(57)【要約】  【課題】簡易な低床の構造で大きな移動量を得る事が可能な多段伸縮位置決め移動装置の提供。  【解決手段】基台１の片側に立設した固定柱部材２の一対の従動伝動輪２１，２２を枢支するとともに内側面に直動ガイド溝２３を垂直に設ける一方、直動ガイド溝２３に滑嵌する直動スライド３１を延在した初段昇降可動部材３に一対の中間伝動輪３２，３３を枢支するとともに直動ガイド溝３４を垂直に設け、他方、直動ガイド溝３４に滑嵌する直動スライド４１を全長に延在した初段昇降可動部材３と同一の中間段昇降可動部材４を次々と同様に複数多段に組合せて行き、基台１に設けた固定ブロック７に枢支したガイド伝動輪７１と軸一体回転自在な駆動輪１１を上下に配し、最終段昇降可動部材５に始端６１を止着したノンスリップ伝動帯６を、蛇行状に巻掛し、最終段昇降可動部材５の下中間伝動輪５２を経た終端６２を始端６１に臨ませて止着する特徴的構成手段の採用。  【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台の片側に立設した固定柱部材の前後片側面上下に一対の従動伝動輪を空転自在に枢支するとともに当該固定柱部材の内側面に直動ガイド溝を垂直に設ける一方、
当該直動ガイド溝に上下摺動自在に滑嵌する直動スライドを隣接相対面全長に延在した初段昇降可動部材の前記同片側面上下に一対の中間伝動輪を空転自在に枢支するとともに当該初段昇降可動部材の対側面に直動ガイド溝を垂直に設け、
他方、当該直動ガイド溝に上下摺動自在に滑嵌する直動スライドを全長に延在した前記初段昇降可動部材と同一の中間段昇降可動部材を前記基台上方長手方向に亙って次々と同様に複数多段に組合せて行き、
当該基台の他片側上に設けた固定ブロックの前記同片側面に、空転自在に枢支したガイド伝動輪と軸一体回転自在な駆動輪を上下に配し、
さらに、最終段昇降可動部材の前記同片側面に始端を止着したノンスリップ伝動帯を、下方に臨む前記ガイド伝動輪の内側から前記駆動輪の外側へ、次いで、前記固定柱部材の下従動伝動輪及び上従動伝動輪外側に巻掛し、引続き、前記中間段昇降可動部材の前記下中間伝動輪から前記上中間伝動輪に蛇行状に巻掛し、最終的に、前記最終段昇降可動部材の下中間伝動輪を経た当該ノンスリップ伝動帯の終端を前記始端に臨ませて止着する、
ことを特徴とする多段伸縮位置決め移動装置。
【請求項２】
前記駆動輪は、
その回転軸と制御モータのモータ出力軸と連結自在である、
ことを特徴とする請求項１に記載の多段伸縮位置決め移動装置。
【請求項３】
前記従動、中間、ガイドのそれぞれ伝動輪及び駆動輪は、
歯付車，スプロケット，プーリのいずれかである、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の多段伸縮位置決め移動装置。
【請求項４】
前記ノンスリップ伝動帯は、
前記歯付車，スプロケット，プーリにそれぞれ対応する歯付ベルト，チェーン，ノンスリップベルトのいずれかである、
ことを特徴とする請求項３に記載の多段伸縮位置決め移動装置。
【請求項５】
前記従動、中間、ガイドのそれぞれ伝動輪及び駆動輪は、
その表面にノンスリップ処理加工が施されたプーリであるとともに、
前記ノンスリップ伝動帯に代えて、ワイヤロープ又は金属ベルトのいずれかを採用する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の多段伸縮位置決め移動装置。
【請求項６】
前記基台は、
前記初段、中間段及び最終段昇降可動部材の下限縮小時それぞれの下端を定位置で受止めるストッパ群を植立する、
ことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５に記載の多段伸縮位置決め移動装置。
