(57)【要約】【課題】  測定結果や装置特有の傾向を迅速に把握できるようにする。【解決手段】  記憶手段２０に記憶された測定結果を、個別のウィンドウ内にグラフとして表示する表示手段３０と、該ウィンドウのいくつかを選択する入力手段１０と、該選択された前記個別のウィンドウのいくつかに表示されたグラフの種類の情報を記憶し、前記測定結果をグラフ表示する測定結果レンダリング手段２１０と、グラフの種類が同じ場合には、グラフの軸の位置を重ね、あるグラフの表示エリア内だけを透明にしてそれ以外のグラフは少なくとも表示エリア内を透明にするよう処理し、該あるグラフを一番上のウィンドウとして表示装置３０に表示し、一番下のウィンドウのグラフは少なくとも表示エリア内を不透明にし、該それ以外のグラフをあるグラフの下に重ね合わせる処理を実行する演算手段４０とを含む半導体素子の測定結果の解析システムを提供する。【選択図】  図１
2006278891.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子の測定結果とグラフ表示プログラムとを記憶している記憶手段と、
個別のウィンドウ内にグラフとして前記測定結果を表示する表示手段と、
該個別のウィンドウのいくつかを選択するための入力手段と、
該入力手段により選択されたいくつかのウィンドウのうち、前記表示手段において一番上に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの表示エリア内だけを透明にして該表示エリア外を不透明にし、一番下に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を不透明にし、前記一番上に表示されるレイヤと前記一番下に表示されるレイヤとの間に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を透明にするために、前記グラフ表示プログラムを用いて該レイヤ内のグラフを前記表示手段上で重ね合わせて表示させる演算手段と
を含んでなる、半導体素子の測定結果の解析システム。
【請求項２】
前記入力手段を用いて前記ウィンドウ内のあるグラフの大きさが変更されると、前記演算手段は、変更された前記あるグラフの拡大率または縮尺率に基づいて、前記ウィンドウ以外のグラフが前記ウィンドウ内のあるグラフと同じ大きさになるようにさらに処理する請求項１に記載の解析システム。
【請求項３】
前記記憶手段が、選択された前記個別のウィンドウ内に表示された前記グラフの種類についての情報を記憶しているレンダリング情報共有部をさらに含む請求項１または２に記載の解析システム。
【請求項４】
前記グラフの種類は、ＸＹ平面図、散布図、または、レーダーチャートである請求項３に記載の解析システム。
【請求項５】
半導体素子の測定結果とグラフ表示プログラムとを記憶手段に記憶させるステップと、
表示手段において、個別のウィンドウ内にグラフとして前記測定結果を表示させるステップと、
該個別のウィンドウのいくつかを入力手段を用いて選択するステップと、
演算手段が、該入力手段により選択されたいくつかのウィンドウのうち、前記表示手段において一番上に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの表示エリア内だけを透明にして該表示エリア外を不透明にし、一番下に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を不透明にし、前記一番上に表示されるレイヤと前記一番下に表示されるレイヤとの間に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を透明にするために、前記グラフ表示プログラムを用いて該レイヤ内のグラフを前記表示手段上で重ね合わせて、前記表示装置に表示させるステップと
を含んでなる、半導体素子の測定結果の解析方法。
【請求項６】
前記入力手段を用いて前記ウィンドウ内のあるグラフの大きさが変更されると、前記演算手段は、変更された前記あるグラフの拡大率または縮尺率に基づいて、前記ウィンドウ以外のグラフが前記ウィンドウ内のあるグラフと同じ大きさになるようにさらに処理する請求項５または６に記載の解析方法。
【請求項７】
前記記憶手段が、選択された前記個別のウィンドウ内に表示された前記グラフの種類についての情報をレンダリング情報共有部に記憶させるステップをさらに含む請求項５または６に記載の解析方法。
【請求項８】
前記グラフの種類は、ＸＹ平面図、散布図、または、レーダーチャートである請求項５から７のいずれかに記載の解析システム。
【請求項９】
前記請求項５から８のいずれかに記載の解析方法を実行するために、
前記表示手段において一番上に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの表示エリア内だけを透明にして該表示エリア外を不透明にするよう処理する命令と、
