(57)【要約】【課題】フィルム基板表面を洗浄するに際して、粘着ラバーロールによる変形を防止して確実に行うようにする。【解決手段】フィルム基板表面洗浄装置（１）において、粘着ラバーロール（５）（５’）と同期して同一方向へ回転する鎮圧輪（１５）によって、フィルム基板（９）に粘着ラバーロール（５）（５’）を回転して当接させた際に生ずる、フィルム基板（９）の粘着ラバーロール（５）（５’）への巻き込みを防止し、表面洗浄に際してフィルム基板の巻回するような変形を抑制し、表面の擦過や折曲等の不具合を防止できる。【選択図】図７  
2006032881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームにおいて、動力により駆動し回転自在に保持される粘着ラバーロール、及びこの粘着ラバーロールの表面に対して密着して回転自在に保持される粘着テープロールから構成され、フィルム基板を、その両面のうち少なくとも一面に対して粘着ラバーロールを当接させつつ搬送して通過させることによって、該フィルム基板の面に付着した塵埃、微粒子等を粘着ラバーロールに転写、除去させ、更にこの粘着ラバーロールに転写、除去された塵埃、微粒子等を最終的に粘着テープロールに転写、除去することで除塵を行うフィルム基板表面洗浄装置において、
フィルム基板の搬送方向を基準として、
該粘着ラバーロールの左右側面に、回転軸を固定しつつ回転自在の鎮圧輪を設け、
該鎮圧輪が、フィルム基板の搬送路に対して粘着ラバーロールと外周面が同一平面にあり、且つ、粘着ラバーロールと径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロールより後側へ突出するように配置されてなるフィルム基板表面洗浄装置。
【請求項２】
フレームにおいて、動力により駆動し回転自在に保持される粘着ラバーロール、及びこの粘着ラバーロールの表面に対して密着して回転自在に保持される粘着テープロールから構成され、フィルム基板を、その両面のうち少なくとも一面に対して粘着ラバーロールを当接させつつ搬送して通過させることによって、該フィルム基板の面に付着した塵埃、微粒子等を粘着ラバーロールに転写、除去させ、更にこの粘着ラバーロールに転写、除去された塵埃、微粒子等を最終的に粘着テープロールに転写、除去することで除塵を行うフィルム基板表面洗浄装置において、
フィルム基板の搬送方向を基準として、
前後に２連の粘着ラバーロールを平行に配置するとともに、各粘着ラバーロールを前後方向への分割溝により、それぞれ一体となる軸を有する複数個の粘着ラバーロール体からなるものとし、且つ、その前後に平行に配置された粘着ラバーロール相互において、各分割溝が前後方向に重複しないよう配置し、
前記２連の粘着ラバーロールの各分割溝において、各粘着ラバーロール体の左右側面に、回転軸位置を固定しつつ回転自在となる鎮圧輪を設け、
該鎮圧輪が、フィルム基板の搬送路に対して粘着ラバーロール体と外周面が同一平面にあり、且つ、粘着ラバーロール体と径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロール体より後側へ突出するように配置されてなるフィルム基板表面洗浄装置。
【請求項３】
フィルム基板の搬送方向を基準として、
粘着ラバーロールの左右側面に前後に一対となる、回転軸を固定しつつ回転自在の鎮圧輪を設け、
該鎮圧輪が、フィルム基板の搬送路に対して粘着ラバーロールと外周面が同一平面にあり、且つ、フィルム基板受入側においては粘着ラバーロールと径方向にその一部を重複するとともに、該粘着ラバーロールより前側へ突出するように配置される一方、フィルム基板排出側においては粘着ラバーロールと径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロールより後側へ突出するように配置されてなる請求項１記載のフィルム基板表面洗浄装置。
【請求項４】
フィルム基板の搬送方向を基準として、
２連の粘着ラバーロールの各分割溝において、各粘着ラバーロール体の左右側面に前後に一対となる、回転軸位置を固定しつつ回転自在となる鎮圧輪を設け、
該鎮圧輪が、フィルム基板の搬送路に対して粘着ラバーロール体と外周面が同一平面にあり、且つ、各粘着ラバーロールのフィルム基板受入側においては、粘着ラバーロール体と径方向にその一部を重複するとともに、該粘着ラバーロール体より前側へ突出するように配置される一方、各粘着ラバーロールのフィルム基板排出側においては、粘着ラバーロール体と径方向にその一部を重複するとともに、該粘着ラバーロール体より後側へ突出するように配置されてなる請求項２記載のフィルム基板表面洗浄装置。
【請求項５】
フィルム基板の搬送方向を基準として、
上記粘着ラバーロールの左右側面に前後に一対となる、回転軸を固定しつつ回転自在に設けられる鎮圧輪、又は２連の粘着ラバーロールの各分割溝において、各粘着ラバーロール体の左右側面に前後に一対となる、回転軸位置を固定しつつ回転自在に設けられる鎮圧輪において、該前後一対となる鎮圧輪の円周面に嵌合溝を周設した上で、該前後一対となる鎮圧輪の円周面に配設された嵌合溝に対して輪状のガイドベルトを張設してなる請求項３又は４記載のフィルム基板表面洗浄装置。
【請求項６】
鎮圧輪を粘着ラバーロールと同一方向へ同期して自転させてなる請求項１乃至５記載のフィルム基板表面洗浄装置。
【請求項７】
粘着テープロールに当接する接触動力輪、該接触動力輪と鎮圧輪との間で両輪に対して同時に当接する動力伝達輪、及び鎮圧輪からなるフィルム基板押勢ユニットにより、粘着ラバーロールの回転を粘着テープロールから接触動力輪及び動力伝達輪を介して鎮圧輪に伝達することにより、鎮圧輪を粘着ラバーロールと同一方向へ同期して自転させてなる請求項６記載のフィルム基板表面洗浄装置。
【請求項８】
フィルム基板押勢ユニットにおいて、動力伝達輪に当接するガイド動力輪と、該ガイド動力輪の軸着されたステーの先端において回転自在に保持された案内輪との間を、ガイド動力輪と案内輪各々の円周方向に設けられた嵌合溝内に嵌着される輪状の案内体により一体に連結してなるガイド体を設けてなる請求項７記載のフィルム基板表面洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、フィルム基板の表面に付着する塵埃、微粒子等を除塵してなるフィルム基板表面洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、基板又はシートの表面に印刷される回路などのファインパターン化が進んでおり、そのため製造工程において基板又はシートの表面に付着することとなる塵埃、微粒子等によって発生する接続不良等の不具合が深刻な問題となっている。そこで、このように回路などを印刷する基板又はシート表面に付着する塵埃、微粒子等を除去するため、例えば、他方で粘着テープロールに密着しつつ回転する粘着ラバーロールを基板又はシートの表面に密着させることにより、その粘着性を以て基板又はシート表面に付着している塵埃、微粒子等の除去を行っているものがある。
【特許文献１】特開２０００−２９１４３７号公報
【０００３】
ところで、これらは、粘着テープロールに密着しつつ回転する粘着ラバーロールをその表面に密着させることによって、基板又はシートの表面に付着している塵埃、微粒子等を除去するものであるが、この場合洗浄しようとする基板又はシートが比較的厚さや硬さのあるものであれば、該基板又はシート自体の有する剛性により、粘着ラバーロールに当接する以前に湾曲してしまっているということもなければ、又、基板又はシートの表面に密着して回転する粘着ラバーロールの粘性によって、基板又はシートが粘着ラバーロールに沿って巻回するような変形を生じることはなく、更には粘着ラバーロールに重量があっても、同様に基板又はシートが粘着ラバーロールに沿って巻回するような変形を生じることはなかった。
【０００４】
しかしながら、その表面に回路等を印刷する基板又はシートにおいては、近年薄肉化が進んで非常に薄いフィルム状となってきている。そのため、従来のように、塵埃、微粒子等を除去するため、重量があって、且つその表面に密着して回転する粘着ラバーロールを、非常に薄い基板又はシート、即ちフィルム基板の表面に対して使用すると、当該フィルム基板が粘着ラバーロールに当接する以前に湾曲してしまっていて、粘着ラバーロールが正確に密着しなくなってしまうだけでなく、該粘着ラバーロールの有する重量や、その表面に付着する塵埃、微粒子等を転写、除去するために必要とする粘着性によって、該フィルム基板が粘着ラバーロールの表面に沿って巻回されるように変形することとなる。そして、該フィルム基板が粘着ラバーロール表面に沿って巻回するように変形を生じると、フィルム基板の表面を洗浄しようとする際に、該表面洗浄装置の粘着ラバーロールに巻き込まれるだけでなく、他の部品に対して接触したり、それらの部品間に挟み込まれてしまうことで、フィルム基板表面に擦過を負わせたり、フィルム基板自体を折曲させてしまう等の不具合を生じさせるものとなる。
【０００５】
従来、洗浄するフィルム基板に生じた湾曲によって、表面洗浄装置内での他の部品への接触や、部品間への挟み込み等が生じた結果、該フィルム基板表面に擦過や折曲等の不具合が生じることを防止するため、粘着ラバーロールの前後等のフィルム基板の搬送路を略閉鎖空間とするガイドを設けることが提案されている。しかし、当該ガイドによってフィルム基板に生じた湾曲が押さえ込まれた場合には、ガイドに接触してそのフィルム基板に擦過の損傷を発生させる危険がある上、該ガイドは、粘着ラバーロールの表面に沿って巻回するように変形するフィルム基板を積極的に平滑にしようとするものではないため、前記ガイドによって、表面洗浄装置内でのフィルム基板の搬送中における他の部品への接触や、部品間への挟み込み等は防止できても、フィルム基板自体が粘着ラバーロール表面に沿って巻回するように変形することは防止しえないものであった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
