(57)【要約】【課題】ルールファイルを簡単にテストすることが可能な技術を提供する。【解決手段】テスト装置１０におけるデザインルール抽出部１は、テスト対象ルールファイルＲＦからあるデザインルールを抽出する。テスト用ルールファイル作成部２は、デザインルール抽出部１で抽出されたデザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールと同じチェック値を有するものと当該デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを作成する。デザインルール判定部３は、複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを用いて、デザインルール抽出部１で抽出されたデザインルールの正否を判定する。【選択図】図２
2006350420.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置のレイアウトパターンを検証する際に使用されるレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置であって、
複数種類のデザインルールを含むテスト対象のルールファイルからあるデザインルールを抽出する抽出部と、
前記抽出部で抽出された前記デザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールと同じチェック値を有するものと当該デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルを作成するテスト用ルールファイル作成部と、
前記複数のテスト用ルールファイルを用いて、前記抽出部で抽出された前記デザインルールの正否を判定する判定部と
を備える、レイアウト検証用ルールファイルのテスト装置。
【請求項２】
請求項１に記載のレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置であって、
前記複数種類のテスト用デザインルールは、前記抽出部で抽出された前記デザインルールと同じチェック値を有するものと、当該デザインルールのチェック値よりもレイアウトパターン設計時の最小グリッド値だけ大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む、レイアウト検証用ルールファイルのテスト装置。
【請求項３】
請求項１及び請求項２のいずれか一つに記載のレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置であって、
前記判定部は、前記複数のテスト用ルールファイルのそれぞれについて、当該テスト用ルールファイルに基づいて基準レイアウトパターンを検証し、それによって得られた検証結果に基づいて、前記抽出部で抽出された前記デザインルールの正否を判定する、レイアウト検証用ルールファイルのテスト装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載のレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置であって、
前記抽出部は、前記テスト対象のルールファイルから、前記複数種類のデザインルールのそれぞれを抽出し、
前記テスト用ルールファイル作成部は、前記抽出部で抽出された前記複数種類のデザインルールのそれぞれについて、前記複数のテスト用ルールファイルを作成し、
前記判定部は、前記抽出部で抽出された前記複数種類のデザインルールのそれぞれについて正否を判定し、
前記判定部での判定結果をリスト形式で記述したファイルを作成する判定結果ファイル作成部を更に備える、レイアウト検証用ルールファイルのテスト装置。
【請求項５】
半導体装置のレイアウトパターンを検証する際に使用されるレイアウト検証用ルールファイルのテスト方法であって、
（ａ）複数種類のデザインルールを含むテスト対象のルールファイルからあるデザインルールを抽出する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）で抽出された前記デザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールと同じチェック値を有するものと当該デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルを作成する工程と、
（ｃ）前記工程（ｂ）で作成された前記複数のテスト用ルールファイルを用いて、前記工程（ａ）で抽出された前記デザインルールの正否を判定する工程と
を備える、レイアウト検証用ルールファイルのテスト方法。
【請求項６】
半導体装置のレイアウトパターンを検証する際に使用されるレイアウト検証用ルールファイルのテストプログラムであって、
（ａ）複数種類のデザインルールを含むテスト対象のルールファイルからあるデザインルールを抽出する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）で抽出された前記デザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールと同じチェック値を有するものと当該デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルを作成する工程と、
