(57)【要約】【課題】  駆動装置の移動量よりステージ部材の移動量が大きくまたは小さくしながら、駆動装置からステージ部材に駆動力を伝達できるステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置を提供する。【解決手段】  Ｘ方向へ移動するＸ方向移動部材２４を備えるＸ方向駆動手段ＭＸ、ＹＸ、ＣＸ、２４を備え、Ｘ方向移動部材２４とステージ部材４０の間に、Ｘ方向移動部材の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＸ方向移動量調整伝達手段５４を設けたことを特徴とするステージ装置。【選択図】  図２
2006350233.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定支持基板と、
上記固定支持基板上に、特定のＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向に直線移動自在として支持されたステージ部材と、
該ステージ部材にＸ方向の駆動力を付与するＸ方向駆動手段と、
を備えるステージ装置において、
上記Ｘ方向駆動手段は、Ｘ方向へ移動するＸ方向移動部材を備え、
このＸ方向移動部材と上記ステージ部材との間に、該Ｘ方向移動部材の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＸ方向移動量調整伝達手段を設けたことを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
請求項１記載のステージ装置において、
上記Ｘ方向移動量調整伝達手段は、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向を向くＸ側枢着軸によって交叉部分を回転可能に枢着した一対のリンク部材を備え、
該Ｘ側枢着軸は固定支持基板に固定され、
一対のリンク部材の一端部にはそれぞれ、上記Ｘ方向移動部材にＹ方向に相対移動自在に支持されたＺ方向を向く移動軸が枢着され、
一対のリンク部材の他端部にはそれぞれ、上記ステージ部材にＹ方向に相対移動自在に支持されたＺ方向を向く移動軸が枢着され、
一対のリンク部材の両端部の移動軸はそれぞれ、Ｙ方向の一直線上に位置しており、
一対のリンク部材のＸ方向移動部材側の移動軸から上記Ｘ側枢着軸までのＸ方向距離と、該一対のリンク部材のステージ部材側の移動軸から上記Ｘ側枢着軸までのＸ方向距離とが異なっているステージ装置。
【請求項３】
請求項２記載のステージ装置において、
上記Ｘ側枢着軸から両リンク部材とＸ方向駆動手段の接続点までのＸ方向距離より、該Ｘ側枢着軸から両リンク部材とステージ部材の接続点までのＸ方向距離を長く設定したステージ装置。
【請求項４】
請求項２記載のステージ装置において、
上記Ｘ側枢着軸から両リンク部材とＸ方向駆動手段の接続点までのＸ方向距離より、該Ｘ側枢着軸から両リンク部材とステージ部材の接続点までのＸ方向距離を短く設定したステージ装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれか１項記載のステージ装置において、
Ｘ方向駆動手段が、
上記Ｘ方向移動部材に固定されたＸ方向駆動用コイルと、
該Ｘ方向駆動用コイルに磁力を及ぼして該Ｘ方向駆動用コイルとＸ方向移動部材に上記Ｘ方向への相対移動力を与えるＸ磁力発生装置と、を備え、
Ｘ方向移動部材とＸ磁力発生装置の一方を固定支持基板に固定し、他方に上記Ｘ用Ｘリンクの上記一端側を接続したステージ装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項記載のステージ装置において、
Ｙ方向に移動するＹ方向移動部材を有するＹ方向駆動手段を備え、
このＹ方向移動部材と上記ステージ部材との間に、該Ｙ方向移動部材の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＹ方向移動量調整伝達手段を設けたステージ装置。
【請求項７】
請求項６記載のステージ装置において、
上記Ｙ方向移動量調整伝達手段が、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向を向くＹ側枢着軸によって交叉部分を回転可能に枢着した一対のリンク部材を備え、
該Ｙ側枢着軸は固定支持基板に固定され、
一対のリンク部材の一端部にはそれぞれ、上記Ｙ方向移動部材にＸ方向に相対移動自在に支持されたＺ方向を向く移動軸が枢着され、
一対のリンク部材の他端部にはそれぞれ、上記ステージ部材にＸ方向に相対移動自在に支持されたＺ方向を向く移動軸が枢着され、
一対のリンク部材の両端部の移動軸はそれぞれ、Ｘ方向の一直線上に位置しており、
一対のリンク部材のＹ方向移動部材側の移動軸から上記Ｙ側枢着軸までのＹ方向距離と、該一対のリンク部材のステージ部材側の移動軸から上記Ｙ側枢着軸までのＹ方向距離とが異なっているステージ装置。
【請求項８】
請求項７記載のステージ装置において、
上記Ｙ側枢着軸から両リンク部材とＹ方向駆動手段の接続点までのＹ方向距離より、該Ｙ側枢着軸から両リンク部材とステージ部材の接続点までのＹ方向距離を長く設定したステージ装置。
【請求項９】
請求項７記載のステージ装置において、
上記Ｙ側枢着軸から両リンク部材とＹ方向駆動手段の接続点までのＹ方向距離より、該Ｙ側枢着軸から両リンク部材とステージ部材の接続点までのＹ方向距離を短く設定したステージ装置。
【請求項１０】
請求項６から９のいずれか１項記載のステージ装置において、
Ｙ方向駆動手段が、
上記Ｙ方向移動部材に固定されたＹ方向駆動用コイルと、
該Ｙ方向駆動用コイルに磁力を及ぼして該Ｙ方向駆動用コイルとＹ方向移動部材にＹ方向への相対移動力を与えるＹ磁力発生装置と、を備え、
Ｙ方向移動部材とＹ磁力発生装置の一方を固定支持基板に固定し、他方にＹ用Ｘリンクの上記一端側を接続したステージ装置。
【請求項１１】
請求項１記載のステージ装置において、
上記Ｘ方向移動量調整伝達手段が、
中間部が固定支持基板に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＸ側枢着軸回りに回転可能として支持され、一端が上記Ｘ方向移動部材に、Ｚ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材に、Ｙ方向に相対移動自在、かつ、Ｚ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたＸ用リンク部材を備え、
該Ｘ側枢着軸からＸ用リンク部材の一端とＸ方向移動部材の接続点までのＹ方向距離と、該Ｘ側枢着軸からＸ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＹ方向距離とを異ならせて設定したステージ装置。
【請求項１２】
請求項１１記載のステージ装置において、
上記ステージ部材が、Ｙ方向を向くＹ方向スライド溝と、該Ｙ方向スライド溝にＹ方向に摺動自在に嵌合するＹ用スライダとを備え、上記Ｘ用リンク部材の他端が該Ｙ用スライダにＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたステージ装置。
【請求項１３】
請求項１１または１２記載のステージ装置において、
上記Ｘ側枢着軸から上記Ｘ用リンク部材の一端とＸ方向移動部材の接続点までのＹ方向距離より、該Ｘ側枢着軸からＸ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＹ方向距離が長くなるように設定したステージ装置。
【請求項１４】
請求項１１から１３のいずれか１項記載のステージ装置において、
上記Ｘ側枢着軸から上記Ｘ用リンク部材の一端とＸ方向移動部材の接続点までのＹ方向距離より、該Ｘ側枢着軸からＸ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＹ方向距離が短くなるように設定したステージ装置。
【請求項１５】
請求項１１から１４のいずれか１項記載のステージ装置において、
Ｘ方向駆動手段が、
Ｘ方向移動部材に固定されたＸ方向駆動用コイルと、
該Ｘ方向駆動用コイルに磁力を及ぼして該Ｘ方向駆動用コイルと該Ｘ方向移動部材に上記Ｘ方向への相対移動力を与えるＸ磁力発生装置と、を備え、
Ｘ方向移動部材とＸ磁力発生装置の一方を固定支持基板に固定し、他方に上記Ｘ用リンク部材を接続したステージ装置。
【請求項１６】
請求項１１から１５のいずれか１項記載のステージ装置において、
Ｙ方向に移動するＹ方向移動部材を有するＹ方向駆動手段を備え、
このＹ方向移動部材と上記ステージ部材との間に、該Ｙ方向移動部材の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＹ方向移動量調整伝達手段を設けたステージ装置。
【請求項１７】
請求項１６記載のステージ装置において、
上記Ｙ方向移動量調整伝達手段が、
中間部が固定支持基板に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＹ側枢着軸回りに回転可能として支持され、一端がＹ方向移動部材に、Ｚ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材に、Ｘ方向に相対移動自在、かつ、Ｚ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたＹ用リンク部材を備え、
該Ｙ側枢着軸から上記Ｙ用リンク部材の一端とＹ方向移動部材の接続点までのＸ方向距離と、該Ｙ側枢着軸からＹ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＸ方向距離とを異ならせて設定したステージ装置。
【請求項１８】
請求項１７記載のステージ装置において、
上記ステージ部材が、Ｘ方向を向くＸ方向スライド溝と、該Ｘ方向スライド溝にＸ方向に摺動自在に嵌合するＸ用スライダとを備え、上記Ｙ用リンク部材の他端が該Ｘ用スライダにＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたステージ装置。
【請求項１９】
請求項１７または１８記載のステージ装置において、
上記Ｙ側枢着軸からＹ用リンク部材の一端とＹ方向移動部材の接続点までのＸ方向距離より、該Ｙ側枢着軸からＹ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＸ方向距離が長くなるように設定したステージ装置。
【請求項２０】
請求項１７から１９のいずれか１項記載のステージ装置において、
上記Ｙ側枢着軸からＹ用リンク部材の一端とＹ方向移動部材の接続点までのＸ方向距離より、該Ｙ側枢着軸からＹ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＸ方向距離が短くなるように設定したステージ装置。
【請求項２１】
請求項１６から２０のいずれか１項記載のステージ装置において、
上記Ｙ方向駆動手段が、
Ｙ方向移動部材に固定されたＹ方向駆動用コイルと、
該Ｙ方向駆動用コイルに磁力を及ぼして該Ｘ方向駆動用コイルと該Ｙ方向移動部材にＹ方向への相対移動力を与えるＹ磁力発生装置と、を備え、
