(57)【要約】      （修正有）【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。【解決手段】インデクサロボット６は、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、基台部８を左右方向に移動することができる。また、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、基台部８が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、移動範囲Ｐ１を小さくし、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。【選択図】図１
2006073835.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容するキャリヤをそれぞれ保持可能な複数のキャリヤ保持位置を有するキャリヤ保持部に保持されたキャリヤにアクセスし、このキャリヤとの間で基板を受け渡しする基板搬送装置であって、
基台部と、
前記複数のキャリヤ保持位置に沿う搬送路内で前記基台部を移動させる第１基台部移動機構と、
前記基台部を前記搬送路と交差する方向に移動させる第２基台部移動機構と、
基板を保持する基板保持ハンドと、
前記基台部に取り付けられ、前記基板保持ハンドを前記キャリヤ保持部に保持されたキャリヤに対して進退させるハンド進退機構とを含むことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記基台部を所定の旋回軸線まわりに回動させる旋回駆動機構をさらに含み、
前記ハンド進退機構は、前記旋回軸線とほぼ直交する方向に沿って前記基板保持ハンドを進退させるものであることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
所定の基板受け渡し位置において前記基板保持ハンドとの間で基板を授受することができ、前記基板受け渡し位置に対して位置固定された台座部と、この台座部に取り付けられた基台部と、この基台部に取り付けられ前記基板受け渡し位置に対して進退可能な基板保持ハンドと、この基板保持ハンドを進退させる進退駆動機構とを備えた基板搬送ロボットをさらに含むことを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
請求項３記載の基板搬送装置と、
基板に対して処理を施す基板処理ユニットとを含み、
前記基板搬送ロボットは、前記基板処理ユニットに対する基板搬送動作を行うものであることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板を収容するキャリヤとの間で基板の受け渡しを行う構成を備えた基板搬送装置およびこれを用いた基板処理装置に関する。搬送または処理対象の基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、基板（半導体ウエハやガラス基板）に対して、レジスト塗布処理および洗浄処理などの各種の処理を施す基板処理装置が用いられている。
このような基板処理装置には、たとえば、基板が収容された複数のカセットにアクセスし、カセットとの間で基板を受け渡しするインデクサロボットと、基板に所定の処理を施すための処理ユニットと、インデクサロボットとの間で基板の授受を行い、かつ、処理ユニットに対して基板搬送動作をするための主搬送ロボットとが備えられている。そして、各カセットは、複数のカセット保持位置にそれぞれ配置されており、インデクサロボットは、各カセットに沿って往復走行可能とされている。
【０００３】
たとえば、カセットに未処理の基板が収容されている場合、まず、インデクサロボットが、対象となるカセットに対向する位置まで走行して停止する。そして、基板がインデクサロボットによってカセットから取り出され、主搬送ロボットへと受け渡される。受け渡された基板は、主搬送ロボットによって処理ユニットに搬入され、処理ユニットにて所定の処理が施される（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開１０−２４７６７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載されている種類の基板処理装置の一例が図５に示されている。なお、図５は、一部が省略された平面図である。また、図５では、右側を前方、左側を後方、奥側を左方、手前側を右方として説明する。
基板処理装置９には、左右方向に所定間隔隔てて設けられた４つのカセット９１と、それぞれのカセット９１の前端に沿うように設けられ、左右方向に延びるインデクサ部９２とが備えられている。
【０００５】
カセット９１は、半導体ウエハやガラス基板などの基板Ｗを収容するためのものであり、未処理の基板Ｗや、処理済みの基板Ｗが収容される。
インデクサ部９２には、カセット９１に収容されている基板を出し入れすることのできるインデクサロボット９３と、インデクサロボット９３が搬送される搬送路９７とが備えられている。
【０００６】
