(57)【要約】【課題】エレクトレットアクチュエータの可動子を円滑に移動できるようにすること。【解決手段】基板１２上に複数の相からなる駆動電極１１を配すると共にその上に絶縁体１３を配した固定基板１０と、上記固定基板１０上に配置され、上記駆動電極１１との間に生じる静電気力によって上記固定基板１０に対し相対移動するように上記駆動電極１１に対向する部位で所定のピッチでエレクトレット化されたエレクトレット部位２１を有する可動子２０と、上記可動子２０と上記固定基板１０との間の摩擦を低減するために上記固定基板１０の上記可動子２０と対向する面に設置された支持部材１４とを備えるエレクトレットアクチュエータにおいて、上記支持部材１４を、上記複数の駆動電極１１に跨るように配置し、上記可動子２０と線接触する部材とする。【選択図】図１
2006067734.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に複数の相からなる駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、
上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動するように上記駆動電極に対向する部位で所定のピッチでエレクトレット化された可動子と、
上記可動子と上記固定基板との間の摩擦を低減するために上記固定基板の上記可動子と対向する面に設置された支持部材と、
を具備し、
上記支持部材は、上記複数の駆動電極に跨るように配置され、上記可動子と線接触する部材であることを特徴とするエレクトレットアクチュエータ。
【請求項２】
上記支持部材は、上記可動子が上記固定基板に対して相対的に移動する方向に直線状に延び、且つ、上記移動する方向に対して直角の方向に所定のピッチで複数配置されていることを特徴とする請求項１に記載のエレクトレットアクチュエータ。
【請求項３】
上記支持部材は、三角波状に形成され、上記可動子が上記固定基板に対して相対的に移動する方向に対し直角方向に所定のピッチで複数配置されていることを特徴とする請求項１に記載のエレクトレットアクチュエータ。
【請求項４】
上記支持部材は、網目状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のエレクトレットアクチュエータ。
【請求項５】
開口部を有する基板上に複数の相からなる駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、
上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動するように上記駆動電極に対向する部位で所定のピッチでエレクトレット化された可動子と、
上記可動子と上記固定基板との間の摩擦を低減するために上記固定基板の上記可動子と対向する面に設置された支持部材と、
を具備し、
上記支持部材は、上記複数の駆動電極に跨るように配置され、上記可動子と線接触する部材であることを特徴とするエレクトレットシャッタ装置。
【請求項６】
上記支持部材は、上記可動子が上記固定基板に対して相対的に移動する方向に直線状に延び、且つ、上記移動する方向に対して直角の方向に所定のピッチで複数配置されていることを特徴とする請求項５に記載のエレクトレットシャッタ装置。
【請求項７】
上記支持部材は、三角波状に形成され、上記可動子が上記固定基板に対して相対的に移動する方向に対し直角方向に所定のピッチで複数配置されていることを特徴とする請求項５に記載のエレクトレットシャッタ装置。
【請求項８】
上記支持部材は、網目状に配置されていることを特徴とする請求項５に記載のエレクトレットシャッタ装置。
【請求項９】
上記支持部材は、上記開口部には配置されていないことを特徴とする請求項５に記載のエレクトレットシャッタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトレットを用いた可動子と固定基板との間に作用する静電気力により可動子を移動させるエレクトレットアクチュエータ、及び、そのようなエレクトレットアクチュエータを利用したエレクトレットシャッタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アクチュエータとしては、電磁力を利用した電磁式アクチュエータが多く用いられている。しかしながら、そのような電磁式アクチュエータは、電磁コイルや永久磁石で構成されているため、構造が複雑になるだけでなく、駆動時の消費電力も大きくなる。
