(57)【要約】【課題】  印刷品位の低下がない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】  支持部材１０２Ａの、液体吐出基板１０１Ａの液体吐出口列方向の長さは、液体吐出基板１０１Ａの液体吐出口列方向の長さそのものに合わせてあるため、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔は最小になっている。【選択図】  図１
2006335035.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に複数の液体吐出口を配列してなる液体吐出ノズル列を具備する液体吐出基板と、該液体吐出基板の裏面を支持固定し液体を供給する支持部とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記支持部の前記液体吐出ノズル列方向の外形寸法が前記液体吐出基板の前記液体吐出ノズル列方向の外形寸法と同じかそれ以下であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
表面に複数の液体吐出口を配列してなる液体吐出ノズル列を具備する複数の液体吐出基板と、該複数の液体吐出基板の裏面を支持固定し液体を供給する支持部とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記支持部の前記液体吐出ノズル列方向の外形寸法が、前記複数の液体吐出基板の前記液体吐出ノズル列方向の最外部の外形寸法と同じかそれ以下であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板を備え、該電気配線基板が、前記支持部の前記液体吐出ノズル列方向の外形寸法内に形成されている、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記液体吐出基板には表面から裏面に貫通する貫通電極が設けられ、該裏面の貫通電極が前記電気配線基板と繋がっている、請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記支持部は液体内の異物を除去するフィルターを備える液体導入部材の一部である、請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
非印刷時のキャッピング受け領域が、前記液体吐出基板の表面側の外周稜線部分である請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
非印刷時のキャッピング受け領域が、前記複数の液体吐出基板の表面側の、該複数の液体吐出基板で画する外周稜線部分である請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記液体吐出基板の前記液体吐出ノズル列方向の外形寸法は前記液体吐出ノズル列の最外寸法に対し２ｍｍ以下増加した寸法である、請求項１から７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の記録液を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置に適用されるインクジェット記録ヘッド、この記録ヘッドに適用される記録素子基板との配線基板の接続に関するものである。なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
一般にインクジェット記録装置は、液滴を形成するためのインクジェット記録ヘッドと、このヘッドに対してインクを供給する供給系とから構成される。
【０００３】
上記インクジェット記録ヘッドは、インク滴を吐出する吐出口列（ノズル列）を有する液体吐出基板に記録装置側からインクの吐出動作を生じさせる信号を送るための配線基板を接続して構成されるが、この液体吐出基板と配線基板の接続に関しては、特許文献１および２に開示されている。すなわち、図７に示されるように、表面側に液体吐出口１０５を備えたオリフィス板１０４と電気熱変換素子(不図示)と電極１０７が設けられた液体吐出基板１０１の電極１０７と、液体吐出基板１０１に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板１０３の電極１０８とが、ＩＬＢ(Inner  Lead  Bonding)による金属間結合、または、異方性導電接着を用いた熱圧着により、電気的に接続されている。さらに、この接続部は、インクから保護、および、吐出口形成面におけるインク滴や紙紛等のゴミを除去するゴムブレードによる拭き取り動作から保護するために、封止材１１０により覆われている。また、液体吐出基板１０１を接着剤２１０で保持しインクを供給する支持部材１０２は、液体吐出基板１０１の温度上昇によりインクの吐出性能が低下しないように、液体吐出基板１０１と同等の熱伝導率を有するアルミナなどの材料で形成されている。
