(57)【要約】【課題】  磁気ディスク装置内でディスク記録媒体上を浮上するスライダが、スライダ振動によりディスク記録媒体と接触したときのディスク記録媒体の損傷を低減する。【解決手段】  磁気ヘッドスライダ１は、空気流入端２側に設けられるステップ軸受け面５及びその上に形成された流入側レール面６、７を有するフロントパッド１３と、これと深溝面１２を隔てて設けられリアステップ軸受け面１０及びその上に形成された流出側レール面１１を有するリアパッド１４と、スライダ・コーナ部の頂点１６ａ、１７ａを含む領域に形成されたカーボン保護膜５０ａ、５１ａとを備える。流入側レール面６ａ、７ａ、流出側レール面１１は略同一の高さ、ステップ軸受け面５及びリアステップ軸受け面１０は流入側レール面６ａ、７ａから所定の深さＤ１に形成されたものであって、カーボン保護膜５０ａ、５１ａは、スライダ母材より硬く低摩擦係数で、１０ｎｍ以上の膜厚を有する。【選択図】  図２
2006185505.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するディスクに対してデータの記録及び再生を行う磁気トランスデューサを備える磁気ヘッドスライダであって、
浮上面側のスライダ・コーナ部を含む領域及び／又は前記磁気トランスデューサが設けられるリアパッドの空気流出端側コーナ部を含む領域に、スライダ母材より摩擦係数が小さく１０ｎｍ以上の膜厚を有する損傷防止用保護膜が設けられた磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
回転するディスクに対してデータの記録及び再生を行う磁気トランスデューサを備える磁気ヘッドスライダであって、
浮上面側のスライダ・コーナ部を含む領域及び／又は前記磁気トランスデューサが設けられるリアパッドの空気流出端側コーナ部を含む領域に、スライダ母材より硬度が高く１０ｎｍ以上の膜厚を有する損傷防止用保護膜が設けられた磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記母材表面の空気流入端側に設けられるステップ軸受け面及び前記ステップ軸受け面上に形成される１又は複数の流入側レール面を有するフロントパッドと、
前記母材表面の空気流出端側であって前記フロントパッドと負圧発生用深溝面を隔てて設けられるリアステップ軸受け面及び前記リアステップ軸受け面上に形成される流出側レール面を有するリアパッドとを有し、
前記流入側レール面及び流出側レール面は略同一の高さに形成され、
前記ステップ軸受け面及びリアステップ軸受け面は前記流入側レール面及び流出側レール面から所定の深さＤ１に形成されたものであって、
前記損傷防止用保護膜は、前記所定の深さＤ１以下の膜厚を有する
ことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記ステップ軸受け面上の前記空気流入端側の前記スライダ・コーナ部の頂点近傍に設けられる流入パッドを更に有し、
前記損傷防止用保護膜は、前記流入パッド上面を含む領域に形成される
ことを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
前記フロントパッドの両側であって前記スライダ・コーナ部の頂点を含み前記空気流入端から前記空気流出端へ向かう方向に前記負圧発生用深溝面と略同一深さに形成された深溝面を有し、
前記損傷防止用保護膜は、前記スライダ・コーナ部の前記深溝面を含む領域に形成される
ことを特徴とする請求項３又は４記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
前記損傷防止用保護膜は、前記フロントパッドの前記空気流入端に沿って連続又は断続的に設けられる
ことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項７】
前記ステップ軸受け面は、フロントステップ軸受け面及びサイドステップ軸受け面からなり、前記サイドステップ軸受け面が前記空気流出端近傍まで延在するよう形成され、
前記損傷防止用保護膜は、前記スライダ・コーナ部の頂点及び前記サイドステップ軸受け面の前記空気流出側端を含む領域に形成される
ことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項８】
前記損傷防止用保護膜は、ビッカーズ硬さが３０００Ｈｖ以上である
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
前記流入側レール面上に所定の高さＨを有し前記空気流入端から前記空気流出端に向かう方向に連続性を有する段差面を有する
ことを特徴とする請求項３乃至８のいずれか１項記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記損傷防止用保護膜は、前記所定の高さＨと同一の膜厚を有する
ことを特徴とする請求項９記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項１１】
前記損傷防止用保護膜及び前記段差面は、同一工程にて形成されたカーボン膜からなる
ことを特徴とする請求項１０記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項１２】
回転するディスクと、前記ディスクに対するデータの記録及び再生を行う磁気トランスデューサを備えた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダを保持するサスペンション及び前記サスペンションを支持するアームと、前記アームを駆動する駆動部とを有し、
前記磁気ヘッドスライダは、浮上面側のスライダ・コーナ部を含む領域及び／又は前記磁気トランスデューサが設けられるリアパッドの空気流出端側コーナ部を含む領域に、スライダ母材より摩擦係数が小さく１０ｎｍ以上の膜厚を有する損傷防止用保護膜が設けられている磁気ディスク装置。
【請求項１３】
前記磁気ヘッドスライダは、
前記母材表面の空気流入端側に設けられるステップ軸受け面及び前記ステップ軸受け面上に形成される１又は複数の流入側レール面を有するフロントパッドと、
前記母材表面の空気流出端側であって前記フロントパッドと負圧発生用深溝面を隔てて設けられ前記浮上面を構成するリアステップ軸受け面及び前記リアステップ軸受け面上に形成される流出側レール面を有するリアパッドとを有し、
前記流入側レール面及び流出側レール面は略同一の高さに形成され、
前記ステップ軸受け面及びリアステップ軸受け面は前記流入側レール面及び流出側レール面から所定の深さＤ１に形成されたものであって、
前記損傷防止用保護膜は、前記所定の深さＤ１以下の膜厚を有する
ことを特徴とする請求項１２記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外乱で生じたスライダの振動に起因し、磁気ヘッドスライダがディスク記録媒体の接触した際のディスクの損傷の低減を図った磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダを搭載したディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置では、回転するディスク記録媒体上で微少な間隔（浮上量）を保ちながら浮上する磁気ヘッドスライダが使用される。通常、磁気ヘッドスライダはスライダの空気流出端にディスク記録媒体に対して情報を記録・再生する磁気トランスデューサを備えている。磁気ディスク装置では、記憶容量を高めるためにビット（円周方向の記録）密度及びトラック（半径方向の記録）密度を更に高めることが求められる。とくに、ビット密度を高める技術のひとつとして、可能な限りディスク記録媒体に近接した低浮上状態でスライダを浮上させることが要求される。現在、こうした厳しい低浮上化を実現するため、ディスク記録媒体にスライダを引き付ける向きの負圧力を利用した浮上安定性に優れた負圧型のスライダが使用される。
【０００３】
従来のディスク装置においては、据え置き型コンピュータに対する要求に基づいていたため、外乱で生じたスライダ振動に起因したスライダによるディスク記録媒体への損傷はそれほど重要視されてこなかった。しかしながら、近年、ノート型コンピュータや携帯音楽用プレーヤ等が急速に普及し、これらに組み込まれる磁気ディスク装置においては、外部から加えられる振動に対して、スライダ振動が小さく、浮上量状態が常に安定しているスライダ構造がより強く要求されている。さらに、スライダ振動に起因したスライダとディスク記録媒体との接触によるディスク記録媒体の損傷を低減するスライダ構造が要求されている。
【０００４】
このようなスライダとディスク記録媒体との接触によるディスク記録媒体の損傷を低減する技術として、特許文献１の磁気ヘッドスライダが公知である。この特許文献１に記載の磁気ヘッドスライダにおいては、スライダのエッジ部に衝撃を吸収する緩衝層を形成することでスライダによるディスク記録媒体の接触損傷を低減しようとするものである。
【特許文献１】特開２００１−１４８２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１においては、緩衝層はスライダやディスク記録媒体上の保護膜等よりも柔らかい材質のアルミナ緩衝層が用いられる。このアルミナ緩衝層は、ディスク記録媒体上の保護膜及びスライダ材より柔らかいため、変形しやすく、接触時にディスク記録媒体との接触面積が大きくなるために摩擦係数が増大する。このため、回転するディスク記録媒体に接触したスライダが引きずられ易く、また、その際、緩衝層の摩耗が進行しやすく、摩耗が更なる接触面積の増大を生じさせる可能性がある。
【０００６】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、磁気ディスク装置内でディスク記録媒体上を浮上するスライダが、スライダ振動によりディスク記録媒体と接触したときのディスク記録媒体の損傷を低減することができる磁気ヘッドスライダ及びそのような磁気ヘッドスライダを搭載したディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した目的を達成するために、回転するディスクに対してデータの記録及び再生を行う磁気トランスデューサを備える磁気ヘッドスライダであって、浮上面側のスライダ・コーナ部を含む領域及び／又は前記磁気トランスデューサが設けられるリアパッドの空気流出端側コーナ部を含む領域に、スライダ母材より摩擦係数が小さく１０ｎｍ以上の膜厚を有する損傷防止用保護膜が設けられたものである。
