(57)【要約】      （修正有）【課題】残渣が少なくパターン欠陥の少ないカラーフィルター、該カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】2006251296.tif 000017［式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、同一または異なって、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリール等を表し、Ｘは、ＯまたはＮＲ（式中、Ｒは、水素原子、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表す）を表す］で表される基を有する重合体、放射線の照射により酸を発生する化合物、有機溶剤および着色剤を含有する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）一般式（Ｉ）
【化１】
2006251296.tif 000013
［式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、同一または異なって、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表すか、Ｒ１とＲ２が、隣接する炭素原子と一緒になってシクロアルキルを形成するか、またはＲ２とＲ３が、隣接するＣ−Ｃ−Ｏと一緒になって含酸素複素環を形成してもよく、Ｘは、ＯまたはＮＲ（式中、Ｒは、水素原子、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表す）を表す］で表される基を有する重合体、（Ｂ）放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）有機溶剤および（Ｄ）着色剤を含有することを特徴とするカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【請求項２】
一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体が、一般式（ＩＩ）
【化２】
2006251296.tif 000014
（式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ前記と同義であり、Ｒ４は水素原子または低級アルキルを表す）で表される構造単位を含む重合体である請求項１記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【請求項３】
一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体が、一般式（ＩＩＩ）
【化３】
2006251296.tif 000015
（式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ前記と同義である）で表される構造単位を含む重合体である請求項１記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【請求項４】
一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体が、一般式（ＩＶ）
【化４】
2006251296.tif 000016
（式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ前記と同義であり、Ｒ５およびＲ６は、同一または異なって、水素原子、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表し、Ｒ７は、水素原子、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表し、ｎは１〜３の整数を表す）で表される構造単位を含む重合体である請求項１記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【請求項５】
一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体の重量平均分子量が、５００〜２００，０００である請求項１〜４のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【請求項６】
放射線の照射により酸を発生する化合物が、波長３００ｎｍ以上の放射線の照射により酸を発生する化合物である請求項１〜５のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【請求項７】
塩基性化合物を含有する請求項１〜６のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【請求項８】
硬化剤を含有する請求項１〜７のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
【請求項９】
（ａ）請求項１〜８のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅型ポジ型レジスト組成物を基板に塗布し、
（ｂ）該カラーフィルター用化学増幅型ポジ型レジスト組成物が塗布された該基板をマスクパターンを使用して露光し、
（ｃ）露光後の該カラーフィルター用化学増幅型ポジ型レジスト組成物が塗布された基板を現像液による現像に付してレジストパターンを得る
上記の（ａ）〜（ｃ）を含む工程を１回から複数回繰り返すことによって得られるカラーフィルター。
【請求項１０】
請求項９記載のカラーフィルターを用いた液晶表示装置または固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置、固体撮像装置等に用いられるカラーフィルターに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置において、表示画面のコントラストを高めて高品位の表示を可能とするために、カラーフィルターが用いられている。カラーフィルターとは、液晶カラーディスプレイにおいてカラー表示するために用いられる液晶セル内に構成される部材の一つで顔料等が入った樹脂膜で、該樹脂膜は、透明ガラス基板上に赤、緑、青の三原色パターンが規則正しく配列するように形成されている。
【０００３】
このカラーフィルターに使用されているレジストとしては、ネガレジストが一般的に用いられているが、レジストパターン形成後に本来レジストが残ってはいけない領域に残渣が生じやすい、また、感度が悪く感光させるのに多大な露光量を必要とし生産性が悪いという課題がある。残渣が工程内にて生じた場合、例えば赤色画素領域に青色画素の残渣が点または線状に残存する結果となり、実用上、満足されるものではない。
【０００４】
残渣が残存するという課題を解消する方法として、レジストパターンが形成された基板表面をブラシまたはスポンジにより擦り、不要なレジスト残渣を機械的に除去する方法、同じく基板表面に高圧の現像液を吹きかけ、不要なレジスト残渣を機械的および化学的に除去する方法がそれぞれ開示されている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、これらの方法を実施した場合、残渣を除去すべくブラシ、スポンジ、または高圧の現像液を吹きかけられる装備を配した装置を必要とし、残渣を除去すべく余分な工程が付加され生産性も悪くなり、また基板の表面に形成されたレジストパターンにも除去力が加わるため、剥落、欠け等のパターン欠陥が発生し信頼性にも課題が生じる。
【０００５】
化学増幅ポジ型レジストは一般的に高感度、高解像度、高残膜率で、半導体用レジストとして使用できることが、知られている。半導体用レジストにおいては、適用される露光装置の露光波長は198〜254nmである。また、後述する一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体は、半導体用レジスト等の原料としてこれまで開発されており、技術が公開されている（例えば、特許文献２および３参照）。一方、カラーフィルター用レジストにおいては、適用される露光装置の露光波長は254〜450nmであり、適用される露光装置すなわち露光波長が半導体用レジスト等の場合とは大きく異なる。
【特許文献１】特開平１０−１９８０４９号公報
【特許文献２】国際公開第０３／０６４０７号パンフレット
【特許文献３】特開２００４−４５４４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、残渣が少なく、パターン欠陥の少ないカラーフィルター、該カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物等を提供することにある（ここで、残渣とは、カラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物の未硬化物等を意味する）。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下の（１）〜（１０）を提供する。
（１）（Ａ）一般式（Ｉ）
【０００８】
【化５】
2006251296.tif 000002
【０００９】
［式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、同一または異なって、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表すか、Ｒ１とＲ２が、隣接する炭素原子と一緒になってシクロアルキルを形成するか、またはＲ２とＲ３が、隣接するＣ−Ｃ−Ｏと一緒になって含酸素複素環を形成してもよく、Ｘは、ＯまたはＮＲ（式中、Ｒは、水素原子、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表す）を表す］で表される基を有する重合体、（Ｂ）放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）有機溶剤および（Ｄ）着色剤を含有することを特徴とするカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
（２）一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体が、一般式（ＩＩ）
【００１０】
【化６】
2006251296.tif 000003
【００１１】
（式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ前記と同義であり、Ｒ４は水素原子または低級アルキルを表す）で表される構造単位を含む重合体である（１）記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
（３）一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体が、一般式（ＩＩＩ）
【００１２】
【化７】
2006251296.tif 000004
【００１３】
（式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ前記と同義である）で表される構造単位を含む重合体である（１）記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
（４）一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体が、一般式（ＩＶ）
【００１４】
【化８】
2006251296.tif 000005
【００１５】
（式中、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ前記と同義であり、Ｒ５およびＲ６は、同一または異なって、水素原子、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表し、Ｒ７は、水素原子、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表し、ｎは１〜３の整数を表す）で表される構造単位を含む重合体である（１）記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
（５）一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体の重量平均分子量が、５００〜２００，０００である（１）〜（４）のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
（６）放射線の照射により酸を発生する化合物が、波長３００ｎｍ以上の放射線の照射により酸を発生する化合物である（１）〜（５）のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
（７）塩基性化合物を含有する（１）〜（６）のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
（８）硬化剤を含有する（１）〜（７）のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物。
（９）（ａ）（１）〜（８）のいずれかに記載のカラーフィルター用化学増幅型ポジ型レジスト組成物を基板に塗布し、
（ｂ）該カラーフィルター用化学増幅型ポジ型レジスト組成物が塗布された該基板をマスクパターンを使用して露光し、
（ｃ）露光後の該カラーフィルター用化学増幅型ポジ型レジスト組成物が塗布された基板を現像液による現像に付してレジストパターンを得る
