(57)【要約】      （修正有）【課題】  磁気転写用マスター担体の耐久性を向上させる。【解決手段】  磁気転写用マスター担体３の表面に炭素系硬質材料により構成された保護層34を設け、初期表面エネルギーがスレーブ媒体の初期表面エネルギーに対して1.2以上となるものとする。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被転写媒体に転写すべき情報に応じた転写パターンを表面に有する磁気転写用マスター担体であって、
前記被転写媒体の初期表面エネルギーに対する初期表面エネルギーの比が１．２以上であることを特徴とする磁気転写用マスター担体。
【請求項２】
前記表面に保護層が設けられていることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項３】
前記保護層が炭素系硬質材料により形成されていることを特徴とする請求項２記載の磁気転写用マスター担体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被転写媒体に転写すべき情報に応じた転写パターンを表面に有する磁気転写用マスター担体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体へのサーボ信号等のプリフォーマット記録もしくはデータ記録の方法として、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター担体）を、磁気記録層を有する磁気記録媒体（被転写媒体（スレーブ媒体））と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体が担持する情報に対応した磁化パターンを磁気記録媒体に転写記録する磁気転写方法が提案されている。
【０００３】
磁気記録媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクなどの円盤状媒体の場合には、この磁気記録媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置あるいは永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。なお、１枚のマスター担体を用いて、多数枚のスレーブ媒体への磁気転写がなされるため、マスター担体に対するスレーブ媒体の密着および剥離が繰り返される。
【０００４】
既述のように、磁気転写はマスター担体とスレーブ媒体とを密着させて行うが、この両者間に異物が介在すると両者の密着が不十分となり転写品質が低下する、あるいはマスター担体の磁性層を破壊する等の問題が生じる。マスター担体は作製に非常に時間がかかるために、１枚のマスター担体でより多くのスレーブ媒体への磁気転写を行うことができるよう耐久性の向上が必至である。したがって、両者間に異物が介在しないように、異物発生を防止する必要がある。
【０００５】
磁気転写法においては、マスター担体とスレーブ媒体との密着および剥離の過程においてマスター担体の磁性層の剥離、欠落などが発生し、これが両者の密着時には異物となるとともに、マスター担体の寿命を終焉させる原因となるという問題がある。この問題を解決するため、磁気転写用マスター担体の耐久性向上および異物発生頻度の低減のため、表面に保護層が形成されたマスター担体が、例えば、特許文献１、２に提案されている。
【特許文献１】特開平１１−２７３０７０号公報
【特許文献２】特開２０００−１９５０４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、表面に保護層が形成されていても、マスター担体とスレーブ媒体との引き剥がしに多大な力が加わると、マスター担体の変形やスレーブ媒体の損傷を招き、場合によっては、マスター担体表面の磁性層膜剥がれや膜破壊を引き起こすということが明らかになった。剥がれたり破壊されたりした磁性層膜の一部はマスター担体とスレーブ媒体との密着時に両者に介在する異物となり、両者の密着性の低下、マスター担体の破損等の既述の問題が生じる。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、異物発生を低減すると共に、耐久性をより向上させた磁気転写用マスター担体を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の磁気転写用マスター担体は、被転写媒体に転写すべき情報に応じた転写パターンを表面に有する磁気転写用マスター担体であって、