Ｙ方向移動部材とＹ磁力発生装置の一方を固定支持基板に固定し、他方に上記Ｙ用リンク部材を接続したステージ装置。
【請求項２２】
請求項５から１０及び１４から１９のいずれか１項記載のステージ装置において、
上記磁力発生装置が、
磁石と、
該磁石によって磁化され、該磁石との間で磁力線を形成する、上記コイルを囲む断面コ字形のヨークと、
を具備しているステージ装置。
【請求項２３】
請求項５から１０及び１５から２２のいずれか１項記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
上記ステージ装置を内蔵するカメラと、
上記ステージ部材と一体となって移動する、前面に結像面を有する撮像素子と、
上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、
該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイル及び上記Ｙ方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、
を備えるカメラの手振れ補正装置。
【請求項２４】
請求項５から１０及び１５から２２のいずれか１項記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
上記ステージ装置を内蔵するカメラと、
上記ステージ部材と一体となって移動する、手振れを補正するための補正レンズと、
上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、
該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイル及び上記Ｙ方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、
を備えるカメラの手振れ補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の部材を互いに直交する２方向に直線移動させるステージ装置、及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特定の部材を一平面内において直交する２方向に直線移動可能としたステージ装置の従来技術としては、例えば特許文献１に記載されたものがある。
【０００３】
このステージ装置はカメラ（デジタルカメラ）の手振れ補正装置として利用されており、固定部材と、撮像素子を搭載したステージ部材と、このステージ部材が、ステージ部材と平行でかつ互いに直交する二方向（この二方向をＸ方向、Ｙ方向と呼ぶ）に直線的に相対移動するように固定部材に対して支持するリンク機構からなる支持案内機構と、ステージ部材にＸ方向とＹ方向の直線的な駆動力を付与する駆動装置とを具備している。
【０００４】
さらに、この手振れ補正装置は、カメラに生じた手振れを検出するセンサを具備している。カメラに手振れが生じるとセンサがこれを検出し、検出した手振れの方向及び手振れ量に応じて駆動装置の駆動量を制御し、カメラの手振れを補正する。
【特許文献１】特開平１０−２６８３７３号公報
【特許文献２】特開平１１−１４８９８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の手振れ補正装置では、ステージ部材を大きく動かすには、駆動装置を大きく動くように構成しなければならなかった。しかし、駆動装置をこのように構成すると、カメラ自体が大きくなってしまう。
また、ステージ部材を精度良く微小に動かすように構成することも難しかった。
【０００６】
本発明の目的は、駆動装置の移動量よりステージ部材の移動量が大きくまたは小さくしながら、駆動装置からステージ部材に駆動力を伝達できるステージ装置及びこのステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のステージ装置は、固定支持基板と、上記固定支持基板上に、特定のＸ方向及びＸ方向に直交するＹ方向に直線移動自在として支持されたステージ部材と、該ステージ部材にＸ方向の駆動力を付与するＸ方向駆動手段と、を備えるステージ装置において、上記Ｘ方向駆動手段は、Ｘ方向へ移動するＸ方向移動部材を備え、このＸ方向移動部材と上記ステージ部材との間に、該Ｘ方向移動部材の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＸ方向移動量調整伝達手段を設けたことを特徴としている。
【０００８】
上記Ｘ方向移動量調整伝達手段が、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向を向くＸ側枢着軸によって交叉部分を回転可能に枢着した一対のリンク部材を備え、該Ｘ側枢着軸は固定支持基板に固定され、一対のリンク部材の一端部にはそれぞれ、上記Ｘ方向移動部材にＹ方向に相対移動自在に支持されたＺ方向を向く移動軸が枢着され、一対のリンク部材の他端部にはそれぞれ、上記ステージ部材にＹ方向に相対移動自在に支持されたＺ方向を向く移動軸が枢着され、一対のリンク部材の両端部の移動軸はそれぞれ、Ｙ方向の一直線上に位置しており、一対のリンク部材のＸ方向移動部材側の移動軸から上記Ｘ側枢着軸までのＸ方向距離と、該一対のリンク部材のステージ部材側の移動軸から上記Ｘ側枢着軸までのＸ方向距離とが異なっている態様で実施可能である。
【０００９】
Ｘ用Ｘリンクを採用する場合は、上記Ｘ側枢着軸から両リンク部材とＸ方向駆動手段の接続点までのＸ方向距離より、該Ｘ側枢着軸から両リンク部材とステージ部材の接続点までのＸ方向距離を長く設定したり、短く設定する。
【００１０】
Ｘ方向駆動手段が、Ｘ方向移動部材に固定されたＸ方向駆動用コイルと、該Ｘ方向駆動用コイルに磁力を及ぼして該Ｘ方向駆動用コイルとＸ方向移動部材に上記Ｘ方向への相対移動力を与えるＸ磁力発生装置と、を備え、Ｘ方向移動部材とＸ磁力発生装置の一方を固定支持基板に固定し、他方に上記Ｘ用Ｘリンクの上記一端側を接続するのが実際的である。
【００１１】
さらに、Ｙ方向に移動するＹ方向移動部材を有するＹ方向駆動手段を備え、このＹ方向移動部材と上記ステージ部材との間に、該Ｙ方向移動部材の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＹ方向移動量調整伝達手段を設けるのが好ましい。
【００１２】
上記Ｙ方向移動量調整伝達手段が、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向を向くＹ側枢着軸によって交叉部分を回転可能に枢着した一対のリンク部材を備え、該Ｙ側枢着軸は固定支持基板に固定され、一対のリンク部材の一端部にはそれぞれ、上記Ｙ方向移動部材にＸ方向に相対移動自在に支持されたＺ方向を向く移動軸が枢着され、一対のリンク部材の他端部にはそれぞれ、上記ステージ部材にＸ方向に相対移動自在に支持されたＺ方向を向く移動軸が枢着され、一対のリンク部材の両端部の移動軸はそれぞれ、Ｘ方向の一直線上に位置しており、一対のリンク部材のＹ方向移動部材側の移動軸から上記Ｙ側枢着軸までのＹ方向距離と、該一対のリンク部材のステージ部材側の移動軸から上記Ｙ側枢着軸までのＹ方向距離とが異なっている態様で実施可能である。
【００１３】
Ｙ用Ｘリンクを採用する場合は、上記Ｙ側枢着軸から両リンク部材とＹ方向駆動手段の接続点までのＹ方向距離より、該Ｙ側枢着軸から両リンク部材とステージ部材の接続点までのＹ方向距離を長く設定したり、短く設定する。
【００１４】
Ｙ方向駆動手段が、Ｙ方向移動部材に固定したＹ方向駆動用コイルと、該Ｙ方向駆動用コイルに磁力を及ぼして該Ｙ方向駆動用コイルとＹ方向移動部材にＹ方向への相対移動力を与えるＹ磁力発生装置と、を備え、Ｙ方向移動部材とＹ磁力発生装置の一方を固定支持基板に固定し、他方にＹ用Ｘリンクの上記一端側を接続するのが実際的である。
【００１５】
上記Ｘ側枢着軸から上記Ｘ用リンク部材の一端とＸ方向駆動手段の接続点までのＹ方向距離より、該Ｘ側枢着軸からＸ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＹ方向距離が長くなるように設定したり、短く設定するのが好ましい。
【００１６】
別の態様に依れば、上記Ｘ方向移動量調整伝達手段を、中間部が固定支持基板に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＸ側枢着軸回りに回転可能として支持され、一端が上記Ｘ方向駆動手段に、Ｚ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材に、Ｙ方向に相対移動自在、かつ、Ｚ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたＸ用リンク部材を備え、該Ｘ側枢着軸からＸ用リンク部材の一端とＸ方向駆動手段の接続点までのＹ方向距離と、該Ｘ側枢着軸からＸ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＹ方向距離とを異ならせて設定するのが実際的である。
【００１７】
この態様では、上記ステージ部材が、Ｙ方向を向くＹ方向スライド溝と、該Ｙ方向スライド溝にＹ方向に摺動自在に嵌合するＹ用スライダとを備え、上記Ｘ用リンク部材の他端が該Ｙ用スライダにＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されるのが実際的である。
【００１８】
この場合は、上記Ｘ側枢着軸から上記Ｘ用リンク部材の一端とＸ方向駆動手段の接続点までのＹ方向距離より、該Ｘ側枢着軸からＸ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＹ方向距離が長くなるように設定したり、短くなるように設定する。
【００１９】
Ｘ方向駆動手段を、Ｘ方向移動部材に固定されたＸ方向駆動用コイルと、該Ｘ方向駆動用コイルに磁力を及ぼして該Ｘ方向駆動用コイルと該Ｘ方向移動部材に上記Ｘ方向への相対移動力を与えるＸ磁力発生装置と、を備え、Ｘ方向移動部材とＸ磁力発生装置の一方を固定支持基板に固定し、他方に上記Ｘ用リンク部材を接続するのが実際的である。
【００２０】
この態様でも、Ｙ方向に移動するＹ方向移動部材を有するＹ方向駆動手段を備え、このＹ方向移動部材と上記ステージ部材との間に、該Ｙ方向移動部材の移動量を拡大または縮小してステージ部材に伝達するＹ方向移動量調整伝達手段を設けるのが好ましい。
【００２１】
上記Ｙ方向移動量調整伝達手段が、中間部が固定支持基板に、Ｘ方向及びＹ方向に対して直交するＺ方向のＹ側枢着軸回りに回転可能として支持され、一端がＹ方向駆動手段に、Ｚ方向の回転軸回りに回転可能として接続され、他端がステージ部材に、Ｘ方向に相対移動自在、かつ、Ｚ方向の回転軸回りに回転自在として接続されたＹ用リンク部材を備え、該Ｙ側枢着軸から上記Ｙ用リンク部材の一端とＸ方向駆動手段の接続点までのＸ方向距離と、該Ｙ側枢着軸からＹ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＸ方向距離とを異ならせて設定するのが実際的である。
【００２２】
この場合は、上記ステージ部材が、Ｘ方向を向くＸ方向スライド溝と、該Ｘ方向スライド溝にＸ方向に摺動自在に嵌合するＸ用スライダとを備え、上記Ｙ用リンク部材の他端が該Ｘ用スライダにＺ方向の回転軸回りに回転自在として接続されるのが実際的である。
