(57)【要約】【課題】四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となるチップ状電子部品の抵抗値測定方法を提供する。【解決手段】シート状の絶縁基板１１に形成した第１、第２、第３、第４の電極１２、１３、１４、１５と、第１の電極１２と第２の電極１３との間に形成された第１の抵抗体１６、第１の電極１２と第３の電極１４との間に形成された第２の抵抗体１７、第２の電極１３と第４の電極１５との間に形成された第３の抵抗体１８を有し、第１の電極１２と第２の電極１３のいずれか一方に高電位側電圧端子１９を接触させ、第１の電極１２と第２の電極１３のいずれか他方に低電位側電圧端子２０を接触させ、第３の電極１４と第４の電極１５のいずれか一方に高電位側電流端子２１を接触させるとともに、第３の電極１４と第４の電極１５のいずれか他方に低電位側電流端子２２を接触させて四端子測定法により第１の抵抗体１６の抵抗値を測定するようにした。【選択図】図１
2006156724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体と、前記第２の電極と第４の電極との間に電気的に接続されるように形成された第３の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第２の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第２の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させ、かつ前記第３の電極と第４の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第３の電極と第４の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたチップ状電子部品の抵抗値測定方法。
【請求項２】
シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体と、前記第２の電極と第４の電極との間に電気的に接続されるように形成された第３の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第２の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第２の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第３の電極と第４の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第３の電極と第４の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたチップ状電子部品の抵抗値測定方法。
【請求項３】
シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体と、前記第２の電極と第４の電極との間に電気的に接続されるように形成された第３の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第４の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第４の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第３の電極と第２の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第３の電極と第２の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたチップ状電子部品の抵抗値測定方法。
【請求項４】
シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極と、前記相隣る分割溝の両方を跨ぐように形成された第３の電極と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第３の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第３の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させ、かつ前記第２の電極と第３の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第２の電極と第３の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたチップ状電子部品の抵抗値測定方法。
【請求項５】
シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極と、前記相隣る分割溝の両方を跨ぐように形成された第３の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第２の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第２の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第２の電極と第３の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第２の電極と第３の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたチップ状電子部品の抵抗値測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器に使用されるチップ抵抗器や多連チップ抵抗器等のチップ状電子部品の抵抗値測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のチップ抵抗器や多連チップ抵抗器等のチップ状電子部品は、図５（ａ）に示すように、アルミナ基板等の絶縁性を有するシート状の絶縁基板１の上面に複数対の上面電極２ａ，２ｂをスクリーン印刷・焼成により形成し、その後、図５（ｂ）に示すように、前記複数対の上面電極２ａ，２ｂに電気的に接続されるように抵抗体３をスクリーン印刷・焼成により形成し、その後、この抵抗体３の抵抗値を要求される目的の抵抗値に修正するようにしている。