(57)【要約】      （修正有）【課題】ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれにより応力が増大して、ソルダーボールに亀裂が発生する現象を防ぐことのできるフリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造を提供する。【解決手段】複数リードを具えるベースと、該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、該第一弾性誘電層上に形成され、該第一誘電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一弾性誘電層上の一部に付着する導電層と、該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含んでなるパッケージ構造。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数リードを具えるベースと、
該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、
フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、
該第一弾性誘電層上に形成され、該第一誘電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一弾性誘電層上の一部に付着する導電層と、
該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含むことを特徴とするパッケージ構造。
【請求項２】
前記パッケージ構造が、さらに該複数のリードに電気的にカップリングするハンダボールを具えるプリント回路ボードを含むことを特徴とする請求項１に記載のパッケージ構造。
【請求項３】
前記パッケージシステムが、該複数のソルダーバンプの間に形成される充填物を更に含むことを特徴とする請求項２に記載のパッケージ構造。
【請求項４】
前記ソルダーバンプを該ベースに設けた場合、該パッケージ構造の固定領域における該導電層が、該チップのボンディングパッド上の力を直接受けることないように、該屈折した導電パターンを該パッケージ構造の緩衝物として応力を吸収するように構成することを特徴とする請求項１に記載のパッケージ構造。
【請求項５】
前記パターン化された第一弾性誘電層と該導電層との間に、パターン化された第三絶縁層を形成し、該第三絶縁層の材質がＢＣＢか、シリカゲルか、エポキシ化物か、ポリイミド、もしくは樹脂から選択されることを特徴とする請求項１に記載のパッケージ構造。
【請求項６】
前記第一弾性誘電層と、第二誘電層の材質がＢＣＢか、シリカゲルか、エポキシ化物か、ポリイミド、もしくは樹脂から選択されることを特徴とする請求項１に記載のパッケージ構造。
【請求項７】
前記導電層の材質が金属の合金であって、該金属の合金がスパッタリングで形成されるチタン銅（Ｔｉ／Ｃｕ）合金か、もしくは電気メッキで形成される銅ニッケル金（Ｃｕ／Ｎｉ／Ａｕ）合金であり、且つ該金属合金の厚さが１０μｍから２０μｍであることを特徴とする請求項１に記載のパッケージ構造。
【請求項８】
前記パッケージ構造がウェハレベルパッケージの構造であって、該屈折した導電層パターンが、該ボンディングパッドから該ソルダーバンプ下のソルダーパッドに延伸し、且つ線と半径方向との間に形成される夾角が４５°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向であることを特徴とする請求項１に記載のパッケージ構造。
【請求項９】
前記第一弾性誘電層自身の作用と、該第一弾性誘電層、該第二弾性誘電層と、該導電層との間の比較的弱い付着力によって、該ベースの熱膨張が該チップの熱膨張より高くなった場合、該ソルダーバンプが持ち上げられて亀裂が発生しないように構成することを特徴とする請求項８に記載のパッケージ構造。
【請求項１０】
ダイ上に形成される複数のボンディングパッドと、
該ダイ上に設けられリードによって該複数のボンディングパッドに接続する複数の金属バンプと、を含むパッケージ構造における導電バンプの配置方法であって、
線と半径方向との間に形成される夾角が４５°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向であることを特徴とするパッケージ構造における導電バンプの配置方法。
【請求項１１】
前記リードが、該ボンディングパッドから該金属バンプ下のパッドに延伸することを特徴とする請求項１０に記載のパッケージ構造における導電バンプの配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はウェハのパッケージ技術に関し、特にフリップチップ・ボールグリッドアレイ（FCBGA）パッケージ構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
