(57)【要約】【課題】  吐出口に侵入した異物がインク流路内の流動や外部からの振動や衝撃によって不規則に浮遊して他の正常な吐出口に移ることを防止する。【解決手段】  インクジェット記録ヘッドの製造方法において、異物が侵入した不良吐出口内に硬化性樹脂を充填して硬化させ、異物を硬化性樹脂の内部に固定する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のインク流路と前記インク流路に対応した吐出口を有し、前記インク流路内のインクを記録媒体上に吐出して画像を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、印字不良の不良吐出口を検知する検知工程と、硬化性樹脂を前記インクジェット記録ヘッドの前記インク流路内に充填する充填工程と、
前記不良吐出口内の前記硬化性樹脂を硬化させる硬化工程と、未硬化の前記硬化性樹脂を除去する除去工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記充填工程は、異物が侵入した不良吐出口を検知し、該不良吐出口にのみ前記硬化性樹脂を充填する工程であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記硬化性樹脂は、感光性樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記感光性樹脂は、ポジ型あるいはネガ型であることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記硬化工程は、前記不良吐出口に電離放射線をパターン露光する工程であることを特徴とする請求項１および請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記硬化工程は、半導体レーザーを照射する工程であることを特徴とする請求項１および請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
複数のインク流路と前記インク流路に対応した吐出口を有し、前記吐出口毎に具備された記録素子が電気エネルギーを与えることで発熱し、前記インク流路内のインクに状態変化を生じさせて、記録媒体上に吐出して画像を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、印字不良の不良吐出口を検知する検知工程と、熱硬化性樹脂を前記インクジェット記録ヘッドの前記インク流路内に充填する充填工程と、
前記不良吐出口に設けられた前記記録素子の発熱によって、前記熱硬化性樹脂に熱エネルギーを与えて硬化させる硬化工程と、未硬化の前記熱硬化性樹脂を除去する除去工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記充填工程は、異物が侵入した不良吐出口を検知し、該不良吐出口にのみ前記熱硬化性樹脂を充填する工程であることを特徴とする請求項８に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
複数のインク流路と前記インク流路に対応した吐出口を有し、前記インク流路内のインクを記録媒体上に吐出して画像を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、印字不良の不良吐出口を検知する検知工程と二液硬化型樹脂の第一の樹脂を前記インクジェット記録ヘッドの前記インク流路内に充填する充填工程と、
前記不良吐出口内に前記二液硬化型樹脂の第二の樹脂を充填して前記第一の樹脂を硬化させる硬化工程と、未硬化の前記第一の樹脂を除去する除去工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記充填工程は、異物が侵入した不良吐出口を検知し、該不良吐出口にのみ前記二液硬化樹脂の第一の樹脂を充填する工程であることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は吐出口よりインクを吐出して記録媒体に画像を形成するインクジェット記録ヘッドにおいて、吐出口に侵入した異物がインク流路内の流動や外部からの振動や衝撃によって不規則に浮遊して他の正常な吐出口に移り、画像品位を劣化させる課題を解決するインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、低騒音、低ランニングコスト、小型化およびカラー化が容易などの利点を有することから、プリンタ、ファックス、複写機等へ応用されている。近年では高解像度化やカラー化が進み、画像品位が著しく向上したことから、急速に普及してきている。
