(57)【要約】【課題】  複数枚のウエハ等の平板状部材を、一枚毎に最小限のスペースで保管することができ、よって当該平板状部材の搬入出も容易となる枚葉式ストッカーを提供する。【解決手段】  平板状部材３の搬入口１１と搬出口１２とが設けられたケーシング１０内に、平板状部材３の移送方向の両側の上下部にそれぞれ配設された回転部材１５ａ、１５ｂと、これら回転部材間に架け渡された無端部材１７ａ、１７ｂと、両側の無端部材間の複数箇所において、移送方向を横切るように水平に架設された複数の支持部材１８ａ、１８ｂとからなる少なくとも２組の支持装置１３ａ、１３ｂを、互いの移送方向に隣接する支持部材１８ａ、１８ｂによって平板状部材３の移送方向両端部を支持するように間隔をおいて設置し、これら支持装置の回転部材１５ａ、１５ｂを逆方向に同期回転させる駆動手段を設けることにより、支持部材１８ａ、１８ｂによって支持した平板状部材３を昇降させるようにした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状部材の搬入口と搬出口とが設けられたケーシング内に、上記平板状部材の移送方向の両側の上下部にそれぞれ配設された回転部材と、これら回転部材間に架け渡された無端部材と、両側の上記無端部材間の複数箇所において、上記移送方向を横切るように水平に架設された複数の支持部材とからなる少なくとも２組の支持装置を、互いの上記移送方向に隣接する上記支持部材によって上記平板状部材の移送方向両端部を支持するように間隔をおいて設置し、これら支持装置の上記回転部材を逆方向に同期回転させる駆動手段を設けることにより、上記支持部材によって支持した上記平板状部材を昇降させるようにしたことを特徴とする枚葉式ストッカー。
【請求項２】
上記ケーシングの下部には、上記搬入口から搬出口に向けて上記平板状部材の両側部を支持しつつ搬送するローラと、上記平板状部材の裏面側に上記ローラと並列的に配設され、噴出する気体によって上記平板状部材を浮上させる浮上ユニットとを備えた平板状部材の搬送装置が設けられ、上記支持装置の上記無端部材および支持部材が上記ローラ間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の枚葉式ストッカー。
【請求項３】
上記ケーシング内には、上記搬送装置と上記隣接する支持部材とを内包する第２のケーシングが設けられ、当該第２のケーシングには、内部を分子状汚染物質が１０ｐｐｂ以下に除去された大気圧露点−１００℃以下のクリーンドライエアによって充満させる第１のクリーンドライエアの供給管と、上記浮上ユニットに、上記平板状部材の浮上用気体として上記クリーンドライエアを供給する第２のクリーンドライエアの供給管とが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の枚葉式ストッカー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の平板状部材を、一枚ずつ一時保管するための枚葉式ストッカーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体用ウエハやＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、ＥＬ（電界発光ディスプレイ）等の平板ディスプレイ用ガラス基板の製造工場等においては、上記半導体用ウエハやガラス基板等（以下、ウエハ等と称す。）を一の製造工程から他の製造工程へと搬送する過程で、時間調整等のためにこれらを一時保管しておくクリーンストッカーが設けられている。
【０００３】
従来のこの種のクリーンストッカーは、搬入口および搬出口が設けられ、内部がクリーンエア（清浄空気）によって充満された建屋の内部の両側に、ウエハ等を収納したカセットを格納する複数段の棚が配設され、これら棚間の中央部分に、棚に対するカセットの出し入れを行うスタッカークレーンが、棚と上記搬入口および搬出口との間に走行自在に設けられるとともに、各棚の後面側に、清浄化した空気を建屋内に流動させるファンフィルターユニットが設けられたものである。
【０００４】
ところで、上記クリーンストッカーにウエハ等を保管する場合には、図４に示すような、内部がカセットピン２によって上下方向に複数段に区切られたカセット１を用いたバッチ方式の搬送・保管形態が採用されている。
