(57)【要約】 【課題】  カラーフィルタのブラックマトリクスにおける欠陥の修正部分が、ブラックマトリクスとして充分な遮光性を発揮し、修正部分が表示不良を起こすことが無い修正方法を提供する。【解決手段】  カラーフィルタの１ブラックマトリクス５に発生する欠陥部分にレーザ光を照射して、欠陥部分を含むブラックマトリクス５を除去することによって白抜け部７を形成する。次いで、その白抜け部７に青色と赤色との２色の修正用インク１２，１４を塗布することによってカラーフィルタ１のブラックマトリクス５を修正する。【選択図】      図４
2006350122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に着色層とブラックマトリクスとを有するカラーフィルタのブラックマトリクスに発生する欠陥部分を修正するカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法において、
ブラックマトリクスに発生する欠陥部分にレーザ光を照射し、欠陥部分を含むブラックマトリクスを除去することによって、ブラックマトリクスに白抜け部を形成する白抜け部形成工程と、
白抜け部に予め定める２色の修正用インクを塗布する塗布工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法。
【請求項２】
白抜け部形成工程では、
欠陥部分を含むブラックマトリクスと、さらに該ブラックマトリクス近傍の着色層とを除去して白抜け部を形成することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法。
【請求項３】
欠陥部分を含むブラックマトリクスが、
非表示領域を構成する額縁ブラックマトリクスであることを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法。
【請求項４】
白抜け部形成工程の前に、
ブラックマトリクスの欠陥部分を覆うように撥液性材料を塗布して硬化させる工程を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法。
【請求項５】
白抜け部形成工程の前に、
基板上に形成されたカラーフィルタの表面全体またはブラックマトリクスの欠陥部分を含む欠陥部分周辺を撥液処理する工程を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法。
【請求項６】
前記予め定める２色の修正用インクが、
青色の修正用インクと赤色の修正用インクとであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタのブラックマトリクス修正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話、液晶テレビジョン、パーソナルコンピュータ等の普及に伴い、これらの装置の表示部として用いられる液晶パネルディスプレイの需要が急速に伸びている。液晶パネルディスプレイには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の着色層と、それらを区切るブラックマトリクスと、主として周縁部を縁取りするように形成されて非表示領域を構成するいわゆる額縁ブラックマトリクスとを備えるカラーフィルタが設けられる。カラーフィルタは、液晶パネルディスプレイの構成部品として大きなウェイトを占め、一般的にフォトグラフィー法によって製造されている。
【０００３】
フォトグラフィー法は、感光性レジストに顔料を分散させ、それをたとえばガラス基板上に塗布し、露光し、現像する工程を４回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂおよび黒（ブラックマトリクス）の４色の着色パターンを形成する方法である。
【０００４】
このようなカラーフィルタの製造過程において、たとえばマスク不良、ベースとなる基板のキズ、泡、異物等の原因で発生する露光不良による白抜け欠陥、また異物の付着などによる異物欠陥が発生することがある。欠陥を残したままのカラーフィルタを、液晶パネルディスプレイの構成部品として組込んだ場合、表示不良を起こすという問題があり、特に遮光を目的とするブラックマトリクスに白抜け欠陥が存在すると、光を遮ることなく透過させて全く逆の表示になるので、著しい表示不良となる。したがって、カラーフィルタに発生した欠陥部を修正する修正方法が必要に応じて行われている。