【００２３】
上記Ｙ側枢着軸からＹ用リンク部材の一端とＹ方向駆動手段の接続点までのＸ方向距離より、該Ｙ側枢着軸からＹ用リンク部材の他端とステージ部材の接続点までのＸ方向距離が長くなるように設定したり、短くなるように設定するのが実際的である。
【００２４】
上記Ｙ方向駆動手段が、Ｙ方向移動部材に固定されたＹ方向駆動用コイルと、該Ｙ方向駆動用コイルに磁力を及ぼして該Ｘ方向駆動用コイルと該Ｙ方向移動部材にＹ方向への相対移動力を与えるＹ磁力発生装置と、を備え、Ｙ方向移動部材とＹ磁力発生装置の一方を固定支持基板に固定し、他方に上記Ｙ用リンク部材を接続するのが実際的である。
【００２５】
上記磁力発生装置が、磁石と、該磁石によって磁化され、該磁石との間で磁力線を形成する、上記コイルを囲む断面コ字形のヨークと、を具備するのが実際的である。
【００２６】
これらのステージ装置はカメラの手振れ補正装置として利用できる。具体的には、上記ステージ装置を内蔵するカメラと、上記ステージ部材と一体となって移動する、前面に結像面を有する撮像素子と、上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイル及び上記Ｙ方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、を備えることにより手振れ補正装置が得られる。
【００２７】
また、カメラの手振れ補正装置は、上記ステージ装置を内蔵するカメラと、上記ステージ部材と一体となって移動する、手振れを補正するための補正レンズと、上記カメラの振動を検出する振動検出センサと、該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイル及び上記Ｙ方向駆動用コイルに、手振れを補正するように電流を流す制御手段と、
を備えることにより得られる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によると、駆動装置の移動量よりステージ部材の移動量が大きくまたは小さくしながら、駆動装置からステージ部材に駆動力を伝達できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図１〜図１４に基づいて、本発明の第１の実施形態について説明する。
図１に示すように、デジタルカメラ（カメラ）１０内には、複数のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３からなる光学系が配設されており、レンズＬ３の後方にはＣＣＤ（撮像素子）１１が配設されている。上記カメラ光学系の光軸Ｏに対して直交するＣＣＤ１１の撮像面１２の位置は、該カメラ光学系の結像位置と一致しており、ＣＣＤ１１はデジタルカメラ１０に内蔵された手振れ補正装置１５に固定されている。
【００３０】
手振れ補正装置１５は、図２〜図１４に示すように、以下のような構造となっている。
図２に示すように、後方から視たときに方形をなし、方形の収容孔２１が穿設された平板状の固定支持基板２０は、図示を省略した固定手段によりデジタルカメラ１０のボディ内に固定されている。固定支持基板２０は、光軸Ｏに対して直交し、かつ、光軸Ｏが収容孔２１の中心に位置している。
固定支持基板２０の後面の右側部には、断面形状がコ字形をなす金属（軟鉄）等の磁性体からなるヨーク（Ｘ磁力発生装置）ＹＸの前板部が固着されている。ヨークＹＸの前板部の後面には、そのＮ極とＳ極がＸ方向（図２の矢印Ｘ方向。即ち左右方向。）に並ぶ磁石（Ｘ磁力発生装置）ＭＸが固着されている。図３及び図４に示すように、ヨークＹＸの後板部は磁石ＭＸと対向しており、ヨークＹＸが磁石ＭＸの磁束を通すことにより、その後板部と磁石ＭＸの間に磁気回路が形成されている。
【００３１】
固定支持基板２０の後面のヨークＹＸの周囲には、４本のローラ２２が、光軸Ｏと平行なＺ方向（図３から図８の矢印Ｚ参照）を向く回転軸Ａ回りに回転可能として設けられている。各ローラ２２の周面には回転軸Ａを中心とする円周溝２３が凹設されている。各ローラ２２の各円周溝２３のＺ方向位置は同一である。ヨークＹＸの内部には、Ｘ方向及びＹ方向（図２の矢印Ｙ方向。即ち上下方向。）と平行な平板状のコイル形成板（Ｘ方向移動部材）２４が位置している。このコイル形成板２４の上下両縁部は、上記４本のローラ２２の円周溝２３に、Ｘ方向にのみ移動可能（摺動可能）として嵌合している。
図４及び図７に示すように、コイル形成板２４の左側面全体にはＸ方向及びＹ方向と平行な挿入溝２５が設けられている。コイル形成板２４の左端部には、挿入溝２５の前後に位置させて、Ｘ方向よりＹ方向に長いＹ方向長孔２６とＹ方向長孔２７が、Ｙ方向に並んだ状態で上下一対として設けられている。
【００３２】
このコイル形成板２４の前面には磁石ＭＸとＺ方向に重合するＸ方向駆動用コイル（駆動用コイル）ＣＸが、プリントにより平面コイルとして形成されている。図１２に示すように、Ｘ方向駆動用コイルＣＸは、各辺が直線状をなす渦巻き状をなしており、右辺ＣＸ１と、左辺ＣＸ２と、上辺ＣＸ３と、下辺ＣＸ４とからなっている。図１２では便宜上、Ｘ方向駆動用コイルＣＸを電気線を数回巻いたものとして図示しているが、実際は数十回巻かれている。そして、このＸ方向駆動用コイルＣＸと、上記ヨークＹＸ、及び磁石ＭＸによってＸ方向駆動手段が構成されている。
【００３３】
例えばＸ方向駆動用コイルＣＸに図１２に矢線で示す方向の電流が流れると、右辺ＣＸ１と左辺ＣＸ２にはＸ方向右向きの直線的な力ＦＸが生じる。この力ＦＸにより、コイル形成板２４が各ローラ２２を回転させながら右向きに直線的に移動する。この際、上辺ＣＸ３と下辺ＣＸ４にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので、コイル形成板２４には力を及ぼさない。
Ｘ方向駆動用コイルＣＸに図１２の矢線と逆向きの電流を流すと、右辺ＣＸ１と左辺ＣＸ２にはＸ方向左向きの直線的な力が生じ、コイル形成板２４が各ローラ２２を回転させながら左向きに直線的に移動する。
このようにＸ方向駆動用コイルＣＸへ流す電流の向きを調整することにより、右辺ＣＸ１がＮ極とＺ方向に重合し左辺ＣＸ２がＳ極とＺ方向に重合する範囲内で、コイル形成板２４がヨークＹＸ（固定支持基板２０）に対してＸ方向（左右方向）に直線移動する。
さらに、Ｘ方向駆動用コイルＣＸへの給電を停止すると、その瞬間にＸ方向の動力が失われ、コイル形成板２４は移動を停止する。また、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに流れる電流の大きさと生じる力は比例するので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸへ給電する電流を大きくすれば、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに掛かる力は大きくなり、電流を小さくすればＸ方向駆動用コイルＣＸに掛かる力は小さくなる。
【００３４】
固定支持基板２０の後面の収容孔２１の下方には、断面形状がコ字形をなす金属（軟鉄）等の磁性体からなるヨーク（Ｙ磁力発生装置）ＹＹの前板部が固着されている。ヨークＹＹの前板部の後面には、そのＮ極とＳ極がＹ方向に並ぶ磁石（Ｙ磁力発生装置）ＭＹが固着されている。図３に示すように、ヨークＹＹの後板部は磁石ＭＹと対向しており、ヨークＹＹが磁石ＭＹの磁束を通すことにより、その後板部と磁石ＭＹの間に磁気回路が形成されている。固定支持基板２０の後面のヨークＹＹの周囲には４本のローラ２８が、光軸Ｏと平行なＺ方向を向く回転軸Ａ回りに回転可能として設けられている。各ローラ２８の周面には回転軸Ａを中心とする円周溝２９が凹設されており、各円周溝２９のＺ方向位置は同一である。ヨークＹＹの内部には、Ｘ方向及びＹ方向と平行な平板状のコイル形成板（Ｙ方向移動部材）３０が位置している。このコイル形成板３０の左右両側縁部が、上記４本のローラ２８の各円周溝２９に、Ｙ方向にのみ移動可能（摺動可能）として嵌合している。
コイル形成板３０の上面全体にはコイル形成板２４と同様に、Ｘ方向及びＹ方向と平行な挿入溝３１が設けられている。コイル形成板３０の上端部には、この挿入溝３１の前後に位置させて、Ｙ方向よりＸ方向に長いＸ方向長孔３２とＸ方向長孔３３が左右一対として設けられている（Ｘ方向長孔３２とＸ方向長孔３３はＸ方向に並んでいる）。
このコイル形成板３０の前面には磁石ＭＹとＺ方向に重合するＹ方向駆動用コイル（駆動用コイル）ＣＹが、プリントにより平面コイルとして形成されている。図１３に示すように、Ｙ方向駆動用コイルＣＹは、各辺が直線状をなす渦巻き状をなしており、右辺ＣＹ１と、左辺ＣＹ２と、上辺ＣＹ３と、下辺ＣＸ４とからなっている。図１３では便宜上、Ｙ方向駆動用コイルＣＹを電気線を数回巻いたものとして図示しているが、実際は数十回巻かれている。そして、このＹ方向駆動用コイルＣＹと、上記ヨークＹＹ、及び磁石ＭＹによってＹ方向駆動手段が構成されている。
【００３５】
例えば、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに図１３に矢線で示す方向の電流が流れると、上辺ＣＹ３と下辺ＣＹ４にはＹ方向上向きの直線的な力ＦＹが生じる。この力ＦＹにより、コイル形成板３０が各ローラ２８を回転させながらＹ方向上向きに直線的に移動する。この際、右辺ＣＹ１と左辺ＣＹ２にも力が生じるが、これらの力は互いに打ち消し合うので、コイル形成板３０には力を及ぼさない。
Ｙ方向駆動用コイルＣＹに図１３の矢線と逆向きの電流を流すと、上辺ＣＹ３と下辺ＣＹ４にはＹ方向下向きの直線的な力が生じ、この力により、コイル形成板３０が各ローラ２８を回転させながらＹ方向下向きに直線的に移動する。
このようにＹ方向駆動用コイルＣＹへ流す電流の向きを調整することにより、上辺ＣＹ３がＮ極とＺ方向に重合し下辺ＣＹ４がＳ極とＺ方向に重合する範囲内で、コイル形成板３０がヨークＹＹ（固定支持基板２０）に対してＹ方向（上下方向）に移動する。
さらに、Ｙ方向駆動用コイルＣＹへの給電を停止すると、その瞬間にＹ方向の動力が失われ、コイル形成板３０は移動を停止する。また、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに流れる電流の大きさと生じる力は比例するので、Ｙ方向駆動用コイルＣＹへ給電する電流を大きくすれば、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに掛かる力は大きくなり、電流を小さくすればＹ方向駆動用コイルＣＹに掛かる力は小さくなる。
【００３６】
