(57)【要約】      （修正有）【課題】ナノレベルの糸状体を金属基体に備え、その形態的特徴を維持しつつ、化学的性能等を格段に向上させ得るように機能性材料を含有させた機能性糸状物、その製造方法及び機能性糸状物製造装置を提供すること。【解決手段】金属基体と結合した糸状体を備え、該金属基体及び該糸状体の一方又は双方に機能性材料を含有させて成る機能性糸状物。金属基体はＦｅ、Ｎｉ及びＣｏ等の元素を含む。糸状体は金属基体の成分元素の少なくとも１種を含む。機能性材料は糸状体の成分元素と異なる少なくとも１種の異種成分を含む。機能性糸状物の製造方法である。金属基体を加熱して局所的に溶融し、この金属基体上に糸状体を形成・成長させながら機能性材料を含有させる。隔壁と金属基体設置用チャンバと機能性材料原料設置用チャンバを備える機能性糸状物製造装置。チャンバはガス供給手段と排気手段と温度制御手段を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属基体と、該金属基体と結合した糸状体を備え、該金属基体及び／又は該糸状体に機能性材料を含有させて成る機能性糸状物であって、
上記金属基体が鉄、ニッケル及びコバルトから成る群より選ばれた少なくとも１種の元素を含み、
上記糸状体が上記金属基体の成分元素の少なくとも１種を含み、
上記機能性材料が上記糸状体の成分元素と異なる少なくとも１種の異種成分を含むことを特徴とする機能性糸状物。
【請求項２】
上記金属基体の少なくとも一部が多孔質であることを特徴とする請求項１に記載の機能性糸状物。
【請求項３】
上記金属基体が更にマンガン、ケイ素及びクロムから成る群より選ばれた少なくとも１種の元素を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の機能性糸状物。
【請求項４】
上記糸状体の大部分が上記金属基体の成分元素の少なくとも１種を含む金属酸化物から成ることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の機能性糸状物。
【請求項５】
上記金属基体の成分元素が鉄、ニッケル、コバルト、マンガン、ケイ素及びクロムから成るより選ばれた少なくとも１種の元素であることを特徴とする請求項４に記載の機能性糸状物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つの項に記載の機能性糸状物を製造する方法であって、下記の工程（１）及び（２）
（１）：金属基体を加熱して局所的に溶融し、該金属基体上に糸状体を形成する工程、
（２）：（１）工程中に、加熱気化した機能性材料を、上記金属基体及び／又は糸状体に含有させる工程、
を含むことを特徴とする機能性糸状物の製造方法。
【請求項７】
上記金属基体を局所的に溶融させる温度と、上記機能性材料原料を加熱気化させる温度とを異なる温度に設定することを特徴とする請求項６に記載の機能性糸状物の製造方法。
【請求項８】
上記金属基体を局所的に溶融させる圧力と、上記機能性材料原料を加熱気化させる圧力とを異なる圧力に設定することを特徴とする請求項６又は７に記載の機能性糸状物の製造方法。
【請求項９】
上記金属基体の表面に予め部分的に酸化被膜を形成することを特徴とする請求項６〜８のいずれか１つの項に記載の機能性糸状物の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜５のいずれか１つの項に記載の機能性糸状物を製造する装置であって、
隔壁で分離された金属基体設置用チャンバと機能性材料原料設置用チャンバとを備え、  上記隔壁が開閉可能であり、
上記金属基体設置用チャンバと機能性材料原料設置用チャンバとが、それぞれガス供給手段、排気手段及び温度制御手段を備えることを特徴とする機能性糸状物製造装置。
【請求項１１】
