(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨流体の中断のない供給を実現できる砥粒供給方式を提供する。【解決手段】共通出口２にて別の容器からの研磨スラリを放出しつつ、複数の容器Ｖ１、Ｖ２の夫々に研磨材料を連続的に充填することによって、加圧された研磨スラリの実質的な中断のない流れが維持される。容器は、スラリを放出しない容器を分離するために閉じられる個別の出口バルブＯＶ１、ＯＶ２を介して、共通出口に繋がる。バルブをまたがって実質的に圧力差が無く且つバルブを介する流れも実質的に無いのでは無いならば、出口バルブは開閉されない。好適な実施形態では、高圧ポンプ１は、個別の入口バルブＩＶ１、ＩＶ２を介して、水などの坦持流体を容器に供給する。出口バルブが開く若しくは閉じる前には、出口バルブを介する流れは停止しバルブをまたがる圧力差も均等であり、従って出口バルブが閉じたり開いたりしてもバルブを経由する研磨流は生じない。【選択図】図１Ａ
2006007411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧された研磨スラリの実質的に中断のない流れを維持する方法であって、
（ａ）複数の容器のうちの一つの容器から研磨スラリを放出し、複数の容器の別のものに研磨材料を充填するステップと、
（ｂ）個々の容器から研磨スラリを放出する間に、一方で個々の容器に研磨材料を充填するためにステップ（ａ）を連続して繰り返すステップと、
（ｃ）容器から放出される研磨スラリを個々の流れ制御出口バルブを介して通過させ、実質的に中断のない流れが維持される共通出口に至らせるステップと
を含み、
バルブをまたいで実質的に圧力差が無く且つバルブを介する流れも実質的に無いのでは無いならば、出口バルブの夫々は開閉されないことを特徴とする方法。
【請求項２】
研磨材料が再充填される容器の出口バルブが、容器が再充填される間は閉じられて容器を共通出口から分離するが、続いて開かれて容器に研磨スラリを放出せしめることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
容器が、個々の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通供給源から供給され、坦持流体は個々の容器に注入され研磨材料と混合し研磨スラリを形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
（ｄ）再充填された容器の出口バルブを閉じたままにしつつ再充填された容器の入口バルブを開くことによって、再充填された容器を加圧するステップと、
（ｅ）再充填された容器の入口バルブを閉じるステップと、
（ｆ）再充填された容器の出口バルブを開くステップと、
（ｇ）再充填された容器の入口バルブを開き先に放出した容器の入口バルブを閉じることによって、先に放出した容器を再充填された容器と切り換えるステップと、
（ｈ）先に放出した容器の出口バルブを閉じるステップと
によって、
個々の容器が研磨材料で再充填された後、再充填された容器が加圧され、先に放出した容器と切り換えられた後、放出されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
上記ステップ（ｈ）以降において、
（ｉ）先の放出する容器の減圧バルブを開くステップと、
（ｊ）先の放出する容器に研磨材料を再充填するステップと、
（ｋ）先の放出する容器の減圧バルブを閉じるステップと、
（ｌ）先の放出する容器の出口バルブを閉じたままにしつつ先の放出する容器の入口バルブを開くことによって、先の放出する容器を加圧するステップと、
（ｍ）先の放出する容器の入口バルブを閉じるステップと、
（ｎ）先の放出する容器の出口バルブを開くステップと、
によって、
先の放出の容器が減圧され、研磨材料で再充填され、先の放出の容器から研磨スラリを後で放出する準備のために再加圧されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
個々の容器が、加圧された坦持流体を容器の中に供給する入口コンジットと、研磨スラリを容器から出口バルブに供給する出口コンジットを有し、
個々の容器が、個々の対の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通源から供給され、
対のうちの第１のバルブは、容器を加圧し出口コンジットを介して容器から研磨材料を付勢するために、加圧された坦持流体供給部を入口コンジットに繋ぐ研磨流制御バルブであり、
対のうちの第２のバルブは、加圧された坦持流体供給部を中間コンジットを介して出口コンジットに繋ぐ坦持流体制御バルブであり、該出口コンジットでは坦持流体が研磨材料と混合し研磨スラリを形成することを特徴とする請求項３〜５のうちいずれか一に記載の方法。
【請求項７】
共通出口が一つ又は複数のノズルであり、その各々が所定の噴射の中への加圧研磨スラリの中断のない流れの少なくとも一部を形成するためのものであることを特徴とする先行する請求項のいずれか一つに記載の方法。
【請求項８】
容器の数が２個であり、第２の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが２個の容器のうちの第１の容器から放出し、第１の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが第２の容器から放出することを特徴とする先行する請求項のいずれか一つに記載の方法。
【請求項９】
加圧された研磨スラリの実質的に中断のない流れを維持するための装置であって、
上記装置は、個々の容器が個別の出口バルブを介して共通出口に繋がる複数の容器を含み、個々の容器は加圧された坦持流体の源と接続可能であり、
上記装置は、個々の容器が予め研磨材料で再充填されている場合は、共通出口にて研磨スラリを放出するために坦持流体の源から加圧され、一方で別の容器は減圧されて研磨材料で再充填されるように、構成され、
バルブをまたいで実質的に圧力差が無く且つバルブを介する流れも実質的に無いのでは無いならば、出口バルブの夫々は開閉されないことを特徴とする装置。
【請求項１０】
個々の容器が、個別の入口部品を介して加圧された坦持流体の源と接続可能であり、個々の容器が個別の減圧バルブを有し、
装置は、同時に、
（ａ）一つの容器の入口及び出口バルブが開き、
（ｂ）一つの容器の減圧バルブが閉じ、
（ｃ）別の容器の入口及び出口バルブが閉じ、そして、
（ｄ）別の容器の減圧バルブが開き、
一つの容器が研磨材料で充填されれば、加圧された坦持流体が一つの容器の中に流入して研磨材料と混合し、研磨スラリとして共通出口にて個別の出口バルブを介して放出し、一方別の容器は減圧され研磨材料が再充填されることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
