(57)【要約】【課題】コリメータを必要とせず、小型で簡便に光学的結合を行うことが可能で、かつ、透過スペクトルに分裂が発生しないファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子および光波長フィルタを提供することを目的とする。【解決手段】  本発明のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子は、中心軸に沿って光ファイバが配設された柱状部材と、その両端面に形成された反射膜とを備えたファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子において、柱状部材の外部部材に光ファイバが融着固定してなることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸に沿って光ファイバが配設された柱状部材と、その両端面に形成された反射膜とを備えたファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子において、
柱状部材の外部部材に光ファイバが融着固定してなることを特徴とするファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子。
【請求項２】
柱状部材の外部部材がガラス又は結晶化ガラスからなることを特徴とする請求項１に記載のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子。
【請求項３】
柱状部材の外部部材が、３０〜３８０℃の温度範囲において、−４０〜＋４０×１０-7／℃の平均熱膨張係数を有するガラス又は結晶化ガラスからなることを特徴とする請求項１に記載のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子。
【請求項４】
中心軸に沿って光ファイバが配設された柱状部材と、その両端面に形成された反射膜とを備えたファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子において、
透過光スペクトルのピークに分裂が生じないことを特徴とするファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子。
【請求項５】
スリーブと、ファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子とからなり、ファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子が、中心軸に沿って光ファイバが配設された柱状部材と、その両端面に形成された反射膜とを備え、その全体または一部をスリーブ内に挿入してなる光波長フィルタにおいて、
ファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子が請求項１〜４のいずれかに記載のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子からなることを特徴とする光波長フィルタ。
【請求項６】
スリーブがスリットのないスリーブからなることを特徴とする請求項５に記載の光波長フィルタ。
【請求項７】
スリーブを構成する材料の弾性率が１０〜１３０ＧＰａであることを特徴とする請求項５又は６に記載の光波長フィルタ。
【請求項８】
スリーブがガラス又は結晶化ガラスからなることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の光波長フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバとの光学的結合が容易で、狭帯域で分裂のない透過スペクトルを得ることが可能な光干渉素子およびそれを用いた光波長フィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光干渉素子およびそれを用いた光波長フィルタは、波長多重光通信（ＷＤＭ）における合分波デバイスや各種の光学測定機に広く使用されている。これらの素子またはフィルタとしては、一般に、ファイバーブラッググレーティング（ＦＢＧ）や誘電体多層膜フィルタ等の他、ファブリ・ペロ・エタロンが周知である。
【０００３】
ファブリ・ペロ・エタロンは反射膜を有する二つの平行平面間の光多重反射を利用したものであり、前記二種の素子・フィルタに比べ、非常に狭い波長帯域の光透過スペクトルが得られるという特徴がある。
【０００４】
