(57)【要約】    【目的】製作時の寸法公差に伴う部材の水路用凹部間の位置ずれによっても放熱効率が低下しない放熱器を提供する。    【構成】冷却水の水路5a等となる凹部等をそれぞれに形成された上部受熱体（第一の受熱体）３と中央受熱体（第三の受熱体）２と下部受熱体（第二の受熱体）１との接合部の内の上側の接合部に、上部受熱体３の凹部と同じ形状で、その形状を維持するための支持部を有し、前記受熱体2等のフィンの幅より製作時の寸法公差分あるいはそれ以上両側に幅を広げたフィン部を有する開口部を形成されている上側の薄板受熱体９を配置し、下側の接合部に、下部受熱体１の凹部と同じ形状で、上側の薄板受熱体９と同様の支持部およびフィン部を有する開口部を形成されている下側の薄板受熱体８を配置する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に被冷却物を配置され、他方の面に冷却水を流通させるための第一の水路となる凹部を形成されている平板状の第一の受熱体と、第一の受熱体と同じ外形を有し、冷却水を供給するための給水孔および冷却水を排出するための排水孔を形成され、一方の面に冷却水を流通させるための第二の水路となる凹部を形成されている平板状の第二の受熱体と、第一の受熱体と同じ外形を有し、第一の受熱体および第二の受熱体の間に配置され、第一の受熱体側の面に第一の水路となる凹部を形成され、第二の受熱体側の面に第二の水路となる凹部を形成され、第一の水路と第二の水路とを連通させる連通孔および第二の水路と給水孔とを連通させる連通孔および第二の水路と排水孔とを連通させる連通孔を形成されている第三の受熱体と、を備え、被冷却物の配置位置に対応する第一の水路および第二の水路の部分には櫛歯状の放熱フィンを有し、放熱フィンの個々の櫛歯間の空間および放熱フィン外周の空間を水路としている放熱器であって、
第一の水路と同じ形状の開口部で、その形状を維持するための支持部を開口部内に有し、且つ前記放熱フィンの個々の櫛歯に対応する部分の幅を、放熱フィンの位置が放熱器の外形に対して有する寸法公差分あるいはそれ以上の寸法だけ櫛歯の厚さより両側に広げた幅とした開口部、を形成され、第一の受熱体と第三の受熱体との間に配置されている第一の受熱体と同じ外形の第一の薄板受熱体と、
第二の水路と同じ形状の開口部で、その形状を維持するための支持部を開口部内に有し、且つ前記放熱フィンの個々の櫛歯に対応する部分の幅を、放熱フィンの位置が放熱器の外形に対して有する寸法公差分あるいはそれ以上の寸法だけ櫛歯の厚さより両側に広げた幅とした開口部、を形成され、第二の受熱体と第三の受熱体との間に配置されている第一の受熱体と同じ外形の第二の薄板受熱体と、を備えている、
ことを特徴とする放熱器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、高い発熱密度の電子部品等が発生した熱を放散させるための水冷式の放熱器に関する。
【背景技術】
【０００２】
水冷式の放熱器は、例えば高出力LD（レーザーダイオード）アレイの冷却などに使用されており、その従来例の一つとしては、図７〜図11に示したものがある。図7は放熱器全体の構成を示す縦断面図、図8は図７のA−A方向より見た断面図であり、図９〜図11は、放熱器を構成する3つの部材、下部受熱体１と中央受熱体２と上部受熱体３、の形状をそれぞれに示している。
上記の高出力LDアレイは、発熱密度が数十〜数百Ｗ／cm2と大きいため、この発熱に伴う温度上昇によってレーザー出力や効率、発信波長、素子寿命が大きな影響を受ける。したがって、高出力LDアレイでは、発生した熱をいかに放散させるかということが非常に重要な課題になる。しかも、この高出力LDアレイの大きさが長さ10mmで幅１〜1.5mm程度であるため、高出力LDアレイと放熱器との接触面積が非常に小さく、広い放熱面積を必要とする空冷式放熱器では高出力LDアレイの温度上昇を所定内に押さえることができず、より冷却能力の高い水冷式放熱器が高出力LDアレイ用放熱器として用いられている。
【０００３】
このような水冷式放熱器の従来例を図７〜図11を用いて説明する。
この放熱器は、上述したように、3つの部材、下部受熱体１と中央受熱体２と上部受熱体３、が図7および図8に示すように積層された3層構造で構成されている。
