(57)【要約】  【課題】複数のめっき槽によりロットごとに同時にワークをめっき処理するめっき槽において、電極の利用率が均等化され、生産効率の向上が可能となるめっき装置のワーク搬入順序設定装置とワーク搬入順序設定方法を提供する。  【解決手段】複数のめっき槽に対する同一のロットに属するワークの搬入順序を、標準の順序と同一の順序を維持したままで、最初にワークを搬入するめっき槽を選択可能とする。同じロットのうち、最初にワークを搬入するめっき槽を、前回のロットでワークを最初に搬入しためっき槽とは別のめっき槽に設定する。他の方法として積算電流値が少ないめっき槽を先頭槽に設定する方法がある。【選択図】図３
2006206968.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御装置により制御される搬送装置によりワークを複数のめっき槽に搬入、搬出し、前記各めっき槽は、各ワークに対して同一のめっき処理を行なうと共に、複数回のめっき処理を同一の陽極および陰極を用いて行なうめっき装置のワーク搬入設定装置であって、
前記制御装置は、前記複数のめっき槽に対して、同一のロットに属するワークのうち、最初にワークを搬入するめっき槽およびワークを搬入するめっき槽の順序を予め定めた標準モード設定手段と、
前記複数のめっき槽に対する同一のロットに属するワークの搬入順序を、前記標準モード設定手段で定めた順序と同一の順序を維持したままで、最初にワークを搬入するめっき槽を選択可能とした可変モード設定手段とを備えた
ことを特徴とするめっき装置のワーク搬入順序設定装置。
【請求項２】
制御装置により制御される搬送装置によりワークを複数のめっき槽に搬入、搬出し、前記各めっき槽は、各ワークに対して同一のめっき処理を行なうと共に、複数回のめっき処理を同一の陽極および陰極を用いて行なうめっき装置のワーク搬入順序設定方法であって、
複数のめっき槽についてワークを搬入する順序を定めておき、
ロットが変わるごとに、最初にワークを搬入するめっき槽を、前回のロットについて最初にワークを搬入しためっき槽とは別のめっき槽に設定する
ことを特徴とするめっき装置のワーク搬入順序設定方法。
【請求項３】
制御装置により制御される搬送装置によりワークを複数のめっき槽に搬入、搬出し、前記各めっき槽は、各ワークに対して同一のめっき処理を行なうと共に、複数回のめっき処理を同一の陽極および陰極を用いて行なうめっき装置のワーク搬入順序設定方法であって、
前記各めっき槽ごとにそれぞれ通電量を積算し、
複数のめっき槽についてワークを搬入する順序を定めておき、
ロットが変わるごとに、最初にワークを搬入するめっき槽を、前記積算した通電量が最も少ないめっき槽に設定する
ことを特徴とするめっき装置のワーク搬入順序設定方法。
【請求項４】
制御装置により制御される搬送装置によりワークを複数のめっき槽に搬入、搬出し、前記各めっき槽は、各ワークに対して同一のめっき処理を行なうと共に、複数回のめっき処理を同一の陽極および陰極を用いて行なうめっき装置のワーク搬入順序設定方法であって、
複数のめっき槽についてワークを搬入する順序を定めておき、
１ロットに含まれるワークの数がめっき槽の数の整数倍以外の場合にのみ、最初にワークを搬入するめっき槽を、前回のロットで最初にワークを搬入しためっき槽以外のめっき槽、もしくは積算電流値が最も少ないめっき槽に設定する
ことを特徴とするめっき装置のワーク搬入順序設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子部品用基板またはＩＣウエハ等にめっきを施すめっき装置のワーク搬入順序設定装置とワーク搬入順序設定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のめっき装置は、例えば特許文献１に示すように、めっき液を入れためっき槽内に基板やウエハ等ワークを陰極に接触させてセットすると共に、このワークにめっき液を介して陽極を対面させて通電することによりワークに対してメッキ処理を行なう。