(57)【要約】【課題】  容易に組立／分解することのできる静電モータを提供する。【解決手段】  複数の帯状電極（３９、６９Ａ、６９Ｂ）が等間隔に形成された固定子（３０、６０）と、固定子の帯状電極と同一の間隔で複数の帯状電極（２９、７９Ａ、７９Ｂ）が形成された移動子（２０、７０）とを含み、固定子の帯状電極と移動子の帯状電極との間に作用する静電的な吸引力および反発力により移動子を駆動する静電モータ（１０、８０）において、少なくとも固定子が複数の固定子部分（３０Ｌ、３０Ｒ、３０Ａ、３０Ｂ）に分割可能であるか、または移動子が複数の移動子部分（７０Ａ、７０Ｂ）に分割可能である静電モータが提供される。固定子部分または移動子部分は複数の固定子要素（３１Ｌ〜３４Ｌ、３１Ｒ〜３４Ｒ、３１Ａ〜３４Ａ、３１Ｂ〜３４Ｂ）または複数の移動子要素（７１Ａ〜７４Ａ、７１Ｂ〜７４Ｂ）を積層することによりそれぞれ形成するのが好ましい。【選択図】      図４
2006060972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の帯状電極が等間隔に形成された固定子と、該固定子の前記帯状電極と同一の間隔で複数の帯状電極が形成された移動子とを含み、前記固定子の前記帯状電極と前記移動子の前記帯状電極との間に作用する静電的な吸引力および反発力により移動子を駆動する静電モータにおいて、
少なくとも前記固定子が複数の固定子部分に分割可能であるか、または前記移動子が複数の移動子部分に分割可能である静電モータ。
【請求項２】
少なくとも前記固定子の前記固定子部分が薄膜型の複数の固定子要素を該固定子要素の厚さ方向に積層することにより形成されているか、または前記移動子の前記移動子部分が薄膜型の複数の移動子要素を該移動子要素の厚さ方向に積層することにより形成されている請求項１に記載の静電モータ。
【請求項３】
前記移動子が前記固定子要素および前記移動子要素の厚さ方向に対して平行な軸線回りに回転するようになっており、
さらに、前記固定子要素を隣接する固定子要素に結合させる固定子用結合部と、前記移動子要素を隣接する移動子要素に結合させる移動子用結合部とを具備し、前記固定子用結合部および前記移動子用結合部のうちのいずれか一方の結合部が他方の結合部に対して半径方向外側に位置しており、前記一方の結合部を備えた前記固定子または前記移動子が複数の固定子部分または複数の移動子部分に分割可能である請求項２に記載の静電モータ。
【請求項４】
前記固定子が前記移動子周りに配置されており、
前記固定子が複数の固定子部分に分割可能であり、
前記静電モータを組立てる際には、前記各固定子要素が前記移動子の隣接する前記移動子要素の間に挿入されると共に前記各移動子要素が前記固定子部分の隣接する前記固定子要素の間に挿入されて前記固定子要素と前記移動子要素とが厚さ方向に互い違いに配置されるように、前記移動子が前記固定子部分に挿入される請求項３に記載の静電モータ。
【請求項５】
前記移動子が直線的に移動する請求項２に記載の静電モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電力を利用して駆動する静電モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、モータに対する小型化、軽量化の要求が増大している。従来の電気モータは永久磁石およびコイルなどの重量の問題からこのような要求に応えるのは難しく、従って、互いに絶縁された多相の電極に３相以上の電圧をかけ、その静電力で吸引、反発して駆動する静電モータの改良が行われている。現状の静電モータの固定子および移動子のそれぞれは、多数の電極が配置された薄膜の形態をなしており、このような薄膜型の固定子および移動子は、通常は、ＦＰＣ（フレキシブルプリント回路基板）製造技術を用いて製造されている。
【０００３】
また、このような静電モータにおいて高出力を得るためには、電極を配置した薄膜の面積を大きくすることが考えられる。しかしながら、静電モータ自体の寸法はモータ外形寸法によって制限されるので、通常は固定子および移動子の組を複数集合させることにより高出力を得るようにしている。
【０００４】
ところで、固定子および移動子の組を複数集合して静電モータを形成する場合には、通常はこれら組を積層する方式が採用されている。図１３は、従来技術における回転式静電モータを示す分解斜視図である。
【０００５】
図１３に示されるように、従来技術の回転式静電モータ１００は、複数の移動子要素２１０、２２０からなる移動子と複数の固定子要素３１０、３２０からなる固定子とを含んでいる。これら移動子要素２１０、２２０および固定子要素３１０、３２０には、ケース１１０内に予め設置されたシャフト軸部１２０に挿入される開口部が形成されている。図示されるように、複数の固定子要素３１０、３２０の上面には複数の固定子用電極が等間隔で、例えば２００マイクロメートル間隔形成されている。また、複数の移動子要素２１０、２２０にも複数の移動子用電極が等間隔で形成されているが、これら移動子用電極は移動子要素２１０、２２０の下面に設けられているので図１には示されていない。
【０００６】
回転式静電モータ１００の組立時には、移動子要素２１０、２２０および固定子要素３１０、３２０の開口部がシャフト軸部１２０に挿入され、移動子要素２１０、２２０および固定子要素３１０、３２０がケース１１０内に内包される。このとき、移動子要素２１０、２２０の移動子用電極と固定子要素３１０、３２０の固定使用電極とは互いに対面する。図示されるように、前述したのと同様な開口部が形成された移動子用スペーサ４１０および固定子用スペーサ５１０が移動子要素２１０と固定子要素３１０との間に配置され、また移動子用スペーサ４２０および固定子用スペーサ５２０が移動子要素２２０と固定子要素３２０との間に配置されている。これらスペーサによって、回転式静電モータ１００の組立時には、移動子要素２１０、２２０と固定子要素３１０、３２０との間には所定の隙間が設けられるようになる。
