(57)【要約】【課題】  ヒューズ切れを容易に判断できて、メンテナンスがし易い回転軸支持装置を提供すること。【解決手段】  電磁石Ｘ１,Ｘ１’を駆動する電磁石駆動回路５,６が有しているヒューズのヒューズ切れを検出するヒューズ切れ検出回路７を形成する。上記ヒューズ切れ検出化回路７を、及ぼす力の力線方向が同一である対をなす電磁石Ｘ１,Ｘ１’を駆動する二つの電磁石駆動回路５,６の対毎に一つずつ形成する。【選択図】  図１
2006022920.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸のアキシアル方向およびラジアル方向の内の少なくとも一方の方向に対向配置された一対または複数対の電磁石と、上記各電磁石を夫々駆動すると共に、夫々過電流防止用のヒューズを有する電磁石駆動回路とを含んで、上記回転軸を磁気的に非接触支持する磁気軸受装置と、
上記電磁石駆動回路の上記ヒューズのヒューズ切れを検出するヒューズ切れ検出回路と
を備えることを特徴とする回転軸支持装置。
【請求項２】
請求項１に記載の回転軸支持装置において、
上記ヒューズ切れ検出回路は、上記対向配置された電磁石の対毎に一つずつ形成されていることを特徴とする回転軸支持装置。
【請求項３】
請求項２に記載の回転軸支持装置において、
上記ヒューズ切れ検出回路は、二つの電磁石駆動回路の互いに対応する二つのノードに接続されており、上記二つの電磁石駆動回路の一方のヒューズが切れたときに上記二つのノード間の電位差によって流れる電流を検出することによりヒューズ切れを検出することを特徴とする回転軸支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターボ分子ポンプ、アトマイザ、または、コンプレッサ等の回転軸を有する装置の回転軸を支持する回転軸支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転軸支持装置としては、ターボ分子ポンプの回転軸を５つの制御方向から磁気的に非接触支持する５軸磁気軸受制御装置がある。
【０００３】
上記５軸磁気軸受制御装置は、上記回転軸をアキシアル方向に非接触支持するアキシアル磁気軸受と、上記回転軸の軸方向の第１箇所において上記回転軸をラジアル方向に非接触支持する第１のラジアル磁気軸受と、上記回転軸の軸方向における上記第１箇所と異なる第２箇所において上記回転軸をラジアル方向に非接触支持する第２のラジアル磁気軸受とを有している。
【０００４】
上記アキシアル磁気軸受は、アキシアル方向に対向配置される一対の（二つの）電磁石と、各電磁石に対して一つずつ配置される都合二つの電磁石駆動回路とを有する。
【０００５】
また、上記第１のラジアル磁気軸受は、上記回転軸の第１箇所における第１のラジアル制御軸方向に回転軸を挟んで対向配置される一対の（二つの）電磁石と、上記回転軸の第１箇所における第２のラジアル制御軸方向に回転軸を挟んで対向配置される一対の（二つの）電磁石と、各電磁石に対して一つずつ配置される都合四つの電磁石駆動回路とを有する。
【０００６】
また、上記第２のラジアル磁気軸受は、上記回転軸の第２箇所における第１のラジアル制御軸方向に回転軸を挟んで対向配置される一対の（二つの）電磁石と、上記回転軸の第２箇所における第２のラジアル制御軸方向に回転軸を挟んで対向配置される一対の（二つの）電磁石と、各電磁石に対して一つずつ配置される都合四つの電磁石駆動回路とを有する。
【０００７】
上記１０個の電磁石駆動回路の夫々は、ヒューズを有している。上記各ヒューズは、電源から各電磁石駆動回路に所定の電流が流れ込んできたときに切れるようになっており、上記所定値以上の電流が各電磁石駆動回路に流れないようになっている。
【０００８】
上記５軸磁気軸受制御装置は、各電磁石駆動回路にヒューズを設置することにより、５軸磁気軸受制御装置で地絡等の異常が発生したとき等に、所定値以上の電流が各電磁石駆動回路に流れないようにして、５軸磁気軸受制御装置が高温状態になったり、５軸磁気軸受制御装置に火災が発生したりすることを防止するようにしている。
