(57)【要約】【課題】二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの発光強度を高め、発光効率を改善し、寿命を延ばす。【解決手段】誘電体層２の一方の面に共通電極１を設け、誘電体層２の他方の面に内部電極３を設ける。これを平面型の放電容器の中に収め、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電容器の中に放電用ガスを充填する。誘電体層２が放電用ガスに接触するように、内部電極３に放電開口部４を多数設ける。放電容器の一部である誘電体５の外側に、外部開口部７を有する外部電極６を設ける。内部電極３と外部電極６に高周波電圧を印加する。光シースを伸ばすことができ、発光強度が飛躍的に高まる。高周波電圧の位相をずらすことにより、発光強度がさらに高まる。放電開口部４と内部電極３にＭgＯ膜を積層することにより、発光効率が向上し寿命が延びる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉された誘電体製の放電容器と、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように前記放電容器の中に充填された放電用ガスと、前記放電用ガスに直接接触する放電開口部が多数設けられた内部電極と、前記内部電極に接して設けられた誘電体層と、前記誘電体層を介して前記内部電極に対向して配置された共通電極と、前記放電用ガスと前記放電容器を介して前記共通電極に対向して前記放電容器の外側に設けられた外部電極とを備えたことを特徴とする二次元アレー型誘電体バリア放電装置。
【請求項２】
前記放電開口部を、ＭgＯまたは窒化アルミニウムの絶縁膜で被覆したことを特徴とする請求項１に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電装置。
【請求項３】
前記絶縁膜と前記内部電極との間に、セラミックあるいはシリカガラスの膜を積層させたことを特徴とする請求項２に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電装置。
【請求項４】
前記外部電極の表面に、セラミックあるいはシリカガラスの膜を積層させたことを特徴とする請求項１に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電装置。
【請求項５】
前記外部電極に印加する高周波電流の位相を、前記内部電極に印加する高周波電流の位相と異ならせることを特徴とする請求項１に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電装置。
【請求項６】
前記共通電極と前記誘電体層と前記内部電極と前記放電容器と前記外部電極を円柱状として軸対称に配置したことを特徴とする請求項１に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電装置。
【請求項７】
エキシマー光を取り出す光取出窓が設けられて密閉された誘電体製の放電容器と、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように前記放電容器の中に充填された放電用ガスと、前記放電用ガスに直接接触する放電開口部が多数設けられた内部電極と、前記内部電極に接して設けられた誘電体層と、前記誘電体層を介して前記内部電極に対向して配置された共通電極と、前記放電用ガスと前記放電容器を介して前記共通電極に対向して前記放電容器の外側に設けられた外部電極とを備えたことを特徴とする二次元アレー型誘電体バリア放電ランプ。
【請求項８】
前記放電開口部を、ＭgＯまたは窒化アルミニウムの絶縁膜で被覆したことを特徴とする請求項７に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプ。
【請求項９】
前記絶縁膜と前記内部電極との間に、セラミックあるいはシリカガラスの膜を積層させたことを特徴とする請求項８に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１０】
前記外部電極の表面に、セラミックあるいはシリカガラスの膜を積層させたことを特徴とする請求項７に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１１】