【０００７】
また、図１４（ａ）は、従来技術における回転式静電モータを示す別の分解斜視図である。なお、理解を容易にするために、図１４（ａ）においてはケース１１０’を省略している。図１４（ａ）に示される回転式静電モータ１００’も、前述した回転式静電モータ１００と同様に、複数の移動子要素２１０’、２２０’からなる移動子と複数の固定子要素３１０’、３２０’からなる固定子とから構成されている。図１４（ａ）における固定子要素３１０’、３２０’は固定子用スペーサ５１０’、５２０’とそれぞれ一体的に形成されている。一方、図１４（ａ）に示される固定子の下面を示す図１４（ｂ）から分かるように、移動子要素２１０’も移動子用スペーサ４１０’と一体的に形成されている。図１４（ｂ）には示さない移動子要素２２０’も同様に移動子用スペーサ４２０’と一体的に形成されている。このため、スペーサと一体的になったこれら固定子要素３１０’、３２０’および移動子要素２１０’、２２０’を使用することにより、図１３の場合よりも回転式静電モータ１００’の組立を容易にしつつ、所定の隙間を設けることが可能となる。
【０００８】
また、図１５（ａ）は、従来技術における直動式静電モータの構成部品を示す図であり、図１５（ｂ）は、従来技術における単層型の直動式静電モータを示す斜視図であり、さらに、図１５（ｃ）は、従来技術における多層型の直動式静電モータを示す斜視図である。図１５（ａ）には、複数の移動子用電極７１９が一面に等間隔で形成されている移動子要素７１０と、複数の固定子用電極６１９が一面に等間隔で形成されている固定子要素６１０とが示されている。図示されるように、移動子要素７１０の両端部には、同一高さのスペーサ７１１が接合されている。同様に、固定子要素６１０の両端部にも、同一高さのスペーサ６１１が接合されている。このため、図１５（ｂ）に示されるように、固定子用電極６１９と移動子用電極７１９とが対面するように固定子要素６１０と移動子要素７１０とを組み付けると、単層型の直動式静電モータ８１０が形成され、固定子要素６１０と移動子要素７１０との間には所定の隙間が設けられるようになる。さらに、同様な構成である単層型の直動式静電モータ８２０、８３０、８４０を形成し、これら複数の直動式静電モータ８１０〜８４０を組み付けることにより、図１５（ｃ）に示される多層型の直動式静電モータ８００が得られる。この場合、各直動式静電モータ８１０、８２０、８３０、８４０の移動子要素７１０、７２０、７３０、７４０が移動子として図１５（ｃ）の矢印方向に一体的に移動するので、図１５（ｂ）に示される単層型直動式モータの場合よりも高出力が得られる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、図１３に示される回転式静電モータ１００を形成する際には、はじめに帯状電極の電極配置中心点がシャフト軸部１２０に一致するように固定子要素３１０をシャフト軸部１２０に仮止めし、固定子用スペーサ５１０を固定子要素３１０に仮止めし、帯状電極の電極配置中心点がシャフト軸部１２０に一致するように移動子要素２１０をシャフト軸部１２０に仮止めし、さらに、移動子用スペーサ４１０を移動子要素２１０に仮止めするという操作を繰り返している。このため、組み付け作業が煩雑となり、多大な時間を消費する。さらに、移動子要素２１０、２２０または固定子３１０、３２０のいずれかに破損などの問題が生じた場合には、当該部品を取り外すために、回転式静電モータ１００全体を一旦分解する必要がある。
【００１０】
また、図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示される回転式静電モータ１００’の場合にはスペーサが各移動子要素２１０’、２２０’および各固定子３１０’、３２０’に予め接合されているために図１３の場合よりは回転式静電モータ１００’の組立に要する時間は少ない。ところが、図１４（ａ）などに示される場合においては、スペーサと当該スペーサに対応する移動子要素または固定子要素との間のズレが問題となりにくいので、移動子要素２１０’とこれに隣接する移動子要素２２０’との間のズレ、および固定子３１０’とこれに隣接する他の固定子３２０’との間のズレ、ならびに回転方向の位相のズレが逆に目立つようになる。
【００１１】
このことを説明すると、図１４（ａ）などに示される回転式静電モータ１００’場合には、例えば移動子要素２１０’と移動子要素２２０’との間の位置合わせを行う際に固定子３２０’がこれら移動子要素の間に介在するので位置決めをする空間が制限される。同様に、固定子３１０’と固定子３２０’との間の位置合わせを行う際にも移動子要素２１０’が介在するので同様の問題が生じる。これらのことから回転式静電モータ１００’の場合には移動子要素２１０’と移動子要素２２０’との間のズレ、および固定子３１０’と固定子３２０’との間のズレが比較的生じやすい。図１４（ａ）には二つの移動子および二つの固定子を備えた回転式静電モータ１００’が示されているが、移動子および固定子の数がさらに増した場合には位置決め時に生じたズレが堆積し、回転式静電モータ１００’の回転効率が低下する事態が生じる可能性もある。さらに、図１４（ａ）などに示される回転式静電モータ１００’においても、破損したいずれかの移動子要素２１０’、２２０’または固定子３１０’、３２０’を取り外す際に回転式静電モータ１００’全体を分解する必要があることを回避できない。
【００１２】
さらに、図１５に示される直動式静電モータ８００において複数の移動子要素７１０、７２０、７３０、７４０からなる移動子と、固定子要素６１０、６２０、６３０、６４０からなる固定子とに同様の電源で電圧を印加する際には、各移動子要素の電極と各固定子の電極との移動方向の位相が正確に一致している必要がある。しかしながら、このように正確な移動方向位相を得ること、および移動子と固定子とを微小隙間を空けて組み立てることは煩雑であり、時間を消費し、静電モータの出力が組立精度のために十分でない場合も生じうる。さらに、図１５に示される直動式静電モータ８００においても、移動子または固定子のいずれかに破損などの問題が生じた場合には、当該部品を取り出すために、直動式静電モータ８００全体を一旦分解する必要がある。
