(57)【要約】【課題】  光路を三次元空間内で自由にレイアウトできる三次元光導波路、および前記三次元光導波路を用いた光通信システムの提供。【解決手段】ある特定の方向であるＸ方向の光路を形成する複数のＸ方向コアと、前記Ｘ方向に対して直交するＹ方向の光路を形成する複数のＹ方向コアと、前記Ｘ方向コアおよびＹ方向コアを囲繞するとともに、前記Ｘ方向コアおよびＹ方向コアとは異なる屈折率を有するクラッドとを有し、前記複数のＸ方向コアとＹ方向コアとは１層または２層以上に配列されて格子を形成する三次元光導波路、前記三次元光導波路と発光素子と受光素子とからなる光通信システム。【選択図】        図５
2006251183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ方向の光路を形成する複数のＸ方向コアと、
Ｘ−Ｙ平面内において前記Ｘ方向コアと所定の角度で交差する光路を形成する複数のＹ方向コアと、
前記Ｘ方向コアおよびＹ方向コアを囲繞するとともに、前記Ｘ方向コアおよびＹ方向コアとは異なる屈折率を有するクラッドとを有し、
前記Ｘ方向コアとＹ方向コアとは１層または２層以上に配列されてなるとともに、夫々の層において互いに交差して格子を形成してなることを特徴とする三次元光導波路。
【請求項２】
前記Ｙ方向コアは、Ｘ−Ｙ平面内においてＸ方向コアと直交してなる請求項１に記載の三次元光導波路。
【請求項３】
Ｘ方向コアとＹ方向コアとの交点に配設されてなり、前記交点で交差するＸ方向コアとＹ方向コアとの間で光路を変換する光路変換手段を有する請求項１または２に記載の三次元光導波路。
【請求項４】
前記光路変換手段は、三次元導波路に穿設された穴に挿入され、光路を所定の方向に変換する光路変換部材である請求項３に記載の三次元光導波路。
【請求項５】
前記光路変換手段は、前記格子の交点に配設された反射鏡である請求項３に記載の三次元光導波路。
【請求項６】
前記反射鏡は、三次元導波路に加工された反射面、または前記反射面に金属を蒸着させた金属面である請求項４に記載の三次元光導波路。
【請求項７】
前記Ｘ方向コアと前記Ｙ方向コアとは２層以上に設けられてなるとともに、
Ｘ方向およびＹ方向に対して直交するＺ方向に沿って一の層と他の層とを接続するとともに、両端において、Ｘ方向コアまたはＹ方向コアとの間で光路を変換するＺ方向導波路を有する
請求項１〜６の何れか１項に記載の三次元光導波路。
【請求項８】
前記Ｚ方向導波路の両端に設けられた光路変換手段は、前記Ｚ方向導波路とＸ方向コアおよび／またはＹ方向コアとの間で光路を屈曲させる反射鏡である請求項７に記載の三次元光導波路。
【請求項９】
発光素子と、受光素子と、発光素子から出射された光を受光素子に導く請求項１〜８の何れか１項に記載の三次元光導波路とを有することを特徴とする光通信システム。
【請求項１０】
前記発光素子と前記三次元光導波路との間には、前記発光素子から出射された光を、前記三次元光導波路におけるＺ方向に沿って所定の層に導く第１のＺ方向導波路が形成され、
前記受光素子と前記三次元光導波路との間には、前記所定の層を伝達された光を前記受光素子に導く第２のＺ方向導波路が形成されてなることを特徴とする光通信システム。
【請求項１１】
前記発光素子と第１のＺ方向導波路とは一体に形成されて発光モジュールを形成し、前記受光素子と第２のＺ方向導波路とは一体に形成されて受光モジュールを形成するとともに、前記発光モジュールと前記受光モジュールとは三次元導波路の所定箇所に形成された穴に挿入される請求項１０に記載の光通信システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元光導波路および光通信システムに係り、特に、複数の光路を形成でき、しかも前記光路の方向を２方向以上に変換できる三次元光導波路、および前記三次元光導波路を用いた光通信システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、二次元光導波路を積層してコアを三次元状に配置することにより、大容量の光導波路を経済的に作製することが提案されている（特許文献１、特許文献２）。また、光素子を光ファイバに接続するための光路直角変換導波路が提案されている。これは、導波路の一端に光路を９０度曲げるための反射鏡を形成したものである。
