(57)【要約】【課題】パターンドメディアタイプの光情報記録媒体を、低コストで簡易に作製できる光情報記録媒体用成形基板とその成形基板を精密かつ安価に製造する方法、ならびに当該成形基板を用いて構成したクロスライト、クロストークあるいはクロスイレースの少ない光情報記録媒体およびその製造方法を提供する。【解決手段】基材１上に、該基板と界面張力が異なるランド部２を設けると共に、該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部３をランド部と交互に配置しスパイラル状または同心円状に形成した記録トラックを設け光情報記録媒体用成形基板とする。ランド部を熱可塑性材料または光硬化性材料で構成して基材の界面張力よりも低くする。記録材料を含む溶液を成形基板に塗布してピット部にのみ充填して記録部を形成し、必要な構成層を設けてパターンドメディアタイプの光情報記録媒体とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に、ランド部と、該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部が交互に配置されスパイラル状または同心円状に形成された記録トラックを有する光情報記録媒体用成形基板であって、
前記基材と前記ランド部を構成する材料の各界面張力が異なることを特徴とする光情報記録媒体用成形基板。
【請求項２】
前記ランド部を構成する材料の界面張力が基材を構成する材料の界面張力よりも低いことを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体用成形基板。
【請求項３】
前記ランド部を構成する材料の熱伝導率が５（Ｗ／ｍ・Ｋ）以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の光情報記録媒体用成形基板。
【請求項４】
前記ランド部を構成する材料が熱可塑性材料または光硬化性材料であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光情報記録媒体用成形基板。
【請求項５】
基材上に、ランド部と、該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部を交互に配置しスパイラル状または同心円状に形成した記録トラックを有する光情報記録媒体用成形基板の製造方法であって、
前記基材と前記ランド部を構成する各材料の界面張力が異なるように形成することを特徴とする光情報記録媒体用成形基板の製造方法。
【請求項６】
前記ランド部が熱可塑性材料を用いて熱転写により形成されることを特徴とする請求項５に記載の光情報記録媒体用成形基板の製造方法。
【請求項７】
前記熱可塑性材料の熱変形温度が基材の熱変形温度よりも低いことを特徴とする請求項６に記載の光情報記録媒体用成形基板の製造方法。
【請求項８】
前記ランド部が光硬化性材料を用いて光硬化により形成されることを特徴とする請求項５に記載の光情報記録媒体用成形基板の製造方法。
【請求項９】
前記ランド部を形成した後、ランド部を介して独立分離されたピット部が基材に導通するようにエッチング処理を行うことを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載の光情報記録媒体用成形基板の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜４のいずれかに記載の光情報記録媒体用成形基板のピット部に、少なくとも記録部を設けたことを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項１１】
請求項１〜４のいずれかに記載の光情報記録媒体用成形基板を用いてピット部に、少なくとも記録材料を充填し記録部を設けることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
前記記録部が記録材料を含む溶液を塗布して充填されることを特徴とする請求項１１に記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１３】
