(57)【要約】【課題】  ワークの６面を精度良く洗浄およびバリ取りする６面洗浄・バリ取り装置を提供する。【解決手段】  メディア（氷粒など）３と、超高圧水４とのうち少なくとも超高圧水４をノズル６から噴射してワークＷの６面の洗浄およびバリ取りを行う６面洗浄・バリ取り装置であって、ノズル６は、メディア３を噴射させるノズルα６ａと、超高圧水４を噴射させるノズルβ６ｂ、ノズル６の先端近傍において、ノズルα６ａをノズルβ６ｂに合流させたミキサーとを備え、超高圧水４の流速によって生じるミキサー内の負圧によってメディア３を吸引して超高圧水４とメディア３とを混合させた混合体をノズル６から噴射させる。ノズル６は、混合体５を真下に噴射するように、Ｚ軸に平行に配置され、かつ、ワークＷの上方に配置されて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向へ移動され、ワークＷは、Ｙ軸方向へ移動されると共に、Ａ軸方向、およびＢ軸方向へ回転可能とされる。【選択図】      図２
2006281425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子状のメディアと加圧された液体とのうち少なくとも前記液体をノズルから噴射してワークの６面の洗浄およびバリ取りを行う６面洗浄・バリ取り装置であって、
前記ノズルは、前記メディアを噴射させるノズルαと、
前記液体を噴射させるノズルβと、
前記ノズルの先端近傍において、前記ノズルαを前記ノズルβに合流させたミキサーとを備え、
前記メディアを併用する場合には、前記液体の流速によって生じる前記ミキサー内の負圧によって前記メディアを吸引して前記液体と前記メディアとを混合させた混合体を前記ノズルから噴射させることを特徴とする６面洗浄・バリ取り装置。
【請求項２】
前記メディアは、氷粒、セラミック、樹脂のいずれか一つから形成されることを特徴とする請求項１に記載の６面洗浄・バリ取り装置。
【請求項３】
前記６面洗浄・バリ取り装置の作業面に向かって前記ワークの左右方向を示すＸ軸、前記ワークの前後方向を示すＹ軸、および前記ノズルの上下方向を示すＺ軸から形成される前記ワークの６面の洗浄およびバリ取りを行う６面洗浄・バリ取り装置であって、
前記ノズルは、前記混合体を真下に噴射するように、前記Ｚ軸に平行に配置され、かつ、前記ワークの上方に配置されて、前記Ｘ軸方向および前記Ｚ軸方向へ移動され、
前記ワークは、前記Ｙ軸方向へ移動されると共に、前記ワークを前記Ｘ軸廻りに回転させるＡ軸、および前記ワークを前記Ｙ軸廻りに回転させるＢ軸が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の６面洗浄・バリ取り装置。
【請求項４】
前記ワークを前記Ａ軸方向および前記Ｂ軸方向へ回転させる、Ａ軸用回転駆動軸およびＢ軸用回転駆動軸は、前記Ｙ軸に沿って配置されることを特徴とする請求項３に記載の６面洗浄・バリ取り装置。
【請求項５】
前記Ａ軸用回転駆動軸を前記Ｙ軸の中心に配置し、前記Ｂ軸用回転駆動軸を前記Ａ軸用回転駆動軸の周りに同芯円状に配置することを特徴とする請求項４に記載の６面洗浄・バリ取り装置。
【請求項６】
前記Ａ軸用回転駆動軸には、このＡ軸用回転駆動軸を回転駆動するＡ軸回転駆動用モータが連結されており、前記Ａ軸用回転駆動軸の一端には歯車が備えられ、Ａ軸回転駆動用モータの軸には、回転内歯車が備えられ、前記歯車と前記回転内歯車との間には遊星歯車を介在させたことを特徴とする請求項５に記載の６面洗浄・バリ取り装置。
【請求項７】
