(57)【要約】【課題】  所望形状のマイクロレンズを高速に製造することができるマイクロレンズの製造方法、マイクロレンズ及び電子機器を提供する。【解決手段】  液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を液滴として吐出し、その液状体を基板の複数の所望位置それぞれに着弾させ、その液状体を硬化させて基板上に複数のマイクロレンズを形成するマイクロレンズの製造方法であって、基板における１つの所望位置に複数の液滴を連続して吐出する連続吐出を全ての所望位置のそれぞれに対して行う連続吐出工程と、連続吐出工程の後に行われる工程であって、基板における連続吐出が行われた所望位置のそれぞれに対して液滴を１滴吐出する微調整工程とを有することを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから液状体を液滴として吐出し、該液状体を基板の複数の所望位置それぞれに着弾させ、該液状体を硬化させて基板上に複数のマイクロレンズを形成するマイクロレンズの製造方法であって、
前記基板における１つの所望位置に複数の前記液滴を連続して吐出する連続吐出を、全ての前記所望位置のそれぞれに対して行う連続吐出工程と、
前記連続吐出工程の後に行われる工程であって、前記基板における前記連続吐出が行われた所望位置のそれぞれに対して、前記液滴を１滴吐出する微調整工程とを有することを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
【請求項２】
前記連続吐出工程と微調整工程とを、１つのタスクとして処理することを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項３】
前記連続吐出工程と微調整工程とを、少なくとも２つのタスクに分離して処理することを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項４】
前記連続吐出工程は、全ての前記所望位置に前記連続吐出をした後に、該連続吐出した所望位置についての外観検査をする第１検査工程を有し、
前記微調整工程は、全ての前記所望位置に前記１滴吐出した後に、該一滴吐出が行われた所望位置についての外観検査をする第２検査工程を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項５】
前記連続吐出工程は、前記連続吐出を全ての前記所望位置に行った後に、該全ての所望位置に前記連続吐出を行う繰り返し工程を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項６】
前記連続吐出工程における前記繰り返し工程の実行回数を、該連続吐出工程で吐出された液滴の収縮率に基づいて調整することを特徴とする請求項５に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項７】
前記第１検査工程の検査結果に基づいて、前記繰り返し工程を実行するか否か判断し、該繰り返し工程を実行しない場合は前記微調整工程に移ることを特徴とする請求項５に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項８】
前記微調整工程は、前記１滴吐出を全ての前記所望位置に行った後に、該全ての所望位置に前記１滴吐出をする繰り返し微調工程を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項９】
前記第２検査工程の検査結果に基づいて、前記繰り返し微調工程を実行するか否か判断することを特徴とする請求項８に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１０】
前記連続吐出工程で吐出される第１液状体と前記微調整工程で吐出される第２液状体とは、異なることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１１】
前記第１液状体と第２液状体とは、硬化後の屈折率、単位量当たりの価格、粘度、揮発性、収縮率、吐出後の形状変化の特性、のうちの少なくとも１つが異なることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１２】
前記連続吐出工程の完了時から前記微調整工程の開始時までの時間は、該連続吐出工程で吐出される液滴の属性に基づいて決定することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１３】
前記微調整工程は、前記連続吐出工程で基板上に着弾した液状体の収縮変化がほぼ収まった時以降に、開始することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれかに記載の製造方法により製造されたことを特徴とするマイクロレンズ。
【請求項１５】
請求項１４に記載のマイクロレンズを備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロレンズの製造方法、マイクロレンズ及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロレンズと呼ばれる微小レンズを多数配置した光学素子が提供されている。このような光学素子としては、例えば液晶プロジェクタシステムのスクリーン表面に形成されて像を明るくするもの、光ファイバの光インタコネクションやレーザ用の集光素子さらには固体撮像素子において入射光を集めるためのものなどがある。
【０００３】
ところで、このような光学素子を構成するマイクロレンズは、従来では金型を用いた成形法、又はフォトリソグラフィー法によって成形されていた。また、近年では、プリンタなどに用いられているインクジェットノズルを応用した液滴吐出方式で、微細パターンであるマイクロレンズを形成する手法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２４０９１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、金型を用いた成形法及びフォトリソグラフィー法では、マイクロレンズ形成のための金型又は複雑な製造工程を必要とすることから、その分コストが高くなってしまう。また、金型を用いた成形法及びフォトリソグラフィー法では、任意の形状のマイクロレンズを任意の位置に形成するのが困難であるといった問題点もあった。
【０００５】
また、液滴吐出法を用いた製造方法によれば、マイクロレンズを任意の位置に形成するのは容易であるものの、その形状を所望する形状に制御するのが困難であった。そして、特許文献１記載の技術によれば、液滴吐出法を用いてマクロレンズの形状を任意に制御し得るとするが、大量のマイクロレンズを高速に製造したいという要望に充分応えることができない。また、マイクロレンズの製造については、歩留まりの向上及びレンズ形状の更なる高精度についての要求もある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、所望形状のマイクロレンズを高速に製造することができるマイクロレンズの製造方法、マイクロレンズ及び電子機器の提供を目的とする。
