(57)【要約】      （修正有）【課題】磁性トラックの偏心量を容易に測定でき、磁気ヘッドの位置決め精度向上、アクセス時間の高速化、記録密度の向上が可能な磁気ディスクおよびこれを備えたディスク装置を提供する。【解決手段】  磁気ディスク装置の磁気ディスクは、中央孔を有した平坦な円盤状の基板と、磁性体の有無でパターン形成された記録領域とを備えている。記録領域は、中央孔とエッジ部との間に設けられたデータ記録領域５８と、データ記録領域の外周側に設けられた環状のランディング領域５７と、複数のサーボ領域６０とを有している。データ記録領域は基板の周方向に延びているとともに、基板の径方向に所定のピッチで設けられた複数の磁性トラックを有し、記録領域は磁性トラックと同芯状に形成されているとともに基板の径方向にデータ記録領域の磁性トラックのピッチよりも大きく、かつ目視可能なピッチで設けられた複数の認識トラックを有している。【選択図】  図３
2006185545.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面および裏面を有しているとともに中央孔を有した平坦な円盤状の基板と、前記基板の外周縁部に位置した環状のエッジ部を除いて、前記表面および裏面の少なくとも一方の面上に、磁性体の有無でパターン形成された記録領域と、を備え、
前記記録領域は、前記基板の中央孔と前記エッジ部との間に設けられたデータ記録領域と、前記データ記録領域の外周側で前記データ記録領域に続いて設けられた環状のランディング領域と、複数のサーボ領域と、を有し、
前記データ記録領域は、それぞれ前記基板の周方向に延びているとともに、前記基板の径方向に所定のピッチで設けられた複数の磁性トラックを有し、前記記録領域は、それぞれ前記基板の周方向に延び前記磁性トラックと同芯状に形成されているとともに、前記基板の径方向に前記データ記録領域の磁性トラックのピッチよりも広く、かつ、目視可能なピッチで設けられた複数の認識トラックを有している磁気ディスク。
【請求項２】
表面および裏面を有しているとともに中央孔を有した平坦な円盤状の基板と、前記基板の外周縁部に位置した環状のエッジ部を除いて、前記表面および裏面の少なくとも一方の面上に、磁性体の有無でパターン形成された記録領域と、を備え、
前記記録領域は、前記基板の中央孔と前記エッジ部との間に設けられたデータ記録領域と、前記データ記録領域の外周側で前記データ記録領域に続いて設けられた環状のランディング領域と、それぞれ前記基板の中央孔側から外周縁部まで延びたほぼ放射状に形成され、前記データ記録領域およびランディング領域をそれぞれ前記基板の周方向に複数に分断した複数のサーボ領域と、を有し、
前記データ記録領域は、それぞれ前記基板の周方向に延びているとともに、前記基板の径方向に所定のピッチで設けられた複数の磁性トラックを有し、前記ランディング領域は、それぞれ前記基板の周方向に延び前記磁性トラックと同芯状に形成されているとともに、前記基板の径方向に前記データ記録領域の磁性トラックのピッチよりも広く、かつ、目視可能なピッチで設けられた複数の認識トラックを有している磁気ディスク。
【請求項３】
前記基板の前記認識トラックは、前記ランディング領域の全域あるいは一部分に渡って４００ｎｍ以上のピッチで設けられている請求項２に記載の磁気ディスク。
【請求項４】
前記データ記録領域は、それぞれ前記基板の半径方向に等間隔で並んでいるとともに円環状パターンで形成され信号保持するための複数の磁性トラックと、前記基板の半径方向に隣合う磁性トラック間に位置して前記磁性トラックを前記基板の半径方向に磁性分断した非磁性ガード帯と、を有し、前記磁性トラックは、前記データ記録領域における磁性占有率が６５％以上となるように形成されている請求項２又は３に記載の磁気ディスク。
【請求項５】
前記各サーボ領域は、少なくとも前記基板の半径方向に略円弧放射状に連続しているとともに前記基板の周方向に磁性／非磁性を繰返す繰返しパターン領域を備え、前記サーボ領域における前記繰り返しパターン領域の磁性占有率が約５０％であり、前記基板の周方向に沿った前記繰り返しパターン領域の周方向長は０．０１ｍｍ以上である請求項４に記載の磁気ディスク。
【請求項６】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の磁気ディスクと、
前記磁気ディスクを支持し、一定速度で回転させる駆動部と、
前記磁気ディスクに対して情報処理を行うヘッドと、
前記磁気ディスクに対して前記ヘッドを径方向に移動させるヘッドアクチュエータと、を備えた磁気ディスク装置。
【請求項７】
