(57)【要約】【課題】  ウェハーを収納する第１のキャリアと第２のキャリア間でウェハーを損傷すること なくウェーハを移送し、また、表裏反転を可能とする。【解決手段】 対面配置された第１のキャリアと第２のキャリアにおいて、ウェハーを収納する第１のキャリアの開口部の背面から第２のキャリアへアームを使って押出す前に一度ウェハーを持ち上げてから押出す。また、第１のキャリアは、上下どちらにもセットできるようキャリアガイドの形状に凹凸が設けてある。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを水平に収納する複数段のスロットを有するキャリアを基台上に対向配置し、
一方のキャリアに収納されたウェーハを他方のキャリアのスロットへ移送するウェーハ移送装置において、取っ手が決められた軌道を移動するためのガイドを有すること
により、ウェーハを持ち上げて移送した後、もう1方のキャリア上で降ろす動作を特徴
とするウェーハ移送装置。
【請求項２】
キャリアを表方向、裏方向の両方向に簡易にセットできるための溝とストッパーを含んだ回転ステージを有する請求項１記載のウェーハ移送装置
【請求項３】
アームに複数段の櫛を設け、一括にウェーハを持ち上げ搬送する請求項１記載のウェーハ移送装置
【請求項４】
ウェーハをカセットからカセットへ双方向に移動するために方向を切りかえるための
取っ手２を有する請求項１記載のウェーハ移送装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウェーハ移送装置に関する。より詳しくは、ウェハーを移送、表裏反転
させるウェーハ移送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスにおいて、ウェーハは、例えば２５枚を処理枚数の単位となる
１ロット分としてキャリアに収納される。 このキャリアの内壁には 溝が複数段設けら
れ、この溝で複数段のスロットを形成し、各スロットに ウェハーが１枚ずつ水平に収
納されている。
【０００３】
最近注目されている薄型ウェーハは、厚さが６０μｍ〜２７０μｍくらいで、この厚さ
だとウェーハが反ってしまい、例えば２５枚を収納する標準ピッチのキャリアに、ウェ
ーハを収めようとした場合、キャリアにウェーハを収めることはできなくなった。そこで、
スロットのピッチを倍にした倍ピッチキャリアが発明され、現在使用しているキャリアは
この倍ピッチキャリアを使用している。
【０００４】
ウェーハ搬送機では２つのキャリアのウェーハ出し入れ用の開口部を対向配置し、
背面側にはウェーハを押出すための押出し装置のアームが進入するための進入口
が開口している。この進入口の開口幅は、ウェーハが抜け出せないように狭くキャリ
アの両側壁をテーパ状に狭めたりあるいは適当な枠材でストッパを形成する。
【０００５】
前記押出し装置は、取っ手１と連動していて、一方の端部からは、複数のアームが
特出し、このアームの先端に形成された当接部がウェーハに当接してキャリアから
押出す。このようにしてキャリアに複数枚水平に収納されたウェーハを対向するキャ
リア内へ移送して収納する。
【０００６】
しかし、厚さが６０μｍ〜２７０μｍの薄型ウェーハは、前記で述べたように反りが
生じていて、その上、ウェーハのエッジ部はナイフ状にとがっている事から、従来の 
押出し式ではウェハーを押出したときにキャリアの溝にウェーハが引っかかったり、
食い込んだりするために、ウェーハがダメージを受け、割れやひび等が生じていた。
【特許文献１】特開２０００−３８２１７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来構造のウェーハ移替え器では、ウェーハをキャリアからアームを使って押出す場合、ウェーハそのものの反りに加えて、ウェーハのエッジ部がナイフ状にとがっている
事から、ウェーハとキャリア内壁の溝の間で押出し時にひっかかり、ウェハーの割れ
が発生することがあった。
【０００８】
また、本ウェーハキャリアは、装置間の移動時にハンドリングされる。つまり、ある処
理を行うときはウェーハを表向きにして装置にセットして処理を行うが、次工程での
