(57)【要約】【課題】保管装置の内部及び外部で発生する乱流に起因した、塵埃の巻き込みを防止することができる保管装置を提供する。【解決手段】前面が開口された収納部２と、ファン１１とフィルター１２とチャンバー９とを有する第１の給気ユニット３とを備えており、第１の給気ユニット３から、収納部２の前面の天井面から、鉛直方向に対して、吹出し方向が開口部の下部から離れる方向に所定の角度を持ってクリーンエアが吹き出されている。【選択図】図１
2006206234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する収納部と、
ファンとフィルターと給気チャンバーとを有する第一のクリーンエア吹き出しユニットとを備えており、
前記第一のクリーンエア吹き出しユニットは、前記収納部の前記開口部の上部から、鉛直方向に対して、吹出し方向が前記開口部の下部から離れる方向に所定の角度を持ってクリーンエアを吹き出すことを特徴とする保管装置。
【請求項２】
前記収納部が、第二のファンと第二のフィルターと第二の給気チャンバーとを有する第二のクリーンエア吹き出しユニットを更に備えており、
前記第二のクリーンエア吹き出しユニットは、前記収納部の内側から前記開口部に向かって、水平方向にクリーンエアを吹き出すことを特徴とする、請求項１に記載の保管装置。
【請求項３】
前記収納部の前記開口部の両側に、前記収納部の前記開口部から外側に向かって突出する一対の異物誘引防止部を更に備えていることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の保管装置。
【請求項４】
前記収納部が複数の収納棚を備えており、前記異物誘引防止部の長さが、前記複数の収納棚を個々に仕切る隔壁の厚さの３倍以上であることを特徴とする、請求項３に記載の保管装置。
【請求項５】
前記収納部の前記開口部を横切る物を検知する検知手段を更に有しており、前記検知手段によって前記物が検知された場合に、前記クリーンエア吹き出しユニットにおける前記クリーンエアの吹き出しを停止することを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の保管装置。
【請求項６】
前記検知手段が、前記収納部の前記開口部の一辺に対応して配置された投光素子と、前記開口部の対向する一辺に対応して配置された受光素子とで構成されることを特徴とする、請求項５に記載の保管装置。
【請求項７】
前記収納部の内部に、前記収納部に収納する収納物の収納位置を示す指標が設けられていることを特徴とする、請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の保管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は保管装置に関し、特に、クリーンエア吹き出しユニットを有する保管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置等の電気光学装置の製造工程においては、製造環境の清浄度（クリーン度）が製品の品質や歩留まりに大きく影響する。このため、液晶装置は、製造上の要求に応じたクラス１、クラス１０等で称呼されるクリーンルームで製造される。液晶装置は、数多くの製造工程を経て完成されていくが、装置競合により次の工程が着工できないなどの理由によって待ち時間等が発生した場合、液晶装置用基板を一時期クリーンルームで保管する必要が生じる。このとき、保管中に液晶装置用基板に塵埃等の異物が付着しないよう、クリーンルームと同等以上の清浄度を有するクリーンストッカーに格納するのが一般的である。
【０００３】
このようなクリーンストッカーでは、液晶装置用基板の収納部を外部よりも陽圧に保つ、すなわち、収納部の内部から外部に向けてクリーンエアの層流を形成することで、外部からの塵埃の巻き込みを防止して収納物に異物が付着しないようにする。例えば、収納部の背面にソックダクトを配置し、かつ、ソックダクトと収納部との間にチャンバーを設けることで、収納部内のクリーンエアの層流を均一にし、外部からの塵埃の巻き込みを防止するクリーンストッカーが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１０１０２７号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された提案においては、全面開口になされた収納部の前面からクリーンエアの水平層流をクリーンルームに開放するため、クリーンストッカー付近で作業する人や収納部付近に置かれた物体などに水平層流が衝突して乱流が発生し、クリーンルームの塵埃を収納部に巻き込んでしまうという問題があった。