前記記録材料を含む溶液の表面張力がピット部の基材界面張力よりも低いことを特徴とする請求項１２に記載の光情報記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光情報記録技術に関し、とくに光スポットを照射して情報の記録、再生、消去を行う光情報記録技術に用いられる光情報記録媒体用の成形基板とその製造方法、および当該成形基板を用いた光情報記録媒体とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年の情報化社会において情報量は増大の一途をたどり、従来よりもさらに記録密度の高い情報記録媒体の開発が望まれている。それに伴い、情報の書き込み、読み取りの単位となるピット、または情報を書き込むための案内溝となるグルーブのスケールをより一層小さくする必要が生じている。より多くの情報を記録するための方策として、基板上に形成された記録部（凹部）の各隣接グルーブの間隔をできる限り狭くするようにして高密度化が図られている。しかし、記録、再生ビームの大きさに制限があり、記録部などを微細化していくに従ってビームが記録マークの隣接トラックにかかるため、記録密度が高められないという問題が生じる。
【０００３】
上記問題を解決するため、記録材料を基板上に一様に形成せずに、各記録材料間に障壁を設けることによって孤立した小さな領域を作り、その領域ごとに記録、再生を行う、いわゆるパターンドメディアが磁気記録メディア、光磁気記録メディアを中心に提案されている。このようにすることにより、記録ピットの広がりを防止することができるため、情報記録媒体の記録密度を向上することが可能になる。
【０００４】
例えば、アルミの陽極酸化により形成された微細孔バターンを利用し、この微細孔にのみ磁性材料を電解析出させて充填することによって、パターンドメディアを作成し記録密度を高める方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
しかし、この方法の場合、充填させるための基板部分に導電性が必要となり、一般的な基板（非導電体）に対しての記録材料の充填は困難になる。また記録材料も導電性のある材料に限定されるという問題もある。
【０００６】
また、逆テーパを有する形状に形成されたランドとグルーブを有する基板を使用し、溝深さを記録膜厚さ以上とすることによって、ランドとグルーブに形成される記録膜を分離し、また、ランド部の記録膜を除去することにより、グルーブ上のみに記録膜を形成させる方法が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００７】
上記方法によれば、ランドとグルーブにおいて記録層が連続せず分離されるため、クロスライト、クロストーク、クロスイレースを減少させることができる。しかし、逆テーパ形状を有する溝の形成は、とくに大量生産が可能な射出成形によって基板を作製する場合には脱型にやや難点がある。また、ランド部のみの記録膜を除去するために各メディアごとにポリッシングを必要とする。
【０００８】
あるいは、真空蒸着、エッチングとリフトオフによって基板上にトレンチ配列した凹部へ磁性体を充填させて、パターンドメディアを作製する方法が提案されている（例えば、特許文献３、特許文献４参照。）。
【０００９】
しかし、上記方法では、各メディアに対してフォトレジスト塗布や露光、現像など複数の複雑な工程が必要となるため各メディアが高価なものになってしまい、安価かつ簡易にメディアを作成しようとする場合には適さないという難点がある。
【００１０】
【特許文献１】特公平７−２７６６３号公報
【特許文献２】特開２０００−２５１３２１号公報
【特許文献３】特開２０００−２７６７７０号公報
【特許文献４】特開２００１−１１００５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記従来技術に鑑みてなされたものであり、記録部が微細な領域に独立分離されて設けられた光情報記録媒体を、低コストで簡易に作製できる光情報記録媒体用成形基板とその成形基板を精密かつ安価に製造する方法を提供すると共に、当該成形基板を用いて構成したクロスライト、クロストークあるいはクロスイレース等の少ないパターンドメディア（光情報記録媒体）およびその製造方法を提供することを目的とする。なお、本発明において、光情報記録媒体用成形基板を構成する元の基板を「基材」と呼称する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は鋭意検討した結果、基材上に当該基材と異なる界面張力を有するランド部を設け、このランド部を介してピット部を独立分離して交互に配置してスパイラル状または同心円状に形成した記録トラックとすることによって上記課題が解決されることを見出し本発明に至った。以下、本発明について具体的に説明する。