インデクサロボット９３には、各カセット９１に沿うようにして搬送路９７内を移動可能であり、かつ、鉛直軸線まわりに旋回可能である基台部９４、ならびに、基台部９４上に備えられた第１ロボットアーム９５および第２ロボットアーム９６が備えられている。第１ロボットアーム９５には、基台部９４に対して回動可能に連結された第１リンク部材９５ａと、第１リンク部材９５ａに対して回動可能に連結された第２リンク部材９５ｂと、第２リンク部材９５ｂに対して回動可能に連結されたハンド取り付け部９５ｃと、ハンド取り付け部９５ｃに取り付けられた基板保持ハンド９５ｄとが備えられている。
【０００７】
第２ロボットアーム９６には、基台部９４に対して回動可能に連結された第１リンク部材９６ａと、第１リンク部材９６ａに対して回動可能に連結された第２リンク部材９６ｂと、第２リンク部材９６ｂに対して回動可能に連結されたハンド取り付け部９６ｃと、ハンド取り付け部９６ｃに取り付けられた基板保持ハンド９６ｄとが備えられている。
第１ロボットアーム９５および第２ロボットアーム９６は、いわゆるスカラーアーム機構であり、図示しない駆動源から第１リンク部材９５ａおよび９６ａにそれぞれ回転力が加えられることで、その回転力が、第２リンク部材９５ｂおよび９６ｂ、ハンド取り付け部９５ｃおよび９６ｃへと順次伝えられ、基板保持ハンド９５ｄおよび９６ｄが、その姿勢を維持した状態で進退することとなる。
【０００８】
たとえば、カセット９１に未処理の基板Ｗが収容されており、その基板Ｗを取り出す場合には、まず、インデクサロボット９３は、第１ロボットアーム９５および第２ロボットアーム９６を折りたたんでリーチを最小とした状態で、基台部９４の動作により、カセット９１に対向する位置まで搬送路９７内を移動し、さらに、基板保持ハンド９５ｄおよび９６ｄがカセット９１に対向するように鉛直軸線まわりに所定角度回転した後停止する。
【０００９】
そして、第１ロボットアーム９５または第２ロボットアーム９６を所定長さだけカセット９１に対して延ばして、基板保持ハンド９５ｄまたは９６ｄによりカセット９１内の基板Ｗを取り出し、基板Ｗを保持した状態で折りたたんでリーチを最小として、搬送路９７の中央位置まで移動する。さらに、鉛直軸線まわりに所定角度回転した後、折りたたんでいた第１ロボットアーム９５または第２ロボットアーム９６を延ばして、カセット９１から取り出した基板Ｗを前方に差し出す。差し出された基板Ｗは、たとえば、主搬送ロボットに受け渡され、主搬送ロボットが処理ユニットに基板Ｗを搬入することで、所定の処理が施される（図示せず）。
【００１０】
以上のようにして、基板処理装置９において基板Ｗの処理が行われることとなるが、インデクサロボット９３は、主搬送ロボットとの間で基板Ｗの受け渡しを行うために、基板Ｗを保持している基板保持ハンド９５ｄまたは９６ｄを、主搬送ロボットとの基板受け渡し位置まで到達させなければならない。
しかしながら、インデクサロボット９３は、搬送路９７内を各カセットに沿う方向にのみ移動する構成であるので、基板保持ハンド９５ｄまたは９６ｄを基板受け渡し位置まで到達させるためには、各リンク部材の長さを大きくせねばならず、第１ロボットアーム９５および第２ロボットアーム９６を折りたたんだ状態のインデクサロボット９３の占有面積が大きくなり、その旋回直径Ｌ２が大きくなってしまう。さらに、インデクサロボット９３の移動範囲Ｐ２が大きくなり、結果としてインデクサ部９２の幅および長さが大きくなり、基板処理装置９のフットプリントが大きくなってしまう。
【００１１】
そこで、本発明は、装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板（Ｗ）を収容するキャリヤ（２１〜２４）をそれぞれ保持可能な複数のキャリヤ保持位置を有するキャリヤ保持部（２）に保持されたキャリヤにアクセスし、このキャリヤとの間で基板を受け渡しする基板搬送装置であって、基台部（８）と、前記複数のキャリヤ保持位置に沿う搬送路（７）内で前記基台部を移動させる第１基台部移動機構（１４，１５，８１２）と、前記基台部を前記搬送路と交差する方向に移動させる第２基台部移動機構（８１５，８１６，８２２）と、基板を保持する基板保持ハンド（１１４，１２４）と、前記基台部に取り付けられ、前記基板保持ハンドを前記キャリヤ保持部に保持されたキャリヤに対して進退させるハンド進退機構（１１，１２，８４１，８４２）とを含むことを特徴とする基板搬送装置である。
【００１３】
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素を表す。以下、この項において同じ。
この構成によれば、第２基台部移動機構により、基台部を、搬送路と交差する方向に移動させることができる。たとえば、基板保持ハンドを搬送路と交差する方向における所定位置まで進出させる場合には、基台部が搬送路と交差する方向に移動することで、基板保持ハンドの進出距離を短くすることができ、ハンド進退機構の構成が複雑になるのを防ぐことができる。
【００１４】
具体的には、ハンド進退機構（１１，１２，８４１，８４２）は、たとえば、ロボットアーム（１１，１２）と、このロボットアームを屈伸させるアーム駆動機構（８４１，８４２）とを含む。そして、ロボットアームは複数のリンク部材（１１１，１１２，１２１，１２２）を有しており、ロボットアームの先端部分に基板保持ハンド（１１４，１２４）が取り付けられている。この場合、ロボットアームのリーチが短くても、基台部が搬送路と交差する方向に移動することで、基板保持ハンドを所定位置に到達させることができる。よって、ロボットアームの各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。
【００１５】
