(57)【要約】【課題】ブローアウト現象を確実に防止し、しかも、高精度な微少流量制御と完全遮断を実現し、特に、コンパクトで、長期に亘って、安全に使用できる経済性にも優れたニードルバルブを提供する。【解決手段】流入口２と流出口３を有する弁本体１内の弁室４に弁座６を設け、この弁座６に離接するテーパ面７ａを有するニードル７で流量制御を行うニードルバルブである。前記ニードル７のテーパ面７ａの上方位置に、前記弁座６に着座するＯリング９を装着させる外周溝１０を設け、この外周溝１０の一次側を拡げて空隙部１０ａを形成すると共に、前記外周溝１０のＯリング当接面側を円弧面１０ｂに形成している。前記円弧面１０ｂのアールは、Ｏリング９の半径と略一致させてＯリング当接面と円弧面１０ｂを密着させている。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流入口と流出口を有する弁本体内の弁室に弁座を設け、この弁座に離接するテーパ面を有するニードルで流量制御を行うニードルバルブにおいて、前記ニードルのテーパ面の上方位置に、前記弁座に着座するＯリング装着用の外周溝を設け、この外周溝の一次側を拡げて空隙部を形成すると共に、前記外周溝のＯリング当接面側を円弧面に形成したことを特徴とするニードルバルブ。
【請求項２】
前記円弧面のアールは、Ｏリングの半径と略一致させてＯリング当接面と円弧面を密着させた請求項１に記載のニードルバルブ。
【請求項３】
前記ニードルの弁座着座時から離脱する所定リフト域までの間、Ｏリングの飛び出しを防止する飛出し防止部位を設けた請求項１又は２に記載のニードルバルブ。
【請求項４】
前記飛出し防止部位は、弁座の内周上端部とニードルの拡径外周部との隙間をＯリングの直径より小さく設定されて構成した請求項３に記載のニードルバルブ。
【請求項５】
前記ニードルに設けた軸部の上端を直動型電動モータの出力軸で押圧し、且つ、弁本体に内蔵したスプリングの弾発力で旧位に復帰するようにした請求項１乃至４に記載のニードルバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量調整式のニードルバルブに関し、特に、高精度な微少流量制御と完全遮断を実現し得るコンパクトなニードルバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、この種のバルブは、弁体の昇降動によって弁体と弁座との流路開口面積を順次変化させることで流量制御を行う弁として、半導体、液晶等の製造分野をはじめ、各種分野で使用されている。弁体の外周部にはＯリングが装着されており、この弁体が弁本体内の弁室に設けた弁座に着座・離脱することで、流体の通水・遮断を可能にしている。ところが、弁微開時に弁体からＯリングが外れてしまう、所謂ブローアウト現象が大きな問題となっている。
【０００３】
これは、弁体が弁座に着座する直前、或は離脱した直後、流路が狭くなることから、流体の流速が高まると共に水圧が低下する。このとき、弁体に設けたＯリング装着用の溝部に流体が流入し、このＯリングの背面に回った流体がＯリングを外方向へ向けて押圧する。その結果、Ｏリングが押し出されて装着位置がズレたり、更には溝部から完全に外れてしまう現象である。このような現象が起これば、当然にＯリングによる密封効果は発揮されず、適正な流量制御を行うことはできない。そこで、このような問題を解決すべく、幾つかの技術が開示されている（例えば、特許文献１又は２参照。）。
【０００４】
例えば、実用新案登録第２５１２３６４号公報（特許文献１）には、弁体のＯリング溝より下流側の面から弁体の軸方向に、弁体の周方向に伸び、その外周側の半径がＯリング溝の径方向底部の半径より大きい半径を有する複数の円弧状の溝を穿設し、Ｏリング溝と円弧状溝とを連通させることで、Ｏリングのブローアウト現象を防止した止水弁が開示されている。また、特開昭６３−６７４８３号公報（特許文献２）には、弁体にＯリングの外径に略一致するようなＯリング収容溝を形成した圧力調整弁が開示されている。
【特許文献１】実用新案登録第２５１２３６４号公報
