(57)【要約】【課題】  ウェハーの性能を保持すると共にウェハーケースに対するウェハーの出し入れの効率化を図ったウェハー搬送容器を提供する。【解決手段】  第１，第２端壁７，９の他方の中央に支持軸１３で回動可能に一体にして、ウェハー押さえ２４はウェハーＷを均一に押さえるようにし、第１，第２ウェハーケース２Ｃ，２Ｄの相対回動時に共回りする現象、すなわちウェハーとウェハー押さえ２４との摩擦による異物粒子の発生、及びこれによるウェハーＷの性能劣化を抑える。【選択図】                図２
2006056573.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が第１端壁により閉鎖されて筒状をなす第１ウェハーケースの第１筒部に、一端が
第２端壁により閉鎖されて筒状をなす第２ウェハーケースの第２筒部を周方向に回動可能
に係合することにより、前記第１，第２端壁の一方とこの該第１，第２端壁間に配設され
たウェハー押さえとによりウェハーの周縁部を挟持させると共に、前記第１，第２筒部を
周方向に相対回動させることにより互いに係合脱着可能にしたウェハー搬送容器であって
、
前記ウェハー押さえは、前記第１，第２端壁の他方の中央に支持軸で回動可能に保持さ
れていることを特徴とするウェハー搬送容器。
【請求項２】
第１筒部及び該第１筒部の一端を閉鎖する第１端壁を有する第１ウェハーケースと、
第２筒部及び該第２筒部の一端を閉鎖する第２端壁を有し且つ前記第２筒部が前記第１
筒部に周方向へ回動可能に係合された第２ウェハーケースと、
前記第１，第２端壁間に配設されたウェハー押さえと、
前記第１，第２ウェハーケースの第１，第２筒部を周方向に相対回動させることにより
、前記第１，第２ウェハーケースの前記第１，第２筒部を互いに固定及び固定解除可能に
する係合固定手段を備えると共に、前記ウェハー押さえを介して前記第１，第２端壁との
間にウェハーの周縁部を挟持させるようにしたウェハー搬送容器であって、
前記ウェハー押さえは、前記第１，第２端壁の他方の中央に支持軸で回動可能に保持さ
せられることにより、前記ウェハー押さえと前記第１，第２端壁との一方が前記第１，第
２端壁との他方に対して一体に回動するように設けられていることを特徴とするウェハー
搬送容器。
【請求項３】
前記第１，第２ウェハーケースの外周面が、多角形の形状に形成され、該形状の端面が
平面視で略一致したときに前記第１，第２ウェハーケースが係合固定されていることを特
徴とする請求項１又は２に記載のウェハー搬送容器。
【請求項４】
前記ウェハー押さえが、前記ウェハーの周縁部に延びる複数の脚部を有し、該脚部の中
間部には肉薄部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし３の何れか１項に記載
のウェハー搬送容器。
【請求項５】
前記支持軸が該支持軸の端面の対称位置に半径方向に延びる１対の係止突部を有すると
共に、前記ウェハー押さえは上記支持軸に内挿する円形穴と前記係止突部が挿通可能な１
対の突状穴とを有していて、前記ウェハー押さえの前記突状穴が前記支持軸の前記係止突
部に一致する位置で前記ウェハー押さえは前記支持軸に挿脱可能であることを特徴とする
請求項１ないし４の何れか１項に記載のウェハー搬送容器。
【請求項６】
前記支持軸の前記１対の係止突部は、一方の係止突部が他方の係止突部よりも長く形成
されていることを特徴とする請求項５に記載のウェハー搬送容器。
【請求項７】
前記支持軸の１対の係止突部が、該係止突部の先端に前記ウェハー押さえ側に向く傾斜
部を有することを特徴とする請求項５又は６の何れか１項に記載のウェハー搬送容器。
【請求項８】
前記ウェハー押さえが前記支持軸に挿脱可能な位置を表示する位置合わせマークを前記
第１，第２ウェハーケースと前記ウェハー押さえとにそれぞれ備えることを特徴とする請
求項１ないし７の何れか１項に記載のウェハー搬送容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハー等の精密基板の収納及び搬送に用いられるウェハー搬送容器
に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数枚の半導体ウェハー（以下、ウェハーという）を貯蔵及び搬送する方法とし
て、ウェハーケース（ハウジング）内に１枚のウェハーを収納し、このウェハーの上に板
状のウェハー押さえ（スプリング）を載せると共にウェハーケースにカバーを係合させて
、ウェハー押さえとウェハーケースとによりウェハーを挟持するようにしたものがある。