つまり、本願発明が解決しようとする問題点は、粘着ラバーロールをフィルム基板表面に密着しつつ回転させることによってフィルム基板の表面を洗浄する際に、該フィルム基板が粘着ラバーロールの有する粘性や重量によって、粘着ラバーロールの表面に沿って巻回するように変形してしまう点であり、又、該フィルム基板自体の湾曲を補正して正確に粘着ラバーロールに当接させるためにガイドを設けると、当該ガイドによってフィルム基板が損傷してしまうことである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこでこの発明は、フィルム基板表面洗浄装置において、
フィルム基板の搬送方向を基準として、
該粘着ラバーロールの左右側面に、回転軸を固定しつつ回転自在の鎮圧輪を設け、
該鎮圧輪が、フィルム基板の搬送路に対して粘着ラバーロールと外周面が同一平面にあり、且つ、粘着ラバーロールと径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロールより後側へ突出するように配置されてなるものとする。
従って、フィルム基板排出側においては粘着ラバーロールと径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロールより後側へ突出するように配置されている鎮圧輪が回転自在となっているため、回転する粘着ラバーロールよって表面を洗浄されるフィルム基板が該粘着ラバーロールを通過することで、該粘着ラバーロールの有する重量及び粘着性によって、粘着ラバーロールの表面に沿って巻回するように変形しようとしても、その後側へ突出した鎮圧輪が該フィルム基板を粘着ラバーロールの表面から離れる方向、即ち剥離する方向へフィルム基板を押勢するので、フィルム基板は該粘着ラバーロールの表面に沿って巻回するように変形することはなく、平面状態のまま搬送されるものとなる。
【０００８】
又、それに付加する構成として、
フィルム基板の搬送方向を基準として、
粘着ラバーロールの左右側面に前後に一対となる、回転軸を固定しつつ回転自在の鎮圧輪を設け、
該鎮圧輪が、フィルム基板の搬送路に対して粘着ラバーロールと外周面が同一平面にあり、且つ、フィルム基板受入側においては粘着ラバーロールと径方向にその一部を重複するとともに、該粘着ラバーロールより前側へ突出するように配置される一方、フィルム基板排出側においては粘着ラバーロールと径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロールより後側へ突出するように配置されてなるものとする構成も、より有効である。
すなわち、フィルム基板表面の洗浄に当たっては、先ず、フィルム基板受入側において粘着ラバーロールと径方向にその一部を重複するとともに、該粘着ラバーロールより前側へ突出するように配置されている鎮圧輪が回転自在となっているため、そのフィルム基板の搬送に伴って回転することでフィルム基板上に損傷を与えることなく、搬送されてきたフィルム基板の有する湾曲を押勢し、補正して粘着ラバーロールに正確に送り込むことができることとなる。その上で、フィルム基板排出側においては、前記と同一の結果が得られるものである。
【０００９】
更に、同様にフィルム基板洗浄装置において、
フィルム基板の搬送方向を基準として、
前後に２連の粘着ラバーロールを平行に配置するとともに、各粘着ラバーロールを前後方向への分割溝により、それぞれ一体となる軸を有する複数個の粘着ラバーロール体からなるものとし、且つ、その前後に平行に配置された粘着ラバーロール相互において、各分割溝が前後方向に重複しないよう配置し、
前記２連の粘着ラバーロールの各分割溝において、各粘着ラバーロール体の左右側面に、回転軸位置を固定しつつ回転自在となる鎮圧輪を設け、
該鎮圧輪が、フィルム基板の搬送路に対して粘着ラバーロール体と外周面が同一平面にあり、且つ、粘着ラバーロール体と径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロール体より後側へ突出するように配置されてなるものとしたり、
あるいはそれに付加して、
前記２連の粘着ラバーロールの各分割溝において、各粘着ラバーロール体の左右側面に前後に一対となる、回転軸位置を固定しつつ回転自在となる鎮圧輪を設け、
該鎮圧輪が、フィルム基板の搬送路に対して粘着ラバーロール体と外周面が同一平面にあり、且つ、各粘着ラバーロールのフィルム基板受入側においては、粘着ラバーロール体と径方向にその一部を重複するとともに、該粘着ラバーロール体より前側へ突出するように配置される一方、各粘着ラバーロールのフィルム基板排出側においては、粘着ラバーロール体と径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロール体より後側へ突出するように配置されてなるものとする構成が考えられる。
当該構成においては、１本の粘着ラバーロールに設けられた分割溝部分ではフィルム基板の洗浄を行い得ないものの、２連となった粘着ラバーロールを分割溝部分が前後方向に重複しないように平行に配置することにより、幅広のフィルム基板に対してもその全面にわたり正確にフィルム基板を粘着ラバーロールに当接させることができる上、フィルム基板は粘着ラバーロールの表面に沿って巻回するように変形することはなく、平面状態のまま搬送されるものとなる。又、各粘着ラバーロールの前側に配置された鎮圧輪により、湾曲したフィルム基板であっても、該鎮圧輪による押勢によって補正されて平面化され、正確に粘着ラバーロールに送り込まれることとなる。
【００１０】
その上、上記構成に付加して、
フィルム基板の搬送方向を基準として、
上記粘着ラバーロールの左右側面に前後に一対となる、回転軸を固定しつつ回転自在に設けられる鎮圧輪、又は２連の粘着ラバーロールの各分割溝において、各粘着ラバーロール体の左右側面に前後に一対となる、回転軸位置を固定しつつ回転自在に設けられる鎮圧輪において、該前後一対となる鎮圧輪の円周面に嵌合溝を周設した上で、該前後一対となる鎮圧輪の円周面に配設された嵌合溝に対して輪状のガイドベルトを同時に嵌合させることにより張設することで、粘着ラバーロールを通過するフィルム基板は、該鎮圧輪による押勢と共に、常に該ガイドベルトにより押圧され、又は該ガイドベルトにより挟持されることとなる。そのため、フィルム基板自体が変形していても、鎮圧輪による押勢により補正され平面化すると共に、更に該ガイドベルトにより当該平面状態が維持されることとなって、円滑に粘着ラバーロールを通過することとなるものである。
また、粘着ラバーロール又は分割溝により形成される粘着ラバーロール体の左右側面には、前後一対となる鎮圧輪と共に該前後一対となる鎮圧輪にガイドベルトが張設されていることから、例えば粘着ラバーロール間を通過するフィルム基板の形状が異形であったり、粘着ラバーロール通過方向に対して多少斜行することとなっても、フィルム基板の一部が該前後一対の鎮圧輪に張設されるガイドベルトにより押圧又は挟持されることで該フィルム基板の粘着ラバーロールへ送り込まれる姿勢が安定するので、フィルム基板を正確に粘着ラバーロールへと送り込むことができる。
【００１１】
又、鎮圧輪を粘着ラバーロールと同一方向へ同期して自転させることにより、フィルム基板が鎮圧輪に接触した際に、該鎮圧輪によって生じうるフィルム基板に対する損傷を最小限にしうるとももに、鎮圧輪が粘着ラバーロールと同一方向へ同速度で回転するので、フィルム基板が粘着ラバーロールを通過する際には、直接フィルム基板に密着することとなる部品に速度差が生じることがないので、該フィルム基板に対して部分的な引張等による損傷を与えることなく、円滑にフィルム基板は粘着ラバーロールを通過することができることとなる。
なお、粘着ラバーロールの左右側面において設けられる、前後一対の鎮圧輪の間に張設されるガイドベルトにより、前後一対の鎮圧輪の回転速度は確実に等速となるので、粘着ラバーロールを挟んで前後一対の鎮圧輪により押圧又は挟持されるフィルム基板に対して該鎮圧輪による引張方向への応力が発生することはなく、フィルム基板に対して損傷を与えることなく粘着ラバーロールを円滑且つ確実に通過させることができるものである。
【００１２】
更に、粘着テープロールに当接する接触動力輪、該接触動力輪と鎮圧輪との間で両輪に対して同時に当接する動力伝達輪、及び鎮圧輪からなるフィルム基板押勢ユニットにより、粘着ラバーロールの回転を粘着テープロールから接触動力輪及び動力伝達輪を介して鎮圧輪に伝達することにより、鎮圧輪を粘着ラバーロールと同一方向へ同期して容易に自転させることができる上、それに付加して、動力伝達輪に当接するガイド動力輪と、該ガイド動力輪の軸着されたステーの先端において回転自在に保持された案内輪との間を、ガイド動力輪と案内輪各々の円周方向に設けられた嵌合溝内に嵌着される輪状の案内体により一体に連結してなるガイド体を設ければ、フィルム基板が粘着ラバーロールによって洗浄されるに際し、より一層、正確にフィルム基板を粘着ラバーロールに当接させることができる上、フィルム基板は粘着ラバーロールの表面に沿って巻回するように変形することがなく、しかもフィルム基板に対して部分的な引張等による損傷を与えることなく、円滑にフィルム基板が粘着ラバーロールを通過することができることとなる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明のフィルム基板洗浄装置は、洗浄すべき対象物であるフィルム基板が、それ自体湾曲していてもフィルム基板に対して損傷を与えることなく押勢して、正確に粘着ラバーロールに送り込めるとともに、重量物であって回転する粘着ラバーロールに挟まれて圧力を受けることで発生する、フィルム基板の粘着ラバーロールに沿って巻回するような変形を押勢することによって積極的に抑制することで、薄肉化したフィルム基板洗浄の際に生じやすい該表面洗浄装置の他の部品との擦過等の不具合を確実に防止し、簡易且つ確実にフィルム基板の表面洗浄を行うことができるようにする優れた効果を有するものである。