なお、基板搬送装置は、キャリヤ（２１〜２４）から基板（Ｗ）を搬出する機能およびキャリヤに対して基板を収納する機能の両方を有するインデクサロボット（６）であってもよく、専らキャリヤから基板を搬出するローダロボットであってもよく、専らキャリヤに対して基板を収納するアンローダロボットであってよい。
また、その場合、インデクサロボット（６）、ローダロボットおよびアンローダロボットは、一対の基板保持ハンドを含むダブルハンドの構成であってもよい。
【００１６】
また、請求項２記載の発明のように、前記基台部（８）を所定の旋回軸線（θ１０）まわりに回動させる旋回駆動機構（８３２）をさらに含み、前記ハンド進退機構（１１，１２，８４１，８４２）が、前記旋回軸線とほぼ直交する方向に沿って前記基板保持ハンド（１１４，１２４）を進退させるものである場合でも、ハンド進退機構の構成が複雑になるのを防ぐことができる。たとえば、ハンド進退駆動機構が、ロボットアーム（１１，１２）を含んでいれば、上述のようにロボットアームの各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができるので、ロボットアームの旋回直径を小さくすることができる。ゆえに、ロボットアームの移動範囲のスペースを小さくし、基板搬送装置のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。
【００１７】
また、基台部の旋回により、基板保持ハンドをキャリヤに対向させたり、キャリヤ以外の方向に対向させたりすることができる。
なお、搬送路（７）が水平面に沿う場合には、前記旋回軸線（θ１０）は鉛直方向に沿うことが好ましい。
請求項３記載の発明は、所定の基板受け渡し位置（Ｓ）において前記基板保持ハンド（１１４，１２４）との間で基板（Ｗ）を授受することができ、前記基板受け渡し位置に対して位置固定された台座部（６０）と、この台座部に取り付けられた基台部（６１）と、この基台部に取り付けられ前記基板受け渡し位置に対して進退可能な基板保持ハンド（６２，６３）と、この基板保持ハンドを進退させる進退駆動機構（６１５，６１６）とを備えた基板搬送ロボット（５９）をさらに含むことを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置である。
【００１８】
この構成によれば、台座部は位置固定されており、レール上を移動する構成ではないので、基板搬送ロボットを動作させても発塵を抑制できる。また、基台部が基板受け渡し位置寄りに移動することで、基板受け渡し位置を基板搬送ロボット寄りにすることができるため、基板搬送ロボット側の基板保持ハンドの移動距離を短くすることができる。したがって、基板搬送ロボットは、基板受け渡し位置へと基板保持ハンドを短時間で進出させることができ、また、基板保持ハンドを、基板受け渡し位置から短時間で退避させることができる。これにより、基板搬送ロボットは、短時間の動作で基板受け渡し位置において基板を授受できる。
【００１９】
なお、基板受け渡し位置（Ｓ）は、たとえば、搬送路（７）を挟んでキャリヤ保持位置とは反対側に定められていてもよい。
また、基板搬送ロボット（５９）は、その基台部（６１）を所定の旋回軸線（θ１１）まわりに旋回させる旋回駆動機構（６１４）をさらに含むことが好ましい。このようにすれば、たとえば、基台部の旋回により基板保持ハンドをロボットアームに対向させたり、ロボットアーム以外の方向に対向させたりすることができる。
【００２０】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の基板搬送装置と、基板（Ｗ）に対して処理を施す基板処理ユニット（５１〜５８）とを含み、前記基板搬送ロボット（５９）は、前記基板処理ユニット（５１〜５８）に対する基板搬送動作を行うものであることを特徴とする基板処理装置（１）である。
この構成によれば、基板搬送ロボットにより基板処理ユニットに対して基板を授受することができる。
【００２１】
なお、複数の基板処理ユニット（５１〜５８）が基板搬送ロボット（５９）を取り囲んで配置されていてもよい。この場合、基板搬送ロボットは、基台部（６１）を所定の軸線（θ１１）まわりに旋回させる旋回駆動機構（６１４）を含むことが好ましい。たとえば、複数の基板処理ユニットが水平面に沿って基板搬送ロボットを取り囲んで配置されるとすれば、旋回駆動機構は、鉛直な旋回軸線まわりに基台部を旋回させるものであることが好ましい。これにより、基板保持ハンドを任意の基板処理ユニットに対して進退させ、それらの基板処理ユニットとの間で基板の授受を行わせることができる。
【００２２】
また、複数の基板処理ユニット（５１〜５８）が、一階部と二階部とを含む複数層に積層配置されていてもよい。この場合には、基板搬送ロボット（５９）は、基台部（６１）を鉛直方向に移動させる昇降駆動機構（６１３）をさらに含むことが好ましい。これにより、一階部および二階部の基板処理ユニットのいずれに対しても基板を搬送できる。
また、搬送路（７）と基板処理ユニット（５１〜５８）の配置領域との間に、基板処理ユニットへの処理液の供給および／または基板処理ユニットからの使用済み処理液の排液のための処理液制御部（４）の配置領域が設けられていてもよい。このようにした場合、たとえば、上記のように基板処理ユニットを二階建て構造とした場合には、処理液制御部の配置領域が大きくなるが、基台部が基板保持ハンドの進出方向に移動することで、基板保持ハンドの進出距離を短くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、この発明の一実施形態にかかる基板搬送装置が用いられた基板処理装置の構成を説明するための図解的な平面図である。なお、図１における右側を前方、左側を後方、奥側を左方、手前側を右方として、以下説明する。
