(57)【要約】【課題】  製作コストの低減、製作時間の短縮、流路内での圧力損失の抑制、およびブロックの軽量化を実現することができる集積弁用下部流路ブロックを提供すること。【解決手段】  本発明の集積弁用下部流路ブロック１は、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂとを備えるＵ字配管１１と、第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂを上面にした状態で、Ｕ字配管１１を支持する筐体２１とを有することを特徴とする。【選択図】図１
2006022926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に流体制御機器が取り付けられる集積弁用下部流路ブロックにおいて、
Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口及び第２開口とを備えるＵ字配管と、
前記第１開口及び前記第２開口を上面にした状態で、前記Ｕ字配管を支持する筐体とを有することを特徴とする集積弁用下部流路ブロック。
【請求項２】
請求項１に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、
前記筐体は、直方体ブロックに、前記Ｕ字配管を配設するための溝が形成されているものであることを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、
前記第１開口及び前記第２開口の先端部が、シールビード形状に加工されていることを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、
前記第１開口及び前記第２開口に、シール用のフレア部が形成されていることを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項５】
請求項４に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、
前記フレア部が溶接により接合されていることを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項６】
請求項４に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、
前記フレア部の下部に受け部材が固設され、前記筐体に前記受け部材を位置決めする受け溝が形成されていることを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項７】
請求項６に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、
前記受け部材が円柱形状、または円錐形状であることを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項８】
請求項１に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、
前記筐体に対する前記Ｕ字配管の位置決めを、凹部が形成された２枚の板の突き合わせ治具により行うことを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項９】
請求項２に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、
前記溝が、前記筐体の上面にのみ開口していることを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項１０】
請求項４乃至請求項７に記載するいずれか１つの集積弁用下部ブロックにおいて、
前記第１開口及び第２開口のフレア部に、板ガスケット用のビードが形成されていることを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【請求項１１】
請求項１または請求項２または請求項９に記載するいずれか１つの集積弁用下部ブロックにおいて、
前記Ｕ字配管には開口孔が形成された板状受け治具が溶接により接合されており、かつ前記筐体に対する前記Ｕ字配管の位置決めを前記板状受け治具により行うことを特徴とする集積弁用下部ブロック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置等で使用されるガス供給集積ユニットの一部品である集積弁用下部ブロックに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、ガス供給ユニットは集積化が進んでいる。ガス供給ユニットの集積化においては、特許文献１に示す、いわゆるＶ字流路が形成されたステンレス製のＶ字下部ブロックが用いられている。
【０００３】
