(57)【要約】【課題】  一度に多数のデバイスを検査することができ、また既存のものから一度に検査できるデバイスの数を容易に増設できるデバイス検査装置及びこのデバイス検査装置を用いた検査処理能力の高いデバイス検査方法を提供する。【解決手段】  デバイスを検査する検査ソケット３と、デバイスを供給及び排出するための複数のシャトル４と、該シャトル４と検査ソケット３の間を移動可能に構成され且つ１又は複数の吸着兼押圧機構５０を有する複数の測定ハンド５とを備えたデバイス検査装置１であって、測定ハンド５に、吸着兼押圧機構５０と同数の、押圧のみを行う押圧機構５１が設けられているものである。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスを検査する検査ソケットと、前記デバイスを供給及び排出するための複数のシャトルと、該シャトルと前記検査ソケットの間を移動可能に構成され且つ１又は複数の吸着兼押圧機構を有する複数の測定ハンドとを備えたデバイス検査装置であって、
前記測定ハンドに、前記吸着兼押圧機構と同数の、押圧のみを行う押圧機構が設けられていることを特徴とするデバイス検査装置。
【請求項２】
前記シャトルを２つ備え、前記測定ハンドを２つ備えていることを特徴とする請求項１記載のデバイス検査装置。
【請求項３】
前記検査ソケットにおいて前記デバイスを検査する際に、前記測定ハンドのいずれかが、前記吸着兼押圧機構及び前記押圧機構によって前記デバイスを押圧することを特徴とする請求項２記載のデバイス検査装置。
【請求項４】
前記２つの測定ハンドは、前記シャトルから前記検査ソケットへのデバイスの供給を行い、前記測定ハンドの一方が前記検査ソケットへのデバイスの供給を行った後に、前記測定ハンドの他方が前記検査ソケットへのデバイスの供給を行うことを特徴とする請求項２又は３記載のデバイス検査装置。
【請求項５】
前記測定ハンドの他方が前記検査ソケットへのデバイスの供給を行った後に、前記測定ハンドの他方がデバイスを押圧して、デバイスの検査を行うことを特徴とする請求項４記載のデバイス検査装置。
【請求項６】
前記２つの測定ハンドは、前記検査ソケットからデバイスの排出を行い、前記測定ハンドの一方が前記検査ソケットからデバイスの排出を行った後に、前記測定ハンドの他方が前記検査ソケットからデバイスの排出を行うことを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載のデバイス検査装置。
【請求項７】
前記２つの測定ハンドは、同一方向及び同一速度で動作するように単一の駆動系に取付けられていることを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載のデバイス検査装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のデバイス検査装置を用いてデバイスの検査を行うデバイス検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイス検査装置及びデバイス検査方法に関し、特に一度に多数のデバイスを検査することのできるデバイス検査装置及びこのデバイス検査装置を用いたデバイス検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の部材の受け渡し装置では、ＩＣデバイスを吸着及び押圧することが可能なコンタクトハンドを２個有する可動部が２つ設けられており、２つの可動部がＩＣデバイスを交互にシャトルから検査用ソケットに搬送して、ＩＣデバイスの検査を行っていた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−８２８３０号公報（図１〜図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の部材の受け渡し装置では、２つの可動部に設けられたすべてのコンタクトハンドがＩＣデバイスを吸着及び押圧できるため、検査の終了したＩＣデバイスを検査用ソケットから取り出してから、次に測定するＩＣデバイスを検査用ソケットに装着し、このＩＣデバイスの外部端子を検査用ソケットに対して安定したコンタクト状態にするまでの時間（いわゆる、インデックスタイム）を短くすることができる。
