(57)【要約】【課題】  本発明は、電子ビーム傾斜時におけるビーム条件を調整するのに好適なビーム条件調整方法、及びそれを用いた装置を提供することを目的とする。【解決手段】  傾斜用偏向器によってビームを傾斜する荷電粒子線装置において、ビームの傾斜角度調整や電子ビーム傾斜時に発生する像歪を補正するための歪調整について、例えばピラミッド形状の試料等の特定の試料を用いて実施し、傾斜前後に取得する画像を取得して画像処理を実施することで傾斜角度の値や歪量を求めるようにし、所定の処理フローに従って傾斜角度の調整や歪補正の調整を自動化する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出された荷電粒子線を集束して試料に照射する対物レンズと、前記荷電粒子線を試料上で走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出器と、当該対物レンズの軸外に前記荷電粒子線を偏向させて前記荷電粒子線を前記対物レンズ光軸に対し傾斜させる傾斜用偏向器と、前記荷電粒子線を偏向して試料上の照射領域を変更する偏向器と、前記荷電粒子線の非点を補正する非点補正器と、前記荷電粒子線を傾斜したときに前記検出器によって検出された二次信号粒子に基づいて荷電粒子線の傾斜角度を測定する手段と、前記対物レンズ，非点補正器、及び偏向器を自動的に制御する制御装置とを備え、前記荷電粒子線の傾斜角度の調整を自動で実施することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出された荷電粒子線を集束して試料に照射する対物レンズと、前記荷電粒子線を試料上で走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出器と、当該対物レンズの軸外に前記荷電粒子線を偏向させて前記荷電粒子線を前記対物レンズ光軸に対し傾斜させる傾斜用偏向器と、前記荷電粒子線を偏向して試料上の照射領域を変更する偏向器と、前記荷電粒子線の非点を補正する非点補正器と、前記荷電粒子線を傾斜したときに発生する像歪量を前記検出器によって検出された二次信号粒子に基づいて定量的に測定する手段と、前記対物レンズ，非点補正器、及び偏向器を自動的に制御する制御装置とを備え、前記荷電粒子線の傾斜時の像歪を自動で調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出された荷電粒子線を集束して試料に照射する対物レンズと、前記荷電粒子線を試料上で走査する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線の走査によって試料から発生する二次信号粒子を検出する検出器と、当該対物レンズの軸外に前記荷電粒子線を偏向させて前記荷電粒子線を前記対物レンズ光軸に対し傾斜させる偏向器と、前記荷電粒子線を偏向して試料上の照射領域を変更する偏向器と、前記荷電粒子線の非点を補正する非点補正器と、前記荷電粒子線を傾斜したときに前記検出器によって検出された二次信号粒子に基づいて傾斜角度を測定する手段と、設定角度と前記測定した傾斜角度とを比較し角度のキャリブレーションを実施するキャリブレーション手段と、前記対物レンズ，非点補正器、及び偏向器を自動的に制御する制御装置とを備え、前記荷電粒子線の荷電粒子線の角度のキャリブレーションを自動で実施することを特徴とする荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線のビーム条件を調整する方法及び荷電粒子線装置に関し、特にビーム傾斜時の角度調整，歪調整、および角度のキャリブレーションを行う荷電粒子線調整方法、及び、荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査電子顕微鏡に代表される荷電粒子線装置では、細く集束された荷電粒子線を試料上で走査して試料から所望の情報、例えば試料像を得る。このような荷電粒子線装置では、年々高分解能化が進むと同時に、近年では試料に対して荷電粒子線を傾斜させて試料の傾斜像を得ることが必要とされている。試料の傾斜像を得るには試料ステージを傾斜させるのが一般的であるが、高倍率での視野ずれを防止したり、より高速に試料傾斜像を得るには、試料ステージを機械的に傾斜するよりも荷電粒子線を試料に対して傾斜するほうが合理的であることがその理由である。