そして、ウエハ等３を上記クリーンストッカーに保管する際には、先ずその前工程において、装置から搬出された複数枚の上記ウエハ等３を、カセット１のカセットピン２間に格納して上記クリーンストッカーに搬入するとともに、当該クリーンストッカーから搬出した際には、再びこれらウエハ等３をカセット１から取り出して後工程の装置等に搬送するようになっている。
【特許文献１】特開２００３−２４９５３８公報
【特許文献２】特開平８−３４００４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなカセット１を用いたバッチ方式の搬送・保管形態にあっては、複数枚のウエハ等３を一のカセット１内に格納して一括搬送しているため、搬送中の振動によりカセットピン２とウエハ等３が図中Ａ部において接触・摺動し、ウエハ等３に静電気が帯電するという欠点がある。
【０００６】
また、クリーンストッカーに保管するたびに、カセット１に対するウエハ等３の収納・取り出しを行う必要があり、工程や装置が複雑化するという問題点もある。
このため、近年、これらウエハ等の搬送においては、上記従来のカセット１を用いたバッチ方式から、一枚ずつのウエハ等を搬送する、いわゆる枚葉搬送方式に移行する要請が高まっている。
【０００７】
しかしながら、上記従来のクリーンストッカーのように、スタッカークレーンを用いた保管形態によっては、搬送頻度がカセット１を用いた場合と比較して、数十倍にもなるためにコストが嵩むとともに、膨大な面積および容積を要するという問題点がある。
【０００８】
この発明は、かかる事情に鑑みなされたもので、複数枚のウエハ等の平板状部材を、一枚毎に最小限のスペースで保管することができ、よって当該平板状部材の搬入出も容易となる枚葉式ストッカーを提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、平板状部材の搬入口と搬出口とが設けられたケーシング内に、上記平板状部材の移送方向の両側の上下部にそれぞれ配設された回転部材と、これら回転部材間に架け渡された無端部材と、両側の上記無端部材間の複数箇所において、上記移送方向を横切るように水平に架設された複数の支持部材とからなる少なくとも２組の支持装置を、互いの上記移送方向に隣接する上記支持部材によって上記平板状部材の移送方向両端部を支持するように間隔をおいて設置し、これら支持装置の上記回転部材を逆方向に同期回転させる駆動手段を設けることにより、上記支持部材によって支持した上記平板状部材を昇降させるようにしたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のケーシングの下部には、上記搬入口から搬出口に向けて上記平板状部材の両側部を支持しつつ搬送するローラと、上記平板状部材の裏面側に上記ローラと並列的に配設され、噴出する気体によって上記平板状部材を浮上させる浮上ユニットとを備えた平板状部材の搬送装置が設けられ、上記支持装置の上記無端部材および支持部材が上記ローラ間に配置されていることを特徴とするものである。
【００１１】
さらに、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のケーシング内には、上記搬送装置と上記隣接する支持部材とを内包する第２のケーシングが設けられ、当該第２のケーシングには、内部を分子状汚染物質が１０ｐｐｂ以下に除去された大気圧露点−１００℃以下のクリーンドライエア（以下、超低露点空気と称す。）によって充満させる第１のクリーンドライエアの供給管と、上記浮上ユニットに、上記平板状部材の浮上用気体として上記クリーンドライエアを供給する第２のクリーンドライエアの供給管とが設けられていることを特徴とするものである。
【００１２】
なお、上記平板状部材が、極度に分子状汚染物質を嫌うものである場合には、上記超低露点空気として、５ｐｐｂ以下の分子状汚染物質が除去されたものを用いることが一層好ましい。
【００１３】
ここで、上記超低露点空気は、例えばシリカゲル等の高い吸水性を有する円板状部材を複数段に設け、これら円板状部材を回転させつつ、外気をブロアーから上記複数段の円板状部材の一区画に通過させて、順次その露点を下げるとともに、水分を吸収した上記円板状部材を上記回転方向の他の区画において、ヒータ等により乾燥する周知の超低露点空気の供給装置によって得ることができる。
【００１４】