前記Ａ軸用回転駆動軸と、このＡ軸用回転駆動軸と直交する従動軸とは、前記Ａ軸用回転駆動軸の他端において、一対のマイタ歯車で噛合されていることを特徴とする請求項６に記載の６面洗浄・バリ取り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超高圧水により被加工物（ワーク）の洗浄およびバリ取りを行う６面洗浄・バリ取り装置に関し、特に、氷粒、セラミック、および樹脂などのメディアを超高圧水と共にノズルから噴射して、ワークの６面を精度良く洗浄およびバリ取りする６面洗浄・バリ取り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高圧水噴射だけでは容易に取れないような比較的大きなバリを除去するバリ取り方法としては、メディア高圧噴射方式、ドライアイスブラスト方式、外ドラム式製氷機を備えたアイスブラスト方式などがある。
【０００３】
このような研磨剤などのメディアを含む高速噴射水流は物品の加工に用いられており、この高速噴射水流を噴射するノズルと、このノズルを移動させるノズル移動手段と、被加工物を移動させるワーク駆動手段とを備えたウォータジェット加工装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１−１５３２９９号公報（第３頁〜第４頁参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、メディアとしての研磨剤を超高圧水と合流させて、ノズルからメディアを含んだ超高圧水を噴射する際に、ノズル噴射口の上流側に設けた合流管にメディアを吸引する吸引力を作用させる場合、吸引口を設けるためのスペースが必要となり、ノズル全長が、例えば、３００ｍｍ前後長くなるという問題があった。
さらに、ノズルがＺ軸に直角に取り付けられた場合、Ｘ，Ｙ軸のストロークは正味ストロークにノズル長さの２倍を加えた長さとなり、装置が大きくなるという問題があった。
また、ノズルは、Ｚ軸に直交して取り付けられるのでメディアや加速流体はその進路が直角に曲げられる。このため、整流作用が無くなってメディアや加速流体のジェット噴流に乱れが発生して、ジェット噴流の収束性が不良になり、洗浄やバリ取り効果が低下するという問題があった。
また、メディアは、スイベルジョイントを経由してノズルに吸引される場合、スイベルジョイントの摺動部でのメディアの噛み込みや堆積が生じて、スイベルジョイントの作動不良やノズルにメディアの詰まりが発生するという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、これらの問題点を解決するために創案されたものであり、氷粒、セラミック、および樹脂などの粒子状のメディアを超高圧水と共にノズルから噴射して、ワークの６面を精度良く洗浄およびバリ取りする６面洗浄・バリ取り装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の６面洗浄・バリ取り装置は、粒子状のメディアと加圧された液体とのうち少なくとも前記液体をノズルから噴射してワークの６面の洗浄およびバリ取りを行う６面洗浄・バリ取り装置であって、前記ノズルは、前記メディアを噴射させるノズルαと、前記液体を噴射させるノズルβと、前記ノズルの先端近傍において、前記ノズルαを前記ノズルβに合流させたミキサーとを備え、前記メディアを併用する場合には、前記液体の流速によって生じる前記ミキサー内の負圧によって前記メディアを吸引して前記液体と前記メディアとを混合させた混合体を前記ノズルから噴射させることを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の６面洗浄・バリ取り装置であって、前記メディアは、氷粒、セラミック、樹脂のいずれか一つから形成されることを特徴とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