例えば、図１６に示すものが知られている。ブロック１００の上面１０４に半球状の第１ポート１０１Ａ及び第２ポート１０１Ｂが形成されている。第１ポート１０１Ａ及び第２ポート１０１Ｂの周囲には、図示しない金属ガスケットを収納するための凹部１０２Ａ、１０２Ｂが各々形成されている。第１ポート１０１Ａには、第２ポートの方向に４５度下方に向かって流路１０３Ａが形成されている。第２ポート１０１Ｂには、第１ポートの方向に４５度下方に向かって流路１０３Ｂが形成されている。流路１０３Ａと流路１０３Ｂは、先端で連通し、断面で切断したときに、いわゆるＶ字形状の流路を構成し、第１ポート１０１Ａ及び第２ポート１０１Ｂとを連通している。
【特許文献１】特開平１０―２２７３６８号公報（第７図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のブロック１００には以下の問題点がある。
流路１０３Ａや流路１０３Ｂの断面径が小さいため、製作にあたり切削加工や電解研磨に手間が掛かり、非常にコストや製作時間がかかってしまう。
また、第１ポート１０１Ａ、第２ポート１０１Ｂ、流路１０３Ａ、流路１０３Ｂなどの加工部分以外の部分が多いため、ブロック１００の重量が大きくなってしまう。特に、このようなブロックを多用する集積弁では、その重量が非常に大きくなる。
さらに、Ｖ字形状の流路は流路方向が急激に変化し、流路内で圧力損失が生じやすくなってしまう。
そこで本発明は、係る課題を解決すべく、製作コストの低減、製作時間の短縮、流路内での圧力損失の抑制、およびブロックの軽量化を実現することができる集積弁用下部流路ブロックを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、上記課題を解決するために以下のような構成上の特徴を有している。
（１）上面に流体制御機器が取り付けられる集積弁用下部流路ブロックにおいて、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口及び第２開口とを備えるＵ字配管と、第１開口及び第２開口を上面にした状態で、Ｕ字配管を支持する筐体とを有すること。
（２）さらに、（１）に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、筐体は、直方体ブロックに、Ｕ字配管を配設するための溝が形成されていること。
（３）さらに、（１）または（２）に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、第１開口及び第２開口の先端部が、シールビード形状に加工されていること。
（４）さらに、（１）または（２）に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、第１開口及び第２開口に、シール用のフレア部が形成されていること。
（５）さらに、（４）に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、フレア部が溶接により接合されていること。
（６）さらに、（４）に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、フレア部の下部に受け部材が固設され、筐体に受け部材を位置決めする受け溝が形成されていること。
（７）さらに、（６）に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、受け部材が円柱形状、または円錐形状であること。
（８）さらに、（１）に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、筐体に対するＵ字配管の位置決めを、凹部が形成された２枚の板の突き合わせ治具により行うこと。
（９）さらに、（２）に記載する集積弁用下部ブロックにおいて、溝が、筐体の上面にのみ開口していること。
（１０）さらに、（４）から（７）に記載するいずれか１つの集積弁用下部ブロックにおいて、第１開口及び第２開口のフレア部に、板ガスケット用のビードが形成されていること。
（１１）さらに、（１）または（２）または（９）に記載するいずれか１つの集積弁用下部ブロックにおいて、Ｕ字配管には開口孔が形成された板状受け治具が溶接により接合されており、かつ筐体に対するＵ字配管の位置決めを板状受け治具により行うこと。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、次のように作用効果を奏する。
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、上面に流体制御機器が取り付けられる集積弁用下部流路ブロックにおいて、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口及び第２開口とを備えるＵ字配管と、第１開口及び第２開口を上面にした状態で、Ｕ字配管を支持する筐体とを有するので、切削加工や電解研磨の工程が不要で製作コストの低減や製作時間の短縮が図れ、また、流路の変化が緩やかになって流路内での圧力損失の発生の防止を図ることができる。