上記機能性材料原料設置用チャンバの上に、上記金属基体設置用チャンバが配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の機能性糸状物製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能性糸状物及びその製造方法に係り、更に詳細には、ナノレベルの糸状体を金属基体に備え、その形態的特徴を維持しつつ、電気的、磁気的、光学的、熱的又は化学的及びこれらの任意の組み合わせに係る性能を格段に向上させ得るように機能性材料を含有させた機能性糸状物、その製造方法及び機能性糸状物製造装置に関する。ここで、ナノレベルの糸状体とは径が数ｎｍ〜数百ｎｍで、長さが１〜１０００μｍのものをいう。
【背景技術】
【０００２】
従来より、糸状体は各種分野に応用・利用されており、また各種糸状体材料に対して、ＣＶＤ法を中心にその製造方法が提案されている。
例えば、強化材として有用な表面改質又は表面被覆を施したチタン化合物ウィスカー及びその製造方法が提案されている（例えば、特許文献１〜３参照。）。
【特許文献１】特開平１０−４５５００号公報
【特許文献２】特開平９−１５７０９６号公報
【特許文献３】特開平６−１８３７３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、応用用途を考慮した場合には、単にナノレベルの糸状体のみでは形態的に使用が難しいと思われる。つまり、例えば糸状体を採取して微細粉体とみなし、各種粉体成形技術により強化材として使用したり、膜化することは想定されるが、糸状体の形態的特徴を損ねるなどの問題があった。一方で、形態的特徴を維持しつつ部材として成形するための製造方法は複雑となる場合があり問題があった。
また、単一物質もしくは単一形態の糸状体のみでは種々の機能を付与するには限界があり、例えば糸状体に形態的特徴を付与し、更に触媒活物質としての機能を付与することは一般に困難であった。
更に、糸状体がナノレベルに達する場合には、糸状体のサイズや密生程度にもよるが、糸状体自体や糸状体を金属基体に備えた金属基体に、その形態的特徴を維持しつつ、更に糸状体の成分元素と異なる機能性材料を含有させる方法は未だ提供されていない。
【０００４】
本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ナノレベルの糸状体を金属基体に備え、その形態的特徴を維持しつつ、電気的、磁気的、光学的、熱的又は化学的及びこれらの任意の組み合わせに係る性能を格段に向上させ得るように機能性材料を含有させた機能性糸状物、その製造方法及び機能性糸状物製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記目的を達成すべく、鋭意研究を重ねた結果、金属基体を加熱処理して該金属基体上に糸状体を形成させ、該金属基体及び／又は糸状体に該糸状体の成分元素と異なる少なくとも１種の異種成分を含有させることなどにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００６】
即ち、本発明の機能性糸状物は、金属基体と、該金属基体と結合した糸状体を備え、該金属基体及び／又は該糸状体に機能性材料を含有させて成る。
かかる金属基体は鉄、ニッケル及びコバルトから成る群より選ばれた少なくとも１種の元素を含む。また、糸状体は上記金属基体の成分元素の少なくとも１種を含む。更に、機能性材料は上記糸状体の成分元素と異なる少なくとも１種の異種成分を含む。
【０００７】
また、本発明の機能性糸状物の製造方法は、上述の如き機能性糸状物を製造する方法であって、下記の工程（１）及び（２）を含む。
（１）：金属基体を加熱して局所的に溶融し、この金属基体上に糸状体を形成する工程
（２）：（１）工程中に、加熱気化した機能性材料を、かかる金属基体及び／又は糸状体に含有させる工程
【０００８】
