(57)【要約】【課題】上ガラスと下ガラスとの段差のごく近傍付近の端子形成面のクリーニングを十分に行える液晶パネル端子のクリーニング方法及び装置を提供する。【解決手段】押圧部材によりふき取り部材を上方向から端子形成面に押圧するとともに前記ふき取り部材と段差部とを接触するように、前記押圧部材と液晶パネルとを段差部における下ガラス基板と上ガラス基板との境界線に直交する水平方向に相対的に付勢し、前記ふき取り部材を端子形成面及び段差部に押圧及び付勢した状態で液晶パネルと押圧部材とを前記境界線に沿って相対移動させることによりクリーニングする。【選択図】  図５
2006251273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下ガラス基板に下ガラス基板よりも少し小さな上ガラス基板が重ね合わされることにより上ガラス基板の端部と下ガラス基板の端部のはみ出しとによって段差部が形成されるとともに、はみ出した該下ガラス基板の端部上面に端子形成面が設けられた液晶パネルにおいて、裏面押圧支持部材により端子形成面の裏面を押圧支持するとともに押圧部材によりふき取り部材を端子形成面に押圧してクリーニングするクリーニング方法にして、
前記押圧部材によりふき取り部材を上方向から端子形成面に押圧するとともに前記ふき取り部材と前記段差部とが接触するように、該押圧部材と液晶パネルとを該段差部における下ガラス基板と上ガラス基板との境界線に直交する水平方向に相対的に付勢し、前記ふき取り部材を前記端子形成面及び段差部に押圧及び付勢した状態で液晶パネルと押圧部材とを前記境界線に沿って相対移動させることによりクリーニングする液晶パネル端子のクリーニング方法。
【請求項２】
請求項１において、前記裏面押圧支持部材と前記端子形成面の裏面との間に裏面ふき取り部材を介在させることにより、前記端子形成面のクリーニングと同時に端子形成面の裏面のクリーニングをする液晶パネル端子のクリーニング方法。
【請求項３】
下ガラス基板に下ガラス基板よりも少し小さな上ガラス基板が重ね合わされることにより上ガラス基板の端部と下ガラス基板の端部のはみ出しとによって段差部が形成されるとともに、はみ出した下ガラス基板の端部上面に端子形成面が設けられた液晶パネルにおいて、裏面押圧支持部材により端子形成面の裏面を押圧支持するとともに押圧部材によりふき取り部材を端子形成面に押圧してクリーニングするクリーニング方法にして、
前記端子形成面にふき取り部材を押圧する押圧部材と、
該端子形成面の裏面を押圧支持する裏面押圧支持部材と、
前記ふき取り部材と前記段差部とが接触するように、該押圧部材と前記液晶パネルとを段差部における下ガラス基板と上ガラス基板との境界線に直交する水平方向に相対的に付勢する付勢手段と、
押圧部材と裏面押圧支持部材とを相対的に接近させて前記はみ出した下ガラス基板の端部を押圧挟持するように押圧させる押圧手段と、
液晶パネルに対して押圧部材と裏面押圧支持部材とを前記境界線に沿って相対移動させる相対移動手段と、
を備えた液晶パネル端子のクリーニング装置。
【請求項４】
請求項３において、前記ふき取り部材はテープ状の布であり、該テープ状の布を前記境界線に沿った方向に送って端子形成面に押圧される新たなふき取り面を供給する供給手段を備えたことを特徴とする液晶パネル端子のクリーニング装置。
【請求項５】
請求項３において、前記押圧部材は、押圧の際に前記上ガラス基板の段差部端面に対向する側面が水平断面において半円状となるよう曲面に形成されていることを特徴とする液晶パネル端子のクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの実装端子面を清掃するクリーニング方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルの生産においては、樹脂に導電性粒子を分布させて形成された異方性導電材（ＡＣＦ）を介して、半導体チップなどを熱圧着する必要がある。この熱圧着には、圧着ヘッドを備えた熱圧着機構が使用されている。このように異方性導電材を半導体チップなどの導電材接続部品と液晶パネルとの間に介して、これらを圧着ヘッドで熱圧着する場合には、均一な圧力が印加されることが重要である。しかし、圧着ヘッドと基板との間や圧着ヘッドと半導体チップとの間に異物が存在すると、異物に応力が集中し、不均一な圧力の印加が生じてしまい、異方性導電材による実装の信頼性を低下させる。