初期のボンディング技術はターミナル密度が極端に高くなり、且つ技術的に更に進歩した半導体結晶には適さない。このため新規なボールグリッドアレイ（EGA）が既に開発され、進歩した半導体結晶のパッケージに係るニーズを満たしている。ボールグリッドアレイパッケージの特徴は、球形のターミナルを具えているという点にあり、球形のターミナルはボンディングによるパッケージに比してピッチが狭い。しかも、係るターミナルは損傷を受けにくく、変形しにくい。また、信号送信距離が短いため操作の頻度を高めることができ、より速く効率的な操作を求めるニーズに符合する。
【０００３】
パッケージ技術のほとんどは、ウェハ上のダイを分割して個別のダイとし、更にこれら個別のダイにパッケージとテストを行う。別途ウェハレベルパッケージ（WLP）と称するパッケージ技術は、個別のダイに分割する前にウェハ上のダイにパッケージを行う。係るウェハレベルパッケージは、例えば生産周期が短く低価格で、且つ充填物（ｕｎｄｅｒ−ｆｉｌｌ）、もしくはモールディングを必要としない等といった特徴を有する。
【０００４】
目下、市場に見られるパッケージの部分の構造は、図１に開示するように絶縁層１０３と、集積回路素子１００の保護層１０２とを含んでなる。絶縁層１０３の材質は厚さ約５μｍのＢＣＢ、ポリイミド等の誘電材であって、保護層１０２はポリイミドか、もしくは窒化シリコン（ＳｉＮ）等を材質とする。また、再配置する導電層（ｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｌａｙｅｒ：ＲＤＬ）１０４を、該絶縁層１０３、集積回路素子のアルミボンディングパッド１０１とを結合させる。該導電層１０４は、厚さ約１５μｍの銅、ニッケル、金（Ｃｕ／Ｎｉ／Ａｕ）合金を材質とする。また、絶縁層１０５によって導電層１０４を被覆し、絶縁層１０５には複数の開口を形成し、それぞれの開口にソルダーボール１０６を設け、プリント回路ボードか、もしくは外部接続装置と電気的に接続する。絶縁層１０５はＢＣＢ、エポキシ化物、樹脂、もしくはポリイミド等の誘電材を材質とする。
【０００５】
上述する従来のパッケージ構造は、最上層の材料によってソルダーボール１０６の固定を強める。但し、導電層１０４と、絶縁層１０３の結合の強度が強すぎると、かえってマイナスの効果が発生する。即ちソルダーボール１０６と、プリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって応力が発生すると負荷領域１０７においてソルダーボール１０６と、導電層１０４との接合部では温度の変化によって発生する位置のずれの力が大きくなり、ソルダーボール１０６とボンディングパッドとの間に亀裂が発生し、オープンサーキットが発生する。係るパッケージ構造の欠点について改善が望まれている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明は、ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれにより応力が増大して、ソルダーボールに亀裂が発生する現象を防ぐことのできるフリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで本発明者は、従来の技術に鑑み鋭意研究を重ねた結果、複数リードを具えるベースと、該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、該第一性誘電層上に形成され、該第一電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一性誘電層上の一部に付着する導電層と、該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含んでなるパッケージ構造によって課題を解決できる点に着眼し、係る知見に基づき本発明を完成させた。
以下、この発明について具体的に説明する。
【０００８】
請求項１に記載するパッケージ構造は、複数リードを具えるベースと、
該リードに電気的に接続する複数のソルダーバンプと、
フリップチップ上の保護層の一部領域を被覆するパターン化された第一弾性誘電層と、
該第一弾性誘電層上に形成され、該第一誘電層のパターンによって発生する屈折したパターンを具え、かつ該屈折したパターンが保護層上と、該パターン化された第一弾性誘電層上の一部に付着する導電層と、
該誘電層を被覆、かつ複数の開口を形成し、該開口に該複数のリードにカップリングする複数のソルダーバンプを設ける第二弾性誘電層と、を含む。
【０００９】
請求項２に記載するパッケージ構造は、請求項１におけるパッケージ構造が、さらに該複数のリードに電気的にカップリングするハンダボールを具えるプリント回路ボードを含む。
【００１０】
請求項３に記載するパッケージ構造は、請求項２におけるパッケージシステムが、該複数のソルダーバンプの間に形成される充填物を更に含む。
【００１１】
請求項４に記載するパッケージ構造は、請求項１におけるソルダーバンプを該ベースに設けた場合、該パッケージ構造の固定領域における該導電層が、該チップのボンディングパッド上の力を直接受けることないように、該屈折した導電パターンを該パッケージ構造の緩衝物として応力を吸収するように構成する。