の６面洗浄・バリ取り装置であって、前記６面洗浄・バリ取り装置の作業面に向かって前記ワークの左右方向を示すＸ軸、前記ワークの前後方向を示すＹ軸、および前記ノズルの上下方向を示すＺ軸から形成される前記ワークの６面の洗浄およびバリ取りを行う６面洗浄・バリ取り装置であって、前記ノズルは、前記混合体を真下に噴射するように、前記Ｚ軸に平行に配置され、かつ、前記ワークの上方に配置されて、前記Ｘ軸方向および前記Ｚ軸方向へ移動され、前記ワークは、前記Ｙ軸方向へ移動されると共に、前記ワークを前記Ｘ軸廻りに回転させるＡ軸、および前記ワークを前記Ｙ軸廻りに回転させるＢ軸が設けられたことを特徴とする。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の６面洗浄・バリ取り装置であって、前記ワークを前記Ａ軸方向および前記Ｂ軸方向へ回転させる、Ａ軸用回転駆動軸およびＢ軸用回転駆動軸は、前記Ｙ軸に沿って配置されることを特徴とする。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の６面洗浄・バリ取り装置であって、前記Ａ軸用回転駆動軸を前記Ｙ軸の中心に配置し、前記Ｂ軸用回転駆動軸を前記Ａ軸用回転駆動軸の周りに同芯円状に配置することを特徴とする。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の６面洗浄・バリ取り装置であって、前記Ａ軸用回転駆動軸には、このＡ軸用回転駆動軸を回転駆動するＡ軸回転駆動用モータが連結されており、前記Ａ軸用回転駆動軸の一端には歯車が備えられ、Ａ軸回転駆動用モータの軸には、回転内歯車が備えられ、前記歯車と前記回転内歯車との間には遊星歯車を介在させたことを特徴とする。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の６面洗浄・バリ取り装置であって、前記Ａ軸用回転駆動軸と、このＡ軸用回転駆動軸と直交する従動軸とは、前記Ａ軸用回転駆動軸の他端において、一対のマイタ歯車で噛合されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、メディアを用いる場合には、加圧された液体がその流速によって発生するミキサー内の負圧によってメディアを吸引して、メディアと液体との混合体をワークに高速で衝突させる、あるいは、液体を高速で衝突させるため、６面洗浄・バリ取り装置は、容易に、かつ、精度良く洗浄およびバリ取りを行うことができる。
また、メディア用のノズルαと液体用のノズルβとを共にＺ軸に平行に配置してノズルの先端で合流させるため、Ｚ軸内で整流された高圧の混合体は、流路を変えることなくノズルから噴射され、高圧で噴射されるジェット噴流の収束性が良くなった。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、メディアは、氷粒、セラミック、樹脂のいずれか一つから形成されるため、加圧された液体と共に噴射された場合、大きく強固なバリ取りなども容易に行うことができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、ノズルは、混合体を真下に噴射するように、Ｚ軸に平行に配置され、かつ、ワークの上方に配置されて、Ｘ軸方向および前記Ｚ軸方向へ移動され、ワークは、Ｙ軸方向へ移動されると共に、ワークをＸ軸廻りに回転させる方向であるＡ軸、およびワークをＹ軸廻りに回転させる方向であるＢ軸を設けたため、ワークの全面の洗浄およびバリ取りを容易に、かつ、精度良く行うことができる。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、ワークをＡ軸方向およびＢ軸方向へ回転させる、Ａ軸用回転駆動軸およびＢ軸用回転駆動軸は、Ｙ軸に沿って配置されるため、６面洗浄・バリ取り装置をコンパクトに形成することができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、Ａ軸用回転駆動軸をＹ軸の中心に配置し、Ｂ軸用回転駆動軸をＡ軸用回転駆動軸の周りに同芯円状に配置したため、６面洗浄・バリ取り装置の大型化を抑えることができる。
