(57)【要約】【課題】本発明は、塗布された導通剤の塗布状態を正確に認識でき、信頼性および生産効率の向上化を得られる表示パネルの製造装置および導通剤の検出方法を提供する。【解決手段】供給ノズル１３の先端部１３ａは、アレイ基板に対して平行な第１の面ｅ１とアレイ基板に対して斜めに形成される第２の面ｅ２を有し、導通剤を供給する供給孔１６が開口し、導通剤供給時は先端部がアレイ基板に接触し、供給後はアレイ基板から離間するよう昇降自在に駆動し、ランプ機構１４をノズル先端部の第１の面側にノズルと一体に支持してノズルがアレイ基板から離間した状態でノズル先端部のアレイ基板接触位置に対して光軸ｄ１を向けるよう取付け、カメラ機構１５をノズル先端部の第２の面側にノズルと一体に支持してランプ機構からアレイ基板で反射した光を受けて撮像し、検出装置１１はカメラ機構の撮像信号を受けて画像処理し導通剤の塗布状態を検出する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導通剤から形成される短絡バンプ電極を介してアレイ基板と対向基板とが接続される表示パネルを製造する表示パネルの製造装置において、
先端部が、上記アレイ基板に対して平行な第１の面およびアレイ基板に対して斜めに形成される第２の面を有するとともに、アレイ基板に導通剤を供給する供給孔が開口され、導通剤供給時は先端部をアレイ基板に接触し、供給後は先端部をアレイ基板から離間するよう昇降自在に駆動されるノズルと、
このノズル先端部の第１の面側に、ノズルと一体に支持され、ノズル先端部がアレイ基板から離間した状態で、ノズル先端部のアレイ基板接触位置に対して斜め方向から光軸を向ける照明手段と、
上記ノズル先端部の第２の面側に、ノズルと一体に支持され、上記照明手段から投光されアレイ基板で反射した光を受けて撮像する撮像手段と、
この撮像手段の撮像信号を受けて画像処理し、導通剤の塗布状態を検出する検出手段とを具備することを特徴とする表示パネルの製造装置。
【請求項２】
上記ノズルの先端部は、ノズルの中心軸を介して２つ割りにした状態で、その一方側を第１の面とし、他方側を第２の面としたことを特徴とする請求項１記載の表示パネルの製造装置。
【請求項３】
請求項１記載の上記表示パネルの製造装置を用いて、アレイ基板に導通剤を塗布する以前の、導通剤塗布予定部位の撮像をなし、画像信号を取り込んで画像処理する第１の工程と、
アレイ基板に導通剤を塗布したあと、その塗布状態を撮像し、撮像信号を取込んで画像処理する第２の工程と、
第２の工程で得られた導通剤塗布後の画像面積から、第１の工程で得られた導通剤塗布前の画像面積の差分を求め、この差分から塗布された導通剤のみの画像面積を抽出する第３の工程と、
第３の工程で抽出した導通剤画像を、予め記憶している標準パターンと比較し、その比較値から導通剤の塗布状態を判断する第４の工程と
を具備することを特徴とする導通剤の検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アレイ基板に対して導通剤を塗布する塗布構造を改良した表示パネルの製造装置および、この表示パネルの製造装置を用いて導通剤の塗布状態を検出する導通剤の検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示ぱねるである、たとえば液晶基板は、ガラス基板上の表示領域となる部分に、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）が設けられるアレイ基板に配向膜を形成し、この配向膜に対して配向処理が施される。上記表示領域を囲むようにシール剤が塗布され、このシール剤を介して対向基板が貼り合されてなる。また、アレイ基板と対向基板とは短絡バンプ電極を介して接続され、この短絡バンプ電極によってアレイ基板の電極と対向基板とが同電位に設定される。
【０００３】
このような液晶基板を製造する製造装置において、アレイ電極を構成する電極に、たとえば銀ペーストからなる導通剤を塗布して、上記短絡バンプ電極を形成する工程がある。具体的には、導通剤供給源に連通する複数のノズルが一列に揃えられ、各ノズルから導通剤がアレイ基板の電極上に所定量、供給塗布される。導通剤の塗布工程が終了したあとは、導通剤の塗布状態を検出する工程が行われる。
