(57)【要約】【課題】振動や揺れ等が発生せず不良判別検査が精密に行われる板ガラス移送装置を提供する。【解決手段】作業台１０に移送部２０が設けられ板ガラス４０を移送する移送機３０を含み、移送部２０は、上面をクリーンフィルタ２１ｄで覆われ内部に吐出ファン２１ａを備えるファンハウジング２１と、ファンハウジング２１上面に載置され底面に貫通孔２２ａが設けられ内部に空間部２２ｂを有して上面が開放したエアチャンバ２２と、エアチャンバ２２に密着結合し、表面に上下に貫通した複数の通孔２３ａを有するベース板２３と、ベース板２３の各通孔２３ａを覆うフィルタ２４と、フィルタ２４上面を覆いベース板２３の上面の該当部位にそれぞれ結合され、各表面にベース板２３の通孔２３ａと対応して上下に貫通するエア吐出孔２５ａが設けられ、互いの離隔隙間が縦及び横方向に沿って空気層緩和溝部２５ｂを形成する複数個の片板２５と、を備える。【選択図】図３
2006206320.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業台１０の上面に移送部２０が設けられ、該移送部２０の一側の移送部２０上面に移された板ガラス４０を移送させる移送機３０を含む板ガラス移送装置において、
前記移送部２０は、
開放された上面がクリーンフィルタ２１ｄで覆われ、内部に吐出ファン２１ａが備えられているファンハウジング２１と、
前記ファンハウジング２１の上面に載置され、底面の中央に貫通孔２２ａが設けられ、内部に空間部２２ｂを有して上面が開放されたエアチャンバ２２と、
前記エアチャンバ２２の開放された上部に覆い被せて密着し、表面に上下に貫通した複数の通孔２３ａを有するベース板２３と、
前記ベース板２３の各通孔２３ａに覆い被せるフィルタ２４と、
前記フィルタ２４の上面に覆い被せると共にベース板２３の上面の該当部位にそれぞれ結合され、それぞれの表面にベース板２３の通孔２３ａに対応した上下に貫通するエア吐出孔２５ａが設けられ、互いの離隔隙間が縦方向及び横方向に沿って空気層緩和溝部２５ｂを形成する複数の片板２５と、を備えることを特徴とする板ガラス移送装置。
【請求項２】
前記ベース板２３は、検査部１１が設けられた作業台１０の中央部に行くほど通孔２３ａが密に形成され、これに対応して片板２５は、検査部１１の隣接部側に配設されて横方向に長く延長された第１の片板２５１と、
前記第１の片板２５１の縦方向の隣接後方に所定距離ずつ離隔配設され、狭幅長方形の板材状を有して横方向に沿ってそれぞれ所定間隔で離隔配設される複数の第２の片板２５２と、
前記第２の片板２５２の縦方向の隣接後方に所定距離ずつ離隔配設され、広幅長方形の板材状を有して横方向に沿ってそれぞれ所定間隔で離隔配設される複数の第３の片板２５３と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の板ガラス移送装置。
【請求項３】
前記第１の片板２５１の表面全体には、長さ方向に沿って凹状の空気層緩和溝部２５１ａが横方向に所定間隔ずつ離隔して複数個形成されていることを特徴とする請求項２に記載の板ガラス移送装置。
【請求項４】
前記第１の片板２５１の空気層緩和溝部２５１ａを除いた残り表面の全体には、それぞれ長さ方向に沿って一対のエア吐出孔２５１ｂが設けられていることを特徴とする請求項３に記載の板ガラス移送装置。
【請求項５】
前記第１の片板２５１’の空気層緩和溝部２５１ａ’を除いた残り表面のうち、長さ方向に沿って一対のエア吐出孔２５１ｂ’が設けられている表面と、単一エア吐出孔２５１ｃ’が設けられている表面と、が横方向に沿って繰り返して連続配設されていることを特徴とする請求項３に記載の板ガラス移送装置。
【請求項６】
前記第３の片板２５３は、長さ方向に沿って２列に配設されていることを特徴とする請求項２に記載の板ガラス移送装置。
【請求項７】