収容孔２１の内部には、後方から視たときに方形をなす収容孔２１より小寸の中空箱状のＣＣＤ保持部材（ステージ部材）４０が位置している。図４に示すように、ＣＣＤ保持部材４０の前面には正面視方形の採光孔４１が穿設されている。ＣＣＤ保持部材４０の内部にはローパスフィルタ４２とＣＣＤ１１が正面視方形環状の押さえ部材４３は挟んだ状態で収納されており、正面から視るとＣＣＤ１１の撮像面１２は採光孔４１と前後方向に対向する。図３及び図４に示すように、ＣＣＤ保持部材４０の後面にはカバー板４４が固着されており（図２では図示を省略している）、ＣＣＤ保持部材４０からＣＣＤ１１、ローパスフィルタ４２、及び押さえ部材４３が後方に抜け落ちるのを防止している。図９に示すように、このカバー板４４は、前後方向に見たときにＣＣＤ保持部材４０と同形状をなし、かつ、ＣＣＤ保持部材４０の後端面に固着される方形部３５と、方形部３５から右側と下側にそれぞれ直線的に延びる舌片３６と舌片３７とを備えている。図３及び図４に示すように、舌片３６の先端部はヨークＹＸ内に位置しており、図示は省略してあるが、舌片３７の先端部はヨークＹＹ内に位置している。舌片３６の先端部の前面には、磁石ＭＸとヨークＹＸの間の磁束を利用してカバー板４４（ＣＣＤ１１）のＸ方向の位置変化を検出するＸ方向ホール素子３８が固着されている。舌片３７の先端部の前面には、磁石ＭＹとヨークＹＹの間の磁束を利用してカバー板４４（ＣＣＤ１１）のＹ方向の位置変化を検出するＹ方向ホール素子３９が固着されている。
【００３７】
ＣＣＤ保持部材４０の右側面の上下両端部には、前後一対の突片４６、突片４７が突設されている。前後の突片４６と突片４７には、Ｘ方向よりＹ方向に長い同一形状のＹ方向長孔４８とＹ方向長孔４９がそれぞれ穿設されている（Ｙ方向長孔４８とＹ方向長孔４９はＹ方向に並んでいる）。前後の突片４６と突片４７の間に形成されている隙間の前後寸法は、コイル形成板２４の挿入溝２５の前後寸法と同一である。
ＣＣＤ保持部材４０の下面の左右両端部には、前後一対の突片５０、突片５１が突設されている。前後の突片５０と突片５１には、Ｙ方向よりＸ方向に長い同一形状のＸ方向長孔５２とＸ方向長孔５３がそれぞれ穿設されている（Ｘ方向長孔５２とＸ方向長孔５３はＸ方向に並んでいる）。前後の突片５０と突片５１の間に形成されている隙間の前後寸法は、コイル形成板３０の挿入溝３１の前後寸法と同一である。
【００３８】
このＣＣＤ保持部材４０は、Ｘ用Ｘリンク５４とＹ用Ｘリンク５５によって、それぞれコイル形成板２４とコイル形成板３０に、相対移動可能に接続されている。まずは、主に図２と図７を利用してコイル形成板２４とＣＣＤ保持部材４０の間の接続構造であるＸ用Ｘリンク５４について説明する。
リンク部材５６とリンク部材５７の中間部は前後方向に重合しており、両者の対向面には互いに相対回転可能に嵌合する凹部５８、凹部５９が凹設されている。リンク部材５６とリンク部材５７の各凹部５８、５９と対応する位置には、共にＺ方向を向く円柱形状の連結孔６１と連結孔６２が貫通孔として穿設されている。連結孔６１と連結孔６２にはＺ方向を向く円柱形状の連結ピン６３（Ｘ側枢着軸）が挿入されており、この連結ピン６３によってリンク部材５６とリンク部材５７が、連結ピン６３を中心に回転可能として連結されている。さらに、連結ピン６３の前端は固定支持基板２０の後面に固着されている。リンク部材５６とリンク部材５７の前後方向寸法は同一であり、その前後寸法は、コイル形成板２４の挿入溝２５の前後寸法、及び、前後の突片４６と突片４７の間の隙間の前後寸法と同一である。さらに、凹部５８と凹部５９の前後寸法はリンク部材５６及びリンク部材５７の前後寸法の半分なので、凹部５８と凹部５９が互いに接触しつつ嵌合すると、図４及び図６に示すように、リンク部材５６及びリンク部材５７の前面及び後面が同一平面上に位置する。さらに、リンク部材５６とリンク部材５７の右端部には、これらをＺ方向に貫通する円柱形状の連結孔６４と連結孔６５が穿設されている。連結孔６４と連結孔６５の断面径はＹ方向長孔２６及びＹ方向長孔２７のＸ方向寸法と同一である。リンク部材５６とリンク部材５７の右端部は挿入溝２５に挿入されている。前後のＹ方向長孔２７と連結孔６４には、その断面径がＹ方向長孔２７のＸ方向寸法と同一で、かつ、Ｚ方向を向く円柱形状の連結ピン（移動軸）６６が嵌合され、連結ピン６６は連結孔６４に固定されている。一方、前後のＹ方向長孔２６と連結孔６５には、その断面径がＹ方向長孔２６のＸ方向寸法と同一で、かつ、Ｚ方向を向く円柱形状の連結ピン（移動軸）６７が嵌合され、連結ピン６７は連結孔６５に固定されている。連結ピン６６と連結ピン６７は、Ｙ方向長孔２７とＹ方向長孔２６の内部において自身の軸線回りに回転可能、かつ、Ｙ方向長孔２６とＹ方向長孔２７に沿ってＹ方向に相対移動可能である。
【００３９】
リンク部材５６とリンク部材５７の左端部には、これらをＺ方向に貫通する円柱形状の連結孔６８と連結孔６９が穿設されている。連結孔６８と連結孔６９の断面径はＹ方向長孔４８及びＹ方向長孔４９のＸ方向寸法と同一である。リンク部材５６とリンク部材５７の左端部は前後の突片４６と突片４７の間に形成された隙間にそれぞれ挿入されている。前後のＹ方向長孔４８と連結孔６８には、その断面径がＹ方向長孔４８のＸ方向寸法と同一で、かつ、Ｚ方向を向く円柱形状の連結ピン（移動軸）７０が嵌合されており、連結ピン７０は連結孔６８に固定されている。一方、前後のＹ方向長孔４９と連結孔６９には、その断面径がＹ方向長孔４９のＸ方向寸法と同一で、かつ、Ｚ方向を向く円柱形状の連結ピン（移動軸）７１が嵌合されており、連結ピン７１は連結孔６９に固定されている。連結ピン７０と連結ピン７１は、Ｙ方向長孔４８とＹ方向長孔４９の内部において自身の軸線回りに回転可能であり、かつ、Ｙ方向長孔４８とＹ方向長孔４９に沿ってＹ方向に相対移動可能である。
図２及び図７に示すように、連結ピン６３から連結ピン６６と連結ピン６７までの直線距離より、連結ピン６３から連結ピン７０と連結ピン７１までの直線距離の方が長く設定してある。
以上説明したＹ方向長孔２６、Ｙ方向長孔２７、Ｙ方向長孔４８、Ｙ方向長孔４９、リンク部材５６、リンク部材５７、連結ピン６３、連結ピン６６、連結ピン６７、連結ピン７０、及び連結ピン７１がＸ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００４０】
Ｘ方向駆動用コイルＣＸに電流が流れ、その結果、図１０に示すように、コイル形成板２４がヨークＹＸに対して左側に直線移動すると、連結ピン６６と連結ピン６７がＹ方向長孔２７とＹ方向長孔２６の内部を互いに離れるようにＹ方向に直線移動し、かつ、連結ピン７０と連結ピン７１がＹ方向長孔４８とＹ方向長孔４９の内部を互いに離れるようにＹ方向に直線移動する。すると、連結ピン６６（連結ピン６７）と連結ピン７０（連結ピン７１）の間のＸ方向距離（及び連結ピン６６（連結ピン６７）と連結ピン７０（連結ピン７１）の連結ピン６３に対するＸ方向距離）が、図２より短くなる。従って、ＣＣＤ１１は固定支持基板２０に対して右側に直線移動する。そして、このときのコイル形成板２４の左側への移動量とＣＣＤ１１の右側への移動量の比は、連結ピン６３から連結ピン６６（連結ピン６７）までの直線距離と連結ピン６３から連結ピン７０（連結ピン７１）までの直線距離の比と同一であり、コイル形成板２４の左側への移動量よりＣＣＤ１１の右側への移動量が大きくなる。さらに、この動きに連動して、突片５０と突片５１のＸ方向長孔５２とＸ方向長孔５３が、後述する連結ピン８６と連結ピン８７に対してそれぞれ右側に相対移動する。
【００４１】
一方、コイル形成板２４がヨークＹＸに対して右側に直線移動すると、連結ピン６６と連結ピン６７がＹ方向長孔２７とＹ方向長孔２６の内部を互いに近づくようにＹ方向に直線移動し、かつ、連結ピン７０と連結ピン７１がＹ方向長孔４８とＹ方向長孔４９の内部を互いに近づくようにＹ方向に直線移動する。その結果、連結ピン６６（連結ピン６７）と連結ピン７０（連結ピン７１）のＸ方向距離（及び連結ピン６６（連結ピン６７）と連結ピン７０（連結ピン７１）の連結ピン６３に対するＸ方向距離）が長くなる。従って、ＣＣＤ１１は固定支持基板２０に対して左側に直線移動する。そして、このときのコイル形成板２４の右側への移動量とＣＣＤ１１の左側への移動量の比も、連結ピン６３から連結ピン６６（連結ピン６７）までの直線距離と連結ピン６３から連結ピン７０（連結ピン７１）までの直線距離の比と同一であり、コイル形成板２４の右側への移動量よりＣＣＤ１１の左側への移動量が大きくなる。さらにこの動きに連動して、突片５０と突片５１のＸ方向長孔５２とＸ方向長孔５３が、連結ピン８６と連結ピン８７に対してそれぞれ左側に相対移動する。
【００４２】
次に、主に図２と図８を利用してコイル形成板３０とＣＣＤ保持部材４０の間の接続構造であるＹ用Ｘリンク５５について説明する。
リンク部材７３とリンク部材７４の中間部は前後方向に重合しており、両者の対向面には互いに相対回転可能に嵌合する凹部７５、凹部７６が凹設されている。リンク部材７３とリンク部材７４の各凹部７５、７６と対応する位置には、共にＺ方向を向く円柱形状の連結孔７７と連結孔７８が貫通孔として穿設されている。連結孔７７と連結孔７８にはＺ方向を向く円柱形状の連結ピン（Ｙ側枢着軸）７９が挿入されており、この連結ピン７９によってリンク部材７３とリンク部材７４が連結ピン７９を中心に回転可能として連結されている。さらに、連結ピン７９の前端は固定支持基板２０の後面に固着されている。リンク部材７３とリンク部材７４の前後寸法は同一であり、その前後寸法は、コイル形成板３０の挿入溝３１の前後寸法、及び、前後の突片５０と突片５１の間の隙間の前後寸法と同一である。さらに、凹部７５と凹部７６の前後寸法はリンク部材７３及びリンク部材７４の前後寸法の半分なので、凹部７５と凹部７６が嵌合すると、図５に示すように、リンク部材７３及びリンク部材７４の前面及び後面が同一平面上に位置する。さらに、リンク部材７３とリンク部材７４の下端部には、これらをＺ方向に貫通する円柱形状の連結孔８０と連結孔８１が穿設されている。連結孔８０と連結孔８１の断面径はＸ方向長孔３２及びＸ方向長孔３３のＹ方向寸法と同一である。リンク部材７３とリンク部材７４の下端部は挿入溝３１に挿入されている。前後のＸ方向長孔３３と連結孔８０には、その断面径がＸ方向長孔３３のＹ方向寸法と同一で、かつ、Ｚ方向を向く連結ピン（移動軸）８２が嵌合され、連結ピン８２が連結孔８０に固定されている。一方、前後のＸ方向長孔３２と連結孔８１には、その断面径がＸ方向長孔３２のＹ方向寸法と同一で、かつ、Ｚ方向を向く連結ピン（移動軸）８３が嵌合され、連結ピン８３が連結孔８１に固定されている。連結ピン８２と連結ピン８３は、Ｘ方向長孔３２とＸ方向長孔３３の内部において自身の軸線回りに回転可能であり、かつ、Ｘ方向長孔３２とＸ方向長孔３３に沿ってＸ方向に相対移動可能である。
【００４３】
リンク部材７３とリンク部材７４の上端部には、これらをＺ方向に貫通する円柱形状の連結孔８４と連結孔８５が穿設されている。連結孔８４と連結孔８５の断面径はＸ方向長孔５２及びＸ方向長孔５３のＹ方向寸法と同一である。そして、リンク部材７３とリンク部材７４の上端部は、前後の突片５１と突片５０の間に形成された隙間にそれぞれ挿入されている。前後のＸ方向長孔５３と連結孔８４には、その断面径がＸ方向長孔５３のＹ方向寸法と同一で、かつ、Ｚ方向を向く連結ピン（移動軸）８６が嵌合され、連結ピン８６が連結孔８４に固定されている。一方、前後のＸ方向長孔５２と連結孔８５には、その断面径がＸ方向長孔５２のＹ方向寸法と同一で、かつ、Ｚ方向を向く連結ピン（移動軸）８７が嵌合され、連結ピン８７が連結孔８５に固定されている。連結ピン８６と連結ピン８７は、Ｘ方向長孔５３とＸ方向長孔５２の内部において自身の軸線回りに回転可能であり、かつ、Ｘ方向長孔５３とＸ方向長孔５２に沿ってＸ方向に相対移動可能である。