更に、本発明の機能性糸状物製造装置は、上述の如き機能性糸状物を製造する装置であって、隔壁で分離された金属基体設置用チャンバと機能性材料原料設置用チャンバとを備える。かかる隔壁は開閉可能であり、金属基体設置用チャンバと機能性材料原料設置用チャンバとは、それぞれがガス供給手段、排気手段及び温度制御手段を更に備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、金属基体を加熱処理して該金属基体に糸状体を形成させ、該金属基体及び／又は糸状体に該糸状体の成分元素と異なる少なくとも１種の異種成分を含有させることなどとしたため、ナノレベルの糸状体を金属基体に備え、その形態的特徴を維持しつつ、電気的、磁気的、光学的、熱的又は化学的な性能を向上させ得るように機能性材料を含有させた機能性糸状物、その製造方法及び機能性糸状物製造装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の機能性糸状物について詳細に説明する。
上述の如く、本発明の機能性糸状物は、金属基体と、該金属基体と結合した糸状体を備え、該金属基体及び該糸状体の一方又は双方に機能性材料を含有させて成る。
また、成分的には、金属基体は鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）又はコバルト（Ｃｏ）及びこれらの任意の組み合わせに係る元素を含み、糸状体は金属基体の成分元素の少なくとも１種を含み、機能性材料は糸状体の成分元素と異なる少なくとも１種の異種成分を含む。
ここで、本発明における「機能性材料の含有」の態様としては、物理的には、機能性材料を表面に付着させる、更に被覆する場合、内部に侵入（内在）させる場合、更にはこれらが組み合わされた場合などが挙げられる。また、それらの形態は粒子又は連続層若しくは不連続層である場合などが挙げられる。一方で、化学的には、機能性材料自体で存在する場合又は糸状物等の成分元素との複合化合物で存在する場合、更にはこれらが組み合わされた場合などが挙げられる。
【００１１】
まず、本発明の基体付き機能性糸状物の形態的特徴について説明する。図１は、本発明の機能性糸状物の一例を示す概念斜視図である。同図に示すように、機能性糸状物１は、金属基体１０と多数の糸状体２０とが結合した形態を有し、金属基体１０や糸状体２０に機能性材料３０が含有されている。また、糸状体２０は茎部２２と球状頭部２４とが結合した形態を有する。
【００１２】
ここで、茎部２２の形状は、同図に示すように湾曲したワイヤ状をなしている。また具体的な形状を別個には図示しないが、湾曲せずにほぼ円柱状をなしている場合もある。これら断面は必ずしも真円である必要はなく、その太さも長さ方向に亘って一様である必要はなく、同図に示すように多数の糸状体を備える場合には、これらに関して同一の太さを有する必要もない。更には、一回転以上巻回している場合もある。
【００１３】
また、球状頭部２４の形状は、必ずしも真球である必要はなく、楕円球（楕円体）や対称性が若干崩れた曲面から構成される曲面体などであってもよい。
そして、球状頭部２４の形状は、代表的には同図に示すように最短径（真球の場合は直径）が、茎部２２の最長径（断面が真円の場合は直径）よりも大きく、糸状体２０の全体の形状としては、いわゆる頭でっかちの形状をなしている。
【００１４】
なお、図示しないが球状頭部２４の形状において、その最短径（真球の場合は直径）が、茎部２２の最長径（断面が真円の場合は直径）と同じ又はより小さい場合、更にはこの球状頭部２４は適当な処理、例えばエッチング処理等を施せば単独で取り出すことも可能であり、図示しないが球状頭部２４を有しない糸状体２０を備える場合もあり、これらの場合も本発明の範囲に含まれる。
【００１５】
また、上述した「機能性材料の含有」の態様を図面を用いて詳細に説明する。図２は、本発明の機能性糸状物の典型例を示す概念拡大図である。同図（Ａ）に示すように、金属基体１０や糸状体２０の表面に機能性材料３０が付着する場合がある。また、同図（Ｂ）に示すように、金属基体１０や糸状体２０の内部に機能性材料３０が侵入する場合がある。更に、同図（Ｃ）に示すように、糸状体２０の表面に機能性材料３０が被覆される場合がある。