【請求項７】
前記ガイド伝動輪と前記駆動輪とは、
前記固定柱部材の前記下従動伝動輪と交換配置した、
ことを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６に記載の多段伸縮位置決め移動装置。
【請求項８】
前記請求項７に記載の多段伸縮位置決め移動装置の一対を、前記固定柱部材相互を背中合わせに一体接合して正面対称配置するとともに、前記駆動輪の隣接各回転軸に相互に噛合う同期伝動歯車をそれぞれ取付けてなる、
ことを特徴とする多段伸縮位置決め移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、正確な前後・上下進退位置決め調整動作が作業上必要とする、各種ロボットハンド，ウェハ保管多段棚用ウェハ搬入・搬出装置等に供される多段伸縮位置決め移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の装置として、例えば、以下に示す特許文献１には、第一乃至第三スライド体相互に、複数のチェーンがスプロケットを介して連結張り巡らされて、第一スライドの下面のモータを正逆回転することにより、第一，第二，第三のスライド体を順次移動するに際し、それぞれのチェーンが個別に作用する連係連動移送装置が開示されている。
【０００３】
また、以下に示す特許文献２には、テレスコピック型の多段入れ子構造をなし、各介在した各段の円筒昇降部材の上縁一側にプーリを設置し、当該プーリに巻掛したベルトの一端を隣接外側の円筒昇降部材（最下位のものは円筒固定部材）の上縁内側にかつ他端を隣接内側の円筒昇降部材の下縁外側にそれぞれ止着して、最下段の円筒昇降部材をモータで回転するボールネジを介して持上げることにより独立個別に各ベルトを間接作用せしめて連係連動する搬送ロボットの多段機構が開示されている。
【０００４】
さらに、以下に示す特許文献３には、テレスコピック型の多段入れ子構造で、縦長として片側にのみ各個独立のスチールベルトを巻掛したプーリを設置する偏寄タイプかつモータで駆動するボールネジを外部配置した点以外は、特許文献２に開示された多段構造とほぼ同様の作用、効果を達成したロボットの多段機構が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】実開平６−３５２０６号公報
【特許文献２】特開平１１−１２９１８４号公報
【特許文献３】特開２００１−３００８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示された移送装置では、チェーンの複雑な張り巡らせのため、第一，第二，第三のスライド体はせいぜい３段の組合せが限度であろうし、微妙な進退繰り返し位置決め調整制御は不可能である。従って、その目的もフォークの伸長をゴミ回収コンテナの固定位置まで伸ばし引込むようなラフ動作に適用される。
【０００７】
一方、特許文献２と特許文献３とに開示された搬送ロボットの多段機構では、最下段から除々に上位段に昇動し、下降動は円筒昇降部材群自体の重量の働きで自然下降を利用するので、微妙な上下進退を繰り返す位置決め調整制御には向かず、構造上から大型構造は免れ得ない。それだけ、容量大なるモータを必要とし高価である。また、各段の円筒昇降部材はベルト端により一側下端のみを支持連結されているので昇降時傾きを生じ円滑さを欠く弊害がある。
【０００８】
以上の従来のものは、連係動作に依存し、緩慢動作と成り易く追従遅れを伴い、各段のスライド体や円筒昇降部材の動きがバラバラであり、統一性を欠き、途中の動作が不安定になり微揺動を生じ、最上段の動きは最下段の動きに対し遅れ生じ易く、迅速運転は不適であるとともに、微妙な前後、上下進退を繰り返す位置決め調整制御は精確に追従出来ず精密作業には不可能であった。