【００１３】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、複数の固定子要素間および／または移動子要素間においてズレが生じることなしに容易に組立／分解することのできる静電モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前述した目的を達成するために１番目に記載の発明によれば、複数の帯状電極が等間隔に形成された固定子と、該固定子の前記帯状電極と同一の間隔で複数の帯状電極が形成された移動子とを含み、前記固定子の前記帯状電極と前記移動子の前記帯状電極との間に作用する静電的な吸引力および反発力により移動子を駆動する静電モータにおいて、少なくとも前記固定子が複数の固定子部分に分割可能であるか、または前記移動子が複数の移動子部分に分割可能である静電モータが提供される。
【００１５】
すなわち１番目の発明においては、固定子または移動子が複数の固定子部分または移動子部分に分割可能であるので、静電モータ自体を容易に組み立てられると共に、固定子または移動子の一部に破損などの問題が生じた場合であっても静電モータを容易に分解することにより、このような問題に対処することが可能となる。
【００１６】
２番目の発明によれば、１番目の発明において、少なくとも前記固定子の前記固定子部分が薄膜型の複数の固定子要素を該固定子要素の厚さ方向に積層することにより形成されているか、または前記移動子の前記移動子部分が薄膜型の複数の移動子要素を該移動子要素の厚さ方向に積層することにより形成されている。
すなわち２番目の発明においては、複数の薄膜型要素を積層することにより固定子部分または移動子部分が形成されているので、単一の薄膜型要素の場合と比較すると、静電モータの出力を向上させられる。
【００１７】
３番目の発明によれば、２番目の発明において、前記移動子が前記固定子要素および前記移動子要素の厚さ方向に対して平行な軸線回りに回転するようになっており、さらに、前記固定子要素を隣接する固定子要素に結合させる固定子用結合部と、前記移動子要素を隣接する移動子要素に結合させる移動子用結合部とを具備し、前記固定子用結合部および前記移動子用結合部のうちのいずれか一方の結合部が他方の結合部に対して半径方向外側に位置しており、前記一方の結合部を備えた前記固定子または前記移動子が複数の固定子部分または複数の移動子部分に分割可能である。
すなわち３番目の発明においては、固定子要素および移動子要素のそれぞれが各結合部の厚さ分だけ離間することになるので、結合部の厚さに応じた所定の距離を空けた状態で、固定子要素および移動子要素を正確に配置することができる。
【００１８】
４番目の発明によれば、３番目の発明において、前記固定子が前記移動子周りに配置されており、前記固定子が複数の固定子部分に分割可能であり、前記静電モータを組立てる際には、前記各固定子要素が前記移動子の隣接する前記移動子要素の間に挿入されると共に前記各移動子要素が前記固定子部分の隣接する前記固定子要素の間に挿入されて前記固定子要素と前記移動子要素とが厚さ方向に互い違いに配置されるように、前記移動子が前記固定子部分に挿入される。
すなわち４番目の発明においては、外側に位置する固定子の一つの固定子部分を分離することにより形成される開口部から移動子を単に挿入することにより、固定子および移動子が複数の薄膜型要素から形成されている場合であっても静電モータを容易に組み立てることができる。
【００１９】
５番目の発明によれば、２番目の発明において、前記移動子が直線的に移動する。
すなわち５番目の発明においては、静電モータがいわゆる直動式静電モータの場合にも、静電モータを容易に組立／分解することが可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
各発明によれば、複数の固定子要素間および／または移動子要素間においてズレが生じることなしに容易に組立／分解することができるという共通の効果を奏しうる。
さらに、２番目の発明によれば、静電モータの出力を向上させられるという効果を奏しうる。
さらに、３番目の発明によれば、固定子要素および移動子要素を正確に配置することができるという効果を奏しうる。
さらに、４番目の発明によれば、静電モータを容易に組み立てることができるという効果を奏しうる。
さらに、５番目の発明によれば、静電モータがいわゆる直動式静電モータの場合にも、静電モータを容易に組立／分解することができるという効果を奏しうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は、本発明の第一の実施形態に基づく静電モータの略斜視図である。図１に示される回転型の静電モータ１０は、移動子２０と固定子３０とから構成されている。図１における移動子２０は環状であり、移動子２０の中心にはシャフト軸部１２を挿入するのに適した孔が形成されている。このような移動子２０はシャフト軸部１２回りで回転可能になっている。
【００２２】
一方、固定子３０は矩形状であり、移動子２０を取り囲むように配置されている。図１から分かるように、移動子２０は固定子３０の内側に挿入されて配置されている。さらに、矩形状固定子３０の四つの頂点付近には、固定子３０を仮留めまたは後述するケース１１内に固定子３０を取り付けることなどに用いられる孔１３が形成されている。
【００２３】
図２（ａ）は、図１に示される静電モータの固定子を形成する固定子部分を示す略斜視図である。図２（ａ）に示されるように、静電モータ１０の固定子３０は、二つの固定子部分３０Ｌ、３０Ｒより形成されている。図２（ａ）に示される実施形態においては、これら固定子部分３０Ｌ、３０Ｒは、図１に示される静電モータ１０の移動子２０の直径を通る線分に沿って固定子３０を分割することにより得られる互いに対称的な形状である。
