(57)【要約】【課題】  基板特性の面内不均一をなくし、これまでにない高品質かつ高均一なIII−Ｖ族窒化物半導体基板およびその製造方法を提供することにある。【解決手段】  第一の半導体結晶基板を準備し、この第一の半導体結晶基板を接着によりサセプタ上に固定し、この第一の半導体結晶基板上にIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を成長する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
III−Ｖ族窒化物系半導体結晶からなる自立したIII−Ｖ族窒化物半導体基板であって、
前記基板の面積は４５ｃｍ2以上であり、
前記基板の厚みは２００μｍ以上であり、
前記基板の表面における平均転位密度の値Ａが２×１０7ｃｍ-2以下であり、
前記基板の表面における転位密度の最大値がＡ×１５０％以下であることを特徴とするIII−Ｖ族窒化物半導体基板。
【請求項２】
前記基板の表面における基板面内の結晶軸のばらつきが±０．３°以内であることを特徴とする請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板。
【請求項３】
前記基板の表面における任意の点でのキャリア濃度と基板面内の平均キャリア濃度との差が±２０％以内であることを特徴とする請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板。
【請求項４】
前記基板面内の任意の点での基板の厚みと平均基板厚みとの差が±１０μｍ以内であることを特徴とする請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板。
【請求項５】
前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶のＸ線回折のロッキングカーブの半値幅が２５０ｓｅｃ以下であることを特徴とする請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板。
【請求項６】
前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶の組成がＩｎxＡｌyＧａ1-x-yＮ（ｘ≧０、ｙ≧０、ｘ＋ｙ≦１）であることを特徴とする請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板。
【請求項７】
第一の半導体結晶基板を準備し、
サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を接着し、
前記第一の半導体結晶基板上にIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とするIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項８】
前記第一の半導体結晶基板が、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板であることを特徴とする請求項７記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項９】
前記第一の半導体結晶基板を、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板とし、
前記異種基板上に、第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を形成し、
当該第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶をボイド化し、
当該ボイド化した第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶の上に第二のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を形成し、
前記異種基板および前記第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を除去して前記第二のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とすることを特徴とする請求項７記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１０】
前記異種基板がサファイア基板であることを特徴とする請求項８又は９記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１１】
前記第一の半導体結晶基板が、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶と組成が同じ種結晶基板であることを特徴とする請求項７に記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１２】