また、ノズルとワークを共に相対的に動作させることにより、ノズルとワークの全体的な動作範囲を節約させることができて、正味ストロークだけのスペースで６面の洗浄やバリ取りが行えるため、６面洗浄・バリ取り装置の大型化を抑えることができる。
【００１８】
請求項６および請求項７に記載の発明によれば、Ａ軸用回転駆動軸とＡ軸回転駆動用モータとの間には、回転内歯車と遊星歯車とを介在させ、ワークをＡ軸方向へ回転させるＡ軸用回転駆動軸との連結部には、一対のマイタ歯車が設けられていることにより、Ｂ軸用回転駆動軸がＢ軸方向へ回転した場合、Ａ軸用回転駆動軸もＢ軸方向へ回転して、Ａ軸用回転駆動軸が相対的に回転しないことになる。これにより、ワーク取付台は、Ａ，Ｂ軸の任意の角度で高精度に位置決めできることになり、ワークＷの全面の洗浄およびバリ取りを容易に、かつ、精度良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
〔全体概要〕
図１は、本願発明の６面洗浄・バリ取り装置を示す斜視図であり、図２の（ａ）は、図１に示す６面洗浄・バリ取りユニットの拡大斜視図である。図２の（ｂ）は、ワークの全面を示す斜視図である。
図１に示すように、６面洗浄・バリ取り装置１００は、６面洗浄・バリ取りユニット１を備え、例えば、メディアとして粒子状の氷粒を超高圧水と共にノズル６から噴射して被加工物（以下、ワークという）Ｗの全面の洗浄およびバリ取りを行うものである。
６面洗浄・バリ取りユニット１は、メディアと液体とを混合して噴射させるノズル６と、移動・回転自在にワークＷを支持するワーク駆動ユニット８とから主に構成される。
図中左側矢印方向の正面に作業扉が設けられ、段取り作業などが行えるようになっている。その右側には操作盤２が設けられている。
なお、メディアは、氷粒以外にも、セラミックや樹脂として、それぞれアルミナやナイロンを用いて実験したが、ここでは、氷粒を例にして詳細に説明する。
なお、粒子状の材料として、アルミナ（セラミック）やナイロン（樹脂）に限らず、粒子状に加工可能な材料を用いることも可能である。
【００２０】
図２の（ａ）に示すように、この６面洗浄・バリ取りユニット１において、ノズル６は、メディアとしての粒子状の氷粒３と超高圧水４との混合体５をワークＷに向かって噴射させる。ワーク駆動ユニット８は、ワークＷを移動・回転自在に支持している。これによって、ワークＷの全面を洗浄し、バリを除去することができる。
また、ノズル６は、粒子状の氷粒３を噴射するノズルαと、超高圧水４を噴射するノズルβとから構成され、氷粒３と超高圧水４との混合体５をノズル６から噴射させる。
【００２１】
ワーク駆動ユニット８は、ワーク６面体９を加工できるようにワークＷを固定支持すると共に、ワーク６面体９が洗浄・バリ取り可能に、ワークＷの全表面を露出させた状態で取り付けられるワーク取付台１０とを備えている。
【００２２】
図１および図２（ａ）,（ｂ）に示すように、ワーク６面体９とは、
１）６面洗浄・バリ取り装置１００の作業面に向かってワークＷの左右方向を示すＸ軸方向に垂直な面９ｅ，９ｆ
２）ワークＷの前後方向を示すＹ軸方向に垂直な面９ａ，９ｃ
３）ワークＷの上下方向を示すＺ軸方向に垂直な面９ｂ，９ｄ
