(57)【要約】【課題】  耐食性に優れ、長期の使用，厳しい環境下の使用においても錆の発生の問題がなく、かつ生産性に優れ、低コスト化が図れる磁気エンコーダを提供する。【解決手段】  円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石１４と、この多極磁石１４を支持する芯金１１とを備えた磁気エンコーダ１０とする。上記多極磁石１４を、磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体とする。この多極磁石１４を上記芯金１１の加締によってこの芯金１１に固定する。この焼結体からなる多極磁石１４に、化学蒸着による防食皮膜２２を施す。前記防食皮膜２２は、例えば高分子量ポリパラキシリレン膜とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石と、この多極磁石を支持する芯金とを備えた磁気エンコーダにおいて、上記多極磁石が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体であり、少なくともこの焼結体の表面に化学蒸着による防食皮膜を施したことを特徴とする磁気エンコーダ。
【請求項２】
請求項１において、前記防食皮膜は、高分子量ポリパラキシリレン膜である磁気エンコーダ。
【請求項３】
請求項１において、前記防食皮膜は、次の構造式で示される高分子量物質膜である磁気エンコーダ。
【化１】
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【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、前記多極磁石は芯金の加締により、前記芯金に固定したものである磁気エンコーダ。
【請求項５】
内周に複列の転走面を有する外方部材と、この転走面に対向する複列の転走面を外周に有する内方部材と、対向する転走面間に介在した複列の転動体とを備え、車体に対して車輪を回転自在に支持する車輪用軸受において、
前記外方部材および内方部材のうちの回転側の部材におけるインボード側端に磁気エンコーダを嵌合させ、この磁気エンコーダを、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の磁気エンコーダとした車輪用軸受。
【請求項６】
請求項５において、前記磁気エンコーダの芯金に摺接する複数のリップを有するシール部材を、前記外方部材および内方部材のうちの固定側の部材に嵌合させた車輪用軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、相対回転する軸受部の回転検出装置等に用いられる磁気エンコーダ、およびそれを備えた車輪用軸受に関し、例えば自動車のアンチロックブレーキシステムにおける前後の車輪回転数を検出する回転検出装置に装着されるベアリングシールの構成部品とされる磁気エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車のスキッドを防止するためのアンチスキッド用回転検出装置として、次のような構造が多く用いられている。すなわち、前記回転検出装置は歯付ローターと感知センサからなっており、軸受を密封するシール装置よりそれぞれ離間させて配置し、一つの独立した回転検出装置を構成しているものが一般的である。このような従来例は、回転軸に嵌合された歯付ローターを、ナックルに取付られた回転検出センサで感知検出する構造を持ち、使われている軸受は、その側部に独立して設けられたシール装置によって、水分あるいは異物の侵入から守られる。
【０００３】
その他の例として特許文献１には、回転検出装置の装着スペースを削減せしめ感知性能を飛躍的に向上させることを目的として、車輪回転検出のための回転検出装置を有したベアリングシールにおいて、そこに使用するスリンガーの径方向に磁性粉の混入された弾性部材を周状に加硫成形接着し、そこに交互に磁極を配置した構造が示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、軸方向の寸法を小さくし、回転部材と固定部材との間の密閉度を良好にし、容易に取付け可能にすることを目的として、回転部材と固定部材との間がシールされ、この回転部材に回転ディスクが取付けられ、その回転ディスクに多極化されたコーダが取付けられたコーダ内蔵密閉構造としたものが示されている。使用するコーダは、磁性粒子を添加したエラストマーからなるものが用いられ、このコーダの側面を固定部材とほぼ同一平面としたシール手段とされている。
【０００５】