前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶の組成がＩｎxＡｌyＧａ1-x-yＮ（ｘ≧０、ｙ≧０、ｘ＋ｙ≦１）であることを特徴とする請求項７記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１３】
第一の半導体結晶基板を準備し、
サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を載せ、
前記第一の半導体結晶基板の前記サセプタと対向する面とは反対側の面から、当該第一の半導体結晶基板の反対側の面の一部が露出するように前記第一の半導体結晶基板を前記サセプタに押さえつけて固定し、
前記第一の半導体結晶基板の露出した前記反対側の面の上にIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とするIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１４】
第一の半導体結晶基板を準備し、
サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を接着し、
前記第一の半導体結晶基板の前記サセプタと対向する面とは反対側の面から、当該第一の半導体結晶基板の反対側の面の一部が露出するように前記第一の半導体結晶基板を前記サセプタに押さえつけて固定し、
前記第一の半導体結晶基板の露出した前記反対側の面の上にIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とするIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１５】
前記第一の半導体結晶基板は、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板であることを特徴とする請求項１３又は１４記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１６】
前記第一の半導体結晶基板を、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板とし、
前記異種基板上に、第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を形成し、
当該第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶をボイド化し、
当該ボイド化した第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶の上に第二のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を形成し、
前記異種基板および前記第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を除去して前記第二のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とすることを特徴とする請求項１３又は１４記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１７】
前記異種基板がサファイア基板であることを特徴とする請求項１５又は１６記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１８】
前記第一の半導体結晶基板が、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶と組成が同じ種結晶基板であることを特徴とする請求項１３又は１４記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【請求項１９】
前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶の組成がＩｎxＡｌyＧａ1-x-yＮ（ｘ≧０、ｙ≧０、ｘ＋ｙ≦１）であることを特徴とする請求項１３〜１８のいずれかに記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、III−Ｖ族窒化物半導体基板およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
窒化ガリウム（ＧａＮ）、窒化インジウムガリウム（ＩｎＧａＮ）、窒化ガリウムアルミニウム（ＡｌＧａＮ）等のＧａＮ系化合物半導体は、青色発光ダイオード（ＬＥＤ）やレーザーダイオード（ＬＤ）用材料として、脚光を浴びている。さらに、ＧａＮ系化合物半導体は、耐熱性や耐環境性が良いという特徴を活かして、電子デバイス用素子への応用開発も始まっている。
【０００３】
現在広く実用化されているＧａＮ成長用の基板はサファイアであり、単結晶サファイア基板の上に有機金属気相成長法（ＭＯＶＰＥ法）等でＧａＮをエピタキシャル成長させる方法が一般に用いられている。
【０００４】
しかしながら、サファイア基板はＧａＮと格子定数が異なるため、サファイア基板上に直接ＧａＮを成長させたのでは単結晶膜を成長させることができない。このため、サファイア基板上に一旦低温でＡｌＮやＧａＮのバッファ層を成長させ、この低温成長バッファ層で格子の歪みを緩和させてからその上にＧａＮを成長させる方法が提案されている（特許第３０２６０８７号、特許第２７５１９６３号、特公平８−８２１７号公報）。