前記被転写媒体の初期表面エネルギーに対する初期表面エネルギーの比が１．２以上であることを特徴とするものである。
【０００９】
被転写媒体の初期表面エネルギーに対する初期表面エネルギーの比とは、（マスター担体の初期表面エネルギー）/（スレーブ媒体の初期表面エネルギー）である。初期表面エネルギーとは、両者を最初に密着させる前の表面エネルギーである。スレーブ媒体の表面には潤滑剤が塗布されており、マスター担体との密着後では潤滑剤の移りにより、一般にスレーブ媒体の表面エネルギーは低下する。
【００１０】
固体／液体の表面においては、分子間力により表面をできるだけ小さくしようとする力が働くため、ある材料の表面を形成するには、その分子間力に逆らった力が必要なる。この表面を形成するのに必要な仕事量が表面エネルギーである。
【００１１】
なお、本発明において初期表面エネルギーとしては、水とヨウ化メチレンの接触角測定結果を換算して求めた値を用いるものとする。
【００１２】
なお、本発明の磁気転写用マスター担体としては、前記表面に保護層が設けられていることが望ましい。また、この保護層は、炭素系硬質材料により形成されていることが望ましい。炭素系硬質材料としては、具体的には、カーボン膜あるいはダイアモンドライクカーボン膜（ＤＬＣ膜）が挙げられる。
【００１３】
磁気転写用マスター担体は、一般に、基板とその上に設けられた磁性層とを備えており、表面エネルギーを変化させる方法としては、磁性層の成膜条件を変化させて磁性層の表面エネルギーを変化させる方法、磁性層上にさらに保護層を設ける場合には、保護層の表面エネルギーを変化させる方法などが挙げられる。磁性層の表面エネルギーを変化させると磁気転写時における静磁気特性を変化させるものとなってしまうため、磁性層上に保護層を設ける場合には、保護層の表面エネルギーを変化させる方法を用いることがより望ましい。磁性層や保護層をスパッタリング法で成膜する際の成膜圧力を小さくすると表面エネルギーを大きくすることができ、成膜圧力を大きくすると表面エネルギーを小さくすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明者の研究により、マスター担体の初期表面エネルギーの被転写媒体に対する初期表面エネルギーの比を１．２以上にすると、両者の初期表面エネルギーが略同等でエネルギー差を持たない場合と比較して引き剥がしに要する力が半減することが明らかになった。本発明の磁気転写用マスター担体は、被転写媒体の初期表面エネルギーに対する初期表面エネルギーの比を１．２以上としたものであるため、両者の引き剥がしに要する力を抑制することができ、マスター担体と被転写媒体との引き剥がし時に発生するマスター担体の変形および被転写媒体の損傷を低減し、磁性層膜剥がれや破損を低減することができる。磁性層膜剥がれや破損の低減効果は異物発生の抑制効果と同義であり、すなわち、異物発生による転写品質の低下を抑制すると共に、磁気転写用マスター担体の耐久性を向上することができる。また、マスター担体の耐久性を向上させたことにより、１枚のマスター担体を用いての被転写媒体への転写枚数を増加させることが可能となり、コスト抑制の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態の磁気転写用マスター担体の表面の一部斜視図を示し、図２は、図１のマスター担体の一部の断面図を示すものである。
【００１７】
本実施形態のマスター担体３は、後述の図３に示すように円盤状に形成されており、その表面にスレーブ媒体である磁気記録媒体に転写すべき情報に応じてトラック方向に配列形成された凹凸からなる転写パターンを有するものである。転写すべき情報としては、例えばサーボ信号が挙げられるが、その他種々のデータを含むものであってもよい。凹凸パターン36の一部パターンは例えば図１に示すようなものである。図１において、矢印Ｘは円盤状のマスター担体における円周方向（トラック方向）、矢印Ｙは半径方向を示す。
【００１８】
図２は、図１に示したマスター担体３のII−II断面図、すなわち、面に垂直かつトラック方向Ｘに平行な面に沿った断面図を示す。
【００１９】
