(57)【要約】【課題】製造が容易であり成形工数を低減させて製造コストを廉価にすることが可能な非接触搬送装置を提供することにある。【解決手段】エア供給孔部３０が形成されたトッププレート１２と、複数のエア噴出孔部３４が形成されたアンダプレート１８と、前記トッププレート１２と前記アンダプレート１８との間に積層されて挟持され、前記エア供給孔部３０及び前記エア噴出孔部３４に連通し流体通路２０及びノズル２２として機能するスリット２４がそれぞれ形成された複数の中間プレート２６と、前記トッププレート１２、前記複数の中間プレート２６及び前記アンダプレート１８を一体的に連結するねじ部材２８とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エア供給孔部を有し、平板状に形成された一方のトッププレートと、
複数のエア噴出ポートを有し、平板状に形成された他方のアンダプレートと、
前記トッププレートと前記アンダプレートとの間に介装され、前記エア供給孔部及び前記エア噴出ポートに連通する流体通路及びノズルとして機能するスリットがそれぞれ形成された複数の中間プレートと、
前記トッププレートと、前記複数の中間プレートと、前記アンダプレートとを一体的に連結する締結手段と、
を備え、前記複数の中間プレートは、トッププレートとアンダプレートとの間に一体的に積層されて設けられることを特徴とする非接触搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の装置において、
前記締結手段は、ねじ部材からなり、前記ねじ部材を取り外すことにより、前記複数の中間プレートが交換可能に設けられることを特徴とする非接触搬送装置。
【請求項３】
エア供給孔部を有し、平板状に形成されたトッププレートと、
平板状に形成された第１アンダプレートと、
前記第１アンダプレートに連結され、積層されることによりエア噴出孔部が形成される複数の第２アンダプレートと、
前記トッププレートと前記第１アンダプレートとの間に介装され、前記エア供給孔部及び前記エア噴出ポートに連通する流体通路及びノズルとして機能するスリットが形成された複数の中間プレートと、
前記トッププレートと、前記複数の中間プレートと、前記第１及び第２アンダプレートとを一体的に連結する結合手段と、
を備え、前記複数の中間プレートは、トッププレートとアンダプレートとの間で積層されて設けられることを特徴とする非接触搬送装置。
【請求項４】
請求項３記載の装置において、
前記結合手段は、前記トッププレート、前記複数の中間プレート、前記第１及び第２アンダプレートを一体的に加熱及び加圧する拡散接合からなることを特徴とする非接触搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを非接触状態で保持、搬送、回転等をすることが可能な非接触搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＩＣカード等の要請により薄型化しシート状になったウェハの搬送や、液晶、プラズマディスプレイ用途のフィルム状部品の非接触搬送の要請が高まっており、前記要請に対して、ワークを非接触で搬送する際に気体の流れによって生じるベルヌーイ効果を利用した非接触搬送装置が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、空気の送入口に連通すると共に空気の旋回流が発生する旋回室を設け、また旋回室に連通すると共に被搬送物と対向する対向面を有するベルマウスを設け、このベルマウスと被搬送物との間に発生する空気流によって生じるベルヌーイ効果を利用して非接触で被搬送物を保持するようにした無接触搬送装置が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、図２０に示されるように、内周面が円周状の凹部１と、その凹部１開口側に形成されウェハ（被搬送物）２と対向する平坦面３と、供給流体を凹部１の内周面に臨む図示しない噴出孔から凹部１内へその凹部１の内周方向に沿って吐出させる図示しない流体通路とを設け、流体導入口４から供給されるエアによって平坦面３とウェハ２との間に高速の気流を流通させベルヌーイ効果により負圧を発生させてウェハ２をリフトすると共に、平坦面３とウェハ２との間を流通する高速の正圧の気流により両者を非接触状態とした非接触搬送装置５が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２５４３６９号公報
