(57)【要約】【課題】増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される流体用ガスケットを提供する。【解決手段】流体用ガスケットＧは、これを介装する第１及び第２流体デバイス１，２の流体給排口部１Ｂ，２Ｂとの間に、管状の流体通路４の軸方向の相対移動によって嵌合自在な環状溝６と嵌合突起８との嵌合によるシール部Ｓ１，Ｓ２と、その内径側に形成される環状押え突起Ｏ１，Ｏ２のテーパ外周面７ａと周壁端部Ｃ１，Ｃ２のテーパ内周面５ａとの当接により、環状溝６と嵌合突起８との嵌合による周壁端部Ｃ１，Ｃ２の拡がり規制構造とを構成させる。【選択図】図２
2006153180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状の第１流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた第１流体デバイスの前記第１流体給排口部と、管状の第２流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた第２流体デバイスの前記第２流体給排口部とをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部に当接する第１端部と、前記第２流体給排口部に当接する第２端部とを有して、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるリング状の流体用ガスケットであって、
前記第１端部は、前記第１流体給排口部における前記第１流体通路の外径側部分に形成される第１環状溝に嵌合してシール部を形成自在な第１環状突起と、前記第１流体通路の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面に当接するテーパ外周面が形成される先細り状の第１環状押え突起とを有し、
前記第２端部は、前記第２流体給排口部における前記第２流体通路の外径側部分に形成される第２環状溝に嵌合してシール部を形成自在な第２環状突起と、前記第２流体通路の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面に当接するテーパ外周面を有する先細り状の第２環状押え突起とを有し、
前記第１、第２流体通路どうしを連通するための流体経路が形成されている流体用ガスケット。
【請求項２】
管状の第１流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた第１流体デバイスの前記第１流体給排口部と、管状の第２流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた第２流体デバイスの前記第２流体給排口部とをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部に当接する第１端部と、前記第２流体給排口部に当接する第２端部とを有して、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるリング状の流体用ガスケットであって、
前記第１端部は、前記第１流体給排口部における前記第１流体通路の外径側部分に形成される第１環状突起に嵌合してシール部を形成自在な第１環状溝と、前記第１流体給排口部における前記第１流体通路と前記第１環状突起との間の部分に形成される先細り状の第１環状押え突起の内向きテーパ外周面に当接するテーパ内周面が形成される第１周壁端部とを有し、
前記第２端部は、前記第２流体給排口部における前記第２流体通路の外径側部分に形成される第２環状突起に嵌合してシール部を形成自在な第２環状溝と、前記第２流体給排口部における前記第２流体通路と前記第２環状突起との間の部分に形成される先細り状の第２環状押え突起の内向きテーパ外周面に当接するテーパ内周面が形成される第２周壁端部とを有し、
前記第１、第２流体通路どうしを連通するための流体経路が形成されている流体用ガスケット。
【請求項３】
管状の第１流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた第１流体デバイスの前記第１流体給排口部と、管状の第２流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた第２流体デバイスの前記第２流体給排口部とをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部に当接する第１端部と、前記第２流体給排口部に当接する第２端部とを有して、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるリング状の流体用ガスケットであって、
前記第１端部は、前記第１流体給排口部における前記第１流体通路の外径側部分に形成される環状溝に嵌合してシール部を形成自在な環状突起と、前記第１流体通路の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面に当接するテーパ外周面が形成される先細り状の環状押え突起とを有し、
前記第２端部は、前記第２流体給排口部における前記第２流体通路の外径側部分に形成される環状突起に嵌合してシール部を形成自在な環状溝と、前記第２流体給排口部における前記第２流体通路と前記環状突起との間の部分に形成される先細り状の環状押え突起の内向きテーパ外周面に当接するテーパ内周面が形成される周壁端部とを有し、
前記第１、第２流体通路どうしを連通するための流体経路が形成されている流体用ガスケット。
【請求項４】
前記環状溝の深さを、これに対応する前記環状突起の突出量よりも大として、前記テーパ内周面と前記テーパ外周面とが圧接されてシール部を形成するように構成されている請求項１〜３の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
【請求項５】
前記流体経路の第１端部側開口部の径と、前記第１流体通路の開口部とが互いに同一であり、かつ、前記流体経路の第２端部側開口部の径と、前記第２流体通路の開口部とが互いに同一であるとともに、前記流体経路は断面積の急変部が存在しない形状に形成されている請求項１〜４の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
【請求項６】
前記第１給排口部と前記第１端部とが嵌合され、かつ、前記第２給排口部と前記第２端部とが嵌合される組付け状態では、前記第１給排口部と前記第２給排口部とが互いに離れた状態で接続されるように前記第１及び第２端部が寸法設定されるとともに、前記組付け状態においては、前記第１給排口部と前記第２給排口部との間隔よりも小なる厚みを有する抜出し用の外周突起部が、それら第１給排口部と第２給排口部との間に位置する状態に形成されている請求項１〜５の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
【請求項７】
前記第１及び第２端部がフッ素系の合成樹脂材によって形成されている請求項１〜６の何れか一項に記載の流体用ガスケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体用ガスケットに係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等において、集積パネル、ポンプ、バルブ、アキュムレータ等の流体デバイスどうしをシール状態で接続するための流体用ガスケットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、流体用ガスケットを介装することにより、流体の往来が自在となるように流体デバイスどうしをシール状態で連通接続させる手段としては、第１流体デバイスの一例である第１フランジ配管の第１フランジ部（第１流体給排口部）と、第２流体デバイスの一例である第２フランジ配管の第２フランジ部（第２流体給排口部）とを、これらの間にリング状のガスケットを介して複数のボルト・ナットを用いて締め付け固定させる構造を採るものがある。このような例としては、特許文献１や特許文献２において開示されたものが知られている。
【０００３】
また、フランジ配管とポンプやバルブ等とを接続連結する場合も、前述のフランジ配管どうしの接続構造に準じた接続構造が採られる。即ち、フランジ配管のフランジ部と、流体機器の流体給排口部の端部とをガスケットを介して突合せて対抗配置し、これら両者をボルト等によって締め付けて連結させる接続構造である。つまり、流体デバイスどうしの間に介装される流体用ガスケットは、管状の第１流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた第１流体デバイスの前記第１流体給排口部と、管状の第２流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた第２流体デバイスの前記第２流体給排口部とをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部に当接する第１端部と、前記第２流体給排口部に当接する第２端部とを有して、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるリング状のものに構成されている。
【特許文献１】特開２０００−１２０９５３号公報
【特許文献２】特開平１０−２３１９６９号公報
【０００４】
上記の接続構造においては、ガスケットが挟み込まれた一対のフランジ部どうしを所定の面圧に達するまでボルトを締付けることにより、有効なシール性能を出すようになる。しかしながら、ボルトの締付け力は時間と共に低下するので、締付け力低下、即ちトルクダウンによる接続部からの漏れを防止するには定期的に増し締めを行う必要があった。このように、流体用ガスケットを用いてシールする構造においては非常に高い締付け力が必要になるので、フランジ配管のフランジ部や流体機器の流体給排口部には高い強度が必要になるとともに、その接続連結するための作業性の点でも不利なものであった。
【０００５】
