(57)【要約】【課題】この発明は基板の幅方向の両端部の上下面を端部支持ローラと上載せローラとによって同じ力で保持して搬送できるようにした搬送装置を提供することにある。【解決手段】基板の搬送方向に対して軸線を交差させて所定間隔で配置された複数の搬送軸３と、搬送軸に設けられ基板の幅方向両端部を除く部分の下面を支持する複数の搬送ローラ２１及び基板の幅方向両端部の下面を支持する端部支持ローラ２２と、搬送軸の一端部と他端部との上方にそれぞれ軸線を搬送軸と平行にして配置され搬送軸の両端部に対応する一端部が回転可能に支持された一対の上載せローラ軸２５と、上載せローラ軸の他端部に設けられ基板の幅方向の端部上面をそれぞれ押圧する一対の上載せローラ２７と、上載せローラ軸に設けられ上載せローラが基板の上面を押圧する押圧力を調整するウエイト２９を具備する。【選択図】図３
2006306596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を所定方向に搬送する搬送装置であって、
軸方向の両端部が回転可能に支持され上記基板の搬送方向に対して軸線を交差させて所定間隔で配置された複数の搬送軸と、
この搬送軸に設けられ上記基板の幅方向両端部を除く部分の下面を支持する複数の搬送ローラと、
上記搬送軸に設けられ上記基板の幅方向両端部の下面を支持する端部支持ローラと、
上記搬送軸の一端部と他端部との上方にそれぞれ軸線を上記搬送軸と平行にして配置され上記搬送軸の両端部に対応する一端部が回転可能に支持された一対の上載せローラ軸と、
各上載せローラ軸の他端部に設けられ上記端部支持ローラによって幅方向の端部下面が支持された上記基板の幅方向の端部上面をそれぞれ押圧する一対の上載せローラと、
上記上載せローラ軸に設けられ上記上載せローラが上記基板の上面を押圧する押圧力を調整するウエイトと
を具備したことを特徴とする基板の搬送装置。
【請求項２】
上記ウエイトは上記上載せローラ軸の軸方向に沿って位置決め調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項３】
上記搬送軸は駆動機構によって回転駆動されるとともに、上記一対の上載せローラ軸は上記搬送軸の回転が動力伝達機構によって伝達される構成であることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製の基板を搬送するためなどに用いられる搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の製造工程においては、ガラス製の基板をエッチング処理する工程、エッチング処理後にマスクとして使用されたレジストを剥離処理する工程、さらにはエッチング工程や剥離工程などの後で汚れた基板を洗浄液によって洗浄する工程などがある。このような基板の処理工程では、基板を一枚ずつ搬送しながら処理する枚葉方式が採用されることが多い。
【０００３】
枚葉方式によって基板を処理する場合、基板を搬送しながらその上下面或いは上面にシャワ−ノズルから処理液を噴射したり、洗浄ブラシを接触させて処理する処理装置が知られている。この処理装置はチャンバを有し、このチャンバ内には上記基板を所定方向に沿って搬送するための搬送装置が設けられている。また、複数の処理装置を用いて基板を順次搬送処理する場合、隣り合う処理装置間にも、上流側の処理装置から下流側の処理装置に基板を搬送するための搬送装置が用いられる。
【０００４】
上記搬送装置は、基板の搬送方向に沿って複数の搬送軸が所定間隔で回転可能に設けられている。この搬送軸には複数の搬送ロ−ラが軸方向に所定間隔で設けられている。そして、上記搬送軸を回転駆動することで、上記基板を搬送ローラによって搬送するようになっている。
【０００５】
処理装置に用いられる搬送装置は、基板の下面を単に複数の搬送ローラで支持しただけでは、この基板に処理液を噴射したり、洗浄ブラシを接触させたとき、基板が処理液や洗浄ブラシから抵抗を受けたときに、その抵抗によって基板を一定の速度で円滑に搬送できなくなるということがあったり、基板の両端部がばたついて損傷するということがある。
【０００６】
そこで、基板を搬送する際、この基板の下面を搬送軸に設けられた搬送ローラによって支持するだけでなく、基板の端部下面を端部支持ローラで支持し、この端部支持ローラによって支持された基板の端部上面を上載せローラで押圧する。  
