(57)【要約】【課題】  複数の部品保持部材を備え、上記それぞれの部品保持部材により保持された上記部品の画像を撮像してその保持姿勢を認識し、上記認識結果に基づいて上記それぞれの部品を回路基板に装着する部品装着ヘッドにおいて、上記撮像のための照明ユニットの交換又はメンテナンスにおけるその作業性を向上させる。【解決手段】  互いに異なる光の照射方向の相対的な位置関係が規定された状態にて、それぞれの光照射部を一体的な状態で固定して備える照明ユニットが、撮像フレームの取付部に脱着可能に装備され、さらに当該脱着が上記撮像フレームに固定された撮像素子部を取り外すこと無く行うことが可能とされていることにより、上記照明ユニットの脱着における作業性を良好なものとする。【選択図】  図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を解除可能に保持する複数の部品保持部材を一列に配列して備え、上記それぞれの部品保持部材により保持された上記複数の部品を回路基板に装着可能な部品装着ヘッドにおいて、
上記部品保持部材により保持された上記部品の画像を、上記部品保持部材の軸心沿いの方向において撮像可能な部品撮像部と、
上記それぞれの部品保持部材の配列方向に沿って、上記部品撮像部を、上記一列の両端のそれぞれに配列された上記部品保持部材の間を移動させる移動装置とを備え、
上記部品撮像部は、
上記部品保持部材により保持された上記部品に対して上記撮像のための光を互いに異なる方向から照射する複数の光照射部が、上記それぞれの光の照射方向が規定された状態で一体的に固定された照明ユニットと、
上記部品保持部材により保持された上記部品の画像を、当該部品保持部材の軸心沿いの方向において撮像する撮像素子部と、
上記それぞれの部品保持部材の配列方向に沿って移動可能に上記移動装置に支持された部材であって、上記撮像素子部が固定されるとともに、当該固定された上記撮像素子部を取り外すことなく、上記照明ユニットを脱着可能に装備する取付部を有する撮像フレームとを備えることを特徴とする部品装着ヘッド。
【請求項２】
上記撮像フレームの上記取付部において、上記照明ユニットと当接又は係合されるとともに、当該当接又は係合することによって、当該照明ユニットが備える上記それぞれの光照射部よりの光の照射方向を規定する位置規定部が備えられている請求項１に記載の部品装着ヘッド。
【請求項３】
上記部品撮像部において、
上記撮像素子部は、上記部品保持部材の軸心とは異なる軸をその光軸として配置されるとともに、
上記撮像フレームに固定され、かつ、上記部品保持部材の軸心沿いの方向における上記部品の画像を、上記撮像素子部の光軸に沿って反射して上記撮像素子部に入射させる反射部をさらに備え、
上記照明ユニットは、上記複数の光照射部として、
上記部品保持部材の軸心と直交する平面であって、上記部品における画像が撮像される部品撮像平面に対して、大略水平方向の光を直接的に照射する水平光照射部と、
上記光軸に略沿った光を照射するとともに、当該光を上記反射部により上記軸心沿いの方向に反射させて、上記部品撮像平面に対して大略垂直方向に当該光を照射する垂直光照射部と、
上記部品撮像平面に対して、上記水平方向及び上記垂直方向の略中間の角度に傾斜された光を直接的に照射する傾斜光照射部とを備え、
一体的に規定された上記水平光照射部、上記垂直光照射部、及び上記傾斜光照射部のそれぞれの配置関係が保持された状態にて、上記固定された上記撮像素子部及び上記反射部を取り外すことなく、上記照明ユニットが脱着可能に上記撮像フレームの上記取付部に装備される請求項１又は２に記載の部品装着ヘッド。
【請求項４】
上記照明ユニットにおいて、上記それぞれの光照射部における互いの配置関係を規定しながら、当該それぞれの光照射部が一体的に固定される光照射部固定部材をさらに備え、
上記それぞれの光照射部は、当該光照射部固定部材を介して、上記一体的な状態にて上記撮像フレームの上記取り付け部に脱着可能に装備される請求項１から３のいずれか１つに記載の部品装着ヘッド。
【請求項５】
上記移動装置は、上記それぞれの部品保持部材の配列に沿って当該配列の両側に配置され、上記撮像フレームの支持を行いながら、その移動を案内する２つの移動案内部材を備え、
上記撮像フレームは、
上記それぞれの移動案内部材と係合されて、上記移動可能に支持される２つの支持部と、
その両端部において上記各々の支持部に固定されるとともに、上記移動の際に、上記それぞれの部品保持部材の下方周囲を通過可能な大略Ｕ字形状を有し、上記撮像素子部、上記照明ユニット、及び上記反射部が固定される固定用フレームとを備え、
上記撮像素子部は、上記光軸が上記それぞれの部品保持部材の配列方向と直交する方向において、上記固定用フレームの外側に配置され、
上記固定用フレームには、上記撮像素子部の光軸を通過可能に形成され開口部であって、当該固定用フレームの内側に配置された上記取付部と、当該固定用フレームの外側との間で、上記脱着される照明ユニットを通過可能に形成された照明ユニット脱着用開口部が形成されている請求項３に記載の部品装着ヘッド。
【請求項６】
上記照明ユニットにおいて、上記垂直光照射部は上記照明ユニット脱着用開口部内にその一部又は全部が配置され、
上記照明ユニットとして一体的に上記垂直光照射部が取り外されることで、上記照明ユニット脱着用開口部において、上記水平光照射部と上記傾斜光照射部とが一体的に通過可能な開口部が確保される請求項５に記載の部品装着ヘッド。
【請求項７】
上記水平光照射部と上記傾斜光照射部は、上記部品保持部材の軸心上及びその周囲に形成される上記垂直光照射部による上記大略垂直方向の光の通過領域の外周近傍に配置され、
上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部の上部を覆う上部保護部と、上記水平光照射部の光の照射方向に略直交する方向に配置され、その光の照射部分を覆い、かつ、当該光を透過可能に透明材料にて形成された水平光透過部と、上記傾斜光照射部の光の照射方向に略直交する方向に配置され、その光の照射部分を覆い、かつ、当該光を透過可能に透明材料にて形成された傾斜光透過部とを備え、上記部品保持部材よりの上記部品の落下又は飛散から上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部を保護する保護カバーがさらに備えられている請求項３に記載の部品装着ヘッド。
【請求項８】
上記保護カバーは上記部品撮像部の移動方向に開口部を有し、上記移動装置による当該部品撮像部の移動により上記開口部を通して、上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部により発生された熱量を除去可能に、空気を導入可能である請求項７に記載の部品装着ヘッド。
【請求項９】
上記水平光照射部、上記垂直光照射部、及び上記傾斜光照射部のそれぞれは、基板上に実装された複数のＬＥＤをその光源として備え、
上記それぞれのＬＥＤが実装された基板に貼着され、上記それぞれのＬＥＤの発光により生成された熱量を除去する熱除去部材が備えられている請求項３に記載の部品装着ヘッド。
【請求項１０】
上記撮像フレームにおける上記取付部への上記照明ユニットの装着位置の固定を行う第１の取付部材と、
上記撮像フレームへの上記反射部の固定を行う第２の取付部材とをさらに備え、
上記第１の取付部材による固定を解除するための工具により第２の取付部材による固定を解除できないように、上記第１の取付部材と上記第２の取付部材との形状が互いに相違する請求項３に記載の部品実装ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の部品保持部材を備え、上記それぞれの部品保持部材により保持された上記部品の画像を撮像その保持姿勢を認識し、上記認識結果に基づいて上記それぞれの部品を回路基板に装着する部品装着ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、複数の部品として電子部品が回路基板に装着されることにより形成される電子回路が内蔵される電子機器は、その小型化、高機能化、さらに低コスト化が市場より益々強く要望されている。
【０００３】
このような電子回路は、部品装着ヘッドの一例であるヘッド部を備える電子部品装着装置において、ステージ上に保持された上記回路基板に対して、上記ヘッド部により上記複数の電子部品が装着されることにより製造されている。また、このような電子部品装着装置においては、上記ステージ上あるいは上記ヘッド部に備えられた撮像装置等により、上記ヘッド部による上記電子部品の保持姿勢や上記回路基板における上記電子部品の装着位置が認識されて、上記認識結果に基づいて上記電子部品の上記回路基板への装着が行われている。
【０００４】
上記市場からの要望に応えるため、電子部品の微小化、高機能化、さらに多様化が益々進み、上記ヘッド部が備える吸着ノズルにより保持された電子部品の保持姿勢を高精度かつ確実に認識する必要が生じ、このような認識精度を向上させるべく、保持姿勢の認識の基礎となる電子部品の画像撮像における様々な工夫がなされている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００５】
例えば、ヘッド部において、吸着ノズルに吸着保持された電子部品に対して、その画像撮像のために必要な光を照射する照明ユニットが備えられており、この照明ユニットにおいては、均一にかつ様々な方向からより強度な光を照射できることが求められている。そのため、例えばＬＥＤ(Light Emitting Diode：発光ダイオード)をその光源として用い、吸着ノズルに吸着保持された電子部品の近傍に、かつ、電子部品に対して様々な方向から光を照射できるような配置を実現して、高精度な認識を可能としている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１５８８１９号公報
