(57)【要約】【課題】  共通の回折格子により、異なる波長の光ビームをそれぞれ回折して、トラッキング信号を得るための３ビームを発生させる。【解決手段】  第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部と、第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、第３の波長の光ビームを出射する第３の出射部と、第１乃至第３の出射部から出射された光ビームを光ディスクの信号記録面上に集光する対物レンズ３３と、第１乃至第３の波長の光ビームの光路上に配置され、一方側に設けられる第１の回折部３４ａと、他方側に設けられる第２の回折部３４ｂとを有する回折格子３４と、光ディスクで反射された戻り光を検出する光検出器３５とを備え、第１の回折部３４ａは、屈折率の周波数特性が異なる接合部材が接合されることにより形成される。【選択図】図２
2006236477.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部と、
第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、
第３の波長の光ビームを出射する第３の出射部と、
上記第１乃至第３の出射部から出射された光ビームを光ディスクの信号記録面上に集光する対物レンズと、
上記第１乃至第３の波長の光ビームの光路上に配置され、一方側に設けられる第１の回折部と、他方側に設けられる第２の回折部とを有する回折格子と、
上記光ディスクで反射された戻り光を検出する光検出器とを備え、
上記第１の回折部は、屈折率の周波数特性が異なる接合部材が接合されることにより形成された光ピックアップ。
【請求項２】
上記第１の波長が、約４０５ｎｍであり、
上記第２の波長が、約６５５ｎｍであり、
上記第３の波長が、約７８５ｎｍであることを特徴とする請求項１記載の光ピックアップ。
【請求項３】
上記第１乃至第３の出射部が設けられる光源部を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の光ピックアップ。
【請求項４】
上記第２の回折部は、屈折率の周波数特性が異なる第２の接合部材が接合されることにより形成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の光ピックアップ。
【請求項５】
上記第１の回折部は、上記第１及び第３の波長の光ビームの一部を回折して±１次回折光として残りを透過して０次回折光とするとともに、上記第２の波長の光ビームを透過させ、
上記第２の回折部は、上記第２の波長の光ビームの一部を回折して±１次回折光として残りを透過して０次回折光とするとともに、上記第１及び第３の波長の光ビームを透過させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の光ピックアップ。
【請求項６】
異なる種類の複数の光ディスクに対して情報を記録及び／又は再生する光ピックアップと、上記光ディスクを回転駆動するディスク回転駆動手段とを備える光ディスク装置において、
上記光ピックアップは、第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部と、
第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、
第３の波長の光ビームを出射する第３の出射部と、
上記第１乃至第３の出射部から出射された光ビームを光ディスクの信号記録面上に集光する対物レンズと、
上記第１乃至第３の波長の光ビームの光路上に配置され、一方側に設けられる第１の回折部と、他方側に設けられる第２の回折部とを有する回折格子と、
上記光ディスクで反射された戻り光を検出する光検出器とを備え、
上記第１の回折部は、屈折率の周波数特性が異なる接合部材が接合されることにより形成された光ディスク装置。
【請求項７】
上記第２の回折部は、屈折率の周波数特性が異なる第２の接合部材が接合されることにより形成されたことを特徴とする請求項６記載の光ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数種類の光ディスク等の情報記録媒体に対して、異なる波長の光ビームを用いて情報の記録及び／又は再生を行う光ピックアップ及び光ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、次世代光ディスクフォーマットとして、青紫色半導体レーザによる波長４００〜４１０ｎｍ程度の光源を用いたものが採用されている。
【０００３】
これらの次世代光ディスクに対応する光ピックアップを提供するに際して、従来のＣＤ（Compact Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）等のフォーマットの異なる光ディスクとの互換性を有したものが望まれる。このように、ディスク構造及びこれに伴うレーザ仕様が異なるフォーマットの光ディスク間の互換性を有する光ピックアップ及び光ディスク装置が必要とされる。
【０００４】
異なるフォーマットの光ディスク間の互換性を備える装置としては、複数の光源部に設けられた出射部から出射される異なる波長の光ビームを各光ディスクの信号記録面に集光させる構成、又は、１つの光源部に設けられた複数出射部から出射される異なる波長の光ビームを各光ディスクの信号記録面に集光させる構成を備えるものがある。
【０００５】
かかる光ピックアップにおいて、回折格子を設け、記録時におけるトラッキング信号を得るための３ビームを生成しようとすると、ある波長の光ビームに対して最適なものを選択すると、別の波長の光ビームの透過率が極端に低下してしまう等の問題が発生するおそれがあった。
【０００６】
異なる波長の光ビームに対して、トラッキング信号を得るための３ビームを生成する光ピックアップとして、例えば、特開２００３−６８９１号公報に示す光ピックアップが知られている（特許文献１参照）。
【０００７】
特許文献１に示す光ピックアップは、２波長用の回折格子を備えるものである。しかし、かかる光ピックアップは、３波長互換を実現する光ピックアップに対応できるものではなく、また、十分な回折効率が得られるものではなかった。
【０００８】