下部受熱体１の形状は図9に示すとおりであり、図9の（ａ）は平面図、（ｂ）は鎖線部を矢印方向に見た断面図、（ｃ）は裏面からの平面図である。下部受熱体１には、冷却水の入口となる給水孔11と、これに連通する下部水路４となる凹部12と、冷却水の流れを整えるための凸状リブ部15と、発熱体100の取付け位置の直下に配置されている放熱フィン部16と、冷却水の出口となる排水孔18と、が形成されている。
中央受熱体２の形状は、図10に示すとおりであり、図10の（ａ）は平面図、（ｂ）は鎖線部を矢印方向に見た断面図、（ｃ）は裏面からの平面図である。中央受熱体２には、冷却水を上部水路５へ導くための連通孔21と、下面にあって下部水路4となる前段凹部22および後段凹部23と、上面にあって上部水路５となる前段凹部22′および後段凹部23′と、上部水路５を前段部と後段部に隔離するための隔壁部24と、冷却水の流れを整えるための上下部水路５および４のそれぞれの凸状リブ部25′および25と、発熱体100の取付け位置の直下に配置されている下面側の放熱フィン部26および上面側の放熱フィン部26′と、上部水路前段部51の冷却水を下部水路後段部42へ導くための矩形状の連通孔29と、下部フィン６を通過した冷却水を上部フィン７へ導く連通孔27と、上部水路後段部52の冷却水を排水孔18へ導く連通孔28と、が形成されている。
【０００４】
上部受熱体３の形状は、図11に示すとおりであり、図11の（ａ）は平面図、（ｂ）は鎖線部を矢印方向に見た断面図、（ｃ）は裏面からの平面図である。上部受熱体３には、上部水路前段部51となる前段凹部32と、上部水路後段部52となる後段凹部33と、上部水路５を前段部と後段部に隔離するための隔壁部34と、冷却水の流れを整えるための凸状リブ部35と、発熱体100の取付け位置の直下に配置されている放熱フィン部36と、が形成されている。
なお、上下水路を構成する各部材の各凹部および各凸状リブ部、各放熱フィン部は、対応する接触部が上下でずれないように形成されている。
次に、このような構成とした放熱器の動作を説明する。
下部受熱体１の給水孔11から供給された冷却水は、図1に矢印で示したように、下部水路前段部41への水流と連通孔21から上部水路前段部51への水流とに分流する。上部水路前段部51へ分流した水流は、連通孔29を通って下部水路前段部41からの水流と合流する。合流した水流は、下部水路後段部42を通過し、下部フィン６の周囲を通過した後、連通孔27を通って上部フィン７に至り、上部フィン７の周囲を反対向きに通過した後、上部水路後段部52を通過して連通孔28および排水孔18から外部へ出る。
【０００５】
このように流入側の水路を上下2重にしたのは、流路面積を大きくして入口側の圧力損失をできるだけ低くするためである。更に、放熱器の曲げ剛性を確保するために、上下面に水路のための凹部を有する中央受熱体２の肉厚を厚くしている。また、各水路の中央部に設けられている凸状リブ部は、冷却水の流れを整える機能に加えて曲げ剛性を向上させる機能も兼ねている。
流入側の水路を上下2重にしたのには、もう一つの理由がある。それは放熱効果をより高めるためである。放熱効果を高めるためには冷却水の流し方が非常に重要であり、冷却対象物を効率よく冷却するためには、冷却流体を冷却対象物に対して垂直方向から当てると良いことが知られている。この例としては空調機や車のラジエータがあり、これらでは熱交換器のパイプをファンからの風向に垂直に配置させている。この放熱器では、上下の放熱フィン７および６の左側で水流を2度直角に曲げて発熱体100直下での放熱効果を高めているし、上部水路前段部51へ分流した水流を隔壁部24および34に当てて水流を下方に曲げることによって、隔壁部24および34まで到達した熱を効果的に放散させている。
【０００６】
ここで、一般的な放熱効果の促進手段を挙げると、一つには放熱器の構成部材内に熱を十分に拡散させること（構成部材間の熱抵抗低減）があり、二つには放熱器と冷却水との間の熱抵抗を低減させること（各構成部材と冷却水間の熱抵抗低減）がある。
この両方を実現しているのが、上部フィン７および下部フィン6である。すなわち、放熱フィン部36および放熱フィン部26を接触させることによって、上部受熱体３と中央受熱体２との接触面積を増大させて両者間の熱抵抗を低減させ、放熱フィン部26および放熱フィン部16を接触させることによって、中央受熱体２と下部受熱体１との接触面積を増大させて両者間の熱抵抗を低減させている。また、フィン構造を備えることによって冷却水との接触面積を増大させ、各構成部材と冷却水間の熱抵抗を低減させている。
