(57)【要約】【課題】  平面的に構築可能な、帯状可撓性部材の平面度を確保するための矯正装置及び矯正方法を提供すること。このような矯正装置又は方法を応用した帯状可撓性部材の搬送装置・検査装置・製造装置、又は搬送方法・検査方法・製造方法を提供すること。【解決手段】  平面状の搬送面を上面に備えた搬送プレート２２上に帯状可撓性部材１０を滑らせ、この帯状可撓性部材１０に対し上方から気体を噴射して帯状可撓性部材１０の平面度を矯正する。また、この矯正方法により平面度を維持しながら光学的検査機２５により帯状可撓性部材１０の異物や傷などの欠陥を検査する。このような矯正、検査機能を備えて帯状可撓性部材１０の製造装置を構築する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状可撓性部材を滑らせる平面状の搬送面を上面に備えた搬送プレートと、前記搬送面に対し上方から気体を噴射する気体噴射装置とを備えていることを特徴とする帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項２】
前記搬送プレートは、搬送面に帯状可撓性部材の吸着防止用表面処理が施されていることを特徴とする請求項１記載の帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項３】
前記吸着防止用表面処理は、フッ素樹脂をコーティングしたものであることを特徴とする請求項２記載の帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項４】
前記搬送プレートは、フッ素樹脂からなることを特徴とする請求項１記載の帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項５】
前記搬送プレートは、金属等の導電性を持った材質からなり、アースされていることを特徴とする請求項１記載の帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項６】
前記搬送プレートは、金属メッキ等の導電性を持ったコーティングが施されて、アースされていることを特徴とする請求項１記載の帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項７】
前記気体噴射装置は、気体として空気を噴射するものであることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項８】
前記気体噴射装置は、気体として不活性ガスを噴射するものであることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項９】
前記気体噴射装置は、噴射する気体中にプラスイオンとマイナスイオンとを混合させて帯状可撓性部材を除電する除電機能を具備することを特徴とする請求項７又は８記載の帯状可撓性部材の矯正装置。
【請求項１０】
帯状可撓性部材を搬送する一対のガイドロール間に請求項１〜９の何れか１項に記載の矯正装置を備えたことを特徴とする帯状可撓性部材の搬送装置。
【請求項１１】
帯状可撓性部材の巻出ロールと帯状可撓性部材の巻取ロール間に請求項１〜９の何れか１項に記載の矯正装置を備えたことを特徴とする帯状可撓性部材の搬送装置。
【請求項１２】
請求項１〜９の何れか１項に記載の矯正装置と、この矯正装置上を搬送される帯状可撓性部材に対し、光学的に異物又は／及び欠陥を検査する光学式検査機とを備えたことを特徴とする帯状可撓性部材の検査装置。
【請求項１３】
前記光学式検査機は、搬送プレートの上下何れか一方にカメラが配置されるとともに、他方に光源が配置されてなるものであり、前記搬送プレートは、カメラの視野部分が貫通孔として形成されたものであることを特徴とする請求項１２記載の帯状可撓性部材の検査装置。
【請求項１４】
前記光学式検査機は、搬送プレートの上下何れか一方にカメラが配置されるとともに、他方に光源が配置されてなるものであり、前記搬送プレートは、透明部材により形成されたものであることを特徴とする請求項１２記載の帯状可撓性部材の検査装置。
【請求項１５】
前記カメラは、複数台として帯状可撓性部材の全幅をカメラ視野に置くように構成され、搬送方向に複数列千鳥状に配置されてなることを特徴とする請求項１３又は１４記載の帯状可撓性部材の検査装置。
【請求項１６】
請求項１３〜１５の何れか１項に記載の検査装置であって、帯状可撓性部材の巻出ロールと帯状可撓性部材の巻取ロールとをさらに備え、これらロール間に矯正装置と光学式検査機とが配置されてなることを特徴とする帯状可撓性部材の検査装置。
【請求項１７】
帯状可撓性部材の製造ラインにおける一対のガイドロール間に請求項１３〜１５の何れか１項に記載の検査装置を備えたことを特徴とする帯状可撓性部材の製造装置。
【請求項１８】
帯状可撓性部材を搬送する搬送工程において、帯状可撓性部材を搬送プレート上面の搬送面上に滑らせ、この搬送面上を滑る帯状可撓性部材に対し、気体噴射装置から気体を噴射して帯状可撓性部材を搬送面に押し付けるようにしたことを特徴とする帯状可撓性部材の矯正方法。
【請求項１９】
帯状可撓性部材を、搬送プレート上面の搬送面上を滑るように搬送し、この搬送面上を滑る帯状可撓性部材に対し、気体噴射装置から気体を噴射して帯状可撓性部材を搬送面に押し付けて帯状可撓性部材を矯正しながら、光学式検査機により帯状可撓性部材の異物又は／及び欠陥を検査するように構成されたことを特徴とする帯状可撓性部材の検査方法。
【請求項２０】
請求項１９記載の帯状可撓性部材の検査方法において、気体噴射装置から噴射する気体中にプラスイオンとマイナスイオンとを混合させることにより、帯状可撓性部材を除電するようにしたことを特徴とする帯状可撓性部材の検査方法。
【請求項２１】
