(57)【要約】【課題】    基板上の画素形成領域の不良箇所の検査や修復を省略できるパターン形成方法及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】  液滴吐出ヘッド２６のノズルプレート２７に液滴吐出ノズル２８が複数形成されている。液滴吐出ヘッド２６は、各液滴吐出ノズル２８の直下に搬送されてきたガラス基板に形成されたバンクによって区画されたそれぞれ対応する凹部が相対向するように配置されたとき、各液滴吐出ノズル２８から微小液滴が複数回吐出され、同凹部に機能液の液滴を付着させる。また、ノズルプレート２７のノズル形成面２７ａには、各液滴吐出ノズル２８毎に、液滴吐出ノズル２８に対して反Ｙ矢印方向に所定の間隔をおいた位置に刷毛体２９を植設した。刷毛体２９は、バンクＢにて区画形成された凹部内に付着した機能液の液滴を攪拌する。【選択図】      図５
2006198506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン形成材料を含む機能液を基板上に形成された複数のパターン形成領域に付着させた後、機能液攪拌部材を前記機能液と接触させるとともに、前記機能液攪拌部材と前記基板とを相対移動させて前記機能液攪拌部材にて前記機能液を前記パターン形成領域の端部にまで塗布させることを特徴とするパターン形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載したパターン形成方法において、
前記機能液攪拌部材は、毛状の刷毛体であることを特徴とするパターン形成方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載したパターン形成方法において、
前記機能液攪拌部材は、パターン形成領域を形成する材料よりも硬度の低い材料によって形成されたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか1つに記載したパターン形成方法において、
前記機能液攪拌部材は、親液性の材料により形成されたことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項５】
液滴吐出ヘッドに形成された液滴吐出ノズルから画素形成材料を含む機能液の微小滴を吐出して、前記液滴吐出ヘッドと相対移動する基板に形成された画素形成領域に前記機能液の液滴を付着する液滴吐出装置において、
前記画素形成領域に付着した前記液滴を、前記相対移動とともに前記画素形成領域内で攪拌させる液滴攪拌部材を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載した液滴吐出装置において、
前記液滴攪拌部材は、前記液滴吐出ノズルが形成されたノズルプレートの前記液滴吐出ノズルに対して相対移動方向に所定間隔離間した位置に形成したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載した液滴吐出装置において、
前記液滴攪拌部材は、毛状であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１に記載した液滴吐出装置において、
前記液滴攪拌部材は、画素形成領域を形成する材料よりも硬度の低い材料によって形成されたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項５〜８のいずれか１に記載した液滴吐出装置において、
前記液滴攪拌部材は、親液性の材料により形成されたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成方法及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタの製造方法として、インクジェット法による製造方法が用いられている。