【特許文献２】特開２００４−６９６１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような電子部品装着装置の設備寿命は１０年程度であるのに対して、上記照明ユニットに備えられているＬＥＤの寿命は比較的短い。また、それぞれのＬＥＤが吸着ノズルの近傍、例えば吸着ノズルの下方周辺に備えられるような構成においては、吸着ノズルに吸着保持された電子部品の落下や飛び跳ね等が生じることで、ＬＥＤやＬＥＤが実装された基板等が当該電子部品と衝突して損傷するような場合もある。このようにＬＥＤの損傷や寿命に対応するためには、ヘッド部において照明ユニットのメンテナンスを行う必要がある。
【０００８】
しかしながら、ヘッド部においては、それぞれのＬＥＤが吸着ノズルの近傍に密集的に配置されるとともに、その光の照射方向が精度良く位置決めされているだけでなく、撮像カメラや反射ミラー等がその撮像の光軸を高精度に確保すべく、それぞれのＬＥＤの配置と関係付けられてさらに高精度に位置決めされている。また、ＬＥＤは個々に光量のバラツキがあり、光量調整も必要となる。そのため、ヘッド部において照明ユニットのメンテナンスを行うことは、大きな手間を要し、その作業は想像以上に大変な作業となるという問題がある。
【０００９】
具体的には、ＬＥＤの交換を行えば、それぞれのＬＥＤの光軸の調整を行う必要があるばかりでなく、ＬＥＤの交換を行うためにその周囲に配置されている撮像カメラや反射ミラーを一度取り外して再度設置する必要があり、当該再設置により撮像カメラの光軸や反射ミラーの設置角度などにも影響が生じ、その調整作業に多大な労力を要するという問題がある。このような場合にあっては、高精度かつ効率的な電子部品の装着を行うことができても、メンテナンス作業に要する労力をも考慮すれば、総合的な電子部品の装着の効率化を図ることが困難であるという問題がある。
【００１０】
また、ＬＥＤはその機能的特徴により発光により発熱が生じる。特に、上述のようにそれぞれのＬＥＤを密集的に配置するような場合にあっては、個々のＬＥＤよりの発熱が集約されてその発熱量も大きなものとなる。このような発熱が生じることで、ＬＥＤ自体の寿命を短命化させてしまったり、それぞれの部材の熱膨張量が大きくなって、装置における機械的精度が低下したりすることとなる。このような問題が生じれば、電子部品の装着における効率性がさらに阻害されることとなる。
【００１１】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、複数の部品保持部材を備え、上記それぞれの部品保持部材により保持された上記部品の画像を撮像してその保持姿勢を認識し、上記認識結果に基づいて上記それぞれの部品を回路基板に装着する部品装着ヘッドにおいて、上記撮像のための照明ユニットの交換又はメンテナンスにおけるその作業性を向上させることができる部品装着ヘッドを提供することにある。
【００１２】
具体的には、上記照明ユニットの交換又はメンテナンスにおける脱着の容易性を向上させることを目的する。さらに、当該照明ユニットの交換又はメンテナンスの頻度を低減させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１４】
本発明の第１態様によれば、部品を解除可能に保持する複数の部品保持部材を一列に配列して備え、上記それぞれの部品保持部材により保持された上記複数の部品を回路基板に装着可能な部品装着ヘッドにおいて、
上記部品保持部材により保持された上記部品の画像を、上記部品保持部材の軸心沿いの方向において撮像可能な部品撮像部と、
上記それぞれの部品保持部材の配列方向に沿って、上記部品撮像部を、上記一列の両端のそれぞれに配列された上記部品保持部材の間を移動させる移動装置とを備え、
上記部品撮像部は、
上記部品保持部材により保持された上記部品に対して上記撮像のための光を互いに異なる方向から照射する複数の光照射部が、上記それぞれの光の照射方向が規定された状態で一体的に固定された照明ユニットと、
上記部品保持部材により保持された上記部品の画像を、当該部品保持部材の軸心沿いの方向において撮像する撮像素子部と、
上記それぞれの部品保持部材の配列方向に沿って移動可能に上記移動装置に支持された部材であって、上記撮像素子部が固定されるとともに、当該固定された上記撮像素子部を取り外すことなく、上記照明ユニットを脱着可能に装備する取付部を有する撮像フレームとを備えることを特徴とする部品装着ヘッドを提供する。
【００１５】
本発明の第２態様によれば、上記撮像フレームの上記取付部において、上記照明ユニットと当接又は係合されるとともに、当該当接又は係合することによって、当該照明ユニットが備える上記それぞれの光照射部よりの光の照射方向を規定する位置規定部が備えられている第１態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００１６】
本発明の第３態様によれば、上記部品撮像部において、
上記撮像素子部は、上記部品保持部材の軸心とは異なる軸をその光軸として配置されるとともに、
上記撮像フレームに固定され、かつ、上記部品保持部材の軸心沿いの方向における上記部品の画像を、上記撮像素子部の光軸に沿って反射して上記撮像素子部に入射させる反射部をさらに備え、
上記照明ユニットは、上記複数の光照射部として、
上記部品保持部材の軸心と直交する平面であって、上記部品における画像が撮像される部品撮像平面に対して、大略水平方向の光を直接的に照射する水平光照射部と、
上記光軸に略沿った光を照射するとともに、当該光を上記反射部により上記軸心沿いの方向に反射させて、上記部品撮像平面に対して大略垂直方向に当該光を照射する垂直光照射部と、
上記部品撮像平面に対して、上記水平方向及び上記垂直方向の略中間の角度に傾斜された光を直接的に照射する傾斜光照射部とを備え、
一体的に規定された上記水平光照射部、上記垂直光照射部、及び上記傾斜光照射部のそれぞれの配置関係が保持された状態にて、上記固定された上記撮像素子部及び上記反射部を取り外すことなく、上記照明ユニットが脱着可能に上記撮像フレームの上記取付部に装備される第１態様又は第２態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００１７】
本発明の第４態様によれば、上記照明ユニットにおいて、上記それぞれの光照射部における互いの配置関係を規定しながら、当該それぞれの光照射部が一体的に固定される光照射部固定部材をさらに備え、
上記それぞれの光照射部は、当該光照射部固定部材を介して、上記一体的な状態にて上記撮像フレームの上記取り付け部に脱着可能に装備される第１態様から第３態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００１８】
本発明の第５態様によれば、上記移動装置は、上記それぞれの部品保持部材の配列に沿って当該配列の両側に配置され、上記撮像フレームの支持を行いながら、その移動を案内する２つの移動案内部材を備え、
上記撮像フレームは、
上記それぞれの移動案内部材と係合されて、上記移動可能に支持される２つの支持部と、
その両端部において上記各々の支持部に固定されるとともに、上記移動の際に、上記それぞれの部品保持部材の下方周囲を通過可能な大略Ｕ字形状を有し、上記撮像素子部、上記照明ユニット、及び上記反射部が固定される固定用フレームとを備え、
上記撮像素子部は、上記光軸が上記それぞれの部品保持部材の配列方向と直交する方向において、上記固定用フレームの外側に配置され、
上記固定用フレームには、上記撮像素子部の光軸を通過可能に形成され開口部であって、当該固定用フレームの内側に配置された上記取付部と、当該固定用フレームの外側との間で、上記脱着される照明ユニットを通過可能に形成された照明ユニット脱着用開口部が形成されている第３態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００１９】
本発明の第６態様によれば、上記照明ユニットにおいて、上記垂直光照射部は上記照明ユニット脱着用開口部内にその一部又は全部が配置され、
上記照明ユニットとして一体的に上記垂直光照射部が取り外されることで、上記照明ユニット脱着用開口部において、上記水平光照射部と上記傾斜光照射部とが一体的に通過可能な開口部が確保される第５態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２０】
本発明の第７態様によれば、上記水平光照射部と上記傾斜光照射部は、上記部品保持部材の軸心上及びその周囲に形成される上記垂直光照射部による上記大略垂直方向の光の通過領域の外周近傍に配置され、
上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部の上部を覆う上部保護部と、上記水平光照射部の光の照射方向に略直交する方向に配置され、その光の照射部分を覆い、かつ、当該光を透過可能に透明材料にて形成された水平光透過部と、上記傾斜光照射部の光の照射方向に略直交する方向に配置され、その光の照射部分を覆い、かつ、当該光を透過可能に透明材料にて形成された傾斜光透過部とを備え、上記部品保持部材よりの上記部品の落下又は飛散から上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部を保護する保護カバーがさらに備えられている第３態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２１】