ここで、図３に、図２（Ｃ）の場合（実施例１の場合）、即ち機能性糸状体１の茎部２２（図中ｃ）に機能性材料３０（図中ｄ）が被覆され、機能性材料膜が形成された場合の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）写真を示す。また、図４に、図３のＸ線写真を示す。明瞭なラウエ斑点が観測されることから糸状体２０の茎部２２の結晶性が良いことも分かる。
【００１６】
一方、詳しくは後述するが機能性材料の種類によって、その含有の態様には好適なものが存在するものと考えられる。したがって、要求される性能に応じて多数の糸状体へ機能性材料を含有させる場合に、その態様を好適なものにそろえることが望ましいが、望みの性能を向上をさせることができれば、特に限定されるものではなく、図示しないが、例えば部分的又は全体に亘って同図（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）で示した場合が混在していてもよい。
【００１７】
本発明の機能性糸状物において、金属基体１０は金属繊維焼結体、金属箔、金属圧延箔又は金属エッチング箔及びこれらの任意の組み合わせであってもよいが、糸状体２０を密生成長させるという観点から、金属基体１０の少なくとも一部が多孔質であることが望ましく、金属基体１０自体が表面積の大きな多孔体であることがより望ましい。なお、本発明の機能性糸状物においては、金属基体上に結合した糸状体の数は単数又は複数など特に限定されるものではないが、機能性糸状物に大表面積が要求される場合や糸状体の密生成長が要求される場合には、多数の糸状体を備えることが望ましい。
【００１８】
図５は、本発明の機能性糸状物の好適形態の一例を示す概念斜視図である。同図に示すように、金属基体（金属粉焼結体）１０は金属粉を焼結した多孔体であり、この金属基体１０は糸状体２０を有し、機能性材料３０が付着されている。このように、糸状物２０と同程度大きさの機能性材料３０を付着させる場合にも、例えば機能性材料３０を白金等の貴金属とし、触媒として用いた場合には、糸状体２０により、機能性材料３０の移動は阻害され、貴金属触媒の劣化の一因であるシンタリングを防止ないし抑制することができる。
【００１９】
図６は、本発明の機能性糸状物の他の好適形態の一例を示す概念斜視図である。同図に示すように、金属基体（金属繊維焼結体）は、金属繊維を焼結したものであり、この金属基体は糸状体を有し、機能性材料が付着ないし被覆されている。このような構造を有すると、例えば触媒活性を有し大表面積を有するフィルターとして使用することができる。
【００２０】
本発明の機能性糸状物において、茎部２２の最長径は代表的には５〜５００ｎｍで、その長さは０．０１〜１ｍｍである。
更に、金属基体１０や糸状体２０の表面に付着する場合の機能性材料３０の粒子径は代表的には２〜５０ｎｍで、被覆する場合の機能性材料の層厚は代表的には１０〜５０ｎｍである。一方、金属基体１０に内在する場合には、代表的には表面からの深さ１〜５ｍｍまでに存在し、また糸状体２０に内在する場合には、代表的には表面からの深さ１〜５ｎｍまでに存在する。
【００２１】
次に、本発明の機能性糸状物の成分などについて説明する。
機能性糸状物１において、金属基体１０はＦｅ、Ｎｉ又はＣｏ及びこれらの任意の組み合わせに係る元素を含む。糸状体の形態的特徴を維持しながら、換言すれば形態的特徴を損なわないように活用して、ＦｅやＮｉ、Ｃｏを含む金属基体上に糸状体を結合させる場合には、このような金属基体を用いることができる。
また、詳しくは後述する製造方法により機能性糸状物は得られるので、加熱処理によって金属基体１０は局所的に溶融する温度まで加熱される。
また、金属基体１０がマンガン（Ｍｎ）、ケイ素（Ｓｉ）又はクロム（Ｃｒ）及びこれらの組み合わせに係る元素を更に含有することもできる。
