(57)【要約】【課題】  シート部材の放電ムラおよび抵抗を非接触で観察、測定する装置および方法を提供する。【解決手段】  表面に透明または半透明の電極を有し、電極面が被観察シート部材１の表面に対向して非接触に配置された透明電極基板７と、被観察シート部材１の透明電極基板７に対向する面とは反対側の面に接触して配置された対向電極２と、透明電極基板７と対向電極２との間に電位差を設けて透明電極基板７と被観察シート部材１との間に放電光を発生させる手段と、この放電光を撮影する撮影手段３を設けた装置によって、透明電極基板７と対向電極２との間に電位差を設け、その電位差に起因して発生する放電光を撮影手段３によって撮影し、撮影結果に基づいて被観察シート部材１に発生する放電ムラを観察する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に透明または半透明の電極を有し、電極面が被観察シート部材面に対向して非接触に配置された透明電極基板と、前記被観察シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して配置された対向電極と、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に放電光を発生させる手段と、この放電光を撮影する撮影手段とを有することを特徴とするシート部材の放電ムラ観察装置。
【請求項２】
前記撮影手段で撮影される放電光の強度を倍増する光電子倍増手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート部材の放電ムラ観察装置。
【請求項３】
前記光電子増倍手段が直列に複数個配置されていることを特徴とする請求項２に記載のシート部材の放電ムラ観察装置。
【請求項４】
前記光電子増倍手段は、イメージインテンシファイアであることを特徴とする請求項2または３に記載のシート部材の放電ムラ観察装置。
【請求項５】
前記透明電極基板の表面粗さは、算術平均高さＲａで０.５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項1乃至４のいずれか１項に記載のシート部材の放電ムラ観察装置。
【請求項６】
表面に透明または半透明の電極を有する透明電極基板の電極面を被観察シート部材面に対向して非接触に配置し、前記被観察シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して対向電極を配置し、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に発生する放電光を撮影手段によって撮影し、撮影結果に基づいて被観察シート部材に発生する放電ムラを観察することを特徴とするシート部材の放電ムラ観察方法。
【請求項７】
前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に発生する放電光を光電子増倍手段によって増倍した後、前記撮影手段によって撮影することを特徴とする請求項６に記載のシート部材の放電ムラ観察方法。
【請求項８】
前記透明電極基板と前記対向電極との間に交流バイアスを重畳印加することを特徴とする請求項６または７に記載のシート部材の放電ムラ観察方法。
【請求項９】
表面に透明または半透明の電極を有し、電極面が被抵抗測定シート部材面に対向して非接触に配設された透明電極基板と、前記被抵抗測定シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して配置された対向電極と、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に放電光を発生させる手段と、この放電光を撮影する撮影手段とを有することを特徴とするシート部材の抵抗測定装置。
【請求項１０】
前記撮影手段で撮影される放電光の強度を倍増する光電子倍増手段を備えていることを特徴とする請求項９に記載のシート部材の抵抗測定装置。
【請求項１１】
前記光電子増倍手段が直列に複数個配置されていることを特徴とする請求項１０に記載のシート部材の抵抗測定装置。
【請求項１２】
前記光電子増倍手段は、イメージインテンシファイアであることを特徴とする請求項１０または１１に記載のシート部材の抵抗測定装置。
【請求項１３】
前記透明電極基板の表面粗さは、算術平均高さＲａで０.５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載のシート部材の抵抗測定装置。
