(57)【要約】【課題】小型で高効率の触媒反応を可能とする水素製造装置と、この水素製造装置を簡便に製造することができる製造方法を提供する。【解決手段】水素製造装置を、筐体と、この筐体内部に隔壁により区画された気化部、改質部、ＣＯ除去部と、気化部へ燃料を供給するための燃料導入路と、ＣＯ除去部から生成ガスを排出するための生成ガス排出路とを備え、上記の気化部と改質部とＣＯ除去部はこの順に連通され、改質部とＣＯ除去部には触媒担持体を有するものとし、このような水素製造装置の製造では、開口面を有し内部を隔壁で気化部、改質部、ＣＯ除去部に区画した筐体本体の形成と別に、触媒担持体を作製し、この触媒担持体を改質部、ＣＯに載置した後、筐体蓋体を筐体本体に接合して筐体を形成する。【選択図】  図７
2006290718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、該筐体内部に隔壁により区画された気化部、改質部、ＣＯ除去部と、前記気化部へ燃料を供給するための燃料導入路と、前記ＣＯ除去部から生成ガスを排出するための生成ガス排出路とを備えるとともに、前記気化部と前記改質部と前記ＣＯ除去部はこの順に連通され、前記改質部と前記ＣＯ除去部には触媒担持体を有することを特徴とする水素製造装置。
【請求項２】
前記気化部と前記改質部と前記ＣＯ除去部との連通は、前記隔壁に設けられた開口部でなされていることを特徴とする請求項１に記載の水素製造装置。
【請求項３】
前記気化部と前記改質部を連通するための前記開口部と、前記改質部と前記ＣＯ除去部を連通するための前記開口部とが、前記改質部内で最も距離が大きくなる位置に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の水素製造装置。
【請求項４】
少なくとも前記改質部と前記ＣＯ除去部を連通するための前記開口部が逆止弁を備えていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の水素製造装置。
【請求項５】
前記気化部と前記改質部と前記ＣＯ除去部との連通は、前記隔壁の少なくとも一部に設けられた複数の微細孔でなされていることを特徴とする請求項１に記載の水素製造装置。
【請求項６】
前記燃料導入路と前記生成ガス排出路とが、前記筐体の同一壁面に配設されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項７】
前記筐体外部に、前記気化部、前記改質部、および、前記ＣＯ除去部と隣接するように燃焼室を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項８】
前記筐体外部の前記気化部、前記改質部、および、前記ＣＯ除去部の各壁面に電熱体を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項９】
前記隔壁は、内部に断熱空間を有することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項１０】
前記隔壁は、前記断熱空間内に断熱材を備えていることを特徴とする請求項９に記載の水素製造装置。
【請求項１１】
前記ＣＯ除去部に、酸素含有気体を導入するための導入路が接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項１２】
前記導入路中に逆止弁が配設されていることを特徴とする請求項１１に記載の水素製造装置。
【請求項１３】
前記触媒担持体は、担体に触媒を担持したものであり、前記担体は、粒子状担体、繊維状担体、板状担体、繊維状担体の成型体、板状担体の成型体のいずれかであることを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項１４】
前記担体は、金属基体と、該金属基体を被覆する金属酸化膜とを有し、該金属酸化膜が触媒を担持していることを特徴とする請求項１３に記載の水素製造装置。
【請求項１５】
前記筐体が断熱部材で被覆されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１４のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項１６】
前記燃料導入路に接続された燃料タンクを前記筐体外部に備えることを特徴とする請求項１乃至請求項１５のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項１７】
前記生成ガス排出路にポンプが接続され、該ポンプにより生成ガスが燃料電池に導入可能であることを特徴とする請求項１乃至請求項１６のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項１８】
前記燃料導入路および／または前記生成ガス排出路は、円筒部と、該円筒部の所望部位に配設された鍔部とを備えたものであり、前記筐体に形成された孔部に外部から前記円筒部が挿入され、前記鍔部が前記筐体外壁面に固着されてなることを特徴とする請求項１乃至請求項１７のいずれかに記載の水素製造装置。
【請求項１９】
開口面を有する筐体本体内を隔壁により区画して気化部、改質部、ＣＯ除去部を形成し、前記気化部に燃料導入路を設け、前記ＣＯ除去部に生成ガス排出路を設ける工程と、
表面に所望の触媒を担持した触媒担持体を作製する工程と、
該触媒担持体を前記改質部、前記ＣＯ除去部に載置した後、前記開口面を閉塞するように筐体蓋体を前記筐体本体に接合して筐体を形成するとともに、前記気化部と前記改質部と前記ＣＯ除去部をこの順に連通したものとする工程と、を有することを特徴とする水素製造装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料電池用の水素製造装置とその製造方法に係り、特に担持した触媒により所望の反応を進行させるための水素製造装置と、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、触媒を利用したリアクターが種々の分野で使用されており、目的に応じて最適な設計がなされている。
一方、近年、地球環境保護の観点で二酸化炭素等の地球温暖化ガスの発生がなく、また、エネルギー効率が高いことから、水素を燃料とすることが注目されている。特に、燃料電池は水素を直接電力に変換できることや、発生する熱を利用するコジェネレーションシステムにおいて高いエネルギー変換効率が可能なことから注目されている。これまで燃料電池は宇宙開発や海洋開発等の特殊な条件において採用されてきたが、最近では自動車や家庭用分散電源用途への開発が進んでおり、また、携帯機器用の燃料電池も開発されている。
【０００３】
携帯機器用の燃料電池では小型化が必須であり、炭化水素系燃料を水蒸気改質して水素ガスを生成する改質器の小型化が種々検討されている。例えば、シリコン基板やセラミックス基板にマイクロチャネルを形成し、このマイクロチャネル内に触媒を担持したマイクロリアクターが開発されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００２−２５２０１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、水素製造用のマイクロリアクターを含めて、従来のマイクロリアクターはマイクロチャネル内に触媒を担持しているため、触媒の担持性を考慮して水素製造装置の材質を選定する必要があり、熱の利用効率が悪い材料を使用せざるを得ない場合があった。
また、マイクロチャネル内に触媒を担持する工程において、マイクロチャネルが形成された基板面の清浄性が失われ、基板の接合によるマイクロリアクターの製造に支障を来たすという問題があった。
