(57)【要約】【課題】  インクジェットヘッドのノズル面の余剰吐出液の拭き取り状態を向上させて、溶液の吐出を安定させること。【解決手段】  基板Ｗに溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッド９を備えたインクジェット塗布装置１０において、吸水性を有する帯状のワイピングクロス１２と、ワイピングクロス１２をインクジェットヘッド９のノズル面２０の前面に張り出す繰り出し機構１６と、ワイピングクロス１２をノズル面２０に押し付けるローラ４３を有するもの。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッドを備えたインクジェット塗布装置において、
吸水性の清掃体と、
該清掃体を前記ヘッドのノズル面に押し付ける押圧機構を有することを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記清掃体は帯状の清掃体からなり、該清掃体を間欠搬送する搬送機構を有する請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
前記搬送機構は、前記清掃体の供給リールと、
該供給リールから該清掃体を前記ヘッドのノズル面の前面に繰り出す繰り出し機構と、
該清掃体の巻取リールからなるものである請求項２に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項４】
前記押圧機構は前記ヘッドのノズル面の前面に張り出された清掃体を該ヘッドのノズル面に押し付けるローラを有し、
該ローラにて前記清掃体を前記ノズル面に押圧しつつ該ノズル面に沿って移動させるものである請求項２又は３に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項５】
前記繰り出し機構は前記清掃体を前記ヘッドのノズル面に沿って移動させる駆動手段を有し、
前記溶液の粘度に合わせて該駆動手段の速度を調節する制御装置を有するものである請求項４に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項６】
基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッドを清掃するインクジェットヘッドのクリーニング方法において、
吸水性の清掃体を前記ヘッドのノズル面に押し付けることにより該ヘッドのノズル面を清掃することを特徴とするインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【請求項７】
前記清掃体が帯状の清掃体からなり、該清掃体を前記ヘッドのノズル面に対向する位置に間欠搬送する請求項６に記載のインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【請求項８】
前記ヘッドのノズル面に対向する位置に搬送された前記清掃体を該ノズル面に押し付けるローラを有し、
該ローラにて清掃体をノズル面に押圧しつつ、該ローラをノズル面に沿って移動させることにより、ノズル面に清掃体を順次接触させるものである請求項７に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項９】
一枚の基板に対する前記溶液の塗布が完了する毎に、前記ヘッドの清掃を行なうものである請求項６〜８のいずれかに記載のインクジェットヘッドのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドのノズル面を清掃するインクジェットヘッドのノズル面のクリーニング装置を有するインクジェットヘッド塗布装置及びインクジェットヘッドのクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のインクジェットヘッド方式により基板の表面にレジストや配向膜などの機能性膜を形成する溶液を塗布するインクジェットヘッドのノズル面を清浄にする技術には、シリコンゴム等からなる弾性体ブレードをインクジェットヘッドのノズル面に押し付けながら余剰塗布液を掻き取るもの等がある。
【０００３】
また、特許文献１には、弾性ブレード４０自体にエア吸引用貫通孔４１を設けて、弾性ブレード４０に付着した余剰インクを吸引ポンプ３５により吸引するものが開示されている。
【特許文献１】特開平6-115083号公報  ［0012］［0013］
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来技術には以下の問題点がある。
上述の弾性体ブレードを用いるものでは、インクジェットヘッドのノズル面と弾性体ブレードとの摩擦によって弾性体ブレードが削れ、弾性体粉が発生するおそれがある。発生した弾性体粉が、ノズルに侵入したり、ノズル面に付着すると、これが溶液に混入し、基板に形成される機能性膜の品質を損ねることがある。
【０００５】
また、弾性体ブレードの劣化等により掻き取りが不完全になる場合がある。また、弾性体ブレード自体に付着した余剰塗布液を除去し難く、掻き取った余剰液を再びインクジェットヘッドのノズル面に付着させてしまうことがある。