しかも、このようなウェハーケースを複数段重ねたのち、最上のウェハーケースに蓋体（
カバー）をして複数枚のウェハーの貯蔵及び搬送をする容器が知られている（例えば、特
許文献１参照）。
【特許文献１】特公昭４８−２８９５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、ウェハーをウェハーケースに押さえるためのウェハー押さえは、単にウ
ェハー上に載置されているので、ウェハーの中心とウェハー押さえの中心とがずれること
があってウェハー押さえが均一にウェハーを押圧しないことがあった。
【０００４】
このため、ウェハー押さえを押圧する蓋体又は上側のウェハーケースを開閉する方向に
回動させるとき、これに従動してウェハー押さえが蓋体又は上側のウェハーケースと一体
に共回りして、ウェハー押さえがウェハーに対して摺動することがある。このように、ウ
ェハー押さえがウェハーに対して摺動するとウェハーが損傷すると共に、ウェハー及びウ
ェハー押さえの摩擦により摩耗紛（異物粒子）がウェハーケース内に発生し半導体ウェハ
ー表面が汚染されて、性能を損なう虞があった。
【０００５】
また、蓋体とウェハー押さえとは分離しているので、ウェハーケースからウェハーを取
り出す場合には蓋体とは別にウェハー押さえを取り出さねばならず作業性が低下する問題
があった。
【０００６】
本発明は、ウェハーの性能を保持すると共にウェハーケースに対するウェハーの出し入
れの効率化を図ったウェハー搬送容器を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述事情に鑑みなされたものであって、請求項１に記載の発明は、一端が第
１端壁により閉鎖されて筒状をなす第１ウェハーケースの第１筒部に、一端が第２端壁に
より閉鎖されて筒状をなす第２ウェハーケースの第２筒部を周方向に回動可能に係合する
ことにより、前記第１，第２端壁の一方とこの該第１，第２端壁間に配設されたウェハー
押さえとによりウェハーの周縁部を挟持させると共に、前記第１，第２筒部を周方向に相
対回動させることにより互いに係合脱着可能にしたウェハー搬送容器であって、前記ウェ
ハー押さえは、前記第１，第２端壁の他方の中央に支持軸で回動可能に保持されているこ
とを特徴としている。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、第１筒部及び該第１筒部の一端を閉鎖する第１端壁を
有する第１ウェハーケースと、第２筒部及び該第２筒部の一端を閉鎖する第２端壁を有し
且つ前記第２筒部が前記第１筒部に周方向へ回動可能に係合された第２ウェハーケースと
、前記第１，第２端壁間に配設されたウェハー押さえと、前記第１，第２ウェハーケース
の第１，第２筒部を周方向に相対回動させることにより、前記第１，第２ウェハーケース
の前記第１，第２筒部を互いに固定及び固定解除可能にする係合固定手段を備えると共に
、前記ウェハー押さえを介して前記第１，第２端壁との間にウェハーの周縁部を挟持させ
るようにしたウェハー搬送容器であって、前記ウェハー押さえは、前記第１，第２端壁の
他方の中央に支持軸で回動可能に保持させられることにより、前記ウェハー押さえと前記第１，第２端壁との一方が前記第１，第２端壁との他方に対して一体に回動するように設
第２，けられていることを特徴としている。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、前記第１，第２ウェハーケースの外周面が、多角形の
形状に形成され、該形状の端面が平面視で略一致したときに前記第１，第２ウェハーケー
スが係合固定されていることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明は、前記ウェハー押さえが、前記ウェハーの周縁部に延び
る複数の脚部を有し、該脚部の中間部には肉薄部が形成されていることを特徴としている
。
【００１１】
また、請求項５に記載の発明は、前記支持軸が該支持軸の端面の対称位置に半径方向に
延びる１対の係止突部を有すると共に、前記ウェハー押さえは上記支持軸に内挿する円形
穴と前記係止突部が挿通可能な１対の突状穴とを有していて、前記ウェハー押さえの前記
突状穴が前記支持軸の前記係止突部に一致する位置で前記ウェハー押さえは前記支持軸に
挿脱可能であることを特徴としている。
【００１２】
また、請求項６に記載の発明は、前記支持軸の前記１対の係止突部は、一方の係止突部
が他方の係止突部よりも長く形成されていることを特徴としている。
【００１３】
また、請求項７に記載の発明は、前記支持軸の１対の係止突部が、該係止突部の先端に