【実施例１】
【００１４】
図１に示すものは、この発明の実施例であるフィルム基板表面洗浄装置（１）であり、このフィルム基板表面洗浄装置（１）は、フレーム（２）に対して、操作パネル（３）により操作可能となるモーター（４）により回転自在となって保持される上下の粘着ラバーロール（５）（５’）と、この上下の粘着ラバーロール（５）（５’）の表面に対してそれぞれ上下方向から密着するようにアダプター（７）（７’）を介して回転自在に取り付けられた上下の粘着テープロール（６）（６’）から構成される。
ここで、被洗浄物であるフィルム基板（９）は、上下の粘着ラバーロール（５）（５’）間に形成される空隙（５ａ）に対してベルト搬送部（８）により搬送されることで、その両面に粘着ラバーロール（５）（５’）を当接させつつ通過するものである。その結果、該フィルム基板（９）の表面に付着している塵埃、微粒子等は、まずこの粘着ラバーロール（５）（５’）に転写、吸着されるものとなる。そして、該粘着ラバーロール（５）（５’）に転写、吸着されたフィルム基板（９）の表面に付着していた塵埃、微粒子等は、該粘着ラバーロール（５）（５’）に上下方向から密着している粘着テープロール（６）（６’）へと最終的に転写、吸着されることで、フィルム基板（９）の表面の洗浄は終了するものである。
【００１５】
尚、この発明の実施例におけるフィルム基板表面洗浄装置（１）においては、上下の各粘着ラバーロール（５）（５’）はそれぞれ平行に２連配置され、その各２連の粘着ラバーロール（５）（５’）に対応して、粘着テープロール（６）（６’）も平行に２連配置されている。しかも、各粘着ラバーロール（５）（５’）は、その軸方向に垂直に複数の分割溝（５ｂ）を設けることにより、それぞれ一本の回転軸（５ｄ）（５ｄ’）に複数の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）が連なって形成された上、平行に２連配置された粘着ラバーロール（５）（５’）の分割溝（５ｂ）の位置が重複しないように、位置設定がなされている（図６参照）。
【００１６】
そして、この発明の実施例であるフィルム基板表面洗浄装置（１）においては、その内部に、上下方向に互いに対向するように各粘着ラバーロール（５）（５’）の分割溝（５ｂ）に配置されるフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）が付設されているものである（図３参照）。
即ち、該フィルム基板押勢ユニット（１０）は、一つの支持部材（１１）において、フィルム基板押勢部（１２）とフィルム基板ガイド体（１７）から構成されるものであって、
該フィルム基板押勢部（１２）は、Ｌ字形ステー（１３）上において、互いに当接するように配置される、粘着テープロール（６）に当接する接触動力輪（１４）、フィルム基板（９）を密着しつつ押勢してなる鎮圧輪（１５）及び該接触動力輪（１４）と鎮圧輪（１５）との間で両輪に対して同時に当接する動力伝達輪（１６）からなるものであって、該Ｌ字形ステー（１３）は、支持部材（１１）の先端とＬ字形ステー（１３）の角部（１３’）とを一体に貫通する鎮圧輪（１５）の回転軸（１５’）により回転自在に、且つ、支持部材（１１）の略中央部とＬ字形ステー（１３）の横部先端に回転自在に保持されたガイド動力輪（１８）の回転軸とに掛け渡されたバネ（１２’）により弾撥自在に一体に取り付けられている。又、接触動力輪（１４）はＬ字形のステー（１３）の上部先端に回転自在に保持される。
一方、該フィルム基板ガイド体（１７）は、前記動力伝達輪（１６）に当接するとともに、前記Ｌ字形ステー（１３）の横部先端に回転自在に保持されたガイド動力輪（１８）と、該ガイド動力輪（１８）の回転軸によって前記Ｌ字形ステー（１３）と一体となったステー（１９）の先端に回転自在に保持された案内輪（２０）並びに、該ガイド動力輪（１８）と案内輪（２０）との間をガイド動力輪（１８）と案内輪（２０）各々の円周方向に設けられた嵌合溝（２１）（２２）内に嵌着される輪状の案内体（２３）よりなるものである。
そして、このフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）は、前述の通り、各粘着ラバーロール（５）（５’）の各分割溝（５ｂ）において、前後に一対となるよう配置されるが、フィルム基板（９）の搬送方向を基準として、２連の粘着ラバーロール（５）（５’）のそれぞれにつき、前側すなわちフィルム基板（９）受入側に設置されたフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）においては、前記鎮圧輪（１５）が、フィルム基板（９）の搬送路に対して粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と外周面が同一平面にあり、且つ、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と径方向にその一部を重複するとともに、該粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）より前側へ突出するように配置されるのに対し、後側すなわちフィルム基板（９）排出側に設置されたフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）においては、前記同様、鎮圧輪（１５）が、フィルム基板（９）の搬送路に対して粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と外周面が同一平面にあり、且つ、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）より後側へ突出するように配置されて、一対となる。
【００１７】
そのため、フィルム基板（９）の表面の洗浄に当たっては、先ず、モーター（４）によって各粘着ラバーロール（５）（５’）が回転すると、その回転が各粘着ラバーロール（５）（５’）に当接する各粘着テープロール（６）（６’）に伝達され、更に、各粘着テープロール（６）（６’）に当接する各フィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）の接触動力輪（１４）に伝達される。そして、その接触動力輪（１４）の回転は、動力伝達輪（１６）を介して鎮圧輪（１５）に伝達されるとともに、同時にガイド動力輪（１８）へも伝達されることとなる。すなわち、鎮圧輪（１５）が粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度に同期し、且つ、同一方向へ回転することとなるだけでなく、同時に、ガイド動力輪（１８）も粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度に同期し、且つ同一方向へ回転することから、該ガイド動力輪（１８）と案内輪（２０）との間に渡された輪状の案内体（２３）も粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度と同期して同一方向へ回転することとなる。
このため、各フィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）のフィルム基板ガイド体（１７）が粘着ラバーロール（５）（５’）の前後方向へ突出して、その案内体（２３）が粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度と同期して同一方向へ回転していることから、ベルト搬送部（８）により搬送されてきた、あるいは前側の粘着ラバーロール（５）（５’）より排出されたフィルム基板（９）に湾曲が生じていたとしても、前側に設置されたフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）の案内体（２３）がフィルム基板（９）を搬送しつつ損傷することなく粘着ラバーロール（５）（５’）へ正確に導き、更に、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）より前側へ突出するように配置され、しかも粘着ラバーロール（５）（５’）と同期して同一方向へ回転する前側のフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）の鎮圧輪（１５）が、フィルム基板（９）が湾曲していても、それを押勢して平面にしつつ粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）へ導き、又、同時に、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）より後側へ突出するように配置され、しかも粘着ラバーロール（５）（５’）と同期して同一方向へ回転する後側のフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）の鎮圧輪（１５）が、フィルム基板（９）を粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）から剥離する方向へ押勢することにより、粘着ラバーロール（５）（５’）によってフィルム基板（９）の表面を洗浄しても、該フィルム基板（９）が粘着ラバーロール（５）（５’）に巻き付くことが防止される。しかも、当該後側の粘着ラバーロール（５）（５’）より排出されたフィルム基板（９）は、後側の粘着ラバーロール（５）（５’）と同期して同一方向へ回転する後側のフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）の案内体（２３）により、何等の損傷を受けることなく次工程へ搬送するベルト搬送部（８）へ導かれる。