【０００４】
しかし、例えば検査ソケットにおける検査時間が比較的長いＩＣデバイスの検査処理能力を向上させようとした場合、一度に検査できるＩＣデバイスの数を増やす必要がある。この場合、従来の部材の受け渡し装置では、可動部のコンタクトハンドの数を増やすこととなるが、コンタクトハンドには真空チャック等の機構が必要であり、コンタクトハンドを増設するのに高いコストがかかるという問題点があった。
【０００５】
また、既存の部材の受け渡し装置にＩＣデバイスの吸着及び押圧が可能なコンタクトハンドを増設しようとすると、装置の大幅な改良が必要となるため、既存の部材の受け渡し装置にＩＣデバイスの吸着及び押圧が可能なコンタクトハンドを増設するのは困難であるという問題点があった。
【０００６】
本発明は、一度に多数のデバイスを検査することができ、また既存のものから一度に検査できるデバイスの数を容易に増設できるデバイス検査装置及びこのデバイス検査装置を用いた検査処理能力の高いデバイス検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るデバイス検査装置は、デバイスを検査する検査ソケットと、デバイスを供給及び排出するための複数のシャトルと、該シャトルと検査ソケットの間を移動可能に構成され且つ１又は複数の吸着兼押圧機構を有する複数の測定ハンドとを備えたデバイス検査装置であって、測定ハンドに、吸着兼押圧機構と同数の、押圧のみを行う押圧機構が設けられているものである。
測定ハンドに、１又は複数の吸着兼押圧機構が設けられ、この吸着兼押圧機構と同数の押圧機構が設けられているため、例えば吸着兼押圧機構によって検査ソケットにデバイスを充填した後に、吸着兼押圧機構及び押圧機構でデバイスを検査ソケットに押圧して検査をすることができる。これにより、一度に検査できるデバイスの数が従来のデバイス検査装置の２倍となり、検査処理能力を向上させることができる。また既存のデバイス検査装置に単純な押圧機構を増設し、検査ソケットの検査できる個数を増やすだけで本発明のデバイス検査装置を実現することができ、低コストで検査処理能力を上げることができる。
【０００８】
また本発明に係るデバイス検査装置は、上記のシャトルを２つ備え、測定ハンドを２つ備えているものである。
シャトルが２つで、測定ハンドが２つのデバイス検査装置において、本発明の検査処理能力の高いデバイス検査装置を典型的な形で実現することができる。
【０００９】
また本発明に係るデバイス検査装置は、検査ソケットにおいてデバイスを検査する際に、測定ハンドのいずれかが、吸着兼押圧機構及び押圧機構によってデバイスを押圧するものである。
検査ソケットにおいてデバイスを検査する際に、測定ハンドのいずれかが、吸着兼押圧機構及び押圧機構によってデバイスを押圧するため、一度の検査において従来のデバイス検査装置の２倍のデバイスを検査することができる。
【００１０】
また本発明に係るデバイス検査装置は、上記の２つの測定ハンドが、シャトルから検査ソケットへのデバイスの供給を行い、測定ハンドの一方が検査ソケットへのデバイスの供給を行った後に、測定ハンドの他方が検査ソケットへのデバイスの供給を行うものである。
本発明のデバイス検査装置では、１つの測定ハンドに、検査ソケットで検査できるデバイスの半分の吸着兼押圧機構しかないため、１回の検査で検査ソッケトへのデバイスの供給が２回必要となる。ここで、測定ハンドの一方が検査ソケットへのデバイスの供給を行った後に、測定ハンドの他方が検査ソケットへのデバイスの供給を行うようにすれば、検査ソケットへのデバイスの供給効率が高くなる。
【００１１】
