(57)【要約】  【課題】蓄積性蛍光体パネルの外部の気圧、または、温度の変化が生じても、蓄積性蛍光体層の吸湿を防止すると共にこの蓄積性蛍光体層から読み取られる画像信号の品質の低下を抑制することができる蓄積性蛍光体パネルを提供する。  【解決手段】蓄積性蛍光体パネルにおいて、基板に形成された密閉領域に連通する凹部と、前記基板に接着された凹部外周を覆う柔軟なシートとからなるバッファ空間を設けることにより、前記課題を解決する。【選択図】図１
2006090709.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
剛性を有する基板と、蓄積性蛍光体層と、透明防湿保護層とをこの順に堆積してなり、前記蓄積性蛍光体層が、前記基板と前記透明防湿保護層との間に密閉された密閉領域内に収容され封止されている蓄積性蛍光体パネルであって、
前記基板に形成された凹部と、前記凹部と前記密閉領域とを連通する通気孔と、前記凹部の開放面を閉塞する柔軟なシートとにより画されるバッファ空間を有することを特徴とする蓄積性蛍光体パネル。
【請求項２】
前記柔軟なシートの透湿度が０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である請求項１に記載の蓄積性蛍光体パネル。
【請求項３】
前記柔軟なシートが少なくとも１層のアルミ箔を有する請求項１または２に記載の蓄積性蛍光体パネル。
【請求項４】
３ｍｍ〜５０ｍｍの密着封止幅で、前記凹部外周に前記柔軟なシートを接着することにより、前記柔軟なシートで凹部の開放面を閉塞する請求項１〜３のいずれかに記載の蓄積性蛍光体パネル。
【請求項５】
前記凹部が前記基板の前記蓄積性蛍光体層形成面と逆面に形成される請求項１〜４のいずれかに記載の蓄積性蛍光体パネル。
【請求項６】
前記バッファ空間が、前記密閉領域の空間体積と前記バッファ空間の１気圧における体積とを足した体積の１／１０倍から２倍までの範囲で可変である請求項１〜５のいずれかに記載の蓄積性蛍光体パネル。
【請求項７】
剛性を有する基板と、蓄積性蛍光体層と、透明防湿保護層とをこの順に堆積してなり、前記蓄積性蛍光体層が、前記基板と前記透明防湿保護層との間に密閉された密閉領域内に収容され封止されている蓄積性蛍光体パネルであって、
前記密閉領域と連通した拡縮自在のバッファ空間を備え、
前記バッファ空間が、前記密閉領域の空間体積とバッファ空間の１気圧における体積とを足した体積の１／１０倍から２倍までの範囲で可変であることを特徴とする蓄積性蛍光体パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蓄積性蛍光体パネルの技術分野に属し、詳しくは、蓄積性蛍光体層を封止する透明防湿保護層を有する蓄積性蛍光体パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
放射線（Ｘ線、α線、β線、γ線、電子線、紫外線等）の照射を受けると、この放射線エネルギーの一部を蓄積し、その後、可視光等の励起光の照射を受けると、蓄積されたエネルギーに応じた輝尽発光を示す蛍光体が知られている。この蛍光体は、蓄積性蛍光体（輝尽性蛍光体）と呼ばれ、医療用途などの各種の用途に利用されている。
【０００３】
一例として、この蓄積性蛍光体の膜（蓄積性蛍光体層  以下、蛍光体層とする）を有する蓄積性蛍光体パネル（以下、蛍光体パネルとする（放射線像変換シートとも呼ばれている））を利用する、放射線画像情報記録再生システムが知られており、例えば、富士写真フィルム社製のＦＣＲ（Fuji Computed Radiography)等として実用化されている。
このシステムでは、人体などの被写体を介してＸ線等を照射することにより、蛍光体パネル（蛍光体層）に被写体の放射線画像情報を記録する。記録後に、蛍光体パネルをレーザ光等の励起光で２次元的に走査して輝尽発光を生ぜしめ、この輝尽発光光を光電的に読み取って画像信号を得る。そして、この画像信号に基づいて再生した画像を、ＣＲＴなどの表示装置や、写真感光材料などの記録材料等に、被写体の放射線画像として出力する。
【０００４】
蛍光体パネルは、通常、蓄積性蛍光体の粉末をバインダ等を含む溶媒に分散してなる塗料を調製して、この塗料をガラスや樹脂製のパネル状の支持体に塗布し、乾燥することによって、作成される。
これに対し、真空蒸着やスパッタリング等の真空成膜法（気相成膜法）によって、支持体に蛍光体層を形成してなる蛍光体パネルも知られている（特許文献１、特許文献２参照）。真空成膜法による蛍光体層は、真空中で形成されるので不純物が少なく、また、蓄積性蛍光体以外のバインダなどの成分が殆ど含まれないので、性能のバラツキが少なく、しかも発光効率が非常に良好であるという、優れた特性を有している。
【０００５】
蛍光体パネルの特性を劣化させる要因の１つとして、蓄積性蛍光体層の吸湿が挙げられる。蓄積性蛍光体層、特に、良好な特性を有するアルカリハライド系の蓄積性蛍光体層は、吸湿性が高く、通常（常温／常湿）の環境下であっても、容易に吸湿する。その結果、輝尽発光特性すなわち感度の低下や、蓄積性蛍光体の結晶性の低下（例えば、柱状構造をもつアルカリハライド系の蓄積性蛍光体であれば、結晶の柱状性の崩壊）による再生画像の鮮鋭性の低下等を生じてしまう。
このような不都合を防止するために、蓄積性蛍光体パネルには、防湿性を有する透明シートを保護層として使用し、この透明防湿保護層と基板との間の密閉した領域に蓄積性蛍光体層を封止したものも知られている。
【０００６】
