(57)【要約】【課題】  下地層に対して高い選択性を維持しつつ、しかも適正なエッチング形状を得ることが可能なエッチング方法を提供する。【解決手段】  シリコン含有材料よりなる下地層４上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層６が形成された被処理体Ｓに対して真空引き可能になされた処理容器２４内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すようにしたエッチング方法において、前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとを用いるようにする。これにより、下地層に対して高い選択性を維持しつつ、しかも適正なエッチング形状を得ることができる。【選択図】  図１
2006156675.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体に対して真空引き可能になされた処理容器内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すようにしたエッチング方法において、
前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとを用いるようにしたことを特徴とするエッチング方法。
【請求項２】
前記塩素含有ガス及び前記窒素含有ガスの合計流量に対する前記酸素含有ガスの添加量は２．９〜８．６％の範囲内であり、前記塩素含有ガス及び前記窒素含有ガスの合計流量に対する前記窒素含有ガスの流量比は５０〜８０％の範囲内であることを特徴とする請求項１記載のエッチング方法。
【請求項３】
シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体に対して真空引き可能になされた処理容器内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すようにしたエッチング方法において、
前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸化窒素系ガスとを用いるようにしたことを特徴とするエッチング方法。
【請求項４】
前記プラズマはマイクロ波によって発生されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のエッチング方法。
【請求項５】
前記エッチング処理はＲＬＳＡ（Ｒａｄｉａｌ  Ｌｉｎｅ  Ｓｌｏｔ  Ａｎｔｅｎｎａ）方式の平面アンテナ部材を用いた処理容器内で行われることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のエッチング方法。
【請求項６】
前記下地層はポリシリコン層よりなり、前記エッチング対象層は窒化タングステン膜とタングステン膜との積層構造よりなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のエッチング方法。
【請求項７】
シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体に対して真空引き可能になされた処理容器内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すに際して、
前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとを用いてエッチング処理を施すようにエッチング装置を制御するプログラムを記憶する記憶媒体。
【請求項８】
シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体に対して真空引き可能になされた処理容器内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すに際して、
前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸化窒素系ガスとを用いてエッチング処理を施すようにエッチング装置を制御するプログラムを記憶する記憶媒体。
【請求項９】
真空引き可能になされた処理容器と、
シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体を載置するために前記処理容器内に設けられた載置台と、
前記処理容器内へ塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとをエッチング時のガスとして供給するためのガス供給手段と、
前記処理容器内でプラズマを立てるためのプラズマ形成手段と、
