(57)【要約】  【課題】粘着剤の残存や基材の汚損等がなく、幅広い材質および形状の基材に仮接着可能なシートとその仮接着方法を提供すること。また、その仮接着可能なシートを製造するための帯電処理方法および製造方法を提供すること。  【解決手段】シートの両面がともに、滑らかに周期的に極性が変化するよう帯電しており、その各面の帯電極性が互いに逆極性で、見かけ上無帯電であるシート。【選択図】  図５
2006206741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートの面内方向の少なくとも一部において、第１の面の電荷密度と、第２の面の電荷密度とが、それぞれ、該シートの長手方向に、滑らかにかつ周期的に変化し、かつ、前記電荷密度の変化の振幅が、それぞれ、６μＣ／ｍ２以上１０００μＣ／ｍ２以下で、かつ、前記シートの面内方向の前記少なくとも一部における前記第１の面と前記第２の面との帯電極性が、互いに逆極性である帯電シート。
【請求項２】
前記第１の面の電荷密度と前記第２の面の電荷密度とが変化する周期が、それぞれ、１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載の帯電シート。
【請求項３】
シート上の各部において、面内方向の位置が同じ部位の前記第１の面の電荷密度と前記第２の面の電荷密度の和が、−２μＣ／ｍ２以上２μＣ／ｍ２以下であることを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の帯電シート。
【請求項４】
前記帯電シートは、複数のサブシートを貼りあわせたものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の帯電シート。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の帯電シートを含んで構成されたことを特徴とする、仮接着シート。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の帯電シートの第1の面を仮接着先基材と接触させ、この状態において、前記帯電シートの第2の面を除電することにより、前記帯電シートを前記仮接着先基材に仮接着することを特徴とする、シートの仮接着方法。
【請求項７】
請求項４に記載の帯電シートの第1の面を仮接着先基材と接触させ、この状態において、前記複数のサブシートのうち、前記帯電シートの前記第2の面を含むサブシートを前記帯電シートの前記第1の面を含むサブシートから剥離することにより前記帯電シートのうち剥離されずに残ったサブシートを前記仮接着先基材に仮接着することを特徴とするシートの仮接着方法。
【請求項８】
仮接着先基材として、表面または表面近傍が導電性を有しているものを用いることを特徴とする請求項６または７に記載のシートの仮接着方法。
【請求項９】
電気絶縁性シートを移動させながら、該シートに、該シートの第１の面の側から、時間的に滑らかに極性が反転する単一極性の第１のイオン雲を照射し、同時に、前記シートの第２の面の側から、前記第１のイオン雲と実質的に逆極性の時間的に滑らかに極性が反転する単一極性の第２のイオン雲を照射する電気絶縁性シートの帯電処理方法であって、前記シートの移動方向の２／３以上の部分に対し、前記第１および前記第２のイオン雲毎に、前記各イオン雲中のイオンのうちの３／４を越える前記イオンの極性が同一の極性となるように、前記各イオン雲を照射する電気絶縁性シートの帯電処理方法。
【請求項１０】
電気絶縁性シートを、前記シートをその法線方向の両側から挟んで対向配置され、互いに逆極性となる交流電圧を印加された第１および第２のイオン生成電極を有する帯電ユニットの、前記第１のイオン生成電極と前記第２のイオン生成電極との間を移動させながら、前記帯電ユニットの前記第１および前記第２のイオン生成電極から生成される正負のイオンを前記シートの両面に照射する電気絶縁性シートの帯電処理方法であって、
前記シートの移動速度をｕ［ｍｍ／秒］、交流電圧の周波数をｆ[Ｈｚ]、前記帯電ユニットの、法線方向電極間距離をｄ［mm］、前記第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極との電位差の実効値をＶ [Ｖ] とするとき、
１８０×ｄ≦Ｖ≦１０６０×ｄ
０．０８５×ｄ２×ｆ≦Ｖ
ｕ＞ｄ×ｆ／２
の関係が成り立つように、前記第１および前記第２のイオン生成電極に前記交流電圧を印加する電気絶縁性シートの帯電処理方法。
【請求項１１】
前記帯電ユニットを、前記シートの移動経路に対し、前記シートの移動方向に、一定の帯電ユニット中心間隔ｐ０で間隔をおいて複数配置し、ｆｐ０／ｍ−１００＜ｕ＜ｆｐ０／ｍ＋１００を満たす速度ｕで電気絶縁性シートを移動させることを特徴とする、請求項１０に記載の電気絶縁性シートの帯電処理方法。
【請求項１２】
請求項９〜１１のいずれかに記載の電気絶縁性シートの帯電処理方法により電気絶縁性シートを帯電する帯電シートの製造方法。
【請求項１３】
請求項６〜８のいずれかに記載のシートの仮接着方法によりシートが仮接着先基材の表面に仮接着されたことを特徴とする仮接着済みシートつき基材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯電シートおよびその製造方法ならびに電気絶縁性シートの帯電処理方法ならびに仮接着済みシートつき基材に関する。
【背景技術】
【０００２】
これまで、紙やフィルム等のシートを壁面や掲示板等の各種物体に一時的なまたは場合によりはがす可能性が否定できないが一応半永久的な貼り付け（以降仮接着と称する）を行なう場合、のり、接着剤、粘着テープ等の接着剤や粘着剤を使用した方法や、鋲や磁石等によりシートを押さえるといった方法がとられてきた。しかし、粘着剤等を用いる場合、粘着剤等が壁面や掲示板等の各種物体（以降、仮接着先基材とする）に移行しシートを取り除いた後まで残存したり、逆にシートを取り除く際に基材表面やシートを汚損する等の問題があった。また、鋲や磁石を用いるものでは、仮接着先基材の材質が限られるという問題があった。また、シール紙などあらかじめ粘着剤を塗布されたシートを使用する場合には、仮接着先基材への貼りつけ前にシートが他の物体に貼りついてしまわないためと、粘着剤に塵等が付着して粘着性が劣化してしまわないためとを目的として、シール紙に離型紙等を貼りあわせておく必要がある場合もある。
【０００３】
一方、複数枚の電気絶縁性シートを貼りあわせる工程において、複数枚の電気絶縁性シート同士を帯電させ、この帯電による密着力（クーロン力）を利用する方法が知られている（例えば、非特許文献１  参照）。
【０００４】
非特許文献１によれば、図７に示すように、仮接着先基材Ｂである絶縁性基材５ｃの上部と下部とに、密着させたいシート５ｄ、５ｅをおき、この絶縁性基材５ｃおよび密着させたいシート５ｄ、５ｅを挟んでその上下に、反対極性の直流高電圧を印加された静電気帯電用電極５ａ、５ｂを向かい合わせて配置し、その上下の静電気帯電用電極の放電針により生成されたイオン３０１、３０２によって上下のシートを反対極性に帯電させることによって、上下のシート５ｄ、５ｅを絶縁性基材５ｃに密着させる構成が開示されている。
【０００５】
また、非特許文献１によれば、図８に示すように、銅板やローラなど導電性を有する物体（導電性物体Ｃである導電性基材５ｆ）を仮接着先基材Ｂとして、シート５ｇを密着させたい場合、接地した導電性物体Ｃ上のシート５ｇに対向して直流高電圧を印加された静電気帯電用電極５ａを配置し、その放電針により生成されたイオン３０２によってシートを帯電させることによって、シート５ｇを仮接着先基材Ｂに密着させる構成が開示されている。
【０００６】
非特許文献１に開示された方法によれば、粘着剤を使用しないため粘着剤の残存や、剥離時の仮接着先基材のキズ等を抑制することが可能である。
【０００７】
しかしながら、このような従来の帯電を利用した貼りあわせ方法において、以下のような問題があった。
（１）仮接着先基材が絶縁体の場合、シートを貼りあわせる際に、図７のように、シート５ｄ、５ｅと仮接着先基材Ｂとを挟んで静電気帯電用電極５ａ、５ｂを配置する必要がある。従って、既設の壁や掲示板等を仮接着先基材としてシートを仮接着するには適用が困難である。一方、仮接着先基材Ｂが導体Ｃであっても、図８のように、仮接着を行なう際に静電気帯電用電極５ａが必要となり、簡単な仮接着を行うには不向きである。
