(57)【要約】      （修正有） 【課題】均質かつ一様なコーティングをナノ構造化電極に形成することが出来るコーティングプロセスの提供。【解決手段】ナノ構造化表面をコーティングするための方法、特に有機素子用の方法であって、ナノ構造化表面をコーティングする第１の物質を作製する工程と、前記第１の物質を溶媒に溶解する工程と、ナノ構造化表面の第１のコーティングを、第１の溶解物質前記ナノ構造体表面に塗布することにより形成する工程を備え、前記第１の物質は、ナノ構造化表面を前記第１の溶解物質からなる一様に薄く、かつ均質なウエット膜によって覆うように塗布される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナノ構造化表面をコーティングするための方法、特に有機素子用の方法であって、
ナノ構造化表面をコーティングする第１の物質を作製する工程と、
前記第１の物質を溶媒に溶解する工程と、
ナノ構造化表面の第１のコーティングを、第１の溶解物質を前記ナノ構造化表面に塗布することにより形成する工程とを備える、コーティング方法。
【請求項２】
前記第１の溶解物質は、ナノ構造化表面を前記第１の溶解物質から成る一様に薄く、かつ均質なウェット膜によって覆うように塗布される、請求項１記載のコーティング方法。
【請求項３】
ナノ構造化表面はナノ構造化電極である、請求項１又は請求項２記載のコーティング方法。
【請求項４】
第１の溶解物質の粘度が、前記第１の溶解物質が前記ナノ構造化表面のポット構造に流れ込むことができるように調整される、請求項１〜３のいずれか一項に記載のコーティング方法。
【請求項５】
溶媒は同時に印刷溶剤であり、かつ第１の溶解物質は印刷プロセスを使用して塗布される、請求項１〜４のいずれか一項に記載のコーティング方法。
【請求項６】
前記印刷プロセスは、接触がほとんど生じない印刷プロセスである、請求項５記載のコーティング方法。
【請求項７】
第１の物質は有機半導体物質である、請求項１〜６のいずれか一項に記載のコーティング方法。
【請求項８】
第１のコーティングは半導体層である、請求項１〜７のいずれか一項に記載のコーティング方法。
【請求項９】
ナノ構造化表面の表面特性が少なくとも領域によって異なる、請求項１〜８のいずれか一項に記載のコーティング方法。
【請求項１０】
ナノ構造化表面は領域によって異なる濡れ性を有する、請求項９記載のプロセス。
【請求項１１】
第２の物質を作製する工程と、
前記第２の物質を更に別の溶媒に溶解する工程と、
第２の溶解物質を前記第１のコーティングに塗布することによって、第１のコーティングの上に第２のコーティングを形成する工程とをさらに備える、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のプロセス。
【請求項１２】
前記更に別の溶媒は、第１のコーティング及び第２のコーティングが少なくとも部分的に混合することができるように選択される、請求項１１記載のプロセス。
【請求項１３】
第２の物質は有機半導体物質、導電物質、又はナノ粒子物質である、請求項１０又は請求項１１記載のプロセス。
【請求項１４】
前記第２のコーティングは印刷プロセスを使用して塗布される、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のプロセス。
【請求項１５】
前記第２のコーティングは半導体層又は電極層である、請求項１０〜１３のいずれか一項に記載のプロセス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体素子に関する。より詳細には、本発明は有機半導体素子に適するナノ構造基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機集積回路、すなわち有機材料又は高分子電気材料を用いる回路は、量産用の電気回路及び電子回路、及び例えば非接触の読み取りが可能な製品識別用トランスポンダ（無線周波による非接触自動識別（ｒａｄｉｏ  ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）用トランスポンダ）などの使い捨て製品の効率的生産に適し、更に例えば有機ディスプレイ、有機光電池システム（有機太陽電池）などのような高コスト製品にも同じように適する。
【０００３】
有機集積回路の開発は多くの基本的な成功を収めることにより注目されてきているが、依然として開発途上の状態が続いている。有機集積回路を備える多くの実用的製品、特に消費財、は近い将来において販売準備の段階に達するものと期待されている。