前記表示手段において一番下に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を不透明にするよう処理する命令と、
前記表示手段において前記一番上に表示されるレイヤと前記一番下に表示されるレイヤとの間に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を透明にするよう処理する命令と、
前記表示手段に前記各ウィンドウ内のグラフを表示させ、該グラフの軸が互いに揃うように重ね合わせる命令と
を前記演算手段に対して実行させるコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体特性評価装置において、半導体素子の測定評価によって得られた測定結果をグラフに表示する方法およびソフトウェアとこれを用いたシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体特性評価装置では、ウェハマップ解析補助システムなどを用いて半導体素子の測定評価結果が一定の範囲内に収まっているかを数値化して管理している。しかしながら、単に数値範囲内に収まっているか否かのみで判別するだけでは、異常が発生して警報（アラーム）が表示される前に予め対策することが困難である。これによって、製造品の歩留低下などの悪影響をもたらす場合がある。
【０００３】
上記の問題を解決するために、特許文献１に記載のウェハマップ解析補助方法およびシステムが知られている。この特許文献１は、製造装置特有の傾向や故障前の前兆または生産品種の変更時に発生する可能性のあるマスクに起因する変調などのトラブルが製造途中で発生する可能性についてウェハマップを用いて予測するものである。具体的には、いくつかのウェハマップ用のオリジナルマップから合成マップを作成して画像表示手段に表示し、個々のウェハマップについての透明度を含む色彩設定を行って、個々のウェハマップが重なっても情報が区別できるようにしている。なお、特許文献１によれば、マップ合成画面上において色彩設定を変更することや、ウェハマップの各レイヤで上下移動ができるようにすることなどが記載されている。
【０００４】
しかしながら、この特許文献１の方法には、以下の制約が存在する。第１に、特許文献１は、半導体素子の特性を示す各ウェハマップのグラフ表示全体の背景の透明度を一律に調整することしか示唆していない。すなわち、特許文献１は、例えば、ＸＹ平面グラフの場合であればそのグラフのＸ軸およびＹ軸によって囲まれたグラフ領域内（表示エリア内）の色彩設定を選択的に調整することまでは意図していない。そのため、半導体素子の特性を示すいくつかのグラフを重ね合わせて表示画面上で簡単に比較したい場合であっても、関連するデータを処理してから１つのグラフに表示させる必要があるので、迅速な観察が困難である。
【特許文献１】特開平１１−６７８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、半導体素子の測定結果や製造装置特有の傾向をより迅速に把握するために、半導体素子の特性を簡単に比較できるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、半導体素子の測定結果の傾向や装置特有の傾向を、ユーザが表示画面上で視覚的に容易に比較したり理解できるような解析システムを提供するものである。
具体的には、半導体素子の測定結果とグラフ表示プログラムとを記憶している記憶手段と、個別のウィンドウ内にグラフとして前記測定結果を表示する表示手段と、該個別のウィンドウのいくつかを選択するための入力手段と、該入力手段により選択されたいくつかのウィンドウのうち、前記表示手段において一番上に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの表示エリア内だけを透明にして該表示エリア外を不透明にし、一番下に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を不透明にし、前記一番上に表示されるレイヤと前記一番下に表示されるレイヤとの間に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を透明にするために、前記グラフ表示プログラムを用いて該レイヤ内のグラフを前記表示手段上で重ね合わせて表示させる演算手段とを含んでなる、半導体素子の測定結果の解析システムを提供する。
【０００７】
