(57)【要約】【課題】実質的に均一な粒子径を有する無機質球状体を長期間にわたって生産性よく得るための製造方法及びそのための装置の提供。【解決手段】無機化合物を含む水性液状体を、隔壁で区画された流路中を層流状態で流れる有機液体中に、１つの隔壁を略垂直方向に貫通するように形成した複数個の微小孔を通して押し出して、有機液体が分散媒で無機化合物を含む水性液状体が分散相であるＷ／Ｏ型エマルジョンを形成した後、該Ｗ／Ｏ型エマルジョン中の無機化合物を含む水性液状体を固形化して無機質球状体を製造する方法において、前記複数個の微小孔が形成された隔壁として、フッ素樹脂を主体とするシート状物を使用する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機化合物を含む水性液状体を、隔壁で区画された流路中を流速０．００１〜２ｍ／ｓかつ層流状態で流れる有機液体中に、１つの隔壁を略垂直方向に貫通するように形成した複数個の微小孔を通して押し出してＷ／Ｏ型エマルジョンを形成した後、該Ｗ／Ｏ型エマルジョン中の無機化合物を含む水性液状体を固形化して無機質球状体を製造する方法において、
前記複数個の微小孔が形成された隔壁が、フッ素樹脂を主体とするシート状物であることを特徴とする無機質球状体の製造方法。
【請求項２】
前記シート状物の厚さが１〜５００μｍである請求項１に記載の無機質球状体の製造方法。
【請求項３】
前記シート状物の開孔率が１〜３５％である請求項１又は２に記載の無機質球状体の製造方法。
【請求項４】
前記フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体からなる群より選ばれる１種である請求項１〜３のいずれかに記載の無機質球状体の製造方法。
【請求項５】
前記微小孔の断面の動水半径ｒの４倍値が０．１〜１００μｍである請求項１〜４のいずれかに記載の無機質球状体の製造方法。
【請求項６】
無機化合物を含む水性液状体が、隔壁で区画された流路中を流速０．００１〜２ｍ／ｓかつ層流状態で流れる有機液体中に、１つの隔壁を略垂直方向に貫通するように形成された複数個の微小孔を通して押し出されてＷ／Ｏ型エマルジョンが形成され、該Ｗ／Ｏ型エマルジョン中の無機化合物を含む水性液状体が固形化されて無機質球状体が形成されるように構成される無機質球状体の製造装置であって、
前記複数個の微小孔を有する隔壁が、フッ素樹脂を主体とするシート状物であることを特徴とする無機質球状体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機質球状体の製造方法に関する。特に、液体クロマトグラフフィー用充填材、化粧品用フィラー、触媒担体などに有用な実質的に均一な粒子径を持つ無機質球状体を連続的に得るための製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、粒子径の均一な無機質球状体を得る方法として種々の方法が提案されている。特許文献１には、厚さ方向に貫通した孔を有する高分子膜を通して無機化合物水溶液を有機液体中に注入することでＷ／Ｏ型エマルジョンを作製し、該エマルジョン中の無機化合物水溶液の液滴から無機質球状体を得る方法が開示されている。この方法では、エマルジョンの粒子径分布を狭いものにできるが、粒子径が高分子膜の物性に左右されること、及び有機液体の流れが制御されていないことによるエマルジョン粒子径分布が生じるため、無機質球状体の粒子径の均一性という点では不十分であった。また、長期使用における高分子膜の耐久性にも問題があった。
【０００３】
