(57)【要約】【課題】  液滴の塗布を常に安定して行うことができるインクジェット塗布装置を提供する。【解決手段】  インクジェット塗布装置１において、液滴を噴射するための開口であるノズル噴射口５０が設けられたノズル面４８を有するインクジェットヘッド４２のノズル面４８を洗浄する洗浄機構７０、８０と、洗浄機構７０、８０によるノズル面４８の洗浄処理を、液滴の塗布対象３０に対する液滴の塗布処理に従属させて実行する制御部１０とを備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するための開口であるノズル噴射口が設けられたノズル面を有するインクジェットヘッドの前記ノズル面を洗浄する洗浄機構と、
前記洗浄機構による前記ノズル面の洗浄処理を、前記液滴の塗布対象に対する前記液滴の塗布処理に従属させて実行する制御部と、
を備えることを特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
前記洗浄機構は、
前記ノズル面に前記液滴の溶剤を噴射する噴射機構と、
前記ノズル面を吸引する吸引機構と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項３】
前記洗浄機構は、
前記ノズル面に前記液滴の溶剤を噴射する噴射機構と、
前記ノズル面を拭き取る拭き取り機構と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項４】
前記ノズル面を溶媒槽に貯留された前記液滴の溶媒に浸漬する浸漬機構を備え、
前記制御部は、前記塗布処理の終了後に前記浸漬機構によって前記ノズル面を前記溶媒に浸漬させることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【請求項５】
前記塗布対象以外に前記液滴の噴射対象を備え、
前記制御部は、前記塗布対象への前記液滴の塗布処理の間に前記噴射対象への前記液滴の噴射を行うことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクの液滴を噴射させて塗布対象に塗布するインクジェット塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等においては、その表示装置として液晶ディスプレイが用いられている。この液晶ディスプレイの製造工程においては、ノズルから微小な液滴を噴射するようになされたいわゆるインクジェット塗布装置（特許文献１参照）を用いて、透明基板上にR（赤）、G（緑）、B（青）の各色のインクを順次塗布することにより、これら各色のドットが順次配列されてなるカラーフィルタを作成するようになされている。
【０００３】
カラーフィルタの周囲には、バックライトからの光を遮光するための遮光領域が設けられている。このような遮光領域においては、例えば黒色のインクを領域内の全面に塗布することにより、表示領域の周囲においてバックライトからの不要な光を遮光するようになされている。
【０００４】
カラーフィルタに各色のドットを塗布する場合やカラーフィルタの遮光領域に黒色のインクを塗布する場合には、インクジェット塗布装置が用いられている。インクジェット塗布装置においては、インクを噴射するためのノズルが複数設けられたインクジェットヘッドと塗布対象である基板とを相対的に移動させながらインクの塗布位置においてインクを噴射させるようになされている。
【特許文献１】特開２００４−１１１０７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
インクジェット塗布装置においては、インクジェットヘッドのノズルのインクが乾燥した場合、又はインクの乾燥を防止するために、ノズルのインク噴射口を人手によって洗浄する等のメンテナンス作業を必要としている。
【０００６】
このような人手によるメンテナンス作業は、作業者によって作業にばらつきがあり、安定したインクの塗布を実現することが難しかった。
【０００７】
本発明は、このような技術的課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、液滴の塗布を常に安定して行うことができるインクジェット塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、インクジェット塗布装置において、液滴を噴射するための開口であるノズル噴射口が設けられたノズル面を有するインクジェットヘッドのノズル面を洗浄する洗浄機構と、洗浄機構によるノズル面の洗浄処理を、液滴の塗布対象に対する液滴の塗布処理に従属させて実行する制御部とを備えることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、インクジェット塗布装置において液滴の塗布を常に安定して行うことを可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
