(57)【要約】    【課題】  瞳距離の短いときも検査条件を切り換えて基板を検査することができる基板検査装置を提供する。    【解決手段】  光源１０とウエハ５との間に配置される光学アダプタ２０，３０を切替えることによって検査を行う基板検査装置において、水平方向位置切換駆動部４０によって光学アダプタ２０，３０を水平方向へ移動させて検査に使用する光学アダプタ３０を光軸上へ移動させ、その後、垂直方向駆動部５０によって光学アダプタ３０を光軸方向へ移動させる。このとき、現在使用されていない光学アダプタ２０の下降はストッパ６０によって制限される。その結果、光学アダプタ２０とプローブカード７０との干渉が防止される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光学部材のうちの任意の光学部材を光源と基板との間の光軸上に選択配置して検査を行う基板検査装置において、
前記光学部材を前記光軸と直交する方向へ移動させる水平移動手段と、
前記複数の光学部材を前記光軸方向へ移動させる１つの垂直移動手段と、
前記複数の光学部材のうち選択されなかった残りの光学部材の下降を制限する下降制限部材と
を備えていることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８（ａ）は従来の基板検査装置の一部の断面を示す概念図、図８（ｂ）は図８（ａ）のａ−ａ矢視図である。
【０００３】
従来の基板検査装置は光源１１０と光学アダプタ１２０，１３０（図９参照）と水平方向位置切換駆動部１４０と垂直方向駆動部１５０とを備えている。
【０００４】
光源１１０とウエハ１０５との間に光学アダプタ１２０が配置される。光学アダプタ１２０，１３０には拡散板１２１，１３１が保持されている。拡散板１２１，１３１の有効径がウエハ１０５を照明する検査光のＦ値に、拡散板１２１，１３１とウエハ１０５との間隔が検査光の瞳距離ＥＰＤ値にそれぞれ相当する。
【０００５】
異なる条件でウエハ１０５を検査するには、Ｆ値とＥＰＤ値とを複数通りに組み合わせた複数（図１０の場合は２つ）の拡散板１２１，１３１を用意し、それらを適宜切り換える。
【０００６】
光学アダプタ１２０，１３０は１つのほぼ扇形のホルダ１２５によって保持されている（図８参照）。ホルダ１２５は水平方向位置切換駆動部１４０の回転軸１４１を中心として回転可能であり、垂直方向駆動部１５０によって上下方向へ移動可能である。
【０００７】
光学アダプタ１２０，１３０は水平方向位置切換駆動部１４０によって水平方向へ移動して光軸上に選択配置される。
【０００８】
光源１１０の光で照明された拡散板１２１，１３１を２次光源として検査対象であるウエハ１０５のチップを照明することによって、瞳距離有限照明の状態を作り出している。
【０００９】
図９〜１１はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【００１０】
これらの図において、Ｆ値５．６、ＥＰＤ値５０ｍｍの検査条件と、Ｆ値８、ＥＰＤ値１００ｍｍの検査条件とを切り換えて検査する場合を説明する。
【００１１】
図中の第１光学アダプタ１２０がＦ値５．６、ＥＰＤ値５０ｍｍの検査条件の検査に用いられ、第２光学アダプタ１３０がＦ値８、ＥＰＤ値１００ｍｍの検査条件の検査に用いられる。
【００１２】
第１光学アダプタ１２０に保持された直径９ｍｍの拡散板１２１はウエハ１０５のチップから上方へ５０ｍｍ離れた位置にある。
【００１３】
第２光学アダプタ１３０に保持された直径１２．５ｍｍの拡散板１３１はウエハ１０５のチップから上方へ１００ｍｍ離れた位置にある。
【００１４】
ウエハ１０５の上方に配置されたプローブカード１７０には開口１７１が形成されている。
【００１５】
プローブカード１７０にはチップの電極パッドと接触するプローブ針１７２がピン保持部１７３を介して設けられている。
【００１６】
図９は検査を開始する前の状態であって、第１光学アダプタ１２０と第２光学アダプタ１３０とが光軸から外れた状態を示す。
【００１７】
この状態から、水平方向位置切換駆動部１４０を駆動して第１光学アダプタ１２０を光軸上に配置し、検査を行う（図１０参照）。チップに給電し、開口１７１を介して光源１１０の光を照射すると、チップの各画素から信号が出力される。
【００１８】
次に、水平方向位置切換駆動部１４０を駆動して第２光学アダプタ１３０を光軸上に配置し、検査を行う（図１１参照）。チップに給電し、開口１７１を介して光源１１０の光を照射すると、チップの各画素から信号が出力される。
【特許文献１】特許第２５８２７３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
近年、瞳距離の短い検査条件でウエハ１０５を検査する必要が生じた。
【００２０】
図１２〜１７に基づいて、例えば、Ｆ値５．６、ＥＰＤ値５ｍｍの検査条件と、Ｆ値８、ＥＰＤ値１０ｍｍの検査条件とを切り換えて検査する場合を説明する。
【００２１】
図１２〜１７はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【００２２】
図中の、第１の光学アダプタ１２０がＦ値５．６、ＥＰＤ値５ｍｍの検査条件の検査に用いられ、第２の光学アダプタ１３０がＦ値８、ＥＰＤ値１０ｍｍの検査条件の検査に用いられる。
【００２３】
図１２は検査を開始する前の状態であって、第１光学アダプタ１２０と第２光学アダプタ１３０とが光軸から外れた状態を示す。
