(57)【要約】【課題】  発光素子から出力された光を効率よく照射対象物に照射することができる線状光源等を提供する。【解決手段】  各発光素子Ｓｎから出力される光は、対応する光ファイバＦｎの入射端に入射し導光されて出射端から外部へ出射され、レンズＬを介して照射対象物へ照射される。Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端が所定方向に沿って配列されているので、これらＮ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出射される光は線状のものとなり、また、照射対象物に光が照射される領域も上記所定方向に長い形状となり得る。さらに、その出射端側に設けられたレンズＬがＹ方向に関して光を収斂または発散させることができるので、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出射される光の線幅がレンズＬにより調整され得る。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々光を出力するＮ個の発光素子Ｓ１〜ＳＮと、
前記Ｎ個の発光素子Ｓ１〜ＳＮに対して１対１に設けられ、各々の出射端が所定方向に沿って配列されており、各々対応する発光素子から出力される光を入射端に入力して導光し出射端から出力するＮ本の光ファイバＦ１〜ＦＮと、
前記Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出射される光を入力し、少なくとも当該出射方向および前記所定方向の双方に垂直な方向に関して光を収斂または発散させるレンズと、
を備えることを特徴とする線状光源（ただし、Ｎは２以上の整数）。
【請求項２】
Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端が等ピッチに配列されていることを特徴とする請求項１記載の線状光源。
【請求項３】
Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端の配列の全体幅が１００ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１記載の線状光源。
【請求項４】
前記レンズは、前記所定方向に垂直な断面の形状が前記所定方向に沿って一様である、ことを特徴とする請求項１記載の線状光源。
【請求項５】
前記レンズとしてＮ個のレンズＬ１〜ＬＮが設けられ、各レンズＬｎが光ファイバＦｎの出射端側に設けられている、ことを特徴とする請求項１記載の線状光源（ただし、ｎは１以上Ｎ以下の任意の整数）。
【請求項６】
各発光素子から出力される光の波長が３８０ｎｍ〜７５０ｎｍの範囲にあることを特徴とする請求項１記載の線状光源。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載の線状光源と、この線状光源に含まれる各発光素子から出力される光のパワーを制御する制御部と、を備えることを特徴とする線状光源モジュール。
【請求項８】
請求項１〜６の何れか１項に記載の線状光源をＭ個備え、これらＭ個の線状光源それぞれにおいてＮ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端が所定方向に沿って配列され、各線状光源における当該配列が前記所定方向に垂直な方向に並列されている、ことを特徴とする面状光源（ただし、Ｍは２以上の整数）。
【請求項９】
請求項８記載の面状光源と、この面状光源に含まれる各発光素子から出力される光のパワーを制御する制御部と、を備えることを特徴とする面状光源モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を線状に照射することができる線状光源および線状光源モジュール、ならびに、光を面状に照射することができる面状光源および面状光源モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光を線状に照射することができる線状光源として、特許文献１〜３に開示されたものが知られている。これら各文献に開示された線状光源は、複数本の光ファイバの出射端が所定方向に沿って配列され、これら複数本の光ファイバの入射端が束ねられていて、この入射端に発光素子を光学的に結合させたものである。このような線状光源において、発光素子から出力された光は、複数本の光ファイバそれぞれの入射端に入射し、各光ファイバにより導光されて、各光ファイバの出射端から外部へ出射される。このような線状光源は例えば半導体ウェハや液晶ディスプレイパネルの検査等に実用されている。
【特許文献１】特開２００３−２２２７４１号公報
【特許文献２】特開２００３−１８５８５１号公報
【特許文献３】特開２００３−１３５４８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような構成の線状光源は、発光素子から各光ファイバの入射端への光結合の効率が低く、発光素子から出力された光を効率よく照射対象物に照射することができない。
【０００４】
