(57)【要約】      （修正有）【課題】基準側のベース部材に設けた位置決めプラグ機構のプラグ部とテーパスリーブを可動部材側の円筒穴に挿入して位置決めする装置で、テーパスリーブの外周面に付着した切削切粉を除き摩耗粉による、位置決め精度の低下をなくし、テーパスリーブを引っ張り駆動するロッドの小径化をおこない、プラグ部の肉厚を高めるための位置決め装置を提供する。【解決手段】ＸＹ位置決め装置３の本体部材にテーパスリーブ１３外周に対するエアブロー用の複数のノズル４０を設け、テーパスリーブとプラグ部１２との間に隙間にも加圧エアを供給するように構成し、ロッド１４を一体品で構成し、ロッドの下端部をピストン部に設けた規制ピン２９で受け止めるように構成した。【選択図】  図２
2006007334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準側のベース部材に装備される位置決めプラグ機構を備え、この位置決めプラグ機構のプラグ部を、前記ベース部材に固定される可動部材の円筒穴に嵌合することにより、可動部材をプラグ部の軸心と直交する方向へ位置決めする位置決め装置において、
前記位置決めプラグ機構は、
前記ベース部材に固定される本体部材と、
前記本体部材に一体形成されて本体部材の上端部から突出するプラグ部であって、外周面の少なくとも一部に上方程小径化する位置決め部を備えたプラグ部と、
前記プラグ部に外嵌され且つ外周面が円筒面をなして径拡大方向へ弾性変形可能なテーパスリーブと、
前記プラグ部に挿通されて上端部分が前記テーパスリーブに連結されたロッドと、
前記ロッドを昇降駆動可能な駆動手段とを備え、
前記本体部材に、テーパスリーブの外周面に加圧エアを噴出可能な複数のノズルを形成し、この複数のノズルに加圧エアを供給するエア供給手段を設けた、
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前記ロッドがテーパスリーブの上端に連結された頭部と、この頭部と一体形成されたロッド本体部を有することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記駆動手段が油圧シリンダで構成され、前記ロッドのロッド本体部の下端部分が前記油圧シリンダのピストン部に螺合締結され、前記ピストン部にロッド本体部の下端を受け止めてピストン部とロッド本体部との相対位置を規制する規制ピンを設けたことを特徴とする請求項２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記油圧シリンダが、ロッドを下降駆動する為の第１油室と、上昇駆動する為の第２油室とを備えたことを特徴とする請求項３に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記油圧シリンダの第１油室に装着されロッドを下方へ付勢する弾性部材を設けたことを特徴とする請求項４に記載の位置決め装置。
【請求項６】
基準側のベース部材に装備される位置決めプラグ機構を備え、この位置決めプラグ機構のプラグ部を、前記ベース部材に固定される可動部材の円筒穴に嵌合することにより、可動部材をプラグ部の軸心と直交する方向へ位置決めする位置決め装置において、
前記位置決めプラグ機構は、
前記ベース部材に固定される本体部材と、
前記本体部材に一体形成されて本体部材の上端部から突出するプラグ部であって、外周面の少なくとも一部に上方程小径化する位置決め部を備えたプラグ部と、
前記プラグ部に外嵌され且つ外周面が円筒面をなして径拡大方向へ弾性変形可能なテーパスリーブと、
前記プラグ部に挿通されて上端部分が前記テーパスリーブに連結されたロッドと、
前記ロッドを昇降駆動可能な駆動手段であって、弾性部材の弾性力によりロッドを下方へ引っ張り駆動可能な駆動手段と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基準側のベース部材に装備された位置決めプラグ機構のプラグ部とテーパスリーブを可動部材の円筒穴に嵌めてテーパスリーブの径を拡大させて可動部材を精密に位置決めする位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マシニングセンタ等においてワークピースの固定と搬送と位置決めとに供するワークパレットをマシニングセンタのテーブル等に位置決めして固定する種々の形態の位置決め固定装置が提案されて実用に供されている。
