(57)【要約】【課題】プローブステーションのワークテーブルを照明するバックライト装置に関し、ワークテーブルを照明する蛍光ランプを分割制御し、平板ディスプレイパネルに対し分割検査ができ、輝度バラツキを調整できるようにする。【解決手段】ワークテーブルの下側で内部収容空間を有するバックライト板、該バックライト板に収容され、少なくとも１つのランプを一群として、分割領域をなし、該分割領域が少なくとも２つ以上で構成され、各々の分割領域別に明るさ感が調整されるランプ部、該ランプ部に含まれる各々のランプと電気的に接続される安定器部、該安定器部と接続されて、分割領域別にランプの明るさ感とオン・オフとを調整するために、プローブステーションの外部に設けられる外部コントローラ、安定器部に電源を供給する電源供給部、外部コントローラの操作によりスイッチングされて、ランプ部をオン・オフするＳＳＲを備える。【選択図】図４
2006185916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブステーションのワークテーブルを照明するバックライト装置において、
前記ワークテーブルの下部側に設けられ、内部収容空間を有するバックライト板と、
該バックライト板に収容され、少なくとも１つのランプを一群として、分割領域をなし、該分割領域が少なくとも２つ以上で構成され、前記各々の分割領域別に明るさ感が調整されるランプ部と、
該ランプ部に含まれる各々のランプと電気的に接続される安定器部と、
該安定器部と接続されて、前記分割領域別にランプの明るさ感とオン・オフとを調整するために、前記プローブステーションの外部に設けられる外部コントローラと、
前記安定器部に電源を供給する電源供給部と
を備えることを特徴とする分割型バックライト装置。
【請求項２】
前記バックライト板の側面に形成され、前記電源供給部から電源を供給されてバックライト板内部で発生する熱を冷却し、空気を通風させる複数個のファンからなる通風ファン部がさらに備えられることを特徴とする請求項１に記載の分割型バックライト装置。
【請求項３】
前記通風ファン部には、前記各々のファンが正常に動作するか否かを通知する発光ダイオードが含まれることを特徴とする請求項２に記載の分割型バックライト装置。
【請求項４】
前記電源供給部と前記通風ファン部との間には、ＡＣ電源をＤＣ定格電源に変換して、前記通風ファン部の複数個のファンと発光ダイオードとを動作させるＳＭＰＳが備えられることを特徴とする請求項３に記載の分割型バックライト装置。
【請求項５】
前記安定器部は、前記ランプ部に含まれる各々のランプと直列接続され、少なくとも２つのランプに１つずつ接続されることを特徴とする請求項１に記載の分割型バックライト装置。
【請求項６】
前記外部コントローラは、
前記通風ファン部と前記ランプ部とをオン・オフするオン・オフスイッチと、
前記ランプ部の全てのランプの輝度を同時に調整する主輝度調整部と、
前記ランプ部の各々の分割領域を選択する選択スイッチと、
該選択された分割領域のランプの輝度を微細調整する微細輝度調整部と
を含んでなることを特徴とする請求項１に記載の分割型バックライト装置。
【請求項７】
前記外部コントローラの操作によりスイッチングされて、前記ランプ部をオン・オフするＳＳＲがさらに備えられることを特徴とする請求項１に記載の分割型バックライト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブステーション（Probe station）のワークテーブルを照明するバックライト装置に関し、特に、前記ワークテーブルを照明する蛍光ランプを分割制御することによって、平板ディスプレイパネルに対して分割検査が可能になって、輝度バラツキを調整できる分割型バックライト装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、従来のプローブステーションに含まれたバックライト装置を示す構成図である。
【０００３】
