(57)【要約】【課題】  設置面積が小面積で、ガラス基板面上の積層物を剥離する処理効率が良好な剥離装置を提供する。【解決手段】  複数の剥離室２５を垂直方向に連設して構成され、各剥離室２５において剥離液を吐出することでガラス基板上の積層物を剥離する剥離棚２０と、処理対象のガラス基板を空室状態の剥離室２５に時間順次に搬入すると共に、積層物を剥離した後のガラス基板を剥離室２５から時間順次に搬出する移送装置４０とを備えている。【選択図】  図１
2006060075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、
被処理物を空室状態の剥離室に時間順次に搬入すると共に、不要物を除去した後の被処理物を剥離室から時間順次に搬出する移送装置と、
を備えることを特徴とする剥離装置。
【請求項２】
複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、処理作業前の被処理物を受け取って、前記剥離棚の前面下方位置に保持する導入装置とを備え、
前記導入装置は、同期回転する複数の回転ユニットが縦横に配列されて構成され、隣接する前記回転ユニットの間には、被処理物を移送する支持アームを収容可能な空間が形成されていることを特徴とする剥離装置。
【請求項３】
複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、被処理物を剥離室に出し入れする移送装置とを備え、
前記移送装置は、被処理物を載置する作業部と、前記作業部を前記剥離室に入室及び退室させる水平駆動部と、前記作業部を昇降させる垂直駆動部とを備えて構成されていることを特徴とする剥離装置。
【請求項４】
前記作業部は、被処理物を受け取って剥離室に導入すると共に、不要物を除去した後の被処理物を剥離室から導出する支持アームを備えて構成され、
前記垂直駆動部は、駆動モータによって回転される送りネジと、前記送りネジを受け入れて螺進させる螺合部とを備えて構成されている請求項３に記載の剥離装置。
【請求項５】
前記作業部は、被処理物を受け取って剥離室に導入すると共に、不要物を除去した後の被処理物を剥離室から導出する支持アームを備えて構成され、
前記水平駆動部は、前記支持アームと一体的に移動する台車と、前記台車を水平面上で往復運動させる駆動機構とを備えて構成されている請求項３に記載の剥離装置。
【請求項６】
複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、被処理物を剥離室に出し入れする移送装置と、不要物を除去した後の被処理物を前記移送装置から受け取って次工程に搬送する搬送装置とを備え、
前記搬送装置は、前記剥離室の上部において受け取った被処理物を、水平方向に搬送していることを特徴とする剥離装置。
【請求項７】
複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、前記剥離室で処理された被処理物を受け取って洗浄する洗浄装置とを備え、
前記洗浄装置は、前記剥離室の上方で受け取った被処理物を降下させつつ洗浄液を供給して被処理物を洗浄していることを特徴とする剥離装置。
【請求項８】
前記洗浄装置は、洗浄対象の被処理物を収容する洗浄室と、前記洗浄室を昇降させる昇降機構とを備え、
前記洗浄室には、洗浄液を吐出する洗浄液パイプが内装されると共に、被処理物を導入及び導出可能な回転ローラが設けられている請求項７に記載の剥離装置。
【請求項９】
前記剥離室には、被処理物に向けて剥離液を吐出する吐出パイプが配置されている請求項１〜８のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１０】
前記剥離室には、被処理物を保持する複数の載置部が規則的に配置されている請求項１〜９のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１１】
前記剥離装置は、前記剥離棚の上方において、不要物を除去した後の被処理物を水平方向に搬送する搬送装置を更に備えている請求項１〜５、７〜１０のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１２】
前記剥離装置は、剥離処理を終えた被処理物を洗浄する洗浄装置を更に備えてなる請求項１〜６、９〜１０のいずれかに記載の剥離装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかの装置を使用してガラス基板面上の積層物を剥離する剥離方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法を使用して積層物を剥離したガラス基板。