また、本発明は、レンズ材料が土台からこぼれるなどの不良の発生を抑制でき、マイクロレンズ製造の歩留まりを向上させることができるマイクロレンズの製造方法、マイクロレンズ及び電子機器の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明のマイクロレンズの製造方法は、ノズルから液状体を液滴として吐出し、該液状体を基板の複数の所望位置それぞれに着弾させ、該液状体を硬化させて基板上に複数のマイクロレンズを形成するマイクロレンズの製造方法であって、前記基板における１つの所望位置に複数の前記液滴を連続して吐出する連続吐出を、全ての前記所望位置のそれぞれに対して行う連続吐出工程と、前記連続吐出工程の後に行われる工程であって、前記基板における前記連続吐出が行われた所望位置のそれぞれに対して、前記液滴を１滴吐出する微調整工程とを有することを特徴とする。
本発明によれば、連続吐出工程によりマイクロレンズの製造時間を短縮することができ、微調整工程によりマイクロレンズの形状を高精度に所望形状にすることができる。すなわち、連続吐出工程では、１つの所望位置に液滴を連続して吐出するので、基板に複数着弾した液滴によって、所望形状のマイクロレンズに近い状態（所望形状になる直前の状態）に高速になる。その後、微調整工程よって１滴づつ所望位置に着弾させることで、所望形状のマイクロレンズを高精度に形成することができる。したがって、本発明によれば、所望形状のマイクロレンズを高速に製造することができる。
また、本発明によれば、例えば、基板に設けた土台にマイクロレンズを形成する場合、その土台に液滴が連続して着弾し過ぎて、その土台から液滴（レンズ材料）がこぼれるなどの不良発生を、連続吐出工程と微調整工程とにより回避することができる。
【０００８】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程と微調整工程とを、１つのタスクとして処理することが好ましい。
本発明によれば、連続吐出工程と微調整工程とを合わせてなる全体の工程を１つのタスク（すなわち１つの実行単位）として、連続的に処理する。これにより、所望形状のマイクロレンズを高速に製造することができる。
【０００９】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程と微調整工程とを少なくとも２つのタスクに分離して処理することが好ましい。
本発明によれば、連続吐出工程と微調整工程とを別々のタスクとしてもよく、また連続吐出工程及び微調整工程のそれぞれを複数のタスクに分けて処理してもよい。これらにより、製造装置及び作業時間などで異なる各種の製造形態に対応しながら、所望形状のマイクロレンズを高速に製造することができる。
【００１０】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程が、全ての前記所望位置に前記連続吐出をした後に、該連続吐出した所望位置についての外観検査をする第１検査工程を有し、前記微調整工程は、全ての前記所望位置に前記１滴吐出した後に、該一滴吐出が行われた所望位置についての外観検査をする第２検査工程を有することが好ましい。
本発明によれば、連続吐出工程における連続吐出により基板上に着弾した液滴によって所望形状に近いマイクロレンズが形成されたかを、第１検査工程によって確認することができる。また、連続吐出工程においてレンズ材料が土台からこぼれるなどの不良が発生したかを、第１検査工程で確認することもできる。また、本発明によれば、第２検査工程により、所望形状のマイクロレンズが形成されたか、確認することができる。
【００１１】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程が、前記連続吐出を全ての前記所望位置に行った後に、該全ての所望位置に前記連続吐出を行う繰り返し工程を有することが好ましい。
本発明によれば、繰り返し工程により、連続吐出工程を小分けすることができる。これにより、１つの所望位置に連続吐出する液滴の数を大幅に低減できる。例えば、１つの所望位置に連続に１０滴吐出し、その後基板上の他の所望位置に１０滴づつ連続吐出し、このような１０滴の連続吐出を５回繰り返して各所望位置に合計５０滴吐出することとする。このようにすると、１つの所望位置について見ると、１０滴の連続吐出の後に次の１０滴の連続吐出が行われるまでに、時間を空けることができる。そして、この時間により、１０滴の液滴の塊が収縮して縮むのを待つことができる。この収縮により、所望形状のマイクロレンズをより高精度に形成することができる。一方、例えば１つの所望位置に５０滴の連続吐出をした場合、上記収縮が不充分となり、レンズ材料が土台からこぼれるなどの不良又はレンズ形状が不正確になるなどの不具合が生じる場合がある。
【００１２】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程における前記繰り返し工程の実行回数を、該連続吐出工程で吐出された液滴の収縮率に基づいて調整することが好ましい。
本発明によれば、例えば、収縮率の小さい（収縮が少ない）液状体をレンズ材料として用いた場合、繰り返し工程を設ける効果が小さいので、繰り返し工程の実行回数をゼロとしてもよい。一方、収縮率の大きい液状体を用いた場合は、繰り返し工程の実行回数を多くして、レンズ材料が土台からこぼれるなどの不良又はレンズ形状が不正確になるなどの不具合を回避することができる。
【００１３】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記第１検査工程の検査結果に基づいて、前記繰り返し工程を実行するか否か判断し、該繰り返し工程を実行しない場合は前記微調整工程に移ることが好ましい。
本発明によれば、例えば第１検査工程において「所望のレンズ形状に近い状態ではない」と判断されたときは、繰り返し工程を実行して、所望のレンズ形状に高速に近づけることができる。第１検査工程において「所望のレンズ形状に近い状態である」と判断されたときは、微調整工程に移ることにより、さらに高精度に所望のレンズ形状に近づけることができる。
【００１４】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記微調整工程が、前記１滴吐出を全ての前記所望位置に行った後に、該全ての所望位置に前記１滴吐出をする繰り返し微調工程を有することが好ましい。
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記第２検査工程の検査結果に基づいて、前記繰り返し微調工程を実行するか否か判断することが好ましい。
本発明によれば、１滴吐出毎にレンズ形状などを確認できるので、さらに高精度に所望形状のマイクロレンズを製造することができる。
【００１５】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程で吐出される第１液状体と前記微調整工程で吐出される第２液状体とが異なることが好ましい。
