(57)【要約】【課題】装置の構成が簡易かつコンパクトであるとともに消費電力が少ない装置であって、紫外線の照射量の制御を簡易に行うことができる紫外線照射装置を提供する。【解決手段】紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射するための紫外線ＬＥＤと、前記紫外線ＬＥＤに供給する電流を供給するための電源と、前記電源から前記紫外線ＬＥＤに供給する電流の量を調整するための供給電流量調整手段と、を備えることを特徴とする紫外線照射装置。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射するための紫外線ＬＥＤと、
前記紫外線ＬＥＤに供給する電流を供給するための電源と、
前記電源から前記紫外線ＬＥＤに供給する電流の量を調整するための供給電流量調整手段と、
を備えることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
前記供給電流量調整手段は、可変定電流回路であることを特徴とする特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
前記可変定電流回路には、供給する電流の大きさ、周波数又はデューティー比の少なくとも一つを変化させることができるパルス回路が備えられていることを特徴とする請求項２に記載の紫外線照射装置。
【請求項４】
前記紫外線ＬＥＤには、前記可変定電流回路の出力電圧が上限値以上になったことを検出して前記電源に出力停止信号を出力するとともに前記可変定電流回路の出力電圧が下限値以下になったことを検出して前記電源に出力停止信号を出力する電圧検出回路が接続されているとともに前記電流検出回路には電圧が上限値以上になったこと又は下限値以下になったことを作業者に知らせるための警報手段が接続されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
【請求項５】
前記供給電流量調整手段は、電流制御回路であることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項６】
前記電流制御回路には、電流の大きさ、周波数又はデューティー比の少なくとも一つを変化させることができるパルス回路が備えられていることを特徴とする請求項５に記載の紫外線照射装置。
【請求項７】
前記紫外線ＬＥＤから照射された紫外線を受光する受光センサと前記受光センサにより受光した紫外線の照度を検出し、かつ検出した紫外線の照度が設定値の範囲内かの判定を行う照度検出回路が備えられているとともに前記照度検出回路には前記紫外線ＬＥＤから照射されている紫外線が設定値の範囲内にないことを作業者に知らせるための警報手段が接続されていることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の紫外線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は紫外線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハのワークに使用される紫外線硬化型接着剤の硬化に用いる紫外線照射装置は、光源から照射された紫外線を放物面鏡等で集光した後に光ファイバーで照射部に送った後に再度レンズによって集光した後に接着剤を塗布した部分に照射するものであり、その光源としては主に高圧水銀ランプが用いられていた（特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
上記紫外線硬化型接着剤はその成分や塗布する量によって硬化させるために必要な紫外線の量が異なる。そのため、紫外線硬化型接着剤の成分や塗布した量に応じて紫外線の照射量等を変更する必要がある。
【０００４】
高圧水銀ランプの電源や制御部は高電圧・高周波放電で発光させる為、大幅な光量の調整や短時間での点灯及び消灯は困難であり、また、安定するまでに一定の時間がかかる。そのため、点灯及び消灯を繰り返すことによって迅速に紫外線硬化型接着剤の硬化させることは困難であるため、上記紫外線照射装置においては、紫外線の照射量等を調整するために絞り機構やシャッター機構を設けて照射量の調整を行っていた。
【特許文献１】特開平０６−１４０１７２号公報
【特許文献２】特開平０６−１９６５５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、一般に高圧水銀ランプの電源及び制御部は高価であるとともに、大型で場所をとってしまう。また、高電圧を使用するため回路が複雑になり、消費電力も多い。さらに、高電圧を使用することに発生することによって電気的ノイズが発生して、装置の誤作動の原因になるという問題があった。
【０００６】
また、さらに紫外線の照射量を調整するための絞り機構やシャッター機構は装置構成が複雑で高価である。
