(57)【要約】【課題】ナノクリスタルを有する不揮発性メモリ素子の製造方法を提供する。【解決手段】半導体基板を準備する段階と、前記半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成する段階とを具備する。続いて、前記トンネル絶縁膜を有する半導体基板を原子層蒸着装置内に入れて、原子層蒸着工程サイクルを進行して前記トンネル絶縁膜上にナノクリスタルを形成する。前記ナノクリスタルの大きさを確認しながら、前記原子層蒸着工程サイクルを複数回繰り返して要求する大きさの前記ナノクリスタルを形成する。前記ナノクリスタルを有する半導体基板上に制御ゲート絶縁膜を形成して、前記制御ゲート絶縁膜を有する半導体基板上に制御ゲート電極を形成する。【選択図】  図１
2006066896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板を準備する段階と、
前記半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成する段階と、
前記トンネル絶縁膜を有する半導体基板を原子層蒸着装置内に入れる段階と、
原子層蒸着工程サイクルを複数回実行して前記トンネル絶縁膜上にナノクリスタルを形成する段階と、
前記ナノクリスタルを有する半導体基板を原子層蒸着装置から取り出す段階と、
前記ナノクリスタルを有する半導体基板上に制御ゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記制御ゲート絶縁膜を有する半導体基板上に制御ゲート電極を形成する段階とを含む不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項２】
前記トンネル絶縁膜は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ハフ二ウム酸化膜（ＨｆＯ）、ハフ二ウムシリコン酸化膜（ＨｆＳｉＯ）、ジルコ二ウム酸化膜（ＺｒＯ）、ジルコ二ウムシリコン酸化膜（ＺｒＳｉＯ）、及びガドリウム酸化膜（ＧｄＯ）からなる一群から選択された一つの膜で形成することを特徴とする請求項１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項３】
前記トンネル絶縁膜は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ハフ二ウム酸化膜（ＨｆＯ）、ハフ二ウムシリコン酸化膜（ＨｆＳｉＯ）、ジルコ二ウム酸化膜（ＺｒＯ）、ジルコ二ウムシリコン酸化膜（ＺｒＳｉＯ）、及びガドリウム酸化膜（ＧｄＯ）からなる一群から選択された少なくとも二つの積層膜、または混合物質で形成することを特徴とする請求項１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項４】
前記原子層蒸着工程サイクルは、前記原子層蒸着装置内に第１反応物を注入して前記トンネル絶縁膜上に第１反応物の化学吸着点を形成する段階と、
前記原子層蒸着装置を排気する方法、前記原子層蒸着装置の内部に不活性気体を注入する方法、前記排気及び前記不活性気体注入を並行して行う方法、または前記排気及び前記不活性気体注入を順次に少なくとも一回実施する方法により、前記原子層蒸着装置内の反応副産物を除去する段階とを含む請求項１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項５】
前記第１反応物は、ＷＦ６、ＴｉＣｌ４、ＴｉＩ４、Ｔｉ（ＯＥｔ）４、ＴａＣｌ５、ＣｕＣｌ、ＭｏＣｌ５、及びＮｉ（ａｃａｃ）２からなる一群から選択された一つであることを特徴とする請求項４に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項６】
前記第１反応物は、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、イットリウム（Ｙ）、及びアルミニウム（Ａｌ）の中から選択された一つの物質を含む化合物であることを特徴とする請求項４に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項７】
前記第１反応物は、ＳｉＣｌ４またはＢＣｌ３であることを特徴とする請求項４に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項８】
前記第１反応物を注入する前に、前記原子層蒸着装置の内部に還元気体を注入して前記トンネル絶縁膜の上部面に還元気体の化学吸着点を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項９】
前記還元気体は、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも一つの気体であることを特徴とする請求項８に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１０】
前記還元気体として、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも二つの気体を順次に供給することを特徴とする請求項８に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１１】
前記反応副産物を取除いた後、前記原子層蒸着装置の内部に第２反応物を注入して前記第１反応物の化学吸着点と反応させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１２】
前記第２反応物は、アンモニア気体（ＮＨ３）であることを特徴とする請求項１１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１３】
