(57)【要約】【課題】タンク付ヘッドまたはカートリッジに液体を充填する際、過度の圧力ストレスを発生させずに、液体内に気泡の混入なく注入する。【解決手段】チャンバー内にタンク付ヘッドを、ノズル面を下側にして載置（Ｓ１）。チャンバー内を真空にして（Ｓ２）、真空度を確認後、キャップ部をノズル面に密着（Ｓ３）。真空状態のインク貯蔵部を大気圧として（Ｓ４）、確認後、三方弁をインク貯蔵部からキャップ部間の連通に切り替える（Ｓ５）。チャンバーとインク貯蔵部の差圧でインクがキャップ部，ノズル面を介し進入して充填（Ｓ６）。インク充填所定量を検出し（Ｓ７のＹｅｓ）、三方弁をチャンバーからキャップ部間のエアーバイパスで連通して圧力平衡状態としてインク充填を停止（Ｓ８）。ノズル面に当接のキャップ部が降下し（Ｓ９）、ストップバルブを開きエアーバイパスの流入インクをインクパンに排出（Ｓ１０）。タンク付ヘッドを取り出す（Ｓ１１）。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク全体を浸漬することなく前記ワーク内に液体を充填する液体充填方法であって、
液体の注入口を下側として前記ワークを気密構造のチャンバー内に載置する第１の工程と、前記チャンバー内を真空に近く減圧する第２の工程と、前記注入口にキャップ部を密着する第３の工程と、前記キャップ部に接続の配管を介して供給タンクから一定量の液体を前記ワーク内に充填する第４の工程と、前記ワーク内外の圧力を平衡状態として前記液体の充填を停止する第５の工程と、前記チャンバー内を加圧して前記配管の内部に残留した液体を排出する第６の工程とからなることを特徴とする液体充填方法。
【請求項２】
前記第４の工程において、ワーク内に充填する液体の流量を調整する手段により前記流量を制御することを特徴とする請求項１記載の液体充填方法。
【請求項３】
前記流量を調整する手段は、配管の流入コンダクタンスを調整してワーク内に充填する液体の流量を制御することを特徴とする請求項２記載の液体充填方法。
【請求項４】
前記流量を調整する手段は、液体の供給タンクの圧力を調整してワーク内に充填する液体の流量を制御することを特徴とする請求項２記載の液体充填方法。
【請求項５】
前記流量を調整する手段は、キャップ部に接続した配管のバルブ開閉時間によりワーク内に充填する液体の流量を制御することを特徴とする請求項２記載の液体充填方法。
【請求項６】
前記第５の工程において、ワーク内に充填する液体の流入量を検出する手段の結果に基づき液体の充填を停止することを特徴とする請求項１記載の液体充填方法。
【請求項７】
前記液体の流入量を検出する手段は、ワーク内に設けた電極を充填した液体で通電することにより前記ワーク内の充填量を検出することを特徴とする請求項６記載の液体充填方法。
【請求項８】
前記液体の流入量を検出する手段は、反射型または透過型の光センサを用いてワーク内の充填量を検出することを特徴とする請求項６記載の液体充填方法。
【請求項９】
前記第５の工程において、キャップ部とチャンバー間に設けたエアー配管を接続してワーク内外の圧力を平衡状態とすることを特徴とする請求項１記載の液体充填方法。
【請求項１０】
前記キャップ部とチャンバー間に設けたエアー配管は、配管の流入コンダクタンスを調整してワーク内外の圧力を平衡状態に制御することを特徴とする請求項９記載の液体充填方法。
【請求項１１】
前記ワークが、液体吐出孔と内外と連通する開口部として注入孔、大気連通孔の少なくとも１つを有し、前記液体吐出孔を注入口として用いること特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の液体充填方法。
【請求項１２】
前記ワークが、インクを吐出して印刷するインクジェットプリンタあるいは工業用の液材を吐出する装置に用いるタンク付ヘッドまたはカートリッジであることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液体充填方法。
【請求項１３】
ワーク内に液体を充填する液体充填装置であって、大気圧に対して加圧と減圧時の機密性を保つチャンバーと、前記チャンバー内に前記ワークの液体注入口を下側にして載置するホルダー部と、前記注入口に当接し機密性を保ちながら前記ワークに液体を充填するため上下駆動するキャップ部と、前記ワーク内に充填する液体の流入量を検出する検出手段と、前記ワーク内外の圧力を平衡状態にするエアー配管と、気密構造にある液体の供給タンクとを備えたことを特徴とする液体充填装置。
