(57)【要約】【課題】  シリコンウェハ１５のエッジ研磨用研磨布１３を、ＭＣナイロン製定盤１２に固着する両面粘着テープに関し、シリコンウェハ１５のエッジ研磨中に、研磨布１３を定盤１２へ固定している両面粘着テープ１４が定盤１２から剥離するのを防止することができる。【解決手段】  シリコンウェハ１５のエッジ研磨用研磨布１３を、ナイロン製定盤１２に固定する両面粘着テープ１４であって、テープ基材と、テープ基材の定盤側面に設けられた定盤側粘着層と、テープ基材の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層とからなり、定盤側粘着層がアクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなるものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨布をナイロン製定盤に固着する両面粘着テープであって、
テープ基材と、前記テープ基材の定盤側面に設けられた定盤側粘着層と、前記テープ基材の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層とからなり、
前記定盤側粘着層が、アクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなることを特徴とする両面粘着テープ。
【請求項２】
前記定盤側粘着層の厚みが４０μｍ〜１００μｍであることを特徴とする請求項１に記載の両面粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨機における研磨布の固着に用いる両面粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウェハのエッジは、専用の研磨機を用いて研磨している。
【０００３】
研磨機は、シリコンウェハを設置するキャリアと、キャリアに設置固定したシリコンウェハの研磨部位に対向する位置に設けられた定盤と、定盤表面に固着した研磨布とから構成されている。
【０００４】
研磨布の定盤への固着は、両面粘着テープ３０（図６）を用いて行われている。両面粘着テープ３０は、テープ基材３１と、テープ基材３１の定盤側面に設けられた定盤側粘着層３２と、テープ基材３１の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層３３とからなる。定盤側粘着層３２には、天然ゴム系粘着剤が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
天然ゴム系粘着剤からなる定盤側粘着層３２は、ＳＵＳのような金属製の定盤への接着に適している。このため、両面粘着テープ３０をナイロン製の定盤への研磨布の固着に使用した場合、シリコンウェハのエッジ研磨中に、両面粘着テープ３０がナイロン製の定盤から剥離し、研磨布によるシリコンウェハのエッジの研磨が精度よく行えないという問題があった。
【特許文献１】特開平６−１５８００８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明においては、研磨布をナイロン製の定盤へ固着している両面粘着テープが、研磨中にナイロン製の定盤から剥離するのを防止でき、研磨布による研磨が精度よく確実に行えることを解決しようとする課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、研磨布をナイロン製定盤に固着する両面粘着テープであって、テープ基材と、テープ基材の定盤側面に設けられた定盤側粘着層と、テープ基材の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層とからなり、定盤側粘着層が、アクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなるものである。
【０００８】
定盤側粘着層の厚みは、４０μｍ〜１００μｍが好ましい。より好ましくは、５０μｍ〜７０μｍである。
【０００９】
本発明の両面粘着テープによると、定盤側粘着層がアクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤にて形成されており、ナイロン製の定盤との接着性が向上し、研磨中にナイロン製の定盤から剥離するのを防止できる。
【００１０】
また、定盤側粘着層の厚みを４０μｍ〜１００μｍとしたことにより、研磨中に発生する粘着層のヨレに起因する定盤からの剥離を防止できる。なお、定盤側粘着層の厚みが４０μｍ未満の場合、研磨中に剥離が生じ易く、また定盤側粘着層の厚みが１００μｍを超える場合、粘着層にせん断が発生するとともに研磨平坦度不良が生じる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、研磨布をナイロン製の定盤へ固着している両面粘着テープが、研磨中にナイロン製の定盤から剥離するのを防止でき、研磨布による研磨が精度よく確実に行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の最良の実施形態を図１ないし図３に基づいて説明する。図１は研磨機の正面図、図２，３は両面粘着テープの部分断面図である。
【００１３】
図１を用いて、シリコンウェハ１５のエッジを研磨する研磨機１０について説明する。研磨機１０は、シリコンウェハ１５を設置し真空吸着等により固定するキャリア１１と、キャリア１１に設置したシリコンウェハ１５のエッジの研磨部に対向する位置に設けたＭＣ（モノマーキャスト）ナイロン製定盤１２と、定盤１２の表面に両面粘着テープ１４を介して固定した研磨布１３とから構成されている。そして、キャリア１１を回転させるとともに、定盤１２を水平移動させて研磨布１３をシリコンウェハ１５のエッジに当接させることで、当該エッジを研磨する。
【００１４】
両面粘着テープ１４は、図２に示すように、テープ基材１６と、テープ基材１６の定盤側面に設けられた定盤側粘着層１７と、テープ基材１６の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層１８との３層構造にて形成されている。
【００１５】