【０００５】
カラーフィルタ、特にブラックマトリクスの欠陥を修正する方法に係る従来技術には、次のようなものがある。たとえば、欠陥部分にレーザ光を照射して除去し、欠陥部分に黒色の修正用着色剤を塗布する方法がある。しかしながら、この方法には、除去された部分から黒色の修正用着色剤がはみ出た場合、はみ出た部分では黒色の修正用着色剤によって遮光されるので、液晶パネルディスプレイの構成部品として組込んだ場合、修正部分が表示不良となる。また、黒色の修正用着色剤を別途準備しなければならないので、コストが余分にかかるとともに、装置の複雑化にもつながるという問題がある。
【０００６】
また、ブラックマトリクスの欠陥部分のみにとどまらず、さらに欠陥部分の近傍にある着色層をも除去し、除去された部分に、除去された着色層と同色の修正用着色剤を塗布する方法がある（特許文献１参照）。しかしながら、この方法では、ブラックマトリクスの本来黒色である部分を、黒色よりも遮光性に劣るＲ、Ｇ、Ｂのうちいずれかの色の修正用着色剤で修正することになるので、修正部分がブラックマトリクスとして充分な遮光性を確保できず、液晶パネルディスプレイとして組込んだ場合、修正部分が表示不良となる。
【０００７】
また特許文献１では、除去された着色層が２色の着色層であるとき、除去部分に除去された２色の着色層と同じ２色の修正用着色剤を、除去された部分を完全に覆うように、かつ、除去された２色が接合または重なるように塗布することを提案する。
【０００８】
しかしながら、この方法には、次のような問題がある。２色の修正用着色剤として、除去された部分の２色の着色層と同じ色が用いられるので、２つの色の組合せが、欠陥部分の周辺に存在する着色層の色によって定められる。したがって、２色の修正用着色剤の組合せによっては、充分な遮光性を確保できる場合もあり、また充分な遮光性を確保できない場合もある。すなわち、ブラックマトリクスとしての遮光性を発揮できるか否かは、除去部分における着色層の２色の組合せに依存することになるので、液晶パネルディスプレイに組込んだ場合、修正部分が表示不良になることも往々にして発生するという問題がある。
【０００９】
このような問題を解決する一つの方法として、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色のインクを重ねて付与することによってブラックマトリクスを形成する方法（たとえば、特許文献２参照）を、欠陥除去部分の修正に適用することが考えられる。Ｒ、Ｇ、Ｂ３色のインクを使用することによって、修正部分が確実に充分な遮光性を有するようにすることができる。しかしながら、常に３色のインクを使用するので、修正用材料コストが増加し、修正工程が複雑化し、ブラックマトリクスの欠陥修正技術として必ずしも好適なものではない。
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−３２２８４４号公報
【特許文献２】特開平１０−１９７８６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、カラーフィルタのブラックマトリクスにおける欠陥の修正部分が、ブラックマトリクスとして充分な遮光性を発揮し、液晶パネルディスプレイとして組込んだ場合、修正部分が表示不良を起こすことが無いカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、基板上に着色層とブラックマトリクスとを有するカラーフィルタのブラックマトリクスに発生する欠陥部分を修正するカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法において、
ブラックマトリクスに発生する欠陥部分にレーザ光を照射し、欠陥部分を含むブラックマトリクスを除去することによって、ブラックマトリクスに白抜け部を形成する白抜け部形成工程と、
白抜け部に予め定める２色の修正用インクを塗布する塗布工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタのブラックマトリクス修正方法である。
【００１３】