装置が、第２の容器がスラリの形態の先に充填された研磨材料を放出する間、第１の容器に研磨材料を充填するように構成され、
（ｅ）第１の容器の入口バルブを閉じて開くことによって、第１の容器が加圧され、
（ｆ）第１の容器の出口バルブが開かれ、
（ｇ）第１の容器の入口バルブが開かれ第２の容器の入口バルブが閉じられ、
（ｈ）第２の容器の出口バルブが閉じられる
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の装置。
【請求項１２】
装置が、第２の容器が減圧され、研磨材料を再充填され、後で第２の容器から研磨スラリを放出する準備として再加圧されるように、構成され、
上記ステップ（ｈ）以降にて、
（ｉ）第２の容器の減圧バルブを開き、
（ｊ）第２の容器に研磨材料を再充填し、
（ｋ）第２の容器の減圧バルブを閉じ、
（ｌ）第２の容器の出口バルブの閉鎖を維持する間に、第２の容器の入口バルブを開くことによって、第２の容器を加圧し、
（ｍ）第２の容器の入口バルブを閉じ、
（ｎ）第２の容器の出口バルブを開く
ことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
個々の容器が、加圧された坦持流体を容器の中に供給する入口コンジットと、研磨スラリを容器から出口バルブに供給する出口コンジットを有し、
個々の容器が、個々の対の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通源から供給され、
対のうちの第１のバルブは、容器を加圧し出口コンジットを介して容器から研磨材料を付勢するために、加圧された坦持流体供給部を入口コンジットに繋ぐ研磨流制御バルブであり、
対のうちの第２のバルブは、加圧された坦持流体供給部を中間コンジットを介して出口コンジットに繋ぐ坦持流体制御バルブであり、該出口コンジットでは坦持流体が研磨材料と混合し研磨スラリを形成することを特徴とする請求項９〜１２のうちいずれか一に記載の装置。
【請求項１４】
容器の数が２個であり、第２の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが２個の容器のうちの第１の容器から放出し、第１の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが第２の容器から放出することを特徴とする請求項９〜１３のうちいずれか一つに記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体流の制御のための装置及び方法に関し、特に、研磨粒子が懸濁する加圧された坦持流体の実質的な中断なき流れの提示に関する。一つの例では、中断なき流れが一つ又は複数のノズルに供給され、ノズルの夫々は研磨切断噴射を生成する。研磨粒子は水などの坦持流体で懸濁され、高圧でノズルを経由して供給され切断噴射を形成する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、流体流の制御、特に、制御バルブ部品に望ましくない摩耗や腐食を生じさせる研磨材料を含む流体の制御に利用される。
【０００３】
流体噴射内の研磨材料の利用は、例えば、切断、穴開け及び表面仕上げ等の機械操作に対して、よく知られている。一つの公知の構成では、水、空気などの加圧された坦持流体が研磨粒子を含む容器の中にポンピングされ、研磨粒子がスラリとして坦持流体内に浮遊する混合物をノズルを経由して付勢し、明確な研磨噴射を形成する。
【０００４】
公知の構成では、容器には研磨粒子材料が詰められる。加圧された坦持流体の供給が容器に加えられ、容器では坦持流体及び研磨材料が混合し研磨スラリを形成し、該研磨スラリは噴射軽視得ノズルを経由して放出される。しかしながら、研磨スラリの供給期間は容器の容量により制限され、容器が研磨粒子で再充填されている間には中断なく継続することはできない。
【０００５】
噴射ノズルからの連続の研磨流をできる限り維持するために、並列若しくは直列の一対の容器を配置することが知られている。この場合、坦持流体が加圧された一方の容器がノズルに研磨の供給を行っている間に、もう一方の容器を減圧し研磨物を再充填することができる。
【０００６】
欧州特許出願第３１３７００号（クラスノフ）は、研磨スラリを利用する水噴射切断システムを提示する。一対の容器の入口及び出口は、一対の切換バルブに接続する。バルブは結合し、容器に選択的に接続し、貯蔵部からのスラリの注入で再充填され、ノズルで加圧されたスラリが放出される。
【０００７】
国際特許出願ＷＯ９０／１５６９４（Ｓａｕｎｄｅｒら）は、切断噴射に研磨液体スラリを距窮するデバイスを記述する。加圧された水の供給部とノズルとの間に並行して接続される一対の加圧容器が設けられる。一つの容器はノズルに対して加圧された研磨混合物を供給し、他方の容器は共通のホッパから研磨物が充填される。
【０００８】
クリーンな坦持流体（水）が、高圧で入口バルブを介して研磨混合物を含む第１の容器の頂部の中に供給され、研磨スラリを容器から出口バルブを介して噴射ノズルへ付勢する。入口バルブは閉じられ、容器からの研磨物の供給を停止する。フラッシュバルブが開かれ、出口バルブに水を流し、クリーンな液体流で出口バルブが閉じられ、結局研磨粒子が可動部分に不適切な摩耗を生じることがない。フラッシングにより、研磨混合物の研磨濃度に変動を生じ、この研磨濃度は出口バルブの下流で容器により平滑化される。
【０００９】
米国特許第５８００２４６号（ナオヨシ  トミオカ）は、ノズルと、研磨材料を保持する共通ホッパとの間に並列する一対の容器を有するブラスト装置を記述する。個々の容器は選択的に、ホッパからの研磨物を再充填し、ノズルを介して研磨物を放出する。
【００１０】
バルブが研磨材料の流れを制御するのにどこで利用されようとも、バルブは、バルブシール面の急速な摩耗及び劣化により、傷を受けやすい。この劣化を回避するための特殊な技術がない場合、研磨流を制御するのに利用されるバルブは短い寿命しか備わらないと予想され得る。高圧の研磨流がある場合、多くのバルブは利用に適さない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の少なくとも一つの実施形態の目的は、研磨流体の実質的に中断のない流れを生成することである。
【００１２】
本発明の少なくとも一つの実施形態の目的は、研磨流体の実質的に中断のない流れを制御するために利用されるバルブの摩滅を減少することである。
【００１３】
本発明の少なくとも一つの実施形態の目的は、先行技術に係る問題点の幾つかを減少しつつ研磨流体の実質的に中断のない流れを生成することであり、少なくとも公衆に有用な選択肢を与えることである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
第１の実施形態では、本発明は、加圧された研磨スラリの実質的に中断のない流れを維持する方法であると言え、