【０００５】
また、マイクロチャネル内に担持した触媒が、マイクロリアクター製造の後工程において著しく汚染されたり失活する場合もあり、使用できる触媒が制限されたり、製造工程管理が難しいという問題もあった。
また、水素製造用のマイクロリアクターでは、炭化水素系燃料を水蒸気改質して水素ガスを生成する改質用の反応装置と、生成された水素ガスから一酸化炭素を除去するためのＣＯ除去用の反応装置との接続が必要となり、この接続部材における生成ガスの洩れが生じ易いという問題もあった。
さらに、従来の水素製造用のマイクロリアクターは反応効率が低く、より反応効率の高い水素製造装置が要望されている。
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、小型で高効率の触媒反応を可能とする水素製造装置と、この水素製造装置を簡便に製造することができる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するために、本発明の水素製造装置は、筐体と、該筐体内部に隔壁により区画された気化部、改質部、ＣＯ除去部と、前記気化部へ燃料を供給するための燃料導入路と、前記ＣＯ除去部から生成ガスを排出するための生成ガス排出路とを備えるとともに、前記気化部と前記改質部と前記ＣＯ除去部はこの順に連通され、前記改質部と前記ＣＯ除去部には触媒担持体を有するような構成とした。
【０００７】
本発明の他の態様として、前記気化部と前記改質部と前記ＣＯ除去部との連通は、前記隔壁に設けられた開口部でなされているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記気化部と前記改質部を連通するための前記開口部と、前記改質部と前記ＣＯ除去部を連通するための前記開口部とが、前記改質部内で最も距離が大きくなる位置に設けられているような構成とした。
本発明の他の態様として、少なくとも前記改質部と前記ＣＯ除去部を連通するための前記開口部が逆止弁を備えているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記気化部と前記改質部と前記ＣＯ除去部との連通は、前記隔壁の少なくとも一部に設けられた複数の微細孔でなされているような構成とした。
【０００８】
本発明の他の態様として、前記燃料導入路と前記生成ガス排出路とが、前記筐体の同一壁面に配設されているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記筐体外部に、前記気化部、前記改質部、および、前記ＣＯ除去部と隣接するように燃焼室を備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記筐体外部の前記気化部、前記改質部、および、前記ＣＯ除去部の各壁面に電熱体を備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記隔壁は、内部に断熱空間を有するような構成とし、また、前記隔壁は、前記断熱空間内に断熱材を備えているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記ＣＯ除去部に、酸素含有気体を導入するための導入路が接続されているような構成とし、また、前記導入路中に逆止弁が配設されているような構成とした。
【０００９】
本発明の他の態様として、前記触媒担持体は、担体に触媒を担持したものであり、前記担体は、粒子状担体、繊維状担体、板状担体、繊維状担体の成型体、板状担体の成型体のいずれかであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記担体は、金属基体と、該金属基体を被覆する金属酸化膜とを有し、該金属酸化膜が触媒を担持しているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記筐体が断熱部材で被覆されているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記燃料導入路に接続された燃料タンクを前記筐体外部に備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記生成ガス排出路にポンプが接続され、該ポンプにより生成ガスが燃料電池に導入可能であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記燃料導入路および／または前記生成ガス排出路は、円筒部と、該円筒部の所望部位に配設された鍔部とを備えたものであり、前記筐体に形成された孔部に外部から前記円筒部が挿入され、前記鍔部が前記筐体外壁面に固着されてなるような構成とした。
【００１０】
本発明の水素製造装置の製造方法は、開口面を有する筐体本体内を隔壁により区画して気化部、改質部、ＣＯ除去部を形成し、前記気化部に燃料導入路を設け、前記ＣＯ除去部に生成ガス排出路を設ける工程と、表面に所望の触媒を担持した触媒担持体を作製する工程と、該触媒担持体を前記改質部、前記ＣＯ除去部に載置した後、前記開口面を閉塞するように筐体蓋体を前記筐体本体に接合して筐体を形成するとともに、前記気化部と前記改質部と前記ＣＯ除去部をこの順に連通したものとする工程と、を有するような構成とした。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の水素製造装置は、改質部とＣＯ除去部に触媒担持体が配設されており、筐体の内壁面に触媒を直接担持したものではないので、触媒担持性を考慮することなく筐体の材質を選定することができる。また、気化部、改質部およびＣＯ除去部が、基板に形成されたマイクロチャネルではなく、隔壁により筐体内部を区画して形成されたものであるため、水素製造装置内部での圧力損失が少ないと同時に、筐体内で改質部の熱を気化部やＣＯ除去部に効率的に利用して反応効率を向上させることができ、さらに、気化部、改質部およびＣＯ除去部を連通する接続部材が不要であり、筐体外への生成ガスの洩れを生じることがない。また、触媒担持体の形状を粒子状、繊維状、板状（波状）等とした場合、燃料や生成ガスと触媒との接触効率をより向上させることができ、また、燃料導入路と生成ガス排出路とを筐体の同一壁面に配設した場合、燃料電池の更なる小型化が可能となる。
【００１２】
また、本発明の水素製造装置の製造方法では、筐体の内部に直接触媒を担持することなく、隔壁による筐体本体内部の区画と独立して触媒担持体を作製するので、触媒担持量のバラツキが抑制され、均一な触媒担持が可能であり、かつ、触媒の汚染や失活が生じることが防止され、また、筐体本体と筐体蓋体との接合面の清浄性が失われることがなく、かつ、接合面積が小さいものとなるので、接合の信頼性が高いとともに、この接合工程での熱による触媒の劣化、失活を防止することができ、難しい製造工程管理も不要となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
水素製造装置 
［第１の実施形態］
図１は、本発明の水素製造装置の一実施形態を示す斜視図であり、図２は図１に示される水素製造装置のＡ−Ａ線における拡大縦断面図である。図１および図２において、本発明の水素製造装置１は、筐体２と、この筐体２の内部に隔壁３，４により区画された気化部５、改質部６、ＣＯ除去部７と、改質部６内に配設された触媒担持体１１と、ＣＯ除去部７内に配設された触媒担持体１４と、を備えている。また、気化部５には燃料を供給するための燃料導入路８が接続され、ＣＯ除去部７には生成ガスを排出するための生成ガス排出路９が接続されている。そして、気化部５と改質部６とＣＯ除去部７は、この順に（図２の矢印ａ方向に）連通されている。