【０００４】
また、インクジェット記録装置の紙送り機構は、特許文献３に開示されているようにプラテンローラーに記録用紙を曲面状に巻きつける方式と、特許文献４に開示されているように、給紙ローラー対と排紙ローラー対でほぼ平面状に排紙側を引っ張りながら送る方式がある。しかし、近年では、インクジェット記録ヘッドのノズル数の増大により同時印刷幅が広くなったことにより、記録用紙とインクジェット記録ヘッドのノズル列との距離を一定に保てる後者の方式が主流になっている。
【特許文献１】特公平8-25272号公報
【特許文献２】特開平10-044418号公報
【特許文献３】特開平4-69264号公報
【特許文献４】特開2001-341918号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図７に示したインクジェット記録ヘッドには印字品位を低下させる以下のような課題がある。図８は図７に示したインクジェット記録ヘッドの液体吐出口１０５側から見た平面図である。
【０００６】
図８（Ａ）は液体吐出基板１０１の電極（不図示）が液体吐出基板１０１の短辺側にのみ設けられているものを示しており、図８（Ｂ）は液体吐出基板１０１の電極（不図示）が液体吐出基板１０１の長辺側にのみ設けられているものを示している。図８（Ａ）において、液体吐出基板１０１への電気制御信号と駆動電力の供給は、電気配線基板１０３の配線回り込み部１０３ｓの電極（不図示）より行われるので、インクジェット記録ヘッドの液体吐出口１０５側の外形寸法は液体吐出基板１０１の長辺寸法よりも配線回り込み部１０３ｓの分だけ大きくなってしまう。この寸法は、印刷用紙搬送方向Ｒにおける給紙ローラーと排紙ローラーの配置に影響する。これらのローラーの配置間隔が長いと、インクジェット記録ヘッドで印刷する部分の印刷用紙の押さえが甘くなり、印刷用紙の液体吐出口に対する擦れなどを考慮してインクジェット記録ヘッドと印刷用紙の間隔を広げる必要があり、インク着弾位置ずれによる印刷品位が低下する。また、近年では高速化のために液体吐出口１０５の数およびインク吐出エネルギーを生じさせる熱変換素子（不図示）の数が増え、ローラーの配置間隔も広くなっており、また、普及してきた写真印刷で多用される水分の多い淡インクの使用時も紙の浪打（コックリング現象）のためにインクジェット記録ヘッドと印刷用紙の間隔を広げる必要があり、インク着弾位置ずれによる印刷品位の低下が課題となっている。
【０００７】
図８（Ｂ）において、液体吐出基板１０１への電気制御信号と駆動電力の供給は、電気配線基板１０３の接続つなぎ部１０３ｄの電極(不図示)より行われるが、ここへの配線は配線抵抗を考慮すると配線回り込み部１０３ｓが必要になり、こちらの場合もインクジェット記録ヘッドの液体吐出口１０５側の寸法は液体吐出基板１０１の長辺寸法よりも配線回り込み部１０３ｓの分だけ大きくなってしまい、印刷品位の低下が課題となっている。
【０００８】
本発明の目的は、上記各問題を解決し、印刷品位の低下がない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明は、表面に複数の液体吐出口を配列してなる液体吐出ノズル列を具備する液体吐出基板と、該液体吐出基板の裏面を支持固定し液体を供給する支持部とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記支持部の前記液体吐出ノズル列方向の外形寸法が前記液体吐出基板の前記液体吐出ノズル列方向の外形寸法と同じかそれ以下であることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、表面に複数の液体吐出口を配列してなる液体吐出ノズル列を具備する複数の液体吐出基板と、該複数の液体吐出基板の裏面を支持固定し液体を供給する支持部とを備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記支持部の前記液体吐出ノズル列方向の外形寸法が、前記複数の液体吐出基板での前記液体吐出ノズル列方向の最外部の外形寸法と同じかそれ以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、記録用紙の印字部分に係わる給紙ローラーと排紙ローラーの間隔を最小化できるので、印字品位低下のない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド、ならびにインクジェット記録装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１３】
