(57)【要約】【課題】  金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸アルカリを得ることができる高純度炭酸アルカリの製造方法及びその製造装置を提供すること。【解決手段】  金属不純物濃度の高い炭酸ガスを酸性の液、中性の液及び炭酸水素アルカリの水溶液のいずれかの液に溶解させて、当該液から発生する金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得る。そして当該炭酸ガスを高濃度の水酸化アルカリ水溶液例えば水酸化ナトリウム水溶液に溶解させて金属不純物濃度の低い炭酸ナトリウムを得る。【選択図】  図１
2006193347.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属不純物を含む炭酸ガスを酸性の液、中性の液及び炭酸水素アルカリの水溶液のいずれかの液に溶解させて、金属不純物が当該液に捕集されることで前記炭酸ガスよりも金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得る工程と、
この工程で得られた炭酸ガスを水酸化アルカリ水溶液に溶解させて高純度の炭酸アルカリを得る工程と、を含むことを特徴とする高純度炭酸アルカリの製造方法。
【請求項２】
金属不純物を含む炭酸ガスを酸性の液または中性の液に溶解させて、金属不純物が液に捕集されることで前記炭酸ガスよりも金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得る工程と、
この工程で精製された炭酸ガスを炭酸水素アルカリの水溶液に溶解させて、金属不純物がこの液に捕集されることで当該炭酸ガスよりも金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得る工程と、
この工程で得られた炭酸ガスを水酸化アルカリ水溶液に溶解させて高純度の炭酸アルカリを得る工程と、を含むことを特徴とする高純度炭酸アルカリの製造方法。
【請求項３】
酸性の液、中性の液及び炭酸水素アルカリの水溶液のいずれかを貯溜するための精製槽と、
この精製槽の液内に金属不純物を含む炭酸ガスを供給するための炭酸ガス供給手段と、
水酸化アルカリ水溶液を貯溜するための反応槽と、
前記精製槽と反応槽とを連通するように設けられ、前記精製槽の液から発生する炭酸ガスを前記反応槽の液内に供給して炭酸アルカリを生成するための通気手段と、を備えたことを特徴とする高純度炭酸アルカリの製造装置。
【請求項４】
酸性の液または中性の液を貯溜するための第１の精製槽と、
この第１の精製槽の液内に金属不純物を含む炭酸ガスを供給するための炭酸ガス供給手段と、
炭酸水素アルカリの水溶液を貯溜するための第２の精製槽と、
前記第１の精製槽と第２の精製槽とを連通するように設けられ、前記第１の精製槽の液から発生する炭酸ガスを前記第２の精製槽の液内に供給するための第１の通気手段と、
水酸化アルカリ水溶液を貯溜するための反応槽と、
前記第２の精製槽と反応槽とを連通するように設けられ、第２の精製槽の液から発生する炭酸ガスを前記反応槽の液内に供給して炭酸アルカリを生成するための第２の通気手段と、を備えたことを特徴とする高純度炭酸アルカリの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属不純物濃度の低い高純度の炭酸アルカリを製造する方法及びその製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、炭酸アルカリ例えば炭酸ナトリウム（Ｎａ2ＣＯ3）及び炭酸カリウム（Ｋ2ＣＯ3）は、ルブランソーダ法、アンモニアソーダ法及び電解法によって製造されている。しかし、上記の方法により製造された炭酸ナトリウムは金属不純物濃度が高い。ところで半導体製造の分野では、シリコンウエハを洗浄する薬液の原料として炭酸ナトリウムあるいは炭酸カリウムが用いられるようになってきているが、ウエハは金属不純物が付着すると、半導体デバイスの特性に悪影響を与えることから上述の方法により製造された炭酸アルカリは用いることができない。
【０００３】
