(57)【要約】【課題】  雄ねじ部と、この雄ねじ部と螺合する雌ねじ部との間に生じるバックラッシュを低減もしくはなくすことができるとともに、流量のヒステリシスを防止することができる流量調整弁を提供する。【解決手段】  流体入口４１および流体出口４２を有するボディ１２と、このボディ１２に取り付けられるカバーと、これらボディ１２およびカバーにより形成される空間内に配置されるモータ１５と、このモータ１５の回転軸１５ａに対して、ネジ部１６ｃ，１７ａを介して接続される弁体１４とを具備してなる流量調整弁であって、前記弁体１４を前記モータ１５の側、あるいは前記モータ１５と反対の側に付勢する付勢手段２１が設けられていることを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体入口および流体出口を有するボディと、このボディに取り付けられるカバーと、これらボディおよびカバーにより形成される空間内に配置されるモータと、このモータの回転軸に対して、ネジ部を介して接続される弁体とを具備してなる流量調整弁であって、
前記弁体を前記モータの側、あるいは前記モータと反対の側に付勢する付勢手段が設けられていることを特徴とする流量調整弁。
【請求項２】
前記弁体の周りを通過する流体が当該弁体に作用する力の方向と、前記付勢手段による付勢力との方向が略一致するように、前記付勢手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の流量調整弁。
【請求項３】
前記空間内において前記モータの側と前記弁体の側とを分離するパッキンが設けられているとともに、気化した薬液が透過しない材質で前記パッキンが作られていることを特徴とする請求項１または２に記載の流量調整弁。
【請求項４】
前記パッキンよりも弁体側に滞留した流体を排出する排出路が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の流量調整弁。
【請求項５】
前記排出路内に、逆止弁が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の流量調整弁。
【請求項６】
前記モータに位置決め基準面が設けられ、
前記ボディに前記モータを固定する固定部材が設けられ、
該固定部材が、前記モータの前記位置決め基準面を受けて前記回転軸の位置と向きとのうちの少なくともいずれか一方を前記弁体の駆動に適した状態にして前記モータを位置決めする位置決め面を有していることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の流量調整弁。
【請求項７】
前記モータの前記位置決め基準面が前記回転軸に平行な筒状面または筒状内面をなし、
前記固定部材の前記位置決め面が、前記弁体の駆動方向に平行かつ前記位置決め基準面と同形状の筒状内面または筒状面をなしていて、前記位置決め面が前記位置決め基準面を受けた状態では前記回転軸の位置と向きとが位置決めされることを特徴とする請求項６記載の流量調整弁。
【請求項８】
予め設定した動作範囲内での前記弁体の移動を許容しつつ前記動作範囲の端部に到達した前記弁体を受けて前記動作範囲外への移動を規制するストッパを有していることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の流量調整弁。
【請求項９】
前記モータの動作を制御する制御装置を有しており、
該制御装置は、少なくとも前記弁体がその可動範囲の端部近傍で該端部に向って移動する場合には前記モータを第一駆動トルクで動作させ、
前記弁体が前記可動範囲の端部から離間する場合には、前記モータを前記第一駆動トルクよりも大きい第二駆動トルクで動作させることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の流量調整弁。
【請求項１０】
前記弁体がニードルバルブのニードルを構成しており、
前記モータが、入力されたパルス信号のパルス数に比例した角度だけ前記回転軸を回転させるステッピングモータとされており、
前記モータの動作を制御して前記弁体の位置制御を行う制御装置が設けられ、
該制御装置は、前記弁体の位置校正にあたって、前記回転軸を、前記弁体がその可動範囲の一端から他端まで移動するのに必要な角度回転させるだけのパルス数のパルス信号を前記モータに入力し、
前記回転軸が停止した位置で前記弁体が前記可動範囲の前記他端に位置していると判定して、以降は前記可動範囲内で前記弁体の位置制御を行うことを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の流量調整弁。
【請求項１１】
前記制御装置が、前記弁体の位置校正にあたって、前記回転軸を前記弁体が前記可動範囲のうちの開放側に向けて移動する向きに回転させることを特徴とする請求項１０記載の流量調整弁。
【請求項１２】
前記制御装置は、少なくとも前記弁体がその可動範囲の端部近傍で該端部に向って移動する場合には前記モータを第一駆動トルクで動作させ、
前記弁体が前記可動範囲の端部から離間する場合には、前記モータを前記第一駆動トルクよりも大きい第二駆動トルクで動作させることを特徴とする請求項１０または１１に記載の流量調整弁。
【請求項１３】
前記モータのモータ本体外部に、前記回転軸に加わるスラスト荷重を受けるスラスト軸受を設けたことを特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載の流量調整弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、化学工場、半導体製造、食品、バイオ等の各種産業分野における流体輸送配管に用いられて、流体の流量を制御する流量調整弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流量調整弁としては、モータの回転軸を正逆回転させることにより、押止体が下端に設けられた昇降体を上下させて、押止体によって流量調整チューブが径方向に押圧されたりあるいは押圧力が開放されることで流体の流量を調整するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−５２７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような流量調整弁では、モータの回転軸に設けられた雄ねじ部と、昇降体とともに昇降するナット部に設けられて雄ねじ部と螺合する雌ねじ部との間にバックラッシュ（がたつき）が生じてしまい、流量にヒステリシスが出てしまうといった問題点があった。