前記磁気ディスクは、前記データ記録領域の磁性トラックおよびランディング領域の認識トラックが前記駆動部の回転中心と同芯に位置して配設されている請求項６に記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ディスクおよびこれを備えた磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータの外部記録装置や画像記録装置として磁気ディスク装置が広く用いられている。磁気ディスク装置は、一般に、矩形箱状の筐体を有している。筐体内には、磁気記録媒体としての磁気ディスク、この磁気ディスクを支持および回転させるスピンドルモータ、磁気ディスクに対して情報の書き込み、読み出しを行なう複数の磁気ヘッド、これらの磁気ヘッドを磁気ディスクに対して移動自在に支持したヘッドアクチュエータ、ヘッドアクチュエータを回動および位置決めするボイスコイルモータ、ヘッドＩＣ等を有する基板ユニット等が収納されている。筐体の外面には、基板ユニットを介してスピンドルモータ、ボイスコイルモータ、および磁気ヘッドの動作を制御するプリント回路基板がねじ止めされている。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置は、より多種の電子機器、特に、より小型の電子機器の記録装置として用いることができるように、一層の小型化が進められている。これに伴い、磁気ディスクの一層の小型化および高密度記録化が求められている。このような小型で高密度記録が可能な磁気ディスクとして、いわゆるディスクリート・トラック・記録（以下、ＤＴＲと称する）型の磁気ディスクが提案されている（例えば、特許文献１）。このＤＴＲ型の磁気ディスクは、表面が凹凸に形成され、その凸部にデータ記録が可能な磁性体が形成されている。また、磁気ディスクの表面は、凹凸により、サーボデータが記録されるサーボ領域、ユーザによるデータ記録が可能なデータ領域、磁気ヘッドのランディング領域が予めパターン化され形成されている。データ領域には、凸部からなる多数の磁性トラックが形成されている。
【特許文献１】特開２００３−２２６３４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したＤＴＲ型の磁気ディスクによれば、隣合う磁性トラック間は凹所によって分断されているため、磁性トラック間のクロストークを防止し、高密度記録が可能となる。このようなＤＴＲ型の磁気ディスクにおいて、磁性トラックのトラックピッチは可視光波長以下となる高密度であるため、干渉縞のような虹が見えるわけではなく、磁気ディスクの記録面を目視により確認することが不可能となる。
【０００５】
一方、磁気ディスクは、磁気ディスク装置のスピンドルモータに装着され、高速で回転される。そのため、正確に記録再生を行うためには、磁気ディスクの磁性トラックがスピンドルモータの回転中心と同芯に位置していることが必要となる。しかしながら、上記のように、磁性トラックおよび磁気ディスクの記録面を目視により確認することが不可能であることから、スピンドルモータに対する磁性トラックの偏心量を測定することが難しい。その結果、磁性トラックの偏心量が最小となるように磁気ディスクを位置調整することが困難となり、磁気ディスクに対する磁気ヘッドの位置決め精度向上、アクセス時間の高速化を図る上で障害となる。
【０００６】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、磁性トラックの偏心量を目視等により容易に測定でき、磁気ヘッドの位置決め精度向上、アクセス時間の高速化、記録密度の向上が可能な磁気ディスクおよびこれを備えたディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、この発明の態様に係る磁気ディスクは、表面および裏面を有しているとともに中央孔を有した平坦な円盤状の基板と、前記基板の外周縁部に位置した環状のエッジ部を除いて、前記表面および裏面の少なくとも一方の面上に、磁性体の有無でパターン形成された記録領域と、を備え、  
前記記録領域は、前記基板の中央孔と前記エッジ部との間に設けられたデータ記録領域と、前記データ記録領域の外周側で前記データ記録領域に続いて設けられた環状のランディング領域と、複数のサーボ領域と、を有し、前記データ記録領域は、それぞれ前記基板の周方向に延びているとともに、前記基板の径方向に所定のピッチで設けられた複数の磁性トラックを有し、前記記録領域は、それぞれ前記基板の周方向に延び前記磁性トラックと同芯状に形成されているとともに、前記基板の径方向に前記データ領域の磁性トラックのピッチよりも広く、かつ、目視可能なピッチで設けられた複数の認識トラックを有している。
【０００８】