また本発明に係るデバイス検査装置は、測定ハンドの他方が検査ソケットへのデバイスの供給を行った後に、測定ハンドの他方がデバイスを押圧して、デバイスの検査を行うものである。
１つの測定ハンドに吸着兼押圧機構とこれと同数の押圧機構があるため、測定ハンドの一方が検査ソケットへのデバイスの供給を行い、測定ハンドの他方が検査ソケットへのデバイスの供給を行った後に、測定ハンドの他方がデバイスを押圧してデバイスを検査することにより、効率的にデバイスの検査を行うことができる。
【００１２】
また本発明に係るデバイス検査装置は、上記の２つの測定ハンドは、検査ソケットからデバイスの排出を行い、測定ハンドの一方が検査ソケットからデバイスの排出を行った後に、測定ハンドの他方が前記検査ソケットからデバイスの排出を行うものである。
本発明のデバイス検査装置では、１つの測定ハンドに、検査ソケットで検査できるデバイスの半分の吸着兼押圧機構しかないため、１回の検査で検査ソッケトからのデバイスの排出が２回必要となる。ここで、測定ハンドの一方が検査ソケットからデバイスの排出を行った後に、測定ハンドの他方が検査ソケットからデバイスの排出を行うようにすれば、検査ソケットへのデバイスの排出効率が高くなる。
【００１３】
また本発明に係るデバイス検査装置は、上記の２つの測定ハンドが、同一方向及び同一速度で動作するように単一の駆動系に取付けられているものである。
２つの測定ハンドを、同一方向及び同一速度で動作するように単一の駆動系に取付けるようにすれば、この駆動系の単純な往復運動によりデバイスの供給及び排出が可能となり、検査処理能力が向上する。
【００１４】
本発明に係るデバイス検査方法は、上記のいずれかのデバイス検査装置を用いてデバイスの検査を行うものである。
上記のデバイス検査装置では、一度の検査で従来の２倍のデバイスを検査できるため、検査処理能力の高いデバイス検査方法である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
実施形態１．
図６は、本発明の実施形態１に係るデバイス検査装置の全体構成を示す上面模式図である。なお図６では、本実施形態１に係るデバイス検査装置１の全体構成について説明するが、本実施形態１に係るデバイス検査装置１はテストサイト２の部分に特徴があり、テストサイト２の部分については後に詳述する。
【００１６】
図６に示すデバイス検査装置１は、テストサイト２においてＩＣデバイス等のデバイスの電気的特性を検査するものである。テストサイト２には、デバイスの外部端子が嵌め込まれて検査が行われる検査ソケット３、検査ソケット３に未検査のデバイスを供給し、また検査ソケット３から検査済みのデバイスを排出するための２つのシャトル４が備えられている。なお図６に示すように本実施形態１では、２つのシャトル４が検査ソケット３の両側に設けられている。またそれぞれのシャトル４には例えばレールに沿って、図６の紙面左右方向に移動可能な給材ステージと徐材ステージが設けられている。
さらにテストサイト２には、シャトル４と検査ソケット３の間を移動可能で、デバイスを吸着及び押圧することのできる吸着兼押圧機構（図６において図示せず）と、吸着兼押圧機構と同数の押圧機構（図６において図示せず）が設けられた測定ハンド５が２つ備えられている。
【００１７】
デバイス検査装置１のテストサイト２以外の部分には、供給ロボットハンド７、回収ロボットハンド８、供給ロボットＹ軸９、回収ロボットＹ軸１０、ロボットＸ軸１１が設けられている。またデバイス検査装置１には、テストサイト２に未検査のデバイスを供給するためのトレイローダ１３、テストサイト２から検査済みのデバイスを回収するための３つのトレイアンローダ１４、トレイローダ１３の空トレイを排出するための空トレイアンローダ１５、デバイスの温度テストに使用され、デバイスを加熱するためのホットプレート１６、補助的に使用される固定トレイ１７が設けられている。
【００１８】