【０００３】
ビームを傾斜して照射する技術としては、例えば特許文献１，２に記載のように、荷電粒子線を対物レンズの軸外に入射させて、対物レンズの集束作用、すなわち振り戻し作用を使用して、ビームを傾斜することが知られている。
【０００４】
【特許文献１】実開昭５５−４８６１０号
【特許文献２】特開平２−３３８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来技術では、ビームを傾斜した際の角度の調整方法、更に調整を自動化する方法、あるいは傾斜時の像歪補正の調整方法、更に調整を自動化する方法については何も述べられていない。精度良くビームの傾斜を実施するためには、傾斜方向毎に傾斜角度及び傾斜時の像歪補正を実施することが必要であり、容易に且つ効率良く調整を実施することが求められる。
【０００６】
本発明は、ビーム傾斜時のように、垂直ビームとは異なる条件にてビーム条件を調整するのに好適なビーム条件調整方法、及びそれを用いた装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一実施態様は、傾斜用偏向器によってビームを傾斜する荷電粒子線装置において、ビームの傾斜角度調整や電子ビーム傾斜時に発生する像歪を補正するための歪調整について、例えばピラミッド形状の試料等の特定の試料を用いて実施し、傾斜前後に取得する画像を取得して画像処理を実施することで傾斜角度の値や歪量を求めるようにし、所定の処理フローに従って傾斜角度の調整や歪補正の調整を自動化するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ビーム傾斜時において、ビーム条件を調整するのに好適なビーム条件調整方法、及び、それを用いた装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は本発明の一実施例である走査電子顕微鏡の構成を示す図である。陰極１と第一陽極２の間には、制御演算装置４０で制御される高電圧制御電源２０により電圧が印加され、所定のエミッション電流が陰極１から引き出される。陰極１と第二陽極３の間には制御演算装置４０で制御される高電圧制御電源２０により加速電圧が印加されるため、陰極１から放出された一次電子線４は加速されて後段レンズ系に進行する。一次電子線４は、レンズ制御電源２１で制御された集束レンズ５で集束され、絞り板８で一次電子線４の不要な領域が除去された後に、レンズ電源２２で制御された集束レンズ６および対物レンズ制御電源２３で制御された対物レンズ７により、試料１０に微小スポットとして集束される。
【００１０】
一次電子線４は、走査コイル制御電源２４によって制御される走査コイル９で試料１０を二次元的に走査される。一次電子線の照射で試料１０から発生した二次電子等の二次信号１２は、対物レンズ７の上部に進行した後、二次信号分離用の直交電磁発生装置１１により、一次電子線と分離されて二次信号検出器１３に検出される。二次信号検出器１３で検出された信号は、信号増幅器１４で増幅された後、画像メモリ２５に転送されて像表示装置２６に試料像として表示される。
【００１１】
