(57)【要約】【課題】圧電アクチュエータにより生成される信号を、簡単な電子装置を用いて短時間で検査できるインクジェットシステムを提供する。【解決手段】本発明は、インク充填可能なチャンバを備えるプリントヘッドを有するインクジェットシステムに関し、インク充填可能なチャンバは、圧電アクチュエータに動作可能に接続され、かつアクチュエータの通電に応じてインク滴を射出するノズルを有し、アクチュエータは、その変形に応じてアクチュエータにより生成される電気信号を測定する測定回路に接続され、システムは、インクジェットシステムの固有周波数が、インクジェットシステム内の障害の固有周波数とほぼ一致するように構成される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク充填可能なチャンバを備えるプリントヘッドを有するインクジェットシステムであって、該インク充填可能なチャンバは、圧電アクチュエータに動作可能に接続され、かつ該アクチュエータの通電に応じてインク滴を射出するノズルを備え、前記アクチュエータが、該アクチュエータの変形に応じて、アクチュエータにより生成される電気信号を測定する測定回路に接続され、インクジェットシステムは、前記インクジェットシステムの固有周波数が、インクジェットシステム内の障害の固有周波数とほぼ一致するように構成されることを特徴とする、インクジェットシステム。
【請求項２】
インクジェットシステムの固有周波数が、インク滴の射出に顕著な影響を及ぼすようなサイズの気泡の固有周波数にほぼ一致することを特徴とする、請求項１に記載のインクジェットシステム。
【請求項３】
測定回路が、前記電気信号と、インクジェットシステムの固有周波数に等しい周波数とを混合するためのミキサを備えることを特徴とする、請求項１または２に記載のインクジェットシステム。
【請求項４】
インクジェットシステムの製造方法であって、圧電アクチュエータに動作可能に接続されるインクチャンバから、インク滴を射出するノズルを有するインクチャンバを形成することと、測定回路に圧電アクチュエータを接続することとを含み、インクジェットシステムは、前記インクジェットシステムの固有周波数が、インクジェットシステム内の障害の固有周波数とほぼ等しいように構成されることを特徴とする、製造方法。
【請求項５】
受容材料上に画像を形成するための、請求項１から３のいずれか一項に記載のインクジェットシステムの使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク充填可能なチャンバを備えるプリントヘッドを有するインクジェットシステムに関し、インク充填可能なチャンバは、圧電アクチュエータに動作可能に接続され、かつ圧電アクチュエータの通電に応じてインク滴を射出するノズルを有し、アクチュエータは、その変形に応じて、アクチュエータにより生成される電気信号を測定する測定回路に接続される。本発明は、また、そのようなインクジェットシステムの製造方法、および受容材料上に画像を形成するための前記インクジェットシステムの使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のシステムは、欧州特許出願第１０１３４５３号から知られている。このシステムは、受容材料への印刷を行うことのできるインクジェットプリンタの一部を形成している。この知られているシステムは、圧電型であり、圧電アクチュエータに動作可能に接続されるインクチャンバ（「インクダクト」または単に「ダクト」とも称される）を備えたプリントヘッドを有している。一実施形態において、インクチャンバは、可撓性の壁を有しており、可撓性の壁は、前記可撓性の壁に接続されたアクチュエータの通電によって変形可能である。この壁の変形は、チャンバ内に音響圧力波を結果として生じ、この音響圧力波は、適切な強さが与えられれば、インクチャンバのノズルからインク滴の射出を結果として生ずる。しかしながら、この圧力波は、また同様に壁の変形を結果として生じ、この壁の変形が、圧電アクチュエータに伝えられることがある。この圧電アクチュエータは、その変形の影響下で電気信号を生成する。
【０００３】
前記適用から、この信号を解析することにより、そのアクチュエータに対応するインクチャンバの状態に関する情報が得られることが知られている。したがって、前記信号から、チャンバ内に気泡またはその他の何らかの障害が存在するかどうか、ノズルは清浄であるかどうか、インクチャンバ内に機械的欠陥が存在するかどうか等を、導き出すことができる。原理上、圧力波に対するいかなる影響の障害も、前記信号の解析によってその原因を突き止めることが可能である。