【０００３】
特に熱エネルギーを利用してインクを吐出するインクジェット記録ヘッドは、エッチング、蒸着、スパッタリング等の半導体製造プロセスを経て、基板上に製膜された記録素子、電極、インク流路壁などを形成することにより、高密度の吐出口配置を有するものを容易に配置することができ、一層のコンパクト化を図ることができる。熱エネルギー発生手段である記録素子として電気熱変換体を用い、かつ半導体製造プロセスを経て製造された吐出口を有するインクジェット記録ヘッドとしては、各吐出口に対応したインク流路が設けられ、インク流路毎に電気熱変換体である記録素子が具備され、かつ各インク流路に連通している共通液室より各インク流路にインクが供給される構成のものが知られている。
【０００４】
このようなインクジェット記録ヘッドには、インクを吐出する吐出口が複数個形成され、これらの吐出口からインク滴を吐出して画像を形成する。インク滴を吐出する吐出口の集積密度を上げながら、吐出口の大きさを小さくし、１ドット当たりのインク吐出量を小さくすることで高解像度画像の記録を実現する。最近では銀塩写真に迫る高画質の要求が非常に高まり、吐出口の大きさは益々小さくなりつつある。
【０００５】
このように多数の吐出口を有するインクジェット記録ヘッドの製造工程では、駆動パルスを与えてもインクを吐出しなかったり（以下、「不吐」と呼ぶ。）、吐出はするものの、他の吐出口に対し、記録媒体へのインク滴の着弾位置が大きくずれた位置に記録してしまったり（以下、「ヨレ」と呼ぶ。）するような不良吐出口が発生する。また、吐出口が高い集積密度で配列され、吐出口の大きさが小さくなると、不良吐出口が発生する確率は一層高くなる。多くの吐出口が正常であっても、ひとつの吐出口に不吐やヨレが生じると、はっきりとした白スジが画像に現れ、画像品位は劣化する。特に近年要求される写真調の画像においては実使用が困難になるほどである。このような場合、従来では、不吐になった不良吐出口が本来記録すべきであった箇所を他の正常な吐出口が代わりに記録する補完処理（不吐補完）を行う方法で対処している。
【０００６】
又、別の従来例としては、インク流路内の異物を除去して印刷不良、特に初期不良を防止することのできるインクジェット式記録ヘッドの製造方法（例えば特許文献１参照）をあげることが出来る。
【特許文献１】特開２００１−３４１３１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、このようなインクジェット記録装置において、異物が吐出口に侵入し、吐出口が目詰まりを起こすことによって不吐やヨレが生じた場合、インクジェット記録ヘッドのインク流路内での流動や外部からの振動あるいは衝撃によって、異物が不規則に浮遊し、不吐やヨレを生じる不良吐出口が経時的に変わる可能性があった。特に、不吐が生じた場合、従来の方法で不吐補完処理を行おうとしても、不良吐出口が継続的に同一でない可能性があるため、画像品位を維持するためには十分対応できない場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決する手段として、本発明では、複数のインク流路と前記インク流路に対応した吐出口を有し、前記インク流路内のインクを記録媒体上に吐出して画像を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、印字不良の不良吐出口を検知する検知工程と、硬化性樹脂を前記インクジェット記録ヘッドの前記インク流路内に充填する充填工程と、前記不良吐出口内の前記硬化性樹脂を硬化させる硬化工程と、未硬化の前記硬化性樹脂を除去する除去工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を提案するものである。また、複数のインク流路と前記インク流路に対応した吐出口を有し、前記吐出口毎に具備された記録素子を駆動させることで前記インク流路内のインクを記録媒体上に吐出して画像を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、印字不良の不良吐出口を検知する検知工程と、熱硬化性樹脂を前記インクジェット記録ヘッドの前記インク流路内に充填する充填工程と、前記不良吐出口内の前記熱硬化性樹脂を硬化させる硬化工程と、未硬化の前記熱硬化性樹脂を除去する除去工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を提案するものである。