（第１の実施の形態）
[インクジェット塗布装置の全体構成]
図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係るインクジェット塗布装置１は、ノズルからインクの液滴を噴射するインクジェットヘッド４２を用いて基板３０にインクを塗布するインク塗布部３と、インクジェットヘッド４２のノズルの乾燥を防止すると共に、常に安定してインク液滴を噴射する状態にノズルを維持するメンテナンス部４と、インク液滴の噴射位置を調整する塗布位置調整部５とを備えている。
【００１２】
インク塗布部３においては、架台２の上面にＹ軸方向ガイド板２０が固定されており、このＹ方向ガイド板２０の上面には、Ｙ方向に複数のガイド溝２１が延設されている。このガイド溝２１にはＹ方向移動テーブル２２の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＹ方向移動テーブル２２は、ガイド溝２１にガイドされてＹ方向に移動自在に支持されている。このＹ方向移動テーブル２２は、Ｙ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝２１に沿ってＹ方向に移動される。
【００１３】
またＹ方向移動テーブル２２の上面には、Ｘ方向に複数のガイド溝（図示せず）が延設されている。このガイド溝には、Ｘ方向移動テーブル２３の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これによりＸ方向移動テーブル２３は、このガイド溝にガイドされてＸ方向に移動自在に支持されている。このＸ方向移動テーブル２３は、Ｘ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝に沿ってＸ方向に移動される。
【００１４】
Ｘ方向移動テーブル２３の上面には、基板保持テーブル２６が固定されており、この基板保持テーブル２６の上面には把持機構（図示せず）により、インクの塗布対象である基板３０を把持して固定するようになされている。なお基板３０の固定方法は、把持機構による把持に代えて、例えば吸着機構により吸着する方法を用いるようにしてもよい。
【００１５】
基板保持テーブル２６のＸ方向への移動量は、Ｘ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができ、基板保持テーブル２６のＹ方向への移動量は、Ｙ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００１６】
またインク塗布部３において、架台２の上面には、インクジェットヘッドユニット４０がＸ方向、Ｙ方向及び上下方向であるＺ方向に移動自在に支持されている。
【００１７】
すなわちインク塗布部３において、架台２の上面には、Ｙ軸方向スライド板２０を挟む位置に１組のコラム３３ａ、３３ｂが立設されており、このコラム３３ａ、３３ｂの上部にはＸ方向ガイド板３５が横架されている。
【００１８】
Ｘ方向ガイド板３５の前面には、Ｘ方向にガイド溝３６が延設されており、このガイド溝３６には、複数のインクジェットヘッドユニット４０を垂設するベース板４１の突起部が係合されている。これによりベース板４１は、このガイド溝３６にガイドされてＸ軸方向に移動自在に支持されている。このベース板４１は、ヘッドユニット移動用モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝３６に沿ってＸ軸方向に移動される。
【００１９】
インク塗布部３においては、インクジェット塗布装置１の動作を制御する制御部１０により、これらＹ方向移動テーブル２２のＹ軸方向への移動、Ｘ方向移動テーブル２３のＸ軸方向への移動及びベース板４１のＸ軸方向への移動をそれぞれ制御し、これにより基板保持テーブル２６に保持された基板３０とベース板４１に垂設されたインクジェットヘッドユニット４０との相対位置を種々に変化させることができる。
【００２０】
ベース板４１には、複数のインクジェットヘッドユニット４０が垂設されており、このインクジェットヘッドユニット４０において、その下端部に設けられたインクジェットヘッド４２により下方にインクを噴射するようになされている。これら複数のインクジェットヘッドユニット４０は、それぞれ同一の構成を有する。
【００２１】