帯状可撓性部材の製造ライン中に、請求項１９又は２０に記載の検査方法による検査工程を含むことを特徴とする帯状可撓性部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムなどの帯状可撓性部材の矯正装置、搬送装置、検査装置及び製造装置、フィルムなどの帯状可撓性部材の矯正方法、搬送方法、検査方法及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルムなどの帯状可撓性部材の製造工程や帯状可撓性部材を利用する製品の生産工程において、帯状可撓性部材を搬送する場合は、一般に帯状可撓性部材の端部に搬送手段を接触させて、帯状可撓性部材に搬送方向の引張力を作用させながら搬送が行われていた。ところが、このような装置では、帯状可撓性部材を搬送することはできても、供給ロールと巻上ロールとの間が長い場合、あるいは、搬送ロール間が長い場合などにおいて、搬送方向と直角方向に帯状可撓性部材の撓みが生じ、両側の端部が上方にカール（湾曲）したりすることがあった。このため、帯状可撓性部材上の異物や傷などの欠陥を光学的に検査する場合に、検査対象の帯状可撓性部材の面が湾曲のために焦点深度内に入らなくなったり小さな傷を見逃したりする問題が発生していた（特許文献１の従来技術参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の発明は、このような問題を回避するためになされたものであって、本発明にいう帯状可撓性部材に相当するフィルムを光学的に検査するためのフィルムの平面度を保持する矯正装置を提案している。
【０００４】
この矯正装置を図６及び図７に基づき説明する。なお、図６は上記従来の矯正装置を示す側面図であり、図７は同矯正装置の平面図である。この矯正装置は、ガイドロールにより搬送方向に引っ張られて搬送される帯状可撓性部材としてのフィルム１０１を光学的に検査する位置近くにおいて、フィルム１０１の左右両側部に、フィルム１０１を挟み込む２個のロール１０３からなる圧力ロール１０２がそれぞれ設けられている。そして、各圧力ロール１０２では、２個のロール１０３間に圧力をかけてフィルム１０１を挟み込み、挟み込み力によりフィルム１０１に搬送方向と直角の方向に引っ張る引張力を生ずるようにしている。すなわち、この矯正装置では、フィルム１０１の搬送方向（図６及び図７における白抜き矢印）に対し左側の圧力ロール１０２は、フィルム１０１を搬送方向に対し左側に引っ張る引張力が働くように、回転軸１０４が左側に所定角度Θ傾けられている。また、右側の圧力ロール１０２は、フィルム１０１を搬送方向に対し右側に引っ張る引張力が働くように、回転軸１０４が右側に所定角度Θ傾けられている。この結果、フィルム１０１は、搬送方向の引張力とともに、２個の圧力ロール１０２により搬送方向と直角の方向の引張力Ｆを受ける。このようにして、フィルム１０１は、搬送方向の引張力と搬送方向と直角方向の引張力Ｆとにより平面度を保つように構成されている。なお、図６及び７において１０５、１０６、１０７、１０８はガイドロールである。
【特許文献１】特開２０００−１１８８１５号公報（第２頁、第３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記従来の矯正装置の場合は、圧力ロール１０２を設置するものであって、圧力ロール１０２の軸固定用のベアリングや、フィルム１０１を２個のロール１０３間に挟み込み、２個のロール１０３間を加圧する加圧手段を設ける必要があった。このため、矯正装置が構造的に複雑になり、スペース的に大きくなるという問題があった。また、フィルム１０１の挟み込みを容易にし、加圧力を小さくするために、２個のロール１０３の材質を弾性力のあるものにすることも考えられるが、２個のロール１０３間にフィルム１０１を通すことが難しくなるという問題があった。さらには、左右の圧力ロール１０２における摩擦力のバランスが崩れてフィルム１０１が蛇行する原因になり易いという問題があった。なお、フィルム１０１が蛇行すると、異物又は／及び欠陥座標に誤差が発生し、検査信頼性が低下するという問題が発生する。また、フィルム状接着剤を製造する場合のように、製造工程途中においてバインダー樹脂のような粘着性のある物質が表面に露出している状態では、圧力ロール１０２が粘着性のある面に触れることになり異物が付着し易いという問題が生ずる。
【０００６】
そこで、上記のような圧力ロールを用いずに帯状可撓性部材を平面に保持する方法として、ガイドロールを増やして支持間距離を短くすることが考えられる。この場合、増設したガイドロールと帯状可撓性部材とが線接触しているだけでは帯状可撓性部材の両端のカールを矯正する効果が現れないので、帯状可撓性部材がガイドロールに大きな角度（抱き角度）で巻かれて面接触する必要がある。しかしながら、この場合、搬送ラインを平面的に形成することができないという問題がある。図８は、その例を具体的に示したものである。
【０００７】
図８は、フィルム状接着剤の製造工程の一部を例として示すものであって、上面に粘着性のあるバインダー樹脂が露出する状態の帯状可撓性部材２０１を、帯状可撓性部材２０１上に引張力を作用させて平面に保持しようとしたものである。ここでいう帯状可撓性部材２０１は、フィルム状接着剤の製造工程で出現する形態、すなわち、基材フィルム単独のもの、基材フィルム上にフィルム状接着剤部を形成したもの、及びこのフィルム状接着剤部上にカバーフィルムがラミネートされたものなどをいう。これを具体的に説明する。基材巻出ロール２０２から巻き出された基材フィルム２０３上に、溶液ノズル２０４から押し出された溶液（例えば、バインダー樹脂中に導電性を有する粒子を分散させた接着剤用溶液）を塗工する。そして、溶液２０５が塗工された帯状可撓性部材２０１は、帯状可撓性部材２０１の抱き角度が大きくなるように配置されたガイドロール２１１〜２１６により搬送されている。また、溶液２０５が塗工された帯状可撓性部材２０１は、乾燥炉２０６で溶液が膜状化され、検査装置２０７を経由した後、この膜上にカバーフィルム２２１がラミネートされて巻取ロール２２２に巻き取られている。カバーフィルム２２１は、カバー巻出ロール２２３から巻取ロール２２２の上流側のガイドロール２１６に供給されている。
【０００８】