近年、特許文献２に、歪みをもった形状の微小孔を通して、加圧された無機化合物水溶液を有機液体中に押し出して均質なエマルジョンを製造する方法とそのための装置が提案されている。最近ではさらに、粒子径の均一な無機質球状体を長期間にわたって効率よく、大量に、かつ安定に製造可能な方法及びそのための装置の開発が求められている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２３５６５号公報（特許請求の範囲、図１）
【特許文献２】特開２００２−１１９８４１号公報（特許請求の範囲、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、実質的に均一な粒子径を有する無機質球状体を、長期間にわたって安定した連続プロセスにより、生産性よく得ることが可能な方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、無機化合物を含む水性液状体を、隔壁で区画された流路中を流速０．００１〜２ｍ／ｓかつ層流状態で流れる有機液体中に、１つの隔壁を略垂直方向に貫通するように形成した複数個の微小孔を通して押し出して、有機液体が分散媒で無機化合物を含む水性液状体が分散相であるＷ／Ｏ型エマルジョンを形成した後、該Ｗ／Ｏ型エマルジョン中の無機化合物を含む水性液状体を固形化して無機質球状体を製造する方法において、前記複数個の微小孔が形成された隔壁が、フッ素樹脂を主体とするシート状物であることを特徴とする無機質球状体の製造方法を提供する。
【０００７】
また、本発明は、無機化合物を含む水性液状体が、隔壁で区画された流路中を流速０．００１〜２ｍ／ｓかつ層流状態で流れる有機液体中に、１つの隔壁を略垂直方向に貫通するように形成された複数個の微小孔を通して押し出されてＷ／Ｏ型エマルジョンが形成され、該Ｗ／Ｏ型エマルジョン中の無機化合物を含む水性液状体が固形化されて無機質球状体が形成されるように構成される無機質球状体の製造装置であって、前記複数個の微小孔を有する隔壁が、フッ素樹脂を主体とするシート状物であることを特徴とする無機質球状体の製造装置を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、酸性あるいは塩基性の水性液状体及び有機液体に対する高い耐久性を有するフッ素樹脂を主体とする、シート状の隔壁を用いているため、長期間の運転に用いても表面の変質が生じにくく、安定した生産に好適である。
【０００９】
本発明により、実質的に粒子径が均一な無機質球状体を長期間にわたって安定した連続プロセスにより、生産性よく製造することが可能となる。特に、走査型電子顕微鏡写真から測定した個数平均粒子径が０．１〜１００μｍであり、粒子径分布の標準偏差を個数平均粒子径で割った値が０．２０以下の無機質球状体を、長期間にわたって製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明では、無機化合物を含む水性液状体を、層流で流れる有機液体中に、微小孔を通して押し出すことにより、有機液体が分散媒（連続相）となりこの中に前記無機化合物を含有する水溶液の液滴が分散相となったエマルジョン、すなわちＷ／Ｏ型エマルジョンを形成した後、該Ｗ／Ｏ型エマルジョン中の無機化合物を含む水性液状体を固形化して無機質球状体を製造する。
【００１１】
まず、無機化合物を含む水性液状体としては、固形化によって沈殿物を形成することができるものであればいずれも適用可能であり、無機化合物の水溶液だけでなく、シリカゾル、アルミナゾルなどのコロイド溶液も採用できる。無機化合物の水溶液としては、具体的にはアルカリ金属のケイ酸塩、アルミン酸塩、アルカリ土類金属のハロゲン化物、銅の硫酸塩、塩酸塩及び硝酸塩、鉄、コバルト又はニッケルの硫酸塩、塩酸塩及び硝酸塩の水溶液が挙げられる。