【００１８】
なお、粘着ラバーロール（５）（５’）に対するフィルム基板（９）の剥離性を向上させるために、分割溝（５ｂ）を有する複数の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）よりなる粘着ラバーロール（５）（５’）として、フィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）を該分割溝（５ｂ）に配置しているため、該分割溝（５ｂ）の位置においては粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）とフィルム基板（９）の表面との密着は不可能となって表面洗浄をすることができない。そのため、２連となって前後方向に平行に並設される粘着ラバーロール（５）（５’）は、相互にその分割溝（５ｂ）の位置が、フィルム基板搬送方向に互いにずれるように配置されることが必要となる。
【００１９】
又、フィルム基板押勢ユニット（１０）は、支持部材（１１）によってフレーム（２）の一端に固定される。その際、鎮圧輪（１５）は前述のように設定された位置で回転するよう、その回転軸位置は固定される必要があるものの、粘着テープロール（６）（６’）と接触してその回転を伝達する接触動力輪（１４）は、その当接する粘着テープロール（６）（６’）の径長の変化に関わらず、常に粘着テープロール（６）（６’）に当接する必要がある。そのため、支持部材（１１）とＬ字形ステー（１３）とは、支持部材（１１）の先端とＬ字形のステー（１３）の角部（１３’）とを一体に貫通する回転軸（１５’）により回転自在に保持されるだけでなく、支持部材（１１）の略中央部と、Ｌ字形ステー（１３）の横部先端に回転自在に保持されたガイド動力輪（１８）の回転軸とに掛け渡されたバネ（１２’）により弾撥自在に保持されているのである。すなわち、鎮圧輪（１５）が支持部材（１１）の先端に設置されることでその回転軸位置が固定されるとともに、前記バネ（１２’）の弾撥によって接触動力輪（１４）は常に粘着テープロール（６）（６’）側へ押勢され、粘着テープロール（６）（６’）の径長の変化に関わらず、常に粘着テープロール（６）（６’）に当接することができる。
【００２０】
また、この発明の実施例であるフィルム基板表面洗浄装置（１）のフィルム基板押勢ユニット（１０）を構成するフィルム基板押勢部（１２）の鎮圧輪（１５）は、フィルム基板（９）を円滑に搬送することができるように、直接フィルム基板（９）と当接することとなる粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と同一の回転速度で回転することが要求されるものである。そのため、上記フィルム基板押勢部（１２）の接触動力輪（１４）が、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）に上下方向に密着することとなる粘着テープロール（６）（６’）に当接して回転することで、フィルム基板押勢ユニット（１０）を構成するフィルム基板押勢部（１２）の鎮圧輪（１５）等も含めて粘着テープロール（６）（６’）、すなわち粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度と同期させている。しかしながら、互いに当接することとなる粘着テープロール（６）（６’）と接触動力輪（１４）との間で十分な摩擦力が得られない場合には、両者の間に回転速度差が生じ、その結果被洗浄物であるフィルム基板（９）の搬送が円滑に行えなくなるおそれがある。そこで、接触動力輪（１４）と粘着テープロール（６）（６’）とを当接することで回転を得るのではなく、粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度を別のセンサーにより検知して、そのセンサーにより検知した回転速度に応じてモーター等の独自の動力源により鎮圧輪（１５）を回転させることとしても良いものである。
【００２１】
その上、この発明の実施例であるフィルム基板表面洗浄装置（１）において使用される粘着ラバーロール（５）（５’）には、例えば絶縁性材料であるシリコンゴム等が使用されるので、洗浄した後のフィルム基板（９）に電荷が残留しないように、洗浄前後のフィルム基板（９）の表面を電気的に中和させ、塵埃、微粒子等や不必要な他の部品との接触を防止するために、コロナ放電を利用する除電バー（２４）を配置すると良いものである。
【００２２】
なお、この発明の実施例におけるフィルム基板表面洗浄装置（１）を構成する粘着ラバーロール（５）（５’）においては、分割溝（５ｂ）を設けた複数の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）よりなるものとしたが、被洗浄物であるフィルム基板（９）の幅が狭く、粘着ラバーロール（５）（５’）自体の幅も狭く設定されている場合には、単一の円柱形状のものでもよい。その場合には、粘着ラバーロール（５）（５’）を２連とする必要はなく、１本の粘着ラバーロール（５）（５’）の側面に前後方向に一対のフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）を設置すれば足りる。
【００２３】
この発明の実施例であるフィルム基板表面洗浄装置（１）は以上の構成を具えるので、フィルム基板（９）の表面洗浄は次のような過程を経て行われるものである（図７参照）。
まず、被洗浄物であるフィルム基板（９）がベルト搬送部（８）によって上下粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間に形成される空隙（５ａ）方向へと搬送されると、前側の粘着ラバーロール（５）（５’）の分割溝（５ｂ）に設置された、互いに上下方向に対向するように配置されたフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）の内、前側のフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）の各フィルム基板ガイド体（１７）に設けられた回転する案内体（２３）により、フィルム基板（９）はフィルム基板押勢部（１２）の鎮圧輪（１５）間の空隙（１５ａ）に誘導されるものとなる。即ち、該フィルム基板（９）は、フィルム基板ガイド体（１７）の回転している輪状の案内体（２３）に当接することで、該案内体（２３）の回転につれて、前側の上下に設けられたフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）のフィルム基板押勢部（１２）の鎮圧輪（１５）間方向に案内されるものとなる。
そして、該フィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）を構成するフィルム基板押勢部（１２）の鎮圧輪（１５）間を通過したフィルム基板（９）は、該鎮圧輪（１５）によって押勢されて平面化しつつ、該鎮圧輪と（１５）と粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）とが径方向にその一部を重複するように配置されているので、そのまま前側の粘着ラバーロール体（５）（５’）の空隙（５ａ）へと導かれるものとなる。その場合、前側の粘着ラバーロール（５）（５’）によって一旦表面洗浄を終了したフィルム基板（９）は、前側の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）の重量及び粘着性、或いは該粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）が密着することでの洗浄の際の回転により、該粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）に沿って巻回するように変形しようとすることがある。ところが、この粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と径方向にその一部が重複するように、後側のフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）を構成するフィルム基板押勢部（１２）の鎮圧輪（１５）が配置されているので、該鎮圧輪（１５）が、フィルム基板（９）が粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）に沿って巻回しようとするのを押勢することにより防止して、フィルム基板（９）を粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）から引き剥がすので、フィルム基板（９）が上記のように変形してしまうことを積極的に抑制することができるものである。つまり、洗浄を終えたフィルム基板（９）は該鎮圧輪（１５）によって押勢されて粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）から引き剥がされ、平面のままで送出されるので、該表面洗浄装置（１）内において他の部品と接触して擦過や折曲等の不具合を防止することができるものとなる。