このインクジェット法は、基板上にマトリクス状に多数形成された画素形成領域（クロム層で形成されたブラックマトリクスで囲まれた領域）に、液体吐出装置の吐出ノズルからカラーフィルタ形成材料を含む機能液の微小液滴を吐出して、その画素形成領域に付着させた機能液の液滴を乾燥・硬化させることによって画素形成領域にカラーフィルタを形成する。
【０００３】
このインクジェット法によれば、顔料分散法、電着法、印刷法等と比較して、製造工程が少なくてすむ。しかし、インクジェットヘッドによって画素形成領域に付着された機能液の液滴が画素形成領域の端まで濡れ広がらなかった場合には、画素形成領域で形成される画素について色抜けが生じてしまい、品質が低下してしまう。このため、後工程での検査、修復が必要となり、結果的に生産性が低下してコストアップにつながるという問題があった。
【０００４】
そこで、従来より、こうしたカラーフィルタの製造方法として、品質を維持しながら、生産性の低下を回避する提案がなされている（例えば、特許文献１）。特許文献１によれば、インクジェットヘッドによって画素形成領域を着色する場合、第１のヘッドが吐出する１つの着色剤毎に着色の良不良を判定し、即座に第１のヘッドに連続する第２のヘッドによって修復を行う。これにより、インクジェットヘッドの１回の走査で着色と修復が行われるため、後工程で検査と修復を行う場合に比較して短時間で良品のカラーフィルタが得られ、カラーフィルタのローコスト化を実現することができる。
【特許文献１】特開平８−２９２３１１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載されるカラーフィルタの製造方法では、不良箇所を検査し、その不良箇所に着色剤を描画して修復する時間が必要となる。これにより、時間的なロスが生じ、しいては生産性が低下してしまう問題が生じる。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板上に形成したパターン形成領域にパターン形成材料を含む機能液の微小液滴を吐出した後、再度の機能液の微小液滴の吐出による修復を省略でき、容易に機能液の液滴をパターン形成領域の端部にまで濡れ広がらせることのできるパターン形成方法を提供することにある。
【０００７】
また、別の目的は、基板上の画素を形成する画素形成領域の不良箇所の検査や修復を省略することができる液滴吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のパターン形成方法は、パターン形成材料を含む機能液を基板上に形成された複数のパターン形成領域に付着させた後、機能液攪拌部材を前記機能液と接触させるとともに、前記機能液攪拌部材と前記基板とを相対移動させて前記機能液攪拌部材にて前記機能液を前記パターン形成領域の端部にまで塗布させる。
【０００９】
本発明のパターン形成方法によれば、パターン形成領域に付着した機能液の液滴は、機能液攪拌部材によって攪拌されてパターン形成領域全体に塗り広げられる。従って、再度の機能液の吐出による修復を省略でき、容易に機能液をパターン形成領域の端部にまで濡れ広がらせることのできる。
【００１０】
このパターン形成方法は、前記機能液攪拌部材は、毛状の刷毛体である。このパターン形成方法によれば、機能液攪拌部材は、毛状の刷毛体で形成されているため、パターン形成領域内に付着した機能液の液滴を攪拌してパターン形成領域の端部にまで塗り広げることができる。従って、再度の機能液の吐出による修復を省略でき、容易に機能液をパターン形成領域の端部にまで濡れ広がらせることのできる。
【００１１】
このパターン形成方法は、前記機能液攪拌部材は、パターン形成領域を形成する材料よりも硬度の低い材料によって形成された。
このパターン形成方法によれば、機能液攪拌部材はパターン形成領域を形成する材料よりも硬度の低い材料によって形成されている。従って、パターン形成領域を傷つけることなく、パターン形成領域内に吐出された機能液の微小液滴をパターン形成領域の端部にまで塗り広げることができる。
【００１２】