しかしながら、透明防湿保護層と基板との間に蓄積性蛍光体層を密閉して封止した蓄積性蛍光体パネルは、気圧の低い高所や温度の高い環境下で使用すると、透明防湿保護層と基板との間の密閉領域内に存在する気体が膨張し、各層の層間隔が広がったり、蓄積性蛍光体層が歪んだりすることがある。
【０００７】
例えば、蓄積性蛍光体パネルにおいて、透明防湿保護層と蓄積性蛍光体層とが間隙を有する場合、蓄積性蛍光体層に記録されている放射線像を読み取るために透明防湿保護層を通して蓄積性蛍光体層に照射された励起光が、蓄積性蛍光体層と透明防湿保護層との間で繰り返し反射される。そのため、前記気体の膨張等によって、蓄積性蛍光体層と透明防湿保護層との間の間隙の大きさが変動すると、蓄積性蛍光体層への励起光の照射領域が変動してしまう。
【０００８】
図３は、透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４との間の間隔１２０が広い状態を示している。このとき、蓄積性蛍光体層１１４に記録されている放射線像を読み取るために透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４との間で反射された励起光Ｌｅは領域Ｒ１の範囲に広がる。
他方、図４は、透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４とが近接しているときの状態を示している。このときは、１回の反射における励起光の伝播距離が短い。そのため、透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４との間で反射された励起光Ｌｅは上記領域Ｒ１より狭い領域Ｒ２の範囲となる。
したがって、透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４との間で励起光が同じ回数反射されても、両者の間隔が異なれば励起光の照射領域が異なる。すなわち、透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４との間隔が変動すれば、励起光の照射領域が変動してしまう。
【０００９】
そのため、例えば、透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４との間隔が広がると蓄積性蛍光体層１１４からは、この広い領域Ｒ１に相当する太い光束を持つ励起光の照射を受けたことと同等の作用によって輝尽発光光が発せられ、この検出範囲外を含む広い領域から発生した輝尽発光光の検出により取得された画像信号で表わされる放射線像の鮮鋭性が低下してしまう。
【００１０】
また、透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４とが接着されている場合には、密閉領域中の気体の膨張により、蓄積性蛍光体層１１４が歪む（浮いてしまう）場合がある。その状態を図５に概念的に示す。蓄積性蛍光体層１１４が歪んでしまうと、励起光の蓄積性蛍光体層１１４への照射位置は、蓄積性蛍光体層１１４が歪んでいないときの所定の位置Ｈ１とは異なる、歪んだ蓄積性蛍光体層１１４上の位置Ｈ２に照射される。
そのため、蓄積性蛍光体層１１４上の所定の位置Ｈ１（歪んでしまった蓄積性蛍光層においては位置Ｈ１´）に照射されるはずの励起光Ｌｅがこの位置とは異なる変形した蓄積性蛍光体層１１４上の位置Ｈ２に照射されて、この位置Ｈ２から発生した輝尽発光光が、位置Ｈ１から発生した輝尽発光光を検出するように設定されている検出手段１２２によって検出される。
【００１１】
その結果、検出手段１２２による輝尽発光光の集光効率が低下する。さらに、輝尽発光光の発生位置が蓄積性蛍光体層１１４上の所定の位置Ｈ１´（Ｈ１）からずれた位置Ｈ２となるので、このずれた位置から取得された画像信号によって、表わされる放射線像がゆがんだものとなってしまい、蓄積性蛍光体層１１４に記録されている放射線像を正確に読み取ることが難しくなる。
【００１２】
このような問題点を解決するために、本発明者らは、蓄積性蛍光体層の吸湿を防止すると共に、温度および気圧の変化が生じても、この蓄積性蛍光体層から読み取られる画像信号の品質の低下を抑制することができる蓄積性蛍光体パネルを提供している（特許文献３参照）。この蓄積性蛍光体パネルは、蓄積性蛍光体層が形成される基板と透明防湿保護層との間の密閉領域とを連通する拡縮自在のバッファ空間を有するものである。
【００１３】
具体例として、図６に示すように、蓄積性蛍光体層１１４が形成される密閉領域に連通する通気孔１２６を基板１１２に形成し、この通気孔１２６に接続して、基板１１２裏面に、防湿性を有するシリンダ１４４を固定し、このシリンダ１４４内に、シリンダ１４４を密閉し、且つ、移動自在なピストン１４２を挿入して、シリンダ１４４とピストン１４２とでシリンダ１４４内に形成される閉空間をバッファ空間１４８とする蓄積性蛍光体パネル１４０を例示している。
また、別な例として、図７に示すように、蓄積性蛍光体層１１４を密閉する透明防湿保護層１１８を変形自在のシート材で形成し、この透明防湿保護層１１８に複数の袋部１５２を設けることにより、この袋部１５２をバッファ空間とする蓄積性蛍光体パネル１５０を例示している。
【００１４】
【特許文献１】特許第２７８９１９４号公報
【特許文献２】特開平５−２４９２９９号公報
【特許文献３】特開２００３−２４８０９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