めっき槽は複数設置され、各めっき槽に対して、制御装置により自動制御される搬送装置によりめっき槽へのワークの搬入、搬出を行なう。また、ワークはロットごとにめっき処理される。すなわち、予め決められた順序で、搬送装置は、一番目のめっき槽、二番目のめっき槽、三番目のめっき槽というふうに１枚ずつワークがセットされ、めっき処理が行なわれる。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−９２９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述のように、複数のめっき槽に対して同じロットのワークを同時に処理するめっき作業を繰り返し、このめっき処理の繰り返しにより、陽極となる金属が限界近くまで消耗する。また、ワーク側の陰極にも、めっき膜を形成する金属と同じものが、ワークに形成する金属膜の形成に支障を来す程度に累積して付着する。このため、複数のロットについてめっき処理を繰り返すと、陽極や陰極を交換する必要がある。この電極の交換作業は、全めっき槽について一度に行なうことが作業能率の上で好ましいため、全めっき槽について同時に電極の交換を行なっている。
【０００５】
従来はロットが変わるたびに一番目のめっき槽からワークの搬入、セットを行なっているが、ロットによってワークの数はまちまちであり、１つのロットのワーク数が１枚や２枚になったり、３枚あるいは４枚以上になったりするので、１つのロット当りのワーク数がめっき槽の数の倍数以外になることもある。このため、一番目のめっき槽の電極の消耗や金属付着が最も激しくなり、他のめっき槽がまだ交換する必要がない状態であっても交換することとなり、このため、各めっき槽での電極の使用量の偏りが多くなると共に、電極交換に要する非定常作業が多くなって生産効率が低下するという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑み、複数のめっき槽によりロットごとに同時にワークをめっき処理するめっき装置において、電極の利用率が均等化され、生産効率の向上が可能となるめっき装置のワーク搬入順序設定装置とワーク搬入順序設定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１のめっき装置のワーク搬入順序設定装置は、制御装置により制御される搬送装置によりワークを複数のめっき槽に搬入、搬出し、前記各めっき槽は、各ワークに対して同一のめっき処理を行なうと共に、複数回のめっき処理を同一の陽極および陰極を用いて行なうめっき装置のワーク搬入設定装置であって、
前記制御装置は、前記複数のめっき槽に対して、同一のロットに属するワークのうち、最初にワークを搬入するめっき槽およびワークを搬入するめっき槽の順序を予め定めた標準モード設定手段と、
前記複数のめっき槽に対する同一のロットに属するワークの搬入順序を、前記標準モード設定手段で定めた順序と同一の順序を維持したままで、最初にワークを搬入するめっき槽を選択可能とした可変モード設定手段とを備えた
ことを特徴とする。
【０００８】
請求項２のめっき装置のワーク搬入順序設定方法は、制御装置により制御される搬送装置によりワークを複数のめっき槽に搬入、搬出し、前記各めっき槽は、各ワークに対して同一のめっき処理を行なうと共に、複数回のめっき処理を同一の陽極および陰極を用いて行なうめっき装置のワーク搬入順序設定方法であって、
複数のめっき槽についてワークを搬入する順序を定めておき、
ロットが変わるごとに、最初にワークを搬入するめっき槽を、前回のロットについて最初にワークを搬入しためっき槽とは別のめっき槽に設定する
ことを特徴とする。
【０００９】
請求項３のめっき装置のワーク搬入順序設定方法は、制御装置により制御される搬送装置によりワークを複数のめっき槽に搬入、搬出し、前記各めっき槽は、各ワークに対して同一のめっき処理を行なうと共に、複数回のめっき処理を同一の陽極および陰極を用いて行なうめっき装置のワーク搬入順序設定方法であって、
