(57)【要約】【課題】酸素イオン導電性基板を、加熱効率よく、温度分布を小さく動作させることを目的とする。【解決手段】酸素イオン導電性基板１１にイオン動作電極対１２、１３を形成し、その電極１２、１３を取り囲むようにヒーター電極を構成する。この構成により、加熱効率が高く、温度分布の小さい酸素ポンプを実現することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の酸素イオン導電性基板の上面と下面に一対のイオン動作電極を対向するように設け、前記酸素イオン導電性基板の少なくとも上面あるいは下面で前記電極の周囲に設けられた加熱用ヒーター電極を備えた酸素ポンプ。
【請求項２】
加熱用ヒーター電極は、酸素イオン導電性基板の上面および下面に備えた請求項１に記載の酸素ポンプ。
【請求項３】
一対のイオン動作電極を円形とし、加熱ヒーター用電極を環状とした請求項１または２記載の酸素ポンプ。
【請求項４】
環状加熱ヒーター用電極である環状上ヒーター電極および環状下ヒーター電極をイオン導電性基板を挟んで同一方向に設けた請求項３記載の酸素ポンプ。
【請求項５】
環状加熱ヒーター用電極である環状上ヒーター電極および環状下ヒーター電極をイオン導電性基板を挟んで反対方向に設けた請求項３記載の酸素ポンプ。
【請求項６】
酸素イオン導電性基板が低温時には、前記加熱用ヒーター電極に電力を並列供給し、高温時には直列供給する請求項１〜５のいずれか１項に記載の酸素ポンプ。
【請求項７】
酸素イオン導電性基板が低温時には、加熱用ヒーター電極に電力を並列供給し、高温時には、加熱用ヒーター電極の上面側電極と下面側電極とに電力を供給し、前記イオン導電性基板を加熱ヒーターとして用いてなる請求項４または５記載の酸素ポンプ。
【請求項８】
加熱用ヒーター電極の上面側電極と下面側電極とに電力を供給する場合の極性は、一対のイオン動作電極の極性と同一方向とする請求項７記載の酸素ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気中含まれる酸素を、イオン導電性基板を利用して移動させる酸素ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の酸素ポンプは、酸素イオン導電性基板の両面に電極膜を設け、電源電圧を印加、酸素ポンプとして動作させていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図９は、特許文献１に記載された従来の酸素ポンプ１の断面図である。図９に示すように、酸素イオン導電性基板２の上面および下面に電極膜３、４が形成され、電極膜３、４はリード線を介して直流電源５に接続されている。
【０００４】
このような構成において、外部電源６に接続された外部ヒーター７により、酸素イオン導電性基板２を加熱し、約５００〜６００℃の高温に保持し、酸素ポンプとして動作させていた。即ち、酸素を含む空気などが、通気性の断熱材８を透過し、下面電極４に衝突すると、含まれる酸素分子がイオン化され酸素イオン導電性基板２内にイオンとして注入される。この注入されたイオンは、直流電源５からの供給電圧により上面電極３に向かって移動する。このイオンが、上面電極３においてイオンから分子に変換され、通気性の断熱材８を透過して酸素ポンプの外部へ放出される。このようにして、酸素イオン導電性基板２の下側の空気から酸素を上側に供給する酸素ポンプとして動作させていた。なお、８は空気、酸素などの気体が透過可能な断熱材、９は金属箔などで構成された気体を遮断し、イオン導電性基板２を保持し、かつ上面と下面とを区画する区画板を示す。１０は、全体を保持する保持部材を示す。
【特許文献１】特開２００３−２１５０９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の構成では、外部の加熱ヒーターによりイオン導電性基板を加熱しているため効率が悪い、あるいは温度分布が大きくなるなどの課題を有していた。
