(57)【要約】【課題】  フォトリソグラフィ法におけるエッチング工程時に、エッチング液による過食刻によって不良な接続電極が形成されるのを防止する。【解決手段】  レジストＲ１が、接続電極成形部分Ｒ１Ｃの一部または全部が表示電極Ｅ１と引出電極Ｅ２の接続に必要な予め設定された接続電極Ｅ３の幅以上の大きさの幅を有する形状にパターニングされて、電極形成材料層Ｍのエッチングが行われる。【選択図】    図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極を、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングすることによって形成する表示パネルの製造方法において、
前記フォトレジストパターンが、接続電極成形部分の一部または全部が表示電極と引出電極の接続に必要な予め設定された接続電極の幅以上の大きさの幅を有する形状にパターニングされて、電極形成材料層のエッチングが行われることを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記基板がフォトレジストパターンの表示電極成形部分の延びる方向と平行な方向に搬送されながら、電極形成材料層のエッチングが行われる請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側の部分の幅よりも引出電極成形部分に接続されている側の部分の幅が大きくなる形状にパターニングされる請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の幅が、表示電極成形部分に接続されている側から引出電極成形部分に接続されている側に連続して大きくなる形状にパターニングされる請求項３に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側が表示電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有し、引出電極成形部分に接続されている側が引出電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有する形状にパターニングされる請求項３に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項６】
表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極を、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングすることによって形成する表示パネルの製造方法において、
前記フォトレジストパターンが、接続電極成形部分の表示電極成形部分側の部分が湾曲して接続電極成形部分と表示電極成形部分の接続部分が曲線によって連続する形状にパターニングされて、電極形成材料層のエッチングが行われることを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項７】
前記基板がフォトレジストパターンの表示電極成形部分の延びる方向と平行な方向に搬送されながら、電極形成材料層のエッチングが行われる請求項６に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項８】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側の部分の幅よりも引出電極成形部分に接続されている側の部分の幅が大きくなる形状にパターニングされる請求項６に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項９】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の幅が、表示電極成形部分に接続されている側から引出電極成形部分に接続されている側に連続して大きくなる形状にパターニングされる請求項８に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１０】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側が表示電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有し、引出電極成形部分に接続されている側が引出電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有する形状にパターニングされる請求項８に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１１】
表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極を、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングすることによって形成する表示パネルの製造方法において、
前記フォトレジストパターンが、接続電極成形部分が表示電極成形部分に対して１７０°以上１８０°未満の傾斜角度で延びる形状にパターニングされて、電極形成材料層のエッチングが行われることを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項１２】
前記基板がフォトレジストパターンの表示電極成形部分の延びる方向と平行な方向に搬送されながら、電極形成材料層のエッチングが行われる請求項１１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１３】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側の部分の幅よりも引出電極成形部分に接続されている側の部分の幅が大きくなる形状にパターニングされる請求項１１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１４】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の幅が、表示電極成形部分に接続されている側から引出電極成形部分に接続されている側に連続して大きくなる形状にパターニングされる請求項１３に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１５】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側が表示電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有し、引出電極成形部分に接続されている側が引出電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有する形状にパターニングされる請求項１３に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１６】
表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極を、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングすることによって形成する表示パネルの製造方法において、
前記フォトレジストパターンが、表示電極成形部分が延びる方向において、表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置が隣接するフォトレジストパターンの表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置と異なる位置に位置される形状にパターニングされて、電極形成材料層のエッチングが行われることを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項１７】
