(57)【要約】【課題】  回路基板を安定して固定することができるＸ線源を提供する。【解決手段】  Ｘ線源１は、Ｘ線を照射するＸ線発生部と、Ｘ線発生部を制御する回路基板３５，３７を支持する回路基板ホルダー４９と、筐体３の内部において回路基板ホルダー４９の周囲で冷却風を流動させる冷却ファンと、を備えている。回路基板ホルダー４９は、底板３ａに固定されると共に、互いに対向し且つ互いに連結された第１平板部４６と第２平板部４８とを有し、山形構造をなしているので、第１平板部４６に取り付けられた回路基板３５と、第２平板部４８に取り付けられた回路基板３７が底板３ａに対して安定して固定される。【選択図】  図４
2006073380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線管を有してＸ線を外部に照射するＸ線発生部と、
筐体内に収容されると共に、前記Ｘ線発生部を制御する回路基板を支持する回路基板ホルダーと、
前記筐体の内部において前記回路基板ホルダーの周囲で冷却風を流動させる冷却ファンと、を備え、
前記回路基板ホルダーは、前記筐体内に固定されると共に、互いに対向し且つ互いに連結された第１の平板部と第２の平板部とを有し、
前記第１の平板部及び前記第２の平板部の少なくとも一方には、前記回路基板が固定されていることを特徴とするＸ線源。
【請求項２】
前記第１の平板部の端部と前記第２の平板部の端部とが、互いに連結されたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線源。
【請求項３】
前記第１の平板部と前記第２の平板部との内角は鋭角であることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線源。
【請求項４】
前記筐体は、
前記Ｘ線管からの前記Ｘ線を照射する照射部を有する第１の壁と、
前記第１の壁に対して略直交する方向に延びると共に前記冷却ファンが設けられた第２の壁と、
前記第１の壁と前記第２の壁とを連結して、前記第１の平板部に対して略平行に延在する傾斜壁と、を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のＸ線源。
【請求項５】
前記Ｘ線発生部に駆動電力を供給する駆動電源部を備え、前記駆動電源部は、前記回路基板ホルダーに固定されて前記筐体に設けられた排気口の近傍に位置することを特徴とする請求項１〜４に記載のＸ線源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に、マイクロフォーカスＸ線源として利用されるＸ線源に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、このような分野の技術として、特許文献１に記載のマイクロフォーカスＸ線源が知られている。このマイクロフォーカスＸ線源は、電子銃からの電子をターゲットに衝突させ、発生したＸ線を照射窓を介して外部に照射させるＸ線管を備えたタイプのＸ線源である。
【特許文献１】特許２６３４３６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種のマイクロフォーカスＸ線源は、対象物にＸ線を透過させることにより、非破壊で対象物の断面画像が得られるＣＴスキャナにも用いられている。このようなＣＴスキャナにあっては、対象物の周囲で円周状にＸ線源を移動させながら、様々な方向から対象物にＸ線を照射する方式が採用されている。このように、Ｘ線源が移動されながら用いられる場合には、Ｘ線源の回路基板が振動を受けるため、振動により回路基板に断線が発生する虞があることや、回路基板の寿命が短くなることが指摘されていた。そこで、このようなＸ線源にあっては、回路基板の振動を極力少なくするため、回路基板を安定して固定することが課題となっている。
【０００４】
