(57)【要約】【課題】  走査駆動信号におけるリンギングの発生を抑えることによって、試料像の形成に寄与しない無駄な時間を減らすとともに、試料に発生するダメージを軽減すること。【解決手段】  荷電粒子ビーム源１から放出された荷電粒子ビーム２１を試料５上で走査させるための偏向器４と、偏向器４に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器とを備える荷電粒子ビーム装置において、走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くする。走査駆動信号において発生するリンギングは、走査駆動信号の変化の急峻さが大きくなるのに応じて発生しやすくなるが、本発明では、上記制御により、走査駆動信号の立ち下がり時間が、その振幅が大きくなるのに応じて長く設定されることとなるので、走査駆動信号におけるリンギングの発生を抑えることができる。【選択図】図２
2006066212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームを試料上で走査させるための偏向器と、偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器とを備える荷電粒子ビーム装置において、信号形成器により形成される走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くすることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
【請求項２】
荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームを試料上で走査させるための偏向器と、偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器とを備える荷電粒子ビーム装置において、信号形成器により形成される走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の周波数が高くなるのに応じて長くすることを特徴とする荷電粒子ビーム装置。
【請求項３】
前記走査用デジタル信号の立ち下がり時間において、前記荷電粒子ビームのブランキングを行うことを特徴とする請求項１若しくは２記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項４】
前記荷電粒子ビームは電子ビームであることを特徴とする請求項１乃至３何れかに記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項５】
荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームを試料上で走査させるための偏向器と、偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器と、これら荷電粒子ビーム源、偏向器、及び信号形成器を制御するための制御部とを備える荷電粒子ビーム装置の制御方法において、制御部による制御により、信号形成器が形成する走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くすることを特徴とする荷電粒子ビーム装置の制御方法。
【請求項６】
荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームを試料上で走査させるための偏向器と、偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器と、これら荷電粒子ビーム源、偏向器、及び信号形成器を制御するための制御部とを備える荷電粒子ビーム装置の制御方法において、制御部による制御により、信号形成器が形成する走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の周波数が高くなるのに応じて長くすることを特徴とする荷電粒子ビーム装置の制御方法。
【請求項７】
前記制御部による制御により、前記走査用デジタル信号の立ち下がり時間において、前記荷電粒子ビームのブランキングを行うことを行うことを特徴とする請求項５若しくは６記載の荷電粒子ビーム装置の制御方法。
【請求項８】
前記荷電粒子ビームは電子ビームであることを特徴とする請求項５乃至７何れかに記載の荷電粒子ビーム装置の制御方法。
【請求項９】
荷電粒子ビームを試料上で走査するための偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号の形成方法において、走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くすることを特徴とする走査用デジタル信号の形成方法。