【請求項１４】
前記ワークが、液体吐出孔と内外と連通する開口部として注入孔、大気連通孔の少なくとも１つを有し、前記液体吐出孔を注入口として用いること特徴とする請求項１３記載の液体充填装置。
【請求項１５】
前記ワークが、インクを吐出して印刷するインクジェットプリンタあるいは工業用の液材を吐出する装置に用いるタンク付ヘッドまたはカートリッジであることを特徴とする請求項１３または１４記載の液体充填装置。
【請求項１６】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の液体充填方法により、気泡混入のないインクが充填されたタンク付ヘッドまたはカートリッジを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１７】
前記タンク付ヘッドが、側面からインクを供給するサイドシューター型ヘッドであることを特徴とする請求項１６記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体をワーク内に充填する充填方法及び装置に係り、民生用のインクジェットプリンタのタンク付ヘッドまたはカートリッジに充填する高粘度のインクに限らず、工業用の吐出装置、例えば有機ＥＬ（Ｅlectro-Ｌuminescence）装置における発光層や正孔注入層、液晶装置におけるカラーフィルタ各種デバイスの金属配線、マイクロレンズなどの形成用に用いる液材吐出ヘッドに液材を充填する液体充填方法及び液体充填装置とインクジェットヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、インクジェットプリンタのヘッドにインクを充填する場合においては、気泡の混入があるとインク吐出エネルギーとなる発熱による気泡の圧力やインク押し出しのための駆動体の圧力がうまくノズルまで伝わらずに、ヘッドのノズルからインクが吐出されない不具合が発生し易い。また、特に新品ヘッドの初期充填においては、ヘッド内部のインクに対するぬれ性が低く充填しにくい。そこで、気泡の混入をなくしてヘッド内部の隅々までインクの充填をすることを目的として種々の方法が取られている。
【０００３】
例えば、ヘッド内にインクを注入しノズル側からインクの吸引を行って、ヘッド内にインクを充填させる方法が一般的に用いられている。この最も一般的であるヘッド内に充填したインクをヘッド外にノズル側から吸引して排出させる方法では、排出インクの無駄が多いため大幅なコストアップになっている。特に印字耐久性の観点から、インクの主流は染料系から顔料系に変わりつつあり、顔料系の高粘度のインクの場合には、インク内の気泡が流動しにくく、インク自体の移動もしにくいことから、吸引によるインクの排出を多量に行う必要があり、やはりインクの無駄によるコストアップを招いている。
【０００４】
他のインクの充填方法として、例えば特許文献１には、液体吐出装置とその液体充填方法、及びデバイス製造装置とデバイス製造方法並びにデバイスとして、粘度の高い描画用液体を用いる場合であっても、所定の液体吐出特性を維持するために、液体吐出ヘッドに粘度の異なる液体の第１液体と第２液体を切り替えて充填させることによって気泡のない充填を完遂させることが記載されている。
【０００５】
また、特許文献２には、インク充填方法及びインク注入装置として、ヘッド、カートリッジ内に混入した空気が印字のカスレ、非吐出などの不具合を生ずるが、インクカートリッジ内を真空状態にし、ついでインクを充填することによって前記不具合を解決している。その充填方法としては、インクカートリッジに接続された引き抜き用タンクおも真空状態にする工程を具備し、インクカートリッジのインクをその真空状態のタンクに定量吸引する工程を備えてインクの充填を確実に行うことが記載されている。
【０００６】
また、特許文献３には、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの液体充填方法並びにマイクロアレイ製造装置及びその吐出ヘッドの液体充填方法として、インクジェットヘッドにインクカートリッジまたはヘッドタンク内に貯留されたインクを充填する際、インクジェットヘッドのノズル開口面に気体透過性フィルタを介して吸引キャップを密着させ、吸引することにより前記吸引キャップ内の空気のみを吸引することにより、インクをノズル先端まで充填させることが記載されている。