本発明は、回路基板を安定して固定することができるＸ線源を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のＸ線源は、Ｘ線管を有してＸ線を外部に照射するＸ線発生部と、筐体内に収容されると共に、Ｘ線発生部を制御する回路基板を支持する回路基板ホルダーと、筐体の内部において回路基板ホルダーの周囲で冷却風を流動させる冷却ファンと、を備え、回路基板ホルダーは、筐体内に固定されると共に、互いに対向し且つ互いに連結された第１の平板部と第２の平板部とを有し、第１の平板部及び第２の平板部の少なくとも一方には、回路基板が固定されていることを特徴とする。
【０００６】
このＸ線源では、筐体内において、回路基板が回路基板ホルダーの平板部に固定される。この回路基板ホルダーは、互いに対向した状態の第１の平板部と第２の平板部とが連結されることにより、機械的強度が向上する。そして、この回路基板ホルダーに回路基板を固定することによって、回路基板は安定して筐体内に固定され、回路基板の断線や短寿命化を抑制することができる。
【０００７】
また、第１の平板部の端部と第２の平板部の端部とが、互いに連結されたことが好ましい。第１及び第２の平板部が端部において連結されることにより、回路基板ホルダー自体の高い機械的強度を得ることができる。
【０００８】
また、第１の平板部と第２の平板部との内角は鋭角であることが好ましい。平板部のこのような位置関係により、第１の平板部と第２の平板部とで山形構造の回路基板ホルダーが形成され、筐体内で回路基板ホルダーは高い機械的強度を得ることができる。また、回路基板を傾けて筐体に収めることができるので、筐体の小型化を図ることができる。
【０００９】
また、筐体は、Ｘ線管からのＸ線を照射する照射部を有する第１の壁と、第１の壁に対して略直交する方向に延びると共に冷却ファンが設けられた第２の壁と、第１の壁と第２の壁とを連結して、第１の平板部に対して略平行に延在する傾斜壁と、を有することが好ましい。
【００１０】
このＸ線源では、第１の平板部と傾斜壁との間に、幅がほぼ一定の間隙が形成され、この間隙において冷却ファンから発生した冷却風が流動する。このとき、間隙の幅がほぼ一定であるので、冷却風が淀みなく間隙内を流動することができ、冷却風が筐体内でスムーズに流動する。よって、回路基板ホルダーに固定された回路基板を効率よく冷却することができ、回路基板の動作特性を安定させることができる。
【００１１】
また、本発明のＸ線源は、Ｘ線発生部に駆動電力を供給する駆動電源部を備え、駆動電源部が回路基板ホルダーに固定されて筐体に設けられた排気口の近傍に位置してもよい。この場合、駆動電源部の周囲を流動する冷却風は、高温の駆動電源部から熱を除去した後、駆動電源部の近傍の排気口から速やかに外部に排出される。このため、駆動電源部を効率よく冷却することができ、駆動電源部を冷却した後の冷却風が筐体内に逆流して回路基板の温度が上昇してしまうことを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、Ｘ線源の内部の回路基板を安定して固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係るＸ線源の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、同一要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。
【００１４】
（第１実施形態）
図１及び図２に示すように、Ｘ線源１は、電子銃からの電子をターゲットに衝突させ、発生したＸ線を照射窓を介して外部に照射させるＸ線管を備えたタイプのＸ線源であり、例えば、ＣＴスキャナにおけるＸ線源として用いられる。このＸ線源１の筐体３内部には、Ｘ線を発生させ且つ照射させるＸ線発生部５と、そのＸ線発生部５を制御する制御部７とが格納されている。筐体３の内部空間は、Ｘ線発生部５を収容するＸ線発生部収容空間Ｒ１と、制御部７を収納する制御部収容空間Ｒ２とから構成されており、Ｘ線発生部収容空間Ｒ１と制御部収容空間Ｒ２との間には、筐体３の上部内壁から下方に向けて延びる仕切壁１５が設けられている。
【００１５】
