(57)【要約】【課題】照明器具の点検・修理・交換などの作業が容易で作業コストの低減を図るとともに、照明器具の寿命を延ばすことができるクリーンルームの照明システムを提供する。【解決手段】枠材１１が、天井チャンバ６に設けられ、天井３の照明用開口部３ｅを包囲している。枠状の第１パッキン材１２が、枠材１１の内側で照明用開口部３ｅを包囲し、天井３の上に設けられている。透光板１３が、照明用開口部３ｅを気密的に塞ぐよう、枠材１１の内側で第１パッキン材１２の上に設けられている。枠状の第２パッキン材１４が、枠材１１の内側で透光板１３の周縁部の上側に設けられている。枠状の押え部材１５が、枠材１１に固定され、第２パッキン材１４を介して透光板１３を天井３側に押し付けて固定している。照明器具１６が、枠材１１の内側で押え部材１５の上に配置され、透光板１３を通してクリーンルーム５を照らしている。【選択図】図１
2006128042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの空気をクリーンルーム下方からリタンシャフトを介して天井の上側の天井チャンバに吸込み、前記天井チャンバからファンフィルタユニットにより前記クリーンルームに清浄空気を送るクリーンルーム構造で用いられる照明システムであって、
前記天井は開口部を有し、
前記天井チャンバに設けられて前記開口部を気密的に塞ぐ透光板と、
前記透光板の上側に載置されて前記透光板を通して前記クリーンルームを照らす照明器具とを、
有することを特徴とするクリーンルームの照明システム。
【請求項２】
前記天井チャンバに設けられて前記開口部を包囲する枠材と、
前記枠材の内側で前記開口部を包囲し前記天井と前記透光板との間に設けられた枠状の第１パッキン材と、
前記透光板の周縁部の上側に設けられた枠状の第２パッキン材と、
前記枠材に固定され、前記第２パッキン材を介して前記透光板を天井側に押し付けて固定する枠状の押え部材とを有し、
前記照明器具は前記枠材の内側で前記押え部材の上に配置されていることを、
特徴とする請求項１記載のクリーンルームの照明システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの照明システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般的なクリーンルームの照明システムは、天井に設けられた開口部に照明器具を埋め込み、開口部および照明器具を覆うよう室内側から透光カバーを気密的に取り付けている。しかし、この照明システムでは、照明器具の点検・修理・交換などを行うとき、室内側から足場などに載って下から透光カバーを取り外して作業をするため、困難で手間がかかるという問題があった。また、透光カバーをはずしたときに、照明器具に付着していた塵埃が室内に落ちるため、クリーンルームの清浄度が低下するという問題もあった。
【０００３】
これらの問題を解決するために、天井に設けられた開口部の内側に天井材を挟持するようシール材を介して支持フレームを固定し、支持フレームの下部に透光パネルを取り付け、支持フレームの上にシール材を介して照明器具を載置するクリーンルームの照明器具の取付構造がある（特許文献１参照）。この取付構造によれば、天井裏から照明器具の点検・修理・交換などを行うことができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１８２４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のクリーンルームの照明器具の取付構造では、照明器具の点検・修理・交換などの作業を行う場合、照明器具がシール材を介して支持フレームに載置されており、天井内の空気中の塵埃が侵入しないよう照明器具の隙間や穴も全てシール材が充填されているため、これらのシール材を外して作業を行い、作業終了後には再びシール材を充填しなければならなかった。このため、これらの作業に労力と時間を要し、作業コストが嵩むという課題があった。また、照明器具がシール材により気密化されているため、照明器具が発する熱の逃げ場がなく、照明器具内の温度が上昇し、照明器具の寿命が短くなるという課題もあった。
【０００６】