前記第２の片板２５２’及び第３の片板２５３’の枠面の下端部には、それぞれ内側への凹状を有する凹溝部２５２ａ’，２５３ａ’が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の板ガラス移送装置。
【請求項８】
前記第３の片板２５３’’らは、それぞれ隣接する第３の片板２５３’’同士に長さ方向及び横方向に沿って４個のエア吐出孔２５３ａ’’が設けられている第３の片板２５３’’と、５個のエア吐出孔２５３ａ’’が設けられている第３の片板２５３’’とが交互に混合配設されていることを特徴とする請求項６に記載の板ガラス移送装置。
【請求項９】
作業台１０の上面に移送部２０が設けられ、該移送部２０一側の移送部２０上面に移された板ガラス４０を移送させる移送機３０を含む板ガラス移送装置において、
前記移送部２０は、
開放された上面がクリーンフィルタ２１ｄで覆われ、内部に吐出ファン２１ａが備えられているファンハウジング２１と、
前記ファンハウジング２１の上面に載置され、底面の中央に貫通孔２２ａが設けられ、内部に空間部２２ｂを有して上面が開放されたエアチャンバ２２と、
前記エアチャンバ２２の開放された上部に覆い被せて密着し、表面には上下に貫通した複数の通孔２３ａが設けられたベース板２３と、
前記ベース板２３の各通孔２３ａに覆い被せるフィルタ２４と、
前記フィルタ２４の上面に覆い被せると共にベース板２３の上面全体に対応配設され、その表面にベース板２３の通孔２３ａに対応した上下に貫通する複数のエア吐出孔２６ａが設けられ、各エア吐出孔２６ａの隣接部に表面の全体にかけて縦、横方向に沿って所定深さの凹状を有する空気層緩和溝部２６ｂを含む上板２６と、を備えることを特徴とする板ガラス移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板ガラス移送装置に関し、より詳しくは、板ガラスをエア浮上させた状態で移送することにより、移送中の板ガラス上に接触摩擦による振動や揺れ等の動きが全く発生しないようにする板ガラス移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等に用いられる薄型板ガラスの不良可否を検査する際に検査装置上で板ガラスを検査部側へ移送するために使われる板ガラス移送装置として、板ガラスの底面を支持し移送させるための複数のローラが回転軸上に軸着され、長さ方向に沿って全体的に設けられた移送装置が使われている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このようなローラを用いた板ガラス移送装置では、基本的に、板ガラスとローラの表面とが互いに接触した状態で板ガラスの移送が行われる。これにより、最小限の接触摩擦による揺れや振動等、微細な振動現象を完全には排除できない。このような振動のため、板ガラス検査の際、不良を正確に測定できなくなり、検査の精度が落ちるなどの問題がある。
【０００４】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、板ガラスを移送部の上面から所定間隔離隔した状態でエア浮上させて移送することにより、移送中の板ガラスに接触摩擦による振動や揺れ等の発生を防止し、板ガラスの不良判別検査をより精密に行うことを可能にする板ガラス移送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するため、本発明による板ガラス移送装置は、作業台の上面に移送部が設けられ、該移送部の一側の移送部上面に移された板ガラスを移送させる移送機を含み、この板ガラス移送装置において、前記移送部は、開放された上面をクリーンフィルタで覆われ、その内部に吐出ファンが備えられているファンハウジングと、前記ファンハウジングの上面に載置され、底面の中央に貫通孔が設けられ、内部に空間部を有して上面が開放されたエアチャンバと、前記エアチャンバの開放された上部に覆い被せて密着し、その表面に上下に貫通した複