図２に示すように、インクジェットヘッドユニット４０においては、ベース板４１に支持され、移動部４４ａをＺ方向（上下方向）に移動自在に支持するＺ方向移動機構４４と、このＺ方向移動機構４４の移動部４４ａに支持され、移動部４５ａをＹ方向に移動自在に支持するＹ方向移動機構４５と、このＹ方向移動機構４５の移動部４５ａに支持され、回転部４６ａをＺ方向周りの回転方向であるθ方向に回転自在に支持するθ方向回転機構４６と、このθ方向回転機構４６の回転部４６ａに垂下されるインクジェットヘッド４２とを有し、Ｚ方向移動機構４４によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＺ方向に調整することができると共に、Ｙ方向移動機構４５によりインクジェットヘッド４２の位置を基板３０に対してＹ方向に調整することができる。また、θ方向回転機構４６によりインクジェットヘッド４２の向きを基板３０に対してθ方向に回転させることができる。なお、Ｙ方向移動機構４５及びＺ方向移動機構４４には、それぞれヘッド調整用モータ（図示せず）が設けられ、これらによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってＹ方向、Ｚ方向へ移動させることができる。また、θ方向回転機構４６には、θ方向回転モータ（図示せず）が設けられており、これによりインクジェットヘッド４２をモータ駆動によってθ方向に回転させることができる。またインクジェットヘッド４２のθ方向への回転量は、θ方向エンコーダ（図示せず）のパルス状の出力信号に基づいて検出することができる。
【００２２】
このようにインクジェットヘッドユニット４０においては、基板保持テーブル２６に対するインクジェットヘッド４２の位置を種々に調整することができる。
【００２３】
図３に示すように、このインクジェットヘッドユニット４０の下端部に設けられたインクジェットヘッド４２において、その下方に向けられたノズル面４８には複数のノズルがそれぞれノズル噴射口５０を下方に向けるようにして一定の間隔を隔てて直列に穿設されている。
【００２４】
インクジェットヘッド４２の内部には、各ノズルに連通してなるインクタンクが設けられており、このインクタンクの上面には各ノズル毎にダイアフラム及び圧電素子が設けられている。制御部１０からの噴射制御信号によってこの圧電素子を駆動させることにより、インクタンク内の圧力を変化させて該インクタンク内のインクをノズルより噴射させるようになされている。インクジェットヘッドユニット４０では、このようにしてノズル噴射口から下方にインクを噴射させることにより、インクジェットヘッド４２の下方において基板保持テーブル２６に保持された基板３０の上面にインクを塗布する。
【００２５】
[制御部の構成]
次に、インクの塗布処理を制御する制御部１０について説明する。図４に示すように、制御部１０においては、基板保持テーブル２６及びインクジェットヘッド４２を移動制御すると共にインクジェットヘッド４２におけるインクの噴射を制御するインク噴射制御回路１１が設けられている。このインク噴射制御回路１１には、Ｘ方向移動モータ、Ｙ方向移動モータ及びθ方向回転モータを駆動させるための駆動回路１２が接続されている。
【００２６】
また制御部１０には、Ｙ方向エンコーダ及びＸ方向エンコーダの各パルス出力をそれぞれカウントするＹ方向カウンタ１３及びＸ方向カウンタ１４が設けられており、これらのカウンタは、Ｘ方向エンコーダ、Ｙ方向エンコーダから出力されるパルスの数のカウント結果が予め設定されるカウント値に達したときに該カウント値に達したことを表すカウント結果信号をインク噴射制御回路１１に送出する。また制御部１０には、θ方向エンコーダのパルス出力をカウントするθ方向カウンタ１５が設けられており、このカウンタは、θ方向エンコーダから出力されるパルスの数のカウント結果が予め設定されるカウント値に達したときに該カウント値に達したことを表すカウント結果信号をインク噴射制御回路１１に送出する。
【００２７】
これによりインク噴射制御回路１１は、各モータに対して駆動信号を送出した際に基板保持テーブル２６が予め設定される移動量だけ移動したか否かをＹ方向カウンタ１３及びＸ方向カウンタ１４からそれぞれ出力されるカウント結果信号に基づいて判断することができ、またインクジェットヘッド４２が予め設定される回転量だけ回転したか否かをθ方向カウンタ１５から出力されるカウント結果信号に基づいて判断することができる。
【００２８】
インク噴射制御回路１１にはメモリ装置１７が接続されており、このメモリ装置１７には、インクジェットヘッド４２の各ノズルの圧電素子に印加する電圧波形のデータ及び各インクドット毎のインク噴射条件に関するパラメータが予め記憶される。メモリ装置１７は、これらの電圧波形データ及びパラメータを各インクドット位置を表すデータに対応させて記憶している。このメモリ装置１７としては、例えば書き換え可能なＥＰＲＯＭ（イレイザブル・プログラマブル・ロム）が用いられる。
【００２９】
