(57)【要約】      （修正有）【課題】  コンベヤユニットを用いて薄板状の物体を長い距離を搬送する装置において、ベルトやプーリの交換などのメンテナンスが容易であるコンベヤユニットを提供する。【解決手段】  物体の搬送装置１において、基台と、基台への着脱が容易であると共に、物体の搬送方向に並んで基台に設置されている複数のコンベヤユニット５とを有する。【選択図】図１
2006306593.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の搬送装置において、
基台と；
前記基台への着脱が容易であると共に、前記物体の搬送方向に並んで前記基台に設置されている複数のコンベヤユニットと；
を有することを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の物体の搬送装置において、
前記コンベヤユニットは、
前記基台に着脱自在なフレームと；
前記フレームの長手方向の一端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第１のプーリと；
前記フレームの長手方向の他端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第２のプーリと；
前記第１のプーリと前記第２のプーリとに巻き掛けられた第１のベルトと；
前記第２のプーリを回転駆動する回転駆動手段と；
を有するコンベヤユニットであることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の物体の搬送装置において、
前記各コンベヤユニットは、前記物体の幅方向で間隔をあけて設けられていると共に、
前記物体の流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニットの下流側の部位と、前記物体の流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニットの上流側の部位とが、互いにオーバーラップしていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の物体の搬送装置において、
前記各プーリは、前記フレームの幅方向の一端部側に、オーバーハングして設けられており、
前記物体の幅方向で、前記上流側コンベヤユニットのフレームと前記下流側コンベヤユニットのフレームとの間に、前記上流側コンベヤユニットの第１のベルトと前記下流側コンベヤユニットの第１のベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニットと前記下流側コンベヤユニットとが設けられていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項５】
請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の物体の搬送装置において、
前記回転駆動手段は、
前記第２のプーリの回転中心軸と同じ軸を回転中心にして前記第２のプーリといっしょに回転する第３のプーリと；
前記基台に対して回転自在な第４のプーリと；
前記第３のプーリと前記第４のプーリとの間に巻き掛けられた第２のベルトと；
前記第４のプーリを回転駆動するためのアクチュエータと；
を有する手段であることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項６】
請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載の物体の搬送装置において、
前記第１のプーリ、前記第２のプーリと接する側とは反対側の部位である前記第１のベルトの外側部位には、所定の高さの支持体が、前記第１のベルトの長手方向で間隔をあけて複数設けられていることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項７】
請求項６に記載の物体の搬送装置において、
前記第１のプーリと前記第２のプーリとの間で上側に位置している各支持体の先端部が突出するように、前記第１のプーリ、前記第２のプーリおよび前記第１のベルトをカバーで覆ってあることを特徴とする物体の搬送装置。
【請求項８】
請求項２〜請求項７のいずれか１項に記載の物体の搬送装置において、
前記第１のプーリと前記第２のプーリとの間で上側に位置している前記第１のベルトを支持するベルト支持手段を有することを特徴とする物体の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体の搬送装置に係り、特に、物体の搬送方向および物体の幅方向に複数のコンベヤユニットを配置して構成されたものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、コンベヤの一方の側板を搬送ベルト（ベルト）の取り外しが可能な大きさに形成し、他方の側板を架台（基台）に対して回動可能に連結し、前記一方の側板を前記架台から持ち上げることによって、前記ベルトの交換を容易に行うことができる構成のコンベヤ（コンベヤユニット）が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１１４３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、前記従来のコンベヤユニットを用いて、薄板状のガラス基板を長い距離搬送するとなると、前記従来のコンベヤユニットを、前記ガラス基板の搬送方向に複数並べると共に、上流側のコンベヤユニットから下流側のコンベヤユニットへの前記ガラス基板の乗り継ぎがスムーズに行われるようにするために、前記上流側コンベヤユニットの一部と前記下流側コンベヤユニットの一部とを、前記ガラス基板の搬送方向においてオーバーラップさせる必要がある。
