(57)【要約】【課題】  ハンドに保持されたガラス基板の位置精度を高め、ガラス基板がマガジン等に接触して損傷するのを確実に防止する。【解決手段】  マガジン１１に対して進退移動可能な搬送用ロボット１０のハンド２１に、ガラス基板１２を吸着保持する複数の吸着保持手段を設け、また搬送用ロボット１０の旋回台２０にガラス基板を収納方向と直交する方向に芯出し位置決めする芯出し位置決め手段５１を設け、該芯出し位置決め手段によってガラス基板を芯出し位置決めした状態で旋回台を旋回するようにした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を収納するマガジンに対してガラス基板を取り出しあるいは収納するための搬送用ロボットを備え、該搬送用ロボットの旋回台上にハンドを前記マガジンに対して前記収納方向に進退移動可能に設け、該ハンドに前記ガラス基板を吸着保持する複数の吸着保持手段を設け、前記旋回台に前記ガラス基板を前記収納方向と直交する方向に芯出し位置決めする芯出し位置決め手段を設けたことを特徴とするガラス基板供給装置。
【請求項２】
請求項１において、前記芯出し位置決め手段によってガラス基板を芯出し位置決めした状態で前記旋回台を旋回するようにしたことを特徴とするガラス基板供給装置。
【請求項３】
請求項１において、前記位置決め手段は、前記ガラス基板の収納方向と直交する方向に離間して設けられた少なくとも一対のプーリと、該プーリに掛け渡されたエンドレス状の周回部材と、該周回部材の対向する側にそれぞれ連結され前記ガラス基板を両側から挟み込むように芯出し位置決めする少なくとも一対の芯出し部材と、前記周回部材を所定量往復運動させるアクチュエータとによって構成したことを特徴とするガラス基板供給装置。
【請求項４】
請求項１、請求項２もしくは請求項３において、前記吸着保持手段は、前記ハンドに形成され真空源に接続される円筒状の空間部と、該空間部に収容された円筒状の保持体と、該保持体の外周に装着された環状の弾性部材と、該弾性部材に内周を接触されてフローティング可能かつ上下方向に移動可能に保持され上端が前記空間部より突出して前記ガラス基板を真空吸着する吸着部材と、該吸着部材を上方に付勢する付勢手段とによって構成したことを特徴とするガラス基板供給装置。
【請求項５】
請求項４において、前記吸着部材の上面に、前記空間部に連通された小径の多数の孔を開口したことを特徴とするガラス基板供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送ロボットを用いて、液晶パネル等のガラス基板を所定位置に供給するガラス基板供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
搬送用ロボットを用いて、液晶パネル等のガラス基板を所定位置に供給するガラス基板供給装置においては、ガラス基板を１枚ずつ上下方向に収納するマガジンが用意され、このマガジンより搬送用ロボットによってガラス基板を１枚ずつ取り出して所定の処理工程に送り込み、処理工程において必要な処理を施されたガラス基板を、搬送用ロボットによって元のマガジン、あるいは別のマガジンに収納するようになっている。このような構成のガラス基板供給装置が、特許文献１に記載されている。
【０００３】
この種のガラス基板供給装置で取り扱うガラス基板は、反りが生じやすく、しかも、負荷をかけると内部構造が破壊がしたりすることから、一般にロボットハンドに、フローティング可能な真空吸着部を複数備え、これら真空吸着部によって、ガラス基板を下から支えるように支持してマガジンから取り出すようにしている。このような構成のロボットハンドが特許文献２に記載されている。
【０００４】
ところで、マガジンから取り出されたガラス基板は、水平面内で所定角度旋回された後、処理工程に送り込まれ、また、処理工程により必要な処理を施されたガラス基板は、処理工程より取り出された後、旋回されてマガジン側に向けられ、マガジンに収納される。かかる旋回時に、ロボットハンドに対するガラス基板の保持状態によっては、稀にガラス基板がロボットハンドに対して位置ずれを生ずる場合がある。位置ずれを生じた状態で、ガラス基板がマガジンに収納されると、ガラス基板のエッジ部がマガジンに接触して破損する恐れがある。
【特許文献１】特開２０００−１３３６９４号公報（段落００１２、００１３、図１）
