(57)【要約】【課題】  精度の高い積分動作を実現できる積分回路を有する受光装置を提供する。【解決手段】  入力光を電気信号に変換する光電変換手段１より出力される電気信号に応じた電荷を蓄積する容量素子３Ａ（３Ｂ）、容量素子３Ａ（３Ｂ）の電荷の蓄積と放電を制御する開閉手段４Ａ（４Ｂ）および容量素子３Ａ（３Ｂ）の充電電圧を検出する検出部５Ａ（５Ｂ）を有する第１および第２の検出手段を有し、一方の検出手段の開閉手段４Ａ（４Ｂ）を操作して容量素子３Ａ（３Ｂ）に電気信号に応じた電荷を蓄積させると同時に、他方の検出手段の開閉手段４Ｂ（４Ａ）を操作して容量素子３Ｂ（３Ａ）の電荷を放電させる動作を切換え手段２を切換えながら第１および第２の検出手段で交互に実行させる。【選択図】      図１
2006140289.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力光を電気信号に変換する光電変換手段と、
前記光電変換手段より出力される電気信号に応じた電荷を蓄積する容量素子、該容量素子の電荷の蓄積と放電を制御する開閉手段および前記容量素子の充電電圧を検出する検出部をそれぞれ有する第１および第２の検出手段と、
前記光電変換手段に接続される前記第１および第２の検出手段を所定のサンプリング周期で切換える切換え手段と、を具備し
一方の検出手段の前記開閉手段を操作して前記容量素子に前記電気信号に応じた電荷を蓄積させると同時に、他方の検出手段の前記開閉手段を操作して前記容量素子の電荷を放電させる動作を前記切換え手段を切換えながら前記第１および第２の検出手段で交互に実行させることを特徴とする受光装置。
【請求項２】
さらに前記第１および第２の検出手段の出力を加算する加算手段を有することを特徴とする請求項１記載の受光装置。
【請求項３】
さらに前記第１および第２の検出手段の出力のうち、今回のサンプリングにより一方の検出手段の容量素子に蓄積された電荷に応じた出力を取得し、該出力から前回のサンプリングにより他方の検出手段の容量素子の放電時に残留する電荷に応じた出力を減算する演算手段を有することを特徴とする請求項１記載の受光装置。
【請求項４】
前記サンプリングの周期が不等間隔であることを特徴とする請求項３記載の受光装置。
【請求項５】
レーザ走査型顕微鏡に適用されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の受光装置。
【請求項６】
前記サンプリングの周期が不等間隔のレーザ走査型顕微鏡に適用されることを特徴とする請求項３記載の受光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばレーザ走査型顕微鏡に適用され、微少光量の測定を行なう高感度な受光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光源からのレーザ光を対物レンズにより標本上に集光させ、その集光点をスキャナを用いて光学的に２次元走査し、標本からの検出光（特に蛍光）を対物レンズを通して検出手段で検出し２次元の情報を得るようにしたレーザ走査型顕微鏡が知られている。
【０００３】
このようなレーザ走査型顕微鏡では、標本からの検出光を電気信号として検出する検出手段として、フォトダイオードや光電子増倍管などの光電変換手段と、この光電変換手段より出力される電気信号を光測定信号に変換するための光電信号処理回路が用いられている。そして、この光電信号処理回路には、光電変換器から出力される電気信号のノイズ成分を減少させるために特許文献１に開示されるような積分回路を有する受光装置が用いられている。
【０００４】