【００１２】
本発明では、無機化合物としてケイ酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、アルミン酸ナトリウム及びシリカからなる群より選ばれる１種以上を含む水性液状体を用いると好ましい。具体的には、水溶性シリカが溶解した水溶液、有機ケイ素化合物を加水分解して得られたシリカゾル及び市販のシリカゾルなどの固体シリカが分散した水性分散液（コロイド状シリカ）や、ケイ酸カリウム又はケイ酸ナトリウムの水溶液が好ましく使用される。なかでも入手の容易さ、経済的理由によりケイ酸ナトリウムが最も好ましい。ナトリウムとケイ酸の割合は、ＳｉＯ２／Ｎａ２Ｏ（モル比）で２．０〜３．８が好ましく、さらには２．０〜３．５が好ましい。また、水性液状体中のケイ酸アルカリ又はシリカの濃度は、ＳｉＯ２濃度として５〜３０質量％が好ましく、さらには５〜２５質量％が好ましい。
【００１３】
次に、有機液体としては、炭素数９〜１２の飽和炭化水素が好ましく、操作性、火気への安全性、固形化した粒子と有機液体との分離性、無機質球状体粒子の形状特性、水への有機液体の溶解性などを総合的に考慮して選定される。炭素数が９〜１２の飽和炭化水素は、単独で使用してもよいし、このうちの二種以上を混合して使用してもよい。また、炭素数が９〜１２の飽和炭化水素は、その化学的安定性が良好であれば、直鎖状炭化水素であってもよいし、側鎖を有する炭化水素であってもよい。
【００１４】
炭素数９〜１２の飽和炭化水素の引火点としては、２０〜８０℃のものが好ましい。引火点が２０℃未満の飽和炭化水素を有機液体とした場合、引火点が低すぎるため、防火上、作業環境上の対策が必要である。また、引火点が８０℃を超えるものは、揮発性が低いことから、得られる無機質球状体に付着する炭化水素の量が多くなるおそれがある。
【００１５】
本発明では、エマルジョンを固形化した後の無機質球状体と有機液体とは、通常固液分離される。分離後の無機質球状体に付着又は吸着している有機液体は、乾燥操作などにより気化、分離するのが好ましい。気化により分離しやすいという面では有機液体は沸点が２００℃以下であることが好ましく、これらの条件を満たすものとしては、Ｃ９Ｈ２０、Ｃ１０Ｈ２２及びＣ１１Ｈ２４からなる群より選ばれる１種以上が好ましい。
【００１６】
本発明では、Ｗ／Ｏ型エマルジョンの形成にあたり、界面活性剤を使用することが好ましい。このときの界面活性剤としては、アニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤も使用可能であるが、親水性、親油性の調整が容易である点でノニオン系界面活性剤が好ましい。例えば、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルなどが望ましい。
【００１７】
界面活性剤の使用量は、界面活性剤の種類、界面活性剤の親水性あるいは疎水性の程度を表す指標であるＨＬＢ（Ｈｙｄｒｏｐｈｉｌｅ−ｌｉｐｏｐｈｉｌｅ  ｂａｌａｎｃｅ）、目的とする無機質球状体の粒子径などの条件により異なるが、上記有機液体中に５００〜５００００ｐｐｍ、好ましくは１０００〜２００００ｐｐｍ含有させるのが好ましい。５００ｐｐｍ未満であると、乳化される水溶液の液滴が大きくなり、エマルジョンが不安定になるおそれがある。また、５００００ｐｐｍを超えると、製品である無機質球状体粒子に付着する界面活性剤の量が多くなり好ましくない。
【００１８】
本発明では、有機液体の流速を０．００１〜２ｍ／ｓとすることにより、粒子径分布の狭いエマルジョン液滴が形成され、得られる無機質球状体の粒子径分布も狭くできる。有機液体の流速が０．０１〜１ｍ／ｓである場合はさらに好ましい。