【０００６】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、加熱効率が高く、且つ、温度分布の小さい特性の優れた酸素ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記従来の課題を解決するために、本発明の酸素ポンプは、平板状の酸素イオン導電性基板の上面と、下面とにコンデンサを構成するよう一対のイオン動作電極を設け、前記酸素イオン導電性基板の少なくとも上面あるいは下面に、前記イオン動作電極対の周囲に加熱用ヒーター電極を備えた構成とした。この構成により、加熱効率の高いヒーターを実現でき、また、イオン導電性基板の温度分布をも小さくすることができる。省電力に優れた酸素ポンプを実現できる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の酸素ポンプは、加熱効率が高いので、省電力を実現することができる。また、イオン導電性基板の温度分布が小さいので、高性能な酸素ポンプを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
第１の発明は、平板状の酸素イオン導電性基板の上面と、下面とにコンデンサを構成するよう一対のイオン動作電極を設け、前記酸素イオン導電性基板の少なくとも上面あるいは下面に、前記電極対の周囲に加熱用ヒーター電極を備えた構成とした。この構成により、加熱効率の高いヒーターを実現でき、また、イオン導電性基板の温度分布をも小さくすることができ、省電力性に優れた、高性能な酸素ポンプを実現できる。
【００１０】
第２の発明は、特に第１の発明の加熱用ヒーター電極を、前記酸素イオン導電性基板の上面および下面との両面に備えた構成とした。この構成により、より多くの電力を加熱用ヒーターに投入することができ、立ち上がり特性に優れた酸素ポンプを実現できる。
【００１１】
第３の発明は、特に第１または２の発明における一対のイオン動作電極を円形とし、加熱ヒーター用電極を環状とする構成とした。この構成により、加熱効率が向上し、且つ、イオン導電性基板の温度分布が小さくなり、高性能な酸素ポンプを実現できる。また、より多くの電力を加熱用ヒーターに投入することができ、立ち上がり特性に優れた酸素ポンプを実現できる。
【００１２】
第４の発明は、特に第３の発明の環状加熱ヒーター用電極である環状上ヒーター電極および環状下ヒーター電極をイオン導電性基板を挟んで同一方向に設けた。すなわち環状加熱ヒーター用電極を面対称に備えた構成とした。この構成により、より多くの電力を加熱用ヒーターに投入することができ、立ち上がり特性に優れた酸素ポンプを実現できる。また、加熱効率が向上し、且つ、イオン導電性基板の温度分布が小さくなり、高性能な酸素ポンプを実現できる。
【００１３】
第５の発明は、特に第３の発明の環状加熱ヒーター用電極である環状上ヒーター電極および環状下ヒーター電極をイオン導電性基板を挟んで反対方向に設けた。すなわち、環状加熱ヒーター用電極を点対称に備えた構成とした。この構成により、より多くの電力を加熱用ヒーターに投入することができ、立ち上がり特性に優れた酸素ポンプを実現できる。また、加熱効率が向上し、且つ、イオン導電性基板の温度分布が小さくなり、高性能な酸素ポンプを実現できる。
【００１４】
第６の発明は、特に第１〜５の発明の酸素イオン導電性基板が低温時には、前記加熱用ヒーター電極に電力を並列供給し、高温時には直列供給する構成とした。この構成により、イオン導電性基板が低温時には、より多くの電力を加熱用ヒーターに投入することができ、立ち上がり特性に優れた酸素ポンプを実現できる。また、イオン導電性基板が高温時には加熱ヒーターを省電力化することができる。
【００１５】
第７の発明は、特に第４，５の発明の酸素ポンプにおいて、酸素イオン導電性基板が低温時には、前記加熱用ヒーター電極に電力を並列供給し、高温時には、加熱用ヒーター電極の上面側電極と下面側電極とに直列に電力を供給し、前記イオン導電性基板を加熱ヒーターとして用いる構成とした。この構成により、イオン導電性基板が低温時には、より多くの電力を加熱用ヒーターに投入することができ、立ち上がり特性に優れた酸素ポンプを実現できる。また、イオン導電性基板が高温時には加熱ヒーターを省電力化することができる。
