(57)【要約】【課題】  光情報記録媒体の反射率の面内均一性が良好な片面二層記録再生タイプの光記録媒体を提供する。【解決手段】  少なくとも有機色素からなる第１記録層２と半透過性の第１反射層３が積層された第１情報層を有する第１基板１と、少なくとも第２反射層７と有機色素からなる第２記録層６が積層された第２情報層を有する第２基板８とが、透明中間層４を介して互いに積層膜が対向するように貼り合わせられ、情報を光学的に記録・再生する光記録媒体であって、前記第１反射層３の内周側の膜厚を中外周側の膜厚より厚くする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも有機色素からなる第１記録層と半透過性の第１反射層が積層された第１情報層を有する第１基板と、少なくとも第２反射層と有機色素からなる第２記録層が積層された第２情報層を有する第２基板とが、透明中間層を介して互いに積層膜が対向するように貼り合わせられ、情報を光学的に記録・再生する光記録媒体であって、
前記第１反射層の内周側の膜厚が中外周側の膜厚より厚いことを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
前記第１反射層の中周側の膜厚が外周側の膜厚より厚いことを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ビームを照射することにより情報の記録・再生を行う光記録媒体に関し、特に追記型情報記録層を二つ有する二層ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｉｄｅｏ  Ｄｉｓｃ又はＤｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）に応用されるものである。
【背景技術】
【０００２】
読み出し専用のＤＶＤ−ＲＯＭなどの光記録媒体に加えて、記録可能なＤＶＤ（ＤＶＤ＋ＲＷ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭなど）が実用化されている。このＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ＋ＲＷなどは、従来の記録可能なＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ（記録型コンパクトディスク）技術の延長上に位置するもので、再生専用ＤＶＤとの再生互換性を確保するために、記録密度（トラックピッチ、信号マーク長）と基板厚さがＣＤ条件からＤＶＤ条件に合うように設計されている。
【０００３】
例えばＤＶＤ＋Ｒでは、ＣＤ−Ｒと同様に基板上に色素をスピンコーティングして光記録層を設け、その背後に金属反射層を設けた情報記録用基板を、貼り合せ材を介して同形状の基板と貼り合わせるという構成が採用されている。この場合、光記録層としては色素系材料が用いられる。ＣＤ−ＲはＣＤの規格を満足する高反射率（６５％）を有することが特徴の一つであるが、上記構成において高反射率を得るためには、光吸収層でもある光記録層が記録再生光波長で特定の複素屈折率を満足する必要がある。色素の光吸収特性は上記の要件に適しているため、光記録層として色素系材料が用いられるのである。これはＤＶＤでも同様である。
【０００４】
ところで、読み出し専用ＤＶＤでは、記録容量を増大させるために、２層の情報記録層を有するものが提案されている。図１は、このような２層の情報記録層を有するＤＶＤの構造を示す断面図である。基板１１と基板１２は、紫外線硬化樹脂で形成された透明中間層１５を挟んで貼り合わされている。基板１１の凹凸ピットを形成した内側の面には、第1の情報記録層である半透過層１３が形成されており、基板１２の内側の面には反射層１４が形成されている。半透過層１３は誘電体膜又は薄い金属膜からなる。反射層１４は第２の情報記録層を兼ねており、金属膜などからなる。
【０００５】