基板処理装置１には、キャリヤ保持部２と、キャリヤ保持部２の前方に設けられたインデクサ部３と、インデクサ部３を挟んでキャリヤ保持部２の反対側に設けられた流体ボックス４と、インデクサ部３および流体ボックス４を挟んでキャリヤ保持部２の反対側に設けられ、複数の基板処理ユニットを有する処理部５とが備えられている。
【００２４】
キャリヤ保持部２には、左右方向に所定間隔隔てて配置されたキャリヤ２１、２２、２３および２４が備えられている。キャリヤ２１〜２４は、いずれもその内部に複数の基板Ｗを収容するためのものであり、未処理の基板Ｗまたは処理済みの基板Ｗが収容される。
なお、この実施形態では、キャリヤ２１〜２４として、基板Ｗを密閉した状態で収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を用いているが、これに限定されるものではなく、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical Inter Face）ポッド、ＯＣ（Open Cassette）等を用いてもよい。
【００２５】
インデクサ部３には、キャリヤ２１〜２４に収容されている基板Ｗを出し入れすることのできるインデクサロボット６と、左右方向に延び、インデクサロボット６が搬送される搬送路７とが備えられている。
図２は、図１の状態のインデクサロボット６を右方からみた状態を図解的に示す側面図である。また、図３は、図２における矢印Ａ方向からみたインデクサロボット６の一部を示す図である。
【００２６】
インデクサロボット６には、基台部８、ならびに、基台部８上に備えられた第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２が備えられている。
基台部８には、第１基台８１と、第１基台８１上に備えられ、第１基台８１に対して前後方向に移動可能な第２基台８２と、第２基台８２上に備えられた第３基台８３と、第３基台８３上に備えられ、第３基台８３に対して鉛直軸線まわりの回動かつ昇降が可能な回転昇降台８４とが備えられている。
【００２７】
第１基台８１の下面には、前後方向に所定の間隔を隔てて備えられた一対の第１摺動ブロック８１１と、第１基台８１１の下面に一対の第１摺動ブロック８１１間に位置するようにして備えられた第１走行ブロック８１２とが備えられている。
第１摺動ブロック８１１の下面には、左右方向（図２の紙面と垂直方向）に延びる溝が形成されており、搬送路７には、キャリヤ２１〜２４の配置方向である左右方向に延びる一対の第１ガイドレール１３が前後方向に所定間隔隔てて、互いに平行に配置されている。そして、各第１摺動ブロック８１１は、各第１摺動ブロック８１１の溝が各第１ガイドレール１３の上方部分に嵌められることで、各第１ガイドレール１３に対して摺動可能とされている。
【００２８】
第１走行ブロック８１２は、その内部に図示しないボールナットを内蔵しており、そのボールナットが左右方向に延びる第１ボールねじ１４と螺合している。また、第１ボールねじ１４は、第１モータ１５と接続されており、第１モータ１５の駆動力が伝達されることで、その軸心まわりに回動するようにされている。
これにより、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、第１基台８１が第１走行ブロック８１２を介して左右方向に移動する。
【００２９】
第１基台８１の上面には、前後方向に延び、左右方向に所定間隔隔てて互いに平行に配置されている一対の第２ガイドレール８１３と、一対の第２ガイドレール８１３の間に配置されて前後方向に延び、第１基台８１に取り付けられた軸受け８１４によって軸心まわりに回動可能に保持された第２ボールねじ８１５とが備えられている。また、第１基台８１には取り付け板８１７が設けられており、取り付け板８１７に第２モータ８１６が取り付けられている。そして、第２ボールねじ８１５は、第２モータ８１６と接続されており、第２モータ８１６の駆動力が伝達されることで回動するようにされている。
【００３０】
第２基台８２の下面には、左右方向に所定の間隔を隔てて備えられた一対の第２摺動ブロック８２１と、第２基台８２の下面に一対の第２摺動ブロック８２１間に位置するようにして備えられた第２走行ブロック８２２とが備えられている。
第２摺動ブロック８２１の下面には、前後方向（図３の紙面と垂直方向）に延びる溝が形成されており、各第２摺動ブロック８２１は、各第２摺動ブロック８２１の溝が各第２ガイドレール８１３の上方部分に嵌められることで、各第２ガイドレール８１３に対して摺動可能とされている。
【００３１】
第２走行ブロック８２２は、その内部に図示しないボールナットを内蔵しており、そのボールナットが前後方向に延びる第２ボールねじ８１５と螺合している。
これにより、第２モータ８１６の駆動により第２ボールねじ８１５が回動することで、第２基台８２が第２走行ブロック８２２を介して搬送路７と交差する方向である前後方向に移動する。
【００３２】
第３基台８３内には、回転昇降台８４に接続され、回転昇降台８４を昇降させるための昇降駆動機構８３１と、回転昇降台８４に接続され、回転昇降台８４を鉛直方向に沿う第１旋回軸線θ１０まわりに回動させるための旋回駆動機構８３２とが内蔵されている。
