(57)【要約】 【課題】    剛性があるフィルムを剛性がある基板に折れ曲がりを生じることなく貼り合せることができるようにしたい。【解決手段】    基板Ｂの大きさに見合う大きさとした枚葉のフィルムＡを圧着ローラ６２で貼り合せるにあたり、フィルム載置台３２上にフィルムＡをその先端が突出する状態で載置し、フィルムＡの主面と基板Ｂの主面が鋭角をなすようにして、基板載置台５２に載置した基板Ｂにその貼り合せ開始位置に向けてフィルムＡをその先端から搬送し、その搬送の間にフィルムＡの基板Ｂに対する貼り合せ面に設けてあったカバーフィルムをフィルム先端からフィルムＡの搬送方向とは逆の方向に剥離しつつ基板Ｂの貼り合せ開始位置からフィルムＡを圧着ローラ６２で貼り合せる。  【選択図】図１
2006142629.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の大きさに見合う大きさとした枚葉フィルムを圧着ローラで該基板に貼り合せるフィルム貼合方法において、  
フィルム載置台上にフィルムをその先端が突出する状態で載置し、該フィルムの主面と該基板の主面が鋭角をなすようにして、基板載置台に載置した基板にその貼り合せ開始位置に向けて該フィルムをその先端から搬送し、その搬送の間に該フィルムの該基板に対する貼り合せ面に設けてあったカバーフィルムを該フィルム先端から該フィルムの搬送方向とは逆の方向に剥離しつつ基板の貼り合せ開始位置から該フィルムを該圧着ローラで貼り合せていくことを特徴とするフィルム貼合方法。  
【請求項２】
上記請求項１のフィルム貼合方法において、基板載置台に載置した基板にその貼り合せ開始位置に向けて該フィルムをその先端から搬送することは粘着部材により行い、該フィルムに設けてあったカバーフィルムの剥離は該粘着部材の該フィルムの搬送方向とは逆の方向への折り返し移動により行うことを特徴とするフィルム貼合方法。  
【請求項３】
基板の大きさに見合う大きさとした枚葉フィルムを圧着ローラで該基板に貼り合せるフィルム貼合装置において、  
フィルムをその先端が突出する状態で載置するフィルム載置台と、基板を載置する基板載置台と、該フィルムの主面と該基板の主面が鋭角をなすようにして該フィルムを粘着保持し基板載置台に載置した基板にその貼り合せ開始位置に向けて該フィルムをその先端から搬送し、該貼り合せ開始位置近傍において該フィルムの搬送方向とは逆の方向に折り返して移動するフィルム搬送用の粘着部材を有し、  
該粘着部材は折り返して移動することにより該フィルムの該基板に対する貼り合せ面に設けてあったカバーフィルムを該フィルム先端から該フィルムの搬送方向とは逆の方向に剥離して、該圧着ローラで該フィルムをその先端から該基板に貼り合せていくことを特徴とするフィルム貼合装置。  
【請求項４】
上記請求項３のフィルム貼合装置において、該粘着部材は無端状ベルトで、該フィルム載置台は該フィルム載置台を該フィルムの主面と該基板の主面が鋭角をなすように傾斜させる駆動手段を備えていることを特徴とするフィルム貼合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ともに剛性がある所望な大きさの基板とフィルムを貼り合せるフィルム貼合方法及びフィルム貼合装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板に見合う大きさのフィルムを貼り合せる技術として、下記特許文献１に記載されたものがあり、フィルムロールから巻き出した帯状のフィルムを基板に見合う大きさの枚葉フィルムとなるように幅方向に切断して、各枚葉フィルムの先端を保持して基板の貼り合せ開始位置に仮付けし、その後、１対の圧着ローラ間を基板とともに通過させて、基板上に枚葉フィルムを貼り合せている。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２６６４２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フィルムが柔軟なものであれば、上記従来技術のようにフィルムをロール状に巻回しておいて、複数のローラ間を通過させながら処理を施して基板に見合う大きさの枚葉フィルムを得るようにしてもよいが、剛性があるフィルムの場合には、フィルムがローラ間を通過し曲るときに折れて、貼り合せに適さないものとなってしまう。
