(57)【要約】【課題】部品点数の減少、コスト低減を図ることができるとともに、コンパクトで耐圧性の高いケーシング構造及び信頼性の高いシール構造を有する流体用ヒータを提供する。【解決手段】ケーシング１にフッ素樹脂被覆されたカートリッジヒータＨが貫通装備されて成る流体用ヒータにおいて、ケーシング１が、カートリッジヒータＨを内装するフッ素樹脂製のケース本体４と、これの両端部の夫々にシール部Ｓを伴って装着されるフッ素樹脂製の蓋本体５と、この蓋本体５に形成された流体出し入れ用の流体給排部３１と、ケース本体４の両端に外嵌されて蓋本体５に螺合されるフッ素樹脂製のユニオンナット６とを備え、ユニオンナット６の蓋本体５への締付けにより、ケース本体４と蓋本体５との間に形成されるシール部Ｓを密着させるとともに、一対の蓋本体５のうちの少なくとも一方には、カートリッジヒータＨの導出部３４を形成する。【選択図】図３
2006153419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブ材から成るケース本体、及びこのケース本体の両端部の夫々を塞ぐべくそれら端部毎に着脱自在に取付けられる蓋部から成るケーシングと、少なくとも一方の前記蓋部を貫通して前記ケース本体の内部に通されるヒータとを有するとともに、前記ケース本体の内部空間に対する流体給排部が前記蓋部に少なくとも計２箇所形成されている流体用ヒータ。
【請求項２】
前記チューブ材が可撓性を有した合成樹脂製であり、
前記蓋部は、前記ケース本体の端部を受け入れる受口部及びこの受口部内に設けられた少なくとも一箇所のシール面を有する合成樹脂製の蓋本体と、前記ケース本体の端部に外嵌された状態で前記蓋本体の受口部側端部に外嵌螺合自在なユニオンナットと、前記ユニオンナットの前記蓋本体への螺進による締付けにより前記ケース本体をこれの外側から押圧し、この押圧作用によって前記ケース本体の端部と前記蓋本体のシール面とが密着することで形成される少なくとも一箇所のシール部と、から構成され、
少なくとも一方の前記蓋部の蓋本体には前記ヒータを貫通する導出部が形成されるとともに、前記流体給排部は、前記ケーシングの内部における前記ヒータの外部となる流路部分を通る流体を出し入れするためのものとして前記蓋本体に形成されている請求項１に記載の流体用ヒータ。
【請求項３】
前記ヒータにおける発熱部が、前記流路部分を形成する前記ケーシングの内部にのみ配されている請求項２に記載の流体用ヒータ。
【請求項４】
前記シール部が、前記蓋本体の軸線方向の外方に向けて漸次拡径するテーパ面を前記受口部の入口より内奥に形成することで成るシール面と、前記ケース本体の端部にこれを断面山形状に拡径膨出させるように圧入されたインナーリングにおける前記ケース本体の端部から突出した突出部の先端に形成したテーパ面からなる突出端面との密着により形成されている請求項２又は３に記載の流体用ヒータ。
【請求項５】
前記シール部が、前記蓋本体の受口部の入口に、前記蓋本体の軸線に対して交差するテーパ面により構成されたシール面と、前記ケース本体の端部にこれを断面山形状に拡径膨出させるように圧入されたインナーリングの圧入部の斜面部に形成された内向きテーパ面と、の間に前記ケース本体の端部を傾斜状態で挟持自在に構成することによって形成されている請求項２〜４の何れか一項に記載の流体用ヒータ。
【請求項６】
前記シール部が、前記蓋本体の受口部の内奥の前記シール面よりも径方向外方に前記蓋本体の軸線と平行に形成された環状溝部に、前記ケース本体の端部に圧入されたインナーリングの突出部の先端に形成された円筒部を嵌入自在に構成することによって形成されている請求項４又は５に記載の流体用ヒータ。
【請求項７】
前記ケース本体の一端部に取付けられる蓋部と、他端部に取付けられる蓋部とが互いに同一である請求項１〜６の何れか一項に記載の流体用ヒータ。
【請求項８】
前記ケース本体及び前記蓋部がフッ素樹脂によって形成されている請求項１〜７の何れか一項に記載の流体用ヒータ。
【請求項９】
前記ヒータは、フッ素樹脂材によって被覆されたカートリッジヒータである請求項１〜８の何れか一項に記載の流体用ヒータ。
【請求項１０】
前記ヒータは、フッ素樹脂材によって被覆されたランプヒータである請求項１〜８の何れか一項に記載の流体用ヒータ。
【請求項１１】
前記ヒータは、フッ素樹脂材によって被覆されたヒータ線を螺旋状に巻回して成るコイルヒータである請求項１〜８の何れか一項に記載の流体用ヒータ。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れか一項に記載の流体用ヒータの複数を組合せて、それらいずれの流体用ヒータにおいても流体が前記ケーシング内部を通過自在となるように、各々の前記流体給排部を連通接続して成る流体加熱装置。
【請求項１３】
前記蓋部を、これに前記ケース本体の複数が着脱自在に取付けられるものに構成することにより、前記流体用ヒータの複数を、それらいずれのケーシング内部にも流体が通過自在となるように組合せて成る請求項１２に記載の流体加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超純水等の高純度液や各種薬液等の流体用ヒータ及び流体加熱装置に係り、詳しくは、半導体製造装置や液晶装置、化学薬品製造装置、食品生産ライン等で扱われる流体の配管等に好適に用いられる流体用ヒータ、並びにその流体用ヒータの複数を組合せて成る流体を加熱する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の流体用ヒータは、ケーシングを貫通してそのケーシング内部に通されたヒータにより、ケーシングの内部を通る流体を加熱自在に構成されて成るものがある。例えば、外面が金属溶出の少ない特殊なステンレス鋼等の金属材で覆われた金属製棒状ヒータを、クリーンな合成樹脂材で成る両端が閉塞された円筒状のケーシングに貫通装備することによって構成され、ケーシングの両端部に振分けて設けられた流体入口及び流体出口を用いてケーシング内に流体を流すことにより、ケーシング内を通る、或いは貯留される流体を棒状ヒータによって加熱することができる。
【０００３】
上述のような流体用ヒータを構成するためのケーシングには、流体の漏洩についての厳しい要求がある。つまり、内部を通る流体の入口と出口からの漏洩防止に加えて、ケーシングにおける棒状ヒータの貫通箇所も漏洩防止の対象となるからであり、漏洩防止対策を施す箇所が多いからである。従って、棒状ヒータが貫通装備される流体用ヒータにおいては、液漏れの無いケーシングを生産性の良い状態で形成することが課題であり、そのケーシングの構成に関しては、特許文献１において開示されたものを踏襲することが考えられる。
【０００４】
特許文献１には、円筒状のケーシング内に熱交換チューブを貫通させて成る熱交換器が示されている。その構造を説明すると、図２１、図２２に示すように、熱交換チューブ８０が通されるケーシング８１を、ある程度の内圧に耐えられるよう充分なシール性が確保されるために、ケーシング８１の本体を構成するシェル８２の外周に複数本のタイロッドや通しボルト等の金属製締結部材８３をその長手方向に沿うよう互いに平行に配する。そして、金属製締結部材８３の両端部をシェル８２の両端部に配される蓋部材８４に挿通して、蓋部材８４から突出する金属製締結部材８３の両端の雄ねじ部にナット８５を締め込むことにより、シェル８２の両端部と蓋部材８４との突き合せ面間が密着状にシールされ、これによりケーシング８１が密封状に構成される。また、シェル８２の両端部と蓋部材８４との突き合せ面間には、シール部材であるＯリング８６が介在されている。
【０００５】
しかるに、シェル８２の両端部と蓋部材８４とを複数本のタイロッドや通しボルト等の金属製締結部材８３とナット８５との締め込みによってシールする上記の構造では、シールするための部品点数が多く、コストアップ、ケーシング構造の大型化を招くばかりか、金属製締結部材８３は、硫酸雰囲気などに晒される場所に配置された場合、腐食しやすく、また金属汚染が避けられないため、近年、とくに半導体業界では使用制限の要求が高い。
【０００６】
また、金属製締結部材８３の締付けの緩みに対して、金属製締結部材８３を定期的に増締めする必要があるが、通常金属製締結部材８３は複数本、少なくとも４本以上であるため、各金属製締結部材８３の増締め度合いにばらつきが生じ易く、このばらつきにより蓋部材８４やシェル８２の変形を招くおそれがあった。蓋部材８４やシェル８２の変形が生じると、シェル８２の端部と蓋部材８４との間にねじれや歪みが生じるため、局部的な応力集中が生じてクリープの進行を助長する問題がある。また、金属製締結部材８３の金属製タイロッドと金属製タイロッドシースとの中心軸が一致せず、両者が擦れ合って摺動抵抗が増大し、かつ、金属粉を含む摩耗粉の発生原因となるという問題もあった。さらに、シェル８２や蓋部材８４の変形が生じた場合、これらの部材交換が必要となるが、これらの部材は通常切削品であり、比較的高価でもあるため、ケーシング構造の交換を行って内部デバイス（熱交換チューブ８０）を継続利用するという再利用が難しい構造でもあった。