（ｃ）前記工程（ｂ）で作成された前記複数のテスト用ルールファイルを用いて、前記工程（ａ）で抽出された前記デザインルールの正否を判定する工程と
をコンピュータに実行させるためのレイアウト検証用ルールファイルのテストプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置のレイアウトパターンを検証する際に使用されるレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置及びテスト方法、並びにレイアウト検証用ルールファイルのテストをコンピュータに実行させるためのテストプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ（large-scale integrated circuit）等を含む半導体装置を設計する際には、そのレイアウトパターンがデザインマニュアルに記載されているデザインルールを満足しているか否かを検証するレイアウト検証装置が使用される。このレイアウト検証装置では、複数種類のデザインルールが記述されたルールファイルと、レイアウトパターンを示すレイアウトデータとが入力され、ルールファイルに基づいてレイアウトパターンの検証が行われる。
【０００３】
一般的に、デザインルールのルールファイルへの記述は人手で行われるため、作成したルールファイルをテストする必要がある。従来では、デザインマニュアルに記載されたデザインルールを満足するレイアウトパターン（以後、「ＯＫパターン」と呼ぶ）と、当該デザインルールを満足しないレイアウトパターン（以後、「ＮＧパターン」と呼ぶ）とを準備し、作成したルールファイルに基づいてＯＫパターンとＮＧパターンとを検証し、その検証結果から、作成したルールファイルの正否を判定している。
【０００４】
例えば、デザインマニュアルに、パターン幅が４．０μｍ以上を満足しなければならいというデザインルールが記載されている場合、パターン幅が４．０μｍのＯＫパターンと、パターン幅が３．９９μｍのＮＧパターンとを準備し、作成したルールファイルを用いてこれらのパターンに対してデザインルールチェック（以後、「ＤＲＣ」と呼ぶ）を実行する。その結果、ＯＫパターンのＤＲＣ結果にエラーが無く、ＮＧパターンのＤＲＣ結果にエラーが存在する場合には、作成したルールファイルは正しいと判定され、それ以外の場合には誤りであると判定される。
【０００５】
なお、レイアウト検証に関する技術が特許文献１〜３に記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−２９０２３５号公報
【特許文献２】特開平１０−６３６９９号公報
【特許文献３】特開２００４−５０３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のように、従来のルールファイルのテスト方法では、ＯＫパターンとＮＧパターンとを準備する必要があり、これらのパターンの作成に手間と時間を要していた。特にＮＧパターンについては、テスト精度を向上するために、デザインルール中のチェック値よりもパターン設計時の最小グリッド値（図形の頂点の座標を入力できる最小単位）だけずれた値のパターンを準備する必要があるため、手間と時間を要していた。
【０００８】
そこで、本発明は上述の問題に鑑みて成されたものであり、ルールファイルを簡単にテストすることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明のレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置は、半導体装置のレイアウトパターンを検証する際に使用されるレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置であって、複数種類のデザインルールを含むテスト対象のルールファイルからあるデザインルールを抽出する抽出部と、前記抽出部で抽出された前記デザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールと同じチェック値を有するものと当該デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルを作成するテスト用ルールファイル作成部と、前記複数のテスト用ルールファイルを用いて、前記抽出部で抽出された前記デザインルールの正否を判定する判定部とを備える。
【００１０】
また、この発明のレイアウト検証用ルールファイルのテスト方法は、半導体装置のレイアウトパターンを検証する際に使用されるレイアウト検証用ルールファイルのテスト方法であって、（ａ）複数種類のデザインルールを含むテスト対象のルールファイルからあるデザインルールを抽出する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）で抽出された前記デザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールと同じチェック値を有するものと当該デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルを作成する工程と、（ｃ）前記工程（ｂ）で作成された前記複数のテスト用ルールファイルを用いて、前記工程（ａ）で抽出された前記デザインルールの正否を判定する工程とを備える。