そこで、従来の光ピックアップにおいては、トラッキング信号を得るための３ビームを生成するためには、３つの光源部とそれぞれの光源部の近傍に３つの回折格子とを配置する必要があり、構成が複雑となり、小型化の妨げとなっていた。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−６８９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、共通の回折格子により、異なる波長の光ビームをそれぞれ回折して、トラッキング信号を得るための３ビームを発生させることができ、異なるフォーマットとされた光ディスクに対して良好な信号の読み取り及び書き込みを可能とする光ピックアップ及びこの光ピックアップを用いた光ディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この目的を達成するため、本発明に係る光ピックアップは、第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部と、第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、第３の波長の光ビームを出射する第３の出射部と、第１乃至第３の出射部から出射された光ビームを光ディスクの信号記録面上に集光する対物レンズと、第１乃至第３の波長の光ビームの光路上に配置され、一方側に設けられる第１の回折部と、他方側に設けられる第２の回折部とを有する回折格子と、光ディスクで反射された戻り光を検出する光検出器とを備え、第１の回折部は、屈折率の周波数特性が異なる接合部材が接合されることにより形成される。
【００１２】
上述した目的を達成するために、本発明に係る光ディスク装置は、異なる種類の複数の光ディスクに対して情報を記録及び／又は再生する光ピックアップと、光ディスクを回転駆動するディスク回転駆動手段とを備える光ディスク装置において、光ピックアップは、第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部と、第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、第３の波長の光ビームを出射する第３の出射部と、第１乃至第３の出射部から出射された光ビームを光ディスクの信号記録面上に集光する対物レンズと、第１乃至第３の波長の光ビームの光路上に配置され、一方側に設けられる第１の回折部と、他方側に設けられる第２の回折部とを有する回折格子と、光ディスクで反射された戻り光を検出する光検出器とを備え、第１の回折部は、屈折率の周波数特性が異なる接合部材が接合されることにより形成される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る光ピックアップは、共通の回折格子によって、異なる波長の光ビームを回折してそれぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビームを発生させることができ、異なるフォーマットとされた光ディスクに対して最適なトラッキング信号を得ることができるので、複数種類の光ディスクに対して良好な信号の読み取り及び書き込みを可能とし、小型化を図るとともに複数種類の光ディスクに対する互換を実現する。
【００１４】
本発明に係る光ディスク装置は、共通の回折格子によって、異なる波長の光ビームを回折してそれぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビームを発生させることができ、異なるフォーマットとされた光ディスクに対して最適なトラッキング信号を得ることができるので、複数種類の光ディスクに対して良好な信号の記録及び再生を可能とし、複数種類の光ディスクに対する互換を実現するとともに、構成の簡素化及び小型化を実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を適用した光ピックアップを用いた光ディスク装置について、図面を参照して説明する。
【００１６】
本発明が適用された光ディスク装置１は、図１に示すように、光ディスク２から情報記録再生を行う光ピックアップ３と、光ディスク２を回転操作する駆動手段としてのスピンドルモータ４と、光ピックアップ３を光ディスク２の径方向に移動させる送りモータ５とを備えている。この光ディスク装置１は、フォーマットの異なる３種類の光ディスク２に対して記録及び／又は再生（以下では記録再生と記述する。）を行う３規格間互換性を実現した光ディスク装置である。
【００１７】
ここで用いられる光ディスク２は、例えば、ＣＤ(Compact Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、情報の追記が可能とされるＣＤ−Ｒ（Recordable）及びＤＶＤ−Ｒ（Recordable）、情報の書換えが可能とされるＣＤ−ＲＷ（ReWritable）、ＤＶＤ−ＲＷ（ReWritable）、ＤＶＤ＋ＲＷ（ReWritable）等の光ディスクや、さらに発光波長が短い４０５ｎｍ程度（青紫色）の半導体レーザを用いた高密度記録が可能な高密度記録光ディスクや、光磁気ディスク等である。
【００１８】
特に、以下で光ディスク装置１により情報の再生又は記録を行う３種類の光ディスクとして、保護基板厚が０．１ｍｍで波長４０５ｎｍ程度の光ビームを記録再生光として使用する高密度記録が可能な第１の光ディスク１１と、保護基板厚が０．６ｍｍで波長６５５ｎｍ程度の光ビームを記録再生光として使用するＤＶＤ等の第２の光ディスク１２と、保護基板厚が１．２ｍｍで波長７８５ｎｍ程度の光ビームを記録再生光として使用するＣＤ等の第３の光ディスク１３とを用いるものとして説明する。
【００１９】
光ディスク装置１において、スピンドルモータ４及び送りモータ５は、ディスク種類判別手段ともなるシステムコントローラ７からの指令に基づいて制御されるサーボ制御部９によりディスク種類に応じて駆動制御されており、例えば、第１の光ディスク１１、第２の光ディスク１２、第３の光ディスク１３に応じて所定の回転数で駆動される。
【００２０】
光ピックアップ３は、３波長互換光学系を有する光ピックアップであり、規格の異なる光ディスクの記録層に対して異なる波長の光ビームを照射するとともに、この光ビームの記録層における反射光を検出する。光ピックアップ３は、検出した反射光から各光ビームに対応する信号をプリアンプ部１４に供給する。
【００２１】
プリアンプ部１４の出力は、信号変復調器及びエラー訂正符号ブロック（以下、信号変復調＆ＥＣＣブロックと記す。）１５に送られる。この信号変復調及びＥＣＣブロック１５は、信号の変調、復調及びＥＣＣ（エラー訂正符号）の付加を行う。光ピックアップ３は、信号変復調及びＥＣＣブロック１５の指令にしたがって回転する光ディスク２の記録層に対して光ビームを照射し、光ディスク２に対して信号の記録又は再生を行う。
【００２２】
