(57)【要約】【課題】  設置スペースを小さくすることができるボンディング装置を提供する。【解決手段】  ボンディングユニット１１の横幅方向Ｗ右側にローダユニット１２を配置する。ローダユニット１２に供給マガジン６１を保持するマガジンローダ６２と回収マガジン６３を保持するマガジンアンローダ６４とを奥行き方向Ｄに並設する。マガジンローダ６２のロードマガジン配置部７１と、マガジンアンローダ６４のアンロードマガジン配置部７５との間にエレベーション９１を設け、エレベーション９１の昇降スライダ１０２に供給マガジン６１を保持するロードマガジン保持機構１１１と、回収マガジン６３を保持するアンロードマガジン保持機構１１２を設けて昇降可能とする。【選択図】        図１
2006156698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディングユニットを備えたボンディング装置において、
前記ボンデングユニットの横幅方向にローダユニットを近接して配置し、ボンディングが行われるリードフレームを収容した供給マガジンが配置されるロードマガジン配置部と、ボンディングが行われたリードフレームを回収する回収マガジンが配置されるアンロードマガジン配置部とを前記ローダユニットの奥行き方向に並設する一方、
前記ロードマガジン配置部と前記アンロードマガジン配置部との間に、前記ロードマガジン配置部の前記供給マガジンを保持するロードマガジン保持機構及び前記アンロードマガジン配置部の前記回収マガジンを保持するアンロードマガジン保持機構を備えたエレベーションを立設するとともに、前記ロードマガジン保持機構で保持した前記供給マガジン及び前記アンロードマガジン保持機構で保持した前記回収マガジンを昇降して各マガジンに設定されたリードフレームの各収容部を、前記ボンデングユニットとの間でリードフレームの受け渡しを行う高さ位置に合わせて昇降する昇降機構を前記エレベーションに設けたことを特徴とするボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、短冊状のリードフレームにチップをボンディングする際には、図５に示すように、ボンディング装置８０１が用いられている。
【０００３】
このボンディング装置８０１は、ボンディングを行うボンディングユニット８１１を中心に構成されている。該ボンディングユニット８１１の上流側には、リードフレーム８１２を供給するローダユニット８１３が設けられており、該ローダユニット８１３は、前記リードフレーム８１２を収容した供給マガジン８１４を保持するマガジンローダ８１５と、リードフレーム８１２が配置されるワークローダ８１６とを備えている。
【０００４】
これにより、ボンディングが全く行われていないリードフレーム８１２にボンディングを行う際には、リードフレーム８１２を前記ワークローダ８１６に重ねてセットする一方、一回目等のボンディングが行われたリードフレーム８１２にボンディングを行う際には、各リードフレーム８１２を上下に離間して保持する前記供給マガジン８１４に収容した状態で前記マガジンローダ８１５にセットできるように構成されている。
【０００５】
また、前記ローダユニット８１３の上流側には、プッシャー８２１が設けられており、前記ワークローダユニット８１３にセットされたリードフレーム８１２を前記ボンデングユニット８１１の搬送レール８３１上に押し出せるように構成されている。
【０００６】
これにより、前記ボンディングユニット８１１では、ウエハシート８４１上のチップを前記搬送レール８３１上のリードフレーム８１２にボンディングした後、下流側に設けられたワーク送り装置８４２によって下流側へ排出できるように構成されている。
【０００７】
前記ボンディングユニット８１１の下流側には、アンローダユニット８５１が設けられている。該アンローダユニット８５１は、前記リードフレーム８１２を上下に離間して収容する回収マガジン８５２を備えており、前記ワーク送り機構７４２によって排出されたリードフレーム８１２を前記収容マガジン８５２に順次収容できるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このようなボンディング装置８０１にあっては、ボンデングユニット８１１の上流側にマガジンローダ８１５とワークローダ８１６とが横幅方向に並設される構造上、装置全体としての幅方向の長さ寸法が大きくなってしまう。
【０００９】
これにより、設置スペースを要するという問題があった。