【００１２】
請求項５に記載するパッケージ構造は、請求項１におけるパターン化された第一弾性誘電層と該導電層との間に、パターン化された第三絶縁層を形成し、該第三絶縁層の材質がＢＣＢか、シリカゲルか、エポキシ化物か、ポリイミド、もしくは樹脂から選択される。
【００１３】
請求項６に記載するパッケージ構造は、請求項１における第一弾性誘電層と第二誘電層の材質が、ＢＣＢか、シリカゲルか、エポキシ化物か、ポリイミド、もしくは樹脂から選択される。
【００１４】
請求項７に記載するパッケージ構造は、請求項１における導電層の材質が金属の合金であって、該金属の合金がスパッタリングで形成されるチタン銅（Ｔｉ／Ｃｕ）合金か、もしくは電気メッキで形成される銅ニッケル金（Ｃｕ／Ｎｉ／Ａｕ）合金であり、且つ該金属合金の厚さが１０μｍから２０μｍである。
【００１５】
請求項８に記載するパッケージ構造は、請求項１におけるパッケージ構造がウェハレベルパッケージの構造であって、該屈折した導電層パターンが、該ボンディングパッドから該ソルダーバンプ下のソルダーパッドに延伸し、且つ線と半径方向との間に形成される夾角が４５°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向である。
【００１６】
請求項９に記載するパッケージ構造は、請求項８における第一弾性誘電層自身の作用と、該第一弾性誘電層、該第二弾性誘電層と、該導電層との間の比較的弱い付着力によって、該ベースの熱膨張が該チップの熱膨張より高くなった場合、該ソルダーバンプが持ち上げられて亀裂が発生しないように構成する。
【００１７】
請求項１０に記載するパッケージ構造はにおけるバンプの配置方法は、ダイ上に形成される複数のボンディングパッドと、
該ダイ上に設けられリードによって該複数のボンディングパッドに接続する複数の金属バンプと、を含むパッケージ構造における導電バンプの配置方法であって、
線と半径方向との間に形成される夾角が４５°より大きく、該線が該チップの中心から該ソルダーバンプの中心に至る線であって、該半径方向が該ソルダーバンプの中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向である。
【００１８】
請求項１１に記載するパッケージ構造における導電バンプの配置方法は、請求項１０におけるリードが、該ボンディングパッドから該金属バンプ下のパッドに延伸する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のパッケージ構造は、ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれにより応力が増大して、ソルダーボールに亀裂が発生する現象を防ぐことのでき、ソルダーボールの使用寿命を長くすることができるとともに、余剰の材料によってソルダーボールの固定を強める必要がないため、製造コストを節減し、且つ製造工程を簡易化できるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
この発明は、フリップチップ・ボールグリッドアレイ（ＦＣＢＧＡ）パッケージ構造を提供するものであって、ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれによる応力（ｅｎｆｏｒｃｉｎｇ  ｓｔｒｅｓｓ）が増強し、ハンダボールの亀裂を招き、オープンサーキットが発生することを防ぐという目的を、実現した。
【００２１】
この発明に開示するフリップチップ・ボールグリッドアレイパッケージの構造は、複数のソルダーバンプを具えるフリップチップソルダーボールの構造を含んでなり、ベースに複数のリードを具え、該複数のソルダーバンプと電気的にカップリングする。プリント回路ボードは複数のソルダーボールを具え、該複数のリードと電気的にカップリングする。
【００２２】
上述するフリップチップは集積回路であってもよい。
【００２３】
上述するフリップチップパッケージの構造は、ダイと、その上に形成されるソルダーバンプと、パターン化された第一弾性誘電層と、導電層と、及びパターン化された第二弾性導電層を含み、該パターン化された第一弾性誘電層は、集積回路の保護層上に形成される。該導電層は、該集積回路素子の保護層とボンディングパッド上に形成され、パターン化された第一弾性誘電層のパターンに基づき発生する湾曲、屈折した導電層パターンを具える。屈折した導電層パターンは、一部が保護層の上に付着し、また、一部が図案化した第一弾性誘電層上に付着する。該第二弾性誘電層は、該導電層上に形成され、該第二弾性誘電層は複数の開口を具える。該複数のソルダーバンプは該開口に形成され、複数のリードとカップリングする。
【００２４】
該ソルダーバンプをベース上に設けると、該導電層はチップのボンディングパッド上から直接力を受けない。該第一、第二弾性誘電層と導電層との間の比較的弱い付着力によって、該屈折した導電層パターンに緩衝パッドに類似する緩衝領域が発生して応力を吸収する。
【００２５】