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、発光素子から出力された光を効率よく照射対象物に照射することができる線状光源等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る線状光源は、(1) 各々光を出力するＮ個の発光素子Ｓ１〜ＳＮと、(2) Ｎ個の発光素子Ｓ１〜ＳＮに対して１対１に設けられ、各々の出射端が所定方向に沿って配列されており、各々対応する発光素子から出力される光を入射端に入力して導光し出射端から出力するＮ本の光ファイバＦ１〜ＦＮと、(3) Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出射される光を入力し、少なくとも当該出射方向および上記所定方向の双方に垂直な方向に関して光を収斂または発散させるレンズと、を備えることを特徴とする。ただし、Ｎは２以上の整数であり、また、以下に現れるｎは１以上Ｎ以下の任意の整数である。
【０００６】
この線状光源では、各発光素子Ｓｎから出力された光は、その発光素子Ｓｎに対応する光ファイバＦｎの入射端に入射し、光ファイバＦｎにより導光されて、光ファイバＦｎの出射端から外部へ出射される。Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端が所定方向に沿って配列されていて、その出射端側に設けられたレンズが少なくとも当該出射方向および上記所定方向の双方に垂直な方向に関して光を収斂または発散させるものであるので、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端からレンズを経て照射対象物に照射される光は、当該照射面において線状のものとなり、その線幅がレンズにより調整され得る。なお、「線状」とは、照射面における照射範囲の形状の寸法が第１方向（長手方向）と比べて第２方向に短いことを意味しており、その第２方向についても或る線幅を有している。
【０００７】
本発明では、光ファイバＦｎに対して１対１に発光素子Ｓｎが設けられているので、発光素子Ｓｎから光ファイバＦｎの入射端への光結合の効率を高くすることができ、発光素子Ｓｎから出力された光を効率よく照射対象物の照射面に照射させることができる。
【０００８】
Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端が等間隔に配列されているのが好適である。この場合には、照射対処物へ照射される光の上記所定方向に沿った強度分布の均一性を向上する上で好都合である。
【０００９】
Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端の配列の全体幅が１００ｍｍ以上であるのが好適である。この場合には、例えば４インチの半導体ウェハを検査する上で好都合である。
【００１０】
上記レンズは、上記所定方向に垂直な断面の形状が上記所定方向に沿って一様であるのが好適である。この場合には、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮに対して１個のレンズを用いるだけで、照射対象物へ照射される光の上記所定方向に垂直な方向の幅を調整することができ、また、組み立てが容易になる。
【００１１】
上記レンズとしてＮ個のレンズＬ１〜ＬＮが設けられ、各レンズＬｎが光ファイバＦｎの出射端側に設けられているのも好適である。この場合には、照射対象物へ照射される光の上記所定方向への拡がりも調整することができる。
【００１２】
各発光素子から出力される光の波長が３８０ｎｍ〜７５０ｎｍの範囲にあるのが好適である。この場合には、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出射される光の拡がりの様子を例えばＣＣＤカメラによりモニタする上で好都合である。
【００１３】
本発明に係る線状光源モジュールは、上記の本発明に係る線状光源と、この線状光源に含まれる各発光素子から出力される光のパワーを制御する制御部と、を備えることを特徴とする。この線状光源モジュールでは、線状光源に含まれる各発光素子から出力される光のパワーが制御部により制御される。したがって、例えば、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端の配列方向と照射対象物上の照射ラインとが互いに平行でない場合に、各発光素子から出力される光のパワーが調整されることで、照射対象物上の照射ラインにおける照射強度分布を均一化することができる。
【００１４】
本発明に係る面状光源は、上記の本発明に係る線状光源をＭ個備え、これらＭ個の線状光源それぞれにおいてＮ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端が上記所定方向に沿って配列され、各線状光源における当該配列が上記所定方向に垂直な方向に並列されていることを特徴とする。ただし、Ｍは２以上の整数である。この面状光源では、Ｍ×Ｎ個の発光素子とＭ×Ｎ本の光ファイバとが設けられていて、光ファイバに対して１対１に発光素子が設けられている。また、Ｍ×Ｎ本の光ファイバそれぞれの出射端は、２次元状に配列されていて、レンズが設けられている。これらＭ×Ｎ本の光ファイバそれぞれの出射端からレンズを経て照射対象物に照射される光は、当該照射面において面状のものとなり、その幅が線状光源同士の間隔とレンズにより調整され得る。