【特許文献１】特開平１１−１８３７４７号公報
【特許文献２】特開２００４−１７７７３０号公報
【非特許文献１】ＪＰＣＡ  Ｓｈｏｗ  ２００４  最先端シンポジウム「光・電気モジュールの実装技術」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１および２に記載の光導波路は、一方の端面から光を入射させ、他方の端面において受光するものであり、光路を任意の方向に曲げることができない。また、非特許文献１に示された光路直角変換導波路も、光路を直角に曲げることはできるものの、更に別の方向に曲げるには、別の光路変換導波路を光ファイバ等によって接続する必要があり、不便であった。
【０００４】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたものであり、光路を三次元空間内で自由にレイアウトできる三次元光導波路、および前記三次元光導波路を用いた光通信システムの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明は、Ｘ方向の光路を形成する複数のＸ方向コアと、  Ｘ−Ｙ平面内において前記Ｘ方向コアと所定の角度で交差する光路を形成する複数のＹ方向コアと、
【０００６】
前記Ｘ方向コアおよびＹ方向コアを囲繞するとともに、前記Ｘ方向コアおよびＹ方向コアとは異なる屈折率を有するクラッドとを有し、前記Ｘ方向コアとＹ方向コアとは１層または２層以上に配列されてなるとともに、夫々の層において互いに交差して格子を形成してなることを特徴とする三次元光導波路に関する。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の三次元光導波路において、前記Ｙ方向コアが、Ｘ−Ｙ平面内においてＸ方向コアと直交してなるものに関する。
【０００８】
前記三次元光導波路においては、Ｘ方向コアとクラッドとは屈折率が異なるから、光素子からＸ方向コアに導入された光は、Ｘ方向コアとクラッドとの界面で全反射してＸ方向コア内を進行する。これは、光素子からＹ方向コア内に光を導入した場合も同様である。
【０００９】
したがって、前記三次元光導波路においては、Ｘ方向コアによってＸ方向の光路が、Ｙ方向コアによってＹ方向の光路が形成される。しかも、一の層と他の層とで異なる光路を形成することができ、また、後述するＺ方向光路を形成することにより、一の層においても二次元方向に屈曲した光路を自由に形成できる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の三次元光導波路においてＸ方向コアとＹ方向コアとの交点に配設されてなり、Ｘ方向コアとＹ方向コアとの間で光路を変換する光路変換手段を有するものに関する。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の三次元導波路において、前記光路変換手段は、三次元導波路に穿設された穴に挿入され、光路を所定の方向に変換する光路変換部材であるものに関する。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の三次元光導波路部材において、前記光路変換手段は、前記格子の交点に配設された反射鏡であるものに関する。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の三次元導波路において、前記反射鏡が、三次元導波路に加工された反射面、または前記反射面に金属を蒸着させた金属面であるものに関する。
【００１４】