【特許文献２】特開昭６３−６７４８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、実用新案登録第２５１２３６４号公報では、Ｏリングの背面に回った水を逃すために、弁体に連通して開口部や溝部を設けているが、これは微細加工を要求するものであり、特に、小型である調整弁にこのような微細加工を施すのは困難であった。加えて、耐久性の問題や製造コストがかかる等の問題も有していた。また、特開昭６３−６７４８３号公報では、Ｏリングの背面に空気が入ってしまうと、この空気がＯリングの背面に留まって、Ｏリングの再装着ができなくなるおそれがあり、Ｏリングの密封効果に支障をきたす。無論、ブローアウト現象を防止できるものではない。従って、確実にブローアウト現象を防止すると共に、小型の調整弁にも適用し得る技術の開発が急務となっている。
【０００６】
本発明は、上記の課題点に鑑み、鋭意研究の結果開発に至ったものであり、その目的とするところは、ブローアウト現象を確実に防止し、しかも、高精度な微少流量制御と完全遮断を実現し、特に、コンパクトで、長期に亘って、安全に使用できる経済性にも優れたニードルバルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、請求項１に係る発明は、流入口と流出口を有する弁本体内の弁室に弁座を設け、この弁座に離接するテーパ面を有するニードルで流量制御を行うニードルバルブにおいて、前記ニードルのテーパ面の上方位置に、前記弁座に着座するＯリング装着用の外周溝を設け、この外周溝の一次側を拡げて空隙部を形成すると共に、前記外周溝のＯリング当接面側を円弧面に形成したニードルバルブである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、前記円弧面のアールは、Ｏリングの半径と略一致させてＯリング当接面と円弧面を密着させたニードルバルブである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、前記ニードルの弁座着座時から離脱する所定リフト域までの間、Ｏリングの飛び出しを防止する飛出し防止部位を設けたニードルバルブである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、前記飛出し防止部位は、弁座の内周上端部とニードルの拡径外周部との隙間をＯリングの直径より小さく設定されて構成したニードルバルブである。
【００１１】
請求項５に係る発明は、前記ニードルに設けた軸部の上端を直動型電動モータの出力軸で押圧し、且つ、弁本体に内蔵したスプリングの弾発力で旧位に復帰するようにしたニードルバルブである。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１又は２に係る発明によると、弁微開時にＯリングが押し出されて装着位置がズレたり、更にはニードルから完全に外れてしまう、所謂ブローアウト現象を確実に防止し、長期に亘って、安全に使用できるニードルバルブの提供が可能となった。しかも、高精度な微少流量制御と完全遮断を実現し、更にはコンパクト化と、加工費用や組立費用などの製造コストの削減を可能にした。これにより、高精度な微少流量の制御を行う必要のある、例えば、半導体、液晶等の製造分野に、コンパクトな高精度の微少流量制御弁として提供することができる。
【００１３】
請求項３又は４に係る発明によると、弁微開時にＯリングが押し出されて装着位置がズレたり、更にはニードルから完全に外れてしまう、所謂ブローアウト現象を確実に防止し、長期に亘って、安全に使用できるニードルバルブの提供が可能となった。しかも、高精度な微少流量制御と完全遮断を実現し、更にはコンパクト化と、加工費用や組立費用などの製造コストの削減を可能にした。これにより、高精度な微少流量の制御を行う必要のある、例えば、半導体、液晶等の製造分野に、コンパクトな高精度の微少流量制御弁として提供することができる。
【００１４】