前記基板がフォトレジストパターンの表示電極成形部分の延びる方向と平行な方向に搬送されながら、電極形成材料層のエッチングが行われる請求項１６に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１８】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の表示電極成形部分との接続部分の幅が、接続電極成形部分の他の部分の幅よりも大きくなる形状にパターニングされる請求項１６に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１９】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側の部分の幅よりも引出電極成形部分に接続されている側の部分の幅が大きくなる形状にパターニングされる請求項１６に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項２０】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の幅が、表示電極成形部分に接続されている側から引出電極成形部分に接続されている側に連続して大きくなる形状にパターニングされる請求項１９に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項２１】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側が表示電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有し、引出電極成形部分に接続されている側が引出電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有する形状にパターニングされる請求項１９に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項２２】
表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極が、基板上に形成された電極形成材料層が表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングされることによって形成される表示パネルにおいて、
前記表示電極と引出電極と接続電極が、接続電極成形部分の一部または全部が表示電極と引出電極の接続に必要な予め設定された接続電極の幅以上の大きさの幅を有する形状にパターニングされたフォトレジストパターンを介して電極形成材料層がエッチングされることにより形成されていることを特徴とする表示パネル。
【請求項２３】
前記表示電極と引出電極と接続電極が、基板がフォトレジストパターンの表示電極成形部分の延びる方向と平行な方向に搬送されながら、電極形成材料層がエッチングされることによって形成されている請求項２２に記載の表示パネル。
【請求項２４】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側の部分の幅よりも引出電極成形部分に接続されている側の部分の幅が大きくなる形状にパターニングされている請求項２２に記載の表示パネル。
【請求項２５】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の幅が、表示電極成形部分に接続されている側から引出電極成形部分に接続されている側に連続して大きくなる形状にパターニングされている請求項２４に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項２６】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側が表示電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有し、引出電極成形部分に接続されている側が引出電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有する形状にパターニングされている請求項２４に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項２７】
表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極が、基板上に形成された電極形成材料層が表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングされることによって形成される表示パネルにおいて、
前記表示電極と引出電極と接続電極が、接続電極成形部分の表示電極成形部分側の部分が湾曲して接続電極成形部分と表示電極成形部分の接続部分が曲線によって連続する形状にパターニングされたフォトレジストパターンを介して電極形成材料層がエッチングされることにより形成されていることを特徴とする表示パネル。
【請求項２８】
前記表示電極と引出電極と接続電極が、基板がフォトレジストパターンの表示電極成形部分の延びる方向と平行な方向に搬送されながら、電極形成材料層がエッチングされることによって形成されている請求項２７に記載の表示パネル。
【請求項２９】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側の部分の幅よりも引出電極成形部分に接続されている側の部分の幅が大きくなる形状にパターニングされている請求項２７に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３０】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の幅が、表示電極成形部分に接続されている側から引出電極成形部分に接続されている側に連続して大きくなる形状にパターニングされている請求項２９に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３１】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側が表示電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有し、引出電極成形部分に接続されている側が引出電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有する形状にパターニングされている請求項２９に記載の表示パネル。
【請求項３２】
表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極が、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングされることによって形成される表示パネルにおいて、
前記表示電極と引出電極と接続電極が、接続電極成形部分が表示電極成形部分に対して１７０°以上１８０°未満の角度以下の傾斜角度で延びる形状にパターニングされたフォトレジストパターンを介して電極形成材料層がエッチングされることにより形成されていることを特徴とする表示パネル。
【請求項３３】
前記表示電極と引出電極と接続電極が、基板がフォトレジストパターンの表示電極成形部分の延びる方向と平行な方向に搬送されながら、電極形成材料層がエッチングされることによって形成されている請求項３２に記載の表示パネル。
【請求項３４】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側の部分の幅よりも引出電極成形部分に接続されている側の部分の幅が大きくなる形状にパターニングされている請求項３２に記載の表示パネル。
【請求項３５】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の幅が、表示電極成形部分に接続されている側から引出電極成形部分に接続されている側に連続して大きくなる形状にパターニングされている請求項３４に記載の表示パネル。