前記第２反応物は、Ｈ２Ｏ、Ｈ２Ｏ２、Ｏ２、またはＯ３であることを特徴とする請求項１１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１４】
前記ナノクリスタルは、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタリウム（Ｔａ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、及びニッケル（Ｎｉ）からなる一群から選択された一つであるか、またはこれらの窒化物の中のひとつであることを特徴とする請求項１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１５】
前記ナノクリスタルは、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、イットリウム（Ｙ）、及びアルミニウム（Ａｌ）の中から選択された一つの酸化物ナノクリスタルであることを特徴とする請求項１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１６】
前記ナノクリスタルは、シリコンナノクリスタル、窒化シリコンナノクリスタル、ボロンナノクリスタル、または窒化ボロンナノクリスタルであることを特徴とする請求項１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１７】
半導体基板を準備する段階と、
前記半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成する段階と、
前記トンネル絶縁膜を有する半導体基板を原子層蒸着装置内に入れる段階と、
前記原子層蒸着装置の内部に還元気体を注入して前記トンネル絶縁膜の上部面に還元気体の化学吸着点を形成する段階と、
前記原子層蒸着装置内に第１反応物を注入して前記トンネル絶縁膜上に第１反応物の化学吸着点を形成する段階と、
前記還元気体の化学吸着点を形成する段階及び前記第１反応物の化学吸着点を形成する段階を複数回繰り返して必要とする大きさのナノクリスタルを形成する段階と、
前記ナノクリスタルを有する半導体基板を原子層蒸着装置から取り出す段階と、
前記ナノクリスタルを有する半導体基板上に制御ゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記制御ゲート絶縁膜を有する半導体基板上に制御ゲート電極を形成する段階とを含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１８】
前記還元気体は、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも一つの気体であることを特徴とする請求項１７に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項１９】
前記第１反応物は、ＷＦ６、ＴｉＣｌ４、ＴｉＩ４、Ｔｉ（ＯＥｔ）４、ＴａＣｌ５、ＣｕＣｌ、ＭｏＣｌ５、及びＮｉ（ａｃａｃ）２からなる一群から選択された一つであることを特徴とする請求項１７に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項２０】
前記ナノクリスタルは、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタリウム（Ｔａ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、及びニッケル（Ｎｉ）からなる一群から選択された一つであることを特徴とする請求項１７に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項２１】
前記第１反応物の化学吸着点を形成した後、前記原子層蒸着装置の内部に第２反応物を注入して前記第１反応物の化学吸着点と反応させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項２２】
前記第２反応物は、アンモニア気体（ＮＨ３）であることを特徴とする請求項２１に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項２３】
前記ナノクリスタルは、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタリウム（Ｔａ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、及びニッケル（Ｎｉ）からなる一群から選択された一つの窒化物であることを特徴とする請求項２２に記載の不揮発性メモリ素子の製造方法。
【請求項２４】
半導体基板を準備する段階と、
前記半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成する段階と、
前記トンネル絶縁膜を有する半導体基板を原子層蒸着装置内に入れる段階と、
前記原子層蒸着装置の内部でＢ２Ｈ６を注入して前記トンネル絶縁膜の上部面にＢ２Ｈ６の化学吸着点を形成する段階と、
前記原子層蒸着装置内にＷＦ６を注入して前記Ｂ２Ｈ６の化学吸着点と反応させて前記トンネル絶縁膜上にタングステン（Ｗ）の化学吸着点を形成する段階と、
前記原子層蒸着装置の内部にアンモニア気体（ＮＨ３）を注入して前記タングステン（Ｗ）の化学吸着点と反応させて窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを形成する段階と、
前記Ｂ２Ｈ６の化学吸着点を形成する段階ないし前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを形成する段階を複数回繰り返して必要とする大きさの窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを形成する段階と、