この発明の他の態様に係る磁気ディスク装置は、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の磁気ディスクと、前記磁気ディスクを支持し、一定速度で回転させる駆動部と、前記磁気ディスクに対して情報処理を行うヘッドと、前記磁気ディスクに対して前記ヘッドを径方向に移動させるヘッドアクチュエータと、を備えている。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、認識トラックにより、磁性トラックの偏心量を容易に測定でき、磁気ヘッドの位置決め精度向上、アクセス時間の高速化、記録密度の向上が可能な磁気ディスクおよびこれを備えたディスク装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下図面を参照しながら、この発明の実施形態に係る磁気ディスクについて詳細に説明する。  
図１および図２に示すように、本実施形態に係る磁気ディスク５０は、中央孔５２を有した平坦な円盤状の基板５４と、基板の少なくとも一方の面、ここでは、基板の表面および裏面に形成された記録層５６と、を備えている。それぞれ記録領域を構成する記録層５６は、基板５４の内周縁部および外周縁部、つまり、円弧状のエッジ部５１を除き、基板と同芯的な環状に形成されている。各記録層５６は、強磁性体、例えば、ＣｏＣｒＰｔによってパターン状に形成され、磁性体のない領域は非磁性体、例えば、ＳｉＯ２により埋められている。これにより、表面が平坦化された垂直磁気記録用の磁気ディスクを構成している。
【００１１】
磁気ディスク５０は、ＤＴＲメディアとして形成され、図１（ａ）は磁気ディスク５０の表面側における記録層５６のパターン、図１（ｂ）は磁気ディスクの裏面側における記録層５６のパターンをそれぞれ示している。記録領域は、大別して、データ記録領域５８、ランディング領域５７、および複数のサーボ領域６０を有している。
【００１２】
図２に示すように、基板５４は、例えば、ガラスで形成され、その表面および裏面には、下地層（ＳＵＬ）６６が形成されている。基板５４は、ガラスに限らずアルミニウムで形成してもよい。データ記録領域５８およびサーボ領域６０のパターンは、下地層６６に重ねて形成されている。
【００１３】
図２に示すように、データ記録領域５８は、後述する磁気ディスク装置のヘッドによりユーザデータを記録再生する領域を形成するもので、データ記録領域５８のパターンは、基板５４の表面上に磁性体によって形成された凸部により構成されている。すなわち、データ記録領域５８は、強磁性体（ＣｏＣｒＰｔ）によりそれぞれ円環状に形成され垂直記録層として機能する複数の磁性トラック６２を有している。これらの磁性トラック６２は中央孔５２とほぼ同芯状に、かつ、基板５４の半径方向に一定の周期、つまり、一定のトラックピッチＴｐで並んで設けられている。
【００１４】
半径方向に隣合う磁性トラック６２間は、凹所からなるデータ記録不能な非磁性ガード帯部６４により分断されている。本実施形態によれば、ディスク表面の平坦化を目的として、各非磁性ガード帯部６４にはＳｉＯ２が埋込まれている。また、磁気ディスク表面には、薄膜状にカーボン保護膜が形成され、更に、潤滑剤としてルブが塗布されている。なお、非磁性ガード帯部を埋めることなく、凹凸面の上に直接保護層を形成してもよい。
【００１５】
基板５４の径方向に沿った各磁性トラック６２の径方向幅Ｔｗは、非磁性ガード帯部６４の幅よりも大きく形成されている。本実施形態において、磁性トラック／非磁性ガード帯部の径方向の比は２：１であり、データ記録領域５８は、磁性占有率約６７％のパターンを取っている。このようなデータ記録領域５８のパターンは、例えば１２０ｋＴＰＩを越える高トラック密度であるため、径方向のパターン周期（トラックピッチ）Ｔｐは可視光波長よりも小さい。このため、本磁気ディスク５０は、磁性トラック６２に起因する光の回折によって形成される虹パターンを目視認識することはできない。
【００１６】
図１、図３および図４に示すように、ランディング領域５７は環状に形成され、データ記録領域５８の外周側、かつ、エッジ部５１の内側でデータ記録領域に連続して設けられている。ランディング領域５７は、後述する磁気ディスク装置において、ヘッドが磁気ディスク５０に対してロード／アンロードする領域を形成している。
【００１７】
ランディング領域５７のパターンは、基板５４の表面上に磁性体によって形成された凸部により構成されている。すなわち、ランディング領域５７は、データ記録領域５８の磁性トラック６２と同様に、強磁性体（ＣｏＣｒＰｔ）により形成され、データ記録領域５８の磁性トラック６２と同芯の複数の円環状の磁性トラック７０を有している。
【００１８】
磁性トラック７０の内、複数のトラックは認識トラック７０Ａを構成している。認識トラック７０Ａは、ランディング領域５７の全域あるいは一部分に渡って形成され、データ領域５８の磁性トラック６２の半径方向のピッチＴｐより広い一定のピッチＴＬｐで並んでいる。複数の認識トラック７０Ａにいおり形成される認識領域５９の半径方向の幅は、目視可能な幅、例えば、５０μｍ以上に形成されている。
【００１９】
