(57)【要約】【課題】  イオナイザーにおける筒状ケース内の空気流路を、有効断面積を確保しながら嵩張ることがない耐圧性のあるものとし、流路の確保も簡単で容易にする。【解決手段】  内部に高圧電源ユニット２及び及び制御ユニット３を収容する筒状のケース１を備えたイオナイザーにおいて、該ケース１の長手方向に沿って、電極針５ａ，５ｂ及びその周囲に空気流を噴出する空気吹出し口６を有する電極ユニット４の複数を列設する。上記筒状のケースの長手方向に沿う一部を合成樹脂によって形成し、該合成樹脂からなる樹脂ケース１２に、その内壁の一部を流路筒壁として該ケース１２の長手方向に延びる空気流路１５の流路筒１２ｂを一体に形成し、該空気流路を上記空気吹出し口６に連通させる。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に高圧電源ユニット及び及び制御ユニットを収容する筒状のケースを備え、該ケースの長手方向に沿って、コロナ放電のための電極針及びその周囲に空気流を噴出する空気吹出し口を有する電極ユニットの複数を列設してなるイオナイザーにおいて、
上記筒状のケースの全部または長手方向に沿う一部を合成樹脂によって形成し、該合成樹脂からなる樹脂ケースに、その内壁の一部を流路筒壁として該ケースの長手方向に延びる空気流路の流路筒を一体に形成し、該空気流路を上記空気吹出し口に連通させた、
ことを特徴とするイオナイザー。
【請求項２】
上記高圧電源ユニット及び制御ユニットを保持するケース台盤に、それらのユニットをカバーする形態で上記空気流路の流路筒を一体に形成してなる樹脂ケースを被着した、
ことを特徴とする請求項１に記載のイオナイザー。
【請求項３】
上記高圧電源ユニット及び制御ユニットをカバーする樹脂ケースに、上記空気流路を、上記両ユニットをカバーする外壁面に沿わせた扁平なものとして一体に形成した、
ことを特徴とする請求項２に記載のイオナイザー。
【請求項４】
上記高圧電源ユニット及び制御ユニットを保持するケース台盤を合成樹脂からなるケースにより形成して、それらの高圧電源ユニット及び制御ユニットに保護カバーを被着し、上記台盤に上記空気流路の流路筒を一体に形成した、
ことを特徴とする請求項１に記載のイオナイザー。
【請求項５】
上記樹脂ケースの端部を閉じる端板に、該樹脂ケース内の空気流路と直接連通する空気供給ポートを開口させた、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のイオナイザー。
【請求項６】
上記電極ユニットが、正及び負の高電圧が個別的に印加される一対の対向配置された第１及び第２の電極針を備え、
上記制御ユニットが、上記第１の電極針に正の高電圧を印加すると同時に、第２の電極針をアースに接続する通電状態と、上記第１の電極針をアースに接続すると同時に、上記第２の電極針に負の高電圧を印加する通電状態とに切換える制御を行うものとした、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のイオナイザー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、正極性若しくは負極性の電荷により帯電している各種帯電物、例えば半導体関連の除電対象物等について除電を行うためのイオナイザーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、除電対象物の帯電量をゼロに近づけるための手段として、電極針に高電圧発生部からの直流高電圧又は交流高電圧を印加してコロナ放電させ、該電極針により正または負極性のイオンを出力させて、このイオンを帯電体に空気流で吹き付けるようにしたイオナイザーは知られている。
また、このイオナイザーの使用の便を図るために、内部に高圧電源ユニット及び及び制御ユニットを収容する筒状のケースを備え、該ケースの長手方向に沿って、コロナ放電のための電極針を有する電極ユニットの複数を列設することにより構成したものも知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
イオナイザーを上記のように筒状のケースに収容したものとして構成する場合、電極針の周囲に空気流を流して、発生したイオンを帯電体の方向に流すようにする必要があることから、その空気流を発生させるための供給源からの空気流路を、電極針の周囲に開口させるが、そのためには、上記特許文献１に示されているように、空気流路中に電極針を支持するための部分をスリーブ等として形成した、互いに接合される上下の扁平板状の流路形成部材の接合により空気流路を形成するのが通例である。