前記外部電極に印加する高周波電流の位相を、前記内部電極に印加する高周波電流の位相と異ならせることを特徴とする請求項７に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１２】
前記共通電極と前記誘電体層と前記内部電極と前記放電容器と前記外部電極を円柱状として軸対称に配置したことを特徴とする請求項７に記載の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二次元アレー型誘電体バリア放電ランプに関し、特に、放電容器の外側に発光開口部電極とは別の開口電極を設けて発光強度を高めた二次元アレー型誘電体バリア放電ランプに関する。出力光を照明や露光など光として利用する場合に二次元アレー型誘電体バリア放電ランプとよび、出力光をオゾン発生など光の物理的あるいは化学的作用を利用することも含む場合に二次元アレー型誘電体バリア放電装置とよぶことにする。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ放電を応用したランプは、超LSIなどの半導体基板露光のプロセスや、オゾンや解離酸素による表面クリーン処理等の環境分野や、ディスプレイ用光源や、照明等の光源などに応用されている。特に、石英ガラス２重管構造で知られる誘電体バリア放電を用いたエキシマランプにより、従来の低圧水銀灯や高圧アーク放電ランプにはない126nm、146nm、172nm、222nm、308nm等の、環境分野や半導体製造プロセスにおいて特に有用な単一波長光を、選択的に高効率で取り出せるようになった。
【０００３】
エキシマランプは、内側電極、誘電体（石英ガラス）、放電ガス領域、誘電体（石英ガラス）、外電極（網状電極）の５層、または、内側電極、放電ガス領域、誘電体（石英ガラス）、外電極（網状電極）の４層からなるものである。エキシマー分子が形成可能な放電ガス領域で、誘電体バリア放電により得たエキシマー光を、外部電極（網状電極）から漏れる光として利用するものである。ランプが安定に点灯するまでの時間が短く、高輝度、照度均一性、長寿命の点については、従来のランプと比較して優位性がある。
【０００４】
PDP（プラズマディスプレイパネル）の分野では、蛍光塗料を発光させるための紫外線光源として用いられている。PDPの基本構造は、厚さ数ミクロンの金属電極と、誘電体と、金属電極の三層構造である。小型で光特性がよい光源とするために、多層の電極構造が提案されている。しかし、電気エネルギーを光エネルギーに変換する効率が悪く、蛍光灯の1／10程度である。最近では、高周波化による効率の向上も図られている。
【０００５】
エキシマー分子は、１励起原子が基礎となり、他の２つの基底原子との三体衝突により形成される。高圧希ガス中では、三体衝突の確率が増加するため、エキシマー分子が効率よく生成される。エキシマー光の強度を高めるには、大気圧よりも高い圧力で動作させる。高圧ガス雰囲気中では、絶縁破壊電圧の上昇に伴い、グロー放電からアーク放電へ移行しやすくなり、安定な放電が成立しなくなる。
【０００６】
エキシマランプは、構造上、放電ギャップが大きい。そのため、高圧ガス中での高輝度化には、高電圧印加の必要がある。しかし、高電圧を印加すれば、グロー放電からアーク放電へ移行して、高輝度化できない。放電ギャップそのものに放電容器が含まれており、放電空間である希ガス領域と石英ガラスを薄くできないためである。静電容量が大きい分、放電に投入されるエネルギーのロスが多く、発光効率が悪い。放電エネルギーのロスを防止して発光効率を高めるためには、誘電体を薄膜化にする必要があるが、誘電体の厚さは１mm以下にできない。誘電体を薄膜化して放電ギャップを縮小することで発光効率を高めることは困難である。エキシマランプの配光分布に関しては、発光面で均一でないという問題がある。面照射対象物に対して均一に紫外線を照射するためには、光学系を必要とする。光学系はコストが高いという問題がある。また、光学系を必要とするので、光源を照射対象物に接近できない。照射対象物に対して光源を接近できないので、強い光が利用できないという問題がある。
【０００７】
これらの問題を解決するために、本発明者らは、発光効率が良く高輝度で、高圧ガス中で安定にグロー放電するエキシマランプを、非特許文献１、２において提案した。この二次元アレー型誘電体バリア放電装置の構造を、図７に示す。この構造であると、発光部位である開口径が小さいほど、開口縁における電界集中が顕著となる。発光強度、発光効率とも、ガス圧力の増加に伴い、ある程度まで一様に増加するので、高圧ガス雰囲気中での動作に適している。