そこで、より純度の高い炭酸アルカリ例えば炭酸ナトリウムを得るために、例えば下記（１）式に示すように高純度の水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液に炭酸ガス（二酸化炭素（ＣＯ2））を溶解させることで下記（１）式の反応により高純度の炭酸ナトリウムを得るようにしているが、通常当該反応に用いられる炭酸ガス中には微量であるが、パーティクル状態の金属不純物が含まれているため、これを除去するために例えばフィルタなどを用いている。
【０００４】
２ＮａＯＨ＋ＣＯ2→Ｎａ2ＣＯ3＋Ｈ2Ｏ……（１）
しかし、炭酸ガスに含まれている金属不純物の粒子サイズがフィルタの網目よりも小さい場合にはフィルタを通過してしまうので、フィルタを用いる手法は除去能力に限界がある。
【０００５】
近年においては半導体デバイスのパターンの線幅が微細化しているので薬液中の金属不純物の許容値が低くなってきており、より一層金属不純物濃度の低い炭酸アルカリが要求されている。
【０００６】
一方例えば特許文献１には、メタンを原料として用い、未反応メタンが微量な高純度の二酸化炭素を製造する方法が記載されているが、金属不純物濃度を低減させる点については着眼されていない。
【０００７】
【特許文献１】特願平１１−８５２７２（請求項１、段落０００２〜０００４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸アルカリ、例えば炭酸ナトリウムあるいは炭酸カリウムを得ることができる高純度炭酸アルカリの製造方法及びその製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の高純度炭酸アルカリの製造方法は、金属不純物を含む炭酸ガスを酸性の液、中性の液及び炭酸水素アルカリの水溶液のいずれかの液に溶解させて、金属不純物が当該液に捕集されることで前記炭酸ガスよりも金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得る工程と、
この工程で得られた炭酸ガスを水酸化アルカリ水溶液に溶解させて高純度の炭酸アルカリを得る工程と、を含むことを特徴とする。「炭酸ガスを酸性の液、中性の液及び炭酸水素アルカリの水溶液のいずれかの液に溶解させて」とは、酸性の液、中性の液及び炭酸水素アルカリの水溶液のいずれか一つに溶解させることに限らず、いずれか二つの液中を順次に通過させる場合、３つの各液を順番に通過させる場合も含む意味である。酸性の液としては強酸例えば硫酸及び硝酸を挙げることができるが、揮発性が小さく、炭酸ガスに溶液の蒸気が同伴しないという点で硫酸が特に好ましい。中性の液とは、純水を挙げることができるが、例えばナトリウム塩やカリウム塩などのアルカリ塩であってもよい。要は、金属成分の上記の捕集液としては、炭酸ガスが吸収されずあるいはほとんど吸収されず、また蒸気に金属成分が含まれないものが好ましい。純水であれば、蒸気は水であることから、炭酸アルカリ中の不純物となることはないが、炭酸アルカリ中の不純物となる成分が含まれている溶液であっても、揮発性が少なければ好適であり、この点から硫酸が好ましいといえる。
【００１０】
本発明の高純度炭酸アルカリの他の製造方法は、金属不純物を含む炭酸ガスを酸性の液または中性の液に溶解させて、金属不純物が液に捕集されることで前記炭酸ガスよりも金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得る工程と、
この工程で精製された炭酸ガスを炭酸水素アルカリの水溶液に溶解させて、金属不純物がこの液に捕集されることで当該炭酸ガスよりも金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得る工程と、
この工程で得られた炭酸ガスを水酸化アルカリ水溶液に溶解させて高純度の炭酸アルカリを得る工程と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
また本発明の高純度炭酸アルカリの製造装置は、酸性の液、中性の液及び炭酸水素アルカリの水溶液のいずれかを貯溜するための精製槽と、
この精製槽の液内に金属不純物を含む炭酸ガスを供給するための炭酸ガス供給手段と、
水酸化アルカリ水溶液を貯溜するための反応槽と、
前記精製槽と反応槽とを連通するように設けられ、前記精製槽の液から発生する炭酸ガスを前記反応槽の液内に供給して炭酸アルカリを生成するための通気手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
また本発明の高純度炭酸アルカリの他の製造装置は、酸性の液または中性の液を貯溜するための第１の精製槽と、
