(57)【要約】【課題】平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク及びその製造方法を提供する。【解決手段】複数の第１開口部を備える補強部材と、補強部材の第１開口部にそれぞれ対応して配列されて、補強部材により支持されるマスクパターン部と、補強部材の第１開口部に対応する複数の第２開口部を備え、補強部材とマスクパターン部とを接着させて、補強部材及びマスクパターン部を支持するための緩衝部材と、を備える平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクである。これにより、オープンマスクと、オープンマスクの開口部に配列されるマスクパターン部とを緩衝部材で接合させて位置精度を向上させ、熱膨張を抑制できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１開口部を備える補強部材と、
前記補強部材の第１開口部にそれぞれ対応して配列されて、前記補強部材により支持されるマスクパターン部と、
前記補強部材の第１開口部に対応する複数の第２開口部を備え、前記補強部材と前記マスクパターン部とを接着させて、前記補強部材及びマスクパターン部を支持するための緩衝部材と、を備えることを特徴とする平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク。
【請求項２】
前記補強部材は、熱膨張係数の小さな物質で形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク。
【請求項３】
前記補強部材は、インバール材料で形成されることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク。
【請求項４】
前記緩衝部材は、導電性物質を含むことを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク。
【請求項５】
前記緩衝部材は、ニッケル−コバルト合金膜を備えることを特徴とする請求項４に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク。
【請求項６】
前記マスクパターン部は、被蒸着基板に蒸着される薄膜と同じパターンの複数の第３開口部と複数の遮蔽部とを備え、前記第３開口部は、前記遮蔽部により画定されることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク。
【請求項７】
被蒸着基板に蒸着される薄膜と同じパターンを備える複数の第１開口部を有するマスクと、
第２開口部を備え、前記マスクを支持するためのフレームと、を備え、
前記マスクは、前記複数の第１開口部をそれぞれ備える複数のマスクパターン部と、
複数の第３開口部を備え、前記複数のマスクパターン部がそれぞれ前記第３開口部に対応して配列されて支持されるオープンマスクと、
前記オープンマスクの第３開口部に対応する第４開口部を備え、前記オープンマスクと前記マスクパターン部とを接着させて、前記オープンマスク及びマスクパターン部を支持するための緩衝部材と、を備えることを特徴とする平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体。
【請求項８】
前記オープンマスクは、熱膨張係数の小さな物質で形成されることを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体。
【請求項９】
前記オープンマスクは、インバール材料で形成されることを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体。
【請求項１０】
前記緩衝部材は、導電性物質を含むことを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体。
【請求項１１】
前記緩衝部材は、ニッケル−コバルト合金膜を備えることを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体。
【請求項１２】
ベースメタルにマスクパターン部を形成するステップと、
前記ベースメタル上にマスキング物質を形成するステップと、
前記マスキング物質のうち、前記マスクパターン部に対応する部分を除いた部分に補強部材を接着させるステップと、
前記マスキング物質のうち、前記マスクパターン部に対応する部分を除去するステップと、
前記マスクパターン部と補強部材とを緩衝部材で接着させるステップと、
前記ベースメタルを分離させるステップと、
前記マスキング物質を除去するステップと、を含むことを特徴とする平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項１３】
前記補強部材は、前記マスクパターン部に対応する複数の開口部を備え、前記マスクパターン部を支持することを特徴とする請求項１２に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項１４】
前記補強部材は、熱膨張係数の小さな物質で形成されることを特徴とする請求項１３に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項１５】