【０００９】
しかしながら、上記５軸磁気軸受制御装置では、上記ヒューズが切れて５軸磁気軸受制御装置の異常が発生した際に、その５軸磁気軸受制御装置の異常が、ヒューズ切れに起因するものであるのか、または、それ以外の原因（例えば、電磁石を駆動する電力を増幅するパワーアンプの故障、電磁石の故障、または、断線等）に起因するものであるのかを、直ぐに判断できないという問題がある。
【００１０】
このため、故障箇所の発生箇所を特定するのに、時間を要し、メンテナンスがしにくいという問題がある。
【特許文献１】特開２００３−６５３３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
そこで、本発明の課題は、ヒューズ切れを容易に判断できて、メンテナンスがし易い回転軸支持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、この発明の回転軸支持装置は、
回転軸のアキシアル方向およびラジアル方向の内の少なくとも一方の方向に対向配置された一対または複数対の電磁石と、上記各電磁石を夫々駆動すると共に、夫々過電流防止用のヒューズを有する電磁石駆動回路とを含んで、上記回転軸を磁気的に非接触支持する磁気軸受装置と、
上記電磁石駆動回路の上記ヒューズのヒューズ切れを検出するヒューズ切れ検出回路と
を備えることを特徴としている。
【００１３】
本発明によれば、上記ヒューズ切れ検出回路が、上記ヒューズのヒューズ切れを検出するようになっているので、回転軸支持装置に異常が発生した場合に、その回転軸支持装置の異常が、ヒューズ切れに起因するものであるのか、または、それ以外の原因に起因するものであるのかを、直ぐに判断することができる。
【００１４】
また、本発明によれば、異常の原因がヒューズ切れに起因する場合、例えば、地絡が起こらないようにしたり、または、単純にヒューズを取り替えることによって、回転軸支持装置を容易に修理することができる。また、異常の原因がヒューズ切れに起因しない場合においても、初めからヒューズ切れに関連する部品の故障を検査する必要がなくて、ヒューズ切れに関連しない部品の故障の検査だけを行えば良く、回転軸支持装置の故障箇所を容易に発見することができる。したがって、ヒューズ切れを容易に判断できると共に、メンテナンスを容易に行うことができる。
【００１５】
また、一実施形態の回転軸支持装置は、上記ヒューズ切れ検出回路が、上記対向配置された電磁石の対毎に一つずつ形成されている。
【００１６】
上記実施形態によれば、上記ヒューズ切れ検出回路が、上記対向配置された電磁石の対毎に一つずつ形成されているので、ヒューズ切れ検出回路の数を検査対象のヒューズの数の半分にすることができて、回転支持装置の製造コストを格段に低減することができる。
【００１７】
また、上記実施形態によれば、上記ヒューズ切れ検出回路が、上記対向配置された電磁石の対毎に一つずつ形成されているので、及ぼす力の力線方向が同一（力の向きは反対）である対をなす電磁石を駆動する二つの電磁石駆動回路のヒューズ切れを検査することができる。したがって、この二つの電磁石駆動回路は類似点が多いことから、一方にヒューズ切れが発生している場合に、上記二つの電磁石駆動回路を比較することによって、故障箇所を容易に特定することができる。
【００１８】
また、一実施形態の回転軸支持装置は、上記ヒューズ切れ検出回路が、二つの電磁石駆動回路の互いに対応する二つのノードに接続されており、上記二つの電磁石駆動回路の一方のヒューズが切れたときに上記二つのノード間の電位差によって流れる電流を検出することによりヒューズ切れを検出するようになっている。
【００１９】
上記実施形態によれば、上記二つの電磁石駆動回路の互いに対応するノードの電位を比較するだけで、上記二つの電磁石駆動回路の内の一方のヒューズのヒューズ切れを容易に検出することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の回転軸支持装置によれば、ヒューズ切れ検出回路が、電磁石駆動回路のヒューズのヒューズ切れを検出するようになっているので、回転軸支持装置に異常が発生した場合に、その回転軸支持装置の異常が、ヒューズ切れに起因するものであるのか、または、それ以外の原因に起因するものであるのかを、直ぐに判断することができる。