この第１の精製槽の液内に金属不純物を含む炭酸ガスを供給するための炭酸ガス供給手段と、
炭酸水素アルカリの水溶液を貯溜するための第２の精製槽と、
前記第１の精製槽と第２の精製槽とを連通するように設けられ、前記第１の精製槽の液から発生する炭酸ガスを前記第２の精製槽の液内に供給するための第１の通気手段と、
水酸化アルカリ水溶液を貯溜するための反応槽と、
前記第２の精製槽と反応槽とを連通するように設けられ、第２の精製槽の液から発生する炭酸ガスを前記反応槽の液内に供給して炭酸アルカリを生成するための第２の通気手段と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、金属不純物を含む炭酸ガス（二酸化炭素）を酸性の液、中性の液及び炭酸水素アルカリの水溶液のいずれかの液に溶解させることで、炭酸ガスに含有されている金属不純物を取り除くことができる。酸性の液あるいは中性の液を用いる場合には炭酸ガス中の金属不純物は液中に移行し、結果として炭酸ガス中の金属不純物が低減される。酸性溶液として強酸例えば硫酸あるいは硝酸を用いた場合には金属不純物は金属イオンになって酸の中に溶解する。また炭酸水素アルカリを用いた場合には、金属不純物はイオンあるいは水酸化物としてトラップされる。このようにして精製された炭酸ガスを水酸化アルカリと反応させることにより、金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸アルカリ、例えば炭酸ナトリウムあるいは炭酸カリウムを得ることができる。
【００１４】
更にまた金属不純物を含む炭酸ガスを酸性の液、中性の液に溶解させ、さらに当該炭酸ガスを炭酸水素アルカリの水溶液に溶解させ、いわば２段の精製処理を行うことで、より一層金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得ることができる。従って本発明によれば当該炭酸アルカリを金属汚染に厳しい例えばシリコンウエハの洗浄液などの原料として好適に用いることがことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明方法を実施するための炭酸アルカリの製造装置の一形態を示す概略構成図である。
【００１６】
図中１は炭酸アルカリである炭酸ナトリウムを精製するための精製槽であり、前記精製槽１内には所定量の酸性溶液が貯溜されている。前記精製槽１の上部にはガス供給管１０が挿入され、その先端部はＬ字状に屈曲していてガス吐出口１１が多数形成されており、散気管構造として構成される。このガス供給管１０と、ガス吐出口１１とにより精製槽１の水溶液内にガスを供給する炭酸ガス供給手段が構成される。また前記精製槽１の上部には前記酸性溶液を精製槽１内に供給するための水溶液供給管１２が接続されており、前記精製槽１の下部には廃液排出管１３が接続されている。さらに前記精製槽１の天井部には、ミストセパレータ１４を介してガス供給管１５が接続されている。またＶ１〜Ｖ３はバルブである。
【００１７】
酸性溶液としては、例えば硫酸、硝酸などの強酸が用いられるが、溶液の蒸気が炭酸ガスに同伴することを抑えるためには、揮発性ができるだけ小さい溶液が好ましく、このため硫酸が特に好ましい。また酸性溶液の代わりに中性溶液例えば純水を用いてもよい。
【００１８】
前記精製槽１の後段には、精製した炭酸ガスを反応させるための反応槽２が設けられている。前記反応槽２内には所定量の水酸化アルカリ水溶液が入っている。前記水酸化アルカリ水溶液としては、この例では炭酸ナトリウムを製造する工程であることから、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）が用いられている。水酸化ナトリウム水溶液の濃度は例えば２７重量％に調整される。前記反応槽２の上部には既述のガス供給管１５の先端部が挿入され、その先端部はＬ字状に屈曲していてガス吐出口１６が多数形成されており、散気管構造として構成される。即ち、このガス供給管１５は精製槽１の気相部分と反応槽２の液相部分とを連通し、ガス吐出口１６と共に、反応槽２の水溶液内に炭酸ガスを供給する通気手段が構成される。また前記反応槽２の上部には前記アルカリ水溶液を反応槽２内に供給するための水溶液供給管２１と前記反応槽２内の炭酸ガスを排出するためのガス排出管２２とが接続されており、前記反応槽２の下部には水溶液排出管２３が接続されている。さらに前記反応槽２は水溶液排出管２３を介して吸引濾過手段３に接続されている。またＶ４及びＶ５はバルブである。