【請求項１５】
請求項１４に記載のガラス基板を使用して製造されたフラットパネルディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板上に積層被覆された積層物を剥離するための装置、この装置を使用して剥離する方法、この方法を使用して積層物を剥離したガラス基板、及び、この基板を使用して製造されたフラットパネルディスプレイに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイのガラス基板は、一対のガラス基板を貼り合せた構造のものであり、ガラス基板の貼り合せ面には、ブラックマトリックス、カラーフィルター、オーバーコート、透明電極、配向膜、スペーサ等々、様々な積層物が形成された構造をとっている。このような液晶ディスプレイのガラス基板についての品質検査において、積層物に異常が検出されることがある。しかし、検出された品質異常のガラス基板を廃棄するのでは、経済的、環境的、資源的な面から好ましくない。そこで、品質異常のガラス基板から、不要な積層物を全て剥離し、再利用可能な元のガラス基板に再生する装置が望まれる。
【０００３】
また、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイに代表されるフラットパネルディスプレイのガラス基板には、透明電極等の積層物が形成されている。この積層物の形成は、積層物形成効率の観点から、大型のガラス基板に対して行われ、必要な積層物形成が行われた後にガラス基板を所定の寸法に切断分離する方法がとられている。切断分離前の大型のガラス基板は、数年前では７３０ｍｍ×９２０ｍｍ程度の寸法であったものが、現在では１５００ｍｍ×１８００ｍｍ程度に高面積化し、更に高面積化が図られており、加速的に高面積化されている。そのため、高面積化したガラス基板面上に形成された品質異常積層物を除去してガラス基板を再生する装置は、強く要望されている。
【０００４】
フラットパネルディスプレイ用ガラス基板表面への積層物形成工程においては、ガラス基板上に所定の積層パターンを形成するため、マスキング剤を所定パターンでガラス基板上に被覆した後、目的とする積層物を形成し、その後マスキング剤を剥離する手法がとられている。このように、フラットパネルディスプレイの製造過程においてもガラス基板面上の積層物を剥離することが行われている。
【０００５】
ガラス基板表面上に形成した積層物を剥離する装置は、例えば、搬送ローラによってガラス基板を水平に搬送し、この搬送中に剥離液をガラス基板面上に接触させてガラス基板面上の積層物を剥離および剥離液を洗浄することを順次行う枚葉式剥離装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１６９３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
枚葉式剥離装置を使用してガラス基板面上の積層物を剥離する場合、積層物を剥離するためには剥離液をガラス基板面上に接触させる時間を所定時間とらなければならない。ここで、ガラス基板を低速度で搬送する場合であれば、搬送距離が短くても、ガラス基板面上に剥離液を接触する十分な時間をとることが可能である。しかし、ガラス基板を低速度で搬送すると、ガラス基板を搬送する時間間隔が長くなり、単位時間当たりに剥離することが可能なガラス基板の処理数が少なくなる。
【０００７】
ここで、ガラス基板の単位時間当たりの処理数を増大させるには、ガラス基板の搬送速度を高速度化し、かつ、剥離液をガラス基板に接触させる接触距離を長くすれば良い。また、剥離装置の設置数を増やすことによって対処することもできる。しかし、何れの方法によっても装置の大型化は避けられず、敷地面積の狭い場所への設置が不可能となる。特に大型のガラス基板上の積層物を剥離する装置ほど、この問題が顕著である。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、設置面積が小面積で、ガラス基板面上の積層物を剥離する処理効率が良好な剥離装置を提供することを目的とする。また、本発明は、剥離装置を使用してガラス基板面上の積層物を剥離する方法、この方法を使用してガラス基板面上の積層物を除去したガラス基板、及び、このガラス基板を使用して製造されたフラットパネルディスプレイを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る剥離装置は、複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、被処理物を空室状態の剥離室に時間順次に搬入すると共に、不要物を除去した後の被処理物を剥離室から時間順次に搬出する移送装置と、を備えている。