【０００７】
本発明の課題は、装置の構成が簡易かつコンパクトであるとともに消費電力が少ない装置であって、紫外線の照射量の制御を簡易に行うことができる紫外線照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、上記課題を解決するため請求項１に記載の紫外線照射装置は、紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射するための紫外線ＬＥＤと、前記紫外線ＬＥＤに供給する電流を供給するための電源と、前記電源から前記紫外線ＬＥＤに供給する電流の量を調整するための供給電流量調整手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の紫外線照射装置において、前記供給電流量調整手段は、可変定電流回路であることを特徴とする特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の紫外線照射装置において、前記可変定電流回路には、供給する電流の大きさ、周波数又はデューティー比の少なくとも一つを変化させることができるパルス回路が備えられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の紫外線照射装置において、前記紫外線ＬＥＤには、前記可変定電流回路の出力電圧が上限値以上になったことを検出して前記電源に出力停止信号を出力するとともに前記可変定電流回路の出力電圧が下限値以下になったことを検出して前記電源に出力停止信号を出力する電圧検出回路が接続されているとともに前記電圧検出回路には電圧が上限値以上になったこと又は下限値以下になったことを作業者に知らせるための警報手段が接続されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の紫外線照射装置において、前記供給電流量調整手段は、電流制御回路であることを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の紫外線照射装置において、前記電流制御回路には、電流の大きさ、周波数又はデューティー比の少なくとも一つを変化させることができるパルス回路が備えられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項５又は請求項６に記載の紫外線照射装置において、前記紫外線ＬＥＤから照射された紫外線を受光する受光センサと前記受光センサにより受光した紫外線の照度を検出し、かつ検出した紫外線の照度が設定値の範囲内かの判定を行う照度検出回路が備えられているとともに前記照度検出回路には前記紫外線ＬＥＤから照射されている紫外線が設定値の範囲内にないことを作業者に知らせるための警報手段が接続されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、紫外線照射装置の光源として、紫外線ＬＥＤを使用しているので、電源や制御装置を小型化し、安価なものとすることができる。
【００１６】
また、請求項１に記載の発明によれば、高圧水銀ランプの場合と異なり高電圧を使用する必要がなくなるため消費電力を少なくすることができるため、ランニングコストを下げることができる。
【００１７】
また、請求項１に記載の発明によれば、紫外線ＬＥＤは短時間に照度の安定を確保することができ、また光量を供給する電流の大きさを変動させることにより点灯消灯の反復及び照射する光量の調節を簡易に行うことができるためワークに照射する紫外線の量や照度を容易に制御することができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、供給電力量調整手段として可変定電流回路を用いることにより供給する電流の大きさを変動させる範囲を予め安全な範囲に設定することが可能となり、誤操作により過剰な電流が流れることを防止して装置が損傷することを防止することができる。
【００１９】
また、請求項２に記載の発明によれば、可変定電流回路を用いることにより、供給する電流の大きさを変動させる範囲を予め設定することができるため、供給する電流の大きさを容易に調整することができる。
【００２０】
請求項３に記載の発明によれば、可変定電流回路にパルス回路を備えることによりパルス発光を行うことが可能になるため大電流を紫外線ＬＥＤに流して照度の高い紫外線を照射することを可能としながら紫外線ＬＥＤの発熱を抑えることができるので、装置の劣化を防止するとともに紫外線硬化型接着剤に効果的に紫外線を照射することができる。
