(57)【要約】【課題】全長波形を用いて、ヘッドの液滴質量差を実現するデュアル・ドロップ印刷モードを提供すること。【解決手段】プリンタのデュアル・ドロップ・モードは、少なくとも２つの全長波形を用い、１つ又はそれ以上のパターン形成方法により、これらの波形の間で切り替えて、ページの印刷された部分にわたり２つの液滴サイズの印刷パターン有する、１ページ長の文書を印刷する。これは大きい液滴又は小さい液滴のいずれの個々の噴射ノズルからも印刷を実現する。ページサイズのパターン形成方法は、ピクセル毎ではなく、少なくともサブページ毎に広範囲で実行され、特定の画像データに基づいて、又はこれとは独立して実行することができる。例示的な実施形態においては、印刷は、複数の印刷パスを用いて実現され、少なくとも２つの印刷パスは異なるサイズのインク滴を用いる。【選択図】図２
2006335065.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ページのパターン形成方法(page patterning methodology)により、共通のノズル幾何学的形状(common nozzle geometry)を有する流体エゼクタのノズル列（fluid ejector nozzle array）から、少なくとも２つの異なる流体液滴サイズを射出する方法であって、
前記列の個々のノズルの各々を駆動し、第１パス(pass)において第１の所定の解像度で第１の液滴サイズの所定のパターンを射出するために、少なくとも２つの異なる全長波形(full length waveforms)から特定の第１の波形を選択すること、
前記列(array)の個々のノズルの各々を駆動し、後続のパスにおいて第２の所定の解像度で第２の、異なる液滴サイズの所定のパターンを射出(eject)するために、少なくとも２つの異なる全長波形から前記第１の波形とは異なる特定の第２の波形を選択すること、
画像データを受信すること、
前記選択されたパターンを用いて前記ノズル列を駆動し、受信した前記画像データに基づいて、前記第１及び第２のパスにおいて流体を射出して、前記第１及び第２の液滴サイズの両方を含むパターンを有する複合画像を形成すること、
を含む方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えば、複数の全長波形を用いてヘッドの液滴質量差を実現するデュアル・ドロップ印刷モードに関する。
【背景技術】
【０００２】
デュアル・ドロップ印刷は、２つ又はそれ以上の全長波形と、与えられたページについて、各ジェットから２つ又はそれ以上の異なる液滴質量を生成する所定のジェットの幾何学的形状とを用いて実現される。
【０００３】
デュアル・ドロップ・モードは、２つ又はそれ以上の異なる液滴質量を生成するプリントヘッドの能力のことを指す。しかしながら、通常は、これらの質量の１つのみが、与えられた画像で用いられる。このことは、与えられた噴射ノズルのいずれにも異なる液滴質量を実現する別々の全長波形を用いることにより達成される。例えば、ゼロックス社から入手可能なＰｈａｓｅｒ  ３４０は、これを使用して、操作モードに応じて、２つの波形の１つを発射することにより、１１０ｎｇの液滴と６７ｎｇの液滴とを実現した。同じジェットの幾何学的形状でより小さい液滴を実現するためには、より小さい液滴の波形をより低周波で稼動させる。
【０００４】
ドロップ・サイズ・スイッチング（ＤＳＳ）は、オンザフライで多数の（例えば２つの）液滴質量を生成するジェットの能力のことを指す。このことは、半分（１／２）の長さの波形をジェット時間１／ｆｏｐに適合させることにより達成される。ここで「ｆｏｐ」とは、連続発射の際、プリントヘッドの各々のジェットから液滴が射出される周波数である「稼動周波数」のことである。電子装置は、１つ又はそれ以上のパターン形成方法により、２つの波形の１つを選択して１ページの長さの文書を印刷する。このことは、大きい液滴又は小さい液滴のいずれの個々の噴射ノズルからも印刷することを実現する。
【０００５】