【０００７】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、筐体は、直方体ブロックに、Ｕ字配管を配設するための溝が形成されているものであるので、直方体ブロックの材質として比重が小さく、かつ加工がし易いものを使用することにより、集積弁用下部流路ブロックの軽量化や材料費の節約を図ることができ、また、Ｕ字配管を容易に筐体にはめ込むことができる。
【０００８】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、第１開口及び第２開口の先端部が、シールビード形状に加工されているので、第１開口及び第２開口と弁との間の密閉性を保つことができる。
【０００９】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、第１開口及び第２開口に、シール用のフレア部が形成されているので、第１開口及び第２開口と弁との間の密閉性を保つことができる。
【００１０】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、フレア部が溶接により接合されているので、加工が容易であり、また弁側のシール面の形状に応じて密閉性を確保することができる。
【００１１】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、フレア部の下部に受け部材が固設され、筐体に受け部材を位置決めする受け溝が形成されているので、Ｕ字配管の端面の第１開口と第２開口の位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００１２】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、受け部材が円柱形状、または円錐形状であるので、Ｕ字配管の端面の第１開口と第２開口の位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００１３】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、筐体に対するＵ字配管の位置決めを、凹部が形成された２枚の板の突き合わせ治具により行うので、Ｕ字配管を挟み込んだ上で、筺体にはめ込むことにより、容易に、Ｕ字配管の第１開口及び第２開口の位置決めを行なうことができる。
【００１４】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、溝が、筐体の上面にのみ開口しているので、Ｕ字配管を筺体にはめ込むだけで、Ｕ字配管の端面の第１開口と第２開口の位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００１５】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、第１開口及び第２開口のフレア部に、板ガスケット用のビードが形成されているので、板ガスケットをはめ込むことによって密閉性を保つことができる。
【００１６】
本発明の集積弁用下部流路ブロックは、さらに、Ｕ字配管には開口孔が形成された板状受け治具が溶接により接合されており、かつ筐体に対するＵ字配管の位置決めを板状受け治具により行うので、板状受け治具の形状の変化によって様々なシール形状に対応でき、かつ板状受け治具とＵ字配管とを溶接により接合した上で筺体にはめ込むことにより、容易に、Ｕ字配管の第１開口及び第２開口の位置決めを行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係る集積弁用下部流路ブロックの実施例について説明する。
【実施例１】
【００１８】
まず、実施例１について説明する。
図１に示すように、実施例１の集積弁用下部流路ブロック１は、Ｕ字配管１１、筺体２１、突き合わせ治具３１から構成される。
図２に示すように、Ｕ字配管１１は、流路としての役割をなすものであり、市販のステンレス配管（例えば、ＳＵＳ３１６Ｌ電解研磨配管）に予めＵ字曲げ加工を施したものを使用する。市販品を使用するため、集積弁用下部流路ブロックの製作において、従来より必要とされてきた切削加工や電解研磨の工程が不要になる。また、市販品のうち標準規格品を使用するため、流路管としての使用実績は当然に多数存在するものであり、かつ流路面の研磨状態も保証されている。
さらに、Ｕ字曲げとすることにより流路の変化が緩やかになるため、流路内での圧力損失を抑えることができる。
