(57)【要約】【課題】  エッジの位置検出の精度を向上させることができる画像測定装置を提供する。【解決手段】  線ツール６９を置きたい位置として入力された座標が、線ツール６９が延びる方向の直交方向で隣り合うピクセルの一方を示す第１座標（２６、０）と他方を示す第２座標（２７、０）との間のピクセル間座標（２６．５、０）か否か判断される。ピクセル間座標の場合、第１座標（２６、０）及び第２座標（２７、０）を始点にして、それぞれ、エッジＥの位置を検出する。これらを基にして、線ツール６９を置きたい位置の座標を始点にした場合のエッジＥの位置を演算する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示の最小単位がピクセルであり、ワークの画像及び線ツールを重ねて表示する表示手段と、
前記ワークが載置されると共に移動可能なステージと、      
前記線ツールの延びる方向の直交方向に前記線ツールを前記ワークに対して相対移動させて、前記ワークの測定箇所のエッジの位置を検出する位置検出手段と、
前記線ツールを置きたい位置が、前記直交方向で隣り合うピクセルの一方を示す第１座標と他方を示す第２座標との間のピクセル間座標であるか否か判断する座標判断手段と、
前記ピクセル間座標と判断された場合、前記位置検出手段に前記第１及び第２座標を始点にして、それぞれ、エッジの位置を検出させる命令を出す検出命令手段と、
前記検出命令に基づいて前記第１座標を始点にして検出されたエッジの位置と前記第２座標を始点にして検出されたエッジの位置とを用いて、前記線ツールを置きたい位置の座標を始点にした場合のエッジの位置を演算する位置演算手段と、を備えた
ことを特徴とする画像測定装置。
【請求項２】
前記画像測定装置は、前記線ツールを置きたい位置のデータを含む測定プログラムに従って測定を実行し、
前記測定プログラムの実行時、前記測定箇所の画像を前記表示手段に表示させるために前記ステージを移動させた後、前記座標判断手段は、前記データを基にして演算された前記線ツールを置きたい位置が前記ピクセル間座標であるか否か判断する、
ことを特徴とする請求項１に記載の画像測定装置。
【請求項３】
前記線ツールを置きたい位置が、この位置の座標を入力することにより特定される、
ことを特徴とする請求項１に記載の画像測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触三次元測定機や顕微鏡測定機のような画像測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像測定装置は、ワークの測定箇所をＣＣＤカメラ等で撮像し、画像上の測定箇所のエッジの位置検出をし、これを基にして測定箇所の形状や寸法等を計測する精密測定機器である。
【０００３】
画像測定装置において、撮像された測定箇所の画像は、フレームグラバ等の画像処理アプリケーションにより画像データに処理されて、コンピュータのメモリに格納される。この画像データは、多くの場合、白から黒までの明暗だけが識別されるだけで、カラーの識別はされない（グレー・スケール）。グレー・スケールでは、灰色を何階調で識別するかがビット数により決まる。例えば、８ビットでは２５６階調となる（白と黒を含む）。
【０００４】
測定箇所のエッジの位置検出には、エッジ検出ツールが用いられる。測定箇所の画像の明から暗（又は暗から明）の変化している位置、つまり灰色の位置にエッジが存在する。上記ツールにより、灰色の明度を所定のしきい値で区切ることにより、エッジの位置が特定される。
【０００５】
エッジの位置検出の精度を向上させるための様々な技術が開発されている。例えば、エッジ検出ツールの移動方向と直交する方向において補間処理することにより、その方向の分解能を向上させる技術がある（例えば特許文献１）。これによれば、ディスプレイに表示される最小単位であるピクセルのサイズよりも小さい分解能にすることができる。  
【特許文献１】特開平１０−２０６１１３号公報（段落００１３〜００１７，図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、エッジの位置検出の精度を向上させることができる画像測定装置を提供することを目的とする。  