前記ウェハー押さえ側に向く傾斜部を有することを特徴としている。
【００１４】
また、請求項８に記載の発明は、前記ウェハー押さえが前記支持軸に挿脱可能な位置を
表示する位置合わせマークを前記第１，第２ウェハーケースと前記ウェハー押さえとにそ
れぞれ備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係わる発明によれば、第１，第２端壁の他方の中央に支持軸で回動可能に一
体にしたので、ウェハー押さえはウェハーを均一に押さえることができると共に、第１，
第２ウェハーケースの相対回動時に共回りする現象、すなわちウェハーとウェハー押さえ
との摩擦による異物粒子の発生、及びこれによるウェハーの性能劣化を抑えることができ
る。
【００１６】
さらに、ウェハーの出し入れ時にウェハー押さえを別途に出し入れする必要がなくてウ
ェハー出し入れの作業性を向上させることができる。
【００１７】
また、請求項２に係わる発明によれば、ウェハー押さえが、前記第１，第２端壁との他
方の中央に支持軸で回動可能に保持させられることにより、前記ウェハー押さえと前記第
１，第２端壁との一方が前記第１，第２端壁との他方に対して一体に回動するように設け
たので、ウェハー押さえはウェハーを均一に押さえることができると共に、第１，第２ウ
ェハーケースの相対回動時に共回りする現象、すなわちウェハーとウェハー押さえとの摩
擦による異物粒子の発生、及びこれによるウェハーの性能劣化をより確実に抑えることが
できる。
【００１８】
さらに、第１，第２筒部は、係合固定手段により互いに固定及び固定解除されるので、
第１，第２筒部の相互の過締めが防止され、この過締めによる第１，第２ウェハーケース
の開けにくさ、及びこれによるウェハーの出し入れ操作の不便性を防止することができる
。
【００１９】
ウェハー押さえが第１，第２端壁の他方の中央に一体であるので、第１，第２ウェハー
ケースに対するウェハーの出し入れ時にウェハー押さえを別途に出し入れする必要がなく
てウェハー出し入れの作業性を向上させることができる。
【００２０】
また、請求項３に係わる発明によれば、第１，第２ウェハーケースの外周面が、多角形
の形状に形成され、該形状が平面視で略一致したときに、第１，第２ウェハーケースが係
合固定されているので、第１，第２ウェハーケースを容易に相対回動させることができて
ウェハー出し入れの作業の効率化を図ることができる。さらに、過締め防止の確実性が向
上すると共に、第１，第２ウェハーケースの適正な係合固定状態が、その外観から視認す
ることが可能となる。
【００２１】
また、請求項４に係わる発明によれば、ウェハー押さえの脚部の中間部に薄肉部を形成
したので、ウェハー押さえのウェハー保持力をなるべく適正な範囲に調整保持することが
できてウェハー保持力を向上させることができる。
【００２２】
また、請求項５に係わる発明によれば、支持軸の端面の対称位置に半径方向に延びる１
対の係止突部を有すると共に、前記ウェハー押さえは上記支持軸に内挿する円形穴と前記
係止突部が挿通可能な１対の突状穴とを有していて、前記ウェハー押さえの前記突状穴が
前記支持軸の前記係止突部に一致する位置で前記ウェハー押さえは前記支持軸に挿脱可能
にしたので、支持軸に対してウェハー押さえを回動可能に容易に着脱することができると
共に、挿脱時の発塵の発生が防止され、ウェハー押さえ及び第１，第２ウェハーケースの
清浄度を保持することができる。
【００２３】
そして、ウェハー押さえを支持軸に挿入した後は、左右何れかの方向にウェハー押さえ
を少し回動しさえすれば、ウェハー押さえを確実にウェハーケースに保持させることがで
きる。
【００２４】
また、請求項６に係わる発明によれば、支持軸に対するウェハー押さえの挿脱位置は３
６０°の範囲で１箇所にすることができるので、第１，第２ウェハーケースの単独の取扱
時にウェハー押さえが支持軸から外れ難くすることができる。
【００２５】
また、請求項７に係わる発明によれば、係止突部の先端にウェハー押さえが取り付けら
れる側に向く傾斜部を有するので、支持軸に対するウェハー押さえの取り付けを容易に行
うことができる。
【００２６】
また、請求項８に係わる発明によれば、ウェハー押さえが支持軸に挿脱可能な位置を表
示する位置合わせマークを前記第１，第２ウェハーケースと前記ウェハー押さえとにそれ
ぞれ設けたので、支持軸に対するウェハー押さえの挿脱作業をさらに容易に行うことがで
きる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２８】