【００１６】
第８の発明は、特に第７の発明の加熱用ヒーター電極の上面側電極と下面側電極とに直列に電力を供給する場合に、その極性を、前記一対のイオン動作電極の極性と同一方向とする構成とした。この構成により、イオン導電性基板が高温時には、加熱用ヒーター電極をイオン動作電極としても動作させることができ、酸素ポンプの性能が向上する。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００１８】
（実施の形態１）
図１（ａ）は、本発明の第１実施形態における酸素ポンプに用いられるランタンガレードなどのイオン導電性基板１１の平面図であり、図１（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図を示す。なお、図面が煩雑になるので、イオン導電性基板の周囲の通気性断熱材、区画板および保持部材は省略した。１２はイオン導電性基板１１の上面に設けたサマリウム・ストロンチウム・コバルト酸化物（ＳＳＣＯ）系などからなるイオン動作電極を、１３は下面に設けたイオン動作電極を示す。１４は、イオン導電性基板１１の上面に、イオン動作電極を囲むように設けられたＳＳＣＯなどからなるヒーター電極を示す。１５はヒーター用電源を、１６はイオン動作電極を動作させるための直流電源を示す。なお、ヒーター用で電源１５は、図面上では直流電源として記載したが、この場合には交流電源であってもよい。
【００１９】
この構成において、ヒーター用電源１５からの電力をヒーター１４に通電し、イオン導電性基板１１を約５００〜６００℃の高温に加熱する。この状態で、一対のイオン動作電極１２、１３に外部の直流電源１６から電圧を印加すると、下面のイオン動作電極１３に衝突する空気中の酸素分子は、電極１３でイオン化され、イオン導電性基板１１の中に注入され、注入された酸素イオンは上面のイオン動作電極１２へと拡散してゆく。上面のイオン動作電極１２に到達した酸素イオンは、上側のイオン動作電極１２において酸素イオンから酸素分子へと変換され、酸素分子としてイオン動作電極１２の上面の空間へ放出される。このようにして、空気中の酸素を下面から上面へと移動させる酸素ポンプとして動作する。
【００２０】
この場合、イオン動作電流蜜度をＩｉ［Ａ／ｃｍ＾２］、イオン動作電圧をＶｉ［Ｖ］とすると、Ｉｉ＝１〜２［Ａ／ｃｍ＾２］、Ｖｉ＝１〜２［Ｖ］となる。なお、イオン動作電流密度は、イオン導電性基板の温度に大きく依存して変化する。即ち、イオン導電性基板に温度分布が発生すると、高温部では、イオン動作電流密度が急激に大きくなる。また、逆に低温部ではイオン動作電流密度が急激に小さくなる。このため、イオン導電性基板１１に温度分布が発生し、温度の高い部分が一旦できると、電流の集中が発生し、そのためイオン導電性基板が破壊することもある。
【００２１】
本発明では、イオン動作電極１２、１３に周囲にヒーター電極１４を設けたので、イオン動作電極内での温度分布は非常に小さくなり、イオン電流密度の一様性が大幅に向上した。これは、例えば、イオン動作電極の中央部分の温度が上昇した場合を考えると、中央部分の温度が上昇すると、中央部分からの熱放散が温度上昇とともに急激に大きくなり、中央部分を冷却する方向に働くためと考えられる。
【００２２】
また、逆に、イオン動作電極の中央部分の温度が下降した場合を考えると、中央部分の温度が下降すると、イオン動作電極の周囲に設けられたヒーター電極１４からの熱の供給が温度下降とともに大きくなり、中央部分を加熱する方向に働くためと考えられる。
【００２３】
このように、イオン動作電極１２、１３の周囲にヒーター電極１４を設けたので、その内側のイオン動作電極１２、１３では、温度分布が非常に小さくなり、イオン動作電極１２、２３内での電流密度の一様性が大幅に向上した。このため、電流が局所的に集中することがなくなり、電流の集中によるイオン導電性基板１１の破断は殆どなくなり、特性の安定した酸素ポンプを実現できた。