そして、前側の粘着ラバーロール（５）（５’）によってその表面を除塵・洗浄されたフィルム基板（９）が、粘着ラバーロール（５）（５’）から排出された際に再び湾曲することがあっても、その前側の粘着ラバーロール（５）（５’）の分割溝（５ｂ）に設置された後側のフィルム基板押勢ユニット（１０）（１０’）を構成するフィルム基板ガイド体（１７）の回転している輪状の案内体（２３）に当接することで、その排出並びに後側の粘着ラバーロール（５）（５’）への搬送が円滑になされることとなる。
このように、フィルム基板（９）は前側の粘着ラバーロール（５）（５’）によって、その分割溝（５ｂ）部分を除いて除塵されるので、引き続きその分割溝（５ｂ）部分を前側の粘着ラバーロール（５）（５’）とはずらせた後側の粘着ラバーロール（５）（５’）により同様の作業を繰り返し、最終的に後側の粘着ラバーロール（５）（５’）から後側へ排出されて、該表面洗浄装置（１）の後側のベルト搬送部（８）により次工程の装置へと搬送されることとなる。
同時に、フィルム基板押勢部（１２）の鎮圧輪（１５）だけでなく、フィルム基板ガイド体（１７）の回転している輪状の案内体（２３）も粘着ラバーロール（５）（５’）と同一方向に同期して回転していることから、フィルム基板（９）に同時に接触する可能性のある部材全てが同一方向に同期して移動していることとなるため、フィルム基板（９）に対して局部的な引張等の応力が加わることによる損傷を与えることなく、フィルム基板（９）を上下の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間において円滑に搬送し、洗浄することができる。
【実施例２】
【００２４】
図８乃至図１２において示すものは、この発明の実施例２のフィルム基板表面洗浄装置の要部であるフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）の設置状況等であり、この発明の実施例２であるフィルム基板表面洗浄装置は、実施例１におけるフィルム基板表面洗浄装置（１）の場合と同様に、フレーム（図示せず）に対して、操作パネル（図示せず）により操作可能となるモーター（図示せず）により回転自在となって保持される上下の粘着ラバーロール（５）（５’）と、この上下の粘着ラバーロール（５）（５’）の表面に対してそれぞれ上下方向から密着するようにアダプター（図示せず）を介して回転自在に取り付けられた上下の粘着テープロール（６）（６’）から構成されるものである。
ここで、被洗浄物であるフィルム基板（９）は、実施例１のフィルム基板表面洗浄装置（１）の場合と同様に、上下の粘着ラバーロール（５）（５’）間に形成される空隙（５ａ）に対してベルト搬送部（図示せず）により搬送されることで、その両面に粘着ラバーロール（５）（５’）を当接させつつ通過するものである。その結果、該フィルム基板（９）の表面に付着している塵埃、微粒子等は、まずこの粘着ラバーロール（５）（５’）に転写、吸着されるものとなる。そして、該粘着ラバーロール（５）（５’）に転写、吸着されたフィルム基板（９）の表面に付着していた塵埃、微粒子等は、該粘着ラバーロール（５）（５’）に上下方向から密着している粘着テープロール（６）（６’）へと最終的に転写、吸着されることで、フィルム基板（９）の表面の洗浄は終了するものである。
【００２５】
更に、この発明の実施例２のフィルム基板表面洗浄装置においても、実施例１のフィルム基板表面洗浄装置（１）の場合と同様に、上下の各粘着ラバーロール（５）（５’）はそれぞれ平行に２連配置され、その各２連の粘着ラバーロール（５）（５’）に対応して、粘着テープロール（６）（６’）も平行に２連配置されている（図８参照）。しかも、各粘着ラバーロール（５）（５’）は、その軸方向に垂直に複数の分割溝（５ｂ）を設けることにより、それぞれ一本の回転軸（５ｄ）に複数の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）が連なって形成された上、平行に２連配置された粘着ラバーロール（５）（５’）の分割溝（５ｂ）の位置が重複しないように、位置設定がなされている（図１１参照）。
【００２６】
そして、この発明の実施例２のフィルム基板表面洗浄装置においては、実施例１のフィルム基板表面洗浄装置（１）の場合と同様に、その内部に、上下方向に互いに対向するように各粘着ラバーロール（５）（５’）の分割溝（５ｂ）に配置されるフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）が付設されているものである（図９及び図１０参照）。
ここで、該フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）は、一つの支持部材（１１’）において、一枚のＬ字形ステー（１３’）上に配置されるフィルム基板押勢部（１２ａ’）とフィルム基板ガイド体（１７’）から構成されるものである。
まず、該フィルム基板押勢部（１２ａ’）は、実施例１におけるフィルム基板押勢部（１２）とは異なり、図９において示すように、該Ｌ字形ステー（１３’）上において、互いに当接するように配置され、フィルム基板（９）を密着しつつ押勢してなる鎮圧輪（１５”）及び該鎮圧輪（１５”）に対して当接して動力を伝達してなる動力輪（２５）からなるものである。又、該鎮圧輪（１５”）に当接して動力を伝達してなる動力輪（２５）は、Ｌ字形ステー（１３’）を貫通する回転自在の回転軸（２６）に軸着されるものであって、該動力輪（２５）が軸着される回転軸（２６）と同軸上に軸着されるギア（図示せず）と、粘着ラバーロール（５）（５’）の回転軸（５ｄ）と同軸上に軸着されたギア（図示せず）との噛合により、粘着ラバーロール（５）（５’）の動力が該動力輪（２５）へと伝達されるものである。従って実施例１のフィルム基板表面洗浄装置（１）の場合とな異なり、粘着テープロール（６）（６’）に当接することによって鎮圧輪（１５）の動力を得る接触動力輪（１４）は不要となるものである。
一方、該フィルム基板ガイド体（１７’）は、前記動力輪（２５）に当接するとともに、前記Ｌ字形ステー（１３’）に回転自在に保持されたガイド動力輪（１８’）と、前記Ｌ字形ステー（１３’）の先端部（１９’）において該ガイド動力輪（１８’）と同側に回転自在に保持された案内輪（２０’）並びに、該ガイド動力輪（１８’）と同軸にＬ字形ステー（１３’）の両側に設けられた円柱状のガイド動力体（１８’ａ）と、前記案内輪（２０’）と同軸にステー（１９’）の両側に設けられた円柱状の案内輪体（２０’ａ）とからなるものであり、前記ガイド動力体（１８’ａ）と該案内輪体（２０’ａ）との間には、ガイド動力輪体（１８’ａ）と案内輪体（２０’ａ）各々の円周面方向に設けられた嵌合溝（２１’）（２２’）内に嵌着される輪状の案内体（２３’）が張設されている（実施例２においては、該Ｌ字形ステー（１３’）の鎮圧輪（１５”）の設けられた側の側面部に３本、他方側面部に２本の合計５本の案内体（２３’）が張設されている。）。従って、フィルム基板（９）は上下方向から多数の案内体（２３’）によって保持されるのでその変形は確実に抑えられ、該フィルム基板表面洗浄装置内においてフィルム基板（９）は粘着ラバーロール（５）（５’）内外へと円滑に搬送されるものとなる（図１０参照）。
ここで、該Ｌ字形ステー（１３’）の先端部（１９’）において、ガイド動力輪（１８’）と案内輪（２０’）との間に、それら両輪（１８’）（２０’）と同側に、回転自在な複数の運搬補助輪（３２）が取り付けられている。すなわち、ガイド動力体（１８’ａ）と該案内輪体（２０’ａ）との間に張設された案内体（２３’）が、ガイド動力輪（１８’）と案内輪（２０’）の各輪状部分の存在している位置には張設され得ないことから、フィルム基板（９）が該案内体（２３’）に挟持されて搬送される際に、該フィルム基板（９）の一端が湾曲するように変形すると、そのガイド動力輪（１８’）と案内輪（２０’）の各輪状部分の間隙から、それらガイド動力輪（１８’）や案内輪（２０’）に巻き込まれる虞れがあるため、この運搬補助輪（３２）により、フィルム基板（９）を上下方向から支承してその変形を阻止するものであって、該フィルム基板（９）は、該案内体（２３’）を張設するフィルム基板ユニット（１０ａ）（１０ａ’）のＬ字形ステー（１３’）やその他の部材と接触することなく円滑に案内体（２３’）上を搬送されることになるものである。