このパターン形成方法は、前記機能液攪拌部材は、親液性の材料により形成された。このパターン形成方法によれば、機能液攪拌部材とパターン形成領域内に付着した機能液の液滴との濡れ性が高くなる。即ち、機能液攪拌部材との接触界面での付着力が向上する。従って、機能液攪拌部材によって機能液がより確実に引っ張られ、効率よくパターン形成領域の端部にまで塗り広げることができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドに形成された液滴吐出ノズルから画素形成材料を含む機能液の微小滴を吐出して、前記液滴吐出ヘッドと相対移動する基板に形成された画素形成領域に前記機能液の液滴を付着する液滴吐出装置において、前記画素形成領域に付着した前記液滴を、前記相対移動とともに前記画素形成領域内で攪拌させる液滴攪拌部材を設けた。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置によれば、画素形成領域内に付着した液滴を攪拌させる液滴攪拌部材が設けられている。これにより、液滴吐出ノズルから吐出して画素形成領域内に付着した機能液の液滴が、液滴攪拌部材によって攪拌されて画素形成領域全体に塗り広げられる。従って、画素形成領域の不良箇所の検査や修復を省略することができ、即ち、生産性を低下させずに、画素形成領域全体に機能液を濡れ広げることができる。
【００１５】
この液滴吐出装置は、前記液滴攪拌部材は、前記液滴吐出ノズルが形成されたノズルプレートの前記液滴吐出ノズルに対して相対移動方向に所定間隔離間した位置に形成した。
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ノズルから吐出して画素形成領域内に付着した機能液の液滴が、液滴攪拌部材によって攪拌されて画素形成領域全体に形成領域に塗り広げられる。従って、画素形成領域の不良箇所の検査や修復に要する時間をかけることなく、即ち、生産性を低下させずに、画素形成領域全体に機能液を濡れ広げることができる。
【００１６】
この液滴吐出装置は、前記液滴攪拌部材は、毛状である。この液滴吐出装置によれば、液滴攪拌部材は毛状の刷毛体で形成されているため、画素形成領域内に付着した機能液の液滴を攪拌して画素形成領域の端部にまで塗り広げることができる。従って、画素形成領域の不良箇所の検査や修復に要する時間をかけることなく、画素形成領域全体に機能液を濡れ広げることができる。
【００１７】
この液滴吐出装置は、前記液滴攪拌部材は、画素形成領域を形成する材料よりも硬度の低い材料によって形成された。
この液滴吐出装置によれば、液滴攪拌部材は画素形成領域を形成する材料よりも硬度の低い材料によって形成されている。従って、画素形成領域を傷つけることなく、画素形成領域全体に機能液を濡れ広げることができる。
【００１８】
この液滴吐出装置は、前記液滴攪拌部材は、親液性の材料により形成された。この液滴吐出装置によれば、液滴攪拌部材と画素形成領域内に付着した機能液の液滴との濡れ性が高くなる。即ち、液滴攪拌部材との接触界面での付着力が向上する。従って、液滴攪拌部材によって機能液がより確実に引っ張られ、効率よく画素形成領域の端部にまで塗り広げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の液滴吐出装置を具体化した実施形態を図１〜図６に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置によって、製造される有機エレクトロルミミネッセンス表示装置（以下、単に有機ＥＬ装置という）について説明する。図１は有機ＥＬ装置の正面図、図２はその有機ＥＬ装置の図１中のａ−ａ線の要部断面図である。
【００２０】
図１において、有機ＥＬ装置１は、本実施形態ではトップエミッション型の表示装置であって、平面板状の被処理基板としての光透過性のガラス基板２を備えている。そのガラス基板２の表面（画素形成面２ａ）の略中央位置には、四角形状の表示領域Ｒが形成されている。その表示領域Ｒ内には、図１に示すように、ｍ×ｎ個の画素３がマトリクス状に形成されている。ガラス基板２上であって、表示領域Ｒ以外の領域（非表示領域）には、走査線駆動回路５が形成されている。
【００２１】