【０００４】
また、前記従来のコンベヤユニットを、前記ガラス基板を幅方向にも複数個並べて、前記ガラス基板の幅方向において幅の広い前記ガラス基板を安定した状態で支持し搬送する必要がある。
【０００５】
しかし、前記従来のコンベヤユニットを、前述したようにガラス基板の搬送方向および幅方向に並べて配置すると、各コンベヤユニット同士が互いに接近しまたオーバーラップするので、ベルトの交換をする際に、隣に存在しているコンベヤユニットが邪魔になり、ベルトの交換がしにくいという問題がある。
【０００６】
なお、前記問題は、ガラス基板以外の薄いワーク等の物体を搬送する場合にも発生する問題であり、また、ベルトの交換のみでなく、他のメンテナンス（たとえば、プーリの交換等）をする場合にも発生する問題である。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、メンテナンスが容易である物体の搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、物体の搬送装置において、基台と、前記基台への着脱が容易であると共に、前記物体の搬送方向に並んで前記基台に設置されている複数のコンベヤユニットとを有する物体の搬送装置である。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の物体の搬送装置において、前記コンベヤユニットは、前記基台に着脱自在なフレームと、前記フレームの長手方向の一端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第１のプーリと、前記フレームの長手方向の他端部側で前記フレームに対して回転自在に設けられた第２のプーリと、前記第１のプーリと前記第２のプーリとに巻き掛けられた第１のベルトと、前記第２のプーリを回転駆動する回転駆動手段とを有するコンベヤユニットである物体の搬送装置である。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の物体の搬送装置において、前記各コンベヤユニットは、前記物体の幅方向で間隔をあけて設けられていると共に、前記物体の流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニットの下流側の部位と、前記物体の流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニットの上流側の部位とが、互いにオーバーラップしている物体の搬送装置である。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の物体の搬送装置において、前記各プーリは、前記フレームの幅方向の一端部側に、オーバーハングして設けられており、前記物体の幅方向で、前記上流側コンベヤユニットのフレームと前記下流側コンベヤユニットのフレームとの間に、前記上流側コンベヤユニットの第１のベルトと前記下流側コンベヤユニットの第１のベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニットと前記下流側コンベヤユニットとが設けられている物体の搬送装置である。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の物体の搬送装置において、前記回転駆動手段は、前記第２のプーリの回転中心軸と同じ軸を回転中心にして前記第２のプーリといっしょに回転する第３のプーリと、前記基台に対して回転自在な第４のプーリと、前記第３のプーリと前記第４のプーリとの間に巻き掛けられた第２のベルトと、前記第４のプーリを回転駆動するためのアクチュエータとを有する手段である物体の搬送装置である。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載の物体の搬送装置において、前記第１のプーリ、前記第２のプーリと接する側とは反対側の部位である前記第１のベルトの外側部位には、所定の高さの支持体が、前記第１のベルトの長手方向で間隔をあけて複数設けられている物体の搬送装置である。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の物体の搬送装置において、前記第１のプーリと前記第２のプーリとの間で上側に位置している各支持体の先端部が突出するように、前記第１のプーリ、前記第２のプーリおよび前記第１のベルトをカバーで覆ってある物体の搬送装置である。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項２〜請求項７のいずれか１項に記載の物体の搬送装置において、前記第１のプーリと前記第２のプーリとの間で上側に位置している前記第１のベルトを支持するベルト支持手段を有する物体の搬送装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、物体の搬送装置において、メンテナンスが容易になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、本発明の実施形態に係る物体の搬送装置１の概略構成を示す斜視図である。