ファブリ・ペロ・エタロンの透過波長λは下記（１）式で表される。
【０００５】
λ＝２ｄｎ／ｍ                                          ・・・（１）
【０００６】
ここで、ｄはエタロンを構成する材料の長さ、ｎは屈折率、ｍは任意の整数である。つまり、（１）式は、光路長（ｄｎ）の２倍の整数倍に相当する波長の光のみが増幅作用によってエタロンを透過できることを示している。透過波長スペクトルの線幅は、平行平面の反射率に依存し、反射率が高いほど線幅は狭く、すなわち、狭帯域な光透過特性が得られる。
【０００７】
ファブリ・ペロ・エタロンにおいては、入射光は平行光束である必要があり、そのためにはコリメータを介して入射させる必要がある。そのため光学系全体の小型化が困難であり、さらに、微妙な光学系の調整を要するという問題がある。これらの問題を解決するため、光ファイバを中心軸に含む柱状のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子（以下、単に光干渉素子ともいう。）を割りスリーブ内に挿入した構成の光波長フィルタが提案されている（例えば、特許文献１、非特許文献１参照。）。この構成では、光ファイバによって導かれた光信号が、割りスリーブ内で光干渉素子と精密に対向させた光コネクタフェルールを介して直接光干渉素子に入射される。この場合、光の多重反射は光ファイバのコア部に限定されるため、コリメータを使用せずとも実質的に平行光束を入射した場合と等しい効果が得られ、エタロンに必要な光干渉条件が確保できる利点がある。さらに、通常の光コネクタに類似した構成により容易に光学的結合が実現されるため、微妙な光学系の調整を必要とせず、小型化に適しているという利点を兼ね備えている。
【特許文献１】特許２６８５６２０号公報
【非特許文献１】M. Tateda et. al, 「Thermal Characteristics of a New Type Fiber Febry-Perot Interferometer Buried in a Fiber Connector Housing」,IEICE Trans. Electron., VOL.E81-C, No. 4(1998)p.612
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、非特許文献１には、上記した光干渉素子の透過スペクトルのピークが二つに分裂する現象が報告されており、狭帯域の光フィルタとして使用するには不適当である。非特許文献１では、この現象は光ファイバ内に複屈折が生じることに起因するとされている。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、コリメータを必要とせず、小型で簡便に光学的結合を行うことが可能で、かつ、透過スペクトルに分裂が発生しないファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子および光波長フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、光透過スペクトルが分裂する現象は、光ファイバを内蔵する円柱型の光干渉素子において、光ファイバが円筒状部材（例えば、フェルール）の内孔に接着剤を用いて接着固定されるため、光ファイバの中心軸が円筒状部材の中心軸に対して偏心を生じ、接着剤の硬化収縮によって発生する応力が、光ファイバに不均一に作用するためであると推定した。
【００１１】
一般に、上述の複屈折発生機構から類推されることとして、応力の解消またはその分布の一様化のためには、光ファイバの偏心を実用上皆無に等しいレベルにまで低減するか、あるいは、硬化収縮量が事実上皆無である接着剤を用いることが有効であると考えられる。しかしながら、これらは両者とも事実上極めて実施困難である。
【００１２】
そこで、本発明者は、光ファイバと柱状部材の外部部材を融着固定することによって、接着剤を用いずに光ファイバを高精度に柱状部材の中心軸に固定でき、分裂のない透過スペクトルが得られることを見出し、本発明として提案するものである。
【００１３】
すなわち、本発明のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子は、中心軸に沿って光ファイバが配設された柱状部材と、その両端面に形成された反射膜とを備えたファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子において、柱状部材の外部部材に光ファイバが融着固定してなることを特徴とする。
【００１４】