【０００４】
この知られている方法の短所は、ダクト内での圧力波によるその変形に応じる、圧電アクチュエータにより生成される信号は、場合によりランダムな障害（ノイズ）が存在する場合を別としても、非常に複雑なことが多いことである。ダクト内の圧力波は、単純な正弦波でも他の何らかの単純な波でもないことが判明している。もしそうであれば、実際は、比較的単純な電気信号が生ずることになる。圧力波は、インク滴の射出直前のアクチュエータの変形によってのみ決定されるのではなく、圧力波に影響を及ぼすその他の多数の事象も存在することは明らかである。この複雑な圧力波のもう一つの帰結は、この圧力波の結果としてアクチュエータによって生成される信号も、また非常に複雑なことである。こうした複雑な信号の解析には、複雑な、好ましくはディジタルの測定回路、および／または比較的長い処理時間が必要である。これは特に、多数のインクチャンバを有するプリンタには特に不利であり、プリンタの各インクチャンバは、それぞれの通電後に障害に関して検査される。それぞれの通電後にこうした複雑な回路によって各々のチャンバを測定し得るようにすることは、経済的に見て魅力がなく、加えて、次のインク滴がこのチャンバから射出されるまでの時間（一般に１０−４秒）までの利用可能な時間内に、解析を完了することは、多くの場合に困難であろう。特に高い印刷品質が求められる適用、例えばカラー写真の印刷および宣伝ポスターの作製にとっては、それぞれの通電後に各々のインクチャンバを検査することが望ましいのは明らかであろう。
【特許文献１】欧州特許第１０１３４５３号明細書
【特許文献２】欧州特許出願公開第１３７８３５９号明細書
【特許文献３】欧州特許出願公開第１３７８３６０号明細書
【特許文献４】欧州特許出願公開第１３７８３６１号明細書
【特許文献５】欧州特許第１０７５９５２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、上述した短所が解消される方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そのため、前記システムの固有周波数が、システムにおける障害の固有周波数とほぼ一致するように、システムを構成する方法が考案された。このシステムの利点は、圧力波による変形の結果として圧電アクチュエータによって生成される電気信号に、障害が比較的強く現れることにある。障害の共振は、まさにシステムによって与えられる周波数で生ずる。これは、信号の解析をシステムの固有周波数周辺の小さな範囲に限定しておくことができ、また、障害の結果としての電気信号における寄与が、正確にシステムによって増幅されるため、簡単な電子機器を使用することができることを意味している。ちなみに本発明の適用について、システムの固有周波数が、障害の固有周波数と正確に一致していることは、必ずしも不可欠というわけではない。システムの固有周波数周辺の領域に、すなわち信号において既に増幅された「ウィンドウ」が存在するので、このウィンドウが、障害の固有周波数を含んでいれば十分である。こうして固有周波数同士は、互いに十分に対応する。
【０００７】
本発明は、多数の考察に基づいている。例えば、本出願人は、圧電型のインクジェットシステムは、一つ以上の固有周波数を有することを見出した。もし、例えば、それぞれの周波数が等しい強さで表される音響圧力波（「ホワイトノイズ」として知られている）が、インクチャンバ内で生成されれば、測定回路によって受信される電気信号は、前記信号が比較的強い多数の周波数（一次、二次、およびその他の高調波周波数）を有する。これらの周波数は、固有周波数と称される。調査によれば、これらの固有周波数の位置は、それがシステムの構成に応じるように現れるので、制御されるべきであることが明らかとなった。この位置は、例えば、インクチャンバの幾何学形状、ノズルの幾何学形状、インクのタイプ、アクチュエータのタイプ等を適合させることによって影響を及ぼされることができる。本出願人はまた、特定のタイプの障害、例えば気泡も、その障害が共振する固有周波数を有することを見出した。システムの固有周波数が障害の固有周波数の近辺にあるように、システムを構成することにより、信号において障害を非常に容易に見つけることができる。システムの固有周波数が障害の固有周波数と一致する構成は、実験により、例えばダクトの幾何学形状、および／またはダクトの流入口の幾何学形状、および／またはノズルの幾何学形状、および／または圧電アクチュエータの幾何学形状および／または構造、および／またはインクのタイプ（簡単に言えば、システムの固有周波数に影響を及ぼす一切のもの）を適合させ、それぞれの場合の１つまたは複数の固有周波数を決定することによって見出されることができる。この周波数はまた、システムの適切な音響モデルを使用して計算によって決定することも可能である。障害の固有周波数もまた、実験によるかまたは計算によって決定することができる。