【０００３】
そこで、図９及び図１０に示すように、熱圧着の前準備として液晶パネル３の上面周縁にある端子部３cを不織布などのクリーニング布５０でクリーニングする方法が広く知られている。
【０００４】
しかし、最近の液晶パネルにおいては端子部分の面積（巾）が小さくなる傾向と熱圧着される半導体チップ５１が小型化しているため、上ガラス基板３bと半導体チップ５１の隙間５３をできるだけ狭くして圧着する必要が生じている。これによって、図１１に示すように、必然的に上ガラス基板３bと下ガラス基板３aとの段差３dのごく近傍付近の端子形成面に半導体チップ５１を装着することとなるが、クリーニング布５０が上ガラス基板３bと端子形成面とで形成される隅となった当該装着位置まで届きづらいため、端子のクリーニングを十分におこなうことができなかった。
【０００５】
そのため、特許文献１のような技術が開発されている。これは、上下一対のクランプ爪１７でテープ状のクリーニング布１６を介して液晶パネル１４の端部をクランプし、クリーニング布１６の送り方向に対し直角方向に相対移動させて、液晶パネル１４の端部をクリーニングするようになっている。クリーニング布１６を縦供給するとき、布にかかる力（トルク）を端子形成面の巾に応じて切替え、液晶パネルの端子面の表裏面を同時に精度良く安定した条件でクリーニングできるようになっている。
【特許文献１】特開平９−２６５１０５号公報（第５，６頁、図１〜図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来装置では、クリーニング布１６と液晶パネル１４とがクリーニングする際に相対移動する方向に対し、直交する方向にクリーニング布１６を供給する（縦供給）ため、当該相対移動の際にクリーニング布１６のクリーニングする位置からのずれ又はめくれを生じる虞があり、これによってクリーニング作業が停止すると生産効率の低下を招く可能性があった。
【０００７】
本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたものであり、下ガラス基板の端子形成面について、上ガラス基板の段差部端面のごく近傍付近まで十分クリーニングを行える液晶パネル端子のクリーニング方法及び装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するために、請求項１に係る発明の構成上の特徴は、下ガラス基板に下ガラス基板よりも少し小さな上ガラス基板が重ね合わされることにより上ガラス基板の端部と下ガラス基板の端部のはみ出しとによって段差部が形成されるとともに、はみ出した該下ガラス基板の端部上面に端子形成面が設けられた液晶パネルにおいて、裏面押圧支持部材により端子形成面の裏面を押圧支持するとともに押圧部材によりふき取り部材を端子形成面に押圧してクリーニングするクリーニング方法にして、前記押圧部材によりふき取り部材を上方向から端子形成面に押圧するとともに前記ふき取り部材と前記段差部とが接触するように、該押圧部材と液晶パネルとを該段差部における下ガラス基板と上ガラス基板との境界線に直交する水平方向に相対的に付勢し、前記ふき取り部材を前記端子形成面及び段差部に押圧及び付勢した状態で液晶パネルと押圧部材とを前記境界線に沿って相対移動させることによりクリーニングすることである。
【０００９】
請求項２に係る発明の構成上の特徴は、請求項１において、前記裏面押圧支持部材と前記端子形成面の裏面との間に裏面ふき取り部材を介在させることにより、前記端子形成面のクリーニングと同時に端子形成面の裏面のクリーニングをすることである。
【００１０】