また、モータの回転軸と弁体とをネジ部を介して接続し、これによって回転軸の回転を弁体の回転軸に沿った方向の変位に変換する構成の流量調整弁では、弁体を可動範囲内で移動させる分には問題が生じないが、弁体の可動範囲を超えてさらにモータの回転軸を回転させると、例えばネジ部が噛み込んでしまい、この噛み込みの程度によっては、モータを動作させることができなくなるといった問題が生じる場合がある。
また、流量調整弁が、制御装置によって弁体（ニードル）の位置調整が行われるモータ駆動式のニードルバルブである場合には、流量の正確な制御を行うために、制御装置に現在の弁体の位置（すなわちニードルバルブの開度）を正確に把握させておく必要がある。
弁体の位置は、例えば、流量調整弁の動作開始時点における弁体の位置情報と、流量調整弁が動作を開始した時点から位置検出を行った時点までの間のモータの回転軸の回転量の情報とに基づいて特定することができるが、モータの回転軸の回転量を検出するためには、モータよりも高価なロータリーエンコーダを設ける必要があるので、流量調整弁が非常に高価になってしまう。また、ロータリーエンコーダを設けることで、流量調整弁が大型化してしまう。
【０００４】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、雄ねじ部と、この雄ねじ部と螺合する雌ねじ部との間に生じるバックラッシュを低減もしくはなくすことができるとともに、流量のヒステリシスを防止することができ、弁体を駆動するネジ部の噛み込み等の問題が確実に防止でき、高価なロータリーエンコーダを用いずに、弁体の位置を正確に把握することができる流量調整弁を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
請求項１に記載の流量調整弁は、流体入口および流体出口を有するボディと、このボディに取り付けられるカバーと、これらボディおよびカバーにより形成される空間内に配置されるモータと、このモータの回転軸に対して、ネジ部を介して接続される弁体とを具備してなる流量調整弁であって、前記弁体を前記モータの側、あるいは前記モータと反対の側に付勢する付勢手段が設けられていることを特徴とする。
このような流量調整弁によれば、付勢手段により弁体がモータの側、あるいはモータと反対の側に常に付勢されることになり、ネジ部における当たりが常に片当たりの状態となるので、ネジ部に生じるバックラッシュ（がたつき）を低減あるいはなくすことができて、流量のヒステリシスを防止あるいはなくすことができる。
【０００６】
請求項２に記載の流量調整弁は、前記弁体の周りを通過する流体が当該弁体に作用する力の方向と、前記付勢手段による付勢力との方向が略一致するように、前記付勢手段が設けられていることを特徴とする。
このような流量調整弁によれば、弁体の周りを通過する流体が弁体に作用する力と、付勢手段による付勢力との合力がネジ部に作用することとなり、ネジ部における片当たりの力（摩擦力）をさらに高めることができるので、ネジ部に生じるバックラッシュ（がたつき）をさらに低減あるいはなくすことができて、流量のヒステリシスをさらに防止あるいはなくすことができる。
【０００７】
請求項３に記載の流量調整弁は、前記空間内において前記モータの側と前記弁体の側とを分離するパッキンが設けられているとともに、気化した薬液が透過しない材質で前記パッキンが作られていることを特徴とする。
このような流量調整弁によれば、例えば、フッ素ゴム（FKM）で作られたパッキンによりモータ側の空間と弁体側の空間とが分離されるとともに、弁体側の空間からモータ側の空間への流体の流入、例えば、気化したフッ酸、塩酸、硝酸等の流入を遮断することができるので、モータ側の空間内に配置されたモータの腐食等を防止することができる。
また、このようなパッキンを採用することにより、気化したフッ酸、塩酸、硝酸等がモータ側の空間に流入することがなくなるので、モータ側の空間に配置される部品を金属製にすることができる。
【０００８】
請求項４に記載の流量調整弁は、前記パッキンよりも弁体側に滞留した流体を排出する排出路が設けられていることを特徴とする。
このような流量調整弁によれば、パッキンよりも弁体側に滞留した流体を、すみやかに流量調整弁の外に排出させることができる。
【０００９】
請求項５に記載の流量調整弁は、前記排出路内に、逆止弁が設けられていることを特徴とする。
このような流量調整弁によれば、周りの雰囲気が排出路を通って内部に逆流することが防止される。
【００１０】
請求項６に記載の流量調整弁は、前記モータに位置決め基準面が設けられ、前記ボディに前記モータを固定する固定部材が設けられ、該固定部材が、前記モータの前記位置決め基準面を受けて前記回転軸の位置と向きとのうちの少なくともいずれか一方を前記弁体の駆動に適した状態にして前記モータを位置決めする位置決め面を有していることを特徴とする。
【００１１】
このような流量調整弁では、ボディに設けられた固定部材の位置決め面に対してモータの位置決め基準面を当接させることで、モータの回転軸の位置または向き、もしくは位置と向きとの双方が弁体の駆動に適した状態となるので、ボディに対するモータの位置調整作業または向きの調整作業、もしくは位置調整作業と向きの調整作業との双方が不要となる。
このため、この流量調整弁は、製造時やメンテナンス時において組立作業者の技術レベルによらずに高精度な組み付けを容易かつ迅速に行うことができ、生産性、作業性に優れるとともに、製品ごと、またはメンテナンス作業ごとの組立精度のばらつきを低減して、流量調整弁としての性能を高水準に保つことができる。
【００１２】
ここで、位置決め基準面は、一つ以上の曲面、もしくは、少なくとも一つの面が他の面とは異なる方向に向けられた複数の平面によって構成することができる。位置決め基準面が曲面である場合には、位置決め面はこの曲面と同じ曲率でかつ曲率の向きが逆向きとなる曲面によって構成される。位置決め基準面が複数の平面である場合には、位置決め面も各位置決め基準面に対応する複数の平面によって構成される。
【００１３】
請求項７に記載の流量調整弁は、前記モータの前記位置決め基準面が前記回転軸に平行な筒状面または筒状内面をなし、前記固定部材の前記位置決め面が、前記弁体の駆動方向に平行かつ前記位置決め基準面と同形状の筒状内面または筒状面をなしていて、前記位置決め面が前記位置決め基準面を受けた状態では前記回転軸の位置と向きとが位置決めされることを特徴とする。
【００１４】
このような流量調整弁では、モータの位置決め基準面が筒状面である場合には、固定部材の位置決め面は位置決め基準面と略同形状の筒状内面とされ、モータの位置決め基準面を固定部材の位置決め面の内周側に挿入してモータと固定部材とを係合させることで、ボディに対するモータの位置と向きとの双方について位置決めが行われる。
また、この流量調整弁では、モータの位置決め基準面が筒状内面である場合には、固定部材の位置決め面は位置決め基準面と略同形状の筒状面とされ、固定部材の位置決め面をモータの位置決め基準面の内周側に挿入してモータと固定部材とを係合させることで、ボディに対するモータの位置と向きとの双方について位置決めが行われる。