【特許文献２】特開２００３−２６６３５４号公報（段落０００８、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような問題に対処するためには、ロボットハンドの旋回速度を可及的に遅くしたり、あるいはまた、ロボットハンドによるガラス基板の吸着力を大きくすることが考えられるが、前者においては、サイクルタイムの増長を招き、また、後者においては、ガラス基板を破損する等の新たな問題を発生する恐れがあり、いずれの方法も根本的な解決とはならないのが実状である。
【０００６】
本発明は、上記した従来の不具合を解消するためになされたもので、搬送用ロボットのハンドに保持されたガラス基板の位置精度を高めることにより、ガラス基板がマガジン等に接触して破損する事態を未然に防止できるガラス基板供給装置を提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に記載された発明に係るガラス基板供給装置の構成上の特徴は、ガラス基板を収納するマガジンに対してガラス基板を取り出しあるいは収納するための搬送用ロボットを備え、該搬送用ロボットの旋回台上にハンドを前記マガジンに対して前記収納方向に進退移動可能に設け、該ハンドに前記ガラス基板を吸着保持する複数の吸着保持手段を設け、前記旋回台に前記ガラス基板を前記収納方向と直交する方向に芯出し位置決めする芯出し位置決め手段を設けたことを特徴とするものである。
【０００８】
請求項２に記載された発明に係るガラス基板供給装置の構成上の特徴は、請求項１において、前記芯出し位置決め手段によってガラス基板を芯出し位置決めした状態で前記旋回台を旋回するようにしたことを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に記載された発明に係るガラス基板供給装置の構成上の特徴は、請求項１において、前記位置決め手段は、前記ガラス基板の収納方向と直交する方向に離間して設けられた少なくとも一対のプーリと、該プーリに掛け渡されたエンドレス状の周回部材と、該周回部材の対向する側にそれぞれ連結され前記ガラス基板を両側から挟み込むように芯出し位置決めする少なくとも一対の芯出し部材と、前記周回部材を所定量往復運動させるアクチュエータとによって構成したことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４に記載された発明に係るガラス基板供給装置の構成上の特徴は、請求項１、請求項２もしくは請求項３において、前記吸着保持手段は、前記ハンドに形成され真空源に接続される円筒状の空間部と、該空間部に収容された円筒状の保持体と、該保持体の外周に装着された環状の弾性部材と、該弾性部材に内周を接触されてフローティング可能かつ上下方向に移動可能に保持され上端が前記空間部より突出して前記ガラス基板を真空吸着する吸着部材と、該吸着部材を上方に付勢する付勢手段とによって構成したことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項５に記載された発明に係るガラス基板供給装置の構成上の特徴は、請求項４において、前記吸着部材の上面に、前記空間部に連通された小径の多数の孔を開口したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
上記のように構成した請求項１に係るガラス基板供給装置によれば、搬送用ロボットの旋回台に、マガジンに対して収納方向に進退移動可能なハンド上に保持したガラス基板を、収納方向と直交する方向に芯出し位置決めする位置決め手段を設けた構成であるので、ハンド上にガラス基板がずれて保持されていても、ガラス基板を旋回台上の正確な位置に芯出し位置決めできるようになり、これによって、ガラス基板がマガジンに接触して破損する事態を確実に防止できる効果がある。
【００１３】
上記のように構成した請求項２に係るガラス基板供給装置によれば、芯出し位置決め手段によってガラス基板を芯出し位置決めした状態で旋回台を旋回するようにしたので、旋回台によるガラス基板の旋回時に、ガラス基板が旋回モーメントによってハンド上で位置ずれする事態を防止できる効果がある。このことはまた、吸着保持手段によるガラス基板の吸着保持力を大きくしなくても、ガラス基板の位置ずれを防止でき、過大な吸着力によるガラス基板の破損を防止するうえからも有効となる。