（実施形態１）
インクジェット記録装置に装着され、記録用紙に対し記録用インク滴を吐出する記録ヘッドユニット（インクジェット記録ヘッド）１００について図１を使用して、詳しく説明する。
【００１４】
図１（Ａ）は図１（Ｃ）の矢印Ａの方向から見た記録ヘッドユニット１００の側面図で、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の矢印Ｂの方向から見た記録ヘッドユニット１００の正面図、図１（Ｃ）は図１（Ａ）の矢印Ｃの方向から見た記録ヘッドユニット１００の平面図である。
【００１５】
図１において、記録ヘッドユニット１００は、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間を給紙ローラー２０１及び排紙ローラー２０２の回転軸と平行に移動し、記録用紙Ｐにインクを吐出する。尚、通常インクジェット記録装置の給排紙機構は前述の従来例のように、上下ローラー対で記録用紙Ｐを挟んで搬送するようになっているが、本実施形態では、記録ヘッドユニット１００と干渉する記録用紙Ｐの上側のみのローラーを図示し、記録用紙Ｐの下側のローラーは省略してある。これは以下の実施形態において全て同様である。
【００１６】
また、記録ヘッドユニット１００は、液体吐出基板１０１Ａと、液体吐出基板１０１Ａを接着剤２１０で固定する支持部材１０２Ａと、支持部材１０２Ａを接着剤２１１で固定する液体導入部材１２０とからなる。液体吐出基板１０１Ａには、熱変換素子(不図示)が複数設けられ、それに対応したそれぞれイエロー、マゼンタ、シアンの液体吐出口１０５Ｙ、１０５Ｍ、１０５Ｃを備えるオリフィス板１０４Ａが貼り付けられ、また、それぞれのインク種毎にインク供給口１０９Ａが液体吐出基板１０１Ａを貫通している。
【００１７】
なお、支持部材１０２Ａの液体吐出口列方向の長さを液体吐出基板１０１Ａの液体吐出口列方向の長さそのものに合わせるかそれ以下にして、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔が最小になるようにすることにより、前述の従来例のような電気配線基板１０３（図７，８参照）の配線回り込み部１０３ｓ（図８参照）の為のスペースを排除している。
【００１８】
支持部材１０２Ａは、液体吐出基板１０１Ａと同等の熱伝導率を有するアルミナなどの材料で形成されているのは前述の従来例と同様で、内部にはインク供給口１０９Ａがある。また、支持部材１０２Ａの、液体吐出基板１０１Ａの液体吐出口列方向の長さは、液体吐出基板１０１Ａの液体吐出口列方向の長さそのものに合わせるかそれ以下としているため、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔は最小になっている。
【００１９】
液体導入部材１２０はシアンインクで代表して説明すると、先端にフィルター１２０ｆを備えたインク供給管１２０Ｃからインク流路１２１，１２１Ｘを通って、インク供給口１０９Ａに通じている。ここで、液体導入部材１２０は支持部材１０２Ａと接着剤２１１で固定されると共に、インク流路の接続部をシールしている。この構成は、イエローインク用の液体導入部材１２０Ｙ、及びマゼンタインク用の液体導入部材１２０Ｍについても同様である。また、液体吐出基板１０１Ａの熱変換素子(不図示)に駆動信号と駆動電力を伝える電気配線基板１０３Ａは、給紙ローラー２０１および排紙ローラー２０２と干渉しないように、液体吐出基板１０１Ａに対し記録ヘッドユニット１００の移動方向Ｑと同じ方向にのみ延びるようにしてある。つまり、電気配線基板１０３Ａは、支持部材１０２Ａの液体吐出口列方向の長さ以内に形成されている。ここで、電気配線基板１０３Ａと液体吐出基板１０１Ａの表面にある接続端子(不図示)との接続方法は、金線を使用したワイヤーボンディング工法、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を使用した熱圧着工法、フライングリードを設けたＴＡＢ（Tape  Automated  Bonding）工法等どれでも構わない。但し、図７に示したように、接続部分の封止を行う必要があり、その部分はオリフィス板１０４Ａよりも出っ張ることになる。
【００２０】
以上述べたように、本実施形態では、支持部材１０２Ａの、給紙ローラー２０１および排紙ローラー２０２近傍のローラー干渉領域では、支持部材１０２Ａの液体吐出口列方向の長さを、液体吐出基板１０１Ａの液体吐出口列方向の長さそのものに合わせるかそれ以下であるため、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔は最小になっている。そして、従来のような配線回り込み部１０３ｓ（図８参照）のスペースが不要であるため、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔が液体吐出口列方向で最小化され、記録用紙の保持固定が従来よりも確実になり印刷品位が向上する。
