(57)【要約】【課題】  ガラスディスクの内周面加工をきわめて高い精度で行うことができるようにする。【解決手段】  この発明は、ガラスディスク９の内周面９ａを研磨するガラスディスク内周研磨装置１において、ワークセッティング部２と、軸付研磨ブラシ３と、軸付研磨ブラシ３を回転させるブラシ回転駆動部４と、軸付研磨ブラシ３を積層方向に移動させて積層ガラスディスク９０の中心孔に出入自在とするとともに積層方向に往復動させるブラシ積層方向駆動部５と、軸付研磨ブラシ３の軸下端部３ａを回転自在に支持するとともに、その軸下端部３ａと一体となって重錘体６０Ａとして作用するブラシ下端支持部６と、を有し、軸付研磨ブラシ３を積層ガラスディスク９０の中心孔に挿入し、かつその軸３０に下向きの荷重を掛けた状態で回転させ往復動させ内周面を研磨するようにした、ことを特徴としている。【選択図】  図１
2006007350.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドーナツ盤状に中心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置において、
上記ガラスディスクを積層してセッティングするワークセッティング部と、
軸回りに多数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシと、
上記軸付研磨ブラシをその軸の上部で支持しつつその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部と、
上記軸付研磨ブラシを積層方向に移動させて上記積層ガラスディスクの中心孔に出入自在とするとともにその中心孔に入れた状態で積層方向に往復動させるブラシ積層方向駆動部と、
上記軸付研磨ブラシの積層方向下端から突出した軸下端を回転自在に支持するとともに、その軸下端と一体となって重錘として作用するブラシ下端支持部と、
を有し、
上記軸付研磨ブラシを積層ガラスディスクの中心孔に挿入し、かつその軸に下向きの荷重を掛けた状態で回転させかつ往復動させ積層ガラスディスクの内周面を研磨するようにした、
ことを特徴とするガラスディスク内周研磨装置。
【請求項２】
上記ブラシ下端支持部には上方に引き上げる一定の力を常時作用させる、請求項１に記載のガラスディスク内周研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドーナツ盤状に中心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラスディスクは、記憶メディアとしての需要が高まりつつあり、その加工精度にも高度なものが要求されている。そして、ドーナツ盤状に中心孔を有するガラスディスクの内周面加工は、シャフト状のダイヤモンド砥石や同じくシャフト状の研磨ブラシを、積層したガラスディスクの中央孔に挿入し、内周面に当てながら行っている。その内周面加工に際しては、研磨ブラシのシャフトの一端はモータ側に固定するとともに、他端は回転自在に支持し、両端支持により内周面加工を行うようにしている。
【特許文献１】特開２０００−８４８２８号公報
【０００３】
一方、ガラスディスクの径は小径化しており、それに伴い内径も小さくなるため、研磨ブラシのシャフトも細くなっており、その細いシャフトで研磨を行っている。
【０００４】
しかし、上記のように、細いシャフトの研磨ブラシを用いて研磨すると、剛性不足によりシャフトの中央付近で撓みが発生し、このため、内周面加工が均一に行えなくなり、内周面の加工精度を悪化させて記憶メディアとしてのガラスディスクに悪影響を与えていることが分かってきた。
【０００５】
また、剛性不足によりシャフトの振れが微妙に発生していると予測され、この点からも内周面の加工精度が悪化するという問題点を有していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明は上記に鑑み提案されたもので、ガラスディスクの内周面加工をきわめて高い精度で行うことができるガラスディスク内周研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ドーナツ盤状に中心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置において、