【０００４】
有機集積回路、例えば有機電界効果トランジスタ（ＯＦＥＴｓ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤｓ）、有機光電池素子（ＯＰＶｓ）（有機太陽電池）は通常、種々の機能層により構成される。非常に有望な基板として、通常の電極及び基板よりも機能的に優れるナノ構造基板及び適切な基板の上のナノ構造化電極が現在開発されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の方法では、半導体層、特に有機半導体層はナノ構造化電極の上にスピンコーティングによって堆積させる。不可能ではないにしても、ナノ構造化自体が、通常のコーティングプロセスを使用して均質かつ一様な半導体層を形成することを非常に難しくしている。
【０００６】
従って本発明の目的はコーティングプロセスを提供することにあり、このコーティングプロセスによって、均質かつ一様なコーティングをナノ構造化電極に形成することができる。このコーティングプロセスは更に、コーティングプロセスの安価で再現性の良い方法による実施を可能にする目的を達成するように構成される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、上に定義した目的は、添付の請求項、特に請求項１に示す主要技術により達成することができる。本発明のコンセプトによって、ナノ構造化表面に塗布する物質を適切に溶解させることができる。
【０００８】
本発明により提供されるのは、ナノ構造化表面をコーティングするプロセス、特に有機成分に関するプロセスである。塗布する第１の物質を溶媒に溶解させる。次にナノ構造化表面の第１のコーティングを、第１の溶解物質をナノ構造化表面に堆積させることにより形成する。
【０００９】
第１の溶解物質はナノ構造化表面の上に、ほとんどが溶解物質から成る一様に薄く、かつ均質なウェット膜によってナノ構造化表面が覆われるように堆積させると有利である。
ナノ構造化表面はナノ構造化電極、すなわち電極層を備えるナノ構造化表面であることが好ましい。電極層は更に好適には構造化される。
【００１０】
更に本発明に従って、第１の溶解物質の粘度は、第１の溶解物質をナノ構造化表面のポット構造に流し込むことができるように調整される。ナノ構造化表面はその構造化との調和を保つために、複数の凹部をそれぞれ画定する凸部を有し、これらの凹部は以後、上に記載したポット構造と呼ぶ。
【００１１】
溶媒は同時に印刷溶剤とすることができるので、第１の溶解物質は印刷プロセスを使用して堆積させる、又は塗布することができる。印刷プロセスは接触がほとんど生じない印刷プロセスであることが好ましく、これによりナノ構造化された構造が、例えば破損しないように保護する。
【００１２】
第１の物質は有機半導体物質であることが好ましく、堆積する第１のコーティングは半導体層である。
本発明によれば、ナノ構造化表面の表面特性が少なくとも領域によって異なるようにすることができる。特に、ナノ構造化表面は、第１の溶解物質に対して領域によって変化する濡れ性を有する。
【００１３】
また、本発明のプロセスでは更に、第２の物質を第１のコーティングの上に堆積させ、前記第２の物質を更に別の溶媒に溶解させ、そして第２のコーティングを、第２の溶解物質を第１のコーティングの上に堆積させることにより第１のコーティングの上に形成する。更に別の溶媒は第１の物質に使用する溶媒と同じとすることができるが、別の構成として、第１の物質に使用する溶媒とは異なり、かつ第２の物質に適する溶媒とすることもできる。
【００１４】
更に別の溶媒は、第１のコーティング及び第２のコーティングが第２の溶解物質の堆積中に少なくとも部分的に混合することができるように選択すると有利である。
第２の物質は有機半導体物質、導電物質、又はナノ粒子物質とすると更に有利である。第２のコーティングは、特に半導体層又は電極層とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の主要技術の詳細かつ好適な実施形態は独立請求項及び図に記載され、これらの請求項及び図に基づいて、例示としての実施形態を以下に詳細に記載して本発明の主要技術を明らかにする。
【００１６】
図１Ａ〜３は複数の工程を例示として示しており、これらの工程はナノ構造化電極を備える有機半導体素子を形成するプロセスにおいて複数の層を塗布するために実施される工程である。この有機半導体素子は、例えば本発明の例示としての実施形態として機能する有機電界効果トランジスタ（ＯＦＥＴ）又は有機太陽電池のようなナノ構造化電極を備える。
