(57)【要約】【課題】  位置決めをして固定をする際にテーブルの変位がなく、テーブルを移動させる際にごみの発生しない位置決めテーブルを提供する。【解決手段】  位置決めテーブル１Ａは、ベース部材６と、テーブル部材２と、板ばね３と、挟持部材５とを備えている。テーブル部材２は、ベース部材６に対して少なくとも一方向に移動可能なものである。板ばね３は、ベース部材６およびテーブル部材２のいずれか一方に固定されるものである。挟持部材５は、ベース部材６およびテーブル部材２のいずれか他方に固定され、かつ、板ばね３を両側から挟み込むものである。【選択図】        図１
2006198721.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部材と、
前記ベース部材に対して少なくとも一方向に移動可能なテーブル部材と、
前記ベース部材および前記テーブル部材のいずれか一方に固定された板ばねと、
前記ベース部材および前記テーブル部材のいずれか他方に固定され、かつ、前記板ばねを両側から挟み込む挟持部材とを備えた、位置決めテーブル。
【請求項２】
前記挟持部材が直動アクチュエータと当て板とを有することを特徴とする、請求項１に記載の位置決めテーブル。
【請求項３】
前記板ばねと前記挟持部材とを有するブレーキ機構が複数個設けられており、複数個の前記ブレーキ機構は前記テーブル部材の対辺をなす一辺側と他辺側とに分けて配置されている、請求項１または請求項２に記載の位置決めテーブル。
【請求項４】
前記一辺側に配置された前記ブレーキ機構と前記他辺側に配置された前記ブレーキ機構とは、前記テーブル部材の移動方向に沿った中心線に対して左右対称に配置されている、請求項３に記載の位置決めテーブル。
【請求項５】
前記板ばねの長手方向の全体が、前記テーブル部材および前記ベース部材のいずれか一方に支持されている、請求項１〜４のいずれかに記載の位置決めテーブル。
【請求項６】
前記板ばねと前記挟持部材とを有するブレーキ機構が４個設けられており、
前記４個のブレーキ機構の各々が前記テーブル部材の移動方向から見て、前記テーブル部材の重心に対して互いに点対称となるように配置されている、請求項１〜５のいずれかに記載の位置決めテーブル。
【請求項７】
前記板ばねの前記挟持部材と接触する部分および、前記挟持部材の前記板ばねと接触する部分の少なくともいずれかは、硬化処理層および耐摩耗性被膜のいずれか一方を有する、請求項１〜６のいずれかに記載の位置決めテーブル。
【請求項８】
前記ベース部材の表面に沿う方向に移動可能な第１のくさび部材と、
前記テーブル部材に固定され、前記第１のくさび部材と斜面で互いに摺動可能に接し、前記第１のくさび部材の移動により前記ベース部材の表面に対して垂直に移動可能な第２のくさび部材とをさらに備えた、請求項１〜７のいずれかに記載の位置決めテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は位置決めテーブルに関するものであり、詳しくは、組み立て機、加工機、露光機等に使用される、ブレーキ機構付き位置決めテーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、組み立て機等を組み立てる際やワークに対して孔あけ加工等を施す際に、ＸＹ方向に自由に位置決めできるテーブルが用いられている。このようなＸＹテーブルは、たとえば、特開平０６−０７９５６４号公報（特許文献１）に開示されている。
【０００３】
図１０は、上記の文献に開示されたＸＹテーブルを示す平面図である。図１０を参照して、このＸＹテーブル１００は、ベース１０１と、２対のリニアレール１０２、１０４と、テーブル１０３と、４つのスライドブロック１０５と、２つのねじ軸１０７、１１２と、ブレーキ装置とを備えている。
【０００４】
図１１は、図１０のＸＹテーブル１００をＸＩ−ＸＩ線に沿った断面図である。図１１を参照して、ＸＹテーブル１００のブレーキ装置１２０ａ、１２０ｂは、挟持板１２１とディスクブレーキ１２２とからなっている。具体的には、ブレーキ装置１２０ａは、スライドブロック１０５に取り付けられている挟持板１２１と、ベース１０１に取り付けられているディスクブレーキ１２２とからなっている。ブレーキ装置１２０ｂは、テーブル１０３の下面に取り付けられている挟持板１２１と、スライドブロック１０５に支持板を介して取り付けられているブレーキ装置１２０ｂからなっている。