【０００４】
従来、検出工程を行うために、導通剤に対してランプ（照明手段）とカメラ（撮像手段）が互いに同軸上に配置される。ランプで導通剤を照明するとともにカメラで撮像し、その撮像信号が検出装置（検出手段）へ送られる。検出装置においては取込んだ画像を明暗（黒・白）の閾値による２値化処理なし、その結果から所定量の導通剤が塗布された否かを判断する。
【０００５】
しかしながら、アレイ基板を支持する基板ステージおよび電極の色、濃度、素材等の条件によって誤検出が発生し易いものであった。たとえば、基板ステージは黒色処理をなしたアルミニュウム材から構成され、銀ペーストである導通剤とは反対色であるので認識し易かったが、アンローディングのためピンでアレイ基板を突き上げる際の摩擦で静電気が発生し、アレイ基板に実装されるＴＦＴ等に悪影響を及ぼすことが判明した。
【０００６】
そのため、近時、基板ステージをセラミックス材に変更し、静電摩擦の発生を防止する対策がとられるようになった。ところが、セラミックス材は白色をなし、銀色の導通剤に極く近い色であり、アレイ基板を構成する透明ガラス板から白色の基板ステージが見えて互いに濃淡の差が小さく、導通剤の画像処理がし難いものとなっている。
【０００７】
そこで、［特許文献１］にあるような半田付け領域抽出装置や、［特許文献２］にあるような塗布面検査装置及び塗布システムが提供されるに至った。いずれも、液晶基板の製造とは直接的には係り合いがないが、塗布対象物に対して確実な認識を得ることを目的とする点で一致している。
【特許文献１】特開平  ４−６５２００号公報
【特許文献２】特開平１１−  ２６１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
［特許文献１］では、プリント基板上の半田付け領域を基板とは異なる色で照明する第１のカラー照明手段と、この照明色と異なる色で照明する第２のカラー照明手段と、半田付け領域を撮像するカラー撮像手段と、このカラー撮像手段の撮像信号を色変換する色変換手段を具備し、第１のカラー照明手段による投光色近傍の色領域を抽出する。  
しかしながら、［特許文献１］では、互いに異なる色の複数の照明手段を備えるために構成が複雑化し、各照明手段を配置するスペースが必要で、抽出装置自体が大型化する。色変換手段は各カラー撮像手段の撮像信号を色変換するが、実際には、第１のカラー照明手段による投光色近傍の色領域を抽出するので、抽出制御が複雑となる。
【０００９】
［特許文献２］は、鉛板ガラスの面上に、鉛板ガラスと薄膜の分光特性を加味した照明光を照射する照明装置と、照明光の反射光を受光する受光装置と、この受光装置に入射した反射光の光強度を演算して薄膜の塗布状態データを生成し、塗布状態が予め設定されているか否かを判別する演算処理・判別処理とで構成される。  
しかしながら、この［特許文献２］は、鉛板ガラスの全面に亘って塗布された塗布パターンの線や面の状態を撮らえる装置であって、先に背景技術の欄で説明したように、アレイ基板に、いわゆるスポット状に導通剤を塗布し、それぞれの導通剤の塗布状態を検出する装置とは構成上の相違が大である。
【００１０】
本発明は上記事情に着目してなされたものであり、その目的とするところは、アレイ基板の電極や基板ステージの色、素材等の条件に係り合うことなく、塗布された導通剤の塗布状態を正確に認識でき、信頼性および生産効率の向上化を得られる表示パネルの製造装置および導通剤の検出方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため本発明の導通剤から形成される短絡バンプ電極を介してアレイ基板と対向基板とが接続される表示パネルを製造する表示パネルの製造装置は、ノズルの先端部がアレイ基板に対して平行な第１の面およびアレイ基板に対して斜めに形成される第２の面を有し、アレイ基板に導通剤を供給する供給孔が開口され、導通剤供給時は先端部をアレイ基板に接触し、供給後は先端部をアレイ基板から離間するよう昇降自在に駆動され、照明手段がノズル先端部の第１の面側にノズルと一体に支持してノズル先端部がアレイ基板から離間した状態でノズル先端部のアレイ基板接触位置に対し斜め方向から光軸を向け、撮像手段がノズル先端部の第２の面側にノズルと一体に支持して照明手段から投光されアレイ基板で反射した光を受けて撮像し、検出手段が撮像手段の撮像信号を受けて画像処理し導通剤の塗布状態を検出する。