対物レンズ７上部にビーム傾斜用偏向器５４が配置されており、傾斜制御電源３４によって対物レンズの物点が偏向支点となるように、対物レンズに入射する一次電子線４の位置を二次元的に制御できる。ビーム傾斜用偏向器５４はビームを傾斜できるものであれば、電磁偏向器，静電偏向器のどちらでも良い。集束レンズ５から対物レンズ７の間に非点補正コイル５３が配置されており、ビーム傾斜条件に連動して非点補正電源３３で制御される。集束レンズ６と絞り板８の間には２段の偏向コイル５２が配置されており、集束レンズ６の物点が偏向の支点となるように、収差制御電源３２によって集束レンズ６に入射する一次電子線４の位置を二次元的に制御できる。もしくは絞り板８が電動可動絞りになっており、任意に絞りの位置を設定することで、絞りを通過して集束レンズ６に入射する一次電子線４の位置を二次元的に制御することができる。
【００１２】
走査コイル９と同じ位置に、イメージシフト制御電源３１によって制御されるイメージシフト用偏向器５１が配置されており、対物レンズの物点が偏向支点となる一次電子線位置制御信号に加えて、一次電子線の試料での照射位置を二次元的に制御できる制御信号も流すことができ、ビーム傾斜条件に連動して一次電子線４の照射位置のずれを補正できる。また、ビームを傾斜させるために用いるビーム傾斜用偏向器５４は特にこれに限る必要はなく、対物レンズ７に入射する一次電子線４の位置を二次元的に走査できるものなら何でも良く、例えばイメージシフト用偏向器５１などを使用することでも実現できる。
【００１３】
試料ステージ１５は、試料を少なくとも一次電子線と垂直な面内のＸ方向とＹ方向の二方向に試料１０を移動することができる。入力装置４２からは、走査速度，加速電圧などの画像の取り込み条件や一次電子線の傾斜方向や傾斜角度などのビーム傾斜条件の指定、および画像の出力や記憶装置４１への保存などを指定することができる。
【００１４】
一次電子線を傾斜して照射する場合、傾斜角度，傾斜時に発生する像歪，焦点ぼけ，非点収差，視野ずれ等の多くの項目について補正が必要になる。特に傾斜角度精度，像歪の発生は所望の傾斜像を得ることにおいて著しく性能を損なう要因となる。以下で説明する本発明の実施例は、ビーム傾斜時の傾斜角度補正および像歪補正の調整を効率良く実施し、補正精度を向上するためのものである。
【００１５】
図２はピラミッド形状の試料のような特定の試料を使うことによって電子ビームをオペレータが設定する設定角度通りに傾斜を実施するための傾斜角度調整のフローチャートを示している。ピラミッド形状は凹凸どちらでもよく、予め定めておけばよい。ピラミッド形状の試料を用いて、傾斜前の像、すなわちトップダウン像と傾斜後の像、すなわちチルト像を取得し、画像処理によって電子ビームの実傾斜角度を推定することができる。以下ではピラミッド形状の試料を使用してビーム傾斜用偏向器５４に設定する電流量あるいは電圧量に対する角度の関係式を取得する方法を詳細に説明する。ただし、本実施例で使用する試料はピラミッド形状の試料のみに限定されるものではなく、画像処理により傾斜角度を推測できる形状のものであれば何でも良い。
【００１６】
まず、ビームを傾斜させないトップダウン像において焦点補正，非点補正を実施した後（ステップＳ００１からＳ００２）、トップダウン像を取得し記憶装置４１に記憶する
（ステップＳ００３）。次に、傾斜制御電源３４に適当な量を設定して、ビーム傾斜用偏向器５４によりビームを傾斜させ（ステップＳ００４からＳ００５）、ビーム傾斜時において焦点補正，非点補正を実施した後（ステップＳ００６）、傾斜後のチルト像を取得し記憶装置４１に記憶する（ステップＳ００７）。記憶した２つの画像から画像処理によってピラミッドの稜線部をエッジ検出し、検出したエッジで構成される幾何学形状の比較から傾斜角度を推定する（ステップＳ００８）。更に、方向毎に上記の操作（ステップS004からＳ００８）を必要な点数だけ繰り返した後（ステップＳ００９）、取得したビーム傾斜用偏向器５４の設定量と傾斜角度について近似の関係式を導出し、これをビーム傾斜の角度制御式とする（ステップＳ０１０）。傾斜方向を変更した場合にも、同様に、所定の方向に関してビーム偏向量と角度の関係式を導出することができる。以上のように調整を行うことで、所定の設定角度に応じたビーム傾斜用偏向器５４の設定量を設定することが可能になる。