半径方向に隣合う認識トラック７０Ａの間は、凹所からなるデータ記録不能な非磁性ガード帯部７２により分断されている。本実施形態によれば、ディスク表面の平坦化を目的として、各非磁性ガード帯部７２にはＳｉＯ２が埋込まれている。
【００２０】
基板５４の径方向に沿った各認識トラック７０の径方向幅ＴＬｗは、例えば、磁性トラック６２のトラック幅Ｔｗと等しく形成されている。しかしながら、認識トラック７０ＡのトラックピッチＴＬｐに対する認識トラックの幅ＴＬｗの比によって、生じる虹パターンが定まるため、ＴｗとＴＬｗとは必ずしも等しくしなくてもよい。
【００２１】
認識トラック７０ＡのトラックピッチＴＬｐが、例えば、４００ｎｍに形成されている場合、波長５００ｎｍ、入射角３０°の光の回折光は、反射角が４８．６°の位置に現れるため、目視により認識することができる。このように、低密度に形成された目視可能な認識トラック７０Ａは、データ記録領域５８の磁性トラック６２の偏心量を測定するためのパターンとして用いることができる。
【００２２】
図１および図３に示すように、データ記録領域５８に形成された円環状の磁性トラック６２、およびランディング領域５７に形成された円環状の認識トラック７０は、複数のサーボ領域６０によりそれぞれ基板５４の周方向にセクタ分割されている。図では、データ記録領域５８、およびランディング領域５７をそれぞれ１５分割する構成で記載されているが、実際には、それぞれ１００サーボセクタ以上に分割されている。
【００２３】
各サーボ領域６０は、磁気ディスク装置のヘッドを位置決めするために必要な情報を磁性／非磁性で埋込み形成したプリビット領域である。各サーボ領域６０のパターン形状は、ヘッドの移動軌跡に一致した円弧状に形成されている。また、各サーボ領域６０は、基板５４の円周方向に沿ったサーボ領域パターンの周方向長が、基板の半径方向位置に比例して長くなる、すなわち、基板の外周側に位置した領域ほど長くなる、周方向拡大パターンに形成されている。基板５４の表面側記録層５６のサーボ領域６０と裏面側記録層５６のサーボ領域６０とは、その周方向配置順が異なる配置に形成され、例えば、表面側が反時計方向、裏面側が時計方向となっている。このように、磁気ディスク５０の記録領域は磁性体形状がパターン化されているとともに、表面側と裏面側とでパターンが異っている。
【００２４】
次に、図５を用いてサーボ領域６０のパターンについて詳細に説明する。  
図５は、磁気ディスク５０の表面側に設けられたサーボ領域６０を示している。このサーボ領域６０は、磁気ディスク５０をドライブに組み込んだ際、ヘッドが通過方向Ｘに沿って図中左から右に通過する個所のパターンである。円弧状サーボ領域パターン形状で表現すると、外周側円弧が図中の左、内周側円弧が図中の右に位置している。サーボ領域６０の左右両側には、前述したデータ記録領域５８が設けられている。
【００２５】
サーボ領域６０のパターンは、大別すると、プリアンブル部７１、アドレス部７３、偏差検出用のバースト部７４を有し、データ記録領域５８と同様に、強磁性体の凸部で形成された磁性パターンと、磁性パターン間に位置した凹部からなる非磁性パターンとにより構成されている。
【００２６】
プリアンブル部７１は、磁気ディスク５０の回転偏芯等により生ずる時間ズレに対し、サーボ信号再生用クロックを同期させるＰＬＬ処理や、信号再生振幅を適正に保つＡＧＣ処理を行うために設けられている。このプリアンブル部７１は、少なくとも基板５４の半径方向に略円弧放射状に連続しているとともに基板の周方向に磁性／非磁性を繰返す繰返しパターン領域として形成され、磁性／非磁性比がほぼ１：１、すなわち、磁性占有率約５０％で形成されている。尚、周方向の繰返し周期は半径距離に比例して異なるが、基板５４の最外周部分であっても可視光波長以下であり、データ記録領域と同様に、光学回折によるサーボ領域の識別は困難である。
【００２７】
アドレス部７３は、サーボマークと呼ばれるサーボ信号認識コード、セクタ情報、シリンダ情報等が、プリアンブル部７１の周方向ピッチと同一ピッチで、マンチェスタコードにより形成されている。シリンダ情報は、サーボトラック毎にその情報が変化するパターンとなる。そのため、ヘッドシーク動作時のアドレス判読ミスの影響が小さくなる様に、グレイコードと呼ばれる隣接トラックとの変化が最小となるコード変換をしてから、マンチェスタコード化して記録されている。アドレス部７３における磁性占有率は約５０％となっている。
【００２８】
バースト部７４は、シリンダアドレスのオントラック状態からのオフトラック量を検出するためのオフトラック検出用領域で、更にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄバーストと呼ぶ４つの径方向にパターン位相をずらしたマークが形成されている。各バーストには、周方向に複数個のマークがプリアンブル部と同一のピッチ周期で配置され、径方向周期は、アドレスパターンの変化周期に比例、換言すれば、サーボトラック周期に比例した周期で設けられている。本実施形態では、各バーストは、周方向に１０周期分形成され、径方向に、サーボトラック周期の２倍長周期で繰返すパターンを取っている。ＡＢＣＤバーストパターンでの磁性占有率は約７５％となっている。