【００１０】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、設置スペースを小さくすることができるボンディング装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するために本発明のボンディング装置にあっては、短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディングユニットを備えたボンディング装置において、前記ボンデングユニットの横幅方向にローダユニットを近接して配置し、ボンディングが行われるリードフレームを収容した供給マガジンが配置されるロードマガジン配置部と、ボンディングが行われたリードフレームを回収する回収マガジンが配置されるアンロードマガジン配置部とを前記ローダユニットの奥行き方向に並設する一方、前記ロードマガジン配置部と前記アンロードマガジン配置部との間に、前記ロードマガジン配置部の前記供給マガジンを保持するロードマガジン保持機構及び前記アンロードマガジン配置部の前記回収マガジンを保持するアンロードマガジン保持機構を備えたエレベーションを立設するとともに、前記ロードマガジン保持機構で保持した前記供給マガジン及び前記アンロードマガジン保持機構で保持した前記回収マガジンを昇降して各マガジンに設定されたリードフレームの各収容部を、前記ボンデングユニットとの間でリードフレームの受け渡しを行う高さ位置に合わせて昇降する昇降機構を前記エレベーションに設けた。
【００１２】
すなわち、ボンデングユニットの横幅方向には、ローダユニットが近接して配置されており、該ローダユニットには、供給マガジンが配置されるロードマガジン配置部と、回収マガジンが配置されるアンロードマガジン配置部とが当該ローダユニットの奥行き方向に並設されている。
【００１３】
このため、供給マガジンがセットされるマガジンローダがボンデングユニットの上流側に配置される一方、回収マガジンがセットされるアンローダユニットがボンデングユニットの下流側に配置された従来と比較して、横幅方向の長さ寸法を小さくすることができる。
【００１４】
また、前記ロードマガジン配置部と前記アンロードマガジン配置部との間に、前記供給マガジン及び前記回収マガジンを保持して昇降するエレベーションが立設されている。
【００１５】
これにより、前記ロードマガジン配置部及び前記アンロードマガジン配置部の各々に、供給マガジン及び回収マガジンを昇降する昇降機構を設ける場合と比較して、省スペース化が図られる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明のボンディング装置にあっては、ボンデングユニットの横幅方向に配置されたローダユニットに、供給マガジンが配置されるロードマガジン配置部と回収マガジンが配置されるアンロードマガジン配置部とを奥行き方向に並設した。
【００１７】
このため、供給マガジンがセットされるマガジンローダをボンデングユニットの上流側に配置する一方、回収マガジンがセットされるアンローダユニットをボンデングユニットの下流側に配置した従来と比較して、装置全体としての横幅方向の長さ寸法を小さくすることができる。これにより、設置スペースを小さくすることができる。
【００１８】
また、前記ロードマガジン配置部と前記アンロードマガジン配置部との間に、前記供給マガジン及び前記回収マガジンを保持して昇降するエレベーションを立設した。このため、前記ロードマガジン配置部及び前記アンロードマガジン配置部の各々に、供給マガジン及び回収マガジンを昇降する昇降機構を設ける場合と比較して、省スペース化を図ることができるとともに、前記エレベーションの共有化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるボンディング装置１を示す図であり、該ボンディング装置１は、短冊状のリードフレーム２にチップをボンディングする装置である。
【００２０】
このボンディング装置１は、ボンディングを行うボンディングユニット１１を中心に構成されており、該ボンデングユニット１１の横幅方向Ｗの図中右側には、ローダユニット１２が近接して配置されている。
【００２１】
前記ボンディングユニット１１の図中左方には、ワークローダ２１が設けられており、該ワークローダ２１は、ボンディングが全く行われていないリードフレーム２を積層して載置するワーク載置部２２と、該ワーク載置部２２に載置されたリードフレーム２を、一枚ずつボンディングゾーン２３に供給するワーク供給装置２４とによって構成されている。
【００２２】
前記ボンディングゾーン２３では、該ボンディングゾーン２３手前に設けられたウエハシートゾーン３１のウエハリング３２から図外のボンディングヘッドでチップをピックアップし、このチップを前記ボンディングゾーン２３に供給されたリードフレーム２のボンディングポイントにボンディングするように構成されている。このチップのボンディングとしては、一回のボンディング工程でボンディングを完了する部品と、複数回のボンディング工程を繰り返す部品とがあり、後者の場合には、初回のボンディングが終了したリードフレーム２を一度排出した後、このリードフレーム２を再度ボンデング装置１にセットして二回目以降のボンディングを行うように構成されている。