特許文献３に開示される蓄積性蛍光体パネルであれば、温度および気圧の変化によって、蓄積性蛍光体層が形成される密閉領域の体積が変動しても、図６に示す蓄積性蛍光体パネル１４０であれば、ピストン１４２が移動してバッファ空間１４８の体積が変動することにより、他方、図７に示す蓄積性蛍光体パネル１５０であれば、袋部１５２が拡大／縮小することにより、密閉領域の体積変動を此処で吸収することができる。従って、前述のような、密閉領域の体積変動による透明防湿保護層１１８と蓄積性蛍光体層１１４との間隙の変動や、蓄積性蛍光体層１１４の歪みを好適に防止できる。
【００１６】
しかしながら、特許文献３に開示される蓄積性蛍光体パネルは、いずれも、バッファ空間を蓄積性蛍光体パネルの外に有する。そのため、蓄積性蛍光体パネルのサイズや用途、使用環境によっては、十分なバッファ空間を確保できない場合があり、あるいは、十分なバッファ空間を確保するためには、蓄積性蛍光体パネルの大型化を避けることが出来ない場合もある。
【００１７】
本発明の目的は、蓄積性蛍光体層を透明防湿保護層で密閉してなる蓄積性蛍光体層において、前記従来技術の問題点を解消し、蓄積性蛍光体層の吸湿を防止すると共に、温度および気圧の変化が生じても、蓄積性蛍光体パネルから読み取られる画像信号の品質の低下を抑制することができる機能を有し、さらに、蓄積性蛍光体パネルの拡大化を引き起こすことなく、十分な大きさのバッファ空間を確保することができる蓄積性蛍光体パネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、剛性を有する基板と、蓄積性蛍光体層と、透明防湿保護層とをこの順に堆積してなり、前記蓄積性蛍光体層が、前記基板と前記透明防湿保護層との間に密閉された密閉領域内に収容され封止されている蓄積性蛍光体パネルであって、前記基板に形成された凹部と、前記凹部と前記密閉領域とを連通する通気孔と、前記凹部の開放面を閉塞する柔軟なシートとにより画されるバッファ空間を有することを特徴とする蓄積性蛍光体パネルを提供するものである。
【００１９】
本発明の第１の態様においては、前記柔軟なシートの透湿度が０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明の第１の態様においては、前記柔軟なシートが少なくとも１層のアルミ箔を有することが好ましい。
【００２１】
さらに、本発明の第１の態様においては、３ｍｍ〜５０ｍｍの密着封止幅で、前記凹部外周に前記柔軟なシートを接着することにより、前記柔軟なシートで凹部の開放面を閉塞することが好ましい。
【００２２】
さらに、本発明の第１の態様においては、前記凹部が前記基板の前記蓄積性蛍光体層形成面と逆側に形成されることが好ましい。
【００２３】
さらに、本発明の第１の態様においては、前記バッファ空間が、前記密閉領域の空間体積と前記バッファ空間の１気圧における体積とを足した体積の１／１０倍から２倍までの範囲で可変であることが好ましい。
【００２４】
また、本発明の第２の態様は、剛性を有する基板と、蓄積性蛍光体層と、透明防湿保護層とをこの順に堆積してなり、前記蓄積性蛍光体層が、前記基板と前記透明防湿保護層との間に密閉された密閉領域内に収容され封止されている蓄積性蛍光体パネルであって、前記密閉領域と連通した拡縮自在のバッファ空間を備え、前記バッファ空間が、前記密閉領域の空間体積とバッファ空間の１気圧における体積とを足した体積の１／１０倍から２倍までの範囲で可変であることを特徴とする蓄積性蛍光体パネルを提供するものである。
【００２５】
本発明の第２の態様においては、前記バッファ空間のうち少なくとも一部を柔軟なシートで形成するのが好ましく、また、この柔軟なシートの透湿度が０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であるのが好ましく、また、この柔軟なシートが、少なくとも１層のアルミ箔を有することが好ましい。
さらに、本発明の第２の態様においては、前記柔軟なシートを３ｍｍ〜５０ｍｍの密着封止幅で、接着することにより、前記バッファ空間を形成することが好ましい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の蓄積性蛍光体パネルは、基板に蓄積性蛍光体層を形成し、透明防湿保護層で蓄積性蛍光体層を密閉してなる蓄積性蛍光体パネルにおいて、基板に形成された凹部と、この凹部から蓄積性蛍光体層が存在する密閉領域に連通する通気孔と、前記凹部の開放面を閉塞する柔軟なシートとからなるバッファ空間を備えている。
このため、例えば、外部の気圧低下や温度上昇により密閉領域内の気体が膨張しても、密閉領域内の気体がバッファ空間へ移動し、柔軟なシートの作用によってバッファ空間の体積が大きくなるので、温度上昇等による密閉領域内の体積変動をバッファ空間によって吸収することができる。
すなわち、上記のようなバッファ空間の作用により、温度または気圧の変化が生じても、上記密閉領域内に存在する気体の膨張に起因する、蓄積性蛍光体層と透明防湿保護層との間隔の拡大や、蓄積性蛍光体層の変形（基板からの浮き）等を抑制することができるので、蓄積性蛍光体層の吸湿を防止すると共に、蓄積性蛍光体層から読み取られる画像信号の品質の低下を抑制することができる。
また、本発明の蛍光体パネルは、基板に凹部を形成し、ここをバッファ空間とするので、蛍光体パネルの大型化を招くことなく、十分な大きさのバッファを確保できる。特に、基板の裏面に凹部を形成することにより、容易且つ簡易な構成で、パネルの大型化を引き起こすことなく、十分な大きさのバッファ空間を確保でき、好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の蓄積性蛍光体パネルについて、添付の図面を用いて、詳細に説明する。
