(57)【要約】      （修正有） 【課題】イントラベイルートの間のスペースを利用して、不具合個所のチェックやメンテナンス後の確認が容易に行える搬送車システムを提供する。【解決手段】  イントラベイルート６の内側にループ状のテストルート８を設けて、天井走行車３０を周回走行させる。テストルート８には、メンテナンスステーション１４を設けて天井走行車３０をメンテナンスし、基準ステーション１６でステーションとの移載機能を調整し、待機ライン２０を設けて過剰の天井走行車を待機させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
実使用用の搬送車の走行ラインの内側に、ループ状のテスト走行ラインを設けた、搬送車システム。
【請求項２】
前記テスト走行ラインと実使用用の走行ラインとを接続する引き込みラインを設けたことを特徴とする、請求項１の搬送車システム。
【請求項３】
前記テスト走行ラインを搬送車の退避ラインに兼用したことを特徴とする、請求項２の搬送車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、天井走行車や有軌道台車などの搬送車のメンテナンスに関する。
【背景技術】
【０００２】
天井走行車や有軌道台車などの搬送車は、かなりの台数が搬送システムに投入される場合が多い。当然のことながら、これらの搬送車のメンテナンスが必要であるが、メンテナンスする前後に搬送車を充分な時間テスト走行させるスペースが無い。このため、テスト走行無しでいきなりメンテナンスするので、不具合の発生位置を誤認するおそれがある。またメンテナンス後の確認が不十分なまま、生産ラインに搬送車が投入されることがあり、不十分なメンテナンスで搬送車が生産ライン（実使用用の走行ライン）に投入されるおそれがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、追加のスペースをほとんど必要とせずに、搬送車を充分にテスト走行させて、確実なメンテナンスを行うことができるようにすることにある。
請求項２の発明での追加の課題は、テスト走行ラインと実使用用の走行ライン間の、搬送車の移動を容易にすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、テスト走行ラインを過剰な搬送車のバッファに兼用することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、実使用用の搬送車の走行ラインの内側に、ループ状のテスト走行ラインを設けた搬送車システムにある。搬送車は例えば天井走行車や有軌道台車とする。
【０００５】
好ましくは、前記テスト走行ラインと実使用用の走行ラインとを接続する引き込みラインを設ける。ただし引き込みラインの接続個所が、物理的に文字通りの意味で、周囲の実使用用の走行ライン内にある必要はない。例えばインターベイルートの走行ラインから分岐してセミループ状のイントラベイルートの走行ラインを設け、このイントラベイルートを実使用用の走行ラインとする場合を考える。このような場合、テスト走行ラインがセミループの開口部からインターベイルートの走行ラインに接続されていても良い。
【０００６】
特に好ましくは、前記テスト走行ラインを搬送車の退避ラインに兼用し、過剰の搬送車を退避ラインに退避させる。なお搬送車の退避は、搬送車コントローラなどにより制御すればよい。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、実使用用の搬送車の走行ラインの内側にループ状のテスト走行ラインを設ける。テスト走行ラインは実使用用の走行ラインの内側にあるので、追加のスペースをほとんど必要としない。そしてループ状のテスト走行ラインを設けたので、メンテナンスの前後などに搬送車を充分な時間テスト走行させることができ、このため、長時間テスト走行させないと判明しないような不具合でも確実にチェックでき、またメンテナンス後に不具合が残っていれば確実に検出できる。
【０００８】
請求項２の発明では、テスト走行ラインを実使用用の走行ラインと引き込みラインで接続するので、メンテナンスの際の搬送車の移動が容易になる。
【０００９】
請求項３の発明では、テスト走行ラインを搬送車の退避ラインに兼用するので、テスト走行ラインで単に搬送車をテスト走行させるだけでなく、過剰な搬送車の退避も行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１，図２に実施例を示す。図１は実施例の搬送車システム２の概要を示し、例えばクリーンルーム内での液晶基板や半導体基板などの搬送システムとして設けられ、搬送車はここでは天井走行車３０とするが、地上走行の有軌道台車などでも良い。４は幹線としてのインターベイルートで、６は工程毎のイントラベイルートである。ループ状のイントラベイルート６の内側に、ループ状に即ち周回走行が自在なように、テストルート８を設ける。１０は分岐部、１２は合流部で、テストルート８の内部には待機ライン２０を設け、待機ライン２０にはメンテナンスステーション１４や基準ステーション１６、地上との間で天井走行車３０を昇降させるためのリフター１８を設ける。さらにテストルート８は引き込みライン２２，２４により、イントラベイルート６と接続する。またテストルート８はループ状の周回ライン２６，２８を備えて、天井走行車３０をテスト用に周回走行させる。
【００１２】
なおイントラベイルート６がセミループ状で開口を有する場合、テストルート８を引き込みラインによりインターベイルート４に直接接続することも可能である。この場合も、テストルート８の大部分がイントラベイルート６に囲まれていることに変わりはない。さらにテストルート８は前記の待機ライン２０とその両側の周回ライン２６，２８の合計３ラインからなるが、イントラベイルート６の内側のスペースが狭い場合、待機ライン２０を設けず、周回ライン２６，２８のみを設けても良い。この場合メンテナンスステーション１４や基準ステーション１６，リフター１８は、例えば周回ライン２６，２８の何れかに設けるが、これらの設置を省略しても良い。