【００１７】
本実施例では、偏向量と傾斜角度の関係を取得する上記の内容は電子ビーム傾斜用偏向器に限定されるものではなく、ビーム傾斜を制御する機能を持つもの全てにおいて適用される。例えば、絞り板８を電動可動絞りにして、一次電子線４の軌道を絞りの位置によって制御するような絞り移動方式による電子ビームの傾斜を実現するような走査電子顕微鏡についても、絞りの移動量と角度という関係から、近似の関係式を導出し、角度の制御式とすることができる。
【００１８】
本実施例では、以上のような処理を定めることにより、傾斜角度の制御式を自動化して取得することができる。この際、焦点補正，非点補正（ステップＳ００２，Ｓ００６）については、予め取得していた値、または推測される値をプリセットすることで、または自動焦点補正機能，自動非点補正機能を用いることで自動化を可能にする。このとき、予め取得しておいたトップダウン時からの補正量を設定することで、または角度に対する補正量を取得しておいて、設定角度に対して算出される補正量を設定することで、自動焦点補正機能，自動非点補正機能前のプリセットとしての粗調整を実施することもできる。
【００１９】
自動焦点補正機能，自動非点補正機能は焦点を調整する対物レンズ７や非点補正コイル５３に与えられる電流量を調整しながら、画像処理により最適補正量を求めるため、ビーム傾斜時に粗補正を実施することで、自動焦点補正機能，自動非点補正機能における電流の振り幅を抑えることができ、高速に且つ、高精度に補正が可能になる。
【００２０】
また、ビーム傾斜に依存して電子ビームの試料上の走査領域が変わり、像ずれが発生してしまうような場合には、予め取得していた視野ずれ量、または推測される視野ずれ量だけ試料ステージ１５を移動することで、またはイメージシフト用偏向器によりビームの照射位置を制御することで、視野補正の自動化が可能になる。視野補正については、トップダウン像とチルト像を取得した後、画像処理を実施してパターンマッチングを行い、画像上での位置変化から視野ずれ量を計算して、その値を像移動量として、ステージの移動あるいはイメージシフト偏向器による補正を実施することが可能である。
【００２１】
図３はビーム傾斜時に発生する像歪をピラミッド形状の試料等を使用して歪補正の調整を実施する処理を説明するためのフローチャートである。まず、傾斜前の像、すなわちトップダウン像において焦点補正，非点補正を実施した後、トップダウン像を取得し、記憶装置４１に記憶する（ステップＳ０１１からＳ０１３）。
【００２２】
次に、歪補正を実施する傾斜方向，傾斜角度を選択する（ステップＳ０１４）。選択した方向，角度に電子ビームを傾斜させた後（ステップＳ０１５）、焦点補正，非点補正を実施し（ステップＳ０１６）、傾斜後の像、すなわちチルト像を取得し、記憶装置４１に記憶する（ステップＳ０１７）。この際、ビームの傾斜に依存して視野ずれが発生することがあるが、試料ステージ１５を移動させることで、または電子ビームをイメージシフト用偏向器５１により偏向し、電子ビームの照射領域を移動させることで視野補正を実施する。
【００２３】
次に、記憶した２枚の画像を使用して画像処理によって歪量を計算する(ステップS018)。図４（ａ）に示すように、この例では凹型のピラミッド形状の試料４０１に垂直な電子ビーム４０２を照射し、試料上で電子ビームを走査することによって得られる二次電子像はトップダウン像４０３のようになる。一方、図４（ｂ）に示すように電子ビームが傾斜し４０４、電子ビームの走査領域が歪まずに走査できる場合、チルト像４０５が得られる。しかしながら、電子ビームの傾斜時には、図４（ｃ）に示すように歪曲収差の回転作用によって電子ビームの走査領域が歪み、正方形の形状の試料が、画像上で水平方向，垂直方向に対して角度４０７，４０８を持つ平行四辺形になるような像歪が発生する。また、図４（ｄ）の走査幅４０９，４１０に示すように、電子ビームが試料上を走査する領域の走査幅が変化することによって、図４（ｄ）に示すような長方形になるような像歪みがある。ピラミッド形状の試料は上下左右対称であり、トップダウン像とチルト像と取得し、画像処理によってピラミッド形状の稜線部のエッジを検出し、２つの画像を比較することで歪量について回転値や縦横比などを算出することが可能であり、容易に歪量を測定することが可能である。