ここで本実施形態１に係るデバイス検査装置１の動作について簡単に説明する。なお供給ロボットハンド７は、供給ロボットＹ軸９に沿って移動可能となっており、供給ロボットＹ軸９はロボットＸ軸１１に沿って移動可能となっている。このため供給ロボットハンド７は図６の紙面上下左右方向に移動が可能となっている。また供給ロボットハンド７と同様に、回収ロボットハンド８は回収ロボットＹ軸１０に沿って移動可能となっており、回収ロボットＹ軸１０はロボットＸ軸１１に沿って移動可能となっている。
【００１９】
トレイローダ１３は、未検査のデバイスが入れられたトレイをセットすると図６の矢印の方向（図６の紙面上方向）に移動するようになっている。供給ロボットハンド７はトレイローダ１３のトレイ内のデバイスをピックアップして、２つのシャトル４の給材ステージにデバイスを移送する。なお２つのシャトル４の給材ステージは、シャトル４の紙面左側に描かれた四角形である。またデバイスの温度テストを行うときは、ホットプレート１６でデバイスを加熱してから、シャトル４の給材ステージにデバイスを移送する。
【００２０】
デバイスがシャトル４の給材ステージに移送されて給材ステージ内に入れられた後、シャトル４の給材ステージ及び徐材ステージが例えばレールに沿って移動し、給材ステージがいずれか一方の測定ハンド５の直下に来るようにする。
２つの測定ハンド５は、それぞれが一方のシャトル４と検査ソケット３の間を移動可能であり、図６の紙面上下方向に移動する。一方の測定ハンド５は、一方のシャトル４の給材ステージからデバイスを吸着兼押圧機構で吸着して、検査ソケット３にデバイスを供給する。その後他方の測定ハンド５は、他方のシャトル４の給材ステージからデバイスを吸着兼押圧機構で吸着して検査ソケット３にデバイスを供給した後、そのまま吸着兼押圧機構及び押圧機構でデバイスを検査ソケット３に押圧して検査を行う。
【００２１】
それから、吸着兼押圧機構及び押圧機構でデバイスを検査ソケット３に押圧していた測定ハンド５は、吸着兼押圧機構で吸着されている検査済みのデバイスを他方のシャトル４の徐材ステージに移送する。その後、一方の測定ハンド５が吸着兼押圧機構によって残りの検査済みデバイスをピックアップして、一方のシャトル４の徐材ステージに移送する。なお２つのシャトル４の徐材ステージは、シャトル４の紙面右側に描かれた四角形である。
【００２２】
次に、２つのシャトル４の給材ステージ及び徐材ステージは例えばレールに沿って図６の紙面右側に移動して、回収ロボットハンド８がシャトル４の徐材ステージから検査済みのデバイスをピックアップする。回収ロボットハンド８は、検査済みのデバイスを品質別にトレイアンローダ１４に収容し、トレイアンローダ１４は図６の矢印の方向（図６の紙面下側）に移動して検査済みデバイス回収場所（図６において図示せず）に検査済みデバイスを積み上げる。なお固定トレイ１７は、比較的数の少ない不良品のデバイス等を回収するのに用いられる。また空トレイアンローダ１５は、トレイローダ１３の空になったトレイを空トレイ移送装置（図６において図示せず）によって移送されて、図６の矢印の方向（図６の紙面下側）に空トレイを排出する。
ここでは、デバイス検査装置１でのデバイス検査の流れを大まかに説明したが、テストサイト２におけるシャトル４や測定ハンド５のシーケンス（動作手順）については、後に詳述する。
【００２３】
図１及び図２は、本実施形態１に係るデバイス検査装置１のテストサイト２の周辺部を示した斜視図である。なお図１及び図２では、図６のテストサイト２におけるデバイスの受け渡し機構についての１つの具体例を示すが、デバイスの受け渡し機構は図１及び図２に示されるものに限られない。
本実施形態１に係るデバイス検査装置１のテストサイト２（図６参照）には、図１及び図２に示すデバイスの受け渡し機構が設けられている。このデバイスの受け渡し機構においては、フレーム３０に固定されたサーボモータ２１が図１の紙面左右方向（以下、Ａ方向という）に伸びるボールネジ２２を回転駆動するように構成されている。フレーム３０には図１のＡ方向に伸びる２本の案内レール３０ａが固定されており、この案内レール３０ａにＡ駆動部３２がＡ方向に移動自在に案内されるように取付けられている。Ａ駆動部３２はボールネジ２２に係合して、ボールネジ２２の回転によってＡ方向に移動するようになっている。
