(57)【要約】【課題】  水分や酸素の影響を抑制し安定した発光特性を維持するための粘性粘性吸湿部材を、適切に有機ＥＬパネルに塗布する。【解決手段】  本発明の一態様における表示パネルの製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間の封止空間内に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、粘性吸湿部材を前記第１の基板上に塗布し、前記第１の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対して、前記粘性吸湿部材の厚みが小さくなるようにガスを吹き付け、前記粘性吸湿部材が前記封止空間内に配置されるように、前記第１の基板と前記第２の基板を接着剤によってシールするものである。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間の封止空間内に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、
粘性吸湿部材を前記第２の基板上に塗布し、
前記第２の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対してガスを吹き付け前記粘性吸湿部材の厚みを薄くし、
前記粘性吸湿部材が前記封止空間内に配置されるように、前記第１の基板と前記第２の基板を接着剤によってシールする、
表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記表示素子は前記第１の基板上に形成されており、
前記粘性吸湿部材は、前記第２の基板の前記表示素子に対向する面上に塗布される、
請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記粘性吸湿部材が前記第１の基板上に形成された表示素子に接触しない厚みとなるように、前記第２の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対してガスを吹き付ける、請求項２に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記粘性吸湿部材の塗布終端部の厚みが小さくなるようにガスを吹き付ける、請求項１、２又は３に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項５】
第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、
粘性吸湿部材を前記第２の基板上に塗布し、
前記第２の基板上に塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けて前記粘性吸湿部材の形状を変形し、
前記第１の基板と前記第２の基板を接着剤によって固着する、
表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記粘性吸湿部材にガスを吹き付けることによって、前記粘性吸湿部材の塗布面積を広げる、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項７】
基板を載置するステージと、
前記ステージに対して相対的に移動し、前記ステージ上の基板に粘性吸湿部材を塗布するディスペンサと、
前記基板上に塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けるノズルと、
を有する、粘性吸湿部材の塗布装置。
【請求項８】
前記ノズルは前記ディスペンサの吐出口に向けてガスを噴出する、請求項７に記載の粘
性吸湿部材の塗布装置。
【請求項９】
第１の基板の上に表示素子が形成され、前記表示素子を封止する第２の基板が前記第１の基板に固定されてなる表示パネルの製造方法であって、
粘性吸湿部材を前記表示素子に面する側の前記第２の基板の表面に直線的に塗布し、
塗布した後の前記粘性吸湿部材の端にガスを吹き付け、所定の厚み以下にする、
表示パネルの製造方法。
【請求項１０】
前記粘性吸湿部材を塗布する際に直線的に塗布する距離が５〜８０ｍｍである請求項９に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１１】
前記第２の基板の内面に平行な表面において、前記粘性吸湿部材を１００〜２０００ｍｍ２の面積を占めるように塗布する、請求項９又は１０に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１２】
厚みが１．１〜０．７ｍｍの透明基板の一面に深さが０．５５〜０．３５ｍｍの凹部が形成され、凹部に粘性部材が置かれ、粘性吸湿部材が凹部の内側面に接することなく配置され、透明基板の内表面に平行な粘性吸湿部材の表面の面積が１００〜２０００ｍｍ２である封止用基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの製造方法及び粘性吸湿部材の塗布装置に関し、特に、表示パネルの基板上への粘性吸湿部材の塗布に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子は、有機発光性化合物を含む有機ＥＬ層を陽極と陰極との間に挟んだ積層体構造を有している。陽極と陰極の間に電圧を印加すると、陽極からは正孔が、陰極からは電子がそれぞれ有機ＥＬ層に注入されて再結合し、その際に生ずるエネルギーにより有機ＥＬ層に含まれる有機発光性化合物の分子が励起される。このようにして励起された分子が基底状態に失活する過程で発光現象が生じる。有機ＥＬ素子はこの発光現象を利用した自発光素子である。
