(57)【要約】【課題】金属部材に施した部分めっき領域内でのめっき金属層を可及的に一定厚さとし得る部分めっき装置及び部分めっき方法を提供する。【解決手段】所定表面が露出するようにマスク部材１４が被着されたリードフレームに電解めっきを施し、前記所定表面を所望金属から成るめっき金属層で覆う部分めっき装置において、該マスク部材１４には、前記リードフレームに被着されたとき、前記所定表面が臨む空間部１８が形成されるように凹部１６が形成されていると共に、空間部１８内に電解めっき液が供給される供給口２０ａと、空間部１８内の電解めっき液を排出する排出口２０ｂとが凹部１６の底部に形成され、且つ空間部１８内に供給口２０ａから噴き込まれた電解めっき液が空間部１８内に露出する前記所定表面に対して斜め方向から噴き付けられるように、前記リードフレームの所定表面に対して斜め方向に電解めっき液を噴射する噴射ノズル２２が供給口２０ａの近傍に配設されていることを特徴とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定表面が露出するようにマスク部材が被着された金属部材に電解めっきを施し、前記所定表面を所望金属から成るめっき金属層で覆う部分めっき装置において、
該マスク部材には、前記金属部材に被着されたとき、前記所定表面が露出する空間部が形成されるように凹部が形成されていると共に、前記空間部内に電解めっき液が供給される供給口と、前記空間部内の電解めっき液を排出する排出口とが前記凹部の底部に形成され、
且つ前記空間部内に前記供給口から噴き込まれた電解めっき液が、前記空間部に露出する金属部材の所定表面に対して斜め方向から噴き付けられるように、前記金属部材の所定表面に対して斜め方向に電解めっき液を噴射する噴射ノズルが前記供給口の近傍に配設されていることを特徴とする部分めっき装置。
【請求項２】
噴射ノズルが、金属部材の所定表面に対して傾斜して設けられている請求項１記載の部分めっき装置。
【請求項３】
金属部材が、リードフレームである請求項１又は請求項２記載の部分めっき装置。
【請求項４】
複数個の供給口が設けられていると共に、前記供給口の各々に対応する噴射ノズルが設けられている請求項１〜３のいずれか一項記載の部分めっき装置。
【請求項５】
金属部材が、半導体素子を搭載するステージの周縁が複数本のリード先端部で取り囲まれているリードフレームであって、マスク部材が、前記ステージの周縁部及びリード先端部の表面を除くリードフレームの表面を覆うマスク部材である請求項１、請求項２又は請求項４記載の部分めっき装置。
【請求項６】
請求項１記載の部分めっき装置を用いて、金属部材に部分めっきを施すことを特徴とする部分めっき方法。
【請求項７】
金属部材として、リードフレームを用いる請求項６記載の部分めっき方法。
【請求項８】
マスク部材として、複数個の電解めっき液の供給口を設けたマスク部材を用い、前記供給口の各々に対応する噴射ノズルを設ける請求項６又は請求項７記載の部分めっき方法。
【請求項９】
金属部材として、半導体素子を搭載するステージの周縁が複数本のリード先端部で取り囲まれているリードフレームを用い、マスク部材として、前記ステージの周縁部及びリード先端部の表面を除くリードフレームの表面を覆うマスク部材を用いる請求項６又は請求項８記載の部分めっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は部分めっき装置及び部分めっき方法に関し、更に詳細には所定表面が露出するようにマスク部材が被着された金属部材に電解めっきを施し、前記所定表面を所望金属から成るめっき金属層で覆う部分めっき装置、及びこの部分めっき装置を用いた部分めっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置に用いるリードフレームは、図８に示す様に、帯状金属体１１に半導体素子を搭載するステージ１０を取り囲むように複数本のリード１０ａ，１０ａ・・が形成されている。
図８に示すリードフレームでは、ステージ１０に搭載された半導体素子の各電極端子と対応するリード１０ａのステージ１０側の先端部（以下、単にリード１０ａの先端部と称することがある）とをワイヤでボンディングして電気的に接続する。この電気的接続を確実に行なうべく、図８に示す斜線部分、すなわちステージ１０の全面及び各リード１０ａの先端部とを電解銀めっき等の部分電解めっきを施すことが行なわれている。
かかる部分電解めっきでは、例えば下記特許文献１において、図９に示す部分めっき装置を用いることが提案されている。
図９に示す部分めっき装置では、リードフレームは、押圧板１００とマスク部材１０２との間に挟まれており、リードフレームのステージ１０の全表面及びリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部の表面は、リードフレームにマスク部材１０２を被着したとき、形成される空間部１１０に露出している。
