(57)【要約】【課題】高い品質を有する半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置１００においては、第１のチップ１０２上に塗布された接着剤１０５に含有されるフィラー１０６の粒径は、隣接するワイヤ１０４の間隔よりも大きい。そのため、第２のチップ１０７を下方に向けて押圧したときに、フィラー１０６は、ワイヤ１０４に引っかかり、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間に、従来よりも多くのフィラーがとどめられる。したがって、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間隔を安定的に維持することができる。また、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間に挟まれたまま残されるフィラー１０６の数が従来の技術と比較して多いため、第１のチップ１０２上に塗布された接着剤１０５に含有されるフィラー１０６の数を増加させることを抑制しつつ、第２のチップ１０７に印加された圧力が均整に分散され、それぞれのフィラー１０６に印加される圧力が従来よりも低減される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンディングパッドが設けられた基材と、前記基材上に積層された、複数の電極を有する第１の素子と、前記第１の素子上に積層された第２の素子と、を備える半導体装置であって、
前記基材に設けられた前記ボンディングパッドと前記第１の素子とは、ワイヤを用いてボンディング接続され、
前記第１の素子と前記第２の素子との間にフィラーを含有する接着層が設けられ、
前記フィラーの平均粒径は、前記第１の素子に設けられた、隣接する前記ワイヤ間の距離よりも大きいことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記接着層は、ペースト状接着剤を硬化させたものであることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１に記載の半導体装置において、
前記接着層は、シート状接着剤を硬化させたものであることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載の半導体装置において、
前記フィラーの形状は、球状であることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載の半導体装置において、
前記フィラーの粒径は、前記ワイヤ間の距離の１．３倍以下であることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップスタック型半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上下にチップを積層搭載するチップスタック型半導体装置において、特に、第１のチップのサイズと第２のチップのサイズとが非常に近似しているか、あるいは第１のチップのサイズよりも第２のチップのサイズの方が大きい組合せであることがある。この場合、第１のチップと基材とを接続するボンディングワイヤの上方に第２のチップが搭載されることとなるため、ボンディングワイヤと第２のチップとが接触しないように配慮する必要がある。そのため、従来、第１のチップよりも一回りサイズの小さいダミーチップあるいはエラストマなどを、第１のチップと第２のチップとの間に挟み込んで、ボンディングワイヤ部のクリアランスを確保して絶縁を保つスペーサー構造を有する半導体装置があった。
【０００３】
しかし、これらのスペーサー構造は、スペーサーの材料費が高く、また加工費も余分に掛かることによって、コスト削減の妨げとなっていた。
【０００４】
そのため、特許文献１に記載されるような第１のチップと第２のチップとの間の接触を抑制することを目的として、接着剤の中に粒径が一定なフィラーを混入されたチップスタック型半導体装置がある。
【０００５】
上記の特許文献１には、スペーサーフィラー含有接着剤は、チップ間の接触を抑制することを目的とするため、フィラーの粒径は、１０〜５０μｍ、あるいは２０〜４０μｍと記載されている。また詳細な図面は記載されていないものの、絶縁性のペースト状の第２の接着剤を適宜量供給し、続いて真空コレットに吸着された第２の半導体チップを第１の半導体チップ上に移動して位置決めをし、第２の接着剤が均等に広がるように一定圧力で押圧する、と特許文献１に記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−２５６４７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、スペーサーフィラーを含有する接着剤が、ボンディングワイヤ部のクリアランス確保の目的として用いられた場合、ボンディングワイヤと第２のチップとの接触を抑制することが困難であった。なぜなら、第１のチップのボンディングワイヤ上方に第２のチップを積層する際には、第１のチップと第２のチップとの間のギャップを、少なくともボンディングワイヤの高さの寸法以上に確保する必要があるからである。