【００１４】
上記のように構成した請求項３に係るガラス基板供給装置によれば、ガラス基板を両側から挟み込むように芯出し位置決めする一対の芯出し部材を、アクチュエータによる周回部材の往復運動によって、接近、離間する方向に同期的に作動させるように構成したので、単一のアクチュエータによる簡単な構成によって、ガラス基板の芯出し位置決めを確実に行い得る効果がある。
【００１５】
また、上記のように構成した請求項４に係るガラス基板供給装置によれば、ガラス基板を真空吸着する吸着部材を、環状の弾性部材の外周に内周を接触させてフローティング可能に支持した構成であるので、弾性部材による弾性支持作用と、吸着部材と弾性部材との接触面積の最小化とが相俟って、吸着部材をガラス基板の反りに倣ってきわめて滑らかにフローティングさせることができ、ガラス基板を無理なく安定して保持できる効果がある。
【００１６】
さらに、上記のように構成した請求項５に係るガラス基板供給装置によれば、ガラス基板に接触する吸着部材の上面に、小径の多数の孔を開口した構成であるので、吸着部材の上面全体でガラス基板を無理な力を作用させることなく吸着できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１および図２において、１０はガラス基板搬送用ロボット、１１は液晶パネル等のガラス基板１２を上下方向に多数収納する収納棚を備えたマガジンを示す。搬送用ロボット１０は、一例として、４つの自由度を有する直交座標形からなり、その固定フレーム１３には、スライドテーブル１４がＹ軸方向に水平移動可能に装架され、固定フレーム１３に設置されたＹ軸サーボモータ１５によりボールねじ機構を介して移動制御されるようになっている。スライドテーブル１４には昇降ブロック１６がＺ軸方向に上下移動可能に装架され、スライドテーブル１４に設置されたＺ軸サーボモータ１７によりボールねじ機構を介して移動制御されるようになっている。昇降ブロック１６には旋回軸１８が鉛直軸線の回りに回動可能に支持され、昇降ブロック１６に設置されたθ軸サーボモータ１９により減速機を介して回動されるようになっている。
【００１８】
前記旋回軸１８上には、旋回台２０が設置されている。旋回台２０上には、後述するようにハンド２１が前記Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に水平移動可能に装架され、旋回台２０に設置されたＸ軸サーボモータ２２によりボールねじ機構を介して移動制御されるようになっている。なお、ハンド２１の移動方向は、旋回台２０の旋回によって任意の方向を採り得るため、前記Ｘ軸方向は必ずしもＹ軸方向に直交するものとは限らないが、本実施の形態においては、ハンド２１を進退させる角度位置におけるＸ軸方向がＹ軸方向に直交するものであるため、便宜上、Ｘ軸方向はＹ軸方向に直交するものとして説明する。
【００１９】
前記各軸サーボモータ１５、１７、１９、２２は、図３に示すように、サーボＣＰＵ２３を介してロボットコントローラ２４に接続されている。各軸サーボモータ１５、１７、１９、２２には、エンコーダ２５、２６、２７、２８がそれぞれ接続され、各軸のモータ回転量がサーボＣＰＵ２３にフィードバックされる。これにより、前記ハンド２１は、予めプログラムされたＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸およびθ軸の目標位置に位置決め制御されるようになる。
【００２０】
前記搬送用ロボット１０の旋回軸１８上に設置された旋回台２０上には、Ｘ軸方向に沿ってガイドレール３１が設置され、このガイドレール３１に前記ハンド２１がＸ軸方向にスライド可能に案内されている。ハンド２１はマガジン１１の収納棚に進入できるように薄肉で扁平状の板材からなり、このハンド２１の上面にガラス基板１２を吸着保持する複数の吸着保持手段３２が所定の間隔を存して配設されている。
【００２１】
上記した搬送用ロボット１０は、ハンド２１のＸ軸方向の進退移動、及びＺ軸方向の上下移動により、マガジン１１の収納棚に収納されたガラス基板１２を１枚ずつ取り出す。そして、搬送用ロボット１０の旋回軸１８の回動により、ハンド２１が所定角度旋回され、ハンド２１上に保持されたガラス基板１２が図略の製造プロセス装置の搬入口に向けられる。
【００２２】