図１に示すように、プリントヘッド・ドライバ２００は、２つの別々の波形（波形１と波形２）を、１つの印刷発射周期（１／ｆｏｐ）に組み込む。２つの波形の１つが、ドライバ２００により「オンザフライ」で選択され、特定の画像基準又は画像品質に基づいて、プリントヘッド１００の個々のジェットを駆動する。プリントヘッド１００は、開口プレート１１０とダイアフラム・プレート１２０とを含む。圧電変換器１３０が、ダイアフラム・プレート１２０上に形成される。２つのプレート１１０と１２０との間には、ポート１４０、供給ライン１５０、マニホルド１６０、入口１７０、本体１８０、出口１８５、及び孔１９０が定められる。
【０００６】
この概念は、同様にゼロックス社から入手可能なＰｈａｓｅｒ  ８５０  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｍｏｄｅに取り入れられた。５１ｎｇと２４ｎｇ両方の液滴サイズを「オンザフライ」で生成することができる。しかしながら、この設計では、プリントヘッドは小さい液滴の、低い周波数で稼動する。小さい液滴は、低い周波数で作動するため、高速では印刷できない。しかしながら、大きい液滴は解像度の全体的な減少を可能にし、かつ適切な全体の固体カバー範囲を維持するため、デュアル・ドロップ・モードが機能し、かつ有利である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
プリンタの液滴質量を設定する際には、常に、品質／速度の妥協点を定めなくてはならない。固体充填領域において、高速の印刷を可能にする低解像度で彩度を増加させるためには大きい液滴が必要であり、軽く充填された領域において粒状性を減少させるためには小さい液滴が必要である。大きい液滴は固体色領域を迅速に充填し、小さい液滴は明るい影付き領域における粒状性を減少させるため、複数の液滴サイズで各々の画像を印刷することは、与えられた速度における画質を向上させ、及び／又は、与えられた画質における速度を増加させる。
【０００８】
デュアル・ドロップ印刷のＰｈａｓｅｒ８５０の主要な限界は、単一の発射周期（１／ｆｏｐ）において、小さい液滴の波形と大きい液滴の波形の両方を適合させる必要があることである。より新規なジェット設計は、より高い周波数（増加したｆｏｐ）で動作するので、関連付けられた周期（１／ｆｏｐ）は、２つの波形に適合するには短くなる。従って、この限界を解決できる改善された印刷アーキテクチャ及び方法の必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
種々の態様によれば、プリンタのアーキテクチャは、小さい液滴を軽く充填された領域に可能にして画像の粒状性を減少させ、さらに、大きい液滴を固体充填領域に可能にし、低解像度で色彩度を増加させて、両極において画質を改善する、修正されたＤＳＳモード「Ｓｏｆｔ  ＤＳＳ」を用いる。
【００１０】
種々の他の態様によれば、プリンタのアーキテクチャは、全長波形を有するＳｏｆｔ  ＤＳＳモードを用い、これは半分の長さの波形より開発及び実施が簡単である。すなわち、これらは、設計がより単純であり、必要とされる製品時間サイクル内で確実に実施できる。この「ソフトＤＳＳモード」の付加的な利点は、遅い印刷周波数を必要とする部分的な長さの波形を用いた「オンザフライ」デュアル・ドロップモード・システムに内在するパルス間で待ち時間がないため、印刷速度が最大になることである。
【００１１】
例示的な実施形態によれば、Ｓｏｆｔ  ＤＳＳモード・プリンタのアーキテクチャは、小さい液滴サイズ及び大きい液滴サイズの交互のパターンによるページ出力を与える。１つの例示的な配置においては、第１の液滴サイズ及び第１の所定の解像度を用いた第１パスを与え、次いで、サイズの異なる第２の液滴及び第２の所定の解像度で少なくとも１つの後に続くパスを印刷することにより、２つ又はそれ以上のパスにおいてパターンが実現される。第２の解像度は、第１の解像度と同じであってもよいし、又は異なっていてもよい。種々の例示的な実施形態においては、パターン配置はページ全体に及ぶが、サブページ毎に行ってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
例示的な実施形態によれば、修正されたデュアル・ドロップ・モード・プリンタのアーキテクチャは、小さい液滴サイズ及び大きい液滴サイズが交互パターンで出力されるページを提供する。このことは、相変化、オフセット固体インクプリンタと併せて用いられる場合に、特に有利である。
【００１３】