【０００３】
それに比べ、静電アクチュエータは、構成が簡単にできるだけでなく、低消費電力での駆動が可能なため、小型化に適したアクチュエータとして注目されている。
【０００４】
静電アクチュエータは、図５に示すように、固定基板１００に設置された駆動電極１０１と可動子２００との間に働く静電気力の水平方向成分（駆動力）で可動子２００を搬送するものである。なお、同図において、参照番号１０２は基板であり、１０３は絶縁体である。
【０００５】
そして、そのような静電アクチュエータの中でも、可動子２００に永久分極されたエレクトレットを用いることにより可動子への配線をなくし、更に駆動電圧を小さくできるエレクトレットアクチュエータがある。
【０００６】
このエレクトレットアクチュエータは、複数の駆動電極が配置された固定基板と、該固定基板上を左右に移動自在な可動子とから構成される。可動子は、周期的に永久分極された部位（エレクトレット部位）を有しており、このエレクトレット部位の持つ電荷と駆動電極への印加電圧とによって生じる反発力或いは吸引力により、固定基板に対して相対的な移動をする。
【０００７】
このようなエレクトレットアクチュエータの駆動原理を、図６（Ａ）乃至（Ｄ）を参照して説明する。
【０００８】
図６（Ａ）は、固定基板１０の各駆動電極１１へ電圧を印加した直後の、可動子２０と固定基板１０の状態を示す図である。ここで、可動子２０のエレクトレット部位２１は、負の極性にエレクトレット化されているので、駆動電極１１へ印加された電圧のうち、負電圧に対しては反発力、正電圧に対しては吸着力を受ける。したがって、この状態において可動子２０は、図中に矢印で示すように右方向の力を受けることになる。なお、同図において、参照番号１２は基板であり、１３は絶縁体である。
【０００９】
図６（Ｂ）は、上記電圧印加により、可動子２０が１ピッチ移動した様子を示している。この場合、可動子２０は右方向の力を受けていたため駆動電極１１の１ピッチ分移動した後、この位置で吸引力により固定基板１０に吸着される。
【００１０】
図６（Ｃ）は、図６（Ａ）の印加電圧の極性を１ピッチ分、右にずらして印加した直後の様子を示している。極性が１ピッチずれたため、再び、可動子２０には右方向への駆動力が作用することになる。
【００１１】
図６（Ｄ）は、図６（Ｃ）のような電圧印加により、可動子２０が１ピッチ分移動した様子を示している。
【００１２】
この動作が繰り返されることで、可動子２０は、図の右方向に移動していく。なお、可動子２０を図の左方向に移動するためには、駆動電極１１に印加する電圧の極性を逆に切り替えれば良い。
【００１３】
このようなアクチュエータにおいても、如何に可動子２０を円滑に移動させるかは、重要な課題となっている。可動子２０と固定基板１０が平坦であると、可動子２０と固定基板１０とが密着してしまい、摩擦力が大きくなる。
【００１４】
そのような摩擦力の低減について、静電アクチュエータに関しては、特許文献１に開示されているような技術が提案されている。これは、図７に示すように、可動子２００の走行面或いは固定基板１００の走行面（可動子２００と対向する面）に、微粒子を含んだ塗布液で凹凸パターンを作り、可動子２００と固定基板１００とを点接触させ、接触面積を減らすことで、摩擦力を減らすようにしているものである。なお、同図において、参照番号３０１乃至３０３は、各駆動電極１０１に電圧パターンを印加するための電線である。
【特許文献１】特開平４−３４０３７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、上記特許文献１に開示の技術では、接触面積を減らすことは摩擦力を減らすことになるが、図８に示すように、粒子が形成する突起１０４に可動子２００の先端が引っかかってしまうため、走行を阻害し、円滑な移動ができなくなる。
【００１６】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、可動子を円滑に移動できるエレクトレットアクチュエータ、及び、そのようなエレクトレットアクチュエータを利用したエレクトレットシャッタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明のエレクトレットアクチュエータの一態様は、基板上に複数の相からなる駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動するように上記駆動電極に対向する部位で所定のピッチでエレクトレット化された可