【００２４】
この状態から、水平方向位置切換駆動部１４０を駆動して第１光学アダプタ１２０を光軸上に配置する（図１３参照）。
【００２５】
次に、垂直方向駆動部１５０を駆動してウエハ１０５から上方へ５ｍｍの位置まで第１光学アダプタ１２０を下降させ、検査を行う（図１４参照）。
【００２６】
その後、垂直方向駆動部１５０を駆動して第１光学アダプタ１２０を上昇させる。その結果、第１光学アダプタ１２０がプローブカード１７０から所定距離だけ離れる(図１５参照)。
【００２７】
次に、水平方向位置切換駆動部１４０を駆動して第２光学アダプタ１３０を光軸上に配置する（図１６参照）。
【００２８】
その後、垂直方向駆動部１５０を駆動して第２光学アダプタ１３０を下降させ、検査を行う。
【００２９】
しかし、第２光学アダプタ１３０がウエハ１０５から上方へ１０ｍｍの位置まで下降する前に、第１光学アダプタ１２０がプローブカード１７０に衝突するため（図１７参照）、Ｆ値８、ＥＰＤ値１０ｍｍの検査条件で検査を行うことができなかった。
【００３０】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は瞳距離の短いときも検査条件を切り換えて基板を検査することができる基板検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、複数の光学部材のうちの任意の光学部材を光源と基板との間の光軸上に選択配置して検査を行う基板検査装置において、前記光学部材を前記光軸と直交する方向へ移動させる水平移動手段と、前記複数の光学部材を前記光軸方向へ移動させる１つの垂直移動手段と、前記複数の光学部材のうち選択されなかった残りの光学部材の下降を制限する下降制限部材とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３２】
この発明の基板検査装置によれば、瞳距離の短いときも検査条件を切り換えて基板を検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３４】
図１（ａ）はこの発明の一実施形態に係る基板検査装置の一部の断面を示す概念図、図１（ｂ）は図１（ａ）のｂ−ｂ線に沿う断面図である。
【００３５】
この基板検査装置は光源１０と第１、第２光学アダプタ（光学部材）２０，３０と水平方向位置切換駆動部（水平移動手段）４０と垂直方向駆動部（垂直移動手段）５０とストッパ（下降制限部材）６０とを備えている。
【００３６】
第１、２光学アダプタ２０，３０は光源１０とウエハ（基板）５との間に配置される。光学アダプタ２０，３０にはそれぞれ拡散板２１，３１が保持されている。拡散板２１，３１の有効径がウエハ５を照明する検査光のＦ値に、拡散板２１，３１とウエハ５との間隔が検査光の瞳距離ＥＰＤ値にそれぞれ相当する。
【００３７】
異なる条件でウエハ５を検査するには、Ｆ値とＥＰＤ値とを複数通りに組み合わせた複数（図１の場合は２つ）の拡散板２１，３１を用意し、それらを切り換える。
【００３８】
第１、２光学アダプタ２０，３０はそれぞれホルダ２５，３５によって保持されている。
【００３９】
ホルダ２５とホルダ３５とは同じ構成である。
【００４０】
光学アダプタ２０はボルト２５ａによってホルダ２５に固定されている。
【００４１】
ホルダ２５は光学アダプタ２０を保持する環状部２６と環状部２６の一部分から垂直に延びる垂直板部２７とで構成されている。
【００４２】
垂直板部２７の上端部に突起部２７ａが設けられている。
【００４３】
垂直板部２７は、ホルダ２５（第１光学アダプタ２０）を水平方向へ移動させてホルダ２５を光軸Ｌ（照明光軸）上に選択配置さるための水平方向位置切換駆動部４０に取り付けられている。ホルダ２５は水平方向位置切換駆動部４０の回転軸４１を中心として回転する。
【００４４】
また、垂直板部２７はガイド２８を介して第１光学アダプタ２０を上下動させるための垂直方向駆動部５０に取り付けられている。
【００４５】
ストッパ６０はほぼ弓形であり（図１（ｂ）参照）、固定棒６２によって光源１０に水平に固定されている。
【００４６】
ストッパ６０には突起部２７ａ，３７ａを通すことができる切欠６１が形成されている。
【００４７】
光源１０の光で照明された拡散板２１，３１を２次光源として検査対象であるウエハ５のチップを照明することによって、瞳距離有限照明の状態を作り出している。
【００４８】
次に、図２〜７に基づいて、Ｆ値５．６、ＥＰＤ値５ｍｍの検査条件と、Ｆ値８、ＥＰＤ値１０ｍｍの検査条件とを切り換えて検査する場合を説明する。
【００４９】
図２〜７はウエハと光学アダプタとストッパとの関係を示す図である。
【００５０】
図中の第１光学アダプタ２０がＦ値５．６、ＥＰＤ値５ｍｍの検査条件の検査に用いられ、第２光学アダプタ３０がＦ値８、ＥＰＤ値１０ｍｍの検査条件の検査に用いられる。
【００５１】
第１、２光学アダプタ２０、３０とウエハ５と間に配置されたプローブカード７０には開口７１が形成されている。
【００５２】
プローブカード７０にはチップの電極パッド（図示せず）と接触するプローブ針７２がピン保持部７３を介して設けられている。
【００５３】
図２は検査を開始する前の状態であって、第１光学アダプタ２０と第２光学アダプタ３０とが光軸から外れた状態を示す。
【００５４】
この状態から、水平方向位置切換駆動部４０（図１参照）を駆動して第１光学アダプタ２０を光軸Ｌ上に配置する（図３参照）。