【００１１】
また、この発明のレイアウト検証用デザインルールのテストプログラムは、半導体装置のレイアウトパターンを検証する際に使用されるレイアウト検証用ルールファイルのテストプログラムであって、（ａ）複数種類のデザインルールを含むテスト対象のルールファイルからあるデザインルールを抽出する工程と、（ｂ）前記工程（ａ）で抽出された前記デザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールと同じチェック値を有するものと当該デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルを作成する工程と、（ｃ）前記工程（ｂ）で作成された前記複数のテスト用ルールファイルを用いて、前記工程（ａ）で抽出された前記デザインルールの正否を判定する工程とをコンピュータに実行させるためのものである。
【発明の効果】
【００１２】
この発明のレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置、テスト方法及びテストプログラムによれば、テスト対象のルールファイル中のあるデザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールと同じチェック値を有するものと当該デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルを用いて、テスト対象のルールファイル中の当該デザインルールの正否を判定している。そのため、デザインマニュアルに記載のデザインルールを満足しないレイアウトパターン（ＮＧパターン）を用いることなくテスト対象のルールファイルをテストできる。また、一般的にルールファイルはレイアウトパターンよりも簡単に作成することができるため、ＮＧパターンよりもテスト用ルールファイルを簡単に作成することができる。よって、テスト対象のルールファイルのテストを簡単に実行でき、レイアウト検証用ルールファイルの開発工数及び開発期間を短縮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は本発明の実施の形態に係るレイアウト検証用ルールファイルのテスト装置１０の構成を示すブロック図である。図１に示されるように、本実施の形態に係るテスト装置１０は、制御部１００と、記憶部２００と、入力部３００と、表示部４００とを備えるコンピュータで構成されている。制御部１００は、ＣＰＵや当該ＣＰＵと他の構成要素との間のインターフェイス部等を備えており、本テスト装置１０の動作を統括的に制御する。記憶部２００は、ハードディスクや、フレキシブルディスク等の本テスト装置１０に着脱可能な記憶媒体を備えており、本テスト装置１０にレイアウト検証用ルールファイルのテストを実行させるためのテストプログラムＴＰＧを記憶している。入力部３００は、キーボード等で構成されており、本テスト装置１０のユーザからのデータ入力を受け付ける。表示部４００は、液晶表示装置等から構成されており、各種情報を表示する。
【００１４】
制御部１００は、記憶部２００からテストプログラムＴＰＧを読み出して実行する。これにより、制御部１００の内部には複数の機能ブロックが形成される。図２はこれらの機能ブロックを示す図である。図２に示されるように、テストプログラムＴＰＧを実行中の制御部１００は、デザインルール抽出部１と、テスト用ルールファイル作成部２と、デザインルール判定部３と、判定結果ファイル作成部４とで構成される。
【００１５】
デザインルール抽出部１は、デザインマニュアルに基づいて作成された、複数種類のデザインルールが記述されたテスト対象のルールファイル（以後、「テスト対象ルールファイルＲＦ」と呼ぶ）から、ある一つのデザインルールを抽出する。そして、デザインルール抽出部１は、抽出したデザインルールが記述されたルールファイル（以後、「抽出ルールファイルＥＲＦ」と呼ぶ）を作成して出力する。
【００１６】
テスト対象ルールファイルＲＦに記述される各デザインルールは、それがどの項目に対するルールなのかを示すチェック項目と、当該チェック項目の基準値を示すチェック値とを含んでいる。例えば、パターン幅が４．０μｍ以上を満足しなければならないというデザインルールにおいては、パターン幅がチェック項目であり、４．０μｍがチェック値である。
【００１７】
またＤＲＣでは、擬似エラーの発生を防止するなどのために、２つのパターン間でＡＮＤ処理やＯＲ処理等の図形演算が行われ、それによって得られる図形がデザインルールを満足するか否かの検証が行われる。したがって、テスト対象ルールファイルＲＦには、デザインルールに対応した図形演算の情報も記述されている。
【００１８】
デザインルール抽出部１は、テスト対象ルールファイルＲＦから、デザインルールを抽出するとともに、それに対応する図形演算の情報も抽出して、それらが記述された抽出ルールファイルＥＲＦを作成する。