上記ガラスディスクを積層してセッティングするワークセッティング部と、軸回りに多数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシと、上記軸付研磨ブラシをその軸の上部で支持しつつその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部と、上記軸付研磨ブラシを積層方向に移動させて上記積層ガラスディスクの中心孔に出入自在とするとともにその中心孔に入れた状態で積層方向に往復動させるブラシ積層方向駆動部と、上記軸付研磨ブラシの積層方向下端から突出した軸下端を回転自在に支持するとともに、その軸下端と一体となって重錘として作用するブラシ下端支持部と、を有し、上記軸付研磨ブラシを積層ガラスディスクの中心孔に挿入し、かつその軸に下向きの荷重を掛けた状態で回転させかつ往復動させ積層ガラスディスクの内周面を研磨するようにした、ことを特徴としている。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、上記した請求項１に記載の発明の構成に加えて、上記ブラシ下端支持部には上方に引き上げる力を常時作用させる、ことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
この発明のガラスディスク内周研磨装置では、軸付研磨ブラシを積層ガラスディスクの中心孔に挿入して内周面を研磨する際に、軸付研磨ブラシの軸に下向きの荷重を掛けた状態で研磨するようにしたので、軸には下向きの張力が掛かり、軸の撓みや微小な振れを防止でき、ガラスディスクの内周面加工をきわめて高い精度で行うことができる。
【００１０】
また、ブラシ下端支持部には上方に引き上げる力を常時作用させるようにしたので、その上方に引き上げる力を調整することで、軸に掛かる張力を適正なものとすることができる。また、ブラシ積層方向駆動部に掛かる負荷を低減し、装置に掛かる負荷を調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下にこの発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
図１はこの発明のガラスディスク内周研磨装置の側面図、図２はワーク用基台部分を拡大した側面図、図３はブラシ下端支持部の重錘体を部分的に拡大して示す図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ線断面図、図４はブラシ軸支持体の作用の説明図で、（ａ）は周設部が上方に付勢されている状態を示す縦断面図、（ｂ）は（ａ）のII−II線断面図、（ｃ）は周設部が下方に押された状態を示す縦断面図、図５は軸付研磨ブラシをブラシ下端支持部に装着する直前を部分的に拡大して示す側面図、図６は軸付研磨ブラシをブラシ下端支持部に装着した状態を部分的に拡大して示す側面図、図７は軸付研磨ブラシが下降した状態を示す正面図、図８は軸付研磨ブラシが上昇した状態を示す正面図である。
【００１３】
これらの図において、ガラスディスク内周研磨装置１は、ドーナツ盤状のガラスディスク９の内周面９ａ（図１）を研磨するための装置であり、装置の枠組みを構成する架台１Ａと、ワーク用基台１Ｂとに支持されて構成されている。図１に示すように、架台１Ａは、ブラシ回転駆動部４及びブラシ積層方向駆動部５を支持し、ワーク用基台１Ｂは、ワークセッティング部２及びブラシ下端支持部６を支持している。次に、これらの各部の構成について順に説明する。
【００１４】
ブラシ回転駆動部４は、回転駆動部支持基板（図示省略）にモータ４１とブラシ駆動体４３とを設けて成り、モータ４１とブラシ駆動体４３との間には駆動ベルト４２を係回し、モータ４１の回転をブラシ駆動体４３に伝達している。このブラシ駆動体４３の下部側には、軸３０の回りに多数のブラシ毛を植毛して成る軸付研磨ブラシ３を、着脱自在に取り付けている。
【００１５】
ブラシ積層方向駆動部５は、架台１Ａの最上部から鉛直下方に、サーボモータ５１と、そのサーボモータ５１の出力軸としてのボールネジ５２とを備えている。このボールネジ５２の雄ねじ５２ａに螺嵌してあるナットとしての移動体５２ｂには、横設部材を介して直進移動板５６を固設し、またその直進移動板５６にも横設部材を介してブラシ駆動体４３を固設している。架台１Ａには、ボールネジ５２と並行に２列のガイドレール５５，５５を設け、そのガイドレール５５，５５には、直進移動板５６の背面に突設したガイド片５４…が摺動可能に嵌合している。また、移動体（ナット）５２ｂには、上記の回転駆動部支持基板を一体的に取り付けてある。