【特許文献２】特開２００２−６４１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記特許文献１及び特許文献２に開示された技術的思想では、外力によって容易に変形する、例えば、フィルム状のワークを歪みがなく非接触で搬送するために、ワークに向かって旋回流を噴出させる凹部の数を増大させた場合、流体導入口から凹部までに連通する流体通路の成形工数が増大して、製造コストが高騰するという問題がある。
【０００７】
さらに、前記特許文献１及び特許文献２に開示された技術的思想では、ノズルとして機能し、流速が高められた気流を噴出するための噴出孔が、微小孔部によって形成されており、例えば、ドリル等によって精度よく穿孔しようとすると成形工数が増大して、さらに製造コストが高騰するという問題がある。
【０００８】
本発明は、前記の問題を考慮してなされたものであり、製造が容易であり成形工数を低減させて製造コストを廉価にすることが可能な非接触搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明は、エア供給孔部を有し、平板状に形成された一方のトッププレートと、
複数のエア噴出ポートを有し、平板状に形成された他方のアンダプレートと、
前記トッププレートと前記アンダプレートとの間に介装され、前記エア供給孔部及び前記エア噴出ポートに連通する流体通路及びノズルとして機能するスリットがそれぞれ形成された複数の中間プレートと、
前記トッププレートと、前記複数の中間プレートと、前記アンダプレートとを一体的に連結する締結手段と、
を備え、前記複数の中間プレートは、トッププレートとアンダプレートとの間に一体的に積層されて設けられることを特徴とする。
【００１０】
この場合、前記締結手段としてねじ部材を用いて前記ねじ部材を取り外すことにより、前記複数の中間プレートを簡便に交換することができる。
【００１１】
さらに、本発明は、エア供給孔部を有し、平板状に形成されたトッププレートと、
平板状に形成された第１アンダプレートと、
前記第１アンダプレートに連結され、積層されることによりエア噴出孔部が形成される複数の第２アンダプレートと、
前記トッププレートと前記第１アンダプレートとの間に介装され、前記エア供給孔部及び前記エア噴出ポートに連通する流体通路及びノズルとして機能するスリットが形成された複数の中間プレートと、
前記トッププレートと、前記複数の中間プレートと、前記第１及び第２アンダプレートとを一体的に連結する結合手段と、
を備え、前記複数の中間プレートは、トッププレートとアンダプレートとの間で積層されて設けられることを特徴とする。
【００１２】
この場合、前記結合手段として、前記トッププレート、前記複数の中間プレート、前記第１及び第２アンダプレートを一体的に加熱及び加圧する拡散接合を用いるとよい。
【００１３】
本発明によれば、エア供給孔部から供給されたエアが積層された中間プレートに導入され、流体通路及びノズルとして機能するスリットを流通してエア噴出孔部に供給される。前記エア噴出孔部から旋回流となってエアが流出する際、アンダプレートと対向する位置に配置されたワークが高速流によって発生する負圧によって吸引される一方、アンダプレートとワークとの間に存在するエア（正圧）により反発力を受け、前記負圧と正圧とのバランスによってワークが非接触状態で保持されて所定位置に搬送される。
【００１４】