前記補強部材は、インバール材料で形成されることを特徴とする請求項１４に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項１６】
前記マスクパターン部は、電鋳法により形成されることを特徴とする請求項１２に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項１７】
前記緩衝部材は、導電性金属物質を含むことを特徴とする請求項１２に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項１８】
前記緩衝部材は、ニッケル−コバルト合金膜を備えることを特徴とする請求項１３に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項１９】
前記緩衝部材は、電気メッキ法により形成されることを特徴とする請求項１２に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項２０】
前記マスキング物質を形成するステップは、感光膜を前記ベースメタルに塗布した後、前記マスクパターン部に対応する部分を露光させて形成することを特徴とする請求項１２に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【請求項２１】
前記マスキング物質に補強部材を接着させるステップと、前記マスクパターン部と補強部材とを接合させるステップとの間に、前記マスキング物質のうち、マスクパターン部に対応する部分を現像工程を通じて除去するステップを更に含むことを特徴とする請求項２０に記載の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクに係り、より具体的には、オープンマスクと、前記オープンマスクの開口部に配列されるマスクパターン部とを緩衝部材で接合させた平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自発光素子である有機電界発光（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ：以下、ＥＬ）素子は、視野角が広く、コントラストに優れているだけでなく、応答速度が速いという長所により、次世代の平板表示装置として注目されている。ＥＬ素子は、アノード電極、カソード電極、及び両電極間の発光層を有する有機膜層を備える。有機膜は、水分に弱く、通常的なフォトリソグラフィ法で有機膜層を形成することは限界があるため、蒸着法などを利用して形成する。
【０００３】
図１は、従来の平板表示装置の薄膜を蒸着するための蒸着マスクフレーム組立体の分離斜視図である。図１は、平板表示装置であるＥＬ表示装置の有機膜のような薄膜を蒸着するためのマスクフレーム組立体の分離斜視図である。
【０００４】
図１に示すように、従来のマスクフレーム組立体１００は、パターンマスク１１０と、前記パターンマスク１１０を支持するためのフレーム１２０とを備える。前記フレーム１２０は、前記パターンマスク１１０を支持するための左右支持バー１２１と、上下支持バー１２２とを備え、単一の開口部１２３と、を備える。
【０００５】
前記パターンマスク１１０は、金属薄板１１１から形成されて、複数のマスクパターン部１１２を備える。この時、パターンマスク１１０は、被蒸着基板１３０のマザーボードにＥＬ素子を備える複数の単位素子を製造できるように複数のマスクパターン部１１２を備える。
【０００６】
各複数のマスクパターン部１１２は、各単位素子に対応して配列され、被蒸着基板１３０上に蒸着される単位素子の薄膜と同じパターンを有する複数の開口部１１３を備える。前記パターンマスク１１０は、各辺で引張力が加えられてフレーム１２０に固定される。
【０００７】
この時、パターンマスク１１０を格子状のフレーム１２０に固定する場合、引張力が均一に加えられ、パターンマスク１１０上のマスクパターン部１１２に形成された開口部１１３の幅が、設定された公差範囲内で維持されるようにフレームに固定されねばならない。
【０００８】
従来の大面積の金属薄板マスクは、均一な引張力が加えられるようにフレームに固定されても、マスク自体の重さにより下垂が発生する。マスクの下垂を防止するために引張力を加えれば、フレーム１２０の左右支持バー１２１が内側に曲がり、上下支持バー１２２が上下に凸状に曲がって変形されるか、またはフレーム１２０の左右支持バー１２１が外側に凸状に曲がり、上下支持バー１２２が内側に曲がって変形されるという問題点があった。
【０００９】
このように、パターンマスク１１０に均一な引張力を加えてフレームに固定させる場合にも、マスクパターン部１１２の開口部１１３が変形され、これにより基板上に形成された単位素子の電極パターン（図示せず）と、マスクパターン部１１２の開口部１１３との間に誤差が発生するという問題点が発生する。
【００１０】
このような問題点を解決するために、特許文献１及び特許文献２には、フレームに固定されるマスクを複数の単位マスクに分割し、分割された単位マスクを、フレームに引張力が加えられるように両端部を固定させた、ＥＬ素子の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体が開示されている。しかし、前記特許文献１及び特許文献２は、分割されたマスク間の間隙及び堅固性の問題が依然として残っている。
【００１１】