【０００３】
かかるマスク部材１０２には、マスク板把持部材１０２ａ，１０２ｃとの間に、電解液の供給口１０４と排出口１０６，１０６とが形成されたマスク板１０２ｂが挟まれており、マスク板把持部材１０２ａ及びマスク板１０２ｂによって凹部１０８が形成されている。この凹部１０８は、リードフレームを押圧板１００とマスク部材１０２との間に挟持したとき、空間部１１０を形成する。
また、マスク板１０２ｂに形成された供給口１０４の直下には、電解めっき液を噴出する噴射ノズル１１２がマスク板１０２ｂに対して直角に設けられている。
更に、マスク板１０２ｂとマスク板把持部材１０２ｃとの間には、直流電源の陽極に接続された網状の陽極１１４が把持されている。
尚、リードフレームは、直流電源の陰極に接続されている。
【特許文献１】特開昭５８-１７４５８９号公報（第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図９に示す部分めっき装置によれば、噴射ノズル１１２から噴出された電解めっき液は、網状の陽極１１４を通過してマスク板１０４の供給口１０４からリードフレームのステージ１０の中央部に向かって空間部１１０内に進入し、露出したリードフレームのステージ１０の全表面及びリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部の表面にめっき金属を析出しつつ排出口１０６，１０６の方向に移動し、排出口１０６，１０６から排出される。
しかし、図９に示す部分めっき装置では、特許文献１の第２頁左下欄の第９〜１２行目に記載されている如く、ステージ１０はリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部よりも厚いめっき金属層が形成される。
この様に、図９に示す部分めっき装置では、ステージ１０に形成されるめっき金属層とリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部に形成されるめっき金属層との厚さにバラツキが存在する。
従って、図９に示す部分めっき装置は、ステージ１０とリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部とに形成されるめっき金属層の厚さが均一であることが要求される部分めっきには適用できない。
【０００５】
また、リードフレームには、図１０に示す斜線部分、すなわちステージ１０の周縁部及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部のみに電解めっきを施したい場合もある。
この場合、図１１に示す様に、マスク部材１０２には、周縁部表面を除くステージ１０の表面にめっき金属が析出しないように、先端面がステージ１０の表面に当接する柱状部１２０がマスク部材１０２に形成されている。かかるマスク部材１０２と押圧板１００との間にリードフレームを挟み込むと、マスク部材１０２に形成された凹部１０８によって、柱状部１２０を取り囲む環状の空間部１１０が形成される。
図１１に示す環状の空間部１１０内には、リードフレームに対して直角となるように設けた噴射ノズル１１２から噴射した電解めっき液を供給口１０４から供給される。空間部１１０内に供給された電解めっき液は、ステージ１０の周縁部の表面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部表面にめっき金属を析出しつつ、排出口１０６，１０６から排出される。
しかし、図１１に示す部分めっき装置では、ステージ１０に形成されるめっき金属層とリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部に形成されるめっき金属層との厚さバラツキは更に拡大することが判明した。
そこで、本発明の課題は、金属部材に施した部分めっき領域内でのめっき金属層を可及的に一定厚さとし得る部分めっき装置及び部分めっき方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者等は、前記課題を解決すべく、先ず、図１１に示す部分めっき装置では、空間部１１０内に電解めっき液の淀み部が生じるものと考え、図１２に示す様に、マスク部材１０２に複数個の供給口１０４と排出口１０６とを形成し、各供給口１０４に近接して噴射ノズル１１２を設けた。
この噴射ノズル１１２，１１２はノズルプレート１１６の一面側に立設されており、ノズルプレート１１６の一面側には陽極プレート１１８が載置されている。
図１２に示す部分めっき装置によれば、図１１に示す部分めっき装置に比較して、ステージ１０に形成されるめっき金属層とリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部に形成されるめっき金属層との厚さバラツキを少なくできる。