図３に示すように、Ｘ線発生部５は、筐体３の底板３ａに固定された高圧電源部１７と、この高圧電源部１７から電力の供給を受けてＸ線を照射するＸ線管２７と、このＸ線管２７の一部を包囲する金属筒（Ｘ線管包囲部）２９とを備えている。この高圧電源部１７は、高電圧を発生させ得る高圧トランス１９と、高圧トランス１９で発生した高電圧を増倍させてＸ線管２７に供給する高圧供給回路２３と、高圧トランス１９と高圧供給回路２３とを連結する接続線２５ａと、高圧供給回路２３とＸ線管２７とを連結する接続線２５ｂとを備えている。そして、高圧供給回路２３と、接続線２５ａ，２５ｂとは、電気絶縁性材料（例えば、エポキシ樹脂）からなる絶縁ブロック２１中にモールドされており、高圧トランス１９は、絶縁ブロック２１の側面で制御部７側に突出して設けられている。このような高圧電源部１７の構造によって、高電圧が印加される高圧供給回路２３、接続線２５ａ，２５ｂからの外部への放電が防止されている。
【００１６】
この高圧電源部１７の上方に位置するＸ線管２７は、反射型ターゲットタイプのものであり、棒状の陽極２７ｂを絶縁状態に保持して収容したバルブ部２７ａと、棒状陽極２７ｂの端部に設けられたターゲット２７ｃを収容したターゲット収容部２７ｄと、ターゲット２７ｃの反射面に向けて電子線を出射する電子銃２７ｋを収容した電子銃部２７ｅとを備えている。
【００１７】
このバルブ部２７ａとターゲット収容部２７ｄとは同軸に配置されており、この軸線に対して電子銃部２７ｅの軸線は略直交している。また、棒状陽極２７ｂの基端部は、高電圧印加部２７ｇとしてバルブ部２７ａの下部から下方に突出している。
【００１８】
この高電圧印加部２７ｇの下部にはソケット３３が結合されており、ソケット３３は、高圧電源部１７の接続線２５ｂを介して高圧供給回路２３に接続されている。このような構成により、Ｘ線管２７には、接続線２５ｂを介して高圧供給回路２３から高電圧が供給される。そして、Ｘ線管２７が高電圧の供給を受けた状態で、電子銃部２７ｅ内の電子銃２７ｋがターゲット２７ｃに向けて電子を出射すると、ターゲット２７ｃからＸ線が発生し、このＸ線がターゲット収容部２７ｄの開口部に設けられたＸ線照射窓２７ｈから照射される。
【００１９】
なお、Ｘ線管２７は、その内部を真空にして封止された密封型のものである。例えばＸ線管２７には、図示しない排気管が設けられており、この排気管を介してバルブ部２７ａ、ターゲット収容部２７ｄ及び電子銃部２７ｅの内部が真空引きされた後、排気管を封止することによって密封される。
【００２０】
金属筒２９は、高圧電源部１７の上面から上方に突出して設けられており、Ｘ線管２７を包囲する円筒形に形成されている。金属筒２９は、Ｘ線管２７から発生する熱を効率よく放散させるために、放熱性に優れた金属（例えば、アルミニウム）からなると共に、水平方向に延びる複数の冷却フィン２９ａが周囲に設けられている。冷却フィン２９ａは、金属筒２９の周面で円周方向に延びる凸条部として設けられ、金属筒２９の表面積を拡大するものであり、Ｘ線管２７から発生する熱を効率よく放散させることができる。
【００２１】
この金属筒２９の先端面には開口２９ｊが形成され、この開口２９ｊからＸ線管２７のバルブ部２７ａが挿入され、金属筒２９の内部空間には、液状の電気絶縁性物質である絶縁オイル３１が注入されている。そして、Ｘ線管２７のバルブ部２７ａとターゲット収容部２７ｄとの間には取付フランジ２７ｆが形成されており、この取付フランジ２７ｆによってＸ線管２７は金属筒２９の先端面に固定され、バルブ部２７ａは絶縁オイル３１に浸漬されている。この絶縁オイル３１の採用によって、Ｘ線管２７のバルブ部２７ａが絶縁オイル３１で包囲され、Ｘ線管２７からの外部への放電が防止されている。
【００２２】
続いて、制御部７について説明する。図１及び図４に示すように、制御部７は、制御部収容空間Ｒ２内に設けられ、第１回路基板３５、第２回路基板３７、及び駆動電源部３９を有している。この第１回路基板３５は、高圧電源部１７で発生させ得る電圧を、高電圧（例えば１６０ｋＶ）から低電圧（例えば０Ｖ）までコントロールしている。更に、第１回路基板３５は、電子銃部２７ｅにおける電子の放出のタイミングや管電圧、管電流などのコントロールを行う。第２回路基板３７は、外部からの制御信号に基づいて第１回路基板３５の動作をコントロールする。駆動電源部３９は、外部から供給される電力をＡＣ／ＤＣ変換（またはＤＣ／ＤＣ変換）するコンバータであり、これら第１回路基板３５及び第２回路基板３７に駆動電力を供給すると共に、Ｘ線発生部５の高圧トランス１９に高電圧を発生させるための電力を供給する。なお、これらの第１回路基板３５、第２回路基板３７、駆動電源部３９及びＸ線発生部５は、適宜、図示しない配線によって互いに電気的接続が図られている。