また本発明は、白抜け部形成工程では、欠陥部分を含むブラックマトリクスと、さらに該ブラックマトリクス近傍の着色層とを除去して白抜け部を形成することを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、欠陥部分を含むブラックマトリクスが、非表示領域を構成する額縁ブラックマトリクスであることを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、白抜け部形成工程の前に、
ブラックマトリクスの欠陥部分を覆うように撥液性材料を塗布して硬化させる工程を含むことを特徴とする。
【００１６】
また本発明は、白抜け部形成工程の前に、
基板上に形成されたカラーフィルタの表面全体またはブラックマトリクスの欠陥部分を含む欠陥部分周辺を撥液処理する工程を含むことを特徴とする。
【００１７】
また本発明は、前記予め定める２色の修正用インクが、青色の修正用インクと赤色の修正用インクとであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、カラーフィルタのブラックマトリクスに発生する欠陥部分にレーザ光を照射し、欠陥部分を含むブラックマトリクスを除去することによって、ブラックマトリクスに白抜け部を形成し、白抜け部に予め定める２色の修正用インクを塗布してカラーフィルタのブラックマトリクスを修正する。
【００１９】
このような修正方法では、黒色の修正用インクを用いることなく、予め定める２色の修正用インクを用いて塗布するので、１色のみを塗布する場合よりも濃い色に着色することができ、修正部分がブラックマトリクスとしての充分な遮光性を発揮し、液晶パネルディスプレイとして組込んだとき表示不良を起こすことがない。また、修正用インクを３色ではなく２色だけでブラックマトリクスの修正を可能にしたことによって、色毎の塗布ヘッド切替えの時間、切替え時の吐出確認時間を、３色用いる場合に比べて３分の２に短縮することができる。さらに、黒色の修正用インクを開発する必要がなくなるとともに、黒色の修正用インクのための塗布ヘッドを準備する必要が無い。なお、Ｒ、Ｇ、Ｂの各修正用インクおよび塗布ヘッドは、それぞれの着色層の修正用に必須のものとして備えられるので、別途準備することなくブラックマトリクスの修正用にそれらを流用することが可能である。
【００２０】
また本発明によれば、白抜け部形成工程では、欠陥部分を含むブラックマトリクスと、さらに該ブラックマトリクス近傍の着色層とを除去して白抜け部を形成するので、ブラックマトリクスに発生した欠陥部分を取り残すことなく確実に除去して修正することができる。
【００２１】
また本発明によれば、非表示領域を構成する額縁ブラックマトリクスに発生する欠陥部分も修正することができる。
【００２２】
また本発明によれば、白抜け部形成工程の前に、ブラックマトリクスの欠陥部分を覆うように撥液性材料を塗布して硬化させる工程が行われる。このことによって、レーザ光を照射して白抜け部を形成したとき、白抜け部の周辺が修正用インクに対する撥液性を有することになる。したがって、塗布工程において、修正用インクが白抜け部に塗布されるとき、修正用インクが白抜け部からはみ出て隣接の着色層を汚すことがなく、修正歩留を向上することができる。
【００２３】
また本発明によれば、白抜け部形成工程の前に、基板上に形成されたカラーフィルタの表面全体またはブラックマトリクスの欠陥部分を含む欠陥部分周辺を撥液処理する工程が行われる。このことによって、レーザ光を照射して白抜け部を形成したとき、白抜け部の周辺が修正用インクに対する撥液性を有することになる。したがって、塗布工程において、修正用インクが白抜け部に塗布されるとき、修正用インクが白抜け部からはみ出て隣接の着色層を汚すことがなく、修正歩留を向上することができる。
【００２４】
