(57)【要約】  【課題】  基体から発せられるバックグラウンドの蛍光を遮断するとともに、一般的に用いられている安価で安全な生体物質固定化膜を金属膜上に緻密かつ強固に保持させることが可能な生体物質固定化基板を提供すること。  【解決手段】  生体物質固定化基板は、基体１１の上面に、金属膜１２、反射光増加用の誘電体多層膜１３、ガラス膜１４および生体物質固定化膜１５が順次積層されている。【選択図】  図１
2006090784.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体の上面に、金属膜、反射光増加用の誘電体多層膜、ガラス膜および生体物質固定化膜が順次積層されていることを特徴とする生体物質固定化基板。
【請求項２】
前記金属膜は、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｒｈ，Ａｌ，Ｎｉ−Ｃｒ合金およびＦｅ−Ｃｒ−Ｎｉ合金のうちの少なくとも１種を主成分とすることを特徴とする請求項１記載の生体物質固定化基板。
【請求項３】
前記金属膜は、その上面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の生体物質固定化基板。
【請求項４】
前記誘電体多層膜は、酸化タンタル膜，酸化チタン膜，フッ化カルシウム膜，酸化ジルコニウム膜および酸化ニオブ膜のうちの少なくとも１種を主成分とすることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の生体物質固定化基板。
【請求項５】
前記誘電体多層膜を構成する誘電体膜は、その厚みが前記生体物質固定化膜に修飾される生体物質から発せられる蛍光の波長と前記誘電体膜の屈折率との積の（２ｎ−１）／４倍（ｎ：自然数）とされていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の生体物質固定化基板。
【請求項６】
前記ガラス膜は、前記金属膜の上面に成長された多数のガラス柱状体から成ることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の生体物質固定化基板。
【請求項７】
前記ガラス膜は、酸化珪素の含有量が７０質量％以上であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の生体物質固定化基板
【請求項８】
前記生体物質固定化膜は、アミノ基，アルデヒド基，メルカプト基，シラン基およびカルボキシル基のうちの少なくとも１種を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の生体物質固定化基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＤＮＡやＲＮＡなどの生体物質の配列を測定するための生体物質固定化基板に関し、より詳細には蛍光検出法による生体物質検出用基板からのバックグラウンドの蛍光を遮断すると共に、測定される生体物質に修飾された蛍光体からの蛍光の利得をより大きくする方法に関し、検出感度の向上と安定化を目的とする。
【背景技術】
【０００２】
ＤＮＡマイクロアレーをはじめとする生体物質固定化基板は、ガラス基体上にアミノシラン、アミノアルキルシランまたはポリ−Ｌ−リジンなどの生体固定化膜を形成した上にオリゴヌクレオチドやｃＤＮＡが被着されており、これに予め蛍光修飾した検体ＤＮＡを反応させ、その反応レベルにより変化する蛍光レベルを検出することによって核酸配列の分析が行なわれている。このため、ガラス基体から発せられるバックグラウンドの蛍光は分解能の低下の原因となる。特にＤＮＡマイクロアレーではスタンフォード大学方式については安価ではあるが検出精度がアフィメトリックス社（Affimetrix）タイプに比較して劣るため、検出精度向上のための感度向上が必要とされている。
【０００３】
この対策として、アミノシラン、アミノアルキルシランまたはポリ−Ｌ−リジンなどの生体固定化膜を形成した上にガラス基体から発せられる蛍光を減衰させるためのブロッキング材や消光材を被着したりすることが検討されている。
【０００４】