【００２３】
これらの、第１回路基板３５、第２回路基板３７及び駆動電源部３９には、多くの電子部品が実装されているので、このＸ線源１が移動されながら用いられる際に強い振動が加われば、回路が断線する場合もある。また、この基板等が振動し続けると、寿命が短くなってしまう。このため、これらの回路基板３５，３７及び駆動電源部３９は、振動を少なくすべく、底板３ａに対して安定して確実に固定されることが必要である。そこで、制御部７には、制御部収容空間Ｒ２内に、導熱性の金属（例えば、アルミニウム）からなる回路基板ホルダー４９が設けられ、この回路基板ホルダー４９には、第１回路基板３５、第２回路基板３７、及び駆動電源部３９が保持されている。
【００２４】
回路基板ホルダー４９は、導熱性の金属からなる一枚の板状部材を屈曲することによって形成された部材であり、底板３ａに対して傾斜して立設させた第１平板部４６と、底板３ａに対して略垂直に立設させた第２平板部４８と、底板３ａに対して略平行に設けられた第３平板部５０と、底板３ａに対して略垂直に立設させた第４平板部５２と、を有している。第１平板部４６と第２平板部４８とは、内角が鋭角αをなして交差する面に沿ってそれぞれ延在しており、第１平板部４６は、後述する筐体３の傾斜壁３ｄと略平行に延在している。この回路基板ホルダー４９は、第１平板部４６の下方の足部４５ｊ及び第４平板部５２の下方の足部４７ｊが底板３ａに接触した状態で、それぞれ複数（例えば、３個）のネジ４９ａによって固定されている。
【００２５】
そして、第１平板部４６は、第１回路基板３５を取り付けるための第１取付面４５ａを有し、第２平板部４８は、第２回路基板３７を取り付けるための第２取付面４７ｂを有しており、第３平板部５０は、駆動電源部３９を取り付けるための第３取付面４７ｃを有している。そして、これらの取付面４５ａ，４７ｂ，４７ｃは、回路基板ホルダー４９の外側の面に設けられている。
【００２６】
このように回路基板ホルダー４９は、山形構造をなすことで、回路基板ホルダー４９自体の機械的強度を維持し、足部４５ｊ，４７ｊにおいて複数箇所が底板３ａにネジ止めされることで、底板３ａに対して安定して固定されている。よって、回路基板ホルダー４９に取り付けられる回路基板３５，３７及び駆動電源部３９を、底板３ａに対して安定して確実に固定することができる。また、回路基板ホルダー４９の第１平板部４６は、底板３ａに対して傾斜して設けられているので、第１回路基板３５を傾けたまま制御部収容空間Ｒ２に収めることができ、Ｘ線源１の高さ方向の寸法を小さくすることができる。
【００２７】
また、第３平板部５０の下方に形成される空間には、高圧電源部１７の高圧トランス１９が収容されている。
【００２８】
第１回路基板３５は、スペーサ５１を介して第１プレート４５の第１取付面４５ａに沿って取り付けられている。同様に、第２回路基板３７は、スペーサ５１を介して第２プレート４７の第２取付面４７ｂに沿って取り付けられ、駆動電源部３９は、第２プレート４７の第３取付面４７ｃに沿ってスペーサ５１を介して取り付けられている。
【００２９】
このようなＸ線源１は、運転中に、Ｘ線管２７が発熱するので、Ｘ線管２７及び金属筒２９が高温となってしまう。このＸ線管２７の発熱は、Ｘ線照射の出力が高いほど大きくなり、Ｘ線管２７が高温になると、他の部品に悪影響を及ぼすと共に、Ｘ線管２７の出力低下を招いてしまうので、Ｘ線管２７を効率よく冷却すべく金属筒２９を効率よく冷却する必要がある。
【００３０】
そこで、Ｘ線源１においては、図１に示すように、金属筒２９を含むＸ線発生部５を筐体３の内部へ格納し、筐体３の底板３ａに対し直交する方向に起立する側壁（第２の壁）３ｂに冷却ファンユニット５５を設け、筐体３内で冷却風を流動させることによって、金属筒２９を冷却することにしている。
【００３１】