【００２２】
また、機能性糸状物１において、糸状体２０は、詳しくは後述するが金属基体１０から製造されるので、その茎部２２及び球状頭部２４は金属基体１０の成分元素の少なくとも１種を含む。
糸状体の大部分は金属基体の成分元素の少なくとも１種を含有する金属酸化物から成ることが望ましい。
ここで、「大部分」とは、糸状体２０の茎部２２はこのような金属酸化物であり、一方球状頭部２４は金属酸化物ないし合金を形成している。金属基体の成分元素はＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｓｉ又はＣｒ及びこれらの任意の組み合わせに係る成分元素を含むことが好ましいが、これに限定されるものではなく、特に球状頭部２４は種々の合金元素や不可避不純物である元素を含む場合がある。
【００２３】
更に、機能性糸状物１において、機能性材料３０は、糸状体２０の成分元素と異なる少なくとも１種の異種成分を含むことを要する。
つまり、本発明の骨子が、基体付き糸状体に、その形態的特徴を維持しつつ、電気的、磁気的、光学的、熱的又は化学的及びこれらの任意の組み合わせに係る性能を格段に向上させるために機能性材料を含有させるものだからである。
機能性材料３０は、形態として粒子や連続層又は不連続層等を形成すると上述したが、これらは成分的には１種又は複数種の場合があり、複数種含む場合であって粒子のときには混合物の場合や複合化合物の場合がある。また、複数種含む場合であって層構造を形成するときには多層構造を形成する場合がある。更に、これらが組み合わされた場合もある。
【００２４】
次に、本発明の機能性糸状物の製造方法について詳細に説明する。
上述の如く、本発明の機能性糸状物の製造方法は、上述の如き機能性糸状物を製造する方法であって、下記の工程（１）及び（２）を含む。
（１）：金属基体を加熱して局所的に溶融し、この金属基体上に糸状体を形成する工程
（２）：（１）工程中に、加熱気化した機能性材料を、かかる金属基体及び糸状体の一方又は双方に含有させる工程
ここで、「局所的に溶融」とは、金属基体が加熱され、局所的に溶融もしくは元素が拡散し易くなり、且つ金属基体に含まれる元素を揮発させることである。
【００２５】
工程（１）において、金属基体を加熱して局所的に溶融して、金属基体上に糸状体を形成させ、工程（２）において、即ち工程（１）中に加熱気化した機能性材料を形成・成長する糸状体、更には金属基体に含有させることにより、機能性材料の含有の態様を上述の如き所望のものとすることができる。
工程（２）を工程（１）中のどの時点で実施するかにより、機能性材料の含有の態様を種々変えることができ、例えば工程（１）中の前半で工程（２）を実施すると金属基体や糸状体に含有させることができ、後半で工程（２）を実施すると糸状体のみに含有させることができる。また、工程（２）を複数回に別けて実施することもできる。
【００２６】
例えば工程（１）より後に工程（２）を実施する場合にも、糸状体が密生していない場合などには機能性材料を含有させることは可能であるが、このように糸状体の形態が限定的なものであり、更にその含有の態様は限定されると考えられる。
一方、従来公知の通常の真空成膜や湿式成膜などの方法によって、工程（１）より後に機能性材料の含有工程を実施する場合には、例えば多数のナノレベルの糸状体が密生成長している場合に、金属基体の表面や糸状体の表面、特に糸状体同士の隙間に望みの態様で機能性材料を含有させることは難しい。
【００２７】
工程（１）の加熱継続時間としては、用いる金属基体の成分や雰囲気、加熱温度及び意図する糸状体の大きさなどにも影響を受けるが、通常は３０〜６０分間で十分である。
また、工程（１）及び工程（２）において、金属基体や機能性材料原料の置かれる雰囲気は特に限定されるものではなく、例えば微量酸素（例えば０．１〜５ｐｐｍ）を含む不活性ガス導入しながら上記工程を実施することが望ましいが、例えば金属基体の周りを１０００〜１００００Ｐａの真空状態として上記工程を実施してもよい。