【００１９】
流路中を流れる有機液体のレイノルズ数は２１００以下とする。ここで、流路の断面が円形である場合のレイノルズ数は式１で計算され、流路の内径Ｄは流路の断面における最小径を使用する。ここで、Ｄ（流路の内径：ｍ）、ｕ（平均流速：ｍ／ｓ）、ρ（流体密度：ｋｇ／ｍ３）、μ（流体粘度：Ｐａ・ｓ）である。
レイノルズ数（−）＝Ｄ・ｕ・ρ／μ  ・・・式１。
【００２０】
また、流路の断面が円形でない場合のレイノルズ数は式２で計算される。ここで、ｒは流路動水半径（ｍ）＝流路の断面積（ｍ２）／流路断面の流体に接する周長（ｍ）であり、ｕ、ρ、μは式１と同様である。
レイノルズ数（−）＝４×ｒ・ｕ・ρ／μ  ・・・式２。
【００２１】
レイノルズ数が２１００以下の場合、有機液体の流れは層流状態であるため、有機液体の流れは安定したものとなる。その結果、微小孔を通して供給される無機化合物を含む水性液状体が、常に一定の粒子径を有するＷ／Ｏ型エマルジョンとなるため、実質的に粒子径が均一な無機質球状体が製造されやすい。逆に、レイノルズ数が２１００を超える場合、有機液体の流れが乱流となるため、従来と同様に粒子径が不揃いなＷ／Ｏ型エマルジョンとなり、その結果、無機質球状体の粒子径も不揃いになる。また、より有機液体の流れを安定させるために、有機液体の流れのレイノルズ数が５００以下であることが好ましい。なお、この有機液体の流路の形状については、特に限定されない。
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。図中、１、５はアクリル樹脂製板、２はフッ素樹脂シート、３はフッ素樹脂隔壁、４はアクリル樹脂製板部品である。図１において、無機化合物を含む水性液状体はノズル８から導入され、フッ素樹脂隔壁３を略垂直方向に貫通するように形成された微小孔９を通して、ノズル６から導入されてノズル７から排出されるように層流状態で流れる有機液体中に圧入される。なお、微小孔９より圧入される水性液状体は、界面張力に起因して、微小孔９の出口においてその孔径よりも大きく成長する。その後、液滴は、有機液体の流れにより切り離され、有機液体中でＷ／Ｏ型エマルジョンの液滴となる。
【００２３】
本発明において、隔壁を構成する材料としては、フッ素樹脂を主体とするシート状物を用いる。フッ素樹脂の種類は特に限定されず、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）などが好適に用いられる。
【００２４】
該シート状物の厚さは１〜５００μｍであると好ましい。１０μｍ未満の場合、湾曲しやすく、シートの水平性が損なわれるおそれがあるほか、各微小孔から圧入された水性液状体の液滴同士の合一などが発生して均一な液滴の形成に支障をきたすおそれがあるため好ましくない。また、５００μｍを超える場合、加工の工程が複雑になりすぎたり、加工に時間がかかりすぎるおそれがあり、コストの上昇や加工精度の悪化につながりやすいため好ましくない。より好ましくは、シートの厚さを３〜２００μｍとする。
【００２５】
微小孔の形成方法については特に限定されるものではないが、加工精度が優れている点から電子ビーム加工、Ｘ線ドライエッチング（ＴＩＥＧＡ）加工を用いると好ましい。
【００２６】
微小孔は、断面の形状が円形のものが好ましいが、円形以外の形状のものでも構わない。内側に凸でない、長方形、楕円及び三角形からなる群より選ばれる１つ以上の形状とすると、加工が比較的容易であり、また、粒子径の均一な無機質球状体を安定して製造できることから好ましい。ただし、いずれの孔においても有機液体の流路幅より小さい孔であることが必須である。
【００２７】