【００１９】
なお、一般的なルールファイルにおいては、レイアウト検証装置に対してあるデザインルールの検証の実行を命令するチェックコマンドが記述されており、当該チェックコマンドにデザインルールの情報が含められている。また、ルールファイルにはレイアウト検証装置に対して図形演算の実行を命令する図形演算コマンドが記述されており、上記図形演算の情報はこの図形演算コマンドに含められている。したがって、デザインルール抽出部１は、テスト対象ルールファイルＲＦからあるチェックコマンドとそれに対応する図形演算コマンドとを抽出し、それらが記述された抽出ルールファイルＥＲＦを作成する。
【００２０】
図３は、テスト対象ルールファイルＲＦに記述されているデザインルールを説明するための図である。テスト対象ルールファイルＲＦには、図３（ａ）に示されるレイアウトパターンｆｌ１のパターン幅ｄ１が所定値以上を満足しなければならないというデザインルールや、図３（ｂ）に示される２つのパターンｆｌ１間のパターン間隔ｄ２が所定値以上を満足しなければならないというデザインルール、あるいは、図３（ｃ）に示される、異なる層のレイアウトパターンｃ１，ｆｌ１間における包含距離ｄ３が所定値以上を満足しなければならないというデザインルールなどが記述されている。
【００２１】
なお包含距離ｄ３は、互いに重ね合わされて配置される異なる２つの層のレイアウトパターンｃ１，ｆｌ１における重なり余裕を示しており、上層のパターンｃ１の外形が下層のパターンｆｌ１の外形よりも平面視上で内側に位置する場合での、上層のパターンｃ１の外形と、下層のパターンｆｌ１の外形との平面視上の距離を意味している。
【００２２】
テスト用ルールファイル作成部２は、デザインルール抽出部１から出力された抽出ルールファイルＥＲＦに基づいて、複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを作成して出力する。本実施の形態に係るテスト用ルールファイル作成部２は、抽出ルールファイルＥＲＦのデザインルールのチェック項目と同じ項目をそれぞれが有し、かつ当該デザインルールのチェック値よりも小さい値から大きい値までを含む範囲において互いに異なった値のチェック値を有する複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを作成する。このとき、複数種類のテスト用デザインルールにおけるチェック値の間隔は、例えば、レイアウトパターン設計時の最小グリッド値とする。
【００２３】
例えば、抽出ルールファイルＥＲＦに、パターン幅ｄ１をチェック項目とし、そのチェック値が４．０μｍであるデザインルールが記述されている場合であって、最小グリッド値が０．０１μｍとすると、チェック項目「パターン幅ｄ１」をそれぞれが有し、かつ３．９８μｍ、３．９９μｍ、４．００μｍ、４．０１μｍ及び４．０２μｍのチェック値をそれぞれ有する５種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された５つのテスト用ルールファイルＴＲＦが作成される。
【００２４】
また、テスト用ルールファイル作成部２は、作成する複数のテスト用ルールファイルＴＲＦのそれぞれに、抽出ルールファイルＥＲＦに記述されている図形演算の情報も含める。
【００２５】
デザインルール判定部３は、テスト用ルールファイル作成部２から出力された複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを用いて、デザインルール抽出部１で作成された抽出ルールファイルＥＲＦに記述されているデザインルールの正否を判定し、その判定結果を判定結果ファイル作成部４に出力する。判定結果ファイル作成部４は、受け取った判定結果を記述したファイルを作成し、当該ファイルを判定結果ファイルＪＤＦとして出力する。表示部４００は、判定結果ファイル作成部４から出力された判定結果ファイルＪＤＦが示す判定結果を表示画面（図示せず）に表示する。これにより、本テスト装置１０のユーザはテスト対象ルールファイルＲＦに対するテスト結果を視覚的に確認することができる。
【００２６】
次に、テスト対象ルールファイルＲＦに対するテスト開始から終了までの本実施の形態に係るテスト装置１０の一連の動作について詳細に説明する。図４はこの場合の本テスト装置１０の動作を示すフローチャートである。制御部１００においてテストプログラムＴＲＧの実行が開始すると、図４に示されるように、まずステップｓ１において、デザインルール抽出部１は、本テスト装置１０のユーザによって作成されたテスト対象ルールファイルＲＦを読み込む。上述のように、記憶部２００は本テスト装置１０に着脱可能な記憶媒体を備えており、デザインルール抽出部１は、当該記憶媒体に書き込まれているテスト対象ルールファイルＲＦを読み込む。
【００２７】
次にステップｓ２において、デザインルール抽出部１は、テスト対象ルールファイルＲＦから、あるデザインルールの情報を含むチェックコマンドと、それに対応する図形演算コマンドとを抽出する。そして、ステップｓ３において、デザインルール抽出部１は、抽出したチェックコマンド及び図形演算コマンドが記述された抽出ルールファイルＥＲＦを作成して、記憶部２００に記憶する。以後、ステップｓ２で抽出されたデザインルール、つまり抽出ルールファイルＥＲＦに記述されるデザインルールを「抽出デザインルール」と呼ぶ。