【００１０】
請求項２に係る剥離装置は、複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、処理作業前の被処理物を受け取って、前記剥離棚の前面下方位置に保持する導入装置とを備え、前記導入装置は、同期回転する複数の回転ユニットが縦横に配列されて構成され、隣接する前記回転ユニットの間には、被処理物を移送する支持アームを収容可能な空間が形成されている。
【００１１】
請求項３に係る剥離装置は、複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、被処理物を剥離室に出し入れする移送装置とを備え、前記移送装置は、被処理物を載置する作業部と、前記作業部を前記剥離室に入室及び退室させる水平駆動部と、前記作業部を昇降させる垂直駆動部とを備えて構成されている。
【００１２】
請求項６に係る剥離装置は、複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、被処理物を剥離室に出し入れする移送装置と、不要物を除去した後の被処理物を前記移送装置から受け取って次工程に搬送する搬送装置とを備え、前記搬送装置は、前記剥離室の上部において受け取った被処理物を、水平方向に搬送している。
【００１３】
請求項７に係る剥離装置は、複数の剥離室を垂直方向に連設して構成され、各剥離室において被処理物から不要物を除去する剥離棚と、前記剥離室で処理された被処理物を受け取って洗浄する洗浄装置とを備え、前記洗浄装置は、前記剥離室の上方で受け取った被処理物を降下させつつ洗浄液を供給して被処理物を洗浄している。
【００１４】
上記各発明において、剥離とは、ガラス基板表面上の積層物を剥がすことのみならず、溶解して除去することも含まれる。また本発明は、前記剥離装置を使用してガラス基板面上の積層物を剥離する剥離方法、この方法を使用して積層物を剥離したガラス基板、及び、このガラス基板を使用して製造されたフラットパネルディスプレイである。
【発明の効果】
【００１５】
上記構成の剥離装置によれば、大型のガラス基板面上の積層物を剥離する場合であっても、剥離効率が良く、設置面積の小さな剥離装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。但し、以下に記載する具体的な内容は、本発明の実施形態を例示したものに過ぎず、本発明の趣旨を逸脱することなく、更に各種の改変が可能である。
【００１７】
図１は、ブラックマトリクス等の積層物に品質異常が検出された液晶ディスプレイ用ガラス基板から、全ての積層物を剥離する剥離装置１０を示す概略正面図であり、図２は、その概略平面図である。
【００１８】
図示の剥離装置１０は、略直方体の剥離洗浄室ＢＯＸに収容されて構成されており、品質異常が検出されたガラス基板について剥離作業と洗浄作業とを行う装置である。この剥離装置１０には、剥離洗浄室ＢＯＸの搬入口１１を通して、ガラス基板を１枚ずつ搬入する搬入コンベア１００と、剥離作業と洗浄作業を終えたガラス基板を、剥離洗浄室ＢＯＸの搬出口１２を通して１枚ずつ搬出する搬出コンベア２００とが接続される。この剥離装置１０には、装置全体を制御する不図示のコントローラと、剥離液を貯留する剥離液タンクＴＮ１と、回収した剥離液から不要物を除去する濾過装置Ｆｉと、予備洗浄液を貯留する洗浄液タンクＴＮ２とが設けられ、また、剥離洗浄室ＢＯＸの上部には強制排気口が設けられている。なお、仕上げ洗浄液（例えば水道水）は、剥離洗浄室ＢＯＸの外部から導入されて、剥離洗浄室ＢＯＸの外部に排出される。
【００１９】
本実施例の剥離装置１０に搬入されるガラス基板は、例えば、縦１５００ｍｍ、横１８００ｍｍ、厚み０．７ｍｍ程度のガラス基板であり、その表面には、ブラックマトリックス、カラーフィルター、オーバーコート、透明電極、配向膜が積層されている。そして、このガラス基板の配向膜上には、他のガラス基板と貼り合わされたときに、両ガラス基板間の間隔を保つためのスペーサが散布されることによって積層されている。
【００２０】