これらの三次元光導波路においては、Ｘ方向コア／Ｙ方向コアを進んできた光は、光路変換部材においてＹ方向コア／Ｘ方向コアに向かって屈曲させることができるから、三次元光導波路内部において、二次元方向に屈曲する光路を形成できる。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載の三次元光導波路において、前記Ｘ方向コアと前記Ｙ方向コアとは２層以上に設けられてなるとともに、Ｘ方向およびＹ方向に対して直交するＺ方向に沿って一の層と他の層とを接続するとともに、両端において、Ｘ方向コアおよび／またはＹ方向コアとの間で光路を変換するＺ方向導波路を有するものに関する。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の三次元光導波路において、前記Ｚ方向導波路の両端に設けられた光路変換手段が、前記Ｚ方向導波路とＸ方向コアまたはＹ方向コアとの間で光路を屈曲させる反射鏡であるものに関する。
【００１７】
これらの三次元光導波路においては、たとえば一の層におけるＸ方向コアと、他の層におけるＸ方向コアまたはＹ方向コアとをＺ方向導波路で結合し、前記一の層と他の層とに亘って３次元方向に屈曲した１本の光路を形成することができる。
【００１８】
前記光路においては、前記一の層のＸ方向コアに導入された光は、前記Ｘ方向コアとＺ方向導波路との交点において、前記Ｚ方向導波路の一端に設けられた光路変換手段によってＺ方向導波路に導入される。そして、前記Ｚ方向導波路の他端に設けられた光路変換手段によって他の層のＸ方向コアまたはＹ方向コアに導入される。
【００１９】
請求項９の発明は、発光素子と、受光素子と、発光素子から出射された光を受光素子に導く請求項１〜５の何れか１項に記載の三次元光導波路とを有することを特徴とする光通信システムに関する。
【００２０】
前記光通信システムにおいては、前記三次元光導波路の内部においてＸ方向および／またはＹ方向に沿って伸びる光路を形成できる。したがって、従来の３次光導波路に比較して発光素子および受光素子の配列位置を柔軟に設定できる。
【００２１】
、請求項１０の発明は、請求項９に記載の光通信システムにおいて、前記発光素子と前記三次元光導波路との間には、前記発光素子から出射された光を、前記三次元光導波路におけるＺ方向に沿って所定の層に導く第１のＺ方向導波路が形成され、前記受光素子と前記三次元光導波路との間に、前記所定の層を伝達された光を前記受光素子に導く第２のＺ方向導波路が形成されてなることを特徴とする光通信システムに関する。
【００２２】
請求項１１の発明は、請求項１０に記載の光通信システムにおいて、前記発光素子と第１のＺ方向導波路とが一体に形成されて発光モジュールを形成し、前記受光素子と第２のＺ方向導波路とは一体に形成されて受光モジュールを形成するとともに、前記発光モジュールと前記受光モジュールとは三次元導波路の所定箇所に形成された穴に挿入されるものに関する。
【００２３】
前記光通信システムにおいては、前記発光素子と前記受光素子とは、Ｚ方向導波路で前記三次元光導波路に接続されているから、高価で複雑な光ファイバコネクタなどを用いることなく、前記発光素子と前記受光素子とを接続する光路を形成できる。また、前記発光素子と前記受光素子と三次元光導波路との間の光路合わせも極めて容易である。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように本発明によれば、光路を三次元空間内で自由にレイアウトできる三次元光導波路、および前記三次元光導波路を用いた光通信システムが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
１．実施形態１
【００２６】
実施形態１に係る三次元光導波路の構成を図１および図２に示す。図２において（Ａ）は、実施形態１に係る三次元光導波路をＸＹ平面に沿って切断した断面を示し、（Ｂ）は、ＸＺ平面に沿って、（Ｃ）は、ＹＺ平面に沿って切断した断面を示す。
【００２７】
