(57)【要約】【課題】  インクジェット塗布中にノズルからの不噴射が発生した場合であっても、その不発生を検出することでできるようにして、製品不良を未然に防止することのできるインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】  インクジェットヘッド６内に設けられ、インクｉを収容するインク室６５と、インク室６５と連通する小径の孔を有するノズル６７と、インク室６５に収容されているインクｉをノズル６７より噴射させるアクチュエータ６２と、ノズル６７の開口に近接して設けられ、前記ノズルから噴射されるインクを検出する検出手段１１、１２と、前記検出手段１１、１２に接続され，前記アクチュエータの動作に伴う前記ノズルからのインクの噴射の有無を判断する判断手段２１とを備える。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッド内に設けられ、インクを収容するインク室と、
前記インク室と連通する小径の孔を有し、前記インクジェットヘッドの下端部で基板に向けて設けられるノズルと、
前記インク室に収容されているインクを前記ノズルより噴射させるアクチュエータと、
前記ノズルの開口に近接して設けられ、前記ノズルから噴射されるインクを検出する検出手段と、
前記検出手段に接続され，前記アクチュエータの動作に伴う前記ノズルからのインクの噴射の有無を判断する判断手段と
を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記ノズルを複数個備え、それらのノズルのそれぞれに検出手段が設けられることを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
前記検出手段は、前記ノズルの開口を挟む電極を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
【請求項４】
前記検出手段は、前記ノズルの開口を挟む発光素子と受光素子を有することを特徴とする請求項１記載のインクジェット塗布装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェット塗布装置を用いて基板表面に向けてインクを噴出させる塗布工程を有する表示デバイスの製造方法において、
前記アクチュエータの動作に伴う前記ノズルからのインクの噴射がないと前記判断手段が判断した場合に、前記塗布工程を止めることを特徴とする表示デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを微小な液滴にして基板の所定領域に噴射して塗布するインクジェット塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置、液晶ディスプレイパネル、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイパネル若しくはフィールドエミッションディスプレイパネル等の薄型ディスプレイパネルを用いた表示デバイス等を製造する際には、水溶液や、無機又は有機溶媒を含む塗布液の液滴を、インクジェット塗布装置のインクジェットノズルから基板上に噴射塗布し、前記基板上で乾燥させることにより、機能層等の膜を形成させることが行われている。かようなインクジェット塗布は、特に、表示デバイスの発光層やカラーフィルター層などのような微細なパターニングを必要とする成膜のために好適に用いられている。
【０００３】
インクジェット塗布装置は、インクジェットヘッドに取り付けられた微小なノズルを備え、このノズルから、被塗布材である基板に向けてインクの液滴を噴射しつつ、インクジェットヘッド及び前記基板を支持しているステージの一方又は両方を水平面内で往復移動させることにより、前記基板上に着弾させたインクを基板の所定範囲内に塗布している。
【０００４】
ところが、ノズル詰まり等の理由により、塗布したい領域にインクジェットヘッドのノズルからインクを噴射することができない場合がある。このような不噴射が生じると、インクジェット塗布工程を経て製造される製品の不良に直結するので好ましくない。例えば、有機ＥＬディスプレイの発光層をインクジェット塗布により形成するときに前記インクの不噴射が生じると筋状のムラとなり、これが製品の輝度ムラになる。
【０００５】