ノズルの圧電素子に印加される電圧波形を変化させることにより、インクジェットヘッド４２のノズルから噴射されるインクの液滴量を制御可能であることから、各インクドット位置に応じて最適な液滴量となる電圧波形データがメモリ装置１７に記憶される。
【００３０】
インク噴射制御回路１１には、インクジェットヘッド４２の各ノズルの圧電素子に電圧を印加するためのノズル駆動回路１８が接続されており、インク噴射制御回路１１は、基板３０に対するインクジェットヘッド４２の相対位置がインク塗布位置に到達した際に、メモリ装置１７に記憶されているそのインク塗布位置（インクドット位置）に対応した電圧波形データを読み出してノズル駆動回路１８に送出する。ノズル駆動回路１８は、電圧波形データに基づいて電圧を発生させてノズルに印加する。これにより基板３０のインク塗布位置に到達したインクジェットヘッド４２のノズルからインクを噴射させることができる。
【００３１】
[塗布位置調整部の構成]
図１に示すように、塗布位置調整部５は、インク液滴を試し打ちする仮塗布ステージと、仮塗布ステージ５５に塗布されたインク液滴を撮像する撮像ユニット５６とを備えている。仮塗布ステージ５５は、Ｘ軸方向移動テーブル２３上に設けられており、インクジェットヘッド４２とＸ軸方向移動テーブル２３を相対的に移動させることにより、仮塗布ステージ５５上に配置された用紙５４に対してインクジェットヘッド４２によってインク液滴を塗布する。
【００３２】
撮像ユニット５６は、インクジェットヘッドユニット４０の１つに固定されており、このインクジェットヘッドユニット４０をＸ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５によって移動させることにより、このインクジェットヘッドユニット４０と共に移動させることができる。
【００３３】
制御部１０（図４）においては、仮塗布ステージ５５にインク液滴を塗布する基準位置情報がメモリ装置１７に格納されており、制御部１０は、基板保持テーブル２６とインクジェットヘッド４２を相対移動させることにより、この基準位置にインクジェットヘッド４２を移動させてインク液滴を噴射させることにより、仮塗布ステージ５５に配置された用紙５４においては、基準位置で噴射されたインク液滴が塗布される。
【００３４】
制御部１０は、撮像ユニット５６を移動させて仮塗布ステージ５５の用紙５４に塗布されたインク液滴を撮像する。制御部１０のインク噴射制御回路１１は、この撮像ユニット５６によって撮像された画像に基づいて、インク液滴が塗布された位置を検出し、この検出結果に基づいて、インクジェットヘッド４２のθ方向の角度を調整する。
【００３５】
すなわち、図５（ａ）に示すように、正規の塗布位置にインク液滴を塗布するための正規のヘッド角度が基準方向θ０に対してθ２である場合において、実際のヘッド角度がθ１（＝θ２＋Δθ）であるとすると、図５（ｂ）に示すように、正規の塗布位置Ｐ２に対して、実際の塗布位置Ｐ１はずれた状態となる。
【００３６】
制御部１０は、インクジェットヘッド４２の各ノズル５０により塗布されたインク液滴の塗布幅ｄ１と、正規の塗布幅ｄ２とを比較する。この場合、ｃｏｓθ１／ｃｏｓθ２＝ｄ１／ｄ２の関係から、実際のヘッド角度θ１と正規のヘッド角度θ２との差Δθは、Δθ＝θ１−ｃｏｓ−１（（ｄ２／ｄ１）・ｃｏｓθ１）となる。制御部１０は、この角度Δθを算出してインクジェットヘッド４２をθ方向に角度Δθだけ回転させることにより、正規の位置にインク液滴を塗布することができる。
【００３７】
なお、図５においては、ヘッド角度を調整する場合について述べているが、Ｘ方向及びＹ方向についての塗布位置調整も行うことができる。この場合、制御部１０は、仮塗布ステージ５５に塗布されたインク液滴の塗布位置を撮像ユニット５６によって撮像し、この撮像結果に基づいて、実際の塗布位置と正規の塗布位置との差分を求め、この差分だけインクジェットヘッド４２をＸ方向、Ｙ方向に移動させる。これによりＸ方向、Ｙ方向の塗布位置調整を行うことができる。
【００３８】
インクジェット塗布装置１においては、このような塗布位置の調整と共に、各ノズル５０からのインク液滴の噴射量を調整するようになされている。すなわち、制御部１０は、仮塗布ステージ５５に塗布されたインク液滴の着弾径を撮像ユニット５６によって撮像する。制御部１０は、この撮像結果を基に着弾径を計測し、この計測結果に基づいて各ノズル５０の圧電素子に印加する電圧値を変化させることにより、着弾径を変化させることができる。
【００３９】
[メンテナンス部の構成]
図１に示すように、架台２の上面に配置されたメンテナンス部４は、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を液滴の溶媒に浸漬する浸漬部６０と、ノズル面４８に液滴の溶剤を噴射する溶剤噴射部７０と、ノズル面４８を吸引する吸引部８０とが設けられている。