（ａ）複数の容器のうちの一つの容器から研磨スラリを放出し、複数の容器の別のものに研磨材料を充填するステップと、
（ｂ）個々の容器から研磨スラリを放出する間に、一方で個々の容器に研磨材料を充填するためにステップ（ａ）を連続して繰り返すステップと、
（ｃ）容器から放出される研磨スラリを個々の流れ制御出口バルブを介して通過させ、実質的に中断のない流れが維持される共通出口に至らせるステップと
を含み、
バルブをまたいで実質的に圧力差が無く且つバルブを介する流れも実質的に無いのでは無いならば、出口バルブの夫々は開閉されないことを特徴とする。
【００１５】
研磨材料が再充填される容器の出口バルブが、容器が再充填される間は閉じられて容器を共通出口から分離するが、続いて開かれて容器に研磨スラリを放出せしめるのが好ましい。
【００１６】
容器が、個々の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通供給源から供給され、坦持流体は個々の容器に注入され研磨材料と混合し研磨スラリを形成するのであってもよい。
【００１７】
好ましくは、
（ｄ）再充填された容器の出口バルブを閉じたままにしつつ再充填された容器の入口バルブを開くことによって、再充填された容器を加圧するステップと、
（ｅ）再充填された容器の入口バルブを閉じるステップと、
（ｆ）再充填された容器の出口バルブを開くステップと、
（ｇ）再充填された容器の入口バルブを開き先に放出した容器の入口バルブを閉じることによって、先に放出した容器を再充填された容器と切り換えるステップと、
（ｈ）先に放出した容器の出口バルブを閉じるステップと
によって、
個々の容器が研磨材料で再充填された後、再充填された容器が加圧され、先に放出した容器と切り換えられた後、放出される。
【００１８】
上記ステップ（ｈ）以降において、
（ｉ）先の放出する容器の減圧バルブを開くステップと、
（ｊ）先の放出する容器に研磨材料を再充填するステップと、
（ｋ）先の放出する容器の減圧バルブを閉じるステップと、
（ｌ）先の放出する容器の出口バルブを閉じたままにしつつ先の放出する容器の入口バルブを開くことによって、先の放出する容器を加圧するステップと、
（ｍ）先の放出する容器の入口バルブを閉じるステップと、
（ｎ）先の放出する容器の出口バルブを開くステップと、
によって、
先の放出の容器が減圧され、研磨材料で再充填され、先の放出の容器から研磨スラリを後で放出する準備のために再加圧されることが、好ましい。
【００１９】
個々の容器が、加圧された坦持流体を容器の中に供給する入口コンジットと、研磨スラリを容器から出口バルブに供給する出口コンジットを有し、
個々の容器が、個々の対の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通源から供給され、
対のうちの第１のバルブは、容器を加圧し出口コンジットを介して容器から研磨材料を付勢するために、加圧された坦持流体供給部を入口コンジットに繋ぐ研磨流制御バルブであり、
対のうちの第２のバルブは、加圧された坦持流体供給部を中間コンジットを介して出口コンジットに繋ぐ坦持流体制御バルブであり、該出口コンジットでは坦持流体が研磨材料と混合し研磨スラリを形成することが、好ましい。
【００２０】
共通出口が一つ又は複数のノズルであり、その各々が所定の噴射の中への加圧研磨スラリの中断のない流れを形成するためのものであってもよい。
【００２１】
好適なシステムでは、容器の数が２個であり、第２の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが２個の容器のうちの第１の容器から放出し、第１の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが第２の容器から放出する。
【００２２】
第２の実施形態では、本発明は、加圧された研磨スラリの実質的に中断のない流れを維持するための装置であると言え、
上記装置は、個々の容器が個別の出口バルブを介して共通出口に繋がる複数の容器を含み、個々の容器は加圧された坦持流体の源と接続可能であり、
上記装置は、個々の容器が予め研磨材料で再充填されている場合は、共通出口にて研磨スラリを放出するために坦持流体の源から加圧され、一方で別の容器は減圧されて研磨材料で再充填されるように、構成され、
バルブをまたいで実質的に圧力差が無く且つバルブを介する流れも実質的に無いのでは無いならば、出口バルブの夫々は開閉されないことを特徴とする。
【００２３】
好ましくは、
個々の容器が、個別の入口部品を介して加圧された坦持流体の源と接続可能であり、個々の容器が個別の減圧バルブを有し、
装置は、同時に、
（ａ）一つの容器の入口及び出口バルブが開き、
（ｂ）一つの容器の減圧バルブが閉じ、
（ｃ）別の容器の入口及び出口バルブが閉じ、そして、
（ｄ）別の容器の減圧バルブが開き、
一つの容器が研磨材料で充填されれば、加圧された坦持流体が一つの容器の中に流入して研磨材料と混合し、研磨スラリとして共通出口にて個別の出口バルブを介して放出し、一方別の容器は減圧され研磨材料が再充填される。
【００２４】
好ましくは、
装置が、第２の容器がスラリの形態の先に充填された研磨材料を放出する間、第１の容器に研磨材料を充填するように構成され、
（ｅ）第１の容器の入口バルブを閉じて開くことによって、第１の容器が加圧され、
（ｆ）第１の容器の出口バルブが開かれ、
（ｇ）第１の容器の入口バルブが開かれ第２の容器の入口バルブが閉じられ、
（ｈ）第２の容器の出口バルブが閉じられる
ことを特徴とする。
【００２５】
好ましくは、
装置が、第２の容器が減圧され、研磨材料を再充填され、後で第２の容器から研磨スラリを放出する準備として再加圧されるように、構成され、
上記ステップ（ｈ）以降にて、
（ｉ）第２の容器の減圧バルブを開き、
（ｊ）第２の容器に研磨材料を再充填し、
（ｋ）第２の容器の減圧バルブを閉じ、
（ｌ）第２の容器の出口バルブの閉鎖を維持する間に、第２の容器の入口バルブを開くことによって、第２の容器を加圧し、
（ｍ）第２の容器の入口バルブを閉じ、
（ｎ）第２の容器の出口バルブを開く
ことを特徴とする。
【００２６】
個々の容器が、加圧された坦持流体を容器の中に供給する入口コンジットと、研磨スラリを容器から出口バルブに供給する出口コンジットを有し、
個々の容器が、個々の対の流れ制御入口バルブを介して加圧された坦持流体の共通源から供給され、
対のうちの第１のバルブは、容器を加圧し出口コンジットを介して容器から研磨材料を付勢するために、加圧された坦持流体供給部を入口コンジットに繋ぐ研磨流制御バルブであり、
対のうちの第２のバルブは、加圧された坦持流体供給部を中間コンジットを介して出口コンジットに繋ぐ坦持流体制御バルブであり、該出口コンジットでは坦持流体が研磨材料と混合し研磨スラリを形成することが、好ましい。