また、収納部に液晶装置用基板等を保管した状態では、保管物によって収納部内に乱流が発生し、やはりクリーンルームの塵埃を収納部に巻き込んでしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明においては、保管装置の内部及び外部で発生する乱流に起因した、塵埃の巻き込みを防止することができる、保管装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の保管装置は、開口部を有する収納部と、ファンとフィルターと給気チャンバーとを有する第一のクリーンエア吹き出しユニットとを備えており、第一のクリーンエア吹き出しユニットは、収納部の開口部の上部から、鉛直方向に対して、吹出し方向が前記開口部の下部から離れる方向に所定の角度を持ってクリーンエアを吹き出す。
【０００７】
このような構成によれば、収納部の前面に鉛直方向のクリーンエアの層流が形成されるため、クリーンルームからの塵埃の巻き込みを防止することができる。
【０００８】
本発明の保管装置は、さらに、収納部が、第二のファンと第二のフィルターと第二の給気チャンバーとを有する第二のクリーンエア吹き出しユニットを備えており、第二のクリーンエア吹き出しユニットは、収納部の内側から開口部に向かって、水平方向にクリーンエアを吹き出すことが望ましい。
【０００９】
このような構成によれば、収納部の内部に形成された水平方向のクリーンエアの層流と、収納部の前面に形成された鉛直方向のクリーンエアの層流によって、クリーンルームからの塵埃の巻き込みを防止することができると共に、収納部の塵埃の排出を促進することができる。
【００１０】
本発明の保管装置は、さらに、収納部の前記開口部の両側に、収納部の前記開口部から外側に向かって突出する一対の異物誘引防止部を備えていることが望ましい。
【００１１】
このような構成によれば、保管装置の側面からの塵埃の巻き込みを防止することができる。
【００１２】
本発明の保管装置は、さらに、収納部が複数の収納棚を備えており、前記異物誘引防止部の長さが、複数の収納棚を個々に仕切る隔壁の厚さの３倍以上であることが望ましい。
【００１３】
このような構成によれば、保管装置の側面からの塵埃の巻き込みを更に確実に防止することができる。
【００１４】
本発明の保管装置は、さらに、収納部の開口部を横切る物を検知する検知手段を有しており、検知手段によって物が検知された場合に、クリーンエア吹き出しユニットにおけるクリーンエアの吹き出しを停止することが望ましい。
【００１５】
このような構成によれば、保管装置に液晶装置用基板等を出し入れする作業中において、クリーンルームからの塵埃の巻き込みを更に防止することができる。
【００１６】
本発明の保管装置は、さらに、検知手段が、収納部の開口部の一辺に対応して配置された投光素子と、開口部の対向する一辺に対応して配置された受光素子とで構成されることが望ましい。
【００１７】
このような構成によれば、保管装置に液晶装置用基板等を出し入れする作業が行われているか否かを確実に検知することができるため、作業中におけるクリーンルームからの塵埃の巻き込みを更に防止することができる。
【００１８】
本発明の保管装置は、さらに、収納部の内部に、収納部に収納する収納物の収納位置を示す指標が設けられていることが望ましい。
【００１９】
このような構成によれば、保管装置内部で乱流が発生した場合にも、クリーンルームからの塵埃の巻き込みを防止することができる。
【発明の効果】
【００２０】
保管装置の内部及び外部で発生する乱流に起因した、塵埃の巻き込みを防止することができる保管装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００２２】
まず、本発明の実施の形態に係わる保管装置であるクリーンストッカー１の全体構成について説明する。図１は、本実施の形態に係わるクリーンストッカー１の全体構成を説明する斜視図である。図２はクリーンストッカー１の側面図である。図１に示すように、本実施の形態のクリーンストッカー１は、液晶装置用基板等の収納物を収納する収納部２と、収納部２の前面にクリーンエアを給気する、クリーンエア吹き出しユニットとしての第１の給気ユニット３と、収納部２の背面側に設けられ収納部２にクリーンエアを給気する、第２のクリーンエア吹き出しユニットとしての第２の給気ユニット４と、収納部２の開口部の両側部に、収納部２の背面から前面に向かって突出する、異物誘引防止部としての異物誘引防止板５とから主に構成されている。
