(57)【要約】【課題】  エンコーダ及びエンコーダシステムの一部に障害が発生した場合にも、回転量、又は回転数を示す情報を上位のシステムに確実に伝送する。【解決手段】  第１の検出部ＤＥＴ１は、回転体１２２に設けられた第１のパターンに基づいて回転体１２２の回転量を検出する回転量検出部、及び回転体１２２に設けられた第２のパターンに基づいて回転体１２２の回転数を検出する回転数検出部を有する。第２の検出部ＤＥＴ２は、第１のパターンに基づいて回転体１２２の回転量を検出する回転量検出部、及び第２のパターンに基づいて回転体１２２の回転数を検出する回転数検出部の少なくともいずれかを有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体に設けられた第１のパターンに基づいて前記回転体の回転量を検出する回転量検出部、及び前記回転体に設けられた第２のパターンに基づいて前記回転体の回転数を検出する回転数検出部を有する第１の検出部と、
前記第１のパターンに基づいて前記回転体の回転量を検出する回転量検出部、及び前記第２のパターンに基づいて前記回転体の回転数を検出する回転数検出部の少なくともいずれかを有する第２の検出部とを備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
請求項１記載のエンコーダにおいて、
前記回転量検出部は、前記第１のパターンに基づいて前記回転量を光学的に検出し、
前記回転数検出部は、前記第２のパターンに基づいて前記回転数を電磁的に検出することを特徴とするエンコーダ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のエンコーダにおいて、
前記第２の検出部は、前記回転数検出部のみを有することを特徴とするエンコーダ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のエンコーダにおいて、
前記第１の検出部及び前記第２の検出部は、互いに独立した電源が供給される電源端子を有することを特徴とするエンコーダ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のエンコーダにおいて、
前記第１の検出部で検出される前記回転量及び前記回転数を示す情報を出力する第１の出力部と、
前記第２の検出部で検出される前記回転量及び前記回転数を示す情報の少なくともいずれかを出力する第２の出力部を有することを特徴とするエンコーダ。
【請求項６】
請求項５に記載のエンコーダと、
前記第１の出力部に接続される第１の通信ラインと、
前記第２の出力部に接続される第２の通信ラインと、
前記第１及び第２の通信ラインを介して、前記第１及び第２の出力部から伝達される前記回転量を示す情報が互いに異なる時、あるいは、前記回転数を示す情報が互いに異なる時に、エラー情報を出力するエラー検出部とを備えることを特徴とするエンコーダシステム。                                                                              
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ及びエンコーダシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
エンコーダ及びエンコーダシステムは、例えば、回転軸に固定された磁石板、磁石板からの磁束を検出する磁束計、磁束の変化に基づいて回転軸の回転数を示す回転数情報を検出する計数処理部、回転軸に固定されたアブソリュートコード円板、アブソリュートコード円板に照射光を照射する光源及び、アブソリュートコード円板を通過した照射光に基づいて回転軸の回転量を示す回転量情報を検出するコード発生器等から構成されている（例えば、特許文献１）。検出された回転数及び回転量を示す情報は、各検出器から伝送線等を経由して上位システムに伝送される。