【００２８】
図１は、本発明の蓄積性蛍光体パネルの概略構成断面図を示したものである。
図１に示すように、本発明の蓄積性蛍光体パネル（以下、「蛍光体パネル」と言う）１０は、矩形の基板１２と、この基板１２上に蒸着法により形成された蓄積性蛍光体層（以下、「蛍光体層」と言う）１４と、この蛍光体層１４を基板１２表面方向で囲む、基板１２に固定された枠１６と、蛍光体層１４の吸湿を防止するために蛍光体層１４を覆って封止する透明防湿保護層（以下、「防湿保護層」と言う）１８と、防湿保護層１８の表面側から蛍光体パネル１０を補強する補強枠２２とを有する。
また、基板１２は、裏面に形成された凹部２４と、前記凹部２４から蛍光体層１４までを連通する通気孔２６と、凹部２４内を密閉して閉塞するように凹部２４外周に貼り付けられた柔軟なシート２０とを有する。この柔軟なシート２０で閉塞される凹部２４と通気孔２６とで成される空間が、本発明におけるバッファ空間となる。
【００２９】
本発明の蛍光体パネル１０において、基板１２は剛性を有するものであれば特に限定はなく、蛍光体パネル１０で使用されている各種のものが利用可能である。
一例として、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルムなどのプラスチックフィルム；  石英ガラス、無アルカリガラス、ソーダガラス、耐熱ガラス（パイレックスTM等）などから形成されるガラス板；  アルミニウムシート、鉄シート、銅シート、クロムシートなどの金属シートあるいは金属酸化物の被服層を有する金属シート；  等が例示される。
また、基板１２の厚さは、特に限定はなく、後述するバッファ空間を十分に確保でき、且つ、蓄積性蛍光体パネル１０としての十分な強度を維持でき、さらに、不要に厚くならない厚さを適宜決定すればよいが、一例として、３ｍｍ〜２０ｍｍが好ましい。
【００３０】
前述のように、基板１２は、裏面に形成された凹部２４と、この凹部２４と蛍光体層１４が形成された密閉領域と連通する通気孔２６とを有している。この点については、後のバッファ空間の説明で詳述する。
【００３１】
蛍光体パネル１０においては、好ましい態様として、基板１２表面に、基板１２上における蛍光体層１４の形成領域（すなわち、蛍光体パネル１０の撮像領域）に応じて、枠１６を有する。
この枠１６に蛍光体層１４の封止を行う防湿保護層１８を接着する構成とすることにより、防湿保護層１８で蛍光体層１４を封止する際に、蛍光体層１４の表面と防湿保護層１８との接着面を略同一平面上にできるため、容易に蛍光体層１４の封止を行う事ができ、且つ、封止時等における蛍光体層１４の保護も図ることができる。
【００３２】
枠１６の形状には、特に限定はなく、蛍光体パネル１０の撮像領域に応じて、適宜、限定すればよいが、図示例においては、一例として、上下面が開放された基板１２と同形の四角柱状のものである。
また、枠１６の形成材料にも、特に限定は無いが、例えば、基板１２と同一素材のものを用いればよい。
【００３３】
枠１６を基板１２に固定する固定方法にも、特に限定はなく、接着剤または溶解金属を用いる方法等、公知の方法が、各種利用可能である。
なお、接着剤は、特に限定はなく、一例として、エポキシ接着剤が好適に例示される。また、溶解金属も、同様に、特に限定はなく、一例として、アルミ半田が好適に例示される。
【００３４】
枠１６は、例えば、適切な冶具を用いて位置合わせをして、基板１２表面に固定しても良いが、好ましくは、図１に示すように、基板１２の表面に溝２８を形成し、この溝２８に、枠１６を挿入して、基板１２上に枠１６を固定するのが特に好ましい。
このような溝２８は、機械加工等によって、非常に高い位置精度で加工することができる。従って、このような溝２８を形成し、ここに枠１６を挿入して、枠１６の位置決めを行うことにより、枠１６と基板１２との位置精度、および、基板１２に対する蛍光体層１４の蒸着位置精度が向上し、蛍光体パネル１０の撮像面を適正に所定範囲とすることが可能となる。さらに、溝２８に枠１６を挿入する構成にすることにより、枠１６の厚みを、溝２８に差し込む部分の量だけ、基板１２面上に固定する場合より厚くすることができ、機械的強度の向上を図ると共に、製造上扱いやすくなり、また、枠１６の寸法精度も確保しやすくなる。
なお、枠１６と基板１２との位置精度や枠１６の取り付け時の加工性等を高くする為に、枠１６を溝２８に嵌入する構成にすることが、特に好ましい。
【００３５】
本発明の蛍光体パネル１０においては、基板１２上の枠１６の内側に蛍光体層１４を有する。
【００３６】
蛍光体層１４を形成する蓄積性蛍光体には、特に限定はなく、各種のものが利用可能である。
好ましい一例として、特開昭５７−１４８２８５号公報に開示される、一般式「ＭI Ｘ・ａＭIIＸ’2 ・ｂＭIII Ｘ''3 ：ｃＡ」で示されるアルカリハライド系蓄積性蛍光体が例示される。