【００２３】
略箱形に形成されたクリーンストッカー１は、ほぼ中央から上部の前面側に収納部２が設置されており、収納部２の内部は仕切り板６によって複数の収納棚７に区分されている。本実施の形態においては、収納部２は、鉛直方向に３段、水平方向に４列の計１２個の収納棚７に区分されている。収納部２の前面は開口されており、各収納棚７には前面の開口部分から収納物を出し入れすることができるようになされている。
【００２４】
第１の給気ユニット３は、クリーンストッカー１の天井面の上面に設置されており、クリーンエアを送風するファンフィルターユニット（以下、ＦＦＵと示す）８と、ＦＦＵ８の下流側に設けられたチャンバー９と、チャンバー９の下流側に設けられたクリーンエアの吹き出し溝としてのパンチングメタル板１０とから構成されている。ＦＦＵ８は、空気を送風するファン１１と、ファン１１の下流側に設けられたＨＥＰＡフィルターなどのフィルター１２とから構成される。図示しない駆動手段によって駆動されるファン１１から送風される空気は、フィルター１２を通過することで、僅かに含まれている塵埃が除去され、フィルター１２の特性に応じた所定のクリーン度のクリーンエアに濾過される。図２に示すように、クリーンエアはエアパイプ１３を介してチャンバー９に送風され、チャンバー９内で風速の分布が均一化された後、クリーンストッカー１の天井面から収納部２の前面側に突出して設けられたパンチングメタル板１０を通過して、鉛直方向に対して所定の角度θを有して吹き出される。図２において、矢印１４は第１の給気ユニット３から吹き出されるクリーンエアの流れを示している。パンチングメタル板１０を通過したクリーンエアは、鉛直方向に対する、収納棚７の開口部の上部から下部への吹き出し方向の角度は、その吹き出し方向の先が開口部の下部から離れる方向に所定の角度θを持って吹き出される。尚、パンチングメタル板１０は、図３に示すように、ステンレス製などの略矩形の薄板であって、全面に複数の小孔が等間隔で形成されている。図３はパンチングメタル板１０の構造を説明する概略図である。第１の給気ユニット３からクリーンエアが吹き出されることで、図４に示すように、収納部２の前面にエアカーテンが形成され、クリーンルームからの塵埃の混入を遮断することができる。図４は、クリーンストッカー１の正面図である。
【００２５】
第２の給気ユニット４は、図５に示すように、複数の小孔が等間隔で形成されたパンチングメタル板１５を隔てて収納部２の背面側に設置されている。図５は図１のＶ−Ｖ線におけるクリーンストッカー１の断面図である。第２の給気ユニット４は、クリーンエアを送風するＦＦＵ１６と、ＦＦＵ１６と収納部２との間に設けられたチャンバー１７とから構成されている。ＦＦＵ１６は、空気を送風するファン１８と、ファン１８の下流側に設けられたＨＥＰＡフィルターなどのフィルター１９とから構成される。図示しない駆動手段によって駆動されるファン１８から送風される空気は、フィルター１９を通過することで、僅かに含まれている塵埃が除去され、フィルター１９の特性に応じた所定のクリーン度のクリーンエアに濾過される。クリーンエアはチャンバー１７に送風され、風速の分布が均一化されてから、パンチングメタル板１５を通過して収納部２に給気される。第２の給気ユニット４からクリーンエアが収納棚７の背面全面に亘って均一な風速で給気されることで、収納部２の各収納棚７には、収納部２の内側から具体的には収納棚７の背面全面から前面側へ向かって水平層流が形成される。図５において、矢印２０は第２の給気ユニット４から吹き出されるクリーンエアの流れを示している。第２の給気ユニット４からクリーンエアが吹き出されることで、収納部２内に浮遊する僅かな塵埃を収納部２外に排出することができ、収納部２内を清浄に保つことができる。尚、第２の給気ユニット４から収納部２に吹き出されるクリーンエアの風速は、クリーンルームにおいて鉛直方向の下方向に吹き出されているクリーンエアの風速と同じか僅かに遅い程度の風速であることが好ましい。また、第１の給気ユニット３から吹き出されるクリーンエアの風速は、第２の給気ユニット４から収納部２に吹き出されるクリーンエアの風速の２〜３倍程度の風速であることが好ましい。例えば、クリーンルーム内のクリーンエアの風速が０．３５ｍ／ｓｅｃである場合、第１の給気ユニット３から吹き出されるクリーンエアの風速を０．６ｍ／ｓｅｃ程度に、また、第２の給気ユニット４から吹き出されるクリーンエアの風速を０．３ｍ／ｓｅｃ程度に設定することが好ましい。