【００１３】
すなわち、本発明は、基材上に、ランド部と、該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部が交互に配置されスパイラル状または同心円状に形成された記録トラックを有する光情報記録媒体用成形基板であって、
前記基材と前記ランド部を構成する材料の各界面張力が異なることを特徴とする光情報記録媒体用成形基板である。
【００１４】
ここで、上記ランド部を構成する材料の界面張力が基材を構成する材料の界面張力よりも低いことが好適である。
【００１５】
また、上記いずれかの光情報記録媒体用成形基板において、前記ランド部を構成する材料の熱伝導率が５（Ｗ／ｍ・Ｋ）以下であることが望ましい。
【００１６】
さらに、上記いずれかの光情報記録媒体用成形基板において、前記ランド部を構成する材料が熱可塑性材料または光硬化性材料であることが好ましい。
【００１７】
さらに、本発明は、基材上に、ランド部と、該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部を交互に配置しスパイラル状または同心円状に形成した記録トラックを有する光情報記録媒体用成形基板の製造方法であって、
前記基材と前記ランド部を構成する各材料の界面張力が異なるように形成することを特徴とする光情報記録媒体用成形基板の製造方法に係るものである。
【００１８】
ここで、上記ランド部が熱可塑性材料を用いて熱転写により形成されることが好ましい。
そして、熱可塑性材料の熱変形温度が基材の熱変形温度よりも低いことが好適である。
【００１９】
また、上記いずれかの光情報記録媒体用成形基板の製造方法において、前記ランド部が光硬化性材料を用いて光硬化により形成されることが好ましい。
【００２０】
さらに、上記いずれかの光情報記録媒体用成形基板の製造方法において、前記ランド部を形成した後、ランド部を介して独立分離されたピット部が基材に導通するようにエッチング処理を行うことが好ましい。
【００２１】
そして、本発明は、前記いずれかに記載の光情報記録媒体用成形基板のピット部に、少なくとも記録部を設けたことを特徴とする光情報記録媒体に係るものである。
【００２２】
また、本発明は、前記いずれかに記載の光情報記録媒体用成形基板を用いてピット部に、少なくとも記録材料を充填し記録部を設けることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法に係るものである。
【００２３】
さらに、上記記録部が記録材料を含む溶液を塗布して充填されることが好適である。
ここで、上記記録材料を含む溶液の表面張力がピット部の基材界面張力よりも低いことが好ましい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の構成によれば、基材上に、ランド部と該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部が交互に配置されたスパイラル状または同心円状の記録トラックを有する光情報記録媒体用成形基板が精密かつ安価に製造される。また、本発明の光情報記録媒体用成形基板を用いれば、記録材料を含む溶液を塗布した場合、界面張力の低いランド部には記録材料が形成されずピット部にのみ充填した記録部が形成可能となり、これによってクロスライト、クロストークあるいはクロスイレース等の少ない、高記録密度のパターンドメディア（光情報記録媒体）を低コストで簡易に作製することが実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
前述のように本発明の光情報記録媒体用成形基板は、基材上に、該基材を構成する材料と界面張力が異なるランド部を設けると共に、該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部が設けられ、各ランド部とピット部が交互に配置されたスパイラル状または同心円状の記録トラックを有する成形基板である。