本発明では、トッププレートとアンダプレートとの間に積層された複数の中間プレートを介装し、前記中間プレートに対して流体通路及びノズルとして機能する所望の形状からなるスリットを形成し、前記トッププレート、中間プレート及びアンダプレートを締結手段を介して一体的に連結している。従って、本発明では、従来技術と比較して製造が容易であり、成形工数を低減させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、以下の効果を有する。
【００１６】
すなわち、トッププレートとアンダプレートとの間に介装された複数の中間プレートに対して所望の形状からなるスリットを形成し、締結手段によって一体的に連結するだけでよいため、成形工数を低減させて製造コストを廉価にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に係る非接触搬送装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１８】
図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係る非接触搬送装置を示す。
【００１９】
この非接触搬送装置は、円盤状に形成されたトッププレート１２と、略円盤状からなり等角度離間する外周の３個所に半径外方向に向かって膨出する二股部１４ａ〜１４ｃによって曲線状の凹部１６が形成されたアンダプレート１８と、前記トッププレート１２と前記アンダプレート１８との間に積層され、流体通路２０及びノズル２２として機能するスリット２４が形成された複数（図２中では、２枚）の中間プレート２６と、前記積層されたトッププレート１２、中間プレート２６及びアンダプレート１８を一体的に締結する複数のねじ部材（締結手段）２８とを備える。
【００２０】
中間プレート２６には、図２に示されるように、トッププレート１２の後述するエア供給孔部３０に連通する交差状のスリット２４が形成される。前記スリット２４は、長手方向と直交するスリット幅が幅広に形成された流体通路２０と、前記流体通路２０に連通しスリット幅が微小幅の直線からなり半径内方向に向かって傾斜するように形成されたノズル２２とを含む。
【００２１】
また、中間プレート２６には、前記ノズル２２に連通する４つの円形状孔部３２が形成され、前記円形状孔部３２は後述するアンダプレート１８に形成された４つのエア噴出孔部３４にそれぞれ連通するように設けられる。なお、図２に示される上方側の中間プレート２６と下方側の中間プレート２６は、同一のスリット形状を有する同一構成からなり、一方と他方とを反転させて配置しただけである。
【００２２】
中間プレート２６は、種々の平面形状及び厚みが準備されており、ワークの状態に応じて自在に変更又は組み換えが可能に設けられている。中間プレート２６の組み換えの際には、同一の平面形状の中間プレート２６を重ねることによりノズル２２や流体通路２０の厚み方向の寸法を自在に調整することができる。例えば、前記中間プレート２６の厚さを約０．１〜０．５ｍｍに設定することにより、複数枚の中間プレート２６の積層の組み合わせによって任意の厚さを設定することができる。
【００２３】
中間プレート２６は、同一平面形状の場合、各中間プレート２６の厚みが異なる場合であっても板材を積層してワイヤカットによって一括的に切り出されて製造される。前記複数の中間プレート２６は、トッププレート１２とアンダプレート１８との間に挟持される。
【００２４】
トッププレート１２の中心部にはエア供給孔部３０が形成され、前記エア供給孔部３０には、図示しないチューブを介して圧縮エア供給源に接続される継手３６が嵌着される。アンダプレート１８には、４つのエア噴出孔部３４がそれぞれ離散して配置され、前記エア供給孔部３０から供給されたエアが中間プレート２６のスリット２４（ノズル２２）を介してエア噴出孔部３４の内周方向に沿って突出させて周回する気流によって発生するベルヌーイ効果を利用して非接触で被搬送物を保持することができる。なお、前記トッププレート１２及びアンダプレート１８は、それぞれ、レーザカットで成形される。
【００２５】
前記トッププレート１２、中間プレート２６及びアンダプレート１８は、それぞれ、板材から切り出されて形成され、各種プレートの接合面の平面度、粗さ等は、素材のままであり無加工であってもよい。ねじ部材２８によるプレート間の締結点を応力に対応して最適化して多数配置しているため、各プレート間のシールを特に設けることがなくても、エア漏れが発生することがない。