後者のものでは、余剰塗布液の吸引効果が十分に得られないことがある。
【０００６】
本発明の課題は、インクジェットヘッドのノズル面の余剰吐出液の拭き取り性能を向上させて、溶液の塗布品質を向上させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッドを備えたインクジェット塗布装置において、吸水性の清掃体と、清掃体をヘッドのノズル面に押し付ける押圧機構を有するものである。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、清掃体は帯状の清掃体からなり、清掃体を間欠搬送する搬送機構を有するものである。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項２の発明において更に、搬送機構は、清掃体の供給リールと、供給リールから清掃体をヘッドのノズル面の前面に繰り出す繰り出し機構と、清掃体の巻取リールからなるものである。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項２又は３の発明において更に、押圧機構はヘッドのノズル面の前面に張り出された清掃体をヘッドのノズル面に押し付けるローラを有し、ローラにて清掃体をノズル面に押圧しつつノズル面に沿って移動させるものである。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項４の発明において更に、繰り出し機構は清掃体をヘッドのノズル面に沿って移動させる駆動手段を有し、溶液の粘度に合わせて駆動手段の速度を調節する制御装置を有するものである。
【００１２】
請求項６の発明は、基板に溶液をインクジェット方式によって噴射塗布する複数のノズルを有するヘッドを清掃するインクジェットヘッドのクリーニング方法において、吸水性の清掃体をヘッドのノズル面に押し付けることによりヘッドのノズル面を清掃するものである。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項６の発明において更に、清掃体が帯状の清掃体からなり、清掃体をヘッドのノズル面に対向する位置に間欠搬送するものである。
【００１４】
請求項８の発明は、請求項７の発明において更に、ヘッドのノズル面に対向する位置に搬送された清掃体をノズル面に押し付けるローラを有し、ローラにて清掃体をノズル面に押圧しつつ、ローラをノズル面に沿って移動させることにより、ノズル面に清掃体を順次接触させるものである。
【００１５】
請求項９の発明は、請求項６〜８のいずれかの発明において更に、一枚の基板に対する溶液の塗布が完了する毎に、ヘッドの清掃を行なうものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、従来技術の弾性体ブレードによる掻き取りと異なり、吸水性を有する清掃体をヘッドのノズル面に押し付けて余剰塗布溶液を吸い取るものであるため、ヘッドのノズル面との間で摩擦を極力なくすことができ、ノズル面の拭き取り性能が向上し、溶液の塗布品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１はクリーニング装置を省略したインクジェット塗布装置を示す正面図、図２はクリーニング装置を省略したインクジェット塗布装置を示す側面図、図３はインクジェットヘッドの横断面図、図４はインクジェットヘッドの下面図、図５はインクジェットヘッドのノズル面クリーニング装置の模式図であり、（Ａ）はキャリッジの待機位置を示し、（Ｂ）はキャリッジの拭き取り行程端位置を示す、図６はインクジェットヘッドノズル面クリーニング装置の側面図である。
【実施例】
【００１８】
図１から図６に示すインクジェット塗布装置１０は、ほぼ直方体状のべ一ス１を有する。このべ一ス１の下面の所定位置にはそれぞれ脚２が設けられており、上記べ一ス１を水平に支持している。
【００１９】
上記べ一ス１の上面には取付板３が設けられている。取付板３には長手方向に沿ってそれぞれガイドレール４が設けられている。これらガイドレール４の上面側には、ほぼ矩形板状の搬送テーブル５が、その下面両側にそれぞれ平行に設けられたスライド部材６によって、スライド可能に支持されている。
【００２０】
上記搬送テーブル５には不図示の駆動装置が接続されており、この駆動装置を作動することによって、上記搬送テーブル５を上記ガイドレール４に沿って移動できるようになっている。
【００２１】
上記搬送テーブル５の上面には静電チャックや吸引チャックなどの保持手段によってガラス基板や半導体ウエハなどの基板Ｗが着脱可能に保持される。つまり、基板Ｗは上記搬送テーブル５の上面に保持されることで、上記べ一ス１の長手方向に沿って搬送されるようになっている。
【００２２】
上記べ一ス１の長手方向中途部には上記一対のガイドレール４を跨ぐように門型の支持体７が立設されている。この支持体７の上側には角柱からなる取付部材８が水平に架設されており、この取付部材８の前面には複数、この実施例では６つのインクジェット方式のヘッド９が上記基板Ｗの搬送方向と直交する幅方向に並設されている。これら複数のヘッド９がなす長さ寸法は、基板Ｗの幅寸法とほぼ同等或いは僅かに長く設定されており、搬送される基板Ｗの全体が上記ヘッド９の下方を通過するようになっている。