特許文献１に記載の自動位置決め装置は、工作機械のテーブル側のベースプレートにデータムブロックを固定し、データムブロックに上方に突出するプラグ部材を設け、このプラグ部材にテーパスリーブ状の中間部材を周方向１２０度間隔の３列の金属ボールを介して外嵌させ、プラグ部材を挿通するプル部材に、ピストン部とこのピストン部に螺合されて中間部材の上端部分に連結されたボルトを設け、ピストン部を上方へリリース駆動する油室を設け、ピストン部を下方へ引っ込み駆動する複数の皿バネを設けた構成のものである。
【０００３】
ワークパレット（可動部材）をベースプレートに位置決めする際には、油室に油圧を供給し、ピストン部材を上方へリリース駆動した状態で、ワークパレットの位置決め孔にプラグ部材を挿入し、ワークパレットの被支持面をベースプレートの支持面で受け止めてから、油室の油圧を抜いて複数の皿バネの弾性力によりピストン部材とボルトを介して中間部材を下降駆動して径を拡大させ、中間部材を位置決め孔に密嵌させることでワークパレットを精密に位置決めする。尚、特許文献２にも、同様の技術思想に基づいてテーブルのＴ溝を活用して工作物を位置決めする位置決め治具が記載されている。
【特許文献１】特開２００３−３１１５７２号公報
【特許文献２】特開２０００−１０７９７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１に記載の自動位置決め装置においては、ワークパレットがテーブル上から搬出された状態で中間部材の外周面に付着した切削切粉を除去するエアブロー機構を何ら装備していないので、ワークパレットの搬入前に中間部材の外周面を手動のエアブローノズルによりエアブローして切削切粉を除去しなければならないので、マシニンセンタの無人運転などの面で障害となる。
【０００５】
しかも、ピストン部材の軸部にボルトを螺合し、そのボルトの上端部分に中間部材を連結しているため、部品数が増えるだけでなく、ピストン部材の軸部を小径化しにくいためプラグ部材の内径を小径化しにくく、プラグ部材の肉厚が小さくなり易い。そのため、プラグ部材の弾性変形により位置決め精度が低下しやすくなるという問題がある。プラグ部材の肉厚を大きくすると、位置決め装置が大型化する。
【０００６】
本発明の目的は、位置決めプラグ機構のテーパスリーブの外周面をエアブローできるようにした位置決め装置を提供すること、プラグ部の肉厚を大きくして剛性を高め得る位置決め装置提供することなどである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の位置決め装置は、基準側のベース部材に装備される位置決めプラグ機構を備え、この位置決めプラグ機構のプラグ部を、前記ベース部材に固定される可動部材の円筒穴に嵌合することにより、可動部材をプラグ部の軸心と直交する方向へ位置決めする位置決め装置において、前記位置決めプラグ機構は、前記ベース部材に固定される本体部材と、前記本体部材に一体形成されて本体部材の上端部から突出するプラグ部であって、外周面の少なくとも一部に上方程小径化する位置決め部を備えたプラグ部と、前記プラグ部に外嵌され且つ外周面が円筒面をなして径拡大方向へ弾性変形可能なテーパスリーブと、前記プラグ部に挿通されて上端部分が前記テーパスリーブに連結されたロッドと、前記ロッドを昇降駆動可能な駆動手段とを備え、前記本体部材に、テーパスリーブの外周面に加圧エアを噴出可能な複数のノズルを形成し、この複数のノズルに加圧エアを供給するエア供給手段を設けたことを特徴とするものである。
【０００８】
この位置決め装置の位置決めプラグ機構により、可動部材をプラグ部の軸心と直交する方向に位置決めする場合、駆動手段によりロッドを本体部材に対して上昇させた状態にしてテーパスリーブを僅かに小径化した状態にし、その状態において、可動部材を上方から下降させて、プラグ部とテーパスリーブを可動部材の円筒穴に挿入させ、次に駆動手段によりロッドを本体部材に対して下降駆動すると、テーパスリーブが径拡大方向へ弾性変形して可動部材の円筒穴に密着状に内嵌し、位置決めプラグ機構により可動部材がプラグ部の軸心と直交方向に高精度で位置決めされる。
【０００９】
