(57)【要約】【課題】組立時に行う調芯調整を容易にして、優れた弁座シール性能を実現すると共に、組立容易性をも実現して、長期に亘って、安全に使用できる経済性にも優れたコンパクトなニードルバルブを提供する。【解決手段】弁本体１の環状の弁室４内に環状の弁座６を遠心方向に適宜の間隙を有して装着する。前記弁室４と連通させた軸装穴５に、ニードルユニット２３を着脱自在に装入する。このニードルユニット２３は、ニードル７の軸部８にＯリング１１を介して軸装体１３，１４を軸装し、且つ、この軸装体１４の上部にスプリング１５の一端を取付け、このスプリング１５の他端を軸部８に設けた座金１６に装着した構成から成る。このニードルユニット２３をブッシュ１７を介してアクチュエータ２０等の固定手段で固定することにより、前記弁座６を求遠心方向に調整して調芯固定するようにしたニードルバルブである。【選択図】          図１
2006153205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁本体の環状の弁室内に環状の弁座を遠心方向に適宜の間隙を有して装着し、前記弁室と連通させた軸装穴にニードルの軸部に軸装した軸装体を装入して前記弁座の上面に位置させ、且つ、軸装穴に挿入したブッシュで前記軸装体を押圧すると共に、前記軸部の押し下げ動作により、前記ニードルを介して前記弁座を求遠心方向に調整して調芯するようにしたことを特徴とするニードルバルブ。
【請求項２】
前記ニードルのテーパ面の拡径部で前記弁座の傾斜面の縮径部の一部を押圧しながら調芯するようにした請求項１に記載のニードルバルブ。
【請求項３】
弁本体の環状の弁室内に環状の弁座を遠心方向に適宜の間隙を有して装着し、前記弁室と連通させた軸装穴に、ニードルユニットを着脱自在に装入し、このニードルユニットは、ニードルの軸部にＯリングを介して軸装体を軸装し、且つ、この軸装体と軸部とに設けた付勢部材で当該軸部を付勢させた構成から成り、このニードルユニットをブッシュを介してアクチュエータ等の固定手段で固定することにより、前記弁座を求遠心方向に調整して調芯固定するようにしたことを特徴とするニードルバルブ。
【請求項４】
前記付勢部材は、スプリングであり、このスプリングの一端を前記軸装体の上部に取付け、このスプリングの他端を軸部に設けた座金に装着した請求項３に記載のニードルバルブ。
【請求項５】
前記弁本体の軸装穴に挿通したアクチュエータの出力軸で、前記軸部を押圧するようにした請求項１乃至４の何れか１項に記載のニードルバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量調整式のニードルバルブに関し、特に、組立時に行う調芯調整を容易にして、優れた弁座シール性能を実現したコンパクトなニードルバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、この種のバルブは、弁体の昇降動によって弁体と弁座との流路開口面積を順次変化させることで流量制御を行う弁として、半導体、液晶等の製造分野をはじめ、各種分野で使用されている。弁体の外周部にはＯリングが装着されており、この弁体が弁本体内の弁室に設けた弁座に着座・離脱することで、流体の通水・遮断を可能にしている。一例として、この構造を具体的に示すと、例えば、実用新案登録第２５１２３６４号公報（特許文献１）には、弁体外周に設けたＯリング溝にＯリングを装着し、この弁体の先端テーパ面を、弁本体の内壁に形成したテーパ面に当接して止水し、離脱して通水する止水栓が開示されている。
【０００３】