また本発明によれば、予め定める２色の修正用インクが、青色の修正用インクと赤色の修正用インクとである。修正用インクとして青色と赤色とを選択して用いることによって、青色インクと赤色インクとによる修正部分は、本来のブラックマトリクスの黒色には及ばないものの、液晶パネルディスプレイに用いるのに充分な遮光性を発揮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は、ブラックマトリクスに欠陥部分を有するカラーフィルタを示す上面図である。カラーフィルタ１は、たとえばガラスの基板上に形成される赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の着色層２，３，４と、それらを区切るように形成されるブラックマトリクス５と、主として周縁部を縁取りするように形成されて非表示領域を構成する不図示のいわゆる額縁ブラックマトリクスとを備える。このカラーフィルタ１のブラックマトリクス５には、前述したように、マスク不良、基板のキズ、泡、異物等の原因で発生する露光不良による白抜け欠陥、また異物の付着などによる異物欠陥などの欠陥部分６が発生することがある。
【００２６】
本発明は、カラーフィルタ１のブラックマトリクス５に発生する欠陥部分６の修正に用いられる方法である。カラーフィルタのブラックマトリクス修正方法（以後、本発明修正方法と呼ぶ）は、ブラックマトリクス５に発生する欠陥部分６にレーザ光を照射し、欠陥部分６を含むブラックマトリクス５を除去することによって、ブラックマトリクス５に白抜け部を形成する白抜け部形成工程と、白抜け部に予め定める２色の修正用インクを塗布する塗布工程とを含む。
【００２７】
図２〜図６は、本発明修正方法の第１の実施態様の概要を説明する図である。以下、図２〜図６を参照して本発明修正方法の第１の実施態様について説明する。
【００２８】
図２はカラーフィルタ１のブラックマトリクス５に白抜け部７が形成された状態を示す上面図であり、図３は図２の切断面線ＩＩＩ−ＩＩＩから見た図である。
【００２９】
本発明修正方法の白抜け部形成工程は、ブラックマトリクス５に発生した欠陥部分６にレーザ光を照射し、欠陥部分６を含むブラックマトリクス５を除去し、白抜け部７を形成する。このようにして形成される白抜け部７の平面寸法は、たとえば２０μｍ×１００μｍの長方形である。
【００３０】
ブラックマトリクス５に照射するレーザ光の発振装置としては、固体レーザであるＹＡＧレーザ、気体レーザであるエキシマレーザなどを用いることができる。上記に例示する白抜け部７の平面寸法、すなわちレーザ光の照射領域は、たとえば次のようにして定めることができる。画像解析装置を準備し、画像解析装置でブラックマトリクス５の欠陥部分６を撮像して画像解析し、該画像解析結果をレーザ発振装置を動作制御する制御装置に対して出力し、制御装置が画像解析結果に応じてレーザ光の照射領域を定めるようにすることができる。
【００３１】
なお、上記の白抜け部形成工程を行う前に、以下のいずれかの工程が実行されてもよい。一つの工程は、たとえばインクジェット装置などを用いて、欠陥部分６およびその周辺を覆うようにして撥液性材料を塗布し、塗布後ハロゲンランプ等を照射し硬化させるものである。透明の撥液性材料としては、たとえば、パーフルオロアルキル基を含有するフッ素系表面改質剤を原料とするフッ素系撥水撥油防汚加工剤、アクリル系樹脂とシランカップリング剤とを含む有機溶剤を主成分とする熱硬化型材料などが挙げられる。
【００３２】
また、もう一つの工程は、基板８上に形成されたカラーフィルタ１の表面全体または欠陥部分６を含む欠陥部分周辺を撥液処理するものである。撥液処理としては、たとえば、プラズマ表面処理装置によって、反応ガスに四フッ化炭素を用いて処理する方法が挙げられる。
【００３３】
白抜け部７を形成する前に、上記いずれかの撥液処理を行うことによって、レーザ光を照射して白抜け部７を形成したとき、白抜け部７の周辺が修正用インクに対する撥液性を有することになるので、後述の塗布工程において、修正用インクが白抜け部７に塗布されるとき、修正用インクが白抜け部７からはみ出て隣接の着色層を汚すことがなくなり、修正歩留を向上することができる。
【００３４】
図４は、本発明修正方法における塗布工程の概要を説明する断面図である。本発明修正方法における塗布工程は、白抜け部７に予め定められる２色の修正用インクを塗布し、白抜け部７を修正用インクに含まれる着色成分で充填することによって行われる。本実施の態様では、予め定められる２色の修正用インクとして、青色の修正用インクと赤色の修正用インクとが選択して用いられる。青色と赤色との２色が選択される理由については後述する。
【００３５】