上記読み出し専用ＤＶＤでは、再生レーザー光を反射・干渉する効果により各情報記録層に記録された記録信号を読み取る。２つの情報記録層から信号を読み取るため、最大８．５ＧＢ程度の記憶容量が得られる。また、基板１１及び基板１２の厚みはそれぞれ０．６ｍｍであり、透明中間層１５の厚みは約５０μｍである。第１の情報記録層である半透過層１３は、その反射率が３０％程度となるように形成されており、第２の情報記録層である反射層１４を再生するために照射されるレーザー光は半透過層１３で全光量の約３０％が反射して減衰したのち、第２の情報記録層である反射層１４で反射し、更に半透過層１３で減衰を受けた後、ディスクから出ていく。再生光であるレーザー光をそれぞれ第１又は第２の情報記録層上に焦点が位置するように絞り、反射光を検出することによって各情報記録層の信号を再生することができる。なおＤＶＤの場合、記録再生に用いるレーザー光波長は約６５０ｎｍである。
【０００６】
しかしながら、前記の記録可能なＤＶＤ、即ちＤＶＤ＋ＲやＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷなどでは、片面から読み取れる情報記録層が一層のものしかなく、これらの光情報媒体でより大きな記憶容量を得るためには、両面から再生するものとする必要があった。その理由は、片面２層記録再生タイプの光情報媒体は、情報記録層が二層あるため、光学ピックアップから奥の情報記録層に焦点を当て書き込み用レーザー光を照射して信号を記録するとき、第１の情報記録層がレーザー光を減衰させるために第２の情報記録層の記録に必要な光吸収と光反射が両立できないという問題があった。
【０００７】
上記の問題に対応する技術として、特許文献１には、半透明反射膜を有する情報層と反射膜を有する情報層を有する片面二層記録再生タイプの光学記録媒体であって、半透明反射膜の材料としてＡｇを主成分としＡｕなどを添加した合金を用いたものが開示されている。しかし、色素記録層を用いた媒体に関する具体的説明は全くなく、当然ながら、本発明の課題である、第１情報記録層からの反射率不均一に関する本発明の課題及びその解決手段についても全く記述はない。
特許文献２にも、記録時に有機色素からなる二つの情報記録層に光記録媒体の片面から書き込みできるようにし、再生時にも光記録媒体の片面から二つの情報記録層の読み取りをする構成の光記録媒体が開示されているが、具体例としては従来の基板面入射記録構成と記録膜面入射構成の二種の基板を貼り付けた構成に留まっており、本発明の課題に対する記述はない。
特許文献３はスピンコート法で色素記録層を形成する際に色素膜厚やグルーブへの埋まり具合を厳密に均一にすることが困難なことからグルーブ深さとグルーブ幅を内周から外周にかけて変化させる光記録媒体媒体が開示されているが、反射層は十分に厚く反射層による反射率は均一であることから本発明とは異なる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１４０８３８号公報
【特許文献２】特開平１１−６６６２２号公報
【特許文献３】特開平０５−１９８０１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、上記問題点を解消し、二つの情報記録層から良好な記録信号特性が得られる、片面二層記録再生タイプの光記録媒体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するため、二つの情報記録層から良好な記録信号特性が得られる片面二層記録再生タイプの光記録媒体を提供すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明に到った。以下、本発明について具体的に説明する。
【００１１】
本発明は、少なくとも有機色素からなる第１記録層と半透過性の第１反射層が積層された第１情報層を有する第１基板と、少なくとも第２反射層と有機色素からなる第２記録層が積層された第２情報層を有する第２基板とが、透明中間層を介して互いに積層膜が対向するように貼り合わせられ、情報を光学的に記録・再生する光記録媒体であって、