【００２１】
また、本発明の回転軸支持装置によれば、異常の原因がヒューズ切れに起因する場合、例えば、地絡が起こらないようにしたり、または、単純にヒューズを取り替えることによって、回転軸支持装置を容易に修理することができる。また、異常の原因がヒューズ切れに起因しない場合においても、初めからヒューズ切れに関連しない部品の故障の検査だけを行えば良くて、回転軸支持装置の故障箇所を容易に発見することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を図示の形態により詳細に説明する。
【００２３】
図１は、ターボ分子ポンプの回転軸に設置されたこの発明の一実施形態の回転軸支持装置を示す図である。
【００２４】
この回転軸支持装置は、磁気軸受装置２と、ヒューズ切れ検出回路７と、制御装置８と、異常表示回路１０と、異常表示装置１１とを備える。
【００２５】
上記磁気軸受装置２は、第１のラジアル磁気軸受装置３と、第２のラジアル磁気軸受装置（図示せず）と、スラスト磁気軸受装置と（図示せず）とを有する。
【００２６】
上記第１のラジアル磁気軸受装置３は、回転軸１の軸方向の第１箇所における第１のラジアル制御軸方向（ＡＡ’線方向）に回転軸１を挟んで対向配置される一対の（二つの）電磁石Ｘ１,Ｘ１’と、回転軸１の上記第１箇所における第２のラジアル制御軸方向（紙面に垂直な方向）に回転軸１を挟んで対向配置される一対の電磁石（図示せず）と、電磁石Ｘ１を駆動する第１の電磁石駆動回路５と、電磁石Ｘ１’を駆動する第２の電磁石駆動回路６と、上記第２のラジアル制御軸方向に対向配置される電磁石を駆動する二つの第３および第４の電磁石駆動回路（図示せず）と、電磁石駆動回路５,６に接続された第１のヒューズ切れ検出回路７と、上記第２のラジアル制御軸方向に対向配置された二つの電磁石を駆動する二つの電磁石駆動回路に接続された第２のヒューズ切れ検出回路（図示せず）とを有する。
【００２７】
また、上記第２のラジアル磁気軸受装置は、第１のラジアル磁気軸受装置３と同様に、回転軸１の軸方向における上記第１箇所と異なる第２箇所に配置された４つの電磁石と、４つの電磁石駆動回路（第５、第６、第７および第８の電磁石駆動回路）と、２つのヒューズ切れ検出回路（第３および第４のヒューズ切れ検出装置）とを有している。
【００２８】
また、上記アキシアル磁気軸受は、回転軸１の軸方向の一方の端面の近傍にアキシアル方向に対向するように配置された二つの電磁石と、この二つの電磁石の夫々に一つずつ接続された二つの電磁石駆動回路（第９および第１０の電磁石駆動回路）と、この二つの電磁石駆動回路の夫々に接続された第５のヒューズ切れ検出回路とを有している。
【００２９】
上記１０個の電磁石駆動回路の夫々は、電源から所定の電流が流れると切れるように設定されているヒューズを一つずつ有している。
【００３０】
上記制御装置８は、第１のヒューズ切れ検出回路７からの信号ｘ１、上記第２のヒューズ切れ検出回路からの信号ｙ１、上記第３のヒューズ切れ検出回路からの信号ｘ２、上記第４のヒューズ切れ検出回路からの信号ｙ２、および、上記第５のヒューズ切れ検出回路からの信号ｚを受けるようになっている。
【００３１】
上記制御装置８は、これらの５つの信号（ｘ１、ｙ１、ｘ２、ｙ２およびｚ）に基づいて、各ヒューズ切れ検出回路毎にヒューズ切れの検出が行われたか否かを判断して、異常表示回路１０を介して異常表示装置１１に信号を出力するようになっている。
【００３２】
上記異常表示装置１１は、少なくとも一つのヒューズ切れ検出装置がヒューズ切れを検出した場合に、注意喚起文字をＬＣＤ（液晶ディスプレイ）表示すると共に、警報（注意喚起音）を発するようになっている。詳細には、上記異常表示装置１１は、例えば、第１のヒューズ切れ検出回路７がヒューズ切れを検出した場合、「X1 Fuse Breaker Change Fuse」と表示すると共に、警報を発するようになっている。