図２の例示的な実施形態では、プリンタ４００（図示せず）のプリントヘッド１００は、開口プレート１１０とダイアフラム・プレート１２０とを含む。圧電変換器１３０がダイアフラム・プレート１２０上に形成される。各々の流体ノズルを形成する孔１９０の列は、開口プレート１１０の上に定められる。この列は、所定のｓｐｉ（インチ毎のスポット）解像度で、密接にかつ一様に離間される。孔１９０は種々のチャネルを通って流体源に接続される。
【００１４】
液体形態まで加熱された相変化の固体インクといった好適な流体は、入口ポート１４０から供給ライン１５０を通って、インク・マニホルド１６０に流れる。マニホルド１６０からのインクは、入口１７０を通って、圧電変換器といった変換器１３０によってのみ作用する圧力チャンバ１８０に流れる。圧電変換器１３０は、プリントヘッド・ドライバ３００により駆動され、変換器１３０を変形させて、圧力チャンバ１８０内の或る量のインクを、出口１８５を通して変位させる特定の波形を適用する。最終的には、この量のインクは、強制的に孔１９０を通されて、プリントヘッド１００から所定の質量のインクを射出する。射出に続く変換器１３０の逆の曲げにより、次の射出サイクルに備えてチャンバに搭載するためにインクが圧力チャンバ１８０に充填される。
【００１５】
例示的な実施形態においては、各々の孔と出口の幾何学的形状は、全ての流体ノズルに共通である。しかしながら、２つの異なる全長波形の１つを適用することにより、この共通のプリントヘッド・ノズルの幾何学的形状から２つの異なるサイズの液滴を生成することができる。
【００１６】
当業者に知られているように、プリントヘッド１００は、板金ストックに通常のフォトパターン形成処理及びエッチング処理を用いて、又は他の通常の或いは後に開発される材料又は処理を用いて製造することができる。種々の部品の特別なサイズ及び形状は、特定の用途に応じて決まり、かつ異なっていてよい。変換器は、通常の圧電変換器であってよい。実施形態における１つの共通テーマは、各々のノズルの幾何学的形状は同じであり、駆動波形の選択により液滴サイズの差を実現することである。
【００１７】
例示的なプリンタは、図３乃至図５に示す固体インク・オフセット・プリンタ４００である。オフセット印刷システムにおいては、プリントヘッド１００は相変化固体インクといった流体を、ドラム４５０上の薄い油膜といった中間転写表面に噴射する。次いで、１枚の紙Ｐといった最終受け媒体が、中間表面と接触するようになり、ここで画像が転写される。典型的なオフセット印刷のアーキテクチャにおいては、図５により詳しく示すように、プリントヘッド１００はＸ軸方向に並進し、ドラムはＹ軸に沿って垂直方向に回転する。通常、プリントヘッド１００は、線形の列で構成された複数のジェットを含み、ドラムの各回転中、ドラム上４５０の中間転写表面上に一組の走査線を印刷する。不要なアーチファクトを避けるため、精密なＸ軸及びＹ軸の並進移動が必要とされる。このことは、例えばプリントヘッド駆動機構を用いて実現できる。
【００１８】
２つの制御可能な体積／質量を有するインク液滴を射出することは、プリントヘッド・ドライバ３００により実現され、図４により詳しく表されている。ドライバ３００は、プリンタ４００内部に形成され、複数の波形パターンを生成することができる波形生成器３１０を含む。図２に示すように、例示的な実施形態は、少なくとも２つの選択可能な全長波長パターン（波形１及び波形２）を与える。変換器１３０は、出口１８５においてインク流体流共振を励起させる圧力波をインクに誘起させることにより、選択された波形に応答する。好適な波形は、後にさらに詳しく説明する基準に基づいて、ユーザ・セレクタ３３０を用いて選択される。選択された波形は増幅器３２０に供給される。増幅器３２０からは、増幅された信号が、プリントヘッド１００の圧電変換器に運ばれて、プリントヘッドにおけるジェットの１つ又はそれ以上の列を駆動させる。圧電変換器の移動は、画像データ入力部４２０内の（スキャナ又は格納画像ファイルといった）源から受信され、プリンタのＣＰＵ４１０により制御される画像信号に基づいて、プリンタ４００のプリントヘッド１００からインクといった好適な体積の流体の射出をもたらす。
【００１９】