回転昇降台８４内には、第１ロボットアーム１１に接続され、第１ロボットアーム１１を屈伸させるための第１アーム駆動機構８４１と、第２ロボットアーム１２に接続され、第２ロボットアーム１２を屈伸させるための第２アーム駆動機構８４２とが内蔵されている。
【００３３】
第１ロボットアーム１１には、回転昇降台８４に対して回動可能に連結された第１リンク部材１１１と、第１リンク部材１１１に対して回動可能に連結された第２リンク部材１１２と、第２リンク部材１１２に対して回動可能に連結されたハンド取り付け部１１３と、ハンド取り付け部１１３に取り付けられた基板保持ハンド１１４とが備えられている。
第１リンク部材１１１は、その基端部において、回転昇降台８４に対して第１回転軸線θ１まわりに回動可能に連結されており、その連結部（結合部）が、第１ロボットアーム１１の第１関節とされている。また、第１リンク部材１１１が、第１アーム駆動機構８４１と接続されている。
【００３４】
第２リンク部材１１２は、その基端部において、第１リンク部材１１１の遊端部（先端部）に対して第１回転軸線θ１と平行な第２回転軸線θ２まわりに回動可能に連結されており、その連結部（結合部）が、第１ロボットアーム１１の第２関節とされている。
ハンド取り付け部１１３は、その基端部において、第２リンク部材１１２の遊端部（先端部）に対して第１回転軸線θ１と平行な第３回転軸線θ３まわりに回動可能に連結されており、その連結部（結合部）が、第１ロボットアーム１１の第３関節とされている。
【００３５】
第１回転軸線θ１は、鉛直方向に沿っている。すなわち、第１回転軸線θ１、第２回転軸線θ２および第３回転軸線θ３は、いずれも鉛直方向に沿っている。したがって、第１リンク部材１１１、第２リンク部材１１２およびハンド取り付け部１１３は、水平面に沿ってそれぞれ回動可能とされている。
基板保持ハンド１１４は、ハンド取り付け部１１３の遊端部（先端部）に固定されるようにして取り付けられており、平面視形状が、ハンド取り付け部１１３に固定された基端部から遊端部（先端部）にかけて広がる略Ｖ字状とされている。
【００３６】
また、第１ロボットアーム１１は、いわゆるスカラーアーム機構をなしており、第１アーム駆動機構８４１から第１リンク部材１１１に回転力が加えられることで、その回転力が、第２リンク部材１１２ハンド取り付け部１１３へと順次伝えられ、基板保持ハンド１１４がその姿勢を維持した状態で進退することとなる。よって、第１ロボットアーム１１は、第１旋回軸線θ１０とほぼ直交する方向に沿って基板保持ハンド１１４を進退させることとなる。
【００３７】
第２ロボットアーム１２には、回転昇降台８４に対して回動可能に連結された第１リンク部材１２１と、第１リンク部材１２１に対して回動可能に連結された第２リンク部材１２２と、第２リンク部材１２２に対して回動可能に連結されたハンド取り付け部１２３と、ハンド取り付け部１２３に取り付けられた基板保持ハンド１２４とが備えられている。
第１リンク部材１２１は、その基端部において、回転昇降台８４に対して第４回転軸線θ４まわりに回動可能に連結されており、その連結部（結合部）が、第２ロボットアーム１２の第１関節とされている。また、第１リンク部材１２１が、第２アーム駆動機構８４２と接続されている。
【００３８】
第２リンク部材１２２は、その基端部において、第１リンク部材１２１の遊端部（先端部）に対して第４回転軸線θ４と平行な第５回転軸線θ５まわりに回動可能に連結されており、その連結部（結合部）が、第２ロボットアーム１２の第２関節とされている。
ハンド取り付け部１２３は、その基端部において、第２リンク部材１２２の遊端部（先端部）に対して第４回転軸線θ４と平行な第６回転軸線θ６まわりに回動可能に連結されており、その連結部（結合部）が、第２ロボットアーム１２の第３関節とされている。
【００３９】
第４回転軸線θ４は、鉛直方向に沿っている。すなわち、第４回転軸線θ４、第５回転軸線θ５、第６回転軸線θ６は、いずれも鉛直方向に沿っている。したがって、第１リンク部材１２１、第２リンク部材１２２およびハンド取り付け部１２３は、水平面に沿ってそれぞれ回動可能とされている。
基板保持ハンド１２４は、ハンド取り付け部１２３の遊端部（先端部）に固定されるようにして取り付けられており、平面視形状が、ハンド取り付け部１２３に固定された基端部から遊端部にかけて広がる略Ｖ字状とされている。
【００４０】
また、第２ロボットアーム１２は、いわゆるスカラーアーム機構をなしており、第２アーム駆動機構８４２から第１リンク部材１２１に回転力が加えられることで、その回転力が、第２リンク部材１２２およびハンド取り付け部１２３へと順次伝えられ、基板保持ハンド１２４がその姿勢を維持した状態で進退することとなる。よって、第２ロボットアーム１２は、第１旋回軸線θ１０とほぼ直交する方向に沿って基板保持ハンド１２４を進退させることとなる。
【００４１】
また、基板保持ハンド１１４および１２４は、側面視において、その高さ位置がずらされており、進退したときに互いに干渉しないようにされている。
これにより、第１アーム駆動機構８４１および第２アーム駆動機構８４２の動作により、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２を折りたたみ、旋回駆動機構８３２が動作することにより、回転昇降台８４、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２は、第１旋回軸線θ１０まわりに旋回する。そして、旋回直径Ｌ１は、図１に示すようになる。