図８は、許文献１に開示される積分回路の概略構成を示すもので、電気的な画像入力信号Ｖｉが入力される入力端子ｔ１に抵抗Ｒを介してオペアンプ３０１の反転入力端子３０１ａが接続され、このオペアンプ３０１の反転入力端子３０１ａと出力端子３０１ｃとの間にコンデンサ３１０と充放電スイッチ３２０の並列回路が接続され、さらにオペアンプ３０１の非反転入力端子３０１ｂが接地され、出力端子ｔ２より画像出力信号Ｖｏが出力されるように構成されている。そして、画像入力信号Ｖｉが抵抗Ｒを通して画像電流信号Ｉ（＝Ｖｉ／Ｒ）に変換され、オペアンプ３０１の反転入力端子３０１ａに入力されると、ここでの反転入力端子３０１ａの入力抵抗が高いため、画像電流信号Ｉは、コンデンサ３１０に流れ込んで充電される。コンデンサ３１０の充電および放電は、コンデンサ３１０の両端を開閉する充放電スイッチ３２０に対し、充放電スイッチ３２０を駆動するリセット信号を与えることにより制御される。
【０００５】
これにより、画像電流信号Ｉは、コンデンサ３１０の充電期間中にノイズ成分が平均化され減少されて画像出力信号Ｖｏに変換され、オペアンプ１の出力端子ｔ２から出力される。また、次の画像電流信号Ｉをコンデンサ３１０に充電するには、この充電の前に、所定の時間だけ充放電スイッチ３２０を閉状態に制御し、コンデンサ３１０の蓄積電荷を放電するようにしている。このようにして所定のサンプリング周期で積分回路のコンデンサ３１０の充放電を繰り返すことにより、画像電流信号Ｉに応じた画像を生成するようにしている。
【特許文献１】特開平６−３３１８９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、このように構成される積分回路では、例えば、図９の等価回路に示すように、コンデンサ３１０の両端を開閉する充放電スイッチ３２０に接点抵抗３２０ｒが存在するような場合、コンデンサ３１０の蓄積電荷を放電すると、コンデンサ３１０が零ボルトまで放電する時間が無限大となってしまい、積分開始電圧が零レベルに戻らないという問題を生じる。
【０００７】
この結果、例えば零レベルより下の負レベルの積分開始電圧から積分を行うとき、画像電流信号Ｉの積分結果が零レベルに到達しなければ、画像電流信号Ｉを画像化できないこととなり、画像信号の画像化が困難となることがある。
【０００８】
このため１データの測定期間のうち数％〜数１０％もの時間を放電動作に割当てる必要が生じ、画像生成までに時間がかかってしまう。また、コンデンサ３１０の放電特性が放電開始時のコンデンサ電圧に依存し、且つ、所定の時間で放電を停止して次の画像信号の積分を開始することから、放電開始時のコンデンサ電圧（残留電荷量）に依存して画像信号の積分開始電圧が変動するという問題がある。この積分開始電圧の変動は、画像にばらつきを生じさせるばかりか、画像の再現性を低下させている。
【０００９】
一方、受光装置は、共振型スキャナを用いいて試料を高速走査するレーザ走査型顕微鏡に適用されている。ところが、このようなレーザ走査型顕微鏡では、図１０（ａ）に示すような正弦波運動による走査位置の軌跡Ｓに対して試料面を等間隔に同図Ｓ１、Ｓ２、〜Ｓ５のタイミングでデータのサンプリングを行うようにしているが、このときサンプリング周期は一定でなくなり、このため、このようなサンプリング周期を得るには、同図（ｂ）に示すようにサンプリング周波数を可変する必要がある。しかし、上述した積分回路では、コンデンサ３１０での画像電流信号Ｉを積分する時間を一定としているため、サンプリング周波数を可変とすると、コンデンサ３１０の充放電時間が同一画面上で異なる部分が生じ、充放電時間が不十分な部分では、他の部分と明るさの異なるグラデーションが生じてしまうという問題がある。