磁性粉や磁性粒子を含有するプラスチック（プラストマー）製のコーダは、やはり従来の射出成形や圧縮成形等のように、製品形状に適応した金型を使用して腑形したり、つまり金型どおりの形に成形したり、Ｔ形のダイスを用いた押出し成形やカレンダー成形のようなシート成形でシートを成形し打ち抜き加工などにより製品形状にして、その後、金属基板上に接着剤などで接着固定し製作してもよい。またこの場合、インサート成形のようにあらかじめ金型内に金属基板を組込んでおき、その後、溶融樹脂を流し入れて接着工程を同時加工して製作してもよい。
【０００６】
【特許文献１】特許第２８１６７８３号公報
【特許文献２】特開平６−２８１０１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記の各磁気エンコーダは、いずれも多極磁石に磁性粉を含むものであり、一方、自動車用軸受等に使用される場合、路面の塩泥水に曝される厳しい環境下に置かれるため、長期使用の間の錆の発生が問題となる。特に、小型化のために磁性粉の含有量を多くした場合、錆が発生し易くなる。そこで、磁気エンコーダの多極磁石を防錆処理することを考えたが、適切な防錆材料の選定が難しい。
また、多極磁石が上記のような磁性粉を含有させたエラストマーやプラストマーでは、次に説明するように種々の課題があるため、本出願人は、多極磁石を、磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体としたものを提案した（特願２００１−２９０３００号）。このような多極磁石とした場合、その特性に応じた防錆処理が必要となる。
【０００８】
さらに、本出願人は、多極磁石の表面に、クリヤー系の高防食性塗料の防食皮膜を形成したものも提案した（特願２００３−０１２７１０号）。しかし、さらに優れた耐食性が望まれる場合がある。また、成膜面の膜厚均一性および平坦度を確保するため、成膜時の塗工および焼付などの工程管理幅が狭く、歩留りが悪い場合がある。さらに焼結体である多極磁石を芯金に加締めた状態において、芯金と焼結体の間の耐食性を向上させるため、変性エポキシ系クリヤー塗料の含浸処理を施したり、焼結体単体塗装を施すことがあるが、コストが高くなり経済的ではない。
【０００９】
この発明の目的は、安定したセンシングの得られる磁力を確保でき、耐食性に優れ、長期の使用，厳しい環境下の使用においても錆の発生の問題のない磁気エンコーダを提供することである。
この発明の他の目的は、部品点数を増やすことなく、コンパクトな構成で回転検出が行え、かつ回転検出のための磁気エンコーダの耐食性、生産性に優れ、低コスト化が図れる車輪用軸受を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明の磁気エンコーダは、円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石と、この多極磁石を支持する芯金とを備えた磁気エンコーダにおいて、上記多極磁石が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体であり、少なくともこの焼結体の表面に化学蒸着（ＣＶＤ）による防食皮膜を施したことを特徴とする。
【００１１】
この構成によると、上記多極磁石が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体であるため、焼結体の強度を確保しながら、磁性粉の混合比率を高めて、安定したセンシングの得られる磁力を確保でき、コンパクト化が図れる。磁性粉の配合比率を高めた場合、錆が発生し易くなるが、焼結体の多極磁石に化学蒸着による防食皮膜を施したため、焼結体の表面が多孔質体となっていることにかかわらず、良好な皮膜形成が行えて、耐食性に優れたものとできる。すなわち、化学蒸着によると、液状コーティングでは不可能な微細部分に防食皮膜の形成が可能であるため、焼結体からなる多極磁石に対して、その焼結多孔質体表層の空孔内部に浸入し、防食皮膜成分のアンカー効果により表面で好適に保持され、長期の使用においても防食皮膜として良好な密着性を維持することができる。また、多極磁石を上記芯金に加締等で固定した状態であっても、芯金と多極磁石との接触面あるいはその縁等にも隙間なく防食皮膜が形成され、多極磁石と芯金の一体品に隙間なく防食皮膜が形成される。そのため、耐食性が向上し、長期の使用，厳しい環境下の使用においても錆の発生の問題のない磁気エンコーダとなる。
【００１２】
前記防食皮膜は、高分子量ポリパラキシリレン膜であって良い。この高分子量ポリパラキシリレン膜は、次の構造式で示される高分子量物質膜である。
【００１３】
【化２】
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【００１４】