また、従来のパターンマスク１１０は、感光膜を利用したフォト工程で金属薄板をエッチングしてマスクパターン部１１２を形成するが、この場合には、開口部の精度及び画素の位置精度が低下するという問題点があった。これを解決するために、特許文献３及び特許文献４には、電気メッキ法を利用したメタルマスクを製造する方法が開示されている。    
【特許文献１】韓国特許公開第２００３−００４６０９０号明細書
【特許文献２】韓国特許公開第２００３−００９３９５９号明細書
【特許文献３】特開２００２−０５５４６１号公報
【特許文献４】韓国特許公開第２００３−０００９３２４号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであって、オープンマスクと、オープンマスクの開口部に配列されるマスクパターン部とを緩衝部材を利用して接合させることにより、マスクの堅固性、開口部及び位置の精度を向上させうる平板表示装置の薄膜蒸着用のマスク及びその製造方法を提供するところにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するために、本発明は、複数の第１開口部を備える補強部材と、前記補強部材の第１開口部にそれぞれ対応して配列されて、前記補強部材により支持されるマスクパターン部と、前記補強部材の第１開口部に対応する複数の第２開口部を備え、前記補強部材と前記マスクパターン部とを接着させて、前記補強部材及びマスクパターン部を支持するための緩衝部材と、を備える平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクを提供することを特徴とする。
【００１４】
前記補強部材は、熱膨張係数の小さな物質から形成される。前記補強部材は、インバール材料を含む。前記緩衝部材は、導電性物質を含む。前記緩衝部材は、ニッケル−コバルト合金膜を備える。
【００１５】
前記マスクパターン部は、被蒸着基板に蒸着される薄膜と同じパターンの複数の第３開口部と複数の遮蔽部とを備え、前記第３開口部は、前記遮蔽部により画定される。
【００１６】
また、本発明は、被蒸着基板に蒸着される薄膜と同じパターンを備える複数の第１開口部を有するマスクと、第２開口部を備え、前記マスクを支持するためのフレームと、を備え、前記マスクは、前記複数の第１開口部をそれぞれ備える複数のマスクパターン部と、複数の第３開口部を備え、前記複数のマスクパターン部がそれぞれ前記第３開口部に対応して配列されて支持されるオープンマスクと、前記オープンマスクの第３開口部に対応する第４開口部を備え、前記オープンマスクと前記マスクパターン部とを接着させて、前記オープンマスク及びマスクパターン部を支持するための緩衝部材と、を備える平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体を提供することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、ベースメタルにマスクパターン部を形成するステップと、前記ベースメタル上にマスキング物質を形成するステップと、前記マスキング物質のうち、前記マスクパターン部に対応する部分を除いた部分に補強部材を接着させるステップと、前記マスキング物質のうち、前記マスクパターン部に対応する部分を除去するステップと、前記マスクパターン部と補強部材とを緩衝部材で接着させるステップと、前記ベースメタルを分離させるステップと、前記マスキング物質を除去するステップと、を含む平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を提供することを特徴とする。
【００１８】
前記補強部材は、前記マスクパターン部に対応する複数の開口部を備え、前記マスクパターン部を支持する。前記補強部材は、熱膨張係数の小さな物質から形成される。前記補強部材は、インバール材料を含む。
【００１９】
前記マスクパターン部は、電鋳法により形成される。前記緩衝部材は、電気メッキ法により形成される。
【００２０】
前記マスキング物質を形成するステップは、感光膜を前記ベース物質に塗布した後、前記マスクパターン部に対応する部分を露光させて形成することを含む。
【００２１】
前記マスキング物質に補強部材を接着させるステップと、前記マスクパターン部と補強部材とを接合させるステップとの間に、前記マスキング物質のうち、マスクパターン部に対応する部分を現像工程により除去するステップを更に含む。
【発明の効果】
【００２２】
前記のような本発明の実施形態に係るマスク及びその製造方法は、次のような効果を得ることができる。
【００２３】
第一に、マスクパターン部が熱膨張係数の小さなインバール材料のオープンマスクにより支持されるため、薄膜蒸着時に温度によるマスクの変形を防止でき、均一な薄膜を蒸着できる。
【００２４】
第二に、マスクパターン部とオープンマスクとがニッケル−コバルト（Ｎｉ−Ｃｏ）合金膜により連結されて支持されるため、マスクの堅固性を向上させるだけでなく、応力を緩衝させうる。
【００２５】
第三に、パターンマスクのマスクパターン部を電気メッキ法のような電鋳法を利用して形成することにより、マスクパターン部の開口部及び位置の精度を向上させうる。
【００２６】
第四に、パターンマスクのマスクパターン部がオープンマスクの開口部に直接固定されるものではなく、緩衝部材により固定されて突出する構造を有するため、被蒸着基板との密着力を向上させうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付された図面を参照して本発明の実施形態を説明すれば、次の通りである。