【００２４】
図２（ａ）から分かるように、固定子部分３０Ｌ、３０Ｒは複数の固定子要素３１Ｌ〜３４Ｌおよび固定子要素３１Ｒ〜３４Ｒをそれぞれ積層することにより形成されている。積層時には、固定子部分３０Ｌ、３０Ｒの孔１３を利用し、適切な固定部材を孔１３に通して仮止めするのが好ましい。これら固定子要素３１Ｌ〜３４Ｌは互いに同一の構造であり、また固定子要素３１Ｒ〜３４Ｒも互いに同一の構造である。さらに、固定子要素３１Ｌ〜３４Ｌおよび固定子要素３１Ｒ〜３４Ｒは移動子２０の直径に対して互いに対照的な形状となっている。図２（ａ）に示されるように、移動子２０が配置される孔周りには、複数の帯状電極３９が固定子要素の一面に等間隔、例えば２００マイクロメートル間隔で配置されている。各固定子要素は薄膜型であるので、複数の帯状電極３９を備えたこれら固定子要素は通常はＦＰＣ製造技術を用いて製造されている。
【００２５】
また、図２（ａ）から分かるように、固定子部分３０Ｌにおいては、所定の厚さのスペーサ５１Ｌ〜５３Ｌが固定子要素３１Ｌ、３２Ｌの間、固定子要素３２Ｌ、３３Ｌの間、および固定子要素３３Ｌ、３４Ｌの間にそれぞれ配置されている。同様に固定子部分３０Ｒにおいても、スペーサ５１Ｒ〜５３Ｒが固定子要素３１Ｒ、３２Ｒの間、固定子要素３２Ｒ、３３Ｒの間、および固定子要素３３Ｒ、３４Ｒの間にそれぞれ配置されている。
【００２６】
さらに、図２（ｂ）は一つの固定子要素３４Ｌとこの固定子要素に対応するスペーサ５３Ｌの形状を示す平面図である。図２（ａ）および図２（ｂ）から分かるように、固定子要素３４Ｌの外形とスペーサ５３Ｌの外形とは、移動子２０に隣接する曲線部分を除けば互いに等しい。スペーサ５３Ｌの移動子２０に隣接する曲線部分は、固定子要素３４Ｌの曲線部分よりも外側に位置するようになっている。他のスペーサもスペーサ５３Ｌと同様の形状である。このため、静電モータ１０の組立時には、スペーサ５１Ｌ〜５３Ｌ、５１Ｒ〜５３Ｒが各固定子要素３１Ｌ〜３４Ｌ、３１Ｒ〜３４Ｒの帯状電極３９に干渉することはない。
【００２７】
また、スペーサ５１Ｌ〜５３Ｌ、５１Ｒ〜５３Ｒの厚さは互いに等しい。さらに、積層時には、これらスペーサ５１Ｌ〜５３Ｌ、５１Ｒ〜５３Ｒは隣接する固定子要素を互いに結合する役目を果たす。なお、各スペーサ５１Ｌ〜５３Ｌ、５１Ｒ〜５３Ｒが対応する固定子要素３１Ｌ〜３４Ｌ、３１Ｒ〜３４Ｒの一方の面に予め接合されていてもよい。
【００２８】
図３（ａ）は、図１に示される静電モータの移動子の略斜視図であり、また、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示される移動子における一つの移動子要素の下面を示す略斜視図である。図３（ａ）に示される移動子２０は、互いに等しい形状の薄膜型の複数の移動子要素２１〜２４を積層することにより形成されている。図３（ｂ）に示されるように移動子要素２１の下面には、複数の帯状電極２９がシャフト軸部１２が挿入される孔２１Ａ周りに等間隔に配置されている。帯状電極２９の間の間隔は帯状電極３９の間の間隔に等しい。また、移動子要素２１の孔２１Ａと帯状電極２９との間には所定の厚さの環状スペーサ４１が設けられている。図示しないものの、他の移動子要素２２〜２４も移動子要素２１と同一の構成である。このため、図３（ａ）に示されるような移動子要素の積層時には、隣接する移動子要素２１〜２４の間の距離は互いに等しくなる。また、スペーサ４１〜４３は隣接する移動子要素を積層時に互いに結合する役目を果たす。なお、移動子のスペーサ４１〜４３の厚さと固定子のスペーサ５１Ｌ〜５３Ｌ、５１Ｒ〜５３Ｒの厚さは互いに等しい。図２（ａ）に示される固定子部分３０Ｌ、３０Ｒおよび図３（ａ）に示される移動子２０が組み立てられると、これらは機械的および電気的に試験され、それぞれの品質が確認される。
【００２９】
図４（ａ）は、図１に示される静電モータの組立状態を示す第一の図である。図４（ａ）に示されるように、移動子２０の一側から固定子部分３０Ｒを接近させる。移動子２０のスペーサ４１、４２、４３の厚さと固定子部分３０Ｒのスペーサ５１Ｒ、５２Ｒ、５３Ｒの厚さは互いに等しいので、移動子２０の各移動子要素２１〜２４と固定子部分３０Ｒの各固定子要素３１Ｒ〜３４Ｒとが互い違いに配置されるようになる。つまり、移動子要素２１は固定子要素３１Ｒ、３２Ｒの間に挿入され、移動子要素２２は固定子要素３２Ｒ、３３Ｒの間に挿入され、さらに移動子要素２３は固定子要素３３Ｒ、３４Ｒの間に挿入される。その結果、各固定子要素３１Ｒ〜３４Ｒの帯状電極３９と各移動子要素２１〜２４の帯状電極２９とが互いに対面するようになる。また、前述したスペーサ５１Ｒ〜５３Ｒおよびスペーサ４１〜４３が存在するので、これら各帯状電極３９と各帯状電極２９とは所定の短距離を空けて配置されるようになる。
【００３０】
次いで、固定子部分３０Ｌを移動子２０の反対側から挿入する。固定子部分３０Ｌは３０Ｒと対照的な形状であるので、固定子部分３０Ｒの場合と同様に、移動子２０の各移動子要素２１〜２４と固定子部分３０Ｌの各固定子要素３１Ｌ〜３４Ｌとが互い違いに配置され、対面する各帯状電極３９と各帯状電極２９とは所定の短距離を空けて配置されるようになる。次いで、固定子部分３０Ｌと固定子部分３０Ｒとを移動子２０の中心軸に関して対象の位置に配置し結合する。なお、固定子部分３０Ｌおよび固定子部分３０Ｒを互いに結合する必要はなく、これら固定子部分３０Ｌ、３０Ｒのそれぞれを後述するケース１１に独立して結合するようにしてもよい。
【００３１】
このように固定子部分３０Ｌ、３０Ｒを移動子２０に組み付けると、移動子２０のスペーサ４１〜４４が静電モータ１０の半径方向内側に位置し、固定子部分３０Ｌ、３０Ｒのスペーサ５１Ｌ〜５４Ｌ、５１Ｒ〜５４Ｒが静電モータ１０の半径方向外側に位置するようになる。
【００３２】