【０００５】
この低温成長窒化物層をバッファ層として用いることで、ＧａＮの単結晶エピタキシャル成長は可能になった。しかし、この方法でも、やはり基板と結晶の格子のずれは如何ともし難く、ＧａＮは無数の欠陥を有している。この欠陥は、ＧａＮ系ＬＤを製作する上で障害となることが予想される。
【０００６】
上記のような理由から、ＧａＮ自立基板の出現が切に望まれている。ＧａＮは、ＳｉやＧａＡｓのように融液から大型のインゴットを引き上げることが困難なため、例えば（１）超高温高圧法、（２）フラックス法、（３）ＨＶＰＥ法（Ｈｙｄｒｉｄｅ  Ｖａｐｏｒ  Ｐｈａｓｅ  Ｅｐｉｔａｘｙ：ハイドライド気相成長法）などの種々の方法が試みられている。
【０００７】
窒化物半導体自立基板を作製する代表的な方法は、サファイア等の異種基板上にＨＶＰＥ法を用いて厚いＧａＮ層を形成し、成長後に異種基板を除去することで自立ＧａＮ基板とする方法である（ＶＡＳ法：特許文献４参照）。これは、空隙を有する層を歪み緩和層として機能させ、下地基板とIII族窒化物半導体層との格子定数差や熱膨張係数差に起因する歪みを緩和するものであり、これにより、欠陥密度が低く、結晶品質の良好な反りのないIII族窒化物半導体基板を得ることができ、基板の除去を容易に行うことができるとされている。この技術によって低転位のＧａＮ基板が実現しつつあり、市場にも出回り始めている。
【特許文献１】特許第３０２６０８号公報
【特許文献２】特許第２７５１９６３号公報
【特許文献３】特公平８−８２１７号公報
【特許文献４】特開２００３−１７８９８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、実用に足るような高品質で大型のＧａＮ単結晶はいまだ得られていない。
【０００９】
例えば、超高温高圧法では、数万気圧、数千度の条件を必要とするため、結晶の大型化が困難であり、現在のところ直径数ｍｍ厚さ数十ｍｍ程度のものしか得られていない。
【００１０】
フラックス法の場合の成長条件は、数百気圧、１０００℃程度の条件で済むものの、直径が数ｍｍで厚さが数十ｍｍ程度のものしか得られていない。窒素抜けや、フラックスであるＮａやＣａの結晶中への混入の問題もある。成長初期の核発生の制御が困難なため、多結晶の混入も起こりやすい。
【００１１】
ＨＶＰＥ法では、直径５．０８ｃｍ（２インチ）程度の結晶が開発されつつあるが、デバイス作製の経済的な観点からは、直径７．６２ｃｍ（３インチ）以上のより大型の単結晶ウェハが望まれている。しかしながら、そのような大型化を行うと特性の面内不均一が顕著になり、せっかくの大面積が無意味になってしまうという問題があった。例えば、転位密度の不均一は個々のデバイスの信頼性のばらつきをうむ。電気抵抗率（キャリア濃度）のばらつきは動作電圧をばらつかせる。結晶方位の不均一は、活性層のＩｎＧａＮ組成を不均一にするため、発光波長のばらつきを生む。厚さの不均一、特に基板裏面の平坦性はデバイスのエピタキシャル層成長時の温度分布の不均一につながり、特に活性層のＩｎＧａＮの組成に影響を与え、発光波長を不均一にしてしまう。
【００１２】
本発明の目的は、上述の問題を解決し、基板特性の面内不均一をなくし、これまでにない高品質かつ高均一なIII−Ｖ族窒化物半導体基板およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明は、次のように構成したものである。
【００１４】
請求項１の発明に係るIII−Ｖ族窒化物半導体基板は、III−Ｖ族窒化物系半導体結晶からなる自立したIII−Ｖ族窒化物半導体基板であって、前記基板の面積は４５ｃｍ2以上であり、前記基板の厚みは２００μｍ以上であり、前記基板の表面における平均転位密度の値Ａが２×１０7ｃｍ-2以下であり、前記基板の表面における転位密度の最大値がＡ×１５０％以下であることを特徴とする。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板において、前記基板の表面における基板面内の結晶軸のばらつきが±０．３°以内であることを特徴とする。
【００１６】
請求項３の発明は、請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板において、前記基板の表面における任意の点でのキャリア濃度と基板面内の平均キャリア濃度との差が±２０％以内であることを特徴とする。
【００１７】
請求項４の発明は、請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板において、前記基板面内の任意の点での基板の厚みと平均基板厚みとの差が±１０μｍ以内であることを特徴とする。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板において、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶のＸ線回折のロッキングカーブの半値幅が２５０ｓｅｃ以下であることを特徴とする。