【００４０】
図６に示すように、インクジェットヘッド４２は、Ｘ方向ガイド板３５（図１）及びヘッドユニット移動用モータによるＸ方向移動機構と、Ｙ方向移動機構４５（図２）と、Ｚ方向移動機構４４（図２）とによってメンテナンス部４の上部をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動させることでインクジェットヘッド４２を位置決めすることができる。
【００４１】
図７（ａ）に示すように、浸漬部６０は、溶媒槽６１とこの溶媒槽６１に溶媒６４を供給する溶媒保管タンク６２とを備えている。溶媒保管タンク６２は、その内部に溶媒６４を貯留し、外部から正圧を加えることにより、内部の溶媒６４を供給管６３を介して溶媒槽６１に供給するようになされている。
【００４２】
溶媒槽６１に溶媒を貯留させた状態において、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図２）によって溶媒槽６１の上部開口の上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、Ｚ方向移動機構４４（図２）により降下させることにより、図７（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を溶媒槽６１の溶媒６４に浸漬する。これによりノズル面４８に設けられたノズル噴射口５０が乾燥することを防止することができる。
【００４３】
図８（ａ）に示すように、溶剤噴射部７０は、容器７１の内部に設けられた溶剤噴射ユニット７１と、この溶剤噴射ユニット７１にイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）等の溶剤７６を供給する溶剤保管タンク７５とを備えている。溶剤保管タンク７５は、その内部に溶剤７６を貯留し、外部から正圧を加えることにより、内部の溶剤７６を供給管７７を介して溶剤噴射ユニット７２に供給するようになされている。
【００４４】
溶剤噴射ユニット７２を有する容器７１は、支持フレーム７８に固定されたアクチュエータ７９によってＺ方向に上下動自在に支持されている。容器７１においては、溶剤噴射ユニット７２の噴射方向である上部に開口７３を有し、容器７１の外壁部には開口７３を取り囲む位置にパッキン７４が設けられている。
【００４５】
Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図２）によって容器７１の開口７３の上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、アクチュエータ７９によって容器７１をＺ方向に上昇させることにより、図８（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド４２のノズル面４８をパッキン７４を介して容器７１の開口７３に対峙させる。この状態において、溶剤保管タンク７５に貯留された溶剤７６を溶剤噴射ユニット７２に供給することにより、溶剤噴射ユニット７２から開口７３を介してノズル面４８に溶剤７６を噴射させる。これによりノズル面４８を洗浄することができる。
【００４６】
図９（ａ）に示すように、吸引部８０は、上下方向に貫通した吸引孔８１を有する吸引ユニット８２と、この吸引ユニット８２の吸引孔８１に対して負圧を与える吸引タンク８４とを備えている。吸引ユニット８２の吸引孔８１の下部開口と吸引タンク８４とは吸引管８３を介して連通されており、吸引タンク８４に対して外部から負圧を与えることにより、吸引管８３を介して吸引孔８１に負圧を与えることができる。
【００４７】
吸引孔８１の上部は、インクジェットヘッド４２のノズル面４８の形状よりも僅かに大きな開口形状でなり、この開口部分にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を挿入するようになされている。すなわち、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図２）によって吸引孔８１の上部開口の上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、Ｚ方向移動機構４４（図２）により降下させることにより、図９（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を吸引孔８１の上部開口の内部に挿入する。この状態において、吸引孔８１の内壁面とインクジェットヘッド４２の側面との間には、僅かな間隙が形成されることにより、吸引孔８１に負圧を与えると、この間隙を介して外部の空気が貫通孔８１内に吸い込まれる。これによりインクジェットヘッド４２のノズル面４８に付着している溶剤や異物等を除去することができる。