【００２４】
Ａ駆動部３２には、図１の図面上下方向（以下、Ｂ方向という）に移動自在に左右一対の可動部２７が取付けられている。これらの可動部２７には、それぞれ測定ハンド５ａ、５ｂが取付けられており、測定ハンド５ａ、５ｂは下面側に吸着兼押圧機構及びこれと同数の押圧機構を有する。なお吸着兼押圧機構及び押圧機構については後に説明する。
上記の可動部２７に対しては、Ａ方向に摺動自在にＢ駆動部２６が取付けられている。このＢ駆動部２６はボールネジ２４に係合し、このボールネジ２４は、フレーム３０に固定されたサーボモータ２３に接続されている。サーボモータ２３によってボールネジ２４が回転するとＢ駆動部２６は図１の上下方向に移動し、可動部２７を昇降させるようになっている。
【００２５】
以下の説明においては、図１の左側にある可動部２７、Ｂ駆動部２６、ボールネジ２４及びサーボモータ２３からなる機構をａ軸駆動系、図１の右側にある可動部２７、Ｂ駆動部２６、ボールネジ２４及びサーボモータ２３からなる機構をｂ軸駆動系と呼ぶ。
上記の各機構の下方には、中央部に検査ソケット３が配置されている。なおこの検査ソケット３は、片方の測定ハンド５ａ（又は５ｂ）に設けられた吸着兼押圧機構及び押圧機構を合計した数のデバイスを同時に検査できるようになっている。また検査ソケット３は、ＩＣデバイス等の個々のデバイスの外部端子に対応した検査パットを備えており、検査ソケット３の検査パットにデバイスの外部端子が接触すると、デバイスの電気的特性を検査できるようになっている。なお図１は、測定ハンド５ａが吸着兼押圧機構及び押圧機構によってデバイスを検査ソケット３に押圧して検査している状態を示し、図２は、測定ハンド５ｂが吸着兼押圧機構及び押圧機構によってデバイスを検査ソケット３に押圧して検査している状態を示している。
【００２６】
一方、検査ソケット３の図１及び図２の左右（Ａ方向）の両側には、それぞれシャトル４ａ、４ｂが配置され、それぞれ図１及び図２の前後方向に往復運動できるように構成されている。検査ソケット３は、シャトル４ａとシャトル４ｂのちょうど中間位置に配置されている。シャトル４ａ、４ｂには、それぞれ給材ステージ４３及び徐材ステージ４４が備えられている。給材ステージ４３及び徐材ステージ４４のいずれにおいても、可動部２７に取付けられた測定ハンド５ａ、５ｂの吸着兼押圧機構に対応した数のデバイスを収容できるようになっている。給材ステージ４３は、例えば未検査のデバイスを８個収容し、測定ハンド５ａ、５ｂに８個のデバイスを供給する。また徐材ステージ４４は、測定ハンド５ａ、５ｂから検査済みのデバイスを受け取り、排出するためのものである。
【００２７】
上記のａ軸駆動系及び測定ハンド５ａは、シャトル４ａと検査ソケット３との間でデバイスを移送するようになっており、ｂ軸駆動系及び測定ハンド５ｂは、シャトル４ｂと検査ソケット３との間でデバイスを移送するように構成されている。Ａ方向にＡ駆動部３２が移動し、例えば、測定ハンド５ａがシャトル４ａから検査ソケット３に移動すると、測定ハンド５ｂは検査ソケット３からシャトル４ｂへと移動する。なお図６で説明したように、シャトル４ａ及び４ｂの給材ステージ４３には供給ロボットハンド７から未検査のデバイスが供給され、シャトル４ａ及び４ｂの徐材ステージ４４からは回収ロボットハンド８によって検査済みのデバイスが回収される。
【００２８】
図３は、本実施形態１の２つの測定ハンド５ａ、５ｂと検査ソケット３を説明するための模式図である。なお図３では、シャトル４ａ、４ｂの給材ステージ４３と徐材ステージ４４も示している。また図３では、測定ハンド５ａ、５ｂについては測定ハンド５ａ、５ｂの下面側を示し、検査ソケット３とシャトル４ａ、４ｂの給材ステージ４３及び徐材ステージ４４については、これらの上面側を示している。なおシャトル４ａ、４ｂの給材ステージ４３及び徐材ステージ４４は、便宜上位置をずらして示している。