前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを有する半導体基板を原子層蒸着装置から取り出す段階と、
前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを有する半導体基板上に制御ゲート絶縁膜を形成する段階と、
前記制御ゲート絶縁膜を有する半導体基板上に制御ゲート電極を形成する段階とを含むことを特徴とする不揮発性メモリ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体メモリ素子に関するもので、特に、ナノクリスタルを有する不揮発性メモリ素子の製造方法（Ｍｅｔｈｏｄ  ｏｆ  ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ａ  ｎｏｎ−ｖｏｌａｔｉｌｅ  ｍｅｍｏｒｙ  ｄｅｖｉｃｅ  ｗｉｔｈ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ  ｓｔｏｒａｇｅ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体メモリ素子は、データ保存方式によって揮発性メモリ素子と不揮発性メモリ素子とで分類される。前記揮発性メモリ素子は電源供給が切れると保存されたデータを失ってしまう一方、前記不揮発性メモリ素子は電源が供給されない状態でもデータを維持することができる特徴を持つ。このような特性を持つ前記不揮発性メモリ素子、例えばフラッシュメモリ素子は移動通信端末機、またはメモリカードなどに広く使われている。
【０００３】
前記不揮発性メモリ素子を具現する技術としては、単位セルを構成する記憶保存層として浮遊ゲート（ｆｌｏａｔｉｎｇ  ｇａｔｅ）を用いる方法が広く採択されている。しかしながら、前記浮遊ゲートを有するメモリ素子は、電荷が多結晶シリコンに保存されるためにトンネル絶縁膜の小さな欠陷にも影響を受けて記憶維持特性に問題を引き起こす短所を有している。具体的には、前記浮遊ゲート型の不揮発性メモリ素子は半導体基板のチャンネル領域上にトンネル絶縁膜、浮遊ゲート（ｆｌｏａｔｉｎｇ  ｇａｔｅ）、制御ゲート絶縁膜及び制御ゲート（ｃｏｎｔｒｏｌ  ｇａｔｅ）が順に積層された構造を含む。このような構造を有する前記浮遊ゲート型の不揮発性メモリ素子はホットエレクトロン注入（ｈｏｔ  ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ）方法、またはＦ−Ｎトンネリング（Ｆｏｗｌｅｒ−Ｎｏｒｄｈｅｉｍ  ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ）方法を用いてプログラムすることができる。前記プログラム過程を通じて電子が前記浮遊ゲートに注入されるとスレッショルド電圧が上昇するようになる。したがって、前記上昇されたスレッショルド電圧よりも小さな電圧を前記制御ゲートに印加するとプログラムされたセルは電流が流れなくなる。これを用いて保存された情報を読むことができる。しかしながら、前記浮遊ゲート型の不揮発性メモリセルは電子保持（ｒｅｔｅｎｔｉｏｎ）と係わって問題点が発生することがある。すなわち、不揮発性メモリセルがプログラムされた情報を維持するためには、前記浮遊ゲートは、注入された電子を保持しなければならない。ところが、前記トンネル絶縁膜にピンホールのような欠陷（ｄｅｆｅｃｔｓ）が存在すると、前記浮遊ゲートに注入された電子が前記欠陷を通じて抜け出す場合がある。これに加えて、前記浮遊ゲートは多結晶シリコンのような導電性膜から形成されるので前記トンネル絶縁膜の一部に存在する欠陷によっても多くの量の漏洩電流が発生することになる。
【０００４】
近来、前記浮遊ゲートを有するメモリ素子の問題点を解決するための方案としてナノクリスタルを用いる半導体メモリ素子が研究されている。
【０００５】
前記ナノクリスタルを用いる半導体メモリ素子は、特許文献１に、「半導体ナノクリスタルを製造する方法及びその半導体ナノクリスタルを用いる半導体メモリ素子（Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｆａｂｒｉｃａｔｉｎｇ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ  ａｎｄ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｍｅｍｏｒｙ  ｄｅｖｉｃｅ  ｕｓｉｎｇ  ｔｈｅ  ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ）」という名称で宇田（Ｕｅｄａ）らによって開示された。
【０００６】
宇田（Ｕｅｄａ）らによれば、前記ナノクリスタルを用いる半導体メモリ素子は半導体基板上に半導体ナノクリスタルを形成して記憶保存パターンとして用いる。具体的には、前記半導体ナノクリスタルはシリコン（Ｓｉ）またはゲルマニウム（Ｇｅ）のような半導体として形成され、絶縁膜によって互いに離隔される。プログラムの間に、電子は前記ナノクリスタルに注入されて、前記ナノクリスタルは互いに離隔されてあるので、前記ナノクリスタルの間では電子移動が制限される。したがって、トンネル絶縁膜の一部に欠陷が発生しても、前記欠陷による漏洩電流は前記欠陥近くのナノクリスタルにだけ影響を与える。よって、前記ナノクリスタル構造はメモリ素子の電荷保持能力を進めることができる。一方、前記ナノクリスタルが高い密度を有するほど前記電荷保持能力は向上できる。すなわち、前記ナノクリスタルの大きさの低減と、単位面積当たりのナノクリスタル数の増大が望まれる。
【０００７】