図１および図２に示すように、三次元光導波路１００は、Ｘ方向に沿って一定間隔で、しかも複数層、たとえば３層に形成されたＸ方向コア２と、Ｙ方向に沿って一定間隔で、しかも複数層、たとえば３層に形成されたＹ方向コア４とを有する。
【００２８】
Ｘ方向コア２とＹ方向コア４とは、同一の屈折率を有し、各層において格子状に交差する。Ｘ方向コア２とＹ方向コア４とは、また、より大きな屈折率を有するクラッド６に埋設されている。
【００２９】
三次元光導波路１００において、Ｘ方向コア２およびＹ方向コア４の幅および高さを増大させ、しかも間隔を詰めて形成した例を図３に示す。図２と同様に、図３においても、（Ａ）は、三次元光導波路１００をＸＹ平面に沿った断面を示し、（Ｂ）は、ＸＺ平面に沿って、（Ｃ）は、ＹＺ平面に沿って切断した断面を示す。
【００３０】
三次元光導波路１００は、図４に示す手順によって作製できる。先ず、適宜の基板の上にポリシラン樹脂をスピンコートし、２５０℃でベーキングして硬化させ、クラッド６を形成する。次ぎに同図において（Ｂ）に示すようにクラッド６の表面にポリシランをスピンコートし、（Ｃ）に示すように、Ｘ方向コア２およびＹ方向コア４を形成する部分をマスクしてＵＶ光を照射する。ＵＶ光を所定時間照射したあと、（Ｄ）に示すように再び２５０℃でベーキングして硬化させる。これにより、ＵＶ光が当った部分のみが屈折率が低下してクラッド６になり、ＵＶ項が当っていない部分がＸ方向コア２およびＹ方向コア４になる。図４において（Ａ）〜（Ｄ）に示す手順を繰り返すことにより、所望の数の層を有する三次元光導波路が形成される。
【００３１】
２．実施形態２
【００３２】
実施形態１に係る三次元光導波路１００を用いた光通信システムの例について以下に説明する。
【００３３】
光通信システム２００を図５に示す。光通信システム２００は、三次元光導波路１００に発光素子２０と受光素子２２とを組み合わせたものである。ここで、発光素子２０としては面発光レーザダイオードが、受光素子としては光ダイオードが使用できる。
【００３４】
光通信システム２００を作製するには、図５において（Ａ）および（Ｂ）に示すように、三次元光導波路１００のＸＹ面内における一のＸ方向コア２と一のＹ方向コア４との交点に挿入孔１０を、前記一のＸ方向コア２と他のＹ方向コア４との交点に挿入孔１２を穿設する。挿入孔１０および１２は、何れも、ドライエッチングなどの手法によってＺ方向に沿って所定の層、たとえば３層目のＸ方向コア２およびＹ方向コア４に達するように穿設される。
【００３５】
次ぎに、同図において（Ｃ）に示すように、発光素子２０のＺ方向導波路２４を挿入孔１０に、受光素子２２のＺ方向導波路２６を挿入孔１２に挿入する。Ｚ方向導波路２４は、本発明における発光側Ｚ方向導波路に、Ｚ方向導波路２６は、受光側Ｚ方向導波路に相当する。Ｚ方向導波路２４および２６は、三次元光導波路１００におけるＸ方向コア２およびＹ方向コア４と同等の屈折率を有する透明な棒状部材であって、先端には、側面に対して４５度の角度を成すミラー面２４Ａおよび２６Ａが形成されている。ミラー面２４Ａおよび２６Ａは、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕなどを蒸着するか、または誘電体多層膜を形成するかして形成できる。
【００３６】
このようにして作製された光通信システム２００の構成および作用を図５において（Ｄ）に示す。光通信システム２００においては、発光素子２０から出射されたレーザ光は、図５の（Ｄ）において矢印で示すように、Ｚ方向導波路２４を透過し、先端のミラー面２４Ａで水平方向に反射されて３層目のＸ方向コア２に導入される。
【００３７】
Ｘ方向コア２を透過したレーザ光は、Ｚ方向導波路２６に導入される。
【００３８】
Ｚ方向導波路２６に導入されたレーザ光は、先端に設けられたミラー面２６Ａで垂直方向に反射され、矢印で示すようにＺ方向導波路２６内を上方に向って進行して受光素子２２で受光される。
【００３９】