【００２３】
ここで、図３と図４に示すように、上記各ヘッド９はヘッド本体５１を備えている。ヘッド本体５１は上面側から下面側に連通する開口部５２を有しており、その下面開口は可撓板５３によって閉塞されている。該可撓板５３はノズルプレート５４によって覆われており、それによって、該ヘッド本体５１の下面側には可撓板５３とノズルプレート５４との間に複数の液室５５が形成されている。
【００２４】
液室５５は、ノズルプレート５４内に形成された主管５４Ａにそれぞれ不図示の枝管を介して連通され、主管５４Ａから枝管を介して溶液が供給される。主管５４Ａは、一端が後述する供給孔５７に接続され、他端が後述する回収孔５９に接続される。
【００２５】
上記ヘッド本体５１の長手方向一端部には該液室５５に連通する供給孔５７が形成されている。
【００２６】
この供給孔５７からは、上記液室５５に例えば配向膜やレジストなどの機能性薄膜を形成する溶液が供給される。それによって、該液室５５内は溶液で満たされるようになっている。
【００２７】
図４に示すように、上記ノズルプレート５４には、ヘッド本体５１の長手方向と直交する幅方向のほほ中心部、つまり基板Ｗの搬送方向に直交する方向に沿って複数のノズル５６が千鳥状に穿設され、ノズルプレート５４の下面は平坦な形状をなし、複数のノズル５６が開口するノズル面２０を形成している。
【００２８】
また、図３に示すように、上記可撓板５３の上面には、上記各ノズル５６に対向位置して圧電素子５８がそれぞれ固着されている。
また、液室５５もまた、各ノズル５６にそれぞれ一対一に対応して設けられる。
【００２９】
各圧電素子５８には上記開口部５２内に設けられた駆動部６０を介して駆動電圧が供給される。それによって、駆動された圧電素子５８と対応するノズル５６から溶液を吐出させ、搬送される基板Ｗの上面に溶液を噴射塗布することができるようになっている。
【００３０】
図３に示すように、上記ヘッド本体５１の長手方向他端部には上記液室５５に連通する回収孔５９が形成されている。この回収孔５９からは上記液室５５に供給された溶液が回収される。即ち、上記各ヘッド９は上記液室５５に供給された溶液を各ノズル５６から噴射させるだけでなく、上記液室５５内を循環させて上記回収孔５９から回収できるようになっている。
【００３１】
インクジェット塗布装置１０は、図５、図６に示すように、インクジェットヘッドのノズル面クリーニング装置１９を有する。ノズル面クリーニング装置１９は、以下に述べるように、上記複数のヘッド９のノズル面２０に付着した溶液を拭き取る帯状のワイピングクロス（清掃体）１２を搬送する搬送機構１３と、ワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押し付ける押圧機構４１とを有する。
【００３２】
（搬送機構１３）
帯状のワイピングクロス（清掃体）１２の搬送機構１３は、ワイピングクロス１２を繰り出す供給リール１４と、ワイピングクロス１２を巻き取る巻取リール１５と、供給リール１４と巻取リール１５の間に掛け渡されたワイピングクロス１２を上記複数のヘッド９のノズル面２０の対向位置に繰り出す繰り出し機構１６を有してなる。
【００３３】
図１に示すように、支持体７の取付部材８上の前面には、上記複数（本実施例では6個）のインクジェットヘッド９が基板Ｗと直交する幅方向に並設され、複数のヘッド９のノズル面２０の高さは同一で、複数のヘッド９のノズル面２０は同一の水平面上に位置する。
【００３４】
図５、図６に示すように、複数のヘッド９の幅方向の一側（図中左側）には、一対のリール１４、１５が上下方向に離隔して設けられる。図６に示すように、一対のリール１４、１５は上記門型の支持体７の一側のコラム７Ａの前面に取付けた支持板１１上に設けられ、一対のリール１４、１５の回転の中心軸は基板Ｗの搬送方向に平行に配置されている。下方のリール（供給リール１４）にはロール状のワイピングクロス１２の始端部が止着され、上方のリール（巻取リール１５）には上記ロール状のワイピングクロス１２の終端部が止着される。ワイピングクロス１２は低発塵性の吸水性を有する帯状の部材、例えば、ポリエステル繊維からなる。
【００３５】
下方の供給リール１４と上方の巻取リール１５は、図６に示すように、それぞれ駆動モータ１７、１８を有し、供給リール１４と駆動モータ１７の間及び巻取リール１５と駆動モータ１８の間には、それぞれヒステリシスクラッチ２２、２３が介装され、駆動モータ１７、１８のトルクがヒステリシスクラッチ２２、２３を介して伝達される。供給リール１４と巻取リール１５は上記ヘッド９の前方側（図５の紙面上方側）から見て、それぞれ反時計方向に回転し、この回転により供給リール１４はワイピングクロス１２を繰り出し、巻取リール１５はワイピングクロス１２を巻き取る。
【００３６】