【０００５】
ＸＹテーブル１００における移動動作については、ねじ軸１０７を回転させることによりテーブル１０３をベース１０１に対してＹ軸方向に、ねじ軸１１２を回転させることによりテーブル１０３をベース１０１に対してＸ軸方向に移動させることができる。
【０００６】
２組のブレーキ装置１２０ａ、１２０ｂは、位置決め後にＸＹテーブル１００がＸ軸方向およびＹ軸方向に移動するのを防止するために設けられている。例えば、ブレーキ装置１２０ａの挟持板１２１をディスクブレーキ１２２の両端で挟み込むことにより、ベース１０１とスライドブロック１０５とをロックできるため、位置決め後のテーブル１０３がＹ軸方向に移動するのを防止することができる。
【特許文献１】特開平０６−０７９５６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記文献に開示されたＸＹテーブル１００では、挟持板１２１は剛性の大きい材料からなる。そのため、挟持板１２１の挟持される面に対して垂直方向の力でディスクブレーキ１２２により挟持すると、ブレーキ動作時の反力によって挟持板１２１が垂直方向に変位し、それに伴いテーブル１０３まで垂直方向に変位する。その結果、位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル１０３との間に誤差を生じ、所期の加工結果が得られない。
【０００８】
また、上述したテーブル１０３のブレーキ動作による垂直方向の変位を抑えるためには、挟持板１２１とディスクブレーキ１２２との間隔を狭くする必要がある。しかし、挟持板１２１とディスクブレーキ１２２との間隔を狭くすると、位置決めのためにテーブル１０３を移動させた場合に、挟持板１２１がディスクブレーキ１２２に擦れ易くなり、摩擦粉などのごみが発生してしまう。
【０００９】
さらに、ＸＹテーブル１００は、一方向の移動を１つのブレーキ装置１２０ａまたは１２０ｂで防止している。そのため、テーブル１０３を位置決めした後、テーブル１０３の重心から離れた位置でテーブルの移動方向に平行な向きの荷重が加わると、テーブル１０３が傾いて、目標位置に対する誤差が大きくなる。そのため、所期の加工結果が得られない。
【００１０】
さらには、挟持板１２１の長手方向の両端部の各々が２つのスライドブロック１０５のそれぞれに支持されている。そのため、挟持板１２１はその長手方向の両端部で支持されるのみで、長手方向の中央部ではスライドブロック１０５に支持されておらず、必ずしも強固に支持されているとはいえない。
【００１１】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の一の目的は、位置決めをして固定をする際にテーブルの変位がなく、位置決めのためにテーブルを移動させる際にごみの発生しない位置決めテーブルを提供することである。
【００１２】
本発明の他の目的は、荷重がかけられても位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル部材との間に誤差を生じない位置決めテーブルを提供することである。
【００１３】
本発明のさらに他の目的は、ブレーキ機構を構成する部材が強固に支持された位置決めテーブルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の位置決めテーブルは、ベース部材と、テーブル部材と、板ばねと、挟持部材とを備えている。テーブル部材は、ベース部材に対して少なくとも一方向に移動可能なものである。板ばねは、ベース部材およびテーブル部材のいずれか一方に固定されるものである。挟持部材は、ベース部材およびテーブル部材のいずれか他方に固定され、かつ、板ばねを両側から挟み込むものである。
【００１５】
本発明の位置決めテーブルによれば、板ばねが可撓性を有しているため、板ばねの挟持される面に対して垂直方向の力に対して柔軟に変形できるので、テーブル部材の位置決め後に挟持部材で板ばねを挟持してもテーブル部材の変位は生じないで、テーブル部材を固定できる。また、可撓性を有している板ばねを使用することで、テーブル部材の静止時の位置決め精度が良いため、位置決め後の目標位置に対し実際のテーブル部材との間に誤差を生じにくい。さらに、板ばねと挟持部材との間隔を狭くする必要がないので、テーブル部材を移動させても板ばねと挟持部材との接触を避けることができ、摩擦粉などのごみの発生を防止することができる。