図１に示すように、剥離装置１０は、ガラス基板上の積層物を剥離する複数の剥離室２５が垂直方向に連設された剥離棚２０と、ガラス基板を１枚ずつ搬入コンベア１００から受け取る導入装置３０と、導入装置３０が受け取ったガラス基板を空室状態の剥離室２５に搬入すると共に剥離処理を終えたガラス基板を剥離室２５から搬出する移送装置４０と、剥離室２５から搬出されたガラス基板を、剥離棚２０の上部で水平方向に搬送する搬送装置５０と、搬送装置５０から受け取ったガラス基板を降下させつつ洗浄する洗浄装置６０とを、剥離洗浄室ＢＯＸに収容して構成されている。
【００２１】
剥離洗浄室ＢＯＸの上部には、一対のガイドレールＲＡ，ＲＡが固定されており、支持アーム４７を突出させた移送装置４０の作業部４１は、ガイドレールＲＡ，ＲＡ上の台車ＣＡＲと共に水平移動するようになっている。また、洗浄装置６０も、ガイドレールＲＡ，ＲＡに支持されて動作している。なお、これらの点は更に後述する。
【００２２】
各剥離室２５は、ガラス基板表面上に形成されている積層物を剥離するための部屋であり、図３は、剥離棚２０の概略斜視図を図示したものである。図４は、図３のＡ−Ａ線で切断して剥離室２５を図示した断面図、図５は、図３の矢印方向から見た剥離棚２０の正面図である。図３に示す通り、剥離棚２０は、左右の側板２０ａ，２０ｂと、背面板２０ｃと、天板２０ｄとによって縦長箱状に構成されており、左右側板２０ａ，２０ｂの間に、複数枚の棚板２１を設けることで、複数の剥離室２５を形成している。
【００２３】
図４、図５に示すように、上下の棚板２１，２１で仕切られた各剥離室２５には、棚板２１の上面に固定された複数個の載置片２２と、棚板２１の下面に固定された剥離液パイプ２３とが設けられ、ガラス基板ＧＡを収納できる横長の略直方形の空間を形成している。なお、図４、図５とも、最上段の剥離室２５にはガラス基板ＧＡが収容されているが、他の剥離室２５は空室状態である。図２、図４、図５に示すように、剥離液パイプ２３は、詳細には、左側板２０ｂの上下方向に走る主パイプ２６に連通する分枝パイプ２３ａと、分枝パイプ２３ａに接続された複数の吐出パイプ２３ｂと、各吐出パイプ２３ｂの先端に接続された終端パイプ２３ｃとに区分されている。
【００２４】
吐出パイプ２３ｂには、多数の吐出口が所定間隔に設けられており、各吐出口から、定常的に剥離液が吐出されている。ここで、剥離液は、ガラス基板面上に形成された積層物を膨潤又は溶解する液である。したがって、ガラス基板面上に形成された積層物の種類に応じて適宜選択されるが、典型的には、硫酸、燐酸、塩酸、硝酸等の１種類以上を含み４０〜９０℃程度に加熱された無機酸（以下、無機酸Ａという）が使用される。
【００２５】
剥離棚２０の背面板２０ｃには、使用後の剥離液を排出するための排出ダクト２７が垂直方向に設けられている（図４）。排出ダクト２７に集められた剥離液は、濾過装置Ｆｉを通して濾過された後、剥離液タンクＴＮ１に伝えられ、再度、各剥離室２５に供給される。このように、本実施例の剥離液は、主パイプ２６→剥離液パイプ２３→剥離室２５→排出ダクト２７→濾過装置Ｆｉ→剥離液タンクＴＮ１の経路で定常的に循環している。なお、各棚板２１は、排出ダクト２７の位置より、ガラス基板ＧＡを搬入する開口部を筈かに高く傾斜させており、この緩傾斜によって、使用後の剥離液が排出ダクト２７に流入され易くなっている。
【００２６】
載置片２２は、全体として略直方体であるが、その頂上面２２ａが膨出形成されている。そのため、ガラス基板ＧＡと各載置片２２は、面接触ではなく点接触することになり、裏側が濡れたガラス基板ＧＡであっても抵抗なく排出することができる。すなわち、ガラス基板ＧＡに向けて吐出される剥離液が、ガラス基板ＧＡの裏側に回り込んで、ガラス基板ＧＡと載置片２２の接触面に進入することが考えられるが、ガラス基板ＧＡと載置片２２は面接触しないので、ガラス基板ＧＡが載置片２２に接着されて、排出時に撓んだり割れたりすることが防止される。また、最奥位置の載置片２２に隣接して、停止板２４が設けられているので、緩傾斜状態のガラス基板ＧＡが、剥離液に押し流されて奥方向に移動しても、限界位置で保持される。
【００２７】
この実施例では、例えば５個×６個の載置片２２が、棚板２１の上面に縦横に規則的に配置されている。そのため、ガラス基板を載置して剥離室２５に出入りする移送装置４０の支持アーム４７は、隣接する載置片２２の隙間ＳＰに問題なく収まることになる（図５）。また、載置片２２は、支持アーム４７が上下動できる程度の高さＨを有しているので、支持アーム４７が搬入したガラス基板ＧＡを載置片２２に残したまま、支持アーム４７だけを引き抜くことが可能となる。なお、多数の載置片２２を隣接して設けているので、ガラス基板ＧＡを点接触によって保持しても、ガラス基板の撓みなどの問題が生じない。