しかしながら、ステージ１０に形成されるめっき金属層とリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部に形成されるめっき金属層との厚さバラツキを更に一層少なくすることが求められている。
【０００７】
このため、本発明者等は、ステージ１０に形成されるめっき金属層とリード１０ａ，１０ａ・・の各先端部に形成されるめっき金属層との厚さバラツキが生じる原因について検討したところ、図１０及び図１１に示す部分めっき装置では、空間部１１０内での電解めっき液のリードフレームに対する流動速度が大切であって、空間部１１内の電解めっき液に旋回流を発生させることが有効であることを知り、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、所定表面が露出するようにマスク部材が被着された金属部材に電解めっきを施し、前記所定表面を所望金属から成るめっき金属層で覆う部分めっき装置において、該マスク部材には、前記金属部材に被着されたとき、前記所定表面が露出する空間部が形成されるように凹部が形成されていると共に、前記空間部内に電解めっき液が供給される供給口と、前記空間部内の電解めっき液を排出する排出口とが前記凹部の底部に形成され、且つ前記空間部内に前記供給口から噴き込まれた電解めっき液が、前記空間部に露出する金属部材の所定表面に対して斜め方向から噴き付けられるように、前記金属部材の所定表面に対して斜め方向に電解めっき液を噴射する噴射ノズルが前記供給口の近傍に配設されていることを特徴とする部分めっき装置にある。
また、本発明は、前述した部分めっき装置を用いて、金属部材に部分めっきを施すことを特徴とする部分めっき方法でもある。
【０００８】
かかる本発明において、噴射ノズルとして、金属部材の所定表面に対して傾斜して設けられている噴射ノズルを好適に用いることができる。
また、金属部材として、リードフレーム、特に半導体素子を搭載するステージの周縁が複数本のリード先端部で取り囲まれているリードフレームを好適に用いることができる。かかるリードフレームを用いる際には、マスク部材として、前記ステージの周縁部及びリード先端部の表面を除くリードフレームの表面を覆うマスク部材を好適に用いることができる。
更に、マスク部材には、複数個の供給口を設けると共に、前記供給口の各々に対応する噴射ノズルを設けることによって、金属部材の部分めっきを施した領域内でのめっき金属層の厚さを可及的に一定にできる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る部分めっき装置では、金属部材の部分めっきを施す所定表面が臨む空間部内に電解めっき液を供給する供給口と、空間部内から電解めっき液を排出する排出口とが設けられており、供給口近傍には、空間部内に露出する金属部材の所定表面に対して斜め方向に電解めっき液を噴射する噴射ノズルが配設されている。
かかる本発明に係る部分めっき装置によれば、噴射ノズルから噴射された電解めっき液は、供給口を経由して金属部材の所定表面に対して斜め方向に噴き付けられるように空間部内に噴き込まれ、空間部内の電解めっき液は排出口を経由して空間部外に排出される。
この様に、金属部材の所定表面に対して斜め方向に噴き付けられるように空間部内に噴き込まれた電解めっき液によって、空間部内の電解めっき液には旋回流が発生し、空間部内の淀み部は解消して金属部材の所定表面に対する電解めっき液の流速を高めることができる。
その結果、空間部内の電解めっき液に形成された淀み部に起因する金属部材の所定表面に形成されるめっき金属層の厚さバラツキを可及的に減少でき、金属部材の所定表面に形成されるめっき金属層の厚さを可及的に一定にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明に係る部分めっき装置の一例を図１に示す。図１は、金属部材としてリードフレームを用いた部分めっき装置の部分断面図である。このリードフレームには、ステージ１０の全面と各リード１０ａのステージ１０側の先端部とにめっき金属層を形成する部分めっきを施す。
リードフレームは、押さえ金具１２ａと押さえゴム１２ｂとから成る板状部材１２と、マスクプレート１４ａとラバープレート１４ｂとから成るマスク部材１４との間に挟持されている。
かかるマスクプレート１４ａには、凹部１６が形成されており、板状部材１２とマスク部材１４との間にリードフレームを挟持したとき、空間部１８が形成される。この空間部１８には、リードフレームの部分めっきを施すステージ１０の全面と各リード１０ａのステージ１０側の先端部とが露出する。空間部１８に露出しなかったリードフレームの部分は、押さえゴム１２ｂとラバープレート１４ｂとに密着されて挟持されている。
更に、マスクプレート１４ａの凹部１６の底部には、空間部１８内に電解めっき液を供給する供給口２０ａと、空間部１８内の電解めっき液を排出する排出口２０ｂ，２０ｂとが形成されている。
【００１１】