図１に示されているように、従来のプローブステーション１０に含まれたバックライト装置は、プローブステーション１０の所定位置に設置されるワークステージ２０の上側と平板ディスプレイパネルが載置されるワークテーブル３０との間に設けられるバックライト板４０と、該バックライト板４０の内部に設けられる蛍光ランプ（図２の符号４１）と通風ファン（図３の符号４３）とを制御するために、プローブステーション１０の上側に設置されるコントローラ４６と、該コントローラ４６と電気線７２で接続されて、蛍光ランプ４１の明るさ感とオン・オフとを調整するスイッチ部４８とを含んでなる。
【０００４】
前記バックライト板４０は、収容空間が設けられて、内部に複数個（一例として、２４個のランプ）の蛍光ランプ（図２の符号４１）を含んでおり、該蛍光ランプ（図２の符号４１）と接続される安定器（図３の符号４２）とを収容している。そして、前記安定器（図３の符号４２）と蛍光ランプ（図２の符号４１）とを制御するためのコントローラ４６は、前記安定器（図３の符号４２）と電気線で接続された状態で前記プローブステーション１０の上側面に設置される。
【０００５】
一方、前記蛍光ランプ（図２の符号４１）のオン・オフと明るさ感とを調整するためのスイッチ部４８は、プローブステーション１０の側面に設けられ、電気線７２を介して前記コントローラ４６と接続されている。
【０００６】
該コントローラ４６は、外部電源供給装置（図示せず）から電源を供給されるために、プラグ７４を介して電気線７３で接続されている。また、前記コントローラ４６は、前記蛍光ランプ（図２の符号４１）と安定器（図３の符号４２）などと電気線７１で接続されて、オン・オフまたは明るさ感を調整する。
【０００７】
前記バックライト板４０に設けられる蛍光ランプ４１は、図２に示されているように、複数個の蛍光ランプ４１が領域区分なしで一列に配列されている。そして、前記蛍光ランプ４１は、前記スイッチ部４８の操作により、同時にオン・オフされるか、同時に明るさ感が調整される。
【０００８】
図３は、前記従来のバックライト装置を示す全体ブロック図である。
【０００９】
図３に示されているように、従来のバックライト装置は、バックライト板４０の内部に収容される蛍光ランプ４１と、該蛍光ランプ４１と１対１に対応して接続される安定器４２と、前記バックライト板４０の内部の空気を通風させる通風ファン４３と、前記プローブステーション１０の上側に設けられて、外部ＡＣ電源４７を印加されて、前記安定器４２と通風ファン４３とに定格電源を供給するコントローラ４６と、該コントローラ４６と電気的に接続されて、前記蛍光ランプ４１のオン・オフと明るさ感とを調整するために、前記プローブステーション１０の側面に設けられるスイッチ部４８を備えてなる。
【００１０】
前記コントローラ４６は、前記外部ＡＣ電源４７から電源を印加されて、前記通風ファン４３と安定器４２とで使用する電源に変換して供給する。すなわち、前記コントローラ４６は、電圧レベル変換機能とコンバータの機能も果たす。また、前記コントローラ４６は、前記スイッチ部４８から伝達される信号に応じて、前記蛍光ランプ４１をオン・オフするか、明るさ感を調整する機能を果たす。
【００１１】
前記コントローラ４６は、接続端子４５により前記通風ファン４３と安定器４２と接続されている。前記通風ファン４３は、バックライト板４０の側面に設置されて、空気を通風させ、発生される熱を冷却させる機能を果たす。そして、前記通風ファン４３には、発光ダイオード４４が備えられて、正常的な動作中には、前記発光ダイオード４４を発光させる。
【００１２】
前記安定器４２は、用いられる蛍光ランプ４１と同じ数で構成されて、前記バックライト板４０の内部に収容される。そして、前記安定器４２は、前記蛍光ランプ４１と１対１に対応して、直列に接続されている。
【００１３】
前記バックライト板４０の内部に収容される複数個の安定器４２は、前記コントローラ４６と接続端子４５とを介して、同じ電気配線により接続されている。
【００１４】
したがって、前記コントローラ４６において、前記接続端子４５に特定信号（オン・オフ信号または明るさ感信号など）が伝達されれば、前記複数個の安定器４２は、同時に同じ信号を受け取って前記蛍光ランプ４１に伝達する。