前記第１反射層の内周側の膜厚が中外周側の膜厚より厚いことを特徴とする光記録媒体である。
また本発明においては、前記第１反射層の中周側の膜厚が外周側の膜厚より厚いことを好適とする。
【００１２】
前述したように、従来技術では第１情報記録層がレーザー光を減衰させるために、第２情報記録層の記録に必要な光吸収と光反射を両立させることが難しい。この問題を解決するための手段として、半透過性の第１反射層を薄くする必要があり、その場合には反射率を全面にわたって均一にするために半透過性反射層の膜厚を均一にすることが考えられるが、基板の内周側および外周側におけるグルーブ形状の違いや色素膜厚及び色素のグルーブに対する埋まり具合により反射率は均一にはならない。本発明では基板のグルーブ形状内外差に対応した半透過性反射層の膜厚分布を持たせることによりこの問題を解決したものである。即ち、本発明では、グルーブ幅、グルーブ深さの内周側と外周側の違いによる反射率の相違をキャンセルさせるような半透過性反射層の膜厚分布形状、すなわち第１反射層の内周側の膜厚を中外周側の膜厚より厚くさせることにより、光記録媒体の未記録信号特性及び記録後信号特性の均一性を向上することができる。
また、第１反射層の中周側の膜厚を外周側の膜厚より厚くさせることにより、より光記録媒体の未記録信号特性及び記録後信号特性の均一性を向上することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、光情報記録媒体の反射率の面内均一性が良好な片面二層記録再生タイプの光記録媒体を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施の形態について、図を参照しながら説明する。
本発明の光記録媒体の層構成例を図２に示す。
光案内溝を有する表面に、有機色素からなる第１記録層２と半透過性の第１反射層３を順次積層した第１情報層を有する第１基板１と、光案内溝を有する表面に、第２反射層７、有機色素からなる第２記録層６、バリア層（光透過性保護層）５を順次積層した第２情報層を有する第２基板８とを、透明中間層４を介して互いに積層膜が対向するように記録層を内側にして貼り合わせ、第１基板側からレーザー光を照射することにより、第１及び第２記録層に対して信号情報の記録再生を行う光記録媒体である。
第１反射層３を合金で形成するか、合金と金属又は半金属の酸化物及び／又は窒化物の混合物で形成するか、金属又は半金属の単体、酸化物、窒化物から選ばれた少なくとも２種の混合物で形成することにより、欠陥が少なく信頼性が高い光記録媒体を得ることができる。
【００１５】
半透過性の第１反射層３は、記録再生レーザー光に対する光透過率を３０〜６０％、光反射率を１５〜３５％とする必要がある。この数値範囲を外れると、光透過率が低すぎて第２記録層６の記録再生が難しくなるか、光反射率が低すぎて第１記録層２の記録再生が難しくなり、良好な片面二層記録再生が難しくなる。
上記数値範囲とするには、後述する材料の中から適宜選択した材料に合わせて膜厚を選択すればよい。膜厚は、通常５〜３０ｎｍとする。５ｎｍより薄くなると、第１記録層２の特性の劣化防止が難しくなるので好ましくなく、３０ｎｍを超えると、上記光透過率を満足させることが難しくなる。
【００１６】
第１情報層については、第１基板１上に形成した第１記録層２、第１反射層３を第２基板と貼り合わせた従来の単一記録層媒体（ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ−Ｒなど）と同様の構成とすることにより、第１記録層２の上下両界面の多重干渉効果とマーク形成時の基板変形により反射率と記録信号変調度（コントラスト）を得る。
【００１７】
更に、第１情報層とは構成が異なる第２情報層については、基板溝形状と有機色素からなる第２記録層６の光吸収特性により、反射率と記録信号変調度（コントラスト）を得ると共に、変形し難い無機層（第２反射層７とバリア層５）間に第２記録層を配置することにより記録マーク形状を整えることが好ましい。