【００１７】
図１Ａを参照すると、ナノ構造化電極を備える基板１が示されている。ナノ構造化電極として機能するのは基板１であり、この基板は、側面が金属化された、すなわち導電金属層が設けられたナノ構造を有するように形成される。このようなナノ構造は通常、５０ｎｍ（ナノメートル）〜５０００ｎｍの範囲の高さｈ及び５０ｎｍ〜５０００ｎｍの範囲の周期長ｌを有する。しかしながらこの高さ及びこの周期長はいずれもこの範囲に限定されるものではない。ナノ構造化電極は、基板１のナノ構造の複数の金属化された側面から構成される。
【００１８】
上に記載したように、このようなナノ構造化電極を使用する難しさは、このようなナノ構造化電極を考慮し、かつ電極又は基板１の上述のナノ構造を均質かつ一様に覆う一つの
層、特に有機半導体層を形成する際に伴われる。均質かつ一様という用語は、特にナノ構造化電極を考慮し、かつほぼ一定の厚さを有する一つの層を、ナノ構造化電極の全ての表面領域を覆うように形成する操作に関する。
【００１９】
本発明によるとナノ構造化電極に塗布する層の構成物質が提案され、この物質を溶液中に浸漬して低い適切な粘度の溶液を生成し、この溶液を電極又は基板のナノ構造により形成される鉢型（ポット）構造に流し込むことができる。この点に関して、とりわけキャピラリー効果、及び表面張力及び更に別の表面効果が平衡に達することによって得られる効果を利用することが考えられる。
【００２０】
有利なことに、例えば有機半導体材料は印刷溶剤に溶解するので半導体溶液を生成することができる。この半導体溶液をナノ構造化電極に塗布してほぼ一様に薄く、かつ均質なウェット膜を電極のナノ構造を覆うように形成する。このほぼ一様に薄く、均質なウェット膜により形成される半導体層３、特に有機半導体層を図２に示す。
【００２１】
図１Ｂを参照すると、ナノ構造化電極は更に、物理的に有利な特性を備える形で用いることができ、この特性によって、前に記載したほぼ一様な薄い、均質なウェット膜を電極のナノ構造を覆うように形成し易くなる。ナノ構造化電極は、この電極が半導体溶液に対して濡れ性を示す領域１ｂ及び半導体溶液に対して濡れ性を持たない領域１ａを含むように用いることが好ましい。濡れ性は、例えば溶媒として使用される印刷溶剤を選択することにより調整することができる。
【００２２】
変化する濡れ性を適切に選択することにより、半導体溶液がナノ構造を良好に、そしてほぼ均質かつ一様に充填することが保証される。図１Ｂの図では、ポット領域の内面、特に底面は濡れ性を有することが好ましく、同時に縦型ナノ構造化電極構造の「頂部」の領域は濡れ性を持たない。
【００２３】
上に記載したように、半導体溶液は、例えばベレード法（ｂｌａｄｉｎｇ）、フレキソ印刷法などのような印刷プロセスを使用して塗布することができる。しかしながら別の構成として、溶液吐出のような堆積方法を使用することもできる。印刷プロセスに関しては、印刷機構の「硬質な」部分が基板又はナノ構造化電極とは機械的に接触することがないように注意する必要がある、というのは、接触が生じるとナノ構造が悪影響を受け、又は破損してしまうからである。オフセット印刷プロセスはこの点で問題となる。
【００２４】
ほぼ一様に薄く、均質なウェット膜、すなわち半導体溶液から成るウェット膜を塗布することにより、乾燥後に、ほぼ均質かつ一様な半導体層が確実に、図２に示すようにナノ構造化電極上に形成される。
【００２５】
横方向解像度に関する要求が強い場合、別のコーティングプロセスを使用することもできる。ここで再度、これらのプロセスにおいては、使用する塗布装置が機械的に接触することに起因して破損としてナノ構造に現われる可能性のある悪影響を防止する必要もある。
【００２６】
上に記載したプロセスを更に改良したプロセスでは、複数のコーティングを堆積させることができる。これらのコーティングプロセスによって、複数の半導体層を塗布することができる。例えば、２つの半導体層部分を２つの別のコーティング工程において順に塗布することができる。
【００２７】
２つの半導体層部分をこのように２つの別のコーティング工程で塗布する方法は、特にバルクへテロ接合太陽電池の形成において有利である、というのは、このような方法によ
ってこれらの半導体層部分の内の一つの部分が所望の電極と確実に接触するからである。この場合、これらの半導体層は共に、上に記載した半導体溶液を塗布して堆積させることが好ましく、この操作によって２つの層が更に混合することができるようにすることが好ましい。上に引用した印刷プロセスの内の一つのプロセス、又は別のコーティングプロセスを使用して半導体層を堆積させることが好ましい。
