(57)【要約】      （修正有）【課題】ＡＣプラズマ画面の前面基板の製造方法。【解決手段】バス電極および黒色ストリップの技術的工程を組み合わせることで、黒色ストリップとバス電極を一度に成型すること。スクリーン印刷法を用いる場合、一枚のスクリーンマスク上にバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを形成し、黒色銀ペーストを塗布し、最終的にスクリーン印刷で一度に成型する。フォトエッチング法を用いる場合、フォトマスク上に電極および黒色ストリップを形成し、ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、現像および露光によってバス電極および黒色ストリップを一度に成型することを実現する。従って、パターンの位置合わせを避けるだけでなく、パターンの精度、およびプラズマパネルの画質を向上させ、さらに製造工程を簡略化し、製造効率を向上させ、生産材料の消費量、装置の投資および生産コストを低減する。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
１）フォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成し、
２）スクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させて、ガラス板上に印刷し、ガラス板上に印刷した黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得て、透明電極およびガス電極が、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙを含む放電電極を構成し、
３）ガラス板上の前記バス電極および黒色ストリップ上に誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して、誘電体層内の有機材料を燃焼し、
４）電子ビーム蒸着膜形成法により誘電体層上にＭｇＯ保護膜を形成して、前面基板を用意し、
５）用意した前面基板と背面基板をシール、排気、エージングしてガス放電画面を得るスクリーン印刷によりガス放電画面を製造する方法であって、
前記バス電極および黒色ストリップの製造工程で、バス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたスクリーンマスク上に、黒色銀ペーストを充填し、前記スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に印刷し、ガラス板上に印刷した黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得ることを特徴とする方法。
【請求項２】
黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度が８５〜９５℃、時間が１８〜２２分であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷によりガス放電画面を製造する方法。
【請求項３】
黒色銀ペースト内の有機材料を焼成する際の焼成温度が５４０〜５６０℃、時間が２５〜３５分であることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷によりガス放電画面を製造する方法。
【請求項４】
バス電極および黒色ストリップの高さが、３〜１０μｍであることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷によりガス放電画面を製造する方法。
【請求項５】
１）フォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成し、
２）ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷して、連続的なフィルム層を形成し、露光機内にパターンを備えたフォトマスクによりガラス板上のフィルム層を露光し、さらに現像し、次に感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、感光性黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得て、前記透明電極およびバス電極が、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙを含む放電電極を構成し、
３）ガラス板のバス電極および黒色ストリップ上に誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して、誘電体層内の有機材料を燃焼し、
４）電子ビーム蒸着膜形成法により誘電体層上にＭｇＯ保護膜を形成して、前面基板を用意し、
５）用意した前面基板と背面基板をシール、排気、エージングしてガス放電画面を得るフォトエッチングによりガス放電画面を製造する方法であって、