【００２４】
従来の構成では、イオン動作電極内の電流密度分布が、約５〜１０［％］程度の電位分布として観側されていたが、本発明の構成では、約数［％］（２〜３［％］）以内の電位分布となり、大幅に改善された。
【００２５】
また、イオン導電性基板１１に直接ヒーター電極１４を設けたので、従来の外部ヒーターによる輻射加熱に比べ、イオン導電性基板１１を直接加熱し、熱伝導で加熱するので、加熱効率が向上した。これにより、イオン電流の立上がり特性が大きく改善された。
【００２６】
このように本発明の効果は、イオン導電性基板の温度分布が小さくなり、また、加熱効率も大きくるので、立ち上がり特性に優れた、イオン電流密度の一様性が向上した酸素ポンプを実現できる。
【００２７】
（実施の形態２）
図２は、本発明の実施の形態２における酸素ポンプの要部断面図を示す。１７はイオン導電性基板１１の下面側に設けられたヒーター電極を示す。この構成により、外部電源１５からヒーター電極１４、１７への電力供給は約２倍とすることができ、更に、立上がり特性を改善することができ、立ち上がり特性に優れた酸素ポンプを実現することができる。
【００２８】
（実施の形態３）
図３は、本発明の実施の形態３における酸素ポンプの要部平面図を示す。１８は円形のイオン導電性基板を、１９は円形のイオン動作電極を、２０はイオン動作電極１９を取り囲むように設けた環状上ヒーター電極を示す。２１はイオン動作電極に電力を供給する外部の直流電源を、２２は環状上ヒーター電極に電力を供給する外部に設けて電源を示す。この構成、即ち、円形のイオン導電性基板、円形のイオン動作電極、環状のヒーター電極の構成により、酸素ポンプの対称性が大幅に改善され、イオン動作電極内の温度分布の一様性が、さらに向上した。このため、イオン電流密度の一様性がさらに向上した酸素ポンプを実現できる。
【００２９】
（実施の形態４）
図４は、本発明の実施の形態４における酸素ポンプの断面図を示す。実施の形態３で示した酸素ポンプに、イオン導電性基板１８の下面に環状下ヒーター電極２３を付け加えた。なお、２４は下側のイオン動作電極を示す。環状上ヒーター電極２０および環状下ヒーター電極２３を、それぞれ外部電源と接続する構成とした。
【００３０】
この構成により、投入できるヒーター電力を、実施の形態３に比べ２倍とすることができ、酸素ポンプの立ち上がり特性をさらに良くすることができた。即ち、酸素ポンプの立ち上がり時には、上下の環状ヒーターをそれぞれの直流電源に接続し、並列駆動とすることにより、２倍のヒーター電力を投入することができる。
【００３１】
（実施の形態５）
図５は、本発明の実施の形態５における酸素ポンプの要部分解斜視図を示す。イオン導電性基板１８の上面および下面に環状上ヒーター電極２０および環状下ヒーター電極２５をイオン導電性基板１８を挟んで同一方向に設け、それぞれ外部電源２１および２６と接続する構成とした。言い換えると環状上ヒーター電極２０および環状下ヒーター電極２５をイオン導電性基板１８に対して面対称に設ける構成とした。
【００３２】
この構成により、投入できるヒーター電力を、実施の形態３に比べ２倍とすることができ、酸素ポンプの立ち上がり特性をさらに良くすることができた。即ち、酸素ポンプの立ち上がり時には、上下の環状ヒーターをそれぞれの直流電源に接続し、並列駆動とすることにより、２倍のヒーター電力を投入することができる。また、イオン導電性基板１８をヒーター抵抗として利用する場合には、上下の環状ヒーター電極をイオン導電性基板１８に対して面対称に配置しているので、即ち、上下の環状ヒーター電極はイオン導電性基板１８を挟んで対向して設けられているので、上下環状ヒーター電極の一方電極（例えば、環状上ヒーター電極２０）を直流電源の一方の端子に、上下環状ヒーター電極の他方の電極（例えば、環状下ヒーター電極２５）を直流電源の他方の端子に接続すると、直流電源から供給された電力は上下の環状ヒーター電極に挟まれたイオン導電性基板の部分を加熱するのに消費され、イオン導電性基板１８を加熱することになる。このとき、イオン導電性基板１８のヒーターとしての抵抗値Ｒは、イオン導電性基板の抵抗率をρ［Ω・ｃｍ］、環状ヒーター電極の面積をＳ［ｃｍ＾２］、イオン導電性基板１８の板厚をｔ［ｃｍ］、とすると、抵抗値Ｒ＝ρ＊ｔ／Ｓ［Ω］となる。