本発明の第８態様によれば、上記保護カバーは上記部品撮像部の移動方向に開口部を有し、上記移動装置による当該部品撮像部の移動により上記開口部を通して、上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部により発生された熱量を除去可能に、空気を導入可能である第７態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２２】
本発明の第９態様によれば、上記水平光照射部、上記垂直光照射部、及び上記傾斜光照射部のそれぞれは、基板上に実装された複数のＬＥＤをその光源として備え、
上記それぞれのＬＥＤが実装された基板に貼着され、上記それぞれのＬＥＤの発光により生成された熱量を除去する熱除去部材が備えられている第３態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２３】
本発明の第１０態様によれば、上記撮像フレームにおける上記取付部への上記照明ユニットの装着位置の固定を行う第１の取付部材と、
上記撮像フレームへの上記反射部の固定を行う第２の取付部材とをさらに備え、
上記第１の取付部材による固定を解除するための工具により第２の取付部材による固定を解除できないように、上記第１の取付部材と上記第２の取付部材との形状が互いに相違する第３態様に記載の部品実装ヘッドを提供する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の上記第１態様によれば、部品撮像部において、互いに異なる光の照射方向の相対的な位置関係が規定された状態にて、それぞれの光照射部を一体的な状態で固定して備える照明ユニットが、撮像フレームの取付部に脱着可能に装備され、さらに当該脱着が上記撮像フレームに固定された撮像素子部を取り外すこと無く行うことが可能とされていることにより、上記照明ユニットの脱着における作業性を良好なものとすることができる。
【００２５】
特に、上記部品撮像部の設備寿命と比して、上記照明ユニットの光源の寿命は短いものであり、当該光源のメンテナンス（交換等）のためにそれぞれの光照射部を脱着する必要が生じるが、このような場合であっても上記照明ユニットとして一体的に脱着を行うことができることにより、上記それぞれの光照射部の相対的な配置関係の調整を容易なものとすることができる。
【００２６】
さらに、上記撮像素子部は、上記それぞれの光照射部よりも高い配置精度が要求されるものであるが、上記照明ユニットの脱着の際に、その取り外しを不要とすることができることにより、当該照明ユニットの脱着による上記撮像素子部の光軸配置の調整を不要とすることができる。
【００２７】
従って、部品装着ヘッドにおいて、照明ユニットのメンテナンス性を飛躍的に向上させることができ、このようにメンテナンス性を向上させることで、総合的な電子部品の装着効率を向上させることができる。
【００２８】
本発明の上記第２態様によれば、上記撮像フレームの取付部において上記照明ユニットと係合等されることで当該照明ユニットにおける設置位置を規定する位置規定部が設けられていることにより、当該照明ユニットの脱着における位置決めの作業性を良好なものとすることができる。
【００２９】
本発明の上記第３態様によれば、上記撮像フレームにさらに反射部が固定され、上記それぞれの光照射部の配置関係が保持された状態にて、上記固定された反射部及び上記撮像素子部をともに取り外すことなく、上記照明ユニットの脱着を可能とすることができることで、上記撮像素子部と同様に高い位置精度が要求される上記反射部の配置に影響を与えることなく上記照明ユニットを脱着して、反射部の清掃を確実に行うことができる。
【００３０】
本発明の上記第４態様によれば、上記それぞれの光照射部における互いの配置関係を規定しながら、当該それぞれの光照射部が一体的に固定される光照射部固定部材が備えられ、当該光照射部固定部材を介して上記撮像フレームの取付部に上記照明ユニットが脱着されるような構成が採用されていることにより、具体的に当該照明ユニットの一体的な脱着を実現することができる。
【００３１】
本発明の上記第５態様によれば、上記撮像フレームの固定用フレームにおいて、上記撮像素子部の光軸を通過させるために設けられた開口部を、上記照明ユニットの脱着用開口部として共用化することで、高い剛性が要求される上記撮像フレームの剛性を損なうことなく、上記照明ユニットの一体的な脱着を具体的に実現することができる。
【００３２】
本発明の上記第６態様によれば、上記照明ユニットにおいて、上記垂直光照射部は、上記反射部を用いて光の照射を行うため、上記撮像フレームの内側において密集配置されるその他の光照射部（上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部）からは離れて配置され、上記撮像素子部と上記反射部との間における上記照明ユニット脱着用開口部にその一部または全部が位置されるように配置されている。このような配置を考えた場合、通常は離れて配置されている上記垂直光照射部とは別に、上記撮像フレームの内側に密集配置されている上記水平光照射部と上記傾斜光照射部とを一体的にすることが考えられるが、このように考えた場合、上記照明ユニット脱着用開口部に上記垂直光照射部が配置されていることにより、上記一体的な状態とされた上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部を上記撮像フレームの外側に取り出すことが困難となるか、あるいは、上記垂直光照射部をも取り外す必要が生じ作業効率が悪化する場合が起こりえる。しかしながら、上記垂直光照射部、上記水平光照射部、及び上記傾斜光照射部を一体的な状態とすることで、上記照明ユニットを取り外す際に、上記照明ユニット脱着用開口部に配置されている上記垂直光照射部が一体的に移動されるため、上記照明ユニット脱着用開口部に上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部が通過可能な大きさの開口部を確保することができ、脱着作業における作業性を向上させることができる。さらに、当該照明ユニット脱着用開口部内に上記垂直光照射部を配置させることで、設備全体のスペース効率を向上させることができる。
【００３３】
本発明の上記第７態様によれば、上記それぞれの部品保持部材により保持された部品の落下や飛散から、上記水平光照射部及び上記傾斜光照射部を保護する保護カバーが備えられていることで、上記それぞれの光照射部における上記部品の落下や飛散による損傷を確実に防止することができ、上記照明ユニットにおけるメンテナンスの頻度を低減させることができる。また、このような上記保護カバーが設けられるような場合であっても、上記水平光照射部における光照射部分を覆う箇所に、その光の照射方向と略直交する方向に配置されかつ透明材料にて形成された水平光透過部と、上記傾斜光照射部における光照射部分を覆う箇所に、その光の照射方向と略直交する方向に配置されかつ透明材料にて形成された傾斜光透過部とが、上記保護カバーにおいて備えられていることにより、上記それぞれ光照射部の保護と効率的な光の透過とを両立させて実現することができる。
【００３４】
本発明の上記第８態様によれば、上記照明ユニットを保護のために覆う上記保護カバーにおいて、上記照明ユニットの移動方向における部分に開口部（すなわち、当該照明ユニットを覆わない部分）が設けられていることにより、上記部品撮像部の移動の際に、当該開口部を通して上記照明ユニットの周囲に空気を導入することができる。このように空気の導入が行われることで、当該照明ユニットにおいて光の照射により発生される熱量を効果的に除去することができ、熱による当該照明ユニットの寿命の短命化を抑制することができ、メンテナンスの頻度を低減させることができる。
【００３５】
本発明の上記第９態様によれば、上記それぞれの光照射部において、発光により生成された熱量の除去を積極的に行う熱除去部材が備えられていることにより、当該熱による上記それぞれの光照射部の寿命の短命化を抑制することができる。
【００３６】
本発明の上記第１０態様によれば、上記撮像フレームに上記照明ユニットを固定する第１の取付部材と、当該撮像フレームに上記反射部を固定する第２の取付部材とを、互いに異なる形状とすることで、上記照明ユニットを取り外したい場合に、誤って上記反射部を取り外すことがないようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３８】
本発明の一の実施形態にかかる部品装着ヘッドの一例であるヘッド部１００の模式的な側面図（一部断面あり）を図１に示す。
【００３９】
図１に示すように、ヘッド部１００は、部品の一例である電子部品１を、その先端部である保持面１１ａにおいて解除可能に吸着保持することができる部品保持部材の一例である吸着ノズル１１を複数本、例えば８本、一定の間隔ピッチでもって一列に配列されて備えている。
【００４０】
このようなヘッド部１００は、電子部品装着装置（図示しない）におけるＸＹロボット等に備えられることにより、上記電子部品装着装置のステージ上に保持された回路基板に対して電子部品の装着動作を行うことができる。具体的には、上記電子部品供給装置における電子部品供給部にて供給される複数の電子部品１を、ヘッド部１００が備える夫々の吸着ノズル１１により吸着保持させるとともに、上記ＸＹロボットによりヘッド部１００を上記回路基板の上方に移動させて、上記回路基板における電子部品１の装着位置と、ヘッド部１００の吸着ノズル１１により吸着保持されている電子部品１との位置合わせを行った後、ヘッド部１００にて上記吸着ノズル１１を下降させることにより、上記回路基板の装着位置に電子部品１を装着させることができる。
【００４１】