【０００３】
有機ＥＬ層は、正孔と電子が再結合して発光する発光層と呼ばれる有機層を少なくとも含み、必要に応じて、正孔が注入されやすくかつ電子を移動させにくい正孔輸送層と呼ばれる有機層、電子が注入されやすくかつ正孔を移動させにくい電子輸送層と呼ばれる有機層のうちの一方又は両方を含む単層構造又は多層積層構造を有している。
【０００４】
一般に、有機ＥＬパネルは、ガラスなどからなる基板上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等によって陽極となる透明電極と、有機ＥＬ層と、アルミニウム等によって陰極となる電極とを順次積層して積層体である有機ＥＬ素子を形成し、この積層体を覆うガラスなどからなる凹形状の対向基板を上記基板上に紫外線硬化性接着剤を介して気密的に配設することによって製造される。
【０００５】
この有機ＥＬパネルの大きな課題の１つは、発光層の寿命の改善である。寿命を短くする原因の１つは、ダークフレームと呼ばれる非発光部の発生である。この非発光部は点灯経過時間とともに成長し、次第に非発光面積が大きくなり、発光部の発光輝度は低下していく。この非発光部が発生する主な原因は、有機ＥＬ素子を構成している有機ＥＬ層と密封容器内の水分や酸素との反応である。これによって、非発光部が発生・成長することが知られている。
【０００６】
そこで、従来の有機ＥＬパネルにおいては、有機ＥＬ素子を配設する基板と対向基板とで得られる気密空間内に吸湿部材を配設することで有機ＥＬ素子の寿命を改善している。この吸湿部材としては、無機系の乾燥剤が知られている（特許文献１参照。）。
【０００７】
また、水分と反応性の高い有機金属化合物を膜状にして、有機ＥＬ素子を配設する基板と対向基板とで得られる気密空間内に捕水層を形成し、化学反応を利用して効果的に水分を捕水する方法が知られている（特許文献２参照。）。
【０００８】
さらに、例えばフッ素系オイルからなる不活性液体中に固体の吸着剤を所定の割合で混合することによって得られる粘性を持った吸湿部材を対向基板の積層体との対向面に塗布し、気密空間内の水分を吸収する構造が知られている（特許文献３参照。）。
【特許文献１】特開平９−１４８０６６号公報
【特許文献２】特開２００２−３３１８７号公報
【特許文献３】特開２００３−１６３０７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献３に開示されているように、粘性を持った吸湿部材を用いた有機ＥＬパネルは、対向基板の積層体との対向面に吸湿部材を塗布することによって製造される。この塗布工程において、吸湿部材はディスペンサなどの塗布装置を用い所定の位置に塗布される。粘性吸湿部材はディスペンサによって所望の位置に吸湿部材を配設することができ、また、コストの点からも優れた吸湿部材である。
【００１０】
しかし、吸湿部材の塗布の際、ディスペンサのニードルが吸湿部材を吐出し終え、吸湿部材から離れるときに、吸湿部材の持つ粘性のため、吸湿部材が糸を引く又はツノが残るという現象が起こる。この吸湿部材の糸引きにより、吸湿部材が有機ＥＬ素子を積層した基板と吸湿部材を配設した対向基板との接着部に入り、貼り合わせに不具合が生じるという問題があった。また、吸湿部材のツノが有機ＥＬ素子と接触することによって電極に損傷を与え、有機ＥＬ素子の発光部分が部分的に発光しない現象が生じ、場合によっては電極間の短絡が生じてしまうといった問題があった。
【００１１】
これら問題の解決のために、ニードルの移動終点位置の手前でニードルからの吸湿部材の吐出を停止し、吸湿部材を吐出することなくニードルを移動終点位置まで移動させた後にニードルを上昇させる方法が提案されている（特許文献３参照。）。これにより、吸湿部材のツノの生成を防止し、さらに糸引きした吸湿部材が有機ＥＬ素子を積層した基板と対向基板との接着部に入らないようにすることが可能となる。
【００１２】
しかし、この方法では、塗布終点位置（吐出の停止位置）からニードルの移動終点位置の間に吸湿部材を塗布することができない。このため、吸湿部材の塗布量が不足し、有機ＥＬ素子の寿命改善のために必要な吸湿性能を満たすことができないことがある。特に、携帯電話のディスプレイのような小さな有機ＥＬパネルの場合、吸湿部材を塗布する距離の不足から吸湿部材の塗布量が不足し、所定量塗布することができず、目的の吸湿性能が得られなかった。
【００１３】