【００１４】
また、図３は、図１および図２に示された水素製造装置１の筐体を分解した斜視図であり、図４は同じく平面図である。図３、図４に示されるように、筐体２は、開口面を有し内部を隔壁３，４によって気化部５、改質部６、ＣＯ除去部７に区画された筐体本体２Ａと、この筐体本体２Ａの開口面を閉塞するように接合（図３の斜線を付した部位で接合）された筐体蓋体２Ｂからなっている。
筐体２の内部に略平行に設けられた隔壁３，４には、それぞれ開口部３ａ，４ａが形成されており、開口部３ａによって気化部５と改質部６が連通され、開口部４ａによって改質部６とＣＯ除去部７が連通されている。尚、図３では、触媒担持体１１，１４を２点鎖線で示している。
【００１５】
気化部５は、燃料導入路８により導入された燃料、例えば、メタノールと水を混合して気化する部位であり、改質部６は触媒の存在の下で改質反応により水素を生成する部位であり、ＣＯ除去部７は、水素を含有する生成ガス中から触媒の存在の下で一酸化炭素を除去する部位である。
このような水素製造装置１を構成する筐体２（筐体本体２Ａ、筐体蓋体２Ｂ）、および、隔壁３，４は、気化部５、改質部６、ＣＯ除去部７内での気化、反応に支障を来たさない材質であれば特に制限はなく、金属、シリコン、セラミックス等の材質から適宜選定することができる。また、本発明では、筐体２の内壁面に触媒を直接担持させないので、触媒担持性を考慮することなく筐体２（筐体本体２Ａ、筐体蓋体２Ｂ）、隔壁３，４の材質を選定することができる。
【００１６】
筐体２（筐体本体２Ａ、筐体蓋体２Ｂ）や隔壁３，４に使用する金属材料としては、例えば、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖ、Ｂｉ、Ｙ、Ｗ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｆｅ、Ｃｕ、およびステンレス等を挙げることできる。また、セラミックス材料としては、Ａｌ2Ｏ3、Ｓｉ3Ｎ4、ＳｉＣ、ＡｌＮ、ＺｒＯ2、ＳｉＯ2等を挙げることができる。
筐体本体２Ａの壁面の厚み、筐体蓋体２Ｂの厚み、隔壁３，４の厚みは、水素製造装置１の大きさ、使用する材料の熱容量、熱伝導率等の特性、形成する気化部５、改質部６、ＣＯ除去部７の容積等を考慮して適宜設定することができるが、例えば、１００μｍ〜２ｍｍ程度の範囲で設定することができる。
【００１７】
水素製造装置１を構成する隔壁３，４の開口部３ａ，４ａの大きさは、水素製造装置１の用途、気化部５、改質部６、ＣＯ除去部７の容積、形状等を考慮して適宜設定することができる。また、開口部３ａ，４ａは、図示例では、筐体２内において反対側となる位置に設けられているが、これに限定されるものではない。例えば、開口部４ａを下側に位置させることにより、開口部３ａと開口部４ａとの距離が更に大きくなるように設定してもよい。
また、本発明では、開口部３ａ，４ａに逆止弁を設けて逆止機構としてもよい。これにより、燃料の不必要な燃焼反応や、生成した水素の酸化反応を防止することができる。逆止弁としては、スプリングがボールの支えとなり、順方向のみにガスを流す構造の逆止弁等の公知の構造のものを使用することができる。
【００１８】
筐体２に配設された燃料導入路８、生成ガス排出路９の形状は、図示例では、管形状であるが、これに限定されるものでない。例えば、図５に示されるように、燃料導入路８、生成ガス排出路９を、円筒部８ａ，９ａと、この円筒部８ａ，９ａの所望部位に配設された鍔部８ｂ，９ｂとを備えたものとし、筐体本体２Ａに形成した孔部に外側から円筒部８ａ，９ａを挿入し、鍔部８ｂ，９ｂを筐体本体２Ａの外壁面に接合したものであってもよい。鍔部８ｂ，９ｂと筐体本体２Ａの外壁面との接合は、例えば、レーザー接合により行うことができる。また、燃料導入路８、生成ガス排出路９の材質は、特に制限されず、筐体用として挙げた金属、シリコン、セラミックス等の材質から、筐体２との接合性等を考慮して適宜選定することができる。また、本発明では、燃料導入路８、生成ガス排出路９として、筐体２に所望の形状で形成した開口であってもよく、この開口形状の燃料導入路８、生成ガス排出路９に、外部から燃料導入管、生成ガス排出管を接続可能としてもよい。
【００１９】
改質部６内に配設された触媒担持体１１は触媒Ｃ１を担持したものであり、ＣＯ除去部７内に配設された触媒担持体１４は触媒Ｃ２を担持したものであり、図示例では、波型に折り曲げた形状となっている。図６は、触媒担持体１１を例として、断面構造を示す図であり、触媒Ｃ１を担持するための担体は、波型の金属基体１２と、この金属基体１２を覆う金属酸化膜１３を備えたものであり、触媒担持体１１は、この担体の金属酸化膜１３に触媒Ｃ１を担持したものである。
【００２０】
上記の金属基体１２としては、例えば、陽極酸化により金属酸化膜１３を形成できる金属を使用することができる。このような金属としては、例えば、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖ、Ｂｉ、Ｙ、Ｗ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｈｆ等を挙げることできる。また、金属基体１２として、ベーマイト処理により金属酸化膜１３の形成が可能な材料、例えば、Ｃｕ、ステンレス、Ｆｅ、Ａｌ等を使用することもできる。尚、後述のように、アルミナ溶射等の方法を用いて金属酸化膜１３を形成する場合には、金属基体１２の材質には特に制限はない。
【００２１】
金属酸化膜１３は、触媒Ｃ１を担持するために設けられたものであり、上述のような金属基体１２の陽極酸化により形成されたもの、ベーマイト処理により形成されたもの、あるいは、アルミナ溶射等の方法により形成されたものであってよい。このような金属酸化膜１３は、微細孔を有し、触媒Ｃ１の担持量が大きく、かつ、安定した触媒担持を可能とするものである。
金属基体１２への陽極酸化による金属酸化膜１３の形成は、金属基体１２を外部電極の陽極に接続した状態で、陽極酸化溶液に浸漬して陰極と対向させ通電することにより行うことができる。金属酸化膜１３厚みは、例えば、１０〜１００μｍ程度の範囲で設定することができる。
【００２２】
また、ベーマイト処理による金属酸化膜１３の形成は、例えば、アルミナゾルのようなベーマイトアルミナが分散されている状態の懸濁液を用い、この懸濁液の粘度を十分に低下させたものを金属基体１２に塗布（あるいは、金属基体１２を浸漬）し、その後、乾燥させ、ベーマイト被膜を金属基体１２の表面に固定化させることにより行うことができる。このようなベーマイト処理により形成される金属酸化膜１３は、酸化アルミニウム薄膜であり、厚みは、例えば、０．１〜１０μｍ程度の範囲で設定することができる。
金属酸化膜１３に担持される触媒Ｃ１は、水素製造装置１の用途に応じて、改質部６で必要な触媒を適宜選択することができ、特に制限はなく、例えば、Ｃｕ−Ｚｎ系触媒を使用することができる。
【００２３】
触媒担持体１４の構造も、上述の触媒担持体１１と同様であり、金属酸化膜に担持される触媒Ｃ２は、水素製造装置１の用途に応じて、ＣＯ除去部７で必要な触媒Ｃ２を適宜選択することができ、特に制限はなく、例えば、Ｐｔ系触媒を使用することができる。
図示例では、触媒を担持するための担体は、板状担体を波型に折り曲げた成型体であるが、担体の形状には特に制限はなく、例えば、粒子状担体、繊維状担体、板状担体、繊維状担体の成型体（繊維状担体を所望の形状に圧縮成型したものであり、内部が多孔構造となっているもの）等であってよい。何れの形状の担体も、粒子状、繊維状、板状の金属基体を覆う金属酸化膜を備えたものであり、この金属酸化膜に触媒が担持される。
【００２４】