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記第１液状体と第２液状体とが、硬化後の屈折率、単位量当たりの価格、（基準周囲状態での）粘度、揮発性、収縮率、吐出後の形状変化の特性、のうちの少なくとも１つが異なることが好ましい。
本発明によれば、連続吐出工程では、例えば所望の屈折率に近い材料又は安価な材料からなる液状体を用いる。これにより、所望の屈折率で且つ安価なマイクロレンズを製造することができる。また、本発明によれば、微調整工程では、例えば粘性変化又は揮発による形状変化の小さい材料からなる液状体を用いる。これにより、かかる形状変化の小さい材料でコーティングされた所望形状のマイクロレンズを製造することができる。
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程における１つの液滴当たりの重量又は体積と、前記微調整工程における１つの液滴当たりの重量又は体積とが、異なることとしてもよい。
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程で用いられるノズルと、前記微調整工程で用いられるノズルとが液滴吐出特性の異なるものとしてもよい。例えば、連続吐出工程では、単位時間当たりの液滴吐出量の大きいノズル又は高粘度の材料でも吐出できるノズルを用いる。一方、微調整工程では、例えば比較的微量の液滴を高精度に吐出できるノズルを用いる。
【００１６】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記連続吐出工程の完了時から前記微調整工程の開始時までの時間を、該連続吐出工程で吐出される液滴の属性に基づいて決定することが好ましい。
本発明によれば、例えば、連続吐出工程で吐出される液状体（液滴）が粘性変化又は揮発による形状変化の大きい材料からなる場合、連続吐出工程の完了時から前記微調整工程の開始時までの時間を長くする。すると、着弾した液状体の形状変化が収まった後に、微調整工程を開始することができ、所望形状のマイクロレンズを高精度に製造することができる。一方、連続吐出工程で吐出される液状体（液滴）が粘性変化又は揮発による形状変化の小さい材料からなる場合、連続吐出工程の完了時から前記微調整工程の開始時までの時間を短くして、製造時間の短縮を図りながら、所望形状のマイクロレンズを高精度に製造することができる。
【００１７】
また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、前記微調整工程を、前記連続吐出工程で基板上に着弾した液状体の収縮変化がほぼ収まった時以降に、開始させることが好ましい。
本発明によれば、所望形状のマイクロレンズを高精度に製造することができる。
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明のマイクロレンズは、上記マイクロレンズの製造方法により製造されたことを特徴とする。
本発明によれば、所望する形状及び大きさのマイクロレンズを高い歩留まりで提供できる。したがって、設計通りの特性を発揮するとともに安価なマイクロレンズを構成することができる。
【００１９】
上記目的を達成するために、本発明の電子機器は、上記マイクロレンズを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、マイクロレンズを構成要素とする光通信装置、プロジェクタシステム、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置、プラズマディスプレイパネルなどについて、高性能化及び低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態に係るマイクロレンズの製造方法について、図面を参照して説明する。
（第１実施形態）
図１から図３は、本発明の第１実施形態に係るマイクロレンズの製造方法の一例を説明するための図である。図１は、本実施形態のマイクロレンズの製造方法を示すフローチャートである。図２は、図１に示す製造方法における連続吐出工程を示す模式側面図である。図３は、図１に示す製造方法における微調整工程を示す模式側面図である。
【００２１】
本実施形態の製造方法は、液滴吐出方式を用いて基板上の複数の所望位置それぞれにマイクロレンズを形成するものである。すなわち、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドのノズルから液状体（レンズ材料）を液滴として吐出して、その液滴を基板の各所望位置に着弾させる。着弾した液滴は表面張力などによってレンズ形状となる。その液滴を硬化させることで、基板上に複数のマイクロレンズを形成する。
【００２２】
そして、本実施形態では、各所望位置に複数（例えば５０滴〜１００滴）の液滴を着弾させるが、その複数液滴を着弾させる工程として、１つの所望位置に複数の前記液滴を連続して吐出する「連続吐出」を全ての所望位置それぞれに対して行う連続吐出工程と、連続吐出が行われた所望位置のそれぞれに対して液滴を１滴吐出する微調整工程とを有している。次に本実施形態の製造方法について、具体的に説明する。
【００２３】
先ず、図１に示すように、基板２について撥液化処理をする（ステップＳ１）。
ここで、マイクロレンズが形成される基板２としては、図２に示すような土台２ａを複数有する基板２を用いることができる。すなわち、基板２の上面（表面）には複数の土台２ａが形成されている。各土台２ａは、例えば円柱形状となっている。そして、各土台２ａの上面がマイクロレンズの形成位置である所望位置となっている。撥液化処理の対象領域としては、基板２の上面における露出部位全体とすることが好ましい。また、各土台２ａの側面についても、撥液化処理を施してもよい。また、各土台２ａの上面における外縁近傍部位についても、撥液化処理を施してもよい。このようにすると、レンズ材料を含む液滴が土台２ａの上面に着弾したときに、その上面から流れ落ちることを回避でき、土台２ａ上に良好にマイクロレンズを形成することができる。したがって、上記撥液化処理をせずに、各土台２ａの上面における外周近傍以外（中心部とその周辺）について親液化処理を施すことで、上記撥液化処理の効果を発揮させることとしてもよい。また、上記撥液化処理と親液化処理の両方を施すこととしてもよい。
【００２４】
次いで、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッド１を吐出位置へ移動させる（ステップＳ２）。
すなわち、図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１のノズルから吐出された液滴２２がある１つの土台２ａの上面に着弾するように、その液滴吐出ヘッド１と基板２との相対的な位置関係を調整する。この調整は、液滴吐出ヘッド１側を平行移動させてもよく、基板２側を平行移動させてもよい。また、土台２ａにおける液滴２２の着弾位置（吐出位置）は、その土台２ａ上面の中心とすることが好ましい。
【００２５】