かかる電解めっき液の供給口２０ａの入口側近傍には、液セル３０内の電解めっき液を空間部１８内に噴き込む噴射ノズル２２が突出して設けられており、噴射ノズル２２はノズルプレート２４に傾斜して設けられている。この傾斜して設けられた噴射ノズル２２（以下、傾斜噴射ノズル２２と称することがある）は、空間部１８内に露出するリードフレームの露出面（ステージ１０の全面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面）に対して斜め方向に供給口２０ａを経由して電解めっき液を噴き込むことができる傾斜角で設けられており、４５°程度の傾斜角が適当である。
また、ノズルプレート２４のマスクプレート１４ａ側の面には、電源（図示せず）の陽極に接続された陽極プレート２８が被着されており、電源の陰極はリードフレームに接続されている。
更に、マスクプレート１４ａには、空間部１８内の空気を抜き出す空気抜き孔２６が形成されている。この空気抜き孔２６は、ラバープレート１４ｂとの境界近傍に形成された切欠部２６ａと、この切欠部２６ａに一端が接続され且つ他端がマスクプレート１４ａの噴射ノズル２２側の面に開口する細孔２６ｂとから構成される。
【００１２】
図１に示す部分めっき装置では、電源の陽極に陽極プレート２８を接続すると共に、電源の陰極にリードフレームを接続して、傾斜噴射ノズル２２からマスクプレート１４ａの供給口２０ａを経由して空間部１８内に電解めっき液を噴き込むと、空間部１８内の空気を空気抜き孔２６，２６・・を経由して空間部１８外に排出しつつ、空間部１８内に露出するリードフレームの露出面（ステージ１０の全面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面）にめっき金属層を形成する。
その際に、空間部１８内には、供給口２０ａを経由して傾斜噴射ノズル２２から空間部１８内に露出するステージ１０の全面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面に対して電解めっき液を斜め方向に噴き込みつつ、空間部２２内の電解めっき液を排出口２０ｂ、２０ｂから排出して液セル３０に戻す。
この様に、空間部１８内にリードフレームの露出面に対して斜め方向に電解めっき液を噴き込むため、空間部１８内で電解めっき液に旋回流が発生する。これによって、空間部１８内のリードフレームの露出面に対して電解めっき液が停滞する淀み部を解消でき、リードフレームの露出面に対する電解めっき液の流速を高めることができる。その結果、電解めっき液の停滞に起因して発生する、リードフレームの露出面に形成されるめっき金属層の厚さバラツキを可及的に減少を図ることができる。
【００１３】
一方、従来の図９、図１１及び図１２に示す部分めっき装置では、リードフレームの露出面に対して直角方向に噴射ノズル１１２から電解めっき液を噴射するため、噴射ノズル１１２から噴射された電解めっき液はリードフレームの露出面に衝突して流動方向が反転する。この際に、電解めっき液の流速が零となる領域（淀み部）が形成される。このため、リードフレームの露出面に形成されるめっき金属層に厚さバラツキが発生し易くなる。
【００１４】
図１に示す部分めっき装置では、傾斜噴射ノズル２２が１個であったが、図２に示す様に、マスクプレート１４ａの凹部１６の底部に、空間部１８内に電解めっき液を供給する複数個の供給口２０ａ，２０ａと、空間部１８内の電解めっき液を排出する排出口２０ｂとを形成し、各供給口２０ａの入口側近傍には傾斜噴射ノズル２２を設ける。供給口２０ａ，２０ａの各近傍に開口する傾斜噴射ノズル２２は、その電解めっき液の噴射方向が互いに異なる方向に傾斜して設けられている。
図２に示す部分めっき装置では、供給口２０ａ，２０ａの各近傍に開口する傾斜噴射ノズル２２から空間部１８内に噴き込まれた電解めっき液は、互いに異なる方向に噴き込まれている。このため、図２に示す部分めっき装置の空間部１８では、傾斜噴射ノズル２２が１個の図１に示す部分めっき装置よりも強い旋回流が発生する。
【００１５】
図１及び図２に示す部分めっき装置では、図８に示す様に、ステージ１０の全面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面にめっき金属層を形成するものである。
一方、図１０に示す様に、ステージ１０の周縁部面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面にめっき金属層を形成する部分めっき装置としては、図３に示す部分めっき装置を用いることができる。
図３に示す部分めっき装置について、図１及び図２に示す部分めっき装置と同一部分は同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図３に示す部分めっき装置では、周縁部表面を除くステージ１０の表面にめっき金属が析出しないように、先端面がステージ１０の表面に当接する柱状部３２がマスクプレート１４ａに形成されている。この柱状部３２の先端面にも、ラバープレート１４ｂが設けられている。
