(57)【要約】      （修正有）【課題】電極におけるシリサイド層と金属層（ＮiとＰとの共析層）との間の剥がれを防止する半導体素子の電極の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の半導体素子の電極形成方法は、半導体基板１のいずれか一方又は両方の面上に、所定の金属２をメッキする第１のメッキ工程と、加熱処理を行い、半導体と前記金属とを合金化させてシリサイド層３を形成するシリサイド形成工程と、該シリサイド層表面に生成された未反応の金属を含む析出層４，５を、酸を含む第１の溶液にてエッチングする第１のエッチング工程と、前記シリサイド層上面の酸化膜９を、弗酸を含む第２の溶液にてエッチングする第２のエッチング工程と、前記シリサイド層上面に所定の金属をメッキし、金属層６を形成する第２のメッキ工程とを含んでいる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板のいずれか一方又は両方の面上に、所定の金属をメッキする第１のメッキ工程と、
加熱処理を行い、半導体と前記金属とを合金化させてシリサイド層を形成するシリサイド形成工程と、
該シリサイド層表面に生成された未反応の金属を含む析出層を、酸を含む第１の溶液にてエッチングする第１のエッチング工程と、
前記シリサイド層上面の酸化膜を、弗酸を含む第２の溶液にてエッチングする第２のエッチング工程と、
前記シリサイド層上面に所定の金属をメッキし、金属層を形成する第２のメッキ工程と
を含むことを特徴とする半導体素子の電極形成方法。
【請求項２】
前記第２の溶液が希弗酸であることを特徴とする請求項１記載の半導体素子の電極形成方法。
【請求項３】
前記金属層の上面に、はんだ層を形成するはんだ層形成過工程とを有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体素子の電極形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板表面素子の電極、特にはんだ接合用電極の形成を行う半導体素子の電極形成方法である。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置には、半導体（シリコン，ゲルマニウム，ＳiＣ，セレン等）基板表面に形成された素子を外部と接続するための電極、特に、はんだボール等を介して直接基板に半導体装置を接合させるはんだ接合用電極が設けられている。
半導体装置における素子（拡散層やゲートに対する電極）に対して、形成する電極を低抵抗のオーミック接続とするため、電極を形成する面のほぼ全域にＮi（ニッケル）等の金属を一面にメッキし、所定の温度に加熱し、合金化させてシリサイドを形成している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記ニッケルをメッキさせる手法としては、電解メッキ法があり、たとえばはんだボールを介して直接基板に半導体装置を接合させるはんだ接合用電極の形成に用いられている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−２４３６５４号公報
【特許文献２】特開２０００−３４９１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような従来の電極形成方法にあっては、表面に形成される素子の電極が剥がれてしまうという問題がある。
すなわち、電極の製造方法としては、図２に示すように、半導体基板１、例えばシリコン基板のいずれか一方の面にメッキ処理を行い（図２（ａ））、図２（ｂ）に示すように所定の厚さの金属層２、例えばＮiの層を堆積させる。
このとき、Ｎiメッキの工程が無電解メッキであると、還元剤に燐が含まれているため、Ｎi及びＰ（燐）の共析した金属層２として形成される。
【０００５】
オーミックな接続を形成するため、加熱することにより、Ｎiとシリコンとを合金化させ、Ｎiシリサイドの層であるシリサイド層３を形成する。
次に、Ｎiシリサイドのシリサイド層３を形成した後、図２（ｃ）のように、このシリサイド層３の表面に、シリコンと合金化されなかったＮi及びＰのＮi・Ｐ高濃度層５が形成される。
また、上記Ｎi・Ｐ高濃度層５とシリサイド層３との間に、極く薄い界面酸化膜層４が生成される。