【特許文献１】特開昭６２−２６３６００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述したエンコーダ及びエンコーダシステムでは、例えば、伝送線に障害が生じた場合、あるいは、計数処理部及びコード発生器等に電源を供給するための電源経路に障害が生じた場合、回転数及び回転量を示す情報が上位のシステムに伝送されなくなるという問題があった。
本発明の目的は、エンコーダ及びエンコーダシステムの一部に障害が発生した場合にも、回転量、又は回転数を示す情報を上位のシステムに確実に伝送できるエンコーダ及びエンコーダシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
請求項１のエンコーダでは、第１の検出部は、回転体に設けられた第１のパターンに基づいて回転体の回転量を検出する回転量検出部、及び回転体に設けられた第２のパターンに基づいて回転体の回転数を検出する回転数検出部を有する。第２の検出部は、第１のパターンに基づいて回転体の回転量を検出する回転量検出部、及び第２のパターンに基づいて回転体の回転数を検出する回転数検出部の少なくともいずれかを有する。
【０００５】
請求項２のエンコーダでは、回転量検出部は、第１のパターンに基づいて回転量を光学的に検出する。回転数検出部は、第２のパターンに基づいて回転数を電磁的に検出する。
請求項３のエンコーダでは、第２の検出部は、回転数検出部のみを有する。
請求項４のエンコーダでは、第１の検出部及び第２の検出部は、互いに独立した電源が供給される電源端子を有する。
【０００６】
請求項５のエンコーダでは、第１の出力部は、第１の検出部で検出される回転量及び回転数を示す情報を出力する。第２の出力部は、第２の検出部で検出される回転量及び前記回転数を示す情報の少なくともいずれかを出力する。
請求項６のエンコーダシステムでは、請求項５記載のエンコーダと、第１の出力部に接続される第１の通信ラインと、第２の出力部に接続される第２の通信ラインと、第１及び第２の通信ラインを介して、第１及び第２の出力部から伝達される回転量を示す情報が互いに異なる時、あるいは、回転数を示す情報が互いに異なる時に、エラー情報を出力するエラー検出部とを備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、検出部が２つあるので、一方の検出部に障害が生じても、回転量又は回転数を示す情報は上位システムに確実に伝達され、エンコーダ及びエンコーダシステムの信頼性を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
図１は本発明のエンコーダ及びエンコーダシステムの第１の実施形態を示している。エンコーダシステムは、エンコーダ１００、モータ等の出力軸に減速機等を介して連結される回転軸１０２（回転体）、ＬＥＤ１０４、互いに独立した電源１０８、１１０、互いに独立した通信路１１２（第１の通信ライン）、通信路１１４（第２の通信ライン）及び上位システムＳＹＳを有している。
【０００９】
エンコーダ１００は、回転ディスク１２２、永久磁石１２４、検出部ＤＥＴ１（第１の検出部及び出力部）及び検出部ＤＥＴ２（第２の検出部及び出力部）を有している。検出部ＤＥＴ１は、フォトダイオード１２、１４、アンプ１６、Ａ／Ｄ変換器１８、ＭＲ素子２２、２４、コンパレータ３０、３２、論理回路３８及び電源端子４２を有している。
検出部ＤＥＴ２は、ＭＲ素子２６、２８、コンパレータ３４、３６、論理回路４０及び電源端子４４を有している。回転ディスク１２２及び永久磁石１２４は、回転軸１０２に着脱可能に装着される。回転ディスク１２２の外周部には、図示しないＭ系列パターン及びインクリメンタルパターンが環状に形成されている。Ｍ系列パターン及びインクリメンタルパターンは、図２で説明する。
【００１０】
ＬＥＤ１０４は、回転ディスク１２２に対向する位置に固定されている。ＬＥＤ１０４は、回転ディスク１２２の一回転内における絶対位置を示す情報及び絶対位置からの変位（回転量）を示す情報を検出するために、Ｍ系列パターン及びインクリメンタルパターンに向けて照射光を照射する。