動子と、上記可動子と上記固定基板との間の摩擦を低減するために上記固定基板の上記可動子と対向する面に設置された支持部材と、を具備し、上記支持部材は、上記複数の駆動電極に跨るように配置され、上記可動子と線接触する部材であることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明のエレクトレットシャッタ装置の一態様は、開口部を有する基板上に複数の相からなる駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動するように上記駆動電極に対向する部位で所定のピッチでエレクトレット化された可動子と、上記可動子と上記固定基板との間の摩擦を低減するために上記固定基板の上記可動子と対向する面に設置された支持部材と、を具備し、上記支持部材は、上記複数の駆動電極に跨るように配置され、上記可動子と線接触する部材であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、可動子を円滑に移動できるエレクトレットアクチュエータ、及び、そのようなエレクトレットアクチュエータを利用したエレクトレットシャッタ装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００２１】
［第１実施形態］
図１（Ａ）乃至（Ｃ）を参照して、本発明の第１実施形態に係るエレクトレットアクチュエータを説明する。図１（Ａ）はその構成を示す平面図であり、図１（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ図１（Ａ）のＢ−Ｂ線及びＣ−Ｃ線断面図である。
【００２２】
ここで、エレクトレットアクチュエータは、複数の駆動電極１１を設置した固定基板１０と、その上に配置され、上記駆動電極１１に対向した面に所定のピッチで所定の極性（例えば負の極性）にエレクトレット化（永久帯電処理）されたエレクトレット部位２１を有する可動子２０と、各駆動電極１１に電圧パターンを印加する駆動手段（不図示）とにより構成されている。支持部材１４は可動子２０と固定基板１０との間の固定基板側に配置されている。なお、同図において、参照番号１２は基板であり、１３は絶縁体である。このような構成において、駆動電極１１に電圧パターンを印加すると、駆動電極１１と可動子２０のエレクトレット部位２１との間に、吸引力或いは反発力が生じ、可動子２０が固定基板１０上を相対的に移動できる。
【００２３】
そして、本実施形態に係るエレクトレットアクチュエータは、更に、固定基板１０の上記可動子２０に対向する面上に、可動子２０の移動方向（この場合は、駆動電極１１に対して直角方向）に延在する支持部材１４を設けている。この支持部材１４は、可動子２０の移動方向に延びた線状（レール状）部材の形態で構成しているため、可動子２０とは線接触となり、接触面積を低減できる。更に、この支持部材１４は、可動子２０の移動方向に線状に延びた形状であるため、可動子２０の走行時に、該支持部材１４（突起）に引っかかるようなことは起こらない。
【００２４】
また、この線状の支持部材１４を駆動電極１１上に複数平行に並べることにより、吸引力が働いたときの可動子２０のたわみ或いは吸着を防止できる。典型的な例として、支持部材１４の幅を５〜１０μｍで、平行に並べるピッチとしては１００〜５００μｍである。
【００２５】
次に、支持部材１４が設置される最良の形態を説明する。
【００２６】
固定基板１０上には、可動子２０の移動方向に所定の間隔で駆動電極１１も設置されている。駆動電極１１には当然厚みがあるため、その厚さすら可動子２０が走行する際の障害となる。そこで、駆動電極１１は極力薄くスパッタ等で形成し、絶縁体１３で駆動電極１１を覆うことにより平坦な表面を形成する。そして、その面に支持部材１４を形成すれば、段差の無い線状支持部材１４が形成できる。
【００２７】
上記のように支持部材１４を設置する場合、支持部材１４の材料の制限はなく、導電材料、絶縁性材料の何れでも構わない。駆動電極１１を薄く成型した場合には、駆動電極１１上に支持部材１４を設置しても良いが、その場合は絶縁体１３が必須となる。
【００２８】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係るエレクトレットアクチュエータを説明する。
【００２９】
図２は、本第２実施形態に係るエレクトレットアクチュエータの構成を示す平面図である。即ち、本実施形態では、支持部材１４を、三角波状に配置しているものである。