【００２８】
次にステップｓ４において、テスト用ルールファイル作成部２は、抽出ルールファイルＥＲＦを記憶部２００から読み込む。そして、ステップｓ５においてユーザによって本テスト装置１０に入力されたファイル作成数と最小グリッド値とに基づいて、抽出ルールファイルＥＲＦから複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを作成する。ここで「ファイル作成数」とは、テスト用ルールファイル作成部２で作成される複数のテスト用ルールファイルＴＲＦの数を意味している。なお、ファイル作成数と最小グリッド値は、ユーザが入力部３００を操作することによって制御部１００に入力される。
【００２９】
例えば、抽出ルールファイルＥＲＦに、チェック項目がパターン幅ｄ１、チェック値が４．０μｍの抽出デザインルールが記述されている場合であって、ファイル作成数として“５”が入力され、最小グリッド値として“０．０１μｍ”が入力されたとすると、テスト用ルールファイル作成部２は、抽出ルールファイルＥＲＦと全く同じファイルを一つのテスト用ルールファイルＴＲＦとして作成する。そして、抽出ルールファイルＥＲＦにおいて、そのチェックコマンドに含まれているチェック値の値を変更して、チェック値が４．０μｍよりも０．０１μｍだけ大きいファイルと、０．０２μｍだけ大きいファイルと、０．０１μｍだけ小さいファイルと、０．０２μｍだけ小さいファイルとをそれぞれテスト用ルールファイルＴＲＦとして作成する。これにより、抽出デザインルールのチェック項目と同じ項目（パターン幅ｄ１）をそれぞれが有し、かつ当該抽出デザインルールのチェック値（４．０μｍ）よりも小さい値（３．９８μｍ）から大きい値（４．０２μｍ）までを含む範囲において互いに異なった値のチェック値（３．９８μｍ、３．９９μｍ、４．００μｍ、４．０１μｍ及び４．０２μｍ）を有する５種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された５つのテスト用ルールファイルＴＲＦが作成される（以後、この数値例を「実施例１」と呼ぶ）。
【００３０】
また、抽出ルールファイルＥＲＦに、チェック項目がパターン間隔ｄ２、チェック値が３．０μｍの抽出デザインルールが記述されている場合であって、ファイル作成数として“３”が入力され、最小グリッド値として“０．０５μｍ”が入力されたとすると、同様にして、テスト用ルールファイル作成部２は、抽出ルールファイルＥＲＦを元にして、チェック項目「パターン間隔ｄ２」をそれぞれが有し、かつチェック値として２．９５μｍ、３．００μｍ及び３．０５μｍをそれぞれ有する３種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された３つのテスト用ルールファイルＴＲＦを作成する（以後、この数値例を「実施例２」と呼ぶ）。
【００３１】
また、抽出ルールファイルＥＲＦに、チェック項目が包含距離ｄ３、チェック値が０．９０μｍの抽出デザインルールが記述されている場合であって、ファイル作成数として“９”が入力され、最小グリッド値として“０．０５μｍ”が入力されたとすると、テスト用ルールファイル作成部２は、抽出ルールファイルＥＲＦを元にして、チェック項目「包含距離ｄ３」をそれぞれが有し、かつチェック値として０．７０μｍ、０．７５μｍ、０．８０μｍ、０．８５μｍ、０．９０μｍ、０．９５μｍ、１．００μｍ、１．０５μｍ及び１．１０μｍをそれぞれ有する９種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された９つのテスト用ルールファイルＴＲＦを作成する（以後、この数値例を「実施例３」と呼ぶ）。
【００３２】
テスト用ルールファイル作成部２は、複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを作成すると、ステップｓ６において、当該複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを記憶部２００に記憶する。
【００３３】
次にステップｓ７において、デザインルール判定部３は、複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを記憶部２００から読み込み、それらの一つと、ＯＫパターンを示すレイアウトデータ（以後、「ＯＫレイアウトデータＬＤ」と呼ぶ）とを用いて、当該ＯＫパターンに対するＤＲＣを実行する。そしてステップｓ８において、デザインルール判定部３は、そのＤＲＣの結果を示すファイル（以後、「ＤＲＣ結果ファイル」と呼ぶ）を作成して上記記憶部に記憶する。デザインルール判定部３は、すべてのテスト用ルールファイルＴＲＦに関して同様の動作を行う。
【００３４】
本実施の形態では、基準レイアウトパターンとして用いられるＯＫパターンを示すＯＫレイアウトデータＬＤは、抽出デザインルールごとに個別に用意される。例えば、抽出デザインルールがパターン幅ｄ１をチェック項目とするものであれば、上述の図３（ａ）に示されるパターンｆｌ１において、デザインマニュアルに記載された、当該抽出デザインルールと同じデザインルールのチェック値と同じ値のパターン幅ｄ１を有するものがＯＫパターンとして採用され、当該ＯＫパターンを示すレイアウトデータがステップｓ７で使用される。