ところで、上記した実用新案登録第２５１２３６４号公報（特許文献１）をはじめ、従来の構造では、弁座は弁本体の弁室内に一体的に形成されており、バルブの組立時には調芯調整が行われ、この弁座の軸芯と弁本体内に装入される弁体の軸芯とを一致させた状態で組立する必要がある。これは、図９に示すように、弁座３０の軸芯３０ａに対して弁体３１の軸芯３１ａが偏芯状態で組み込まれると、弁体着座時におけるＯリング３２のつぶし量が均一にならず、弁座３０と弁体３１との間に隙間Ｍが発生し、Ｏリング３２による弁座シール性能が確保できなくなるためであり、特に、小型のバルブになれば、僅かな偏芯であってもその影響は顕著に現れる。従って、組立時には、厳密な調芯調整を行う必要がある。
【特許文献１】実用新案登録第２５１２３６４号公報（第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述のごとく、従来の構造では、弁座は弁本体に一体的に形成されているため、この弁座に対して、弁棒を昇降動しながらその芯出しを行おうとすれば、弁体に装着したＯリングと弁座との接触によって摩擦抵抗が発生し、その調芯調整は容易ではない。更に、駆動手段はボルト等の固定部材を介して弁本体に設置されるため、芯ずれを起こし易く、しかも、駆動手段と弁棒とがコネクタ等を介して連結された構造にあっては、更に芯ずれを起こし易いものとなっていた。加えて、弁体や弁座等の構成部品には寸法精度が要求されるものの、特に、小さいサイズのバルブになれば、小型化された部品に精度を持った加工を施すのは極めて困難であり、厳密な調芯調整が行えないのが実情であった。
【０００５】
本発明は、上記の課題点に鑑み、鋭意研究の結果開発に至ったものであり、その目的とするところは、組立時に行う調芯調整を容易にして、優れた弁座シール性能を実現すると共に、組立容易性をも実現して、長期に亘って、安全に使用できる経済性にも優れたコンパクトなニードルバルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、請求項１に係る発明は、弁本体の環状の弁室内に環状の弁座を遠心方向に適宜の間隙を有して装着し、前記弁室と連通させた軸装穴にニードルの軸部に軸装した軸装体を装入して前記弁座の上面に位置させ、且つ、軸装穴に挿入したブッシュで前記軸装体を押圧すると共に、前記軸部の押し下げ動作により、前記ニードルを介して前記弁座を求遠心方向に調整して調芯するようにしたニードルバルブである。
【０００７】
請求項２に係る発明は、前記ニードルのテーパ面の拡径部で前記弁座の傾斜面の縮径部の一部を押圧しながら調芯するようにしたニードルバルブである。
【０００８】
請求項３に係る発明は、弁本体の環状の弁室内に環状の弁座を遠心方向に適宜の間隙を有して装着し、前記弁室と連通させた軸装穴に、ニードルユニットを着脱自在に装入し、このニードルユニットは、ニードルの軸部にＯリングを介して軸装体を軸装し、且つ、この軸装体と軸部とに設けた付勢部材で当該軸部を付勢させた構成から成り、このニードルユニットをブッシュを介してアクチュエータ等の固定手段で固定することにより、前記弁座を求遠心方向に調整して調芯固定するようにしたニードルバルブである。
【０００９】
請求項４に係る発明は、前記付勢部材は、スプリングであり、このスプリングの一端を前記軸装体の上部に取付け、このスプリングの他端を軸部に設けた座金に装着したニードルバルブである。
【００１０】
請求項５に係る発明は、前記弁本体の軸装穴に挿通したアクチュエータの出力軸で、前記軸部を押圧するようにしたニードルバルブである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１又は２に係る発明によると、小さいサイズのバルブであっても、組立時の調芯調整を容易、且つ、確実に行うことが可能となり、優れた弁座シール性能を実現し、長期に亘って、安全に使用できるコンパクトなニードルバルブとして、半導体、液晶等の製造分野をはじめ、各種分野に提供することができる。しかも、精度の高い加工が施されずとも、本発明の組立時における調芯調整によって、優れた弁座シール性能は確保されるので、加工費用や組立費用などの製造コストの削減を可能にした。