【０００５】
それゆえ本発明方法の目的は、剛性があるフィルムを剛性がある基板に折れ曲がりを生じることなく貼り合せることができるフィルム貼合方法を提供することにある。
【０００６】
また、本発明装置の目的は、剛性があるフィルムを剛性がある基板に折れ曲がりを生じることなく貼り合せることができるフィルム貼合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、基板の大きさに見合う大きさとした枚葉フィルムを圧着ローラで該基板に貼り合せるフィルム貼合方法において、フィルム載置台上にフィルムをその先端が突出する状態で載置し、該フィルムの主面と該基板の主面が鋭角をなすようにして、基板載置台に載置した基板にその貼り合せ開始位置に向けて該フィルムをその先端から搬送し、その搬送の間に該フィルムの該基板に対する貼り合せ面に設けてあったカバーフィルムを該フィルム先端から該フィルムの搬送方向とは逆の方向に剥離しつつ基板の貼り合せ開始位置から該フィルムを該圧着ローラで貼り合せていくことにある。
【０００８】
また、上記目的を達成する本発明の特徴とするところは、基板の大きさに見合う大きさとした枚葉フィルムを圧着ローラで該基板に貼り合せるフィルム貼合装置において、フィルムをその先端が突出する状態で載置するフィルム載置台と、基板を載置する基板載置台と、該フィルムの主面と該基板の主面が鋭角をなすようにして該フィルムを粘着保持し、基板載置台に載置した基板にその貼り合せ開始位置に向けて該フィルムをその先端から搬送し、該貼り合せ開始位置近傍において該フィルムの搬送方向とは逆の方向に折り返して移動するフィルム搬送用の粘着部材を有し、該粘着部材は折り返して移動することにより該フィルムの該基板に対する貼り合せ面に設けてあったカバーフィルムを該フィルム先端から該フィルムの搬送方向とは逆の方向に剥離して、該圧着ローラで該フィルムをその先端から該基板に貼り合せていくことにある。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、フィルムはフィルム載置台から基板載置台上の基板に対し鋭角に進入するように搬送され、搬送中に曲がりが少ないので、剛性が高くても折れることはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図１乃至図５に示す一実施形態について説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態になるフィルム貼合付装置１の概略構成を示している。
【００１２】
図１において、フィルム貼合装置１は、フィルムストック部１０，フィルム位置決め部２０，フィルム載置部３０，フィルム搬送部４０，基板載置部５０，圧着部６０及びカバーフィルム回収部７０から構成されている。
【００１３】
フィルムストック部１０では、函体１１に枚葉のフィルムＡを積み重ねて保管している。各フィルムＡは剛性が高いフィルム本体とカバーフィルムの２層で形成されており、フィルム本体の粘着性でカバーフィルムを粘着していて、積み重ねた状態ではカバーフィルムが下側となるようにしている。各フィルムＡをフィルム位置決め部２０に搬送するために、複数の吸着パッド１２がある。各吸着パッド１２はそれぞれ独立して時間をずらして駆動され、フィルムＡの各部分を同時に持ち上げないようにすることで、フィルムＡを２枚重ねに持ち上げないようになっている。
【００１４】