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る画像測定装置は、表示の最小単位がピクセルであり、ワークの画像及び線ツールを重ねて表示する表示手段と、前記ワークが載置されると共に移動可能なステージと、前記線ツールの延びる方向の直交方向に前記線ツールを前記ワークに対して相対移動させて、前記ワークの測定箇所のエッジの位置を検出する位置検出手段と、前記線ツールを置きたい位置が、前記直交方向で隣り合うピクセルの一方を示す第１座標と他方を示す第２座標との間のピクセル間座標であるか否か判断する座標判断手段と、前記ピクセル間座標と判断された場合、前記位置検出手段に前記第１及び第２座標を始点にして、それぞれ、エッジの位置を検出させる命令を出す検出命令手段と、前記検出命令に基づいて前記第１座標を始点にして検出されたエッジの位置と前記第２座標を始点にして検出されたエッジの位置とを用いて、前記線ツールを置きたい位置の座標を始点にした場合のエッジの位置を演算する位置演算手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る画像測定装置によれば、線ツールを置きたい位置の座標がピクセル間座標の場合（つまり、線ツールを置くことができない場合）、隣り合う第１及び第２座標を始点にしてエッジの位置を検出し、これらを用いて線ツールを置きたい位置の座標を始点にした場合のエッジの位置を演算している。したがって、エッジの位置検出の精度を向上させることができる。
【０００９】
本発明に係る画像測定装置において、前記画像測定装置は、前記線ツールを置きたい位置のデータを含む測定プログラムに従って測定を実行し、前記測定プログラムの実行時、前記測定箇所の画像を前記表示手段に表示させるために前記ステージを移動させた後、前記座標判断手段は、前記データを基にして演算された前記線ツールを置きたい位置が前記ピクセル間座標であるか否か判断する、ようにすることができる。
【００１０】
本発明に係る画像測定装置において、前記線ツールを置きたい位置が、この位置の座標を入力することにより特定される、ようにすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る画像測定装置によれば、エッジの位置検出の精度を向上させることができる。特に、ワークの測定箇所を撮像する手段のレンズの倍率が低い場合に有効となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明に係る画像測定装置は、線ツールを置きたい位置の座標に線ツールを置いて、そこを始点にしてワークの測定箇所のエッジの位置検出をする際に、線ツールを本来置きたい位置に置けない場合に有効となる。以下、図面を参照して、本発明に係る画像測定装置の一実施形態について詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態に係るマニュアル操作型の画像測定装置１の全体構成を示す斜視図である。装置１は、非接触画像計測型の測定機本体３と、必要な測定処理を実行するコンピュータシステム５と、測定機本体３に対して必要な測定指令を与える指令入力部７と、測定機本体３に安定した電力を供給する電源ユニット９とにより構成されている。なお、電源ユニット９は測定機本体３に内蔵することもできる。
【００１４】
測定機本体３は、次のように構成されている。架台１１上には、測定対象であるワークＷが載置されるステージ１３が装着されており、このステージ１３は、Ｘ軸つまみ１５、Ｙ軸つまみ１７及び微動つまみ１９に対する手動操作によってＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能にされている。なお、測定機本体３には図示しないＸ軸及びＹ軸駆動部が設けられている。これら駆動部はサーボ制御されており、測定プログラムの実行時にこれらの駆動部によりステージ１３が自動移動される。架台１１の後端部には上方に延びるフレーム２１が固定されている。
【００１５】
フレーム２１にＣＣＤカメラユニット２３が支持されている。ＣＣＤカメラユニット２３は、Ｚ軸つまみ２５によってフレーム２１に形成されたガイドレールに沿ってＺ軸方向に移動可能にされている。ＣＣＤカメラユニット２３の内部には、ステージ１３を上部から臨むようにＣＣＤカメラ２７が取り付けられている。カメラ２７の画像ヘッド２８が外部に露出している。カメラ２７により、ステージ１３に載置されたワークＷが撮像される。画像ヘッド２８のレンズの周囲には、ワークＷに照明光を照射するためのリング状の照明装置２９が備えられている。
【００１６】