【００２３】
前記ボンディングゾーン２３の図中右側には、リードフレーム２を移動するワーク送り装置４１が設けられており、該ワーク送り装置４１は、前記リードフレーム２を前記ボンディングゾーン２３と待機部４２との間で移動するとともに、該待機部４２と前記ローダユニット１２との間で移動できるように構成されている。
【００２４】
前記待機部４２は、前記ボンディングゾーン２３でボンディングされたリードフレーム２を待機させる回収用待機レール５１と、前記ボンディングゾーン２３でボンディングが行われるリードフレーム２を待機させる供給用待機レール５２とを備えており、両待機レール５１，５２は、奥行き方向Ｄにスライドすることによって選択的に前記ボンディングゾーン２３に位置合わせできるように構成されている。
【００２５】
前記ローダユニット１２は、前記供給用レール５２に供給するリードフレーム２を収容した供給マガジン６１を保持するマガジンローダ６２と、前記回収用レール５１のリードフレーム２を回収して収容する回収マガジン６３を保持するマガジンアンローダ６４とが設けられており、リードフレーム２に複数回のボンディングを繰り返して部品を製造する際に、既にボンディングが行われたリードフレーム２が前記供給マガジン６１から前記ボンディングユニット１１に供給されるとともに、当該リードフレーム２にボンディングが行われた際に、このリードフレーム２が前記回収マガジン６３に収容されるように構成されている。
【００２６】
そして、前記マガジンローダ６２は、前記マガジンアンローダ６４の奥側に設けられており、前記マガジンローダ６２及び前記マガジンアンローダ６４は、当該ローダユニット１２の奥行き方向Ｄに並設されている。
【００２７】
このローダユニット１２の前記マガジンローダ６２は、図２にも示すように、前記供給マガジン６１が複数収容されるロードマガジン配置部７１が設けられており、その載置面７２には、載置された供給マガジン６１を順次当該ローダユニット１２の中央部へ押圧して移動するローダ押圧部７３が設けられている。また、前記マガジンアンローダ６４は、前記回収マガジン６３が複数収容されるアンロードマガジン配置部７５が設けられており、その載置面７６には、載置された回収マガジン６３を順次当該ローダユニット１２の中央部へ押圧して移動するアンローダ押圧部７７が設けられている。
【００２８】
前記供給マガジン６１及び前記回収マガジン６３は、図３に示すように、中空の矩形枠状に形成されており、その内側面には、リードフレーム２の側縁部を支持する複数の支持片８１が等間隔をおいて上下に設けられている。これにより、対向した支持片８１，８１の上部及び下部には、リードフレーム２を収容する収容部８２が形成されており、各収容部８２に収容されたリードフレーム２，２間に間隙を確保することによって、リードフレーム２にボンディングされたチップ等が干渉しないように構成されている。
【００２９】
前記マガジンローダ６２の前記ロードマガジン配置部７１と、前記マガジンアンローダ６４の前記アンロードマガジン配置部７５との間には、エレベーション９１が設けられており、該エレベーション９１は、図４にも示すように、スライドベース９２に立設されている。該スライドベース９２は、当該ローダユニット１２に設けられたスライドレール９３に移動自在に支持されており、当該スライドベース９３に設けられたナット部９４が前記スライドレール９３の端部に設けられたスライドモータ９５より延出するボールネジ９６と螺合している。これにより、前記スライドモータ９５を駆動することによって、前記エレベーション９１を前記奥行き方向Ｄへ移動できるように構成されている。
【００３０】
このエレベーション９１は、図３にも示したように、前記スライドベース９２に立設されたガイドレール１０１と、該ガイドレール１０１に移動自在に支持された昇降スライダ１０２とを備えており、該昇降スライダ１０２に設けられたナット部１０３が前記ガイドレール１０１の上端に設けられた昇降モータ１０４より延出するボールネジ１０５に螺合している。これにより、前記昇降モータ１０４を駆動することによって、前記昇降スライダ１０２を上下方向に昇降する昇降機構１０６が構成されている。
【００３１】
