(57)【要約】【課題】  簡素な光学系で複数色の光を出射可能な装置を得る。【解決手段】  発光装置２において、遮光膜２０は、各画素に対応した凹部を有する。複数の発光素子３２、３４、３６、例えば色の３原色Ｒ、Ｇ、Ｂの発光素子は、各凹部に埋設される。発光素子３２、３４、３６には、ＬＥＤや有機ＥＬ素子を用いることができる。カソード３８は、各発光素子３２、３４、３６に電源を供給する。透明の絶縁膜４０は、複数の発光素子および電極を凹部に封止する。遮光膜２０を導電性材で形成し、グランド側の共通電極とする。複数の発光素子３２、３４、３６は、各凹部内において光の照射方向に沿って設置される。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各画素に対応した凹部を有する遮光膜と、
各凹部に埋設される複数の発光素子と、
前記複数の発光素子を前記凹部に封止する透明絶縁膜と、
を備えることを特徴とする発光装置。
【請求項２】
各画素に対応した凹部を有する遮光膜と、
各凹部に埋設される複数の発光素子と、
各発光素子に電源を供給する電極と、
前記複数の発光素子および前記電極を、前記凹部に封止する透明絶縁膜と、を備え、
前記遮光膜を導電性材で形成し、グランド側の共通電極とすることを特徴とする発光装置。
【請求項３】
前記複数の発光素子は、前記凹部内において光の照射方向に沿って設置されることを特徴とする請求項１または２に記載の発光装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の発光装置と、
前記発光装置からの光の透過率を、前記画素ごとに制御する液晶パネルと、を備えることを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶プロジェクタ等の光源に利用可能な発光装置、およびそれを用いた表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶プロジェクタが普及してきている。液晶プロジェクタは、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）プロジェクタより小型化、軽量化することができ、持ち運び可能なタイプも実用化されている。特許文献１の図１には、赤、緑、青（以下、Ｒ、Ｇ、Ｂと表記する。）ごとに光学系、液晶パネルを備えた液晶プロジェクタが開示されている。
【０００３】
また、特許文献１の図５５には、３つの半導体レーザが時分割に順次点灯し、液晶パネルがこれら時分割された点灯に同期して発生された光を変調する表示装置を開示する。
【特許文献１】国際公開第９９／４９３５８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１の図５５に開示された表示装置は、平行光線に変換するためのアレイレンズ、輝度分布を均一化するための変形曲面レンズが必要であり、部品点数が多くなり、複雑な光学系が必要となる。また、光源となる半導体レーザが１画素ごとに３つ、表示面と平行に並べて配置されているため、高解像度化することが難しかった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、簡素な光学系で複数色の光を照射可能な発光装置およびそれを用いた表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある態様の発光装置は、各画素に対応した凹部を有する遮光膜と、各凹部に埋設される複数の発光素子と、複数の発光素子を凹部に封止する透明絶縁膜と、を備える。「発光素子」にＬＥＤまたは有機ＥＬ素子を用いてもよい。「複数の発光素子」はＲ、Ｇ、Ｂの発光素子であってもよく、それらを高速に、例えば人間の視覚時間分解能を超える速度で、循環点灯させてもよい。
【０００７】
この態様によると、各画素ごとに複数色の光を出射することができる。また、各画素が遮光膜により仕切られているため、複雑な光学系を用いずとも画素同士の光の混じり合いを抑制することができる。
【０００８】
本発明の別の態様もまた、発光装置である。この装置は、各画素に対応した凹部を有する遮光膜と、各凹部に埋設される複数の発光素子と、各発光素子に電源を供給する電極と、複数の発光素子および電極を、凹部に封止する透明絶縁膜と、を備え、遮光膜を導電性材で形成し、グランド側の共通電極とする。「電極」は透明なインジウム酸化スズ（Indium Tin Oxide:ＩＴＯ）で構成してもよい。