ここで、前記解析システムは、前記入力手段を用いて前記ウィンドウ内のあるグラフの大きさが変更されると、前記演算手段は、変更された前記あるグラフの拡大率または縮尺率に基づいて、前記ウィンドウ以外のグラフが前記ウィンドウ内のあるグラフと同じ大きさになるようにさらに処理する態様や、前記記憶手段が、選択された前記個別のウィンドウ内に表示された前記グラフの種類についての情報を記憶しているレンダリング情報共有部をさらに含む態様であることが好ましい。また、前記解析システムの前記グラフの種類は、ＸＹ平面図、散布図、または、レーダーチャートである態様がより好ましい。
【０００８】
また、本発明は、半導体素子の測定結果の傾向や装置特有の傾向を、ユーザが表示画面上で視覚的に容易に比較したり理解できるような解析方法も提供する。
具体的には、半導体素子の測定結果とグラフ表示プログラムとを記憶手段に記憶させるステップと、表示手段において、個別のウィンドウ内にグラフとして前記測定結果を表示させるステップと、該個別のウィンドウのいくつかを入力手段を用いて選択するステップと、演算手段が、該入力手段により選択されたいくつかのウィンドウのうち、前記表示手段において一番上に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの表示エリア内だけを透明にして該表示エリア外を不透明にし、一番下に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を不透明にし、前記一番上に表示されるレイヤと前記一番下に表示されるレイヤとの間に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を透明にするために、前記グラフ表示プログラムを用いて該レイヤ内のグラフを前記表示手段上で重ね合わせて、前記表示装置に表示させるステップとを含んでなる、半導体素子の測定結果の解析方法を提供する。
【０００９】
ここで、前記解析方法は、前記入力手段を用いて前記ウィンドウ内のあるグラフの大きさが変更されると、前記演算手段が、変更された前記ウィンドウ内のあるグラフの拡大率または縮尺率に基づいて、前記ウィンドウ以外のグラフが前記ウィンドウ内のあるグラフと同じ大きさになるようにさらに処理する態様や、前記記憶手段が、選択された前記個別のウィンドウ内に表示された前記グラフの種類についての情報をレンダリング情報共有部に記憶させるステップをさらに含む態様であることが好ましい。また、前記解析方法における前記グラフの種類は、ＸＹ平面図、散布図、またはレーダーチャートであることがより好ましい。
【００１０】
さらに、本発明は、半導体素子の測定結果の傾向や装置特有の傾向を、ユーザが表示画面上で視覚的に容易に比較したり理解できるような解析用のコンピュータプログラムも提供する。
具体的には、上記のいずれかに記載の解析方法を実行するために、前記表示手段において一番上に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの表示エリア内だけを透明にして該表示エリア外を不透明にするよう処理する命令と、前記表示手段において一番下に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を不透明にするよう処理する命令と、前記表示手段において前記一番上に表示されるレイヤと前記一番下に表示されるレイヤとの間に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を透明にするよう処理する命令と、前記表示手段に前記各ウィンドウ内のグラフを表示させ、該グラフの軸が互いに揃うように重ね合わせる命令とを前記演算手段に対して実行させるためのコンピュータプログラムを提供する。
なお、本明細書において、「同種のグラフ」とは、重ね合わせ表示が可能な同一種類のグラフであって、各軸のパラメータがそれぞれ同じ物理量を示しているグラフを意味する。また、「異種のグラフ」とは、異なる種類のグラフであるか、または、同一種類のグラフであっても各軸のパラメータがそれぞれ異なる物理量を示しているグラフを意味する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の効果としては、半導体素子の測定結果の様々なグラフを伸長または縮小して重ね合わせて表示したり、オフセットをつけて並べて表示することで容易に比較できるので、オフセット量の判断や測定結果の相違の傾向などを簡単に迅速に判定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１に、本発明の実施に用いられる半導体素子の測定評価のための解析システム１の構成を示す。