請求項３に係る発明の構成上の特徴は、下ガラス基板に下ガラス基板よりも少し小さな上ガラス基板が重ね合わされることにより上ガラス基板の端部と下ガラス基板の端部のはみ出しとによって段差部が形成されるとともに、はみ出した下ガラス基板の端部上面に端子形成面が設けられた液晶パネルにおいて、裏面押圧支持部材により端子形成面の裏面を押圧支持するとともに押圧部材によりふき取り部材を端子形成面に押圧してクリーニングするクリーニング方法にして、前記端子形成面にふき取り部材を押圧する押圧部材と、該端子形成面の裏面を押圧支持する裏面押圧支持部材と、前記ふき取り部材と前記段差部とが接触するように、該押圧部材と前記液晶パネルとを段差部における下ガラス基板と上ガラス基板との境界線に直交する水平方向に相対的に付勢する付勢手段と、押圧部材と裏面押圧支持部材とを相対的に接近させて前記はみ出した下ガラス基板の端部を押圧挟持するように押圧させる押圧手段と、液晶パネルに対して押圧部材と裏面押圧支持部材とを前記境界線に沿って相対移動させる相対移動手段とを備えたことである。
【００１１】
請求項４に係る発明の構成上の特徴は、請求項３において、前記ふき取り部材はテープ状の布であり、該テープ状の布を前記境界線に沿った方向に送って端子形成面に押圧される新たなふき取り面を供給する供給手段を備えたことである。
【００１２】
請求項５に係る発明の構成上の特徴は、請求項３において、前記押圧部材は、押圧の際に前記上ガラス基板の段差部端面に対向する側面が水平断面において半円状となるよう曲面に形成されていることである。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に係る発明においては、押圧支持部材の上に液晶パネルを支持し、押圧部材によりふき取り部材を端子形成面に上方向から押圧するとともに押圧部材と液晶パネルとを上ガラス基板と下ガラス基板との段差部の境界線に直交する方向に相対的に付勢する。これによって、端子形成面の上ガラス基板の端面近傍までふき取り部材が到達する。そして、この状態で液晶パネルと押圧部材とを前記境界線にそって相対移動させるので、端子形成面の上ガラス基板の端面近傍まで十分にクリーニングすることができる。
【００１４】
請求項２に係る発明においては、液晶パネルの端子形成面の表面のクリーニングに加え、裏面ふき取り部材によって端子形成面の裏面を同時にクリーニングして、該裏面に付着している異物を取り除くことができる。例えばＡＣＦを使用したドライバチップの端子形成面への熱圧着時に、熱圧着される端子形成面の裏面に異物があると、その異物に応力が集中して液晶パネルが破損する虞があるが、裏面をクリーニングすることによって、このような原因による液晶パネルの破損を防止することができる。  
【００１５】
請求項３に係る発明においては、押圧部材と裏面押圧支持部材とを押圧手段により接近させ、前記はみ出した下ガラス基板の端部を押圧挟持する。このとき、ふき取り部材は端子形成面に押圧され、端子形成面の裏面は裏面押圧支持部材によって押圧支持される。さらにふき取り部材と段差部とは、付勢手段によって、接触するように前記境界線に直交する水平方向に付勢される。これによって、ふき取り部材は端子形成面の上ガラス基板の段差部端面近傍まで到達する。そして、この状態で、相対移動手段によって液晶パネルと押圧部材とを前記境界線にそって相対移動させるので、ふき取り部材によって、端子形成面の上ガラス基板の端面近傍まで十分にクリーニングすることができる。
【００１６】
請求項４に係る発明においては、テープ状の布の新たなふき取り面を供給するため、前記境界線に沿った方向にテープ状の布を送る構造なので、前記相対移動する際にテープ状の布の長手方向にずれる力が加わることとなり、テープ状の布がふき取り位置からずれること又はめくれることを防止することができる。
【００１７】
請求項５に係る発明においては、押圧部材が、押圧の際に前記段差部に対向する側面が水平断面において半円状となるよう曲面に形成されているので、段差部に形状変化がある場合や前記相対移動が前記境界線に対して斜行してしまう場合においても、かかる変化を吸収してふき取り部材を滑らかに追従させて相対移動させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明に係る液晶パネルのクリーニング方法及び装置の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。図１は液晶パネルのクリーニング装置の正面図であり、図２は側面からの概略断面図である。
【００１９】