このような電子部品１の装着の際には、ヘッド部１００の夫々の吸着ノズル１１に吸着保持させた電子部品１の画像を、ヘッド部１００が備える部品撮像部により撮像して、夫々の電子部品１の吸着保持姿勢を認識し、これらの認識結果に基づいて、上記夫々の吸着保持姿勢と夫々の電子部品１の上記回路基板への装着姿勢との間の位置ずれを補正して、夫々の電子部品１の上記回路基板への装着を行っている。
【００４２】
このようなヘッド部１００の構造について、上記部品撮像部の構造を中心に以下に詳細に説明する。なお、図２は、ヘッド部１００の夫々の吸着ノズル１１の上記配列方向に直交する平面沿いにおける模式断面図である。
【００４３】
図１及び図２に示すように、ヘッド部１００おいては、８本のシャフト部５１が一定の間隔でもって一列に配列されており、夫々のシャフト部５１の先端部には吸着ノズル１１が夫々着脱可能に装備されている。また、夫々のシャフト部５１は、剛体により形成されたヘッドフレーム５２に、スプラインナット及び軸受け等を介して、その軸芯沿いに昇降可能、かつ、上記軸芯回りに回転可能に支持されている。さらに、ヘッド部１００は、夫々のシャフト部５１の上記昇降の動作を行う昇降装置５３、及び上記回転の動作を行う回転装置５４とを備えており、夫々の昇降装置５３及び回転装置５４はヘッドフレーム５２に固定されている。なお、夫々の昇降装置５３には、このようなヘッド部において一般的に用いられる機構であるボールねじ軸とナット部による機構（本実施形態にて用いている）や、エアシリンダを用いた機構等を用いることができる。また、夫々の回転装置５４には、ベルトを介してシャフト部５１を回転させる機構（本実施形態にて用いている）や、直接的にシャフト部５１を回転させる機構等を用いることができる。
【００４４】
また、図１及び図２に示すように、ヘッド部１００に備えられている夫々の吸着ノズル１１は、ヘッドフレーム５２の下部である下部フレーム５２ａよりその先端部である保持面１１ａが露出された状態となっている。この下部フレームには、上記部品撮像部として、吸着ノズル１１により保持された電子部品１の下面側である回路基板への装着面の画像を撮像することができる部品撮像部の一例である部品装着面撮像装置２０が備えられている。この部品装着面撮像装置２０の部分拡大断面図を図３に示す。
【００４５】
図３に示すように、部品装着面撮像装置２０は、夫々の吸着ノズル１１の図示左側方向に配置され、その光軸上に配置された反射部の一例である２枚の反射ミラー２１及び２２を介して、吸着ノズル１１の保持面１１ａにおいて吸着保持された電子部品１の画像を、その図示下方側より撮像可能、すなわち電子部品１の装着面（部品撮像平面の一例である）の画像を撮像可能な撮像素子部の一例であるカメラ部２３を備えている。また、部品装着面撮像装置２０は、吸着ノズル１１と干渉することなく、吸着ノズル１１の周囲を囲むように配置された大略Ｕ字形状（あるいは大略門型形状）を有する撮像フレーム２４を備えており、カメラ部２３、及び夫々の反射ミラー２１及び２２が、この撮像フレーム２４に夫々の配置関係が保たれた状態で固定されている。
【００４６】
なお、大略Ｕ字形状の撮像フレーム２４においては、当該Ｕ字形状の開放部分にてそれぞれの吸着ノズル１１との干渉が防止され、当該それぞれの開放端部が当該部材の支持箇所となっている。
【００４７】
また、図３に示すように、カメラ部２３は、吸着ノズル１１の軸芯に対して、その光軸が、吸着ノズル１１側に向けて例えば略４０度程度傾斜された状態で図示下向きに配置されている。また、図示左側に配置されている反射ミラー２１は、上記光軸上においてその反射面が吸着ノズル１１側に傾斜されて、上記軸芯に対して例えば略６５度傾斜されて配置されるとともに、図示右側に配置されている反射ミラー２２は、その反射面が反射ミラー２１の反射面と対向する側に、上記軸芯に対して例えば略４５度傾斜され、かつ、吸着ノズル１１の軸芯上における吸着ノズル１１の下方に位置するように配置されている。
【００４８】
また、図１及び図３に示すように、部品装着面撮像装置２０において、ヘッド部１００が備えるそれぞれの吸着ノズル１１の配列方向に沿って、上記それぞれの吸着ノズル１１を介して、互いに対向するように、下部フレーム５２ａの下面には細長棒形状を有する２本のリニアガイドレール２５（移動案内部材の一例である）が固定されている。また、撮像フレーム２４は、大略Ｕ字形状を有するとともに、カメラ部２３や夫々の反射ミラー２１及び２２が固定される固定用フレーム２４ａと、この固定用フレーム２４ａの上記Ｕ字形状のそれぞれの端部（すなわち上端部）に固定され、それぞれのリニアガイドレール２５と係合される略凹状の断面形状を有するリニアガイドスライダー２４ｂとを備えている。また、夫々のリニアガイドスライダー２４ｂは、夫々のリニアガイドレール２５に係合された状態で、夫々のリニアガイドレール２５の長手方向（すなわち、夫々の吸着ノズル１１の配列方向である）に沿って、スライド移動可能となっている。すなわち、カメラ部２３、及び夫々の反射ミラー２１及び２２を固定して支持している固定用フレーム２４ａは、夫々のリニアガイドスライダー２４ｂ及び夫々のリニアガイドレール２５を介して、下部フレーム５２ａにより支持されているとともに、夫々のリニアガイドレール２５により案内されながら、夫々の吸着ノズル１１の配列方向に沿って、スライド移動可能とされている。このような移動により、固定用フレーム２４ａの内側が、それぞれの吸着ノズル１１の下方周囲を通過することが可能となっている。
【００４９】
さらに、図１及び図２に示すように、ヘッド部１００には、部品装着面撮像装置２０の移動を行う移動装置が備えられており、この移動装置は、それぞれのリニアガイドレール２５と、それぞれのリニアガイドレール２５に沿って撮像フレーム２４を、それぞれの吸着ノズル１１の配列方向に沿ってスライド移動させるスライド駆動部２７とを備えている。なお、このスライド駆動部２７は駆動モータ２８を備え、駆動モータ２８が正逆いずれかの回転方向に回転駆動されることにより、撮像フレーム２４の上記配列方向沿いのスライド移動（往復移動）を行うことが可能となっている。また、図１に示すように、駆動モータ２８は、ヘッドフレーム５２に固定されており、その固定位置は、図３において（図３においては、駆動モータ２８を図示しない）、吸着ノズル１１を介して、カメラ部２３と対向可能な位置となっている。すなわち、図３において、吸着ノズル１１に対して、図示左側にカメラ部２３が配置されて固定されており、図示右側に駆動モータ２８が配置されて固定されており、駆動モータ２８が、カメラ部２３の設置位置から遠ざけられて設置されている。
【００５０】
また、図１に示すように、スライド駆動部２７は、駆動モータ２８の駆動軸に係合されて、駆動モータ２８の上記回転駆動により走行可能な駆動ベルト２９を備えており、この駆動ベルト２９は、上記吸着ノズル１１の配列方向沿いに配置されるとともに、その一部が撮像フレーム２４の図２における図示右上において上方に突出された部分であるアーム２４ｃに固定されている。これにより、駆動ベルト２９及びアーム２４ｃを介して、駆動モータ２８の上記回転駆動により、撮像フレーム２４の上記スライド駆動が可能となっている。なお、この駆動ベルト２９及びアーム２４ｃは、上記駆動モータ２８の設置位置と同様に、図２において、吸着ノズル１１を介して、カメラ部２３と対向するように、配置されている。
【００５１】
また、スライド駆動部２７による撮像フレーム２４の上記スライド移動の範囲は、図１に示す図示左側の撮像フレーム２４（図示実線のもの）の位置から、図示右側の撮像フレーム２４（図示仮想線のもの）の位置までの間となっている。すなわち、撮像フレーム２４の上記略Ｕ字形状における内側を、ヘッド部１００が備える８本の吸着ノズル１１が全て通過されるように、撮像フレーム２４の上記スライド移動が可能となっている。
【００５２】
また、撮像フレーム２４がこのようにスライド移動可能となっていることにより、撮像フレーム２４に固定されているカメラ部２３、反射ミラー２１及び２２の夫々が、撮像フレーム２４とともに、夫々の配置関係が保持された状態で上記スライド移動可能とされている。これにより、ヘッド部１００が備える８本の吸着ノズル１１の保持面１１ａにて吸着保持された夫々の電子部品１について、カメラ部２３により、夫々の反射ミラー２１及び２２を介して、夫々の下方側（すなわち、吸着ノズル１１の軸芯沿いの方向）よりの画像の撮像を行うことが可能となっている。
【００５３】
また、部品装着面撮像装置２０においては、カメラ部２３の上記光軸に沿って光を照射して、吸着ノズル１１により吸着保持されている電子部品１に上記光を照射することができる複数の光照射部により構成される照明ユニットが備えられており、この照明ユニットのおけるそれぞれの光照射部が点灯された状態において、夫々の電子部品１の画像の撮像が行われる。
【００５４】
また、図１に示すように、ヘッド部１００は、部品装着面撮像装置２０の動作を制御する制御部９を備えている。制御部９は、部品装着面撮像装置２０において、夫々の光照射部の点灯／消灯動作制御及び撮像タイミングの制御等を含めたカメラ部２３の撮像動作、駆動モータ２８の駆動動作及び夫々のリニアガイドレール２５上における撮像フレーム２４のスライド移動位置の検出等を含めたスライド駆動部２７の動作制御を行うことが可能となっている。
【００５５】
なお、図２における撮像フレーム２４の図示右方には、ケーブルベア５５が設置されており、ケーブルベア５５には、制御部９と部品装着面撮像装置２０との間において伝達される制御信号等の伝達を行う複数のケーブルが収納されている。なお、このケーブルベア５５は大略横向きＵ字形状に形成されており、その内部に、上記横向きＵ字状に曲げさせた状態で上記夫々のケーブルを収納しているため、撮像フレーム２４の上記スライド移動に影響を与えることがないように構成されている。
【００５６】