【０００９】
ここにおいて、本発明の解決すべき主要な目的は、次のとおりである。
【００１０】
即ち、本発明の第１の目的は、簡易な低床の構造で大きな移動量を得る事が可能な多段伸縮位置決め移動装置を提供せんとするものである。
【００１１】
本発明の第２の目的は、歯付ベルト等を採用して伸縮位置決めに数値制御が可能となる多段伸縮位置決め移動装置を提供せんとするものである。
【００１２】
本発明の第３の目的は、従来と比べて小型化が可能な多段伸縮位置決め移動装置を提供せんとするものである。
【００１３】
本発明の他の目的は、明細書、図面、特に、特許請求の範囲の各請求項の記載から、自ずと明らかになろう。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
まず、本発明においては、基台の片側に立設した固定柱部材に一対の従動伝動輪を上下枢支するとともに内側面に直動ガイド溝を垂直に設ける一方、当該直動ガイド溝に滑嵌する直動スライドを延在した初段昇降可動部材に、一対の中間伝動輪を上下に枢支するとともに直動ガイド溝を垂直に設け、他方、当該直動ガイド溝に滑嵌する直動スライドを全長に延在した初段昇降可動部材と同一の中間段昇降可動部材を次々と同様に複数多段に組合せて行き、基台に設けた固定ブロックにガイド伝動輪と駆動輪を上下に枢支し、さらに、最終段昇降可動部材に始端を止着したノンスリップ伝動帯を、途中前記上下伝動輪に亙り蛇行状に巻掛し、最終的に、当該最終段昇降可動部材の下中間伝動輪を経た終端を始端に臨ませて止着する、という特徴的構成手段を講じる。
【００１５】
さらに、具体的詳細に述べると、当該課題の解決では、本発明が次に列挙する上位概念から下位概念に亙る新規な特徴的構成手段を採用することにより、前記目的を達成するよう為される。
【００１６】
即ち、本発明の第１の特徴は、基台の片側に立設した固定柱部材の前後片側面上下に一対の従動伝動輪を空転自在に枢支するとともに当該固定柱部材の内側面に直動ガイド溝を垂直に設ける一方、当該直動ガイド溝に上下摺動自在に滑嵌する直動スライドを隣接相対面全長に延在した初段昇降可動部材の前記同片側面上下に一対の中間伝動輪を空転自在に枢支するとともに当該初段昇降可動部材の対側面に直動ガイド溝を垂直に設け、他方、当該直動ガイド溝に上下摺動自在に滑嵌する直動スライドを全長に延在した前記初段昇降可動部材と同一の中間段昇降可動部材を前記基台上方長手方向に亙って次々と同様に複数多段に組合せて行き、当該基台の他片側上に設けた固定ブロックの前記同片側面に、空転自在に枢支したガイド伝動輪と軸一体回転自在な駆動輪を上下に配し、さらに、最終段昇降可動部材の前記同片側面に始端を止着したノンスリップ伝動帯を、下方に臨む前記ガイド伝動輪の内側から前記駆動輪の外側へ、次いで、前記固定柱部材の下従動伝動輪及び上従動伝動輪外側に巻掛し、引続き、前記中間段昇降可動部材の前記下中間伝動輪から前記上中間伝動輪に蛇行状に巻掛し、最終的に、前記最終段昇降可動部材の下中間伝動輪を経た当該ノンスリップ伝動帯の終端を前記始端に臨ませて止着してなる、多段伸縮位置決め移動装置の構成採用にある。
【００１７】
本発明の第２の特徴は、上記本発明の第１の特徴における前記駆動輪が、その回転軸と制御モータのモータ出力軸と連結自在である、多段伸縮位置決め移動装置の構成採用にある。
【００１８】
本発明の第３の特徴は、上記本発明の第１又は第２の特徴における前記従動、中間、ガイドのそれぞれ伝動輪及び駆動輪が、歯付車，スプロケット，プーリのいずれかである、多段伸縮位置決め移動装置の構成採用にある。