【００１２】
そして、上記目的を達成するため本発明の導通剤の検出方法は、第１の工程で上記表示パネルの製造装置を用いてアレイ基板に導通剤を塗布する以前の導通剤塗布予定部位の撮像をなし画像信号を取り込んで画像処理し、第２の工程でアレイ基板に導通剤を塗布したあとの塗布状態を撮像し撮像信号を取込んで画像処理し、第３の工程で第２の工程で得られた導通剤塗布前の画像面積から第１の工程で得られた導通剤塗布前の画像面積の差分を求め、この差分から塗布された導通剤のみの画像面積を抽出し、第４の工程で第３の工程において抽出した導通剤画像を予め記憶している標準パターンと比較し、その比較値から導通剤の塗布状態を判断する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、塗布された導通剤の塗布状態を正確に認識でき、信頼性および生産効率の向上化を得られる等の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。  
図１は、表示パネルとして、たとえば液晶基板の製造装置を構成する導通剤塗布装置Ｓを概略的に示している。  
この導通剤塗布装置Ｓには、ガラス基板上の表示領域となる部分にＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）が形成されるアレイ基板が搬入される。このアレイ基板には配向膜が形成され、この配向膜に対して配向処理が施されている。上記表示領域を囲むようにシール剤が塗布され、導通剤塗布装置Ｓの搬出側において上記シール剤を介して対向基板が貼り合せられ、液晶基板が形成される。
【００１５】
上記導通剤塗布装置Ｓは、筐体１上面に設けられるＸ軸テーブル２と、このＸ軸テーブル２上に載置されるＹ軸テーブル３と、このＹ軸テーブル上に載置固定される基板ステージ４を備えている。  
さらに、筐体１上面の左右両側部に図示しない支柱が立設され、これら支柱間に横架フレーム５が設けられている。この横架フレーム５にはＺ軸駆動機構である昇降機構６を介して塗布機構７が設けられる。
【００１６】
上記基板ステージ４は、後述するアレイ基板を載置するためのものであり、セラミックス素材（白色）から構成されることには変わりがない。したがって、アレイ基板に導通剤を塗布した後、図示しないピンがアレイ基板を突き上げて基板ステージ４から剥離する際の静電摩擦の発生はない。
【００１７】
上記塗布機構７は、ここでは両側部の２組が仮止め剤を塗布するための、仮止め剤塗布ヘッド８と、これら仮止め剤塗布ヘッドに挟まれた複数（４組）の、導通剤を塗布するための導通剤塗布ヘッド９とから構成される。仮止め剤塗布ヘッド８および導通剤塗布ヘッド９とも個々に上記昇降機構６に設けられているので、Ｚ軸方向に個々に昇降制御されるようになっている。
【００１８】
上記横架フレーム５の背面側には、仮止め剤塗布ヘッド８および導通剤塗布ヘッド９を個々に運転制御するための制御装置１０が設けられていて、これら制御装置には後述するように導通剤の塗布状態を検出する検出装置（検出手段）１１を内蔵している。
【００１９】
図２は、上記導通剤塗布ヘッド９を拡大し、かつ概略的な正面図である。  
上記昇降機構６に対して、導通剤塗布ヘッド９を構成するヘッド本体１２が直接的に支持される。このヘッド本体１２の下部に供給ノズル１３が取付けられていて、導通剤（たとえば銀ペースト）を貯溜する図示しない貯溜部と配管を介して連通している。
【００２０】
ヘッド本体１２に設けられる供給ノズル１３の側方部位（右側）にはランプ機構（照明手段）１４が取付けられるとともに、供給ノズル１３を介してランプ機構１４の反対側部位（左側）にはカメラ機構（撮像手段）１５が取付けられる。これらランプ機構１４とカメラ機構１５および供給ノズル１３は、全てヘッド本体１２に取付けられるところから、一体に昇降駆動される。
【００２１】