この抵抗値の修正方法としては、抵抗体３を形成した後、レーザーを用いて抵抗体３にトリミング溝を形成することにより、複数対の上面電極２ａ，２ｂ間に位置する抵抗体３の抵抗値を上昇させる手法が一般的に利用されている。この抵抗値修正は、抵抗値修正を目的とする抵抗体が接続されている上面電極に抵抗値測定用の端子を接触させ、この状態で抵抗値を測定しながら目的とする抵抗値になるまでレーザーで加工を行う。
【０００３】
抵抗値を測定するために上面電極に接触させる抵抗値測定用の端子は抵抗値を持っているため、抵抗体の正味の抵抗値を測定するためには、この抵抗値測定用の端子の抵抗値を含まないように、電流端子と電圧端子を高電圧側と低電圧側にそれぞれ独立させた端子構造の抵抗値測定用の端子を上面電極に接触させながら抵抗値を測定する、いわゆる四端子測定法が有効である。この場合、電流端子と電圧端子が独立していない二端子測定法よりも、この四端子測定法を使用することにより、抵抗値測定用の端子を接触させた上面電極間の精密な抵抗値測定が可能となる。
【０００４】
近年、抵抗体の狭公差の要求や、低抵抗領域である１Ω以下の抵抗値の要求が高まっており、これらの抵抗値を精度良く達成するためには、四端子測定法を用いた抵抗値修正方法が必要不可欠である。
【０００５】
四端子測定法を用いて抵抗体の抵抗値を修正する場合、従来は、抵抗値測定用の端子を図６に示すような配置で上面電極に接触させて抵抗体の抵抗値測定が行われていた。すなわち、抵抗体３の抵抗値を測定する場合、抵抗体３が接続された一方の上面電極２ａに低電位側の電圧端子４ａと低電位側の電流端子５ａの二端子を同時に接触させ、かつ他方の上面電極２ｂに高電位側の電圧端子４ｂと高電位側の電流端子５ｂの二端子を同時に接触させ、この状態で抵抗体３の抵抗値を測定しながら抵抗値修正を行うようにしていた。
【０００６】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平１１−３４０００２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、近年、回路実装部品の小形化・高密度実装化が進み、非常に小さいチップ抵抗器（１００５、０６０３、０４０２サイズ）が出回るようになってきている。
【０００８】
これらの非常に小さいチップ抵抗器の抵抗値修正を行う場合、従来から用いられている四端子測定法においては、図６に示すように、抵抗値測定を行う抵抗体３が電気的に接続されている一方の上面電極２ａに低電位側電圧端子４ａおよび低電位側電流端子５ａの二端子を接触させ、かつ他方の上面電極２ｂに高電位側電圧端子４ｂおよび高電位側電流端子５ｂの二端子を接触させる必要があるが、上記１００５、０６０３、０４０２サイズの非常に小さいチップ抵抗器においては、上面電極の面積が非常に小さいため、一方の上面電極２ａまたは他方の上面電極２ｂにそれぞれ二端子を確実に接触させるのは非常に難しいという問題点を有していた。例えば、１００５サイズのチップ抵抗器では、上面電極２ａ，２ｂの面積が３００μｍ×３００μｍと非常に小さいため、このような面積の小さい上面電極２ａ，２ｂに、従来から用いられている１００μｍの先端径を有する抵抗値測定用の端子をそれぞれ２個ずつ確実に接触させるということは非常に困難を伴うものであった。
【０００９】
この問題を解決する１つの方法として、チップ抵抗器のサイズが小さくなるにつれてより細い先端径を有する抵抗値測定用の端子を使用するという方法がとられているが、抵抗値測定用の端子の先端径を細くすると、端子が折れ曲がりやすく、また、磨耗によって抵抗値測定用の端子の寿命が短くなるなどの不都合が生じていた。
【００１０】
また、特開平１１−３４０００２号公報に見られるように、スリットを挟んで直列に接続する抵抗体を含む格子の間に、ダミー格子を形成して電極面積を確保する方法が提案されているが、この場合は、同一基板で取得できるチップ数が減少してしまい、かつダミーを選別する手間等が必要となるため、実用的ではなかった。
【００１１】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となるチップ状電子部品の抵抗値測定方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１３】
本発明の請求項１に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体と、前記第２の電極と第４の電極との間に電気的に接続されるように形成された第３の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第２の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第２の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させ、かつ前記第３の電極と第４の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第３の電極と第４の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。