【００３３】
（実施の形態６）
図６は、本発明の実施の形態６における酸素ポンプの要部分解斜視図を示す。イオン導電性基板１８の上面および下面に環状上ヒーター電極２０および環状下ヒーター電極２７をイオン導電性基板１８を挟んで反対方向に設けたものであり、言い換えると環状上ヒーター電極２０および環状下ヒーター電極２７をイオン導電性基板１８に対して点対称に設け、それぞれ外部電源２１および２６と接続する構成とした。
【００３４】
この構成により、投入できるヒーター電力を、実施の形態３に比べ２倍とすることができ、酸素ポンプの立ち上がり特性をさらに良くすることができた。即ち、酸素ポンプの立ち上がり時には、上下の環状ヒーターをそれぞれの直流電源に接続し、並列駆動とすることにより、２倍のヒーター電力を投入することができる。また、イオン導電性基板１８をヒーター抵抗として利用する場合には、上下の環状ヒーター電極をイオン導電性基板１８に対して点対称に配置しているので、即ち、上下の環状ヒーター電極はイオン導電性基板１８を挟んで対向して設けられているので、上下環状ヒーター電極の一方電極（例えば、環状上ヒーター電極２０）を直流電源の一方の端子に、上下環状ヒーター電極の他方の電極（例えば、環状下ヒーター電極２５）を直流電源の他方の端子に接続すると、直流電源から供給された電力は、上下の環状ヒーター電極に挟まれたイオン導電性基板の部分を加熱するのに消費され、イオン導電性基板１８を加熱することになる。このとき、イオン導電性基板１８のヒーターとしての抵抗値Ｒは、イオン導電性基板の抵抗率をρ［Ω・ｃｍ］、環状ヒーター電極の面積をＳ［ｃｍ＾２］、イオン導電性基板１８の板厚をｔ［ｃｍ］、とすると、抵抗値Ｒ＝ρ＊ｔ／Ｓ［Ω］となる。
【００３５】
（実施の形態７）
図７（ａ）、（ｂ）は、実施の形態７における酸素ポンプのヒーター動作を説明するための回路図を示す。２８、２９はイオン導電性基板の上面および下面に設けたヒーター電極をそれぞれ示し、３０はヒーターに電力を供給する直流電源を示す。上および下ヒーター電極の電極抵抗をＲｈ、直流電源の電圧をＶｈとすると、図７（ａ）で示した並列駆動の場合には、ヒーター電力Ｐｈは、Ｐｈ＝（Ｖｈ＾２／Ｒｈ）＊２となり、図７（ｂ）で示した直列駆動の場合には、ヒーター電力Ｐｃ＝Ｖｈ＾２／（２＊Ｒｈ）となる。例えば、Ｒｈ＝５［Ω］、Ｖｈ＝１０［Ｖ］とすると、並列駆動の場合の電力Ｐｈ＝４０［Ｗ］、直列駆動の場合の電力は  Ｐｃ＝  １０［Ｗ］となる。
【００３６】
このように、ヒーターの結線を切換えるだけで、４０［Ｗ］と１０［Ｗ］との切り替えができる。即ち、酸素ポンプを使用し始める立上がり時には、ヒーターを並列駆動し、４０［Ｗ］の電力で立ち上がり特性を確保し、ある程度イオン導電性基板の温度が上昇し、酸素ポンプとして機能し始めた後は、ヒーターを直列駆動に切換えることにより、ヒーター電力を１０［Ｗ］にすることができる。従って、電流制限素子などの高価な部品を用いることなく、ただ単に、ヒーターの結線を並列接続あるいは直列接続と切換えることにより温度制御は可能となる。
【００３７】
なお、イオン導電性基板の温度は、イオン動作電流をモニターすることにより簡単に制御できる。即ち、イオン導電性基板の温度が高くなりすぎると、ヒーター抵抗を並列接続から直列接続に、また温度が低くなりすぎると直列接続から並列接続に切換え、温度制御することができる。以上説明したように、ヒーターの接続を切換えるだけで、２段階のヒーター電力を切換えることができる。なお、ヒーター電力供給用の電源は直流電源として記載したが、交流電源であっても上記の効果が得られる。
【００３８】
（実施の形態８）