この昇降スライダ１０２の一側部には、ロードマガジン保持機構１１１が設けられており、他側部には、アンロードマガジン保持機構１１２が設けられている。前記ロードマガジン保持機構１１１は、前記マガジンローダ６２側に配置されており、前記ロードマガジン配置部７１に配置された前記供給マガジン６１を保持する供給マガジングリップ１１５を備えている。該供給マガジングリップ１１５は、下端に固定爪１１６が設けられた支持板１１７と、該支持板１１７の上端部に設けられた可動爪１１８とからなり、該可動爪１１８は、図外の駆動機構によって上下動されるように構成されている。
【００３２】
また、前記アンロードマガジン保持機構１１２は、前記マガジンアンローダ側６４に配置されており、前記アンロードマガジン配置部７５に配置された前記回収マガジン６３を保持する回収マガジングリップ１２１を備えている。該回収マガジングリップ１２１は、下端に固定爪１２２が設けられた支持板１２３と、該支持板１２３の上端部に設けられた可動爪１２４とからなり、該可動爪１２４は、図外の駆動機構によって上下動されるように構成されている。
【００３３】
これにより、前記昇降スライダ１０２を下降して前記スライドベース９２を前記マガジンローダ６２側へ移動するとともに、前記供給マガジングリップ１１５の可動爪１１８を下動することで、当該供給マガジングリップ１１５で前記供給マガジン６１を保持できるように構成されている。また、前記スライドベース９２を前記マガジンアンローダ６４側へ移動するとともに、前記回収マガジングリップ１２１の可動爪１２４を下動することで、当該回収マガジングリップ１２１で前記回収マガジン６３を保持できるように構成されており、この状態で、前記昇降スライダ１０２を所定位置まで上昇することで、前記ロードマガジン保持機構１１１で保持した前記供給マガジン６１及び前記アンロードマガジン保持機構１２１で保持した前記回収マガジン６３に設定されたリードフレーム２の各収容部８２を、前記ボンデングユニット１１との間でリードフレーム２の受け渡しを行う高さ位置に合わせて昇降できるように構成されている。
【００３４】
以上の構成にかかる本実施の形態において、ボンデングユニット１１の横幅方向Ｗには、ローダユニット１２が近接して配置されており、該ローダユニット１２には、供給マガジン６１が配置されるロードマガジン配置部７１と、回収マガジン６３が配置されるアンロードマガジン配置部７５とが当該ローダユニット１２の奥行き方向Ｄに並設されている。
【００３５】
このため、供給マガジンがセットされるマガジンローダがボンデングユニットの上流側に配置される一方、回収マガジンがセットされるアンローダユニットがボンデングユニットの下流側に配置された従来と比較して、装置全体としての横幅方向Ｗの長さ寸法を小さくすることができる。これにより、設置スペースを小さくすることができる。
【００３６】
また、前記ロードマガジン配置部７１と前記アンロードマガジン配置部７５との間に、前記供給マガジン６１及び前記回収マガジン６３を保持して昇降するエレベーション９１が立設されている。
【００３７】
このため、前記ロードマガジン配置部７１及び前記アンロードマガジン配置部７５の各々に、供給マガジン６１及び回収マガジン６３を昇降する昇降機構を設ける場合と比較して、省スペース化を図ることができるとともに、前記エレベーション９１及びスライドベース９２の共有化を図ることができる。
【００３８】
なお、本実施の形態では、リードフレーム２にチップをボンディングするボンディング装置１を例に挙げて説明したが、これに限定されるものでは無く、リードフレーム２上にワイヤをボンディングする装置に応用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態のローダユニットを示す斜視図である。
【図３】同実施の形態のローダユニットを示す正面図である。
【図４】同実施の形態のローダユニットを示す平面図である。
【図５】従来のボンディング装置を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４０】
１    ボンディング装置
２    リードフレーム
１１    ボンディングユニット
１２    ローダユニット
６１    供給マガジン
６２    マガジンローダ
６３    回収マガジン
６４    マガジンアンローダ
７１    ロードマガジン配置部
７５    アンロードマガジン配置部
８２    収容部
９１    エレベーション
１０６    昇降機構
１１１    ロードマガジン保持機構
１１２    アンロードマガジン保持機構
Ｄ    奥行き方向
Ｗ    横幅方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006156698.tif 000006
【図５】
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