プリアンプ部１４は、フォーマット毎に異なって検出される光ビームに対応する信号に基づいて、フォーカスエラー信号、トラッキングエラー信号、ＲＦ信号等を生成するように構成されている。記録又は再生の対象媒体とされる光ディスク２の種類に応じて、サーボ制御回路９、信号変復調及びＥＣＣブロック１５等により、光ディスク２の規格に基づく復調及び誤り訂正処理等の所定の処理が行われる。
【００２３】
ここで例えば、信号変復調＆ＥＣＣブロック１５により復調された記録信号がコンピュータのデータストレージ用であれば、インターフェイス１６を介して外部コンピュータ１７に送出される。これにより、外部コンピュータ１７等は、光ディスク２に記録された信号を再生信号として受け取ることができる。
【００２４】
また、信号変復調＆ＥＣＣブロック１５により復調された記録信号がオーディオビジュアル用であれば、Ｄ／Ａ及びＡ／Ｄ変換器１８のＤ／Ａ変換部でデジタルアナログ変換され、オーディオビジュアル処理部１９に供給される。そしてオーディオビジュアル処理部１９でオーディオビジュアル処理が行われ、オーディオビジュアル信号入出力部２０を介して、図示しない外部の撮像映写機器等に伝送される。
【００２５】
光ピックアップ３において、例えば、光ディスク２上の所定の記録トラックまで移動させるための送りモータ５の制御、スピンドルモータ４の制御、及び光ピックアップ３において光集光手段となる対物レンズを保持する２軸アクチュエータのフォーカシング方向の駆動とトラッキング方向の駆動制御は、それぞれサーボ制御回路９により行われる。
【００２６】
レーザ制御部２１は、光ピックアップ３のレーザ光源を制御する。特に、この具体例では、レーザ制御部２１は、記録モード時と再生モード時とでレーザ光源の出力パワーを異ならせる制御を行っている。また、光ディスク２の種類に応じてもレーザ光源の出力パワーを異ならせる制御を行っている。レーザ制御部２１は、ディスク種類判別部２２によって検出された光ディスク２の種類に応じて光ピックアップ３のレーザ光源を切り換えている。
【００２７】
ディスク種類判別部２２は、第１〜第３の光ディスク１１，１２，１３の間の表面反射率、形状的及び外形的な違い等から光ディスク２の異なるフォーマットを検出することができる。
【００２８】
光ディスク装置１を構成する各ブロックは、ディスク種類判別部２２における検出結果に応じて、装着される光ディスク２の仕様に基づく信号処理ができるように構成されている。
【００２９】
システムコントローラ７は、ディスク種類判別部２２から送られる検出結果に基づいて光ディスク２の種類を判別する。光ディスクの種類を判別する手法としては、光ディスクがカートリッジに収納されるタイプであれば、このカートリッジに検出穴を設けて接触検出センサ又は押下スイッチを用いて検出する手法があげられる。また、同一光ディスクにおける記録層の判別には、光ディスク最内周にあるプリマスタードピットやグルーブ等に記録された目録情報（Table Of Contents；ＴＯＣ）による情報に基づいて、どの記録層に対する記録再生かを判別する手法が使用できる。
【００３０】
サーボ制御回路９は、例えば光ピックアップ３と光ディスク２との相対位置を検出する（光ディスク２に記録されたアドレス信号をもとに位置検出する場合を含む）ことによって、記録及び／又は再生する記録領域を判別できる。
【００３１】
以上のように構成された光ディスク装置１は、スピンドルモータ４によって、光ディスク２を回転操作し、サーボ制御部９からの制御信号に応じて送りモータ５を駆動制御し、光ピックアップ３を光ディスク２の所望の記録トラックに対応する位置に移動することで、光ディスク２に対して情報の記録再生を行う。
【００３２】
ここで、上述した記録再生用光ピックアップ３について詳しく説明する。
【００３３】
本発明を適用した光ピックアップ３は、図２に示すように、第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部を有する第１の光源部３１と、第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、第３の波長の光ビームを出射する第３の出射部とを有する第２の光源部３２と、第１乃至第３の出射部から出射された光ビームを光ディスク２の信号記録面上に集光する対物レンズ３３と、第１乃至第３の波長の光ビームの光路上に配置され、一方側に設けられる第１の回折部３４ａと、他方側に設けられる第２の回折部３４ｂとを有する回折格子３４と、信号記録面で反射された戻り光を検出する光検出器３５とを備える。
【００３４】
また、光ピックアップ３は、第１乃至第３の出射部と対物レンズ３３との間に配置され、第１乃至第３の出射部から出射された光ビームの発散角を変換するカップリングレンズ３６と、カップリングレンズ３６と対物レンズ３３との間に設けられ、光検出器３５で検出された信号に基づいて収差を補正する収差補正手段３７と、収差補正手段３７と対物レンズ３３との間に設けられ、信号記録面で反射された戻り光の光路を往路光の光路から分岐させて光検出器３５に導く光路分岐手段として第１のビームスプリッタ３８と、第１及び第２の光源部３１，３２と、回折格子３４との間に設けられ、第１の光源部３１から出射された光ビームの光路と、第２の光源部３２から出射された光ビームの光路とを合成する光路合成手段として第２のビームスプリッタ３９とを有する。
【００３５】
第１の光源部３１は、第１の光ディスク１１に対して波長４０５ｎｍ程度の第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部を有する。また、第２の光源部３２は、第２の光ディスク１２に対して波長６５５ｎｍ程度の第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、第３の光ディスク１３に対して波長７８５ｎｍ程度の第３の光ビームを出射する第３の出射部とを有する。
【００３６】
第２のビームスプリッタ３９は、例えば、波長選択性のあるミラー面３９ａを有している。このミラー面３９ａは、第１の光源部３１の第１の出射部から出射された光ビームを透過させ、第２の光源部３２の第２及び第３の出射部から出射された光ビームを反射させることで、第１乃至第３の出射部から出射されるそれぞれの光ビームの光路を合成することができる。
【００３７】
回折格子３４は、トラッキング信号を得るための±１次光を発生させるものであり、すなわち、第１乃至第３の波長の光ビームを３つに分けて光量の多いメインビームと、光量の少ないサイドビームとを生成する。
【００３８】
すなわち、回折格子３４の出射側の面に設けられた第１の回折部３４ａは、図３に示すように、所定の溝深さ及び幅で格子状に形成されており、基材Ａに対して屈折率の周波数特性が異なる接合部材Ｂが接合されることにより形成されている。この回折面３４ｃは、格子状に形成され、基材Ａ及び接合部材Ｂは、隙間を有することなく接合されている。