【００２４】
次に、ステップＳ０１４からＳ０１８の処理について傾斜方向毎に必要な点数だけ繰り返した後（ステップＳ０１９）、電子ビームの傾斜角度に対する歪補正量について補正係数を導出する（ステップＳ０２０）。
【００２５】
本実施例では、ステップＳ０２０で取得した補正値を反映し、ビーム傾斜時に発生する歪を補正する手段として電子ビームの走査領域を制御する手段をとる。設定する傾斜角度に対して歪みの補正値に相当するような、走査領域の幅や、回転量を制御演算装置４０で計算し、走査コイル制御電源２４に信号を送り、走査コイル９に所定の電流を流すことで歪補正を実施する。
【００２６】
以上のような処理を定めることにより、ビーム傾斜時における歪補正の調整を自動化することができる。焦点補正，非点補正は予め予測した値を記憶させておき、ビーム傾斜時に設定することで可能になる。もしくは自動焦点補正機能，自動非点補正機能を使用することでも可能である。また、電子ビーム傾斜時に発生する視野ずれにおいては予め想定した視野ずれ量を記憶させておいて、ビーム傾斜時に補正値をステージの移動、またはイメージシフト用偏向器により照射領域を移動させることで補正を実施できる。もしくはトップダウン像とチルト像において、画像処理を実施してパターンマッチングを行い、画像上での位置ずれから視野ずれ量を計算して、その値を像移動量として補正を実施することが可能である。
【００２７】
また本実施例では、取得した補正値を反映して、電子ビームの傾斜を実施した後、ステップＳ０１１からＳ０１８までの処理に従って歪量を取得する。精度良く補正が実施されている場合、ステップＳ０１８で算出される歪量は限りなく０に近くなる。したがって、本実施例の手法を用いれば、調整後の精度確認についても可能であるし、また、ある閾値を設けることで精度が不足していた場合には再度補正値を取得し、収束計算を実施することで、歪補正の補正精度を向上することも可能である。
【００２８】
図５は、傾斜角度の精度を上げるための補正、すなわち角度キャリブレーションについて詳細に説明するフローチャートである。以下では、ピラミッド形状の試料を用いて角度キャリブレーションの実施例について説明するが、ピラミッド形状の試料に限定されるものではなく、画像処理を用いて角度が精度良く測定できる形状の試料であれば何でも良い。
【００２９】
まず、補正を実施する電子ビームの傾斜の方向，角度を選択する（ステップＳ０２１）。この傾斜方向，角度の選択に際しては、オペレータが決定することも可能であるし、予め設定された処理に従って、方向，角度を自動的に設定することも可能である。
【００３０】
次に、トップダウン像に設定し、焦点調整，非点調整を行った後、ピラミッド形状の試料においてトップダウン像を取得する（ステップＳ０２２からＳ０２４）。次に、選択した方向，角度について、前述の角度制御式から求める所定の電流値または電圧値をビームチルト用偏向器に設定して、電子ビームを傾斜させる（ステップＳ０２５）。その後、焦点調整，非点調整，視野補正を実施した後、チルト像を取得する（ステップＳ０２６）。焦点調整，非点調整については、自動焦点補正機能，自動非点補正機能の実施も可能である。また、電子ビーム傾斜時に発生する視野ずれにおいては予め想定した視野ずれ量を記憶させておいて、電子ビーム傾斜時に補正値をステージの移動、あるいはイメージシフト用偏向器により電子ビームの照射領域を移動させることで補正を実施できる。または、予め傾斜角度と視野ずれ量の関係を取得し、設定角度に対して補正量を算出することで、補正が可能である。もしくはトップダウン像とチルト像において、画像処理を実施してパターンマッチングを行い、画像上での位置ずれから視野ずれ量を計算して、その値を像移動量として補正を実施することが可能である。