また本実施態様では、修正用インクは、インクジェット装置によって、白抜け部７に塗布される。カラーフィルタ１には、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれの着色層２，３，４が形成され、各着色層２，３，４にも欠陥が発生することがあるので、インクジェット装置には、各着色層２，３，４を修正するために、赤色（Ｒ）着色層修正用インク用のインクジェットヘッド（以後、Ｒヘッドと呼ぶ）、緑色（Ｇ）着色層修正用インク用のインクジェットヘッド、青色（Ｂ）着色層修正用インク用のインクジェットヘッド（以後、Ｂヘッドと呼ぶ）の３つが備えられる。
【００３６】
本実施態様では、塗布工程において、インクジェット装置に備わるＢヘッドとＲヘッドとを用いて、青色修正用インクと赤色修正用インクとを白抜き部７に塗布することによって、カラーフィルタ１のブラックマトリクス５が持つ遮光性に近い遮光性を発揮させる。
【００３７】
図４（ａ）は、青色修正用インクを塗布する状態を示す図である。塗布工程では、まずＢヘッド１１を白抜け部７の直上に移動させて、青色修正用インク１２を白抜け部７に向けて吐出させることによって塗布する。青色修正用インク１２の塗布量は、白抜け部７に塗布された青色修正用インク１２が乾燥した後、白抜け部７に残る青色着色成分１２ａが白抜け部７を完全に充填するための体積の約１／２となるように調整される。
【００３８】
図４（ｂ）は、赤色修正用インクを塗布する状態を示す図である。青色修正用インク１２を塗布した後、Ｂヘッド１１に代えてＲヘッド１３を白抜け部７の直上に移動させて、青色着色成分１２ａが約１／２の体積まで充填された白抜け部７に向けて、赤色の修正用インク１４を吐出させて塗布する。このとき、赤色修正用インク１４の塗布量は、白抜け部７に塗布された赤色修正用インク１４が乾燥した後、白抜け部７に残る赤色着色成分１４ａが白抜け部７を完全に充填するための体積の約１／２となるように、すなわち先に塗布された青色着色成分１２ａと合わせて、白抜け部７を完全に充填することができるように調整される。
【００３９】
図５はカラーフィルタ１のブラックマトリクス５に修正部分１５が形成された状態を示す上面図であり、図６は図５の切断面線ＶＩ−ＶＩから見た図である。青色修正インク１２および赤色修正インク１４が塗布されて塗布工程が実行されると、白抜け部７が青色着色成分１２ａと赤色着色成分１４ａとによって完全に充填され、ブラックマトリクス５の修正部分１５となる。
【００４０】
以下、予め定める修正用インクとして、青色と赤色との２色を選択した理由について説明する。表１は、本実施態様でブラックマトリクス５およびＲ、Ｇ、Ｂの各色修正用インクに使用した顔料および結着樹脂の種類と配合とを示す。なお、緑色（Ｇ）修正用インクは、ブラックマトリクス５の修正には用いていないけれども、Ｇ着色層３の修正に用いるものである。なお、各色修正用インクには、インクジェット装置のヘッドから吐出することができるように、溶媒が用いられているけれども、塗布乾燥後の着色成分では溶媒が失われているので表１では溶媒の配合量を省いた。
【００４１】
【表１】
2006350122.tif 000003
【００４２】
表１に示す各色の修正用インクを用いて、２色ずつの各組合せ、すなわち、緑色と赤色、青色と緑色、赤色と青色の各組合せにて、透明ガラス基板上に修正用インクを吐出して着色成分の積層体を形成した。積層体は、各色の着色成分の層厚さが１．６μｍ、２色の着色成分の合計厚さが３．２μｍである。各２色組の積層体とブラックマトリクス（厚さ；１．６μｍ）とについて、それぞれ光の透過率を測定した。透過率の測定に際しては、瞬間マルチ測光システムＭＣＰＤ−３０００（大塚電子製）を用いた。
【００４３】
透過率の測定結果を表２に示す。ブラックマトリクスは、透過率が０．１〜１．０％、逆に遮光率が９９．０％以上である。各色の修正用インクの組合せについて見ると、赤色と青色との組合せが、最も透過率が低く２．１％である。次いで、青色と緑色との組合せにおける透過率が８．７％であり、緑色と赤色との組合せが最も透過率が高く１０．６％である。赤色修正用インクと青色修正用インクとの組合せが、最も透過率が低く遮光性能がブラックマトリクスに近いので、ブラックマトリクスの修正に用いる２色のインクとして、前記組合せとした。
【００４４】
【表２】
2006350122.tif 000004
【００４５】