本発明は、上記のような事情を背景としてなされたものであって、本発明の第１の目的は、粘性吸湿部材の付着に起因する非発光部の発生あるいは電極間の短絡を防止することである。本発明の第２の目的は、表示パネルの基板に対する粘性吸湿部材部材の塗布量を増加することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第１の態様にかかる表示パネルの製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間の封止空間内に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、粘性吸湿部材を前記第２の基板上に塗布し、前記第２の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対してガスを吹き付け前記粘性吸湿部材の厚みを薄くし、前記粘性吸湿部材が前記封止空間内に配置されるように、前記第１の基板と前記第２の基板を接着剤によってシールするものである。これによって、効果的に粘性吸湿部材の厚みを制御することができる。
【００１５】
本発明の第２の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記表示素子は前記第１の基板上に形成されており、前記粘性吸湿部材は、前記第２の基板の前記表示素子に対向する面上に塗布されることができる。これによって、粘性吸湿部材と表示素子の接触を防止することができる。
【００１６】
本発明の第３の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記粘性吸湿部材が前記第１の基板上に形成された表示素子に接触しない厚みとなるように、前記第２の基板上に塗布された粘性吸湿部材に対してガスを吹き付けることが好ましい。これによって、粘性吸湿部材と表示素子の接触を防止することができる。
【００１７】
本発明の第４の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記粘性吸湿部材の塗布終端部の厚みが小さくなるようにガスを吹き付けることが好ましい。これによって、ディスペンサなどによって塗布する場合において、塗布終端部における突部などの望ましくない形状をなくすことができる。
【００１８】
本発明の第５の態様にかかる表示パネルの製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に形成された表示素子とを有する表示パネルの製造方法であって、粘性吸湿部材を前記第２の基板上に塗布し、前記第２の基板上に塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けて前記粘性吸湿部材の形状を変形し、前記第１の基板と前記第２の基板を接着剤によって固着するものである。これによって、粘性吸湿部材の形状を効果的に制御することができる。
【００１９】
本発明の第６の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記粘性吸湿部材にガスを吹き付けることによって、前記粘性吸湿部材の塗布面積を広げることが好ましい。これによって、粘性吸湿部材の塗布量を増加することができる。
【００２０】
本発明の第７の態様にかかる粘性吸湿部材の塗布装置は、基板を載置するステージと、前記ステージに対して相対的に移動し、前記ステージ上の基板に粘性吸湿部材を塗布するディスペンサと、前記基板上に塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けるノズルと、を有するものである。これによって、粘性吸湿部材の形状を効果的に制御することができる。
【００２１】
本発明の第８の態様にかかる粘性吸湿部材の塗布装置は、前記ノズルは前記ディスペンサの吐出口に向けてガスを噴出することが好ましい。これによって、粘性吸湿部材の塗布終端部における突部などの望ましくない形状を効果的になくすことができる。
【００２２】
本発明の第９の態様にかかる表示パネルの製造方法は、第１の基板の上に表示素子が形成され、前記表示素子を封止する第２の基板が前記第１の基板に固定されてなる表示パネルの製造方法であって、粘性吸湿部材を前記表示素子に面する側の前記第２の基板の表面に直線的に塗布し、塗布した後の前記粘性吸湿部材の端にガスを吹き付け、所定の厚み以下にするものである。これによって、ディスペンサなどによって塗布する場合において、塗布終端部における突部などの望ましくない形状をなくすことができる。また、粘性吸湿部材と表示素子との接触を防止することができる。
【００２３】
本発明の第１０の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記粘性吸湿部材を塗布する際に直線的に塗布する距離が５〜８０ｍｍとなるように粘性吸湿部材が配設される。これによって、表示パネルの表示特性の劣化を抑制するのに必要な量の粘性吸湿部材を配設することができる。
【００２４】
本発明の第１１の態様にかかる表示パネルの製造方法は、前記第２の基板の内面に平行な表面において、前記粘性吸湿部材を１００〜２０００ｍｍ２の面積を占めるように塗布するものである。これによって、表示パネルの表示特性の劣化を抑制するのに必要な粘性吸湿部材を配設することができる。
【００２５】