【００３１】
次に、取得したトップダウン像とチルト像の２つの画像を使用し、画像処理によって実傾斜角度θrealを求める（ステップＳ０２８）。取得される実傾斜角度θrealは取得画像のＸ方向，Ｙ方向対して、傾斜角度の成分（θreal_x，θreal_y）を取得することもできる。
【００３２】
次に、傾斜方向，角度毎にデータを取得した後に、補正テーブルを作成する（ステップＳ０２９，Ｓ０３０）。補正テーブルは傾斜方向，角度毎に画像処理によって求めた実傾斜角度の角度成分（θreal_x，θreal_y）方向について持たせることができるものである。補正テーブルに入力される値は画像処理から求めた実傾斜角度の値そのものでも良いし、例えば設定角度に対する実傾斜角度の誤差、すなわち差分値といったように、設定角度に対する角度の変化がわかるものであれば何でも良い。
【００３３】
本実施例では、以上のように補正テーブルを取得した後、取得した補正テーブルを用いて角度精度を向上させてビーム傾斜を実施することができる（ステップＳ０３１）。オペレータが設定角度θset を設定すると、補正テーブルの値を読み出し、実傾斜角度が設定角度に近づくようなキャリブレーション角度θcalibを計算し、θcalibをθsetの入力値として設定することで角度のキャリブレーションを実施することが可能である。例えば、補正テーブルに保存されている実傾斜角度の値θrealから、設定角度θset に対する
θrealの比率を取得し、θreal値がθset 値の傾斜角度になるような新たな設定角度を
θcalib を内部的に設定し、比率分に相当する電流または電圧量をビーム傾斜用偏向器に設定することで角度キャリブレーションが可能になる。
【００３４】
また、本実施例において、設定角度θset とθrealの値を用いて実傾斜角度の精度を向上する方法は、上記のような比率の関係を取ることに限らず、設定角度との誤差、すなわち差分を求め、実傾斜角度が大きい場合は誤差分の角度に相当するビームの偏向量を制御する電流量または電圧量をビーム傾斜用偏向器に加えることで、傾斜角度精度を向上することが可能である。
【００３５】
また、本実施例では、傾斜角度の補正テーブルは２次元の傾斜角度成分θreal_x，
θreal_yを求めていることから、例えば、Ｘ方向に傾斜する場合には、Ｙ方向の傾斜角度成分が０になるように電子ビームの傾斜角度を補正することが可能である。例えば、Ｘ方向に傾斜するときに、補正テーブルにおいてＹ方向の角度成分が存在する場合には、このＹ方向の角度成分が０になるように、ビーム傾斜用偏向器に与える電流または電圧量を補正する。以上のように傾斜角度を補正することで、傾斜方向を正確に制御できる電子ビーム傾斜を実現することができる。
【００３６】
さらに、ステップＳ０２１からＳ０３０までの処理を自動化する。以下に述べるように、焦点調整を自動焦点補正機能で行い、非点補正を自動非点補正で行い、ビーム傾斜によって生じる視野ずれ量を傾斜前後の画像認識、すなわちパターンマッチング等を使い像シフト量を測定して視野補正を実施することで、自動化が可能となる。この時、同一傾斜方向，角度においてＮ回数傾斜を実行し、取得した実傾斜角度を平均化して補正テーブルの値を求めることも可能である。これにより、高精度なビーム傾斜を実施することが可能になる。
【００３７】
図６は上記に述べる角度キャリブレーションを実施するＧＵＩ画面の一例であり、制御演算装置３０は、このような表示を像表示装置２６に表示するようなプログラムを備えている。角度キャリブレーション実行ボタン６０１を実行すると、図５で説明した処理に従って角度キャリブレーションを実施する。結果表示画面６０２は、角度キャリブレーションで作成した補正テーブルについて結果を表示する。傾斜方向６０３，設定角度６０４において、画像処理によって取得した角度のＸ方向成分６０５とＹ方向成分６０６を表示させる。