次いで、図２（ａ）に示すように、１つの土台２ａ（１チップ）に対して、液滴２２を「連続吐出」する（ステップＳ３）。
例えば、吐出位置を固定したまま、１つの土台２ａに１０滴連続して吐出する。この液滴２２には、マイクロレンズの形成材料をなすレンズ材料が含まれているものとする。
これにより、図２（ｂ）に示すように、１つの土台２ａの上面にレンズ材料６ａが凸形状に塗布される。なお、本実施形態では、各土台２ａにマイクロレンズが形成された後に基板２を土台２ａ毎に分割して、複数のチップとする。したがって、１つの土台２ａ毎にチップ化されるので、分割前でも１つの土台２ａを１チップと呼んでいる。
【００２６】
次いで、基板２に形成された全ての土台２ａ（全てのチップ）に、上記ステップＳ３の連続吐出が行われたか否か判断する（ステップＳ４）。
ステップＳ４で「Ｎｏ」と判断された場合、すなわち、全ての土台２ａに連続吐出がなされていない場合は、上記ステップＳ２に戻る。
【００２７】
そこで、図２（ｃ）に示すように、連続吐出されておらず、レンズ材料６ａが塗布されていない土台２ａに液滴２２が着弾するように、液滴吐出ヘッド１（又は基板２）を吐出位置へ移動させる（ステップＳ２）。次いで、上記ステップＳ３の連続吐出を行う。これにより、図２（ｄ）に示すように、その土台２ａの上面にレンズ材料６ａが凸形状に塗布される。
【００２８】
このように、ステップＳ２〜Ｓ４を繰り返すことで、基板２に形成された全ての土台２ａ（全てのチップ）に、ステップＳ３の連続吐出が行われて、レンズ材料６ａが塗布される。すると、ステップＳ４の判断により、ステップＳ５に移る。
【００２９】
そこで、土台２ａの上面に形成された凸形状のレンズ材料６ａが所望のレンズ形状に近い状態か否か判断する（ステップＳ５）。
このステップＳ５は、本発明の「第１検査工程」の一例をなすものである。すなわち、全ての所望位置（全ての土台２ａ）に連続吐出をした後に、その土台２ａについて（レンズ材料６ａについて）の外観検査をする。この第１検査工程は、例えば顕微鏡を用いて行うことが好ましい。その顕微鏡を肉眼で覗き、レンズ材料６ａが所望のレンズ形状に近いか否か検査者が判断することとしてもよい。また、第１検査工程では、レンズ材料６ａが土台２ａの上面から基板２の上面にこぼれ落ちていないか検査することが好ましい。このこぼれ落ちが生じると、所望形状のマイクロレンズの形成に不都合となるからである。
【００３０】
また、ステップＳ５の第１検査工程では、肉眼のみならず機械的にレンズ材料６ａの形状を検査することとしてもよい。例えば、レンズ材料６ａにレーザ光などを照射し、その光が土台２ａ上に集光されてなす画像をデジタルカメラなどで検出する。その検出した画像をパーソナルコンピュータなどで解析することにより、レンズ材料６ａの形状を定量的に判断する。例えば、所望のレンズ形状（基準形状）とレンズ材料６ａの形状との差が１０％以内の場合は、レンズ材料６ａが所望のレンズ形状に近い状態と判断する。
【００３１】
ステップＳ５で、Ｎｏと判断された場合は、すなわち、レンズ材料６ａが所望のレンズ形状とは大きく異なっている場合は、上記ステップＳ２に戻る。
【００３２】
これにより、ステップＳ２からＳ５の処理が繰り返される。このステップＳ２からＳ５の繰り返しが本発明の繰り返し工程の一例をなすものである。すなわち、全ての土台２ａの上面におけるレンズ材料６ａの上に、更に連続吐出（例えば１０滴）が行われる。この繰り返しは、全ての土台２ａの上面のレンズ材料６ａが所望のレンズ形状に近い状態となるまで行われる。
【００３３】
上記ステップＳ２からステップＳ５が本発明の連続吐出工程の一例をなすものである。この連続吐出工程により、マイクロレンズの製造時間を短縮することができる。この理由は以下による。すなわち、連続吐出工程を用いないとすると、例えばある土台２ａに１滴吐出した後、液滴吐出ヘッド１を移動させて別の土台２ａに１滴吐出することとなる。このように、液滴吐出ヘッド１の移動距離が頻繁に行われることとなる。そこで、マイクロレンズ完成までに要する液滴吐出ヘッド１の移動距離が、連続吐出をした場合よりも長くなってしまう。また、液滴吐出ヘッド１から液滴２２を連続吐出するときの吐出間隔時間は、ある土台２ａの吐出位置から隣りの土台２ａの吐出位置まで液滴吐出ヘッド１を移動させる時間と比べて、非常に短い時間となる。これらにより、連続吐出工程を行わない場合は製造時間が長くなる。
【００３４】
また、上記のようにステップＳ２からＳ５を繰り返すことによって、「連続吐出」を小分けすることができる。液滴２２のなすレンズ材料６ａが土台２ａ上に着弾した後に、粘性変化又は揮発による収縮をする場合がある。上記のように連続吐出を小分けすることにより、レンズ材料６ａの粘性変化及び収縮による形状変化が収まった後に、次の連続吐出をすることができる。これにより、レンズ材料６ａが土台２ａ上からおぼれ落ちるという不具合の発生を回避でき、製造時間を短縮しながらレンズ材料６ａを所望のレンズ形状に近い状態にすることができる。
【００３５】
したがって、レンズ材料６ａが粘性変化及び収縮変化などの小さいものである場合は、連続吐出を小分けにする必要はない。この場合は、例えば、ステップＳ２からステップＳ５が１回になるように、ステップＳ３の連続吐出の液滴数などを予め設定しておく。
【００３６】
また、連続吐出工程において連続吐出を小分けする分割数（繰り返し工程の実行回数）は、液滴２２の収縮率に基づいて調整することとしてもよい。このようにすると、例えば、収縮率の小さい（収縮が少ない）液状体をレンズ材料として用いた場合、繰り返し工程を設ける効果が小さいので、繰り返し工程の実行回数をゼロとしてもよい。一方、収縮率の大きい液状体を用いた場合は、繰り返し工程の実行回数を多くして、レンズ材料が土台２ａからこぼれるなどの不良又はレンズ形状が不正確になるなどの不具合を回避することができる。
【００３７】
なお、小分けする数、すなわちステップＳ２からＳ５の繰り返し数は、基板２の周囲の温度、湿度、液滴２２の温度、粘度、さらには液滴吐出ヘッド１の調子などによって変動する。したがって、ステップＳ２からＳ５の繰り返し数を予め決定するのは困難であり、その繰り返し数を固定すると、製造時間の長期化及びマイクロレンズの形状の不正確化を招くことが多い。
【００３８】
上記連続吐出工程の後に、本発明の微調整工程を行う。
微調整工程としては、先ず、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッド１を吐出位置へ移動させる（ステップＳ６）。
すなわち、図３（ａ）に示すように、基板２において連続吐出が行われて形成された土台２ａ上のレンズ材料６ａの上に液滴２２が着弾するように、その液滴吐出ヘッド１と基板２との相対的な位置関係を調整する。
【００３９】
次いで、図３（ａ）に示すように、１つの土台２ａ（１チップ）のレンズ材料６ａ上に、液滴２２を１滴吐出する（ステップＳ７）。
これにより、図３（ｂ）に示すように、１滴吐出された土台２ａの上に形成されたレンズ材料６ｂは、より所望のレンズ形状に近づく。
【００４０】
次いで、基板２に形成された全ての土台２ａ（全てのチップ）に、上記ステップＳ７の１滴吐出が行われたか否か判断する（ステップＳ８）。