また、上述の特許文献１，２において開示された接続構造では、フランジ配管や流体機器のフランジ部における管状の流体通路の径よりもガスケットの内径がやや大きいものであって流体通路に凹凸が存在することから、その部分に液溜まりが生じて高純度化やクリーン化を阻害する原因となるおそれもあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、液体の配管系統等におけるガスケットを用いた流体デバイスどうしの接続構造に工夫を凝らすことにより、増し締めを殆ど行わなくても良好なシール性が維持できるとともに、その組付け作業性も改善される流体用ガスケットを提供する点にある。また、それによる接続構造部における液溜りを無くし、高純度化できるようにする点も目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、管状の第１流体通路Ｅ１が開口する第１流体給排口部１Ｂを備えた第１流体デバイス１の前記第１流体給排口部１Ｂと、管状の第２流体通路Ｅ２が開口する第２流体給排口部２Ｂを備えた第２流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ｂとをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部１Ｂに当接する第１端部Ｔ１と、前記第２流体給排口部２Ｂに当接する第２端部Ｔ２とを有して、これら第１流体給排口部１Ｂと第２流体給排口部２Ｂとの間に介在されるリング状の流体用ガスケットにおいて、
前記第１端部Ｔ１は、前記第１流体給排口部１Ｂにおける前記第１流体通路Ｅ１の外径側部分に形成される第１環状溝Ｒ１に嵌合してシール部Ｓを形成自在な第１環状突起Ｄ１と、前記第１流体通路Ｅ１の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面５ａに当接するテーパ外周面７ａが形成される先細り状の第１環状押え突起Ｏ１とを有し、
前記第２端部Ｔ２は、前記第２流体給排口部２Ｂにおける前記第２流体通路Ｅ２の外径側部分に形成される第２環状溝Ｒ２に嵌合してシール部Ｓを形成自在な第２環状突起Ｄ２と、前記第２流体通路Ｅ２の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面５ａに当接するテーパ外周面７ａを有する先細り状の第２環状押え突起Ｏ２とを有し、
前記第１、第２流体通路Ｅ１，Ｅ２どうしを連通するための流体経路Ｆが形成されていることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、管状の第１流体通路Ｅ１が開口する第１流体給排口部１Ｂを備えた第１流体デバイス１の前記第１流体給排口部１Ｂと、管状の第２流体通路Ｅ２が開口する第２流体給排口部２Ｂを備えた第２流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ｂとをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部１Ｂに当接する第１端部Ｔ１と、前記第２流体給排口部２Ｂに当接する第２端部Ｔ２とを有して、これら第１流体給排口部１Ｂと第２流体給排口部２Ｂとの間に介在されるリング状の流体用ガスケットにおいて、
前記第１端部Ｔ１は、前記第１流体給排口部１Ｂにおける前記第１流体通路Ｅ１の外径側部分に形成される第１環状突起Ｄ１に嵌合してシール部を形成自在な第１環状溝Ｒ１と、前記第１流体給排口部１Ｂにおける前記第１流体通路Ｅ１と前記第１環状突起Ｄ１との間の部分に形成される先細り状の第１環状押え突起Ｏ１の内向きテーパ外周面１７ａに当接するテーパ内周面１５ａが形成される第１周壁端部Ｃ１とを有し、
前記第２端部Ｔ２は、前記第２流体給排口部２Ｂにおける前記第２流体通路Ｅ２の外径側部分に形成される第２環状突起Ｄ２に嵌合してシール部Ｓを形成自在な第２環状溝Ｒ２と、前記第２流体給排口部２Ｂにおける前記第２流体通路Ｅ２と前記第２環状突起Ｄ２との間の部分に形成される先細り状の第２環状押え突起Ｏ２の内向きテーパ外周面１７ａに当接するテーパ内周面１５ａが形成される第２周壁端部Ｃ２とを有し、
前記第１、第２流体通路Ｅ１，Ｅ２どうしを連通するための流体経路Ｆが形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、管状の第１流体通路Ｅ１が開口する第１流体給排口部１Ｂを備えた第１流体デバイス１の前記第１流体給排口部１Ｂと、管状の第２流体通路Ｅ２が開口する第２流体給排口部２Ｂを備えた第２流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ｂとをシール状態で接続すべく、前記第１流体給排口部１Ｂに当接する第１端部Ｔ１と、前記第２流体給排口部２Ｂに当接する第２端部Ｔ２とを有して、これら第１流体給排口部１Ｂと第２流体給排口部２Ｂとの間に介在されるリング状の流体用ガスケットにおいて、
前記第１端部Ｔ１は、前記第１流体給排口部１Ｂにおける前記第１流体通路Ｅ１の外径側部分に形成される環状溝Ｒに嵌合してシール部Ｓを形成自在な環状突起Ｄと、前記第１流体通路Ｅ１の開口側端部が拡径されることで成る外向きテーパ内周面５ａに当接するテーパ外周面７ａが形成される先細り状の第１環状押え突起Ｏとを有し、
前記第２端部Ｔ２は、前記第２流体給排口部２Ｂにおける前記第２流体通路Ｅ２の外径側部分に形成される環状突起Ｄに嵌合してシール部Ｓを形成自在な環状溝Ｒと、前記第２流体給排口部２Ｂにおける前記第２流体通路Ｅ２と前記環状突起Ｄとの間の部分に形成される先細り状の環状押え突起Ｏの内向きテーパ外周面１７ａに当接するテーパ内周面１５ａが形成される周壁端部Ｃとを有し、
前記第１、第２流体通路Ｅ１，Ｅ２どうしを連通するための流体経路Ｆが形成されていることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記環状溝Ｒ，Ｒ１，Ｒ２の深さを、これに対応する前記環状突起Ｄ，Ｄ１，Ｄ２の突出量よりも大として、前記テーパ内周面５ａ，１５ａと前記テーパ外周面７ａ，１７ａとが圧接されてシール部Ｓを形成するように構成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記流体経路Ｆの第１端部Ｔ１側開口部の径と、前記第１流体通路Ｅ１の開口部とが互いに同一であり、かつ、前記流体経路Ｆの第２端部Ｔ２側開口部の径と、前記第２流体通路Ｅ２の開口部とが互いに同一であるとともに、前記流体経路Ｆは断面積の急変部が存在しない形状に形成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項６に係る発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記第１流体給排口部１Ｂと前記第１端部Ｔ１とが嵌合され、かつ、前記第２流体給排口部２Ｂと前記第２端部Ｔ２とが嵌合される組付け状態では、前記第１流体給排口部１Ｂと前記第２流体給排口部２Ｂとが互いに離れた状態で接続されるように前記第１及び第２端部Ｔ１，Ｔ２が寸法設定されるとともに、前記組付け状態においては、前記第１流体給排口部１Ｂと前記第２流体給排口部２Ｂとの間隔よりも小なる厚みを有する抜出し用の外周突起部１ｆが、それら第１流体給排口部１Ｂと第２流体給排口部２Ｂとの間に位置する状態に形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項７に係る発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載の流体用ガスケットにおいて、前記第１及び第２端部Ｔ１，Ｔ２がフッ素系の合成樹脂材によって形成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の発明によれば、第１流体デバイスの第１流体給排口部と第２流体デバイスの第２流体給排口部との間に挟持される流体用ガスケットと各流体給排口部とによって、環状溝と環状突起とを各デバイスの流体通路の軸心方向に沿って嵌め込むことで、環状溝と環状突起とが径方向に圧接されることによる嵌合シール部が形成されるから、これら嵌合シール部が存在するだけで、両流体給排口部どうしを互いに強く押し合わなくても優れたシール作用が発揮されるようになる。
【００１５】
流体用ガスケットと各流体デバイスとが組付けられた接続状態においては、各流体給排口部の環状突起と第１及び第２端部の環状溝との嵌合部分の内径側に、各周壁端部のテーパ内周面と各環状押え突起のテーパ外周面とが当接される構成が存在しており、それによってよりシール性に優れるとともに液溜り箇所がなく高純度化が促進できるシール部が構成されるに加えて、次のような効果も得ることができる。即ち、詳しくは実施例において述べるが、各流体デバイスにおける環状溝と流体通路との間の部分である周壁端部の肉厚は、流体用ガスケットや接続部の肥大化を避けるためにあまり厚くすることができず、従って、強度や剛性が不足し易い面があるので、環状突起の環状溝への嵌合に伴い、各流体デバイスの周壁端部が内径側に傾き変形するおそれがある。
【００１６】
しかしながら、その傾き変形しようとする周壁端部は、そのテーパ外周面に当接するテーパ内周面を有する流体用ガスケットの第１及び第２環状押え突起によって支えられる構成となり、各流体デバイスの周壁端部の剛性不足を補ってその内径側への傾き変形を阻止でき、環状溝と環状突起との嵌合によるシール部のシール機能を有効に発揮させることができるとともに、各テーパ外周面と各テーパ内周面との間に流体が入り込まず、流体通路と流体経路との境目に液溜りが生じないようにすることができる。
【００１７】
その結果、環状溝と環状突起との嵌合によって流体用ガスケットを軸方向ではなく、径方向に締付けることによるシール部により、第１及び第２流体デバイスどうしをシール状態で接続することが可能になって、第１及び第２流体デバイスどうしの圧接力が多少緩んでも有効なシール機能が維持されることとなり、増し締めが不要或いは殆ど行わなくても良いものとなって、長期に亘って優れたシール性能が維持できるとともに、組付け作業性やコンパクト性も改善される接続構造の実現に寄与する流体用ガスケットを提供することができる。例えば、半導体製造設備における洗浄装置の配管系統にこのような接続構造を用いれば、良好なシール性を確保し得ながら装置の占有面積を減少できてコスト上有利であるとともに、大流路が確保されることによって循環流量を多くし、薬液の高純度化を高めて歩留まり向上に寄与できるという効果を奏することが可能である。