【００２８】
図２は、本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの斜視図である。図３Ａは、本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの平面図である。図３Ｂは、本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの断面図であって、図３ＡのＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ線に沿う断面構造を示す。
【００２９】
図２、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、本発明の実施形態に係るマスク２００は、複数の開口部２２１を備えるオープンマスク２２０と、前記オープンマスク２２０の開口部２２１に配列されるマスクパターン部２１０とを備える。前記オープンマスク２２０は、前記複数の開口部２２１のうち、一方向に配列される開口部を分離させるための第１リブ２２５と、前記一方向と交差する方向に配列される開口部を分離させるための第２リブ２２６とを備える。
【００３０】
前記マスクパターン部２１０は、ニッケル−コバルト（Ｎｉ−Ｃｏ）合金膜から形成され、前記オープンマスク２２０は、鉄（Ｆｅ）にニッケル（Ｎｉ）が添加されたＦｅ−Ｎｉ合金膜であるインバール材料から形成される。前記オープンマスク２２０の開口部２２１は、被蒸着基板（図７の４００）に配列される複数の単位素子に対応して配列される。前記オープンマスク２２０は、開口部２２１にそれぞれマスクパターン部２１０が配列され、マスクパターン部２１０を支持する補強リブの役割を行う。
【００３１】
ここで、単位素子とは、単一の源板である被蒸着基板をスクライブラインに沿って切断して製造される一つの表示装置を意味する。すなわち、前記オープンマスク２２０の開口部に配列されるマスクパターン部２１０は、一つの表示装置を構成する薄膜と同じパターンを有する。
【００３２】
前記マスクパターン部２１０は、被蒸着基板に蒸着される薄膜と同じパターンを有する、複数の開口部２１２と複数の遮蔽部２１１とを備える。前記複数の開口部２１２は、複数の遮蔽部２１１により画定される。本発明の実施形態では、前記開口部２１２がスロット状を有することを例示したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、被蒸着基板上に蒸着される薄膜のパターンによって多様な形態を有しうる。
【００３３】
本発明の実施形態に係るマスク２００は、前記オープンマスク２２０と、前記オープンマスク２２０の開口部２２１に配列されたマスクパターン部２１０とを接合させ、前記オープンマスク２２０を支持するための緩衝部材２３０を更に備える。
【００３４】
前記緩衝部材２３０は、前記オープンマスク２２０の開口部２２１に対応する複数の開口部２３１を備え、前記マスクパターン部２１０をオープンさせる。前記緩衝部材２３０は、Ｎｉ−Ｃｏ合金膜のような導電性物質から形成される。
【００３５】
本発明の実施形態では、前記緩衝部材２３０としてＮｉ−Ｃｏ合金膜を使用することを例示したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、応力を緩和させ、また熱による変形を防止できる他の種類の熱膨張係数の小さな導電性物質を使用することが可能である。
【００３６】
前記緩衝部材２３０は、図３Ｂに示すように、前記マスクパターン部２１０とオープンマスク２２０とを連結させるだけでなく、前記オープンマスク２２０を取り囲むように形成されて、オープンマスク２２０を支持し、応力を緩衝させる役割を行う。
【００３７】
前記のように、本発明のマスク２００は、前記マスクパターン部２１０が、前記オープンマスク２２０の開口部２２１に配列されて支持され、また、前記マスクパターン部２１０とオープンマスク２２０が、前記緩衝部材２３０により連結及び支持される３段構造を有するため、マスクの接合強度を強化させるだけでなく、応力を緩衝させうる。
【００３８】
また、本発明のマスク２００は、オープンマスク２２０として、熱膨張係数の小さなインバール材料を使用するため、被蒸着基板上への薄膜蒸着時、温度変化に相対的にあまり敏感ではなく、温度変化によるマスクの変形を防止できる。
【００３９】
図４は、本発明の実施形態に係るマスク２００の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【００４０】
図４に示すように、本発明の実施形態に係るマスクの製造方法は、電気メッキ法を利用してベースメタル上にマスクパターン部２１０の遮蔽部２１１を形成するステップ（Ｓ４１）と、マスクパターン部２１０を含むベースメタル上に、マスキング物質として感光膜を全面塗布するステップ（Ｓ４２）と、露光工程により前記感光膜のうち、前記マスクパターン部２１０に対応する部分を露光させるステップ（Ｓ４３）と、を含む。
【００４１】
また、本発明のマスクの製造方法は、前記感光膜に前記マスクパターン部２１０を支持するための補強リブとして、前記マスクパターン部２１０に対応するオープンマスク２２０を接着させるステップ（Ｓ４４）と、前記感光膜のうち、前記マスクパターン部２１０に対応する露光された部分を現像工程により除去するステップ（Ｓ４５）と、を更に含む。