【００１３】
図２に、メンテナンスステーション１４や基準ステーション１６の配置を示すと、天井走行車３０の走行ルートは、クリーンルームなどの天井に沿って敷設されている。天井走行車３０は例えば昇降台３２を備えて、半導体基板や液晶基板などのカセット３４などの搬送物品を、昇降台３２で昇降させることにより、ステーションとの間で移載する。天井走行車３０は高所走行なので、メンテナンスステーション１４には足場などを設けて、天井走行車３０の点検や簡単な修理などが行えるようにする。これ以上の修理は、例えばリフター１８で天井走行車を地上に降ろし、図示しない他のメンテナンスステーションで行うものとする。
【００１４】
基準ステーション１６は、搬送車システムでの多数のステーションの基準となるステーションである。即ち天井走行車３０は基準ステーション１６に対して正しい位置で停止して、正しい位置にカセット３４などを移載できるように調整する。搬送車システムのこれ以外の他のステーションでは、基準ステーション１６からの停止制御データや移載制御データの変化分のデータが、ステーション前にバーコードなどで記述され、あるいは天井走行車３０の図示しないマップなどに記載されている。そこで天井走行車３０は基準ステーション１６に対して正しい位置に停止して物品を移載できるように基準ステーション１６で調整され、基準ステーションからの停止制御データや移載制御データの変化分を加算して、各ステーションに対する停止制御と移載制御とを行う。なお３５は、基準ステーション１６に対する停止位置を示すドッグなどのマークである。天井走行車３０はマーク３５などを用いて、基準ステーション１６に対して停止し、カセット３４の移載をトライする。正しい位置に停止して正しくカセット３４の移載ができるように、天井走行車３０を調整する。
【００１５】
メンテナンスステーション１４などで点検し、地上に降ろして本格的にメンテナンスする必要があると判断された天井走行車は、リフター１８により地上に降ろされ、メンテナンスを受け、メンテナンス後の天井走行車は、リフター１８により待機ライン２０へと戻される。待機ライン２０のリフター１８よりも後流の部分は、搬送車システムで過剰となった搬送車の待機位置として用いられ、どの搬送車を待機させ、どの搬送車をインターベイルート４やイントラベイルート６などに投入するかは、搬送車コントローラ４０により制御する。なおメンテナンスステーション１４で高レベルのメンテナンスも行えるような場合、リフター１８は不要である。
【００１６】
３６は半導体や液晶基板などの処理装置で、搬送車システム２はクリーンルーム内に置かれ、このためテストルート８が占めるスペースを小さくすることが重要で、特に地上スペースの占有面積を小さくすることが重要である。実施例では、テストルート８はクリーンルームの天井付近に沿って、イントラベイルート６の内側に設けられているので、地上を占有する部分はメンテナンスステーション１４や基準ステーション１６並びにリフター１８の地上部分程度である。このため追加のスペースをほとんど必要とせずに、例えば既存のイントラベイルート６の内部に、テストルート８を設けることができる。
【００１７】
処理装置３６等にはステーション３８を設け、各ステーション３８への停止制御データや移載制御データは、バーコードなどでステーションの上流側に記述し、天井走行車３０はこのデータを読み取って、基準ステーション１６に対する停止制御や移載制御のデータを補正して、ステーション３８への停止と移載とを行う。
【００１８】
以上のように実施例では、イントラベイルート６の内側の空きスペースの天井部付近を利用して、テストルート８を設けることができる。このため追加のスペースをほとんど必要としない。テストルート８は引き込みライン２２，２４によりイントラベイルート６と接続されているので、テストルート８への天井走行車３０の出し入れは容易である。テストルート８ではメンテナンスステーション１４でメンテナンスを行い、基準ステーション１６で搬送車システム２の各ステーションへの停止と移載の基準となるデータを補正できる。またリフター１８により、地上に降ろしてメンテナンスする必要のある天井走行車の昇降ができる。さらにイントラベイルート６の内側に３ラインのテスト走行ラインを設ける余裕がある場合、待機ライン２０を設けて、過剰の天井走行車を待機させることができる。天井走行車は周回ライン２６，２８を周回して、充分な時間テスト走行させることができるので、不具合を確実に検出し、またメンテナンスにより不具合が完全に解消したかどうかを充分に確認することができる。このため、問題点が顕在化したり隠れたりするため検出しにくい不具合でも、確実に検出してメンテナンスできる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例の搬送車システムのレイアウトを示す平面図
【図２】実施例での基準ステーションを示す側面図
【符号の説明】
【００２０】
２          搬送車システム
４          インターベイルート
６          イントラベイルート
８          テストルート
１０        分岐部
１２        合流部
１４        メンテナンスステーション
１６        基準ステーション
１８        リフター
２０        待機ライン
２２，２４  引き込みライン
２６，２８  周回ライン
３０        天井走行車
３２        昇降台
３４        カセット
３５        マーク
３６        処理装置
３８        ステーション    
４０        搬送車コントローラ
【図１】
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【図２】
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