【００１２】
請求項３又は４に係る発明によると、小さいサイズのバルブであっても、組立時の調芯調整を容易、且つ、確実に行うことが可能となり、これにより、優れた弁座シール性能を実現し、長期に亘って、安全に使用できるコンパクトなニードルバルブとして、半導体、液晶等の製造分野をはじめ、各種分野に提供することができる。しかも、弁本体に内蔵される構成部品をユニットして着脱可能であるので、組立性、メンテナンス性を飛躍的に向上させることが可能になった。
【００１３】
請求項５に係る発明によると、駆動手段とニードルの軸部とは連結されていないので、更に芯ずれを起こさない構造が実現可能となり、しかも、スプリングの弾発力でニードルの昇降動を直ちに直動型電動モータの駆動に追随させることが可能であるので、電動モータのバックラッシュの影響を受けることなく、正確な流路コントロールが実現可能になった。これにより、極めて高精度な微少流量制御を実現したニードルバルブとして、半導体、液晶等の製造分野をはじめ、各種分野に提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明におけるニードルバルブの実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明におけるニードルバルブの一例を示した断面図である。図１において、図中１は、弁本体であり、図中２，３は、弁本体１に設けた流入口と流出口、図中４は、流出入口２，３の流路に設けた弁室、図中５は、弁室４と連通させて設けた軸装穴である。図中６は、弁室４内に装着される環状弁座であり、図中７は、環状弁座６に着座するニードル、図中８は、ニードル７の軸部、図中９は、ニードル７に装着されるＯリング、図中１０は、Ｏリング９を装着する外周溝、図中１１は、軸部８に装入されるＯリング、図中１２は、Ｏリング１１の装着溝、図中１３、１４は、軸装する筒体（軸装体）と保持体（軸装体）、図中１５は、コイルスプリング、図中１６は、軸部８に設けた座金、図中１７は、筒状のブッシュである。なお、同図に示すように、弁本体１とブッシュ１７には、外部と連通させる連通孔１ａ，１７ａが設けてある。図中１８は、直動型電動モータ（ステッピングモータ）であり、図中１９は、前記電動モータ１８の出力軸、また、図中２０は、前記電動モータ１８を内蔵したアクチュエータである。
【００１５】
図２は、図１における要部拡大断面図である。同図に示すように、弁本体１の環状の弁室４内には、遠心方向に適宜の間隙を有して環状弁座６が装着されており、後述するが、組立時に調芯調整が容易、且つ、確実に行われる構造を有している。本例で示す環状弁座６は、弁室４の流入口２側に設けた段部１ｂにシールリング２１を介して装着されており、この環状弁座６の弁口には、上方に向って拡がる傾斜面６ａが形成されている。なお、本例では金属製の環状弁座６を採用しているが、樹脂製、或はその他材料から成るものでもよく、実施に応じて任意である。勿論、その他の構成部品も同様である。
【００１６】
また、本例で示すニードル７（本例では金属製）の外周部にはテーパ面７ａが形成されている。このテーパ面７ａの上方位置には外周溝１０が設けてあり、着座時にこのニードル７と環状弁座６との間を密封するＯリング９が装着されている。同図に示すように、この外周溝１０には、外周溝１０の一次側を拡げて空隙部１０ａを形成しており、且つ、この外周溝１０のＯリング当接面側を円弧面１０ｂに形成し、この円弧面１０ｂのアールをＯリング９の半径と略一致させている。
【００１７】
図３は、図２における弁微開状態を示した断面図であり、図４は、図２における弁開状態を示した断面図である。図３及び図４に示すように、ニードル７の弁座着座時から離脱する所定リフト域までの間、本例では少なくとも弁微開状態の間（開度１０％）、ニードル７に装着したＯリング９の飛び出しを防止する飛出し防止部位２２が設けてある。この飛出し防止部位２２は、環状弁座６の内周上端部６ｂとニードル７の拡径外周部７ｂとの隙間Ｌ１を、Ｏリング９の直径より小さく設定されて構成されている。なお、本例で採用するＯリング９は拡縮自在であり、特に、求心方向への縮径力が高く、変形し難い硬度の高いものが好ましい。