このような構成によれば、接着剤の影響を排除することができ、しかも光ファイバを高精度に柱状部材の中心軸に固定できるため、たとえ融着によって光ファイバに応力が加わったとしても応力が一様に印加される。そのため、透過スペクトルが分裂することがない。
【００１５】
また、柱状部材の外部部材に光ファイバが融着固定してなるため、透過波長の温度依存性、ｄλ／ｄＴの制御が可能となる。
【００１６】
ｄλ／ｄＴは光干渉素子の光路長 Ｓの温度依存性ｄＳ／ｄＴに依存し、ｄＳ／ｄＴは光路材料（ここでは光ファイバ）の屈折率の温度依存性と熱膨張係数によって決まる。本発明の場合、光路材料である光ファイバが熱融着によって直接柱状部材の外部部材に固定されているため、柱状部材の外部部材の熱膨張が光ファイバの熱膨張及び屈折率に影響を与える。すなわち、外部部材の熱膨張や収縮によって光ファイバの熱膨張や収縮量がその本来の値よりも大きくまたは小さくなることで構成分子の分極状態に変化が生じ、屈折率およびその温度依存性に変化が生じる。従って、適当な熱膨張係数を有する外部部材を選択することによって、光干渉素子のｄλ/ｄＴを制御することが可能になる。
【００１７】
また、本発明の光波長フィルタは、スリーブと、ファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子とからなり、ファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子が、中心軸に沿って光ファイバが配設された柱状部材と、その両端面に形成された反射膜とを備え、その全体または一部をスリーブ内に挿入してなる光波長フィルタにおいて、ファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子が柱状部材の外部部材と光ファイバが融着固定したファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子からなることを特徴とする。
【００１８】
このような構成によれば、上記した光干渉素子の効果に加え、光波長フィルタは、コリメータを必要とせず、小型で簡便に光学的結合を行うことが可能である。すなわち、両端面をＰＣ（物理接触：Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｃｏｎｔａｃｔ）接続できるような形状に加工すれば、スリーブ内で一般的な光ファイバフェルールと対向させることによって容易に光学的結合が可能となり、光損失を少なくできる。また平行光や光学系の調整を必要としないため、コリメータや光学系を調整するための仕組みが不要であり、デバイスを小型化できる。
【００１９】
上記した構成において、柱状部材の外部部材又はスリーブがガラス又は結晶化ガラスからなることが好ましい。
【００２０】
このようにすれば、柱状部材の外部部材又はスリーブとなる筒状の予備成形体を加熱し、延伸成形することによって柱状部材又はスリーブを高精度にしかも安価に製造できる。
【００２１】
上記した構成において、柱状部材の外部部材が、３０〜３８０℃の温度範囲において、−３０〜＋４０×１０-7／℃の平均熱膨張係数を有するガラス又は結晶化ガラスからなることが好ましい。
【００２２】
このようにすれば、６×１０-7／℃の熱膨張係数を有する光ファイバ（シリカガラス）と膨張係数が近いため、周囲温度変化時における熱応力によるクラックや割れが発生し難い。柱状部材の外部部材の平均熱膨張係数のより好ましい範囲は、−２５〜＋３５×１０-7／℃である。
【００２３】
上記した構成において、反射膜は、高屈折率膜と低屈折率膜との交互の誘電体多層膜、具体的には高屈折率膜として、Ｎｂ2Ｏ5、Ｔａ2Ｏ5、ＴｉＯ2等の膜と、低屈折率膜としてＳｉＯ2、ＭｇＦ2、ＳｉＮ、Ａｌ2Ｏ3等の膜との交互の誘電体多層膜が使用可能である。誘電体多層膜は、高屈折率膜と低屈折率膜とを交互に３〜３０層積層してなることが、反射率の確保と経済的な理由から好ましい。即ち３層より少ないと充分な波長帯域と反射率が確保できず、４０層よりも多くても反射率がほとんど変わらず不経済であるからである。
【００２４】
上記した構成において、スリーブがスリットのないスリーブからなることが好ましい。
【００２５】
特許文献１又は非特許文献１の光波長フィルタは、割りスリーブに加わる外力によって光干渉素子と光コネクタフェルールの間に軸ずれが生じることを防ぐために、割りスリーブをさらにアダプタハウジングに収納することが必要であり、この点で小型化に不利である。すなわち、特許文献１に記載されているように、従来技術においては、光コネクタフェルールと光干渉素子の軸は、割りスリーブの弾性力を応用した調心効果によって一致させられており、スリットはスリーブに弾性力を付与するために重要な役割を担っている。しかしながら、割りスリーブに外力が加わった場合、弾性変形によってスリット幅に変化が生じ、その結果フェルールと光干渉素子間に軸ずれが生じる。