本発明は、このような課題に着目してなされたもので、照明器具の点検・修理・交換などの作業が容易で作業コストの低減を図るとともに、照明器具の寿命を延ばすことができるクリーンルームの照明システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係るクリーンルームの照明システムは、クリーンルームの空気をクリーンルーム下方からリタンシャフトを介して天井の上側の天井チャンバに吸込み、前記天井チャンバからファンフィルタユニットにより前記クリーンルームに清浄空気を送るクリーンルーム構造で用いられる照明システムであって、前記天井は開口部を有し、前記天井チャンバに設けられて前記開口部を気密的に塞ぐ透光板と、前記透光板の上側に載置されて前記透光板を通して前記クリーンルームを照らす照明器具とを、有することを特徴とする。
【０００８】
本発明に係るクリーンルームの照明システムは、照明器具が天井チャンバに設けられているので、照明器具の点検・修理・交換などの作業を天井チャンバの内部で行うことができる。このため、クリーンルームの室内側から足場に載って作業をするのに比べて、作業が容易で、作業コストの低減を図ることができる。また、照明器具はクリーンルームと透光板で気密的に遮られているので、照明器具に塵埃が付着していても、あるいは照明器具が汎用品の発塵未対策品であっても、塵埃はクリーンルームまで飛散せず、クリーンルームの清浄度に影響を与えることがない。
【０００９】
本発明に係るクリーンルームの照明システムでは、天井チャンバからファンフィルタユニットにより浄化されクリーンルームに送られた清浄空気が、クリーンルーム下方からリタンシャフトを介して再び天井チャンバに吸込まれるため、天井チャンバ内がクリーンルーム内に比べ負圧になっており、天井チャンバ内の空気の清浄度がある程度高くなっている。なお、天井チャンバ内の空気は、再びファンフィルタユニットにより浄化され、クリーンルームに送られる。このため、天井チャンバに設けられている照明器具や透光板に塵埃などが付着しにくく、照明器具をシール材などにより気密的に覆う必要がない。これにより、シール材などを除去・充填することなく、照明器具の点検・修理・交換などの作業を容易に行うことができる。また、照明器具や透光板に塵埃などが付着しにくいため、クリーンルームを照らす明るさを維持することができる。天井チャンバ内の清浄度がある程度高い空気が照明器具の隙間を通って照明器具が発する熱を拡散し、照明器具の温度上昇を抑えるため、照明器具の寿命を延ばすことができる。
【００１０】
本発明に係るクリーンルームの照明システムは、前記天井チャンバに設けられて前記開口部を包囲する枠材と、前記枠材の内側で前記開口部を包囲し前記天井と前記透光板との間に設けられた枠状の第１パッキン材と、前記透光板の周縁部の上側に設けられた枠状の第２パッキン材と、前記枠材に固定され、前記第２パッキン材を介して前記透光板を天井側に押し付けて固定する枠状の押え部材とを有し、前記照明器具は前記枠材の内側で前記押え部材の上に配置されていることが好ましい。
【００１１】
この構成では、押え部材で透光板を天井側に押し付けて固定することにより、第１パッキン材が天井と透光板との隙間を気密的に塞ぐことができる。これにより、天井チャンバ内の清浄度の低い空気や塵埃が、ファンフィルタユニットを通らずにクリーンルームと天井チャンバとの圧力差に抗して天井の開口部からクリーンルームに漏れ出るのを確実に防止することができ、クリーンルームの清浄度を維持することができる。
【００１２】
照明器具は、枠材の内側で押え部材の上に置かれるだけで、固定されていなくてもよい。この場合、シール材や固定具などにより照明器具を固定する場合と比べ、設置が容易で材料費を低減することができる。
枠材は、天井の天井チャンバ側に設けられた梁から成っていてもよい。この場合、枠材の材料費を低減することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、照明器具の点検・修理・交換などの作業が容易で作業コストの低減を図るとともに、照明器具の寿命を延ばすことができるクリーンルームの照明システムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
図１乃至図３は、本発明の実施の形態のクリーンルームの照明システムを示している。