【００１５】
本発明に係る面状光源モジュールは、上記の本発明に係る面状光源と、この面状光源に含まれる各発光素子から出力される光のパワーを制御する制御部と、を備えることを特徴とする。この面状光源モジュールでは、面状光源に含まれる各発光素子から出力される光のパワーが制御部により制御される。したがって、例えば、Ｍ×Ｎ本の光ファイバそれぞれの出射端の配列面と照射対象物上の照射面とが互いに平行でない場合に、各発光素子から出力される光のパワーが調整されることで、照射対象物上の照射面における照射強度分布を均一化することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、発光素子から出力された光を効率よく照射対象物に照射することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図中には説明の便宜の為にＸＹＺ直交座標系が示されている。
【００１８】
図１は、本実施形態に係る線状光源モジュール１の構成図である。図２は、本実施形態に係る線状光源１０の斜視図である。線状光源モジュール１は、線状光源１０および制御部２０を備える。また、線状光源１０は、Ｎ個の発光素子Ｓ１〜ＳＮ、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮおよび１個のレンズＬを備える。ここで、Ｎは２以上の整数であり、後に現れるｎは１以上Ｎ以下の任意の整数である。Ｎ個の発光素子Ｓ１〜ＳＮは同等のものであるのが好適であり、また、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮも同等のものであるのが好適である。
【００１９】
各発光素子Ｓｎは、光を出力する素子であって、好適には、レーザ光を出力する半導体レーザ素子を含む。また、各発光素子Ｓｎが出力する光の波長は可視域である３８０ｎｍ〜７５０ｎｍの範囲にあるのが好適であり、この場合には、安価なＣＣＤカメラによる高感度なモニタが可能となる。また、各発光素子Ｓｎは、半導体レーザ素子に加えて、その半導体レーザ素子からのレーザ光を出力するための出射ファイバが接続されているのが好適である。この出射ファイバは、例えば、ファイバ径が１２５μｍであり、コア径が１００μｍである。各発光素子Ｓｎの出射ファイバの出射端と光ファイバＦｎの入射端とが互いに融着接続されることで、両者間の光結合ロスが小さいものとなり得る。
【００２０】
光ファイバＦｎは発光素子Ｓｎに対して１対１に設けられている。各光ファイバＦｎの入射端は、対応する発光素子Ｓｎの出射端と光学的に結合されている。Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端はＸ方向に沿って配列されている。また、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出射される光の主光線はＺ方向に平行である。そして、各光ファイバＦｎは、発光素子Ｓｎから出力された光を入射端に入力して導光し、その導光した光を出射端から外部へ出力する。各光ファイバＦｎは、例えば、ファイバ径が１２５μｍであり、コア径が１００μｍである。
【００２１】
ここで、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端を含む一定範囲の部分は、並列配置された上で外周が共通の樹脂で被覆されているのが好適であり、或いは、固定冶具の面状に並列的に形成されたＮ本のＶ溝に固定されているのも好適である。Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端は等ピッチに配列されているのが好適である。また、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端の配列の全体幅は１００ｍｍ以上であるのが好適である。
【００２２】
レンズＬは、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端側に配置されており、少なくともＹ方向に関して光を収斂または発散させる。このレンズＬは、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出力された光を入力して、その光を照射対象物へ照射させるものであり、照射対象物への光の照射の範囲を調整することができる。このレンズＬは、ＹＺ平面の断面の形状がＸ方向に沿って一様である（すなわち、円筒状レンズである）のが好適である。また、このレンズＬとしてＮ個のレンズＬ１〜ＬＮが設けられ、レンズＬｎが光ファイバＦｎの出射端側に設けられているのも好適である。
【００２３】
制御部２０は、線状光源１０に含まれる発光素子Ｓ１〜ＳＮそれぞれから出力される光のパワーを制御する。
【００２４】