マスター担体３は、凹凸パターンを表面に有する基板31と基板31上に順に形成された強磁性層32、および保護層34を備えてなる。ここでは、いずれの層も凹凸パターンに沿って全面に亘って形成されている。なお、強磁性層32は凹凸パターンの凸部上面にのみ設けられていてもよい。
【００２０】
基板31は非磁性でもよいが、強磁性を有するものが好ましく、中でもＮｉ、もしくはＮｉを主成分とする合金からなるものが特に好ましい。表面に凹凸パターンを有する基板31の作製は、スタンパー法、フォトリソグラフィー法等を用いて行うことができる。基板の凸部高さ（凹凸パターンの深さ）は、例えば20〜800ｎｍであり、凹凸パターンの凸部の半径方向の長さは50ｎｍ〜５μｍ、円周方向の長さは50ｎｍ〜5μｍである。
【００２１】
強磁性層32の磁性材料としては、飽和磁化（Ｍｓ）の高いものが好ましく、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）が挙げられる。特に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。強磁性層32としては、主として軟磁性もしくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層が用いられている。基板31上への強磁性層32の形成は、スパッタリング法の他、磁性材料を真空蒸着法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などを用いて行うことができる。
【００２２】
保護層34は、炭素を主成分とする硬質保護層であり、カーボン膜もしくはダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜である。この保護層の厚みは３〜20ｎｍであることが望ましい。保護層34はスパッタリング法により形成することができ、スパッタリング時の成膜圧力の調整により保護層の表面エネルギーを調整、すなわち、マスター担体の初期表面エネルギーを調整する。スパッタリング時の成膜圧力を小さくすることにより表面エネルギーを大きくすることができ、成膜圧力を大きくすることにより表面エネルギーを小さくすることができる。スレーブ媒体の初期表面エネルギーＥｓを測定しておき、該初期表面エネルギーＥｓに対するマスター担体の初期表面エネルギーＥｍの比Ｅｍ／Ｅｓが１．２以上となるように成膜圧力を調整する。例えば、スレーブ媒体が最表面に潤滑剤が形成されている一般的なハードディスク媒体である時、ハードディスク媒体の表面には潤滑剤が存在するため不活性な状態にあり、初期表面エネルギーＥｓは50〜55ｍＮ／ｍである。そこで、Ｅｍが60〜66ｍＮ／ｍ以上（Ｅs＝50ｍＮ／ｍの場合Ｅｍ＝60ｍＮ以上、Ｅs＝55ｍＮ／ｍの場合Ｅｍ＝66ｍＮ以上）となるように、保護層の成膜時の成膜圧力を調整する。例えば、Ｎｉからなる基板、ＦｅＣｏからなる強磁性層上にカーボン膜を保護層として備えたマスター担体の場合、カーボン膜成膜時の圧力を変化させることにより、５５〜７５ｍＮ／ｍの初期表面エネルギーのマスター担体を得ることができる。
【００２３】
スレーブ媒体２としては、ハードディスク媒体、高密度フレキシブルディスクなどの、塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層を備えた円盤状磁気記録媒体を使用することができる。
【００２４】
なお、金属薄膜型磁気記録層を備えた磁気記録媒体の場合、磁性材料として、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ、Ｃｏ／Ｐｄ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）を用いることができる。磁性層としては、磁束密度が大きいこと、面内記録なら面内方向、垂直記録なら垂直方向の磁気異方性を有することが、明瞭な転写を行うために好ましい。好ましい磁性層厚は10〜500ｎｍであり、さらに好ましくは20〜200ｎｍである。
【００２５】
また、磁性層の下（基板側）には、該磁性層に必要な磁気異方性を持たせるために非磁性の下地層を設けることが好ましい。下地層としては、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ、Ｐｄ等を用いることができるが、結晶構造および格子定数が、その上に設けられる磁性層の結晶構造および格子定数と一致するものを選択する必要がある。好ましい非磁性層の厚みは、10〜150ｎｍであり、さらに好ましくは20〜80ｎｍである。