本発明の第１２の態様にかかる封止用基板は、厚みが１．１〜０．７ｍｍの透明基板の一面に深さが０．５５〜０．３５ｍｍの凹部が形成され、凹部に粘性部材が置かれ、粘性吸湿部材が凹部の内側面に接することなく配置され、透明基板の内表面に平行な粘性吸湿部材の表面の面積が１００〜２０００ｍｍ２となるように粘性吸湿部材が配設される。この封止用基板を用いて表示パネルを形成することによって、表示特性の劣化を防止することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、表示特性の維持に必要な粘性吸湿部材を適切に基板に塗布することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に、本発明の本発明を適用可能な実施の形態が説明される。以下の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２８】
本発明に係る有機ＥＬパネルの構成について図１を用いて説明する。図１は有機ＥＬパネル１００の構成の一部を示す模式的断面図である。なお、図１は有機ＥＬパネルの構成を模式的に示すものであって、実際の有機ＥＬパネルの詳細構成を反映するものではない。
【００２９】
有機ＥＬパネル１００は、ガラスなどよりなる基板１０１と対向基板１０６とで得られる気密空間内に、有機ＥＬ素子１１０が形成されてなる構成を有する。基板１０１と対向基板１０６は、接着剤１０８によって固着されている。基板１０１上に形成される有機ＥＬ素子１１０は、陽極１０２、絶縁層１０３、有機ＥＬ層１０４及び陰極１０５から構成されている。陽極１０２と陰極１０５の間に電圧を印加すると、陽極からは正孔が、陰極からは電子がそれぞれ有機ＥＬ層１０４に注入されて再結合し、その際に生ずるエネルギーにより有機ＥＬ層１０４内の有機発光性化合物の分子が励起される。励起された分子は基底状態に失活し、その過程において有機ＥＬ層１０４が発光する。
【００３０】
図１に示すように、基板１０１上において、最下層には陽極１０２が形成されている。陽極１０２は、ＩＴＯなどの透明導電性薄膜で形成される。陽極１０２の上には、ポリイミドなどからなる絶縁層１０３が形成されている。この絶縁層１０３には、陽極１０２と陰極１０５が交差する位置（すなわち画素が形成される位置）に開口部が設けられている。そして、この絶縁層１０３の開口部に有機ＥＬ層１０４が形成されている。
【００３１】
絶縁層１０３は、有機ＥＬ層１０４と陽極１０２とが接触する開口部を画定する役割を果たしている。また、絶縁層１０３は、陽極１０２と陰極１０５の短絡が発生しないように配設される。有機ＥＬ層１０４は、典型的には、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層などからなる積層構造になっている。ただし、これとは異なる層構成を有することも可能である。
【００３２】
有機ＥＬ層１０４の上には、発光輝度を高めるために、光反射率の高い金属からなる陰極１０５が設けられている。ここでは図示していないが、陰極１０５の分離のために例えばノボラック樹脂などからなる隔壁（不図示）が設けられている。
【００３３】
基板１０１上には、複数の有機ＥＬ素子１１０が設けられ、有機ＥＬ素子１１０が形成されている領域が表示領域となる。基板１０１上には、さらに、各有機ＥＬ素子１１０に信号を供給する補助配線が設けられている。図１では、陰極１０５に接続される陰極補助配線１０９の部分について図示している。有機ＥＬ素子１１０の陽極１０２及び陰極１０５はそれぞれの補助配線に接続されており、これら補助配線は接着剤１０８の外側に延設されている。基板１０１の端部には駆動回路（不図示）が搭載されており、陽極１０２及び陰極１０５はそれぞれ補助配線を介して、駆動回路に接続される。この駆動回路から有機ＥＬ素子１１０に電流を供給することにより、有機ＥＬ素子１１０が発光して所望の画像を表示することができる。
【００３４】
対向基板１０６は、パネル中に水分や酸素が入らないように設けられる。対向基板１０６としては、ステンレス、アルミニウム又はその合金などの金属類のほか、ガラス、アクリル系樹脂などの１種類又は、２種類以上からなるものを使用することができる。対向基板１０６と基板１０１は接着剤１０８によってシールされ、対向基板１０６と基板１０１の間に封止空間（領域）が形成されている。封止空間内には、有機ＥＬ素子１１０の他、有機ＥＬ素子１１０への水分や酸素の影響を抑制し安定した発光特性を維持するための粘性吸湿部材１０７が配設されている。粘性吸湿部材１０７は、対向基板１０６上、有機ＥＬ素子１１０と対向する面上に配設されている。
【００３５】
本形態の粘性吸湿部材１０７は、所定の粘性を有する吸湿部材である。粘性吸湿部材１０７は、吸着剤が流動しない程度の粘性を有する。クリーム状あるいはゲル状で塗布面に粘着するものである。吸着剤としては、活性アルミナ、モレキュラシーブス、酸化カルシウム及び酸化バリウム等の物理的あるいは化学的に水分を吸着するものが使用される。粘性吸湿部材１０７は、例えば、フッ素系オイルからなる不活性液体中に所定量の吸着剤を混合して構成する、あるいは、フッ素系ゲルなどの不活性のゲル状部材に所定量の吸着剤を混合することで得られる。フッ素系オイルとしては、例えば、ポリ・トリフルオロ・クロルエチレン、ポリ・フルオロアルキレングリコール等がある。粘性吸湿部材１０７は、対向基板１０６に形成された凹部の内部側面と接触しないように、一定の間隔ｄを設けて配設されている。