紫外線硬化性性接着剤はその種類によって、空気に触れる表層やワークに触れた深層では積算光量だけではなく、一定以上の照度の紫外線を照射した時に効果的に硬化が促進されるものがあるため、このような特性をもつ紫外線硬化性接着剤を硬化させるのに有効である。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、可変定電流回路の出力電圧の上限値と下限値を予め電圧検出回路に記憶させておくことで、断線した場合には出力電圧の大きさが上限値を上回り、短絡した場合には下限値を下回るので直ちに異常を検出することができる。
【００２２】
また、請求項４に記載の発明によれば、異常が生じた場合に直ちに電源の出力を停止しするため、使用中の不慮の事故や配線間違いによる装置の破損や火災の恐れのない安全な装置を提供することができ、未照射や照射不良による接着不良を防止し、品質のよい製品の提供をすることができる。
【００２３】
請求項５に記載の発明によれば、供給電力量調整手段として電流制御回路を用いることにより供給する電流の大きさを予め安全な大きさに設定することが可能となり、誤操作により過剰な電流が流れることを防止して装置が損傷することを防止することができる。
【００２４】
請求項６に記載の発明によれば、電流制御回路にパルス回路を備えることによりパルス発光を行うことが可能になるため大電流を紫外線ＬＥＤに流して照度の高い紫外線を照射することを可能としながら紫外線ＬＥＤの発熱を押させることができるので、装置の劣化を防止するとともに紫外線硬化型ＬＥＤに効果的に紫外線を照射することができる。
【００２５】
請求項７に記載の発明によれば、紫外線照射装置に紫外線ＬＥＤの照度の照度を検出する手段を備えることで紫外線照射装置により紫外線を照射して生産を行う製品の製造工程における紫外線の照度の測定や紫外線が必要な程度照射されているかの確認の回数や及びその確認のための時間を節約することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
[第一の実施形態]
【００２７】
以下において、図面を参照しながら本発明にかかる紫外線照射装置の第一の実施形態について説明する。ただし、発明の範囲は図示例に限定されない。
【００２８】
図１は紫外線照射装置１の要部の概略断面図であり、図２は紫外線照射装置１の回路図の一例である。
【００２９】
図１に示すように紫外線照射装置１には光源である紫外線ＬＥＤ２が支持部材３に支持されて備えられている。支持部材３にはレンズ用支持部材４に支持された集光レンズ５が備えられていて、集光された紫外線が接着剤塗布部分に照射されるようになっている。
【００３０】
図２に示すように紫外線ＬＥＤ２には電源６及び可変定電流回路９が接続されている。
【００３１】
可変定電流回路９は、紫外線照射装置１に備えられた図示しない操作手段を操作することにより、電源６から紫外線ＬＥＤ２に流す電流の大きさを定めることができる。
【００３２】
また、可変定電流回路９は、紫外線ＬＥＤ２が照射対象である紫外線硬化型接着剤を硬化させるのに必要な最小限の照度が得られる値の電流から紫外線ＬＥＤ２に流すことが許容される最も大きい値の電流の間で流す電流の大きさを調整できるようになっている。
【００３３】
また、可変定電流回路９には、パルス回路を内蔵させることとしてもよい。パルス回路は電源６から紫外線ＬＥＤ２に流す電流の大きさ、周波数又はデューティー比のいずれか一つを変化させてパルス発光を行わせることができるようになっている。
【００３４】
また、可変定電流回路９は、後述する電圧検出回路２１から出力停止信号が送信されてきた場合には電源６から紫外線ＬＥＤ２への電流の供給を停止するようになっている。
【００３５】
なお、可変定電流回路とは、両端にかかる電圧の大きさに関わらず一定の大きさの電流を流す回路であるとともに、その流す一定の電流の大きさを変更できる回路をいう。
【００３６】
次に第一の実施の形態にかかる発明の作用について説明する。
【００３７】
作業者が紫外線照射装置１の図示しない操作手段を操作して紫外線照射装置１を起動させた後に、さらに操作手段を操作して可変定電流回路９によって紫外線ＬＥＤ２に供給される電流の大きさを設定した後に、図示しない操作手段を操作して紫外線照射装置１から紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射する操作を行う。
【００３８】
操作手段の制御信号に応じて電源６から電流の供給を開始する。電源６から供給された電流は可変定電流回路９を経由して紫外線ＬＥＤ２に到達する。可変定電流回路９にはパルス回路が備えられているので紫外線ＬＥＤ２はパルス発光しつつ紫外線の照射を開始する。照射された紫外線は集光レンズ５により集光され、集光された紫外線は紫外線硬化型接着剤に照射される。
【００３９】
以上のように、第一の実施形態に係る発明によれば、紫外線を照射する光源として紫外線ＬＥＤ２を使用するので、高圧水銀ランプの場合と異なり高電圧を使用する必要がなくなるため消費電力を少なくすることができるため、ランニングコストを下げることができる。
【００４０】