コンピュータシステム５は、コンピュータ本体３１、キーボード３３、マウス３５及びＣＲＴ３７を備えて構成されている。
【００１７】
図２は、本実施形態を実現できるハードウェア構成を示す図である。ＣＰＵ３９、プログラムメモリ４１、ワークメモリ４３、多値画像メモリ４５、表示制御ＩＣ４７及び照明制御ＩＣ４９は、バス５１に接続されている。表示制御ＩＣ４７には、ＣＲＴ３７が接続されている。照明制御ＩＣ４９には、照明装置２９が接続されている。
【００１８】
ＣＣＤカメラ２７は、インターフェース５３を介してバス５１に接続されている。ＣＣＤカメラ２７で撮像されたワークＷの多値画像データは、ＣＰＵ３９で処理されて、多値画像メモリ４５に格納される。多値画像メモリ４５に格納された多値画像データは、表示制御ＩＣ４７でワークＷの画像に変換する処理が実行されてＣＲＴ３７に表示される。  
【００１９】
ＣＰＵ３９は、ワークＷの測定箇所のエッジの位置検出をする処理及びこのエッジ位置を基にして測定箇所の形状や寸法等の測定処理を実行する。ワークメモリ４３は、ＣＰＵ３９の各種処理のための作業領域を提供する。
【００２０】
ステージ１３に対するＣＣＤカメラ２７のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向位置をそれぞれ検出するためのＸ軸エンコーダ５５、Ｙ軸エンコーダ５７及びＺ軸エンコーダ５９が設けられている。これらのエンコーダはインターフェース６１を介してバス５１に接続されている。これにより、エンコーダ５５，５７，５９からの出力はＣＰＵ３９に取り込まれる。ＣＰＵ３９は、取り込まれた各軸位置の情報等に基づいて、測定箇所の現在位置の演算などを実行する。
【００２１】
照明制御ＩＣ４９は、ＣＰＵ３９で生成された指令値に基づいてアナログ量の指令電圧を生成し照明装置２９に印加する。入力装置（指令入力部７やキーボード３３）は、インターフェース６３を介してバス５１に接続されている。
【００２２】
次に、本実施形態に係る画像測定装置１に備えられるＣＲＴ３７の画面６５について説明する。図３は画面６５の一例の平面図である。一つのピクセル６７が表示の最小単位である。画像データを例えば、基本的な表示モードであるＶＧＡ(Video Graphics Array)のサイズで処理する場合、ピクセル数は６４０個×４８０個となる。
【００２３】
一つのピクセル６７のサイズがどのくらいかは、図２のＣＣＤカメラ２７のレンズの倍率により異なる。例えば、倍率が１．２８ｍｍ×０．９６ｍｍの場合、一つのピクセル６７の縦横サイズは、それぞれ０．００２ｍｍである（６４０個×０．００２ｍｍ＝１．２８ｍｍ、４８０個×０．００２ｍｍ＝０．９６ｍｍ）。したがって、単純に考えると、分解能は０．００２ｍｍということになり、これより小さい寸法でエッジの位置を検出することができない。
【００２４】
図４は、図１のワークＷの測定箇所が図３の画面６５に表示された状態の一例の拡大図である。エッジ検出ツールである線ツール６９がワークＷの画像に重ねて表示されている。線ツール６９の延びる方向の直交方向に線ツール６９を移動させて、ワークＷの測定箇所のエッジＥの位置を検出する。ここでは、線ツール６９の延びる方向はＹ軸であり、直交方向はＸ軸となる。線ツール６９はエッジ検出ツールの中で最もシンプルであり、この例では複数のピクセル６７を一方向に並べた線状の構造を有する。
【００２５】
さて、画像測定において、線ツールを置きたい位置の座標に線ツールを置いて、そこを始点にしてワークの測定箇所のエッジの位置検出をする際に、線ツールを本来置きたい位置に置けない事態が発生する。この事態は、（１）パートプログラムのような測定プログラムを実行する場合に主に発生するが、（２）ＣＡＤデータ等の図面情報に基づいて、オペレータが線ツールを置きたい位置を座標入力で特定する場合にも発生する。上記事態発生の理解容易のために（２）の場合から説明する。
【００２６】
図５は、図４と対応し、線ツール６９を置きたい位置の座標に線ツール６９を置けない状態を示す図である。例えば、原点（０ｍｍ、０ｍｍ）を左下とし、座標（０．０５３０ｍｍ、０ｍｍ）を始点にして、エッジＥの位置検出をする場合を考える。線ツールを置きたい位置の座標（０．０５３０ｍｍ、０ｍｍ）を、ピクセルの座標で表すと（２６．５、０）となる。
【００２７】
６４０：１．２８ｍｍ＝２６．５：０．０５３０ｍｍ