（２）仮接着先基材が絶縁体の場合で、仮接着先基材および／またはシートが厚い場合、上下の静電気帯電用電極の放電針により生成されたイオンによる帯電電荷は、（非特許文献１には明確に記載されていないが、仮接着先基材およびシートが絶縁性であることから、電荷はシートの厚み方向に移動することがないので）その仮接着先基材とシートのそれぞれの外面に固定される。そのため、外面近傍に他の導体や、帯電物体等が接近すると、それらとの間に新たに発生する電界によって密着力が低下する等の影響をうけやすい。仮接着先基材が導体の場合も、帯電電荷はシートの外面に存在し、同様の影響をうける。また、このとき、シートの外面（密着面と逆の面）には密着面（導体表面）との間に電位差ができ、外面近傍に（外面の帯電電荷に起因した）電界が発生する。この電界によって、空気中のイオンがシートの外面に引き寄せられ、帯電電荷を除電し、未着力が経時的に低下したり、塵等を引き寄せてシートの美観を損ねる等の問題がある。特に、仮接着先基材および／またはシートが厚い場合の貼りあわせには不向きである。
（３）仮接着先基材が凹凸などの複雑な形状を持つ場合、単純な構造の静電気帯電用電極では帯電させ難く、適用が困難である。
【０００８】
これらを理由として、非特許文献１に開示された静電気による電気絶縁性シートの貼りあわせ方法は、製紙工程等の工程中での基材とシートの貼りあわせ等の限定的な用途でのみ使用されていた。
【０００９】
また、非特許文献１に開示された方法で帯電したシートを基材から剥離しようとすると、シートが強く正または負の単極性に帯電していることによって、剥離放電が発生するなどの問題があった。このようなシートの強い帯電や剥離放電による帯電は、剥離されたシートが他の物体に貼りついたり、ホコリを引き寄せる等の２次的な問題を引き起こす原因となっていた。従って、非特許文献１に開示された方法で、第１の仮接着先基材上において一旦シートを帯電させた後、第１の仮接着先基材からシートを剥離し、第１の仮接着先基材とは別の第２の仮接着先基材に貼りあわせようとしても、シートの意図しない部位への貼りつきや、ホコリの付着による密着力低下などの問題によって、第２の仮接着先基材にシートを充分に密着させることは困難であった。すなわち、いったんどこかに貼ったものを別のものに貼り替えるのは実質的に難しいのである。
【００１０】
一方、シートの帯電装置としては、従来より、図９、図１０に示す構成による帯電装置２、３が知られている。
【００１１】
図９は、シートＳが空中に浮いた状態において、シートの片面（第１の面１００）側から、イオン生成電極２ａにより生成されたイオン３０１を照射する帯電装置２である。照射されたイオン３０１によって、シートの第１の面１００が電荷密度σ１［単位：Ｃ／ｍ２］に帯電する（第２の面２００にはイオンを照射していないため、第２の面２００の電荷密度σ２＝０とする）と、シート電位Ｖａ［単位：Ｖ］は、シートとアース（アースは離れた位置にあり、図示せず）との間の静電容量Ｃｇ［単位：Ｆ／ｍ２］により、Ｖａ＝σ１／Ｃｇとなる。シートとアースとの間の静電容量Ｃｇは、シートＳとアースとの距離が大きいほど小さくなるため、図９に示すようにシートＳが空中に浮いた状態にあるとき、Ｃｇの値は小さい。すなわち、シートＳの帯電量（電荷密度）σ１が僅かに大きくなると、シートＳの電位Ｖａが大幅に上昇する。アースとの距離に依存するが、シートＳが空中に浮いた状態におけるアースとの間の静電容量は１０〜１００ｐＦ程度である。すなわち、シートＳが空中に浮いた状態においてシートＳを帯電させようとした場合、シートＳがわずか１μＣ／ｍ２程度帯電するだけで、電位は１０ｋＶ〜１００ｋＶにもなることになる。このようにシートＳの電位が高くなると、イオン生成電極２ａ近傍で生成されたイオンはクーロン力による反発力をうけ、シートに到達できなくなる。すなわち、例え相当長い時間イオンを照射し続けたとしてさえ、図９の構成において、シートを１μＣ／ｍ２程度以上に帯電させる事は困難である。
【００１２】
一方、図１０に示す帯電装置３は、シートＳの第２の面２００が接地導体３ｃと接触している状態で、シートＳの第１の面１００の側からイオン３０１を照射するものである。この時、静電容量はシートの第１の面１００と、接地導体３ｃとの間の静電容量Ｃｓであって、シート厚みが薄いことから大きな値である。従って、第１の面１００の電荷密度σ１の増加に伴う、シートＳ電位の上昇は緩やかである。静電容量Ｃｓ［単位：Ｃ／ｍ２］は、シート厚みｄｓ［単位：ｍ］の平行平板の静電容量で近似でき、シートＳの比誘電率をεｓとすると、Ｃｓ＝ε０εｓ／ｄｓとなる（但し、ε０は真空の誘電率。８．８５４×１０−１２Ｆ／ｍ）。従って、図９に示す帯電装置２と異なり、多量のイオン３０１をシートＳの第１の面１００に照射することができる。
【００１３】
しかし、図１０に示す帯電装置３において、シートＳの第１の面１００の帯電量（電荷密度σ１）が約３０μＣ／ｍ２以上となると、シートＳを接地導体３ｃから剥離する際に、シートＳの電位が急激に上昇し、シートＳ（の第２の面２００）と接地導体３ｃとの間で剥離放電３ｄが生じる。これは、剥離時に、シートＳ（の第２の面２００）と接地導体Ｓとの間の電界強度が空気の絶縁破壊電界強度である３０ｋＶ／ｃｍを超えるためである。
【００１４】
放電による電荷の移動は、電気絶縁性シート上においては局所的であり、第２の面が局所的に、第１の面と逆極性に帯電するが、シートの面内方向のあらゆる位置においては、両面の帯電をバランスさせることはできない。
【００１５】
シートＳの第１の面１００の帯電量を３０μＣ／ｍ２以下にすれば、この剥離放電３ｄを抑えることは原理的に可能であるが、図９に示す帯電装置２と異なり、図１０に示す帯電装置３においては逆に静電容量が大きすぎるため、印加電圧やイオンの照射時間のわずかな変動によって、帯電量が大幅に変化することとなり、その制御は困難である。
【００１６】
また、例え、図１０の帯電装置において、印加電圧やイオンの照射時間等を調整して、シートＳの第１の面１００の帯電量を３０μＣ／ｍ２以下にし、接地導体３ｃからの剥離放電３ｄを抑えたとしても、このシートの取り扱いの際、例えば巻取等の際に放電が生じることが多い。これは、巻取時には、巻き取られたシートロール上で、シートの各層の帯電による電荷の重畳がおこり、シートロールの電位上昇が生じるためである。
【００１７】
一方、特許文献１に、図１１に示す、１枚のシートＳを挟んで２本の、逆極性の直流または交流電圧を印加された、イオン生成電極４ａ、４ｂを対向させた構成からなるシートの除電装置４が開示されている（図１１には、交流電圧を印加する例を示している）。
【００１８】
特許文献１では開示されていないが、本願発明者らの知見によれば、特許文献１に示される除電装置４をもちいれば、後述するように、条件次第では、１枚のシートの各面を、照射されたイオンの極性に帯電させながら、シートの面内方向位置が同じ部位におけるにおける両面の電荷密度の和（以降、見かけ上の電荷密度という）をほぼゼロとすることが可能である。すなわち、シートの両面の正負の帯電はバランスしており、シートの厚みに対して、接地点からのシートの距離が２，３倍以上と充分大きければ、シートは見かけ上、表裏とも帯電電荷がない場合と同様に見える。この状態を以降、見かけ上の無帯電という。
【００１９】
しかしながら、特許文献１に開示されているのはシートの除電装置４であって、この見かけ上無帯電のシートの製造を目的とした技術であり、このままでは仮接着先基材に貼りつけることはできない。従って、仮接着先基材への貼りつけを目的として、シートの帯電量を適正化することは、特許文献１において、なんら検討されていなかった。
【特許文献１】特開２００４−３９４２１号公報
【非特許文献１】シムコジャパン株式会社製  静電気帯電装置CHARGEMASTER(R)カタログ
【非特許文献２】季ら、フィルムの両面両極性帯電による静電気現象、電学論Ａ、１１２巻８号、電気学会、１９９２年８月、ｐｐ．７３５−７４０
【非特許文献３】静電気ハンドブック、静電気学会編、オーム社、１９９８年、ｐ．１１５５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
本発明の目的は、上述した従来の技術の上記問題点を解決し、粘着剤の残存や基材の汚損等がなく、幅広い材質および形状の基材に仮接着可能なシートとその仮接着方法を提供することにある。また、その仮接着可能なシートを製造するための帯電処理方法および製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するために本発明によれば、シートの面内方向の少なくとも一部において、第１の面の電荷密度と、第２の面の電荷密度とが、それぞれ、該シートの長手方向に、滑らかにかつ周期的に変化し、かつ、前記電荷密度の変化の振幅が、それぞれ、６μＣ／ｍ２以上１０００μＣ／ｍ２以下で、かつ、前記シートの面内方向の前記少なくとも一部における前記第１の面と前記第２の面との帯電極性が、互いに逆極性である帯電シートが提供される。
【００２２】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記第１の面の電荷密度と前記第２の面の電荷密度とが変化する周期が、それぞれ、１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であることを特徴とする、帯電シートが提供される。