【０００９】
この態様によると、各画素ごとに複数色の光を出射することができる。また、遮光膜をグランドにしているため、配線を簡素化することができる。
【００１０】
複数の発光素子は、凹部内において光の照射方向に沿って設置されてもよい。これによれば、各画素の面積を小さくすることができ、高解像度の画像に対応することができる。
【００１１】
本発明の別の態様は、表示装置である。この装置は、上述した態様の発光装置と、発光装置からの光の透過率を、画素ごとに制御する液晶パネルと、を備える。「液晶」に強誘電性液晶または半強誘電性液晶を用いてもよい。「透過率」は、０％即ち遮光状態も含む。
【００１２】
この態様によると、異なる色の発光素子を循環点灯させ、ある程度高速に、例えば人間の視覚時間分解能を超える速度で、単色光を画素ごとに異なる透過率で透過させ、画像を得ることができることから、高色純度の画像を得ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、簡素な光学系で複数色の光を出射可能な装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明に係る表示装置１の側面の断面図である。表示装置１は、発光装置２、液晶パネル１０を含む。発光装置２は、主に、遮光膜２０、第１発光素子３２、第２発光素子３４、第３発光素子３６、および絶縁膜４０から生成される。遮光膜２０は、タングステンＷ、シリコンタングステンＷＳｉ、銅Ｃｕ、アルミＡｌまたはチタンＴｉなどで形成され、第１発光素子３２、第２発光素子３４、および第３発光素子３６のグランド側の共通電極として利用される。遮光膜２０は、スパッタリング法により成膜することができる。また、タングステンＷなどを用いる場合、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法により成膜してもよい。
【００１５】
遮光膜２０には、画素ごとに凹部が設けられる。この各凹部には、第１発光素子３２、第２発光素子３４、および第３発光素子３６が埋設される。第１発光素子３２、第２発光素子３４、および第３発光素子３６は、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色に対応している。これら発光素子３２、２４、３６には、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）を用いることができる。ＬＥＤを使用することにより、低消費電力化を図ることができる。さらに、発熱を抑えることができ、ファンなどの冷却機構の削減につながり、小型化、低騒音化することができる。寿命も半永久的である。
【００１６】
３原色の発光素子３２、３４、３６は、上記凹部内にそれぞれ任意の位置に配置することができる。仕様の適合しない発光素子同士でも、表示面に対する各発光素子の距離を調整することにより、輝度を調整することができる。図１では、凹部内での３原色の発光素子３２、３４、３６を表示面に対して、垂直の方向に並べて配置している。表示面に対して垂直方向に、直線的に並べるほど、１つの画素を小さくすることができ、高解像度化することができる。
【００１７】
上記凹部のそれぞれに埋設された３原色の発光素子３２、３４、３６には、図示しない電極が設けられる。表示面に対して後方の発光素子３４、３６からの出射光を遮る位置に電極を設ける場合、透明の電極とするとよい。上記３原色の発光素子３２、３４、３６に電極が設けられた後、上記凹部を埋めるために、絶縁膜４０を各凹部内に成膜する。絶縁膜４０は、透明のシリコン酸化ＳｉＯ２膜を用いるとよい。シリコン酸化ＳｉＯ２膜は、プラズマＣＶＤ法などで成膜することができる。
【００１８】
液晶パネル１０は、発光装置２からの光を所定の透過率で透過して、画像を表示する。液晶パネル１０は、一般的なＴＮ(Twisted Nematic)液晶を用いてもよいが、強誘電性液晶を用いるとよい。一般的な強誘電性液晶の応答時間は、十〜数百［ｕｓ］であるが、中には数百［ｎｓ］のものも開発されている。なお、表示装置１の詳細な動作は後述するが、表示装置１は、Ｒ、Ｇ、Ｂ単色表示を高速で切り替えて、人間の脳の中で３色合成させるものであるため、高速応答の液晶を用いたほうが精度のよい画像を生成することができる。ただ、５［ｍｓ］程度の応答時間があれば、人間の視覚時間分解能を超えるので、３色が合成された画像に見える。