【００３５】
また、抽出デザインルールがパターン間隔ｄ２をチェック項目とするものであれば、上述の図３（ｂ）に示される２つのパターンｆｌ１において、デザインマニュアルに記載された、当該抽出デザインルールと同じデザインルールのチェック値と同じ値のパターン間隔ｄ２を有するものがＯＫパターンとして採用され、当該ＯＫパターンを示すレイアウトデータがステップｓ７で使用される。
【００３６】
また、抽出デザインルールが包含距離ｄ３をチェック項目とするものであれば、上述の図３（ｃ）に示される２つのパターンｃ１，ｆｌ１において、デザインマニュアルに記載された、当該抽出デザインルールと同じデザインルールのチェック値と同じ値の包含距離ｄ３を有するものがＯＫパターンとして採用され、当該ＯＫパターンを示すレイアウトデータがステップｓ７で使用される。
【００３７】
次にステップｓ９において、デザインルール判定部３は、ステップｓ８で記憶された、すべてのテスト用ルールファイルＴＲＦに関するＤＲＣ結果ファイルを参照して、抽出デザインルールの正否を判定し、その判定結果を判定結果ファイル作成部４に出力する。そしてステップｓ１０において、判定結果ファイル作成部４は、受け取った判定結果が記述されたファイルを作成し、当該ファイルを判定結果ファイルＪＤＦとして記憶部２００に記憶する。
【００３８】
図５〜７は、デザインルール判定部３での判定動作を説明するための図である。図５は、上述の実施例１における５つのテスト用ルールファイルＴＲＦを用いてステップｓ７においてＤＲＣを実行した際のＤＲＣ結果と、当該ＤＲＣ結果に基づいて抽出デザインルールの正否の判定を行った結果とを示している。図５の例では、ＯＫパターンのパターン幅ｄ１はデザインマニュアルでのチェック値と同じ４．０μｍとしており、使用した５つのテスト用ルールファイルＴＲＦを、チェック値の小さい方から順にそれぞれテスト用ルールファイルＴＲＦ１〜ＴＲＦ５としている。
【００３９】
図６は、上述の実施例２における３つのテスト用ルールファイルＴＲＦを用いてＤＲＣを実行した際のＤＲＣ結果と、当該ＤＲＣ結果に基づいて抽出デザインルールの正否の判定を行った結果とを示している。図６の例では、ＯＫパターンのパターン間隔ｄ２はデザインマニュアルでのチェック値と同じ２．０μｍとしており、使用した３つのテスト用ルールファイルＴＲＦを、チェック値の小さい方から順にそれぞれテスト用ルールファイルＴＲＦ１１〜ＴＲＦ１３としている。
【００４０】
図７は、上述の実施例３における９つのテスト用ルールファイルＴＲＦを用いてＤＲＣを実行した際のＤＲＣ結果と、当該ＤＲＣ結果に基づいて抽出デザインルールの正否の判定を行った結果とを示している。図７の例では、ＯＫパターンの包含距離ｄ３はデザインマニュアルでのチェック値と同じ１．０μｍとしており、使用した９つのテスト用ルールファイルＴＲＦを、チェック値の小さい方から順にそれぞれテスト用ルールファイルＴＲＦ２１〜２９としている。
【００４１】
図５に示されるように、テスト用ルールファイルＴＲＦ１におけるテスト用デザインルールのチェック値は３．９８μｍであり、ＯＫパターンのパターン幅ｄ１の４．０μｍ以下である。したがって、テスト用ルールファイルＴＲＦ１に基づいてＯＫパターンを検証した場合には、ＤＲＣ結果にはエラーは発生しない。同様に、テスト用ルールファイルＴＲＦ２，ＴＲＦ３のテスト用デザインルールのチェック値は、それぞれＯＫパターンのパターン幅ｄ１以下であるため、各テスト用ルールファイルＴＲＦ２，ＴＲＦ３に基づいてＯＫパターンを検証した場合にも、ＤＲＣ結果にはエラーは発生しない。
【００４２】
一方、図５に示されるテスト用ルールファイルＴＲＦ４，ＴＲＦ５のテスト用デザインルールのチェック値は、それぞれＯＫパターンのパターン幅ｄ１よりも大きいため、各テスト用ルールファイルＴＲＦ４，ＴＲＦ５に基づいてＯＫパターンを検証した場合には、ＤＲＣ結果にエラーが発生する。
【００４３】
このように、テスト用ルールファイルＴＲＦ１〜ＴＲＦ５に関するＤＲＣ結果をチェック値の小さいものから順に見た場合に、テスト用ルールファイルＴＲＦのチェック値が抽出デザインルールのチェック値と同じ値まではエラーが無く、その次のチェック値、つまり抽出デザインルールのチェック値よりも最小グリッド値だけ大きいチェック値で初めてエラーが発生する場合には、デザインルール判定部３は、抽出デザインルールが正しいと判定する。したがって、図５における抽出デザインルール判定結果は「ＯＫ」となっている。
【００４４】
一方、テスト用ルールファイルＴＲＦ１〜ＴＲＦ５に関するＤＲＣ結果をチェック値の小さいものから順に見た場合に、テスト用ルールファイルＴＲＦのチェック値が抽出デザインルールのチェック値よりも最小グリッド値だけ大きい値以外の値でＤＲＣ結果に初めてエラーが発生した場合、言い換えれば、抽出デザインルールと同じチェック値を有するテスト用ルールファイルＴＲＦ３よりも次にチェック値が大きいテスト用ルールファイルＴＲＦ４以外でＤＲＣ結果に初めてエラーが発生した場合や、作成したテスト用ルールファイルＴＲＦにおけるチェック値のすべての範囲でＤＲＣ結果にエラーが発生した場合、あるいは作成したテスト用ルールファイルＴＲＦにおけるチェック値のすべての範囲でＤＲＣ結果にエラーが発生しない場合には、デザインルール判定部３は、抽出デザインルールが誤っていると判定する。