次に前記ハンド２１に設けられた吸着保持手段３２の具体的構成を図４および図５に基づいて説明する。ハンド２１には、その上面に開口する円形状の空間部４１が形成されている。空間部４１は上方の開口部の径よりも底面側の径の方が僅かに大きく形成され、これによって空間部４１の中央に段部４２を形成している。空間部４１の底面上には、リング状の円筒体４３が空間部４１と同心的に設けられ、この円筒体４３の外周に形成された環状溝４４にＯリングのような環状の弾性部材４５がそのほぼ半分を収容されるように装着されている。空間部４１には円筒状の吸着部材４６がフローティング可能に収容され、吸着部材４６の上端は空間部４１の開口より上方に突出され、下端外周には前記段部４２に当接する抜け止め用鍔部４７が形成されている。吸着部材４６は下方が開放され、その内周は前記円筒体４３の外径よりも僅かに大きく形成されている。吸着部材４６の内周には前記弾性部材４５の外周がその全周に亘って接触されている。
【００２３】
これにより、吸着部材４６は弾性部材４５の弾性力によってフローティング可能に支持されるとともに、吸着部材４６の内方の空間部４１の気密性が保持される。空間部４１の底面と吸着部材４６との間には例えばスプリングのような付勢手段４８が介挿され、この付勢手段４８の付勢力により吸着部材４６は通常前記鍔部４７が段部４２に当接する上昇端位置に保持されている。吸着部材４６の上面には小径の多数の孔４９が開口され、これら孔４９は空間部４１内に連通されている。空間部４１はロボットハンド２１に穿設された真空通路５０を介して図略の真空源に接続されている。
【００２４】
上記した構成の吸着保持手段３２は、吸着部材４６が弾性部材４５の弾性力によりフローティング支持されているので、ハンド２１上に保持されたガラス基板１２の反りに倣って自由にフローティングでき、ガラス基板１２に無理な力を加えることなく吸着保持可能である。特に、吸着部材４６は弾性に富む環状弾性部材４５に線接触に近い状態で接触されているだけであるので、きわめて滑らかなフローティング作用を期待し得、また、吸着力は吸着部材４６に設けた小径の多数の孔４９によって得られるので、ガラス基板１２を吸着部材４６の全面で均等に吸着保持でき、局部的に大きな吸着力で吸着することによるガラス基板１２の破損を的確に防止することができる。
【００２５】
前記搬送用ロボット１０の旋回台２０上には、ガラス基板１２を芯出し位置決めするための芯出し位置決め手段５１が設けられている。以下、芯出し位置決め手段５１の構成について、図２、図６及び図７に基づいて説明する。
【００２６】
前記旋回台２０上には、前記旋回軸１８の中心よりＸ軸方向に所定量離間した位置にＹ軸方向に沿って伸長する支持プレート５２が固定されている。支持プレート５２上には、その両端位置に第１及び第２スライドベース５３、５４がガイドレール５５、５６に案内されてＹ軸方向にそれぞれスライド可能に支持されている。第１及び第２スライドベース５３、５４上には、第１及び第２取付けプレート５７、５８がそれぞれ取付けられ、これら第１及び第２取付けプレート５７、５８に棒状の第１及び第２芯出し部材５９、６０が上方に突出して設けられている。第１及び第２芯出し部材５９、６０はＸ軸方向に所定距離隔てて少なくとも一対ずつ設けられており、これら芯出し部材５９、６０の上端には、ガラス基板１２の両側端に当接可能な当接スリーブ６１、６２がそれぞれ回転可能に軸承されている。
【００２７】
一方、前記支持プレート５２の下面には、Ｙ軸方向に離間した位置に少なくとも一対の歯付きプーリ６３、６４が回転可能に支持され、これら歯付きプーリ６３、６４間にタイミングベルトのような環状の周回部材６５が掛け渡されている。周回部材６５は前記支持プレート５２に固設されたアクチュエータ６６の作動子に連結され、アクチュエータ６６の作動によって一定量往復周回運動されるようになっている。本実施の形態においては、アクチュエータ６６はエアシリンダにて構成されている。
【００２８】
周回部材６３の互いに平行で逆方向に走行する一方の面側には、前記第１スライドベース５３が第１連結部材６７を介して連結され、また他方の面側には、前記第２スライドベース５４が第２連結部材６８を介して連結されている。これにより、第１及び第２スライドベース５３、５４は、周回部材６５の一方向の運動により、互いに接近する方向に同量ずつスライドされ、また、周回部材６５の他方向の運動により、互いに離間する方向に同量ずつスライドされる。