【００２１】
尚、本実施形態では、Ｓｉ基板を使用した液体吐出基板１０１Ａの外形はダイシングされたままとなっているが、数１０μｍ程度の樹脂コーティングをすると紙ジャム時等に基板が欠けて電気的な不具合を生じることがない。
【００２２】
（実施形態２）
前述の実施形態は、３色一体の液体吐出基板１０１Ａを使用した例であるが、本実施形態では、ブラック印刷用の液体吐出基板１０１Ｂとカラー印刷用の３色一体の液体吐出基板１０１Ｃｏの２枚の液体吐出基板を使用し、更に滲みを防止する為それらの液体吐出基板をずらして配置することにより時間差を設けたものである。
【００２３】
本実施形態のインクジェット記録装置の記録ヘッドユニット（インクジェット記録ヘッド）１００Ｂについて図２及び図３を使用して、詳しく説明する。
【００２４】
図２は本発明の実施形態２による記録ヘッドユニット１００Ｂをインク吐出面側から見た平面図である。図３（Ａ）は図２の矢印Ａの方向から見た記録ヘッドユニット１００Ｂの要部断面図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の記録ヘッドユニット１００Ｂから電気配線基板１０３Ｂを外して見た記録ヘッドユニット１００Ｂのブラック印刷用の液体吐出基板１０１Ｂ側の側面図、図３（Ｃ）は図２（Ａ）の矢印Ｃの方向から見た記録ヘッドユニット１００Ｂの断面図である。
【００２５】
図３において、記録ヘッドユニット１００Ｂは、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間を給紙ローラー２０１及び排紙ローラー２０２の回転軸と平行に移動し、記録用紙Ｐにインクを吐出する。また、記録ヘッドユニット１００Ｂは、ブラック印刷用の液体吐出基板１０１Ｂとカラー印刷用の３色一体の液体吐出基板１０１Ｃｏの２枚の液体吐出基板が支持部材１０２Ｂに接着剤２１０Ｂで固定され、更に支持部材１０２Ｂは液体導入部材１２０ＢＣに接着剤２１１Ｂで固定されている。ブラック印刷用の液体吐出基板１０１Ｂおよびカラー印刷用の３色一体の液体吐出基板１０１Ｃｏには、熱変換素子(不図示)が複数設けられ、液体吐出基板１０１Ｂには該熱変換素子に対応したブラックの液体吐出口１０５Ｂを備えるオリフィス板１０４Ｂが貼り付けられている。液体吐出基板１０１Ｃｏには、該熱変換素子に対応したそれぞれイエロー、マゼンタ、シアンの液体吐出口１０５Ｙ、１０５Ｍ、１０５Ｃを備えるオリフィス板１０４Ｃｏが貼り付けられている。また、それぞれのインク種毎にインク供給口(不図示)が液体吐出基板１０１Ｂ及び１０１Ｃｏを貫通している。
【００２６】
なお、本実施形態では、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔が最小になるようにするために、滲みを防止する為にずらして配置されたブラック印刷用の液体吐出基板１０１Ｂとカラー印刷用の３色一体の液体吐出基板１０１Ｃｏの２枚の液体吐出基板の液液体吐出口列方向の最外部の外形寸法Ｌ（図２）を、支持部材１０２Ｂの液体吐出口列方向の最外部の外形寸法と同じかそれ以下にしている。例えば、図３（Ｂ）に示すように、給紙ローラー２０１を液体吐出基板１０１Ｂに近接して配置できるようにするために、液体吐出基板１０１Ｂが接着剤２１０Ｂにより支持部材１０２Ｂの給紙ローラー２０１側端面と略面一になるように接着される。また、図３（Ｃ）に示すように、排紙ローラー２０２を液体吐出基板１０１Ｃｏに近接して配置できるようにするために、液体吐出基板１０１Ｃｏが接着剤２１０Ｃにより支持部材１０２Ｂの給紙ローラー２０２側端面と略面一になるように接着されている。このように、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔を最小にすることで、記録用紙の保持固定が従来よりも確実になり印刷品位が向上する。
【００２７】
なお、支持部材１０２Ｂの両端面と液体吐出基板１０１Ｂと１０１Ｃｏが略面一というのは、ブラックの液体吐出口１０５Ｂとイエロー、マゼンタ、シアンの液体吐出口１０５Ｙ、１０５Ｍ、１０５Ｃとの相対位置関係が重要であるのに対し、支持部材１０２Ｂの外形寸法と、液体吐出基板１０１Ｂと１０１Ｃｏの外形寸法はそれぞれの成型や切断等の加工精度でいかようにもなる為である。
【００２８】