検査装置２０７は、カメラ分解能を良くするように、複数台のカメラ２０７ａ及び光源２０７ｂにより構成されている。複数台のカメラ２０７ａを使用するのは次の理由による。すなわち、帯状可撓性部材２０１の全幅をカメラ２０７ａで捕らえるようにするには、少なくとも複数台のカメラ２０７ａの視野を合計したものが帯状可撓性部材２０１の全幅寸法以上でなければならない。したがって、必要カメラ２０７ａの台数は、帯状可撓性部材２０１の全幅寸法をカメラ２０７ａの視野幅寸法で割った数値を超える整数値となる。一方、カメラ２０７ａの分解能を良くするには高倍率のレンズを使用する必要がり、高倍率のレンズを使用したカメラ２０７ａでは視野幅寸法が小さくなる。このためカメラ２０７ａの分解能を良くするとカメラ２０７ａ台数が増加することになる。また、カメラ２０７ａの視野に対しカメラボディの寸法が通常大きいので、帯状可撓性部材２０１の幅方向１列にカメラを並べることができない。このため、図８のものでは、帯状可撓性部材２０１の搬送方向にカメラ２０７ａ及び光源２０７ｂをずらせて配置している。
【０００９】
また、この検査装置２０７の検査領域においては、帯状可撓性部材２０１の平面度を保持するため、ガイドロール２１３、２１４間の距離をできるだけ短く形成し、かつ、帯状可撓性部材２０１の抱き角度を大きくして、ガイドロール２１３、２１４による矯正効果が検査領域に及ぶようにしている。すなわち、検査装置２０７の上流側のガイドロール２１３の抱き角度確保のため、基材巻出ロール２０２から検査装置２０７に至る経路が上方に向くように配置されている。また、検査装置２０７の下流側のガイドロール２１４における抱き角度を確保するために、このガイドロール２１４の下流側が下方を向くように構成されている。このような構成にする場合には、搬送経路を上下方向に立体的に形成することが必要であるので、設置場所に上下の空間が必要になる。このような設備は、一般的にクリーンルームに設置されることが多いので、クリーンルームの初期投資や維持費を考慮した場合、設置体積の小さいほうが経済的である。
【００１０】
別の方法として、帯状可撓性部材２０１を上面側からガイドロールで押さえて搬送工程を平面的に構成する方法が考えられる。しかしながら、帯状可撓性部材２０１が基材フィルム２０３の上面に粘着性のあるフィルムが形成されているようなものである場合には、ガイドロール起因の異物や傷が転写されたりする問題がある。
【００１１】
したがって、このような製造装置では、搬送工程を平面的に構成することが困難である。また、一対のガイドロール２１３、２１４間において帯状可撓性部材２０１の平面度を保持しているので、透過照明を利用した検査装置２０７を形成することにより一対のガイドロール２１３、２１４間の距離が大きくなると、帯状可撓性部材２０１のばたつきが大きくなったり、帯状可撓性部材２０１の幅方向端縁部がカールしたりする問題が生じやすくなり、検査の信頼性を損なう恐れがある。
【００１２】
このようなことから、さらに図９に示すように、帯状可撓性部材３０１を搬送するためのガイドロール３０２、３０３、３０４上に落射照明を照射するようにカメラ３０５、３０６、３０７を構成すれば、前述の一対のガイドロール２１３、２１４間において帯状可撓性部材２０１の平面度を保持する構成を回避するという案を考え付くことができる。しかしながら、このように落射照明を使用する場合にあっても、検査の信頼性を向上させるには帯状可撓性部材３０１をガイドロール３０２、３０３、３０４上で浮き上がらないように搬送することが必要である。このためには、やはりガイドロール３０２、３０３、３０４において一定角度以上の抱き角度を確保する必要があり、図９に図示するように搬送工程を上下方向に山形状にする必要がある。このため、この案の場合も搬送工程を平面的に形成することができない。
【００１３】
また、このような問題を解決する更なる別の方法として、図１０のように、ガイドロール３０２、３０３、３０４の間に新たにガイドロール３０８、３０９、３１０、３１１を設置して帯状可撓性部材３０１を上面側から押さえ、搬送工程を略平面的に構築することも考えられる。しかし、帯状可撓性部材３０１が基材フィルム上に粘着性のあるフィルムが形成されているようなものである場合には、ガイドロール３０８、３０９、３１０、３１１に起因して、異物や傷が転写されたりする問題があるため、適用が難しい。
【００１４】
本発明は、このような従来技術に係る課題に鑑み成されたものであって、平面的に構築可能な帯状可撓性部材の矯正装置及び矯正方法を提供することを目的とするものである。また、本発明は、このような矯正装置を応用した帯状可撓性部材の搬送装置、検査装置及び製造装置、並びに、このような矯正方法を用いた帯状可撓性部材の搬送方法、検査方法及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る帯状可撓性部材の矯正装置は、上記課題を達成するものであって、帯状可撓性部材を滑らせる平面状の搬送面を上面に備えた搬送プレートと、前記搬送面に対し上方から気体を噴射する気体噴射装置とを備えていることを特徴とする。
【００１６】
本発明によれば、気体噴射装置から噴射される気体により帯状可撓性部材を平面状の搬送プレートの搬送面に沿うように押し付けるので、搬送プレート上において平面度を保持するように帯状可撓性部材を矯正することができる。このように、本発明の矯正装置は、矯正装置の前後にガイドロールを配置する必要がなく、また、仮にガイドロールを配置したとしても、これらガイドロールそれぞれに大きな抱き角度を付与する必要もない。したがって、搬送工程を平面的に容易に構成することができる。また、本発明の矯正装置では、従来のように帯状可撓性部材を圧力ロールで挟み込むことがなく、非接触であるので、圧力ロールにより帯状可撓性部材に傷を付けるようなことがない。また、左右方向に引っ張る圧力ロールの摩擦力のバランスが崩れて、帯状可撓性部材が蛇行するような心配もない。また、圧力ロールがないので、帯状可撓性部材に異物が付着する原因となる圧力ロールの磨耗による磨耗粉の発生がない。さらには、気体噴射装置からクリーンエアーを吹き込むことにより帯状可撓性部材の清浄度を高く維持することができる。また、帯状可撓性部材をロール等により押し付けたり、挟み込んだりすることがなく、非接触で帯状可撓性部材の平面度を矯正することができるので、表面が粘着性を帯びているような帯状可撓性部材の平面度を矯正するのに適した矯正装置とすることができる。
【００１７】
また、本発明の矯正装置において、搬送プレートは、帯状可撓性部材が搬送面に吸着するのを回避することが好ましい。このためには、搬送面に帯状可撓性部材の吸着防止用表面処理を施したものとするのが好ましい。このようにすれば、搬送面の表面処理で済むので搬送プレートの材質の選択範囲を広げることができる。また、この場合の吸着防止用表面処理としてはフッ素樹脂をコーティングするのが好ましい。また、このような吸着防止用表面処理を施さなくてもよいように、搬送プレート自体をフッ素樹脂により形成するようにしてもよい。