【００２９】
ここで、第１及び第２スライドベース５３、５４に設けられた第１及び第２芯出し部材５９、６０が、Ｘ軸方向と直交する水平方向（Ｙ軸方向）の中心に対して等距離に配設されているので、第１及び第２スライドベース５３、５４の互いに接近する方向の移動により、ガラス基板１２は第１及び第２芯出し部材５９、６０によって幅方向（Ｙ軸方向）の中心位置に芯出しされる。
【００３０】
なお、前記第１及び第２取付けプレート５７、５８を、第１及び第２スライドベース５３、５４にそれぞれ位置調整できるように構成すれば、幅寸法の異なる多種類のガラス基板１２の芯出し位置決めに対応可能となる。また、図６に示すように、芯出し部材５９、６０を取付けプレート５７、５８の固定位置に対して定められた量だけオフセットして設け、ガラス基板１２の種類に応じて、取付けプレート５７、５８を反転してスライドベース５３、５４に固定するようにすれば、幅寸法の異なる２種類のガラス基板１２に対して簡単な段取替えで対応可能となる。
【００３１】
次に、上記した本実施の形態におけるガラス基板供給装置の作用について説明する。
【００３２】
マガジン１１の所定の収納棚に収納されたガラス基板１２を取り出すために、搬送用ロボット１０のハンド２１がＸ軸方向に前進され、取り出すべきガラス基板１２の下方位置まで進入される。続いて、ハンド２１がＺ軸方向に所定量だけ上昇され、これにより、ハンド２１に設けられた複数の吸着保持手段３２の吸着部材４６がガラス基板１２の下面に接触して、ガラス基板１２を収納棚より持ち上げる。しかる状態で、空間部４１が真空引きされ、複数の吸着部材４６によってガラス基板１２の下面が吸着保持される。
【００３３】
かかるガラス基板１２の吸着においては、前記したハンド２１の上昇により、吸着保持手段３２の各吸着部材４６が、収納棚に収納支持されているガラス基板１２の反り状態に倣って滑らかにフローティングするとともに、付勢手段４８のばね力に抗して後退される。
【００３４】
前記ハンド２１の上昇により、マガジン１１の収納棚に収納されたガラス基板１２が各吸着部材４６によって持ち上げられ、かつ真空吸着されると、次いで、ハンド２１がＸ軸方向に所定量後退され、ガラス基板１２がマガジン１１の収納棚より引き出される。
【００３５】
かかるハンド２１のＸ軸方向の後退により、ハンド２１上に吸着保持されたガラス基板１２は、搬送用ロボット１０の旋回台２０上に設けられた芯出し位置決め手段５１の対向する一対の第１及び第２芯出し部材５９、６０の間に位置決めされる。
【００３６】
前記ハンド２１がＸ軸方向に所定量後退されると、前記吸着保持手段３２によるガラス基板１２の吸着保持が一旦開放され、その状態で、アクチュエータ６６が作動されて周回部材６５が一方向に周回される。これにより、第１及び第２連結部材６７、６８、ならびに第１及び第２スライドベース５３、５４を介して前記第１及び第２芯出し部材５９、６０が互いに接近する方向に同量ずつ移動される。従って、ハンド２１上に保持されたガラス基板１２は、第１及び第２芯出し部材５９、６０によって両側から挟み込まれるため、ガラス基板１２がハンド２１上にずれて保持されている場合には、芯出し部材５９、６０によってその位置が矯正され、ガラス基板１２はハンド２１上の正しい位置に芯出し位置決めされる。その状態で、吸着保持手段３２が再び作動されて、ガラス基板１２は正しい姿勢でハンド２１上に吸着保持される。なお、本実施の形態においては、アクチュエータ６６がエアシリンダにて構成されているので、エア圧の調整によって、芯出し部材５９、６０に設けた当接スリーブ６１、６２がガラス基板１２の側面に当接しても、ガラス基板１２に与えるダメージを極力少なくするようにしている。
【００３７】
続いて、搬送用ロボット１０の旋回台２０が所定角度（例えば１８０°）旋回され、ハンド２１上に吸着保持されたガラス基板１２を、図略の製造プロセス装置の搬入口側に対向させる。この場合、ガラス基板１２は、両側を第１及び第２芯出し部材５９、６０によって挟み込まれているので、旋回台２０の旋回時に発生する旋回モーメントによっても、位置ずれを生ずることがない。付言すれば、ガラス基板１２は、芯出し位置決め手段５１によって、位置ずれを防止されるので、ガラス基板１２の真空吸着力を大きくしなくても、あるいはまた、旋回台２０の旋回速度を遅くしなくても、ガラス基板１２の位置ずれを効果的に防止できる。従って、真空吸着力を大きくすることによって発生するガラス基板１２の剥がれ等の破損や、旋回台２０の旋回速度を遅くすることによって発生するサイクルタイムの増長を回避できる。