また、複数のインク流路と前記インク流路に対応した吐出口を有し、前記インク流路内のインクを記録媒体上に吐出して画像を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、印字不良の不良吐出口を検知する検知工程と、二液硬化型樹脂の第一の樹脂を前記インクジェット記録ヘッドの前記インク流路内に充填する充填工程と、前記不良吐出口内に前記二液硬化型樹脂の第二の樹脂を充填して前記第一の樹脂を硬化させる硬化工程と、未硬化の前記第一の樹脂を除去する除去工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を提案するものである。
【発明の効果】
【０００９】
上記のように、本発明によれば、インクジェット記録ヘッドの吐出口内に詰まった異物を硬化性樹脂で保持することで、インク流路内での流動や外部からの振動あるいは衝撃によって異物が不規則に浮遊して他の正常な吐出口に移り、不吐やヨレを生じて画像品位を劣化させる不具合を解消し、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に図面を参照して本発明を詳細に説明する。図１は本発明の実施形態に用いるインクジェット記録ヘッド１０１の一例を示す斜視図、図２は図１のインクジェット記録ヘッド１０１を斜め下方から見た斜視図である。本実施例のインクジェット記録ヘッドは、写真調の高画質なカラー記録を可能とするため、インクを貯えるインクタンク１０２として、例えば、ブラック、ライトシアン、ライトマゼンタ、シアン、マゼンタ及びイエローの各色独立の６つのインクタンク１０２がインク供給部１０３に装着される。装着された各々のインクタンク１０２から、図１および図２に示すように、外部からの異物を濾過するフィルター１０４を介してインクジェット記録ヘッド１０１のインク流路内へと導入したインクを、吐出口２０２より吐出する構成となっている。２０１はインク吐出部であり、インク供給部１０３と反対側に設けられている。このインク吐出部２０１にはインク滴を吐出するための吐出口２０２を有する記録素子基板２０３が備えられており、各吐出口２０２に記録素子が設けられている。２０４は入力端子部であり、インクジェット記録装置に電気的に接続されて、インクジェット記録ヘッド１０１へ記録信号を入力する。記録素子基板２０３にはインクジェット記録ヘッド１０１からの記録データに基づいて記録素子に記録信号が供給され、その記録素子からの熱エネルギーによってインクを加熱して膜沸騰現象を起こし、膜沸騰による気泡の生成に伴って吐出口２０２よりインク滴を吐出し、記録媒体に画像を形成する。図３（ａ）は図２のインク吐出部２０１側からみた吐出口３０１を示す模式図であり、図３（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本発明の実施例では、発熱抵抗素子である記録素子と対向する側にインクの吐出を行う所謂サイドシュータ型のインクジェット記録ヘッドであり、エッチング、蒸着、スパッタリング等の半導体製造プロセスを経て、記録素子基板３０５上に製膜された記録素子３０２、インク流路３０３、および共通液室３０４などから構成されている。記録用のインクは、インクタンク（インク貯蔵室）１０２から共通液室３０４内に供給される。共通液室３０４内に供給されたインクは、毛管現象により各吐出口３０１内に供給され、該吐出口３０１の先端でメニスカスを形成することにより安定に保持される。ここで、インクジェット記録装置からの記録データに基づいて、記録素子３０２に記録信号が供給されることで、記録素子３０２の面上のインクが記録素子３０２からの熱エネルギーによって加熱され、膜沸騰現象が発生し、その発泡エネルギーにより共通液室３０４に連通する吐出口３０１からインク滴が吐出される。
【００１１】
以上のような構成のインクジェット記録ヘッドを例として、以下に本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００１２】