【００１４】
本発明の請求項２に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体と、前記第２の電極と第４の電極との間に電気的に接続されるように形成された第３の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第２の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第２の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第３の電極と第４の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第３の電極と第４の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。
【００１５】
本発明の請求項３に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体と、前記第２の電極と第４の電極との間に電気的に接続されるように形成された第３の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第４の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第４の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第３の電極と第２の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第３の電極と第２の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。
【００１６】
本発明の請求項４に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極と、前記相隣る分割溝の両方を跨ぐように形成された第３の電極と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第３の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第３の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させ、かつ前記第２の電極と第３の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第２の電極と第３の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。
【００１７】
本発明の請求項５に記載の発明は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極と、前記相隣る分割溝の両方を跨ぐように形成された第３の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第３の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第３の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させ、かつ前記第２の電極と第３の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第２の電極と第３の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしたもので、この抵抗値測定方法によれば、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという作用効果を有するものである。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように本発明のチップ状電子部品の抵抗値測定方法は、シート状の絶縁基板に形成した分割溝を跨ぐようにそれぞれ形成された第１の電極、第２の電極、第３の電極、第４の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に電気的に接続されるように形成された第１の抵抗体と、前記第１の電極と第３の電極との間に電気的に接続されるように形成された第２の抵抗体と、前記第２の電極と第４の電極との間に電気的に接続されるように形成された第３の抵抗体とを有し、前記第１の電極と第２の電極のいずれか一方に高電位側電圧端子を接触させるとともに、前記第１の電極と第２の電極のいずれか他方に低電位側電圧端子を接触させ、かつ前記第３の電極と第４の電極のいずれか一方に高電位側電流端子を接触させるとともに、前記第３の電極と第４の電極のいずれか他方に低電位側電流端子を接触させて、四端子測定法により前記第１の抵抗体の抵抗値を測定するようにしているため、電極部分の面積が非常に小さい抵抗体の抵抗値測定をする場合でも、四端子を確実に電極に接触させて安定した抵抗値測定が可能となり、これにより、抵抗値修正も確実に行えるという優れた効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１〜３に記載の発明について説明する。
【００２０】
図１は本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器において、シート状の絶縁基板上に複数の電極と複数の抵抗体を形成した状態での抵抗値測定用の四端子の配置位置を示した模式図である。
【００２１】