【００１６】
上記のブラシ積層方向駆動部５において、サーボモータ５１が駆動し、雄ねじ５２ａが回転すると、その回転に応じて移動体５２ｂが雄ねじ５２ａに沿って上下移動を行い、その上下移動に応じて、直進移動板５６はガイドレール５５，５５に沿って上下移動し、それに応じてブラシ駆動体４３が上下に移動する。また、回転駆動部支持基板も、その基板に設けられたモータ４１及びブラシ駆動体４３とともに一体的に上下移動を行う。すなわち、ブラシ駆動体４３は、モータ４１による回転駆動と、サーボモータ５１による上下移動を同時に行える機構となっており、それに応じて軸付研磨ブラシ３も、回転と上下移動を同時に行う。
【００１７】
ワークセッティング部２は、ワーク用基台１Ｂのベース面１０上に構成され、ベース面１０上に載設したベース台２１と、そのベース台２１にベアリング２１ａを介して回転可能に載設した回転駆動体２２と、その回転駆動体２２上にセッティングする円筒体状のワーク収納ボックス２３とから成っている。
【００１８】
回転駆動体２２の下部にはリングギヤ２２１を嵌設し、このリングギヤ２２１は、ワーク用基台１Ｂに配設したモータ２２２の出力軸に設けたギヤ２２３と噛み合い、モータ２２２の回転駆動を回転駆動体２２に伝達する。
【００１９】
ワーク収納ボックス２３の内部にはドーナツ盤状に中心孔を有するガラスディスク９を積層させて収納し、その積層ガラスディスク９０の上端面外周縁を、押止部材２３１を介してボルトで締めることで圧接する。これにより、ワーク収納ボックス２３には、多数のガラスディスク９…がセット可能となる。セット完了したワーク収納ボックス２３は回転駆動体２２に載せボルト２３３…で固定する。
【００２０】
このワークセッティング部２の中央には、貫通孔を設けている。すなわち、ワーク収納ボックス２３の底部中央には、積層ガラスディスク９０の中央孔に貫挿した軸付研磨ブラシ３を出入自在に収容するためのブラシ用孔２３５を穿設し、ベース面１０、ベース台２１及び回転駆動体２２には、ブラシ下端支持部６を収容するための下端支持部用孔２５を穿設している。そして、下端支持部用孔２５には、下方に向けて筒状体のドレンカバー６５ａを一体に固設している。
【００２１】
ブラシ下端支持部６は、金属板を折曲して形成した支持プレート６０をベースにして構成されている。この支持プレート６０は、一体に突設した２つのガイド片６１，６１を、ワーク用基台１Ｂに固定した鉛直方向の２列のガイドレール６２，６２に摺動自在に嵌合し、２列のガイドレール６２に沿って、支持プレート６０は姿勢を保持したまま、上下方向に摺動するようになっている。
【００２２】
支持プレート６０の下端側は、ワーク用基台１Ｂに固定したストッパ６３に当接し、そのストッパ６３で下方への移動を規制している。
【００２３】
支持プレート６０の水平基板部分は、上記の下端支持部用孔２５の下方に相当する位置に通孔６０１を有し、その通孔６０１の外周上縁面に、中央のコア体６４ａと外周の外環体６４ｂとから成る厚肉円板状の基底部６４を着設し、さらにその基底部６４の外環体６４ｂの環状上面に、上方に向けて筒状体のドレンカバー６５ｂをボルトで着設している。このドレンカバー６５ｂはその上部において、上記のドレンカバー６５ａを環囲している。一方、通孔６０１の外周下縁面に、中空状のホースジョイント６６を着設している。
【００２４】
基底部６４のコア体６４ａ上面には、本発明に係る略円柱状の重錘体６０Ａが立設され、上下のドレンカバー６５ａ，６５ｂ、および下端支持部用孔２５からなる空間に収められている。重錘体６０Ａは、ベアリングホルダ６７と回転支持体７０とからなり、そのベアリングホルダ６７の下面が基底部６４のコア体６４ａ上面に着設されている。
【００２５】
このベアリングホルダ６７は、図３に示すように、その上部に凹陥部６７１を有し、その凹陥部６７１の内部には、上下両端にボールベアリング６８ａ，６８ｂが配してある。一方、回転支持体７０は、互いに一体化したブラシ軸支持体７１と介設部材７２とから成り、介設部材７２の下面中央に突設した円柱部分７２ａがボールベアリング６８ａ，６８ｂに嵌入され、それによってベアリングホルダ６７に対して回転支持体７０が、回転自在に一体化している。