【００１８】
上記の効果を得るためには、第２記録層の膜厚を第１記録層の膜厚の１．５〜２．５倍にすることが好ましい。記録層の膜厚比がこの範囲から外れると、記録マークの広がり易さが異なることにより、二つの記録層を同じ記録ストラテジ（記録レーザーの発光パルスパターン）で記録することが難しくなる。なお、有機色素からなる記録層の製膜方法は、塗布溶媒に溶解した色素をスピンコートする方法が一般的であり、案内溝を形成した基板上に製膜した場合は、グルーブ部とグルーブ間部で色素膜厚差が生じる。
【００１９】
図２に示したように、第１基板１と第２基板８に形成するグルーブ形状は同一ではない。４．７ＧＢ、０．７４μｍピッチのＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ−Ｒの場合、第１基板１のグルーブ形状は、グルーブ深さ：１０００〜２０００Å、グルーブ幅（底幅）：０．２〜０．３μｍが好ましい。スピンコート製膜の場合にはグルーブ内に色素が充填される傾向があるため、第１記録層２と第１反射層３の界面形状はこの充填量と基板溝形状により決定されるので、界面反射を利用するには上記範囲が適している。
【００２０】
一方、第２基板８のグルーブ形状は、グルーブ深さ：２００〜６００Å、グルーブ幅：０．２〜０．４μｍが好ましい。図２に示したように第２記録層６と第２反射層７の界面形状は基板溝形状で決定されるので、界面反射を利用するには上記範囲が適している。
【００２１】
第１基板１、第２基板８共に、上記溝形状範囲よりもグルーブ深さが深いと反射率が低下し易い。また、上記溝形状範囲よりもグルーブ深さが浅いか又はグルーブ幅がずれると、形成される記録マークの形状が揃い難く、ジッターが増加し易い。
【００２２】
ＤＶＤ＋Ｒは、ＤＶＤ−ＲＯＭとの再生互換をとるためにグルーブと呼ばれるトラッキング用案内溝がウォブルと呼ばれる蛇行をすることによってアドレス信号を形成しており、ウォブル周期はデータクロックの３２倍、即ち、約８１８ｋＨｚとなっている。このウォブルとデータセクターの関係は、１つのデータセクター内に２６個あるＥＦＭ  Ｓｙｎｃ  Ｆｒａｍｅ（８−１４変調・シンク・フレーム）のうち、２個のＥＦＭ  Ｓｙｎｃ  Ｆｒａｍｅに９３個のウォブルが対応している。この９３個のウォブルのうち８個は、ＡＤＩＰ  Ｕｎｉｔ（アドレス・イン・プレグルーブ・ユニット）と呼ばれる位相変調部分と、８５個のモノトーンウォブルから構成されており、データセクターのＳｙｎｃ部分が１６個目のウォブルに位置する関係となっている。更に、データのエラー訂正ブロックである１つのＥＣＣ  Ｂｌｏｃｋ（エラー訂正コード・ブロック）の中にＡＤＩＰ  Ｗｏｒｄ（ワード）という基本単位でアドレスが４つ入るという配置になっている。即ち４つのデータセクターに１つのアドレスが入ることになる。また、ＡＤＩＰ  Ｗｏｒｄは、１つのＡＤＩＰ  Ｓｙｎｃ  Ｕｎｉｔ（シンク・ユニット）と５１のＡＤＩＰ  Ｄａｔａ  Ｕｎｉｔ（データ・ユニット）から構成され、それぞれのＵｎｉｔは前記９３のウォブルに対応している。前記５１個のＡＤＩＰ  Ｄａｔａ  Ｕｎｉｔの内訳は１ｂｉｔ（ビット）はリザーブ、２ｂｉｔから２３ｂｉｔはアドレス情報となるＡＤＩＰ  Ｄａｔａ  Ｂｉｔ、２４ｂｉｔから３１ｂｉｔまでの８ｂｉｔはディスクに関する各種情報を入れるための補助データ、３２ｂｉｔから５１ｂｉｔまでの残りの２０ｂｉｔはエラー訂正用のＰａｒｉｔｙ  ｂｉｔ（パリティ・ビット）という構成になっている。
ＤＶＤ−Ｒにおいては、プリフォーマットはＤＶＤ＋Ｒと同様にウォブルグルーブによる連続溝かつＣＬＶの形ではあるが、ウォブル信号は変調無しの単一周波数（１８６Ｔ周期）信号で、またアドレス信号はグルーブ間のランドプリピットによる方式を採用している。
【００２３】
記録層２，６において、好ましい膜厚は、第１記録層２（溝部）で４０〜１０００Åであり、第２記録層６（溝間部）で６００〜３０００Åである。色素膜厚がこの範囲よりも薄いと信号変調度（コントラスト）が得難く、反対に厚いとマークの形状が揃い難くジッターが増加し易いためである。