そして、Ｕ字配管１１の端面にはフレア加工によりフラットな形状に形成される第１開口１１ａと第２開口１１ｂのフレア部１１ｃが形成され、シール面としての機能を有する。なお、図３に示すように、Ｕ字配管１１の端面の第１開口１１ａと第２開口１１ｂにビード加工によりビードを形成しても、シール面としての機能を有する。
また、図１に示すように、Ｕ字配管１１を筺体２１にはめ込んだときには、第１開口１１ａと第２開口１１ｂは上面（弁の取付面）側に開口するので、各種弁の取り付け・取り外しが容易となり、メンテナンス性を向上させることができる。
【００１９】
次に、筺体２１は、Ｕ字配管１１をはめ込むものである。
ここで、筺体２１は、直方体ブロックを加工することにより形成されるものであるところ、その材質は用途に応じて自由に選択することができる。そこで、その材質としてステンレス鋼や非鉄金属材料（例えば、アルミニウム）や非金属材料（例えば、樹脂）など、比重が小さく、かつ加工がし易いものを使用すれば、ブロックの軽量化や材料費の節約を図ることができる。
また、溝２１ａが形成されており、Ｕ字配管１１を容易に筺体２１にはめ込むことができる。
【００２０】
次に、突き合わせ治具３１は、図４に示すように２枚の板にて形成されるものであり、Ｕ字配管１１を挟み込んだ上で、筺体２１の溝２１ａの先端部に形成された受け溝２１ｂにはめ込まれるものである。これにより、Ｕ字配管１１の端面の第１開口１１ａと第２開口１１ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
また、図５（ａ）に示すように、突き合わせ治具３１の代わりに、円柱形状の受け部材３２を設けることによっても、Ｕ字配管１１の端面の第１開口１１ａと第２開口１１ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。この場合は、図５（ｂ）に示すように、受け部材３２の形成に合わせて筺体２１の受け溝２１ｂを形成することとする。
さらに、図６（ａ）に示すように、突き合わせ治具３１の代わりに、円錐形状の受け部材３３を設けることによっても、Ｕ字配管１１の端面の第１開口１１ａと第２開口１１ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。この場合は、受け部材３３がテーパに形成されているため、図６（ｂ）に示すように筺体２１の受け溝２１ｂをテーパ溝に形成することとする。
その他、図７に示すように、上面にのみ開口している筺体２２を使用すれば、Ｕ字配管１１を筺体２２にはめ込むだけで、Ｕ字配管１１の端面の第１開口１１ａと第２開口１１ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。この場合は、特に図７に示すＹ軸の方向のズレを矯正できる効果がある。
【００２１】
なお、以上のような構成を有する集積弁用下部流路ブロック１に実際に各種弁を配設するときには、図８〜図１０に示すように、弁とＵ字配管１１の端面の第１開口１１ａの間、および弁とＵ字配管１１の端面の第２開口１１ｂの間に、断面がＣの字に形成されたガスケット４１や板ガスケット４２をはめ込む。これにより、密閉性を保つことができる。
【００２２】
以上詳細に説明したように第１実施例の集積弁用下部流路ブロック１によれば、上面に流体制御機器が取り付けられる集積弁用下部流路ブロックにおいて、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂとを備えるＵ字配管１１と、第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂを上面にした状態で、Ｕ字配管１１を支持する筐体２１とを有するので、切削加工や電解研磨の工程が不要で製作コストの低減や製作時間の短縮が図れ、また、流路の変化が緩やかになって流路内での圧力損失の発生の防止を図ることができる。
【００２３】
また、筐体２１は、直方体ブロックに、Ｕ字配管１１を配設するための溝２１ａが形成されているものであるので、直方体ブロックの材質として比重が小さく、かつ加工がし易いものを使用することにより、集積弁用下部流路ブロックの軽量化や材料費の節約を図ることができ、また、Ｕ字配管１１を容易に筐体２１にはめ込むことができる。
【００２４】
また、第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂに、シール用のフレア部１１ｃが形成されているので、第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂと弁との間の密閉性を保つことができる。
【００２５】
また、フレア部１１ｃの下部に受け部材３２、３３が固設され、筐体２１に受け部材３２，３３を位置決めする受け溝２１ｂが形成されているので、Ｕ字配管１１の端面の第１開口１１ａと第２開口１１ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００２６】