【００２７】
好適な装置では、容器の数が２個であり、第２の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが２個の容器のうちの第１の容器から放出し、第１の容器に研磨材料が充填される間に研磨スラリが第２の容器から放出する。
【００２８】
概して言うと、本発明の少なくとも一つの実施形態は、共通出口にて別の容器からの研磨スラリを放出しつつ複数の容器の各々に研磨スラリを連続的に充填することによって維持される、加圧された研磨スラリの実質的に中断のない流れに関する。容器は、スラリを放出しない容器を分離するために閉じられる個別の出口バルブを介して、共通出口に繋がる。バルブをまたがって実質的に圧力差が無く且つバルブを介する流れも実質的に無いのでは無いならば、出口バルブは開閉されない。好適な実施形態では、高圧ポンプは、個別の入口バルブを介して、水などの坦持流体を容器に供給する。出口バルブが開く若しくは閉じる前には、出口バルブを介する流れは停止しバルブをまたがる圧力差も均等であり、従って出口バルブが閉じたり開いたりしてもバルブを経由する研磨流は生じない。
【００２９】
本発明は、本明細書や添付の図面で示している部分や特徴の別の組み合わせにも更に存すると言える。明示的に示されていないこれらの部分又は特徴の公知の均等物は、やはり含まれると考えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
添付の図面を参照して、本発明の好適な実施形態及び方法を更に説明するが、図面は例示でしかなく内容の限定を意図するものではない。
【００３１】
図面を参照すると、本発明は種々のフォーム及びモードで実装されうることが理解される。本発明の好適な実施形態に関する以下の説明は、例示により与えられるに過ぎない。
【００３２】
流れが無く、若しくは流れがブロックされる加圧要素に関する本明細書及び添付の請求項における記述は、コンジット、容器、バルブ、若しくはシステム内の他の要素の初期の加圧の後に適用される定常状態に主に言及するものであると、理解されるべきである。流れがブロックされることや流れがないことに対する記述は、相対的に一時的な初期の流れが、流れ状況の卓越しない定常状態の前の要素の加圧の際に発生しうる、という状況を排除しないと、理解されるべきである。本発明の実践において、そのような初期の流れは、特に坦持流体が液体である場合に、通常無視され若しくは相対的に軽視される。
【００３３】
同様に、実質的な中断なき流れに関する本明細書及び添付の請求項における記述は、できるだけ実質的にとぎれなく、中断なく、又は少なくとも中断が軽視され若しくは無視される流れに関すると理解され、絶対的に中断なき流れを含むがそれに限定されないと理解される。
【００３４】
図１は、ポンプ１が水などの坦持流体を高圧供給し、第１のコンジット１１を経て第１の入口バルブＩＶ１に至り、第２のコンジット１２を経て第２の入口バルブＩＶ２に至る、流体流制御構成を示す。２つの入口バルブは、第３のコンジット１３と第４のコンジット１４を経由して夫々第１の容器Ｖ１及び第２の容器Ｖ２に供給する。２つの容器は夫々第５のコンジット１５と第６のコンジット１６を介して、第１の出口バルブＯＶ１と第２の出口バルブＯＶ２に接続する。出口バルブは夫々、第７のコンジット１７と第８のコンジット１８を介して共通出口２に接続する。個々の容器Ｖ１、Ｖ２も夫々、第９のコンジット１９と第１０のコンジット２０を介して、第１の減圧バルブＤＶ１と第２の減圧バルブＤＶ２に接続する。これらの減圧バルブは、より低い圧力、通常低い大気圧で例えばホッパ若しくは他の源から、容器を即座に再充填すべく個々の容器の圧力が低下したときに、開かれる。
【００３５】
図１Ａ〜図１Ｈでは、種々の要素（即ち、コンジット、バルブ及び容器）が示され、連続太線は個々の要素を通過する加圧流体の流れを示す。同様に、太い破線は、流体流のない加圧流体が存在する他の要素を示す。連続細線により加圧されていない要素を示す。更に、個々の段階で、状態を変える、即ち開閉するバルブは、対応する図面にて太線でラベルされている。
【００３６】
図１Ａでは、第１の容器Ｖ１が、微粒子（図示せず）などの研磨材料により予め充填されている。この第１の容器Ｖ１は、高圧ポンプ１から第１のコンジット１１、（開けられている）第１の入口バルブＩＶ１、及び第３のコンジット１３を介する水で加圧される。第１の容器の第９のコンジット１９は高圧水で加圧されるが、第９のコンジットを介する流れは、閉じられている第１の減圧バルブＤ１によりブロックされる。
【００３７】
第１の出口バルブＯＶ１は開けられ、これにより加圧された水がポンプ１から、第１のコンジット１１、第１の入口バルブＩＶ１、第３のコンジット１３を介し、水が研磨材料と混合してスラリ（図示せず）を形成する第１の容器Ｖ１の中に至る。スラリは、第１の容器Ｖ１から、第９のコンジット１５、（開けられている）第１の出口バルブＯＶ１、第７のコンジット１７及び供給出口２を介して、排出する。
【００３８】
図１Ａ内で、この加圧された流れは連続太線により示され、以下に説明するように、図１Ａ〜図１Ｄに示される操作段階において維持される。
【００３９】
第２の容器Ｖ２に先行する第２のコンジット１２は、ポンプ１により坦持流体で加圧されるが、この第２のコンジット１２を介する流れは、（閉じられている）第２の入口バルブＩＶ２によりブロックされる。従って、この第２のコンジット１２は図１Ａにて太い破線で示される。
【００４０】
（第２の容器Ｖ２の出力経路の）第８のコンジット１８は、第７のコンジット１７からのスラリにより加圧される。しかし、第８のコンジット１８を介する流体流は、（閉じている）第２の出力バルブＯＶ２によりブロックされる。従って、この第８のコンジット１８は図１Ａにて太い破線で示される。
【００４１】
第１の容器Ｖ１からの研磨スラリが出口２で排出する間、第２の容器Ｖ２は、（両方とも閉じている）第２の入口バルブＩＶ２と第２の出口バルブＯＶ２により加圧流体から分離される。分離された第２の容器Ｖ２は、第２の減圧バルブＤＶ２を開けることにより、最初に減圧される。第２の容器が減圧された後、研磨材料（図示せず）で再充填される。第２の減圧バルブＤＶ２は図１Ａに示すように、このとき閉じられている。
【００４２】
図１Ｂは、容器再加圧段階を示す。この段階では、第２の容器Ｖ２は、研磨材料で再充填されるが、（図１Ｂにて太くラベルされる）第２の入口バルブＩＶ２を開けることにより再加圧される。この操作により、ポンプ１からの加圧された坦持流体は、第２のコンジット１２及び第２の入口バルブＩＶ２を介して、第４のコンジット１４、第２の容器Ｖ２、第６のコンジット１６及び第１０のコンジット２０に至る。しかしながら、これらの要素を介する流体流は、（両方とも閉じている）第２の出口バルブＯＶ２と第２の減圧バルブＤＶ２によりブロックされている。第２の出口バルブＯＶ２をまたがって実質的な圧力差異はなくそこを介する流れもない、ということを銘記すべきである。ポンプ１から出口２への、第１の容器Ｖ１とそれに繋がる要素を介する加圧流は、図１Ｂの連続太線で示すように、維持される。