【００３８】
また、傾斜角度精度モニター画面６０７には横軸を時間あるいは角度キャリブレーションを実施した回数等を、縦軸を傾斜角度精度をとり、角度キャリブレーションで取得した補正テーブルの値６０８をプロットすることで、角度精度をモニターすることができる。本実施例のように角度精度の変化を目視で確認できるようにすることで、ビーム傾斜の状態を容易に把握することが可能となる。更に、傾斜角度精度が劣化してきた場合には、ビーム傾斜角度の角度を調整し、角度精度を維持することができ、且つ定期的にビーム傾斜角度を調整することで、精度を常に保つことが可能になる。
【００３９】
実施例３で述べる角度キャリブレーションは、ビーム傾斜時に補正が必要になる歪補正，焦点補正，視野補正，非点補正等についても、各々、角度に対する補正量という関係式を取得しておくことで、電子ビームの傾斜時に角度キャリブレーションの結果を反映して制御を実施することができる。
【００４０】
図７は角度キャリブレーションを実施する場合と実施しない場合とで電子ビーム傾斜時に実施する補正の制御方法について説明するためのフローチャートを示している。まず、ビーム傾斜を実施する傾斜方向，角度を選択する（ステップＳ０３２）。次に、角度キャリブレーションについて実施する場合、実施例３で説明する角度キャリブレーションの補正テーブルの値によって算出されるθcalib を設定角度とし（ステップＳ０３３）、一方角度キャリブレーションを実施しない場合には、設定角度をθset に設定する（ステップ
Ｓ０３４）。
【００４１】
本実施例では、角度キャリブレーションの実施，未実施の判断は、実施例３で述べた角度キャリブレーションの補正テーブルにキャリブレーション値が存在する、しないによって判断することができる。または、オペレータが任意に選択することも可能である。
【００４２】
次に、歪補正，焦点補正，非点補正，視野補正について補正値を算出して、補正を実施する。これらの補正値は角度に対する補正量として値を取得しているため、角度キャリブレーションの実施，未実施に関わらず設定角度の値に応じて補正値を算出することができる。したがって、角度キャリブレーションを実施する際に、歪補正，焦点補正，非点補正，視野補正について再調整することなく補正を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一例である走査電子顕微鏡の概略構成図。
【図２】電子ビームを傾斜するときの傾斜角度の調整方法を説明するためのフローチャート。
【図３】電子ビームを傾斜するときの歪の調整方法を説明するためのフローチャート。
【図４】電子ビーム傾斜時の像歪みの例を示す概念図。
【図５】角度キャリブレーションの方法を説明するためのフローチャート。
【図６】角度キャリブレーションを実行するためのＧＵＩの一例を示す画面図。
【図７】角度キャリブレーションの結果を歪補正，焦点補正，非点補正，視野補正に反映させるためのフローチャート。
【符号の説明】
【００４４】
１…陰極、２…第一陽極、３…第二陽極、４…一次電子線、５，６…集束レンズ、７…対物レンズ、８…絞り板、９…走査コイル、１０…試料、１１…直交電磁発生装置、１２…二次信号、１３…二次信号検出器、１４…信号増幅器、１５…試料ステージ、２０…高電圧制御電源、２１…レンズ制御電源、２２…レンズ電源、２３…対物レンズ制御電源、２４…走査コイル制御電源、２５…画像メモリ、２６…像表示装置、３１…イメージシフト制御電源、３２…収差制御電源、３３…非点補正電源、３４…傾斜制御電源、４０…制御演算装置、４１…記憶装置、４２…入力装置、５１…イメージシフト用偏向器、５２…偏向コイル、５３…非点補正コイル、５４…ビーム傾斜用偏向器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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