【０００８】
また、ボンディングワイヤの間隔は、第１のチップに形成されたボンディングパッド間隔とワイヤの径に依存し、たとえばボンディングパッドの間隔が１００μｍピッチで３０μｍ径のボンディングワイヤを用いた場合、ボンディングワイヤの間隔は７０μｍとなる。そのため、図５および図６に示すように、ボンディングワイヤ４の間隔に対するフィラー６の相対的のサイズが規定されていない場合には、フィラー６の粒径がボンディングワイヤ４の間隔よりも小さいと、第２のチップ７を積層する際の接着剤５の濡れ面積の拡大に伴って、フィラー６も、基板１に接着剤３を介して接着された第１のチップ２の周辺部へと流れ、ボンディングワイヤ４の隙間をすり抜けて、チップ領域の外にはみ出してしまうことがあった。ここで、スペーサーフィラーを含有する接着剤５は、適度な粘性や硬化後の物性を所望の値に保つため、フィラーの含有率を極端に高くすることは難しい。そのため、フィラー６がチップ領域外にはみ出すことによって、第１のチップ２と第２のチップ７との間のギャップに残るフィラー６の数が減少すると、フィラーの役割を十分に果たすことができず、結果的に安定したクリアランスの確保が難しくなる。また、第１のチップ２と第２のチップ７との間のギャップに残るフィラー６の数が少なくなると、第２のチップ７を積層する際の圧力が特定のフィラーに集中してしまい、第１のチップ２の回路形成面を傷つけてしまう可能性があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、
ボンディングパッドが設けられた基材と、前記基材上に積層された、複数の電極を有する第１の素子と、前記第１の素子上に積層された第２の素子と、を備える半導体装置であって、
前記基材に設けられた前記ボンディングパッドと前記第１の素子とは、ワイヤを用いてボンディング接続され、
前記第１の素子と前記第２の素子との間にフィラーを含有する接着層が設けられ、
前記フィラーの平均粒径は、前記第１の素子に設けられた、隣接する前記ワイヤ間の距離よりも大きいことを特徴とする半導体装置
が提供される。
【００１０】
この発明によれば、第１の素子と第２の素子との間の接着層に含有されるフィラーの平均粒径が、第１の素子に設けられたワイヤ間の距離よりも相対的に大きい。そのため、第１の素子と第２の素子との間の接触を抑制できるとともに、フィラーがワイヤの間をすり抜けることが抑制される。したがって、高い品質を有する半導体装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、第１の素子と第２の素子との間の接触を抑制できるとともに、フィラーがワイヤの間をすり抜けることが抑制されるため、高い品質を有する半導体装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１３】
第１の実施の形態
図１および図２に示す半導体装置は、ボンディングパッドが設けられた基材である配線基板１０１と、配線基板１０１上に積層された、複数の電極である複数のパッドを有する第１の素子である第１のチップ１０２と、第１のチップ１０２上に積層された第２の素子である第２のチップ１０７とを備え、配線基板１０１に設けられたボンディングパッドと第１のチップ１０２とは、ワイヤ１０４を用いてボンディング接続され、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間にフィラー１０６を含有する接着層が設けられ、フィラー１０６の平均粒径は、第１のチップ１０２に設けられた、隣接するワイヤ１０４間の距離よりも大きいことを特徴とする。
【００１４】
図１に、本実施形態に係る接着剤塗布後の半導体装置１２０、図２に、本実施形態に係る第２のチップ１０７が搭載された後の半導体装置１００を示す。
【００１５】
図１（ａ）および図１（ｂ）に示すように、配線基板１０１上に、ペースト状の接着剤１０３を介して第１のチップ１０２が積層されている。第１のチップ１０２には、ボンディング接続用の複数のパッド（不図示）が１００μｍ間隔で略等間隔に設けられている。
【００１６】
配線基板１０１は、銅配線部分を残してソルダーレジストなどの絶縁材料で被覆された基板である。配線基板１０１には、絶縁材料上に第１のチップ１０２とのワイヤボンディング接続に用いられるボンディングパッド（不図示）が設けられている。
【００１７】
接着剤１０３は、配線基板１０１と第１のチップ１０２とを接着することができる接着剤であればよい。
【００１８】
また、配線基板１０１と第１のチップ１０２とは、ワイヤ１０４を用いて電気的に接続されている。
【００１９】
ワイヤ１０４を構成する材料としては、金などの導電性の高い材料が用いられ、ワイヤボンディング装置を用いて配置される。
【００２０】
本実施形態において、ワイヤ１０４は第１のチップ１０２に１００μｍ間隔で略等間隔に配置されている。また、ワイヤ１０４の径は３０μｍである。そのため、隣接するワイヤ１０４の間隔は７０μｍである。