請求項５に係る発明によると、ニードルの昇降動を直ちに直動型電動モータの駆動に追随させることが可能となり、電動モータのバックラッシュの影響を受けることなく、正確な流路コントロールが実現可能となった。これにより、極めて高精度な微少流量の制御と完全遮断を実現したニードルバルブとして、半導体、液晶等の製造分野をはじめ、各種分野に提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明におけるニードルバルブの実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明におけるニードルバルブの一例を示した断面図である。図１において、図中１は、弁本体であり、図中２，３は、弁本体１に設けた流入口と流出口、図中４は、流出入口２，３の流路に設けた弁室、図中５は、弁室４と連通させて設けた軸装穴である。図中６は、弁室４内に装着される環状弁座であり、図中７は、環状弁座６に着座するニードル、図中８は、ニードル７の軸部、図中９は、ニードル７に装着されるＯリング、図中１０は、Ｏリング装着用の外周溝、図中１１は、軸部８に装入されるＯリング（本例では、形状ＳＳ３．５）、図中１２は、Ｏリング１１の装着溝、図中１３、１４は、軸装する筒体と保持体、図中１５は、スプリング、図中１６は、軸部８に設けた係合片（本例では座金）、図中１７は、筒状のブッシュである。なお、同図に示すように、弁本体１とブッシュ１７には、外部と連通させる連通孔１ａ，１７ａが設けてある。
【００１６】
図中１８は、直動型電動モータであり、図中１９は、前記電動モータ１８の出力軸（スクリューシャフト）である。本例における直動型電動モータ１８は、図示しないロータと、ネジ部が形成されたスクリューシャフト１９と、ロータの回転力をスクリューシャフト１９に伝達する図示しない回転伝達機構などから成り、このロータの回転力は、スクリューシャフト１９によって直線運動に変換され、このスクリューシャフト１９が軸方向に摺動するように構成されている。なお、図中２０は、前記電動モータ１８を内蔵したアクチュエータであり、本例ではネジ固定して配設されている。
【００１７】
図２は、図１における要部拡大断面図である。同図に示すように、前記環状弁座６は、環状の弁室４の流入口２側に設けた段部１ｂにシールリング２１を介して装着されており、この環状弁座６の弁口には、上方に向って拡がる傾斜面６ａが形成されている。なお、本例では金属製の環状弁座６を採用しているが、樹脂製、或はその他材料から成るものでもよく、実施に応じて任意である。勿論、その他の構成部品も同様である。
【００１８】
図２に示すように、前記ニードル７（本例では金属製、軸部径約φ３ｍｍ）の外周部にはテーパ面７ａが形成されている。このテーパ面７ａの上方位置には外周溝１０が設けてあり、着座時にこのニードル７と環状弁座６との間を密封するＯリング９が装着されている。同図に示すように、この外周溝１０には、外周溝１０の一次側を拡げて空隙部１０ａを形成しており、且つ、この外周溝１０のＯリング当接面側を円弧面１０ｂに形成し、この円弧面１０ｂのアールをＯリング９の半径と略一致させている。後述するが、この構造によって、弁微開状態における流体圧の影響を軽減させ、所謂ブローアウト現象の発生を防ぐ機能が発揮される。なお、本実施例においては、外周溝１０の一次側を、水平に対して約１５°下方に傾斜させることにより拡げて、空隙部１０ａを形成している。
【００１９】
本発明のニードルバルブには、ニードル７の弁座着座時から離脱する所定リフト域までの間、本例では少なくとも弁微開状態の間（開度１０％）、ニードル７に装着したＯリング９の飛び出しを更に防止する飛出し防止部位２２が設けてある。この飛出し防止部位２２は、環状弁座６の内周上端部６ｂとニードル７の拡径外周部７ｂとの隙間Ｌ１を、Ｏリング９の直径より小さく設定されて構成され、後述するが、弁微開状態において、Ｏリング９がニードル７から離脱し、環状弁座６の内周上端部６ｂとニードル７の拡径外周部７ｂとの間からの飛び出しを防ぐように機能する。
【００２０】
ここで、ニードル７の拡径外周部７ｂは、図２に示すような全閉状態から、図３に示す弁微開状態までの間、ニードル７の軸芯方向と平行に、環状弁座６の内周上端部６ｂと対向面を形成しているので、弁微開状態まで、ニードル７の拡径外周部７ｂと環状弁座６の内周上端部６ｂとの隙間Ｌ１をＯリング９の直径より小さい状態を確保することができる。即ち、全閉状態において、ニードル７の拡径外周部７ｂが環状弁座６の上方に位置する場合（例えば、弁全閉状態において、ニードル７の拡径外周部７ｂの位置が図３に示すような位置となる場合）に比して、隙間Ｌ１をＯリング９の直径より小さい状態に確保できる弁開度を、広範囲に確保することができる。なお、本例で採用するＯリング９は拡縮自在であり、特に、求心方向への縮径力が高く、変形し難い硬度の高いものが好ましい。