尚、図示例の波型に折り曲げた成型体である触媒担持体１１，１４や、繊維状担体の成型体は、改質部６、ＣＯ除去部７の容積、形状に応じて寸法を適宜設定することができる。また、粒子状担体は、改質部６、ＣＯ除去部７の容積、隔壁３，４の開口部３ａ，４ａの大きさ等を考慮して、例えば、直径を１〜１０ｍｍの範囲で設定することができ、このような粒子状の触媒担持体は、改質部６、ＣＯ除去部７に充填される。
【００２５】
上述の水素製造装置１は、改質部６とＣＯ除去部７にそれぞれ触媒担持体１１，１４が配設されており、筐体２の内壁面に触媒を直接担持したものではないので、触媒担持性を考慮することなく筐体２の材質を選定することができる。また、気化部５、改質部６およびＣＯ除去部７が、基板に形成されたマイクロチャネルではなく、隔壁３，４により筐体２内部を区画して形成されたものであるため、水素製造装置１内部での圧力損失の低減が可能である。また、通常、最も高温となる改質部６の熱を気化部５やＣＯ除去部７に効率的に利用して反応効率を向上させることができる。さらに、気化部５、改質部６およびＣＯ除去部７を連通するための接続部材が不要であり、外部に生成ガスの洩れを生じることがない。また、触媒担持体の形状を上述のように種々の形状（粒子状、繊維状、板状（波状）等）とすることにより、燃料や生成ガスと触媒との接触効率をより向上させることができる。
【００２６】
［第２の実施形態］
図７は、本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す斜視図であり、上述の第１の実施形態の図３と同様に、水素製造装置の筐体を分解した斜視図であり、図８は平面図である。図７および図８において、本発明の水素製造装置２１は、筐体２２と、この筐体２２の内部に隔壁２３，２４により区画された気化部２５、改質部２６、ＣＯ除去部２７と、改質部２６内に配設された触媒担持体３１と、ＣＯ除去部２７内に配設された触媒担持体３４と、を備えている。また、気化部２５には燃料を供給するための燃料導入路２８が接続され、ＣＯ除去部２７には生成ガスを排出するための生成ガス排出路２９が接続されている。そして、気化部２５と改質部２６とＣＯ除去部２７は、この順に（図８の矢印ａ方向に）連通されている。尚、図７では、触媒担持体３１，３４を２点鎖線で示している。
【００２７】
水素製造装置２１を構成する筐体２２は、開口面を有し内部を隔壁２３，２４によって気化部２５、改質部２６、ＣＯ除去部２７に区画された筐体本体２２Ａと、この筐体本体２２Ａの開口面を閉塞するように接合（図７の斜線を付した部位で接合）された筐体蓋体２２Ｂからなっている。
筐体２２の内部に設けられた隔壁２３，２４は、Ｔ字形状となるように、隔壁２３の側面に隔壁２４の先端が当接している。また、隔壁２３の両端部には開口部２３ａ，２３ｂが形成されており、開口部２３ａによって気化部２５と改質部２６が連通され、開口部２３ｂによって改質部２６とＣＯ除去部２７が連通されている。図示例では、隔壁２３の同じ端辺の両端部に開口部２３ａ，２３ｂが位置しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、開口部２３ａを隔壁２３の他方の端辺の端部（筐体２２の下側）に位置させることにより、開口部２３ａと開口部２３ｂとの距離が最大となるように設定してもよい。また、本発明では、開口部２３ａ，２３ｂに逆止弁を設けて逆止機構としてもよい。
【００２８】
気化部２５は、燃料導入路２８により導入された燃料、例えば、メタノールと水を混合して気化する部位であり、改質部２６は触媒の存在の下で改質反応により水素を生成する部位であり、ＣＯ除去部２７は、水素を含有する生成ガス中から触媒の存在の下で一酸化炭素を除去する部位である。図示例では、燃料導入路２８と生成ガス排出路２９とが、筐体２２の同一壁面２２ａに配設されている。
このような水素製造装置２１を構成する筐体２２（筐体本体２２Ａ、筐体蓋体２２Ｂ）、および、隔壁２３，２４の材質は、触媒担持性を考慮することなく選定することができ、上述の実施形態の筐体２、隔壁３，４と同様とすることができる。
また、改質部２６内に配設された触媒担持体３１、ＣＯ除去部２７内に配設された触媒担持体３４は、上述の実施形態の触媒担持体１１，１４と同様とすることができる。
【００２９】
上述の水素製造装置２１は、改質部２６とＣＯ除去部２７にそれぞれ触媒担持体３１，３４が配設されており、筐体２２の内壁面に触媒を直接担持したものではないので、触媒担持性を考慮することなく筐体２２の材質を選定することができる。また、気化部２５、改質部２６およびＣＯ除去部２７が、基板に形成されたマイクロチャネルではなく、隔壁２３，２４により筐体２２内部を区画して形成されたものであるため、水素製造装置２１内部での圧力損失が少ないものである。また、通常、最も高温となる改質部２６の熱を気化部２５やＣＯ除去部２７に効率的に利用して反応効率を向上させることができる。さらに、気化部２５、改質部２６およびＣＯ除去部２７を連通するための接続部材が不要であり、筐体２２外への生成ガスの洩れを生じることがない。また、触媒担持体の形状を上述のように種々の形状（粒子状、繊維状、板状（波状）等）とすることにより、燃料や生成ガスと触媒との接触効率をより向上させることができる。また、燃料導入路２８と生成ガス排出路２９を筐体２２の同一壁面２２ａに配設しているので、燃料電池の更なる小型化が可能となる。
尚、燃料導入路２８と生成ガス排出路２９は、第１の実施形態と同様に、円筒部に鍔部を備えた構造のものとし、鍔部を筐体本体２２Ａの外壁面に接合したものとすることができる。
【００３０】
［第３の実施形態］
図９は、本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図２相当の断面図であり、図１０は、本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図８相当の平面図である。
まず、図９に示される水素製造装置１′は、隔壁として、複数の微細孔を備えた隔壁３′，４′を配設している他は、上述の実施形態の水素製造装置１と同様であり、同じ部材には同じ部材番号を付している。
【００３１】
隔壁３′，４′は、筐体２の内部を区画して気化部５、改質部６、ＣＯ除去部７とするとともに、複数の微細孔によって、気化部５と改質部６間の連通、改質部６とＣＯ除去部７との連通を可能とするものである。このような隔壁３′，４′としては、板状部材に複数の微細孔が穿設されたもの、線状部材を用いてメッシュ構造とされたもの等を挙げることができる。隔壁３′，４′が備える微細孔（メッシュ開口）の大きさは、例えば、１００μｍ〜１ｍｍの範囲で設定することができる。また、隔壁３′，４′の全面に微細孔が穿設されたものであったり、隔壁３′，４′全体がメッシュ構造であってもよく、また、隔壁３′，４′の一部に微細孔が穿設されたり、メッシュ構造となっているものであってもよい。隔壁３′，４′を構成する材料は、上述の隔壁３，４と同様の材料を使用することができる。
このような水素製造装置１′は、上述の水素製造装置１と同様の作用、効果を発現する。
【００３２】
次に、図１０に示される水素製造装置２１′は、隔壁２３の代わりに、複数の微細孔を備えた隔壁２３′を配設している他は、上述の実施形態の水素製造装置２１と同様であり、同じ部材には同じ部材番号を付している。尚、図１０では、筐体２２を構成する筐体本体２２Ａのみを示し、筐体蓋体は図示していない。
隔壁２３′は、筐体２２の内部において改質部２６に対して気化部２５とＣＯ除去部２７を区画するものであり、複数の微細孔によって、気化部２５と改質部２６間の連通、改質部２６とＣＯ除去部２７との連通を可能とするものである。このような隔壁２３′としては、上述の隔壁３′，４′と同様のものを使用することができる。