図１において、１１はアルミナ基板等の絶縁性を有するシート状の絶縁基板で、このシート状の絶縁基板１１の上面には、分割溝２３を跨ぐように複数の第１の電極１２、第２の電極１３、第３の電極１４、第４の電極１５をそれぞれスクリーン印刷・焼成により列で形成している。そして前記列で形成されている複数の第１の電極１２と第２の電極１３との間にはこれらと電気的に接続される複数の第１の抵抗体１６をスクリーン印刷・焼成により列で形成し、また前記複数の第１の電極１２と第３の電極１４との間にはこれらと電気的に接続される複数の第２の抵抗体１７をスクリーン印刷・焼成により列で形成し、さらに前記複数の第２の電極１３と第４の電極１５との間にはこれらと電気的に接続される複数の第３の抵抗体１８をスクリーン印刷・焼成により列で形成している。
【００２２】
上記構成において、列で形成されている複数の第１の電極１２と第２の電極１３との間に電気的に接続されている複数の第１の抵抗体１６の抵抗値の修正を行う場合は、複数の第２の電極１３に複数の高電位側電圧端子１９を接触させるとともに、複数の第１の電極１２に複数の低電位側電圧端子２０を接触させ、さらに前記第４の電極１５に複数の高電位側電流端子２１を接触させるとともに、複数の第３の電極１４に複数の低電位側電流端子２２を接触させ、この状態で、レーザーを用いて第１の抵抗体１６にトリミング溝を形成することにより、複数の第１の電極１２と第２の電極１３との間に電気的に接続されている複数の第１の抵抗体１６の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
【００２３】
次に、列で形成されている複数の第３の抵抗体１８の抵抗値の修正を行う場合は、図１の状態から高電位側電圧端子１９、低電位側電圧端子２０、高電位側電流端子２１、低電位側電流端子２２の４つの端子を上方向に動かして４つの電極１３，１２，１５，１４との接触を断つとともに、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板１１を載置したステージ（図示せず）を相隣る分割溝２３で定められたピッチ分だけ左方向に動かし、そしてこの状態で、前記高電位側電圧端子１９、低電位側電圧端子２０、高電位側電流端子２１、低電位側電流端子２２の４つの端子を下方向に動かして、図２に示すように４つの電極に接触させる。この場合、高電位側電圧端子１９は第４の電極１５に、低電位側電圧端子２０は第２の電極１３に、高電位側電流端子２１は第４の電極１５の隣に位置する別の電極２４に、低電位側電流端子２２は第１の電極１２にそれぞれ接触することになり、この状態で、レーザーを用いて第３の抵抗体１８にトリミング溝を形成することにより、複数の第２の電極１３と第４の電極１５との間に電気的に接続されている複数の第３の抵抗体１８の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
【００２４】
次に、図２に示す列で形成されている複数の第４の抵抗体２５の抵抗値の修正を行う場合は、図２の状態から高電位側電圧端子１９、低電位側電圧端子２０、高電位側電流端子２１、低電位側電流端子２２の４つの端子を上方向に動かして４つの電極１５，１３，２４，１２との接触を断つとともに、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板１１を載置したステージ（図示せず）を相隣る分割溝２３で定められたピッチ分だけ左方向に動かし、そしてこの状態で、前記高電位側電圧端子１９、低電位側電圧端子２０、高電位側電流端子２１、低電位側電流端子２２の４つの端子を下方向に動かして、図２に示す４つの電極に接触させる。この場合、高電位側電圧端子１９は第４の電極１５の隣に位置する第５の電極２４に、低電位側電圧端子２０は第４の電極１５に、高電位側電流端子２１は第５の電極２４の隣に位置する第６の電極２６に、低電位側電流端子２２は第２の電極１３にそれぞれ接触することになり、この状態で、レーザーを用いて第４の抵抗体２５にトリミング溝を形成することにより、複数の第４の電極１５と第５の電極２４との間に電気的に接続されている複数の第４の抵抗体２５の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
【００２５】
上記したように本発明の実施の形態１における抵抗値修正方法は、高電位側電圧端子１９、低電位側電圧端子２０、高電位側電流端子２１、低電位側電流端子２２の４つの端子を上下方向に動かして４つの電極との接触を断ったり、あるいは接触させるという動作と、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板１１を載置したステージ（図示せず）を相隣る分割溝２３で定められたピッチ分だけ左方向へ動かすという動作を順次繰り返すことにより、列で形成されている複数の抵抗体の抵抗値の修正を順次行うようにしたもので、この抵抗値修正方法においては、高電位側と低電位側の２つの電圧端子と高電位側と低電位側の２つの電流端子を４つの電極にそれぞれ１個ずつ接触させて抵抗値修正を行うようにしているため、この抵抗値修正方法を、特に、微小サイズの角チップ抵抗器の抵抗値修正工程において採用すれば、従来のように抵抗値測定を行う抵抗体が電気的に接続されている２つの電極にそれぞれ高電位側と低電位側の２つの電圧端子と高電位側と低電位側の２つの電流端子を接触させて抵抗値修正を行うようにしたものに比べ、１つの抵抗値測定用端子が活用できる電極面積が増加するため、抵抗値測定用端子の電極への接触の確実性が増すものである。この場合、電極に接触する抵抗値測定用端子は、高電位側の電圧・電流端子と、低電位側の電圧・電流端子のそれぞれが抵抗値修正を行う第１の抵抗体１６を挟んで異方向に分かれるようにする必要があるが、この接触条件を満たしていれば、第１の抵抗体１６が直接的に接続される第１、第２の電極１２，１３と、間接的に接続される第３、第４の電極１４，１５で、電圧端子と電流端子の接触を選択しなくてもよいものである。