例えば、下記の特許文献１には、図４に示すように、ガラス基体５１の上面に検出精度向上のために消光剤５４をコートすることが提案されており、また特許文献２には、図５に示すように、ガラス基体５１の上面に金属膜５２を形成し、この金属膜５２の表面に金属と結合性の良い官能基を有する生体物質固定化膜５３を形成した生体物質固定化基板が提案されている。
【特許文献１】特開2003−84002号公報
【特許文献２】特開2002−323498号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示されるような、消光剤やブロッキング剤５４をコートする方法は、消光剤やブロッキング剤５４が透光性の有機物質のため、バックグラウンドの蛍光を完全に除去できないという問題点を有していた。また、特許文献２に示されるような、金属膜５２表面に金属と結合性の良い官能基を有する生体物質固定化膜５３を形成する方法は、金属膜５２によりガラス基体５１の蛍光を遮断できるものの、ＡｕやＰｔ等の高価な貴金属を用いる必要があるとともに、生体物質固定化膜５３として金属と結合性のよい官能基を有する特殊な材料を用いる必要があり、比較的高価となることや、また毒性物質を用いるため、取り扱いに注意を要するという問題点を有していた。
【０００６】
一方、誘電体多層膜を用いてバックグラウンドの蛍光遮断と測定蛍光の反射を試みることも考えられるが、４０層から６０層の非常に多い層数が必要なため、光の吸収も大きくなって反射率が金属ほど大きくならないことや、コンタミによる不具合の発生が多くなる。
【０００７】
従って、本発明は上記問題点を鑑みて完成されたものであり、その目的は、基体から発せられるバックグラウンドの蛍光を遮断するとともに、金属膜や誘電体多層膜の反射作用により測定蛍光を高強度するとともに、一般的に用いられている安価で安全な生体物質固定化膜を反射膜上に緻密かつ強固に保持させることが可能な生体物質固定化基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の生体物質固定化基板は、基体の上面に、金属膜、反射光増加用の誘電体多層膜、ガラス膜および生体物質固定化膜が順次積層されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、前記金属膜は、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｒｈ，Ａｌ，Ｎｉ−Ｃｒ合金およびＦｅ−Ｃｒ−Ｎｉ合金のうちの少なくとも１種を主成分とすることを特徴とする。
【００１０】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、前記金属膜は、その上面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、前記誘電体多層膜は、酸化タンタル膜，酸化チタン膜，フッ化カルシウム膜，酸化ジルコニウム膜および酸化ニオブ膜のうちの少なくとも１種を主成分とすることを特徴とする。
【００１２】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、前記誘電体多層膜を構成する誘電体膜は、その厚みが前記生体物質固定化膜に修飾される生体物質から発せられる蛍光の波長と前記誘電体膜の屈折率との積の（２ｎ−１）／４倍（ｎ：自然数）とされていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、前記ガラス膜は、前記金属膜の上面に成長された多数のガラス柱状体から成ることを特徴とする。
【００１４】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、前記ガラス膜は、酸化珪素の含有量が７０質量％以上であることを特徴とする。
【００１５】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、前記生体物質固定化膜は、アミノ基，アルデヒド基，メルカプト基，シラン基およびカルボキシル基のうちの少なくとも１種を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の生体物質固定化基板は、基体の上面に、金属膜、反射光増加用の誘電体多層膜、ガラス膜および生体物質固定化膜が順次積層されていることから、金属膜が基体からのバックグラウンドの蛍光を良好に遮断し、かつ、生体物質固定化膜に結合した生体物質に修飾された蛍光体から発せられる蛍光を光効率で反射させることができる。
