(57)【要約】  【課題】基準マーク作成方法における手間を軽減するとともに、多層構成基板等の多層構成を有する記録媒体への画像記録を行うのに好適な、画像記録位置合わせの精度を向上させ得る画像記録方法とその装置を提供すること。  【解決手段】光ビーム記録ヘッドを用いて、前記画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録方法であって、前記画像記録媒体への画像記録位置を決定するための基準マークを、前記画像記録媒体に記録すべき描画データ、もしくはこの描画データに付随する基準マークの描画データから作成し、この描画データから作成した基準マークと、前記画像記録対象である画像記録媒体から読み取ったマークとを照合して、前記画像記録媒体への画像記録位置を決定することを特徴とする画像記録方法、並びにこれを具体化した装置。【選択図】  図１１
2006251052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録方法であって、
前記画像記録媒体への画像記録位置を決定するための基準マークを、
（ａ）前記画像記録媒体に記録すべき描画データから作成、
（ｂ）前記描画データに付随する、前記基準マークを作成するための他の描画データから作成、もしくは
（ｃ）前記描画データとは別に管理される、前記基準マークを作成するためのさらに他の描画データから作成し、
この基準マークと、前記画像記録対象である画像記録媒体から読み取ったマークとを照合して、前記画像記録媒体への画像記録位置を決定する
ことを特徴とする画像記録方法。
【請求項２】
前記画像記録方法は、光ビームを画像記録媒体の記録面に結像させるための光学系を備えた記録ヘッドを用いて、前記画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録方法であることを特徴とする請求項１に記載の画像記録方法。
【請求項３】
前記描画データから基準マークを作成するに際し、前記画像記録媒体が搬送されることに起因する影響を考慮して前記基準マークを作成するようにした、請求項１または２に記載の画像記録方法。
【請求項４】
画像記録手段を用いて画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録装置であって、
前記画像記録手段に隣接配置され、前記画像記録媒体上に設けられた位置決めマークを読み取るマーク読取手段と、
上位装置から供給される前記画像記録媒体に記録すべき描画データ、もしくはこの描画データに付随する基準マークの描画データから、前記画像記録媒体への画像記録位置を決定するための基準マークを作成する基準マーク作成手段と、
この基準マーク作成手段が作成した基準マークを記憶する基準マーク記憶手段と、
前記マーク読取手段による前記位置決めマークの読み取り結果を、前記基準マーク記憶手段に記憶されている基準マークと照合するマーク照合手段とを有し、
前記基準マーク記憶手段は、前記画像記録媒体に記録すべき描画データ、もしくはこの描画データに付随する基準マークの描画データから作成された基準マークを記憶するものであることを特徴とする画像記録装置。
【請求項５】
前記画像記録装置は、光ビームを画像記録媒体の記録面に結像させるための光学系を備えた記録ヘッドを用いて、前記画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録装置であって、
前記マーク読取手段は、前記記録ヘッドに隣接配置され、前記画像記録媒体上に設けられた位置決めマークを読み取るものであることを特徴とする請求項４に記載の画像記録装置。
【請求項６】
前記基準マーク記憶手段に記憶する、前記描画データから作成された基準マークは、前記画像記録媒体が搬送されることに起因する影響を考慮して作成されたものである、請求項４または５に記載の画像記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ビームを画像記録媒体の記録面へ結像させるための光学系を備えた記録ヘッドを用いて、前記画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録方法とその装置に関し、より具体的には、多層構成基板への画像記録を行うのに好適な、画像記録位置合わせの精度を向上させ得る画像記録方法とその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記記録ヘッドとして、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子（記録素子）を利用し、画像データに応じて変調された光ビームを照射する記録ヘッドを用いて記録媒体へ画像を記録（例えば、感光材料への画像露光）する画像記録装置が種々提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
このＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上にＬ行×Ｍ列の２次元状に配列されたミラーデバイスであり、単一の光源をこのＤＭＤに照射することで、ＤＭＤの分解能に応じた複数の光を独立して変調制御することができる。
【０００４】
一般に、ＤＭＤ等の記録素子は、各行の並び方向と各列の並び方向とが直交するように格子状（マトリクス状）に配列されているが、この記録素子を、走査方向（副走査方向）に対して傾斜させて配置することで、走査時に走査線の間隔が密になり、解像度を上げることができる。
【０００５】
ところで、上記のような複数の光ビームを同時に走査するための走査光学系の形態としては、定盤上を摺動可能な記録ステージを設け、記録媒体を前記記録ステージ上に平面的に位置決めして、前記記録ヘッドから照射される光ビームの発光点の配列方向（ｘ方向）に対して略直交する方向（ｙ方向）に記録ステージを移動（走査）しながら、固定配置された記録ヘッドからの光ビームを照射する構造が好ましい。
【０００６】
この場合、解像度を高くしようとすればするほど、光ビームの走査位置の精度を上げなければならず、記録ステージの移動直進性はもちろん、記録ステージへの記録媒体の位置決めが重要となる。このため、記録ヘッドによる画像記録とは別に、記録媒体に設けた位置決め用のマーク（基準マークまたはアライメントマークと呼ばれるが、以下では、単にマークということにする）を読み取るためのマーク読取手段（例えば、カメラユニット）を配設し、カメラユニットによって読み取ったマークの位置情報に基づいて、電気的に画像記録位置を補正することが必要となる。
【０００７】
また、多層構成を有する記録媒体（いわゆる、多層構成基板）への画像記録を行う場合には、上述のような記録ステージへの記録媒体の位置決めの精度を向上させるとともに、さらに、多層構成基板の各層間における画像記録位置合わせの精度を向上させることが重要となる。
【０００８】