【００３６】
また例えば、シリコン系オイルからなる不活性液体や不活性のゲル状部材中に所定量の吸着剤を混合して粘性吸湿部材１０７を構成することもできる。このシリコン系オイルとして、メチルポリシロキサン、オクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン等のジメチルシリコン類、デカメチルシクロペンタシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、環状構造のポリメチルシロキサン等の環状ジメチルシリコン類、メチルフェニルポリシロキサン等のメチルフェニルシリコン類やメチル基の他フェニル基を持つポリシロキサンがある。
【００３７】
他のシリコン系オイルとして、トリメチルシロキシケイ酸やこれを含有するメチルポリシロキサン、ポリオキシエチレン／メチルポリシロキサン共重合体、ポリ（オキシエチレン、オキシプロピレン）メチルポリシロキサン共重合体等のポリエーテル変性シリコン、メチルホイドロジェンポリシロキサン等がある。シリコン系オイルと吸着材との混合比は、例えば、シリコン系オイルと吸着材とが分離しないように、２５〜６０ｗｔ％程度とすることができる。好ましくは、この混合比は、４０〜６０ｗｔ％程度であり、この場合には、チクソ性を高めることができる。より好ましくは、この混合比は、５０〜６０ｗｔ％程度であり、ディスペンサで安定して塗布することができる。また、本実施形態においては、シリコン系オイルを用いた粘性吸湿部材１０７の一例として、ジメチルポリシロキサン（信越化学工業株式会社製）７．０ｇとモレキュラシーブス８．５ｇの５５ｗｔ％が混合された材料を用いて、分離せず、チクソ性の高い粘性吸湿部材１０７をディスペンサを用いて安定した塗布を行うことができた。
【００３８】
次に、本発明に係る有機ＥＬ表示装置の製造方法について図２を用いて説明する。図２は、有機ＥＬ表示装置の製造工程を示すフローチャートである。有機ＥＬ表示装置は画素となる有機ＥＬ素子１１０を複数配置した構造になっている。有機ＥＬ表示装置は、有機ＥＬ素子１１０が形成された素子基板と有機ＥＬ素子を封止するための対向基板とを有する有機ＥＬパネル１００と、有機ＥＬ素子１１０に駆動信号を供給する駆動回路とを備えている。
【００３９】
まず、有機ＥＬ素子１１０を形成するガラスなどよりなる基板１０１を用意する（ステップＳ１０１）。その基板１０１上に、陽極材料を成膜する（ステップＳ１０２）。陽極材料は、ＩＴＯなどの透明導電性薄膜からなる。また、この陽極材料は、例えば蒸着法やスパッタリング法により基板上に均一性よく成膜される。その後、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより所定のパターン形状にパターニングされ（ステップＳ１０３）、このパターンが陽極１０２となる。
【００４０】
次に、陽極１０２上に補助配線材料（不図示）を成膜する（ステップＳ１０４）。補助配線材料はＡｌあるいはＡｌ合金などの低抵抗な金属材料が用いられ、蒸着法、スパッタリング法などによって成膜することができる。さらに下地との密着性を向上させるため、あるいは腐食を防止するために、Ａｌ膜の下層又は上層にＴｉＮやＣｒ等のバリア層を形成して補助配線を積層構造としてもよい。このバリア層も蒸着あるいはスパッタにより形成できる。
【００４１】
次に、この補助配線材料をフォトリソグラフィー及びエッチングによりパターニングして、補助配線パターンを形成する（ステップＳ１０５）。エッチングには燐酸、酢酸、硝酸等の混合溶液よりなるエッチング液を使用することができる。なお、陽極材料と補助配線材料とを順に成膜し、その後に補助配線材料と陽極材料を順番にパターニングすることも可能である。陽極１０２および後に形成される陰極１０５は、この補助配線パターンを介して、基板の端部に搭載されている駆動回路に接続され、信号が供給される。
【００４２】
次に、陽極１０２の上に、絶縁層１０３を形成する（ステップＳ１０６）。この絶縁層１０３は例えばポリイミドなどの絶縁材料を用いることができる。この絶縁層１０３は、スピンコーティングによって成膜され、その後フォトリソグラフィー法などの手段によって所定のパターンに形成される。絶縁層１０３には、陽極１０２と後述する陰極１０５が交差する位置（すなわち表示画素が形成される位置）に開口部が設けられる。この開口部に有機ＥＬ層１０４が形成される。
【００４３】
次に、陰極１０５の分離のために、隔壁を形成する（ステップＳ１０７）。隔壁には、例えば、ノボラック樹脂をスピンコートして、フォトリソグラフィー工程でパターニングした後、光反応させて陰極隔壁を形成する。陰極隔壁が逆テーパ構造を有するようネガタイプの感光性樹脂を用いることが好ましい。このような構造にすると、その後、陰極１０５の蒸着時に蒸着源から見て陰になる部分は蒸着が及ばないため、陰極同士を分離することが可能になる。さらに、開口部のＩＴＯ層の表面改質を行うために、酸素プラズマ又は紫外線を照射してもよい。
【００４４】