【００２６】
さらに、垂直磁気記録媒体の場合には、磁性層の垂直磁化状態を安定化させ、記録再生時の感度を向上させるために非磁性の下地層の下に軟磁性の裏打ち層を設けてもよい。この裏打ち層としては、ＮｉＦｅ、ＣｏＣｒ、ＦｅＴａＣ、ＦｅＡｌＳｉ等を用いることができる。好ましい裏打ち層の厚みは、50〜2000ｎｍであり、さらに好ましくは60〜400ｎｍである。
【００２７】
次に、本発明の磁気転写用マスター担体を用いてスレーブ媒体へ情報を転写する磁気転写方法の実施形態について説明する。
【００２８】
図３は、スレーブ媒体２とマスター担体３、４とを示す斜視図である。スレーブ媒体は、例えば、両面または片面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体である。また、本実施形態においては、円盤状の基板21の両面にそれぞれ面内磁気記録層22を備えた（図５参照）、記録面２ｂ，２ｃが形成されたものを示している。
【００２９】
また、マスター担体３は上記実施形態に示したものであり、スレーブ媒体２の下側記録面２ｂ用の凹凸パターンとして、サーボ領域35にサーボ信号に応じた凹凸パターンが形成されている。また、マスター担体４は、マスター担体３と同様の層構成からなる、スレーブ媒体２の上側記録面２ｃ用の凹凸パターンが形成されたものである。
【００３０】
図３では、磁気記録媒体２とマスター担体３，４が互いに離間した状態を示しているが、実際の磁気転写は、磁気記録媒体２の記録面２ｂ、２ｃとマスター担体３，４の転写パターン面とを密着させた状態で行う。
【００３１】
図４は、本発明の磁気転写用マスター担体を用いて磁気転写を行うための磁気転写装置の概略構成を示す斜視図である。磁気転写装置１は、マスター担体３，４とスレーブ媒体２とを密着させて保持する転写ホルダー10および該転写ホルダー10の内部空間のエアを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る図示しない真空吸引手段からなる密着圧力印加手段と、転写ホルダー10を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加手段55とを備えてなる。
【００３２】
磁界印加手段55は、転写ホルダー10の両側に配設された電磁石装置50，50を備えてなり、この電磁石装置50の転写ホルダー10の半径方向に延びるギャップ51を有するコア52にコイル53が巻き付けられてなる。両電磁石装置50，50はトラック方向と平行な同一の向きの磁界を発生させるものである。また、磁界印加手段55としては、電磁石装置に代えて永久磁石装置で構成してもよい。垂直記録の場合の磁界印加手段は、転写ホルダー10の両側に配設された、極性の異なる電磁石または永久磁石から構成することができる。すなわち、垂直記録の場合は、トラック面に垂直な方向に転写用磁界を発生させるものである。
【００３３】
また、磁界印加手段55は、転写ホルダー10の開閉動作を許容するように、両側の電磁石装置50，50が接離移動するか、電磁石装置50，50間に転写ホルダー10が挿入されるように電磁石装置50，50またはホルダー10が移動するようになっている。
【００３４】
転写ホルダー10は、相対的に接離移動可能な左側の片側ホルダー11と右側の他側ホルダー12とを備え、その内部に形成される内部空間に、スレーブ媒体２およびマスター担体３を収容して、この内部空間の減圧によりスレーブ媒体２とマスター担体３とを中心位置を合わせた状態で重ね合わせて対峙密着させるものである。
【００３５】
片側ホルダー11の押圧面には、スレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３およびスレーブ媒体２を吸着等により保持し、他側ホルダー12の押圧面には、スレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着等により保持する。
【００３６】
片側ホルダー11および他側ホルダー12の背面の中心位置には、それぞれ支持軸が突設され、装置本体に支持され、回転機構に連係されて磁気転写時に回転駆動される。