【００２４】
以下、本発明の光記録媒体に用いる材料について具体的に説明する。
本発明の光記録媒体は、ＤＶＤ＋Ｒ、ＣＤ−Ｒと同様に有機色素からなる記録層の上下両界面の多重干渉効果により、高反射率を得る構成となっており、有機色素からなる記録層としては記録再生波長にて屈折率ｎが大きく、吸収ｋが比較的小さい光学特性が必要である。好ましい範囲はｎ＞２、０．０３＜ｋ＜０．２である。このような光学特性は、色素膜の光吸収帯の長波長端部の特性を利用することにより得られる。
【００２５】
第１、第２記録層２，６に用いることができる有機色素材料としては、例えば、シアニン系色素、フタロシアニン系色素、ピリリウム系・チオピリリウム系色素、アズレニウム系色素、スクアリリウム系色素、アゾ系色素、ホルマザンキレート系色素、Ｎｉ、Ｃｒなどの金属錯塩系色素、ナフトキノン系・アントラキノン系色素、インドフェノール系色素、インドアニリン系色素、トリフェニルメタン系色素、トリアリルメタン系色素、アミニウム系・ジインモニウム系色素、ニトロソ化合物を挙げることができる。
更に、必要に応じて他の第３成分、例えばバインダー、安定剤等を含有させることができる。中でも、膜の光吸収スペクトルの最大吸収波長が５８０〜６２０ｎｍにありＤＶＤ用レーザー光波長（約６５０ｎｍ）にて所望の光学特性が得易い色素化合物としては、溶剤塗布による製膜性、光学特性の調整のし易さから、フタロシアニン色素、シアニン色素、アゾ色素、スクアリリウム色素から選ばれる少なくとも１種の色素であることが好ましい。
【００２６】
本発明で用いる基板１，８の材料としては、従来の情報記録媒体に用いられている各種の材料の中から任意に選択することができる。その例としては、ポリメチルメタクリレートのようなアクリル樹脂、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体等の塩化ビニル系樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート樹脂、アモルファスポリオレフィン、ポリエステル、ソーダ石灰ガラス等のガラス及びセラミックスを挙げることができる。特に寸法安定性、透明性、平面性などの点から、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート樹脂、エポキシ樹脂、アモルファスポリオレフィン、ポリエステル及びガラスなどが好ましいが、成形のし易さからはポリカーボネート樹脂が最も好ましい。
【００２７】
半透過性の第１反射層３の材料としては、レーザー光波長に対する反射率の高い物質が好ましく、その例としては、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｉｎから選ばれた少なくとも１種の金属及び半金属を挙げることができるが、中でも、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕの何れかを主成分とし、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｉｎから選ばれた少なくとも１種を０.１〜１０重量％添加した合金が好ましい（合金であるから、当然ながらＡｕとＡｕ、ＡｇとＡｇ、ＣｕとＣｕの組合せは除く）。添加金属を０．１重量％以上添加することにより、結晶粒が微細化し耐蝕性に優れた薄膜となる。しかし、１０重量％を超えて添加すると反射率が低下するため好ましくない。母材としては原材料価格が安くスパッタレートが高いＡｇが最も好ましく、添加物としてはＡｕ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｉｎが屈折率が小さく吸収係数が大きいため特に好ましい。Ａｇは全元素中最もｎが小さく光利用効率が最も高いため、その特性を損なわないようにするためには添加物の総量は５ｗｔ％以下にすることが特に好ましい。
【００２８】