図１および図２に示すように、クリーンルームの照明システム１０は、枠材１１と第１パッキン材１２と透光板１３と第２パッキン材１４と押え部材１５と照明器具１６とを有している。
【００１５】
図３に示すように、クリーンルーム構造１は、壁２、天井３および床４に囲まれたクリーンルーム５と、天井３の上側に設けられた天井チャンバ６と、床４の下側に設けられた床下空間４ａとにより構成されている。天井３は、横断面が逆Ｔ型の鋼材から成る複数の梁３ａの間に、ファンフィルタユニット８およびブランクパネル３ｂを敷き詰めて形成されている。天井３は、ブランクパネル３ｂに穴を開けて形成された吸込用開口部３ｃと送気用開口部３ｄと照明用開口部３ｅとを有している。照明用開口部３ｅは、使用する照明器具１６の形や大きさに合わせた矩形状に形成されている。床４は、クリーンルーム５から床下空間４ａに通気可能な複数の通気孔４ｂと、天井３の吸込用開口部３ｃの真下に形成された床開口部４ｃとを有している。
【００１６】
クリーンルーム構造１は、クリーンルーム５内に、床４から天井３まで伸びて床開口部４ｃおよび吸込用開口部３ｃに接続されたリターンシャフト７を有している。また、天井チャンバ６の内部の送気用開口部３ｄには、ＨＥＰＡフィルタから成るファンフィルタユニット８が取り付けられている。クリーンルーム構造１は、クリーンルーム５の空気を、床４の通気孔４ｂから、床下空間４ａ、床開口部４ｃ、リターンシャフト７の内部、吸込用開口部３ｃを通して天井チャンバ６に吸込み、ファンフィルタユニット８により空気を浄化および温調し、天井チャンバ６から送気用開口部３ｄを通してクリーンルーム５に清浄空気を送るようになっている。
【００１７】
図１および図２に示すように、枠材１１は、横断面がＬ型の４つの細長い鋼材から成り、天井チャンバ６に設けられている。枠材１１は、照明用開口部３ｅの周縁から所定の間隔を開けて照明用開口部３ｅを包囲するよう、矩形枠状に設けられている。枠材１１は、コーナーを挟んだ一方の面１１ａがブランクパネル３ｂから垂直に立ち上がるよう、他方の面１１ｂがブランクパネル３ｂに固定されている。枠材１１は、他方の面１１ｂが互いに外側を向くよう配置されている。枠材１１は、矩形の長辺に対応する２つの鋼材の一方の面１１ａに、それぞれ２つずつ枠用固定孔１１ｃを有している。
【００１８】
第１パッキン材１２は、白色のＥＰＴ（エチレンプロピレン）製で、矩形枠状に形成されている。第１パッキン材１２は、外周が枠材１１の内周よりやや小さく、内周が照明用開口部３ｅの周縁とほぼ同じ大きさに形成されている。第１パッキン材１２は、枠材１１の内側で照明用開口部３ｅを包囲するようブランクパネル３ｂの上に設けられている。
【００１９】
透光板１３は、矩形板状の強化ガラスから成る。透光板１３は、枠材１１の内周とほぼ同じ大きさに形成されている。透光板１３は、照明用開口部３ｅを気密的に塞ぐよう、枠材１１の内側で第１パッキン材１２の上に設けられている。
【００２０】
第２パッキン材１４は、白色のＥＰＴ（エチレンプロピレン）製で、矩形枠状に形成されている。第２パッキン材１４は、第１パッキン材１２と同じ大きさに形成されている。第２パッキン材１４は、枠材１１の内側で透光板１３の周縁部の上側に設けられている。
【００２１】
押え部材１５は、矩形枠状の鋼材から成り、押圧板部１５ａと固定枠部１５ｂとを一体的に有している。押圧板部１５ａは、矩形枠状で、外周が枠材１１の内周とほぼ同じ大きさを、内周が照明用開口部３ｅの周縁とほぼ同じ大きさを有している。固定枠部１５ｂは、押圧板部１５ａの外周から垂直に立ち上がっている。固定枠部１５ｂは、枠用固定孔１１ｃに対応する４つの押え用固定孔１５ｃを有している。押え部材１５は、枠材１１の内側で、固定枠部１５ｂを上にして、押圧板部１５ａを第２パッキン材１４に接触させて第２パッキン材１４の上に設けられている。押え部材１５は、第２パッキン材１４を介して透光板１３を天井３側に押し付けた状態で、押え用固定孔１５ｃを枠用固定孔１１ｃに合わせ、各孔にネジ１７を貫通させて、枠材１１に固定されている。
【００２２】
照明器具１６は、蛍光ランプ１６ａを取り付けた市販製品から成る。照明器具１６は、透光板１３を通してクリーンルーム５を照らすよう、固定枠部１５ｂの内側で押圧板部１５ａの上に置かれている。
【００２３】