そして、上記界面酸化層４とＮi・Ｐ高濃度層５とを、７０℃程度に加熱した硝酸により、図２（ｄ）のように除去し、その後、新たにＮiメッキを行い、図２（ｅ）に示すように、金属層６をシリサイド層３の上面に形成する。
【０００６】
そして、はんだ層７を上記金属層６の上面に形成する。このとき、はんだのＳnと、Ｎiとが反応して、ＳnＮi層８が形成される。
ところが、上述した上記Ｎi・Ｐ高濃度層５を除去する工程で、硝酸によりＮi・Ｐ高濃度層５と界面酸化膜４の除去はできるものの、露出したシリサイド層３とこの酸との反応で新たな酸化膜が生成されるので、結局のところ酸化膜を完全に除去することができない。
これにより、従来の製造方法においては、シリサイド層３と金属層６との間の密着性が、新たな酸化膜層９の存在のため悪くなり、シリサイド層３と金属層６との剥がれが容易に生じることとなる。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、電極におけるシリサイド層と金属層（ＮiとＰとの共析層）との間の剥がれを防止する半導体素子の電極形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の半導体素子の電極形成方法は、半導体基板のいずれか一方又は両方の面上に、所定の金属をメッキする第１のメッキ工程と、加熱処理を行い、半導体と前記金属とを合金化させてシリサイド層を形成するシリサイド形成工程と、該シリサイド層表面に生成された未反応の金属を含む析出層を、酸を含む第１の溶液にてエッチングする第１のエッチング工程と、前記シリサイド層上面の酸化膜を、弗酸を含む第２の溶液にてエッチングする第２のエッチング工程と、前記シリサイド層上面に所定の金属をメッキし、金属層を形成する第２のメッキ工程とを含むことを特徴とする。
【０００９】
本発明の半導体素子の電極形成方法は、前記第２の溶液が希弗酸であることを特徴とする。
【００１０】
本発明の半導体素子の電極形成方法は、前記金属層の上面に、はんだ層を形成するはんだ層形成過程と有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したように、本発明によれば、第２のメッキ工程を行う前に、シリサイド層表面の酸化膜層（余分な酸化膜）を、希弗酸によるエッチングで除去するため、シリサイド層と第２メッキ工程で形成される金属層との密着性（あるいは付着性）を向上させることが可能となり、シリサイド層と金属層との剥がれを防止することができる。
これにより、本発明によれば、上述した製造方法にて電極を形成することにより、はんだボールを介して半導体素子を基板に接合する際など、半導体素子の電極が剥がれ難くなることで、半導体素子の信頼性を向上させることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態による半導体装置における半導体素子の電極の製造方法を図面を参照して説明する。
図１は同実施形態による半導体素子の電極（たとえば、はんだボール等を介して直接基板に半導体装置を接合させるはんだ接合用電極）の製造方法の流れを説明する、各工程終了後における半導体装置の断面を示す概念図である。
この図において、図１（ａ）において、半導体基板１を例えばシリコン基板とすると、この半導体基板１の電極を形成する面の洗浄（例えば、ＲＣＡ洗浄など）を行い、第１のメッキ工程として、清浄化した半導体基板１の上面（いずれか一方の面）に金属をメッキ、例えば、ニッケル（Ｎi）を無電解メッキ法によりメッキする。
【００１３】
上記半導体としては、シリコン、ゲルマニウム、ＳiＣ（炭化珪素）、セレン等をもちいることができる。
また、上記金属としては、ＮiだけでなくＣｒ（クロム）等を用いることができる。
【００１４】
図１（ｂ）に示すように、所定の厚さ（例えば、５００ｎｍ程度）の金属層２が形成されるが、金属をＮiとした場合、この金属層２は、Ｎiと、メッキ処理に用いる還元剤に含まれるＰ（燐）との混晶となっている。
次に、オーミックな接続を形成するため、加熱することにより、Ｎiとシリコンとを合金化させ、Ｎiシリサイドであるシリサイド層３を形成する。
すなわち、所定の温度（４７０℃〜８４０℃）にて加熱して、焼鈍処理（アニーリング）を行い、金属とシリコンとを合金化して、図１（ｃ）に示すようにシリサイド層（Ｎiシリサイド層）３を、約５００〜６００ｎｍの厚さで形成する。