そのため、従来は、ノズルからのインクの不噴射を検出するために、基板上の品質に影響を与えない箇所あるいは別途不吐出検出用に設けられたスペースにおいてダミー噴射を行い、着弾した液滴を上方からＣＣＤカメラなどの撮像機器で撮影し、その画像を画像処理することで噴射の有無を判断していた。また、他の方法としては、インクジェットヘッドより下方の空間における噴射されたインクが通過する経路を挟んで発光素子と受光素子とを対向させて配置し、インクジェットヘッドへの噴射信号に同期させて発光素子を発光させ、このときの受光手段からの撮像信号の出力から、噴射されたインクの有無を判断していた。
【０００６】
これらの従来技術を、図面を用いて説明する。図１０は、従来のインクの不噴射検出法の一例の説明図である。インクジェットヘッド１０１とは別にＣＣＤカメラ１０２を設けておく。また、この基板１０３において塗布しようとするパネル１０４領域とは別の領域に，ダミー噴射エリア１０５を設けておく。そして、インクジェットヘッド１０１からパネル１０４領域にインクを噴射させて塗布するときに、まず前記ダミー噴射エリア１０５にインクジェットヘッド１０１からインクを噴射して着弾させ、この着弾させたダミー噴射エリア１０５をＣＣＤカメラ１０２で撮像し、その撮像信号を画像処理することにより、複数ある全てのノズルからインクが噴射されたか否かを判断していた。
【０００７】
図１１は、従来の不噴射検出法の別の例の説明図である。インクジェットヘッド１０１より下方の間の空間を挟むように、発光素子１０６と、この発光素子１０６から発光された光を受光する受光素子１０７とが設けられている。この受光素子１０７は、必要に応じてインクジェットヘッド１０１の下端部に複数個が設けられているノズルの配列方向と平行な方向に、移動手段１０８により移動可能になっている。前記発光素子１０６をインクジェットヘッド１０１からの塗布タイミングと同期させて点滅させると、前記インクジェットヘッド１０１から噴射されたインク１０９の液滴は止まって見えるので、その液滴を受光素子１０７で撮像し、その信号を画像処理することにより、複数ある全てのノズルからインクが噴射されたか否かを判断していた。
【０００８】
このような従来技術については、例えば、特許文献１及び特許文献２に記載がある。
【特許文献１】特開２０００−３２６５２４号公報
【特許文献２】特開２００１−５４９５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図１０及び図１１に図示した従来の不噴射検出法は、いずれも基板への塗布を行う前に実施されるものであり、実際の塗布工程中に発生する不噴射については検出することができない。そのため、事前の不噴射検出では問題なかったのに、塗布工程中に何らかの理由で不噴射が発生してしまう場合があり、気付かないうちに塗布不良が生じ、例えば線状の欠陥を有する製品を多数生産してしまうことがある。また、図１１に示した従来技術については、液滴の動きが止まって見えるための発光手段の発光時間には限りがあり、撮影に必要な明るさが保持されている期間については不吐出の有無は分かるが、それ以外の期間については不吐出の発生があっても見逃してしまう。
【００１０】
本発明は、上記の問題を有利に解決するものであり、インクジェット塗布中にノズルからの不噴射が発生した場合であっても、その不発生を検出することをできるようにして、製品不良を未然に防止することのできるインクジェット塗布装置を提供することをも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のインクジェット塗布装置は、インクジェットヘッド内に設けられ、インクを収容するインク室と、前記インク室と連通する小径の孔を有し、前記インクジェットヘッドの下端部で基板に向けて設けられるノズルと、前記インク室に収容されているインクを前記ノズルより噴射させるアクチュエータと、前記ノズルの開口に近接して設けられ、前記ノズルから噴射されるインクを検出する検出手段と、前記検出手段に接続され，前記アクチュエータの動作に伴う前記ノズルからのインクの噴射の有無を判断する判断手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】
本発明のインクジェット塗布装置は、前記ノズルを複数個備え、それらのノズルのそれぞれに検出手段が設けられることが好ましい。
【００１３】
また、本発明のインクジェット塗布装置においては、前記ノズルの開口を挟む電極を有する構成とすることができるし、また、前記ノズルの開口を挟む発光素子と受光素子を有する構成とすることもできる。
【００１４】