そして、このフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）は、実施例１と同様に、各粘着ラバーロール（５）（５’）の各分割溝（５ｂ）において、前後に一対となるよう配置され、フィルム基板（９）の搬送方向を基準として、２連の粘着ラバーロール（５）（５’）のそれぞれにつき、前側すなわちフィルム基板（９）受入側に設置されたフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）においては、前記鎮圧輪（１５”）が、フィルム基板（９）の搬送路に対して粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と外周面が同一平面にあり、且つ、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と径方向にその一部を重複するとともに、該粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）より前側へ突出するように配置されるのに対し、後側すなわちフィルム基板（９）排出側に設置されたフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）においては、前記同様、鎮圧輪（１５”）が、フィルム基板（９）の搬送路に対して粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と外周面が同一平面にあり、且つ、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と径方向にその一部を重複するとともに、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）より後側へ突出するように配置されて、一対となっている。
ところで、実施例２の表面洗浄装置では、このように粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）の側方で前後一対に配置されることとなる鎮圧輪（１５”）において、該鎮圧輪（１５”）の円周面に嵌合溝（２７）を周設した上、該前後一対となる鎮圧輪（１５”）の嵌合溝（２７）に対して輪状のガイドベルト（２８）を同時に嵌合させ、粘着ラバーロール（５）（５’）の回転軸（５ｄ）との緩衝を防ぐように迂回させつつテンションナー（３１）を介して張設してなるものである。ここで、前後一対となる鎮圧輪（１５”）間においてガイドベルト（２８）を張設するに際して、テンションナー（３１）を介することとしたのは、連続して当該装置を作動させた場合に、該ガイドベルト（２８）において弛みが発生し易いためである。このガイドベルト（２８）の弛みは、鎮圧輪（１５”）の嵌合溝（２７）からの該ガイドベルト（２８）自身の脱離や、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間を通過するフィルム基板（９）に対する変形を防止するための挟持力不足を招く原因となるものである。従って、該鎮圧輪（１５”）間で該ガイドベルト（２８）を張設するに当たってテンションナー（３１）を介することで、上記ガイドベルト（２８）の弛みを解消しつつ適度な張力を持たせて、該ガイドベルト（２８）自身の鎮圧輪（１５”）の嵌合溝（２７）からの脱離や、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間を通過するフィルム基板（９）に対する変形を防止するための挟持力不足を防止することができるものとなる。
尚、フィルム基板（９）の搬送及び粘着ラバーロール（５）（５’）からの引き剥がしの円滑な作動のために、前後一対となる鎮圧輪（１５”）にそれぞれ嵌合溝（２７）を設けてガイドベルト（２８）を張設した際、その嵌合溝（２７）でのガイドベルト（２８）の表面位置と、鎮圧輪（１５”）の嵌合溝（２７）以外の部分の表面位置とが面一となるように、その嵌合溝（２７）の深さ及びガイドベルト（２８）の厚さが調節されているが、そのガイドベルト（２８）として弾性に富んだ素材が使用されるならば、嵌合溝（２７）の深さよりもガイドベルト（２８）の厚さが若干厚くなってもよい。
【００２７】
以上より、フィルム基板（９）の表面の洗浄は、次のように行われることとなる。まず基本的には実施例１のフィルム基板表面洗浄装置（１）における洗浄と同様の手段で行われるものである。
即ち、モーターによって各粘着ラバーロール（５）（５’）が回転すると、その回転が各粘着ラバーロール（５）（５’）に当接する各粘着テープロール（６）（６’）に伝達される一方で、該粘着ラバーロール（５）（５’）が軸着される回転軸（５ｄ）に軸着されたギア（図示せず）に噛合するギア（図示せず）を介して、そのギアを軸着する回転軸（２６）から動力輪（２５）へ動力が伝達されることとなる。そして、その動力輪（２５）の回転は、該動力輪と当接する鎮圧輪（１５”）に伝達されるとともに、同時にガイド動力輪（１８’）へも伝達されることとなる。すなわち、鎮圧輪（１５”）が粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度に同期し、且つ、同一方向へ回転することとなるだけでなく、同時に、ガイド動力輪（１８’）も粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度に同期し、且つ同一方向へ回転することから、該ガイド動力輪体（１８’ａ）と案内輪体（２０’ａ）との間に渡された輪状の案内体（２３’）も粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度と同期して同一方向へ回転することとなる。
このため、各フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）のフィルム基板ガイド体（１７’）が粘着ラバーロール（５）（５’）の前後方向へ突出して、該案内体（２３’）が粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度と同期して同一方向へ回転していることから、ベルト搬送部により搬送されてきた、あるいは前側の粘着ラバーロール（５）（５’）より排出されたフィルム基板（９）に湾曲が生じていたとしても、前側に設置されたフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の案内体（２３’）が、運搬補助輪（３２）と共に、フィルム基板（９）を搬送しつつ損傷することなく粘着ラバーロール（５）（５’）へ正確に導くこととなる。更に、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）より前側へ突出するように配置され、しかも粘着ラバーロール（５）（５’）と同期して同一方向へ回転する前側のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の鎮圧輪（１５”）は、フィルム基板（９）が湾曲していても、それを押勢して平面にしつつ粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）へ導き、又、同時に、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）より後側へ突出するように配置され、しかも粘着ラバーロール（５）（５’）と同期して同一方向へ回転する後側のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の鎮圧輪（１５”）は、フィルム基板（９）を粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）から剥離する方向へ押勢するので、粘着ラバーロール（５）（５’）によってフィルム基板（９）の表面を洗浄しても、該フィルム基板（９）が粘着ラバーロール（５）（５’）に巻き付くことが防止される。しかも、当該後側の粘着ラバーロール（５）（５’）より排出されたフィルム基板（９）は、後側の粘着ラバーロール（５）（５’）と同期して同一方向へ回転する後側のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の案内体（２３’）により、何等の損傷を受けることなく次工程へ搬送するベルト搬送部へ導かれるものとなる。
そして、実施例２のフィルム基板表面洗浄装置では、特に、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）の前後一対に配置されたフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の鎮圧輪（１５”）間において、輪状のガイドベルト（２８）を張設しているので、フィルム基板（９）は、粘着ラバーロール（５）（５’）を通過する際に常に上下方向から該ガイドベルト（２８）によって挟持されることとなる。そして、該ガイドベルト（２８）は鎮圧輪（１５”）と同期して同一方向へ同一速度で回転するので、フィルム基板（９）は粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）による洗浄中、決して粘着ラバーロール（５）（５’）を巻回するように変形することはなく、平面化した状態のままで該粘着ラバーロール（５）（５’）を通過するものとなる。特に、フィルム基板（９）の該粘着ラバーロール（５）（５’）へと送り込まれる方向が斜行していたり、フィルム基板（９）自体の形状が異形であったりして、フィルム基板（９）にその搬送方向に対して鋭角部が存在していた場合には、その鋭角部が湾曲あるいは折曲し易い上、その湾曲あるいは折曲部分が、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）による洗浄中に、粘着ラバーロール（５）（５’）を巻回する端緒となり易いものであるが、フィルム基板（９）のどこか一部分が該ガイドベルト（２８）に挟持されれば、フィルム基板（９）は鎮圧輪（１５”）により平面化される一方、このガイドベルト（２８）により平面状態が保持されつつ、確実に粘着ラバーロール（５）（５’）へと送り込まれ排出されるものとなる。従って、よりフィルム基板（９）への損傷は起こりにくいものとなる。