図５に示すように、Ｘ＝２６．５というピクセルは存在しない。線ツール６９を置きたい位置が、線ツール６９の延びる方向の直交方向において隣り合うピクセルを跨いでいることになる。このため、線ツール６９を置くことができない。したがって、座標（２６．５、０）＝（０．０５３０ｍｍ、０ｍｍ）は、本明細書で言うピクセル間座標である。
【００２８】
よって、図６に示すように、Ｘを０．５切り下げて、（２６、０）の位置に線ツール６９（６９−１）を置くか、もしくは、図７に示すように、０．５切り上げて、（２７、０）の位置に線ツール６９（６９−２）を置くか、しなければならない。この結果、線ツール６９は、本来置きたい位置から線ツール６９の延びる方向の直交方向（ここではＸ軸方向）に二分の一ピクセル（０．００１ｍｍ）ずれた位置に置かれる。したがって、エッジの位置検出の始点が不正確となる。
【００２９】
特に、図１のＣＣＤカメラ２７のレンズの倍率が比較的低い場合に問題が大きくなる。なぜならば、レンズの倍率が低いと、ピクセルのサイズが大きいことに相当するので、線ツール６９を置く位置がピクセル一つ分ずれただけでも、大きな誤差になるからである。
【００３０】
本実施形態では、線ツールを置きたい位置の座標がピクセル間座標の場合、線ツールを置きたい位置の座標を始点にした場合のエッジの位置を演算により求めている。図８は、本実施形態に係る画像測定装置１を用いたエッジの位置検出のフローチャートである。
【００３１】
まず、オペレータは、図１の指令入力部７に線ツール６９を置きたい位置の座標（０．０５３０ｍｍ、０ｍｍ）を入力する（ステップＳ１）。次に、入力された座標がピクセル間座標か否か判断される（ステップＳ３）。ピクセル間座標でない場合、通常のエッジの位置検出の処理が実行される（ステップＳ５）。
【００３２】
図７で説明したように、座標（０．０５３０ｍｍ、０ｍｍ）＝（２６．５、０）は、線ツール６９が延びる方向の直交方向で隣り合うピクセルの一方を示す第１座標（２６．０、０）と他方を示す第２座標（２７．０、０）との間のピクセル間座標である。
【００３３】
したがって、まず、第１座標を始点にしてエッジの位置検出を実行する（ステップＳ７）。次に、第２座標を始点にしてエッジの位置検出を実行する（ステップＳ９）。なお、これらエッジの位置検出の順番は、逆でもよい。
【００３４】
そして、ピクセルの座標の小数点以下の値で重み付けをして、線ツールを置きたい位置の座標（言い換えればピクセル間座標）を始点にした場合のエッジの位置を演算する（ステップＳ１１）。この場合、重み付けは０．５なので、Ｘ座標及びＹ座標ともに、第１座標を始点にした場合のエッジの位置と第２座標を始点にした場合のエッジの位置との平均値を求める。重み付けが０．５以外の場合も当然あり（例えばピクセル間座標（２６．３、０））、その場合はこれに対応する重み付けでエッジの位置を演算する。
【００３５】
以上説明したように本実施形態によれば、線ツール６９を置く位置が、本来置きたい位置から線ツール６９の延びる方向の直交方向（ここではＸ軸方向）にずれが発生する場合、上記演算によりエッジの位置を求めている。したがって、上記直交方向の分解能が向上するので、エッジの位置検出の精度を高めることができる。特に、図１のＣＣＤカメラ２７のレンズの倍率が比較的低い場合に有効となる。
【００３６】
次に、（１）の場合、すなわち、パートプログラムのような測定プログラムを実行するとき、線ツールを本来置きたい位置に置けない事態が発生することについて、図９及び図１０を用いて説明する。これらの図は、ＣＲＴの画面６５全体を示しており、ピクセルは省略されている。
【００３７】
測定プログラムは、誰でも同様な測定をできるようにするための支援ソフトであり、測定箇所の位置のデータ、ツールのデータ（線ツールを置きたい位置のデータを含む）、測定方法等が記述されている。測定箇所の位置のデータ及び線ツールを置きたい位置のデータは、例えば、次のようにして測定プログラムに記述される。
【００３８】
図９に示すように、ステージ１３を移動させて、測定箇所を含むワークＷの画面６５がＣＲＴに表示されるようにする。この状態で、オペレータは線ツール６９をマウスでドラッグ操作して画面６５上の所望の位置Ｐに置く。そして、位置データの取り込み命令をすると、画面６５の位置及び線ツール６９の位置は、図１に示すステージ１３の座標系（言い換えればワーク座標系）に換算され、測定プログラムに記述される。
【００３９】