ここで、通常行われる画像記録の手順としては、記録ステージの定盤上での往路移動中にマークを読み取り、復路移動中に画像記録を実行することになる。
【特許文献１】米国特許第００５１３２７２３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述の記録媒体に設けた位置決め用のマークは、マーク読取手段により読み取った多数の画像のうちから、予め登録されている基準マークと照合されて対応が確認されたものが（位置決め用の）マークとして抽出されるものである。そして、この際に用いられる基準マーク、すなわち予め登録されている基準となるマークは、これも前述のカメラユニットによって読み取った画像を用いるのが普通であった。
【００１０】
しかしながら、従来のこのような基準マークの作成方法においては、この基準マークを作成する際に要する手間が大きく、また、作成した画像の信頼性にも問題があった。
すなわち、前述のカメラユニットによって読み取った画像は、被写体である基板表面の状態（反射率，平面度等）により、必ずしも鮮明な画像が得られるとは限らないという問題である。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、従来の基準マーク作成方法における問題を解消し、基準マーク作成に要する手間を軽減可能とする画像記録方法とその装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、多層構成基板等の多層構成を有する記録媒体への画像記録を行うのに好適な、画像記録位置合わせの精度を向上させ得る画像記録方法とその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に係る画像記録方法は、前記画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録方法であって、前記画像記録媒体への画像記録位置を決定するための基準マークを、
（ａ）前記画像記録媒体に記録すべき描画データから作成、
（ｂ）前記描画データに付随する、前記基準マークを作成するための他の描画データから作成、もしくは
（ｃ）前記描画データとは別に管理される、前記基準マークを作成するためのさらに他の描画データから作成し、
この基準マークと、前記画像記録対象である画像記録媒体から読み取ったマークとを照合して、前記画像記録媒体への画像記録位置を決定することを特徴とする。
【００１３】
ここで、画像記録方法は、光ビームを画像記録媒体の記録面に結像させるための光学系を備えた記録ヘッドを用いて、前記画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録方法であることが好ましい（請求項２参照）。
【００１４】
請求項１，２に記載の画像記録方法によれば、基準マークを画像記録媒体に記録すべき描画データ、もしくはこの描画データに付随する基準マークの描画データから作成するようにしたことにより、基準マーク作成方法における手間を軽減可能とする画像記録方法を実現できるという効果が得られる。
【００１５】
また、本発明の請求項３に係る画像記録方法は、請求項１または２に記載の画像記録方法において、前記描画データから基準マークを作成するに際し、前記画像記録媒体が搬送されることに起因する影響を考慮して前記基準マークを作成するようにしたことを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の画像記録方法によれば、画像記録媒体からマークを読み取る際に、記録ヘッドと画像記録媒体とを相対的に移動させて読み取りの高速化を図った場合においても、上記移動に起因する影響を考慮した基準マークを用意しておくことで、読み取ったマークが変形したマークであっても確実に画像記録媒体と記録ヘッドとの相対位置を認識することができるようになる。
【００１７】
一方、本発明の請求項４に係る画像記録装置は、画像記録手段を用いて画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録装置であって、前記画像記録手段に隣接配置され、前記画像記録媒体上に設けられた位置決めマークを読み取るマーク読取手段と、上位装置から供給される前記画像記録媒体に記録すべき描画データ、もしくはこの描画データに付随する基準マークの描画データから、前記画像記録媒体への画像記録位置を決定するための基準マークを作成する基準マーク作成手段と、この基準マーク作成手段が作成した基準マークを記憶する基準マーク記憶手段と、前記マーク読取手段による前記位置決めマークの読み取り結果を、前記基準マーク記憶手段に記憶されている基準マークと照合するマーク照合手段とを有し、前記基準マーク記憶手段は、前記画像記録媒体に記録すべき描画データ、もしくはこの描画データに付随する基準マークの描画データから作成された基準マークを記憶するものであることを特徴とする。
【００１８】
ここで、前記画像記録装置は、光ビームを画像記録媒体の記録面に結像させるための光学系を備えた記録ヘッドを用いて、前記画像記録媒体の記録面に画像を記録する画像記録装置であって、前記マーク読取手段は、前記記録ヘッドに隣接配置され、前記画像記録媒体上に設けられた位置決めマークを読み取るものであることが好ましい。
【００１９】
請求項４，５に記載の画像記録装置によれば、基準マークを画像記録媒体に記録すべき描画データ、もしくはこの描画データに付随する基準マークの描画データから作成するようにしたことにより、基準マーク作成方法における手間を軽減可能とする画像記録装置を実現できるという効果が得られる。
【００２０】
また、本発明の請求項６に係る画像記録装置は、請求項４または５に記載の画像記録装置において、前記基準マーク記憶手段に記憶する、前記描画データから作成された基準マークとして、前記画像記録媒体が搬送されることに起因する影響を考慮して作成されたものを記憶することを特徴とする。
【００２１】
請求項６に記載の画像記録装置によれば、画像記録媒体からマークを読み取る際に、記録ヘッドと画像記録媒体とを相対的に移動させて読み取りの高速化を図った場合においても、上記移動に起因する影響を考慮した基準マークを用意しておくことで、読み取ったマークが変形したマークであっても確実に画像記録媒体と記録ヘッドとの相対位置を認識することができるようになる。
【発明の効果】
【００２２】
以上、説明したように、本発明によれば、従来の基準マーク作成方法における手間を軽減するとともに、多層構成基板等の多層構成を有する画像記録媒体への画像記録を行うのに好適な、画像記録位置合わせの精度を向上させ得る画像記録方法とその装置を提供することができ、作業効率を向上することができるという優れた効果を有する。
【００２３】