また、紫外線ＬＥＤ２は短時間に照度の安定を確保することができ、また光量を供給する電流の大きさを変動させることにより簡易かつ短時間に行うことができるため、点灯消灯の反復及び照射する光量の調節を簡易に行うことができるためワークに照射する紫外線の量や照度を容易に制御することができる。
【００４１】
また、供給電流量調整手段として可変定電流回路９を用いることにより、供給する電流の大きさを変動させる範囲を予め設定することができるため、供給する電流の大きさの調整が容易となる。
【００４２】
また、可変定電流回路９を用いることにより供給する電流の大きさを変動させる範囲を予め安全な範囲に設定することが可能となり、誤操作により過剰な電流が流れることを防止して紫外線照射装置１が損傷することを防止することができる。
【００４３】
また、可変定電流回路９にパルス回路を備えることによりパルス発光を行うことが可能になるため大電流を紫外線ＬＥＤに流して照度の高い紫外線を照射することとを可能としながら紫外線ＬＥＤの発熱を押させることができるので、装置の劣化を防止するとともに紫外線硬化型接着剤に効果的に紫外線を照射することができる。
[第二の実施形態]
【００４４】
次に本発明に係る第二の実施形態について説明する。なお、本発明にかかる第二の実施形態においては、第一の実施形態と共通する部分についての説明は省略し、第一の実施形態と異なる部分を中心に説明を行う。
図３及び図４は紫外線照射装置１０の回路図の一例である。図３及び図４に示すように、紫外線照射装置１０には中継端子１１とともに紫外線ＬＥＤ２の数が異なるユニットが複数備えられている。
【００４５】
これらのユニットは、紫外線照射装置１０に備えられた図示しない操作手段を操作することによって、ユニットを変更できるようになっている。なお、中継端子１１の数及び紫外線ＬＥＤ２を備えるユニットの数は図示する例に限定されるものではない。また、ユニットに備えられる紫外線ＬＥＤ２の数にも制限はない。
【００４６】
電源６の最大電圧は紫外線照射装置１０に備えられている紫外線ＬＥＤ２の点灯電圧の合計値より大きいものであって、紫外線ＬＥＤ２の最大の照度を得られる程度の大きさとなっている。
【００４７】
次に第二の実施の形態にかかる発明の作用について説明する。
【００４８】
作業者が紫外線照射装置１０の図示しない操作手段を操作して紫外線照射装置１０を起動させた後に、さらに操作手段を操作して可変定電流回路９によって紫外線ＬＥＤ２に供給される電流の大きさを設定した後に、操作手段を操作して紫外線照射装置１０に供えられている紫外線ＬＥＤ２が備えられた複数のユニットのうちの図４に示す紫外線ＬＥＤ２が二つ備えられているユニットを選択するとそのユニットは中継端子１１に接続される。その後、操作手段を操作して紫外線照射装置１０から紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射する操作を行う。
【００４９】
操作手段の制御信号に応じて電源６から電流の供給を開始する。電源６から供給された電流は可変定電流回路９を経由して紫外線ＬＥＤ２に到達した後さらに中継端子１１を経由して紫外線ＬＥＤ２に到達する。可変定電流回路９にはパルス回路が備えられているので紫外線ＬＥＤ２はパルス発光しつつ紫外線の照射を開始する。照射された紫外線は集光レンズ５により集光され、集光された紫外線は紫外線硬化型接着剤に照射される。
【００５０】
以上のように、第二の実施形態に係る発明によれば紫外線照射を行うことができる紫外線ＬＥＤ２の数を変更できるようにすることで照射対象である紫外線硬化型接着剤に照射できる紫外線の量の調整や照射点数の選択を容易に行うことができる。
[第三の実施形態]
【００５１】
次に本発明に係る第三の実施形態について説明する。なお、本発明にかかる第三の実施形態においては、第一の実施形態と共通する部分についての説明は省略し、第一の実施形態と異なる部分を中心に説明を行う。
【００５２】
図５は紫外線照射装置２０の回路図の一例である。図５に示すように、紫外線照射装置２０の紫外線ＬＥＤ２には紫外線ＬＥＤに係る電圧を検出するための電圧検出回路２１が接続されており、電圧検出回路２１には電圧検出回路２１が異常を検出した場合に作業者に知らせるための警報手段２２が接続されている。
【００５３】
電圧検出回路２１は、出力電圧が予め設定された上限値以上になったことと下限値以下になったことを検出することができるいわゆる２値電源電圧検出回路である。上限値及び下限値は紫外線照射装置２０に備えられた図示しない操作手段を作業者が操作して設定するようになっている。上限値と下限値は、使用する紫外線ＬＥＤの種類に応じて作業者が任意に定めることができる。
【００５４】
なお、電圧検出回路は、一つの値のみを検出できる電圧検出回路を二つ備えて、それぞれを警報手段２２に接続することとしてもよい。
【００５５】