【００１５】
すなわち、この流量調整弁では、モータと固定部材とがいわゆるインローによって結合されるので、モータと固定部材とを接続するだけで、ボディに対するモータの位置と向きとの双方について位置決めを行うことができ、製造が容易である。
【００１６】
請求項８記載の流量調整弁は、予め設定した動作範囲内での前記弁体の移動を許容しつつ前記動作範囲の端部に到達した前記弁体を受けて前記動作範囲外への移動を規制するストッパを有していることを特徴とする。
【００１７】
本発明にかかる流量調整弁では、弁体の動作範囲が予め定められており、弁体が動作範囲の端部（動作範囲と動作範囲外との境界）に達すると、ストッパによって弁体が受けられて、それ以上の弁体の移動が規制されるので、ネジ部の噛み込み等の問題が確実に防止される。
なお、この流量調整弁では、予め設定した動作範囲が、弁体の実質的な可動範囲となる。
【００１８】
請求項９記載の流量調整弁は、前記モータの動作を制御する制御装置を有しており、該制御装置は、少なくとも前記弁体がその可動範囲の端部近傍で該端部に向って移動する場合には前記モータを第一駆動トルクで動作させ、前記弁体が前記可動範囲の端部から離間する場合には、前記モータを前記第一駆動トルクよりも大きい第二駆動トルクで動作させることを特徴とする。
【００１９】
このように構成される流量調整弁では、弁体を可動範囲の端部から離間させるにあたって、モータの動作を制御する制御装置が、弁体をその可動範囲の端部まで移動させる際の駆動トルク（第一駆動トルク）よりも大きい第二駆動トルクでモータを動作させる。
これにより、この流量調整弁では、弁体が可動範囲の端部まで移動した際にネジ部の噛み込みが生じたとしても、この噛み込みを容易に解消することができる。
【００２０】
ここで、モータの駆動トルクは、モータに入力される駆動電流の大きさに比例する。
そこで、制御装置を、弁体を可動範囲の端部まで移動させる際にはモータの駆動電流の出力制限値を第一制限値に設定し、弁体を可動範囲の端部から離間させる際には出力制限値を第一制限値よりも大きい第二制限値に設定する構成とすることで、弁体を可動範囲の端部から離間させる際のモータの駆動トルクを、弁体をその可動範囲の端部まで移動させる際のモータの駆動トルクよりも大きくすることができる。
【００２１】
また、モータは、一般的に、回転軸の回転が低速であるほど回転軸を駆動するトルクが増大する。
そこで、制御装置を、弁体を可動範囲の端部まで移動させる際にはモータの回転軸を第一回転速度で回転させ、弁体を可動範囲の端部から離間させる際には第一回転速度よりも低速の第二回転速度で回転させる構成とすることで、弁体を可動範囲の端部から離間させる際のモータの駆動トルクを、弁体をその可動範囲の端部まで移動させる際のモータの駆動トルクよりも大きくすることができる。
【００２２】
請求項１０記載の流量調整弁は、前記弁体がニードルバルブのニードルを構成しており、前記モータが、入力されたパルス信号のパルス数に比例した角度だけ前記回転軸を回転させるステッピングモータとされており、前記モータの動作を制御して前記弁体の位置制御を行う制御装置が設けられ、該制御装置は、前記弁体の位置校正にあたって、前記回転軸を、前記弁体がその可動範囲の一端から他端まで移動するのに必要な角度回転させるだけのパルス数のパルス信号を前記モータに入力し、前記回転軸が停止した位置で前記弁体が前記可動範囲の前記他端に位置していると判定して、以降は前記可動範囲内で前記弁体の位置制御を行うことを特徴とする。
【００２３】
本発明にかかる流量調整弁では、ロータリーエンコーダを用いて弁体の位置を特定する代わりに、電源投入時等の適宜時期に、弁体を一旦可動範囲の他端に移動させてその位置校正を行い、これ以降にモータに入力されたパルス信号のパルス数に基づいて位置校正後の回転軸の回転量を得て、この回転量の情報に基づいて可動範囲の他端からの弁体の変位量を求めて、現在の弁体の位置を特定する。
【００２４】
具体的には、本発明にかかる流量調整弁では、制御装置が、弁体の位置校正にあたって、弁体がその可動範囲の一端から他端まで移動するのに必要な角度（この角度は流量調整弁の設計情報から得られる）だけモータの回転軸を回転させるよう、所定パルス数のパルス信号をモータに入力する。
これにより、回転軸の回転が終了した時点では、弁体は、位置校正作業の開始時点における位置（初期位置）によらず、可動範囲の他端に位置することになる。なお、弁体の位置校正開始時点で弁体が可動範囲の一端以外に位置している場合には、回転軸がモータに入力されたパルス信号の全てのパルスに対応する角度だけ回転する前に、弁体が可動範囲の他端に到着してそれ以上移動できなくなるので、以降は残りのパルス数によらず、回転軸が回転しない。
【００２５】
このように弁体を可動範囲の他端に位置させた以降は、制御装置は、弁体が可動範囲の他端に位置していると判断して、可動範囲内で弁体の位置制御が行われる。
可動範囲内では、モータに入力されたパルス信号の全てのパルスに対応する角度で回転軸が回転するので、パルス信号のパルス数と弁体の位置との間に一定の関係が成立する。
これにより、本発明にかかる流量調整弁では、一旦弁体を可動範囲の他端に位置させたのちは、以降にモータに入力したパルス信号のパルス数に基づいて弁体の位置を特定することが可能となり、ロータリーエンコーダを用いずに、弁体の位置を正確に把握することができる。
【００２６】
請求項１１記載の流量調整弁は、前記制御装置が、前記弁体の位置校正にあたって、前記回転軸を前記弁体が前記可動範囲のうちの開放側に向けて移動する向きに回転させることを特徴とする。
このように構成される流量調整弁では、弁体の位置校正にあたって、ニードルバルブのニードルを構成する弁体が、可動範囲のうちの開放側、すなわちニードルバルブを構成する他の部材との干渉を避ける方向に向けて移動させられるので、弁体の位置校正を繰り返しても、弁体やニードルバルブ本体に損耗が生じにくい。
【００２７】
請求項１２記載の流量調整弁は、前記制御装置が、少なくとも前記弁体がその可動範囲の端部近傍で該端部に向って移動する場合には前記モータの前記回転軸を第一駆動トルクで回転させ、前記弁体が前記可動範囲の端部から離間する場合には、前記モータの前記回転軸を前記第一駆動トルクよりも大きい第二駆動トルクで回転させることを特徴とする。
【００２８】
このように構成される流量調整弁では、弁体を可動範囲の端部から離間させるにあたって、モータの動作を制御する制御装置が、弁体をその可動範囲の端部まで移動させる際の駆動トルク（第一駆動トルク）よりも大きい第二駆動トルクでモータを動作させる。