【００２８】
また、本発明の機能性糸状物の製造方法は、金属基体の表面に、予め（工程（１）より先に）部分的に酸化被膜を形成する工程（３）を付加してもよい。
このように金属基体の表面に部分的に酸化被膜を形成させることによって、表面に凹凸を形成することができ、その結果、表面積の向上させることができ、更には糸状体の密生成長が可能となる。
【００２９】
更に、本発明の機能性糸状物の製造方法において、金属基体を局所的に溶融させる温度と、機能性材料原料を加熱気化させる温度とを異なる温度に設定することにより、糸状体の成分元素と異なる機能性材料を容易に含有させることができ望ましい。
一方、金属基体を局所的に溶融させる圧力と、機能性材料原料を加熱気化させる圧力とを異なる圧力に設定することによっても、糸状体の成分元素と異なる機能性材料を容易に含有させることができ望ましい。また、温度及び圧力の双方を異なる条件に設定してもよい。このような設定とすることによっても、機能性材料の含有の態様（例えば、図２参照。）を種々変化させることができる。
なお、「機能性材料原料」とは、機能性材料とほぼ同じ意味である。つまり、機能性材料原料はそのまま機能性材料として含有される場合や機能性材料原料が例えば上述したような雰囲気中の酸素によって酸化された状態で機能性材料として含有される場合などがある。
【００３０】
次に、本発明の機能性糸状物製造装置（以下、「製造装置」と略記する。）について詳細に説明する。
上述の如く、本発明の製造装置は、本発明の機能性糸状物の製造方法に用いることができる装置であって、隔壁と、金属基体設置用チャンバと、機能性材料原料設置用チャンバとを備える。金属基体設置用チャンバと機能性材料原料設置用チャンバとが所定の隔壁で分離され配置されていれば特にその他の配置に関しては限定されるものはないが、機能性材料原料設置用チャンバの上に、金属基体設置用チャンバが配置されていることが望ましい。これは、機能性材料原料を加熱して機能性材料を揮発させ、金属基体や糸状体に機能性材料を供給する際に、暖気が上昇するという効果を利用することは効率的だからである。
また、金属基体設置用チャンバと機能性材料原料設置用チャンバとが、それぞれガス供給手段、排気手段及び温度制御手段を備える。
ここで、隔壁は、金属基体設置用チャンバと機能性材料原料設置用チャンバとを分離し、必要に応じて結合する機能を果たすもの、つまり開閉可能なものである。
【００３１】
図７は、本発明の製造装置の一実施形態を示す構成断面図である。同図に示すように、この製造装置１００は、隔壁の一例であるシャッター１２０と、金属基体設置用チャンバ１１０ａと機能性材料原料設置用チャンバ１１０ｂとを備える。また、チャンバ１１０ａとチャンバ１１０ｂは、それぞれがガス供給手段１３０ａとガス供給手段１３０ｂ、排気手段の一例である排気ポンプ１４０ａと排気ポンプ１５０ｂ、及び温度制御手段の一例であるヒータ１５０ａとヒータ１５０ｂを備える。
【００３２】
また、ガス供給手段１３０ａ及び１３０ｂは、それぞれがコック１６０ａ及び１６０ｂを介して、チャンバ１１０ａ及び１１０ｂと連結されている。本例の場合には、チャンバ１１０ａ及び１１０ｂが、更に加熱機構付整流板１７０ａ及び１７０ｂを備え、排気ポンプ１４０ａは除害装置１８０を介してチャンバ１１０ａと連結されている。
加熱機構付整流板１７０を備えるので、金属基体や糸状体へ機能性材料を供給する際の矢印Ｘ１で示すような蒸気の流れを整えることができる。また、除害装置１８０を備えることにより、有害な物質の排気を防止することが可能であり、更には貴金属等の高価な材料を回収することもできる。つまり、図中の矢印Ｘ１及びＸ２で示される蒸気は機能性材料を含むが、矢印Ｙ１は機能性材料を含む有害物質が除かれている。
なお、図示しないが、排気ポンプ１４０ｂが除害装置を介してチャンバ１１０ｂと連結されていてもよい。
【００３３】