インクは格納域４３０に与えられ、インクリザーバ４４０を通じてプリントヘッド１００に供給される。例示的な実施形態においては、プリンタ４００は、格納域４３０内に１つ又はそれ以上の固体インクスティックを含む固体インクプリンタである。固体インクスティックは、プリントヘッド１００のインク噴射ノズルから、１度又は幾度か回転させられることがあるドラム４５０上の中間転写表面に溶融及び噴射されて、完成した中間画像をドラム上の転写表面に形成する。その際に、紙といった基板は、ローラの対４６０、４７０を含む紙通路に沿って、及び転写ローラ４７０とドラム４８０との間に前進させて、当業者に公知であるように画像が単一パスで紙の上に転写される。
【００２０】
異なる共振モードを、各全長波長の波形により励起し、各々の選択されたモードに応答して異なる液滴体積／質量を噴射することができる。図２の例においては、同じノズルの幾何学的形状を有する噴射ノズルを駆動する際に、一方の波形（波形１）は小さい液滴サイズを供給でき、他方の波形（波形２）は大きい液滴サイズを供給できる。選ばれる波形設計は、流体経路の設計制限、変換器の操作パラメータ、流体のメニスカス・パラメータ及び同様なものに基づく。モード特性の選択は、既知の管理原理に基づく経験モデル化又は実験により決定することができる。これら及び他の通常の教示から、当業者は、適切な全長波形を選択して、所望の液滴サイズを生成することができる。
【００２１】
本開示の重要な態様は、ページ毎又は画像毎の波形の管理下にあり、これは、プリントヘッド１００を用いて、ページ上に大きいインク液滴及び小さいインク液滴の特定のパターンがあるように種々のノズルを駆動させて、各々のサイズの液滴の利点を実現する。すなわち、液滴はピクセル毎に「オンザフライ」で生成される必要はないが、小さい液滴サイズ及び大きい液滴サイズ両方のパターンを用いることにより、さらに広範囲で決定することができる。これはノズル列にわたり共通のインク・ノズルの幾何学的形状を有するプリントヘッドを用いて実現される。
【００２２】
図３乃至図５のプリントヘッド及びドライバを用いた基本的な印刷方法は、図６を参照して説明される。プロセスはステップＳ５００で始まり、ドライバ３００のセレクタ３３０が適切な波形パターンを選択して、複数のパスの各々において適切なノズル列を駆動させるステップＳ５１０に進む。ステップＳ５１０から、流れは、ページ画像データが処理のために受信されるステップＳ５２０へ進む。次いで、ステップＳ５３０において、ドライバ３００が、ページ画像データに基づいて、及び、第１液滴サイズを用いて第１パスにおいて画像を出力するように選択された第１の所定の波形パターンに基づいて、ノズル列を駆動する。プロセスは、次いで、ドライバ３００が、ページ画像データに基づいて、及び、第２の異なる液滴サイズを用いて、後に続くパスにおいて画像を出力するように選択された第２の所定の波形パターンに基づいて、ノズル列を駆動させて、出力されたページ上で第１及び第２の液滴サイズの両方がパターン形成された複合画像を形成するステップＳ５４０に進む。
【００２３】
或いは、画像データを受信するステップは、セレクタ３３０による波形パターンの選択前に実行されてもよい。これは、例えば、受信画像の広範囲な特性を考慮に入れることができ、この情報を用いて、大きい液滴及び小さい液滴の広範囲なページ・ベース又はサブページベースのどちらが、より良好な画質を生成するかを判断する。例えば、画像データが主として固体充填されていた場合には、大きい液滴がより多く混合された１つのパターンが別のパターンより良好とすることができる。同様に、小さい液滴が多く存在するパターンの場合には、軽い充填域が多い画像の方が良好な印刷品質となる。
【００２４】
各々のパスの解像度は同じでなくともよい。例えば、大きい液滴は４００×４００ｄｐｉで与えることができ、小さい液滴は２００×２００ｄｐｉで与えることができる。高品質モードは、高解像度の小さい液滴が、少しの大きい液滴と組み合わされる傾向がある。或いは、低品質モードは、低解像度の大きい液滴が比較的少ない小さい液滴と組み合わされる傾向がある。これらのさらに具体的な例は、以下の実施形態を参照して説明される。
【００２５】