【００３３】
図２は、上記回転軸１上の上記１０個の電磁石の詳細な配置を示す図である。
【００３４】
図２に示すように、回転軸１の軸方向の上記第１箇所１５は、回転軸１の軸方向の一端部に存在し、回転軸１の軸方向の上記第２箇所１６は、回転軸１の軸方向の他端部に存在している。
【００３５】
また、図２示すように、第３の電磁石Ｙ１と第４の電磁石Ｙ１’は、回転軸１の軸方向の第１箇所１５のラジアル方向（ＢＢ’線方向）に回転軸１を挟んで対向配置され、第５の電磁石Ｘ２と第６の電磁石Ｘ２’は、回転軸１の軸方向の第２箇所１６のラジアル方向（ＣＣ’線方向）に回転軸１を挟んで対向配置され、第７の電磁石Ｙ２と第８の電磁石Ｙ２’は、回転軸１の軸方向の第２箇所１６のラジアル方向（ＤＤ’線方向）に回転軸１を挟んで対向配置されている。
【００３６】
また、第９の電磁石Ｚと第１０の電磁石Ｚ’は、回転軸１の軸方向の一端面の近傍に、アキシアル方向に対向配置されている。尚、図２に示すＡＡ’線とＢＢ’線とは、直交しており、かつ、ＣＣ’線とＤＤ’線とは、直交している。また、図２において、２１は、第２のラジアル磁気軸受装置を示し、２２は、スラスト磁気軸受装置を示している。
【００３７】
図３は、上記第１および第２の電磁石駆動回路５,６の一部と、上記ヒューズ切れ検出回路７とを詳細に示す図である。
【００３８】
尚、図３に示す回路において、同じ記号の電気部品は、同じ電気部品（例えば、第１の電磁石駆動回路５における抵抗Ｒ１と、第２の電磁石駆動回路６における抵抗Ｒ１は、同じ抵抗値を有する抵抗であり、第１の電磁石駆動回路５におけるコンデンサＣ１と、第２の電磁石駆動回路６におけるコンデンサＣ１は、同じ容量のコンデンサである）を示している。また、＋ＶＡは、直流電源が供給する直流電圧を示している。
【００３９】
図３に示すように、第１の電磁石駆動回路５の一部と第２の電磁石駆動回路６の一部とは、全く同じ回路構成になっている。そして、図３に示す夫々の回路の一部において、電源電圧＋ＶＡとグランドとの間には、ヒューズＦ１とコンデンサＣ１が直列に接続されており、ヒューズＦ１とコンデンサＣ１との間のノードと、グランドとの間には、抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２が直列に接続されている。
【００４０】
また、ヒューズＦ１とコンデンサＣ１との間のノードに、抵抗Ｒ４の一端が接続されており、その抵抗Ｒ４の他端には、ＮＰＮバイポーラトランジスタＴ１のコレクタが接続されている。また、上記ＮＰＮバイポーラトランジスタＴ１のコレクタには、ダイオードＤ１のカソードが接続され、ＮＰＮバイポーラトランジスタＴ１のエミッタには、ダイオードＤ１のアノードが接続されている。
【００４１】
また、上記ＮＰＮバイポーラトランジスタＴ１のベースとエミッタとの間には、抵抗Ｒ３が接続されている。また、上記ＮＰＮバイポーラトランジスタＴ１のエミッタとグランドとの間には、抵抗Ｒ５と抵抗Ｒ６とが並列に接続されている。
【００４２】
また、上記抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ４との間のノードに、電磁石Ｘ１（または電磁石Ｘ１’）の一端が接続されると共に、抵抗Ｒ４とＮＰＮバイポーラトランジスタＴ１のコレクタとの間のノードに、電磁石Ｘ１（または電磁石Ｘ１’）の他端が接続されている。
【００４３】
上記ヒューズ切れ検出回路７は、コンデンサＣ２と、フォトカプラ３０と、コンデンサＣ３と、抵抗Ｒ１０とを有する。
【００４４】
上記コンデンサＣ２の一端は、第１の電磁石駆動回路５の抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２との間のノードαに接続されており、コンデンサＣ２の他端は、第２の電磁石駆動回路６の抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２との間のノードαに接続されている。また、上記コンデンサＣ２の一端は、フォトカプラ３０の第１端子に接続されていると共に、コンデンサＣ２の他端は、フォトカプラ３０の第２端子に接続されている。上記第１の電磁石駆動回路５のノードαと、第２の電磁石駆動回路６のノードαとは、同一回路構成部分における対応するノードになっている。