また、本発明のインクジェット塗布装置を用いて基板表面に向けてインクを噴出させる塗布工程を有する表示デバイスの製造方法においては、前記アクチュエータの動作に伴う前記ノズルからのインクの噴射がないと前記判断手段が判断した場合に、前記塗布工程を止めることにより歩留まりよく表示デバイスを製造することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、塗布処理中であってもインクジェットヘッドからの不吐出を、検出可能とするので、製品歩留まりを向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は本発明の一実施の形態に係るインクジェット塗布装置の全体構成を示す斜視図である。本発明のインクジェット塗布装置は、ベース１を備え、前記ベース１上には、インクを塗布する基板Ｓを保持するステージ２がほぼ水平に配設されている。このステージ２は、前記ベース１の上面から順次に設けられたＸテーブル３ａ、Ｙテーブル３ｂ、θテーブル３ｃによって水平面内を移動可能に支持されている。
【００１７】
前記ステージ２を跨ぐように、門型の支持体４が前記ベース１の上面からほぼ垂直に立設されている。この支持体４における前記ステージ２の直上に当たる位置に、インクジェットヘッド駆動装置５が取り付けられている。このインクジェットヘッド駆動装置５の下端部に、インクジェットヘッド６が設けられている。このインクジェットヘッド６の下端面には、インクの液滴を噴射するノズルが、ステージ２に向けて取り付けられている。
【００１８】
前記インクジェットヘッド６にインクを供給するために、複数のインク供給タンク７が設けられ、それぞれ配管８により前記インクジェットヘッド６と接続している。これらのインク供給タンク７には、例えば液晶ディスプレイパネルのカラーフィルターの着色膜や有機ＥＬパネルの発光膜を当該インクジェット塗布装置により形成する場合には、それぞれＲ、Ｇ、Ｂ３色のそれぞれに対応する色のインクが貯えられる。このインクの液面高さを適切に調節して前記インクジェットヘッド６のノズル先端部におけるインク液圧を所定の負圧に維持するために、インク供給タンク７は、ベース１上に設けられた図示しないインク供給タンク駆動機構によって昇降可能に支持されている。
【００１９】
前記インク供給タンク７に貯えられるインクが減ったときにインクを供給するために、前記インク供給タンク２１に対応する複数のインク補給タンク９が設けられ、それぞれ配管８により前記インク供給タンク７と接続している。
【００２０】
ベース１上に備える上述の各部材を覆ってインクジェット塗布をする空間を所定の雰囲気に保持するために、インク塗布ボックス１０ａが設けられている。このインク塗布ボックス１０ａに隣接して、このインク塗布ボックス１０ａ内の雰囲気がインクの補給時に変動するのを防止するためにインク補給タンク９近傍の空間を所定の雰囲気に保持するインク補給ボックス１０ｂが設けられている。
【００２１】
図２は、図１に示すインクジェットヘッド６の断面図である。インクジェットヘッド６は、間隙を有する基体６１と、この基体６１の間隙に挿入されている圧電素子よりなるアクチュエータ６２と、このアクチュエータの先端に固着されているダイヤフラム６３と、このダイヤフラム６３の前記基体６１とは反対側の面に取り付けられている流路板６４と、この流路板６４に形成されてインクｉが満たされる空隙よりなり、前記アクチュエータ６２が固着されている部分の前記ダイヤフラム６３を空隙の内壁の一部とするインク室６５と、前記流路板６４の端面に前記インク室６５を塞ぐように取り付けられたノズルプレート６６と、このノズルプレート６６に形成された貫通孔よりなり、前記インク室６５と連通してインクを噴射するノズル６７とを備えている。
【００２２】
圧電素子よりなる前記アクチュエータ６２に電圧を加えると、このアクチュエータ６２は前記ダイヤフラム６３を引っ張るように縮む。したがって、ダイヤフラム６３が弾性変形し、ダイヤフラム６３を内壁の一部とするインク室６５の容積が増大する。このインク室６５には図示しない流路を通してインク供給タンク７と接続している配管８と接続されていて、インク室６５内に満たされているインク量が増大する。
【００２３】
次に、前記アクチュエータ６２に電圧を加えるのを止めると、このアクチュエータ６２は元の長さに戻り、ダイヤフラム６３の弾性変形も元の状態に戻る。そうなるとダイヤフラム６３を内壁の一部とするインク室６５の容積も元に戻り、このインク室６５に満たされているインクｉの増分が、ノズル６７から液滴として噴射される。
【００２４】
ところが、例えば何らかの理由によりインク室６５内に気泡が生じた場合や、ノズル６７付近にゴミやインクの固化物などの異物が付着して成長した場合には、インクジェット塗布中に不噴射が生じてしまう。また、アクチュエータの破損、アクチュエータに接続する電線の破断、ダイヤフラムの破損、アクチュエータ６２とダイヤフラム６３との接続不良などによっても不噴射が起こる。