から形成されるワークＷの全面である。
【００２３】
なお、ワークＷのモデルは、６面対を想定して説明したため、６面でワーク全体としたが、これに限定するものではなく、異形物であっても良い。
また、Ｘ軸とは、ワークを左右方向へ移動させる座標軸を言い、このＸ軸を旋回中心とする回転軸をＡ軸と言う。
Ｙ軸とは、ワークを前後方向へ移動させる座標軸を言い、このＹ軸を旋回中心とする回転軸をＢ軸と言う。
Ｚ軸とは、ノズルを上下方向へ移動させる座標軸を言い、このＺ軸を旋回中心とする回転軸をＣ軸と言う。
【００２４】
図２の（ａ）に示すように、ノズル６は、混合体５を真下に噴射するように、Ｚ軸に平行に配置され、かつ、ワークＷの上方に配置されて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向へ移動するように構成されている。
ワークＷは、Ｙ軸方向へ移動されると共に、ワークＷをＸ軸廻りに回転させる方向であるＡ軸、およびワークＷをＹ軸廻りに回転させる方向であるＢ軸に回転可能とされる。さらに、連結部材１１は、ワークＷをＹ軸方向へ移動させる。これにより、ノズル６およびワーク駆動ユニット８は、ワークＷの全面に混合体５を噴射させるように構成されている。
【００２５】
〔ノズルに関する構成〕
図３は、ノズル６を示す拡大断面図である。図３に示すように、ノズル６は、氷粒などのメディア３を搬送するメディア搬送用チューブ６ａｂを備え、ノズルβ６ｂは、超高圧水４を通すと共に、メディアを吸引して混合するためのミキサー６ｂａを備えている。さらに、ノズル６は、水切りのためにエアーを通すエアー通路６ｃを備えている。
【００２６】
超高圧水４は、高圧ポンプ（図略）によって、１〜５００ＭＰａの水圧に設定されている。また、メディアとしての氷粒３は、製氷機（図略）によって、粒子状に形成され、ホッパー（図略）に収められている。このホッパーは、メディア搬送チューブ６ａｂに接続されている。
尚、高圧ポンプの圧力の設定は、１〜５００ＭＰａに限定されるものではなく、ワークＷやバリの大きさによって、適宜変更可能であり、氷粒３の大きさも、ワークＷやバリの大きさによって、適宜変更可能である。
【００２７】
〔Ａ方向回転駆動に関する構成〕
図４は、ワーク駆動ユニット８の断面を示す拡大平面図である。
図４に示すように、連結部材１１の内部には、ワーク取付台１０をＡ軸方向へ回転させるＡ軸用回転駆動軸１２と、ワーク取付台１０をＢ軸方向へ回転させるＢ軸用回転駆動軸１３とを備えている。
Ａ軸用回転駆動軸１２は、連結部材１１の内部にあって、連結部材１１に沿ってＹ軸方向の中心に配置され、Ｂ軸用回転駆動軸１３は、連結部材１１に沿ってＡ軸用回転駆動軸１２の周りにＡ軸用回転駆動軸１２とは同芯円状に配置されている。
【００２８】
また、図４に示すように、Ａ軸用回転駆動軸１２には、一端（図中右側）に軸用平歯車１６がＡ軸用回転駆動軸１２と同軸中心に固定されている。Ａ軸回転駆動用モータ１４は、モータ回転軸１４ａを備え、このモータ回転軸１４ａには、回転内歯車１４ｂが設けられている。この回転内歯車１４ｂと軸用平歯車１６との間には、遊星平歯車１５が介設されている。
【００２９】
また、Ａ軸用回転駆動軸１２の他端（図中左側）には、駆動側マイタ歯車１７を備えている。従動軸１８には、一端（図中下方）に従動側マイタ歯車１９が備えられ、他端（図中上方）に従動平歯車２０が備えられている。このため、駆動側マイタ歯車１７が回転すると、従動側マイタ歯車１９が従動回転し、Ａ軸用回転駆動軸１２の回転が、Ａ軸用回転駆動軸１２とは直角に配置された従動軸１８に伝達されるように構成されている。駆動側マイタ歯車１７と従動側マイタ歯車１９とは、直角に噛合している。
【００３０】