【００２８】
複数のコーティングを堆積させることによって、半導体層及び電極層により構成される一括層を堆積させることもできる。特に、被覆電極層を塗布することができる。この場合、半導体層が最初にナノ構造化電極に半導体溶液によって上のプロセスを使用して塗布される。次に電極層、例えば上部電極層を結果として得られる構造、すなわちナノ構造化電極を覆う半導体層に、印刷プロセス又はコーティングプロセスを使用して塗布する。電極層は有機半導体及び導電体により、又はナノ粒子溶液、特にインジウム／錫酸化物（ＩＴＯ）粒子及び亜鉛酸化物（ＺｎＯ）ナノ粒子により構成することができる。このような電極層は有機発光ダイオード（ＯＬＥＤｓ）、及び有機太陽電池のような有機光電池素子（ＯＰＶ）の形成に必要であり、かつゲート電極層を有する構成の有機電界効果トランジスタ（ＯＦＥＴｓ）に必要となる。
【００２９】
半導体物質を提案の方法により印刷溶剤に溶解させ、続いて結果として得られる半導体溶液を塗布することにより、本発明の技術思想を用いて、ナノ構造化電極を備える有機ハイブリッド（すなわち、半導体素子の有機機能部分及び無機機能部分から構成される混合構造）半導体素子を印刷プロセスにより形成することができ、ナノ構造化電極の上に、結果として得られる半導体層を形成することによって、公知の従来のプロセスよりも優れた上に記載した利点が得られる。本発明のプロセスはほとんどナノ構造化電極の形成の影響を受けない、すなわち高さｈ、周期長ｌ、表面特性などのようなナノ構造化電極特有のパラメータの影響を受けない。ナノ構造化電極は、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤｓ）、有機光電池素子（ＯＰＶｓ）、有機電界効果トランジスタ（ＯＦＥＴｓ）などの形成において特に注目される。しかしながら本発明はまた、このようなナノ構造化電極の更に広い適用領域を含むように構成される。
【００３０】
ナノ構造化電極の物理的表面特性を濡れ性の点で半導体溶液及び多層堆積を使用して変化させる、又は変更することにより本発明のコンセプトを補足する形で有利な方向に変更する、又は展開することができる。
【００３１】
次の実施形態は上に記載した本発明のプロセスを使用して実施することができる。
本発明の第１の実施形態は、複数のナノ構造化電極を備える有機太陽電池（ＯＰＶ）を実現するものであり、これらのナノ構造化電極の内、少なくともナノ構造化電極に塗布する半導体層は上に記載したプロセスを使用して形成することができる。本発明の一の実施形態では、有機太陽電池の上部電極層は、これも上に記載した多層堆積法によって形成することができる。
【００３２】
本発明の第２の実施形態は、複数のナノ構造化電極を備える有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を実現するものであり、これらのナノ構造化電極の内、少なくともナノ構造化電極に塗布する半導体層は上に記載したプロセスを使用して形成することができる。本発明の一の実施形態では、有機発光ダイオードの上部電極層は、これも上に記載した多層堆積法によって形成することができる。
【００３３】
本発明の第３の実施形態は、複数のナノ構造化電極を備える有機電界効果トランジスタ（ＯＦＥＴ）を実現するものであり、これらのナノ構造化電極の内、少なくともナノ構造化電極に塗布する半導体層は上に記載したプロセスを使用して形成することができる。本発明の一の実施形態では、有機電界効果トランジスタのゲート電極層は、これも上に記載
した多層堆積法によって形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１Ａ】本発明の一の実施形態による基板上に配置されるナノ構造化電極を示す断面図。
【図１Ｂ】本発明の別の実施形態による、図１Ａに示すナノ構造化電極の有利な物理構成を示す断面図。
【図２】図１Ａ，１Ｂに続く図であって、本発明の実施形態による半導体層を備えるナノ構造化電極を示す断面図。
【図３】図２に続く図であって、本発明の実施形態による更に別の層を備えるナノ構造化電極を示す断面図。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【外国語明細書】
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