図１はウェハー搬送容器１の斜視図を示している。このウェハー搬送容器１はウェハー
ケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄを積み重ねたのち上部を蓋体３により閉塞して一体にした
ものからなっている。前記ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ及び蓋体３は樹脂成型
品からなっており、このウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの材料はポリカーボネー
ト樹脂が用いられて透明である。
【００２９】
各ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ及び蓋体３は、後述するようにして相互に相
対回動できるようになっていて、上側のウェハーケース及び蓋体３が下側のウェハーケー
スに対して矢印４で示す時計方向に回動させたときに上側のウェハーケースが開くように
なっている。
【００３０】
ここで、ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄは、上下において係合するもののうち
下側に位置するものがそれぞれ第１ウェハーケースとなり、上側に位置するものがそれぞ
れ第２ウェハーケースとなる。すなわち、ウェハーケース２Ａに対してウェハーケース２
Ｂが第２ウェハーケースとなる。
【００３１】
同様にウェハーケース２Ｂを第１ウェハーケースとすると、ウェハーケース２Ｂに対し
てウェハーケース２Ｃが第２ウェハーケースとなる。また、ウェハーケース２Ｃを第１ウ
ェハーケースとすると、ウェハーケース２Ｃに対してウェハーケース２Ｄが第２ウェハー
ケースとなる。さらに、ウェハーケース２Ｄを第１ウェハーケースとすると、ウェハーケ
ース２Ｄに対して蓋体３が第２ウェハーケースとなる。
【００３２】
図２は、図１のウェハー搬送容器１の一部、すなわち、第１ウェハーケースとしてのウ
ェハーケース２Ｃと第２ウェハーケースとしてのウェハーケース２Ｄ及び蓋体３の横断側
面図を示している。ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの構造は同一であるが、上下
に隣設するウェハーケース２Ｃ，ウェハーケース２Ｄ及び蓋体３においては同じ箇所を異
なる符号で表示することにする。
【００３３】
図２において、ウェハーケース２Ｃは、円筒形の厚肉筒部６を有していて、一端（図２
においては上端）が第１端壁７により閉鎖されている。また、ウェハーケース２Ｃ上に後
述するように結合されているウェハーケース２Ｄは、円筒形の第２筒部としての厚肉筒部
８を有して、一端（上端）が第２端壁９により閉鎖されている。
【００３４】
図３はウェハーケース２Ｃの平面図を示し、図４はウェハーケース２Ｃの横断正面図を
、図５はウェハーケース２Ｃの底面図をそれぞれ示している。図２及び図４に示すように
、第１端壁７は上側に向けて凹面に湾曲した形状になっており、この第１端壁７の周縁部
７ａは厚肉筒部６の上部に接続している。
【００３５】
また、厚肉筒部６の上部には、厚肉筒部６の外径よりも小径の第１筒部としての薄肉筒
部１１が形成されており、この薄肉筒部１１の下部は第１端壁７により閉鎖されている。
薄肉筒部１１の内面１１ａは図６（ａ）に示すように上部側が広くなるように傾斜してい
る。
【００３６】
前記第１端壁７及び薄肉筒部１１によりウェハーＷを収納する収納部１２の一部が形成
されている。なお、薄肉筒部１１の内径は第１端壁７の周縁部７ａ上にウェハーＷが位置
するように充分広くなっている。
【００３７】
図２及び図４に示すように、前記第１端壁７の下面７ｂの中央には、支持軸１３が一体
的に形成されている。この支持軸１３は、図６（ｂ）（ｃ）に示すように下端部側（ウェ
ハーＷ側）の対称位置に１対の係止突部１４，１４を有している。この支持軸１３は、後
述するウェハー押さえを取り付けるためのものである。
【００３８】
図３に示すように、薄肉筒部１１の外周面１１ａには複数（実施例では４つ）の突起１
６が等間隔で一体的に設けられている。この突起１６の反時計方向側には半径方向に向く
複数の段部１６ａがそれぞれ形成されている。
【００３９】
また、厚肉筒部６の外周面６ｂには複数箇所（実施例では８箇所）に切り欠き面１７が
形成されている。このような複数の切り欠き面（多角形形状）１７を厚肉筒部６に形成す
ることにより厚肉筒部６の外周面は略１６角形の形状を成していて、厚肉筒部６を回動さ
せ易くすることができる。図１３に示すように、厚肉筒部８の外周面８ｂにも同様の切り