高分子量ポリパラキシリレン膜は、イオン性不純物を含まない結晶性ポリマーであり、撥水性に優れるため、より一層耐食性に優れたものとなる。また、ガスバリア性、耐薬品性に優れ、アウトガスの発生の問題もない。
【００１５】
多極磁石の芯金への固定は、芯金の加締によって行っても良い。その場合に、表面処理は、焼結体芯金一体品の状態で行っても良い。焼結体芯金一体品の状態で表面処理を施した場合、個別に表面処理を施す場合に比べて工程が少なく、生産性に優れ、コスト低下が図れる。この場合に、防食皮膜が化学蒸着によるため、上記のように微細部分への皮膜形成が可能で、多極磁石と芯金の一体品に隙間なく防食皮膜が形成される。したがって耐食性に優れたものとなる。なお、この明細書で言う「加締」とは、加圧力を加えて塑性変形させることによって締め付け固定する処理全般を示し、曲げやステーキング等による締め付けを含む。
【００１６】
上記磁性粉は、サマリウム系磁性粉であっても良く、またネオジウム系磁性粉であっても良い。これらサマリウム系磁性粉やネオジウム系磁性粉を用いると、強い磁力を得ることができる。サマリウム系磁性粉としては、サマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉が、またネオジウム系磁性粉としてはネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉が用いられる。上記磁性粉は、この他に、マンガンアルミ（ＭｎＡｌ）ガスアトマイズ粉であっても良い。
【００１７】
上記非磁性金属粉は、スズ粉であっても良い。磁性粉がフェライト粉やサマリウム系磁性粉やネオジウム系磁性粉である場合に、非磁性金属粉にスズ粉を用いても良い。
【００１８】
上記混合粉は２種以上の磁性粉を含むものであっても良く、また２種以上の非磁性金属粉を含むものであっても良い。また、上記混合粉は、２種以上の磁性粉を含み、かつ２種以上の非磁性金属粉を含むものであっても良い。２種以上の以上の磁性粉または２種以上の金属粉を含むものとした場合は、任意に複数種の粉を混合することで所望の特性を得ることができる。例えばフェライト粉だけでは磁力が足りない場合に、フェライト粉に希土類系磁性材料であるサマリウム系磁性粉やネオジウム系磁性粉を必要量だけ混合し、磁力向上を図りつつ安価に製作することができる。
【００１９】
この発明の車輪用軸受は、内周に複列の転走面を有する外方部材と、この転走面に対向する複列の転走面を外周に有する内方部材と、対向する転走面間に介在した複列の転動体とを備え、車体に対して車輪を回転自在に支持する車輪用軸受において、
前記外方部材および内方部材のうちの回転側の部材におけるインボード側端に磁気エンコーダを嵌合させ、この磁気エンコーダを、この発明における上記いずれかの構成の磁気エンコーダとしたものである。
車輪用軸受は、一般に路面の環境下にさらされた状態となり、磁気エンコーダが塩泥水を被ることがある。しかし、磁気エンコーダを構成する焼結体または焼結体芯金一体品の全体に化学蒸着による防食皮膜を施し、この防食皮膜を高分子量ポリパラキシリレン膜としたため、耐食性に優れ、塩泥水により磁気エンコーダに錆が発生することの防止効果が高い。
また、磁気エンコーダとこれに対面させる磁気センサとの間に砂粒等の粒子が噛み込むことがあるが、この噛み込みに対して、次のように保護される。すなわち、磁性粉と非磁性金属粉とからなる焼結体の多極磁石の表面高度は、従来の磁性粉や磁性粒子の含有する弾性部材やエラストマー製のコーダに比べて硬い。そのため、車輪回転検出のための磁気エンコーダを有した車輪用軸受において、車両走行中に回転側の多極磁石の表面と固定側の磁気センサの表面との間隙に、砂粒などの粒子が噛み込まれても、多極磁石の摩耗損傷に大幅な低減効果がある。
【００２０】
この発明の車輪用軸受は、前記磁気エンコーダの芯金に摺接する複数のリップを有するシール部材を、前記外方部材および内方部材のうちの固定側の部材に嵌合させたものであっても良い。
この構成の場合、上記シール部材と磁気エンコーダとでシール装置が構成され、上記磁気エンコーダがシール装置の構成要素となる。そのため、部品点数を増やすことなく、よりコンパクトな構成で車輪の回転を検出することができる。また、このようにシール装置に磁気エンコーダを構成した場合、上記の路面環境下にさらされることによる磁気エンコーダと磁気センサ間の砂粒等の噛み込みが問題となるが、この噛み込みに対して、上記と同様に多極磁石の表面高度が硬いことにより、摩耗損傷の低減効果が得られる。
【発明の効果】
【００２１】