前記バス電極および黒色ストリップの前記製造工程で、ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷して、まず連続的なフィルム層を形成し、露光機内にバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたフォトマスクによりガラス板上のフィルム層を露光し、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に、フォトマスクから電極パターンと黒色ストリップのパターンを複写し、さらに現像し、次に感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、感光性黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得ることを特徴とする方法。
【請求項６】
感光性黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度が８５〜９５℃、時間が１８〜２２分であることを特徴とする請求項５記載のフォトエッチングによりガス放電画面を製造する方法。
【請求項７】
黒色銀ペースト内の有機材料を焼成させる際の焼成温度が５４０〜５６０℃、時間が２５〜３５分であることを特徴とする請求項５記載のフォトエッチングによりガス放電画面を製造する方法。
【請求項８】
バス電極および黒色ストリップの高さが、３〜１０μｍであることを特徴とする請求項５記載のフォトエッチングによりガス放電画面を製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガス放電の技術分野に属する。この技術分野は、ＡＣプラズマ画面の前面基板の製造方法を含んでいる。
【背景技術】
【０００２】
現在の全てのＡＣガス放電画面は表面放電構造を応用したもので、前面基板と、前面基板にシールした背面基板を含んでいる。前面基板の透明電極ＩＴＯとバス電極は放電電極を構成し、放電電極は放電維持電極Ｘと走査／維持電極Ｙを含んでいる。放電電極の表面は誘電体層で被覆し、誘電体層は誘電体保護層で被覆する。前記背面基板はアドレス電極を備え、アドレス電極は放電電極と直交し、誘電体層で被覆する。誘電体層上には底部を蛍光体層で被覆したストライプ隔壁があり、ストライプ隔壁はアドレス電極と平行になっている。前面基板と背面基板は低融点フリットで接続し、前面基板と背面基板の間の間隙部に混合放電ガスＮｅ、ＡｒおよびＸｅなどを充填する。
【０００３】
従来の技術におけるスクリーン印刷によるガス放電画面の前面基板の製造工程は、次のとおりである。
【０００４】
１）まず、ガラス板上にフォトエッチングで透明電極ＩＴＯを形成し、バス電極パターンを備えたスクリーンマスクに黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクを介して、透明電極ＩＴＯの外部上に黒色銀ペーストを塗布し、その後、黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、バス電極を得る。
【０００５】
２）パターンの位置合わせ後、黒色ストリップのパターンを備えたスクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、バス電極を形成したガラス板上に、スクリーンマスクを介して黒色銀ペーストを塗布し、黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、内部の有機材料を燃焼し、黒色ストリップを形成する。
【０００６】
３）ガラス板上のバス電極および黒色ストリップ上に誘電体層を印刷、乾燥し、内部の有機材料を燃焼し、前面基板の製造を完了する。
【０００７】
フォトエッチングによるガス放電画面の前面基板の製造工程は、次のとおりである。
【０００８】
１）まず、フォトエッチングによりガラス板上に透明電極ＩＴＯを形成する。
【０００９】
２）ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、連続的なフィルム層を形成し、露光機内のバス電極パターンを備えたフォトマスク板によって、ガラス板上のフィルム層を露光、現像、乾燥、焼成して、バス電極を得る。
【００１０】
３）バス電極を形成したガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、連続的なフィルム層を形成し、露光機内の黒色ストリップのパターンを備えたフォトマスク板によって、ガラス板上のフィルム層を位置合わせ、露光し、現像する。感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、内部の有機材料を燃焼し、黒色ストリップを得る。
【００１１】
４）バス電極および黒色ストリップを形成したガラス板上に誘電体層を印刷、焼成した後、内部の有機材料を燃焼して、前面基板の製造を完了する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従来の技術においてスクリーン印刷法を用いる場合、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に、黒色ストリップのパターンが印刷されるように、黒色ストリップのパターンを形成する前に、バス電極を形成したガラス板と、黒色ストリップのパターンを備えたスクリーンマスクを正確に位置合わせしなければならなず、フォトエッチング法を用いる場合、露光後、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に、黒色ストリップのパターンが形成されるように、黒色ストリップのパターンを形成する前に、バス電極を形成したガラス板と、黒色ストリップのパターンを備えたフォトマスクを正確に位置合わせしなければならなかった。