図１及び図４に示すように、この筐体３は、底板３ａに平行に延びると共に、Ｘ線管２７からのＸ線を外部に照射するための開口（照射部）３ｊが設けられた上壁（第１の壁）３ｃを有している。この開口３ｊは、Ｘ線管２７の照射窓２７ｈに対応する位置に設けられ、照射窓２７ｈを外部に露出させている。また、筐体３では、上壁３ｃと側壁３ｂとを連結する壁が傾斜壁３ｄとして形成されている。更に、側壁３ｂに対向する側壁３ｆと、上壁３ｃと、を連結する壁も同様に傾斜壁３ｅとされている。上壁３ｃに対する傾斜壁３ｄと傾斜壁３ｅとの傾斜の程度は、互いに異なっていてもよく、同じであってもよい。
【００３２】
冷却ファンユニット５５は上述のように筐体３の側壁３ｂに設けられており、側壁３ｂに垂直な軸線を中心として回転する冷却ファン５５ａを有している。冷却ファン５５ａは回転することにより、筐体３外部から内部へ向けて空気を流動させる。冷却ファン５５ａは、冷却風が直接Ｘ線発生部５に当たるようにＸ線発生部５の近傍に位置している。
【００３３】
この冷却ファン５５ａにより筐体３の内部に取り込まれた空気は、冷却風としてＸ線発生部収容空間Ｒ１で流動し、金属筒２９にムラなく当たりながら、金属筒２９の周囲を通過しつつ、側壁３ｆの方向に流れていくことになる。そして、金属筒２９の周囲を通過する冷却風は、冷却フィン２９ａにより案内されて円滑に水平方向に流動しながら、十分な接触面積をもって金属筒２９に接触し、金属筒２９から効率よく熱を除去していく。その結果、金属筒２９を効率よく冷却することができ、金属筒２９に包囲されたＸ線管２７を効率よく冷却することができる。そして、金属筒２９がムラなく冷却風に接触し、冷却されるので、Ｘ線管２７の温度ムラによる出力変動や出力低下を抑制することができる。その後、金属筒２９から熱を受け取って温度が上昇した冷却風は、傾斜壁３ｅに設けられた排気口３ｋを通じて外部に排出される。
【００３４】
このとき、上壁３ｃと側壁３ｂとを連結する壁が傾斜壁３ｄとされていることから、冷却風の淀みが抑制され、筐体３内でのスムーズな冷却風の流れを出現させることができる。その結果として、金属筒２９の周囲にスムーズに冷却風が流動し、効率よく金属筒２９を冷却することができる。なお、筐体３の上壁３ｃと側壁３ｆとを連結する壁も同様に傾斜壁３ｅとされているので、このことも冷却風のスムーズな流動に寄与している。以上のように、Ｘ線源１では、金属筒２９を効率よく冷却することで、Ｘ線管２７を効率よく冷却できるので、Ｘ線源の高出力化が可能となる。
【００３５】
なお、Ｘ線源１は、制御部収容空間Ｒ２側の側壁３ｂの一部に、パソコン等と接続されるコネクタ部（図示せず）を有しており、Ｘ線源１にはこのコネクタ部を介してパソコン等からの制御情報等に関する信号の入出力が行われる。底板３ａを除いた筐体３のうち、冷却ファンユニット５５やコネクタ部（図示せず）は、制御部７等との配線接続を有しているので、筐体３の他の部位と別部材になっていると、Ｘ線源１の整備等の面において好ましい。本実施形態においては、冷却ファンユニット５５やコネクタ部（図示せず）は、底板３ａに固定されて制御部７と配線接続されている。
【００３６】
なお、Ｘ線源１の筐体３には、傾斜壁３ｄ及び傾斜壁３ｅが形成されていることで、以下のような効果も得られる。この傾斜壁３ｄ，３ｅが形成されない場合には、上壁３ｃと側壁３ｂ、３ｆとの間に角部が形成されることになる。ここで、そのようなＸ線源によって検査対象物を傾けた状態の透視画像を取得する場合には、傾けた検査対象物が角部に当たるため、照射窓２７ｈと検査対象物とを十分に近接させることが出来ない。これに比してＸ線源１にあっては、角部に邪魔されることなく、検査対象物をより照射窓２７ｈに近接させることができる。このため、より拡大率の大きい検査対象物の透視画像を得ることができる。
【００３７】
また、このようなＸ線源１にあっては、前述の通り、制御部７の第１及び第２回路基板３５、３７及び駆動電源部３９に様々な電子部品が実装されている。各部品の動作特性を安定させるにあたって、これらの部品を冷却することが必要である。特に、駆動電源部３９は、ＡＣ／ＤＣ変換（またはＤＣ／ＤＣ変換）を行う際に大量の熱を発生するので、効率的に冷却することが必要である。
【００３８】