しかしながら、前記従来の技術によれば、前記半導体ナノクリスタルは、化学気相蒸着（ＣＶＤ）方法によるシリコン膜、またはゲルマニウム膜を半導体基板上に蒸着した後に前記シリコン膜、または前記ゲルマニウム膜を高温で熱処理して形成する。この際、形成される前記半導体ナノクリスタルの大きさは、前記シリコン膜、または前記ゲルマニウム膜の厚さによって敏感に変化する。すなわち、小さな大きさを有する前記半導体ナノクリスタルを形成しようとすると、薄い厚さを有する前記シリコン膜、または前記ゲルマニウム膜の形成技術が必要である。しかしながら、前記化学気相蒸着（ＣＶＤ）方法を用いる技術は、薄い厚さを有する前記シリコン膜、または前記ゲルマニウム膜の蒸着及びその精度の調節には限界がある。その結果、前記半導体ナノクリスタルは一般的に８ｎｍの大きさを有する。従って、前記ナノクリスタルを、より小さな大きさに形成することができる技術が望まれる。
【０００８】
前記半導体ナノクリスタルを代替できる他の方法として、金属ナノクリスタルを用いる方法が研究されている。前記金属ナノクリスタルを用いる半導体メモリ素子が非特許文献１に、「金属ナノクリスタルメモリ（Ｍｅｔａｌ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ  ｍｅｍｏｒｉｅｓ）」という題目でリウ（Ｌｉｕ）らによって開示された。
【０００９】
リウ（Ｌｉｕ）らによれば、化学気相蒸着（ＣＶＤ）方法によるタングステン膜、金（Ａｕ）膜、または銀（Ａｇ）膜のような金属膜を半導体基板上に蒸着した後、前記金属膜を高温で熱処理して前記金属ナノクリスタルを形成する。しかしながら、前記化学気相蒸着（ＣＶＤ）方法を用いる技術は蒸着時間及び温度を制御するのが難しくて、形成された金属ナノクリスタルの大きさ及び密度が満足するものではない。
【００１０】
結論的に、半導体基板上に小さくて、均一な大きさ、及び適切な密度を有するナノクリスタルの形成技術が必要とする。
【特許文献１】米国特許第６，０９０，６６６号明細書
【非特許文献１】ＩＥＥＥ２００２年９月号（ＩＥＥＥ  ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ  ｏｎ  ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｄｅｖｉｃｅｓ、  ＶＯＬ．４９、  ＮＯ．９、  Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ  ２００２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明が解決しようする技術的課題は、均一な大きさ及び適切な密度を有するナノクリスタルを半導体基板上に形成して、前記ナノクリスタルを不揮発性メモリ素子の記憶保存層として用いる方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記技術的課題を解決するために本発明は、ナノクリスタルを有する不揮発性メモリ素子の製造方法を提供する。この方法は半導体基板を準備する段階と、前記半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成する段階とを含む。続いて、前記トンネル絶縁膜を有する半導体基板を原子層蒸着装置内に入れて、原子層蒸着工程サイクルを進行させて前記トンネル絶縁膜上にナノクリスタルを形成する。前記ナノクリスタルの大きさを確認しながら、前記原子層蒸着工程サイクルを複数回繰り返して必要とする大きさの前記ナノクリスタルを形成する。前記ナノクリスタルを有する半導体基板を原子層蒸着装置から取り出す。前記ナノクリスタルを有する半導体基板上に制御ゲート絶縁膜を形成して、前記制御ゲート絶縁膜を有する半導体基板上に制御ゲート電極を形成する。
【００１３】
前記トンネル絶縁膜は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ハフ二ウム酸化膜（ＨｆＯ）、ハフ二ウムシリコン酸化膜（ＨｆＳｉＯ）、ジルコ二ウム酸化膜（ＺｒＯ）、ジルコ二ウムシリコン酸化膜（ＺｒＳｉＯ）、及びガドリウム酸化膜（ＧｄＯ）からなる一群から選択されたいすれか一つの膜で形成することができる。また、前記トンネル絶縁膜はシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ハフ二ウム酸化膜（ＨｆＯ）、ハフ二ウムシリコン酸化膜（ＨｆＳｉＯ）、ジルコ二ウム酸化膜（ＺｒＯ）、ジルコ二ウムシリコン酸化膜（ＺｒＳｉＯ）、及びガドリウム酸化膜（ＧｄＯ）からなる一群から選択された少なくとも二つの積層膜、または混合物質で形成することもできる。
【００１４】
前記原子層蒸着工程サイクルは、前記原子層蒸着装置内部に還元気体を前記トンネル絶縁膜の上部面に還元気体化学吸着点を形成する段階を含む。前記還元気体はＢ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも一つの気体であり、前記還元気体として、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも二つの気体を順次に供給することが好適である。前記原子層蒸着装置内に残った未吸着還元気体を除去する。次に、前記原子層蒸着装置内に第１反応物を注入して前記トンネル絶縁膜上に第１反応物の化学吸着点を形成することができる。前記第１反応物は、ＷＦ６、ＴｉＣｌ４、ＴｉＩ４、Ｔｉ（ＯＥｔ）４、ＴａＣｌ５、ＣｕＣｌ、ＭｏＣｌ５及びＮｉ（ａｃａｃ）２からなる一群から選択された一つでもあり、前記第１反応物はジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、イットリウム（Ｙ）及びアルミニウム（Ａｌ）からなる一群から選択された一つの物質を含む化合物でもある。これに加えて、前記第１反応物はＳｉＣｌ４またはＢＣｌ３でもある。