前記各めっき槽ごとにそれぞれ通電量を積算し、
複数のめっき槽についてワークを搬入する順序を定めておき、
ロットが変わるごとに、最初にワークを搬入するめっき槽を、前記積算した通電量が最も少ないめっき槽に設定する
ことを特徴とする。
【００１０】
請求項４のめっき装置のワーク搬入順序設定方法は、制御装置により制御される搬送装置によりワークを複数のめっき槽に搬入、搬出し、前記各めっき槽は、各ワークに対して同一のめっき処理を行なうと共に、複数回のめっき処理を同一の陽極および陰極を用いて行なうめっき装置のワーク搬入順序設定方法であって、
複数のめっき槽についてワークを搬入する順序を定めておき、
１ロットに含まれるワークの数がめっき槽の数の整数倍以外の場合にのみ、最初にワークを搬入するめっき槽を、前回のロットで最初にワークを搬入しためっき槽以外のめっき槽、もしくは積算電流値が最も少ないめっき槽に設定する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明においては、前記複数のめっき槽に対して、同一のロットに属するワークのうち、最初にワークを搬入するめっき槽と、ワークを搬入するめっき槽の順序を予め定めた標準モード設定手段によりめっき処理するめっき槽の順序を設定可能であるのみならず、前記複数のめっき槽に対する同一のロットに属するワークの搬入順序を、前記標準モード設定手段で定めた順序と同一の順序を維持したままで、最初にワークを搬入するめっき槽を選択する可変モード設定手段によりロットのうちの最初のワークを搬入するめっき槽を選択することができるので、最初にワークを搬入するめっき槽を変えることにより、全めっき槽の使用頻度のばらつきが少なくなり、各めっき槽での電極の使用量の偏りが少なくなると共に、電極交換に要する非定常作業を少なくすることができるので、生産効率が向上する。
【００１２】
請求項２の発明においては、ロットが変わるごとに、最初にワークを搬入するめっき槽を、前回のロットについて最初にワークを搬入しためっき槽とは別のめっき槽に設定するので、請求項１と同様に、全めっき槽の使用頻度のばらつきが少なくなり、各めっき槽での電極の使用量の偏りが少なくなると共に、電極交換に要する非定常作業を少なくすることができるので、生産効率が向上する。
【００１３】
請求項３においては、ロットが変わるごとに、最初にワークを搬入するめっき槽を、前記積算電流値が最も少ないめっき槽に設定するため、全めっき槽の電極の通電量のばらつきが少なくなり、各めっき槽での電極の使用量の偏りが少なくなると共に、電極交換に要する非定常作業を少なくすることができるので、生産効率が向上する。
【００１４】
請求項４においては、ロットのワーク数がめっき槽の整数倍以外である場合にのみ最初にワークをセットするめっき槽を選択するかあるいは積算電流値が最も少ないめっき槽を選択するため、最初にワークを搬入するめっき槽を変更する回数が減少し、煩雑さが軽減する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は本発明のめっき装置のワーク搬入順序設定方法を実施する装置の一実施の形態を示すブロック図である。この装置は３つのめっき槽１〜３を備えている。４はレール等走行路５に沿って走行し、めっき槽１〜３にワークの搬入、搬出を行なう搬送装置である。６は搬送装置４やめっき槽１〜３におけるワークのセットや取外し、およびめっき液のめっき槽１〜３への供給、搬出を行なう制御装置である。各めっき槽１〜３にはそれぞれの電極を新たなものに交換した後の積算電流を計測する積算電流計７が設けられる。
【００１６】
図２は前記めっき槽１〜３の構成例を示す図である。めっき槽１〜３の底部には開口部８ａを有する陰極取付け部８が設けられ、その取付け部８にはリング状の銅板等でなる陰極９が装着される。この陰極９には、セット台１０ａに固定されたワーク（各種電子部品用基板またはＩＣウエハ等）１１が、押し上げ装置１０により好適な圧力を持って押しつけられ、電気的接触を保つ。セット台１０ａには、前記搬送装置４により搬送されるワーク１１がセットされ、搬出される。
