(57)【要約】  【課題】  フレキシブル基板に折れまたは傷を生じさせることなく、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥離できるフレキシブル基板の剥離装置を提供する。  【解決手段】  フレキシブル基板１が貼着されている粘着シート２を、ケース３上に載置する。吹き出し器４から、吹き出し口４ａを介して圧空を上方に吹き出す。吹き出された圧空は、圧空流路３ａ、孔２ａを通って上方に送出されて、孔２ａの上側開口から流出される。この際、圧力／流量調整部５によって、吹き出し器４から吹き出される圧空の圧力及び流量が調整される。孔２ａから流出された圧空は、粘着シート２の上面とフレキシブル基板１の下面との間に入り込む。この結果、フレキシブル基板１と粘着シート２との間に空隙が生じる。そして、この空隙が生じている状態で、ピンセットを用いて、フレキシブル基板１を粘着シート２から剥離する。【選択図】      図１
2006156793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の孔が形成されている粘着シートに貼着されたフレキシブル基板を前記粘着シートから剥離する装置であって、前記孔に圧空を吹き出す吹き出し手段を備えることを特徴とするフレキシブル基板の剥離装置。
【請求項２】
複数の孔が形成されている搬送プレートにより搬送される複数の孔が形成されている粘着シートに貼着されたフレキシブル基板を前記粘着シートから剥離する装置において、前記搬送プレート及び前記粘着シートに形成されている前記孔に圧空を吹き出す吹き出し手段を備えることを特徴とするフレキシブル基板の剥離装置。
【請求項３】
前記吹き出し手段から吹き出される圧空の圧力及び／または流量を調整する調整手段を備えることを特徴とする請求項１または２記載のフレキシブル基板の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着シートに貼着されているフレキシブル基板を粘着シートから容易に剥離するためのフレキシブル基板の剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程において、フレキシブル基板の切り出しは粘着シートにウェハを貼着した状態で行われ、切り出されたフレキシブル基板は粘着シートに貼着されたまま搬送プレート上に載置されて搬送され、所定位置で作業者がピンセットを用いてフレキシブル基板を粘着シートから剥離している。
【０００３】
本発明に関連する技術として、粘着シートに貼着されている個片の半導体チップを剥離する際に、粘着シートの下面側からエジェクタによって半導体チップを突き上げることにより、個々の半導体チップを粘着シートから剥離する技術が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【特許文献１】特開平６−８５０６０号公報
【特許文献２】特開２００４−１６５２４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来では、粘着シートに貼りついているフレキシブル基板をピンセットを用いて引き剥がしているが、フレキシブル基板と粘着シートとの間に隙間がないので、フレキシブル基板に折れが発生したり、フレキシブル基板に傷を与えたりすることが多いという問題点がある。一方、特許文献１，２の技術を、可撓性が高いフレキシブル基板の剥離に適用することは困難である。
【０００５】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、フレキシブル基板に折れまたは傷を生じさせることなく、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥離することができるフレキシブル基板の剥離装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１発明に係るフレキシブル基板の剥離装置は、複数の孔が形成されている粘着シートに貼着されたフレキシブル基板を前記粘着シートから剥離する装置であって、前記孔に圧空を吹き出す吹き出し手段を備えることを特徴とする。
【０００７】
第１発明にあっては、粘着シートに形成されている孔に吹き出し手段にて圧空を吹き出す。吹き出された圧空によりフレキシブル基板と粘着シートとの間に隙間が生じるため、フレキシブル基板にダメージを与えることなく、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥がせる。
【０００８】
第２発明に係るフレキシブル基板の剥離装置は、複数の孔が形成されている搬送プレートにより搬送される複数の孔が形成されている粘着シートに貼着されたフレキシブル基板を前記粘着シートから剥離する装置において、前記搬送プレート及び前記粘着シートに形成されている前記孔に圧空を吹き出す吹き出し手段を備えることを特徴とする。
【０００９】
第２発明にあっては、搬送プレート及び粘着シートに形成されている孔に吹き出し手段にて圧空を吹き出す。吹き出された圧空によりフレキシブル基板と粘着シートとの間に隙間が生じるため、フレキシブル基板にダメージを与えることなく、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥がせる。
【００１０】
第３発明に係るフレキシブル基板の剥離装置は、第１発明または第２発明において、前記吹き出し手段から吹き出される圧空の圧力及び／または流量を調整する調整手段を備えることを特徴とする。
【００１１】
第３発明にあっては、吹き出す圧空の圧力及び／または流量を調整手段にて調整する。よって、確実かつ安定的にフレキシブル基板を浮かせて、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥がせる。
【発明の効果】
【００１２】
第１発明のフレキシブル基板の剥離装置では、粘着シートに形成されている孔に圧空を吹き出すようにしたので、フレキシブル基板と粘着シートとの間に隙間を生じさせて、フレキシブル基板にダメージを与えることなく、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥離することができる。
【００１３】