【００４２】
また、本発明のマスクの製造方法は、ベースメタル上のマスクパターン部２１０とオープンマスク２２０とを合着させるための緩衝部材２３０を、電気メッキ法を利用して形成するステップ（Ｓ４６）と、前記ベースメタルをマスクパターン部２１０から分離させるステップ（Ｓ４７）と、前記残っている感光膜を除去して、前記マスクパターン部２１０の遮蔽部２１１により画定される開口部２１２を形成するステップ（Ｓ４８）と、を更に含む。
【００４３】
また、本発明のマスクの製造方法は、前記のような方式で製作されたマスクをパターンマスクとしてフレームに合着させて、マスクフレーム組立体を形成するステップ（Ｓ４９）をより含むことも可能である。
【００４４】
図５Ａないし図５Ｆは、本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を説明するための工程断面図である。図５Ａないし図５Ｆは、図３ＡのＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ線に沿う断面図を示す。
【００４５】
図５Ａに示すように、ベースメタル２０１上に複数の開口部２０３を有するマスキング物質として第１感光膜２０４を形成し、前記第１感光膜２０４の開口部２０３に電鋳法を利用して、マスクパターン部２１０を形成する。
【００４６】
この時、マスクパターン部２１０は、図２に示すような複数の遮蔽部２１１を備え、前記遮蔽部２１１の間に残っている感光膜は、後続工程で除去され、前記感光膜２０４の除去により形成される開口部は、前記遮蔽部２１１により限定される前記マスクパターン部２１０の開口部２１２となる。
【００４７】
電鋳法を利用してベースメタル２０１上にマスクパターン部２１０を形成する方法を、図６Ａないし図６Ｃを参照して説明すれば、次の通りである。
【００４８】
まず、図６Ａのように、前記ベースメタル２０１上に第１感光膜２０４を塗布し、前記第１感光膜２０４を、フォトマスク（図示せず）を利用して露光及び現像して、図６Ｂに示すような開口部２０３を形成する。
【００４９】
次いで、図６Ｃに示すように、前記感光膜２０４の開口部２０３内に電気メッキ法のような電鋳法を利用して、Ｎｉ−Ｃｏ合金膜から形成されたマスクパターン部２１０の遮蔽部２１１を形成する。
【００５０】
本発明の実施形態では、マスクパターン部２１０が、Ｎｉ−Ｃｏ合金膜から形成された金属物質から構成されることを例示したが、必ずしもこれに限定されるものでなく、Ｆｅ−Ｎｉ合金膜のインバール材料またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金膜であるコバール材料などの多様な物質を使用できる。
【００５１】
図５Ｂに示すように、ベースメタル２０１の第１感光膜２０４と、マスクパターン部２１０の遮蔽部２１１との上に第２感光膜２１３を塗布する。図５Ｃに示すように、露光工程を行って、前記第２感光膜２１３のうち、前記マスクパターン部２１０に対応する部分２１３ａのみを露光させる。前記第２感光膜２１３のうち、残りの部分２１３ｂは、露光されずにそのまま残っている。
【００５２】
図５Ｄに示すように、マスクパターン部２１０を補強リブと接着させる。本発明の実施形態では、前記補強リブとして、インバール材料のオープンマスク２２０を使用して前記マスクパターン部２１０を支持する。前記オープンマスク２２０は、熱膨張係数の小さな物質を備え、Ｆｅ−Ｎｉ合金膜であるインバール材料を使用する。したがって、前記オープンマスク２２０として熱膨張係数の小さな物質を使用するため、蒸着時に熱によるマスクパターン部２１０の変形を防止できる。
【００５３】
前記オープンマスク２２０は、前記マスクパターン部２１０に対応する部分に複数の開口部２２１を備える。この時、前記オープンマスク２２０は、前記感光膜２１３のうち、露光されていない部分２１３ｂと合着されて、開口部２２１を介して前記マスクパターン部２１０に対応する露光された部分２１３ａをオープンさせる。
【００５４】
前記オープンマスク２２０の開口部２２１は、前記第２感光膜２１３のうち、露光された部分２１３ａに対応し、これにより前記開口部２２１は、前記マスクパターン部２１０に対応する。したがって、後続工程で前記第２感光膜２１３の除去時に、前記オープンマスク２２０の開口部２２１を介して前記マスクパターン部２１０をオープンさせる。
【００５５】
図５Ｅに示すように、前記感光膜２１３のうち、前記オープンマスク２２０の開口部２２１により露出される部分、すなわち、マスクパターン部２１０に対応する部分であって、前記露光工程により露光された部分２１３ａを現像工程により除去する。
【００５６】
図５Ｆに示すように、前記ベースメタル２０１上に形成されたマスクパターン部２１０とオープンマスク２２０とを接着させるための緩衝部材２３０を形成する。前記緩衝部材２３０は、Ｎｉ−Ｃｏ合金膜を備え、電気メッキ法により形成される。
【００５７】
その後、前記ベースメタル２０１を前記マスクパターン部２１０から分離させ、残っている第１感光膜２０４及び第２感光膜２１３を除去すれば、本発明の実施形態に係るマスク２００が得られる。
【００５８】
図７は、本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体の分離斜視図である。
【００５９】
