(57)【要約】【課題】  コンピュータウイルス対策を施した熱処理システムを提供する。【解決手段】  熱処理システムを構成する熱処理装置１０は、装置コントローラ１１に格納されたプロセスレシピに基づいたプロセス制御によって制御される。複数の熱処理装置１０にネットワーク１２を介してウイルスチェックサーバ１４を接続する。ウイルスチェックサーバ１４からウイルスチェックプログラムを、適宜、装置コントローラ１１にダウンロードし、装置コントローラ１１のウイルス感染検査を行う。この際、ウイルスチェックサーバ１４は、装置コントローラ１１に熱処理装置１０の稼動状態を確認させ、稼働状態がプロセスレシピの実行中であるときには、プロセスレシピ終了後に、ウイルス感染を検査をするように制御する。ウイルス感染検査後は装置コントローラ１１からウイルスチェックプログラムを削除する。【選択図】  図１
2006060132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理装置の装置コントローラに回線を介して遠隔操作装置からアクセス可能とした熱処理システムであって、
前記装置コントローラ内のコンピュータウイルス感染を検査するウイルスチェックサーバを前記回線に接続したことを特徴とする熱処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータウイルス対策を施した熱処理システム関するものである。
【背景技術】
【０００２】
これまでは、ＣＶＤ装置などの熱処理装置は、ネットワーク（回線）に接続せずに、工場内で単独で使用されており、プロセスレシピの入力、プロセス開始操作や装置稼動情報の取得などは、全て装置オペレータにより、熱処理装置に直接操作して行われていた。
そのため、熱処理装置は、ネットワークを経由して侵入するコンピュータウイルスに感染することはほとんどなかった。また、プロセスレシピを保存するために使用するＦＤを介してコンピュータウイルスに感染した場合でも、ネットワークに接続されていないので、被害を受ける範囲は限られていた。
ところが、近年は、互いに遠く離れた工場の熱処理装置間をネットワークに接続して、熱処理システムを構築することが当たり前となってきている（例えば、特許文献１、特許文献２等）。それにともない、熱処理システムは、ネットワークを経由したコンピュータウイルス感染の被害も広がっている。
【特許文献１】特開２００２−２７５６７号公報
【特許文献２】特開２００３−１５８０４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述した従来の熱処理システムは、コンピュータウイルスに対し無防備であるため、ウイルスに感染する可能性が急速に高まっている。また、熱処理システムは、ウイルス対策が行われていないため、ひとたびウイルスに感染すると、被害が広範囲に拡大するおそれがあった。
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、コンピュータウイルス対策を施した熱処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の発明は、熱処理装置の装置コントローラに回線を介して遠隔操作装置からアクセス可能とした熱処理システムであって、前記装置コントローラ内のコンピュータウイルス感染を検査するウイルスチェックサーバを前記回線に接続したことを特徴とする熱処理システムである。
ウイルスチェックサーバを回線に接続したので、装置コントローラ内にウイルスチェックプログラムをダウンロードすることにより、回線を介して侵入する装置コントローラ内のウイルス感染を検査することができる。また、回線を介してダウンロードするので、最新のウイルスチェックプログラムでウイルス感染を検査することができる。
【０００５】
第２の発明は、第１の発明において、前記熱処理装置は、プロセスレシピに基づいたプロセス制御によって制御されるものであり、前記ウイルスチェックサーバは、前記装置コントローラに前記熱処理装置の稼動状態を確認させ、前記稼働状態が前記プロセスレシピの実行中であるときには、プロセスレシピ終了後に、前記ウイルス感染を検査をするように制御するものであることを特徴とする熱処理システムである。