（上記式において、ＭI は、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，ＲｂおよびＣｓからなる群より選択される少なくとも一種であり、ＭIIは、Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ，Ｚｎ，Ｃｄ，ＣｕおよびＮｉからなる群より選択される少なくとも一種の二価の金属であり、ＭIII は、Ｓｃ，Ｙ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕ，Ａｌ，ＧａおよびＩｎからなる群より選択される少なくとも一種の三価の金属であり、Ｘ、Ｘ’およびＸ''は、Ｆ，Ｃｌ，ＢｒおよびＩからなる群より選択される少なくとも一種であり、Ａは、Ｅｕ，Ｔｂ，Ｃｅ，Ｔｍ，Ｄｙ，Ｐｒ，Ｈｏ，Ｎｄ，Ｙｂ，Ｅｒ，Ｇｄ，Ｌｕ，Ｓｍ，Ｙ，Ｔｌ，Ｎａ，Ａｇ，Ｃｕ，ＢｉおよびＭｇからなる群より選択される少なくとも一種である。また、０≦ａ＜０．５であり、０≦ｂ＜０．５であり、０≦ｃ＜０．２である。）
【００３７】
特に、優れた輝尽発光特性を有し、且つ、本発明の効果が良好に得られる等の点で、ＭI が、少なくともＣｓを含み、Ｘが、少なくともＢｒを含み、さらに、Ａが、ＥｕまたはＢｉであるアルカリハライド系蓄積性蛍光体は好ましく、中でも特に、一般式「ＣｓＢｒ：Ｅｕ」で示される蓄積性蛍光体が好ましい。
【００３８】
本発明の蛍光体パネル１０において、蛍光体層１４の形成方法には、特に限定はなく、真空蒸着、スパッタリング、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition) 、塗布法等の各種の真空成膜法で得られるものが利用可能である。
中でも、生産性等の点で真空蒸着により形成された蛍光体層１４が好ましく、特に、蛍光体成分の材料と、付活剤（賦活剤：activator)成分の材料とを別々に加熱蒸発させる、多元の真空蒸着により形成された蛍光体層１４が好ましい。例えば、前記「ＣｓＢｒ：Ｅｕ」の蛍光体層１４であれば、蛍光体成分の材料として臭化セシウム（ＣｓＢｒ）を、付活剤成分の材料として臭化ユーロピウム（ＥｕＢｒx （ｘは、通常、２〜３））を、それぞれ用いて、別々に加熱蒸発させる、多元の真空蒸着により形成するのが好ましい。
また、真空蒸着ではなく、蓄積性蛍光体をバインダに分散した塗料を調整し、これを基板に塗布／乾燥して蛍光体層１４を形成する、いわゆる塗布法によって、蛍光体層１４を形成してもよい。
【００３９】
蛍光体層１４を真空成膜法で形成した場合には、輝尽発光特性を良好に発現させ、且つ、向上させるために、熱処理（アニーリング）が施される。
蛍光体層１４の熱処理条件には、特に限定はないが、一例として、窒素雰囲気等の不活性雰囲気下で、５０℃〜６００℃、特に、１００℃〜３００℃で、１０分〜１０時間、特に、３０分〜３時間行うのが好ましい。
蛍光体層１４の加熱処理は、焼成炉を用いる方法等の公知の方法で実施すればよく、また、基板１２の加熱手段を有する真空蒸着装置であれば、これを利用して加熱処理を実施してもよい。
【００４０】
なお、本発明の蛍光体パネル１０において、蛍光体層１４の上下面に各種の膜を有することには、特に限定はない。例えば、基板１２の表面に輝尽発光光を反射するための反射膜、あるいはさらに、反射膜上に反射膜を保護するためのバリア膜等を有してもよい。
【００４１】
本発明の蛍光体パネル１０は、吸湿性が高く、吸湿によって容易に特性が劣化してしまう蛍光体層１４の吸湿を防止するために、防湿保護層１８を有し、蛍光体層１４を、基板１２（および、図示例においては枠１６）と防湿保護層１８との間の密閉領域に密閉する。
【００４２】
防湿保護層１８は、十分な防湿性を有するものであれば、各種のものが利用可能であり、特に限定はない。一例として、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム上に、ＳｉＯ２膜とＳｉＯ２とＰＶＡ（ポリビニルアルコール）とのハイブリット層とＳｉＯ２膜との３層を形成してなる防湿保護層１８が例示される。これ以外にも、ガラス板（フィルム）、ポリエチレンテレフタレートやポリカーボネート等の樹脂フィルム、樹脂フィルムにＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＣなどの無機物質が堆積したフィルム等も好ましく例示される。なお、前記ＰＥＴフィルム上に、ＳｉＯ２膜／ＳｉＯ２とＰＶＡとのハイブリット層／ＳｉＯ２膜の３層を形成した防湿保護層１８において、例えば、ＳｉＯ２膜は、スパッタリング法を用いて、ＳｉＯ２とＰＶＡとのハイブリット層は、ＰＶＡとＳｉＯ２の比率が１：１となるようにゾルゲル法を用いて、それぞれ形成すればよい。
【００４３】
防湿保護層１８で、蛍光体層１４を封止する方法は、特に限定はない。一例として、接着層３０によって、防湿保護層１８を枠１６上面に接着する方法が例示される。なお、本発明においては、防湿保護層１８と枠１６上面のみと接着しても良いが、より耐久性に優れた蛍光体パネル１０を得るために、図１に示すように、防湿保護層１８は枠１６上面のみならず蛍光体層１４表面とも接着するのが好ましい。
接着層３０は、防湿性に優れた接着剤で形成されたものであれば、特に限定はない。一例として、ポリエステル系接着剤が好適に例示される。さらに、蛍光体層１４表面も防湿保護層１８と接着する際には、放射線の入射および輝尽発光光の出射を妨げない光学特性を有するものであるのが好ましい。
【００４４】
本発明の蛍光体パネル１０においては、枠１６に接着された防湿保護層１８の剥離を防止するための補強枠２２を有する。
【００４５】
補強枠２２の形状には、特に限定はなく、蛍光体パネル１０の撮像領域に応じて、適宜、限定すればよいが、図示例においては、一例として、上下面が開放する四角柱状のものである。
また、補強枠２２の形成材料にも、特に限定は無いが、枠１６や基板１２との熱膨張率差による変形や接着界面のストレスを避けるために、枠１６および／または基板１２と同一素材であることが好ましい。