【００１７】
陰極９は電源１２のマイナス端子にリード線１３を介して接続される。なお、本例の陰極９は、ワーク１１に対するめっき膜の膜厚の均一化を図るため、ワーク１１の内周側に内周部が突出したリング状の絶縁板９ａを設けている。その絶縁板９ａ上にも銅板等でなる金属板９ｂを重ねて設けている。
【００１８】
一方、めっき槽１〜３の蓋体１４には陽極１５が、取付けロッド１６を介して取付けられる。陽極１５は電源１２のプラス端子にリード線１７を介して接続される。陰極９およびワーク１１は、めっき槽１〜３内に入れるめっき液１９を介して、陽極１５に対面する。陽極１５としてはワーク１１にめっきする金属に相当する材質の例えばニッケルや銅等が用いられる。
【００１９】
図３は本発明によるワーク搬入順序設定方法の一実施の形態を示す前記制御装置６の機能ブロック図である。標準モード設定手段２１は、前記複数のめっき槽１〜３に対して、同一のロットに属するワークのうち、最初にワークを搬入するめっき槽と、ワークを搬入するめっき槽の順序を設定しておき、この決まった先頭めっき槽、順序でワーク１１の搬入を制御装置４に行なわせるものである。
【００２０】
可変モード設定手段２２は、めっき槽１〜３に対する同一のロットに属するワークの搬入順序を、前記標準モード設定手段２１で定めた順序と同一の順序を維持したままで、最初にワークを搬入するめっき槽を前回と変更して設定するものである。前回先頭槽記憶手段２３は、前回のロットで最初に搬入しためっき槽１〜３を記憶しておくものである。
【００２１】
削除モード設定手段２４は、削除槽設定手段２５により設定されためっき槽（めっき槽１から３のうちの１つまたは２つ）を除いためっき槽に対してワーク１１の搬入を行なわせるものである。
【００２２】
モード選択手段２６は、前記標準モード設定手段２１を用いるか可変モード設定手段２２を用いるか否かを選定するものである。前記設定手段２１、２２，２４および先頭槽記憶手段２３はコンピュータにより構成することができ、設定手段２５，２６はキーボードやスイッチ類により構成することができる。
【００２３】
図４は図３に示した制御装置６によるワーク搬入順序設定方法の処理の流れを説明するフローチャートである。新たなロットについての処理にあたり、モード設定手段１，２２，２４のうち、どのモードで制御を行なうか否かを、モード選択手段２６により選択する。また、めっき槽１〜３のうち、使用できないあるいは使用しないめっき槽があればそのめっき槽の番号を削除槽設定手段２５により削除モード設定手段２４に与えておく。
【００２４】
そして、まず、削除モード設定手段２６に使用できないめっき槽が設定されている否か、すなわち削除モード設定手段２４が起動されているか否かについて判定し（ステップＳ１）、削除モード設定手段２４に削除する槽が設定されていれば、削除モード設定手段２４は優先的に作動して、その削除しためっき槽を認識し（ステップＳ２）、設定が削除されためっき槽を除いためっき槽に搬送装置４によりワーク９を搬入する。例えばめっき槽１の設定が削除されていれば、めっき槽２，３、２、３…（ｉ＝２、ｊ＝３）の順序でワーク１１をロットのワーク数分搬入する。また、例えばめっき槽２，３の設定が削除されていれば、めっき槽１（ｉ＝１）のみを使用する。
【００２５】
一方、めっき槽の削除の設定が無い場合はステップＳ３に移る。そして、モード選択手段２６により選定されるモードが標準モード設定手段２１であるときは、予め定められた順序で、例えばめっき槽１，２，３、１，２、３…（ワーク数が６以上の場合）の順序でワーク１１を搬入する。
【００２６】