次に、作用について説明する。
クリーンルームの照明システム１０は、天井３が逆Ｔ型の鋼材製の梁３ａで強固に形成されており、人が載って作業できる天井チャンバ６に照明器具１６が設けられているので、照明器具１６の点検・修理・交換などの作業を天井チャンバ６の内部で行うことができる。このため、クリーンルーム５の室内側から足場に載って作業をするのに比べて、作業が容易で、作業コストの低減を図ることができる。
【００２４】
押え部材１５で透光板１３を天井３側に押し付けて固定することにより、第１パッキン材１２が天井３と透光板１３との隙間を気密的に塞ぐことができる。これにより、天井チャンバ６内の清浄度の低い空気や塵埃が、ファンフィルタユニット８を通らずにクリーンルーム５と天井チャンバ６との圧力差に抗して天井３の照明用開口部３ｅからクリーンルーム５に漏れ出るのを確実に防止することができ、クリーンルーム５の清浄度を維持することができる。また、照明器具１６は、枠材１１と第１パッキン材１２と透光板１３と第２パッキン材１４と押え部材１５とによって、クリーンルーム５と気密的に遮られているので、照明器具１６に塵埃が付着していても、あるいは照明器具１６が汎用品の発塵未対策品であっても、塵埃はクリーンルーム５まで飛散せず、クリーンルーム５の清浄度に影響を与えることがない。
【００２５】
クリーンルームの照明システム１０では、天井チャンバ６からファンフィルタユニット８によりクリーンルーム５に送られた清浄空気が、クリーンルーム５下方からリタンシャフト７を介して再び天井チャンバ６に吸込まれるため、天井チャンバ６内がクリーンルーム７内に比べ負圧になっており、天井チャンバ６内の空気の清浄度がある程度高くなっている。このため、天井チャンバ６に設けられている照明器具１６や透光板１３に塵埃などが付着しにくく、照明器具１６をシール材などにより気密的に覆う必要がない。また、たとえ天井チャンバ６に設けられている照明器具１６や透光板１３にわずかな隙間があっても、クリーンルーム５側から天井チャンバ６内へ清浄空気が吸い込まれ、天井チャンバ６内は清浄度がある程度高い状態に保たれるため、照明器具１６をシール材などにより気密的に覆う必要がない。これにより、シール材などを除去・充填することなく、照明器具１６の点検・修理・交換などの作業を容易に行うことができる。また、照明器具１６や透光板１３に塵埃などが付着しにくいため、クリーンルーム５を照らす明るさを維持することができる。天井チャンバ６内の清浄度のある程度高い空気が照明器具１６の隙間を通って、照明器具１６が発する熱を拡散し、照明器具１６の温度上昇を抑えるため、照明器具１６の寿命を延ばすことができる。
【００２６】
照明器具１６が、固定されず、枠材１１の内側で押え部材１５の上に置かれるだけであるため、シール材や固定具などにより照明器具１６を固定する場合と比べ、設置が容易で材料費を低減することができる。
また、鋼材から成る枠材１１などをブランクパネル３ｂの照明用開口部３ｅの周辺に固定するため、ブランクパネル３ｂが補強され、照明器具１６の点検・修理・交換などの作業を安全に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態のクリーンルームの照明システムの使用状況を示す断面図である。
【図２】図１に示すクリーンルームの照明システムの分解斜視図である。
【図３】図１に示すクリーンルームの照明システムの設置状況を示すクリーンルーム構造の側面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１    クリーンルーム構造
２    壁
３    天井
３ａ  梁
３ｂ  ブランクパネル
３ｃ  吸込用開口部
３ｄ  送気用開口部
３ｅ  照明用開口部
４    床
４ａ  床下空間
４ｂ  通気孔
４ｃ  床開口部
５    クリーンルーム
６    天井チャンバ
７    リターンシャフト
８    ファンフィルタユニット
１０  照明システム
１１  枠材
１２  第１パッキン材
１３  透光板
１４  第２パッキン材
１５  押え部材
１６  照明器具
【図１】
2006128042.tif 000003
【図２】
2006128042.tif 000004
【図３】
2006128042.tif 000005