次に、部品装着面撮像装置２０が備える電子部品１の画像に必要な光を照射する照明ユニットの構成について、図３の部品装着面撮像装置２０におけるＡ−Ａ線矢視図である図４と、部品装着面撮像装置２０におけるそれぞれの部材の配置、光の照射方向、及び画像の入射・反射方向等の関係を示す模式説明図である図５とを用いて以下に説明する。なお、図５においては、撮像フレーム２４の図示を一部省略している。
【００５７】
図５に示すように、部品装着面撮像装置２０は、ヘッド部１００が備える夫々の吸着ノズル１１の軸心Ｓとは異なる軸（すなわち、互いに一致しない軸）をその光軸Ｔとして、夫々の吸着ノズル１１により吸着保持された電子部品１の軸心Ｓ沿い方向の画像を、反射ミラー２２を介して反射ミラー２１により光軸Ｔ沿いの方向に反射させて、光軸Ｔに沿って入射することで、夫々の画像の撮像を行なうカメラ部２３を備えている。
【００５８】
また、夫々の吸着ノズル１１により吸着保持されている電子部品１は、その下面を回路基板への装着面（軸心Ｓと直交する平面であって、部品装着平面の一例であり、装着平面というような場合であってもよい）Ｑとして、その画像がカメラ部２３により撮像されることとなるが、当該撮像の際にはこの装着面Ｑに撮像に必要な照度を与えるべく、複数の方向より光が照射されることとなる。このような光の照射を行なう複数の光照射部により構成される照明ユニット６３が部品装着面撮像装置２０には備えられている。
【００５９】
具体的には、このような光照射部として、電子部品１の装着面Ｑに対して、水平方向より僅かに傾斜させた光（大略水平方向の光）を、反射ミラー２１、２２等を介することなく、電子部品１に直接的に照射する複数の水平光照射部６１と、カメラ部２３の近傍より、光軸Ｔに略沿った光を照射するとともに、当該光を反射ミラー２１及び２２を介して軸心Ｓ沿いの方向に反射させて、電子部品１の装着面Ｑに対して大略垂直方向に当該光を照射する垂直光照射部６０と、電子部品１の部品撮像面Ｑに対して、上記水平方向と上記垂直方向の略中間の角度に傾斜された光を、反射ミラー２１、２２等を介することなく、電子部品１に直接的に照射する傾斜光照射部の一例である複数のメイン照射部６２とを、部品装着面撮像装置２０は備えている。なお、それぞれの水平光照射部６１は、装着面Ｑに対して、例えば、１０〜２０度程度傾斜された光を照射可能であって、垂直光照射部６０は、装着面Ｑに対して、例えば、７０〜８０度程度傾斜された光を照射可能であって、それぞれのメイン照射部６２は、装着面Ｑに対して、４０〜５０度程度傾斜された光を照射可能となっている。また、図４に示すように、それぞれの水平光照射部６１及びメイン照射部６２は、装着面Ｑの近傍の位置に配置されるように、固定用フレーム２４ａに取り付けられて固定されており、垂直光照射部６０は、カメラ部２３の近傍に配置されるように、固定用フレーム２４ａに取り付けられて固定されている。
【００６０】
また、図４及び図５に示すように、各メイン照射部６２は、同一方向に配列された複数のＬＥＤ素子６２ａが基板６２ｂ上に実装されることにより構成されており、また同様に、各水平光照射部６１は、同一方向に配列された複数のＬＥＤ素子６１ａが基板６１ｂ上に実装されることにより構成されている。
【００６１】
さらに、照明ユニット６３においては、４個のメイン照射部６２と４個の水平光照射部６１とが備えられている。図４に示すように、それぞれのメイン照射部６２は、撮像可能な状態とされた吸着ノズル１１の軸心Ｓをその対称軸として、対称にかつ互いに対向するように配置されており、同様に、それぞれの水平光照射部６２も、軸心Ｓをその対称軸として、対称にかつ互いに対向するように配置されている。
【００６２】
また、図５に示すように、夫々のメイン照射部６２及び水平光照射部６１は、吸着ノズル１１の軸心Ｓ上及びその周囲に形成される垂直光照射部６０による大略垂直方向の光の通過領域Ｕ、言い換えれば、電子部品１の装着面Ｑの画像の通過領域Ｕの外周近傍に配置されている。
【００６３】
具体的には、図５に示すように、装着面Ｑ沿いの平面において、図示Ｘ軸方向とＹ軸方向とのそれぞれの方向に、互いに対向するそれぞれのメイン照射部６２が配置され、図示Ｘ軸方向に対して略４５度傾斜されたそれぞれの方向に、互いに対向するそれぞれの水平光照射部６１が配置されている。すなわち、各々のメイン照射部６２と水平光照射部６１とは、交互に略４５度の角度ピッチにて配置されている。なお、図４において、図示Ｘ軸方向に配置されているそれぞれのメイン照射部６２の上端の高さ位置は、撮像可能な状態とされた吸着ノズル１１により吸着保持された電子部品１の装着面Ｑの高さ位置よりも下方に位置されているため、部品装着面撮像装置２０とそれぞれの吸着ノズル１１の図示Ｘ軸方向における相対的な移動が行われても、それぞれの電子部品１と、それぞれのメイン照射部６２との干渉は発生しない。なお、言い換えれば、電子部品１は、部品装着面撮像装置２０によりその画像の撮像が可能であって、部品装着面撮像装置２０との間で、上記干渉が発生しないような形成高を有するような電子部品１であるということもできる。
【００６４】
また、図６に示すように、垂直光照射部６０は、基板６０ｂ上に実装された複数のＬＥＤ素子６０ａを有している。なお、図６は、図３の部品装着面撮像装置２０におけるＢ−Ｂ線矢視図となっている。また、光軸Ｔに沿った画像を通過可能にその中央部に形成された孔部６０ｃを有しており、この孔部６０ｂの周囲にそれぞれのＬＥＤ素子６０ａが設置されている。なお、図５においては、撮像フレーム２４の図示下方に仮想線（２点鎖線）により反射ミラー２１及び垂直光照射部６０の鏡像を示している。また、夫々の反射ミラー２１及び２２は、垂直光照射部６０より照射される光を、むらなく反射可能であって、かつ、装着面Ｑにおける電子部品１の画像をむらなく反射可能な大きさに形成されている。
【００６５】
また、制御部９においては、部品装着面撮像装置２０により撮像された夫々の電子部品１の画像に基づいて、上記夫々の吸着ノズル１１の軸芯と略直交する方向沿いにおける夫々の吸着ノズル１１による電子部品１の吸着保持姿勢を認識処理することが可能となっている。なお、制御部９は、ヘッド部１００が備える夫々の昇降装置５３の昇降動作、及び夫々の回転装置５４の回転動作を制御することが可能となっている。さらに、制御部９は、上記撮像の際に、水平光照射部６１、メイン照射部６２、及び垂直光照射部６０による夫々の光の照射／照射停止の動作を、撮像フレーム２４の移動動作に関連させて制御することが可能となっている。
【００６６】
また、図３に示すように、部品装着面撮像装置２０においては、照明ユニット６３を保護する保護カバー７０が備えられている。この保護カバー７０は、ヘッド部１００が備えるそれぞれの吸着ノズル１１により吸着保持された電子部品１が、不十分な吸着保持や電子部品１の形状異常等が発生するような場合に、吸着ノズル１１から落下したり、飛び跳ねたりするような場合に、当該電子部品１と照明ユニット６３との干渉を防止するような機能を有している。
【００６７】
ここで、図４に示す照明ユニット６３のＣ−Ｃ線矢視断面図を図７に示し、Ｄ−Ｄ線矢視断面図を図８に示す。図４、図７、及び図８に示すように、保護カバー７０は、照明ユニット６３におけるそれぞれのメイン照射部６２と水平光照射部６１の上部全体を覆うように配置された略水平平板状の部分である上部保護部７１を備えており、その略中央部分である電子部品１の画像の通過領域Ｕの部分に略合致するように、略正方形状の孔部７４が形成されている。また、図７に示すように、保護カバー７０は、それぞれのメイン照射部６２におけるそれぞれのＬＥＤ素子６２ａ及び基板６２ｂを覆い、かつ、メイン照射部６２による光の照射方向と略直交するように配置されるとともに、当該光を透過可能に透明材料にて形成されたメイン光透過部７２（傾斜光透過部の一例である）を備えている。さらに、図８に示すように、保護カバー７０は、それぞれの水平光照射部６１におけるそれぞれのＬＥＤ素子６１ａ及び基板６１ｂを覆い、かつ、水平光照射部６１による光の照射方向と略直交するように配置されるとともに、当該光を透過可能に透明材料にて形成された水平光透過部７３を備えている。なお、孔部７４は、それぞれのメイン光透過部７２と水平光透過部７３の下端部により囲まれて形成されている。また、保護カバー７０は、全体として一体的に透明材料（例えば透明樹脂）にて形成されているが、メイン光透過部７２及び水平光透過部７３のみが透明材料にて形成されているような場合であってもよい。なお、このような保護カバー７０は、透明度が高く、強度的に優れた射出成型可能なプラスチック材料として、例えば、０．８ｍｍ厚さのポリカーボネードにより形成することができる。
【００６８】
このように、保護カバー７０が形成されていることにより、電子部品１の落下や飛散が生じるような場合であっても、照明ユニット６３において、ＬＥＤ素子６１ａ、６２ａや基板６１ｂ、６２ｂに損傷が生じることを確実に防止することができるとともに、メイン光透過部７２及び水平光透過部７３が、それぞれの光の照射方向と略直交するように形成され、かつ、透明材料にて形成されていることにより、光を効率的に照射することができ、照明ユニット６３としての機能を損なうことがない。
【００６９】
また、部品装着面撮像装置２０においては、照明ユニット６３が一体的な状態にて、固定用フレーム２４ａに脱着可能に装備されている。ここで、このような照明ユニット６３が固定用フレーム２４ａから取り外されて照明ユニット６３単体とされた状態を示す平面図を図９に示す。また、このように照明ユニット単体状態をより視覚的に判りやすくするために、照明ユニット６３の斜視図を図１０及び図１１に示す。なお、図１０と図１１とは互いに異なる方向から見た照明ユニット６３の斜視図である。
【００７０】