【００１０】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、精度の高い積分動作を実現できる積分回路を有する受光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明は、入力光を電気信号に変換する光電変換手段と、前記光電変換手段より出力される電気信号に応じた電荷を蓄積する容量素子、該容量素子の電荷の蓄積と放電を制御する開閉手段および前記容量素子の充電電圧を検出する検出部をそれぞれ有する第１および第２の検出手段と、前記光電変換手段に接続される前記第１および第２の検出手段を所定のサンプリング周期で切換える切換え手段と、を具備し、一方の検出手段の前記開閉手段を操作して前記容量素子に前記電気信号に応じた電荷を蓄積させると同時に、他方の検出手段の前記開閉手段を操作して前記容量素子の電荷を放電させる動作を前記切換え手段を切換えながら前記第１および第２の検出手段で交互に実行させることを特徴としている。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、さらに前記第１および第２の検出手段の出力を加算する加算手段を有することを特徴としている。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、さらに前記第１および第２の検出手段の出力のうち、今回のサンプリングにより一方の検出手段の容量素子に蓄積された電荷に応じた出力を取得し、該出力から前回のサンプリングにより他方の検出手段の容量素子の放電時に残留する電荷に応じた出力を減算する演算手段を有することを特徴としている。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明において、前記サンプリングの周期が不等間隔であることを特徴としている。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、レーザ走査型顕微鏡に適用されることを特徴としている。
【００１６】
請求項６記載の発明は、請求項３記載の発明において、前記サンプリングの周期が不等間隔のレーザ走査型顕微鏡に適用されることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、精度の高い積分動作を実現できる積分回路を有する受光装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１９】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態が適用される受光装置の概略構成を示している。
【００２０】
図において、１は不図示の標本からの検出光を検出し光電流に変換するフォトダイオードや光電子増倍管などの光電変換手段で、この光電変換手段１の出力端子には、切換え手段２が接続されている。この切換え手段２は、出力端子２ａ、２ｂを有し、光電変換手段１からの光電流を出力端子２ａまたは２ｂに選択的に出力可能にしている。
【００２１】
切換え手段２の出力端子２ａには、光電変換手段１の光電流により電荷を蓄積する容量素子３Ａと、この容量素子３Ａの電荷の蓄積と放電を制御する開閉手段４Ａの並列回路の一方端が接続されている。これら容量素子３Ａと開閉手段４Ａの並列回路の他方端は、接地されている。また、切換え手段２の出力端子２ａには、容量素子３Ａの充電電圧を検出する検出回路５Ａの入力端子に接続されている。
【００２２】
切換え手段２の出力端子２ｂにも、上述したと同様にして容量素子３Ｂと開閉手段４Ｂの並列回路が接続されるとともに、検出回路５Ｂが接続されている。
【００２３】
そして、検出回路５Ａと５Ｂには、これら検出回路５Ａ、５Ｂからの出力を加算する加算手段６が接続されている。
【００２４】
このような構成において、いま、図２に示す期間Ａにおいて、サンプリングクロックＰＬＳにより、切換え手段２が出力端子２ａ側に切換えられると（図面ではＯＮで示している。）、光電変換手段１の光電流により、切換え手段２の出力端子２ａを介して容量素子３Ａに電荷が蓄積される。そして、一定時間経過後（次のサンプリングクロックＰＬＳが与えられるタイミング）、容量素子３Ａに蓄電された電荷の総量が図２（ｂ）に示す充電電圧Ｖ１として検出回路５Ａで検出される。この直後、容量素子３Ａに蓄電された電荷は、開閉手段４Ａの閉じ動作により放電される。また、放電後の容量素子３Ａの電荷量（電圧）も、検出回路５Ａで検出される。