【００１８】
また、前記搬送プレートを、金属等の導電性を持った材質から構成してアースするように構成してもよい。搬送プレートの搬送面上に帯状可撓性部材を滑らせているので、帯状可撓性部材と搬送プレートとの接触及び摩擦により搬送プレートと帯状可撓性部材とが帯電する可能性がある。このようになると、帯状可撓性部材と搬送プレートとの間にクーロン力が発生し、帯状可撓性部材と搬送プレートとが引き合って帯状可撓性部材が円滑に搬送され難くなったり、帯状可撓性部材に異物が付着しやすくなったりする。また、搬送プレートの帯電量が大きくなると、別の物質が近づいたときに静電気放電が生じ火花の原因になる恐れある。しかしながら、上記のように、搬送プレートを金属等の導電性を持った材質から構成してアースをすると、搬送プレートに静電気が発生してもどんどん大地に流すことができるので、搬送プレートの帯電を避けることができ、搬送プレートの帯電に起因する、帯状可撓性部材と搬送プレートとの引き合いや火災の原因になる火花の発生を防止することができる。なお、帯状可撓性部材の除電については、後述するように搬送面に吹き付ける気体中にイオンを混合させるなどの別の方法により除電するのが好ましい。
【００１９】
また、上記方法に代えて、搬送プレートを、金属メッキ等の導電性を持ったコーティングを施してアースするように構成してもよい。このようにすれば、絶縁性からなる搬送プレートを導電化することができ、前述の導電性を持った材質からなる搬送プレートの場合と同様に、搬送プレートの帯電を防止することができる。したがって、この場合も帯状可撓性部材の搬送を円滑にするとともに、火災の原因になる火花の発生を防止することができる。
【００２０】
また、本発明に係る帯状可撓性部材の矯正装置において、前記気体噴射装置から噴射する気体を空気とすることができる。噴射する気体を空気とすれば、酸欠事故を起こす心配がないので噴射した気体を装置周辺にそのまま放出して処理することができる。したがって、矯正装置を簡略化することができる。このように、噴射する気体を空気とすると、安全でありかつ安価にして取り扱いが容易である。なお、帯状可撓性部材の表面の酸化を防止する必要があるような場合には、気体噴射装置から噴出する気体を不活性ガスとすることにより、その目的を達成することができる。
【００２１】
また、搬送プレートの材質や帯状可撓性部材の材質によっては、帯状可撓性部材を搬送プレート上で搬送させることにより、帯状可撓性部材に静電気が発生しやすくなる。特に、搬送プレートをガラス製とし、帯状可撓性部材の搬送プレートに接触する膜がポリエチレンテレフタレタート（ＰＥＴ）で構成されているような場合には、帯状可撓性部材と搬送プレ−トとの接触や摩擦により帯状可撓性部材及び搬送プレートに静電気が帯電し易くなる。また、帯状可撓性部材をガイドロールで案内しながら走行させると、ガイドロールからの剥離により剥離放電を生じ、帯状可撓性部材が帯電するようになる。このように帯状可撓性部材が帯電すると、帯状可撓性部材に異物が付着し易くなるという問題がある。本発明では、このような帯電を防止するために、気体噴射装置から噴射する気体中にプラスイオンとマイナスイオンとを混合させて帯状可撓性部材を除電する除電機能を、気体噴射装置に具備するように構成することもできる。気体噴射装置にこのような除電機能を持たせる場合には、気体噴射装置からの気体噴射量、噴射させた気体の気流処理方法などを考慮して、十分なイオンを搬送プレートに供給すれば、このイオンにより搬送プレートを除電することもできる。なお、搬送プレートの除電については、勿論前述のようにアースする方法を採用してもよい。
【００２２】
また、本発明に係る帯状可撓性部材の搬送装置は、帯状可撓性部材を搬送する一対のガイドロール間に上述の何れかの矯正装置を備えたことを特徴とする。このような搬送装置によれば、ガイドロールに抱き角度を持たせることなく帯状可撓性部材を平面に保持する矯正装置を備えているため、搬送工程を上下方向に立体的に形成する必要がなく、略フラットに形成することができる。また、この矯正装置においては、帯状可撓性部材を左右に引っ張る圧力ロールを用いていないので帯状可撓性部材が蛇行する恐れがない。また、この矯正装置は非接触であるため、この矯正装置において帯状可撓性部材に傷を付けたり、異物を付着させたりすることがない。また、非接触式の矯正装置を備えたものであるため、表面が粘着性である帯状可撓性部材の搬送装置として簡易に用いることができる。
【００２３】
また、本発明に係る帯状可撓性部材の搬送装置は、帯状可撓性部材の巻出ロールと帯状可撓性部材の巻取ロール間に上述の何れかの矯正装置を備えたものとすることもできる。このような搬送装置は、上述の搬送装置におけると同様の矯正装置を備えたものであるので、帯状可撓性部材が蛇行する恐れ、矯正装置における帯状可撓性部材の損傷、帯状可撓性部材への異物の付着などの恐れがなく、帯状可撓性部材を清浄に保持することができる。また、このように構成することにより、粘着性のある帯状可撓性部材に適用可能な矯正装置を備えたロール・ツウ・ロール方式の搬送装置を提供することができる。
【００２４】
また、本発明に係る検査装置は、前述の何れかの矯正装置と、この矯正装置上を搬送される帯状可撓性部材の異物又は／及び欠陥を光学的に検査する光学式検査機とを備えたことを特徴とする。このように構成された検査装置によれば、略平面的なライン構成となるので、カメラや光源などの機器配置が容易になる。また、水平方向のスペースさえ確保できれば検査装置を構築することが可能である。このため、帯状可撓性部材の製造装置におけるインライン検査装置として、あるいは、検査専用のオフライン検査装置として構築することが容易である。また、気体を噴射することにより、帯状可撓性部材の搬送方向と直角方向の幅全体のカール（湾曲）や、帯状可撓性部材の両端部のカールを防止することができるので、カールによるフォーカスのずれを防止することができ、検査精度を向上させることができる。さらには、帯状可撓性部材の損傷、帯状可撓性部材への異物の付着がないので、信頼性の高い検査装置を提供することができる。