この発明の磁気エンコーダは、円周方向に交互に磁極を形成した多極磁石と、この多極磁石を支持する芯金とを備えた磁気エンコーダにおいて、上記多極磁石が磁性粉と非磁性金属粉との混合粉を焼結させた焼結体であり、少なくともこの焼結体の表面に化学蒸着による防食皮膜を施したため、耐食性に優れ、長期の使用，厳しい環境下の使用においても錆の発生の問題のないものとなる。
特に、前記防食皮膜が高分子量ポリパラキシリレン膜である場合は、より一層耐食性に優れたものとなる。
この発明の車輪用軸受は、この発明の磁気エンコーダを備えたものであるため、コンパクトな構成で回転検出が行え、かつ回転検出のための磁気エンコーダの耐久性、耐食性、および生産性に優れたものとなり、低コスト化が図れる。特に、シール装置の構成要素を磁気エンコーダとした場合は、部品点数を増やすことなく、車輪の回転を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
この発明の第１の実施形態を図１ないし図３と共に説明する。図１に示すように、この磁気エンコーダ１０は、金属製の環状の芯金１１と、この芯金１１の表面に周方向に沿って設けられた多極磁石１４とを備える。多極磁石１４は周方向に多極に磁化され、交互に磁極Ｎ，Ｓが形成された部材であり、多極に磁化された磁気ディスクからなる。磁極Ｎ，Ｓは、ピッチ円直径ＰＣＤ（図２）において、所定のピッチｐとなるように形成されている。多極磁石１４は磁性粉と非磁性金属粉との混合粉の圧粉体を焼結させた焼結体であり、この多極磁石１４を上記芯金１１の加締によってこの芯金１１に固定する。この焼結体を芯金１１に固定した焼結体芯金一体品２１に、表面処理による防食皮膜２２を施している。
【００２３】
この磁気エンコーダ１０は、回転部材（図示せず）に取付けられ、図３に示すように多極磁石１４に磁気センサ１５を対面させて回転検出に使用されるものであり、磁気エンコーダ１０と磁気センサ１５とで回転検出装置２０が構成される。同図は、磁気エンコーダ１０を軸受（図示せず）のシール装置１８の構成要素とした応用例を示し、磁気エンコーダ１０は、軸受の回転側の軌道輪に取付けられる。シール装置１８は、磁気エンコーダ１０と、固定側のシール部材９とで構成される。シール装置１８の具体構成については後に説明する。
【００２４】
多極磁石１４に混入する磁性粉としては、バリウム系およびストロンチウム系などの等方性または異方性フェライト粉であっても良い。これらのフェライト粉は顆粒状粉体であっても、湿式異方性フェライトコアからなる粉砕粉であっても良い。この湿式異方性フェライトコアからなる粉砕粉を磁性粉とした場合、非磁性金属粉との混合粉を磁場中で成形された異方性のグリーン体とする必要がある。
【００２５】
上記磁性粉は、希土類系磁性材料であっても良い。例えば希土類系磁性材料であるサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉やネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉のそれぞれ単独磁性粉であっても良い。また、磁性粉はマンガンアルミ（ＭｎＡｌ）ガスアトマイズ粉であっても良い。
【００２６】
また、上記磁性粉は、サマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉、ネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉、およびマンガンアルミ（ＭｎＡｌ）ガスアトマイズ粉のいずれか２種以上を混合させたものであっても良い。例えば、上記磁性粉はサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉とネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉とを混合させたもの、マンガンアルミガスアトマイズ粉とサマリウム鉄系磁性粉とを混合させたもの、およびサマリウム鉄系磁性粉とネオジウム鉄系磁性粉とマンガンアルミガスアトマイズ粉とを混合させたもの、のいずれかであっても良い。例えば、フェライト粉だけでは磁力が足りない場合に、フェライト粉に希土類系磁性材料であるサマリウム鉄（ＳｍＦｅＮ）系磁性粉や、ネオジウム鉄（ＮｄＦｅＢ）系磁性粉を必要量だけ混合し、磁力向上を図りつつ安価に製作することもできる。
【００２７】
多極磁石１４を形成する非磁性金属粉には、スズ、銅、アルミ、ニッケル、亜鉛、タングステン、マンガンなどの粉体、または非磁性のステンレス系金属粉のいずれか単独（１種）の粉体、もしくは２種以上からなる混合した粉体、もしくは２種以上からなる合金粉末を使用することができる。
【００２８】
芯金１１の材質となる金属は、磁性体、特に強磁性体となる金属が好ましく、例えば磁性体でかつ防錆性を有する鋼板が用いられる。このような鋼板として、フェライト系のステンレス鋼板（ＪＩＳ規格のＳＵＳ４３０系等）や、防錆処理された圧延鋼板等を用いることができる。