回転枠体２１は円形に形成されており、回転枠体２１には、ワーク取付台１０をＡ軸に回転させる大径平歯車２２が、回転枠体２１の一方（図中上方）の円周の内側に設けられている。
大径平歯車２２と従動平歯車２０との間には、小径平歯車２３を介在させており、従動軸１８の回転力を大径平歯車２２に伝達している。
また、回転枠体２１の他方（図中上下方）の円周の内側には、大径回転枠体３５が設けられている。大径平歯車２２と大径回転枠体３５との間には、ワーク取付台１０が、ワーク取付台１０のワークＷの取り付け面を、大径平歯車２２および大径回転枠体３５の回転中心方向へ向けて、大径平歯車２２および大径回転枠体３５の側面に一体に設けられている。
【００３１】
〔Ｂ軸回転駆動に関する構成〕
図４に示すように、Ｂ軸用回転駆動軸１３の一端（図中右側）には、軸用平歯車２４が設けられている。この軸用平歯車２４は、Ｂ軸回転駆動用モータ３１（図５参照）からの回転をＢ軸用回転駆動軸１３に伝達している。このＢ軸用回転駆動軸１３の他端（図中左側）にはＢ軸回転伝達部材２５が設けられ、このＢ軸回転伝達部材２５の回転によって、回転枠体２１はＢ軸方向に回転する。
【００３２】
Ａ軸回転駆動用モータ１４、およびＢ軸回転駆動モータ３１はサーボモータを用いており、このサーボモータによって、ワークＷのＡ軸方向への回転動作、Ｂ軸方向への回転動作を精度良く制御することができる。
【００３３】
〔Ｙ軸方向移動に関する構成〕
図５は、図４に示すＣ矢視の側面図である。図５に示すように、Ｙ軸駆動用モータ（サーボモータ）３２には、Ｙ軸移動体３３が設けられている。Ｙ軸駆動用モータ３２から発生する駆動力は、Ｙ軸移動体３３がＹ軸方向へ移動するように構成されている。このとき、連結部材１１は、連結部保持部材２６に摺動自在に支持されている。
【００３４】
図６は、６面洗浄・バリ取りユニット１のワーク駆動ユニット８を図５のＦ矢視を示す拡大背面図である。
図５、図６に示すように、Ｙ軸移動体３３には、Ａ軸回転駆動用モータ１４と、Ｂ軸回転駆動用モータ３１が一体に固定されており、Ｙ軸移動体３３と共にＹ軸方向へ移動する。これによって、回転枠体２１（図５参照）は、Ｙ軸方向へ移動するように構成されると共に、Ｂ軸方向へも回転し、さらに、ワークＷは回転枠体２１の内周に設けられた大径平歯車２２（図４参照）の回転によってＡ軸方向へも回転するように構成されている。大径平歯車２２の内周には、大径平歯車２２と大径回転枠体３５（図５参照）を内周から支持するように大径平歯車支持ローラ３０が各々６個設けられている。
【００３５】
〔Ａ軸回転駆動に関する詳細構成〕
図７は、図４のＤ部を示す拡大断面図、図８は、図４のＥ部を示す拡大断面図である。
図７に示すように、Ａ軸用回転駆動軸１２には、軸用平歯車１６がＡ軸用回転駆動軸１２と同軸中心に固定されている。この軸用平歯車１６と回転内歯車１４ｂとの間には、互いに対向した一対２個の遊星平歯車１５,１５が介在している。
【００３６】
複数の遊星平歯車１５と、この遊星平歯車１５と同数の遊星平歯車２８とは、ピン２９によって回転自在に連結されており、この複数の遊星平歯車２８は、連結部材１１に固定された固定内歯車２７と噛合している。また、遊星平歯車２８は、固定内歯車２７の内周に沿って、複数の遊星平歯車２８を、固定内歯車２７に噛合している。
【００３７】
次に、本実施の形態に係る６面洗浄・バリ取りユニットの動作を説明する。
〔ノズルに関する動作〕