【００２６】
従って、適度な弾性力を有しスリットのないスリーブ（剛性スリーブ）を用いれば、調心効果を維持しつつ外力に対して安定な光波長フィルタを作製できる。その結果、アダプタハウジングが不要、あるいはこれを使用したとしても、剛性を必要としない安価なハウジングで充分であるため安価でしかも小型化が可能である。
【００２７】
上記した構成において、スリーブを構成する材料の弾性率が１０〜１３０ＧＰａの範囲であることが好ましい。さらに好ましい範囲は、５０〜１００ＧＰａである。
【００２８】
このようにすれば、スリットのないスリーブであっても光学的結合に充分な調心効果を得ることが可能であり、かつ、外力に対して安定な耐軸ずれ特性を実現することが可能である。そのようなスリーブを構成する材料としてはガラスや結晶化ガラスが適している。しかもスリーブとなる円筒状のスリーブ予備成形体を加熱し、延伸成形することによってスリットのないスリーブ（剛性スリーブ）を高精度にしかも安価に製造できる。特に結晶化ガラスは強度的にも優れるためスリーブを構成する材料としてより好ましい材料である。
【００２９】
上記した構成において、柱状部材の外部部材とスリーブが同一材料あるいは熱膨張係数が略等しい材料であることが好ましい。
【００３０】
このようにすれば、光波長フィルタの熱的安定性が向上し、光透過スペクトルの温度依存性の直線性がより向上する。このため、光透過フィルタを温度センサ等に応用する場合には、一層好ましいものとなる。
【００３１】
上記した構成において、光ファイバの偏心量（光ファイバの中心と柱状部材の中心の距離）は２μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１μｍ以下、さらに好ましくは０．５μｍ以下である。
【００３２】
このようにすれば、光干渉素子と光コネクタフェルールとの光学的結合をより低接続損失で行うことが可能となる。
【００３３】
次に、本発明のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子の製造方法について以下に説明する。
【００３４】
まず、シリカガラス製光ファイバをガラスまたは結晶化ガラスからなる筒状予備成形体の内孔に挿入し、加熱しながら延伸することで予備成形体の内孔に光ファイバを熱融着によって一体化させて、光ファイバを中心軸に沿って備えた柱状体を作製する。この場合、延伸成形時にその内孔内を排気してもよい。あるいは、一旦筒状予備成形体を延伸成形して筒状前駆体を作製し、その後その内孔に上記光ファイバを挿入し、加熱しながらその内孔内を排気して融着一体化させて、柱状体を作製してもよい。ここで、筒状前駆体とは、光ファイバを融着後切断して柱状部材を作製するための外部部材の原材であり、外部部材と外径は同一であるが、長さが外部部材よりも長いものをさす。
【００３５】
このようにすれば、偏心量が少なく融着によって光ファイバに応力が加わったとしても応力が一様に印加されるようになる。すなわち、ジルコニア等のセラミックス材料の場合、その製法上の制限から最長でも５０ｍｍ程度の長さの筒状前駆体しか作製できない。さらに、接着剤で光ファイバを固定する際には、あまり筒状前駆体が長いと接着剤を光ファイバと内孔との間に満遍なく行き渡らせることが困難であるため、その長さに自ずと制限がある。しかし、上記した本発明の構成によれば、筒状前駆体は、延伸成形によって作製可能なため、装置や予備成形体からの制約を超えない範囲で長尺（例えば、３００ｍｍ以上）にでき、しかも光ファイバを接着剤を用いず熱的に融着固定するため、筒状前駆体が長尺であっても光ファイバを固定でき、効率的に柱状体を作製できる。
【００３６】
この場合、外部部材又は外部部材の予備成形体は、軟化温度が光ファイバのそれよりも低いことが必要であり、具体的には１５００℃以下、好ましくは１３００℃以下であることが好ましい。
【００３７】
このようにすれば、外部部材又は外部部材の予備成形体の内孔に光ファイバを変形なく融着固定することが可能である。
【００３８】
また、融着一体化した後、柱状体の外周部に研削加工を施してもよい。
【００３９】
このようにすれば、優れた寸法精度を有する柱状部材となり、光干渉素子と光ファイバフェルールとの光学的結合をより低接続損失で行うことが可能となる。