【００１８】
請求項２記載の発明においては、各流体デバイスに環状溝と周壁端部とが形成され、流体用ガスケットに環状突起と環状押え突起とが形成される構成であり、これは請求項１の発明のものと逆の構成である。従って、流体用ガスケットとしては、請求項１によるものが両端に環状突起を有する凸型のものであり、本請求項２のものは両端に環状溝を有する凹型のものであるという形状の違いがあるだけで、作用効果としては前述の請求項１の発明による作用効果と同等のものを奏することができる。
【００１９】
ところで、凹に凸を挿入しての嵌合構造においては、例えこれら両者が互いに同じ材質のものであっても、凸側の部材は殆ど変化（圧縮変形）せず、凹側の部材が拡がり変形する傾向のあることが一般に知られている。この点に関して、請求項２の発明においては、流体デバイスに凸である環状突起を、かつ、流体用ガスケットに凹である環状溝を形成する構成としてあるので、クリープや経時変化によって変形するのは、流体デバイスに比べて小さな部品である流体用ガスケット側となり、流体デバイス側は殆ど変形しないから、変形が生じた場合には小部品である流体用ガスケットの交換で済み、経済的に長期に亘って良好なシール性能を維持し得る利点が追加される。
【００２０】
請求項３の発明は、流体用ガスケットと第１流体デバイスとの接続には請求項１の構成が採用され、流体用ガスケットと第２流体デバイスとの接続には請求項２の構成が採用されるものである。従って、請求項３の発明によれば、流体用ガスケットと第１流体デバイスとのシール部においては、請求項１の発明による作用効果を得ることが可能であり、流体用ガスケットと第２流体デバイスとのシール部においては、請求項２の発明による作用効果を得ることが可能となる流体用ガスケットを提供することができる。
【００２１】
請求項４の発明によれば、環状溝とこれと嵌合する環状突起との寸法設定を規定する簡単な改造により、環状溝と環状突起との嵌合に伴う周壁端部の拡がり変形を抑制するためのテーパ内周面とテーパ外周面との当接部が、これらテーパ内周面とテーパ外周面とが圧接してのシール部としても機能するようになり、総合的によりシール性能が向上し得る多機能化された付加価値の高い流体用ガスケットを提供することができる。
【００２２】
請求項５の発明によれば、第１流体デバイスの第１流体通路と第２流体デバイスの第２流体通路との径が異なっている場合には、これら両者間に介装されるガスケットの流体経路がそれら両流体通路の径差を緩衝して、円滑な管状経路で連通接続させることができる。その結果、第１及び第２流体通路どうしが同径の場合は、言うまでもなく円滑に連通接続できるから、流体用ガスケットを介装する構造を利用して、第１及び第２流体デバイスの流体通路どうしの径差の有無の如何を問わずに流体が円滑に流れる状態で連通接続できる、という利点を奏することが可能な流体用ガスケットを提供することができる。
【００２３】
請求項６の発明によれば、詳しくは実施例において説明するが、流体用ガスケットに抜出し用の外周突起部を形成すれば、組付け状態において第１又は第２流体給排口部から流体用ガスケットを抜出す際に、工具や手指で外周突起部を引張る等して外し易くすることができ、流体用ガスケットの流体デバイスからの抜き出し作業が行い易くなるという利点がある。
【００２４】
請求項７の発明によれば、流体用ガスケットが耐薬品性及び耐熱性に優れた特性を有するフッ素系樹脂で形成されているので、流体が薬液であるとか化学液体であっても、或いは高温流体であっても第１及び第２端部が変形して漏れ易くなることがなく、良好なシール性が維持できるようになる。尚、フッ素系樹脂は、水素原子の一個以上をフッ素で置換したエチレンおよびその誘導体の重合によって得られる樹脂状物質であり、高温にも安定で、撥水性に優れる。また摩擦係数が小さく、耐薬品性もきわめて高く、電気絶縁性も高い点で好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、本発明による流体用ガスケット、及びこれを用いた流体デバイスどうしの接続構造の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１〜図６は凸型の流体用ガスケット、及びそれを用いたフランジ配管どうしの接続構造に関する図であり、実施例１，２として説明する。図７，８は凹型の流体用ガスケット、及びそれを用いたフランジ配管どうしの接続構造に関する図であり、実施例３として説明する。図９〜図１１は凸型の流体用ガスケット、及びそれを用いたフランジ配管と流体機器との接続構造に関する図であり、実施例４として説明する。図１２〜図１４は対称型ガスケット、及びそれを用いた集積パネルとバルブとの接続構造に関する図であり、実施例５として説明する。図１５は対称型ガスケット、及びそれを用いた集積パネルとフィルタとの接続構造に関する図であり、実施例６として説明する。
【００２６】
〔実施例１〕
実施例１による流体用ガスケットは、フランジ配管どうしの接続構造に用いられるものである。図１に示すように、円管状の流体通路４を有した管状部１Ａの端部に、この管状部１Ａより大径で断面円形の第１フランジ部１Ｂを有するＰＦＡ、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の第１フランジ配管（第１流体デバイスの一例）１の第１フランジ部（第１流体給排口部の一例）１Ｂと、円管状の流体通路４を有した管状部２Ａの端部に、この管状部２Ａよりも大径で断面円形の第２フランジ部２Ｂを有するＰＦＡ、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の第２フランジ配管（第２流体デバイスの一例）２の第２フランジ部（第２流体給排口部の一例）２Ｂとを、第１フランジ部１Ｂと第２フランジ部２Ｂとの間に介在するリング状の流体用流体用ガスケットＧを介してシール状態で連通接続する接続部、即ち、フランジ配管どうしの接続部として構成されている。
【００２７】
第１フランジ配管１と第２フランジ配管２とは互いに同一のものであり、共通の軸心Ｐを有しており、図２に示すように、第１フランジ部１Ｂと第２フランジ部２Ｂとが、これらの間で挟まれるリング状の流体用ガスケットＧを介してシール状態で接続されている。その際、両フランジ部１Ｂ，２Ｂどうしは引寄せ手段Ｍによって互いに流体用ガスケットＧを介して引寄せられ、この引寄せ作用により第１フランジ部１Ｂの端面に形成される第１シール端部ｔ１と流体用ガスケットＧの第１端部Ｔ１との間、及び第２フランジ部２Ｂの端面に形成される第２シール端部ｔ２と流体用ガスケットＧの第２端部Ｔ２との間で夫々互いに嵌合して嵌合シール部３が形成される。
【００２８】
図２に示す両フランジ配管１，２どうしの接続部においては、第１フランジ部１Ｂの端面に形成される第１シール端部ｔ１と、第２フランジ部２Ｂの端面に形成される第２シール端部ｔ２とは同一構造であるため、第１シール端部ｔ１についてのみ説明し、第２シール端部ｔ２については同一符号を付してその説明を省略するものとする。第１シール端部ｔ１は、流体通路４（流体通路Ｅ１又は流体通路Ｅ２）を開口する第１フランジ部１Ｂの端面における流体通路４の開口端部の外径側部分に、流体通路４と同心に外方開放状に形成される環状溝６により構成される。また、この第１シール端部ｔ１には、環状溝６の内径部と流体通路４との間に形成される環状の第１接合端部（第１周壁端部Ｃ１又は第２周壁端部Ｃ２）５の先端内周側に先拡がりテーパ状のテーパ内周面５ａが形成される。環状溝６は、流体通路４から外径側に比較的近い位置において流体通路４の軸心Ｐ方向に深い断面矩形を呈する形状に形成されており、その内周面６ａは第１接合端部５の外周面を兼ねている。
【００２９】
図２、図４に示すように、流体用ガスケットＧは中心に流体通路４と同一径の円管状の流体経路９（流体経路Ｆ）を有するリング状のものに形成され、第１フランジ部１Ｂの第１シール端部ｔ１と対面する第１端部Ｔ１には、これに開口する流体経路９の外径側部分に、環状溝６に圧入嵌合自在な環状突起８を形成し、第２フランジ部２Ｂの第２シール端部ｔ２と対面する第２端部Ｔ２には、これに開口する流体経路９の外径側部分に、環状溝６に嵌合する環状突起８を形成している。また、流体用ガスケットＧの第１及び第２端部Ｔ１，Ｔ２における環状突起８と流体経路９との間に夫々環状の第２接合端部（第１、第２押え突起の一例）７を形成し、この第２接合端部７の先端部の外周面に、第１接合端部５のテーパ内周面５ａに当接するテーパ外周面７ａが先窄まりテーパ状に形成される。環状突起８は、流体経路９の軸心Ｐ方向に長い断面矩形を呈する形状に形成されており、その突出長さは環状溝６の深さよりも僅かに短い寸法に設定されている。第２接合端部７と環状突起８との間は、先拡がりする環状の谷部分となっており、この谷部分に第１接合端部５が嵌り込む構成となっている。
【００３０】
図２に示すように、第１，２シール端部ｔ１，ｔ２の環状溝６，６と流体用ガスケットＧの両端面の環状突起８，８とを互いに嵌め合わせることにより夫々嵌合シール部３が形成される。この場合、環状突起８の自由状態における厚み、即ち径方向寸法が環状溝６の自由状態における溝幅、即ち径方向寸法を上回る値に設定してあると、後述する引寄せ手段Ｍによって環状溝６と環状突起８とが互いに嵌合して形成される嵌合シール部３は、環状溝６の内径側周面６ａ及び外径側周面６ｂの双方と環状突起８とが径方向で圧接される一次及び二次シール部Ｓ１，Ｓ２により構成される。ただし、嵌合シール部３としては、一次及び二次シール部Ｓ１，Ｓ２の両方が満たされるように形成されることがシール性を高められる点で好ましいが、一次シール部Ｓ１のみ、又は二次シール部Ｓ２のみを満たすように形成されるものであってもよい。
【００３１】
第１フランジ配管１の少なくとも第１フランジ部１Ｂ、第２フランジ配管２の少なくとも第２フランジ部２Ｂ、及び流体用ガスケットＧは、何れもＰＦＡ、ＰＴＦＥ等のフッ素系樹脂で形成されており、両フランジ配管１，２の流体通路４の径ｄ１，ｄ２と、流体用ガスケットＧの径ｄ３とは互いに同じ値に設定されている。例えば、金属、非鉄金属、ＰＥ樹脂等のフッ素樹脂以外の材料から形成される管状部１Ａと、フッ素樹脂製の第１フランジ部１Ｂとを固着一体化して成る第１フランジ配管１（及び第２フランジ配管２）を用いることも可能である。尚、実施例１においては両フランジ部１Ｂ，２Ｂは同一であり、かつ、流体用ガスケットＧは左右対称のものに形成されているが、これには限らない。