【００１７】
さらに、蛍光体から発せられた蛍光が誘電体多層膜を構成する各誘電体膜の表面や金属膜の表面で反射した反射光同士の干渉作用により、反射光を増強することができ、蛍光の検出精度をきわめて高くすることができる。
【００１８】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、金属膜は、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｒｈ，Ａｌ，Ｎｉ−Ｃｒ合金およびＦｅ−Ｃｒ−Ｎｉ合金のうちの少なくとも１種を主成分とすることから、化学的に安定なために耐薬品性に優れているとともに、生体物質固定化膜に結合した生体物質に修飾された蛍光体から発せられる蛍光を高い反射率で反射させることができ、高い検出感度を安定に維持することができる。
【００１９】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、金属膜の上面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下であることから、生体物質固定化膜に結合した生体物質に修飾された蛍光体から発する蛍光の散乱反射を阻止することができ、蛍光の利得をより高めることができる。
【００２０】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、誘電体多層膜は、酸化タンタル膜，酸化チタン膜，フッ化カルシウム膜，酸化ジルコニウム膜および酸化ニオブ膜のうちの少なくとも１種を主成分とすることから、様々な蛍光波長に対応できる反射光増加用の誘電体多層膜を形成でき、また、金属層やガラス層との密着性が良好となるように表面物性を容易に制御可能である。
【００２１】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、誘電体多層膜を構成する誘電体膜の厚みが生体物質固定化膜に修飾される生体物質から発せられる蛍光の波長と誘電体膜の屈折率との積の（２ｎ−１）／４倍（ｎ：自然数）とされていることから、生体物質から発せられる蛍光が各誘電体膜の表面や金属膜の表面で反射した反射光同士の干渉作用による蛍光強度の増強を非常に良好に行なうことができ、高利得の測定が可能となる。
【００２２】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、ガラス膜は、金属膜の上面に成長された多数のガラス柱状体から成ることから、大きな比表面積が得られるため、生体物質はより多く固着され、このため、生体物質が発する蛍光量はより多くなる。また、生体物質固定化基板の表面全面がガラスで覆われることはなく、誘電体多層膜や金属膜で反射された蛍光がガラス柱状体同士の隙間から良好に取り出されるため、ガラス膜中で光損失が生じるのを有効に抑制でき、検出精度を高めることができる。
【００２３】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、ガラス膜は、酸化珪素の含有量が７０質量％以上であることから、透明性に優れたガラス膜を安価に形成することが可能となるとともに、従来のガラス上に用いられる生体物質固定化膜をそのまま用いることができ、特殊な官能基を有する生体物質を用いる必要はなく、材料コストを低減することができる。
【００２４】
本発明の生体物質固定化基板において、好ましくは、生体物質固定化膜は、アミノ基，アルデヒド基，メルカプト基，シラン基およびカルボキシル基のうちの少なくとも１種を有していることから、蛋白質や細胞などの生体物質の吸着性を高めることができ、より多くの生体物質を固定して検出精度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に本発明の生体物質固定化基板を添付の図面に従って詳細に説明する。
【００２６】
図１は本発明の生体物質固定化基板の実施の形態の一例の断面図である。図１に示すように１１は基体、１２は金属膜、１３は反射光増加用の誘電体多層膜、１４はガラス膜、１５は生体物質固定化膜である。