【非特許文献１】第49回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集（2002.3東海大学湘南校舎）29ａ-Ｄ-７「真空紫外光源用二次元アレー型希ガスマイクロ放電の特性」
【非特許文献２】第17回光源物性とその応用研究会資料「二次元アレー型エキシマー光源の開発」，pp.89-95,2002.12
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、従来の二次元アレー型誘電体バリア放電装置では、以下のような問題がある。高圧ガスを封入した平面型のランプは、従来のメタルハライドランプや超高圧水銀ランプや水銀ショートアークランプに比較して、放電容器であるバルブの機械的強度が弱いため、製造時や消費者の取り扱い時などに、破裂等の危険が伴う。
【０００９】
また、発光部位である開口部の面積は、放電維持のために小さくする必要があり、発光強度が十分に高くならない。発光部位である開口部の径が小さくなるにつれて、開口部の円周長が、面積当たりにすると長くなるため、開口部の縁により発光が遮断される割合が大きくなる。また、誘電体表面の発光領域は、誘電体表面のごく近くにあり、その光シースの厚さは、ガス圧力が１気圧の場合に100〜200μmである。ガス圧力が高くなるにつれて、その厚さはさらに薄くなる。この２つの効果により、微小開口の放電装置では、光が遮断される割合が大きくなり、高輝度化が困難である。従来の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプでは、２重管誘電体バリア放電ランプの発光強度と比較して、1／５〜1／10である。
【００１０】
本発明の目的は、上記従来の問題を解決して、放電によって発生する平面的な発光の厚さを大きくし、光シースに奥行きを持たせることにより、二次元アレー型誘電体バリア放電装置の発光強度を高めることである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、本発明では、二次元アレー型誘電体バリア放電装置を、密閉された誘電体製の放電容器と、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように放電容器の中に充填された放電用ガスと、放電用ガスに直接接触する放電開口部が多数設けられた内部電極と、内部電極に接して設けられた誘電体層と、誘電体層を介して内部電極に対向して配置された共通電極と、放電用ガスと放電容器を介して共通電極に対向して放電容器の外側に設けられた外部電極とを備えた構成とした。このように、発光部位である開口部の電極とは別に、放電容器の外側にもうひとつの開口電極を設けた構成により、発光効率の良い光シースを開口面に垂直の方向に伸ばすことができ、発光強度が大幅に高まる。
【００１２】
また、放電開口部を、ＭgＯまたは窒化アルミニウムの絶縁膜で被覆したことにより、二次電子放出を助けて発光効率を改善できる。また、絶縁膜と内部電極との間に、セラミックあるいはシリカガラスの膜を積層させたことにより、放電に起因する電極のスパッタを防止することができ、発光効率を改善し、寿命を延ばすことができる。さらに、外部電極の表面に、セラミックあるいはシリカガラスの膜を積層させたことにより、放電に起因する電極の酸化や疲労を防止でき、寿命を延ばすことができる。さらに、外部電極に印加する高周波電流の位相を、内部電極に印加する高周波電流の位相と異ならせることにより、発光効率を改善できる。さらに、共通電極と誘電体層と内部電極と放電容器と外部電極を円柱状として軸対称に配置したことにより、円柱面全周方向に光を放射できる。
【発明の効果】
【００１３】
放電容器の外側に、外部電極を配置することにより、内部電極の開口部で発生した光シースを、厚み方向に伸ばすことができ、発光強度が飛躍的に高まる。内部電極と外部電極に印加する高周波電圧の位相をずらすことにより、発光強度がさらに高まる。内部電極の開口部に絶縁膜を積層し、内部電極と絶縁膜の間にセラミック膜を積層し、外部電極の上面にもセラミック膜を積層することにより、発光効率が向上し寿命が延びる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図１〜図６を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００１５】