【０００８】
本発明においては、スライダ母材より摩擦係数が小さい損傷防止用保護膜が、接触の可能性が高い浮上面側のスライダ・コーナ部を含む領域及び／又は前記磁気トランスデューサが設けられるリアパッドの空気流出端側コーナ部を含む領域に設けられているため、振動等によってディスクに接触した際の摩擦力を抑え、ディスクの損傷を低減することができる。
【０００９】
本発明にかかる他の磁気ヘッドスライダは、本発明にかかる磁気ヘッドスライダは、回転するディスクに対してデータの記録及び再生を行う磁気トランスデューサを備える磁気ヘッドスライダであって、浮上面側のスライダ・コーナ部を含む領域及び／又は前記磁気トランスデューサが設けられるリアパッドの空気流出端側コーナ部を含む領域に、スライダ母材より硬度が高く１０ｎｍ以上の膜厚を有する損傷防止用保護膜が設けられたものである。
【００１０】
本発明においては、スライダ母材より硬度が高い損傷防止用保護膜が、接触の可能性が高い浮上面側のスライダ・コーナ部を含む領域及び／又は前記磁気トランスデューサが設けられるリアパッドの空気流出端側コーナ部を含む領域に設けられているため、振動等により磁気ヘッドスライダがディスクに接触した際の摩擦の進行を抑制し、またスライダ母材とディスクとが直接接触することを防止しすることでディスクの損傷を低減することができる。
【００１１】
また、前記母材表面の空気流入端側に設けられるステップ軸受け面及び前記ステップ軸受け面上に形成される１又は複数の流入側レール面を有するフロントパッドと、前記母材表面の空気流出端側であって前記フロントパッドと負圧発生用深溝面を隔てて設けられるリアステップ軸受け面及び前記リアステップ軸受け面上に形成される流出側レール面を有するリアパッドとを有し、前記流入側レール面及び流出側レール面は略同一の高さに形成され、前記ステップ軸受け面及びリアステップ軸受け面は前記流入側レール面及び流出側レール面から所定の深さＤ１に形成されたものであって、前記損傷防止用保護膜は、前記所定の深さＤ１以下の膜厚を有するものとすることができる。
【００１２】
更に、前記ステップ軸受け面上の前記空気流入端側の前記スライダ・コーナ部の頂点近傍に設けられる流入パッドを更に有し、前記損傷防止用保護膜は、前記流入パッド上面を含む領域に形成されてもよく、流入用パッドにより、磁気ヘッドスライダがディスクと接触する際の摩擦力を更に低減することができる。
【００１３】
更にまた、前記フロントパッドの両側であって前記スライダ・コーナ部の頂点を含み前記空気流入端から前記空気流出端へ向かう方向に前記負圧発生用深溝面と略同一深さに形成された深溝面を有し、前記損傷防止用保護膜は、前記スライダ・コーナ部の前記深溝面を含む領域に形成されるものとすることができ、深溝面上に損傷防止用保護膜を形成しておくことで、磁気ヘッドスライダのディスクに対する突入角度が大きくなってもスライダ母材がディスクに直接接触することを防止することができる。
【００１４】
また、前記損傷防止用保護膜は、前記フロントパッドの前記空気流入端に沿って連続又は断続的に設けられるものとしてもよく、損傷防止用保護膜によりディスクの損傷を低減すると共に、磁気ヘッドスライダの浮上面とディスクとの間が狭まるためこの間から侵入する塵埃を低減することができる。
【００１５】
更に、前記ステップ軸受け面は、フロントステップ軸受け面及びサイドステップ軸受け面からなり、前記サイドステップ軸受け面が前記空気流出端近傍まで延在するよう形成され、前記損傷防止用保護膜は、前記スライダ・コーナ部の頂点及び前記サイドステップ軸受け面の前記空気流出側端を含む領域に形成されるものとしてもよく、磁気ヘッドスライダの使用環境等に応じた浮上面の形状に合わせて損傷防止用保護膜を形成することができる。
【００１６】
更にまた、前記損傷防止用保護膜は、ビッカーズ硬さが３０００Ｈｖ以上の硬い保護膜とすることができ、これにより、ディスクとの接触による摩耗を抑制することができる。
【００１７】
また、前記流入側レール面上に所定の高さＨを有し前記空気流入端から前記空気流出端に向かう方向に連続性を有する段差面を有することができ、流入側レール面上に段差面を設けることにより、浮上面とディスクとの間に流入する空気流による昇圧効果を増大させ、高地における浮上量の低下を低減することができる。
【００１８】
更に、前記損傷防止用保護膜は、前記所定の高さＨと同一の膜厚を有することができ、段差面の形成する際の製造が容易となる。
【００１９】
更にまた、前記損傷防止用保護膜及び前記段差面は、同一工程にて形成されたカーボン膜からなるものとすることができ、同一工程にて形成されたカーボン膜により前記損傷防止用保護膜を形成すると共に、前記流入側レール面の一部に段差面を形成することにより、損傷防止用保護膜を形成する際、製造工数を増大させることなく同時に段差面を形成することができる。
【００２０】
本発明にかかるディスク装置は、回転するディスクと、前記ディスクに対するデータの記録及び再生を行う磁気トランスデューサを備えた磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダを保持するサスペンション及び前記サスペンションを支持するアームと、前記アームを駆動する駆動部とを有し、前記磁気ヘッドスライダは、浮上面側のスライダ・コーナ部を含む領域及び／又は前記磁気トランスデューサが設けられるリアパッドの空気流出端側コーナ部を含む領域に、スライダ母材より摩擦係数が小さく１０ｎｍ以上の膜厚を有する損傷防止用保護膜が設けられているものである。
【００２１】
ディスクと接触した際に大きな摩擦力を生じないよう摩擦係数が小さい損傷防止用保護膜を有する磁気ヘッドスライダを搭載しているため、ディスクと接触してもディスクの損傷を低減することができ、振動等に対して高い信頼性を有するディスク装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明においては、動作時に磁気ディスク装置内でディスク記録媒体上を浮上する磁気ヘッドスライダが損傷防止用保護膜を有するため、ディスクと接触してもディスクの損傷を低減する効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。この実施の形態は、本発明を、磁気ヘッドスライダに保護膜を形成することで、ディスク記録媒体に接触してもその損傷を低減することができる磁気ヘッドスライダを搭載したハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ）に適用したものである。
【００２４】
先ず、ＨＤＤの全体構成について説明し、次に、ディスク記録媒体の損傷を低減することができる磁気ヘッドスライダについて説明する。図１は、本実施の形態に係るＨＤＤ１００の概略構成を示すための平面図である。図１において、１０１はデータが記録されるディスク記録媒体であって、磁性層が磁化されることによってデータを記憶する不揮発性の磁気ディスクである。１０２はＨＤＤ１００の各構成要素を収容するベースである。ベース１０２は、ベース１０２の上部開口を塞ぐカバー２０１とガスケット２０２を介して固定されることによってディスクエンクロージャを構成し、ハード・ディスク・ドライブ１００の各構成要素を密閉状態で収容することができる。
【００２５】
１０３はスピンドル・モータ、１０４はスピンドル・モータ１０３に設けられているハブである。１は、ホスト（不図示）との間で入出力されるデータについて、ディスク記録媒体１０１への書き込み及び／又は読み出しを行う磁気トランスデューサ（不図示）を具備した磁気ヘッドスライダである。磁気ヘッドスライダ１は、ディスク記録媒体１０１とディスク記録媒体１０１への記憶データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び／又はディスク記録媒体１０１からの磁界を電気信号に変換する再生素子からなる磁気トランスデューサを備えるスライダである。
【００２６】
１０６は磁気ヘッドスライダ１を保持、移動するアクチュエータである。アクチュエータ１０６は、回動軸１０７に回動自在に保持されており、アクチュエータ・アーム１０８と駆動機構としてのＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）１０９とを備えている。アクチュエータ・アーム１０８は、磁気ヘッドスライダ１が配置されたその先端部から、サスペンション１１０、ヘッド・アーム１１１及びコイル・サポート１１２の順で結合された各構成部材を備えている。
【００２７】
１１３はフラットコイル、１１４はベース１０２に固定された上側ステータ・マグネット保持板である。尚、上側ステータ・マグネット保持板１１４は、主要部が便宜上切り欠いて図示され、外形が破線で示されている。図示されていないが、フラットコイル１１３の下側には、上側ステータ・マグネット保持板１１４との間においてフラットコイル１１３を挟むように、下側ステータ・マグネット保持板が配置される。ＶＣＭ１０９は、フラットコイル１１３、上側ステータ・マグネット保持板１１４に固定されたステータ・マグネット（不図示）、及び下側ステータ・マグネット保持板に固定されたステータ・マグネット（不図示）を備えている。１１５は、ディスク記録媒体１０１の回転が停止するときには、磁気ヘッドスライダ１をディスク記録媒体１０１から退避させるためのランプ機構である。１１６はサスペンション１１０の先端部に形成されたタブである。なお、磁気ヘッドスライダ１の磁気トランスデューサがデータ書き込み／読み出し処理を行わない場合に、ディスク記録媒体１０１の内周に配置されているゾーンに退避するＣＳＳ（Contact Start and Stop）方式に、本形態のアクチュエータ１０６を適用することも可能である。