【請求項３６】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側が表示電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有し、引出電極成形部分に接続されている側が引出電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有する形状にパターニングされている請求項３４に記載の表示パネル。
【請求項３７】
表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極が、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングされることによって形成される表示パネルにおいて、
前記表示電極と引出電極と接続電極が、表示電極成形部分が延びる方向において、表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置が隣接するフォトレジストパターンの表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置と異なる位置に位置される形状にパターニングされたフォトレジストパターンを介して電極形成材料層がエッチングされることにより形成されていることを特徴とする表示パネル。
【請求項３８】
前記表示電極と引出電極と接続電極が、基板がフォトレジストパターンの表示電極成形部分の延びる方向と平行な方向に搬送されながら、電極形成材料層がエッチングされることによって形成されている請求項３７に記載の表示パネル。
【請求項３９】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の表示電極成形部分との接続部分の幅が、接続電極成形部分の他の部分の幅よりも大きくなる形状にパターニングされている請求項３７に記載の表示パネル。
【請求項４０】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側の部分の幅よりも引出電極成形部分に接続されている側の部分の幅が大きくなる形状にパターニングされている請求項３７に記載の表示パネル。
【請求項４１】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分の幅が、表示電極成形部分に接続されている側から引出電極成形部分に接続されている側に連続して大きくなる形状にパターニングされている請求項４０に記載の表示パネル。
【請求項４２】
前記フォトレジストパターンの接続電極成形部分が、表示電極成形部分に接続されている側が表示電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有し、引出電極成形部分に接続されている側が引出電極成形部分の幅とほぼ同じ大きさの幅を有する形状にパターニングされている請求項４０に記載の表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、表示パネルの製造方法およびこの製造方法によって製造される表示パネルの構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）やフィールド・エミッション・ディスプレイ（ＦＥＤ）などの平面型の表示パネルは、一般的に、平行に配置された二枚の基板の間に、発光を行うための電極が平行に多数並設された構成を備えている。
【０００３】
図１は、このような表示パネルの一方の基板に形成された電極（例えば、ＰＤＰにおける行電極）の従来の構成を示している。
【０００４】
この図１において、ガラス基板１の背面の表示領域部分Ｄ１に、複数の帯状の表示電極Ｅ１が、図１の左右方向に延びるとともに上下方向に所要の間隔を開けて並設されている。
【０００５】
ガラス基板１の背面の非表示領域部分Ｄ２には、表示電極Ｅ１の両端にそれぞれ対応する位置に、各表示電極Ｅ１を表示パネルの駆動回路（図示せず）に接続するための引出電極Ｅ２が配置され、それぞれ、接続電極Ｅ３によって、対応する表示電極Ｅ１に接続されている。
【０００６】
各表示電極Ｅ１は、その電極幅（電極の長手方向に対して直交する方向の幅）が、隣接する他の表示電極Ｅ１との間でショートを起こすのを防止するためと、表示領域部分Ｄ１内に位置される表示電極Ｅ１によって発光領域が狭められるのを最小限に抑えるために、出来る限り小さくなるよう形成される。
【０００７】
そして、この表示電極Ｅ１の電極幅は、表示パネルが高精細化される程、発光単位であるセルのサイズに制約されて、さらに小さく形成されることが要求され、隣接する表示電極Ｅ１間の間隔も狭くなる。
【０００８】
引出電極Ｅ２は、駆動回路の基板との接続のために、非表示領域部分Ｄ２の複数箇所にグループ分けされて、それぞれの箇所に集約された状態で配列される。
【０００９】
さらに、この引出電極Ｅ２は、駆動回路との接続のために、その電極幅が表示電極Ｅ１の電極幅よりも大きくなるように形成されているとともに、表示領域部分Ｄ１の両側に分散して配列されていることによって、隣接する引出電極Ｅ２との間の間隔が表示電極Ｅ１間の間隔よりも広くなるように設定される。
【００１０】
このため、接続電極Ｅ３は、表示電極Ｅ１と引出電極Ｅ２に対してそれぞれ所要の角度傾斜した状態で接続されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１１】
図２は、図１の表示電極Ｅ１および引出電極Ｅ２，接続電極Ｅ３の接続部分の一部が拡大して示された図である。
【００１２】
この図２において、引出電極Ｅ２が、その間隔が表示電極Ｅ１の間隔よりも大きくなるように配列されていることによって、接続電極Ｅ３は、表示電極Ｅ１と引出電極Ｅ２の間において、隣接する他の接続電極Ｅ３との間が表示電極Ｅ１側から引出電極Ｅ２側に向かって拡がってゆくようにそれぞれ配置されている。
【００１３】
そして、この接続電極Ｅ３は、その電極幅が図３に示されるように引出電極Ｅ２と同じ幅に形成された場合には、表示電極Ｅ１との接続部分において隣接する接続電極Ｅ３同士が接触してしまうので、表示電極Ｅ１とほぼ同じ幅になるように形成されている。
【００１４】
このようなガラス基板１への表示電極Ｅ１および引出電極Ｅ２，接続電極Ｅ３の形成には、上述したように、その電極幅や隣接する電極間のピッチ等に細かい精度が要求される。
【００１５】
このため、表示パネルの電極の形成には、従来からスクリーン印刷法よりもフォトリソグラフィ法が多く用いられている。
【００１６】
図４は、フォトリソグラフィ法による電極のパターン形成装置の構成を示す概略図である。
【００１７】
この図４において、パターン形成装置１０は、フォトリソグラフィ法による露光工程が行われる露光チェンバ１０Ａと、エッチング工程が行われるエッチング・チェンバ１０Ｂを備えている。
【００１８】
このパターン形成装置１０は、予め表面に電極の形成材料とレジスト材料が塗布されたガラス基板１が、ローラ・コンベア１１によって露光チェンバ１０Ａ内に搬送されてくると、この露光チェンバ１０Ａ内において露光工程が行われ、各電極の形成位置に開口部が形成された図示しないマスクを介して、露光機１０Ａａからガラス基板１上のレジスト材料層に対して紫外線が照射される。
【００１９】
この露光工程が終了し、露光されたレジスト材料層の現像が行われた後、ガラス基板１は、ローラ・コンベア１１によって次のエッチング・チェンバ１０Ｂ内に搬入され、この現像チェンバ１０Ｂ内において、噴射機１０Ｂａからガラス基板１上の電極形成材料層に対してエッチング液ｅが噴射されて、エッチング工程が行われる。
【００２０】
このエッチング・チェンバ１０Ｂ内におけるエッチング工程において、現像後のフォトレジストパターン（以下、単にレジストという）によって覆われている部分（電極の形成部分）以外の部分の電極形成材料層が、エッチング液ｅによって食刻されて、表示電極Ｅ１および引出電極Ｅ２，接続電極Ｅ３の各電極が形成される。
【００２１】
このエッチング工程は、ガラス基板１がエッチング・チェンバ１０Ｂ内をローラ・コンベア１１によって搬送されながら行われる。
【００２２】