【００１９】
液晶パネル１０は、データ線と走査線とがマトリクス状に配され、それらに囲まれた領域が画素に対応する。この画素は、発光装置２の画素に対応する。液晶パネル１０は、パッシプマトリクス駆動またはアクティブマトリクス駆動により上記データ線と走査線が制御され、画素ごとに液晶の分子配向が制御される。この分子配向により、発光装置２からの光を画素ごとに透過率を変えて透過し、画像を生成する。アクティブマトリクス駆動の場合、各画素のスイッチング素子として、薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：ＴＦＴ）を用いてもよい。
【００２０】
図２は、本発明に係る発光装置２の正面の断面図である。正面から見ると、遮光膜２０は、格子状の凹部が１画素に対応して形成されていることがよく分かる。上述したように、凹部内に３原色の発光素子３２、３４、３６を任意に配置することができる。図２の１番左上の画素は、図１に示したように表示面に対して垂直方向に、第１発光素子３２、第２発光素子３４、第３発光素子３６の順で配置した例である。ただし、遮光膜２０の同一面上に配置しながらも、同一直線上に配置したのではなく、同一直線上に重ならないように配置している。第１発光素子３２、第２発光素子３４の大きさや種類によっては、表示面から離れている第２発光素子３４、第３発光素子３６の出射光を遮ってしまい、無視できない程度の光損失が発生してしまう場合がある。その場合、このような配置にすれば、光損失を低減することができる。
【００２１】
上記画素の一つ右の画素は、図１に示したように表示面に対して垂直方向の同一直線上に第１発光素子３２、第２発光素子３４、第３発光素子３６の順で配置した例である。第１発光素子３２、第２発光素子３４の大きさが十分小さい、または第１発光素子３２、第２発光素子３４自体が透明である場合、上記同一直線上に配置するとよい。その場合、画素の大きさを最も小さくすることができ、高解像度化することができる。
【００２２】
さらに、上記画素の一つ右の画素は、その凹部の底面に３原色の発光素子３２、３４、３６を配置した例である。このように表示面に対向した同一面上にそれらを配置した場合でも、遮光膜２０により画素ごとに仕切られているため、画素間における光の混合などを防止することができる。
【００２３】
図３は、本発明に係る有機ＥＬ（ElectroLuminescent）を用いた発光装置２の側面の断面図である。図１の発光装置２では、発光素子３２、３４、３６としてＬＥＤを用いる例を説明した。この点、図３の発光装置２では、発光素子３２、３４、３６として有機ＥＬ素子を用いる例を説明する。有機ＥＬ素子は、カソードおよびアノードからそれぞれ電子とホールとを発光層に注入し、それらが発光層とホール輸送層との界面や、界面付近の発光層内部で再結合し、有機分子を励起状態にし、この有機分子が励起状態から基底状態に戻るとき蛍光を発光する。発光層に用いる材料を選択することにより適当な色を発光する有機ＥＬ素子が得られる。有機ＥＬ素子は一般に水分子や酸素分子に影響されやすいため、真空蒸着法により形成するとよい。
【００２４】
図３にて、共通のアノードとして遮光膜２０を使用した場合、有機層（図３〜図５では発光素子３２、３４、３６に対応するものとする。）を挟んで対向する位置にカソード３８を設ける。カソード３８は、ＩＴＯで形成される透明電極である。有機層は、ホール輸送層、発光層、電子輸送層がこの順番で下から積層形成された構造を持つ。有機層の膜厚は、０．２［μｍ］程度が好ましい。
【００２５】
絶縁膜４２は、透明のＳｉＯ２膜などを用い、遮光膜２０上に形成された有機層の周囲に成膜される。そして、この絶縁膜４２と各有機層の上にＩＴＯを用いたカソード３８がそれぞれ形成される。ＩＴＯの膜厚は、１０００オングストローム程度が好ましい。上下左右の凹部と絶縁するために、各凹部内のスペースに絶縁膜４０を成膜し、各凹部の発光素子３２、３４、３６およびカソード３８を封止する。
【００２６】