図７の製造装置１００において、金属基体１０はチャンバ１１０ａに設置され、機能性材料（原料）３０はチャンバ１１０ｂに設置されており、それぞれのガス供給手段１３０、排気ポンプ１４０及びヒータ１５０を作動させることにより、それぞれのチャンバ内の雰囲気や温度、圧力などを独立に制御することができる。また、圧力を制御することによって、機能性材料を供給する際の蒸気の流れを整えることも可能である。更に、コック１６０によって対応するチャンバへのガス供給量を独立に制御することができる。
なお、圧力を制御することによって、金属基体や糸状体へ機能性材料を供給する際の蒸気の流れ変えることもできるため、チャンバ１１０ａと１１０ｂの配置は限定されず、自由に配置することができる。
【００３４】
図８は、本発明の他の製造装置の一実施形態を示す構成断面図である。同図に示すように、チャンバ１１０ｂにヒータ１５０ｂ及び１５２ｂと複数備えていてもよく、機能性材料原料を複数設置し、ヒータを１５０ｂ及び１５２ｂをそれぞれ独立に制御することによって、複数の機能性材料を制御して供給でき、上述したような種々の態様で含有させることが容易となる。なお、ヒータ１５０ｂ及び１５２ｂなど複数設けた場合に、これらの設定温度は特に限定されるものではない。
【実施例】
【００３５】
以下、本発明をいくつかの実施例によって更に詳細に説明する。なお、例えば実施例１において「Ｎｉ−２０Ｃｒ−８Ｆｅ」は「Ｃｒを２０％含み、Ｆｅを８％含み、残部がほぼＮｉで若干の不可避不純物を含む合金」を表す。
【００３６】
（実施例１）
金属基体としてＮｉ−２０Ｃｒ−８Ｆｅを用意し、図７のチャンバ１１０ａ内に設置し、機能性材料原料としてＳｉを用意し、図７のチャンバ１１０ｂ内に設置した。なお、シャッター１２０は初め閉じてあり、それぞれのチャンバは石英製で、内容積は３Ｌのものを用いた。
チャンバ１１０ａ及び１１０ｂを内圧０．０１Ｐａとなるまで排気ポンプ１４０ａ及び１４０ｂで排気した。次に、チャンバ１１０ａに反応ガス（５ｐｐｍの酸素を含むアルゴンガス）を流量１Ｌ／分で導入し、内圧を大気圧とした後はこれを保持し、一方でチャンバ１１０ｂに反応ガスを流量０．１Ｌ／分で導入し、内圧を正確にはＳｉ周囲圧力を１０００Ｐａとした後はこれを保持した。
ヒータ１５０ａの設定温度を１１００℃、ヒータ１５０ｂの設定温度を１５００℃として加熱した。
ヒータ１５０ａの加熱開始１５分後にシャッター１２０を開き、３０分間これを保持した。ヒータ１５０ａの加熱開後４５分後にシャッター１２０を閉じた。ヒータ１５０ａの加熱開始６０分後に加熱を終了した。このようにして、本例の機能性糸状物を得た。
【００３７】
図９に、本例の機能性糸状物の概念断面図を示す。なお、図中の種々の矢印は、現時点で推定されている本発明の機能性糸状物の成長メカニズムを示すものである。金属基体中に含まれる元素や外部から供給される元素は矢印のように移動しているものと考えられる。本例の機能性糸状物は、金属基体と連結した糸状体を備え、その糸状体の茎部（Ｃｒ酸化物）が図３に示すように機能性材料の非晶質酸化ケイ素（ＳｉＯｘ）で被覆されている構造を有する。
このような構造は、高温に曝した場合にもＣｒ酸化物の揮発が非晶質酸化ケイ素の被膜で抑制でき、高温下で動作させる場合にＣｒ被毒が問題となる触媒担体としても好適に使用することができる。また、基体が金属性を有するので熱伝導も良く、触媒担体として用いた場合に温度制御が容易である。
【００３８】
（実施例２）
金属基体としてＭｎ−１０Ｎｉを用意し、図７のチャンバ１１０ａ内に設置し、機能性材料原料としてルテニウム（Ｒｕ）を用意し、図７のチャンバ１１０ｂ内に設置した。なお、シャッター１２０は初め閉じてあり、それぞれのチャンバは石英製で、内容積は３Ｌのものを用いた。
チャンバ１１０ａ及び１１０ｂを内圧０．０１Ｐａとなるまで排気ポンプ１４０ａ及び１４０ｂで排気した。次に、チャンバ１１０ａに反応ガス（５ｐｐｍの酸素を含むアルゴンガス）を流量１Ｌ／分で導入し、内圧を大気圧とした後はこれを保持し、一方でチャンバ１１０ｂに反応ガスを流量０．１Ｌ／分で導入し、内圧を１０００００Ｐａとした後はこれを保持した。