数の通孔を有するベース板と、前記ベース板の各通孔に覆い被せるフィルタと、前記フィルタの上面に覆い被せると共にベース板の上面の該当部位にそれぞれ結合され、それぞれの表面にベース板の通孔に対応した上下に貫通する吐出孔が設けられ、互いの離隔隙間が縦方向及び横方向に沿って空気層緩和溝部を形成する複数個の片板と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記ベース板は、検査部が設けられた作業台の中央部に行くほど通孔が密に形成され、これに対応して片板は、検査部の隣接部側に配設されて横方向に長く延長された第１の片板と、前記第１の片板の縦方向の隣接後方に所定距離ずつ離隔配設され、狭幅長方形の板材状を有して横方向に沿ってそれぞれ所定間隔で離隔配設される複数の第２の片板と、前記第２の片板の縦方向の隣接後方に所定距離ずつ離隔配設され、広幅長方形の板材状を有して横方向に沿ってそれぞれ所定間隔で離隔配設される複数の第３の片板と、を備えることが望ましい。
【０００７】
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記第１の片板の表面全体には長さ方向に沿って凹状の空気層緩和溝部が横方向に所定間隔ずつ離隔して複数個形成されていることが望ましい。
【０００８】
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記第１の片板の空気層緩和溝部を除いた残り表面の全体にそれぞれ長さ方向に沿って一対の吐出孔が設けられていることが望ましい。
【０００９】
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記第１の片板の空気層緩和溝部を除いた残り表面のうち、長さ方向に沿って一対の吐出孔が設けられている表面と、一つのエア吐出孔が設けられている表面とが横方向に沿って繰り返して連続配設されていることが望ましい。
【００１０】
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記第３の片板は、長さ方向に沿って２列に配設されていることが望ましい。
【００１１】
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記第２の片板及び第３の片板の枠面の下端部にはそれぞれ内側への凹状を有する凹溝部が設けられていることが望ましい。
【００１２】
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記第３の片板は、それぞれ隣接する第３の片板同士に長さ方向及び横方向に沿って４個のエア吐出孔が設けられている第３の片板と、５個のエア吐出孔が設けられている第３の片板とが交互に混合配設されていることが望ましい。
【００１３】
また、本発明の板ガラス移送装置は、作業台の上面に移送部が設けられ、該移送部の一側に移送部上に移された板ガラスを移送させる移送機を含み、この板ガラス移送装置において、前記移送部は、開放された上面がクリーンフィルタで覆われ、内部に吐出ファンが備えられているファンハウジングと、前記ファンハウジングの上面に載置され、底面の中央に貫通孔が設けられ、内部に空間部を有して上面が開放されたエアチャンバと、前記エアチャンバの開放された上部に覆い被せて密着し、表面に上下に貫通した複数の通孔が設けられたベース板と、前記ベース板の各通孔に覆い被せるフィルタと、前記フィルタの上面に覆い被せると共にベース板の上面全体に対応配設され、その表面にベース板の通孔に対応した上下に貫通する複数の吐出孔が設けられ、各吐出孔の隣接部に表面の全体にかけて縦、横方向に沿って所定深さの凹状を有する空気層緩和溝部が備えられている上板と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の板ガラス移送装置は、板ガラスをエア浮上させた状態で移送するので、移送中の板ガラスに接触摩擦による振動や揺れ等の動きが全く発生しなく、板ガラスの不良検査が正確に行われるなどの效果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る実施の形態の板ガラス移送装置を、添付図面に基づいて詳しく説明する。