【請求項１４】
表面に透明または半透明の電極を有する透明電極基板の電極面を被抵抗測定シート部材面に対向して非接触に配置し、前記被抵抗測定シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して対向電極を配置し、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に発生する放電光を撮影手段によって撮影し、放電光の強度に基づいて前記シート部材の抵抗を求めることを特徴とするシート部材の抵抗測定方法。
【請求項１５】
前記撮影手段により撮影された画像データと、予め用意した放電光の明度とシート部材抵抗との関係式に基づいて前記シート部材の抵抗を求めることを特徴とする請求項１４に記載のシート部材の抵抗測定方法。
【請求項１６】
前記撮影手段により撮影された画像データを画像処理して前記シート部材の抵抗を求めることを特徴とする請求項１４に記載のシート部材の抵抗測定方法。
【請求項１７】
前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に発生する放電光を光電子増倍手段によって増倍した後、前記撮影手段によって撮影することを特徴とする請求項１４ないし１６のいずれか１項に記載のシート部材の抵抗測定方法。
【請求項１８】
前記透明電極基板と前記対向電極との間に交流バイアスを重畳印加することを特徴とする請求項１４ないし１７のいずれか１項に記載のシート部材の抵抗測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート部材の放電ムラや抵抗ムラを非接触で検査する放電ムラ観察装置および観察方法並びにシート部材の抵抗測定装置および測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複写機、プリンタ等における画像形成プロセスでは、感光体上に現像されたトナー画像は感光体と転写ベルト（中間転写ベルトを含む）との間に形成される転写電界によって転写ベルトまたは用紙に転写される。従って、転写ベルトの製造時または画像形成装置に搭載する際に、その電気特性を把握することは非常に重要である。
このようなベルトの電気特性はＪＩＳ  Ｋ  ６９１１法に基づいて測定され、表面抵抗率や体積抵抗率を用いて評価されるのが最も一般的である。表面抵抗率は図７に示すように、試料２１の表面に電極（プローブ）２２を押し当て、表面を流れる電流を検出して算出され、体積抵抗率は図８に示すように試料２１の上下の電極２２、２３間に流れる電流を測定して求められる。
【０００３】
また、別の表面抵抗測定方法として、特許文献１には、3個の接触端子を被測定部材に当接してその内の２個の端子を電気的に接続し、他の１個の端子との間の抵抗を並列の合成抵抗として測定することによって表面抵抗率を得る方法が開示されている。
一方、転写ベルトの表面抵抗率や体積抵抗率と転写画像との間にはある程度相関があることが経験的に知られており、これらの値を積極的に制御したベルト部材が多く提案されている。例えば、特許文献２には、中抵抗のゴムからなる内層と誘電層、および誘電層よりも固有抵抗率が低い材質の表層の3層で転写ベルトを構成し、用紙の搬送性と分離性を両立すると同時に安定して良好な画像を得ることが開示されている。また、特許文献３には、導電性の異なる複数種類のカーボンを樹脂に対して膜厚方向に偏在するように分散し、ベルト表面の抵抗を裏面よりも高くすることによって、画像ムラを防止する中間転写ベルトの製造方法が提案されている。
【０００４】
【特許文献１】実開平３−６３８６６号公報
【特許文献２】特開平７−２９５３９１号公報
【特許文献３】特開平１１−１０９７６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、表面抵抗率や体積抵抗率はミリメートルオーダーの電極を用いて評価されるものであり、マクロな電気特性を示すので、表面抵抗率や体積抵抗率の測定値だけではベルトの電気特性を完全には把握できないという問題がある。また、画像形成装置の転写プロセスにおいては、ベルトと感光体や、ベルトと転写ローラとの間で発生する放電が重要な因子であるため、実際には抵抗だけではなく、ベルトの表面粗さも大きく影響を及ぼすことが知られている。