【００１５】
すなわち、スイッチ部４８で信号（オン・オフ信号または明るさ感信号）を選択すれば、前記コントローラ４６は、接続端子４５を介して同じ電気配線に接続されている前記安定器４２に前記信号（オン・オフ信号または明るさ感信号）を送信する。そうすると、前記安定器４２と１対１に接続されている前記蛍光ランプ４１は、同時にオン・オフされるか、または同時に明るさ感が調整される。
【００１６】
上記のような従来のバックライト装置によれば、前記プローブステーションの上部側に設置されるコントローラにより、前記蛍光ランプが一括電圧制御されるので、蛍光ランプが点滅するフリッカリング（Flickering）現象が発生するという問題がある。
【００１７】
また、コントローラにより蛍光ランプが電圧制御されるため、前記蛍光ランプに低電圧を印加して低輝度用に使用する場合、さらに多くのフリッカリング現象が発生する。したがって、前記蛍光ランプのフィラメントが損傷されながら、ランプが破損するという問題が頻繁に発生する。
【００１８】
また、前記安定器とコントローラとを接続する電気配線の長さが長いため、ノイズが発生する可能性が大きくなるという問題が発生する。
【００１９】
また、前記蛍光ランプは、同時にオン・オフされるか、または同じ明るさ感で調整されるため、輝度バラツキを調整するのが困難であるという問題が発生する。
【００２０】
また、前記コントローラを備えるバックライト装置全体の重量が増加し、用いられる電気配線が増加して、バックライト装置を設置するか、交換するのに多くの労力と時間とを必要とするという問題が発生する。
【００２１】
また、従来のバックライト装置によれば、前記コントローラは、各種変圧器、コンバータ及び安定器の機能を果たす部品を含んでいるので、重量が増加するという問題が発生し、１つの安定器に２つ以上の蛍光ランプを接続しようとする場合には、前記コントローラのサイズ及び個数が増加する。したがって、実質的に１つの安定器に１つの蛍光ランプを接続して使用しなければならないため、バックライト板の内部余裕空間が不足となり、複雑な内部空間により、通風ファンによる空気の循環がスムーズに進まず、輝度が減少するおそれがある。
【００２２】
また、蛍光ランプが同時にオン・オフされ、同じ明るさ感を有するため、平板ディスプレイパネルの分割検査が不可能となり、平板ディスプレイパネルの特定部分に対する集中検査が不可能であるという問題が発生する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
本発明は、上記の従来の技術の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、蛍光ランプを少なくとも２つ以上の領域に分割して、前記各々の分割領域に含まれる蛍光ランプに対して分割制御することによって、分割検査を可能にし、電流制御によって、蛍光ランプのオン・オフまたは明るさ感を調整することによって、フリッカリング現象と低輝度使用によりオフされる現象を防止できる分割型バックライト装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記の目的を達成するため、本発明の分割型バックライト装置は、プローブステーションのワークテーブルを照明するバックライト装置において、前記ワークテーブルの下部側に設けられ、内部収容空間を有するバックライト板と、該バックライト板に収容されるために、少なくと２つ以上のランプを一群として、分割領域をなし、該分割領域が少なくとも２つ以上で構成され、前記各々の分割領域別に明るさ感が調整されるランプ部と、該ランプ部に含まれる各々のランプと電気的に接続される安定器部と、該安定器部と接続されて、前記分割領域別にランプの明るさ感とオン・オフとを調整するために、前記プローブステーションの外部に設けられる外部コントローラと、前記安定器部に電源を供給する電源供給部と、前記外部コントローラの操作によりスイッチングされて、前記ランプ部をオン・オフするＳＳＲがさらに備えられることを特徴とする。
【００２５】