【００３０】
上記第１実施形態に示すような線状（レール状）に配置すると、可動子２０が支持部材１４と接触する部位が常に同じになり、可動子２０側に局所磨耗を生じる可能性がる。それに対して、支持部材１４を本実施形態のように三角波状に配置すれば、可動子２０と支持部材１４とが接する個所は常に変化するため、可動子２０に局所磨耗を生じることはない。
【００３１】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係るエレクトレットアクチュエータを説明する。
【００３２】
図３は、本第３実施形態に係るエレクトレットアクチュエータの構成を示す平面図である。即ち、本実施形態では、支持部材１４を、網目状に配置しているものである。
【００３３】
このような網目状に支持部材１４を配置することにより、上記第２実施形態と同様に、可動子２０の局所磨耗を防止できる。そして更には、支持部材１４が均一に配置できるため、上記第２実施形態のような三角波状の配置に比べて、可動子２０の移動時の直進性が良くなる。
【００３４】
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態として、本発明のエレクトレットアクチュエータを利用したエレクトレットシャッタ装置の実施形態を説明する。
【００３５】
即ち、本実施形態は、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、上記エレクトレットアクチュエータの固定基板１０に、被写体からの光像を撮像素子（不図示）に導くための開口部１５を設け、更に、可動子２０に、遮光性を持たせることによって、エレクトレットアクチュエータをシャッタとして適用した例である。
【００３６】
このような構成において、駆動電極１１に電圧パターンを印加すると、駆動電極１１と可動子２０のエレクトレット部位２１との間に吸引力或いは反発力が生じ、可動子２０が固定基板１０上を相対的に移動できる。したがって、可動子２０が開口部１５を開放もしくは遮蔽するように移動可能にしておけば、これによってシャッタ装置を構成できる。この構成においても、支持部材１４が線接触であれば、円滑なシャッタ動作が可能になる。図４（Ａ）はシャッタが開の状態を示し、図４（Ｂ）はシャッタが閉じの場合を示している。シャッタ装置の場合も同様に、この線状の支持部材１４を駆動電極１１上に複数平行に並べることにより、吸引力が働いたときの可動子２０のたわみ或いは吸着を防止できる。
【００３７】
なお、開口部１５としては、必ずしも固定基板１０に物理的な孔を設ける必要はなく、基板１２を透過部材として、図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すような駆動電極１１及び支持部材１４が設けられていない領域を除いた領域に遮光膜を形成する（例えば遮光性を有する絶縁体１３とする）ことで、部分的な透過領域を形成しても良い。本発明ではこれを便宜的に開口部と称している。
【００３８】
また、言うまでもないが、エレクトレットシャッタ装置においても、支持部材１４は、上記第２及び第３実施形態で説明したような三角波状或いは網目状に形成しても一向に構わない。
【００３９】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は、上述した実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素の適宜な組合わせにより種々の変形や応用が可能なことは勿論である。例えば、実施形態に示される構成要素を削除しても良い。更に異なる実施形態に亘る構成要素を組合わせても良い。
【００４０】
（付記）
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
【００４１】
（１）  基板上に複数の相からなる駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、
上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動するように上記駆動電極に対向する部位で所定のピッチでエレクトレット化された可動子と、
上記可動子と上記固定基板との間の摩擦を低減するために上記固定基板の上記可動子と対向する面に設置された支持部材と、
を具備し、
上記支持部材は、上記複数の駆動電極に跨るように配置され、上記可動子と線接触する部材であることを特徴とするエレクトレットアクチュエータ。