【００４３】
図１Ｃは、容器分離段階を示す。第２の容器Ｖ２の再加圧の後、図１Ｃで太くラベルされる第２の入口バルブＩＶ２が閉じられる。第２の容器Ｖ２は分離されるが、第１の容器Ｖ１を介する加圧流の圧力と実質的に同じ圧力まで、加圧される。第２の出口バルブＯＶ２をまたいで、実質的な圧力差はない。ポンプ１から出口２への、第１の容器Ｖ１とそれに繋がる要素を介する加圧流は、図１Ｃの連続太線で示すように、維持される。
【００４４】
図１Ｄは、出口バルブ開放段階を示す。図１Ｄで太くラベルされる第２の出口バルブＯＶ２は、今度は開かれる。第２の出口バルブＯＶ２の開放の直前には、バルブをまたがって実質的な圧力差はなく、閉鎖されていればバルブを介する流れはない、ということが理解されるべきである。開放後は、やはりバルブをまたがって圧力差はなく、やはりバルブを介する流れはない。なぜなら、第２の入口バルブＩＶ２及び第２の減圧バルブＤＶ２は図１Ｄに示すように両方閉じられており、第２の容器Ｖ２及びそれに繋がる要素を介する流れがないからである。従って、第２の出口バルブは開放されても、バルブを介する研磨スラリの実質的な移動は無い。このことは、バルブの開放の際にバルブを介して研磨材料が流れ始めると発生してしまう高度の摩耗の状況を、回避する。
【００４５】
第２の出口バルブＯＶ２の開放の間、及び開放の後、ポンプ１から出口２への、第１の容器Ｖ１とそれに繋がる要素を介する加圧流は、図１Ｄの連続太線で示すように、いまだ維持される。
【００４６】
第１の容器Ｖ１内の研磨材料がほぼ完全に放出されるとき、ポンプ１から出口２までの加圧流体の流れを第１の容器１を介する経路から第２の容器２を介する並行経路に切り換えることにより、共通出口２における研磨スラリの供給は維持される。研磨材料を伝導するバルブを何ら閉じたり開いたりすることなく、この切換は為される。特に、研磨スラリを運ぶ第１と第２の出口バルブＯＶ１、ＯＶ２は、開かれたり閉じられたりすることなく切換を達成する。
【００４７】
図１Ｅは、流体流経路間の切換を示す。この切換は、第２の入口バルブＩＶ２を開放し、それとほぼ同時に、第１の入口バルブ１を閉じることによって、有効となる。これらの第１及び第２の入口バルブＩＶ１、ＩＶ２は、図１Ｅで太いラベルで示される。これら２つの入口バルブは、クリーンな坦持流体を坦持するコンジット内の圧力及び流れを制御する、ということが理解されるべきである。これらの２つのバルブを介して流れる研磨材料はほとんど無いため、これらのバルブは、通常研磨流と関連する過度の摩滅の影響を受けることなく、開けることも閉じることもできる。
【００４８】
ポンプ１から出口２への、第１の容器Ｖ１とそれに繋がる要素を介する加圧流は、（第１の入口バルブＩＶ１の閉鎖のために）今度は停止し、図１Ｅの連続太線で示す、ポンプ１から出口２への、第２の容器Ｖ２とそれに繋がる要素を介する加圧流に、取って代わられる。従って、出口２における研磨スラリの中断なき流れは、第１と第２の容器の間の切換が為される間、維持される。
【００４９】
図１Ｅに太い破線で示されるように、第１のコンジット１１、第１の入口バルブＩＶ１、第３のコンジット１３、第１の容器Ｖ１、第５のコンジット１５、第１の出口バルブＯＶ１、第７のコンジット１７及び第９のコンジット１９の全てが、加圧され続けるが、これらの要素のどれを介しても流体は流れない。特に、第１の入口バルブＩＶ１と第１の減圧バルブＤＶ１は両方が閉じられているので、第１の出口バルブＯＶ１を介する流れはない。
【００５０】
図１Ｆに示すように、第１の出口バルブＯＶ１が今度は閉じられる。第１の出口バルブＯＶ１の閉鎖の直前には、（第１の入口バルブＩＶ１と第１の減圧バルブＤＶ１は両方が閉じられているので、）第１の出口バルブを介する流れはなく、第１の出口バルブＯＶ１をまたがって圧力差はない、ということが理解されるべきである。閉鎖後、バルブを介する流れはやはりなく、バルブをまたがっての圧力差はやはりない。第１の出口バルブは、バルブを介して研磨スラリを実質的に動かすことなく、閉じられる。このことは、バルブの閉鎖の際に研磨材料の流れが絞られ停止されなければならないならば発生してしまう高度の摩耗の状況を、回避する。
【００５１】
第１の入口バルブＩＶ１、第１の出口バルブＯＶ１及び第１の減圧バルブＤＶ１は全て閉じられ、第１の容器Ｖ１とそれに繋がる要素は今度は分離されるが、図１Ｆで太い破線で示されるように、加圧を維持する。ポンプ１から出口２へ、第２の容器Ｖ２とそれに繋がる要素を介する加圧流は、図１Ｆで連続太線で示されるように、維持される。
【００５２】
図１Ｇは容器減圧段階を示す。分離されている第１の容器Ｖ１は、図１Ｇで太字でラベルされる第１の減圧バルブＤＶ１を開くことにより、減圧される。第１の容器Ｖ１が減圧された後、研磨材料で再充填される。減圧の間、ポンプ１から出口２へ、第２の容器Ｖ２とそれに繋がる要素を介する加圧流は、図１Ｇで連続太線で示されるように、維持される。
【００５３】
図１Ｈは、研磨材料で再充填され、（図１Ｈにて太くラベルされる）第１の減圧バルブＤＶ１を閉じ且つ（図１Ｈにて太くラベルされる）第１の入口バルブＩＶ１を開くことにより再加圧される、第１の容器Ｖ１を示す。この操作により、ポンプ１からの加圧された坦持流体は、第１のコンジット１１及び第１の入口バルブＩＶ１を介して、第３のコンジット１３、第１の容器Ｖ１、第５のコンジット１５及び第９のコンジット１９に至る。しかしながら、これらの要素を介する流体流は、（両方とも閉じている）第１の出口バルブＯＶ１と第１の減圧バルブＤＶ１によりブロックされている。第１の出口バルブＯＶ１をまたがって実質的な圧力差異はなくそこを介する流れもない、ということを銘記すべきである。ポンプ１から出口２への、第２の容器Ｖ２とそれに繋がる要素を介する加圧流は、図１Ｈの連続太線で示すように、維持される。
【００５４】
共通出口への研磨材料の供給器としての、第２の容器から第１の容器への切換のための更なる操作手順は、第１の容器から第２の容器への切換のための上述の説明に対応する。
【００５５】
特に、共通出口２に供給される研磨スラリの供給源は、相対的にクリーンであり実質的に研磨材の無い坦持流体に対して開かれ且つ閉じられる２つの入口バルブＩＶ１、ＩＶ２を操作することにより、２つの容器Ｖ１、Ｖ２の間で交互に且つ連続的に切り換えられることに着目すべきである。この切換は、両方の出口バルブＯＶ１、ＯＶ２が開いている間に、為される。上述のように２つの容器を用いて、若しくは、いっときには容器のうちの一つが再充填され別の容器が放出されるという同様の方法でより多くの容器を用いて、研磨材料の中断なき供給が共通出口において維持され得る。更に、バルブをまたがって圧力差はなくそこを介する流れもないというときにのみ、特にバルブを介する研磨流がないときのみ、個々の出口バルブは開閉される。このことにより、研磨スラリを運ぶコンジット内で取り扱われるバルブに通常発生する摩滅が減少する。