フィルム位置決め部２０は、真空吸着板２１を備えたＸＹθテーブル２２と真空吸着板２１上に位置決めマーク認識用の２台のカメラ２３を配置した構造となっている。
【００１５】
真空吸着板２１はフィルムストック部１０から吸着パッド１２で搬送されるフィルムＡを真空吸着し、フィルムＡの対角位置に設けてある位置決めマークをカメラ２３で読み取って、ＸＹθテーブル２２を適宜に微動させ、フィルム貼合装置１の原点位置を基準とした所望位置にフィルム１を配置する。カメラ２３は吸着パッド１２がフィルムＡを搬送してくるときに、邪魔にならぬように退避するようになっている。
【００１６】
フィルム載置部３０には、軸３１を中心に傾斜するフィルム載置台３２がある。フィルム載置台３２は、常時水平に維持されており、上記吸着パッド１２で真空吸着板２１上のフィルムＡを搬送してくる。この搬送を行うとき、真空吸着板２１は吸引吸着を解除してあり、全吸着パッド１２で同時にフィルムＡを持ち上げて、フィルム載置台３２上に搬送する。  
搬送されたフィルムＡは、フィルム載置台３２上で真空吸着される。
【００１７】
フィルム位置決め部２０のＸＹθテーブル２２は真空吸着板２１上にフィルムＡを所望位置に位置決めしており、フィルム載置台３２は傾斜するだけで水平方向の移動はしない構造となっており、全吸着パッド１２によるフィルム載置台３２上へのフィルムＡの搬送においては、常に同一距離を移動するようにしてあることから、フィルムＡの搬送において発生する誤差は移動機構の加工精度による僅かなものである。なお、フィルム載置台３２の傾斜機構は図示を省略した。
【００１８】
全吸着パッド１２によりフィルム載置台３２上へフィルムＡを搬送すると、後述するように、フィルムＡの１辺部分はフィルム載置台３２の縁から突出するようになっている。
【００１９】
フィルム搬送部４０は、複数の大小のローラ４１と各ローラ間に巻回した１対の粘着ベルト（粘着部材）４２と図示していないローラ４１の駆動手段からなる。この粘着ベルト４２は、強度及び寸法安定性を持たせるためにスチールベルト上に粘着ゴムをライニングしたものを用いている。粘着ベルト４２の移動経路の一部は傾斜しており、その傾斜角度はフィルム載置部３０のフィルム載置台３２が軸３１を中心に傾斜したときの傾斜角度と一致するようにしてあり、粘着ベルト４２は傾斜したフィルム載置台３２から突出しているフィルムＡの先端を粘着保持して、下流の圧着部６０にフィルム１を搬送する。この場合、フィルム載置台３２は真空度を弱めるか、真空吸着を全く解除することにより、粘着ベルト４２がフィルムＡを粘着して搬送する障害にならぬようにしている。
【００２０】
フィルムＡは、フィルム本体が高い剛性を持っているので、１対の粘着ベルト４２で圧着部６０に搬送されるときに粘着ベルト４２間の中央部が撓むことはないが、撓みを排除したい場合は粘着ベルト４２の本数を増加させたり、広幅の粘着ベルト４２を使用したりすればよい。
【００２１】
基板載置部５０には、Ｘ軸上に延びたレール５１上を移動できるＸＹθテーブル５２とその上に設けた真空吸着板５３と真空吸着板５３に載置した基板Ｂの位置合せ用マークを認識する１対のカメラ５４などがある。ＸＹθテーブル５２のレール５１上での移動はサーボモータ５５の正逆回転による。
【００２２】
図示していない基板搬送手段により真空吸着板５３上に載置された基板Ｂは基板２の対角位置に設けてある位置合せ用マークをカメラ５４が読み取って、ＸＹθテーブル５２が微動し、フィルム貼合装置１の原点位置を基準とした所望位置に基板Ｂを配置する。その後、サーボモータ５５の回転でＸＹθテーブル５２が圧着部６０の方へ移動する。
【００２３】
圧着部６０には、１対のアーム６１で軸支した圧着ローラ６２があり、圧着ローラ６２を軸支したアーム６１をエアシリンダ６３などで操作し、加圧力や位置制御ができるようにしてある。圧着ローラ６２は外周をゴムライニングすることで、基板Ｂの微小な撓みなどに追従できるようになっている。