【００２７】
基体１１はガラスや金属、セラミックス等の板であるが、これらに限定されず、表面を鏡面状に平坦化が可能であるとともに、生体物質の処理に関わる耐薬品性や耐熱耐湿性が満たされるならば何でも良い。
【００２８】
金属膜１２は、蛍光を反射可能であるとともに、ガラス膜１４との密着性がよく、耐薬品性を有する金属が用いられ、好ましくは、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｎｉ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｒｈ，Ａｌ，Ｎｉ−Ｃｒ合金およびＦｅ−Ｃｒ−Ｎｉ合金のうちの少なくとも１種を主成分とするのがよい。これにより、蛍光の反射率を非常に高くすることができるとともに、ガラス膜１４と金属膜１２との密着性を非常に高くすることができ、さらに金属膜１２は化学的に安定な金属なので金属膜１２の耐薬品性を非常に高くすることができる。なお、ガラス膜１４との膜密着性を良好にするため、例えば、ＡｕやＡｇ等の金属膜１２上にＴｉやＣｒ等の密着層を介してガラス膜１４を密着させてもよい。
【００２９】
また、金属膜１２の厚みについては、光を透過するアイランド構造から光を透過しない膜構造に成長する過程の０．０５μｍ以上が良い。特に０．２μｍ程度で有れば、比較的膜密着性も高く、また、薬液の浸透による基体のガラス１１のコロージョンが発生しなくなる。また、１μｍを超えると、成膜方法にもよるが膜の内部応力により基体のガラス１１の破壊による膜剥がれが生じやすくなるため、１μｍ以下の厚みがよい。
【００３０】
さらに成膜条件の選定に当たっては平滑性を考慮した成膜条件の限定が必要である。金属膜１２の平滑性は基体のガラス１１の平滑性も含めてＲａが０．０５μｍ以下であるのがよい。これにより、蛍光の乱反射を抑制して蛍光の利得を高めることができる。
【００３１】
反射光増加用の誘電体多層膜１３はいわゆる光学薄膜と呼ばれるものであり、複数の誘電体膜が多層に積層されて成る。これらの誘電体膜は、蛍光が誘電体膜の各表面や金属膜１２の表面で反射した反射光同士が干渉して蛍光が増強するように膜厚が制御される。
【００３２】
このような誘電体多層膜１３は、酸化タンタル，酸化チタン，フッ化カルシウム，酸化ジルコニウムおよび酸化ニオブのうちの少なくとも１種を主成分とするのがよい。これにより、様々な波長の蛍光波長に対応できる誘電体多層膜１３を形成可能とすることができるとともに、下地の金属膜１２や表層のガラス膜１４との膜密着性も改善する。また、誘電体膜の成膜速度も遅くできるため、正確な膜厚での成膜が可能である。
【００３３】
また、好ましくは、誘電体多層膜１３を構成する誘電体膜の厚みが生体物質固定化膜１５に修飾される生体物質から発せられる蛍光の波長と誘電体膜の屈折率との積の（２ｎ−１）／４倍（ｎ：自然数）とされているのがよい。これにより、生体物質から発せられる蛍光（生体物質に修飾された蛍光体から発せられる蛍光）が各誘電体膜の表面や金属膜１２の表面で反射した反射光同士の干渉作用による蛍光の増強を非常に良好に行なうことができ、高利得の測定が可能となる。
【００３４】
そして、このような膜厚が生体物質固定化膜１５に修飾される生体物質から発せられる蛍光の波長と誘電体膜の屈折率との積の（２ｎ−１）／４倍（ｎ：自然数）とされている誘電体膜１３−１〜１３−Ｎ（図２の拡大断面図参照）の層数は、比較的少ない層数では層が増えるごとにおよそ２ｎ乗則の光の干渉作用による増強が得られるが、層数が数十層になると誘電体多層膜１３の厚みが大きくなって蛍光の吸収が生じやすくなり、非効率となるので、誘電体多層膜１３の厚みとしては１μｍ以下であるのがよい。
【００３５】
ガラス膜１４は透明質であり、かつ、蛍光の波長の吸収が無く、生体物質固定化膜１５が良く固着される物質であれば何でも良い。特に生体物質に修飾される蛍光体の発光波長とガラス膜の屈折率との積の１／２の厚みであれば干渉による吸収が生じ、また、蛍光体の波長とガラス膜の屈折率の積の１／４の厚みであれば光の干渉による増強が有るために僅かな膜厚みのばらつきが蛍光強度の測定のばらつきを大きくするので蛍光波長とガラス膜１４の屈折率の積の４分の１よりも小さい厚みであるのがよい。