欠き面１７が形成されている。
【００４０】
図５に示すように、厚肉筒部６の内周面６ａには複数（実施例では４つ）の段部１８が
形成されている。厚肉筒部６の内周面６ａは、任意の段部１８から図５において時計方向
に向けて次第に半径が小さくなるように形成されている。
【００４１】
なお、第１端壁７の下面７ｂには、位置合わせマーク１０が印されており、この位置合
わせマーク１０は後述するウェハー押さえ２４を支持軸１３に取り付けるときに、第１端
壁７に対するウェハー押さえ２４の取付位置を合わせるときに使用されるものである。
【００４２】
図２において、上部側のウェハーケース２Ｄは上述したウェハーケース２Ｃと同様に形
成されていて、第２端壁９の下面の中央には第１端壁７の支持軸１３と同様の支持軸１３
が一体的に設けられている。
【００４３】
また、ウェハーケース２Ｄの厚肉筒部８の上部には厚肉筒部６の薄肉筒部１１と同様の
薄肉筒部１１が一体的に設けられていて、図３に示すような突起１６（図示せず）が外周
面に形成されている。上記第２端壁９及び薄肉筒部１１により、ウェハーＷを収納するた
めの収納部１９の一部が形成されている。
【００４４】
このウェハーケース２Ｄの薄肉筒部１１も図３に示すような複数の突起１６が設けられ
ている。また、ウェハーケース２Ｄの厚肉筒部８の内面８ａは第１端壁７の内周面６ａと
同様に形成されており、この内面８ａにも図５の段部１８と同様の複数の段部１８（図１
３参照）が設けられる。
【００４５】
薄肉筒部１１の突起１６と厚肉筒部８の内面８ａとにより、ウェハーケース２Ｃ，２Ｄ
と固定するための係合固定手段２２が構成されている。
【００４６】
図２のウェハーケース２Ｄの上部は、蓋体３（図１参照）により開閉自在に閉塞されて
いる。図７は前記蓋体３の平面図、図８は横断正面図、図９は底面図をそれぞれ示してい
る。
【００４７】
図２及び図８に示すように、蓋体３は筒部２０の一端（実施例においては上端）が端壁
２１により閉鎖されて形成されている。端壁２１の下面２１ａには、前記第１端壁７及び
第２端壁９の支持軸１３と同様の支持軸１３が設けられている。
【００４８】
この支持軸１３は、図１０（ａ）（ｂ）に示すように下端部側（ウェハーＷ側）の対称
位置に１対の係止突部１４，１４を有している。この支持軸１３は、後述するウェハー押
さえを取り付けるためのものである。
【００４９】
図９に示すように、筒部２０の内周面２０ａには複数（実施例では４つ）の段部２３が
形成されている。内周面２０ａは任意の段部２３から図９において時計方向に向けて次第
に半径が大きくなるように形成されている。
【００５０】
また、厚肉筒部２０の外周縁には複数箇所（実施例では８箇所）に切り欠き面１７が形
成されている。このような切り欠き面１７を筒部２０に形成することにより筒部２０の外
周面は略１６角形の形状を成していて、筒部２０を回動させ易くすることができる。
【００５１】
図２において、収納部１２はウェハーケース２Ｃの第１端壁７及び薄肉筒部１１とウェ
ハーケース２Ｄの厚肉筒部８及び第２端壁９とで囲まれる空間により形成されている。こ
の収納部１２内に収納されるウェハーＷは、第２端壁９の支持軸１３に取り付けられてい
るウェハー押さえ２４により押さえられている。
【００５２】
前記ウェハー押さえ２４を図１１及び図１２により説明する。
【００５３】
ウェハー押さえ２４は、図１１（ａ）に示すように板バネ状の薄板からなっていて、複
数本（実施例では４本）の脚部２５を有している。この脚部２５は図１１（ｂ）に示すよ
うに各先端２５ａが一方の側（図２におけるウェハーＷ側）に湾曲する形状になっている
。
【００５４】
前記各脚部２５の基部近傍には図１２（ａ）に示すように薄肉部２６がそれぞれ形成さ
れており、この薄肉部２６は半径Ｒで切り欠くことにより形成されている。図１１（ｂ）
における両先端２５ａ間の寸法を例えば７４ｍｍとすると、前記Ｒの寸法は１０ｍｍにな
っている。
【００５５】
前記ウェハー押さえ２４の材料は、本実施例では有機汚染の発生し難いポリブチレンテ
レフタレート樹脂が好適に用いられている。
【００５６】
このウェハー押さえ２４の材料選択は重要な問題であって、ウェハーＷの押さえをして
時間が経過してもウェハーＷを一定の力で押さえること（クリープが生じ難い）、及びウ
ェハーＷに有機汚染や金属汚染等を発生しないことを選択基準とする必要がある。
【００５７】
また、ウェハー押さえ２４の肉厚が薄いため、ウェハー押さえ２４が成型し易い樹脂特
性を有する材料を用いることも必要である。ウェハーＷを適正な力で保持するためには、