また、本発明によれば、上述の効果に加えて、多層構成基板等の多層構成を有する記録媒体への画像記録を行うのに好適な、画像記録位置合わせの精度を向上させ得る画像記録方法とその装置を実現できるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態に係る画像記録方法を適用した画像記録装置を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【００２５】
図１〜図３には、本実施形態に係るフラットベッドタイプの画像記録装置１０が示されている。
本実施形態に係る画像記録装置１０は、棒状の角パイプを枠状に組み付けて構成された直方体形状の枠体１２に各部が収容されて構成されている。なお、枠体１２には、図示されていないがパネルが張り付けられることで、その内外を隔離している。
【００２６】
枠体１２は、背高の筐体部１２Ａと、この筐体部１２Ａの一側面から突出するように設けられたステージ部１２Ｂとから構成されている。このステージ部１２Ｂは、その上面を筐体部１２Ａよりも低位に配設することで、作業者がこのステージ部１２Ｂの前に立ったときに、ほぼ腰の高さの位置となるように構成されている。
【００２７】
また、ステージ部１２Ｂの上面には、開閉蓋１４が設けられている。この開閉蓋１４の筐体部１２Ａ側の一辺には、図示されていない蝶番が取り付けられており、この一辺を中心として開閉動作が可能となっている。開閉蓋１４を開放した状態のステージ部１２Ｂの上面には、露光ステージ１６（図４参照）が露出可能となっている。
【００２８】
露光ステージ１６の下面には、断面略「コ」の字型の脚部１６Ａ（図４参照）が取り付けられており、この脚部１６Ａは、このステージ部１２Ｂから上記筐体部１２Ａまで延設された定盤１８に対して、露光ステージ１６を摺動可能に支持するとともに、互いに平行、かつ定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０を介して支持されている。
【００２９】
ここで、露光ステージ１６は、上記摺動レール２０に支持されることで、ほとんど摩擦抵抗なく（ベアリング等を介している場合は、そのベアリングの転がり抵抗のみで）図１中のｙ方向に摺動可能となっている。また、上記定盤１８の長手方向一端部は上記ステージ部１２Ｂまで至っており、露光ステージ１６がこの位置に位置している状態で、作業者は露光ステージ１６上に感光材料２２を載置あるいは取り出すことができる。
【００３０】
定盤１８は、筐体部１２Ａを構成する角パイプに対して強固に固定された架台２４に支持されており、露光ステージ１６の移動軌跡の基準となっている。また、この定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０の間には、リニアモータ部２６が配設されている。
【００３１】
このリニアモータ部２６は、ステッピングモータの駆動力を応用した直線型の駆動源であり、定盤１８の長手方向に沿って設けられた棒状のステータ部（磁石部）２６Ａ（図２参照）と、露光ステージ１６の下面側に設けられ上記ステータ部２６Ａとは所定の間隔を持って配置されたコイル部２６Ｂとから構成されている。
【００３２】
すなわち、露光ステージ１６は、コイル部２６Ｂへの通電によって発生する磁界とステータ部２６Ａの磁界との磁力作用により駆動力を得て、上記摺動レール２０に沿って定盤１８上を、その長手方向（ｙ方向）に移動するように構成されている。
【００３３】
上述したように、リニアモータの原理はステッピングモータと同様であるため、本実施形態に係る露光ステージ１６は、電気的な制御により、定速性，位置決め精度並びに始動，停止時のトルク変動等について精度の高い駆動制御が可能となっている。
【００３４】
また、リニアモータ部２６には、図示されていないがリニアエンコーダが付設されており、このリニアエンコーダは、露光ステージ１６とともにコイル部２６Ａがステータ部２６Ｂに対してｙ方向へ相対移動する際に、その往復移動方向に対応する極性のパルス信号を移動量に比例するパルス数だけパルスカウンタへ出力する。
【００３５】
露光ステージ１６には、前述のように、感光材料２２がセットされるようになっている。露光ステージ１６には、感光材料２２の載置面に複数の溝（図示は省略されている）が設けられており、感光材料２２が所定位置に位置決めされた状態で、バキュームポンプ等によって溝内を負圧とすることで、感光材料２２を密着・保持させることができる。
【００３６】
露光ステージ１６の、定盤１８上における移動軌跡のほぼ中間位置には、露光ヘッドユニット２８（図５参照）が配設されている。この露光ヘッドユニット２８は、上記定盤１８の幅方向両端部の外側にそれぞれ立設された一対の支柱２９に掛け渡されるように架設されている。すなわち、露光ヘッドユニット２８と定盤１８との間を上記露光ステージ１６が通過するようにゲートが形成されている構成である。
【００３７】
上記露光ヘッドユニット２８は、複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが前記定盤１８の幅方向に沿って配列されて構成されており、上記露光ステージ１６を定速度で移動させながら、所定のタイミングでそれぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａから照射される複数の光ビーム（詳細について後述する）を上記露光ステージ１６上の感光材料２２へ照射することで、感光材料１６を露光することができるようになっている。
【００３８】
図６（Ｂ）に示すように、露光ヘッドユニット２８を構成するヘッドアッセンブリ２８Ａは、ｍ行ｎ列（例えば、２行５列）のマトリックス状に配列されており、これら複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが上記露光ステージ１６の移動方向（副走査方向、図１中のｙ方向）と直交する方向（すなわち、主走査方向、図１中のｘ方向）に配列されている。本実施形態に係る露光ヘッドユニット２８では、感光材料２２の幅との関係で、２行で合計１０個のヘッドアッセンブリ２８Ａが配設されている。
【００３９】
ここで、１つのヘッドアッセンブリ２８Ａによる露光エリア２８Ｂは、副走査方向を短辺とする矩形状で、かつ、副走査方向に対して所定の傾斜角で傾斜しており、露光ステージ１６Ａの移動に伴い、感光材料２２にはヘッドアッセンブリ２８Ａ毎に帯状の露光済み領域が形成される（図６（Ａ）参照）。
【００４０】
図１に示すように、前記筐体部１２Ａ内には、前記定盤１８上の露光ステージ１６の移動を妨げない別の場所に光源ユニット３０が配設されている。この光源ユニット３０には複数のレーザ（半導体レーザ）を収容しており、このレーザから出射する光を図示されていない光ファイバを介して、それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａへ案内している。
【００４１】
それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａは、上記光ファイバによって案内され入射された光ビームを空間光変調素子である図示されていないデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）によってドット単位で制御し、感光材料２２に対してドットパターンを露光する。本実施形態に係る画像記録装置１０では、この複数のドットパターンを用いて、１画素の濃度を表現するようになっている。
【００４２】
図７に示すように、前述した帯状の露光済み領域２８Ｂ（１つのヘッドアッセンブリ２８Ａ）は、二次元配列（例えば４×５）された２０個のドットによって形成される。
【００４３】
また、上記二次元配列のドットパターンは、副走査方向に対して傾斜されていることで、副走査方向に並ぶ各ドットが、副走査方向と交差する方向（主走査方向）に並ぶドット間を通過するようになっており、実質的なドット間ピッチを狭めることができ、高解像度化を図ることができる。なお、上記のようにヘッドアッセンブリ２８Ａの傾斜は、装置の標準解像度の設定によっては、同一走査線上に複数のドットパターンが重複する場合がある。このような場合には、何れか一方のドットパターン（図７では、斜線を施したドットパターン）に対応するＤＭＤを常にオフ状態とすることで、不使用のドットパターンを設ければよい。
【００４４】
ここで、ステージ部１２Ｂにおいて、前記露光ステージ１６上に位置決めされた感光材料２２への露光処理は、前記露光ステージ１６に感光材料２２を載置し、定盤１８上の摺動レール２０に沿って奥側へ移動するとき（往路）ではなく、一旦、定盤１８の奥側端部へ到達して、前記ステージ部１２Ｂへ戻るとき（復路）に実行される。
【００４５】
すなわち、往路走行は、露光ステージ１６上の感光材料２２の位置情報を得るための移動であり、この位置情報を得るためのユニットとして、定盤１８上には、アライメントユニット３２（図８参照）が配設されている。
【００４６】
アライメントユニット３２は、前記露光ヘッドユニット２８よりも往路方向奥側に配設されており、筐体部１２Ａの一部を構成する一対の梁部３４（図８参照）に固定されている。そして、このアライメントユニット３２は、上記一対の梁部３４に固定されるベース部３６と、このベース部３６に対して定盤１８の幅方向へ移動可能な複数（本実施形態に係るアライメントユニット３２では、４台）のカメラ部３８とから構成されている。
【００４７】
カメラ部３８は、それぞれ独立して前記ベース部３６に沿って配設された互いに平行な一対のレール部４０にカメラベース４２を介してｘ方向に摺動可能に取り付けられている。このカメラ部３８は、カメラ本体３８Ａの下面にレンズ部３８Ｂが設けられ、このレンズ部３８Ｂの突出先端部には、リング状のストロボ光源（ＬＥＤストロボ光源）３８Ｃが取り付けられている。
【００４８】
このストロボ光源３８Ｃからの光が、前記露光ステージ１６上の感光材料２２へ照射され、その反射光を、上記レンズ部３８Ｂを介してカメラ本体３８Ａに入力させることで、感光材料２２上のマークＭ（図９（Ａ）参照）を撮影することができる。
【００４９】
上記カメラベース４２は、それぞれ、ボールねじ機構部４４の駆動によって、定盤１８の幅方向（ｘ方向）へ移動可能となっており、前記露光ステージ１６の移動と、このボールねじ機構部４４の駆動力による定盤１８の幅方向への移動とによって、感光材料２２の所望の位置にレンズ部３８Ａの光軸を配置することが可能となっている。すなわち、露光ステージ１６と、感光材料２２とは、作業者が感光材料２２を載置することで、その相対位置関係が決まるため、若干のずれが生じることがある。
【００５０】
そこで、感光材料２２に設けられたマークＭ（図９（Ａ）参照）をカメラ本体３８Ａによって撮影する。この撮影によって上述のずれが認識され、露光ステージ１６と既知の相対関係となっている前記露光ヘッドユニット２８による露光タイミングに補正をかけ、感光材料２２と画像との相対位置を所望の位置としている。
【００５１】
次に、露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２との相対位置関係について、詳細に説明する。
本実施形態に係る画像記録装置１０では、このカメラユニット３２と露光ヘッドユニット２８との相対位置は、当該カメラユニット３２の外観構造と、露光ヘッドユニット２８の外観構造に基づいて、露光ステージ１６が最も短距離の往復移動ですむような配置としている。
【００５２】
図１０（Ａ）は、本実施形態に係る画像記録装置１０の露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２との配置関係を示す概略図である。
ステージ部１２Ｂに位置する露光ステージ１６が定盤１８に沿って往路移動（図１０（Ａ）の右方向）するとき、まず、露光ヘッドユニット２８の下を通過して、カメラユニット３２へと至り、カメラユニット３２へ到達する。このカメラユニット３２を露光ステージ１６の全面が通過までの距離が寸法Ｌ１となる。
【００５３】
一方、図１０（Ｂ）は、往路でカメラユニット３２による撮影が、復路で露光ヘッドユニット１６による露光が行われる系において、通常実施されている配置関係を示す概略図である。
【００５４】
図１０（Ａ）と同様に、ステージ部１２Ｂに位置する露光ステージ１６が定盤１８に沿って往路移動（図１０（Ｂ）の右方向）するとき、まず、カメラユニット３２の下を通過する。これにより、カメラユニット３２による撮影が可能となる。
【００５５】
しかし、復路で露光ヘッドユニット２８による露光を実施するためには、露光ステージ１６の全面が露光ヘッドユニット２８を通過するまで往路を継続しなければならず、結果として露光ステージ１６の移動距離は、寸法Ｌ２となる。
【００５６】
ここで、寸法Ｌ１と寸法Ｌ２との関係は、明らかにＬ１＜Ｌ２であり、本実施形態に係る画像記録装置１０のように、往路で実施するカメラユニット３２を往路移動方向奥側とすることで、露光ステージ１６の移動量を軽減することが可能となっている。
【００５７】
次に、塵埃排除構造について説明する。
図１に示したように、定盤１８における前記露光ヘッドユニット２８を含む奥側は、筐体部１２Ａ内の空間に対してさらに隔離するように、チャンバ４６が設けられている。
【００５８】
すなわち、チャンバ４６内には、露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２が配設され、定盤１８がこのチャンバ４６内から前記ステージ部１２Ｂへ連続されており、露光ステージ２８のみが、チャンバ４６内外を行き来（往路移動および復路移動）する構造となっている。
【００５９】
チャンバ４６の天井部には、送風ダクト４８の一端が取り付けられている。この送風ダクト４８の他端部は、送風機５０のエア排出口に取り付けられており、送風機５０が作動すると、エアが送風ダクト４８を介して上記チャンバ４６内へ送り込まれる構成である。
【００６０】