この解析システム１は、半導体素子の測定結果を記憶している記憶手段２０と、個別のウィンドウ（３００、３１０、３２０）内にグラフとして前記測定結果を表示する表示手段３０と、個別のウィンドウ３００、３１０、３２０のいくつかを選択するための入力手段１０と、入力手段１０で選択された個別のウィンドウのいくつかに表示された前記グラフの種類についての情報を記憶するレンダリング情報共有部２１００と前記測定結果をグラフ表示するためのグラフ表示プログラム２１１０とを含む測定結果レンダリング手段２１０と、前記グラフの種類が同じであるかをレンダリング情報共有部２１００の情報に基づいて判別し、該グラフの種類が同じ場合には、前記個別のウィンドウのいくつかに表示されたグラフの目盛の範囲を自動的に統一し、あるグラフの表示エリア内だけを透明にしてそれ以外のグラフは背景全体を透明にするよう処理し、該あるグラフを一番上のレイヤのウィンドウとして前記表示装置に表示し、該それ以外のグラフを該レイヤの下に該あるグラフの軸と揃うように重ね合わせる処理をグラフ表示プログラム２１１０を用いて実行する演算手段４０とを含んでなる。
【００１３】
ここで、図１に示す解析システム１では、記憶手段２０が、半導体素子測定結果のデータ部２００と、測定結果レンダリング手段（プログラム）２１０とを含んでいる。しかしながら、これに限らず、例えば、半導体素子測定結果のデータ部２００と、レンダリング情報共有部２１００およびグラフ表示プログラム２１１０を含む測定結果レンダリング手段２１０とが別々の記憶手段に設けられていてもよい。
【００１４】
図２に、図１の解析システム１を用いた半導体素子の測定結果の解析方法のフローチャートを示す。以下に、図１の解析システム１を用いた解析方法を簡単に説明する。
まず、ステップＳ１では、半導体素子の測定結果を記憶手段２０のデータ部２００に記憶させる。ステップＳ２では、表示手段３０において、個別のウィンドウ（３００、３１０、３２０）内にグラフとして測定結果を表示させる。ステップＳ３では、個別のウィンドウのいくつかを入力手段１０を用いてユーザに選択させる。ステップＳ４では、選択された個別のウィンドウのいくつかに表示された前記グラフの種類についての情報をレンダリング情報共有部に記憶させる。
ステップＳ５では、演算手段４０が、該レンダリング情報共有部の情報に基づいて前記グラフの種類が同じであるかを判別する。ここで、ステップＳ６において、演算手段４０が前記グラフの種類が同じ場合には、ステップＳ７へと進み、演算手段４０が、前記個別のウィンドウのいくつかに表示されたグラフの軸の位置が重なるように、自動的にウィンドウの位置調整処理を行う。そして、ステップＳ８では、演算手段４０は、あるグラフについて、表示エリア内だけを透明にして、それ以外のグラフは少なくとも表示エリア内を透明にするよう処理する。次に、ステップＳ９では、演算手段４０は、あるグラフを一番上のレイヤのウィンドウとして前記表示装置に表示し、それ以外のグラフをこのレイヤの下にあるグラフの軸と揃うように重ね合わせ、一番下のレイヤのウィンドウについて、少なくとも表示エリア内を不透明にし、そのウィンドウの軸が他のグラフの軸と揃うように重ね合わせる。最後に、ステップＳ１１では、演算手段４０は、設定に応じて、各ウィンドウのグラフのメモリの範囲を自動的に統一する処理を行い表示する。これによって、ユーザは、半導体素子のいくつかの測定結果を、表示手段３０のウィンドウを選択することにより簡単に重ね合わせて比較できる。なお、上記のあるグラフは、例えば、入力手段１０を用いて、ユーザによって比較対象の基準となすべき測定結果を表すグラフとして選択されたものであってもよい。このような上記の演算手段４０による処理は、前記測定結果をグラフ表示するためのグラフ表示プログラムを用いて実行される。
一方、前記グラフの種類が異なる場合には、ステップＳ１０へと進み、異なる種類のグラフが含まれている旨の表示（または警告）を表示装置３０に表示する。そして、ステップＳ３へと戻り、ユーザに再度正しいグラフを選択させるようにする。
【００１５】
図３および図４は、本発明の実施に用いられる解析システム１の表示手段３０の操作画面の一例を示すものである。ここで、図３は、表示手段３０の画面上に表示された３つのウィンドウのうち、ユーザの選択によりアクティブにされた１つのウィンドウ内のＸＹ平面図にプロットされた半導体素子の測定結果の表示例を示している。図４は、アクティブにされたウィンドウ内のデータを基準として図３のうちの選択されたウィンドウのグラフを統合して重ね合わせ表示した表示例を示している。以下、図３以降の図面では、上記のアクティブにされたウィンドウ３２０が表示手段３０において一番上になっている態様により説明する。しかしながら、アクティブにされたウィンドウは、必ずしも一番上に表示されている必要はなく、例えばアクティブにされたウィンドウが一番下になっていてもよいし、その中間にあっても良い。また、任意選択的に、アクティブにされたウィンドウ内のデータの範囲に基づいて、選択されたウィンドウ内の各グラフの表示範囲を自動的に統一（オートスケール）し、同一縮尺にして重ね合わせることもできる。