なお、上記超低露点空気の供給装置によれば、複数段に配されたシリカゲル等の円板状部材を通過する際に、空気中に含まれる有機物等の汚染物質も捕集・除去されるが、さらに最終段に所定のＵＬＰＡフィルタを設置することにより、分子状汚染物質が１０ｐｐｂ以下に除去された清浄な上記超低露点空気を得ることができる。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１〜３のいずれかに記載の発明によれば、先ずケーシングの搬入口から内部に導入された平板状部材を、上記支持装置の支持部材間を通して、その搬送方向の両端部を、２組の支持装置の移送方向に隣接する支持部材の上方に位置させて停止させる。次いで、上記駆動手段によって、互いの回転部材を逆方向に同期回転させることにより、互いの上記支持部材を上昇させる。
【００１６】
これにより、上記支持部材によって平板状部材の移送方向両端部を掬い上げて上昇させる。次いで、上記支持部材の下方に位置する支持部材間に、上記ケーシングの搬入口から内部に導入された他の平板状部材を通し、同様に上記駆動手段によって、支持装置の回転部材を逆方向に同期回転させることにより、当該平板状部材の両端部を掬い上げて上昇させる。
【００１７】
そして、以上の工程を繰り返すことにより、隣接する支持装置の複数の支持部材間に、複数枚の平板状部材を一枚毎、格納することができる。
また、上記支持装置間に格納してある平板状部材を搬出する際には、上述した上昇工程を繰り返して、上方の平板状部材から順次プッシャ等を用いてケーシングの搬出口に払い出したり、あるいは駆動手段によって上記回転部材を上述した上昇工程とは反対の方向に互いに逆回転させて支持部材を降下させることにより、下方の平板状部材から順次ケーシングの搬出口に送ることができる。
【００１８】
この結果、本発明に係る枚葉式ストッカーによれば、簡易な設備によって、複数枚のウエハ等の平板状部材を、一枚毎に最小限のスペースで保管することができるとともに、従来のカセットを用いたバッチ式の搬送・保管形態と比較して、上記平板状部材の搬入出も一層容易となる。
【００１９】
この際に、搬入口からケーシングの内部に平板状部材を導入する手段や、支持部材間から上記平板状部材を搬出口側に送る手段としては、各種形態の搬送手段を用いることが可能であるが、例えば請求項２に記載の発明のような平板状部材の搬送装置が好適に用いられる。この搬送装置によれば、平板状部材の両端をローラによって支持しつつ支持部材間に搬送できるとともに、浮上ユニットによって非接触により平板状部材の裏面側を支持することにより、平板状部材の裏面側に搬送痕が付くことを防止しつつ、搬送中の撓みも防ぐことができる。
【００２０】
また、上記支持装置の支持部材を上記ローラ間に配置しているので、両者の干渉も防ぐことができ、かつローラの下方に支持部材を位置させておくことにより、容易に支持部材によって平板状部材の両端部を掬い上げて上昇させることが可能となる。
【００２１】
さらに、上記平板状部材が、上記ウエハ等である場合には、搬送中および保管中にその表裏面に水分が吸着すると、自然酸化膜成長を促進したり、その内部に金属や有機物が溶け込んで新たな汚染源となり得る。また特に、水分が付着した表面にプロセスチャンバ内において腐食性ガスが接触すると、水分層にガス分子が溶け込み、活性なイオンとなって金属表面を腐食することも知られている。
【００２２】
また、上記圧縮空気中に含まれる微細な有機物等の汚染物質が、上記ウエハ等に付着すると、後工程において金属膜を形成した際に、絶縁抵抗が得られなくなったり、あるいは当該金属膜の剥離を招くおそれがある。
これらの弊害は、近年における上記半導体用ウエハや平板ディスプレイ用ガラス基板の大型化および細密化に伴って顕著になってきている。
【００２３】
この点、請求項３に記載の発明によれば、上記搬送装置と支持部材とを内包する第２のケーシングを設け、この第２のケーシングに、超低露点空気を充満させるとともに、浮上ユニットにおける平板状部材の浮上用気体として上記超低露点空気を供給しているので、搬送中および保管中に、上記平板状部材に有害となる水分や有機物等の汚染物質が付着するおそれがなく、よって平板状部材の製造歩留まりや品質の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１〜図３は、本発明に係る枚葉式ストッカーを、上記ウエハ等３を保管するストッカーに適用した一実施形態を示すもので、図中符号１０が外ケーシングである。
この外ケーシング１０の下部両端には、搬入口１１および搬出口１２が形成されるとともに、内部には、第１の支持装置１３ａ、１３ｂと、第２の支持装置１４ａ、１４ｂとが設置されている。