フォトダイオード１２、１４は、回転ディスク１２２の第１のパターンを介して、ＬＥＤ１０４にそれぞれ対向する位置に配置される。フォトダイオード１２は、ＬＥＤ１０４から照射され、回転ディスク１２２に形成されるインクリメンタルパターンの開口部を透過した光をＮピッチ（例えば９ピッチ）毎に回転ディスク１２２の絶対位置からの変位を示す情報として受光し、光電変換する。
【００１１】
フォトダイオード１４は、ＬＥＤ１０４から照射され、回転ディスク１２２に形成されるＭ系列パターンの開口部を透過した光をＮピッチ（例えば９ピッチ）単位で回転ディスク１２２の絶対位置を示す情報として受光し、光電変換する。
アンプ１６は、フォトダイオード１２、２４が光電変換したアナログ信号を増幅し、増幅したアナログ信号をＡ／Ｄ変換器１８に出力する。Ａ／Ｄ変換器１８は、アンプ１６によって増幅されたアナログ信号をデジタル信号に変換する。
【００１２】
ＭＲ素子２２、２４、２６、２８は、磁気抵抗効果素子でそれぞれ構成され、永久磁石１２４に対向する位置に配置される。ＭＲ素子２２、２４、２６、２８は、回転ディスク１２２の正・逆回転を検出するために、回転軸１０２を中心として９０°おきに配置される。
ＭＲ素子２２、２４、２６、２８は、回転ディスク１２２の回転数を、永久磁石１２４から発生する磁界の変化を示す情報として検出し、検出した情報を電気信号として出力する。コンパレータ３０、３２、３４、３６は、ＭＲ素子２２、２４、２６、２８が検出した電気信号の波形を整形し、デジタル信号に変換する。
【００１３】
論理回路３８は、Ａ／Ｄ変換器１８、コンパレータ３０、３２から出力されるデジタル信号に基づいて回転ディスク１２２の絶対位置、絶対位置からの変位及び回転数を示す情報をそれぞれ生成する。論理回路３８は、通信路１１２を介して、回転ディスク１２２の絶対位置、絶対位置からの変位及び回転数を示す情報を、上位システムＳＹＳの受信部１１６に送信する。
【００１４】
論理回路４０は、コンパレータ３４、３６が変換したデジタル信号を受け取り、コンパレータ３４、３６から出力されるデジタル信号に基づいて回転ディスク１２２の回転数を示す情報を生成し、通信路１１４を介して、回転ディスク１２２の回転数を示す情報を、上位システムＳＹＳの受信部１１８に送信する。
エラー検出部１２０は、論理回路３８、４０から送信された回転ディスク１２２の回転数を示す情報を相互に比較し、各情報が異なれば、エラー情報を出力する。本発明では、２つの独立した通信路１１２、１１４を設けている。このため、通信路１１２あるいは通信路１１４に障害が発生した場合にも、受信部１１６及び１１８のいずれかにより、回転ディスク１２２の回転数を示す情報を取得できる。
【００１５】
検出部ＤＥＴ１の電源端子４２及び検出部ＤＥＴ２の電源端子４４には、互いに独立した電源１０８、１１０がそれぞれ接続される。このため、電源１０８、１１０の一方が遮断されても、検出部ＤＥＴ１、検出部ＤＥＴ２のいずれかは動作可能である。具体的には、電源１０８あるいは電源１１０に障害が発生した場合でも、検出部ＤＥＴ１、検出部ＤＥＴ２のいずれかに電源が供給される。このため、上位システムＳＹＳは、検出部ＤＥＴ１からの回転ディスク１２２の絶対位置を示す情報、絶対位置からの変位を示す情報及び回転数を示す情報、あるいは、検出部ＤＥＴ２からの回転ディスク１２２の回転数を示す情報のいずれかを取得できる。
【００１６】
図２は、回転ディスク１２２に形成されたＭ系列パターン及びインクリメンタルパターンを示している。図２に示すように、Ｍ系列パターン及びインクリメンタルパターンは回転ディスク１２２上に、それぞれ環状に形成されている。Ｍ系列パターンは、連続するＮビット（例えば、９ビット）の符号の組み合わせから生成された（２のＮ乗）通りのアブソリュートパターンを有している。各アブソリュートパターンは、それぞれ回転ディスク１２２の絶対位置を示す情報である。１つのアブソリュートパターンには、第１ビットから第Ｎビットにそれぞれ対応した開口部又は閉口部が単位長さ（１ピッチ）毎に形成されている。
【００１７】
図１に示したフォトダイオード１２は、インクリメンタルパターンの開口部及び閉口部に対向して配置された複数の受光面を有している。フォトダイオード１２は、インクリメンタルパターンの開口部を透過した光を受光し、受光した光を回転ディスク１２２の絶対位置からの変位を示すアナログ信号に光電変換する。