図７に示すように、本発明のマスクフレーム組立体５００は、パターンマスクと、前記パターンマスクを支持するためのフレーム３００と、を備える。前記パターンマスクは、図２、図３Ａ及び図３Ｂに示すようなマスク２００を備える。
【００６０】
前記フレーム３００は、前記パターンマスク２００の左右を支持するための支持バー３１１と、前記パターンマスク２００の上下を支持するための支持バー３１２とを備え、単一の開口部３２０を備える。
【００６１】
本発明の実施形態に係るマスクフレーム組立体５００は、被蒸着基板４００が前記パターンマスク２００と整列されて所定の薄膜を蒸着する。この時、前記パターンマスク２００のマスクパターン部２１０が突出して、被蒸着基板４００との密着力が強化される。
【００６２】
本発明の実施形態で前記パターンマスク２００は、図７に示すような構造を有するものではなく、マスクパターン部２１０をインバール材料のオープンマスクで支持し、オープンマスクとマスクパターン部とを緩衝部材で支持する多様な形態の構造を有しうる。
【００６３】
本発明の実施形態は、平板表示装置の薄膜としてＥＬ表示装置を例示したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、液晶表示装置のような平板表示装置の薄膜を蒸着するためのマスクには、何れも適用可能である。
【００６４】
前記では、本発明の好ましい実施形態を参照して説明したが、当業者は、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更させうるということが理解できるであろう。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、有機電界発光表示装置だけでなく、液晶表示素子のような平板表示装置で均一な薄膜の蒸着に好適に適用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】従来の平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体の分離斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの斜視図である。
【図３Ａ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの平面図である。
【図３Ｂ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図５Ａ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図５Ｂ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図５Ｃ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図５Ｄ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図５Ｅ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図５Ｆ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造方法を説明するための工程断面図である。
【図６Ａ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造工程のうち、電気メッキ法を利用してマスクパターン部を形成する方法を説明するための工程断面図である。
【図６Ｂ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造工程のうち、電気メッキ法を利用してマスクパターン部を形成する方法を説明するための工程断面図である。
【図６Ｃ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクの製造工程のうち、電気メッキ法を利用してマスクパターン部を形成する方法を説明するための工程断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る平板表示装置の薄膜蒸着用のマスクフレーム組立体の分離斜視図である。
【符号の説明】
【００６７】
２００  マスク
２１０  マスクパターン部
２１１  遮蔽部
２１２  開口部
２２０  オープンマスク
２２１  開口部
２２５  第１リブ
２２６  第２リブ
２３０  緩衝部材
２３１  開口部
【図１】
2006156375.tif 000003
【図２】
2006156375.tif 000004
【図３Ａ】
2006156375.tif 000005
【図３Ｂ】
2006156375.tif 000006
【図４】
2006156375.tif 000007
【図５Ａ】
2006156375.tif 000008
【図５Ｂ】
2006156375.tif 000009
【図５Ｃ】
2006156375.tif 000010
【図５Ｄ】
2006156375.tif 000011
【図５Ｅ】
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【図５Ｆ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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