【００２８】
なお、粘着ラバーロール（５）（５’）に対するフィルム基板（９）の剥離性を向上させるために、分割溝（５ｂ）を有する複数の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）よりなる粘着ラバーロール（５）（５’）として、フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を該分割溝（５ｂ）に配置しているため、該分割溝（５ｂ）の位置においては粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）とフィルム基板（９）の表面との密着は不可能となって、表面洗浄をすることができないものとなる。そのため、２連となって前後方向に平行に並設される粘着ラバーロール（５）（５’）は、相互にその分割溝（５ｂ）の位置が、フィルム基板（９）搬送方向に対して互いにずれるように配置されることが必要となることも実施例１と同様である。
【００２９】
また、この発明の実施例２であるフィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を構成するフィルム基板押勢部（１２ａ’）の鎮圧輪（１５”）は、フィルム基板（９）を円滑に搬送することができるように、フィルム基板（９）と直接当接することとなる粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と同一の回転速度で回転することが要求されるものである。そのため、実施例２においては、粘着ラバーロール（５）（５’）の回転軸（５ｄ）に軸着されるギア（図示せず）と、フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を構成する動力輪（２５）の回転軸（２６）に軸着されたギア（図示せず）との噛合により、動力を伝達すると同時に、フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を構成するフィルム基板押勢部（１２ａ’）の鎮圧輪（１５”）と粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度とを同期させているものである。しかしながら、粘着ラバーロール（５）（５’）の回転軸（５ｄ）に軸着されるギア（図示せず）と、フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を構成する動力輪（２５）の回転軸（２６）に軸着されたギア（図示せず）との噛合において、該両ギア（図示せず）の摩耗や破損等により確実な両ギアの噛合が得られないこともあり、そのため両者の間に回転速度差が生じると、フィルム基板（９）の搬送が円滑に行えなくなるおそれがある。そこで、動力輪（２５）と鎮圧輪（１５”）とを当接することで回転を得るのではなく、粘着ラバーロール（５）（５’）の回転速度を別のセンサーにより検知して、そのセンサーにより検知した回転速度に応じてモーター等の独自の動力源により鎮圧輪（１５”）を回転させることとしても良いものである。この点でも実施例１のフィルム基板表面洗浄装置（１）と同様である。
【００３０】
その上、この発明の実施例２であるフィルム基板表面洗浄装置において使用される粘着ラバーロール（５）（５’）にも、例えば絶縁性材料であるシリコンゴム等が使用されるので、洗浄した後のフィルム基板に電荷が残留しないように、洗浄前後のフィルム基板の表面を電気的に中和させ、塵埃、微粒子等や不必要な他の部品との接触を防止するために、実施例１の場合と同様に、コロナ放電を利用する除電バーを配置すると良いものである。
【００３１】
なお、この発明の実施例２おけるフィルム基板表面洗浄装置を構成する粘着ラバーロール（５）（５’）においても、分割溝（５ｂ）を設けた複数の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）よりなるものとしたが、被洗浄物であるフィルム基板（９）の幅が狭く、粘着ラバーロール（５）（５’）自体の幅も狭く設定されている場合には、単一の円柱形状のものでもよい。その場合には、粘着ラバーロール（５）（５’）を２連とする必要はなく、１本の粘着ラバーロール（５）（５’）の側面に前後方向に一対のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を設置すれば足りるものである点で、実施例１のフィルム基板表面洗浄装置（１）と同様である。
【００３２】
また、この発明の実施例２のフィルム基板表面洗浄装置においては、フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を構成するフィルム基板ガイド体（１７’）の複数の案内体（２３’）と粘着ラバーロール（５）（５’）との間には、構造上隙間（２９）が形成されてしまうものである。ところがこの隙間（２９）は、フィルム基板（９）を粘着ラバーロール（５）（５’）へと送り込む、又は粘着ラバーロール（５）（５’）外へ搬出する際に、フィルム基板（９）の端縁を規定の搬送方向ではなく誤った方向へ誘導し、擦過や折曲などの不具合の原因となる。そこで、円滑なフィルム基板（９）の搬送を実現するためには、該隙間（２９）を最小限にする必要がある。そのため、まずフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の部品の小型化を図ることで、案内体（２３’）を粘着ラバーロール（５）（５’）へと接近させて隙間を小さくすることが考えられるが、該フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の部品の小型化はコスト上困難であるため、実施例２に使用するフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）においては、当該隙間（２９）内に回転自在に軸着される補助回転筒（３０）を配置している。この補助回転筒（３０）は、フィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）のＬ字形ステー（１３’）に対して、鎮圧輪（１５”）とは逆の側面に回転自在に設置されている。この結果、該案内体（２３’）によって粘着ラバーロール（５）（５’）へと送り込まれ、又は搬出されるフィルム基板（９）は、該フィルム基板ガイド体（１７’）の複数の案内体（２３’）と粘着ラバーロール（５）（５’）との間に形成される隙間（２９）に落ち込むことなく、補助回転筒（３０）に保持されて、円滑に当該フィルム基板表面洗浄装置内を搬送されることとなるものである。
【００３３】
この発明の実施例２のフィルム基板表面洗浄装置は以上の構成を具えるので、フィルム基板の表面洗浄は次のような過程を経て行われるものである（図１２参照）。
まず、被洗浄物であるフィルム基板（９）がベルト搬送部によって上下の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間に形成される空隙（５ａ）方向へと搬送されると、前側の粘着ラバーロール（５）（５’）の分割溝（５ｂ）に設置された、互いに上下方向に対向するように配置されたフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の内、前側のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の各フィルム基板ガイド体（１７’）に設けられた回転する案内体（２３’）に導かれ、又、同時に補助回転筒（３０）による支承により、フィルム基板（９）は隙間（２９）に落ち込むことなく、フィルム基板押勢部（１２ａ’）の鎮圧輪（１５”）間の空隙（１５”ａ）に誘導されるものとなる。即ち、該フィルム基板（９）は、フィルム基板ガイド体（１７’）の回転している複数の輪状の案内体（２３’）に当接することで、該案内体（２３’）の回転につれて、前側の上下に設けられたフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）のフィルム基板押勢部（１２ａ’）の鎮圧輪（１５”）（１５”）間方向に案内されるものとなる。
そして、該上下のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の鎮圧輪（１５”）（１５”）間の空隙（１５”ａ）を通過したフィルム基板（９）は、該鎮圧輪（１５”）によって押勢されて平面化しつつ、該鎮圧輪（１５”）と粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）とが径方向にその一部を重複するように配置されているので、そのまま前側の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）の空隙（５ａ）へと導かれるものとなる。その場合、前側の粘着ラバーロール（５）（５’）によって一旦表面洗浄を終了したフィルム基板（９）は、前側の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）の重量及び粘着性、或いは該粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）が密着することでの洗浄の際の回転により、該粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）に沿って巻回するように変形しようとすることがある。ところが、この粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）と径方向にその一部が重複するように、後側のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を構成するフィルム基板押勢部（１２ａ’）の鎮圧輪（１５”）が配置されているので、該鎮圧輪（１５”）が、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）に沿って巻回しようとするフィルム基板（９）を粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）から引き剥し、フィルム基板（９）が上記のように変形してしまうことを積極的に抑制することができるものである。つまり、洗浄を終えたフィルム基板（９）は該鎮圧輪（１５”）によって押勢されることで粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）から引き剥がされ、平面のままで送出されるので、該表面洗浄装置内において他の部品と接触して擦過や折曲等の不具合を防止することができるものとなる。