【００２８】
ディスク記録媒体１０１は、ベース１０２の底面に固定されたスピンドル・モータ１０３のハブ１０４に一体的に保持され、スピンドル・モータ１０３により、例えば回転数１００００ｒｐｍで回転駆動される。ハード・ディスク・ドライブ１００の非動作時には、ディスク記録媒体１０１は静止している。回動軸１０７に回動自在に保持されたコイル・サポート１１２には、コイル・サポート・アーム１１２ａ、１１２ｂが形成されている。コイル・サポート・アーム１１２ａ、１１２ｂは、回動軸１０７に対してヘッド・アーム１１１と反対側において、フラットコイル１１３を保持する。ＶＣＭ１０９は、コントローラ（不図示）からフラットコイル１１３に流される駆動信号に応じて、回動軸１０７を中心としてアクチュエータ・アーム１０８を回動し、ディスク記録媒体１０１の上に磁気ヘッドスライダ１を移動する、又はディスク記録媒体１０１の外側へ磁気ヘッドスライダ１を移動することができる。
【００２９】
ディスク記録媒体１０１に対するデータの読み取り／書き込みのため、アクチュエータ１０６は回転しているディスク記録媒体１０１表面のデータ領域上空に磁気ヘッドスライダ１を移動する。アクチュエータ１０６が回動することによって、磁気ヘッドスライダ１がディスク記録媒体１０１の表面の半径方向に沿って移動する。これによって、磁気ヘッドスライダ１が所望のトラックにアクセスすることができる。磁気ヘッドスライダ１は、ディスク記録媒体１０１に対向するスライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面（以下、浮上面という。）と回転しているディスク記録媒体１０１との間の空気の粘性による圧力が、サスペンション１１０によってディスク記録媒体１０１方向に加えられる圧力とバランスすることによって、磁気ヘッドスライダ１はディスク記録媒体１０１上を一定のギャップを置いて浮上する。
【００３０】
ディスク記録媒体１０１の回転が停止すると、磁気ヘッドスライダ１がディスク記録媒体１０１表面に接触し、吸着現象によってデータ領域の傷の発生、ディスク記録媒体１０１の回転不能などの問題が起こる。このため、ディスク記録媒体１０１の回転が停止するときには、アクチュエータ１０６は磁気ヘッドスライダ１をデータ領域からランプ機構１１５に退避させる。アクチュエータ１０６がランプ機構１１５の方向に回動し、アクチュエータ先端部のタブ１１６がランプ機構１１５表面上を摺動しながら移動し、ランプ機構１１５上のパーキング面に載ることにより、磁気ヘッドスライダ１がアンロードされる。ロードのときには、パーキング面に支持されていたアクチュエータ１０６は、ランプ機構１１５から離脱してディスク記録媒体１０１表面上空に移動する。
【００３１】
ここで、ディスク記録媒体１０１は、１又は複数枚からなり、また片面又は両面記録のいずれであってもよい。両面記憶のときは各記憶面を走査するヘッドを保持するサスペンションを記録面に対応する数用意し、一のディスク記録媒体１０１に対して、一方のサスペンション１１０と所定の間隔をおいて重なる位置でヘッド・アームを介してコイル・サポート１１２に固定する。また、複数枚のディスク記録媒体を両面記憶する場合には、ハブ１０４によってスピンドル・モータ１０３の回転軸方向に所定の間隔で複数枚のディスク記録媒体を一体的に保持する。それぞれ各記憶面を走査するヘッドを保持するサスペンションを記憶面の数だけ用意し、図１のサスペンション１１０と所定の間隔をおいて重なる位置でヘッド・アームを介してコイル・サポート１１２に固定する。
【００３２】
次に、本実施の形態における磁気ヘッドスライダについて詳細に説明する。図２及び図３は、それぞれ第１の実施の形態における磁気ヘッドスライダを示す斜視図及び平面図である。本実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１は、母材表面にフロントパッド１３及びリアパッド１４が形成されたものであり、空気流入端２、ディスク記録媒体と対向する面となる浮上面（ＡＢＳ）３及び空気流出端４を有する。
【００３３】
フロントパッドは、母材表面の空気流入端２側に設けられ、フロントステップ軸受け面５及びこのフロントステップ軸受け面５上に形成された流入側レール面６、７を有する。また、リアパッド１４は、母材表面の空気流出端４側であってフロントパッド１３と負圧発生用深溝面（深溝面）１２を隔てて設けられ、リアステップ軸受け面１０及びこのリアステップ軸受け面１０上に形成された流出側レール面１１を有する。
【００３４】
フロントステップ軸受け面５、流入側レール面６、７、リアステップ軸受け面１０、流出側レール面１１、及び深溝面１２は浮上面３を構成する。すなわち、浮上面３は、フロントパッド１３の空気流入端２から続いて形成されたフロントステップ軸受け面５、フロントステップ軸受け面５上であって左右に形成された流入側レール面６、７、流入側レール面６、７上にあり、かつ所定の高さＨでスライダの長手方向の連続性を有する段差面６ａ、７ａ、及びフロントステップ軸受け面５と同一深さを有するサイドステップ軸受け面８、９と、フロントパッド１３で囲まれた深溝面１２と、リアパッド１４の流出側レール面１１、及びフロントステップ軸受け面５と同一深さで流出側レール面１１を囲むように形成されたリアステップ軸受け面１０とから構成される。
【００３５】
流入側レール面６、７と流出側レール面１１はほぼ同一高さ面にあり、磁気ヘッドスライダ１の浮上面３とディスク記録媒体間に流入した空気流により、圧力を発生し、磁気ヘッドスライダ１をディスク媒体上に浮上させる、いわゆる正圧レール面として作用する。フロントステップ軸受け面５と、リアステップ軸受け面１１はほぼ同一高さ面内にあり、流入側レール面６、７又は流出側レール面１１からの深さＤ１（図４参照）は例えば２００ｎｍ程度である。空気流入端２から磁気ヘッドスライダ１とディスク記録媒体間に流入した空気流は、フロントステップ軸受け面５、リアステップ軸受け面１０を経由して、流入側レール面６、７及び流出側レール面１１を構成する段差で昇圧され、流入側レール面６、７及び流出側レール面１１へ到達する。
【００３６】
流入側レール面６、７へ到達した空気流は、更に段差を経由して段差面６ａ、７ａへ到達し、段差面６ａ、７ａにおいて磁気ヘッドスライダ１を浮上させる大きな圧力を発生する。流入側レール面６、７と段差面６ａ、７ａとの段差は例えば３０ｎｍ程度である。段差面７ａ、８ａにおいて大きな圧力を発生させるためには、段差面７ａ、８ａは空気流の流入方向、すなわちスライダ長手方向に、ある程度連続した長さを有する必要があり、このような非常に高さが低い段差面６ａ、７ａを形成することにより、大きな浮上力を得ることができる。
【００３７】
なお、本実施の形態においては、浮上面３において左右に物理的に分離された２つの流入側レール面６、７を有しているが、これらを一の流入側レール面として連続的に形成してもよい。また、本実施の形態においては、流入側レール面６、７上にスライダ長手方向に連続して形成されたそれぞれ段差面６ａ、７ａを有する場合について説明するが、この段差面６ａ、７ａを有さない磁気ヘッドスライダであっても適用可能である。また、この段差面６ａ、７ａを有することによって低気圧下における磁気ヘッドスライダ１の浮上量を安定させることができるが、この効果についての詳細は後述する。
【００３８】
また、磁気ヘッドスライダ１は、リアパッド１４の流出側レール面１１にディスク記録媒体に対して情報を記録・再生する磁気トランスデューサ１５を有している。更に、本実施の形態における磁気ヘッドスライダ１は、浮上面３側の空気流入端２側のスライダ・コーナ部の頂点近傍に、流入側レール面６、７と同じ高さの流入パッド１８、１９を有している。更に、フロントパッド１３のスライダ長手方向両端側には、深溝面１２と同様の深さの深溝１２ａが形成されている。この深溝１２ａは、磁気ヘッドスライダ１を加工する際の深溝面１２を形成する際同時に形成される。なお、磁気ヘッドスライダ１の加工方法については後述する。
【００３９】
流入パッド１８、１９は、スライダの空気流入端２側のフロントステップ軸受け面５上に流入側レール面６、７及び流出側レール面１１と同じ高さであって、例えば直径３０μｍ程度に形成された島状のパッドである。ここで、本実施の形態においては、この流入パッド１８、１９を空気流入端２側に設けるものとして説明するが、例えば空気流出端４側のフロントパッド１３又はリアパッド１４上に形成することも可能である。この流入パッド１８、１９を形成することにより、磁気ヘッドスライダ１がディスク記録媒体と接触するときの摩擦力を低減することができる。
【００４０】
そして、本実施の形態においては、この流入パッド１８、１９の浮上面３を構成する上面（流入パッド面）を含み、空気流入端２の両端部のコーナ部（以下、流入側スライダ・コーナ部という。）１６ａ、１７ａを含む隅部領域に高硬度でかつ低摩擦係数である例えばダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）からなる保護膜（損傷防止用保護膜）が流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａとして形成されている。
【００４１】
上述のように、流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａは深溝１２ａとなっており、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａは、フロントステップ軸受け面５の空気流入端２側の左右の両端部流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａを含む深溝１２ａから流入パッド１８のパッド面上にかけて形成されており、本実施の形態においては、特にその膜厚が段差面６ａ、７ａと同じ厚さに形成されている。
【００４２】