フォトダイオード１４は、Ｍ系列パターンの開口部及び閉口部に対向して配置される。フォトダイオード１４は、ピッチ毎に０°及び９０°の二相の受光面を有している。フォトダイオード１４は、回転ディスク１２２に形成されるＭ系列パターンの開口部を透過した光により得られた光を回転ディスク１２２の絶対位置を示すアナログ信号に光電変換する。フォトダイオード１４は、制御回路を介してアンプ１６に接続される。
【００１８】
図１に示した回転ディスク１２２に固定された永久磁石１２４は、Ｎ極及びＳ極を有する２層の磁性体で構成される。回転ディスク１２２の正回転は、ＭＲ素子２２、２６により検出される。回転ディスク１２２の逆回転は、ＭＲ素子２４、２８により検出される。ＭＲ素子２２、２４、２６、２８は、直列に接続された２つのＭＲ素子をそれぞれ有している。回転ディスク１２２が正回転すると、Ｎ極からＳ極への磁界を受けて、磁界の向きに直交するＭＲ素子の抵抗値が増加する。ＭＲ素子の抵抗値の増加を受けて、ＭＲ素子２２、２６の電圧がそれぞれ減少する。回転ディスク１２２が逆回転すると、Ｎ極からＳ極への磁界を受けて、磁界の向きに直交するＭＲ素子の抵抗値が増加する。ＭＲ素子の抵抗値の増加を受けて、ＭＲ素子２４、２８の電圧がそれぞれ増加する。このようにして、ＭＲ素子２２〜２８は、電位の変化を示す電気信号を回転ディスク１２２の回転数を示す情報として出力する。
【００１９】
コンパレータ３０〜３６は、ＭＲ素子２２〜２８の電位の変化を示す電気信号をそれぞれ受け取る。コンパレータ３０〜３６は、ＭＲ素子２２〜２８からそれぞれ受け取った電気信号に基づいて、二値（”０”または”１”）信号を回転ディスク１２２の回転数を示す情報として生成する。コンパレータ３０及び３２、コンパレータ３４及び３６は、生成した二値信号を回転ディスク１２２の回転数を示す情報として論理回路３８及び４０にそれぞれ出力する。回転ディスク１２２の一回転内における絶対位置を示す情報は、エンコーダシステムの電源投入後のスキャン動作モード中に、Ｍ系列パターンから得られる。
【００２０】
以上、本実施形態では、回転ディスク１２２の回転数を示す情報が、互いに独立した通信路１１２及び１１４を介して、上位システムＳＹＳにて受信される。このため、例えば、検出部ＤＥＴ１、検出部ＤＥＴ２のいずれかに障害が生じた場合にも、回転ディスク１２２の回転数を示す情報を上位システムＳＹＳに確実に伝達できる。産業用ロボット等を制御するための重要な情報である回転数を示す情報は上位システムに確実に伝達されるため、産業用ロボット等を誤動作させることなく最適に制御できる。また、検出部を１つしか持たないエンコーダでは、検出部に障害が生じた場合でもモータを制御する制御部が障害を認識せず、モータを停止させないことがある。これに対して、本実施形態では検出部ＤＥＴ１、検出部ＤＥＴ２のいずれかに障害が生じた場合には、エラー検出部１２０はエラー信号を出力するので、このエラー信号を基にモータを制御する制御部はモータを直ちに停止することができる。
【００２１】
ＭＲ素子２６及び２８、コンパレータ３４及び３６等の磁気装置のみで構成される検出部ＤＥＴ２を用いて回転ディスク１２２の回転数を示す情報を検出することによって、光学装置により回転数を検出する場合に比べて、エンコーダ１００及びエンコーダシステムの消費電力を小さくできる。一般に、ＭＲ素子２６及び２８、コンパレータ３４及び３６等の磁気装置は、光学的な検出装置に比べて低コストで構成できる。したがって、エンコーダ１００及びエンコーダシステムの製造コストを削減できる。
【００２２】
検出部ＤＥＴ１、検出部ＤＥＴ２は電源端子４２、４４をそれぞれ有しており、それぞれ異なる電源１０８、１１０から電源が供給される。このため、電源１０８、１１０の一方が遮断された場合にも、検出部ＤＥＴ１、検出部ＤＥＴ２のいずれか一方を継続して動作できる。この結果、上位システムＳＹＳは、ＤＥＴ１からの回転ディスク１２２の絶対位置を示す情報、絶対位置からの変位を示す情報及び回転数を示す情報、あるいは、ＤＥＴ２からの回転ディスク１２２の回転数を示す情報のいずれかを取得可能である。
【００２３】