【００２３】
また、本発明の好ましい形態によれば、シート上の各部において、面内方向の位置が同じ部位の前記第１の面の電荷密度と前記第２の面の電荷密度の和が、−２μＣ／ｍ２以上２μＣ／ｍ２以下であることを特徴とする、帯電シートが提供される。
【００２４】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記帯電シートは、複数のサブシートを貼りあわせたものであることを特徴とする帯電シートが提供される。
【００２５】
また、本発明の別の形態によれば、上記の帯電シートを含んで構成されたことを特徴とする、仮接着シートが提供される。
【００２６】
また、本発明の別の形態によれば、上記の帯電シートの第1の面を仮接着先基材と接触させ、この状態において、前記帯電シートの第2の面を除電することにより、前記帯電シートを前記仮接着先基材に仮接着することを特徴とする、シートの仮接着方法が提供される。
【００２７】
また、本発明の別の形態によれば、上記のサブシートを有する帯電シートの第1の面を仮接着先基材と接触させ、この状態において、前記複数のサブシートのうち、前記帯電シートの前記第2の面を含むサブシートを前記帯電シートの前記第1の面を含むサブシートから剥離することにより前記帯電シートのうち剥離されずに残ったサブシートを前記仮接着先基材に仮接着することを特徴とするシートの仮接着方法が提供される。
【００２８】
また、本発明の好ましい形態によれば、仮接着先基材として、表面または表面近傍が導電性を有しているものを用いることを特徴とするシートの仮接着方法が提供される。
【００２９】
また、本発明の別の形態によれば、電気絶縁性シートを移動させながら、該シートに、該シートの第１の面の側から、時間的に滑らかに極性が反転する単一極性の第１のイオン雲を照射し、同時に、前記シートの第２の面の側から、前記第１のイオン雲と実質的に逆極性の時間的に滑らかに極性が反転する単一極性の第２のイオン雲を照射する電気絶縁性シートの帯電処理方法であって、前記シートの移動方向の２／３以上の部分に対し、前記第１および前記第２のイオン雲毎に、前記各イオン雲中のイオンのうちの３／４を越える前記イオンの極性が同一の極性となるように、前記各イオン雲を照射する電気絶縁性シートの帯電処理方法が提供される。
【００３０】
また、本発明の別の形態によれば、電気絶縁性シートを、前記シートをその法線方向の両側から挟んで対向配置され、互いに逆極性となる交流電圧を印加された第１および第２のイオン生成電極を有する帯電ユニットの、前記第１のイオン生成電極と前記第２のイオン生成電極との間を移動させながら、前記帯電ユニットの前記第１および前記第２のイオン生成電極から生成される正負のイオンを前記シートの両面に照射する電気絶縁性シートの帯電処理方法であって、
前記シートの移動速度をｕ［ｍｍ／秒］、交流電圧の周波数をｆ[Ｈｚ]、前記帯電ユニットの、法線方向電極間距離をｄ［mm］、前記第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極との電位差の実効値をＶ [Ｖ] とするとき、
１８０×ｄ≦Ｖ≦１０６０×ｄ
０．０８５×ｄ２×ｆ≦Ｖ
ｕ＞ｄ×ｆ／２
の関係が成り立つように、前記第１および前記第２のイオン生成電極に前記交流電圧を印加する電気絶縁性シートの帯電処理方法が提供される。
【００３１】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記帯電ユニットを、前記シートの移動経路に対し、前記シートの移動方向に、一定の帯電ユニット中心間隔ｐ０で間隔をおいて複数配置し、ｆｐ０／ｍ−１００＜ｕ＜ｆｐ０／ｍ＋１００を満たす速度ｕで電気絶縁性シートを移動させることを特徴とする、電気絶縁性シートの帯電処理方法が提供される。
【００３２】
また、本発明の別の形態によれば、上記の電気絶縁性シートの帯電処理方法により電気絶縁性シートを帯電する帯電シートの製造方法が提供される。
【００３３】
また、本発明の別の形態によれば、上記シートの仮接着方法によりシートが仮接着先基材の表面に仮接着されたことを特徴とする仮接着済みシートつき基材が提供される。
【００３４】
本発明が適用されるシートの代表的なものは、プラスチックフィルム、布帛、紙等の電気絶縁性シートである。シートの形態には、通常、ロール状に巻かれた状態で取り扱われる長尺シートと、通常、多数枚積層された状態で取り扱われる枚葉シートがある。プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ナイロンフィルム、アラミドフィルム、ポリエチレンフィルム等がある。一般に、プラスチックフィルムは、他の材料からなるシートに比べ、電気絶縁性が高い。本発明により提供される帯電処理技術は、このような電気絶縁性の高いプラスチックフィルムの帯電に好適に用いられる。
【００３５】
本発明において、「シートの移動経路」とは、シートが帯電のために通過する空間をいう。
【００３６】
本発明において、「シートの法線方向」とは、移動経路を移動中のシートが重力等の外力の影響を受けなかったものとして幅方向のたるみがない平面とみなし、かつ、シートの移動に伴うシートの法線方向におけるシートの位置の変動がある場合には、時間的に平均した位置にシートがあるものとしたときの上記平面(以下、仮想平均面という)の法線方向をいう。
【００３７】
本発明において、第ｉ番目の帯電ユニットの「法線方向電極間距離ｄｉ」とは、シートの移動方向において最上流からｉ番目の帯電ユニットの第１のイオン生成電極１ｄ−ｉの先端と第２のイオン生成電極１ｆ−ｉの先端との間の電気絶縁性シートの法線方向における距離をいう。
【００３８】
本発明において、第ｉ番目の帯電ユニットの帯電ユニット中心位置ｔｉとはシートの移動方向において最上流からｉ番目の帯電ユニットの第１のイオン生成電極１ｄ−ｉの先端と第２のイオン生成電極１ｆ−ｉの先端とを結ぶ線分の中点１ｘ−ｉの、シートの移動方向における位置をいう。
【００３９】
本発明において、シートの移動方向の位置は、特に断らない限り、第１番目の帯電ユニット中心位置ｔ１を基準位置（ｔ１＝０）とし、シートの移動方向を正とする。
【００４０】
本発明において帯電ユニット中心間隔とはシートの移動方向において最上流から第ｋ番目と、第ｋ＋１番目の帯電ユニットの帯電ユニット中心位置の、シートの移動方向における間隔をいう。
【００４１】
本発明において、電気絶縁性シートの第１の面の「背面平衡電位」とは、第２の面に接地導体を密着させて、電荷を接地導体に誘導させ、これによって、第２の面の電位を実質的に０電位とした状態において、表面電位計の測定プローブを、第１の面との間隔が０．５以上２ｍｍ以下程度となるように、第１の面に十分近接させた状態で、測定される第１の面の電位をいう。表面電位計の測定プローブとしては、測定開口部直径が、２ｍｍ以下の微小なものが用いられる。このようなプローブとして、例えば、モンロー社製プローブ、１０１７（開口部直径：１．７５ｍｍ）や１０１７ＥＨ（開口部直径：０．５ｍｍ）がある。
【００４２】
本発明において、電気絶縁性シートの背面（第２の面）を接地導体に密着させるとは、絶縁シートと金属ロールの界面の間に明確な空気層がない状態にまで、両者をぴったりと接触させることをいう。この状態は、両者間に残存する空気層の厚さが、シートの厚さの２０％以下、かつ、１０μｍ以下となる状態である。
【００４３】
第１の面上の背面平衡電位の分布状態は、表面電位計のプローブ、または、背面（第２の面）に接地導体を密着させた状態のシートのいずれか一方を、ＸＹステージなどの位置調整可能な移動手段を用いて、低速（５ｍｍ／秒程度）で移動させながら、背面平衡電位を順次測定し、得られたデータを、１次元もしくは２次元的にマッピングすることによって得られる。第２の面の背面平衡電位も、同様にして、測定される。  
【００４４】
本発明において、フィルムの各部における、面内方向の位置が同じ部位の前記第１の面の電荷密度と前記第２の面の電荷密度の和、すなわち見かけ上の電荷密度が、−２μＣ／ｍ２以上＋２μＣ／ｍ２以下であるとは、１０ｃｍ×１０ｃｍのフィルムを切り出した際に、第１の面１００と第２の面２００の同じ位置の電荷密度の分布を、フィルムの移動方向に垂直な方向に２０箇所以上の位置において、フィルムの移動方向に連続して、測定し、フィルム上の対応する位置において和をとった値が、この範囲に含まれていることをいう。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、以下に説明するとおり、粘着剤の残存や基材の汚損等がなく、幅広い材質および形状の基材に仮接着することが可能となる。また、仮接着時に大がかりな接着装置が不要で、簡便に、シートのいずれの面についても仮接着を行える。また、長期にわたり、密着力が低下することなく仮接着が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