【００３９】
第１の回折部３４ａは、第１及び第３の波長の光ビームＢ１，Ｂ３を回折して、その一部をサイドビームとなる±１次回折光Ｂ１１，Ｂ３１とし、残りの大部分を透過してメインビームとなる０次回折光Ｂ１０，Ｂ３０とする。また、第１の回折部３４ａは、第２の波長の光ビームＢ２０，Ｂ２１を略全量透過させる。
【００４０】
第１の回折部３４ａは、第１及び第３の波長の光ビームをトラッキング信号を得るために必要な光量だけサイドビームとして回折でき、且つ、第２の波長の光ビームを略全量透過させるように、基材Ａ及び接合部材Ｂの材料及び格子状の溝深さが決定されている。
【００４１】
また、回折格子３４の入射側の面に設けられた第２の回折部３４ｂは、所定の溝深さ及び幅で格子状に形成されており、接合部材が接合されない。尚、第２の回折部についても、第１の回折部と同様には接合部材を接合するように構成してもよく、第２の回折部に接合部材を接合する例については、後述する。
【００４２】
第２の回折部３４ｂは、第２の波長の光ビームＢ２を回折して、その一部をサイドビームとなる±１次回折光Ｂ２１とし、残りの大部分を透過してメインビームとなる０次回折光Ｂ２０とする。また、第２の回折部３４ｂは、第１及び第３の波長の光ビームＢ１，Ｂ３を略全量透過させる。第２の回折部３４ｂは、第２の波長の光ビームをトラッキング信号を得るために必要な光量だけサイドビームとして回折でき、且つ、第１及び第３の波長の光ビームを略全量透過させるように、基材Ａの材料及び格子状の溝深さが決定されている。
【００４３】
次に、第１及び第２の回折部３４ａ，３４ｂの具体的な基材Ａ及び接合部材Ｂの材料及び格子状の溝深さについて説明する。「表１」に、基材の材料Ａ及び接合部材の材料Ｂの各使用波長に対する屈折率を示す。
【００４４】
【表１】
2006236477.tif 000003
【００４５】
また、図４に、基材Ａ及び接合部材Ｂで接合される第１の回折部３４ａの溝深さを変化させた場合の、第１乃至第３の波長の光ビームの回折効率の変化を、図５に、基材の材料Ａとしたときの接合部材が接合されない第２の回折部３４ｂの溝深さを変化させた場合の、第１乃至第３の波長の光ビームの回折効率の変化を示す。図４及び図５中において、各曲線は、入射する光ビームの全光量に対する出射される各回折光の光量の割合、すなわち、回折効率を示すものであり、曲線Ｌ１０、Ｌ１１は、それぞれ第１の波長（４０５ｎｍ）の光ビーム０次回折光（透過）、±１次回折光を示すものであり、曲線Ｌ２０、Ｌ２１は、それぞれ第２の波長（６５５ｎｍ）の光ビームの０次回折光（透過）、±１次回折光を示すものであり、曲線Ｌ３０、Ｌ３１は、それぞれ第３の波長（７８５ｎｍ）の光ビームの０次回折光（透過）、±１次回折光を示すものである。
【００４６】
上述のように、第１の回折部３４ａは、第１及び第３の波長の光ビームをトラッキング信号を得るために必要な光量だけサイドビームとして回折でき、且つ、第２の波長の光ビームを略全量透過させるように、溝深さが約７．６μｍ（７６００ｎｍ）に決定される。そして、第２の回折部３４ｂは、第２の波長の光ビームをトラッキング信号を得るために必要な光量だけサイドビームとして回折でき、且つ、第１及び第３の波長の光ビームを略全量透過させるように、溝深さが約１．４μｍ（１４００ｎｍ）に決定される。第１及び第２の回折部３４ａ，３４ｂが、それぞれ、７．６μｍ，１．４μｍとされたときの１次回折光の回折効率を「表２」に示す。
【００４７】
【表２】
2006236477.tif 000004
【００４８】
第１及び第２の回折部３４ａ，３４ｂを有する回折格子３４は、異なる波長の光ビームが入射されると、その一方側の面に設けられた回折部により、異なる２波長の光ビームを回折して最適な光量でトラッキング信号を得るためのサイドビームを得るとともに、残りの１波長の光ビームは透過させることができ、他方側の面に設けられた回折部により、一方側の面で回折される２波長の光ビームを透過させるとともに、残りの１波長の光ビームを回折して最適な光量でトラッキング信号を得るためのサイドビームを得ることができる。すなわち、この回折格子３４は、異なる波長の光ビームを回折してそれぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビーム（メインビーム及びサイドビーム）を発生させることができる。
【００４９】
カップリングレンズ３６は、第１の光源部３１又は第２の光源部３２の各出射部から出射された光ビームの発散角を変換して略平行光として収差補正手段３７側に出射させる。
【００５０】
収差補正手段３７は、例えば、印加する電圧を変化させることにより屈折率を変化させることができる液晶光学素子からなり、光検出器３５で検出された信号に基づいて、屈折率を変化させることで収差を補正する。尚、収差補正手段として、ここでは、液晶光学素子を設けるように構成したが、これに限られるものではなく、収差補正手段として、カップリングレンズ３６を光軸方向に移動させるアクチュエータを設けるように構成してもよい。カップリングレンズ用のアクチュエータを設けるように構成した場合には、このアクチュエータとカップリングレンズとにより、発生する収差を補正することができる。
【００５１】
対物レンズ３３は、３波長互換用の対物レンズである。この対物レンズ３３の開口数は、第１の波長に対して０．８５であり、第２の波長に対しては０．６０であり、第３の波長に対しては０．４５である。対物レンズ３３は、第１の保護基板厚を有する第１の光ディスク１１に対して、カップリングレンズ３６に発散角を変換された第１の波長の光ビームを集光することができる。また、第２の保護基板厚を有する第２のディスク１２に対して、カップリングレンズ３６に発散角を変換された第２の波長の光ビームを、第３の保護基板厚を有する第３の光ディスク１３に対して、カップリングレンズ３６に発散角を変換された第３の波長の光ビームを集光することができる。対物レンズ３３は、例えば、いわゆるゾーン分割方式のレンズとすることによって３つの異なる波長に対する互換を達成する。
【００５２】
また、対物レンズ３３の入射側には、対物レンズ３３に入射する光ビームの開口制限を行う開口制限手段として開口フィルタ４０が設けられている。この開口フィルタ４０は、波長により開口径が変化する波長依存性を有するものであり、第１の波長に対して０．８５であり、第２の波長に対して０．６０であり、第３の波長に対して０．４５となるようにされている。この開口フィルタ４０として、例えば、ホログラム等が用いられる。
【００５３】