【００２６】
トッププレート１２及びアンダプレート１８は、ねじ締結自体の強度要求及びねじ締結力を各プレート間のシート力に変換、分布させるため、本実施の形態に係る非接触搬送装置１０の流体力（圧力管路としての強度）上の要件を超えた厚み（例えば、厚さが３ｍｍからなるＳＵＳ製材料）を有している。
【００２７】
非接触搬送装置１０では、ユーザにおける性能変更を簡便に遂行することができ、設置環境に対応する運用を自在に行うことができる。この場合、複数の積層されたプレートを締結するねじ部材２８を外して、中間プレート２６を他の中間プレート２６と交換することにより、容易に性能を変更することができる。
【００２８】
トッププレート１２及びアンダプレート１８の外周部には、脱落防止ガイド機構３８が設けられる。この脱落防止ガイド機構３８は、図４に示されるように、トッププレート１２の上面に配置さればね力を有する３つの舌片４０が形成されたスプリングプレート４２と、前記舌片４０に固定される円筒状のガイド部材４４と、前記ガイド部材４４を前記スプリングプレート４２の舌片４０に装着するボルト４６及びナット４８とを含む。
【００２９】
この脱落防止ガイド機構３８は、非接触搬送時の水平方向のワークの自由度を制限し、ワークが非接触搬送装置１０から脱落することを防止するためのものである。前記円筒状のガイド部材４４は、フッ素ゴム等の弾性体によって形成され、前記ガイド部材４４がばね性を有するスプリングプレート４２の舌片４０により連結され、前記舌片４０が変形することによりガイド部材４４が斜め上方に向かって変位するように設けられている。これは、ガイド部材４４に対する衝突によって損傷を防止するためである。
【００３０】
本発明の実施の形態に係る非接触搬送装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００３１】
継手３６を介して図示しないエア供給源からエア供給孔部３０に対してエアが供給される。前記エア供給孔部３０に供給されたエアは、中間プレート２６のスリット２４に沿って導入され、流体通路２０、ノズル２２及び円形状孔部３２を介して複数のエア噴出孔部３４へそれぞれ吹き込まれ、さらに、各エア噴出孔部３４の内部空間で旋回流となって整流され、前記エア噴出孔部３４からワーク側に向かって高速流となって流出する。
【００３２】
前記エア噴出孔部３４から旋回流となったエアが流出する際、アンダプレート１８と対向する位置に配置されたワーク（例えば、ウェハ等）が前記高速流によって発生する負圧により吸引され、一方、アンダプレート１８とワークとの間に介在するエア（正圧）により反発力を受け、前記負圧と正圧とのバランスによってワークが非接触状態で保持され、所定位置に搬送される。
【００３３】
前記ワークに作用する正圧及び負圧は、アンダプレート１８とワーク間のクリアランスにより変化する。すなわち、前記クリアランスが小さくなると負圧が減少すると共に正圧が増大し、一方、前記クリアランスが大きくなると負圧が増大すると共に正圧が減少する。この場合、リフトされるワークは、該ワーク自体の自重と正圧及び負圧のバランスによって最適なクリアランスとなる。その際、ワークに付与される総リフト力は、ワークの自重に応じた値となり、最小のリフト力の作用により、ワークをリフトすることができる。このような効果は、外力によって容易に変形する、例えば、ウェハ等のフィルム状のワークを歪みがなく無傷で搬送することができる。
【００３４】
ところで、従来技術に係る非接触搬送装置では、噴出孔（凹部１）周辺で正圧と負圧との分布を生じ、前記分布によってワークの歪みを誘発させるという問題がある。特に、ワークを単数若しくは比較的少数の噴出孔（凹部１）の作用で該ワークをリフトさせる場合、１つの噴出孔（凹部１）あたりで負担するリフト量が大きくなりその傾向が助長される。
【００３５】