第２発明のフレキシブル基板の剥離装置では、搬送プレート及び粘着シートに形成されている孔に圧空を吹き出すようにしたので、フレキシブル基板と粘着シートとの間に隙間を生じさせて、フレキシブル基板にダメージを与えることなく、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥離することができる。
【００１４】
第３発明のフレキシブル基板の剥離装置では、吹き出す圧空の圧力及び／または流量を調整するようにしたので、確実かつ安定的にフレキシブル基板を浮かせて、フレキシブル基板を粘着シートから容易に剥離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。
（第１実施の形態）
図１は、本発明に係るフレキシブル基板の剥離装置の第１実施の形態の使用状態を示す図である。図１において、１は、シリコン系の接着材からなる粘着シート２に貼着されているフレキシブル基板である。フレキシブル基板１は、厚さ１５０μｍ程度で１辺が１０〜５０ｍｍの方形状をなし、例えばポリイミド樹脂製である。粘着シート２には、直径２ｍｍ程度の孔２ａが複数形成されている。
【００１６】
複数枚のフレキシブル基板１を貼着させた粘着シート２は、ケース３上に載置されている。ケース３内には、圧空を吹き出す吹き出し手段としての吹き出し器４が配設されている。吹き出し器４の上面には、圧空を上方へ吹き出すための複数の吹き出し口４ａが形成されている。ケース３内には、これらの吹き出し口４ａに連通する態様で圧空流路３ａが設けられている。また、これらの圧空流路３ａは、粘着シート２に形成された孔２ａと連通している。
【００１７】
吹き出し器４は、吹き出される圧空の圧力／流量を調整する調整手段としての圧力／流量調整部５に接続されている。吹き出し器４は、圧力／流量調整部５の制御によってその圧力／流量が調整された圧空を吹き出し口４ａから上方に吹き出す。吹き出された圧空は、圧空流路３ａ、孔２ａを通って、粘着シート２の上面とフレキシブル基板１の下面との間に送出されるようになっている。
【００１８】
次に、動作について説明する。フレキシブル基板１が貼着されている粘着シート２を、ケース３上に載置する。吹き出し器４から、吹き出し口４ａを介して圧空を上方に吹き出す。吹き出された圧空は、圧空流路３ａ、孔２ａを通って上方に送出されて、孔２ａの上側開口から流出される。この際、圧力／流量調整部５によって、吹き出し器４から吹き出される圧空の圧力及び流量が調整される。例えば、圧空の圧力は０．１〜０．５ＭＰａの範囲に制御され、圧空の流量は５〜２０リットル／分の範囲に制御される。
【００１９】
孔２ａから流出された圧空は、粘着シート２の上面とフレキシブル基板１の下面との間に入り込む。この結果、フレキシブル基板１と粘着シート２との間に空隙が生じる。そして、この空隙が生じている状態で、ピンセットを用いて、フレキシブル基板１を粘着シート２から剥離する。
【００２０】
以上のように圧空を送出しながらフレキシブル基板１の剥離処理を行うので、フレキシブル基板１と粘着シート２との間に浮きが生じるため、フレキシブル基板１にダメージ（折れ、傷など）を与えることなく、フレキシブル基板１を粘着シート２から容易に剥がすことができる。また、フレキシブル基板１と粘着シート２との接着力が低下するため、比較的軽い力でフレキシブル基板１を粘着シート２から剥がすことができる。また、送出する圧空の圧力／流量を調整するようにしたので、フレキシブル基板１をより確実に浮かせることができるため、フレキシブル基板１を粘着シート２から安定して剥がすことができる。
【００２１】
なお、粘着シート２の孔２ａとケース３の圧空流路３ａとは、ぴったりと完全に位置が合っている必要はなく、圧空流路３ａを送出された圧空が孔２ａに流入するようになっていれば良い。よって、粘着シート２をケース３上に載置する際に厳密な位置合わせは不要である。
【００２２】
（第２実施の形態）
図２は、本発明に係るフレキシブル基板の剥離装置の第２実施の形態の使用状態を示す図である。図２において、図１と同一部分には同一番号を付している。
【００２３】
図２において、６は、フレキシブル基板１が貼着されている粘着シート２を載置している例えばＡｌ製の搬送プレートである。この搬送プレート６は、前工程（フレキシブル基板１へのＩＣ部品の実装工程など）のラインにおいて搬送されるものである。搬送プレート６は、ケース３上に載置されている。搬送プレート６には、粘着シート２の孔２ａとケース３の圧空流路３ａとに連通する複数の孔６ａが形成されている。
【００２４】
次に、動作について説明する。フレキシブル基板１が貼着されている粘着シート２が載っている搬送プレート６をケース３上に載置する。吹き出し器４から、吹き出し口４ａを介して圧空を上方に吹き出す。吹き出された圧空は、圧空流路３ａ、孔６ａ、孔２ａを通って上方に送出されて、孔２ａの上側開口から流出される。この際、圧力／流量調整部５によって、吹き出し器４から吹き出される圧空の圧力及び流量が調整される。例えば、圧空の圧力は０．１〜０．５ＭＰａの範囲に制御され、圧空の流量は５〜２０リットル／分の範囲に制御される。
【００２５】
孔２ａから流出された圧空は、粘着シート２の上面とフレキシブル基板１の下面との間に入り込む。この結果、フレキシブル基板１と粘着シート２との間に空隙が生じる。そして、この空隙が生じている状態で、ピンセットを用いて、フレキシブル基板１を粘着シート２から剥離する。
【００２６】
以上のような第２実施の形態においても、圧空を送出しながらフレキシブル基板１の剥離処理を行うので、第１実施の形態と同様の効果を奏する。
【００２７】
なお、搬送プレート６の孔６ａとケース３の圧空流路３ａとは、ぴったりと完全に位置が合っている必要はなく、圧空流路３ａを送出された圧空が孔６ａに流入するようになっていれば良い。よって、搬送プレート６をケース３上に載置する際に厳密な位置合わせは不要である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係るフレキシブル基板の剥離装置の第１実施の形態の使用状態を示す図である。
【図２】本発明に係るフレキシブル基板の剥離装置の第２実施の形態の使用状態を示す図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  フレキシブル基板
２  粘着シート
２ａ  孔
３  ケース
３ａ  圧空流路
４  吹き出し器（吹き出し手段）
４ａ  吹き出し口
５  圧力／流量調整部（調整手段）
６  搬送プレート
６ａ  孔
【図１】
2006156793.tif 000003
【図２】
2006156793.tif 000004