処理ではウェーハを裏向きにしないと処理できないという装置間での違いがある。
それによりキャリア内でウェーハの表裏を反転させないと処理ができない。
【０００９】
この時に、人間の手によりウェーハを１枚づつ表裏反転させると、ウェーハが薄厚で
ある原因からハンドリングでちょっとした衝撃をウェーハに加えると割れる恐れもあり、
１枚づつ入れ替えていくので時間もかかるという問題があった。
【００１０】
また、 背面側にウェーハを押出すための押出し装置のアームが進入するための
進入口がカセットの種類によっては開口していない場合、このままではウェーハ
搬送ができ ない。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するため、本発明では、ウェーハを水平に収納する複数段のスロット
を有するキャリアを基台上に対向配置し、アームの先端の当接部と連動した取っ手を
ガイドに沿って動かすことにより、ウェーハの下に当接部を挿入させ、上昇させウェー
ハの反りによる影響を受けないところまで、ウェーハを持ち上げた後、対向するキャリ
アまで移動する。
【００１２】
この取っ手１はガイドに沿って水平に動く事になるが、水平方向の動きだけでは、アー
ムは従来の押出し動作と同じになるため、取っ手１をガイドの途中で押出すことにより、図６に示すように、傾斜を円筒型軸が上がりアームを上昇させる機構を設けた。これ
とは逆に取っ手１を引くことにより、アーム下の円筒型軸は傾斜を下り、アームを下降
させることになる。
【００１３】
また、ウェーハを一括して搬送できるよう移送装置のアームの先端に１２本のくしを取
り付け、ウェーハを一括に移送できるアームを製作した。ウェーハを表裏反転させる
ためには、対向配置されたキャリアへの向きを反対にセットし、ウェーハを片方のキャ
リアからもう一方のキャリアへ平行移動させればよい。さらに、表向きから裏向きへ、
または、裏向きから表向きへと両方向への移送の必要があるため、キャリアをセット
するステージを回転できるように製作した。
【００１４】
上記回転ステージにセットするキャリアには、表裏の向きがあり、また、形も違う。
そこで、表向き、裏向きどちらにも対応できるように回転ステージに溝とストッパーを
取付ける事とした。
【００１５】
カセット背面に進入口がないカセットに対しては、上記のアームの反対の動きとなる。すなわち、取っ手２を使ってゲートを一度開き、取っ手１を使っていったん一番奥まで
アームを押し込んだあと、ウェーハを持ち上げ、手前のカセットまでウェーハを運んだ後、アームを下ろしてカセットにセットする。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明においては、反りのあるウェーハをいったん持ち上げて
移送することになるが、取っ手１がガイドに沿って動くため、キャリア内部での当接部の
上昇下降を意識することなくウェーハを対向するキャリアに収めることになる。このこ
とにより、ウェーハを傷つけることなく安定した移送が可能となる。
【００１７】
表裏反転したウェーハは、１２本のくしを使って一括に移送できるので、相当の時間短
縮ができることとなる。また、回転ステージにより、表向き、裏向きの両方向間での移
送が簡易に行うことができ、回転ステージに溝とストッパーを設けることにより、キャリアを載せるだけで、簡単に回転ステージにセットすることができるようになった。
【００１８】
片方のカセットに進入口がないものに対しても回転ステージとの組み合わせにより、
ウェーハの移送が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【００２０】
図３に示すように従来のウェーハ搬送機では、キャリアを対向配置し、片方のキャリア
からもう片方のキャリアにウェーハを押出して移送するというような装置を使用してい
た。しかし、薄型のウェーハは反りが生じていて、その上ウェーハのエッジ部がナイフ
状に尖っている事から、この従来の押出し式では、キャリアに引っかかったり、食い込
んだりしてしまうという問題が発生した。この問題により、ウェーハはダメージを受け、
割れなどが生じていた。
【００２１】