【００４０】
この場合、筒状予備成形体の外径中心と内径中心の偏心量は、上記光干渉素子の偏心量と縮小比との関係で決定されるが、一般に、２００μmよりも小さいことが好ましく、より好ましくは１００μm以下、さらに好ましく５０μm以下のものを使用することが望ましい。
【００４１】
このようにすれば、光ファイバの偏心量を２μｍ以下とすることが可能となる。
【００４２】
また、光ファイバと柱状部材の外部部材（筒状予備成形体）の熱膨張係数が近いこと、具体的には、シリカガラス光ファイバの平均熱膨張係数は６×１０-7／℃であり、柱状部材の外部部材（筒状予備成形体）の平均熱膨張係数は３０〜３８０℃の温度範囲において、−３０〜＋４０×１０-7／℃であることが好ましく、−２５〜＋３５×１０-7／℃であることがより好ましい。
【００４３】
このようにすれば、加熱後の冷却時における熱応力によるクラックや割れが発生し難い。
【００４４】
次に、光ファイバを備えた柱状部材を、得られる透過スペクトルに応じた長さに切断し、両端面を光学研磨した後、一般的な成膜方法（例えば、蒸着法、スパッタ法等）によって両端面に、Ｎｂ2Ｏ5、Ｔａ2Ｏ5、ＴｉＯ2等の透明膜と、ＳｉＯ2、ＭｇＦ2、ＳｉＮ、Ａｌ2Ｏ3との交互多層反射膜を形成することによって光干渉素子を作製することができる。
【００４５】
また、光波長フィルタは、上述の光干渉素子をスリーブの内孔内に挿入保持することによって作製できる。
【００４６】
この場合、スリーブは、スリットのないスリーブ（剛性スリーブ）を使用することが好ましい。
【００４７】
スリットのないスリーブは、ガラス又は結晶化ガラスからなる円筒状予備成形体を加熱しながら延伸成形し、所望の長さに切断して作製することが好ましい。
【００４８】
このようにすれば、後加工することなく、内径の寸法精度の優れたスリーブを作製でき、光干渉素子と光コネクタフェルールを光学的に結合させた際、これらの偏心量が最小限に抑えられ、接続損失が小さくなる。
【発明の効果】
【００４９】
上記した様に、本発明のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子は、コリメータを必要とせず、小型で簡便に光学的結合を行うことが可能である。また、融着によって光ファイバに応力が加わったとしても応力が一様に印加され、その結果、透過スペクトルが分裂することがない。また、光干渉素子のｄλ/ｄＴを制御することが可能になる。
【００５０】
また、本発明の光波長フィルタは、光波長フィルタは、コリメータを必要とせず、小型で簡便に光学的結合を行うことが可能である。また平行光や光学系の調整を必要としないため、コリメータや光学系を調整するための仕組みが不要であり、デバイスを小型化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５１】
以下、実施例に基づいて本発明を実施の形態を詳細に説明する。
【実施例１】
【００５２】
表１は、本発明の実施例１〜４及び比較例１を示す。図１は、本発明のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子の断面図であり、図２は、光波長フィルタにおいて、光透過スペクトル及び軸ズレ損失の測定方法の説明図である。図３は、実施例１の光波長フィルタの光透過スペクトルを示す。図４は、比較例１の光波長フィルタの光透過スペクトルを示す。
【表１】
2006153986.tif 000003
【００５３】
実施例１〜４のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子１０は、図１に示すように、表１に記載の外部部材１内に光ファイバ２が融着固定された円柱状部材３と、円柱状部材３の両端部３ａ、３ａに形成された反射膜４とからなる。比較例１のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子は、光ファイバ２がエポキシ系樹脂接着剤によって外部部材１内に固定されている以外は実施例と同様に構成されている。
【００５４】
このようなファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子は、以下のようにして作製した。
表１に示す外部部材となる円筒状予備成形体の内孔に外径が１２５μｍのシリカガラス製光ファイバを挿入し、加熱延伸成形しながら光ファイバをその内孔に熱的に融着固定させ、外径が１．２４９ｍｍの長さが２００ｍｍの円柱状体を作製した。その後、その円柱状体を、長さ約２ｍｍに切断し両端面を光学研磨（ＰＣ研磨）して円柱状部材を作製し、その両端面にスパッタ法によって誘電体多層膜からなる反射膜を形成することで実施例１〜４のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子を作製した。