光通信システム２００においては、発光素子２０のＺ方向導波路２４および受光素子２２のＺ方向導波路２６の先端にミラー面を形成する代りに、図６において（Ａ）および（Ｂ）に示すように、挿入孔１０および１２の底面を互いに向かい合うように垂直方向に対して４５度の斜めの面に形成し、同図において（Ｃ）において前記斜めの面にＡｌ、Ａｇ、Ａｕなどを蒸着するか誘電体多層膜を形成するかしてミラー面を形成してもよい。
【００４０】
そして図７において（Ａ）および（Ｂ）に示すように、発光素子２０および受光素子２２においてＺ方向導波路２４および２６の先端を、挿入孔１０および１２の底面に合わせて斜めに加工し、これを挿入孔１０および１２に挿入してもよく、また、図８において（Ａ）および（Ｂ）に示すように、Ｚ方向導波路２４および２６の先端を斜めに加工することなく挿入してもよい。
【００４１】
光通信システム２００は、三次元光導波路１００のＸＹ面におけるＸ方向コア２とＹ方向コア４との交点に、Ｚ方向に沿って所定の層まで挿入孔１０および１２を穿設し、発光素子２０および受光素子２２のＺ方向導波路２４および２６を挿入孔１０および１２に挿入するだけで構成することができる。
【００４２】
したがって、発光素子２０および受光素子２２を、特別なカプラ−無しに三次元光導波路１００に接続できる。
【００４３】
また、２組以上の発光素子２０および受光素子２２を互いに混信しないように接続するのも、三次元光導波路１００を用いれば容易である。
【００４４】
３．実施形態３
【００４５】
実施形態１に係る三次元光導波路１００を用いた光通信システムの別の例について以下に説明する。
【００４６】
図９および図１０に示すように、実施形態３に係る光通信システム２０２の作製に使用される三次元光導波路１００は、Ｘ方向コア２およびＹ方向コア４が４層に設けられ、各層には、Ｘ方向コア２Ａ〜２Ｅの５本のＸ方向コア２と、Ｙ方向コア４Ａ〜４Ｈの８本のＹ方向コア４とが形成されている。
【００４７】
先ず、図９において（Ａ）に示すように、三次元光導波路１００のＸＹ面において、Ｘ方向コア２ＥとＹ方向コア４Ａとの交点に挿入孔１４を、Ｘ方向コア２ＡとＹ方向コア４Ｈとの交点に挿入孔１６を穿設する。そして、Ｘ方向コア２ＥとＹ方向コア４Ｅとの交点にミラー面形成孔１１を、Ｘ方向コア２ＥとＹ方向コア４Ａとの交点にミラー面形成孔１３を穿設する。
【００４８】
挿入孔１４、１６、およびミラー面形成孔１１および１３は、何れも、上から２層目のＸ方向コア２およびＹ方向コア４に達するようにＺ方向に沿って穿設される。図９において（Ａ）および（Ｂ）に示すように、ミラー面形成孔１１は、斜めに形成されたミラー形成面が挿入孔１４を向くように、ミラー面形成孔１３は、ミラー形成面が挿入孔１６を向くように穿設される。なお、ミラー面形成孔１１とミラー面形成孔１３とのミラー形成面は、互いに相対するような位置にある。
【００４９】
次ぎに、図９において（Ｂ）に示すように、ミラー面形成孔１１および１３のミラー形成面にＡｌ、Ａｇ、Ａｕなどを蒸着するか誘電体多層膜を形成するかしてミラー面１１Ａおよび１３Ａを形成する。ミラー面１１Ａおよび１３Ａは、本発明における光路変換手段に相当する。
【００５０】
そして、図１０において（Ａ）および（Ｂ）に示すように、発光素子２０のＺ方向導波路２４を挿入孔１４に、受光素子２２のＺ方向導波路２６を挿入孔１６に挿入して光通信システム２０２を構成する。なお、図１０において（Ａ）は、光通信システム２０２の光路をＸＹ平面内の経路を示し、（Ｂ）は、前記経路のＸＺ平面内の経路を示す。
【００５１】
光通信システム２０２においては、図１０において矢印に示すように、発光素子２０から出射されたレーザ光は、Ｘ方向コア２Ｅを透過してミラー面１１Ａに入射する。そしてミラー面１１Ａで９０度方向を変えられてＹ方向コア４Ｅに入射し、ミラー面１３Ａに向かって進む。ミラー面１３Ａに入射したレーザ光は、ミラー面１３Ａで９０度方向を変えられてＸ方向コア２Ａに入射する。前記レーザ光は、Ｘ方向コア２Ａを透過し、Ｚ方向導波路２６の下端に入射する。そして、Ｚ方向導波路２６下端のミラー面２６Ａで上方に方向を変えられ、受光素子２２に入射する。