流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを深溝１２ａから流入パッド１８、１９のパッド面上にかけて形成することで、磁気ヘッドスライダ１が振動してディスク記録媒体と接触した場合であっても、摩擦係数が小さいため、大きな摩擦力が生じず、ディスク記録媒体の損傷を低減する。すなわち、磁気ヘッドスライダ１の振動が大きく、スライダが大きな突入角度でディスク記録媒体に接触する場合、スライダの流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａでディスク記録媒体との接触が生じるが、本実施の形態における流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａは、流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａを含む深溝１２ａにも形成されているため、スライダ母材とディスク記録媒体とが接触することがなく、ディスク記録媒体の損傷を低減することができる。
【００４３】
なお、本実施の形態においては、流入パッド１８、１９を形成した例について説明するが、この流入パッド１８、１９がない場合には、流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａ及びフロントパッド１３のコーナ部を含む領域に流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成すればよい。また、後述するように、浮上面の設計方法、ＨＤＤの用途等に応じて、流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａに限らず、磁気ヘッドスライダ１がディスク記録媒体と接触を生じやすい位置に流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成することで、ディスク記録媒体の磁気ヘッドスライダ１との接触による損傷を低減することができる。
【００４４】
図４は図３中のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図であり、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａ、流入パッド１８、１９、流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａ、フロントステップ軸受け面５及び深溝面１２の相対関係を模式的に説明する図である。磁気ヘッドスライダ１の寸法を具体的に例示すると、例えば、その長さは１．２５ｍｍ、幅は１．０ｍｍ、厚さは０．３ｍｍ等である。そして、流入側レール面６、７及び流出側レール面１１を基準とした段差面６ａ、７ａの高さＨは、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａと同じ大きさであり、例えば３０ｎｍ等である。更に、流入側レール面６、７及び流出側レール面１１を基準としたフロント軸受け面５及びサイドステップ軸受け面８、９の深さＤ１は例えば２００ｎｍ等であり、深溝面１２の深さＤ２は例えば１．５μｍ等である。
【００４５】
同図からわかるように、本実施の形態における磁気ヘッドスライダ１は、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａが流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａを完全に被覆している。この流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａは、例えばスパッタリングによる堆積方法、又は予め浮上面前面に形成したカーボン保護膜からのイオン・ミリング又はＲＩＥ等のエッチングにより形成することができる。一方、流入側レール面６、７上に形成される段差面６ａ、７ａも同様の方法により形成することができる。すなわち、本実施の形態のように、段差面６ａ、７ａ及び流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを同一プロセスにより同時に形成することができ、段差面６ａ、７ａを設ける場合は同時にその段差と同一膜厚の流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成することができ、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成する場合には同時にその膜厚高さの段差面６ａ、７ａを形成することができる。これにより、製造工数及び製造コストを低減することができる。
【００４６】
なお、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａの膜厚と段差面６ａ、７ａの段差の高さとを異ならせるか、又は流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａと段差面６ａ、７ａとの材質を異ならせる等するために、これらを別プロセスにて形成してもよい。また、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａは、少なくとも流入パッド１８、１９の浮上面、空気流入端２側のコーナ部を含むフロントステップ軸受け面５上、及び流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａを含む深溝１２ａの底面上に形成されていればよく、例えば流入パッド１８、１９の側壁は被覆されていなくても同様の効果を奏する。
【００４７】
次に、本実施の形態にかかるＨＤＤ１００の動作、及び流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを設けることによる本実施の形態の効果について図５乃至図８を参照して詳細に説明する。
【００４８】
図５は、本発明による磁気ヘッドスライダを搭載したＨＤＤ１００の模式図である。なお、図１と同一の構成要素には同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。ＨＤＤ１００は、例えば、略＋９°〜−１５°のヨー角変化を伴う直径８４ｍｍのディスク記録媒体１０１を搭載することができる。ここでヨー角は、磁気ヘッドスライダ１がディスク記録媒体１０１に対向して位置し、回転アクチュエータ１０６による揺動運動によって磁気ヘッドスライダ１にディスク記録媒体１０１の円周に沿って空気が流入する方向と磁気ヘッドスライダ１の長手方向とがなす角である。ヨー角の符号は磁気ヘッドスライダ１の長手方向に対しディスク記録媒体１０１の内周側から空気が流入する方向を正と表している。
【００４９】
磁気ヘッドスライダ１は、サスペンション１１０によって例えば回転数１００００ｒｐｍで回転するスピンドル・モータ１０３に取り付けられたディスク記録媒体１０１上に２．０ｇｆの力で押しつけられる。この際、ディスク記録媒体１０１の回転よって生じる空気の流れが磁気ヘッドスライダ１とディスク記録媒体１０１との間に入り込むことによって、磁気ヘッドスライダ１はディスク記録媒体１０１から浮上する。磁気ヘッドスライダ１は回転アクチュエータ１０６によってディスク記録媒体１０１上において略１９〜３９ｍｍの任意の半径位置で精度よく位置決めされ、磁気ヘッドスライダ１のリアパッド１４上の流出側レール面１１に搭載された磁気トランスデューサ１５によりディスク記録媒体１０１に対して任意の位置で情報の記録・再生を行う。なお、ここでは、ＨＤＤの一例として３．５型（３．５インチ）のディスク装置について説明したが、これよりも小径の磁気ディスク装置についても同様の効果を奏する。
【００５０】
ＨＤＤ１００内において、ディスク記録媒体１０１上で浮上する磁気ヘッドスライダ１は、通常、ディスク記録媒体１０１と接触することなく安定浮上している。しかし、ＨＤＤ１００に加えられた外乱振動、又はＨＤＤ１０１内で後発的に発生した塵埃等が磁気ヘッドスライダ１に衝突すること等が原因となって、磁気ヘッドスライダ１が振動することがある。
【００５１】
磁気ヘッドスライダ１の振動は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように磁気ヘッドスライダ１を支持するサスペンション１１０のピボット３０回りに関するライダ長手方向の振動（ピッチ振動）及びスライダ短手方向の振動（ロール振動）の混成状態で生じる。振動の振幅が小さい場合は、磁気ヘッドスライダ１はディスク記録媒体１０１と接触することなく、振動は減衰して磁気ヘッドスライダ１は元の安定浮上状態を回復する。しかし、振動振幅が大きい場合、ディスク記録媒体１０１と接触する可能性が生じる。接触した場合、磁気ヘッドスライダ１のピッチ又はロール振動の振幅が増幅され、磁気ヘッドスライダ１のスライダ・コーナ部のいずれかの箇所でディスク記録媒体１０１と接触する。
【００５２】
近年、低浮上化のために用いられるディスク記録媒体１０１の表面粗さは極めて小さく、摩擦係数が高い表面となっている。これにより、わずかな接触であっても磁気ヘッドスライダ１がディスク記録媒体１０１に引きずられ、ディスク記録媒体１０１にスクラッチ状の損傷が発生する可能性が高まっている。
【００５３】
そこで、本実施の形態における磁気ヘッドスライダ１では、スライダ振動時の接触可能性が最も高い箇所、すなわち本第１の実施の形態においては、流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａを含む隅部の領域に十分な硬さと強度を有する流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成する。このことにより、磁気ヘッドスライダ１とディスク記録媒体１０１とが直接接触することを防止し、ディスク記録媒体１０１への損傷を低減することができる。
【００５４】
次に、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを有しない従来の磁気ヘッドスライダと本実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１とを比較し、その効果について説明する。磁気ヘッドスライダ１のディスク記録媒体１０１に対する突入角度をθとした場合、図６（ａ）は、突入角度θが小さい（浅い突入角度）場合、図６（ｂ）は突入角度θが大きい（深い突入角度）場合の本実施の形態における磁気ヘッドスライダ１とディスク記録媒体１０１とが接触する様子を示す模式図である。