【００３２】
第１及び第２フランジ配管１，２に亘って引寄せ手段Ｍを設け、この引寄せ手段Ｍにより第１フランジ部１Ｂと第２フランジ部２Ｂとが互いに流体用ガスケットＧを介して接近する方向に引寄せ、この引寄せた状態を維持できるように構成されている。引寄せ手段Ｍによって両フランジ部１Ｂ，２Ｂが互いに流体用ガスケットＧを介して接近する方向に引寄せられて行くと、まず、環状溝６と環状突起８とが嵌合し、その大部分が嵌合してからテーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが当接するようになる。そして、これらテーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが強く圧接して、両フランジ部１Ｂ，２Ｂの接近移動が止まった状態では、環状溝６と環状突起８との軸心Ｐ方向の間、及び第１フランジ部１Ｂの端面の環状溝６より外径部１ｇと、流体用ガスケットＧの環状突起８より外径部分（外周突起部１ｆの一例）１０との軸心Ｐ方向の間、及び第２フランジ部２Ｂの端面の環状突起８より外径部２ｇと流体用ガスケットＧの外径部１０との軸心Ｐ方向の間の夫々には隙間が存在するように設定されている。
【００３３】
つまり、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが確実に接触するように外径部１ｇ，１０，２ｇどうし間に隙間を設けている。これにより、環状溝６と環状突起８との嵌合による嵌合シール部３における一次及び二次シール部Ｓ１，Ｓ２での有効なシール機能が得られ、またテーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとの間で形成される三次シール部Ｓ３では隙間ができて液溜りとなるようなことが無くて、互いに同径の両流体通路４，４及び流体経路９間をクリーンな状態で液体を流すことができる。
【００３４】
引寄せ手段Ｍは、図１〜図３に示すように、二組の割型リング２５，２５と一対の筒状ナット２２，２３との計四個の部品から構成されている。第１フランジ配管１に外嵌される第１割型リング２５は、第１フランジ部１Ｂより大なる外径を有するとともに第１，２フランジ配管１，２の軸心Ｐ方向で第１フランジ部１Ｂに干渉するよう第１フランジ配管１の管状部１Ａに外嵌されるものであり、二つ割り、または三つ割り以上の割型リングに構成されている。第１の筒状ナット２２は、第１フランジ部１Ｂの通過は許容し、かつ、第１割型リング２５とは軸心Ｐ方向で干渉する開口部２４ａを有する内向きフランジ２４が一端部に形成され、かつ、他端部の外周に雄ネジ部２２ｎが形成される筒状のナットに構成されている。
【００３５】
第２フランジ配管２に外嵌される第２割型リング２５は、第２フランジ部２Ｂより大なる外径を有するとともに軸心Ｐ方向で第２フランジ部２Ｂに干渉するよう第２フランジ配管２の管状部２Ａに外嵌されるものであり、二つ割り、または三つ割り以上の割型リングに構成されている。第２割型リング２５は第１割型リング２５と互いに同じ部品である。第２の筒状ナット２３は、第２フランジ部２Ｂの通過は許容し、かつ、第２割型リング２５とは軸心Ｐ方向で干渉する開口部２４ａを有する内向きフランジ２４が一端部に形成され、かつ、他端部の内周に雄ネジ部２２ｎに螺合自在な雌ネジ部２３ｎが形成される筒状のナットに構成されている。つまり、第２の筒状ナット２３の径は第１の筒状ナット２２の径よりも大径である。そして、雄ネジ部２２ｎと雌ネジ部２３ｎとを螺合させての両筒状ナット２２，２３どうしの締付け操作によって、第１フランジ部１Ｂと第２フランジ部２Ｂとが互いに流体用ガスケットＧを介して接近する方向に引寄せられるように、かつ、その引寄せ状態を維持可能に構成されている（図３参照）。
【００３６】
各筒状ナット２２，２３の内向きフランジ２４の開口部２４ａは、各フランジ部１Ｂ，２Ｂの通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されている。各割型リング２５の外径は、第１の筒状ナット２２の内径部２２ａに入り込み自在となるよう、この内径部２２ａの内径よりも若干小さい寸法に設定され、かつ、内径は、各管状部１Ａ，２Ａに外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。第２の筒状ナット２３における内向きフランジ２４に隣接する部分には、第２割型リング２５を密に内嵌するために雌ネジ部２３ｎ及びこれに連なる内径部２３ａよりも径の小なる内周面部２３ｍが形成されている。
【００３７】
第１の筒状ナット２２の内径部２２ａにおける内向きフランジ２４に隣接する部分には、第１割型リング２５に軸方向に摺動自在で、かつ、第１割型リング２５の幅寸法をカバーする軸心Ｐ方向長さを有する内周面部２２ｍが、流体通路４と同心にフラットな内周面に形成されている。また、前述した第２の筒状ナット２３の内周面部２３ｍも、流体通路４と同心にフラットな内周面に形成されている。即ち、第１の筒状ナット２２の内径部２２ａの内奥部である内周面部２２ｍが流体通路４と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部２２ｍの内径が、断面矩形に形成された第１割型リング２５の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定される一方、第２の筒状ナット２３の内周面部２３ｍが流体通路４と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その内周面部２３ｍの内径が、断面矩形に形成された第１割型リング２５の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定されている。尚、各割型リング２５の内径は、各フランジ部１Ｂ，２Ｂと面当接するよう、各管状部１Ａ，２Ａにおける各フランジ部１Ｂ，２Ｂの付根の径とほぼ同じ径に設定されている。
【００３８】
これにより、第１及び第２の筒状ナット２２，２３どうしを螺着させて各筒状ナット２２，２３を螺進させた際に各割型リング２５，２５が傾いて抉るような状態になったり、各フランジ部１Ｂ，２Ｂに第１及び第２の筒状ナット２２，２３の螺進による軸心Ｐ方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効に各フランジ部１Ｂ，２Ｂを押して、両フランジ部１Ｂ，２Ｂを互いに接近する方向に良好に引寄せることができるように構成されている。つまり、筒状ナット２２，２３の内向きフランジ２４に隣接する割型リング内嵌部分の内周面部２２ｍ，２３ｍが、管状の流体通路４と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内周面部２２ｍ，２３ｍの内径と、断面矩形に形成された割型リング２５の外径とが、内周面部２２ｍ，２３ｍの内径が割型リング２５の外径よりも大となる領域においてほぼ同一径に形成されている。
【００３９】
引寄せ手段Ｍを用いて両フランジ部１Ｂ，２Ｂどうしを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図３（ａ）に示すように、第１の筒状ナット２２を、第１フランジ部１Ｂの外径側を通過させて第１フランジ配管１の管状部１Ａの外周に嵌装し、かつ、第２の筒状ナット２３を、第２フランジ部２Ｂの外径側を通過させて第２フランジ配管２の管状部２Ａの外周に嵌装する。各筒状ナット２２，２３は、夫々第１、第２フランジ部１Ｂ，２Ｂを通過できるものであるから、これらフランジ配管１，２が、それらの他端が流体機器等に既に接続されている場合でも、問題なくフランジ部１Ｂ，２Ｂ側の端部から各管状部１Ａ，２Ａに外嵌させることができる。なお、各筒状ナット２２，２３の内向きフランジ側端に、スパナ工具等で回動操作するための六角部又は二面幅部を形成しておけば、締付け及び分解操作上で好都合である。
【００４０】
次いで、図３（ｂ）に示すように、第１割型リング２５を、第１フランジ１Ｂと第１の筒状ナット２２の先端との間を通して、第１フランジ部１Ｂの側面に当接する状態で第１フランジ配管１の管状部１Ａの外周に嵌装し、かつ、第２割型リング２５を、第２フランジ２Ｂと第２の筒状ナット２３の先端との間を通して、第２フランジ部２Ｂの側面に当接する状態で第２フランジ配管２の管状部２Ａの外周に嵌装させる。このとき又はその前に流体用ガスケットＧをいずれかのフランジ部１Ｂ，２Ｂの端面に環状突起８と環状溝６との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、流体用ガスケットＧを介して両フランジ部１Ｂ，２Ｂどうしをあてがい、その状態で第１の筒状ナット２２と第２の筒状ナット２３とを螺着させての締付け操作［図３（ｃ）参照］を行うことにより、図１、図２に示す接続状態が得られる。
【００４１】
第１フランジ配管１と第２フランジ配管２とは引寄せ手段Ｍにより、互いに接近する方向に引寄せられており、図２に示すように、その接続状態では、両フランジ部１Ｂ，２Ｂによって流体用ガスケットＧは押圧挟持されている。また、前述したように、両フランジ部１Ｂ，２Ｂの各端面の環状溝６，６と、流体用ガスケットＧの両端面の環状突起８とが圧入嵌合して嵌合シール部３，３が形成されるとともに、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが圧接されることにより、第１フランジ配管１の流体通路４、流体用ガスケットＧの流体経路９、第２フランジ配管２の流体通路４間に亘って漏れ及び液溜まりなく液体を流すことができる、という良好なシール機能を発揮することができる。
【００４２】
環状溝６の径方向寸法よりも環状突起８の径方向寸法を若干大きくして圧入状態で挿入させる構造にしておくと、内径側周面６ａ及び外径側周面６ｂと環状突起８とが径方向に強く圧接されて、極めて有効な一次シール部Ｓ１及び二次シール部Ｓ２とが得られる。この場合、両フランジ部１Ｂ，２Ｂの環状溝６の外径側部分は十分な厚み（径方向寸法）によって十分な剛性があるが、環状溝６の内径側部分は、厚みの薄い（径方向寸法の短い）第１接合端部５のみであって剛性に富む状態ではないため、環状突起８の環状溝６への圧入嵌合に伴い、第１接合端部５が内径側に傾き変形し、部分的に流体通路４の径が縮小されるおそれがある。