【００１６】
上記の位置決めテーブルにおいて好ましくは、挟持部材が直動アクチュエータと当て板とを有する。
【００１７】
これにより、位置決めテーブルの挟持部材は、直動アクチュエータが伸びて、固定されている当て板との間で板ばねを挟持する。
【００１８】
上記の位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねと挟持部材とを有するブレーキ機構が複数個設けられており、複数個のブレーキ機構はテーブル部材の対辺をなす一辺側と他辺側とに分けて配置されている。
【００１９】
これにより、位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル部材は、移動方向の位置のずれのみならず、テーブル部材の傾きを抑制することができる。
【００２０】
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、一辺側に配置されたブレーキ機構と他辺側に配置されたブレーキ機構とは、テーブル部材の移動方向に沿った中心線に対して左右対称に配置されている。
【００２１】
これにより、ブレーキ機構は、テーブル部材の移動方向の位置のずれのみならず、テーブル部材の傾きをより強固に抑制することができる。
【００２２】
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねの長手方向の全体が、テーブル部材およびベース部材のいずれか一方に支持されている。
【００２３】
これにより、板ばねをテーブル部材およびベース部材のいずれか一方に強固に支持することができる。また、板ばねとテーブル部材およびベース部材のいずれか一方と強固に固定されているので、ブレーキ機構としてテーブル部材とベース部材を固定する力も強くなる。
【００２４】
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねと挟持部材とを有するブレーキ機構が４個設けられており、４個のブレーキ機構の各々がテーブル部材の移動方向から見て、テーブル部材の重心に対して点対称になるように配置されている。
【００２５】
これにより、位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル部材は、移動方向の位置のずれのみならず、テーブル部材の傾きをより一層抑制することができる。
【００２６】
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねの挟持部材と接触する部分および、挟持部材の板ばねと接触する部分の少なくともいずれかに、硬化処理層および耐摩耗性被膜のいずれか一方を有する。
【００２７】
なお、上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、板ばねの挟持部材と接触する部分および、挟持部材の板ばねと接触する部分の少なくともいずれかに、耐摩耗性を与えるための熱処理や、めっき、アルマイト、セラミックコーティングなどの被膜処理を行う。
【００２８】
これにより、板ばねの耐久性が向上し、たとえ板ばねが挟持部材と接触したとしても、板ばねの劣化が生じにくくなる。
【００２９】
上記位置決めテーブルにおいて好ましくは、ベース部材の表面に沿う方向に移動可能な第１のくさび部材と、テーブル部材に固定され、第１のくさび部材と斜面で互いに摺動可能に接し、第１のくさび部材の移動によりベース部材の表面に対して垂直に移動可能な第２のくさび部材をさらに設けている。
【００３０】
これにより、テーブル部材がベース部材に対して垂直方向に移動が可能となる。よって、上記構成を加えることにより、３次元に自由に位置決め可能となる。
【００３１】
なお、上記板ばねの材質としては、ステンレス、リン青銅、樹脂を用いることが好ましい。
【００３２】
上記板ばねは、ブレーキ機構を動作させる時に板ばねに発生する応力が弾性限界を超えないことが好ましい。板ばねが塑性変形を起こすのを防止するためである。
【００３３】
板ばねの材質、厚さ、テーブル部材の端面と直動アクチュエータの押圧面との距離で定まる板ばねの剛性が、テーブル部材を移動させる部材の剛性よりも小さいことが好ましい。ブレーキ機構の動作により影響を受けないためである。