また、受け部材３２，３３が円柱形状、または円錐形状であるので、Ｕ字配管１１の端面の第１開口１１ａと第２開口１１ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００２７】
また、筐体２１に対するＵ字配管１１の位置決めを、凹部が形成された２枚の板の突き合わせ治具３１により行うので、Ｕ字配管１１を挟み込んだ上で、筺体２１にはめ込むことにより、容易に、Ｕ字配管１１の第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂの位置決めを行なうことができる。
【００２８】
また、溝２１ａが、筐体２２の上面にのみ開口しているので、Ｕ字配管１１を筺体２２にはめ込むだけで、Ｕ字配管１１の端面の第１開口１１ａと第２開口１１ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００２９】
また、第１開口１１ａ及び第２開口１１ｂのフレア部に、板ガスケット用のビードが形成されているので、板ガスケット４２をはめ込むことによって密閉性を保つことができる。
【実施例２】
【００３０】
次に、実施例２について説明する。
図１１に示すように、実施例２の集積弁用下部流路ブロック２は、Ｕ字配管１２、筺体２１、突き合わせ治具３１から構成される。
集積弁用下部流路ブロック２は、Ｕ字配管１２が実施例１のＵ字配管１１と異なる。具体的には、図１２に示すように、その端面に切削加工によりシールビード形状が形成されている点である。これにより、シール面としての機能を確保している。
一方、筺体２１または筺体２２、突き合わせ治具３１を用いることによる作用および効果は、実施例１と同じであるため、説明は省略する。
【００３１】
なお、以上のような構成を有する集積弁用下部流路ブロック１に実際に各種弁を配設するときには、図１２に示すように、弁とＵ字配管１２の端面の第１開口１２ａの間、および弁とＵ字配管１２の端面の第２開口１２ｂの間に、板ガスケット４２をはめ込む。これにより、密閉性を保つことができる。
【００３２】
その他、実施例１の場合と同様に、上面にのみ開口している筺体２２を使用すれば、Ｕ字配管１２を筺体２２にはめ込むだけで、Ｕ字配管１２の端面の第１開口１２ａと第２開口１２ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。この場合は、実施例１の場合と同様に、特に、Ｙ軸の方向のズレを矯正できる効果がある。
【００３３】
以上詳細に説明したように第２実施例の集積弁用下部流路ブロック２によれば、上面に流体制御機器が取り付けられる集積弁用下部流路ブロックにおいて、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口１２ａ及び第２開口１２ｂとを備えるＵ字配管１２と、第１開口１２ａ及び第２開口１２ｂを上面にした状態で、Ｕ字配管１２を支持する筐体２１とを有するので、切削加工や電解研磨の工程が不要で製作コストの低減や製作時間の短縮が図れ、また、流路の変化が緩やかになって流路内での圧力損失の発生の防止を図ることができる。
【００３４】
また、筐体２１は、直方体ブロックに、Ｕ字配管１２を配設するための溝２１ａが形成されているものであるので、直方体ブロックの材質として比重が小さく、かつ加工がし易いものを使用することにより、集積弁用下部流路ブロックの軽量化や材料費の節約を図ることができ、また、Ｕ字配管１２を容易に筐体２１にはめ込むことができる。
【００３５】
また、第１開口１２ａ及び第２開口１２ｂの先端部が、シールビード形状に加工されているので、第１開口１２ａ及び第２開口１２ｂと弁との間の密閉性を保つことができ、さらに、板ガスケット４２をはめ込むことによって、より密閉性を保つことができる。
【００３６】
また、筐体２１に対するＵ字配管１２の位置決めを、凹部が形成された２枚の板の突き合わせ治具３１により行うので、Ｕ字配管１２を挟み込んだ上で、筺体２１にはめ込むことにより、容易に、Ｕ字配管１２の第１開口１２ａ及び第２開口１２ｂの位置決めを行なうことができる。
【００３７】
また、溝２１ａが、筐体２２の上面にのみ開口しているので、Ｕ字配管１２を筺体２２にはめ込むだけで、Ｕ字配管１２の端面の第１開口１２ａと第２開口１２ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【実施例３】
【００３８】
次に、実施例３について説明する。
図１３に示すように、実施例３の集積弁用下部流路ブロック３は、Ｕ字配管１３、筺体２１、突き合わせ治具３１から構成される。
集積弁用下部流路ブロック３は、Ｕ字配管１３が実施例１のＵ字配管１１や実施例２のＵ字配管１２と異なる。具体的には、図１４、図１５に示すように、Ｕ字配管１３の先端に板状の部材（中央部に貫通孔が形成されている）を溶接などで接合させている。