【００４５】
図６に示される例では、作成したテスト用ルールファイルＴＲＦ１１〜１３におけるチェック値の全範囲でＤＲＣ結果にエラーが発生しているため、図中の抽出デザインルール判定結果は「ＮＧ」となっている。また、図７に示される例では、テスト用ルールファイルＴＲＦ２１〜ＴＲＦ２９に関するＤＲＣ結果をチェック値の小さいものから順に見た場合に、テスト用ルールファイルＴＲＦのチェック値が抽出デザインルールのチェック値よりも最小グリッド値だけ大きい値以外の値でＤＲＣ結果にエラーが発生しているため（チェック値が１．０５μｍのテスト用ルールファイルＴＲＦ８でエラー発生）、図中の抽出デザインルール判定結果は「ＮＧ」となっている。
【００４６】
以上のようにして、デザインルール判定部３は、ＤＲＣ結果ファイルを参照して抽出デザインルールの正否を判定し、判定結果ファイル作成部４がその判定結果を示す判定結果ファイルＪＤＦを作成する。その後、デザインルール判定部３は、抽出デザインルールの正否の判定を行った旨をデザインルール抽出部１に通知する。
【００４７】
次にステップｓ１１において、デザインルール抽出部１は、テスト対象ルールファイルＲＦに記述されているすべてのデザインルールに対して正否判定を行ったどうかを判断し、行っていなければ、再度ステップｓ２を実行して、前回のステップｓ２で抽出したものとは異なるデザインルールと、それに対応する図形演算の情報とをテスト対象ルールファイルＲＦから抽出する。そして、ステップｓ３において新たな抽出ルールファイルが作成・記憶され、ステップｓ４において当該抽出ルールファイルから新たな複数のテスト用ルールファイルＴＲＦが作成され、ステップｓ６において記憶される。
【００４８】
その後、ステップｓ７では、新たな複数のテスト用ルールファイルＴＲＦのそれぞれに基づいてＯＫパターンに対するＤＲＣが実行され、そのＤＲＣ結果ファイルがステップｓ８で作成・記憶される。次にステップｓ９が実行されて、新たに作成されたＤＲＣ結果ファイルに基づいて新たな抽出デザインルールの正否が判定される。その判定結果は、前回のステップｓ１０で作成された判定結果ファイルＪＤＦに記述される。そしてステップｓ１１が再度実行されて、テスト対象ルールファイルＲＦに含まれるデザインルールのうち正否判定がまだ行われていないものが存在すると判断されると、ステップｓ２が実行されて以後同様の動作が行われる。その結果、最終的な判定結果ファイルＪＤＦには、テスト対象ルールファイルＲＦに含まれるすべてのルールファイルについての正否判定の結果がリスト形式で記述される。
【００４９】
ステップｓ１１において、テスト対象ルールファイルＲＦに含まれるすべてのルールファイルについての正否判定が実行されたと判断されると、ステップｓ１２において、判定結果ファイル作成部４は、記憶部２００から判定結果ファイルＪＤＦを読み込んで表示部４００に出力し、表示部４００は当該判定結果ファイルＪＤＦが示す判定結果一覧を表示する。
【００５０】
図８は、判定結果ファイル作成部４で作成される判定結果ファイルＪＤＦの内容の一例を示す図である。図８に示されるように、判定結果ファイルＪＤＦでは、ステップｓ９での判定結果が、チェックコマンド及びチェック値範囲に対応付けられてリスト形式で記述されている。
【００５１】
なお、図中のチェックコマンド「drc(fl1 with < 4.0)」は、図３（ａ）のパターンｆｌ１のパターン幅ｄ１が４．０μｍ以上を満足すべきであるというデザインルールに対応し、チェックコマンド「drc(fl1 sep < 2.0)」は、図３（ｂ）の２つのパターンｆｌ１におけるパターン間隔ｄ２が２．０μｍ以上を満足すべきであるというデザインルールに対応し、チェックコマンド「drc(fl1 c1 enc < 1.0)」は、図３（ｃ）のパターンｃ１，ｆｌ１における包含距離ｄ３が１．０μｍ以上を満足すべきであるというデザインルールに対応している。また図中のチェック値範囲は、ステップｓ７で実際に用いられたテスト用ルールファイルＴＲＦでのチェック値の範囲を意味しているのではなく、正のチェック値の範囲、つまり、ステップｓ９における判定結果がＯＫとなると仮定した場合でのステップｓ７でのテスト用ルールファイルＴＲＦのチェック値の範囲を意味している。
【００５２】
以上のようにして、本テスト装置１０は、ユーザによって作成されたテスト対象ルールファイルＲＦに対してテストを行い、そのテスト結果を表示する。
【００５３】
なお上記動作例では、ステップｓ４において、テスト用ルールファイルＴＲＦとして、抽出デザインルールよりも小さいチェック値のものと、同じチェック値のものと、大きいチェック値のものとを作成したが、少なくとも同じチェック値のものと大きいチェック値のものとを作成する場合であっても、テスト対象ルールファイルＲＦをテストすることができる。
【００５４】