【０００７】
シェル８２の両端部と蓋部材８４との突き合せ面間にシール部材としてＯリング８６を介在させる接続構造を流体用ヒータに適用した場合には、Ｏリング８６を使用するため、耐蝕性や使用温度範囲に制限がある。例えば、Ｏリング８６に接する空間には、高温の薬液を連通させることができない。また、Ｏリング８６の発塵による汚染が問題となることもある。したがって、近年、半導体業界ではこのようなＯリング８６の使用制限の要求が高い。
【０００８】
また、この種の流体用ヒータが、薬液の加熱等に使用された場合、そのシェル８２や蓋部材８４等の構成部材には耐腐食性に優れるＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素樹脂が使用されることが多いが、フッ素樹脂は、潤滑性が高いため、シェル８２と蓋部材８４との間の接続部が配管の震動や熱の影響でクリープし、これによりタイロッドや通しボルト等金属製締結部材８３の緩みが発生し、シェル８２の両端の接続部から流体漏れが発生する問題があった。
【０００９】
シェル８２と蓋部材８４との間のケーシング接続構造としては、その他に、ネジシールや溶接が採用されることがあるが、あまり効果的ではない。すなわち、単なるネジによる接続シール構造では、高いシール性を得ることができず、耐圧性が十分でなく、かつ、クリープによる漏れが生じ易い。また溶接は、一般的に熟練技術を必要とし、容易な作業ではないため、生産効率が低いとともに、現場作業性が悪く、現場での保守・点検が困難であるという問題がある。さらに溶接は、仕様変更によるヒータ交換等の内部部品の交換が実質的にできなくなるとか、リサイクルやリユースに適さないといった側面もある。
【特許文献１】特開平１０−１６０３６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような諸問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、タイロッドや通しボルト等の金属製締結部材、及びＯリングを用いることなく、部品点数の減少、コスト低減を図ることができるとともに、コンパクトで耐圧性の高いケーシング構造及び信頼性の高いシール構造を有する流体用ヒータを提供することにある。また、本発明の他の目的は、流体用ヒータを複数用いることにより、大流量の流体等を配管経路中において昇温又は加熱し得る流体加熱装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に係る発明は、流体用ヒータにおいて、チューブ材から成るケース本体４、及びこのケース本体４の両端部の夫々を塞ぐべくそれら端部毎に着脱自在に取付けられる蓋部ｆから成るケーシング１と、少なくとも一方の前記蓋部ｆを貫通して前記ケース本体４の内部に通されるヒータＨとを有するとともに、前記ケース本体４の内部空間に対する流体給排部３０，３１が前記蓋部ｆに少なくとも計２箇所形成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の流体用ヒータにおいて、前記チューブ材が可撓性を有した合成樹脂製であり、
前記蓋部ｆは、前記ケース本体４の端部を受け入れる受口部８及びこの受口部８内に設けられた少なくとも一箇所のシール面１０を有する蓋本体５と、前記ケース本体４の端部に外嵌された状態で前記蓋本体５の受口部側端部に外嵌螺合自在なユニオンナット６と、前記ユニオンナット６の前記蓋本体５への螺進による締付けにより前記ケース本体４をこれの外側から押圧し、この押圧作用によって前記ケース本体４の端部と前記蓋本体５のシール面１０とが密着することで形成される少なくとも一箇所のシール部Ｓと、から構成され、
少なくとも一方の前記蓋部ｆの蓋本体５には前記ヒータＨを貫通する導出部３４が形成されるとともに、前記流体給排部３０，３１は、前記ケーシング１の内部における前記ヒータＨの外部となる流路部分２を通る流体を出し入れするためのものとして前記蓋本体５に形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載の流体用ヒータにおいて、前記ヒータＨにおける発熱部４０が、前記流路部分２を形成する前記ケーシング１の内部にのみ配されていることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項４に係る発明は、請求項２又は３に記載の流体用ヒータにおいて、前記シール部Ｓが、前記蓋本体５の軸線方向の外方に向けて漸次拡径するテーパ面を前記受口部８の入口より内奥に形成することで成るシール面１０と、前記ケース本体４の端部にこれを断面山形状に拡径膨出させるように圧入されたインナーリング１５における前記ケース本体４の端部から突出した突出部１７の先端に形成したテーパ面からなる突出端面２２との密着により形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
請求項５に係る発明は、請求項２〜４の何れか一項に記載の流体用ヒータにおいて、前記シール部Ｓが、前記蓋本体５の受口部８の入口に、前記蓋本体５の軸線に対して交差するテーパ面により構成されたシール面１１と、前記ケース本体４の端部にこれを断面山形状に拡径膨出させるように圧入されたインナーリング１５の圧入部の斜面部に形成された内向きテーパ面２０との間に前記ケース本体４の端部を傾斜状態で挟持自在に構成することによって形成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
請求項６に係る発明は、請求項４又は５に記載の流体用ヒータにおいて、前記シール部Ｓが、前記蓋本体５の受口部８の内奥の前記シール面１０よりも径方向外方に前記蓋本体５の軸線と平行に形成された環状溝部１３に、前記ケース本体４の端部に圧入されたインナーリング１５の突出部の先端に形成された円筒部２４を嵌入自在に構成することによって形成されていることを特徴とするものである。
【００１７】
請求項７に係る発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載の流体用ヒータにおいて、前記ケース本体４の一端部に取付けられる蓋部ｆと、他端部に取付けられる蓋部ｆとが互いに同一であることを特徴とするものである。
【００１８】
請求項８に係る発明は、請求項１〜７の何れか一項に記載の流体用ヒータにおいて、前記ケース本体４及び前記蓋部ｆがフッ素樹脂によって形成されていることを特徴とするものである。
【００１９】
請求項９に係る発明は、請求項１〜８の何れか一項に記載の流体用ヒータにおいて、前記ヒータＨは、フッ素樹脂材によって被覆されたカートリッジヒータ３９であることを特徴とするものである。
【００２０】
請求項１０に係る発明は、請求項１〜８の何れか一項に記載の流体用ヒータにおいて、前記ヒータＨは、フッ素樹脂材によって被覆されたランプヒータ５３であることを特徴とするものである。
【００２１】
請求項１１に係る発明は、請求項１〜８の何れか一項に記載の流体用ヒータにおいて、前記ヒータＨは、フッ素樹脂材によって被覆されたヒータ線４０を螺旋状に巻回して成るコイルヒータであることを特徴とする。
【００２２】
請求項１２に係る発明は、流体加熱装置において、請求項１〜１１の何れか一項に記載の流体用ヒータＡの複数を組合せて、それらいずれの流体用ヒータＡにおいても流体が前記ケーシング１内部を通過自在となるように、各々の前記流体給排部３０，３１を連通接続して成ることを特徴とするものである。
【００２３】
請求項１３に係る発明は、請求項１２に記載の流体加熱装置において、前記蓋部ｆを、これに前記ケース本体４の複数が着脱自在に取付けられるものに構成することにより、前記流体用ヒータＡの複数を、それらいずれのケーシング１内部にも流体が通過自在となるように組合せて成ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１の発明によれば、ヒータが通されるケーシングが、チューブ材とその両端夫々に装備される着脱自在な蓋部から構成されるので、従来のようにタイロッドや通しボルト等の金属製締結部材及びＯリングを用いることなく、部品点数を少なくして、安価で、かつ、コンパクトで耐圧性の高いケーシング構造、並びに信頼性の高いシール構造の流体用ヒータを得ることができる。そして、両端の夫々に蓋部を着脱自在に装備され、流体が流れる又は貯留する部分であるケース本体はチューブ材で構成されているから、チューブ材の長さを変更するだけの簡単な手段により、容量変更に容易に対応することが可能になる。例えば、４００ｃｃの容量を有するケーシングを６００ｃｃ用に変更するには、長さが約２分の３倍のケース本体に付換えるだけで良く、容量変化や加熱温度変化に柔軟に対応できる便利な流体用ヒータを提供することができる。なお、ヒータとしては、請求項９のように、フッ素樹脂材によって被覆された棒状ヒータやスパイラル状ヒータ等の長尺状ヒータ、請求項１０のように、フッ素樹脂材によって被覆されたランプヒータ、或いは石英管ヒータを用いることができる。