【００２６】
ブラシ軸支持体７１は、軸受部７１０と周設部７１１と上蓋部７１２とから構成されている。軸受部７１０は円筒状で、その内部に軸付研磨ブラシ３の軸下端部３ａを受け入れるようになっている。周設部７１１は、上半側の円筒部７１１ａと下半側の拡径部７１１ｂとからなりその内部の中空に軸受部７１０が装入される。軸受部７１０は円筒中央付近から上端までの外周が縮径されており、一方の周設部７１１の内周面上部には周状に突出部７１１ｃが形成されている。したがって、周設部７１１に軸受部７１０を装入すると、双方間にスプリング７Ｓを収納する収納室７１３が形成され、周設部７１１は、軸受部７１０に対して常時はスプリング７Ｓで上方に付勢され、その上端面が上蓋部７１２に当接して停止した状態となっている。逆に、スプリング７Ｓの付勢力に抗して下方に周設部７１１を移動すると、スプリング７Ｓが縮退し、周設部７１１の円筒部７１１ａ下端面が、軸受部７１０下部の台座７１０ｃに当接して停止する。すなわち、周設部７１１は軸受部７１０に対して上下動可能に設けられている。また、軸受部７１０の周壁上部には、対向する位置で水平に通孔７１０ａ，７１０ａが設けられ、この通孔７１０ａの各々に制止用球７１０ｂ，７１０ｂが収容されている。
【００２７】
一方、ベース台２１には、図５および図６に示すように、支持プレート６０がストッパ６３に当接することで最低位置にあるブラシ軸支持体７１の正面視両側に、シリンダ７４，７４が対向して配置され、そのシリンダ７４，７４の各ピストン７４ａ，７４ａが伸びて前進すると、その各ピストン７４ａ，７４ａの先端が周設部７１１の拡径部７１１ｂの斜面に沿って移動し、その結果周設部７１１をスプリング７Ｓの付勢力に抗して押し下げるようになる。一方、各ピストン７４ａ，７４ａが前進した状態から後退するに応じて、周設部７１１の押さえがなくなるため、周設部７１１は元の上方位置に付勢されて停止する。
【００２８】
上記構成のブラシ軸支持体７１において、図４（ａ）に示すように、常時は周設部７１１がスプリング７Ｓで上方側に付勢されて停止し、そのとき制止用球７１０ｂ，７１０ｂは突出部７１１ｃ，７１１ｃで内側に押されて一部が軸受部７１０の内周面より内側に突き出した状態になっている（図４（ａ）（ｂ））。この状態で軸付研磨ブラシ３の軸下端部３ａを軸受部７１０に挿入しても軸下端部３ａは制止用球７１０ｂでその進入が妨害されて進入できない。一方、図４（ｃ）に示すように、シリンダ７４，７４の各ピストン７４ａ，７４ａで周設部７１１を押し下げると、突出部７１１ｃ，７１１ｃが下がるため制止用球７１０ｂは通孔７１０ａ内で少し外方に移動し、軸受部７１０の内周面から突き出す状態が解消する。この状態で軸付研磨ブラシ３の軸下端部３ａを軸受部７１０に挿入すると（図５）、軸下端部３ａは軸受部７１０の奥まで進入する。そして、軸下端部３ａに形成した溝部３ｂと軸受部７１０の通孔７１０ａ，７１０ａと合致する位置で、各ピストン７４ａ，７４ａを後退させ周設部７１１を元の上方位置に戻すと、突出部７１１ｃで制止用球７１０ｂが内側に押され、軸下端部３ａの溝部３ｂに制止用球７１０ｂ，７１０ｂが入り込む（図３、図６）。これによって、軸下端部３ａとブラシ軸支持体７１とは上下方向移動に関しては一体化する。また、軸下端部３ａの溝部３ｂは、水平断面形状が図３（ｂ）に示すように多角形になっているため、軸下端部３ａとブラシ軸支持体７１とは回転方向移動に関しても一体化する。すなわち、軸下端部３ａはブラシ軸支持体７１にチャッキングされて軸付研磨ブラシ３とブラシ軸支持体７１とが一体化する。
【００２９】
このようにして、軸付研磨ブラシ３は、重錘体６０Ａ（回転支持体７０とベアリングホルダ６７）、支持プレート６０、およびその支持プレート６０に設けられている各種の部材（ガイド片６１，６１、基底部６４、ドレンカバー６５ｂ、ホースジョイント６６等）からなるブラシ下端支持部６の全体と一体化し、サーボモータ５１の回転駆動に応じてその全体が上下方向に移動するようになる。その場合、ブラシ下端支持部６は、上記したように２列のガイドレール６２，６２に沿って上下移動を行う。
【００３０】
また、軸付研磨ブラシ３は、ブラシ軸支持体７１および介設部材７２から成る回転支持体７０に支持されるため、回転方向に関してはベアリングホルダ６７や支持プレート６０等に対して、回転支持体７０とともに自在に回転可能となる。