【００５５】
磁気ヘッドスライダ１のディスク記録媒体１０１への突入角度θが大きくなるにつれて、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、磁気ヘッドスライダの接触箇所は流入パッド１８、１９の上面、ステップ軸受け面５のコーナ部、そして、深溝１２ａのコーナ部へと変化していく。ここで、従来の磁気ヘッドスライダは、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａが存在しない。このため、こうした接触時の突入角度θの増加に伴う接触箇所の変化により、従来の磁気ヘッドスライダと本実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１の接触時に発生する摩擦力に大きな差が発生する。
【００５６】
すなわち、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成した本実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１は、いずれの突入角度θであってもカーボン保護膜とディスク記録媒体１０１との接触となる。これに対し、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを有しない従来の磁気ヘッドスライダであると、ディスク記録媒体１０１と接触する箇所は上述のように変化する。
【００５７】
ここで、本実施の形態におけるカーボン保護膜は、例えばＤＬＣとすることができ、そのビッカーズ硬さＨｖ＝３０００〜５０００程度である。なお、スライダの母材は、アルチック（Ａｌ２Ｏ３＋ＴｉＣの焼結体）とよばれるセラミックスからなりそのビッカーズ硬さＨｖ＝２０００程度でカーボン保護膜より柔らかい。
【００５８】
また、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａの摩擦係数μ＝０．１〜０．２程度であるのに対し、アルチックの摩擦係数μ＝０．３〜０．６程度である。更に、浮上面における流入側レール面６、７の表面粗さ（Ｒａ）＜５ｎｍ、ステップ軸受け面５、１０の表面粗さ（Ｒａ）＝５〜１０ｎｍ、深溝面１２及び深溝１２ａの表面粗さ（Ｒａ）＝１０〜３０ｎｍとなっている。
【００５９】
従来の磁気ヘッドスライダは、ステップ軸受け面５及び深溝面１２はスライダ材がむき出しの状態である。また、５ｎｍ程度の薄いカーボン保護膜が形成されている場合もあるが、突入角度θが大きくなって局所的な接触力が増加するような状況下では、そのように薄いカーボン保護膜であるとその摩耗が急速に進行し、結果的にスライダ材が露出する。上述のように、ＤＬＣの摩擦係数はアルチックの摩擦係数の１／３程度であるため、スライダが露出している場合又は露出してしまった場合、摩擦係数が一気にカーボン保護膜の３倍以上に増加すし、摩擦力が急激に増加することで磁気ヘッドスライダがディスク記録媒体に引きずられ、ディスク記録媒体を損傷してしまう。
【００６０】
一方、本実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１は、突入角度がどのような場合であっても、すなわちディスク記録媒体１０１との接触が流入パッド１８、１９、フロントステップ軸受け面５、深溝１２ａのいずれの面であって、それらの粗さ以上の膜厚のカーボン保護膜を流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａとして形成することで、急速なカーボン保護膜の摩耗を防止できる。したがって、摩擦係数が大きいスライダ材が直接ディスク記録媒体１０１と接触することがないため、摩擦力の増加は小さく、ディスク記録媒体１０１を損傷することはない。
【００６１】
すなわち、本実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１は、１０ｎｍ以上、たとえば膜厚３０ｎｍという十分な厚み及び硬さを有する流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａにより接触可能性がある箇所を覆うことで、接触箇所が流入パッド１８、１９からフロントステップ軸受け面５、更に深溝１２ａのコーナ部へ移動しても、常に比較的低い摩擦係数を有する流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａとさせることができ、突入角度θがどのような大きさであっても摩擦力が増大することなく、これにより、磁気ヘッドスライダ１がディスク記録媒体１０１へ引きずられることがなくなり、スクラッチ損傷を大幅に低減することができる。
【００６２】
また、本実施の形態においては、その詳細を後述する段差面６ａ、７ａを形成する場合、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａと同一工程にて形成することができる。次に、本実施の形態における磁気ヘッドスライダ１の加工方法について説明する。図８（ａ）乃至図（ｅ）は、本実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダの製造方法をその工程順に示す図である。図８（ａ）乃至図８（ｅ）においてその上図は、磁気ヘッドスライダ１の側面、下図は、磁気ヘッドスライダの平面図を示す。
【００６３】
先ず、全面に磁気トランスデューサ１５が形成されたセラミック製ウエハを複数個の素子を含む棒状（ロー・バー）に切断する。次に、その切断面を精密に均一研磨する。この際、磁気ヘッドスライダの電磁特性を決定する素子高さ（ＭＲハイト）も全ての素子について同時に調整する。
【００６４】
次に、得られた研磨面を上述のような浮上面３の形状に加工する。先ず、スライダの母材であるアルチックのロー・バー３５を通常のスライダを加工する方法と同一の方法、例えばイオン・ミリング加工法を利用して、流入パッド１８、１９、流入側レール面６、７、流出側レール面１１、フロントステップ軸受け面５、９、１０、及び深溝面１２となる深溝等を形成する。そして、例えばレール面６ａ、７ａ、１１はその表面粗さ（平坦度）（Ｒａ）が５ｎｍ未満、ステップ軸受け面５、８、９、１０の表面粗さ（Ｒａ）が５〜１０ｎｍ程度となるよう表面加工する（図８（ａ）、図８（ｂ））。次に、ロー・バー３５の全面に第１のシリコン層（不図示）を形成し、更に第１のＤＬＣ層３６を形成する。ここで、シリコン層及びＤＬＣ層３６の厚さの総和が流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａの膜厚及び段差面６ａ、７ａの段差の高さとなる。したがって、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａの耐久性等を考慮して、ＤＬＣ層３６の膜厚は１０ｎｍ以上の厚さとする。また、後述するように、段差面６ａ、７ａの段差の高さにより浮上量を安定化させるために５〜５０ｎｍの厚さとすることが好ましい。したがって、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａ及び段差面６ａ、７ａを同時に形成する場合には、これらを考慮した最適な厚さとする（図８（ｃ））。
【００６５】
その後、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａ及び段差面６ａ、７ａに相当する部分にマスクをし、他の部分のＤＬＣ層３６及び第１のシリコン層を除去する（図８（ｄ））。
【００６６】
最後に、チップ（磁気ヘッドスライダ）毎に切断し、浮上面３の保護のため、改めて浮上面全面を第２のシリコン層（不図示）及び第２のＤＬＣ層３７で被覆する（図８（ｅ））。
【００６７】
こうして加工された磁気ヘッドスライダは、サスペンションのジンバル部に３自由度を持つように取り付けられてＨＧＡ（Head Gimbal Assembly）とされ、ＨＤＤ１に組み立てられる。
【００６８】
なお、本実施の形態においては、最初に形成したシリコン層及びＤＬＣ層３６により、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａ及び段差面６ａ、７ａを形成したが、図８（ｅ）に示す第２のシリコン層及び第２のＤＬＣ層３７を形成した後に、シリコンとＤＬＣを堆積して流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａ及び段差面６ａ、７ａを形成しても勿論構わない。
【００６９】
本実施の形態においては、スライダ母材より硬く、またスライダ母材より摩擦係数が小さく、その膜厚が１０ｎｍ以上である流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを、空気流入端２のスライダ・コーナ部近傍に設けることで、ディスク記録媒体１０１との接触による流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａの摩耗を防止すると共に、摩擦係数が大きいスライダ母材とディスク記録媒体１０１とが直接接触することを防止するため、ディスク記録媒体１０１の損傷を低減することができる。ここで、通常、ディスク記録媒体１０１の表面には、ディスク記録媒体１０１の損傷防止のために保護膜として一般的にＤＬＣなどのカーボン膜が形成されている。流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａは、ディスク記録媒体１０１に接触した場合の流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａの摩耗を防止するためスライダ母材より硬度が高いことが必要であるが、ディスク記録媒体１０１に損傷を与えないようディスク記録媒体１０１に形成されている保護膜に比較して、硬度が同等、あるいは低いことが好ましい。
【００７０】