図１乃至図６は本発明の第１の実施例による板ガラス移送装置を示す。この板ガラス移送装置は、図１に示すように、上面の中央に検査部１１が設けられた作業台１０と、作業台１０の前部、後部の全体にかけて配設されて互いに前後対称に設けられた移送部２０と、移送部２０の一側面と隣接して作業台１０の一側部に設けられた移送機３０とを備えている。作業台１０は、大型の四角テーブル状であり、該作業台１０の上面から所定の高さ離隔した上方には、光源１１ａ及びカメラ装置１１ｂを含む検査部１１が横方向の全体にかけて設けられている。なお、斜視図において、例えば、斜め左下方向が後方、斜め右上方向が前方、この前後方向に直交する水平方向が横方向である。
【００１６】
前記移送部２０は、作業台１０の中央部を基準として互いに所定間隔で離隔され、図２に示すように、板ガラス４０を浮揚させて検査部１１の下方を通過させるために、作業台１０の長さ方向の前部、後部の全体にかけて配設されている。移送部２０は、互いに対称を成す長方形の板材形状になっている。前記移送機３０は、移送部２０の一側面と隣接した、作業台１０の一側部の上に、長さ方向に沿って摺動可能に設けられている。移送機３０は、移送部２０上に移された板ガラス４０が移送部２０の上面に対して所定高さ上方に浮揚された状態において、その板ガラス４０の一側面を取付けて、板ガラス４０が検査部１１の下方を通過するように案内するものである。
【００１７】
ここで、前記作業台１０、検査部１１及び移送機３０は、公知の技術をそのまま適用することができるためこれらの詳細な説明は省いて、以下、本願発明の要旨である移送部２０に関して詳しく説明する。
【００１８】
前記移送部２０は、図３、図４に示すように、吐出ファン２１ａが備えられたファンハウジング２１と、該ファンハウジング２１の上面に載置されるエアチャンバ２２と、該エアチャンバ２２の上部に覆い被せるベース板２３と、このベース板２３の各通孔２３ａに覆い被せるフィルタ２４（図５）と、該フィルタ２４の上面に覆い被せると共にベース板２３上面の該当の部分にそれぞれ結合される複数個の片板２５とを含む構成になっている。
【００１９】
前記ファンハウジング２１は、開放された上面がクリーンフィルタ２１ｄで覆われ、内部に上方へエア（空気）を吐出させる吐出ファン２１ａを備えた四角の箱状になっている。そして、前記ファンハウジング２１の底面には、開放された上方からクリーンフィルタ２１ｄを通してエアを円滑に排出させるための通孔２１ｂと、吐出ファン２１ａに電源を供給するための電源ケーブル２１ｃ等が通過する通孔２１ｂと、が設けられている。このような通孔２１ｂは、ファンハウジング２１の側面にも設けられてもよい。
【００２０】
そして、前記ファンハウジング２１のクリーンフィルタ２１ｄは、吐出ファン２１ａから吐出されるエアが直接エアチャンバ２２内へ流入されないように、エア中に含まれている微細埃等を取り除く第一次のエア洗浄機能と共に、エアの吐出圧を緩和させるための機能を有する。ここで、前記クリーンフィルタ２１ｄは、ファンハウジング２１上に接着剤等を用いて接着固定することができる。
【００２１】
前記エアチャンバ２２は、吐出ファン２１ａによって吐出されたエアが満たされ、継続的なエア吐出によってエアを上方へ排出する、四角の箱形状を有する。ファンハウジング２１の上面に載置されるエアチャンバ２２は、底面の中央部に、ファンハウジング２１の開放された上部と連通される貫通孔２２ａが設けられ、内部にエアが満たされる空間部２２ｂが設けられている。その上面の全体は、ベース板２３が密着結合されるように開放されている。
【００２２】