図３に示す測定ハンド５ａ、５ｂは、それぞれ８個の吸着兼押圧機構５０と、８個の押圧機構５１を備えている。なお吸着兼押圧機構５０は、例えば真空チャックを備えデバイスを吸着することができ、またデバイスを検査ソケットの検査部５２に押圧することができるようになっている。一方押圧機構５１は、例えばゴム等の弾性体から構成され、デバイスを検査ソケットの検査部５２に押圧することのみができるようになっている。
【００２９】
検査ソケット３には、測定ハンド５ａ、５ｂの吸着兼押圧機構５０及び押圧機構５１に対応した位置に合計１６個の検査部５２を備えている。またシャトル４ａ、４ｂの給材ステージ４３及び徐材ステージ４４（合計４つ）には、それぞれ８個の収納部５３が備えられている。
測定ハンド５ａは、吸着兼押圧機構５０によって、シャトル４ａの給材ステージ４３から検査ソケット３の検査部５２に８個のデバイスを供給できるようになっている。また測定ハンド５ｂは、吸着兼押圧機構５０によって、シャトル４ｂの給材ステージ４３から検査ソケット３の残りの検査部５２に８個のデバイスを供給できるようになっている。なおデバイスの検査の際は、測定ハンド５ａ又は測定ハンド５ｂのいずれか一方の吸着兼押圧機構５０と押圧機構５１によって、すべてのデバイスを検査ソケット３の検査部５２に押圧して検査が行えるようになっている。
デバイスの排出の場合も供給の場合と同様に、測定ハンド５ａが８個のデバイスを検査ソケット３からシャトル４ａの徐材ステージ４４に排出し、測定ハンド５ｂが残りの８個のデバイスを検査ソケット３からシャトル４ｂの徐材ステージ４４に排出する。
なお、測定ハンド５ａ、５ｂの吸着兼押圧機構５０の数をｎ個（ｎは自然数）、押圧機構５１の数をｎ個、検査ソケット３の検査部５２の数を２ｎ個とすることができる。
【００３０】
図４は、本実施形態１のデバイス検査装置１でデバイスの検査を行う際のシーケンスを示した図である。なお図４のＴＥＳＴ  ＳＩＴＥで示された点線内は、テストサイト２の内部にあることを示し、シャトル４ａ、４ｂの給材ステージ４３、徐材ステージ４４が給排位置にあることを意味している。また図４では、シーケンスの半サイクルを示し、残りの半サイクルは、測定ハンド５ａ、５ｂ等が逆の動きをすることにより行われるものとする。
図４の最初の状態では、測定ハンド５ｂ（ＨＡＮＤ５ｂ）が吸着兼押圧機構５０及び押圧機構５１によってデバイスを検査ソケット３に押圧して検査を行っており、測定ハンド５ａ（ＨＡＮＤ５ａ）は、シャトル４ａの上で待機（ＷＡＩＴＩＮＧ）している。なおこのとき、検査ソケット３のすべての検査部５２にデバイスが入っており、また測定ハンド５ｂの吸着兼押圧機構５０は、デバイスを吸着したままの状態で検査を行っているものとする。また、図６に示す供給ロボットハンド７によって、シャトル４ａの給材ステージ４３に未検査のデバイスが供給（ＵＮＴＥＳＴ  ＤＥＶＩＣＥ  ＬＯＡＤＩＮＧ）されており、供給ロボットハンド７によって、シャトル４ｂの給材ステージ４３に未検査のデバイスが供給されている。
【００３１】
その後、検査ソケット３におけるデバイスの検査が終わると、図１のＡ駆動部３２が移動し、測定ハンド５ｂは吸着兼押圧機構５０に吸着された検査済みのデバイスをシャトル４ｂに移送し、シャトル４ｂの徐材ステージ４４に排出（ＲＥＬＥＡＳＥ）する。このとき測定ハンド５ａは検査ソケット３の位置に移動して、検査ソケット３に残ったデバイスを吸着（ＣＨＵＣＫ）する。そして、シャトル４ｂの給材ステージ４３がテストサイト２の供給位置に来て、測定ハンド５ｂは、シャトル４ｂの給材ステージ４３からデバイスを吸着する。このとき、図６の回収ロボット８によって、シャトル４ｂの徐材ステージ４４から検査済みデバイスの回収（ＴＥＳＴＥＤ  ＤＥＶＩＣＥ  ＵＮＬＯＡＤＩＮＧ）が開始される。