【００１９】
請求項６の発明は、請求項１記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板において、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶の組成がＩｎxＡｌyＧａ1-x-yＮ（ｘ≧０、ｙ≧０、ｘ＋ｙ≦１）であることを特徴とする。
【００２０】
請求項７の発明に係るIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法は、第一の半導体結晶基板を準備し、サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を接着し、前記第一の半導体結晶基板上にIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とする。
【００２１】
請求項８の発明は、請求項７記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法は、前記第一の半導体結晶基板が、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板であることを特徴とする。
【００２２】
請求項９の発明は、請求項７記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記第一の半導体結晶基板を、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板とし、前記異種基板上に、第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を形成し、当該第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶をボイド化し、当該ボイド化した第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶の上に第二のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を形成し、前記異種基板および前記第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を除去して前記第二のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とすることを特徴とする。
【００２３】
請求項１０の発明は、請求項８又は９記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記異種基板がサファイア基板であることを特徴とする。
【００２４】
請求項１１の発明は、請求項７記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記第一の半導体結晶基板が、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶と組成が同じ種結晶基板であることを特徴とする。
【００２５】
請求項１２の発明は、請求項７に記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶の組成がＩｎxＡｌyＧａ1-x-yＮ（ｘ≧０、ｙ≧０、ｘ＋ｙ≦１）であることを特徴とする。
【００２６】
請求項１３の発明に係るIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法は、第一の半導体結晶基板を準備し、サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を載せ、前記第一の半導体結晶基板の前記サセプタと対向する面とは反対側の面から、当該第一の半導体結晶基板の反対側の面の一部が露出するように前記第一の半導体結晶基板を前記サセプタに押さえつけて固定し、前記第一の半導体結晶基板の露出した前記反対側の面の上にIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とする。
【００２７】
請求項１４の発明に係るIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法は、第一の半導体結晶基板を準備し、サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を接着し、前記第一の半導体結晶基板の前記サセプタと対向する面とは反対側の面から、当該第一の半導体結晶基板の反対側の面の一部が露出するように前記第一の半導体結晶基板を前記サセプタに押さえつけて固定し、前記第一の半導体結晶基板の露出した前記反対側の面の上にIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とする。
【００２８】
請求項１５の発明は、請求項１３又は１４記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記第一の半導体結晶基板は、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板であることを特徴とする。