【００１８】
本発明におけるニードルバルブの軸封構造は、軸装体である筒体１３と保持体１４との組み合わせにより実現される。図１に示すように、筒体１３（本例では樹脂製）には、円筒状の突部１３ａが設けてあり、内部に軸部挿通孔１３ｂが形成されている。一方、保持体１４（本例では樹脂製）には、前記筒体１３の突部１３ａを嵌合させる嵌合溝１４ａが設けてあり、内部にこの嵌合溝１４ａを貫通して軸部挿通孔１４ｂが形成されている。この筒体１３に設けた突部１３ａを保持体１４に設けた嵌合溝１４ａに嵌合させると、筒体１３と保持体１４との間にＯリング１１を装着させる装着溝１２が形成される。
【００１９】
従って、軸部８に装入されたＯリング１１は、軸装した筒体１３の突部１３ａと保持体１４の嵌合溝１４ａとの嵌合によって、装着溝１２内に装着されるように構成されている。また、図示しないが、この装着溝１２は、筒体１３に嵌合溝を形成して、保持体１４に突部を形成した場合にも同様に形成される。なお、前記筒体１３には、その周壁の一部を切り欠いて連通部１３ｃを設け、内部に流出入口２，３に連続する流路を有している。
【００２０】
前記保持体１４を組付けた筒体１３は、前記弁室４に装入して環状弁座６の上端面を押圧し、一方、前記保持体１４の上部には、弾発付勢するスプリング１５の一端が取り付けられており、このスプリング１５の他端はニードル７の軸部８に設けた係合片、本例では座金１６に係止させている。図１に示すように、前記ニードル７の軸部８と前記直動型電動モータ１８の出力軸１９とは別体であり、これにより、出力軸１９が芯ずれを起こしても、その影響はニードル７の軸部８に伝達されず、芯ずれを起こし難い構造が実現されている。しかも、前記弁本体１の軸装穴５に挿通した出力軸１９の半球状を呈した先端１９ａが、ニードル７の軸部８の上端部８ａを押圧し、前記スプリング１５の弾発力で旧位に復帰する構造としている。即ち、本例では直動型電動モータ１８のバックラッシュの影響を受けることなく、ニードル７の昇降動が直ちに前記電動モータ１８の駆動に追随可能となり、正確な流路コントロールを実現させている。
【００２１】
本例では付勢部材として、コイルスプリング１５を採用して説明しているが、この他の付勢部材として、図示しないマグネットを採用することもできる。この場合、一組のマグネットを用いて、例えば、一方のマグネットを保持体１４の上部に取付け、他方のマグネットを軸部８に取付けて、このマグネットの同極による反発力を利用して旧位に復帰する構造とする。更に、マグネットと電磁石を組み合わせることもでき、この場合には、電磁石に流れる電流を可変することで反発力を変えることが可能である。
【００２２】
本例における直動型電動モータ１８は、図示しないロータと、ネジ部が形成されたスクリューシャフト（出力軸）１９と、ロータの回転力をスクリューシャフト１９に伝達する図示しない回転伝達機構などから成り、このロータの回転力は、スクリューシャフト１９によって直線運動に変換され、このスクリューシャフト１９が軸方向に摺動するように構成されている。図中２４は、流入側に配設された流量計であり、本例ではネジ固定して一体的に設けている。この流量計２４により、弁本体１を通過する流体の現在流量（瞬間流量）が測定される。
【００２３】
また、本発明のニードルバルブは、前記軸部８に筒体１３とＯリング１１を介して保持体１４を組付け、且つ、この保持体１４の上部に、弾発付勢するスプリング１５の一端を取り付け、このスプリング１５の他端を軸部８に設けた座金１６に係止させて、これをユニット（以下、ニードルユニット２３という）として構成している。これにより、Ｏリング９、ニードル７（軸部８）、筒体１３、Ｏリング１１、保持体１４、スプリング１５、座金１６、割りリング１６ａが一連の仮組み状態となり、この仮組み状態からの組立てを可能にしている。