【００２５】
また、このような検査装置において、搬送プレートの上下何れか一方にカメラを配置し、他方に光源を配置するとともに、搬送プレートにおけるカメラの視野部に貫通孔を形成してもよい。このように構成すると、光を効率よくカメラに到達させることができる。また、前述の検査装置において搬送プレートを透明部材により形成してもよく、この場合には上記貫通孔を省略することができる。
【００２６】
また、本発明の検査装置において、カメラを帯状可撓性部材の全幅を検査するように複数台で構成し、この複数台のカメラを搬送方向に複数列として千鳥状に配置してもよい。カメラが複数列になる場合、前述の図８のような従来のものでは、ガイドロール間の距離が長くなり、帯状可撓性部材のばたつきやカールが発生し易くなるというという問題が発生する。これを回避するには、カメラ列の数だけガイドロールを配置する必要があった。さらに、検査装置の前にガイドロールを配置し、このガイドロールの抱き角度を維持する必要があり、上下方向の検査装置用のスペースを必要としていた。これに対し、本発明のように搬送プレート上に気体を噴射させて帯状可撓性部材の平面度を保持しながら検査する装置の場合は、カメラが複数列の場合であっても検査ラインを略水平に形成することができ、カメラ列も同一水平面上に配置することが可能であるため、水平方向のスペースさえ確保できれば検査ラインを容易に構築することができる。このため、搬送ラインの引き回しが容易になる。また、複数台のカメラは千鳥状に配置されるため、カメラ相互間のボディの干渉を避けながら、カメラをコンパクトに配置して帯状可撓性部材の全幅をカメラの視野に置くことができる。
【００２７】
また、本発明の検査装置において、帯状可撓性部材の巻出ロールと帯状可撓性部材の巻取ロール間に矯正装置と光学式検査機とを配置した構成とすることもできる。このような構成とすると、上述の検査装置と同様の検査ラインを構築したオフライン検査装置を容易に提供することができる。
【００２８】
また、本発明の帯状可撓性部材の製造装置は、帯状可撓性部材の製造ラインにおける一対のガイドロール間に上記のような検査装置を備えたことを特徴とする。このように構成すると検査装置の前後の装置を含めた、搬送ラインを略フラットに構築することができるので、安価で、かつスペース的に確保容易な製造装置を提供することができる。また、製造ライン中に上述の検査装置が組み込まれるので、高精度かつ信頼性の高い検査機能を備えた帯状可撓性部材の製造装置を提供することができる。
【００２９】
また、本発明による帯状可撓性部材の矯正方法は、帯状可撓性部材を搬送する搬送工程において、帯状可撓性部材を搬送プレート上面の搬送面上に滑らせ、この搬送面上を滑る帯状可撓性部材に対し、気体噴射装置から気体を噴射して帯状可撓性部材を搬送面に押し付けるようにしたことを特徴とする。このように構成すると、圧力ロールなどにより端部を挟み込んで引っ張ることなく、非接触でカールなどを防止して平面度を保持するように、帯状可撓性部材を矯正することができる。したがって、この矯正方法によれば、矯正ライン及びその前後のラインを略フラットに形成することができる。また、矯正の際に帯状可撓性部材に傷付けたり、帯状可撓性部材に異物を付着させたりするようなことがなく矯正でき、さらに、表面が粘着性を帯びている帯状可撓性部材であっても容易に矯正することができる。
【００３０】
本発明による帯状可撓性部材の検査方法は、帯状可撓性部材を、搬送プレート上面の搬送面上を滑るように搬送し、この搬送面上を滑る帯状可撓性部材に対し、気体噴射装置から気体を噴射して帯状可撓性部材を搬送面に押し付けて帯状可撓性部材を矯正しながら、光学式検査機により帯状可撓性部材の異物又は／及び欠陥を検査するように構成されたことを特徴とする。したがって、前述の矯正方法により帯状可撓性部材を矯正しながら検査することになるので、フォーカスずれのない高精度な検査を行うことができる。また、矯正の際に、帯状可撓性部材に傷を付けたり、帯状可撓性部材に異物を付着させるようなことがなく信頼性の高い検査を行うことができる。
【００３１】
また、このような検査方法において、気体噴射装置から噴射する気体中にプラスイオンとマイナスイオンとを混合させることにより、帯状可撓性部材を除電するようにしてもよい。このようにすれば、帯状可撓性部材の帯電を除去することができるので、帯状可撓性部材への異物の付着をより一層軽減することができる。
【００３２】
また、本発明による帯状可撓性部材の製造方法は、帯状可撓性部材の製造ライン中に前述の検査方法を取り入れたものであるので、検査装置を組み込みながら搬送ラインのフラット化を可能とする。また、前述のような高精度かつ高信頼性の検査方法を組み入れた製造を行うことができる。また、表面が粘着性のある帯状可撓性部材に適した製造方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、圧力ローラを使用して帯状可撓性部材を搬送方向に対して左右方向に引っ張る力を付与することなく、また、帯状可撓性部材に搬送方向の大きな引張力を作用させることなく、帯状可撓性部材に対し上方から気体噴射装置から気体を噴射して、帯状可撓性部材の平面度を保持するようにしているので、矯正ラインの前後に配置されるガイドロールに抱き角度を付与する必要がない。したがって、矯正ライン及びその前後のラインを含む搬送ラインを平面的に構成することができる。また、矯正は非接触で行えるので、帯状可撓性部材に対し傷を付けたり、異物を付着させたりすることがなく、高精度、かつ高信頼性の検査を可能にし、惹いてはインライン検査設備を備えた帯状可撓性部材の製造装置を提供可能としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
（実施の形態１）
以下、図１〜図３を参照しながら本発明の実施の形態１を詳細に説明する。なお、図１は、一実施の形態としてのフィルム状接着剤の製造装置の全体構成図である。また、図２は、同製造装置に備えられる異物欠陥検査装置部の平面図であり、図３は、図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【００３５】