次いで、図４（ｂ）に示されるように、組み立てられた静電モータ１０をケース１１内に挿入する。ケース１１内部には、複数、例えば四つの突起１４が、静電モータ１０の孔１３に対応した位置に形成されている。このため、突起１４を孔１３に挿入することにより、静電モータ１０をケース１１内に容易に挿入できる。
【００３３】
なお、静電モータ１０をケース１１に挿入する前に、静電モータ１０をケース１１と同様な形状の他のケース１９（図示しない）に挿入してもよい。図５（ａ）は他のケースおよびシャフト軸部の側方からみた断面図であり、図５（ｂ）は、組付後のケースおよびシャフト軸部の側方からみた断面図である。これら図面に示されるように、ケース１９には前述した突起１４の他に、シャフト軸部１２の中心孔に対応したスリーブ１８が設けられているものとする。この場合には、突起１４のそれぞれを固定子３０の孔１３に挿入すると共にスリーブ１８がシャフト軸部１２の中心孔１２Ａに挿入されるように、静電モータ１０をケース１９内に挿入する。シャフト軸部１２のフランジ１５には突起１４に対して平行な突起１７が設けられているので、移動子要素２１〜２４および移動子用スペーサ４１〜４３の穴に突起１７が挿入されるようになる。これにより、固定子部分３０Ｌ、３０Ｒおよび移動子２０のそれぞれの組立精度を確保できると共に、固定子部分３０Ｌ、３０Ｒおよび移動子２０の間の相対位置関係を保証することが可能となる。なお、シャフト軸部１２には、他の軸部が挿入されてキー結合するようになっている。
【００３４】
また、図５（ａ）および図５（ｂ）に示されるように軸受１６がシャフト軸部１２の内壁とスリーブ１８との間に設けられている。軸受１６は移動子２０の組立時に一緒に組み立てられるのが好ましく、それにより、シャフト軸部１２回りで回転する移動子２０の回転精度を向上させられる。軸受は静電モータ１０をケース１１に挿入した後で取り付けるようにしてもよい。
【００３５】
このようにして本発明の静電モータ１０を組み立てると、移動子２０の各移動子要素２１〜２４に設けられた各帯状電極２９と、固定子３０の各固定子要素３１Ｌ〜３４Ｌ、３１Ｒ〜３４Ｒに設けられた各帯状電極３９とがスペーサ４１〜４４、５１Ｌ〜５４Ｌ、５１Ｒ〜５４Ｒに応じて定まる所定の近距離で正確に対面する。そして、これら電極を例えば三相に電気的に接続し、三つの導体により静電モータ用電源（図示しない）に接続する。これにより、静電的な吸引力および反発力が帯状電極２９および帯状電極３９の間に作用し、従って、移動子２０がシャフト軸部１２回りに回転運動するようになる。本発明においては、帯状電極２９および帯状電極３９は所定の近距離で対面しているので、比較的大きな静電的な吸引力および反発力を発生させられる。
【００３６】
本発明の第一の実施形態においては静電モータ１０は一つの移動子２０に対して二つの固定子部分３０Ｌ、３０Ｒを単に挟み込むことにより組み立てられるので、組立作業が単純化され、静電モータ１０を極めて容易に組み立てることができる。また、複数の固定子要素のうちの例えば固定子要素３２Ｒの一部に破損などの問題があった場合であっても、前述したのと反対の方法で静電モータ１０から固定子部分３０Ｒを取り外し、固定子部分３０Ｒを分離して固定子要素３２Ｒを取り外し、新たな固定子要素３２Ｒに取り替えることで足りる。従って、本発明の第一の実施形態においては、従来技術のように回転式静電モータ１００全体を分解する必要はなく、静電モータ１０の一部が破損した場合であっても当該一部を容易に取り外すことにより、これに容易に対処することが可能となる。詳細には説明しないが、他の部品、例えば移動子２０の移動子要素２３に破損などの問題がある場合も同様に静電モータ１０全体を分解する必要がないのは明らかである。
【００３７】
図１から図４を参照して説明した本発明の第一の実施形態においては、二つの固定子部分３０Ｌ、３０Ｒによって固定子３０を形成しているが、さらに多数の固定子部分から固定子３０を形成するようにしてもよい。また、本発明の第一の実施形態においては固定子３０を形成する固定子部分３０Ｌ、３０Ｒが互いに対照的な形状であったが、これら固定子部分は他の形状であってもよい。図６は、本発明の第二の実施形態に基づく回転型静電モータの固定子を形成する固定子部分を示す略斜視図である。図６に示される第二の実施形態においては、固定子３０は、互いに異なる形状の二つの固定子部分３０Ａ、３０Ｂより構成されている。
【００３８】
図６に示されるように、固定子部分３０Ａは複数の固定子要素３１Ａ〜３４Ａを積層することにより形成されており、各固定子要素３１Ａには、複数の帯状電極３９が固定子要素３１Ｌと同様に等間隔に形成されている。図６から分かるように、各固定子要素３１Ａ〜３４Ａは、帯状電極３９全体の約５／６を備えた略Ｕ字形状になっている。さらに、第一の実施形態と同様に、各固定子要素３１Ａ〜３４Ａのそれぞれの間には、スペーサ５１Ａ〜５３Ａがそれぞれ配置されている。これらスペーサ５１Ａ〜５３Ａは、図２に示されるスペーサ５１Ｒ〜５３Ｒに概ね等しい。しかしながら、詳細に後述する図７に示されるスペーサ５２Ａから分かるように、スペーサ５２Ａの両端部５２ＡＸ、５２ＡＹは対応する固定子要素３２Ａの外形に沿って固定子要素３２Ａの端部まで延びている。他のスペーサ５１Ａ、５３Ａもスペーサ５２Ａと同一の形状である。
【００３９】
一方、再び図６を参照すると、固定子部分３０Ｂも複数の固定子要素３１Ｂ〜３４Ｂを積層することにより形成されている。図６から分かるように、これら固定子要素３１Ｂ〜３４Ｂは、帯状電極３９全体の残りの約１／６を備えた形状となっている。また、各固定子要素３１Ｂ〜３４Ｂの間にも、スペーサ５１Ｂ〜５３Ｂがそれぞれ配置されている。図示されるように、スペーサ５１Ｂ〜５３Ｂの両端部、例えばスペーサ５３Ｂの両端部５３ＢＸ、５３ＢＹは各固定子要素３１Ｂ〜３４Ｂの縁部から大幅に突出している。スペーサ５３Ｂの端部５３ＢＸ、５３ＢＹ間の最大距離は前述した移動子２０の移動子要素２３の直径よりも大きい。また、これらスペーサ５３Ｂの端部５３ＢＸ、５３ＢＹの両縁部の間の距離は、図７に示されるスペーサ５２Ａの両端部５２ＡＸ、５２ＢＸ間の距離に等しいかまたはこれよりわずかに小さく、それにより、スペーサ５３Ｂをスペーサ５２Ａの両端部５２ＡＸ、５２ＢＸの間に摺動させられる。他のスペーサ５１Ｂ、５２Ｂもスペーサ５３Ｂと同一の形状である。