図１２（ａ）の薄肉部２６の肉厚を０．３〜０．８ｍｍにする必要がある。
【００５８】
また、ウェハー押さえ２４の中央には円形穴２７が穿設されている。この円形穴２７に
は、図１２（ｂ）に示すように対称位置に突状穴２８が形成されている。この突状穴２８
は、ウェハー押さえ２４を図２の第２端壁９に取り付けるときに第２端壁９の係止突部１
４（図６（ｃ）参照）を挿通させるためのものである。
【００５９】
さらに、ウェハー押さえ２４には図１１（ａ）に示すようにウェハー押さえ２４の取り
付け時に使用される位置合わせマーク３０が設けられている。この位置合わせマーク３０
を図５に示す位置合わせマーク１０に合わせることにより、ウェハー押さえ２４の突状穴
２８の位置と支持軸１３の係止突部１４の位置とが一致するようになっている。
【００６０】
支持軸１３の係止突部１４にウェハー押さえ２４の突状穴２８を挿通させてウェハー押
さえ２４を支持軸１３に内挿したのち、係止突部１４と突状穴２８の位置をずらすことに
より、ウェハー押さえ２４は支持軸１３に対して回動自在であって且つ抜け止めされた状
態で容易に取り付けることができる。
【００６１】
次に、第１，第２ウェハーケースとしてのウェハーケース２Ｃ，２Ｄに対するウェハー
Ｗの収納、ならびに係合固定及び解除作用について説明する。
【００６２】
図２に示すウェハーケース２Ｃに対するウェハーＷを収納する前に、ウェハーケース２
Ｄの第２端壁９に対してウェハー押さえ２４が予め取り付けられる。次に、ウェハーケー
ス２Ｃの第１端壁７上にウェハーＷを載置したのちウェハーケース２Ｄがウェハーケース
２Ｃに取り付けられる。
【００６３】
図２におけるＤ−Ｄ線断面矢視図を図１３に示す。図１３ではウェハーケース２Ｃの薄
肉筒部１１にウェハーケース２Ｄの厚肉筒部８がすでに回動して締め付けられている状態
を示している。この状態では、薄肉筒部１１の各突起１６が厚肉筒部８の内面８ａに圧接
していて厚肉筒部８が薄肉筒部１１に強くしまった状態にある。
【００６４】
このウェハーケース２Ｄが締まった状態からウェハーケース２Ｄを開けるには矢印４で
示す方向に厚肉筒部８を回動させることにより行われる。
【００６５】
図１３の厚肉筒部８を矢印４方向に回動させると、各突起１６の段部１６ａが図１４に
示すように厚肉筒部８の段部１８にそれぞれ当接して停止する。この状態では突起１６の
外周部は厚肉筒部８の内面８ａから離隔しているので、ウェハーケース２Ｄをウェハーケ
ース２Ｃに対して開けることができる。
【００６６】
また、ウェハーケース２Ｃに図２のウェハーＷを収納したのちウェハーケース２Ｃに対
してウェハーケース２Ｄを取り付けるには、図１４のようにウェハーケース２Ｄの厚肉筒
部８を矢印４ａ方向に回動させることにより行われる。
【００６７】
すなわち、ウェハーケース２Ｃに対してウェハーケース２Ｄの厚肉筒部８を矢印４ａ方
向に回動させると、係合固定手段２２を構成している薄肉筒部１１の突起１６が厚肉筒部
８の内面８ａに対して楔作用により次第に強く当接し図１３の状態となって、ウェハーケ
ース２Ｄはウェハーケース２Ｃに固く係合される。
【００６８】
このように、係合固定手段２２はウェハーケース２Ｃに対してウェハーケース２Ｄを回
動しながら係合固定する際に、次第に回動抵抗が強くなっていくのでウェハーケース２Ｄ
の過度の締め付けを防止することができる。
【００６９】
そして、ウェハーケース２Ｃにウェハーケース２Ｄを取り付けたときには、ウェハー押
さえ２４の先端２４ａがウェハーＷを第１端壁７の周縁部７ａに押圧することにより、ウ
ェハーＷを挟持して保持する。このウェハー押さえ２４には、図１１に示す薄肉部２６が
設けられているので、ウェハーＷの押さえ力を適正に保つことで、ウェハーＷの破損を防
止することができる。
【００７０】
このようなウェハーケース２Ｃに対するウェハーケース２Ｄの接合は、図１の各ウェハ
ーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄに対してそれぞれ行われて、複数段（例えば、１０段）
のウェハーケースに１０枚のウェハーＷをそれぞれ収納したのち、ウェハーケース２Ｄに
蓋体３を取り付けることで、１つのウェハー搬送容器１を構成することができる。
【００７１】
このように、第１端壁７の支持軸１３に対してウェハー押さえ２４を予め取り付けてお
くことにより、ウェハー押さえ２４の先端２４ａはウェハーＷの周縁部を均一に押圧する
ことができる。そして、ウェハーケース２Ｃに対するウェハーケース２Ｄの取り付け又は
取り外し時に、ウェハー押さえ２４はウェハーケース２Ｄに対して回動しウェハーＷには