【００１８】
図２は、物体の搬送装置１の概略構成を示す平面図であり、図１におけるＩＩ矢視を示す図である。
【００１９】
搬送装置１は、たとえば、ＬＣＤ用のガラス基板Ｗ等の薄板状の物体の搬送装置（以下、単に「搬送装置」という場合がある。）であり、基台３を備えている。
【００２０】
前記基台３の上には、前記ガラス基板Ｗを搬送するために、前記ガラス基板Ｗの搬送方向（たとえば水平方向の一方向）および前記ガラス基板Ｗの幅方向に並んで、複数のコンベヤユニット（ユニット化された各ベルトコンベヤユニット）５が設置されている。前記各コンベヤユニット５は、前記基台３へ着脱自在になっていると共に、前記基台３への着脱が容易になっている。
【００２１】
なお、説明の便宜のために、前記ガラス基板Ｗの搬送方向をｘ軸方向とし、前記ガラス基板Ｗの幅方向（前記ｘ軸方向に垂直な水平方向）をｙ軸方向とし、上下方向をｚ軸方向とする場合がある。
【００２２】
次に、前記コンベヤユニット５について詳しく説明する。
【００２３】
図３は、コンベヤユニット５の概略構成を示す平面図である。
【００２４】
図４は、コンベヤユニット５の概略構成を示す側面図であり、図３におけるＩＶ矢視図である。
【００２５】
コンベヤユニット５は、前記基台３に着脱自在な長いフレーム７を備え、このフレーム７の長手方向の一端部側には、第１のプーリ９が設けられている。この第１のプーリ９は、円柱形状に形成され、前記フレーム７に対して回転自在になっている。前記フレーム７の長手方向の他端部側には、第２のプーリ１１が設けられている。この第２のプーリ１１も、円柱形状に形成され、前記フレーム７に対して回転自在になっている。
【００２６】
前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１１とには、無端状の帯状体または紐状体で構成されたベルト（たとえば、歯付タイミングベルトや平ベルト）１３が巻き掛けられている。
【００２７】
また、前記第２のプーリ１１は、詳しくは後述する回転駆動手段１５によって、矢印ＡＲ１の方向に回転駆動するようになっており、前記第２のプーリ１１によって、前記第１のプーリ９が矢印ＡＲ２の方向に回転駆動し、前記各プーリ９、１１の間で上方に位置しているベルト１３が、矢印ＡＲ３の方向に移動し、このベルト１３の上に載置されたガラス基板が搬送されるようになっている。
【００２８】
なお、前記第１のプーリ９が前記ガラス基板Ｗの流れ方向の上流側に位置し、第２のプーリ１１が前記ガラス基板Ｗの流れ方向の下流側に位置するように、前記コンベヤユニット５が前記基台３に設置される。
【００２９】
また、図２に示すように、前記各コンベヤユニット５は、前記ガラス基板Ｗの幅方向（ｙ軸方向）で間隔をあけて設けられている。
【００３０】
前記ガラス基板Ｗの幅方向から眺めると、前記ガラス基板Ｗの流れ方向の上流側に設置された上流側各コンベヤユニット５Ａの下流側（ガラス基板Ｗの流れ方向の下流側）の部位と、前記ガラス基板Ｗの流れ方向の下流側に設置された下流側各コンベヤユニット５Ｂの上流側（ガラス基板Ｗの流れ方向の上流側）の部位とが、互いにオーバーラップしている。
【００３１】
なお、前記ガラス基板Ｗの幅方向に並んで設けられる上流側各コンベヤユニット５Ａは、前記ガラス基板Ｗの搬送方向においてほぼ同じ位置に設置されており、前記ガラス基板Ｗの幅方向に並んで設けられる下流側各コンベヤユニット５Ｂも、前記ガラス基板Ｗの搬送方向においてほぼ同じ位置に設置されている。
【００３２】
前記上流側各コンベヤユニット５Ａの幅方向のすきま（前記上流側各コンベヤユニット５Ａの間の下流側の空間）に、前記下流側各コンベヤユニット５Ｂの上流側の部位が入り込んでおり、この入り込んでいるところでは、前記上流側コンベヤユニット５Ａと前記下流側コンベヤユニット５Ｂとが前記ガラス基板Ｗの幅方向で交互に並んでいる。
【００３３】
さらには、前記下流側各コンベヤユニット５Ｂの第１のプーリ９Ｂの回転中心軸ＣＬ１が、前記上流側各コンベヤユニット５Ａの第２のプーリ１１Ａの回転中心軸ＣＬ２よりも、上流側（ガラス基板Ｗの流れ方向の上流側）に位置している。
【００３４】
そして、前記上流側コンベヤユニット５Ａにおいてガラス基板Ｗを支持するベルト１３Ａの部位（上部で水平方向に延伸している部位）の一部と、前記下流側コンベヤユニット５Ｂにおいてガラス基板Ｗを支持するベルト１３Ｂの部位（上部で水平方向に延伸している部位）の一部とが、前記ガラス基板Ｗの搬送方向でオーバーラップしている。
【００３５】
また、図３に示すように、前記各プーリ９、１１は、前記フレーム７の幅方向（ｙ軸方向）の一端部側に、オーバーハングして設けられている。
【００３６】