【００４８】
[捨て打ち部の構成]
図１において、インクジェット塗布装置１には、インク液滴の塗布対象である基板３０とは別にインク液滴の捨て打ちを行う噴射対象（捨て打ちパッド９２）が設けられ、この噴射対象に対して捨て打ちを行うようになされている。すなわち、架台２上に立設されたコラム３３ａ、３３ｂ間には、捨て打ち部９０の支持板９１が横架されており、この支持板９１の上面にはＹ方向に複数のガイド溝が延設されている。このガイド溝には捨て打ちパッド９２の下面に設けられたガイド用の突起部（図示せず）が係合され、これにより捨て打ちパッド９２は、ガイド溝にガイドされてＹ方向に移動自在に支持されている。この捨て打ちパッド９２は、Ｙ方向移動モータ（図示せず）を用いた駆動機構によりガイド溝に沿ってＹ方向に移動される。
【００４９】
図１０（ａ）に示すように、捨て打ちパッド９２が支持板９１のガイド溝にガイドされてインクジェットヘッド４２の下方から退避した位置に移動した状態においては、インクジェットヘッド４２の下方に塗布対象である基板３０が露出することにより、インクジェットヘッド４２によって基板３０にインク液滴を塗布することができる。これに対して、図１０（ｂ）に示すように、捨て打ちパッド９２が支持板９１のガイド溝にガイドされてインクジェットヘッド４２の下方に移動した状態においては、捨て打ちパッド９２は、インクジェットヘッド４２と基板３０との間に介挿された状態となり、この状態においてインクジェットヘッド４２から噴射されたインク液滴は、基板３０には塗布されずに捨て打ちパッド９２に塗布される。
【００５０】
制御部１０（図４）は、基板３０へのインク液滴の塗布工程において、インクの塗布が短時間の間休止する場合に、この捨て打ちパッド９２をインクジェットヘッド４２の下方に移動させてインクジェットヘッド４２からインク液滴を噴射させる。これにより、インク塗布工程中においてもノズル５０の乾燥を抑制することができる。
【００５１】
[塗布処理]
インクジェット塗布装置１において、制御部１０は、塗布工程が終了するとインクジェットヘッド４２のノズル面４８を、浸漬部６０の浸漬槽６１（図７）に貯留されている溶媒６４に浸漬させることにより、ノズル５０の乾燥を防止する。
【００５２】
そしてインク塗布工程に入ると、図１１に示すように、制御部１０は、ステップＳ１１においてインクジェットヘッド４２の起動時メンテナンス処理を実行する。この起動時メンテナンス処理において、制御部１０は図１２に示すように、ステップＳ２１において、浸漬槽６１に浸漬されているインクジェットヘッド４２を浸漬槽６１から引き上げた後、ステップＳ２２に移る。
【００５３】
ステップＳ２２において、制御部１０は、溶剤噴射部７０によってインクジェットヘッド４２のノズル面４８に溶剤を噴射することにより、ノズル面４８を洗浄し、これによりノズル面４８に付着している異物や溶媒の残渣を取り除く。
【００５４】
さらに制御部１０は、ステップＳ２３に移って、吸引部８０（図９）によってノズル面４８を吸引することにより、ノズル面４８に付着している溶剤を取り除く。これによりノズル５０からインク液滴が安定して噴射される状態となる。
【００５５】
この状態において、制御部１０は、ステップＳ２５に移って、塗布位置調整部５によって塗布位置の調整を行った後、ステップＳ２５から図１１に示す塗布工程のメインルーチンに戻る。
【００５６】
制御部１０は、メインルーチンに戻ると、ステップＳ１２において基板３０に対するインク液滴の塗布を開始する。この実施の形態の場合、図１３に示すように、インク液滴の塗布対象である基板３０は、液晶パネルのカラーフィルタの基板であり、基板３０上において、表示領域ＡＲ０の周囲の非表示領域ＡＲ１に黒色のインクを塗布してバックライトからの光を遮光する遮光層を成膜する。なお制御部１０は、塗布処理を実行開始すると、インクジェットヘッド４２の圧電素子に対してサブパルスを与え続けることにより、ノズル５０の液面を揺らしてインクの乾燥を抑制するようになされている。
【００５７】
制御部１０は、ステップＳ１２における塗布処理を開始した後、ステップＳ１３においてインク塗布を休止するか否かを判断する。ここで否定結果が得られると、このことは、１枚の基板３０に対するインク塗布工程が終了していないことを意味しており、制御部１０は上述のステップＳ１２に戻って塗布処理を続ける。これに対してステップＳ１３において肯定結果が得られると、このことは、例えば１枚の基板３０に対してインク液滴の塗布が終了して、基板３０の交換等によりインク液滴の塗布を短時間休止することを意味しており、制御部１０はステップＳ１４に移って、捨て打ち部９０（図１０）によって捨て打ちパッド９２をインクジェットヘッド４２の下方に移動させて、この捨て打ちパッド９２にインク液滴を捨て打ちする。これによりインク液滴の噴射を短時間休止する場合であっても、その間に捨て打ちすることでノズル５０の乾燥を抑制することができる。