【００２９】
請求項１６の発明は、請求項１３又は１４記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記第一の半導体結晶基板を、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板とし、前記異種基板上に、第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を形成し、当該第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶をボイド化し、当該ボイド化した第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶の上に第二のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を形成し、前記異種基板および前記第一のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を除去して前記第二のIII−Ｖ族窒化物系半導体結晶を前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶とすることを特徴とする。
【００３０】
請求項１７の発明は、請求項１５又は１６記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記異種基板がサファイア基板であることを特徴とする。
【００３１】
請求項１８の発明は、請求項１３又は１４記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記第一の半導体結晶基板は、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶と組成が同じ種結晶基板であることを特徴とする。
【００３２】
請求項１９の発明は、請求項１３〜１８のいずれかに記載のIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法において、前記III−Ｖ族窒化物系半導体結晶の組成がＩｎxＡｌyＧａ1-x-yＮ（ｘ≧０、ｙ≧０、ｘ＋ｙ≦１）であることを特徴とする。
【００３３】
＜発明の要点＞
【００３４】
本発明の特長は、ハイドライド気相成長（ＨＶＰＥ）法による窒化物半導体の成長において、成長中の結晶温度を均一に保つことによって成長速度や不純物濃度を均一化する。さらに、それに付随して変化する転位密度などの諸特性も目覚しく向上させることにある。
【００３５】
本発明者は、鋭意検討の結果、先述のような基板特性の面内不均一の原因の根本は、成長温度の不均一にあることを見出した。
【００３６】
すなわち、第一に、成長温度の不均一は成長速度の不均一を生む。ＧａＮのヘテロエピタキシャル成長は一般に多数の成長初期核が発生し、成長の進行に伴ってそれらが互いに結合し、最終的に平坦な２次元成長に移行する、いわゆるＶｏｌｍｅｒ−Ｗｅｂｅｒ型の成長様式をとる。成長速度が異なると、成長初期における核発生密度やその後の平坦化の様子が変わるため、最終表面の転位密度もそれに伴って変化する。また、成長速度が異なれば、ドーパントの取り込み密度も変化するから、キャリア濃度や電気抵抗率の不均一を引き起こす。ＧａＮ結晶は、一般に成長後にその両面を研磨してからウェハとして用いるが、転位密度やキャリア濃度が異なると研磨速度が面内で不均一になり、最終的に厚さが不均一になりやすいという問題もある。
【００３７】
第二に、成長温度の不均一は結晶の反りを引き起こす。従って、結晶軸の面内ばらつきの大きい結晶が成長してしまいやすい。
【００３８】
以上のことから、大径基板の特性を均一にするには、成長温度を均一にすることが重要である。通常、ＧａＮの結晶成長は、種基板をグラファイトやＳｉＣ等の黒体でできたサセプタ上で行われる。ＧａＮやサファイアは透明体なため、基板加熱は主としてサセプタからの熱伝導によって行われる。従って、基板とサセプタとの接触を均一に保つことが重要である。
【００３９】
従って、平坦な基板を平坦なサセプタ上に設置することで熱接触を充分にとるようにするのは当然である。しかし、一般的なホモエピタキシャル成長や、薄膜のヘテロエピタキシャル成長と異なり、数百μｍにも達するような厚膜のヘテロエピタキシャル成長では、実は成長中に基板が大きく反ってしまい、熱接触が不均一になるという問題が存在することに発明者らは気がついた。すなわち、サファイア等の異種基板上のＧａＮの成長は、先述したＶｏｌｍｅｒ−Ｗｅｂｅｒ型の成長様式をとるが、成長初期核同士の合体の際に、表面エネルギーを最小にするために核同士が互いに引きつけ合い、必然的に引っ張り応力が生じてしまう。成長膜が下地基板に対して充分に薄い場合にはさほど問題にならないが、今回のように、成長層の厚さが下地基板の厚さに対して同等かそれ以上に達するような場合は、熱分布に深刻な影響を与えるほどの大きな反りを生じてしまう。
【００４０】
そのような状況を回避するための手法として、本発明者は次のようなものを考案した。