【００２６】
すなわち、上記本発明の実施の形態１においては、列で形成されている複数の第１の抵抗体１６の抵抗値の修正を行う場合、複数の第２の電極１３に複数の高電位側電圧端子１９を接触させるとともに、複数の第１の電極１２に複数の低電位側電圧端子２０を接触させ、さらに前記複数の第４の電極１５に複数の高電位側電流端子２１を接触させるとともに、複数の第３の電極１４に複数の低電位側電流端子２２を接触させていたが、これとは逆に、複数の第２の電極１３に複数の低電位側電圧端子２０を接触させるとともに、複数の第１の電極１２に複数の高電位側電圧端子１９を接触させ、さらに前記複数の第４の電極１５に複数の低電位側電流端子２２を接触させるとともに、複数の第３の電極１４に複数の高電位側電流端子２１を接触させるようにするか、あるいは複数の第２の電極１３に複数の高電位側電流端子２１または低電位側電流端子２２を接触させるとともに、複数の第１の電極１２に複数の低電位側電流端子２２または高電位側電流端子２１を接触させ、そして前記複数の第４の電極１５に複数の高電位側電圧端子１９または低電位側電圧端子２０を接触させるとともに、複数の第３の電極１４に複数の低電位側電圧端子２０または高電位側電圧端子１９を接触させるようにしてもよく、さらには複数の第１の電極１２に複数の高電位側電流端子２１または低電位側電流端子２２を接触させるとともに、複数の第４の電極１５に複数の低電位側電流端子２２または高電位側電流端子２１を接触させ、そして前記複数の第３の電極１４に複数の高電位側電圧端子１９または低電位側電圧端子２０を接触させるとともに、複数の第２の電極１３に複数の低電位側電圧端子２０または高電位側電圧端子１９を接触させるようにしてもよく、これらの場合においても、上記実施の形態１と同様に、列で形成されている複数の第１の電極１２と第２の電極１３との間に電気的に接続されている複数の第１の抵抗体１６の抵抗値の修正が行えるものである。
【００２７】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項４、５に記載の発明について説明する。
【００２８】
図３は本発明の実施の形態２におけるチップ抵抗器において、シート状の絶縁基板上に複数の電極と複数の抵抗体を形成した状態での抵抗値測定用の四端子の配置位置を示した模式図である。
【００２９】
図３において、３１はアルミナ基板等の絶縁性を有するシート状の絶縁基板で、このシート状の絶縁基板３１の上面には、分割溝３４を跨ぐように複数の第１の電極３２、第２の電極３３をそれぞれスクリーン印刷・焼成により列で形成するとともに、相隣る分割溝３４の両方に跨がるように第３の電極３５をスクリーン印刷・焼成により列で形成している。そして前記列で形成されている複数の第１の電極３２と第３の電極３５との間にはこれらと電気的に接続されるように複数の第１の抵抗体３６をスクリーン印刷・焼成により列で形成し、さらに前記複数の第１の電極３２と第２の電極３３との間にはこれらと電気的に接続されるように複数の第２の抵抗体３７をスクリーン印刷・焼成により列で形成している。
【００３０】
上記構成において、列で形成されている複数の第１の電極３２と第２の電極３３との間に電気的に接続されている複数の第１の抵抗体３６の抵抗値の修正を行う場合は、複数の第１の電極３２に複数の高電位側電圧端子３８を接触させるとともに、複数の第３の電極３５に複数の低電位側電圧端子３９と低電位側電流端子４０を接触させ、さらに前記複数の第２の電極３３に複数の高電位側電流端子４１を接触させ、この状態で、レーザーを用いて第１の抵抗体３６にトリミング溝を形成することにより、複数の第１の電極３２と第３の電極３５との間に電気的に接続される複数の第１の抵抗体３６の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
【００３１】
次に、列で形成されている複数の第２の抵抗体３７の抵抗値の修正を行う場合は、図３の状態から高電位側電圧端子３８、低電位側電圧端子３９、高電位側電流端子４１、低電位側電流端子４０の４つの端子を上方向に動かして３つの電極３２，３５，３３との接触を断つとともに、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板３１を載置したステージ（図示せず）を相隣る分割溝３４で定められたピッチ分だけ左方向に動かし、そしてこの状態で、前記高電位側電圧端子３８、低電位側電圧端子３９、高電位側電流端子４１、低電位側電流端子４０の４つの端子を下方向に動かして、図４に示すように４つの電極に接触させる。この場合、高電位側電圧端子３８は第２の電極３３に、低電位側電圧端子３９は第１の電極３２に、高電位側電流端子４１は第２の電極３３の隣に位置する第４の電極４２に、低電位側電流端子４０は第３の電極３５にそれぞれ接触することになり、この状態で、レーザーを用いて第２の抵抗体３７にトリミング溝を形成することにより、複数の第１の電極３２と第２の電極３３との間に電気的に接続されている複数の第２の抵抗体３７の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
【００３２】