ここで、液体導入部材１２０ＢＣにはそれぞれのインク種毎に対応しブラックインク用のインク供給管１２０Ｂ、シアンインク用のインク供給管１２０Ｃ、及び他のインク用のインク供給管（不図示）が設けられ、接着剤２１１Ｂで支持部材１０２Ｂと密閉固定され、前記液体吐出口と通じている。また、液体吐出基板１０１Ｂ及び１０１Ｃｏの熱変換素子(不図示)にそれぞれ駆動信号、駆動電力を伝える電気配線基板１０３Ｂ及び１０３Ｃは給紙ローラー２０１、排紙ローラー２０２と干渉しないように、液体吐出基板１０１Ｂ及び１０１Ｃｏに対し記録ヘッドユニット１００の移動方向側にのみ来るようにしてある。つまり、電気配線基板１０３Ｂ及び１０３Ｃは、支持部材１０２Ｂの液体吐出口列方向の長さ以内に形成されている。なお、電気配線基板１０３Ｂ，１０３Ｃと液体吐出基板１０１Ｂ，１０１Ｃの接続方法は、前述の実施形態と同様である。
【００２９】
以上述べたように、本実施形態では、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔が液体吐出口列方向で最小化できるため、記録用紙の保持固定が従来よりも確実になり印刷品位が向上する。
【００３０】
（実施形態３）
前述の実施形態では、液体吐出基板１０１Ａ等の熱変換素子(不図示)に駆動信号、駆動電力を伝える電気配線基板１０３Ａ等は給紙ローラー２０１、排紙ローラー２０２と干渉しないように、液体吐出基板１０１Ａ等に対し記録ヘッドユニット１００の移動方向側にのみ来るようにしてあったが、図４（Ｂ）のように同一形状の液体吐出基板３０１Ｙ，３０１Ｍ，３０１Ｃを３枚以上近接して並べた場合、中央の液体吐出基板３０１Ｍの熱変換素子(不図示)に駆動信号、駆動電力を伝える電気配線基板を前述の実施形態のように、液体吐出基板１０１Ａ等の表面にある接続端子(不図示)に接続することは不可能である。そこで、本実施形態では、図４（Ａ）のように液体吐出基板３０１Ｍに表面（オリフィス板３０４Ｍが貼り付けられた面）から裏面への貫通電極３５０を設け、また、支持部材３０２Ｍにも表面（液体吐出基板３０１Ｍが貼り付けられた面）から裏面への貫通電極３５２を設け、それらの電極をバンプ３５１を介して接続した上でアンダーフィル接着剤３１０で液体吐出基板３０１Ｍと支持部材３０２Ｍを接着固定している。
【００３１】
図４（Ａ）は本発明の実施形態３による記録ヘッドユニット１００Ｃを図４（Ｂ）の矢印Ａの方向から見た要部断面図で、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の矢印Ｂの方向のインク吐出面側から見た記録ヘッドユニット１００Ｃの平面図である。
【００３２】
図４（Ａ）において、記録ヘッドユニット１００Ｃは、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間を給紙ローラー２０１及び排紙ローラー２０２の回転軸と平行に移動し、記録用紙Ｐにインクを吐出する。また、記録ヘッドユニット１００Ｃは、カラー印刷用の３色別体の液体吐出基板３０１Ｙ，３０１Ｍ，３０１Ｃの３枚の液体吐出基板がそれぞれ支持部材３０２Ｙ，３０２Ｍ，３０２Ｃにアンダーフィル接着剤３１０で固定され、更に支持部材３０２Ｙ，３０２Ｍ，３０２Ｃが液体導入部材３２０にアンダーフィル接着剤３１１でそれぞれ固定されている。液体吐出基板３０１Ｙ，３０１Ｍ，３０１Ｃには、熱変換素子(不図示)が複数設けられ、液体吐出基板３０１Ｙ，３０１Ｍ，３０１Ｃには、該熱変換素子に対応したそれぞれイエロー、マゼンタ、シアンの液体吐出口３０５Ｙ，３０５Ｍ，３０５Ｃを備えるオリフィス板３０４Ｙ，３０４Ｍ，３０４Ｃが貼り付けられている。
【００３３】
また、液体吐出基板３０１Ｍをインク供給口３０６Ｍが貫通しており、液体吐出基板３０１Ｙ，３０１Ｃも同様である。また、前述の通り、図４（Ａ）に示すように液体吐出基板３０１Ｍに表面（オリフィス板３０４Ｍが貼り付けられた面）から裏面への貫通電極３５０を設け、また、支持部材３０２Ｍにも表面から裏面への貫通電極３５２を設け、それらの電極をバンプ３５１を介して接続した上でアンダーフィル接着剤３１０で液体吐出基板３０１Ｍと支持部材３０２Ｍを接着固定している。これらは液体吐出基板３０１Ｙ，３０１Ｃおよび支持部材３０２Ｙ，３０２Ｃについても同様である。
【００３４】
また、液体導入部材３２０には１枚の電気配線基板３０３が接着されており、この電気配線基板３０３の配線パターン(不図示)と支持部材３０２Ｍの貫通電極３５２も同様に接続された上で、アンダーフィル接着剤３１１で支持部材３０２Ｍが液体導入部材３２０と電気配線基板３０３の両方に接着されると共に、インク流路３０３Ｍのシールも行われている。この構成は支持部材３０２Ｙ，３０２Ｃも同様である。
【００３５】
なお、インクの流れをマゼンタインクを代表して説明すると、液体導入部材３２０の先端にフィルター３２０ｆを備えたインク供給管３２０Ｍから、インク流路３０３Ｍ、支持部材３０２Ｍのインク供給口３０９Ｍを通って液体吐出基板３０１Ｍのインク供給口３０６Ｍに達した後液体吐出口３０５Ｍに接続されている。これらは、液体吐出基板３０１Ｙ，３０１Ｃも同様である。さらに、液体吐出基板３０１Ｍの表面の貫通電極３５０はオリフィス板３０４Ｍで密閉シールされており、これによりインクと接触してショートすることを防止しており、これも、液体吐出基板３０１Ｙ，３０１Ｃも同様である。