【００４３】
しかしながら、図２に示すように、第１接合端部５の内径側には、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが密着する状態で流体用ガスケットＧの第２接合端部７が位置されているので、その第２接合端部７の存在によって第１接合端部５の内径側への傾き変形（縮径変形）が阻止されるようになる利点がある。つまり、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとの圧接による三次シール部Ｓ３としての機能が得られるばかりでなく、第１接合端部５の剛性不足を補って、管状の各流体通路４，４の径が変化しないように規制し、一次シール部Ｓ１と二次シール部Ｓ２の接触圧力の低下を防いで優れたシール性能を有効に発揮できる。
【００４４】
環状溝６と環状突起８との関係については前にも少し述べたが、図５に示すように、環状溝６の自由状態における径幅（溝幅）６ｗと環状突起８の自由状態における径幅（厚み）８ｗとが、６ｗ×（１．０５〜１．５）＝８ｗとなるように、環状溝６の径幅（溝幅）を環状突起８の径幅（厚み）よりも狭くして両者を圧入嵌合させて嵌合シール部３を形成することが好ましい。これにより、環状溝６と環状突起８との嵌合により形成される嵌合シール部３により液漏れのない極めて良好なシール性を発揮することが可能となる。また、前述したように、このシール接続状態においては、環状溝６と環状突起８との間に軸心Ｐ方向の隙間が形成されるよう、環状溝６の凹入深さを環状突起８の突出量よりもやや大きい値とすれば、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが確実に押圧当接される点で好都合である。
【００４５】
テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとの関係は、図５に示すように、両フランジ部１Ｂ，２Ｂが軸心Ｐ方向の移動によって相対接近移動される場合には、流体用ガスケットＧの第２接合端部７におけるテーパ外周面７ａの先端側から第１フランジ部１Ｂの第１接合端部５（又は第２フランジ部２Ｂの第２接合端部５）のテーパ内周面５ａに当接するよう、テーパ内周面５ａの傾斜角度θに比べてテーパ外周面７ａの傾斜角度αの方を１〜３０度、好ましくは３〜１０度小さくする（１〜３０度＋α＝θ）のが良い。また、第１及び第２の筒状ナット２２，２３による両フランジ部１Ｂ，２Ｂどうしの締付け後もテーパ外周面７ａの先端部分以外はテーパ内周面５ａとの間に隙間を持たせて、テーパ外周面７ａの先端部分とテーパ内周面５ａとの面圧を高める三次シール部Ｓ３を形成することができて好ましい。
【００４６】
環状溝６は、図５に示すように、その開口側端部を、環状突起８が入り易くなるように、先拡がりする状態に傾斜させたテーパ面６ａに形成しても良い。環状突起８の先端角部８ａを、図５に示すように、環状溝６に入り易くするために、面取り加工等によって斜めにカットした形状としても良い。環状突起８とシール端部７との間の隅角部ｓが、図５に示すように、滑らかに形状変化するよう曲面処理が行われたものとしても良い。また、シール端部７の先端部分７ｂを、図５に示すように、ピン角とならないよう面取りされた形状としても良い。なお、第１や第２の筒状ナット２２，２３、第１や第２割型リング２５，２５はＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の他、金属やアルミ合金等の非鉄金属等種々の材質製とすることが可能である。
【００４７】
ところで、図２における第２フランジ配管２に示すように、割型リング２５の外嵌された管状部２Ａの外径部２ｋが、管状の流体通路４と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その外径部２ｋの外径と割型リング２５の内径とが、外径部２ｋの外径よりも割型リング２５の内径が大となる領域においてほぼ同一径に形成される構成とすればより好都合である。この構成を採れば、筒状ナット２３の締付け操作の際に割型リング２５と管状部２Ａとが抉れたりすることなく円滑に相対移動でき、引寄せ手段Ｍによる両フランジ部１Ｂ，２Ｂの引寄せ移動を効率良く行う機能が促進される。第２の筒状ナット２３の内周面部２３ｍと割型リング２５の外径部との嵌め合い公差を持つ嵌合構造と併せれば、筒状ナット２３の螺進による割型リング２５の追従移動がさらに円滑化され、引寄せ手段Ｍを軽快に操作しながら漏れなく強固に接続操作することができる。上記の構成は、当然ながら第１フランジ配管１に適用することが自在である。
【００４８】
〔実施例２〕
実施例２による流体用ガスケットＧは、図６に示すように、引寄せ手段Ｍが異なる以外は、基本的には図２に示す実施例１によるフランジ配管どうしの接続構造と同等の構造に用いられるものである。この場合における引寄せ手段Ｍは、第１，２フランジ部１Ｂ，２Ｂの外径側部分と、第１，２フランジ部１Ｂ，２Ｂの軸心Ｐ方向に沿う状態で各フランジ部１Ｂ，２Ｂに形成された孔１ｈ，２ｈどうしに貫通自在なボルト４１及びナット４２とから構成されている。
【００４９】
この引寄せ手段Ｍを構成するボルト４１及びナット４２は、各フランジ部１Ｂ，２Ｂの周囲の複数箇所（例：３箇所）に均等角度毎に配備されており、第１，２フランジ部１Ｂ，２Ｂを互いに接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能に構成されている。つまり、ボルト４１・ナット４２の締付け操作により、第１，２フランジ部１Ｂ，２Ｂどうしを流体用ガスケットＧを介して互いに接近移動させて、両フランジ部１Ｂ，２Ｂの第１，２シール端部ｔ１，ｔ２の環状溝６，６と、流体用ガスケットＧの第１，２端部Ｔ１，Ｔ２の環状突起８とを圧入嵌合することによる第１及び第２シール端部ｔ１，ｔ２どうしの嵌め合い操作、並びに、それによって第１接合端部５と第２接合端部７とで三次シール部Ｓ３が形成されるように、それら両者５，７が隙間なく圧接され、かつ、環状溝６と環状突起８との圧入嵌合による一次及び二次シール部Ｓ１，Ｓ２が生じるように嵌合シール部３が形成されるシール接続状態の維持が行えるものとなっている。
【００５０】
〔実施例３〕
実施例３による流体用ガスケットＧも、図７に示すように、流体デバイスであるフランジ配管どうしの接続構造に用いられるものである。実施例１によるフランジ配管どうしの接続構造では、第１，２シール端部ｔ１，ｔ２を環状溝６により構成し、流体用ガスケットＧの第１及び第２端部Ｔ１，Ｔ２の夫々に環状突起８を形成するものであるが、実施例３によれば、それとは反対に、第１，２シール端部ｔ１，ｔ２に環状突起８を形成し、流体用ガスケットＧ２の第１及び第２端部Ｔ１，Ｔ２の夫々に、環状突起８に圧入嵌合自在な環状溝６を形成する構成である。
【００５１】
すなわち、この実施例３による流体用ガスケットＧを用いる接続構造は、図７、図８に示すように、流体用ガスケットＧの第１，２端部Ｔ１，Ｔ２における流体経路９（流体経路Ｆの一例）の開口端部の外径部分に、流体経路９と同心に環状溝１６(第１、第２環状溝Ｒ１，Ｒ２の一例）を外方開放状に形成する。また、環状溝６の内径部と流体経路９との間に形成される環状の第１接合端部（第１、第２周壁端部Ｃ１，Ｃ２の一例）１５の先端内周側に先拡がりテーパ状のテーパ内周面１５ａ（テーパ内周面５ａの一例）が形成される。なお、環状溝１６は、流体経路９の軸心Ｐ方向に延びる断面矩形を呈する形状に形成されており、その内周面１６ａは第１接合端部１５の外周面を兼ねている。
【００５２】
一方、第１，２フランジ配管１，２の第１、第２フランジ部１Ｂ，２Ｂの各端面に形成される第１，２シール端部ｔ１，ｔ２は、第１、２フランジ部１Ｂ，２Ｂの各端面における管状の流体通路４（第１、第２流体通路Ｅ１，Ｅ２の一例）の開口端部の外径側部分に、流体通路４と同心に、かつ、流体用ガスケット２側の環状溝１６に嵌合するよう一体に突出形成される環状突起１８により構成される。また、この第１，２シール端部ｔ１，ｔ２には環状突起１８（第１、第２環状突起Ｄ１，Ｄ２の一例）と流体通路４との間に形成される環状の第２接合端部（第１及び第２環状押え突起Ｏ１，Ｏ２の一例）１７の先端外周面に、テーパ内周面１５ａに当接するテーパ外周面１７ａ（テーパ外周面７ａの一例）が先窄まりテーパ状に形成される。なお、環状突起１８は、流体通路４の軸心Ｐ方向に長い断面矩形を呈する形状に形成されており、その突出長さは環状溝１６の深さよりも僅かに短い寸法に設定されている。第２接合端部１７と環状突起１８との間は、先拡がりする環状の谷部分となっており、この谷部分に第１接合端部１５が嵌り込む構成となっている。
【００５３】
また、流体用ガスケット２の環状溝１６に、これよりも径方向寸法の大なる環状突起１８を圧入嵌合させたシール接続状態において有効な一次及び二次シール部Ｓ１，Ｓ２の機能を得るべく、環状溝１６の外径側には、径方向寸法を十分に大きくして剛性を持たせた環状の外周突起部１９が形成されている。一方、第１，２シール端部ｔ１，ｔ２を構成する環状突起１８の外径側には、外周突起部１９を隙間を伴って嵌合させるための環状径大溝２０が形成されている。
【００５４】
この実施例３においても、環状溝１６に環状突起１８が嵌合されて一次シール部Ｓ１及び二次シール部Ｓ２が形成されるシール接続状態で、三次シール部Ｓ３として機能すべくテーパ内周面１５ａとテーパ外周面１７ａとが確実に接触するように、環状溝１６と環状突起１８との間、外周突起部１９と環状径大溝２０との間における夫々の軸心Ｐ方向には隙間が生じるように設定されている。実施例３の流体用ガスケットＧを用いた接続構造に用いられる引寄せ手段Ｍは、実施例１のものと同構造のものであって、第１，２フランジ部１Ｂ，２Ｂどうしを互いに接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能に構成されており、対応する箇所には実施例１による引寄せ手段Ｍと同じ符号を付してある。
【００５５】
〔実施例４〕