【００２５】
これら第１の支持装置１３ａ、１３ｂは、上記ウエハ等３の搬送方向に向けて順次配設されたもので、それぞれ上記搬送方向の両側の上部に対向配置された一対のスプロケット（回転部材）１５ａ、１５ｂと、これらの下方に対向配置された一対のスプロケット（回転部材）１６ａ、１６ｂとを有しており、これら上下のスプロケット１５ａ、１６ａ間およびスプロケット１５ｂ、１６ｂ間には、チェーン（無端部材）１７ａ、１７ｂが架け渡されている。
【００２６】
そして、搬送方向の両側に対向するチェーン１７ａ、１７ｂ間には、それぞれ全周にわたって等間隔に多数本の支持棒（支持部材）１８ａ、１８ｂが上記移送方向を横切るように水平に架設されている。ここで、第１の支持装置１３ａ、１３ｂは、互いに隣接する側の支持棒１８ａ、１８ｂ間の距離が、想定される最大長さのウエハ等３の移送方向の長さ寸法よりも幾分短くなるように間隔をおいて設置されている。そして、各々の第１の支持装置１３ａ、１３ｂを囲むようにして、第２の支持装置１４ａ、１４ｂが配設されている。
【００２７】
これら第２の支持装置１４ａ、１４ｂにおいては、それぞれ上記搬送方向の両側であって、かつ上記スプロケット１５ａ、１５ｂの上方に、これらを間に挟むようにして２組ずつのスプロケット（回転部材）１９ａ〜１９ｄが対向配置されている。他方、上記スプロケット１６ａ、１６ｂの下方であって、かつ２組のスプロケット１９ａ〜１９ｄの直下には、それぞれ２組ずつのスプロケット（回転部材）２０ａ〜２０ｄが設けられている。
【００２８】
そして、各々の第２の支持装置１４ａ（１４ｂ）における上下２組のスプロケット１９ａ（１９ｂ）、１９ｃ（１９ｄ）、２０ａ（２０ｂ）、２０ｃ（２０ｄ）間に、それぞれチェーン（無端部材）２１ａ（２１ｂ）が巻回されている。また、搬送方向の両側に対向するチェーン２１ａ、２１ｂ間には、それぞれ全周にわたって等間隔に多数本の支持棒（支持部材）２２ａ、２２ｂが上記移送方向を横切るように水平に架設されている。
【００２９】
これら第２の支持装置１４ａ、１４ｂは、互いに隣接する側の支持棒２２ａ、２２ｂ間の距離が、想定される最小長さのウエハ等３の移送方向の長さ寸法よりも幾分短くなるように、間隔をおいて設置されている。
また、後述する搬送装置の高さ位置に、第１の支持装置１３ａ、１３ｂおよび第２の支持装置１４ａ、１４ｂにおける支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂの高さを検出するためのセンサー（図示せず）が設けられている。
【００３０】
そして、第１の支持装置１３ａ、１３ａおよび第２の支持装置１４ａ、１４ｂには、それぞれ上記センサーと連動して、スプロケット（１５ａ、１６ａ）、（１５ｂ、１６ｂ）、（１９ａ、１９ｃ、２０ａ、２０ｃ）、（１９ｂ、１９ｄ、２０ｂ、２０ｄ）を同期的に回転駆動するための図示されないサーボモータ（駆動手段）が設けられている。
【００３１】
ここで、このサーボモータは、第１の支持装置１３ａ、１３ａについては、スプロケット１５ａ、１６ａとスプロケット１５ｂ、１６ｂとを同期的かつ逆方向に回転させるように制御されている。また、同様に上記サーボモータは、第２の支持装置１４ａ、１４ｂについては、スプロケット１９ａ、１９ｃ、２０ａ、２０ｃと、スプロケット１９ｂ、１９ｄ、２０ｂ、２０ｄとを同期的かつ逆方向に回転させるように制御されている。
【００３２】
そしてさらに、外ケーシング１０の内部には、第１の支持装置１３ａ、１３ｂの上下のスプロケット１５ａ、１６ａ、１５ｂ、１６ｂ間において、第１の支持装置１３ａ、１３ｂの隣接する支持棒１８ａ、１８ｂおよび第２の支持装置１４ａ、１４ｂの隣接する支持棒２２ａ、２２ｂのみを内包する内ケーシング（第２のケーシング）２５が設けられている。そして、この内ケーシング２５の側面および上面には、これら支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂの貫通を許容するスリット２６が形成されている。
【００３３】
また、この内ケーシング２５内には、内部を分子状汚染物質が１０ｐｐｂ以下に除去された大気圧露点−１００℃以下のクリーンドライエア（超低露点空気）によって充満させる超低露点空気の供給管（第１のクリーンドライエアの供給管、図示を略す。）が接続されている。