可動部材をセットする前に、プラグ部の外周面に付着した切削切粉やその他の異物を除去する場合には、エア供給手段から複数のノズルに加圧エアを供給すると、複数のノズルからテーパスリーブの外周面に加圧エアが噴射されて、前記の切削切粉やその他の異物が確実に除去され、その状態で可動部材を位置決めプラグ機構にセットする。
【００１０】
請求項２の位置決め装置は、請求項１の発明において、前記ロッドがテーパスリーブの上端に連結された頭部と、この頭部と一体形成されたロッド本体部を有することを特徴とする。
【００１１】
請求項３の位置決め装置は、請求項２の発明において、前記駆動手段が油圧シリンダで構成され、前記ロッドのロッド本体部の下端部分が前記油圧シリンダのピストン部に螺合締結され、前記ピストン部にロッド本体部の下端を受け止めてピストン部とロッド本体部との相対位置を規制する規制ピンを設けたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４の位置決め装置は、請求項３の発明において、前記油圧シリンダが、ロッドを下降駆動する為の第１油室と、上昇駆動する為の第２油室とを備えたことを特徴とする。  請求項５の位置決め装置は、請求項４の発明において、前記油圧シリンダの第１油室に装着されロッドを下方へ付勢する弾性部材を設けたことを特徴とする。
【００１３】
請求項６の位置決め装置は、基準側のベース部材に装備される位置決めプラグ機構を備え、この位置決めプラグ機構のプラグ部を、前記ベース部材に固定される可動部材の円筒穴に嵌合することにより、可動部材をプラグ部の軸心と直交する方向へ位置決めする位置決め装置において、前記位置決めプラグ機構は、前記ベース部材に固定される本体部材と、前記本体部材に一体形成されて本体部材の上端部から突出するプラグ部であって、外周面の少なくとも一部に上方程小径化する位置決め部を備えたプラグ部と、前記プラグ部に外嵌され且つ外周面が円筒面をなして径拡大方向へ弾性変形可能なテーパスリーブと、前記プラグ部に挿通されて上端部分が前記テーパスリーブに連結されたロッドと、前記ロッドを昇降駆動可能な駆動手段であって、弾性部材の弾性力によりロッドを下方へ引っ張り駆動可能な駆動手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００１４】
この位置決め装置においては、請求項１の段落［0008］と同様の作用を奏するが、ロッドを昇降駆動可能な駆動手段が弾性部材の弾性力によりロッドを下方へ引っ張り駆動可能であるので、ロッドを下方へ引っ張り駆動する際の応答性を高く維持することができる。  特に、複数の位置決め装置を組み合わせ連動させて使用する場合に、先に位置決めする方の位置決め装置に適用するのに好適である。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の位置決め装置によれば、作用の欄で説明したように、位置決めプラグ機構がが、基準側のベース部材に固定された本体部材と、プラグ部と、テーパスリーブと、ロッドと、駆動手段とを備えているため、この位置決めプラグ機構により、可動部材をベース部材に固定された本体部材に、プラグ部の軸心と直交する方向へ位置決めできる。
【００１６】
しかも、前記本体部材に、テーパスリーブの外周面に加圧エアを噴出可能な複数のノズルを形成し、この複数のノズルに加圧エアを供給するエア供給手段を設けたので、エア供給手段から複数のノズルに加圧エアを供給し、複数のノズルからテーパスリーブの外周面に加圧エアを噴射して、テーパスリーブの外周面に付着した切削切粉や異物を確実に除去することができる。前記駆動手段やエア供給手段の作動を自動制御するように構成することも可能であるから、位置決め装置の自動運転も可能となる。
【００１７】
請求項２の位置決め装置によれば、前記ロッドがテーパスリーブの上端に連結された頭部と、この頭部と一体形成されたロッド本体部を有するため、プラグ部を挿通するロッドを最小限の太さに形成することができ、プラグ部の肉厚を極力大きく確保し、プラグ部の弾性変形に起因する位置決め精度の低下を抑制することができる。
【００１８】