第１の具体的な実施形態は図７乃至図１１を参照して説明され、小さい液滴及び大きい液滴のパターンが重複グリッドで配置された画像を印刷することにより実現される。プロセスは、ステップＳ９００で始まり、少なくとも２つの異なる液滴サイズ（大及び小）の交互パスを実現するように波形パターンが選択されるステップＳ９１０に流れる。流れは、ステップＳ９１０から、複写される特定の入力画像に対応するページ画像データを受信するステップＳ９２０に進む。流れは、ステップＳ９２０から、第１パスにおいて全長波長波形２を用いて選択プリントヘッド・ノズルを駆動させ、第１のサイズのインク液滴（例えば大きい液滴）を形成するステップＳ９３０に進む。例えば、図８に示すように、プリントヘッド１００上に与えられるノズルの一列を第１のサイクルで駆動させて、画像に対応する全てのノズルが波形２で駆動され、大きいインク液滴のパターンを実現するようにすることができる。形成されたパターン１１００の例を図９に示す。
【００２６】
流れは、ステップＳ９３０から、後に続くパスが作られ、ここで、波形１を用いて、第２の異なるサイズの液滴（例えば、小さい液滴）の第２のパターンを形成するようにプリントヘッドが駆動されるＳ９４０に進む。例えば図８においては、プリントヘッド１００の第２のサイクルの単一アレイ１９０が波形１により駆動されて、画像に対応するすべてのノズルが駆動され、小さい液滴の第２のパターンを実現する。パターン１２００の例を図１０に示す。これは図１１に示すように、ページ出力上に第１及び第２（大きい及び小さい）両方のインク液滴サイズを含む複合画像（パス１＋パス２画像）を形成する。ステップＳ９４０から、流れは、プロセスが終了するステップＳ９５０に進む。
【００２７】
従って、望ましい解像度及びインターレースに応じて、印刷は、半分の領域を小さい液滴、及びもう半分の領域を大きい液滴で実現するよう実行することができる。ページ画像にわたるこのようなパターン形成は、各々の液滴サイズを用いる利点を実現し、１つの液滴サイズのみを用いることに関連する問題に悩まされることがない。すなわち、２つの全長波形の１つのみを選択し、用いることにより、各々についての印刷周波数を最適化して、印刷速度全体を改善することができる。さらに、ページ上で両方の液滴サイズを交互に用いることにより、各々の液滴サイズに帰する利点は、画像の固体充填領域及び軽く充填された領域の両方での画質の改善を実現できることである。従って、品質／速度の妥協を減少させることができる。
【００２８】
画像データに基づいてピクセル毎に液滴サイズを決定する必要がないので、画像処理を単純にすることができ、大きい液滴及び小さい液滴のパターン形成は、各サイズの用途に対する利点を実現することができる。
【００２９】
図示例においては、大きい液滴の小さい液滴に対する４：１の比率は、解像度４００×４００ｄｐｉで大きい液滴の波形１を用いた印刷パス１、及び解像度２００×２００ｄｐｉで小さい液滴の波形２を用いた印刷パス２により実現される。他の１：１、２：１、３：２、５：２その他の比率に置き換えることが可能であり、小さい液滴サイズ又は大きい液滴サイズのどちらが多くなってもよい。
【００３０】
様々な他の方策を提供することができる。例えば、画像及び解像度の詳細に基づいて、パターンを行又は列に並べること、又は、特定のプリンタ・アーキテクチャで、ｘ解像度又はｙ解像度の問題を考慮するシフトを含むことが好ましいとすることができる。
【００３１】
モノクロ又はカラーの固体インクベースの圧電流体エゼクタ又はプリンタに有益な例示的な実施形態における大きい液滴は、約３１ｎｇ又はそれ以上に設定されるが、望ましい小さい液滴サイズ、インク染料の搭載などを含む幾つかの事項に応じて決まる。小さい液滴の必要条件は、２４ｎｇ以下であるべきで、約１０乃至２０ｎｇの範囲であることが好ましい。従って、固体インクベースの流体エゼクタを用いる好ましい実施形態においては、選択されるノズルの幾何学的形状及び／又は波形は、大きいインク液滴及び小さいインク液滴の交互のパターンを与えるように選ばれ、ここでは、大きい液滴は約３１ｎｇに設定され、小さい液滴は２４ｎｇより小さく、好ましくは１０乃至２０ｎｇに設定される。この液滴サイズの組み合わせは、許容できるテキスト品質を実現すること、軽く充填された領域を改善して粒状性を減少させること、並びに、画像の転写を改善すること、及び印刷速度を最大化することが見出された。下色を含む中間階調はこの画像形成方法を考慮する。小さい液滴の使用は、充填の低い領域の大部分において可能な限り最大化され、大きな液滴及び／又は両方の液滴は、互いに、大きい充填領域などにおいて最大化される。例えば、種々の実施形態においては、隔離された大きい液滴は、隔離された小さい液滴と置き換えることができるが、１つのピクセルがｘ軸又はｙ軸のいずれかの方向に離れるようになっている。代替的なパターンは、ピクセル毎又は実際の画像内容及び種類を考慮しない完全に任意的なパターン形成ではなく、ページ毎又はサブページ毎といった受信画像データの広範囲な査定に基づいて選択することができる。
