこれに限定されない。ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａを省略して（つまりミニエンバイロメント装置(１１〜１９)を省略して）、液浸顕微鏡２０と送風機３１により顕微鏡観察装置を構成し、送風機３１のファン３１Ａから吹き出される空気のみを用いて液体２８を乾燥させてもよい。この場合にも、送風機３１のファン３１Ａの動作タイミングや動作時間、空気の吹き出し速度を同様に制御することで、上記と同様の効果が得られる。
（第３実施形態）
第３実施形態の顕微鏡観察装置５０は、図５に示す通り、上記した第２実施形態の送風機３１（図４）に代えて、ダクト３２と液体乾燥専用の送風機３３とを設けたものである。ダクト３２は、液浸顕微鏡２０の照明光源２９と送風機３３との間に配置される。照明光源２９は熱源と考えられる。送風機３３は、空間Ａの液浸顕微鏡２０の近傍に配置され、ファン３３Ａと、その吹き出し口に装着された発塵防止用（パーティクル除去用）のＵＬＰＡフィルタ３３Ｂとで構成される。
【００４６】
第３実施形態の顕微鏡観察装置５０では、照明光源２９の余熱を利用し、照明光源２９によって温められた空気（液体２８より温度の高い空気）を、ダクト３２を介して送風機３３の上流側の吸気口に導き、送風機３３を介して対物レンズ２４の側方から液体２８および/または液体２８の周辺に向けて（横向きに）吹き出すことができる。
したがって、ファンフィルタユニット１６〜１９によるダウンフロー環境下で基板１０Ａの液浸観察が行われた後、送風機３３のファン３３Ａを動作させることにより、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａから吹き出された空気だけでなく、送風機３３のファン３３Ａから吹き出された空気（温風,熱風）も、液体２８および/または液体２８の周辺に向けて導くことができ、上記の液体吸引機２７を用いた吸引では除去しきれなかった液体２８を乾燥によって強制的に効率よく除去できる。空気の流れ方向を横向きにした場合、取り残された液体に風が直接当たるため、乾燥を早めることができる。さらに、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａと送風機３３のファン３３Ａとの併用により、さらに乾燥を早めることができる。また、温風を用いることにより、さらに効果的に液体を乾燥させることができる。
【００４７】
また、第３実施形態の顕微鏡観察装置５０でも、送風機３３のファン３３Ａの動作タイミングや動作時間、空気の吹き出し速度などを上記した第２実施形態の送風機３１と同様に制御することで、上記と同様の効果を得ることができる。
なお、上記した第３実施形態では、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａと送風機３３のファン３３Ａとを組み合わせる例（送風手段）を説明したが、本発明はこれに限定されない。ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａを省略して（つまりミニエンバイロメント装置(１１〜１９)を省略して）、液浸顕微鏡２０と送風機３３により顕微鏡観察装置を構成し、送風機３３のファン３３Ａから吹き出される空気のみを用いて液体２８を乾燥させてもよい。
【００４８】
また、上記した第３実施形態では、液浸顕微鏡２０の近傍（ダクト３２の下流側）に送風機３３を配置したが、本発明はこれに限定されない。照明光源２９の近傍（ダクト３２の上流側）に配置された不図示の熱源冷却用のファンを液体乾燥用のファンとして用いることもできる。この場合、ファンからの排気熱風は、ダクト３２を介して液浸顕微鏡２０の近傍に導かれ、液体の乾燥に利用される。
（変形例）
なお、上記した実施形態では、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａと風向き変更部材３０（または送風機３１のファン３１Ａまたは送風機３３のファン３３Ａ）とを組み合わせる例（送風手段）を説明したが、本発明はこれに限定されない。風向き変更部材３０（または送風機３１のファン３１Ａまたは送風機３３のファン３３Ａ）を省略して、ファンフィルタユニット１６のファン１６Ａから吹き出される空気のみを用いて液体２８を乾燥させてもよい。この場合には、液体の乾燥に少し時間が掛かる可能性はあるが、上記と同様、その液体を取り残すこと無く除去可能である。
【００４９】
また、上記した実施形態では、液体２８の吸引と乾燥とを併用して液体２８を除去する例を説明したが、本発明はこれに限定されない。液体の吸引を行わずに、液体の乾燥のみを行うことで、液体を除去してもよい。この場合、液体の除去に時間は掛かるが、上記と同様、その液体を取り残すこと無く除去可能である。
さらに、上記した実施形態では、空間Ａの１つのファンフィルタユニット１６にケミカルフィルタ１６Ｃを装着したが、本発明はこれに限定されない。空間Ａに複数のファンフィルタユニットが設置される場合には、その全てにケミカルフィルタを装着することが必要になる。また、１つ以上のファンフィルタユニットが空間Ａと空間Ｂにまたがって設置される場合は、そのファンフィルタユニットの吹き出し口を分割して、少なくとも空間Ａに向けての吹き出し部分を覆うようにケミカルフィルタを装着すればよい。
【００５０】
このように、液浸顕微鏡２０を設置しない(搬送系を設置する)空間Ｂのファンフィルタユニット１７〜１９においてケミカルフィルタの装着を省略し、液浸顕微鏡２０を設置する空間Ａのファンフィルタユニット１６のみにケミカルフィルタ１６Ｃを装着したので、ケミカルフィルタの少数化により、ランニングコストおよびイニシャルコストを確実に削減することができる。ただし、全てのファンフィルタユニットにケミカルフィルタを装着しても構わない。
【００５１】
また、ＵＬＰＡフィルタに代えてＨＥＰＡ(High Efficiency Particulate Air Filter)フィルタなどの高性能集塵フィルタを装着した場合にも本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】顕微鏡観察装置１０の上面図(ａ)および縦断面図(ｂ)である。
【図２】液浸顕微鏡２０の構成を示す概略図である。
【図３】観察時に液体２８と接触する箇所８Ａ,８Ｂを説明する図である。
【図４】顕微鏡観察装置４０の縦断面図である。
【図５】顕微鏡観察装置５０の一部分（空間Ａ）の縦断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０，４０，５０  顕微鏡観察装置
１１  筐体
１２  仕切り板
１３  定盤
１４  圧力調整機構
１６，１７，１８，１９  ファンフィルタユニット
１６Ａ，１７Ａ，１８Ａ，３１Ａ，３３Ａ  ファン
１６Ｂ，１７Ｂ，１８Ｂ，３１Ｂ，３３Ｂ  ＵＬＰＡフィルタ
１６Ｃ  ケミカルフィルタ
２０  液浸顕微鏡
２１  シリンジ
２２  ＸＹＺステージ
２４  液浸系の対物レンズ
２６  液体供給機
２７  液体吸引機
２８  液体
２９  照明光源
３０  風向き変更部材
３１，３３  送風機
３２  ダクト
【図１】
2006194979.tif 000003
【図２】
2006194979.tif 000004
【図３】
2006194979.tif 000005
【図４】
2006194979.tif 000006
【図５】
2006194979.tif 000007