これによって、噴射機１０Ｂａからガラス基板１上に噴射されたエッチング液が、図１に示されるように、ガラス基板１に形成された電極形成材料層上を、形成する電極の形状に対応してパターニングされたレジストに沿ってガラス基板１の搬送方向ｘ１に対して逆向きの方向ｘ２に流れてゆき、レジストによって覆われている部分以外の部分の電極形成材料層がエッチング液によって食刻されてゆくことによって、レジストの形状に対応した形状の表示電極Ｅ１および引出電極Ｅ２，接続電極Ｅ３がそれぞれ成形されてゆく。
【００２３】
しかしながら、このとき、前述したように、接続電極Ｅ３が表示電極Ｅ１と引出電極Ｅ２に対してそれぞれ傾斜する向きに形成されるため、図５に示されるように、ガラス基板１の搬送方向において前側の接続電極Ｅ３の配置ゾーンｚ１においては、隣接するレジストの接続電極Ｅ３の形成部分間の間隔が後方にゆくほど狭まっており、レジストの引出電極Ｅ２の形成部分に沿って流れてきたエッチング液が接続電極Ｅ３の形成部分に来ると、このエッチング液の流れｆの流速が速くなって、レジストの接続電極Ｅ３の形成部分に覆われた電極形成材料層を必要以上に食刻することになる。
【００２４】
また、ガラス基板１の搬送方向において後側の接続電極Ｅ３の配置ゾーンｚ２においては、搬送方向と平行なレジストの表示電極Ｅ１の形成部分に沿って流れて来たエッチング液がレジストの表示電極Ｅ１の形成部分に対して傾斜する方向に延びる接続電極Ｅ３の形成部分にぶつかって、その流れｆが妨げられるために、レジストの接続電極Ｅ３の形成部分に覆われた電極形成材料層を必要以上に食刻することになる。
【００２５】
このため、従来の表示パネルでは、その製造時のエッチング工程において、電極幅が引出電極Ｅ２の電極幅よりも小さくなるように設計されている接続電極Ｅ３が、エッチング液による過食刻により、設計寸法よりも細くなって不良品になってしまったり、最悪の場合、電極が欠落してしまうという虞が発生する。
【００２６】
【特許文献１】特開２００１−３１９５８４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
この発明は、上記のような従来の表示パネルの電極を形成する際の問題点を解決することをその課題の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
第１の発明（請求項１に記載の発明）による表示パネルの製造方法は、上記目的を達成するために、表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極を、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングすることによって形成する表示パネルの製造方法において、前記フォトレジストパターンが、接続電極成形部分の一部または全部が表示電極と引出電極の接続に必要な予め設定された接続電極の幅以上の大きさの幅を有する形状にパターニングされて、電極形成材料層のエッチングが行われることを特徴としている。
【００２９】
第２の発明（請求項６に記載の発明）による表示パネルの製造方法は、前記目的を達成するために、表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極を、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングすることによって形成する表示パネルの製造方法において、前記フォトレジストパターンが、接続電極成形部分の表示電極成形部分側の部分が湾曲して接続電極成形部分と表示電極成形部分の接続部分が曲線によって連続する形状にパターニングされて、電極形成材料層のエッチングが行われることを特徴としている。
【００３０】
第３の発明（請求項１１に記載の発明）による表示パネルの製造方法は、前記目的を達成するために、表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極を、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングすることによって形成する表示パネルの製造方法において、前記フォトレジストパターンが、接続電極成形部分が表示電極成形部分に対して所定の角度以下の傾斜角度で延びる形状にパターニングされて、電極形成材料層のエッチングが行われることを特徴としている。
【００３１】
第４の発明（請求項１７に記載の発明）による表示パネルの製造方法は、前記目的を達成するために、表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極を、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングすることによって形成する表示パネルの製造方法において、前記フォトレジストパターンが、表示電極成形部分が延びる方向において、表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置が隣接ずるフォトレジストパターンの表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置と異なる位置に位置される形状にパターニングされて、電極形成材料層のエッチングが行われることを特徴としている。
【００３２】
第５の発明（請求項２３に記載の発明）による表示パネルは、前記目的を達成するために、表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極が、基板上に形成された電極形成材料層が表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングされることによって形成される表示パネルにおいて、前記表示電極と引出電極と接続電極が、接続電極成形部分の一部または全部が表示電極と引出電極の接続に必要な予め設定された接続電極の幅以上の大きさの幅を有する形状にパターニングされたフォトレジストパターンを介して電極形成材料層がエッチングされることにより形成されていることを特徴としている。
【００３３】
第６の発明（請求項２８に記載の発明）による表示パネルは、前記目的を達成するために、表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極が、基板上に形成された電極形成材料層が表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングされることによって形成される表示パネルにおいて、前記表示電極と引出電極と接続電極が、接続電極成形部分の表示電極成形部分側の部分が湾曲して接続電極成形部分と表示電極成形部分の接続部分が曲線によって連続する形状にパターニングされたフォトレジストパターンを介して電極形成材料層がエッチングされることにより形成されていることを特徴としている。
【００３４】
第７の発明（請求項３２に記載の発明）による表示パネルは、前記目的を達成するために、表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極が、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングされることによって形成される表示パネルにおいて、前記表示電極と引出電極と接続電極が、接続電極成形部分が表示電極成形部分に対して所定の角度以下の傾斜角度で延びる形状にパターニングされたフォトレジストパターンを介して電極形成材料層がエッチングされることにより形成されていることを特徴としている。
【００３５】
