(57)【要約】【課題】基体（１０５）と、基体（１０５）を覆って配置された複数（１１０）の皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）とを含む物品（１００）を提供する。【解決手段】各皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）は、酸素ゲッタ層（１１６）とバリヤ層（１１７）とを含む。本発明の実施形態は、皮膜システムの堅牢性を高めるために冗長性を導入する。基体（１０５）を覆って多重保護皮膜ユニットを配置して、皮膜ユニットの１つの破損により基体（１０５）が環境に直接露出する危険性を受ける可能性を非常に少なくするようにする。外側皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）の破損は、基体（１０５）又は低保護性皮膜層ではなくて、本来の保護皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）を単に露出させる。このようにして、本発明の実施形態は、１つの特定の皮膜層性能への依存度を大幅に低下させ、より堅牢かつ信頼性があるシステムを促進する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体（１０５）と、
前記基体（１０５）を覆って配置された複数の皮膜ユニットと、
を含み、各皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）が、
酸素ゲッタ層（１１６）と、
バリヤ層（１１７）と、
を含むことを特徴とする物品（１００）。
【請求項２】
前記酸素ゲッタ層（１１６）がケイ素を含むことを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項３】
前記酸素ゲッタ層（１１６）が、元素状ケイ素及びケイ化物からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含むことを特徴とする請求項２記載の物品（１００）。
【請求項４】
前記バリヤ層（１１７）がセラミックを含むことを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項５】
前記セラミックが酸化物を含むことを特徴とする請求項４記載の物品（１００）。
【請求項６】
前記酸化物が、アルミノケイ酸塩、ケイ酸塩及びアルミン酸塩からなる群から選ばれる少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項５記載の物品（１００）。
【請求項７】
前記複数（１１０）の皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）が、連続したバリヤ層（１１７）間に配置された少なくとも１つの前記ゲッタ層を有する一連のバリヤ層（１１７）を形成していることを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項８】
前記複数（１１０）のうちの各皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）が、最大約１０００マイクロメートルまでの厚さを有することを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項９】
前記複数（１１０）の皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）が、最大約２０００マイクロメートルまでの全体厚さを有することを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項１０】
前記酸素ゲッタ層（１１６）が、最大約２５０マイクロメートルまでの厚さを有することを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項１１】
前記バリヤ層（１１７）が、最大約７５０マイクロメートルまでの厚さを有することを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項１２】
前記基体（１０５）がケイ素を含むことを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項１３】