【００２９】
芯金１１の形状は、種々の円環状の形状とできるが、多極磁石１４を固定できる形状が好ましい。特に、加締固定や嵌合固定等の機械的な固定が行える形状が好ましい。加締固定の場合、芯金１１は、例えば図１（Ｂ）に示すように、嵌合側となる内径側の円筒部１１ａと、その一端から外径側へ延びる立板部１１ｂと、外径縁の他円筒部１１ｃとでなる断面概ね逆Ｚ字状の円環状とする。なお、芯金１１は断面Ｌ字状のものとしても良く、その場合は図１（Ｂ）の芯金１１において、他円筒部１１ｃが省略された形状のものとされる。芯金１１を断面Ｌ字状とした場合は、例えば爪部等を立板部１１ｂ等に設けて加締固定する。
【００３０】
図１（Ｂ）の芯金１１において、円筒部１１ａ、立板部１１ｂ、および他円筒部１１ｃは、鋼板等の金属板から一体にプレス成形されたものである。立板部１１ｂは平坦に形成されており、その平坦な立板部１１ｂの表面に重ねて多極磁石１４の未着磁の焼結体を組み込み、外周縁の他円筒部１１ｃを加締めることで、芯金１１の立板部１１ｂに重なり状態に多極磁石１４が固定されて、焼結体芯金一体品２１とされる。上記他円筒部１１ｃは、その断面における先端側部分または略全体が、加締部となる。また、この加締部は、芯金１１の円周方向の全周にわたって延び、したがって円環状となっている。なお、多極磁石１４の他円筒部１１ｃにより固定される部分は、多極磁石１４の被検出面となる表面よりも凹む凹み部１４ｂとなっていて、これにより塑性変形部１１ｃａが多極磁石１４の被検出面となる表面に突出しないように成されている。
【００３１】
加締固定は、上記のように全周に連続して行う他に、図４，図５に断面図および正面図で示すように行っても良い。この例では、芯金１１を図１の例と同じく、内径側の円筒部１１ａと、その一端から外径側へ延びる立板部１１ｂと、その外径縁の円筒状の他円筒部１１ｃとでなる断面概ね逆Ｚ字状の円環状としている。また、他円筒部１１ｃにおける周方向の複数箇所に、ステーキング等によって、内径側へ突出状態に塑性変形させた塑性変形部１１ｃａを設け、その塑性変形部１１ｃａにより多極磁石１４を芯金１１の立板部１１ｂに固定している。この例においても、多極磁石１４の塑性変形部１１ｃａにより固定される部分は、多極磁石１４の被検出面となる表面よりも凹む凹み部１４ｂとなっていて、これにより塑性変形部１１ｃａが多極磁石１４の被検出面となる表面に突出しないように成されている。凹み部１４ｂは、外径側に至るに従って表面から背面側へ近づく傾斜面１４ｂとされている。
【００３２】
図１および図４に示す各例において、芯金１１は、図６のように、立板部ｂが、内周側部分１１ｂａと外周側部分１１ｂｂとで互いに軸方向にずれた２段形状を成すものとしても良い。図６において、図示は省略するが、多極磁石１４は、図１の例と同様に立板部１１ｂにおける他円筒部１１ｃの突出側の面に配置される。
【００３３】
さらに、図７に示すように、図１の例と同様に断面概ね逆Ｚ字状とされた芯金１１において、その他円筒部１１ｃの端縁における円周方向複数箇所に舌片状の爪部１１ｃｂを設け、この舌片状爪部１１ｃｂを矢印のように内径側へ塑性変形させることにより、つまり折り曲げるように加締ることにより、多極磁石１４を芯金１１に固定しても良い。多極磁石１４は、図１などの例と同様に立板部１１ｂにおける他円筒部１１ｃの突出側の面に配置される。この例においても、図６の例と同様に、立板部１１ｂを２段形状としている。立板部１１ｂを２段形状とした場合、多極磁石１４の立板部１１ｂ側の側面形状は、図１２（Ｂ）に示すように、立板部１１ｂの２段形状に沿った側面形状としても良い。
【００３４】
上記各例のようにして、多極磁石１４を芯金１１に加締固定してなる焼結体芯金一体品２１の表面に、化学蒸着により防食皮膜２２を施す。芯金１１への固定前における多極磁石１４の単独の状態で、化学蒸着による防食皮膜２２を施しても良い。
【００３５】
前記防食皮膜２２は、高分子量ポリパラキシリレン膜であって良い。この高分子量ポリパラキシリレン膜からなる防食皮膜２２を形成するコーティング原料としては、第三化成株式会社製のｄｉＸが使用できる。
【００３６】
蒸着プロセスを説明すると、蒸着装置は、気化室、熱分解室、蒸着室より構成されている。まず、装置内を減圧し、コーティング原料であるｄｉＸを気化室で気化（〜１７０℃）する。次に、熱分解室で６５０〜７００℃の加熱によりｄｉＸが熱分解され、モノマーになる。このモノマーが蒸着室で被着体である多極磁石に接触すると、その界面で重合し、高分子量ポリパラキシリレン膜からなる防食皮膜２２が形成される。
【００３７】