【００１９】
本発明の第４の特徴は、上記本発明の第３の特徴における前記ノンスリップ伝動帯が、前記歯付車，スプロケット，プーリにそれぞれ対応する歯付ベルト，チェーン，ノンスリップベルトのいずれかである、多段伸縮位置決め移動装置の構成採用にある。
【００２０】
本発明の第５の特徴は、上記本発明の第１又は第２の特徴における前記従動、中間、ガイドのそれぞれ伝動輪及び駆動輪が、その表面にノンスリップ処理加工が施されたプーリであるとともに、前記ノンスリップ伝導帯に代えてワイヤロープ又は金属ベルトのいずれかを採用してなる、多段伸縮位置決め移動装置の構成採用にある。
【００２１】
本発明の第６の特徴は、上記本発明の第１、第２、第３、第４又は第５の特徴における前記基台が、中間段及び最終段昇降可動部材の下限縮小時それぞれの下端を定位置で受止めるストッパ群を植立してなる、多段伸縮位置決め移動装置の構成採用にある。
【００２２】
本発明の第７の特徴は、上記本発明の第１、第２、第３、第４、第５又は第６の特徴における前記ガイド伝動輪と前記駆動輪とが、前記固定柱部材の下従動伝動輪と交換配置してなる、多段伸縮位置決め移動装置の構成採用にある。
【００２３】
本発明の第８の特徴は、上記本発明の第７の特徴に記載の多段伸縮位置決め移動装置の一対を、前記固定柱部材相互を背中合わせに一体接合して正面対称配置するとともに、前記駆動輪の隣接各回転軸に相互に噛合う同期伝動歯車をそれぞれ取付けてなる、多段伸縮位置決め移動装置の構成採用にある。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、一連帯動する１本の共通するノンスリップ伝動帯の簡易な無端状の張り巡らせにより昇降可動部材を複数多段に組み合わせることが可能であり、低床な構造で大きな移動量を得ることか出来る。また、簡易な構造のため小型化が可能であるとともに、制御モータの容量も小さなもので精確な前後、上下進退一貫連動の一体連続移動が可能となる。
【００２５】
さらに、ノンスリップ伝動帯に歯付ベルト，チェーン，ノンスリップベルトを採用したときには、伸縮位置決めの移動量を数値制御することが可能となり、制御モータの出力を制御することで所要の移動量を自動で伸縮させることが可能となり、微小な移動量を必要とするとともに、位置決めに精確さが要求される工程等の搬送制御に好適である。なお、ノンスリップ伝動帯の替わりにワイヤーロープ，金属ベルト等を代用したいときには、従動、中間、ガイドのそれぞれ伝動輪及び駆動輪として、その表面にノンスリップ処理加工が施されたプーリを用いることにより、同様の効果の達成が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態につき、添付の図面を参照しつつ、装置例と応用例を順に挙げて説明する。
【００２７】
（装置例）
図１は、本発明装置の実施形態例である装置例に係る多段伸縮位置決め移動装置αの伸長状態を示す外観斜視図であり、図２は、この多段伸縮位置決め移動装置αの縮小状態を示す外観斜視図である。
【００２８】
同図に示すように、本装置例に係る多段伸縮位置決め移動装置αは、基台１の片側に立設した固定柱部材２と、初段昇降可動部材３と、この初段昇降可動部材３と同一の中間段昇降可動部材４と、最終段昇降可動部材５とを複数多段に組合せて、最終段昇降可動部材５に始端６１と終端６２とが止着されたノンスリップ伝動帯６から駆動輪１１の動力が伝達されるよう構成されている。
【００２９】