ヒータ１５０ａの設定温度を１１００℃、ヒータ１５０ｂの設定温度を１８００℃として加熱した。
ヒータ１５０ａの加熱開始１５分後にシャッター１２０を開き、３０分間これを保持した。ヒータ１５０ａの加熱開後４５分後にシャッター１２０を閉じた。ヒータ１５０ａの加熱開始６０分後に加熱を終了した。このようにして、本例の機能性糸状物を得た。
【００３９】
図１０に、本例の機能性糸状物の概念断面図を示す。なお、図中の種々の矢印は、現時点で推定されている本発明の機能性糸状物の成長メカニズムを示すものである。金属基体中に含まれる元素や外部から供給される元素は矢印のように移動しているものと考えられる。本例の機能性糸状物は、金属基体と連結した糸状体を備え、その糸状体の茎部（Ｍｎ酸化物）に機能性材料の酸化ルテニウム（Ｒｕ２Ｏ）の被膜、更には内部に粒子で含有されている構造を有する。
このような構造は、スーパーキャパシターのレドックスキャパシター電極として好適に使用することができる。また、基体が金属性を有するので電気伝導も良く、キャパシタ電極として好適である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上、本発明を若干の好適実施例により詳細に説明したが、本発明はこれら実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変形が可能である。
例えば、金属基体上に多数のＣｒ酸化物の糸状体を形成させ、糸状体の間隙に白金微粒子を担持させることにより、表面積が大きく、耐熱性に優れた基材に触媒となる白金を担持した部材を得ることができ、排ガス浄化用触媒として利用することができる。
また、金属基体上に多数のＣｒ酸化物の糸状体を形成させ、これに非晶質酸化ケイ素被膜を形成させることにより、表面積が大きく、耐熱性に優れ、更に化学的安定性の優れた部材を得ることができる。親水性を示す非晶質酸化ケイ素被膜が形成されているため、ゾルゲル液等の揺れ性も良い。このような機能を付与したことにより、特に限定されるものではないが、各種水溶液原料で表面を修飾することが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の機能性糸状物の一例を示す概念的な斜視図である。
【図２】本発明の機能性糸状物の典型例を示す概念的な拡大図である。
【図３】機能性材料膜が形成された茎部を示すＴＥＭ写真である。
【図４】機能性材料膜が形成された茎部を示すＸ線写真である。
【図５】本発明の機能性糸状物の好適形態の一例を示す概念的な斜視図である。
【図６】本発明の機能性糸状物の他の好適形態の一例を示す概念的な斜視図である。
【図７】本発明の製造装置の一実施形態を示す構成断面図である。
【図８】本発明の製造装置の他の一実施形態を示す構成断面図である。
【図９】実施例１の機能性糸状物を示す概念的な断面図である。
【図１０】実施例２の機能性糸状物を示す概念的な断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１      機能性糸状物
１０    金属基体
２０    糸状体
２２    茎部
２４    球状頭部
３０    機能性材料
１００    製造装置
１１０ａ，１１０ｂ    チャンバ
１２０ａ，１２０ｂ    シャッター
１３０ａ，１３０ｂ    排気ポンプ
１４０ａ，１４０ｂ    ガス供給手段
１５０ａ，１５０ｂ，１５２ｂ    ヒータ
１６０ａ，１６０ｂ    コック
１７０ａ，１７０ｂ    加熱機構付整流板
１８０    除害装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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