図３は、本実施形態に係る線状光源１０のレンズＬの例を示す斜視図である。これら何れのレンズも、Ｙ方向に関して光を収斂または発散させることができ、ＹＺ平面の断面の形状がＸ方向に沿って一様である（すなわち、円筒状レンズである）。同図（ａ）に示されるレンズは、一方のレンズ面が凹面で、他方のレンズ面が平面である。同図（ｂ）に示されるレンズは、一方のレンズ面が凸面で、他方のレンズ面が平面である。また、同図（ｃ）に示されるレンズは、双方のレンズ面が凸面である。同図（ａ）〜（ｃ）に示すような円筒状のものがレンズＬとして用いられることにより、光ファイバＦｎごとにレンズを取り付ける必要がなく、組立が簡易化される。ビームを広げて照射面積を広くしたい場合は同図（ａ）の凹型レンズが好ましく、ビームを平行化または集光したい場合は同図（ｂ）または（ｃ）の凸型レンズが好ましい。或いは、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端と等しい周期で並ぶアレイ状レンズも組立が容易であり、それを使用することによりＸ方向のビーム広がり角も調整可能となる。
【００２５】
この線状光源モジュール１は以下のように動作する。各発光素子Ｓｎから出力される光は、制御部２０により出力パワーが制御されて、対応する光ファイバＦｎの入射端に入射し、光ファイバＦｎにより導光されて、光ファイバＦｎの出射端から外部へ出射される。Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出力される光は、レンズＬを介して照射対象物へ照射される。Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端が所定方向に沿って配列されているので、これらＮ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出射される光は線状のものとなり、また、照射対象物に光が照射される領域も上記所定方向に長い形状となり得る。さらに、その出射端側に設けられたレンズがＹ方向に関して光を収斂または発散させることができるので、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端から出射される光の線幅がレンズＬにより調整され得る。
【００２６】
また、Ｎ個の発光素子Ｓ１〜ＳＮそれぞれから出力される光のパワーが制御部により制御され得る。したがって、例えば、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端の配列方向と照射対象物上の照射ラインとが互いに平行でない場合に、各発光素子Ｓｎから出力される光のパワーが調整されることで、照射対象物上の照射ラインにおける照射強度分布を均一化することができる。
【００２７】
この線状光源モジュール１では、光ファイバＦｎに対して１対１に発光素子Ｓｎが設けられているので、発光素子Ｓｎから光ファイバＦｎの入射端への光結合の効率を高くすることができ、発光素子Ｓｎから出力された光を効率よく照射対象物に照射させることができる。
【００２８】
なお、特許文献１〜３それぞれに開示された線状光源では、複数本の光ファイバの入射端が丸く束ねられていて、その束ねられた入射端面において、光を伝搬し得るコアが存在するだけでなく、光を伝搬できないクラッドも存在し、コア占有率（＝コアの面積／入射端面全体の面積）が一般に５０％〜７０％であり、それ故に、発光素子から光ファイバのクラッドに入射した光は結合ロス（３０％〜５０％）となる。
【００２９】
これに対して、本実施形態に係る線状光源モジュール１では、光ファイバＦｎに対して１対１に発光素子Ｓｎが設けられているので、発光素子Ｓｎから光ファイバＦｎへ光が結合する際の結合ロスは０.１ｄＢ程度まで低減され得る。
【００３０】
図４は、本実施形態に係る線状光源１０から出射される光の強度分布を示す図である。ここでは、図３（ａ）に示される構成のレンズＬを用いた。また、各光ファイバＦｎのＮＡを０.１１とし、レンズＬの焦点距離を−２５ｍｍとし、各光ファイバＦｎの出射端からレンズＬまでの距離を５５ｍｍとし、レンズＬから照射面までの距離を１５０ｍｍとした。Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端のピッチを４ｍｍとし、光ファイバ本数Ｎを４８本とした。また、照射面の中心位置を原点（Ｘ＝０，Ｙ＝０）とした。図４（ａ）はＸ軸上の照射光強度分布を示し、図４（ｂ）はＹ軸上の照射光強度分布を示す。この図に示されるように、Ｘ方向に沿って照射光強度が均一なライン状照射になっていることがわかる。
【００３１】
図５は、本実施形態に係る線状光源１０から出射される光の強度分布を各光ファイバの出射端のピッチΔＷの各値について示す図である。同図はＸ軸上の照射光強度分布を示す。ここでは、図３（ａ）に示される構成のレンズＬを用いた。また、各光ファイバＦｎのＮＡを０.１１とし、レンズＬの焦点距離を−２５ｍｍとし、各光ファイバＦｎの出射端からレンズＬまでの距離を５５ｍｍとし、レンズＬから照射面までの距離を２００ｍｍとした。Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端のピッチΔＷを１０ｍｍ，２０ｍｍおよび３０ｍｍの各値とした。
【００３２】
この線状光源モジュール１の重要な性能の１つである照射光強度分布の均一性を実現する際には、出射端ピッチΔＷをできるだけ等ピッチにするのが望ましく、その上で、出射端ピッチΔＷをできるだけ広くすることで、発光素子Ｓ１〜ＳＮの個数Ｎをできるだけ少なくすることが望ましい。しかし、出射端ピッチΔＷが広すぎると、照射面での光強度に波状のムラができるという問題が生じる。図５から判るように、出射端ピッチΔＷが広すぎると、照射ライン上での光強度分布が波状になる。照射光強度分布の均一性（＝100×最小強度／最大強度）を８０％以上とするためには、出射端ピッチΔＷを２６ｍｍ以下とする必要がある。