【００２６】
尚、収納棚７に収納物２１が存在する場合、第２の給気ユニット４から均一な風速でクリーンエアが収納部２に吹き出されていても、この収納物２１によって乱流が生じてしまい、クリーンルームから塵埃を巻き込んでしまうことがある。これを防ぐために、本実施の形態のクリーンストッカー１においては、各収納棚７の底面に区切り表示部２２が設けられている。区切り表示部２２は、ここでは、各収納棚７の底面に、クリーンエアの吹き出し方向に直交する方向に描かれた線である。図６は収納棚７の構造を説明する斜視図である。区切り表示部２２は、収納物２１の収納場所を規定するものであり、収納物２１は区切り表示部２２よりも背面側に収納される。この区切り表示部２２は、収納部２の内部に、図６では収納棚７の背面側から前面側に向かって、パンチングメタル板１５から距離ｌ１の位置に水平方向に、設置されている。本実施の形態では、より具体的には、区切り表示部２２は、収納部である各収納棚７の底面部に前面から背面方向への水平方向の奥行き方向の長さの略中央部に、各収納棚７に収納する収納物２１の収納位置を示す指標としての線として描かれている。ここで、区切り部２２から収納部２２の前面までの距離ｌ２は、距離ｌ１以上であればよく、収納棚７に収納物２１が収納された場合、収納物２１の前面側には少なくとも距離ｌ２の空間が確保される。収納物２１によって乱流が生じた場合にも、収納物２１の前面に十分な空間が確保されることで、図７に示すように、収納棚７の前面に達するまでの間に乱流が沈静化されてクリーンルームへ吹き出す水平層流が再形成されるため、クリーンルームから塵埃を巻き込むことを防ぐことができる。図７は、収納棚７内部のクリーンエアの流れを説明する概略図であり、矢印２３は収納棚７に収納物２１が存在する場合のクリーンエアの流れを示している。
【００２７】
異物誘引防止板５は、ステンレス製などの略矩形の薄板であって、収納部２の両側面に１枚ずつ、収納部２の開口部から外側に向かう方向に、収納部２の前面から突出するように設けられている。図１に示すように、異物誘引防止板５の収納部２の前面から突出した部分の長さＬは、収納棚７を分離する仕切り板６の厚さｄの３倍以上になされている。異物誘引防止板５を設けたことによって、第２の給気ユニット４から吹き出されるクリーンエア等によって、クリーンルーム内の塵埃をクリーンストッカー１の側面から収納棚７内に巻き込むことを防止することができる。
【００２８】
また、図１及び図２に示すように、２枚の異物誘引防止板５の対向するそれぞれの面には、鉛直方向に沿って並んだ複数のＬＥＤ等からするフォトセンサー（以下、単にセンサーという）２４が設置されている。具体的には、２枚の異物誘引防止板５の一方には複数の投光型のセンサー２４が設けられ、その一方の異物誘引防止板５に対向する他方の異物誘引防止板５の面には投光型のセンサー２４と対向する位置に複数の受光型のセンサー２４が設けられている。すなわち、収納部２の開口部の一辺に対応して投光素子としてのセンサー２４と、対向する一辺に対応して受光素子としてのセンサー２４とが設けられ、検知手段を構成する。このセンサー２４は、収納部２の開口部を横切る物の有無の検知手段であり、投光型のセンサー２４からは、受光型のセンサー２４に向かって、すなわち、鉛直方向に直交する方向であって水平方向にレーザなどの光が出射されている。センサー２４によって収納部２の開口部を横切る物が検知されると、第１の給気ユニット３から吹き出されていたクリーンエアが一時的に停止される。
【００２９】
ここで、図８を用いてセンサー２４による検知動作と第1の給気ユニット３の動作との関係を説明する。図８は第１の給気ユニット３の動作制御に関するフローチャートである。センサー２４の検知信号は、クリーンストッカー１の図示しない制御ユニットに出力される。その制御ユニットは、例えば、収納棚７に収納物２１を収納する作業を行う場合、収納物２１もしくは作業者の腕などの物が、収納棚７の開口部を横切る物としてセンサー２４によって検知されたか否かを判断する（ステップＳ１）。収納棚７の開口部を横切る物がなければ、センサー２４は検知信号を出力せず、ステップＳ１でＮＯとなって何も処理は進まない。収納棚７の開口部を横切る物がセンサー２４によって検知されると、ステップＳ１でＹＥＳとなって、、制御ユニットは第１の給気ユニット３へクリーンエアの吹き出しの停止を指示する（ステップＳ２）。