【００４２】
（対応する実施形態）
この（１）に記載のエレクトレットアクチュエータに関する実施形態は、第１乃至第３実施形態が対応する。
【００４３】
（作用効果）
この（１）に記載のエレクトレットアクチュエータは、支持部材と可動子とを線接触にすることによって、可動子と固定基板との間の摩擦を低減すると共に、可動子の走行時に可動子が支持部材（突起）に引っかかるようなことを防止する。
【００４４】
従って、この（１）に記載のエレクトレットアクチュエータによれば、可動子を円滑に移動できるエレクトレットアクチュエータを提供することができる。
【００４５】
（２）  上記支持部材は、上記可動子が上記固定基板に対して相対的に移動する方向に直線状に延び、且つ、上記移動する方向に対して直角の方向に所定のピッチで複数配置されていることを特徴とする（１）に記載のエレクトレットアクチュエータ。
【００４６】
（対応する実施形態）
この（２）に記載のエレクトレットアクチュエータに関する実施形態は、第１実施形態が対応する。
【００４７】
（作用効果）
この（２）に記載のエレクトレットアクチュエータは、支持部材を直線上に且つ所定のピッチで配置している。
【００４８】
従って、この（２）に記載のエレクトレットアクチュエータによれば、静電吸引力が発生しても、可動子がたわむことがなくなる。
【００４９】
（３）  上記支持部材は、三角波状に形成され、上記可動子が上記固定基板に対して相対的に移動する方向に対し直角方向に所定のピッチで複数配置されていることを特徴とする（１）に記載のエレクトレットアクチュエータ。
【００５０】
（対応する実施形態）
この（３）に記載のエレクトレットアクチュエータに関する実施形態は、第２実施形態が対応する。
【００５１】
（作用効果）
この（３）に記載のエレクトレットアクチュエータは、支持部材を三角波状に形成している。
【００５２】
従って、この（３）に記載のエレクトレットアクチュエータによれば、可動子と支持部材とが接する個所は常に変化するため、可動子の局所磨耗を防止できる。
【００５３】
（４）  上記支持部材は、網目状に配置されていることを特徴とする（１）に記載のエレクトレットアクチュエータ。
【００５４】
（対応する実施形態）
この（４）に記載のエレクトレットアクチュエータに関する実施形態は、第３実施形態が対応する。
【００５５】
（作用効果）
この（４）に記載のエレクトレットアクチュエータは、支持部材を網目状に配置している。
【００５６】
従って、この（４）に記載のエレクトレットアクチュエータによれば、可動子と支持部材とが接する個所は常に変化するため、可動子の局所磨耗を防止できる。更に、支持部材が均一に配置できるため、可動子の移動時の直進性が良くなる。
【００５７】
（５）  開口部を有する基板上に複数の相からなる駆動電極を配すると共にその上に絶縁体を配した固定基板と、
上記固定基板上に配置され、上記駆動電極との間に生じる静電気力によって上記固定基板に対し相対移動するように上記駆動電極に対向する部位で所定のピッチでエレクトレット化された可動子と、
上記可動子と上記固定基板との間の摩擦を低減するために上記固定基板の上記可動子と対向する面に設置された支持部材と、
を具備し、
上記支持部材は、上記複数の駆動電極に跨るように配置され、上記可動子と線接触する部材であることを特徴とするエレクトレットシャッタ装置。
【００５８】
（対応する実施形態）
この（５）に記載のエレクトレットシャッタ装置に関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００５９】
（作用効果）
この（５）に記載のエレクトレットシャッタ装置は、支持部材と可動子とを線接触にすることによって、可動子と固定基板との間の摩擦を低減すると共に、可動子の走行時に可動子が支持部材（突起）に引っかかるようなことを防止する。
【００６０】
従って、この（５）に記載のエレクトレットシャッタ装置によれば、可動子を円滑に移動でき、円滑なシャッタ動作が可能なエレクトレットシャッタ装置を提供することができる。
【００６１】
（６）  上記支持部材は、上記可動子が上記固定基板に対して相対的に移動する方向に直線状に延び、且つ、上記移動する方向に対して直角の方向に所定のピッチで複数配置されていることを特徴とする（５）に記載のエレクトレットシャッタ装置。
【００６２】
（対応する実施形態）
この（６）に記載のエレクトレットシャッタ装置に関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００６３】