【請求項１０】
荷電粒子ビームを試料上で走査するための偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号の形成方法において、走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の周波数が高くなるのに応じて長くすることを特徴とする走査用デジタル信号の形成方法。
【請求項１１】
前記荷電粒子ビームは電子ビームであることを特徴とする請求項９若しくは１０記載の走査用デジタル信号の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査形電子顕微鏡等の荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム装置の制御方法並びに走査用デジタル信号の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査形電子顕微鏡等の荷電粒子ビーム装置においては、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームが試料に照射され、これにより得られる試料の情報を検出することができる。以下、ここでは、荷電粒子ビーム装置として走査形電子顕微鏡を例にして説明する。
【０００３】
走査形電子顕微鏡では、荷電粒子ビーム源となる電子銃から荷電粒子ビームである電子ビームが放出される。電子銃から放出された電子ビームは、集束レンズ、対物レンズ、及び偏向器を備える電子光学系により試料上に照射される。このとき、偏向器により、電子ビームは偏向されて試料上を走査する。
【０００４】
電子ビームが照射された試料からは２次電子等の被検出電子が発生する。この発生した被検出電子は検出器により検出され、これにより試料像が形成される。
【０００５】
試料に照射される電子ビームを走査するための偏向器には、走査駆動信号（走査用駆動電流）が供給される。偏向器は、この走査駆動信号に基づいて駆動されて電子ビームを偏向し、これにより電子ビームは試料上を走査する。
【０００６】
偏向器に供給される走査駆動信号の一例を図１に示す。同図において、Ｓ１は、従来技術における走査駆動信号である。
【０００７】
この走査駆動信号Ｓ１は、偏向器により電子ビームが試料上を走査する領域に対応して設定される２つの電流値（設定最小値Ｉ１，設定最大値Ｉ２）の間で、振幅を繰り返すように形成される。このとき、走査駆動信号Ｓ１が設定最大値Ｉ２まで上昇後、この設定最大値Ｉ２から設定最小値Ｉ１まで立ち下がるときに、瞬時に設定最小値Ｉ１まで立ち下がるように走査駆動信号Ｓ１が設定されることがある。ここで、走査駆動信号Ｓ１が設定最大値Ｉ２から設定最小値Ｉ１に立ち下がると、これに応じて偏向器により偏向される電子ビームが試料上において振り戻されることとなる。
【０００８】
このように走査駆動信号Ｓ１が設定最大値Ｉ２から設定最小値Ｉ１まで瞬時に立ち下がるように設定されていると、この立ち下がりの時に偏向器内において急激な電流変動による逆起電力が発生し、これに起因して、走査駆動信号Ｓ１が設定最小値Ｉ１よりも下がることとなる。よって、この走査駆動信号Ｓ１の立ち下がり時においては、走査駆動信号Ｓ１が、設定最小値Ｉ１よりもさらに低い設定外電流値Ｉ３まで下降することとなる。
【０００９】
この結果、走査駆動信号Ｓ１が設定最大値Ｉ２から設定最小値Ｉ１に到達した直後から、走査駆動信号Ｓ１の信号波形に、設定最小値Ｉ１から設定外電流値Ｉ３への下降を含むリンギング（歪み）Ｓ１１が発生する。このリンギングＳ１１は、走査駆動信号Ｓ１が設定最小値Ｉ１に到達した時点ｔ１から設定外電流値Ｉ３を経由し、その後上下変動を繰り返した後、安定的に上昇して設定最小値Ｉ１に復帰する時点ｔ２までの期間Ｔ１において発生することとなる。
【００１０】
当該復帰時点ｔ２以降、走査駆動信号Ｓ１の電流値は、設定最小電流値Ｉ１から設定最大電流値Ｉ２まで達する時点ｔ３までの期間Ｔ２の間において安定して上昇する。その後、上述のごとく、走査駆動信号Ｓ１の電流値が、設定最小電流値Ｉ１を通過して設定外電流値Ｉ３まで下降することとなる。なお、図中のＴは、走査駆動信号Ｓ１の周期（走査周期）を示す。
【００１１】
このように、走査駆動信号Ｓ１においてリンギングＳ１１が発生すると、リンギングＳ１１が発生している期間Ｔ１の間は、試料像の形成に寄与しない期間となる。従って、通常、当該期間Ｔ１の間に試料からの被検出電子が検出器により検出されても、この期間Ｔ１における検出器による検出データは、試料像を形成するためのデータとして選択しない。
【００１２】
すなわち、走査駆動信号Ｓ１の周期Ｔの中で、期間Ｔ１の間に検出された被検出電子の検出データは非選択とする。そして、走査駆動信号Ｓ１が設定最小値Ｉ１から安定的に設定最大値Ｉ２まで上昇する期間Ｔ２の間に検出された被検出電子の検出データを選択し、当該検出データに基づいて試料像を形成するようにしている。