前記処理容器内へ前記エッチング時のガスを供給する工程と前記処理容器内へプラズマを立ててエッチングを行う工程とを実行するように制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング装置。
【請求項１０】
真空引き可能になされた処理容器と、
シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体を載置するために前記処理容器内に設けられた載置台と、
前記処理容器内へ塩素含有ガスと酸化窒素系とをエッチング時のガスとして供給するためのガス供給手段と、
前記処理容器内でプラズマを立てるためのプラズマ形成手段と、
前記処理容器内へ前記エッチング時のガスを供給する工程と前記処理容器内へプラズマを立ててエッチングを行う工程とを実行するように制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とするエッチング装置。
【請求項１１】
前記プラズマはマイクロ波によって発生されることを特徴とする請求項９または１０記載のエッチング装置。
【請求項１２】
前記プラズマ形成手段は、ＲＬＳＡ方式の平面アンテナ部材によりプラズマを形成するように構成されていることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれかに記載のエッチング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の被処理体の表面にプラズマにより活性化されたエッチングガスを用いてエッチング処理を施すエッチング方法、エッチング装置及びこのエッチング装置を制御するコンピュータ用のプログラムを記憶する記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体製品の集積回路を形成するには、半導体ウエハ等の被処理体に対して、成膜処理、改質処理、酸化拡散処理、エッチング処理等の各種の処理を行うが、近年の半導体集積回路の更なる高密度化、高微細化、薄膜化及び製品歩留まり向上の要請に応じて、エッチング処理時においても、下地層との選択性を高く維持しつつエッチング形状を崩すことなくこの形状を設計通りに精度良く維持することが求められている。
一般に、エッチング処理を行う場合には、エッチング対象層とその下層に位置するエッチングストッパ層となる下地層との選択性を考慮してエッチングガスが選定され、また、このエッチング処理を行う時には低温で処理ができ、且つエッチング効率を高めるためにプラズマを用いる傾向にある（特許文献１及び２）。
【０００３】
ここで従来のエッチング方法として、例えばゲート電極を形成するためにポリシリコン層上に形成されたタングステン含有膜をパターンエッチングする場合を例にとって説明する。図８は被処理体の一部を示す部分拡大断面図である。図示するように、この被処理体は、例えばシリコン基板等の半導体ウエハよりなり、ここではこの半導体ウエハＳの表面にゲート酸化膜となるＳｉＯ２ 膜２及びシリコン含有材料である例えばポリシリコン層よりなる下地層４が形成されている。そして、更に上記下地層４上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層６が形成されている。このエッチング対象層６は、ここでは例えば下層となる窒化タングステン（ＷＮ）膜６Ａと上層となるタングステン（Ｗ）膜６Ｂとの積層構造になっている。そして、このように形成された上記エッチング対象層６の上面に例えばゲート電極を形成するためのパターン化されたマスク８が形成されている。このマスク８としては、例えばＳｉＮ膜、ＳｉＯ２ 膜、フォトレジスト膜等が用いられる。
【０００４】
さて、上記したような積層構造を有する半導体ウエハＳに対してエッチング処理を行う場合には、従来においては、エッチングガスとしてＣｌ２ ガスやＮＦ３ ガスやＳＦ６ ガスを用い、添加ガスとして下地層との選択性を高めるためにＯ２ ガス等を用いており、これらのガスをプラズマにより活性化させてエッチング処理を行うようになっている。また必要に応じて不活性ガス、例えばＡｒガスも供給される場合もあり、またＯ２ ガスに代えてＮ２ ガスを用いる場合もある。
上記したような半導体ウエハＳをエッチングする場合、プラズマによりエッチングガスがプラズマ化されて活性化し、発生した活性種がエッチング対象層６をアタックして、この時、エッチング対象層６を形成する材料と活性種や添加ガスとが反応して反応生成物が生成される。そして、反応生成物は気化してガスとなって排出され、結果的に、マスク８によって保護されている部分以外のエッチング対象層は削り取られ、ストッパ層として機能する下地層４の部分でエッチングが停止することになる。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１１１６８９号公報