【００２１】
第１のチップ１０２の例としては、たとえば、トランジスタやＩＣチップ等の半導体素子が挙げられる。図１（ａ）中、第１のチップ１０２の上面は回路形成面である。
【００２２】
ペースト状の接着剤１０５は、図１（ｂ）に示す通り、第１のチップ１０２上を、第１のチップ１０２の中心部近傍から外周部に向かって放射状に広がるような形状で塗布される。
【００２３】
接着剤１０５は、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７とを接着する機能を有する。接着剤１０５は、フィラー１０６を含有し、第１のチップ１０２と後述する第２のチップ１０７との間にスペースを設けるスペーサーとしての機能も有する。接着剤１０５を主に構成する母材としては、たとえば、エポキシ系樹脂などが用いられる。
【００２４】
本実施形態において、フィラー１０６としては、たとえば、シリカなどの弾性率が高いフィラーやシリコンなどの弾性率が低いフィラーなどの絶縁性を有するフィラーが用いられ、その平均粒径は８０μｍである。上述したフィラーは線膨張率が小さいため、接着剤１０５が硬化してなる接着層が安定的に形成される。
【００２５】
フィラー１０６のそれぞれの粒径は、フィラーを含有する接着剤の断面を顕微鏡を用いて測定することによって計測される。また、本実施形態において、フィラー１０６の粒径の粒度分布は、平均粒径の±１０％以内の範囲内に収まっている。
【００２６】
フィラー１０６の形状としては、球状などの形状が好ましく用いられる。フィラー１０６の形状が球状であることによって、フィラーの向きにかかわらず接着剤１０５の面の均一性を、より高めることができ、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間隔を、より安定的に維持することができる。
【００２７】
フィラー１０６の平均粒径は、ワイヤ１０４間の距離の１００％より大きく、１３０％以下の範囲であることが、より好ましく、１１０％より大きく、１２０％より小さい範囲であることが、より一層好ましい。１００％より大きく、１３０％以下の範囲であることによって、フィラー１０６がワイヤ１０４の間をすり抜ける可能性が、より低減されるとともに、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間隔を適度な範囲とすることができる。また、１１０％より大きく、１２０％より小さい範囲であることによって、フィラー１０６がワイヤ１０４の間をすり抜ける可能性が、より一層低減されるとともに、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間隔を、より一層適度な範囲とすることができる。
【００２８】
フィラー１０６の接着剤１０５内における重量含有率は、０．１重量％〜２０重量％程度が好ましく、本実施形態においては、１重量％程度である。
【００２９】
次に、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、第２のチップ１０７は、第１のチップ１０２上に塗布された接着剤１０５の上方から下方に向けて押圧される。その際、接着剤１０５全体が均等に第１のチップ１０２の外周部に向けて押し広げられ、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間が、ほとんど隙間無く充填される。また、その際、図２に示すように、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間に入りきらない余分な接着剤１０５は、第１のチップ１０２の外周部からはみ出して、第１のチップ１０２の側面部を覆ってもよい。接着剤１０５は、硬化されて接着層となる。
【００３０】
第２のチップ１０７の例としては、たとえば、トランジスタ、ＩＣチップなどの半導体チップが挙げられる。
【００３１】
以下、本実施形態に係る半導体装置１００の効果について説明する。
【００３２】
半導体装置１００においては、第１のチップ１０２上に塗布された接着剤１０５に含有されるフィラー１０６の粒径は、隣接するワイヤ１０４の間隔よりも大きい。そのため、第２のチップ１０７を下方に向けて押圧したときに、フィラー１０６は、ワイヤ１０４に引っかかり、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間に、従来よりも多くのフィラーがとどめられる。したがって、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間隔を安定的に維持することができる。また、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間に挟まれたまま残されるフィラー１０６の数が従来の技術と比較して多いため、第１のチップ１０２上に塗布された接着剤１０５に含有されるフィラー１０６の数を増加させることを抑制しつつ、第２のチップ１０７に印加された圧力が均整に分散され、それぞれのフィラー１０６に印加される圧力が従来よりも低減される。