上記の（ａ）〜（ｃ）を含む工程を１回から複数回繰り返すことによって得られるカラーフィルター。
（１０）（９）記載のカラーフィルターを用いた液晶表示装置または固体撮像装置。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、残渣が少なく、パターン欠陥の少ないカラーフィルター、該カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物等が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、一般式（Ｉ）で表される基を有する重合体を重合体（Ｉ）と表現することもある。また、一般式（ｉ）で表される構造単位を含む重合体を重合体（ｉ）と表現することもある。
一般式中の各基の定義において、アルキルとしては、例えば、直鎖または分枝状の炭素数１〜１８のアルキルがあげられ、具体的には、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ｓｅｃ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、デシル、ドデシル、オクタデシル等があげられるが、中でも、炭素数１〜６のアルキルが好ましく、さらには炭素数１〜３のアルキルがより好ましい。
【００１８】
低級アルキルとしては、例えば、直鎖または分枝状の炭素数１〜８のアルキルがあげられ、具体的には、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ｓｅｃ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル等があげられる。
Ｒ１とＲ２が隣接する炭素原子と一緒になって形成するシクロアルキルとしては、例えば、炭素数３〜８のシクロアルキルがあげられ、具体的には、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル等があげられる。
【００１９】
アリールとしては、例えば、炭素数６〜１４のアリールがあげられ、具体的には、フェニル、ナフチル等があげられる。
アラルキルとしては、例えば、炭素数７〜１５のアラルキルがあげられ、具体的には、ベンジル、フェネチル、ナフチルメチル、ナフチルエチル等があげられる。
Ｒ２とＲ３が隣接するＣ−Ｃ−Ｏと一緒になって形成する含酸素複素環としては、例えば、５〜８員のものがあげられ、具体的には、オキソラン環、オキサン環、オキセパン環等があげられる。
【００２０】
アルキルの置換基としては、例えば、アルコキシ、アルカノイル、シアノ、ニトロ、ハロゲン原子、アルコキシカルボニル等があげられる。
アルコキシおよびアルコキシカルボニルのアルキル部分は、前記のアルキルと同義である。
アルカノイルとしては、例えば、直鎖または分枝状の炭素数１〜７のアルカノイルがあげられ、具体的には、ホルミル、アセチル、プロピオニル、ブチリル、イソブチリル、バレリル、イソバレリル、ピバロイル、ヘキサノイル、ヘプタノイル等があげられる。
【００２１】
ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素の各原子があげられる。  
アリールおよびアラルキルの置換基としては、例えば、アルキル、アルコキシ、アルカノイル、シアノ、ニトロ、ハロゲン原子、アルコキシカルボニル等があげられる。ここで、アルキル、アルカノイル、アルコキシおよびアルコキシカルボニルのアルキル部分ならびにハロゲン原子は、それぞれ前記と同義である。
【００２２】
重合体（ＩＩ）、（ＩＩＩ）および（ＩＶ）において、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３がともにアルキルであるのものがそれぞれ好ましい。
また、重合体（ＩＩ）において、Ｒ４が水素原子またはメチルであるものが好ましい。
重合体（Ｉ）は、ＷＯ０３／６４０７または特開２００４−４５４４８号公報に記載の方法またはそれらの方法に準じて製造することができる。
【００２３】
重合体（Ｉ）は、例えば、以下のように製造することができる。
重合体（Ｉ）は、例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基、スルホ基、スルホンアミド基およびホスホノ基のうちの少なくとも一種を分子中に有する樹脂［（メタ）アクリル酸系樹脂、スチレン系樹脂、フェノール系樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリビニルアルコールの重合体等］（以下、樹脂Ａということもある）と、対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物とを反応させることにより得ることができる。
【００２４】
樹脂Ａ中のヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基、スルホ基、スルホンアミド基またはホスホノ基と、対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物の当量比（モル比）は、１：０．９〜１：２であるのが好ましく、さらには１：０．９〜１：１．５であるのが好ましく、さらには１：１〜１：１．２であるのがより好ましい。
反応温度は、０〜１５０℃であるのが好ましく、さらには０〜１００℃であるのが好ましく、さらには０〜５０℃であるのがより好ましい。
【００２５】
反応の際、酸触媒を使用してもよく、該酸触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸等の無機酸、ｐ−トルエンスルホン酸等の有機酸等があげられ、中でも、ｐ−トルエンスルホン酸が好ましい。該酸触媒は、２種以上組み合わせて用いてもよい。該酸触媒の使用量は、特に限定されないが、樹脂Ａのヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基、スルホ基、スルホンアミド基またはホスホノ基に対して、０．０００１〜０．５当量（モル比）であるのが好ましく、０．００１〜０．１当量（モル比）であるのがより好ましい。
【００２６】
また、反応の際に、必要に応じて有機溶媒を使用してもよい。該有機溶媒としては、例えば、ヘキサン、トルエン、キシレン等の炭化水素系溶媒、ジオキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶媒等があげられ、これらは、１種でまたは２種以上混合して用いてもよい。
アルケニルエーテルの具体例としては、例えば、１−メトキシ−２−メチルプロペン、１−エトキシ−２−メチルプロペン、１−プロポキシ−２−メチルプロペン、１−イソプロポキシ−２−メチルプロペン、１−ブトキシ−２−メチルプロペン、１−イソブトキシ−２−メチルプロペン、１−（ｔｅｒｔ−ブトキシ）−２−メチルプロペン、１−ペンチルオキシ−２−メチルプロペン、１−イソペンチルオキシ−２−メチルプロペン、１−ネオペンチルオキシ−２−メチルプロペン、１−（ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ）−２−メチルプロペン、１−ヘキシルオキシ−２−メチルプロペン、１−イソヘキシルオキシ−２−メチルプロペン、１−（２−エチルヘキシル）−２−メチルプロペン、１−ヘプチルオキシ−２−メチルプロペン、１−オクチルオキシ−２−メチルプロペン、１−ノニルオキシ−２−メチルプロペン、１−デカニルオキシ−２−メチルプロペン、１−ドデカニルオキシ−２−メチルプロペン、１−オクタデカニルオキシ−２−メチルプロペン、１−メトキシ−２−メチル−１−ブテン、１−エトキシ−２−メチル−１−ブテン、１−プロポキシ−２−メチル−１−ブテン、１−イソプロポキシ−２−メチル−１−ブテン、１−ブトキシ−２−メチル−１−ブテン、１−イソブトキシ−２−メチル−１−ブテン、１−（ｔｅｒｔ−ブトキシ）−２−メチル−１−ブテン、１−ペンチルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−イソペンチルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−ネオペンチルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−（ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ）−２−メチル−１−ブテン、１−ヘキシルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−イソヘキシルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−（２−エチルヘキシル）−２−メチル−１−ブテン、１−ヘプチルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−オクチルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−ノニルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−デカニルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−ドデカニルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−オクタデカニルオキシ−２−メチル−１−ブテン、１−メトキシ−２−エチル−１−ブテン、１−エトキシ−２−エチル−１−ブテン、１−プロポキシ−２−エチル−１−ブテン、１−イソプロポキシ−２−エチル−１−ブテン、１−ブトキシ−２−エチル−１−ブテン、１−イソブトキシ−２−エチル−１−ブテン、１−（ｔｅｒｔ−ブトキシ）−２−エチル−１−ブテン、１−ペンチルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−イソペンチルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−ネオペンチルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−（ｔｅｒｔ−ペンチルオキシ）−２−エチル−１−ブテン、１−ヘキシルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−イソヘキシルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−（２−エチルヘキシル）−２−エチル−１−ブテン、１−ヘプチルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−オクチルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−ノニルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−デカニルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−ドデカニルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−オクタデカニルオキシ−２−エチル−１−ブテン、１−（２−メトキシエトキシ）−２−メチルプロペン、１−（２−エトキシエトキシ）−２−メチルプロペン、１−（２−ブトキシエトキシ）−２−メチルプロペン、１−（２−メトキシエトキシ）−２−メチル−１−ブテン、１−（２−エトキシエトキシ）−２−メチル−１−ブテン、１−（２−ブトキシエトキシ）−２−メチル−１−ブテン、１−（２−メトキシエトキシ）−２−エチル−１−ブテン、１−（２−エトキシエトキシ）−２−エチル−１−ブテン、１−（２−ブトキシエトキシ）−２−エチル−１−ブテン等があげられる。対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物は、１種でまたは２種以上組み合わせて用いることができる。
【００２７】
また、重合体（Ｉ）は、一般式（Ｉ）で表される基を有するモノマーを重合することによっても得ることができる。例えば、一般式（Ｉ）で表される基を有するモノマーがビニル系モノマーの場合、重合体（Ｉ）は、一般式（Ｉ）で表される基を有するビニル系モノマーを公知の方法で（例えば、特開平９−５９３２４号公報、特開平７−６２１９０号公報、ＷＯ０１／２３４４７公報、特開昭５４−１１０２４８号公報、特開昭５８−２０９９１号公報等）またはそれらの方法に準じて、重合することにより得ることができる。
【００２８】
重合体（Ｉ）の重量平均分子量は５００〜２００，０００であるのが好ましい。
重合体（Ｉ）は、本発明のカラーフィルターの機械強度を上げるためにTg（ガラス転移温度）が３０℃以上であるのが好ましい。
例えば、重合体（ＩＩ）は、一般式（Ａ）
【００２９】
【化９】
2006251296.tif 000006
【００３０】
（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４は、それぞれ前記と同義である）で表されるビニル系モノマーを、公知の方法で（例えば、特開平９−５９３２４号公報、特開平７−６２１９０号公報、ＷＯ０１／２３４４７公報、特開昭５４−１１０２４８号公報、特開昭５８−２０９９１号公報等）またはそれらの方法に準じて、重合することにより得ることができる。
【００３１】
一般式（Ａ）で表されるビニル系モノマーは、一般式（Ｂ）
【００３２】
【化１０】
2006251296.tif 000007
【００３３】