次に、図３のアクティブにされたウィンドウ３２０を参照して、ウィンドウ３２０内にあるグラフの表示エリア３２０２を簡単に説明する。図３のウィンドウ３２０はＸＹ平面グラフを示すための第１領域３２００を有し、この第１領域３２００内はグラフの各軸によって囲まれた第２領域３２０２を有している。つまり、本願のグラフの「表示エリア」とは、この第２領域３２０２のことを意味している。なお、この「表示エリア」は、アクティブにされたウィンドウ内にあるグラフに限らず、選択されたいくつかのウィンドウ内にあるグラフのものも含む。
以下に、本発明の実施に用いられる解析システム１の操作方法を簡単に説明する。
【００１６】
まず、ユーザは、入力手段１０などを用いて、比較対象とする測定結果を表示手段３０の画面上に呼び出し、その測定結果をいくつかのウィンドウに表示させておく。ここで、図３を参照すると、半導体素子の測定結果のデータとして３つのデータが選択され、そのデータに対応する各ウィンドウ（３００、３１０、３２０）内にＸＹ平面図が表示されており、そのウィンドウのうちのウィンドウ３２０（「Data Display 2」と記載されたウィンドウ）がアクティブにされている例が示されている。そして、このアクティブにされているウィンドウ３２０の測定結果やグラフの種類を、それ以外のウィンドウ３００、３１０に対応する測定結果やグラフの種類と比較する場合の基準にしている。
【００１７】
次に、このアクティブにされているウィンドウ内の測定結果およびグラフの種類を基準として、それ以外のウィンドウ内の各グラフの軸の位置が重なるように位置調整してグラフ表示する。このことは、表示手段３０において入力手段１０を操作してユーザが選択した重ね合わせコマンドのメニューまたはボタンを選択し、この選択に基づいて、演算手段４０が、測定結果レンダリング手段２１０のレンダリング情報共有部２１００とグラフ表示プログラム２１１０を用いて、選択されたウィンドウ３００、３１０、３２０内のグラフが同じ軸位置になるように処理することで達成される。選択されたウィンドウ内のグラフは、軸の目盛に合うように演算手段４０により自動的に大きさが調整（リサイズ）されて、図４に示すように重ね合わされる。
【００１８】
また、ウィンドウ内のグラフの目盛（スケール）は、アクティブにされているウィンドウ内のグラフのものが表示されている。このことは、アクティブにされているウィンドウ内のグラフはＸ軸とＹ軸により囲まれた領域内だけを透明にするように演算手段４０が処理を実行することにより達成される。一番下のレイヤのウィンドウ内の背景全体、あるいは、少なくともグラフのＸ軸とＹ軸により囲まれた領域内を不透明にする。その他のアクティブにされていないウィンドウについては、ウィンドウ内の背景全体、あるいは、少なくともグラフのＸ軸とＹ軸により囲まれた領域内を透明にするよう演算手段４０が処理を実行する。その結果、図４に示すように、測定結果が重ね合わされた画面が、選択されたウィンドウ３２０内のグラフの表示エリア３２０２に表示される。ここで、図４によれば、図３において選択された各測定結果は、ほぼ同様の振る舞いを示すものであることがわかる。
なお、図４では、グラフのプロットは同一色を用いているが、これに限らず、例えば、各ウィンドウについて異なる色を用いて表示する態様であってもよい。
【００１９】
また、複数のウィンドウ内のグラフの重ねあわせによる比較をより厳密に行いたい場合には、各ウィンドウの位置、大きさ、対応するグラフの各軸の設定範囲（目盛範囲）を合わせる必要がある。本発明の実施に用いられる解析システム１は、事前に所望の設定を記憶させておくことで、あるいは、ユーザからの指示を受けた入力手段からの命令に応じて、演算手段４０がグラフの縮尺を自動的に合わせる機能（オートスケール機能）を実行できるようにするグラフ表示プログラム２１１０を測定結果レンダリング手段２１０に含んでいるので、そのような要求にも対応することができる。
【００２０】
また、別の実施態様としては、例えば、各ウィンドウ内のグラフに所定のオフセット量を設けて重ね合わせることもできる。このような実施態様を図５および図６に示す。ここで、図５は、半導体素子の測定結果を表す３つのウィンドウのうちの１つを所定のデータ量だけシフトさせて、ウィンドウ３１０内のグラフの表示エリア３１０２の一部を、ウィンドウ３２０内のグラフの表示エリア３２０２に表示した場合の表示例である。これによれば、バイアス電圧の異なる１つのグラフだけが重ならないでウィンドウ３２０内のグラフの表示エリア３２０２に表示されており、それ以外との振る舞いの相違も容易に確認することができるという利点がある。なお、図６は、図５と対比するための参考として、図５に示す３つのウィンドウ内のデータを同じ量だけそれぞれシフトさせた場合の表示例である。ここで、図６では、図５の表示エリア３１０２に加えて、一番下のレイヤに位置するウィンドウ３００内のグラフの表示エリア３００２も、ウィンドウ３２０内のグラフの表示エリア３２０２に表示されている。ここで、表示手段３０上にあるアイコンや絵柄が表示エリア３２０２内に見えないようにするために、一番下に位置するウィンドウ３００内のグラフの表示エリア３００２以外の領域を不透明にする処理を演算手段４０が実行することが好ましい。