【００２４】
次に、上記実施形態の作用を説明する。図５は、本発明におけるニードルバルブの一例を示した分離斜視図であり、図６は、本発明におけるニードルバルブの作用説明図である。図５に基づいて組立手順を説明すると、先ず、環状の弁室４と連通形成した軸装穴５から、シールリング２１を装着した環状弁座６を弁本体１に装入して、これを弁室４の流入口２側に設けた段部１ｂに配置する。このとき、環状弁座６は、遠心方向に適宜の間隙を有した状態で環状の弁室４内に装着される。また、保持体１４と軸装穴５との間をシールするシールリング２５を配置する。
【００２５】
続いて、ニードル７に設けた外周溝１０にＯリング９を装着する。このニードル７の軸部８に筒体（軸装体）１３を軸装後、Ｏリング１１を装入し、且つ、このＯリング１１を介在させた状態で保持体（軸装体）１４を軸装する。図１に示すように、筒体１３に設けた突部１３ａを保持体１４に設けた嵌合溝１４ａに嵌合させると、筒体１３と保持体１４との間にＯリング１１を装着させる装着溝１２が形成される。従って、従来のように、Ｏリング装着用の溝部をステムや軸装部に一体加工する必要がないので、小さいサイズのバルブであっても、優れた軸封性能が実現され、しかも、Ｏリング位置の移動を伴わない箇所にＯリング１１を装着させた構造であるので、従来のように、ステムにＯリングを装着させた構造に比べ、格段に優れた耐久性能を備えている。しかも、ニードル７の軸部８に装入されたＯリング１１は、筒体１３の突部１３ａと保持体１４の嵌合溝１４ａとを嵌合すれば、装着溝１２内に装着された状態となり、優れた密封機能が効果的に発揮されうる状態となる。
【００２６】
前記保持体（軸装体）１４を組付けた筒体（軸装体）１３は、前記弁室４に装入して環状弁座６の上端面を押圧し、一方、前記保持体１４の上部には、弾発付勢するスプリング１５の一端を取付け、このスプリング１５の他端を軸部８に設けた座金１６に係止して、前記スプリング１５の弾発力で旧位に復帰する構造としているので、直動型電動モータ１８のバックラッシュの影響を受けることなく、ニードル７の昇降動が直ちに前記電動モータ１８の駆動に追随可能となり、正確な流路コントロールを実現することができる。しかも、前記ニードル７の軸部８と前記直動型電動モータ１８の出力軸１９とは別体であるので、芯ずれを起こし難い構造が実現されている。
【００２７】
更に、本発明のニードルバルブは、前記軸部８に筒体１３とＯリング１１を介して保持体１４を組付け、且つ、この保持体１４の上部に、弾発付勢するスプリング１５の一端を取り付け、このスプリング１５の他端を軸部８に設けた係合片、本例では座金１６に係止させて、これをニードルユニット２３として構成しているので、図５において、下側からＯリング９、ニードル７（軸部８）、筒体１３、Ｏリング１１、保持体１４、スプリング１５、座金１６、割りリング１６ａを一連の仮組み状態として、この仮組み状態からの組立てを可能にしており、優れた組立容易性を実現している。
【００２８】
上述のごとく、仮組み状態にあるニードルユニット２３を、弁室４と連通形成した軸装穴５から弁本体１に装入し、前記環状弁座６の上面に位置させた後、軸装穴５から筒状のブッシュ１７を装入して前記保持体１４の上面に位置させる。弁本体１とブッシュ１７には、外部と連通させる連通孔１ａ，１７ａが設けてあるので、ニードルユニット２３を弁本体１に装入する際、弁本体１内の気体が上記連通孔１ａ，１７ａから排出されるので、円滑な装入が可能である。
【００２９】