そこで、筐体３における仕切壁１５は、Ｘ線発生部収容空間Ｒ１と制御部収容空間Ｒ２とを完全に仕切らずに、金属筒２９と制御部７との間を仕切り、仕切壁１５の下方には、Ｘ線発生部収容空間Ｒ１と制御部収容空間Ｒ２とを連通する通風口５９が設けられている。このように、金属筒２９と制御部７との間が仕切壁１５によって仕切られているため、金属筒２９の冷却後に高温となった冷却風が、制御部収容空間Ｒ２へ直接流入することが抑制できる。また、金属筒２９から発せられる放射熱が仕切壁１５によって遮断され、制御部７に直接伝播されることが抑制できる。その結果、制御部７の温度上昇を抑制することができ、制御部７の各回路基板３５，３７の動作を安定させることができる。それと同時に、通風口５９によってＸ線発生部収容空間Ｒ１と制御部収容空間Ｒ２とが連通されていることから、冷却ファン５５ａによって発生する冷却風の一部が通風口５９を通じて制御部収容空間Ｒ２に流入するので、この冷却風によって制御部７を冷却することができる。
【００３９】
このとき、通風口５９を通じて制御部収容空間Ｒ２に流入した冷却風の一部は、回路基板ホルダー４９の外側の通風空間Ｒ２ｂ，Ｒ２ｃに流入する。通風空間Ｒ２ｂは、第１平板部４６と側壁３ｂ及び傾斜壁３ｄとの間の間隙として形成されており、この通風空間Ｒ２ｂに流入した冷却風は、第１回路基板３５の周囲を流動しながら第１回路基板３５を冷却する。このとき、第１平板部４６が傾斜壁３ｄに略平行に延在していることから、通風空間Ｒ２ｂは、幅がほぼ一定の空間となっている。このため、この通風空間Ｒ２ｂ内では、冷却風が淀みなくスムーズに流動し、第１回路基板３５を効率よく冷却することができる。その後、冷却風は、傾斜壁３ｄに設けられた排気口３ｑを通じて一部が外部に排出され、残りの一部が、上壁３ｃと回路基板ホルダー４９との間を通じて通風空間Ｒ２ｃへ流入する。
【００４０】
一方、通風口５９から通風空間Ｒ２ｃへ流入した冷却風は、通風口５９から、側壁３ｇに設けられた排気口３ｈ（図１及び図２参照）へ向かう方向に流動する。この冷却風は、駆動電源部３９に十分に接触しながら、駆動電源部３９を効率よく冷却し、側壁３ｇに設けられた排気口３ｈを通じて外部に排出される。このように、高熱を発生する駆動電源部３９を効率よく冷却し、駆動電源部３９の動作を安定させることができる。
【００４１】
また、通風空間Ｒ２ｂから通風空間Ｒ２ｃへ流入した冷却風は、第２回路基板３７の周囲を流動しながら第２回路基板３７を冷却し、更に駆動電源部３９の周囲を流動しながら駆動電源部３９を冷却した後、傾斜壁３ｅ及び側壁３ｆに設けられた排気口３ｒを通じて外部に排出される。このとき、筐体３の上壁３ｃと側壁３ｆとが傾斜壁３ｅによって連結されていることから、通風空間Ｒ２ｃ内を流動する冷却風が各壁３ｃ，３ｅ，３ｆに沿って淀みなく流れ、スムーズな冷却風の流動が発生することになる。なお、通風空間Ｒ２ｃ内を流動する冷却風の一部は、傾斜壁３ｅの上部に設けられた排気口３ｓを通じて排出される。
【００４２】
この駆動電源部３９は高熱を発生しているため、駆動電源部３９を冷却した後の冷却風は高温となるが、駆動電源部３９が排気口３ｒの近傍に位置しているため、この高温の冷却風が排気口３ｒから速やかに外部へ排出される。よって、駆動電源部３９の周囲の冷却風がスムーズに流動するため、駆動電源部３９を効率よく冷却することができ、駆動電源部３９の部品の動作特性を安定させることができる。更に、温度が上昇した冷却風が通風空間Ｒ２ｃ、Ｒ２ｂへ逆流して第１回路基板３５及び第２回路基板３７の温度が却って上昇してしまうことを抑制することができ、その結果、第１回路基板３５及び第２回路基板３７の各部品の動作特性を安定させることができる。
【００４３】
なお、これらの第１回路基板３５、第２回路基板３７及び駆動電源部３９は、スペーサ５１を介して各取付面４５ａ，４７ｂ，４７ｃから浮いた状態で取り付けられていることから、冷却風が、第１回路基板３５、第２回路基板３７及び駆動電源部３９の表裏双方に接触することになる。よって、このような取り付け方も、第１回路基板３５、第２回路基板３７及び駆動電源部３９の効率の良い冷却に寄与している。
【００４４】