これにより、この流量調整弁では、弁体が可動範囲の端部まで移動した際にネジ部の噛み込みが生じたとしても、この噛み込みを容易に解消することができる。
【００２９】
請求項１３記載の流量調整弁は、前記モータのモータ本体外部に、前記回転軸に加わるスラスト荷重を受けるスラスト軸受を設けたことを特徴とする。
このように構成される流量調整弁では、弁体が流体の圧力を受けた際に弁体及びネジ部を介して回転軸に伝達されたスラスト荷重が、モータ本体外部に設けられたスラスト軸受によって受けられて、モータ本体に逃がされるので、モータ内の回転軸の支持構造に加わる負担が軽減され、長期にわたってモータの性能を維持することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明による流量調整弁によれば、雄ねじ部と、この雄ねじ部と螺合する雌ねじ部との間に生じるバックラッシュを低減もしくはなくすことができるとともに、流量のヒステリシスを防止することができるという効果を奏する。
また、本発明にかかる流量調整弁によれば、弁体を駆動するネジ部の噛み込み等の問題が確実に防止される。
また、本発明にかかる流量調整弁では、高価なロータリーエンコーダを用いずに、弁体の位置を正確に把握することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
［第１実施形態］
以下、本発明による流量調整弁の第１実施形態を、図面を参照しながら説明する。
図１に示すように、本実施形態における流量調整弁（以下、「ニードルバルブ」という。）１０は、駆動部１１と、ボディ１２と、ベース１３と、ダイヤフラムニードル（弁体）１４とを主たる要素として構成されたものである。
駆動部１１は、モータ１５と、カップリング１６と、スライダ１７と、ストッパ１８と、パッキン１９と、ダイヤフラムカバー２０と、スプリング（付勢手段）２１、カバーフランジ２２と、カバー２３とを備えたものである。
【００３２】
モータ１５は、例えば、ステッピングモータからなり、このモータ１５の下面中央部には、下方に突出するとともにケーブル２９を介して供給された電力により正逆回転させられる回転軸１５ａが設けられている。回転軸１５ａの一部には平坦な座面１５ｂが形成されており、この座面１５ｂには後述する六角穴付止メネジ３０の先端面が当接するようになっている。
図２に示すように、カップリング１６は、その中央部に回転軸１５ａを受け入れる凹部１６ａが形成されているとともに、その下端部から下方に向かって突出する凸部１６ｂが形成された、断面視略Ｔ字状を有する円筒形の部材である。また、凸部１６ｂの外表面には雄ネジ部１６ｃが形成されており、後述するスライダ１７の雌ネジ部１７ａと螺合するようになっている。
【００３３】
カップリング１６の凹部１６ａを形成する側壁には、六角穴付止メネジ３０を受け入れる貫通穴１６ｄが設けられており、この貫通穴１６ｄの表面には、六角穴付止メネジ３０の表面に形成された雄ネジ部と螺合する雌ネジ部が形成されている。そして、六角穴付止メネジ３０の雄ネジ部が貫通穴１６ｄの雌ネジ部と螺合するとともに、六角穴付止メネジ３０の先端面が回転軸１５ａの座面１５ｂと当接するように、六角穴付止メネジ３０が貫通穴１６ｄにねじ込まれることにより、カップリング１６がモータ１５の回転軸１５ａに固定されるようになっている。
【００３４】
スライダ１７は、モータ１５の下端面から下方に延びるモータシャフト３１に沿って昇降するもので、その両端部（図において左右の端部）１７ｂには、モータシャフト３１の外周面と接する内周面を有する二股部（図示せず）が設けられている。
スライダ１７の上側中央部には、カップリング１６の凸部１６ｂを受け入れる第１の凹部１７ｃが形成されているとともに、その表面には、凸部１６ｂの雄ネジ部１６ｃと螺合する雌ネジ部１７ａが形成されている。また、この雌ネジ部１７ａの半径方向外側には、周方向にわたって平面視輪状の凹溝１７ｄが設けられており、スプリング２１の一端面（図において下側の端面）が収容されるようになっている。
【００３５】
一方、スライダ１７の下側中央部には、ストッパ１８の凸部１８ａを受け入れる第２の凹部１７ｅが形成されているとともに、その表面には、凸部１８ａの雄ネジ部１８ｂと螺合する雌ネジ部１７ｆが形成されている。
このように構成されたスライダ１７は、モータ１５の回転軸１５ａとともに回転するカップリング１６により、モータシャフト３１に沿って昇降するようになっている。
なお、モータシャフト３１は、ネジ３２を介してカバーフランジ２２に固定されている。
【００３６】
ストッパ１８は、その中央部にダイヤフラムニードル１４の中央部を受け入れる凹部１８ｃが形成されているとともに、その上端部から上方に向かって突出する凸部１８ａが形成された、断面視略Ｔ字状を有する円筒形の部材である。また、凸部１８ａの外表面には雄ネジ部１８ｂが形成されており、スライダ１７の雌ネジ部１７ｆと螺合するようになっている。
すなわち、ストッパ１８は、その凸部１８ａがスライダ１７の第２の凹部１７ｅにねじ込まれることによりスライダ１７に固定され、スライダ１７とともに昇降するようになっている。
なお、ストッパ１８の凸部１８ａをスライダ１７の第２の凹部１７ｅにねじ込む際にはパッキン１９の内周端部がストッパ１８とスライダ１７との間に挟み込まれて固定されるようになっている。
【００３７】
パッキン１９は、その中央部にストッパ１８の凸部１８ａが貫通する丸穴を有する平面視ドーナツ状の部材であり、例えば、フッ素ゴム（FKM）から作られたものである。このパッキン１９は、その内周端部がストッパ１８とスライダ１７との間に挟み込まれるとともに、その外周端部がダイヤフラムカバー２０とカバーフランジ２２との間に挟み込まれることにより固定されている。
なお、これらダイヤフラムカバー２０およびカバーフランジ２２は、ナベ小ネジ３３を介してボディ１２およびベース１３に固定されている（図１参照）。
【００３８】
ダイヤフラムカバー２０は、その中央部にストッパ１８の凹部１８ｃを形成する側壁の外周面を案内する貫通穴２０ａを有し、かつその上面中央部に窪み部２０ｂを有するとともに、その上面と下面とを連通する連通路２０ｃを有するものである。
また、ダイヤフラムカバー２０の下面には、ダイヤフラムニードル１４の外周端部に上方に向かって輪状に形成された凸部１４ａを収容する凹溝２０ｄが設けられている。
【００３９】
スプリング２１は、モータ１５の下端面に設けられたバネ受け３４と、スライダ１７の凹溝１７ｄとの間に配置されるとともに、スライダ１７を常に下方（カバーフランジ２２の方）に付勢する圧縮コイルバネであり、これによりスライダ１７の雌ネジ部１７ａとカップリング１６の雄ネジ部１６ｃとのバックラッシュが低減される（あるいは消滅する）ようになっている。
【００４０】