ここで、チャンバ４６にエアが送り込まれると、チャンバ４６内は正圧となり、唯一の逃げ場、すなわち、露光ステージ１６の移動空間を通って、ステージ部１２Ｂへと流動する。この流動により、最も塵埃を回避するべき、露光ヘッドユニット２８周辺の塵埃を排出することができ、かつ開閉蓋１４の開放時であっても、圧力差によって新たな塵埃の侵入を防止することが可能となっている。
【００６１】
また、本実施形態に係る画像記録装置１０では、前記露光ヘッドユニット２８における露光ステージ１６の往路移動方向手前側、すなわちステージ部１２Ｂに近い側には、定盤１８の幅方向に亘り、除電装置（イオナイザ）５２が配設されている。
この除電装置５２は、中空パイプ状の吹出部５２Ａと、この吹出部５２Ａへイオン化されたエアを供給するイオン発生部５２Ｂと、で構成されており、定盤１８に向けて、イオン化されたエアを吹き出す構造となっている。
【００６２】
より具体的には、イオン発生部５２Ｂでは、アース電極と放電電極との間でコロナ放電が発生することでイオンが生成され、このイオンを送風源によって吹出部５２Ａへ案内し、静電気によって帯電している塵埃と異極のイオンによる中和し除電を行う。
これにより、感光材料２２が載置された露光ステージ１６が定盤１８上を移動するとき、感光材料２２の表面を除電し、静電気によって付着している塵埃を除去すると共に、エアブローで露光ステージ１６の上方空間に浮遊する塵埃を除去することが可能となる。
【００６３】
次に、上記構成の画像記録装置１０におけるアライメントの際に実行される、感光材料２２と、露光ヘッドユニット２８の相対位置関係を把握するための、感光材料２２に付与されたマーク検出制御について説明する。
【００６４】
まず、本発明の特徴的動作である、基準マーク記憶手段としてのマークデータメモリ６８に記憶される基準マークの作成方法について説明する。
前述の通り、マークデータメモリ６８に記憶される基準マークは、画像記録媒体（感光材料）に記録すべき描画データ、もしくはこの描画データに付随する基準マークの描画データから作成されるものである。
【００６５】
ここで、上述の感光材料に記録すべき描画データとは、画像記録装置の前段に配設される、ＣＡＤ（Computer Aided Design ）並びにこれに接続されるＣＡＭ（Computer Aided Manufacture ）システム中のＲＩＰ（Raster Image Processor ）等により、ガーバー・フォーマット等から変換処理され出力される、基板パターン等を主とするラスターデータもしくはビットマップデータである（図１１参照）。
【００６６】
従来は、この描画データは基板パターン等の実際の描画に供されるデータのみが含まれるものであったが、本発明に係る画像記録方法並びにこれを具体化した装置においては、
（ａ）この描画データ中のある種のデータをそのまま基準マークの描画データとして用いる
（ｂ）この描画データ中に基準マークの描画データを追加する、もしくは、
（ｃ）上記描画データとは別に管理される、前記基準マークを作成するためのさらに他の描画データから作成する
という工夫をしたことにより、基準マーク作成のための撮影を排除したものである。
【００６７】
上述の、（ｃ）上記描画データとは別に管理される、前記基準マークを作成するためのさらに他の描画データから作成する場合というのは、例えば、予め基準マークを作成するためのデータを作っておき、記録媒体に記録すべき描画データと基準マーク識別用ＩＤ等の形で扱えるようにしておくことが可能である。
【００６８】
このような目的に使用可能な描画データは、例えば、上述のＣＡＤ並びにＣＡＭシステム中のＲＩＰ等の処理プログラムそのまま（上記（ａ）の場合）、もしくはその一部を変更する（上記（ｂ）の場合）ことにより、容易に、画像記録装置１０に供給することが可能である。
【００６９】
また、後述するように、カメラ部３８の撮影動作中に露光ステージ１６を定盤１８上で往路を定速度移動させる場合（いわゆる、流し撮り方式）においても、その移動速度や撮影時のシャッター速度等から推定される長円形マークＭＬ（図９（Ｂ）参照）を作成するような描画データを供給することにより、これに対応することが可能である。
【００７０】
このような方法により画像記録装置１０に供給された描画データは、カメラユニット３２におけるマーク検出のための制御系の機能ブロック図である、以下に説明する図１２中のマークデータメモリ６８を制御するメモリ制御部６７の制御により、マークデータメモリ６８に記憶され、後述する、露光開始時期補正ルーチン（図１３参照）により読み出されて、マーク画像の照合に供される。
【００７１】
図１２は、カメラユニット３２におけるマーク検出のための制御系の機能ブロック図である。ここでは、カメラユニット３２による撮影動作中に露光ステージ１６を定盤１８上で往路を定速度移動させる場合を例にして説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００７２】
コントローラ部５４のカメラ動作制御部５６では、露光ステージ動作制御信号が入力されると、カメラ部３８に対して起動信号を送出する。この起動信号によりカメラ部３８は起動し撮影待機状態になる。
【００７３】
また、コントローラ部５４のトリガ信号生成部５５では、前述したリニアエンコーダの出力パルスをカウントするパルスカウンタが所定のカウント値をとると（例えば、往路移動する露光ステージ１６に搬送された感光材料２２のマークＭがカメラ部３８の撮影画角内に入った位置に対応するパルス数をカウントした際）、トリガ信号を生成してカメラ動作制御部５６およびストロボ発光制御部５７へ送出する。
【００７４】
このトリガ信号の入力タイミングで、カメラ動作制御部５６ではカメラ部３８に対してタイミング信号を送出し、カメラ部３８は撮影を行う。また、ストロボ発光制御部５７ではストロボ光源３８Ｃに対してタイミング信号を送出し、ストロボ光源３８Ｃはカメラ部３８の撮影動作に連動して発光する。
【００７５】
このように、露光ステージ１６の動作タイミング（移動動作）と、カメラ部３８による撮影タイミングおよびストロボ光源３８Ｃの発光タイミングとは同期がとられている。
また、上記露光ステージ動作制御信号と共に、サイズデータが幅方向位置設定部５８に入力され、この幅方向位置設定部５８により、ボールねじ機構部４４の動作が制御され、カメラ部３８の定盤１８に対する幅方向位置が調整される。
【００７６】
上記カメラ部３８の撮影動作中において、露光ステージ１６は、定盤１８上の往路を定速度移動する。このため、露光ステージ１６上に載置されている感光材料２２に付与されたマークＭ（図９（Ａ）参照）がカメラ部３８によって撮影される。
【００７７】
撮影されたデータは、撮影データ解析部６０へ送出され、撮影データの解析が行わる。基本的には、撮影された画像データはアナログデータ（光電変換直後は、光量が電圧に変換される）であるため、このアナログデータをデジタル画像データに変換し、当該デジタル画像データが位置データと共に数値（濃度値）管理される。
【００７８】