従って、単にマクロな意味での表面抵抗率や体積抵抗率の値が同等のベルトを用いて、同じ条件で感光体上のトナーを転写ベルトや用紙に転写しても、ハーフトーン画像などで発生する濃度ムラや画像が所々白く抜ける現象（以下、白抜けと記す）の傾向が異なるといった問題が多発し、結局のところ、画像形成装置の開発段階においては、多くのベルトサンプルについて様々な条件下でトナー画像の転写実験を行い、出力画像を見て好ましいベルトを抽出するといった作業が必要となる。このような実情から、より微視的な放電特性や電気特性の評価手法の確立が望まれると同時に、そこで得られる知見に基づいて、濃度ムラや白抜けを発生しない、良好な転写ベルトの開発が要望されていた。
【０００６】
本発明は、上記要望に鑑みてなされたものであり、その課題は、転写ベルトの微視的な放電特性および電気特性を評価することができるシート部材の放電ムラ観察装置および観察方法並びに抵抗測定装置および測定方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明のシート部材の放電ムラ観察装置は、表面に透明または半透明の電極を有し、電極面が被観察シート部材面に対向して非接触に配置された透明電極基板と、前記被観察シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して配置された対向電極と、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に放電光を発生させる手段と、この放電光を撮影する撮影手段とを有することを特徴とする。
この場合において、前記撮影手段で撮影される放電光の強度を倍増する光電子倍増手段を備えていることが好ましい。前記撮影手段は、例えば前記光電子倍増手段の背後に配置される。
また、前記光電子増倍手段を直列に複数個配置してもよい。
さらに、前記光電子増倍手段を、イメージインテンシファイアとすることができる。
さらにまた、前記透明電極基板の表面粗さは、算術平均高さＲａで０.５ｍｍ以下であることが好ましい。
【０００８】
本発明のシート部材の放電ムラ観察方法は、表面に透明または半透明の電極を有する透明電極基板の電極面を被観察シート部材面に対向して非接触に配置し、前記被観察シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して対向電極を配置し、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に発生する放電光を撮影手段によって撮影し、撮影結果に基づいて被観察シート部材に発生する放電ムラを観察することを特徴とする。
この場合において、前記透明電極基板と前記被観察シート部材との間に発生する放電光を光電子増倍手段によって増倍した後、前記撮影手段によって撮影することが好ましい。
また、前記透明電極基板と前記対向電極との間に交流バイアスを重畳印加するようにしてもよい。
【０００９】
本発明のシート部材の抵抗測定装置は、表面に透明または半透明の電極を有し、電極面が被抵抗測定シート部材面に対向して非接触に配設された透明電極基板と、前記被抵抗測定シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して配置された対向電極と、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に放電光を発生させる手段と、この放電光を撮影する撮影手段とを有することを特徴とする。
この場合において、前記撮影手段で撮影される放電光の強度を倍増する光電子倍増手段を備えていることが好ましい。前記撮影手段は、例えば前記光電子倍増手段の背後に配置される。
また、前記光電子増倍手段を直列に複数個配置してもよい。前記光電子増倍手段を複数個直列に配設することによって、微弱な抵抗ムラをも測定することが可能となる。
さらに、前記光電子増倍手段を、イメージインテンシファイアとすることができる。光電子増倍手段としてイメージインテンシファイアを用いることによって、高感度で、かつ高時間分解能の抵抗または抵抗ムラ測定が可能となる。
さらにまた、前記透明電極基板の表面粗さは、算術平均高さＲａで０.５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１０】