第１のビームスプリッタ３８は、収差補正手段３７と対物レンズ３３との間の光路上に設けられ、そのミラー面３８ａにより、往路光を対物レンズ３３側に透過させるとともに、光ディスク２からの戻り光を光検出器３５側に光路分岐させて出射させる。第１のビームスプリッタ３８と光検出器３５との間には、光路分岐された光ビームを光検出器３５の受光面上に集束させる円筒レンズ等の光学素子４１が設けられている。
【００５４】
光検出器３５は、その受光面に、回折格子３４によってそれぞれ３ビームに分割された第１乃至第３の波長の光ビームのメインビームを受光するメインビーム用フォトディテクタと、サイドビームを受光するサイドビーム用フォトディテクタとを有する。光検出器３５は、このサイドビーム用フォトディテクタにより受光したサイドビームにより、トラッキングエラー信号を得ることができる。
【００５５】
次に、この光ピックアップ３における、第１及び第２の光源部３１，３２から出射された光ビームの光路について説明する。まず、第１の光ディスク１１に対して情報の読み取り又は書き込みを行う際の光路について説明する。
【００５６】
光ディスク２の種類が第１の光ディスク１１であることを判別したディスク種類判別部２２は、第１の光源部３１の第１の出射部から第１の波長の光ビームを出射させる。
【００５７】
第１の光源部３１の第１の出射部から出射された第１の波長の光ビームは、図２及び図３に示すように、第２のビームスプリッタ３９のミラー面３９ａを透過されて、回折格子３４に入射される。回折格子３４に入射された第１の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部３４ｂを透過され、出射側の面に設けられた第１の回折部３４ａに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて出射される。ここで、第１の波長の光ビームは、回折格子３４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。
【００５８】
回折格子３４に最適な回折効率で３ビームに分割された第１の波長の光ビームは、カップリングレンズ３６により略平行光とされ、収差補正手段３７により光ディスクの信号記録面で発生する収差を補正されて第１のビームスプリッタ３８に入射される。
【００５９】
第１のビームスプリッタ３８に入射された第１の波長の光ビームは、ミラー面３８ａを透過して、開口フィルタ４０により開口数を０．８５とされ、対物レンズ３３により、第１の光ディスク１１の信号記録面１１ａに適切に集光される。
【００６０】
第１の光ディスク１１に集光された光ビームは、信号記録面１１ａで反射し、対物レンズ３３を透過して、第１のビームスプリッタ３８により反射されて光検出器３５側に出射される。第１のビームスプリッタ３８により光路分岐された第１の波長の光ビームは、光学素子４１により光検出器３５の受光面に集束されて検出される。このとき、メインビームは、光検出器３５のメインビーム用フォトディテクタに入射されるとともに、サイドビームは、サイドビーム用フォトディテクタに入射される。光検出器３５のサイドビーム用フォトディテクタに入射されたサイドビームにより、トラッキングエラー信号が得られる。
【００６１】
次に、第２の光ディスク１２に対して情報の読み取り又は書き込みを行う際の光路について説明する。
【００６２】
光ディスク２の種類が第２の光ディスク１２であることを判別したディスク種類判別部２２は、第２の光源部３２の第２の出射部から第２の波長の光ビームを出射させる。
【００６３】
第２の光源部３２の第２の出射部から出射された第２の波長の光ビームは、図２及び図３に示すように、第２のビームスプリッタ３９のミラー面３９ａを反射されて、回折格子３４に入射される。回折格子３４に入射された第２の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部３４ｂに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて、第１の回折部３４ａを透過されて出射される。ここで、第２の波長の光ビームは、回折格子３４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。
【００６４】
回折格子３４に最適な回折効率で３ビームに分割された第２の波長の光ビームは、カップリングレンズ３６により略平行光とされ、収差補正手段３７により光ディスクの信号記録面で発生する収差を補正されて第１のビームスプリッタ３８に入射される。
【００６５】
第１のビームスプリッタ３８に入射された第２の波長の光ビームは、ミラー面３８ａを透過して、開口フィルタ４０により開口数を０．６０とされ、対物レンズ３３により、第２の光ディスク１２の信号記録面１２ａに適切に集光される。
【００６６】
第２の光ディスク１２の信号記録面１２ａで反射された光ビームの復路側の光路は、上述の第１の波長の光ビームと、同様の光路であるので、以下説明は省略する。
【００６７】
次に、第３の光ディスク１３に対して情報の読み取り又は書き込みを行う際の光路について説明する。
【００６８】
光ディスク３の種類が第３の光ディスク１３であることを判別したディスク種類判別部２２は、第２の光源部３２の第３の出射部から第３の波長の光ビームを出射させる。
【００６９】
第２の光源部３２の第３の出射部から出射された第３の波長の光ビームは、図２及び図３に示すように、第２のビームスプリッタ３９のミラー面３９ａを反射されて、回折格子３４に入射される。回折格子３４に入射された第３の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部３４ｂを透過され、出射側の面に設けられた第１の回折部３４ａに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて出射される。ここで、第３の波長の光ビームは、回折格子３４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。
【００７０】
回折格子３４に最適な回折効率で３ビームに分割された第３の波長の光ビームは、カップリングレンズ３６により略平行光とされ、収差補正手段３７により光ディスクの信号記録面で発生する収差を補正されて第１のビームスプリッタ３８に入射される。
【００７１】
第１のビームスプリッタ３８に入射された第３の波長の光ビームは、ミラー面３８ａを透過して、開口フィルタ４０により開口数を０．４５とされ、対物レンズ３３により、第３の光ディスク１３の信号記録面１３ａに適切に集光される。
【００７２】
第３の光ディスク１３の信号記録面１３ａで反射された光ビームの復路側の光路は、上述の第１の波長の光ビームと、同様の光路であるので、以下説明は省略する。