表示領域Ｒには、１行当たりｍ個の画素３がｎ行、また、１列当たりｎ個の画素３がｍ列、形成されている。各画素３は、赤色の光を出射する赤色有機ＥＬ素子、緑色の光を出射する緑色有機ＥＬ素子、青色の光を出射する青色有機ＥＬ素子とから構成されている。そして、各画素３は、図１中Ｘ方向（行方向）に沿って、赤色の有機ＥＬ素子４Ｒ、緑色の有機ＥＬ素子４Ｇ、青色の有機ＥＬ素子４Ｂの順で配置されている。
【００２２】
即ち、図１中Ｘ方向（行方向）においては、赤色の有機ＥＬ素子４Ｒ、緑色の有機ＥＬ素子４Ｇ、青色の有機ＥＬ素子４Ｂの順が繰り返されて配置される。また、図１Ｙ方向（列方向）においては、同色の有機ＥＬ素子４Ｒ，４Ｇ，４Ｂが配置される。
【００２３】
図２に示すように、発光素子としての各有機ＥＬ素子４Ｒ，４Ｇ，４Ｂは、ガラス基板２上の回路形成層６に形成される。回路形成層６は、表示領域Ｒに形成される各画素３を駆動させるための薄膜トランジスタ８等といった回路素子や、非表示領域に形成される走査線駆動回路５を構成する回路素子の一部又は全部が形成される層である。そして、回路形成層６の表示領域Ｒに対応した領域に各有機ＥＬ素子４Ｒ，４Ｇ，４Ｂを区画するバンクＢが形成されている。
【００２４】
バンクＢは、二酸化珪素よりなる第１バンクＢ１の上にアクリル樹脂、ポリイミド樹脂や、撥液性のあるフッ素有機樹脂等の有機樹脂よりなる第２バンクＢ２が積層されて形成されている。第２バンクＢ２は、有機ＥＬ素子４Ｒ，４Ｇ，４Ｂを形成することになる後工程のために、撥液性であることが好ましい。従って、フッ素系樹脂を除いて第２バンクＢ２をアクリル樹脂やポリイミド樹脂で形成する際には、ＣＦ４プラズマ処理により表面を撥液化する必要がある。
【００２５】
各バンクＢによって区画されたパターン形成領域又は画素形成領域としての凹部９の底
面には陽極１０が形成されている。各陽極１０は、対応する薄膜トランジスタ８とコンタクトホール１１を介して電気的に接続されている。各凹部９において、その陽極１０上には、有機材料からなる有機エレクトロルミネッセンス層（有機ＥＬ層）１２が形成されている。有機ＥＬ層１２は、本実施形態においては、正孔輸送層１３、そして、正孔輸送層１３の上に赤色発光層１４、緑色発光層１５又は青色発光層１６の２層からなる有機化合物層である。赤色発光層１４は、赤色の光を出射する有機発光材料で構成された発光層である。また、緑色発光層１５は、緑色の光を出射する有機発光材料で構成された発光層である。青色発光層１６は、青色の光を出射する有機発光材料で構成された発光層である。
【００２６】
この正孔輸送層１３及び各発光層１４，１５，１６は、本実施形態では、インクジェット法を利用して行う。詳述すると、正孔輸送層１３は、パターン形成材料又は画素形成材料としての輸送材料（正孔輸送層有機材料）を溶媒に溶解または分散させた機能液を液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の液滴吐出ノズルから各バンクＢによって区画された凹部９に吐出させる。そして、凹部９に吐出した機能液を乾燥し形成する。同様に、各発光層１４，１５，１６は、パターン形成材料又は画素形成材料としての発光材料（発光層有機材料）を溶媒に溶解または分散させた機能液を液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の液滴吐出ノズルから正孔輸送層１３が形成された凹部９に吐出させる。そして、凹部９に吐出した機能液を乾燥して形成する。
【００２７】
発光層１４，１５，１６及びバンクＢの上面には、ＩＴＯよりなる透明の陰極１８が形成されている。また、陰極１８は非表示領域上を覆うように形成されている。そして、陽極１０、正孔輸送層１３、発光層１４，１５，１６及び陰極１８で、各有機ＥＬ素子４Ｒ，４Ｇ，４Ｂが形成される。そして、陰極１８の上側には、図示しない樹脂等のコーティング材で形成され、各種金属膜や有機ＥＬ層１２の酸化等を防止するための封止部１９が形成されている。
【００２８】