そして、その接合方法としては、（１）板状の部材５１の貫通孔の断面積をＵ字配管１３の流路の断面積と等しくした上でＵ字配管１３の端面１３ｃと部材５１とを接合させる方法（図１４）、（２）板状の部材５２の貫通孔の断面積をＵ字配管１３の流路の断面積よりもやや大きくした上でＵ字配管１３の側面１３ｄと部材５２とを接合させる方法（図１５）が考えられる。
これにより、弁とＵ字配管１３との間のシール面としての機能を有している。特に、溶接などで接合するため加工が容易であり、また板状の部材５１、５２の形状は弁側のシール面の形状に応じて自由自在に変更することができるという点で有利な効果を有する。
また、前記した接合方法（１）の方法では、特徴として、Ｕ字配管１３の第１開口１３ａ及び第２開口１３ｂの方向からのシール荷重に強い効果を有する。
これに対して、前記した接合方法（２）の方法では、特徴として、溶接面がガスに接する流路面に露出するおそれがない効果が得られる。
【００３９】
一方、筺体２１、筺体２２、突き合わせ治具３１、受け部材３２、受け部材３３を用いることによる作用および効果は、実施例１と同じであるため、説明は省略する。
また、集積弁用下部流路ブロック３に実際に各種弁を配設するときに、ガスケット４１や板ガスケット４２をはめ込むことや、Ｕ字配管１３の端面の第１開口１３ａと第２開口１３ｂにビードを加工した上で板ガスケット４２をはめ込むことによる作用および効果は、実施例１と同じであるため、説明は省略する。
【００４０】
以上詳細に説明したように第３実施例の集積弁用下部流路ブロック３によれば、上面に流体制御機器が取り付けられる集積弁用下部流路ブロックにおいて、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口１３ａ及び第２開口１３ｂとを備えるＵ字配管１３と、第１開口１３ａ及び第２開口１３ｂを上面にした状態で、Ｕ字配管１３を支持する筐体２１とを有するので、切削加工や電解研磨の工程が不要で製作コストの低減や製作時間の短縮が図れ、また、流路の変化が緩やかになって流路内での圧力損失の発生の防止を図ることができる。
【００４１】
また、筐体２１は、直方体ブロックに、Ｕ字配管１３を配設するための溝２１ａが形成されているものであるので、直方体ブロックの材質として比重が小さく、かつ加工がし易いものを使用することにより、集積弁用下部流路ブロックの軽量化や材料費の節約を図ることができ、また、Ｕ字配管１３を容易に筐体２１にはめ込むことができる。
【００４２】
また、第１開口１３ａ及び第２開口１３ｂに、シール用のフレア部１３ｃが形成されているので、第１開口１３ａ及び第２開口１３ｂと弁との間の密閉性を保つことができる。
【００４３】
また、フレア部１３ｃが溶接により接合されているので、加工が容易であり、また弁側のシール面の形状に応じて密閉性を確保することができる。
【００４４】
また、フレア部１３ｃの下部に受け部材３２、３３が固設され、筐体２１に受け部材３２，３３を位置決めする受け溝２１ｂが形成されているので、Ｕ字配管１３の端面の第１開口１３ａと第２開口１３ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００４５】
また、受け部材３２，３３が円柱形状、または円錐形状であるので、Ｕ字配管１３の端面の第１開口１３ａと第２開口１３ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００４６】
また、筐体２１に対するＵ字配管１３の位置決めを、凹部が形成された２枚の板の突き合わせ治具３１により行うので、Ｕ字配管１３を挟み込んだ上で、筺体２１にはめ込むことにより、容易に、Ｕ字配管１３の第１開口１３ａ及び第２開口１３ｂの位置決めを行なうことができる。
【００４７】
また、溝２１ａが、筐体２２の上面にのみ開口しているので、Ｕ字配管１３を筺体２２にはめ込むだけで、Ｕ字配管１３の端面の第１開口１３ａと第２開口１３ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【実施例４】
【００４８】
次に、実施例４について説明する。
図１７に示すように、実施例４の集積弁用下部流路ブロック４は、Ｕ字配管１４、筺体２１、開口孔３４ａ、３４ｂが形成された板状受け治具３４から構成される。
集積弁用下部流路ブロック４は、板状受け治具３４が実施例３における板状の部材５１、５２や突き合わせ治具３１の双方の役割を果たす点を特徴とする。
具体的には、図１８、図１９に示すように、Ｕ字配管１４の先端に板状受け治具３４を溶接などで接合させている。なお、図１８（ａ）はＵ字配管１４の先端に板状受け治具３４を接合させる様子を示し、図１８（ｂ）はその接合後の状態を示す。
これにより、弁とＵ字配管１４との間のシール面としての機能を有している。特に、溶接などで接合するため加工が容易であり、また板状受け治具３４の形状は弁側のシール面の形状に応じて自由自在に変更することができる。さらに、板状受け治具３４とＵ字配管１４とを溶接により接合した上で筺体２１にはめ込むことにより、容易に、Ｕ字配管１４の第１開口１４ａ及び第２開口１４ｂの位置決めを行なうことができるという点で有利な効果を有する。
