(57)【要約】【課題】  チャックテーブルのテーブル基台に嵌合されたシールリングを容易に取り外すことができるメンテナンス用治具を提供する。【解決手段】  テーブル基台と、テーブル基台上に支持され被加工物を保持する被加工物保持部材と、テーブル基台の外周に嵌合されたシールリングと、シールリングの外周面に形成された係合溝に内周が装着された弾性体シールとを具備するチャックテーブルのシールリングを、テーブル基台から取り外すためのメンテナンス用治具であって、ベース部材と、ベース部材に装着されシールリングの外周に形成された係合溝と係合する係合手段と、ベース部材の中央に進退可能に配設され該テーブル基台の上面を押圧することによりベース部材とシールリングとを相対移動せしめる押圧手段とを具備している。【選択図】        図５
2006167899.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能に配設されたテーブル基台と、該テーブル基台上に支持され被加工物を保持する被加工物保持部材と、該テーブル基台の外周に嵌合されたシールリングと、該シールリングの外周面に形成された係合溝に内周が装着された弾性体シールとを具備するチャックテーブルの該シールリングを、該テーブル基台から取り外すためのメンテナンス用治具であって、
ベース部材と、該ベース部材に装着され該シールリングの外周に形成された該係合溝と係合する係合手段と、該ベース部材の中央に進退可能に配設され該テーブル基台の上面を押圧することにより該ベース部材と該シールリングとを相対移動せしめる押圧手段と、を具備している、
ことを特徴とするメンテナンス用治具。
【請求項２】
該係合手段は、該シールリングの外周に形成された該係合溝と係合する係合爪を備えた少なくとも３個の係合部材と、該係合部材を該ベース部材に径方向に移動調節可能に固定する固定手段とからなっている、請求項１記載のメンテナンス用治具。
【請求項３】
該係合手段は、該シールリングの外周に形成された該係合溝と係合する内周縁を備えた２個の係合リング片と、該２個の係合リング片のそれぞれ対向する両端部を取り外し可能に結合する結合手段とからなっている、請求項１記載のメンテナンス治具。
【請求項４】
該ベース部材は中央に雌ネジ穴を備えており、上記押圧部材は該雌ネジ穴と螺合するボルト軸と、該ボルト軸の上端に装着された回動部材と、ボルト軸の下端に装着され該テーブル基台の上面を押圧する押圧部材とからなっている、請求項１から３のいずれかに記載のメンテナンス治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハなどの被加工物を切断する切削装置に装備され被加工物を保持するチャックテーブルの構成部材を分解するためのメンテナンス用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に形成されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路が形成される。このように形成された半導体ウエーハを分割予定ラインに沿って切断することにより個々の半導体チップを製造している。
【０００３】
上述した半導体ウエーハの分割予定ラインに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードおよび該切削ブレードによる切削部に切削液を供給する切削液供給ノズルを具備し、切削ブレードを回転しつつ切削液供給ノズルから切削液を供給しながらウエーを相対移動して分割予定ラインに沿って切断する。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００２−３５９２１２号公報
【０００４】
上記チャックテーブルは、回転可能に配設されたテーブル基台と、該テーブル基台上に支持され被加工物を保持する被加工物保持部材と、テーブル基台の外周に嵌合されたシールリングと、該シールリングの外周面に形成された係合溝に内周が係合された弾性体シールとからなり、弾性体シールの外周縁がテーブル基台およびシールリングを遊嵌して配設されたテーブルカバーの上面に摺動可能に接触するように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したチャックテーブルの修理等のメンテナンスにおいては、テーブル基台に嵌合されたシールリングを取り外す必要がある。しかるに、テーブル基台とシールリングとの嵌合部に切削屑等の加工屑が付着して固化していると、シールリングをテーブル基台から容易に取り外すことが困難である。そこで、ドライバー等の先端をテーブル基台とシールリングとの嵌合部に無理やり挿入してシールリングを取り外すことがしばしば行われており、この結果シールリング、テーブル基台およびテーブル基台を回転駆動する駆動機構を損傷させるという問題がある。