図２及び図８に示すように、連結ピン７９から連結ピン８２と連結ピン８３までの直線距離より、連結ピン７９から連結ピン８６と連結ピン８７までの直線距離の方が長く設定してある。
以上説明したＸ方向長孔３２、Ｘ方向長孔３３、Ｘ方向長孔５２、Ｘ方向長孔５３、リンク部材７３、リンク部材７４、連結ピン７９、連結ピン８２、連結ピン８３、連結ピン８６、及び連結ピン８７がＹ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００４４】
図１１に示すように、コイル形成板３０がヨークＹＹに対して上側に直線移動すると、連結ピン８２と連結ピン８３がＸ方向長孔３２とＸ方向長孔３３の内部を互いに離れるようにＸ方向に直線移動し、かつ、連結ピン８６と連結ピン８７がＸ方向長孔５３とＸ方向長孔５２の内部を互いに離れるようにＸ方向に直線移動する。すると、連結ピン８２（連結ピン８３）と連結ピン８６（連結ピン８７）の間のＹ方向距離（及び連結ピン８２（連結ピン８３）と連結ピン８６（連結ピン８７）の連結ピン７９に対するＹ方向距離）が短くなる。従って、ＣＣＤ１１は固定支持基板２０に対して下側に直線移動する。そして、このときのコイル形成板３０の上側への移動量とＣＣＤ１１の下側への移動量の比は、連結ピン７９から連結ピン８２（連結ピン８３）までの直線距離と連結ピン７９から連結ピン８６（連結ピン８７）までの直線距離の比と同一であり、コイル形成板３０の上側への移動量よりＣＣＤ１１の下側への移動量が大きくなる。
コイル形成板３０がヨークＹＹに対して下側に直線移動すると、連結ピン８２と連結ピン８３がＸ方向長孔３２とＸ方向長孔３３の内部を互いに近づくようにＸ方向に直線移動し、連結ピン８６と連結ピン８７がＸ方向長孔５３とＸ方向長孔５２の内部を互いに近づくようにＸ方向に直線移動し、その結果、連結ピン８２（連結ピン８３）と連結ピン８６（連結ピン８７）のＹ方向距離（及び連結ピン８２（連結ピン８３）と連結ピン８６（連結ピン８７）の連結ピン７９に対するＹ方向距離）が長くなる。従って、ＣＣＤ１１は固定支持基板２０に対して上側に直線移動する。そして、このときのコイル形成板３０の下側への移動量とＣＣＤ１１の上側への移動量の比は、連結ピン７９から連結ピン８２（連結ピン８３）までの直線距離と連結ピン７９から連結ピン８６（連結ピン８７）までの直線距離の比と同一であり、コイル形成板３０の下側への移動量よりＣＣＤ１１の上側への移動量が大きくなる。
【００４５】
次に、このような構成の手振れ補正装置１５の動作について、図１４の制御回路ブロック図を用いながら説明する。
手振れ補正は、撮影者の手振れによる撮影レンズ光軸Ｏの角度振れによる画像の揺れを打ち消すように行われる。撮影レンズ光軸Ｏの角度振れは通常、カメラ内に搭載されたＸ方向角速度センサ（振動検出センサ）９０とＹ方向角速度センサ（振動検出センサ）９１とで２方向（Ｘ方向とＹ方向）に分けて検出される。
デジタルカメラ１０によって撮影を行うと、各レンズＬ１〜Ｌ３を透過した光が、採光孔４１と光学ローパスフィルタ４２を通ってＣＣＤ１１の撮像面１２に結像する。この際、デジタルカメラ１０の手振れ補正スイッチ（不図示）をＯＮにして撮影を行なうと、Ｘ方向角速度センサ９０とＹ方向角速度センサ９１の出力を積分回路（制御手段）９２、９３で積分し光軸ＯのＸ方向とＹ方向の角度振れ量に変換する。積分回路９２の出力（デジタルカメラ１０のＸ方向の振動量）を、移動量演算手段（制御手段）９６が焦点距離に基づく撮像面１２での移動量に演算する。さらに、この演算値とＸ方向ホール素子３８の出力（ＣＣＤ１１のデジタルカメラ１０に対するＸ方向の移動量）を誤差増幅器（制御手段）９４が比較し、誤差増幅器９４がこの出力差に連結ピン６３から連結ピン６６（連結ピン６７）までの距離と連結ピン７０（連結ピン７１）までの距離の比を掛けた値を演算する。そして、この演算値に応じた電圧が誤差増幅器９４によってＸ方向駆動用コイルＣＸに印加され、この出力差が小さくなるようにコイル形成板２４をＸ方向に駆動する。同様に積分回路９３の出力（デジタルカメラ１０のＹ方向の振動量）を、移動量演算手段（制御手段）９７が焦点距離に基づく撮像面１２での移動量に演算する。さらに、この演算値とＹ方向ホール素子３９の出力（ＣＣＤ１１のデジタルカメラ１０に対するＹ方向の移動量）を誤差増幅器（制御手段）９５が比較し、誤差増幅器９５がこの出力差に連結ピン７９から連結ピン８２（連結ピン８３）までの距離と連結ピン８６（連結ピン８７）までの距離の比を掛けた値を演算する。そして、この演算値に応じた電圧が誤差増幅器９５によってＹ方向駆動用コイルＣＹに印加され、この出力差が小さくなるようにコイル形成板３０をＹ方向に駆動する。すなわち、手振れによる光軸Ｏの角度振れ量に追従して、コイル形成板２４とコイル形成板３０の移動量より大きい移動量でＣＣＤ１１をＸＹ方向に駆動し（ＣＣＤ保持部材４０が収容孔２１に接触しない範囲内で）、手振れによるＣＣＤ１１上の像振れを補正する。ＣＣＤ１１のＸＹ方向への直線移動中、ＣＣＤ１１の撮像面１２は常に光軸Ｏと直交する。
【００４６】
以上説明した本実施形態によれば、コイル形成板２４とコイル形成板３０の移動量よりＣＣＤ保持部材４０（ＣＣＤ１１）の移動量を大きくしながら、コイル形成板２４とコイル形成板３０の駆動力をＣＣＤ保持部材４０に伝達しているので、駆動手段であるコイル形成板２４、コイル形成板３０、ヨークＹＸ、ヨークＹＹ、Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹを従来に比して小型化できる。
【００４７】
また、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹが、Ｘ方向及びＹ方向と平行な平面状なので、Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹの巻き数を多くして大きな動力を得ようとすると、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹはＸ方向とＹ方向に延びる。しかし、Ｘ方向駆動用コイルＣとＹ方向駆動用コイルＣＹの巻き数を多くしても、Ｘ方向駆動用コイルＣＸとＹ方向駆動用コイルＣＹが光軸Ｏ方向には大きくならず、ヨークＹＸ、ヨークＹＹも光軸Ｏ方向に大型化しないので、デジタルカメラ１０が光軸Ｏ方向に大型化することはない。
【００４８】
次に、本発明の第２の実施形態について、図１５〜図２２を参照しながら説明する。なお、第１の実施形態と同じ部材には同じ符合を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
収容孔２１の内部には、第１の実施形態のＣＣＤ保持部材４０と略同形状で、収容孔２１より小寸の中空箱状のＣＣＤ保持部材（ステージ部材）１０１が位置している。図１７に示すようにＣＣＤ保持部材１０１の前面には正面視方形の採光孔４１が穿設されており、内部にはローパスフィルタ４２とＣＣＤ１１が押さえ部材４３は挟んだ状態で収納されており、正面から視るとＣＣＤ１１の撮像面１２は採光孔４１と前後方向に対向する。
【００４９】
ＣＣＤ保持部材１０１の後面にはＸ方向を向くＸ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３が、上下一対として凹設されている。図１５、図１８、及び図２０に示すように、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３は同形状の直線溝であり、断面形状は共に方形である。Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３には、そのＹ方向寸法がＸ方向スライド溝１０２及びＸ方向スライド溝１０３と等しく、Ｘ方向寸法及びＺ方向寸法がＸ方向スライド溝１０２及びＸ方向スライド溝１０３より短い、互いに同形状（直方体）のＸ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５が、それぞれＸ方向にのみ摺動可能として嵌合している。Ｘ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５は図示を省略した付勢手段によって常に前方に付勢されており、Ｘ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５の上下両面と前面は常にＸ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３の内面にそれぞれ接触している。さらに、Ｘ用スライダ１０４の後面にはＸ方向を向くＸ方向リンク部材（Ｙ用リンク部材）１０６の左端部が、Ｚ方向を向く連結ピン１０７によって枢着されており、Ｘ方向リンク部材１０６はＸ用スライダ１０４に対して連結ピン１０７回りに回転可能である。固定支持基板２０の後面に突設された軸受け１６にはＺ方向を向く連結ピン（Ｙ用枢着軸）１０８が固定されており、Ｘ方向リンク部材１０６の中間部が連結ピン１０８に枢着されている。よって、Ｘ方向リンク部材１０６は固定支持基板２０に対して連結ピン１０８を中心に回転可能である。
一方、Ｘ用スライダ１０５の後面にはＸ方向リンク部材１０６と同形状のＸ方向を向くＸ方向リンク部材（Ｙ用リンク部材）１０９の左端部が、Ｚ方向を向く連結ピン１１０によって枢着されている。Ｘ方向リンク部材１０９はＸ用スライダ１０５に対して連結ピン１１０回りに回転可能である。固定支持基板２０の後面には、そのＸ方向位置が軸受け１６と一致する軸受け１７が突設されている。この軸受け１７には、Ｚ方向を向く連結ピン（Ｙ用枢着軸）１１１が固定されており、Ｘ方向リンク部材１０９の中間部は連結ピン１１１に枢着されている。即ち、Ｘ方向リンク部材１０９は固定支持基板２０に対して連結ピン１１１を中心に回転可能である。
【００５０】
Ｘ方向リンク部材１０６の前面の右端部には、Ｚ方向を向く連結ピン１１２によってＹ方向を向くＹ方向リンク部材（Ｙ方向駆動手段）（Ｙ方向移動部材）１１３の上端部が枢着されており、Ｙ方向リンク部材１１３とＸ方向リンク部材１０６は連結ピン１１２を中心に相対回転可能である。さらに、Ｙ方向リンク部材１１３の下端部は、Ｘ方向リンク部材１０９の前面の右端部に、Ｚ方向を向く連結ピン１１４によって枢着されており、Ｙ方向リンク部材１１３とＸ方向リンク部材１０９は連結ピン１１４回りに相対回転可能である。そして、Ｙ方向リンク部材１１３の後面中央部にはコイル形成板（Ｙ方向移動部材）２４の前面が固着されている。さらに、固定支持基板２０のコイル形成板２４近傍には、第１の実施形態のヨークＹＸと同構造のヨークＹＹが固着されている。図１６及び図１７に示すように、ヨークＹＹの前板部と後板部の間にＹ方向リンク部材１１３とコイル形成板２４が位置している。そして、ヨークＹＹの前板部の後面には、そのＮ極とＳ極がＹ方向に並ぶ磁石ＭＹが固着されており、互いに対向するヨークＹＹの後板部と磁石ＭＹの間には磁気回路が形成されている。
【００５１】
図１５及び図２０に示すように、連結ピン１０８から連結ピン１１２までの直線距離（Ｘ方向距離）より連結ピン１０８から連結ピン１０７までの直線距離（Ｘ方向距離）が長くなるように、連結ピン１０８の位置は設定されている。同様に、連結ピン１１１から連結ピン１１４までの直線距離（Ｘ方向距離。連結ピン１０８から連結ピン１１２までの直線距離と同一）より連結ピン１１１から連結ピン１１０までの直線距離（Ｘ方向距離。連結ピン１０８から連結ピン１０７までの直線距離と同一）が長くなるように、連結ピン１１１の位置が設定されている。