【００４２】
さらに、インデクサロボット６は、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２を折りたたんだ状態で、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、左右方向に移動し、第２モータ８１６の駆動により第２ボールねじ８１５が回動することで、搬送路７と交差する方向である前後方向に移動する。そして、移動範囲Ｐ１は、図１に示すようになる。
【００４３】
再び、図１を参照して、流体ボックス４には、処理部５の各基板処理ユニットにおける基板Ｗの処理工程に使用する処理液を供給するための供給機構や、使用済みの処理液を回収するための回収機構など（図示せず）が備えられている。
処理部５には、複数（この実施形態では８個）の基板処理ユニット５１〜５８と、インデクサロボット６から未処理の基板Ｗを受け取っていずれかの基板処理ユニット５１〜５８に搬入し、これらの基板処理ユニット５１〜５８から処理済みの基板Ｗを搬出してインデクサロボット６に受け渡すセンターロボット５９とが備えられている。具体的には、センターロボット５９は、処理部５の中央に配置され、各基板処理ユニット５１〜５８は、センターロボット５９を取り囲むように配置されている。
【００４４】
図１では、便宜上、基板処理ユニット５１〜５８は、水平方向に並置されているかのように表されているが、実際には、これらは、二階建て構造を形成するように配置されている。
すなわち、基板処理ユニット５１および５２は、センターロボット５９の左後方に配置されており、基板処理ユニット５１を一階部、基板処理ユニット５２を二階部として積層配置されている。
【００４５】
同様に、基板処理ユニット５３および５４は、センターロボット５９の左前方に配置されており、基板処理ユニット５３を一階部、基板処理ユニット５４を二階部として積層配置されている。
また、基板処理ユニット５５および５６は、センターロボット５９の右後方に配置されており、基板処理ユニット５５を一階部、基板処理ユニット５６を二階部として積層配置されている。
【００４６】
また、基板処理ユニット５７および５８は、センターロボット５９の右前方に配置されており、基板処理ユニット５７を一階部、基板処理ユニット５８を二階部として積層配置されている。
具体的には、基板処理ユニット５１〜５８は、たとえば、基板Ｗの洗浄を行う基板洗浄ユニットであってもよい。より具体的には、基板処理ユニット５１〜５８は、基板Ｗを保持して回転するスピンチャックと、このスピンチャックに保持された基板Ｗに洗浄のための処理液を供給する処理液ノズルとを有するものであってもよい。処理液ノズルには、薬液（エッチング液など）を供給する薬液ノズルおよび純水（脱イオン水）を供給する純水ノズルが含まれていてもよい。このような基板処理ユニットは、センターロボット５９から受け渡された未処理の基板Ｗをスピンチャックに保持して回転させるとともに、その基板Ｗの表面に薬液ノズルからの薬液を供給し、そのエッチング作用によって表面の異物を除去する薬液処理を行い、その後に、薬液の供給を停止し、代わって基板表面に純水ノズルから純水を供給して、基板Ｗの薬液を純水に置換するリンス処理を行う。その後、純水の供給を停止するとともに、スピンチャックを高速回転させ、遠心力によって基板Ｗの表面から水分を排除する乾燥処理が行われる。これにより、一連の処理を終了し、処理済みの基板Ｗが、センターロボット５９によって搬出されることになる。
【００４７】
図４は、センターロボット５９を右方からみた状態を図解的に示す側面図である。
センターロボット５９には、当該基板処理装置１内で位置固定された台座部６０、台座部６０上に備えられた基台部６１、ならびに、基台部６１上に備えられ、基台部６１に対して進退可能に連結された第１基板保持ハンド６２および第２基板保持ハンド６３が備えられている。
【００４８】
台座部６０は、後述するように、インデクサロボット６との基板Ｗの受け渡し位置Ｓに対して前後方向に並ぶように相対位置が固定されている。
基台部６１には、基台６１１と、基台６１１上に備えられ、基台６１に対して鉛直軸線まわりの回動かつ昇降が可能な回転昇降台６１２とが備えられている。
基台６１１内には、回転昇降台６１２に接続され、回転昇降台６１２を昇降させるための昇降駆動機構６１３と、回転昇降台６１２に接続され、回転昇降台６１２を回動させるための旋回駆動機構６１４とが内蔵されている。
【００４９】
回転昇降台６１２内には、第１基板保持ハンド６２に接続され、第１基板保持ハンド６２を進退させるための第１進退駆動機構６１５と、第２基板保持ハンド６３に接続され、第２基板保持ハンド６３を進退させるため第２進退駆動機構６１６とが内蔵されている。
第１基板保持ハンド６２は、その先端部分の平面視形状が略コ字状とされており、その基端部において、回転昇降台６１２から進退可能となるように、回転昇降台６１２に連結されている。
【００５０】
第２基板保持ハンド６３は、その先端部分の平面視形状が略コ字状とされており、その基端部において、回転昇降台６１２から進退可能となるように、回転昇降台６１２に連結されている。
また、第１基板保持ハンド６２および第２基板保持ハンド６３は、側面視において、それぞれの先端部分の高さ位置がずらされており、進退したときに互いに干渉しないようにされている。