【００２５】
請求項２の発明によれば、ユニオンナットを蓋本体の一端部に締め付けるだけの簡単な操作でケース本体の端部と蓋本体のシール面とを密着させるシール部を介して確実に密封することができる。従って、従来のようにタイロッドや通しボルト等の金属製締結部材及びＯリングを用いることなく、部品点数を少なくして、安価で、かつ、コンパクトで耐圧性の高いケーシング構造及び信頼性の高いシール構造の流体用ヒータを得ることができる。
【００２６】
流体用ヒータは、従来のケーシング接続構造のようにタイロッドや通しボルトを使用しない耐圧シール構造で、かつ、スリムなケーシング構造にすることができ、また単一のユニオンナットによる増締めによりシール性を均一に確保することが可能である。すなわち、ケース本体の両端部の蓋本体との接続部を単一のユニオンナットでシールするだけで、タイロッドや通しボルトに比べて信頼性の高いシール構造が得られ、しかもスリムなケーシングでもって流体用ヒータの小型化、コンパクト化を図ることができる。また、ユニオンナットの増締めによりシール性をその都度確保することが可能であって、ネジシールやＯリングシールと比較しても長期にわたり信頼性の高いものとなる。さらに、単一のユニオンナットを増締めするという簡単な手段で足りるため、溶着による接続構造と異なり現場施工が容易であり、現場での保守・点検も容易に行える。
【００２７】
流体に接する箇所（接液部）であるケース本体と蓋本体とには金属材やゴムＯリングが使用されていないので、メタル溶出や金属摩耗粉発生の問題を解消できる。ユニオンナットの締め付けによればケース本体の端部の外側全周を均等に押圧することができるため、ケース本体や蓋本体の不慮の変形を招くようなことが無くなる。従って、これら部材のクリープや交換の問題を解消できる。ユニオンナットの締付けを緩めることによりケース本体の端部から蓋本体を簡単に取り外すことができるため、ケース本体内に滞留する滞留物がある場合には、その除去が容易に行える。
【００２８】
また、この流体用ヒータは、ユニオンナットの締付けによるだけでケース本体に内圧が加わっても十分気密を保つことができて流体漏れを防止できるので、従来のようにＯリングを使用しなくて済むとともに、請求項８のように、ケーシングの全ての構成部材をフッ素樹脂で成形することで、高温、腐蝕性の強い薬液にもよく対応でき、耐薬品性雰囲気への適用、設置が可能となり、流体用ヒータとしての用途範囲を拡大できる。
【００２９】
請求項３の発明によれば、次のような作用効果が得られる。例えば、蓋本体の導出部を含むケーシングのほぼ全域に亘って発熱部が装備されている構造のヒータを用いると、ケーシングの内部のみならず蓋本体の導出部も加熱されることになり、無駄な発熱が生じて都合が悪い。これに対して、請求項３で規定される範囲に発熱部を配置する構成を採れば、ケーシングとヒータとで形成される加熱室（ケーシングの内部空間）における流体への有効な加熱作用を発揮しながら、蓋本体の導出部を無駄に加熱することが無く、合理的、経済的な流体用ヒータにできる利点がある。
【００３０】
請求項４〜６の発明によれば、ユニオンナットの締め付けによってケース本体と蓋本体との間が良好にシールされる機能が、ケース本体の端部が拡張された状態で外嵌圧入されるインナーリングを用いることでより強化されるものとなり、長期に亘って液漏れの心配がなく信頼性に優れるケーシングを有する流体用ヒータの提供が可能となる。
【００３１】
請求項７の発明によれば、ケース本体の各端部に取付けられる計二個の蓋部が互いに同じものであるから、蓋部としては１種類のパーツで済み、組付け時に組み間違いが発生しないとともに、部品管理上も有利になる等、コストや生産性に優れる流体用ヒータとして提供することができる。
【００３２】
請求項１１の発明によれば、ヒータ線を螺旋状に巻回して成るコイルヒータを用いているので、ケーシング内におけるヒータ線の長さを無理なく長くすることができて、加熱効率が向上する流体用ヒータを提供できる。また、請求項９及び１０の発明でも同様であるが、ヒータ線がフッ素樹脂材で被覆されているから、流体が直接にヒータ線等に触れることが無いようにガードされて悪影響が殆ど及ばないようになり、ヒータとしての耐久性が向上可能となる利点もある。
【００３３】
請求項１２の発明によれば、複数の流体用ヒータを並列接続して大なる流量に対処したり、直列接続して加熱温度をより高くするといった使い方、或いは、流体配管系における複数の経路が集約されるターミナルとして用いるといった種々の用途が可能となり、より便利に用いることが可能となる流体加熱装置を提供することができる。
【００３４】
請求項１３の発明によれば、複数の流体用ヒータを接続するには、それら片側あたり一個の蓋部で、即ち、計二個の蓋部を用いれば足りるものとなり、請求項１２の発明のものに比べて、構造の簡素化、部品点数の削減、小型化を可能としながら、請求項１２の発明による前記作用効果が得られる合理化された流体加熱装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下に、本発明による流体用ヒータ及び流体加熱装置の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１〜図５は実施例１による流体用ヒータやシール構造に関する各種の図であり、図６は実施例２による流体用ヒータの構造を示す図である。図７〜図１３、及び図１６〜図２０は、実施例３〜１０による流体用ヒータ、流体加熱装置、並びに接続構造を示す各種の図であり、図１４，１５は各種のヒータを示す参考図である。
【００３６】
〔実施例１〕
実施例１による流体用ヒータＡは、図１〜図３に示すように、ケーシング１を貫通してそのケーシング１の内部に通された棒状ヒータ（ヒータの一例）Ｈにより、ケーシング１の内部を通る流体が加熱自在に構成された縦型のものであり、例えば、半導体製造装置における洗浄用超純水の配管系統に縦向き姿勢で組み込まれて使用される（インラインヒータ）。つまり、流体用ヒータＡは、チューブ材から成るケース本体４、及びこのケース本体４の両端部の夫々を塞ぐべくそれら端部毎に着脱自在に取付けられる蓋部ｆから成るケーシング１と、両蓋部ｆ，ｆを貫通してケース本体４の内部に通される棒状ヒータＨとを有するとともに、各蓋部ｆにはケース本体４の内部空間２に対する流体給排部３０，３１が形成されている。
【００３７】
ケース本体４は、耐熱性、耐薬品性に優れるＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂や導電性物質を含有する帯電防止フッ素樹脂等の合成樹脂製のチューブ材から成り、設定される内容量から求まる所定長さに切断して用いられる。このケース本体４の両端部には、それぞれ、同じくフッ素樹脂等の合成樹脂からなる蓋本体５が挿入され、フッ素樹脂等合成樹脂製のユニオンナット６の締め付けを介して接続される。つまり、蓋部ｆは、蓋本体５とユニオンナット６とを有して構成されている。
【００３８】
実施例１においては、上下の蓋部ｆ、即ち蓋本体５、ユニオンナット６、及びインナーリング１５（後述）は互いに同じ部品である。これらの部品のうち、構造の複雑な蓋本体５について下側の蓋本体５で説明すると、胴壁部７と、この胴壁部７の上端（一端）に開放する受口部８、及び胴壁部７の下端（他端）を閉塞する底壁部９とを有する形に形成される。そして、図４に示すように、蓋本体５の受口部８の内部には、第１〜３のシール面１０〜１２が設けられる。第１のシール面１０は、蓋本体５の受口部８の入口より内奥に、蓋本体５の軸線Ｃに対して交差状、つまり軸線Ｃ方向の外方に向けて漸次拡径するテーパ面により構成される。第２のシール面１１は、受口部８の入口に、前記軸線Ｃに対して交差状、つまり軸線Ｃ方向の外方に向けて漸次拡径するテーパ面により構成される。第３のシール面１２は、蓋本体５の受口部８の内奥において第１のシール面１０よりも径方向外方に軸線Ｃと平行に形成された環状溝部１３により構成される。蓋本体５の受口部８の外周には雄ねじ１４が形成されている。
【００３９】
一方、ケース本体４の一端部及び他端部にはそれぞれフッ素樹脂等合成樹脂製のインナーリング１５を圧入状態で内嵌する。このインナーリング１５は、図４に示すように、ケース本体４の端部に圧入されて該端部を断面山形状に拡径膨出させる断面算盤玉形状の圧入部１６と、この圧入部１６に連設されてケース本体４の端部に突出する突出部１７とを有するスリーブ形状に形成されている。断面山形状の圧入部１６はこれの一斜面部に外向きテーパ面１８を、他斜面部に第２のシール面１１との間でケース本体４の端部を傾斜状態に挟持して第２のシール部２１を形成する内向きテーパ面２０をそれぞれ形成している。突出部１７の先端には第１のシール面１０に密着状に当接して第１のシール部１９を形成するテーパ面からなる突出端面２２、及び環状溝部１３に嵌入して第３のシール部２３を形成する円筒部２４を形成してなる。このインナーリング１５の内径はケース本体４の内径と同一か略同一に設定して、流体が滞留することなく円滑に流動するようにしている。