そして、前側の粘着ラバーロール（５）（５’）によってその表面を除塵・洗浄されたフィルム基板（９）が、粘着ラバーロール（５）（５’）から排出された際に再び湾曲することがあっても、その前側の粘着ラバーロール（５）（５’）の分割溝（５ｂ）に設置された後側のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）を構成するフィルム基板ガイド体（１７’）の回転している輪状の案内体（２３’）に当接することで、その排出並びに後側の粘着ラバーロール（５）（５’）への搬送が円滑になされることとなる。従って、以上の点においては実施例１のフィルム基板表面洗浄装置（１）による表面洗浄方法と同様である。
【００３４】
ところで、実施例２のフィルム基板表面洗浄装置では、フィルム基板（９）が上記のように粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間を通過する際に、フィルム基板（９）を押勢して平面化し、またフィルム基板（９）が変形して粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）に沿って巻回しようとするのを引き剥がしてなる、上下それぞれのフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の、更にそれぞれ前後一対となるフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の各鎮圧輪（１５”）（１５”）において、該鎮圧輪（１５”）（１５”）の円周面に周設する嵌合溝（２７）に輪状のガイドベルト（２８）が張設されている。従って、該上下の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間を通過するフィルム基板（９）は、上下のガイドベルト（２８）により挟持されつつ搬送されるので、前側のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の鎮圧輪（１５”）によって平面化された以降は、粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間を通過した後、再度後側のフィルム基板押勢ユニット（１０ａ）（１０ａ’）の鎮圧輪（１５”）により押勢されて引き剥がされるまで、常に平面のままで維持され、しかも均一の速度で搬送されることとなる。この結果、粘着ラバーロール（５）（５’）間を通過するフィルム基板（９）は、決して変形や折曲等により損傷することはなく、円滑、且つ確実に搬送されるものとなる。また、例え洗浄するフィルム基板（９）が斜行して粘着ラバーロール（５ｃ）（５ｃ’）間に送り込まれたり、その形状自体が異形であったとしても、該鎮圧輪（１５”）（１５”）間において張設されるガイドベルト（２８）によりフィルム基板（９）の一部が上下のガイドベルト（２８）間に挟持されれば、円滑、且つ確実に粘着ラバーロール（５）（５’）間を搬送されるものとなる。
従って、フィルム基板（９）は前側の粘着ラバーロール（５）（５’）によって、その分割溝（５ｂ）部分を除いて除塵されるので、引き続き、その分割溝（５ｂ）部分を前側の粘着ラバーロール（５）（５’）とはずらせた後側の粘着ラバーロール（５）（５’）により同様の作業を繰り返し、最終的に後側の粘着ラバーロール（５）（５’）から後側へ排出されて、該表面洗浄装置の後側のベルト搬送部により次工程の装置へと搬送されるものとなる。
【００３５】
また、実施例２の当該表面洗浄装置は、フィルム基板押勢部（１２ａ’）の鎮圧輪（１５”）だけでなく、フィルム基板ガイド体（１７’）の回転している輪状の案内体（２３’）も粘着ラバーロール（５）（５’）と同一方向に同期して回転しているので、フィルム基板（９）に同時に接触する可能性のある部材全てが同一方向に同期して回転していることとなる。そのため、フィルム基板（９）に対して局部的な引張等の応力が加わることによる損傷を与えることなく、フィルム基板（９）を上下の粘着ラバーロール体（５ｃ）（５ｃ’）間において円滑に搬送し、洗浄することができる。そして、特に実施例２のフィルム基板表面洗浄装置の該フィルム基板ガイド体（１７’）の回転している輪状の案内体（２３’）は複数であるので、粘着ラバーロール（５）（５’）間へと送り込まれ、又粘着ラバーロール（５）（５’）間から排出されることとなるフィルム基板（９）は満遍なく上下方向から該案内体（２３’）により保持されるので、この表面洗浄装置の洗浄工程において変形することなく確実に搬送されるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
この発明は、非常に薄いフィルム基板の表面洗浄ばかりでなく、変形を生じやすいフィルム状基板の洗浄に対しても使用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】この発明の実施例１であるフィルム基板表面洗浄装置の側面図である。
【図２】この発明の実施例１であるフィルム基板表面洗浄装置の部分拡大正面図である。
【図３】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの設置模式図である。
【図４】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの正面図である。
【図５】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの背面図である。
【図６】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの配置を示す平面模式図である。
【図７】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの作動状況を示す模式図である。
【図８】この発明の実施例２のフィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの設置模式図である。
【図９】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの正面図である。
【図１０】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの底面図である。
【図１１】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの配置を示す（上側の粘着ラバーロールを取り外した状態における）平面模式図である。
【図１２】上記フィルム基板表面洗浄装置のフィルム基板押勢ユニットの作動状況を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    フィルム基板表面洗浄装置
２    フレーム
３    操作パネル
４    モーター
５、５’    粘着ラバーロール
５ａ    空隙
５ｂ    分割溝
５ｃ、５ｃ’  粘着ラバーロール体
５ｄ    回転軸
６、６’    粘着テープロール
７、７’    アダプター
８    ベルト搬送部
９    フィルム基板
１０、１０’、１０ａ、１０ａ’    フィルム基板押勢ユニット
１１、１１’    支持部材
１２、１２ａ’    フィルム基板押勢部
１２’    バネ
１３、１３ａ’    Ｌ字形ステー
１３’    角部
１４    接触動力輪
１５、１５”    鎮圧輪
１５’  回転軸
１５ａ、１５”ａ    空隙
１６    動力伝達輪
１７、１７’    フィルム基板ガイド体
１８、１８’    ガイド動力輪
１８’ａ        ガイド動力体
１９  ステー
１９’  先端部
２０、２０’    案内輪
２０’ａ        案内輪体
２１（２１’）、２２（２２’）    嵌合溝
２３、２３’    案内体
２４    除電バー
２５    動力輪
２６    回転軸
２７    嵌合溝
２８    ガイドベルト
２９    隙間
３０    補助回転筒
３１    テンションナー
３２    運搬補助輪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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