【０００４】
しかしながら、この場合には、比較的面積の大きい上下の板状の流路形成部材を接合して空気流路を形成することになるので、内部に送給する空気圧力によってそれぞれの流路形成部材に作用する力が非常に大きいものとなり、接合強度を十分に高めないと内部の空気圧力に耐えられず、結果的に流路形成部材を高強度の大型に形成するか、送給する空気圧力を低くするなどの制約がある。
また、上記流路形成部材は筒状のケースとは別体となるため、筒状ケースの一部を経て外部に連通させる必要があるが、そのためには、チューブによる接続等の煩雑な組み付け作業が必要になる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２６０８２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の技術的課題は、筒状ケース内における空気流路を、有効断面積を確保しながら嵩張ることがない耐圧性のあるものとし、流路の確保も簡単で容易としたイオナイザーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための本発明のイオナイザーは、内部に高圧電源ユニット及び及び制御ユニットを収容する筒状のケースを備え、該ケースの長手方向に沿って、コロナ放電のための電極針及びその周囲に空気流を噴出する空気吹出し口を有する電極ユニットの複数を列設してなるイオナイザーにおいて、上記筒状のケースの全部または長手方向に沿う一部を合成樹脂によって形成し、該合成樹脂からなる樹脂ケースに、その内壁の一部を流路筒壁として該ケースの長手方向に延びる空気流路の流路筒を一体に形成し、該空気流路を上記空気吹出し口に連通させたことを特徴とするものである。
【０００８】
本発明のイオナイザーの好ましい実施形態においては、上記高圧電源ユニット及び制御ユニットを保持するケース台盤に、それらのユニットをカバーする形態で上記空気流路の流路筒を一体に形成してなる樹脂ケースが被着され、その場合に、上記樹脂ケースにおける空気流路を外壁面に沿わせた扁平なものとして一体に形成することもでき、これにより空気流路の断面積を大きく取りながらケース内の空間を広くすることができる。
また、本発明のイオナイザーの他の好ましい実施形態においては、上記高圧電源ユニット及び制御ユニットを保持するケース台盤を合成樹脂からなるケースにより形成して、それらの高圧電源ユニット及び制御ユニットに保護カバーを被着し、上記台盤に上記空気流路の流路筒がが一体に形成される。
本発明の上記実施形態においては、上記樹脂ケースの端部を閉じる端板に、該樹脂ケース内の空気流路と直接連通する空気供給ポートを開口させることができる。
【０００９】
本発明のイオナイザーの更に他の好ましい実施形態においては、上記電極ユニットが、正及び負の高電圧が個別的に印加される一対の対向配置された第１及び第２の電極針を備え、上記制御ユニットが、上記第１の電極針に正の高電圧を印加すると同時に、第２の電極針をアースに接続する通電状態と、上記第１の電極針をアースに接続すると同時に、上記第２の電極針に負の高電圧を印加する通電状態とに切換える制御を行うものとして構成される。
【００１０】
上記構成を有する本発明のイオナイザーは、筒状のケースの長手方向に沿ってコロナ放電のための電極針及びその周囲に空気流を噴出する空気吹出し口を有する電極ユニットの複数を列設したイオナイザーにおいて、上記筒状のケースの全部または長手方向に沿う一部を合成樹脂によって形成し、該合成樹脂からなる樹脂ケースに、その内壁の一部を流路筒壁として該ケースの長手方向に延びる空気流路の流路筒を一体に形成しているので、該空気流路の形成部材を一対の板状の流路形成部材の接合によって形成する場合に比して、極めて耐圧性において優れたものに形成することができる。
しかも、樹脂ケースの端部を閉じる端板に、該樹脂ケース内の空気流路と直接連通する空気供給ポートを開口させることにより、上記空気流路を圧縮空気の供給源に接続できるので、圧縮空気の供給系の構成が簡単化される。
【発明の効果】
【００１１】