図４に本発明の第一の実施例を示し、吐出口４０１に侵入した異物４０４が不規則に移動しない信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造する方法を説明する。図４（ａ）は図３（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。工場出荷時には、インクジェット記録ヘッドの性能を検査するため、実際にインクを吐出させて画像を記録媒体に形成し、所望の印字品位が達成されているかどうかを確認する試験をする。このとき、所定のチェックパターンを印字することで、全ての吐出口４０１のうち、例えば吐出口４０１’が不吐やヨレといった印字不良が生じている場合、吐出口４０１’を不良吐出口４０１’として検知する（図４（ａ））。ここで、印字したチェックパターンの読み取りは、ＣＣＤカメラやスキャナ等の任意の画像読取機器を用いてよい。次に、図４（ｂ）に示すように、常温で液状の硬化性樹脂４０６をインク供給部１０３側からインク流路４０３内に流し込み、インク流路３０３内を硬化性樹脂４０６で充填する。ここで、注入時の硬化性樹脂４０６は常温でもよいが、注入速度をあげるために加温してもよく、さらに、インク供給部１０３側より加圧してもよい。また、注入時にインク吐出部２０１側より吸引すると、より注入速度が増す。ここで、硬化性樹脂４０６が感光性樹脂の場合、感光性樹脂がネガ型感光性樹脂であれば、図４（ｃ）に示すように、マスク４０８を介して不良吐出口４０１’に電離放射線４０７をパターン露光すると、露光された不良吐出口４０１’内の感光性樹脂が硬化して感光性樹脂層４０９を形成する。この時、図４（ｄ）に示すように、不良吐出口４０１’内に異物４０４が存在すると、感光性樹脂層４０９内部に固定されることになる。最後に、適当な溶剤を用いて現像すると、インク流路４０３内の未露光の領域から感光性樹脂４０６が除去され、異物４０４が存在する不良吐出口４０１’内の感光性樹脂層４０９は溶解せずに残存する（図４（ｅ））。以上のような工程を経ることで、吐出口に侵入した異物を高い精度で局所的に固定することができ、インクジェット記録ヘッド内のインク流動や外部からの衝撃や振動によって、異物が浮遊して不規則に他の正常な吐出口に移って不吐やヨレを生じて画像品位を劣化させる不具合を解消し、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造することができる。
【００１３】
なお、異物を保持するために流し込む硬化型の感光性樹脂は、ポジ型であってもよい。ポジ型感光性樹脂の場合は、マスクを介して異物が侵入した吐出口以外の領域に電離放射線をパターン露光し、異物が侵入した不良吐出口内の感光性樹脂を硬化させて、異物が移動しないように固定する。次いで、上記と同様に、適当な溶剤で未露光領域の感光性樹脂をインク流路内より除去する。このような工程を経ることで、上記と同様に、異物が不規則に浮遊して、他の正常な吐出口に移動することを防ぐことができる。
【００１４】
また、硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂であってもよく、半導体レーザーを用いて熱硬化性樹脂に熱エネルギーを与え、硬化させてもよい。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、高い精度で局所的に熱を与えて熱硬化性樹脂を硬化させることができる手段であれば適用可能である。
【００１５】
また、硬化性樹脂をインク供給部側からインク流路内に充填したが、マイクロディスペンサー等の微量注入装置を用いて、インク吐出部側から硬化性樹脂をインク流路内に充填してもよい。インク吐出部側から硬化性樹脂を充填する場合は、不良吐出口にのみ硬化性樹脂を局所的に注入すると、未硬化の硬化性樹脂を除去する工程が省略でき、より好適である。
【００１６】
また、硬化性樹脂が感光性樹脂の場合は、必要に応じて硬化反応を促進するために、加熱処理を行ってもよい。加えて、電離放射線は、使用する感光性樹脂の感光領域に合わせて紫外線、可視光線、電子線、Ｘ線などから適宜選択することができる。
【００１７】
なお、インク流路内に充填する硬化性樹脂として、インク流路を変形、あるいは溶解することのない材料を選択する必要がある。
【実施例２】
【００１８】
図５に本発明の第一の実施例を示し、吐出口５０１に侵入した異物５０４を該吐出口５０１から移動しないように固定し、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造する方法を説明する。図５（ａ）は図３（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。まず、工場出荷時等のインクジェット記録ヘッドの性能試験時に、ＣＣＤカメラやスキャナ等の画像読取装置や金属顕微鏡等の光学機器を用い、全ての吐出口５０１について異物５０４が存在するか否かを判断し、固定すべき異物５０４の存在する不良吐出口５０１’を検知する（図５（ａ））。次に、マイクロディスペンサー等の微量注入装置５０６を用いて、インク吐出部２０１側から硬化性樹脂５０７を不良吐出口５０１’内に充填する（図５（ｂ））。