【０００８】
本発明の利点は、アクチュエータによって生成された信号の解析を、非常に簡単な電子機器で実施することができ、しかもなお障害の十分な原因の究明ができることにある。本発明に関連する障害は、容認できないと見なされるシステムの不規則性（ｉｒｒｅｇｕｌａｒｉｔｙ）である。これは、例えば、不規則性が、結果として印刷された画像に肉眼で認められる印刷アーチファクトを生じることがあり、あるいは不規則性が、結果としてプリンタに対する損傷を生じたりする場合であり得る。不規則性が容認できないことは、各適用に応じて変わることがある。
【０００９】
一実施形態において、システムの固有周波数は、インク滴の射出に顕著な影響を及ぼすサイズの気泡の固有周波数に、ほぼ一致している。インクダクト内には一つ以上の気泡があり得ることは一般に知られている。一方で、そうした気泡は、インク自体の中に存在し、場合によりインクダクト内で成長することさえもあり、他方では、そうした気泡は、特にインクダクト内に発生し得る負圧（キャビテーション）のために、インクダクト内に形成されることもある。しかしながら、これらの気泡の多くは、本発明の趣旨の障害ではない。これらは、多くの場合非常に小さく、射出プロセスに目立った影響を与えることはなく、一定の時間の経過後に、あるいはアクチュエータの多数回の通電後に自ずと消滅する。しかしながら、気泡がインク滴の射出にまさに著しい影響を及ぼす限界値を、気泡に関して決定することが可能である。この実施形態において、この限界値を有する気泡の固有周波数は、まさにシステムの固有周波数近くのウィンドウ内に入る。こうして、限界値以下のサイズの気泡は、単に無視されることができる。気泡が成長して障害と見なし得るようになると直ちに、アクチュエータによって生成される信号において容易に明らかになることができる。
【００１０】
他の実施形態において、測定回路は、信号と、システムの固有周波数に等しい周波数とを混合するためのミキサを備えている。この実施形態の利点は、限界値を有する気泡の存在を、例えば低域フィルタを使用して非常に容易に確認し得ることである。（その周波数が、障害の周波数にほぼ一致している）システムの固有周波数との混合（乗算）によって、障害は、ほぼゼロに等しい周波数で明らかになる。これは、非常に簡単な電子機器を使用して障害を検出する可能性を提供する。
【００１１】
本発明は、またインクジェットシステムの製造方法を含み、圧電アクチュエータに動作可能に接続されるインクチャンバから、インク滴を射出するためのノズルを有するインクチャンバを形成することと、測定回路にアクチュエータを接続することとを含み、インクジェットシステムは、前記インクジェットシステムの固有周波数が、インクジェットシステム内の障害の固有周波数とほぼ等しいように構成される。さらに本発明は、また受容材料上に画像を形成するための上述のシステムの適用にも関する。
【００１２】
以下、例を参照して本発明を詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１
図１は、インクジェットプリンタを概略的に図示したものである。この実施形態において、プリンタは、受容媒体１２を支持し、かつ４個のプリントヘッド１６に沿ってガイドされるローラ１０を備えている。ローラ１０は、矢印Ａで示すように、その軸を中心にして回転することができる。キャリッジ１４は、４個のプリントヘッド１６を担持し、プリントヘッドは、シアン、マゼンタ、イエロー、およびブラックの各色用であり、ローラ１０と平行な双方向矢印Ｂで示した方向に往復運動することができる。こうしてプリントヘッド１６は、受容媒体１２を走査することができる。キャリッジ１４は、ロッド１８と２０によってガイドされ、適切な手段（図示せず）で駆動される。
【００１４】