次に、絶縁層１０３の開口部に形成された陽極１０２上に、蒸着法、塗布法などにより、有機ＥＬ層１０４を積層する（ステップＳ１０８）。有機ＥＬ層１０４は正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子注入層などから構成されることが多い。ただし、これとは異なる層構成を有する場合もある。例えば、正孔注入層として銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）を用いることができる。また、正孔輸送層としてＮ，Ｎ'−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ'−ジフェニル−ベンジジン（α―ＮＰＤ）を用いることができる。そして、発光層としては、トリス（８−キノリノラト）アルミニウム（Ａｌｑ３）を、電子注入層としてはＬｉＦを用いることができる。
【００４５】
次に、有機ＥＬ層１０４上に陰極１０５を形成する（ステップＳ１０９）。陰極１０５は、発光輝度を高めるために、Ｍｇ、ＭｇＡｇ、ＭｇＩｎ、Ａｌ、ＬｉＡｌなどの光反射率の高い金属が使用されることが多い。スパッタリング法、イオンプレーティングなどの物理的気相成長法（ＰＶＤ）で形成することができる。このように陽極１０２、絶縁層１０３、有機ＥＬ層１０４、陰極１０５を積層することによって、有機ＥＬ素子１１０が形成される。
【００４６】
これらの工程により基板１０１上に複数の有機ＥＬ素子１１０が形成された素子基板が製造される。上述の工程は、典型的な有機ＥＬパネルに用いられる素子基板の場合における一例である。
【００４７】
次に有機ＥＬ素子１１０を封止するための対向基板１０６の製造工程について説明する。対向基板１０６として、ステンレス、アルミニウム又はその合金などの金属類のほか、ガラス、アクリル系樹脂などの１種類又は、２種類以上からなる基板を用意する（ステップＳ２０１）。次に、対向基板１０６上に所定量の粘性吸湿部材１０７を配設する。つまり、まず、水分を極力取り除いた不活性ガス（例えばドライ窒素）やドライエアによるドライ雰囲気において、対向基板１０６上に粘性吸湿部材１０７を塗布する（ステップＳ２０２）。続いて対向基板１０６上に塗布された粘性吸湿部材１０７にガスを吹き付ける（ステップＳ２０３）。吹き付けるガスは不活性ガスが好ましく、特に窒素ガスが好ましい。なお、粘性吸湿部材１０７の配設方法（Ｓ２０２、Ｓ２０３）については、後に詳述する。
【００４８】
次に、基板１０１と対向基板１０６を固着するための接着剤１０８を塗布する（ステップＳ２０４）。接着剤１０８は、ディスペンサを用いて、粘性吸湿部材１０７の外側に設けられ、表示領域の全周を囲むように対向基板１０６上に設けられる。接着剤１０８は、水分などの透過性の低いエポキシ樹脂系接着剤、光硬化性樹脂などを用いることができる。
【００４９】
次に、粘性吸湿部材１０７を配設した対向基板１０６と、有機ＥＬ素子１１０を形成した基板１０１を貼り合わせて封止する（ステップＳ１１０）。両基板の位置合わせを行った後、加圧しながらＵＶ光を照射することによって、接着剤１０８を硬化し、両基板を張り合わせることができる。このようにして有機ＥＬパネル１００を製造する。
【００５０】
上述の工程により、基板１０１と対向基板１０６との間の空間は接着剤１０８により封止される。接着剤１０８によって画定される封止空間内には粘性吸湿部材１０７が配設されているため、水分などによる有機ＥＬ素子１１０の劣化を抑制することができる。
【００５１】
その後、駆動回路等を実装する（ステップＳ１１１）。基板１０１には接着剤１０８で囲まれた領域から外に補助配線が延設されている。補助配線の外側の端部には端子部が形成されており、この端子部に異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼付け、駆動回路が設けられたＴＣＰ（Tape  Carrier  Package）を接続する。この有機ＥＬパネル１００が筐体に取り付けられ、有機ＥＬ表示装置が完成する（ステップＳ１１２）。
【００５２】
ここで、粘性吸湿部材１０７の配設方法（ステップＳ２０２、Ｓ２０３）について図３、図４、図５を参照して説明する。図３は、粘性吸湿部材１０７の塗布装置２００を示す模式的概略図である。
【００５３】
塗布装置２００は、対向基板１０６を搭載するステージ２０１と、粘性を有する粘性吸湿部材１０７を塗布するためのディスペンサ２０２を備えており、このディスペンサ２０２は、粘性吸湿部材１０７を吐出するニードル２０３を備えている。また、塗布装置２００は、ニードル２０３の吐出口から吐出される粘性吸湿部材１０７にガスを吹き付けるノズル２０４を備えている。また、塗布装置２００は、アクチュエータやサーボモータなどからなるＸ−Ｙ−Ｚ移動手段２０５を備えており、ディスペンサ２０２およびノズル２０４を任意の位置および高さに移動できる。さらに、粘性吸湿部材１０７の吐出量やディスペンサ２０２の位置及び移動速度、またガスの吹き付け位置などを制御できる制御装置２０６を備えている。
【００５４】