尚、供給リール１４を２つ支持体１１に取付け、一方の供給リール１４のワイピングクロス１２を使い切った時に未使用の他方の供給リール１４に自動的に切り替えることも可能である。同様に、巻取リール１５を２つ支持体１１に取付け、一方の巻取リール１５のワイピングクロス１２が一杯になったときに空の他方の巻取リール１５に自動的に切り替えることも可能である。
【００３７】
このように構成すれば、交換後の新たな供給リール１４からワイピングクロス１２の供給を開始した後に、ワイピングクロス１２を使い切った供給リール１４及びワイピングクロス１２が一杯になった巻取リール１５を未使用の供給リール１４及び空の巻取リール１５に交換することができるので、ワイピングクロス１２によるヘッド９の清掃を中断することなく供給リール１４及び巻取リール１５の交換を行なうことができる。
【００３８】
供給リール１４から巻取リール１５に至るワイピングクロス１２の搬送経路には、繰り出しローラ２４、後述するガイドローラ３６及び案内ローラ４０が設けられ、ワイピングクロス１２はこれらのローラ２４、３６、４０に掛け回されて供給リール１４から巻取リール１５へと搬送される。
【００３９】
繰り出しローラ２４には、ピンチローラ２５が併設され、繰り出しローラ２４とピンチローラ２５との間にワイピングクロス１２が挟まれる。繰り出しローラ２４は駆動モータ（不図示）を有し、供給リール１４からワイピングクロス１２を繰り出し、ピンチローラ２５は駆動スリップを防止する。但し、この繰り出しローラ２４とピンチローラ２５の代わりに、駆動モータを備えない単なる案内ローラを設けるだけでも良い。
【００４０】
上記の複数のヘッド９の上側には、上記ワイピングクロス１２を上記供給リール１４から上記複数のヘッド９のノズル面２０と対向する前面に繰り出す上記繰り出し機構１６が設けられている。
【００４１】
繰り出し機構１６は、キャリッジ３５と、このキャリッジ３５を基板Ｗの搬送方向と直交する幅方向に前進後退させる駆動手段２６を有する。
【００４２】
駆動手段２６は、図５に示すように、前記取付部材８の前面に並設されたヘッド９の上側に幅方向に離隔して固定された２つのプーリー３０、３１と、２つのプーリー３０、３１の間に巻回されたタイミングベルト３２と、右側プーリー３０の駆動モータ３３とを有してなる。駆動モータ３３は正転（反時計方向）逆転（時計方向）の切換が可能である。
【００４３】
図６に示すように、取付部材８に取付けられた前記ヘッド９の上側位置に、基台３７が取付けられている。この基台３７上には、上述の２つのプーリ３０、３１及び駆動モータ３３が取付けられる。また、基台３７の前面には、一本のレールからなる直線ガイド３４が、上記タイミングベルト３２の下方に該タイミングベルト３２と平行に設けられる。上記直線ガイド３４上には、キャリッジ３５が取付けられている。キャリッジ３５は、直線ガイド３４上に取付けられるスライド部３５Ａと、スライド部３５Ａの下部に取付けられ下方に延びるガイド部３５Ｂからなり、ガイド部３５Ｂの下端部には、ガイドローラ３６が回転自在に軸支されている。ガイド部３５Ｂは複数のヘッド９の前方側（図５の紙面の上方側）に位置し、ガイドローラ３６はヘッド９のノズル面２０と対向する。ガイドローラ３６は、ワイピングクロス１２の表側面（ヘッド９と対向する側）と反対の裏側面を支持している。ガイドローラ３６の外周上端部と上記複数のヘッド９のノズル面２０を結ぶ水平面との間には、隙間が設けられている。
【００４４】
上記キャリッジ３５のスライド部３５Ａの上部は固定具３５Ｃを用いてタイミングベルト３２に固定され、図５（Ａ）に示す状態において、駆動モータ３３が逆転（反時計回り方向に回転）するとキャリッジ３５が直線ガイド３４上を右方向に移動（前進）する。また、図５（Ｂ）に示す状態において、駆動モータ３３が正転（時計回り方向に回転）するとキャリッジ３５が直線ガイド３４上を左方向に移動（後退）する。
【００４５】
また、図５（Ａ）は、キャリッジ３５が待機位置に位置した状態を示す。待機位置は、搬送テーブル５の移動及びヘッド９による搬送テーブル５によって搬送される基板Ｗ上への溶液の噴射塗布に支障のない位置である。
【００４６】
キャリッジ３５は、この待機位置から後述する拭き取り工程のために図５（Ｂ）に示す右端の拭き取り工程端に向けて前進される。
【００４７】
上記ガイドローラ３６と上記巻取リール１５との間には、ワイピングクロス１２の表側面を支持する案内ローラ４０が回転自在に設けられる。案内ローラ４０の外周下端部は複数のヘッド９のノズル面２０を結ぶ水平面より若干下方に突出する位置に設けられている。
【００４８】
上記駆動手段２６は上記キャリッジ３５のガイド部３５Ｂを上記直線ガイド３４に沿って図５（Ａ）に示す待機位置から図５（Ｂ）に示す拭き取り行程端に向けて上記基板Ｗの搬送方向と直交する幅方向（図５中、左右方向）に前進させる。キャリッジ３５の前進時には、上記巻取リール１５は停止し、ガイド部３５Ｂの前進に連動して上記繰り出しローラ２４と供給リール１４が回転してワイピングクロス１２を繰り出す。キャリッジ３５は、その前進によりガイドローラ３６と案内ローラ４０との間に、複数のヘッド９のノズル面２０と対向する前面（下面）位置にワイピングクロス１２を平行に繰り出す。尚、このガイド部３５Ｂの前進時には、後述する押圧機構４１の押し付けローラ４３が上方に揺動して、複数のヘッド９のノズル面２０にワイピングクロス１２を押圧しつつ、ノズル面２０に沿って移動する。