【００４５】
また、上記ヒューズ切れ検出回路７は、電源電圧Ｖｃｃとグランドとの間に、電源電圧Ｖｃｃ側から抵抗Ｒ１０とコンデンサＣ３とが直列接続されている部分を有しており、フォトカプラ３０の第３端子は、グランドに接地されている一方、フォトカプラ３０の第４端子は、抵抗Ｒ１０とコンデンサＣ３との間のノードに接続されている。また、上記コンデンサＣ３と抵抗Ｒ１０との間のノードは、ヒューズ切れ検出回路７の出力端子となっている。
【００４６】
上記構成において、第１の電磁石駆動回路５および第２の電磁石駆動回路６の夫々のヒューズＦ１,Ｆ１がヒューズ切れを起こしていなくて、第１の電磁石駆動回路５および第２の電磁石駆動回路６の両方において、電源電圧＋ＶＡとコンデンサＣ１（あるいは、抵抗Ｒ１）が電気接続されている場合は、第１の電磁石駆動回路５のノードαと、第２の電磁石駆動回路６のノードαが、等電位となる。したがって、上記コンデンサＣ２の両端の電位、および、フォトカプラ３０の第１端子と第２端子の電位が、等電位となって、第１端子と第２端子との間に配置されている発光ダイオードが発光せず、フォトカプラ３０が、オフの状態となって信号を出力しないようになっている。
【００４７】
一方、第１の電磁石駆動回路５および第２の電磁石駆動回路６のどちらか一方のヒューズＦ１が、ヒューズ切れを起こしている場合には、フォトカプラ３０が第１端子と第２端子の間に流れる電流を検出してオンするようになっている。詳細には、第１の電磁石駆動回路５および第２の電磁石駆動回路６のどちらか一方のヒューズＦ１が、ヒューズ切れを起こしている場合には、コンデンサＣ２の両端に電位差が生じ、フォトカプラ３０の第１端子と第２端子との間を電流が流れて、互いに逆向きに並列配置されている発光ダイオードのどちらか一方が発光するようになっている。そして、発光ダイオードから放射された光を受けたフォトトランジスタの出力がＨｉからＬｏ（またはその逆の構成も可）に変化して、ヒューズ切れを検出するようになっている。
【００４８】
尚、図示はしないが、この実施形態では、上記第１および第２の電磁石駆動回路５,６以外の他の対をなす電磁石駆動回路同士も、第１および第２の電磁石駆動回路５,６と同様に、同一の回路構成部分を有している。
【００４９】
上記実施形態の回転軸支持装置によれば、ヒューズ切れ検出回路（例えば、ヒューズ切れ検出回路７）が、ヒューズ（例えば、ヒューズＦ１,Ｆ１）のヒューズ切れを検出するようになっているので、回転軸支持装置に異常が発生した場合に、その回転軸支持装置の異常が、ヒューズ切れに起因するものであるのか、または、それ以外の原因に起因するものであるのかを、直ぐに判断することができる。
【００５０】
また、上記実施形態の回転軸支持装置によれば、異常の原因がヒューズ切れに起因する場合、例えば、地絡が起こらないようにしたり、または、単純にヒューズを取り替えることによって、回転軸支持装置を容易に修理することができる。また、異常の原因がヒューズ切れに起因しない場合においても、初めからヒューズ切れに関連する部品の故障を検査する必要がなくて、ヒューズ切れに関連しない部品の故障の検査だけを行えば良く、回転軸支持装置の故障箇所を容易に発見することができる。
【００５１】
また、上記実施形態の回転軸支持装置によれば、ヒューズ切れ検出回路（例えば、ヒューズ切れ検出回路７）が、対向配置された電磁石の対毎（例えば、電磁石Ｘ１,Ｘ１’）に一つずつ形成されているので、ヒューズ切れ検出回路（例えば、ヒューズ切れ検出回路７）の数をヒューズ（例えば、ヒューズＦ１,Ｆ１）の数の半分にすることができて、回転軸支持装置の製造コストを格段に低減することができる。
【００５２】