【００１３】
黒色ストリップのパターンとバス電極パターンの間の間隙の長さのオーダはμｍレベルで、位置合わせが十分正確でない場合、有効な放電空間の形成に影響し、完全に光らない発光領域が生じたり、放電過程から生じた光を黒色ストリップが被覆できなかったり、発光領域が外部環境からの光を吸収しなかったりして、画面の発光効率を低減し、画質を劣化させる。
【００１４】
さらに、バス電極および黒色ストリップを形成する際に、スクリーン印刷法を用いる場合、二つの異なるスクリーンマスクを用いて、印刷、乾燥および焼成を二度行う必要がある。代わりに、フォトエッチング法を用いる場合、露光、現像、乾燥および焼成を二度行う必要がある。従って、電極および黒色ストリップを形成する技術的工程は複雑で、型材料のコストがかかり、スクリーン製造コストは高すぎで、効率は低い。
【００１５】
この発明の目的は、簡略化した製造工程を備えたガス放電画面の製造方法を提供し、装置の投資を低減し、原材料の無駄を減らし、パターンの正確さ、プラズマ画面の画質、およびパネルの発光効率を向上させ、コストを低減することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明の技術的解決策は、次のように実行される。
【００１７】
スクリーン印刷によるガス放電画面の製造方法では、
１）まず、フォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成する。
【００１８】
２）スクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板上に印刷し、ガラス板上に印刷した黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得る。透明電極ＩＴＯおよびバス電極は、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙを含む放電電極を構成する。
【００１９】
３）ガラス板の黒色ストリップとバス電極上に誘電体層を印刷、焼成し、誘電体層内の有機材料を燃焼する。
【００２０】
４）電子ビーム蒸着法により誘電体層上にＭｇＯ膜を形成し、前面基板を用意する。
【００２１】
５）前面基板と背面基板をシール、排気、エージングして、ガス放電パネルを得る。
【００２２】
前記バス電極と黒色ストリップを形成する工程では、バス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたスクリーンマスク上に、黒色銀ペーストを充填する。黒色銀ペーストはスクリーンマスクを通過させ、ガラス板の透明電極の外縁、および維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に印刷する。黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、内部の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得る。
【００２３】
黒色銀ペーストを乾燥する際の温度は８５〜９５℃、時間は１８〜２２分、黒色銀ペーストを焼成する際は、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼するために、温度は５４０〜５６０℃、時間は２５〜３５分とし、バス電極および黒色ストリップの高さは３〜１０μｍである。
【００２４】
フォトエッチングによるガス放電画面の製造方法では、
１）まず、フォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成する。
【００２５】
２）ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷して、連続的なフィルム層を形成し、露光機内のパターンを備えたフォトマスク板によりガラス板上のフィルム層を露光し、現像する。感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、内部の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。透明電極ＩＴＯおよびバス電極は、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙを含む放電電極を構成する。
【００２６】
３）ガラス板の黒色ストリップおよびバス電極上に誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して、誘電体層内の有機材料を燃焼する。
【００２７】
４）電子ビーム蒸着法により誘電体層上にＭｇＯ保護膜を形成し、前面基板を用意する。
【００２８】
５）前面基板と背面基板をシール、排気、エージングして、ガス放電パネルを得る。
【００２９】