【００２５】
次に、図２に示す期間Ｂに移行すると、サンプリングクロックＰＬＳにより、切換え手段２が出力端子２ｂ側に切替えられる（図面ではＯＮで示している。）。この状態で、光電変換手段１の光電流により、切換え手段２の出力端子２ｂを介して他方の容量素子３Ｂに電荷が蓄積される。そして、一定時間経過後（次のサンプリングクロックＰＬＳが与えられるタイミング）、容量素子３Ｂに蓄電された電荷の総量が図２（ｃ）に示す充電電圧Ｖ２として検出回路５Ｂで検出される。この直後、容量素子３Ｂに蓄電された電荷は、開閉手段４Ｂの閉じ動作により放電される。また、放電後の容量素子３Ｂの電荷量（電圧）も、検出回路５Ｂで検出される。
【００２６】
以下、同様な動作がサンプリングクロックＰＬＳの切換え毎に交互に繰り返して行われる。そして、検出回路５Ａと５Ｂでのそれぞれの検出信号は、加算手段６に入力して加算される。この場合、加算手段６の出力信号Ｖ０は、図２（ｄ）に示すような時間的変化を有するものとなり、この出力信号Ｖ０の（ａ０）〜（ｅ０）点に注目することにより、各容量素子３Ａ、３Ｂでの放電の際の残留電荷を補償したデータを取得できることになる。つまり、複数の容量素子３Ａ、３Ｂを有することにより、これら容量素子３Ａ、３Ｂでの放電動作による測定データのオフセットを補償することができ、精度の高い積分動作を実現することができる。
【００２７】
図３は、このような受光装置のさらに具体的な構成を示すものである。
【００２８】
図において、１０１は光電変換手段としての光電子増倍管（ＰＭＴ）で、この光電子増倍管１０１は、不図示の標本からの検出光を検出し光電流に変換するものである。光電子増倍管１０１には、トランジスタより構成される第１のスイッチング素子１０２と第２のスイッチング素子１０３が接続されている。第１のスイッチング素子１０２には、サンプリングクロック（以下、ＰＬＳと称する）発生源１０４が接続されている。このＰＬＳ発生源１０４は、図２（ａ）に示すような所定周期のサンプリングクロックを発生するもので、このサンプリングクロックの信号レベルに応じて第１のスイッチング素子１０２と第２のスイッチング素子１０３を交互にオンオフさせるようになっている。
【００２９】
第１のスイッチング素子１０２には、検出部としてのオペアンプで構成されるバッファアンプ１０５の反転入力端子が接続されている。このバッファアンプ１０５は、反転入力端子と出力端子との間に容量素子としてのコンデンサ１０６と開閉手段としての充放電スイッチ１０７の並列回路が接続され、さらに非反転入力端子が接地され、出力端子に出力信号Ｖ１が出力されるようになっている。この場合、これらバッファアンプ１０５、コンデンサ１０６、充放電スイッチ１０７により第１の検出手段を構成している。
【００３０】
また、第２のスイッチング素子１０３には、検出部としてのオペアンプで構成されるバッファアンプ１０８の反転入力端子が接続されている。このバッファアンプ１０８は、反転入力端子と出力端子との間に容量素子としてのコンデンサ１０９と開閉手段としての充放電スイッチ１１０の並列回路が接続され、さらに非反転入力端子が接地され、出力端子に出力信号Ｖ２が出力されるようになっている。この場合、これらバッファアンプ１０８、コンデンサ１０９、充放電スイッチ１１０により第２の検出手段を構成している。
【００３１】
この場合、これら第１および第２の検出手段を構成するバッファアンプ１０５と１０８、コンデンサ１０６と１０９、スイッチ１０７と１１０は、それぞれ同じ電気的特性を持つものとする。
【００３２】
バッファアンプ１０５と１０８の出力端子には、加算手段としてオペアンプで構成される加算回路１１１が接続されている。加算回路１１１は、バッファアンプ１０５と１０８からの出力を加算するものである。
【００３３】