図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、実施の形態８における酸素ポンプのヒーター動作を説明するための酸素ポンプの断面図とヒーターの結線図を示す。各図において、３１はイオン導電性基板を、３２は上面のヒーター電極を、３３は下面のヒーター電極を示す。３４はヒーターに電力を供給する直流電源を示す。それぞれイオン導電性基板３１をヒーター抵抗として用いる場合を示している。
【００３９】
（ａ）は、上面あるいは下面の各ヒーター電極の両端子を等電位とする結線図を示し、結線はやや煩雑となるが、ヒーター電極３２、３３内での電圧降下を少なくし、イオン導電性基板３１により多くの電力を供給する場合に相当する。従って、上面あるいは下面のヒーター電極内での加熱電力の消費は非常に少なくなり、加熱電力の大半は、上面および下面のヒーター電極で挟まれたイオン導電性基板３１の部分で消費される。
【００４０】
（ｂ）は、上面あるいは下面の各ヒーター電極内での電圧降下、即ち、加熱電力を消費しつつ、イオン導電性基板３１に加熱電力を供給する場合に相当する。従って、上面あるいは下面のヒーター電極内での加熱電力の消費は比較的多く、また、上面および下面のヒーター電極で挟まれたイオン導電性基板３１の部分で消費される加熱電力も多くなる場合に相当する。
【００４１】
（ｃ）は、イオン導電性基板の抵抗率が比較的大きい場合に相当し、上面あるいは下面のヒーター電極内での電圧降下が無視できる場合に相当する。この場合は、上面あるいは下面のヒーター電極内での加熱電力の消費が少なく、大半の加熱電力はイオン導電性基板３１内で消費される。
【００４２】
以上説明したように、ヒーター電極の抵抗率、面積、あるいはイオン導電性基板の抵抗率などから、上記（ａ）、（ｂ）、（ｃ）から最適な結線図を選択し、温度制御することができる。また、ヒーター電力供給用の電源は直流電源として記載したが、交流電源であっても上記の効果が得られる。なお、ヒーター電力供給用の電源が直流電源である場合には、その極性は、イオン動作電極の極性と同じにすれば、ヒーター電極の部分もイオン動作電極として用いることができ、酸素ポンプの効率向上に大きく寄与する。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
以上のように、本発明にかかる酸素ポンプは加熱効率が大きく、また、温度分布が小さいので、高性能な特性を実現することができる。さらに、ヒーター電極への電力供給を切換えるだけで発熱電力の制御ができるので、電流制限素子などを使用することなく温度制御が実現できる。このため構成がコンパクトになり、また、低コストが可能となるので、酸素供給機器や脱酸素機器などへの用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１における酸素ポンプの平面図（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’断面図
【図２】本発明の実施の形態２における酸素ポンプの要部断面図
【図３】本発明の実施の形態３における酸素ポンプの要部平面図
【図４】本発明の実施の形態４における酸素ポンプの要部断面図
【図５】本発明の実施の形態５における酸素ポンプの要部斜視分解図
【図６】本発明の実施の形態６における酸素ポンプの要部斜視分解面
【図７】（ａ）本発明の実施の形態７における並列駆動の場合の酸素ポンプのヒーター接続面を示す図（ｂ）本発明の実施の形態７における直列駆動の場合の酸素ポンプのヒーター接続面を示す図
【図８】（ａ）本発明の実施の形態８における酸素ポンプの第１のヒーター接続を示す図（ｂ）本発明の実施の形態８における酸素ポンプの第２のヒーター接続を示す図（ｃ）本発明の実施の形態８における酸素ポンプの第３のヒーター接続を示す図
【図９】従来の酸素ポンプの断面図
【符号の説明】
【００４５】
１１  酸素イオン導電性基板
１２  上電極
１３  下電極
１４  ヒーター
１６  外部電源
２０  環状上ヒーター電極
２３  環状下ヒーター電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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