図４は、本発明に係る有機ＥＬを用いた発光装置２の上面の断面図である。図４において、絶縁膜４０、４２、有機層を積層している部分以外の遮光膜２０を省略している。図中の矢印は、光の照射方向を示す。カソード３８に用いられているＩＴＯは、凹部の底面方向に配線されている。３原色に対応する３つの有機層が異なる電源供給線により、各々独立に制御されることが分かる。
【００２７】
図５は、本発明に係る有機ＥＬを用いた発光装置２の正面の断面図である。各画素に対応する凹部内において、３つの発光素子３２、３４、３６が光の照射方向に対して同一直線上に配置されている。絶縁膜４２は、各有機層の周囲に形成され、各有機層を保護する。有機層の上にＩＴＯが形成される。この状態において、各凹部は絶縁膜４０により封止され、各画素間が絶縁される。
【００２８】
図３〜図５に示した発光装置２が一般的なプロセス技術により、製造可能なことは当業者に理解されるところである。例えば、マトリクスの１行分の画素を生成し、それをマトリクスの列数分積層していけばよい。例えば、以下のように製造することができる。まず、基板にスパッタリング法などにより遮光膜２０を成膜し、適宜、エッチングして隣の画素とのしきいや、有機層の台を生成する。また、照射方向に対して背面を遮光膜２０で閉じた状態にするため、遮光膜２０にマスクパターンを生成する際、当該背面を形成する部分がより成長するよう、マスクパターンを生成してもよい。また、その部分を独立に成膜してもよい。
【００２９】
次に、それぞれの有機層が積層される位置の周囲に、ＣＶＤ法などによりＳｉＯ２膜を成膜し、それぞれのＳｉＯ２膜の中に真空蒸着法などにより有機層を形成する。このＳｉＯ２膜により有機層を保護することができる。次に、有機層およびＳｉＯ２膜の上にＩＴＯをスパッタリング法などにより成膜する。最後に、各画素に割り当てられたスペースにＣＶＤ法などによりＳｉＯ２膜を成膜し、各画素の有機層およびＩＴＯを封止する。これらの工程により、１行の画素を生成することができる。この工程をマトリクスの列数分、繰り返す。
【００３０】
そして、背面の遮光膜２０に配線用の孔を空ける。各有機層のＩＴＯからの配線は、背面の遮光膜２０に空けられた孔から、絶縁させながら外部に出せばよい。これらの配線は、Ｒ、Ｇ、Ｂごとに３系統に統合され、３種の電源と後述する発光制御部６０により制御される。このようにして、発光装置２を製造することができる。なお、発光素子３２、３４、３６にＬＥＤを用いる場合も、基本的に同様のプロセスで製造することができる。この場合、有機層を形成する工程が簡素化する。有機ＥＬ素子を利用した発光装置２は、ＬＥＤを用いたものより薄型にすることができる。また、後述するように輝度制御を発光装置２側で行う制御も可能となる。
【００３１】
図２の一番右上の画素のように、凹部の底面に３原色の発光素子３２、３４、３６を配置する場合、凹部の底面、即ち照射方向に対して背面の遮光膜２０から積層していくとよい。この場合、基板上に遮光膜２０を成膜し、エッチングしてマトリクス状の全画素のしきいを生成し、容易に全画素の凹部を形成することができる。
【００３２】
次に、本発明に係る発光装置２の使用例について説明する。図６は、本発明に係る発光装置２を使用した表示装置１の第１構成例を示すブロック図を示す。液晶パネル１０は、列方向に所定間隔で設けられた複数本のデータ線と、行方向に所定間隔で設けられた複数本の走査線とに囲まれた領域を画素とする。この画素は、遮光膜２０によって仕切られた発光装置２の画素と対応している。
【００３３】
パネル制御部５０は、データ線駆動回路５２、走査線駆動回路５４を含み、画像データ、同期信号が入力される。パネル制御部５０は、入力された画像データを処理して、データ線駆動回路５２からＲ、Ｇ、Ｂの画像データを所定の順番で液晶パネル１０の図示しないデータ線に与える。所定の順番は、発光制御部６０による発光装置２の循環点灯制御に対応させる。Ｒ、Ｇ、Ｂの各画像データは、２５６階調を表現するために８ビットのデジタルデータとし、データ線駆動回路５２は、これらデジタルデータをＰＷＭ(Pulse Width Modulation）制御して、上記データ線に与える。なお、各画像データを６ビットなど他のビット数で構成してもよい。
【００３４】