続いて、図６に示すように、軸部８の押し下げ動作によって、前記ニードル７を介して環状弁座６を求遠心方向に調整して調芯がなされる。本例では前記ニードル７のテーパ面７ａの拡径部７ｃが、前記環状弁座６の傾斜面６ａ下方の縮径部６ｃの一部を押圧しながら調芯するように構成されており、図６において、本例では環状弁座６が右側に移動して調芯されていることがわかる。なお、軸部８の押し下げ動作は複数回行ってもよく、本例では軸部８がスプリング１５の弾発力で旧位に復帰する構造を採用しているので、複数回の押し下げ動作が容易である。また、押し下げの手段は、手動の他、弁本体１に装着されるアクチュエータや別途の装置を用いてもよい。
【００３０】
環状弁座６の調芯が完了したら、ボルト等の取付部品を用いて、アクチュエータ２０の筐体２０ａを弁本体１に固定する。これにより、ブッシュ１７を介して軸装体である筒体１３と保持体１４が押圧され、環状弁座６も弁本体１に固定される。従って、本例ではアクチュエータ２０の設置が完了したとき、ニードル７の軸芯７ｄと環状弁座６の軸芯６ｄとが一致した状態となっている。なお、軸部８を押し下げた状態で、アクチュエータ２０の筐体２０ａを弁本体１に固定することにより、環状弁座６を調芯状態に保持したまま、弁本体１に固定することができる。
【００３１】
組立てが完了すれば、環状弁座６は弁室４内に強固に固定されるので、この調芯固定された状態は、アクチュエータ２０の筐体２０ａを取り外さない限り、確実に維持される。このように、ニードルバルブの組立時に環状弁座６の調芯を完了しているので、バルブ作動時の弁座・弁体の調芯に伴う摺動抵抗が抑制され、軸部８を細くしたり（本例では約φ３ｍｍ）、アクチュエータを出力の小さいものとすることができ、バルブ全体をコンパクトにし、バルブ内部に滞留する流体量を低減することもできる。
【００３２】
また、本実施形態で示したニードルバルブは、高精度な微少流量制御と完全遮断をも実現している。図２に示した状態は、最下降位置にあるニードル７のテーパ面７ａが環状弁座６の傾斜面６ａに近接した状態で、Ｏリング９が環状弁座６の傾斜面６ａに着座した全閉状態にある。同図に示されるように、Ｏリング９は、求心方向への縮径力を働かせた状態で、ニードル７に設けた外周溝１０の円弧面１０ｂに密着した状態にある。従って、この状態において、Ｏリング９の密封機能が効果的に発揮され、流体の完全遮断が実現されている。
【００３３】
次いで、直動型電動モータ１８（アクチュエータ２０）を駆動させると、電動モータ１８の出力軸１９が上昇し、同時に、該出力軸１９の先端１９ａで押圧されていたニードル７の軸部８が上昇する。このとき、スプリング１５の弾発力で旧位に復帰する構造を採用しているので、ニードル７の昇降動が直ちに直動型電動モータ１８の駆動に追随し、前記電動モータ１８のバックラッシュの影響を受けることなく、正確な流路コントロールが行われる。ニードル７の上昇に伴って、ニードル７と環状弁座６との流路開口面積が順次拡がっていく。
【００３４】
図３に示した状態は、例えば、約１０％弁開した弁微開状態であり、ニードル７が環状弁座６から離脱した直後、狭い流路が形成されることから、流体の流速が高まり水圧が低下する。このとき、Ｏリング９が流体圧に影響されたとしても、外周溝１０には、外周溝１０の一次側を拡げて空隙部１０ａを形成しており、且つ、この外周溝１０のＯリング当接面側を円弧面１０ｂに形成し、この円弧面１０ｂのアールをＯリング９の半径と略一致させているで、流体圧を空隙部１０ａからスムーズに逃がすことができ、Ｏリング９を外周溝１０から離脱させるような圧力は生じない。しかも、このＯリング９は、ニードル７のテーパ面７ａに装着された状態にあるので、Ｏリング９の求心方向への縮径力が効果的に働いて、Ｏリング９の飛び出し難い状態を実現している。
【００３５】
また、図２及び図３に示すように、環状弁座６の内周上端部６ｂとニードル７の拡径外周部７ｂとの隙間Ｌ１が、Ｏリング９の直径より小さく設定され、且つ、この隙間Ｌ１はニードル７の弁座着座時から離脱する所定リフト域まで、即ち、本例では弁微開状態の間確保されているので、この飛出し防止部位２２により、流体の流速が高まった弁微開状態にあっても、前記隙間Ｌ１からＯリング９が飛び出すことはない。