以下、本発明の光情報記録媒体用成形基板について図を参照して詳細に説明する。
【００２６】
本発明において、基材上にランド部とピット部が交互に配置され、スパイラル状または同心円状に設けられた記録トラックを有する光情報記録媒体用成形基板を説明するための概略構成図を図１に示す。図１（ａ）は部分平面図を示し、図１（ｂ）はＡ−Ａ’断面図を示す。
なお、図１（ａ）の紙面横方向が成形基板の半径方向を示し、縦方向がトラック方向である。また、図１（ｂ）の紙面横方向が成形基板のトラック方向を示し、紙面に垂直な方向が半径方向である。
【００２７】
図１において光情報記録媒体用成形基板は、基材１上にランド部２が設けられ、このランド部２を介してピット部３が独立分離されるように設けられ、かつピット部３は基材１に導通するように構成される。そして、ランド部２とピット部３が交互に配置されてなる記録トラックが基材１上にスパイラル状または同心円状に配置される。そして、本発明は、ピット部３の底部である基材１を構成する材料の界面張力とランド部２を構成する材料の界面張力を異なるように構成することを特徴とするものである。
【００２８】
すなわち、ピット部３に記録材料を充填する際、ピット部３の導通する基材１に対して記録材料が濡れ易い状態とし、ランド部２に対して記録材料が濡れ難い状態とするようにランド部２と基材１の界面張力を変えてランド部２の領域に記録材料が塗布形成されないようにするものである。通常、ピット部３の導通する基材１の界面張力を高くすることによって記録材料が濡れ易い状態とし、ランド部２の界面張力を低くすることによって記録材料が濡れ難い状態とする。
界面張力の差としては、１０ｍＮ／ｍ以上の差があるとよい。望ましくは１００ｍＮ／ｍ以上の差があるとより効果的である。
【００２９】
上記基材１としてガラスを用いた場合、ガラスの界面張力は３１０ｍＮ／ｍである。このガラスの界面張力は、下記表１に示すように、一般的な有機材料、例えば、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）の界面張力（３９ｍＮ／ｍ）や、ポリスチレンの界面張力（３３ｍＮ／ｍ）等に比較して十分に大きな値である。
【００３０】
【表１】
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【００３１】
すなわち、ピット部３が導通する基材１の材料としてガラスを使用し、一方ランド部２の材料としてＰＭＭＡのような高分子材料を使用すると、ピット部３とランド部２において大きな界面張力の差を得ることができる。
【００３２】
上記構成とされた光情報記憶媒体用基板のピット部３に、記録材料を含む溶液を用いてスピンコート法などによって記録部を形成する場合、ピット部３に対して溶液の濡れ性が良いため記録材料が導通した基材１表面上に残ってピット部３に充填され、一方ランド部２に対しては濡れ性が悪く記録材料がランド部２表面上から弾かれてしまう。
【００３３】
このように、ピット部３が導通する基材１とランド部２の界面張力の違いにより、溶液の濡れ性の差を利用して、ピット部３とランド部２の記録材料の塗り分けが可能になる。とくに、ピット部３の界面張力が高い場合は、ランド部２には記録材料が塗布されていないか、記録再生が不可能な程度の極めて薄い膜厚の記録材料しか形成されず、ピット部３にのみ記録材料が充填される。これによって、記録密度が高められるパターンドメディアを簡易かつ安価に作製することができる。
図２の断面模式図に、光情報記録媒体用成形基板のピット部３に記録材料が充填されて形成された記録部４の様子を示す。
【００３４】
また、本発明の光情報記録媒体用成形基板において、ランド部を構成する材料の熱伝導率が５（Ｗ／ｍ・Ｋ）以下であることが望ましい。
ランド部材料の熱伝導率を５（Ｗ／ｍ・Ｋ）以下とすることにより、例えば、記録用のレーザー光の照射によってピット部の記録部に記録マークを形成する際に発生する熱が隣接のピット部に伝達されてマークが周辺に広がるのを防止することができる。すなわち、熱伝導率の悪い材料で構成されたランド部によってピット部が囲まれ、各記録部が遮断されることになるため、隣接ピット部への記録マークの漏れ込みがなくなる。
【００３５】