図面に示された実施形態において、各々のプリントヘッド１６は、８個のインクチャンバを備え、各インクチャンバは独自のノズル２２を有し、これらノズルは、ローラ１０の軸に対して垂直な１本の仮想線を形成している。プリント装置の実際の実施形態において、プリントヘッド１６当たりのインクチャンバの数は、何倍にもなる。各インクチャンバは、図２および図３に関連して説明されるように、圧電アクチュエータ（図示せず）と、結合される作動および測定回路（図示せず）とを備えている。各プリントヘッドはまた、作動パルスを適合させるための制御ユニットも備えている。こうして、インクチャンバ、アクチュエータ、作動回路、測定回路、および制御ユニットは、ローラ１０の方向にインク滴の射出を行うシステムを形成する。ちなみに、制御ユニット、および／または例えば作動および測定回路の全ての要素が、実際のプリントヘッド１６に物理的に組込まれていることは、必ずしも不可欠というわけではない。これらの部品は、例えばキャリッジ１４、またはプリントヘッド自体の構成要素との接続が行なわれていればプリンタのもっと離れた部分にさえも、配置することが可能である。しかしながらこうして、これらの部品は、実際にプリントヘッドに物理的に組込まれることなく、プリントヘッドの機能要素を形成する。アクチュエータが画像通りに作動させられれば、個々のインク滴から形成される画像が、受容媒体１２上に形成される。
【００１５】
図２
図２において、インクチャンバ５は、電気機械アクチュエータ２、この例では圧電アクチュエータを備える。インクチャンバ５は、ベースプレート１の溝によって形成され、頂部で主に圧電アクチュエータ２に接している。先端において、インクチャンバ５はノズル２２に移行し、開口は、ダクトの位置にリセスを有するノズルプレート６によって形成されている。パルスが、パルス発生器４によって作動回路３を介してアクチュエータ２を横切って印加されると、アクチュエータは、ダクトの方向にたわむ。こうして、ダクト内の圧力が急激に高まることにより、ノズル２２からインク滴が射出される。インク滴の射出完了時に、なおダクト内に圧力波が存在しており、これは時間がたつにつれて減衰する。この圧力波は、次にアクチュエータ２の変形を結果として生じ、この変形が相応した電気信号を生成する。この信号は、圧力波の形成と前記圧力波の減衰とに影響を及ぼす全てのパラメータに応じている。こうして、前記信号を測定することにより、これらのパラメータに関する情報を得ることができる。この情報は、次に、プリントプロセスを制御するために使用することができる。
【００１６】
図３Ａおよび図３Ｂ
図３Ａおよび図３Ｂは、電気信号への音響信号の変換を概略的に図示したものである。図３Ａは、インクジェットプリントヘッド１６を示している。プリントヘッドは、前面にノズル２２を備えている。ノズル２２に対応する各インクチャンバは、ライン３０を介して測定回路３１に接続されている。明確にするために、図３Ａには実際に測定回路に接続されている１個のインクチャンバのみを示してある。測定回路は、従来の技術、例えば欧州特許出願第１３７８３５９号、欧州特許出願第１３７８３６０号、および欧州特許出願第１３７８３６１号から十分知られているように、多様な方法で構成することができる。測定回路３１は、次に制御ユニット３２に接続され、制御ユニット３２は、測定回路から来るデータを処理し、かつそれらをプリントヘッド１６のインクチャンバの制御に使用する。そのために、制御ユニットはライン３３を備えている。
【００１７】
図３Ｂは、図２に説明したインクジェットシステムが、インクダクト内の音響振動（圧力波）を電気信号に変換する方法を、概略的に図示したものである。この図において、縦軸は、信号の強さを任意の単位Ｈで表し、他方、横軸は周波数ｆを描いている。音響ホワイトノイズ４０（全ての周波数が等しい強さで表される）が、ダクトに加えられていると仮定すれば、圧電アクチュエータは、対応する圧力波の結果としての変形に応じて、電気信号４１を測定回路に出力するであろう。この信号は、多数の固有周波数４１−１、４１−２、４１−３等を有することがみとめられる。このことは、固有周波数に相当する周波数を有する圧力波は、前記電気信号において比較的強く反射されることを意味している。
【００１８】
固有周波数の位置は、システムの構成によって決定されることがみとめられる。例えばノズルのサイズまたは形状が相違していれば、固有周波数は異なった位置に変位する。ダクトの長さ、充填口の断面積と形状およびサイズ、そしてまたインクのタイプ、アクチュエータのタイプ、プリントヘッドの機械構造等も、固有周波数の位置に影響を及ぼす。このことから、一つ以上の固有周波数を事前に選択された位置に設定する可能性を提供する。
【００１９】
図３Ｂは、固有周波数近くのウィンドウ４２、４３、および４４も示している。これらのウィンドウは、任意に選択されることが可能である。この例において、これらのウィンドウの範囲は、考察される周波数の範囲に対応する。
【００２０】
図４