【発明の効果】
【００３４】
以上説明したように、本発明の位置決めテーブルによれば、可撓性のある板ばねを用いているため、ブレーキ機構を動作させても、位置決め後の目標位置に対し実際のテーブル部材との間に誤差を生じず、強固に固定される。また、位置決めのためにテーブルを移動させてもごみが発生しないことが可能となる
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
【００３６】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における位置決めテーブル１Ａを示す平面図である。図２は、図１の矢印Ａ１方向から見た側面図である。図１および図２を参照して、位置決めテーブル１Ａは、たとえば、テーブル部材２と、板ばね３と、板ばね固定板４と、挟持部材５と、ベース部材６と、直動案内７と、モータ８と、ボールねじ９とを有している。
【００３７】
ベース部材６にはＸ方向に並走する２つの直動案内７が設けられている。この２つの直動案内７の間にはボールねじ９が配置されている。このボールねじ９に回転駆動力を与えるために、ボールねじ９にはモータ８が連結されている。
【００３８】
２つの直動案内７に沿って、ベース部材６に対してＸ方向に移動可能なようにテーブル部材２が配置されている。このテーブル部材２は、ボールねじ９に噛み合うナットを下面に有している。テーブル部材２の対辺をなす一辺側と対辺側との各々には、ブレーキ機構が配置されている。このブレーキ機構は、板ばね３と挟持部材５とを有している。板ばね３は、テーブル部材２の対辺をなす一辺と他辺との各々に取り付けられている。また、挟持部材５は、テーブル部材２の対辺をなす一辺側と他辺側との各々に配置されており、ベース部材６に固定されている。
【００３９】
図３（Ａ）および図３（Ｂ）を参照して、板ばね３は、テーブル部材２と板ばね固定板４とで挟み込まれ、板ばね固定板４の下面からボルト１０で締め付けることにより、テーブル部材２に固定されている。
【００４０】
挟持部材５は、たとえば直動アクチュエータ５ａと当て板５ｂとを有している。直動アクチュエータ５ａは、当て板５ｂ側に伸びる押圧部５ａ１と、その押圧部５ａ１を駆動するための駆動部５ａ２と、その駆動部５ａ２をベース部材６に支持するための支持部５ａ３とを有している。当て板５ｂはベース部材６に固定されている。
【００４１】
図４を参照して、板ばね３は、その長手方向の全体において板ばね固定板４とテーブル部材２とに挟まれている。これにより、板ばね３は、その長手方向の全体においてテーブル部材２に支持されている。
【００４２】
図１を参照して、板ばね３と挟持部材５とからなる複数のブレーキ機構は、上述のように、テーブル部材２の対辺をなす一辺側と他辺側とに分けて配置されていることが好ましい。また、一辺側に配置されたブレーキ機構と他辺側に配置されたブレーキ機構とは、テーブル部材２のＸ方向に沿った中心線Ｃ−Ｃに対して左右対称に配置されていることがさらに好ましい。
【００４３】
なお、直動アクチュエータ５ａは、エアシリンダ、電動シリンダ、圧電アクチュエータ、電磁ソレノイド等であっても良い。また、直動案内７は、転がり直動案内、すべり案内、静圧案内等であっても良い。モータ８とボールねじ９は、リニアモータ、超音波モータ等の駆動源と、リニアスケール、レーザ測長機等の位置センサーを組み合わせた位置決め駆動系であってもよい。
【００４４】
次に、位置決めテーブル１Ａの位置決め動作について図１〜図３を用いて説明する。
【００４５】
図１を参照して、モータ８によって駆動力が与えられることにより、ボールねじ９が回転する。これにより、ボールねじ９と噛み合うナットがボールねじ９の軸方向に移動する。このナットはテーブル部材２に固定されているため、テーブル部材２もボールねじ９の軸方向であるＸ方向に直動案内７に沿って移動し、目標の位置へ到達する。目標の位置へ到達した板ばね２はブレーキ機構により、その位置で固定される。ブレーキ機構によるブレーキ動作は以下のように行われる。
【００４６】
図３（Ｂ）を参照して、テーブル部材２の移動時には、板ばね３と挟持部材５との間には隙間がある。具体的には、板ばね３と直動アクチュエータ５ａとの間、および板ばね３と当て板５ｂとの間には隙間がある。これにより、板ばね３はテーブル部材２の移動時に直動アクチュエータ５ａや当て板５ｂに接触することはない。