以下、図面を用いて、本発明の最良の実施形態の例を、電気絶縁性シートとしてプラスチックフィルム（以下、単に、フィルムという）を用いる場合を例にとって、説明する。但し、本発明は、これらの例に限られるものではない。
【００４７】
図１Ａは、本発明の帯電シートを製造するのに好適な電気絶縁性シートの帯電処理装置１の概略断面図である。
【００４８】
図１Ａにおいて、帯電処理装置１は、左側にガイドロール１ａを、右側にガイドロール１ｂを有する。ガイドロール１ａとガイドロール１ｂとに、走行するフィルムＳが掛け渡されている。ガイドロール１ａ、および、ガイドロール１ｂは、それぞれモータ−（図示せず）により、右廻りに回転される。フィルムＳは、ガイドロール１ａ、１ｂの回転により、矢印１ａｂの方向に、速度ｕ［単位：ｍｍ／秒］で連続的に移動する。ガイドロール１ａとガイドロール１ｂとの間には、２の帯電ユニットＣＵ１、ＣＵ２が、フィルムＳの移動方向（矢印１ａｂの方向）に、間隔をもって設けられている。図１Ｂは各帯電ユニットの構成を、図１Ｃは帯電ユニット相互の配置を示す図である。図１Ｂに示すように、各帯電ユニットにおいて、フィルムの第１の面１００側に、第１の面１００から間隔をおいて配置される第１のイオン生成電極１ｄ−１、１ｄ−２が第１の交流電源１ｃ−１、１ｃ−２に接続され、一方、フィルムの第２の面２００側に、第２の面２００から間隔をおいて配置される第２のイオン生成電極１ｆ−１、１ｆ−２が、第１の交流電源１ｃ−１、１ｃ−２と逆極性の第２の交流電源１ｅ−１、１ｅ−２に接続されている。
【００４９】
第１の帯電ユニットＣＵ１における法線方向電極間距離はｄ１［単位：ｍｍ］、第２の帯電ユニットＣＵ２における、法線方向電極間距離はｄ２［単位：ｍｍ］である。また図Ｃに示すように、第１の帯電ユニットと第２の帯電ユニットとは、帯電ユニット中心間隔ｐ［単位：ｍｍ］でフィルムの移動方向に並設されている。
【００５０】
まず、フィルム上のある部位が、第１のイオン生成電極１ｄ−１と、第２のイオン生成電極１ｆ−１との間を通過する時点について考える。この時、図２の様に、第１のイオン生成電極１ｄ−１に正の電圧が、第２のイオン生成電極１ｆ−１に負の電圧が印加されているとすると、フィルムＳの第１の面１００に正イオン３０１が、フィルムＳの第２の面２００に負イオン３０２が同時に強制的に照射され、付着する。
【００５１】
この、フィルムＳの両面へのイオンの強制照射は、ｉ番目の帯電ユニットＣＵｉ（本実施形態の例ではｉ＝１，２とする）の第１および第２のイオン生成電極１ｄ−ｉ、１ｆ−ｉへの印加電圧の電位差の実効値Ｖｉ［単位：Ｖ］、第１および第２のイオン生成電極１ｄ−ｉ、１ｆ−ｉの先端のシートの法線方向の距離ｄｉ［単位：ｍｍ］の関係が、およそ次式を満足する場合におこる。
【００５２】
１８０≦Ｖｉ／ｄｉ≦１０６０かつ
Ｖｉ／ｄｉ＞０．１７×ｄｉｘｆ
上式は、第１のイオン生成電極１ｄ−ｉと、第２のイオン生成電極１ｆ−ｉにおいて生成される正負イオン３０１、３０２の量が増加するイオン生成電極先端間の平均電界強度（Ｖｉ／ｄｉ）について示したものである。発明者らの検討により、１８０≦Ｖｉ／ｄｉを満たす条件下で第１のイオン生成電極１ｄ−ｉに第２のイオン生成電極１ｆ−ｉを対向させると、対向させた第２のイオン生成電極１ｆ−ｉに逆極性電圧が印加されているため、第１のイオン生成電極１ｄ−ｉ先端近傍の電界強度が強まり、第１のイオン生成電極１ｄ−ｉによる放電電流が増加することが確認されている（第１の交流電源１ｃ−ｉの出力電流の変化などにより確認できる）。すなわち、イオンを第１および第２のイオン生成電極１ｄ−ｉ、１ｆ−ｉ間に集中して照射することができることをあらわす。また、イオン生成電極先端間の平均電界強度の上限（Ｖｉ／ｄｉ≦１０６０）は火花放電移行の電圧により概ね決まるものである。
【００５３】
Ｖｉ／ｄｉ＞０．１７×ｄｉｘｆは、イオン生成電極先端間の平均電界強度（Ｖｉ／ｄｉ）と法線方向電極間距離ｄｉ、印加電圧の周波数ｆとの関係について示したものである。印加電圧周波数ｆまたは法線方向電極間距離ｄｉが増加すると、第１のイオン生成電極１ｄ−ｉと、第２のイオン生成電極１ｆ−ｉにおいて生成された正負イオン３０１、３０２とが、フィルム位置に到達するより早く、各イオン生成電極１ｄ−ｉ、１ｆ−ｉへの印加電圧の極性が反転してしまい、十分なイオンの照射（によるフィルムの帯電）を行うことができないからである。
【００５４】
このように、フィルムを挟んで両面から逆極性のイオンを照射した場合、イオンが照射されたフィルムの面内方向の各位置において、その第１の面１００の帯電量と、第２の面２００の帯電量とは極性が逆でその量はほぼ等しくなる。これは、次のはたらきによる。
【００５５】
仮に、第１のイオン生成電極１ｄ−１により生成される正イオン３０１と、第２のイオン生成電極１ｆ−１により生成される負イオン３０２との量に、イオン生成電極の個体差、イオン生成能力差などによるバラツキがある場合について考える。仮に、第２のイオン生成電極１ｆ−１により生成される負イオン３０２の量が、第１のイオン生成電極１ｄ−１により生成される正イオン３０１の量より多いとする。フィルムＳの第２の面２００に、負イオン３０２が多く照射され、フィルムＳに負イオン３０２が、一旦、過剰に付着すると、この過剰に付着した負イオン３０２によるクーロン力７００によって、第２の面２００への負イオン３０２の付着が抑制され、第１の面１００への正イオン３０１の付着が促進される。
【００５６】
これは、過剰な負イオン３０２の付着を解消する自動的な働きをもたらす。これにより、過剰な負イオン３０２の付着は、速やかに解消される。正イオン３０１が過剰に付着した場合も同様であり、フィルムＳの第１の面１００と第２の面２００との正負の電荷密度は、等量で逆極性となるのである。
【００５７】
従って、フィルムＳの面内方向の各位置において、見かけ上の電荷密度はゼロとなる。すなわち、フィルムは見かけ上の無帯電の状態である。本発明者らの知見によると、通常、第１のイオン生成電極１ｄ−１と、第２のイオン生成電極１ｆ−１とのイオン生成能力およびイオン照射能力の差が、５０％以上２００％以下であれば、フィルムＳは見かけ上の無帯電の状態に保たれる。
【００５８】
また、このように見かけ上の無帯電の状態であることによって、各面に多量の電荷を供給できる。これは、次の理由による。
【００５９】
見かけ上の無帯電のフィルムが空中に浮いた状態にある時、その接地したアースからの電位はほぼゼロである。これは、アースとの距離に対して、フィルムの厚みが充分小さいため、フィルムの第１の面１００の帯電と第２の面２００の帯電を区別することなく、その総和における接地点からの電位となるためである。なお、このようにして測定される電位を架空時電位と呼ぶ。
【００６０】
従って、見かけ上の無帯電の状態が保たれていれば、フィルムの架空時電位はゼロで保たれるのである。
【００６１】
従って、従来技術において、図９に示したフィルムの第１の面１００のみを帯電させる帯電装置２の場合と異なり、正負のイオン３０１、３０２をフィルムの第１の面と第２の面１００、２００に供給し続けることができ、フィルムの各面を数μＣ／ｍ２以上の、所望の帯電レベルにまで帯電させることが可能となる。
【００６２】
また、従来技術において、図１０に示したフィルムの第１の面１００のみを帯電させる帯電装置３の場合と異なり、各面の電荷密度が３０μＣ／ｍ２以上となっても、接地導電性部材との接触および剥離、フィルムのフィルムロール体への巻取等の際に放電が生じる事がない。これは、以下の働きによる。
【００６３】
仮に、図１の帯電装置１によって帯電処理されたフィルムＳの第１の面１００を接地導電性部材と密着させておいたとする。この時、フィルムＳの第１の面１００の電荷は接地導電性部材の表面に誘導される逆極性電荷によってキャンセルされ、フィルムの第１の面（接触面）における電位はゼロとなる。従って、この状態でフィルムの第２の面側から測定した電位Ｖｆ２［単位：Ｖ］は、第２の面の電荷密度をσ２［単位：Ｃ／ｍ２］、フィルムの接地面に対する静電容量をＣｆ［単位：Ｆ／ｍ２］とすると、Ｖｆ２＝σ２／Ｃｆとなり、ゼロとはならない。ここで、Ｃｆは、フィルムの厚みｄｆ［単位：ｍ］、比誘電率εｆ、真空の誘電率ε０＝８．８５４×１０−１２Ｆ／ｍにより、Ｃｆ＝ε０εｆ／ｄｆで近似できる。なお、このように接地導電性部材上で測定した電位Ｖｆ２を、フィルムの第２の面の背面平衡電位と呼ぶ。
【００６４】