それによって、基板が処理液や洗浄ブラシから抵抗を受けても、その基板を一定の速度で確実に搬送したり、基板の両端部がばたついて損傷することがないようにしている。
【０００７】
従来、上記上載せローラは上載せローラ軸の両端部に設けるようにしている。この上載せローラ軸は、上記シャワーノズルや洗浄ブラシの上流側に位置する搬送軸の上方に、この搬送軸と軸線を平行にし、かつ両端部が回転可能に支持されて設けられている。
【０００８】
上記上載せローラの一端部には上記搬送軸の一端部に設けられた歯車と噛合する歯車が設けられている。それによって、搬送軸が回転駆動されれば、この搬送軸に同期して上載せローラが回転駆動されるから、基板は端部支持ローラと上載せローラとによって幅方向の両端部の上下面が挟持されて確実に搬送される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記上載せローラ軸は上記搬送軸と同じ長さに設定されていた。しかしながら、最近では基板が大型化する傾向にあるから、搬送軸が長尺化し、それに応じて上載せローラ軸も長尺化及び高重量化していた。
【００１０】
上載せローラ軸が長尺化及び高重量化すると、両端部が回転可能に支持された上載せローラ軸に撓みが生じることが避けられない。上載せローラ軸に生じる撓みは、一対の上載せローラが設けられた両端部分において同じにならないことがある。その場合、一対の上載せローラによる基板の幅方向両端部の押圧力にばらつきが生じる。幅方向両端部の押圧力にばらつきが生じると、基板は真直ぐに搬送されず、蛇行する原因になるということがある。
【００１１】
この発明は、上載せローラが設けられる上載せローラ軸を左右２本に分割して短尺化し、かつ各ローラ軸に設けられた上載せローラが基板の幅方向端部を押圧する押圧力を調整できるようにすることで、基板の幅方向両端部をほぼ均等に押圧できるようにした基板の搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、基板を所定方向に搬送する搬送装置であって、
軸方向の両端部が回転可能に支持され上記基板の搬送方向に対して軸線を交差させて所定間隔で配置された複数の搬送軸と、
この搬送軸に設けられ上記基板の幅方向両端部を除く部分の下面を支持する複数の搬送ローラと、
上記搬送軸に設けられ上記基板の幅方向両端部の下面を支持する端部支持ローラと、
上記搬送軸の一端部と他端部との上方にそれぞれ軸線を上記搬送軸と平行にして配置され上記搬送軸の両端部に対応する一端部が回転可能に支持された一対の上載せローラ軸と、
各上載せローラ軸の他端部に設けられ上記端部支持ローラによって幅方向の端部下面が支持された上記基板の幅方向の端部上面をそれぞれ押圧する一対の上載せローラと、
上記上載せローラ軸に設けられ上記上載せローラが上記基板の上面を押圧する押圧力を調整するウエイトと
を具備したことを特徴とする基板の搬送装置にある。
【００１３】
上記ウエイトは上記上載せローラ軸の軸方向に沿って位置決め調整可能に設けられていることが好ましい。
【００１４】
上記搬送軸は駆動機構によって回転駆動されるとともに、上記一対の上載せローラ軸は上記搬送軸の回転が動力伝達機構によって伝達される構成であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、上載せローラ軸を左右に分割して短尺化し、重量による撓みが生じないようにするとともに、各上載せローラ軸にウエイトを設け、そのウエイトによって基板に対する押圧力を与えることができるようにしたから、左右一対の上載せローラによって基板の幅方向両端部の上面を均等に押圧することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１は基板を処理液によって処理するための処理装置の縦断面図、図２は同じく側断面図である。処理装置はチャンバ１を備えている。このチャンバ１内には図１に鎖線で示す基板Ｗを所定方向に搬送するための搬送装置２が設けられている。この搬送装置２は基板Ｗの搬送方向（図２に矢印Ｘで示す方向）に対して軸線をほぼ直角方向に位置させた複数の搬送軸、この実施の形態では図２に示すように８本の搬送軸３が上記搬送方向に沿って所定間隔で配置されている。
【００１７】
なお、チャンバ１には、図２に示すように基板Ｗの搬送方向の一端に搬入口１ａが形成され、他端に搬出口１ｂが形成されている。搬入口と搬出口はシャッタ（図示せず）によって開閉されるようになっている。
【００１８】