【００４０】
ユニオンナット６は、図４に示すように、その内周に蓋本体５の雄ねじ１４に螺合自在な雌ねじ２５が形成され、かつ、一端部に環状鍔部２６が内向きに張り出されているともに、該環状鍔部２６の内周面の軸方向内端に鋭角、又は直角の押圧エッジ部２６ａが設けられて構成されている。
【００４１】
そして、インナーリング１５の圧入されたケース本体４の端部を蓋本体５の受口部８に挿入し、ケース本体４の端部の外周に予め遊嵌させてあるユニオンナット６の雌ねじ２５を、蓋本体５の雄ねじ１４に螺合させて締め付ける。この締付けに伴いユニオンナット６の押圧エッジ部２６ａがケース本体４の拡径部２７の拡径付け根部に当接してインナーリング１５を軸方向から押圧することになる。これにより、図４に示すように、インナーリング１５の突出端面２２が蓋本体５の第１のシール面１０に対し押し付けられて第１のシール部１９を形成するとともに、インナーリング１５の内向きテーパ面２０と蓋本体５の第２のシール面１１との間でケース本体４の端部を傾斜状態に挟持して第２のシール部２１を形成する。さらに、インナーリング１５の円筒部２４が環状溝部１３に圧入されて第３のシール部２３を形成するようになる。これら第１〜３のシール部１９，２１，２３（いずれも＝Ｓ）により、信頼性の高いシール機能を発揮することができる。液圧に対しては、７ｋｇ／ｃｍ2 程度の耐圧があり、通常の液供給ライン（４ｋｇ／ｃｍ2 ）からの液に対して十分な耐圧性がある。
【００４２】
図３に示すように、ケース本体４の下側の蓋部ｆの蓋本体５には、流体用ヒータＨの加熱対象となる流体の導入用配管２８ａが接続される導入側接続部２９ａが、上側の蓋部ｆの蓋本体５には、流体用ヒータＨによって加熱された流体の導出用配管２８ｂが接続される導出側接続部２９ｂがそれぞれ装備される。すなわち、他の配管が接続される箇所である接続部２９ａ，２９ｂは、下側の蓋本体５の胴壁部７に流体供給側の流体給排部（インレットポート）３０が、上側の蓋本体５の胴壁部７に流体排出側の流体給排部（アウトレットポート）３１がそれぞれ形成されている。供給側の流体給排部３０には、加熱対象となる流体の導入用配管２８ａの端部が、排出側の流体給排部３１には、被加熱流体の導出用配管２８ｂの端部が、それぞれフッ素樹脂等の合成樹脂製のユニオンナット３２、フッ素樹脂等の合成樹脂製のインナーリング３３を介して接続されて、加熱対象流体が供給側の流体給排部３０、ケース本体４内の加熱室（ケーシング１の内部における棒状ヒータＨの外部となる流路部分の一例）２、排出側の流体給排部３１の順に流通すべく構成されている。
【００４３】
供給側の流体給排部３０及び排出側の流体給排部３１の各内部構造は蓋本体５の受口８の内部構造と同一に構成し（但し、径は異なる）、また流体の導入用配管２８ａ及び導出用配管２８ｂの各端部には、ケース本体４の端部のインナーリング１５と同様の断面形状のインナーリング３３を圧入してあって、供給側の流体給排部３０及び排出側の流体給排部３１に対する導入用配管２８ａ及び導出用配管２８ｂの各端部の接続構造は、ケース本体４の端部の蓋本体５の受口８に対する接続構造と同様であるため、その詳細な説明は省略する。ただし、この供給側の流体給排部３０及び排出側の流体給排部３１に対する流体の導入用配管２８ａ及び導出用配管２８ｂの各端部の接続構造としては、そのほかに、供給側の流体給排部３０及び排出側の流体給排部３１に対し流体の導入用配管２８ａ及び導出用配管２８ｂの各端部を直接溶着したり、ねじ接続したりする等の手段を採用することもできる。つまり、他の配管との接続部２９ａ，２９ｂは溶着、ねじ接続等の接続手段でも良い。
【００４４】
次に、ケーシング１の内部に配されるヒータＨについて説明する。この例では、上下の蓋本体５，５を貫通して装備される棒状ヒータＨは、フッ素樹脂材によって被覆されたカートリッジヒータを使用している。即ち、図１〜図３に示すように、カートリッジヒータ３９は、外周がステンレス等の金属材で覆われた発熱部４０と一対のリード線ｒ，ｒとを備えた公知の市販品であり、図示しないが発熱部４０の内部にはニクロム線や誘導コイル等の熱源が収容されている。そして、リード線ｒ部分を含めて発熱部４０にはフッ素樹脂製のチューブ材を適宜の長さに切断して成る外装チューブ５１が圧入状態で外嵌装備（被覆）してあり、それによってケーシング１内部における棒状ヒータＨの接液部（流体が接する箇所）はフッ素樹脂のみの状態となるように構成してある。
【００４５】
上述のフッ素樹脂コーティングされたカートリッジヒータで成る棒状ヒータＨは、その両端部が上下の蓋本体５の底壁部９から突出する導出部（「ヒータの導出部」の一例）３４に形成された取出口３４ａから外部に取出されており、いわゆる両端貫通状態でケーシング１に配備されている。蓋本体５における棒状ヒータＨの導出部３４には、フッ素樹脂等の合成樹脂製のユニオンナット３５を外嵌して、このユニオンナット３５を、締付けリング（フェルール）３６を介して導出部３４に螺着させて締付けるヒータ接続部ＨＳにより、棒状ヒータＨの外装チューブ５１と導出部３４との間の隙間を密封してある。また、カートリッジヒータに石英管を外嵌し、その石英管にフッ素樹脂製のチューブ材を外嵌して被覆する構造でも良い。
【００４６】
ヒータ接続部ＨＳは、図３に示すように、円筒形状に形成された導出部３４の取出口３４ａに棒状ヒータＨを差込んで外装チューブ５１の端部が導出部３４から僅かに外部に露出する状態としてから、導出部３４と外装チューブ５１の外周面上に挿嵌したユニオンナット３５とを螺合して、導出部３４と外装チューブ５１の外周面上に挿嵌した締付けリング３６との対向面を圧接する方向に締付け、導出部３４と外装チューブ５１の端部とを気密状態に連通接続する。なお、外装チューブ５１の両端部内には、詰め物５２を充填しても良い。詰め物５２は、比較的硬度があって断熱性も有する材料のものが望ましい。また、ヒータＨは、円筒棒状のシーズヒータに厚さ０．３〜１．２ｍｍのフッ素樹脂やＰＥＥＫのライニングで完全密着されたものでも良い。
【００４７】
なお、上述のヒータ接続部ＨＳを構成する各要素３４，３５，３６は、強酸や強アルカリ等の薬液を輸送するために耐薬品性、耐熱性、耐圧性に優れた樹脂材で構成され、例えば、ＰＴＦＥ又はＰＦＡ等の合成樹脂で導出部３４と締付けリング３６とを夫々形成し、ＰＦＡ又はＰＰ等の合成樹脂で締付けユニオンナット３５を形成している。
【００４８】
ユニオンナット３５の内側周面には、導出部３４の外周に形成された雌ネジ部３４ｎに螺合自在な雌ネジ部３５ｎが形成されているとともに、中心部には棒状ヒータＨの最大径を有する外装チューブ５１の外径寸法よりも僅かに大きい内径を持つ挿通孔３５ｂが形成されている。そして、挿通孔３５ｂの内側周縁部には、締付けリング３６の下端面と当接する段部３５ｃが形成されている。
【００４９】
締付けリング３６は、その中心部に棒状ヒータＨの外径寸法よりも若干小径の挿通孔３６ａを形成し、その一側端面に棒状ヒータＨを差込む方向に向けて小径となる円錐形のテーパ面３６ｂを形成してある。そして、テーパ面３６ｂは、導出部３４に形成されたテーパ面３４ｂと合致する形状寸法に形成されている。
【００５０】
棒状ヒータＨがケーシング１に挿通された組付け状態においては、図１、図３に示すように、発熱部４０が上下の底壁部９，９の間の範囲内に収まるよう、外装チューブ５１を長めに形成してあるのが望ましい。つまり、棒状ヒータＨにおける発熱部４０は、流路部分である加熱室２を形成するケーシング１の内部（蓋本体５の導出部３４に挿通される部分よりもケース本体４内部側）にのみ配されている。このフッ素樹脂管を持つフッ素管ヒータを用いれば、流体用ヒータＡにおける流体と接する箇所、即ち接液部は全てフッ素樹脂となり、不純物の析出が全く起きないクリーンなものにできるという利点がある。また、次に記すような作用効果もある。
【００５１】
例えば、図示は省略するが、外装チューブ５１のほぼ全域に亘って発熱部４０が装備されている構造の棒状ヒータを用いると、ケーシング１の内部２のみならずヒータ接続部ＨＳも加熱されることになり、フッ素樹脂製の導出部３４やユニオンナット３５が熱で変形するおそれがある等、無駄な発熱が生じて都合が悪い。これに対して、上述のような範囲に発熱部４０を配置する構成を採れば、ケーシング１と棒状ヒータＨとで形成される加熱室２における流体への有効な加熱作用を発揮しながら、ヒータ接続部ＨＳを無駄に加熱することが無く、合理的、経済的な流体用ヒータＡにできる利点がある。一方、発熱部４０が加熱室２内に収まらない場合でも、例えばヒータＨの表面温度をモニタするセンサ（例：サーモスタット）を設けて、一定以上の温度上昇が生じないようにすることも可能である。以上のように構成された流体用ヒータＡは、ケーシング１の内部２を通過する流体、例えば半導体製造装置等に用いられる洗浄用の超純水や薬液等を、その流れ移動を妨げることなく棒状ヒータＨで加熱することができる。尚、蓋本体５は、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂でも良いし、石英であっても良い。