【００１５】
このシリサイド層３を形成する焼鈍処理のとき、合金層であるシリサイド層３の上面に、副次的に、界面酸化膜層４とＮi・Ｐ高濃度層５とが形成される。
上述した温度においては、Ｐはシリコン内に拡散されることはなく、シリサイド層３の外部に析出されることになる。
この界面酸化膜層４とＮi・Ｐ高濃度層５とは、組成がいずれも酸素，シリコン，燐及び未反応のニッケルを含んでいる。
しかしながら、界面酸化膜層４が酸素，シリコンを他に比較して多く含み、一方、Ｎi・Ｐ高濃度層５が燐，ニッケル（未反応）を他に比して多く含んでいるため、このように名称を定義することとした。
【００１６】
次に、第１の洗浄として、酸を含む第１の溶液、例えば硝酸を７０℃程度に加熱したものをエッチング液として用い、Ｎi・Ｐ高濃度層５の除去を行う。
このとき、従来例に説明で述べたように、硝酸によりシリサイド層３上面の界面酸化膜４も除去できるが、酸によるシリサイド層３の酸化が進むため、新たに生成した酸化膜９が残った状態となる。
そして、第２の洗浄として、弗酸を含む第２の溶液、例えばＢＨＦ（バファード弗酸、ＮＨ4：ＨＦ＝１０：１）またはＤＨＦ（Dilute Hydrofuoric acid；希弗酸または希フッ酸）のいずれか、界面酸化膜層４の十分なエッチングとして、好ましくはＤＨＦを用い、図１（ｄ）のように界面酸化膜層４の除去を行う。
ここで、ＤＨＦは、水と弗酸との割合を、例えば、体積比において１０〜１００対１とし、非常に薄い弗酸の溶液を生成する。
【００１７】
次に、第２のメッキ工程として、第２の洗浄により酸化膜が除去されたシリサイド層３上面に、金属をメッキ、例えば、ニッケル（Ｎi）を無電解メッキ法によりメッキする。
このメッキ処理により、図１（ｅ）に示すように、所定の厚さ（例えば、６００ｎｍ程度）の金属層６が形成されるが、金属をＮiとした場合、この金属層６は、金属層２と同様に、Ｎiと、メッキ処理に用いる還元剤に含まれるＰ（燐）との混晶となっている。
この第２のメッキ処理により、金属層６を形成する理由としては、シリサイド層３上面に、はんだ層を直接形成すると、シリサイドとはんだとの接合面における特性において、シリサイド面に対するはんだの密着性が悪いため、密着性を確保するための層として形成する。
【００１８】
そして、金属層６上面をはんだ槽に浸け、金属層６上面にはんだ層７を、はんだ槽のはんだの表面張力により、所定の厚さに形成する。
このとき、はんだの溶融している温度が３５０℃〜４００℃なので、図１（ｆ）に示すように、はんだ層７と金属層６との面が接触した際、はんだのスズ（Ｓn）と金属層６のニッケル（Ｎi）とが反応して、合金化された層、すなわち界面金属（Ｓn・Ｎi）層８が形成される。
なお、清浄化した半導体基板１の両面にＮiをメッキする場合には、第１の洗浄、第２の洗浄、第２のメッキ工程を両面に対して行う。
【００１９】
上述した製造方法において形成した電極に対し、密着性を評価するため、半導体装置（チップ）の両面にリード線をはんだ付けして、両側から、上記電極が破壊されるまで引っ張る引っ張り試験を行う。
この試験結果を観察すると、従来の製造方法におけるように、シリサイド層３と金属層６との界面で破壊されず、半導体基板１のシリコンの面が見える、ずなわちシリサイド層３と半導体基板１との界面が破壊されているのが確認された。
したがって、上述した本発明の製造方法により、シリサイド層３と金属層６との間の密着性が向上（すなわち、密着の強度が向上）したことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態による半導体素子の電極の製造方法を説明する、各工程後の半導体装置の断面を示す概念図である。
【図２】従来例による半導体素子の電極の製造方法を説明する、各工程後の半導体装置の断面を示す概念図である。
【符号の説明】
【００２１】
１…半導体基板
２，６…金属層
３…シリサイド層
４…界面酸化膜層
５…Ｎi・Ｐ高濃度層（析出層）
７…はんだ層
８…界面金属層
９…新たな酸化膜層
【図１】
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【図２】
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