図９、図１０、及び図１１に示すように、照明ユニット６３は、それぞれのメイン照射部６２、それぞれの水平光照射部６１、及び垂直光照射部６０の互いの相対的な配置関係を保持した状態にて、それぞれが固定されて一体的な状態とさせる照明ブラケット８０（光照射部固定部材）を備えている。また、この照明ブラケット８０には、それぞれのケイン照射部６２と水平光照射部６１と覆うことでその保護を行う保護カバー７０が取り付けられている。なお、図１０及び図１１においては、照明ブラケット８０が、例えば複数の部材が連結固定されることにより一体的に構成されている場合について示しているが、このような場合に代えて、１つの部材のみにより照明ブラケット８０が一体的に構成されるような場合であってもよい。また、図９、図１０、及び図１１に示すように、照明ブラケット８０には、撮像フレーム２４の固定用フレーム２４ａへの装備状態において、電子部品１の画像の通過領域Ｕを遮断することが無いように、その略中央部分に孔部８１が形成されている。
【００７１】
また、図９、図１０、及び図１１に示すように、照明ブラケット８０における図示Ｘ軸方向における下方中央のそれぞれの端部には、固定用フレーム２４ａの取付部２４ｄに形成された突出部分である位置規定部２４ｅ（図４参照）と当接される当接部８２が形成されている。図４に示すように、固定用フレーム２４ａにおいては、照明ブラケット８０が取付部２４ｄに装備された状態において、照明ブラケット８０のそれぞれの当接部８２とそれぞれの位置規定部２４ｅとが互いに当接されることで、撮像フレーム２４における照明ユニット６３の装備位置が位置決めされるように、それぞれの位置規定部２４ｅが形成されている。すなわち、照明ブラケット８０において、互いの相対的な配置関係が固定された状態のそれぞれの光照射部６０、６１、及び６２の配置関係が、それぞれの当接部８２と位置規定部２４ｅとの当接による位置決めを行うことで、撮像フレーム２４及びそれぞれの吸着ノズル１１との位置決めを行うことができる。なお、上述においては位置規定部２４ｅと当接部８２とが当接されることでその位置が規定される場合について説明したが、このように当接される場合に代えて、係合されるような場合であってももちろん良い。
【００７２】
次に、このようにそれぞれの光照射部６０、６１、及び６２が一体的な状態として照明ブラケット８０に固定された状態の照明ユニット６３を、撮像フレーム２４から取り外す方法について以下に説明する。当該説明にあたって、撮像フレーム２４から照明ユニット６３が取り外されている状態を示す模式説明図を図１２に示す。
【００７３】
図１２に示すように、撮像フレーム２４の固定用フレーム２４ａにおいては、その大略Ｕ字形状の図示左側部分に開口部８５が形成されている。この開口部８５は、固定用フレーム２４ａの中心から見てそれぞれの吸着ノズル１１の配列方向と直交する方向である図示左向き方向において上記Ｕ字形状の外側に固定されるカメラ部２３により、当該Ｕ字形状の内側に位置される反射ミラー２１、２２を介して電子部品１の画像を撮像するために、その光軸Ｔ上及びその周囲近傍の空間を確保すべく設けられた開口である。すなわち、固定用フレーム２４ａに設けられた開口部８５は、固定用フレーム２４ａの内側に位置される電子部品１の画像を、固定用フレーム２４ａの外側に配置されるカメラ部２３に、固定用フレーム２４ａと干渉することなく入力させるための開口となっている。
【００７４】
また、図１２に示すように、撮像フレーム２４に装備された照明ユニット６３を取り外す際あるいは逆に装備する際には、このように固定用フレーム２４ａに設けられた開口部８５を通過するように、固定用フレーム２４ａの内側から照明ユニット６３が取り出される、あるいは内側へ照明ユニット６３が挿入される。このような照明ユニット６３の脱着を実現するため、開口部８５は、電子部品１の画像を確実に通過可能な大きさであって、かつ、照明ユニット６３が一体的な状態で通過可能な大きさに形成されている。なお、この開口部８５が、照明ユニット脱着用開口部の一例となっている。
【００７５】
このように固定用フレーム２４ａに開口部８５が形成されていることにより、照明ユニット６３を一体的な状態にてその脱着を確実に行うことが可能となる。さらに、電子部品１の画像の通過用開口と照明ユニット６３の通過用開口とを共通化することで、照明ユニット６３やカメラ部２３等の装置を確実に支持できるような剛性が求められる大略Ｕ字形状の固定用フレーム２４ａの剛性を損なうことなく、高い剛性を実現することができる。特に、このような大略Ｕ字形状の撮像フレーム２４が採用される場合においては、その内側に配置される照明ユニット６３は、反射ミラー２１、２２がその下方に設置されていることから、下方方向には脱着することはできす、また、その大きさにより撮像フレーム２４の移動方向にも脱着することは困難である。そうすれば、撮像フレーム２４の移動方向と直交する方向における水平方向に脱着することが考えられるが、上述のように開口部８５の共通化を図ることで、照明ユニット６３の脱着及び撮像フレーム２４の高剛性を両立して実現することができる。
【００７６】
なお、撮像フレーム２４において、照明ユニット６３が装備された状態において、垂直光照射部６０の一部又は全部（本実施形態においては、略全部）が、開口部８５内に位置されるようになっている。このように開口部８５が空間的に有効利用されることで、部品装着面撮像装置２０におけるスペース効率を向上させ、コンパクトな装置を実現可能としている。
【００７７】
また、このような開口部８５の寸法は、カメラ部２３の視野角の大きさに合わせて照明ユニット６３の厚み寸法、すなわち、メイン照射部６２と水平光照射部６１とで構成される部分の高さ寸法を決定（具体的には、メイン照射部６２の照明幅寸法を視野角の大きさに一致させるように決定）し、当該決定に基づく照明ユニット６３が開口部８５を通過可能なように当該寸法が決定される。例えば、カメラ部２３の視野角１０ｍｍに対して、照明ユニット６３の上記厚み寸法は略１０ｍｍとなる。
【００７８】
次に、このような照明ユニット６３の固定用フレーム２４ａへの固定方法について、図１３に示す模式説明図を用いて説明する。図１３は、固定用フレーム２４ａにおける照明ユニット６３の固定方法と、それぞれの反射ミラー２１、２２の固定方法とを示す固定用フレーム２４ａにおける下部部分（すなわち、取付部２４ｄ）の拡大模式図となっている。
【００７９】
図１３に示すように、固定用フレーム２４ａの取付部２４ｄには、照明ユニット６３と、それぞれの反射ミラー２１、２２が固定されているが、この固定には締結ボルトが用いられている。さらに、照明ユニット６３を取付部２４ｄに解除可能に固定する照明ユニット用締結ボルト８６（第１の取付部材の一例である）と、反射ミラー２１、２２を取付部２４ｄに解除可能に固定する反射ミラー用締結ボルト８７（第２の取付部材の一例である）とは、互いにその形状が異なるように形成されている。特に、照明ユニット用締結ボルト８６を一般的に使用される工具（例えば六角レンチ）にて締結及び締結解除可能に形成し、一方、反射ミラー用締結ボルト８７を特殊な工具（例えば、専用工具、特殊レンチ）にて締結及び締結解除可能に形成することで、作業者が締結ボルトを間違えて反射ミラー２１、２２を取り外してしまうことを確実に防止することができる。反射ミラー２１、２２は、その設置角度等について高精度な配置関係が要求される（照明ユニット６３よりも高精度な配置関係が要求される）ものであるため、誤取り外し等を防止して、その配置関係を確実に保持することができる。さらに、取り外しが要求される照明ユニット６３の脱着における作業性を良好なものとすることができる。
【００８０】
また、図１３に示すように、固定用フレーム２４ａの下面にそれぞれの締結ボルト８６、８７の落下防止用カバー８８を取り付けることで、締結解除の際に、それぞれの締結ボルト８６、８７の落下を確実に防止することができ、その作業性をさらに良好なものとすることができる。なお、落下防止用カバー８８において、それぞれの締結ボルト８６、８７が配置されている箇所には、工具の先端を挿入可能で、かつ、締結ボルト８６、８７の頭が通過できないような大きさの孔部が形成されている。
【００８１】
また、照明ユニット６３は、それぞれの光照射部６０、６１、及び６２による光の照射により、発熱を伴うという特性を有している。しかしながら、その発熱量が大きくなるような場合にあっては、それぞれのＬＥＤ素子６０ａ、６１ａ、及び６２ａの寿命が短くなってしまうことや、部品装着面撮像装置２０における機械的精度が低下してしまうことや、さらに作業上の安全性が阻害されること等の問題が生じる場合がある。このような問題を未然に防止すべく、照明ユニット６３にはその発熱量を除去するような様々な工夫がなされている。このような発熱量除去の工夫について以下に説明する。
【００８２】
まず、図１０及び図１１に示すように、照明ユニット６３の上部は、保護カバー７０により覆われている。そのため、個々の光照射部６０、６１、及び６２にて発生した熱は、保護カバー７０の下側に溜まり易くなることが考えられる。このような熱の滞留を防止すべく、部品装着面撮像装置２０の移動方向における照明ユニット６３の両側面を覆わないように保護カバー７０が形成されている。すなわち、上記移動方向において、照明ユニット６３の両側面が開放されていることにより、部品装着面撮像装置２０の移動によって、周辺の空気が上記開放部分から照明ユニット６３の内部に取り入れられ、照明ユニット６３にて発生した熱の除去を行うことができる。言い換えれば、保護カバー７０及び照明ユニット６３）は上記空気導入用の開口部７０ａを、上記両側面に有しているということができる。
【００８３】