そして、データ信号に応じた駆動電流が陽極１０に供給されると、有機ＥＬ層１２は、その駆動電流に応じた輝度で発光する。この際、有機ＥＬ層１２から陰極１８側（図２における上側）に、向かって発光された光は、陰極１８、封止部１９を通過する（以下、透過光という）。また、有機ＥＬ層１２から陽極１０側に向かって発光された光は、陽極１０によって反射され（以下、反射光という）、有機ＥＬ層１２、陰極１８、封止部１９を通過する。そして、前記透過光と反射光とが干渉した光が図示しない保護ガラス基板側に出射される。
【００２９】
次に、有機ＥＬ装置１の製造工程の一つであって、発光層１４を形成するために、各バンクＢによって区画された凹部９に、発光材料（発光層有機材料）を溶媒に溶解または分散させた機能液を吐出させる液滴吐出装置を説明する。
【００３０】
なお、画素３は、赤色の有機ＥＬ素子４Ｒ、緑色の有機ＥＬ素子４Ｇ、青色の有機ＥＬ素子４Ｂとから構成されていて、それぞれ形成する有機ＥＬ素子によって機能液に含まれる発光材料が異なる機能液が使用されるが、説明の便宜上、各凹部９には、同じ発光材料（発光層有機材料）を含む機能液を吐出させるとして説明する。
【００３１】
図３及び図４に示すように、液滴吐出装置２０は、支持台２１を有し、その支持台２１には、搬送台２２が設けられている。搬送台２２は、支持台２1に対して図示しないＹ軸
駆動機構により、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に沿って往復移動するようになっている。
【００３２】
この搬送台２２には、ガラス基板２がその表面（画素形成面２ａ）を上側にして載置され、ガラス基板２を、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に搬送するようになっている。そして、搬送台２２によって搬送されるガラス基板２は、その表示領域Ｒ内においてバンクＢに
よって区画された凹部９内に形成される発光層１４を形成するための発光材料（発光層有機材料）を含む機能液の微小液滴Ｄ１が吐出されるようになっている。
【００３３】
支持台２１には、門形の支持フレーム２３が、Ｙ矢印方向（半Ｙ矢印方向）に移動する搬送台２２を跨ぐように立設されている。支持フレーム２３は、Ｘ矢印方向に沿って、支持台２１に架設されている。この支持フレーム２３には、Ｘ矢印方向に延びるガイドレール２４が配設されている。
【００３４】
ガイドレール２４には、キャリッジ２５が摺動可能に設けられている。このキャリッジ２５は、Ｘ軸駆動機構により、ガイドレール２４に沿って往復可能になっている。
また、キャリッジ２５には、液滴吐出ヘッド２６が一体に設けられている。図５は、液滴吐出ヘッド２６の下面を上方に向けた場合の斜視図を示す。液滴吐出ヘッド２６は、その下面にノズルプレート２７を備え、ノズルプレート２７のノズル形成面２７ａには、複数個（本実施形態では説明の便宜上１６個）の液滴吐出ノズル２８がＸ矢印方向に一列となって等間隔に貫通形成されている。
【００３５】
さらに、液滴吐出ヘッド２６は、各液滴吐出ノズル２８に対して圧電素子（図示しない）がそれぞれ内蔵されていて、その圧電素子に対して印加電圧を制御することにより、液滴吐出ヘッド２６内に一時貯留されている発光材料を含む機能液をそれぞれ微小液滴Ｄ１にして吐出するようになっている。
【００３６】
つまり、図６（ａ）に示すように、各液滴吐出ノズル２８の直下に、ガラス基板２上に形成されたバンクＢによって区画されたそれぞれ対応する凹部９が相対向するように配置されたとき、各液滴吐出ノズル２８から微小液滴Ｄ１が複数回吐出され、同凹部９に機能液の液滴Ｄ２が付着される。
【００３７】
図５に示すように、ノズルプレート２７のノズル形成面２７ａには、各液滴吐出ノズル２８毎に、液滴吐出ノズル２８に対して反Ｙ矢印方向に所定の間隔をおいた位置に機能液攪拌部材及び液滴攪拌部材としての刷毛体２９が植設されている。刷毛体２９は、毛状をなしており、可撓性を有している。刷毛体２９の長さは、図６（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２６（ノズルプレート２７のノズル形成面２７ａ）とガラス基板２が対峙したとき、刷毛体２９の先端が、バンクＢにて区画形成された凹部９内に挿入することができる長さに形成されている。なお、刷毛体２９は、エラストマ等のような柔軟性のある弾性体であって、バンクＢを形成する材料よりも硬度の低い、親液性のある素材によって形成されている。