クリーニング装置１は、液晶パネル３を端子形成面３cにおいて上方から押圧する押圧部材としての上部クリーニングヘッド５と、上部クリーニングヘッド５と端子形成面３cとの間に介在するふき取り部材としてのクリーニング布７と、端子形成面３cの裏面を押圧支持する押圧支持部材としての下部クリーニングヘッド９と、下部クリーニングヘッド９と端子形成面３cの裏面の間に介在する裏面クリーニング布１１とを備えている。
【００２０】
液晶パネル３は下ガラス基板３aと上ガラス基板３bとから構成されている。下ガラス基板３aは上ガラス基板３bより少し面積が広く形成され、両基板３a,３bを重ねると段差部（上ガラス基板の段差部端面）３dを生じて下ガラス基板３aの端部がはみ出すようになっている。このはみ出した下ガラス基板３aの端部上面には端子形成面３cが設けられている。
【００２１】
液晶パネル３は、クリーニングする端子形成面３cをクリーニング装置１に対向させて図略のワークステージ上に載置固着され、該ワークステージは図略の駆動搬送装置によって搬送方向(段差部３dにおける下ガラス基板３aと上ガラス基板３bとの境界線に平行する方向)に移動可能に構成されている。このワークステージは図略のシリンダ装置によって、クリーニング布７と段差部３dとを接触させるように、搬送方向に直交する水平方向に付勢されるようになっている。
【００２２】
上部クリーニングヘッド５は上部ブラケット１３の前方下端部に図略のボルトによって組み付けられ、上部ブラケット１３の上端部は直線ガイド付きシリンダ１５に連結されている。上部クリーニングヘッド５は、図８に示すように、断面半円状に形成され、その前方側面が丸くなった曲面に形成されている。さらに図７に示すように、該前方側面は下方に向かって漸次広がるテーパ面が形成されている。また、上部ブラケット１３の背面には洗浄液の供給穴１３aが上部クリーニングヘッド５の背面に至るよう穿設され、供給穴１３aの入り口には継ぎ手１４が螺入されている。
【００２３】
継ぎ手１４には図示しないホースの一端部が連結され、この継ぎ手１４を介して該ホースと上部ブラケット１３の供給穴１３aとが連通されている。該ホースの他端部は図示しないプランジャポンプに連絡され、該プランジャポンプから洗浄液が供給穴１３aに供給されるようになっている。上部クリーニングヘッド５には前記供給穴１３aに連通する流通孔５aが背面から水平方向に穿設され、この流通孔５aの端部には垂下する洗浄孔５bが該クリーニングヘッド５の下端に開口するよう形成されている。上部クリーニングヘッド５側の供給穴１３aの開口部にはＯリング１６が嵌着され、Ｏリング１６によって上部クリーニングヘッド５と上部ブラケット１３との間で洗浄液が漏れるのが防止されている。
【００２４】
直線ガイド付きシリンダ１５の上端部は上側クランプシリンダ１７に連結され、上側クランプシリンダ１７は直線ガイド付きシリンダ１５を介して上部ブラケット１３と連結されている。直線ガイド付きシリンダ１５を作動させると、下端部に連結された上部ブラケット１３が上側クランプシリンダ１７に対して水平方向にスライドし、上部ブラケット１３に組み付けられた上部クリーニングヘッド５が前方への押付け圧を加えられるように構成されている。
【００２５】
上側クランプシリンダ１７は背面においてボルトによって図略のフレーム部材に連結固定され、該フレーム部材は図略の基礎壁に固定されている。上側クランプシリンダ１７はシリンダ部１７aと昇降可能なピストン部１７bと摺動ガイド部１７cにより構成されている。上側クランプシリンダ１７には図略のエアホースが連結され、該エアホースは図略のエアポンプに連通されている。このエアポンプを作動させることによって、上側クランプシリンダ１７のピストン部１７bが昇降する。ピストン部１７bを降下させることによって、直線ガイド付きシリンダ１５及び上部ブラケット１３を介して前記上部クリーニングヘッド５がクリーニング布７を液晶パネル３の端子形成面３cに押圧するよう構成されている。
【００２６】
クリーニング布７は不織布でテープ状に形成され、前記洗浄液を含んだ状態のいわゆる湿式で端子形成面３cをクリーニングする。クリーニング布７は図示しない供給リールに巻回され、この供給リールから繰り出されて図略の第１ガイドローラ、把持爪２０、第２ガイドローラ２１、上部クリーニングヘッド５の下端部、第３ガイドローラ２２、把持送り爪２３  、第４ガイドローラ２４、第５ガイドローラ２５及びダンシングローラ２６を経て図示しない駆動巻き取りリールに巻き取られる。