定盤側粘着層１７は、アクリル酸エステルおよびロジンエステルおよびテルペン樹脂を含むアクリル系粘着剤からなる。また、定盤側粘着層１７の厚みは３５μｍとした。
【００１６】
研磨布側粘着層１８は、ゴム系粘着剤やアクリル系粘着剤等、研磨布１３を強固に固着する粘着剤であればよい。
【００１７】
次に、剥離試験について説明する。
【００１８】
表１に、剥離試験の条件を示す。剥離試験は、９０度剥離試験と２００ｇｆ定荷重剥離試験について行う。
【００１９】
【表１】
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９０度剥離試験とは、図４に示すように、ＭＣナイロン板４０に試験用の両面粘着テープ４１（幅１２ｍｍ，長さ３００ｍｍ）の定盤側粘着面４２の一部を固着し、ＭＣナイロン板４０に対し直角方向（矢印方向）に両面粘着テープ４１を引っ張り、剥離に必要なトルクを測定する試験である。剥離に必要なトルクが大きいほど、粘着力が強く、好ましいテープであると言える。
【００２０】
２００ｇｆ定荷重剥離試験とは、図５に示すように、ＭＣナイロン板４０に試験用の両面粘着テープ４１の定盤側粘着面４２の一部を固着し、両面粘着テープ４１を１８０度折り返し、ＭＣナイロン板４０に対して平行（矢印方向）に２００ｇｆの荷重を２時間加え、剥離した長さを測定する試験である。剥離した長さが小さいほど、粘着力が強く、好ましいテープであると言える。
【００２１】
表１に示すように、９０度剥離試験は、圧着後の条件（環境温度、放置時間）ならびに測定時の温度を変えた５つの異なる条件１〜５にて試験を行い、２００ｇｆ定荷重剥離試験は、同様に４つの異なる条件６〜９にて試験を行った。
【００２２】
表２に、実施例１と比較例との剥離試験結果を示す。なお、表２中の条件１〜９は、表１中の条件１〜９に対応している。
【００２３】
【表２】
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実施例１は、図２に示す両面粘着テープ１４である。
【００２４】
比較例は、図６に示す両面粘着テープ３０であって、テープ基材３１と、テープ基材３１の定盤側面に設けられた定盤側粘着層３２と、テープ基材３１の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層３３とからなる。定盤側粘着層３２は厚み４３μｍの天然ゴム系粘着剤にて形成されており、研磨布側粘着層３３は研磨布側粘着層１８（図２）と同様の材質にて形成されている。
【００２５】
表２の剥離試験結果より、９０度剥離試験に関しては、条件１〜５のいずれにおいても実施例１の方が、比較例より剥離に必要なトルクが大きく、粘着力が強いことが判った。
【００２６】
また、２００ｇｆ定荷重剥離試験に関しては、条件６，７では実施例１の方が、比較例より剥離した長さが小さく、粘着力が強いことが判った。ただし、条件８，９では実施例１の方が、比較例より剥離した長さが大きく、粘着力が弱かった。
【００２７】
以上のように、条件１〜７において、アクリル系粘着剤の定盤側粘着層１７の方が、天然ゴム系粘着剤の定盤側粘着層３２より、ナイロン製の定盤１２への接着力が大きくなり、両面粘着テープ１４が剥離し難いことが判った。
【００２８】
表３に、実施例１と実施例２との剥離試験結果を示す。なお、表３中の条件１〜９は、表１中の条件１〜９に対応している。
【００２９】
【表３】
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実施例１は、図２に示す両面粘着テープ１４である。
【００３０】
実施例２は、図３に示す両面粘着テープ１９であって、テープ基材２０と、テープ基材２０の定盤側面に設けられた定盤側粘着層２１と、テープ基材２０の研磨布側面に設けられた研磨布側粘着層２２とからなる。定盤側粘着層２１は定盤側粘着層１７（図２）と同様の材質にて厚み６０μｍに形成されており、研磨布側粘着層３３は研磨布側粘着層１８（図２）と同様の材質にて形成されている。
【００３１】
表３の剥離試験結果より、９０度剥離試験に関しては、条件１〜５のいずれにおいても実施例２の方が、実施例１より剥離に必要なトルクが大きく、粘着力が強いことが判った。さらに、条件１〜５のいずれにおいても実施例２の方が比較例（表２）より剥離に必要なトルクが大きく、粘着力が強いことが判った。
【００３２】
また、２００ｇｆ定荷重剥離試験に関しては、常温下である条件６，７では実施例１，２はほとんど差がなかったが、高温下である条件８，９では実施例２の方が実施例１より剥離した長さが小さく、粘着力が強いことが判った。さらに、条件６〜９のいずれにおいても実施例２の方が比較例（表２）より剥離した長さが小さく、粘着力が強いことが判った。
【００３３】
以上のように、条件１〜９において、厚みが４０μｍ〜１００μｍを満たしているアクリル系粘着剤の定盤側粘着層２１の方が、天然ゴム系粘着剤の定盤側粘着層３２より、ナイロン製の定盤１２への接着力が大きくなり、両面粘着テープ１４が剥離し難いことが判った。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、シリコンウェハのエッジ研磨用研磨布を、ＭＣナイロン製定盤に固着する両面粘着テープとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態における研磨機の正面図
【図２】本発明の実施の形態における両面粘着テープの部分断面図
【図３】本発明の実施の形態における両面粘着テープの部分断面図
【図４】９０度剥離試験の説明図
【図５】２００ｇｆ定荷重剥離試験の説明図
【図６】従来例における両面粘着テープの部分断面図
【符号の説明】
【００３６】
１０  研磨機
１１  キャリア
１２  ＭＣナイロン製定盤
１３  研磨布
１４，１９  両面粘着テープ
１５  シリコンウェハ
１６，２０  テープ基材
１７，２１  定盤側粘着層
１８，２２  研磨布側粘着層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006022185.tif 000010
【図６】
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