前記バス電極および黒色ストリップの製造工程では、ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、まず連続的なフィルム層を形成し、次に露光機内にパターンを備えたフォトマスク板によって、ガラス板上のフィルム層を露光する。ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に、フォトマスク板から電極パターンと黒色ストリップのパターンを複写し、それを現像する。感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、内部の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。
【００３０】
黒色銀ペーストを乾燥する際の温度は８５〜９５℃、時間は１８〜２２分、黒色銀ペーストを焼成する際の温度は５４０〜５６０℃、時間は２５〜３５分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼する。バス電極および黒色ストリップの高さは３〜１０μｍである。
【００３１】
バス電極と黒色ストリップの製造工程を組み合わせることで、この発明は、黒色ストリップとバス電極を一度に成型することを実現する。スクリーン印刷法を選択する場合は、具体的にはバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを一枚のスクリーンマスク上に形成し、黒色銀ペーストでのスクリーン印刷により一度に成型する。フォトエッチング法を用いる場合は、フォトマスク上に電極および黒色ストリップのパターンを形成し、ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを塗布し、露光および現像によりバス電極および黒色ストリップを一度に成型することを実現する。この方法では、パターンの位置合わせを回避するだけでなく、パターンの形成精度、プラズマ画面の画質を向上させ、同時に、製造工程の簡略化、生産効率の向上を行い、さらに原材料の無駄を減らし、装置投資および生産コストを低減する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
添付の図面は、この発明の特定の実施例である。この発明の内容は、添付の図面と組み合わせてさらに説明する。
【００３３】
この発明の前記ＡＣガス放電画面では（図１参照）、前面基板１と、前面基板１に接続した背面基板６を含む表面放電構造を用いている。前面基板１は、透明電極（ＩＴＯ）２とバス電極３を備えている。
【００３４】
透明電極２とバス電極３は、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙを含む放電電極を構成する。放電電極の表面は、誘電体層４で被覆し、誘電体層４は誘電体保護層５で被覆する。維持放電電極ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域はストリップ上の黒色銀ペースト１２で被覆する。
【００３５】
前記背面基板６はアドレス電極７を備え、アドレス電極７は放電電極と垂直であり、誘電体層１１で被覆し、誘電体層１１はストリップ状の隔壁９を備え、隔壁９はアドレス電極７と平行で、ストリップ状の隔壁９の底部は蛍光体層８で被覆する。前面基板と背面基板は低融点フリットで接続し、それらの間隙部に混合放電ガスＮｅ、Ａｒ、Ｘｅなどを充填する。
【００３６】
ガス放電画面の各セルの放電過程は、アドレス電極と走査／維持放電電極の間の電位差によって、それらを放電させ（維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙが画面上の表示行を構成する）、走査／維持放電電極Ｙと維持放電電極Ｘの間の放電を引き起こし、セルのアドレス放電を完了する。アドレス放電後、アドレス電極は放電維持期間に変わる。壁電荷を蓄積したセルは放電を維持し、画面上のアドレスされたセルを点灯状態にする。
【００３７】
スクリーン印刷によるガス放電画面の製造方法では（図２参照）、
１）ガラス板を洗浄し、フォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成する。
【００３８】
２）スクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板上に印刷する。ガラス板上に印刷した黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。透明電極およびバス電極は、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙを含む放電電極を構成する。
【００３９】
３）ガラス板上の黒色ストリップおよびバス電極上に、誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して（温度５６０〜５７０℃、時間１０〜１５分）、誘電体層内の有機材料を燃焼する。
【００４０】
４）電子ビーム蒸着法により誘電体層上にＭｇＯ保護膜を形成し（厚さ４０００〜７０００Å）、前面基板を用意する。
【００４１】
５）前面基板と背面基板をシール、排気、エージングし、ガス放電表示パネルを得る。
【００４２】
前記バス電極と黒色ストリップの製造工程では、バス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたスクリーンマスク上に黒色銀ペーストを充填し、スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Yの間の非放電領域に印刷し、黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。