前記トンネル絶縁膜の上部面に前記第１反応物の化学吸着点が形成されると、過剰反応の前記第１反応物は自分の制限的反応（ｓｅｌｆ  ｌｉｍｉｔｉｎｇ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）によってそれ以上反応しない。前記トンネル絶縁膜の上部面に前記還元気体の化学吸着点が形成されている場合、前記第１反応物は前記還元気体の化学吸着点と置き換えされて前記第１反応物の化学吸着点が形成されることもある。続いて、前記原子層蒸着装置内の反応副産物を除去する。前記反応副産物の除去は前記原子層蒸着装置を排気する方法、前記原子層蒸着装置内部に不活性気体を注入する方法、前記排気及び前記不活性気体注入を並行する方法、または前記排気及び前記不活性気体注入を順次に少なくとも一回実施する方法で行うことができる。前記不活性気体はアルゴン（Ａｒ）または窒素（Ｎ２）でもある。前記反応副産物を取除いた後、前記原子層蒸着装置の内部に第２反応物を注入して前記第１反応物の化学吸着点と反応させることをさらに含むことができる。前記第２反応物はアンモニア気体（ＮＨ３）でもあり、前記第２反応物はＨ２Ｏ、Ｈ２Ｏ２、Ｏ２、またはＯ３でもある。
【００１５】
前記ナノクリスタルはタングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタリウム（Ｔａ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、及びニッケル（Ｎｉ）からなる一群から選択された一つであるか、またはこれらの窒化物の中からの一つでもある。また、前記ナノクリスタルはジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、イットリウム（Ｙ）、及びアルミニウム（Ａｌ）の中から選択された一つの酸化物ナノクリスタルでもある。さらに、前記ナノクリスタルはシリコンナノクリスタル、窒化シリコンナノクリスタル、ボロンナノクリスタル、あるいは窒化ボロンナノクリスタルでもある。
【００１６】
本発明の他の方法は、半導体基板を準備する段階と、前記半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成する段階とを含む。続いて、前記トンネル絶縁膜を有する半導体基板を原子層蒸着装置内に入れて、前記原子層蒸着装置の内部に還元気体を注入して前記トンネル絶縁膜の上部面に還元気体化学吸着点を形成する。前記原子層蒸着装置内に第１反応物を注入して前記還元気体化学吸着点と反応させて前記トンネル絶縁膜上に第１反応物の化学吸着点を形成する。前記還元気体の化学吸着点を形成する段階ないし前記第１反応物の化学吸着点を形成する段階を複数回繰り返して要求される大きさのナノクリスタルを形成する。前記ナノクリスタルを有する半導体基板を原子層蒸着装置で取り出す。前記ナノクリスタルを有する半導体基板上に制御ゲート絶縁膜を形成して、前記制御ゲート絶縁膜を有する半導体基板上に制御ゲート電極を形成する。
【００１７】
前記還元気体は、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも一つの気体であり、前記還元気体として、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも二つの気体を順次に供給することもできる。
【００１８】
前記第１反応物は、ＷＦ６、ＴｉＣｌ４、ＴｉＩ４、Ｔｉ（ＯＥｔ）４、ＴａＣｌ５、ＣｕＣｌ、ＭｏＣｌ５、及びＮｉ（ａｃａｃ）２からなる一群から選択された一つでもある。
【００１９】
前記ナノクリスタルは、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタリウム（Ｔａ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、及びニッケル（Ｎｉ）からなる一群から選択された一つでもある。
【００２０】
前記第１反応物の化学吸着点を形成した後、前記原子層蒸着装置の内部に第２反応物を注入して前記第１反応物の化学吸着点と反応させることをさらに含むことができる。この際、前記第２反応物はアンモニア気体（ＮＨ３）でもある。その結果、前記ナノクリスタルは、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタリウム（Ｔａ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、及びニッケル（Ｎｉ）からなる一群から選択された一つの窒化物として形成されることができる。
【００２１】
本発明のまた他の方法は、半導体基板を備えて、前記半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成することを含む。続いて、前記トンネル絶縁膜を有する半導体基板を原子層蒸着装置内に入れて、前記原子層蒸着装置の内部にＢ２Ｈ６を注入して前記トンネル絶縁膜の上部面にＢ２Ｈ６の化学吸着点を形成する。前記原子層蒸着装置内にＷＦ６を注入して前記Ｂ２Ｈ６の化学吸着点と反応させて前記トンネル絶縁膜上にタングステン（Ｗ）の化学吸着点を形成する。前記原子層蒸着装置内部にアンモニア気体（ＮＨ３）を注入して前記タングステン（Ｗ）の化学吸着点と反応させて窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを形成する。前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルの大きさを確認し、前記Ｂ２Ｈ６の化学吸着点を形成する段階ないし前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを形成する段階を複数回繰り返して必要とする大きさの前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを形成する。