【００５５】
次に、垂直方向駆動部５０を駆動してチップから上方へ５ｍｍの位置まで第１光学アダプタ２０を下降させる。
【００５６】
このとき、第２光学アダプタ３０も同時に下降しようとするが、図１（ｂ）に示すように、第１光学アダプタ２０の突起部２７ａはストッパ６０の切欠６１を通るのに対し、第２光学アダプタ３０の突起部３７ａはストッパ６０に突き当たり、下降動作が阻止される（図４参照）。この状態で検査が行われる。チップに給電し、開口７１を介して光源１０の光が照射され、チップの各画素から信号が出力される。
【００５７】
その後、垂直方向駆動部５０を駆動して第１光学アダプタ２０を上昇させ、第１光学アダプタ２０をプローブカード７０から所定距離だけ離す(図５参照)。このとき、第１光学アダプタ２０とともに、第２光学アダプタ３０も上昇する。
【００５８】
次に、水平方向位置切換駆動部４０を駆動して第２光学アダプタ３０を光軸Ｌ上に配置する（図６参照）。
【００５９】
その後、垂直方向駆動部５０を駆動して第２光学アダプタ３０をチップから上方へ１０ｍｍ離れた位置まで下降させる。
【００６０】
このとき、第１光学アダプタ２０も同時に下降しようとするが、第２光学アダプタ３０の突起部３７ａはストッパ６０の切欠６１を通るのに対し、第１光学アダプタ２０の突起部２７ａはストッパ６０に突き当たり、下降動作が阻止される（図７参照）。この状態で検査が行われる。上述の第１光学アダプタ２０を用いた検査と同様に、チップに給電され、開口７１を介して光源１０の光が照射されると、チップの各画素から信号が出力される。
【００６１】
このように、第１光学アダプタ２０で検査を行うとき第２光学アダプタ３０の下降がストッパ６０によって規制又は制限され、第２光学アダプタ３０で検査を行うとき第１光学アダプタ２０の下降がストッパ６０によって規制又は制限されるので、Ｆ値５．６、ＥＰＤ値５ｍｍの検査条件とＦ値８、ＥＰＤ値１０ｍｍの検査条件とを切り換えて検査を行うことができる。
【００６２】
この実施形態によれば、瞳距離の短いときも検査条件を切り換えて検査を行うことができる。
【００６３】
また、１つの垂直方向駆動部５０だけで足りるので、製造コストを低減できる。
【００６４】
なお、この実施形態では光学アダプタ２０，３０は２つであるが、３つ以上であってもよい。
【００６５】
また、ストッパ６０は１つであるが、２つ以上であってもよいし、光学アダプタ毎にストッパを採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】図１（ａ）はこの発明の一実施形態に係る基板検査装置の一部の断面を示す概念図、図１（ｂ）は図１（ａ）のｂ−ｂ線に沿う断面図である。
【図２】図２はウエハと光学アダプタとストッパとの関係を示す図である。
【図３】図３はウエハと光学アダプタとストッパとの関係を示す図である。
【図４】図４はウエハと光学アダプタとストッパとの関係を示す図である。
【図５】図５はウエハと光学アダプタとストッパとの関係を示す図である。
【図６】図６はウエハと光学アダプタとストッパとの関係を示す図である。
【図７】図７はウエハと光学アダプタとストッパとの関係を示す図である。
【図８】図８（ａ）は従来の基板検査装置の一部の断面を示す概念図、図８（ｂ）は図８（ａ）のａ−ａ矢視図である。
【図９】図９から１１はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【図１０】図１０はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【図１１】図１１はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【図１２】図１２はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【図１３】図１３はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【図１４】図１４はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【図１５】図１５はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【図１６】図１６はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【図１７】図１７はウエハと光学アダプタとの関係を示す図である。
【符号の説明】
【００６７】
５  ウエハ（基板）
１０  光源
２０，３０  光学アダプタ（光学部材）
４０  水平方向位置切換駆動部（水平移動手段）
５０  垂直方向駆動部（垂直移動手段）
６０  ストッパ（下降制限部材）
Ｌ  光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2006140181.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2006140181.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2006140181.tif 000017
【図１６】
2006140181.tif 000018
【図１７】
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