【００３２】
大きい液滴及び小さい液滴の多様な組み合わせを用いて画質を改善するのに、種々のタイミング技術及び制御技術が使用可能であることを理解すべきである。例えば、これは、大きい液滴及び小さい液滴の交互列のパターン６００（図１２）、大きい液滴及び小さい液滴の組み合わせと量的に等しい液滴の質量を形成する、完全に重複する大きい液滴及び小さい液滴のパターン７００（図１３）、並びに、大きい液滴及び小さい液滴の間で寸法オフセットを示すパターン８００（図１４）を提供する通常の技術を用いて調整可能である。このことは、大きい丸い滴によりなくなることが普通であるカバー範囲に小さい液滴を与えることによって、よりよいカバー範囲及びぎざぎざの少ない縁を取得するのに有益とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】大きい液滴質量サイズ又は小さい液滴質量サイズのいずれかを実現するために、２つの公知のデュアル・ドロップ半周波数波形の１つにより駆動する、通常の単一幾何学的形状のインク・ノズルの断面図を示す。
【図２】大きい液滴質量サイズ又は小さい液滴質量サイズのいずれかを実現するために、２つのデュアル・ドロップ全周波数波形の１つにより駆動する、例示的な単一幾何学的形状のインク・ノズルの断面図を示す。
【図３】例示的な流体射出装置の斜視図を示す。
【図４】図２の圧電駆動波形を生成するのに用いられる装置を有する、図３の例示的な流体射出装置を示す概略ブロック図を示す。
【図５】並進Ｘ軸方向移動のためにシャフトに取り付けられたプリントヘッドと、中間転写表面を支持する隣接するドラムがＹ軸の周りに回転される状態を示す、上面描画図を示す。
【図６】大きいインク液滴及び小さいインク液滴の交互パターンを有するプリンタからページ出力を生成する方法を示す例示的なフローチャートを示す。
【図７】上に重なるグリッドに配置された大きいインク液滴及び小さいインク液滴の交互のパターンを有する、プリンタからのページ出力を生成するための特定の例示的な実施形態のフローチャートを示す。
【図８】図７の方法により駆動される連続したプリントヘッドのパスを示す。
【図９】図７の方法のパス１後による、例示的なデュアル・ドロップ印刷出力を示す。
【図１０】小さい液滴で印刷された第２パスを示す、図７の方法による例示的なデュアル・ドロップ印刷出力を示す。
【図１１】第１パスの大きい液滴と、次いで、第１パス上に適用される小さい液滴の第２パスの両方の印刷後、図７の方法により、結果として得られる複合画像印刷出力を示す。
【図１２】図６の方法により、２つの印刷パスの組み合わせにより形成された、大きい液滴及び小さい液滴の交互列の例示的なパターンを示す。
【図１３】図６の方法により、２つの印刷パスの組み合わせによって形成された、完全に重なる大きい液滴及び小さい液滴の例示的なパターンを示す。
【図１４】充填又は画質を改善するために、小さい液滴がｘ軸方向、ｙ軸方向、又は両方にオフセットされた、例示的な重ね合わせパターンを表す。
【符号の説明】
【００３４】
１００：プリントヘッド
１３０：圧電変換器
１４０：入口ポート
１５０：供給ライン
１６０：マニホルド
１７０：入口
１８０：圧力チャンバ
１８５：出口
１９０：孔
【図１】
2006335065.tif 000003
【図２】
2006335065.tif 000004
【図３】
2006335065.tif 000005
【図４】
2006335065.tif 000006
【図５】
2006335065.tif 000007
【図６】
2006335065.tif 000008
【図７】
2006335065.tif 000009
【図８】
2006335065.tif 000010
【図９】
2006335065.tif 000011
【図１０】
2006335065.tif 000012
【図１１】
2006335065.tif 000013
【図１２】
2006335065.tif 000014
【図１３】
2006335065.tif 000015
【図１４】
2006335065.tif 000016