【００２５】
そこで、本発明のインクジェット塗布装置では、このノズル６７に近接して検出手段を設けて、不噴射をリアルタイムで検出する。
【００２６】
図３は、本発明のインクジェット塗布装置の一実施形態の説明図であり、同図（ａ）はインクジェットヘッド６のノズル６７近傍の断面図、同図（ｂ）はインクジェットヘッド６のノズル６７近傍を底面から見た図である。同図に示す本実施形態においては、前記検出手段として、ノズルプレート６６の表面におけるノズル６７を挟んで一対の電極１１、１２が設けられている。これらの電極１１、１２は、ノズル６７からインクを噴射させるときに、このインクが電極１１及び１２に接触するように設けられているため、このインクの噴射時において液滴の噴射方向などに悪影響を及ぼさないような厚み、端部形状を有している。例えばスパッタリングや蒸着などにより薄膜として、ノズル６７の開口形状に沿った端部形状にてこの開口と同一の端面となるように設けられている。
【００２７】
これらの電極１１、１２は、判断手段としての判断回路２１にそれぞれ接続されている。この判断回路２１は、電極１１と電極１２との間に電圧を加えて、インクの塗布に伴う電極１１と電極１２との間の電気量の変化があるか否かを検出して、インクが噴射されたか否かを判断する。
【００２８】
本実施形態におけるインクジェット噴射の検出要領を、図４及び図５を用いて説明する。図４は、インクｉをノズルプレート６６に設けられたノズル６７から噴射するときのインクの時系列的変化を示し、図５は、図４に示した時系列的変化に対する電気抵抗変化をグラフで示す。
【００２９】
図４（ａ）に示すようにインクｉをノズル６７から噴射する前の時間域においては電極１１及び電極１２間は非接触状態にある。図５において対応する（ａ）の時間域における電気抵抗値は高い値を示し、具体的には無限大の値になる。
【００３０】
次に図４（ｂ）に示すようにアクチュエータ６２の動作によりノズルプレート６６の表面にインクｉが達している時間域においては、電極１１及び電極１２間にインクｉが接触して、このインクｉにより導通する。そのときの電気抵抗は、インクｉの抵抗値となるので、図５において対応する（ｂ）の時間域における電気抵抗値は、上述した（ａ）の時間域における電気抵抗値よりも低い値となる。
【００３１】
次に図４（ｃ）に示すように、インクｉがノズル６７の開口から押し出され、表面張力によってインク室６５内部のインクと分離する時間域においては、電極１１及び電極１２との間で接触していたインクｉが、電極１１及び電極１２とから離れる。図５において対応する（ｃ）の時間域における電気抵抗値は、インクｉの抵抗値から、非接触時の無限大の抵抗値まで変化する。
【００３２】
次に図４（ｄ）に示すように、インクが液滴となってノズル６７から噴射され、インク室６５内部のインクｉと分離した後の時間域においては、電極１１及び電極１２間は非接触状態になる。図５において対応する（ｄ）の時間域における電気抵抗値は無限大の値になる。
【００３３】
図４及び図５に示したように、１つのノズル６７における１回の液滴噴射が正常に行われている場合には、電気抵抗値が１回減少する。したがって、アクチュエータ６２への１回の指令を行ったときに電極１１、１２間の電気抵抗値が１回下がったか否かで、不吐出が生じたか否かが判定できる。このようにして判断回路２１は、アクチュエータ６２に対する電圧印加の情報と図５に示した電気抵抗の情報を入力し、これらの電圧印加の情報と電気抵抗の情報に基づいて、アクチュエータ６２の動作に対応する電気抵抗の変化があったか否かを判定する。そして、電気抵抗の変化があった場合にはインクの液滴噴射が正常に行われたと判断し、電気抵抗の変化がなかった場合には、インクが噴射されなかったと判断することにより、判断回路２１は、インクの不吐出を検出することができる。
【００３４】
また、判断回路２１がメモリを有するものであって、インクの液滴噴射が正常に行われたときの抵抗値を予め記憶しておき、この記憶された抵抗値と、インクの液滴噴射が行われた時の抵抗値とを比較して、抵抗値が一致するか否かによはり、インクの不吐出を検出することもできる。
【００３５】
図６は、図３に示した電極を、ノズルプレート６６に設けられたノズル６７の各々に設けたところを示している。図６に示すように、ノズル６７の全てのノズルについて、それぞれ電極１１Ａ、１２Ａを設け、両電極間に電圧をかけておき、判断回路２１によりインクの液滴噴射に対応する電気量の変化を個別に検出することにより、インクジェットヘッドから基板に噴射するインク液滴の全数検査を、その場でかつリアルタイムで行うことができる。