【００４０】
ところで、複数の固定子要素３１Ａ〜３４Ａを積層することにより固定子部分３０Ａを組み立てる際には、組立精度を確保するために固定子部分用治具を使用するのが好ましい。図７は、図６に示される固定子部分３０Ａの組立状態を示す図である。図７に示される治具６００は、後方面６３０と、この後方面６３０に対して垂直に延びる二つの押当面６１０、６２０とを含んでいる。図示されるように、これら押当面６１０、６２０が交差する部分には凹部６５０が形成されている。また、この交差部分とは反対側の押当面６１０の縁部には別の凹部６６０が形成されている。これら凹部６５０、６６は人間の指よりもわずかながら大きいのが好ましい。また、これら押当面６１０、６２０の間のなす角度は、複数の固定子要素３１Ａ〜３４Ａの所定の一つの角部における角度に等しくなっている。
【００４１】
固定子部分３０Ａを形成する際には、はじめに、押当面６２０が下方に位置した状態で、固定子要素３１Ａを治具６００の後方面６３０に配置し、次いで、固定子要素３１Ａの所定の二つの辺を押当面６１０、６２０にそれぞれ押当てる。次いで、スペーサ５１Ａを固定子要素３１Ａに対応した向きで固定子要素３１Ａの上方に載せ、押当面６１０、６２０に同様に押し当てる。その後、固定子要素３２Ａをスペーサ５１Ａの上方に載せ、同様に押当面６１０、６２０に押し当てる。この操作を繰り返すことにより、複数の固定子要素３１Ａ〜３４Ａを治具６００上で積層し、例えば孔１３を利用して適切な固定部材（図示しない）などで固定する。積層後は、操作者の指を凹部６５０および／または凹部６６０に挿入して、固定子部分３０Ａの角部を引っかけることにより固定子部分３０Ａを治具６００から取り出す。このような治具６００を使用することにより、複数の固定子要素３１Ａ〜３４Ａが位置ズレすることなしに、固定子部分３０Ａを組み立てることが可能となる。なお、治具６００を使用する場合には、積層方向に荷重が加わらないので、固定子要素およびスペーサの平面度を悪化させることはない。
【００４２】
なお、適切な固定部材を用いる代わりに、または固定部材と併用して、熱硬化性接着材料を固定子要素３１Ａ〜３４Ａおよび／またはスペーサ５１Ａ〜５４Ａに塗布するようにしてもよい。この場合には、治具６００上で積層した固定子を加圧しつつ加熱し、それにより、固定子を硬化作用により固定させられる。
【００４３】
前述した説明においては、固定子要素３２Ａを配置した後で、固定子要素３２Ａに対応するスペーサ５１Ａを載せているが、スペーサが予め接合された固定子要素を治具６００に順番に配置するようにしてもよい。また、当然のことながら、図６に示される固定子部分３０Ｂおよび図２に示される固定子部分３０Ｌ、３０Ｒをそれぞれに専用の治具（図示しない）により同様に積層することもできる。このような場合には、各固定子要素３１Ａ〜３４Ａ、３１Ｂ〜３４Ｂにおける帯状電極３９の電極配置中心Ｘおよびシャフト軸部１２の軸線、ならびに前述した軸受を使用する場合には軸受の中心軸線が同一直線上に位置するようになり、それにより、静電的な吸引力および反発力が並列に作用し、対向面積当たりのトルクを最大限にすることが可能となる。
【００４４】
図８（ａ）は、第二の実施形態に基づく静電モータの組立状態を示す第一の図である。移動子２０を固定子部分３０Ａのスペーサ５２Ａ等の両端部５２ＡＸ（図８（ａ）には示さない）、５２ＡＹ等の間に向かって接近させる。なお、第二の実施形態における移動子２０は第一の実施形態の移動子２０と同一の方法で同様に組み立てられるので説明を省略する。これにより、第一の実施形態の場合と同様に、移動子２０の各移動子要素２１〜２４と固定子部分３０Ａの各固定子要素３１Ａ〜３４Ａとが互い違いに配置されるようになる。その結果、各固定子要素３１Ａ〜３４Ａの帯状電極３９と各移動子要素２１〜２４の帯状電極２９とが所定の短距離を空けて互いに対面するようになる。
【００４５】
図８（ｂ）は、第二の実施形態に基づく静電モータの組立状態を示す第二の図である。移動子２０を固定子部分３０Ａに挿入した後、または移動子２０を挿入することが完了する直前に、固定子部分３０Ｂを固定子部分３０Ａに挿入し、それにより、移動子２０を挟むようにする。例えばスペーサ５３Ｂの端部５３ＢＸ、５３ＢＹが固定子部分３０Ａにおけるスペーサ５３Ａの端部５３ＡＸ、５３ＡＹを摺動するように、固定子部分３０Ｂが固定子部分３０Ａに挿入される。前述したように、スペーサ５３Ｂの端部５３ＢＸ、５３ＢＹの間の距離は移動子２０を構成する移動子要素の直径よりも大きいので移動子２０は固定子部分３０Ｂの各スペーサ５１Ａ〜５３Ｂに接触することはない。固定子部分３０Ｂを組み付けた後は、前述したケース１１内に静電モータを設置するようにしてもよい。このように、固定子部分３０Ａ、３０Ｂの形状が互いに異なる場合であっても、第一の実施形態の場合と同様な効果が得られるのは明らかである。
【００４６】
図９は、本発明の第三の実施形態に基づく静電モータの略斜視図である。図９に示される静電モータ８０は移動子７０が線形運動する直動型静電モータである。静電モータ８０は固定子６０と移動子部分７０Ａ、７０Ｂとを含んでおり、これら移動子部分７０Ａ、７０Ｂは一体となって移動子７０として移動する。また、図示されるように、静電モータ８０全体が移動子用スライド機構部１５内に挿入されている。前述した実施形態と同様に、静電モータ８０の固定子６０も複数の薄膜型の固定子要素を積層することにより形成されている。また、移動子７０の各移動子部分７０Ａ、７０Ｂも複数の薄膜型の移動子要素を積層することにより形成されている。
【００４７】