次に、図４に示す列で形成されている複数の第３の抵抗体４３の抵抗値の修正を行う場合は、図４の状態から高電位側電圧端子３８、低電位側電圧端子３９、高電位側電流端子４１、低電位側電流端子４０の４つの端子を上方向に動かして４つの電極３３，３２，４２，３５との接触を断つとともに、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板３１を載置したステージ（図示せず）を相隣る分割溝３４で定められたピッチ分だけ左方向に動かし、そしてこの状態で、前記高電位電圧端子３８、低電位側電圧端子３９、高電位側電流端子４１、低電位側電流端子４０の４つの端子を下方向に動かして、図４に示す４つの電極に接触させる。この場合、高電位側電圧端子３８は第２の電極３３の隣に位置する第４の電極４２に、低電位側電圧端子３９は第２の電極３３に、高電位側電流端子４１は第４の電極４２の隣に位置する第５の電極４４に、低電位側電流端子４０は第１の電極３２にそれぞれ接触することになり、この状態で、レーザーを用いて第３の抵抗体４３にトリミング溝を形成することにより、複数の第２の電極３３と別の電極４２との間に電気的に接続されている複数の第３の抵抗体４３の抵抗値を上昇させて、要求される目的の抵抗値に修正する。
【００３３】
上記したように本発明の実施の形態２における抵抗値修正方法は、高電位側電圧端子３８、低電位側電圧端子３９、高電位側電流端子４１、低電位側電流端子４０の４つの端子を上下方向に動かして、最初は３つの電極との接触を断ったり、あるいは接触させる。そして２番目以降は４つの電極との接触を断ったり、あるいは接触させるという動作と、複数の電極と複数の抵抗体を有するシート状の絶縁基板３１を載置したステージ（図示せず）を相隣る分割溝３４で定められたピッチ分だけ左方向へ動かすという動作を順次繰り返すことにより、列で形成されている複数の抵抗体の抵抗値の修正を順次行うようにしたもので、この抵抗値修正方法においては、高電位側と低電位側の２つの電圧端子と高電位側と低電位側の２つの電流端子のうち、最初は２つの測定端子を相隣る分割溝３４の両方に跨がって形成された１つの電極に接触させ、かつ残り２つの測定端子を２つの電極にそれぞれ１個ずつ接触させて抵抗値修正を行うようにしているため、この抵抗値修正方法を、特に、微小サイズの角チップ抵抗器の抵抗値修正工程において採用すれば、従来のように抵抗値測定を行う抵抗体が電気的に接続されている２つの電極にそれぞれ高電位側と低電位側の２つの電圧端子と高電位側と低電位側の２つの電流端子を接触させて抵抗値修正を行うようにしたものに比べ、１つの抵抗値測定用端子が活用できる電極面積が増加するため、抵抗値測定用端子の電極への接触の確実性が増すものである。この場合、電極に接触する抵抗値測定用端子は、高電位側の電圧・電流端子と、低電位側の電圧・電流端子のそれぞれが抵抗値修正を行う第１の抵抗体３６を挟んで異方向に分かれるようにする必要があるが、この接触条件を満たしていれば、第１の抵抗体３６が直接的に接続される第１、第３の電極３２，３５と、間接的に接続される第２の電極３３で、電圧端子と電流端子の接触を選択しなくてもよいものである。
【００３４】
すなわち、上記本発明の実施の形態２においては、列で形成されている複数の第１の抵抗体３６の抵抗値の修正を行う場合、複数の第１の電極３２に複数の高電位側電圧端子３８を接触させるとともに、複数の第３の電極３５に複数の低電位側電圧端子３９と低電位側電流端子４０を接触させ、さらに前記複数の第２の電極３３に複数の高電位側電流端子４１を接触させるようにしていたが、これとは逆に、複数の第１の電極３２に複数の低電位側電圧端子３９を接触させるとともに、複数の第３の電極３５に複数の高電位側電圧端子３８と高電位側電流端子４１を接触させ、さらに前記複数の第２の電極３３に複数の低電位側電流端子４０を接触させるようにしてもよく、この場合においても、上記実施の形態２と同様に、列で形成されている複数の第１の電極３２と第２の電極３３との間に電気的に接続されている複数の第１の抵抗体３６の抵抗値の修正が行えるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明にかかるチップ状電子部品の抵抗値測定方法は、従来に比べて小さい電極に接続される抵抗体の抵抗値を測定する場合、抵抗値測定端子が電極と接触不良を起こすこともなく、安定した抵抗値測定が可能となり、抵抗値修正も確実に行えるという効果を有し、回転基板に実装されるチップ状電子部品を構成する抵抗体の抵抗値測定方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器において、シート状の絶縁基板上に複数の電極と複数の抵抗体を形成した状態での抵抗値測定用の四端子の配置位置を示した模式図
【図２】同抵抗値測定用四端子の配置位置を変えた状態を示す模式図
【図３】本発明の実施の形態２におけるチップ抵抗器において、シート状の絶縁基板上に複数の電極と複数の抵抗体を形成した状態での抵抗値測定用の四端子の配置位置を示した模式図
【図４】同抵抗値測定用四端子の配置位置を変えた状態を示す模式図
【図５】（ａ）（ｂ）従来のチップ状電子部品の製造工程を示す製造工程図
【図６】従来のチップ状電子部品において、シート状の絶縁基板上に複数の電極と複数の抵抗体を形成した状態での抵抗値測定用の四端子の配置位置を示した模式図
【符号の説明】
【００３７】
１１  シート状の絶縁基板
１２  第１の電極
１３  第２の電極
１４  第３の電極
１５  第４の電極
１６  第１の抵抗体
１７  第２の抵抗体
１８  第３の抵抗体
１９  高電位側電圧端子
２０  低電位側電圧端子
２１  高電位側電流端子
２２  低電位側電流端子
２３  分割溝
３１  シート状の絶縁基板
３２  第１の電極
３３  第２の電極
３４  分割溝
３５  第３の電極
３６  第１の抵抗体
３７  第２の抵抗体
３８  高電位側電圧端子
３９  低電位側電圧端子
４０  低電位側電流端子
４１  高電位側電流端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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