上記供給ノズル１３は、先端部１３ａが垂直下方に向けられていて、この先端部１３ａから導通剤を供給できるようになっている。また、上記ランプ機構１４のランプ１４ａは、その光軸ｄ１が供給ノズル１３の中心軸ｄ２に向けられ、供給ノズル中心軸ｄ２とランプ光軸ｄ１との交差位置が、供給ノズル先端部１３ａ端面から所定距離α（たとえば、３ｍｍ）だけ下方部位になるよう設定されている。
【００２２】
一方、上記カメラ機構１５は、この先端部に設けられる受光レンズ１５ａの光軸ｄ３が、供給ノズル中心軸ｄ２とランプ光軸ｄ１との交差位置に向くように設定されている。すなわち、カメラ機構光軸ｄ３と供給ノズル中心軸ｄ２との交差する位置が、供給ノズル先端部１３ａの端面から所定距離α（たとえば３ｍｍ）だけ下方部位になるよう角度調整して取付けられる。
【００２３】
図３は供給ノズル１３を拡大するとともに、供給ノズル１３に対するランプ機構１４のランプ１４ａとカメラ機構１５の受光レンズ１５ａの配置関係を概略的に示す図であり、図４（Ａ）は供給ノズル先端部１３ａを拡大した断面図、図４（Ｂ）はノズル先端部１３ａの上面図である。
【００２４】
上記供給ノズル１３は、上記ヘッド本体１２に取付けられるフランジ部１３ｂを備え、このフランジ部１３ｂから先端部（下端部）１３ａに亘って漸次尖鋭状に形成される。中心軸ｄ２に沿って導通剤を供給するための供給孔１６が設けられ、先端部１３ａ端面にて開口される。
【００２５】
特に、供給ノズル１３の先端部１３ａは、所定の均一な細径に形成されるとともに、端面一部が斜めに切欠加工される。なお説明すれば、ノズル先端部１３ａ端面を中心軸ｄ２を介して２つ割り状態にしたとき、その一方側を中心軸ｄ２とは直交する方向である、上記アレイ基板ａ面と平行に形成した面となし、これを第１の面ｅ１と呼び、他方側を第１の面ｅ１に対して斜め４５°に傾斜した面となし、これを第２の面ｅ２と呼ぶ。
【００２６】
上記供給孔１６は、その半分面積が第１の面ｅ１に開口され、残りの半分面積が第２の面ｅ２に開口される。このことから、ノズル先端部１３ａ端面をアレイ基板ａに当接して供給孔１６から導通剤を供給する状態で、第１の面ｅ１がアレイ基板ａに密に接触するようになっている。また、第２の面ｅ２は、アレイ基板ａに対して斜めに隙間が形成されていて、第２の面ｅ２側からより多くの量の導通剤ｃを供給できるようになっている。
【００２７】
上記ランプ機構１４は、ノズル先端部１３ａの第１の面ｅ１側に配置され、上記カメラ機構１５は第２の面ｅ２側に配置される。そして、上述したように供給ノズル１３の中心軸ｄ２に対するランプ機構１４のランプ１４ａ光軸ｄ１と、カメラ機構１５の受光レンズ１５ａ光軸ｄ３の向き設定がなされている。実際に、ランプ機構１４とカメラ機構１５の、それぞれの光軸ｄ１，ｄ３におけるアレイ基板ａに対する傾斜は、たとえば４５°に傾けられる。
【００２８】
再び図１に示すように、上記制御装置１０は、Ｘ軸テーブル２と、Ｙ軸テーブル３と、昇降機構６を駆動制御するとともに、上記ランプ機構１４の点灯−消灯切換え制御およびカメラ機構１５の撮像タイミングの制御をなす。上記検出装置１１は、上記カメラ機構１５から送られる撮像信号を受けて画像の明暗（黒・白）となる閾値で２値化処理を行い、その撮像パターンを予め記憶された標準パターンと比較して撮像対象の認識を行う。
【００２９】
図５は、たとえば携帯電話用として複数の液晶画面ａ１が形成された液晶基板Ａの平面図であり、図６（Ａ）は１つの液晶画面ａ１を拡大した図であり、図６（Ｂ）は導通剤ｃである短絡バンプ電極Ｃを介してアレイ基板ａと対向基板ｂが接続される状態を模式的に示す断面図である。
【００３０】
図５に示すように、液晶画面ａ１を構成する線は、配線パターンの区切りを表現している。図６（Ａ）に示すように、導通剤ｃは１つの液晶画面ａ１の隅部に１点だけ塗布され、アレイ基板ａと対向基板ｂを接続した状態で短絡バンプ電極Ｃとなる。実際には、図６（Ｂ）に示すように、アレイ基板ａに設けられる電極ｆ上に導通剤ｃが塗布され、対向基板ｂとアレイ基板電極ｆとを接続することにより、アレイ基板ａと対向基板ｂとを同電位にする。
【００３１】
図７（Ａ）は導通剤ｃの塗布状態を説明する図であり、ここではランプ機構１４とカメラ機構１５は図示していない。図７（Ｂ）は塗布された導通剤ｃの検出状態を説明する図、図７（Ｃ）は塗布された導通剤ｃの平面図である。