（式中、Ｒ４は前記と同義である）で表されるビニル系モノマーと対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物とを反応させることにより、得ることができる。一般式（Ｂ）で表されるビニル系モノマーと対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物との反応における反応条件は、前記樹脂Ａと対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物との反応における反応条件と同様の条件に設定することができる。
【００３４】
重合体（ＩＩ）の原料においては、一般式（Ｉ）で表される基を有さないビニル系モノマーが含まれていてよく、重合体（ＩＩ）は、ホモポリマーまたはコポリマーである。
重合体（ＩＩ）の原料において、全ビニル系モノマー中に、一般式（Ａ）で表されるビニル系モノマーが０．２〜９０モル％含まれているのが好ましく、さらには、１０〜６０モル％含まれているのがより好ましい。
【００３５】
一般式（Ｉ）で表される基を有さないビニル系モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート等の炭素数１〜１８のアルコールと（メタ）アクリル酸を原料として得られる（メタ）アクリル酸アルキルエステル類、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、スチレン、α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ジメチルスチレン、ジビニルベンゼン等の芳香族ビニル化合物類、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等のグリコールジ（メタ）アクリレート類、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート等のアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート類、トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、ペンタフルオロプロピル（メタ）アクリレート、パーフルオロシクロヘキシル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、β−（パーフルオロオクチル）エチル（メタ）アクリレート等のフッ素含有ビニル系モノマー、１−[３−（メタ）アクリロキシプロピル]−１，１，３，３，３−ペンタメチルジシロキサン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリス（トリメチルシロキサン）シラン、ＡＫ−５［シリコーンマクロモノマー、東亜合成化学工業（株）製］等のシロキサン含有ビニル系モノマー、ビニルトリメトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルジエトキシシラン等の加水分解性シリル基含有ビニル系モノマー、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルイソブチルエーテル等のビニルエーテル類、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、アマニ油脂肪酸、トール油脂肪酸、脱水ひまし油脂肪酸等の多塩基性不飽和カルボン酸またはそれらの一価もしくは多価アルコールのエステル、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレートメチルクロライド塩、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、アリルアルコール、アリルアルコールエステル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）アクリル酸グリシジル、マクロモノマーＡＳ−６、ＡＮ−６、ＡＡ−６、ＡＢ−６［東亜合成化学工業（株）製］等の公知のビニル系モノマー等があげられる。前記において、（メタ）アクリル酸は、アクリル酸またはメタクリル酸を表し、他の（メタ）アクリル酸誘導体についても同様である。
【００３６】
一般式（Ｉ）で表される基を有さないビニル系モノマーとして、例えば耐エッチング性を高める場合には、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、スチレン等を使用するのが好ましい。
また、重合体（ＩＩ）は、一般式（Ｂ）で表されるビニル系モノマーを公知の方法で（例えば、特開平９−５９３２４号公報、特開平７−６２１９０号公報、ＷＯ０１／２３４４７公報、特開昭５４−１１０２４８号公報、特開昭５８−２０９９１号公報等）またはそれらの方法に準じて、重合させ、さらに得られた重合体と対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物とを反応させることにより得ることもできる。該反応における反応条件は、前記樹脂Ａと対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物との反応における反応条件と同様の条件に設定することができる。また、対応するアルケニルエーテルとしては、前記と同様のものがあげられる。重合体（ＩＩ）の原料は、一般式（Ｂ）で表されるビニル系モノマー以外のビニル系モノマーを含んでいてもよい。
【００３７】
重合体（ＩＩ）の重量平均分子量は、５００〜２００，０００であるのが好ましく、１，０００〜１５０，０００であるのがより好ましい。
重合体（ＩＩＩ）は、ヒドロキシスチレンを対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物と反応させた後、得られる一般式（Ｉ）で表される基を有するモノマーを公知の方法で（例えば、特開平９−５９３２４号公報、特開平７−６２１９０号公報、ＷＯ０１／２３４４７公報、特開昭５４−１１０２４８号公報、特開昭５８−２０９９１号公報等）またはそれらの方法に準じて、重合させることにより得ることができる。ヒドロキシスチレンと対応するアルケニルエーテルとの反応における反応条件は、前記樹脂Ａと対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物との反応における反応条件と同様に設定することができる。また、対応するアルケニルエーテルとしては、前記と同様のものがあげられる。
【００３８】
重合体（ＩＩＩ）の原料においても、一般式（Ｉ）で表される基を有さないビニル系モノマーが含まれていてもよく、重合体（ＩＩＩ）は、ホモポリマーまたはコポリマーである。一般式（Ｉ）で表される基を有さないビニル系モノマーとしては、前記と同様のものがあげられる。
重合体（ＩＩＩ）の原料において、全ビニル系モノマー中に、一般式（Ｉ）で表される基を有するビニル系モノマーが０．２〜９０モル％含まれているのが好ましく、さらには、１０〜６０モル％含まれているのがより好ましい。
【００３９】
また、重合体（ＩＩＩ）は、例えば、一般式（Ｖ）
【００４０】
【化１１】
2006251296.tif 000008
【００４１】
で表される構造単位を含む樹脂と対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物とを反応させることによっても得ることができる。
一般式（Ｖ）で表される構造単位を含む樹脂としては、例えば、ポリヒドロキシスチレンまたはヒドロキシスチレンと他のビニル系モノマーとの共重合体等があげられる。
一般式（Ｖ）で表される構造単位を含む樹脂と対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物との反応における反応条件は、前記樹脂Ａと対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物との反応における反応条件と同様の条件に設定することができる。
【００４２】
重合体（ＩＩＩ）の重量平均分子量は、５００〜２００，０００であるのが好ましく、１，０００〜５０，０００であるのがより好ましい。
重合体（ＩＶ）は、例えば、一般式（Ｃ）
【００４３】
【化１２】
2006251296.tif 000009
【００４４】
（式中、Ｒ５、Ｒ６およびＲ７は、それぞれ前記と同義である）で表される構造単位を含む樹脂と対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物と反応させることにより得ることができる。一般式（Ｉ）で表される構造単位を含む樹脂と対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物との反応における反応条件は、前記樹脂Ａと対応するアルケニルエーテルまたはそのハロゲン化物との反応における反応条件と同様の条件に設定することができる。
【００４５】
一般式（Ｃ）で表される構造単位を含む樹脂は、その多くは市販品として入手可能であるが、例えば、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール、２，３−キシレノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノール、２，６−キシレノール、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール、２，３，４−トリメチルフェノール、２，３，５−トリメチルフェノール、３，４，５−トリメチルフェノール等のフェノール類と、例えば、ホルムアルデヒド、ベンズアルデヒド、フルフラル、アセトアルデヒド等のアルデヒド類とを酸性触媒（例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸等の無機酸、ｐ−トルエンスルホン酸等の有機酸等）の存在下、重縮合して製造してもよい。前記のフェノール類およびアルデヒド類はそれぞれ単独でまたは２種以上組み合わせて用いることができる。
【００４６】
また、アルデヒド類の使用量は、フェノール類の総量１モルに対し、０．７〜３モルであるのが好ましく、０．７５〜１．３０モルであるのがより好ましい。
重合体（ＩＶ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５００〜２００，０００であるのが好ましく、１，０００〜５０，０００であるのがより好ましい。
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型カラーレジスト組成物に含有される放射線の照射により酸を発生する化合物としては、波長３００ｎｍ以上の放射線の照射により酸を発生する化合物が好ましい。
【００４７】
放射線の照射により酸を発生する化合物としては、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニルジアゾメタン、Ｎ−スルホニルオキシイミノまたはイミド型酸発生剤、ベンゾインスルホネート型光酸発生剤、ピロガロールトリスルホネート型光酸発生剤、ニトロベンジルスルホネート型光酸発生剤、スルホン型光酸発生剤、グリオキシム誘導体型の光酸発生剤等があげられ、中でも、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニルジアゾメタン、Ｎ−スルホニルオキシイミノまたはイミド型酸発生剤等が好ましい。これらは単独でまたは２種以上にて混合して用いることができる。
【００４８】
スルホニウム塩は、スルホニウムカチオンとスルホネートの塩である。スルホニウムカチオンとしては、例えば、トリフェニルスルホニウム、（４−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）ジフェニルスルホニウム、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）フェニルスルホニウム、トリス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）スルホニウム、（３−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）ジフェニルスルホニウム、ビス（３−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）フェニルスルホニウム、トリス（３−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）スルホニウム、（３，４−ジｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）ジフェニルスルホニウム、ビス（３，４−ジｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）フェニルスルホニウム、トリス（３，４−ジｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）スルホニウム、ジフェニル（４−チオフェノキシフェニル）スルホニウム、（４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルオキシフェニル）ジフェニルスルホニウム、トリス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルオキシフェニル）スルホニウム、（４−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）ビス（４−ジメチルアミノフェニル）スルホニウム、トリス（４−ジメチルアミノフェニル）スルホニウム、２−ナフチルジフェニルスルホニウム、ジメチル−２−ナフチルスルホニウム、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウム、４−メトキシフェニルジメチルスルホニウム、トリメチルスルホニウム、２−オキソシクロヘキシルシクロヘキシルメチルスルホニウム、トリナフチルスルホニウム、トリベンジルスルホニウム等があげられる。スルホネートとしては、例えば、トリフルオロメタンスルホネート、ノナフルオロブタンスルホネート、ヘプタデカフルオロオクタンスルホネート、２，２，２−トリフルオロエタンスルホネート、ペンタフルオロベンゼンスルホネート、４−トリフルオロメチルベンゼンスルホネート、４−フルオロベンゼンスルホネート、トルエンスルホネート、ベンゼンスルホネート、４−（４−トルエンスルホニルオキシ）ベンゼンスルホネート、ナフタレンスルホネート、カンファースルホネート、オクタンスルホネート、ドデシルベンゼンスルホネート、ブタンスルホネート、メタンスルホネート等があげられる。