選択されたモードが可変モード設定手段２２により制御を行なう。可変モード設定手段２２は、前回最初にワークを搬入しためっき槽の番号等の識別符号を先頭槽記憶手段２３から読み出し、その次のめっき槽に最初のワークを搬入する。例えば前回のロットで最初にワークを搬入しためっき槽がめっき槽１である場合は、次のロットの最初のワークの搬入はめっき槽２から始める。このようにして、各ロットについて順次めっき処理を行ない、めっき槽１〜３のうちの積層電流計７のうちの１つが予め設定された限界値に達すると、電極９，１５の交換を全めっき槽１〜３について行なう。
【００２７】
このように、複数のめっき槽１〜３についてワーク１１を搬入する順序を定めておき、ロットが変わるごとに、最初にワーク１１を搬入するめっき槽１〜３を、前回のロットについて最初にワークを搬入しためっき槽と異なるめっき槽、例えば前述のように前回の先頭槽の次のめっき槽に設定することを繰り返すことにより、全めっき槽１〜３の使用頻度のばらつきが少なくなり、各めっき槽１〜３で使用される電極（陰極９および陽極１５）の使用量の偏りが少なくなると共に、電極交換に要する非定常作業が少なくなるので、生産効率が向上する。
【００２８】
図５は本発明の他の実施の形態であり、この実施の形態においては、先頭槽設定手段２７を設け、この先頭槽設定手段２７により設定されためっき槽を先頭槽、すなわちそのロットの最初のワーク１１が搬入されるめっき槽とする。例えば、めっき槽２が選択されていれば、めっき槽２にそのロットの最初のワークを搬入する。より好ましくは、図４のフローチャートのステップＳ４において、各ロットについて最初にワーク１１を搬入するめっき槽を、前記積算電流計７に表示された最も少ない積算電流値のめっき槽に設定する。ワーク１１を搬入するめっき槽の順序は標準モード設定手段２１により設定される順序と同じとする。例えばめっき槽３の積算電流値が最も少ないときは、めっき槽３にそのロットのワークを最初に搬入し、次にめっき槽１，めっき槽２，めっき槽３…の順序に設定する。
【００２９】
このように、各ロットについて、最初にワーク１１を搬入するめっき槽を、前記積算した通電量が最も少ないめっき槽に設定することにより、全めっき槽１〜３の電極の通電量のばらつきが少なくなり、各めっき槽１〜３で使用される電極８、１５の使用量の偏りが少なくなると共に、電極交換に要する非定常作業が少なくなるので、生産効率が向上する。
【００３０】
図３および図５の実施の形態において、ロットのワーク数がめっき槽の数（本例では３）の整数倍（１倍、２倍、３倍…）であるならば、標準モード設定手段２１による設定を行なわせ、整数倍でない場合には、前回の先頭槽の次のめっき槽、または先頭槽設定手段２７により設定されためっき槽を先頭槽にする順序設定を行なうようにすれば、多くのロットのワーク数がめっき槽１〜３の数の整数倍である場合、最初にワークを搬入するめっき槽をわざわざ変更する煩雑さが減少する。
【００３１】
本発明を実施する場合、めっき槽の数は３に限らず、２以上の槽数である場合にいずれも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明のめっき槽のワーク搬入順序設定方法を実施するめっき装置の構成を示す図である。
【図２】図１のめっき槽の一例を示す断面図である。
【図３】本実施の形態のワーク搬入順序設定方法を実施する制御装置の機能ブロック図である。
【図４】本実施の形態の制御装置の処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】本発明の他の実施の形態を示す制御装置の機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００３３】
１〜３：めっき槽、４：搬送装置、５；走行路、６：制御装置、７：積算電流計、８：陰極取付け部、８ａ：開口部、９：陰極、１０ａ：セット台、１０：押し上げ装置、１１：ワーク、１２：電源、１３，１７：リード線、１４：蓋体、１５：陽極、１６：取付けロッド、１９：めっき液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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