【００３８】
従って、ガラス基板２が反Ｙ矢印方向に搬送されながら液滴吐出ノズル２８から吐出された微小液滴Ｄ１によって凹部９に同機能液の液滴Ｄ２が付着される。そして、凹部９に付着された機能液の液滴Ｄ２は、後続の刷毛体２９が凹部９を反Ｙ矢印方向から進入し、Ｙ矢印方向に移動して退出することによって攪拌され引き伸ばされる。その結果、例えば図６（ａ）に示すように、凹部９に付着された液滴Ｄ２が何らかの原因で凹部９の一側面９ａ側に偏って付着した場合、後続の刷毛体２９によって、該液滴Ｄ２を凹部９の他側面９ｂまで濡れ広がらせることができる。
【００３９】
次に、液滴吐出装置２０によって、ガラス基板２上にバンクＢで区画された凹部９に発光層１４を形成するための機能液の液滴Ｄ２を付着させる方法を説明する。
いま、搬送台２２にガラス基板２を固定するとともに、支持フレーム２３よりもＹ矢印側に配置する。そして、キャリッジ２５は、液滴吐出ヘッド２６の各液滴吐出ノズル２８の直下をガラス基板２上にＹ矢印方向に形成された凹部９が反Ｙ矢印方向に通過する位置に配置する。なお、搬送台２２に固定されたガラス基板２は、図６（ａ）に示すようにバ
ンクＢで区画形成された各凹部９に正孔輸送層１３がそれぞれ形成されているガラス基板２である。
【００４０】
この状態から、搬送台２２を反Ｙ矢印方向に移動させる。やがて、各液滴吐出ノズル２８の直下を、ガラス基板２上に形成されたバンクＢによって区画された凹部９が相対向すると、各液滴吐出ノズル２８から微小液滴Ｄ１が複数回吐出され、同凹部９に機能液の液滴Ｄ２が付着される。
【００４１】
続いて、図６（ｂ）〜（ｄ）に順に示すように、機能液の液滴Ｄ２が付着された凹部９は、ガラス基板２が反Ｙ矢印方向に搬送されていることによって、刷毛体２９が凹部９に反Ｙ矢印方向側から進入し、Ｙ矢印方向側に移動し退出していく。このとき、凹部９に付着された液滴Ｄ２は、刷毛体２９によって凹部９内で攪拌される。以後、液滴吐出ヘッド２６の直下を通過するガラス基板２に形成された凹部９は、液滴吐出ヘッド２６によって、機能液の液滴Ｄ２が付着され、その付着された液滴Ｄ２が刷毛体２９に攪拌され凹部９全体に濡れ広がる。従って、図６（ａ）に示すように凹部９に付着された液滴Ｄ２が何らかの原因で凹部９の一側面９ａ側に偏って付着した場合、後続の刷毛体２９によって、該液滴Ｄ２を凹部９の他側面９ｂまで濡れ広がらせることができる。
【００４２】
そして、液滴吐出装置２０によって、全ての凹部９に液滴Ｄ２を付着させると、図示しない乾燥工程に移り、機能液の液滴Ｄ２の溶媒を揮発させて発光層１４が形成される。このとき、凹部９に付着された液滴Ｄ２が刷毛体２９に攪拌され、凹部９全体に濡れ広がっているため、抜けのない膜厚が一様な発光層１４が形成される。
【００４３】
次に、上記実施形態の効果を記載する。
（１）本実施形態によれば、ノズルプレート２７に、各液滴吐出ノズル２８に対して反Ｙ矢印方向に所定の間隔をおいた位置に刷毛体２９を植設した。これにより、液滴吐出ノズル２８から吐出した微小液滴Ｄ１にて凹部９内に付着された液滴Ｄ２が、刷毛体２９にて攪拌されるため、液滴Ｄ２は凹部９全体に塗り広げられる。従って、凹部９（画素形成領域）に形成された発光層１４の不良箇所の検査や修復に要する時間をかけることなく、即ち、生産性を低下させずに、凹部９全体に液滴Ｄ２を濡れ広げることができる。
（２）本実施形態によれば、刷毛体２９は、毛状に形状した。従って、刷毛体２９は凹部９内の液滴Ｄ２を攪拌することができる。
（３）本実施形態によれば、刷毛体２９は、バンクＢを形成する材料よりも硬度の低い材料によって形成した。従って、凹部９を傷つけることなく、凹部９内に付着した液滴Ｄ２を攪拌することができる。