【００２４】
フィルム搬送部４０の粘着ベルト４２がフィルムＡの下側を粘着し圧着部６０方向に搬送すると、圧着ローラ６２近傍において粘着ベルト４２の移動経路は急反転するようになっている。この場合、フィルムＡはフィルム本体が高い剛性のため急反転できず直進するが、カバーフィルムは粘着ベルト４２に貼り付いていることによりフィルム本体から剥がれて、粘着ベルト４２の移動経路先に搬送されていく。
【００２５】
その搬送先には、カバーフィルム回収部７０があり、回収用のローラ７１でカバーフィルムを粘着ベルト４２から剥がし、廃棄回収する。カバーフィルム回収部７０を過ぎた粘着ベルト４２はローラ４１で方向転換し、無端の移動経路を回転する。
【００２６】
上記各カメラ２３，５４でフィルムＡや基板Ｂの位置決めマークを読み取って、ＸＹθテーブル２２，５２を微動させること，吸着パッド１２を所望位置に移動させること，ローラ４１を回転すること，サーボモータ５５やエアシリンダ６３を駆動させることなど以下に説明するフィルム貼合における各処理は、図示していない公知の画像処理手段を含むパソコンを主体とした制御装置で遂行するようになっている。
【００２７】
以下、本実施形態でのフィルム貼り合せについて説明する。  
先ず、１枚のフィルムＡをフィルムストック部１０の函体１１からフィルム位置決め部２０の真空吸着板２１上に各吸着パッド１２で移載搬送する。この場合、各吸着パッド１２は時間をずらしてフィルムＡを順次持ち上げるので、１枚のフィルムＡが持ち上がる。
【００２８】
そして、基板載置部５０の方では、１枚の基板Ｂを図示していない基板搬送手段により基板載置部５０の真空吸着板５３上に載置し、それぞれに設けられている位置合せ用マークをカメラ２３，５４で認識し、ＸＹθテーブル２２，５２を微動させることで、フィルム貼合装置１の原点位置を基準とした所望位置にフィルムＡと基板Ｂを配置（位置決め）する。
【００２９】
その後、吸着パッド１２で真空吸着板２１上のフィルムＡをフィルム載置部３０における水平状態のフィルム載置台３２に移載・搬送する。この場合、図２に示すように、フィルムＡの右側辺縁がフィルム載置台３２の右側辺縁から距離Ｌだけ突出する。なお、図２に示したローラ４４はフィルム搬送部４０に所属する圧着用ローラである。
【００３０】
続いて、図３のようにフィルム載置台３２が右下がりに傾斜すると、フィルム載置台３２の右側辺縁から突出しているフィルムＡの右側辺縁がフィルム搬送部４０における粘着ベルト４２の傾斜部に接触し、フィルムＡの右側辺縁（先端部）が粘着ベルト４２に受け渡された形となる。吸着パッド１２でフィルムＡをフィルム載置台３２に移載・搬送したときにフィルムＡの右側辺縁がフィルム載置台３２から突出する距離Ｌは、フィルムＡの剛性により突出した先端部が垂れ下がらず、粘着ベルト４２への受け渡しを行うことができる長さとする。
【００３１】
フィルムＡの右側辺縁（先端部）が粘着ベルト４２に受け渡された形となったところで、圧着用ローラ４４が左方に移動し、フィルムＡの右側辺縁を傾斜した粘着ベルト４２に押し付けて、粘着ベルト４２によるフィルムＡの粘着保持を確実なものとする。粘着ベルト４２の回動を行っているローラ４１と圧着用ローラ４４とで粘着ベルト４２及びフィルムＡを挟むようすると、粘着ベルト４２へのフィルムＡの粘着は一層強固なものとなる。
【００３２】
フィルム載置台３２の傾斜角度と粘着ベルト４２の傾斜角度は一致させてあり、その傾斜角度は基板Ｂに対し鋭角となるようにしてあるので、圧着用ローラ４４でフィルムＡを粘着ベルト４２へ押し付けても、フィルムＡは殆ど曲がらない。この場合、傾斜角度はフィルムＡの曲がりからすれば小さい程よいが、機構を構成する現実的な範囲から５〜１５度程度とするのが良い。
【００３３】
基板載置部５０は左方に移動し、基板Ｂの右端側が圧着ローラ６２の近傍に位置するようにする。圧着ローラ６２はエアシリンダによりやや上昇されており、基板Ｂの上面を擦らないようにしている。なお、圧着ローラ６２は基板載置部５０の左右移動の範囲外のところで軸支されているので、基板載置部５０の左右移動に支障はない。