図３は本発明のエンコーダ及びエンコーダシステムの第２の実施形態を示している。エンコーダシステムは、エンコーダ２００、回転軸１０２、ＬＥＤ１０４、１０４、電源１０８、１１０、通信路１１２、１１４、上位システムＳＹＳを有している。この実施形態では、検出部ＤＥＴ１は、第１の実施形態と同じ構成である。検出部ＤＥＴ２は、第１の実施形態と異なり、Ｍ系列パターン及びインクリメンタルパターンを検出する光学的な検出手段を有している。すなわち、検出部ＤＥＴ２は、フォトダイオード１２、１４、アンプ１６、Ａ／Ｄ変換器１８、論理回路４６、電源端子４４を有している。上位システムＳＹＳは、受信部１２６、エラー検出部１２８が第１の実施形態と相違する。上位システムＳＹＳの受信部１２６は、通信路１１４を介して論理回路４６に接続される。上位システムＳＹＳのエラー検出部１２８は、受信部１１６、１２６に接続される。エンコーダシステムのその他の構成は、第１の実施形態と同じである。第１の実施形態で説明した要素と同一の要素については、同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００２４】
論理回路４６は、Ａ／Ｄ変換器１８から出力されるデジタル信号に基づいて回転ディスク１２２の絶対位置、絶対位置からの変位を示す情報をそれぞれ生成する。論理回路４６は、通信路１１４を介して、回転ディスク１２２の絶対位置、絶対位置からの変位を示す情報を上位システムＳＹＳの受信部１２６に送信する。
エラー検出部１２８は、受信部１１６、１２６から送信された回転ディスク１２２の絶対位置及び、絶対位置からの変位を示す情報を相互に比較し、各情報が異なれば、エラー情報を出力する。
【００２５】
本発明では、第１の実施形態と同様に、２つの独立した通信路１１２、１１４を設けている。このため、通信路１１２あるいは通信路１１４に障害が発生した場合にも、受信部１１６、１２６のいずれかにより、回転ディスク１２２の絶対位置、絶対位置からの変位を示す情報を取得できる。
検出部ＤＥＴ１の電源端子４２、検出部ＤＥＴ２の電源端子４４は、第１の実施形態と同様に、互いに独立した電源１０８、１１０がそれぞれ接続される。このため、電源１０８、１１０の一方が遮断されても、上位システムＳＹＳは、検出部ＤＥＴ１からの回転ディスク１２２の絶対位置を示す情報、絶対位置からの変位を示す情報及び回転数を示す情報、あるいは、検出部ＤＥＴ２からの回転ディスク１２２の絶対位置を示す情報、絶対位置からの変位を示す情報のいずれかを取得できる。
【００２６】
以上、本実施形態においても、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図４は本発明のエンコーダ及びエンコーダシステムの第３の実施形態を示している。エンコーダシステムは、エンコーダ３００、回転軸１０２、ＬＥＤ１０４、１０４、電源１０８、１１０、通信路１１２、１１４、上位システムＳＹＳを有している。この実施形態では、検出部ＤＥＴ１は第１の実施形態と同じ構成である。検出部ＤＥＴ２（第２の検出部及び出力部）は、第１の実施形態と異なり、検出部ＤＥＴ１と同じ構成である。すなわち、検出部ＤＥＴ２は、フォトダイオード１２、１４、アンプ１６、Ａ／Ｄ変換器１８、ＭＲ素子２２、２４、コンパレータ３０、３２、論理回路３８、電源端子４２を有している。上位システムＳＹＳは、検出部ＤＥＴ１、ＤＥＴ２にそれぞれ対応する受信部１１６とエラー検出部１３２を有している。上位システムＳＹＳのエラー検出部１３２は、２つの受信部１１６に接続される。その他の構成は、第１の実施形態と同じである。第１の実施形態で説明した要素と同一の要素については、詳細な説明を省略する。エラー検出部１３２は、２つの受信部１１６から送信された回転ディスク１２２の絶対位置、絶対位置からの変位及び回転数を示す情報を相互に比較し、各情報が異なれば、エラー情報を出力する。
【００２７】
本発明では、第１の実施形態と同様に、２つの独立した通信路１１２、１１４を設けている。このため、通信路１１２あるいは通信路１１４に障害が発生した場合にも、２つの受信部１１６のいずれかにより、回転ディスク１２２の絶対位置、絶対位置からの変位及び回転数を示す情報を取得できる。