図１０（ａ）は、図９に示される静電モータ８０の固定子６０の一つの固定子要素６１の上面６１Ａを示す略斜視図である。図１０（ａ）に示されるように固定子要素６１は薄膜型の矩形形状であり、上面６１Ａには帯状電極は形成されていない。一方、固定子要素６１の下面６１Ｂを示す略斜視図である図１０（ｂ）に示されるように、下面６１Ｂには複数の帯状電極６９Ａ、６９Ｂが等間隔で配置されている。これら帯状電極は二つの列をなすように配置されており、固定子要素６１における一方の列の帯状電極を６９Ａ、他方の列の帯状電極を６９Ｂとする。これら帯状電極６９Ａ、６９Ｂは後述する移動子要素７１Ａ、７１Ｂにそれぞれ対応するものとする。
【００４８】
また、図１０（ｂ）に示されるように、下面６１Ｂには、一対のスペーサ６１Ｃ、６１Ｄが固定子要素６１の両端部に接合されている。これらスペーサ６１Ｃ、６１Ｄの厚さは互いに等しい。また、図示されるように、スペーサ６１Ｃ、６１Ｄの両端部は固定子要素６１の縁部から突出した状態となっている。前述した実施形態の場合と同様に、スペーサ６１Ｃ、６１Ｄは隣接する固定子要素を互いに結合する役目を果たす。他の固定子要素６２〜６４も固定子要素６１と同様な構成である。
【００４９】
図１１（ａ）は、移動子７０の移動子部分７０Ａ、７０Ｂを構成する移動子要素７１Ａ、７１Ｂを示す略斜視図である。図１１（ａ）に示される各移動子要素７１Ａ、７１Ｂは固定子要素６１よりも小さくて、薄膜型の矩形形状である。図示されるように、各移動子要素７１Ａ、７１Ｂの一面には複数の帯状電極７９Ａ、７９Ｂが帯状電極６９Ａ、６９Ｂと同一の間隔で配置されている。また、移動子要素７１Ａ、７１Ｂの帯状電極７９Ａ、７９Ｂが配置されたのと同一の面には、スペーサ７１Ｃ、７１Ｄが移動子要素７１Ａ、７１Ｂの一側に沿ってそれぞれ接合されている。これらスペーサは隣接する移動子要素を互いに結合する役目を果たす。なお、図面には示さないものの、これら移動子要素７１Ａ、７１Ｂの他面には帯状電極７９Ａ、７９Ｂは配置されていない。
【００５０】
ところで、積層により移動子部分７１Ａ、７１Ｂを組み立てる際には、組立精度を確保するために移動子部分用治具を使用するのが好ましい。図１１（ｂ）は、静電モータ８０の移動子部分の組立状態を示す第一の図である。図１１（ｂ）に示される治具９０は、後方面９３と、この後方面９３に対して垂直に延びる二つの押当面９１、９２とを含んでいる。図示されるように、押当面９１には、一つの突起９５が設けられており、また、押当面９２は二つの突起９４が設けられている。これら二つの突起９４の押当面９２からの高さは同一である。また、押当面９１、９２の間のなす角度は、複数の移動子要素７１Ａ〜７４Ａ、７１Ｂ〜７４Ｂの所定の一つの角部における角度に等しい。また、押当面９１の突起９５と押当面９２の突起９４とによって、押当面９１、９２が交差する部分には凹部９６が形成される。
【００５１】
前述した実施形態と同様に、移動子部分７０Ａを形成する際には、押当面９２を下方にした状態で、はじめに、移動子要素７１Ａを治具９０の後方面９３に配置し、次いで、移動子要素７１Ａの所定の二つの辺を押当面９１、９２にそれぞれ押当てる。次いで、移動子要素７２Ａを移動子要素７１Ａの上方に載せ、同様に押当面９１、９２に押し当てる。移動子要素７１Ａにはスペーサ７１Ｃが予め接合されているので、移動子要素７１Ａと移動子要素７２Ａとの間には所定の隙間が形成されることとなる。このような操作を繰り返すことにより、複数の移動子要素７１Ａ〜７４Ａを治具９０上で積層し、スペーサに形成された孔などを利用して適切な固定部材により固定する。積層後は、操作者の指を凹部９６に挿入して、移動子部分７０Ａの角部を引っかけることにより移動子部分７０Ａを治具９０から取り出す。従って、このような治具９０を使用することにより、複数の移動子要素７１Ａ〜７４Ａが位置ズレすることなしに、移動子部分７０Ａを組み立てることが可能となる。また、同様な操作を移動子要素７１Ｂに対応した形状の別の治具（図示しない）について行い、移動子部分７０Ｂを同様に組み立てる（図１１（ｃ）を参照されたい）。
【００５２】
一方、図９（ａ）および図９（ｂ）に示した固定子要素６１についても前述したのと同様な積層操作を行う。図１２（ａ）は、静電モータ８０の固定子６０を示す略斜視図である。図１２（ａ）に示される固定子６０は複数の固定子要素６１〜６４を積層することにより形成されている。この固定子６０についても、図示しない別の固定子用治具を用いることにより同様に積層するのが好ましい。図１０（ａ）および図１０（ｂ）を参照しつつ前述したように、積層後には、各固定子要素６１〜６４の両端に設けられたスペーサ６１Ｃ〜６４Ｃおよびスペーサ６１Ｄ〜６４Ｄにより、各固定子要素６１〜６４は互いに等しい距離だけ離間している。
【００５３】
次いで、図１２（ｂ）に示されるように、固定子６０の一方の側部から移動子部分７０Ｂを挿入する。前述した実施形態と同様に、固定子６０のスペーサ６１Ｃ〜６４Ｃ、６１Ｄ〜６４Ｄの厚さと移動子部分７０Ｂのスペーサ７１Ｄ〜７４Ｄの厚さは互いに等しいので、固定子６０の各固定子要素６１〜６４と移動子部分７０Ｂの各移動子要素７１Ｂ〜７４Ｂとが互い違いに配置されるようになる。その結果、各移動子要素７１Ｂ〜７４Ｂの帯状電極７９Ｂと各固定子要素６１〜６４の帯状電極６９Ａ、６９Ｂとが互いに対面する。また、前述したスペーサ７１Ｄ〜７４Ｄおよびスペーサ６１Ｄ〜６４Ｄが存在するので、これら各帯状電極７９Ｂと各帯状電極６９Ａ、６９Ｂとの間の距離は互いに等しくなる。
【００５４】
次いで、移動子部分７０Ａを固定子６０の反対側から挿入する。移動子部分７０Ａは移動子部分７０Ｂと対照的な形状であるので、固定子６０の各固定子要素６１〜６４と移動子部分７０Ａの各移動子要素７１Ａ〜７４Ａとは同様に互い違いに配置され、対面する各帯状電極６９Ａと帯状電極７９Ａとの間の距離は互いに等しくなる。
【００５５】
最終的に、図１２（ｃ）に示されるように、移動子部分７０Ａ、７０Ｂが挿入された固定子６０を移動子用スライド機構部１５に挿入する。移動子用スライド機構部１５には、固定子６０および移動子７０を受容するのに適した凹部が予め形成されており、それにより、必要とされる組立精度を得ることができる。移動子部分７０Ａおよび移動子部分７０Ｂを固定子６０に組み付けた後で、これら移動子部分７０Ａ、７０Ｂを適宜結合する。