ステップＳ８で「Ｎｏ」と判断された場合、すなわち、全ての土台２ａに１滴吐出がなされていない場合は、上記ステップＳ６に戻る。
【００４１】
したがって図３（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１を移動させ（ステップＳ６）、土台２ａのレンズ材料６ａ上に液滴２２を１滴吐出する（ステップＳ７）。これにより、図３（ｃ）に示すように、１滴吐出された土台２ａの上に形成されたレンズ材料６ｂは、より所望のレンズ形状に近づく。
【００４２】
このように、ステップＳ６〜Ｓ８を繰り返すことで、基板２に形成された全ての土台２ａ（チップ）に、ステップＳ７の１滴吐出が行われてレンズ材料６ｂが形成される。すると、ステップＳ８の判断により、ステップＳ９に移る。
【００４３】
そこで、土台２ａの上面に形成された凸形状のレンズ材料６ｂが所望のレンズ形状になっているか否か判断する（ステップＳ９）。
このステップＳ９は、本発明の「第２検査工程」の一例をなすものである。すなわち、全ての所望位置（全ての土台２ａ）に１滴吐出をした後に、その土台２ａ（レンズ材料６ｂ）についての外観検査をする。この第２検査工程により、所望形状のマイクロレンズが形成されたか、確認することができる。
【００４４】
この第２検査工程は、例えば、第１検査工程と同様に顕微鏡を用いて行うことが好ましい。その顕微鏡を肉眼で覗き、レンズ材料６ｂが所望のレンズ形状となったか否かを検査者が判断することとしてもよい。また、第２検査工程でにおいても、レンズ材料６ｂが土台２ａの上面から基板２の上面にこぼれ落ちていないか検査することとしてもよい。
【００４５】
また、ステップＳ９の第２検査工程では、ステップＳ５の第１検査工程と同様に、肉眼のみならず機械的にレンズ材料６ｂの形状を検査することとしてもよい。例えば、所望のレンズ形状（基準形状）とレンズ材料６ｂの形状との差が１％以内の場合は、レンズ材料６ｂが所望のレンズ形状になったと判断する。
【００４６】
ステップＳ９で、Ｎｏと判断された場合は、すなわち、レンズ材料６ｂが所望のレンズ形状となっていない場合は、上記ステップＳ６に戻る。
【００４７】
これにより、ステップＳ６からＳ９の処理が繰り返される。このステップＳ６からＳ９の繰り返しが本発明の繰り返し微調整工程をなすものである。すなわち、全ての土台２ａの上面に、更に１滴吐出が行われる。したがって、図３（ｄ）に示すように、さらに１滴吐出されて形成されたレンズ材料６ｃは、より所望のレンズ形状に近づく。
【００４８】
このように、ステップＳ６〜Ｓ９を繰り返すことで、基板２に形成された全ての土台２ａ（全てのチップ）に、ステップＳ７の１滴吐出が繰り返し行われてレンズ材料６ｃが形成される。ステップＳ６〜Ｓ９の繰り返しは、全ての土台２ａの上面のレンズ材料６ｃが所望のレンズ形状となるまで行われる。
【００４９】
上記ステップＳ６からステップＳ９が本発明の微調整工程の一例をなすものである。この微調整工程により、マイクロレンズの形状を高精度に所望形状にすることができる。すなわち、１滴着弾させた毎にレンズ形状を検査するので、土台２ａ上への液滴２２の乗せすぎを回避しながら、レンズ材料６ｂを高精度に所望のレンズ形状にすることができる。
【００５０】
微調整工程の後に、全ての土台２ａ上のレンズ材料６ｃに紫外線を照射させる（ステップＳ１０）。
この紫外線の照射処理により、全ての土台２ａ上のレンズ材料６ｃが硬化し、マイクロレンズが完成する。レンズ材料６ｃの硬化処理は紫外線照射以外の手法を用いてもよい。
【００５１】
これらにより、本実施形態の製造方法によれば、連続吐出工程と微調整工程とにより、所望形状のマイクロレンズを高速に製造することができる。
【００５２】
また、本実施形態の製造方法において、連続吐出工程と微調整工程とを、別々のタスクとして分離してもよい。また、連続吐出工程と微調整工程とを、１つのタスクとして処理してもよい。連続吐出工程と微調整工程とを合わせてなる全体の工程を１つのタスク（すなわち１つの実行単位）として連続的に処理する場合、所望形状のマイクロレンズを高速に製造することができる。
【００５３】
連続吐出工程と微調整工程とを別々のタスクとして処理する場合、製造現場における製造装置及び作業時間など、各種の製造形態に対応しながら、所望形状のマイクロレンズを高速に製造することができる。例えば、複数の基板２（１バッチ）に対して、一括して連続吐出工程を施す。その後、連続の基板２に対して、一括して微調整工程を施す。この場合、連続吐出工程を第１作業所（Ａ社）で行い、微調整工程を第２作業所（Ｂ社）で行うようにしてもよい。
【００５４】
また、本実施形態の製造方法において、連続吐出工程のステップＳ３で吐出される液滴２２（第１液状体）と微調整工程のステップＳ７で吐出される液滴２２（第２液状体）とは異なるものとしてもよい。例えば、第１液状体と第２液状体とは、土台２ａに着弾して硬化した後の屈折率が異なるものとしてもよい。このようにすると、連続吐出工程により所望の屈折率に近い材料でマイクロレンズの大部分を構成でき、微調整工程でマイクロレンズの形状を微調整することができる。
【００５５】
また、第１液状体と第２液状体とは、単位量当たりの価格が異なるものとしてもよい。例えば連続吐出工程では安い液状体を用い、微調整工程では高いが形状変化が小さい等の特性の良い液状体を用いる。これにより、低コスト化を図りながら、高精度に所望形状としたマイクロレンズを形成することができる。また、第１液状体と第２液状体とは、基準周囲状態での粘度、揮発性、収縮率、吐出後の形状変化の特性などが異なるものとしてもよい。例えば、微調整工程では、粘性変化又は揮発による形状変化の小さい材料からなる液状体を用いる。これにより、かかる形状変化の小さい材料でコーティングされた所望形状のマイクロレンズを製造することができる。
【００５６】
また、本実施形態の製造方法では、連続吐出工程における１つの液滴２２の重量又は体積と、微調整工程における１つの液滴２２の重量又は体積とが異なることとしてもよい。これは、液滴吐出ヘッド１の駆動信号を可変することで実現できる。また、連続吐出工程で使用する液滴吐出ヘッド１のノズル構造等と、微調整工程で使用する液滴吐出ヘッド１のノズル構造等とを、別構造にすることで実現してもよい。例えば、連続吐出工程では、単位時間当たりの液滴吐出量の大きいノズル又は高粘度の材料でも吐出できるノズルを用いる。一方、微調整工程では、例えば比較的微量の液滴を高精度に吐出できるノズルを用いる。
【００５７】
また、本実施形態の製造方法では、連続吐出工程の完了時から微調整工程の開始時までの時間を連続吐出工程で吐出される液滴２２の属性に基づいて決定することが好ましい。例えば連続吐出工程で吐出される液滴２２が粘性変化又は揮発による形状変化の大きい材料からなる場合、連続吐出工程の完了時から微調整工程の開始時までの時間を長くする。すると、着弾した液滴２２がなすレンズ材料６ａの形状変化が収まった後に、微調整工程を開始することができ、所望形状のマイクロレンズを高精度に製造することができる。この形状変化が収まったことを、ステップＳ５などで確認した後に、微調整工程を開始してもよい。一方、連続吐出工程で吐出される液滴２２が粘性変化又は揮発による形状変化の小さい材料からなる場合、連続吐出工程の完了時から微調整工程の開始時までの時間を短くしもよい。これにより、製造時間の短縮を図りながら、所望形状のマイクロレンズを高精度に製造することができる。