このような水素製造装置２１′は、上述の水素製造装置２１と同様の作用、効果を発現する。
尚、燃料導入路８，２８と生成ガス排出路９，２９は、第１の実施形態と同様に、円筒部に鍔部を備えた構造のものとし、鍔部を筐体本体２Ａ，２２Ａの外壁面に接合したものとすることができる。
【００３３】
［第４の実施形態］
図１１は、本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図２相当の断面図である。図１１に示される水素製造装置４１は、筐体４２と、この筐体４２の内部に隔壁４３，４４により区画された気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７と、改質部４６内に配設された触媒担持体５１と、ＣＯ除去部４７内に配設された触媒担持体５４と、を備えている。また、気化部４５には燃料を供給するための燃料導入路４８が接続され、ＣＯ除去部４７には生成ガスを排出するための生成ガス排出路４９が接続されている。そして、気化部４５と改質部４６とＣＯ除去部４７は、隔壁４３，４４に設けられた開口部（図示せず）によって、この順に（図１１の矢印ａ方向に）連通されている。
【００３４】
また、筐体４２の外部であって、気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７と隣接するように、燃焼室５７が配設されている。この燃焼室５７には、燃料供給路５８と、排気ガス排出路５９が接続されている。
さらに、筐体４２の外部であって、上記の燃焼室５７が配設された面と反対側において、気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７の各壁面に、電気絶縁層６１を介して電熱体６０が配設されている。
【００３５】
上記の筐体４２、隔壁４３，４４、気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７、燃料導入路４８、生成ガス排出路４９、触媒担持体５１、触媒担持体５４は、上述の実施形態における筐体２、隔壁３，４、気化部５、改質部６、ＣＯ除去部７、燃料導入路８、生成ガス排出路９、触媒担持体１１、触媒担持体１４と同様とすることができる。
上記の燃焼室５７は、燃料供給路５８から供給された燃料を触媒燃焼させて、燃焼熱を筐体４２に供給するためのものである。この燃焼室５７の材質は特に制限されず、上述の実施形態で筐体用として挙げた金属、シリコン、セラミックス等の材質から、筐体４２との接合性等を考慮して適宜選定することができる。また、この燃焼室５７の内部に配設する燃焼触媒は、供給する燃料に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール燃焼触媒として、Ｐｄ系触媒を使用することができる。
【００３６】
上記の電熱体６０は、気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７内での反応に必要な熱を供給するためのものであり、カーボンペースト、ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金）、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）等の電熱材料を使用することができる。この電熱体６０は、例えば、幅１０〜２００μｍ程度の細線を、気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７が形成されている領域に相当する筐体４２壁面に引き回したような形状とすることができる。また、気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７が形成されている各領域に、電気的に独立して電熱体６０をそれぞれ配設し、気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７毎に温度制御可能としてもよい。このような電熱体６０には、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ−Ａｇ等の導電材料を用いて通電用の電極（図示せず）が形成されている。
【００３７】
このような水素製造装置４１は、上述の水素製造装置１と同様の作用、効果を発現することに加えて、燃焼室５７で大きな燃焼熱を得ることができ、反応効率がより高いものとなる。また、燃焼室５７とともに、電熱体６０を併用することにより、気化部４５、改質部４６、ＣＯ除去部４７の独立した温度制御をより容易、確実に行うことができる。勿論、燃焼室５７のみを配設した水素製造装置、電熱体６０のみを配設した水素製造装置であってもよい。
尚、上述の水素製造装置１′，２１，２１′においても、本実施形態と同様に、燃焼室および／または電熱体を配設することができる。
尚、燃料導入路４８と生成ガス排出路４９は、第１の実施形態と同様に、円筒部に鍔部を備えた構造のものとし、鍔部を筐体４２の外壁面に接合したものとすることができる。
【００３８】
［第５の実施形態］
図１２は、本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図２相当の断面図であり、図１３は、本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図８相当の平面図である。
まず、図１２に示される水素製造装置７１は、隔壁７３，７４の内部に断熱空間８０を備えている他は、上述の実施形態の水素製造装置１と同様である。すなわち、水素製造装置７１は、筐体７２と、この筐体７２の内部に隔壁７３，７４により区画された気化部７５、改質部７６、ＣＯ除去部７７と、改質部７６内に配設された触媒担持体（図示せず）と、ＣＯ除去部７７内に配設された触媒担持体（図示せず）と、を備えている。また、気化部７５には燃料を供給するための燃料導入路７８が接続され、ＣＯ除去部７７には生成ガスを排出するための生成ガス排出路７９が接続されている。そして、気化部７５と改質部７６とＣＯ除去部７７は、隔壁７３，７４に設けられた開口部（図示せず）によって、この順に（図１２の矢印ａ方向に）連通されている。
【００３９】
隔壁７３，７４は、筐体７２の内部を区画して気化部７５、改質部７６、ＣＯ除去部７７とするとともに、内部に設けられた断熱空間８０によって、気化部７５と改質部７６との間の不要な熱伝導、改質部７６とＣＯ除去部７７との間の不要な熱伝導を防止するものである。このような隔壁７３，７４の材質は、上述の実施形態の隔壁３，４で挙げた材質と同様のものであってよい。また、断熱空間８０の厚み、断熱空間８０を備えた隔壁７３，７４の厚みは、隔壁７３，７４に使用する材質、水素製造装置７１の形状、寸法等を考慮して設定することができ、例えば、断熱空間８０の厚み１００μｍ〜２ｍｍ程度の範囲で設定することができる。
このような水素製造装置７１は、上述の水素製造装置１と同様の作用、効果を発現することに加えて、気化部７５、改質部７６、ＣＯ除去部７７において最適な温度制御を行うことがより容易なものとなる。
【００４０】
次に、図１３に示される水素製造装置８１は、隔壁８３，８４の内部に断熱空間９０を備えている他は、上述の実施形態の水素製造装置２１と同様である。すなわち、本発明の水素製造装置８１は、筐体８２と、この筐体８２の内部に隔壁８３，８４により区画された気化部８５、改質部８６、ＣＯ除去部８７と、改質部８６内に配設された触媒担持体（図示せず）と、ＣＯ除去部８７内に配設された触媒担持体（図示せず）と、を備えている。また、気化部８５には燃料を供給するための燃料導入路８８が接続され、ＣＯ除去部８７には生成ガスを排出するための生成ガス排出路８９が接続されている。そして、隔壁８３に設けられている開口部８３ａ，８３ｂによって、気化部８５と改質部８６とＣＯ除去部８７は、この順に（図１３の矢印ａ方向に）連通されている。尚、図１３では、筐体８２を構成する筐体本体８２Ａのみを示し、筐体蓋体は図示していない。