請求項３の位置決め装置によれば、前記駆動手段が油圧シリンダで構成され、前記ロッドのロッド本体部の下端部分が前記油圧シリンダのピストン部に螺合締結され、前記ピストン部にロッド本体部の下端を受け止めてピストン部とロッド本体部との相対位置を規制する規制ピンを設けたため、ロッド本体部のピストン部に対する螺合限界位置を規制する段部（径を変化させた段部）を形成する必要がないので、ロッドを極力小径化することができるから、プラグ部の肉厚を極力大きく確保し、プラグ部の弾性変形に起因する位置決め精度の低下を抑制することができる。
【００１９】
請求項４の位置決め装置によれば、前記油圧シリンダが、ロッドを下降駆動する為の第１油室と、上昇駆動する為の第２油室とを備えたので、油圧シリンダによりロッドを強力に昇降駆動することができる。
請求項５の位置決め装置によれば、請求項４の発明において前記油圧シリンダの第１油圧に装着されロッドを下方へ付勢する弾性部材を設けたため、駆動手段によりロッドを介してプラグ部を下降駆動する際の応答性を十分に高めることができる。
【００２０】
請求項６の位置決め装置によれば、請求項１の段落［0015］と同様の効果を奏するが、ロッドを昇降駆動可能な駆動手段が弾性部材の弾性力によりロッドを下方へ引っ張り駆動可能であるので、ロッドを下方へ引っ張り駆動する際の応答性を高く維持することができる。特に、複数の位置決め装置を組み合わせ連動させて使用する場合に、先に位置決めする方の位置決め装置に適用するのに好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明に係る位置決め装置は、基準側のベース部材に装備される位置決めプラグ機構を備え、この位置決めプラグ機構のプラグ部を、前記ベース部材に固定される可動部材の円筒穴に嵌合することにより、可動部材をプラグ部の軸心と直交する方向へ位置決めする位置決め装置において、前記位置決めプラグ機構は、前記ベース部材に固定される本体部材と、前記本体部材に一体形成されて本体部材の上端部から突出するプラグ部であって、外周面の少なくとも一部に上方程小径化する位置決め部を備えたプラグ部と、前記プラグ部に外嵌され且つ外周面が円筒面をなして径拡大方向へ弾性変形可能なテーパスリーブと、前記プラグ部に挿通されて上端部分が前記テーパスリーブに連結されたロッドと、前記ロッドを昇降駆動可能な駆動手段とを備え、前記本体部材に、テーパスリーブの外周面に加圧エアを噴出可能な複数のノズルを形成し、この複数のノズルに加圧エアを供給するエア供給手段を設けたことを特徴とするものである。
【実施例１】
【００２２】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
この位置決め装置は、マシニングセンタ（数値制御式工作機械）のテーブルであるベース部材に対して可動部材（例えば、ワークパレット）を水平方向に正確に位置決めするための装置である。
【００２３】
図１は、前記ベース部材１とそこに装備した複数の位置決め装置の平面図であり、この図１に示すように、可動部材２には、可動部材２をＸＹ方向に位置決めするＸＹ位置決め装置３と、可動部材２をＺ方向（鉛直方向）に位置決めする３組のＺ方向位置決め装置５と、可動部材２をＸＹ位置決め装置３を中心とする水平回動方向（θ方向）へ位置決めするθ方向位置決め装置４とが装備されている。ＸＹ位置決め装置３とθ方向位置決め装置４とが可動部材２を水平方向の全方向に位置決めする位置決めシステムを構成している。尚、前記のＺ方向位置決め装置５についての説明は省略する。
【００２４】
次に、ＸＹ位置決め装置３について説明する。
図１〜図３に示すように、このＸＹ位置決め装置３は、基準側のベース部材１に装備される位置決めプラグ機構１０を備えており、その位置決めプラグ機構１０のプラグ部１２を、ベース部材１にセットされる可動部材２の底部の円筒穴６に嵌合することにより、可動部材２をプラグ部１２の軸心と直交する方向へ位置決めする装置である。
【００２５】
前記位置決めプラグ機構１０は、本体部材１１と、プラグ部１２と、テーパスリーブ１３と、ロッド１４と、このロッド１４を昇降駆動可能な駆動手段としての複動型の油圧シリンダ１５とを備えている。本体部材１１は、固定用フランジ部１１ａと筒状部１１ｂとを有し、フランジ部１１ａの下面は水平基準面に形成されている。筒状部１１ｂをベース部材１に形成された円筒穴１ａに軸心を鉛直姿勢にして装着し、フランジ部１１ａの下面をベース部材１の上面に当接させた状態で、３つのボルト穴１１ｃに夫々挿通させた固定ボルト７により、本体部材１１がベース部材１に高精度に位置決めして固定される。