該屈折した導電層パターンは、ボンディングパッドからソルダーバンプ下のソルダーパッドに至る。
【００２６】
上述する第一、第二弾性誘電層自身の作用、及び第一、第二誘電層、及び導電層との間の比較的弱い付着力によって、ベースの熱膨張がチップの熱膨張より高くなった場合、該ソルダーバンプは持ち上げられるため亀裂が発生しない。
【００２７】
また、この発明はパッケージ構造の導電バンプの配置方法を提供する。係る配置方法は、ダイ上に形成される複数のボンディングパッドと、該ダイ上に形成されリードによって該複数のボンディングパッドに接続する複数の金属バンプと、を含んでなり、且つ線と半径方向との間に形成される夾角が４５°より大きく、該線は該チップの中心から該金属バンプの中心に至る線であって、該半径方向は該金属の中心から該屈折した導電層パターンに至り、該ソルダーバンプから離れる方向である。また、該リードは、該ボンディングパッドから該金属バンプ下のパッドに延伸する。
係る構成のパッケージ構造の構造と特徴を詳述するために具体的な実施例を挙げ、以下に説明する。
【実施例１】
【００２８】
図２にこの発明によるパッケージ構造を開示する。図面においてはパッケージ構造について説明しているが、これは本発明の実施の範囲を限定するものではない。この発明は素子２００の保護層２０２の一部領域を被覆する弾性誘電層２０３を含む。弾性誘電層２０３は、例えばＢＣＢ、シリカゲル、エポキシ化物、ポリイミド、もしくは樹脂等の誘電材質によって形成する。該パターン化した弾性誘電層２０３は、ベース層である保護層２０２を露出させる複数の開口を具える。該パターン化された弾性誘電層２０３と保護層２０２の領域に形成される荷重領域２０７は、図２に開示するように外部からの力の影響を受ける領域である。保護層２０２の材質はポリイミド、もしくは窒化珪素などの材質を含む。
【００２９】
再配置する導電層（ｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｌａｙｅｒ：ＲＤＬ）２０４は、パターン化された弾性誘電層２０３上に形成され、パターン化された弾性誘電層２０３に基づき少なくとも一以上の屈折、もしくは湾曲した導電層パターンを発生させる。実施例において導電層２０４は、厚さを１０〜２０μｍ、好ましくは１５μｍのチタン銅（Ｔｉ／Ｃｕ）合金か、もしくは銅ニッケル金（Ｃｕ／Ｎｉ／Ａｕ）合金等の導電材質によって形成される。チタン銅合金はスパッタリングで形成し、銅ニッケル金合金は電気メッキで形成する。ボンディングパッド２０１は、例えばアルミ（Ａｌ）、もしくは銅（Ｃｕ）等の導電材質で形成する。
【００３０】
また、パターン化された弾性誘電層２０５を導電層２０４上に形成する。パターン化された弾性誘電層２０５は複数の開口を具え、それぞれの開口にはコンタクト金属ボールを設け、該コンタクト金属ボールによってプリント回路ボード（ＰＣＢ）、もしくは外部接続装置（図示しない）に電気的に接続する。コンタクト金属ボールは、例えば図面に開示するソルダーボール２０６である。パターン化された弾性誘電層２０５はＢＣＢ、シリカゲル、エポキシ化物、ポリイミド、もしくは樹脂等の誘電材質によって形成する。
【００３１】
この発明に開示するパッケージ構造のレイアウトは、上述する保護層２０２が導電層２０４を緊密に捕らえる。よって、隣接するパッケージ構造の固定領域２１０における導電層２０４は集積回路素子２００のインターコネクターのボンディングパッド２０１からの力を直接受けることがない。ソルダーボール２０６がプリント回路ボードに付着すると、熱応力が発生する恐れがある。但し、上述する通り導電層２０４が保護層２０２に直接隣り合うため、温度の影響が低減する。
【００３２】
また、パッケージ構造の緩衝領域２０９において導電層２０４が、保護層２０２の上面と部分的に付着する弾性誘電層２０３上に部分的に付着する。このため導電層２０４は彎曲したパターンを形成する。導電層２０４のパターンと、彎曲した構造によって導電層２０４は熱応力を解放する緩衝物としての作用を有する。従って温度の変化によって発生する応力が分散される。導電層２０４と弾性誘電層２０３との間の結合性は好ましくない。外部からの力を受けると導電層２０４は弾性誘電層２０３の表面において軽微な剥離が発生する。但し、屈折したレイアウトの彎曲導電層パターンによって導電層の展開性が増加するため、軽微な剥離によって熱応力を吸収する。このため、上述する構造は特にボンディングパッドから離れたソルダーボール２０６使用寿命が長くなる。
【００３３】
上述する導電層２０４の屈折構造は、ボンディングパッド２０１からソルダーボール２０６下のソルダーパッドに延伸する。実施例において線と半径方向（ｒａｄｉｕｓｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ）との間に形成される夾角φは４５°より大きくなる。図３に開示するように該線はチップの中心ＣＩからソルダーボール２０６の中心Ｃ２に至り、半径方向はソルダーボール２０６の中心Ｃ２から屈折構造の導電層２０４に至り、ソルダーボール２０６から離れる方向である。第一と第二の弾性誘電層である弾性誘電層２０３、２０５自身の作用、及び誘電層２０３、２０５と、導電層２０４との間の付着力が弱いことによってベースの熱膨張がフリップチップの熱膨張より高くなった場合、ソルダーボール２０６は持ち上げられてクラックが発生しない。ソルダーボール２０６からリードに至り延伸する角度と、その配置する形状によって充填物質（ｕｎｄｅｒ−ｆｕｌｌｍａｔｅｒｉａｌ）を省くことができる。従って係るレイアウトによって製造コストを節減し、製造工程を簡略化することができる。