ここで、固定柱部材２は、片側面上下に一対の従動伝動輪２１，２２を支軸２１´，２２´にてそれぞれ空転自在に枢支するとともに、内側面に直動ガイド構２３を垂直に設けて構成される一方、初段昇降可動部材３は、直動ガイド構２３に上下摺動自在に滑嵌する直動スライド３１をこの直動ガイド溝２３との隣接相対面全長に延在して、固定柱部材２の従動伝動輪２１，２２と同じ片側面の上下に一対の中間伝動輪３２，３３を支軸３２´，３３´にてそれぞれ空転自在に枢支するとともに、この初段昇降可動部材３の直動スライド３１との対側面に直動ガイド溝３４を垂直に設けて構成される。
【００３０】
他方、中間段昇降可動部材４は、直動ガイド溝３４に上下摺動自在に滑嵌する直動スライド４１を全長に延在して、初段昇降可動部材３と同一に構成される。即ち、固定柱部材２の従動伝動輪２１，２２と初段昇降可動部材３の中間伝動輪３２，３３と同じ片側面の上下に一対の中間伝動輪４２，４３を支軸４２´，４３´にてそれぞれ空転自在に枢支するとともに、この中間段昇降可動部材４の直動スライド４１との対側面に直動ガイド溝４４を垂直に設けて構成されて、この中間段昇降可動部材４を基台１上方長手方向に亙って次々と同様に複数多段に組合せて行く。
【００３１】
なお、本装置例では、固定柱部材２と最終段昇降可動部材５との間に、初段昇降可動部材３と中間段昇降可動部材４との２つの昇降可動部材を示して説明するものの、この昇降可動部材は２つに限定されるものではなく、伸長時に前後又は上下進退の所要の移動量を得ることが可能となるまで、例えば、固定柱部材２と最終段昇降可動部材５との間に、基台１上方長手方向に亙って次々と同様に複数多段に組合せて構成することで、所要の移動量を得ることが可能となる。
【００３２】
また、基台１には、固定柱部材２との他片側上に設けた固定ブロック７に、従動伝動輪２１，２２、中間伝動輪３２，３３，４２，４３と同じ片側面に、支軸７１´にて枢支したガイド伝動輪７１と回転軸１２´に固定した駆動輪１１を上下に配するよう構成される。
【００３３】
さらに、最終段昇降可動部材５は、直動ガイド溝４４に上下摺動自在に滑嵌する直動スライド５１を全長に延在し、この最終段昇降可動部材５のガイド伝動輪７１、駆動輪１１と同じ片側面に突設した止着片５３に始端６１が止着されたノンスリップ伝動帯６は、下方に臨むガイド伝動輪７１の内側から駆動輪１１の外側へ、次いで、固定柱部材２の下従動伝動輪２２及び上従動伝動輪２１外側に巻掛する。
【００３４】
引続き、ノンスリップ伝動帯６は、初段昇降可動部材３の下中間伝動輪３３から上中間伝動輪３２へ、中間段昇降可動部材４の下中間伝動輪４３から上中間伝動輪４２へと蛇行状に巻掛し、最終的に、最終段昇降可動部材５の支軸５２´にて枢止された下中間伝動輪５２を経て終端６２を止着片５３を中に挟んで始端６１に臨ませてこの最終段昇降可動部材５に止着される。
【００３５】
なお、駆動輪１１は、その回転軸１２´と制御モータ８のモータ出力軸８１と適宜カップリング等で連結自在に構成されるとよく、これにより制御モータ８の回転動力が駆動輪１１に伝達可能となり、例えば、モータ出力軸８１を図１に示した矢印Ａ方向の回転動力を回転軸１２´に伝達することで初段昇降可動部材３、中間段昇降可動部材４、最終段昇降可動部材５とを一体連続して一貫連動し図中上方に移動させて多段伸縮位置決め移動装置αを伸長することが可能となる一方、図２に示した矢印Ｂ方向の回転動力を回転軸１２´に伝達した場合には、多段伸縮位置決め装置αを縮小することが可能となる。
【００３６】