【００２９】
マーク形状は基本的には矩形、厳密にはヘッドアクセス時のスキュー角を考慮した平行四辺形を目指して形成されている。しかし、スタンパ加工精度や転写形成等の加工性能により、各マークは、多少丸みを帯びた形状となる。また、マークは非磁性部として形成する。
【００３０】
バースト部７４に基づく位置検出原理については、詳細を省略するが、各ＡＢＣＤバースト部再生信号の平均振幅値を演算処理して、オフトラック量が算出される。なお、本実施形態ではＡＢＣＤバーストパターンを採用しているが、公知の位相差サーボパターン等を、オフトラック量検出手段としてパターン配置したものでもよい。ただし、位相差サーボパターンの場合は、この部分の磁性占有率は約５０％となる。
【００３１】
トラックピッチが４００ｎｍ以上の低密度パターンを有した磁気ディスクであれば、基板に凹凸を付けて、磁性層を凹凸状に全面形成したとしても、凹凸トラックパターンによる光学回折が生じ、データ記録領域におけるパターンの反射光が虹状の回折光となって目視認識することができる。この場合、円弧状のサーボ領域パターン形状を容易に目視確認することができる。
【００３２】
しかし、本実施形態のように、可視波長よりも十分短いトラックピッチを有した磁気ディスクの場合、光学回折が発生せず、虹パターンを確認することが困難となる。そのため、磁性層を全面凹凸状に形成した場合には、サーボ領域とデータ領域とを目視確認することが難しい。
【００３３】
一方、本実施形態に係る磁気ディスク５０のように、記録層が磁性パターンおよび非磁性パターンを有している場合、磁性部の反射率と、非磁性部の反射率とに若干の違いがあること、および、埋められた非磁性部による多重反射と吸光度との影響で、パターンの磁性占有率が小さくなるほど反射光強度が低下するという特徴を有している。
【００３４】
つまり、光学回折が期待できないような高密度パターンであっても、データ記録領域５８とサーボ領域６０とに、ある程度以上の磁性占有率の違いを設けることにより、反射光強度の違いでサーボ領域パターンの円弧状軌跡を光学的に識別可能となる。
【００３５】
光学反射率として、約１０％程度の違いがあれば、十分にパターン識別可能となる。本実施形態では、データ記録領域５８は磁性占有率が約６７％であるのに対して、サーボ領域６０におけるプリアンブル部７１およびアドレス部７３は磁性占有率がそれぞれ５０％であり、データ記録領域と十分な反射率の違いが生じ、光学認識可能である。
【００３６】
図６は、サーボ領域６０近傍部分の光学顕微鏡イメージを示している。磁性トラック６２や微細パターン等は見えないが、サーボ領域６０のプリアンブル部７１およびアドレス部７３はデータ記録領域５８よりも暗くなり、高密度パターンであっても光学的に確認可能となる。例えば、偏光フィルタを介して識別すると、円弧状のサーボパターンを、一層明確に識別可能となる。
【００３７】
前述したように、各サーボ領域６０は略円弧状に形成されている。このサーボ領域６０のパターン形状は、磁気ディスク５０の表面、裏面を判定する上で有効となる。サーボ領域パターンが完全に放射型の場合、パターンが左右対称となるため、各ディスク表面におけるサーボ領域パターンを識別できても、磁気ディスクの表面、裏面どちらのパターンなのかを識別することができない。図５に示したように、サーボ領域６０は、ヘッド通過方向Ｘに従ってパターンが形成されているため、磁気ディスクの表裏を間違えると、サーボ情報の識別が困難になる。ドライブとしての磁気ディスク装置に、サーボ領域６０が予め形成されている磁気ディスクを組み込む組立て工程では、磁気ディスク５０の表裏を間違いなく設置しておく管理が不可欠であり、磁気ディスクの表裏を容易に確認できる円弧状サーボ領域パターン形成が有効となる。
【００３８】
その他、後述するように、磁気ディスク装置におけるヘッドの移動軌跡は、回転駆動機構を回転中心とした円弧軌跡を取るため、磁気ディスク５０のサーボ領域６０はヘッド移動軌跡に略一致した円弧状のパターンに形成されていることが望ましい。
【００３９】
次に、上述した磁気ディスク５０の製造方法について簡単に説明する。製造プロセスは、転写工程、磁性加工工程、仕上げ工程を含んでいる。始めに、転写工程に使用するパターンの基となるスタンパの製造方法から説明する。  