【００４９】
上記キャリッジ３５が、図５（Ｂ）に示す拭き取り行程端に達した後、上記の駆動手段２６はキャリッジ３５を直線ガイド３４に沿って図５（Ｂ）に示す拭き取り行程端から図５（Ａ）に示す待機位置に向けて上記幅方向に後退させる。キャリッジ３５の後退に連動して上記巻取リール１５が回転してワイピングクロス１２を巻取る。尚、このガイド部３５Ｂの後退時には、後述する押圧機構４１の押し付けローラ４３が下方に揺動して、複数のヘッド９のノズル面２０から離れ、ワイピングクロス１２はノズル面２０との間に隙間を保持した状態で後退する。
【００５０】
駆動手段２６としては、上述の駆動モータとタイミングベルトからなるものに代えて、往復動式のエアシリンダを使用して、上記のキャリッジ３５を幅方向に進退させても良い。また、上記供給リール１４と巻取リール１５の間に掛け渡されたワイピングクロス１２の図５（Ａ）の左側に、エアシリンダを設けて、エアシリンダのピストンロッドの先端部に上記のガイド部３５Ｂを取付けて、ワイピングクロス１２を上記ヘッド９のノズル面２０に繰り出すようにしても良い。
【００５１】
（押圧機構４１）
インクジェット塗布装置１０は、ワイピングクロス１２を複数のヘッド９のノズル面２０に押し付ける押圧機構４１を有する。
【００５２】
図５、図６に示すように、押圧機構４１は、アーム４２、押し付けローラ４３、エアシリンダ４４を有する。上記キャリッジ３５のガイド部３５Ａの下端部には、上記ガイドローラ３６と同軸にアーム４２が上下揺動可能に軸支され、アーム４２の先端部には上記ガイドローラ３６より小径の押し付けローラ４３が回転軸支される。アーム４２はエアシリンダ４４の駆動により上下に揺動される。図５（Ａ）のキャリッジ３５の待機位置では、押し付けローラ４３を回転軸支するアーム４２は上記案内ローラ４０とキャリッジ３５のガイドローラ３６との間に掛け渡されたワイピングクロス１２の裏側面に略水平位置に保持される。
【００５３】
上記キャリッジ３５のガイドローラ３６が、図５（Ａ）に示す待機位置から前進するときには、上記エアシリンダ４４のピストンロッド４４Ａを伸長させて上記アーム４２を上記水平位置から上方に揺動させる。図５（Ｂ）に示すように、アーム４２が上方に揺動した押し付け位置では、アーム４２の先端部の押し付けローラ４３が、上記案内ローラ４０とキャリッジ３５のガイドローラ３６との間に掛け渡されたワイピングクロス１２を上記ヘッド９のノズル面２０に押圧する。
【００５４】
図６の二点鎖線は、アーム４２が上方に揺動して押し付けローラ４３がヘッド９のノズル面２０に押し付けられている押し付け位置の状態を示す。
【００５５】
上記キャリッジ３５の前進に追従して、押し付けローラ４３はワイピングクロス１２を複数のヘッド９のノズル面２０に押圧しつつノズル面２０に沿って移動する。
【００５６】
上記キャリッジ３５が、図５（Ｂ）の拭き取り行程端の位置から図中左方に後退する時には、上記エアシリンダ４４のピストンロッド４４Ａが収縮して、アーム４２を押し付け位置から下方に揺動させて上記水平位置に復帰させる。アーム４２が水平位置に復帰すると、押し付けローラ４３がワイピングクロス１２は上記ヘッド９のノズル面２０から離れ、上記案内ローラ４０とキャリッジのガイドローラ３６の間のワイピングクロス１２は上記複数のヘッド９のノズル面２０との間に隙間を保持した平行状態に戻り、この平行状態でキャリッジ３５が後退する。
【００５７】
インクジェット塗布装置１０は、不図示の制御装置を備え、制御装置はワイピングクロス繰り出し機構１６の前記駆動手段２６を構成する右側プーリー３０の駆動モータ３３、繰り出しローラ２４の駆動モータ及び駆動モータ１７、１８の駆動を制御するとともに、供給リール１４と巻取リール１５の間に介装されたヒステリシスクラッチ２２、２３の励磁電流を制御して各駆動モータ１７、１８の伝達トルクを制御する。更に、制御装置はエアシリンダ４４の駆動を制御してアーム４２を水平位置と押し付け位置の２位置に切り替える。
【００５８】
次に、上記構成のインクジェット塗布装置１０の作用について、図５（Ａ）と図５（Ｂ）を参照しながら説明する。
【００５９】
図２に示すように、基板Ｗの搬入／搬出位置において、搬送テーブル５の上面に基板Ｗが供給される。上面に基板Ｗを保持した搬送テーブル５は、ベース１の長手方向に沿ってヘッド９の下方に所定の速度で移動する。この移動時には、キャリッジ３５は上記搬送テーブル５の移動を妨げないように、図５（Ａ）に示す待機位置に退避している。
【００６０】
基板Ｗを保持した搬送テーブル５がヘッド９の下方に到達すると、搬送テーブル５に所定の送りをかけながら、圧電素子５８を駆動して各ヘッド９の液室内に満たされた、例えば配向膜やレジストなどの機能性薄膜を形成する溶液をノズル５６から噴射させる。それによって、搬送される基板Ｗの上面に溶液が塗布される。一枚の基板Ｗに対する溶液の噴射が終了すると、搬送テーブル５が搬入／搬出位置に移動する。この位置で、溶液が塗布された基板Ｗの次工程への搬出、及び溶液を塗布すべき次の基板Ｗの搬入といった基板Ｗの搬入／搬出動作が行なわれる。