すなわち、前記エアチャンバ２２では、吐出ファン２１ａによって吐出されたエアがエアチャンバ２２の空間部２２ｂ内に一次的に満たされる。続いて、吐出ファン２１ａによってエアチャンバ２２内へ流入されて該エアチャンバ２２の空間部２２ｂを満たしていたエアは、上方へ押し出されるようになり、ベース板２３の通孔２３ａを通って上方へ排出される（図６）。
【００２３】
前記ベース板２３は、エアチャンバ２２の開放された上部に覆い被せて密着される四角の板材状であり、その表面には、上述したように、上下方向に貫通した複数の通孔２３ａが設けられている。ここで、前記ベース板２３の通孔２３ａは、検査部１１が設けられている作業台１０の中央部に行くほどぎっしりと密に形成されている。
【００２４】
前記フィルタ２４は、ベース板２３の各通孔２３ａを覆い被せ、エアチャンバ２２内のエアをベース板２３の通孔２３ａへ直ちに排出させずに排出圧がある程度緩和されるようにし、結果的に、エアが該フィルタ２４を通って滲み出る程度のエア圧で排出されるようにするためのものである。フィルタ２４として、主に焼結フィルタを用いる。
【００２５】
ここで、前記フィルタ２４の大きさは、ベース板２３の各通孔２３ａのみを個別に覆い被せられる程度の大きさにすることもでき、また、本実施例のようにそれぞれの片板２５に当たる大きさにすることもできる。例えば、片板２５にエア吐出孔２５ａが５つ設けられた場合には、前記フィルタ２４もベース板２３の５つの通孔２３ａを覆い被せて該当片板２５の大きさを超えない大きさで形成することが望ましい。
【００２６】
前記片板２５は、フィルタ２４の上面を覆い被せつつベース板２３の上面の該当部分にそれぞれ結合され、それぞれの表面にはベース板２３の通孔２３ａに対応して上下に貫通する複数のエア吐出孔２５ａが設けられている。片板２５は、長方形の板材状になっている。さらに、これらが縦横に配置された状態で片板２５間の離隔隙間が縦方向（前後方向）及び横方向に沿って空気層緩和溝部２５ｂ（図３、図６）を形成する。
【００２７】
前記ベース板２３上に結合される複数の片板２５に関してより詳しく説明する。片板２５は、図４に示すように、検査部１１に隣接するベース板２３の上面に配設されて横方向に長く延長された第１の片板２５１と、該第１の片板２５１の縦方向の隣接後方に所定距離で離隔配設された、狭幅長方形の板材状を有し、横方向に沿ってそれぞれ所定間隔ずつ離隔配設される複数の第２の片板２５２と、該第２の片板２５２の縦方向の隣接後方に所定距離で離隔配設された、広幅長方形の板材状を有し、横方向に沿ってそれぞれ所定間隔ずつ離隔配設される複数の第３の片板２５３と、を備えて構成されている。
【００２８】
そして、前記第１の片板２５１の表面全体には、長さ方向（前後方向）に沿って凹状の空気層緩和溝部２５１ａが横方向に所定間隔ずつ離隔されて複数形成されている。すなわち、前記第１の片板２５１には、第１、第２、及び第３の各片板２５１，２５２，２５３の間に形成されている空気層緩和溝部２５ｂのような機能を行わせる、空気層緩和溝部２５１ａが表面上に直接切削等によって凹状に形成されている。
【００２９】
そして、前記第１の片板２５１には、空気層緩和溝部２５１ａを除いた残り表面の全体に、それぞれ長さ方向に沿って並ぶ一対のエア吐出孔２５１ｂが、横方向に沿って繰り返して連続配設形成されている。ここで、前記第１の片板２５１のエア吐出孔２５１ｂに対応してベース板２３上にも同一大きさ及び同一配設構造で通孔２３ａが設けられている。
【００３０】
第２の片板２５２と第３の片板２５３とは、第２の片板２５２が、第３の片板２５３より幅がやや狭く長さがやや短いこと以外は、略同形状である。その違いは、より具体的には、第２の片板２５２上には４つのエア吐出孔２５２ａが形成されていて、第３の片板２５３上には５つのエア吐出孔２５３ａが設けられている点である。そして、第２の片板２５２は、長さ方向に１列に配設されており、第３の片板２５３は、長さ方向に２列に配設されている。