【００５６】
このようにして本発明の静電モータ８０を組み立てると、移動子７０の各移動子要素７１Ａ〜７４Ａ、７１Ｂ〜７４Ｂに設けられた帯状電極７９Ａ、７９Ｂのそれぞれと、固定子６０の各固定子要素６１〜６４に設けられた各帯状電極６９Ａ、６９Ｂとがスペーサ６１Ｃ〜６４Ｃ、６１Ｄ〜６４Ｄおよびスペーサ７１Ｃ〜７４Ｃ、７１Ｄ〜７４Ｄに応じて定まる所定の近距離で正確に対面する。そして、これら電極を例えば三相に電気的に接続し、三つの導体により静電モータ用電源（図示しない）に接続する。これにより、静電的な吸引力および反発力が帯状電極７９Ａ、７９Ｂおよび帯状電極６９Ａ、６９Ｂの間に作用し、従って、移動子７０が固定子６０および移動子用スライド機構部１５の凹部の内壁に沿って各スペーサ６１Ｃ〜６４Ｃと各スペーサ６１Ｄ〜６４Ｄとの間で移動するようになる。また、本発明においては、帯状電極７９Ａ、７９Ｂおよび帯状電極６９Ａ、６９Ｂは所定の近距離で対面しているので、比較的大きな静電的な吸引力および反発力を発生させられる。
【００５７】
このように、本発明の第三の実施形態においては静電モータ８０は一つの固定子６０に対して二つの移動子部分７０Ａ、７０Ｂを単に挟み込むことにより組み立てられるので、組立作業が同様に単純化される。また、複数の移動子要素のうちの例えば移動子要素７２Ａに破損などの問題があった場合であっても、前述したのと反対の方法で静電モータ８０から移動子部分７０Ａを取り外し、移動子部分７０Ａをさらに分離して移動子要素７２Ａを取り外し、新たな移動子要素７２Ａに取り替えることで足りる。このため、本発明の第三の実施形態においては、従来技術のように直動型静電モータ８００全体を分解する必要はなく、静電モータ８０の一部が破損した場合であっても当該一部を容易に取り外すことにより、これに対処することが可能となる。
【００５８】
同様に、固定子６０の一部、例えば固定子要素６２に破損などの問題があった場合には、静電モータ８０から移動子部分７０Ａ、７０Ｂを引出し、次いで固定子６０を分離して固定子要素６２を取り外すようにすればよい。なお、移動子７０が三つ以上の部分から構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第一の実施形態に基づく静電モータの略斜視図である。
【図２】（ａ）図１に示される静電モータの固定子を形成する固定子部分を示す略斜視図である。（ｂ）一つの固定子要素とこの固定子要素に対応するスペーサの形状を示す平面図である。
【図３】（ａ）図１に示される静電モータの移動子の略斜視図である。  （ｂ）図３（ａ）に示される移動子の一つの移動子要素の下面を示す略斜視図である。
【図４】（ａ）図１に示される静電モータの組立状態を示す第一の図である。  （ｂ）図１に示される静電モータの組立状態を示す第二の図である。
【図５】（ａ）ケースおよびシャフト軸部の側方からみた断面図である。  （ｂ）組付後のケースおよびシャフト軸部の側方からみた断面図である。
【図６】本発明の第二の実施形態に基づく静電モータの固定子を形成する固定子部分を示す略斜視図である。
【図７】図６に示される固定子部分の組立状態を示す図である。
【図８】（ａ）本発明の第二の実施形態に基づく静電モータの組立状態を示す第一の図である。  （ｂ）本発明の第二の実施形態に基づく静電モータの組立状態を示す第二の図である。
【図９】本発明の第三の実施形態に基づく静電モータの略斜視図である。
【図１０】（ａ）図９に示される静電モータの固定子の一つの固定子要素の上面を示す略斜視図である。（ｂ）図１０（ａ）に示される固定子要素の下面を示す略斜視図である。
【図１１】（ａ）図９に示される静電モータの移動子の移動子要素を示す略斜視図である。（ｂ）図９に示される静電モータの移動子部分の組立状態を示す第一の図である。（ｃ）図９に示される静電モータの移動子部分の組立状態を示す第二の図である。
【図１２】（ａ）図９に示される静電モータの固定子を示す略斜視図である。（ｂ）図９に示される静電モータの組立状態を示す第三の図である。（ｃ）図９に示される静電モータの組立状態を示す第四の図である。
【図１３】従来技術における回転式静電モータを示す分解斜視図である。
【図１４】（ａ）従来技術における回転式静電モータを示す別の分解斜視図である。（ｂ）図１４（ａ）に示される固定子の下面を示す略斜視図である。
【図１５】（ａ）従来技術における直動式静電モータの構成部品を示す図である。（ｂ）従来技術における単層型の直動式静電モータを示す斜視図である。（ｃ）従来技術における多層型の直動式静電モータを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０    静電モータ
１１    ケース
１２    シャフト軸部
２０    移動子
２１〜２４    移動子要素
２９    帯状電極
３０    固定子
３０Ａ、３０Ｂ    固定子部分
３０Ｌ、３０Ｒ    固定子部分
３１Ａ〜３４Ａ、３１Ｂ〜３４Ｂ    固定子要素
３１Ｌ〜３４Ｌ、３１Ｒ〜３４Ｒ    固定子要素
３９    帯状電極
４１〜４４、５１Ｌ〜５４Ｌ、５１Ｒ〜５４Ｒ    スペーサ
５１Ａ〜５４Ａ、５１Ｂ〜５４Ｂ    スペーサ
６０    固定子
６１〜６４    固定子要素
６１Ｃ〜６４Ｃ、６１Ｄ〜６４Ｄ    スペーサ
６９Ａ、６９Ｂ    帯状電極
７０Ａ、７０Ｂ    移動子部分
７１Ａ〜７４Ａ、７１Ｂ〜７４Ｂ    移動子要素
７１Ｃ〜７４Ｃ、７１Ｄ〜７４Ｄ    スペーサ
７９Ａ、７９Ｂ    帯状電極
８０    静電モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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