また、上記実施形態の回転軸支持装置によれば、ヒューズ切れ検出回路（例えば、ヒューズ切れ検出回路７）が、対向配置された電磁石の対毎（例えば、電磁石Ｘ１,Ｘ１’）に一つずつ形成されているので、及ぼす力の力線方向が同一（力の向きは反対）である二つの電磁石（例えば、電磁石Ｘ１,Ｘ１’）を駆動する二つの電磁石駆動回路（例えば、第１および第２の電磁石駆動回路５,６）のヒューズ（例えば、Ｆ１）切れを検査することができる。したがって、この二つの電磁石駆動回路（例えば、第１および第２の電磁石駆動回路５,６）は類似点が多いことから、一方（例えば、二つのヒューズＦ１のうちの一方）にヒューズ切れが発生している場合に、二つの電磁石駆動回路（例えば、第１および第２の電磁石駆動回路５,６）を比較することによって、故障箇所を容易に特定することができる。
【００５３】
また、上記実施形態の回転軸支持装置によれば、対を成す電磁石（例えば、電磁石Ｘ１,Ｘ１’）を駆動する二つの電磁石駆動回路（例えば、第１および第２の電磁石駆動回路５,６）が、ヒューズ（例えば、ヒューズＦ１）を含む同一の回路構成部分を有し、上記ヒューズ切れ検出回路（例えば、ヒューズ切れ検出回路７）は、上記同一の回路構成部分の互いに対応するノードα,αの電位が略同じである場合に、二つの電磁石駆動回路の両方（例えば、第１および第２の電磁石駆動回路５,６）のヒューズ（Ｆ１,Ｆ１）のヒューズ切れがないことを検出する一方、上記同一の回路構成部分の互いに対応するノードα,αの電位が異なる場合に、二つの電磁石駆動回路（例えば、第１および第２の電磁石駆動回路５,６）の内の一方のヒューズ（例えば、Ｆ１）がヒューズ切れを起こしていることを検出するようになっている。したがって、上記同一の回路構成部分の互いに対応するノードα,αの電位を比較するだけで、容易に二つの電磁石駆動回路（例えば、第１および第２の電磁石駆動回路５,６）の内の一方のヒューズ（例えば、ヒューズＦ１）のヒューズ切れを検出することができる。
【００５４】
尚、上記実施形態では、第１の電磁石駆動回路５のノードαと、第２の電磁石駆動回路６のノードαとの電位を比較することによって、第１の電磁石駆動回路５と第２の電磁石駆動回路６の内の一方のヒューズ切れを検出するようにしたが、第１および第２の電磁石駆動回路５,６の同一回路構成部分のノードα以外の互いに対応するノードの電位を比較することによって、第１の電磁石駆動回路５と第２の電磁石駆動回路６の内の一方のヒューズ切れを検出するようにしても良い。また、対をなす電磁石駆動回路は、図３に示す同一の回路構成部分と異なる同一の回路構成部分を有していても良い。
【００５５】
また、上記実施形態では、この発明をターボ分子ポンプに適用したが、この発明を、アトマイザ、または、コンプレッサ等の、ターボ分子ポンプ以外の回転軸を有する装置に適用しても良いことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】この発明の一実施形態の回転軸支持装置を示す図である。
【図２】上記実施形態の回転軸支持装置が備える１０個の電磁石の回転軸上における詳細な配置を示す図である。
【図３】上記実施形態の回転軸支持装置が備える電磁石駆動回路の一部と、ヒューズ切れ検出回路とを詳細に示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  回転軸
２  磁気軸受装置
３  第１のラジアル磁気軸受装置
５  第１の電磁石駆動回路
６  第２の電磁石駆動回路
７  第１のヒューズ切れ検出装置
２１  第２のラジアル磁気軸受装置
２２  スラスト磁気軸受装置
Ｆ１  ヒューズ
Ｘ１  第１の電磁石
Ｘ１’  第２の電磁石
Ｙ１  第３の電磁石
Ｙ１’  第４の電磁石
Ｘ２  第５の電磁石
Ｘ２’  第６の電磁石
Ｙ２  第７の電磁石
Ｙ２’  第８の電磁石
Ｚ  第９の電磁石
Ｚ’  第１０の電磁石
【図１】
2006022920.tif 000003
【図２】
2006022920.tif 000004
【図３】
2006022920.tif 000005