【００４９】
ヨードニウム塩は、ヨードニウムカチオンとスルホネートの塩である。ヨードニウムカチオンとしては、例えば、ジフェニルヨードニウム、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム、（４−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）フェニルヨードニウム、（４−メトキシフェニル）フェニルヨードニウム等のアリールヨードニウムカチオン等があげられる。スルホネートとしては、例えば、トリフルオロメタンスルホネート、ノナフルオロブタンスルホネート、ヘプタデカフルオロオクタンスルホネート、２，２，２−トリフルオロエタンスルホネート、ペンタフルオロベンゼンスルホネート、４−トリフルオロメチルベンゼンスルホネート、４−フルオロベンゼンスルホネート、トルエンスルホネート、ベンゼンスルホネート、４−（４−トルエンスルホニルオキシ）ベンゼンスルホネート、ナフタレンスルホネート、カンファースルホネート、オクタンスルホネート、ドデシルベンゼンスルホネート、ブタンスルホネート、メタンスルホネート等があげられる。
【００５０】
スルホニルジアゾメタンとしては、例えば、ビス（エチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（１−メチルプロピルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（２−メチルプロピルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（１，１−ジメチルエチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（シクロヘキシルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（パーフルオロイソプロピルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（フェニルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（４−メチルフェニルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（２，４−ジメチルフェニルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（２−ナフチルスルホニル）ジアゾメタン、（４−メチルフェニル）スルホニルベンゾイルジアゾメタン、（ｔｅｒｔ−ブチルカルボニル）−（４−メチルフェニルスルホニル）ジアゾメタン、（２−ナフチルスルホニル）ベンゾイルジアゾメタン、（４−メチルフェニルスルホニル）−（２−ナフトイル）ジアゾメタン、メチルスルホニルベンゾイルジアゾメタン、（ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル）−（４−メチルフェニルスルホニル）ジアゾメタン等のビススルホニルジアゾメタン、スルホニルカルボニルジアゾメタン等があげられる。
【００５１】
Ｎ−スルホニルオキシイミノ型光酸発生剤としては、例えば、［５−（４−メチルフェニルスルホニルオキシイミノ）−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン］−（２−メチルフェニル）アセトニトリル、（５−プロピルスルホニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）アセトニトリル、（５−カンファースルホニルオキシイミノ−５Ｈ−チオフェン−２−イリデン）−（２−メチルフェニル）アセトニトリル、α−（９−カンファースルホニルオキシイミノ）−４−メトキシベンゼンアセトニトリル、α−（４−メチルフェニルスルホニルオキシイミノ）ベンゼンアセトニトリル、α−（４−メチルフェニルスルホニルオキシイミノ）−４−メトキシベンゼンアセトニトリル等があげられる。
【００５２】
Ｎ−スルホニルオキシイミド型光酸発生剤としては、例えば、コハク酸イミド、ナフタレンジカルボン酸イミド、フタル酸イミド、シクロヘキシルジカルボン酸イミド、５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸イミド、７−オキサビシクロ［２．２．１］−５−ヘプテン−２，３−ジカルボン酸イミド等のイミド骨格とトリフルオロメタンスルホネート、ノナフルオロブタンスルホネート、ヘプタデカフルオロオクタンスルホネート、２，２，２−トリフルオロエタンスルホネート、ペンタフルオロベンゼンスルホネート、４−トリフルオロメチルベンゼンスルホネート、４−フルオロベンゼンスルホネート、トルエンスルホネート、ベンゼンスルホネート、ナフタレンスルホネート、カンファースルホネート、オクタンスルホネート、ドデシルベンゼンスルホネート、ブタンスルホネート、メタンスルホネート等の組み合わせからなる化合物等があげられる。
【００５３】
ベンゾインスルホネート型光酸発生剤としては、例えば、ベンゾイントシレート、ベンゾインメシレート、ベンゾインブタンスルホネート等があげられる。
ピロガロールトリスルホネート型光酸発生剤としては、例えば、ピロガロール、フロログリシン、カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン等のヒドロキシル基の全てをトリフルオロメタンスルホネート、ノナフルオロブタンスルホネート、ヘプタデカフルオロオクタンスルホネート、２，２，２−トリフルオロエタンスルホネート、ペンタフルオロベンゼンスルホネート、４−トリフルオロメチルベンゼンスルホネート、４−フルオロベンゼンスルホネート、トルエンスルホネート、ベンゼンスルホネート、ナフタレンスルホネート、カンファースルホネート、オクタンスルホネート、ドデシルベンゼンスルホネート、ブタンスルホネート、メタンスルホネート等で置換した化合物等があげられる。
【００５４】
ニトロベンジルスルホネート型光酸発生剤としては、例えば、２，４−ジニトロベンジルスルホネート、２−ニトロベンジルスルホネート、２，６−ジニトロベンジルスルホネート等があげられ、スルホネートとしては、具体的には、トリフルオロメタンスルホネート、ノナフルオロブタンスルホネート、ヘプタデカフルオロオクタンスルホネート、２，２，２−トリフルオロエタンスルホネート、ペンタフルオロベンゼンスルホネート、４−トリフルオロメチルベンゼンスルホネート、４−フルオロベンゼンスルホネート、トルエンスルホネート、ベンゼンスルホネート、ナフタレンスルホネート、カンファースルホネート、オクタンスルホネート、ドデシルベンゼンスルホネート、ブタンスルホネート、メタンスルホネート等があげられる。またベンジル側のニトロ基をトリフルオロメチル基で置き換えた化合物も同様に用いることができる。
【００５５】
スルホン型光酸発生剤としては、例えば、ビス（フェニルスルホニル）メタン、ビス（４−メチルフェニルスルホニル）メタン、ビス（２−ナフチルスルホニル）メタン、２，２−ビス（フェニルスルホニル）プロパン、２，２−ビス（４−メチルフェニルスルホニル）プロパン、２，２−ビス（２−ナフチルスルホニル）プロパン、２−メチル−２−（ｐ−トルエンスルホニル）プロピオフェノン、２−（シクロヘキシルカルボニル）−２−（ｐ−トルエンスルホニル）プロパン、２，４−ジメチル−２−（ｐ−トルエンスルホニル）ペンタン−３−オン等があげられる。
【００５６】
グリオキシム誘導体型の光酸発生剤としては、例えば、ビス−ｏ−（ｐ−トルエンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｐ−トルエンスルホル）−α−ジフェニルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｐ−トルエンスルホニル）−α−ジシクロヘキシルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｐ−トルエンスルホニル）−２，３−ペンタンジオングリオキシム、ビス−ｏ−（ｐ−トルエンスルホニル）−２−メチル−３，４−ペンタンジオングリオキシム、ビス−ｏ−（ｎ−ブタンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｎ−ブタンスルホニル）−α−ジフェニルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｎ−ブタンスルホニル）−α−ジシクロヘキシルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｎ−ブタンスルホニル）−２，３−ペンタンジオングリオキシム、ビス−ｏ−（ｎ−ブタンスルホニル）−２−メチル−３，４−ペンタンジオングリオキシム、ビス−ｏ−（メタンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（トリフルオロメタンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（１，１，１−トリフルオロエタンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｔｅｒｔ−ブタンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（パーフルオロオクタンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（シクロヘキシルスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（ベンゼンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｐ−フルオロベンゼンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルベンゼンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（キシレンスルホニル）−α−ジメチルグリオキシム、ビス−ｏ−（カンファースルホニル）−α−ジメチルグリオキシム等があげられる。
【００５７】
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物において、放射線の照射により酸を発生する化合物の含有量としては、重合体（Ｉ）１００重量部に対して０．１〜２０重量部が好ましく、１〜１０重量部がより好ましい。上記放射線の照射により酸を発生する化合物は単独でまたは２種以上混合して用いてもよい。
さらに、本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、光増感剤、例えば、アントラセン類、アントラキノン類、クマリン類、ピロメテン類等の色素を必要に応じて、含有していてもよい。
【００５８】
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、硬化剤を含有しているのが好ましい。硬化剤の配合により、例えば、該組成物を用いてカラーフィルターを製造する際に、露光工程、または必要に応じて実施される加熱工程によってレジスト膜中で発生するカルボキシル基、水酸基またはアミノ基と硬化剤との反応により架橋が起こり、得られるカラーフィルターの機械強度がより向上する。
【００５９】
硬化剤としては、カルボキシル基、水酸基またはアミノ基と化学結合を形成しうる官能基を有する化合物であれば特には限定されないが、カルボキシル基と化学結合を形成しうる官能基を有する化合物としてはエポキシ基またはオキサゾリニル基を有する化合物が、水酸基またはアミノ基と化学結合を形成しうる官能基を有する化合物としてはエポキシ基、アルコキシシリル基、またはイソシアナート基もしくはブロックイソシアナート基を有する化合物が好ましく使用される。
【００６０】