【００５２】
〔シール部の他の実施例〕
ケース本体４の端部と蓋本体５の受口部８との間に形成されるシール部としては、図４に示す構造のように第１，２のシール部１９，２１のほかに、インナーリング１５の円筒部２４と蓋本体５の環状溝部１３とによる第３のシール部２３を付加することで、シール性能をより一層確実に向上させることができるが、必ずしもその構成に限定されるものではない。
【００５３】
その他に、例えば、図５に示すように、第１，２のシール部１９，２１（Ｓ）だけを形成して、第３のシール部２３（Ｓ）を省略するもの、すなわち蓋本体５の内奥に環状溝部１３を設けず、またインナーリング１５に円筒部２４を設けないものであってもよい。この場合、蓋本体５の内奥に設ける第１のシール面１０は、軸線Ｃに対して第２のシール面１１とは逆向きの交差状、つまり軸線Ｃ方向の外方に向けて漸次縮径するテーパ面により構成している。このテーパ面どうしがユニオンナット６の螺進によって圧接されれば、そこが第３のシール部になり得る。この場合でも、蓋本体５は、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂でも良いし、石英であっても良い。
【００５４】
〔実施例２〕
実施例２による流体用ヒータＡは、図１〜図３等に示す実施例１のものの棒状ヒータＨが、ランプヒータによって構成されるものに代わる以外は同じである。即ち、図６に示すように、棒状ヒータＨは、フッ素樹脂材によって被覆されたランプヒータ５３であり、実施例１による流体用ヒータＨのカートリッジヒータ３９がランプヒータ５３に置き換えられたものである。ランプヒータ５３は、図６に示すように、例えば、ガラス管５４内にタングステン製フィラメント５５が収容されハロゲンランプで構成されており、ガラス管５４の両端に１本ずつ取り出されるリード線ｒを含めて石英管５６に挿入され、その石英管５６が接着剤等による密着層５７を介してフッ素樹脂製のチューブ材５１内に挿入されることで棒状ヒータＨに構成されている。つまり、ランプヒータ５３は、三層から成るカバー管部５８によって被覆されている。尚、収縮フッ素樹脂チューブを用いれば、密着層５７を省略することが可能である。
【００５５】
この場合は、ランプヒータ５３が発熱部３９に相当し、実施例１の流体用ヒータと同様に、発熱部３９は、流路部分２を形成するケーシング１の内部にのみ配されており、導出部３４には及ばない構成となっている。三層構造のカバー管部５８には十分な強度、剛性があるので、ヒータ接続部ＨＳを構成する導出部３４において締付けられる端部には、図３に示すような詰め物５２を設けなくても良いものとなっている。
【００５６】
〔実施例３〕
実施例３による流体用ヒータＡは、棒状ヒータＨとして石英管ヒータを用いたものであり、それ以外は実施例１による流体用ヒータＡと同じである。即ち、実施例３による流体用ヒータＡにおいては、図７、図８に示すように、ケース本体４の内部には、石英管３を用いた棒状ヒータ（石英管ヒータ）Ｈが通されており、この棒状ヒータＨの両端部は、上下の蓋本体５の底壁部９から突出する導出部３４に形成された取出口３４ａから外部に取出されており、いわゆる両端貫通状態で配備されている。蓋本体５における棒状ヒータＨの導出部３４には、フッ素樹脂等の合成樹脂製のユニオンナット３５を外嵌して、このユニオンナット３５を、フェルール３６と抜止めリング３７とを介して導出部３４に螺着させて締め付ける石英管接続部ＳＳにより、棒状ヒータＨの石英管３と導出部３４との間の隙間を密封してある。
【００５７】
石英管接続部ＳＳは、図８に示すように、円筒形状に形成された導出部３４の取出口３４ａに棒状ヒータＨを差込んで石英管３の端部が導出部３４から僅かに外部に露出する状態としてから、導出部３４と石英管３の外周面上に挿嵌したユニオンナット３５とを螺合して、導出部３４と石英管３の外周溝３ｍに嵌着された抜止めリング５と石英管３の外周面上に挿嵌した締付けリング６との対向面を圧接する方向に締付け、導出部３４と石英管３の端部とを気密状態に連通接続する。導出部３４の外周には、ユニオンナット３５の内周に形成された雌ネジ部３５ｎに螺合自在な雄ネジ部３４ｎが形成されている。
【００５８】
なお、上述の石英管接続部ＳＳを構成する各要素３４，３５，３６，３７は、例えば、強酸や強アルカリ等の薬液を輸送するために耐薬品性、耐熱性、耐圧性に優れた樹脂材で構成され、ＰＴＦＥ又はＰＦＡ等の合成樹脂で導出部３４と締付けリング３６とを夫々形成し、ＰＦＡ又はＰＰ等の合成樹脂で締付けユニオンナット３５と、抜止めリング３７とを夫々形成している。
【００５９】
ユニオンナット３５の内側周面には、導出部３４の外周に形成された雌ネジ部３４ｎに螺合自在な雌ネジ部３５ｎが形成されているとともに、中心部には棒状ヒータＨの最大径を有する金属カバー３８の外径寸法よりも僅かに大きい内径を持つ挿通孔３５ｂが形成されている。そして、挿通孔３５ｂの内側周縁部には、抜止めリング３７の下端面と当接する段部３５ｃが形成されている。
【００６０】
抜止めリング３７には、石英管３の外周面上に刻設した周溝３ｍに合致する形状寸法の中心孔３７ａと、一端側を径方向に切断する分割溝３７ｂと、他端側の外周部を部分的に切り欠いて成る連結部３７ｃとが形成されている。この形状構成は、抜止めリング３７を石英管３を通過させてから周溝３ｍに嵌装するための工夫であり、連結部３７ｃを材料弾性に抗して若干撓ませ、石英管３の外径寸法よりも若干大径となるように中心孔３７ａを径方向に拡径変形させることで可能となる。
【００６１】
締付けリング３６は、同締付けリング３６の中心部に石英管３の外径寸法よりも若干小径の挿通孔３６ａに形成し、同締付けリング３６の一側端面に石英管３を差込む方向に向けて小径となる円錐形のテーパ面３６ｂを形成し、同テーパ面３６ｂを導出部３４に形成されたテーパ面３４ｂと合致する形状寸法に形成してある。
【００６２】
石英管ヒータＨは、図７，１１及び図１４に示すように、ニクロム線や誘導コイル等で成る発熱部（発熱体）４０を内装する筒状の石英管３と、その両端部を覆う一対の金属カバー３８と、金属カバー３８から突設される導通端子（図示省略）を覆う硝子カバー４１とを有して構成されている。各硝子カバー４１からは、導通端子に導通接続される導線ｒが取出される。棒状ヒータＨがケーシング１に挿通された組付け状態においては、発熱部４０が上下の底壁部９，９の間の範囲内に収まるよう、電極棒４０ａ等を用いて石英管３の端部から中央よりに離れて位置させてある。つまり、棒状ヒータＨの発熱部４０は、蓋本体５の導出部３４に挿通される部分よりもケース本体４内部側に形成されている。
【００６３】
例えば、図示は省略するが、石英管３のほぼ全域に亘って発熱体４０が装備されている構造の棒状ヒータを用いると、ケーシング１の内部２のみならず石英管接続部ＳＳも加熱されることになり、無駄な発熱が生じて都合が悪い。これに対して、上述のような範囲に発熱部４０を配置する構成を採れば、ケーシング１と石英管３とで形成される加熱室２における流体への有効な加熱作用を発揮しながら、石英管接続部ＳＳを無駄に加熱することが無く、合理的、経済的な流体用ヒータＡにできる利点がある。
【００６４】
〔実施例４〕
実施例４による流体用ヒータＡは、図９に示すように、棒状ヒータＨが下側の蓋部ｆの蓋本体５のみを貫通し、上側の蓋部ｆの蓋本体５はフッ素樹脂チューブ５９の上端部を嵌合支持する片貫通構造のものである。実施例１による流体用ヒータＡとの違いは、上側の蓋本体５にはヒータ接続部ＨＳが無く、代わりに嵌合凹部５Ａが形成されるとともに、棒状ヒータＨとしては、図１５に示すように、リード線ｒの取り出し側にのみ詰め物５２が装備された状態の、外装チューブ５１で被覆されたカートリッジヒータＨを用いている点である。嵌合凹部５Ａは、流体が滞らないように、棒状ヒータＨの外径よりも大きな内径を有しており、箇所横側方に突出した複数の支持突起５ａによって位置決めされる構成とするのが望ましい。
【００６５】
図１５に示す棒状ヒータＨは、カートリッジヒータ３９を先端が閉塞された筒状でフッ素樹脂製のチューブ５９で被覆して成るものであり、カートリッジヒータ３９自体は図１〜図３に示す実施例１のものと同じである。フッ素樹脂チューブ５９の閉塞側端部５９Ａ側においては、カートリッジヒータ３９を端からやや離れて存在する設定としてあり、やはり発熱部４０が、流路部分２を形成するケーシング１の内部にのみ配される構成となっている。棒状ヒータＨのケーシング１への組付け状態では、フッ素樹脂チューブ５９先端の閉塞側端部５９Ａが上側の蓋本体５の嵌合凹部５Ａに嵌入されており、ケーシング１の径方向には動かないように位置決めされる構造となっている。それ以外の構造は、基本的には実施例１による流体用ヒータＡと同じである。この場合は、上下の蓋本体５，５、即ち蓋部ｆ，ｆは互いに異なる部品となる。
【００６６】