また、リフト力の源泉たる負圧は、噴出孔（凹部１）の中心部を中心として発生するため、前記噴出孔（凹部１）から離れた部位では、ワークの自重によって垂れ下がり、歪みが発生する。
【００３６】
さらに、フィルム状に形成され外力によって容易に変形するワークは、局所的な荷重バランスによって容易に変形するため、ワークの自重と正圧及び負圧のバランス作用を崩し小力の最適化を阻害する。
【００３７】
従って、フィルム状に形成され外力によって容易に変形するワークを歪みがなく非接触搬送するためには、本実施の形態のように、多数のエア噴出孔部３４を設け、１つのエア噴出孔部３４当たりで負担するリフト力を小さく抑制し、エア噴出孔部３４周辺の圧力分布に起因する歪みを抑制する必要がある。１つのエア噴出孔部３４当たりで負担すべきワークの面積を抑制することにより、エア噴出孔部３４から離れた部位でのワークの自重による垂れ下がりを抑制することができる。
【００３８】
本実施の形態では、多数のエア噴出孔部３４を設けることにより、負圧→正圧→ワーク自重の一連の荷重変化を短いワークスパン（面積）の中に分布させることによって（例えば、比喩として橋の脚の間隔を狭くするように）、圧力変化に対する見かけのワーク剛性を相対的に高めることにより、歪みを抑制することができる。従って、本実施の形態では、多数のエア噴出孔部３４を設けることにより、外力によって容易に変形するフイルム状のワークを歪みがなく非接触状態で搬送することができる。
【００３９】
本実施の形態では、アンダプレート１８にエア噴出孔部３４を形成し、中間プレート２６に前記エア噴出孔部３４に連通する円形状孔部３２を形成し、さらに、前記円形状孔部３２に連通する接線方向に幅狭なスリット２４からなるノズル２２を設け、エアを高速でノズル２２より噴出させることにより、エア噴出孔部３４の周方向に沿って高速の旋回流が発生する。前記ノズル２２は、１つのエア噴出孔部３４に対して１以上設けられるとよく、ノズル２２の直径（スリット幅）は、数百μ程度となる。なお、これらエア噴出孔部３４及びノズル２２等は、それぞれの寸法形状、配置により、負圧、正圧及びその分布、エア消費量、供給圧力に対する性能特性が特定される。
【００４０】
エア噴出孔部３４の数が増大することは、通常、成形工数を増大させるが、本実施の形態のように、同一のスリット形状からなる複数の中間プレート２６を積層させトッププレート１２とアンダプレート１８との間で中間プレート２６を挟持することにより、成形工数を減少させて製造コストを低減させることができる。
【００４１】
また、本実施の形態では、エア噴出孔部３４に連通する流体通路２０及びノズル２２を数百μｍ程度にスリット状に一体的に成形している。中間プレート２６は、シート状の素材に対してスリット２４を成形するだけでよく、素材の平面がそのまま使用することができる。シート面の成形工数は不要である。
【００４２】
さらに、本実施の形態では、中間プレート２６に形成された流体通路２０により流通するエアの流量をコントロールし、ノズル２２の形状、数量（１つのエア噴出孔部３４当たりのノズル数）は、エア噴出孔部３４内のエアの流れをコントロールする。また、中間プレートの厚みは、両者の性能に影響を与える。従って、中間プレート２６のデザインにより吸着性能をコントロールすることができる。吸着性能に関わる部分を統合した独立部品とすることとなり、種々の吸着性能の要求に対しては、中間プレート２６の試作、交換、組み換え、組み合わせ等によって容易に実現することができる。
【００４３】
本実施の形態に係る非接触搬送装置１０のその他の部分は、様々な吸着性能の要求に対して共通部品として製造することができることから、多品種少量生産に対応することができる。また、要求性能の変化に際しては、中間プレート２６の設計及び交換によって検証することができ、設計工数が低減される。
【００４４】
さらに、中間プレート２６を最終製品に対しても交換可能とすることにより、ユーザ自身が所望の要求性能にあわせて自在に組み換え、調整等を行うことができる。
【００４５】
中間プレート２６の成形は、機械加工、レーザカット、ワイヤカット、フォトエッチング、エレクトロフォーミング、板金プレス等を用いるとよい。