このフィルムを接地導電性部材から剥離すると、すぐに、第１の面の電荷の影響が表れる。フィルムと、接地導電性部材との距離が、フィルム厚みのわずか２，３倍程度になると、第１の面１００の電荷と第２の面２００の電荷とのバランスによりフィルムの電位はほぼゼロになる。すなわち、図１に示す本発明の帯電処理方法によりフィルムを帯電させた場合、フィルムの電位が非ゼロとなるのは、接地導電性部材上とそのごく周辺のみであって、フィルムと接地導電性部材との間の電界強度が、放電に至る強い電界強度となる前に、フィルムの電位が低下してしまうため、放電が生じないのである。
【００６５】
そこで、図１の帯電処理装置１によって作られる、見かけ上無帯電であって、かつ両面が逆極性であるフィルムを仮接着用フィルムとして使用する際には、以下のように使用する。以下、第１の面１００を仮接着先基材Ｂへの密着面、第２の面２００をその逆面として説明する。ここでは、仮接着先基材Ｂを接地された導体Ｃとして説明する。
【００６６】
まず、仮接着先基材Ｂの仮接着を行いたい部分に、フィルムＳの第１の面１００を接触させる。この時点での帯電の状態を図３に示す。図３に示すように、フィルムＳの第１の面１００の電荷１０１、１０２は、第２の面２００の電荷２０１、２０２との間で電気力線５００がほとんど終端されており、仮接着先基材Ｂに対して、ほとんど密着力が働いていない状態である。
【００６７】
次に、フィルムの第１の面を仮接着先基材Ｂに接触させたまま、第２の面２００を除電する。第２の面２００の除電の方法は、除電器によりイオンを照射する、微量のアルコールで拭く、少量の水でぬらす等の方法で行える。特に、少量の水やアルコール等の極性溶媒で拭くのが最も簡便である。この除電が完了すると、すなわち、除電器からのイオンが照射されたり、水やアルコールが乾燥した後、フィルムＳの帯電状態は図４に示すようになる。すなわち、図３に示したフィルムＳの第２の面２００の電荷２０１、２０２が全てまたは部分的に除電されると、図４に示すようにフィルムＳの第１の面１００の電荷１０１、１０２が過剰となる。過剰となった第１の面１００の電荷１０１、１０２に対し、仮接着先基材Ｂである導体Ｃの表面に誘導電荷４０２、４０１が現れ、第１の面１００の電荷１０１、１０２との間で電気力線が終端し（図４では、第１の面１００の電荷１０１、１０２と誘導電荷４０２、４０１がごく近接しているため、図示していない）密着力（クーロン力）が働き、フィルムＳが仮接着先基材Ｂに固定される。
【００６８】
ここで、第２の面２００の電荷２０１、２０２の除電の際は、いずれの方法においても、フィルムＳの第１の面１００を仮接着先基材Ｂと接触させた状態で行うことが重要である。これは、フィルムＳの第１の面１００が仮接着先基材Ｂから離れている場合、第１の面１００の電荷と第２の面２００の電荷をあわせた電荷（見かけ上の帯電の電荷）に対して、除電作用が働く（すなわち、見かけ上の電荷密度がゼロであるフィルムに対しては、除電作用が働かない）ためである。
【００６９】
ただし、第２の面２００の電荷２０１、２０２の除電は、完全に行う必要はない。第２の面２００の電荷２０１、２０２の除電によって過剰となる分の第１の面１００の電荷１０２、１０１が、フィルムＳと仮接着先基材Ｂの密着に十分であればよいからである。
【００７０】
また、図４では、仮接着先基材Ｂが接地された導体Ｃの場合を例としてあげたが、仮接着先基材Ｂが半導電体や、誘電体で被覆された導体Ｃ、非接地の導体Ｃなどであっても、フィルムとの密着面（仮接着先基材Ｂの表面）に誘導または分極電荷があらわれるものであれば、フィルムの第１の面１００の電荷と、仮接着先基材Ｂの表面の誘導または分極電荷との間で密着力が働くことになる。また、複数のサブシートを貼り合わせて形成される帯電シート（フィルム）を使用する場合、導体や絶縁体の仮接着先基材に、外側の一つのサブシート（第１のサブシートとする）を密着させた状態で、反対の外側のサブシート（第２のサブシート）を分離することによっても、帯電シート（フィルム）の片面の帯電を除電することができる。これによっても、過剰となった第１のサブシート外面（密着面）の電荷と、仮接着先基材の誘導または分極電荷との間に密着力を働かせることが可能である。この場合、第２のサブシートを第１のサブシートから剥離する際には、第１のサブシート（帯電シートの第１の面）を仮接着先基材に接触させていなくても、第２のサブシートの帯電（帯電シートの第２の面の帯電）を除電することは可能であるが、この場合、第１のサブシート（帯電シートの第１の面）の帯電と、第２のサブシート（帯電シートの第２の面）の帯電とにより剥離部に発生する電界が大きくなり、放電が生じることが多く、好ましくない。従って、第２のサブシートを分離することによって、帯電シートの片面の除電を行う場合にも、第１のサブシート（帯電シートの第１の面）を仮接着先基材に接触させた状態で行うことが好ましい。
このように、図１の帯電装置によって作られる、見かけ上無帯電であって、かつ両面が逆極性であるフィルムは仮接着用フィルムとして以下の優れた特性を有する。
【００７１】
見かけ上無帯電のフィルムは空中におかれた状態では両面の電荷の間で電気力線が終端している、すなわち、両面の電荷による電界がフィルム内部（厚み方向）で閉じているため、外部の物体に密着力をはたらかせにくい。このため、仮接着を行う前に、他の物体と接触することはなく、離型シートなどにより粘着剤層を保護する必要がない。
【００７２】
このようなフィルムは仮接着を行なうに際して、その位置決めの時点においては、図３に示すように、シートの第１の面１００と第２の面２００の電荷１０１、１０２、２０１、２０２による電界がまだほとんどフィルム内部で閉じている（電気力線５００がフィルムの内部に集中して存在する）ため、仮接着先基材に対して不要な密着力が働かない。従って、仮接着先基材上での位置決めも容易である。また、フィルムの位置決めを行った後、水やアルコールで拭くことにより、密着面の電荷を発現させられることから、仮接着先基材の形状を特に問わない。また、あらかじめ帯電しているフィルムを使用するため、貼りつけ工程において、（仮接着先基材とフィルムを挟み込んで帯電させる等の）大がかりな設備を必要としない。
【００７３】
また、フィルムと、仮接着先基材の両方との、密着面における電荷間でクーロン力（密着力）が働くため、図７に示す従来技術の帯電方法による帯電と異なり、外乱の影響をうけがたい。すなわち、図７の様に、基材とフィルムを挟み込んで帯電させる方式においては、基材とフィルムの厚みが大きくなると外部の導体や、帯電体などの影響をうけやすく、密着力が低下する場合があるのに対し、本発明によるフィルムを仮接着フィルムとして使用する場合、外部の導体や、帯電体などの影響をうけにくく、幅広い範囲における厚みの基材およびフィルムへの適用が可能である。
【００７４】
また、第２の面２００の電荷を完全に除去した場合、フィルムの（第２の面の）背面平衡電位Ｖｆ２は、理想状態においては原理的にゼロである。従って、貼り合わせ後のフィルムＳは空気中のイオンや塵等を引き寄せず、美観を損ねない（図８に示す、従来技術に開示された方法では、貼り合わせ後のフィルムＳの背面平衡電位が原理的にゼロとならず、空気中の塵等を引き寄せるが、本発明によるフィルムＳでは第２の面２００の電荷２０１、２０２を完全に除去した場合はこのようなことはない）。
【００７５】
一方、第２の面２００の電荷２０１、２０２を完全に除去しない場合、フィルムＳの（第２の面２００の）背面平衡電位Ｖｆ２は非ゼロである。従って、空気中のイオン等を引き寄せ経時的に背面平衡電位Ｖｆ２が低下する、すなわち、第２の面２００の電荷２０１、２０２が除電されることがある。しかし、第２の面２００の電荷２０１、２０２の除電は、第１の面１００におけるアンバランス分の電荷をより過剰にする働きを生じさせる。すなわち、経時的に密着力が上昇する（図８に示す、従来技術に開示された方法では、空気中のイオンに曝される面の電荷によって貼り付けを行っているため、この面の電荷が経時的に除電されると、密着力が低下するが、本発明によるフィルムＳではこのようなことはない）。
【００７６】
上記では、フィルムＳの第１の面１００を仮接着先基材Ｂに密着させて仮接着を行う場合について述べたが、第２の面２００を、同様の方法で仮接着に使用しても、通常、問題がない。すなわち、一つのフィルムＳの面を選ぶことなく、仮接着に使用できる。
【００７７】
このような仮接着を行なうフィルムの帯電状態としては、接着力の観点からは、各面がそれぞれ、正または負の単極性（ずつ）に帯電していてもよいが、各面がそれぞれ、図５に示すように、周期的に滑らかに極性を変化させながら帯電している方が、仮接着後に、剥離した場合の取り扱いの容易さや、フィルムをフィルムロール体として取り扱う際のハンドリング性等の観点からより好ましい。図５はフィルムの各面の帯電状態を表す模式図であり、その各面の背面平衡電位の分布は図６に示されるようになる。
【００７８】