電圧検出回路２１は、下限値を下回る値を検出した場合には短絡が起こっているものと判断して可変定電流回路９に出力停止信号を送信するようになっている。
【００５６】
また、電圧検出回路２１は、上限値を超える値を検出した場合には断線が起こっているものと判断して可変定電流回路９に出力停止信号を送信するようになっている。
【００５７】
警報手段２２は、例えば警報を鳴らすスピーカや点滅するランプによって構成されている。警報手段２２はこれらに限られるものではなく、作業者に異常を知らせることができるものであれば限定はない。
【００５８】
次に第三の実施の形態にかかる発明の作用について説明する。
【００５９】
作業者は紫外線照射装置２０の図示しない操作手段を操作して紫外線照射装置２０を起動させた後に、さらに操作手段を操作して電圧検出回路２１によって検出される電圧の上限値と下限値を入力する。さらに図示しない操作手段を操作して紫外線照射装置２０から紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射する操作を行う。
【００６０】
操作手段の制御信号に応じて電源６から電流の供給を開始する。電源６から供給された電流は可変定電流回路９を経由して紫外線ＬＥＤ２に到達する。可変定電流回路９にはパルス回路が備えられているので紫外線ＬＥＤ２は、パルス発光しつつ紫外線の照射を開始する。照射された紫外線は集光レンズ５により集光され、集光された紫外線は紫外線硬化型接着剤に照射される。
【００６１】
なお、電圧検出回路２１が上限値以上の電圧値又は下限値以下の電圧値を検出した場合には、電源６に出力停止信号を送信し紫外線ＬＥＤ２への電流の供給を停止するとともに警報手段２２により作業者に知らせるようになっている。
【００６２】
以上のように、第三の実施形態に係る発明によれば、可変定電流回路の出力電圧の上限値と下限値を予め電圧検出回路に記憶させておくことで、断線した場合には紫外線ＬＥＤにかかる電圧の大きさが上限値を上回り、短絡した場合には下限値を下回るので直ちに異常を検出することができ、電源６に出力停止信号を発して電流の供給を停止させて、短絡又は断線により紫外線照射装置に生じ得る他の故障の発生を防止しすることができる。
[第四の実施形態]
【００６３】
次に本発明にかかる紫外線照射装置の第四の実施形態について説明する。なお、本発明にかかる第四の実施形態においては、第一の実施形態と共通する部分についての説明は省略し、第一の実施形態と異なる部分を中心に説明を行う。ただし、発明の範囲は図示例に限定されない。
【００６４】
図６は紫外線照射装置３０の要部の概略断面図であり、図２は紫外線照射装置３０の回路図の一例である。
【００６５】
図６に示すように紫外線照射装置１には光源である紫外線ＬＥＤ２が支持部材３１に支持されて備えられている。支持部材３１にはレンズ用支持部材４に支持された集光レンズ５が備えられている。
【００６６】
また、紫外線ＬＥＤ支持部材３１には、紫外線ＬＥＤ２から照射される紫外線の照度を測定する受光センサ３２が備えられている。
【００６７】
図７に示すように、紫外線ＬＥＤ２には電源６と電流制御回路３３が接続されている。電流制御回路３３には、照度検出回路３４が接続されており、照度検出回路３４は受光センサ３２及び警報手段２２と接続されている。
【００６８】
電流制御回路３３は、図示しない操作手段の制御信号に応じて所望の電流値に電流制御を行うようになっている。電流制御回路３３は、リニア制御方式又はパルス幅変調方式のいずれの方式を用いることとしてもよい。
【００６９】
また、電流制御回路３３には、パルス回路を内蔵させることとしてもよい。パルス回路は電源６から紫外線ＬＥＤ２に流す電流の大きさ、周波数又はデューティー比のいずれか一つを変化させてパルス発光を行わせることができるようになっている。
【００７０】
なお、紫外線の照度の検出手段は、例えば光電子増倍管によって光子を受光して増倍し、フォトカウンティング法と呼ばれるパルスカウントによる光子計数法によって分光測定するものである。なお、本発明に用いられる紫外線の照度検出手段は、前述のものに限られることはなく、紫外線の照度を的確に測定できるものであれば特に限定はない。
【００７１】
照度検出回路３４は、図示しない操作手段の制御信号に応じて予め所定の照度が記憶されており、受光センサ３２において検出した照度が前記所定の照度を中心に幅を持たせた所定の範囲内にない場合には電流制御回路３３を制御して紫外線ＬＥＤ２から照射される紫外線の照度が所定の値になるように調整するようになっている。
【００７２】
なお、紫外線の照度の所定の値とは、紫外線硬化型接着剤を硬化させるのに適当な値であり、紫外線の照度の所定の値は紫外線照射装置３０に備えられた図示しない操作手段を作業者が操作して設定するようになっている。
【００７３】
また、照度検出回路３４には、例えばスピーカやランプなどの警報手段２２が接続されており、照度検出回路３４において検出した紫外線の照度が所定の範囲にない場合には、警報手段２２により作業者に異常を知らせるようになっている。