エポキシ基を有する化合物としては、例えば、ｐ−グリシジルオキシスチレン、ｐ−グリシジルオキシ−α−メチルスチレン、ｐ−（３，４−エポキシシクロヘキシルメチルオキシ）スチレン、ｐ−（３，４−エポキシシクロヘキシルメチルオキシ）−α−メチルスチレン、グリシジル（メタ）アクリレート、グリシジルエチレン、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルエチレン、グリシジルビニルエーテル、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルビニルエーテル、グリシジルアリルエーテル、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアリルエーテル等のエポキシ基を有するビニル系モノマー含む原料を重合させて得られるビニル系ポリマー、レゾルシノール、ハイドロキノン、ピロカテコール、ビスフェノールＡ、ジヒドロキシジフェニルメタン（ビスフェノールＦ）、ビスフェノールＳ、テトラブロモビスフェノールＡ、１，３−ビス（４−ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、４，４’−ジヒドロキシ−３，３’−ジメチルジフェニルメタン、４，４’−ジヒドロキシベンゾフェノン、トリス（４−ヒドロキシフェニル）メタン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）エーテル、ノボラックフェノール、ノボラッククレゾール、ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（３，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）スルホンまたは前記化合物の水素化もしくはハロゲン化物等のフェノール化合物とエピクロロヒドリンとを反応させて得られるグリシジルエーテル、一般式（ＶＩ）
【００６１】
【化１３】
2006251296.tif 000010
【００６２】
［式中、ｍは０〜４０の整数を表し、Ｒ８、Ｒ１０、Ｒ１１およびＲ１３は同一または異なって、ハロゲン置換もしくは非置換のアリーレン、またはハロゲン置換もしくは非置換のシクロアルキレンを表し、Ｒ９およびＲ１２は同一または異なって、メチレン、Ｃ（ＣＨ３）２、酸素原子、ＣＯ、硫黄原子またはＳＯ２を表す］で表される化合物等があげられる。一般式（ＶＩ）中の各基の定義において、ハロゲン置換アリーレンおよびハロゲン置換シクロアルキレンにおけるハロゲンは、それぞれ前記ハロゲンと同義であり、その置換数は、好ましくは１〜５である。アリーレンとしては、前記アリールから水素原子を１つ除去したもの等があげられ、シクロアルキレンとしては、前記シクロアルキルから水素原子を１つ除去したもの等があげられる。前記のエポキシ基を有する化合物は、単独でまたは２種以上組み合わせて使用することができる。
【００６３】
オキサゾリニル基を有する化合物としては、例えば、１，２−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）エタン、１，４−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ブタン、１，６−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ヘキサン、１，８−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）オクタン、１，４−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）シクロヘキサン等のアルキレンまたはシクロアルキレンにオキサゾリニル基が結合したオキサゾリニル化合物、１，２−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ベンゼン、１，３−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ベンゼン、１，４−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ベンゼン、１，２−ビス（５−メチル−２−オキサゾリン−２−イル）ベンゼン、１，３−ビス（５−メチル−２−オキサゾリン−２−イル）ベンゼン、１，４−ビス（５−メチル−２−オキサゾリン−２−イル）ベンゼン等の芳香族環に２個のオキサゾリニル基が結合したオキサゾリニル化合物、２，２’−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）、２，２’−ビス（４−メチル−２−オキサゾリニル）、２，２’−ビス（５−メチル−２−オキサゾリニル）等のビス（２−オキサゾリニル）化合物、ヒドロキシアルキル−２−オキサゾリンと多価イソシアナート化合物との反応により得られる多価オキサゾリニル化合物、２−ビニル−２−オキサゾリン−２−イル−ビニル−４−メチル−２−オキサゾリン−２−イル−ビニル−５−メチル−２−オキサゾリン−２−イル−イソプロペニル−２−オキサゾリン−２−イル−イソプロペニル−４−メチル−２−オキサゾリン−２−イル−イソプロペニル−５−エチル−２−オキサゾリニル等を含む原料を重合して得られるホモポリマーまたはコポリマー、ＣＸ−ＲＳ−１２００、ＣＸ−ＲＳ−３２００［いずれも（株）日本触媒製］等の市販されているオキサゾリニル基を有する化合物等があげられる。
【００６４】
アルコキシシリル基を有する化合物としては、例えば、テトラメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、１，４−ビス（トリメトキシシリル）ブタン、１，４−ビス（トリエトキシシリル）ブタン、１−（メチルジメトキシシリル）−４−（トリメトキシシリル）ブタン、１−（メチルジエトキシシリル）−４−（トリエトキシシリル）ブタン、１，４−ビス（メチルジメトキシシリル）ブタン、１，４−ビス（メチルジエトキシシリル）ブタン、１，５−ビス（トリメトキシシリル）ペンタン、１，５−ビス（トリエトキシシリル）ペンタン、１，４−ビス（トリメトキシシリル）ペンタン、１，４−ビス（トリエトキシシリル）ペンタン、１−（メチルジメトキシシリル）−５−（トリメトキシシリル）ペンタン、１−（メチルジエトキシシリル）−５−（トリエトキシシリル）ペンタン、１，５−ビス（メチルジメトキシシリル）ペンタン、１，５−ビス（メチルジエトキシシリル）ペンタン、１，６−ビス（トリメトキシシリル）ヘキサン、１，６−ビス（トリエトキシシリル）ヘキサン、１，４−ビス（トリメトキシシリル）ヘキサン、１，５−ビス（トリメトキシシリル）ヘキサン、２，５−ビス（トリメトキシシリル）ヘキサン、１−（メチルジメトキシシリル）−６−（トリメトキシシリル）ヘキサン、１−（フェニルジエトキシシリル）−６−（トリエトキシシリル）ヘキサン、１，６−ビス（メチルジメトキシシリル）ヘキサン、１，７−ビス（トリメトキシシリル）ヘプタン、２，５−ビス（トリメトキシシリル）ヘプタン、２，６−ビス（トリメトキシシリル）ヘプタン、１，８−ビス（トリメトキシシリル）オクタン、２，５−ビス（トリメトキシシリル）オクタン、２，７−ビス（トリメトキシシリル）オクタン、１，９−ビス（トリメトキシシリル）ノナン、２，７−ビス（トリメトキシシリル）ノナン、１，１０−ビス（トリメトキシシリル）デカン、３，８−ビス（トリメトキシシリル）デカン等の多官能アルコキシシリル化合物、３−アクリロイルオキシプロピルジメトキシメチルシラン、３−アクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルジメトキシメチルシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルジエトキシメチルシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン等のアクリルまたはメタクリルモノマーと他の共重合可能なモノマーとの共重合体等があげられる。
【００６５】
イソシアナート基もしくはブロックイソシアナート基を有する化合物としては、例えば、トリレンジイソシアナート（ＴＤＩ）、ジフェニルメタンジイソシアナート（ＭＤＩ）、ポリメリックＭＤＩ、ジアニシジンジイソシアナート、ジフェニルエーテルジイソシアナート、オルソトリジンジイソシアナート、ナフタレンジイソシアナート、トリフェニルメタントリイソシアナート、トリイソシアナートフェニルチオホスフェート、ヘキサメチレンジイソシアナート（ＨＭＤＩ）、イソフォロンジイソシアナート（ＩＰＤＩ）、リジンジイソシアナート（ＬＤＩ）、リジントリイソシアナート（ＬＴＩ）、メタキシリレンジイソシアナート（ＭＸＤＩ）、２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアナート、ダイマー酸ジイソシアナート、イソプロピリデンビス−４−シクロヘキシルジイソシアナート、メチルシクロヘキサンジイソシアナート、トリレンジジイソシアナートとトリメチロールプロパンとの付加体、ヘキサメチレンジイソシアナートと水との付加体、キシリレンジイソシアナートとトリメチロールプロパンとの付加体、２−（メタ）アクロイルエチルイソシアナートと他の共重合可能なモノマーとの共重合体等、および上記化合物中のイソシアネート基をブロック剤と反応させたブロックイソシアナート化合物等があげられる。ブロック剤としては、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール、ｐ−エチルフェノール、ｏ−イソプロピルフェノール、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、ｐ−ｔｅｒｔ−オクチルフェノール、チモール、ｐ−ナフトール、ｐ−ニトロフェノール、ｐ−クロロフェノール等のフェノール系；メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルカルビトール、ベンジルアルコール、フェニルセロソルブ、フルフリルアルコール、シクロヘキサノール等のアルコール系；マロン酸ジメチル、アセト酢酸エチル等の活性メチレン系；ブチルメルカプタン、チオフェール、ｔｅｒｔ−ドデシルメルカプタン等のメルカプタン系；アセトアニリド、アセトアニシジド、酢酸アミド、ベンズアミド等の酸アミド系；コハク酸イミド、マレイン酸イミド等のイミド系；ジフェニルアミン、フェニルナフチルアミン、アニリン、カルバゾール等のアミン系；イミダゾール、２−エチルイミダゾール等のイミダゾール系；尿素、チオ尿素、エチレン尿素等の尿素系；Ｎ−フェニルカルバミン酸フェニル、２−オキサゾリドン等のカルバミン酸塩系；エチレンイミン等のイミン系；ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、メチルエチルケトオキシム、メチルイソブチルケトオキシム、シクロヘキサノンオキシム等のオキシム系；重亜硫酸ソーダ、重亜硫酸カリ等の亜硫酸塩系；ε−カプロラクタム、δ−バレロラクタム、γ−ブチロラクタム、β−プロピオラクタム等のラクタム系等のものがあげられ、特に好ましいのはフェノール系、ラクタム系、アルコール系またはオキシム系のものである。
【００６６】
硬化剤は、カルボキシル基、水酸基またはアミノ基／カルボキシル基、水酸基またはアミノ基と化学結合を形成しうる官能基の比が、９９．５／０．５〜１／９９となるように使用されるのが好ましく、さらには７５／２５〜５／９５となるように使用されるのが好ましく、６０／４０〜４０／６０となるように使用されるのがより好ましい。
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物に含有される着色剤は、有機着色剤でも無機着色剤でも構わない。着色剤は天然色素であっても合成色素であっても構わない。有機着色剤は、顔料、染料、色素であってもよい。無機着色剤は、金属酸化物、金属錯塩等の無機顔料でもよい。かかる着色剤の中でも、有機着色剤、特に有機顔料が好ましく用いられる。
【００６７】
有機顔料として例えば、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−３、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１２、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１３、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１４、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１５、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１６、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１７、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−２０、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−２４、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−３１、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−５３、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−８３、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−８６、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−９３、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−９４、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１０９、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１１０、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１１７、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１２５、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１２８、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１３７、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１３８、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１３９、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１４７、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１４８、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１５０、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１５３、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１５４、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１６６、Ｃ.Ｉ.ピグメントイエロ−１７３等の黄色顔料、
Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ１３、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ３１、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ３６、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ３８、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ４０、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ４２、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ４３、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ５１、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ５５、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ５９、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ６１、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ６４、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ６５、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ７１、Ｃ.Ｉ.ピグメントオレンジ７３等のオレンジ色の顔料、
Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド９、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド９７、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１０５、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１２２、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１２３、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１４４、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１４９、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１６６、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１６８、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１７６、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１７７、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１８０、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド１９２、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド２１５、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド２１６、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド２２４、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド２４２、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド２５４、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド２６４、Ｃ.Ｉ.ピグメントレッド２６５等の赤色顔料、
Ｃ.Ｉ.ピグメントブルー１５、Ｃ.Ｉ.ピグメントブルー１５：３、Ｃ.Ｉ.ピグメントブルー１５：４、Ｃ.Ｉ.ピグメントブルー１５：６、Ｃ.Ｉ.ピグメントブルー６０等の青色顔料、
Ｃ.Ｉ.ピグメントバイオレット１、Ｃ.Ｉ.ピグメントバイオレット１９、Ｃ.Ｉ.ピグメントバイレット２３、Ｃ.Ｉ.ピグメントバイレット２９、Ｃ.Ｉ.ピグメントバイオレット３２、Ｃ.Ｉ.ピグメントバイレット３６、Ｃ.Ｉ.ピグメントバイオレット３８等のバイオレット色顔料、
Ｃ.Ｉ.ピグメントグリーン７、Ｃ.Ｉ.ピグメントグリーン３６等の緑色顔料、
Ｃ.Ｉ.ピグメントブラウン２３、Ｃ.Ｉ.ピグメントブラウン２５等のブラウン色顔料、
Ｃ.Ｉ.ピグメントブラック７、Ｃ.Ｉ.ピグメントブラック７等の黒色顔料等があげられる。これらの顔料はそれぞれ単独で用いても、２種以上混合して用いても構わない。
【００６８】
かかる有機顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体等を用いた表面処理、高分子化合物等による顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法等による微粒化処理、不純物を除去するための有機溶剤、水等による洗浄処理等が施されいても構わない。当該有機顔料の粒子径はおよそ１０〜１５０ｎｍであるのが好ましい。
【００６９】
着色剤の含有量は、本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物に含まれる揮発成分（溶剤）が揮発した後の固形分に対しての質量分率で通常５〜６０％であるのが好ましく、さらには１０〜５５％であるのがより好ましい。
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物に含有される有機溶剤としては、例えば、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン等のケトン類、３−メトキシブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコール−ｔｅｒｔ−ブチルエーテルメチルエーテル（１−ｔｅｒｔ−ブトキシ−２−メトキシエタン）、エチレングリコール−ｔｅｒｔ−ブチルエーテルエチルエーテル（１−ｔｅｒｔ−ブトキシ−２−エトキシエタン）等の直鎖または分枝状のエーテル類、ジオキサン等の環状エーテル類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、乳酸エチル、ピルビン酸エチル、酢酸ブチル、メチル−３−メトキシプロピオネート、エチル−３−エトキシプロピオネート、酢酸ｔｅｒｔ−ブチル、プロピオン酸ｔｅｒｔ−ブチル、β−メトキシイソ酪酸メチル等のエステル類、キシレン、トルエン等の芳香族系溶剤等があげられる。これらの中では、レジスト成分の溶解性、安全性が優れているプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましく使用される。なお、上記有機溶剤は、単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。その含有量は、本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物中、０．１〜８０重量％であるのが好ましい。
【００７０】
さらに本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、例えば、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、酢酸フェニルセロソルブ等の高沸点溶剤を含有していてもよい。
【００７１】
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、塩基性化合物を含有しているのが好ましい。塩基性化合物の配合により、例えば、レジスト膜中での酸の拡散速度が抑制されて解像度がより向上し、露光後の感度変化が抑制されたり、基板や環境依存性が少なくなり、露光余裕度やパターンプロファイル等がより向上する。
塩基性化合物としては、例えば、第一級、第二級または第三級の脂肪族アミン類、混成アミン類、芳香族アミン類、複素環アミン類、カルボキシル基を有する含窒素化合物、スルホニル基を有する含窒素化合物、ヒドロキシフェニル基を有する含窒素化合物、アルコール性含窒素化合物、アミド誘導体、イミド誘導体等があげられる。
【００７２】
具体的には、第一級の脂肪族アミン類としては、アンモニア、メチルアミン、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、イソブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔｅｒｔ−ブチルアミン、ペンチルアミン、ｔｅｒｔ−アミルアミン、シクロペンチルアミン、ヘキシルアミン、シクロヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ドデシルアミン、セチルアミン、メチレンジアミン、エチレンジアミン、テトラエチレンペンタミン等が例示され、第二級の脂肪族アミン類としては、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジペンチルアミン、ジシクロペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、ジドデシルアミン、ジセチルアミン等が例示され、第三級の脂肪族アミン類としては、トリス（２−メトキシエチル）アミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリペンチルアミン、トリシクロペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、トリドデシルアミン、トリセチルアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルメチレンジアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチルエチレンジアミン等が例示される。
【００７３】
芳香族アミン類および複素環アミン類の具体例としては、アニリン誘導体（例えば、アニリン、Ｎ−メチルアニリン、Ｎ−エチルアニリン、Ｎ−プロピルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、２−メチルアニリン、３−メチルアニリン、４−メチルアニリン、エチルアニリン、プロピルアニリン、トリメチルアニリン、２−ニトロアニリン、３−ニトロアニリン、４−ニトロアニリン、２，４−ジニトロアニリン、２，６−ジニトロアニリン、３，５−ジニトロアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルトルイジン、ジフェニル（ｐ−トリル）アミン、メチルジフェニルアミン、トリフェニルアミン、フェニレンジアミン等）、ナフチルアミン、ジアミノナフタレン、ピロール誘導体（例えば、ピロール、１−メチルピロール、２，４−ジメチルピロール、２，５−ジメチルピロール等）、オキサゾール誘導体（例えば、オキサゾール、イソオキサゾール等）、チアゾール誘導体（例えば、チアゾール、イソチアゾール等）、イミダゾール誘導体（例えば、イミダゾール、４−メチルイミダゾール、４−メチル−２−フェニルイミダゾール等）、ピラゾール誘導体、フラザン誘導体、ピロリン誘導体（例えば、ピロリン、２−メチル−１−ピロリン等）、ピロリジン誘導体（例えば、ピロリジン、Ｎ−メチルピロリジン、ピロリジノン、Ｎ−メチルピロリジン等）、イミダゾリン誘導体、イミダゾリジン誘導体、ピリジン誘導体（例えば、ピリジン、メチルピリジン、エチルピリジン、プロピルピリジン、ブチルピリジン、４−（１−ブチルペンチル）ピリジン、ジメチルピリジン、トリメチルピリジン、トリエチルピリジン、フェニルピリジン、３−メチル−２−フェニルピリジン、４−ｔｅｒｔ−ブチルピリジン、ジフェニルピリジン、ベンジルピリジン、メトキシピリジン、ブトキシピリジン、ジメトキシピリジン、４−ピロリジノピリジン、２−（１−エチルプロピル）ピリジン、アミノピリジン、ジメチルアミノピリジン等）、ピリダジン誘導体、ピリミジン誘導体、ピラジン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾリジン誘導体、ピペリジン誘導体、ピペラジン誘導体、モルホリン誘導体、インドール誘導体、イソインドール誘導体、インダゾール誘導体、インドリン誘導体、キノリン誘導体（例えば、キノリン、３−キノリンカルボニトリル等）、イソキノリン誘導体、シンノリン誘導体、キナゾリン誘導体、キノキサリン誘導体、フタラジン誘導体、プリン誘導体、プテリジン誘導体、カルバゾール誘導体、フェナントリジン誘導体、アクリジン誘導体、フェナジン誘導体、１，１０−フェナントロリン誘導体、アデニン誘導体、アデノシン誘導体、グアニン誘導体、グアノシン誘導体、ウラシル誘導体、ウリジン誘導体等が例示される。