ここで、硬化性樹脂５０７の注入は、常温でもよいが、注入速度をあげるために加温してもよい。次いで、実施例１と同様に、硬化性樹脂５０７が感光性樹脂の場合、マスク５０９を介して電離放射線５０８をパターン露光することで（図５（ｃ））、不良吐出口内５０１’内の感光性樹脂を硬化させて感光性樹脂層５１０を形成し、感光性樹脂層５１０の内部に異物５０４を固定する（図５（ｄ））。以上のような工程を経ることで、インクジェット記録ヘッド内のインク流動や外部からの衝撃や振動によって、異物が浮遊して不規則に他の正常な吐出口に移って不吐やヨレを生じて画像品位を劣化させる不具合を解消し、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造することができる。このように、実施例１では、印字時におけるインク回復不良等の異物に起因しない不良吐出口内の硬化性樹脂も硬化させる可能性があったが、本実施例では異物を直接検知するため、異物にのみ起因する不良吐出口内の硬化性樹脂だけを硬化させることができ、かつ未硬化の硬化性樹脂を除去する工程を省略できるため、より効率的に吐出口に侵入した異物を局所的に固定して、不規則に浮遊する不具合を解消できる。
【００１９】
なお、硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂であってもよく、半導体レーザーを用いて熱硬化性樹脂に熱エネルギーを与え、硬化させてもよい。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、高い精度で局所的に熱を与えて熱硬化性樹脂を硬化させることができる手段であれば適用可能である。
【００２０】
加えて、硬化性樹脂が感光性樹脂の場合は、必要に応じて硬化反応を促進するために、加熱処理を行ってもよい。加えて、電離放射線は、使用する感光性樹脂の感光領域に合わせて紫外線、可視光線、電子線、Ｘ線などから適宜選択することができる。
【００２１】
なお、インク流路内に充填する熱硬化性樹脂として、インク流路を変形、あるいは溶解することのない材料を選択する必要がある。
【実施例３】
【００２２】
図６に本発明の第三の実施例により、吐出口６０１に侵入した異物６０４から移動しない信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造する方法を示す。図６（ａ）は図３（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本実施例では、インク流路へ充填する硬化性樹脂６０７として、熱硬化性樹脂を用いる。本実施例において、不良吐出口の検知工程、硬化性樹脂のインク流路への充填工程、および未硬化の硬化性樹脂の除去工程は、実施例１または２が適用できる。ここでは例として、実施例２を適用した場合について説明する。
【００２３】
実施例２と同様に、工場出荷時等のインクジェット記録ヘッドの性能試験時にＣＣＤカメラやスキャナ等の画像読取装置や金属顕微鏡等の光学機器を用い、全ての吐出口６０１について異物６０４が存在するか否かを判断し、固定すべき異物６０４の存在する不良吐出口６０１’を検知する（図６（ａ））。次に、常温で液状の熱硬化性樹脂６０７をマイクロディスペンサー等の微量注入装置６０６を用いてインク吐出部１０３側よりインク流路６０３内に流し込み、インク流路６０３内を熱硬化性樹脂６０７で充填する（図６（ｂ））。次に、異物６０４の存在を検知した不良吐出口６０１’に設けられた記録素子６０２を駆動して熱硬化性樹脂６０７に熱エネルギー６０８を与ると（図６（ｃ））、異物６０４の周囲の熱硬化性樹脂６０７は硬化して熱硬化性樹脂層６０９を形成し、異物６０４は該熱硬化性樹脂層６０９内部に固定されることになる（図６（ｄ））。以上のような工程を経ることで、実施例２と同様に、異物にのみ起因する不良吐出口内の硬化性樹脂だけを硬化させることができ、吐出口に侵入した異物を高い精度で局所的に固定することができるため、インクジェット記録ヘッド内のインク流動や外部からの衝撃や振動によって、異物が浮遊して不規則に他の正常な吐出口に移って不吐やヨレを生じて画像品位を劣化させる不具合を解消し、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造することができる。
【００２４】
なお、インク流路内に充填する熱硬化性樹脂として、インク流路を変形、あるいは溶解することのない材料を選択する必要がある。
【実施例４】
【００２５】