【００１３】
なお、リンギングの最初のうねりを打ち消すために、最初のうねりとは逆方向のパルス状の信号を加算するものもある（例えば、特許文献１参照）。
【００１４】
【特許文献１】特開平８−３３５５４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
上述のように、走査駆動信号Ｓ１の立ち下がり時にリンギングが発生すると、リンギングの発生期間Ｔ１の間は、試料像の形成に寄与しない期間となる。よって、このリンギングの発生期間Ｔ１が長くなると、試料像の形成に寄与しない無駄な時間が増大することとなる。
【００１６】
特に、試料上での電子ビームの速い走査を行うために、走査駆動信号Ｓ１の走査周期Ｔを短くすると、当該走査周期Ｔにおけるリンギングの発生期間Ｔ１の占める割合が大きくなり、試料像の形成に寄与しない無駄な時間の割合が大きくなる。
【００１７】
また、リンギングの発生期間Ｔ１においても電子ビームが試料に照射されているので、リンギングの発生期間Ｔ１が長くなると、照射された電子ビームによって試料にダメージが発生することがある。
【００１８】
本発明は、このような点に鑑みて成されたものであり、走査駆動信号におけるリンギングの発生を抑えることによって、試料像の形成に寄与しない無駄な時間を減らすとともに、試料に発生するダメージを軽減することのできる荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム装置の制御方法並びに走査用デジタル信号の形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明に基づく荷電粒子ビーム装置は、荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームを試料上で走査させるための偏向器と、偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器とを備える荷電粒子ビーム装置であって、信号形成器により形成される走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くすることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明に基づく他の荷電粒子ビーム装置は、荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームを試料上で走査させるための偏向器と、偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器とを備える荷電粒子ビーム装置であって、信号形成器により形成される走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の周波数が高くなるのに応じて長くすることを特徴とする。
【００２１】
さらに、本発明に基づく荷電粒子ビーム装置の制御方法は、荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームを試料上で走査させるための偏向器と、偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器と、これら荷電粒子ビーム源、偏向器、及び信号形成器を制御するための制御部とを備える荷電粒子ビーム装置の制御方法であって、制御部による制御により、信号形成器が形成する走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くすることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明に基づく他の荷電粒子ビーム装置の制御方法は、荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源から放出された荷電粒子ビームを試料上で走査させるための偏向器と、偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号を形成する信号形成器と、これら荷電粒子ビーム源、偏向器、及び信号形成器を制御するための制御部とを備える荷電粒子ビーム装置の制御方法であって、制御部による制御により、信号形成器が形成する走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の周波数が高くなるのに応じて長くすることを特徴とする。
【００２３】