このような構成において、いま、不図示の標本からの検出光が光電子増倍管１０１に入射されると、光電子増倍管１０１より検出光に応じた光電流ｉが出力される。
【００３４】
この状態で、図２（ａ）に示す期間Ａにおいて、サンプリングクロックＰＬＳがＨレベルとなって、スイッチング素子１０２がオンすると、光電子増倍管１０１の光電流ｉによりバッファアンプ１０５側のコンデンサ１０６に電荷が蓄積される。この場合、スイッチ１０７は開いており、コンデンサ１０６に流れてきた電荷は放電されることなく蓄積される。一方、バッファアンプ１０８側では、スイッチ１１０が閉じてコンデンサ１０９を放電状態になっている。
【００３５】
一定時間経過後（次のサンプリングクロックＰＬＳが与えられるタイミング）、コンデンサ１０６の両端電圧は、バッファアンプ１０５により検出され、コンデンサ１０６に蓄電された電荷の総量が図２（ｂ）に示す充電電圧Ｖ１として出力される。また、この直後、スイッチ１０７が閉じ動作し、コンデンサ１０６に蓄えられた電荷は放電される。
【００３６】
次に、図２（ａ）に示す期間Ｂに移行し、サンプリングクロックＰＬＳがＬレベルになると、スイッチング素子１０２がオフし、これと同時にバッファアンプ１０５側で、スイッチ１０７が閉じてコンデンサ１０６を放電状態とし、電荷を蓄積しないようにする。同時に、スイッチング素子１０３のオンにより、今度は、光電子増倍管１０１の光電流ｉによりバッファアンプ１０８側のコンデンサ１０９に電荷が蓄積される。この場合、スイッチ１１０は開いており、コンデンサ１０６に流れてきた電荷は放電されることなく蓄積される。
【００３７】
そして、一定時間経過後（次のサンプリングクロックＰＬＳが与えられるタイミング）、コンデンサ１０９の両端電圧は、バッファアンプ１０８により検出され、コンデンサ１０９に蓄電された電荷の総量が図２（ｃ）に示す充電電圧Ｖ２として出力される。また、この直後、スイッチ１１０が閉じ動作し、コンデンサ１０９に蓄えられた電荷は放電される。
【００３８】
以下、同様にして、サンプリングクロックＰＬＳに同期させてスイッチ１０７と１０９を開閉動作させることで、コンデンサ１０６と１０９での充電と放電のプロセスが交互に繰り返して実行される。このときのコンデンサ１０６と１０９の両端に発生する電位は、バッファアンプ１０５、１０８により検出され、図２（ｂ）（ｃ）のＶ１、Ｖ２の波形として出力される。バッファアンプ１０５、１０８の出力は、次段の加算回路１１１に与えられ、ここで合成され、図２（ｄ）に示すＶｏの波形の出力信号が生成される。
【００３９】
この状態で、この出力信号Ｖ０の（ａ０）〜（ｅ０）点に注目することにより、各コンデンサ１０６、１０９の放電の際に残った電荷を補償した電圧値（出力）を取得することができる。つまり、上述したバッファアンプ１０５と１０８、コンデンサ１０６と１０９、スイッチ１０７と１１０は、それぞれ同じ電気的特性を有するもの使用しているので、光電子増倍管１０１で検出する光強度に応じた光電流ｉを一定とした場合、各コンデンサ１０６、１０９の放電時に残ってしまった電荷は、図２に示す（ａ０）点でのＶ２と、（ｂ０）点でのＶ１とは等しいと考えることができる。これにより、（ａ０）点での放電時に残留した電荷量は、Ｖ２の信号を使用することで補償することができ、精度の高い測定データを取得することができる。
【００４０】
また、例えば、第１の検出手段のコンデンサ１０６が光電子増倍管１０１の光電流ｉにより蓄電されている間は、第２の検出手段のコンデンサ１０９の放電が行なわれ、これらコンデンサ１０６、１０９での充電と放電のプロセスが交互に繰り返して実行されるようになっているので、従来の方式のようにコンデンサの放電時間の間は、この間の検出光は、測定データに反映されることがなかったものと比べ、標本からの検出光を無駄することなく有効に用いて、精度よい測定データを取得することができる。
【００４１】