また、第１反射層３の化学的・物理的保護のために、第１反射層上に第１オーバーコート層を設けても良い。これらの材料としては紫外線硬化樹脂（例、アクリル樹脂）などを用いることができる。
【００２９】
本発明では、有機色素からなる第１記録層２と樹脂からなる透明中間層４又は第１オーバーコート層が、極めて薄い第１反射層３を介して接するため、樹脂層の成分が第１反射層３を介して第１記録層２の有機色素と相溶したり反応したりしないことが必要である。純金属薄膜のように第１反射層３の結晶粒が大きい場合には、薄膜が島状になり易く、また粒界から樹脂などが浸透し易いので第１記録層２の特性が劣化してしまう。
【００３０】
第２記録層６と透明中間層４の間には、色素からなる第２記録層６を化学的及び物理的に保護する目的でバリア層（光透過性保護層）５を設けてもよい。バリア層５に用いる材料の例としては、ＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＭｇＦ2、ＳｎＯ2、ＺｎＳ、ＺｎＳ−ＳｉＯ2等の光透過性が高い無機物質を挙げることができる。バリア層の膜厚は１００〜２０００Åの範囲にすることが必要である。
【００３１】
透明中間層４は接着層として用いることが好ましく、その材料としては既存のアクリレート系、エポキシ系、ウレタン系の紫外線硬化型又は熱硬化型接着剤等が使用できる。更に、透明シートにより貼り合わせる方法でも良い。
【００３２】
また、バリア層５と透明中間層４の間には、化学的・物理的保護のためアクリル、エポキシ系紫外線硬化型樹脂等により第２オーバーコート層を設けても良い。
【００３３】
光記録媒体のプラスチック基板は、射出成形、あるいは射出圧縮成形法により製造されるのが一般的である。これは射出成形機を用い、その固定金型本体と可動側金型本体間との間のキャビティ内にピットあるいは、グルーブ等のパターン形状が形成されたスタンパを配置し、キャビティ中央からキャビティ内へ溶融した樹脂を射出して冷却することによりそのスタンパのピットやグルーブが一面に転写された光記録媒体用基板を成形する射出成形方法により製造される。したがって樹脂がキャビティ内に行き渡った時点での樹脂の温度は内周ほど高く外周は低い傾向がある。そのため冷却して成形された基板は内周ほどスタンパのグルーブ形状を完全に転写し、外周では転写が不完全になる。すなわち基板のグルーブ形状は内周でグルーブが深く、開口部幅が狭い、断面の角度が急になる傾向がある。そのため完成した光記録媒体の信号特性では内周の未記録反射率および記録後Ｒ１４Ｈ（１４Ｔスペース反射率）が小さい、ＰＰＡ（プッシュプルアンプリチュード）が大きい、ウォブルＣ／Ｎが大きいという特徴がある。したがって例えばＤＶＤ+Ｒ  ＤＬ規格にあるようなプッシュプル均一性：（ＰＰｍａｘ−ＰＰｍｉｎ）／（ＰＰｍａｘ＋ＰＰｍｉｎ）＜０．１５あるいは記録後反射率均一性：（Ｉ１４Ｈｍａｘ−Ｉ１４Ｈｍｉｎ）／Ｉ１４Ｈｍａｘ≦０.２５等が規格に入らないという問題が生じる。
【００３４】
本発明においては、上記した問題点を解決するため、第１反射層３の内周側の膜厚を中外周側の膜厚よりも厚くさせる。膜厚の分布は連続であっても不連続であっても良い。また、膜厚分布は、結果的に内周側の膜厚が、それより外側にあたる周面の膜厚と比較して厚ければよく、その位置関係を特定するものではない。
【００３５】
第１反射層３の形成方法としては、半透過性の第１反射層の材料として、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕの何れかを主成分とする合金を用いる場合には、母材となる高反射率金属に、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｉｎから選ばれた少なくとも１種を１〜１０重量％添加したターゲットを用いて、圧力０．０１Ｐａから数ＰａのＡｒ雰囲気下、１〜２０Ｗ／ｃｍ２のパワーでスパッタリングすることにより合金反射層を形成することができる。
【００３６】
ここで、半透過性反射層（第１反射層）膜厚に内外差特に内周膜厚を厚くするためには例えば以下の方法が可能である。