【００３４】
図３に開示する平面図によれば、ボンディングパッドはソルダーパッドのソルダーボールＡ１３に延伸し、Ｘ／Ｙ方向（紙面）のリードは既に修正されている。ベースの熱膨張がフリップチップの熱膨張より高くなると、弾性誘電層材料の弾性と、高い展開性の作用、及び金属とシリカゲルとの間の付着力の弱さによってソルダーボールＡ１３が持ち上げられ、接合の個所にクラックが発生しない。
【００３５】
この発明はパターン化された弾性誘電層２０８を含む。該弾性誘電層２０８は弾性誘電層２０３と導電層２０４との間に形成され、ソルダーボール下の導電層の屈折の程度（即ち上述する屈折形状の数量を増加させる）を高める。弾性誘電層２０８はＢＣＢ、シリカゲル、エポキシ化物、ポリイミド、もしくは樹脂等の誘電材質によって形成する。
【００３６】
図４にこの発明によるフリップチップ・ボールグリッドアレイパッケージの他の形態による構造を開示する。図面によれば図２に開示するパッケージ構造に類似し、充填物質４０４をチップ４００上の複数のソルダーバンプ４０２の間に充填する。再配置する導電層４０１は、彎曲、もしくは屈折した導電層パターンを具え、ソルダーバンプ４０２と電気的にカップリングする。弾性誘電層４０３は導電層４０１を隔離するために形成する。ベース４０５のリード４０８と、コンタクトパッド４０７は、ソルダーバンプ４０２とソルダーボール４０６とにそれぞれ電気的にカップリングする。また、ベース４０５上に形成されるソルダーボール４０６はプリント回路ボードか、もしくは外部接続装置に電気的にカップリングする。
【００３７】
図５に他の形態のフリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造を開示する。図面に開示するフリップチップ・ボールグリッドアレイパッケージ構造は、図２に開示するパッケージ構造と同様に充填物質を省略する。即ち、チップ５００上の複数のソルダーバンプ５０２の間を充填する必要がない。再配置する導電層５０１は、湾曲、もしくは屈折する導電層パターンを具え、ソルダーバンプ５０２と電気的にカップリングする。ベース５０３のコンタクト５０４、５０５はソルダーバンプ５０２とソルダーボール５０６とにそれぞれ電気的に接続する。ベース５０３上に形成するソルダーボール５０６は、ソルダーボール５０６とカップリングするコンタクト５０８を介してプリント回路ボード５０７に電気的に接続する。
【００３８】
この発明によるパッケージ構造は、フリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造であって、ソルダーボールとプリント回路ボードとを結合した後、温度の変化によって発生する位置のずれの応力が増大し、ソルダーボールに亀裂とオープンサーキットが発生する状況を改善することができる。また、余剰の材料によって、ソルダーボールの固定を増強する必要がない。
【００３９】
以上はこの発明の好ましい実施例であって、この発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、この発明の精神の下においてなされ、この発明に対して均等の効果を有するものは、いずれも本発明の特許請求の範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】従来のウェハレベルパッケージ構造説明図である。
【図２】この発明によるパッケージ構造の説明図である。
【図３】この発明のウェハレベルパッケージ構造におけるチップの導電層パターンと、ソルダーバンプとの関係を示した平面説明図である。
【図４】この発明によるフリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造の説明図である。
【図５】他の形態によるフリップチップボールグリッドアレイパッケージ構造の説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
５００             チップ
５０１             誘電層
５０２             ソルダーバンプ
５０３             ベース
５０４、５０５、５０８           コンタクト
５０６             ソルダーボール
５０７             プリント回路ボード
【図１】
2006148037.tif 000003
【図２】
2006148037.tif 000004
【図３】
2006148037.tif 000005
【図４】
2006148037.tif 000006
【図５】
2006148037.tif 000007