なお、上述した実施の形態では、放電時に残る電荷量を補償するようにしたが、バッファアンプの入力特性やコンデンサの電気的特性の温湿度などの環境変化によるドリフトが起こす検出電位のオフセットレベルの変動についても補償するとができる。
【００４２】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００４３】
図４は、本発明の第２の実施の形態が適用される受光装置の概略構成を示すもので、図１と同一部分には同符号を付している。
【００４４】
この場合、検出回路５Ａ、５Ｂには、それぞれＡ／Ｄ変換器７Ａ、７Ｂが接続されている。これらＡ／Ｄ変換器７Ａ、７Ｂは、検出回路５Ａ、５Ｂからの出力信号をデジタル信号を変換するものである。これらＡ／Ｄ変換器７Ａ、７Ｂには、演算回路８が接続されている。この演算回路８は、検出回路５Ａ、５Ｂからの出力信号の前回サンプリングされた信号と今回サンプリングされた信号との減算処理を行なうもので、この結果を用いて容量素子３Ａ、３Ｂの放電の際に蓄積電荷を補償するようにしている。
【００４５】
図５は、このような第２の実施の形態の受光装置のさらに具体的な構成を示すもので、図３と同一部分には同符号を付している。
【００４６】
この場合、バッファアンプ１０５の出力端子には、Ａ／Ｄ変換器１１２が接続され、同様にバッファアンプ１０８の出力端子には、Ａ／Ｄ変換器１１３が接続されている。これらＡ／Ｄ変換器１１２、１１３は、バッファアンプ１０５、１０８からの出力信号をデジタル信号に変換するものである。
【００４７】
Ａ／Ｄ変換器１１２、１１３の出力端子には、演算回路１１４が接続されている。この演算回路１１４は、バッファアンプ１０５、１０８からの出力のうち、今回のサンプリング（例えばＢ期間）より得られた出力のデジタル信号から前回のサンプリング（例えばＡ期間）より得られた出力のデジタル信号を減算したものを真の測定値として出力するものである。
【００４８】
この場合も、不図示の標本からの検出光が光電子増倍管１０１に入射されると、光電子増倍管１０１より検出光に応じた光電流ｉが出力される。この状態で、サンプリングクロックＰＬＳに同期させてスイッチ１０７と１０９を開閉動作させることで、コンデンサ１０６と１０９での充電と放電のプロセスが交互に繰り返して実行される。このときのコンデンサ１０６、１０９のそれぞれの両端に発生する電位は、バッファアンプ１０５、１０８により検出され、図２（ａ０）〜（ｅ０）に示すタイミングで、Ｖ１、Ｖ２の波形として出力される。
【００４９】
これらバッファアンプ１０５、１０８の出力は、Ａ／Ｄ変換器１１２、１１３に与えられ、デジタル信号に変換された後、演算回路１１４に入力される。この場合、図２に示す（ａ０）点でのＶ１は、コンデンサ１０６に蓄積された光電流ｉの総量であり、この時点のＶ２は、コンデンサ１０９の放電完了時に残留した電荷の量を示している。また、次の（ｂ０）点でのＶ２は、コンデンサ１０９に蓄積された光電流ｉの総量であり、この時点のＶ１は、コンデンサ１０６の放電完了時に残留した電荷の量を示している。
【００５０】
ここで、（ｂ０）点での真の検出光のデータ（測定値）は、（ａ０）点で残留した電荷量を基準として、ここから蓄積された光電流ｉの総量に相当する電荷量となる。これにより、演算回路１１４は、現在のサンプリング（例えばＢ期間）より得られたデジタル信号から前回のサンプリング（例えばＡ期間）より得られたデジタル信号を減算することで、真の測定値を出力することになる。このような演算処理は、バッファアンプ１０５、１０８の出力Ｖ１、Ｖ２に対し交互に行なうことで、各サンプリングごとの真の測定値を出力することができる。
【００５１】
このようにすれば、例えば、サンプリング周波数が可変となるような条件で、コンデンサ１０６と１０９の放電完了時に残留する電荷の量が同じになるという前提が崩れてしまうような場合も、放電完了時に残留電荷の量を用いることにより放電条件の変化に対しても十分に補償を行なうことができる。勿論、この第２の実施の形態に、さらに第１の実施の形態で述べた内容をそのまま適用すれば、第１の実施の形態で述べた効果を得ることもできる。