このようなウイルス感染検査を行う場合に、特にプロセス制御に影響を与えやすいが、本発明によれば、プロセスレシピ実行中のときには、プロセスレシピ終了後に、ウイルス感染検査をするように制御するので、そのような問題を解決できる。
【０００６】
第３の発明は、第１の発明において、前記ウイルスチェックサーバから回線を介して装置コントローラにダウンロードしたウイルスチェックプログラムを、ウイルス感染検査が終わると装置コントローラから削除するようにしたことを特徴とする熱処理システムである。
ウイルスチェックプログラムが装置コントローラのメモリに常駐しないので、装置コントローラの負担が増加せず、装置コントローラの動作に影響を与えるおそれがない。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ウイルスチェックサーバを回線に接続するようにしたので、装置コントローラ内のウイルス感染を有効に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に本発明の実施の形態を説明する。
図１は、実施の形態の熱処理システムの構成図である。熱処理システムは、複数の熱処理装置１０を、遠隔操作装置としてのホスト装置１３によってアクセス可能としたシステムである。複数の熱処理装置１０は、ホスト装置１３に回線としてのネットワーク１２で接続されている。このネットワーク１２には、コンピュータウイルス感染を検査するウイルスチェックサーバ１４が接続されている。
【０００９】
熱処理装置１０は、ＣＶＤ成膜、酸化膜形成、不純物拡散などの熱処理を基板に行う。この熱処理装置１０は、例えばバッチ式の縦型熱処理装置で構成される。この縦型熱処理装置は、処理炉、ボートの他に、基板搬送ロボット、ボートエレベータなどの機構部を備える。基板搬送ロボットによって多数枚の基板をボートに積載し、ボートエレベータにより、ボートを処理炉内に搬入する。搬入後、成膜などの処理が行われる。
【００１０】
熱処理装置１０は、これを制御する装置コントローラ１１を備える。装置コントローラ１１は、そのメモリ内にプロセスレシピを格納し、プロセスレシピによって熱処理装置１０を制御する。また、装置コントローラ１１は、そのメモリ内にウイルスチェックプログラム（ウイルス対策ソフト）を格納し、ウイルスチェックプログラムによって装置コントローラ１１内のコンピュータウイルス感染を検査する。装置コントローラ１１は、ウイルスチェックサーバ１４と通信を行うための通信ソフトを有する。
上記プロセスレシピとは、プロセスシーケンス及び制御パラメータ（温度、圧力、ガスの種類及びガス流量、時間などの制御目標値）に関する熱処理装置個別の処理プログラムである。装置コントローラ１１は、基板搬送ロボットやボートエレベータなどの機構部を監視して各機構部へ動作指示を行うとともに、このプロセスレシピに基づいたプロセス制御によって、熱処理装置１０に所定の温度、圧力条件の下で処理ガスを導入して、成膜等の処理を行わせる。
【００１１】
このような装置コントローラ１１を備えた熱処理装置１０は、遠隔地などにある各工場に複数存在する。これらの複数の熱処理装置１０は、ネットワーク１２によりホスト装置１３に接続される。ネットワークは、ＬＡＮ、ＷＡＮ、インターネットなどで構成される。例えば工場ネットワークを挙げることができる。
【００１２】
ホスト装置１３は、遠隔地に存在して、ネットワーク１２から装置コントローラ１１を遠隔操作して複数の熱処理装置１０を制御する。このホスト装置１３は、装置コントローラ１１を介して熱処理装置１０にアクセス可能になっている。このホスト装置１３は、複数の熱処理装置１０に共通の上位の制御系コンピュータで構成される。このホスト装置１３は、各熱処理装置１０の稼動状況や生産情報の取得、プロセスレシピの管理を行うことができる。また、処理データを装置コントローラ１１から吸い上げることもできる。
【００１３】
ウイルスチェックサーバ１４は、熱処理装置１０の装置コントローラ１１内のコンピュータウイルス感染を検査することが可能なウイルスチェックプログラムを保有し、最新のウイルスチェックプログラムを装置コントローラ１１に提供できるようになっている。
【００１４】
上述したように構成された熱処理システムにおいて、装置コントローラ１１内のウイルス感染検査は、装置コントローラ１１のメモリ内に格納した通信ソフト、及びウイルスチェックサーバ１４のウイルスチェックプログラムによって、図２に示すようになシーケンスで行われる。