【特許文献２】特開２００４−３９９３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、エッチング処理時に発生する反応生成物としては種々の物質があり、その一例としてＷＦやＷＯＣｌ４ 等の反応生成物は比較的揮発性が高いことから問題はないが、エッチングガスとしてＣｌ系ガスを用いた時に発生するＷＯ３ やＷＣｌｘＯｙ（ｘ，ｙ：正数）等の反応生成物は比較的揮発性が低いことから堆積し易い性質をもっている。
ここで下地層４との選択比を高めるには上記したようにＯ２ ガスの流量比を増加すればよいが、Ｏ２ ガスの流量比を増加すると、上記ＷＯ３ やＷＣｌｘＯｙ等の揮発し難い反応生成物がエッチング部分に付着してエッチング形状が劣化してしまう。また、エッチングガスとしてＦ系ガスを用いると、このガスは反応性に富むことからエッチング対象層６が過度に削り取られてアンダーカットが生じてエッチング形状が劣化する、という問題があった。
【０００７】
図９はこのエッチング処理時のエッチング形状の一例を示す電子顕微鏡写真とその模式図である。図９（Ａ）はエッチングが適正に行われて適正なエッチング形状が得られた状態の模式図を示し、図９（Ｂ）はエッチングガスとしてＮ２ が添加されたＣｌ２ ガスを用いたときのエッチング形状を示し、側部にＷＯ３ やＷＣｌｘＯｙ等の不揮発性堆積物１０が堆積する現象が発生しており、図９（Ｃ）はエッチングガスとしてＯ２ が添加されたＣｌ２ ガスを用いたときのエッチング形状を示し、側部が円弧状に過度に削り取られてアンダーカット部１２が形成される現象が発生している。このように、従来のエッチング方法では図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）に示すようにエッチング形状が劣化する場合があった。また、単にエッチングガスとしてＣｌ２ ガスのみを用いた場合には選択比が極端に低下して下地層であるポリシリコン層が削られてしまう。
【０００８】
上記したようなエッチング形状の劣化は、線幅等の寸法の設計ルールがそれ程厳しくない従来の場合には、それ程問題にはならなかったが、今日のように微細化が更に進んで寸法の設計ルールがより厳しくなった状況下においては、早期に解決すべき問題である。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、下地層に対して高い選択性を維持しつつ、しかも適正なエッチング形状を得ることが可能なエッチング方法、エッチング装置及び記憶媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、エッチング処理時のエッチングガスと添加ガスについて鋭意研究した結果、タングステン膜や窒化タングステン膜などのタングステン含有材料よりなる薄膜をエッチングする場合には、Ｃｌ２ ガスとＯ２ ガスとＮ２ ガスとを用いたり、Ｃｌ２ ガスとＮＯ等の酸化窒素系ガスとを用いることにより、高い選択性及び適正なエッチング形状が得られることを見い出すことにより、本発明に至ったものである。
【００１０】
請求項１に係る発明は、シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体に対して真空引き可能になされた処理容器内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すようにしたエッチング方法において、前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとを用いるようにしたことを特徴とするエッチング方法である。
このように、エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとを用いるようにしたので、下地層に対して高い選択性を維持しつつ、しかも適正なエッチング形状を得ることができる。
【００１１】
この場合、例えば請求項２に規定するように、前記塩素含有ガス及び前記窒素含有ガスの合計流量に対する前記酸素含有ガスの添加量は２．９〜８．６％の範囲内であり、前記塩素含有ガス及び前記窒素含有ガスの合計流量に対する前記窒素含有ガスの流量比は５０〜８０％の範囲内である。
請求項３に係る発明は、シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体に対して真空引き可能になされた処理容器内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すようにしたエッチング方法において、前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸化窒素系ガスとを用いるようにしたことを特徴とするエッチング方法である。
このように、エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸化窒素系ガスとを用いるようにしたので、下地層に対して高い選択性を維持しつつ、しかも適正なエッチング形状を得ることができる。