前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを有する半導体基板を原子層蒸着装置で取り出す。前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを有する半導体基板上に制御ゲート絶縁膜を形成し、前記制御ゲート絶縁膜を有する半導体基板上に制御ゲート電極を形成する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、半導体基板上にトンネル絶縁膜を形成した後、原子層蒸着方法を用いて前記トンネル絶縁膜上にナノクリスタルを形成する。前記ナノクリスタルはタングステン（Ｗ）のような金属ナノクリスタルであり、窒化タングステン（ＷＮ）のような金属窒化物ナノクリスタルであっても良い。また、前記ナノクリスタルは、ジルコニウム（Ｚｒ）酸化物のような金属酸化物ナノクリスタルであっても良い。これに加えて、前記ナノクリスタルは、シリコンナノクリスタル、窒化シリコンナノクリスタル、ボロンナノクリスタル、あるいは窒化ボロンナノクリスタルであっても良い。前記原子層蒸着方法は、原子層蒸着工程サイクルの繰り返し回数を調節し前記ナノクリスタルの大きさを精密に制御することができる。したがって、前記ナノクリスタルを記憶保存層として用いる高性能の不揮発性メモリ素子を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付した図面を参照しながら本発明の好ましい実施例を詳しく説明する。しかしながら、本発明は、ここで説明する実施例に限られず、他の形態で具体化されることもある。むしろ、ここで紹介される実施例は、開示された発明が完成されていることを示すと共に、当業者に本発明の思想を十分に伝達するために提供するものである。図面において、層及び領域の厚みは明確性をあたえるために誇張されたものである。また、層が、他の層、または基板「上」にあると言われた場合、それは他の層、または基板上に直接形成することができるか、またはそれらの間に第３の層が介在されることもある。明細書全体にかけて同一の参照番号は、同一の構成要素を示す。
【００２４】
図１は、本発明の実施例によるナノクリスタルを用いた不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程フローチャートであり、図２ないし図７は、前記製造方法を説明するための工程断面図である。
【００２５】
図１及び図２を参照すると、まず、半導体基板５１が準備される（図１の段階１１）。前記半導体基板５１は、シリコンウエハとすることができる。典型的には、前記半導体基板５１には活性領域を限定する素子分離膜が形成された状態であるが、前記素子分離膜は説明の簡略化を図るため、特に図示しないこととする。
【００２６】
前記半導体基板５１の表面上には、トンネル絶縁膜５５が形成される（図１の段階１３）。前記トンネル絶縁膜５５は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ハフ二ウム酸化膜（ＨｆＯ）、ハフ二ウムシリコン酸化膜（ＨｆＳｉＯ）、ジルコ二ウム酸化膜（ＺｒＯ）、ジルコ二ウムシリコン酸化膜（ＺｒＳｉＯ）、及びガドリウム酸化膜（ＧｄＯ）からなる一群から選択された一つの膜として形成することができる。また、前記トンネル絶縁膜５５は、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ハフ二ウム酸化膜（ＨｆＯ）、ハフ二ウムシリコン酸化膜（ＨｆＳｉＯ）、ジルコ二ウム酸化膜（ＺｒＯ）、ジルコ二ウムシリコン酸化膜（ＺｒＳｉＯ）、及びガドリウム酸化膜（ＧｄＯ）からなる一群から選択された少なくとも二つの積層膜、または混合物質から形成することもできる。そして、本発明の一実施例で、前記トンネル絶縁膜５５は２５Å厚さを有する前記シリコン酸化膜である。
【００２７】
図１及び図３を参照すると、前記トンネル絶縁膜５５を有する半導体基板５１を原子層蒸着装置内の指定された位置に入れる（図１の段階１５）。続いて、前記半導体基板５１を原子層蒸着に相応しい工程温度になるように予熱する。例えば、前記半導体基板５１上にタングステン窒化物（ＷＮ）ナノクリスタルを形成しようとする場合、前記予熱温度は２００℃ないし４００℃とすることができる。この際、前記半導体基板５１の予熱は、前記原子層蒸着装置の排気と共に行うこともできる。
【００２８】
前記半導体基板５１が必要とする工程温度まで加熱されると、原子層蒸着（ａｔｏｍｉｃ  ｌａｙｅｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；ＡＬＤ）方法を用いて前記トンネル絶縁膜５５上にナノクリスタルを形成する。前記原子層蒸着方法は、原子層蒸着工程サイクル３０を含むことができる。
前記原子層蒸着工程サイクル３０は、前記原子層蒸着装置の内部に還元気体を注入する段階を含むことができる（図１の段階１９）。前記還元気体は、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された一つの気体とすることができる。また、前記還元気体は、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも二つの気体とすることもできる。これに加えて、前記還元気体として、Ｂ２Ｈ６、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、及びＳｉＨ２Ｃｌ６からなる一群から選択された少なくとも二つの気体を順次に供給することもできる。そして、本発明の一実施例で、前記還元気体は前記Ｂ２Ｈ６である。原子層蒸着装置の内部に供給された前記還元気体は、前記トンネル絶縁膜５５の上部面に吸着されて還元気体の化学吸着点６１を形成する。続いて、前記原子層蒸着装置内に残った未吸着還元気体を除去する（図１の段階２０）。前記未吸着還元気体の除去は、前記原子層蒸着装置を排気する方法、前記原子層蒸着装置の内部に不活性気体を注入する方法、前記排気及び前記不活性気体注入を並行する方法、または前記排気及び前記不活性気体注入を順次に少なくとも一回実施する方法で行うことができる。前記不活性気体は、アルゴン（Ａｒ）または窒素（Ｎ２）とすることができる、しかしながら、前記還元気体を供給する段階は略することもできる。