【００４６】
中間プレート２６の成形は、成形数量と製造コストとのバランスによって決定され、例えば、試作等の用途で極めて成形数量が少ない場合には機械加工、レーザカット等の加工方法が有用である。また、１０枚程度のまとまった数量の中間プレート２６の成形では、前記中間プレート２６に対する成形加工がスリットであることから複数のプレートを積層し、ワイヤカットで一括的に成形することにより成形コストを低減することができる。
【００４７】
例えば、中間プレート２６の厚さが数百μｍ以下の場合、高精度のノズル２２を形成することができるフォトエッチング、エレクトロフォーミング等が有用である。また、フォトエッチング、エレクトロフォーミングは、スリット形状の複雑さが成形工数に影響しないため、多数のエア噴出孔部３４の成形や、軽量化、気流制御のための孔部の成形に有用である。
【００４８】
なお、中間プレート２６への成形加工がスリット２４のみであることから、これら成形方法の互換性を生み出し、１つの製品シリーズにおいて、開発、設計過程、製品製作とうに応じて最適な加工方法を選択し、状況の変化に対応して異なる成形方法に移行することができる。
【００４９】
次に、本発明の他の実施の形態に係る非接触搬送装置５０を図６〜図１９に示す。なお、前記実施の形態と同一の構成要素には、同一の参照符号を付すと共に、対応する構成要素には同一の参照符号に英小文字を付してその詳細な説明を省略する。
【００５０】
この他の実施の形態に係る非接触搬送装置５０は、約０．２ｍｍのステンレス製フォトエッチングプレートを１６枚一括して拡散接合して約３．２ｍｍの全体厚で構成された各種プレートを含む。
【００５１】
この非接触搬送装置５０は、図７に示されるように、Ｌ字状の屈曲した継手３６ａが装着されるエア導入ポート５２が設けられると共に、前記１６枚の各種プレートがねじ部材２８を介して連結される筐体状の装置本体５４を有する。前記装置本体５４の上面には環状凹部５６が形成され、前記環状凹部５６には、積層されたプレートとの間でシール機能を発揮するＯリング５８が装着される。
【００５２】
積層されて一体的に形成された前記１６枚の各種プレートは、図９に示されるように、その主たる機能から、２枚積層されたトッププレート１２ａ、１２ｂと、２枚積層された中間プレート２６ａ、２６ｂと、２枚積層された第１アンダプレート１８ａ、１８ｂと、１０枚積層された第２アンダプレート６０ａ〜６０ｊ（図１０参照）とに大別される。前記第１アンダプレート１８ａ、１８ｂは、図２に示されるアンダプレート１８と同一機能を有し、中間プレート２６ａ、２６ｂとその両端の耐圧壁により立体的な流体通路２０の構造を形成している。第２アンダプレート６０ａ〜６０ｊは、１０枚が一体的に積層されることによりエア噴出孔部３４の円筒構造に形成される（図８参照）。
【００５３】
中間プレート２６ａ、２６ｂは、フォトエッチングで成形されるため、高い寸法精度で安定して成形される。フォトエッチングによる成形は、精度維持のための成形工程上の管理が特に必要とされないため極めて優れた成形方法である。
【００５４】
第２アンダプレート６０ａ〜６０ｊは、ワークが接触する可能性があるため、最低限の平面形状をなしており、リフトの関与しない部位には、複数の肉抜き部６２が設けられる（図６及び図８参照）。前記肉抜き部６２は、トッププレート１２ａ、１２ｂから第１及び第２アンダプレート１８ａ、１８ｂ、６０ａ〜６０ｊに連通して開口された肉抜きと共に、エア噴出孔部３４の流体作用に対して重要な意味を有する。
【００５５】
すなわち、エア噴出孔部３４より高速で噴出した旋回流による負圧は、旋回による遠心力により旋回中心を負圧の中心として、例えば、台風の目のような状態で発生する。この負圧は、エア噴出孔部３４の周辺の圧力を基準として作用する。エア噴出孔部３４周辺の気流は、前記エア噴出孔部３４から流出した後、ワークと平行をなすエア噴出孔部３４の外縁部位を通り、外部（大気中）に排出される。排出された部位は大気であるため、エア噴出孔部３４周辺の圧力は、ワークと平行をなすエア噴出孔部３４の外縁部位の圧力損失分、大気圧より大きな値となる。つまり、エア噴出孔部３４の外縁部位から大気圧開放部分に至る個所では正圧が発生し、前記正圧がワークと装置との接触を防止する効果を奏する。