【００２７】
把持爪２０はクリーニング布７を間にしてその両側に開閉可能に構成され、クリーニング布７が搬送方向に送られているときには、開いて同クリーニング布７が自由に通過できるようになっており、クリーニング布７の送りが停止して後述のクリーニング作業が行われるときは、閉じて同クリーニング布７を把持するようになっている。把持送り爪は２３クリーニング布７を間にしてその両側に開閉可能に構成されるとともに、クリーニング布７を送る１ピッチ分となる所定の範囲で昇降可能に構成されている。ダンシングローラ２６はクリーニング布７が緩んだときに上昇し、最上部に設けられた図略のリミットスイッチをＯＮにして前記駆動巻き取りリールを駆動させ、クリーニング布７を把持送り爪２３が送る際の引張り代を確保するとともにクリーニング布７の緩みを取るように構成されている。
【００２８】
クリーニング布７は、該供給リールから各液晶パネル３の端子クリーニングに使用される所定の長さ毎に把持送り爪２３の作動によって間欠的に送られ、クリーニングする端子形成面３cに接触するよう上部クリーニングヘッド５の下端部に供給される。クリーニングに使用された使用済みのクリーニング布７は第３ガイドローラ２２,把持送り爪２３,第４ガイドローラ２４,第５ガイドローラ２５及びダンシングローラ２６を経て図示しない巻き取りリールに巻き取られる。このようにクリーニング布７は把持送り爪２３と該駆動巻き取りリールの回転によって供給リールから送り走行され、各液晶パネル３の端子クリーニング毎に新しいテープ面を端子形成面３cに接触させるよう構成されている。第２ガイドローラ２１と第３ガイドローラ２２とは液晶パネル３の搬送方向に平行に配置され、クリーニング布７が送り走行する際に、これらのガイドローラ２１,２２によってクリーニング布７をクリーニングされる液晶パネル３の上ガラス基板３bと下ガラス基板３aとが形成する境界線に対して平行に送るようになっている。
【００２９】
下部クリーニングヘッド９は下部ブラケット２７の前方上端部に図略のボルトにより組み付けられ、下部ブラケット２７の下端部は下側クランプシリンダ２９の上端に連結されている。また、下部ブラケット２７の背面には洗浄液の供給穴２７aが下部クリーニングヘッド９の背面に至るよう穿設され、供給穴２７aの入り口には継ぎ手１４が螺入されている。
【００３０】
継ぎ手１４には図示しないホースの一端部が連結され、この継ぎ手１４を介して該ホースと下部ブラケット２７の供給穴２７aとが連通されている。該ホースの他端部は図示しないプランジャポンプに連絡され、該プランジャポンプから洗浄液が供給穴２７aに供給されるようになっている。
【００３１】
下部クリーニングヘッド９には前記供給穴２７aに連通する流通孔９aが背面から水平方向に穿設され、この流通孔９aの端部には洗浄孔９bが該下部クリーニングヘッド９の上端部に開口するよう形成されている。下部クリーニングヘッド９の背面側の供給穴２７aの開口部にはＯリング１６が嵌着され、Ｏリング１６によって下部クリーニングヘッド９と下部ブラケット２７との間で洗浄液が漏れるのが防止される。
【００３２】
下側クランプシリンダ２９は背面においてボルトによって図略のフレーム部材に連結固定され、該フレーム部材は図略の基礎壁に固定されている。下側クランプシリンダ２９はシリンダ部２９aと昇降可能なピストン部２９bと摺動ガイド部２９cにより構成され、ピストン部２９bを上昇させることによって前記下部クリーニングヘッド９が裏面クリーニング布１１を液晶パネル３の端子形成面３cの裏面に押圧するよう構成されている。下側クランプシリンダ２９において、その他の構成は上側クランプシリンダ１７と同様であるため省略する。
【００３３】
裏面クリーニング布１１は不織布でテープ状に形成され、前記洗浄液を含んだ状態のいわゆる湿式で端子形成面３cの裏面をクリーニングする。裏面クリーニング布１１は図示しない供給リールに巻回され、該供給リールから繰り出されて図略の第６ガイドローラ、把持爪２０、第７ガイドローラ３１、下部クリーニングヘッド９、第８ガイドローラ３２、第９ガイドローラ３３、第１０ガイドローラ３４及びダンシングローラ３７を経て図示しない駆動巻き取りリールに巻き取られる。ここで、裏面クリーニング布１１が緩んだときにはダンシングローラ３７が下方へ移動し、下端にある図略のリミットスイッチを作動させて駆動巻き取りリールを回転させることによって裏面クリーニング布１１の緩みを取るようになっている。その他の構成は上記クリーニング布７に係るものと同様なので省略する。