また、微小孔の断面の動水半径ｒの４倍値は０．１〜１００μｍとすることが好ましい。さらに好ましくは１〜８０μｍとする。ここで、ｒは式２と同様に、断面の動水半径ｒ（ｍ）＝微小孔の断面積（ｍ２）／微小孔断面の流体に接する周長（ｍ）である。したがって、微小孔の断面が円形の形状の場合、動水半径ｒ＝円の内径Ｄ／４となるから、動水半径ｒの４倍値は円の内径Ｄに相当する。微小孔の断面の動水半径ｒの４倍値が０．１μｍ未満では、無機化合物を含む水性液状体の供給量が小さく、生産性の点で好ましくない。また、１００μｍより大きい場合は、目的とする粒子径を逸脱するエマルジョン粒子が生成しやすくなるので好ましくない。
【００２８】
本発明において、無機化合物を含む水性液状体を供給する微小孔９は、生産性の観点から、有機液体流路上に配置されたフッ素樹脂隔壁３を略垂直方向に貫通するように、複数個形成する。好ましくは１００個以上、特に１０００個以上設けると充分な生産性が得られやすい。
【００２９】
また、その際の微小孔９の配列については特に限定されるものではないが、生産性及び加工性の観点から、フッ素樹脂隔壁３の幅方向（有機液体流路の幅方向）及び長さ方向（有機液体流路の流れ方向）のそれぞれに一定のピッチで複数個の微小孔を設置してなる並列配列、又は並列配列した微小孔のうち、幅方向に隣接した２つの微小孔と、長さ方向に隣接する２つの微小孔とを選び、これらの孔の中心を結んで形成される長方形の対角線の中心にもう１個の微小孔を設置してなる千鳥配列とすると好ましい。なかでも千鳥配列とすると、微小孔を密に配列でき、開孔率を高くできるため、生産性向上の観点から特に好ましい。
【００３０】
このとき、フッ素樹脂隔壁３の開孔率が１〜３５％であることが好ましい。開孔率が１％以下の場合は、生産性が低く、設備費用が割高となるので好ましくない。一方、開孔率が３５％以上では、各微小孔から水性液状体を圧入して形成されたエマルジョンの液滴が合一し、その結果粒子径が不均一になる可能性が高くなるため好ましくない。より好ましい開孔率は２〜２５％である。
【００３１】
ここで、一定面積の複数個の微小孔を一定の配列により設置する場合の開孔率は式３により算出する。このとき、Ｓ（微小孔の断面積：ｍ２）であり、Ｐ１（幅方向のピッチ：ｍ）、Ｐ２（長さ方向のピッチ：ｍ）である。
開孔率（％）＝１００×Ｓ／（Ｐ１×Ｐ２）・・・式３。
【００３２】
式３において、円形の微小孔を並列配列で設置した場合の開孔率は、式４で算出できる。ここで、Ｄ（微小孔径：ｍ）であり、Ｐ１、Ｐ２は式３と同様である。
開孔率（％）＝７８．５×Ｄ２／（Ｐ１×Ｐ２）・・・式４。
【００３３】
また、式３において、円形の微小孔を千鳥配列で設置した場合、上記で定めた２本の対角線がなす角度が９０゜の場合（角千鳥配列）の開孔率は式５で、６０°の場合（６０°千鳥配列）の開孔率は式６でそれぞれ算出できる。ここで、Ｄは式４と同様であり、Ｐはピッチ（ｍ）である。なお、式６におけるＰは幅方向、長さ方向のピッチのうち短い方（ｍ）を指す。
開孔率（％）＝１５７×Ｄ２／Ｐ２・・・式５。
開孔率（％）＝９１×Ｄ２／Ｐ２  ・・・式６。
【００３４】
また、微小孔９は、微小孔の断面形状に外接する円の直径の１／２以上の間隔を設けてフッ素樹脂隔壁３上に設置するのが好ましい。さらに好ましくは微小孔の断面形状に外接する円の直径以上の間隔を設ける。外接する円の直径の１／２より短い間隔しか設けずに微小孔を設置すると、エマルジョンの液滴が合一しやすくなり、その結果粒子径が不均一になる可能性があるため好ましくない。ただし、合一しない範囲でなるべく密接して設置したほうが、生産性を向上できるので好ましい。
【００３５】