【００５８】
（第２実施形態）
図４は本発明の第２実施形態に係るマイクロレンズの製造方法の一例を説明するための図である。図４において、液滴吐出ヘッド１は、第１実施形態の液滴吐出ヘッド１と同一のものを適用できる。図４における基板２は、光透過性を有する基板とする。そして本実施形態の基板２には土台（２ａ）は設けられていない。
【００５９】
本実施形態では、まず、図４（ａ）に示すように、基板２の表面におけるマイクロレンズの非形成箇所に撥液パターン３を、またマイクロレンズの形成箇所に親液パターン４を形成する。
【００６０】
ここで、基板２としては、得られるマイクロレンズを例えばスクリーン用の光学膜などに適用する場合、酢酸セルロースやプロピルセルロース等のセルロース系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステルなどの透明樹脂（光透過性樹脂）からなる光透過性シートあるいは光透過性フィルムが用いられる。また、マイクロレンズをマイクロレンズアレイなどに適用する場合には、基板２として、ガラス、ポリカーボネイト、ポリアリレート、ポリエーテルサルフォン、アモルファスポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレートなどの透明材料（光透過性材料）からなる基板が使用される。
【００６１】
このような撥液パターン３と親液パターン４との形成については、例えば以下のようなプラズマ重合による手法が好適に採用される。先ず、このプラズマ重合による撥液処理について説明する。この処理では、撥液処理のための原料液を用意する。原料液としては、Ｃ４Ｆ１０やＣ８Ｆ１６などの直鎖状ＰＦＣからなる液体有機物が好適に用いられる。このような原料液を用意したら、これの蒸気をプラズマ処理装置においてプラズマ化する。すると、この直鎖状ＰＦＣの蒸気はプラズマ化されたことにより、直鎖ＰＦＣの結合が一部切断されて活性化する。このようにして結合の一部が切断され、活性化したＰＦＣが基板２の表面に到達すると、これらＰＦＣは基板２上にて互いに重合し、撥液性を有するフッ素樹脂重合膜となる。
【００６２】
なお、撥液処理の原料液としては例えばデカトリエンを用いることもできる。その場合プラズマ処理によって活性化させたＣＦ４または酸素を添加することにより、得られる重合膜に撥液性を付与することができ、これによって撥液の重合膜を形成することができる。また、撥液処理の原料液としてはフルオロカーボンを用いることもできる。その場合、プラズマ化によって活性化したＣＦ４を添加することにより、プラズマ化によって原料液であるフルオロカーボン中のフッ素の一部が離脱したとしても、前記の活性なフッ素が得られる重合膜中に取り込まれるため、形成するフッ素樹脂重合膜の撥液性を高めることができる。
【００６３】
また、このようにして得られた重合膜に対して紫外線を照射すると、このフッ素樹脂重合膜が分解して基板２表面から除去されることにより、照射部分を親液性にすることができる。したがって、このような紫外線照射処理によって親液処理を行うことができるのである。そして、このような紫外線照射を、予め所望のパターニングがなされたマスクを用いて行うことにより、撥液面に所望の親液パターンを容易に形成することができるのである。
【００６４】
このようなプラズマ重合による手法により、前述したように基板２表面に撥液パターン３と親液パターン４とを形成する。具体的には、まず、基板２表面をオゾン水等によって洗浄し、表面に付着している有機物等を除去する。次に、この基板２表面、すなわち非処理面となる上面の全面に、前述のプラズマ重合による撥液処理を施し、基板２の表面を撥液面とする。
【００６５】
次いで、撥液面となった基板２の表面に、予め形成する親液パターン４に対応するマスクを用いて紫外線照射を行い、図４（ａ）に示したように撥液面内に多数の親液パターン４を形成する。ここで、これら親液パターン４については、例えば直径が１０μｍ程度の円形状とし、縦横に多数整列配置して形成する。なお、このように紫外線照射によって親液パターン４を形成することにより、形成した親液パターン４以外の領域、すなわち撥液処理がなされたままの領域は、そのまま撥液パターン３となる。また、このようなマスクを用いることによる紫外線照射については、予め基板２にアライメントマークを形成しておき、このアライメントマークを基準にマスクを位置決めすることによって行う。
【００６６】
このようにして撥液パターン３と親液パターン４とを形成したら、図４（ｂ）に示すように液滴吐出ヘッド１より、その親液パターン４上の略同一箇所に、光透過性樹脂からなる液滴２２について複数個を吐出してこれを塗布する。この塗布は、上記第１実施形態の連続吐出工程及び微調整工程（ステップＳ２〜Ｓ９）により行う。
【００６７】
図５は、本実施形態及び第１実施形態で用いられる液滴吐出ヘッド１の一例を示す図である。液滴吐出ヘッド１は、図５（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部は光透過性樹脂を含む液状材料で満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート１２には、空間１５から光透過性樹脂を含む液状材料を噴射するためのノズル１８が形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６に液状材料を供給するための孔１９が形成されている。
【００６８】
また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図５（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間１５内に増大した容積分に相当する液状材料が、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部の液状材料の圧力が上昇し、ノズル１８から基板２に向けて光透過性樹脂を含む液滴２２が吐出される。なお、液滴吐出ヘッド１の吐出方式としては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
【００６９】
このような構成の液滴吐出ヘッド１を用いて、本実施形態では図４（ｂ）に示したように基板２表面の親液パターン４上に、光透過性樹脂を含む液状材料、すなわちレンズ材料となる光透過性樹脂の液滴２２を複数個吐出し、図４（ｃ）に示すようにレンズ材料５を形成する。このとき、本実施形態においては、各液滴の吐出と吐出との間に硬化処理を行うことなく、図１から図３に示す連続吐出工程及び微調整工程により、全ての液滴２２を吐出し、塗布するようにする。なお、液滴吐出ヘッド１から吐出される液滴２２の一滴当たりの容量は、液滴吐出ヘッド１や吐出する材料によっても異なるものの、通常は１ｐｌ〜２０ｐｌ程度とされる。
【００７０】