【００１２】
この場合、例えば請求項４に規定するように、前記プラズマはマイクロ波によって発生される。
また例えば請求項５に規定するように、前記エッチング処理はＲＬＳＡ（Ｒａｄｉａｌ  Ｌｉｎｅ  Ｓｌｏｔ  Ａｎｔｅｎｎａ）方式の平面アンテナ部材を用いた処理容器内で行われる。
また例えば請求項６に規定するように、前記下地層はポリシリコン層よりなり、前記エッチング対象層は窒化タングステン膜とタングステン膜との積層構造よりなる。
請求項７に係る発明は、シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体に対して真空引き可能になされた処理容器内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すに際して、前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとを用いてエッチング処理を施すようにエッチング装置を制御するプログラムを記憶する記憶媒体である。
【００１３】
請求項８に係る発明は、シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体に対して真空引き可能になされた処理容器内にてプラズマの存在下でエッチング処理を施すに際して、前記エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸化窒素系ガスとを用いてエッチング処理を施すようにエッチング装置を制御するプログラムを記憶する記憶媒体である。
【００１４】
請求項９に係る発明は、真空引き可能になされた処理容器と、シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体を載置するために前記処理容器内に設けられた載置台と、前記処理容器内へ塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとをエッチング時のガスとして供給するためのガス供給手段と、前記処理容器内でプラズマを立てるためのプラズマ形成手段と、前記処理容器内へ前記エッチング時のガスを供給する工程と前記処理容器内へプラズマを立ててエッチングを行う工程とを実行するように制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするエッチング装置である。
【００１５】
請求項１０に係る発明は、真空引き可能になされた処理容器と、シリコン含有材料よりなる下地層上にタングステン含有材料よりなるエッチング対象層が形成された被処理体を載置するために前記処理容器内に設けられた載置台と、前記処理容器内へ塩素含有ガスと酸化窒素系とをエッチング時のガスとして供給するためのガス供給手段と、前記処理容器内でプラズマを立てるためのプラズマ形成手段と、前記処理容器内へ前記エッチング時のガスを供給する工程と前記処理容器内へプラズマを立ててエッチングを行う工程とを実行するように制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするエッチング装置である。
この場合、例えば請求項１１に規定するように、前記プラズマはマイクロ波によって発生される。
また例えば請求項１２に規定するように、前記プラズマ形成手段は、ＲＬＳＡ方式の平面アンテナ部材によりプラズマを形成するように構成されている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のエッチング方法、エッチング装置及び記憶装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとを用いるようにしたので、下地層に対して高い選択性を維持しつつ、しかも適正なエッチング形状を得ることができる。
また、エッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸化窒素系ガスとを用いるようにしたので、下地層に対して高い選択性を維持しつつ、しかも適正なエッチング形状を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明に係るエッチング方法、エッチング装置及び記憶装置の一実施例の形態について添付図面を参照して説明する。
図１は本発明に係るエッチング装置の一例を示す構成図、図２はプラズマ形成手段の平面アンテナ部材を示す平面図、図３はガス供給手段であるシャワーヘッド部を示す下面図である。ここではエッチング装置としてラジアルラインスロットアンテナ（ＲＬＳＡ：Ｒａｄｉａｌ  Ｌｉｎｅ  Ｓｌｏｔ  Ａｎｔｅｎｎａ）方式の平面アンテナ部材を用いた場合を例にとって説明する。