カバーフランジ２２は、その中央部にスライダ１７の第１の凹部１７ｃを形成する側壁の外周面を案内する貫通穴２２ａを有するとともに、その下面とダイヤフラムカバー２０の上面とでパッキン１９の外周端部を挟み込むように構成されたものである。また、カバーフランジ２２の下端部にはネジ３２の頭部を収容する凹所２２ｂが設けられている。
【００４１】
図１に示すように、カバー２３は、ボディ１２の上方に接して配置されるとともに、その内部に上述した駆動部１１を収容するものである。また、カバー２３とケーブル２９との間にはケーブルパッキン３５が設けられており、かつカバー２３とボディ１２およびダイヤフラムカバー２０との間にはＯリング３６が設けられている。これらケーブルパッキン３５およびＯリング３６は、例えば、フッ素ゴム（FKM）から作られたものである。
【００４２】
ボディ１２は、略直方体状に形成されたものであり、例えば、PTFE（ポリテトラフルオロエチレン）、PCTFE（ポリクロロトリフルオロエチレン）、PFA（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）等のフッ素樹脂材料からなるものである。
また、ボディ１２の一側面（図において左側の面）には流体入口部４１が設けられており、流体入口部４１の反対側に位置する他側面（図において右側の面）には流体出口部４２が設けられている。
【００４３】
図２に示すように、ボディ１２の上面中央部には、流体入口部４１および流体出口部４２と連通するポート４３が設けられている。このポート４３は、ダイヤフラムニードル１４が閉じている状態（図において実線で示す状態）でダイヤフラムニードル１４のニードル部１４ｂを受け入れるニードル収容部４３ａと、同じくダイヤフラムニードル１４が閉じている状態でダイヤフラムニードル１４のダイヤフラム部１４ｃの下面と接するダイヤフラム収容部４３ｂとを有するものである。
【００４４】
ニードル収容部４３ａは平面視円形を呈する凹所からなり、その底面は水平面を形成しているとともに、その中央部には流体入口部４１と連通する流体入口４１ａが形成されている。また、ダイヤフラム収容部４３ｂはニードル収容部４３ａの半径方向外側で、かつニードル収容部４３ａの底面よりも上方に形成されているとともに、半径方向内側から半径方向外側に向かって漸次その深さが浅くなるように形成された、平面視ドーナツ状を呈するすり鉢状の空間である。さらに、ダイヤフラム収容部４３ｂには流体出口４２ａが形成されている。
そして、ボディ１２の上面には、ダイヤフラムニードル１４の外周端部に下方に向かって輪状に形成された凸部１４ｄを収容する凹溝１２ａが設けられている。
【００４５】
図１に示すように、ボディ１２の別の側面（図において紙面奥側の面）には、図示しない排出口が設けられているとともに、ボディ１２の別の側面側には、この排出口とダイヤフラムカバー２０に形成された連通路２０ｃと連通する排出路４４が設けられている。また、この排出路４４内にはダックビル４５が配置されている。このダックビル４５は、例えば、フッ素ゴム（FKM）から作られた、いわゆる逆止弁である。
ベース１３は、ボディ１２の下面に当接して配置される板状の部材であり、その下端部にはナベ小ネジ３３の頭部を収容する凹所１３ａが設けられている。
【００４６】
本実施形態のように構成されたニードルバルブ１０によれば、使用者がモータ１５を操作して、モータ１５の回転軸１５ａを一方向（例えば、図１を上方から見て時計方向）に回転させていくと、この回転軸１５ａとともにカップリング１６も一方向に回転する。カップリング１６が回転すると、カップリング１６の雄ネジ部１６ｃとスライダの雌ネジ部１７ａとを介して連結されたスライダ１７がモータシャフト３１に沿って上方へ移動する（上昇する）。スライダ１７が上昇すると、ストッパ１８を介してスライダ１７に連結されたダイヤフラムニードル１４のニードル部１４ｂおよびダイヤフラム部１４ｃが、全開状態（図２において二点鎖線で示す状態）に向かって一緒に上昇する。ニードル部１４ｂが上昇することにより、流体入口４１ａとニードル部１４ｂとの間に隙間ができ、バルブが開状態（オープン）となってポート４３内に流体が流入してくるとともに、ポート４３内を満たした流体が順次流体出口４２ａを通って流体出口部４２の方へ流れ出すこととなる。
なお、流体の流量を減らしたい場合や、バルブ自体を閉じたい場合には、モータ１５を操作して、モータ１５の回転軸１５ａを他方向（例えば、図１を上方から見て反時計方向）に回転させていけばよい。
【００４７】
このように構成された本実施形態によるニードルバルブ１０によれば、スプリング２１によりスライダ１７に常に下向き（ダイヤフラムニードル１４のニードル部１４ｂが閉じる方向）の付勢力が加わるようになり、スライダ１７の雌ネジ部１７ａとカップリング１６の雄ネジ部１６ｃとのバックラッシュが低減される（あるいは消滅する）ようになっているので、流量にヒステリシスが出てしまうのを防止（あるいはなくす）ことができる。
図４（ａ）は、本実施形態によるニードルバルブ１０を閉じた状態から回転軸１５ａを開く方向に３回転させて全開状態とした後、回転軸１５ａを閉じる方向に回転させていったときの流量を回転軸１５ａの回転角度毎に測定したグラフであり、グラフ中の×印は閉じた状態から開いていくときの測定値、グラフ中の△印は開いた状態から閉じていくときの測定値を示している。
図４（ｂ）は、スライダ１７に下向きの付勢力を与えるスプリング２１を具備していないニードルバルブを閉じた状態から回転軸１５ａを開く方向に３回転させて全開状態とした後、回転軸１５ａを閉じる方向に回転させて、図４（ａ）と同様の測定を行った結果を示すグラフであり、グラフ中の＊印は閉じた状態から開いていくときの測定値、グラフ中の●印は開いた状態から閉じていくときの測定値を示している。
このように、スプリング２１によりスライダ１７に常に下向きの付勢力が加わるようにしたニードルバルブ１０によれば、バルブの開閉による流量差、すなわち、流量のヒステリシスを大幅に低減あるいはほとんどなくすことができる。
【００４８】
また、流体出口４２ａがポート４３の上方、すなわち、流体入口４１ａよりも上方に設けられているので、ポート４３内における気泡の発生を低減あるいはほとんどなくすことができる。
さらに、ダイヤフラムニードル１４の外周端部には、上方に向かって凸部１４ａが設けられ、下方に向かって凸部１４ｄが設けられているとともに、これら凸部１４ａ，１４ｄがそれぞれ、ダイヤフラムカバー２０の凹溝２０ｄ、ボディ１２の凹溝１２ａにそれぞれ密着して収容されるようになっているので、ダイヤフラムニードル１４の下方から上方への（液状）流体の流通を防止することができる。
【００４９】