【００５６】
しかしながら、前記圧力損失が大きい場合、相対的に発生する旋回流の中心部の負圧は、大気圧基準において極めて小さな負圧若しくは正圧となる可能性がある。従って、前記圧力損失を低減させることは、負圧を大きくする効果を奏する。前記圧力損失は、ワークとエア噴出孔部３４の外縁部位との間のクリアランスと、旋回流の円周方向に直交する部分のエア噴出孔部３４の長さに影響を受ける。このことから、エア噴出孔部３４から大気圧開放部までの距離と、そこに至るまでのワークと装置間のクリアランスは、吸着性能に対する極めて重要な要素となる。
【００５７】
他の実施の形態に係る非接触搬送装置５０では、ウェハの非接触状態での吸着確認のために一組の反射型光電センサ機構６４ａ、６４ｂが装着されている。この光電センサ機構６４ａ（６４ｂ）は、ワークに向けたセンサ投光穴６６から光を照射し、前記センサ投光穴６６に隣接するもう一方のセンサ受光穴６８を介して反射光を受光することにより、ワークの有無を検出することができる。なお、前記センサ投光穴６６及びセンサ受光穴６８に近接するセンサ本体７０には、該センサ本体７０を積層された各種プレートに取り付けるための取付用孔部７２が形成されている。
【００５８】
ワークは、剥がれるように離脱するので、離脱初期では部分的に吸着された状態となる。そのため、光電センサ機構６４ａ、６４ｂは、一組配置され、一組の光電センサ機構６４ａ、６４ｂのそれぞれの出力信号のアンドをとることにより、ワークの吸着を検出している。
【００５９】
積層された各種プレートには、センサ本体７０の幅寸法より大きめな嵌合溝７４が形成されている。嵌合溝７４の下方（対ワーク側）には、センサ光軸をさけて第１フィン７６（厚さ約０．２ｍｍ）が形成されている。嵌合溝７４の上方（対ワーク側）には、センサの仮固定のため、センサ高さに合わせて第２フィン７８（厚さ約０．２ｍｍ）が形成されている。この第２フィンは、センサ本体の高さ寸法が精度管理されていない場合、板ばね状に形成されてばね性を有すため、センサ本体の寸法に対応して上方側に向かって変形するように設けられている（図１４参照）。
【００６０】
図１２に示されるように、センサ本体７０の固定は、センサプレート８０の所定間隔離間した一組の爪部８２ａ、８２ｂの間に挟持されることにより行われる。前記センサプレート８０は、他のプレートのフォトエッチング成形時に同時に成形され、例えば、約０．２ｍｍの厚さの金属板によって形成される。
【００６１】
前記センサプレート８０には、２対のネジ８４及びナット８６が設けられ、該センサプレート８０は前記ナット８６が挿入されるナット挿入溝８８を介して固定される。その際、センサ本体７０を一組の爪部８２ａ、８２ｂによって保持することにより、センサ本体７０が固定される。センサプレート８０の固定は、センサ本体７０の側方に成形されたナット挿入溝８８に沿ってナット８６を装着することにより行われる（図１６及び図１７参照）。
【００６２】
センサ本体７０より延在するケーブル９０は、その後の取り回しのために所定の角度で方向転換される。前記方向転換により、屈曲自在なケーブル９０が使用される。ケーブルは、センサ機構の上面側（ワークと反対側の面）に設けられた溝９２に挿入される。前記溝９２の断面は略Ｃ型に形成され、開口部が狭く前記開口部から奥部に向かう内部空間が広く設定され、前記溝９２内に挿入されたケーブル９０は、該溝９２から外部に突出することがなく溝９２から外れない構造となっている（図１８及び図１９参照）。
【００６３】
拡散接合による各種プレートの接合は、薄型の装置構成の中で流体通路２０の形成に十分な強度とシール性を提供し、接合工数を増大させることがなく、全ての各種プレートの積層接合を一括して遂行することができる。前記拡散接合を行う前に、中間プレート２６ａ、２６ｂの任意の組み合わせを選択することにより、容易に様々な性能のバリエーションを製造することができる。
【００６４】