（作用効果）
この（６）に記載のエレクトレットシャッタ装置は、支持部材を直線上に且つ所定のピッチで配置している。
【００６４】
従って、この（６）に記載のエレクトレットシャッタ装置によれば、静電吸引力が発生しても、遮光膜となる可動子がたわむことがなくなる。
【００６５】
（７）  上記支持部材は、三角波状に形成され、上記可動子が上記固定基板に対して相対的に移動する方向に対し直角方向に所定のピッチで複数配置されていることを特徴とする（５）に記載のエレクトレットシャッタ装置。
【００６６】
（対応する実施形態）
この（７）に記載のエレクトレットシャッタ装置に関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００６７】
（作用効果）
この（７）に記載のエレクトレットシャッタ装置は、支持部材を三角波状に形成している。
【００６８】
従って、この（７）に記載のエレクトレットシャッタ装置によれば、可動子と支持部材とが接する個所は常に変化するため、遮光膜となる可動子の局所磨耗を防止できる。
【００６９】
（８）  上記支持部材は、網目状に配置されていることを特徴とする（５）に記載のエレクトレットシャッタ装置。
【００７０】
（対応する実施形態）
この（８）に記載のエレクトレットシャッタ装置に関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００７１】
（作用効果）
この（８）に記載のエレクトレットシャッタ装置は、支持部材を網目状に配置している。
【００７２】
従って、この（８）に記載のエレクトレットシャッタ装置によれば、可動子と支持部材とが接する個所は常に変化するため、遮光膜となる可動子の局所磨耗を防止できる。更に、支持部材が均一に配置できるため、可動子（遮光膜）の移動時の直進性が良くなる。
【００７３】
（９）  上記支持部材は、上記開口部には配置されていないことを特徴とする（５）に記載のエレクトレットシャッタ装置。
【００７４】
（対応する実施形態）
この（９）に記載のエレクトレットシャッタ装置に関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００７５】
（作用効果）
この（９）に記載のエレクトレットシャッタ装置は、開口部には支持部材を配置しないようにしている。
【００７６】
従って、この（９）に記載のエレクトレットシャッタ装置によれば、開口部が支持部材で遮られることがないので、光像に影響しない。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るエレクトレットアクチュエータの構成を説明するための図で、特に、図１（Ａ）はその構成を示す平面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図であり、図１（Ｃ）は図１（Ａ）の及びＣ−Ｃ線断面図である。
【図２】図２は本発明の第２実施形態に係るエレクトレットアクチュエータの構成を示す平面図である。
【図３】図３は本発明の第３実施形態に係るエレクトレットアクチュエータの構成を示す平面図である。
【図４】本発明のエレクトレットシャッタ装置の実施形態を説明するための図で、特に、図４（Ａ）はシャッタが開の状態を示す平面図であり、図４（Ｂ）はシャッタが閉じの場合を示す平面図である。
【図５】図５は静電アクチュエータの原理を説明するための図である。
【図６】図６はエレクトレットアクチュエータの駆動原理を説明するための図である。
【図７】図７は特許文献１に開示された静電アクチュエータの構成を示す図である。
【図８】図８は特許文献１に開示された静電アクチュエータの課題を説明するための図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０…固定基板、  １１…駆動電極、  １２…基板、  １３…絶縁体、  １４…支持部材、  １５…開口部、  ２０…可動子、  ２１…エレクトレット部位。
【図１】
2006067734.tif 000003
【図２】
2006067734.tif 000004
【図３】
2006067734.tif 000005
【図４】
2006067734.tif 000006
【図５】
2006067734.tif 000007
【図６】
2006067734.tif 000008
【図７】
2006067734.tif 000009
【図８】
2006067734.tif 000010