【００４６】
補強枠２２を防湿保護層１８に固定する固定方法にも、特に限定はなく、接着剤を用いる方法等、公知の方法が、各種利用可能である。
【００４７】
本発明の蛍光体パネル１０においては、上述したように、蛍光体層１４の吸湿を防止するために、防湿保護層１８と基板１２（および図示例においては枠１６）との間の密閉領域に、蛍光体層１４を密閉する構成を有する。
このような構成を有する蛍光体パネル１０を気圧の低い高所や湿度の高い環境下で使用すると、防湿保護層１８と基板１２との間の密閉領域内に存在する気体が膨張する。これにより、基板１２からの蛍光体層１４の浮き（蛍光体層１４のゆがみ）、蛍光体層１４と透明防湿保護層１８との間隔の拡大等が起こり、蛍光体層１４から読み取られる画像信号の品質の低下を引き起こす。
このような不都合を解消するため、本発明者は、特許文献３に示されるようなバッファ空間を有する蛍光体パネルを提案しているが、この蛍光体パネルは、バッファ空間が蛍光体パネルの外部にあるため、十分な大きさを確保することができない。そのため、蛍光体パネルが大型化する等の不都合があるのは、前述の通りである。
【００４８】
これに対し、本発明の蛍光体パネル１０は、気圧および温度の変化により、防湿保護層１８と基板１２との間に密閉された密閉領域内の気体が膨張した場合に、この気体の膨張を吸収るためのバッファ空間を、基板１２に形成された凹部２４と、前記凹部２４と密閉領域とを連通する通気孔２６と、凹部２４の開放面を密閉して閉塞する柔軟なシート２０とで構成する。また、図示例においては、好ましい態様として、凹部２４を基板１２の裏面（蛍光体層１４形成面の逆側）に、形成している。
【００４９】
そのため蛍光体パネル１０は、気圧の低い高所や湿度の高い環境下において、密閉領域内の気体が常温常圧の環境下で使用される場合より膨張しても、密閉領域内の膨張した気体は、バッファ空間内へ移行し、図２に示すように、柔軟なシート２０が外部に向けて膨らむことによって、吸収することができるので、防湿保護層１８と蛍光体層１４との間隙の広がりや、蛍光体層１４の歪み（浮き）等が生じるのを防止することができる。
しかも、本発明の蛍光体パネル１０は、基板１２に前記密閉領域に連通する凹部２４を形成し、この凹部２４を閉塞することでバッファ空間を形成することにより、パネルの大型化を引き起こすことなく、十分な大きさのバッファ空間を確保することができる。特に図示例のように、基板１２の裏面に凹部２４を形成することにより、容易に、且つ、簡易な加工性で、十分な大きさのバッファ空間を確保することができる。
【００５０】
凹部２４の形状には、特に限定はなく、基板１２の形状や基板１２における形成位置等に応じて、適宜、決定すればよい。図示例においては、一例として凹部２４は、四角柱状となっている。また、体積にも特に限定はなく、十分なバッファ空間の体積を確保でき、好ましくは、後述するバッファ空間の体積の可変範囲を実現できる大きさを、基板１２の形状やサイズに応じて適宜決定すればよい。
凹部２４の形成方法には、特に限定はなく、機械加工、半導体製造技術等、公知の方法が各種利用可能である。
【００５１】
通気孔２６は、前記凹部２４と蛍光体層１４が形成される密閉領域とを連通し、膨張等が生じた際に気体が速やかに流れるものであればよい。
また、図示例においては、通気孔２６は、蛍光体層１４が形成されている領域を貫通しているが、本発明はこれに限定はされず、蛍光体層１４が存在していない、基板１２と防湿保護層１８とで密閉された密閉領域まで貫通するものでもよい。
蛍光体層１４は、通常５％〜３０％程度の空隙を有するので、通気孔２６を蛍光体層１４の形成領域に形成しても、十分な通気性を得ることができる。他方、蛍光体層１４の形成領域以外に通気孔２６を形成すれば通気性の点ではより有利であるが、基板１２面積に対する撮像面積が小さくなる。従って、いずれの位置に通気孔２６を形成すればよいか、蛍光体パネルのサイズ、用途、使用環境等に応じて、適宜、選択すればよい。
通気孔２６の形成方法についても、特に限定はなく、機械加工、半導体製造技術を利用する方法等、公知の方法が各種利用可能である。
【００５２】
シート２０には、特に限定はなく、バッファ空間からの蛍光体層１４の吸湿を防止できる防湿性を有し、且つ、前記密閉領域の気体の膨張によるバッファ空間への気体流出入に追従して変形して、バッファ空間の体積を可変とする柔軟性を有するシートが各種利用可能である。また、防湿保護層１８で例示した各種のシートも利用可能である。特に、透湿度を極めて低くするために、シート２０が少なくとも１層のアルミ箔層を有することが好ましく、さらに、多層膜であるのが好ましい。
シート２０の厚さにも、特に限定はなく、前記防湿性および柔軟性を得られる厚さを、シート材料に応じて、適宜選択すればよい。
【００５３】
特に、シート２０の透湿度が０．１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが好ましく、これを実現できるように、材料や厚さを選択するのが好ましい。これにより、蛍光体層１４の吸湿を防止することができ、初期の蛍光体層の特性を保持し続けることができる。
【００５４】
さらに、シート２０の形状および面積は、凹部２４の開放面を覆って、凹部２４を密閉することが可能であり、且つ、気圧や温度の変化に起因する気体の流動に応じて、前記バッファ空間としての機能を十分に果たすものであれば、特に限定はない。
【００５５】