【００２９】
図１及び図４を参照すると、前記原子層蒸着装置の内部に第１反応物を注入する（図１の段階２１）。前記第１反応物は、ＷＦ６、ＴｉＣｌ４、ＴｉＩ４、Ｔｉ（ＯＥｔ）４、ＴａＣｌ５、ＣｕＣｌ、及びＭｏＣｌ５からなるハロゲン化合物のグループから選択された一つとすることができる。また、前記第１反応物は、Ｎｉ（ａｃａｃ）２のような有機化合物とすることもできる。また、前記第１反応物は、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、イットリウム（Ｙ）、及びアルミニウム（Ａｌ）の中から選択された一つの物質を含む化合物とすることもできる。そして本発明の一実施例で、前記第１反応物は前記ＷＦ６である。これに加えて、前記第１反応物はＳｉＣｌ４またはＢＣｌ３のような非金属物質とすることもできる。
【００３０】
前記第１反応物は、前記トンネル絶縁膜５５の上部面に第１反応物の化学吸着点６３を形成する。前記トンネル絶縁膜５５の上部面に前記第１反応物の化学吸着点６３が形成されると、過剰の前記第１反応物は自己の制限的反応（ｓｅｌｆ  ｌｉｍｉｔｉｎｇ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）によってそれ以上は反応しない。
【００３１】
前記トンネル絶縁膜５５の上部面に前記還元気体の化学吸着点６１が形成されている場合、前記第１反応物は前記還元気体の化学吸着点６１と置換され、前記第１反応物の化学吸着点６３を形成する。
【００３２】
続いて、前記原子層蒸着装置内の反応副産物を除去する（図１の段階２２）。前記反応副産物の除去は、前記原子層蒸着装置を排気する方法、前記原子層蒸着装置の内部に不活性気体を注入する方法、前記排気及び前記不活性気体注入を並行して行う方法、または前記排気及び前記不活性気体注入を順次に少なくとも一回実施する方法により行うことができる。前記不活性気体はアルゴン（Ａｒ）または窒素（Ｎ２）とすることができる。
【００３３】
図１及び図５を参照すると、前記反応副産物を取除いた後、前記原子層蒸着装置の内部に第２反応物が注入される（図１の段階２３）。前記第２反応物は、アンモニア気体（ＮＨ３）とすることができる。また、前記第２反応物には、Ｈ２Ｏ、Ｈ２Ｏ２、Ｏ２、またはＯ３を用いることもできる。そして、本発明の一実施例で、前記第２反応物は前記アンモニア気体である。前記第２反応物は、前記第１反応物の化学吸着点６３と反応してナノクリスタル７０を形成する。ここで、前記第２反応物の注入は省略されることもある。例えば、前記還元気体として前記Ｂ２Ｈ６を用い、前記第１反応物は前記ＷＦ６を用いた場合、前記第２反応物の注入を省略しても、前記トンネル絶縁膜５５上にタングステン（Ｗ）ナノクリスタルを形成することができる。また、前記還元気体として前記Ｂ２Ｈ６を用い、前記第１反応物として前記ＷＦ６を用い、前記第２反応物として前記アンモニア気体を用いた場合、前記トンネル絶縁膜５５上に窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを形成することができる。
【００３４】
前記第２反応物が前記第１反応物の化学吸着点６３と反応して飽和状態をなすようになると、過剰な前記第２反応物は、自己の制限的反応（ｓｅｌｆ  ｌｉｍｉｔｉｎｇ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）によってそれ以上の反応はしなくなる。
【００３５】
次に、前記原子層蒸着装置内の反応副産物を除去する（図１の段階２４）。前記反応副産物の除去は、前記原子層蒸着装置を排気する方法、前記原子層蒸着装置の内部に不活性気体を注入する方法、前記排気及び前記不活性気体注入を並行して行う方法、または前記排気及び前記不活性気体注入を順次に少なくとも一回実施する方法により行うことができる。前記不活性気体は、アルゴン（Ａｒ）または窒素（Ｎ２）とすることができる。
【００３６】
図１及び図６を参照すると、次に、前記ナノクリスタル７０の大きさを確認する（図１の段階２５）。前記トンネル絶縁膜５５上に必要とする大きさを有するナノクリスタル７０が形成されるまで前記原子層蒸着工程サイクル３０を複数回繰り返す。一般的に、前記原子層蒸着方法により、前記原子層蒸着工程サイクル３０の繰り返し回数を調節して前記ナノクリスタル７０の大きさを精密に制御することができる。
【００３７】
前記ナノクリスタル７０は、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、タンタリウム（Ｔａ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、及びニッケル（Ｎｉ）からなる一群から選択された一つ、またはこれらの窒化物の中の一つとされ得る。また、前記ナノクリスタル７０は、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、イットリウム（Ｙ）、及びアルミニウム（Ａｌ）の中から選択された一つの酸化物ナノクリスタルともされ得る。さらに、前記ナノクリスタル７０は、シリコンナノクリスタル、窒化シリコンナノクリスタル、ボロンナノクリスタル、あるいは窒化ボロンナノクリスタルとすることもできる。
【００３８】
＜実験例＞
本発明の実施例により、窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを形成したところ、次の［表１］に記載されたような実験結果を得ることができた。