【００４７】
テーブル部材２が目標の位置へ到達した時点でテーブル部材２の移動は停止し、駆動部５ａ２の駆動力により押圧部５ａ１が当て板５ｂに向けて伸びる。これにより、図３（Ａ）に示すように、板ばね３は押圧部５ａ１と当て板５ｂとに挟まれて固定され、テーブル部材２は目標の位置においてベース部材６に固定される。この際、板ばね３は可撓性を有しているため、弾性変形により容易にたわむ。
【００４８】
このブレーキ状態を解除する際には、直動アクチュエータ５ａの押圧部５ａ１が駆動部５ａ２により当て板５ｂから離れる方向へ移動する。これにより、板ばね３は押圧部５ａ１および当て板５ｂと離れて、弾性変形により中立位置へ復帰する。
【００４９】
板ばね３には、たとえば、厚さ０．５ｍｍ、ヤング率２００ＧＰａのステンレス（ＳＵＳ３０４）板が用いられている。直動アクチュエータ５ａの押圧部５ａ１の下面と当て板５ｂの上面の間隔は、たとえば１．５ｍｍである。よって、直動アクチュエータ５ａと板ばね３とにできる隙間および、板ばね３と当て板５ｂとにできる隙間は、たとえば０．５ｍｍとなる。そのため、図３（Ｂ）を参照して、挟持部材５を動作する前の状態で、直動アクチュエータ５ａと板ばね３とにできる隙間および、板ばね３と当て板５ｂとにできる隙間は、各部品の取付け誤差や寸法誤差等を考慮しても、板ばね３と直動アクチュエータ５ａまたは当て板５ｂとの接触を生じない程度に大きい。よって、テーブル部材２を移動させても摩擦粉等のごみは生じない。
【００５０】
また、図３（Ａ）を参照して、押圧部５ａ１と当て板５ｂとで板ばね３を挟み込んで変形させた状態において、板ばね３に発生する応力が板ばね３の弾性限界を超えない。よって、板ばね３は塑性変形を生じないので、押圧部５ａ１と当て板５ｂとによる板ばね３の固定を解除すれば、板ばね３は固定前の中立状態に戻る。
【００５１】
さらに、板ばね３のヤング率などの材質、厚さ、およびテーブル部材２の端面２ａと押圧部５ａ１との距離で定まる剛性が、直動案内７の剛性よりも小さい。よって、テーブル部材２は、直動案内７により自由に位置決めできる一方、挟持部材５の動作により直動案内７が影響を受けない。
【００５２】
以上、説明したように、板ばね３の厚みが薄く、かつ、可撓性を有しているため、板ばね３が柔軟にたわむ。そのため、直動アクチュエータ５ａと板ばね３および、板ばね３と当て板５ｂとの接触をしない間隔で、板ばねを設けることができると共に、挟持部材５の動作によるテーブル部材２の変位を防止することが可能となる。
【００５３】
また、挟持部材５を２つ設けており、テーブル部材２の移動方向であるＸ方向から見て、テーブル部材２の重心に対して互いに点対称になるように配置されているため、Ｘ方向およびＹ方向の力に対してもテーブル部材２は変位を生じない。
【００５４】
さらに、板ばね３のＸ方向の全体に渡りテーブル部材２に均一に固定されるため、挟持部材５によりテーブル部材２を固定する力が強くなり、板ばね３とテーブル部材２が強固に固定される。
【００５５】
なお、本実施の形態はＸ方向に移動可能な位置決めテーブル１Ａとしたが、移動方向はＹ方向でも良い。また、位置決めテーブルを２台積み重ねることにより、ＸＹ方向の位置決めテーブルにも同様に適用ができる。
【００５６】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２における位置決めテーブル１Ｂを示す平面図である。図６は、図５の矢印Ａ２方向から見た側面図である。
【００５７】
図５および図６を参照して、本実施の形態の構成は、実施の形態１の構成と比較して、テーブル部材２に直動アクチュエータ５ａと当て板５ｂとを配置し、ベース部材６に板ばね３を配置する点において異なる。
【００５８】
直動アクチュエータ５ａは、当て板５ｂ側に伸びる押圧部５ａ１と、その押圧部５ａ１を駆動するための駆動部５ａ２と、その駆動部５ａ２をテーブル部材２に支持するための支持部５ａ３とを有している。本実施の形態では、支持部５ａ３と当て板５ｂとが一体化されている。
【００５９】
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態１の構成とほぼ同じであるため、同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６０】