さらに、図２に示すように、前記ガラス基板Ｗの幅方向（ｙ軸方向）で、前記上流側コンベヤユニット５Ａのフレーム７と前記下流側コンベヤユニット５Ｂのフレーム７との間に、前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト１３Ａと前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト１３Ｂとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニット５Ａと前記下流側コンベヤユニット５Ｂとが設けられる。
【００３７】
また、図４に示すように、コンベヤユニット５には、前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１１との間で上側に位置しているベルト１３を支持するベルト支持手段１７が設けられている。
【００３８】
具体的には、細長い平坦な上面を備えていると共に、超高分子ポリエチレン（ＵＰＥ）もしくはポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の素材で構成されたベルト支持部材１９によって、ベルト支持手段１７が構成されている。
【００３９】
前記ベルト支持部材１９は、長い長方体状に形成されており、上面２１が前記ガラス基板Ｗの搬送方向に延伸し、かつ、前記上面２１が、前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１３との間で上側に位置しているベルト１３の下面よりもわずかに高い位置にくるように、前記フレーム７に一体的に設置されている。
【００４０】
なお、前記上面２１が、前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１３との間で上側に位置しているベルト１３の下面とほぼ同じ高さであってもよい。
【００４１】
そして、前記ベルト支持部材１９の上面２１を、前記ベルト１３の下面（前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１１との間で上側に位置しているベルト１３の下面）に接触させて、前記ベルト１３が前記ガラス基板Ｗの重量や前記ベルト１３自身の重量で下方に撓まないようにしている。
【００４２】
前記ベルト支持部材１９の長手方向の上面２１の端部（少なくとも、ベルト１３が接触し始める側である第１のプーリ９側の端部）には、面取り２０がされている。
【００４３】
ここで、前記回転駆動手段１５について詳しく説明する。
【００４４】
図５は、回転駆動手段１５の概略構成を示す図であり、図２におけるＶＡ―ＶＢ矢視を示す図である。
【００４５】
図６は、回転駆動手段１５の概略構成を示す図であり、図２におけるＶＩＡ―ＶＩＢ矢視を示す図である。
【００４６】
前記回転駆動手段１５は、前記第２のプーリ１１の回転中心軸ＣＬ２と同じ軸を回転中心にして前記第２のプーリ１１といっしょに回転する第３のプーリ２３と、前記基台３に対して回転自在な第４のプーリ２５と、前記第３のプーリ２３と前記第４のプーリ２５との間に巻き掛けられたベルト（たとえば、歯付タイミングベルト）２７と、前記第４のプーリ２５を回転駆動するためのアクチュエータ（たとえば、モータ）２９とを備えている。
【００４７】
より詳しく説明すると、前記第２のプーリ１１を支持している軸部材３１の他端部側（前記第２のプーリ１１が設けられている側とは反対側）には、前記第３のプーリ２３が一体的に設けられている。
【００４８】
したがって、上流側の各コンベヤユニット５Ａの第３の各プーリ２３の回転中心軸ＣＬ２は互いに一致している。
【００４９】
また、前記基台３の下側には、前記ガラス基板Ｗの幅方向（ｙ軸方向）に長く延びた板状のベース部材３１が設けられている。このベース部材３１は、姿勢をほぼ一定に保ったまま前記基台３に対して上下方向（ｚ軸方向）に移動位置決め自在になっている。
【００５０】
前記ベース部材３１には、前記第３のプーリ２３の回転中心軸ＣＬ２と平行な軸を回転中心軸にして回転自在な軸部材３３が設けられている。この軸部材３３は、前記ベース部材３１と同様に、前記ガラス基板Ｗの幅方向に長く延びて設けられていると共に、ピローブロック３５等の軸受けを介して、前記ベース部材３１に支持され、カップリング３７を介して前記２９の回転出力軸に連結されている。そして、前記軸部材３３は、前記基台３に対して回転駆動するようになっている。
【００５１】
前記軸部材３３には、第４のプーリ２５が複数個一体的に設けられている。前記第４の各プーリ２５は、前記ガラス基板Ｗの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット５の第３の各プーリ２３の下側で、前記各プーリ２３に対応する位置に、前記第３の各プーリ２３と同じ数だけ設けられている。
【００５２】
また、前記第３の各プーリ２３と、前記第４の各プーリ２５との間には、ベルト２７が巻き掛けられており、前記モータ２９で前記軸部材３３を回転駆動すると、前記第４の各プーリ２５が回転駆動し、前記第３の各プーリ２３も回転駆動する。
【００５３】
そして、ガラス基板Ｗの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット５の各プーリ９、１１が回転し、ガラス基板Ｗの幅方向に並べて配置された前記各コンベヤユニット５の各ベルト１３が移動し、ガラス基板Ｗを搬送することができるようになっている。
【００５４】