第８の発明（請求項３２に記載の発明）による表示パネルは、前記目的を達成するために、表示領域内に所要の間隔で互いに平行に配置される複数の表示電極と、表示パネルの非表示領域内に配置されるドライバ回路接続用の複数の引出電極と、この引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されてそれぞれ表示電極と引出電極の接続を行う複数の接続電極が、基板上に形成された電極形成材料層を表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを介してエッチングされることによって形成される表示パネルにおいて、前記表示電極と引出電極と接続電極が、表示電極成形部分が延びる方向において、表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置が隣接ずるフォトレジストパターンの表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置と異なる位置に位置される形状にパターニングされたフォトレジストパターンを介して電極形成材料層がエッチングされることにより形成されていることを特徴としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
この発明は、フォトリソグラフィ法によって電極形成材料層のエッチングを行うことにより、基板上に表示電極および引出電極とこの引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されて表示電極と引出電極の接続を行う接続電極を形成する際に、それぞれ表示電極と引出電極，接続電極に対応する表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを、その接続電極成形部分の一部または全部が表示電極と引出電極の接続に必要な予め設定された接続電極の幅以上の大きさの幅を有するようにパターニングする表示パネルの製造方法、および、この製造方法によって電極が形成された表示パネルを、その最良の実施形態としている。
【００３７】
この実施形態による表示パネルの製造方法によれば、エッチング工程において、搬送される基板上にエッチング液が噴射され、このエッチング液が電極の形成方向に延びるフォトレジストパターンに沿って流れて電極形成材料層のエッチングが行われる際に、このフォトレジストパターンの表示電極成形部分および引出電極成形部分に対して傾斜するように形成されている接続電極成形部分にエッチング液がぶつかることによって、この接続電極成形部分によって覆われている電極形成材料層の接続電極の形成部分が他の電極の形成部分以上に食刻される場合でも、フォトレジストパターンの接続電極成形部分の一部または全部が、表示電極と引出電極の接続に必要な予め設定された接続電極の幅以上の大きさの幅を有するようにパターニングされていることによって、エッチングによって形成された接続電極の幅が表示電極と引出電極の接続に必要な幅以下になったり、または、欠落したりするのが防止される。
【００３８】
そして、この製造方法によって製造された表示パネルは、欠陥のない良好な接続電極を備えることが出来るようになる。
【００３９】
この発明は、さらに、フォトリソグラフィ法によって電極形成材料層のエッチングを行うことにより、基板上に表示電極および引出電極とこの引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されて表示電極と引出電極の接続を行う接続電極を形成する際に、それぞれ表示電極と引出電極，接続電極に対応する表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを、その接続電極成形部分の表示電極成形部分側の部分が湾曲して接続電極成形部分と表示電極成形部分の接続部分が曲線によって連続する形状にパターニングする表示パネルの製造方法、および、この製造方法によって電極が形成された表示パネルを、その最良の実施形態としている。
【００４０】
この実施形態による表示パネルの製造方法によれば、エッチング工程において、搬送される基板上にエッチング液が噴射され、このエッチング液が電極の形成方向に延びるフォトレジストパターンに沿って流れて電極形成材料層のエッチングが行われる際に、表示電極成形部分に対して傾斜する方向に接続されている接続電極成形部分の表示電極成形部分との接続部分が湾曲して表示電極成形部分に対して滑らかに連続していることによって、フォトレジストパターンの表示電極成形部分に沿った流れのエッチング液が、接続電極成形部分に沿った流れにスムースに移行し、これによって、接続電極成形部分によって覆われている電極形成材料層の接続電極の形成部分がエッチング液によって過食刻されるのが抑制されて、エッチングによって形成された接続電極の幅が表示電極と引出電極の接続に必要な幅以下になったり、または、欠落したりするのが防止される。
【００４１】
そして、この製造方法によって製造された表示パネルは、欠陥のない良好な接続電極を備えることが出来るようになる。
【００４２】
この発明は、さらに、フォトリソグラフィ法によって電極形成材料層のエッチングを行うことにより、基板上に表示電極および引出電極とこの引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されて表示電極と引出電極の接続を行う接続電極を形成する際に、それぞれ表示電極と引出電極，接続電極に対応する表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを、接続電極成形部分が表示電極成形部分に対して所定の角度以下の傾斜角度で延びる形状にパターニングする表示パネルの製造方法、および、この製造方法によって電極が形成された表示パネルを、その最良の実施形態としている。
【００４３】
この実施形態による表示パネルの製造方法によれば、エッチング工程において、搬送される基板上にエッチング液が噴射され、このエッチング液が電極の形成方向に延びるフォトレジストパターンに沿って流れて電極形成材料層のエッチングが行われる際に、フォトレジストパターンの接続電極成形部分が表示電極成形部分に対して所定の角度以下の傾斜角度で接続されていることによって、フォトレジストパターンの表示電極成形部分に沿って流れていたエッチング液の流れの向きが、接続電極成形部分に来たときに急激に変わるのが抑制され、これによって、接続電極成形部分によって覆われている電極形成材料層の接続電極の形成部分がエッチング液によって過食刻されるのが抑制されて、エッチングによって形成された接続電極の幅が表示電極と引出電極の接続に必要な幅以下になったり、または、欠落したりするのが防止される。
【００４４】
そして、この製造方法によって製造された表示パネルは、欠陥のない良好な接続電極を備えることが出来るようになる。
【００４５】
この発明は、さらに、フォトリソグラフィ法によって電極形成材料層のエッチングを行うことにより、基板上に表示電極および引出電極とこの引出電極と表示電極の間に表示電極に対して傾斜した状態で配置されて表示電極と引出電極の接続を行う接続電極を形成する際に、それぞれ表示電極と引出電極，接続電極に対応する表示電極成形部分と引出電極成形部分と接続電極成形部分からなるフォトレジストパターンを、表示電極成形部分が延びる方向において、表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置が隣接ずるフォトレジストパターンの表示電極成形部分と接続電極成形部分の接続位置と異なる位置に位置される形状にパターニングする表示パネルの製造方法、および、この製造方法によって電極が形成された表示パネルを、その最良の実施形態としている。
【００４６】
この実施形態による表示パネルの製造方法によれば、エッチング工程において、搬送される基板上にエッチング液が噴射され、このエッチング液が電極の形成方向に延びるフォトレジストパターンに沿って流れて電極形成材料層のエッチングが行われる際に、隣接するフォトレジストパターン間において、それぞれの表示電極成形部分と接続電極成形部分のそれぞれの接続部分の位置が、エッチング液の流れ方向において異なる位置に位置されていることによって、エッチング液の流れの流速が速くなる位置が分散され、これによって、接続電極成形部分によって覆われている電極形成材料層の接続電極の形成部分がエッチング液によって過食刻されるのが抑制されて、エッチングによって形成された接続電極の幅が表示電極と引出電極の接続に必要な幅以下になったり、または、欠落したりするのが防止される。
【００４７】
そして、この製造方法によって製造された表示パネルは、欠陥のない良好な接続電極を備えることが出来るようになる。