さらに、目標とする粒子径の無機質球状体を効率的に得る観点から、本発明では、微小孔の断面の動水半径ｒの４倍値に対する無機質球状体の平均粒子径の比を、０．１〜５．０とすると好ましい。より好ましくは０．３〜３．０である。この比が０．１未満では生産性が低下し、得られる無機質球状体の平均粒子径が目標値より大きくなる可能性が高くなるので好ましくない。また、逆に５．０を超えると粒子径を制御しにくくなり、目的とする粒子径を大きく逸脱する微粒状の粒子の副生を引き起こす可能性が高くなるので好ましくない。
【００３６】
なお、本発明の無機質球状体の製造装置は、図１のように、フッ素樹脂隔壁３が水平面に対して平行になるように設置してもよい。しかし、有機液体の密度が水性液状体の密度より小さい場合には、有機液体の流路が水平面に対して３０°以上の角度を有するように設置し、かつ、有機液体を下方から上方に流すと、粒子径が均一な無機質球状体が得られやすくなり好ましい。特に、フッ素樹脂隔壁３が水平面に対して略垂直になるように設置すると好ましい。一方、有機液体の密度が水性液状体の密度より大きい場合には、これらの装置を用い、有機液体を上方から下方に流せば、上記のような粒子径の均一化効果が得られやすくなり好ましい。
【００３７】
フッ素樹脂隔壁３が水平面に対して３０°以上の角度を有するように設置した場合、高さ方向の所定水平面においては、水性液状体側及び有機液体側それぞれにおいて液深に起因する圧力が印加される。特定水平面において、水性液状体、有機液体の液深がほぼ同等と仮定すると、水性液状体と有機液体との密度差に起因し、（水性液状体密度−有機液体密度）×液深に相当する圧力が加わる。そのため、有機液体の密度が水性液状体の密度より小さい場合は有機液体を下方から上方へ、反対の場合は上方から下方へ流せば、有機液体の流路を水平面に対して平行に形成した場合と比較して、全流路における水性液状体側と有機液体側の圧力差の変化を相対的に狭くできる。その結果、フッ素樹脂隔壁３上の各微小孔からの水性液状体の供給量を安定化してエマルジョン液滴径を均一化できるため、得られる無機質球状体の粒子径の均一化に効果を発揮する。
【００３８】
本発明において、生成するＷ／Ｏ型エマルジョンの液滴径は、上記で定めた微小孔の設置条件のみならず、水性液状体の流れ方向の線速に対する有機液体の流れ方向の線速の比によっても影響を受ける。ここで、図１において、水性液状体の流れ方向の線速は微小孔９部分で測定すればよい。この線速の比は１〜５００とすると好ましく、さらに好ましくは１０〜３００である。線速の比が５００を超える場合は、有機液体を過剰に消費しすぎるおそれがあるため経済的観点から好ましくない。また、１未満では、有機液体の流れにより液滴が切り離される効果が得られにくくなり、エマルジョン粒子が不均一になるおそれがあるため好ましくない。
【００３９】
Ｗ／Ｏ型エマルジョン中の無機化合物を含む水性液状体を固形化して無機質球状体とする方法としては、沈殿剤を加えて無機化合物を沈殿させる方法を用いることができる。沈殿剤としては、アルカリ金属のハロゲン化物あるいは炭酸塩、無機酸、有機酸、無機酸のアンモニウム塩、有機酸のアンモニウム塩及びアルカリ土類金属のハロゲン化物からなる群より選ばれた少なくとも１種の水溶液が挙げられる。具体的には炭酸水素アンモニウム、硫酸アンモニウム、塩化カリウム、炭酸水素カリウム等の水溶液が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００４０】