走査線駆動回路５４は、上記同期信号にしたがい、データ線駆動回路５２により液晶パネル１０に与えられた画像データを特定の走査線の画素から出力するよう制御する。例えば、発光制御部６０が１／６０［ｓ］以内で発光装置２の循環点灯制御を行う場合、走査線駆動回路５４は、それと同じタイミングで走査線を切り替えていく。データ線駆動回路５２は、これに対応して、その走査線の画素から出力すべきＲ、Ｇ、Ｂの各画像データを上記データ線に与える。液晶パネル１０のそれらの画素は、発光装置２からの光を各画像データにしたがった透過率で透過する。これにより、特定の走査線から１／６０［ｓ］以内でＲ、Ｇ、Ｂの３色画像データが表示されることになるが、人間の視覚時間分解能を超えるため、人間の脳には３色合成された画像に見える。なお、応答時間の遅い液晶パネル１０を用いた場合、主観画質が落ちることになる。
【００３５】
発光装置２は、図１〜図５に説明したように、遮光膜２０で仕切られたそれぞれの凹部に、複数の発光素子３２、３４、３６の集合体で構成される画素が形成される。発光制御部６０は、発光装置２の各画素の複数の発光素子３２、３４、３６を循環点灯させる。発光制御部６０には、同期生成回路７０から、液晶パネル１０の制御と同期をとるための同期信号が与えられる。発光制御部６０は、当該同期信号にしたがい、例えば１／６０［ｓ］以内に、Ｒ、Ｇ、Ｂの順番で、発光素子３２、３４、３６を循環点灯させる。瞬間的には、Ｒ、Ｇ、Ｂいずれかの単色点灯となる。
【００３６】
点灯させる画素は、発光素子３２、３４、３６の配線による。色ごとに発光装置２のすべての発光素子３２、３４、３６が同じ電源線で接続されている場合、色ごとに全面発光させる制御となる。この場合、電源制御系を簡素化することができる。また、色ごとに、液晶パネル１０の走査線に対応して行方向に同じ電源線で接続され、行単位で電源制御が可能な場合、当該走査線の走査に対応する行、またはその前後数行を点灯させてもよい。この場合、低消費電力化することができる。
【００３７】
同期生成回路７０は、パネル制御部５０および発光制御部６０に同期信号を供給する。発光装置２によるＲ、Ｇ、Ｂの循環点灯制御、液晶パネル１０のデータ線への画像データ供給、および走査線制御は、同期がとられていなければならない。同期生成回路７０は、この同期をとるための信号を生成して、両方に供給している。
【００３８】
このように、第１構成の表示装置１によれば、Ｒ、Ｇ、Ｂの単色表示を人間が認識できない程度に高速で切替えることにより、高色純度の画像を得ることができる。さらに、コントラスト比を向上させるために、Ｒ、Ｇ、Ｂの単色表示ごとに消灯時間を設けてもよい。具体的には、発光制御部６０は、３原色の発光素子３２、３４、３６を循環点灯させる際の発光素子３２、３４、３６切替時に、消灯期間を挿入すればよい。また他の方法として、走査線駆動回路５４が１本の走査線を選択している際に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色を表示するたびに遮光期間を挿入してもよい。これらによれば、黒表示を挿入するのと同等の効果があり、コントラスト比が向上する。
【００３９】
図７は、本発明に係る発光装置２を使用した表示装置１の第２構成例を示すブロック図を示す。第２構成例における表示装置１は、第１構成の表示装置１と異なり、画像データの書込を液晶パネル１０ではなく、発光装置２で行う例である。第２構成例では、発光装置２側で画像データの書込を行うために、発光素子３２、３４、３６として有機ＥＬ素子を用いるとよい。発光装置２に形成された画素内の発光素子３２、３４、３６は、色ごとに、データ線で列方向に接続されている。
【００４０】
第２構成例の発光制御部６０は、データ線駆動回路６２を備え、画像データ、同期信号が入力される。発光制御部６０は、入力された画像データを処理して、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画像データを、データ線駆動回路６２から対応する色のデータ線に供給する。データ線駆動回路６２は、発光装置２を循環点灯させるため、上記同期信号にしたがい、ある色のデータ線から他の色のデータ線に順次切り替える。その際、画像データがデジタル値の場合、ＰＷＭ制御して、各色の輝度を調整する。
【００４１】