（４）本実施形態によれば、刷毛体２９は、親液性のある素材によって形成した。これにより、刷毛体２９と凹部９内に付着した液滴Ｄ２との濡れ性が高くなる。即ち、刷毛体２９との接触界面での付着力が向上する。従って、刷毛体２９の攪拌に伴い、液滴Ｄ２は、刷毛体２９によってより確実に引っ張られて効率よく攪拌される。
【００４４】
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、液滴吐出ノズル２８に対して１つ刷毛体２９を設けた。これに代えて、図７に示すように、刷毛体２９を、Ｘ矢印方向に対して連続して多数植設して液滴吐出ノズル２８の列と平行なブラシ状に形成してもよい。
【００４５】
・上記実施形態では、液滴吐出ノズル２８に対して反Ｙ矢印方向側に1つ刷毛体２９を
設けた。これを、図８に示すように、液滴吐出ノズル２８に対してＹ矢印方向側にも刷毛体２９を設けて実施してもよい。これにより、ガラス基板２を反Ｙ矢印方向に搬送する以外に、ガラス基板２をＹ矢印方向に搬送するときにも液滴Ｄ２を付着し攪拌させることができる。
【００４６】
・上記実施形態では、刷毛体２９は、毛状に成形したが、形状は特に限定されるものではなく、凹部９内を移動できる形状をしていればよい。
・上記実施形態では、刷毛体２９は親液性のある素材により形成されている。これに代えて、例えば、親液性のない素材にて刷毛体２９を形成した後、刷毛体２９の表面に対して親液処理を施してもよい。
【００４７】
・上記実施形態では、刷毛体２９は、ノズルプレート２７（液滴吐出ヘッド２６）に設けたが、液滴吐出ヘッド２６と一体化して設ける必要はない。例えば、図９に示すように、キャリッジ２５に刷毛体２９を植設した補修用ユニット５０を設けるようにしてもよい。
【００４８】
・上記実施形態では、基板としてガラス基板２を使用した。これに代えて、樹脂材料からなる基板や半導体基板を使用してもよい。
・上記実施形態では、発光層１４を形成するときの液滴吐出装置２０に具体化した。これを、正孔輸送層１３を形成する際に使用する液滴吐出装置、液晶表示装置のブラックマトリクスで囲まれた領域にカラーフィルタを形成する際に使用する液滴吐出装置等に応用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】有機ＥＬ装置の正面図。
【図２】有機ＥＬ装置の要部断面図。
【図３】液滴吐出装置の要部正面図。
【図４】液滴吐出装置の要部平面図。
【図５】液滴吐出ヘッドを説明するための斜視図。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施形態に係るパターン形成方法の説明図。
【図７】本発明の実施形態の変更例に係る液滴吐出ヘッドの斜視図。
【図８】本発明の実施形態の変更例に係る液滴吐出ヘッドの斜視図。
【図９】本発明の実施形態の変更例に係る補修ユニットの斜視図。
【符号の説明】
【００５０】
１…有機ＥＬ装置、２…ガラス基板、２ａ…画素形成面、３…画素、４Ｒ，４Ｇ，４Ｂ…有機ＥＬ素子、５…走査線駆動回路、６…回路形成路、８…トランジスタ、９…凹部、１０…陽極、１１…コンタクトホール、１２…有機ＥＬ層、１３…正孔輸送層、１４…赤色発光層、１５…緑色発光層、１６…青色発光層、１８…陰極、１９…封止部、２０…液滴吐出装置、２１…支持台、２２…搬送台、２３…支持フレーム、２４…ガイドレール、２５…キャリッジ、２６…液滴吐出ヘッド、２７…ノズルプレート、２７ａ…ノズル形成面、２８…液滴吐出ノズル、２９…刷毛体、Ｂ…バンク、Ｄ１…微小液滴、Ｄ２…液滴、Ｒ…表示領域。
【図１】
2006198506.tif 000003
【図２】
2006198506.tif 000004
【図３】
2006198506.tif 000005
【図４】
2006198506.tif 000006
【図５】
2006198506.tif 000007
【図６】
2006198506.tif 000008
【図７】
2006198506.tif 000009
【図８】
2006198506.tif 000010
【図９】
2006198506.tif 000011