まず、フィルムを仮接着した後、剥離した場合の、フィルムに残る残留電荷の影響について考える。仮接着時に第２の面２００の電荷２０１、２０２を除去しているため、仮接着後にフィルムＳを剥離すると、除去された電荷とバランスしていた電荷の分だけ、第１の面１００の電荷が過剰となっている。各面がそれぞれ、正または負の単極性に帯電している場合には、剥離後のフィルムＳの電位が過剰となった電荷の極性に大きく上昇し、放電が生じたり、フィルムＳが他の物体に貼りついたりする原因となり好ましくない。フィルムＳの各面がそれぞれ、周期的に滑らかに極性を変化させながら帯電している場合、フィルムＳの電位は（遠くから見て）低く、放電が生じたり、フィルムＳが他の物体に貼りついたりすることが少なく好ましい。
【００７９】
また、このフィルムＳをフィルムロール体として供給する場合、フィルムＳの各面がそれぞれ、正または負の単極性に帯電している場合には、フィルムロール表面の電位が高くなる問題や、それに伴う繰り出し時の剥離放電などの問題がある。これは、各面がそれぞれ、正または負の単極性に帯電しているフィルムＳをフィルムロール体に巻き上げた場合に、非特許文献２に示される、ギャップの大きな電気二重層が生じるためである。
【００８０】
フィルムロール体における電気二重層とは、図１２に示されるように、あたかも、第１層目のシートＳ１の第２の面（内面）２００の正の静電荷２０１と、最表層のシートＳｆの第１の面（外面）１００の負の静電荷１０２とのみがあるように見える状態となることをさす。これは、第１層目のシートＳ１の第１の面（外面）１００の負の静電荷１０２と第２層目のシートＳ２の第２の面（内面）２００の正の静電荷２０１とがバランスし、以下第ｊ層（ｊは、正の整数）目のシートＳｊの第１の面（外面）１００の負の静電荷１０２と第ｊ＋１層目のシートＳｊ＋１の第２の面（内面）２００の正の静電荷２０１とがバランスし、電荷が存在しないように見えるために起こる。この状態においては、見かけ上のギャップの大きな電気二重層がフィルムロール体に形成され、フィルムロール体表面の電位が大きくなり、放電などの問題を起こしやすくなる。従って、この状態は、好ましくない。
一方、フィルムの各面がそれぞれ、図５に示すように、周期的に滑らかに極性を変化させながら帯電しているフィルムをフィルムロール体に巻き上げた場合には、図１３に示されるように、フィルムロール体のある部分で、第ｊ層目のシートＳｊの第１の面（外面）１００の負の静電荷１０２と、第ｊ＋１層目のシートＳｊ＋１の第２の面（内面）２００の正の静電荷２０１とがバランスし、見かけ上の電荷が存在しないようになる部分があったとしても、第ｍ層目のシートＳｍの第１の面（外面）１００の負の静電荷１０２と、第ｍ＋１層目のシートＳｍ＋１の第２の面（内面）２００の負の静電荷２０２とが同極性となる部分が出来る状況が必ず発生する。なお、ｍはｊと異なる正の整数とする。そのため、フィルムロール体の内層部にも、正負の電荷が確実に適宜均等に存在し、これらの間で電気力線が閉じ、最外層のシートの電荷もその内側の層のシートの電荷との間で、また、第１層目のシートの電荷もその外側の層のシートの電荷との間で、電気力線が閉じる領域が多くなる。この結果、フィルムＳをロール体として巻き上げても、ギャップの大きな電気二重層は生ぜず、ロール体の電位が過大となることはないのである。
【００８１】
フィルムの各面の帯電の極性が変化する周期は大きすぎると、フィルムの各面がそれぞれ正または負の単極性に帯電している場合と同様、仮接着後の剥離時の放電の問題や、仮接着後の剥離時にフィルムが他の物体に貼りつく等の問題が生じやすくなる。一方で、この周期が短すぎる場合や、フィルムの各面の帯電の極性が滑らかにでなく、急激に変化していると、フィルムの剥離時に、フィルムの沿面方向（の正と負の帯電）の間で放電が生じるおそれがある。そのため、フィルムの各面の帯電（電荷密度）の変化する周期が、１０〜１００ｍｍ程度であることが好ましい。滑らかな帯電極性の変化の例としては、フィルムの各面の電荷密度が正弦波状に変化したり、三角波、台形波状に変化する場合等があげられる。
【００８２】
このように、図１の帯電装置１によって作られる、見かけ上無帯電であって、かつ両面が逆極性であるフィルムを仮接着用フィルムとして使用する場合の、好ましい帯電量は以下の様に求められる。
（１）フィルムを導体である仮接着先基材に密着させる場合
フィルムを図４のように、導体Ｃである仮接着先基材Ｂに密着させる場合、その第１の面１００の電荷１０１、１０２と、仮接着先基材Ｂ表面の誘導電荷４０２，４０１との間の距離はフィルムの厚みに比べて無視できるほど小さい。従って、フィルムと仮接着先基材Ｂとの間の密着力は、第１の面１００の電荷密度σ１［単位：Ｃ／ｍ２］により、ｆ＝σ１２／２ε０［単位：Ｎ／ｍ２］により求められる。一方、フィルムの密度は、フィルムの種類により異なるが、約１ｇ／ｃｍ３程度である。例えば、厚さ１００μｍのフィルムにおいては、重力により約０．０１ｇｆ／ｃｍ２の力がかかる。静電気力によりフィルムＳを仮接着先基材Ｂに密着させるのに、重力相当分の力が必要とすると、σ＝４．１μＣ／ｍ２の帯電によりこれを実現できる。
【００８３】
フィルムＳの各面の帯電が滑らかに極性変化する場合、各面の電荷密度の二乗平均が４．１μＣ／ｍ２であればよく、振幅約６μＣ／ｍ２の正弦波状の帯電でこれを実現できる。
（２）フィルムを内部に導電層を有する誘電体である仮接着先基材と密着させる場合
フィルムＳを内部に導電層Ｄを有する誘電体である仮接着基材Ｂに密着させる場合、その第１の面１００の電荷１０１、１０２と、導電層Ｄ表面の誘導電荷４０２、４０１間の距離はこの間の誘電体層の厚さｄＣ［単位：ｍ］である。フィルムＳと仮接着先基材Ｂとの間の密着力は、第２の面２００の電荷２０１、２０２の外部電界の影響をうけるため、一概に求めるのは難しい。そこで、一般的に、最も密着力が小さくなる条件として、図１４のように、第２の面２００が接地された（導体Ｃと接触している）状態における密着力を求めることとする。
【００８４】
第１の面１００の電荷密度をσ１［単位：Ｃ／ｍ２］、フィルム厚さをｄｆ［ｍ］、フィルムの比誘電率をεｆ、仮接着基材Ｂの誘電体層の比誘電率をεｃとすると密着力は、ｆ＝σ１２／｛２ε０（εｃ＋εｆｄＣ／ｄｆ）２｝［単位：Ｎ／ｍ２］により求められる。すなわち、導体Ｃに直接密着させる場合の１／（εｃ＋εｆｄｃ／ｄｆ）２倍である。ｄｆ≫ｄＣの場合、すなわち、誘電体層の厚みｄＣがフィルム厚みｄｆより小さい場合、密着力は、導体に直接密着させる場合の約１／εｃ２である。誘電体材質に依存するが、比誘電率εｃが数〜数十程度であれば、電荷密度を数倍〜数十倍にすることで、十分な密着力を確保できる。
【００８５】
一方、ｄｆ≪ｄＣの場合、誘電体層の比誘電率εｃが、フィルムの比誘電率εｆと同程度（以下）であれば、密着力は、（ｄｆ／εｆｄＣ）２倍程度になる。
仮に、誘電体層の厚みｄＣがフィルム厚みｄｆの１０倍とし（フィルム厚み１００μｍに対して、誘電体層の厚み１ｍｍ）、フィルムの比誘電率εｆを３とすると、電荷密度が、振幅２００μＣ／ｍ２で正弦波状に変化している場合、密着力ｆが０．０１３ｇｆ／ｃｍ２となる。
【００８６】
このように、各面の電荷密度が振幅数〜数１００μＣ／ｍ２で周期的に滑らかに極性が変化し、見かけ上の電荷密度がほぼゼロのフィルムを製造する場合には、フィルムＳを速度ｕ［ｍｍ／分］で移動させながら、図１に示すように各帯電ユニットのイオン生成電極１ｄ−１、１ｆ−１、１ｄ−２、１ｆ−２に交流電圧を印加するとよいが、この時、速度ｕを適切に定める必要がある。これは、イオンが、帯電ユニット中心位置（１ｘ−１、１ｘ−２で表されるシート移動方向の位置）のみに集中して照射されるのでなく、シートの移動方向にある程度の広がりを持って照射されるためである。すなわち、速度ｕが低い場合には、フィルム上のある位置に対し、帯電ユニット中心位置を通る時点で照射されるイオンと、帯電ユニット中心位置を通る前（後）の時点で照射されるイオンとの極性が逆になってしまい、フィルムを十分に帯電させられない（逆極性のイオンが照射されると、その分が相殺されてしまう）ためである。
【００８７】
一般に、イオン生成電極と、接地金属とを対向させてイオンを照射した場合、イオンは、接地金属の法線方向からおよそ−６０°＜θ＜＋６０°の範囲に、およそｃｏｓ５θの濃度分布をもち照射されることが知られている（例えば、非特許文献３、参照。）。本発明のように、逆極性電圧を印加されたイオン生成電極同士を対向させる場合と、イオン生成電極と接地金属とを対向させる場合との電界は、影像法により、イオン生成電極側において等価である。従って、イオン生成電極同士を対向した場合にも、イオンは、およそ−６０°＜θ＜＋６０°の範囲に、およそｃｏｓ５θの濃度分布をもち照射されると考えて差し支えない。
【００８８】