前記基体（１０５）がセラミック化合物を含み、前記セラミック化合物がケイ素を含むことを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項１４】
前記セラミック化合物が、炭化ケイ素及び窒化ケイ素からなる群から選ばれる少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１３に記載の物品（１００）。
【請求項１５】
前記基体（１０５）が、タービンアセンブリの部品を含むことを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項１６】
前記複数（１１０）のうちの少なくとも１つの皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）が、
ａ．前記酸素ゲッタ層（１１６）と前記バリヤ層（１１７）との間に、
ｂ．前記バリヤ層（１１７）を覆って、及び
ｃ．前記酸素ゲッタ層（１１６）の下に
からなる群から選ばれる位置に配置された少なくとも１つの付加層をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の物品（１００）。
【請求項１７】
前記付加層が、前記酸素ゲッタ層（１１６）と前記バリヤ層（１１７）との間に配置され、前記付加層が、前記バリヤ層（１１７）及び酸素ゲッタ層（１１６）のそれぞれの熱膨張係数の中間の熱膨張係数を有することを特徴とする請求項１６記載の物品（１００）。
【請求項１８】
前記バリヤ層（１１７）がアルミノケイ酸バリウムストロンチウムを含み、前記ゲッタ層がケイ素を含み、また前記付加層が、ムライト、アルミノケイ酸バリウムストロンチウム及びそれらの混合物からなる群から選ばれる少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１６記載の物品（１００）。
【請求項１９】
前記バリヤ層（１１７）が、希土類モノケイ酸塩を含み、前記ゲッタ層がケイ素を含み、また前記付加層が、希土類ジケイ酸塩を含むことを特徴とする請求項１６記載の物品（１００）。
【請求項２０】
ケイ素を含む基体（１０５）と、
前記基体（１０５）を覆って配置された複数（１１０）の皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）と、
を含み、各皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）が、
元素状ケイ素及びケイ化物からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む酸素ゲッタ層（１１６）と、
アルミノケイ酸塩、ケイ酸塩及びアルミン酸塩からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含むバリヤ層と、を含み、
前記複数（１１０）の皮膜ユニット（１１５、１２０、１２５）が、連続するバリヤ層（１１７）間に配置された少なくとも１つの前記ゲッタ層を有する一連のバリヤ層（１１７）を形成している、
物品（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、耐熱機械部品に関する。より具体的には、本発明は、高温環境への露出から機械部品を保護するための皮膜システムに関する。本発明はまた、物品を保護するための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばセラミック、合金及び金属間化合物のようなケイ素含有材料は、例えばガスタービンエンジン、熱交換器及び内燃機関のような用途における高温での使用のために設計した構造体で用いるのに魅力的な特性を提供する。しかしながら、これらの用途の環境の特徴として水蒸気が含まれることが多く、高温での水蒸気は、ケイ素含有材料に大きな表面浸食及び腐食減量を引き起こすことが知られている。水蒸気は、高温で構造材料と反応して揮発性のケイ素含有化学種を形成し、多くの場合容認できない大きな浸食速度を生じる。
【０００３】