図１に示す製造装置はフィルム状接着剤を製造する装置である。図１に示すように、この製造装置では、フィルム状接着剤の基材フィルム１が基材巻出ロール２から巻き出される（巻出工程）。基材フィルム１としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が好ましい。また、バインダー樹脂中に導電性を有する粒子を分散させた接着剤用の溶液３が溶液タンク４に貯蔵されている。この溶液タンク４内は窒素ガス（Ｎ２ガス）により所定圧力に保持されている。そして、溶液タンク４内の溶液３は窒素ガス圧により基材フィルム１に対向して配置された溶液ノズル５から押し出されて基材フィルム１上に塗工される（塗工工程）。溶液３が塗工される位置は、基材巻出ロール２から巻き出された基材フィルム１が、第１ガイドロール７を経て第２ガイドロール８と第３ガイドロール９との間で垂直に保持されている搬送ライン上で行われる。この位置は、第２ガイドロール８と第３ガイドロール９とにより基材フィルム１に比較的大きな引張力が作用して、基材フィルム１が緊張した状態となっているので、溶液３を均一に塗工することができる。
【００３６】
基材フィルム１上に溶液３の塗工された帯状可撓性部材１０は、第３ガイドロール９から第４ガイドロール１１に至る間は水平に搬送されている。そして、この水平に配置されている搬送ライン上において、帯状可撓性部材１０は、乾燥炉１２に搬送され、この乾燥炉１２内で加熱乾燥され、膜状に形成される（乾燥工程）。この膜状物はフィルム状接着剤として用いられるものであって、この膜状物を帯状可撓性部材１０におけるフィルム状接着剤部３ａと称して以下説明する。
【００３７】
フィルム状接着剤部３ａを形成した帯状可撓性部材１０は、異物欠陥検査装置２０に供給される。異物欠陥検査装置２０は、帯状可撓性部材１０上の異物や傷などの欠陥の有無を光学的手段により検出するものである。この異物欠陥検査装置２０は、本発明における検査装置を構成するものである。このために、異物欠陥検査装置２０は、帯状可撓性部材１０を水平に保持するための矯正装置２１と、この矯正装置２１により水平に保持された状態で帯状可撓性部材１０の表面の欠陥を検査する光学式検査機２５とを備えている。
【００３８】
矯正装置２１は、平面状の搬送面を備えた搬送プレート２２を備え、この搬送プレート２２上に帯状可撓性部材１０を滑らせている。搬送プレート２２は、表面が滑らかな金属性材料やガラスのような材料で製作されている。また、この矯正装置２１には、気体を噴射する気体噴射装置２３が搬送プレート２２の上方に設けられている。そして、この気体噴射装置２３により、搬送プレート２２上を滑る帯状可撓性部材１０に対して、上方から気体が吹き付けられている。これにより、帯状可撓性部材１０が搬送プレート２２の搬送面に押し付けられることにより、帯状可撓性部材１０の検査対象部の平面度を保持するものである（矯正工程）。なお、この押し付けにより搬送プレート２２の材質及び基材フィルム１の材質によっては、帯状可撓性部材１０が搬送プレート２２でブロッキング（吸着）され、搬送が円滑にできない場合があり得る。例えば、基材フィルム１がポリエチレンテレフタレタートフィルム（ＰＥＴフィルム）であって、搬送プレート２２がガラスのような場合にはブロッキングが発生し易い。これを避ける方法としては、搬送プレート２２の搬送面に吸着防止用表面処理が施されているのが好ましい。この表面処理としてはフッ素樹脂をコーティングするのが有効である。また、この処理に代えて、搬送プレート２２をフッ素樹脂製としてもよい。なお、フッ素樹脂としては例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）−ヘキサフルオロプロピレン（ＦＥＰ）共重合体などを挙げることができる。特に、ポリテトラフルオロエチレンが有効である。
【００３９】
また、搬送プレート２２は、確実に帯電しないようにするためにアースすることもある。アースする場合、搬送プレート２２が金属等の導電性を持った材質から構成されている場合には、搬送プレート２２がそのままアースされる。また、搬送プレート２２が絶縁性材質で形成されている場合には、表面に導電性のある金属メッキ、導電性のある樹脂塗料等のコーティング等を施してしてアースされる。搬送プレート２２は、上面の搬送面上に帯状可撓性部材１０を滑らせることにより、帯状可撓性部材１０との接触及び摩擦により帯状可撓性部材１０とともに帯電する。搬送プレート２２が帯電すると、帯状可撓性部材１０と搬送プレート２２との間にクーロン力が発生し、帯状可撓性部材１０と搬送プレート２２とが引き合って帯状可撓性部材１０が円滑に搬送され難くなり、帯状可撓性部材に異物が付着し易くなる。また、搬送プレート２２の帯電量が大きくなると、別の物質が近づいたときに静電気放電が生じ火花の原因になる恐れある。しかしながら、上記のように構成すると、搬送プレート２２に静電気が発生してもどんどん大地に流すことができるので、搬送プレート２２の帯電を避けることができる。したがって、搬送プレート２２の帯電に起因する、帯状可撓性部材１０と搬送プレート２２との引き合いや火災の原因になる火花の発生を防止することができる。なお、搬送プレートは、前述のように搬送プレート２２をガラスで形成し、搬送面にポリテトラフルオロエチレンからなる塗料をコーティングする場合には、この塗料に導電性を持たせることが必要である。なお、後述するように、気体噴射装置２３から噴出する気体中にプラスイオン及びマイナスイオンを混合させて帯状可撓性部材１０を除電する場合であって、この気体を搬送プレート２２周辺に行き渡らせるように構成した場合は、この気体により搬送プレート２２の除電を行うこともできる。しがって、このように構成された場合には、上述のアースによる除電を省略することも可能である。
【００４０】