そして、本発明に基づく走査用デジタル信号の形成方法は、荷電粒子ビームを試料上で走査するための偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号の形成方法であって、走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くすることを特徴とする。
【００２４】
また、本発明に基づく走査用デジタル信号の形成方法は、荷電粒子ビームを試料上で走査するための偏向器に供給される走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号の形成方法であって、走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の周波数が高くなるのに応じて長くすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
一般に、走査駆動信号において発生するリンギングは、走査駆動信号の変化の急峻さが大きくなるのに応じて発生しやすくなる。
【００２６】
そこで、本発明においては、走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くする。
【００２７】
また、本発明においては、走査駆動信号に変換される走査用デジタル信号の立ち下がり時間を、当該走査用デジタル信号の周波数が高くなるのに応じて長くする。
【００２８】
この結果、走査用デジタル信号が変換されて形成される走査駆動信号の変化の急峻さが緩和されて小さくなり、リンギングの発生を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００３０】
図２は、本発明における荷電粒子ビーム装置を示す概略構成図である。この荷電粒子ビーム装置は、走査形電子顕微鏡の構成を備えている。
【００３１】
同図において、１は荷電粒子ビーム源となる電子銃である。この電子銃１からは、荷電粒子ビームである電子ビーム２１が試料５に向けて加速されて放出される。電子銃１から放出された電子ビーム２１は、集束レンズ２及び対物レンズ３により試料５上に細く集束された状態で照射される。このとき、偏向器２によって電子ビーム２１は適宜偏向され、これにより電子ビーム２１は試料５上で走査される。
【００３２】
電子ビーム２１が照射された試料５からは、２次電子等の被検出電子２２が発生する。この被検出電子２２は、電子検出器６により検出される。
【００３３】
電子検出器６は、検出した被検出電子２２の検出結果に基づいて検出信号を出力する。電子検出器６から出力された検出信号は、増幅された後、Ａ／Ｄ変換部８によりデジタル信号に変換されてフレームメモリ１１に送られる。
【００３４】
フレームメモリ１１は、この検出信号と、後述する走査用デジタル信号とに基づいて、試料の走査像（試料像）を表示するための画像データを作成する。
【００３５】
フレームメモリ１１により作成された画像データは、バスライン９を介して表示部１２に送られる。表示部１２は、送られた画像データに基づいて、試料像となる画像を表示する。
【００３６】
バスライン９には、制御部１０が接続されている。この制御部１０は、電子銃１、集束レンズ２、及び対物レンズ３を駆動するための各駆動部１ａ〜３ａに対して、それぞれ所定の駆動制御信号を送り、これらの制御を行う。さらに、制御部１０は、偏向器４に接続された走査駆動信号作成部７に対して走査制御信号を送り、走査駆動信号作成部７の制御を行う。この走査駆動信号形成部７は、偏向器４に走査駆動信号を供給するためのものである。なお、走査駆動信号作成部７、Ａ／Ｄ変換器８、及びフレームメモリ１１は、同一の基板（ボード）に組み込まれ、イメージプロセッサ１３を構成している。
【００３７】
また、制御部１０は、表示部１２の制御も行う。この荷電粒子ビーム装置を操作するオペレータは、表示部１２に表示された試料像を目視にて確認することにより、試料５の観察を行うことができる。
【００３８】
ここで、走査駆動信号作成部７の詳細な構成を図３に示す。同図において、走査駆動信号作成部７は、信号形成器３０を備えている。この信号形成器３０には、バスライン９を介して制御部１０（図２参照）からの走査制御信号が送られる。
【００３９】
信号形成器３０は、制御部１０から送られた走査制御信号を受けることにより、走査用デジタル信号を形成する。これにより、信号形成部３０は、制御部１０により制御されることとなる。
【００４０】
ここで、信号形成器３０にはメモリ３０ａが備えられており、このメモリ３０ａ内には、走査駆動データが格納されている。信号形成器３０は、メモリ３０ａに格納された走査駆動データに基づいて、走査用デジタル信号を形成する。
【００４１】
信号形成器３０で形成された走査用デジタル信号は、Ｄ／Ａ変換器３１によりアナログ信号である走査駆動信号（走査用駆動電流）に変換され、抵抗Ｒ１を介してアンプ３２に送られる。また、走査用デジタル信号は、フレームメモリ１１（図２参照）にも送られることとなる。