図４は、従来の技術から知られている、インクジェットシステムに使用し得る種類の測定回路３１の一部を示したものである。このシステムにおいて、例えば圧電アクチュエータが生成する種類の信号全体が解析される。従来の技術、例えば欧州特許第１０７５９５２号から知られているように、この種の信号は複雑な場合がある。そのため、複雑なディジタル電子機器が、その解析に使用されることが多い。これが実施され得る一つの方法は、測定回路（その一部）３１Ａの特定の実施形態を示す図中に表されている。
【００２１】
構成要素４５は、アクチュエータによって生成された入力電気信号を、電圧信号に変換するフロントエンドユニットである。この信号は、続いてＡ／Ｄ変換器４６に供給され、信号を、ディジタルユニット４７による処理に適したものにする。このディジタル信号プロセッサは、特に気泡のような障害を防止するため、適切なアルゴリズムを使用して解析ユニット４８で信号解析ができるように信号を処理する。解析の後、ダクトの障害の有無が制御ユニット（図示せず）に伝達される。もし障害があり、それが適切であれば、障害を除去するために適切な作用が取れるように、障害のタイプに関する情報が伝達される。特に、構成要素４７と４８は、この測定回路を高価にするため、その適用は経済的に魅力がない。
【００２２】
図５Ａおよび図５Ｂ
図５Ａおよび図５Ｂは、無限大の量の液体中の気泡を概略的に図示したものである。この気泡１００は、図５Ａに示されている。この気泡は半径ｒを有している。この気泡は、特定の音響周波数で共振する。これは、液体の密度、気泡の半径等に応じる。これらの共振周波数は、流体力学から、例えば式１
【数１】
2006007770.tif 000003
（式中、ｆは（基本）共振周波数、γは断熱指数、Ｐｏは周囲圧力、ｒｏは液体の密度、およびＲｏは気泡の平衡半径である）を使用して、十分に知られていると考えることができる。気泡の共振周波数を決定するのに使用することのできる簡単なモデルは、図５Ｂに示されている。このモデルは、気泡を、ばね質量系として表している。質量１０１ならびにばね１０２のばね定数の両方は、いずれも気泡の半径の関数である。
【００２３】
当業者には、インクダクト内の有限量のインク中にある気泡の共振周波数は、無限大の量の液体中にある同じ気泡の共振周波数とは正確には一致しないとのことは明白であろう。しかしながら、気泡の寸法が、ダクトの寸法に比較して十分に小さければ、その相違は、本発明の実際の適用にとって重要ではないであろう。インクダクト中の気泡は、非常に小さな気泡からより大きな気泡へと成長することが多いことから、それら気泡がダクトの寸法に比較してまだ十分に小さい時点で、それら気泡を検出することができる。
【００２４】
図６
図６は、本発明に使用し得る種類の測定回路の一部を示す図である。このため、測定回路３１Ｂは、入力信号を受け取り、かつそれを電圧信号ｆｓに変換するドライバおよびフロントエンドユニット５０を備えている。この信号ｆｓは、ライン５１を介して乗算器５２に供給される。この乗算器は、信号をシステムの固有周波数ｆｘ（この固有周波数に等しい少なくとも一つの周波数）と混合する（これは技術的には実際のところ乗算である）。この固有周波数ｆｘは、オシレータ５４によって生成され、ライン５３を介して乗算器５２に供給される。混合された信号は、ライン６０を介して低域フィルタ６１に供給される。フィルタリングされた信号は、ライン６２を介してコンパレータ６３に供給され、かつ参照信号と比較され、参照信号は、ユニット６５によって生成され、かつライン６４を介して同じ増幅器に供給される。もしフィルタリングされた信号が、完全に参照信号より下であれば、ステータス「ノズルＯＫ」が、ライン７０を介して制御ユニットに供給される。フィルタリングされた信号が参照信号より大きければ、ステータス「ノズルｎｏｔ  ＯＫ」が、障害のタイプと特徴とに関する補足情報と共にまたはそれなしで、制御ユニットに供給される。原則的に、本例によるインクジェットプリントヘッドの各インクダクトは、それぞれこの種の測定回路に接続される。
【００２５】
図７Ａおよび図７Ｂ
図７Ａおよび図７Ｂは、本発明によるシステムで発生することがある種類の信号を概略的に図示したものである。信号は、それぞれの場合に、横軸に表された周波数に対して、縦軸に表された任意の強さ単位で表されている。ａ）では、ライン５１（図６を参照のこと）に生ずることがある種類の各場合の信号が表されている。ｂ）では、入力信号ｆｓと混合される各場合の固定信号ｆｘが与えられている。ｃ）では、ライン６０（図６を参照のこと）に発生することがある各場合の混合された結果としての信号が与えられている。ｄ）では、フィルタリングされた信号が、参照信号と比較される方法をそれぞれの場合で表されている。