【００５５】
また、比較例１は、まず、円筒状予備成形体を加熱延伸成形して外径が１．２４９ｍｍ、内径が１２６μｍで、長さを約２．５ｍｍに仮切断して円筒状前駆体を作製する。次に、上記円筒状前駆体の内孔に外径が１２５μｍのシリカガラス製光ファイバを挿入し、エポキシ系樹脂接着剤で光ファイバを固定して、円柱状体とし、両端面を光学研磨（ＰＣ研磨）して長さが約２ｍｍの円柱状部材を作製した。最後に、その両端面に反射膜を形成し、比較例１のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子を作製した。
【００５６】
尚、筒状予備成形体に用いた結晶化ガラスは、β−スポジュメン固溶体結晶を主成分として析出するＬｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系結晶化ガラスとし、ガラスは、ホウケイ酸塩ガラスとした。また、反射率が９４％の反射膜は、１層のＮｂ2Ｏ5層の上に１層のＳｉＯ2層を交互に６層ずつ積層した合計１２層の反射膜からなり、反射率が９９．５％の反射膜は、１層のＳｉＯ2層の上に１層のＮｂ2Ｏ5層を交互に７層ずつ積層し、最外層として１層のＳｉＯ2層を形成した合計１５層の反射膜からなる。
【００５７】
次いで、内径が１．２５０ｍｍでスリットのない結晶化ガラススリーブ（弾性率：９０ＧＰａ）内に上記光干渉素子を挿入して実施例１〜３及び比較例１の光波長フィルタを作製した。また、実施例４では、結晶化ガラススリーブの代わりに軸方向にスリットを有する市販のジルコニアスリーブ（弾性率：１９０ＧＰａ）を使用した。尚、上記結晶化ガラススリーブは、上述した外部部材を作製するための筒状予備成形体と同じ材料を加熱延伸成形することによって作製した。
【００５８】
光透過スペクトルは、図２に示すように、光ファイバ１１を備えた２個のＭＵ型光コネクタフェルール１２ａ、１２ｂを準備し、それぞれを光波長フィルタ１３のスリーブ１４の両端から挿入し、光干渉素子１５とＰＣ接続し、一方の光コネクタフェルール１２ａから延びた光ファイバ１１の他端を波長１５５０ｎｍ帯の赤外光を発する光源１６に、もう一方の光コネクタフェルール１２ｂから延びた光ファイバ１１の他端を光スペクトラムアナライザ１７に接続することによって測定した。
【００５９】
軸ズレ損失は、図２に示すように、一方の光コネクタフェルール１２ｂに、スリーブ１４の中心軸に対して垂直な方向から５Ｎの外力を加え、その際の接続損失を光スペクトラムアナライザ１７で測定して求めた。
【００６０】
図３から明らかなように実施例１の光波長フィルタは、光透過スペクトルに分裂が見られず、狭帯域で単一のピークが得られた。また、実施例２〜４の光透過スペクトルは図示していないが、実施例１と同様に光透過スペクトルに分裂は見られなかった。また、特に実施例１〜３は、スリットのないスリーブを使用しているため、軸ズレ損失が０．５ｄＢ未満と小さかった。また、実施例１の透過波長の温度依存性ｄλ／ｄＴは、１１．９×１０-6／℃と比較例１のそれ（１２．６×１０-6／℃）より小さかった。
【００６１】
一方、図４に示すように、比較例１の波長フィルタは、光透過スペクトルに分裂が生じていた。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明のファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子の断面図である。
【図２】光波長フィルタにおいて、光透過スペクトル及び軸ズレ損失の測定方法の説明図である。
【図３】実施例１の光波長フィルタの光透過スペクトルである。
【図４】比較例１の光波長フィルタの光透過スペクトルを示す。
【符号の説明】
【００６３】
１    外部部材
２、１１  光ファイバ
３    円柱状部材
３ａ  端面
４    反射膜
１０、１５  ファイバ・ファブリ・ペロ光干渉素子
１２ａ、１２ｂ  光コネクタフェルール
１３  光波長フィルタ
１４  スリーブ
１６  光源
１７  光スペクトラムアナライザ
【図１】
2006153986.tif 000004
【図２】
2006153986.tif 000005
【図３】
2006153986.tif 000006
【図４】
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