【００３２】
それからＡ駆動部３２が移動し、測定ハンド５ｂが検査ソケット３の位置に来て、吸着していたデバイスを検査ソケット３に供給する（ＤＲＯＰ）。このとき、測定ハンド５ａはシャトル４ａの上に来て、シャトル４ａの徐材ステージ４４に吸着していた検査済みのデバイスを排出する。
そして、シャトル４ａの給材ステージ４３がテストサイト２の供給位置に来て、測定ハンド５ａは未検査のデバイスをシャトル４ａの給材ステージ４３から吸着する。このとき、回収ロボット８によって、シャトル４ａの徐材ステージ４４から検査済みデバイスの回収が開始される。
【００３３】
その後、Ａ駆動部３２が移動して測定ハンド５ａが検査ソケット３の位置に来て、吸着していた未検査のデバイスを検査ソケット３に供給した後、そのまま、既に測定ハンド５ｂによって供給されていた未検査のデバイスと供給したデバイスを、吸着兼押圧機構５０及び押圧機構５１によって検査ソケット３に押圧して検査を行う。このとき測定ハンド５ｂは、シャトル４ｂの上で待機している。
【００３４】
図５は、本実施形態１のデバイスの受け渡し機構の他の例を示した図である。本実施形態１に係るデバイス検査装置１の構造は、測定ハンド５ａ、５ｂがＡ駆動部３２と共に直線的に動くものだけでなく、図５（ａ）に示すような測定ハンドが回転するデバイスの受け渡し機構を有するデバイス検査装置にも適用することができる。また図５（ｂ）に示すような、測定ハンドが２つ以上（図５（ｂ）では３個）で、回転する受け渡し機構を有するデバイス検査装置にも応用することができる。
【００３５】
本実施形態１では、２つの測定ハンド５ａ、５ｂに、複数の吸着兼押圧機構５０が設けられ、この吸着兼押圧機構５０と同数の押圧機構５１が設けられているため、例えば吸着兼押圧機構５０によって検査ソケット３にデバイスを充填した後に、吸着兼押圧機構５０及び押圧機構５１でデバイスを検査ソケット３に押圧して検査をすることができる。これにより、一度に検査できるデバイスの数が従来のデバイス検査装置の２倍となり、検査処理能力を向上させることができる。この効果は、特に比較的検査時間の長いデバイスにおいて顕著である。また既存のデバイス検査装置に単純な押圧機構５１を増設し、検査ソケット３の検査部５２の数を増やすだけで本発明のデバイス検査装置１を実現することができ、低コストで検査処理能力を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】実施形態１のデバイス検査装置のテストサイトの周辺部を示した斜視図。
【図２】実施形態１のデバイス検査装置のテストサイトの周辺部を示した斜視図。
【図３】実施形態１の２つの測定ハンドと検査ソケットを説明するための模式図。
【図４】実施形態１のデバイス検査装置で検査を行う際のシーケンスを示した図。
【図５】本実施形態１のデバイスの受け渡し機構の他の例を示した図。
【図６】本発明の実施形態１に係るデバイス検査装置の全体構成を示す上面模式図。
【符号の説明】
【００３７】
１  デバイス検査装置、２  テストサイト、３  検査ソケット、４  シャトル、５  測定ハンド、７  供給ロボットハンド、８  回収ロボットハンド、９  供給ロボットＹ軸、１０  回収ロボットＹ軸、１１  ロボットＸ軸、１３  トレイローダ、１４  トレイアンローダ、１５  空トレイアンローダ、１６  ホットプレート、１７  固定トレイ、２１  サーボモータ、２２  ボールネジ、２３  サーボモータ、２４  ボールネジ、２６  Ｂ駆動部、２７  可動部、３０  フレーム、３０ａ  案内レール、３２  Ａ駆動部、４３  給材ステージ、４４  徐材ステージ、５０  吸着兼押圧機構、５１  押圧機構、５２  検査部、５３  収納部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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