このように所定のオフセット量を設定して重ね合わせるという図５および図６に示す実施態様によれば、重ね合わされた各測定結果に一定のオフセットがあった場合にも、各測定結果の全体の振る舞いを容易にグラフ表示して視覚的に比較できるという利点がある。
【００２１】
ここで、上記の実施態様では、測定結果のデータ１件につき１つのレンダリング手段とウィンドウとを割り当てる場合を示したが、これに限らず、例えば、測定結果のデータ１件につき複数のレンダリング手段やウィンドウを割り当てる態様であってもよい。
【００２２】
また、上記の実施態様では、ＸＹ平面図に測定結果をプロットする場合を示したが、これに限らず、散布図やレーダーチャートのように点または線の集合により形成される各種グラフに測定結果をプロットして表示することもできる。
【００２３】
以上に説明したように、本発明の実施に用いられる解析システムによれば、測定結果を個別のウィンドウとして表示装置に所定のグラフの形式で表示することができる。また、表示されたグラフのうちのいくつかを入力手段を用いて選択して、任意の縮尺で基準とする測定結果のグラフと重ね合わせることができる。さらに、基準とするグラフの目盛に統一するように自動的にオートスケールを実行することができる。また、所定のオフセット量を設けて各ウィンドウを重ね合わせることもできる。
そのため、ユーザが各ウィンドウを自由に移動させることで重なり具合を比較し、各ウィンドウを自由に拡大又は縮小させることでグラフを伸長または縮小させて、測定結果を表すグラフの全体または一部の重なり具合を比較して検討することができる。上記の操作は、コンピュータの基本的な操作であるので、ユーザにわかりやすく操作しやすいものである。
また、重ね合わせができる同種のグラフの規制を緩やかにし、片方の軸が同じ物理量であれば他方の軸の物理量が異なっていても重ねて表示できるようにしたり、ユーザがその場で希望すればフレキシブルに異種のグラフも重ね合わせできるようにすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本願に係る発明を実施するための半導体測定結果の解析システムの全体構成を示す概略ブロック図である。
【図２】図１の解析システムを用いた解析方法を示すフローチャートである。
【図３】図１の表示手段３０の画面上に表示された３つのウィンドウのうち、ユーザの選択によりアクティブにされた１つのウィンドウ内のＸＹ平面図にプロットされた半導体素子の測定結果の表示例を示す概略図である。
【図４】図３のアクティブにされたウィンドウ内のデータを基準として、図３の選択されたウィンドウのデータを統合してグラフ表示した表示例を示す概略図である。
【図５】半導体素子の測定結果を表す３つのウィンドウのうちの１つを所定のデータ量だけシフトさせた場合の表示例を示す概略図である。
【図６】図５と対比するための参考として、図５に示す３つのウィンドウ内のデータを同じ量だけそれぞれシフトさせた場合の表示例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  解析システム
１０  入力手段
２０  記憶手段
２００  半導体素子測定結果のデータ部
２１０  測定結果レンダリング手段
２１００  レンダリング情報共有部
２１１０  グラフ表示プログラム
３０  表示手段
４０  演算手段
【図１】
2006278891.tif 000003
【図２】
2006278891.tif 000004
【図３】
2006278891.tif 000005
【図４】
2006278891.tif 000006
【図５】
2006278891.tif 000007
【図６】
2006278891.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成18年1月10日(2006.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
半導体素子の測定結果とグラフ表示プログラムとを記憶している記憶手段と、
個別のウィンドウ内にグラフとして前記測定結果を表示する表示手段と、
該個別のウィンドウのいくつかを選択するための入力手段と、