環境バリヤ皮膜（ＥＢＣ）は、高温水蒸気による腐食作用を受けやすいケイ素含有材料に施工され、水蒸気と材料の表面との間の接触を妨げることによって保護を行う。ＥＢＣは、高温の水蒸気含有環境において比較的化学的に安定であり、かつ材料表面と環境との間の露出経路を形成する連通気孔及び垂直割れを最少にするように設計される。割れ発生は、ＥＢＣと下にある材料との間の熱膨張の不一致をできるだけ少なくすることによってある程度最少化され、また異なる材料の多重層を使用することによって向上した付着性及び耐環境性が達成できる。米国特許第６，４１０，１４８号に記載されているような１つの例示的な従来型のＥＢＣシステムは、ケイ素含有基体に付着施工されたケイ素又はシリカ・ボンディング層と、ボンディング層を覆って被着されたムライト又はムライト−アルカリ土類アルミノケイ酸塩混合物を含む中間層と、中間層を覆って被着されたアルカリ土類アルミノケイ酸塩を含むトップ層とを含む。別の実施例である米国特許第６，２９６，９４１号においては、トップ層は、アルミノケイ酸塩でなくてケイ酸イットリウム層である。
【特許文献１】米国特許第６，４１０，１４８号公報
【特許文献２】米国特許第６，２９６，９４１号公報
【特許文献３】米国特許第６，２９９，９８８号公報
【特許文献４】米国特許第６，３１２，７６３号公報
【特許文献５】米国特許第６，３８７，４５６号公報
【特許文献６】米国特許第６，６３０，２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の皮膜システムは、厳しい環境において物品の適切な保護を提供することができる。しかしながら、ＥＢＣトップ層の局所領域に作用する割れ、スポーリング、揮発及び他のメカニズムは、下にある材料、例えばケイ素ボンディングコートを環境に露出させ、急速な酸化及び揮発を招く。これらのメカニズムによってボンディングコートが局所的に除去されると、下にあるケイ素含有基体の急速な浸食が起こる。基体材料に孔が明くことにより、高温使用に対して設計されていなかった部分が突然に高温環境に直接露出された状態になるので、該システムの破局的な破損を導くおそれがある。従って、水蒸気を含む高温環境への長期の露出に高い信頼性で耐える能力を有する堅牢な環境バリヤ皮膜システムによって保護された物品を提供する必要性が存在する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態は、これら及びその他の必要性に対処するために提供される。１つの実施形態は、基板と基体を覆って配置された複数の皮膜ユニットとを含む物品である。各皮膜ユニットは、酸素ゲッタ層とバリヤ層とを含む。より具体的な実施形態は、ケイ素を含む基体と基体を覆って配置された複数の皮膜ユニットとを含む物品である。各皮膜ユニットは、元素状ケイ素及びケイ化物からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む酸素ゲッタ層と、アルミノケイ酸塩、ケイ酸塩及びアルミン酸塩からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含むバリヤ層とを含む。複数の皮膜ユニットは、連続するバリヤ層間に配置された少なくとも１つのゲッタ層を有する一連のバリヤ層を形成する。
【０００６】
本発明のこれらの及びその他の特徴、態様及び利点は、図面全体を通して同じ参照符号が同様の部分を表している添付図面を参照して以下の詳細な説明を読むことにより一層良好に理解されるようになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１を参照すると、典型的なＥＢＣシステム１０は、ケイ素含有基体２５に施工した、ケイ素で作製されたボンディングコート２０と、ボンディングコート２０を覆って配置され、多くの場合ムライト又はムライト−アルカリ土類アルミノケイ酸塩混合物で作製された中間層３０と、中間層３０を覆って配置され、多くの場合アルカリ土類アルミナケイ酸塩又は他の保護用セラミック材料で作製されたトップ層４０とを含む。他の層は非常に低い環境保護しか提供しないので、ＥＢＣシステム１０は、トップ層４０の存在及び完全性に高度に依存している。上述のように、この３層皮膜システムにおける比較的小さい欠陥でさえ、部品全体の急速な早期破損につながる可能性がある。セラミック皮膜であるトップ層４０は、加工中に欠陥を生じやすくかつ部品の取付け及び使用の間に損傷しやすいので、そのような破損の危険性は無視できない。
【０００８】
本発明の実施形態は、ＥＢＣシステムの堅牢性を高めるために冗長性を導入している。多重保護皮膜ユニットが基体を覆って配置されて、上述の従来型のシステムとは異なり、皮膜ユニットの１つの破損により基体が環境に直接露出する危険性を受ける可能性を非常に少なくするようにする。外側皮膜ユニットの破損は、基体又は低保護性皮膜層ではなくて、本来の保護皮膜ユニットを単に露出させる。このようにして、本発明の実施形態は、１つの特定の皮膜層性能への依存度を大幅に低下させ、より堅牢かつ信頼性があるシステムを促進する。