【００６１】
（繰り出し機構１６のキャリッジ３５の前進時）
インクジェット塗布装置１０は一枚の基板Ｗに対する噴射が終了すると、ワイピングクロス繰り出し機構１６の駆動手段２６を構成する右側プーリー３０の駆動モータ３３を逆転（反時計方向）させて、タイミングベルト３２に固定されたキャリッジ３５を図５（Ａ）に示す待機位置から複数のヘッド９の前面（下面）に沿って図５（Ｂ）に示す拭き取り行程端の位置まで約100〜200mm/secの速度で前進させる。尚、この動作は、上述の基板Ｗの搬入／搬出動作と並行して行なうようにしても良い。
【００６２】
上記キャリッジ３５の前進時には、巻取リール１５の回転を停止させるとともに供給リール１４の駆動モータ１７及び繰り出しローラ２４の駆動モータを駆動させる。繰り出しローラ２４はキャリッジ３５（ガイドローラ３６）の前進に合わせてワインピングクロス１２を弛みが生じないように繰り出す。キャリッジ３５の前進に連動して、供給リール１４の駆動モータ１７と繰り出しローラ２４の駆動モータが回転し、複数のヘッド９の幅方向の長さに相当する分のワイピングクロス１２を繰り出す。ワイピングクロス１２はガイドローラ３６と上記案内ローラ４０との間に、上記複数のヘッド９のノズル面２０に対向する前面位置に平行に繰り出される。
【００６３】
制御装置はワイピングクロス１２に弛みが生じないように、供給リール１４と駆動モータの間に介装されたヒステリシスクラッチ２２の励磁電流を制御して、駆動モータ１７の伝達トルクを制御する。
【００６４】
上記キャリッジ３５の前進時には、上述の如く、押圧機構４１のエアシリンダ４４が駆動され、ピストンロッド４４Ａが伸長して、アーム４２が上方の押し付け位置に揺動し、押し付けローラ４３がヘッド９のノズル面２０に向けて付勢される。これにより、押し付けローラ４３はワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押し付けた状態で、順次各ヘッド９のノズル面２０に沿って移動する。ワイピングクロス１２は、吸水性を有する材料からなるので、ヘッド９のノズル面２０に付着した溶液を吸着して拭き取る。
【００６５】
上記キャリッジ３５の前進時には、巻取リール１５の回転が停止した状態で、供給リール１４が回転して、ワイピングクロス１２を繰り出す。巻取リール１５の回転が停止しているので、案内ローラ４０の回転も停止状態を保持する。その結果、ヘッド９のノズル面２０と対向するワイピングクロス１２はヘッド９に対して相対移動することなく同じワイピングクロス１２面が対向することになる。従って、ワイピングクロス１２がヘッド９のノズル面２０を摺らないので、清掃体としてのワイピングクロス１２から摩擦に起因する塵が発生することがなく、この塵が溶液に混入して溶液と共に基板Ｗに塗布されることが防止できるとともに、清掃体自体やノズル面２０に付着した溶液やゴミをノズル内に押し込んでしまったりすることが防止できる。
【００６６】
尚、上述のキャリッジ３５の前進時において、キャリッジ３５の移動速度をヘッド９が噴射する溶液の粘度に合わせて増減させるようにしても良い。
【００６７】
例えば、同じ品種のワイピングクロス１２であれば、溶液の粘度が高いほど染み込むのに時間を要することが考えられるので、溶液の粘度が高いときには、粘度が低い溶液を拭き取るときよりもキャリッジ３５の移動速度を低く設定するという具合である。
【００６８】
このようにすることで、ワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押し付ける時間を溶液がワイピングクロス１２に染み込む速度に合わせて変えることができ、ノズル面２０に付着した溶液をより確実に取り除くことができる。
【００６９】
ここで、キャリッジ３５の移動速度の増減は、制御装置により駆動モータ３３の回転速度を増減することで行なうことができる。
【００７０】
（繰り出し機構１６のキャリッジ３５の後退時）
キャリッジ３５が、図５（Ｂ）に示す拭き取り行程端に達すると、押圧機構４１のエアシリンダ４４が作動してピストンロッド４４Ａを収縮させ、アーム４２を下方に揺動して上記水平位置に復帰させる。キャリッジ３５は、アーム４２が水平位置の状態で、直線ガイド３４に沿って図中左方の待機位置に後退する。
【００７１】
図５（Ｂ）に示す拭き取り工程端から図５（Ａ）に示す待機位置へのキャリッジ３５の後退時には、キャリッジ３５の後退に合わせて巻取リール１５が回転されて溶液を吸着したワイピングクロス１２を巻き取る。このとき、供給リール１４と繰り出しローラ２４はその回転が停止される。また、制御装置は、巻取リール１５と駆動モータ１８との間に介装されたヒステリシスクラッチ２３の励磁電流を制御して駆動モータ１８の伝達トルクを制御して、巻き取るワイピングクロス１２に所定の張力を付与する。
【００７２】
尚、上述のように、キャリッジ３５の後退に合わせてワイピングクロス１２を巻取リール１５に巻き取ると、キャリッジ３５が拭き取り工程端に位置していたときに、繰り出しローラ２４とガイドローラ３６との間に位置していた未使用のワイピングクロス１２をも巻取リール１５に巻き取ることになる。