【００３９】
【表１】
2006066896.tif 000003
【００４０】
［表１］を参照すると、実験１の場合、前記半導体基板５１上に２５Åの厚さのシリコン酸化膜で前記トンネル絶縁膜５５を形成し、前記予熱温度を３００℃にして、前記還元気体として前記Ｂ２Ｈ６３０ｓｃｃｍを用い、前記第１反応物として前記ＷＦ６１２０ｓｃｃｍを用い、前記第２反応物として前記アンモニア気体を用いて、前記原子層蒸着工程サイクル３０を３０回行った結果、前記トンネル絶縁膜５５上に４ｎｍないし５ｎｍの大きさの窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルが、０．９×１０１２個／ｃｍ２の密度で形成された。
【００４１】
実験２の場合、前記予熱温度は、３００℃にして、前記還元気体として前記Ｂ２Ｈ６５０ｓｃｃｍを用い、前記第１反応物として前記ＷＦ６１００ｓｃｃｍを用いて、前記原子層蒸着工程サイクル３０を１０回行った結果、前記トンネル絶縁膜５５上に３．５ｎｍないし４．５ｎｍの大きさの窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルが、１．３×１０１２個／ｃｍ２の密度で形成された。
【００４２】
実験３の場合、前記予熱温度は３００℃にして、前記還元気体で前記Ｂ２Ｈ６４０ｓｃｃｍを用い、前記第１反応物として前記ＷＦ６１００ｓｃｃｍを用いて、前記原子層蒸着工程サイクル３０を１５回行った結果、前記トンネル絶縁膜５５上に３ｎｍないし４ｎｍの大きさの窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルが、１．３×１０１２個／ｃｍ２の密度で形成された。
【００４３】
実験４の場合、前記予熱温度は２８０℃にして、前記還元気体で前記Ｂ２Ｈ６５０ｓｃｃｍを用い、前記第１反応物として前記ＷＦ６１００ｓｃｃｍを用いて、前記原子層蒸着工程サイクル３０を１５回行った結果、前記トンネル絶縁膜５５上に４．５ｎｍないし５ｎｍの大きさの窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルが、１．５×１０１２個／ｃｍ２の密度で形成された。
【００４４】
前記実験１ないし前記実験４の結果で示されたように、前記原子層蒸着工程サイクル３０の回数及び工程条件を調節して、必要とする大きさ及び密度を有する前記窒化タングステン（ＷＮ）ナノクリスタルを、前記トンネル絶縁膜５５上に形成することができる。
【００４５】
図１及び図７を参照すると、前記トンネル絶縁膜５５上に必要とする大きさを有するナノクリスタル７０が形成されると、前記半導体基板５１を原子層蒸着装置から取り出す（図１の段階３２）。
【００４６】
そして、  前記必要とする大きさのナノクリスタル７０を有する半導体基板５１上に、制御ゲート絶縁膜７３を形成して（図１の段階３５）、制御ゲート電極７５を形成する（図１の段階３７）。
【００４７】
具体的には、前記必要とする大きさのナノクリスタル７０を有する半導体基板５１の全面上にシリコン酸化膜のような絶縁膜を形成する。前記絶縁膜を有する半導体基板５１の全面上にポリシリコン膜のような導電膜を形成する。前記導電膜及び絶縁膜を連続的にパターニングして、前記制御ゲート電極７５及び前記制御ゲート絶縁膜７３を形成する。前記導電膜及び絶縁膜をパターニングするための工程は、前記導電膜を覆うフォトレジストパターン（図示せず）を形成することと、前記フォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて前記導電膜及び絶縁膜をエッチングすることと、前記フォトレジストパターンを除去することを含む。
【００４８】
そして、通常のパターニング工程とソース／ドレイン形成工程を行って不揮発性メモリ素子が製造される。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施例によるナノクリスタルを有する不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程フローチャートである。
【図２】本発明の実施例による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図３】本発明の実施例による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図４】本発明の実施例による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図５】本発明の実施例による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図６】本発明の実施例による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【図７】本発明の実施例による不揮発性メモリ素子の製造方法を説明するための工程断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
３０  原子層蒸着工程サイクル
５１  半導体基板
５５  トンネル絶縁膜
６１  還元気体化学吸着点
６３  第１反応物化学吸着点
７０  ナノクリスタル
７３  制御ゲート絶縁膜
７５  制御ゲート電極
【図１】
2006066896.tif 000004
【図２】
2006066896.tif 000005
【図３】
2006066896.tif 000006
【図４】
2006066896.tif 000007
【図５】
2006066896.tif 000008
【図６】
2006066896.tif 000009
【図７】
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