【実施例１】
【００４８】
図６は、この発明による表示パネルの製造方法の実施形態における第１の実施例を示している。
【００４９】
なお、この図６には、ガラス基板の電極形成部分の左端側部分が拡大して示されている。
【００５０】
この図６において、ガラス基板１上に電極形成材料層Ｍが形成されており、この電極形成材料層Ｍ上に、露光および現像工程を経てそれぞれ所要の形状にパターニングされたフォトレジストパターン（以下、単にレジストという）Ｒ１が形成されている。
【００５１】
この図６中の二点鎖線は、レジストＲ１および電極形成材料層Ｍによって形成される表示電極Ｅ１および引出電極Ｅ２，接続電極Ｅ１３をそれぞれ示している。
【００５２】
レジストＲ１は、表示電極の成形部分Ｒ１Ａと、引出電極の成形部分Ｒ１Ｂと、接続電極の成形部分Ｒ１Ｃとからなっている。
【００５３】
このレジストＲ１の表示電極成形部分Ｒ１Ａは、ガラス基板１の背面の表示領域部分Ｄ１に位置され、引出電極成形部分Ｒ１Ｂおよび接続電極成形部分Ｒ１Ｃは、ガラス基板１の背面の非表示領域部分Ｄ２に位置されている。
【００５４】
そして、レジストＲ１は、表示電極成形部分Ｒ１Ａの幅ｗ１が、図１の場合と同様に引出電極Ｅ２の電極幅よりもその電極幅が小さくなるように形成される表示電極Ｅ１に対応して、引出電極成形部分Ｒ１Ｂの幅ｗ２よりも小さくなるようにパターニングされている。
【００５５】
さらに、レジストＲ１は、隣接する他の表示電極成形部分Ｒ１Ａとの間の間隔ｄ１が、互いに隣接する引出電極成形部分Ｒ１Ｂ間の間隔ｄ２よりも小さくなるようにパターニングされている。
【００５６】
レジストＲ１の接続電極成形部分Ｒ１Ｃは、上記のような表示電極成形部分Ｒ１Ａと引出電極成形部分Ｒ１Ｂの配置に対応して、隣接する他の接続電極成形部分Ｒ１Ｃとの間の間隔ｄ３が、表示電極成形部分Ｒ１Ａとの接続側から引出電極成形部分Ｒ１Ｂとの接続側にゆくにしたがって大きくなるように、表示電極成形部分Ｒ１Ａおよび引出電極成形部分Ｒ１Ｂに対してそれぞれ傾斜する向きに延びるようにパターニングされている。
【００５７】
そして、この接続電極成形部分Ｒ１Ｃは、それぞれ、表示電極成形部分Ｒ１Ａとの接続側端部の電極幅ｗ３ａが表示電極成形部分Ｒ１Ａの電極幅ｗ１とほぼ同じ寸法になり、引出電極成形部分Ｒ１Ｂとの接続側端部の電極幅ｗ３ｂが引出電極成形部分Ｒ１Ｂの電極幅ｗ２とほぼ同じ寸法になっていて、その電極幅が、表示電極成形部分Ｒ１Ａとの接続側から引出電極成形部分Ｒ１Ｂとの接続側にゆくにしたがって、略扇状に連続的に大きくなるようにパターニングされている。
【００５８】
表示パネルのフォトリソグラフィ法による製造工程において、レジストＲ１が上記のような形状にパターニングされた後、図４に示されるパターン形成装置１０のエッチング・チェンバ１０Ｂ内において行われるエッチング工程において、ガラス基板１上に形成されている電極形成材料層ＭのレジストＲ１によって被覆されている部分以外の部分が除去されて、レジストＲ１の下方に、それぞれ表示電極Ｅ１および引出電極Ｅ２，接続電極Ｅ１３が形成される。
【００５９】
このエッチング工程において、パターン形成装置１０の噴射機１０Ｂａ（図４参照）からガラス基板１上に噴射されるエッチング液は、前述したように、ガラス基板１の搬送に伴って、図６に矢印ｆ１によって示されるようなレジストＲ１に沿った流れとなる。
【００６０】
このとき、レジストＲ１の表示電極成形部分Ｒ１Ａに沿ってガラス基板１の搬送方向と平行に流れていたエッチング液は、このレジストＲ１の表示電極成形部分Ｒ１Ａに対して傾斜するように形成されている接続電極成形部分Ｒ１Ｃにぶつかって、この接続電極成形部分Ｒ１Ｃによって覆われている電極形成材料層Ｍの接続電極Ｅ１３の形成部分を他の電極の形成部分以上に食刻することになるが、レジストＲ１の接続電極成形部分Ｒ１Ｃの幅が、表示電極成形部分Ｒ１Ａ側よりも引出電極成形部分Ｒ１Ｂ側の方が大きくなるように形成されていることによって、エッチング終了後の接続電極Ｅ１３が、その電極幅が表示電極Ｅ１と引出電極Ｅ２の接続に必要な設計上の電極幅以下になったり、または欠落してしまったりするのが防止される。
【００６１】
さらに、このとき、レジストＲ１の接続電極成形部分Ｒ１Ｃが、その幅が表示電極成形部分Ｒ１Ａ側から引出電極成形部分Ｒ１Ｂ側に連続的に大きくなるように略扇形にパターニングされていることによって、この接続電極成形部分Ｒ１Ｃに沿ったエッチング液の流れが滑らかになり、これによって、このエッチング液による接続電極Ｅ１３の食刻の度合いが低減される。
【００６２】
以上のように、上記表示パネルの製造方法によって製造された表示パネルは、欠陥のない良好な接続電極Ｅ１３を備えることが出来るようになる。
【００６３】
なお、上記においては、レジストＲ１の接続電極成形部分Ｒ１Ｃの幅が、表示電極成形部分Ｒ１Ａ側から引出電極成形部分Ｒ１Ｂ側に連続的に大きくなっている例が示されているが、エッチング液に乱流が発生することによって電極形成材料層の食刻の度合いが最も大きくなるレジストの接続電極成形部分の引出電極成形部分側の部分の幅のみが表示電極成形部分側の幅よりも大きくなるように、レジストのパターニングを行うようにしても良い。
【００６４】
また、上記においては、エッチング工程においてガラス基板１の搬送方向の下流側となるレジストＲ１の左端部側を図示して説明を行ったが、 搬送方向の上流側となるレジストＲ１の図示されていない右端側においても、同様であり、図５において説明したように、レジストＲ１の引出電極成形部分に沿って流れてきたエッチング液が接続電極成形部分に来たときに、このエッチング液の流速が上がって、電極形成材料層の接続電極形成部分を過食刻する場合でも、このレジストＲ１の接続電極成形部分が上述したような形状にパターニングされていることによって、接続電極の設計上の電極幅を確保することが出来る。
【００６５】
上記実施例における表示パネルの例としては、ガラス基板上にフォトリソグラフィ法を用いて電極が形成されるＰＤＰやＦＥＤ等のあらゆる表示パネルが挙げられ、例えば、ＰＤＰにおいては、行電極対を構成する各行電極が表示電極に該当する。
【実施例２】
【００６６】
図７は、この発明による表示パネルの製造方法の実施形態における第２の実施例を示している。
【００６７】
なお、この図７には、ガラス基板の電極形成部分の左端側部分が拡大して示されている。
【００６８】
この図７において、ガラス基板１上に電極形成材料層Ｍが形成されており、この電極形成材料層Ｍ上に、露光および現像工程を経てそれぞれ所要の形状にパターニングされたレジストＲ２が形成されている。
【００６９】
この図７中、二点鎖線は、レジストＲ２および電極形成材料層Ｍによって形成される表示電極Ｅ１および引出電極Ｅ２，接続電極Ｅ２３をそれぞれ示している。
【００７０】
レジストＲ２は、表示電極の成形部分Ｒ２Ａと、引出電極成形部分Ｒ２Ｂと、接続電極の成形部分Ｒ２Ｃとからなっている。
【００７１】
このレジストＲ２の表示電極成形部分Ｒ２Ａおよび引出電極成形部分Ｒ２Ｂは、前述した第１実施例のレジストＲ１の表示電極成形部分Ｒ１Ａおよび引出電極成形部分Ｒ１Ｂと同様の形状および配置となるようにパターニングされている。
【００７２】
そして、このレジストＲ２の接続電極成形部分Ｒ２Ｃは、表示電極成形部分Ｒ２Ａとの接続部分Ｒ２Ｃａが所要の曲率半径ｒによって湾曲していて、表示電極成形部分Ｒ２Ａに対して滑らかに連続するようにパターニングされている。
【００７３】
表示パネルのフォトリソグラフィ法による製造工程において、第１実施例の場合と同様に、レジストＲ２のパターニングが行われた後、エッチング工程においてガラス基板１上にエッチング液が噴射される際に、ガラス基板１の搬送に伴って、噴射されたエッチング液は、図７に矢印ｆ２によって示されるようなレジストＲ２に沿った流れとなる。
【００７４】
このとき、レジストＲ２の接続電極成形部分Ｒ２Ｃの表示電極成形部分Ｒ２Ａとの接続部分Ｒ２Ｃａが湾曲していて、表示電極成形部分Ｒ２Ａに対して滑らかに連続していることによって、表示電極成形部分Ｒ２Ａに沿ったエッチング液の流れが、接続電極成形部分Ｒ２Ｃに沿った流れにスムースに移行し、これによって、接続電極成形部分Ｒ２Ｃによって覆われている電極形成材料層Ｍの接続電極Ｅ２３の形成部分がエッチング液によって過食刻されるのが抑制される。