図示するように、プラズマを用いたこのエッチング装置２２は、例えば側壁や底部がアルミニウム等の導体により構成されて、全体が筒体状に成形された処理容器２４を有しており、内部は密閉された処理空間として構成されて、この処理空間にプラズマが形成される。この処理容器２４自体は接地されている。
【００１８】
この処理容器２４内には、上面に被処理体としての例えば半導体ウエハＳを載置する載置台２６が収容される。この載置台２６は、例えばアルマイト処理したアルミニウム等により平坦になされた略円板状に形成されており、例えばアルミニウム等よりなる支柱２８を介して容器底部より起立されている。
この処理容器２４の側壁には、この内部に対してウエハを搬入・搬出する時に開閉するゲートバルブ３０が設けられている。また、容器底部には、排気口３２が設けられると共に、この排気口３２には、圧力制御弁３４及び真空ポンプ３６が順次介接された排気路３８が接続されており、必要に応じて処理容器２４内を所定の圧力まで真空引きできるようになっている。
そして、処理容器２４の天井部は開口されて、ここに例えばＡｌ２ Ｏ３ 等のセラミック材よりなるマイクロ波に対しては透過性を有する天板４０がＯリング等のシール部材４２を介して気密に設けられる。この天板４０の厚さは耐圧性を考慮して例えば２０ｍｍ程度に設定される。
【００１９】
そして、この天板４０の上面に上記処理容器２４内でプラズマを立てるためのプラズマ形成手段４４が設けられている。具体的には、このプラズマ形成手段４４は、上記天板４０の上面に設けられた円板状の平面アンテナ部材４６を有しており、この平面アンテナ部材４６上に遅波材４８が設けられる。この遅波材４８は、マイクロ波の波長を短縮するために高誘電率特性を有している。上記平面アンテナ部材４６は、上記遅波材４８の上方全面を覆う導電性の中空円筒状容器よりなる導波箱５０の底板として構成され、前記処理容器２４内の上記載置台２６に対向させて設けられる。この導波箱５０の上部には、これを冷却するために冷媒を流す冷却ジャケット５２が設けられる。
【００２０】
この導波箱５０及び平面アンテナ部材４６の周辺部は共に処理容器２４に導通されると共に、この導波箱５０の上部の中心には、同軸導波管５４の外管５４Ａが接続され、内部の内部ケーブル５４Ｂは、上記遅波材４８の中心の貫通孔を通って上記平面アンテナ部材４６の中心部に接続される。そして、この同軸導波管５４は、モード変換器５６及び導波管５８を介してマッチング（図示せず）を有する例えば２．４５ＧＨｚのマイクロ波発生器６０に接続されており、上記平面アンテナ部材４６へマイクロ波を伝搬するようになっている。この周波数は２．４５ＧＨｚに限定されず、他の周波数、例えば８．３５ＧＨｚを用いてもよい。この導波管５８としては、断面円形或いは矩形の導波管や同軸導波管を用いることができる。そして、上記導波箱５０内であって、平面アンテナ部材４６の上面側に設けた高誘電率特性を有する遅波材４８は、この波長短縮効果により、マイクロ波の管内波長を短くしている。この遅波材４８としては、例えば窒化アルミ等を用いることができる。
【００２１】
上記平面アンテナ部材４６は、大きさが３００ｍｍサイズのウエハ対応の場合には、例えば直径が４００〜５００ｍｍ、厚みが１〜数ｍｍの導電性材料よりなる、例えば表面が銀メッキされた銅板或いはアルミ板よりなり、この円板には、例えば長溝状の貫通孔よりなる多数のマイクロ波放射孔６２が形成されている。このマイクロ波放射孔６２の配置形態は、特に限定されず、例えば同心円状、渦巻状、或いは放射状に配置させてもよいし、アンテナ部材全面に均一になるように分布させてもよい。図２に示す場合には、マイクロ波放射孔６２は、この２個のマイクロ波放射孔６２を僅かに離間させて略Ｔの字状に配置して一対の組を形成して同心円状に配置している。このように形成することにより、この平面アンテナ部材４６は、いわゆるＲＬＳＡ（Ｒａｄｉａｌ  Ｌｉｎｅ  Ｓｌｏｔ  Ａｎｔｅｎｎａ）方式のアンテナ構造となっており、これにより、高密度プラズマ及び低電子エネルギーの特徴が得られる。
【００２２】
また上記載置台２６の上方には、この処理容器２４内へエッチング時に必要とするガスを供給するためのガス供給手段６４が設けられている。具体的には、このガス供給手段６４は、図３にも示すようにガス流路６６を格子状に形成してこのガス流路６６の途中に多数のガス噴射孔６８を形成してなるシャワーヘッド部７０を有している。この場合、上記格子状のガス流路６６の各両端部はリング状に形成されたガス流路６６ａに接続されて、各ガス流路６６に十分にガスを流し得るようになっている。このシャワーヘッド部７０には、上記各ガス流路６６、６６ａを避けるような位置において上下方向に抜ける多数の開口部７２が形成されており、この開口部７２を介して上下方向にガスが流通できるようになっている。このシャワーヘッド部７０の全体は、エッチングガスとの関係で耐久性を維持するために、石英やアルミニウム等で形成できるが、特に、塩素系ガスを用いる場合には石英が好ましい。