【００３３】
第２の実施の形態
本実施形態で説明する半導体装置は、接着剤１０５がシート形状の接着剤であり、第２のチップ１０７の下面にあらかじめ貼り付けられて、加熱・圧着する方式によって、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７とを接着する点で第１の実施の形態と異なる。
【００３４】
図３に、本実施形態に係る接着剤塗布後の半導体装置１３０、図４に、本実施形態に係る第２のチップ１０７が搭載された後の半導体装置１４０を示す。
【００３５】
本実施形態に係る半導体装置１３０は、図３（ａ）に示すように、第２のチップ１０７の裏面（下面）に、あらかじめシート状の接着剤１１２を貼り付けてある。
【００３６】
シート状の接着剤１１２は、フィラー１０６を含有し、フィラー１０６の粒径は第１の実施形態と同様に８０μｍである。シート状の接着剤１１２を主に構成する母材としては、たとえば、Ｂステージ化したエポキシ系樹脂などが用いられる。
【００３７】
次に、図４に示すように、第２のチップ１０７を第１のチップ１０２上に搭載する際に、加熱し、圧着することによって、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７とを接着することによって、半導体装置１４０を完成させる。
【００３８】
以下、本実施形態に係る半導体装置１４０の効果について説明する。
【００３９】
半導体装置１４０においては、シート状の接着剤１１２にフィラー１０６が含有されている。ここで、フィラー１０６の粒径は、第１の実施形態と同様、第１のチップ１０２に接続されたワイヤ１０４の間隔である７０μｍよりも大きい。また、フィラー１０６は、シート状の接着剤１１２に含有されているため、流動性が、より抑制される。そのため、シート状の接着剤１１２を用いることによって、含有されるフィラー１０６の流動が、より抑制され、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７とを接着する際の、フィラー１０６の第１のチップ１０２と第２のチップ１０７の外側へのはみ出しが、より抑制される。したがって、第１のチップ１０２と第２のチップ１０７との間隔を、より安定的に維持することができる。また、フィラー１０６を含有する接着剤１１２に印加される圧力が、より均整に分散され、それぞれのフィラー１０６に印加される圧力を、より効果的に低減することができる。
【００４０】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００４１】
たとえば、上記実施形態においては、配線基板１０１上に第１のチップ１０２と第２のチップ１０７が順に積層された形態について説明したが、３つ以上の素子が積層されていてもよい。この場合、フィラーの平均粒径は、互いに接触する２つの素子のうち、下方に位置する半導体素子に設けられたワイヤの間隔よりも大きければよい。たとえば、互いに接触する第３のチップと第４のチップとの間を例にすると、第３のチップと第４のチップとを接着する接着層に含有されるフィラーの平均粒径が、下方に位置する第３のチップに接続されたワイヤの間隔よりも大きければよい。
【００４２】
また、上記実施形態においては、フィラー１０６の平均粒径が８０μｍである形態について説明したが、第１のチップ１０２に接続されたワイヤ１０４の間隔よりも大きければ、上記実施形態で説明した効果を奏することができる。たとえば、ワイヤ１０４の間隔が上記実施形態で説明した７０μｍであれば、フィラーの平均粒径は７０μｍより大きければ、上記実施形態の効果を奏することができる。
【００４３】
また、上記実施形態においては、第２のチップ１０７としてトランジスタやＩＣチップなどの半導体素子を用いた形態について説明したが、コンデンサや抵抗などの受動素子など他の素子であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】実施の形態に係る半導体装置を模式的に示した図である。
【図２】実施の形態に係る半導体装置を模式的に示した図である。
【図３】実施の形態に係る半導体装置を模式的に示した図である。
【図４】実施の形態に係る半導体装置を模式的に示した図である。
【図５】従来の技術に係る半導体装置を模式的に示した図である。
【図６】従来の技術に係る半導体装置を模式的に示した図である。
【符号の説明】
【００４５】
１００    半導体装置
１０１    配線基板
１０２    第１のチップ
１０３    接着剤
１０４    ワイヤ
１０５    接着剤
１０６    フィラー
１０７    第２のチップ
１１２    接着剤
１２０    半導体装置
１３０    半導体装置
１４０    半導体装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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