【００３６】
図６に示した実施形態において、複数のノズルから同時にインクを噴射する場合には、判断回路２１は、電極間の電気抵抗の変化をノズル毎に調べ、対比することにより、電気抵抗の変化がなかった電極が取り付けられているノズルを、不吐出だと判断することもできる。この場合は、アクチュエータ６２への吐出信号を判断回路２１に入力することを必ずしも要しない。
【００３７】
図３に示した実施形態では、電極１１及び電極１２間がインクにより導通があったか否かによる抵抗変化により判断していたが、本発明のインクジェット塗布装置は図３に示した実施形態に限られない。
【００３８】
図７に、本発明のインクジェット塗布装置の他の実施形態を示す。図７は本実施形態をインクジェットヘッド６のノズル６７近傍を底面から見た図である。ノズルプレート６６に設けられたノズル６７を囲むように、電極１３が形成されている。電極１３は、ノズル６７からインクを噴射させるときに、このインクが電極１３に接触するように設けられているため、このインクの噴射時において液滴の噴射方向などに悪影響を及ぼさないような厚み、端部形状を有している。この電極１３の両端部が判断回路２１に接続されて、電極１３に電流を流すことができるようになっている。
【００３９】
図７に示した本実施形態において、インクが電極１３に接触している時は、インクが電極１３に接触していない時と比べて電気抵抗が変化して、電流値が変化する。したがって、判断回路２１は、この電気抵抗の変化を検出することにより、不吐出が生じたか否かを判定することができる。また、判断回路２１は抵抗変化に限らず、電流値の変化や、電圧値の変化によっても不吐出が生じたか否かを検出することができる。
【００４０】
図８に、本発明のインクジェット塗布装置の他の実施形態を示す。図８は本実施形態をインクジェットヘッド６のノズル６７近傍を底面から見た図である。ノズルプレート６６に設けられたノズル６７を挟んで、電極１４及び電極１５が設けられている。電極１４及び電極１５は、ノズル６７の開口からからインクを噴射させるときにインクが電極１４及び電極１５に接触しないように、ノズルの開口とは少しの距離を空け、周縁に沿って設けられ、かつ電極１４と電極１５とは互いに非接触状態で近接配置されている。
【００４１】
これらの電極１４、１５は、それぞれ判断回路２１に接続されている。判断回路２１は、電極１１と電極１２との間に電圧を加えて、インクの塗布に伴う電極１１と電極１２との間の静電容量の変化があるか否かを検出して、インクが噴射されたか否かを判断する。すなわち、電極１４、１５はノズル６７を挟んで近接配置されていることから、コンデンサとして電極１４と１５との間には所定の静電容量が貯えられる。そして、インクの噴射に伴いインクがこの電極１４、１５間に存在している時には、インクが具備する誘電特性によって、インクが電極１３に接触していない時と比べて電極１４、１５間の静電容量が変化する。したがって、判断回路２１は、この静電容量の変化を検出することにより、不吐出が生じたか否かを判定することができる。
【００４２】
以上述べた説明では電気的特性の変化によって不吐出を検出している例を示したが、本発明のインクジェット塗布装置の不吐出検出手段は、噴射に伴う電気的特性の変化を検出するものに限られない。例えば光学的に検出することもできる。
【００４３】
図９に光学的に検出する本発明の他の実施形態を示す。同図は、インクジェットヘッド６の断面図である。同図において、先に説明した図２と同一の部材については同一の符号を付している。なお、図２では、インクジェットヘッド６に複数個設けてあるノズルの配列方向と平行に切断した断面の断面図を示しているが、図９は、複数個設けてあるノズルの配列方向と垂直に切断した断面の断面図を示している。
【００４４】
図９において、ノズルプレート６６に設けられたノズル６７から噴射されるインクｉを光路が通過するように、発光手段３１と、受光手段３２とが、このノズル６７部を挟んでノズルプレート６６の両端部に設けられている。そして、この発光手段３１とノズル６７との間には、発光手段３１からの光をノズル６７近傍まで導く発光側導波路３３が設けられている。また、このノズル６７と前記受光手段３２との間には、ノズル６７近傍まで導かれた発光手段３１からの光を受光手段３２まで導く受光側導波路３４が設けられている。前記発光手段３１には例えばレーザダイオードを用いることができ、また前記発光手段３２には、フォトダイオードを用いることができ、また発光側導波路３３及び前記受光側導波路３４には、光ファイバーを用いることができる。