このことにより、磁気ヘッドスライダ１が外部からの衝撃等により跳躍し、大きく傾いてディスク記録媒体１０１に衝突しても、磁気ヘッドスライダ１の切断面又はミリング面など通常母材が露出しているか又は薄い保護膜が形成されているのみの部位ではなく、厚い流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａと衝突させることができる。
【００７１】
また、上述の特許文献１においては、スライダ母材より柔らかいアルミナ緩衝材を設けることで磁気ヘッドスライダとディスク記録媒体との接触による損傷の防止を図ったものであるが、アルミナのビッカーズ硬さＨｖ＝１６００程度であり、母材と同様セラミックであるためその摩擦係数μ＝０．３程度である。しかしながら、このように摩擦係数が大きく柔らかいアルミナ緩衝材では、接触時にカーボン保護膜より相対的に接触面積が大きくなり、摩擦力が増大し、磁気ヘッドスライダがディスク記録媒体に引きずられ易い。結果、アルミナ緩衝材の摩耗の進行が速く、摩耗により塵埃が発生してヘッドクラッシュの原因になったり、摩耗が更なる接触面積の増大を生じ、ディスク記録媒体を破損する可能性が生じる。
【００７２】
これに対し、本実施の形態における流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａは、１０ｎｍ以上の厚みを有するＤＬＣ等からなり、摩耗に強く、塵埃が発生しにくく、また、摩擦係数が小さいため、磁気ヘッドスライダ１とディスク記録媒体１０１との接触によりディスク記録媒体にスクラッチ損傷等の発生を抑制することができる。なお、本発明の流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａなどの損傷防止用保護膜の膜厚は、その耐久性等を考慮し１０ｎｍ以上で適宜設定することができる。例えば、流入側レール面７からのフロントステップ軸受け面５の深さＤ１より厚くすると空気流入端２からの空気の侵入を阻害し、レール面の浮上力発生を阻害するため、その膜厚を上述の深さＤ１以下とすることが好ましい。また、段差面６ａ、７ａと同一工程にて形成したＤＬＣ膜から同時に形成する場合は、段差面６ａ、７ａの高さも考慮して決定する必要がある。
【００７３】
また、本実施の形態においては、流入パッド１８、１９を設け、この流入パッド１８、１９のみならず、フロントステップ軸受け面５のコーナ部、フロントパッド１３の両側の深溝１２ａ上にも流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成したことにより、磁気ヘッドスライダ１のディスク記録媒体１０１に対する突入角度θが小さい場合は勿論、突入角度θが大きくなってもディスク記録媒体１０１は流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａと接触するため、ディスク記録媒体１０１の損傷を上述のように低減することができる。
【００７４】
更に、減圧下における浮上特性などを改善する流入側レール面６、７上に段差面６ａ、７ａを有する場合は、流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成するプロセスと同一プロセスにて段差面６ａ、７ａを形成することができるため、製造コストを増大させることなく優れた浮上特性と高信頼性を両立する特徴を有する磁気ヘッドスライダ１を提供することができる。
【００７５】
次に、本発明における第２の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダについて説明する。図９は、第２の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す斜視図、図１０は平面図、図１１は図１０におけるＸＩ−ＸＩ断面図である。なお、本実施の形態及び後述する第３乃至大７の実施の形態において、図２乃至図４に示す第１の実施の形態と同一構成要素には同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００７６】
本実施の形態における磁気ヘッドスライダ６１は、上述の第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１におけるカーボン保護膜の形成位置が異なる。すなわち、本実施の形態においては、カーボン保護膜は、サイドステップ軸受け面９の空気流出端４側を含み、空気流出端４側のスライダのコーナ部（以下、流出側スライダ・コーナ部という。）１６ｂ、１７ｂを含む領域にカーボン保護膜（以下、流出コーナカーボン保護膜という。）５０ｂ、５１ｂが形成されている。その他の構成は、第１の実施の形態と同様である。
【００７７】
第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１が、空気流入端２側での接触振動によるディスク記録媒体１０１の損傷低減効果を有していたのに対し、第２の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６１は、空気流出端４側での接触損傷低減を目的としている。これらの流出コーナカーボン保護膜５０ｂ、５１ｂは、空気流出端４側のスライダ短手方向のほぼ中央にリアパッド１４を有する磁気ヘッドスライダ６１において特に有効である。このような形態の磁気ヘッドスライダ６１では、レール配置がロール方向の剛性が相対的に弱い配置となっているため、空気流入端２側にくらべロール方向の振動が大きく現れる。したがって、流出コーナカーボン保護膜５０ｂ、５１ｂは、ピッチはもちろんのことロール方向の振動に起因したスライダ振動による損傷低減に有効である。
【００７８】
また、本実施の形態においても、上述したように、流出コーナカーボン保護膜５０ｂ、５１ｂを形成すると同時に段差面６ａ、７ａを形成してもよく、これにより、製造コストを増大させることなく、低気圧下においても浮上量が安定した磁気ヘッドスライダ６１を得ることができる。
【００７９】
次に、本発明における第３の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダについて説明する。図１２及び図１３は、それぞれ第３の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダの斜視図及び平面図である。第３の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６２は、第１の実施の形態及び第２の実施の形態におけるそれぞれ流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａ及び流出コーナカーボン保護膜５０ｂ、５１ｂを有している。このことにより、第１及び第２の実施の形態のいずれの効果も奏する。本第３の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６２は、磁気ヘッドスライダ６２の全方位の振動に対してディスク記録媒体１０１への接触損傷を低減することができる点で極めて優れた形態であるといえる。磁気ヘッドスライダ６２のピボット３０に位置、又はレール面の配置等により磁気ヘッドスライダ６２の振動形態は異なるため、最も有効なコーナカーボン保護膜の形成位置を選択することが好ましい。
【００８０】
図１４は、本発明における第４の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６３を示す平面図である。第１の実施形態の磁気ヘッドスライダ１が、その流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａ近傍のみに流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを形成するのに対し、第４の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６３は、空気流入端２に沿うフロントステップ軸受け面５のエッジ付近に連続的に流入エッジカーボン保護膜５２を形成する。流入エッジカーボン保護膜５２は、浮上面３での浮上特性を考慮して、断続的に形成されてもよい。本第４の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６３においては、ディスク損傷を低減するだけでなく、磁気ヘッドスライダ６３の浮上面３とディスク記録媒体１０１との間に侵入する塵埃を低減する新たな効果を奏する。
【００８１】
すなわち、塵埃侵入を許してしまうフロントステップ軸受け面５の流入側レール面６、７からの深さ２００ｎｍに浮上姿勢分の浮上量を加えた開口状態を、本第４の実施の形態における磁気ヘッドスライダ６３では、厚さ３０ｎｍの流入エッジカーボン保護膜５２の壁を形成することで、開口量をその膜厚分、すなわち例えば３０ｎｍ小さくすることができる。この結果として、磁気ヘッドスライダ６３へ進入する塵埃を低減することができる。こうして、本第４の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６３によれば、第１の実施の形態と同様の効果を奏することができると共に、スライダ振動が原因で発生したディスク記録媒体１０１との接触により発生した塵埃の侵入を抑制する効果を併せて奏することが可能となる。
【００８２】
図１５は、本発明の第５の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。本実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６４は、第２の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６１の流出コーナカーボン保護膜５０ｂ、５１ｂとは異なり、リアパッド１４のリアステップ軸受け面１１上にカーボン保護膜を有している。すなわち、図１５に示すように、磁気ヘッドスライダ６４は、リアパッド１４の空気流出端４側のコーナ部にリアパッドコーナカーボン保護膜５３、５４を有している。その他の構成は第２の実施の形態における磁気ヘッドスライダと同様である。この第５の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ６４においては、リアパッドコーナカーボン保護膜５３、５４は、リアパッド１４のリアステップ軸受け面１０の空気流出端４側を含み、コーナ部の頂点であるリアステップ軸受け面コーナ部１６ｃ、１７ｃを含む箇所に形成されている。