【００５６】
図２は、坦持流体としての高圧水を、第１の研磨制御バルブＡＣＡ、第１の水制御バルブＷＣＡ、第２の研磨制御バルブＡＣＢ、及び第２の水制御バルブＷＣＢに供給する高圧ポンプ２１を有する交互流体流制御構成を概略示す。２つの研磨制御バルブＡＣＡ、ＡＣＢは夫々第１及び第２の入口コンジット３１，３２に繋がり、それらコンジットは、夫々第１及び第２の容器ＶＡ、ＶＢの底部近くまで水を供給する。容器ＶＡ、ＶＢが研磨材料で充填され、第１及び第２の入口コンジット３１、３２を介して加圧された水を供給されると、水は研磨材料と混合しスラリを形成し、スラリは容器から第１及び第２の出口コンジット３３、３４を経由するように付勢される。
【００５７】
２つの水制御バルブＷＣＡ、ＷＣＢは、第１及び第２の出口コンジット３３，３４の入口端部の底部近くに水を夫々供給する第３及び第４の入口コンジット３５、３６に、夫々繋がる。この水は容器内で形成されるスラリと混合し、容器から放出されるスラリの流動率を増加する。
【００５８】
第１及び第２の出口コンジット３３、３４は夫々、２つの容器ＶＡ、ＶＢの入口ポートを第１及び第２の出口バルブＯＶＡ，ＯＶＢに繋げる。出口バルブの出口ポートは夫々、第１及び第２の出口バルブコンジット３７、３８を介して、共通出口コンジット４３に繋がり、該共通出口コンジット４３は、研磨スラリを噴射制御バルブＰＶを経由して噴射形成ノズル４４に供給する。
【００５９】
個々の容器ＶＡ、ＶＢは夫々、第１及び第２の減圧コンジット３９、４０を介して、第１及び第２の減圧バルブＤＶＡ、ＤＶＢにも繋がる。これらの減圧バルブは、より低い圧力、通常低い大気圧で例えばホッパ若しくは他の源から、容器を即座に再充填すべく個々の容器の圧力が低下したときに、開かれる。
【００６０】
図１と同様に、図２Ａ〜図２Ｈでは、種々の要素（即ち、コンジット、バルブ及び容器）が示され、連続太線は個々の要素を通過する加圧流体の流れを示す。同様に、太い破線は、流体流のない加圧流体が存在する他の要素を示す。図２Ａ〜図２Ｈでは連続細線により加圧されていない要素を示す。更に、個々の段階で、状態を変える、即ち開閉するバルブは、対応する図面にて太線でラベルされている。
【００６１】
図２Ａでは、第１の容器ＶＡが、微粒子などの研磨材料により予め充填されている。研磨材料は容器内の坦持流体（水）よりも密度が高く従って容器の底に溜まる傾向にある。この第１の容器ＶＡは、高圧ポンプ２１から（開けられている）第１の研磨制御バルブＡＣＡ、及び第１の入口コンジット３１を介する水で加圧される。第１の減圧コンジット３９は第１の容器ＶＡの頂部からの高圧水で加圧されるが、この減圧コンジットを介する流れは、閉じられている第１の減圧バルブＤＶＡによりブロックされる。
【００６２】
第１の出口バルブＯＶＡは開けられ、これにより水がポンプ２１から、第１の研磨制御バルブＡＣＡ及び第１の入口コンジット３１を介し、水が研磨材料４５と混合して濃いスラリを形成する第１の容器ＶＡの中に至る。スラリは、第１の出口コンジット３３の下方入口端部に入り、そこで（開けられている）第１の水制御バルブＷＣＡ及び第３の入口コンジット３５を介してポンプ２１から供給される高圧水を注入することにより、スラリは薄められる。薄められたスラリは、第１の容器ＶＡから、第１の出口コンジット３３、（開けられている）第１の出口バルブＯＶＡ、第１の出口部品コンジット３７，共通出口コンジット４３、噴射制御バルブＰＶ及びノズル４４を介して、放出される。この加圧された流れは図２Ａで連続太線で示され、以下に更に説明するように、図２Ａ〜図２Ｄに示す処理段階で維持される。
【００６３】
ポンプ２１から第２の容器ＶＢへのコンジットは、坦持流体（水）でポンプにより加圧されるが、これらコンジットを介する流体流は、（両方閉じられている）第２の研磨制御バルブＡＣＢ及び第２の水制御バルブＷＣＢによりブロックされる。従って、これらコンジットは図２Ａでは太い破線で示される。
【００６４】
（第２の出口バルブＯＶＢの出力ポートにおける）第２の出口バルブコンジット３８は、第１の出口バルブコンジット３７からのスラリで加圧される。しかしながら、第２の出口バルブコンジット３８を介する流体流は、閉じている第２の出口バルブＯＶＢによりブロックされる。従って、この第２の出口バルブコンジット３８は図２Ａでは太い破線で示される。
【００６５】
第１の容器ＶＡからの研磨スラリが出口ノズル４４で放出される間、第２の容器ＶＢは、２つの入口バルブ（即ち、第２の研磨制御バルブＡＣＢ及び第２の水制御バルブＷＣＢ）と第２の出口バルブＯＶＢとにより、加圧された流体から分離される。これら３つのバルブは全て閉じられているからである。分離された第２の容器ＶＢは、第２の減圧バルブＤＶＢを開放することにより、最初に減圧される。第２の容器ＶＢが減圧された後、研磨材料４６で再充填され、図２Ａに示すように第２の減圧バルブＤＶＢが閉じられる。
【００６６】
図２Ｂは、研磨材料４６で再充填され、図２Ｂで太文字でラベルされている第２の水制御バルブＷＣＢを開くことで再加圧されている第２の容器ＶＢを示す。この操作により、ポンプ２１から供給される加圧された坦持流体が、第４の入口コンジット３６を介して第２の容器、第２の出口コンジット３４、第２の減圧コンジット４０及び第２の入口コンジット３２に至る。しかしながら、これら要素を経由する流体流は、第２の出口バルブＯＶＢ、第２の減圧バルブＤＶＢ及び第２の研磨制御バルブＡＣＢによりブロックされる。これら３つのバルブは全て閉じられているからである。第２の出口バルブＯＶＢをまたがって実質的な圧力差はなくそこを介する流れもないということを銘記すべきである。ポンプ２１から出口ノズル４４への、第１の容器ＶＡとそれに繋がる要素を介する加圧された流れは、図２Ｂで連続太線で示されるように、維持される。ノズル４４における研磨スラリの間断無き放出の結果として、第１の容器ＶＡ内の研磨材料４５のレベルは低下する。
【００６７】
図２Ｃでは第２の容器が分離される。第２の容器ＶＢの再加圧の後、図２Ｃで太文字でラベルされた第２の水制御バルブＷＣＢが閉じられる。第２の容器ＶＢは分離されるが、第１の容器ＶＡを介する加圧流と実質的に同じ圧力に加圧されている。第２の出口バルブＯＶＢをまたがって実質的な圧力さは無い。第１の容器ＶＡとそれに繋がる要素を介する、ポンプ２１から出口ノズル４４への加圧流は、図２Ｃに連続太線で示されるように、維持される。ノズル４４において放出する研磨スラリを供給した結果として、第１の容器ＶＡの研磨材料４５のレベルは更に低下する。
【００６８】