実施例４による流体用ガスケットＧは、図９に示すように、フランジ配管と流体機器の接続構造に用いられるものであって、手動式ストップバルブ（流体デバイスの一例）３１と第２フランジ配管２との接続部に構成されている。即ち、管状の流体通路４を有した管状部２Ａの端部に、この管状部２Ａより大径のフランジ部２Ｂを有するフランジ配管２のフランジ部（第２流体給排口部の一例）２Ｂと、管状の流体通路３２を有した流体給排口部３１ｂを備えた手動式ストップバルブ３１の流体給排口部（第１流体給排口部の一例）３１ｂとを、フランジ部２Ｂと流体給排口部３１ｂとの間に介在するリング状の流体用ガスケットＧを介して連通接続する接続構造である。手動式ストップバルブ３１はバルブ本体３１Ｈと、回動操作部３１Ｋと、一対の流体給排口部３１ａ，３１ｂ等を有して構成されている。
【００５６】
例として、図１０に示すように、手動式ストップバルブ３１とフランジ配管２とは、手動式ストップバルブ３１のアウト側の流体給排口部３１ｂと、フランジ部２Ｂとを流体用ガスケットＧを介してシール状態で連通接続されている。その際、アウト側の流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとは引寄せ手段Ｍによって互いに流体用ガスケットＧを介して引寄せられ、この引寄せ作用により流体給排口部３１ｂの端面に形成される第１シール端部ｔ１と流体用ガスケットＧの一端面との間、及びフランジ部２Ｂの端面に形成される第２シール端部ｔ２と流体用ガスケットＧの他端面との間で夫々互いに嵌合して嵌合シール部３が形成される。
【００５７】
図１０に示す流体給排口部３１ｂの端面に形成される第１シール端部ｔ１と、フランジ部２Ｂの端面に形成される第２シール端部ｔ２とは同一構造であるとともに、第２シール端部ｔ２は、図２に示す第２フランジ部２Ｂのものと同一であるため、第１シール端部ｔ１についてのみ説明し、第２シール端部ｔ２については同一又は対応する符号を付してその説明を省略する。第１シール端部ｔ１は、管状の流体通路３２（第１流体通路Ｅ１の一例）を開口する流体給排口部３１ｂの端面における流体通路３２の開口端部の外径側部分に、流体通路３２と同心に外方開放状に形成される環状溝６（第１環状溝Ｒ１の一例）により構成される。また、この第１シール端部ｔ１には、環状溝６の内径部と流体通路３２との間に形成される環状の第１接合端部５（第１周壁端部Ｃ１の一例）５の先端内周側に先拡がりテーパ状のテーパ内周面５ａが形成される。環状溝６は、流体通路３２から外径側に比較的近い位置において流体通路３２の軸心Ｐ方向に深い断面矩形を呈する形状に形成されており、その内周面６ａは第１接合端部５の外周面を兼ねている。
【００５８】
図１０、図４に示すように、流体用ガスケットＧは中心に流体給排口部３１ｂの流体通路３２と同一径の管状の流体経路９（流体経路Ｆの一例）を有するリング状のものに形成され、アウト側流体給排口部３１ｂの端面である第１シール端部ｔ１と対面する第１端部Ｔ１における流体経路９の外径側部分に、第１シール端部ｔ１の環状溝６に嵌合する環状突起８（第１環状突起Ｄ１の一例）を形成し、フランジ部２Ｂの端面である第２シール端部ｔ２と対面する第２端部Ｔ２における流体経路９の外径側部分に、第２シール端部ｔ２の環状溝６に嵌合する環状突起８（第２環状突起Ｄ２の一例）を形成している。また、流体用ガスケットＧの第１及び第２端面Ｔ１，Ｔ２の環状突起８と流体経路９との間の夫々に第２接合端部（第１及び第２押え突起Ｏ１，Ｏ２の一例）７を形成し、この第２接合端部７の先端部の外周面に、第１接合端部５のテーパ内周面５ａに当接するテーパ外周面７ａが先窄まりテーパ状に形成される。環状突起８は、流体経路９の軸心Ｐ方向に長い断面矩形を呈する形状に形成されており、その突出長さは環状溝６の深さよりも僅かに短い寸法に設定されている。第２接合端部７と環状突起８との間は、先拡がりする環状の谷部分となっており、この谷部分に第１接合端部５が嵌り込む構成となっている。
【００５９】
図１０に示すように、第１，２シール端部ｔ１，ｔ２の環状溝６，６と第１，第２端部Ｔ１，Ｔ２の環状突起８，８とを互いに嵌め合わせることにより、流体用ガスケットＧの各端面部分の夫々に嵌合シール部３が形成される。この場合、環状突起８の自由状態における厚み、即ち径方向寸法が環状溝６の自由状態における溝幅、即ち径方向寸法を上回る値に設定してあると、後述する引寄せ手段Ｍによって環状溝６と環状突起８とが互いに嵌合して形成される嵌合シール部３は、環状溝６の内径側周面６ａ及び外径側周面６ｂの双方と環状突起８とが径方向で圧接される一次及び二次シール部Ｓ１，Ｓ２により構成される。ただし、嵌合シール部３としては、一次及び二次シール部Ｓ１，Ｓ２の両方が満たされるように形成されることがシール性を高められる点で好ましいが、一次シール部Ｓ１のみ、又は二次シール部Ｓ２のみを満たすように形成されるものであってもよい。
【００６０】
手動式ストップバルブ３１の少なくともアウト側流体給排口部３１ｂと、フランジ配管２の少なくともフランジ部２Ｂ、及び流体用ガスケットＧは、何れもＰＦＡ、ＰＴＦＥ等のフッ素系樹脂で形成されており、手動式ストップバルブ３１の管状の流体通路３２の径ｄ１と、フランジ配管２の管状の流体通路４（第２流体通路Ｅ２の一例）の径ｄ２と、流体用ガスケットＧの管状の流体経路９の径ｄ３とは互いに同じ値に設定されている。
【００６１】
手動式ストップバルブ３１とフランジ配管２と亘って設けられる引寄せ手段Ｍにより、手動式ストップバルブ３１のアウト側流体給排口部３１ｂとフランジ配管２のフランジ部２Ｂとが互いに流体用ガスケットＧを介して接近する方向に引寄せ、この引寄せた状態を維持できるように構成する。引寄せ手段Ｍによって流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとが互いに流体用ガスケットＧを介して接近する方向に引寄せて行くと、まず、環状溝６と環状突起８とが嵌合し、その大部分が嵌合してからテーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが当接するようになる。そして、これらテーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが強く圧接して、流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとの接近移動が止まった状態では、環状溝６と環状突起８との軸心Ｐ方向の間、及び流体給排口部３１ｂの端面の環状溝６より外径部３１ｇと、流体用ガスケットＧの環状突起８より外径部分１０との軸心Ｐ方向の間、及びフランジ部２Ｂの端面の環状突起８より外径部２ｇと流体用ガスケットＧの外径部１０との軸心Ｐ方向の間の夫々には隙間が存在するように設定されている。
【００６２】
つまり、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが確実に接触するように外径部３１ｇ，１０，２ｇどうし間に隙間を設けている。これにより、環状溝６と環状突起８との嵌合による嵌合シール部３における一次及び二次シール部Ｓ１，Ｓ２での有効なシール機能が得られ、またテーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとの間で形成される三次シール部Ｓ３では隙間ができて液溜りとなるようなことが無くて、互いに同径の両流体通路３２，４及び流体経路９間をクリーンな状態で液体を流すことができる。
【００６３】
引寄せ手段Ｍの具体例としては、例えば、図９及び図１０に示すように、手動式ストップバルブ３１のアウト側の流体給排口部３１ｂの外周部に形成された雄ネジ３１ｎに螺合自在な雌ネジ２１ｎを備えた筒状ナット２１と、フランジ配管２のフランジ部２Ｂにこれの軸心Ｐ方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング２５とから成り、流体給排口部３１ｂの雄ネジ３１ｎへの筒状ナット２１の締付け操作によって流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとを互いに流体用ガスケットＧを介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能に構成されている。
【００６４】
筒状ナット２１の内向きフランジ２４の開口部２４ａは、フランジ部２Ｂの通過を許容するに足りる最小限の内径寸法に設定されており、割型リング２５の外径は、筒状ナット２１に入り込み自在となるよう雌ネジ２１ｎ及びこれに連なる内径部２１ａの内径よりも若干小さい寸法に設定され、かつ、内径は、管状部２Ａに外嵌自在となる最小限の寸法に設定されている。なお、図示は省略するが、管状部２Ａの外径と割型リング２５の内径との嵌合部分に、図２に示す嵌め合い公差を有する密嵌合構造を採用しても良い。
【００６５】
また、筒状ナット２１における雌ネジ２１ｎの内奥端部とフランジ部２Ｂとの間に、割型リング２５に軸方向に摺動自在で、かつ割型リング２５の幅寸法をカバーする軸心Ｐ方向長さを有する内周面部２１ｍが、流体通路４と同心にフラットな状態に形成されている。即ち、筒状ナット２１の雌ネジ２１ｎと内向きフランジ２４との間における内径部２１ａが流体通路４と同心にフラットな内周面に形成され、かつ、その内径部２１ａの内径が断面矩形に形成された割型リング２５の外径よりも極僅かに大きくした嵌め合い公差状態に寸法設定されて内周面部２１ｍとなっている。一方、前述したように、フランジ部２Ｂに隣接する管状部２Ａの外周部が流体通路４と同心にフラットな外周面に形成され、かつ、その外周面の外径と、割型リング２５の内径とがほぼ同一径に形成される構成を採っても良い。これにより、筒状ナット２１を螺進させた際に割型リング２５が傾いて抉るような状態になったり、フランジ部２Ｂに筒状ナット２１の螺進による軸心Ｐ方向の押圧力がうまく伝わらなかったりする、という不都合が生じることが防止され、有効にフランジ部２Ｂを押して、流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとを互いに接近する方向に良好に引寄せることができる。
【００６６】
引寄せ手段Ｍを用いて流体給排口部３１ａとフランジ部２Ｂとを接続連結する操作手順は次のようである。先ず、図１１（ａ）に示すように、筒状ナット２１をフランジ部２Ｂを通過させてフランジ配管２の管状部２Ａの外周に嵌装する。次いで、図１１（ｂ）に示すように、割型リング２５を、フランジ部２Ｂと筒状ナット２１の先端との間を通して管状部２Ａに外嵌装備させる。このとき又はその前に流体用ガスケットＧを流体給排口部３１ｂの端面、或いはフランジ部２Ｂの端面に環状突起８と環状溝６との仮嵌合を介して装着させておいてもよい。次いで、流体用ガスケットＧを介して流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとを互いにあてがい、その状態で筒状ナット２１をスライド移動させてから流体給排口部３１ｂの雄ネジ３１ｎに螺着させて締付け操作［図１１（ｃ）参照］することにより、図９、図１０に示す接続状態が得られる。