【００５１】
これにより、第１進退駆動機構６１５および第２進退駆動機構６１６の動作により第１基板保持ハンド６２および第２基板保持ハンド６３が退避した状態において、旋回駆動機構６１４の動作により、回転昇降台６１２、第１基板保持ハンド６２および第２基板保持ハンド６３は、第２旋回軸線θ１１まわりに旋回可能である。このときの旋回直径を符号Ｌ３で示す（図１参照）。
【００５２】
たとえば、キャリヤ２１に未処理の基板Ｗが収容されており、その基板Ｗを取り出して所定の処理を施す場合には、まず、インデクサロボット６は、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２を折りたたんでリーチを最小とした状態で、第２モータ８１６を駆動することにより後方に移動する。そして、第１モータ１５を駆動することによりキャリヤ２１に対向する位置まで搬送路７を移動し、さらに、基板保持ハンド１１４および１２４がキャリヤ２１と対向するように第１旋回軸線θ１０まわりに所定角度回転した後停止する。
【００５３】
そして、インデクサロボット６は、昇降駆動機構８３１の動作により、キャリヤ２１において基板Ｗを取り出すのに十分な高さまで、回転昇降台８４を昇降させる。また、たとえば、第１アーム駆動機構８４２の動作により、第１ロボットアーム１１を所定長さだけキャリヤ２１に対して延ばし、キャリヤ２１内の基板Ｗを基板保持ハンド１１４によって微小高さだけ上がってすくい取り、基板保持ハンド１１４が基板Ｗを保持した状態で、第１ロボットアーム１１を折りたたんでリーチを最小として、搬送路７の中央位置まで移動する。
【００５４】
さらに、第１旋回軸線θ１０まわりに所定角度回転して、基板保持ハンド１１４および１２４がセンターロボット５９と対向するようにした後、第２モータ８１６を駆動することにより、前方に移動して停止する。
そして、前方に移動したインデクサロボット６は、第１ロボットアーム１１を延ばして、取り出した基板Ｗを前方に差し出す。基板Ｗは、基板受け渡し位置Ｓまで差し出される。
【００５５】
また、センターロボット５９は、第１基板保持ハンド６２が退避し、かつ、インデクサロボット６と対向している位置を、第１基板保持ハンド６２のホームポジションとする。同様に、第２基板保持ハンド６３が退避し、かつ、インデクサロボット６と対向している位置を、第２基板保持ハンド６３のホームポジションとする。
そして、センターロボット５９は、たとえば、第１進退駆動機構６１５の動作により、第１基板保持ハンド６２を、その先端部分が受け渡し位置Ｓに到達するまでホームポジションから進出させる。
【００５６】
そして、第１ロボットアーム１１によりキャリヤ２１から取り出された基板Ｗは、基板受け渡し位置Ｓにおいて、第１基板保持ハンド６２に受け渡される。基板Ｗを受け取った第１基板保持ハンド６２は、第１進退駆動機構６１５の動作により、ホームポジションまで退避する。
そして、たとえば、旋回駆動機構６１４の動作により、第１基板保持ハンド６２および第２基板保持ハンド６３が基板処理ユニット５１と対向する角度位置まで、回転昇降台６１２が回転される。また、昇降駆動機構６１３の動作により、第１基板保持ハンド６２および第２基板保持ハンド６３が基板処理ユニット５１に対向する高さまで、回転昇降台６１２が昇降される。
【００５７】
基板処理ユニット５１に、処理済みの基板Ｗが収容されていれば、第２進退駆動機構６１６の動作により、第２基板保持ハンド６３が基板処理ユニット５１に対して進出することで、処理済みの基板Ｗが、第２基板保持ハンド６３によって基板処理ユニット５１から搬出される。
そして、引き続いて、第１進退駆動機構６１５の動作により、第１基板保持ハンド６２が基板処理ユニット５１に対して進出することで、基板Ｗが、基板処理ユニット５１に搬入されて所定の処理が行われる。
【００５８】
なお、基板処理ユニット５１〜５８は、同種類の処理を行うものであってもよいし、異種類の処理を行うものを含んでいてもよい。同種類の処理を行う場合、センターロボット５９は、インデクサロボット６から受け取った未処理の基板Ｗを基板処理ユニット５１〜５８のいずれかに搬入するとともに、この基板処理ユニットから受け取った処理済みの基板Ｗをインデクサロボット６に受け渡すように動作する。異種類の処理を行う基板処理ユニットが含まれている場合には、センターロボット５９は、或る基板処理ユニットから、他の基板処理ユニットへと基板を搬送するように動作する場合もある。
【００５９】
以上のように、この実施形態では、インデクサロボット６の第２基台８２を、搬送路７と交差する方向に移動させることができる。そして、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、第２基台８２が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。
【００６０】
具体的には、インデクサロボット６は、回転昇降台８４を回転させた場合の旋回直径Ｌ１が図示のとおりとなり、さらに、搬送路７を移動させたときの範囲が移動範囲Ｐ１となる。一方、図５に示すように、従来のインデクサロボット９３の場合には、旋回直径Ｌ２および移動範囲Ｐ２が図示のとおりとなり、Ｌ１＜Ｌ２、Ｐ１＜Ｐ２となる。
すなわち、インデクサロボット６の旋回直径Ｌ１および移動範囲Ｐ１を小さくすることができ、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。