【００４１】
（１）下地基板とサセプタとを接着する。例えば、アルミナ系の高温用接着剤を用いれば、１０００℃以上の高温でも十分な強度を発揮する。
【００４２】
（２）下地基板を、サセプタに対して機械的に抑えつける。例えば、リング状の治具を用いて下地基板をサセプタにビス止めで固定し、窓の開いた部分に成長する。
【００４３】
（３）下地基板を厚くする。剛性が高まり、応力に対して変形しにくくなる。
【００４４】
（４）下地基板裏面に不透明体を形成する。例えば、下地基板裏面にカーボン薄膜層を形成すれば、サセプタと離れてもその部分の温度低下を防ぐことができる。
【００４５】
以上のような方策を適宜組合せることにより、次のような高い均一性をもった大型基板を実現することができる。すなわち、７．６２ｃｍ（３インチ）以上の直径（もしくは、それに相当する４５ｃｍ2以上の面積）と、ハンドリング時に割れないための充分な剛性を与える２００μｍ以上の平均厚さを有するIII−Ｖ族窒化物半導体基板において、
【００４６】
（Ａ）転位密度の平均値が２×１０7ｃｍ-2以下であり、その最大値が平均値の１５０％以下である。
【００４７】
（Ｂ）ｃ軸の面内ばらつき（主面とｃ軸との成す角度）が±０．３度以下である。
【００４８】
（Ｃ）電気抵抗率（キャリア濃度）の面内ばらつきが平均値に対して±２０％以内である。
【００４９】
（Ｄ）厚さの面内ばらつきが、平均値に対して±１０μｍ以下である。
【００５０】
本発明による基板を用いれば、大面積のデバイス用エピタキシャル層を均一に作製できるため、非常に経済的である。
【発明の効果】
【００５１】
本発明によれば、成長温度の不均一による基板特性の面内不均一をなくし、これまでにない高品質かつ高均一なIII−Ｖ族窒化物半導体基板を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
＜従来例：ただのテンプレートで３インチ基板作製＞
【００５３】
説明の便宜上、先に従来技術の一例を図３を用いて説明する。
【００５４】
図３において、はじめに、直径７．６２ｃｍ（３インチ）、厚さ３３０μｍのｃ面サファイア基板１上に、ＭＯＶＰＥ法で、厚さ３００ｎｍの下地ＧａＮ層２を形成した（図３（ａ）（ｂ））。
【００５５】
これをＨＶＰＥ炉にセットし、ＳｉドープのＧａＮ厚膜３を成長させた（図３（ｃ））。キャリアガスとしてＮ2：Ｈ2＝９：１の混合ガスを用いた。原料分圧はＧａＣｌ＝９×１０-3ａｔｍ、ＮＨ3＝５×１０-2ａｔｍとした。Ｎ型ドーピングのために、ＳｉＨ2Ｃｌ2ガスを５×１０-4ａｔｍの分圧で流した。成長温度は１０７０℃である。
【００５６】
得られたＧａＮ結晶（ＧａＮ厚膜３）の厚さは中心部が８００μｍ、最外周部で５００μｍと、大きな分布をもっていた。
【００５７】
サファイア基板１の裏面からＹＡＧレーザを入射し、界面のＧａＮ結晶を分解することでＧａＮ基板４を分離した（図３（ｄ））。分離したＧａＮ基板４は凹面に反っており、その曲率半径は約３ｍであった。このＧａＮ基板の両面を研磨することによって、中心部の厚さ４３０μｍをもつ３インチＧａＮ自立基板５を得たが（図３（ｅ））、最外周部では厚さが４００μｍと、大きく落ち込んでいた。
【００５８】
このＧａＮ基板（ＧａＮ自立基板５）の諸特性の均一性を評価したところ、大きな面内分布をもつことがわかった。まず、転位密度が中心部で１×１０7ｃｍ-2であるのに対し、最外周部では２×１０7ｃｍ-2であった。キャリア濃度は中心部が１×１０18ｃｍ-3であるのに対し、最外周部では３×１０18ｃｍ-3であった。これらの分布は、成長速度の面内分布が大きいことに起因すると考えられる。基板の外側ほど研磨レートが速く、外周の厚さが小さくなってしまったのは、転位密度とキャリア濃度の不均一性を反映したものと考えられる。また、ｃ軸が基板中心側に傾いており、±約０．７度と、大きく傾いていた。この傾きは、反った基板をそのまま研磨したために生じたものと考えられる。
【００５９】
このＧａＮ自立基板５を用いて、青色発光ダイオードのエピタキシャル成長を行った。ＭＯＶＰＥ法で青色発光ダイオード（ＬＥＤ）を作製した。活性層はＩｎＧａＮ／ＡｌＧａＮの多重量子井戸構造であり、これをＡｌＧａＮのクラッド層が挟む構造とした。得られたＬＥＤの発光波長は４０５±１５ｎｍとばらつきが大きく、エピタキシャルウェハの全面積のうち、９０％は規格外となってしまった。これは、用いたＧａＮ基板の結晶方位が不均一だったため、活性層のＩｎＧａＮの組成が面内でばらついたためと考えられる。素子寿命の加速試験によれば、１Ｗの高出力動作時の寿命が１万時間以下のものが１０％程度存在した。これは、局所的に転位密度の高い領域が原因であると考えられる。
【００６０】
＜実施例１：厚いサファイア使用で反り防止＞
【００６１】
図１に本発明の第一の実施例を示す。
【００６２】
はじめに、直径３インチ、厚さ６５０μｍのｃ面単結晶サファイア基板６の表面に、厚さ３００ｎｍの下地ＧａＮ層７を、ＭＯＶＰＥ（有機金属気相成長法）を用いて成長した（図１（ａ）（ｂ））。
【００６３】