【特許文献１】特開２００３−３４４６４３号公報
【特許文献２】特開２００２−１６６５６５号公報
【特許文献３】特開２００４−６６５０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来技術の特許文献１には充填効率を向上するために初期は粘度の低いインク、内部が接液後に粘度の高いインクを使用して液体吐出特性を確保しようとしているが、粘度の違う２種類のインクを準備しなければならず、しかも排出を前提としているため、コストアップにつながっており、初期充填のインクは粘度の違いがあるために全てを排出する必要がある。
【０００８】
また、特許文献２に記載のようなヘッドあるいはカートリッジ内を真空にして充填することは、ヘッドに一体的に装着されたヘッドタンクを具備する場合に、一般的に内部空間を大気圧に保持し、かつインク収容部からインク供給孔を通じて印字ヘッドへのインク供給を円滑にするため、前記インク供給孔とは別に大気連通孔が設けられているが、このようなヘッドタンクは、容量を大きくすることが好ましく、かつヘッドと一緒に印字紙上を走査することからヘッドタンクは軽量化せねばならないが、仮に大気雰囲気中で真空を利用してインク充填を行う場合に、大気圧に押しつぶされて変形してしまうため、強度の高い構成にせざるを得ない。これはヘッドを移動するキャリッジ自体の重量増加を招き、これを駆動する大きなモーターが必要になり、それによる振動の制振などプリンタ自体の大型化、高コスト化を招くという課題があった。
【０００９】
本発明は、前記従来技術の問題を解決することに指向するものであり、民生用のインクジェットプリンタに限らず、工業用の吐出装置の液材吐出ヘッド等に用いるタンク付ヘッドまたはカートリッジにインク等の液体を充填する際、過度の圧力ストレスを発生させることなく、新品のタンク付ヘッドまたはカートリッジの初期充填であっても内部の隅々まで、液体内に気泡を侵入させずに注入する液体充填方法及び充填装置とインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載された液体充填方法は、ワーク全体を浸漬することなくワーク内に液体を充填する液体充填方法であって、液体の注入口を下側としてワークを気密構造のチャンバー内に載置する第１の工程と、チャンバー内を真空に近く減圧する第２の工程と、注入口にキャップ部を密着する第３の工程と、キャップ部に接続の配管を介して供給タンクから一定量の液体をワーク内に充填する第４の工程と、ワーク内外の圧力を平衡状態として液体の充填を停止する第５の工程と、チャンバー内を加圧して配管の内部に残留した液体を排出する第６の工程とからなる方法により、圧力平衡状態を利用してワークの構造によらず、また過度にワーク自体に圧力的負荷をかけることなく、速やかにワーク内部の隅々まで気泡を含まない液体を精度良く充填することができる。
【００１１】
また、請求項２〜５に記載された液体充填方法は、請求項１の液体充填方法における第４の工程において、ワーク内に充填する液体の流量を調整する手段により流量を制御すること、さらに、流量を調整する手段は、配管の流入コンダクタンスを調整してワーク内に充填する液体の流量を制御すること、また流量を調整する手段は、液体の供給タンクの圧力を調整してワーク内に充填する液体の流量を制御すること、また流量を調整する手段は、キャップ部に接続した配管のバルブ開閉時間によりワーク内に充填する液体の流量を制御することにより、充填量の過注入を防いで精度良く充填でき、また充填処理を短縮化等の制御をすることもできる。
【００１２】
また、請求項６〜８に記載された液体充填方法は、請求項１の液体充填方法における第５の工程において、ワーク内に充填する液体の流入量を検出する手段の結果に基づき液体の充填を停止すること、さらに、液体の流入量を検出する手段は、ワーク内に設けた電極を充填した液体で通電することによりワーク内の充填量を検出すること、また液体の流入量を検出する手段は、反射型または透過型の光センサを用いてワーク内の充填量を検出することにより、正確な液体の充填を行うことができる。
【００１３】