放熱フィン部16等や凹部12等は、量産性や製造コストを考慮し、熱伝導性のよい銅板等の素材に選択エッチングで形成される。したがって、当然のことながら、放熱フィンの実装密度を増加させようとすると、放熱フィンの個々の櫛歯の間隔L1（図８参照）を狭くすることになるので、水路の深さD（図８参照）も浅くなり、この部分の冷却水の流体抵抗が過大となる。その結果として、必要な冷却水を流すことができなくなり、所望の冷却効果が得られなくなる。この問題点は、上部フィン７を放熱フィン部36および放熱フィン部26で構成し、下部フィン6を放熱フィン部26および放熱フィン部16で構成することによって解決している。すなわち、このような構成にすれば、個々の部材の放熱フィン部の密度を高めて水路の深さが浅くなっても、放熱器としての水路の深さは2倍になるので、冷却水の流体抵抗を所定値内に収めることが可能となるからである。
【０００７】
なお、下部受熱体１、中央受熱体２および上部受熱体３は、熱伝導性に優れた銅等の金属材料で製作され、それぞれの間を半田等で気密に且つ良好な熱伝導状態に接合されている。
このような水冷式の放熱器としては、特許文献１や特許文献２に記載されているものがあり、特許文献１に記載されている放熱器は、上述の説明と同様の3層構造である。
【特許文献１】WO００／１１９２２号
【特許文献２】特開平８−１３９４７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記のように構成された放熱器は、放熱フィンの実装密度を大幅に増やすことで接液面積を大幅に増加させることができ、且つ、冷却水の流体抵抗も所定値内に収められて、放熱効果を著しく向上させることが可能となっている。しかしながら、放熱フィンの実装密度を増やしたことに伴って放熱フィンの個々の櫛歯の間隔L1や放熱フィンの個々の櫛歯の厚さL4（図８参照）が薄くなり、製作時の寸法公差に伴う部材間の対応パターンの位置ずれによって、放熱フィン部16および26間などの接触部の幅が低減し、その結果として、この部分の熱抵抗が増大する、という問題点を有している。
図12および図13は、この問題点を説明するための図である。各部材の端部から最初の溝部までの標準距離をLmとするとき、全ての部材が寸法公差なしで加工されている場合には、図12の状態となり、放熱フィン部16および26間などの接触部の熱抵抗は増大しない。しかしながら、図13に示したように、上部受熱体３の端部から最初の溝部までの距離が減少してL5となっていると、放熱フィン部36の個々の櫛歯および放熱フィン部26の個々の櫛歯の接触部の幅が、L4からT1まで減少し、両フィン部間の熱抵抗が増大する。この幅の減少分はLmとL5の差に相当する。したがって、製作時の寸法公差がL4に比べて十分小さい場合には、この問題は無視できるが、放熱フィンの実装密度を大幅に増やしてL4を小さくしてくると、この問題を無視することができなくなる。この寸法公差は、凹部の形成工程と外形加工の工程とが別工程になることによって発生する。通常、凹部はエッチングにより形成され、外形加工はプレスやワイヤカットによる。外形加工もエッチングとする場合でも、その加工は凹部加工とは別工程となる。
【０００９】
図13の場合は、上部受熱体３が理想状態からずれた場合を示しているが、他の部材が理想状態からずれた場合も同様である。
この発明の課題は、上記のような製作時の寸法公差に伴う部材の水路用凹部間の位置ずれによっても放熱効果を低下させることがない放熱器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明は、一方の面に被冷却物を配置され、他方の面に冷却水を流通させるための第一の水路となる凹部を形成されている平板状の第一の受熱体と、第一の受熱体と同じ外形を有し、冷却水を供給するための給水孔および冷却水を排出するための排水孔を形成され、一方の面に冷却水を流通させるための第二の水路となる凹部を形成されている平板状の第二の受熱体と、第一の受熱体と同じ外形を有し、第一の受熱体および第二の受熱体の間に配置され、第一の受熱体側の面に第一の水路となる凹部を形成され、第二の受熱体側の面に第二の