したがって、ランド部を構成する材料として熱伝導率が５（Ｗ／ｍ・Ｋ）以上の材料、例えば、アルミナやシリコン等を用いた場合、熱遮断効果が得られないため不適当である。これに対して、高分子材料は１（Ｗ／ｍ・Ｋ）以下であるため、十分な記録部の熱遮断効果が得られ、ランド部を構成する材料として用いることができる。すなわち、ランド部を構成する材料として熱可塑性材料または光硬化性材料を好ましく用いることができる。
【００３６】
上記本発明の光情報記録媒体用成形基板は以下のような手順で製造することができる。
図３は、本発明における光情報記録媒体用成形基板の製造方法の一例を示す概略工程図である。
（ａ）光情報記録媒体用成形基板の基材（例えば、ガラス基板）３１を用意する。
（ｂ）基材３１上にランド部を形成するための熱可塑性材料（例えば、ＰＭＭＡ）３２を薄膜形成する。
（ｃ）形成された熱可塑性材料の薄膜上にスタンパ（例えば、Ｎｉ製スタンパ）３３を押し当てて、ランド部とピット部の形状を熱転写により行う。
この場合、熱可塑性材料の熱変形温度が基材の熱変形温度よりも低いことが好適である。これにより、平坦な基材を変形させることなく、パターン転写層の熱変形による転写を可能にすることができる。
Ｎｉスタンパは、例えば、原盤上に電子線ビーム露光によって所定のピットパターンを形成し、そのパターンの上にＮｉの導電膜をスパッタリングによって形成し、その上からＮｉの電鋳を行って作製することができる。
（ｄ）スタンパを剥離して、基材３１上にランド部３４と微細なピット構造３５を形成する。転写形成されたピット構造３５と基材３１を導通させるため、エッチングによって、被覆されているＰＭＭＡを除去し、基材面を露出させる。すなわち、ピット形成部に熱可塑性材料が薄く残ってしまった場合、この処理により、ランド部３４とピット構造３５の底部の界面張力が同じになることを防止し、所定のぬれ性のコントラストを確保することができる。
ここでは、ランド部材料として高分子を使う場合にはＯ2を用いたリアクティブイオンエッチングが効果的である。なお、ピット部の基材面が初めから露出するようにスタンパによる転写が行われる場合には、エッチングは必要としない。
（ｅ）基材（例えば、ガラス基板）３１に導通したピット部３６とＰＭＭＡから構成されたランド部３４を有する光情報記録媒体用成形基板が作製される。
【００３７】
上記のように元の平坦な基材上に熱可塑性材料の層を形成し、その材料を熱変形温度まで加熱し、ピット部形状とランド部形状が予め設けられたスタンパを型として熱可塑性材料に形状を転写させることにより、ピット部とランド部の界面張力が異なった光情報記憶媒体用基板を精密かつ簡易に作製することができる。
【００３８】
さらに図４の概略工程図に、本発明における光情報記録媒体用成形基板の製造方法の別例を示す。この場合の光情報記録媒体用成形基板は、以下のような手順で作製される。
（ａ）予め所定のピットパターンを有するスタンパ（例えば、石英ガラス製）４０を用意する。スタンパの凸部がピット部を成形する部分である。
なお、石英ガラス製のスタンパは、例えば、石英ガラス基板上に電子線ビーム露光によって所定のピットパターンを形成し、残されたパターンをマスクとして石英ガラスのリアクティブイオンエッチングを所定の深さまで行って作製することができる。
（ｂ）石英スタンパ上に、液体状の光硬化性材料（例えば、紫外線硬化樹脂）４１を塗布する。
（ｃ）塗布された光硬化性材料４１の上面から基材（例えば、ガラス基板）４２を徐々に加圧しながら押し当てる。
（ｄ）ガラス基板４２を平行に保ちながら石英ガラススタンパまで押し当て、スタンパのピット部に光硬化性材料を充填させる。充填後、光（紫外線）を石英ガラススタンパ４０側から照射し、光硬化性材料を硬化させランド部４３とピット構造４４を形成する。なお、石英ガラススタンパ４０は当然光透過性が確保され構成されている。
（ｅ）転写形成されたピット構造４４と基材４２を導通させるため、エッチングによって、被覆されている光硬化性材料を除去し、基材４２表面を露出させる。ピット形成部に光硬化性材料が薄く残ってしまった場合、この処理により、ランド部４３とピット構造４４の底部の界面張力が同じになることを防止し、所定のぬれ性のコントラストを確保することができる。
ここでは、ランド部材料として高分子を使う場合にはＯ2を用いたリアクティブイオンエッチングが効果的である。なお、ピット部の基材面が初めから露出するようにスタンパによる転写が行われる場合には、エッチングは必要としない。