以上に詳述した本発明のイオナイザーによれば、筒状ケース内における空気流路を、有効断面積を確保しながら嵩張ることがない耐圧性のあるものとし、流路の確保も簡単で容易にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明に係るイオナイザーの第１実施例の全体的な構成を示し、図２にはその要部断面を示している。
このイオナイザーは、搬送ラインに沿って移送される除電対象物等に対向配置して使用するもので、長い横置きの筒状をなすケース１の内部に高圧電源ユニット２及び及び制御ユニット３を収容すると共に、該ケース１の一側（下側）に、該ケースの長手方向に沿って、コロナ放電のための電極針５ａ，５ｂ及びその周囲に空気流を噴出する空気吹出し口６を有する電極ユニット４の複数を列設している。
【００１３】
本発明に係るイオナイザーにおいては、上記筒状のケース１の全部または長手方向に沿う一部を合成樹脂によって形成することができるが、この第１実施例においては、上記高圧電源ユニット２及び制御ユニット３を保持するケース台盤１１に、それらのユニット２，３をカバーする形態の樹脂ケース１２を被着することにより、上記筒状のケース１を構成している。台盤１１は合成樹脂またはその他の素材により構成することができる。
【００１４】
上記樹脂ケース１２は、高圧電源ユニット２及び制御ユニット３をカバーするカバー部１２ａと、その内壁の一部を流路筒壁として該ケース１の長手方向に延びる空気流路１５を内部に形成する流路筒１２ｂとを、合成樹脂によって一体に形成したものであり、そのカバー部１２ａの両脚部をケース台盤１１の側縁に固定できるようにしている。
また、上記樹脂ケース１２にはその端部を閉じる端板１３を備え、この端板１３は、少なくとも該樹脂ケース１２内の空気流路１５の周りをシール部材の挟着により気密にシールして該樹脂ケース１２に連結し、該端板１３に該空気流路１５と直接連通する空気供給ポート１４を開口させている。
【００１５】
上記樹脂ケース１２における流路筒１２ｂには、その空気流路１５を分岐して各電極ユニット４に連通させる複数の分岐管１６を、電極ユニット４の配設間隔に対応させて設けている。この分岐管１６は、上記流路筒１２ｂと一体に形成したものとして図示しているが、流路筒１２ｂとは別体のものとして該流路筒１２ｂの外面に接着その他の手段で固定することもでき、これにより樹脂ケース１２の形状を単純化してその成形を容易にすることができる。
そして、上記分岐管１６は、図示を省略しているところの、高圧電源ユニット２または制御ユニット３を貫通する流路、あるいはそれらのユニット２，３を避けた流路を経て、各電極ユニット４における電極針５ａ，５ｂの周囲に空気流を噴出する空気吹出し口６に連通させている。このような空気吹出し口６を設けると、一対の電極針５ａ，５ｂ間で生成されたイオンを空気流で除電対象物の近辺に送り、高能率的に除電することができる。
【００１６】
上記電極ユニット４は、ケース台盤１１を貫通して絶縁材料からなる保持筒１８の複数を列設状態で下面に突出させ、該保持筒１８内に、正及び負の高電圧が個別的に印加される一対の第１及び第２の電極針５ａ，５ｂを対向配置したもので、前記高圧電源ユニット２で発生させたコロナ放電のための正または負の高電圧を、前記制御ユニット３による後述の制御によりその電極針５ａ，５ｂに印加するようにしている。
【００１７】
上記高圧電源ユニット２は、電極針５ａ，５ｂに対してコロナ放電のための高電圧を印加するために、その高電圧を発生させるための要素を備えるものであり、また、上記制御ユニット３は、このイオナイザーの全体的な動作制御、動作状態の表示の他、電極針への電圧印加を、上記第１の電極針５ａに正の高電圧を印加すると同時に、第２の電極針５ｂをアースに接続する通電状態と、上記第１の電極針５ａをアースに接続すると同時に、上記第２の電極針５ｂに負の高電圧を印加する通電状態とに切換える制御を行うものとして構成している。
【００１８】
このように、一対の電極針５ａ，５ｂを対向配置し、一方の電極針に高電圧を印加しているときに他方の電極針をアースに接続すると、通常のイオナイザーにおいて用いられているアースしたグランドプレートの設置の必要をなくしながら、正負のイオンを効率的に生成させ、除電を行うことができる。
なお、上記電極ユニット４としては、上述した第１及び第２の電極針５ａ，５ｂを対向配置したものに限るものではなく、既知の各種電極針を利用することができ、その場合、当然に制御ユニット３における電極針への通電制御も、上述したところとは異なり、その電極針に適した制御態様にする必要がある。