回動しないようになっている。
【００７２】
すなわち、ウェハーケース２Ｃに対するウェハーケース２Ｄの着脱時に、ウェハー押さ
え２４はウェハーＷに対して摺動することがないので、この摺動による異物粒子の発生、
及びこれによるウェハーＷの精度劣化を防止することができる。
【００７３】
また、ウェハー押さえ２４がウェハーケース２Ｄの第２端壁９に対して一体となってい
るので、ウェハーケース２Ｃに対するウェハーＷのウェハーの出し入れ時に、ウェハー押
さえを別途に出し入れする必要がなくてウェハー出し入れの作業性を向上させることがで
きる。
【００７４】
また、ウェハー押さえ２４は、これが取り付けられたウェハーケース２Ｄの支持軸１３
から容易に取り外すことができるので、ウェハー押さえ２４及びウェハーケース２Ｄの清
浄を部品毎に効率的に行うことができる。
【００７５】
さらに、ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの外周面には、切り欠き面１７が設け
られているので、ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの着脱時における回動を容易に
行うことができると共に、ウェハーＷの取扱時に使用される薄手の手袋の損傷も防ぐこと
ができる。
【００７６】
そして、ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄが適正な締め付け力により相互に  係
合固定されたときには、各切り欠き面１７は図１に示すように平面視において略一致した
状態にある。
【００７７】
換言すると、ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの各切り欠き面１７を図１のよう
に略一致させることで、ウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの相互の過締め防止の確
実性が向上すると共に、適正な係合固定状態がウェハーケース２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄの
外観から認識することができる。
【００７８】
次に、図１５はウェハー押さえ３１の変形例を示している。
【００７９】
図１５（ａ）（ｂ）に示すように、このウェハー押さえ３１の各脚部２５にも薄肉部２
６がそれぞれ設けられている。そして、脚部２５の基部近傍の両側には括れ部３２がそれ
ぞれ形成されている。図１６（ａ）は薄肉部２６の拡大図を示している。また、ウェハー
押さえ３１の中央には、図１６（ｂ）に示すように円形穴２７と１対の突状穴２８がそれ
ぞれ設けられている。
【００８０】
このように脚部２５に括れ部３２を設けて脚部２５の幅を調整すると共に、薄肉部２６
と相まってウェハー押さえ３１によるウェハーＷ（図２参照）の押さえ力を適正なものに
調整することができる。
【００８１】
図１７はウェハー押さえ３４の別の変形例を示しており、図１８はウェハー押さえ３４
の側面図を示している。本例のウェハー押さえ３４は、幅狭の複数個（本例では８個）の
脚部３５を有している。このように、脚部３５を幅狭にすることによって、図１１のウェ
ハー押さえ２４や図１５のウェハー押さえ３１のような薄肉部２６のないウェハー押さえ
３４を使用することも可能である。
【実施例２】
【００８２】
次に、本発明に係わるウェハー搬送容器の実施例２を図１９に基づいて説明する。
【００８３】
図１９（ａ）（ｂ）に示すように、第１端壁７（図２、図４参照）に設けられている支
持軸１３には、この支持軸１３の端部の対称位置に係止突部１４とこの係止突部１４より
も長い係止突部１４ａとが設けられている。
【００８４】
また、図１９（ｃ）に示すようにウェハー押さえ２４（図１１参照）の中央には、円形
穴２７とこの円形穴２７の対称位置に突状穴２８とこの突状穴２８よりも長い突状穴２８
ａがそれぞれ形成されている。
【００８５】
実施例１における支持軸１３（図６参照）では、１対の係止突部１４の長さは同じであ
るため、ウェハー押さえ２４は支持軸１３に対して１８０°毎に位置が合致している。こ
のため、ウェハー押さえ２４が取り付けられたウェハーケース２Ｃ又は２Ｄを取り扱うと
きに、支持軸１３の係止突部１４とウェハー押さえ２４の突状穴２８（図１２参照）とが
偶然一致した状態にあると、ウェハー押さえ２４がウェハーケース２Ｃ，２Ｄから抜け落
ちることがある。
【００８６】
図１９（ａ）（ｂ）に示すように、一方の係止突部１４よりも他方の係止突部１４ａの