【００１９】
次に上記装置で実施される高純度の炭酸アルカリの製造方法について説明する。なお、本発明において高純度の炭酸アルカリとは原料の炭酸ガスよりも金属不純物が低いという意味であり、金属不純物濃度の範囲を限定するものではないが、例えばその金属不純物濃度が１０ｐｐｂ以下である。また以下の説明において、精製槽１内には酸性溶液である例えば硫酸が貯溜されており、反応槽２内には水酸化ナトリウム水溶液が貯溜されているものとする。先ず、硫酸が入った精製槽１内にガス供給管１０を介して原料である炭酸ガス（二酸化炭素（ＣＯ2））を供給する。この原料である炭酸ガスとしては、ドライアイス及び焼却炉などから発生する二酸化炭素などが用いられる。このようなことから本発明に使用される炭酸ガスには、一般の感覚では微量ではあるが金属不純物が含有されていることになる。
【００２０】
そして当該炭酸ガスは、ガス供給管１０の先端部に多数形成されているガス吐出口１１から吐出され、バブリングにより硫酸中に拡散される。この炭酸ガスは、酸性溶液では溶けずに液相部から気相部へと移行するという性質を有するため硫酸の表面から炭酸ガスが発生する。このとき炭酸ガスに含有されているパーティクル状態の金属不純物は、硫酸に溶解して金属イオンとして形態を変えて液中に捕集されるので、精製槽１の気相部分は金属不純物濃度の極めて低い炭酸ガスで満たされることになる。前記精製槽１内の気相部に放出された炭酸ガスは、前記精製槽１の天井部に設置されたミストセパレータ１４でアルカリミストが除去され、ガス供給管１５へ送られる。
【００２１】
そして所定量の水酸化ナトリウム水溶液が入った反応槽２内に、精製された（金属不純物濃度の低い）炭酸ガスが前記ガス供給管１５を介して供給され、当該炭酸ガスは、ガス供給管１５の先端部に多数形成されているガス吐出口１６から吐出され、バブリングにより水酸化ナトリウム水溶液中に拡散される。そして反応槽２内において下記（２）式に示す反応が起り、金属不純物濃度の低い炭酸ナトリウム（Ｎａ2ＣＯ3）が析出生成されて沈殿する。また水溶液中で反応した炭酸ガスは、ガス排出管２２を介して外方へ排出されることになる。なお、この炭酸ガスをガス供給管１０を介して精製槽１内に供給するようにしてもよい。
【００２２】
２ＮａＯＨ＋ＣＯ2→Ｎａ2ＣＯ3＋Ｈ2Ｏ……（２）
そしてバルブＶ５を開いて沈殿物であるスラリーを抜き出して吸引濾過手段３に送り、ここで固形分である炭酸ナトリウムを母液から分離することで金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸ナトリウムを得る。
【００２３】
上述の実施の形態によれば、金属不純物を含む炭酸ガス（二酸化炭素）を硫酸に溶解させることで、炭酸ガスに含有されている金属不純物を取り除くことができ、そしてこの炭酸ガスを高濃度の水酸化ナトリウム水溶液に溶解させることで金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸ナトリウムの固形分を得ることができる。従って、この炭酸ナトリウムの水溶液をシリコンウエハのエッチング液（洗浄液）として好適に用いることができる。
【００２４】
なお、図１において反応槽２内に水酸化ナトリウム水溶液の代わりに所定量の例えば５１重量％の水酸カリウム水溶液を貯溜し、精製された炭酸ガスを水酸化カリウム水溶液に溶解させると下記（３）式に示す反応が起り、金属不純物濃度の低い高純度の炭酸カリウムが析出生成されることになる。
【００２５】
２ＫＯＨ＋ＣＯ2→Ｋ2ＣＯ3＋Ｈ2Ｏ……（３）  
従って、この炭酸カリウムにおいても上述と同様な効果を得ることができる。
【００２６】
また、図１において反応槽１内に硫酸の代わりに純水を用いても、炭酸ガスに含有されているパーティクル状態の金属不純物を液中に捕集することができ、同様に金属不純物濃度の低い高純度の炭酸ナトリウムあるいは炭酸カリウムを得ることができる。
【００２７】
本発明の他の実施の形態について説明する。ここで説明する実施の形態は、金属不純物を含む原料である炭酸ガスを炭酸水素アルカリの水溶液例えば炭酸水素ナトリウム（ＮａＨＣＯ3）水溶液に溶解させる他は、上述の実施の形態と同様の方法で金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸アルカリを製造している。よって図２において上述の実施の形態と同様の構成にある部分については同じ符号を付してある。以下の説明において、精製槽１内には、所定量の例えば６０℃以下、好ましくは３０℃以下に維持された例えば５〜８重量％の炭酸水素ナトリウム水溶液が貯溜されており、反応槽２内には、所定量の水酸化ナトリウム水溶液が貯溜されているものとする。