該入力手段により選択されたいくつかのウィンドウのうち、前記表示手段において一番上に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの表示エリア内だけを透明にして該表示エリア外を不透明にし、一番下に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を不透明にし、前記一番上に表示されるレイヤと前記一番下に表示されるレイヤとの間に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を透明にするために、前記グラフ表示プログラムを用いて該ウィンドウ内のグラフを前記表示手段上で重ね合わせて表示させる演算手段と
を含んでなる、半導体素子の測定結果の解析システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記入力手段を用いて前記ウィンドウ内のあるグラフの大きさが変更されると、前記演算手段は、変更された前記あるグラフの拡大率または縮尺率に基づいて、前記ウィンドウ以外のグラフが前記ウィンドウ内のあるグラフと同じ大きさになるようにさらに処理する請求項５に記載の解析方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、半導体素子の測定結果の傾向や装置特有の傾向を、ユーザが表示画面上で視覚的に容易に比較したり理解できるような解析システムを提供するものである。
具体的には、半導体素子の測定結果とグラフ表示プログラムとを記憶している記憶手段と、個別のウィンドウ内にグラフとして前記測定結果を表示する表示手段と、該個別のウィンドウのいくつかを選択するための入力手段と、該入力手段により選択されたいくつかのウィンドウのうち、前記表示手段において一番上に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの表示エリア内だけを透明にして該表示エリア外を不透明にし、一番下に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を不透明にし、前記一番上に表示されるレイヤと前記一番下に表示されるレイヤとの間に表示されるレイヤに位置するウィンドウ内のグラフの少なくとも表示エリア内を透明にするために、前記グラフ表示プログラムを用いて該ウィンドウ内のグラフを前記表示手段上で重ね合わせて表示させる演算手段とを含んでなる、半導体素子の測定結果の解析システムを提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図２に、図１の解析システム１を用いた半導体素子の測定結果の解析方法のフローチャートを示す。以下に、図１の解析システム１を用いた解析方法を簡単に説明する。
まず、ステップＳ１では、半導体素子の測定結果を記憶手段２０のデータ部２００に記憶させる。ステップＳ２では、表示手段３０において、個別のウィンドウ（３００、３１０、３２０）内にグラフとして測定結果を表示させる。ステップＳ３では、個別のウィンドウのいくつかを入力手段１０を用いてユーザに選択させる。ステップＳ４では、選択された個別のウィンドウのいくつかに表示された前記グラフの種類についての情報をレンダリング情報共有部に記憶させる。
ステップＳ５では、演算手段４０が、該レンダリング情報共有部の情報に基づいて前記グラフの種類が同じであるかを判別する。ここで、ステップＳ６において、演算手段４０が前記グラフの種類が同じ場合には、ステップＳ７へと進み、演算手段４０が、前記個別のウィンドウのいくつかに表示されたグラフの軸の位置が重なるように、自動的にウィンドウの位置調整処理を行う。そして、ステップＳ８では、演算手段４０は、あるグラフについて、表示エリア内だけを透明にして、それ以外のグラフは少なくとも表示エリア内を透明にするよう処理する。次に、ステップＳ９では、演算手段４０は、あるグラフを一番上のレイヤのウィンドウとして前記表示装置に表示し、それ以外のグラフをこのレイヤの下にあるグラフの軸と揃うように重ね合わせ、一番下のレイヤのウィンドウについて、少なくとも表示エリア内を不透明にし、そのウィンドウの軸が他のグラフの軸と揃うように重ね合わせる。最後に、ステップＳ１１では、演算手段４０は、設定に応じて、各ウィンドウのグラフの目盛の範囲を自動的に統一する処理を行い表示する。これによって、ユーザは、半導体素子のいくつかの測定結果を、表示手段３０のウィンドウを選択することにより簡単に重ね合わせて比較できる。なお、上記のあるグラフは、例えば、入力手段１０を用いて、ユーザによって比較対象の基準となすべき測定結果を表すグラフとして選択されたものであってもよい。このような上記の演算手段４０による処理は、前記測定結果をグラフ表示するためのグラフ表示プログラムを用いて実行される。
一方、前記グラフの種類が異なる場合には、ステップＳ１０へと進み、異なる種類のグラフが含まれている旨の表示（または警告）を表示装置３０に表示する。そして、ステップＳ３へと戻り、ユーザに再度正しいグラフを選択させるようにする。