この場合、結合手段として機能する拡散接合とは、金属原子の拡散現象を利用した接合方法であって、具体的には、金属表面同士を相互に原子レベル程度まで接近させ、加熱及び加圧手段を用いて両部品間に拡散現象を発生させて金属学的に一体化することにより接合するものである。
【００６５】
拡散現象により接合された部分は、接続条件、表面粗さ、平面度等によって異なるが、一般的には数十パーセント以上となるため、接合面全体の強度は、元の金属の数十パーセント以上の強度となる。また、拡散現象により接合された部分は、接合面全域にわたって均一に分布するため、気体のシールが達成される。
【００６６】
前記拡散接合を用いることにより、多数の積層されたシートを一括的に接合することができる。接合に際しては、複数のシートを、単に積層、加圧し真空炉内で加熱するのみであり、１つの製品において複数の拡散接合を行っても一括的に接合を行う限り成形工数に全く影響しない。従って、中間プレート２６ａ、２６ｂ以外の部分で立体構造が必要とされる場合、前記中間プレート２６の接合のみを独立して成形するのではなく、中間プレートと他のプレートとの拡散接合を同時に遂行することにより成形工数が削減されて効率的である。
【００６７】
なお、その他の作用効果は、前記実施の形態と同一であるため、その詳細な説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態に係る非接触搬送装置の斜視図である。
【図２】図１に示す非接触搬送装置の分解斜視図である。
【図３】図１の矢印Ｚ方向からみた斜視図である。
【図４】脱落防止ガイド機構の分解斜視図である。
【図５】図１に示す非接触搬送装置に設けられたノズル及びエア噴出孔部の部分拡大斜視図である。
【図６】本発明の他の実施の形態に係る非接触搬送装置の斜視図である。
【図７】図６に示す非接触搬送装置の分解斜視図である。
【図８】図６の矢印Ｚ方向からみた斜視図である。
【図９】各種プレートの斜視図である。
【図１０】積層されることによりエア噴出孔部を形成する第２アンダプレートの斜視図である。
【図１１】センサ本体及びセンサプレートを装着する状態を示す斜視図である。
【図１２】センサ取付部に対してセンサ本体及びセンサプレートが装着された状態を示す斜視図である。
【図１３】図１２の矢印Ｚ方向からみた斜視図である。
【図１４】センサ本体が嵌合溝に挿入された際、第１フィンが上方に向かって撓む状態を示す斜視図である。
【図１５】センサ本体の構造を示す斜視図である。
【図１６】センサプレートがナット挿入溝に装着される状態を示す斜視図である。
【図１７】図１６の矢印Ｚ方向からみた斜視図である。
【図１８】ケーブルが収納される溝を示す部分斜視図である。
【図１９】ケーブルが収納される溝を示す部分斜視図である。
【図２０】従来技術に係る非接触搬送装置の斜視図である。
【符号の説明】
【００６９】
１０、５０…非接触搬送装置
１２、１２ａ、１２ｂ…トッププレート
１８、１８ａ、１８ｂ…アンダプレート
２０…流体通路                        ２２…ノズル
２４…スリット                        ２６、２６ａ、２６ｂ…中間プレート
２８…ねじ部材                        ３０…エア供給孔部
３２…円形状孔部                      ３４…エア噴出孔部
３８…脱落防止ガイド機構              ５２…エア導入ポート
５４…装置本体                        ６０ａ〜６０ｊ…第２アンダプレート
６２…肉抜き部                        ６４ａ、６４ｂ…光電センサ機構
７０…センサ本体                      ７４…嵌合溝
８０…センサプレート                  ８８…ナット挿入溝
９２…溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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