【００７３】
そこで、キャリッジ３５の後退中に、まず、巻取リール１５にてヘッド９の幅方向長さ（６つのヘッド９を合わせた幅方向の長さ）分のワイピングクロス１２を巻き取る。その後、巻取リール１５の回転を停止させるとともに、供給リール１４及び繰り出しローラ２４をワイピングクロス１２の繰り出し時とは反対方向に回転させる。そして、繰り出しローラ２４とガイドローラ３６との間に位置していた未使用のワイピングクロス１２を供給リール１４側に巻き戻す。
【００７４】
このようにすると、巻取リール１５には、ヘッド９のノズル面２０の拭き取りに供された分のワイピングクロス１２だけが巻き取られ、未使用のワイピングクロス１２は供給リール１４側に巻き戻されるので、ワイピングクロス１２を無駄なく使用することができる。
【００７５】
以上でインクジェット塗布装置１０のヘッド９のクリーニング作用の１サイクルが終了するが、１サイクル以上を繰り返すこともできる。
【００７６】
尚、以上において、ワイピングクロス搬送機構１３は、ワイピングクロス１２を間欠搬送する。即ち、キャリッジ３５の前進時には、巻取リール１５が停止した状態で供給リール１４からヘッド９の幅方向の長さに相当する量のワイピングクロス１２を繰り出す。
【００７７】
キャリッジ３５の後退時には、巻取リール１５が回転して、溶液が付着したワイピングクロス１２を巻取り、供給リール１４は停止した状態とする。
【００７８】
その結果、キャリッジ３５の前進後退に連動して、巻取リール１５は停止回転を間欠的に繰り返し、供給リール１４は回転と停止を間欠的に繰り返す。
【００７９】
また、キャリッジ３５を前進後退させる駆動手段の右側プーリー３０の駆動モータ３３も逆転正転を間欠的に繰り返す。以上の如く、ワイピングクロス搬送機構１３は、間欠的にワイピングクロス１２を搬送する。
【００８０】
本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)本インクジェット塗布装置は、吸水性のワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押し付ける押圧機構４１を有する。従って、従来技術の弾性体ブレードによる掻き取りと異なり、吸水性を有するワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押し付けて余剰塗布溶液を吸着して拭き取るものであるため、ヘッド９のノズル面２０に余剰塗布溶液が残ることが防止でき、拭き取った後のヘッド９のノズル面２０からの溶液の吐出が安定する。
【００８１】
(b)ワイピングクロス１２は帯状であり、ワイピングクロス１２を間欠搬送する搬送機構１３を有するので、搬送機構１３により溶液の付着していない新しいワイピングクロス１２部分を間欠的に順次繰り出して、ヘッド９のノズル面２０を清掃することができる。
【００８２】
従来技術の弾性体ブレードでは、弾性体ブレード自体は替わらないので、掻き取った溶液が常に弾性ブレードに付着している。これに対して、ワイピングクロス１２では、ワイピングクロス１２における溶液が付着した部分は巻取リール１５に巻き取られ、次の清掃時にはワイピングクロス１２における新たな部分で清掃するので、前回の清掃によって拭き取った溶液がヘッド９のノズル面２０に付着する心配がなく、拭き取り性能が向上し、ヘッド９のノズル面２０を常に清浄に維持することができる。
【００８３】
(c)搬送機構１３はワイピングクロス１２の供給リール１４と、供給リール１４から複数のヘッド９のノズル面２０の前面にワイピングクロス１２を繰り出す繰り出し機構１６と、ワイピングクロス１２の巻取リール１５を有する。
【００８４】
供給リール１４はロール状の新しいワイピングクロス１２をストックし、繰り出し機構１６は複数のヘッド９のノズル面２０の長さに略相当する分のワイピングクロス１２を、供給リール１４から複数のヘッド９のノズル面２０の前面に繰り出し、巻取リール１５は溶液を吸着したワイピングクロス１２部分を巻き取る。その結果、帯状のワイピングクロス１２であっても容易に取り扱うことができ、ワイピングクロス１２の交換作業が容易となり、また、ワイピングクロス１２の管理も容易となる。
【００８５】
(d)押圧機構４１は、繰り出し機構１６にて複数のヘッド９のノズル面２０の前面に繰り出されたワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押圧する押し付けローラ４３を有し、押し付けローラ４３をノズル面２０に押圧しつつヘッド９のノズル面２０に沿って移動させるものである。従って、押し付けローラをヘッド９のノズル面２０に押圧しつつノズル面２０に沿って移動させるので、ノズル面２０の清掃作業が迅速となり、基板Ｗの清掃時間を短縮することができ、コストダウンを図ることができる。
【００８６】
(e)繰り出し機構１６はワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に沿って移動させる駆動手段２６を有し、溶液の粘度に合わせて駆動モータ３３の回転速度を調節する制御装置を有するものである。
【００８７】