【００２３】
そして、上記ガス流路６６ａには、外部に延びるガス路７４が接続されており、このガス路７４は途中で複数に分岐され、各分岐路には開閉弁７６やマスフローコントローラのような流量制御器７８がそれぞれ介設されて各ガス源に接続されている。ここでエッチング時のガスとして塩素含有ガスと酸素含有ガスと窒素含有ガスとが用いられ、具体的には、ガス源としては、塩素含有ガスとして例えばＣｌ２ ガスを貯留するＣｌ２ ガス源８０Ａ、酸素含有ガスとして例えばＯ２ ガスを貯留するＯ２ ガス源８０Ｂ及び窒素含有ガスとして例えばＮ２ ガスを貯留するＮ２ ガス源８０Ｃが用いられている。尚、上記したようなシャワーヘッド部７０を上下２段に設け、その一方からＯ２ ガスとＮ２ ガスを流し、他方よりＣｌ２ ガスを流すようにしてもよい。
【００２４】
また、上記載置台２６の下方には、ウエハＳの搬出入時にこれを昇降させる複数、例えば３本の昇降ピン８２（図１においては２本のみ記す）が設けられており、この昇降ピン８２は、伸縮可能なベローズ８４を介して容器底部を貫通して設けた昇降ロッド８６により昇降される。また上記載置台２６には、上記昇降ピン８２を挿通させるためのピン挿通孔８８が形成されている。上記載置台２６の全体は耐熱材料、例えばアルミナ等のセラミックにより構成されており、このセラミック中に加熱手段９０が設けられる。この加熱手段９０は、載置台２６の略全域に亘って埋め込まれた薄板状の抵抗加熱ヒータ９２を有しており、この抵抗加熱ヒータ９２は、支柱２８内を通る配線９４を介してヒータ電源９６に接続されている。
【００２５】
また、この載置台２６の上面側には、内部に例えば網目状に配設された導体線９８を有する薄い静電チャック１００が設けられており、この載置台２６上、詳しくはこの静電チャック１００上に載置されるウエハＳを静電吸着力により吸着できるようになっている。そして、この静電チャック１００の上記導体線９８は、上記静電吸着力を発揮するために配線１０２を介して直流電源１０４に接続されている。またこの配線１０２には、エッチング時に例えば１３．５６ＭＨｚのバイアス用の高周波電力を上記静電チャック１００の導体線９８へ印加するためにバイアス用高周波電源１０６が接続されている。
そして、このエッチング装置２２の全体の動作は、例えばマイクロコンピュータ等よりなる制御手段１０８により制御されるようになっており、この動作を行うコンピュータのプログラムはフロッピやＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）やフラッシュメモリ等の記憶媒体１１０に記憶されている。具体的には、この制御手段１０８からの指令により、各ガスの供給や流量制御、マイクロ波や高周波の供給や電力制御、プロセス温度やプロセス圧力の制御等が行われる。
【００２６】
次に、以上のように構成されたエッチング装置２２を用いて行なわれるエッチング方法について説明する。
まず、ゲートバルブ３０を介して半導体ウエハＳを搬送アーム（図示せず）により処理容器２４内に収容し、昇降ピン８２を上下動させることによりウエハＳを載置台２６の上面の載置面に載置し、そして、このウエハＳを静電チャック１００により静電吸着する。このウエハＳの表面には、図８で示したように、下地層４上にエッチング対象層６が形成され、このエッチング対象層６上にパターン化されたマスク８が予め前工程で形成されている。
このウエハＳは加熱手段９０により所定のプロセス温度に維持され、各ガス源８０Ａ〜８０ＣよりＣｌ２ ガス、Ｏ２ ガス及びＮ２ ガスをそれぞれ所定の流量で流してシャワーヘッド部７０より処理容器２４内へ供給し、圧力制御弁３４を制御して処理容器２４内を所定のプロセス圧力に維持する。これと同時に、プラズマ形成手段４４のマイクロ波発生器６０を駆動することにより、このマイクロ波発生器６０にて発生したマイクロ波を、導波管５８及び同軸導波管５４を介して平面アンテナ部材４６に供給して処理空間に、遅波材４８によって波長が短くされたマイクロ波を導入し、これにより処理空間にプラズマを発生させて所定のプラズマを用いたエッチング処理を行う。
【００２７】
このように、平面アンテナ部材４６から処理容器２４内へマイクロ波が導入されると、Ｃｌ２ 、Ｏ２ 、Ｎ２ の各ガスがこのマイクロ波によりプラズマ化されて活性化され、この時発生する活性種によってウエハＳの表面に形成されているタングステン含有材料よりなるエッチング対象層６が、マスク８により保護されている部分を除いてエッチングされて除去される。そして、上記各ガスは、載置台２６の周辺部に略均等に拡散しつつ下方へ流れて行き、排気口３２を介して排気路３８から排出される。またエッチング処理に際しては、バイアス用高周波電源１０６より静電チャック１００中の導体線９８へバイアス用の高周波が印加されており、これにより、活性種等をウエハ表面に対して直進性良く引き込むようにして、エッチング形状ができるだけ崩れないようにしている。