水路となる凹部を形成され、第一の水路と第二の水路とを連通させる連通孔および第二の水路と給水孔とを連通させる連通孔および第二の水路と排水孔とを連通させる連通孔を形成されている第三の受熱体と、を備え、被冷却物の配置位置に対応する第一の水路および第二の水路の部分に櫛歯状の放熱フィンを有し、放熱フィンの個々の櫛歯間の空間および放熱フィン外周の空間を水路としている放熱器であって、第一の水路と同じ形状の開口部で、その形状を維持するための支持部を開口部内に有し、且つ前記放熱フィンの個々の櫛歯に対応する部分の幅を、放熱フィンの位置が放熱器の外形に対して有する寸法公差分あるいはそれ以上の寸法だけ櫛歯の厚さより両側に広げた幅とした開口部、を形成され、第一の受熱体と第三の受熱体との間に配置されている第一の受熱体と同じ外形の第一の薄板受熱体と、第二の水路と同じ形状の開口部で、その形状を維持するための支持部を開口部内に有し、且つ前記放熱フィンの個々の櫛歯に対応する部分の幅を、放熱フィンの位置が放熱器の外形に対して有する寸法公差分あるいはそれ以上の寸法だけ櫛歯の厚さより両側に広げた幅とした開口部、を形成され、第二の受熱体と第三の受熱体との間に配置されている第一の受熱体と同じ外形の第二の薄板受熱体と、を備えている。
【００１１】
なお、上記の第一の受熱体、第二の受熱体および第三の受熱体は、それぞれ、「背景技術」の項で説明した上部受熱体、下部受熱体および中央受熱体に相当する。
【発明の効果】
【００１２】
この発明においては、第一の受熱体と第三の受熱体との間に第一の受熱体と同じ外形の第一の薄板受熱体を配置し、第二の受熱体と第三の受熱体との間に第一の受熱体と同じ外形の第二の薄板受熱体を配置し、それら薄板受熱体の放熱フィンの個々の櫛歯に相当する部分の幅を、放熱フィンの位置が放熱器の外形に対して有する寸法公差分あるいはそれ以上の寸法だけ櫛歯の厚さより両側に広げているので、各受熱体間の接触部は確実に放熱フィンの個々の櫛歯の厚さに相当する接触面積を確保でき、その結果、従来技術のように放熱フィン部の熱抵抗が位置ずれに伴って増大することがなくなる。更に、第一の受熱体と第三の受熱体との間および第二の受熱体と第三の受熱体との間からはみ出した第一の薄板受熱体および第二の薄板受熱体の放熱フィン相当部分が放熱フィンとして機能するので、冷却水への熱伝達が改善される。
【００１３】
なお、薄板受熱体の放熱フィンの個々の櫛歯に相当する部分の幅を前記寸法公差分以上両側に広げておけば各受熱体間の接触部の接触面積が確実に放熱フィンの個々の櫛歯の厚さに相当する接触面積を確保できるのは、薄板受熱体の開口部加工および外形加工が同一エッチング工程で可能であるため、薄板受熱体においては外形に対する開口部の寸法公差が十分に小さくできることによる。
以上の説明から明らかなように、この発明によれば、製作時の寸法公差に伴う部材の水路用凹部間の位置ずれによっても放熱効果が低下しないばかりでなく、より優れた放熱効率を有する放熱器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、この発明の実施の形態を、実施例の図面を参照して説明する。
なお、従来技術と同じ機能の部分には同じ符号を付ける。
図1は実施例全体の構成を示す縦断面図、図２は図１のE−E方向より見た断面図であり、図３および図４は、従来例を構成する3つの部材に追加された2つの部材、すなわち下側の薄板受熱体8および上側の薄板受熱体９、の形状をそれぞれに示している。
この実施例は、下部受熱体１と下側の薄板受熱体８と中央受熱体２と上側の薄板受熱体９と上部受熱体３とが下から順に積層された５層構造で構成されている。
従来例を構成する3つの部材は、下部受熱体１と中央受熱体２と上部受熱体３であり、これらの個々の説明は重複するので省略する。