（１）図３のように、ターゲット表面形状に段差をつけ、内周の基板−ターゲット間距離を小さくする。図３中、（ａ）はターゲットの平面図であり、（ｂ）はターゲットの断面図である。ＤＶＤの場合基板の直径は１２０ｍｍであり、バッキングプレート３２上のターゲット３１の外径Ｂは１８０から２００ｍｍ程度であり、Ａは３０から１００ｍｍ程度が、段差Ｃは２から５ｍｍ程度が好ましく、内周の膜厚を中周及び外周より相対的に２−１０％厚くすることができる。
（２）図４のように、内周側のターゲット４１と外周側のターゲット４３に分割し、それぞれのターゲットに異なるスパッタリング電源で異なる電力を供給することにより内周を厚くすることができる。図４中、（ａ）はターゲットの平面図であり、（ｂ）はターゲットの断面図である。内側ターゲット４１の外径Ｄは４０から１１０ｍｍ程度が好ましく、（内側ターゲット４１のパワー密度）／（外側ターゲット４３のパワー密度）は１．０５から１．４が好ましい。
（３）ＤＣマグネトロンスパッタの場合には内周の磁束密度を外周に比べ高くすることで内周の膜厚を中周及び外周より厚くすることができる。
（４）図５のような膜厚補正板５１を基板５２の外周より外に挿入しターゲット５３の外周からのスパッタ粒子を基板に到達しないようにすることで内周の膜厚を中周及び外周より厚くすることができる。図中、５４はバッキングプレートであり、５５および５６は反射層の非形成部をマスクするための内マスクおよび外マスクである。
【実施例】
【００３７】
以下、実施例及び比較例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
【００３８】
実施例１
直径１２０ｍｍ、厚さ０．５７ｍｍのポリカーボネート基板の表面上に、深さ約１５０ｎｍ、溝幅約０．２５μｍ、トラックピッチ０．７４μｍの案内溝凸凹パターンを有する第１の基板を用意し、スクアリリウム色素化合物とホルマザンキレート色素を７：３の割合で混ぜて、２，２，３，３−テトラフルオルプロパノールに溶解し、塗布液としてスピンコートすることにより第１の記録層を設けた。この記録層の最大吸収波長は６０９ｎｍ、最大吸収波長での吸光度（Ａｂｓ）は０．６５であった。このときのグルーブ部の記録層膜厚は６０ｎｍであった。
更に、第１の記録層の上に、Ａｒをスパッタガスとし、上記（１）の方法で半透過性反射層（第１反射層）を形成した。すなわち、図３においてＡ＝８０ｍｍ、Ｂ＝２００ｍｍ、Ｃ＝３ｍｍの形状のターゲットを用いて、Ａｇ０.９９５Ｉｎ０.００５ｗｔ％組成のスパッタリングターゲットでスパッタリングを行い半透過性反射層を形成した。スパッタリングはＵｎａｘｉｓ社製スパッタリング装置Ｂｉｇ  Ｓｐｒｉｎｔｅｒを用いて、Ａｒ流量２０ｓｃｃｍ、スパッタリングパワー０．５ｋＷで行い、スパッタリングレートは概ね５．５ｎｍ／ｓとした。
上記スパッタリング条件と同じ条件でグルーブのない厚さ０.６ｍｍのポリカーボネート基板にスパッタリングしたＡｇＩｎ合金薄膜について、Ｓｔｅａｇ社製ＥＴＡ−ＲＴを用いて膜厚分布を測定したときの、半径２３ｍｍの膜厚（平均膜厚１２ｎｍ）を１としたときの半径方向分布を図６に示す。
【００３９】
一方、直径１２０ｍｍ、厚さ０．６０ｍｍのポリカーボネート基板の表面上に、深さ約２０ｎｍ、溝幅約０．２５μｍ、トラックピッチ０．７４μｍの案内溝凸凹パターンを有する第２基板を用意し、Ａｒをスパッタガスとして、スパッタ法によりＡｇを約１４０ｎｍの厚さに設け第２反射層を形成した。スパッタリングは第１の反射層と同じ装置を用いてＡｒ流量２０ｓｃｃｍ、スパッタリングパワー３．５ｋＷで行い、スパッタリングレートは３０ｎｍ／ｓとした。
更に、第２反射層上に、スクアリリウム色素化合物を吸光度が１．１の膜厚となるようにスピンコート製膜して第２記録層を形成し、その上にＡｒをスパッタガスとして、スパッタ法によりＺｎＳ−ＳｉＯ2を約１５０ｎｍの厚さに設けてバリア層を形成した。