図３に示すように、ノズル６は、メディア３を噴射させるノズルα６ａと、超高圧水４を噴射させるノズルβ６ｂと、ノズル６の先端近傍において、ノズルα６ａをノズルβ６ｂに合流させたミキサー６ｂａとを備え、メディア３を併用する場合には、超高圧水４がノズルβ６ｂから噴射されると、超高圧水４の流速によって、ミキサー６ｂａ内に負圧が生じ、氷粒などのメディア３が、メディア搬送用チューブ６ａｂから吸引され、超高圧水４と氷粒３とを混合させた混合体５を、ノズル６の先端からワークＷに向けて噴射される。これによって、ワークＷは洗浄され、さらに、ワークＷのバリ取りが行なわれる。洗浄・バリ取りの動作終了時には、水切りのためのエアーがエアー通路６ｃから噴射され、ワークＷに付着した水４や氷粒３を、吹き飛ばして、水切り処理を行う。
【００３８】
〔Ａ軸回転駆動に関する動作〕
図２に示すように、ワークＷのＡ軸方向への回転を説明するためにＡ軸用回転駆動軸１２（図４参照）を回転させる動作を説明する。
図７に示すように、先ず、Ａ軸回転駆動用モータ１４が図示しないサーボ制御装置によって回転駆動の指示を受けると、サーボモータであるＡ軸回転駆動用モータ１４は、例えば、一方向へ回転する。このＡ軸回転駆動用モータ１４は、モータ回転軸１４ａをＡ軸回転駆動用モータ１４と同方向へ回転させる。このモータ回転軸１４ａとＡ軸回転駆動用モータ１４との間には、図示しない加減速機構を介在させても構わない。モータ回転軸１４ａが回転すると、モータ回転軸１４ａに備えられた回転内歯車１４ｂが回転する。
このとき、Ａ軸回転駆動軸１２には、軸用平歯車１６がＡ軸回転駆動軸１２と同軸中心に固定され、この軸用平歯車１６と回転内歯車１４ｂとの間には、複数の遊星平歯車１５が介在しているため、軸用平歯車１６は、回転内歯車１４ｂの回転駆動力を軸用平歯車１６に伝達している。これによって、Ａ軸用回転駆動軸１２がＡ軸回転駆動用モータ１４とは反対方向に回転する。
【００３９】
図８に示すように、Ａ軸用回転駆動軸１２には、駆動側マイタ歯車１７が備えられており、従動軸１８には、一端に従動側マイタ歯車１９が備えられ、これらのマイタ歯車１７,１９が噛合っているため、Ａ軸用回転駆動軸１２の回転力は、従動軸１８に伝達される。また、従動軸１８の他端に備えられた従動平歯車２０と、回転枠体２１に備えられた大径平歯車２２と、大径平歯車２２と従動平歯車２０との間に介在する小径平歯車２３とが、互いに噛合することによって、従動軸１８の回転力を大径平歯車２２に伝達している。これによって、図４に示すように、ワークＷがＡ軸方向へ回転する。
【００４０】
〔Ｂ軸回転駆動に関する動作〕
図２に示すように、ワークＷのＢ軸方向へ回転を説明するためにＢ軸用回転駆動軸１３（図４参照）を回転させる動作を説明する。
図７に示すように、先ず、Ｂ軸回転駆動用モータ３１（図５、図６参照）が図示しないサーボ制御装置によって回転駆動の指示を受けると、サーボモータであるＢ軸回転駆動用モータ３１は、例えば、一方向へ回転する。Ｂ軸用回転駆動軸１３には、軸用平歯車２４がＢ軸用回転駆動軸１３と同軸中心に固定され、図示しない伝達機構によって、Ｂ軸回転駆動モータ３１の回転駆動力が軸用平歯車２４に伝達される。
軸用平歯車２４が回転することによって、図４に示すように、Ｂ軸用回転駆動軸１３が回転して、ワークＷがＢ軸方向（図４参照）へ回転する。
【００４１】
〔Ａ、Ｂ軸回転駆動に関する動作〕
また、Ａ軸用回転駆動軸１２とＢ軸用回転駆動軸１３とが、連結部材１１の内部で同軸中心で回転することによる動作を説明する。
図４に示すように、Ａ軸用回転駆動軸１２は、一端に軸用平歯車１６を備えている。Ａ軸回転駆動用モータ１４には、モータ回転軸１４ａが備えられ、このモータ回転軸１４ａには回転内歯車（インターナルギヤ）１４ｂが設けられている。この回転内歯車１４ｂと、軸用平歯車１６との間には、遊星平歯車１５が介在して、回転内歯車１４ｂの回転を、軸用平歯車１６に伝達するように構成されているのは前記した通りである。
【００４２】