まず、ステージ２０１に対向基板１０６を載せる。そして、前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段２０５によって、ディスペンサ２０２を下降させて、ニードル２０３と対向基板１０６とが所定の距離になるようにニードル２０３を対向基板１０６に近接配置させる。次に、ニードル２０３の吐出口から粘性を有する粘性吸湿部材１０７を吐出させ、対向基板１０６上に塗布する。そして、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段２０５によって、ニードル２０３を対向基板１０６との距離をほぼ一定に保ちながら、塗布終点位置まで平行移動させることで、粘性吸湿部材１０７を塗布することができる。
【００５５】
塗布される粘性吸湿部材１０７の対向基板１０６上の位置、吐出量、ディスペンサ２０２の移動速度などは制御装置２０６によって任意に設定することができ、制御装置２０６から出力される制御信号によって制御される。この塗布始点位置から塗布終点位置までの間、粘性吸湿部材１０７は常に吐出され、対向基板１０６上に連続的に塗布される。塗布終点位置まで移動したところで、粘性吸湿部材１０７の吐出及びディスペンサ２０２の移動を停止する。停止位置においてディスペンサ２０２を上昇させて粘性吸湿部材１０７とニードル２０３を切り離す。ディスペンサ２０２の上昇の開始前あるいはディスペンサ２０２の上昇中に、粘性吸湿部材１０７の塗布終端部にノズル２０４からガスを吹き付ける。
【００５６】
このとき、塗布終点位置において、ガス吹き付けを行わず、そのまま上昇させると、粘性を持った粘性吸湿部材１０７は、ニードル２０３の先端に引きずられ、ツノがたったり、糸引きを起こしたりする。この状態で、封止を行うと、有機ＥＬ素子１１０と粘性吸湿部材１０７とのツノ部の接触から、ムラなどの表示不良を引き起こしてしまう。また、糸引きにより粘性吸湿部材１０７が素子基板と対向基板の接着部への侵入から、貼り合わせに不具合が生じたりする。そこで、ディスペンサ２０２を上昇させるときに、ニードル２０３の粘性吸湿部材１０７の吐出口に向けてノズル２０４からガスを吹き付けることによって、粘性を持った粘性吸湿部材１０７のツノ又は糸引きを防止する。
【００５７】
上記の粘性吸湿部材１０７の形状について、図４を参照して説明する。図４は、対向基板１０６に塗布装置２００を用いて粘性吸湿部材１０７を塗布した状態を説明する図である。図４（ａ）は、塗布終点位置において、ガスの吹き付けなしでニードル２０３を上昇させ、粘性吸湿部材１０７とニードル２０３を切り離した場合の粘性吸湿部材１０７の断面形状を示す図であり、図４（ｂ）は、ニードル２０３を上昇させるときに、ニードル２０３の粘性吸湿部材１０７の吐出口にガスの吹き付けを行った場合の粘性吸湿部材１０７の断面形状を示す図である。
【００５８】
図４（ａ）に示すように、塗布終点位置において、ガス吹き付けを行わず、そのまま上昇させると、粘性を持った粘性吸湿部材１０７はニードル２０３の先端に引きずられ、ツノが形成されあるいは糸引きを起こす。そこで、ディスペンサ２０２の上昇時に、ノズル２０４からガスの吹き付けを行う。ガスが吹き付けられることによって粘性吸湿部材１０７の塗布終端部の厚みが小さくなり、ツノの形成もしくは糸引きを防止することができる。（図４（ｂ））。
【００５９】
従来、粘性を有する吸湿部材の糸引き、ツノ対応策としては、ニードル２０３の移動における移動終点位置の手前の塗布終点位置において粘性吸湿部材１０７の吐出（供給）を停止させ、この状態にてニードル２０３を移動終点まで移動させた後、ディスペンサ２０２（ニードル２０３）を上昇させていたが、特に、携帯電話のディスプレイのような小さな有機ＥＬパネルの場合、粘性吸湿部材１０７を塗布する距離の不足から粘性吸湿部材１０７の塗布量が不足し、所定量塗布することができず、目的の吸湿性能が得られなかった。
【００６０】
本形態において、ガス吹き付けによって、いったん塗布された粘性吸湿部材１０７の厚みが制御される。このため、塗布終点位置においてそのままディスペンサ２０２（ニードル２０３）を上昇させることができる。すなわち、ニードル２０３の移動終点位置を粘性吸湿部材１０７の塗布終点位置と同じにすることができる。したがって、従来の粘性吸湿部材１０７の塗布終点位置からニードル２０３の移動終点までの間にも粘性吸湿部材１０７を塗布することができ、粘性吸湿部材１０７の塗布量を増加させることができる。
【００６１】
また、図４（ｂ）に示すように、粘性吸湿部材１０７の厚みｔは、対向基板１０６の厚みＴの９０〜１２０％であることが好ましい。より好ましくは、９５〜１１０％である。これによって、有機ＥＬ素子１１０への接触を確実に防止することができ、これに伴う表示特性の劣化を抑制することができる。
【００６２】
ノズル２０４からのガス吹き付けは、粘性吸湿部材１０７とニードル２０３を切り離した後に行うこともできる。粘性吸湿部材１０７の塗布終了後に、塗布終点位置にてディスペンサ２０２（ニードル２０３）をガス吹き付けなしで上昇させる。粘性吸湿部材１０７の塗布終端部のツノにガスを吹き付けることによって粘性吸湿部材１０７をならし、粘性吸湿部材１０７の厚みを小さくする。これによって、粘性吸湿部材１０７の厚みを対向基板１０６の内面と有機ＥＬ素子１１０の距離より小さくする、すなわち、粘性吸湿部材１０７の最大の厚みが、対向基板１０６と有機ＥＬ素子１１０との距離未満とすることができ、粘性吸湿部材１０７が有機ＥＬ素子１１０に接触することを防止することができる。なお、粘性吸湿部材１０７の塗布終端部に限らず、粘性吸湿部材１０７の厚み制御のために粘性吸湿部材１０７の他の部分にガスを吹き付けることも可能である。