下側の薄板受熱体８は、下部受熱体１と中央受熱体２の間に挟みこまれる部材であり、製作時の寸法公差に伴う下部受熱体１および中央受熱体２の放熱フィン部間の位置ずれによる両部材間の熱抵抗の増大を防止するのが主目的の部材である。この薄板受熱体８の形状は図３に示す通りであり、図3の（ａ）は平面図、（ｂ）は鎖線部を矢印方向に見た断面図である。薄板受熱体８は、熱伝導性に優れた材料、例えば銅、の薄板から製作され、これには下部受熱体１の水路用凹部に対応した開口部82が形成されている。この開口部の形状が下部受熱体１の水路用凹部と異なる部分は、第1に、開口部を形成しても所定の形状を維持できるようにするために支持部89を有すること、第2に、放熱フィン部86の個々の櫛歯の幅を、下部フィン6aを構成する下部受熱体１および中央受熱体２の放熱フィン部の位置が放熱器の外形に対して有する寸法公差分あるいはそれ以上の寸法だけ下部受熱体１の放熱フィン部の個々の櫛歯の厚さより両側に広げていることである。このため、放熱フィン部86の間隔は、下部受熱体１の放熱フィンの間隔より前記広げた分の2倍だけ狭まっており、この間隔を図2ではLtと示している。
【００１５】
上側の薄板受熱体９は、中央受熱体２と上部受熱体３の間に挟みこまれる部材であり、製作時の寸法公差に伴う中央受熱体２および上部受熱体３の放熱フィン部間の位置ずれによる両部材間の熱抵抗の増大を防止するのが主目的の部材である。この薄板受熱体９の形状は図４に示す通りであり、図４（ａ）は平面図、（ｂ）は鎖線部を矢印方向に見た断面図である。薄板受熱体９は、薄板受熱体８と同様に、熱伝導性に優れた材料の薄板から製作され、これには上部受熱体３の水路用凹部に対応した開口部92が形成されている。この開口部の形状は、薄板受熱体８と同様であるので詳しくは説明しないが、支持部99を有し、放熱フィン部96の個々の櫛歯の幅を上部受熱体３の放熱フィン部の個々の櫛歯の厚さより両側に広げられている。
これら5つの部材が積層されて構成された放熱器における冷却水の流れは、図1に示すように、図7に示した従来例の冷却水の流れとほとんど変わらないので、その説明は省略する。この実施例が従来例に比べて優れている点は、放熱フィン部86および96の個々の櫛歯の幅を上記のように広くした下側の薄板受熱体８および上側の薄板受熱体９を中間に配したことによって、製作時の寸法公差で下部受熱体１および中央受熱体２および上部受熱体３の各放熱フィン部の間に位置ずれが存在する場合においても、下部受熱体１と中央受熱体２と上部受熱体３との間の熱抵抗値を所定値以下に抑えることができるようになること、および下部受熱体１と中央受熱体２と上部受熱体３との間から水路内に突出している放熱フィン部86の突出部861および放熱フィン部96の突出部961が、放熱フィンの接液面積を増大させて放熱効果を高めることである。
【００１６】
以上の2点について、図5および図6を用いて更に詳しく説明する。
図５は、従来例の図12と同じ状況の場合で、全ての部材が寸法公差なしに加工されている場合であって、下部フィン6aおよび上部フィン7a 内での下部受熱体１および中央受熱体２および上部受熱体３の接触部は個々の櫛歯の幅で接触しており、熱抵抗を増大させることがなく、薄板受熱体８および９の水路内に突出している部分が冷却水との接触面積を増やし放熱効果を高める。これに対して、従来例では図13に示したように接触部の幅を減少させて熱抵抗を増大させた寸法公差ありの場合には、図６に示すように、従来例と異なり、下部フィン6aおよび上部フィン7a 内での下部受熱体１および中央受熱体２および上部受熱体３の接触部は位置がずれても薄板受熱体８あるいは薄板受熱体９を介することで個々の櫛歯の幅で接触しており、熱抵抗を増大させることがない。更に、薄板受熱体８および９の水路内に突出している部分は、その突出寸法に左右の差はあるけれども、冷却水との接触面積を増やし放熱効果を高める。
【００１７】
なお、放熱フィン部86および96の個々の櫛歯の幅の最大値は、当然のことながら、図2に示したLt＝０の場合に相当するが、実用的には、この状態においては下部フィン6aおよび上部フィン7aにおいてそれぞれの水路が上下に分割されるので、この部分における流体抵抗が大幅に高くなり、冷却水の水量を低減させ、結果として放熱効果を悪くする。したがって、放熱フィン部86および96の個々の櫛歯の幅の上限値は、流体抵抗の増加と突出部の表面積増加とのバランスで決められる。
熱流体シミュレーションにより具体的な効果を試算した結果、この実施例における発熱体100の温度上昇が、従来例に比べて期待どおりに低減することが分かった。