【００２８】
ここで本発明においては、エッチングガスである塩素含有ガスとしてＣｌ２ ガスを用い、また添加ガスとして酸素含有ガスである例えばＯ２ ガスと窒素含有ガスである例えばＮ２ ガスとを用いているので、ポリシリコン層よりなる下地層４に対して、窒化タングステン膜６Ａとタングステン膜６Ｂとの積層構造よりなるエッチング対象層６を選択性良くエッチングすることができ、しかもそのエッチング形状を崩すことなく、適正な形状に維持することができる。換言すれば、本発明方法によれば、従来方法で発生していた図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）に示すような不揮発性堆積物１０の付着を防止し、またカンダーカット部１２の発生も防止して、図９（Ａ）に示すような適正なエッチング形状を得ることができる。尚、上記各ガスに加えて、不活性ガス、例えばＡｒガスやＨｅガス等を添加するようにしてもよい。
【００２９】
このように適切なエッチング処理ができる理由は、次のように考えられる。すなわち、エッチングガスとしてＣｌ２ ガスを用いつつ、下地層４であるポリシリコン層との選択比を得るために酸素含有ガスとしてＯ２ ガスを適切量添加し、また、エッチング形状を適切にするために窒素含有ガスとしてＮ２ ガスを適切量添加しており、これにより反応生成物としては揮発性の低い物質がほとんど発生することなく主として揮発性の高い物質、例えばＷＯ、ＷＯ２ 等が発生するので、最適なエッチング条件が得られるからである。更に、反応生成物として揮発性の低い物質が一時的に生じても、この物質がＮ２ ガスの活性種により還元されて揮発性の高い物質へと変換されると考えられる。
【００３０】
この場合のプロセス条件については、プロセス温度は例えば６０〜８０℃の範囲内であり、プロセス圧力は例えば０．５〜２Ｐａの範囲内である。
また各ガスについては、塩素含有ガス（Ｃｌ２ ガス）の流量は、処理容器２４の大きさにもよるが、例えばウエハサイズが３００ｍｍの時には１００〜１０００ｓｃｃｍ程度の範囲内である。
【００３１】
また塩素含有ガス（Ｃｌ２ ガス）及び窒素含有ガス（Ｎ２ ガス）の合計流量に対する窒素含有ガスの流量比は、５０〜８０％の範囲内である。ここでＮ２ ガスの流量比が５０％よりも少ない場合には、エッチング対象層６と下地層４との選択比が十分にとれなくなって、適正なエッチング形状が得られなくなってしまう。また、Ｎ２ ガスの流量比が８０％よりも多い場合には、エッチングレートが急激に低下すると同時に、エッチング対象層６の側壁が削られてサイドエッチングが発生してしまう。
また塩素含有ガス（Ｃｌ２ ガス）及び窒素含有ガス（Ｎ２ ガス）の合計流量に対する酸素含有ガス（Ｏ２ ガス）の添加量は、２．９〜８．６％の範囲内である。ここでＯ２ ガスの流量比が、２．９％よりも少ない場合には、エッチングレートが大幅に低下してスループットが十分でなくなってしまう。また、Ｏ２ ガスの流量比が、８．６％よりも大きい場合には、側壁にデポが発生してエッチング形状が劣化してしまうので好ましくない。
【００３２】
ここで各ガスの流量に対するエッチング形状の良否及び下地層に対する選択性の有無について実際に評価を行ったので、その評価結果について説明する。
図４はＣｌ２ ガス及びＮ２ ガスの合計流量に対するＮ２ ガスの流量比のエッチング依存性を示すグラフである。ここでは左側の縦軸にエッチングレート（エッチング対象層及び下地層）を示し、右側の縦軸に選択比を示している。また図５はＮ２ ガスの流量比の各代表値、すなわち５０％、７０％、８０％、９０％（図５（Ａ）〜図５（Ｄ）にそれぞれ対応）の時のエッチング状態を示す電子顕微鏡写真を示す。この時のエッチング条件は、Ｃｌ２ ガスとＮ２ ガスの合計流量を７００ｓｃｃｍに一定にし、両ガスの比率を変化させた。またＯ２ ガスの流量は３０ｓｃｃｍに固定した。
【００３３】
図５（Ａ）〜図５（Ｃ）は比較的適正なエッチング形状を示しているが、図５（Ｄ）はサイドエッチングが発生している。そして、図４のグラフから明らかなように、Ｎ２ ガス流量比を増加する程、エッチング対象層のエッチングレートはそれ程低下しないのに対して、下地層のエッチングレートは大幅に低下するので、選択比は向上して好ましい。しかし、Ｎ２ ガス流量比が８０％を超えて大きくなると、エッチング対象層のエッチングレートが過度に低下するのみならず、グラフには現れていないが、図５（Ｄ）に示すようにエッチング対象層にサイドエッチングが発生して好ましくない。またＮ２ ガス流量比が５０％よりも小さい場合には、選択比が小さくなり過ぎてしまって好ましくない。従って、Ｎ２ ガス流量比は、５０〜８０％の範囲内であることが必要であり、特に７０〜８０％の範囲内においては選択比が実用上十分な値である３．０以上となり、更に好ましいことが確認できた。