これを従来例と同様のＨＶＰＥ炉にセットし、ＧａＮ厚膜８を成長させた。このとき、キャリアガスとしてＮ2：Ｈ2＝１：１の混合ガスを用いた。原料分圧はＧａＣｌ＝９×１０-3ａｔｍ、ＮＨ3＝１×１０-1ａｔｍとした。ドーピングのために、ＳｉＨ2Ｃｌ2ガスを５×１０-4ａｔｍの分圧で流した。成長温度は１０７０℃である。
【００６４】
成長後、サファイア基板の裏面からＹＡＧレーザを入射し、界面のＧａＮ結晶を分解することでＧａＮ厚膜８を分離し、ＧａＮ基板９を得た（図１（ｄ））。
【００６５】
得られたＧａＮ基板９の厚さは中心部が８００μｍ、最外周部で７００μｍと、分布が大きく改善していた。また、曲率半径も約１０ｍと、反りが大きく緩和されていた。これは、厚いサファイアを用いたためと考えられる。膜厚分布の改善は、成長中の反りが小さくなったため、サセプタとの接触が均一になり、成長温度が面内で均一になったためと考えられる。
【００６６】
このＧａＮ基板９の両面を研磨した（図１（ｅ））。膜厚分布と反りが改善されたため、成長膜厚が薄いのにもかかわらず、この基板の両面を研磨することによって、均一な厚さ（４３０μｍ）をもつ３インチＧａＮ自立基板１０を得ることができた。
【００６７】
このＧａＮ基板（ＧａＮ自立基板１０）の諸特性の均一性を評価したところ、大きな改善が見られた。まず、転位密度が中心部で１×１０7ｃｍ-2であるのに対し、最外周部でも１．４×１０7ｃｍ-2と均一であった。キャリア濃度は中心部が１×１０18ｃｍ-3であるのに対し、最外周部でも１．３×１０18ｃｍ-3であった。ｃ軸の傾きは±０．２１度であった。
【００６８】
＜実施例２：サファイア裏面にカーボン塗布してさらに均一性向上＞
【００６９】
実施例１において、サファイア基板裏面に厚さ約１μｍのカーボン層を形成してからＨＶＰＥ成長を行った。すると、成長中の温度分布がさらに改善され、アズグロウン時の膜厚分布は中心で８００μｍ、最外周部で７５０μｍであった。
【００７０】
ＧａＮ基板の特性にも改善が見られた。まず、転位密度は中心部でも最外周部でも１×１０7ｃｍ-2であった。キャリア濃度は中心部でも最外周部でも１×１０18ｃｍ-3であった。ｃ軸の傾きは±０．１８度であった。
【００７１】
＜実施例３：サファイア基板をサセプタに接着＋ＶＡＳ法＞
【００７２】
本発明の第三の実施例を図２を参照しながら説明する。
【００７３】
まず実施例１と同様にして、直径３インチ、厚さ３３０μｍのｃ面単結晶サファイア基板６を用意した（図２（ａ））。
【００７４】
次に、このサファイア基板６上に、厚さ３００ｎｍのＧａＮ薄膜（下地ＧａＮ層１７）を形成した。これに厚さ２０ｎｍのＴｉを真空蒸着した。その後、Ｈ2：ＮＨ3＝４：１の混合気流中、１０６０℃で３０分間の熱処理を施した。すると、Ｔｉは窒化されてＴｉＮ層になるのと同時に、数十ｎｍ程度の多数の微細孔を有するメッシュ状の構造（ＴｉＮナノマスク１１）に変化した。一方、ＧａＮ層１７はエッチングされ、サファイア基板まで到達するボイドが多数形成された（図２（ｂ））。
【００７５】
このボイド形成基板を、アルミナ系の高温用接着剤１２を用いてグラファイトサセプタに抑えつけて接着した状態でＨＶＰＥ炉にセットした（図２（ｃ））。
【００７６】
その後、厚さ８００μｍのＧａＮ厚膜１８を成長した（図２（ｄ））。成長に用いた原料はＮＨ3とＧａＣｌである。また、供給ガス中のＧａＣｌ分圧、ＮＨ3分圧は、それぞれ、８×１０-3ａｔｍ、８×１０-2ａｔｍである。成長は常圧で行い、成長温度は１０４０℃とした。ドーピングのために、ＳｉＨ2Ｃｌ2ガスを５×１０-4ａｔｍの分圧で流した。
【００７７】
成長終了後の冷却過程においてＧａＮ厚膜１８が自然に剥離し、直径３インチのＧａＮ自立基板１９が得られた（図２（ｅ））。このＧａＮ基板の厚さ分布は８００±１０μｍであり、非常に均一であった。
【００７８】
このＧａＮ基板の転位密度をカソードルミネセンス法によって測定したところ、平均値で１×１０6ｃｍ-2と非常に小さいことがわかった。また、そのばらつき（面内分布）も１±０．２×１０6ｃｍ-2と極めて均一であることが明らかになった。（０００２）反射のＸ線ロッキングカーブの半値幅は４０秒であり、低転位を裏付ける結果となった。さらに、結晶軸（ｃ軸）のばらつきが±０．１度、キャリア濃度のばらつきが（３．０±０．２）×１０18ｃｍ-3と、各主要特性も非常に均一な基板であることがわかった。
【００７９】
＜実施例４：サファイア基板をサセプタに押さえつけ＋ＶＡＳ法＞
【００８０】
実施例３と同様にして直径４．５インチのボイド形成基板（図２（ｂ））を作製し、これをリング状の治具を用いてサセプタに抑えつけ、反りを矯正した状態でＨＶＰＥ炉にセットし、成長条件を実施例１と同様にしてＧａＮを成長させ、かつ冷却過程での自然剥離を経て、直径４インチのＧａＮ基板を得た。得られたＧａＮ基板の特性は実施例１に示したものとほぼ同等な、高品質かつ均一性の高いものであった。
【００８１】
＜実施例５：分布の良いＧａＮ種結晶でバルク成長＞
【００８２】
実施例３で得られたＧａＮ基板を種結晶として長さ４０ｍｍのＧａＮインゴットを成長した。成長の過程で直径が若干増大したが、直径４インチにまで円筒研削することで、クラックを含まない透明な単結晶インゴットが得られた。Ｘ線回折によって（１−１００）面の位置を割り出し、長さ１５ｍｍのオリエンテーションフラットを作成した。スライス後に裏表を判別するために、９０度回転した位置に長さ１０ｍｍの第２オリエンテーションフラットも形成した。その後、ワイヤーソーを用いてスライスし、厚さ５００μｍのＧａＮ基板を４０枚切り出した。それぞれの基板に両鏡面研磨加工を施し、直径４インチの透明なＧａＮ単結晶基板とした。