シート２０の基板１２に対する接着方法は、特に限定はない。一例として、柔軟なシート２０外周部分に所定の厚みの接着剤を塗布し、柔軟なシート２０の接着剤塗布面と基板１２とを対面させ、凹部２４の外周を覆うように貼り付ける。このとき、柔軟なシート２０をあらかじめ凹部２４の内側にたるむように変形させておくことが好ましい。
また、十分な封止性能を維持し、加工が容易で、バッファ空間外周の面積を必要以上取らないために、基板１２の凹部２４外周と柔軟なシート２０との密着封止幅（図１中ａで示す）は、３ｍｍ〜５０ｍｍであることが好ましく、特に、５ｍｍ〜２０ｍｍであることが特に好ましい。
【００５６】
上記構成を有するバッファ空間の体積には、特に限定はないが、密閉領域内に存在する気体の膨張／収縮をより確実にバッファ空間で吸収するために、蛍光体層１４が形成される基板１２と防湿保護層１８との間の密閉領域内の空間体積と、バッファ空間の１気圧における体積とを足した体積の、１／１０倍から２倍までの範囲で可変であることが好ましい。
【００５７】
例えば、図１に示す蛍光体パネル１０において、蛍光体層１４の大きさが、縦４３０ｍｍ、横４３０ｍｍ、高さ０．７ｍｍで体積１２９．４３ｃｍ３であり、蛍光体層１４中の空隙（空隙率）が約２０％であれば、密閉領域中の空間体積は、約２５．９ｃｍ３となる。
一方、１気圧におけるバッファ空間の体積とは、柔軟なシート２０で閉塞される凹部２４の１気圧における、体積と通気孔２６の１気圧における、体積との合計である。
例えば、密閉領域の空間体積が前記２５．９ｃｍ３でバッファ空間の体積が７．３ｃｍ３であれば、両者を足した体積は、３３．２ｃｍ３となるので、従って、バッファ空間の体積は、３．３２ｃｍ３〜６６．４ｃｍ３の範囲で可変とすればよい。
【００５８】
本発明の蛍光体パネル１０においては、基板１２裏面の凹部２４外周に柔軟なシート２０を貼り付けた後の工程にも、特に限定はない。
【００５９】
なお、図示例では、好ましい形態として枠１６を有しているが、本態様においては、枠１６は、必須ではない。
枠１６を有さない場合には、前記図７や特許文献３の図１、図２、図６、図７および図８に示されるように、蛍光体層１４を封止する防湿保護層１８の周辺を基板１２に直接接着し、あるいはさらに、防湿保護層１８と蛍光体層１４表面とを接着すればよい。
【００６０】
本発明の第２の態様は、剛性を有する基板と、蓄積性蛍光体層と、透明防湿保護層とをこの順に堆積してなり、前記蓄積性蛍光体層が、前記基板と前記透明防湿保護層との間に密閉された密閉領域内に収容され封止されている蓄積性蛍光体パネルであって、前記密閉領域と連通した拡縮自在のバッファ空間を備え、前記バッファ空間が、前記密閉領域の空間体積とバッファ空間の１気圧における体積とを足した体積の１／１０倍から２倍の範囲で可変である。
【００６１】
本発明の第２の態様において、バッファ空間には、特に限定はなく、前記図６および図７に示す構成をはじめ、各種の構成が利用可能である。また、特許文献３に示されている実施形態も各種利用可能である。
【００６２】
以上、本発明の蓄積性蛍光体パネルの製造方法について説明したが、本発明は上述の例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのは、もちろんである。
【実施例】
【００６３】
以下、本発明の具体的実施例を挙げ、さらに、添付の図を用いて、本発明をより詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施例に限定されないのは言うまでもない。
【００６４】
基板１２として、厚さ１０ｍｍ、面積４５０ｍｍ×４５０ｍｍサイズのアルミ合金板（滑川軽銅製：ＭＩＣ−６）を準備した。この基板１２裏面の隣接する２辺から１０ｍｍはなれた位置に、深さ２ｍｍ、面積１１０ｍｍ×１１０ｍｍの凹部２４を形成した。さらに、同２辺から各々１６ｍｍの位置に、基板１２を貫通する貫通穴２６を形成した。
次いで、基板１２と中心を一致して、外形４３０ｍｍ×４３０ｍｍ、幅５ｍｍ、深さ１．３ｍｍの図１に示すような溝２８を形成した。
溝２８形成後、基板１２と同一素材のアルミニウム製の、厚さ２ｍｍ、外形４２９．９ｍｍ×４２９．９ｍｍ、幅４．８ｍｍの枠１６を、耐熱性エポキシ接着材（アレムコ  プロダクツ社製：アレムコボンド５２６Ｎ）を用いて、前記溝２８に固定した。
枠１６接着後、枠１６の上面に、マスク材として耐熱粘着剤付きのカプトンテープ（３Ｍ製：スコッチカプトンテープ５４１３）を貼り付け、枠１６の内側の余剰部分を切り落とし、マスクとした。
【００６５】
不活材の形成材料として臭化ユーロピウムを、蛍光体の形成材料として臭化セシウムをそれぞれ用いる二元の真空蒸着によって、基板１２の表面にＣｓＢｒ：Ｅｕからなる蛍光体層１４を形成した。
真空蒸着装置（真空チャンバ）の基板ホルダに基板１２をセットし、また、各所定位置に各膜形成材料をセットした後、真空チャンバを閉鎖し、排気を開始した。排気は、ディフュージョンポンプおよびクライオコイルを用いた。
真空度が８×１０−４Ｐａとなった時点で、真空チャンバ内にアルゴンガスを導入して真空度を０．５Ｐａとし、次いで、ＤＣ電源を駆動して成膜材料を充填したルツボに通電し、基板１２の表面に抵抗加熱による蛍光体層１４の成膜を行った。
なお、蛍光体層１４におけるＥｕ／Ｃｓのモル濃度比が０．００３：１、且つ、成膜速度が８μｍ／ｍｍとなるように、両ルツボのＤＣ電源の出力を調整した。
また、膜形成中は、ハロゲンランプを用いて基板１２表面を直接加熱した。
蛍光体層１４の膜厚が約７１０μｍとなった時点で、膜形成を終了し、真空チャンバから基板１２を取り出した。なお、膜厚は、予め行った実験により制御した。