その結果、溶液の粘度に合わせてキャリッジ３５の移動速度を調節することが可能となる。従って、クリーニングクロスの押し付け時間をコントロールして拭き取り性能を向上させることができる。
【００８８】
(f)インクジェットヘッド９のクリーニング方法は、吸水性のワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押し付けることにより、ヘッド９のノズル面２０を清掃するので、従来技術の如く弾性体ブレードにより掻き取る方法と異なり、吸水性を有するワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押し付けて余剰塗布溶液を吸着して拭き取る方法であるため、ヘッド９のノズル面２０に余剰塗布溶液が残ることが防止でき、拭き取った後のヘッド９のノズル面２０からの溶液の吐出が安定する。
【００８９】
(g)ワイピングクロス１２が帯状のワイピングクロス１２からなり、ワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に対向する位置に間欠搬送するので、搬送機構１３により溶液の付着していない新しいワイピングクロス１２部分を間欠的に順次繰り出して、ヘッド９のノズル面２０を清掃することができる。従来技術の弾性体ブレードでは、弾性体ブレード自体は替わらないので、掻き取った溶液が常に弾性ブレードに付着している。これに対して、ワイピングクロス１２では、ワイピングクロス１２における溶液が付着した部分は巻取リール１５に巻き取られ、次の清掃時にはワイピングクロス１２における新たな部分で清掃するので、前回の清掃によって拭き取った溶液がヘッド９のノズル面２０に付着する心配がなく、拭き取り性能が向上し、ヘッド９のノズル面２０を常に清浄に維持することができる。
【００９０】
(h)ヘッド９のノズル面２０に対向する位置に搬送されたワイピングクロス１２をノズル面２０に押圧する押し付けローラ４３を有し、押し付けローラ４３にてワイピングクロス１２をノズル面２０に押圧しつつ、ローラ４３をノズル面２０に沿って移動させることにより、ノズル面２０にワイピングクロス１２を順次接触させるものである。従って、ローラ４３をヘッド９のノズル面２０に押圧しつつヘッド９のノズル面２０に沿って移動させるので、ノズル面２０の清掃作業が迅速となり、基板Ｗの清掃時間を短縮することができ、コストダウンを図ることができる。
【００９１】
(i)一枚の基板Ｗに対する溶液の塗布が完了する毎に、ヘッド９の清掃を行なうものであるので、溶液を極力乾燥によって固化する前の状態でノズル面２０から取り除くことができ、比較的容易に溶液を除去することができる。従って、ヘッド９のノズル面２０を常に清浄に保つことができる。その結果、ヘッド９からの溶液の吐出むらの発生を抑えることができ、溶液の吐出が安定し、基板Ｗに形成する機能性膜の品質を向上させることができる。
【００９２】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、上記実施例において、キャリッジ３５の前進時にワイピングクロス１２をヘッド９のノズル面２０に押し付ける例で説明したが、キャリッジ３５の後退時に押し付けるようにしても良い。
【００９３】
このときには、供給リール１４と巻取リール１５とを図５に示した配置と入れ替えて配置し、押し付けローラ４３を図５に示したアーム４２に対して支軸の右側、即ち、図５に示した状態と左右反転した位置関係に取付けるようにすると良い。
【００９４】
また、清掃体としてワイピングクロスを用いた例で説明したが、要は吸水性を有する部材であれば良く、他の部材であっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】図１はクリーニング装置を省略したインクジェットヘッド塗布装置を示す正面図である。
【図２】図２はクリーニング装置を省略したインクジェットヘッド塗布装置を示す側面図である。
【図３】図３はインクジェットヘッドの横断面図である。
【図４】図４はインクジェットヘッドの下面図である。
【図５】図５はインクジェットヘッドノズル面クリーニング装置を示す模式図であり、（Ａ）はキャリッジの待機位置を示し、（Ｂ）はキャリッジの拭き取り行程端位置を示す。
【図６】図６はインクジェットヘッドノズル面クリーニング装置の左側面を模式的に表す図である。
【符号の説明】
【００９６】
９  ヘッド
１０  インクジェット塗布装置
１２  ワイピングクロス（清掃体）
１３  搬送機構
１４  供給リール
１５  巻取リール
１６  繰り出し機構
１９  ノズル面クリーニング装置
２０  ノズル面
２６  駆動手段
３５  キャリッジ
３５Ｂ  ガイド部
４１  押圧機構
４３  押し付けローラ
５６  ノズル
Ｗ  基板
【図１】
2006248102.tif 000003
【図２】
2006248102.tif 000004
【図３】
2006248102.tif 000005
【図４】
2006248102.tif 000006
【図５】
2006248102.tif 000007
【図６】
2006248102.tif 000008