【００３６】
本実施形態によれば、３つ以上の液体吐出基板が近接していても貫通電極を設けることにより各液体吐出基板を１枚の電気配線基板と接続することが可能で、かつ、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔を液体吐出口列方向で最小化することが可能であるため、記録用紙の保持固定が従来よりも確実になり印刷品位が向上する。
【００３７】
更に、本実施形態によれば、前述の実施形態のように、吐出口形成面（オリフィス板３０４Ｍの表面）に封止材の突出部がなくなるため、ゴムブレードによる拭き取り方向の制限がなくなると同時に、突出部の量だけ記録用紙とオリフィス板３０４Ｙ，３０４Ｍ，３０４Ｃとの距離を近づけることが可能で、インクの着弾精度が向上することにより更に印刷品位が向上する。
【００３８】
（実施形態４）
本実施形態は、前述の実施形態２で述べた様に２枚の液体吐出基板をずらして配置すると同時に、実施形態３で述べた貫通電極を使用し、かつ支持部材と液体導入部材を一体化して、液体導入部材に支持機能を持たせて、部品点数の削減による低コスト化を図ったものである。
【００３９】
図５（Ａ）は本発明の実施形態４による記録ヘッドユニット１００Ｅのインク吐出面側から見た平面図で、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の矢印Ｂの方向から見た記録ヘッドユニット１００Ｅの要部断面図、図５（Ｃ）は図５（Ａ），（Ｂ）の矢印Ｃの方向から見た記録ヘッドユニット１００Ｅの正面図である。
【００４０】
図５において、記録ヘッドユニット１００Ｅは、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間を給紙ローラー２０１及び排紙ローラー２０２の回転軸と平行に移動し、記録用紙Ｐにインクを吐出する。また、記録ヘッドユニット１００Ｅは、ブラック印刷用の液体吐出基板４０１Ｂとカラー印刷用の３色一体の液体吐出基板４０１Ｃｏの２枚の液体吐出基板が液体導入部材４２０にそれぞれ接着剤４１０Ｂ，４１０Ｃで固定されている。ブラック印刷用の液体吐出基板４０１Ｂおよびカラー印刷用の３色一体の液体吐出基板４０１Ｃｏには、熱変換素子(不図示)が複数設けられ、液体吐出基板４０１Ｂには該熱変換素子に対応したブラックの液体吐出口４０５Ｂを備えるオリフィス板４０４Ｂが貼り付けられ、液体吐出基板４０１Ｃｏには、該熱変換素子に対応したそれぞれイエロー、マゼンタ、シアンの液体吐出口４０５Ｙ、４０５Ｍ、４０５Ｃを備えるオリフィス板４０４Ｃｏが貼り付けられている。
【００４１】
本実施形態では、給排紙機構である給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔が最小になるようにするために、滲みを防止する為にずらして配置されたブラック印刷用の液体吐出基板４０１Ｂとカラー印刷用の３色一体の液体吐出基板４０１Ｃｏの２枚の液体吐出基板の液体吐出口列方向の最外部の外形寸法Ｌを、液体導入部材４２０の給排紙機構干渉領域における狭部領域４２０Ｌの液体吐出ノズル列方向の外形寸法とほぼ同一かそれ以下の寸法としている。例えば、図５（Ｂ）に示すように、給紙ローラー２０１を液体吐出基板４０１Ｂに近接させられるようにするために、液体吐出基板４０１が接着剤４１０Ｂにより液体導入部材４２０の給排紙機構干渉領域における狭部領域４２０Ｌの給紙ローラー２０１側端面と略面一になるように接着される。また、排紙ローラー２０２を液体吐出基板４０１Ｃｏに近接させられるようにするために、液体吐出基板４０１Ｃｏが接着剤４１０Ｃにより液体導入部材４２０の給排紙機構干渉領域における狭部領域４２０Ｌの給紙ローラー２０２側端面と略面一になるように接着されている。このように、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔を最小にすることで、記録用紙の保持固定が従来よりも確実になり印刷品位が向上する。なお、液体導入部材４２０の給排紙機構干渉領域における狭部領域４２０Ｌの両端面と液体吐出基板４０１Ｂと４０１Ｃｏが略面一というのは、ブラックの液体吐出口４０５Ｂとイエロー、マゼンタ、シアンの液体吐出口４０５Ｙ，４０５Ｍ，４０５Ｃとの相対位置関係が重要であるのに対し、液体導入部材４２０の給排紙機構干渉領域における狭部領域４２０Ｌの外形寸法と、液体吐出基板４０１Ｂと４０１Ｃｏの外形寸法はそれぞれの成型や切断等の加工精度でいかようにもなる為であるのは、前述の実施形態と同様である。