本発明のシート部材の抵抗測定方法は、表面に透明または半透明の電極を有する透明電極基板の電極面を被抵抗測定シート部材面に対向して非接触に配置し、前記被抵抗測定シート部材の前記透明電極基板に対向する面とは反対側の面に接触して対向電極を配置し、前記透明電極基板と前記対向電極との間に電位差を設けて前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に発生する放電光を撮影手段によって撮影し、放電光の強度に基づいて前記シート部材の抵抗を求めることを特徴とする。
【００１１】
この場合において、前記撮影手段により撮影された画像データと、予め用意した放電光の明度とシート部材抵抗との関係式に基づいて前記シート部材の抵抗を求めるようにしてもよい。また、前記撮影手段により撮影された画像データを画像処理して前記シート部材の抵抗を求めるようにすることもできる。
また、前記透明電極基板と前記被抵抗測定シート部材との間に発生する放電光を光電子増倍手段によって増倍した後、前記撮影手段によって撮影することが好ましい。
さらに、前記透明電極基板と前記対向電極との間に交流バイアスを重畳印加するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のシート部材の放電ムラ観察装置および観察方法によれば、シート部材に発生する放電ムラを効率よく高感度で観察することができる。また本発明のシート部材の抵抗測定装置および測定方法によれば、シート部材の抵抗または抵抗ムラを効率よく検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について添付の図面を用いて詳細に説明する。図1は、本発明のシート部材の放電ムラ観察装置を示す概略図である。このシート部材の放電ムラ観察装置は、観察対象である転写ベルトなどから切り出されたサンプルシート1を対向電極2の上に置き、対向電極2に外部から電圧を印加することによってサンプルシート1とアースに短絡された透明電極基板としてのＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)電極７との間に放電光を発生させ、この放電光を、ＩＴＯ電極７の背後に設けられたミラー５を介してイメージインテンシファイア４に導入し、ここで増倍された放電画像を、撮影手段としてのＣＣＤを内蔵するビデオカメラ３で取り込む構成となっている。
【００１４】
本装置では、微小な発光を捕らえるために、イメージインテンシファイア４（浜松フォトニクス(株)社製Ｖ１３６６Ｐ）を2つ直列に並べており、それぞれのイメージインテンシファイア４の入口側に像を結像するためにレンズ９（PENTAX社製、smc  PENTAX-A  DENTAL  MACRO  1：4  １００mm）とレンズ１０（PENTAX社製、smc  PENTAX-FA  1：2.8  ５０mm  MACRO）が配設されている。サンプルシート１と透明電極７との距離は、ステッピングモーター１２を用いてステージ８を動かすことにより、１μmのオーダーで制御され、ステッピングモーター１２はステッピングモータコントローラ１３（駿河精機（株）製ステッピングモーターコントローラD７０）を介してパソコン１４で制御される。なお、電極２に印加されるバイアスについてもアンプ１１（トレック社製、MODEL６７７Ａ）を介してパソコン１４で制御される。
【００１５】
本装置では最大ルミナンスゲインが６×１０４  （ft-L/ft-c）のイメージインテンシファイア４を直列に配置し、理論上３×１０９を超えるルミナンスゲインを得ることで、高感度かつ、高時間分解能でサンプルシート上の微細な放電ムラをも可視化することに成功した。当然のことながら、これと同等かそれ以上の性能を有するものであれば、どのようなイメージインテンシファイアを使用することも可能であり、また、大まかな放電ムラを観察する場合に関しては、より低いルミナンスゲインのものを使用することも可能である。
このような場合は、イメージインテンシファイアを複数個配置することなく、１つだけで観察することも可能であるが、少なくとも１×１０４  （ft-L/ft-c）以上のルミナンスゲインを有するイメージインテンシファイアを使用することが望ましい。なお、時間分解能を必要としない観察条件に関しては、イメージインテンシファイアの代わりに通常の銀円写真方式のカメラや、ＣＣＤ、冷却ＣＣＤ（例えば、Santa  Barbara  Instrument  Group製ST-6）などを用い、露出時間を長くするなどして放電ムラを観察することも可能である。