また、従動伝動輪２１，２２、中間伝動輪３２，３３，４２，４３，５２、ガイド伝動輪７１及び駆動輪１１は、歯付車，スプロケット，プーリのいずれかであるとよく、このとき、ノンスリップ伝動帯６は、それぞれに対応する歯付ベルト，チェーン，ノンスリップベルトのいずれかであると好適である。なお、ノンスリップ伝動帯の替わりにワイヤーロープ、金属ベルト等を代用したいときは、従動伝動輪２１，２２、中間伝動輪３２，３３，４２，４３，５２、ガイド伝動輪７１及び駆動輪１１として、タングステン粉末の噴射打ち込み、サンドブラスト等によりその表面にノンスリップ処理加工が施されたプーリを用いれば良い。さらに、支軸２１´，２２´，３２´，３３´，４２´，４３´，５２´，７１´を固定軸としたが、回転軸とし伝動輪２１,２２，３２，３３，４２，４３，５２，７１を固着して一体回転してもよい。
【００３７】
なお、本装置例では、初段昇降可動部材３と中間段昇降可動部材４と最終段昇降可動部材５とがノンスリップ伝動帯６により上下方向に伸縮して位置決め移動可能な多段伸縮位置決め移動装置αについて説明したものの、これに限定されるものではなく、例えば、前後進退あるいは左右方向の伸縮が可能となるよう所要の方向に順次複数多段に組み合わせることで、所要方向の移動量を得ることが可能となる。
【００３８】
また、後述する応用例に示すように、基台１は、初段昇降可動部材３、中間段昇降可動部材４及び最終段昇降可動部材５の下限縮小時のそれぞれの下端を定位置で受止めるストッパ９群を植立することで、これら昇降可動部材３，４，５の縮小下限時の定位置停止ならびに基台１との接触時の衝撃を吸収して微細な移動量を示すことが可能となり、さらに、ガイド伝動輪７１と駆動輪１１とは、固定柱部材２の下従動伝動輪２２と交換配置するようにしてもよい。
【００３９】
（応用例）
次に、本発明装置を、精確な位置決めとクリーンルーム対応が要求される、例えば、ＩＣチップ製造工程（ＩＣ：Integrated Circuit）等の局所クリーン化に利用される、例えば、２５枚のウェハ１００を収納したウェハ保管多段棚（ウェハキャリアγ）の、上下昇降位置決め搬送可能に適用した場合の応用例について説明する。
【００４０】
まず、図３は、本発明装置の実施形態例である応用例に係る多段伸縮位置決め移動装置βの伸長状態を示す正面図であり、図４は、この多段伸縮位置決め移動装置βの縮小状態を示す正面図である。ここで、ウェハキャリアγの中身のウェハ１００を透過させて示している。
【００４１】
同図に示すように、多段伸縮位置決め移動装置βは、ガイド伝動輪７１と駆動輪１１とが固定柱部材２の下従動伝動輪２２とそれぞれ交換配置されて構成された多段伸縮位置決め移動装置αの一対を、固定柱部材２相互を背中合わせに一体接合して正面左右対称配置して構成されて、このとき、一対の基台１と固定柱部材２は、それぞれ一体に基台１０と基台１０の中央に配した固定柱部材２０として構成されると好適である。それ故、固定柱部材２０の両側面には直動ガイド溝２３ａ，２３ｂが取付けられる。なお、ここでは、下従動伝動輪２２に対応するものとしてそれぞれ１対の下従動伝動輪２２ａ，２２ｂを示すものの、これに限定されるものではない。
【００４２】
ここで、多段伸縮位置決め移動装置βは、多段伸縮位置決め移動装置α同様に、基台１０に、初段昇降可動部材３ａ，３ｂ、中間段昇降可動部材４ａ，４ｂ及び最終段昇降可動部材５ａ，５ｂの下限縮小時のそれぞれの下端を定位置で受止めるストッパ９群を植立するとよい。
【００４３】
したがって、例えば、上下方向の伸縮位置決め移動可能に構成された最終段昇降可動部材５ａ，５ｂの上端にてキャリア台５１を保持するようにすることで、このキャリア台５１が上下伸縮位置決め移動可能となり、ウェハキャリアγはキャリア台５１に載置されることで、例えば、ＩＣチップ製造工程にて所要となる高さに精確に位置決め移動させることが可能となる。
【００４４】