レンズ材料となる光透過性樹脂としては、ポリメチルメタクリレート、ポリヒドロキシエチルメタクリレート、ポリシクロヘキシルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、ポリジエチレングリコールビスアリルカーボネート、ポリカーボネイトなどのアリル系樹脂、メタクリル樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、セルロース系樹脂、ポリアミド系樹脂、フッ素系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂などの熱可塑性または熱硬化性の樹脂が挙げられ、これらのうちの一種が用いられ、あるいは複数種が混合されて用いられる。
【００７１】
このような光透過性樹脂にビイミダゾール系化合物などの光重合開始剤を配合することにより、使用する光透過性樹脂を放射線照射硬化型のものとして用いてもよい。すなわち、このような光重合開始剤を配合することにより、前記光透過性樹脂に放射線照射硬化性を付与することができるのである。ここで、放射線とは可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線等の総称であり、特に紫外線が一般的に用いられる。
【００７２】
前述したようにして、連続吐出工程と微調整工程とによりレンズ材料５を所望のレンズ形状とする。また、レンズ材料５は、円形状の親液パターン４全体に濡れてこのパターン上に載ると同時に、この親液パターン４から外れた撥液パターン３上からははじかれるようにして親液パターン４側に戻されるため、結果として親液パターン４上にて良好な凸レンズ形状、すなわち略半球状を形成する。
【００７３】
その後、このようにして略半球状に形成したレンズ材料５に対して、加熱処理、減圧処理、加熱減圧処理などの乾燥処理、あるいは前述したように光透過性樹脂が放射線照射硬化型である場合に、紫外線等の放射線照射処理を行うことにより、これを硬化して本発明のマイクロレンズ６とする。
【００７４】
このようなマイクロレンズ６の製造方法にあっては、親液パターン４上に吐出され塗布された光透過性樹脂が、親液パターン４上で接触角が小さく広がった状態となることにより、親液パターン４の大きさに対応して比較的径の大きい良好な凸形状のものとなり、したがって硬化後得られるマイクロレンズ６を、径が大きく良好な凸形状のものとすることができる。また、第１実施形態で示した連続吐出工程及び微調整工程を用いているので、迅速に、所望のレンズ形状のマイクロレンズ６を形成することができる。また、成形金型を必要とせず、材料のロスもほとんどなくなることから、製造コストの低減化を図ることができる。
【００７５】
また、本実施形態の製造方法によって得られてなるマイクロレンズ６は、比較的径が大きく良好な凸形状のものとなることから、このような形状に応じた良好な拡散性能、あるいは集光性能を有するものとなる。また、マイクロレンズ６は、連続吐出工程及び微調整工程により、所望のレンズ形状にすることができるので、設計通りの特性を十分に発揮するものとなる。
【００７６】
（連続吐出のみ又は１滴吐出のみの製法）
次に、図６及び図７を参照して、連続吐出のみ又は１滴吐出のみでマイクロレンズを製造する方法について説明する。連続吐出のみ又は１滴吐出のみでは、上記第１又は第２実施形態の効果を奏することはできない。
【００７７】
図６は連続吐出のみでマイクロレンズを製造する方法の一例を示す模式側面図である。この製造方法では、先ず、図６（ａ）に示すように、吐出位置に液滴吐出ヘッド１を移動させる。そして、基板２上のある土台２ａの上面に、液滴２２を所定数だけ連続吐出する。これにより、図６（ｂ）に示すように、凸レンズ形状のレンズ材料７が土台２ａ上に形成される。
【００７８】
次いで、図６（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１を別の吐出位置（他の土台２ａの上方）へ移動させる。そして、基板２上の他の土台２ａの上面に、液滴２２を所定数だけ連続吐出する。これにより、図６（ｄ）に示すように、凸レンズ形状のレンズ材料７が他の土台２ａ上に形成される。上記連続吐出を基板２上の全ての土台２ａについて行う。その後、レンズ材料７の硬化処理を行うことでマイクロレンズが完成される。
【００７９】
このような連続吐出のみによるマイクロレンズの製造方法では、複数の土台２ａについて、液滴吐出ヘッド１を１回走査するだけで、全ての土台２ａにマイクロレンズを形成することができる。しかしながら、この製造方法では、微調整工程がないので、マイクロレンズの形状を微調整することができない。したがって、例えばマイクロレンズ形成のための最適の液滴数を超えて液滴２２を吐出してしまうことがあり、レンズ形成を失敗する可能性がある。液滴吐出ヘッド１から吐出される各液滴２２の量が正確に一致していない場合などは、この失敗をする可能性が高くなる。
【００８０】
図７は一滴吐出のみでマイクロレンズを製造する方法の一例を示す模式断面図である。この製造方法では、先ず、図７（ａ）に示すように、吐出位置に液滴吐出ヘッド１を移動させる。そして、基板２上のある土台２ａの上面に、液滴２２を１滴だけ吐出する。これにより、図７（ｂ）に示すように、土台２ａ上にレンズ材料８ａが塗布される。
【００８１】
次いで、図７（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１を別の吐出位置（他の土台２ａの上方）へ移動させる。そして、基板２上の他の土台２ａの上面に、液滴２２を１滴だけ吐出する。これにより、図７（ｃ）に示すように、他の土台２ａ上にレンズ材料８ａが塗布される。この１滴吐出を基板２上の全ての土台２ａについて行い、全ての土台２ａの上面にレンズ材料８ａを塗布する。
【００８２】
次いで、図７（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１を移動させ、基板２上のある土台２ａのレンズ材料８ａ上に１滴吐出を行う。これにより、ある土台２ａ上にレンズ材料８ｂが塗布される。次いで、図７（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド１を別の吐出位置（他の土台２ａの上方）へ移動させる。そして、他の土台２ａの上面に１滴吐出を行う。これにより、他の土台２ａ上にレンズ材料８ａが塗布される。この１滴吐出を基板２上の全ての土台２ａについて行い、全ての土台２ａの上面にレンズ材料８ｂを塗布する。
【００８３】
このような全ての土台２ａについての１滴吐出を多数回繰り返し、全ての土台２ａについてレンズ形状にレンズ材料を塗布する。その後、レンズ材料の硬化処理を行うことでマイクロレンズが完成される。
【００８４】
このような１滴吐出のみによるマイクロレンズの製造方法では、吐出量（液滴２２の滴下数）の微調整は可能である。しかしながら、この製造方法では、マイクロレンズの製造時間が液滴吐出ヘッド１の走査回数（各土台２ａへの吐出滴数）に伴って長くなってしまい。したがって、製造コストが上昇してしまう。
【００８５】
（光通信装置）