【００３６】
また、ガラス膜１３は、成分組成としてＳｉＯ２が７０質量％以上含まれているのがよい。これにより、アミノアルキルシランやポリ−Ｌ−リジンなどの一般的な生体物質固定化膜１５はほとんどのものが使用可能である。
【００３７】
さらに、図３は本発明の生体物質固定化基板の実施の形態の他の例を示す部分断面図であるが、このようにガラス膜２４の成膜条件を制御して、誘電体多層膜２３上に隣接粒子との隙間の多い多数のガラス柱状体を成長させて成るガラス膜２４とするのがよい。これにより、ガラス膜２４の表面積がきわめて大きくなるため、固定化される生体物質量が飛躍的に増大して、蛍光の利得がより高まる。また、生体物質固定化基板の表面全面がガラスで覆われることはなく、誘電体多層膜２３や金属膜２２で反射された蛍光がガラス柱状体同士の隙間から良好に取り出されるため、ガラス膜２４中で光損失が生じるのを有効に抑制でき、検出精度を高めることができる。
【００３８】
このような誘電体多層膜２３の上面に成長された多数のガラス柱状体から成るガラス膜２４は、例えば、低温高ガス圧力スパッタリングや斜め蒸着することによって作製される。
【００３９】
生体物質固定化膜５はアミノアルキルシランやポリ−Ｌ−リジン等から選ばれる。一般的にガラス基体１上に用いられる生体物質固定化膜５であれば何でも良く、アミノ基，アルデヒド基，メルカプト基，シラン基およびカルボキシル基のうちの少なくとも１種を有しているものがより好ましい。これにより、蛋白質や細胞などの生体物質の吸着性を高めることができ、より多くの生体物質を固定して検出精度を高めることができる。
【実施例】
【００４０】
本発明の生体物質固定化基板の実施例を以下に説明する。
【００４１】
基体１のガラスは硼珪酸ガラスとして２６ｍｍ×７６ｍｍ×１．１ｍｍのものを準備した。
【００４２】
準備した硼珪酸ガラスはアルカリ脱脂を行って十分に純水洗した後、希塩酸にて中和処理を行い、十分に純水洗し、さらに希弗酸液にてガラス表面をライトエッチングして後、十分に純水洗を行った。なお、算術平均荒さＲａは希弗酸の浸漬時間により制御した。乾燥はアルコール置換した後にアルコール蒸気乾燥を行った。
【００４３】
乾燥した基体１１をスパッタ装置にて上面に金属膜２を成膜した。次に、金属膜１２の上面に誘電体膜多層膜１３と成る２種の誘電体膜を光学薄膜用蒸着装置によって交互に成膜した。さらに、誘電体多層膜１３の上面にガラス膜１４としてＳｉＯ２膜を所定の厚みに成膜した。この際、ＳｉＯ２の成膜に当たっては膜が稠密とならないように加熱温度や成膜速度および真空度について配慮した。
【００４４】
なお、誘電体層１３を構成する誘電体膜の厚みは、使用する生体物質に修飾される蛍光体の蛍光波長と誘電体膜の屈折率との積の１／４倍となるようにした。
【００４５】
成膜の終わった基体１はＲＣＡ洗浄を行って十分に純水洗浄した後、アルコール置換し、乾燥はアルコール蒸気乾燥を行った。
【００４６】
次に生体物質固定化膜１５として３−アミノプロピルトリエトキシシラン（以下ＡＰＳと略す。）のコート液を作成した。コート液は溶媒としてイソプロピルアルコール（以下ＩＰＡと略す。）を９４体積％、ＡＰＳを４体積％を混ぜ、その後、純水を２体積％添加して直ちに良く攪拌した後に成膜後の洗浄が終わったガラスを３０秒浸漬した。その後、ガラスはＩＰＡにて５秒のリンスを施した後、リンサードライヤーにて乾燥を行った。次にＡＰＳの固着化を進めるために１５０℃にて１０分間のキュアを行い、本発明の生体物質固定化基板とした。また、同様にして、他の本発明の生体物質固定化基板も作成した。
【００４７】
比較例としては硼珪酸ガラスに同様の洗浄を施した後に同様にＡＰＳコートを行った。評価については５‘末端をＣｙ３蛍光体にて修飾した１５塩基長のオリゴＤＮＡを用いた。オリゴＤＮＡは０．５μＭとなるように純水に溶解してスポット液とした。準備した基板にスポットした後は湿潤箱に２５℃にて１２時間放置してオリゴＤＮＡを作成した基板に固定した。次にクエン酸緩衝液にて洗浄した後に純水リンスを行い、ブロー乾燥した。
【００４８】
励起波長５３２ｎｍにて作成した基板をスキャニングして、蛍光強度を数値化した。なお、ＤＮＡの評価としては蛍光強度が５０以上有れば可能である。また、膜密着性はテープピーリングテストを行って、膜はがれの無い物を○、少しでもはがれた物を×とした。