無機化合物を含む水性液状体中の無機化合物がケイ酸アルカリ又はシリカの場合は、Ｗ／Ｏ型エマルジョンをゲル化することにより、球状である水溶液の分散液滴はこの形状を保持したままゲル化され、球状のシリカヒドロゲルが得られる。ゲル化には、エマルジョン中にゲル化剤を導入するのが好ましい。ゲル化剤としては、無機酸や有機酸などの酸が用いられ、特に無機酸である硫酸、塩酸、硝酸、炭酸などが好ましい。操作の容易性などの点で、最も簡便で好ましいのは、炭酸ガスを用いる方法である。炭酸ガスは、１００％濃度の純炭酸ガスを導入してもよいし、空気や不活性ガスで希釈した炭酸ガスを導入してもよい。ゲル化に要する時間は、通常４〜３０ｍｉｎが好ましく、ゲル化時の温度は５〜３０℃が好ましい。
【００４１】
ゲル化終了後は、反応系を静置して、有機液体の相とシリカヒドロゲルを含む水性相に２相分離させてシリカゲルを分離するのが好ましい。有機液体として飽和炭化水素を用いた場合は、上層に有機液体の相が、下部にシリカヒドロゲルを含む水性液状体相が分離するので、両者を公知の手段により分離する。その際には分離装置を用いて分離すると好ましい。
【００４２】
シリカヒドロゲルの水スラリーは、所望により硫酸などの酸を添加してｐＨを１〜５程度に調整してゲル化を完結させ、次に６０〜１５０℃、好ましくは８０〜１２０℃の温度で水蒸気蒸留して当該水スラリー中に残留している僅かの飽和炭化水素を留出して除去し、さらにはｐＨ７〜９程度の適当なｐＨで加温してシリカヒドロゲルの熟成を行う。
【００４３】
必要に応じて、上記の熟成処理を行った後、水スラリーをろ過してシリカヒドロゲルを得、これを１００〜１５０℃程度の温度で、１〜３０ｈ程度乾燥することにより、シリカ多孔質球状体粒子が得られる。
【００４４】
なお、水性液状体としてケイ酸アルカリ水溶液を用い、ゲル化剤として酸を用いた場合、アルカリ金属塩（例えばゲル化剤が炭酸であれば炭酸ナトリウムなど）を副生するので、この塩がシリカ多孔質球状体へ混入することを防止するため、ろ過した際のシリカヒドロゲル（ウエットケーキ）は十分水洗することが好ましい。場合によっては、水洗後のウエットケーキに再度水を添加してスラリーとして、再度ろ過、水洗を繰り返してもよい。なおこの際、所望により当該スラリーのｐＨを１〜５程度に調整して再度熟成する操作を行ってもよい。
【実施例】
【００４５】
［例１］
（１）（溶液の調製）
ＳｉＯ２濃度２４．４質量％、Ｎａ２Ｏ濃度８．１４質量％（ＳｉＯ２／Ｎａ２Ｏモル比＝３．０９、密度１３２０ｋｇ／ｍ３）のケイ酸ナトリウム水溶液を調製した。有機液体はイソノナン（Ｃ９Ｈ２０、密度７３０ｋｇ／ｍ３）を使用し、あらかじめ界面活性剤としてソルビタンモノオレイン酸エステルを２００００ｐｐｍ溶解したものを準備した。
【００４６】
（２）（乳化装置作製）
乳化装置は図１に断面図を示す。まず、厚さ２０ｍｍ、５０×１２０ｍｍの長方形のアクリル樹脂製板１に、内径３．２ｍｍの貫通孔を２個形成し、外径３．２ｍｍのゴムチューブ配管（ノートン社製、商品名：タイゴンチューブＲ−３６０３）をそれぞれ接続してノズル５、６とし、ノズル５より液の供給が、また、ノズル６より液の排出ができるようにした。もう１枚の厚さ２０ｍｍ、５０×１２０ｍｍの長方形のアクリル樹脂製板４の中央に、幅０．５ｍｍ、深さ０．５ｍｍの直線状の溝を形成し、両端に内径３ｍｍの貫通孔を形成し、ジョイント部品を介して内径１ｍｍのポリテトラフルオロエチレンチューブ配管を接続してノズル７、８とし、ノズル７より液の供給が、また、ノズル８より液の排出ができるようにした。ついで、厚さ１００μｍ、５０×１２０ｍｍの長方形のフッ素樹脂シートに幅０．５ｍｍ、長さ７０ｍｍのスリットを形成してフッ素樹脂シート２を作製した。さらに、厚さ１０μｍ、５０×１２０ｍｍの長方形のポリテトラフルオロエチレン製シートの中央部に、Ｘ線ドライエッチング加工にて内径１μｍの、断面の形状が円形の貫通穴（微小孔９に相当）を、幅方向に１０μｍピッチで３１個、長さ方向に１０μｍピッチで２５０１個の並列配列として合計７７５３１個を作製してフッ素樹脂隔壁３とする。フッ素樹脂隔壁３の開孔率を式４に基づいて計算すると０．８％となる。