また、前記バックライト板の側面に形成され、前記電源供給部から電源を供給されてバックライト板内部で発生する熱を冷却し、空気を通風させる複数個のファンからなる通風ファン部がさらに備えられることを特徴とする。また、前記通風ファン部には、前記各々のファンが正常に動作するか否かを通知する発光ダイオードが含まれることが好ましい。
また、前記電源供給部と前記通風ファン部との間には、ＡＣ電源をＤＣ定格電源に変換して、前記通風ファン部の複数個のファンと発光ダイオードとを動作させるＳＭＰＳが備えられることを特徴とする。
【００２６】
また、前記安定器部は、前記ランプ部に含まれる２つのランプに１つずつ接続されることを特徴とする。すなわち、１つの安定器に２つのランプが接続されて、安定器の個数を半分に低減することができる。
【００２７】
また、前記外部コントローラは、前記通風ファン部と前記ランプ部とをオン・オフするオン・オフスイッチと、前記ランプ部の全てのランプの輝度を同時に調整する主輝度調整部と、前記ランプ部の各々の分割領域を選択する選択スイッチと、該選択された分割領域のランプの輝度を微細調整する微細輝度調整部とを含んでなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係る分割型バックライト装置によれば、ＳＭＰＳ及びＳＳＲを利用して通風ファン部及び安定器部及び蛍光ランプ部を電流制御するため、点滅するフリッカリング（Flickering）現象を減少させ得るという効果がある。
【００２９】
また、本発明は、電流制御を使用することによって、蛍光ランプを低輝度で使用する場合にもフリッカリング現象が少なく発生する。したがって、ランプのフィラメントが損傷されず、ランプアウト（out）される現象を防止できるという長所がある。
また、用いられる電気配線の長さが短くなって、ノイズが減少し、配線の複雑性が減少するという長所がある。
【００３０】
また、蛍光ランプ部が各々の領域別に分割されて制御されることによって、平板ディスプレイパネルの分割検査が可能であり、輝度バラツキを調整できるという長所がある。
【００３１】
また、従来の外部コントローラ機能がバックライト板の内部に全て収容されるため、装置が単純になり、重さが減少し、空間使用の効率性が増大するという効果がある。
【００３２】
また、装置全体の構造が簡単になるため、アフターサービス及び装備部品交換の際必要とする時間と労力が顕著に減少するという効果がある。
【００３３】
また、蛍光ランプ２つ当たり１つの安定器が接続されるため、用いられる安定器の個数が半分に低減されて、バックライト板の内部空間の使用に余裕が生じるという長所がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、添付された図面を参照して、本発明の最も好ましい実施の形態を説明する。
図４は、プローブステーションに含まれた本発明に係る分割型バックライト装置を示する構成図である。
【００３５】
図４に示されているように、プローブステーション１０に含まれた本発明に係る分割型バックライト装置は、プローブステーション１０の所定位置に設置されるワークステージ２０の上側と平板ディスプレイパネルが載置されるワークテーブル３０との間に設けられるバックライト板１０５と、前記バックライト板１０５の内部に設けられる蛍光ランプ部（図５の符号１１０）と通風ファン部（図５の符号１３０）とを制御（オン・オフ及び明るさ感の調整）するために、プローブステーション１０の外部側面に設置される外部コントローラ１９０を含んでなる。
【００３６】
前記バックライト板１０５は、収容空間が設けられて、内部に複数個（一例として、２４個のランプ）のランプ（図５の符号１１１）から構成される蛍光ランプ部（図５の符号１１０）を含んでおり、該蛍光ランプ部（図５の符号１１０）と接続される複数個の安定器（図５の符号１２１）から構成される安定器部（図５の符号１２０）を収容している。そして、前記安定器部（図５の符号１２０）と蛍光ランプ部（図５の符号１１０）とを制御するための外部コントローラ１９０は、前記安定器部（図５の符号１２０）と蛍光ランプ部（図５の符号１１０）とに電気線７１で接続された状態で、前記プローブステーション１０の外部側面に設置される。