また、ウェハ１００がクリーンルーム等で扱われる場合には、多段伸縮位置決め移動装置βは、基台１の外周側面に固定されて内側で多段伸縮位置決め移動装置βを、基台１からキャリア台５１までに亙り完全に覆うように、この多段伸縮位置決め移動装置βの伸縮方向に伴い長さ調節可能な防塵シールド１３を具備するようにするとよい。
【００４５】
次に、図５は、本応用例に係る多段伸縮位置決め移動装置βの固定柱部材２ａ，２ｂの図３に示した一点鎖線Ｘにおける一部断面にて示した平面図である。なお、ノンスリップ伝動帯６ａ，６ｂは省略して示している。
【００４６】
同図に示すように、多段伸縮位置決め移動装置βは、駆動輪１１ａ，１１ｂの隣接各回転軸１２ａ´，１２ｂ´に相互に噛合う同期伝動歯車１４ａ，１４ｂをそれぞれ取付けて構成されて、例えば、モータ出力軸８１と回転軸１２ａ´とをカップリング８２等により連結することで、制御モータ８の回転動力を駆動輪１１ａに伝達し、この回転動力を同期伝動歯車１４ａ，１４ｂを介して駆動輪１１ｂにも伝達するようにするとよい。
【００４７】
以上、本発明の実施の形態につき、その装置例及び応用例を順次挙げて説明したが、本発明は、必ずしも上述した手段にのみ限定されるものではなく、前述した効果を有する範囲内において、適宜、変更実施することが可能なものである。
【００４８】
例えば、上記応用例では、ウェハキャリアγの搬送に適用可能な多段伸縮位置決め移動装置βについて説明したものの、これに限定されず、例えば、前後進退あるいは左右方向の伸縮が可能なロボットアーム等に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明装置の実施形態例である装置例に係る多段伸縮位置決め移動装置の伸    長状態を示す外観斜視図である。
【図２】同上多段伸縮位置決め移動装置の縮小状態を示す外観斜視図である。
【図３】本発明装置の実施形態例である応用例に係る多段伸縮位置決め移動装置の伸    長状態を示す正面図である。
【図４】同上多段伸縮位置決め移動装置の縮小状態を示す正面図である
【図５】同上した多段伸縮位置決め移動装置の固定柱部材の図３に示した一点鎖線Ｘ    における一部断面にて示した平面図である。
【符号の説明】
【００５０】
α，β…多段伸縮位置決め移動装置
γ…ウェハキャリア
１，１０…基台
１１，１１ａ，１１ｂ…駆動輪
１２´，１２ａ´，１２ｂ´…回転軸
１３…防塵シールド
１４ａ，１４ｂ…同期伝動歯車
２，２０…固定柱部材
２１…上従動伝動輪（従動伝動輪）
２１´，２２´，３２´，３３´，４２´，４３´，５２´，５３´，７１´…支軸
２２，２２ａ，２２ｂ…下従動伝動輪（従動伝動輪）
２３，２３ａ，２３ｂ，３４，４４…直動ガイド溝
３，３ａ，３ｂ…初段昇降可動部材
３１，４１，５１…直動スライド
３２，４２…上中間伝動輪（中間伝動輪）
３３，４３，５２…下中間伝動輪（中間伝動輪）
４，４ａ，４ｂ…中間段昇降可動部材
５，５ａ，５ｂ…最終段昇降可動部材
５１…キャリア台
５３…止着片
６，６ａ，６ｂ…ノンスリップ伝動帯
６１…始端
６２…終端
７…固定ブロック
７１，７１ａ，７１ｂ…ガイド伝動輪
８…制御モータ
８１…モータ出力軸
８２…カップリング
９…ストッパ
１００…ウェハ
Ａ，Ｂ…回転方向
【図１】
2006043867.tif 000003
【図２】
2006043867.tif 000004
【図３】
2006043867.tif 000005
【図４】
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【図５】
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