（ｆ）ガラス基板４２に導通したピット部４５と光硬化性材料から構成されたランド部４３を有する光情報記録媒体用成形基板が作製される。
【００３９】
上記のように、例えば、スピンコートによって形成された上記光硬化性材料のパターン転写層にスタンパを押し付け、紫外線を照射した後、スタンパを剥離させることによって、ピット部とランド部で界面張力の異なる光情報記録媒体用成形基板を精密かつ簡易に作製することができる。
【００４０】
上記により得られた光情報記録媒体用成形基板のピット部に、少なくとも記録材料を充填し記録部を設けることによって本発明の光情報記録媒体が得られる。
前記図２は、光情報記録媒体用成形基板のピット部３に記録部４を設けた断面模式図であるが、図５の断面模式図に示すように、記録部４を設けた後にさらに反射層５５、中間層５６、カバー層５７を形成することにより、パターンドメディアタイプの光情報記録媒体を作製することができる。
【００４１】
通常、光記録媒体の記録・再生・消去は記録トラックに沿って行われるが、前述のように高密度化を行うためにピットサイズやトラックピッチを狭めると、図６の模式図に示すように相対的に照射光のスポット径が大きくなり、各ピット部以外の領域にも光が照射されることになる。
図６において、符号６２はランド部、６３はピット部（記録部材料が充填され記録部を形成）、６４は光ビームのスポットを示す。
【００４２】
しかし、本発明の光情報記録媒体用成形基板を用いピット部３にのみ記録材料を充填して記録部を設けたパターンドメディア（光情報記録媒体）の構成では、ランド部２には記録材料層が形成されていないか、あっても極めて薄くしか形成されていないため、記録マークが形成されない。そのため、図６の模式図に示すように記録、再生等を行う照射光の集光ビームのスポットがランド部６２にまで広がるようにピットサイズ、隣接トラックピッチを小さくしていった場合でも、ランド部６２上への記録マークが書き込まれることがなくなる。これにより、隣接のピット部へのマーク形成時等において隣接ランド部の反射率変動がなくなるため、クロスライト、クロストーク、あるいはクロスイレースが少なくなり、目標とするトラックからＣ／Ｎ比の高い再生信号を得ることができる。またピット部に充填された記録部が微小な領域に分かれているため各記録部における熱容量が小さくなり、光照射によって熱変化を起こす感度を高めることができ、記録密度の大容量化を図ることが可能となる。
なお、光ビームのスポット中の光強度はガウシアン分布をしているため、光スポットの中心付近は高温（図中の斜線部）になるが、光スポットの端部に近い部分の強度を記録・再生・消去が行われない程度に調整することで他の記録部との影響を回避して記録・再生・消去を行うことが可能となる。
【００４３】
本発明の光情報記録媒体は、前記光情報記録媒体用成形基板のピット部に、少なくとも記録部を形成して構成されるが、記録部は記録材料を含む溶液を塗布して充填されることが好適である。また、記録材料を含む溶液の表面張力がピット部の基材界面張力よりも低いことが好ましい。
【００４４】
記録材料を含む溶液を塗布する方法を適用することによって、希釈溶媒の混合比により溶液の表面張力をコントロールすることができ、より効果的にピット部にのみ記録材料を塗布、充填し記録部を形成させる効率を確実に向上することができる。
通常の有機溶媒、例えば、イソプロピルアルコールの表面張力は２６．４ｍＮ／ｍで、基材（例えば、ガラスを用いた場合）に較べて非常に小さい値であり、一方高分子材料に対してはほぼ同程度の表面張力となる。つまり、基材としてガラスなどの高界面張力を有する材料を使用した場合には、表面がきれいに洗浄されていれば、有機溶媒中に記録材料を含む溶液の濡れ性は十分良好であり、記録材料をピット部に形成することができる。これに対して、高分子材料から構成されたランド部にはスピンコートの回転数を制御することにより記録材料層が形成されない。さらに、溶液に純水を混合させることにより表面張力を高め、より効率的にランド部の濡れ性を悪くして、ピット部のみに記録材料を充填させることもできる。
【００４５】
上記のようにピット部を構成する材料の界面張力とランド部を構成する材料の界面張力を制御し記録材料を含む溶液の表面張力を適切な値に保ち、光情報記録媒体用成形基板のピット部のみに記録材料を充填する容易な方法によって、記録密度を高めるための高精度なパターンドメディアを作製することができる。