【００６３】
また、このガスの吹き付けは、塗布終点位置におけるツノ及び糸引きを防止するために限らず、粘性吸湿部材１０７の面積拡大のために行うことができる。図５は、塗布した粘性吸湿部材１０７の全体にガスを吹き付けた場合を説明するための図である。図５（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、粘性吸湿部材１０７の形状を対向基板１０６の上部から見たときの図である。図５（ａ）は、塗布終点位置にのみガスを吹き付けた場合の粘性吸湿部材１０７の形状を、図５（ｂ）は、塗布した粘性吸湿部材１０７全体にわたってガスを吹き付けたときの粘性吸湿部材１０７の形状を示している。
【００６４】
図５（ａ）に示すように、粘性吸湿部材１０７を直線的に塗布する際、粘性吸湿部材１０７の長さをＬとすると、Ｌは５〜８０ｍｍであることが好ましい。このようにすることによって、表示特性を維持するために必要な量の粘性吸湿部材１０７を配設することができる。
【００６５】
粘性吸湿部材１０７にガスを吹き付けることによって粘性吸湿部材１０７の面積を拡大する場合、面積の拡大に伴い粘性吸湿部材１０７の厚みが減少するため、ディスペンサ２０２によって塗布される粘性吸湿部材１０７の厚みを大きくし、より多くの粘性吸湿部材１０７を塗布することができる。粘性吸湿部材１０７の塗布量を増加することによって吸湿性能を向上し、水分などによる欠陥をより効果的に抑制することができる。また、同じ塗布量であっても、その厚みを小さくすることができるため、粘性吸湿部材１０７と有機ＥＬ素子の接触をより確実に防止できる。
【００６６】
また、粘性吸湿部材１０７の面積を拡大する場合、例えば、厚みが１．１〜０．７ｍｍの対向基板１０６に、深さが０．５５〜０．３５の凹部が設けられているとき、粘性吸湿部材１０７の面積Ｓを１００〜２０００ｍｍ２とすることが好ましい。例えば、粘性吸湿部材１０７の面積Ｓを１００ｍｍ２とする場合、５ｍｍ×２０ｍｍで配設することができる。また、粘性吸湿部材１０７が対向基板１０６に形成された凹部の内部側面と接触しないように、一定の間隔ｄを設けて配設することが好ましい。このようにすることで、接着剤１０８の位置に粘性吸湿部材１０７が入り込むことがなく、対向基板１０６と有機ＥＬ素子が形成された基板１０１とを貼り合わせる際、確実に貼り合わせを行うことができる。
【００６７】
粘性吸湿部材１０７へのガスを吹き付けは、ディスペンサ２０２によって粘性吸湿部材１０７を塗布し終えた後に行うこと、あるいは、ディスペンサ２０２によって粘性吸湿部材１０７を塗布しながら粘性吸湿部材１０７へガスを吹き付けることが可能である。製造効率の観点からは、粘性吸湿部材１０７を塗布と同時に粘性吸湿部材１０７へガスを吹き付けることが好ましい。粘性吸湿部材１０７とガスの吹きつけを並行して行うことによって、粘性吸湿部材１０７の配設工程にかかる時間を短縮することができる。
【００６８】
上記のように、本形態の粘性吸湿部材の配設工程は、塗布された粘性吸湿部材にガスを吹き付けて粘性吸湿部材の形状を変形する。これによって、粘性吸湿部材と有機ＥＬ素子との接触を防止する、あるいは、粘性吸湿部材の塗布量を増加することが可能となる。また、ガスにより粘性吸湿部材の変形は、ニードルなどの塗布手段を粘性吸湿部材から引き離すことによる粘性吸湿部材の望ましくない形状変化を避けることができる。
【００６９】
なお、ニードル２０３の吐出口の形状は、円形状、矩形上など、どのような形状でもよい。また、本形態は粘性吸湿部材１０７の塗布にディスペンサ２０２を用いた例を示したが、例えば薬さじのような塗布手段を用いた手塗り塗布などに本発明を適用することも可能である。本形態の粘性吸湿部材の塗布は、有機ＥＬパネルの製造に特に好適であるが、他の表示パネルの基板への粘性吸湿部材の塗布に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本実施形態にかかる有機ＥＬパネルの模式的断面図である。
【図２】本実施形態にかかる有機ＥＬパネルの製造工程を示すフローチャートである。
【図３】本実施形態の粘性吸湿部材を塗布する塗布装置の模式的概略図である。
【図４】本実施形態の粘性吸湿部材の塗布状態を説明する図である。
【図５】本実施形態の粘性吸湿部材の塗布状態を説明する図である。
【符号の説明】
【００７１】
１００  有機ＥＬパネル
１０１  基板
１０２  陽極
１０３  絶縁層
１０４  有機ＥＬ層
１０５  陰極
１０６  対向基板
１０７  粘性吸湿部材
１０８  接着剤
１０９  陰極補助配線
２００  塗布装置
２０２  ディスペンサ
２０３  ニードル
２０４  ノズル
２０５  移動手段
２０６  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006066366.tif 000006
【図５】
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