【００４５】
図９に示した本実施形態において、インクｉが発光側導波路３３と受光側導波路３４との間に存在しない時は、発光素子３１からの光は、発光側導波路３３及び受光側導波路３４を通して受光素子３２に到達するようになっている。そして、インクｉが発光側導波路３３と受光側導波路３４との間に存在している時は、発光素子３１から発光側導波路３３を通った光は、このインクｉにより遮られ、受光側導波路３４及び受光素子３２には届かない。したがって、判断回路２１は、この光の伝達の有無を検出することにより、不吐出が生じたか否かを判定することができる。
【００４６】
本発明のインクジェット塗布装置において、光を用いて不吐出を検出する実施形態は、図９に示した例に限られない。図９では、受光素子に光が伝達されたか否かにより不吐出だと判断していたが、ノズルを挟んで一方に発光ダイオードを設け、他方にＣＣＤなどの撮像素子を設け、ノズルからからのインクの塗布に伴う明暗度の変化を検出することによっても、不塗布を判断することができる。
【００４７】
本発明のインクジェット塗布装置を用いて、表示デバイスを製造することができる。
【００４８】
表示デバイスの製造工程においては、表示デバイスの基板上に有機ＥＬパネルの場合の発光素子層や液晶パネルのカラーフィルターの場合の着色層やブラックマトリックス層を形成する工程があり、これらの層はいずれも微細に区画された領域内に層を形成させる必要があることから、本発明のインクジェット塗布装置により塗布液を塗布して乾燥させ、前記発光素子の発光膜又は前記カラーフィルターの着色膜若しくは遮光膜を形成させることができる。
【００４９】
より具体的には、表示デバイスとして例えば液晶ディスプレイを製造する場合について述べると、ガラス基板上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を規則正しく並べて配置したＴＦＴアレイ基板を製造するとともに、他のガラス基板にカラーフィルター及びブラックマトリックスを形成させたカラーフィルター基板を製造し、前記ＴＦＴアレイ基板と前記カラーフィルター基板とを貼り合わせて組み立て、その貼り合わせた基板の隙間に液晶材を注入し、封じ込ませてパネル基板を得る。また、パネル基板を得るのに、前記ＴＦＴアレイ基板上にカラーフィルターとブラックマトリックスとの両方を形成させることも行われている。
【００５０】
このようなカラーフィルター基板、又はカラーフィルターとブラックマトリックスとを形成させたＴＦＴアレイ基板を製造するに当たり、そのカラーフィルター層の各輝点（サブピクセル）に対応する着色層を形成するため、又は前記各輝点により構成される表示領域の周囲に設けられる非表示領域又は前記各輝点間を遮光するための遮光層（ブラックマトリックス）を形成するための膜を、本発明のインクジェット塗布装置を用いて形成することができる。
【００５１】
そして本発明のインクジェット塗布装置を用いて表示デバイスを製造する際に、上述した検出手段と判断手段とにより、インクジェットヘッド６からインクｉの不噴射が生じたか否かをリアルタイムで検出して、不噴射が生じた時には、直ちにインクジェット塗布を停止する。そして必要に応じてリカバリー処理を行う。そうすることにより、線状の製品不良が大幅に減り、歩留まりが上がる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施の形態に係るインクジェット塗布装置の全体構成を示す斜視図。
【図２】図１に示すインクジェットヘッド６の断面図。
【図３】本発明のインクジェット塗布装置の一実施形態の説明図。
【図４】ノズルから噴射するときのインクの時系列的変化を示す図。
【図５】図４に示すインクの時系列的変化に対する電気抵抗変化を示すグラフ。
【図６】図３に示す実施形態の変形例を示す図。
【図７】本発明のインクジェット塗布装置の他の実施形態の説明図。
【図８】本発明のインクジェット塗布装置の他の実施形態の説明図。
【図９】本発明のインクジェット塗布装置の他の実施形態の説明図。
【図１０】従来のインクの不噴射検出法の一例の説明図。
【図１１】従来のインクの不噴射検出法の他の例の説明図。
【符号の説明】
【００５３】
６…インクジェットヘッド、１１…電極（検出手段）、１２…電極（検出手段）、２１…判断回路（判断手段）、３１…発光手段、３２…受光手段、６２…アクチュエータ、６５…インク室、６７…ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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