【００７４】
さらに、カルボキシル基を有する含窒素化合物としては、例えば、アミノ安息香酸、インドールカルボン酸、アミノ酸またはアミノ酸誘導体（例えば、ニコチン酸、アラニン、アルギニン、アスパラギン酸、グルタミン酸、グリシン、ヒスチジン、イソロイシン、グリシルロイシン、ロイシン、メチオニン、フェニルアラニン、スレオニン、リジン、３−アミノピラジン−２−カルボン酸、メトキシアラニン等）等が例示され、スルホニル基を有する含窒素化合物としては、例えば、３−ピリジンスルホン酸、ｐ−トルエンスルホン酸ピリジニウム等が例示され、ヒドロキシフェニル基を有する含窒素化合物等またはアルコール性含窒素化合物としては、例えば、２−ヒドロキシピリジン、アミノクレゾール、２，４−キノリンジオール、３−インドールメタノールヒドレート、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、２，２’−イミノジエタノール、２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、４−（２−ヒドロキシエチル）モルホリン、２−（２−ヒドロキシエチル）ピリジン、１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、１−［２−（２−ヒドロキシエトキシ）エチル］ピペラジン、ピペリジンエタノール、１−（２−ヒドロキシエチル）ピロリジン、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリジノン、３−ピペリジノ−１，２−プロパンジオール、３−ピロリジノ−１，２−プロパンジオール、８−ヒドロキシユロリジン、３−クイヌクリジノール、３−トロパノール、１−メチル−２−ピロリジンエタノール、１−アジリジンエタノール、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）フタルイミド、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）イソニコチンアミド等が例示される。アミド誘導体としては、ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、プロピオンアミド、ベンズアミド等が例示される。イミド誘導体としては、フタルイミド、サクシンイミド、マレイミド等が例示される。
【００７５】
塩基性化合物は、単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができ、その配合量は、重合体（Ｉ）１００重量部に対して０．０１〜５重量部であるのが好ましく、０．０１〜２重量部であるのがより好ましい。
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、塗布性を向上させるため、界面活性剤を含有していてもよい。
【００７６】
界面活性剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステリアルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、エフトップＥＦ３０１、ＥＦ３０３、ＥＦ３５２（いずれもトーケムプロダクツ社製）、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３（いずれも大日本インキ化学工業社製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１（いずれも住友スリーエム社製）、アサヒガードＡＧ７１０、サーフロンＳ−３８１、Ｓ−３８２、ＳＣ１０１、ＳＣ１０２、ＳＣ１０３、ＳＣ１０４、ＳＣ１０５、ＳＣ１０６、サーフィノールＥ１００４，ＫＨ−１０、ＫＨ−２０、ＫＨ−３０、ＫＨ−４０（いずれも旭硝子社製）等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１、Ｘ−７０−０９２、Ｘ−７０−０９３（いずれも信越化学工業社製）、アクリル酸系またはメタクリル酸系ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９５（いずれも共栄社油脂化学工業社製）等があげられる。界面活性剤は、単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができ、その配合量は、重合体（Ｉ）１００重量部に対して０．０１〜２重量部であるのが好ましく、０．１〜１重量部であるのがより好ましい。
【００７７】
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、解像度をより向上させるために、溶解阻止剤を含有していてもよい。
溶解阻止剤としては、分子内にフェノール性ヒドロキシル基を２つ以上有する化合物の該フェノール性ヒドロキシル基の水素原子がｔｅｒｔ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル、ブトキシカルボニルメチル、２−テトラヒドロピラニル、２−テトラヒドロフラニル、エトキシエチル、エトキシプロピル等の酸不安定基により全体として平均１０〜１００モル％の割合で置換された化合物が好ましい。前記の化合物の重量平均分子量は、１００〜１，０００であるのが好ましく、１５０〜８００であるのがより好ましい。溶解阻止剤の配合量は、重合体（Ｉ）１００重量部に対して０．０１〜５０重量部であるのが好ましく、５〜４０重量部であるのがより好ましく、さらには１０〜３０重量部であるのがより好ましく、これらは単独でまたは２種以上を混合して使用できる。
【００７８】
溶解阻止剤としては、例えば、ビス[４−（２’−テトラヒドロピラニルオキシ）フェニル]メタン、ビス[４−（２’−テトラヒドロフラニルオキシ）フェニル]メタン、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）メタン、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル）メタン、ビス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルオキシフェニル）メタン、ビス[４−（１’−エトキシエトキシ）フェニル]メタン、ビス[４−（１’−エトキシプロピルオキシ）フェニル]メタン、２，２−ビス[４’−（２’’−テトラヒドロピラニルオキシ）フェニル]プロパン、２，２−ビス[４’−（２’’−テトラヒドロフラニルオキシ）フェニル]プロパン、２，２−ビス（４’−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４’−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルオキシフェニル）プロパン、２，２−ビス[４’−（１’’−エトキシエトキシ）フェニル]プロパン、２，２−ビス[４’−（１’’−エトキシプロピルオキシ）フェニル]プロパン、４，４−ビス[４’−（２’’−テトラヒドロピラニルオキシ）フェニル]吉草酸ｔｅｒｔ−ブチル、４，４−ビス[４’−（２’’−テトラヒドロフラニルオキシ）フェニル]吉草酸ｔｅｒｔ−ブチル、４，４−ビス（４’−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）吉草酸ｔｅｒｔ−ブチル、４，４−ビス（４’−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル）吉草酸ｔｅｒｔ−ブチル、４，４−ビス（４’−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルオキシフェニル）吉草酸ｔｅｒｔ−ブチル、４，４−ビス[４’−（１’’−エトキシエトキシ）フェニル]吉草酸ｔｅｒｔ−ブチル、４，４−ビス[４’−（１’’−エトキシプロピルオキシ）フェニル]吉草酸ｔｅｒｔ−ブチル、トリス[４−（２’−テトラヒドロピラニルオキシ）フェニル]メタン、トリス[４−（２’−テトラヒドロフラニルオキシ）フェニル）メタン、トリス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）メタン、トリス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル）メタン、トリス（４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルオキシフェニル）メタン、トリス[４−（１’−エトキシエトキシ）フェニル]メタン、トリス[４−（１’−エトキシプロピルオキシ）フェニル]メタン、１，１，２−トリス[４’−（２’’−テトラヒドロピラニルオキシ）フェニル]エタン、１，１，２−トリス[４’−（２’’−テトラヒドロフラニルオキシ）フェニル]エタン、１，１，２−トリス（４’−ｔｅｒｔ−ブトキシフェニル）エタン、１，１，２−トリス（４’−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシフェニル）エタン、１，１，２−トリス（４’−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルオキシフェニル）エタン、１，１，２−トリス[４’−（１’’−エトキシエトキシ）フェニル]エタン、１，１，２−トリス[４’−（１’’−エトキシプロピルオキシ）フェニル]エタン等があげられる。
【００７９】
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、必要に応じて、ハレーションの防止等を目的として、紫外線吸収剤、例えば、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、４−ジメチルアミノ−２’，４’−ジヒドロキシベンゾフェノン、５−アミノ−３−メチル−１−フェニル−４−（４−ヒドロキシフェニルアゾ）ピラゾール、４−ジメチルアミノ−４’−ヒドロキシアゾベンゼン、４−ジエチルアミノ−４’−エトキシアゾベンゼン、４−ジエチルアミノアゾベンゼン、クルクミン、１，７−ビス（３−メトキシ−４−ヒドロキシフェニル）−１，６−ヘプタジエン−３，５−ジオン、５−ヒドロキシ−４−（４−メトキシフェニルアゾ）−３−メチル−１−フェニルピラゾール等を含有していてもよい。紫外線吸収剤は、単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができ、その配合量は、重合体（Ｉ）１００重量部に対して０．０１〜２重量部であるのが好ましく、０．０１〜１重量部であるのがより好ましい。
【００８０】
さらに、本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、必要に応じて保存安定剤、消泡剤等を含有していてもよい。
以下、カラーフィルターを用いた液晶表示装置について説明する。
本発明のカラーフィルターは、例えば、公知の方法（例えば、特開2000-84119号等参照）に準じて、本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物より製造することができる。
【００８１】
図１はカラーフィルターの製造過程の１例を示す説明図である。本発明のカラーフィルターの製造にあたっては、まず、例えば、図１(a)に示すように、ガラス基板上に本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物（以下、カラーレジストと表現することもある）を所望厚さに塗布し、該カラーレジスト内の溶剤を除去すべく加熱ベーキング処理を行う。次いで前記カラーレジスト膜の表面上部に所望の格子パターンを有するマスクパターンの位置決めをし、該マスクパターンを介して前記カラーレジスト膜の表面に光を照射して露光する（図１(b)）。露光波長としては好ましくは、i線（波長365nm）紫外線が用いられる。
【００８２】
この露光により得られたカラーレジスト膜は、マスクパターンによって遮光されなかった部分が硬化する結果、この後に適宜の現像液を用いて現像を行なうと、前記カラーレジスト膜の未露光部分が除去されて、ガラス基板の表面上にはマスクパターンに対応するレジストパターンが形成される（図１(c)）。