次いで、膜形成を終了した後、枠１６に貼り付けたカプトンテープを除去することにより枠１６の内側にのみ蛍光体層１４が形成された。
この基板１２を、窒素雰囲気下で、温度２００℃で２時間の熱処理を行った。
【００６６】
他方、６μｍ厚みのＰＥＴフィルム上に、スパッタリング法を用いて、ＳｉＯ２膜をｌ００ｎｍ形成し、その上に、ＰＶＡとＳｉＯ２との比率が１：１となるように、ゾル・ゲル法を用いてＰＶＡとＳｉＯ２とのハイブリット層を６００ｎｍ形成し、ハイブリット層上に、スパッタリング法を用いてＳｉＯ２膜を１００ｎｍ形成し、防湿保護層１８とした。次に、前記防湿保護層１８（ＳｉＯ２層表面）の全面に、ポリエステル系樹脂（東洋防：バイロン３００）を塗布し、厚み１．２μｍの接着層３０を形成した。
【００６７】
次に、蛍光体層１４を形成した基板１２を１００℃に予熱し、４２０ｍｍ×４２０ｍｍサイズに裁断した防湿保護層１８を、接着層３０側が蛍光体層１４と対向するように、蛍光体層１４に被せ、熱ラミネーションにより、防湿保護層１８と、枠１６の上面および蛍光体層１４の表面を封止接着した。
【００６８】
さらに、他方、１３０ｍｍ×１３０ｍｍの柔軟なシート２０（アルミ箔ラミネートフィルム  共同包材社製：製品名  ＰＯＲＩＲ）の外周１０ｍｍ部分に、厚み２５μｍのアクリル系粘着シート（住友スリーエム製：８１６１）を貼り付けた。
アクリル系粘着シートを貼り付けた柔軟なシート２０をあらかじめ凹部２４の内側にたるむ形に変形させて、基板１２裏面に形成した凹部２４を覆うように貼り付け、最後に、防湿保護層１８表面に、外形４３０ｍｍ×４３０ｍｍ、幅６ｍｍ、厚み０．７ｍｍのアルミ製の補強枠２２を接着シート（住友スリーエム製：８１６１）を用いて貼り付け、図１に示す蛍光体パネル１０を得た。
上記蛍光体パネル１０のバッファ空間の１気圧の体積は、７．２６ｃｍ３、密閉領域の空間体積は、２４．７ｃｍ３で、両者を足した体積は、３１．９６ｃｍ３であった。また、バッファ空間の体積は、４１．１４ｃｍ３まで膨張可能であった。
【００６９】
以上のようにして得られた蛍光体パネル１０について、２５℃で１気圧の環境下、および６０℃で０．７気圧（標高２５００ｍ相当）の環境下において、画像の鮮鋭度を評価した。
なお、鮮鋭度の評価は、作成した（放射線像）変換パネルの表面にＭＦＴ測定用のチャートを載置し、全面に８０ｋｖｑ（１０ｍＲ相当）のＸ線を照射した後、放射線画像情報読取装置（富士フィルム社製  VELOCITY）で読み取り、ＭＴＦ（１サイクル／ｍｍ）を算出することで行った。
その結果、２５℃で１気圧の環境下でのＭＴＦを１００とした際に、６０℃で０．７気圧の環境下でのＭＴＦは、１０１であり、同等の鮮鋭度が得られた。また、６０℃で０．７気圧の環境下における透明防湿保護層１１８の膨らみ（＝蛍光体層１４の浮き）を目視で確認したところ、膨らみは観察されなかった。
【００７０】
一方、バッファ空間を有さない以外は、全く同様の蛍光体パネル（以下、便宜的に比較蛍光体パネルとする）を用意した。
この比較蛍光体パネルについて、全く同様の環境下でＭＴＦを測定した。その結果、前記本発明の蛍光体シートによる２５℃で１気圧の環境下でのＭＴＦを１００とした際に、比較蛍光体シートのＭＴＦは、２５℃で１気圧の環境下では１００であったものの、６０℃で０．７気圧の環境下では８５と、鮮鋭度が大幅に低下した。また、同様にして、６０℃で０．７気圧の環境下における透明防湿保護層の膨らみを確認したところ、透明防湿保護層に膨らみが確認され、蛍光体層が浮いていることが確認された。
【００７１】
以上の評価結果より、本発明の蛍光体パネルは、蛍光体層１４の吸湿を防止するるための防湿保護層１８を有する蛍光体パネルにおいて、気圧が低く、温度の高い環境においても、密閉領域内で膨張した気体に起因する蓄積性蛍光体層から読み取られる画像信号の品質の低下を引き起こすことがないことが明らかになった。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の蓄積性蛍光体パネルの概略構成断面図である。
【図２】本発明の蓄積性蛍光体パネルのシートが拡張した様子を概念的に示す図である。
【図３】蓄積性蛍光体層と透明防湿保護層との間隔が広がった上体での繰返し反射によって励起光が広がる領域を側面から示した概念図である。
【図４】蓄積性蛍光体層と透明防湿保護層との間隔が広がっていない状態での繰返し反射によって励起光が昼がる領域をわかり易くするために密着界面に厚みを持たせて示した側面の概念図である。
【図５】歪んだ蓄積性蛍光体層から放射線像を読み取る様子を示す側面の断面図である。
【図６】従来のバッファ空間を備える蓄積性蛍光体パネルの概略構成断面図である。
【図７】図５とは別の従来のバッファ空間を備える蓄積性蛍光体パネルの概略構成断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１０  （蓄積性）蛍光体パネル
１２、１１２  基板
１４、１１４  （蓄積性）蛍光体層
１６  枠
１８、１１８  （透明）防湿保護層
２０  柔軟なシート
２２  補強枠
２４  凹部
２６  通気孔
２８  溝
３０  接着層
１３２  空間
１４２  ピストン
１４４  シリンダ
１４８  バッファ空間
１５２  袋部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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