【００３４】
以上のように構成した液晶パネル端子のクリーニング装置の作動について、図面を用いて以下に説明する。まず、図１及び図２に示すように、上部クリーニングヘッド５及び下部クリーニングヘッド９をそれぞれ上方及び下方に離間させて配置する。前記駆動巻き取りリールを回転させて前記供給リールからはクリーニング布７を繰り出し、クリーニング布７のふき取り部を第２ガイドローラ２１と第３ガイドローラ２２との間で上部クリーニングヘッド５の下端部に接触させた状態で装架する。この状態で把持爪２０及び把持送り爪２３を閉じてクリーニング布７を把持する。そして、前記プランジャポンプから洗浄液を上部クリーニングヘッド５の下端部に供給し、該洗浄液によってクリーニング布７を湿らせる。
【００３５】
下部クリーニングヘッド９についても同様に、前記駆動巻き取りリールを回転させて前記供給リールから裏面クリーニング布１１を繰り出し、この裏面クリーニング布１１を第７ガイドローラ３１と第８ガイドローラ３２との間に下部クリーニングヘッド９の上端部に接触させた状態で装架する。同様に把持爪２０及び把持送り爪２３を閉じて裏面クリーニング布１１を把持する。前記プランジャポンプから洗浄液をクーニングヘッド９の下端部に供給し、該洗浄液によって裏面クリーニング布１１を湿らせる。
【００３６】
クリーニングされる液晶パネル３を前記ワークステージ上に載置固定し、該ワークステージが駆動搬送装置によって搬送されるに伴い上部及び下部クリーニングヘッド５,９よってクリーニングするための所定位置に該液晶パネル３を位置決めする。
【００３７】
次に、図３に示すように、前記エアポンプを作動させて上側クランプシリンダ１７のピストン部１７bを降下させるとともに、下側クランプシリンダ２９のピストン部２９bを上昇させて液晶パネル３の端子形成面３cを表面及び裏面において挟持する。この際、図４に示すように、上部クリーニングヘッド５が上方からクリーニング布７を端子形成面３cに押圧し、クリーニング布７の短手方向の先端部が段差部（上ガラス基板の段差部端面）３dを越えて上ガラス基板３bの上面端部に掛かった状態となる位置で挟持する。
【００３８】
次に、図５及び図６に示すように、前記ワークステージのシリンダ装置を作動させ、液晶パネル３を下ガラス基板３aと上ガラス基板３bとの境界線に直交する水平方向に付勢し、液晶パネル３の段差部（上ガラス基板の段差部端面）３dを上部クリーニングヘッド５の下端部に接近させる。この際、図６及び図７の拡大図に示すように、クリーニング布７の短手方向の先端は上方に折れ曲がって、折れ曲がったクリーニング布７の外側の角部が端子形成面３cにおける段差部（上ガラス基板の段差部端面）３d近傍に到達する。
【００３９】
次に、前記駆動搬送装置を作動させて、液晶パネル３を搬送方向（前記境界線に沿って上部及び下部のクリーニングヘッド５,９と液晶パネル３とが相対移動する方向）にクリーニングに必要な所定距離だけ移動させる。この際、液晶パネル３の端子形成面３cは、上方から上部クリーニングヘッド５により押圧されるとともに、直線ガイド付きシリンダ１５によって水平方向に押付け圧が加えられた状態で保持されている。そのため、端子形成面３cの段差部（上ガラス基板の段差部端面）３d近傍までクリーニング布７が到達している状態で端子形成面３Ｃをクリーニングすることができ、同時に裏面クリーニング布１１により端子形成面３cの裏面のクリーニングをすることができる。
【００４０】