【００３４】
図６はＣｌ２ ガス及びＮ２ ガスの合計流量に対するＯ２ ガスの添加量と下地層に対する選択性との関係を示すグラフである。ここでは左側の縦軸にエッチングレート（エッチング対象層及び下地層）を示し、右側の縦軸に選択比を示している。図７はＯ２ ガスの添加量の各代表値、すなわち２．９％、４．３％、５．７％、８．６％、１１．４％の時（図７（Ａ）〜図７（Ｅ）にそれぞれ対応）の電子顕微鏡写真を示す。またこの時のプロセス条件は、Ｃｌ２ ガスとＮ２ ガスの流量をそれぞれ２００ｓｃｃｍ及び５００ｓｃｃｍに固定し、Ｏ２ ガスの流量のみを変化させた。
図７（Ａ）〜図７（Ｄ）は比較的適正なエッチング形状を示しているが、図７（Ｅ）は側壁にデポが発生している。そして、図６から明らかなように、Ｏ２ ガスの添加量が多くなる程、エッチング対象層のエッチングレートは大きくなるのに対して、下地層のエッチングレートは低下し、従って、選択比は増加している。しかし、Ｏ２ ガスの添加量が２．９％よりも少ない場合には、エッチングレートが過度に低下してしまって好ましくない。これに対して、Ｏ２ ガスの添加量が８．６％よりも大きくなると、図７（Ｅ）に示すように側壁にデポが発生してエッチング形状が劣化してしまって好ましくない。この結果、Ｏ２ ガスの添加量が２．９〜８．６％の範囲内では、適正な選択比であり、特に４．３〜５．７％の範囲内では、選択比が３．０以上であり、側壁デポも全く発生せず、更に好ましいことが確認できた。
【００３５】
上記実施例では、塩素含有ガスとしてＣｌ２ ガスを用いたが、これに限定されず、例えばＢＣｌ３ 等を用いることができる。また上記実施例では、添加ガスとして酸素含有ガスと窒素含有ガスの２種類のガスを用いたが、この２種類のガスに代えて酸化窒素ガスを用いてもよい。この酸化窒素ガスとしては、例えばＮＯガス、Ｎ２ Ｏガス、ＮＯ２ ガス等を用いることができる。
【００３６】
またここでは、被処理体である半導体ウエハＳの断面構造としては、下地層４としてポリシリコン層が形成されている場合を例にとって説明したが、これに代えて下地層４がシリコン単結晶よりなる場合にも本発明を適用することができる。また、エッチング対象層６としては、窒化タングステン膜６Ａとタングステン膜６Ｂの積層構造に限定されず、タングステンを含む材料であるならば、どのような膜でもよく、例えば窒化タングステン膜だけの単層、或いはタングステン膜だけの単層の場合にも本発明を適用することができる。
更に、被処理体としては半導体ウエハに限定されず、ＬＣＤ基板、ガラス基板等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係るエッチング装置の一例を示す構成図である。
【図２】プラズマ形成手段の平面アンテナ部材を示す平面図である。
【図３】ガス供給手段であるシャワーヘッド部を示す下面図である。
【図４】Ｃｌ２ ガス及びＮ２ ガスの合計流量に対するＮ２ ガスの流量比のエッチング依存性を示すグラフである。
【図５】Ｎ２ ガスの流量比の各代表値である５０％、７０％、８０％、９０％の時のエッチング状態を示す電子顕微鏡写真を示す。
【図６】Ｃｌ２ ガス及びＮ２ ガスの合計流量に対するＯ２ ガスの添加量と下地層に対する選択性との関係を示すグラフである。
【図７】Ｏ２ ガスの添加量の各代表値である２．９％、４．３％、５．７％、８．６％、１１．４％の時の電子顕微鏡写真を示す。
【図８】被処理体の一部を示す部分拡大断面図である。
【図９】エッチング処理時のエッチング形状の一例を示す電子顕微鏡写真とその模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
４  下地層
６  エッチング対象層
６Ａ  窒化タングステン膜
６Ｂ  タングステン膜
２２  エッチング装置
２４  処理容器
２６  載置台
４４  プラズマ形成手段
４６  平面アンテナ部材
６０  マイクロ波発生器
６４  ガス供給手段
７０  シャワーヘッド部
８０Ａ  Ｃｌ２ ガス源
８０Ｂ  Ｏ２ ガス源
８０Ｃ  Ｎ２ ガス源
９０  加熱手段
１０６  バイアス用高周波電源
１０８  制御手段
１１０  記憶媒体
Ｓ  半導体ウエハ（被処理体）
【図１】
2006156675.tif 000003
【図２】
2006156675.tif 000004
【図３】
2006156675.tif 000005
【図４】
2006156675.tif 000006
【図５】
2006156675.tif 000007
【図６】
2006156675.tif 000008
【図７】
2006156675.tif 000009
【図８】
2006156675.tif 000010
【図９】
2006156675.tif 000011