【００２６】
図７Ａは、いかなる障害もないダクトに関係している。ａ）では、入力信号が表されている（本例において、これはメイン周波数ｆｓとシステムの固有周波数ｆｅでの小さな信号とを有する信号に単純化されている）。この信号は、システムの固有周波数ｆｘと混合される。その結果は、ｃ）に示した信号である。この信号は、周波数ｆｘ−ｆｓとｆｘ＋ｆｓとに２つのメインピークを有している。ｆ＝０近辺には、ｆｅから生ずる小さな混合されたピークが存在する。この信号は、低域フィルタ２００を使用してフィルタリングされる。フィルタリングされた信号は、ｄ）に示されている（連続線）。参照信号２０１も、ｄ）に図中に示されている。フィルタリングされた信号は、完全に参照信号より下であることがみとめられよう。これは、問題となるインクダクトのステータス「ＯＫ」に対応している。
【００２７】
図７Ｂは、障害を有するインクダクトに関係している。この場合、障害は、ちょうど限界サイズに一致するサイズの気泡である。入力信号は、気泡の固有周波数つまりｆｂに相当する周波数に余分なピークを有している。この周波数ｆｂは、ｂ）で示したようにシステムの固有周波数ｆｘに相当している。ｃ）に示した信号は、２つの信号の混合によって得られる。この信号は、周波数
【数２】
2006007770.tif 000004
に第一のピークを、周波数ｆｘ−ｆｓに第二のピークを、周波数ｆｘ＋ｆｓに第三のピークを、そして周波数
【数３】
2006007770.tif 000005
に第四のピークをそれぞれ有している。ｄ）に示した連続線で表された信号は、低域フィルタを使用して形成される。参照信号２０１との比較は、フィルタリングされた信号が、低周波数において参照信号よりも高いことを示している。これは、ダクト中に障害気泡が存在することを意味している。この情報は、プリンタ制御ユニットに渡され、障害を除去するための作用が取られる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】インクジェットプリンタの図である。
【図２】前記プリンタの一部を形成するシステムの図である。
【図３Ａ】音響信号の電気信号への変換を示す図である。
【図３Ｂ】音響信号の電気信号への変換を示す図である。
【図４】従来の技術から知られているインクジェットシステムに使用し得る種類の測定回路の一部を示す図である。
【図５Ａ】無限大の量の液体中の気泡の図である。
【図５Ｂ】無限大の量の液体中の気泡の図である。
【図６】本発明に使用し得る種類の測定回路の一部を示す図である。
【図７Ａ】本発明によるシステムで発生することがある種類の信号を示す図である。
【図７Ｂ】本発明によるシステムで発生することがある種類の信号を示す図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  ベースプレート
２  電気機械アクチュエータ
３  作動回路
４  パルス発生器
５  インクチャンバ
６  ノズルプレート
１０  ローラ
１２  受容媒体
１４  キャリッジ
１６  プリントヘッド
１８、２０  ロッド
２２  ノズル
３０、３３、５１、５３、６０、６２、６４、７０  ライン
３１  測定回路
３２  制御ユニット
４０  音響ホワイトノイズ
４１  電気信号
４１−１、４１−２、４１−３  固有周波数
４２、４３、４４  ウィンドウ
４６  Ａ／Ｄ変換器
４７  ディジタルユニット
４８  解析ユニット
５０  ドライバおよびフロントエンドユニット
５２  乗算器
５４  オシレータ
６１、２００  低域フィルタ
６３  コンパレータ
６５  ユニット
１００  気泡
１０１  質量
１０２  ばね
【図１】
2006007770.tif 000006
【図２】
2006007770.tif 000007
【図３Ａ】
2006007770.tif 000008
【図３Ｂ】
2006007770.tif 000009
【図４】
2006007770.tif 000010
【図５Ａ】
2006007770.tif 000011
【図５Ｂ】
2006007770.tif 000012
【図６】
2006007770.tif 000013
【図７Ａ】
2006007770.tif 000014
【図７Ｂ】
2006007770.tif 000015
【外国語明細書】
2006007770.tif 000016
2006007770.tif 000017
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