撮影データ解析部６０で解析されたデジタル画像データは、マーク抽出部６２へ送出され、マークを抽出し、マーク照合部６４へ送出する。一方、上記デジタル画像データに対応付けられた位置データは、露光位置補正係数演算部６６へ送出される。
前記マーク照合部６４では、抽出したマークの画像データと、予めマークデータメモリ６８に記憶された基準マークデータ（前述のように、ＣＡＭ側から送付された描画データから作成されたデータ）とを照合し、一致／不一致を示す信号を前記露光位置補正係数演算部６６へ送出する。
【００７９】
露光位置補正係数演算部６６では、照合の結果、一致していると判別されたマークデータに対応する位置データと、本来の（設計上の）マークの位置データとの誤差を認識し、露光位置（露光ステージ１６の移動方向における露光開始位置並びに、露光ステージ１６の幅方向におけるドットのシフト位置）の補正係数を演算し、露光制御系へ送出する。そしてこの補正係数に基づき、感光材料２２上に記録する画像の位置を適正位置に補正するよう、露光ヘッドユニット２８の各ヘッドアッセンブリ２８Ａによる画像記録開始時期等を補正する。
【００８０】
本実施形態に係る画像記録装置１０においては、露光ステージ１６を定速度で移動しながらマークを検出している。そのため、図９に示すように、本来、感光材料２２に付与されたマークＭが円形である場合（図９（Ａ）参照）に、これを、露光ステージ１６を移動しながら撮影すると、撮影画像は撮影時のシャッタースピード等にもよるが、長円形マークＭＬ（図９（Ｂ）参照）となる。
【００８１】
前述の通り、従来はマークＭを撮影（検出）する場合、露光ステージ１６を一旦停止させていた。しかし、この露光ステージ１６の一旦停止は、作業効率の低下を招き、高速処理に支障をきたす原因となる。
【００８２】
そこで、本実施形態に係る画像記録装置１０では、マークデータメモリ６８（図１２参照）に記憶するマークデータを、カメラ部３８の撮影環境（シャッター速度、露光ステージ１６の移動速度等）を加味した画像ＭＬ’（図９（Ｃ）に示す長円形）としている。すなわち、上述のような撮影環境下で実際に露光ステージ１６を移動しながら撮影した画像に対応したマークデータを、前述のように描画データから作成して記憶することで、照合の適正化を図っている。
【００８３】
次に、画像記録の流れについて、詳細に説明する。
感光材料２２を表面に吸着した露光ステージ１６は、リニアモータ部２６の駆動力により、定盤１８の摺動レール２０に沿ってステージ部１２Ｂから筐体部１２Ａの奥側へ一定速度で移動される（往路移動）。ここで露光ステージ１６がカメラユニット３２を通過する際に、カメラ部３８により感光材料２２に予め付与されたマークＭを検出する。このマークＭは、予め記憶されたマークと照合され、その位置関係に基づいて露光ヘッドユニット２８による露光開始時期等が補正される。
【００８４】
図１３には、上記露光開始時期補正ルーチンを示すフローチャートが示されている。
ステップ１００では、露光開始指示があったか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１０２へ移行してカメラ部３８を起動させるように指示する。なお、ステップ１００で否定判定の場合は、このルーチンは終了する。
【００８５】
ステップ１０２でカメラ部３８の起動を指示すると、次いでステップ１０４へ移行して感光材料２２のサイズデータが入力されたか否かが判断される。このステップ１０４で肯定判定されると、ステップ１０６へ移行して入力したサイズデータに基づいてカメラ部３８の定盤１８に対する幅方向位置を調整する（ボールねじ機構部４４の駆動制御）。
【００８６】
ステップ１０８では、調整が完了したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１１０へ移行して露光ステージ１６の往路移動を開始する。この露光ステージ１６の移動は定速度搬送である。
【００８７】
露光ステージ１６が往路移動中、ステップ１１２では、リニアモータ部２６に設けられたリニアエンコーダの出力パルスをパルスカウンタがカウントすることによって露光ステージ１６の位置を確認し（リニアモータ部２６の駆動パルスでも判別可能）、ステップ１１４において撮影タイミングか否かが判断される。すなわち、露光ステージ１６の移動方向先端がカメラユニット３２の真下を通過する直前の位置か否かを判断し、肯定判定されると、ステップ１１６へ移行して撮影を開始する。
【００８８】
次のステップ１１８では、露光ステージ１６の位置を確認し、ステップ１２０において撮影終了タイミングか否かが判断される。すなわち、露光ステージ１６の移動方向後端がカメラユニット３８の真下を通過し終えたか否かを判断し、肯定判定されると、ステップ１２２へ移行して撮影を終了する。
【００８９】
次のステップ１２４では、撮影したデータを解析し、次いでステップ１２６へ移行してマークＭに相当する画像データを抽出する。
次いで、ステップ１２８では、マークデータメモリ６８（図１２参照）から基準データを読み出し、ステップ１３０において、撮影し、かつ抽出したマーク画像データと基準データとを照合する。
【００９０】
次のステップ１３２では、照合結果に基づいて露光位置補正係数を演算し、ステップ１３４へ移行して、演算した補正係数データを露光制御系へ送出し、このルーチンは終了する。
【００９１】
ところで、このカメラユニット３２による感光材料２２のマークＭの撮影並びに露光開始時期補正は、前記往路移動中に露光ステージ１６が停止することなく実行される。
【００９２】
一般に、移動方向の位置決めのみであれば（すなわち一次元）、移動中の検出であっても検出誤差を生じることはほとんどないが、感光材料の平面的な位置決め（すなわち二次元）の場合、少なくとも移動方向とこの移動方向と直交する方向の十字マーク（いわゆる、トンボマーク）が必要である。さらに、精度向上のためには、所定の面積をもつ画像をマークＭとして用いることが好ましく、最適な形状が円形である。本実施形態に係る画像記録装置１０では、この円形画像をマークＭ（図９（Ａ）参照）として適用している。
【００９３】
この場合、露光ステージ１６の移動中に撮影を行うと、カメラ部３２のシャッタースピードや露光ステージ１６の移動速度等の環境条件により、撮影された画像が円形とならず長円マークＭＬ（図９（Ｂ）参照）となる場合がある。
【００９４】
そこで、本実施形態に係る画像記録装置１０では、マークデータメモリ６８内に記憶する基準となるマーク画像を前記環境条件に基づいて設定された長円形画像ＭＬ’として記憶しておく（図９（Ｃ）参照）。これにより、実際に撮影し長円形状となったマークＭＬとの照合が可能となり、この照合の結果に基づいて、前述した感光材料２２上に記録する画像の位置を適正な位置に補正するための、露光ヘッドユニット２８の各ヘッドアッセンブリ２８Ａによる画像記録開始時期等の補正が可能となる。このように、感光材料２２上に記録する画像記録位置を補正するためのマーク読み取りおよび感光材料２２の位置の認識が、感光材料２２の移動中でも確実に行えるようになるため、作業効率を向上することができる。