また、前記軸部材３３は、この長手方向でいくつかに分断され、これらの分断された各箇所が、各カップリング３９で接続されている。
【００５５】
前記各カップリング３９による前記軸部材３３の接続を解除すると、前記軸部材３３の分断された箇所に隙間が形成され、これらの隙間をベルト（前記第３のプーリ２３と前記第４のプーリ２５とに巻掛られたベルト）２７が通過できるようになっている。
【００５６】
前記各隙間をベルト２７が通過できることにより、前記第３のプーリ２３と前記第４のプーリ２５との間に巻き掛けられたベルト２７を、前記第３のプーリ２３や前記第４のプーリ２５を各軸部材３１、３３から取り外すことなく、容易に取り外して交換することができ、また、基台３に設置されている各コンベヤユニット５の取り外しや交換が容易になる。
【００５７】
なお、図６に示すように、上流側各コンベヤユニット５Ａの回転駆動手段１５と、下流側各コンベヤユニット５Ｂの回転駆動手段１５とは、ガラス基板Ｗの搬送方向で離れて、個別に設けられている。また、ガラス基板Ｗの搬送方向に並べて設けられた各コンベヤユニット５Ａ、５Ｂ等を、１つのモータで駆動するようにしてもよい。
【００５８】
さらに、図７に示すように、第３のプーリ２３を削除し、前記ベルト１３を、前記第１のプーリ９、前記第２のプーリ１１、前記第４のプーリ２５に巻き掛けて、各コンベヤユニットを駆動するようにしてもよい。また、各コンベヤユニット毎にモータを設け、各コンベヤユニットを駆動するようにしてもよい。
【００５９】
ここで、前記コンベヤユニット５についてさらに詳しく説明する。
【００６０】
図８は、コンベヤユニット５の構成を示す平面図であり、図９は、図８におけるＩＸＡ―ＩＸＢ断面を示す図であり、図１０は、図８におけるＸ矢視を示す図であり、図１１は、図８におけるＸＩ矢視図であり、図１２は、図８におけるＸＩＩＡ―ＸＩＩＢ断面を示す図である。
【００６１】
前記コンベヤユニット５のフレーム７は、本体部４１と、第１のプーリ支持部材４３と、第２のプーリ支持部材４５とを備えている。
【００６２】
前記本体部４１は、概観が直方体形状に形成されていると共に、引き抜き成型されたことによって、長手方向に伸びた複数の溝を外壁部に備えている。
【００６３】
前記第１のプーリ支持部材４３は、矩形で板状に形成され、前記本体部４１の長手方向の一端部側に基端部側が設置されている。また、前記第１のプーリ支持部材４３は、先端部側が前記本体部４１よりも突出し、前記先端部側で前記第１のプーリ９を支持していると共に、前記本体部４１の長手方向に移動位置決め自在になっている。
【００６４】
前記第２のプーリ支持部材４５は、矩形で板状に形成され、前記本体部４１の長手方向の他端部側に基端部側が設置されている。また、前記第２のプーリ支持部材４５は、先端部側が前記本体部４１よりも突出し、前記先端部側で前記第２のプーリ１１を支持していると共に、前記本体部４１の長手方向に移動位置決め自在になっている。
【００６５】
そして、前記本体部４１の各溝のうちの一部の溝（上側の溝と下側の溝）内を前記ベルト１３が通過するようになっている。
【００６６】
また、前記本体部４１の各溝の他の一部の溝（本体部４１の側方に位置する溝）は、開口部の幅が内部の幅よりも小さくなっており、前記他の一部の溝に係合し前記本体部４１の長手方向に移動自在なナット（図示せず）と、ボルト等の締結具（図示せず）とを用いて、前記第１のプーリ支持部材４３が、移動位置決め自在になっており、同様に、前記第２のプーリ支持部材４５も移動自在になっている。
【００６７】
また、図８や図９に示すように、前記他の一部の溝に係合し前記本体部４１の長手方向に移動自在なナット４７とボルト等の締結具４９とを用いて、［Ｌ］字状のコンベヤユニット支持部材５１の一端部側を前記本体部４１に一体的に設け、前記コンベヤユニット支持部材５１の他端部側を、ボルト等の締結具５３を用いて、前記基台３に対して固定することによって、前記コンベヤユニット５が前記基台３に対して着脱自在になっている。
【００６８】
なお、前記コンベヤユニット支持部材５１を前記基台３に固定するボルト５３は、上方向から工具を挿入等してまわすことができるようになっている。
【００６９】
また、前記コンベヤユニット支持部材５１をプーリ支持部材４５に設けてもよい（図８、図１１参照）。
【００７０】
なお、すでに理解されるように、１つの前記コンベヤユニット５を前記基台３に設置した状態では、前記フレーム７の長手方向が前記ガラス基板Ｗの搬送方向（ｘ軸方向）に一致し、前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１１とは、前記ガラス基板Ｗの搬送方向で互いに離れており、前記第１のプーリ９の回転中心軸ＣＬ１と前記第２のプーリ１１の回転中心軸ＣＬ２とは、前記ガラス基板Ｗの幅方向（ｙ軸方向）に延伸している。
【００７１】
また、たとえば、前記各プーリ９、１１が同じ大きさに形成されしかも前記各プーリ９、１１の回転中心軸ＣＬ１、ＣＬ２が同じ高さのところに位置していることにより、前記各プーリ９、１１の上端部は、ほぼ同じ高さのところに位置している。
【００７２】
そして、前記各プーリ９、１１に巻き掛けられたベルト１３のうちの上部になる部位（前記各プーリ９、１１の各上端部の間で前記ガラス基板Ｗの搬送方向に延伸している部位）で、前記ガラス基板Ｗを支持し（より正確には、後述する支持体５７でガラス基板を支持し）搬送するようになっている。