【００６７】
手動式ストップバルブ３１とフランジ配管２とは引寄せ手段Ｍにより、互いに接近する方向に引寄せられており、図１０に示すように、その接続状態では、流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとによって流体用ガスケットＧは押圧挟持されている。また、前述したように、流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとの各端面の環状溝６，６と、流体用ガスケットＧの両端面の環状突起８とが圧入嵌合して嵌合シール部３，３が形成されるとともに、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが圧接されることにより、流体給排口部３１ｂの流体通路３２、流体用ガスケットＧの流体経路９、フランジ配管２の流体通路４間に亘って漏れ及び液溜まりなく液体を流すことができる、という良好なシール機能を発揮する。
【００６８】
環状溝６の径方向寸法よりも環状突起８の径方向寸法を若干大きくして圧入状態で挿入させる構造にしておくと、内径側周面６ａ及び外径側周面６ｂと環状突起８とが径方向に強く圧接されて、極めて有効な一次シール部Ｓ１及び二次シール部Ｓ２とが得られる。この場合、流体給排口部３１ｂとフランジ部２Ｂとの環状溝６の外径側部分は十分な厚み（径方向寸法）によって十分な剛性があるが、環状溝６の内径側部分は、厚みの薄い（径方向寸法の短い）第１接合端部５のみであって剛性に富む状態ではないため、環状突起８の環状溝６への圧入嵌合に伴い、第１接合端部５が内径側に傾き変形し、部分的に管状流体通路４の径が縮小されるおそれがある。
【００６９】
しかしながら、図１０に示すように、第１接合端部５の内径側には、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとが密着する状態で流体用ガスケットＧの第２接合端部７が位置されているので、その第２接合端部７の存在によって第１接合端部５の内径側への傾き変形（縮径変形）が阻止されるようになる利点がある。つまり、テーパ内周面５ａとテーパ外周面７ａとの圧接による三次シール部Ｓ３としての機能が得られるばかりでなく、第１接合端部５の剛性不足を補って、各流体通路３２，４の径が変化しないように規制し、一次シール部Ｓ１と二次シール部Ｓ２の接触圧力の低下を防いで優れたシール性能を有効に発揮することができる。
【００７０】
〔実施例５〕
実施例５による流体用ガスケットＧは、図１２、図１３に示すように、集積パネル（流体デバイスの一例）１とバルブ（流体デバイスの一例）２との接続構造に用いられるものである。この集積パネル１とバルブ（開閉バルブ、ストップバルブ等）２との接続構造は、一対の円管状の流体通路３３，３４（第１流体通路Ｅ１の一例）が内部形成された集積パネル１と、これの上面１ａにリング状の流体用ガスケットＧを介して搭載されるバルブ２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同一のものとして構成されている。
【００７１】
集積パネル１は、図１、図２に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３３ａ，３４ａと横向きの横通路３３ｂ，３４ｂとから成る一対の円管状の供給側流体通路３３，３４が形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路３３，３４が開口する部分を第１流体給排口部１Ｂと称するものとし、この第１流体給排口部１Ｂにおいては、円管状の縦通路３３ａ，３４ａのそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ｂには、その上端面に開口する各流体通路３３，３４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起６（第１環状突起Ｄ１の一例）を有する一対の下第１シール端部ｔ１が形成されている。
【００７２】
バルブ２は、図１２、図１３に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａから下方突出する状態で縦向きに配された円管状の供給側流体通路３７（第２流体通路Ｅ２の一例）と、この供給側流体通路３７の横側方に離れて開口する状態で縦向きに配された円管状の排出側流体通路３８（第２流体通路Ｅ２の一例）とを有した第２流体給排口部２Ｂに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ｂにおいては、円管状の供給側流体通路３７，３８のそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。そして、バルブケース６下端には、一対のボルト挿通孔９ａを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の取付フランジ９の一対が下方突出形成されており、流体通路３７，３８を有する管部９Ａとフランジ部（外向きフランジ）９Ｂとで各取付フランジ９が形成されている。供給側の取付フランジ９が、下方突出する環状突起１１（第２環状突起Ｄ２の一例）を有する上第１シール端部ｔ１に形成され、排出側の取付フランジ９が、上方突出する環状突起１１（第２環状突起Ｄ２の一例）を有する上第２シール端部ｔ２に形成されている。
【００７３】
一対の流体用ガスケットＧは互いに同一のものであり、その構造を供給側の流体用ガスケットＧを例に挙げて説明する。さて、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の流体用ガスケットＧは、供給側の上下の流体給排口部１Ｂ，２Ｂの縦通路３３ａと供給側流体通路３７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路Ｆと、第１シール端部ｔ１に嵌合する第１端部Ｔ１と、第２シール端部ｔ２に嵌合する第２端部Ｔ２とから成る。即ち、第１及び第２流体給排口部１Ｂ，２Ｂの端面に形成された上第１シール端部ｔ１の環状突起１１（第２環状突起Ｄ２の一例）と上第２シール端部ｔ２の環状突起２１（第１環状突起Ｄ１の一例）のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｆの外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１（第１及び第２環状溝Ｒ１，Ｒ２の一例）と、これら環状溝５１，５１と流体経路Ｆとの間に形成される内外の環状シール突起５２，５３とから第１及び第２端部Ｔ１，Ｔ２が構成されている。
【００７４】
つまり、流体用ガスケットＧの断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部である上下の内環状シール突起５２（第１及び第２周壁端部Ｃ１，Ｃ２の一例）は、内周面５４ａである流体経路Ｆの上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面５２ａ，５２ａ（テーパ内周面５ａの一例）に形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。
【００７５】
集積パネル１の第１流体給排口部１Ｂの下第１シール端部ｔ１の環状突起２１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ｂの上第１シール端部ｔ１における環状突起１１の内及び外径側に、流体用ガスケットＧにおける環状溝５１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２ａ，５３ａが、環状溝５１と環状突起１１，２１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起１２（第２環状押え突起Ｏ２の一例），１３，２２（第１環状押え突起Ｏ１の一例），２３が形成されている。
【００７６】
上記環状押え突起に関する構造を、流体用ガスケットＧと上第１シール端部ｔ１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１は、環状突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。
【００７７】
流体用ガスケットＧの内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起５２，５３を有し、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の上端部である環状シール突起５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１のテーパ外周面１２ａ（テーパ外周面７ａの一例）と流体用ガスケットＧのテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１のテーパ内周面１３ａと流体用ガスケットＧのテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。
【００７８】
つまり、流体用ガスケットＧの上端部には、環状溝５１とその内外の環状シール突起５２，５３とで上シール部である第２端部Ｔ２が形成されており、同様に下端部には下シール部である第１端部Ｔ１が形成されている。第２端部Ｔ２は上第１シール端部ｔ１と嵌合して嵌合シール部１０を形成し、第１端部Ｔ１は下第２シール端部ｔ２と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。
【００７９】
嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１と流体用ガスケットＧの第２端部Ｔ２とについて詳細に説明すると、図１３、図１４に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の環状シール突起５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の環状シール突起５２，５３全体の尖り角β°との間には、α°＞β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（５〜１５°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内環状シール突起５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図３の仮想線を参照）、流体通路７及び流体経路Ｆを通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。
【００８０】
そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．６〜０．８）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内環状シール突起５２のテーパ内周面５２ａとが必ず当接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。
【００８１】
また、内側の環状押え突起１２の先端、及び環状シール突起５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体経路Ｆ側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体経路Ｆ途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
【００８２】
外側の環状押え突起１３は、環状押え突起１３のテーパ内周面１３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部９ｂが存在しており、内側の環状押え突起１２とは全体としての形状は異なる。そして、下第１シール端部ｔ２１に関しても、環状押え突起２３のテーパ内周面２３ａに続く状態で、パネル材５の上端部を形成するための上端内周部５ｂが存在しており、やはり、内側の環状押え突起２２とは全体としての形状が異なる。これら上及び下端内周部５ｂ，９ｂは、流体用ガスケットＧの第１及び第２端部Ｔ１，Ｔ２を下側と上側の第１及び第２シール端部ｔ１，ｔ２に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面１３ａ，２３ａと共に流体用ガスケットＧの外周壁５５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。
【００８３】
なお、図１に仮想線で示すように、流体用ガスケットＧの外周壁５５に横突出するリング状の脱着フランジ（外周突起部の一例）１ｆを一体形成しておけば、第１又は第２流体給排口部１Ｂ，２Ｂから流体用ガスケットＧを抜出す際に、工具や手指でフランジ１ｆを引張る等して外し易くすることができるという利点がある。この場合、脱着フランジ１ｆの厚みは、接合状態における第１及び第２流体給排口部１Ｂ，２Ｂどうしの間隙よりも小さい値とする。尚、脱着フランジ１ｆは、リング状に全周存在しても良いし、周上に間欠的に存在するようにしても良い。
【００８４】
次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図２、図３に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ｂとバルブ２の第２流体給排口部２Ｂとが互いに流体用ガスケットＧを介して引寄せるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ｂの第１シール端部ｔ１と、流体用ガスケットＧの第１端部Ｔ１とが、及び第２流体給排口部２Ｂの第２シール端部ｔ２と、流体用ガスケットＧの第２端部Ｔ２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排口部２Ｂの環状突起１１と流体用ガスケットＧの上側の環状溝５１とが、及び第１流体給排雄口部１Ｂの環状突起２１と流体用ガスケットＧの下側の環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされる。
【００８５】
維持手段Ｉの具体構造は、第２流体給排口部２Ｂのフランジ部９Ｂのボルト挿通孔９ａに挿通される一対のボルト６６と、一対のボルト挿通孔９ａ，９ａに対応して第１流体給排口部１Ｂに（パネル材５に）形成されたナット部６７，６７とで構成されており、ボルト６６をナット部６７に螺着させての締め付け操作により、バルブ２を集積パネル１に引寄せ、かつ、その引寄せ状態を維持することができる引寄せ機能付の維持手段Ｉに構成されている。また、経時変化やクリープ等が生じて各嵌合シール部１０の圧接力が低下した場合には、ボルト６６を増し締めすることで対処することができ、良好なシール性能を維持することが可能である。
【００８６】
〔実施例６〕
実施例６による流体用ガスケットＧは、図１５に示すように、集積パネル（流体デバイスの一例）１とフィルタ（流体デバイスの一例）２との接続構造に用いられるものである。この集積パネル１とフィルタ２との接続構造自体は図１〜３に示す実施例１によるものと同じである。従って、同じ箇所には同じ符号を付すものとし、その説明は割愛する。
【００８７】
フィルタ２は、本体ケース２Ｋと下部ケース２Ｂと濾過体２Ｃとから成り、下部ケース２Ｂには供給側の流体通路７（第２流体通路Ｅ２の一例）と排出側の流体通路８（第２流体通路Ｅ２の一例）、及びこれら流体通路７，８を有する状態で横に張り出し形成される一対の取付フランジ９，９が形成されている。これら取付フランジ９，９と集積パネル１とが流体用ガスケットＧを介して接続連結される。
【００８８】
以上説明したように、本発明による流体用ガスケットは、これを介装する第１及び第２流体デバイスとの間に、管状の流体通路の軸方向の相対移動によって嵌合自在な環状溝と嵌合突起との嵌合によるシール部と、その内径側に形成されるテーパ外周面とテーパ内周面との当接により、環状溝と嵌合突起との嵌合による周壁端部の拡がり規制構造とを構成させるものである。つまり、これら二つの構成要素によって、増し締めを頻繁にしなくても、環状溝と嵌合突起との嵌合による優れたシール機能が維持できるとともに、周壁端部を不都合（周壁端部の拡がりによる捲れ）なく薄肉化して、嵌合シール部を流体通路に近付けてのコンパクト化が行えるものとなり、ガスケットを用いた流体デバイスどうしの接続構造を、シール性能向上とコンパクト化との双方が図れる合理的なものとして実現できている。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】実施例１による流体用ガスケットと流体デバイスどうしの接続構造を示す全体概略図
【図２】図１の接続構造を示す要部の半欠截断面図
【図３】（ａ）〜（ｃ）は図１の接続部の接続手順を示す説明図
【図４】図２の接続構造に用いるガスケットの半欠截断面図
【図５】図２の接続構造の嵌合シール部の種々の別形状を示す要部の断面図
【図６】実施例２による流体デバイスどうしの接続構造を示す要部の半欠截断面図
【図７】実施例３による流体デバイスどうしの接続構造を示す要部の半欠截断面図
【図８】図７の接続構造に用いる流体用ガスケットの半欠截断面図
【図９】実施例４よる流体デバイスどうしの接続構造を示す全体概略図
【図１０】図９の接続構造を示す要部の半欠截断面図
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は図９の接続構造の接続手順を示す説明図
【図１２】実施例５よる流体デバイスどうしの接続構造を示す全体概略図
【図１３】図１２の接続構造の詳細を示す分解状態での要部の断面図
【図１４】図１２の接続構造における嵌合シール部の詳細構造を示す部分拡大図
【図１５】実施例６よる流体デバイスどうしの接続構造を示す全体概略図
【符号の説明】
【００９０】
１，３１        第１流体デバイス
１Ｂ，３１ｂ    第１流体給排口部
１ｆ            外周突起部
２              第２流体デバイス
２Ｂ            第２流体給排口部
５ａ            テーパ内周面
７ａ            テーパ外周面
Ｃ              周壁端部
Ｃ１            第１周壁端部
Ｃ２            第２周壁端部
Ｄ              環状突起
Ｄ１            第１環状突起
Ｄ２            第２環状突起
Ｅ１            第１流体通路
Ｅ２            第２流体通路
Ｆ              流体経路
Ｇ              流体用ガスケット
Ｏ              環状押え突起
Ｏ１            第１環状押え突起
Ｏ２            第２環状押え突起
Ｒ              環状溝
Ｒ１            第１環状溝
Ｒ２            第２環状溝
Ｓ              シール部
Ｔ１            第１端部
Ｔ２            第２端部
【図１】
2006153180.tif 000003
【図２】
2006153180.tif 000004
【図３】
2006153180.tif 000005
【図４】
2006153180.tif 000006
【図５】
2006153180.tif 000007
【図６】
2006153180.tif 000008
【図７】
2006153180.tif 000009
【図８】
2006153180.tif 000010
【図９】
2006153180.tif 000011
【図１０】
2006153180.tif 000012
【図１１】
2006153180.tif 000013
【図１２】
2006153180.tif 000014
【図１３】
2006153180.tif 000015
【図１４】
2006153180.tif 000016
【図１５】
2006153180.tif 000017