【００９５】
また、上述のように露光ステージ１６（感光材料２２）を移動させたまま行うマークＭの撮影では、カメラ部３８のストロボ光源３８Ｃを用いてストロボ撮影するときに、図１４（Ａ）に示すようなタイミング信号によって撮影およびストロボ発光の各動作タイミングを制御し撮影してもよい。
【００９６】
図１４（Ａ）では、ストロボ光源３８Ｃの発光動作を制御するタイミング信号Ｓ２は、カメラ本体３８Ａのシャッタータイミングのばらつきに対するマージンを確保するため、カメラ本体３８Ａの撮影動作を制御するタイミング信号Ｓ１に対してΔｔ遅らせており、さらに、ストロボ光源３８Ｃの発光時間を定めるパルス幅Ｗ２は、パルス幅Ｗ２に上記のタイミング信号Ｓ１とＳ２との差Δｔを加算した値が、カメラ本体３８Ａ側のシャッター開放時間を定めるパルス幅Ｗ１よりも小さくなるように設定されている（Ｗ１＞Ｗ２＋Δｔ）。
【００９７】
このタイミング信号Ｓ１、Ｓ２によりカメラ部３８を制御してマークＭをストロボ撮影すると、カメラ本体３８Ａのシャッター開放よりもΔｔ遅れてストロボ光源３８Ｃが発光し、ストロボ光が露光ステージ１６上の感光材料２２に照射される。そして感光材料２２の上面で反射した光は、レンズ部３８Ｂを介してカメラ本体３８Ａへ入力され、シャッター開放時間内においてストロボ光源３８Ｃが発光している間に移動した円形マークＭの移動軌跡が、図１４（Ｂ）に示すような長円マークＭＳとなって撮影される。
【００９８】
このようなストロボ撮影においても、撮影した長円マークＭＳのマーク画像に対し、上記の撮影条件（ストロボ発光時間）に基づいて設定される基準となるマーク画像を、図１４（Ｃ）に示すような長円形画像ＭＳ’として作成しマークデータメモリ６８内に記憶させて登録しておき、その長円形画像ＭＳ’との照合を行うことで、感光材料２２の位置決め精度を向上することができる。
【００９９】
なお、この長円形画像ＭＳ’では、元のマークＭに対する長手方向の寸法増加分（ｄ）は、露光ステージ１６の移動速度（ｖ）×ストロボ発光時間（ｔ）によって求められる。
【０１００】
また、このように撮影およびストロボ発光の各動作タイミングを制御して行うストロボ撮影であれば、カメラ本体３８Ａのシャッタースピードおよびシャッタータイミングのばらつきにより、撮影した長円マークＭＳの長手方向寸法に生じるばらつきが抑えられるため、マーク読み取りおよび照合精度が高められて感光材料２２上に記録する画像記録位置の補正精度が向上する。
【０１０１】
以上の画像記録位置補正（露光開始時期補正）を終えて、露光ステージ１６が往路端まで至ると、折り返してステージ部１２Ｂ方向へ定速度で戻ってくる（復路移動）。この復路移動中に露光ヘッドユニット２８を通過することになる。
【０１０２】
露光ヘッドユニット２８では、上述の補正された露光開始時期に基づいて、ＤＭＤにレーザ光が照射され、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光が光学系を介して感光材料２２へと案内され、この感光材料２２上に結像される。
【０１０３】
上記のように、本実施形態に係る画像記録装置１０は、露光ステージ１６の往復移動によって、感光材料２２と露光ヘッドユニット１６との相対位置に基づいて、露光開始時期を設定し（往路移動）、露光ヘッドユニット１６による露光処理が実行される（復路移動）構成となっているが、このとき、往路移動に必要なユニットに先に到達する配置とするのが一般的である（図１０（Ｂ）参照）。
【０１０４】
しかし、本実施形態に係る画像記録装置１０では、露光ステージ１６の往路移動方向の手前側に露光ヘッドユニット２８を配し、その往路移動方向奥側にカメラユニット３２を配している（図１０（Ａ）参照）。
【０１０５】
これは、カメラユニット３２が、定盤１８の幅方向に移動させるための機構を具備しており、定盤１８の長手方向を占有する寸法が大きく、仮に図１０（Ｂ）のように露光ステージ１６の往路移動方向手前側に配置すると、このカメラユニット３２の定盤１８の長手方向の占有寸法分、露光ヘッドユニット２８が後退された位置となる。
【０１０６】
この結果、露光ステージ１６の往路移動方向後端が、奥側の露光ヘッドユニット２８の真下を通過し終えるまでに必要は距離が寸法Ｌ２となる。
【０１０７】
一方、本実施形態に係る画像記録装置１０の配置である図１０（Ａ）の場合、露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２とを比較的接近させた状態で配置することが可能となる。このため、露光ステージ１６の往路移動方向後端分が、奥側のカメラユニット３２の真下を通過し終えるまでに必要な距離は寸法Ｌ１となる。
【０１０８】
すなわち、往路でカメラユニット３２を用い、復路で露光ヘッドユニット２８を用いるということから、露光ステージ１６が必要なユニットに最先に到達するように配置するという一般的な概念ではなく、上記のように、カメラユニット３２が定盤１８の幅方向へ移行させるための機構が定盤１８の長手方向を占有する場合、この移動機構と反対側を露光ヘッドユニット２８に対面させ、露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２とが最も接近する配置することにより、露光ステージ１６の移動距離を短くすることができ、ひいては処理効率の向上を図ることができる。
【０１０９】
次に、前記露光ヘッドユニット２８およびカメラユニット３２が配設された領域は、チャンバ４６によって他の筐体１２Ａ内の空間とは完全に隔離している。また、このチャンバ４６の天井部には、送風ダクト４８の一端が取り付けられている。送風機５０の作動によって、当該送風機５０のエア排出口からのエアがチャンバ４６内へ送り込まれる。このエアの送り込みより、チャンバ４６内は正圧となり、エアは、唯一の逃げ場であるステージ部１２Ｂへと流動する。そして、この流動により、最も塵埃を回避するべき、露光ヘッドユニット２８およびカメラユニット３２周辺の塵埃をステージ部１２Ｂから排出することができる。
【０１１０】
また、感光材料２２の露光ステージ１６上への着脱の際、ステージ部１２Ｂの開閉蓋１４を開放する。このとき、この開放状態のステージ部１２Ｂから塵埃が侵入することがあったが、本実施形態に係る画像記録装置１０では、チャンバ４６内部を正圧としているため、圧力差によって新たな塵埃が侵入することはなく、露光ヘッドユニット２８およびカメラユニット３２の周囲の環境悪化を防止することできる。
【０１１１】
一方、感光材料２２はそのベースの材質により静電気を帯び、電荷が帯電することで、塵埃を引き寄せることがある。静電気によってひきよせられて付着している塵埃は、前記エアの流動のみでは払拭しきれない場合がある。そこで、露光ヘッドユニット２８における露光ステージ１６の往路移動方向手前側に、定盤１８の幅方向に亘って、除電装置（イオナイザ）５２を配設した。
【０１１２】