図１に示すように、上記チャンバ１内の幅方向両端部には、幅方向と交差する基板Ｗの搬送方向に沿って帯板状の取り付け部材４が配置されている。取り付け部材４には上記複数の搬送軸３の両端部と対応する位置に軸受５が設けられ、これら軸受５に上記搬送軸３の両端部が回転可能に支持されている。
【００１９】
各搬送軸３の両端部は軸受５から突出し、一方の端部の突出端下方には図示しない軸受によって回転自在に支持された動力伝達軸６が基板Ｗの搬送方向に沿って配置されている。各搬送軸３の軸受５から突出下一端には第１の傘歯車７が設けられている。上記動力伝達軸６には、それぞれの第１の傘歯車７に噛合する第２の傘歯車８が設けられている。
【００２０】
上記動力伝達軸６の中途部には従動スプロケット１１が設けられている。従動スプロケット１１が設けられた位置と対応するチャンバ１の外部にはモータと減速機とが一体化された搬送用駆動源１２が設けられている。この搬送用駆動源１２の出力軸１３には駆動スプロケット１４が設けられている。この駆動スプロケット１４と上記従動スプロケット１１にはチェーン１５が張設されている。それによって、上記搬送用駆動源１２が作動すれば、チェーン１５及び第１、第２の傘歯車７，８を介して各搬送軸３が所定方向に回転駆動される。
【００２１】
上記チャンバ１の幅方向両端側外面には、それぞれ機械室１８が形成されている。なお、チャンバ１内は基板Ｗを搬送する搬送室１９になっている。機械室１８には上記搬送軸３の両端部が位置している。それによって、搬送軸３を支持した軸受５や噛合した傘歯車７，８から発塵しても、その塵埃がチャンバ１の基板Ｗを搬送する搬送室１９に拡散するのを抑制できるようになっている。
【００２２】
なお、上記搬送軸３の両端部が搬送室１９から機械室１８に貫通する部分は、フォーク状の仕切り板２０によって塞がれている。仕切り板２０は機械室１８内で発生する塵埃が搬送室１９に入り込むのを阻止している。
【００２３】
上記搬送軸３の軸方向中途部には複数、この実施の形態では３つの搬送ローラ２１が所定間隔で設けられ、上記搬送室１９の幅方向両端部に対応する部分にはそれぞれ端部支持ローラ２２が設けられている。図３と図４に拡大して示すように、端部支持ローラ２２の外周面には段差部２３が形成され、この段差部２３に基板Ｗの幅方向の両端部の下面が支持される。それによって、基板Ｗは上記段差部２３によって蛇行することなく所定方向に沿って搬送されるようになっている。
【００２４】
図２と図３に示すように、複数の搬送軸３のうち、チャンバ１の基板Ｗの搬送方向中途部に位置する２本の搬送軸３の軸方向両端部の上方には、それぞれ搬送軸３と軸線を平行にして一対の上載せローラ軸２５が配設されている。
【００２５】
一対の上載せローラ軸２５の一端部は上記取り付け部材４に設けられた軸受２６によって回転自在に支持されている。この上載せローラ軸２５の他端部には上記端部支持ローラ２２と対向する位置に上載せローラ２７が設けられている。
【００２６】
上記上載せローラ２７には、上記端部支持ローラ２２の段差部２３と対向する位置にＯリング２８が着脱可能に取着されている。このＯリング２８と上記段差部２３との間には隙間Ｇが形成されている。
【００２７】
上記上載せローラ軸２５にはウエイト２９が軸方向にスライド可能かつねじ３０によって所定のスライド位置で固定可能に設けられている。上記上載せローラ軸２５は軸受２６による片持ち構造となっている。したがって、ねじ３０を緩めて上記ウエイト２９をスライドさせ、その固定位置を調整すれば、上記端部支持ローラ２２の段差部２３と、上記上載せローラ２５に設けられたＯリング２８との間の間隔Ｇを所定の大きさに設定することができる。
【００２８】
なお、チャンバ１内には、上記上載せローラ軸２５が設けられた中途部の手前に基板Ｗを処理する図示しないブラシ洗浄装置などの処理手段が設けられている。それによって、基板Ｗは、後述するように幅方向の両端部の上下面が端部支持ローラ２２と上載せローラ２７とによって保持された状態で上記処理手段によって処理されるようになっている。
【００２９】
上記搬送軸３の上記軸受５から突出した両端部にはそれぞれ第１の平歯車３１が嵌着されている。上記上載せローラ軸２５の上記軸受２６から突出した端部には上記第１の平歯車３１に噛合する第２の平歯車３２が嵌着されている。したがって、搬送軸３が搬送用駆動源１２によって回転駆動されれば、その回転によって第１、第２の平歯車３１，３２を介して一対の上載せローラ軸２５が逆方向に回転するようになっている。