【００２１】
また、本実施形態では、筒体１３（本例では樹脂製）と、円盤状を呈した保持体１４（本例では樹脂製）とを組み合わせて成る軸封構造が採用されている。図１に示すように、筒体１３には、円筒状の突部１３ａが設けてあり、内部に軸部挿通孔１３ｂが形成されている。一方、保持体１４には、前記筒体１３の突部１３ａを嵌合させる嵌合溝１４ａが設けてあり、内部にこの嵌合溝１４ａを貫通して軸部挿通孔１４ｂが形成されている。この筒体１３に設けた突部１３ａを保持体１４に設けた嵌合溝１４ａに嵌合させると、筒体１３と保持体１４との間にＯリング１１を装着させる装着溝１２が形成される。軸部８に装入されたＯリング１１は、軸装した筒体１３の突部１３ａと保持体１４の嵌合溝１４ａとの嵌合によって、装着溝１２内に装着されるように構成されている。なお、前記筒体１３には、その周壁の一部を切り欠いて連通部１３ｃを設け、内部に流出入口２，３に連続する流路を有している。勿論、本例で示す軸封構造は一例であって、これに限定するものではない。
【００２２】
更に本実施形態では、前記軸部８に筒体１３とＯリング１１を介して保持体１４を組付け、且つ、この保持体１４の上部に、弾発付勢するスプリング１５の一端を取り付け、このスプリング１５の他端を軸部８に設けた係合片、本例では座金１６に係止させて、これをユニット（以下、ニードルユニット２３という）として構成している。これにより、後述するが、Ｏリング９、ニードル７（軸部８）、筒体１３、Ｏリング１１、保持体１４、スプリング１５、座金１６、割りリング１６ａが一連の仮組み状態となり、この仮組み状態からの組立てを可能にしている。
【００２３】
更に、本実施形態で示すニードルバルブでは、組立時に調芯調整が容易、且つ、確実に行われる構造を採用している。弁本体１の環状の弁室４内に環状弁座６を遠心方向に適宜の間隙を有して装着し、前記ニードルユニット２３を弁室４と連通形成した軸装穴５から弁本体１に装入し、前記環状弁座６の上面に位置させた後、軸装穴５からブッシュ１７を装入して前記保持体１４の上面に位置させ、軸部８の押し下げ動作によって、前記ニードル７を介して環状弁座６を求遠心方向に調整して調芯がなされる。本例では前記ニードル７のテーパ面７ａの拡径部７ｃが、前記環状弁座６の傾斜面６ａ下方の縮径部６ｃの一部を押圧しながら調芯するように構成されている。環状弁座６の調芯が完了したら、ボルト等の取付部品を用いて、アクチュエータ２０の筐体２０ａを弁本体１に固定すれば、ブッシュ１７を介して軸装体である筒体１３と保持体１４が押圧され、環状弁座６も弁本体１に固定される。従って、本例ではアクチュエータ２０の設置が完了したとき、ニードル７の軸芯と環状弁座６の軸芯とが一致した状態となる。
【００２４】
図１に示すように、前記ニードル７の軸部８と前記電動モータ１８の出力軸１９とは別体であり、前記弁本体１の軸装穴５に挿通した出力軸１９の半球状を呈した先端１９ａが、ニードル７の軸部８の上端部８ａを押圧し、しかも、前記スプリング１５の弾発力で旧位に復帰する構造としている。即ち、本例では直動型電動モータ１８のバックラッシュの影響を受けることなく、ニードル７の昇降動が直ちに電動モータ１８の駆動に追随可能となり、正確な流路コントロールを実現させている。図中２４は、流入側に配設された流量計であり、本例ではネジ固定して一体的に設けている。この流量計２４により、弁本体１を通過する流体の現在流量（瞬間流量）が測定される。
【００２５】
次に、上記実施形態の作用を説明する。図３及び図４は、本発明におけるニードルバルブの作用説明図である。図２に示した状態は、最下降位置にあるニードル７のテーパ面７ａが環状弁座６の傾斜面６ａに近接した状態で、Ｏリング９が環状弁座６の傾斜面６ａに着座した全閉状態にある。同図に示されるように、Ｏリング９は、求心方向への縮径力を働かせた状態で、ニードル７に設けた外周溝１０の円弧面１０ｂに密着した状態にある。従って、この状態において、Ｏリング９の密封機能が効果的に発揮され、流体の完全遮断が実現されている。
【００２６】