これにより、定盤１８上を摺動する露光ステージ１６に位置決めされた感光材料２２は、必ずこの除電装置５２に対向し、吹出部５２Ａからイオン化されたエアが吹き付けられる。
すなわち、イオン発生部５２Ｂでアース電極と放電電極との間でコロナ放電を発生させて、静電気によって帯電している塵埃と異極のイオンを生成し、このイオンを送風源によって吹出部５２Ａから吹き出しているため、中和によって除電がなされる。
【０１１３】
これにより、感光材料２２が載置された露光ステージ１６が定盤１８上を移動するとき、感光材料２２の表面を除電し、静電気によって付着している塵埃を除去すると共に、エアブローで露光ステージ１６の上方空間に浮遊する塵埃を除去することができる。
【０１１４】
なお、本実施形態に係る画像記録装置１０では、空間変調素子としてＤＭＤを用い、点灯時間を一定にしてオン／オフすることでドットパターンを生成するようにしたが、オン時間比（デューティ）制御によるパルス幅変調を行ってもよい。また、１回の点灯時間を極めて短時間として、点灯回数によってドットパターンを生成してもよい。
【０１１５】
さらに、本実施形態に係る画像記録装置１０では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた記録素子ユニット１６６について説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Special Light Modulator）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。
【０１１６】
なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Grating Light Valve（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
【０１１７】
また、上記実施形態に係る画像記録装置１０における光源としては、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する１本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源、複数の発光点が二次元状に配列された光源（例えば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）、等が適用可能である。
【０１１８】
また、上記の画像記録装置１０には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れをも使用することができる。
ここで、フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ，波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ），固体レーザが使用される。
【図面の簡単な説明】
【０１１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るフラットベッドタイプの画像記録装置の概略を示す斜視図である。
【図２】一実施形態に係る画像記録装置の概略を示す側面図である。
【図３】一実施形態に係る画像記録装置の概略を示す平面図である。
【図４】一実施形態に係る画像記録装置中の露光ステージの斜視図である。
【図５】一実施形態に係る画像記録装置中の露光ヘッドユニットの斜視図である。
【図６】（Ａ）露光ヘッドユニットによる露光領域を示す平面図、（Ｂ）はヘッドアッセンブリの配列パターンを示す平面図である。拡大倍率時のドットパターンの平面図である。
【図７】単一のヘッドアッセンブリにおけるドットパターンの配列状態を示す平面図である。
【図８】一実施形態に係る画像記録装置中のカメラユニットの斜視図である。
【図９】感光材料の上のマークと、基準となるメモリ上のマークとの照合の手順を示す説明図であり、（Ａ）は実画像、（Ｂ）は撮影画像、（Ｃ）は基準画像の例を示している。
【図１０】露光ヘッドユニットとカメラユニットとの位置関係を示し、（Ａ）は一実施形態の位置関係の側面図、（Ｂ）は一般形態（従来）の位置関係の側面図である。
【図１１】一実施形態に係る基準マークの作成方法の概要を示す説明図である。
【図１２】カメラユニットにおけるマーク検出のための制御系の機能ブロック図である。
【図１３】露光開始時期補正ルーチンを示す制御フローチャートである。
【図１４】（Ａ）は撮影タイミングを示す説明図、（Ｃ）はマークデータメモリ内に記憶されているマークを示す説明図、（Ｂ）は所定のタイミングでストロボ発光させ撮影したマークの撮影画像と、（Ｃ）の基準となるマークとの照合の手順を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１２０】
１０  画像記録装置
１２  枠体
１２Ａ  筐体部
１２Ｂ  ステージ部
１４  開閉蓋
１６  露光ステージ（記録ステージ）
１６Ａ  脚部
１８  定盤
２０  摺動レール
２２  感光材料（画像記録媒体）
２４  架台
２６  リニアモータ部（記録ステージ移動手段）
２６Ａ  ステータ部
２６Ｂ  コイル部
２８  露光ヘッドユニット（記録ヘッド）
２８Ａ  ヘッドアッセンブリ
２８Ｂ  露光エリア
２９  支柱
３０  光源ユニット
３２  アライメントユニット（マーク読取手段）
３４  梁部
３６  ベース部
３８  カメラ部（撮像素子）
４０  レール部
４２  カメラベース
３８Ａ  カメラ本体
３８Ｂ  レンズ部
３８Ｃ  ストロボ光源（発光手段）
４２  カメラベース
４４  ボールねじ機構部
４６  チャンバ
４８  送風ダクト
５０  送風機
５２  除電装置（イオナイザ）
５２Ａ  吹出部
５２Ｂ  イオン発生部
５４  コントローラ部
５６  カメラ動作制御部
５８  幅方向位置設定部
６０  撮影データ解析部
６２  マーク抽出部
６４  マーク照合部（照合手段）
６６  露光位置補正係数演算部（補正係数演算手段）
６７  メモリ制御部
６８  マークデータメモリ（記憶手段）
Ｍ  マーク
【図１】
2006251052.tif 000003
【図２】
2006251052.tif 000004
【図３】
2006251052.tif 000005
【図４】
2006251052.tif 000006
【図５】
2006251052.tif 000007
【図６】
2006251052.tif 000008
【図７】
2006251052.tif 000009
【図８】
2006251052.tif 000010
【図９】
2006251052.tif 000011
【図１０】
2006251052.tif 000012
【図１１】
2006251052.tif 000013
【図１２】
2006251052.tif 000014
【図１３】
2006251052.tif 000015
【図１４】
2006251052.tif 000016