【００３７】
一方、前記バックライト板１０５の内部に収容される蛍光ランプ部（図５の符号１１０）、安定器部（図５の符号１２０）及び通風ファン部（図５の符号１３０）は、電源を供給されるために、プラグ７４を介して電気線７２で接続されている。
【００３８】
図５は、本発明に係る分割型バックライト装置２００の全体ブロック図である。
【００３９】
図５に示されているように、本発明に係る分割型バックライト装置２００は、ワークステージ上に設けられるバックライト板１０５と、該バックライト板１０５の内部収容空間に設けられる蛍光ランプ部１１０と、該蛍光ランプ部１１０と直列に接続される安定器部１２０と、外部電源供給部１７０の電源を前記安定器部１２０及び蛍光ランプ部１１０に供給することをオン・オフするＳＳＲ１４０と、前記安定器部１２０と電気配線で接続されて、蛍光ランプ部１１０のランプ１１１をオン・オフするか、明るさ感を調整する外部コントローラ１９０とを含んでなる。
【００４０】
そして、前記電源供給部１７０から電源を印加されて、前記バックライト板１０５の内部を通風させる通風ファン部１３０がさらに備えられる。また、前記外部電源供給部１７０と前記通風ファン部１３０との間には、ＡＣ電源を印加されてＤＣ定格電源（１２Ｖ電源）に変換し、前記通風ファン部１３０に定格電源を供給するＳＭＰＳ１５０をさらに設けることができる。
【００４１】
前記バックライト板１０５は、ワークステージとワークテーブルとの間に設けられ、内部に収容空間を有する。該内部収容空間には、平板ディスプレイパネルが載置されるプローブステーションのワークテーブルを照明するための各種部品が収容される。
前記バックライト板１０５の内部収容空間には、前記蛍光ランプ部１１０と、安定器部１２０と、通風ファン部１３０と、ＳＭＰＳ１５０と、ＳＳＲ１４０とが収容される。
前記蛍光ランプ部１１０は、複数個のランプ１１１からなり、少なくとも２つ以上のランプ１１１を１つの群として分割領域をなす。前記２つ以上のランプ１１１を含んでいる分割領域は、少なくとも２つ以上で構成され、前記分割領域は、他の分割領域と別に明るさ感が調整される。
【００４２】
前記蛍光ランプ部１１０を構成するランプ１１１は、低圧水銀蒸気中での放電により発光するものである。すなわち、放電灯の通常の性質として、電流が流れれば放電に必要な電圧が低下するため、一定の電圧を加えて放電を起こす。
【００４３】
図６に示されているように、２４個のランプ１１１が蛍光ランプ部１１０をなしており、６個のランプ１１１が１つの群として４個の分割領域（Ａ領域、Ｂ領域、Ｃ領域、Ｄ領域）に分けられている。該分割領域（Ａ領域、Ｂ領域、Ｃ領域、Ｄ領域）は、個別に制御されることができるため、各分割領域別に明るさ感が調整できる。
【００４４】
前記蛍光ランプ部１１０を構成する各々のランプ１１１は、安定器部１２０と直列に接続されている。前記安定器部１２０をなす各々の安定器１２１は、２つのランプ１１１と直列に接続されることが好ましい。したがって、図６に示されているように、２４個のランプ１１１からなる蛍光ランプ部１１０と接続される安定器部１２０は、１２個の安定器１２１からなっている。
【００４５】
前記安定器部１２０は、前記蛍光ランプ部１１０に過度な電流が流れるのを防止して、前記蛍光ランプ部１１０が破壊されることを防止する機能を果たす。すなわち、前記蛍光ランプ部１１０のランプ１１１を放電させるために、一定の電圧を加える時、電流が過度に増加してランプ１１１が破壊されるおそれがあるので、安定器１２１を直列に接続して電流が増加することを防止する。前記安定器部１２０の安定器１２１は、原理的に金属抵抗でも構成され得るが、電流により発熱するので、発熱の少ないチョークコイル（Choke Coil）を使用する。
【００４６】
前記バックライト板１０５の側面には、前記安定器部１２０及び蛍光ランプ部１１０から発生する熱を冷却させ、前記バックライト板１０５の内部収容空間の空気を通風させる複数個のファン１３１からなる通風ファン部１３０が設けられる。