【００３７】
また、転写ホルダー10の内部空間は、密着時には所定の真空度に減圧されて、スレーブ媒体２とマスター担体３，４との密着力を得るととともに、密着面のエア抜きを行って密着性を高めるとともに、大気開放時および剥離時には圧縮空気の導入が行われる。
【００３８】
次に、上記磁気転写装置１による磁気転写方法について説明する。上記磁気転写装置の転写ホルダー10は、一組のマスター担体３，４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー11および他側ホルダー12にマスター担体３，４をそれぞれ位置を合わせて保持させておく。そして、片側ホルダー11と他側ホルダー12とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、他側ホルダー12を片側ホルダー11に接近移動させ閉状態とする。スレーブ媒体２およびマスター担体３，４を収容した転写ホルダー10の内部空間を真空吸引することにより減圧し、スレーブ媒体２とマスター担体３，４とに均一に密着力を加え密着させる。密着力の印加のために、真空吸引に加えて、転写ホルダーを外部から機械的に加圧してもよい。
【００３９】
その後、転写ホルダー10の両側に電磁石装置50を接近させ、転写ホルダー10を回転させつつ電磁石装置50によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録層に転写記録する。
【００４０】
図５は、面内磁気記録媒体への磁気転写の基本工程を説明するための図であり、図５（ａ）は磁界を一方向に印加してスレーブ媒体を初期直流磁化する工程、同図（ｂ）はマスター担体とスレーブ媒体とを密着させて初期直流磁界とは略反対方向に磁界を印加する工程、同図（ｃ）は磁気転写後のスレーブ媒体の記録再生面の状態をそれぞれ示す図である。なお、図５においてスレーブ媒体２についてはその下面記録面２ｂ側のみを示している。
【００４１】
図５（ａ）に示すように、予めスレーブ媒体２にトラック方向の一方向の初期直流磁界Ｈinを印加して磁気記録層22の磁化を初期直流磁化させておく。その後、図５（ｂ）に示すように、このスレーブ媒体２の記録面２ｂとマスター担体３の転写パターン面とを密着させ、スレーブ媒体２のトラック方向に前記初期直流磁界Ｈinとは逆方向の転写用磁界Ｈduを印加する。スレーブ媒体２とマスター担体３の転写パターンの密着した箇所において、転写用磁界Ｈduは、マスター担体３の凸部に吸い込まれ、この部分に対応するスレーブ媒体２の磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転する。その結果、図５（ｃ）に示すように、スレーブ媒体２の下側記録面２ｂの磁気記録層22にはマスター担体３の凹凸パターンに応じた情報（ここではサーボ信号）が磁気的に転写記録される。ここでは、スレーブ媒体２の下側記録面２ｂへの下側マスター担体３による磁気転写について説明したが、磁気記録媒体２の上側記録面２ｃについても上側マスター担体４と密着させて同様に磁気転写を行う。なお、磁気記録媒体２の上下記録面２ｂ、２ｃへの磁気転写は同時になされてもよいし、片面ずつ順次なされてもよい。
【００４２】
なお、初期直流磁界および転写用磁界は、スレーブ媒体の保磁力、マスター担体およびスレーブ媒体の比透磁率等を勘案して定められた値を採用する必要がある。
【００４３】
図５に示して説明した磁気転写の基本工程は、スレーブ媒体が面内記録媒体である場合のものであるが、スレーブ媒体が垂直記録媒体である場合には、初期磁化方向および転写磁界の印加方向を面に垂直な方向とすればよい。なお、垂直記録の場合は、マスター担体の凸部と密着した部分の初期磁化が反転し、その他の部分の初期磁化は反転しない結果として凹凸パターンに応じた磁化パターンが転写される。
【実施例】
【００４４】
次に、本発明の実施例および比較例の磁気転写用マスター担体についての評価結果を説明する。
【００４５】
＜第１の評価方法および結果＞
まず、実施例および比較例のマスター担体について説明する。なお、ここでは、転写に用いるマスター担体と同一形状のものではなく、密着力の試験用に用意した平板状のＮｉ基板上に磁性層および保護層を成膜したものを用いた。
【００４６】