スタンパの製造工程は、描画、現像、電鋳、仕上げに細分化される。パターン描画では、原盤回転型の電子線露光装置を用いて、磁気ディスクで非磁性化させる部位を、レジスト塗布された原盤上に、内周から外周まで露光描画する。これに現像、ＲＩＥ等の処理を施し、凹凸パターンを持つ原盤を形成する。この原盤を導電化処理した後、原盤の表面にＮｉを電鋳する。続いて、Ｎｉを原盤から剥離し、内径／外径を打ち抜き加工することで、Ｎｉからなるディスク状のスタンパが形成される。スタンパは、非磁性化させる部位を凸部として形成されている。磁気ディスク表面用および裏面用のスタンパをそれぞれ形成する。
【００４０】
転写工程では、両面同時転写型のインプリント装置を用い、インプリントリソグラフィー法によりスタンパの凹凸を磁気ディスク側に転写する。具体的には、まず、ガラスあるいはＳｉからなる基板５４の両面に下地層を形成し、更に、下地層に重ねて強磁性体からなる磁性体層を形成する。
【００４１】
このような垂直記録用磁気ディスクの両表面に、スピンコート法によりレジストを塗布し、ベーク処理後、磁気ディスクをその中央孔５２でチャッキングする。レジストとしては、例えば、液状ＳｉＯ２（ＳＯＧ）を用いる。この状態で、磁気ディスクの両面を、裏面用、表面用に準備した２種のスタンパで挟み込み、全面を均等に押圧する。これにより、スタンパの凹凸パターンをレジスト表面に転写する。転写工程により、非磁性化させる部位が、レジストの凹部として形成される。
【００４２】
次に、磁性加工工程では、レジストの凹部の底に残っている残渣レジストを除去した後、非磁性化させる部位の磁性体層表面を露出させる。磁性体層を残す部位はレジストが凸部として形成された状態になる。ついで、レジストをガード層としてイオンミリングすることで、凹部に位置する磁性層のみを除去し、磁性体を所望のパターンに加工する。
【００４３】
続いて、例えば、スパッタリングにより磁気ディスクの両面に非磁性体としてのＳｉＯ２を十分な厚さで成膜し、ディスク表面の凹凸をなくす。このＳｉＯ２を磁性体層の表面まで逆スパッタして除去することにより、凹部が非磁性体で埋め込みまれ平坦化したパターン磁気ディスクが得られる。
【００４４】
最後の仕上げ工程では、ディスク表面を研磨仕上げして平坦度を更に向上させた後、カーボン保護層を形成し、更に、潤滑用ルブを塗布することにより本実施形態に係る磁気ディスクが完成する。
【００４５】
次に、磁気ディスク装置として、上述した磁気ディスク５０を備えたハードディクドライブ（以下、ＨＤＤと称する）について説明する。  
図７および図８に示すように、磁気ディスク装置１０は偏平な矩形状のディスクエンクロージャ１３を備え、このディスクエンクロージャ１３は、箱形形状のベース１２と、ベース１２の上面の開口部を密閉するトップカバー１１とを有している。
【００４６】
ディスクエンクロージャ１３内には、前述した磁気ディスク５０、磁気ディスクを支持および回転させるスピンドルモータ１５、磁気ディスクに対してデータの記録、再生を行なう複数の磁気ヘッド３３、これらの磁気ヘッドを磁気ディスク５０に対して移動自在に支持したヘッドアクチュエータ１４、ヘッドアクチュエータを回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）１６、磁気ヘッドが磁気ディスクの最外周に移動した際、磁気ヘッドを磁気ディスクから離間した位置に保持するランプロード機構１８、ヘッドクチュエータを退避位置に保持するイナーシャラッチ機構２０、およびプリアンプ等の回路部品が実装されたフレキシブルプリント回路基板ユニット（以下、ＦＰＣユニットと称する）１７が収納されている。ベース１２は底壁を有し、スピンドルモータ１５、ヘッドアクチュエータ１４、ＶＣＭ１６等は、この底壁の内面上に設けられている。
【００４７】
前述したように、磁気ディスク５０は、両面をＤＴＲ用に加工した垂直磁化２層膜の小径パターンドメディアである。すなわち、磁気ディスク５０は表面および裏面の両面に記録層５６を有し、例えば、直径１．８インチあるいは０．８５インチに形成されている。磁気ディスク５０は、スピンドルモータ１５の図示しないハブに互いに同軸的に嵌合されているとともにクランプばね２１によりハブに固定されている。磁気ディスク５０は、駆動部としてもスピンドルモータ１５によって支持され、所定の速度で回転される。
【００４８】
ヘッドアクチュエータ１４は、ベース１２の底壁上に固定された軸受部２４と、この軸受組立体に取り付けられた２本のアーム２７と、各アームから延出したサスペンション３０と、を有している。サスペンション３０の延出端に、磁気ヘッド３３が支持されている。アーム２７、サスペンション３０および磁気ヘッド３３は、軸受部２４の回りで回動自在に支持されている。磁気ヘッド３３は、磁気ディスク５０の表面側記録層と対向するダウンヘッド、および磁気ディスクの裏面側記録層と対向するアップヘッドが設けられている。各磁気ヘッド３３は、ヘッド本体であるスライダ（ＡＢＳ）に、リード素子（ＧＭＲ素子）及びライト素子を有する磁気ヘッド素子が実装されている。
【００４９】