【００５２】
このように、発光素子２０と受光素子２２とが同一のＸ方向コア２および同一のＹ方向コア４の上に無い場合においても、三次元光導波路１００にミラー面を形成することにより、発光素子２０と受光素子２２との間に光路を形勢できる。
【００５３】
４．実施形態４
【００５４】
実施形態１に係る三次元光導波路１００を用いた光通信システムの更に別の例について以下に説明する。
【００５５】
実施形態４に係る光通信システム２０４は、図１１に示すように、実施形態３に係る光通信システム２０２に２番目の光路を形成したものである。図１１において図９および図１０と同一の符号は、前記符号が図９および図１０で示すのと同一の要素を示す。
【００５６】
図１１に示すように、光通信システム２０４においては、挿入孔１４および挿入孔１６に加えて、Ｘ方向コア２ＣとＹ方向コア４Ｃとの交点に挿入孔１５を、Ｘ方向コア２ＣとＹ方向コア４Ｆとの交点に挿入孔１７を形成する。但し、挿入孔１５および１７は、挿入孔１４および１６よりも１層深い上から４層目のＸ方向コア２に達する深さに穿設する。
【００５７】
そして、図１１において（Ｂ）に示すように、挿入孔１４および１６には、夫々発光素子２０および受光素子２２がＺ方向導波路２４および２６を介して装着される。そして、図１１において（Ｃ）に示すように、発光素子２１および受光素子２３がＺ方向導波路２５および２７を介して装着される。Ｚ方向導波路２４、２５、２６、２７は、何れも下端が垂直方向に対して４５度の角度になるように斜めに加工され、Ａｌ、Ａｇ、Ａｌなどの金属が蒸着されてミラー面が形成されている。そして、発光素子２０と受光素子２２、および発光素子２１と受光素子２３とは、ミラー面が互いに向かい合うように装着される。
【００５８】
光通信システム２０４においては、発光素子２０と受光素子２２との間には、実施形態３に係る光通信システム２０２のところで述べたのと同様の光路が形成される。一方、図１１において（Ｃ）に示すように、発光素子２１と受光素子２３との間には、Ｚ方向導波路２５と上から４層目のＸ方向コア２ＣとＺ方向導波路２７とを介する光路が形成される。
【００５９】
このように、三次元光導波路１００を用いれば、複数の光路も容易に構成できる。
【００６０】
５．実施形態５
【００６１】
実施形態１に係る三次元光導波路１００を用いた光通信システムの更に別の例について以下に説明する。
【００６２】
実施形態５に係る光通信システム２０６においては、図１２の（Ａ）に示すように、三次元光導波路１００の一のＸ方向コア２と第１のＹ方向コア４との交点、前記一のＸ方向コア２と第２のＹ方向コア４との交点、および前記一のＸ方向コア２と第３のＹ方向コア４との交点に、夫々Ｚ方向に沿って挿入孔３２、３３、３４を穿設する。挿入孔３２、３３は、上から３層目のＸ方向コア２に達する深さに、挿入孔３４は、上から１層目のＸ方向コア２に達する深さに穿設される。
【００６３】
図１２の（Ｂ）に示すように、挿入孔３２には、発光素子２８のＺ方向導波路２９が、挿入孔３４には、受光素子３０のＺ方向導波路３１が挿入される。そして、挿入孔３３には、第４層目と第１層目とのＸ方向コア２を結ぶＺ方向の光路を形成するＺ方向導波路４０が挿入される。
【００６４】
Ｚ方向導波路２９および３１は、何れもＸ方向コア２およびＹ方向コア４と同等の屈折率を有する透光性の棒状部材であって、夫々挿入孔３２および３４の底面に到達するだけの長さを有し、先端にはミラー面２９Ａおよび３１Ａが形成されている。
【００６５】
Ｚ方向導波路４０もまた、Ｘ方向コア２およびＹ方向コア４と同等の屈折率を有する透光性の棒状部材であるが、上端近傍にミラー面４０Ａが、下端にミラー面４０Ｂが形成されている。ミラー面４０Ａおよびミラー面４０Ｂは、Ｚ方向導波路４０を挿入孔３３に挿入したときに、Ｚ方向の位置が、夫々上から第１層のＸ方向コア２および上から４層目のＸ方向コア２と同一になるように形成されている。