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、チャックテーブルのテーブル基台に嵌合されたシールリングを容易に取り外すことができるメンテナンス用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、回転可能に配設されたテーブル基台と、該テーブル基台上に支持され被加工物を保持する被加工物保持部材と、該テーブル基台の外周に嵌合されたシールリングと、該シールリングの外周面に形成された係合溝に内周が装着された弾性体シールとを具備するチャックテーブルの該シールリングを、該テーブル基台から取り外すためのメンテナンス用治具であって、
ベース部材と、該ベース部材に装着され該シールリングの外周に形成された該係合溝と係合する係合手段と、該ベース部材の中央に進退可能に配設され該テーブル基台の上面を押圧することにより該ベース部材と該シールリングとを相対移動せしめる押圧手段と、を具備している、
ことを特徴とするメンテナンス用治具が提供される。
【０００８】
上記係合手段は、上記シールリングの外周に形成された係合溝と係合する係合爪を備えた少なくとも３個の係合部材と、該係合部材を上記ベース部材に径方向に移動調節可能に固定する固定手段とからなっている。
また、上記係合手段は、上記シールリングの外周に形成された係合溝と係合する内周縁を備えた２個の係合リング片と、該２個の係合リング片のそれぞれ対向する両端部を取り外し可能に結合する結合手段とからなっている。
上記ベース部材は中央に雌ネジ穴を備えており、上記押圧部材は該雌ネジ穴と螺合するボルト軸と、該ボルト軸の上端に装着された回動部材と、ボルト軸の下端に装着され上記テーブル基台の上面を押圧する押圧部材とからなっている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によるメンテナンス治具を用いることにより、ベース部材に装着された係合手段をシールリングの外周に形成された係合溝と係合させ、押圧手段によってベース部材を相対移動せしめることにより、チャックテーブルのテーブル基台に装着されたシールリングをテーブル基台から容易に取り外すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明によるメンテナンス用治具の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
図１には、本発明によるメンテナンス治具が使用されるチャックテーブルを装備した切削装置の斜視図が示されている。
図示の実施形態における切削装置は、略直方体状の装置ハウジング２を具備している。この装置ハウジング２内には、被加工物を保持する被加工物保持手段としてのチャックテーブル３が切削送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設されている。なお、このチャックテーブル部３については、後で詳細に説明する。
【００１２】
図示の切削装置は、切削手段としてのスピンドルユニット４を具備している。スピンドルユニット４は、図示しない移動基台に装着され割り出し方向である矢印Ｙで示す方向および切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整されるスピンドルハウジング４１と、該スピンドルハウジング４１に回転自在に支持された回転スピンドル４２と、該回転スピンドル４２の前端部に装着された回転工具である切削ブレード４３とを具備している。上記スピンドルハウジング４１の前端部には、切削ブレード４３の上半部を覆うブレードカバー４４が取り付けられている。このブレードカバー４４には、切削ブレード４３の両側に配設された切削液供給ノズル４５が装着されている。
【００１３】
図示の切削装置は、上記チャックテーブル３上に保持された被加工物の表面を撮像し、上記切削ブレード４３によって切削すべき領域を検出したり、切削溝の状態を確認したりするための撮像機構５を具備している。この撮像機構５は顕微鏡やＣＣＤカメラ等の光学手段からなっており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。また、図示のウエーハの分割装置は、撮像機構５によって撮像された画像を表示する表示手段６を具備している。
【００１４】