そして、これらＸ方向スライド溝１０２、Ｘ方向スライド溝１０３、Ｘ用スライダ１０４、Ｘ用スライダ１０５、Ｘ方向リンク部材１０６、連結ピン１０７、連結ピン１０８、Ｘ方向リンク部材１０９、連結ピン１１０、連結ピン１１１、連結ピン１１２、Ｙ方向リンク部材１１３、連結ピン１１４はＹ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００５２】
ＣＣＤ保持部材１０１の後面の左端部にはＹ方向を向くＹ方向スライド溝１１７が凹設されている。図１７、図１９、図２０に示すようにＹ方向スライド溝１１７は断面が方形の直線溝である。Ｙ方向スライド溝１１７には、そのＸ方向寸法がＹ方向スライド溝１１７と等しく、Ｙ方向寸法及びＺ方向寸法がＹ方向スライド溝１１７より短い直方体形状のＹ用スライダ１１８が、Ｙ方向にのみ摺動可能として嵌合している。Ｙ用スライダ１１８は図示を省略した付勢手段によって常に前方に付勢されており、Ｙ用スライダ１１８の左右両面と前面は常にＹ方向スライド溝１１７の内面にそれぞれ接触している。さらに、Ｙ用スライダ１１８の後面にはＹ方向を向くＹ方向リンク部材（Ｘ用リンク部材）１１９の上端部が、Ｚ方向を向く連結ピン１２０によって枢着されており、Ｙ方向リンク部材１１９はＹ用スライダ１１８に対して連結ピン１２０回りに回転可能となっている。固定支持基板２０の後面には軸受け１８が突設されており、Ｙ方向リンク部材１１９の中間部は、この軸受け１８に支持されたＺ方向を向く連結ピン（Ｘ用枢着軸）１２１に枢着されている。即ち、Ｙ方向リンク部材１１９は固定支持基板２０に対して連結ピン１２１を中心に回転可能である。固定支持基板２０の後面の軸受け１８の右側には軸受け１９が突設されている（軸受け１９のＹ方向位置は軸受け１８と同一である）。軸受け１９には、Ｚ方向を向く連結ピン１２３が支持されており、この連結ピン１２３に、Ｙ方向リンク部材１１９と平行なＹ方向リンク部材１２２の上端部が（連結ピン１２３回りに）回転可能に枢着されている。そして、Ｙ方向リンク部材１２２の前面の下端部には、Ｚ方向を向く連結ピン１２４によって、Ｘ方向を向くＸ方向リンク部材（Ｘ方向駆動手段）（Ｘ方向移動部材）１２５の右端部が枢着されており、Ｘ方向リンク部材１２５とＹ方向リンク部材１２２は連結ピン１２４回りに回転可能である。さらに、Ｘ方向リンク部材１２５の左端部は、Ｚ方向を向く連結ピン１２６によってＹ方向リンク部材１１９の前面の下端部に枢着されており、Ｙ方向リンク部材１１９とＸ方向リンク部材１２５は連結ピン１２６回りに回転可能である。
Ｘ方向リンク部材１２５の後面中央部にはコイル形成板（Ｘ方向移動部材）３０の前面が固着されている。さらに、固定支持基板２０のコイル形成板３０近傍には、第１の実施形態のヨークＹＹと同構造のヨークＹＸが固着されている。図２０に示すように、ヨークＹＸの前板部と後板部の間にＸ方向リンク部材１２５とコイル形成板３０が位置している。そして、ヨークＹＸの前板部の後面には、そのＮ極とＳ極がＸ方向に並ぶ磁石ＭＸが固着されており、互いに対向するヨークＹＸの後板部と磁石ＭＸの間に磁気回路が形成されている。
【００５３】
図１５及び図２０に示すように、連結ピン１２１から連結ピン１２６までの直線距離（Ｙ方向距離。連結ピン１２３から連結ピン１２４までの直線距離と同一）より連結ピン１２１から連結ピン１２０までの直線距離（Ｙ方向距離）が長くなるように、連結ピン１２１（軸受け１８と軸受け１９）のＹ方向位置を設定している。
そして、これらＹ方向スライド溝１１７、Ｙ用スライダ１１８、Ｙ方向リンク部材１１９、連結ピン１２０、連結ピン１２１、Ｙ方向リンク部材１２２、連結ピン１２３、連結ピン１２４、Ｘ方向リンク部材１２５、連結ピン１２６はＸ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００５４】
図１５〜図１７及び図１９に示すように、ＣＣＤ保持部材１０１の後面にはカバー板４４の方形部３５が固着されている。さらに図１５〜図１７に示すように、舌片３６の先端部はヨークＹＹ内に位置しており、図１５に示すように、舌片３７の先端部はヨークＹＸ内に位置している。舌片３６の先端部の前面には、磁石ＭＹとヨークＹＹの間の磁束を利用してカバー板４４（ＣＣＤ１１）のＹ方向の位置変化を検出するＹ方向ホール素子３９が固着されている。舌片３７の先端部の前面には、磁石ＭＸとヨークＹＸの間の磁束を利用してカバー板４４（ＣＣＤ１１）のＸ方向の位置変化を検出するＸ方向ホール素子３８が固着されている。
【００５５】
Ｙ方向駆動用コイルＣＹに電流を流してコイル形成板２４を固定支持基板２０に対して図１５の上側に直線移動させると、図２２に示すように、この移動力（駆動力）がＹ方向リンク部材１１３を介してＸ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９に伝わり、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９が平行関係を維持しながら連結ピン１０８と連結ピン１１１を中心に図１５（図２２）の反時計方向に回転する。すると、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９がＸ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５に対して相対回転し、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３はＸ方向を向いた状態を維持する。さらに、Ｙ方向スライド溝１１７（ＣＣＤ保持部材１０１）がＹ用スライダ１１８（及び固定支持基板２０）に対して下向きに相対移動する。
一方、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに逆向きに電流を流してコイル形成板２４を図１５の下側に直線移動させると、この移動力（駆動力）がＹ方向リンク部材１１３を介してＸ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９に伝わり、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９が連結ピン１０８と連結ピン１１１を中心に図１５の時計方向に回転する。すると、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９がＸ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５に対して相対回転し、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３はＸ方向を向いた状態を維持する。さらに、Ｙ方向スライド溝１１７（ＣＣＤ保持部材１０１）がＹ用スライダ１１８（及び固定支持基板２０）に対して上向きに相対移動する。
このようにコイル形成板２４のＹ方向への直線移動に起因してＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）がＹ方向に直線移動するとき、コイル形成板２４の移動量とＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）の移動力の比は、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１１２（連結ピン１１４）までの直線距離と、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１０７（連結ピン１１０）までの直線距離の比と同じであり、コイル形成板２４よりＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）が大きく動く。
【００５６】
Ｘ方向駆動用コイルＣＸに電流を流してコイル形成板３０を図１５の右側に直線移動させると、図２１に示すように、この移動力（駆動力）がＸ方向リンク部材１２５を介しＹ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２に伝わり、Ｙ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２が平行関係を維持しながら連結ピン１２１と連結ピン１２３を中心に図１５（図２１）の反時計方向に回転する。すると、Ｙ方向リンク部材１１９がＹ用スライダ１１８に対して相対回転し、さらに、Ｙ方向リンク部材１２２がＹ方向リンク部材１１９と同じ角度だけ回転し、Ｙ方向スライド溝１１７はＹ方向を向いた状態を維持する。さらに、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３（ＣＣＤ保持部材１０１）がＸ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５（及び固定支持基板２０）に対して左側に直線的に相対移動する。
【００５７】
一方、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに逆向きに電流を流してコイル形成板３０を図１５の左側に直線移動させると、この移動力（駆動力）がＸ方向リンク部材１２５を介してＹ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２に伝わり、Ｙ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２が連結ピン１２１と連結ピン１２３を中心に図１５の時計方向に回転する。すると、Ｙ方向リンク部材１１９がＹ用スライダ１１８に対して相対回転し、さらに、Ｙ方向リンク部材１２２がＹ方向リンク部材１１９と同じ角度だけ回転し、Ｙ方向スライド溝１１７はＹ方向を向いた状態を維持する。さらに、Ｘ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３（ＣＣＤ保持部材１０１）がＸ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５（及び固定支持基板２０）に対して右側に直線的に相対移動する。
このようにコイル形成板３０のＸ方向への直線移動に起因してＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）がＸ方向に直線移動するとき、コイル形成板３０の移動量とＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）の移動力の比は、連結ピン１２１から連結ピン１２６までの直線距離と、連結ピン１２１から連結ピン１２０までの直線距離の比と同じであり、コイル形成板３０よりＣＣＤ保持部材１０１（ＣＣＤ１１）が大きく動く。
【００５８】