【００６６】
光通信システム２０６においては、図１２の（Ｂ）において矢印で示すように、Ｚ方向導波路２９によって発光素子２８と上から４層目のＸ方向コア２を結ぶＺ方向の光路が形成され、Ｚ方向導波路４０によって上から４層目と１層目とのＸ方向コア２を結ぶＺ方向の光路が形成される。そして、Ｚ方向導波路３１によって上から１番目のＸ方向コア２と受光素子３０とを結ぶＺ方向の光路が形成される。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】図１は、実施形態１に係る三次元光導波路の構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す三次元光導波路をＸＹ平面、ＹＺ平面、およびＸＺ平面に沿って切断した断面を示す断面図である。
【図３】図３は、実施形態１に係る三次元光導波路の別の例を示す断面図である。
【図４】図４は、実施形態１に係る三次元光導波路を作製する手順の一例を示す工程図である。
【図５】図５は、実施形態２に係る光通信システムを作製する手順および構成を示す説明図である。
【図６】図６は、実施形態２に係る光通信システムの別の例を示す説明図である。
【図７】図７は、実施形態２に係る光通信システムの別の例を示す説明図である。
【図８】図８は、実施形態２に係る光通信システムの更に別の例を示す説明図である。
【図９】図９は、実施形態３に係る光通信システムを作製する手順を示す説明図である。
【図１０】図１０は、実施形態３に係る光通信システムを作製する手順の続き、および構成を示す説明図である。
【図１１】図１１は、実施形態４に係る光通信システムの構成を示す説明図である。
【図１２】図１２は、実施形態４に係る光通信システムの構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６８】
２    Ｘ方向コア
２Ａ  Ｘ方向コア
２Ｂ  Ｘ方向コア
２Ｃ  Ｘ方向コア
２Ｄ  Ｘ方向コア
２Ｅ  Ｘ方向コア
４    Ｙ方向コア
４Ａ  Ｙ方向コア
４Ｂ  Ｙ方向コア
４Ｃ  Ｙ方向コア
４Ｄ  Ｙ方向コア
４Ｅ  Ｙ方向コア
４Ｆ  Ｙ方向コア
４Ｇ  Ｙ方向コア
４Ｈ  Ｙ方向コア
６    クラッド
１０  挿入孔
１１  ミラー面形成孔
１１Ａ      ミラー面
１２  挿入孔
１３  ミラー面形成孔
１３Ａ      ミラー面
１４  挿入孔
１５  挿入孔
１６  挿入孔
１７  挿入孔
２０  発光素子
２１  発光素子
２２  受光素子
２３  受光素子
２４  Ｚ方向導波路
２４Ａ      ミラー面
２５  Ｚ方向導波路
２６  Ｚ方向導波路
２６Ａ      ミラー面
２７  Ｚ方向導波路
２８  発光素子
２９  Ｚ方向導波路
２９Ａ      ミラー面
３０  受光素子
３１  受光素子
３１  Ｚ方向導波路
３２  挿入孔
３３  挿入孔
３４  挿入孔
４０  Ｚ方向導波路
４０Ａ      ミラー面
４０Ｂ      ミラー面
１００      三次元光導波路
２００      光通信システム
２０２      光通信システム
２０４      光通信システム
２０６      光通信システム
【図１】
2006251183.tif 000003
【図２】
2006251183.tif 000004
【図３】
2006251183.tif 000005
【図４】
2006251183.tif 000006
【図５】
2006251183.tif 000007
【図６】
2006251183.tif 000008
【図７】
2006251183.tif 000009
【図８】
2006251183.tif 000010
【図９】
2006251183.tif 000011
【図１０】
2006251183.tif 000012
【図１１】
2006251183.tif 000013
【図１２】
2006251183.tif 000014