ＶＣＭ１６は、ヘッドアクチュエータ１４に設けられたボイスコイル２２と、ベース１２に固定されボイスコイルと対向した一対のヨーク３８、および一方のヨークに固定された図示しない磁石とを有している。ＶＣＭ１６は、アーム２７に軸受部２４周りの回転トルクを発生させ、磁気ヘッド３３を磁気ディスク５０の半径方向に移動させる。
【００５０】
ＦＰＣユニット１７は、ベース１２の底壁上に固定された矩形状の基板本体３４を有し、この基板本体上には、複数の電子部品およびコネクタ等が実装されている。ＦＰＣユニット１７は、基板本体３４とヘッドアクチュエータ１４とを電気的に接続した帯状のメインフレキシブルプリント回路基板３６を有している。ヘッドアクチュエータ１４に支持された各磁気ヘッド３３は、アーム２７上に設けられた図示しない中継ＦＰＣおよびメインフレキシブルプリント回路基板３６を介してＦＰＣユニット１７に電気的に接続されている。
【００５１】
磁気ディスク５０は、前述したように表裏があり、磁気ディスク装置のヘッド移動軌跡と、磁気ディスクのサーボ領域６０の円弧形状とが略一致する方向に表裏を合わせてベース１２内に組み込まれている。磁気ディスクの仕様は、磁気ディスク装置に適応した外径や内径、記録再生特性等を満足するものである。円弧形状に形成された各サーボ領域６０は、磁気ディスク回転中心からヘッドアクチュエータ１４の軸受部２４中心までの距離を半径とし磁気ディスクと同芯の円周上に、円弧中心を持ち、円弧半径が軸受部２４から磁気ヘッド３３素子までの距離として形成されている。言い変えると、各サーボ領域６０は、磁気ディスクが回転しても、常にヘッド移動軌跡とほぼ一致する円弧状に形成されている。各サーボ領域６０の円弧半径が、軸受部２４から磁気ヘッド３３素子までの距離で、円弧中心がパターン形成される磁気ディスク上の角度位相に同期して変化する磁気ディスクと同芯の円軌跡をとり、その円弧中心軌跡の半径が、スピンドルモータ１５中心から軸受部２４中心までの距離であるように形成されている。
【００５２】
ベース１２の底壁外面には、ＦＰＣユニット１７を介してスピンドルモータ１５、ＶＣＭ１６、および磁気ヘッドの動作を制御するプリント回路基板（以下、ＰＣＢと称する）４０が固定され、ベース底壁と対向している。
【００５３】
図６に示すように、ＰＣＢ４０上には多数の電子部品が実装されている。これらの電子部品は、主としてディスクコントローラ（ＨＤＣ）４１、リード／ライトチャネルＩＣ４２、ＭＰＵ４３、およびモータドライバＩＣ４４の４つのシステムＬＳＩを含んでいる。また、ＰＣＢ４０には、ＦＰＣユニット１７側のコネクタと接続可能なコネクタ、およびＨＤＤをパーソナルコンピュータ等の電子機器に接続するための主コネクタが実装されている。
【００５４】
ＭＰＵ４３は、ドライブ駆動システムの制御部であり、本実施形態に係るヘッド位置決め制御システムを実現するＲＯＭ、ＲＡＭ、ＣＰＵ、およびロジック処理部を含む構成である。ロジック処理部は、ハードウェア回路で構成された演算処理部であり、高速演算処理に用いられる。また、動作ソフト（ＦＷ）は、ＲＯＭに保存され、このＦＷに従ってＭＰＵがドライブを制御する。
【００５５】
ＨＤＣ４１は、ＨＤＤ内のインターフェース部であり、ディスクドライブとホストシステム、例えばパーソナルコンピュータ、とのインターフェースや、ＭＰＵ４３、リード／ライトチャネルＩＣ４２、モータドライバＩＣ４４への情報交換を行ないＨＤＤ全体を管理する。
【００５６】
リード／ライトチャネルＩＣ４２は、リード／ライトに関連するヘッド信号処理部であり、ヘッドアンプＩＣのチャネル切替えや、リード／ライト等の記録再生信号を処理する回路で構成されている。モータドライバＩＣ４４は、ＶＣＭ１６およびスピンドルモータ１５の駆動ドライバ部であり、スピンドルモータを一定回転に駆動制御するとともに、ＭＰＵ４３からのＶＣＭ操作量を、電流値としてＶＣＭに与え、ヘッドアクチュエータ１４を駆動する。
【００５７】
次に、ＨＤＤの組立工程における磁気ディスク５０の偏芯検査方法について説明する。ここでは、ランディング領域５７に形成された認識トラック７０を用いてスピンドルモータの回転中心に対する磁気ディスク５０の偏心量、特に、磁性トラック６２の偏心量を測定する方法について説明する。
【００５８】
図９は、偏心量を検出する検査装置８０を示している。この検査装置８０は、ＨＤＤの上方に配置され、磁気ディスク５０の表面を撮像するカメラ８２、カメラを位置調整可能に支持した支持台８３、カメラ８２により撮像された画像データを処理する制御部８４、偏心量を表示するモニタ８６等を備えている。
【００５９】
検査工程においては、まず、ＨＤＤのベース１２にスピンドルモータ１５およびその他、必要な部品を装着する。続いて、スピンドルモータ１５のハブ２３に磁気ディスク５０に装着し、仮止めする。磁気ディスク５０には、前述したように、磁性トラック６２が形成されたデータ記録領域５８、認識トラック７０が形成されたランディング領域５７、サーボ領域６０を有している。