本発明の実施例１は、密閉された誘電体製の放電容器中に、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電用ガスを充填し、内部電極に、放電用ガスに直接接触する放電開口部を多数設け、内部電極に接する誘電体層を設け、誘電体層を介して内部電極に対向する共通電極を配置し、放電容器の外側に外部電極を設けた二次元アレー型誘電体バリア放電装置である。
【００１６】
図１は、本発明の実施例１における二次元アレー型誘電体バリア放電装置の断面図である。図１において、共通電極１は、穴のない平板状の電極である。誘電体２は、共通電極１の上面に配された平板状のマイカなどの誘電体である。誘電体２は、放電容器の一部であってもよい。内部電極３は、穴のない平板状の電極である。放電開口部４は、内部電極３に設けられた多数の穴である。誘電体５は、放電容器の一部である誘電体である。放電容器と別に設けてもよい。外部電極６は、放電容器の外側に設けられた電極である。外部開口部７は、外部電極６に設けられた多数の穴である。エキシマー発光部Ａは、放電装置内で光を放射するプラズマである。エキシマー光Ｂは、放電装置の外に放射された光である。電源E1は、内部電極３に印加する高周波電流を供給する電源である。電源E2は、外部電極６に印加する高周波電流を供給する電源である。
【００１７】
誘電体５の外側に接触させて、外部電極６を設ける。外部電極６は、放電用ガスと誘電体５を介して、共通電極１と対向している。この構成により、内部電極３の開口部における誘電体２の表面のエキシマー発光部Ａが、外部電極６方向へ伸びる。結果的に、エキシマー光Ｂが得られる。外部電極６を設けた場合のエキシマー光Ｂの強度は、外部電極６を設けない場合よりはるかに大きい。
【００１８】
誘電体２と誘電体５（合成石英ガラス）の厚さを２mmとする。共通電極１と内部電極３と外部電極６の厚さを、20μmとする。内部電極３の開口径を２mmとする。外部電極６の開口径を４mmとする。誘電体２と誘電体５との距離を５mmとする。外部電極６ありの放電装置を＃１とする。外部電極６無しの放電装置を＃２とする。内部電極用交流電源E1から、共通電極１と内部電極との間に、電圧が４kVで周波数が10kHzの高周波電圧を印加する。外部電極用交流電源E2から、共通電極１と外部電極６との間に、電圧が10kVで周波数が10kHzの高周波電圧を印加する。600TorrのＡrガス雰囲気中で放電を行い、それぞれの放電装置において、発光効率と発光強度を比較する。
【００１９】
外部電極６が無い放電装置＃２の発光強度と、外部電極６が有る放電装置＃１の発光強度の比は、１：50であり、外部電極６が有る放電装置＃１の発光強度の方がはるかに大きい。外部電極６が無い放電装置＃２の発光効率と、外部電極６が有る放電装置＃１の発光効率の比は、３：２であり、外部電極６の無い放電装置＃２の方が優位である。外部電極６が設けられた放電装置＃１は、外部電極６が無い放電装置＃２より、発光効率の面では多少劣るが、明らかに発光強度が高まる。これは、外部電極６を設けたことにより、内部電極３における誘電体２表面の光シース部が、厚さ方向（外部電極６方向）に伸びるからである。このようにして、二次元アレー型放電装置における発光強度を高めることができる。
【００２０】
誘電体バリアを挟む電極間に高周波電圧を印加すると、雰囲気中の希ガス分子が三体衝突を起こし、エキシマー分子が生成される。このとき、励起されたエキシマー分子が、余剰エネルギーを遷移光として放出する。このようにして、誘電体バリア放電により発光する。励起されたエキシマー分子の寿命は、数〜数十nsecといわれている。したがって、光は途切れ途切れに出る。外部電極６を設けた放電装置において、共通電極１と内部電極３の間に印加する電圧の位相に対して、共通電極１と外部電極６の間に印加する電圧の位相をずらすことにより、励起されたエキシマー分子の寿命を長くして、光の途切れを補うことが可能であると考えられる。２つの高周波電圧の位相を45度ずらした放電装置と、同位相の高周波電圧を印加する放電装置とで、発光効率を比較する。放電は、600TorrのＡrガス雰囲気中で行う。高周波電圧の位相をずらした放電装置の方が、同一位相の電圧を印加した放電装置より、発光効率が30％向上する。
【００２１】
上記のように、本発明の実施例１では、二次元アレー型誘電体バリア放電装置を、密閉された誘電体製の放電容器中に、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電用ガスを充填し、内部電極に、放電用ガスに直接接触する放電開口部を多数設け、内部電極に接する誘電体層を設け、誘電体層を介して内部電極に対向する共通電極を配置し、放電容器の外側に外部電極を設けた構成としたので、内部電極の開口部で発生した光シースを、厚み方向に伸ばすことができ、発光強度が飛躍的に高まる。内部電極と外部電極の印加電圧の位相をずらすことにより、発光強度がさらに高まる。