【００８３】
本実施の形態においては、空気流入端２側の浮上量が空気流出端４側に比べ大きく磁気ヘッドスライダ６４のスライダ長手方向の姿勢が立っている場合に、ピッチは勿論ロール方向の振動に起因したディスク損傷低減に得に有効である。
【００８４】
図１６及び図１７は、それぞれ本発明の第６及び７の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダの平面図である。両実施形態は、第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１に比較して、サイドステップ軸受け面８、９が短い浮上面３ｂを有する点が異なる。このようなサイドステップ軸受け面８、９が短い磁気ヘッドスライダ６５、６６は、磁気ヘッドスライダ６５、６６のディスク記録媒体１０１の回転速度に対する依存性を小さくする特性を有する。
【００８５】
磁気ヘッドスライダ６５は、空気流出端４側の流出側スライダ・コーナ部１６ｂ、１７ｂを含む領域上に流出コーナカーボン保護膜５０ｃ、５１ｃを有する。また、磁気ヘッドスライダ６６は、サイドステップ軸受け面８、９から空気流出端４に向く延長線上であって空気流出端４の近傍に、島状の流出側サイドパッド８ａ、９ａを有し、流出側サイドパッド８ａ、９ａを含むコーナ部に流出コーナカーボン保護膜５０ｄ、５１ｄが形成されている。これらの流出コーナカーボン保護膜５０ｃ、５１ｃ、５０ｄ、５１ｄを形成することで、いずれもディスク記録媒体１０１への損傷低減の効果を奏する。
【００８６】
なお、本発明は上述した実施の形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは勿論である。例えば、上述した第１乃至第７の実施の形態におけるコーナカーボン保護膜は、いずれの実施の形態を単独又は複数組み合せて設けてもよいことは勿論である。浮上面の形状、使用環境等に応じて、例えば、流出コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａのいずれか一方のみを設けてもよい。また、複数のカーボン保護膜を設けても、製造上付加的なプロセスの追加を必要とすることがなく、製造コストを増大することなく信頼性が高い磁気ヘッドスライダを提供することができる。また、上述の実施の形態においては、ピコスライダを例にとって説明したが、これに限らず、フェムトスライダ等であっても本発明を適用できることは言うまでもない。
【００８７】
また、上述の第１乃至７の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダは、いずれもスライダ・コーナ部等の磁気ヘッドスライダにおいてディスク記録媒体１０１と接触する可能性が高い部位に適当な厚みを有し、スライダ母材より硬度が高く摩擦係数が小さいカーボン保護膜を形成することで、ディスク記録媒体１０１との接触があってもディスク記録媒体１０１の損傷を低減させる効果を有するものであるが、上述したように、連続した段差面６ａ、７ａが流入側レール面６、７上に形成された構成を有する。
【００８８】
上述したように、本発明は、連続した段差面６ａ、７ａの有無に拘わらず、ＤＬＣ等の損傷防止用保護膜を形成することで、ディスクの損傷を低減することができるものであるが、ここで、連続した段差面６ａ、７ａを有する磁気ヘッドスライダの浮上量安定の効果について上述の第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダ１を例に説明しておく。本発明における損傷防止用保護膜は、次に説明するような、小型でかつ高地等の低気圧の環境下における浮上量の低下を抑制することができる磁気ヘッドスライダに適用することで、磁気ヘッドスライダの信頼性を更に向上させることができるものである。
【００８９】
磁気ヘッドスライダは、記憶密度の上昇に従って縮小される傾向にあり、例えば、長さ０．８５ｍｍ、幅０．７ｍｍ、厚さ０．２３ｍｍ等、長さ及び幅が１ｍｍ以下の大きさを有するいわゆるフェムトスライダと呼ばれるものがある。一般に、スライダの面積が小さくなるほど、大気圧より低い圧力（負圧）を発生させる深溝面１２の面積が小さくなるため、スライダが発生可能な負圧力の大きさが減り、高地における浮上量の低下が大きくなる。また、近年、磁気ディスク装置の小型化が進み、磁気ディスクが小径化されると、周速が遅くなるため、スライダが発生できる負圧力は益々小さくなる傾向にあり、これも高地における浮上量の低下が大きくなる一因となっている。一方で、ノート・パソコン等、装置の携帯化が進み、飛行機等において、すなわち低気圧下においてもスライダの浮上量の低下の抑制を図ることが重要になっている。
【００９０】
これらの事情に鑑み、本願出願人は、図１に示す磁気ヘッドスライダ１のように、スライダ長手方向に連続した段差面６ａ、７ａを流入側レール面６、７上に形成することで、所定の浮上量を達成するために必要なスライダのレール面積を低減することができ、このことにより高地における浮上量の低下を低減することができることを見出し、既に出願している。
【００９１】
すなわち、流入側レール面６、７上に、連続した長さを有する段差面６ａ、７ａを設ける。このことにより、流入側レール面６、７の段差で昇圧された空気流は、まず流入側レール面６、７においてスライダを浮上させる圧力を発生し、更に段差面６ａ、７ａの段差で昇圧され、段差面６ａ、７ａにおいて更に大きな圧力を発生する。一方、リアステップ軸受け面１０から流入した空気流は、流出側レール面１１の段差で昇圧され、流出側レール面１１において、圧力を発生する。
【００９２】
段差面６ａ、７ａのスライダ長手方向の長さは、大きな正圧力を発生するために、少なくとも連続した５０μｍ以上、好適には１００μｍ以上の長さが必要であり、一方、その最大長さは、流入側レール面６、７上に形成するため流入側レール面６、７の長さより短くする必要がある。
【００９３】
このように、流入側レール面６、７及び段差面６ａ、７ａにより２段階の昇圧用の段差を設けることで、大きな浮上力を得ることができるため、所定の浮上量を達成するために必要な流入側レール面６、７、流出側レール面１１の大きさを低減することが可能となる。所定の浮上量を得るために必要なレール面の面積を低減することができるため、後述するように高地における浮上量の低下量を低減できる。すなわち、減圧に伴う負圧力の減少を大きくすれば、浮上量が増加する作用を得ることができ、トータルで見た場合、減圧による浮上量低下が小さくなる。減圧に伴う負圧力の減少を大きくするためには、常圧での負圧力を大きくすることが有効な手段であり、上述したようなレール面の面積を低減することができるスライダにおいて実現可能な構成である。このような構成は、特に、２．５型（２．５インチ）以下の小型の磁気ディスク装置に有効である。
【００９４】
ここで、流入側レール面上に、複数の微小な突出パッドを形成する技術が公知であるが、微小な突出パッドであると、起動時の粘着力を低減することはできるものの、スライダの浮上力に影響を与えることができず、大きな浮上力を得ることができない。したがって、段差面６ａ、７ａは、スライダ長手方向にある程度連続して形成されたものであることが必要である。また、必要な昇圧力を得るためには、段差面６ａ、７ａの段差の高さがある程度必要であり、またその面積を最適化することが好ましい。以下、これらの理由について説明する。
【００９５】
磁気ヘッドスライダ１は、空気流によってディスク記録媒体１０１上を浮上する際、空気流入端２側の浮上量が空気流出端４側の浮上量より高くなるような姿勢で浮上する。このため、磁気トランスデューサ１５を備えた流出側レール面１１の終端（空気流出端４側）の浮上量が最も小さくなる。
【００９６】
一方、図２に示すような段差面６ａ、７ａが形成されている場合は、段差面６ａ、７ａの空気流出端４側の浮上量が、流出側レール面１１の空気流出端４側の浮上量より小さくなると、段差面６ａ、７ａがディスク記録媒体１０１と接触してしまう。このようなことが生じると、磁気ヘッドスライダ１は大きく振動して最悪の場合には、磁気ヘッドスライダ１がクラッシュする。従って、段差面６ａ、７ａの空気流出端４側の浮上量が流出側レール面１１の空気流出端４側の浮上量より小さくなることがないように、スライダの浮上姿勢や、段差面６ａ、７ａの高さを設定する必要がある。
【００９７】
本願出願人によれば、長さ０．８５ｍｍ、幅０．７ｍｍ、厚さ０．２３ｍｍのいわゆるフェムトスライダにおいて、流入側レール面６、７からフロントステップ軸受け面５までの深さ、流出側レール面１１からリアステップ軸受け面１０までの深さが２００ｎｍ、段差面６ａ、７ａの段差の高さが２０ｎｍとした磁気ヘッドスライダについて、２．５型（２．５インチ）、回転数４２００ｒｐｍのＨＤＤを使用し、高度０ｍにおけるディスク半径方向の浮上量の分布（浮上プロファイル）と、高度３０００ｍにおける浮上プロファイルを計算した結果、高度３０００ｍにおける浮上量の低下を、０ｍにおける浮上量の約６〜７％とすることが可能であることを知見している。なお、少なくとも高度３０００ｍ（約０．７気圧）までは装置の稼動を保証する必要があるため、高度３０００ｍにおける浮上量の低下をできる限り防ぐ必要がある。
【００９８】
これに対し、段差面を流入側レール面上ではなく、空気流入端から形成した場合、流入側レール面上に、複数の微小パッドを形成した場合には、いずれも空気流の昇圧効果が小さく、高度３０００ｍにおける浮上量の低下量は１７〜２０％と極めて大きくなってしまう。
【００９９】
ここで、段差面６ａ、７ａの段差の最適な高さはスライダの大きさに応じて異なるが、より一般的には、フェムトスライダやピコスライダを含むスライダの全長をＬ、段差面６ａ、７ａの高さをＨとすれば、
Ｈ／Ｌ＜５．９×１０−5・・・（１）