【０００９】
図２を参照すると、本発明の１つの実施形態は、基体１０５と、基体１０５を覆って配置された複数１１０の皮膜ユニット１１５、１２０、１２５とを含む物品１００である。図２は、複数１１０の皮膜ユニットが３つの皮膜ユニット１１５、１２０、１２５を含む例示的な実施形態を示しているが、用途に応じてより多くの又はより少ないユニットを使用することができる。各皮膜ユニット１１５は、酸素ゲッタ層１１６とバリヤ層１１７とを含む。ボンディングコート（図示せず）が任意選択的に基体に接触した状態で配置され、複数１１０の皮膜ユニットはボンディングコートを覆って配置される。ボンディングコートは、一部の実施形態ではケイ素又はケイ化物を含み、幾つかの実施形態では約２５マイクロメートル〜約２００マイクロメートルの範囲内の厚さを有する。
【００１０】
一部の実施形態では、基体１０５はケイ素を含み、例えば該基体としては、セラミック化合物、合金、金属間化合物又はそれらの組合せを含むものが挙げられる。金属間化合物の実施例には、それに限定されないが、ケイ化ニオブ及びケイ化モリブデンが含まれる。適切なセラミック化合物の実施例には、それに限定されないが、炭化ケイ素及び窒化ケイ素が含まれる。本発明の実施形態には、基体がセラミックマトリクス複合材（ＣＭＣ）材料を含むものが含まれ、該ＣＭＣとしては、マトリックスフェーズ及び強化材フェーズを含み、それらフェーズの両方が炭化ケイ素を含むものが挙げられる。材料組成に関係なく、幾つかの実施形態では、基体１０５は、他の部品の中でもとりわけ燃焼器部品、シュラウド、タービンブレード又はタービンベーンのようなタービンアセンブリの部品を含む。
【００１１】
酸素ゲッタ層１１６は、酸素が環境から基体１０５内に拡散するのを阻止し又は実質的に抑制するために使用される。本明細書で使用する場合、「酸素ゲッタ」というのは、酸素原子又は分子に対する強い親和性を有する物質を意味する。一部の実施形態では、酸素ゲッタ層１１６はケイ素を含む。酸素ゲッタ層材料の適切な実施例には、元素状ケイ素（例えば、本質的にケイ素からなる材料を含む）及びケイ化物（ケイ素と１つ又はそれ以上の添加化学元素との化合物）が含まれる。幾つかの実施形態では、ゲッタ層は最大２５０マイクロメートルまでの厚さを有する。一部の実施形態では、この厚さは約５０マイクロメートル〜約１５０マイクロメートルの範囲内にあり、特定の実施形態では、この厚さは約８０マイクロメートル〜約１２０マイクロメートルの範囲内にある。
【００１２】
その用語を本明細書で使用する場合、バリヤ層１１７は、高温の水蒸気含有環境における耐浸食性を備えかつさらに下にある層及び基体への水蒸気の侵入を抑制するように設計された皮膜を意味する。幾つかの実施形態では、バリヤ層１１７は、酸化物のようなセラミックを含む。適切な酸化物材料の実施例には、アルミノケイ酸塩、ケイ酸塩及びアルミン酸塩が含まれる。アルミノケイ酸バリウムストロンチウムのようなアルカリ土類アルミノケイ酸塩、モノケイ酸イットリウムのような希土類ケイ酸塩及びアルカリ土類アルミン酸塩は、特に適切なバリヤ層材料であるが、高温の水蒸気含有環境における十分な耐浸食性を有する他の化合物も同様に適切である。幾つかの実施形態では、バリヤ層１１７は金属を含む。バリヤ層１１７として用いるのに適切な金属には、それに限定されないが、白金、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、レニウム、オスミウム及びイリジウム、並びに前述の何れかの少なくとも１つを含む合金が含まれる。バリヤ層１１７は、幾つかの実施形態では最大７５０マイクロメートルまでの厚さを有する。一部の実施形態では、この厚さは約７５マイクロメートル〜約５００マイクロメートルの範囲内にある。特定の実施形態では、この厚さは約７５マイクロメートル〜約１２５マイクロメートルの範囲内にある。バリヤ層１１７厚さの選択は、例えば予想使用環境の性質、バリヤ層１１７として用いるように選定した材料及び所望の耐用期間を含む幾つかの設計検討事項により決まることになる。
【００１３】