画面６５の位置は画面６５の中心点Ｃで定義され、例えば（１００ｍｍ、５０ｍｍ）とする。線ツール６９の位置は線ツール６９の始点と終点で定義され、例えば始点（１００．０９６ｍｍ、５０．０４３ｍｍ）、終点（１００．０９６ｍｍ、５０．０９３ｍｍ）とする。線ツール６９が画面６５に表示された状態で測定プログラムは作成されるので、測定プログラム作成段階でピクセル間座標の問題は発生しない。
【００４０】
測定プログラムを実行する場合、図１０に示すように、（１００ｍｍ、５０ｍｍ）の位置にステージ１３（図１）を移動させて、ＣＲＴに画面６５（ワークＷの測定箇所の画像）が表示される。次に、画面６５の中心点Ｃ（１００ｍｍ、５０ｍｍ）と線ツールの始点（１００．０９６ｍｍ、５０．０４３ｍｍ）との距離を演算して、これをピクセルサイズで割って画面６５上に線ツールの始点が決められる。画面６５上の線ツールの終点も同様にして決められる。これら決められた始点と終点を持つ線ツール６９が画面６５に表示される。この位置が線ツール６９を置きたい位置である。
【００４１】
しかし、ステージ移動のサーボ制御で位置偏差が完全な０になるのは期待できず、ステージ１３の位置ずれが不可避的に生じる。例えば、画面６５の中心点Ｃが（１００ｍｍ、５０ｍｍ）とならず、（１００．００３ｍｍ、４９．９９９ｍｍ）となる。画面６５の中心点Ｃが変わるので、これを基に演算される画面６５上の線ツール６９の始点や終点がピクセル間座標になる可能性が発生する。
【００４２】
本実施形態では、測定プログラムを実行する場合、図８のステップＳ１において、「線ツールを置きたい位置の座標入力」の替わりに「線ツールを置きたい位置の演算」がされる。後のステップは図８に示す通りである。これにより、上記（２）の場合と同様に、線ツールの延びる方向の直交方向の分解能が向上するので、エッジの位置検出の精度を高めることができる。
【００４３】
さらに、本実施形態によれば、線ツール６９の延びる方向においても、分解能が向上する。これについて、図１１〜図１３を用いて（２）の場合を例に説明する。これらの図は、ワークＷの測定箇所のエッジの拡大平面図である。Ｅは画像上のエッジを示し、ｅは実際のエッジを示している。
【００４４】
図１１に示すように、線ツール６９の延びる方向はＹ軸方向である。上記図８で説明したように、線ツール６９をＸ軸方向に移動させて、Ｘ座標が「２６」を始点とする場合、Ｘ座標が「２７」を始点とする場合、それぞれについてエッジの位置を検出する。そして、これらのエッジの位置を基にして、線ツール６９を置きたい位置の座標を始点にした場合のエッジの位置を演算すると、図１２に示すようなエッジＥの位置を得ることができる。
【００４５】
Ｘ座標「２６」〜「２７」及びこれらに対応するＹ座標において、エッジＥの分解能が向上していることが分かる。これは、図１３に示すように、本実施形態では、Ｘ座標が「２６．５」の場合でエッジＥの位置を検出したのと同様の効果が生じるからである。
【００４６】
さらに、本実施形態は斜め方向に延びる線ツールについても当然適用できる。これについて図１４〜図１６を用いて説明する。図１４は、画面６５のＸ−Ｙ座標に対して斜め方向に延びる線ツール６９において、ツール６９を置きたい位置のＹ座標が２．５の場合（つまりピクセル間座標になっている場合）を示している。この場合は、図１５に示すように、第１座標（２４．０、２．０）を始点にしてエッジの位置検出を実行し、次に、図１６に示すように、第２座標（２４．０、３．０）を始点にしてエッジの位置検出を実行する。そして、第１座標を始点にした場合のエッジの位置と第２座標を始点にした場合のエッジの位置との平均値を求める。
【００４７】
最後に、本実施形態に係る画像測定装置１の機能ブロックの一例について、図２と図１７を用いて説明する。図１７は、画像測定装置１の機能ブロック図である。入力部７１は、撮像部７３と座標入力部７５で構成される。具体的には、撮像部７３はＣＣＤカメラ２７であり、座標入力部７５は指令入力部７である。
【００４８】
記憶部７７は、撮像部７３で撮像されたワークＷの多値画像データを記憶したり、エッジの位置検出のプログラムや各種測定処理のプログラムを記憶したり、これらのプログラムを実行する際のワーク領域を提供したりする等の機能を有する。記憶部７７は、図２のプログラムメモリ４１、ワークメモリ４３及び多値画像メモリ４５と対応し、ＲＡＭやＲＯＭで実現される。
【００４９】