一方、光学式検査機２５は、搬送プレート２２の下方に光源２６を配置し、搬送プレート２２の上方にカメラ（この場合ＣＣＤカメラ）２７を配置している。搬送プレート２２及び帯状可撓性部材１０を透過してカメラ２７の撮像面に結像させる。そして、カメラ２７で撮像された検査面の画像情報を基に判定解析部２８において異物や傷などの欠陥の判定が行われる。また、判定解析部２８は、これらデータを収集解析して表示部に表示したり、メモリーに記憶したりして、後の工程でこれら情報が有効に利用されるように構成されている。本発明における検査工程は、上述の矯正工程を包含する工程である。つまり、矯正装置２１により帯状可撓性部材１０の平面度を保持しながら、光学式検査機２５により帯状可撓性部材１０の異物又は／及び欠陥を検査する工程をいう。この検査工程においてカメラ２７は光源２６の光が効率よくカメラ２７に到達するように、カメラ２７の視野部に相当する部分に貫通孔２９が設けられている（図３及び図４参照）。なお、搬送プレート２２をガラス等の光の透過率の高い材質で形成した場合は、この貫通孔２９は設ける必要がない。
【００４１】
光学式検査機２５は、高分解能で基材フィルム１の全幅をカメラ２７の視野に捉えるために複数台用いられている。また、カメラ２７は、カメラボディ相互間の干渉を避けながらコンパクトに配置するために、帯状可撓性部材１０の搬送方向にずらせて２列とし、千鳥状に配置されている。このため、図２に図示されるように、貫通孔２９もカメラ２７の配置に合わせて千鳥状に配置されている。
【００４２】
なお、図１〜図３においては、光学式検査機２５は、搬送プレート２２の上方にカメラ２７を配置し、搬送プレート２２の下方に光源２６を配置しているがこの配置を逆にしてもよい。つまり、カメラ２７を搬送プレート２２の下方に、そして、光源２６を搬送プレート２２の上方に配置するようにすることもできる。また、図１〜図３においては、光学式検査機２５は、透過照明を使用した方式で構成されているが、落射照明として構成してもよい。この場合は、搬送プレート２２は、透明部材で製作されていなくてもよく、貫通孔２９を設ける必要もない。
【００４３】
気体噴射装置２３は、帯状可撓性部材１０の平面度を保持するために、帯状可撓性部材１０に気体を噴射して、帯状可撓性部材１０の検査対象部を搬送プレート２２に押し付けるためのものである。したがって、気体噴射装置２３による吹き付けは、基本的には貫通孔２９付近に対し吹き付けられるのが好ましい。しかし、カメラボディが邪魔となるのでこのようにすることは難しい。また、帯状可撓性部材１０は、乾燥炉１２で加熱乾燥されているため、図４に示すように溶液３が塗工されていない両端部１ａが上方にカールされ易い。このため、気体噴射装置２３は、図２及び図３に示すように、カメラボディに邪魔されないカメラ列の前後位置であって、かつ、帯状可撓性部材の両端部に位置する噴射位置３０に噴射される。
【００４４】
気体噴射装置２３から噴射される気体は、空気が一般的である。噴射する気体を空気にすると、噴射された気体が装置周辺に漂うことによる酸欠事故の恐れがない。また、噴射する気体は無尽蔵にある空気であるので低コストで利用できる。したがって、噴射した後の処理装置の構成が簡略化され、低コストにすることができる。なお、特に清浄な空気を用いた場合は、帯状可撓性部材１０を清浄に保持することができ、品質をより一層向上させることができる。また、この設備において、帯状可撓性部材１０の表面が酸化されると不具合が発生する場合には、不活性ガスを用いて酸化を防止することができる。
【００４５】
また、気体噴射装置２３には、気体中にプラスイオン及びマイナスイオンを混入させる除電器（図示せず）が設けられている。これは、帯状可撓性部材１０の帯電を除電するためのものである。帯状可撓性部材１０は、ガイドロールで案内しながら走行されるので、帯状可撓性部材１０とガイドロールとの剥離により剥離放電が生じ帯電するようになる。また、帯状可撓性部材１０は、前述のように、搬送プレート２２との接触や摩擦などにより帯電する。そして、帯状可撓性部材１０が帯電すると、帯状可撓性部材１０に異物が付着し易くなるという問題が発生する。また、帯状可撓性部材１０の帯電量が大きくなると、他の物質が近づいたときに火災の原因になる火花を発生する恐れがある。このような状況下、気体噴射装置２３の除電器により生成されたプラスイオン及びマイナスイオンが、気体噴射装置２３から帯状可撓性部材１０の表面に気体とともに噴射されると、帯電している帯状可撓性部材１０が中和され除電される。この結果、帯電による帯状可撓性部材１０への異物の付着が防止される。なお、気体噴射装置２３からの気体噴射量、噴射させた気体の気流処理方法などを考慮して、十分なイオンを搬送プレート２２に供給できる場合は、このイオンにより搬送プレート２２を除電することもできる。なお、搬送プレート２２の除電については、勿論前述のようにアースする方法を採用してもよい。
【００４６】
上述の光学式検査機２５を経て搬送される帯状可撓性部材１０は、第４ガイドロール１１及び第５ガイドロール３３を経て巻取ロール３４に巻き取られる（巻取工程）。しかし、このままではフィルム状接着剤部３ａが粘着性を有するため、取扱いが困難である。そこで、帯状可撓性部材１０としての取扱いを容易にするために、巻取ロール３４に至る前にラミネート工程が設けられている。ラミネート工程は、第５ガイドロール３３の部分をラミネート部として、フィルム状接着剤部３ａをカバーするカバーフィルム３５がカバー巻出ロール３６から供給され、フィルム状接着剤部３ａ側の表面部にラミネートされる。カバーフィルム３５としては、基材フィルム１と同様にポリエチレンテレフタレタートフィルム（ＰＥＴフィルム）とするのが好ましい。
【００４７】
上記のように製造された帯状可撓性部材１０は、使用される直前に基材フィルム１とカバーフィルム３５が剥がされて、フィルム状接着剤部３ａがフィルム状接着剤として使用される。例えば、プリント配線基板等の電極が密集して存在する部分とそれらの電極に対応する基板間に挿入され、圧着もしくは加熱圧着されて使用される。
【００４８】
上記の如く構成された帯状可撓性部材の製造装置においては、帯状可撓性部材１０の矯正装置２１は、気体噴射装置２３から噴射される気体により帯状可撓性部材１０を平面状の搬送プレート２２の搬送面に沿うように押し付けて帯状可撓性部材１０の平面度を矯正するものであるので、矯正装置の前後に帯状可撓性部材１０の抱き角度を備えたガイドロールを配置する必要がない。したがって、本発明に係る矯正装置２１は、平面的な搬送ライン中に構築できる特徴を備えるとともに、非接触式で矯正できる方法として利用することができる。
【００４９】