【００３８】
搬送用ロボット１０の旋回台２０が所定角度（例えば１８０°）旋回されると、アクチュエータ６６が作動されて周回部材６５が前記と反対方向に周回され、第１及び第２芯出し部材５９、６０がガラス基板１２から離れる方向に同期して移動される。続いて、ハンド２１がＸ軸方向に前進され、これにより、ガラス基板１２は旋回台２０の芯出し位置決め手段５１より離脱されて、製造プロセス装置の搬入口に接近した位置に位置決めされる。
【００３９】
次いで、図示してないが、製造プロセス装置のピックアップ装置が作動され、このピックアップ装置に設けたガラス基板吸着装置が、前記ハンド２１上に保持されたガラス基板１２を吸着して、製造プロセス装置の加工テーブルに移載する。かかるハンド２１から製造プロセス装置のピックアップ装置の受け渡しは、ピックアップ装置のガラス基板吸着装置によってハンド２１上のガラス基板１２を吸着されると、ハンド２１上の吸着保持手段３２によるガラス基板１２の吸着保持が解かれることになされる。その後、ハンド２１がＸ軸方向に所定量後退され、製造プロセス装置より離間される。
【００４０】
この場合においても、ガラス基板１２はハンド２１上に正しい姿勢で保持されているので、製造プロセス装置のピックアップ装置に受け渡されたガラス基板１２は正しい位置に維持され、製造プロセス装置に接触して、破損するような事態を確実に防止できる。
【００４１】
上記した実施の形態においては、芯出し位置決め手段５１を用いて、ガラス基板１２をマガジン１１の収納棚から製造プロセス装置に搬入する際の芯出し位置決めに適用した例について述べたが、本発明は、製造プロセス装置にて必要な処理が施されたガラス基板１２を元のマガジン１１の収納棚、あるいは別のマガジンの収納棚に収納する際の芯出し位置決めにも適用できる。この場合には、ハンド２１上のガラス基板１２がマガジン１１の収納棚に接触することを防止できることになる。
【００４２】
また、上記した実施の形態においては、搬送用ロボット１０を、４自由度をもつ直交座標形を例に説明したが、本発明は、ハンド２１上にガラス基板１２を吸着保持する吸着保持手段３２を備え、ハンド２１をマガジン１１等に対してガラス基板１２を出し入れするためにハンドリングする機能をもつあらゆる構成のものに適用可能であり、狭義のロボットに解釈されるものではない。
【００４３】
なお、請求項１における吸着保持手段３２および芯出し位置決め手段５１は、上記した実施の形態で述べた構成に限定さることなく、請求項１に記載した技術思想の範囲内で各種の構成を採り得るものであることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態を示す搬送用ロボットを用いたガラス基板供給装置の全体を示す概要図である。
【図２】図１のＡ方向から見たハンドの上面図である。
【図３】搬送用ロボットの制御装置を示すブロック図である。
【図４】ハンドに設けた吸着保持手段の詳細を示す図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線に沿って切断した断面図である。
【図６】搬送用ロボットに設けた芯出し位置決め手段の詳細を示す図である。
【図７】図６のＣ方向から見た図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０…搬送用ロボット、１１…マガジン、１２…ガラス基板、…、１４…スライドテーブル、１６…昇降ブロック、１８…旋回軸、２０…旋回台、２１…ハンド、３２…吸着保持手段、４１…空間部、４３…円筒体、４５…環状の弾性部材、４６…吸着部材、４８…付勢手段、４９…小径孔、５１…芯出し位置決め手段、５３、５４…スライドベース、５７、５８…取付けプレート、５９、６０…芯出し部材、６３、６４…プーリ、６５…周回部材、６６…アクチュエータ（エアシリンダ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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