このような構成の手振れ補正装置１００も図１４の制御回路ブロック図に従って制御される。即ち、誤差増幅器９４が連結ピン１２１から連結ピン１２６までの直線距離と、連結ピン１２１から連結ピン１２０までの直線距離の比を考慮しながらＸ方向駆動用コイルＣＸに電流を流し、誤差増幅器９５が連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１１２（連結ピン１１４）までの直線距離と、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１０７（連結ピン１１０）までの直線距離の比を考慮しながらＹ方向駆動用コイルＣＹに電流を流すことにより行われる。
【００５９】
次に、本発明の第３の実施形態について、図２３を参照しながら説明する。以下の説明では、第１の実施形態と同じ部材には同じ符合を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
本実施形態の手振れ補正装置２００は第１の実施形態と同様に、Ｘ用Ｘリンク２０１とＹ用Ｘリンク２０２を用いてＣＣＤ保持部材４０とコイル形成板（Ｘ方向移動部材）２０３（コイル形成板２４と基本構造は同一であるが寸法が異なる）とコイル形成板（Ｘ方向移動部材）２０４（コイル形成板３０と基本構造は同一であるが寸法が異なる）を接続したものである。ただし、Ｘ用Ｘリンク２０１の連結ピン６３（固定支持基板２０に固着されている）から連結ピン６６（連結ピン６７）と連結ピン７０（連結ピン７１）までの直線距離の比、及びＹ用Ｘリンク２０２の連結ピン７９（固定支持基板２０に固着されている）から連結ピン８２（連結ピン８３）と連結ピン８６（連結ピン８７）までの直線距離の比が、第１の実施形態とは異なる。
【００６０】
ＣＣＤ保持部材４０の右側面には突片４６と突片４７が、前後一対として突設されているが、第１の実施形態に比べて突片４６と突片４７の上下間隔が狭い（Ｙ方向長孔４８とＹ方向長孔４９はＹ方向に並んでいる）。さらにＣＣＤ保持部材４０の下面には、第１の実施形態より狭い左右間隔で、突片５０と突片５１が、前後一対として突設されている（Ｘ方向長孔５２とＸ方向長孔５３はＸ方向に並んでいる）。
本実施形態の固定支持基板２０の後面の右端部には、第１の実施形態に比べてＹ方向に長い間隔をもって４つのローラ２２が突設されており、各ローラ２２の円周溝２３には、第１の実施形態のコイル形成板２４に比べてＹ方向寸法が長いコイル形成板２０３の上下両縁部がＸ方向にのみ摺動可能に嵌合している。コイル形成板２０３の左側面には挿入溝２５（図２３では図示略）が形成されている。コイル形成板２０３の挿入溝２５の前後には、Ｙ方向長孔２６とＹ方向長孔２７が前後一対としてＹ方向に並べて穿設されている。
そして、リンク部材５６とリンク部材５７の両端部が連結ピン６６、連結ピン６７、連結ピン７０、連結ピン７１によってＹ方向長孔２６、Ｙ方向長孔２７、Ｙ方向長孔４８、Ｙ方向長孔４９にそれぞれＹ方向に移動可能として接続されている。図２３に示すように本実施形態では、連結ピン６３から連結ピン６６（連結ピン６７）までの直線距離より、連結ピン６３から連結ピン７０（連結ピン７１）までの直線距離の方が短く設定されている。
Ｙ方向長孔２６、Ｙ方向長孔２７、Ｙ方向長孔４８、Ｙ方向長孔４９、リンク部材５６、リンク部材５７、連結ピン６３、連結ピン６６、連結ピン６７、連結ピン７０、及び連結ピン７１がＸ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００６１】
本実施形態の固定支持基板２０の後面の下端部には、第１の実施形態に比べてＸ方向に長い間隔をもって４つのローラ２８が突設されており、各ローラ２８の円周溝２９には、第１の実施形態のコイル形成板３０に比べてＸ方向寸法が長いコイル形成板２０４の左右両縁部がＹ方向にのみ摺動可能として嵌合している。コイル形成板２０４の上面には挿入溝３１（図２３では図示略）が形成されている。コイル形成板２０４の挿入溝３１の前後には、Ｘ方向長孔３２とＸ方向長孔３３が前後一対としてＸ方向に並べて穿設されている。そして、リンク部材７３とリンク部材７４の両端部が連結ピン８２、連結ピン８３、連結ピン８６、連結ピン８７によってＸ方向長孔３２、Ｘ方向長孔３３、Ｘ方向長孔５２、Ｘ方向長孔５３にそれぞれＸ方向に移動可能として接続されている。図２３に示すように本実施形態では、連結ピン７９から連結ピン８２（連結ピン８３）までの直線距離より、連結ピン７９から連結ピン８６（連結ピン８７）までの直線距離の方が短く設定されている。
Ｘ方向長孔３２、Ｘ方向長孔３３、Ｘ方向長孔５２、Ｘ方向長孔５３、リンク部材７３、リンク部材７４、連結ピン７９、連結ピン８２、連結ピン８３、連結ピン８６、及び連結ピン８７がＹ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００６２】
このような構成の手振れ補正装置２００は第１の実施形態の手振れ補正装置１５とほぼ同様の動作をするが、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに電流を流してコイル形成板２０３を左方または右方に直線移動させた際、コイル形成板２０３の移動量よりＣＣＤ保持部材４０（ＣＣＤ１１）の左方または右方への移動量が小さくなる点が第１の実施形態とは異なる。同様に、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに電流を流してコイル形成板２０４を上方または下方に直線移動させた際、コイル形成板２０４の移動量よりＣＣＤ保持部材４０（ＣＣＤ１１）の下方または上方への移動量が小さくなる点が第１の実施形態とは異なる。
このようにコイル形成板２０３とコイル形成板２０４の移動量よりＣＣＤ保持部材４０（ＣＣＤ１１）の移動量を小さくしてあるので、ＣＣＤ保持部材４０（ＣＣＤ１１）をより細かに精度良く移動させることが可能であり、より正確な手振れ補正動作を実現できる。
【００６３】
最後に、本発明の第４の実施形態について、図２４〜図２６を参照しながら説明する。本実施形態の手振れ補正装置３００の基本構造は第２の実施形態の手振れ補正装置１００と同じなので、以下の説明では、第２の実施形態と同じ部材には同じ符合を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
本実施形態の手振れ補正装置３００では、固定支持基板２０の収容孔３０１が第２の実施形態の収容孔２１より小寸であり、この収容孔３０１に移動可能に嵌合するＣＣＤ保持部材（ステージ部材）３０２も第２の実施形態のＣＣＤ保持部材１０１に比べて小寸である。ＣＣＤ保持部材３０２の後部には背面視（正面視）においてＣＣＤ保持部材３０２より大寸である方形の溝形成部材（ステージ部材）３０３が一体的に固定されている。そして、溝形成部材３０３の前面には、第２の実施形態のＸ方向スライド溝１０２とＸ方向スライド溝１０３とＹ方向スライド溝１１７にそれぞれ対応するＸ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６とＹ方向スライド溝３０７がそれぞれ凹設されている。図２４に示すように、Ｘ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６はＸ方向を向く直線状の溝であり、Ｙ方向スライド溝３０７はＹ方向を向く直線状の溝である。Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９は溝形成部材３０３の前方に位置しており、Ｘ方向リンク部材１０６とＸ方向リンク部材１０９の後面には、連結ピン１０７と連結ピン１１０によってＸ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５が回転可能に枢着されている。Ｘ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５は、前方からＸ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６にそれぞれ嵌合しており、Ｘ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５はＸ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６に対してＸ方向にのみ摺動可能である。さらに、Ｘ用スライダ１０４とＸ用スライダ１０５は図示を省略した抜け止め手段によって、Ｘ方向スライド溝３０５とＸ方向スライド溝３０６から前方へ抜け出さないようになっている。さらに、固定支持基板２０の後面に突設された軸受け１６と軸受け１７（いずれも図示略）の位置が、第２の実施形態とは異なっている。即ち、軸受け１６に支持された連結ピン１０８（軸受け１７に支持された連結ピン１１１）から連結ピン１０７（連結ピン１１０）までのＸ方向直線距離より、連結ピン１０８（連結ピン１１１）から連結ピン１１２（連結ピン１１４）までのＸ方向直線距離の方が長くなるように、連結ピン１０８と連結ピン１１１のＸ方向位置（軸受け１６と軸受け１７の突設位置）が決定されている。連結ピン１０８と連結ピン１１１のＸ方向位置は一致しており、かつ、連結ピン１０７と連結ピン１１０のＸ方向位置、及び連結ピン１１２と連結ピン１１４のＸ方向位置は常に一致する。
そして、これらＸ方向スライド溝３０５、Ｘ方向スライド溝３０６、Ｘ用スライダ１０４、Ｘ用スライダ１０５、Ｘ方向リンク部材１０６、連結ピン１０７、連結ピン１０８、Ｘ方向リンク部材１０９、連結ピン１１０、連結ピン１１１、連結ピン１１２、Ｙ方向リンク部材１１３、連結ピン１１４がＸ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００６４】
Ｙ方向リンク部材１１９とＹ方向リンク部材１２２は溝形成部材３０３の前方に位置しており、Ｙ方向リンク部材１１９の後面側に連結ピン１２０によってＹ用スライダ１１８が、連結ピン１２０回りに回転可能として枢着されている。Ｙ用スライダ１１８は、前方からＹ方向スライド溝３０７に嵌合しており、Ｙ用スライダ１１８はＹ方向スライド溝３０７に対してＹ方向にのみ摺動可能となっている。さらに、Ｙ用スライダ１１８は図示を省略した抜け止め手段によって、Ｙ方向スライド溝３０７から抜け出さないようになっている。さらに、Ｙ方向リンク部材１１９の回転中心である連結ピン１２１（連結ピン１２１を支持する軸受け１８）と、Ｙ方向リンク部材１２２の回転中心である連結ピン１２３（連結ピン１２３を支持する軸受け１９）のＹ方向位置が第２の実施形態とは異なっている。即ち、連結ピン１２０から連結ピン１２１までのＹ方向直線距離より、連結ピン１２６から連結ピン１２１までのＹ方向直線距離の方が長くなるように連結ピン１２１の位置（軸受け１８の突設位置）が決定されている。連結ピン１２１と連結ピン１２３のＹ方向位置（軸受け１８と軸受け１９のＹ方向位置）は一致しており、連結ピン１２４と連結ピン１２６、及び連結ピン１２０と連結ピン１２３のＹ方向位置は常に一致する。
そして、これらＹ方向スライド溝３０７、Ｙ用スライダ１１８、Ｙ方向リンク部材１１９、連結ピン１２０、連結ピン１２１、Ｙ方向リンク部材１２２、連結ピン１２３、連結ピン１２４、Ｘ方向リンク部材１２５、連結ピン１２６がＹ方向移動量調整伝達手段の構成要素である。
【００６５】