ガラス基板上に形成された前記カラーレジストの色以外の所望の色に対応したカラーレジストを再びガラス基板上に所望の厚さに塗布し、該カラーレジスト内の溶剤を除去すべく加熱ベーキング処理を行う（図１(d)）。次いで前記カラーレジスト膜の表面上部に所望の格子パターンを有するマスクパターンの位置決めをし、該マスクパターンを介して前記カラーレジスト膜の表面に光を照射して露光する（図１(e)）。
【００８３】
この露光により得られたカラーレジスト膜は、マスクパターンによって遮光されなかった部分が硬化した結果、この後に現像液を用いて現像を行うと、前記カラーレジスト膜の未露光部分が除去されて、ガラス基板の表面上にはマスクパターンに対応するレジストパターンが形成される（図１(f））。
基板としては前記例として述べたガラス基板以外にシリコンウエハー、セラミック等の平坦な基板があげられ、シリコンウエハーの場合には基板上に電荷結合素子（CCD）、薄膜トランジスタ（TFT）等が設けられていても差し支えない。
【００８４】
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物を用いたレジストパターンの好適な形成方法について、以下に例を示す。
レジストパターン形成の際は、まず、シリコンまたはガラス等の基板上に、本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物をスピンナー、スリットコーター等で塗布し、好ましくは膜厚０．５〜１．５μｍの塗膜を形成する（工程ａ）。
【００８５】
次いで、この塗膜が形成された基板を８０〜１４０℃程度で加熱乾燥（プリべーク）して感光層を形成させる。次いで放射線を発光する光源、例えば低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ等を用い、所望のマスクパターンを介して選択的露光を行う（工程ｂ）。
露光後に、１００〜１４０℃で加熱処理をし、得られたレジスト被覆シリコンまたはガラス基板をアルカリ現像に付することにより、例えば、該シリコンまたはガラス基板に１〜１０質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液のようなアルカリ性水溶液をカーテンフロー方式等により塗布するか、または該シリコンまたはガラス基板をアルカリ現像液に浸漬等し、洗浄、乾燥することにより、レジストパターンを形成することができる（工程ｃ）。
【００８６】
アルカリ現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、コリン、ピロール、ピペリジン等を水に溶解して得られるアルカリ性水溶液等が使用される。また該現像液には、水溶性有機溶媒、例えばメタノール、エタノール等のアルコール類や界面活性剤を適量添加して使用することもできる。
【００８７】
上記工程ａ〜ｃを１回から複数回繰り返すことにより、本発明のカラーフィルターが製造できる。また、工程ｃで得られたレジストパターンに全面露光を施し、１５０℃程度の温度で加熱することで、得られる本発明のカラーフィルターの機械強度を向上させることもできる。また、本発明のカラーフィルターは、保護膜によって覆われていてもよい。
本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物から得られるレジストパターンでは、形状も矩形に形成されるために隣接するパターン間での残渣がほぼ完全に除去できる。従って、本発明のカラーフィルターは、解像度がよく、画像欠陥の発生を有効に防止することができ、高品位の画像表示が可能である。
【００８８】
本発明のカラーフィルターは、液晶表示装置、固体撮像装置等に用いることができる。
なお、以下の実施例においては、本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、液状であるが、本発明のカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物は、フィルム状またはペースト状であってもよい。
以下、参考例、実施例および試験例により、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例等に制限されるものではない。
【００８９】
ここで、参考例における原料の転化率および目的物への選択率は、ガスクロマトグラフィー分析による定量により求めた。該定量においては、島津製作所株式会社製ＧＣ−１４Ａを用い、カラムとしてはヒューレット・パッカード社製ＩＮＮＯＷＡＸ（長さ３０ｍ、径０．２５ｍｍ）を用いた。試料のインジェクション温度および検出器温度はいずれも２００℃であり、カラム温度を５０℃から２００℃まで１０℃／分で昇温することにより分析を行った。ガスクロマトグラフィー分析後の定量は、絶対検量法により行った。
【００９０】
参考例で製造された樹脂の重量平均分子量（ポリスチレン換算）は、以下の条件のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（GPC）で測定した。
（GPC条件）
カラム： TSKgel G4000H、G2000H、GMH［いずれも東ソー（株）製］を直列につないだ。
カラム保持温度： ４０℃
移動相： テトラヒドロフラン（流速１．０ｍｌ／分）
検出器： RI
標準物質： ポリスチレン
［参考例１］  １−メタクリロイルオキシ−１−ｎ−メトキシ−２−メチルプロパンの合成
メタクリル酸８５ｇと１−メトキシ−２−メチルプロペン１２５ｇを１−メトキシ−２−メチルプロペンに対して０．０２モル％のｐ−トルエンスルホン酸一水和物存在下、室温で、２．５時間反応させた。この際、メタクリル酸の転化率は、９０％以上であり、１−メタクリロイルオキシ−１−ｎ−メトキシ−２−メチルプロパンへの選択率は９９％以上であった。反応液を５％炭酸ナトリウム水溶液で中和した後、分液により得られた有機層を減圧濃縮することにより、１−メタクリロイルオキシ−１−ｎ−メトキシ−２−メチルプロパン１３５ｇを取得した。
同定データ
１Ｈ−ＮＭＲスペクトル（４００ＭＨｚ）
測定機器：日本電子  ＧＳＸ−４００
測定溶媒：重クロロホルム
δ （ｐｐｍ）  ６．１９−６．１７（ｍ，１Ｈ）
５．６２−５．６０（ｍ，２Ｈ）
３．４２（ｓ，３Ｈ）
１．９９−１．９６（ｍ，４Ｈ）
０．９６（ｄ，Ｊ＝６．８Ｈｚ，３Ｈ）
０．９５（ｄ，Ｊ＝６．８Ｈｚ，３Ｈ）
［参考例２］
滴下装置、攪拌装置、温度計、冷却管および窒素ガス導入管を備えたフラスコ内にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３１１ｇを仕込み、８０℃に加熱し、窒素雰囲気下にて攪拌しながら、参考例１で得られた１−メタクリロイルオキシ−１−ｎ−メトキシ−２−メチルプロパン１０５．０ｇ、イソボルニルメタクリレート６０．０ｇ、メタクリル酸メチル１３５．０ｇおよびアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）９．５ｇを均一に溶解したものを滴下装置より３時間かけて滴下した。滴下終了後、３０分毎に３回、ＡＩＢＮ／メチルエチルケトン＝０．２ｇ／０．８ｇの混合溶液を添加して、８０℃で３時間熟成し、重合反応を終了した。得られた樹脂溶液は、固形分４９重量％、固形分の重量平均分子量３１，０００であった。樹脂（Ｐ−１）
［参考例３］
市販のポリヒドロキシスチレン（重量平均分子量１９，０００  アルドリッチ社製）１０ｇをテトラヒドロフラン３０ｇに溶解し、１−ｎ−プロポキシ−２−メチルプロペン１１．４ｇを仕込み、ポリヒドロキシスチレンに対して０．０２モル％のｐ−トルエンスルホン酸一水和物存在下、室温で、２時間反応させた。反応液を１重量％炭酸ナトリウム水溶液で中和した後、分液により得られた有機層を減圧濃縮し、再沈精製することにより、目的とする樹脂（Ｐ−２）２０．１ｇを取得した。
［参考例４］
攪拌機、冷却管および温度計を装着したセパラブルフラスコに、 ｍ−クレゾール １２３．２ｇ、３，５−キシレノール ５２．２ｇ、３７重量％ホルムアルデヒド水溶液１３０．３ｇおよび シュウ酸二水和物 ０．７３１ｇを仕込み、セパラブルフラスコを油浴に浸し、内温を１００℃に保ち、攪拌しながら４０分間重縮合を行った後、 ｍ−クレゾール ２７．９ｇおよび ３，５−キシレノール １３．１ｇを加え、さらに１００分間重縮合を行い、樹脂を合成した。反応後、油浴の温度を１８０℃まで上げ、同時に反応容器内の圧力を３０〜４０ｍｍＨｇまで減圧し、水、シュウ酸、ホルムアルデヒド、ｍ−クレゾール、３，５−キシレノール等を除去した。次いで、溶融した樹脂を室温に戻して回収した。この樹脂を、エチルセロソルブアセテートに固形分が２０重量％となるよう溶解したのち、樹脂溶液の重量に対し、２倍量のメタノールおよび等量の水を加えて、攪拌、放置した。２層に分離したのち、樹脂溶液（下層）を取り出し、濃縮・脱水・乾燥して樹脂を回収した。得られた樹脂の重量平均分子量は９，５００であった。得られた樹脂１０ｇおよび１−ｎ−プロポキシ−２−メチルプロペン１０．４ｇを用いて、実施例２と同様の方法で反応させ、目的とする樹脂（Ｐ−３）１９．５ｇを取得した。
［参考例５］硬化剤の合成
参考例２と同様の方法で、ベンジルメタクリレート８０．０ｇ、メタクリル酸メチル６０．０ｇ、グリシジルメタクリレート６０．０ｇおよびアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）１６．５ｇを均一に溶解したものを滴下装置より３時間かけて滴下した。滴下終了後、３０分毎に３回、ＡＩＢＮ／メチルエチルケトン＝０．２ｇ／０．８ｇの混合溶液を添加して、８０℃で３時間熟成し、重合反応を終了した。得られた硬化剤（Ｐ−４）は、固形分５０．２重量％、固形分の重量平均分子量１７，５００であった。
【実施例１】
【００９１】
参考例２で得られた樹脂（Ｐ−１）に、以下の表１のように、光酸発生剤、有機溶剤、塩基性化合物および着色剤を配合し、赤色のレジスト組成物１を調製した。この組成物１を、４インチのシリコンウェハーに、スピンコーター（回転数：２０００ｒｐｍ、３０秒）で塗布し、ホットプレート（１００℃、５分）で前乾燥を行った。得られた塗膜の膜厚はおおよそ、２μｍであった。
【００９２】
次に得られた塗膜を、マスクアライナー（ズース・マイクロテック社製ＭＡ−４）を用いて、Ｌ／Ｓ（ラインアンドスペース）＝５０μｍのマスクを用いて、照射量５０ｍＪ/ｃｍ２のi線に露光した。露光後、ホットプレート（１２０℃、２分）で後乾燥（ポストエクスポージャベーク）した後、２．３８％のＴＭＡＨ水溶液で現像（２５℃、１２０秒）を行い、純水で洗浄することによりカラーフィルターを作製した。
【００９３】
現像工程では残渣を除去するために、ブラシまたはスポンジでシリコンウエハーをこすったり、高圧の現像液をシリコンウエハーに吹きつけることなく現像液にシリコンウエハーを浸漬させた。
【実施例２】
【００９４】
参考例２で得られた樹脂（Ｐ−１）に、以下の表１のように、光酸発生剤、有機溶剤および着色剤を配合し、赤色のレジスト組成物２を調製した。以下、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【実施例３】
【００９５】
参考例２で得られた樹脂（Ｐ−１）に、以下の表１のように、光酸発生剤、有機溶剤、硬化剤（Ｐ−４）および着色剤を配合し、赤色のレジスト組成物３を調製した。以下、実施例１と同様の方法でレジストパターンを形成し、さらに１５０℃で２０分間加熱し、カラーフィルターを作製した
【実施例４】
【００９６】
参考例３で得られた樹脂（Ｐ−２）に、以下の表１のように、光酸発生剤、有機溶剤、塩基性化合物および着色剤を配合し、赤色のレジスト組成物４を調製した。以下、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【実施例５】
【００９７】
参考例４で得られた樹脂（Ｐ−３）に、以下の表１のように、光酸発生剤、有機溶剤、塩基性化合物および着色剤を配合し、赤色のレジスト組成物５を調製した。以下、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【００９８】
【表１】
2006251296.tif 000011
【００９９】
［試験例１］
実施例１〜５で得られたカラーフィルターについて、光学顕微鏡およびＳＥＭ（走査電子顕微鏡）により、前面および断面観察を行い、パターン欠陥評価、残渣評価を行った。これらの評価結果を表２に示す。
パターン欠陥評価：剥落、欠け等のパターン欠陥なしの所望とするポジ型のパターンが得られた場合を○、はがれたり、膨潤や膜べりにより形状がくずれたり、剥落、欠け等のパターン欠陥が発生した場合を×とした。
残渣評価：パターン形成で使用した基板上のレジストパターン間における残渣を金属顕微鏡にて観察した。残渣が生じていない場合を○、レジストパターン間で残渣が発生している場合を×とした。
【０１００】
【表２】
2006251296.tif 000012
【産業上の利用可能性】
【０１０１】
本発明により、残渣が少なく、パターン欠陥の少ないカラーフィルター、該カラーフィルターの製造に用いられるカラーフィルター用化学増幅ポジ型レジスト組成物等が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】（ａ）カラーレジストをガラス基板に塗布したものを示す。（ｂ）カラーレジスト膜にマスクパターンを介して、露光している様子を示す。（ｃ）現像後のレジストパターンを表す。（ｄ）カラーレジストをレジストパターンに塗布したものを示す。（ｅ）カラーレジスト膜にマスクパターンを介して、露光している様子を示す。（ｆ）現像後のレジストパターンを表す。
【符号の説明】
【０１０３】
１、５：カラーレジスト
２：ガラス基板
３、６：マスクパターン
４、７：放射線
【図１】
2006251296.tif 000018