この過程を構造式の変化で示すと、コーティング原料であるｄｉＸは、次に示す変化過程における左部分に示された構造式を有し、中央部分に示すようにモノマーに変化し、右部分に示す構造式の高分子量ポリパラキシリレン膜となる。
【００３８】
【化３】
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【００３９】
この構成の磁気エンコーダ１０は、図３と共に前述したように、多極磁石１４に磁気センサ１５を対面させて回転検出に使用される。磁気エンコーダ１０を回転させると、多極磁石１４の多極に磁化された各磁極Ｎ，Ｓの通過が磁気センサ１５で検出され、パルスのかたちで回転が検出される。磁極Ｎ，Ｓのピッチｐ（図２）は細かく設定でき、例えばピッチｐが１．５mm、ピッチ相互差±３％という精度を得ることもでき、これにより精度の高い回転検出が行える。ピッチ相互差は、磁気エンコーダ１０から所定距離だけ離れた位置で検出される各磁極間の距離の差を目標ピッチに対する割合で示した値である。磁気エンコーダ１０が図３のように軸受のシール装置１８に応用されたものである場合、磁気エンコーダ１０の取付けられた軸受の回転が検出されることになる。
【００４０】
この磁気エンコーダ１０は、焼結体の多極磁石１４に化学蒸着による防食皮膜２２を施したため、焼結体の表面が多孔質体となっていることにかかわらず、良好な皮膜形成が行えて、耐食性に優れたものとできる。すなわち、化学蒸着によると、液状コーティングでは不可能な微細部分に防食皮膜の形成が可能であるため、焼結体からなる多極磁石に対して、その焼結多孔質体表層の空孔内部に浸入し、防食皮膜成分のアンカー効果により表面で好適に保持され、長期の使用においても防食皮膜として良好な密着性を維持することができる。また、多極磁石１４を芯金１１に加締等で固定した状態であっても、芯金１１と多極磁石１４との接触面あるいはその縁などにも隙間なく防食皮膜２２が形成される。そのため、耐食性が向上し、長期の使用，厳しい環境下の使用においても錆の発生の問題のない磁気エンコーダとなる。特に、防食皮膜２２を高分子量ポリパラキシリレン膜とした場合は、耐食性がより優れたものとなる。したがって、例えば車輪用軸受のような錆の発生し易い環境下で使用することができる。
【００４１】
また、多極磁石１４は、磁性粉の混入した焼結体からなるため、焼結体の強度を確保しながら、磁性粉の配合比率を高め、安定したセンシングの得られる磁力を確保でき、耐摩耗性に優れ、また生産性にも優れたものとなる。
【００４２】
さらに、多極磁石１４の表面硬度は、従来の磁性粉や磁性粒子の含有する弾性部材やエラストマー製のコーダに比べて硬い。そのため、車輪回転検出のための回転検出装置２０に応用した場合に、車両走行中に回転側の多極磁石１４の表面と固定側の磁気センサ１５の表面の隙間に、砂粒などの粒子が噛み込まれても、多極磁石１４の摩耗損傷が生じ難く、従来の弾性体製としたものに比べて、摩耗の大幅な低減効果がある。
【００４３】
つぎに、上記化学蒸着（ＣＶＤコート）による防食皮膜２２の耐食性能の試験結果を、表１，表２と共に説明する。試験は、上記実施形態にかかる実施例１〜３、および比較例１，２となる各サンプルにつき行った。上記サンプルは、焼結体の多極磁石１４を構成する磁性粉として、サマリウム鉄（Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ）系磁性粉を用い、バインダとなる非磁性金属粉としてＳｎを用いた。配合比は、表１，表２中にも示したように、いずれも磁性粉が６０ｗｔ％、バインダが４０ｗｔ％である。この配合割合で、φ５４ｍｍ×φ６６ｍｍ×１．５ｍｍのグリーン体（未焼結圧粉体）を加圧プレスで成形し、大気中で１時間焼成した。各サンプルの焼結体（多極磁石１４）および芯金１１の形状は、図１に示した形状のものである。実施例１〜３となる各サンプルでは、化学蒸着（ＣＶＤコート）による高分子量ポリパラキシリレン膜の防食皮膜２２を形成した。コーティング原料としては、前記ｄｉＸを用いた。これに対し、比較例１，２の各サンプルではカチオン電着を行ったものである。防食皮膜２２の膜厚は表中に示す厚さとした。膜厚の単位はμｍである。なお、比較例１における膜厚の「なし」とあるのは、カチオン電着を行ったが、０．１μｍの単位では現れない程度に薄い厚さのことである。
【００４４】
これらの各サンプルに対して、それぞれ以下の試験を行った。
（１）各サンプルについて、８０℃に加温したＮａＣｌを５％溶液中に２４時間浸し、耐食性能を比較した。耐食性は、焼結体表面と焼結体内径面とにつき評価した。表１，表２には耐食性に優れる順に、◎，○，△，×のマークを示した。