堆積順序、材料選択、層の厚さなどの多くの選択組合せは、本発明の実施形態に包含される。図２に示す例示的な実施形態では、複数１１０の皮膜ユニットが、一連のバリヤ層１１７、１１９、１２１を形成するように配置され、少なくとも１つのゲッタ層１１６、１１８、１２２が、順次に連続するバリヤ層１１７、１１９、１２１間に配置される。そのような配列により、バリヤ層１１７、１１９、１２１を貫通して基体１０５に至る酸素の拡散の大幅な低減が可能になる。図２の例示的な実施形態ではまた、複数１１０のうちの各皮膜ユニットは、該複数１１０のうちの他の皮膜ユニットと実質的に同一である。本明細書で用いる場合、「実質的に同一」というのは、層の位置、層の組成及び層の厚さにおいて、正常な工程変動の限界値の範囲内で同等なことを意味する。図２に示す実施形態は、本発明の実施形態によって提供される多くのものからの単に１つの可能性に過ぎず、必要条件ではない。例えば、幾つかの実施形態では、皮膜ユニットの少なくとも１つが、皮膜ユニットにおける他の層に対して、層の厚さ、組成又は位置に関して他のユニットの対応する層とは異なる少なくとも１つの層を含む。例えば、物品上に配置された１つの皮膜ユニット内のバリヤ層は希土類ケイ酸塩を含むことができるのに対して、同じ物品上の異なる皮膜ユニット内のバリヤ層は、アルミノケイ酸塩のような異なった材料を含むことができる。
【００１４】
一部の実施形態では、複数１１０のうちの少なくとも１つの皮膜ユニットはさらに、少なくとも１つの付加層（図示せず）を含む。この付加層は、ゲッタ層又はバリヤ層のどちらかを覆って又はその下に配置することができ、或はこれらの２つの層間に配置することができる。付加層は、幾つかの望ましい機能の何れかを行うために使用することができる。例えば、バリヤ層材料及びゲッタ層材料の熱膨張係数（ＣＴＥ）の中間にある熱膨張係数を有する付加層をゲッタ層とバリヤ層との間に配置して、これら２つの層間の熱膨張係数（ＣＴＥ）の不一致による応力を低減することができる。１つの特定の実施形態では、ムライト又はムライトとアルミノケイ酸バリウムストロンチウム（ＢＳＡＳ）との混合物を含む付加層が、元素状ケイ素を含むゲッタ層とＢＳＡＳを含むバリヤ層との間に配置される。それに代えて、希土類ジケイ酸塩を含む付加層が、元素状ケイ素を含むゲッタ層と希土類モノケイ酸塩を含むバリヤ層との間に配置される。別の実施形態では、ゲッタ層とバリヤ層との間に配置された付加層は、拡散バリヤを形成して、それら２つの層間の化学的相互作用を最少にする。例えば１つ又はそれ以上の皮膜ユニットのために元素状ケイ素のバリヤ層と併せて白金族金属を含むバリヤ層を選択した場合には、ガスタービン部品の典型的な作動温度でのこれらの材料間の反応性のために、この機能は有用である。
【００１５】
何れかの付加層の厚さ、化学組成及び皮膜ユニット内部での位置は、幾つかの要因により決まることになり、それら要因には、とりわけユニット内の他の層の組成、それらの厚さ及び個々の用途の環境が含まれる。本発明の実施形態での使用に適した付加層は、皮膜ユニット内部或は複数の皮膜と基体との間の熱応力に対する実質的な一因になることのないＣＴＥを有するのが望ましい。１つの実施形態では、付加層は、例えば酸化物のようなセラミック材料を含む。必ずしも必要ではないが、付加層の厚さは一般的に、以下で説明するように皮膜ユニットの他の層の厚さに匹敵する。
【００１６】
各皮膜ユニット１１５、１２０、１２５の全体厚さ及び複数１１０の皮膜ユニットの全体厚さは、個々の皮膜厚さの選択に関して前述した設計検討事項の幾つかにより決まる。幾つかの実施形態では、複数１１０のうちの各皮膜ユニットは、最大約１０００マイクロメートルまでの厚さを有する。特定の実施形態では、皮膜ユニットの厚さは、約７５マイクロメートル〜約３７５マイクロメートルの範囲内にある。さらに、幾つかの実施形態では、複数１１０の全体厚さは、最大約２０００マイクロメートルまでである。特定の実施形態では、この全体厚さは、約１５０マイクロメートル〜約７５０マイクロメートルの範囲内にある。
【００１７】
図２から明かになるように、本発明の実施形態は、冗長システムを提供して、システム内の何れかの単一層の完全性へのシステム性能の依存度を低下させる。例えば、最外側の皮膜ユニット１２５が損傷した場合、中間ユニット１２０によって同等量の耐環境性が得られ、次に中間ユニット１２０が破損した場合には、第１のユニット１１５が中間ユニット１２０に置き換わることができる。従来型のＥＢＣシステム１０（図１）においては、トップコート４０における単一の局所的欠陥は、基体２５の直接腐食を急速に招くことになる。しかしながら、本発明のシステムにおいては、トップコート１２１における単一の欠陥は、同等なバリヤ層１９１の露出をもたらすのみである。従って、本発明の実施形態は、腐食性環境で用いるための欠陥耐性がより大きくかつ信頼性があるＥＢＣシステムを提供する。