【００４９】
以下、表１に基づき説明する。
【００５０】
表１には、金属膜１２の材料と厚み、誘電体多層膜１３を構成する誘電体膜の材料と積層数、ガラス膜１４の材料と厚み、および得られた蛍光強度と膜密着性の評価結果を示した。
【００５１】
金属膜１２の厚みによる影響については代表例としてＣｒにて評価した。厚み０．０３μｍでは蛍光強度は低いが０．０５から０．５μｍの範囲では好適な結果を得た。なお、１．０μｍでは膜の内部応力のため、基体１１のガラスが破損しやすかった。
【００５２】
次に誘電体多層膜１３の層数を変えて蛍光強度を評価した。層数の増加に従い、蛍光強度は飛躍的に向上した。
【００５３】
次に金属膜１２の材料を変更して調査した。各金属によって若干の差はあるが、大きな蛍光強度の劣化はなかった。
【００５４】
次にガラス膜１４の厚みによる影響を調査した。ガラス膜厚み０．２μｍでは蛍光強度は低く、明らかな効果は得られていないが、ガラス膜厚み０．０３μｍ以上では大きな効果が得られた。また、蛍光波長５４０ｎｍ前後に対して蛍光体の波長とガラス膜１４の屈折率との積の１／４の厚みに相当する１３０ｎｍ程度の厚み以上の場合はガラス膜１４の膜厚みばらつき起因と考えられる蛍光強度のばらつきが発生した。このため、ガラス膜１４の厚みは測定波長の１／４以下がより好ましいことがわかった。
【００５５】
次に誘電体多層膜１３を酸化ニオブや酸化ジルコニウムおよびフッ化カルシウムでも調査したが同等の結果だった。
【表１】
2006090784.tif 000003
【００５６】
次に、以下、表２に従って説明する。
【００５７】
表２では金属膜１２の算術平均粗さＲａは０．０５μｍ以下では高い蛍光測定強度を示したがＲａが０．１μｍでは蛍光測定強度は大幅に低下した。表面の凹凸により蛍光が乱反射したためと考えられる。このため、算術平均粗さＲａは０．０５μｍ以下がより好ましいことがわかった。
【００５８】
次に多数の柱状体から成るガラス膜１４については比表面積を吸着水分量を測定することにより、数値化した。鏡面状態のガラス膜の吸着水分量を１とした際、ガラス膜１４が柱状化して比表面積が増加するとこれに比例して吸着水分量も増加するためである。表２によれば、比表面積が５倍、１０倍になるに従って蛍光測定強度は飛躍的に大きくなった。このため、ガラス膜１４は比表面積が大きくなるような柱状形状になるとより好ましいことがわかった。
【００５９】
次にガラス膜１４の材質について調査した。酸化珪素の質量が７０％以上では良い結果を示したが、６３％では蛍光強度が弱かったのでガラス膜の酸化珪素濃度は７０質量％以上がより好ましいことがわかった。
【表２】
2006090784.tif 000004
【００６０】
表３に比較例としてガラス基板上に直接アミノアルキルシランをコートしてＤＮＡを固定した場合の結果を示した。
【表３】
2006090784.tif 000005
【００６１】
なお、本発明は上述の最良の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことは何等差し支えない。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の生体物質検出用基板の実施の形態の一例を示す断面図である。
【図２】本発明の生体物質検出用基板の実施の形態の他の例を示す断面図である。
【図３】本発明の生体物質検出用基板の実施の形態の他の例を示す断面図である。
【図４】従来の生体物質検出用基板の断面図である。
【図５】従来の生体物質検出用基板の断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１１，２１，３１：基板
１２，２２，３２：金属膜
１３，２３，３３：誘電体多層膜
１４，２４，３４：ガラス膜 
１５，２５，３５：生体物質固定化膜
【図１】
2006090784.tif 000006
【図２】
2006090784.tif 000007
【図３】
2006090784.tif 000008
【図４】
2006090784.tif 000009
【図５】
2006090784.tif 000010