次いで、直動型電動モータ１８（アクチュエータ２０）を駆動させると、前記電動モータ１８の出力軸１９が上昇し、同時に、該出力軸１９の先端１９ａで押圧されていたニードル７の軸部８が上昇する。このとき、スプリング１５の弾発力で旧位に復帰する構造を採用しているので、ニードル７の昇降動が直ちに電動モータ１８の駆動に追随し、電動モータ１８のバックラッシュの影響を受けることなく、正確な流路コントロールが行われる。ニードル７の上昇に伴って、ニードル７と環状弁座６との流路開口面積が順次拡がっていく。
【００２７】
図３に示した状態は、例えば、約１０％弁開した弁微開状態であり、ニードル７が環状弁座６から離脱した直後、狭い流路が形成されることから、流体の流速が高まり水圧が低下する。このとき、Ｏリング９が流体圧に影響されたとしても、前述したように、外周溝１０には、外周溝１０の一次側を拡げて空隙部１０ａを形成しており、且つ、この外周溝１０のＯリング当接面側を円弧面１０ｂに形成し、この円弧面１０ｂのアールをＯリング９の半径と略一致させているで、Ｏリング９の背面、即ち、Ｏリング９と円弧面１０ｂとの間への流体の浸入を阻止し、流体圧を空隙部１０ａからスムーズに逃がすことができ、Ｏリング９を外周溝１０から離脱させるような圧力は生じない。しかも、このＯリング９は、ニードル７のテーパ面７ａに装着された状態にあるので、Ｏリング９の求心方向への縮径力が効果的に働いて、Ｏリング９の飛び出し難い状態を実現している。
【００２８】
また、図２及び図３に示すように、環状弁座６の内周上端部６ｂとニードル７の拡径外周部７ｂとの隙間Ｌ１が、Ｏリング９の直径より小さく設定され、且つ、この隙間Ｌ１はニードル７の弁座着座時から離脱する所定リフト域まで、即ち、本例では弁微開状態の間確保されているので、この飛出し防止部位２２により、流体の流速が高まった弁微開状態にあっても、前記隙間Ｌ１からＯリング９が飛び出すことはない。
【００２９】
前記電動モータ１８を駆動させ、出力軸１９と共にニードル７を上昇させると、ニードル７と環状弁座６との流路開口面積が更に拡がり、図４に示すような、例えば、約２５％弁開した弁開状態となる。Ｏリング９は、弁微開状態から弁開状態に移行する間に、その求心方向への縮径力を働かせて、円弧面１０ｂとの密着状態が再現されている。このとき、この部位に流体が滞留することはなく、優れた装着状態が常に再現される。
【００３０】
一方、弁閉操作を行う場合も同様であり、弁開状態から図３に示すような弁微開状態に移行したとき、即ち、ニードル７が環状弁座６に着座する直前、狭い流路が形成されることから、流体の流速が高まり水圧が低下するが、前述したように、外周溝１０の一次側を拡げて設けた空隙部１０ａと、Ｏリング９の半径と略一致させたアールから成る円弧面１０ｂと、テーパ面７ａに装着されたＯリング９の求心方向への縮径力と、更に飛出し防止部位２２とが効果的に機能するので、Ｏリング９が押し出されて装着位置がズレたり、完全に外れてしまう等の現象は起こらない。このように、本発明によれば、所謂ブローアウト現象を確実に防止し、しかも、高精度な微少流量制御と完全遮断を実現している。
【００３１】
また、本実施形態で示したニードルバルブは、組立て容易性と、更には組立時に調芯調整が容易、且つ、確実に行われる構造を実現している。図５は、本発明におけるニードルバルブの一例を示した分離斜視図であり、同図に基づいて組立手順を説明すると、先ず、環状の弁室４と連通形成した軸装穴５からシールリング２１を装着した環状弁座６を弁本体１に装入して、これを弁室４の流入口２側に設けた段部１ｂに配置する。このとき、環状弁座６は、遠心方向に適宜の間隙を有した状態で環状の弁室４内に装着される。また、保持体１４と軸装穴５との間をシールするシールリング２５を配置する。
【００３２】
次いで、ニードル７に設けた外周溝１０にＯリング９を装着すると共に、このニードル７の軸部８に筒体１３を軸装後、Ｏリング１１を装入して保持体１４を軸装する。このとき、筒体１３に設けた突部１３ａと、保持体１４に設けた嵌合溝１４ａとの嵌合で形成された装着溝１２にＯリング１１が装着された状態となる。保持体１４の上部に弾発付勢するスプリング１５の一端を取付け、このスプリング１５の他端を軸部８に設けた座金１６に装着することで、同図において、下側からＯリング９、ニードル７（軸部８）、筒体１３、Ｏリング１１、保持体１４、スプリング１５、座金１６、割りリング１６ａが一連の仮組み状態となる。この仮組み状態にあるニードルユニット２３を、弁室４と連通形成した軸装穴５から弁本体１に装入し、前記環状弁座６の上面に位置させた後、軸装穴５から筒状のブッシュ１７を装入して前記保持体１４の上面に位置させる。