イオンが、ｃｏｓ５θ（ただし、フィルムが法線方向電極間距離の半分の位置を通ると考え、帯電ユニット中心位置からの移動方向距離をｘ［単位：ｍｍ］とし、θ＝ａｒｃｔａｎ（２ｘ／ｄ）とする）の濃度分布をもち照射されると仮定した場合の、照射されるイオンの極性の集中度をｃｏｓ５θと、ｓｉｎ（２πｆｘ／ｕ）との畳み込み積分により求めると、この値は、シートの移動方向距離ｘに関し、周期ｕ／ｆ［単位：ｍｍ］で正弦波状に変化する。そこで、この畳み込み積分の最大値（正弦波状の変動の振幅）をｕについて調べると、ｕ＝ｄｆ／２で２／３となる。これはすなわち、正イオンの照射量１に対し、負イオンが１／３照射され、その分正イオンによる帯電が相殺されたことを意味する。この時、全照射イオン量は１＋１／３であり、全照射イオン量の半分のイオンがフィルムの帯電に寄与したことを意味する。
【００８９】
すなわち、ｕ≦ｄｆ／２となる、遅い速度でフィルムを移動させると、フィルム上で第１の面に最も多く正イオンが照射される位置においても、その前後の時刻において生成された負イオンの照射の影響を大きくうけ、フィルムの第１の面の当該位置を正に充分帯電させることができない。フィルム上の各位置に照射されるイオンの半数より多くを帯電に寄与させるために、ｕ＞ｄｆ／２となる速度ｕで使用することが重要である。
【００９０】
このように、１つの帯電ユニットを使用してフィルムを周期的に滑らかに極性が変化するように強く帯電させるためには、使用できるフィルム速度に下限がある。一方、フィルム移動速度ｕを早くすると、１つの帯電ユニットから、フィルムの単位面積あたりに照射されるイオンの量は、およそ１／ｕに比例して少なくなる。適当な速度において、フィルムの各面を充分な帯電レベル（例えば電荷密度が数１０〜数１００μＣ／ｍ２）に帯電させるには、複数の帯電ユニットを使用し、フィルム上の各位置において、各帯電ユニットからフィルムの第１の面に照射されるイオンの極性が同極性となるように帯電ユニットを配置すればよい。なお、この場合も、全ての帯電ユニットにおいて、各帯電ユニットの放線方向電極間距離ｄｉ（但し、ｉはシートの移動方向上流からｉ番目の帯電ユニットにおける値をあらわす）に対してｕ＞ｄｉｆ／２を満たす速度で使用する事が好ましい。
【００９１】
例えば、図１に示すように、二つの帯電ユニットを有する装置において、帯電処理を行う場合、第１の帯電ユニットＣＵ１において、第１の面１００に正のイオン３０１を照射されたフィルム上の位置に、第２の帯電ユニットＣＵ２においても、第１の面１００に正のイオン３０１を照射すればよい。帯電ユニット中心間隔がｐ［単位：ｍｍ］であるため、第１の帯電ユニットＣＵ１の第１のイオン生成電極１ｄ−１と、第２の帯電ユニットＣＵ２の第１のイオン生成電極１ｄ−２に同位相の交流電圧が印加されている場合、ｍｕｍ＝ｐｆ（但し、ｍは自然数、ｆは交流電圧の周波数［単位：Ｈｚ］）となる速度ｕｍ［単位：ｍｍ／秒］でフィルムを移動させればこれを実現できる。フィルムの移動速度がｕｍに対して±１００ｍｍ／秒程度ずれても、第１の帯電ユニットＣＵ１において、第１の面１００に正のイオン３０１を照射されたフィルム上の位置の大部分には、第２の帯電ユニットＣＵ２においても、第１の面１００に正のイオン３０１を照射されるので問題ない。
【００９２】
第１の帯電ユニットＣＵ１において、第１の面１００に正のイオン３０１を照射されたフィルム上のほとんどの位置に、第２の帯電ユニットＣＵ２において、第１の面１００に負のイオン３０２が照射されると、フィルムの各面を十分帯電させられなくなるため好ましくない。フィルムの移動方向の２／３以上の部分において、照射されるイオンの３／４より多くが同極性となる（逆極性イオンが１／４以下。すなわち、同極性イオンの照射量から逆極性イオンの照射量を差し引いても、全照射イオンの１／２より多くが帯電に寄与する）状態が好ましい。
【００９３】
３以上の帯電ユニットＣＵ１〜ＣＵｎ（但し、ｎは帯電ユニット全体の数とする）を使用する場合も、帯電ユニット中心間隔が全て一定値ｐ０［ｍｍ］で、各帯電ユニットの第１のイオン生成電極１ｄ−１〜１ｄ−ｎに、印加される電圧が実質的に同位相（各帯電ユニットの第２のイオン生成電極１ｆ−１〜１ｆ−ｎ同士に印加される電圧も実質的に同位相）の場合、各帯電ユニットから照射されるイオンの極性の一致度を示す下記のＸの値が、０．５より大きくなる移動速度ｕ［ｍｍ／秒］で前記シートを移動させれば、フィルムが正または負に最も強く帯電する位置において、照射されたイオンのうち半数以上のイオンが帯電に寄与している状態となり、好ましい。
Ｘ＝｜ｓｉｎ（ｎπｆｐ０／ｕ）／｛ｎ×ｓｉｎ（πｆｐ０／ｕ）｝｜
（ｍｕ≠ｆｐ０  但しｍは自然数）
＝１  （ｍｕ＝ｆｐ０）
また、３以上の帯電ユニットを使用する場合で、各帯電ユニット中心間隔が一定値でない場合や、２以上の帯電ユニットを使用し、各帯電ユニットのイオン生成電極への印加電圧の位相が異なる場合は、以下の式により各帯電ユニットから照射されるイオンの極性の一致度を示すＸの値を求め、その値が、０．５より大きくなる移動速度ｕ［ｍｍ／秒］で前記シートを移動させれば、フィルムが正または負に最も強く帯電する位置において、照射されたイオンのうち半数を超える量のイオンが帯電に寄与している状態となり、好ましい。
【００９４】
【数１】
2006206741.tif 000003
【００９５】
（ただし、シートの移動方向最上流から第ｉ番目（但しｉは１からｎまでの整数とする）の帯電ユニットの帯電ユニット中心位置をｔｉ［ｍｍ］（ただし、第１番目の帯電ユニットの帯電ユニット中心位置ｔ１をｔ１＝０とし、シートの移動方向を正とする）、第１のイオン生成電極への印加電圧の、第１番目の帯電ユニットの第１のイオン生成電極への印加電圧に対する位相をαｉ［ｒａｄ］とし、yｉ＝２πｆ・ｔｉ／ｕ−αｉとする）
特に、これらのＸの２つの式においてＸ＞０．７５となる速度ｕにおいて帯電処理を行った場合、全照射イオンの７５％より多くのイオンが帯電に寄与することとなり、特に好ましい。
【実施例】
【００９６】
以上の帯電処理装置を用いて、フィルムの帯電を行った結果を説明する。実施例および比較例における帯電の効果は、次の方法により評価された。
【００９７】
フィルムの被評価面とは逆の面を、直径１０ｃｍのハードクロムメッキロールからなる金属ロールに密着させ、電位を測定した。電位計として、モンロー社製モデル２４４を、そのセンサとして、開口部直径１．７５ｍｍを有するモンロー社製プローブ１０１７を用いた。電位計をフィルム上２ｍｍの位置に置いた。この位置での視野は、モンロー社カタログより、直径約６ｍｍの範囲である。金属ロールをリニアモータを使用し、約１ｍ／分の低速で回転させながら、電位計で背面平衡電位Ｖｆ［単位：Ｖ］を測定した。
【００９８】
この背面平衡電位Ｖｆ［単位：Ｖ］により、関係式σ＝Ｃ×Ｖｆ（ただし、Ｃは、単位面積当たりの静電容量［単位：Ｆ／ｍ２］）を用いて、フィルム被評価面の電荷密度σを算出した。フィルム厚さが、測定視野より十分小さいことから、単位面積当たりの静電容量Ｃは、平行平板の静電容量Ｃ＝ε０×εｒ／ｄｆ（ただし、ｄｆは、フィルムの厚さ、ε０は真空中の誘電率８．８５４×１０−１２Ｆ／ｍ、εｒはフィルムの比誘電率）で近似した。ポリエチレンテレフタレートの比誘電率εｒは、３とした。
【００９９】
また、面内方向の位置が同じ部位の前記第１の面の電荷密度と前記第２の面の電荷密度の和については、フィルムを１０ｃｍ×１０ｃｍに切り出し、第１の面１００と第２の面２００の同じ位置の電荷密度の分布を、フィルムの移動方向に垂直な方向に２０箇所以上の位置において、フィルムの移動方向に連続して、測定したものを用い、各位置における和を求めた。
［実施例１］
図１に示される帯電処理装置において、電気絶縁性シートＳとして、幅３００ｍｍ、厚さ７５μｍの２軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製ルミラー７５Ｔ１０）を用い、速度９０ｍ／分でフィルムＳを移動させた。フィルムＳは、帯電処理前に、各面がほぼ無帯電であることを確認した。
【０１００】
全ての帯電ユニットにおいて、図１５に示される、針電極列を備えた帯電電極７を使用し、針電極列７ａを第１および第２のイオン生成電極１ｄ−１、１ｄ−２、１ｆ−１、１ｆ−２として使用した。この針の幅方向の間隔ｚは、１２．７ｍｍであった。帯電電極７を、フィルムＳの移動方向に対して直交するように、かつ、フィルムＳの面と平行になるように、フィルムＳを挟んで、上下に設置し、帯電ユニットとした。フィルムＳの上下の帯電電極において、針の先端の、シート移動方向および幅方向位置はそれぞれ同じとした。帯電ユニットの総数ｎは、２とした。
【０１０１】
各針電極列７ａの針の先端、すなわち各帯電ユニットＣＵ１、ＣＵ２の各イオン生成電極生成電極１ｄ−１、１ｄ−２、１ｆ−１、１ｆ−２の先端は、幅方向に直線状に並び、法線方向およびフィルムの移動方向に対する電極のたわみは、無視出来るほど小さかった。また、上述の通り、フィルムＳの移動方向に直交するように、除電ユニットＣＵ１、ＣＵ２を並べたので、次のｄ１、ｄ２、ｐ１、θ１、θ２の値に、あきらかな幅方向の分布はないものと判断した。これらの値は、帯電電極７、ならびに、帯電ユニットＣＵ１、ＣＵ２の幅方向端部において測定した値である。