【００２６】
前記プラグ部１２は、本体部材１１に一体形成されて本体部材１１の上端部の中心部分から上方へ突出しており、プラグ部１２の外周面のうちのテーパスリーブ１３に係合する部分の全面は、上方程小径化する緩やかな傾斜のテーパ面からなる位置決め部１６に形成されている。
【００２７】
前記テーパスリーブ１３は、外周面が円筒面に形成されると共に内周面がテーパ面に形成されてプラグ部１２に外嵌され、径拡大方向へ弾性変形可能に構成されている。このテーパスリーブ１３の周方向の１カ所には、前記弾性変形を可能とするための１本の縦スリット１７が形成され、テーパスリーブ１３はこの縦スリット１７により分断されている。この縦スリット１７に対応する位置において、プラグ部１２の外周面の凹部に１つの小径の鋼球１８が装着され、鋼球１８の一部が縦スリット１７に係合している。こうして、プラグ部１２に対してテーパスリーブ１３がプラグ部１２の軸心の回りに回動しないように規制されている。
【００２８】
前記ロッド１４は、テーパスリーブ１３を昇降駆動するためにプラグ部１２と同心状にプラグ部１２を挿通する状態に設けられ、その上端部分の頭部１９が、係合リング２０を介してテーパスリーブ１３に昇降駆動の駆動力を伝達可能に連結されている。このロッド１４は、テーパスリーブ１３の上端に連結された頭部１９と、この頭部１９と一体形成されたロッド本体部２１を有する。頭部１９は側面視にて台形状でありテーパ状の外周面を有し、このテーパ状の外周面が、頭部１９とテーパスリーブ１３及びプラグ部１２を可動部材２の円筒穴６に挿入する際の案内面として機能する。
【００２９】
前記テーパスリーブ１３の上端部には内側へ張り出す内鍔部１３ａが形成され、係合リング２０はロッド本体部２１の上端部に焼き嵌めにて固着され、テーパスリーブ１３の内鍔部１３ａが頭部１９と係合リング２０の外周鍔部２０ａとの間に挟持され、ロッド１４の上昇時にはテーパスリーブ１３がプラグ部１２に対して相対的に数ｍｍだけ上昇し、ロッド１４の下降時にはテーパスリーブ１３がプラグ部１２に対して相対的に数ｍｍだけ下降する。
【００３０】
ロッド１４を昇降駆動する駆動手段としての油圧シリンダ１５が本体部材１１の下部に装備されている。油圧シリンダ１５は、本体部材１１に形成された縦向きのシリンダ穴２２と、このシリンダ穴２２に昇降可能に装着されたピストン部２３とを有し、シリンダ穴２２のうちのピストン部２３の上側にはロッド１４を下降駆動する為の第１油室２４が形成され且つピストン部２３の下側にはロッド１４を上昇駆動する為の第２油室２５が形成されている。第１油室２４には、ベース部材１内に形成された油圧供給路２６を介して油圧供給源（図示略）に接続され、第２油室２５はベース部材１内に形成された油圧供給路２７を介して油圧供給源に接続されている。
【００３１】
前記第１油室２４にはピストン部２３を下方へ付勢する弾性部材としての圧縮コイルバネ２８が装着されている。ロッド本体部２１の下端部分には、ロッド本体部２１のその他の部分とほぼ同径のネジ部２１ａが形成され、このネジ部２１ａがピストン部２３に螺合締結され、ピストン部２３の中段部にはロッド本体部２１の下端を受け止めてピストン部２３とロッド本体部２１との相対位置を規制する横向きの規制ピン２９が設けられている。尚、シリンダ穴２２の下部は、本体部材１１の筒状部１１ｂの内部に形成され、第１，第２油室２４，２５の油圧をシールする為のシール部材３０〜３２が設けられている。
【００３２】
前記テーパスリーブ１３の外周面に付着した切削切粉や埃や異物をエアブローにより除去する為のエアブロー手段が次のように設けられている。プラグ部１２の基部の外周側の近くにおいて本体部材１１の上端部分に環状溝３５が形成され、この環状溝３５の上部がリング部材３６で封鎖されて、環状溝３５の底部に環状通路３７が形成され、この環状通路３７に加圧エアを導く傾斜エア通路３８が本体部材１１に形成され、この傾斜エア通路３８には、加圧エア供給源（図示略）からベース部材１内のエア通路３９を介して加圧エアが供給される。
【００３３】
前記リング部材３６には、小径の例えば４つのノズル４０が円周４等分位置にテーパスリーブ１３の外周面に向けて形成され、加圧エア供給源からエア通路３９を介して傾斜エア通路３８と環状溝３７に加圧エアを供給すると、その加圧エアが４つのノズル４０から噴出してテーパスリーブ１３の外周面をエアブローして切粉等を除去する。尚、傾斜エア通路３８の下端部には環状のシール部材３８ａが設けられている。