【００７３】
本発明を適用した光ピックアップ３は、共通の回折格子３４によって、異なる波長である第１乃至第３の波長の光ビームを回折してそれぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビームを発生させることができ、異なるフォーマットとされた光ディスクに対して最適なトラッキング信号を得ることができるので、異なる３種類の光ディスクに対して良好な信号の読み取り及び書き込みを可能とし、小型化を図るとともに３波長互換を実現する。
【００７４】
尚、光ピックアップ３において、回折格子３４は、その片側の面に設けられた第１の回折部３４ａを接合部材が接合されることにより形成したが、これに限られるものではなく、両側の面に設けた回折部がそれぞれ接合部材が接合されることにより形成してもよい。
【００７５】
次に、光ピックアップ３を構成する回折格子として、両側の面に設けた回折部がそれぞれ接合部材が接合されることにより形成された図２及び図６に示す回折格子４４を用いた例について説明する。
【００７６】
回折格子４４は、一方側に設けられる第１の回折部４４ａと、他方側に設けられる第２の回折部４４ｂとを有し、トラッキング信号を得るための±１次光を発生させるものであり、すなわち、第１乃至第３の波長の光ビームを３つに分けて光量の多いメインビームと、光量の少ないサイドビームとを生成する。
【００７７】
すなわち、回折格子４４の出射側の面に設けられた第１の回折部４４ａは、図６に示すように、所定の溝深さ及び幅で格子状に形成されており、基材Ｃに対して屈折率の周波数特性が異なる第１の接合部材Ｄが接合されることにより形成されている。この回折面４４ｃは、格子状に形成されており、基材Ｃ及び第１の接合部材Ｄは、隙間を有することなく接合されている。
【００７８】
第１の回折部４４ａは、第１及び第２の波長の光ビームＢ１，Ｂ２を回折して、その一部をサイドビームとなる±１次回折光Ｂ１１，Ｂ２１とし、残りの大部分を透過してメインビームとなる０次回折光Ｂ１０，Ｂ２０とする。また、第１の回折部４４ａは、第３の波長の光ビームＢ３０，Ｂ３１を略全量透過させる。
【００７９】
第１の回折部４４ａは、第１及び第２の波長の光ビームをトラッキング信号を得るために必要な光量だけサイドビームとして回折でき、且つ、第３の波長の光ビームを略全量透過させるように、基材Ｃ及び第１の接合部材Ｄの材料及び格子状の溝深さが決定されている。
【００８０】
また、回折格子４４の入射側の面に設けられた第２の回折部４４ｂは、所定の溝深さ及び幅で格子状に形成されており、基材Ｃに対して屈折率の周波数特性が異なる第２の接合部材Ｅが接合されることにより形成されている。この回折面４４ｄは、格子状に形成されており、基材Ｃ及び第２の接合部材Ｅは、隙間を有することなく接合されている。
【００８１】
第２の回折部４４ｂは、第３の波長の光ビームＢ３を回折して、その一部をサイドビームとなる±１次回折光Ｂ３１とし、残りの大部分を透過してメインビームとなる０次回折光Ｂ３０とする。また、第２の回折部４４ｂは、第１及び第２の波長の光ビームＢ１，Ｂ２を略全量透過させる。第２の回折部４４ｂは、第３の波長の光ビームをトラッキング信号を得るために必要な光量だけサイドビームとして回折でき、且つ、第１及び第２の波長の光ビームを略全量透過させるように、基材Ｃ及び第２の接合部材Ｅの材料及び格子状の溝深さが決定されている。
【００８２】
次に、第１及び第２の回折部４４ａ，４４ｂの具体的な基板Ｃ並びに第１及び第２の接合部材Ｄ，Ｅの材料及び格子状の溝深さについて説明する。「表３」に、基材の材料Ｃ並びに第１及び第２の接合部材Ｄ，Ｅの各使用波長に対する屈折率を示す。尚、ここでは、第１及び第２の接合部材Ｄ，Ｅは、同じ材料により形成したが、それぞれ屈折率の周波数特性の異なる材料により形成してもよい。
【００８３】
【表３】
2006236477.tif 000005
【００８４】
また、図７に、基材の材料Ｃ及び第１の接合部材Ｄ（又は第２の接合部材Ｅ）で接合される第１の回折部４４ａ（又は第２の回折部４４ｂ）の溝深さを変化させた場合の、第１乃至第３の波長の光ビームの回折効率の変化を示す。図７中において、各曲線は、入射する光ビームの全光量に対する出射される各回折光の光量の割合、すなわち、回折効率を示すものであり、曲線Ｌ１０、Ｌ１１は、それぞれ第１の波長（４０５ｎｍ）の光ビームの０次回折光（透過）、±１次回折光を示すものであり、曲線Ｌ２０、Ｌ２１は、それぞれ第２の波長（６５５ｎｍ）の光ビームの０次回折光（透過）、±１次回折光を示すものであり、曲線Ｌ３０、Ｌ３１は、それぞれ第３の波長（７８５ｎｍ）の光ビームの０次回折光（透過）、±１次回折光を示すものである。
【００８５】
上述のように、第１の回折部４４ａは、第１及び第２の波長の光ビームをトラッキング信号を得るために必要な光量だけサイドビームとして回折でき、且つ、第３の波長の光ビームを略全量透過させるように、溝深さが約８．７μｍ（８７００ｎｍ）に決定される。そして、第２の回折部４４ｂは、第３の波長の光ビームをトラッキング信号を得るために必要な光量だけサイドビームとして回折でき、且つ、第１及び第２の波長の光ビームを略全量透過させるように、溝深さが約８．０μｍ（８０００ｎｍ）に決定される。第１及び第２の回折部４４ａ，４４ｂが、それぞれ、８．７μｍ，８．０μｍとされたときの１次回折光の回折効率を「表４」に示す。
【００８６】
【表４】
2006236477.tif 000006
【００８７】
第１及び第２の回折部４４ａ，４４ｂを有する回折格子４４は、異なる波長の光ビームが入射されると、その一方側の面に設けられた回折部により、異なる２波長の光ビームを回折して最適な光量でトラッキング信号を得るためのサイドビームを得るとともに、残りの１波長の光ビームは透過させることができ、他方側の面に設けられた回折部により、一方側の面で回折される２波長の光ビームを透過させるとともに、残りの１波長の光ビームを回折して最適な光量でトラッキング信号を得るためのサイドビームを得ることができる。すなわち、この回折格子４４は、異なる波長の光ビームを回折してそれぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビーム（メインビーム及びサイドビーム）を発生させることができる。さらに、回折格子４４は、その両側の回折部を屈折率の周波数特性が異なる接合部材が接合されることにより形成されるので、様々な使用波長の光ビームに対して適応できるとともに、より最適な回折効率及び透過率を設定することができ、また、回折効率及び透過率を向上させることで光ピックアップの設計の自由度を向上させることが可能となる。