この片貫通構造の流体用ヒータＡにおいては、上側の蓋本体５には棒状ヒータＨが貫通しないので、そこからの流体漏洩のおそれが皆無になるとともに、上方には棒状ヒータＨが出っ張らず、その分のコンパクト化が可能になる。また、リード線ｒ，ｒが下側に集約されるので、電気配線の取り回しがシンプル化される利点もある。なお、この片端子型の棒状ヒータＨを上側の蓋本体５にのみ貫通させて倒立姿勢でケーシング１に装備させる、という使い方も可能である。
【００６７】
〔実施例５〕
実施例５による流体用ヒータＡは、実施例４と同様な片側貫通型のものであるが、棒状ヒータＨ、及び下側の蓋本体５の導出部３４におけるシール構造は異なるものとなっている。即ち、図１０に示すように、下側の蓋部ｆにおけるヒータ接続部ＨＳは、ユニオンナット３５を導出部３４に外嵌螺合させることで棒状ヒータＨをシール状態で下蓋本体５に支持する基本構造は同じであるが、シール構造は大きく異なる。まず、棒状ヒータＨの先端部６１については、フッ素樹脂製の外装チューブ５１の先端内に同じくフッ素樹脂製の円ブロック６２を詰めて（圧入内嵌して）融着一体化することで閉塞する構成とされている。そして、棒状ヒータＨの長さは、前記先端部６１が上側の蓋本体５の底壁部９からは明確に離れて位置する状態に設定されている。
【００６８】
そして、下蓋本体５のシール構造は、図１０、図１１に示すように、導出部３４は、外周部に雄ネジ部３４ｎが形成された環状の外筒部３４Ａと、この外筒部３４Ａより明確に小さい環状突起である環状の内筒部３４Ｂと、軸線Ｃに対する径方向でこれら外筒部３４Ａと内筒部３４Ｂとの間に形成される環状溝３４Ｃとから形成されている。外筒部３４Ａの内周側における先端部には漸次拡径するテーパ状の入口シール部６３が形成され、内筒部３４Ｂの内周側における先端部にも漸次拡径するテーパ状の内奥シール部６４が形成されている。
【００６９】
カートリッジヒータ３９に外嵌装着されるフッ素樹脂製の外装チューブ５１の下端部には、導出部３４と嵌合してシール部Ｔ１〜Ｔ３を形成するための環状シール部６５が一体的に装備されている。環状シール部６５は、入口シール部６３に当接するテーパ面６６ａが上端側に形成された膨出部６６と、導出部３４の環状溝３４Ｃに嵌り込むよう、テーパ面６６ａに連続して形成される環状突起６８、及び内筒部３４Ｂが嵌り込み自在な第二の環状溝６９を有した嵌合凸部６７とを有するＰＦＡ等のフッ素樹脂製（外装チューブ５１と同じ材料が望ましい）のものに構成されている。
【００７０】
環状シール部６５は、上端側ほど小径となるテーパ状の内周面６５ａを有しており、外装チューブ５１の外周部に圧入し、かつ、融着されており、それによって外装チューブ５１との間がシールされる状態で、特に、環状シール部６５の上端部がより確実にシールされる状態で一体化されている。嵌合凸部６７には、環状溝６９を設けるための上端内筒部７０が形成されており、この上端内筒部７０の内周に相当する内周面６５ａ上端部が、外装チューブ５１に最もきつく外嵌される構成となっている。また、その上端内筒部７０の存在により、組付け状態においては、外装チューブ５１の外周面と導出部３４の内周面との間には径方向に明確な隙間ｋが形成されるようにしてある。
【００７１】
ユニオンナット３５の内向き鍔部３５Ｔは、膨出部６６の外径端部６６ｃを下方から押上げるためのものであり、その内径部３５ｔは、内周の雌ねじ部３５ｎを導出部３４の雄ね時部３４ｎに螺合させての締付け状態では、環状シール部６５の膨出部６６の段差外周部６６ｂと殆ど隙間なく（極僅かな隙間を伴って）嵌合する状態に設定されている。尚、優れたシール状態を得るには、環状突起６８の径方向厚みを環状溝３４Ｃの径方向間隔よりもある程度大きい値として、圧入状態で嵌合する構造が望ましい。
【００７２】
以上のような構造により、ユニオンナット３５を導出部３４に螺合させて、環状シール部６５を（棒状ヒータＨを）押上げて導出部３４に嵌合させた組付け状態では、入口シール部６３とテーパ面６６ａとが強く当接されて第１のシール部Ｔ１が形成されるとともに、環状突起６８が環状溝３４Ｃに嵌り込んで強く圧接され、内外周の二箇所に第２のシール部Ｔ２を形成する。この場合、環状溝３４Ｃは環状突起６８の突出量よりも深いので、これら両者３４Ｃ、６８は上下方向には当接せず、代わりに内筒部３４Ｂと第二の環状溝６９とが嵌合し、これらのテーパ面どうしが当接して第３のシール部Ｔ３を形成する。つまり、これら第１〜第３の三箇所のシール部Ｔ１〜Ｔ３の存在により、導出部３４と環状シール部６５とが、即ち蓋本体５と棒状ヒータＨの外装チューブ５１とが完全なまでにシールされる状態を得ることができる。
【００７３】
従って、ケーシング１内に取込まれて加熱対象となる流体が、例えば、毒性を有する薬液であるとか、強透過性薬液等の漏れると困るものであっても、棒状ヒータＨの支持部である導出部３４からの漏洩も無く、信頼性及び耐久性に優れる流体用ヒータＡとして提供することができている。また、外装チューブ５１と導出部３４とには明確な隙間ｋがあるので、薬液等の流体が滞ってしまうおそれが無く、クリーンな状態に保てるとともに、棒状ヒータＡに強い曲げ力が作用した場合には、近接配置されている内向き鍔部３５Ｔの内径部３５ｔと膨出部６６の段差外周部６６ｂとが当接して支えあう作用が生じて、実質的に導出部３４と外装チューブ５１との嵌合長が増大し、安定支持できる作用が期待できる利点もある。さらに、ユニオンナット３５を緩めて外すことにより、面倒な蓋部ｆの分解を伴うことなく棒状ヒータＨを簡単に取り出すことができるので、棒状ヒータＨの故障や仕様変更にも容易に対応できる便利さ、即ち良好なメンテナンス性も備えている。
【００７４】
次に、この実施例５による流体用ヒータＨにおける上記ヒータ接続部ＨＳの変形例を、図面は省略するが幾つか述べる。その１は、環状シール部６５の内周面６５ａがテーパ面ではなく、一定径のものとされた状態で外装チューブ５１に外嵌圧入され、かつ、融着一体化された構成を持つヒータＨを用いた構造であり、この構造を有する流体用ヒータでも良い。その２は、削り出しや成形により、予め環状シール部６５と外装チューブ５１とが一体のものとして形成されたヒータＨを用いる構造であり、この構造を有する流体用ヒータでも良い。その３は、環状シール部６５を用いずに外装チューブ５１をそのまま導出部３４に圧入内嵌し（図３参考）、導出部３４の下端部において外装チューブ５１と導出部３４とを溶着一体化した構造であり、この構造を有する流体用ヒータでも良い。その１及びその２の流体用ヒータでは、ユニオンナット３５の操作により、ヒータＨが簡単に着脱できる良好なメンテナンス性を有しており、その３の流体用ヒータでは、導出部３４を完全にシールすることができ、かつ、最も廉価に構成できるという利点がある。
【００７５】
〔実施例６〕
実施例６は、上述した流体用ヒータＡの複数を並列に接続して成る流体加熱装置Ｂである。すなわち、実施例５による流体加熱装置Ｂは、図１２に示すように、実施例１の流体用ヒータＡにおける一方の蓋部ｆの蓋本体５として、流体給排部３０（又は３１）が二箇所形成されているものを２個用いて並列に接続して成るものである。図１２において左側に描かれた流体用ヒータＡは、下側の蓋本体５に流体給排部３０が２箇所形成されたものであり、右側に描かれた流体用ヒータＡは、上側の蓋本体５に流体給排部３１が２箇所形成されたものである。
【００７６】
左側で下側の蓋本体５の右側の流体給排部３０と、右側で下側の蓋本体５の流体給排部３０とが接続部Ｒによって連通接続され、左側で下側の蓋本体５の左側の流体給排部３０が、加熱対象となる流体の入口ＩＮ（入口集合部）の役割を担うとともに、左側で上側の蓋本体５の流体給排部３１と、右側で上側の蓋本体５の左側の流体給排部３１とが接続部Ｒによって連通接続され、右側で上側の蓋本体５の右側の流体給排部３１が、加熱された流体の出口ＯＵＴ（出口集合部）の役割を担う構成とされている。接続部Ｒとしては、例えば図１２に示すように、一対のユニオンナット３２，３２とフッ素樹脂等の合成樹脂製の中継チューブ６０等からなる管継手構造のものを採ることができるが、これには限定されない。例えば、蓋本体から配管部を突出形成しておき、その配管部の端部どうしを突き合わせて融着させることで蓋本体どうしを一体的に接続することもできる。
【００７７】
導入用配管２８ａから入口ＩＮに供給されてきた流体は、供給側の各流体給排部３０や左右の下蓋本体５の内部を通って二箇所の加熱室（流路部分）２，２の下端部内に分かれて取込まれ、各ケーシング１内において各棒状ヒータＨによって加熱されながら上昇移動する。そして、各流体用ヒータＡ，Ａにおいて加熱されて各上側蓋本体５部分に上昇移動した流体は、排出側の各流体給排部３１や上側の蓋本体５内を通って出口ＯＵＴから導出用配管２８ｂに取出されて行くのである。この流体用ヒータの並列接続による流体加熱装置Ｂは、大流量の流体を加熱昇温させるに好適な装置であり、その規模は流体用ヒータＡ，Ａの接続個数により、簡単に選択設定することができる便利なものである。
【００７８】