上記帯状可撓性部材１０の製造装置においては、上述の特徴を備えた矯正装置２１が異物欠陥検査装置２０に応用されているため、この異物欠陥検査装置２０前後の搬送ラインを平面的に構築することができる。すなわち、上記実施の形態では、基材フィルム１に溶液３が塗工された後の乾燥炉１２から異物欠陥検査装置２０に至る搬送ライン、つまり、図８でいえば、第３ガイドロール９から第４ガイドロール１１に至る搬送ラインを平面的に構成することができる。
【００５０】
また、本実施の形態における矯正装置２１では、従来装置のように帯状可撓性部材１０を挟み込んで左右方向に引張力を作用させる圧力ロールを使用していないので、圧力ロールにより帯状可撓性部材１０を傷付けたり、圧力ロールの磨耗による磨耗粉などの異物を帯状可撓性部材１０に付着させたりすることがない。また、圧力ロールが使用されていないので、圧力ロールの摩擦力がアンバランスになることによる帯状可撓性部材１０の蛇行を防止することができるとともに、装置を簡略化することができる。
【００５１】
したがって、このような矯正装置２１を利用した異物欠陥検査装置２０は、帯状可撓性部材１０を蛇行させることなく搬送するとともに、搬送方向と直角方向の帯状可撓性部材１０のカールを防止することができるので、フォーカスずれのない高精度な検査を行うことができる。また、異物欠陥検査装置２０は、矯正装置２１において帯状可撓性部材１０が傷付けられたり、帯状可撓性部材１０に圧力ロールの磨耗粉などの異物が付着したりすることがないので、信頼性の高い検査を行うことができる。また、異物欠陥検査装置２０は、非接触式で帯状可撓性部材１０の平面度が維持されるので、表面に粘着性を帯びているような帯状可撓性部材１０にも容易に適用することができる。
【００５２】
また、本発明の矯正装置２１では、搬送プレート２２をアースして搬送プレート２２の帯電を防止しているので、帯状可撓性部材１０と搬送プレート２２との間の引き合いを防止し、また、別の物質が搬送プレート２２に近付いたときに火災の原因となるような火花の発生を防止することもできる。また、本発明の矯正装置２１において、気体噴射装置２３から噴射する気体を空気とした場合は、酸欠事故を起こす心配がなく、安全かつ安価にして取扱いが容易な矯正装置とすることができる。さらに、噴射する気体中にプラスイオンとマイナスイオンとを混合させて帯状可撓性部材１０を除電する除電機能を具備させることにより、帯状可撓性部材１０が帯電することによる帯状可撓性部材１０への異物の付着や火災の原因となるような火花の発生を防止することができる。
【００５３】
また、本発明の異物欠陥検査装置２０は、搬送プレート２２上に気体を噴射させて帯状可撓性部材１０の平面度を保持しながら検査する平面的な装置として構成されるので、カメラ２７が複数列になっても、カメラ列を同一水平面上に配置することが可能である。このため、搬送ラインの引き回しが容易になる。また、複数台のカメラ２７は千鳥状に配置されるため、カメラ２７相互間のボディの干渉を避けながら、カメラ２７をコンパクトに配置して帯状可撓性部材１０の全幅をカメラ２７の視野に置くことができる。
【００５４】
（実施の形態２）
次に実施の形態２について、図５に基づき説明する。図５は実施の形態２に係る検査装置の構成図である。なお、同図において実施の形態１における構成要素と同一又は相当する部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５５】
実施の形態２は、実施の形態１の製造装置で製造された帯状可撓性部材１０の検査工程を別途設けるような場合の検査装置の例である。帯状可撓性部材１０の巻出ロール４１と帯状可撓性部材１０の巻取ロール４２間に上述の異物欠陥検査装置２０を備えたものである。また、この異物欠陥検査装置２０では、実施の形態１の場合と同様、カメラ２７が帯状可撓性部材１０の搬送方向に対し複数列に配置されている。
【００５６】
なお、実施の形態２においても、搬送プレート２２は実施の形態１と同様にアースされている。また、気体噴射装置２３にはプラスイオンとマイナスイオンを発生してこのイオンを気体中に混合させる除電器が装備されている。
【００５７】
この実施の形態に用いられている異物欠陥検査装置２０は、前述のように平面的な構成とすることができるので、図５に示すように、ロール・ツウ・ロール方式の検査装置を容易に構成することができる。したがって、帯状可撓性部材１０の製造ラインとは別の場所に設置されるいわゆるオフライン用検査装置を容易に構築することができる。また、このオフライン用検査装置を高精度、高信頼性のものとすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明は、フィルム状接着剤を例として説明してきたが、他の帯状可撓性部材にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施の形態に係るフィルム状接着剤の製造装置の全体構成図である。
【図２】同製造装置に備えられる異物欠陥検査装置部の平面図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図４】帯状可撓性部材に生じ得るカールの状態説明図である。
【図５】図５は実施の形態２に係る検査装置の構成図である。
【図６】従来の矯正装置を示す側面図である。
【図７】同矯正装置の平面図である。
【図８】従来例以外に考えられる、帯状可撓性部材の平面度矯正方法の説明図であって、フィルム状接着剤の製造ラインを例とする。
【図９】従来例以外に考えられる、他の帯状可撓性部材の平面度矯正方法の説明図である。
【図１０】従来例以外に考えられる、更なる他の帯状可撓性部材の平面度矯正方法の説明図である。
【符号の説明】
【００６０】
９  第３ガイドロール
１０  帯状可撓性部材
１１  第４ガイドロール
２０  異物欠陥検査装置
２１  矯正装置
２２  搬送プレート
２３  気体噴射装置
２５  光学式検査機
２６  光源
２７  カメラ
２９  貫通孔
４１  （帯状可撓性部材の）巻出ロール
４２  （帯状可撓性部材の）巻取ロール
【図１】
2006290504.tif 000003
【図２】
2006290504.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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