とすることが好ましい。以下にその理由について説明する。
【０１００】
上述したように、磁気ディスク装置の信頼性を保つために、段差面６ａ、７ａの終端における浮上量は、流出側レール面の終端における浮上量より高い必要がある。図１８は、流入側レール面６、７上に段差面６ａ、７ａを形成した磁気ヘッドスライダについて、段差面６ａ、７ａの段差の高さをパラメータとして、浮上量と周囲圧力の関係を計算した結果である。縦軸は各条件において段差面６ａ、７ａの終端における浮上量、又は流出側レール面の終端における浮上量のうちで最も低いものを、大気圧における最小浮上量（流出側レール面の終端における浮上量）で規格化した浮上量である。
【０１０１】
図１８に示すように、段差面６ａ、７ａの段差の高さに関わらず、最小浮上量は気圧の低下、つまり高度の上昇とともに低下している。特に、段差の高さが６０ｎｍ以上の場合、０．６気圧において、最小浮上量が突然低下している。これは、周囲圧力が低下することで、スライダの浮上姿勢が小さくなり、最小浮上量となる位置が流出側レール面１１の終端から段差面６ａ、７ａの終端に移ったためである。これは磁気ディスク装置の信頼性上避けるべきであり、従って、段差面６ａ、７ａの高さは６０ｎｍより小さくするべきである。好適には、段差面６ａ、７ａの段差の高さは５０ｎｍ以下であることが好ましい。
【０１０２】
一方、常圧下における最小浮上量が１０ｎｍ以下であるような場合は、高度３０００ｍにおける浮上量の低下を少なくとも１０％（１ｎｍ）以下とする必要があるため、段差面６ａ、７ａの段差の高さは少なくとも５ｎｍ以上とする必要がある。また、浮上量の測定精度は、±１ｎｍ程度であるため、浮上量の低下量をこれよりも小さくすることが必要である。
【０１０３】
すなわち、高地における浮上低下量を低減するために、段差面６ａ、７ａが必要であるが、段差面６ａ、７ａの段差の高さが高すぎると、段差面６ａ、７ａの終端位置が最小浮上量になってしまうため、段差面６ａ、７ａの段差の高さの好適値は、フェムトスライダの場合には５乃至５０ｎｍである。なお、上述したように、損傷防止用保護膜と同時に段差を形成する場合は、段差面の高さは１０ｎｍ以上とすればよい。
【０１０４】
なお、全長が１．２５ｍｍのピコスライダの場合、段差面６ａ、７ａの段差の高さは、浮上時の姿勢が上述のフェムトスライダと同様であれば、その最大高さは、７４ｎｍとする必要がある。このようにスライダの全長Ｌと段差面の高さＨとの関係を上記式（１）のようにすることで、段差面６ａ、７ａの終端位置における浮上量が最小浮上量となることを避けることができる。
【０１０５】
また、磁気ヘッドスライダに荷重を付与するピボット（支持点）３０は、スライダ中心より、空気流入端２側で、かつ段差面６ａ、７ａと対向する位置にある。こうすることにより、高地において段差面６ａ、７ａで生じる圧力が減少した時に、空気流入端２側の浮上量を下げる方向のモーメントＭｐが作用し、空気流出端４側の浮上量の低下量を小さくできる。
【０１０６】
また、段差面６ａ、７ａは、図２における磁気ヘッドスライダ１においては、左右に形成された流入側レール面６、７上に、そのスライダ長手方向が流入側レール面６、７の長手方向未満で連続して形成するものとしたが、流入側レール面６、７上のみならず、スライダ幅方向に横断するような形状にすることも可能である。このことにより、マスクの位置合わせ精度を気にすることがなく、スライダの加工が容易になる。
【０１０７】
更に、流入側レール面６、７及び段差面６ａ、７ａの長さを長くすると高度による浮上量の低下を低減できることに加え、ピッチング方向の空気膜の剛性が増加するため、サスペンションのピッチ姿勢角の誤差にともなう浮上量の変化を低減することができる。
【０１０８】
ところで、流入側レール面６、７は、上述したようにその高さに応じた昇圧効果が得られるが、その面積の大きさに応じても異なる昇圧効果を得ることができる。次に、段差面６ａ、７ａを形成する場合の、流入側レール面６、７の総面積に対する段差面６ａ、７ａの総面積の比の最適な値について説明する。
【０１０９】
図１９は、第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダの変形例を示す平面図である。図１９に示す磁気ヘッドスライダ７１は、図２に示す磁気ヘッドスライダ１とは、フロントパッド１３、リアパッド１４、流入側レール面６、７、段差面６ａ、７ａ等の形状が異なるものの、空気流入端２側の流入側スライダ・コーナ部１６ａ、１７ａ近傍に流入パッド１８、１９を有する点、この流入パッド１８、１９を含む領域に流入コーナカーボン保護膜５０ａ、５１ａを損傷防止用保護膜として有する点は同様であり、第１の実施の形態と同様の効果を奏する。
【０１１０】
この磁気ヘッドスライダ７１において、段差面６ａ、７ａの段差の高さ６ｂ、７ｂの位置をスライダの長手方向に動かすことにより、流入側レール面６、７の総面積に対する段差面６ａ、７ａの総面積（段差面の割合）を変えながら、高度０ｍと３０００ｍにおける浮上量の低下量を求めた結果を図２０に示す。縦軸は、高度の上昇にともなう浮上低下量と、高度０ｍにおける浮上量の比である。高度の上昇にともなう浮上低下量を、高度０ｍにおける浮上量の１０％以下にするためには、図２０に示すように、面積比を１８乃至９２％とする必要があることがわかる。
【０１１１】
以上説明したように、流入側レール面６、７上に段差面６ａ、７ａを有すると共に高硬度・低摩擦係数の損傷防止用保護膜を、スライダ・コーナ部及び／又はエッジ部に有する磁気ヘッドスライダ１を具備することで、高地における磁気ヘッドスライダ１の浮上量の低下を低減できる。また、ＨＤＤが高地のような浮上量が低下する環境で使用されたり、又はＨＤＤに外乱振動が加えられれたり、若しくはＨＤＤ内で後発的に発生した塵埃等が原因となって磁気ヘッドスライダ１が振動してディスク記録媒体１０１に接触しても、ディスク記録媒体１０１の損傷を低減することができ、磁気ディスク装置の信頼性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】本発明の実施の形態にかかるハード・ディスク・ドライブを示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。
【図５】磁気ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置のヨー角を説明する平面図である。
【図６】（ａ）は、スライダのピッチ方向の振動を説明する図、（ｂ）は、スライダのロール方向の振動を説明する図である。
【図７】（ａ）は、スライダのディスク記録媒体への浅い突入角度を説明する図、（ｂ）は、スライダのディスク記録媒体への深い突入角度を説明する図である。
【図８】（ａ）乃至（ｅ）は、本発明の第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダの製造方法をその工程順に説明する図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線における断面図である。
【図１２】本発明の第３の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す斜視図である。
【図１３】本発明の第３の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１５】本発明の第５の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１６】本発明の第６の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１７】本発明の第７の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１８】本発明の第１の実施の形態にかかる磁気ヘッドスライダの浮上量と気圧の関係を、段差面の高さをパラメータとして示すグラフ図である。
【図１９】本発明の第１の実施の形態の変形例にかかる磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図２０】本発明の第１の実施の形態の変形例にかかる磁気ヘッドスライダについての、高度による浮上低下量と段差面と流入側レール面の面積比との関係を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【０１１３】
２  空気流入端、３  浮上面、
４  空気流出端、５  フロントステップ軸受け面、
６，７  流入側レール面、６ａ，７ａ  段差面、
８，９  サイドステップ軸受け面、８ａ，９ａ  流出側サイドパッド、
１０  リアステップ軸受け面、１１  流出側レール面、
１２  深溝面、１３  フロントパッド、
１４  リアパッド、１５  磁気トランスデューサ、
１６ａ，１７ａ  流入側スライダ・コーナ部、
１６ｂ，１７ｂ  流出側スライダ・コーナ部、
１６ｃ、１７ｃ  リアステップ軸受け面コーナ部、
１８，１９  流入パッド、３０  ピボット、
３５  ロー・バー、３６，３７  ＤＬＣ層、３８  シリコン層、
５０ａ，５１ａ  流入コーナカーボン保護膜、
５０ｂ，５１ｂ，５０ｃ，５１ｃ，５０ｄ，５１ｄ  流出コーナカーボン保護膜、
５２  流入エッジカーボン保護膜、
５３  リアパッドコーナカーボン保護膜、
１００  ハード・ディスク・ドライブ、１０１  ディスク記録媒体、
１０２  ベース、１０３  スピンドル・モータ、
１０４  ハブ、１０６  アクチュエータ、
１０７  回動軸、１０８  アクチュエータ・アーム、
１１０  サスペンション、１１１  ヘッド・アーム、
１１２  コイル・サポート、１１２ａ  コイル・サポート・アーム、
１１３  フラットコイル、１１４  上側ステータ・マグネット保持板、
１１５  ランプ機構、１１６  タブ、
２０１  カバー、２０２  ガスケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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