他方、内ケーシング２５の下部には、前工程の装置等から搬入口１１に導入され、第１および第２の支持装置１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂの下部を通じて搬出口１２から次工程の装置等に至るウエハ等３の搬送装置３０が連続的に設けられている。
【００３４】
この搬送装置３０は、天井および両側面が閉じられた搬送路ケーシング３１内に、ウエハ等３の両端部を支持しつつ搬出口１２側へと搬送するローラコンベア３２と、このローラコンベア３２のガイド付き搬送ローラ３２ａ間の所定間隔をおいた２箇所に、ウエハ等３を裏面側から非接触で支持する浮上ユニット３３とが設けられることにより概略構成されている。
【００３５】
ここで、各浮上ユニット３３は、図３に示すように、平面視長方形の金属製の筐体からなるチャンバー３４の上面に、多孔質セラミック板３５が取り付けられるとともに、チャンバー３４の下面に、上記超低露点空気の供給管（第２のクリーンドライエアの供給管）３６が接続されたものである。そして、独立した複数の浮上ユニット３３が、搬送ローラ３２ａと並行に２列を形成するように配置されている。
【００３６】
さらに、搬送ローラ３２ａと浮上ユニット３３との間および浮上ユニット３３間には、それぞれ上記搬送方向に帯板状に延在して搬送路ケーシング３１の下面を構成するとともに、超低露点空気による浮上効果を向上させるための塞ぎ部材３７が介装されている。なお、ローラコンベア３２の駆動源となるモータは、搬送路ケーシング３１の外部に設けられている。
【００３７】
以上の構成からなる枚葉式ストッカーにおいては、上記超低露点空気の供給管から供給される超低露点空気によって内ケーシング２５内に超低露点空気を連続的に導入することにより、内ケーシング２５および搬送路ケーシング３１内を超低露点空気の雰囲気下に保持する。この状態で、超低露点空気の供給管３６から浮上ユニット３３に供給される超低露点空気によって、ウエハ等３との間に０．１〜０．２ｍｍの空気膜を形成することにより、当該ウエハ等３を裏面側から非接触で支持しつつ、ローラコンベア３２によって前工程の装置等からウエハ等３を内ケーシング２５内に搬入する。
【００３８】
この際に、高さ検出センサーからの検出信号に基づいて、サーボモータを駆動し、スプロケット１５ａ、１６ａ、１５ｂ、１６ｂ、１９ａ〜ｄ、２０ａ〜ｄを回転させることにより、それぞれの支持棒１８ａ、２２ａを、搬送装置３０の搬送ローラ３２ａ上面よりも、幾分下方に位置させておく。
【００３９】
次いで、ウエハ等３の搬送方向両端部が、第１の支持装置１３ａ、１３ｂの隣接する支持棒１８ａ、１８ｂ上に位置した際に、ローラコンベア３２による搬送を停止し、サーボモータを作動させて、支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂの移動速度が一定になるようにスプロケット１５ａ、１６ａ、１５ｂ、１６ｂ、１９ａ〜ｄ、２０ａ〜ｄを同期的に回転させる。
【００４０】
この時に、図１中左方の第１および第２の支持装置１３ａ、１４ａについては、スプロケット１５ａ、１６ａ、１９ａ、１９ｃ、２０ａ、２０ｃを反時計回り方向に回転させ、同図中右方の第１および第２の支持装置１３ｂ、１４ｂについては、スプロケット１５ｂ、１６ｂ、１９ｂ、１９ｄ、２０ｂ、２０ｄを時計回り方向に回転させる。すると、ウエハ等３は、合計４本の支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂによって裏面側から掬い上げられて上昇する。
【００４１】
次いで、上下方向の支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂの１ピッチ分を上昇させた後に、一旦サーボモータを停止させるとともに、ローラコンベア３２を作動させて、同様に下方の支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂ間に次のウエハ等３を位置させる。
そして、以上の工程を繰り返すことにより、内ケーシング２５内の上方に向けて複数枚のウエハ等３を支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂ間に一枚ずつ収納し、保管する。
【００４２】