【００３２】
供給ノズル１３が下降してアレイ基板電極ｆの所定位置に当接し、下降を停止する。タイミングをとって、供給孔１６から導通剤ｃである銀ペーストが供給される。このとき、ノズル先端部１３ａの端面に形成される第１の面ｅ１がアレイ基板電極ｆに当接し、第２の面ｅ２はアレイ基板電極ｆと斜めの隙間が形成される。
【００３３】
したがって、第１の面ｅ１側において導通剤ｃの塗布量は僅かであるのに対して、第２の面ｅ２側において導通剤ｃの塗布量は極めて大になる。なお説明すると、第１の面ｅ１側では供給孔１６の半分の開口面積分しか供給されないが、第２の面ｅ２側ではアレイ基板電極ｆと第２の面ｅ２との隙間からはみ出した状態で塗布される。
【００３４】
導通剤ｃの塗布状態を正面視で見ると、ノズル先端部１３ａの第１の面ｅ１側から第２の面ｅ２にかけて、第２の面ｅ２の傾斜に沿って斜めに盛り上がり、この外形位置はノズル先端部１３ａの外形よりも外側へ膨出している。導通剤ｃの平面塗布状態は、第１の面ｅ１側では上記供給孔１６の内径に沿う半円形状であるのに対して、第２の面ｅ２側では扇状に形成される。
【００３５】
上記供給ノズル１３の供給孔１６から所定量の導通剤ｃが塗布されたあと、供給ノズル１３は所定量αだけ上昇して停止する。第１の面ｅ１側に配置され、供給ノズル１３と一体に上昇したランプ機構１４はタイミングをとって点灯される。ランプ機構１４の光軸ｄ１は供給ノズル１３の先端部１３ａ端面がアレイ基板電極に接触した位置に向けられているので、この接触位置に塗布された導通剤ｃを照明する。
【００３６】
第２の面ｅ２側に配置され、供給ノズル１３およびランプ機構１４とともに上昇するカメラ機構１５は、ランプ機構１４から導通剤ｃへ投光され、この導通剤で反射した光を受けて撮像する。カメラ機構１５の撮像信号は検出装置１１へ送られ、２値化画像処理がなされる。
【００３７】
図８（Ａ）は塗布された導通剤ｃを拡大した断面図、図８（Ｂ）は塗布された導通剤ｃを拡大した平面図で、いずれもランプ機構１４の照明による明暗状態を説明する図である。ここでは、矢印は照明光を示し、小×印は影を示す。×印の数が少ない部分ほど薄い影であり、×印の数が多い部分ほど濃い影を表現している。
【００３８】
塗布された導通剤ｃは、ランプ機構１４の照明光を直接的に受ける部分と、ランプ機構１４の照明光をほとんど受けない部分とに、略二極分化される。ランプ機構１４の照明光を直接的に受ける部分は、ランプ機構１４が供給ノズル先端部１３ａ端面に形成される第１の面ｅ１側に配置され、かつ斜め位置から照明するところから、主として第１の面ｅ１側に塗布される部分であって、照明光を受けて全反射し白く光る。
【００３９】
ランプ機構１４による照明光をほとんど受けない部分は、主として第２の面ｅ２側から塗布される部分であり、しかも導通剤ｃ自体の陰となる部分であって、拡散反射して黒く見える。そして、カメラ機構１５は第２の面ｅ２側に配置され、導通剤ｃに向けて光軸ｄ３が設定されているので、導通剤ｃおよびその周辺の電極ｆ部分を濃淡のコントラストが鮮明になった状態で撮像できる。
【００４０】
上記カメラ機構１５および検出装置１１は制御装置１０によって制御され、以下に述べる導通剤ｃの検出方法が実行される。  
すなわち、供給ノズル１３がアレイ基板電極ｆの所定距離α分だけ上方にあり、導通剤ｃを塗布する以前に、カメラ機構１５は導通剤塗布予定部位の撮像をなす。その撮像信号は検出装置１１へ送られ、検出装置は画像信号を取込んで明暗（黒・白）の閾値による２値化画像処理をなし、その画像面積を記憶する第１の工程が行われる。
【００４１】
そして、供給ノズル１３がアレイ基板電極ｆに導通剤ｃを塗布したあと所定距離α分だけ上昇し、かつランプ機構１４が点灯したあとでカメラ機構１５は塗布部分を撮像する。その撮像信号は検出装置１１へ送られ、ここではカメラ機構１５からの画像信号を取り込んで２値化画像処理をなし、その画像面積を記憶する第２の工程が行われる。
【００４２】
ついで、検出装置１１において、導通剤塗布後の画像面積と塗布前の画像面積との差を求める演算を行う第３の工程が行われる。このようにして、塗布後画像面積と塗布前画像面積との差分から、導通剤ｃのみの画像面積を抽出する。  