【００３４】
プラグ部１２とテーパスリーブ１３間の隙間に加圧エアを噴出させる為のエアブロー手段として、プラグ部１２の上端と係合リング２０との間には上端環状通路４１が形成され、この上端環状通路４１がプラグ部１２とテーパスリーブ１３との間の摺動隙間に連通している。そして、テーパスリーブ１３の内周部には螺旋通路４２が形成され、この螺旋通路４２を環状通路３７に接続する水平通路４３が本体部材１１に形成されている。
環状通路３７に供給された加圧エアは、水平通路４３と、螺旋通路４２を通って上端環状通路４１に供給され、この上端環状通路４１の全周からプラグ部１２とテーパスリーブ１３の間の摺動隙間に噴出し、その摺動隙間に付着した切削切粉や摩耗粉などをエアブローする。
【００３５】
次に、θ方向位置決め装置４について、図４、図５に基づいて説明する。
このθ方向位置決め装置４のうち、ＸＹ方向位置決め装置３と同じ構成については同じ符号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。
プラグ部１２Ａの周方向の２か所（１８０度位相の異なる２か所）には、上方ほど小径化する位置決め部１２ａ，１２ｂであってテーパスリーブ１３の内面に摺接する位置決め部１２ａ，１２ｂが形成され、プラグ部１２Ａのその他の部分は位置決め部１２ａ，１２ｂよりも小径で鉛直なフトレート面に形成されている。
【００３６】
このθ方向位置決め装置４は、可動部材２をＸＹ位置決め装置３を中心とする水平回動方向（θ方向）へ位置決めする装置であるので、前記の位置決め部１２ａ，１２ｂを結ぶ方向は、ＸＹ位置決め装置３の軸心とθ方向位置決め装置４の軸心を結ぶ線に対して直交する方向へ向くように設定される。
さらに、加圧エア供給源からＸＹ位置決め装置３とθ方向位置決め装置４へ共通の前記エア通路３９で加圧エアが供給され、また、油圧供給源（図示略）から、ＸＹ位置決め装置３とθ方向位置決め装置４へ共通の前記油圧供給路２６，２７で油圧が給排される。尚、テーパスリーブ１３は、前記テーパスリーブ１３と同構造のものである。このθ方向位置決め装置４においては、第１油室２４に装着されたコイルバネ２８は省略されている。
【００３７】
次に、可動部材２を位置決めする位置決めシステムの作用効果、つまり、ＸＹ位置決め装置３とθ方向位置決め装置４の作用、効果について説明する。
可動部材２をベース部材１１の上方へ移動させ、両位置決め装置３，４のプラグ部１２，１２を円筒穴６，６に挿入しないうちに、両位置決め装置３，４に対して、加圧エア供給源からエア通路３９と傾斜エア通路３８，３８を経て、環状通路３７，３７に加圧エアが供給されると、その加圧エアが両位置決め装置３，４の４つずつのノズル４０から噴出してテーパスリーブ１３，１３の外周面をエアブローする。そのため、テーパスリーブ１３，１３の外周面を清浄にした状態で可動部材２の位置決めを行うことができるから、テーパスリーブ１３，１３の外周面に付着した切削切粉などの金属粉で位置決め精度が低下するのを確実に防止することができる。
【００３８】
上記のエアブローと並行して、両位置決め装置３，４の環状通路３７，３７と水平通路４３，４３と螺旋通路４２，４２を通って上端環状通路４１，４１に供給された加圧エアがプラグ部１２，１２Ａとテーパスリーブ１３，１３の間の摺動隙間内を流れて外部へ噴出するため、その摺動隙間の切削切粉や摩耗粉などが確実に除去されるから、プラグ部１２，１２Ａとテーパスリーブ１３，１３間に切削切粉や摩耗粉などを噛み込んだ状態で位置決めするのを確実に防止でき、削切粉や摩耗粉などで位置決め精度が低下するのを確実に防止することができる。尚、以上の作用は、ＸＹ位置決め装置３とθ方向位置決め装置４において同様の作用となる。
【００３９】
次に、ＸＹ位置決め装置３とθ方向位置決め装置４において、位置決めプラグ機構１０，１０と可動部材２の円筒穴６，６の協働により可動部材２を位置決めする。最初、第２油室２５，２５に油圧を充填してロッド１４，１４を上限位置に保持し、テーパスリーブ１３，１３を小径状態に弾性変形させた状態で、可動部材２をベース部材１の方へ下降させ、両位置決め装置３，４のプラグ部１２，１２Ａを対応する円筒穴６，６に挿入させ、３組のＺ方向位置決め装置５により可動部材２をＺ方向に高精度に位置決めしてから、両位置決め装置３，４における第２油室２５，２５の油圧を抜き、第１油室２４，２４に油圧を供給する。