【実施例】
【００４６】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４７】
（実施例１）
前記図３に示した工程と同様の手順で以下のように光情報記録媒体用成形基板を製造した。
（ａ）まず、光情報記憶媒体用基板の基材となるガラス基板３１を用意した。
（ｂ）次に、ガラス基板３１にランド部を形成するため、クロロベンゼンに溶解させたＰＭＭＡ(ポリメチルメタクリレート) ３２をスピンコートしてガラス基板上に薄膜化させ、１８０℃で熱処理を行った。
（ｃ）形成されたＰＭＭＡの薄膜上に前述のようにして作製したＮｉ製スタンパ３３を押し当てて、ランド部とピット部の形状を熱転写により行った。ＰＭＭＡのガラス転移温度（Ｔｇ）が１０５℃であることを考慮して、ＰＭＭＡを１６０℃まで加熱し、その後Ｎｉスタンパを５ＭＰａの圧力で押し当ててパターンを転写させた。
（ｄ）スタンパを剥離して、基材３１上にランド部３４と微細なピット構造３５を形成した後、転写形成されたピット構造３５の底部において基材３１表面を被覆しているＰＭＭＡを除去するため、表面全体に対してＯ2によるドライエッチングを行ってピット部の底部を露出させた。
（ｅ）上記処理によってガラス基板３１上にピット部３６とＰＭＭＡから構成されたランド部３４を有する光情報記録媒体用成形基板が得られた。
【００４８】
上記工程によって、基材上に、ランド部と、該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部が交互に配置されスパイラル状に形成された記録トラックを有する光情報記録媒体用成形基板が精密かつ安価に製造できた。
そして、得られた光情報記録媒体用成形基板のピット部３６におけるガラス基板３１の界面張力は３１０ｍＮ／ｍで、ランド部３４のＰＭＭＡの界面張力は３９ｍＮ／ｍであり、２７１ｍＮ／ｍの大きな界面張力差を有する。このピット部とランド部の界面張力の違いによる溶液の濡れ性の差を利用して記録材料を含む溶液を塗布したところ、ピット部とランド部の記録材料の塗り分けが可能であった。これによって記録密度を高められるパターンドメディアを簡易かつ安価に作製することができた。
【００４９】
（実施例２）
前記図４に示した工程と同様の手順で以下のように光情報記録媒体用成形基板を製造した。
（ａ）予め所定のピットパターンを有する石英ガラス製のスタンパ４０を用意した。スタンパ４０は前述のようにして作製した。
（ｂ）石英スタンパ上に、ＨＤＤＡ(ヘキサンジオールジアクリレート)を主成分(９６％)とし、ＤＭＰＡ(１，１−ジメトキシ−１−フェニルアセトフェノン)を開始剤とする液体状の光硬化性材料（ＵＶ硬化性樹脂）４１を塗布した。
（ｃ）次に、塗布されたＵＶ硬化性樹脂４１の上面から基材となるガラス基板４２を徐々に加圧しながら押し当てた。
（ｄ）次いで、ガラス基板４２を平行に保ちながら石英ガラススタンパまで押し当て、スタンパのピット部にＵＶ硬化性樹脂４１を充填させた。充填後、紫外線（ＵＶ）を石英ガラススタンパ４０側から照射し、ＵＶ硬化性樹脂を硬化させランド部４３とピット構造４４を形成した。
（ｅ）石英ガラススタンパを剥離した後、転写形成されたピット構造４４と基材４２を導通させるため、表面全体に対してＯ2によるドライエッチングを行ってピット部の底部を被覆しているＵＶ硬化性樹脂を除去し、ガラス基板４２を露出させた。
（ｆ）上記処理によってガラス基板４２上にピット部４５とＵＶ硬化性樹脂から構成されたランド部４３を有する光情報記録媒体用成形基板が得られた。
【００５０】
上記工程によって、基材上に、ランド部と、該ランド部を介して独立分離され基材に導通するピット部が交互に配置されスパイラル状に形成された記録トラックを有する光情報記録媒体用成形基板が精密かつ安価に製造できた。
そして、得られた光情報記録媒体用成形基板のピット部４５におけるガラス基板４２の界面張力は３１０ｍＮ／ｍであり、ランド部４３のＵＶ硬化性樹脂の界面張力は実施例１のＰＭＭＡとほぼ同程度の値である。記録材料を含む溶液を塗布したところ、ピット部とランド部の界面張力の違いによる溶液の濡れ性の差によってピット部とランド部の記録材料の塗り分けが可能であった。これによって光記録密度のパターンドメディアを簡易かつ安価に作製することができた。
【００５１】
（実施例３）