第１の給気ユニット３は、制御ユニットから吹き出し停止指示を受信すると、図示しない駆動手段によってファン１１の駆動が停止され、クリーンエアの吹き出しが停止される（ステップＳ３）。続いて、制御ユニットは、収納棚７の前面を横切った物が、その前面を横切らなくなってセンサー２４がその物を未検知とする状態、すなわち検知信号を出力しなくなったか否かを判断する（ステップＳ４）。例えば収納物２１の収納が完了して作業者がクリーンストッカー１から離れると、投光型のセンサー２４から出射される光が受光型のセンサー２４で受光されるようになり、収納部２への挿入物がないものとセンサー２４に検知される。挿入物の未検知信号は、クリーンストッカー１の図示しない制御ユニットに出力され、制御ユニットは第１の給気ユニット３へクリーンエアの吹き出しを指示する（ステップＳ５）。第１の給気ユニット３は、制御ユニットから吹き出し指示を受信すると、図示しない駆動手段によってファン１１の駆動が再開され、クリーンエアの吹き出しが再開される（ステップＳ６）。以後、ステップＳ１の判断処理が行われる。
【００３０】
第１の給気ユニット３からほぼ鉛直方向にクリーンエアが吹き出している状態で収納部２に収納物２１等を挿入する場合、挿入動作方向とクリーンエアの吹き出し方向とがほぼ直交するために、クリーンエアの層流が乱れて人体やクリーンルームなどから収納部２へ塵埃を巻き込んでしまう可能性がある。しかし、本実施の形態においては、収納部２への挿入物の有無をセンサー２４によって常に監視し、収納部２への挿入動作中は第１の給気ユニット３からのクリーンエアの吹き出し動作を停止させるようにしたので、収納部２への塵埃の巻き込みを防止することができる。また、第２の給気ユニット４からは挿入物の有無に関わらずクリーンエアが吹き出されるため、僅かに塵埃を巻き込んでしまった場合にも、水平層流によって塵埃が迅速に排出することができる。
【００３１】
このように、本実施の形態のクリーンストッカーでは、第１の給気ユニット３からクリーンエアが吹き出されることで、収納部２の前面にエアカーテンが形成され、クリーンルームからの塵埃の混入を遮断することができる。また、クリーンストカー１の側面に、収納部２の前面から突出する異物誘引防止板５を設けたことによって、第２の給気ユニット４から吹き出されるクリーンエア等によって、クリーンルームの塵埃をクリーンストッカー１の側面から巻き込むことを防止することができる。
【００３２】
更に、収納部２への挿入物の有無をセンサー２４によって常に監視し、収納部２への挿入動作中は第１の給気ユニット３からのクリーンエアの吹き出し動作を停止させるようにしたので、収納部２への塵埃の巻き込みを防止することができる。更に、収納棚７の奥行きを収納物２１の奥行きの２倍以上とすることで、収納物２１の前面に十分な空間が確保され、収納棚７の前面に達するまでの間に乱流が沈静化されてクリーンルームへ吹き出す水平層流が再形成されるため、クリーンルームから塵埃を巻き込むことを防ぐことができる。  
以上によって、クリーンストッカーの内部及び外部で発生する乱流に起因した、塵埃の巻き込みを防止することができるクリーンストッカーを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本実施の形態に係わるクリーンストッカー１の全体構成を説明する斜視図である。
【図２】クリーンストッカー１の側面図である。
【図３】パンチングメタル板１０の構造を説明する概略図である。
【図４】クリーンストッカー１の正面図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ線におけるクリーンストッカー１の断面図である。
【図６】収納棚７の構造を説明する斜視図である。
【図７】収納棚７内部のクリーンエアの流れを説明する概略図である。
【図８】第１の給気ユニット３の動作制御に関するフローチャートである。
【符号の説明】
【００３４】
１  クリーンストッカー、２  収納部、３  第１の給気ユニット、４  第２の給気ユニット、５  異物誘引防止板、６  仕切り板、７  収納棚、８  ＦＦＵ、９  チャンバー、１０  パンチングメタル板、１１  ファン、１２  フィルター、１３  エアパイプ、２４  センサー、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006206234.tif 000009
【図８】
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