このようにして、上記枚葉式ストッカーに格納たウエハ等３を搬出する際には、上記サーボモータによって、スプロケットを上述した上昇工程とは反対の方向、すなわち図１中左方の第１および第２の支持装置１３ａ、１４ａについては、スプロケット１５ａ、１６ａ、１９ａ、１９ｃ、２０ａ、２０ｃを時計回り方向に回転させ、同図中右方の第１および第２の支持装置１３ｂ、１４ｂについては、スプロケット１５ｂ、１６ｂ、１９ｂ、１９ｄ、２０ｂ、２０ｄを反時計回り方向に回転させる。
【００４３】
これにより、ウエハ等３を支持している支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂが降下する。そこで、最下方のウエハ等３を搬送装置３０の搬送ローラ３２ａ上に載置して、搬出口１２側へと搬出することを順次繰り返すことにより、当該枚葉ストッカーに格納してある複数枚のウエハ等３を、搬送装置２５によって後工程の装置等へと搬送して行くことができる。
【００４４】
このように、上記枚葉式ストッカーによれば、簡易な設備によって、複数枚のウエハ等３を、一枚毎に最小限のスペースで保管することができるとともに、従来のカセットを用いたバッチ式の搬送・保管形態と比較して、当該ウエハ等３の搬入出も一層容易となる。
【００４５】
加えて、外ケーシング１０内に、搬送装置３０との取り合い部分と、隣接してウエハ等３を支持している支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂとを内包する内ケーシング２５を設け、この内ケーシング２５に、超低露点空気を充満させるとともに、浮上ユニット３３におけるウエハ等３の浮上用気体として上記超低露点空気を供給しているので、搬送中および保管中に、ウエハ等３に有害となる水分や有機物等の汚染物質が付着するおそれがなく、よってウエハ等３の製造歩留まりや品質の向上を図ることもできる。
【００４６】
なお、上記実施の形態においては、本発明をウエハ等３の保管に用いる枚葉式ストッカーに適用した場合に付いてのみ説明したが、これに限定されるものではなく、本発明は、各種の平板状部材の保管に適用することが可能である。
また、スプロケットに無端部材としてチェーン１７ａ、１７ｂ、２１ａ、２１ｂを架け渡した場合について説明したが、上記チェーンに代えて、ワイヤやベルト等を用いることもできる。
【００４７】
さらに、上記実施の形態においては、搬入口１１および搬出口１２をケーシングの下部に設け、一旦格納したウエハ等３を取り出す場合には、上記サーボモータによって、スプロケットを上述した上昇工程とは反対の方向に回転させて、支持棒１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂが降下させることにより、下方のウエハ等３から順次搬出口に送るようにしたが、これに限るものではなく、搬入口１１を下部に設けるとともに、搬出口１２を上部に設け、支持棒間に格納してあるウエハ等３を搬出する際に、上述した上昇工程を繰り返して、上方のウエハ等３から順次プッシャ等を用いて搬出口１２に払い出すようにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る枚葉式ストッカーの一実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の搬送装置の横断面図である。
【図４】従来のウエハ等の搬送に用いられているカセットを示す正面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  外ケーシング（ケーシング）
１１  搬入口
１２  搬出口
１３ａ、１３ｂ  第１の支持装置
１４ａ、１４ｂ  第２の支持装置
１５ａ、１５ｂ、１６ａ、１６ｂ、１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄ、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ  スプロケット（回転部材）
１７ａ、１７ｂ、２１ａ、２１ｂ  チェーン（無端部材）
１８ａ、１８ｂ、２２ａ、２２ｂ  支持棒（支持部材）
２５  内ケーシング（第２のケーシング）
３０  搬送装置
３２  ローラコンベア
３２ａ  搬送ローラ
３３  浮上ユニット
３６  超低露点空気の供給管（第２のクリーンドライエアの供給管）  
【図１】
2006032528.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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