【００４２】
アンプ３２は、送られてきた走査駆動信号を増幅して偏向器４に供給する。ここで、図３の例においては、偏向器４は偏向コイルから構成されている。以下、図３を参照した説明において、偏向器４を偏向コイル４として説明する。
【００４３】
偏向コイル４に供給された走査駆動信号は、偏向コイル４を経由し、帰還抵抗Ｒ２を介してアンプ３２に帰還する。
【００４４】
なお、偏向コイル４と帰還抵抗Ｒ２との間には、本荷電粒子ビーム装置である走査形電子顕微鏡における特定の倍率を選択するための倍率選択回路３３が配置されている。この倍率選択回路３３は、選択的に開閉される複数（本実施例では４個）のスイッチを備えるスイッチ部Ｓを有している。このスイッチ部Ｓを構成する各スイッチの一端側は、偏向コイル４と帰還抵抗Ｒ２とを繋ぐ配線に接続されている。そして、当該各スイッチの他端側は、特定の倍率を選択するための抵抗値の異なる複数（４個）の基準抵抗Ｒ３〜Ｒ６を介して接地されている。
【００４５】
各スイッチの他端側に接続された各基準抵抗Ｒ３〜Ｒ６の抵抗値は、選択される倍率に応じて異なる抵抗値を有している。
【００４６】
そして、スイッチ部Ｓを構成するこれらスイッチの内の何れか一つのみを選択して閉状態とすることにより、当該スイッチに接続された基準抵抗Ｒ３〜Ｒ６の何れか一つが選択されることとなる。これにより、走査形電子顕微鏡における特定の倍率が選択される。
【００４７】
なお、基準抵抗Ｒ３〜Ｒ６の各抵抗値は、一例として、１０Ω、１００Ω、１ｋΩ、１０ｋΩに設定する。この場合、抵抗値が低い基準抵抗が選択されると低倍率となり、また抵抗値が高い基準抵抗が選択されると高倍率となる。
【００４８】
このスイッチ部Ｓを構成する各スイッチの選択は、オペレータによるマニュアル操作により行われる。なお、制御部１０による制御によって、当該選択が行われるようにしてもよい。
【００４９】
以上が、本発明における荷電粒子ビーム装置である走査形電子顕微鏡の構成である。次に、当該走査電子顕微鏡において、走査駆動信号作成部７により形成され、偏向器４に供給される走査駆動信号について説明する。
【００５０】
図４は、本発明において偏向器４に供給される走査駆動信号を示す図である。同図において、Ｓ２は、本発明における走査駆動信号である。
【００５１】
この走査駆動信号Ｓ２は、偏向器４により電子ビーム２１が試料５上を走査する領域に対応して設定される２つの電流値（設定最小値Ｉ１，設定最大値Ｉ２）の間で振幅を繰り返すように、走査駆動信号作成部７により形成される。走査駆動信号作成部７により形成された走査駆動信号Ｓ２は、上述のごとく偏向器４に供給され、これにより偏向器４が駆動されて電子ビーム２１が偏向する。
【００５２】
ここで、本発明においては、走査駆動信号Ｓ２の電流値が設定最大電流値Ｉ２まで上昇後、この設定最大電流値Ｉ２から設定最小電流値Ｉ１まで立ち下がるときに、所定の立ち下がり時間Ｔ３を設けるようにしている。すなわち、走査駆動信号Ｓ２の電流値が設定最大電流値Ｉ２に到達した時点ｔ５から設定最小電流値Ｉ１に到達する時点ｔ６までの期間として、この立ち下がり時間Ｔ３を設けている。
【００５３】
このように、所定の立ち下がり時間Ｔ３を設けることにより、走査駆動信号Ｓ２の立ち下がりの時に偏向器４内において急激な電流変動が起きることがなく、逆起電力の発生を抑えることができる。これにより、従来技術において起きていたリンギングの発生を抑えることができる。なお、走査駆動信号Ｓ２の電流値が設定最大値Ｉ２から設定最小値Ｉ１に立ち下がると、これに応じて偏向器４により偏向される電子ビーム２１が振り戻されることとなる。
【００５４】
上記時点ｔ５から立ち下がり時間Ｔ３が経過して上記時点ｔ６に到達後、走査駆動信号Ｓ２の電流値は、設定最小電流値Ｉ１から設定最大電流値Ｉ２に到達する時点ｔ７までの期間Ｔ４の間において安定的に上昇する。そして、走査駆動信号Ｓ２の電流値は、設定最大電流値Ｉ２に到達してから立ち下がり時間Ｔ３の経過後に設定最小電流値Ｉ１に立ち下がる。なお、図中のＴ５は、走査駆動信号Ｓ２の周期（走査周期）を示す。
【００５５】
ここで、走査駆動信号Ｓ２における立ち下がり時間Ｔ３は、当該走査駆動信号Ｓ２の振幅が大きくなるのに応じて長く設定されるように制御される。この振幅とは、走査駆動信号Ｓ２の電流値における設定最大電流値Ｉ２と設定最小電流値Ｉ１との差分（Ｉ２−Ｉ１）をいう。
【００５６】
このような走査駆動信号Ｓ２は、上述のごとく走査駆動信号作成部７内において、信号形成器３０のメモリ３０ａに格納された走査駆動データに基づいて形成された走査用デジタル信号を、Ｄ／Ａ変換器３１によりアナログ信号に変換した後、アンプ３２により増幅することにより作成される。
【００５７】