図２Ｄに太文字でラベルされる、第２の出口バルブＯＶＢが、次に開かれる。第２の出口バルブＯＶＢの開放の直前にはバルブをまたがって実質的な圧力差はなく、閉じられているのでバルブを介する流れも無いということが理解される。開放後、バルブをまたがって未だ圧力差はなくバルブを介する流れも未だ無い。けだし、第２の研磨制御バルブＡＣＢ、第２の水制御バルブＷＣＢ及び第２の減圧ＤＶＢの３つ全てが、図２Ｄに示すように閉じられているからである。従って、第２の出口バルブＯＶＢは開かれても、バルブを介して研磨スラリを実質的に何ら動かすことは無い。このことにより、バルブの開放により研磨材料がバルブを介して流れ始めるならば発生してしまうような高い摩滅状況が、回避される。
【００６９】
第１の容器ＶＡとそれに繋がる要素を介する、ポンプ２１から出口ノズル４４への加圧流は、図２Ｄに連続太線で示されるように、維持される。一方、ノズル４４において放出する研磨スラリを供給した結果として、第１の容器ＶＡの研磨材料４５のレベルは更に低下する。
【００７０】
第１の容器ＶＡ内の研磨材料が殆ど全て放出されたとき、ポンプ２１からノズル４４までの加圧流体の流れを第１の容器ＶＡを介する経路から第２の容器ＶＢを介する並行経路に切り換えることにより、出口の４４における研磨スラリの供給は維持される。研磨材料を通すバルブを何ら閉じたり開いたりすることなく、この切換は為される。特に、研磨スラリを運ぶ第１と第２の出口バルブＯＶＡ、ＯＶＢは、開かれたり閉じられたりすることなく切換を達成する。
【００７１】
図２Ｅに示すように、この切換は、第２の研磨制御バルブＡＣＢと第２の水制御バルブＷＣＢを開放し、第１の研磨バルブＡＣＡと第１の水バルブＷＣＡを閉じることによって、有効となる。これら４つの容器入口制御バルブの開閉は、実質的に同時に実施される。第１及び第２の研磨及び水制御バルブＡＣＡ、ＡＣＢ、ＷＣＡ、ＷＣＢは、図２Ｅで太いラベルで示される。これら４つの入口バルブは、相対的にクリーンな水を坦持するコンジット内の圧力及び流れを制御する、ということが理解されるべきである。これらの４つの入口バルブを介して流れる研磨材料はほとんど無いため、これらのバルブは、通常研磨流と関連する過度の摩滅の影響を受けることなく、開けることも閉じることもできる。
【００７２】
ポンプ２１からノズル４４への、第１の容器ＶＡとそれに繋がる要素を介する加圧流は、（第１の研磨制御バルブＡＣＡ及び第１の水制御バルブＷＣＡの閉鎖のために）今度は停止し、図２Ｅの連続太線で示す、ポンプ２１からノズル４４への、第２の容器ＶＢとそれに繋がる要素を介する加圧流に、取って代わられる。従って、ノズル４４における研磨スラリの中断なき流れは、第１と第２の容器の間の切換が為される間、維持される。
【００７３】
図２Ｅに太い破線で示されるように、第１の研磨制御バルブＡＣＡ、第１の水制御バルブＷＣＡ、第１及び第３の入口コンジット３１，３５、第１の容器ＶＡ、第１の出口コンジット３３、第１の出口バルブＯＶＡ、第１の出口バルブコンジット３７及び第１の減圧コンジット３９の全てが、加圧され続けるが、これらの要素のどれを介しても流体は流れない。特に、他のバルブの３つの全て（即ち、第１の研磨制御バルブＡＣＡ、第１の水制御バルブＷＣＡ及び第１の減圧バルブＤＶＡ）が閉じられているので、第１の出口バルブＯＶＡを介する流れはない。
【００７４】
図２Ｆに示す次の段階では、（図２Ｆで太文字でラベルされる）第１の出口バルブＯＶＡが今度は閉じられる。第１の出口バルブＯＶＡの閉鎖の直前には、（第１の研磨制御バルブＡＣＡ、第１の水制御バルブＷＣＡ及び第１の減圧バルブＤＶＡが全て閉じられているので、）第１の出口バルブを介する流れはなく、第１の出口バルブＯＶＡをまたがって圧力差はない、ということが理解されるべきである。閉鎖後、バルブを介する流れはやはりなく、バルブをまたがっての圧力差はやはりない。従って、第１の出口バルブは、バルブを介して研磨スラリを実質的に動かすことなく、閉じられる。このことは、バルブの閉鎖の際に研磨材料の流れが絞られ停止されなければならないならば発生してしまう高度の摩耗の状況を、回避する。
【００７５】
第１の研磨制御バルブＡＣＡ、第１の水制御バルブＷＣＡ、第１の出口バルブＯＶＡ及び第１の減圧バルブＤＶＡは全て閉じられ、第１の容器ＶＡとそれに繋がる要素は今度は分離されるが、図２Ｆで太い破線で示されるように、加圧を維持する。ポンプ２１からノズル４４への、第２の容器ＶＢとそれに繋がる要素を介する加圧流は、図２Ｆで連続太線で示されるように、維持される。
【００７６】
図２Ｇは第１の容器の減圧を示す。分離されている第１の容器ＶＡは、図２Ｇで太字でラベルされる第１の減圧バルブＤＶＡを開くことにより、減圧される。第１の容器ＶＡが減圧された後、研磨材料で再充填される。ポンプ２１から出口ノズル４４への、第２の容器ＶＢとそれに繋がる要素を介する加圧流は、図２Ｇで連続太線で示されるように、維持される。
【００７７】
図２Ｈは、研磨材料４７で再充填され、（図２Ｈにて太くラベルされる）第１の減圧バルブＤＶＡを閉じ且つ（図２Ｈにて太くラベルされる）第１の水制御バルブＷＣＡを開くことにより再加圧される、第１の容器ＶＡを示す。この後者の操作により、ポンプ２１からの加圧された坦持流体は、第３の入口コンジット３５、第１の容器ＶＡ、第１の入口コンジット３１、第１の出口コンジット３３及び第１の減圧コンジット３９に至る。しかしながら、これらの要素を介する流体流は、第１の出口バルブＯＶＡ、第１の研磨制御バルブＡＣＡ及び第１の減圧バルブＤＶＡによりブロックされている。これらの３つは全て閉じているからである。第１の出口バルブＯＶＡをまたがって実質的な圧力差はなくそこを介する流れもない、ということを銘記すべきである。ポンプ２１から出口ノズル４４への、第２の容器ＶＢとそれに繋がる要素を介する加圧流は、図２Ｈの連続太線で示すように、維持される。第２の容器ＶＢ内の研磨材料４６のレベルは、ノズル４４において放出されるスラリを供給した結果、下がる。
【００７８】
共通出口ノズル４４への研磨材料の供給器としての、第２の容器ＶＢから第１の容器ＶＡへの切換のための更なる操作手順は、第１の容器ＶＡから第２の容器ＶＢへの切換のための上述の説明に対応する。
【００７９】
特に、共通出口ノズル４４に供給される研磨スラリの供給源は、相対的にクリーンであり実質的に研磨材の無い坦持流体に対して開かれ且つ閉じられる４つの入口バルブ（即ち、第１及び第２の研磨制御バルブＡＣＡ、ＡＣＢ、及び第１及び第２の水制御バルブＷＣＡ、ＷＣＢ）を操作することにより、２つの容器ＶＡ、ＶＢの間で切り換えられることに着目すべきである。この切換は、両方の出口バルブＯＶＡ、ＯＶＢが開いている間に、為される。バルブをまたがって圧力差はなくそこを介する流れもないというときにのみ、特にバルブを介する研磨流がないときのみ、個々の出口バルブは開閉される。
【００８０】
研磨貯蔵容器の研磨スラリの下流への流れは、坦持液体のクリーンな上流への流れを制御することによって、切り換えられる。バルブがスラリを運ぶ間、即ちバルブが圧力差にさらされている間に、下流への流れにおいてバルブを開閉する必要がない状態で、この容器切換は為される。