しかしながら、欠陥を除去した白抜け部７は、その寸法例が前述のように１ｍｍ以下の微小なものであるので、液晶パネルディスプレイに組込んで使用する場合、白抜け部７を修正した修正部分１５の透過率が１０％程度を有していても表示不良となることはない。また、各色の修正用インクを２色組合せた場合の透過率は、修正用インクの材料として用いられる顔料および結着樹脂の種類と配合比とによって変化するので、積層体の透過率の絶対値およびその大小関係は、表２に示すものに限られるものではない。したがって、ブラックマトリクス５の修正に用いる２色修正用インクの組合せは、青色と赤色との組合せに限定されるものではなく、他の組合せが用いられてもよい。
【００４６】
図７は、本発明修正方法の第２の実施態様の概要を説明する図である。本実施態様は、異物２１が、ブラックマトリクス５の上だけでなく、ブラックマトリクス５に隣接する着色層（図７（ａ）に示す本実施態様においてはＲ着色層２およびＧ着色層３）の上にもまたがっている場合の修正方法である。
【００４７】
本実施態様における白抜け部形成工程では、レーザ光照射によって、欠陥である異物２１が付着している部分のブラックマトリクス５と、異物２１が付着している部分の近傍にあるＲ着色層２とＧ着色層３とを共に除去することを特徴とする。したがって、レーザ光照射によって形成される白抜け部２２は、図７（ｂ）に示すように、異物２１が存在した部分のブラックマトリクス５と、該ブラックマトリクス５に隣接するＲ着色層２の一部とＧ着色層３の一部とを含む。
【００４８】
塗布工程では、ブラックマトリクス５とＲおよびＧ着色層２，３とが除去されて形成される白抜け部２２に青色修正用インクと赤色修正用インクとが塗布される。このことによって、ＲおよびＧ着色層２，３が除去されて形成された白抜け部分にも、２色の修正用インクが塗布されるので、ＲおよびＧ着色層２，３の修正部分は、着色層であるにも関らずブラックマトリクスの持つ遮光性に近い遮光性を有することになる。
【００４９】
しかしながら、異物付着等によって修正対象となる欠陥は、たとえば１ｍｍ以下の微小な寸法であるので、着色層が２色の修正用インクで修正されたカラーフィルタ１を液晶パネルディスプレイに組込んで使用したとしても、修正部が表示不良となることはないので問題とならない。
【００５０】
以上に述べたように、本発明修正方法は、本実施態様では液晶パネルディスプレイとしての表示領域に当たるカラーフィルタのブラックマトリクスを対象として適用されるけれども、これに限定されることなく、配線引き出し領域などにあたる額縁ブラックマトリクスを対象として適用されてもよい。なお、額縁ブラックマトリクスの修正方法は、表示領域のブラックマトリクス修正方法と同様なので説明を省略する。また、修正用インクを白抜け部に塗布するための手段として、インクジェット法が用いられるけれども、これに限定されることなく、たとえばディスペンサ方式、ニードル方式等が用いられても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】ブラックマトリクスに欠陥部分を有するカラーフィルタを示す上面図である。
【図２】カラーフィルタ１のブラックマトリクス５に白抜き部７が形成された状態を示す上面図である。
【図３】図２の切断面線ＩＩＩ−ＩＩＩから見た図である。
【図４】本発明修正方法における塗布工程の概要を説明する断面図である。
【図５】カラーフィルタ１のブラックマトリクス５に修正部分１５が形成された状態を示す上面図である。
【図６】図５の切断面線ＶＩ−ＶＩから見た図である。
【図７】本発明修正方法の第２の実施態様の概要を説明する図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  カラーフィルタ
２  赤色着色層
３  緑色着色層
４  青色着色層
５  ブラックマトリクス
６  欠陥部分
７，２２  白抜け部
８  基板
１１  Ｂ着色層修正用インク用ヘッド
１２  青色修正用インク
１３  Ｒ着色層修正用インク用ヘッド
１４  赤色修正用インク
１５  修正部分
２１  異物
【図１】
2006350122.tif 000005
【図２】
2006350122.tif 000006
【図３】
2006350122.tif 000007
【図４】
2006350122.tif 000008
【図５】
2006350122.tif 000009
【図６】
2006350122.tif 000010
【図７】
2006350122.tif 000011