【００３４】
その後、図４に示すように、粘着ベルト４２を時計回りに回動させると、右下のローラ４１のところで、フィルムＡのカバーフィルムＡｃは粘着ベルト４２の粘着性で粘着ベルト４２の移動にあわせて急反転するが、フィルム本体Ａｂは高い剛性ゆえに直進し、カバーフィルムＡｃはフィルム本体Ａｂから剥離されていく。
【００３５】
フィルム本体Ａｂの右側辺縁が基板Ｂに接触したら、圧着ローラ６２をエアシリンダ６３で降下させ、フィルム本体Ａｂの右側辺縁を基板Ｂに圧着させる。フィルム本体Ａｂの右側辺縁の基板Ｂへの接触位置が基板Ｂとフィルム本体Ａｂの位置決め位置となるように基板載置部５０で基板Ｂを左方に移動してある。
【００３６】
その後、図５に示すように、基板載置部５０の右方への移動速度と粘着ベルト４２の時計回りに回動速度を揃え、圧着ローラ６２が回転しながらフィルム本体Ａｂを基板Ｂに押し続けると、フィルム本体Ａｂは基板Ｂ上にフィルム本体Ａｂの粘着性により貼り合さり、カバーフィルムＡｃはフィルム本体Ａｂから剥離され、粘着ベルト４２に粘着したカバーフィルムＡｃは左方に搬送され、カバーフィルム回収部７０の把持ローラ７１で先端部を掴まれて、廃棄回収箱へ廃棄される。
【００３７】
圧着ローラ６２がフィルム本体Ａｂの左端まで基板Ｂへの貼り合せをすると、フィルム本体Ａｂを貼り合せた基板Ｂは、基板載置部５０における真空吸着板５３の吸引吸着を解除し、図示していない基板搬送手段により次の処理工程のところへ搬送する。また、フィルム載置台３２は水平状態に戻り、圧着用ローラ４４と圧着ローラ６２とＸＹθテーブル５２は図２に示す位置に戻り、一連のフィルム貼合処理が終了となる。
【００３８】
このように本実施形態によれば、粘着ベルト４２にフィルムＡを粘着することにより、フィルムＡの搬送とカバーフルムＦｃの剥離とフィルムＡを基板Ｂへ位置決めすることを遂行できるだけでなく、フィルムＦを基板Ｂに対し鋭角をもって搬送することにより、フィルムＡに曲がりを生じることなく貼り合せることができる。
【００３９】
また、粘着ベルト４２は、スチールベルト上に粘着ゴムをライニングしたものを用いていることにより、ゴムベルトなどを用いたものよりもベルト自体の伸びが非常に小さいために、フィルム搬送の精度は高く、結果として高い貼り合せ精度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示したフィルム貼付装置で、フィルム載置台にフィルムを載置した状態を示す図である。
【図３】図１に示したフィルム貼付装置で、フィルム載置台を傾斜させフィルム先端を粘着ベルトに粘着保持させた状態を示す図である。
【図４】図１に示したフィルム貼付装置で、フィルムを粘着ベルトに粘着保持しフィルム先端を基板の貼り合せ開始位置へ搬送した状態を示す図である。
【図５】図１に示したフィルム貼付装置で、基板にフィルムを貼り合せ、フィルムから剥離したカバーフィルムを回収する状態を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
Ａ‥フィルム  
Ｂ‥基板  
１‥フィルム貼合装置  
１０‥フィルムストック部  
１２‥吸着パッド  
２０‥フィルム位置決め部  
２１，５３‥真空吸着板  
２２，５２‥ＸＹθテーブル  
２３，５４‥カメラ  
３０‥フィルム載置部  
３２‥フィルム載置台  
４０‥フィルム搬送部  
４２‥粘着ベルト  
５０‥基板載置部  
６０‥圧着部  
６２‥圧着ローラ  
７０‥カバーフィルム回収部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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