【００１６】
本実施例では透明電極７としてＩＴＯ電極を使用しているが、透明性を有する電極であればこれに限るものではなく、例えばガラスやプラスチックなどの透明材料上に金、銀、銅、アルミニウム、白金、インジウム、カーボンなどの様々な金属をナノメートルオーダで蒸着したものを使用することも可能である。ただし、透明電極の表面粗さがサンプルシートの放電ムラに影響するのを防ぐために、透明電極としては表面粗さの小さいものを使用する必要があり、本実施例ではＪＩＳ  Ｂ  ０６０１基準の算術平均高さＲａで０.５ｍｍ以下のものを使用することによって、良好な放電光の観察を実現した。
また、本実施例ではサンプルシート１を導電性両面テープで対向電極２に固定したが、導電性接着剤（例えば、藤倉化成株式会社製ドータイト）や銀ペーストなどを用いて固定することも可能である。さらにサンプルシート１と電極２の密着性が十分な場合は、必ずしも固定する必要はない。
【００１７】
図２は、本実施例のシート部材の放電ムラ観察装置を用いて転写ベルトサンプルＡ、Ｂ、Ｃの、放電ムラを観察した結果を示す模式図である。サンプルＡ、Ｂは導電性カーボンが分散されたポリイミドベルトで、サンプルＣはイオン導電性のＰＶＤＦ（ポリビニリデンジフルオライド）ベルトで、各サンプルシートとＩＴＯ電極の距離を２０μｍ一定とし、印加バイアスを変化させて観察を行った。白い部分ほど強い放電光が観察された領域である。図示されるように、本実施例の放電ムラ観察装置を用いることによって、放電ムラやその発生傾向の電界依存性の違いを明確に確認できたことが分かる。
なお、サンプルシート内に抵抗が高い領域があったり、またはシートの裏面層に抵抗が高い層があったりして、直流バイアスでは継続的な放電が発生しないものに対しては、対向電極２に振幅の大きいＡＣバイアスを重畳することによって連続的に放電を発生させることによって、放電ムラの傾向を見ることが可能になるため、放電ムラ観察時にＡＣバイアスを使用することは非常に有効である。放電ムラの観察時は、直流バイアス成分のオフセット値や、交流成分の振幅、周波数などについて、様々な条件で測定することが望ましい。さらに、種々の長波長カットフィルタやバンドパスフィルタなどの光学フィルタを使用することによって、ノイズを抑えた観察が実現できる。
【００１８】
図3は、図１に示されるシート部材の放電ムラ観察装置を用いて撮影された放電光観察像に基づいてシート部材の抵抗を求めるシート材の抵抗測定方法を示す図である。平行平板間の空気ギャップに均一電界が働く状況では、空気ギャップ間の電位差が放電限界を超えると放電が発生するが、このような放電が一定の抵抗を有するサンプルシートと電極との間で発生する場合においては、単位時間当たりに発生する放電量は抵抗に依存して変化し、抵抗が高い材料ほど少なくなる。すなわち、予め一定の電界で発生する放電光の光強度と抵抗の関係が分かっていれば、観察される放電光の強度からサンプルシートの抵抗を求めることが可能になる。
本実施例では、図１の放電ムラ観察装置を用いて、サンプルシート上に発生する放電光を観察し、これに基づいてサンプルシートの抵抗を算出した。なお、図１に示されるビデオカメラ３で撮影された画像データは、本実施例ではパソコン１４に取り込まれるようになっている。図４は、本発明方法を採用したシート部材の抵抗測定装置の動作フローを説明する図である。
【００１９】
図４において、先ず、シート部材の抵抗測定装置に付属のパソコンのキーボードを介してユーザからサンプルシートの厚さや、ＩＴＯ電極との距離、印加バイアスなどの情報が入力される（ステップＳ１）。ユーザからデータが入力されると入力データに基づいて、サンプルシートとＩＴＯ電極との距離が調整される（ステップＳ２）。次いで、サンプルシートが接触する対向電極に電圧を印加し、放電を発生させ(ステップＳ３)、ＣＣＤによって放電画像を撮影し（ステップＳ４）、撮影された放電画像データをパソコンへ転送する（ステップＳ５）。パソコンに転送されたデータは、画像処理されることによってグレースケール化され、明度情報に変換される（ステップＳ６）。次いで、得られた明度の値と、予め用意された抵抗−明度曲線から、サンプルシートの抵抗や抵抗ムラが算出される（ステップＳ７）。
【００２０】
本実施形態によれば、サンプルシート１の放電ムラを高感度で観察することができる。また、透明電極基板７と対向電極２との間に交流バイアスを重畳印加したので、直流バイアスでは継続的な放電が発生しないようなシート部材に関しても、シート部材表面に発生する放電ムラを観察することができる。