【００４３】
黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は８５〜９５℃、時間は１８〜２２分、焼成する際の焼成温度は５４０〜５６０℃、時間は２５〜３５分である。黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼すると、バス電極および黒色ストリップが形成される。バス電極および黒色ストリップの高さは、３〜１０μｍである。
【００４４】
実施例１
スクリーン印刷法でガス放電画面を製造する際、対角４２インチの表示画面の場合、まず高融点のＰＤ−２００ガラス基板を一枚用意し、それを洗浄する。フォトエッチング法によりガラス板上に透明電極を形成し、スクリーンマスク上に幅９０μｍのバス電極パターンと、幅１７０μｍの黒色ストリップのパターンを形成する。バス電極と黒色ストリップのパターンの間の距離は４５μｍとする。次に、バス電極パターンと黒色ストリップのパターンを備えたスクリーンマスク上に、黒色銀ペーストを充填する（黒色ストリップのパターンと、用意したバス電極パターンの位置合わせ工程を避けることができる）。スクリーンマスクに黒色銀ペーストを通過させ、ガラス板の透明電極の外縁、および維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に印刷する。乾燥炉および焼成炉で各々黒色銀ペーストを乾燥、焼成し（乾燥温度は９０℃で時間は２０分、焼成温度は５５０℃で時間は３０分）、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、高さ約６μｍのバス電極および黒色ストリップを得る。
【００４５】
その後、ガラス板上の黒色ストリップおよびバス電極上に誘電体層を印刷する。誘電体層および有機溶剤の組成は、ガラス粉末ＰｂＯ・Ｂ2Ｏ3・ＳｉＯ2および樹脂バインダなどからなり、誘電体層の主な機能は、ＡＣを用いる際に電荷を蓄積する容量となり、前面基板上の電極を駆動する際に、壁電荷を提供して駆動電圧を低減し、維持状態を記憶する機能を提供することである。誘電体層は焼成し（焼成温度は５６５℃、時間は１２分）、誘電体層内の有機材料を燃焼する。
【００４６】
電極の放電寿命を長くするために、さらに電子ビーム蒸着法により誘電体層上にＭｇＯ保護膜を形成する必要がある。ＭｇＯ保護膜は主にＭｇＯからなり、ＭｇＯ保護膜の主な機能は、放電セルと画面の他の部分を絶縁し、プラズマ画面を点灯した際に、前面基板の維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの電極部分が、イオンによって影響を受けないようにし、ＭｇＯ保護膜の下の全ての材料を保護することである。さらに、ＭｇＯ保護膜は高二次電子放出効率を提供し、ガス放電の生成に必要な最低起動電圧を低減する。ＭｇＯ保護膜の厚さは５５００Åである。こうして、前面基板を用意する。用意した前面基板と背面基板はシール、排気、エージングして、ガス放電パネルを得る。
【００４７】
実施例２
実施例２の製造工程は、実施例１と同様である。
【００４８】
焼成炉内で黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は８５℃、時間は１８分、焼成炉内の黒色銀ペーストを焼成する際の焼成温度は５４５℃、時間は２５分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得る。バス電極および黒色ストリップの高さは４μｍ、ＭｇＯ保護膜の厚さは４０００Åである。
【００４９】
実施例３
実施例２の製造工程は、実施例１と同様である。
【００５０】
乾燥炉内で黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は９５℃、時間は２２分、焼成炉内で黒色銀ペーストを焼成する際の焼成温度は５６０℃、時間は３５分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得る。バス電極および黒色銀ペーストの高さは１０μｍ、ＭｇＯ保護膜の厚さは７０００Åである。
【００５１】
フォトエッチング法によりガス放電画面を製造する方法では（図３参照）、
１）ガラス板を洗浄し、フォトエッチング法によりガラス板上に透明電極を形成する。
【００５２】
２）ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、連続的なフィルム層を形成し、露光機内にパターンを備えたフォトマスクによりガラス板上のフィルム層を露光し、現像する。黒色銀ペーストを乾燥、焼成し、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼して、バス電極および黒色ストリップを得る。
【００５３】
透明電極およびバス電極は、維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙを含む放電電極を構成する。
【００５４】
３）ガラス板のバス電極および黒色ストリップ上に誘電体層を印刷し、誘電体層を焼成して、誘電体層内の有機材料を燃焼する。燃焼温度は５６０〜５７０℃、時間は１０〜１５分である。
【００５５】
４）電子ビーム蒸着法により誘電体層上にＭｇＯ保護膜を形成し、前面板を用意する。