処理部７９は、画像処理部８１、位置検出部８３、測定処理部８５、座標判断部８７、検出命令部８９、位置演算部９１を含む。処理部７９の機能は、図２のＣＰＵ３９で実現される。画像処理部８１は、図３のＣＲＴ３７にワークの画像を表示及びこの画像に線ツールを重ねて表示するための各種制御をする。位置検出部８３は、線ツールの延びる方向の直交方向に線ツールを移動させて、ワークの測定箇所のエッジの位置を検出する。測定処理部８５は、エッジの位置を基にして測定箇所の円周や距離などの各種測定を実行する。
【００５０】
座標判断部８７は、座標入力部７５に入力された座標が、線ツールの延びる方向の直交方向で隣り合うピクセルの一方を示す第１座標と他方を示す第２座標との間のピクセル間座標であるか否かの判断を実行する。検出命令部８９は、入力された上記座標がピクセル間座標と判断された場合、位置検出部８３に第１及び第２座標を始点にして、それぞれ、エッジの位置を検出させる命令を出力する。位置演算部９１は、この検出命令に基づいて第１座標を始点にして検出されたエッジの位置と第２座標を始点にして検出されたエッジの位置とを用いて、線ツールを置きたい位置の座標を始点にした場合のエッジの位置を演算する。
【００５１】
表示部９３には、ワークの画像、線ツール、測定結果等が表示される。図２のＣＲＴ３７が表示部９３となる。表示部９３としては、他に、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイがある。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本実施形態に係る画像測定装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】同実施形態を実現できるハードウェア構成を示す図である。
【図３】同実施形態に備えられるＣＲＴの画面の一例の平面図である。
【図４】図１のワークの測定箇所が図３の画面に表示された状態の一例の拡大図である。
【図５】線ツールを置きたい位置の座標に線ツールを置けない状態を示す拡大図である。
【図６】線ツールを左にずらして置いた場合の拡大図である。
【図７】線ツールを右にずらして置いた場合の拡大図である。
【図８】本実施形態に係る画像測定装置を用いたエッジの位置検出のフローチャートである。
【図９】測定プログラム作成時のＣＲＴの画面の一例の平面図である。
【図１０】測定プログラム実行時のＣＲＴの画面の一例の平面図である。
【図１１】ワークの測定箇所のエッジを示す第１拡大図である。
【図１２】同第２拡大図である。
【図１３】同第３拡大図である。
【図１４】斜め方向に延びる線ツールについて、ピクセル間座標が発生している状態を示す拡大図である。
【図１５】図１４の線ツールを下にずらして置いた場合の拡大図である。
【図１６】図１４の線ツールを上にずらして置いた場合の拡大図である。
【図１７】本実施形態に係る画像測定装置の機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００５３】
１・・・画像測定装置、３・・・測定機本体、５・・・コンピュータシステム、７・・・指令入力部、９・・・電源ユニット、１１・・・架台、１３・・・ステージ、１５・・・Ｘ軸つまみ、１７・・・Ｙ軸つまみ、１９・・・微動つまみ、２１・・・フレーム、２３・・・ＣＣＤカメラユニット、２５・・・Ｚ軸つまみ、２７・・・ＣＣＤカメラ、２８・・・画像ヘッド、２９・・・照明装置、３１・・・コンピュータ本体、３３・・・キーボード、３５・・・マウス、３７・・・ＣＲＴ、３９・・・ＣＰＵ、４１・・・プログラムメモリ、４３・・・ワークメモリ、４５・・・多値画像メモリ、４７・・・表示制御ＩＣ、４９・・・照明制御ＩＣ、５１・・・バス、５３・・・インターフェース、５５・・・Ｘ軸エンコーダ、５７・・・Ｙ軸エンコーダ、５９・・・Ｚ軸エンコーダ、６１，６３・・・インターフェース、６５・・・ＣＲＴの画面、６７・・・ピクセル、６９・・・線ツール、７１・・・入力部、７３・・・撮像部，７５・・・座標入力部、７７・・・記憶部、７９・・・処理部、８１・・・画像処理部、８３・・・位置検出部、８５・・・測定処理部、８７・・・座標判断部、８９・・・検出命令部、９１・・・位置演算部、９３・・・表示部、Ｗ・・・ワーク、Ｅ・・・ワークのエッジ、Ｐ・・・所望の位置、Ｃ・・・画面の中心点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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