【００３０】
このような構成の搬送装置２によれば、搬入口１ａからチャンバ１内に供給された基板Ｗは、回転駆動される搬送軸３に設けられた搬送ローラ２１と端部支持ローラ２２とによって下面が支持されて搬送される。
【００３１】
チャンバ１内を搬送される基板Ｗは、チャンバ１内の中途部に設けられた基板Ｗを処理する、図示しないブラシ洗浄装置などの処理手段に送り込まれる手前で、上記端部支持ローラ２２によって下面が支持された幅方向両端部の上面が上載せローラ２７によって保持される。
【００３２】
それによって、基板Ｗは幅方向の両端部が端部支持ローラ２２と上載せローラ２７とによって挟持されて処理手段を通過することになるから、上記処理手段から処理時の抵抗を受けても、幅方向両端部がばたついて損傷するのが防止されるばかりか、処理手段から受ける抵抗によって速度がばらつくことなく搬送されることになる。
【００３３】
一対の上載せローラ２７は分割された一対の上載せローラ軸２５の他端部にそれぞれ設けられている。各上載せローラ軸２５にはウエイト２９が軸方向に沿って位置決め調整可能に設けられている。
【００３４】
それによって、上記ウエイト２９を図３に矢印で示す方向に移動させてその取り付け位置調整すれば、各上載せローラ軸２５が基板Ｗの幅方向の両端部上面を押圧する押圧力を調整することができる。
【００３５】
すなわち、上載せローラ軸２５は左右一対に分割されていることで、一端部が軸受２６によって支持された片持ち状態にある。そのため、ウエイト２９の位置を調整すれば、上載せローラ２７が設けられた他端部の撓み量を変えることができる。Ｏリング２８と、端部支持ローラ２２の段差部２３との間隔Ｇを変えることができる。
【００３６】
したがって、一対の上載せローラ軸２５に設けられたウエイト２９の軸方向に沿う位置を調整すれば、左右一対の上載せローラ２７による基板Ｗの幅方向両端部上面の押圧力をほぼ同等に設定することが可能である。一対の上載せローラ２７によって基板Ｗの幅方向両端部がほぼ同じ押圧力で押圧されていれば、基板Ｗを幅方向に蛇行させることなく真直ぐに搬送することが可能となる。
【００３７】
基板Ｗの幅方向両端部の上面は、上載せローラ２７に設けられたＯリング２８によって押圧される。Ｏリング２８は使用に伴い劣化することが避けられないから、その場合には上記Ｏリング２８を交換しなければならない。
【００３８】
上載せローラ２７が設けられた上載せローラ軸２５は左右一対に分割され、その端部に上記上載せローラ２７が設けられている。そのため、上記上載せローラ２７に対してＯリング２８を簡単かつ容易に着脱することができる。つまり、Ｏリング２８の交換作業を迅速に行なうことが可能となる。
【００３９】
左右一対の上載せローラ軸２５は、搬送軸３が回転駆動されると、第１、第２の平歯車３１、３２を介してそれぞれ強制的に回転駆動される。つまり、各上載せローラ軸２５とともに上載せローラ２７が強制的に回転駆動される。
【００４０】
そのため、基板Ｗは左右一対の上載せローラ２７によって単に幅方向の両端部の上面が保持されるだけでなく、搬送力が付与される。そのため、上載せローラ軸２５を２つに分割し、各上載せローラ軸２５に上載せローラ２７を設けるようにしても、基板Ｗを安定した状態で確実に搬送することができる。
【００４１】
この発明は上記一実施の形態に限定されず、たとえば上載せローラ軸２５の一端部を１つの軸受２６によって支持したが、上載せローラ軸２５の長さによってはその一端部を所定間隔で離間する一対の軸受によって支持するようにしてもよい。一対の軸受で支持すれば、上載せローラ軸２５が片持ち状態であっても、その上載せローラ軸２５を比較的安定した状態、つまり振れの少ない状態で支持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】この発明の一実施の形態を示す処理装置の縦断面図。
【図２】図１に示す処理装置の横断面図。
【図３】搬送軸と上載せローラ軸との端部の拡大図。
【図４】端部支持ローラと上載せローラとの拡大図。
【符号の説明】
【００４３】
２…搬送装置、３…搬送軸、２１…搬送ローラ、２２…端部支持ローラ、２５…上載せローラ軸、２７…上載せローラ、２９…ウエイト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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