【実施例２】
【００２２】
本発明の実施例２は、密閉された誘電体製の放電容器中に、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電用ガスを充填し、内部電極に、放電用ガスに直接接触する放電開口部を多数設け、放電開口部をＭgＯ膜で被覆し、内部電極に接する誘電体層を設け、誘電体層を介して内部電極に対向する共通電極を配置し、放電容器の外側に外部電極を設けた二次元アレー型誘電体バリア放電装置である。
【００２３】
図２は、本発明の実施例２における二次元アレー型誘電体バリア放電装置の断面図である。図３は、二次元アレー型誘電体バリア放電装置の別の例の断面図である。図２と図３において、ＭgＯ膜3aは、ＭgＯ（窒化アルミニウムでもいい）の絶縁膜である。絶縁膜3bは、セラミック（シリカガラスでもよい）の絶縁膜である。その他の構成は、実施例１と同じである。
【００２４】
二次元アレー型放電装置において、発光効率をさらに向上させ、長寿命化するため、図２に示すように、誘電体２の表面と内部電極３の表面に、ＭgＯ膜あるいは窒化アルミニウムの絶縁膜3aを積層する。または、図３に示すように、絶縁膜3aと内部電極３との間に、セラミックあるいはシリカガラスの高融点で電気的に高絶縁性の膜３ｂを積層する。または、誘電体２の表面のみに、ＭgＯ膜あるいは窒化アルミニウムの絶縁膜3aを積層する。または、絶縁膜3aと内部電極３との間にセラミックあるいはシリカガラスの高融点で電気的に高絶縁性の膜3bを積層させ、外部電極６の表面と誘電体５の表面にセラミックあるいはシリカガラスの高融点で電気的に高絶縁性の膜3bを積層する。これらの二次元アレー型放電装置の発光効率と寿命を、絶縁膜3a、3bがない放電装置と比較する。
【００２５】
誘電体２と誘電体５（合成石英ガラス）の厚さを２mmとする。共通電極１と内部電極３と外部電極６の厚さを20μmとする。ＭgＯ膜あるいは窒化アルミニウムの絶縁膜3aとセラミックあるいはシリカガラスの高融点で電気的に高絶縁性の膜3bの厚さを５μmとする。内部電極３の開口径を２mmとする。外部電極６の開口径を４mmとする。誘電体２と誘電体５との距離を７mmとする。共通電極１と内部電極３との間に、電源Ｅ１から、電圧が４kVで周波数が10kHzの高周波電圧を印加する。共通電極１と外部電極６との間に、電源Ｅ２から、電圧が10kVで周波数が10kHzの高周波電圧を印加する。これらの放電装置を、600TorrのＡrガス雰囲気中で放電を行う。
【００２６】
それぞれの膜を積層した放電装置の発光効率と寿命の相対値を、図４の表に示す。絶縁膜3a、3bの積層がともに無い放電装置は、照度と寿命がともに最も悪い。絶縁膜3a、3bを積層した放電装置中で比較すると、照度に関しては、誘電体２の表面のみにＭgＯ膜あるいは窒化アルミニウムの絶縁膜3aを積層した構造のものが、最も優位であるが、寿命に関しては、最も悪い。一方、寿命に関しては、絶縁膜3aと内部電極３との間に、高融点で電気的に高絶縁性の膜3bを積層した放電装置が最も優位であるが、照度に関しては、最も悪い。また、外部電極６の上に、セラミックあるいはシリカガラスの高融点で電気的に高絶縁性の膜3bを積層した放電装置は、積層していないものと比較して寿命が長い。
【００２７】
いずれにせよ、ＭgＯ膜あるいは窒化アルミニウムの絶縁膜3aと、セラミックコーティングあるいは石英ガラスコーティングによる絶縁膜3bは、照度を高め、寿命を延ばすことに効果がある。用途や目的に応じて、これらの膜の積層箇所を選択することにより、放電装置の特性を最適化することができる。
【００２８】
上記のように、本発明の実施例２では、二次元アレー型誘電体バリア放電装置を、密閉された誘電体製の放電容器中に、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電用ガスを充填し、内部電極に、放電用ガスに直接接触する放電開口部を多数設け、放電開口部をＭgＯ膜で被覆し、内部電極に接する誘電体層を設け、誘電体層を介して内部電極に対向する共通電極を配置し、放電容器の外側に外部電極を設けた構成としたので、発光効率を高め、寿命を延ばすことができる。
【実施例３】
【００２９】