上記装置ハウジング２におけるカセット載置領域７aには、被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置テーブル７が配設されている。このカセット載置テーブル７は、図示しない昇降手段によって上下方向に移動可能に構成されている。カセット載置テーブル７上には、被加工物を収容するカセット８が載置される。カセット８には、被加工物としての半導体ウエーハ９が収容される。半導体ウエーハ９は、表面に格子状のストリートが形成されており、この格子状のストリートによって区画された複数の矩形領域に回路が形成されている。このように形成された半導体ウエーハ９は、環状の支持フレーム１０に装着された保護テープ１１の表面に裏面が貼着された状態でカセット８に収容される。
【００１５】
また、図示の切削装置は、カセット載置テーブル７上に載置されたカセット８に収容されている半導体ウエーハ９（環状のフレーム１０に保護テープ１１を介して支持されている状態）を仮置きテーブル１２に搬出する搬出手段１３と、仮置きテーブル１２に搬出された半導体ウエーハ９を上記チャックテーブル３上に搬送する搬送手段１４と、チャックテーブル３上で切削加工された半導体ウエーハ９を洗浄する洗浄手段１５と、チャックテーブル３上で切削加工された半導体ウエーハ９を洗浄手段１５へ搬送する洗浄搬送手段１６を具備している。
【００１６】
ここで、上記チャックテーブル３について、図２を参照して説明する。
図２に示すチャックテーブル３は、円柱状に形成されたテーブル基台３１と、該テーブル基台３１上に支持され被加工物を保持する被加工物保持部材３２と、テーブル基台３１の外周に嵌合されたアルミニウム等で形成されたシールリング３３と、該シールリング３３の外周面に形成された係合溝に内周が装着された弾性体シール３４とからなっている。
【００１７】
テーブル基台３１の上面には、中央に嵌合凹部３１１が形成されているとともに、該嵌合凹部３１１を囲繞する環状の支持面３１２が形成されている。このテーブル基台３１には、上記嵌合凹部３１１の底面および環状の支持面３１２に開口し図示しない吸引手段に連通する吸引通路３１３、３１４が設けられている。また、テーブル基台３１の外周面には、支持面３１２から下方の所定位置にストッパー３１５が装着されている。このように構成されたテーブル基台３の下端は、図示しないパルスモータ等の回転駆動機構に連結されている。
【００１８】
上記被加工物保持部材３２は、円板状に形成された本体３２１と、該本体３２１の上面に装着された吸着部材３２２とからなっている。本体３２１は、上面に円形状の凹部３２１aを備えているとともに、中央部下面には上記テーブル基台３１に設けられた嵌合凹部３１１と嵌合する嵌合凸部３２１bを備えている。このように形成された本体３２１の嵌合凸部３２１bには、上記凹部３２１aに開口するとともに下面に開口する吸引通路３２１cが形成されている。
【００１９】
上記吸着部材３２２は、多孔質セラミックスによって円形状に形成されており、上記本体３２１の凹部３２１aに嵌合される。このように構成された被加工物保持部材３２は、本体３２１の下面に設けられた嵌合凸部３２１bをテーブル基台３１に設けられた嵌合凹部３１１に嵌合せしめる。このように、嵌合凸部３２１bが嵌合凹部３１１に嵌合すると、テーブル基台３１に設けられた吸引通路３１３と被加工物保持部材３２の本体３２１に設けられた吸引通路３２１cが連通するとともに、テーブル基台３１に設けられた吸引通路３１４が被加工物保持部材３２の本体３２１の下面に対向して開口する。この結果、図示しない吸引手段を作動することにより、吸引通路３１４を通して本体３２１の下面に負圧が作用し被加工物保持部材３２をテーブル基台３１上に吸引支持する。一方、吸引通路３１３および吸引通路３２１cを通して被加工物保持部材３２の本体３２１に設けられた凹部３２１aに負圧が作用するため、吸着部材３２２の上面に載置されて被加工物が吸着部材３２２上に吸引保持される。
【００２０】
上記シールリング３３は、中央に穴３３１aを備えた円形状のシール本体３３１と、該シール本体３３１の中央部下面から穴３３１aの内周面に沿って下方に突出して形成された円筒状の嵌合筒部３３２と、シール本体３３１の外周下面から下方に突出して形成された環状のスカート部３３３とからなっている。嵌合筒部３３２の内周面には環状のシール装着溝３３２aが形成されており、このシール装着溝３３２aにゴム等のシール材からなるOリング３３４が嵌合されている。上記スカート部３３３の外周面には、弾性体シール３４を装着するための環状の係合溝３３３aが形成されている。このように構成されたシールリング３３は、上記テーブル基台３１に被加工物保持部材３２を装着する前に嵌合筒部３３２が嵌合して装着される。このとき、嵌合筒部３３２の下端がストッパー３１５の上端に当接して位置決めされる。シールリング３３がテーブル基台３１に装着された状態においては、スカート部３３３がテーブル基台３１を囲繞して配設されたテーブルカバー３５に設けられた環状のシール部３５１の外側に位置付けられる。