【００３１】
このような構成による本発明の板ガラス移送装置では、図６に示すように、エアが、吐出ファン２１ａの回転によって上方へ吐出され、一次的にエアチャンバ２２の空間部２２ｂ内に満たされると共に、継続的な吐出ファン２１ａのエア吐出によってエアチャンバ２２の空間部２２ｂから上方へ押し出されつつエアチャンバ２２の上面に結合されているベース板２３の通孔２３ａを通って上方へ排出される。このとき、前記ベース板２３の通孔２３ａを通って上方へ排出されるエアは、フィルタ２４によって排出速度が緩和されつつ、フィルタ２４を通って滲み出るように片板２５のエア吐出孔２５ａへ排出され、最終的に片板２５上において一種の空気層を形成する。
【００３２】
すなわち、板ガラス４０と片板２５間に形成された空気層に、継続的なエアの補充（流れ）が行われ、持続的に空気層が維持できる。これは換言すれば、前記片板２５上に形成された空気層が片板２５上に載置される板ガラス４０を支えると共に、空気層を形成したエアが片板２５の上部に形成された空気層緩和溝部２５１ａ、及び片板２５間に形成された空気層緩和溝部２５ｂを通って移送部２０の四方外側へ排出され、空気層は、これらの過程を繰り返しつつ、結果的に板ガラス４０を片板２５上から所定の高さ離隔させた状態に浮上させる。
【００３３】
そして、前記空気層緩和溝部２５ｂ、及び空気層緩和溝部２５１ａは、片板２５上の全体空気層のボリュームを緩和させる役割を果たし、その結果、板ガラス４０の中央部が膨れ上がる、いわゆる張出（バルジング）現象を防止する。例えば、従来のように、空気層緩和溝部２５ｂのない扁平な平板において空気層を形成させる場合、平板中央部の空気より枠側の空気が比較的に外部へ迅速に抜けて行くので、全体として平板の枠側より中央部の空気層が厚く形成され、その結果、板ガラス４０の中央部が上方に膨れ上がる張出現象が発生するが、本発明のように、空気層緩和溝部２５ｂを形成させて空気層のエアがこれら空気層緩和溝部２５ｂへ排出されるようにすることにより、空気層のボリュームを一部緩和できるようになり、板ガラス４０の張出現象を防止できる。
【００３４】
次に、図７を参照して、本発明の第２の実施例を説明する。第２の実施例は、第１の実施例における移送部２０に変えて、図７に示す移送部２０を用いるものである。この移送部２０の第１の片板２５１’は、第１の実施例における第１の片板２５１の吐出孔２５１ｂ（従って通孔２３ａ）の個数と配置を変えたものであり、第２の実施例の他の構成は第１の実施例と同様である。第１の片板２５１’は、空気層緩和溝部２５１ａ’を除いた残り表面のうち、前後方向に沿って一対のエア吐出孔２５１ｂ’が設けられている表面と単一吐出孔２５１ｃ’が設けられている表面とが横方向に沿って繰り返して連続配設されたものである。この実施例は、第１の実施例における吐出孔２５１ｂの個数と配置を変えて、空気層の厚みの均一性を確保するものである。
【００３５】
次に、図８、図９を参照して、本発明の第３の実施例を説明する。前記板ガラス４０の張出現象を防止する方法として、前記第１の実施例における空気層緩和溝部２５ｂの空間を拡張させてエア排出量を増加させる方法を用いることもできる。これを実現する移送部２０を用いる例が実施例３である。この実施例における第２の片板２５２’及び第３の片板２５３’の枠面の下端部には、それぞれ内側への凹状を有する凹溝部２５２ａ’，２５３ａ’が形成されている。
【００３６】
次に、図１０を参照して、本発明の第４の実施例を説明する。前記板ガラス４０の張出現象を防止する方法として、エア吐出孔を通る空気漏出量を調節することもできる。これは、図１０に示す板ガラス移送装置の第４の実施例のように、それぞれ隣接する第３の片板２５３’’同士において、長さ方向及び横方向に沿って４個のエア吐出孔２５３ａ’’が設けられている第３の片板２５３’’と、５個のエア吐出孔２５３ａ’’が設けられている第３の片板２５３’’とを交互に混合配設させることによって実現できる。