【００４１】
隔壁８３，８４は、筐体８２の内部を区画して気化部８５、改質部８６、ＣＯ除去部８７とするとともに、内部に設けられた断熱空間９０によって、気化部８５と改質部８６との間、改質部８６とＣＯ除去部８７との間、気化部８５とＣＯ除去部８７との間の不要な熱伝導を防止するものである。このような隔壁８３，８４の材質は、上述の実施形態の隔壁３，４で挙げた材質と同様のものであってよい。また、断熱空間９０の厚み、断熱空間９０を備えた隔壁８３，８４の厚みは、隔壁８３，８４に使用する材質、水素製造装置８１の形状、寸法等を考慮して設定することができ、例えば、断熱空間９０の厚み厚み１００μｍ〜２ｍｍ程度の範囲で設定することができる。
【００４２】
このような水素製造装置８１は、上述の水素製造装置２１と同様の作用、効果を発現することに加えて、気化部８５、改質部８６、ＣＯ除去部８７において最適な温度制御を行うことがより容易なものとなる。
尚、本実施形態において、断熱空間８０，９０に断熱材を充填してもよい。使用する断熱材としては、例えば、ＳｉＯ2、グラスウール、ガラス板、セラミックス板等を挙げることができる。
また、このような水素製造装置７１，８１においても、上述の実施形態と同様に、燃焼室および／または電熱体を配設することができる。
尚、燃料導入路７８，８８と生成ガス排出路７９，８９は、第１の実施形態と同様に、円筒部に鍔部を備えた構造のものとし、鍔部を筐体７２，８２の外壁面に接合したものとすることができる。
【００４３】
［第６の実施形態］
図１４は、本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図８相当の平面図である。図１４に示される水素製造装置１０１は、ＣＯ除去部１０７に、酸素含有気体を導入するための導入路１１０が接続されている他は、上述の実施形態の水素製造装置２１と同様である。すなわち、本発明の水素製造装置１０１は、筐体１０２と、この筐体１０２の内部に隔壁１０３，１０４により区画された気化部１０５、改質部１０６、ＣＯ除去部１０７と、改質部１０６内に配設された触媒担持体（図示せず）と、ＣＯ除去部１０７内に配設された触媒担持体（図示せず）と、を備えている。また、気化部１０５には燃料を供給するための燃料導入路１０８が接続され、ＣＯ除去部１０７には生成ガスを排出するための生成ガス排出路１０９が接続されている。そして、隔壁１０３に設けられている開口部１０３ａ，１０３ｂによって、気化部１０５と改質部１０６とＣＯ除去部１０７は、この順に連通されている。尚、図１４では、筐体１０２を構成する筐体本体１０２Ａのみを示し、筐体蓋体は図示していない。
【００４４】
導入路１１０は、酸素含有気体をＣＯ除去部１０７に導入するものであり、導入路１１０の途中には逆止弁１１１が配設されている。このような導入路１１０から、酸素含有気体をＣＯ除去部１０７に導入することにより、一酸化炭素の部分酸化の効率が更に向上する。逆止弁１１１としては、スプリングがボールの支えとなり、順方向のみにガスを流す構造の逆止弁等の公知の構造のものを使用することができる。また、隔壁１０３の開口部１０３ｂ（改質部１０６とＣＯ除去部１０７との連通部）に逆止弁を設けて逆止機構としてもよい。
【００４５】
導入路１１０からＣＯ除去部１０７に導入する酸素含有気体は、空気、酸素ガスいずれであってもよい。
このような水素製造装置１０１は、上述の水素製造装置２１と同様の作用、効果を発現することに加えて、ＣＯ除去効率の更なる向上と、燃料の不必要な燃焼反応や、生成した水素の酸化反応を防止することができる。
尚、このような水素製造装置１０１においても、上述の実施形態と同様に、燃焼室および／または電熱体を配設することができる。
また、上述の水素製造装置１，１′，２１′，４１，７１，８１においても、ＣＯ除去部に、酸素含有気体を導入するための導入路が接続してもよい。
また、燃料導入路１０８と生成ガス排出路１０９は、第１の実施形態と同様に、円筒部に鍔部を備えた構造のものとし、鍔部を筐体本体１０２Ａの外壁面に接合したものとすることができる。
【００４６】
尚、上述の水素製造装置の各実施形態は一例であり、本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、水素製造装置２１を覆うように、あるいは、水素製造装置４１の筐体４２と燃焼室５７とを覆うように断熱部材を配設してもよい。このような断熱部材としては、例えば、ＳｉＯ2、グラスウール、ガラス板、セラミックス板等を使用することができる。また、燃料導入路に燃料タンクを着脱可能に装着してもよい。さらに、生成ガス排出路にポンプを接続し、このポンプにより生成ガスを燃料電池に導入可能としてもよい。
【００４７】
水素製造装置の製造方法 
次に、本発明の水素製造装置製造方法の一実施形態について、図３、図６を参照しながら説明する。
本発明の水素製造装置の製造方法では、まず、開口面を有する筐体本体２Ａ内を隔壁３，４により区画して気化部５、改質部６、ＣＯ除去部７を形成し、気化部５には燃料導入路８を設け、ＣＯ除去部７に生成ガス排出路８を設ける。この加工方法には特に制限はなく、例えば、金属ブロック体を切削して筐体本体２Ａと隔壁３，４とを一体的に形成することができる。また、金属ブロック体を切削して開口面を有する筐体本体２Ａを作製し、その後、所望の形状に加工した隔壁３，４を筐体本体２Ａ内に接合配設してもよい。あるいは、ロストワックス法、ＭＩＭ加工により筐体本体２Ａと隔壁３，４を一体的に形成することもできる。隔壁３，４には、連通用の開口部３ａ，４ａを形成するが、この開口部３ａ，４ａは、上記の筐体本体２Ａと隔壁３，４の形成と同時に形成してもよく、また、筐体本体２Ａと隔壁３，４の形成後に開口部３ａ，４ａのみを形成してもよい。
【００４８】
筐体本体２Ａや隔壁３，４に使用する材料としては、触媒担持性を考慮することなく、金属、シリコン、セラミックス等から適宜選定することができる。
尚、燃料導入路８と生成ガス排出路９を、図５に示したように、円筒部８ａ，９ａに鍔部８ｂ，９ｂを備えた構造のものとすることにより、筐体本体２Ａに形成した孔部に外側から円筒部８ａ，９ａを挿入し、鍔部８ｂ，９ｂを筐体本体２Ａの外壁面に当接させて仮止めし、その後、レーザー接合等により鍔部８ｂ，９ｂを筐体本体２Ａの外壁面に接合することができ、作業性が著しく向上する。
一方、上述の筐体本体２Ａの加工工程とは独立して、表面に所望の触媒を担持した触媒担持体を作製する。この工程では、金属基材１２を被覆するように金属酸化膜１３を形成し、この金属酸化膜１３に触媒Ｃ１を担持させて触媒担持体１１を作製する。同様に、触媒Ｃ２を担持した触媒担持体１４を作製する。
金属基体１２は、例えば、陽極酸化により金属酸化膜１３を形成できる金属、例えば、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖ、Ｂｉ、Ｙ、Ｗ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｈｆ等とすることができる。また、金属基体１２を、ベーマイト処理により金属酸化膜１３の形成が可能なＣｕ、ステンレス、Ｆｅ、Ａｌ等としてもよい。
【００４９】