【００６０】
次いで、図９および図１０に示すように、検査装置８０のカメラ８２を磁気ディスク５０の上方に配置し、ランディング領域５７を撮像する位置に固定する。そして、カメラ８２によりランディング領域５７の認識トラック７０を撮像しながら、スピンドルモータ１５のハブ２３と共に磁気ディスク５０を１回転させる。この時、スピンドルモータ１５の回転中心と、磁気ディスク５０上に形成された認識トラック７０の中心とが同芯でなく偏心が生じていた場合、モニタ８６上に写しだされた認識トラック７０のパターンが移動する。続いて、認識トラック７０のパターンの移動量が規格内となるように磁気ディスク５０の位置を調整した後、クランプばね２１により磁気ディスクをスピンドルモータ１５のハブ２３に固定する。
【００６１】
磁気ディスク５０において、データ記録領域５８の磁性トラック６２は認識トラック７０と同芯的に形成されている。そのため、認識トラック７０のパターンの移動量、つまり、偏心量が規格内となるように磁気ディスク５０の位置を調整することにより、スピンドルモータ１５の回転中心に対する磁性トラック６２の偏心をなくすことができる。
【００６２】
以上のように構成された磁気ディスク５０およびＨＤＤよれば、データを記録するための磁性トラック６２と同芯で目視確認できる偏心測定用の認識トラック７０を備えている。そのため、磁気ディスク上に形成された磁性トラック６２の中心とスピンドルモータ１５の回転中心との偏心量を容易に測定することができ、この偏心量が小さくなるように磁気ディスク装置を組み立てることができる。これにより、位置決め精度が向上し、アクセス時間の高速化、磁性トラックの高密度化が可能な磁気ディスクおよびＨＤＤが得られる。
【００６３】
また、認識トラック７０は、データ記録に用いないランディング領域５７に形成されている。そのため、認識トラック７０による記録密度の低減を防止することができる。更に、本実施形態によれば、磁気ディスク５０の表裏を目視確認でき、供給メディアによる表裏方向を意識したディスク装置の組立て管理が容易となる。また、サーボ領域をヘッド移動軌跡に対応した円弧状に形成することにより、シーク性能やディスク内外周間のＳＮ劣化防止に有利であり、磁気ディスク装置の性能向上を図ることができる。
【００６４】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００６５】
上述した実施形態では、認識トラックを磁気ディスクのランディング領域に設ける構成としたが、これに限らず、データ記録領域あるいはシステム領域等、磁気ディスクの他の領域に設けてもよい。この場合においても、磁性トラックの偏心量を容易に検出し、磁気ディスクの位置調整を行うことができる。  
その他、ＨＤＤにおいて、磁気ディスクの枚数は１枚に限らず、必要に応じて増加可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】図１（ａ）、図１（ｂ）は、この発明の実施形態に係る磁気ディスクの表面パターンおよび裏面パターンを示す平面図。
【図２】図２は、前記磁気ディスクのデータ記録領域を拡大し一部破断して示す斜視図。
【図３】図３は、前記磁気ディスクのデータ記録領域、サーボ領域、ランディング領域を示す平面図。
【図４】図４は、前記ランディング領域を拡大して概略的に示す平面図。
【図５】図５は、前記磁気ディスクのサーボ領域を模式的に示す図。
【図６】図６は、前記磁気ディスクにおけるデータ領域パターンおよびサーボ領域パターンの光学反射率を概略的に示す図。
【図７】図７は、この発明の実施形態に係るＨＤＤを示す分解斜視図。
【図８】図８は、前記ＨＤＤの構成を概略的に示すブロック図。
【図９】図９は、前記磁気ディスクの偏心量を検出するための検査装置を概略的に示す側面図。
【図１０】図１０は、前記検査装置を用いた検査工程を概略的に示す平面図。
【符号の説明】
【００６７】
１２…ベース、  １５…スピンドルモータ、  ３３…磁気ヘッド、
５０…磁気ディスク、  ５４…基板、  ５６…記録層、  ５７…ランディング領域、
５８…データ記録領域、  ６０…サーボ領域、  ６２…磁性トラック、
６４…非磁性ガード帯部、  ７０…認識トラック、  ８０…検査装置、  ８２…カメラ
【図１】
2006185545.tif 000003
【図２】
2006185545.tif 000004
【図３】
2006185545.tif 000005
【図４】
2006185545.tif 000006
【図５】
2006185545.tif 000007
【図６】
2006185545.tif 000008
【図７】
2006185545.tif 000009
【図８】
2006185545.tif 000010
【図９】
2006185545.tif 000011
【図１０】
2006185545.tif 000012