【００４７】
アクリル樹脂製板１、フッ素樹脂シート２、フッ素樹脂隔壁３及びアクリル樹脂製板４を順に積層し、クランプにて上下２辺を均等な力で締め付けて固定する。このとき、フッ素樹脂隔壁３に穿孔する貫通孔の幅方向及び長さ方向を、それぞれフッ素樹脂シート２に作製したスリットの幅方向及び長さ方向に合わせ、貫通孔がスリットの中心部に位置するように、また、アクリル樹脂製板１のノズル５の孔とノズル６の孔とがフッ素樹脂シート２のスリット上に位置するように設置する。さらに、作製する装置はあらかじめ水を供給することで液が漏洩しないことを確認する。
【００４８】
（３）（乳化）
（２）で作製した乳化装置を垂直に置いて使用し、ノズル５より（１）で調製した界面活性剤を溶解したイソノナンを、ノズル７より（１）で調製したケイ酸ナトリウム水溶液を供給することで、ケイ酸ナトリウム水溶液が界面活性剤を溶解したイソノナン中に分散するＷ／Ｏ型エマルジョンを連続的に製造する。このとき界面活性剤を溶解したイソノナンの供給量は１２０ｍＬ／ｈとする。実験は常温で行い、運転時間は５時間とする。
【００４９】
このとき、イソノナンの流れのレイノルズ数は、流路の動水半径：４１．７μｍ、線速：０．６７ｍ／ｓ、粘度：７．５×１０−４Ｐａ・ｓとして計算すると約１０８であり、層流状態である。また、ケイ酸ナトリウム水溶液の供給量は３ｍＬ／ｈとし、微小孔９における流れ方向の線速は１４×１０−３ｍ／ｓである。
【００５０】
また、微小孔９から供給されるケイ酸ナトリウム水溶液の微小孔９部分での流れ方向の線速に対する、イソノナンの流れ方向の線速の比は４９となる。
【００５１】
（４）（ゲル化）
（３）で作製したＷ／Ｏ型エマルジョンを採取した後、撹拌しながら１００％濃度の炭酸ガスを２００ｍＬ／ｍｉｎの供給速度で２０分間吹き込んでゲル化を行う。生成するシリカヒドロゲルに対し、水１００ｍＬを加えて１０分間静置させた後、比重差により２相分離してシリカヒドロゲルの水スラリー（水相）を得る。次いで、得られたシリカヒドロゲルの水スラリーに０．１規定の硫酸水溶液を加え、２５℃でｐＨ２に調整して３０分間静置する。次いでろ過、水洗を行い、１２０℃で２０時間乾燥することでシリカ多孔質球状体を得る。得られるシリカ多孔質球状体の収量は４．５ｇとなる。
【００５２】
（５）（形状確認）
得られるシリカ多孔質球状体は走査型電子顕微鏡写真よりほぼ真球状であることが確認される。また、粒子の合計数が１０００個以上となるように、複数枚の写真を使用し、写真内に確認できる全数を測定した結果を使用して粒子径分布を実測すると、個数平均粒子径は９μｍ、標準偏差は１．１μｍとなる。このときの、粒子径分布の標準偏差を個数平均粒子径で割った値は０．１２となる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明により、実質的に均一な粒子径を有する無機質球状体を、安定した連続プロセスにより高生産性で製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】例１で用いる乳化装置の断面図を示す図
【符号の説明】
【００５５】
１、４：アクリル樹脂製板
２：フッ素樹脂シート
３：フッ素樹脂隔壁３
５、６：アクリル樹脂製板１に形成されたノズル
７、８：アクリル樹脂製板４に形成されたノズル
９：フッ素樹脂隔壁３を略垂直方向に貫通する微小孔
【図１】
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