【００７４】
なお、電流制御回路３３に紫外線ＬＥＤ２からワークに照射される紫外線の積算光量が所定の値になるように照射時間、電流の大きさ及びデューティー比を調整させることとしてもよい。
【００７５】
即ち、図示しない操作手段を操作して電流制御回路３３に紫外線硬化型接着剤の種類毎に受光センサ３２から照度検出回路に送信される信号と紫外線硬化型接着剤を硬化させるのに最適な照度の関係を記憶させられるようになっている。この場合、図示しない操作手段においては、紫外線硬化型接着剤の種類毎に最適な紫外線の積算光量を選択できるようになっているとともに、照射時間、流す電流の大きさ及びデューティー比をそれぞれ調整することができる例えばダイヤルなどの操作手段が設けられている。
【００７６】
電流制御回路３３においては、照射時間、流す電流の大きさ及びデューティー比のいずれか一つの項目を調整して所定の値に設定されると先に入力された積算光量の紫外線が紫外線硬化型接着剤に照射されるように他の二つの項目を調整して、その調整した内容に応じて紫外線ＬＥＤ２から紫外線硬化型接着剤に先に入力した積算光量で紫外線を紫外線硬化型接着剤に照射するようになっている。
【００７７】
このように積算光量が所定の値になるようにパルス回路の周波数、電流及びデューティー比を自動調整することで、接着剤の主な硬化条件である積算光量が設定することができる便利な装置を提供することができる。また、積算光量の測定や計算が不要となり作業が簡易化される。
【００７８】
次に第四の実施の形態の作用について説明する。なお、以下における紫外線照射装置３０の電流制御回路３３にはパルス回路が内蔵されているものとする。
【００７９】
作業者は紫外線照射装置３０の図示しない操作手段を操作して紫外線照射装置３０を起動させた後に、更に操作手段を操作して電流制御回路３３に制御信号を送信し、電流制御回路３３に入力される電流の電流値を所望の電流値にして電流制御回路３３から出力されるように電流制御回路３３の操作を行う。
【００８０】
その後、操作手段を操作して電源６に電力供給させる制御信号を送信し、その制御信号を受信した電源６は電流の供給を開始する。電源６から供給された電流は電流制御回路３３にまず入力される。入力された電流の電流値が先に設定した電流値でない場合は、電流制御回路３３内において所定の処理がなされた後に先に設定された所定の電流値の電流とされて出力される。
【００８１】
電流制御回路３３から出力された電流は、紫外線ＬＥＤ２に供給されて紫外線の照射を開始する。
【００８２】
なお、照度検出回路３４が紫外線ＬＥＤ２から照射されている紫外線の照度の値が所定の値を外れた時には警報手段２２により作業者に知らせるとともに、電流制御回路３３を制御して紫外線ＬＥＤ２から照射される紫外線の照度の値が所定の値になるように調整する。
【００８３】
以上のように第四の実施形態にかかる発明によれば、供給電流量調整手段として電流制御回路３３を用いることにより、供給する電流の大きさを変動させる範囲を予め設定することができるため、供給する電流の大きさの調整が容易となる。
【００８４】
また、電流制御回路３３を用いることにより供給する電流の大きさを変動させる範囲を予め安全な範囲に設定することが可能となり、誤操作により過剰な電流が流れることを防止して紫外線照射装置３０が損傷することを防止することができる。
【００８５】
また、照度検出回路３４により照射する紫外線の量を自動的に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】第一の実施形態にかかる紫外線照射装置の要部の概略断面図である。
【図２】第一の実施形態にかかる紫外線照射装置の回路図の一例である。
【図３】第二の実施形態に係る紫外線照射装置の中継端子と一つの紫外線ＬＥＤを備えた回路図の一例である。
【図４】第二の実施形態に係る紫外線照射装置の中継端子と二つの紫外線ＬＥＤを備えた回路図の一例である。
【図５】第三の実施形態に係る紫外線照射装置の電圧検出回路と警報手段を備えた回路図の一例である。
【図６】第四の実施形態にかかる紫外線照射装置の要部の概略断面図である。
【図７】第四の実施形態にかかる紫外線照射装置の回路図の一例である。
【符号の説明】
【００８７】
１     紫外線照射装置
２     紫外線ＬＥＤ
６     電源
９     可変定電流回路
１０   紫外線照射装置
２０   紫外線照射装置
２１   電圧検出回路
２２   警報手段
３０   紫外線照射装置
３２   受光センサ
３３   電流制御回路
３４   照度検出回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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