次いで、上記製膜済みの第１基板と第２基板を、紫外線硬化型接着剤（日本化薬社製  ＫＡＲＡＹＡＤ  ＤＶＤ００３）で貼り合わせ、図２に示す層構成の光記録媒体を得た。
【００４０】
この光記録媒体について、ＤＶＤ用評価装置（パルステック社ＤＤＵ１０００、波長：６５７ｎｍ、ＮＡ：０．６５）を用いて線速度９．２ｍ／ｓの条件で記録パワーを変化させながらＤＶＤ（８−１６）信号を記録し、３．８ｍ／ｓの線速度で再生評価したところ、図７のような反射率分布が得られた。なお、記録ストラテジは（ｎ−２）Ｔのマルチパルス方式とし、マルチパルス幅を１０／１６とした。
以上によりＤＶＤ+Ｒ  ＤＬの規格である（Ｉ１４Ｈｍａｘ−Ｉ１４Ｈｍｉｎ）／Ｉ１４Ｈｍａｘは０.１２となり十分に規格内であった。
【００４１】
実施例２
実施例１と同様にして、第１の記録層の上に、上記（２）で述べたような内周と外周に分割した同軸上カソードを用い、Ａｒをスパッタガスとして半透過性反射層を形成した。より詳しくは、上記（２）においてＤ＝１００ｍｍ、Ｅ＝１０４ｍｍ、Ｆ＝２００ｍｍの形状のターゲットを用いて、Ａｇ０.９９５Ｉｎ０.００５ｗｔ％組成のスパッタリングターゲットでスパッタリングを行い半透過性反射層を形成した。このときＡｒ流量２０ｓｃｃｍ、内側スパッタリングパワー０．１８ｋＷで行い、外側スパッタリングパワー０．４ｋＷで行い、スパッタリングレートは概ね６.０ｎｍ／ｓとした。
上記スパッタリング条件と同じ条件でグルーブのない厚さ０.６ｍｍのポリカーボネート基板にスパッタリングしたＡｇＩｎ合金薄膜を実施例１と同様にしてＳｔｅａｇ社製ＥＴＡ−ＲＴを用いて膜厚分布を測定したところ、平均膜厚１２ｎｍで図６のような半径方向分布を有する膜が得られた。
この記録媒体について実施例１と同様に評価したところ、図７のような反射率分布が得られ、（Ｉ１４Ｈｍａｘ−Ｉ１４Ｈｍｉｎ）／Ｉ１４Ｈｍａｘは０.０７となり十分に規格内であった。
【００４２】
比較例
半透過性反射層をＢｉｇ  Ｓｐｒｉｎｔｅｒの直径２００ｍｍ厚さ６ｍｍの形状のターゲットでＡｒ流量４０ｓｃｃｍパワー０．４ｋＷでＡｇＩｎターゲットをスパッタリングした場合、膜厚均一性は図６のように非常に良いが、記録後反射率分布は２８％となり、規格外であった。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】二層の情報記録層を有するＤＶＤの構造を示す断面図である。
【図２】本発明の光記録媒体の層構成例を示す断面図である。
【図３】本発明の光記録媒体における第１反射層の形成に用いられるターゲット形状の例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図４】本発明の光記録媒体における第１反射層の形成に用いられる分割ターゲット形状の例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図５】本発明の光記録媒体における第１反射層の形成に用いられる膜厚補正板形状の一例を示す説明図である。
【図６】半径２３ｍｍの膜厚で規格化した膜厚の径方向分布を示す図である。
【図７】半径２３ｍｍの記録後反射率Ｉ１４Ｈで規格化した記録後反射率Ｉ１４Ｈの径方向分布を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  第１基板
２  第１記録層
３  第１反射層
４  透明中間層
５  光透過性保護層
６  第２記録層
７  第２反射層
８  第２基板
１１  基板
１２  基板
１３  半透過層
１４  反射層
１５  透明中間層
３１  ターゲット
３２  バッキングプレート
４１  ターゲット
４２  バッキングプレート
４３  ターゲット
４４  バッキングプレート
５１  補正板
５２  基板
５３  ターゲット
５４  バッキングプレート
５５  内マスク
５６  外マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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