【００３３】
続いて、軸部８の押し下げ動作によって、前記ニードル７を介して環状弁座６を求遠心方向に調整して調芯がなされる。本例では前記ニードル７のテーパ面７ａの拡径部７ｃが、前記環状弁座６の傾斜面６ａ下方の縮径部６ｃの一部を押圧しながら調芯するように構成されている。環状弁座６の調芯が完了したら、ボルト等の取付部品を用いて、アクチュエータ２０の筐体２０ａを弁本体１に固定する。これにより、ブッシュ１７を介して軸装体である筒体１３と保持体１４が押圧され、環状弁座６も弁本体１に固定される。従って、本例ではアクチュエータ２０の設置が完了したとき、ニードル７の軸芯と環状弁座６の軸芯とが一致した状態となっている。
【００３４】
組立てが完了すれば、環状弁座６は弁室４内に強固に固定されるので、この調芯固定された状態は、アクチュエータ２０の筐体２０ａを取り外さない限り、確実に維持される。このように、ニードルバルブの組立時に環状弁座６の調芯を完了しているので、バルブ作動時の弁座・弁体の調芯に伴う摺動抵抗が抑制され、軸部８を細くしたり（本例では約φ３ｍｍ）、アクチュエータを出力の小さいものとすることができ、バルブ全体をコンパクトにし、バルブ内部に滞留する流体量を低減することもできる。
【００３５】
図６は、本発明におけるニードルバルブの他例を示した断面図である。なお、前述した実施形態と同一部材には同一符合を付して、その説明を省略する。図６において、図中２６は、バルブの状態を表示可能に設けたインジケータであり、このインジケータ２６は、アクチュエータ２０の上部にボルト固定、或はスナップ嵌合等によって着脱自在に設けてある。また、電動モータ１８を内蔵したアクチュエータ２０内には、図示しない各種の基板を配設することが可能である。図中２７は、流入口２を有した上流側管接続部である。この上流側管接続部２７は、例えば、９０度毎に周方向への回転が可能であり、図７に示されるように、実施に応じて、流入口２と流出口３との位置関係を適宜設定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明に係るニードルバルブによれば、半導体製造装置、液晶製造装置、化学食品プラントなど、あらゆる分野の流量調整を行う調整弁として適用することが可能であり、例えば、冷熱媒、純水や薬液配送、又はその他の分野において、特に、高精度な微少流量の制御を行う必要のある用途においても、高精度な微少流量制御と完全遮断を実現し、特に、コンパクトで、長期に亘って、安全に使用できる経済性にも優れたニードルバルブとして、提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明におけるニードルバルブの一例を示した断面図である。
【図２】図１における要部拡大断面図であって、本発明におけるニードルバルブの弁閉状態を示した作用説明図である。
【図３】本発明におけるニードルバルブの弁微開状態を示した作用説明図である。
【図４】本発明におけるニードルバルブの弁開状態を示した作用説明図である。
【図５】本発明におけるニードルバルブの一例を示した分離斜視図である。
【図６】本発明におけるニードルバルブの他例を示した断面図である。
【図７】図６におけるニードルバルブの上流側管接続部を１８０度回転させた状態を示した断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  弁本体
２  流入口
３  流出口
４  弁室
６  弁座
６ｂ  内周上端部
７  ニードル
７ａ  テーパ面
７ｂ  拡径外周部
８  軸部
８ａ  上端
９  Ｏリング
１０  外周溝
１０ａ  空隙部
１０ｂ  円弧面
１５  スプリング
１８  直動型電動モータ
１９  出力軸
２２  飛出し防止部位
Ｌ１  隙間
【図１】
2006153203.tif 000003
【図２】
2006153203.tif 000004
【図３】
2006153203.tif 000005
【図４】
2006153203.tif 000006
【図５】
2006153203.tif 000007
【図６】
2006153203.tif 000008
【図７】
2006153203.tif 000009