本発明の実施例３は、エキシマー光を取り出す光取出窓が設けられて密閉された誘電体製の放電容器中に、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電用ガスを充填し、内部電極に、放電用ガスに直接接触する放電開口部を多数設け、放電開口部をＭgＯ膜で被覆し、内部電極に接する誘電体層を設け、誘電体層を介して内部電極に対向する共通電極を配置し、放電容器の外側に外部電極を設けた二次元アレー型誘電体バリア放電ランプである。
【００３０】
図５は、本発明の実施例２における平面型の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの基本構造を示す断面図である。図５において、誘電体５は、放電容器の一部である。その他の構成は、実施例１、２と同じである。放電ガスは、Ｎe，Ａr，Ｘe，Ｋr，Ｃl2，Ｉ2，Ｂr2，Ｆ2のいずれかであるが、それらの混合ガスでもよい。放電容器と放電電極などは、化学的に接着してもよいし、機械的に接合してもよい。ランプ形状は平面型に限らず、円柱全面を発光面とする２重管の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプとすることも可能である。
【００３１】
図６は、本発明の実施例３における円柱面を光照射面とした２重管二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの断面図である。共通電極と誘電体層と内部電極と放電容器と外部電極を円柱状として同軸で軸対称に配置したものである。各電極と各誘電体は、同軸の円筒状である。共通電極と誘電体層と内部電極と放電容器と外部電極を円柱状として軸対称に配置したことにより、円柱面全周方向に光を放射できる。
【００３２】
上記のように、本発明の実施例３では、二次元アレー型誘電体バリア放電ランプを、エキシマー光を取り出す光取出窓が設けられて密閉された誘電体製の放電容器中に、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電用ガスを充填し、内部電極に、放電用ガスに直接接触する放電開口部を多数設け、放電開口部をＭgＯ膜で被覆し、内部電極に接する誘電体層を設け、誘電体層を介して内部電極に対向する共通電極を配置し、放電容器の外側に外部電極を設けた構成としたので、発光効率が良く寿命が長い明るいランプを実現できる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の二次元アレー型誘電体バリア放電ランプは、半導体基板露光用やオゾン発生用の紫外線ランプとして最適である。また、蛍光体と組み合わせてディスプレイ用光源とする用途にも適している。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施例１における二次元アレー型誘電体バリア放電装置の断面図、
【図２】本発明の実施例２におけるＭgＯ膜を積層した二次元アレー型誘電体バリア放電装置の断面図、
【図３】本発明の実施例２におけるＭgＯ膜とセラミック膜を積層した二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの断面図、
【図４】ＭgＯ膜やセラミック膜を積層した放電装置における発光効率と寿命の相対値を示す表、
【図５】本発明の実施例３における二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの断面図、
【図６】本発明の実施例３における円柱面を光照射面とした２重管二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの断面図、
【図７】従来の二次元アレー型誘電体バリア放電装置の断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  共通電極
２  誘電体
３  内部電極
3a  ＭgＯ膜
3b  絶縁膜
Ａ  エキシマー発光部
Ｂ  エキシマー光
４  放電開口部
５  誘電体
６  外部電極
７  外部開口部
E1  電源
E2  電源
【図１】
2006073389.tif 000003
【図２】
2006073389.tif 000004
【図３】
2006073389.tif 000005
【図４】
2006073389.tif 000006
【図５】
2006073389.tif 000007
【図６】
2006073389.tif 000008
【図７】
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