【００３３】
図６は、本実施形態に係る線状光源１０において照射光強度分布が８０％となるための各光ファイバ出射端ピッチΔＷと各光ファイバ出射端から照射面までの距離Ｚとの関係を示すグラフである。各光ファイバＦｎのＮＡを０.１１とした。この図から判るように、照射ラインでの照射光強度分布の均一性を８０％以上とする為に、各光ファイバＦｎの出射端ピッチΔＷと、各光ファイバＦｎの出射端から照射面までの距離Ｚとの間に、下記(1)式の関係式があるのが好適である。
【００３４】
ΔＷ≦０.１３×Ｚ    …(1)
Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端の配列の全体幅は、この線状光源モジュール１から出力された照射光により４インチの半導体ウェハを一括検査することを可能とするために、１００ｍｍ以上であるのが好適である。また、近年ではウェハが８インチ，１２インチと大型化しており、それらを一括検査するためには、Ｎ本の光ファイバＦ１〜ＦＮそれぞれの出射端の配列の全体幅は、２００ｍｍ以上，３００ｍｍ以上であることが望ましい。
【００３５】
図７は、本実施形態に係る面状光源３０の斜視図である。この面状光源３０は、図２に示された線状光源１０を２段構成としたものである。面状光源３０に含まれる第１の線状光源は、Ｎ個の発光素子Ｓ１,１〜Ｓ１,Ｎ，Ｎ本の光ファイバＦ１,１〜Ｆ１,ＮおよびレンズＬ１を備え、図２に示されたものと同様の構成を有する。また、面状光源３０に含まれる第２の線状光源は、Ｎ個の発光素子Ｓ２,１〜Ｓ２,Ｎ，Ｎ本の光ファイバＦ２,１〜Ｆ２,ＮおよびレンズＬ２を備え、図２に示されたものと同様の構成を有する。
【００３６】
そして、Ｎ本の光ファイバＦ１,１〜Ｆ１,Ｎそれぞれの出射端はＸ方向に沿って配列され、Ｎ本の光ファイバＦ２,１〜Ｆ２,Ｎそれぞれの出射端もＸ方向に沿って配列されている。光ファイバＦ１,１〜Ｆ１,Ｎ，Ｆ２,１〜Ｆ２,Ｎそれぞれの出射端から出射される光の主光線はＺ方向に平行である。また、光ファイバＦ１,１〜Ｆ１,Ｎ，Ｆ２,１〜Ｆ２,Ｎそれぞれの出射端がＸＹ平面上に２次元配列されているのが好適である。
【００３７】
図８は、本実施形態に係る面状光源３０から出射される光の強度分布を示す図である。ここでは、図３（ａ）に示される構成のレンズＬ１，Ｌ２を用いた。また、各光ファイバＦのＮＡを０.１１とし、レンズＬ１，Ｌ２の焦点距離を−２５ｍｍとし、各光ファイバＦの出射端からレンズＬまでの距離を５５ｍｍとし、レンズＬ１，Ｌ２から照射面までの距離を１５０ｍｍとした。また、各光ファイバＦの出射端のピッチを４ｍｍとし、各段の線状光源に含まれる光ファイバの本数Ｎを４８本とした。また、照射面の中心位置を原点（Ｘ＝０，Ｙ＝０）とした。図８（ａ）はＸ軸上の照射光強度分布を示し、図８（ｂ）はＹ軸上の照射光強度分布を示す。この図に示されるように、Ｘ方向に沿って照射光強度が均一であるだけでなく、Ｙ方向に沿っても照射光強度が均一化されていることがわかる。
【００３８】
なお、この面状光源３０に加えて、各段の線状光源に含まれる各発光素子から出力される光のパワーを制御する制御部を備えて、面状光源モジュールとしてもよい。このように構成される面状光源モジュールを用いることにより、例えば、各光ファイバの出射端の配列面と照射対象物上の照射面とが互いに平行でない場合に、各発光素子から出力される光のパワーが調整されることで、照射対象物上の照射面における照射強度分布を均一化することができる。また、図７および図８の説明では、面状光源に含まれる線状光源の段数は２としたが、一般に面状光源はＭ段（Ｍは２以上の任意の整数）の線状光源を備える。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態に係る線状光源モジュール１の構成図である。
【図２】本実施形態に係る線状光源１０の斜視図である。
【図３】本実施形態に係る線状光源１０のレンズＬの例を示す斜視図である。
【図４】本実施形態に係る線状光源１０から出射される光の強度分布を示す図である。
【図５】本実施形態に係る線状光源１０から出射される光の強度分布を各光ファイバの出射端のピッチΔＷの各値について示す図である。
【図６】本実施形態に係る線状光源１０において照射光強度分布が８０％となるための各光ファイバ出射端ピッチΔＷと各光ファイバ出射端から照射面までの距離Ｚとの関係を示すグラフである。
【図７】本実施形態に係る面状光源３０の斜視図である。
【図８】本実施形態に係る面状光源３０から出射される光の強度分布を示す図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…線状光源モジュール、１０…線状光源、２０…制御部、３０…面状光源、Ｓ１〜ＳＮ…発光素子、Ｆ１〜ＦＮ…光ファイバ、Ｌ…レンズ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006185839.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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