【００４２】
次に、本実施形態での液体吐出基板４０１Ｂ，４０１Ｃｏの熱変換素子(不図示)に駆動信号、駆動電力を伝える電気配線基板に対する電気接続について、代表してブラック印刷用の液体吐出基板４０１Ｂについて述べる。本実施形態では、図５（Ｂ）のように液体吐出基板４０１Ｂに表面（オリフィス板４０４Ｂが貼り付けられた面）から裏面への貫通電極３５０が設けられている。また、液体導入部材４２０の給排紙機構干渉領域における狭部領域４２０Ｌには電気配線基板４０３が接着されており、電気配線基板４０３の配線パターン(不図示)と液体吐出基板４０１Ｂの貫通電極３５０がバンプ３５１を介して接続された上でアンダーフィル接着剤４１０Ｂで液体吐出基板４０１Ｂが液体導入部材４２０と電気配線基板４０３両方に接着されると共に、インク流路４０３Ｂのシールも行われている。また、電気配線基板４０３の延長部４０３Ｅは駆動回路基板（不図示）等と容易に接続するために、図５（Ｃ）に示すように、給紙ローラー２０１、排紙ローラー２０２から遠ざけるように折り曲げられている。また、電気配線基板４０３は、給排紙機構と干渉しないよう、液体導入部材４２０の給排紙機構干渉領域における狭部領域４２０Ｌの、液体吐出口列方向の長さ以内に形成されている。
【００４３】
ここで、インクの流れをブラックで代表して説明すると、液体導入部材４２０の先端にフィルター４２０ｆを備えたインク供給管４２０Ｂから、インク流路４０３Ｂを通って液体吐出基板４０１Ｂのインク供給口４０６Ｂに達した後液体吐出口４０５Ｂに接続されている。これらは、液体吐出基板４０１Ｃｏに関しても同様である。
【００４４】
以上述べたように、本実施形態では、前述の実施形態３の効果のほか、コストの高いセラミックの支持部材を使用せずに液体導入部材４２０に支持機能を持たせたことにより、大幅なコスト削減が可能であるとともに、接続箇所を少なくすることが可能で、信頼性も向上する。
【００４５】
（実施形態５）
前述の実施形態では、非印刷時のキャップ領域については、特に明記していなかった。そこで、図６（Ａ），（Ｂ）を使用して、非印刷時のキャップ領域について説明する。図６（Ａ），（Ｂ）に記載してある記録ヘッドユニット１００Ｃは、前述の実施形態３で説明したものである。本実施形態においても、代表してマゼンタインクの経路について説明するが、他のインクも同様である。図６（Ａ）は従来からインクジェット記録装置で使用されるキャップ５００の先端に設けられた小さなリブ５００Ｌを、液体吐出口３０５Ｍを傷つけたり、液体吐出口３０５Ｍ周囲の撥水性を悪化させたりしないために、液体吐出基板３０１Ｍのオリフィス板３０４Ｍの液体吐出口３０５Ｍを避けた位置に接触させることにより、非印刷時のキャップ操作を行っていることを示している。
【００４６】
ここで、液体吐出基板３０１Ｍのオリフィス板３０４Ｍの液体吐出口３０５Ｍを避けた領域の寸法Ｅは給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔に影響するため、出来る限り小さいほうが良い。しかしながら、キャップ５００はアルカリ性のインク等に対する耐インク性を有する弾性のある塩素化ブチルゴムで作られることが多く、先端に設けられた小さなリブ５００Ｌを適度につぶすことにより、密閉性を保っている。ここで、リブ５００Ｌの先端部の幅は初期は０．２ｍｍ程度であるが、キャップ時はつぶれて０．５ｍｍ程になる。また、キャップ５００はゴムで作られているため、寸法精度が悪い上、キャップ時の記録ヘッドユニット１００Ｃの停止位置決め精度を考慮すると、キャップ時の接触位置精度は１ｍｍ程度となる。従って、従来のようなキャップ５００を使用する場合、液体吐出基板３０１Ｍのオリフィス板３０４Ｍの液体吐出口３０５Ｍを避けた領域の寸法Ｅは１．５ｍｍ以上必要となる。
【００４７】
図６（Ｂ）は上記とは別の形態のキャップ５０１を使用するキャップ方法を示す要部断面図で、キャップ５０１の先端に設けられたテーパー５０１Ｅを、液体吐出基板３０１Ｍのオリフィス板３０４Ｍの表面側の外周稜線部分に接触させることにより、非印刷時のキャップ操作を行っていることを示している。この場合、上述の液体吐出基板３０１Ｍのオリフィス板３０４Ｍの液体吐出口３０５Ｍを避けた位置の寸法Ｅは外周稜線部分から０．５ｍｍもあればよく、前述の実施形態の給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔を小さく抑えることが出来る。
【００４８】