前記通風ファン部１３０には、前記ファン１３１が動作するか否かを通知する発光ダイオード１３３がさらに備えられる。すなわち、発光ダイオード１３３が備えられて、前記ファン１３１が正常に動作する場合には、光を発散する。前記通風ファン部１３０に含まれる各々のファン１３１と発光ダイオード１３３とは、安定したＤＣ定格電源により動作する。
【００４７】
したがって、前記通風ファン部１３０の前段には、外部電源供給部１７０から供給されるＡＣ電源をＤＣ定格電源に変換して供給する、ＳＭＰＳ（switching mode power supply、以下、「ＳＭＰＳ」と記す）１５０が設置される。
【００４８】
前記ＳＭＰＳ１５０とは、外部から供給されるＡＣ電源を通風ファン部１３０に適するように変換するモジュール型電源供給装置である。そして、半導体スイッチング特性を利用して、商用周波数以上の高周波の断続制御をし、衝撃を緩和させる機能を果たす。電源の種類別には、１１０Ｖや２２０Ｖで供給されるＡＣ電源を５〜４８ＶのＤＣに変換するＡＣ／ＤＣコンバータと、これを再び３．３〜４８ＶのＤＣに変換するＤＣ／ＤＣコンバータとの機能を果たす。
【００４９】
すなわち、前記ＳＭＰＳ１５０は、前記安定器部１２０と前記通風ファン部１３０とに電源を供給する外部電源供給部１７０から２２０ＶのＡＣ電源を印加されて、前記通風ファン部１３０で用いられる安定したＤＣ定格電源に変換して供給することによって、ファン１３１と発光ダイオード１３３とを作動させる。
【００５０】
前記安定器部１２０に直列に接続されている蛍光ランプ部１１０は、外部電源供給部１７０から供給される２２０ＶのＡＣ電源により動作する。したがって、前記蛍光ランプ部１１０と直列に接続される安定器部１２０は、接続端子１６０により外部電源供給部１７０と接続されている。
【００５１】
一方、前記接続端子１６０と前記蛍光ランプ部１１０に直列に接続されている安定器部１２０との間の電気配線には、ＳＳＲ（Solid State Relay、以下、「ＳＳＲ」と記す）１４０が設けられて、前記蛍光ランプ部１１０と直列に接続されている蛍光ランプ部１１０に電源供給を断続することができる。
【００５２】
前記ＳＳＲ１４０は、機械式リレー（RELAY）を電子式に変えた形態であって、位相制御ではなく単にオン・オフ機能を果たす。また、急激な電流が流れるのを防止して、接続された部品の寿命を延長させ、ノイズをなくす作用も果たす。
【００５３】
したがって、前記ＳＳＲ１４０は、接続端子１６０を介して前記外部電源供給部１７０から電源が印加されると、スイッチング動作によりターンオン（Turn On）されて、前記供給される電源を前記蛍光ランプ部１１０と直列に接続されている安定器部１２０に伝達する。そして、前記ＳＳＲ１４０は、後述する外部コントローラ１９０の操作によりスイッチングされてターンオフ（Turn Off）されることにより、前記蛍光ランプ部１１０と直列に接続される安定器部１２０に伝達される電源を遮断して、前記蛍光ランプ部１１０をオフさせることができる。
【００５４】
また、前記ＳＳＲ１４０は、前記安定器部１２０または通風ファン部１３０に異常が生じた場合、自体的にターンオフされることにより、回路部品（安定器部１２０、通風ファン部１３０、蛍光ランプ部１１０など）の破壊を防止する機能も果たす。
【００５５】
前記安定器部１２０に直列に接続されている蛍光ランプ部１１０をオン・オフするか、明るさ感を調整する機能は、プローブステーションの外部に設置される外部コントローラ１９０により行われる。したがって、前記外部コントローラ１９０は、接続端子１８０を介して前記安定器部１２０の安定器１２１と接続されている。
【００５６】
前記外部コントローラ１９０は、操作者により前記蛍光ランプ部１１０及び通風ファン部１３０をオン・オフするか、または前記蛍光ランプ部１１０に含まれるランプ１１１の輝度を同時に調整するか、または前記蛍光ランプ部１１０に含まれる特定分割領域内のランプ１１１だけの輝度を局地的に微細調整するために、プローブステーションの外部に設置される。
【００５７】