図２はキャリアに収められているウェーハを示す図である。
図２に示すように薄型のウェーハは山形に沿っており、そのまま押出そうとするとエッ
ジ部が尖っていることからキャリアに引っかかろうとするのだが、図２（ｂ）のように、ア
ーム当接部がウェーハを持ち上げることによりウェーハとキャリアの間に隙間ができ、
キャリアに引っかかることなく搬送できる。
【００２２】
図１は本発明に係る移替え器の実施例１を示す斜視図である。
図で示すように回転ステージ１には、キャリア７ａ、７ｂが対向配置して備わっている。
このキャリア７ａ、７ｂの内壁には溝が複数段設けられ、この溝で複数段のスロットを
形成し、各スロットにウェーハが収納される。各キャリア７ａ、７ｂは対向する前面側が
開口して、ウェーハ出し入れ用の開口部を形成し、背面側にはウェーハをスロットから
持ち上げ移送するための押出し装置２のアーム３が進入する進入口が開口している。
前記押出し装置２は基台４に備えてあり、一方の端部からは複数のアーム３が突出
し、このアーム３の先端に形成された当接部５がキャリア７ａに進入しウェーハを一括
に持ち上げ、ウェーハを７ｂに移送後、当接部５がウェーハを一括に降ろす。
【００２３】
また、前記押出し装置２には取っ手６が設けてあり、この取っ手６を操作することに
より、押出し装置２のアームがキャリア内に進入したり、またウェーハを持ち上げたり
降ろしたりする。
【００２４】
このようにして、キャリア７ａに複数枚水平に収納されていたウェーハに対し、キャリア
７ａに進入してきたアーム３の当接部５が当接しウェーハを一括に持ち上げ、対向する
キャリア７ｂ内へウェーハを持ち上げたまま移送して、一括にウェーハを降ろし収納す
る。
【００２５】
図４はキャリアを置くためのステージを示したものであり、ステージ中央を中心に回転
するようになっている。また、ステージの中心には、溝のあるガイドがあるため、
カセットの設置が容易であり、ステージの回転により、キャリアの交換が素早く行える
ようになっている。
【００２６】
図５は取っ手の部分がガイドに沿って動くことを示した図である。取っ手の延長線上に
ガイドを設けることにより、この取っ手は一定の軌道を描くことになり、アームの先端にセットされた当接部は、キャリアへ挿入したあと、ウェーハを持ち上げ移送した後、
もう一方のキャリアへ移送後、ウェーハを降ろす一連の決まった動作へと導いてくれ
る。
【００２７】
図６は取っ手１の動きに対してアームが上下する機構について示した図である。取っ
手を左右に動かすことにより、傾斜面を円筒型軸が動き、これに連結されたアームも
同様に上下運動をすることになる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係る移替え器の全体を示す斜視図。
【図２（ａ）】本発明に係るキャリア内のウェーハの状態を示す図。
【図２（ｂ）】本発明に係るキャリア内のウェーハの状態を示す図。
【図３】従来の押出しの概略図。
【図４】本発明に係る移替え器の回転ステージを示す図。
【図５】本発明に係る移替え器のガイドを示す図。
【図６】本発明に係る移替え器のアーム上下構造を示す図。
【符号の説明】
【００２９】
１  回転ステージ
２  押出し装置
３  アーム
４  ロッド
５  当接部
６  取っ手１
７  ａ  キャリア
７  ｂ  キャリア
８  取っ手２
２１  キャリア
２２  溝
２３  ウェーハ
３１  当接部
３２  アーム
３３  取っ手
３４  進入口
３５  開口部
３６  ウェーハ
４１  回転ステージ
４２  ストッパー
４３  溝
５１  ガイド
５２  取っ手１
５３  ゲート
６１  円筒型軸
６２  取っ手１
６３ 傾斜面
【図１】
2006156649.tif 000003
【図２（ａ）】
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【図２（ｂ）】
2006156649.tif 000005
【図３】
2006156649.tif 000006
【図４】
2006156649.tif 000007
【図５】
2006156649.tif 000008
【図６】
2006156649.tif 000009