また、請求項９，１０に記載された液体充填方法は、請求項１の液体充填方法における第５の工程において、キャップ部とチャンバー間に設けたエアー配管を接続してワーク内外の圧力を平衡状態とすること、さらに、キャップ部とチャンバー間に設けたエアー配管は、配管の流入コンダクタンスを調整してワーク内外の圧力を平衡状態に制御することにより、液体の充填を停止でき、急激な圧力変動を起こすことなく平衡状態とすることができる。
【００１４】
また、請求項１１，１２に記載された液体充填方法は、請求項１〜１０の液体充填方法におけるワークが、液体吐出孔と内外と連通する開口部として注入孔、大気連通孔の少なくとも１つを有し、液体吐出孔を注入口として用いること、さらに、ワークが、インクを吐出して印刷するインクジェットプリンタあるいは工業用の液材を吐出する装置に用いるタンク付ヘッドまたはカートリッジであることにより、可撓性のワークであっても、またインクや液材など粘度の高い液体であっても、過度にワーク自体に圧力的負荷をかけることなく、速やかにワーク内部の隅々まで気泡を含まない液体を充填することができる。
【００１５】
請求項１３〜１５に記載された液体充填装置は、ワーク内に液体を充填する液体充填装置であって、大気圧に対して加圧と減圧時の機密性を保つチャンバーと、チャンバー内にワークの液体注入口を下側にして載置するホルダー部と、注入口に当接し機密性を保ちながらワークに液体を充填するため上下駆動するキャップ部と、ワーク内に充填する液体の流入量を検出する検出手段と、ワーク内外の圧力を平衡状態にするエアー配管と、気密構造にある液体の供給タンクとを備えたこと、またワークが、液体吐出孔と内外と連通する開口部として注入孔、大気連通孔の少なくとも１つを有し、液体吐出孔を注入口として用いること、またワークが、インクを吐出して印刷するインクジェットプリンタあるいは工業用の液材を吐出する装置に用いるタンク付ヘッドまたはカートリッジである構成によって、圧力平衡状態を利用してワークの構造によらず、また過度にワーク自体に圧力的負荷をかけることなく、速やかにワーク内部の隅々まで気泡を含まない液体を精度良く充填することができる。
【００１６】
また、請求項１６，１７に記載されたインクジェットヘッドは、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の液体充填方法により、気泡混入のないインクが充填されたタンク付ヘッドまたはカートリッジを備え、またタンク付ヘッドが、側面からインクを供給するサイドシューター型ヘッドであり、安定したインクの吐出を行うことができ、また微細なインク流路の隅々にインクが接液したインクジェットヘッドを得ることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、タンク付ヘッドあるいはカートリッジが可撓性のワークであり、またインクや液材など粘度の高い液体であっても、圧力平衡状態を利用してワークの構造によらず、また過度にワーク自体に圧力的負荷をかけることなく、製造直後の新しいワーク内への初期充填であっても、速やかにワーク内部の隅々まで気泡を含まない液体を無駄なく充填することができ、また、気泡混入のないインクが充填され安定したインクの吐出ができ、微細なインク流路の隅々にインクが接液したインクジェットヘッドが得られ、これを搭載するキャリッジ等の軽量化を図り印刷処理の高速化することもできるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
【００１９】
図１は本発明の実施の形態におけるインクジェットプリンタのタンク付ヘッドまたはカートリッジ内にインクを充填する液体充填装置の概略構成を示す図である。
【００２０】
図１に示すように、気密構造を有するチャンバー９の内部は、ワークとしてのタンク付ヘッド７のノズル面７ａを下側にして着脱自在に載置するホルダー部９ａを備えている。キャップ部８はタンク付ヘッド７のノズル面７ａに当接可能なようにベローズあるいはＯリング等でシールされて気密を保つ構造になっており、チャンバー９内で真空を保ったまま上下できるようになっている。
【００２１】
また、タンク付ヘッド７の上部には大気連通孔７ｂがあり、タンク付ヘッド７内部と外部が連通した構造となっており、またその他に、後でインクを追加補充する注入孔を有していても良く、開口部分を１つのみ有する袋状の形態にはなっていない。
【００２２】
真空ポンプ６に接続された真空バルブ１は、チャンバー９内を真空にする場合に開かれる。さらに、真空ポンプ６は真空バルブ３を介してやはり気密構造のインク貯蔵部１２内も真空にすることができるように接続されている。