【００４９】
一方、筺体２１、筺体２２を用いることによる作用および効果は、実施例１と同じであるため、説明は省略する。
また、集積弁用下部流路ブロック４に実際に各種弁を配設するときに、ガスケット４１や板ガスケット４２をはめ込むことや、Ｕ字配管１４の端面の第１開口１４ａと第２開口１４ｂにビードを加工した上で板ガスケット４２をはめ込むことによる作用および効果は、実施例１と同じであるため、説明は省略する。
【００５０】
以上詳細に説明したように第４実施例の集積弁用下部流路ブロック４によれば、上面に流体制御機器が取り付けられる集積弁用下部流路ブロックにおいて、Ｕ字形状のステンレス管であって、同一方向に開口する第１開口１４ａ及び第２開口１４ｂとを備えるＵ字配管１４と、第１開口１４ａ及び第２開口１４ｂを上面にした状態で、Ｕ字配管１４を支持する筐体２１とを有するので、切削加工や電解研磨の工程が不要で製作コストの低減や製作時間の短縮が図れ、また、流路の変化が緩やかになって流路内での圧力損失の発生の防止を図ることができる。
【００５１】
また、筐体２１は、直方体ブロックに、Ｕ字配管１４を配設するための溝２１ａが形成されているものであるので、直方体ブロックの材質として比重が小さく、かつ加工がし易いものを使用することにより、集積弁用下部流路ブロックの軽量化や材料費の節約を図ることができ、また、Ｕ字配管１４を容易に筐体２１にはめ込むことができる。
【００５２】
また、溝２１ａが、筐体２２の上面にのみ開口しているので、Ｕ字配管１４を筺体２２にはめ込むだけで、Ｕ字配管１４の端面の第１開口１４ａと第２開口１４ｂの位置決めを行なうことができ、より安定したシール面としての機能を確保することができる。
【００５３】
また、Ｕ字配管１４には開口孔３４ａ、３４ｂが形成された板状受け治具３４が溶接により接合されており、かつ筐体２１に対するＵ字配管１４の位置決めを板状受け治具３４により行うので、板状受け治具３４の形状によって様々なシール形状に対応でき、かつ板状受け治具３４とＵ字配管１４とを溶接により接合した上で筺体２１にはめ込むことにより、容易に、Ｕ字配管１４の第１開口１４ａ及び第２開口１４ｂの位置決めを行なうことができる。
【００５４】
なお、本発明の実施の一形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、様々な応用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施例１の集積弁用下部ブロックの外観図である。
【図２】実施例１においてフレア加工を施したＵ字配管の断面図である。
【図３】実施例１においてビード加工を施したＵ字配管の断面図である。
【図４】実施例１において板状受け治具とＵ字配管と筺体を示す図である。
【図５】実施例１において円柱形状の受け部材とＵ字配管と筺体を示す図である。
【図６】実施例１において円錐形状の受け部材とＵ字配管と筺体を示す図である。
【図７】実施例１において上面にのみ開口している筺体を示す図である。
【図８】実施例１において、断面がＣの字に形成されたガスケットを使用した場合の図である。
【図９】実施例１において、板ガスケットを使用した場合の図である。
【図１０】実施例１において、板ガスケットを使用した場合の図である。
【図１１】実施例２の集積弁用下部ブロックの外観図である。
【図１２】実施例２のＵ字配管と板ガスケットの断面図である。
【図１３】実施例３の集積弁用下部ブロックの外観図である。
【図１４】実施例３においてＵ字配管の端面と板状の部材との接合方法（１）を示す図である。
【図１５】実施例３においてＵ字配管の側面と板状の部材との接合方法（２）を示す図である。
【図１６】従来のＶ字下部ブロックを示す図である。
【図１７】実施例４の集積弁用下部ブロックの外観図である。
【図１８】実施例４において板状受け治具とＵ字配管を示す図である。
【図１９】実施例４においてＵ字配管の端面と板状受け治具との接合を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  集積弁用下部ブロック
２  集積弁用下部ブロック
３  集積弁用下部ブロック
４  集積弁用下部ブロック
１１  Ｕ字配管
１２  Ｕ字配管
１３  Ｕ字配管
１４  Ｕ字配管
２１  筺体
２２  筺体
３１  突き合わせ治具
３２  受け部材
３３  受け部材
３４  板状受け治具
４１  ガスケット
４２  ガスケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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