【００８１】
上述の両方の実施形態において、バルブの摩滅（特に、研磨材料を運ぶ出口バルブの摩滅）は、摩滅耐性バルブ、例えば、摩滅プレートにて前後に移動する平坦なセルフラップのばねバイアスされたバルブシートを有するバルブを用いることによって、更に減少し得る。しかしながら、本発明は、特定のバルブを利用することに限定されるのではなく、むしろ、研磨流を運ぶバルブが、流体流の状況下で即ち圧力差の下で、開閉しないシステムに関連するのである。
【００８２】
更に、本発明は、噴射制御バルブ、例えば図２に示すバルブＰＶを含むことに限定されない。このバルブは、共通出口コンジット４３において研磨スラリの中断なき流れを別の放出コンジットに迂回しこれにより出口ノズル４４をバイパスすることによって、噴射を制御するために、若しくは噴射のオンオフを切り換えるために、利用されてもよい。
【００８３】
以上において、好適な形態を含む本発明を説明した。当業者に明白な変更及び修正は、添付の請求項に定義される範囲内に組み込まれることが意図されている。
【００８４】
例えば、研磨スラリの連続する供給のために件材料を間断なく再充填される容器の数は、図に示される２個よりも多くてもよい。単一の容器からの研磨スラリの連続的な放出の最大時間が容器を再充填するのに要求される時間より短い場合、若しくは、容器とそれに繋がる要素が例えばメンテナンスや修理のために通常の系列から取り出される必要があるために、スラリの連続的な供給の信頼性が危険にさらされてはならない場合、多数の容器があることは望ましい。
【００８５】
更に、上述の好適な実施形態では坦持流体を水としてきたが、研磨材料と混合して飛沫同伴し研磨スラリを形成するための坦持流体として、他の液体や気体が用いられてもよい、ということは理解されるべきところである。スラリは、湿っていても乾いていてもよい。
【００８６】
本明細書及び添付の請求項で利用する“スラリ”という用語は、流体が液体若しくは気体である坦持流体における不溶性の粒子の懸濁を含むものとして、理解されるべきである。水及び空気は、本発明の多数の利用例に対して、適切な坦持流体である。
【００８７】
図２〜図２Ｈに関して述べた実施形態は、単体のノズル４４を含むものであるが、実質的に中断のない流れが一つ以上のノズルに供給され、個々のノズルが研磨カッティング噴射を生成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】研磨流体の中断なき流れを与える第１の流れ制御システムを概略示す。
【図１Ａ】制御の種々の段階における、図１の流れ制御システムを概略示す。
【図１Ｂ】制御の種々の段階における、図１の流れ制御システムを概略示す。
【図１Ｃ】制御の種々の段階における、図１の流れ制御システムを概略示す。
【図１Ｄ】制御の種々の段階における、図１の流れ制御システムを概略示す。
【図１Ｅ】制御の種々の段階における、図１の流れ制御システムを概略示す。
【図１Ｆ】制御の種々の段階における、図１の流れ制御システムを概略示す。
【図１Ｇ】制御の種々の段階における、図１の流れ制御システムを概略示す。
【図１Ｈ】制御の種々の段階における、図１の流れ制御システムを概略示す。
【図２】研磨流体の中断なき流れを与える第１の流れ制御システムを概略示す。
【図２Ａ】制御の種々の段階における、第２の流れ制御システムを概略示す。
【図２Ｂ】制御の種々の段階における、第２の流れ制御システムを概略示す。
【図２Ｃ】制御の種々の段階における、第２の流れ制御システムを概略示す。
【図２Ｄ】制御の種々の段階における、第２の流れ制御システムを概略示す。
【図２Ｅ】制御の種々の段階における、第２の流れ制御システムを概略示す。
【図２Ｆ】制御の種々の段階における、第２の流れ制御システムを概略示す。
【図２Ｇ】制御の種々の段階における、第２の流れ制御システムを概略示す。
【図２Ｈ】制御の種々の段階における、第２の流れ制御システムを概略示す。
【符号の説明】
【００８９】
１・・・ポンプ、２・・・共通出口、１１・・・第１のコンジット、１２・・・第２のコンジット、１３・・・第３のコンジット、１４・・・第４のコンジット、１５・・・第５のコンジット、１６・・・第６のコンジット、１７・・・第７のコンジット、１８・・・第８のコンジット、１９・・・第９のコンジット、２０・・・第１０のコンジット、ＤＶ１・・・第１の減圧バルブ、ＤＶ２・・・第２の減圧バルブ、ＩＶ１・・・第１の入口バルブ、ＩＶ２・・・第２の入口バルブ、ＯＶ１・・・第１の出口バルブ、ＯＶ２・・・第２の出口バルブ、Ｖ１・・・第１の容器、Ｖ２・・・第２の容器、２１・・・高圧ポンプ、３１・・・第１の入口コンジット、３２・・・第２の入口コンジット、３３・・・第１の出口コンジット、３４・・・第２の出口コンジット、３５・・・第３の入口コンジット、３６・・・第４の入口コンジット、３７・・・第１の出口バルブコンジット、３８・・・第２の出口バルブコンジット、３９・・・第１の減圧コンジット、４０・・・第２の減圧コンジット、４１・・・共通出口コンジット、４４・・・ノズル、４５・・・研磨材料、４６・・・研磨材料、４７・・・研磨材料、ＡＣＡ・・・第１の研磨制御バルブ、ＡＣＢ・・・第２の研磨制御バルブ、ＤＶＡ・・・第１の減圧バルブ、ＤＶＢ・・・第２の減圧バルブ、ＯＶＡ・・・第１の出口バルブ、ＯＶＢ・・・第２の出口バルブ、ＰＶ・・・噴射制御バルブ、ＶＡ・・・第１の容器、ＶＢ・・・第２の容器、ＷＣＡ・・・第１の水制御バルブ、ＷＣＢ・・・第２の水制御バルブ。
【図１】
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【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図１Ｅ】
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【図１Ｆ】
2006007411.tif 000009
【図１Ｇ】
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【図１Ｈ】
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【図２】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図２Ｆ】
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【図２Ｇ】
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【図２Ｈ】
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【外国語明細書】
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