（２）焼結体（多極磁石１４）と芯金１１の密着性を評価するため、焼結体と芯金１１の隙間に鉄製の治具を差し込み、強制的に剥離させた。密着性が良い場合、焼結体（多極磁石１４）と芯金１１の界面で剥がれることはなく、焼結体内部で破壊するので、芯金１１表面に固着する塗膜量が多い。表１には、付着量の多い順に、◎，○，△，×のマークを併記した。
【００４５】
【表１】
2006153577.tif 000005
【００４６】
【表２】
2006153577.tif 000006
【００４７】
表１に示すように、膜厚を１０μｍ，３０μｍとした各実施例２，３は、いずれも焼結体の表面および内径面とも、耐食性が◎と、４段階評価における最も優れた評価であり、密着性も◎と最も優れたものであった。膜厚を１μｍと薄くした実施例１においても、焼結体の表面および内径面とも、耐食性が○と、４段階評価における上から２番目に優れた評価であり、密着性も○と２番目に優れたものであった。
これに対して、表２に示すカチオン電着を行った各比較例１，２のうち、膜厚を０．１μｍとした比較例２は、焼結体の表面および内径面とも、耐食性が△と、４段階評価における下から２番目に低い評価であり、密着性も下から２番目に低いであった。また、膜厚が「なし」とみなせる程度のカチオン電着を行った比較例１は、焼結体の表面については△と下から２番目に低い評価であり、焼結体内径面では×と最も低い評価であった。密着性も×と、最も低い評価であった。
【００４８】
これら表１，表２からわかるように、表面処理として化学蒸着による高分子量ポリパラキシリレン膜の防食皮膜２２を施した場合は、カチオン電着を施した場合もよりも優れた耐食性が得られることが確認できた。なお、実施例と比較例の膜厚差は、カチオン電着では膜厚を厚くすることが難しく、化学蒸着では比較的厚くなることによるためである。
【００４９】
つぎに、この磁気エンコーダ１０を備えた車輪用軸受の一例、およびそのシール装置１８の例を、図８，図９と共に説明する。図８に示すように、この車輪用軸受１０は、第３世代型のものであって、内周に複列の転走面１ａを有する外方部材１と、これら転走面１ａに対向する転走面２ａを有する内方部材２と、対向する転走面１ａ，２ａ間に介在した複列の転動体３と、内外の部材２，１間の環状空間の両端をそれぞれ密封するシール部材８，９とを備える。
この車輪用軸受１０は、複列の転がり軸受、詳しくは複列のアンギュラ玉軸受とされていて、その内方部材２は、ハブ輪５とその軸部外周に嵌合する内輪６とでなり、各列の転走面２ａ，２ａが、ハブ輪５および内輪６の各外周に形成されている。ハブ輪５は、その外周に車輪取付用のフランジ５ａを有し、このフランジ５ａに車輪（図示せず）がボルト７で取付けられる。外方部材１は、その外周のフランジ１ｂを対して、車体の懸架装置におけるナックルに取付けられる。転動体３はボールからなり、保持器４により保持されている。
【００５０】
図９は、磁気エンコーダ付きのシール装置１８を拡大して示す。このシール装置１８は、図３に示したものと同じであり、その一部を前述したが、図９において、詳細を説明する。このシール装置１８は、磁気エンコーダ１０またはその芯金１１がスリンガとなり、内方部材１および外方部材２のうちの回転側の部材に取付けられる。この例では、回転側の部材は内方部材１であるため、磁気エンコーダ１０は内方部材１に取付けられる。
【００５１】
このシール装置１８は、内方部材１と外方部材２に各々取付けられた第１および第２の金属板製の環状のシール板（１１），１２を有する。第１のシール板（１１）は、上記磁気エンコーダ１０における芯金１１のことであり、以下、芯金１１として説明する。磁気エンコーダ１０は、図１ないし図３と共に前述した第１の実施形態にかかるものであり、その重複する説明を省略する。この磁気エンコーダ１０における多極磁石１４に対面して、同図のように磁気センサ１５を配置することにより、車輪回転速度の検出用の回転検出装置２０が構成される。
【００５２】
第２のシール板１２は、上記シール部材９（図３）を構成する部材であり、第１のシール板である芯金１１の立板部１１ｂに摺接するサイドリップ１６ａと円筒部１１ａに摺接するラジアルリップ１６ｂ，１６ｃとを一体に有する。これらリップ１６ａ〜１６ｃは、第２のシール板１２に加硫接着された弾性部材１６の一部として設けられている。これらリップ１６ａ〜１６ｃの枚数は任意で良いが、図９の例では、１枚のサイドリップ１６ａと、軸方向の内外に位置する２枚のラジアルリップ１６ｃ，１６ｂとを設けている。第２のシール板１２は、固定側部材である外方部材２との嵌合部に弾性部材１６を抱持したものとしてある。すなわち、弾性部材１６は、円筒部１２ａの内径面から先端部外径までを覆う先端覆い部１６ｄを有するものとし、この先端覆い部１６ｄが、第２のシール板１２と外方部材２との嵌合部に介在する。第２のシール板１２の円筒部１２ａと第１のシール板である芯金１１の他円筒部１１ｃとは僅かな径方向隙間をもって対峙させ、その隙間でラビリンスシール１７を構成している。