ここで、インク供給口３０６Ｍの形成方法の一例として、液体吐出基板３０１Ｍを強アルカリ溶液に代表されるシリコン異方性エッチング液に浸漬するシリコンの異方性エッチングによるものについて説明する。ここで、基板表面側の液体吐出口（不図示）は必要に応じて保護される。また、シリコンの異方性エッチングは、アルカリ性エッチング液に対する結晶方位の溶解度の差を利用したもので、ほとんど溶解度を示さない＜１１１＞面でエッチングは停止するため、アルカリ性のインクに対しても溶け出すことがなく長期間使用できるようになる。また、液体吐出基板３０１Ｍの面方位によってインク供給口の形状が異なる。面方位＜１００＞を用いた場合には図６（Ｂ）のようにθ＝５４．７°となり液体吐出基板３０１Ｍの厚さが比較的安価な厚さ０．６２５ｍｍの６インチＳｉ基板を使用する場合、インク供給口３０６Ｍの液体吐出口列方向の寸法は表面側（オリフィス板３０４Ｍが貼り付けられた面）は裏面側より、片側０．４４ｍｍ、両側で約０．９ｍｍ小さくなり、更にその内側に液体吐出口３０１Ｍ（図４（Ｂ））が設けられることになる。
【００４９】
また、液体吐出基板３０１Ｍの支持部材３０２Ｍとの接着代はインクのシール性と接着強度を考慮すると０．３ｍｍ以上必要で、本実施形態では、液体吐出基板３０１Ｍに表面から裏面へのφ５０μｍの貫通電極３５０を設けてあるが、アンダーフィル接着剤３１０も０．３ｍｍ以上あればインクとのシールは可能である。
【００５０】
このように本実施形態では、液体吐出基板３０１Ｍの液体吐出口列方向の外形寸法は液体吐出口列の最外寸法に対し、シリコンの異方性エッチングにより片側０．４４ｍｍ、両側で約０．９ｍｍ増え、支持部材３０２Ｍとの接着代で片側０．３ｍｍ、両側で０．６ｍｍ増え、合計１．５ｍｍの増加ですむため、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔を小さく抑えることが出来る。なお、実際の液体吐出口３０１Ｍの最外部がインク供給口３０６Ｍの壁面に近すぎるとインク供給性を悪化させる恐れがあるため、これより僅かに余裕を持たせた合計２ｍｍの増加が望ましい。
【００５１】
なお、面方位＜１１０＞のＳｉ基板を用いて異方性エッチングをする場合はθ＝９０°（基板表面に対して垂直）となるため、シリコンの異方性エッチングによる増加がないため、更に小さく出来る。
【００５２】
本実施形態によれば、給紙ローラー２０１と排紙ローラー２０２の間隔を最も小さく抑えることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態１におけるインクジェット記録ヘッドを示す図で、（Ａ）は側面図、（B）は正面図、（C）は平面図である。
【図２】本発明の実施形態２におけるインクジェット記録ヘッドの吐出口側面を示す図である。
【図３】本発明の実施形態２におけるインクジェット記録ヘッドを示す図で、（Ａ）は図２のＡ方向から見た図、（Ｂ）は（Ａ）の電気配線基板を外した図、（Ｃ）は図２のＣ方向から見た要部断面図である。
【図４】本発明の実施形態３におけるインクジェット記録ヘッドを示す図で、（Ａ）は（Ｂ）のＡ方向から見た要部断面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向から見た平面図である。
【図５】本発明の実施形態４におけるインクジェット記録ヘッドを示す図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は要部断面図、（Ｃ）は正面図である。
【図６】本発明の実施形態５におけるインクジェット記録ヘッドを示す図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は要部断面図、（Ｃ）は正面図である。
【図７】従来のインクジェット記録ヘッドを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）の（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。
【図８】従来のインクジェット記録ヘッドを示す平面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１００、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｅ  インクジェット記録ヘッドユニット
１０１、１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃｏ、３０１Ｍ、４０１Ｂ  液体吐出基板
１０２、１０２Ａ、１０２Ｂ、３０２Ｍ  支持部材
１０３、１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ、３０３、４０３  電気配線基板
２０１  給紙ローラー
２０２  排紙ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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