検出部ＤＥＴ１の電源端子４２、検出部ＤＥＴ２の電源端子４２は、第１の実施形態と同様に、互いに独立した電源１０８、１１０がそれぞれ接続される。このため、電源１０８、１１０の一方が遮断されても、上位システムＳＹＳは、検出部ＤＥＴ１からの回転ディスク１２２の絶対位置を示す情報、絶対位置からの変位を示す情報及び回転数を示す情報、あるいは、検出部ＤＥＴ２からの回転ディスク１２２の絶対位置を示す情報、絶対位置からの変位を示す情報及び回転数を示す情報のいずれかを取得できる。
【００２８】
以上、本実施形態においても、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、第１、第２及び第３の実施形態では、回転ディスク１２２に形成される各パターンの開口部を透過した光を９ピッチ毎に受光する例について述べた。本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。例えば、１０ピッチ毎に受光しても良い。この場合、回転ディスク１２２の各位置情報が更に高密度に区分される。この結果、回転ディスク１２２の絶対位置を精密に取得できる。
【００２９】
上述した第１の実施形態では、論理回路３８が回転ディスク１２２の各情報を受信部１１６に伝達する例について述べた。本発明はかかる実施形態に限定されるものではない。例えば、論理回路３８は、Ａ／Ｄ変換部１８、コンパレータ３０、３２からそれぞれ受け取った絶対位置からの変位を示す情報及び回転数を示す情報を比較して、各情報が異なれば、受信部１１６にエラー情報を出力しても良い。この結果、エラー検出部１２０が各情報を受信する前に受信部１１６によってエンコーダ１００及びエンコーダシステムの異常を検知できる。したがって、エンコーダ１００及びエンコーダシステムの異常を早期に検知できる。
【００３０】
同様に、第２の実施形態において、論理回路８６は、Ａ／Ｄ変換部１８、コンパレータ３０、３２からそれぞれ受け取った絶対位置からの変位を示す情報及び回転数を示す情報を比較して、各情報が異なれば、受信部１１６にエラー情報を出力しても良い。上述した第３の実施形態において、各論理回路３８は、各Ａ／Ｄ変換部１８及び、各コンパレータ３０、３２からそれぞれ受け取った絶対位置からの変位を示す情報及び回転数を示す情報を比較して、各情報が異なれば、各受信部１１６にエラー情報をそれぞれ出力しても良い。
【００３１】
以上、本発明について詳細に説明してきたが、上記の実施形態及びその変形例は発明の一例に過ぎず、本発明はこれに限定されるものではない。本発明を逸脱しない範囲で変形可能であることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明のエンコーダ及びエンコーダシステムの第１の実施形態を示すブロック図である。
【図２】Ｍ系列パターン及びインクリメンタルパターンの説明図である。
【図３】本発明のエンコーダ及びエンコーダシステムの第２の実施形態を示すブロック図である。
【図４】本発明のエンコーダ及びエンコーダシステムの第３の実施形態を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００３３】
１２、１４  フォトダイオード
１６  アンプ
１８  Ａ／Ｄ変換器
２２、２４、２６、２８  ＭＲ素子
３０、３２、３４、３６  コンパレータ
３８、４０、４６  論理回路
４２、４４  電源端子
１００  エンコーダ
１０２  回転軸
１０４  ＬＥＤ
１０８、１１０  電源
１１２、１１４  通信路
１１６、１１８、１２６  受信部
１２０、１２８、１３２  エラー検出部
１２２  回転ディスク
１２４  永久磁石
２００  エンコーダ
３００  エンコーダ                                                                               
【図１】
2006153472.tif 000003
【図２】
2006153472.tif 000004
【図３】
2006153472.tif 000005
【図４】
2006153472.tif 000006