溝形成部材３０３とＣＣＤ保持部材３０２には、これらに跨る収納用凹部３０９が設けられている。収納用凹部３０９の後面は開口しており、収納用凹部３０９の内部には、第２の実施形態と同様に、ローパスフィルタ４２と押さえ部材４３とＣＣＤ１１が収納されている。収納用凹部３０９の前端はＣＣＤ保持部材３０２の前面において開口する採光孔（図示略）であり、この採光孔はローパスフィルタ４２より小寸であり、ローパスフィルタ４２がＣＣＤ保持部材３０２の前方に抜け出さないようにしてある。この採光孔とローパスフィルタ４２を通った光は、ＣＣＤ１１の撮像面１２に到達する。溝形成部材３０３の右側面と下面からは第２の実施形態の舌片３６と舌片３７に対応する舌片３１２と舌片３１３が延出しており、舌片３１２と舌片３１３の前面にはＹ方向ホール素子３９とＸ方向ホール素子３８がそれぞれ固着されている。さらに、収納用凹部３０９の後面開口部は、溝形成部材３０３の後面に取り付けられたカバー部材３１４（図２４では破断して示している）によって覆われている。
【００６６】
このような構成の手振れ補正装置３００は第２の実施形態の手振れ補正装置１００とほぼ同様の動作をするが、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに電流を流してコイル形成板３０を左方または右方に直線移動させた際、コイル形成板３０の移動量よりＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３（ＣＣＤ１１）の左方または右方への移動量が小さくなる点が第２の実施形態とは異なる。同様に、Ｙ方向駆動用コイルＣＹに電流を流してコイル形成板２４を上方または下方に直線移動させた際、コイル形成板２４の移動量よりＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３（ＣＣＤ１１）の下方または上方への移動量が小さくなる点が第２の実施形態とは異なる。
このようにコイル形成板３０とコイル形成板２４の移動量よりＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３（ＣＣＤ１１）の移動量を小さくしてあるので、ＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３（ＣＣＤ１１）をより細かに精度良く移動させることが可能であり、より正確な手振れ補正動作を実現できる。
【００６７】
以上、上記各実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれら各実施形態に限定されるものではなく、様々な変形を施して実施可能である。
例えば、上記両実施形態では、ＣＣＤ保持部材４０やＣＣＤ保持部材１０１やＣＣＤ保持部材３０２にＣＣＤ１１を固定しているが、例えば図２７に示すように、ＣＣＤ１１を固定支持基板２０の後方に配設し、ＣＣＤ保持部材４０（またはＣＣＤ保持部材１０１やＣＣＤ保持部材３０２と溝形成部材３０３など）に円形の取付孔４０ａを穿設して、この取付孔４０ａに補正レンズＣＬを嵌合固定し、この補正レンズＣＬをレンズＬ１とレンズＬ２の間（またはレンズＬ２とレンズＬ３の間）に配置させて実施してもよい。このような構造として補正レンズＣＬをＸ方向とＹ方向に直進移動させても、手振れ補正を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズＣＬを用いた手振れ補正装置は、ＣＣＤ１１を省略することにより、銀塩カメラにも適用可能となる。
【００６８】
また、各実施形態では固定支持基板２０側に、両ヨークＹＸ、ヨークＹＹ（及び磁石ＭＸ、磁石ＭＹ）を設け、ＣＣＤ保持部材４０やＣＣＤ保持部材１０１や溝形成部材３０３側にコイル形成板２４とコイル形成板３０を設けたが、固定支持基板２０側にコイル形成板２４やコイル形成板３０を固定して、ＣＣＤ保持部材４０やＣＣＤ保持部材１０１や溝形成部材３０３とヨークＹＸ、ヨークＹＹ（及び磁石ＭＸ、磁石ＭＹ）とを、上記Ｙ方向移動接続手段やＸ方向移動接続手段によって接続してもよい。このようにＣＣＤ保持部材４０側に、ヨークＹＸ、ヨークＹＹ（及び磁石ＭＸ、磁石ＭＹ）を接続する場合は、ローラ２２、ローラ２８によってヨークＹＸ、ヨークＹＹを挟持してＸ方向とＹ方向に直進案内する。
さらに、各実施形態ではＸ方向及びＹ方向の位置変化検出センサとしてホール素子を利用したが、ホール素子以外のセンサ、例えばＭＲセンサやＭＩセンサを利用することも可能である。
【００６９】
以上は、本発明のステージ装置を手振れ補正装置１５、１００、２００、３００に利用した実施形態であるが、本発明のステージ装置の用途は手振れ補正装置１５、１００、２００、３００に限定されず、ＣＣＤ保持部材４０等のＸ方向とＹ方向に移動可能な部材をＸ方向とＹ方向に直線的に移動させる様々な装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１の実施形態である手振れ補正装置を内蔵したデジタルカメラの縦断側面図である。
【図２】手振れ補正装置の非作動状態を、カバー板を省略し、かつ、ヨークの一部を破断して示す背面図である。
【図３】図２のIII−III矢線に沿う断面図である。
【図４】図２のIV−IV矢線に沿う断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ矢線に沿う断面図である。
【図６】図２のVI−VI矢線に沿う断面図である。
【図７】ＣＣＤ保持部材とコイル形成板とＸ用Ｘリンクの拡大分解斜視図である。
【図８】ＣＣＤ保持部材とコイル形成板とＹ用Ｘリンクの拡大分解斜視図である。
【図９】カバー板の背面図である。
【図１０】Ｘ方向駆動装置側のコイル形成板が左側に移動したときの手振れ補正装置を、カバー板を省略し、かつ、ヨークの一部を破断して示す背面図である。
【図１１】Ｙ方向駆動装置側のコイル形成板が上側に移動したときの手振れ補正装置を、カバー板を省略し、かつ、ヨークの一部を破断して示す背面図である。
【図１２】Ｘ方向駆動装置の主要部を模式的に示す拡大図である。
【図１３】Ｙ方向駆動装置の主要部を模式的に示す拡大図である。
【図１４】制御回路ブロック図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態である手振れ補正装置の非作動状態を、カバー板を破断し、かつ、ヨークの一部を破断して示す背面図である。
【図１６】図１５のXVI−XVI矢線に沿う断面図である。
【図１７】図１５のXVII−XVII矢線に沿う断面図である。
【図１８】図１５のXVIII−XVIII矢線に沿う断面図である。
【図１９】図１５のXIX−XIX矢線に沿う断面図である。
【図２０】ステージ装置の分解斜視図である。
【図２１】Ｘ方向駆動装置側のコイル形成板が右側に移動したときの手振れ補正装置を、カバー板を省略し、かつ、ヨークの一部を破断して示す背面図である。
【図２２】Ｙ方向駆動装置側のコイル形成板が上側に移動したときの手振れ補正装置を、カバー板を省略し、かつ、ヨークの一部を破断して示す背面図である。
【図２３】本発明の第３の実施形態である手振れ補正装置の非作動状態を、カバー板を省略し、かつ、ヨークの一部を破断して示す背面図である。
【図２４】本発明の第４の実施形態である手振れ補正装置の非作動状態を、カバー板を省略し、かつ、ヨークの一部を破断して示す背面図である。
【図２５】図２４のXXV−XXV矢線に沿う断面図である。
【図２６】図２４のXXVI−XXVI矢線に沿う断面図である。
【図２７】補正レンズを用いた変形例を模式的に示す側面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１０    デジタルカメラ（カメラ）
１１    ＣＣＤ（撮像素子）
１２    撮像面
１５    手振れ補正装置
１６  １７  １８  １９  軸受け
２０    固定支持基板
２１    収容孔
２２    ローラ
２３    円周溝
２４    コイル形成板（Ｘ方向移動部材）（Ｙ方向移動部材）
２５    挿入溝
２６  ２７  Ｙ方向長孔
２８    ローラ
２９    円周溝
３０    コイル形成板（Ｘ方向移動部材）（Ｙ方向移動部材）
３１    挿入溝
３２  ３３  Ｘ方向長孔
３５    方形部
３６  ３７  舌片
３８    Ｘ方向ホール素子
３９    Ｙ方向ホール素子
４０    ＣＣＤ保持部材（ステージ部材）
４１    採光孔
４２    ローパルフィルタ
４３    押さえ部材
４４    カバー板
４６  ４７  突片
４８  ４９  Ｙ方向長孔
５０  ５１  突片
５２  ５３  Ｘ方向長孔
５４    Ｘ用Ｘリンク
５５    Ｙ用Ｘリンク
５６  ５７  リンク部材
５８  ５９  凹部
６１  ６２  連結孔
６３    連結ピン（Ｘ用枢着軸）
６４  ６５  連結孔
６６  ６７  連結ピン（移動軸）
６８  ６９  連結孔
７０  ７１  連結ピン（移動軸）
７３  ７４  リンク部材
７５  ７６  凹部
７７  ７８  連結孔
７９    連結ピン（Ｙ用枢着軸）
８０  ８１  連結孔
８２  ８３  連結ピン（移動軸）
８４  ８５  連結孔
８６  ８７  連結ピン（移動軸）
９０    Ｘ方向角速度センサ（振動検出センサ）
９１    Ｙ方向角速度センサ（振動検出センサ）
９２  ９３  積分回路（制御手段）
９４  ９５  誤差増幅器（制御手段）
９６  ９７  移動量演算手段（制御手段）
１００    手振れ補正装置
１０１  ＣＣＤ保持部材（ステージ部材）
１０２  １０３  Ｘ方向スライド溝
１０４  １０５  Ｘ用スライダ
１０６  Ｘ方向リンク部材（Ｙ用リンク部材）
１０７  枢着ピン
１０８  連結ピン（Ｙ用枢着軸）
１０９  Ｘ方向リンク部材（Ｙ用リンク部材）
１１０  １１２  連結ピン
１１１  枢着ピン（Ｙ用枢着軸）
１１３  Ｙ方向リンク部材（Ｙ方向駆動手段）（Ｙ方向移動部材）
１１４  連結ピン
１１７  Ｙ方向スライド溝
１１８  Ｙ用スライダ
１１９  Ｙ方向リンク部材（Ｘ用リンク部材）
１２０  １２１  連結ピン（Ｘ用枢着軸）
１２２  Ｙ方向リンク部材
１２３  １２４  連結ピン
１２５  Ｘ方向リンク部材（Ｘ方向駆動手段）（Ｘ方向移動部材）
１２６  連結ピン
２００  手振れ補正装置
２０１  Ｘ用Ｘリンク
２０２  Ｙ用Ｘリンク
２０３  コイル形成板
２０４  コイル形成板
３００  手振れ補正装置
３０１  収容孔
３０２  ＣＣＤ保持部材（ステージ部材）
３０３  溝形成部材（ステージ部材）
３０５  ３０６  Ｘ方向スライド溝
３０７  Ｙ方向スライド溝
３０９  収納用凹部
３１２  ３１３  舌片
３１４  カバー部材
ＣＬ    補正レンズ
ＣＸ    Ｘ方向駆動用コイル（Ｘ方向駆動手段）
ＣＹ    Ｙ方向駆動用コイル（Ｙ方向駆動手段）
ＭＸ    磁石（磁力発生装置）（Ｘ方向駆動手段）
ＭＹ    磁石（磁力発生装置）（Ｙ方向駆動手段）
Ｏ      光軸
Ｘ      Ｘ方向（左右方向）
Ｙ      Ｙ方向（上下方向）
Ｚ      Ｚ方向（前後方向）
ＹＸ    ヨーク（磁力発生装置）（Ｘ方向駆動手段）
ＹＹ    ヨーク（磁力発生装置）（Ｙ方向駆動手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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