【００６１】
また、センターロボット５９は、インデクサロボット６との間で基板Ｗの受け渡しを行うとともに、その周囲に配置された８個の基板処理ユニット５１〜５８のうちのいずれかに適宜アクセスして、一方の基板保持ハンドで処理済みの基板Ｗを搬出する。そして、これに引き続いて、他方の基板保持ハンドで未処理の基板Ｗを搬入する。また、基板処理ユニット５１〜５８は、薬液処理、リンス処理、および乾燥処理などの複数の処理を行うため、１枚の基板の処理に要する時間（以下、基板処理時間）が必然的に長くなってしまう。このため、１枚の基板を処理する場合、インデクサ部３内での工程に要する時間よりも、処理部５内での工程に要する時間（基板処理時間＋センターロボット５９の基板搬送時間）の方が長くなり、処理部５内での工程に要する時間が、基板処理装置１全体の基板処理速度を律速することになる。
【００６２】
この実施形態では、インデクサロボット６の第２基台８２が搬送路７と交差する方向に移動するため、たとえば、搬送路７内を各キャリヤ２１〜２４に沿う方向にのみ移動するものと比べた場合、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２を折りたたんだ状態の占有面積が同一であっても、搬送路７と交差する方向に遠くまで基板保持ハンド１１４および１２４を到達させることができる。よって、インデクサロボット６とセンターロボット５９との基板受け渡し位置Ｓを、センターロボット５９寄りに配置することができる。これにより、センターロボット５９の第１基板保持ハンド６２および第２基板保持ハンド６３がインデクサロボット６との基板受け渡し位置Ｓにアクセスするときのストロークが短くなり、その結果、インデクサロボット６との間での基板Ｗの受け渡しに要する時間を短縮できる。これにより、センターロボット５９の基板搬送時間（サイクルタイム）を短縮することができるから、律速となっている処理部５内での工程に要する時間が短縮され、したがって、基板処理装置１全体の基板処理速度を高めることができる。
【００６３】
また、センターロボット５９の台座部６０は位置固定されており、レール上を移動しないので、センターロボット５９を動作させても発塵を抑制できる。
また、基板処理ユニット５１〜５８が二階建て構造とされているため、流体ボックス４の配置領域が大きくなり、インデクサロボット６から基板受け渡し位置Ｓまでの距離が長くなるが、そのような場合でも、インデクサロボット６の第２基台８２を、搬送路７と交差する方向に移動させて基板受け渡し位置寄りにすることができるため、各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、その旋回スペースを小さくすることができる。
【００６４】
この発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、請求項記載の範囲内において種々の変更が可能である。
たとえば、基板処理装置１にはインデクサロボット６が用いられたが、専らキャリヤ２１〜２４から基板Ｗを搬出するローダロボットであってもよく、専らキャリヤ２１〜２４に対して基板Ｗを収納するアンローダロボットであってよい。
【００６５】
また、基板処理ユニット５１〜５８は、二階建て構造であるとして説明したが、三階建て以上の複数層の基板処理ユニットであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】この発明の一実施形態にかかる基板搬送装置が用いられた基板処理装置の構成を説明するための図解的な平面図である。
【図２】図１の状態のインデクサロボットを右方からみた状態を図解的に示す側面図である。
【図３】図２における矢印Ａ方向からみたインデクサロボットの一部を示す図である。
【図４】センターロボットを右方からみた状態を図解的に示す側面図である。
【図５】従来の基板搬送装置が用いられた基板処理装置の構成を説明するための図解的な平面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１      基板処理装置
２      キャリヤ保持部
４      流体ボックス
６      インデクサロボット
７      搬送路
８      基台部
１１    第１ロボットアーム
１２    第２ロボットアーム
１４    第１ボールねじ
１５    第１モータ
２１〜２４  キャリヤ
５１〜５８  基板処理ユニット
５９    センターロボット
６０    台座部
６１    基台部
６２    第１基板保持ハンド
６３    第２基板保持ハンド
１１１  第１リンク部材
１１２  第２リンク部材
１１４  基板保持ハンド
１２１  第１リンク部材
１２２  第２リンク部材
１２４  基板保持ハンド
６１３  昇降駆動機構
６１４  旋回駆動機構
６１５  第１進退駆動機構
６１６  第２進退駆動機構
８１２  第１走行ブロック
８１５  第２ボールねじ
８１６  第２モータ
８２２  第２走行ブロック
８３２  旋回駆動機構
８４１  第１アーム駆動機構
８４２  第２アーム駆動機構
【図１】
2006073835.tif 000003
【図２】
2006073835.tif 000004
【図３】
2006073835.tif 000005
【図４】
2006073835.tif 000006
【図５】
2006073835.tif 000007