さらにまた、スライダ１７とストッパ１８との間にその内周端部が挟み込まれ、かつダイヤフラムカバー２０とカバーフランジ２２との間にその外周端部が挟み込まれる、パッキン１９が設けられているので、パッキン１９の一面側（図において下側）と他面側（図において上側）、すなわち、ダイヤフラムニードル１４側とモータ１５側とを完全分離することができて、モータ１５が納められている空間内に、気化した（液状あるいはガス状）流体（例えば、フッ酸などの薬液）が浸入することを確実に防止することができる。
【００５０】
さらにまた、ボディ１２には、ニードルバルブ１０の外側と連通する連通路２０ｃが設けられているため、パッキン１９の一面側に溜まってしまったガス状流体（フッ酸、塩酸、硝酸などの薬液が気化したガス）を速やかに外部へ排出することができ、ダイヤフラムニードル１４の動きを妨げるのを防止することができる。また、連通路２０ｃが呼吸口となり、ダイヤフラムニードル１４の動きを、スムーズにすることができる。
【００５１】
［第２実施形態］
本発明によるニードルバルブの第２実施形態を、図３を用いて説明する。
本実施形態におけるニードルバルブ５０は、スプリング２１の代わりにスプリング５１が設けられているという点で前述した第１実施形態のものと異なる。その他の構成要素については前述した実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
なお、前述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。
【００５２】
本実施形態におけるスプリング５１は、スライダ１７とカバーフランジ２２との間に設けられた圧縮コイルバネであり、スライダ１７を常に上方（モータ１５の方）に付勢するものである。これによりスライダ１７の雌ネジ部１７ａとカップリング１６の雄ネジ部１６ｃとのバックラッシュが低減される（あるいは消滅する）ようになっている。
【００５３】
このように構成された本実施形態によるニードルバルブ５０によれば、ポート４３内を通過する流体がダイヤフラムニードル１４に及ぼす力の方向と、スプリング５１がスライダ１７を付勢する方向とが一致するため、流体の圧力差による雌ネジ部１７ａと雄ネジ部１６ｃとのバックラッシュの変動を略なくすことができるので、バルブの開閉による流量差、すなわち、流量のヒステリシスを略なくすことができる。
その他の効果については前述した第１実施形態のものと同じであるのでここではその説明を省略する。
【００５４】
なお、上述した各実施形態ではカップリング１６を介して回転軸１５ａとスライダ１７とを連結するようにしているが、本発明はこのようなものに限定されるものではなく、回転軸１５ａの外表面に直接雄ネジ部を設けるようにして、カップリング１６をなくすようにすることもできる。
これによりモータ１５とスライダ１７との間の距離を短くすることができて、ニードルバルブ１０，５０の長手方向長さ（縦方向の長さ）を短くすることができ、バルブの小型化を図ることができる。
【００５５】
［第３実施形態］
以下、本発明によるニードルバルブの第３実施形態を、図５及び図６を参照しながら説明する。
本実施形態に示すニードルバルブ６０は、第２実施形態に示すニードルバルブ５０において、ボディ１２に対するモータ１５の取付構造を変更したことを主たる特徴とするものである。以下、第２実施形態に示すニードルバルブ５０と同様または同一の部材については同じ符号を用いて示し、詳細な説明を省略する。
本実施形態に示すニードルバルブ６０では、モータ１５をボディ１２に固定する固定部材として、ダイヤフラムカバー２０、カバーフランジ２２、及びモータシャフト３１の代わりに、これらの一部構成を変更した、ダイヤフラムカバー７０、カバーフランジ７２、及びハウジング８１が用いられている。
【００５６】
本実施形態では、モータ１５の下端には、回転軸１５ａと同軸にして下面１５ｃから下方に突出する円柱部６２が設けられており、円柱部６２の外周面が第１位置決め基準面６３とされている。
また、モータ１５の下面１５ｃは、回転軸１５ａと略直交する平面とされている。
ハウジング８１は、内部にモータ１５の回転軸１５ａが挿通されて内部でのスライダ１７の上下変位を許容する略円筒形状の部材である。
【００５７】
ハウジング８１には、上端に、モータ１５の円柱部６２が挿入される内フランジ８２が設けられており、下端には、下端面から下方に向けて突出する円環状の突条８３が設けられている。本実施形態では、内フランジ８２及び突条８３は、ハウジング８１の軸線と同軸とされている。
内フランジ８２の内周面は、その内径がモータ１５の円柱部６２の外径とほぼ同径の円筒内面形状とされており、この内周面が、モータ１５の第１位置決め基準面６３を受けてモータ１５を内フランジ８２の軸線と同軸となるように位置決めする第１位置決め面８６とされている。
また、突条８３の内周面は、第１位置決め面８６と同軸の円筒内面形状をなす第２位置決め基準面８７とされている。
【００５８】
カバーフランジ７２には、その上面に、上方に突出する円柱部７３が貫通穴２２ａと同軸にして設けられており、下面には、下方に突出する円環状の突条７４が設けられている。
円柱部７３は、ハウジング８１の突条８３の内周側に挿入されるものであって、その外周面は、ハウジング８１の突条８３の内径とほぼ同径の円筒面をなしており、この外周面が、ハウジング８１の第２位置決め基準面８７を受けてハウジング８１を貫通穴２２ａと同軸となるように位置決めする円筒形状の第２位置決め面７５とされている。
ここで、カバーフランジ７２の上面において、円柱部７３の外周側に位置する円環状部は、貫通穴２２ａと略直交する平面とされている。
また、突条７４の内周面は、第２位置決め面７５と同軸の円筒内面形状をなす第３位置決め基準面７６とされており、突条７４の先端面（下端面）は、貫通穴２２ａと略直交する平面とされている。
【００５９】
ダイヤフラムカバー７０には、その上面に、上方に突出する円柱部７７が貫通穴２０ａと同軸にして設けられている。
円柱部７７は、カバーフランジ７２の突条７４の内周側に挿入されるものであって、その外周面は、カバーフランジ７２の突条７４の内径とほぼ同径の円筒面をなしており、この外周面が、カバーフランジ７２の第３位置決め基準面７６を受けてカバーフランジ７２を貫通穴２０ａと同軸となるように位置決めする第３位置決め面７９とされている。
【００６０】
ここで、ダイヤフラムカバー７０の上面において、円柱部７７の外周側に位置する円環状部は、貫通穴２０ａと略直交する平面とされている。
なお、ダイヤフラムカバー７０の外周面は、ボディ１２に装着されるカバー２３の内面によって受けられて、貫通穴２０ａがダイヤフラムニードル１４と同軸になるように位置決めされている。
【００６１】
また、カバーフランジ７２の上面には、モータ１５の回転軸１５ａの軸線に略平行にしてガイドピン８４が設置されており、スライダ１７は、二股部の内周面が、モータシャフト３１の外周面の代わりに、ガイドピン８４の外周面に接するようになっていて、これによって回転軸１５ａとスライダ１７との供回りが防止されている。