【００２８】
前記精製槽１内の炭酸水素ナトリウム水溶液に金属不純物を含む炭酸ガスを溶解させると、炭酸ガスに含有されているパーティクル状態の金属不純物は水酸化物あるいは金属イオンとしてトラップされ、その中で金属水酸化物は沈殿物として精製槽１内の底部に溜まる。そして精製槽１の気相部分に不純物が取り除かれた炭酸ガスが満たされる。この場合、当該炭酸ガスに同伴するのは僅かな水ということになる。
【００２９】
このように金属不純物を含む炭酸ガスを炭酸水素ナトリウム水溶液に溶解させても炭酸ガスに含有されている金属不純物を取り除くことができ、上述と同様に金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸ナトリウムを得るができる。なお、図２において精製槽１内に炭酸水素カリウムの水溶液を貯留すると共に、反応槽２内に水酸化ナトリウム水溶液の代わりに所定量の水酸化カリウム水溶液を貯溜し、精製された炭酸ガスを水酸化カリウム水溶液に溶解させると上記（３）式に示す反応が起り、金属不純物濃度の低い高純度の炭酸カリウムが析出生成されることになる。
【００３０】
本発明のさらに他の実施の形態について説明する。図３にこの実施の形態における炭酸アルカリの製造装置を示す。図３中４は第１の精製槽である。第１の精製槽４内には所定量の酸性溶液または中性溶液が貯溜されている。前記第１の精製槽４の上部にはガス供給管４０が挿入され、その先端部はＬ字状に屈曲していてガス吐出口４１が多数形成されており、散気管構造として構成される。このガス供給管４０と、ガス吐出口４１とにより第１の精製槽４の液内にガスを供給する炭酸ガス供給手段が構成される。また前記第１の精製槽４の上部には前記酸性溶液または純水を第１の精製槽４内に供給するための水溶液供給管４２が接続されており、前記第１の精製槽４の下部には廃液排出管４３が接続されている。さらに前記第１の精製槽４の天井部には、ミストセパレータ４４を介してガス供給管４５が接続されている。またＶ６〜Ｖ８はバルブである。
【００３１】
また前記第１の精製槽１の後段には、精製した炭酸ガスをさらに精製するための第２の精製槽５が設けられている。前記第２の精製槽５内には所定量の炭酸水素アルカリ水溶液が入っている。前記第２の精製槽５の上部には既述のガス供給管４５の先端部が挿入され、その先端部はＬ字状に屈曲していてガス吐出口４６が多数形成されており、散気管構造として構成される。即ち、このガス供給管４５は第１の精製槽４の気相部分と第２の精製槽５の液相部分とを連通し、ガス吐出口４６と共に、第２の精製槽５の液内に炭酸ガスを供給する第１の通気手段が構成される。また前記第２の精製槽５の上部には前記アルカリ水溶液を第２の精製槽５内に供給するための水溶液供給管５１が接続されており、前記第２の精製槽５の下部には水溶液排出管５２が接続されている。さらに前記第２の精製槽５の天井部には、ミストセパレータ５３を介してガス供給管５４が接続されている。またＶ９及びＶ１０はバルブである。
【００３２】
さらに前記第２の精製槽５の後段には、精製した炭酸ガスを反応させるための反応槽６が設けられている。前記反応槽６内には所定量の水酸化アルカリ水溶液が入っている。前記反応槽６の上部には既述のガス供給管５４の先端部が挿入され、その先端部はＬ字状に屈曲していてガス吐出口５５が多数形成されており、散気管構造として構成される。即ち、このガス供給管５４は第２の精製槽５の気相部分と反応槽６の液相部分とを連通し、ガス吐出口５５と共に、反応槽６の液内に炭酸ガスを供給する第２の通気手段が構成される。また前記反応槽６の上部には前記アルカリ水溶液を反応槽６内に供給するための水溶液供給管６１と前記反応槽６内の炭酸ガスを排出するためのガス排出管６２とが接続されており、前記反応槽６の下部には水溶液排出管６３が接続されている。さらに前記反応槽６は水溶液排出管６３を介して吸引濾過手段７に接続されている。またＶ１１及びＶ１２はバルブである。
【００３３】