【００２１】
上記弾性体シール３４は、ゴム等のシール材によって環状に形成されている。この弾性体シール３４の内周部は上記シールリング３３のスカート部３３３に形成された係合溝３３３aに係合して装着され、その外周縁が上記テーブルカバー３５の上面に接触するようになっている。
【００２２】
以上のように構成されたチャックテーブル３のメンテナンス時においては、テーブル基台３１に嵌合されたシールリング３３をテーブル基台３１から取り外す必要がある。このシールリング３３をテーブル基台３１から容易に取り外すことができるメンテナンス治具の第１の実施形態について、図３および図４を参照して説明する。
【００２３】
図３には本発明に従って構成されたメンテナンス治具の第１の実施形態の斜視図が示されており、図４には図３に示すメンテナンス治具の構成部材を分解して示す斜視図が示されている。
図３および図４に示すメンテナンス治具２０は、ベース部材２１と、該ベース部材２１に装着され上記シールリング３３のスカート部３３３の外周に形成された係合溝３３３aと係合する係合手段２２と、該ベース部材２１の中央に進退可能に配設され上記テーブル基台３１の上面、即ち嵌合凹部３１１の底面を押圧することによりベース部材２１を相対移動せしめる押圧手２３とを具備している。ベース部材２１は、鋼板によって形成され中央部から径方向に放射状に突出された４個の取付け部２１１を備えている。この４個の取付け部２１１には、それぞれ径方向に放射状に延びる長穴２１１aが形成されている。また、ベース部材２１の中央には、雌ネジ穴２１１bが形成されている。
【００２４】
上記係合手段２２は、図示の実施形態においては４個の係合部材２２０を備えている。なお、図４においては、係合手段２２は１個だけ示してある。係合部材２２０は、装着部２２１と、該装着部２２１の一端縁から下方に延びる支持部２２２と、該支持部２２２の下端縁から内側に延びる係合爪２２３とからなり、これらは矩形状の鋼板が折り曲げ形成されている。なお、装着部２２１の上面には、上記ベース部材２１の取付け部２１１に形成された長穴２１１aに挿通可能な取り付けボルト２２４が取付けられている。このように構成された係合部材２２は、それぞれ上記ベース部材２１の取付け部２１１に形成された長穴２１１aに取付けボルト２２４を下側から挿通し、この取り付けボルト２２４に締め付けナット２２５を螺合して締め付けることにより、ベース部材２１に取付ける。なお、係合部材２２をベース部材２１に取付ける際に、ベース部材２１の取付け部２１１に形成された長穴２１１aに挿通した雄ネジ２２４の位置を長穴２１１aに移動することにより、シールリング３３の大きさに対応して調整することができる。従って、取付けボルト２２４と締め付けナット２２５およびベース部材２１の取付け部２１１に形成された長穴２１１aは、係合部材２２０をベース部材２１に径方向に移動調節可能に固定する固定手段として機能する。なお、図示の実施形態においては、係合手段２２の係合部材２２０を４個用いた例を示したが、係合部材２２０は少なくとも３個あればよい。
【００２５】
次に、上記押圧手段２３について説明する。
図示の実施形態における押圧手段２３は、外周面に雄ネジが形成されたボルト軸２３１と、該ボルト軸２３１の上端に装着された回動部材２３２と、ボルト軸２３１の下端に装着される押圧部材２３３とからなっている。ボルト軸２３１の下端には、径が小さい装着部２３１aが突出して設けられている。また、押圧部材２３３には、その上記中央に装着部２３１aが挿通する穴２３３aが形成されている。このような部材からなる押圧手段２３は、ボルト軸２３１を上記ベース部材２１の中央に形成された雌ネジ穴２１１bに螺合してから、ボルト軸２３１の下端に設けられた装着部２３１aに押圧部材２３３の穴２３３aを嵌挿し、装着部２３１aの下端をカシメることにより、押圧部材２３３をボルト軸２３１に装着する。
【００２６】
第１の実施形態におけるメンテナンス治具２０は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
上記チャックテーブル３のメンテナンス時において、テーブル基台３１に嵌合されたシールリング３３をテーブル基台３１から取り外すには、先ずテーブル基台３１上に載置された被加工物保持部材３２を取り外す。このとき、図示しない吸引手段による負圧の作用を遮断することにより、被加工物保持部材３２はテーブル基台３１上から容易に取り外すことができる。次に、シールリング３３のスカート部３３３に装着されている弾性体シール３４を取り外す。この弾性体シール３４はゴム等によって形成されているので、引っ張って伸張することにより容易に取り外すことができる。
【００２７】