なお、薄板受熱体８および９は、厚さ0.1mm程度の薄板でその効果を十分に発揮できるし、その外形加工と開口部加工を同一工程の抜き加工、例えばプレス加工やエッチング加工、で実行できるので、外形部に対する開口部の位置精度は十分に高く、下部受熱体１等のような寸法公差の問題は発生しない。従来例をこの実施例に変更することに伴うコスト上昇に関しては、部材においては、薄板に抜き加工を施した2部材が増えるが、簡単な工程で加工できるし、5層構造に組み立てる工程においては、下部受熱体１と下側の薄板受熱体８および上部受熱体３と上側の薄板受熱体９をそれぞれ拡散接合で一体化しておけば、水路部分に金メッキを付けるときには従来例と同様に同じ3層構造となり、半田接合も3層の接合となる。このため、コストの上昇は少なくて済む。
【００１８】
また、図６には、上部受熱体３が理想状態からずれた場合を示しているが、他の部材が理想状態からずれた場合も全く同様である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】この発明による放熱器の実施例の全体構成を示す断面図
【図２】実施例の放熱フィン部の構成を示す断面図
【図３】実施例の下側の薄板受熱体の形状を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図４】実施例の上側の薄板受熱体の形状を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図５】実施例の放熱フィン部の組立状態を示す拡大部分断面図
【図６】実施例の効果を説明するための放熱フィン部の拡大部分断面図
【図７】従来技術による放熱器（従来例）の全体構成を示す断面図
【図８】従来例の放熱フィン部の構成を示す断面図
【図９】従来例の下部受熱体の形状を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は裏面からの平面図
【図１０】従来例の中央受熱体の形状を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は裏面からの平面図
【図１１】従来例の上部受熱体の形状を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は裏面からの平面図
【図１２】従来例の放熱フィン部の組立状態を示す拡大部分断面図
【図１３】従来例の問題点を説明するための放熱フィン部の拡大部分断面図
【符号の説明】
【００２０】
１  下部受熱体
11  給水孔                        12  凹部
15  凸状リブ部                    16  放熱フィン部
18  排水孔
２  中央受熱体
21  連通孔                        22、22′前段凹部
23、23′後段凹部                  24、24′隔壁部
25、25′凸状リブ部                26、26′放熱フィン部
27  連通孔                        28  連通孔
３  上部受熱体
31  給水部                        32  前段凹部
33  後段凹部                      34  隔壁部
35  凸状リブ部                    36  放熱フィン部
４、4a  下部水路
41、41a  下部水路前              42、42a  下部水路後段部
５、5a  上部水路
51、51a  上部水路前段部          52、52a  上部水路後段部
６、6a  下部フィン
７、7a  上部フィン
８  薄板受熱体（下側）
82  開口部
86  放熱フィン部                    861  突出部
89  支持部
９  薄板受熱体（上側）
92  開口部
96  放熱フィン部                    961  突出部
99  支持部
100  発熱体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006140308.tif 000009
【図８】
2006140308.tif 000010
【図９】
2006140308.tif 000011
【図１０】
2006140308.tif 000012
【図１１】
2006140308.tif 000013
【図１２】
2006140308.tif 000014
【図１３】
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