例えば３個以上の流体用ヒータＡを並列接続するには、二箇所の流体給排部３０（又は３１）を有する蓋本体５が上下に備えられた流体用ヒータを新たに用いることで実施することができる。このように並列接続した流体加熱装置によれば、装置内に貯留した流体を一定温度まで加熱した後に送り出し供給することができるので、貯留タンク等の液槽を設ける必要がなく、コンパクトかつ低コストとなる。また、流量は少ないが加熱温度を高くする場合等には、複数の流体用ヒータＡを直列接続して成る流体加熱装置Ｂが好適であり、さらには、並列接続と直列接続とを組み合わせることも可能である。
【００７９】
〔実施例７〕
実施例７は、フッ素樹脂材によって被覆されたヒータ線を螺旋状に巻回して成るコイルヒータＨを用いて成る流体用ヒータＡである。即ち、図１６に示すように、実施例７によるコイルヒータＨは、発熱体であるヒータ線４０がＰＦＡ等のフッ素樹脂チューブ７１に挿入されて成るヒータ要素７２を、螺旋状に巻回して構成されており、各蓋部ｆのヒータ要素接続部ＹＳを通って外部に取り出されている。両端のリード線ｒ，ｒには、図示しない電力供給用の制御装置が接続される。尚、ヒータ要素接続部ＹＳは、図３等に示すヒータ接続部ＨＳと同じ構造である。
【００８０】
但し、ヒータ要素７２は、図１６における部分的に拡大した図のように、底壁部９に至る手前（ケーシング１の内部側）の位置におけるフッ素樹脂チューブ７１内において、ヒータ線４０にリード線ｒを導通接続（ハンダ付け、カシメその他による）する接続部７３を設けてあり、ヒータ要素接続部ＹＳ、即ち、導出部３４へのヒータ線４０からの熱伝導が回避されるようにしてある。前記接続部７３は各蓋部ｆ毎に形成されている。このコイルヒータＨの採用により、ケーシング１内におけるヒータ線４０の長さを大幅に長くすることができるので、より高温に加熱したり、加熱効率を向上できる利点が得られる。
【００８１】
〔実施例８〕
実施例８は、フッ素樹脂材によって被覆されたヒータ線を二重巻き螺旋に形成して成るコイルヒータＨを用いた流体用ヒータＡであり、図１６に示す螺旋状ヒータ要素の内側に小径の螺旋状ヒータ要素が配置されたような構成である。即ち、図１７に示すように、実施例８によるコイルヒータＨは、ヒータ線４０がＰＦＡ等のフッ素樹脂チューブ７１に挿入されて成るヒータ要素７２を、外側螺旋部７４と内側螺旋部７５とを有する二重巻き螺旋形状に形成して成る。
【００８２】
外側螺旋部７４の終端側が内側螺旋部７５の始端側に連続する折返し部７６の反対側においては、内側螺旋部７５の終端部のヒータ要素７２が折り返されており、内側螺旋部７５の内側中心を貫いて折返し部７６を通り抜ける直線部７７に形成されるとともに、一方の蓋部ｆのヒータ要素接続部ＹＳを通って外部に取り出されている。また、外側螺旋部７４の始端側は他方の蓋部ｆのヒータ要素接続部ＹＳを通って外部に取り出される。この実施例８においても、コイルヒータＨの両端部には、導出部３４へのヒータ線４０からの熱伝導を回避するための接続部７３（図１６に示すものと同構造）が設けられている。この二重巻きコイルヒータＨの採用により、ケーシング１内におけるヒータ線４０の長さをより一層大幅に長くすることができるので、より一層高温に加熱したり、より加熱効率を向上できる利点が得られる。
【００８３】
〔実施例９〕
実施例９は、フッ素樹脂材によって被覆されたヒータ線を螺旋状に巻回して成るコイルヒータＨの中にパージガスを通すようにしたコイルヒータＨを用いて成る流体用ヒータＡである。即ち、図１８に示すように、ヒータ線４０がＰＦＡ等のフッ素樹脂チューブ７１に挿入されて成るヒータ要素７２を、ケーシング１内において螺旋状に巻回して構成されており、各蓋部ｆのヒータ要素接続部ＹＳを通って外部に取り出されている。ヒータ要素７２は、フッ素樹脂チューブ７１内においてヒータ線４０を螺旋状に巻回して構成されており、その両端部に蓋部ｆと同様の構成を適用することにより、フッ素樹脂チューブ７１にパージ用の排気ガスを通す構成が採用されている。
【００８４】
図１８と、図１８のＮ部分を拡大した図１９とに示すように、ヒータ線４０の螺旋巻きにより、フッ素樹脂チューブ７１内には明確な通路空間が形成されており、その通路空間に窒素ガス等の不活性ガスを通して、そのフッ素樹脂チューブ７１の内部をパージする手段が採られており、その一例について以下に説明する。実施例９による流体用ヒータＡは、半導体製造装置の基板処理装置における強透過性薬液の加熱装置として用いられるものであり、図１８に示すように、導入用配管２８ａには、ポンプ９０及び供給管９０ａを介して薬液貯留タンク９１が接続され、導出用配管２８ｂから出た加熱後の薬液は、開閉弁９２及び導出管９２ａを介して処理チャンバ９３内の被処理基板９４へと供給されるようになっている。
【００８５】
また、フッ素樹脂チューブ７１の一方の端部には、一方の第２蓋部ｆ２の導入側接続部１２９ａ及びガス供給路１２８ａを介してパージ用の排気ガス供給手段９５が接続され、他方の端部には、他方の第２蓋部ｆ２の導入側接続部１２９ａ及びガス排出路１２８ｂを介して排気手段９６が接続される。尚、この第２蓋部ｆ２の構成部品は、図３等に示す蓋部ｆの構成部品に付した番号（符号）に百を上乗せした番号を付す（例：蓋本体５→１０５）ものとし、図３等に示す蓋部ｆと同じ機能部分の説明は基本的に割愛するものとする。
【００８６】
ヒータ要素７２の各端部には、ケーシング１の蓋部ｆと全く同様の構成を有する第２蓋部ｆ２が装備されており、それら第２蓋部ｆ２の構造を、図１９を用いて一方のもので間単に説明する。即ち、フッ素樹脂チューブ７１の端部は、蓋本体１０５の受け口部１０８に、インナーリング１１５を伴って内嵌されてユニオンナット１０６で締付け装着されており、ヒータ線４０は、ヒータ要素接続部ＹＳと同構造を有するヒータ線接続部ＣＳを介して外部に取り出される。そして、フッ素樹脂チューブ７１の内部空間７１Ｓは、蓋本体１０５に形成された流体給排部１３０を有する導入側接続部１２９ａを介して前述の排気ガス供給手段９５に接続されている。
【００８７】
薬液貯留タンク９１からケーシング１の内部空間２に供給される強透過性薬液としては、高濃度（約５０％以上の濃度）のフッ化水素水や高濃度（約７０％以上の濃度）硝酸水が挙げられる。また、排気ガス供給手段９５からケーシング１の内部空間２に供給されるパージ用の排気ガスは、窒素ガス等の不活性ガス、或いは浄化された空気が挙げられる。排気手段９６は、排気ガス供給手段９５として、浄化された空気を吸うべく導入用配管１２８ａをクリーンルーム等に接続する構成を採る場合には、排気ブロワや換気扇、エジェクタ等から構成され、排気ガス供給手段９５が送風機等の駆動送風手段を伴っていて排気ガス圧が十分ある場合には、単なる排気管で構成することも可能である。
【００８８】
また、ヒータ線４０の両端には制御装置９７から電力供給用の配線９８，９８が接続されるとともに、フッ素樹脂チューブ７１の第２蓋部ｆ２から出た後の箇所（直後が望ましい）に配された温度計等の温度検出手段９９の検出情報が信号線９９ａを介して制御装置９７に入力される構成となっている。これにより、コイルヒータＨによる加熱後の薬液温度が設定値に維持されるフィードバック制御が可能となっている。
【００８９】
このように、流体用ヒータＡを薬液加熱装置として用いた場合には次のような作用効果がある。高濃度のフッ化水素水等の強透過性薬液は、液状での浸透性が強いとともに、ガス状態において極めて強い浸透性を示す。そのため、ヒータ線４０を被覆するチューブ７１が耐薬品性に富むフッ素樹脂製のものであっても、そのフッ素樹脂チューブ７１を強透過性薬液がガス状態で内から外に透過する可能性がある。即ち、透過ガスとなった強透過性薬液が金属製のヒータ線４０の表面において再液化すると、ヒータ線４０が腐食されて、短期間で破損に至るという問題がある。このような強透過性薬液は、高温（たとえば、５０℃以上）になるほど浸透性が強くなるため、強透過性薬液を高温に加熱して用いる場合には、前述の問題点がより顕著になる。
【００９０】
しかしながら、図１８，１９に示すような付属設備を伴う構成の流体用ヒータＡとすれば、コイルヒータＨを内部に有する状態に設けられたケーシング１の内部空間２には、排気ガス供給手段９５から浄化空気や不活性ガス等が供給されるとともに、排気手段９６によって排出されることによる掃気作用が生じるので、フッ素樹脂チューブ７１をその外部（内部空間２）を通る強透過性薬液のガス（透過ガス）が通過して発熱手段であるヒータ線４０に至ったとしても、この透過ガスは、排気ガス供給手段９５から導入される新鮮なガスによって置換されるようになる。従って、透過ガスがヒータ線４０の表面で再液化することを防止できることとなり、再液化した強透過性薬液によってヒータ線４０が侵されることを防止できる。その結果、コイルヒータＨとしての破損を防ぐことができるので、強透過性薬液に対する耐久性に優れ、耐久寿命の長い強透過性薬液用の流体用ヒータＡとして提供することができる。
【００９１】
尚、図１８に仮想線で示すように、本実施例９においても、ヒータ線４０をケーシング１の内部空間２において完結させてリード線ｒに導通接続する接続部７３（図１６や図１７の拡大図参照）を設けた構成とすることが、ヒータ要素接続部ＹＳ、即ち導出部３４の過熱を防止する点で望ましい。この場合、図示は省略するが、第２蓋部ｆ２内には、コイル状のヒータ線４０に代って直線状のリード線ｒが配設され、そのリード線ｒがヒータ線接続部ＣＳを通って外部に取り出されるようになる。