さらに、照明ユニット６３において、それぞれの光照射部６０、６１、及び６２における基板６０ｂ、６１ｂ、及び６２ｂの例えば裏面に、熱除去部材の一例である放熱シート（あるいは熱伝導シート、図示しない）を貼着することで、それぞれのＬＥＤ素子６０ａ、６１ａ、及び６２ａ又は基板６０ｂ、６１ｂ、及び６２ｂにて発生された熱を、それぞれの放熱シートを通して、積極的かつ効率的に放熱することができ、照明ユニット６３にて発生された熱を効果的に除去することができる。なお、このような放熱シートは、例えば、それぞれの光照射部６０、６１、６２の中でも最も発熱量の大きなメイン照射部６２に貼着することが効果的であり、さらにその貼着の仕方についても、例えば、メイン照射部６２の基板６２ｂとこの基板６２ｂが固定されるブラケットとの間に上記放熱シートを配置して、基板６２ｂとブラケットとで放熱シートを挟むようにして圧接させることが好ましい。すなわち、当該圧接により放熱シートを基板６２ｂに密着させることができ、その熱伝達性を良好なものとすることができるからである。
【００８４】
ここで、上述のように、撮像フレーム２４から一体的な状態で脱着可能な構成とされている照明ユニット６３を、撮像フレーム２４から取り外してその光軸の調整等のメンテナンスを行う方法について、以下に説明する。
【００８５】
それぞれの光照射部６０、６１、及び６２が一体的とされた状態を保ちながら撮像フレーム２４から取り外された照明ユニット６３は、図１４に示すように、調整用治具９１の上に載置された状態において、そのメンテナンスが行われる。なお、図１４は、照明ユニット６３が調整用治具９１上に載置された状態を示す平面図であり、図１４におけるＥ−Ｅ線矢視断面図を図１５に示す。
【００８６】
図１４及び図１５に示すように、調整用治具９１は、照明ユニット６３の下面における所定の位置と当接することで、照明ユニット６３全体の支持を行いながら、その支持位置を規定する機能を有している。具体的には、調整用治具９１は、図１５の左端近傍において、垂直光照射部６０の基板６０ｂ（あるいは基板６０ｂを固定するブラケット等であってもよい）の下端と当接することで、垂直光照射部６０の位置決めにおける基準を設定可能な垂直光照射部基準部９２を備えている。さらに、調整用治具９１においては、その略中央付近に複数の段部が形成されており、最下段の段部が、それぞれのメイン照射部６２の基板６２ｂの下端と当接することで、メイン照射部６２の位置決めにおける基準を設定可能なメイン照射部基準部９３となっており、また、その上段の段部が、保護カバー７１における孔部７４の周端部と当接することで、保護カバー７１の取付位置を規定可能な保護カバー基準部９４となっている。また、調整用治具９１におけるメイン照射部基準部９３の周囲における平坦部が、それぞれの水平光照射部６１の基板６１ｂの下端と当接することで、水平光照射部６１の位置決めにおける基準を設定可能な水平光照射部基準部９５となっている。さらに、調整用治具９１においては、固定用フレーム２４ａにおけるそれぞれの位置規定部２４ｅと同様な機能を有する位置規定部９６が備えられており、照明ユニット６３の調整用治具９１上への載置位置の規定を行うことが可能となっている。
【００８７】
このような調整用治具９１が構成されていることにより、調整用治具９１の上に照明ユニット６３を載置することで、自動的にそれぞれの光照射部６０、６１、６２等の位置基準を定めることができ、当該状態にてそれぞれの光照射部６０、６１、６２の相対的な光軸の位置調整を容易に行うことが可能となる。特に、このような光軸調整は、非常に手間の要する作業であり、他の装置等が固定されている撮像フレーム２４上で行うような場合にあっては、その作業に困難を極めることが多い。しかしながら、照明ユニット６３として一体的に撮像フレーム２４から取り外して、さらに調整用治具９１を用いてそれぞれの光照射部６０、６１、６２の位置基準を定めながら光軸の調整を行うことで、当該作業を良好な作業性でもって行うことが可能となる。また、このように光軸調整が行われた照明ユニット６３はそのまま一体的な状態で、撮像フレーム２４の装備させることができるため、調整を行ったそれぞれの光軸関係を、撮像フレーム２４への装備状態においても確実に再現することができる。
【００８８】
さらに、ＬＥＤ素子は、それぞれに光量のバラツキや不良品が含まれているような場合もあり、このような照明ユニット６３としての一体的な状態で、かつ、撮像フレーム２４から取り外された状態（すなわち、取り付ける前の状態）において、その光量の調整や不良品の排除を行うことで、当該それぞれの作業性を良好なものとすることができる。
【００８９】
また、照明ユニット６３をその上面側において保護する保護カバー７０も、このように照明ユニット６３を取り外した状態にてその位置決めを行うことができることにより、良好な作業状態にて確実な作業を行うことができる。
【００９０】
次に、このような構成のヘッド部１００において、夫々の吸着ノズル１１に電子部品１を吸着保持させて、部品装着面撮像装置２０により、夫々の電子部品１の画像を撮像して、これらの画像により夫々の電子部品１の吸着保持姿勢を認識し、上記認識結果に基づいて、夫々の電子部品１を回路基板上に装着する動作について、以下に説明する。なお、以下に説明するヘッド部１００の夫々の動作は、制御部９により制御されている。
【００９１】
まず、このようなヘッド部１００が備えられている上記電子部品装着装置（図示しない）において、上記ＸＹロボットによりヘッド部１００を上記電子部品供給部の上方に移動させるとともに、上記ＸＹロボットによりヘッド部１００の夫々の吸着ノズル１１の保持面１１ａと、上記電子部品供給部に取り出し可能に収納されている夫々の電子部品１との位置合わせを行う。上記位置合わせの後、ヘッド部１００の夫々の昇降装置５３により夫々のシャフト部５１を介して、夫々の吸着ノズル１１を下降させ、夫々の電子部品１の上面を保持面１１ａに当接させるとともに吸着保持し、その後、夫々の吸着ノズル１１を上昇させて、夫々の電子部品１の上記電子部品供給部からの吸着取り出しを行う。これにより、ヘッド部１００が備える夫々の吸着ノズル１１の夫々の保持面１１ａに電子部品１が吸着保持された状態とされる。なお、上記電子部品１の吸着取り出しは、ヘッド部１００が備える全ての吸着ノズル１１について同時的に行うような場合であってもよく、また、このような場合に代えて、順次行うような場合であってもよい。この吸着取り出しの後、上記ＸＹロボットにより、上記ステージ上に保持された上記回路基板の上方に向けて、ヘッド部１００の移動が開始される。
【００９２】
このヘッド部１００の移動過程において、ヘッド部１００が備える部品装着面撮像装置２０により、上記吸着保持された夫々の電子部品１の吸着保持姿勢の画像の撮像が行われることとなる。
【００９３】
図１に示すように、ヘッド部１００において、部品装着面撮像装置２０の撮像フレーム２４は、夫々の吸着ノズル１１の配列方向沿いの上記スライド移動範囲における図示左端位置として、リニアガイドレール２５の図示左端近傍に位置された状態とされている。このような状態において、スライド駆動部２７の駆動モータ２８が回転駆動されて、駆動ベルト２９及びアーム２４ａを介して、撮像フレーム２４の図示右向き方向のスライド移動が開始される。なお、スライド駆動部２７による撮像フレーム２４の移動速度は、例えば、９５０ｍｍ／ｓとされている。
【００９４】
このスライド移動が開始されると、図示最左端に配置されている吸着ノズル１１により吸着保持されている電子部品１が撮像フレーム２４の内側を通過して、反射ミラー２２により上方に向けて屈折されたカメラ部２３の光軸上を通過する。さらに、連続的に撮像フレーム２４が上記スライド移動されることにより、その右側に配置されている吸着ノズル１１により吸着保持されている電子部品１が撮像フレーム２４の内側を通過して、反射ミラー２２により上方に向けて反射されたカメラ部２３の光軸上を通過する。その後、同様にその他の電子部品１も順次通過され、上記８個の電子部品１が全て通過されることになる。
【００９５】
このような夫々の電子部品１の通過の際に、部品装着面撮像装置２０においては、上記スライド移動開始後、上記最左端に配置されている吸着ノズル１１に吸着保持されている電子部品１が撮像フレーム２４の内側を通過して、反射ミラー２２により上方に向けて屈折されたカメラ部２３の光軸が、吸着ノズル１１の軸芯と略合致する前に、撮像フレーム２４に取り付けられた照明ユニット６３における夫々の光照射部６０、６１、及び６２が点灯されて、電子部品１の装着面Ｑに夫々の光が略均等に照射される。その後、上記光軸が、この吸着ノズル１１の軸芯と略合致された時に、カメラ部２３により、例えば電子シャッター機能等を用いて、上記電子部品１の画像が、反射ミラー２２、及び反射ミラー２１を介して撮像される。同様にして、次の吸着ノズル１１の軸芯が、カメラ部２３の上記光軸に略合致された時に、カメラ部２３により吸着ノズル１１により吸着保持されている電子部品１の画像が撮像される。さらに、連続的に撮像フレーム２４が移動されて、夫々の電子部品１の画像が、順次カメラ部２３により撮像される。全ての電子部品１の画像の撮像が行われた後、上記夫々の光照射部６０、６１、及び６２が消灯される。
【００９６】
なお、部品装着面撮像装置２０における上記夫々の撮像のタイミングは、リニアガイドレール２５上における撮像フレーム２４の移動位置が検出されて制御部９に入力されること、あるいは、上記スライド移動開始からの経過時間が制御部９にて計測されること等により制御される。
【００９７】
全ての電子部品１の画像の撮像が行われ、撮像フレーム２４がそのスライド移動範囲における図１の図示右端位置（仮想線にて示す）であるリニアガイドレール２５の図示右端近傍に位置されると、スライド駆動部２７の駆動モータ２８の回転駆動が停止されて、撮像フレーム２４の上記スライド移動が停止される。
【００９８】
このようにして部品装着面撮像装置２０により撮像された夫々の画像は、撮像フレーム２４の上記スライド移動中あるいは移動終了後、撮像結果情報の一例である画像データとして制御部９へ順次出力されるとともに、上記夫々の撮像時のリニアガイドレール２５における撮像フレーム２４の移動位置の位置データも順次制御部９へ出力される。