【０１０２】
各帯電ユニットＣＵ１、ＣＵ２において、法線方向電極間距離ｄ１、ｄ２は、ともに２５ｍｍとし、開口角θ１、θ２は、ともにπ／２ｒａｄであった。
【０１０３】
帯電ユニット中心間隔ｐ１は、２５ｍｍで、二つの帯電ユニットＣＵ１、ＣＵ２における針先端の幅方向位置は、同じとした。二つの帯電ユニットＣＵ１、ＣＵ２の第１のイオン生成電極１ｄ−１と１ｄ−２は同相、（第２のイオン生成電極１ｆ−１と１ｆ−２も同相）とし、第１のイオン生成電極１ｄ−１と１ｄ−２に接続する電源１ｃ（共用とする）と、第２のイオン生成電極１ｆ―１と１ｆ−２に接続する電源１ｅ（共用とする）には、実効電圧４ｋＶ、周波数６０Ｈｚの交流電源を用い、互いに位相が逆になるよう、電源内部の昇圧トランスの入力を切り替えた。シールド電極１ｇ−１、１ｇ−２、１ｈ−１、１ｈ−２は、全て接地した。フィルムＳは、各帯電ユニットＣＵ１、ＣＵ２における第１および第２のイオン生成電極間の略中央を通るようにした。
【０１０４】
帯電処理されたフィルムＳの帯電分布について、上記測定方法に基づいて第１の面と第２の面の電荷密度を調べた。第１の面と第２の面の電荷密度は、それぞれ、振幅が６０±５μＣ／ｍ２で、周期が２５±１ｍｍの正弦波状の帯電であった。また、面内方向の位置が同じ部位の前記第１の面の電荷密度と前記第２の面の電荷密度の和は−１．８〜＋１．８μＣ／ｍ２の範囲内であった。
［比較例１］
フィルムＳの下に設置した帯電電極７ａ（図１における第１および第２の帯電ユニットの第２のイオン生成電極１ｆ−１と１ｆ−２）をはずした以外は（フィルムＳと、第１のイオン生成電極１ｄ−１および１ｄ−２との距離は実施例１と同じく、ともに約１２．５ｍｍ）、実施例１と同じとしてフィルムＳの帯電処理を行った。帯電処理されたフィルムＳの帯電分布について、上記測定方法に基づいて第１の面と第２の面の電荷密度を調べた。第１の面（図１の上面）と第２の面（図２の下面）の電荷密度は、−１〜１μＣ／ｍ２の範囲内であったが、帯電が弱く、周期は、２０〜３０ｍｍ程度としか判らなかった。
［実施例２］
実施例１において帯電させたフィルムを１０ｃｍ×１０ｃｍに切り出し、地面に対し垂直に立てたステンレス板に以下の手順で仮接着した。
（１）ステンレス板にフィルムの１面（実施例１における第１の面）を手で密着させる。
（２）（１）の状態のまま、フィルムの逆面（実施例１における第２の面）をエチルアルコールを浸したガーゼで拭く。
（３）目視にてアルコールが乾いたことを確認し、手を離す。
【０１０５】
実施例１におけるフィルムはステンレス板に貼りつき、１週間以上経過しても剥離しなかった。
［比較例２］
比較例１において帯電させたフィルムを用いた以外は実施例２と同じとして、フィルムの仮接着を行った。
【０１０６】
比較例２におけるフィルムは手を離すと同時にステンレス板から剥がれ落ちた。
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
本発明による帯電シートは、仮接着用に限らず、蒸着や金属等の張り合わせによって帯電を発現させることも可能であり、工程中での滑り制御や、微小物（パーティクル）の吸着用途等、必要な工程において帯電を発現させる幅広い用途に応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１Ａ】本発明にける電気絶縁性シートの帯電処理装置の概略断面図である。
【図１Ｂ】本発明における帯電処理装置の帯電ユニットの構造を示す説明図である。
【図１Ｃ】本発明における帯電処理装置の帯電ユニットの配置を示す説明図である。
【図２】本発明における帯電処理装置の帯電の効果を示す説明図である。
【図３】仮接着先基材に接触させた時点における本発明におけるフィルムの帯電状態を示す説明図である。
【図４】第２の面の除電完了時点における本発明におけるフィルムの帯電状態を示す説明図である。
【図５】本発明におけるシートの各面の帯電状態を表す模式図である。
【図６】図５に示すシートの各面の背面平衡電位の分布を表す説明図である。
【図７】従来技術における、シートの貼りあわせ装置である。
【図８】従来技術における、導電性を有する物体へのシートの密着装置である。
【図９】従来技術における、シートの帯電装置である。
【図１０】従来技術における、シートの帯電装置である。
【図１１】従来技術における、シートの除電装置である。
【図１２】電気二重層により巻き取られたシートロール体の電位が上昇する現象の概略説明図である。
【図１３】本発明における帯電シートが巻き取られたシートロール体の電位の状態の概略説明図である。
【図１４】本発明における帯電シートの密着力を求めるための説明図である。
【図１５】本発明における帯電ユニットに使用する帯電電極の概略図である。
【符号の説明】
【０１０９】
１：帯電処理装置
１ａ：ガイドロール
１ｂ：ガイドロール
１ａｂ：フィルムの移動方向
１ｃ−１：第１の帯電ユニットにおける第１の交流電源
１ｃ−２：第２の帯電ユニットにおける第１の交流電源
１ｄ−１：第１の帯電ユニットにおける第１のイオン生成電極
１ｄ−２：第２の帯電ユニットにおける第１のイオン生成電極
１ｄ−ｎ：第ｎ番目の帯電ユニット（最終段の帯電ユニット）における第１のイオン生成電極
１ｅ−１：第１の帯電ユニットにおける第２の交流電源
１ｅ−２：第２の帯電ユニットにおける第２の交流電源
１ｆ−１：第１の帯電ユニットにおける第２のイオン生成電極
１ｆ−２：第２の帯電ユニットにおける第２のイオン生成電極
１ｆ−ｎ：第ｎ番目の帯電ユニット（最終段の帯電ユニット）における第２のイオン生成電極
１ｇ−１：第１の帯電ユニットにおける第１のシールド電極
１ｇ−２：第２の帯電ユニットにおける第１のシールド電極
１ｈ−１：第１の帯電ユニットにおける第２のシールド電極
１ｈ−２：第２の帯電ユニットにおける第２のシールド電極
１ｘ−１：第１の帯電ユニットにおける第１のイオン生成電極の先端と第２のイオン生成電極の先端とを結ぶ線分の中点
１ｘ−２：第２の帯電ユニットにおける第１のイオン生成電極の先端と第２のイオン生成電極の先端とを結ぶ線分の中点
２：帯電装置
２ａ：イオン生成電極
２ａｂ：シートの移動方向
３：帯電装置
３ａ：イオン生成電極
３ａｂ：シートの移動方向
３ｃ：接地導体
３ｄ：剥離放電
４：除電装置
４ａ：イオン生成電極
４ｂ：イオン生成電極
４ａｂ：シートの移動方向
５ａ：静電気帯電用電極
５ｂ：静電気帯電用電極
５ｃ：絶縁性基材
５ｄ：シート
５ｅ：シート
５ｆ：導電性基材
５ｇ：シート
６：コア
７ａ：イオン生成電極
７ｂ：シールド電極
７ｃ：高圧芯線（図示せず）
７ｄ：絶縁部材
１００：（シートの）第１の面
２００：（シートの）第２の面
１０１：（シートの第１の面の）正の静電荷
１０２：（シートの第１の面の）負の静電荷
２０１：（シートの第２の面の）正の静電荷
２０２：（シートの第２の面の）負の静電荷
３０１：正イオン
３０２：負イオン
４０１：（正の）誘導電荷
４０２：（負の）誘導電荷
５００：電気力線
７００：クーロン力
Ｂ：仮接着先基材
Ｃ：導体
Ｄ：導電層
ＣＵ１：第１の帯電ユニット
ＣＵ２：第２の帯電ユニット
ＣＵ２：第ｎ番目（最終段）の帯電ユニット
ｄ１：第１の帯電ユニットにおける法線方向電極間距離
ｄ２：第２の帯電ユニットにおける法線方向電極間距離
ｄｉ：第２の帯電ユニットにおける法線方向電極間距離
ｐ：第ｉの帯電ユニットと第２の帯電ユニットの帯電ユニット中心間隔（ユニット数２の場合）
Ｓ：シート
Ｓ１：第１層（最内層）目のシート
Ｓｊ：第ｊ層目のシート
Ｓ１＋１：第ｊ＋１層目のシート
Ｓｆ：最表層のシート
Ｓｍ：第ｍ層目のシート
Ｓｍ＋１：第ｍ＋１層目のシート
【図１Ａ】
2006206741.tif 000004
【図１Ｂ】
2006206741.tif 000005
【図１Ｃ】
2006206741.tif 000006
【図２】
2006206741.tif 000007
【図３】
2006206741.tif 000008
【図４】
2006206741.tif 000009
【図５】
2006206741.tif 000010
【図６】
2006206741.tif 000011
【図７】
2006206741.tif 000012
【図８】
2006206741.tif 000013
【図９】
2006206741.tif 000014
【図１０】
2006206741.tif 000015
【図１１】
2006206741.tif 000016
【図１２】
2006206741.tif 000017
【図１３】
2006206741.tif 000018
【図１４】
2006206741.tif 000019
【図１５】
2006206741.tif 000020