第２構成例の液晶パネル１０は、データ線がなく、行方向に所定間隔で複数本の走査線が設けられる。第２構成例のパネル制御部５０は、第１構成例のそれと異なり、データ線駆動回路５２が除去された構成である。パネル制御部５０には、同期信号が入力される。走査線駆動回路５４は、上記同期信号にしたがい、発光装置２からの光を、特定の走査線の画素から透過させるよう制御する。例えば、データ線駆動回路６２が１／６０［ｓ］以内で画像データを供給するデータ線を切り替えている場合、それと同じタイミングで走査線を切り替えて、発光装置２からの光を透過させていく。その他の構成は、第１構成例と同様である。
【００４２】
このように第２構成例によれば、第１構成例と同様に、Ｒ、Ｇ、Ｂの単色表示を人間が認識できない程度に高速で切替えることにより、高色純度の画像を得ることができる。また、画像データを書込み、表示するためのデータ線と走査線とを、発光装置２と液晶パネル１０とに分けて配置したことから、配線を単純化することができる。
【００４３】
なお、発光制御部６０は、ある色のデータ線から他の色のデータ線に切り替える際に、消灯期間を挿入してもよい。また、走査線駆動回路５４が１本の走査線を選択している際に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色を表示するたびに遮光期間を挿入してもよい。これらによれば、黒表示を挿入するのと同等の効果があり、コントラスト比を向上させることができる。
【００４４】
なお、第２構成例は、凹部に複数の発光素子３２、３４、３６が埋設された発光装置２に限らず、画素に対応して複数の発光素子３２、３４、３６が設けられている構成のものであってもよい。例えば、平面の基板に複数の発光素子３２、３４、３６を、画素ごとに対応させて配置したものでもよい。
【００４５】
図８は、本発明の表示装置１をプロジェクタ１００に適用した例を示す図である。発光装置２からの光は、液晶パネル１０を透過し、投射レンズ８０に入射する。投射レンズ８０は、入射された光を拡大してスクリーン９０に投射する。
【００４６】
このように本プロジェクタ１００によれば、Ｒ、Ｇ、Ｂの単色表示を人間が認識できない程度に高速で切替えることにより、高色純度の画像を得ることができる。従来のプロジェクタのように、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれに対応した液晶パネル、光学系を３つ備える必要がない。また、高圧水銀ランプなどの光源からカラーフィルタを用いて各色の光を生成する必要もないため、光効率が落ちることもない。
【００４７】
以上、実施形態をもとに本発明を説明した。なお本発明はこれらの実施形態に限定されることなく、その様々な変形例もまた、本発明の態様として有効である。本発明の発光装置２は、携帯電話、ノート型ＰＣ、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）などのディスプレイの光源として用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る表示装置の側面の断面図である。
【図２】本発明に係る発光装置の正面の断面図である。
【図３】本発明に係る有機ＥＬを用いた発光装置の側面の断面図である。
【図４】本発明に係る有機ＥＬを用いた発光装置の上面の断面図である。
【図５】本発明に係る有機ＥＬを用いた発光装置の正面の断面図である。
【図６】本発明に係る発光装置を使用した表示装置の第１構成例を示すブロック図を示す図である。
【図７】本発明に係る発光装置を使用した表示装置の第２構成例を示すブロック図を示す図である。
【図８】本発明の表示装置をプロジェクタに適用した例を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  表示装置、  ２  発光装置、  １０  液晶パネル、  ２０  遮光膜、  ３２、３４、３６  発光素子、  ３８  カソード、 ４０、４２  絶縁膜。
【図１】
2006066513.tif 000003
【図２】
2006066513.tif 000004
【図３】
2006066513.tif 000005
【図４】
2006066513.tif 000006
【図５】
2006066513.tif 000007
【図６】
2006066513.tif 000008
【図７】
2006066513.tif 000009
【図８】
2006066513.tif 000010