【００７５】
したがって、上記のような形状にパターニングされたレジストＲ２を用いてエッチングを行うことによって、接続電極Ｅ２３が設計寸法よりも細くなったり、または欠落してしまったりするのが防止される。
【００７６】
この図７に図示されていないガラス基板の電極形成部分の右端側部分においても同様である。
【００７７】
なお、図７には、レジストＲ２の接続電極成形部分Ｒ２Ｃが、第１実施例の場合と同様に、表示電極成形部分Ｒ２Ａとの接続側から引出電極成形部分Ｒ２Ｂとの接続側方向にその幅が大きくなる形状にパターニングされている例が示されており、これによっても、製造時のエッチング工程において接続電極Ｅ２３に成形不良が発生するのが防止されるが、レジストの接続電極成形部分の幅をその全長に亘ってほぼ同じになるようにしてもよく、また、第１実施例において述べたように、接続電極成形部分の引出電極成形部分側の幅のみを、表示電極成形部分側の幅よりも大きくなるようにしても良い。
【００７８】
上記実施例における表示パネルの例としては、ガラス基板上にフォトリソグラフィ法を用いて電極が形成されるＰＤＰやＦＥＤ等のあらゆる表示パネルが挙げられ、例えば、ＰＤＰにおいては、行電極対を構成する各行電極が表示電極に該当する。
【実施例３】
【００７９】
図８は、この発明による表示パネルの製造方法の実施形態における第３の実施例を示している。
【００８０】
なお、この図８には、ガラス基板の電極形成部分の左端側部分が拡大して示されている。
【００８１】
この第３実施例における表示パネルの製造方法は、レジストＲ３が、その表示電極成形部分Ｒ３Ａと接続電極成形部分Ｒ３Ｃの間の角度θが略１７０°以上１８０°未満の範囲の角度になるようにパターニングされている。
【００８２】
図８中、他の部分の第２実施例と同様の構成部分については、第２実施例と同様の符号が付されている。
【００８３】
この第３実施例における表示パネルの製造方法も第２実施例の場合と同様に、表示パネルのフォトリソグラフィ法による製造工程において、レジストＲ３のパターニングが行われた後、エッチング工程においてガラス基板１上にエッチング液が噴射される際に、ガラス基板１の搬送に伴って、噴射されたエッチング液が、図８に矢印ｆ３によって示されるようなレジストＲ３に沿った流れとなり、このとき、レジストＲ３の表示電極成形部分Ｒ３Ａと接続電極成形部分Ｒ３Ｃが、従来の交差角度（約１５０度）よりも大きい１７０°以上１８０°未満の範囲の交差角度θで接続されていることによって、表示電極成形部分Ｒ３Ａに沿ったエッチング液の流れが、接続電極成形部分Ｒ３Ｃに沿った流れにスムースに移行し、これによって、接続電極成形部分Ｒ３Ｃによって覆われている電極形成材料層Ｍの接続電極Ｅ３３の形成部分がエッチング液によって過食刻されるのが抑制される。
【００８４】
したがって、上記のような形状にパターニングされたレジストＲ３を用いてエッチングを行うことによって、接続電極Ｅ３３が設計寸法よりも細くなったり、または欠落してしまったりするのが防止される。
【００８５】
この図８に図示されていないガラス基板の電極形成部分の右端側部分においても同様である。
【００８６】
なお、図８には、レジストＲ３の接続電極成形部分Ｒ３Ｃが、第１実施例の場合と同様に、表示電極成形部分Ｒ３Ａとの接続側から図示しない引出電極成形部分との接続側方向にその幅が大きくなる形状にパターニングされている例が示されており、これによっても、製造時のエッチング工程において接続電極Ｅ３３に成形不良が発生するのが防止されるが、レジストの接続電極成形部分の幅をその全長に亘ってほぼ同じになるようにしてもよく、また、第１実施例において述べたように、接続電極成形部分の引出電極成形部分側の幅のみを、表示電極成形部分側の幅よりも大きくなるようにしても良い。
【００８７】
上記実施例における表示パネルの例としては、ガラス基板上にフォトリソグラフィ法を用いて電極が形成されるＰＤＰやＦＥＤ等のあらゆる表示パネルが挙げられ、例えば、ＰＤＰにおいては、行電極対を構成する各行電極が表示電極に該当する。
【実施例４】
【００８８】
図９は、この発明による表示パネルの製造方法の実施形態における第４の実施例を示している。
【００８９】
なお、この図９には、ガラス基板の電極形成部分の右端側部分が拡大して示されている。
【００９０】
この第４実施例における表示パネルの製造方法は、互いに隣接ずるレジストＲ４，Ｒ５の表示電極成形部分Ｒ４Ａ，Ｒ５Ａと接続電極成形部分Ｒ４Ｃ，Ｒ５Ｃのそれぞれの接続部分Ｐ４とＰ５の位置が、表示電極成形部分Ｒ４Ａ，Ｒ５Ａが延びる方向（すなわち、エッチング工程時におけるガラス基板１の搬送方向）に沿って異なる位置に位置されるように、レジストＲ４，Ｒ５のパターニングが行われる。
【００９１】
この図９中、他の部分の第１実施例と同様の構成部分については、第１実施例と同様の符号が付されている。
【００９２】
この第４実施例における表示パネルの製造方法は、表示パネルのフォトリソグラフィ法による製造工程において、レジストＲ４、Ｒ５のパターニングが行われた後、エッチング工程においてガラス基板１上にエッチング液が噴射される際に、ガラス基板１の搬送に伴って、噴射されたエッチング液が、レジストＲ４とＲ５の間において、図９に矢印ｆ４によって示されるように、レジストＲ４，Ｒ５に沿った流れとなる。
【００９３】
このとき、図５において説明したように、レジストＲ４とＲ５の接続電極成形部分Ｒ４ＣとＲ５Ｃの間の間隔が、図示しない引出電極成形部分から表示電極成形部分Ｒ４Ａ，Ｒ５Ａ側に近づくにしたがって狭まることによって、エッチング液の流れｆ４の流速が速くなってゆくが、互いに隣接するレジストＲ４，Ｒ５の表示電極成形部分Ｒ４Ａ，Ｒ５Ａと接続電極成形部分Ｒ４Ｃ，Ｒ５Ｃのそれぞれの接続部分Ｐ４とＰ５の位置が、エッチング液の流れｆ４に沿って異なる位置に位置されていることによって、エッチング液の流れｆ４の流速が速くなる位置が分散される。
【００９４】
これによって、レジストＲ４，Ｒ５の接続電極成形部分Ｒ４Ｃ，Ｒ５Ｃによって覆われている電極形成材料層Ｍの接続電極Ｅ４３，Ｅ５３の形成部分がエッチング液によって過食刻されるのが抑制される。
【００９５】
したがって、上記のような形状にパターニングされたレジストＲ４，Ｒ５を用いてエッチングを行うことによって、接続電極Ｅ４３，Ｅ５３が設計寸法よりも細くなったり、または欠落してしまったりするのが防止される。
【００９６】
なお、図９には、レジストＲ４，Ｒ５の接続電極成形部分Ｒ４Ｃ，Ｒ５Ｃが、第１実施例の場合と同様に、表示電極成形部分Ｒ４Ａ，Ｒ５Ａとの接続側から図示しない引出電極成形部分との接続側方向にその幅が大きくなる形状にパターニングされている例が示されており、これによっても、製造時のエッチング工程において接続電極Ｅ４３，Ｅ５３に成形不良が発生するのが防止されるが、レジストの接続電極成形部分の幅をその全長に亘ってほぼ同じになるようにしてもよく、また、第１実施例において述べたように、接続電極成形部分の引出電極成形部分側の幅のみを、表示電極成形部分側の幅よりも大きくなるようにしても良い。
【００９７】
さらに、第２実施例の場合と同様に各レジストの接続電極成形部分の表示電極成形部分との接続部分を湾曲させたり、第３実施例の場合と同様に、表示電極成形部分と接続電極成形部分との接続部分の交差角度を従来の場合よりも大きくなるように設定しても良い。
【００９８】
上記実施例における表示パネルの例としては、ガラス基板上にフォトリソグラフィ法を用いて電極が形成されるＰＤＰやＦＥＤ等のあらゆる表示パネルが挙げられ、例えば、ＰＤＰにおいては、行電極対を構成する各行電極が表示電極に該当する。
【実施例５】
【００９９】
図１０は、この発明による表示パネルの製造方法の実施形態における第５の実施例を示している。
【０１００】
なお、この図１０には、ガラス基板の電極形成部分の右端側部分が拡大して示されている。
【０１０１】