金属基体１２への陽極酸化による金属酸化膜１３の形成は、金属基体１２を外部電極の陽極に接続した状態で、陽極酸化溶液に浸漬して陰極と対向させ通電することにより行うことができる。また、ベーマイト処理による金属酸化膜１３の形成は、例えば、アルミナゾルのようなベーマイトアルミナが分散されている状態の懸濁液を用い、この懸濁液の粘度を十分に低下させたものを金属基体１２に塗布（あるいは、金属基体１２を浸漬）し、その後、乾燥させ、ベーマイト被膜を金属基体１２の表面に固定化させることにより行うことができる。
【００５０】
金属酸化膜１３への触媒Ｃ１の担持は、例えば、金属酸化膜１３で被覆された金属基体１２を触媒前駆体溶液に浸漬したり、触媒前駆体溶液を塗布して、適量を金属酸化膜１３に付着させ、その後、触媒前駆体溶液を乾燥することにより行うことができる。
尚、触媒担持体１１，１４を波型に折り曲げる成型加工は、金属基体に金属酸化膜を形成する前段階、金属基体に金属酸化膜を形成した段階、金属酸化膜に触媒を担持した段階のいずれであってもよい。
この触媒担持工程では、上述のように、金属基体１２上に均一な金属酸化膜１３を形成することができ、また、金属酸化膜１３上に触媒前駆体溶液を均一に付着させることができるので、所望の担持量で触媒を均一に担持させることができる。
【００５１】
次に、触媒担持体１１，１４を改質部６、ＣＯ除去部７に載置した後、筐体本体２Ａの開口面を閉塞するように、筐体蓋体２Ｂを筐体本体２Ａに接合（図３の斜線を付した部位で接合）して筐体２を形成する。これにより、気化部５と改質部６とＣＯ除去部７がこの順に連通したものとなり、本発明の水素製造装置１が得られる。この筐体本体２Ａと筐体蓋体２Ｂの接合は、例えば、拡散接合、ロウ付け、レーザー溶接、抵抗溶接、陽極接合等により行うことができ、特にレーザー溶接が触媒Ｃ１，Ｃ２への熱による影響が少なく好ましい。
上述のような本発明の水素製造装置の製造方法では、筐体２の内部に直接触媒を担持することなく、隔壁３，４による筐体本体２Ａ内部の区画と独立して触媒担持体１１，１４を作製するので、触媒担持量のバラツキが抑制され、均一な触媒担持が可能であり、かつ、触媒Ｃ１，Ｃ２の汚染や失活が生じることが防止される。また、筐体本体２Ａと筐体蓋体２Ｂとの接合面の清浄性が失われることがなく、かつ、接合面積が小さいもの（図３の斜線を付した部位）となるので、接合の信頼性が高いとともに、この接合工程での熱による触媒Ｃ１，Ｃ２の凝集、失活を防止することができる。
【００５２】
尚、上述の本実施形態により、図７、図８に示される水素製造装置２１の製造も可能である。
また、隔壁３，４の代わりに、複数の微細孔を備えた隔壁３′，４′、隔壁２３′を使用することにより、上記と同様の工程により、上述の水素製造装置１′，２１′を製造することができる。
また、筐体２の一方の面に燃焼室５７を接合することにより、上述の水素製造装置４１を製造することができる。筐体２と燃焼室５７との接合は、例えば、拡散接合、ロウ付け、レーザー溶接、抵抗溶接、陽極接合等により行うことができる。
【００５３】
また、隔壁３，４の代わりに、断熱空間８０を備えた隔壁７３，７４を使用することにより、あるいは、断熱空間９０を備えた隔壁８３，８４を使用することにより、上記と同様の工程により、上述の水素製造装置７１，８１を製造することができる。断熱空間を備えた隔壁は、例えば、少なくとも一方の板材に断熱空間形成用の切欠き部が形成された１対の板材を、切欠き部が内部となるように接合して形成することができる。
また、ＣＯ除去部７に、酸素含有気体を導入するための導入路を接続することにより、上述の水素製造装置１０１のような構造の水素製造装置を製造することができる。
尚、上述の水素製造装置製造方法の実施形態は一例であり、本発明はこれらに限定されるものではない。
【実施例】
【００５４】
次に、より具体的な実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
［実施例１］
（筐体本体の作製）
ＳＵＳ３０４のブロック体（７２ｍｍ×２４ｍｍ、高さ１０ｍｍ）を準備し、このブロック体の一方の面から切削加工を行った。これにより、厚み３ｍｍの２個の隔壁により内部が区画され、気化部（１５ｍｍ×１８ｍｍ、深さ９ｍｍ）、改質部（３０ｍｍ×１８ｍｍ、深さ９ｍｍ）、ＣＯ除去部（１５ｍｍ×１８ｍｍ、深さ９ｍｍ）がこの順に配列され、隔壁の端部には１．８ｍ×１．８ｍｍの開口部が形成された。
次いで、筐体本体の気化部とＣＯ除去部の壁部に直径２ｍｍの開口を形成し、この開口に外径３ｍｍ、内径２ｍｍのＳＵＳ３０４のパイプを銀ロウ付により接合した。これにより、図３に示されるような筐体本体を得た。
【００５５】
（触媒担持体の作製）
金属基体として、厚み１００μｍのアルミニウム薄板（幅１６ｍｍ、長さ５００ｍｍ）を準備し、このアルミニウム薄板を外部電極の陽極に接続し、陽極酸化溶液（４％シュウ酸溶液）に浸漬して陰極と対向させ、下記の条件で通電することにより、表面に酸化アルミニウム薄膜を形成した。この酸化アルミニウム薄膜の厚みをエリプソメーターで測定した結果、約３０μｍであった。
（陽極酸化の条件）
・浴温      ：  ２５℃
・電圧      ：  ２５Ｖ（ＤＣ）
【００５６】
次いで、酸化アルミニウム薄膜を形成したアルミニウム薄板を、下記組成の触媒前駆体溶液内に浸漬（２時間）し、引き上げ、３５０℃、６時間の乾燥処理を施して、酸化アルミニウム薄膜に触媒（Ｃｕ／ＺｎＯ）を担持させた。その後、長さ方向に８ｍｍピッチで波状に５０段の折り曲げを行い、改質部用の触媒担持体とした。
（触媒前駆体溶液の組成）
・Ｃｕ                                    …    ０．５モル／Ｌ
・Ｚｎ                                    …    ０．５モル／Ｌ
【００５７】
また、上記と同様にして、アルミニウム薄板に酸化アルミニウム薄膜を形成し、このアルミニウム薄板を、下記組成の触媒前駆体溶液内に浸漬（２時間）し、引き上げ、３５０℃、６時間の乾燥処理を施して、酸化アルミニウム薄膜に触媒（Ｐｔ／Ｆｅ2Ｏ3）を担持させた。その後、長さ方向に８ｍｍピッチで波状に２５段の折り曲げを行い、ＣＯ除去部用の触媒担持体とした。
（触媒前駆体溶液の組成）
・Ｐｔ                                    …    ０．５モル／Ｌ
・Ｆｅ                                    …    ０．５モル／Ｌ
【００５８】
（筐体本体と筐体蓋体の接合）
上述の筐体本体の改質部、ＣＯ除去部に、それぞれ改質部用の触媒担持体、ＣＯ除去部用の触媒担持体を載置した。
次いで、ＳＵＳ３０４からなる筐体蓋体（７０ｍｍ×２２ｍｍ、厚み０．５ｍｍ）を準備し、上述の筐体本体の開口面を閉塞するように配置し、その後、下記の条件でレーザー溶接により筐体本体と筐体蓋体を接合した。
（レーザー溶接の条件）
・出  力          ：  １８０Ｗ
・パルスエネルギー：  ６．４Ｊ
・周波数          ：  ３０Ｈｚ
【００５９】
次いで、筐体の一方の面上に絶縁層用塗布液（東レ（株）製  フォトニース）をスピンコート法により塗布し、乾燥して絶縁層（厚み５μｍ）を形成した。
次に、上記の絶縁層上に下記組成の発熱体用ペーストをスクリーン印刷により印刷し、２００℃で硬化させて、電気的に独立した３つの発熱体を形成した。形成した発熱体は、幅１００μｍの細線を、気化部、改質部、ＣＯ除去部に相当する各領域（気化部：１５ｍｍ×１８ｍｍ、改質部：３０ｍｍ×１８ｍｍ、ＣＯ除去部：１５ｍｍ×１８ｍｍ）を覆うように線間隔１００μｍで引き回したような形状とした。
（発熱体用ペーストの組成）
・カーボン粉末                              …    ２０重量部
・微粉末シリカ                              …    ２５重量部