【００７３】
さらに詳しく説明すると、前記フレーム７の本体部４１の幅方向（ｙ軸方向）の一端部であって、ガラス基板Ｗの流れ方向において上流側の一端部に、前記第１のプーリ支持部材４３が設けられている。
【００７４】
そして、片持梁で構成された軸部材５５が、前記第１のプーリ支持部材４３（前記本体部４１から突出している第１の支持部材４３の部位）から前記本体部４１の幅方向の他端部側へ突出して前記プーリ支持部材４３に一体的に設けられている。前記軸部材５５の先端部側に、前記第１のプーリ９がベアリングを介して回転自在に設けられている。
【００７５】
また、前記フレーム７の本体部４１の幅方向（ｙ軸方向）の一端部であって、ガラス基板Ｗの流れ方向において下流側の一端部に前記第２のプーリ支持部材４５が設けられている。
【００７６】
そして、軸部材３１が、前記第２のプーリ支持部材４５（前記本体部４１から突出している第２の支持部材４５の部位）から前記本体部４１の幅方向の両側へ突出して設けられている。前記軸部材３１は、ベアリングを介して、前記第２のプーリ支持部材４５に回転自在になっている。
【００７７】
前記軸部材３１の一端部（前記本体部４１の幅方向の他端部側の一端部）に、前記第２のプーリ１１が一体的に設けられており、前記軸部材３１の他端部に、前記第３のプーリ２３が設けられている。
【００７８】
そして、前記上流側のコンベヤユニット５Ａの前記フレーム７の本体部４１の幅方向の前記他端部側（前記第２のプーリ１１が設けられている側）に配置される前記下流側コンベヤユニット５Ｂは、この下流側コンベヤユニット５Ｂの第１のプーリ９が前記上流側コンベヤユニット５Ａの側を向くように配置される（図２、図４参照）。
【００７９】
このように、配置されることにより、前記上流側コンベヤユニット５Ａの第２のプーリ１１と前記下流側コンベヤユニット５Ｂの第１のプーリ９とを、ガラス基板Ｗの幅方向で互いに近づけて配置することが容易になり、前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト１３と前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト１３とが、前記ガラス基板Ｗの幅方向で互いに近づくことになる。
【００８０】
一方、前記上流側のコンベヤユニット５Ａ（５Ｃ）の前記フレーム７の本体部４１の幅方向の前記一端部側（前記第２のプーリ１１が設けられていない側）に配置される前記下流側コンベヤユニット５Ｂ（５Ｄ）は、この下流側コンベヤユニット５Ｂ（５Ｄ）の第１のプーリ９が前記上流側コンベヤユニット５Ａ（５Ｃ）とは反対側を向くように配置される（図２参照）。
【００８１】
ところで、図８や図９に示すように、前記各プーリ９、１１と接する側とは反対側の部位である前記ベルト１３の外側部位には、所定の高さの支持体５７が、前記ベルト１３の長手方向で、たとえばほぼ一定の間隔をあけて複数設けられている。
【００８２】
前記各支持体５７の概観は、たとえば円柱状に形成されており、先端部が半球状に形成されている。また、前記各コンベヤユニット５が、前記基台３に取り付けられた状態では、前記各支持体５７の上端は、１つの水平面上に位置しており、この１つの水平面上に位置している各支持体５７の各上端が、搬送されるガラス基板Ｗに接触し前記ガラス基板Ｗを支持する。
【００８３】
また、前記コンベヤユニット５では、前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１１との間で上側に位置している各支持体５７の先端部が上方に突出するように、前記第１のプーリ９、前記第２のプーリ１１および前記ベルト１３をカバー５９で覆ってある。
【００８４】
さらに、前記カバー５９内の排気を行う排気手段が設けられている。
【００８５】
より詳しく説明すると、図９に示すように、上側に存在しているベルト１３が通過している本体部４１の上側（上面）の溝と、前記本体部４１の側面上側の溝との間には、貫通孔６１があけられており、この貫通孔６１が通じている一方の溝（前記本体部４１の側面の上側の一方の溝）には、蓋６３がされている。
【００８６】
前記貫通孔６１が通じている他方溝（前記本体部４１の側面の他方の溝）には、ダクト６５が設けられている。
【００８７】
また、前記本体部４１の上面の溝には、ベルト支持部材１９が設けられており、前記本体部４１の上面の両側には、帯板状のカバー部材６７が所定の間隔をあけて設けられており、前記各カバー部材６７の間から、前記ベルト１３に設けられた前記支持体５７が上方に突出している。
【００８８】
また、前記本体部４１の下側（下面）の溝内を、下側に存在しているベルト１３が通過しており、前記本体部４１の下側の溝の下部は、帯板状のカバー部材６９で塞がれている。
【００８９】
また、図８に示すように、前記本体部４１の長手方向の両端部には、前記各プーリ支持部材４３、４５と協働して前記各プーリ９、１１を覆う各カバー部材７１、７３が設けられている。なお、前記各カバー部材７１、７３は、前記本体部４１の溝（前記ベルト１３が通過している各溝、前記ダクト６５が設けられている溝、前記蓋６３がされている溝）と連通している。
【００９０】