【００５８】
捨て打ち処理が終了すると、制御部１０は、ステップＳ１５に移って、塗布処理を再開するか否かを判断する。ここで肯定結果が得られると、このことは例えば基板３０の交換等が完了して塗布処理を再開可能であることを意味しており、制御部１０は、上述のステップＳ１２に戻ってインク液滴の塗布を再開する。
【００５９】
これに対してステップＳ１５において否定結果が得られると、このことは例えば基板３０の交換が完了していないか、又はインク塗布工程が終了することを意味しており、制御部１０はステップＳ１６に移る。
【００６０】
ステップＳ１６において、制御部１０は、塗布工程を終了するか否かを判断する。ここで否定結果が得られると、このことは、例えば基板３０の交換中であり、塗布工程は終了しないことを意味しており、制御部１０は、上述のステップＳ１４に戻って捨て打ち処理を繰り返す。これに対してステップＳ１６において肯定結果が得られると、このことは例えばすべての基板３０に対してインク液滴の塗布が終了したことを意味しており、制御部１０は、ステップＳ１７に移って浸漬部６０によってインクジェットヘッド４２のノズル面４８を浸漬槽６１の溶媒６４に浸漬させる。これによりインクの塗布工程が終了した際には、ノズル面４８が溶媒に浸漬されてノズル５０の乾燥が防止される。
【００６１】
以上説明したように、本実施の形態に係るインクジェット塗布装置１においては、インクの液滴を基板３０に塗布する際に、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を洗浄することにより、ノズル５０からインクの液滴を安定して噴射させることができる。またインクの塗布工程が終了した後には、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を、溶媒が貯留された溶媒槽６１に浸漬することにより、ノズル５０の乾燥を防止することができる。
【００６２】
また塗布工程において例えば基板３０を交換する場合等、インク液滴の塗布を短時間休止する場合において、捨て打ちパッド９２に対してインク液滴を捨て打ちすることにより、ノズル５０の乾燥を抑制することができる。さらに塗布工程においてインクジェットヘッド４２の圧電素子に対して常にサブパルスを与えてノズル５０の液面を揺らすことにより、ノズル５０の乾燥を抑制することができる。
【００６３】
これらにより、インクジェット塗布装置１においては、インク液滴の塗布を常に安定して行うことができる。
【００６４】
（その他の実施の形態）
上述の第１の実施の形態においては、吸引部８０を用いてノズル面４８を吸引することにより、ノズル面４８に付着した溶剤や異物を除去する場合について述べたが、吸引部８０に代えて、図１４に示すように、ノズル面４８を拭き取る拭き取り部１００を設けるようにしてもよい。図１４（ａ）において、拭き取り部１００は、メンテナンス部４（図１）の一部に配置され、不織布１０１を巻回した繰り出しローラ１０２と、この繰り出しローラ１０２から繰り出された不織布１０１を位置位置決めするガイドローラ１０２と、不織布１０１を巻き取る巻き取りローラ１０４と、ガイドローラ１０３をばね１０５によって上方に付勢するテンション機構１０６とを備えている。巻き取りローラ１０４は、モータを用いた駆動機構（図示せず）により回転し、不織布１０１を巻き取るようになされている。
【００６５】
制御部１０（図１）は、ガイドローラ１０３によって不織布１０１を位置決めした状態において、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図２）によってガイドローラ１０３の上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、Ｚ方向移動機構４４（図２）により降下させることにより、図１４（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド４２のノズル面４８をガイドローラ１０３に位置決めされた不織布１０１に接触させ、この状態で巻き取りローラ１０４を回転させて不織布１０１を繰り出しローラ１０２からガイドローラ１０３を介して巻き取りローラ１０４に移動させることにより、不織布１０１は、ノズル面４８に接触しながら移動する。これにより不織布１０１によってノズル面４８が拭き取られる。このようにしてノズル面４８を拭き取ることにより、吸引部８０（図９）によって吸引する場合と同様にしてノズル面４８に付着した溶剤や異物を除去することができる。
【００６６】