【００４０】
すると、ＸＹ位置決め装置３では、第１油室２４に圧縮コイルバネ２８が設けられている分だけ、θ方向位置決め装置４よりもロッド１４を下降させる力が強力となるため、ＸＹ位置決め装置３のロッド１４が下降動作し、ロッド１４で下降駆動されるテーパスリーブ１３が径拡大方向へ弾性変形して可動部材２の円筒穴６に密着してＸＹ方向の位置決めを行う。その直後に、θ方向位置決め装置４のロッド１４が下降動作し、ロッド１４で下降駆動されるテーパスリーブ１３が径拡大方向へ弾性変形して可動部材２の円筒穴６に密着してＸＹ方向の位置決めを行う。このように、ＸＹ位置決め装置３による位置決め、θ方向位置決め装置４による位置決めの順に作動するため、可動部材２をＸ，Ｙ，θ方向に高精度に位置決めすることができる。
【００４１】
次に、両位置決め装置３，４のその他の作用、効果について説明する。
プラグ部１２に設けた鋼球１８をテーパスリーブ１３の縦スリット１７に係合させることにより、テーパスリーブ１３のプラグ部１２に対する回動を規制したため、テーパスリーブ１３とプラグ部１２，１２Ａとの回転方向の相対位置が変動しなくなるため、プラグ部１２，１２Ａとテーパスリーブ１３とが一定の相対回動位置の状態で位置決めに供されることになるので、位置決め精度のバラツキが少なくなる。
【００４２】
ロッド１４は一体部品に構成したため、ロッド１４にテーパスリーブ１３を連結する構造が簡単になり、部品数を少なくすることができる。しかも、ロッド本体部２１の下端を受け止める規制ピン２９を設け、この規制ピン２９によりピストン部２３に対するロッド本体部２１の下端の位置を決めるように構成したので、ロッド本体部２１のネジ部２１ａの上端の所の径縮小段付き部でピストン部２３に対するロッド本体部２１の下端の位置を決める必要がなくなるので、ロッド１４を小径化でき、プラグ部１２，１２Ａの肉厚を増し、プラグ部12，１２Ａの弾性変形により位置決め精度が低下するのを防止できる。
【００４３】
前記実施例を部分的に変更する例について説明する。
１）前記実施例のＸＹ位置決め装置３では、第１油室２４に油圧を供給可能に構成したが、圧縮コイルバネ２８が設けたので、第１油室２４には油圧をしないような構造にしてもよい。
２）前記実施例においては、可動部材のＺ方向位置はＺ方向位置決め装置５により位置決めするように構成したが、ＸＹ位置決め装置３やθ方向位置決め装置４の本体部材１１にＺ方向位置決め部を形成することも可能である。
【００４４】
３）その他、当業者ならば本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、前記実施例に種々の変更を付加して実施可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施例に係るベース部材とその位置決め装置の平面図である。
【図２】ＸＹ位置決め装置の縦断面図である。
【図３】図２の鋼球位置でのロッドとプラグ部とテーパスリーブの横断面図である。
【図４】θ位置決め装置の縦断面図である。
【図５】図２の鋼球位置でのロッドとプラグ部とテーパスリーブの横断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１        ベース部材
２        可動部材
３        ＸＹ位置決め装置
４        θ位置決め装置
６        円筒穴
１０      位置決めプラグ部機構
１１      本体部材
１２，１２Ａ      プラグ部
１３      テーパスリーブ
１４      ロッド
１５      油圧シリンダ
２４      第１油室
２５      第２油室
２８      圧縮コイルバネ
２９      規制ピン
４０      ノズル
【図１】
2006007334.tif 000003
【図２】
2006007334.tif 000004
【図３】
2006007334.tif 000005
【図４】
2006007334.tif 000006
【図５】
2006007334.tif 000007