Ｎｉ基板（20×50ｍｍ）上に磁性層（FeCo：膜厚＝100ｎｍ）を形成し、その上に保護層としてスパッタリング法でカーボン膜（膜圧＝10ｎｍ）を形成した。カーボン膜の表面エネルギーは成膜圧力を変化させることにより制御した。各実施例および比較例における成膜圧力は表１に示すとおりである。
【００４７】
スレーブ媒体としては、表面に潤滑剤が塗布された一般的なハードディスク媒体（保磁力Ｈｃ≒276.5ｋＡ／ｍ（＝3500Ｏｅ））、表面エネルギー＝５５ｍＮ／ｍ）を用いた。
【００４８】
表１に、初期表面エネルギー比（マスター担体の初期表面エネルギー／スレーブ媒体の初期表面エネルギー）と剥離に必要な力（密着力）の関係を示す。表面エネルギー値は、精製水とヨウ化メチレンの接触角測定結果から換算して求めた。密着力は、マスター・スレーブを５ｋｇ／ｃｍ2の圧力で密着させた後、専用治具とバネ計りを用いて、スレーブ剥離に必要な力として読み取ったものであり、ここで示したものは５回測定した測定値の平均値である。
【表１】
2006236466.tif 000003
【００４９】
表１に示すとおり、本発明の範囲内である、表面エネルギー比が1.2以上のものでは、表面エネルギー比が約１の場合（比較例２）と比較して密着力が半値近くとなり非常に低減されたものとなった。
【００５０】
＜第２の評価方法および結果＞
第２の評価方法および結果について説明する。
【００５１】
実施例４〜６および比較例３、４のマスター担体としては、信号パターンとして80−170μｍのビット長の凹凸パターンが表面に形成された2.5インチのＮｉ基板を用い、該基板上に膜厚150μｍのＦｅＣｏ磁性層を成膜し、さらにスパッタにより５μｍのカーボン膜を保護層として成膜したものを用いた。ここで、カーボン膜の表面エネルギーは成膜圧力を変化させることにより制御した。各実施例および比較例における成膜圧力は表１で示した実施例１〜３および比較例１、２のものと同様の条件であり、初期表面エネルギー、エネルギー比および密着力については同様の結果が得られた。スレーブ媒体の条件、表面エネルギー、密着力の求め方は第１の評価方法と同様である。
【００５２】
ここでは、耐久性を評価するため、マスター担体とスレーブ媒体との密着および剥離を１万回行った後のスレーブ表面上の欠陥増加数を測定した。ここではｎ＝３の平均値を示す。スレーブ欠陥数の測定は欠陥検査機（ＲＳ1350：日立社製）を用いて行った。対象とする欠陥は、サイズがサブμｍ〜１μｍ程度の微小欠陥とした。
【表２】
2006236466.tif 000004
【００５３】
表２に示すように、比較例３および４についての欠陥増加数と比較して、初期表面エネルギー比が1.2以上であり、密着力の小さい実施例４〜６については、欠陥増加数が３個未満となり非常に耐久性が高くなることが明らかになった。
【００５４】
以上のように、マスター担体のスレーブ媒体に対する初期表面エネルギー比を1.2以上とすることにより、引き剥がし時の力が低減され、引き剥がし時に発生するマスター担体の変形、スレーブ損傷を抑制し、マスター担体の長寿命化すなわち耐久性の向上を図ることができた。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】磁気転写用マスター担体の表面の一部斜視図
【図２】図１の磁気転写用マスター担体の断面図
【図３】マスター担体とスレーブ媒体とを示す斜視図
【図４】磁気転写装置の概略構成を示す斜視図
【図５】面内磁気記録媒体への磁気転写方法の基本工程を示す図
【符号の説明】
【００５６】
１    磁気転写装置
２    スレーブ媒体
２ａ    スレーブ媒体の基板
２ｂ，２ｃ    磁性層（磁気記録層）
３，４    マスター担体
10    転写ホルダー
31    基板
32    強磁性層
34    保護層
35    サーボ領域
36    凹凸パターン
50    電磁石装置
55    磁界印加手段
【図１】
2006236466.tif 000005
【図２】
2006236466.tif 000006
【図３】
2006236466.tif 000007
【図４】
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【図５】
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