【００１６】
図３に示す部分めっき装置では、マスクプレート１４ａに形成された、先端面がステージ１０の表面に当接する柱状部３２によって、柱状部３２を取り囲む環状の空間部１８に形成される。かかる環状の空間部１８を形成するマスクプレート１４ａの凹部１６の底部には、電解めっき液を空間部１８内に供給する供給口２０ａと、空間部１８内の電解めっき液を排出する排出口２０ｂ、２０ｂとが形成されている。
この供給口２０ａの入口近傍には、噴射ノズル２２が設けられており、噴射ノズル２２はノズルプレート２４に傾斜して設けられている。かかる傾斜して設けられた噴射ノズル２２（以下、傾斜噴射ノズル２２と称することがある）からは、環状の空間部１８内に露出するリードフレームの露出面（ステージ１０の周縁部面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面）に対して斜め方向に電解めっき液が噴射される。
【００１７】
図３に示す部分めっき装置では、電源の陽極に陽極プレート２８を接続すると共に、電源の陰極にリードフレームを接続して、傾斜噴射ノズル２２からマスクプレート１４ａの供給口２０ａを経由して環状の空間部１８内に電解めっき液を噴き込むと、空間部１８内の空気を空気抜き孔２６，２６・・を経由して空間部１８外に排出しつつ、空間部１８内に露出するリードフレームの露出面（ステージ１０の周縁部面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面）にめっき金属層を形成する。
その際に、環状の空間部１８内には、供給口２０ａを経由して傾斜噴射ノズル２２から空間部１８内に露出するステージ１０の周縁部面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面に対して電解めっき液を斜め方向に噴き込みつつ、空間部１８内の電解めっき液を排出口２０ｂ、２０ｂから排出して液セル３０に戻す。
【００１８】
この様に、環状の空間部１８内にリードフレームの露出面に対して斜め方向に電解めっき液を噴き込むため、環状の空間部１８内で電解めっき液に柱状部３２の周囲を旋回する旋回流が発生する。このため、環状の空間部１８内に露出するリードフレームの露出面に対して電解めっき液が停滞する淀み部を解消でき、リードフレームの露出面に対する電解めっき液の流速を高めることができる。その結果、電解めっき液の停滞に起因して発生する、リードフレームの露出面に形成されるめっき金属層の厚さバラツキを可及的に減少を図ることができる。
図３に示す部分めっき装置では、傾斜噴射ノズル２２が１個であったが、図４に示す様に、マスクプレート１４ａの凹部１６の底部に、環状の空間部１８内に電解めっき液を供給する複数個の供給口２０ａ，２０ａと、環状の空間部１８内の電解めっき液を排出する排出口２０ｂとを形成し、各供給口２０ａの入口側近傍には傾斜噴射ノズル２２を設ける。供給口２０ａ，２０ａの各々に設けた傾斜噴射ノズル２２は、その電解めっき液の噴射方向が互いに異なる方向に傾斜して設けている。
図４に示す部分めっき装置では、供給口２０ａ，２０ａの各々に設けた傾斜噴射ノズル２２から環状の空間部１８内に噴き込まれた電解めっき液は、互いに異なる方向に噴き込まれている。このため、図４に示す部分めっき装置の環状の空間部１８では、傾斜噴射ノズル２２が１個の図３に示す部分めっき装置よりも強い旋回流が発生する。
【実施例１】
【００１９】
図１０に示すリードフレームのステージ１０の周縁部面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面に、図４に示す部分めっき装置を使用して銀めっきを施した。この部分めっき装置には、環状の空間部１８内に露出するリードフレームのステージ１０の周縁部面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面に対して、４個の供給口２０ａ，２０ａ・・を経由して斜め方向から電解めっき液が噴き込まれる様に、各供給口２０ａの入口側近傍に傾斜噴射ノズル２２が設けられている。かかる４本の傾斜噴射ノズル２２の各々は、その噴射方向が互いに異なるように傾斜角４５°に傾斜している。
また、比較例として、図１０に示すリードフレームのステージ１０の周縁部面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面に、図１２に示す部分めっき装置を使用して銀めっきを施した。この部分めっき装置には、環状の空間部１１０内に露出するリードフレームのステージ１０の周縁部面及び各リード１０ａのステージ１０側の先端部面に対して、４個の供給口１０４，１０４・・を経由して直角方向から電解めっき液が噴き込まれる様に、各供給口１０４の入口側近傍に噴射ノズル１１２が垂直に設けられている。
【００２０】