【００８８】
次に、回折格子４４を用いた光ピックアップ３における、第１及び第２の光源部３１，３２から出射された光ビームの光路について説明する。尚、回折格子４４に入射するまでの光路と、回折格子４４を出射してからの光路とは、上述した回折格子３４を用いた場合と同様であるので、説明は省略する。
【００８９】
まず、第１の光ディスク１１に対して情報の読み取り又は書き込みを行う場合について説明する。図２及び図６に示すように、上述と同様の光路を経由して、回折格子４４に入射された第１の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部４４ｂを透過され、出射側の面に設けられた第１の回折部４４ａに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて出射される。ここで、第１の波長の光ビームは、回折格子４４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。回折格子４４を出射した第１の波長の光ビームは、上述と同様の光路を経由して、光ディスクに集光され、信号記録面で反射された光ビームは、光検出器３５の受光面に集束されて検出される。
【００９０】
次に、第２の光ディスク１２に対して情報の読み取り又は書き込みを行う場合について説明する。図２及び図６に示すように、上述と同様の光路を経由して、回折格子４４に入射された第２の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部４４ｂを透過され、出射側の面に設けられた第１の回折部４４ａに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて出射される。ここで、第２の波長の光ビームは、回折格子４４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。回折格子４４を出射した第２の波長の光ビームは、上述と同様の光路を経由して、光ディスクに集光され、信号記録面で反射された光ビームは、光検出器３５の受光面に集束されて検出される。
【００９１】
次に、第３の光ディスク１３に対して情報の読み取り又は書き込みを行う場合について説明する。図２及び図６に示すように、上述と同様の光路を経由して、回折格子４４に入射された第３の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部４４ｂに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて、第１の回折部４４ａを透過されて出射される。ここで、ここで、第３の波長の光ビームは、回折格子４４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。回折格子４４を出射した第３の波長の光ビームは、上述と同様の光路を経由して、光ディスクに集光され、信号記録面で反射された光ビームは、光検出器３５の受光面に集束されて検出される。
【００９２】
回折格子４４を用いた光ピックアップ３は、共通の回折格子４４によって、異なる波長である第１乃至第３の波長の光ビームを回折してそれぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビームを発生させることができ、異なるフォーマットとされた光ディスクに対して最適なトラッキング信号を得ることができるので、異なる３種類の光ディスクに対して良好な信号の読み取り及び書き込みを可能とし、小型化を図るとともに３波長互換を実現する。
【００９３】
尚、上述の光ピックアップ３において、第１乃至第３の出射部は、第１の光源部３１又は第２の光源部３２に配置するように構成したが、これに限られるものではなく、例えば、１の光源部に第１乃至第３の出射部を配置するように構成し、１の光源部から出射される異なる３種類の波長の光ビームに対し、共通の回折格子によって、それぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビームを発生させるように構成してもよい。
【００９４】
次に、第１乃至第３の出射部を有する光源部を備える図８に示す、光ピックアップ５０について説明する。尚、以下の説明において、上述した光ピックアップ３と共通する部分については、共通の符号を付して詳細な説明は、省略する。
【００９５】
本発明を適用した光ピックアップ５０は、図８に示すように、第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部と、第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、第３の波長の光ビームを出射する第３の出射部とを有する光源部５１と、この光源部５１の第１乃至第３の出射部から出射された光ビームを光ディスク２の信号記録面上に集光する対物レンズ３３と、第１乃至第３の波長の光ビームの光路上に配置され、一方側に設けられる第１の回折部３４ａと、他方側に設けられる第２の回折部３４ｂとを有する回折格子３４と、信号記録面で反射された戻り光を検出する光検出器３５とを備える。
【００９６】
また、光ピックアップ５０は、光源部５１と対物レンズ３３との間に配置され、第１乃至第３の出射部から出射された光ビームの発散角を変換するカップリングレンズ３６と、カップリングレンズ３６と対物レンズ３３との間に設けられ、光検出器３５で検出された信号に基づいて収差を補正する収差補正手段３７と、収差補正手段３７と対物レンズ３３との間に設けられ、信号記録面で反射された戻り光の光路を往路光の光路から分岐させて光検出器３５に導く光路分岐手段として第１のビームスプリッタ３８と、対物レンズ３３の入射側に設けられ対物レンズ３３に入射する光ビームの開口制限を行う開口フィルタ４０と、第１のビームスプリッタ３８と光検出器３５との間に設けられ、光ビームを光検出器３５の受光面上に集束させる光学素子４１とを有する。
【００９７】
光源部５１は、第１の光ディスク１１に対して波長４０５ｎｍ程度の第１の波長の光ビームを出射する第１の出射部と、第２の光ディスク１２に対して波長６５５ｎｍ程度の第２の波長の光ビームを出射する第２の出射部と、第３の光ディスク１３に対して波長７８５ｎｍ程度の第３の光ビームを出射する第３の出射部とを有する。
【００９８】
次に、この光ピックアップ５０における、光源部５１から出射された光ビームの光路について説明する。まず、第１の光ディスク１１に対して情報の読み取り又は書き込みを行う際の光路について説明する。
【００９９】