これにより、板ばね３は、実施の形態１と比較して、板ばね３のＸ方向の長さをテーブル部材２のＸ方向の長さよりも長くできる。
【００６１】
なお、本実施の形態はＸ方向に移動可能な位置決めテーブル１Ｂとしたが、移動方向はＹ方向でも良い。また、位置決めテーブルを２台積み重ねることにより、ＸＹ方向の位置決めテーブルにも同様に適用ができる。
【００６２】
（実施の形態３）
図７（Ａ）は、本発明の実施の形態３における位置決めテーブル１Ｃを示す平面図である。ただし、位置決めテーブル１Ｃの作業台であるテーブル部材２は、内部の構造の理解を容易にするために図示を省略している。図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の矢印Ｂ方向から見た側面図である。ただし、テーブル部材２などの一部の図示を省略している。
【００６３】
図７（Ａ）および図７（Ｂ）を参照して、本実施の形態の構成はＺ方向に自由に位置決め可能な位置決めテーブル１Ｃであるため、実施の形態１の構成と比較して、くさび部材２１〜２４と、直動案内２５〜２７とを備えている点において異なる。また、本実施の形態では、ブレーキ機構をテーブル部材２の４箇所の角部に設けている点においても異なる。
【００６４】
ベース部材６の表面に、Ｘ方向に並走する２つの直動案内２５が設けられている。この直動案内２５に沿ってＸ方向にスライド可能になるように２つのくさび部材２１、２２が配置されている。このくさび部材２１、２２の各々には斜面が形成されており、各斜面にはＸ方向に並走する２つの直動案内２６が設けられている。このくさび部材２１、２２の各々は、ボールねじ９に噛み合うナットを有している。
【００６５】
ボールねじ９は、図７（Ｂ）を参照して、くさび部材２１を駆動するねじ９ａと、くさび部材２２を駆動するねじ９ｂを有している。ねじ９ａとねじ９ｂは、ねじの向きは逆とし、ねじピッチは等しくされている。たとえば、ねじ９ａは右ねじ、ねじ９ｂは左ねじとしている。
【００６６】
一方、テーブル部材２の下面には２つのくさび部材２３、２４が固定されている。このくさび部材２３は、くさび部材２１の直動案内２６に沿って斜面上を摺動可能であり、くさび部材２４はくさび部材２２の直動案内２６に沿って斜面上を摺動可能である。
【００６７】
図８は、位置決めテーブル１Ｃの上部の概略斜視図である。図８を参照して、テーブル部材２の対辺をなす一辺側および他辺側の双方の下面の各々には、支持板２８が取り付けられている。１つの支持板２８のＸ方向の両端部の各々には、板ばね３が取り付けられている。板ばね３の取付けは、支持板２８と板ばね固定板４とで挟んだ状態でボルト１０により締め付けることにより行われている。また、支持板２８には、直動案内２７が設けられている。
【００６８】
すなわち、直動案内２５は、ベース部材６に対してくさび部材２１、２２のそれぞれを相対的に案内するものである。直動案内２６は、くさび部材２３、２４に対してくさび部材２１、２２をそれぞれ相対的に案内するものである。直動案内２７は、ベース部材６に対してテーブル部材２を案内するものである。
【００６９】
図７（Ａ）を参照して、板ばね３を両側から挟み込んで固定するための直動アクチュエータ５ａと当て板５ｂとがベース部材６に固定されている。この直動アクチュエータ５ａと当て板５ｂよりなる挟持部材５と、板ばね３とを有するブレーキ機構は、たとえば４つ設けられている。また、４個のブレーキ機構の各々がテーブル部材２の移動方向から見て、テーブル部材２の重心Ｇに対して互いに点対称となるように配置されている。
【００７０】
なお、これ以外の構成については上述した実施の形態１の構成とほぼ同じであるため、同一の構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００７１】
次に、位置決めテーブル１Ｃの位置決め動作について図７〜図９を用いて説明する。
【００７２】