前記外部コントローラ１９０は、多様なスイッチと調整部とから構成される。すなわち、前記通風ファン部１３０と蛍光ランプ部１１０とをオン・オフするためのオン・オフスイッチ１９１と、前記蛍光ランプ部１１０に含まれるランプ１１１の輝度を同時に調整する主輝度調整部１９２と、前記蛍光ランプ部１１０の各々の分割領域を選択する選択スイッチ１９３と、該選択された分割領域のランプ１１１の輝度を微細に調整する微細輝度調整部１９４とから構成される。
【００５８】
したがって、前記外部電源供給部１７０から前記通風ファン部１３０及び前記蛍光ランプ部１１０に直列に接続される安定器部１２０に電源が印加されると、操作者は、オン・オフスイッチ１９１を操作して（オン状態に操作）、前記通風ファン部１３０と蛍光ランプ部１１０とを動作させる。そうすると、前記通風ファン部１３０のファン１３１は回転し、発光ダイオード１３３は発光し、前記蛍光ランプ部１１０に含まれる全てのランプ１１１は、一定の輝度を有しながら照明する。
【００５９】
次に、操作者は、前記主輝度調整部１９２を回して、所望のカンデラ（candela）だけ前記蛍光ランプ部１１０に含まれるランプ１１１が発光できるように調整する。
上記のような状態で前記蛍光ランプ部１１０は、領域別に輝度バラツキを発生できる。この時、輝度バラツキを補償しなければならない領域に含まれる分割領域のランプ１１１は、別に輝度が調整されなければならない。
【００６０】
したがって、前記輝度バラツキが補償されなければならない領域が含まれる分割領域を選択スイッチ１９３により選択し、該選択された分割領域に含まれるランプ１１１の輝度を微細に調整するために、微細輝度調整部１９４を回して、所望の輝度バラツキを補償する。
【００６１】
このように蛍光ランプ部１１０を領域別に分割して、各分割領域別に個別に輝度を微細調整可能なようにすることによって、平板ディスプレイパネルを検査する時に発生する輝度バラツキを調整でき、特定部分を集中検査することもできる。
【００６２】
すなわち、図５または図６に示された分割領域Ａ部分を集中検査しようとする場合、分割領域Ｂ、分割領域Ｃ、分割領域Ｄ部分の輝度を減少させ、分割領域Ｂ部分を集中検査しようとする場合、分割領域Ａ、分割領域Ｃ、分割領域Ｄ部分の輝度を減少させ、分割領域C部分を集中検査しようとする場合、分割領域Ａ、分割領域Ｂ、分割領域Ｄ部分の輝度を減少させ、分割領域Ｄ部分を集中検査しようとする場合、分割領域Ａ、分割領域Ｂ、分割領域Ｃ部分の輝度を減少させる操作により、特定部分に対する検査を行うことができる。
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】プローブステーションに含まれた従来のバックライト装置の概略的な構成図である。
【図２】従来のバックライト装置の全体ブロック図である。
【図３】従来のバックライト装置の蛍光ランプ配置図である。
【図４】プローブステーションに含まれた本発明に係る分割型バックライト装置の概略的な構成図である。
【図５】本発明に採用される分割型バックライト装置の全体ブロック図である。
【図６】本発明に採用される蛍光ランプ配置図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０  プローブステーション
２０  ワークステージ
３０  ワークテーブル
７１、７２  電気線
７４  プラグ
１０５  バックライト板
１１０  蛍光ランプ部
１２０  安定器部
１２１  安定器
１３０  通風ファン部
１９０  外部コントローラ
２００  分割型バックライト装置
【図１】
2006185916.tif 000003
【図２】
2006185916.tif 000004
【図３】
2006185916.tif 000005
【図４】
2006185916.tif 000006
【図５】
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【図６】
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