【００５２】
（変形例）
例えば、上述した実施の形態では、バッファアンプ１０５（１０８）の反転入力端子と出力端子との間にコンデンサ１０６（１０９）と充放電スイッチ１０７（１１０）の並列回路を接続した一般的な積分回路で説明をしたが、例えば、図６に示すようにバッファアンプ１０５ａ（１０８ａ）の非反転入力端子にコンデンサ１０６ａ（１０９ａ）と充放電スイッチ１０７ａ（１１０ａ）の並列回路の一端を接続し、この並列回路の他端を接地するような構成としてもよい。また、第１のスイッチング素子１０２は、ＯＮ／ＯＦＦ動作をするときに電荷の飛びつき（チャージインジェクション）が発生することがあるため、図３と同一部分には同符号を付した図７に示すように第１及び第２のスイッチング素子１０２、１０３に直列にトランジスタで構成したチャージインジェクション防止回路２００を接続するようにもできる。さらに、バッファアンプ１０５（１０８）を含む検出回路で、ばらつきが発生するような場合は、これらの感度補正を行うためのゲイン補正トリマを加算回路１１１の前段に配置するようにしてもよい。さらに、上述では、光電変換素子の代表例として光電子増倍管（ＰＭＴ）を用いたものを説明をしたが、これの他にフォトダイオード、アバランシェフォトダイオードあるいはＣＭＯＳセンサなどを使用することもできる。さらに、スイッチング素子１０２（１０３）には、トランジスタで構成されたものを使用したが、パッケージングされたアナログＳＷＩＣを用いてもよい。充放電用のスイッチ１０７（１１０）についても同様である。また、上述した第１および第２の実施の形態は、受光装置についてのみ述べているが、このような受光装置は、レーザ走査型顕微鏡において標本からの検出光を受光するための受光装置に適用できることは勿論である。
【００５３】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【００５４】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第１の実施の形態が適用される受光装置の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態の動作を説明するためのタイムチャート。
【図３】第１の実施の形態の受光装置の具体的構成を示す図。
【図４】本発明の第２の実施の形態が適用される受光装置の概略構成を示す図。
【図５】第２の実施の形態の受光装置の具体的構成を示す図。
【図６】本発明の変形例の概略構成を示す図。
【図７】本発明の他の変形例の概略構成を示す図。
【図８】従来の受光装置の一例の概略構成を示す図。
【図９】従来の受光装置を説明するための図。
【図１０】従来の受光装置をレーザ走査型顕微鏡に適用した場合の問題点を説明する図。
【符号の説明】
【００５６】
１…光電変換手段、２…切換え手段
２ａ．２ｂ…出力端子、３Ａ、３Ｂ…容量素子
４Ａ、４Ｂ…開閉手段、５Ａ．５Ｂ…検出回路
６…加算手段、７Ａ、７Ｂ…Ａ／Ｄ変換器
８…演算回路、１０１…光電子増倍管
１０２…第１のスイッチング素子、１０３…第２のスイッチング素子
１０４…ＰＬＳ発生源、１０５．１０８…バッファアンプ
１０６…コンデンサ、１０７…充放電スイッチ
１０５ａ、１０８ａ…バッファアンプ
１０６ａ…コンデンサ、１０７ａ…充放電スイッチ
１０９…コンデンサ、１１０…充放電スイッチ
１１１…加算回路、１１２、１１３…Ａ／Ｄ変換器
１１４…演算回路、２００…チャージインジェクション防止回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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