実施例及び比較例のリードフレームに対し、電解めっき液として、市販されている銀めっき液を用い、下記表１に示す電解めっき条件下で銀めっきを行なった。
【表１】
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実施例では、銀めっき液を傾斜噴出ノズル２２，２２・・から噴出し、マスクプレート１４ａに形成した各供給口２０ａから環状の空間部１８内に吹き込んだ。その噴き込み方向は、環状の空間部１８内に露出するリードフレームの露出面に対して斜め方向である。
一方、比較例では、銀めっき液を噴出ノズル１１２，１１２・・から噴出し、マスク部材１０２に形成した各供給口１０４から環状の空間部１１０内に吹き込んだ。その噴き込み方向は、環状の空間部１１０内に露出するリードフレームの露出面に対して直角方向である。
【００２１】
実施例及び比較例において、図１０に示すリードフレームについて、各辺の中央部に形成されている中央リードＬを挟む両リードの先端部、及びステージ１０を吊る各サポートバーＳを挟む両リードの先端部に形成された銀めっき層の厚さを測定し、その結果を図５に示す。
更に、リード先端部の銀めっきの厚さを測定した部位近傍のステージ１０の周縁部についても、その銀めっき層の厚さを測定し、その結果を図５に示す。
図５においては、リードの先端部に形成された銀めっき層の厚さの最大値、最小値及び平均値を示し、ステージ１０の周縁部に形成された銀めっき層の厚さの最大値、最小値及び平均値を示す。
図５から明らかな様に、実施例では、リードとステージとの銀めっき層の厚さのバラツキは略同程度であるが、比較例では、リードの銀めっき層の厚さバラツキはステージの銀めっき層の厚さバラツキに比較して大きく、両者の銀めっき層の厚さバラツキは実施例に比較して大きい。
【実施例２】
【００２２】
実施例１において、電流量を一定にして電解めっき時間を変化させて、リードフレームに加えた電荷量を変化させた他は実施例１と同様にしてリードフレームのリードの先端部及びステージの周縁部に銀めっきを施した。
銀めっきを施したリードフレームのリードの先端部及びステージの周縁部に形成された銀めっき層の膜厚を測定し、その結果を図６及び図７に示す。
図６は、実施例の部分めっき装置を用いて、リードフレームのリードの先端部及びステージの周縁部に形成した銀めっき層の厚さの最大値と最小値とについて、電荷量に対する変化を示す。電荷量が増加しても（銀めっき層を厚くしても）、銀めっき層の厚さバラツキは略一定である。
これに対し、図７は、比較例の部分めっき装置を用いて、リードフレームのリードの先端部及びステージの周縁部に形成した銀めっき層の厚さの最大値と最小値とについて、電荷量に対する変化を示す。電荷量が増加する（銀めっき層が厚くなる）に従って、銀めっき層の厚さバラツキが拡大している。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る部分めっき装置の一例を説明する部分断面図である。
【図２】本発明に係る部分めっき装置の他の例を説明する部分断面図である。
【図３】本発明に係る部分めっき装置の他の例を説明する部分断面図である。
【図４】本発明に係る部分めっき装置の他の例を説明する部分断面図である。
【図５】本発明に係る部分めっき装置を用いて部分めっきを施したリードフレームのリード先端部とステージの周縁部とのめっき金属層の厚さバラツキを示すグラフである。
【図６】本発明に係る部分めっき装置を用いて部分めっきを施したリードフレームに形成されるめっき金属層の厚さバラツキと電荷量との関係を示すグラフである。
【図７】従来の部分めっき装置を用いて部分めっきを施したリードフレームに形成されるめっき金属層の厚さバラツキと電荷量との関係を示すグラフである。
【図８】リードフレームに部分めっきを施す領域の一例を説明する正面図である。
【図９】従来の部分めっき装置を説明する部分断面図である。
【図１０】リードフレームに部分めっきを施す領域の一例を説明する正面図である。
【図１１】従来の部分めっき装置を説明する部分断面図である。
【図１２】図１１に示す部分めっき装置を改良した改良部分めっき装置を説明する部分断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１０  ステージ
１０ａ  リード
１２  板状部材
１２ａ  押さえ金具
１２ｂ  押さえゴム
１４  マスク部材
１４ａ  マスクプレート
１４ｂ  ラバープレート
１６  凹部
１８  空間部
２０ａ  供給口
２０ｂ  排出口
２２  噴射ノズル
２４  ノズルプレート
２６  空気抜き孔
２６ａ  切欠部
２６ｂ  細孔
２８  陽極プレート
３０  液セル
３２  柱状部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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