上記装置で実施される高純度の炭酸アルカリの製造方法については、上述した２つの実施の形態を組み合わせた製造方法からなっている。なお、第２の精製槽５内に炭酸水素ナトリウム水溶液を貯溜させ、反応槽６内に水酸化ナトリウム水溶液を貯溜させた場合には、金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸ナトリウムが得られることになる。あるいは第２の精製槽５内に炭酸水素カリウム水溶液を貯留し、反応槽６内に水酸化カリウム水溶液を貯溜させた場合には、金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸カリウムが得られることになる。
【００３４】
このような構成にある装置では、金属不純物を含む炭酸ガスを第１の精製槽４の例えば硫酸に溶解させ、さらに当該液から発生する炭酸ガスを第２の精製槽５の炭酸水素アルカリの水溶液に溶解させるようにしているので、より一層金属不純物濃度の低い炭酸ガスを得ることができ、その結果、金属不純物濃度の極めて低いより高純度の炭酸アルカリが得られる。また、第１の精製槽４内に炭酸水素アルカリ水溶液を貯溜させ、第２の精製槽５内に例えば硫酸を貯溜させても、上述と同様な効果を得ることができる。
【００３５】
なお、上述した実施の形態において、前段にて酸性溶液あるいは純水を除く中性溶液を用いる場合には、その溶液の揮発性が小さいといっても蒸気の同伴は避けられないことから、この炭酸ガスを水酸化アルカリ水溶液に溶解させた場合、同伴した例えば酸成分が炭酸アルカリ中に取り込まれて不純物となる。第１の精製槽４内に酸性溶液例えば硫酸を入れ、第２の精製槽５内に炭酸水素アルカリの水溶液を入れておくことが好ましい。
【００３６】
以上において、反応槽２あるいは反応槽６から排出された炭酸ガスを処理系の前段である精製槽１（図１及び図２の例）あるいは第１の精製槽４（図３の例）に帰還させるようにしてもよい。図４はこのような例を示す図であり、炭酸ナトリウムあるいは炭酸カリウムを生成する処理系１００の後段から排出された炭酸ガスをガス供給管１０に戻して処理系１００の前段に供給する構成を示している。なお、図中Ｐはポンプ、Ｖ１３はバルブ、１０１は逆止弁である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明方法を実施する金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸アルカリを製造する装置の一形態を示す概略構成図である。
【図２】本発明方法を実施する金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸アルカリを製造する装置の一形態を示す概略構成図である。
【図３】本発明方法を実施する金属不純物濃度の極めて低い高純度の炭酸アルカリを製造する装置の一形態を示す概略構成図である。
【図４】本発明の炭酸アルカリを製造する装置において、反応槽から排出された炭酸ガスを処理系の前段である精製槽に帰還させる例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    精製槽
１０  ガス供給管
１１  ガス吐出口
１５  ガス供給管
１６  ガス吐出口
２    反応槽
２２  ガス排出管
３    吸引濾過手段
４    第１の精製槽
５    第２の精製槽
６    反応槽
７    吸引濾過手段
Ｖ１〜Ｖ１３  バルブ
【図１】
2006193347.tif 000003
【図２】
2006193347.tif 000004
【図３】
2006193347.tif 000005
【図４】
2006193347.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成17年1月19日(2005.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2006193347.tif 000007
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2006193347.tif 000008
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2006193347.tif 000009
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2006193347.tif 000010