また上述の実施の形態１の吸引部８０に代えて、ノズル面４８に対してエアブローを行うことにより、ノズル面４８に付着した溶剤や異物を除去するようにしてもよい。この場合、例えば図１５（ａ）に示すように、メンテナンス部４（図１）の一部に気体を噴射する気体噴射部１１０を設け、インクジェットヘッド４２をこの気体噴射部に位置決めして気体を噴きつけるようにする。気体噴射部１１０は、メンテナンス部４のフレームに固定された気体噴射ノズル１１１と、この気体噴射ノズル１１１に気体を供給するバルブ１１２とを備え、制御部１０（図１）は、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構４５（図２）によって気体噴射ノズル１１１の上方にインクジェットヘッド４２のノズル面４８を位置決めした後、Ｚ方向移動機構４４（図２）により降下させることにより、図１５（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド４２のノズル面４８を気体噴射ノズル１１１に接近させ、この状態でバルブ１１２を開くことにより、ノズル面４８に気体を噴きつける。これにより吸引部８０（図９）によって吸引する場合と同様にしてノズル面４８に付着した溶剤や異物を除去することができる。
【００６７】
また吸引部８０による吸引、拭き取り部１００による拭き取り及び気体噴射部によるエアブローのうち２つ以上を併用するようにしてもよい。
【００６８】
また上述の第１の実施の形態においては、捨て打ちパッド９２をインクジェットヘッド４２の下方に移動させて捨て打ちを実行する場合について述べたが、例えば捨て打ちパッド９２をメンテナンス部４に配置し、インクジェットヘッド４２を捨て打ちパッド９２の上方に移動させて捨て打ちを実行するようにしてもよい。
【００６９】
また上述の第１の実施の形態においては、起動時にメンテナンス部４によるインクジェットヘッド４２のノズル面４８を洗浄する場合について述べたが、塗布工程において、例えば基板３０を交換する場合等に随時ノズル面４８の洗浄を行うようにしてもよい。また定期的に塗布位置調整部５によってインク液滴の着弾径を計測し、この着弾径が予め設定される規定の大きさよりも小さくなった場合にメンテナンス部４によるノズル面４８の洗浄を行うようにしてもよい。またこの場合、図４について上述した塗布位置の調整を行うようにしてもよい。
【００７０】
また例えばノズル面４８を覆う位置及びこの覆う位置から退避した位置の間で進退可能に支持されるキャップを設け、インク液滴の噴射を休止する間にキャップによりノズル面４８を覆うことにより、ノズル５０の乾燥を抑制するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るインクジェット塗布装置を示す斜視図である。
【図２】図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドユニットを示す斜視図である。
【図３】図１のインクジェット塗布装置のインクジェットヘッドを示す斜視図である。
【図４】図１のインクジェット塗布装置の制御部を示すブロック図である。
【図５】図１のインクジェット塗布装置における塗布位置調整部による調整処理の説明に供する略線図である。
【図６】図１のインクジェット塗布装置におけるメンテナンス部とインクジェットヘッドを示す略線図である。
【図７】図１のインクジェット塗布装置における浸漬部を示す断面図である。
【図８】図１のインクジェット塗布装置における溶剤噴射部を示す断面図である。
【図９】図１のインクジェット塗布装置における吸引部を示す断面図である。
【図１０】図１のインクジェット塗布装置における捨て打ち部９０を示す側面図である。
【図１１】図１のインクジェット塗布装置における制御部の処理手順を示すフローチャートである。
【図１２】図１１の起動時メンテナンス処理手順を示すフローチャートである。
【図１３】インク液滴の塗布対処を示す略線図である。
【図１４】他の実施の形態に係る拭き取り部を示す側面図である。
【図１５】他の実施の形態に係る気体噴射部を示す側面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１…インクジェット塗布装置、２…架台、３…インク塗布部、４…メンテナンス部、１０…制御部、１１…インク噴射制御回路、１２…モータ駆動回路、１３…Ｙ方向カウンタ、１４…Ｘ方向カウンタ、１５…θ方向カウンタ、１８…ノズル駆動回路、３０…基板、４０…インクジェットヘッドユニット、４２…インクジェットヘッド、４８…ノズル面、５０…ノズル、６０…浸漬部、７０…溶剤噴射部、８０…吸引部、９０…捨て打ち部、１００…拭き取り部、１１０…気体噴射部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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