そして、前記ダクト６５に設けられた吸引口７５を、吸引ポンプ等（図示せず）に接続することにより、前記ベルト１３が設けられている空間内の空気（前記カバー５９内の空気）を効率良く吸引（排気）することができるようになっている。
【００９１】
ここで、前記ベルト支持部材１９について、さらに詳しく説明する。
【００９２】
前述したように、上流側コンベヤユニット５Ａと下流側コンベヤユニット５Ｂとをガラス基板Ｗの搬送方向でオーバーラップして設けてある。前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト支持部材１９の上面の一部と、前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト支持部材１９の上面の一部とが互いにオーバーラップするように設けられる。
【００９３】
さらに、前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト支持部材１９の上面の一部と前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト支持部材１９の上面の一部とが互いにオーバーラップしている区間には、前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト１３に設けられている支持体５７が、常に、少なくとも１本存在し、前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト１３に設けられている支持体５７が、常に、少なくとも１本存在するようになっている。
【００９４】
搬送装置１によれば、ガラス基板Ｗを搬送するために前記ガラス基板Ｗの搬送方向に並んで基台３に設置される複数のコンベヤユニット５が、前記基台３へ容易に着脱自在になっているので、コンベヤユニット５のメンテナンスを行う際、コンベヤユニット５を基台３から取り外し、広いスペースで容易にメンテナンスを行うことができる。
【００９５】
また、コンベヤユニット５のメンテナンスを行う際、それまで使用していたコンベヤユニット５を新しいコンベヤユニット５やメンテナンス済みのコンベヤユニット５に交換することもできるので、メンテナンス時における搬送装置１の停止時間を短くすることができる。
【００９６】
また、搬送装置１によれば、コンベヤユニット５が前記ガラス基板Ｗの搬送方向および幅方向に並べられているので、ガラス基板Ｗを幅方向で安定した状態で支持しつつ長い距離にわたって搬送することができる。
【００９７】
さらに、搬送装置１によれば、コンベヤユニット５の配置を変更することによって、搬送されるガラス基板Ｗの形態に合致した構成の搬送装置１を容易に実現することができる。
【００９８】
また、搬送装置１によれば、第１のプーリ支持部材４３、第２のプーリ支持部材４５が、本体部４１に対して移動位置決め自在になっているので、第１のプーリ９と第２のプーリ１１との間に巻き掛けられたベルト１３の張力の調整を容易に行うことができると共に、前記ベルト１３の交換が容易になっている。
【００９９】
また、搬送装置１によれば、ガラス基板Ｗの搬送方向において、上流側コンベヤユニット５Ａの一部と下流側コンベヤユニット５Ｂの一部とがオーバーラップしているので、前記上流側コンベヤユニット５Ａから前記下流側コンベヤユニット５Ｂへ、蛇行等することなくスムーズにガラス基板Ｗが乗り移ることができる。
【０１００】
すなわち、ガラス基板Ｗの剛性が小さい場合、上流側コンベヤユニット５Ａと下流側コンベヤユニット５Ｂとがオーバーラップしていないと、前記上流側コンベヤユニット５Ａと前記下流側コンベヤユニット５Ｂとの間で、前記ガラス基板Ｗが下方に撓む。
【０１０１】
そして、前記ガラス基板Ｗの先端部（搬送方向の先端部）が、前記下流側コンベヤユニット５Ｂにぶつかり、前記上流側コンベヤユニット５Ａから前記下流側コンベヤユニット５Ｂへガラス基板Ｗがスムーズに乗り移ることができなくなる。
【０１０２】
しかし、前述したように、上流側コンベヤユニット５Ａと下流側コンベヤユニット５Ｂとがオーバーラップしていると、前記上流側コンベヤユニット５Ａと前記下流側コンベヤユニット５Ｂとの間で、前記ガラス基板Ｗが下方に撓むことを抑制することができ、前記上流側コンベヤユニット５Ａから前記下流側コンベヤユニット５Ｂへガラス基板Ｗがスムーズに乗り移ることができる。
【０１０３】
また、搬送装置１では、前記各プーリ９、１１が、前記フレーム７の幅方向の一端部側でオーバーハングして設けられていると共に、前記上流側コンベヤユニット５Ａのフレーム７と前記下流側コンベヤユニット５Ｂのフレーム７との間で（前記ガラス基板Ｗの幅方向の間で）、前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト１３と前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルトとが互いに隣接するように、前記上流側コンベヤユニット５Ａと前記下流側コンベヤユニット５Ｂとが設けられているので、ガラス基板Ｗの幅方向における前記ガラス基板Ｗの撓みが小さい状態で、前記ガラス基板Ｗが前記上流側コンベヤユニット５Ａから前記下流側コンベヤユニット５Ｂに乗り移ることができる。
【０１０４】