【００３６】
図４は、図２における弁開状態を示した断面図である。前記電動モータ１８を駆動させ、出力軸１９と共にニードル７を上昇させると、ニードル７と環状弁座６との流路開口面積が更に拡がり、図４に示すような、例えば、約２５％弁開した弁開状態となる。Ｏリング９は、弁微開状態から弁開状態に移行する間に、その求心方向への縮径力を働かせて、円弧面１０ｂとの密着状態が再現されている。このとき、この部位に流体が滞留することはなく、優れた装着状態が常に再現される。
【００３７】
一方、弁閉操作を行う場合も同様であり、弁開状態から図３に示すような弁微開状態に移行したとき、即ち、ニードル７が環状弁座６に着座する直前、狭い流路が形成されることから、流体の流速が高まり水圧が低下するが、前述したように、外周溝１０の一次側を拡げて設けた空隙部１０ａと、Ｏリング９の半径と略一致させたアールから成る円弧面１０ｂと、テーパ面７ａに装着されたＯリング９の求心方向への縮径力と、更に飛出し防止部位２２とが効果的に機能するので、Ｏリング９が押し出されて装着位置がズレたり、完全に外れてしまう等の現象は起こらない。
【００３８】
図７は、本発明におけるニードルバルブの他例を示した断面図である。なお、前述した実施形態と同一部材には同一符合を付して、その説明を省略する。図７において、図中２６は、バルブの状態を表示可能に設けたインジケータであり、このインジケータ２６は、アクチュエータ２０の上部にボルト固定、或はスナップ嵌合等によって着脱自在に設けてある。また、電動モータ１８を内蔵したアクチュエータ２０内には、図示しない各種の基板を配設することが可能である。図中２７は、流入口２を有した上流側管接続部である。この上流側管接続部２７は、例えば、９０度毎に周方向への回転が可能であり、図８に示されるように、実施に応じて、流入口２と流出口３との位置関係を適宜設定することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明に係るニードルバルブによれば、半導体製造装置、液晶製造装置、化学食品プラントなど、あらゆる分野の流量調整を行う調整弁として適用することが可能であり、例えば、冷熱媒、純水や薬液配送、又はその他の分野において、コンパクト化と優れた軸封性を実現し、長期に亘って、安全に使用できる経済性にも優れたニードルバルブとして、提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明におけるニードルバルブの一例を示した断面図である。
【図２】図１における要部拡大断面図である。
【図３】図２における弁微開状態を示した断面図である。
【図４】図２における弁開状態を示した断面図である。
【図５】本発明におけるニードルバルブの一例を示した分離斜視図である。
【図６】本発明におけるニードルバルブの作用説明図である。
【図７】本発明におけるニードルバルブの他例を示した断面図である。
【図８】図７におけるニードルバルブの上流側管接続部を１８０度回転させた状態を示した断面図である。
【図９】従来例を示した要部断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  弁本体
４  弁室
５  軸装穴
６  弁座
６ａ  傾斜面
６ｃ  縮径部
７  ニードル
７ａ  テーパ面
７ｃ  拡径部
８  軸部
１１  Ｏリング
１３  筒体（軸装体）
１４  保持体（軸装体）
１５  スプリング（付勢部材）
１６  座金
１７  ブッシュ
１９  出力軸
２０  アクチュエータ
２３  ニードルユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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