このように、回転内歯車１４ｂと、軸用平歯車１６との間に遊星平歯車１５を介在させているため、Ａ軸回転駆動用モータ１４が回転していないときに、Ｂ軸用回転駆動軸１３が回転して、ワーク取付台１０がＢ軸方向へ回転するときには、Ｂ軸方向への回転と共に従動軸１８が駆動側マイタ歯車１７を中心にＢ軸方向へ回転する。このとき、Ａ軸用回転駆動軸１２が固定されていると、従動軸１８は、ワーク取付台１０をＡ軸方向へ回転させるように回転する。ところが、Ａ軸用回転駆動軸１２が遊星平歯車１５によって無負荷状態になっているため、ワーク取付台１０をＡ軸方向へ回転させようとする回転力が、Ａ軸回転駆動軸１２をＢ軸方向へ回転させることにより、ワーク取付台１０は回転しない。
すなわち、Ｂ軸用回転駆動軸１３がＢ軸方向へ回転すると同時に、Ａ軸用回転駆動軸１２もＢ軸方向へ回転して、Ａ軸用回転駆動軸１２が相対的に回転していないことになる。これにより、ワーク取付台１０は、Ａ，Ｂ軸方向の任意の角度で高精度に位置決めできることになり、ワークＷの全面の洗浄およびバリ取りを容易に、かつ、精度良く行うことができる。
【００４３】
また、スイベル（旋回）ジョイントを使用しないので、機械的な摩耗に伴う故障を低減することができてメディアの搬送を常にスムーズに行うことができる。
さらに、ノズルをＸ，Ｚ軸の２軸方向へ移動可能としたため、メディア搬送用のホースの引き回しが、Ｘ，Ｚ軸の２軸構成でよく、従来のＸ，Ｙ，Ｚ軸、Ｒ回転軸の構成に比べてシンプルになった。
メディア搬送用チューブの保守は、Ｚ軸外で行えるのでメンテナンスが容易である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本願発明の６面洗浄・バリ取り装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示す６面洗浄・バリ取りユニットの拡大斜視図である。
【図３】図２に示すノズルの拡大断面図である。
【図４】図２に示すワーク駆動ユニットの拡大平面図である。
【図５】ワーク駆動ユニットを図４のＣ矢視で示す側面図である。
【図６】ワーク駆動ユニットを図５のＦ矢視で示す背面図である。
【図７】図４のＤ部を示す拡大断面図である。
【図８】図４のＥ部を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１      ６面洗浄・バリ取りユニット
２      操作盤
３      メディア（氷粒、セラミック、樹脂）
４      超高圧水（水、液体）
５      混合体
６      ノズル
６ａ    ノズルα
６ａｂ  メディア搬送用チューブ
６ｂ    ノズルβ
６ｂａ  ミキサー
６ｃ    エアー通路
８      ワーク駆動ユニット
９      ワークＷの６面
１０    ワーク取付台
１１    連結部材
１２    Ａ軸用回転駆動軸
１３    Ｂ軸用回転駆動軸
１４    Ａ軸回転駆動用モータ
１４ａ  モータ回転軸
１４ｂ  回転内歯車
１５    遊星平歯車
１６    軸用平歯車
１７    駆動側マイタ歯車
１８    従動軸
１９    従動側マイタ歯車
２０    従動平歯車
２１    回転枠体
２２    大径平歯車
２３    小径平歯車
２４    軸用平歯車
２５    Ｂ軸回転伝達部材
２６    連結部保持部材
２７    固定内歯車
２８    遊星平歯車
２９    ピン
３０    大径平歯車支持ローラ
３１    Ｂ軸回転駆動モータ
３２    Ｙ軸駆動用モータ
３３    Ｙ軸移動体
３５    大径回転枠体
１００  ６面洗浄・バリ取り装置
Ｗ      ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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