図８に示すように、上部クリーニングヘッド５が、押圧の際に段差部（上ガラス基板の段差部端面）３dに対向する側面が水平断面において半円状となるよう曲面に形成されているので、段差部（上ガラス基板の段差部端面）３dに形状変化がある場合や前記相対移動が前記境界線に対して斜行してしまう場合においても、かかる変化を吸収してクリーニング布７を滑らかに追従させて相対移動させることができる。また、図７に示すように、上部クリーニングヘッド５の側面が下方に向かって広がるように傾斜を設けて形成されているので、上部クリーニングヘッド５が段差部３dに接近した場合においても、クリーニング布７の短手方向の先端部は上方に折れ曲がって、上部クリーニングヘッド５の側面と段差部３dとの間に生じた空間に逃がされる。その際に、該先端部は上部クリーニングヘッド５の側面と段差部３dとの間に挟まれて圧縮されないので、先端部分のクリーニング布７は反発力を生じさせない。これによって、クリーニングヘッド５がより前記境界線近くまでクリーニング布７を到達させてクリーニングすることができる。また、クリーニング布７の新たなふき取り面を供給するため、前記境界線に沿った方向にクリーニング布７を送る構造なので、前記相対移動する際にクリーニング布７の長手方向にずれる力が加わることとなり、クリーニング布７がふき取り位置からずれること又はめくれることが防止される。
【００４１】
次に、前記エアポンプによって、上側クランプシリンダ１７及び下側クランプシリンダ２９を作動させ、上部クリーニングヘッド５を上昇させるとともに下部クリーニングヘッド９を降下させて液晶パネル３が挟持されていたのを解除する。
【００４２】
次に、把持爪２０を開いてクリーニング布７の把持を解除する。把持送り爪２３は閉じた状態のまま上昇してクリーニング布７を１ピッチ分搬送方向に送る動作を行う。この動作によって、新しいテープ面（ふき取り面）を次にクリーニングする端子形成面３cに接触するよう、クリーニング布７が上部クリーニングヘッド５の下端部に供給される。このときにダンシングローラ２６はクリーニング布７が送られるのに伴ってクリーニング布７の緩みを取る方向に上昇する。次に、把持送り爪２３は開くことによってクリーニング布７の把持を解いて下降する。そして、このような動作を繰り返すことによってダンシングローラ２６が最上部に至ると、同最上部に設けられたリミットスイッチがＯＮになって前記駆動巻き取りリールが駆動され、クリーニング布７が搬送方向に送られるとともにその緩みが取られる。下部クリーニングヘッド９についても同様に裏面クリーニング布１１を供給する。
【００４３】
なお、本実施形態においては、裏面押圧支持部材として下部クリーニングヘッド９としたが、これに限定されず、液晶パネル３の端子形成面３cの裏面を支持できるものであればよく、例えば作業台や載置テーブルのようなものが挙げられる。この場合も押圧部材による上方からの押圧力の反力として必ず該裏面に下方から押圧力が働く。
【００４４】
また、液晶パネル３と上部クリーニングヘッド５とを相対接近させるのに、水平方向に付勢するのに、ワークステージのシリンダ装置によって水平方向に付勢するものとしたが、これに限定されるものでなく、例えば、上部クリーニングヘッド５を直線ガイド付きシリンダ１５で水平方向に付勢するものでもよい。
【００４５】
また、上部クリーニングヘッド５の形状は、その前方側面が下方に向かって漸次広がるテーパ面に形成されているが、これに限定されず、例えば垂直な円柱の側面の一部を形成する曲面でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係るクリーニング装置を正面から見た図。
【図２】同側面から見た図。
【図３】同側面から見た図。
【図４】図３の部分拡大図。
【図５】同クリーニング装置を側面から見た図。
【図６】図５の部分拡大図。
【図７】同クリーニング装置の動作を示す側面からの説明図。
【図８】同クリーニング装置の動作を示す上面からの説明図。
【図９】液晶パネルの一部を示す斜視図。
【図１０】従来技術を示す斜視図。
【図１１】従来技術の問題点を示す説明図。
【符号の説明】
【００４７】
１…クリーニング装置、３…液晶パネル、３a…下ガラス基板、３b…上ガラス基板、３c…端子形成面、３d…段差部（上ガラス基板の段差部端面）、５…上部クリーニングヘッド（押圧部材）、７…クリーニング布（ふき取り部材）、９…下部クリーニングヘッド（裏面押圧支持部材）、１１…裏面クリーニング布（裏面ふき取り部材）、１５…直線ガイド付きシリンダ、１７…上側クランプシリンダ（押圧手段）、２９…下側クランプシリンダ（押圧手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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