【００３１】
本発明では、上記のように、軸付研磨ブラシ３にブラシ下端支持部６の荷重を重錘として下向きに掛けるとともに、上向きの荷重を掛けて下向き荷重を緩和し調整できるようにしている。すなわち、本発明では、支持プレート６０の側方に、２本の案内柱８１，８１を立設するとともに、その案内柱８１，８１の上方に滑車８２，８２を配置し、各案内柱８１，８１に中央に孔が開いている複数の重り８３を連結して挿入し、その連結した重り８３，８３，…をチェーンで滑車８２，８２を介して支持プレート６０の水平基板部分の２カ所に接続している。
【００３２】
したがって、連結した重り８３，８３，…の全荷重は滑車８２，８２を介して支持プレート６０を上向きに引き上げる力として作用し、ガイド片６１，６１、ガイドレール６２，６２を介して、支持プレート６０の姿勢を保持したまま、上方向に移動させようとする。
【００３３】
上記構成のガラスディスク内周研磨装置１において、積層ガラスディスク９０の内周面研磨を行う場合は、下記手順で行う。
【００３４】
加工を行わない通常の場合、ブラシ下端支持部６は、支持プレート６０が二本のガイドレール６２，６２に沿って自然降下するため、ストッパ６３で停止させられた初期姿勢に保たれている。
【００３５】
先ず図１に示すように、ワーク収納ボックス２３に多数のガラスディスク９…を積層させてセットし、セットの完了したワーク収納ボックス２３を、回転駆動体２２上に載置しボルトで固定する。そして、モータ２２２を駆動して回転駆動体２２を回転させ、ワーク収納ボックス２３内の積層ガラスディスク９０を回転させる。
【００３６】
次に、サーボモータ５１及びモータ４１を緩やかに駆動させることで、軸付研磨ブラシ３を、上記の積層ガラスディスク９０の回転とは逆方向に回転させつつ、下方に降下させ、軸付研磨ブラシ３を積層ガラスディスク９０の中央孔に挿入する。そして、さらに降下させるとともに、周設部７１１をシリンダ７４で上下動させることで、軸付研磨ブラシ３の軸下端部３ａを、最低位置にあるブラシ軸支持体７１の軸受部７１０に入れチャッキングさせる。
【００３７】
その後、軸付研磨ブラシ３のブラシ毛を積層ガラスディスク９０の内周面９０ａに当てながら、上下動（往復動）させつつ、また軸付研磨ブラシ３と積層ガラスディスク９０とを互いに逆方向に回転させつつ、積層ガラスディスク９０の内周面加工を行う。その場合、軸付研磨ブラシ３には、重錘体６０Ａを含むブラシ下端支持部６の全体の荷重から、連結した重り８３，８３，…の全荷重を差し引いて得られる荷重が下向きに掛かっている。
【００３８】
上記の内周面加工時に、軸付研磨ブラシ３と積層ガラスディスク９０との間には、ここでは図示されていない装置を用いて、研磨剤を混合したスラリーが適時供給される。そのスラリーは、ワーク収納ボックス２３から下方のブラシ用孔２３５に流出し、ドレンカバー６５ａ，６５ｂで外部への飛散を防止されつつ落下し、ホースジョイント６６に接続したホース（図示省略）から排出される。
【００３９】
以上述べたように、この発明の実施形態では、、軸付研磨ブラシ３を積層ガラスディスク９０の中心孔に挿入して内周面を研磨する際に、軸付研磨ブラシ３の軸３０に下向きの荷重を掛けた状態で研磨するようにしたので、軸３０には下向きの張力が掛かり、軸３０に細いものを使用したとしても、軸３０の撓みや微小な振れを防止できる。したがって、積層ガラスディスク９０の上部、中部、下部での各部位の研磨も均等に行うことができ、ガラスディスク９の内周面加工をきわめて高い精度で行うことができる。
【００４０】
また、ブラシ下端支持部６には、連結した重り８３，８３，…を用いて上方に引き上げる力を常時作用させるようにしたので、その上方に引き上げる力を調整することで、軸３０に掛かる張力を適正なものとすることができる。また、ブラシ積層方向駆動部５（サーボモータ５１）に掛かる負荷を低減し、装置に掛かる負荷を調整することができる。
【００４１】
また、積層ガラスディスク９０の内周面加工を、軸付研磨ブラシ３の軸下端部３ａを回転自在に支持しつつ行うようにしたので、軸下端部３ａの振れを防止でき、したがって、高精度で内周面加工を行うことができ、また、ディスク間の同心度のバラツキも非常に小さく抑えることができる。
【００４２】