【００２３】
また、三方弁２により、インク貯蔵部１２からキャップ部８間を連通してインクを流動搬送する供給バイパス１７と、チャンバー９からキャップ部８間を連通するエアーバイパス１０を切り替えられる構成になっている。このチャンバー９からキャップ部８間を連通するエアーバイパス１０の途中にはインクパン１３が配置されていて、ストップバルブ４によって連通を切断できるようになっている。
【００２４】
チャンバー９には、真空破壊に用いる開放バルブ５が接続されており、真空破壊時には開放バルブ５によってチャンバー９内にドライで清浄な窒素または空気を、レギュレーター１１を介して導入し真空破壊、もしくは内部加圧を行えるようになっている。
【００２５】
インク貯蔵部１２も同様に開放バルブ１４が配置されており、やはりドライで清浄な窒素または空気を、レギュレーター１６を介してインク貯蔵部１２に導入することができ、真空破壊、もしくは内部加圧を行えるようになっている。
【００２６】
次に、本実施の形態について、図２に示すフローチャートに基づき、タンク付ヘッドにインク貯蔵部にあるインクを充填する動作について図１を参照しながら説明する。
【００２７】
インク貯蔵部１２に貯蔵されたインクは、例えばスターラーなどで攪拌されながら、圧力ゲージ（図示せず）からのフィードバックにより所定の弱真空度に保ち、常に内部に貯留されたインクの気泡を脱気している状態で待機している。この場合の真空度としては、過度の水分蒸発を避けるために常温における水の飽和蒸気圧よりは若干高いことが望ましい。
【００２８】
この状態で液体充填装置は真空バルブ１、ストップバルブ４、開放バルブ５，１４は閉じており、三方弁２はチャンバー９からキャップ部８間のエアーバイパス１０で連通の状態にあり、また真空バルブ３は開いておりインク貯蔵部１２は真空状態にあり、キャップ部８は下降していてタンク付ヘッド７のノズル面７ａとの当接位置にはない。
【００２９】
まず、チャンバー９内にタンク付ヘッド７を、ノズル面７ａを下側にして載置する（Ｓ１）。タンク付ヘッド７の載置後にチャンバー９を、例えばＯリング等でシールされた扉などにより気密状態に密閉して、さらに真空バルブ１を開いて真空ポンプ６によりチャンバー９内を概ね真空にする（Ｓ２）。
【００３０】
チャンバー９内が所定の真空度に達したことを真空ゲージ等で確認した後、真空バルブ１を閉じて、次に、キャップ部８を上昇させてタンク付ヘッド７の下側にあるノズル面７ａに当接し密着させる（Ｓ３）。
【００３１】
この際、キャップ部８の当接部分の材質は密閉度を増すために、密着度の高い材料として、望ましくはゴムなどを用いる方が良い。また、真空度の確認とキャップ部８の上昇は、真空ゲージの接点を利用し、モーターもしくはエアーシリンダを用いてプログラムシーケンサーなどにより自動化しても良い。
【００３２】
次に、真空バルブ３を閉じた後に開放バルブ１４を開いて、清浄でドライな窒素もしくは空気を導入して、脱気のために概ね真空状態にあるインク貯蔵部１２の内部を概ね大気圧とする（Ｓ４）。インク貯蔵部１２に具備された圧力ゲージ（図示せず）により大気圧を確認した後、三方弁２をインク貯蔵部１２からキャップ部８間を連通す供給バイパス１７に切り替える（Ｓ５）。
【００３３】
すると、チャンバー９内の真空圧とインク貯蔵部１２の大気圧の差圧により、インク貯蔵部１２内部のインクがキャップ部８を通してタンク付ヘッド７のインク注入口のノズル面７ａから進入し、タンク付ヘッド７の内部にインクが充填されていくことになる（Ｓ６）。
【００３４】
このとき、チャンバー９内の真空圧とインク貯蔵部１２の大気圧の差圧が急激にインクを押し上げるので、急激に充填されることがある。それを防ぐために、例えば供給バイパス１７にインクの流入コンダクタンスを調整できるように流量調整弁１５ａを設けるか、あるいはオリフィスを設けるなどしてインク流量を調整する。または、真空バルブ３を開くなどしてインク貯蔵部１２内の圧力を低めに調整して、差圧の衝撃に対して突発的にインクがタンク付ヘッド７内に進入することを防ぐことが望ましい。
【００３５】
また、これらの方法はインクの進入あるいは経過時間ととともに、次第に変化させることが可能なプログラマブルな機構が具備されているとさらに良い。具体的には、インクの進入が進むにつれて流入コンダクタンス、あるいはチャンバー９内とインク貯蔵部１２内の差圧を変化させられることが望ましい。