より詳しく説明すると、ガラス基板Ｗの搬送方向において上流側コンベヤユニット５Ａのベルト１３と下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト１３とがオーバーラップしているとしても、前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト１３と前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト１３との間がガラス基板Ｗの幅方向で離れていると、前記ガラス基板Ｗの幅方向で前記ガラス基板Ｗが撓み、前記ガラス基板Ｗの先端部（搬送方向に先端部）が、前記下流側コンベヤユニット５Ｂにぶつかり、前記上流側コンベヤユニット５Ａから前記下流側コンベヤユニット５Ｂへガラス基板Ｗがスムーズに乗り移ることができなくなる。
【０１０５】
しかし、前述したように、前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト１３と前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト１３がガラス基板Ｗの幅方向で互いに隣接していると、前記ガラス基板Ｗがこの幅方向で下方に撓むことを抑制することができ、前記上流側コンベヤユニット５Ａから前記下流側コンベヤユニット５Ｂへ、ガラス基板Ｗがスムーズに乗り移ることができる。
【０１０６】
また、搬送装置１によれば、各コンベヤユニット５に第３のプーリ２３を設け、前記各第３のプーリ２３と第４の各プーリ２５とをベルト２７を用いて連結し、前記第４の各プーリ２５を１つのモータ２９で回転駆動しているので、各コンベヤユニット５におけるベルト１３の移動速度（第１のプーリ９と第２のプーリ１１とに巻き掛けられたベルト１３の移動速度）を等しくすることができ、ガラス基板Ｗをスムーズに搬送することができる。
【０１０７】
また、搬送装置１によれば、前記第１のプーリ９、前記第２のプーリ１１および前記ベルト１３をカバー５９で覆ってあると共に、前記カバー５９内の排気を行う排気手段を有するので、前記ベルト１３から出てくる僅かな粉塵の拡散を確実に防止することができ、前記ガラス基板Ｗの搬送装置１をクリーンルーム等のクリーンな環境下で好適に使用することができる。さらに、コンベヤユニット５がユニット化されているので、前記カバー５９を設置しやすくなっている。
【０１０８】
また、搬送装置１によれば、前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１１との間で上側に位置しているベルト１３を支持するベルト支持手段１７を設けて、前記第１のプーリ９と前記第２のプーリ１１との間で上側に位置しているベルト１３が下方に撓まないようにしているので、安定した状態でガラス基板Ｗを支持し搬送することができる。
【０１０９】
また、前記上流側コンベヤユニット５Ａのベルト支持部材１９の上面の一部と前記下流側コンベヤユニット５Ｂのベルト支持部材１９の上面の一部とが互いにオーバーラップしている区間には、常に、前記上流側コンベヤユニット５Ａの支持体５７と前記下流側コンベヤユニット５Ｂの支持体５７とが存在するようになっているので、前記上流側コンベヤユニット５Ａから前記下流側コンベヤユニット５Ｂへ、ガラス基板Ｗがスムーズに乗り移ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明の実施形態に係る物体の搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】物体の搬送装置の概略構成を示す平面図であり、図１におけるＩＩ矢視を示す図である。
【図３】コンベヤユニットの概略構成を示す平面図である。
【図４】コンベヤユニットの概略構成を示す側面図であり、図３におけるＩＶ矢視図である。
【図５】回転駆動手段の概略構成を示す図であり、図２におけるＶＡ―ＶＢ矢視を示す図である。
【図６】回転駆動手段の概略構成を示す図であり、図２におけるＶＩＡ―ＶＩＢ矢視を示す図である。
【図７】回転駆動手段の変形例の概略構成を示す図であり、図２におけるＶＩＡ―ＶＩＢ矢視に対応した図である。
【図８】コンベヤユニットの構成を示す平面図である。
【図９】図８におけるＩＸＡ―ＩＸＢ断面を示す図である。
【図１０】図８におけるＸ矢視を示す図である。
【図１１】図８におけるＸＩ矢視図である。
【図１２】図８におけるＸＩＩＡ―ＸＩＩＢ断面を示す図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１  搬送装置
３  基台
Ｗ  ガラス基板
５  コンベヤユニット
５Ａ  上流側コンベヤユニット
５Ｂ  下流側コンベヤユニット
７  フレーム
９  第１のプーリ
１１  第２のプーリ
１３  第１のベルト
１５  回転駆動手段
１７  ベルト支持手段
２３  第３のプーリ
２５  第４のプーリ
２７  第２のベルト
２９  モータ
５７  支持体
５９  カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2006306593.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2006306593.tif 000013
【図１２】
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