【００５３】
この構成の車輪用軸受によると、車輪と共に回転する内方部材１の回転が、この内方部材１に取付けられた磁気エンコーダ１０を介して、磁気センサ１５で検出され、車輪回転速度が検出される。
【００５４】
磁気エンコーダ１０は、シール装置１８の構成要素としたため、部品点数を増やすことなく、車輪の回転を検出することができる。車輪用軸受は、一般に路面の環境下にさらされた状態となり、磁気エンコーダ１０が塩泥水を被ることがあるが、磁気エンコーダ１０を構成する焼結体芯金一体品２１の全体に化学蒸着による高分子量ポリパラキシリレン膜等の防食皮膜２２が施されていることから、塩泥水により磁気エンコーダ１０に錆が発生するのを確実に防止することができる。また、磁気エンコーダ１０と、これに対面させる磁気センサ１５との間に砂粒等の粒子が噛み込むことがあるが、上記のように磁気エンコーダ１０の多極磁石１４は焼結体からなるものであって硬質であるため、多極磁石１４の表面の摩耗損傷は従来の弾性体製のものに比べて大幅に低減される。
【００５５】
内外の部材１，２間のシールについては、第２のシール板１２に設けられた各シールリップ１６ａ〜１６ｃの摺接と、第２のシール板１２の円筒部１２ａに第１のシール板である芯金１１の他円筒部１１ｃが僅かな径方向隙間で対峙することで構成されるラビリンスシール１７とで得られる。
【００５６】
図１０は、車輪用軸受の他の実施形態を示す。この車輪用軸受は、第２世代型のものであり、内方部材１が、ハブ輪５Ａと、このハブ輪５Ａの外周に嵌合した複列の内輪６Ａ，６Ｂとでなる。ハブ輪５Ａには等速ジョイント７の外輪が連結される。その他の構成は図８，図４に示す車輪用軸受と同様である。なお、図８の例では図示を省略したが、図８の車輪用軸受も、等速ジョイントの外輪が連結される。
【００５７】
なお、図８および図９に示す車輪用軸受、および図１０に示す車輪用軸受は、いずれも磁気エンコーダ１０の芯金１１を、図１の形状のものとした場合について示しているが、磁気エンコーダ１０として図４〜図７に示した各例のものを用いても良い。
また、磁気エンコーダ１０を軸受のシール装置１８の構成要素とする場合等において、多極磁石１４を、上記各実施形態とは逆に軸受に対して内向きに設けても良い。すなわち、多極磁石１４を芯金１１の軸受内側の面に設けても良い。その場合、芯金１１は非磁性体製のものとすることが好ましい。
また、外方部材が回転側部材となる車輪用軸受では、外方部材に磁気エンコーダを取付ける。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】（Ａ）はこの発明の第１の実施形態にかかる磁気エンコーダの部分斜視図、（Ｂ）は同磁気エンコーダの組立過程を示す部分斜視図である。
【図２】同磁気エンコーダを正面から示す磁極の説明図である。
【図３】同磁気エンコーダを備えたシール装置と磁気センサとを示す部分破断正面図である。
【図４】同磁気エンコーダにおける多極磁石の一例の裏面を示す斜視図である。
【図５】同磁気エンコーダにおける多極磁石の他の例の裏面を示す斜視図である。
【図６】同磁気エンコーダにおける芯金の一例を示す部分斜視図である。
【図７】同磁気エンコーダにおける芯金の他の例を示す部分斜視図である。
【図８】第１の実施形態にかかる磁気エンコーダを備えた車輪用軸受の全体の断面図である。
【図９】同車輪用軸受の部分断面図である。
【図１０】第１の実施形態にかかる磁気エンコーダを備えた車輪用軸受の他の例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１…内方部材
２…外方部材
３…転動体
１０…磁気エンコーダ
１１…芯金（第１のシール板）
１４…多極磁石
１５…磁気センサ
１６ａ…サイドリップ
１６ｂ，１６ｃ…ラジアルリップ
８５…シール装置
２０…回転検出装置
２１…焼結体芯金一体品
２２…防食皮膜
【図１】
2006153577.tif 000008
【図２】
2006153577.tif 000009
【図３】
2006153577.tif 000010
【図４】
2006153577.tif 000011
【図５】
2006153577.tif 000012
【図６】
2006153577.tif 000013
【図７】
2006153577.tif 000014
【図８】
2006153577.tif 000015
【図９】
2006153577.tif 000016
【図１０】
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