【００３６】
やがて所定のインク量がタンク付ヘッド７の内部に充填されることになるが、その量を一定にするために充填するインク量を検出する方法、あるいは三方弁２を切り替える切替時間を一定に設定する方法などにより、充填するインク量を調整する（Ｓ７）。
【００３７】
インクの量を検出する場合においては、その検出方法として予めタンク付ヘッド７に具備された電極の通電をもってインクの充填量を検出するか、タンク付ヘッドが透明な材質の場合においては、反射型あるいは透過型の光センサを用いて非接触で検出しても良い。
【００３８】
前記の方法でインクの充填所定量を検出したことが確認できたら（Ｓ７のＹｅｓ）、三方弁２をチャンバー９からキャップ部８間のエアーバイパス１０の連通に切り替える。これにより、キャップ部８内の圧力とチャンバー９内の圧力に差がなくなり平衡状態となってインクの充填が停止する（Ｓ８）。
【００３９】
その際、大気圧であったキャップ部８側からチャンバー９側に流れが発生するため、インクがエアーバイパス１０内に流入することになる。この急激な圧力変化によるインクの流入する度合いを少なくするために、エアーバイパス１０の経路に流量調整弁１５ｂを設けることが望ましい。
【００４０】
また、インク貯蔵部１２においては、再び開放バルブ１４を閉じて内部の貯留インクの気泡を脱気している状態に戻して、次のタンク付ヘッド７がチャンバー９内に載置されるまで待機する。
【００４１】
その後、５秒ほど待ってインクの状態が落ち着いてから、タンク付ヘッド７のノズル面７ａに当接していたキャップ部８を降下させる（Ｓ９）。これらも自動化されているとなお良い。
【００４２】
次に、開放バルブ５を開いてチャンバー９内へドライで清浄な窒素あるいは空気を導入し、概ね大気圧になったことを真空ゲージ等で確認後、ストップバルブ４を開いて先ほどエアーバイパス１０に流入して貯まったインクを、インクパン１３内に排出する（Ｓ１０）。
【００４３】
充分にエアーバイパス１０内の残りインクが排出される、例えば一定時間排出した後に、開放バルブ５を閉じて先ほどのレギュレーター１１からパージ用空気の導入を止めて、しばらくしてからストップバルブ４も閉じる。
【００４４】
チャンバー９内部はもう大気圧に戻っているのでチャンバー９内からタンク付ヘッド７を取り出して充填は完了する（Ｓ１１）。これを繰り返すことによって次々に気泡のないインクの充填を行うことができる。
【００４５】
以上のことから、チャンバー内で載置し真空状態とすることで、タンク付ヘッドの内外に差圧が生じることなくインクの充填を行うことができ、気泡の混入がなく充填されて軽量化したタンク付ヘッドを用いたインクジェットヘッドが得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明に係る液体充填方法及び液体充填装置とインクジェットヘッドは、タンク付ヘッドあるいはカートリッジが可撓性のワークであり、またインクや液材など粘度の高い液体であっても、圧力平衡状態を利用してワークの構造によらず、また過度にワーク自体に圧力的負荷をかけることなく、速やかにワーク内部の隅々まで気泡を含まない液体を無駄なく充填することができ、また、気泡混入のないインクが充填され安定したインクの吐出ができ、微細なインク流路の隅々にインクが接液したインクジェットヘッドが得られ、民生用のインクジェットプリンタや工業用の吐出装置の液材吐出ヘッドのタンク付ヘッドまたはカートリッジへの液体充填に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態におけるタンク付ヘッド内にインクを充填する液体充填装置の概略構成を示す図
【図２】本実施の形態におけるタンク付ヘッドにインクを充填する動作を示すフローチャート
【符号の説明】
【００４８】
１，３  真空バルブ
２  三方弁
４  ストップバルブ
５，１４  開放バルブ
６  真空ポンプ
７  タンク付ヘッド
７ａ  ノズル面
７ｂ  大気連通孔
８  キャップ部
９  チャンバー
９ａ  ホルダー部
１０  エアーバイパス
１１，１６  レギュレーター
１２  インク貯蔵部
１３  インクパン
１５ａ，１５ｂ  流量調整弁
１７  供給バイパス
【図１】
2006248083.tif 000003
【図２】
2006248083.tif 000004