【００９２】
〔実施例１０〕
実施例１０は、三つの流体用ヒータＡが片側あたり一個の集合蓋部Ｆ（ｆ）で連結一体化されて成る流体加熱装置Ｂである。即ち、実施例１０による流体加熱装置Ｂは、図２０に示すように、集合蓋部Ｆは、横長形状の蓋本体５から筒状の受口部８が三箇所立設されるとともに、各受け口部８毎に形成される蓋内空間８ａどうしを連通接続する計二箇所の連結路８ｂ、及び流体給排部３０，３１を形成するための一箇所の給排路８ｃとが形成されて成る単一の部品に構成されている。
【００９３】
つまり、集合蓋部Ｆは、図３等に示す蓋部ｆに、ケース本体４の複数が着脱自在に取付けられるように、受口部８が三箇所形成されているものであり、当然ながら導出部３４も三箇所に形成されている。つまり、図１２等に示される蓋部ｆの三個と中継チューブ６０の二個とを合体させたようなものである。この場合のコイルヒータＨは、両端がリード線ｒに導通接続されるヒータ線４０をフッ素樹脂チューブ７１で被覆して成るヒータ要素７２が用いられている。尚、図２０に示す流体加熱装置Ｂおいては、図１６に示す修体様ヒータＡと同じ部品には同じ符号を付すものとする。
【００９４】
この集合蓋部Ｆを用いれば、図１２に示す流体加熱装置に比べて、部品点数の削減やそれによるコストダウンを可能としながら、図１２に示す流体加熱装置の有する作用及び効果と同等の作用効果を発揮できる利点がある。この図２０に示すいわば三個一型の流体加熱装置Ｂは、各集合蓋部Ｆに設けられた流体給排部３０，３１を用いて、三箇所のケーシング１が並列に接続される並列型に構成されている。尚、図示は省略するが、連結路８ｂを適宜に遮断することにより、三箇所のケーシング１が直列に接続される直列型の流体加熱装置とすることも可能である。次に、多数の流体用ヒータＡを接続して成る流体加熱装置Ｂの構造例を「その他の実施例」として幾つか述べる。
【００９５】
〔その他の実施例〕
図１３（Ａ）に示すように、流体用ヒータＡを前後左右に複数列並列に連結して成るものである。一例として、図１３（Ａ）においては、左右に４列で前後に２列の計８個の流体用ヒータＡを並列に接続連結して成る流体加熱装置Ｂの平面図を示してある。この場合、蓋部ｆの蓋本体５としては、流体給排部３１（又は３０）が二箇所形成されたものと、三箇所形成されたものとが必要であり、右端で前側に位置する流体用ヒータＡの下側蓋本体５に入口ＩＮを設けて導入用配管２８ａが接続連結されるとともに、左端で後側に位置する流体用ヒータＡの上側蓋本体５に出口ＯＵＴを設けて導出用配管２８ｂが接続連結されている。
【００９６】
なお、図１３（Ａ）に仮想線で示すように、左端で前側に位置する流体用ヒータＡの上側の蓋部ｆの蓋本体５にも、出口ＯＵＴを設けて導出用配管２８ｂを接続連結しても良い。また、図示しないが、導入用配管２８ａを２箇所設ける構成も可能である。なお、接続部Ｒが多数存在しているので、例えば、前後中間において左右に４組並ぶ接続部Ｒのうちの中央２組のものを省略することは可能である。即ち、全ての蓋本体５に流体が行き渡る構造であれば良く、隣合う蓋本体５どうしの全箇所を接続連結しなければならないことはない。
【００９７】
図１３（Ｂ）に示すように、流体用ヒータＡ，Ａを１個の流体ヒータ当りの周囲に６個の流体用ヒータを配したもの、いわゆる星型に配列された流体加熱装置Ｂも可能である。このような形状の流体加熱装置Ｂは、円筒状の空間が設置スペースとして空いているような場合に有効である。この場合、流体用ヒータＡは円形の蓋本体５を有し、中央の流体用ヒータＡのみが上下の蓋部ｆの蓋本体５のそれぞれに６箇所の流体給排部３１（又は３０）が形成されており、入口ＩＮ、出口ＯＵＴが装備される二個の流体用ヒータＡを除く残りのヒータＡにおいては、各蓋本体５のそれぞれには１箇所ずつの流体給排部３１（又は３０）が形成されるものとなっている。
【００９８】
流体用ヒータＡを２個以上並列接続して成る流体加熱装置Ｂは、以上述べた構成に限られるものではなく、種々の組み合わせが可能であり、例えば縦横（前後左右）に５個ずつ並べた２５個の流体用ヒータＡから成るヒータ群を上下に直列に接続して、計５０個の流体用ヒータＡで構成される流体加熱装置Ｂも可能である。即ち、単位時間当たりの流量が大なる流体の場合には、複数の流体用ヒータＡを並列接続して成る流体加熱装置Ｂが好都合であり、単位時間当たりの流量は少ないが高い温度に加熱したい場合には、複数の流体用ヒータＡを直列接続して成る流体加熱装置Ｂが好都合である。このように、流体加熱装置Ｂとしては扁平形状や立体的な形状、或いは高い昇温が可能なものなど、流体用ヒータＡの組み合わせ方によって如何様にも仕様設定が可能であり、ユーザーの希望に応じたあらゆる構成の流体加熱装置を構築できるという優れた特徴を有している。
【００９９】
以上述べた流体用ヒータＡや流体加熱装置Ｂにおいては、入口ＩＮや出口ＯＵＴに開閉弁を装備する等して、ケーシング１内に取込まれる流体を一旦ケーシング１の内部２において貯留させた状態で棒状ヒータＨで加熱し、十分に、或いは所定温度にまで昇温されてから、その加熱後の流体を出口ＯＵＴから排出する、という使い方も可能である。また、ケーシング１の内部の温度を測定するセンサ等の温度検出手段、開閉弁の駆動開閉機構、制御装置等を設けて、種々の温度域で取込まれる流体を、設定温度に昇温されてからケーシング１外に排出されるよう自動的に制御される「自動流体加熱制御装置」を構築することも可能である。
【０１００】
例えば、本発明による流体用ヒータ又は流体加熱装置を、大気圧より高圧の超純水をケーシングの入口からケーシング内に導入し、超純水をケーシング内の下部又は上下部に設置した棒状ヒータで加熱し、一定温度まで加熱後にケーシング内上部に貯留した超純水をケーシング上部の出口より排出するように構成された超純水加熱装置として用いることが可能である。このような構成とすれば、装置内に貯留した超純水を一定温度まで加熱した後、超純水の圧力（大気圧より高圧）により高温超純水を送給することができるので、別途の貯留タンクや不活性ガス導入配管の敷設などの超純水を送給するための設備が不要となり、設備コスト及び運転コストが低減できる、といった作用効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】実施例１による流体用ヒータの正面図
【図２】図１の流体用ヒータの底面図
【図３】図１のケーシング端部の構造を示す要部の拡大断面図
【図４】図１のケーシング端部と蓋部との接続構造を示す半欠截拡大断面図
【図５】シール部の別構造を示す半欠截断面図
【図６】実施例２による流体用ヒータの要部を示す断面正面図
【図７】実施例３による流体用ヒータの全体正面図
【図８】図７の流体用ヒータのの要部を示す断面正面図
【図９】実施例４による流体用ヒータを示す断面正面図
【図１０】実施例５による流体用ヒータを示す断面正面図
【図１１】図１０の下蓋部のシール構造を示す半欠截断面図
【図１２】実施例６による流体加熱装置を示す断面正面図
【図１３】（Ａ），（Ｂ）は共に流体加熱装置の別構造を示す平面図
【図１４】石英管を用いた棒状ヒータの外観図
【図１５】実施例４の流体用ヒータに用いる棒状ヒータの断面図
【図１６】実施例７による流体用ヒータを示す断面正面図
【図１７】実施例８による流体用ヒータを示す断面正面図
【図１８】実施例９による流体用ヒータを示す断面正面図
【図１９】図１８のＮ部分の構造を示す拡大断面図
【図２０】実施例１０による流体加熱装置を示す一部切欠きの正面図
【図２１】従来の流体用ヒータを示す正面図
【図２２】図２１の流体用ヒータの断面図
【符号の説明】
【０１０２】
１                ケーシング
２                流路部分
４                ケース本体
５                蓋本体
６                ユニオンナット
８                受口部
１０，１１        シール面
１３              環状溝部
１５              インナーリング
１７              突出部
２０              内向きテーパ面
２２              突出端面
２４              円筒部
３０，３１        流体給排部
３４              導出部
３９              カートリッジヒータ
４０              発熱部、ヒータ線
５３              ランプヒータ
ｆ                蓋部
Ａ                流体用ヒータ
Ｂ                流体加熱装置
Ｈ                ヒータ
Ｓ                シール部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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