以下のようにして、本発明の光情報記憶媒体を作製した。
まず、実施例１と同様にして作製した光情報記録媒体用成形基板を用意した。すなわち、この光情報記録媒体用成形基板は、ピット部３６の底部がガラス基板３１（界面張力：３１０ｍＮ／ｍ）であり、ランド部３４がＰＭＭＡ（界面張力は３９ｍＮ／ｍ）で構成されている。
【００５２】
上記光情報記録媒体用成形基板に、光吸収を行う色素材料をイソプロピルアルコールとテトラヒドロフランの混合溶媒に溶解させた記録材料溶液を塗布した。
この記録材料溶液の表面張力は、成形基板のピット部におけるガラス基板の界面張力よりも低くピット部には濡れ易いが、ランド部を構成するＰＭＭＡの界面張力よりも高くランド部には濡れにくくなっている。さらに、ランド部とピット部での形状の違いによる濡れ性の違いを効果的に利用できるため、記録材料層（記録部）の形成はスピンコート法によって行った。スピンコートにより、濡れ性の良いピット部内には記録材料が充填され、一方濡れ性の悪いランド部では溶液の接触角が大きくなって記録材料層が形成されなかった。なお、スピンコート法における回転数は２０００ｒｐｍで行った。
【００５３】
成形基板のピット部に記録材料を充填した後、１０５℃で１５分の条件で成形基板のベーキング処理を行って溶媒を蒸発させ、安定した記録材料層（記録部）を形成した。
ベーキング処理後、約１０分間冷却した後、記録部を形成した成形基板上に、スパッタリング法により厚さ１２０ｎｍのＡｇを積層し反射層を形成した。次いで、反射層の上に、紫外線硬化樹脂（大日本インキ化学工業社製、ＳＤ３１８）からなる厚さ３μｍの中間層をスピンコート法により形成した。最後に、中間層上に紫外線硬化樹脂（日本化薬社製、ＤＶＤ００３）からなる接着層を介して厚さ０．６ｍｍ、直径１２０ｍｍのカバー基板を貼り合わせて光情報記録媒体を得た。
【００５４】
上記構成とした光情報記録媒体用成形基板のピット部３６に記録材料を含む溶液を塗布した場合、界面張力の低いランド部３４には記録材料が形成されずピット部３６にのみ充填した記録部が形成可能であり、高記録密度のパターンドメディアタイプの光情報記録媒体を低コストで簡易に作製することができた。
得られた光情報記録媒体について、光媒体評価装置を用い、波長４０５ｎｍの光ビームを照射して評価したところ、光照射により形成されたマークが周辺に広がるのを防止することができ、目的とする記録トラックの信号のＳ／Ｎが向上した。これによって、クロスライト、クロストークあるいはクロスイレースが少ない高記録密度の光情報記録媒体が得られることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の光情報記録媒体用成形基板を説明するための部分平面図（ａ）とＡ−Ａ’断面図（ｂ）を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態における光情報記録媒体用成形基板のピット部３に記録材料が充填されて形成された記録部４の様子を示す断面模式図である。
【図３】本発明の実施の形態における光情報記録媒体用成形基板の製造方法の一例を示す概略工程図である。
【図４】本発明の実施の形態における光情報記録媒体用成形基板の製造方法の別例を示す概略工程図である。
【図５】本発明の光情報記録媒体用成形基板に記録部を形成しさらに反射層、中間層、カバー層を設けたパターンドメディアタイプの光情報記録媒体を示す断面模式図である。
【図６】本発明の光情報記録媒体用成形基板を用いたパターンドメディアに光ビームが照射された場合の効果を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  基材
２  ランド部
３  ピット部
４  記録部
３１  基材
３２  熱可塑性材料
３３  スタンパ
３４  ランド部
３５  ピット構造
３６  ピット部
４０  スタンパ
４１  光硬化性材料（紫外線硬化樹脂）
４２  基材
４３  ランド部
４４  ピット構造
４５  ピット部
５５  反射層
５６  中間層
５７  カバー層
６２  ランド部
６３  ピット部
６４  光ビームのスポット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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