図７に本発明の第四の実施例を示し、吐出口７０１に侵入した異物７０４を該吐出口から移動しないように固定し、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造する方法を説明する。図７（ａ）は図３（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。本実施例では、インク流路７０３へ充填する硬化性樹脂として、二液硬化型樹脂を用いる。本実施例においても、不良吐出口の検知工程、硬化性樹脂のインク流路への充填工程、および未硬化の硬化性樹脂の除去工程は、実施例１または２が適用できる。ここでは例として、実施例２を適用した場合について説明する。まず、工場出荷時等のインクジェット記録ヘッドの性能試験時に、ＣＣＤカメラやスキャナ等の画像読取装置や金属顕微鏡等の光学機器を用い、全ての吐出口７０１について異物５０４が存在するか否かを判断し、固定すべき異物７０４の存在する不良吐出口７０１’を検知する（図７（ａ））。次に、マイクロディスペンサー等の微量注入装置７０６を用いて、インク吐出部２０１側から常温で液状の二液硬化型樹脂の主剤７０７を硬化剤７０８に先駆けて、不良吐出口７０１’内に充填する（図７（ｂ））。ここで、注入時の主剤７０７は常温でもよいが、注入速度をあげるために加温してもよい。次いで、主剤７０７の注入と同様に、マイクロディスペンサー等の微量注入装置７０６を用いて、二液硬化型樹脂の硬化剤７０８を、異物７０４の存在を検知した不良吐出口７０１’内に注入すると（図７（ｃ））、異物７０４の周囲の二液硬化型樹脂は主剤７０７と硬化剤７０８が混合されて硬化反応が起こり、二液硬化型樹脂層７０９が形成され、異物７０４は二液硬化型樹脂層７０９内部に保持されることになる（図７（ｄ））。以上のような工程を経ることで、実施例２と同様に異物にのみ起因する不良吐出口内の硬化性樹脂だけを硬化させることができ、吐出口に侵入した異物を高い精度で局所的に保持することができ、インクジェット記録ヘッド内のインク流動や外部からの衝撃や振動によって、異物が浮遊して不規則に他の正常な吐出口に移って不吐やヨレを生じて画像品位を劣化させる不具合を解消し、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを製造することができる。
【００２６】
なお、インク流路内に充填する二液硬化型樹脂として、インク流路を変形、あるいは溶解することのない材料を選択する必要がある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態に用いるインクジェット記録ヘッドの一例を示す斜視図である。
【図２】図１に示すインクジェット記録ヘッドを斜め下方からみた斜視図である。
【図３】（ａ）は図２に示すインクジェット記録ヘッドをインク吐出部側から見た図である。（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。
【図４】本発明の第一の実施例によるインクジェット記録ヘッドの製造方法を示した図である。
【図５】本発明の第二の実施例によるインクジェット記録ヘッドの製造方法を示した図である。
【図６】本発明の第三の実施例によるインクジェット記録ヘッドの製造方法を示した図である。
【図７】本発明の第四の実施例によるインクジェット記録ヘッドの製造方法を示した図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０１  インクジェット記録ヘッド
１０２  インクタンク
１０３  インク供給部
１０４  フィルター
２０１  インク吐出部
２０２、３０１、４０１、５０１、６０１、７０１  吐出口
４０１’、５０１’、６０１’、７０１’  不良吐出口
２０３、３０５、４０５、５０５、６０５、７０５  記録素子基板
２０４  入力端子部
３０２、４０２、５０２、６０２、７０２  記録素子
３０３、４０３、５０３、６０３、７０３  インク流路
３０４  共通液室
４０４、５０４、６０４、７０４  異物
４０６、５０７、６０７  硬化性樹脂
４０７、５０８  電離放射線
４０８、５０９  マスク
４０９、５１０  感光性樹脂層
６０９  熱硬化性樹脂層
７０９  二液硬化型樹脂層
５０６、６０６、７０６  微量注入装置
６０８  熱エネルギー
７０７  二液硬化型樹脂の主剤
７０８  二液硬化型樹脂の硬化剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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