【００１８】
上述の特性の十分な利点を得るために、本発明の特定の実施形態は、ケイ素を含む基体１０５と、基体１０５を覆って配置された複数１１０の皮膜ユニット１１５とを含む物品である。各皮膜ユニット１１５は、酸素ゲッタ層１１６とバリヤ層１１７とを含む。ゲッタ層１１６は、元素状ケイ素及びケイ化物からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む。バリヤ層１１７は、アルミノケイ酸塩、ケイ酸塩及びアルミン酸塩からなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む。複数１１０の皮膜ユニットは、連続するバリヤ層間に配置された少なくとも１つのゲッタ層１１６、１１８、１２２を有する一連のバリヤ層１１７、１１９、１２１を形成する。
【００１９】
本明細書に記載した皮膜の全ては、様々な製造プロセスの何れかによって基体２５上に被着させることができ、それらプロセスには、それに限定されないが、プラズマ溶射、熱溶射などのような溶射プロセス、物理蒸着、化学蒸着などのような蒸着プロセス、及び電気メッキのような他の被覆プロセスが含まれる。用途のために選択した材料及び層の被着に使用するプロセスに応じて、皮膜に対して様々な熱処理を行って、強度を高め、望ましいミクロ組織成分フェーズを形成し、或は他の所望の特性を与えることができる。
実施例
更なる詳述なしで、当業者は、本明細書の記載を用いて本発明をその最大限度まで利用することができると思われる。以下の実施例は、特許請求の範囲に記載した発明を実施する際に当業者に付加的な指針を与えるために記載している。ここに示す実施例は、単に本出願の教示に寄与する研究の代表的なものに過ぎない。従って、この実施例は、いずれにしても、特許請求の範囲に記載した本発明を限定することを意図するものではない。
【００２０】
図３を参照すると、ケイ素含有基体３０１は、２つの皮膜ユニット３１０、３２０でプラズマ溶射被覆した。各皮膜ユニットは、元素状ケイ素の酸素ゲッタ層３０２、３０５と、ゲッタ層３０２、３０５を覆って配置されたＢＳＡＳ及びムライトの混合物を含む付加層３０３、３０６と、付加層３０３、３０６を覆って配置されたＢＳＡＳのバリヤ層３０４、３０７とを備えた。各ユニットの全体厚さは、およそ３００〜５００マイクロメートルであった。被覆した基体は、典型的なガスタービンの水蒸気分圧にほぼ同じ水蒸気分圧を有する、９０％Ｈ２Ｏ−１０％Ｏ２環境内で周期的蒸気暴露（２５０サイクル）に５００時間にわたって曝された。この暴露の間に、皮膜システムに蓄積された損傷はごく僅かであった。トップ皮膜ユニット３２０の酸素ゲッタ層３０５は、その上に薄い酸化物層を有することが観察されたが、この酸化物層は、従来型のＥＢＣシステムにおける同様に暴露したボンディングコート２０について観察されるであろうものと殆ど同程度であった。他方で、底部皮膜ユニット３１０の酸素ゲッタ層３０２はその上に酸化物層を有しておらず、連続したトップユニットのゲッタ層３０５が底部ＥＢＣ皮膜ユニット３１０への酸素及び水蒸気の侵入を防止したことを示した。つまり、底部皮膜ユニット３１０は、曝露の間に本来の状態のままであったが、トップ皮膜ユニット３２０は通常のＥＢＣと同様に挙動した。
【００２１】
本明細書では様々な実施形態を説明しているが、当業者はその要素の組合せ、変形、均等物又は改良を加えるがことができ、それらも依然として特許請求の範囲に記載した本発明の範囲内にあることは、本明細書から分かるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】従来技術の典型的なＥＢＣシステムの概略断面図。
【図２】本発明の実施形態の概略断面図。
【図３】本発明の例示的な実施形態の断面の顕微鏡写真。
【符号の説明】
【００２３】
１００  物品
１０５  基体
１１０  複数の皮膜ユニット
１１５、１２０、１２５  皮膜ユニット
１１６、１１８、１２２  酸素ゲッタ層
１１７、１１９、１２１  バリヤ層
【図１】
2006193830.tif 000003
【図２】
2006193830.tif 000004
【図３】
2006193830.tif 000005