上述したように、被加工物保持部材３２および弾性体シール３４を取り外したならば、メンテナンス治具２０を構成する４個の係合部材２２を締め付けている締め付けナット２２５を緩め、係合部材２２をベース部材２１の取付け部２１１に形成された長穴２１１aに沿って移動し、図５に示すように係合部材２２の係合爪２２３をシールリング３３のスカート部３３３の外周に形成された係合溝３３３aに係合させる。そして、締め付けナット２２５を締め付けることにより係合部材２２をベース部材２１に固定する。
【００２８】
次に、押圧手段２３の回動部材２３２を回動してボルト軸２３１を所定方向に回転することによりボルト軸２３１を図５において下方に前進させ、ボルト軸２３１の先端に装着された押圧部材２３３をテーブル基台３１の上面に形成された嵌合凹部３１１の底面に当接せしめる。そして、更に回動部材２３２を回動してボルト軸２３１を所定方向に回転することにより、ボルト軸２３１が螺合しているベース部材２１がボルト軸２３１に沿って相対的に上昇せしめられる。この結果、ベース部材２１に取付けられた係合部材２２の係合爪２２３が係合しているシールリング３３は、ベース部材２１の上昇に伴って上昇せしめられ、やがてテーブル基台３１の上端から抜け出す。このように、メンテナンス治具２０を用いることにより、回動部材２３２を回動してボルト軸２３１を所定方向に回転するだけでシールリング３３をテーブル基台３１から容易に取り外すことができる。なお、図示の実施形態においては、押圧部材２３３が嵌合凹部３１１の底面に当接する構成であるため、支持面３１２を傷つけることがなく、被加工物保持部材３２の装着精度が維持される。
【００２９】
次に、メンテナンス治具の第２の実施形態について、図６および図７を参照して説明する。
図６には本発明に従って構成されたメンテナンス治具の第２の実施形態の斜視図が示されており、図７には図６に示すメンテナンス治具の構成部材を分解して示す斜視図が示されている。
図６および図７に示すメンテナンス治具５０は、ベース部材５１と、係合手段５２と、ベース部材５１と係合部材５２を連結する連結手段５４と、押圧手段５５とからなっている。ベース部材５１は鋼板によって円形状に形成され、外周部には４個のボルト挿通穴５１１が形成されており、その中央には雌ネジ穴５１２が形成されている。
【００３０】
上記係合手段５２は、図示の実施形態においては、２個の係合リング片５２１、５２１を備えている。この２個の係合リング片５２１、５２１は、その両端を結合手段５３によって互いに結合することにより、係合リングを形成する。この係合リング片５２１、５２１には、その両端部にそれぞれボルト挿通穴５２１aが形成されているとともに、中間部にそれぞれ２個のボルト挿通穴５２１bが形成されている。結合手段５３は、２個のボルト挿通穴５３１aを備えた連結板５３１と、二対のボルト５３２およびナット５３３とからなっている。この結合手段５３は、係合リング片５２１、５２１の両端部上面に連結板５３１を載置し、ボルト５３２をボルト挿通穴５３１aおよび係合リング片５２１、５２１に形成されたボルト挿通穴５２１aに挿通し、ボルト５３２にナット５３３を螺合することにより、係合リング片５２１、５２１の両端部を互いに連結してリング状に固定することができる。なお、メンテナンス治具５０によるシールリング３３の抜き取り作業を実施する前には、図６に示すように係合リング片５２１、５２１の一方側は結合手段５３によって連結されているが、他方側は連結板５３１の一端部のみが一方の係合リング片５２１に固定されている。
【００３１】
上記連結手段５４は、４個の連結棒５４１と、締め付けナット５４２およびナット５４３とからなっている。なお、図７においては、連結手段５４は２個だけ示してある。連結棒５４１は、中央部の軸部５４１a.と、該軸部５４１a.の上端から突出して形成され外周部に雄ネジが形成されたボルト部５４１bと、軸部５４１a.の下端から突出して形成され外周部に雄ネジが形成されたボルト部５４１cとからなっている。この連結手段５４は、連結棒５４１のボルト部５４１cを２個の係合リング片５２１、５２１に形成されたボルト挿通穴５２１bに挿通し、ナット５４３を螺合して締め付けることにより、図６に示すように４本の連結棒５４１を２個の係合リング片５２１、５２１からなる係合手段５２に固定しておく。
【００３２】
上記、押圧手段５５は、上記第１の実施形態の押圧手段２３と同様に、外周面に雄ネジが形成されたボルト軸５５１と、該ボルト軸５５１の上端に装着された回動部材５５２と、ボルト軸５５１の下端に装着される押圧部材５５３とからなっている。この押圧手段５５も上記第１の実施形態の押圧手段２３と同様に、ボルト軸５５１を上記ベース部材５１の中央に形成された雌ネジ穴５１２に螺合してから、ボルト軸５５１の下端に設けられた装着部５５１aに押圧部材５５３の穴５５３aを嵌挿し、装着部５５１aの下端をカシメることにより、押圧部材５５３をボルト軸５５１に装着する。