【００１９】
上記構成を有するイオナイザーは、筒状のケース１の長手方向に沿って、コロナ放電のための電極針５ａ，５ｂ及びその周囲に空気流を噴出する空気吹出し口６を有する電極ユニット４の複数を列設することにより構成し、上記筒状のケース１の長手方向に沿って設けた樹脂ケース１２に、その内壁の一部を流路筒壁として該樹脂ケース１２の長手方向に延びる空気流路１５の流路筒１２ｂを一体に形成しているので、該空気流路の形成部材を一対の板状の流路形成部材の接合によって形成する場合に比して、極めて高強度に形成することができる。
【００２０】
しかも、樹脂ケース１２の端部を閉じる端板１３に、該樹脂ケース１２内の空気流路と直接連通する空気供給ポート１４を開口させることにより、上記空気流路を圧縮空気の供給源に接続できるので、圧縮空気の供給系の構成が簡単化される。
なお、この端板１３は、樹脂ケース１２内の細長い空気流路の端部を閉鎖するもので、空気流路内の空気圧力が作用する面積が非常に小さいため、樹脂ケース１２に接合していても空気圧力による大きな力を受けることはない。
【００２１】
図３及び図４は、本発明に係るイオナイザーの第２及び第３実施例における樹脂ケースのみの断面形状を示している。
図３の第２実施例は、上記第１実施例の場合と同様に、筒状のケース１を形成する合成樹脂製の樹脂ケース２２における空気流路２５を、外壁面に沿わせた扁平なものとして一体に形成したもので、これにより空気流路２５の断面積を大きく取りながら筒状のケース１内の空間を広くすることができる。なお、図中２６は分岐管を示している。
また、図４に示す第３実施例は、同様な樹脂ケース３２における空気流路３５の断面積の拡大を優先したもので、分岐管３６の数を多くした場合などに有利なものである。
なお、上記第２及び第３実施例におけるその他の構成及び作用は第１実施例の場合と変わるところがないので、それらの図示及び説明は省略する。
【００２２】
更に、図５は本発明に係るイオナイザーの第４実施例を示すもので、上記高圧電源ユニット２及び制御ユニット３を保持するケース台盤４１を合成樹脂からなるケースにより形成して、それらの高圧電源ユニット２及び制御ユニット３に保護カバー４２を被着し、上記台盤４１内に、その内壁の一部を流路筒壁とする空気流路４５を形成する流路筒を一体に形成して、該空気流路４５を、電極ユニット４における電極針５ａ，５ｂの周囲に空気流を噴出する空気吹出し口４６に連通させている。
上記電極ユニット４は、ケース台盤４１内の空気流路４５を貫通させて、絶縁材料からなる保持筒４８の複数を列設状態で該ケース台盤４１の下面に突出させ、該保持筒４８内に前記一対の電極針５ａ，５ｂを対向配置すると共に、該保持筒４８に空気流路４５から電極針５ａ，５ｂの周囲に空気流を噴出する空気吹出し口４６を開設したものである。
なお、この第４実施例のその他の構成及び作用は第１実施例と変わるところがない。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るイオナイザーの第１実施例を示す模式的構成図である。
【図２】上記第１実施例の要部拡大断面図である。
【図３】本発明に係るイオナイザーの第２実施例における樹脂ケースの拡大断面図である。
【図４】同第３実施例における樹脂ケースの拡大断面図である。
【図５】本発明に係るイオナイザーの第４実施例の要部拡大断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１      ケース
２      高圧電源ユニット
３      制御ユニット
４      電極ユニット
５ａ，５ｂ    電極針
６，４６      空気吹出し口
１１，４１      ケース台盤
１２，２２，３２      樹脂ケース
１２ａ    カバー部
１２ｂ    流路筒
１３      端板
１４      空気供給ポート
１５，２５，３５，４５      空気流路
１６，２６，３６      分岐管
１８，４８      保持筒
４２      保護カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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