長さを長くしたことによって、ウェハー押さえ２４の突状穴２８，２８ａが支持軸１３の
係止突部１４，１４ａ支持軸１３に一致するのが３６０°に一カ所となって、支持軸１３
からウェハー押さえ２４が落ちにくくすることができる。
【実施例３】
【００８７】
図２０に示す支持軸１３の１対の係止突部１４は、同じ長さになっており、この係止突
部１４の端部の第１端壁７と反対側には傾斜部３６がそれぞれ形成されている。係止突部
１４にこのような傾斜部３６を設けることにより、支持軸１３に対するウェハー押さえ２
４（図１１参照）の取り付けを容易に行うことができる。
【００８８】
図２１に示す支持軸１３は、係止突部１４と長い係止突部１４ａとを有しており、この
係止突部１４，１４ａの端部にも図２０の傾斜部３６と同様の傾斜部３６がそれぞれ形成
されている。このように、長さの異なる係止突部１４，１４ａを有する支持軸１３の場合
も、支持軸１３に対するウェハー押さえ２４の取り付けを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】ウェハー搬送容器の斜視図である。
【図２】２つのウェハーケース及び蓋体の横断正面図である。
【図３】ウェハーケースの平面図である。
【図４】ウェハーケースの横断正面図である。
【図５】ウェハーケースの底面図である。
【図６】（ａ）は図４のＡ部の拡大断面図、（ｂ）は図４のＢ部の拡大断面図、（ｃ）は（ｂ）の下方視図である。
【図７】蓋体の平面図である。
【図８】蓋体の横断正面図である。
【図９】蓋体の底面図である。
【図１０】（ａ）は図９における支持軸の拡大断面図、（ｂ）は（ａ）の下方視図である。
【図１１】（ａ）はウェハー押さえの平面図、（ｂ）はウェハー押さえの側面図である。
【図１２】（ａ）は図１１（ｂ）の薄肉部の拡大図、（ｂ）は図１１（ａ）の円形穴の拡大図である。
【図１３】図２におけるＤ−Ｄ線断面矢視図であって、ウェハーケースが締まった状態を示す図ある。
【図１４】図１３におけるウェハーケースが開けられた状態を示す図である。
【図１５】（ａ）はウェハー押さえの変形例を示す平面図、（ｂ）はウェハー押さえの側面図である。
【図１６】（ａ）は図１５における薄肉部２６の拡大図、（ｂ）は図１５における円形穴の拡大図である。
【図１７】ウェハー押さえの別の変形例を示す平面図である。
【図１８】図１７のウェハー押さえの側面図である。
【図１９】（ａ）は本発明の実施例２に係わる支持軸１３の平面図、（ｂ）は支持軸１３の側面図、（ｃ）は支持軸１３に係合されるウェハー押さえの円形穴及び突状穴の平面図である。
【図２０】（ａ）は本発明の実施例３に係わる支持軸１３の平面図、（ｂ）は支持軸１３の側面図である。
【図２１】（ａ）は実施例３に係わる別の支持軸１３の平面図、（ｂ）は支持軸１３の側面図である。
【符号の説明】
【００９０】
Ｗ              ウェハー
１              ウェハー搬送容器
２Ｃ            ウェハーケース
２Ｄ            ウェハーケース
６              厚肉筒部
６ｂ            第１取付部の外周面
７              第１端壁
８              厚肉筒部（第２筒部）
８ｂ            厚肉筒部の外周面
９              第２端壁
１０            位置合わせマーク
１１            薄肉筒部（第１筒部）
１３            支持軸
１４            係止突
１４ａ          係止突部
１７            ウェハー及び蓋体の複数の切り欠き面
２２            係合固定手段
２４            ウェハー押さえ
２５            ウェハー押さえの脚部
２６            脚部の薄肉部
２７            円形穴
２８            突状穴
３０            位置合わせマーク
３１            ウェハー押さえ
３６            傾斜部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2006056573.tif 000018
【図１７】
2006056573.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2006056573.tif 000021
【図２０】
2006056573.tif 000022
【図２１】
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