この制御部収容空間Ｒ２には、図４に示すように、回路基板ホルダー４９と底板３ａとで囲まれたトンネル部Ｒ２ａが出現し、このトンネル部Ｒ２ａにも通風口５９からの冷却風が流入する。このトンネル部Ｒ２ａは、冷却風が通風口５９を通じて流入して来る方向（図４の紙面に垂直な方向）に延びているので、トンネル部Ｒ２ａに集中するような、スムーズな冷却風の流動が発生する。そして、このトンネル部Ｒ２ａ内には、絶縁ブロック２１から突出して設けられた高圧トランス１９が存在しているので、高圧トランス１９で発生する高熱が冷却風によって効率よく除去され、高圧トランス１９を集中的に且つ効率良く冷却することができる。その後、高圧トランス１９から熱を受け取って温度が上昇した冷却風は、筐体３の側壁３ｇに設けられた排気口３ｈ（図１及び図２参照）を通じて外部に排出される。
【００４５】
なお、トンネル部Ｒ２ａには、上記のようにスムーズな冷却風の流動が発生するので、例えば、第１取付面４５ａや第２取付面４７ｂの反対側の面に別の回路基板を取り付け、その回路基板をトンネル部Ｒ２ａに配置し冷却させてもよい。
【００４６】
また、第１回路基板３５の部品の中で、パワートランジスタ６１（図２参照）は、比較的大きい熱を発生するので、第１回路基板３５から離し、高圧電源部１７と冷却ファンユニット５５との間に設けられた金属製のヒートシンク６３に密着させて設置されている。このとき、パワートランジスタ６１は、図示しない配線により第１回路基板３５と電気的に接続されることで、第１回路基板３５の一部品として機能する。このような配置により、ヒートシンク６３が冷却ファン５５ａからの冷却風を受けて冷却され、ヒートシンク６３に密着したパワートランジスタ６１が間接的に冷却される。このように、特に大きい熱を発生する部品を回路基板本体側から遠ざけて個別に冷却することにより、効果的に制御部７の温度上昇を抑制することができる。
【００４７】
（第２実施形態）
図５に示すように、Ｘ線源７１の回路基板ホルダー４９は、導熱性の金属からなる第１プレート４５と第２のプレート４７とからなる。第１プレート４５は、底板３ａに対して傾斜して立設させた第１平板部４６を有しており、第２プレート４７は、底板３ａに対して略垂直に立設させた第２平板部４８と、底板３ａに対して略平行に設けられた第３平板部５０と、底板３ａに対して略垂直に立設させた第４平板部５２と、を有している。
【００４８】
この第１プレート４５は、足部４５ｊが底板３ａに接触した状態で複数（例えば、３個）のネジ４９ａによって固定されており、第２プレート４７は、足部４７ｊが底板３ａに接触した状態で複数（例えば、３個）のネジ４９ａによって固定されている。さらに、プレート４５，４７の上端同士は、重ねられた状態でネジ４９ｂによって連結されている。このような回路基板ホルダー４９によっても、回路基板ホルダー４９に取り付けられる回路基板３５，３７及び駆動電源部３９を、底板３ａに対して安定して確実に固定することができる。
【００４９】
また、Ｘ線源７１は、筐体７３の制御部収容空間Ｒ２側に、冷却ファンユニット５５とは別の冷却ファンユニット７７を備えている。この冷却ファンユニット７７は、駆動電源部３９の近傍で側壁３ｆに形成された排気口７３ｒに設けられており、筐体７３内部の空気を外部へ送り出すための排気タイプのユニットである。冷却ファンユニット７７は、冷却ファン７７ａ及び冷却ファン７７ａを回転させるモータ７７ｂを備えており、冷却ファン７７ａが回転することで、筐体７３内部の空気が外部に送り出される。駆動電源部３９の近傍に位置する排気口７３ｒに、冷却ファンユニット７７が設けられていることで、駆動電源部３９の冷却によって高温となった冷却風を、より速やかに外部へ排出することができる。
【００５０】
このようなＸ線源７１の構成により、駆動電源部３９を更に効率よく冷却でき、駆動電源部３９を冷却した冷却風が通風空間Ｒ２ｃ、Ｒ２ｂへ逆流して第１回路基板３５及び第２回路基板３７の温度が却って上昇してしまうことを抑制することができる。その結果、第１回路基板３５、第２回路基板３７及び駆動電源部３９の各部品の動作特性を安定させることができる。
【００５１】
また、Ｘ線源７１では、冷却ファン７７ａによって筐体３内の空気を外部へ送り出すことで、筐体３内全体の冷却風の流動が速くなるので、Ｘ線発生部５及び制御部７をより効率よく冷却することができる。