光ディスク２の種類が第１の光ディスク１１であることを判別したディスク種類判別部２２は、光源部５１の第１の出射部から第１の波長の光ビームを出射させる。
【０１００】
光源部５１の第１の出射部から出射された第１の波長の光ビームは、回折格子３４に入射される。回折格子３４に入射された第１の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部３４ｂを透過され、出射側の面に設けられた第１の回折部３４ａに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて出射される。ここで、第１の波長の光ビームは、回折格子３４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。
【０１０１】
回折格子３４に最適な回折効率で３ビームに分割された後の第１の波長の光ビームの光路は、上述の光ピックアップ３の場合と同様の光路であるので、以下説明は省略する。
【０１０２】
次に、第２の光ディスク１２に対して情報の読み取り又は書き込みを行う際の光路について説明する。
【０１０３】
光ディスク２の種類が第２の光ディスク１２であることを判別したディスク種類判別部２２は、光源部５１の第２の出射部から第２の波長の光ビームを出射させる。
【０１０４】
光源部５１の第２の出射部から出射された第２の波長の光ビームは、回折格子３４に入射される。回折格子３４に入射された第２の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部３４ｂに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて、第１の回折部３４ａを透過されて出射される。ここで、第２の波長の光ビームは、回折格子３４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。
【０１０５】
回折格子３４に最適な回折効率で３ビームに分割された後の第２の波長の光ビームの光路は、上述の光ピックアップ３の場合と同様の光路であるので、以下説明は省略する。
【０１０６】
次に、第３の光ディスク１３に対して情報の読み取り又は書き込みを行う際の光路について説明する。
【０１０７】
光ディスク３の種類が第３の光ディスク１３であることを判別したディスク種類判別部２２は、光源部５１の第３の出射部から第３の波長の光ビームを出射させる。
【０１０８】
光源部５１の第３の出射部から出射された第３の波長の光ビームは、回折格子３４に入射される。回折格子３４に入射された第３の波長の光ビームは、その入射側の面に設けられた第２の回折部３４ｂを透過され、出射側の面に設けられた第１の回折部３４ａに一部を回折されて残りを透過されることにより、サイドビームとなる±１次回折光、及び、メインビームとなる０次回折光からなる３ビームに分割されて出射される。ここで、第３の波長の光ビームは、回折格子３４により、最適な回折効率で３ビームに分割されている。
【０１０９】
回折格子３４に最適な回折効率で３ビームに分割された後の第３の波長の光ビームの光路は、上述の光ピックアップ３の場合と同様の光路であるので、以下説明は省略する。
【０１１０】
本発明を適用した光ピックアップ５０は、共通の回折格子３４によって、異なる波長である第１乃至第３の波長の光ビームを回折してそれぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビームを発生させることができ、異なるフォーマットとされた光ディスクに対して最適なトラッキング信号を得ることができるので、異なる３種類の光ディスクに対して良好な信号の読み取り及び書き込みを可能とし、小型化を図るとともに３波長互換を実現する。
【０１１１】
尚、光ピックアップ５０において、光ピックアップ３と同様に、両側の面に設けた回折部がそれぞれ接合部材が接合されることにより形成された回折格子４４を上述の回折格子３４に変えて用いるように構成してもよい。
【０１１２】
本発明を適用した光ディスク装置１は、上述した光ピックアップ３，５０を備えるので、共通の回折格子３４，４４によって、異なる波長の光ビームを回折してそれぞれ最適な透過率及び回折効率で３ビームを発生させることができ、異なるフォーマットとされた光ディスクに対して最適なトラッキング信号を得ることができるので、複数種類の光ディスクに対して良好な信号の記録及び再生を可能とし、複数種類の光ディスクに対する互換を実現するとともに、構成の簡素化及び小型化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】本発明を適用した光ディスク装置の構成を示すブロック回路図である。
【図２】本発明を適用した光ピックアップの光学系を示す光路図である。
【図３】本発明を適用した光ピックアップを構成する回折格子の構成を説明する断面図である。
【図４】本発明を適用した光ピックアップを構成する回折格子の第１の回折部の溝深さの変化に伴う各波長の光ビームの０次光及び±１次光の透過率及び回折効率の変化を示す図である。
【図５】本発明を適用した光ピックアップを構成する回折格子の第２の回折部の溝深さの変化に伴う各波長の光ビームの０次光及び±１次光の透過率及び回折効率の変化を示す図である。
【図６】本発明を適用した光ピックアップを構成する回折格子の他の構成を説明する断面図である。
【図７】本発明を適用した光ピックアップを構成する回折格子の他の例の第１及び第２の回折部の溝深さの変化に伴う各波長の光ビームの０次光及び±１次光の透過率及び回折効率の変化を示す図である。
【図８】本発明を適用した光ピックアップの光学系の他の例を示す光路図である。
【符号の説明】
【０１１４】
１  光ディスク装置、  ２  光ディスク、  ３  光ピックアップ、  ４  スピンドルモータ、  ５  送りモータ、  ９  サーボ制御回路、２２  ディスク種類判別部、  ３１  第１の光源部、  ３２  第２の光源部、  ３３  対物レンズ、  ３４  回折格子、  ３５  光検出器、  ３６  カップリングレンズ、  ３７  収差補正手段、  ３８  第１のビームスプリッタ、  ３９  第２のビームスプリッタ、  ４０  開口フィルタ、  ４１  光学素子  
【図１】
2006236477.tif 000007
【図２】
2006236477.tif 000008
【図３】
2006236477.tif 000009
【図４】
2006236477.tif 000010
【図５】
2006236477.tif 000011
【図６】
2006236477.tif 000012
【図７】
2006236477.tif 000013
【図８】
2006236477.tif 000014