このガイドピン８４の上端には、スライダ１７の上面に張り出して、スライダ１７の上面を受けるストッパ８５が設けられている。
ストッパ８５は、モータ１５の回転軸１５ａを回転させてスライダ１７を上昇させた際に、スライダ１７がカップリング１６の凸部１６ｂの付け根に当接する前にスライダ１７を受けて、それ以上のスライダ１７の上昇を規制するものである。
【００６２】
このように構成されたニードルバルブ６０では、ボディ１２に対するモータ１５の組付けの際に、モータ１５の円柱部６２をハウジング８１の内フランジ８２に挿入することで、モータ１５の第１位置決め基準面６３がハウジング８１の第１位置決め面８６によって受けられて、モータ１５の回転軸１５ａが、ハウジング８１の内フランジ８２の軸線及び突条８３と同軸となる。
この状態で、ハウジング８１の突条８３の内周側に、カバーフランジ７２の円柱部７３を挿入することで、ハウジング８１の第２位置決め基準面８７がカバーフランジ７２の第２位置決め面７５によって受けられて、ハウジング８１の突条８３がカバーフランジ７２の円柱部７３、突条７４、及び貫通穴２２ａと同軸となる。すなわち、モータ１５の回転軸１５ａが、カバーフランジ７２の円柱部７３、突条７４、及び貫通穴２２ａと同軸となる。
【００６３】
この状態で、カバーフランジ７２の突条７４の内周側に、ダイヤフラムカバー７０の円柱部７７を挿入することで、カバーフランジ７２の第３位置決め基準面７６がダイヤフラムカバー７０の第３位置決め面７９によって受けられて、カバーフランジ７２の突条７４がダイヤフラムカバー７０の円柱部７７及び貫通穴２０ａと同軸となる。すなわち、モータ１５の回転軸１５ａが、ダイヤフラムカバー７０の円柱部７７及び貫通穴２０ａと同軸となる。
ダイヤフラムカバー７０は、ボディ１２に対して、貫通穴２０ａがダイヤフラムニードル１４と同軸になるように位置決めされるので、モータ１５の回転軸１５ａも、ダイヤフラムニードル１４と同軸となる。
【００６４】
このように、本実施形態に示すニードルバルブ６０では、モータ１５、ハウジング８１、カバーフランジ７２、及びダイヤフラムカバー７０が、それぞれいわゆるインローによって結合されるので、これらの部材を接続するだけで、ボディ１２に対するモータ１５の位置と向きとの双方について位置決めされて、ダイヤフラムニードル１４の駆動に適した状態となるので、ボディ１２に対するモータ１５の位置調整作業及び向きの調整作業が不要となる。
このため、このニードルバルブ６０は、製造時やメンテナンス時において組立作業者の技術レベルによらずに高精度な組み付けを容易かつ迅速に行うことができるので、生産性、作業性に優れるとともに、製品ごと、またはメンテナンス作業ごとの組立精度のばらつきを低減して、流量調整弁としての性能を高水準に保つことができる。
【００６５】
ここで、上記の各位置決め基準面は、上記のような筒状面や筒状内面に限らず、一つ以上の曲面、もしくは、少なくとも一つの面が他の面とは異なる方向に向けられた複数の平面によって構成することができる。位置決め基準面が曲面である場合には、対応する位置決め面はこの曲面と同じ曲率でかつ曲率の向きが逆向きとなる曲面によって構成される。
モータや固定部材に設けられた位置決め基準面が複数の平面である場合には、これに結合される部材の位置決め面も各位置決め基準面に対応する複数の平面によって構成される。
【００６６】
また、このニードルバルブ６０では、スライダ１７の供回りを防止するガイドピン８４にストッパ８５が設けられているので、スライダ１７を上昇させる際にスライダ１７とカップリング１６の凸部１６ｂの付け根との干渉が防止されて、これらの噛み込み等の問題が確実に防止され、常に良好な動作を行うことができる。
なお、本実施形態の特徴的な構成は、第２実施形態に示したニードルバルブ５０に限らず、第１実施形態に示したニードルバルブ１０に適用することができる。
【００６７】
［第４実施形態］
以下、本発明によるニードルバルブの第４実施形態を、図７を参照しながら説明する。
本実施形態に示すニードルバルブ９０は、第３実施形態に示すニードルバルブ６０において、モータ１５のモータ本体１５ｄ外部に、回転軸１５ａに加わるスラスト荷重を受けるスラスト軸受９１を設けたことを主たる特徴とするものである。以下、第３実施形態に示すニードルバルブ５０と同様または同一の部材については同じ符号を用いて示し、詳細な説明を省略する。
【００６８】
本実施形態では、モータ１５の円柱部６２の下面とカップリング１６の上面との間にスラスト軸受９１を設けている。
このように構成されるニードルバルブ９０では、ダイヤフラムニードル１４が流体の圧力を受けた際に、本来はダイヤフラムニードル１４、スライダ１７、及びカップリング１６を介して回転軸１５ａに伝達されるはずのスラスト荷重が、モータ本体１５ｄ外部に設けられたスラスト軸受９１によって受けられて、モータ本体１５ｄに逃がされるので、モータ１５内の回転軸１５ａの支持構造に加わる負担が軽減され、長期にわたってモータ１５の性能を維持することができる。
なお、本実施形態の特徴的な構成は、第３実施形態に示したニードルバルブ６０に限らず、第１実施形態に示したニードルバルブ１０や第２実施形態に示したニードルバルブ５０に適用することができる。
【００６９】
［第５実施形態］
以下、本発明によるニードルバルブの第４実施形態を、図８及び図９を参照しながら説明する。
本実施形態に示すニードルバルブ１０１は、第１、第２、第３、第４実施形態のいずれかに示すニードルバルブにおいて、モータ１５をステッピングモータとするとともに、モータ１５の動作を制御する制御装置１０２を設けたことを主たる特徴とするものである。
制御装置１０２は、ダイヤフラムニードル１４の位置校正にあたって、モータ１５の回転軸１５ａを、ダイヤフラムニードル１４がその可動範囲の一端から他端まで移動するのに必要な角度回転させるだけのパルス数のパルス信号をモータ１５に入力し、回転軸１５ａが停止した位置でダイヤフラムニードル１４が可動範囲の前記他端に位置していると判定して、以降は可動範囲内でダイヤフラムニードル１４の位置制御を行う構成とされている。
【００７０】
具体的には、制御装置１０２は、ダイヤフラムニードル１４の位置校正にあたって、ダイヤフラムニードル１４がその可動範囲の一端から他端まで移動するのに必要な角度（この角度はニードルバルブ１０１の設計情報から得られる）だけモータ１５の回転軸１５ａを回転させるよう、所定パルス数のパルス信号をモータ１５に入力する。
本実施形態では、図９に示すように、制御装置１０２は、ダイヤフラムニードル１４の位置校正にあたって、回転軸１５ａをダイヤフラムニードル１４が可動範囲のうちの開放側（図１、図２、図３、図５及び図７における上方）に向けて移動する向きに回転させて、ダイヤフラムニードル１４を全開位置まで移動させる。