走査用デジタル信号は、Ｄ／Ａ変換器３１により走査駆動信号Ｓ２に変換されることとなるので、上記立ち下がり時間Ｔ３と等しい立ち下がり時間（以下、当該立ち下がりもＴ３とする）を備える。そして、走査デジタル信号における立ち下がり時間Ｔ３は、その振幅が大きくなるのに応じて長くなるように形成される。このとき、信号形成器３０のメモリ３０ａには、このような走査用デジタル信号を形成するための走査駆動データが格納されている。そして、走査用デジタル信号が変換されて作成される走査駆動信号Ｓ２は、上述のように、その振幅が大きくなるのに応じて長く設定された立ち下がり時間Ｔ３を備えることとなる。
【００５８】
一般に走査駆動信号において発生するリンギングは、走査駆動信号の変化の急峻さが大きくなるのに応じて発生しやすくなる。よって、走査用デジタル信号の振幅に対応した走査駆動信号の振幅が大きくなることは、当該走査駆動信号の変化の急峻さが大きくなる要因となる。
【００５９】
そこで、本発明においては、走査用デジタル信号に立ち下がり時間Ｔ３を設けることにより走査駆動信号Ｓ２に立ち下がり時間Ｔ３を設定する。そして、この立ち下がり時間Ｔ３を走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長くなるように設定する。
【００６０】
その結果、走査駆動信号Ｓ２の立ち下がり時間Ｔ３は、その振幅が大きくなるのに応じて長くなる。これにより、走査駆動信号Ｓ２の立ち下がり時における当該走査駆動信号Ｓ２の変化の急峻さが緩和されて小さくなり、走査駆動信号Ｓ２におけるリンギングの発生を抑えることができる。
【００６１】
ここで、従来技術における走査駆動信号Ｓ１（図１参照）と、本発明における走査駆動信号Ｓ２（図４参照）とを比較して説明すると、従来技術におけるリンギングの発生期間（発生時間）Ｔ１に対して、本発明における上記立ち下がり時間Ｔ３は短くなっている。
【００６２】
よって、本発明では、試料像の形成に寄与しない無駄な時間を減らすことができるとともに、試料に発生するダメージを軽減することができる。
【００６３】
また、この結果、本発明における走査駆動信号Ｓ２の周期Ｔ５は、従来技術における走査駆動信号Ｓ１の周期Ｔよりも短くなっており、電子ビーム２１の走査を効率良く行うことができる。
【００６４】
なお、上述の例においては、走査用デジタル信号の立ち下がり時間Ｔ３を、当該走査用デジタル信号の振幅が大きくなるのに応じて長く設定するようにしていたが、変形例も考えられる。
【００６５】
本実施の形態の変形例は、走査用デジタル信号の立ち下がり時間Ｔ３を、当該走査用デジタル信号の周波数が低くなるのに応じて長く設定するものである。
【００６６】
この場合も、走査用デジタル信号が変換されて作成される走査駆動信号Ｓ２の変化の急峻さが緩和されて小さくなり、走査駆動信号Ｓ２におけるリンギングの発生を抑えることができる。
【００６７】
また、上記各実施例において、試料５に発生するダメージをさらに軽減することを目的として、上記立ち下がり時間Ｔ３の期間において試料５に電子ビーム２１が照射されないように、電子ビームのブランキングを行うことも考えられる。このブランキングは、電子銃１から放出された電子ビーム２１を試料５から外す動作であり、電子銃１と集束レンズ２との間に設けられたブランキング用の静電形偏向器（図示せず）を、制御部１０により駆動制御することにより行うことができる。
【００６８】
このようにすることにより、走査駆動信号Ｓ２の立ち下がり時間Ｔ３において試料５に電子ビーム２１が照射されないので、走査駆動信号Ｓ２における周期Ｔ５の期間において、電子ビーム２１が試料５に照射される時間を減らすことができる。これにより、電子ビーム２１の照射に起因する試料５のダメージをさらに軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】従来技術において、偏向器に供給される走査駆動信号の一例を示す図である。
【図２】本発明における荷電粒子ビーム装置を示す概略構成図である。
【図３】走査駆動信号作成部の詳細な構成を示す図である。
【図４】本発明において、偏向器に供給される走査駆動信号を示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１…電子銃（荷電粒子ビーム源）、２…集束レンズ、３…対物レンズ、４…偏向器、５…試料、６…電子検出器、７…走査駆動信号形成部、１０…制御部、１１…フレームメモリ、１２…表示部、２１…電子ビーム（荷電粒子ビーム）
【図１】
2006066212.tif 000003
【図２】
2006066212.tif 000004
【図３】
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【図４】
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