【００３７】
このように、片板２５上に空気層が形成された状態で検査対象である板ガラス４０が作業台１０上の移送部２０に移されれば、この時から板ガラス４０は空気層によって所定高さ上方に浮上した状態となる。この際、作業台１０の移送機３０が板ガラス４０の一側面を真空吸着して検査部１１の方へ摺動移送させつつ板ガラス４０の不良検査が行われると共に、この検査部１１を通った板ガラス４０は移送され続け、その次の段階へ案内される。このように、板ガラス４０は不良検査を受ける間、移送部２０と接触することなくエア浮上した状態で移送されるので、接触摩擦等いかなる揺れもなく検査が行われる。
【００３８】
次に、図１１を参照して、本発明の第５の実施例を説明する。この板ガラス移送装置の第５の実施例では、前記片板２５の代わりに、フィルタ２４の上面を覆い被せつつベース板２３の上面全体に対応配設され、さらにその表面にベース板２３の通孔２３ａと対応して上下に貫通された複数のエア吐出孔２６ａが形成され、各エア吐出孔２６ａの隣接部には表面全体にかけて縦、横方向に沿って所定深さの凹状の空気層緩和溝部２６ｂが備えられた、上板２６を適用している。
【００３９】
なお、本発明の板ガラス移送装置は、板ガラス検査装置の外に、その他の物流や他の用途でも使うことができる。
【００４０】
以上のように、上記実施の形態を参照して詳細に説明され図示されたが、本発明は、これに限定されるものでなく、このような本発明の基本的な技術的思想を逸脱しない範囲内で、当業界の通常の知識を有する者にとっては、他の多くの変更が可能であろう。また、本発明は、添付の特許請求の範囲により解釈されるべきであることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明による板ガラス移送装置の第１の実施例を示す概略斜視図。
【図２】同上板ガラス移送装置により板ガラスを移送する状態を示す概略斜視図。
【図３】同上板ガラス移送装置の移送部の要部とその要部の一部を拡大した斜視図。
【図４】同上板ガラス移送装置の移送部の分解斜視図。
【図５】同上板ガラス移送装置の移送部の一部の分解斜視図。
【図６】同上板ガラス移送装置の移送部と浮上した板ガラス及びこれらを一部拡大して示す概略断面図。
【図７】本発明の第２の実施例による板ガラス移送装置の移送部の要部斜視図。
【図８】本発明の第３の実施例による板ガラス移送装置の移送部の要部と第３の片板の斜視図。
【図９】図８に示した第３の片板とその一部拡大部分の横断面図。
【図１０】本発明の第４の実施例による板ガラス移送装置の移送部の要部を示す斜視図。
【図１１】本発明の第５の実施例による板ガラス移送装置の片板を示す要部斜視図。
【符号の説明】
【００４２】
１０    作業台
１１    検査部
１１ａ    光源
１１ｂ    カメラ装置
２０    移送部
２１    ファンハウジング
２１ａ  吐出ファン
２１ｂ、２３ａ    通孔
２１ｃ    電源ケーブル
２１ｄ    クリーンフィルタ
２２    エアチャンバ
２２ａ    貫通孔
２２ｂ    空間部
２３    ベース板
２４    フィルタ
２５    片板
２５ａ，２５１ｂ，２５１ｂ’，２５１ｃ’，２５２ａ    エア吐出孔
２５３ａ，２５３ａ’’，２６ａ    エア吐出孔
２５ｂ，２５１ａ，２５１ａ’，２６ｂ    空気層緩和溝部
２５１，２５１’    第１の片板
２５２，２５２’    第２の片板
２５３，２５３’，２５３’’    第３の片板
２５２ａ’，２５３ａ’    凹溝部
２６    上板
３０    移送機
４０    板ガラス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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