【００７１】
これにより、回転軸１５ａの回転が終了した時点では、ダイヤフラムニードル１４は、位置校正作業の開始時点における位置（初期位置）によらず、可動範囲の他端に位置することになる。なお、ダイヤフラムニードル１４の位置校正開始時点でダイヤフラムニードル１４が可動範囲の一端以外に位置している場合には、回転軸１５ａがモータ１５に入力されたパルス信号の全てのパルスに対応する角度だけ回転する前に、ダイヤフラムニードル１４が可動範囲の他端に到着してそれ以上移動できなくなるので、以降は残りのパルス数によらず、回転軸１５ａが回転しない。
【００７２】
このようにダイヤフラムニードル１４を可動範囲の他端に位置させた以降は、制御装置１０２は、ダイヤフラムニードル１４が可動範囲の他端に位置していると判断して、可動範囲内でダイヤフラムニードル１４の位置制御が行われる。
本実施形態では、制御装置１０２は、回転軸１５ａが停止したのちに、ダイヤフラムニードル１４を可動範囲の一端（全閉位置）まで移動させるだけのパルス数のパルス信号をモータ１５に入力し、回転軸１５ａが停止した位置を、ダイヤフラムニードル１４の位置制御の原点とし、以降はダイヤフラムニードル１４を予め設定した動作範囲内に移動させて、必要な制御を行う。
【００７３】
ダイヤフラムニードル１４が可動範囲内にある場合には、モータ１５に入力されたパルス信号の全てのパルスに対応する角度で回転軸が回転するので、パルス信号のパルス数とダイヤフラムニードル１４の位置との間に一定の関係が成立する。
これにより、本実施形態のニードルバルブ１０１では、一旦ダイヤフラムニードル１４を可動範囲の他端に位置させたのちは、以降にモータ１５に入力したパルス信号のパルス数に基づいてダイヤフラムニードル１４の位置を特定することが可能となり、ロータリーエンコーダを用いずに、ダイヤフラムニードル１４の位置を正確に把握することができる。
【００７４】
さらに、本実施形態では、ダイヤフラムニードル１４の位置校正にあたって、ダイヤフラムニードル１４が、可動範囲のうちの開放側、すなわちニードルバルブ１０１のニードル収容部４３ａとの干渉を避ける方向に向けて移動させられるので、ダイヤフラムニードル１４の位置校正を繰り返しても、ダイヤフラムニードル１４及びボディ１２に損耗が生じにくい。
【００７５】
ここで、本実施形態に示す技術を、第１または第２実施形態に示すニードルバルブに適用した場合には、制御装置１０２を、少なくともダイヤフラムニードル１４がその可動範囲の端部近傍で端部に向って移動する場合にはモータ１５の回転軸１５ａを第一駆動トルクで回転させ、ダイヤフラムニードル１４が可動範囲の端部から離間する場合には、モータ１５の回転軸１５ａを第一駆動トルクよりも大きい第二駆動トルクで回転させる構成としてもよい。
【００７６】
この場合には、ダイヤフラムニードル１４を可動範囲の端部から離間させるにあたって、モータ１５の動作を制御する制御装置１０２が、ダイヤフラムニードル１４をその可動範囲の端部まで移動させる際の駆動トルク（第一駆動トルク）よりも大きい第二駆動トルクでモータ１５を動作させる。
これにより、このニードルバルブでは、ダイヤフラムニードル１４が可動範囲の端部まで移動した際にネジ部の噛み込みが生じたとしても、この噛み込みを容易に解消することができる。
【００７７】
モータ１５の駆動力は、モータ１５に供給される駆動電流に比例する。
そこで、制御装置１０２を、ダイヤフラムニードル１４を可動範囲の端部まで移動させる際にはモータ１５の駆動電流の出力制限値を第一制限値Ｖ１に設定し、ダイヤフラムニードル１４を可動範囲の端部から離間させる際には出力制限値を第一制限値Ｖ１よりも大きい第二制限値Ｖ２に設定する構成とすることで、上記の制御を実現することができる。
【００７８】
また、モータ１５は、回転軸１５ａの回転が低速であるほど回転軸１５ａを駆動するトルクが増大する。
そこで、制御装置１０２を、ダイヤフラムニードル１４を可動範囲の端部まで移動させる際にはモータ１５の回転軸１５ａを第一回転速度Ｒ１で回転させ、ダイヤフラムニードル１４を可動範囲の端部から離間させる際には第一回転速度Ｒ１よりも低速の第二回転速度Ｒ２で回転させる構成とすることで、上記の制御を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明によるニードルバルブ（流量調整弁）の第１実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】本発明によるニードルバルブの第２実施形態を示す図であって、図２と同様の図である。
【図４】モータの回転軸の回転角度と流量との関係を示すグラフであって、（ａ）は図１および図２に示すニードルバルブを用いて測定した測定結果、（ｂ）は従来のニードルバルブを用いて測定した測定結果である。
【図５】本発明によるニードルバルブの第３実施形態を示す縦断面図である。
【図６】図５の一部拡大図である。
【図７】本発明によるニードルバルブの第４実施形態を示す縦断面図である。
【図８】本発明によるニードルバルブの第５実施形態を示すブロック図である。
【図９】図８に示すニードルバルブの動作を示す図である。
【符号の説明】
【００８０】
１０    ニードルバルブ（流量調整弁）
１２    ボディ
１４    ダイヤフラムニードル（弁体）
１５    モータ
１５ａ  回転軸
１５ｄ  モータ本体
１６ｃ  雄ネジ部
１７ａ  雌ネジ部
１９    パッキン
２１    スプリング（付勢手段）
２３    カバー
４１    流体入口
４２    流体出口
４４    排出路
４５    ダックビル（逆止弁）
５０    ニードルバルブ（流量調整弁）
５１    スプリング（付勢手段）
６０    ニードルバルブ（流量調整弁）
６３    第一位置決め基準面
７０    ダイヤフラムカバー（固定部材）
７２    カバーフランジ（固定部材）
７５    第二位置決め面
７６    第三位置決め基準面
７９    第三位置決め面
８０    ハウジング（固定部材）
８６    第一位置決め面
８７    第二位置決め基準面
９０    ニードルバルブ（流量調整弁）
９１    スラスト軸受
１０１  ニードルバルブ（流量調整弁）
１０２  制御装置
【図１】
2006153262.tif 000003
【図２】
2006153262.tif 000004
【図３】
2006153262.tif 000005
【図４】
2006153262.tif 000006
【図５】
2006153262.tif 000007
【図６】
2006153262.tif 000008
【図７】
2006153262.tif 000009
【図８】
2006153262.tif 000010
【図９】
2006153262.tif 000011