【００９９】
制御部９においては、上記入力された夫々の画像データの認識処理が順次行われるとともに、上記夫々の画像データが移動位置読み取りヘッド６２より入力された撮像フレーム２４の移動位置の位置データと照合されて、夫々の画像データがどの吸着ノズル１１により保持された電子部品１と対応するものであるかが認識される。
【０１００】
これにより、制御部９において、部品装着面撮像装置２０により撮像された夫々の電子部品１の画像に基づいて、夫々の吸着ノズル１１の軸芯と略直交する方向沿いにおける夫々の吸着ノズル１１による電子部品１の吸着保持姿勢が認識され、また、部品厚み撮像装置３０により撮像された夫々の電子部品１の画像（すなわち、夫々の光の遮光状態の画像）に基づいて、夫々の吸着ノズル１１の軸芯沿いの方向における夫々の吸着ノズル１１による電子部品１の吸着保持姿勢が認識される。
【０１０１】
このように認識された夫々の電子部品１の夫々の方向における吸着保持姿勢と、予め制御部９に入力されている夫々の電子部品１の装着姿勢とが、制御部９において比較されて、両者間の位置ずれ量が認識される。
【０１０２】
その後、上記ＸＹロボットにより移動されているヘッド部１００が、上記回路基板の上方に移動されて、一番目に装着動作が行われる吸着ノズル１１により吸着保持されている電子部品１と、上記回路基板の装着位置との位置合わせが行われる。この位置合わせの際、例えば、制御部９にて認識された上記位置ずれ量に基づいて、吸着ノズル１１の軸芯回りの回転方向における位置ずれの補正が、ヘッド部１００の回転装置５４により行われ、上記回路基板の装着表面と平行な方向における位置ずれの補正が、上記ＸＹロボットにより行われる。さらに、その後、ヘッド部１００の昇降装置５３により上記吸着ノズル１１が下降されて電子部品１の上記装着位置への装着が行われるが、この下降の際に、吸着ノズル１１の軸芯方向における位置ずれの補正が、昇降装置５３により行われる。同様な手順で、その他の吸着ノズル１１についても、上記夫々の位置ずれに基づいて、上記夫々の補正が組み合わされて行われながら、夫々の電子部品１が上記回路基板に装着される。
【０１０３】
上記実施形態によれば、以下のような種々の効果を得ることができる。
【０１０４】
まず、部品装着面撮像装置２０において、互いの光の照射方向の相対的な位置関係が保持された状態にて、それぞれの光照射部６０、６１、及び６２を一体的な状態で固定して備える照明ユニット６３が、撮像フレーム２４の固定用フレーム２４ａにおける取付部２４ｄに脱着可能に装備され、当該脱着の際に撮像フレーム２４に装備された他の部材を取り外すことなく行うことが可能とされていることにより、当該脱着作業の作業性を良好なものとすることができる。
【０１０５】
具体的には、このような照明ユニット６３において、その光の照射方向が異なる複数の光照射部６０、６１、及び６２が備えられているが、これらのそれぞれの光照射部６０、６１、及び６２の互いの相対的な配置関係、すなわち光軸の配置関係を保持したまま、その脱着が可能となるため、当該脱着作業を良好なものとすることができる。
【０１０６】
特に、それぞれの光照射部６０、６１、及び６２において、光源としてＬＥＤ素子６０ａ、６１ａ、及び６２ａが用いられるような場合にあっては、例えば１〜２年程度と短い寿命を有するＬＥＤ素子の交換作業を、良好な作業性でもって効率的に行うことができる。
【０１０７】
また、照明ユニット６３よりもさらに高度な配置精度を有する反射ミラー２１、２２やカメラ部２３を、照明ユニット６３の脱着の際に取り外し不要とすることができるため、照明ユニット６３の取り外しにより反射ミラー２１、２２やカメラ部２３のメンテナンスが２次的に生じることを防止することができる。
【０１０８】
また、それぞれの反射ミラー２１、２２は、その反射面の清掃が定期的に必要とされるものであるが、それぞれの光照射部６１、６２が撮像フレーム２４に設置された状態においては、空間的な問題により適切な清掃を行うことが困難となる場合がある。しかしながら、それぞれの光照射部６１、６２が一体的な状態で照明ユニット６３として撮像フレーム２４から取り外し可能とされていることにより、当該取り外しにより反射ミラー２１、２２の上方に清掃のために必要な空間を確保することができ、清掃作業を良好な作業性でもって行うことが可能となる。
【０１０９】
さらに、固定用フレーム２４ａの取付部２４ｄにおいて、照明ユニット６３における当接部８２と当接されることで、固定用フレーム２４ａにおける照明ユニット６３の配置位置を規定する位置規定部２４ｅが備えられていることにより、照明ユニット６３の装備における位置決め作業を容易なものとすることができる。
【０１１０】
従って、ヘッド部１００において、部品装着面撮像装置２０における照明ユニット６３のメンテナンス性を良好かつ効率的なものとすることができ、電子部品の装着における作業性の効率化を図ることができる。
【０１１１】
また、このような照明ユニット６３は大略Ｕ字形状の撮像フレーム２４の内側に装備されるため、一体的な脱着のための通路を確保する必要があるが、このような脱着のための通路としてカメラ部２３への画像入力のための開口部８５を共用的に用いることで、高い剛性が要求される撮像フレーム２４の剛性を確保しながら、一体的な状態での照明ユニット６３の脱着を具体的に実現することができる。
【０１１２】
また、撮像フレーム２４に装備された状態にて、照明ユニット６３はそれぞれの吸着ノズル１１の下方に配置されることとなり、吸着保持された電子部品１の落下や飛散により照明ユニット６３におけるそれぞれのＬＥＤ素子６０ａ、６１ａ、及び６２ａや基板６０ｂ、６１ｂ、及び６２ｂが損傷を受けるおそれが考えられるが、照明ユニット６３の上面に保護カバー７０を設置することで当該損傷の発生を確実に防止することができる。
【０１１３】
さらに、この保護カバー７０において、それぞれのメイン照射部６２により照射される光が透過される部分に、当該光の照射方向と略直交するようにそれぞれのメイン光透過部７２が形成され、また、それぞれの水平光照射部６１により照射される光が透過される部分に、当該光の照射方向と略直交するようにそれぞれの水平光透過部７３が形成されていることにより、照射されるそれぞれの光を効率的に透過させることができる。
【０１１４】
また、照明ユニット６３において、保護カバー７０の形状や放熱シートの設置などを行うことで、照明ユニット６３にて発生される熱量を効率的に除去することができ、ＬＥＤ素子の長寿命化、機械的精度の低下防止、そして作業上の安全性の確保を達成することができる。
【０１１５】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明の一の実施形態にかかるヘッド部の模式的な構成を示す側面部分断面図である。
【図２】図１のヘッド部の吸着ノズルの配列方向に直交する平面沿いにおける模式断面図である。
【図３】上記ヘッド部における部品装着面撮像装置の部分拡大模式断面図である。
【図４】図３の部品装着面撮像装置におけるＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図５】部品装着面撮像装置における撮像のための光軸配置関係を示す模式説明図である。
【図６】図３の部品装着面撮像装置におけるＢ−Ｂ線矢視図である。
【図７】図４の照明ユニットにおけるＣ−Ｃ線矢視断面図である。
【図８】図４の照明ユニットにおけるＤ−Ｄ線矢視断面図である。
【図９】図４において撮像フレームから取り外された状態の照明ユニットの模式平面図である。
【図１０】図９の照明ユニットの模式斜視図である。
【図１１】図９の照明ユニットの別の角度からの模式斜視図である。
【図１２】撮像フレームから照明ユニットを取り外している状態を示す模式説明図である。
【図１３】撮像フレームへの照明ユニットの装備における固定構造を示す模式説明図である。
【図１４】調整用治具に照明ユニットが載置された状態の平面図である。
【図１５】図１４における調整用治具のＥ−Ｅ線矢視断面図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１  電子部品
９  制御部
１１  吸着ノズル
２０  部品装着面撮像装置
２１、２２  反射ミラー
２３  カメラ部
２４  撮像フレーム
２４ａ  固定用フレーム
２４ｂ  リニアガイドスライダー
２４ｃ  アーム部
２４ｄ  取付部
２４ｅ  位置規定部
２５  リニアガイドレール
６０  垂直光照射部
６１  水平光照射部
６２  メイン照射部
６３  照明ユニット
７０  保護カバー
７１  上部保護部
７２  メイン光透過部
７３  水平光透過部
８０  照明ブラケット
８２  当接部
８５  開口部
８６  照明ユニット用締結ボルト
８７  反射ミラー用締結ボルト８７
１００  ヘッド部
【図１】
2006156764.tif 000003
【図２】
2006156764.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2006156764.tif 000007
【図６】
2006156764.tif 000008
【図７】
2006156764.tif 000009
【図８】
2006156764.tif 000010
【図９】
2006156764.tif 000011
【図１０】
2006156764.tif 000012
【図１１】
2006156764.tif 000013
【図１２】
2006156764.tif 000014
【図１３】
2006156764.tif 000015
【図１４】
2006156764.tif 000016
【図１５】
2006156764.tif 000017