【００１５】
（１）ウイルスチェックサーバ１４は、サーバからネットワーク１２を介して、各熱処理装置１０の装置コントローラ１１で動作している通信ソフトに、自動的例えば定期的に、熱処理装置１０の稼動状況を間い合わせる。
（２）装置コントローラ１１は、コントローラで動作している通信ソフトが熱処理装置１０の稼動状況を調べ、ネットワーク１２を介してウイルスチェックサーバ１４に熱処理装置１０の稼動状況を通知するように制御する。
（３）ウイルスチェックサーバ１４において、熱処理装置１０がアイドル状態（プロセスレシピが実行されていない）であると判断されれば、ウイルス感染検査を行うために、ウイルスチェックサーバ１４からネットワーク１２を介して、複数の熱処理装置の中から対象となる熱処理装置１０の装置コントローラ１１にウイルスチェックプログラムをロードする。装置コントローラ１１は、コントローラのメモリにそのプログラムを展開する。
このとき、熱処理装置１０にて、プロセスレシピが実行されている場合は、ウイルス感染検査をプロセスレシピ終了後に行うようにウイルスチェックサーバ１４で制御する。
【００１６】
（４）対象となる熱処理装置１０の装置コントローラ１１は、展開されたウイルスチェックプログラムにより、コントローラのウイルス感染検査を行う。ウイルスが発見された場合、装置コントローラ１１からウイルスの駆除を行う。
（５）装置コントローラ１１は、ウイルスの有無や、検出したウイルスの種類、対処結果などの情報をネットワーク１２を介してウイルスチェックサーバ１４に通知する。ウイルスチェックサーバ１４ではこれらの検査情報、検査履歴を保存、管理する。
なお、装置コントローラ１１は、ウイルスの駆除後、必要に応じて、対象となる熱処理装置１０の装置コントローラ１１をネットワーク１２から切断する。
（６）ウイルス検査が終わると、装置コントローラ１１は、ウイルスチェックプログラムを装置コントローラ１１のメモリ内から削除する。
【００１７】
上述したように実施の形態によれば、次のような効果を発揮する。
【００１８】
対象となる熱処理装置にネットワークを介して接続されたウイルスチェックサーバから自動的にウイルスチェックプログラムをロードし、プログラムを実行するので、自動的にウイルス感染の検査を行うことができる。また、自動的にウイルス感染検査が行えるので、装置コントローラのウイルス感染検査漏れを無くすことができる。また、その都度、ウイルスチェックプログラムをロードして使用するので、最新のウイルスチェックプログラムが使用できる。
【００１９】
また、ウイルス感染検査後は装置からウイルスチェックプログラムを削除するので、装置コントローラ１１の動作にプログラムが悪影響を与えるのを防止できる。すなわち、装置コントローラ１１にインストールされている既存のウイルスチェックプログラムをそのまま使用した場合、ウイルスチェックプログラムは装置コントローラ１１のメモリに常駐して、メモリ資源を使うため、装置コントローラ１１の負担が増し、装置コントローラ１１の動作に悪影響を与えるおそれがある。例えば、装置コントローラ１１におけるプロセスレシピの制御性能、センサからのモニタ値の精度、操作画面の応答性などが低下する。しかし、ウイルス検査が終わるとウイルスチェックプログラムを装置コントローラ１１から削除しているので、上述したような問題が生じない。
【００２０】
また、プロセスレシピが実行されている場合は、ウイルス感染検査をプロセスレシピ終了後に行うようにしたプロセス優先主義を取っているので、プロセス制御に影響を与えることなく、コンピュータウイルスを検査・駆除することができる。
【００２１】
また、ウイルス感染検査により問題があれば直ちにウイルス駆除やネットワーク切断などの対処を行うので、ウイルス感染の被害が広がるのを未然に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施の形態による熱処理システムの構成図である。
【図２】実施の形態によるウイルスチェックシーケンスの説明図である。
【符号の説明】
【００２３】
１０    熱処理装置
１１    装置コントローラ
１２    ネットワーク（回線）
１３    ホスト装置（遠隔操作装置）
１４    ウイルスチェックサーバ
【図１】
2006060132.tif 000003
【図２】
2006060132.tif 000004