【００８３】
このＧａＮ基板の転位密度をカソードルミネセンス法によって測定したところ、平均値で５×１０5ｃｍ-2と非常に小さいことがわかった。また、そのばらつき（面内分布）も５±０．２×１０5ｃｍ-2と極めて均一であることが明らかになった。（０００２）反射のＸ線ロッキングカーブの半値幅は３０秒であり、低転位を裏付ける結果となった。さらに、結晶軸（ｃ軸）のばらつきが±０．１度、キャリア濃度のばらつきが３．０±０．２×１０18ｃｍ-3と、各主要特性も非常に均一な基板であることがわかった。
【００８４】
＜比較例：分布の悪いＧａＮ基板でバルク成長＞
【００８５】
従来例と同様にして直径３インチのＧａＮ基板を準備し、その上に実施例５と同様にして長さ４０ｍｍのＧａＮインゴットを成長した。成長の過程で直径が若干増大したが、直径３インチにまで円筒研削することで、透明な単結晶インゴットが得られた。しかし、長さ２０ｍｍ以上の部分には微小なクラックが無数に走っていた。種基板の結晶方位分布が大きく、成長中に大きな圧縮応力が加わったためと考えられる。
【００８６】
次に、Ｘ線回折によって（１−１００）面の位置を割り出し、長さ１５ｍｍのオリエンテーションフラットを作成した。スライス後に裏表を判別するために、９０度回転した位置に長さ１０ｍｍの第２オリエンテーションフラットも形成した。その後、ワイヤーソーを用いてスライスし、厚さ５００μｍのＧａＮ基板を２０枚切り出した。それぞれの基板に両鏡面研磨加工を施し、直径３インチの透明なＧａＮ単結晶基板とした。
【００８７】
このＧａＮ基板の転位密度をカソードルミネセンス法によって測定したところ、平均値では１×１０6ｃｍ-2と概ね良好であったが、面内の位置によっては１×１０7ｃｍ-2程度と不十分な値となってしまった。結晶軸（ｃ軸）のばらつきは、±０．４度と、ばらつきが大きくなってしまった。
【００８８】
＜実施例６＞
【００８９】
実施例５で得られたＧａＮ基板を用い、ＭＯＶＰＥ法で青色発光ダイオード（ＬＥＤ）用エピタキシャルウェハを作製し、これから切り出したチップにより多数のＬＥＤを作製した。活性層はＩｎＧａＮ／ＡｌＧａＮの多重量子井戸構造であり、これをＡｌＧａＮのクラッド層が挟む構造とした。
【００９０】
得られた総てのＬＥＤの発光波長は４０５±３ｎｍと充分な均一性を有していた。それゆえ、エピタキシャルウェハの全面積のうち、９０％以上が規格内に入っていた。これは、用いたＧａＮ基板の結晶方位が均一だったため、活性層のＩｎＧａＮの組成が面内で均一にできたためと考えられる。
【００９１】
また、素子寿命の加速試験によれば、１Ｗの高出力動作時の寿命はいずれの素子においても１０万時間以上と推定された。
【００９２】
＜他の応用例、変形例＞
【００９３】
以上述べた実施例においては、本発明をＧａＮ基板の製造方法に適用した例について説明したが、窒化アルミニウムガリウムや窒化ガリウムインジウムなどの３元混晶の単結晶自立基板の製造や、Ｍｇ等をドープしたｐ型ＧａＮ基板の製造に適用することもできる。
【００９４】
また、本発明は、自立基板の製造のみならず、サファイアなどの異種基板上がついたままのものについても適用可能である。
【００９５】
本発明により得られるIII族窒化物半導体基板は、ＧａＮ系デバイス用の基板として広く用いることができる。特に、レーザダイオード用の基板として用いると、欠陥密度の低い良質なＧａＮ系結晶が得られるため、信頼性の高い高性能なレーザダイオードを作製することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の第一の実施例に係るIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法を示した図である。
【図２】本発明の第三の実施例に係るIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法を示した図である。
【図３】従来技術に係るIII−Ｖ族窒化物半導体基板の製造方法を示した図である。
【符号の説明】
【００９７】
１  サファイア基板
２  下地ＧａＮ層（ＭＯＶＰＥ）
３  ＧａＮ厚膜
４  ＧａＮ基板（剥離したＧａＮ厚膜）
５  研磨したＧａＮ自立基板
６  サファイア基板
７  下地ＧａＮ層（ＭＯＶＰＥ）
８  ＧａＮ厚膜
９  ＧａＮ基板（剥離したＧａＮ厚膜）
１０  研磨したＧａＮ自立基板
１１  ＴｉＮナノマスク
１２  高温用接着剤
１７  下地ＧａＮ層（ＭＯＶＰＥ）
１８  ＧａＮ厚膜
１９  ＧａＮ基板（剥離したＧａＮ厚膜）
【図１】
2006290676.tif 000003
【図２】
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【図３】
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