図７を参照して、モータ８によって駆動力が与えられることにより、ボールねじ９が回転する。これにより、ボールねじ９と噛み合うナットがボールねじ９の軸方向に移動する。このナットはくさび部材２１、２２にそれぞれ固定されているため、くさび部材２１、２２もボールねじ９の軸方向に直動案内２５に沿って、この際、くさび部材２１、２２は互いに逆方向へ同等の量だけ移動する。つまり、くさび部材２１、２２のいずれか一方が図中右側に移動するときにはいずれか他方は図中左側に移動する。同時に、くさび部材２１、２２の移動に伴い、くさび部材２３、２４は、くさび部材２１、２２の直動案内２６に沿って斜面上を移動する。このとき、くさび２１とくさび２２とが互いに近づくように移動するときは、くさび部材２３とくさび部材２４とはＺ方向に沿って図中上側へ移動し、くさび部材２１とくさび部材２２とが互いに離れるように移動するときには、くさび部材２３とくさび部材２４とはＺ方向に沿って図中下側へ移動する。これにより、テーブル部材２はベース部材６の表面に対して垂直な方向であるＺ方向に移動する。このようにして、図９（Ａ）に示すようにＺ方向について、テーブル部材２は目標の位置に到達する。
【００７３】
次に、目標の位置にテーブル部材２を位置決めすると、図８に示すように、上述した実施の形態１と同様に、４つのブレーキ機構において、板ばね３を直動アクチュエータ５ａと当て板５ｂで挟持して固定し、ブレーキを動作させる。
【００７４】
以上、説明したように、ベース部材６の表面に沿う方向に移動可能なくさび部材２１、２２と、テーブル部材２に固定されているくさび部材２３、２４とが、斜面で互いに摺動可能に直動案内２６を介して接することにより、ベース部材６の表面に対して垂直に移動が可能となる。その目標の位置で板ばね３と挟持部材５とからなる本発明のブレーキ機構を用いることで、板ばね３を挟持してもテーブル部材２は変位を生じない。また、本実施の形態では２組のくさび部材を相対移動させているので、位置決めテーブル１Ｃをコンパクト化できる。なお、１組の摺動可能なくさび部材でも、Ｚ方向の移動は可能であり、自由に位置決めできる。
【００７５】
また、４個のブレーキ機構の各々が重心Ｇに対して点対称となるように配置されているので、位置決め後の目標位置に対し、実際のテーブル部材は、移動方向の位置のずれのみならず、テーブル部材の傾きをより一層抑制することができる。
【００７６】
なお、本実施の形態３はＺ方向に移動可能な位置決めテーブル１Ｃとしたが、上述した位置決めテーブル１Ａおよび１Ｂのうちのいずれか２台あるいは３台積み重ねることにより、ＸＹＺ方向の位置決めテーブルにも同様に適用ができる。
【００７７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の実施の形態１における位置決めテーブルを示す平面図である。
【図２】図１の矢印Ａ１方向から見た側面図である。
【図３】図２の領域ＩＩＩの拡大図であり、（Ａ）は板ばねを挟持している状態を示す側面図であり、（Ｂ）は板ばねを挟持していない状態を示す側面図である。
【図４】テーブル部材の底面図である。
【図５】本発明の実施の形態２における位置決めテーブルを示す平面図である。
【図６】図５の矢印Ａ２方向から見た側面図である。
【図７】本発明の実施の形態３における位置決めテーブルを示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は（Ａ）の矢印Ｂ方向から見た側面図である。
【図８】図７の上部の概略斜視図である。
【図９】実施の形態３における位置きめテーブルを移動した図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は（Ａ）と異なる側面から見た側面図である。
【図１０】特許文献１に開示されたＸＹテーブルの平面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１  位置決めテーブル、２  テーブル部材、３  板ばね、４  板ばね固定板、５  挟持部材、６  ベース部材、７  直動案内、８  モータ、９  ボールねじ、１０  ボルト、２１〜２４  くさび部材、２５〜２７  直動案内。
【図１】
2006198721.tif 000003
【図２】
2006198721.tif 000004
【図３】
2006198721.tif 000005
【図４】
2006198721.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006198721.tif 000008
【図７】
2006198721.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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