この第５実施例における表示パネルの製造方法は、前述した第４実施例の場合と同様に、互いに隣接するレジストＲ６，Ｒ７の表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａと接続電極成形部分Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃのそれぞれの接続部分Ｐ６とＰ７の位置が、表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａが延びる方向（すなわち、エッチング工程時におけるガラス基板１の搬送方向）に沿って異なる位置に位置されるように、レジストＲ６，Ｒ７がパターニングされる。
【０１０２】
さらに、このレジストＲ６，Ｒ７の接続電極成形部分Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃの表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａとの接続部分Ｒ６Ｃａ，Ｒ７Ｃａの幅が、接続電極成形部分Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃの他の部分の幅よりも大きくなるようにレジストＲ６，Ｒ７がパターニングされる。
【０１０３】
この図１０中、他の部分の第４実施例と同様の構成部分については、第４実施例と同様の符号が付されている。
【０１０４】
この第５実施例における表示パネルの製造方法は、表示パネルのフォトリソグラフィ法による製造工程において、レジストＲ６、Ｒ７のパターニングが行われた後、エッチング工程においてガラス基板１上にエッチング液が噴射される際に、ガラス基板１の搬送に伴って、噴射されたエッチング液が、レジストＲ６とＲ７の間において、図１０に矢印ｆ５によって示されるように、レジストＲ６，Ｒ７に沿った流れとなる。
【０１０５】
このとき、図５において説明したように、レジストＲ６とＲ７の接続電極成形部分Ｒ６ＣとＲ７Ｃの間の間隔が、図示しない引出電極成形部分から表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａ側に近づくにしたがって狭まることによって、エッチング液の流れｆ５の流速が速くなってゆくが、互いに隣接するレジストＲ６，Ｒ７の表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａと接続電極成形部分Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃのそれぞれの接続部分Ｐ６とＰ７の位置が、エッチング液の流れｆ５に沿った異なる位置に位置されていることによって、エッチング液の流れｆ５の流速が速くなる位置が分散される。
【０１０６】
これによって、レジストＲ６，Ｒ７の接続電極成形部分Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃによって覆われている電極形成材料層Ｍの接続電極Ｅ６３，Ｅ７３の形成部分がエッチング液によって過食刻されるのが抑制される。
【０１０７】
さらに、この実施例においては、電極形成材料層Ｍの接続電極Ｅ６３，Ｅ７３の形成部分のうち、エッチング液の流れｆ５の流速が速くなることによって最も食刻される部分を覆うレジストＲ６，Ｒ７の接続電極成形部分Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃの表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａとの接続部分Ｒ６Ｃａ，Ｒ７Ｃａの幅が、他の部分よりも大きくなるようにパターニングされているので、接続電極Ｅ６３，Ｅ７３が設計寸法よりも細くなったり、または欠落してしまったりするのが防止される。
【０１０８】
ここで、上記のように、レジストＲ６，Ｒ７の接続電極成形部分Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃの表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａとの接続部分Ｒ６Ｃａ，Ｒ７Ｃａの幅を大きくした場合でも、この接続部分Ｒ６Ｃａ，Ｒ７Ｃａの位置が、表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａの延びる方向に対してずれた位置にあるため、エッチング工程の後の焼成工程において、いわゆる焼成ダレにより、隣接する電極間が短絡してしまう虞はない。
【０１０９】
なお、図１０には、レジストＲ６，Ｒ７の接続電極成形部分Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃが第１実施例の場合と同様に、表示電極成形部分Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａとの接続側から図示しない引出電極成形部分との接続側方向にその幅が大きくなる形状にパターニングされている例が示されており、これによっても、製造時のエッチング工程において接続電極Ｅ６３，Ｅ７３に成形不良が発生するのが防止されるが、レジストの接続電極成形部分の幅をその全長に亘ってほぼ同じになるようにしてもよく、また、第１実施例において述べたように、接続電極成形部分の引出電極成形部分側の幅を、表示電極成形部分側の幅と同様に大きくなるようにしても良い。
【０１１０】
さらに、第２実施例の場合と同様に各レジストの接続電極成形部分の表示電極成形部分との接続部分を湾曲させたり、第３実施例の場合と同様に、表示電極成形部分と接続電極成形部分との接続部分の交差角度を従来の場合よりも大きくなるように設定しても良い。
【０１１１】
上記実施例における表示パネルの例としては、ガラス基板上にフォトリソグラフィ法を用いて電極が形成されるＰＤＰやＦＥＤ等のあらゆる表示パネルが挙げられ、例えば、ＰＤＰにおいては、行電極対を構成する各行電極が表示電極に該当する。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】従来の表示パネルの電極のパターンを示す説明図である。
【図２】図１の電極の部分拡大図である。
【図３】従来の表示パネルの電極の形成上の問題点を説明するための説明図である。
【図４】従来のパターン形成装置を示す概略構成図である。
【図５】従来のエッチング工程時におけるエッチング液の流れを示す説明図である。
【図６】この発明の第１実施例におけるレジストの形態を示す平面図である。
【図７】この発明の第２実施例におけるレジストの形態を示す平面図である。
【図８】この発明の第３実施例におけるレジストの形態を示す平面図である。
【図９】この発明の第４実施例におけるレジストの形態を示す平面図である。
【図１０】この発明の第５実施例におけるレジストの形態を示す平面図である。
【符号の説明】
【０１１３】
１                            …ガラス基板
Ｅ１                          …表示電極
Ｅ２                          …引出電極
Ｅ３，Ｅ１３，Ｅ２３，Ｅ３３，Ｅ４３，Ｅ５３，Ｅ６３，Ｅ７３
…接続電極
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ７
…レジスト（フォトレジストパターン）
Ｒ１Ａ，Ｒ２Ａ，Ｒ３Ａ，Ｒ４Ａ，Ｒ５Ａ，Ｒ６Ａ，Ｒ７Ａ
…表示電極成形部分
Ｒ１Ｂ，Ｒ２Ｂ                …引出電極成形部分
Ｒ１Ｃ，Ｒ２Ｃ，Ｒ３Ｃ，Ｒ４Ｃ，Ｒ５Ｃ，Ｒ６Ｃ，Ｒ７Ｃ
…接続電極成形部分
Ｍ                            …電極形成材料層
ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４，ｆ５  …エッチング液の流れ
ｗ１，ｗ２，ｗ３ａ，ｗ３ｂ    …電極幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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