また、軸付研磨ブラシ３を回転とともに往復動させて内周面加工を行うので、短時間で所定の仕上げ精度まで研磨でき、加工効率を向上させることができる。  また、積層ガラスディスク９０と軸付研磨ブラシ３とを互いに逆方向に回転っせつつ、内周面加工を行うので、この点からも、加工効率を向上させることができる。
【００４３】
また、無数本のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシ３で研磨するようにしたので、個々のガラスディスク９の内周面全域にブラシ毛が入り込み、積層状態であっても、均一かつ高精度に内周面加工を行うことができる。
【００４４】
さらに、ガラスディスク９の内周面にはブラシ毛が接触するので、比較的割れやすいガラスディスクではあっても、ほとんど破損することはなく、不良率も大幅に低減でき、それだけ歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】図１はこの発明のガラスディスク内周研磨装置の側面図である。
【図２】ワーク用基台部分を拡大した側面図である。
【図３】ブラシ下端支持部の重錘体を部分的に拡大して示す図で、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ線断面図である。
【図４】ブラシ軸支持体の作用の説明図で、（ａ）は周設部が上方に付勢されている状態を示す縦断面図、（ｂ）は（ａ）のII−II線断面図、（ｃ）は周設部が下方に押された状態を示す縦断面図である。
【図５】軸付研磨ブラシをブラシ下端支持部に装着する直前を部分的に拡大して示す側面図である。
【図６】軸付研磨ブラシをブラシ下端支持部に装着した状態を部分的に拡大して示す側面図である。
【図７】軸付研磨ブラシが下降した状態を示す正面図である。
【図８】軸付研磨ブラシが上昇した状態を示す正面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１    ガラスディスク内周研磨装置
１Ａ  架台
１Ｂ  ワーク用基台
１０    ベース面
２    ワークセッティング部
２１    ベース台
２１ａ  ベアリング
２２    回転駆動体
２３    ワーク収納ボックス
２５    下端支持部用孔
２２１    リングギヤ
２２２    モータ
２２３    ギヤ
２３１    押止部材
２３３    ボルト
２３５    ブラシ用孔
３    軸付研磨ブラシ
３ａ  軸下端部
３ｂ  溝部
３０    軸
４    ブラシ回転駆動部
４１    モータ
４２    駆動ベルト
４３    ブラシ駆動体
５    ブラシ積層方向駆動部
５１    サーボモータ
５２    ボールネジ
５２ａ  雄ねじ
５２ｂ  移動体
５４    ガイド片
５５    ガイドレール
５６    直進移動板
６    ブラシ下端支持部
６０    支持プレート
６０Ａ  重錘体
６１    ガイド片
６２    ガイドレール
６３    ストッパ
６４    基底部
６４ａ  コア体
６４ｂ  外環体
６５ａ  ドレンカバー
６５ｂ  ドレンカバー
６６    ホースジョイント
６７    ベアリングホルダ
６８ａ  ボールベアリング
６０１    通孔
６７１    凹陥部
７Ｓ  スプリング
７０    回転支持体
７１    ブラシ軸支持体
７１０    軸受部
７１０ａ  通孔
７１０ｂ  制止用球
７１０ｃ  台座
７１１    周設部
７１１ａ  円筒部
７１１ｂ  拡径部
７１１ｃ  突出部
７１２    上蓋部
７１３    収納室
７２    介設部材
７２ａ  円柱部分
７４    シリンダ
７４ａ  ピストン
８１    案内柱
８２    滑車
８３    重り
９    ガラスディスク
９ａ  内周面
９０    積層ガラスディスク
９０ａ  積層ガラスディスクの内周面
【図１】
2006007350.tif 000003
【図２】
2006007350.tif 000004
【図３】
2006007350.tif 000005
【図４】
2006007350.tif 000006
【図５】
2006007350.tif 000007
【図６】
2006007350.tif 000008
【図７】
2006007350.tif 000009
【図８】
2006007350.tif 000010