例えば、テスト用ルールファイルＴＲＦとして、抽出デザインルールと同じチェック値のものと、それよりも大きいチェック値のものだけを使用して、テスト対象ルールファイルＲＦをテストする場合には、同じチェック値のものを用いた際のＤＲＣ結果にエラーが発生せず、かつ大きいチェック値のものを用いた際のＤＲＣ結果にエラーが発生すれば、抽出デザインルールが正しいと判定し、それ以外であれば誤っていると判定する。このような場合であっても、抽出デザインルールの正否をある程度の精度をもって判定することができる。
【００５５】
以上のように、本実施の形態では、抽出デザインルールと同じチェック項目をそれぞれが有し、かつ当該抽出デザインルールと同じチェック値を有するものと当該抽出デザインルールのチェック値よりも大きい値のチェック値を有するものとを少なくとも含む複数種類のテスト用デザインルールがそれぞれ記述された複数のテスト用ルールファイルＴＲＦを用いて、抽出デザインルールの正否を判定している。そのため、本実施の形態のように、ＮＧパターンを用いることなくテスト対象ルールファイルＲＦをテストできる。また一般に、ルールファイルはテキストファイル等で簡単に作成することができるため、ＮＧパターンよりもテスト用ルールファイルＴＲＦを簡単に作成することができる。よって、テスト対象ルールファイルＲＦのテストを簡単に実行でき、レイアウト検証用ルールファイルの開発工数及び開発期間を短縮できる。
【００５６】
また、本実施の形態では、複数種類のテスト用デザインルールには、抽出デザインルールと同じ値のチェック値を有するものと、抽出デザインルールのチェック値よりもレイアウトパターン設計時の最小グリッド値だけ大きい値のチェック値を有するものとが少なくとも含まれているため、抽出デザインルールの正否を確実に判定することができ、テスト対象ルールファイルＲＦに対するテスト精度を向上することができる。
【００５７】
例えば、抽出ルールファイルＥＲＦに、チェック項目がパターン幅ｄ１、チェック値が３．９９μｍの抽出デザインルールが記述されており、最小グリッド値が０．０１μｍである場合に、本実施の形態とは異なり、チェック値がそれぞれ３．９９μｍ及び４．０１μｍの２つのテスト用ルールファイルＴＲＦを作成し、これらを用いて、パターン幅ｄ１が４．０μｍのＯＫパターンに対してＤＲＣを実行すると、チェック値が３．９９μｍのテスト用ルールファイルＴＲＦでのＤＲＣ結果にはエラーは発生せず、チェック値が４．０１μｍのテスト用ルールファイルＴＲＦでのＤＲＣ結果にはエラーが発生する。この場合には、上記説明からも理解できるように、デザインルール判定部３は、実際には誤っている抽出デザインルールを正しいものであると判定してしまう。
【００５８】
このように、複数種類のテスト用デザインルールに、抽出デザインルールのチェック値よりもレイアウトパターン設計時の最小グリッド値だけ大きい値のチェック値を有するものが含まれていない場合には、抽出デザインルールの正否判定に誤りが生じる可能性がある。そのため、テスト精度を向上させるためには、本実施の形態のように、複数種類のテスト用デザインルールには、抽出デザインルールのチェック値よりも最小グリッド値だけ大きい値のチェック値を有するものが含まれる方が望ましい。
【００５９】
また、本実施の形態では、ステップｓ９での判定結果をリスト形式で記述した判定結果ファイルＪＤＦが作成されるため、当該判定結果ファイルＪＤＦを参照することによってステップｓ９での判定結果を簡単に確認でき、判定結果の確認漏れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施の形態に係るテスト装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る制御部の機能ブロックを示す図である。
【図３】デザインルールを説明するための図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るテスト装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施の形態に係るデザインルール判定部での判定動作を説明するための図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るデザインルール判定部での判定動作を説明するための図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るデザインルール判定部での判定動作を説明するための図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るテスト装置での判定結果ファイルの内容を示す図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  デザインルール抽出部、２  テスト用ルールファイル作成部、３  デザインルール判定部、４  判定結果ファイル作成部、１０  テスト装置、ＪＤＦ  判定結果ファイル、ＲＦ  テスト対象ルールファイル、ＴＰＧ  テストプログラム、ＴＲＦ  テスト用ルールファイル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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