・キシレンフェノール樹脂                    …    ３６重量部
・ブチルカルビトール                        …    １９重量部
【００６０】
また、下記組成の電極用ペーストを用いて、スクリーン印刷により各発熱体の所定の２ヶ所に電極（０．５ｍｍ×０．５ｍｍ）を形成した。
（電極用ペーストの組成）
・銀めっき銅粉末                            …    ９０重量部
・フェノール樹脂                            …  ６．５重量部
・ブチルカルビトール                        …  ３．５重量部
次に、各発熱体上に形成された計６個の電極を露出するように、下記組成の保護層用ペーストを用いて、スクリーン印刷により発熱体保護層（厚み２０μｍ）を発熱体上に形成した。
【００６１】
（保護層用ペーストの組成）
・樹脂分濃度                                …    ３０重量部
・シリカフィラー                            …    １０重量部
・ラクトン系溶剤（ペンタ１−４−ラクトン）  …    ６０重量部
これにより、本発明の水素製造装置を得ることができた。
【００６２】
［実施例２］
（筐体本体の作製）
ＳＵＳ３０４のブロック体（４３ｍｍ×４３ｍｍ、高さ１３ｍｍ）を準備し、このブロック体の一方の面から切削加工を行った。これにより、図７、図８に示されるように、厚み３ｍｍのＴ字型の隔壁により内部が区画され、気化部（１７ｍｍ×１７ｍｍ、深さ１０ｍｍ）、改質部（１７ｍｍ×３７ｍｍ、深さ１０ｍｍ）、ＣＯ除去部（１７ｍｍ×１７ｍｍ、深さ１０ｍｍ）がこの順に反時計周りに配列され、１つの隔壁の両端部には１．８ｍｍ×１．８ｍｍの開口部が形成された筐体本体を得た。
次いで、気化部とＣＯ除去部が隣接する筐体本体の１つの壁面に直径２ｍｍの開口を２個形成し、各開口に外径３ｍｍ、内径２ｍｍのＳＵＳ３０４のパイプを銀ロウ付により接合した。これにより、図７、図８に示されるような筐体本体を得た。
【００６３】
（触媒担持体の作製）
金属基体として、厚み１００μｍのアルミニウム薄板（幅１６ｍｍ、長さ５００ｍｍ）を準備し、実施例１と同様に、陽極酸化によって酸化アルミニウム薄膜を形成し、この酸化アルミニウム薄膜に触媒（Ｃｕ／ＺｎＯ）を担持させた。その後、長さ方向に１ｍｍピッチで波状に４０段の折り曲げを行い、改質部用の触媒担持体とした。
また、金属基体として、厚み１００μｍのアルミニウム薄板（幅１６ｍｍ、長さ２５０ｍｍ）を準備し、実施例１と同様に、陽極酸化によって酸化アルミニウム薄膜を形成し、この酸化アルミニウム薄膜に触媒（Ｐｔ／Ｆｅ2Ｏ3）を担持させた。その後、長さ方向に１ｍｍピッチで波状に２０段の折り曲げを行い、ＣＯ除去部用の触媒担持体とした。
【００６４】
（筐体本体と筐体蓋体の接合）
上述の筐体本体の改質部、ＣＯ除去部に、それぞれ改質部用の触媒担持体、ＣＯ除去部用の触媒担持体を載置した。
次いで、ＳＵＳ３０４からなる筐体蓋体（４１ｍｍ×４１ｍｍ、厚み０．５ｍｍ）を準備し、上述の筐体本体の開口面を閉塞するように配置し、その後、下記の条件でレーザー溶接により筐体本体と筐体蓋体を接合した。
（レーザー溶接の条件）
・出  力          ：  １８０Ｗ
・パルスエネルギー：  ６．４Ｊ
・周波数          ：  ３０Ｈｚ
【００６５】
次いで、筐体の一方の面上に、実施例１と同様にして、絶縁層（厚み５μｍ）を形成した。
次に、上記の絶縁層上に実施例１と同様にして、電気的に独立した３つの発熱体を形成した。形成した発熱体は、幅１００μｍの細線を、気化部、改質部、ＣＯ除去部に相当する各領域（気化部：１５ｍｍ×１５ｍｍ、改質部：１５ｍｍ×３５ｍｍ、ＣＯ除去部：１５ｍｍ×１５ｍｍ）を覆うように線間隔１００μｍで引き回したような形状とした。
【００６６】
また、実施例１と同様にして、各発熱体の所定の２ヶ所に電極（０．５ｍｍ×０．５ｍｍ）を形成した。
さらに、実施例１と同様にして、各発熱体上に形成された計６個の電極を露出するように発熱体保護層（厚み２０μｍ）を発熱体上に形成した。
これにより、本発明の水素製造装置を得ることができた。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、担持した触媒により所望の反応を得るための用途、例えば、炭化水素系燃料を水蒸気改質して水素を製造する用途等に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の水素製造装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示される水素製造装置のＡ−Ａ線における拡大縦断面図である。
【図３】図１および図２に示された水素製造装置の筐体を分解した斜視図である。
【図４】図１および図２に示された水素製造装置の筐体を分解した平面図である。
【図５】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図４相当の平面図である。
【図６】本発明の水素製造装置を構成する触媒担持体の断面図である。
【図７】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す筐体を分解した斜視図である。
【図８】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す筐体を分解した平面図である。
【図９】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図２相当の断面図である。
【図１０】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図８相当の平面図である。
【図１１】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図２相当の断面図である。
【図１２】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図２相当の断面図である。
【図１３】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図８相当の平面図である。
【図１４】本発明の水素製造装置の他の実施形態を示す図８相当の平面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１，１′，２１，２１′，４１，７１，８１，１０１…水素製造装置
２，２２，４２，７２，８２，１０２…筐体
２Ａ，２２Ａ，４２Ａ，７２Ａ，８２Ａ，１０２Ａ…筐体本体
２Ｂ，２２Ｂ…筐体蓋体
３，４，３′，４′，２３，２３′，２４，４３，４４，７３，７４，８３，８４，１０３，１０４…隔壁
３ａ，４ａ，２３ａ，２３ｂ，８３ａ，８３ｂ，１０３ａ，１０３ｂ…開口部
５，２５，４５，７５，８５，１０５…気化部
６，２６，４６，７６，８６，１０６…改質部
７，２７，４７，７７，８７，１０７…ＣＯ除去部
８，２８，４８，７８，８８，１０８…燃料導入路
９，２９，４９，７９，８９，１０９…生成ガス排出路
８ａ，９ａ…円筒部
８ｂ，９ｂ…鍔部
１１，１４，３１，３４，５１，５４…触媒担持体
１２…金属基体
１３…金属酸化膜
５７…燃焼室
６０…電熱体
８０，９０…断熱空間
１１０…酸素含有気体の導入路
Ｃ１，Ｃ２…触媒
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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