【００５２】
また、Ｘ線発生部収容空間Ｒ１と制御部収容空間Ｒ２とは、区画されても良い。この場合、Ｘ線発生部収容空間Ｒ１と制御部収容空間Ｒ２の夫々に冷却ファンを設けると、夫々の空間に集中的に冷却風を流動させることにより、集中的に冷却することができる。
【００５３】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されない。回路基板ホルダー４９は、ネジ止めに限らず、溶接や接着によって底板３ａに固定されてもよい。また、回路基板ホルダー４９は、筐体３の底板３ａ以外の部分に固定されてもよく、筐体３に固定された部材に固定されてもよい。また、第１プレート４５と第２プレート４７とは、ネジ止めに限らず、溶接や接着によって連結されてもよい。回路基板ホルダー４９は、１部材からなるもの又は第１プレート４５と第２プレート４７との２部材からなるものに限らず、更に多数の部材を組み合わせて形成されてもよい。この場合、平板からなる多数の部材を組み合わせて回路基板ホルダーを形成することで、屈曲の加工を省略することもできる。また、回路基板ホルダー４９は導熱性の金属に限らず、樹脂製であっても良い。
【００５４】
また、冷却ファン５５ａの配置は側壁３ｂに限らず、回路基板ホルダー４９の周囲で冷却風を流動させるような位置であれば、他の部位に設けてもよい。例えば、筐体３に通風口を設け、その通風口の近傍かつ筐体３内部に冷却ファンを配置することで、第１平板部４５と第２平板部４７との間で冷却風を流動させてもよい。また、Ｘ線源１は、複数の冷却ファンを備えてもよい。この場合、同じタイプの冷却ファンを複数配置してもよいが、吸気タイプの冷却ファンと排気タイプの冷却ファンとの組合せとすることができる。
【００５５】
また、Ｘ線発生部収容空間Ｒ１と制御部収容空間Ｒ２とが区画されない場合においては、Ｘ線発生部収容空間側Ｒ１に吸気タイプの冷却ファンを設け、制御部収容空間Ｒ２側に排気タイプの冷却ファンを設けてもよく、Ｘ線発生部収容空間側Ｒ１に排気タイプの冷却ファンを設け、制御部収容空間Ｒ２側に吸気タイプの冷却ファンを設けてもよい。
【００５６】
また、Ｘ線管２７は、密封型Ｘ線管であってもよく、開放型Ｘ線管であってもよい。また、Ｘ線管２７は反射型ターゲットタイプでなく、透過型ターゲットタイプであってもよい。Ｘ線管２７は、全体が金属筒２９に収容されてもよく、この場合、Ｘ線管２７からのＸ線を外部へ照射するために、金属筒２９には、Ｘ線透過性の高い部位を設けることができる。また、Ｘ線管２７の一部は、金属筒２９から突出し、かつ、更に筐体３から突出していてもよい。Ｘ線管２７を包囲する金属筒２９には、冷却フィン２９ａが設けられなくてもよい。
【００５７】
また、Ｘ線発生部５は、筐体３内に収容されなくてもよい。
【００５８】
なお、以上に述べた各構成は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、互いに組合せることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係るＸ線源の第１の実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示したＸ線源の正面図である。
【図３】図１に示したＸ線源のＸ線発生部の断面図である。
【図４】図１に示したＸ線源の制御部の断面図である。
【図５】本発明に係るＸ線源の第２の実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１，７１…Ｘ線源、３ｃ…上壁（第１の壁）、３ｂ…側壁（第２の壁）、３，７３…筐体、３ｊ…開口（照射部）、３ｄ…傾斜壁、３ｒ，７３ｒ…排気口、５…Ｘ線発生部、２７…Ｘ線管、３５…第１の回路基板、３７…第２の回路基板、３９…駆動電源部、４６…第１の平板部、４８…第２の平板部、４９…回路基板ホルダー、５５ａ，７７ａ…冷却ファン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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