【００３３】
第２の実施形態におけるメンテナンス治具５０は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
上記チャックテーブル３のメンテナンス時において、テーブル基台３１上に載置された被加工物保持部材３２を取り外すとともに、シールリング３３のスカート部３３３に装着されている弾性体シール３４を取り外す作業ついては上述した第１の実施形態と同様である。
【００３４】
被加工物保持部材３２および弾性体シール３４を取り外したならば、メンテナンス治具５０の係合部材５２を構成する係合リング片５２１、５２１を図６に示す状態からその他端部を押し広げて、シールリング３３のスカート部３３３に嵌挿し、図８に示すように係合溝３３３aの位置で係合リング片５２１、５２１を押し縮めて、その内周縁を係合溝３３３aに係合せしめる。そして、係合リング片５２１、５２１の他方側における連結板５３１が固定されていない側において、ボルト５３２を連結板５３１に形成されたボルト挿通穴５３１aおよび他方の係合リング片５２１に形成されたボルト挿通穴５２１aに挿通し、ボルト５３２にナット５３３を螺合する。この結果、係合リング片５２１、５２１は、その内周縁が係合溝３３３aに係合された状態で、リング状に結合される。
【００３５】
次に、上記ベース部材５１に形成された４個のボルト挿通穴５１１を２個の係合リング片５２１、５２１に固定された４本の連結棒５４１のボルト部５４１bに嵌挿し、締め付けナット５４２を螺合して締め付けることにより、ベース部材５１と２個の係合リング片５２１、５２１を連結手段５４によって連結する。そして、押圧手段５５の回動部材５５２を回動してボルト軸５５１を所定方向に回転することによりボルト軸５５１を図８において下方に前進させ、ボルト軸５５１の先端に装着された押圧部材５５３をテーブル基台３１の上面に形成された嵌合凹部３１１の底面に当接せしめる。そして、更に回動部材５５２を回動してボルト軸５５１を所定方向に回転することにより、ボルト軸５５１螺合しているベース部材２１がボルト軸５５１に沿って相対的に上昇せしめられる。この結果、ベース部材２１に連結された係合リング片５２１、５２１が係合しているシールリング３３は、ベース部材２１の上昇に伴って上昇するので、やがてテーブル基台３１の上端から抜け出す。このように、メンテナンス治具５０を用いることにより、回動部材５５２を回動してボルト軸５５１を所定方向に回転するだけでシールリング３３をテーブル基台３１から容易に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明によるメンテナンス治具によって分解されるチャックテーブルを装備した切削装置の斜視図。
【図２】図１に示す切削装置に装備されるチャックテーブルの断面図。
【図３】本発明に従って構成されたメンテナンス治具の第１の実施形態を示す斜視図。
【図４】図３に示すメンテナンス治具の構成部材を分解して示す斜視図。
【図５】図３に示すメンテナンス治具によってチャックテーブルのテーブル基台に嵌合されたシールリングを取り外す状態を示す断面図。
【図６】本発明に従って構成されたメンテナンス治具の第２の実施形態を示す斜視図。
【図７】図６に示すメンテナンス治具の構成部材を分解して示す斜視図。
【図８】図６に示すメンテナンス治具によってチャックテーブルのテーブル基台に嵌合されたシールリングを取り外す状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００３７】
２：装置ハウジング
３：チャックテーブル
３１：テーブル基台
３２：被加工物保持部材
３３：シールリング
３４：弾性体シール
４：スピンドルユニット
４１：スピンドルハウジング
４２：回転スピンドル
４３：切削ブレード
５：撮像機構
６：表示手段
８：カセット 
９：半導体ウエーハ
１２：位置合わせ手段
１３：被加工物搬出・搬入手段
１４：被加工物搬送手段
１５：洗浄搬送手段
２０：メンテナンス治具
２１：ベース部材
２２：係合手段
２２０：係合部材
２３：押圧手段
２３１：ボルト軸
２３２：回動部材
２３３：回動部材
５０：メンテナンス治具
５１：ベース部材
５２：係合手段
５２１：係合リング片
５３：結合手段
５４：連結手段
５４１：連結棒
５５：押圧手段
５５１：ボルト軸
５５２：回動部材
５５３：押圧部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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