【００５６】
５）用意した前面板と背面板をシール、排気、エージングして、ガス放電画面を得る。
【００５７】
前記バス電極および黒色ストリップの製造工程では、まずガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷して、連続的なフィルム層を形成し、露光機内にバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたフォトマスクによって、ガラス板上のフィルム層を露光し、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に、フォトマスクから電極パターンと黒色ストリップのパターンを複写し、さらに現像し、感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成して、感光性黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極と黒色ストリップを得る。
【００５８】
乾燥温度は８５〜９５℃、時間は１８〜２２分、焼成温度は５４０〜５６０℃、時間は２５〜３５分、バス電極および黒色ストリップの高さは、３〜１０μｍである。
【００５９】
実施例４
フォトエッチング法によりガス放電画面を製造する際、対角５０インチの表示画面の場合、高融点のＰＤ−２００ガラス基板を一枚用意し、まずフォトエッチングによりガラス板上に透明電極を形成する。ガラス板上に感光性黒色銀ペーストを印刷し、高さ１５μｍの連続フィルム層を形成し、露光機内にバス電極パターンと黒色ストリップのパターンを同時に備えたフォトマスクによって、ガラス板上のフィルム層を露光し、紫外線ランプの照射によって、ガラス板上の透明電極の外縁、および維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの間の非放電領域に、フォトマスクから電極パターンと黒色ストリップのパターンを複写し、さらに現像する。感光性黒色銀ペーストを乾燥、焼成し（焼成炉内で）、感光性黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得る。
【００６０】
乾燥温度は９０℃、時間は２０分、焼成時の温度は５５０℃、時間は３０分である。バス電極および黒色ストリップの高さは６μｍである。その後、ガラス板の黒色ストリップおよびバス電極上に誘電体層を印刷する。誘電体層の主成分は、ガラス粉末ＰｂＯ・Ｂ2Ｏ3・ＳｉＯ2および樹脂バインダなどからなり、誘電体層の主な機能は、ＡＣを用いる際に電荷を蓄積する容量となり、前面基板上の電極を駆動する際に、壁電荷を提供して駆動電圧を低減し、維持状態を記憶する機能を提供することである。誘電体層は焼成し（焼成温度は５６５℃、時間は１２分）、誘電体層内の有機材料を燃焼する。
【００６１】
電極の放電寿命を長くするために、さらに電子ビーム蒸着法により誘電体層上にＭｇＯ保護膜を形成する必要がある。ＭｇＯ保護膜は主にＭｇＯからなり、ＭｇＯ保護膜の主な機能は、放電セルと画面の他の部分を絶縁し、プラズマ画面を点灯した際に、前面基板の維持放電電極Ｘと走査／維持放電電極Ｙの電極部分が、イオンによって影響を受けないようにし、ＭｇＯ保護膜の下の全ての材料を保護することである。さらに、ＭｇＯ保護膜は高二次電子放出効率を提供し、ガス放電の生成に必要な最低起動電圧を低減する。ＭｇＯ保護膜の厚さは５５００Åである。こうして、前面基板を用意する。用意した前面基板と背面基板はシール、排気、エージングして、ガス放電パネルを得る。
【００６２】
実施例５
実施例５の製造工程は、実施例４と同様である。
【００６３】
乾燥炉内で黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は８５℃、時間は１８分、焼成炉内で黒色銀ペーストを焼成する際の焼成温度は５４５℃、時間は２５分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得る。バス電極および黒色ストリップの高さは４μｍ、ＭｇＯ保護膜の厚さは４０００Åである。
【００６４】
実施例６
実施例６の製造工程は、実施例４と同様である。
【００６５】
乾燥炉内で黒色銀ペーストを乾燥する際の乾燥温度は９５℃、時間は２２分、焼成炉内で黒色銀ペーストを焼成する際の焼成温度は５６０℃、時間は３５分で、黒色銀ペースト内の有機材料を燃焼し、バス電極および黒色ストリップを得る。バス電極および黒色ストリップの高さは１０μｍ、ＭｇＯ保護膜の厚さは７０００Åである。
【００６６】
上記の方法は、任意の大きさのガス放電表示画面の製造工程での使用に適している。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】図１は、ＡＣガス放電画面の構造図である。
【図２】図２は、スクリーン印刷法によりバス電極と黒色ストリップを形成する技術的フローチャートである。
【図３】図３は、フォトエッチング法によりバス電極と黒色ストリップを形成する技術的フローチャートである。
【符号の説明】
【００６８】
１・・・基板
２・・・透明電極
３・・・バス電極
４・・・誘電体層
５・・・誘電体保護層
６・・・背面基板
【図１】
2006032314.tif 000002
【図２】
2006032314.tif 000003
【図３】
2006032314.tif 000004