図８は、本発明を適用した電子機器の一実施形態を示す模式断面図である。本実施形態では、電子機器の一例として光通信装置（光モジュール）を挙げて説明する。本実施形態の光通信装置は、構造体１０００を有してなる。構造体１０００は、上記第１又は第２実施形態の製造方法で作られたマイクロレンズを備えた面発光型発光素子１００を有している。面発光型発光素子１００は、例えば図３の基板２を土台２ａ毎に分割したものである。そして、土台２ａに面発光レーザを備え、その面発光レーザの上にレンズ材料６ｃを硬化させてなるマイクロレンズが配置されている。
【００８６】
また、構造体１０００は、プラットフォーム１１２０、第１の光導波路１１３０及びアクチュエータ１１５０を有する。また、この構造体１０００は、第２の光導波路１３０２を有する。第２の光導波路１３０２は、基板１３００の一部をなす。第２の光導波路１３０２には、接続用光導波路１３０４を光学的に接続してもよい。接続用光導波路１３０４は、光ファイバであってもよい。また、プラットフォーム１１２０は、樹脂１３０６によって、基板１３００に固定されている。
【００８７】
本実施形態の光通信装置では、面発光型発光素子１００から光が出射した後、第１及び第２の光導波路１１３０，１３０２（及び接続用光導波路１３０４）を通して、受光素子（図示せず）にこの光を受光させる。
【００８８】
図９は、本発明を適用した光通信装置の他の実施形態を示す模式断面図である。本実施形態では、第１の光導波路１１３０と受光素子２２０との間に、複数の第３の光導波路１２３０，１３１０，１３１２を有する。ここで、受光素子２２０は、上記第１又は第２実施形態の製造方法で作られたマイクロレンズを備えることとしてもよい。また、本実施形態に係る光通信装置は、複数（２つ）の基板１３１４，１３１６を有する。
【００８９】
本実施形態では、面発光型発光素子１００側の構成（面発光型発光素子１００、プラットフォーム１１２０、第１の光導波路１１３０、第２の光導波路１３１８、アクチュエータ１１５０を含む。）と、受光素子２２０側の構成（受光素子２２０、プラットフォーム１２２０、第３の光導波路１２３０，１３１０を含む。）との間に、第３の光導波路１３１２が配置されている。第３の光導波路１３１２として、光ファイバなどを使用して、複数の電子機器間の光伝達を行うことができる。
【００９０】
図１０は、本発明を適用した電子機器（電子機器システム）の他の実施形態を示す斜視図である。例えば、図１０において、光通信装置１１００は、図９に示す光通信装置からなり、コンピュータ、ディスプレイ、記憶装置、プリンタ等の電子機器１１０２を相互に接続するものである。電子機器１１０２は、情報通信機器であってもよい。光通信装置１１００は、光ファイバ等の第３の光導波路１３１２を含むケーブル１１０４を有する。光通信装置１１００は、ケーブル１１０４の両端にプラグ１１０６が設けられたものであってもよい。それぞれのプラグ１１０６内に、面発光型発光素子１００，受光素子２２０側の構成が設けられる。いずれかの電子機器１１０２から出力された電気信号は、発光素子によって光信号に変換され、光信号はケーブル１１０４を伝わり、受光素子によって電気信号に変換される。電気信号は、他の電子機器１１０２に入力される。こうして、本実施形態に係る光通信装置１１００によれば、光信号によって、電子機器１１０２の情報伝達を行うことができる。
【００９１】
図１１は、本発明を適用した実施形態に係る電子機器の使用形態例を示す図である。光通信装置１１１０は、図１０の光通信装置１１００に相当し、電子機器１１１２間を接続する。電子機器１１１２として、液晶表示モニター又はディジタル対応のＣＲＴ（金融、通信販売、医療、教育の分野で使用されることがある。）、液晶プロジェクタ、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、ディジタルＴＶ、小売店のレジ（ＰＯＳ（Ｐｏｉｎｔ  ｏｆ  Ｓａｌｅ  Ｓｃａｎｎｉｎｇ）用）、ビデオ、チューナー、ゲーム装置、プリンタ等が挙げられる。
【００９２】
また、本発明を適用したマイクロレンズは、光を用いる電子機器などに対して広く適用できる。すなわち、本発明に係る製造方法で作られたマイクロレンズを備えた応用回路又は電子機器としては、光インターコネクション回路、光ファイバ通信モジュール、レーザプリンタ、レーザビーム投射器、レーザビームスキャナ、リニアエンコーダ、ロータリエンコーダ、変位センサ、圧力センサ、ガスセンサ、血液血流センサ、指紋センサ、高速電気変調回路、無線ＲＦ回路、携帯電話、無線ＬＡＮなどが挙げられる。
【００９３】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【００９４】
例えば、本発明の製造方法を用いて製造されたマイクロレンズは、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置、液晶表示装置、液晶プロジェクタ、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の表示部に適用することもできる。例えば、フレネルンレンズとレンチキュラーシートとを備えて構成されるプロジェクションスクリーンにおいて、そのレンチキュラーシート上に本発明の製造方法を用いてマイクロレンズを形成することとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の第１実施形態のマイクロレンズ製造方法のフローチャートである。
【図２】同上の製造方法における連続吐出工程を示す模式側面図である。
【図３】同上の製造方法における微調整工程を示す模式側面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るマイクロレンズ製造方法を示す図である。
【図５】本発明の製造方法で用いられる液滴吐出ヘッドの一例を示す図である。
【図６】連続吐出のみでマイクロレンズを製造する方法例を示す模式側面図である。
【図７】一滴吐出のみでマイクロレンズを製造する方法例を示す模式側面図である。
【図８】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す模式側面図である。
【図９】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す模式側面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す斜視図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る電子機器の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００９６】
１…液滴吐出ヘッド、２…基板、２ａ…土台、３…撥液パターン、４…親液パターン、５…レンズ材料、６…マイクロレンズ、６ａ，６ｂ，６ｃ…レンズ材料、２２…液滴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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