また、本実施形態によれば、イメージインテンシファイア４を複数個直列に配設したので、微弱な放電ムラをも観察してシート部材表面に発生する放電ムラを精度よく観察することができる。
さらにまた、透明電極基板の表面粗さを算術平均高さＲａで０.５ｍｍ以下として平滑面を有するものとしたので、シート部材の抵抗ムラや形状のみに由来する放電ムラを観察することが可能となる。
【００２１】
本実施形態においては、実際に発生している放電光の光強度と撮影された画像の明度とが比例する必要があるため、イメージインテンシファイアのルミナンスゲインは一定でなければならない。そのため、イメージインテンシファイアが自動的にルミナンスゲインを調整するような条件では、本実施形態方法を適用することは困難である。また、時間分解能を必要としない測定条件に関しては、イメージインテンシファイアの代わりに通常の銀円写真方式のカメラや、ＣＣＤ、冷却ＣＣＤなどを用い、露出時間を長くするなどして放電ムラを観察することも可能である。
本実施形態において、抵抗測定時におけるサンプルシートの表面粗さが大きいと、シート表面の凸部で局所的な放電が発生するために、光強度と抵抗の相関をとることが困難になることから、サンプルシートの表面粗さは小さいことが望ましく、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１基準の算術平均高さがＲａで１．５ｍｍ以下であることが望ましい。なお、本実施形態において、種々の長波長カットフィルタやバンドパスフィルタなどの光学フィルタを使用し、放電光以外の測定ノイズを抑えるのも有効である。
【００２２】
図５は、本発明におけるシート部材の放電ムラ観察装置の変形例を示す図である。図５において、この装置はミラーを配設せず、レンズ１０９やイメージインテンシファイア１０４、ＣＣＤカメラ１０３などをベルトに対して垂直に置くことによって、省スペースが図られている。
また、図6は、本発明におけるシート部材の放電ムラ観察装置の別の変形例を示す図である。図６において、この装置は無端ベルトからサンプルシートを切り出すことなく、放電ムラが観察できるように、ベルトを保持する為のローラが配設されている。ローラを駆動することによって、観察位置を変えることが可能である。ベルトとＩＴＯ電極２０７との距離は、ＩＴＯ電極２０７の位置をステッピングモーター２１２で動かすことよって調整される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係るシート部材の放電ムラ観察装置を示す概略図である。
【図２】転写ベルトサンプルＡ、Ｂ、Ｃの放電ムラ観察結果を示す模式図である。
【図３】放電ムラ観察装置で撮影された放電光観察像に基づいてシート部材の抵抗を求めるシート材の抵抗測定方法を示す図である。
【図４】本発明に係るシート部材の抵抗測定装置の動作フローを説明する図である。
【図５】本発明におけるシート部材の放電ムラ観察装置の変形例を示す図である。
【図６】本発明におけるシート部材の放電ムラ観察装置の別の変形例を示す図である。
【図７】ＪＩＳ  Ｋ  ６９１１法に基づく表面抵抗率測定装置を示す図である。
【図８】ＪＩＳ  Ｋ  ６９１１法に基づく体積抵抗率測定装置を示す図である。
【符号の説明】
【００２４】
１、１０１、２０１：サンプルシート
２、１０２、２０２：対向電極
３、１０３、２０３：ビデオカメラ
４、１０４、２０４：イメージインテンシファイア
５：ミラー
６、１０６：固定台
７、１０７、２０７：透明電極基板（ＩＴＯ電極）
８、１０８：ステージ
９、１０９、２０９：レンズ
１０：レンズ
１１、１１１、２１１：アンプ
１２、１１２、２１２：ステッピングモーター
１３、１１３、２１３：ステッピングモーターコントローラー
１４、１１４、２１４：パソコン
２１：試料
２２：表面電極
２３：裏面電極
２４：ガード電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006251579.tif 000007
【図６】
2006251579.tif 000008
【図７】
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【図８】
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