最後に、抽出した導通剤画像を予め記憶している標準パターンと比較する第４の工程が行われる。この比較値が所定の範囲内にあるとき、制御装置１０は導通剤ｃが所定量塗布されているか否かの、塗布状態を判断して作業者に報知する。
【００４３】
以上説明した導通剤ｃの塗布状態を検出する第１ないし第４の工程は、導通剤塗布ヘッド８が次の塗布位置へ移動する間に行われ、完了する。そして、導通剤塗布ヘッド８が次の塗布位置へ移動すれば、再び第１の工程から順次繰り返えされる。  
このように、基板ステージ３がセラミックス素材で白色をなしていて、基板ステージ上に載置されるアレイ基板ａの電極ｆ間から基板ステージ３がそのまま見える。電極ｆ自体を黒色処理しても、電極ｆ上に塗布される銀ペーストからなる導通剤ｃは銀色をなし、通常であれば基板ステージ３の影響で白濁した画像となってしまう。
【００４４】
しかしながら本発明では、供給ノズル１３の先端部１３ａ端面を、アレイ基板ａに対して平行な第１の面ｅ１と、アレイ基板ａに対して斜めに形成される第２の面ｅ２から形成し、かつ第１の面ｅ１側にランプ機構１４を斜めにして取付け、第２の面ｅ２側にランプ機構から投光されアレイ基板電極ｆで反射した光を受けて撮像するカメラ機構１５を備えている。
【００４５】
このことから、塗布された導通剤ｃの形状が、ランプ機構１４に照明されて白く光る部分と、影になって黒くなる部分との濃淡のコントラストが鮮明になる。そのため、２値化画像処理をなした状態で、導通剤ｃの塗布状態を正確に認識でき、信頼性の向上を得られる。  
また、導通剤ｃの検出方法として、導通剤塗布予定部位を撮像し画像処理する第１の工程と、塗布された導通剤ｃを撮像し画像処理する第２の工程と、導通剤塗布後の画像と塗布前の画像との差分から導通剤ｃのみの画像を抽出する第３の工程および、抽出した導通剤画像を予め記憶している標準パターンと比較し導通剤の塗布状態を判断する第４の工程を具備したから、導通剤ｃが所定量塗布されているか否かの塗布状態を正確に認識でき、生産効率の向上を得られる。
【００４６】
なお、上述の実施の形態では表示パネルとして液晶基板を適用して説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、表示パネルとは表示装置の表示を行う板状構造物であるから、液晶表示装置やＥＬ表示装置に用いられるＴＦＴアレイ基板や、プラズマディスプレイあるいは電界効果型表示装置のアレイ基板にも利用可能であることは、勿論である。
【００４７】
そして、本発明は上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。そして、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態に係る、表示パネルである液晶基板の製造装置を構成する導通剤塗布装置の外観斜視図。
【図２】同実施の形態に係る、導通剤塗布装置に備えられる塗布ヘッドの概略の正面図。
【図３】同実施の形態に係る、導通剤を塗布する供給ノズルと、ランプ機構およびカメラ機構の配置を説明する図。
【図４】同実施の形態に係る、供給ノズルの先端部を拡大した断面図。
【図５】同実施の形態に係る、アレイ基板の平面図。
【図６】同実施の形態に係る、アレイ基板の一画面を拡大した図と、アレイ基板電極と対向基板とを短絡バンプ電極を介して接続する状態を模式的に表す図。
【図７】同実施の形態に係る、供給ノズルから導通剤をアレイ基板電極に塗布する状態を表す図と、塗布された導通剤に対する照明と撮像の状態を説明する図および塗布された導通剤の平面図。
【図８】同実施の形態に係る、導通剤を拡大した断面図および平面図。
【符号の説明】
【００４９】
ｃ…導通剤、Ｃ…短絡バンプ電極、ａ…アレイ基板、ｂ…対向基板、ｅ１…第１の面、ｅ２…第２の面、１６…供給孔、１３…供給ノズル、１４…ランプ機構（照明手段）、１５…カメラ機構（撮像手段）、１０…検出装置（検出手段）。 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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