【００２８】
導入装置３０は、搬入コンベア１００から受け取ったガラス基板を、図６の矢印方向に搬送して、剥離棚２０の下部に移動させる装置である。図６に示す通り、導入装置３０は、駆動部ＤＶに駆動されて同期回転する複数個の回転ユニットＵＮが、縦横（例えば７個×７個）に配置されて構成されている。駆動部ＤＶは、不図示の駆動モータに接続された駆動主軸３１と、一群の回転ユニットＵＮを同期回転させる複数の伝達軸３２（３２Ａ〜３２Ｇ）と、駆動主軸３１の回転を各伝達軸３２に伝える主タイミングベルト３３とで構成されている。なお、各伝達軸３２Ａ〜３２Ｇの両端は、不図示の軸受によって保持されている。
【００２９】
一方、各回転ユニットＵＮは、上部プーリ３４と、下部プーリ３５と、上下のプーリ３４，３５に掛け渡されたタイミングベルト３６と、伝達軸３２を貫通させる一方、上部プーリ３４を一端で保持する保持板３７とで構成されている。図示の通り、各回転ユニットＵＮは、伝達軸３２の方向だけでなく、図６の矢印方向にも一直線上に並んでいる。そして、図６の矢印の方向に一直線上に並んだ回転ユニットＵＮの間には、適宜な待機空間ＷＴが形成されていて、移送装置４０の支持アーム４７が収納可能になっている。また、上下のプーリ３４，３５を十分に離間させることで、垂直方向にも十分な余裕をもった待機空間ＷＴとなっている。
【００３０】
待機状態の支持アーム４７（４７Ａ〜４７Ｆ）は、待機空間ＷＴに収容されて静止している。その状態で、回転ユニットＵＮが回転して、搬入コンベア１００からガラス基板を受け取り、リミットスイッチの動作に応じて回転ユニットＵＮの回転が一斉に停止される。その後、支持アーム４７が上昇して、上部プーリ３４に支持されているガラス基板を押し上げ、空室状態の剥離室２５にガラス基板を搬入することになる。
【００３１】
ところで、本実施例では、同期して回転する複数の回転ユニットＵＮ・・・ＵＮが縦横に配列され、且つ、隣接する回転ユニットＵＮの間には、支持アーム４７を収容可能な空間が形成されている。そのため、移送装置４０の支持アーム４７は、図６に示す待機空間ＷＴに収容できるだけでなく、伝達軸３２の方向に延びる空間に収容することもできる。したがって、実施例に係る導入装置３０によれば、図１３に示すように、搬入コンベア１００と搬出コンベア２００を直交させることも可能である。
【００３２】
移送装置４０は、剥離室２５にガラス基板を搬入する機能と、剥離室２５からガラス基板を搬出する機能を備えた装置である。図７は、図１の右側から移送装置４０を図示したものであり、図８は、移送装置４０の要部を示す斜視図である。
【００３３】
移送装置４０は、ガラス基板を載置して移送する作業部４１と、作業部４１を剥離室２５に出入りさせる水平駆動部４２と、作業部４１を昇降させる垂直駆動部４３と、作業部４１の昇降動作をガイドする一対の誘導ポール４４，４４と、誘導ポール４４，４４にガイドされて昇降する一対のスライダ部４５，４５とを中心に構成されている。ここで、作業部４１の垂直駆動と水平駆動を実現する２つの駆動モータは、ガイドレールＲＡ，ＲＡに載置された台車ＣＡＲにそれぞれ搭載されている。
【００３４】
作業部４１は、両端がスライダ部４５に固定される断面Ｌ字状の本体板４６と、本体板４６からフォーク歯状に突出する支持アーム４７（４７Ａ〜４７Ｆ）とで構成されている。支持アーム４７には、回転自在な複数の球体ＢＯが、その表面を支持アーム上面から表出する状態で規則的に配置されている。そのため、支持アーム４７に載置されるガラス基板は、多数の球体ＢＯと点接触して支持されることになり、ガラス基板が自重で撓んだり、或いは、濡れたガラス基板が支持アーム４７に吸着したりすることが防止される。また、球体ＢＯの回転によってガラス基板への摩擦が低減されるので、ガラス基板表面が損傷することも防止される。
【００３５】
水平駆動部４２は、ガイドレールＲＡ，ＲＡ上で、台車ＣＡＲを図１の左右方向に移動させる機構であり、台車ＣＡＲの車輪ＷＨを正逆方向に回転させるモータ（不図示）と、台車ＣＡＲの停止位置を決定するリミットスイッチ（不図示）とで構成されている。そして、不図示のコントローラに制御されて、台車ＣＡＲは、移送装置４０を保持した状態で、図１の実線で示す基準位置ＳＴと、図１の想像線で示す限界位置ＬＴとの間で往復運動する。基準位置ＳＴでは、移送装置４０の支持アーム４７が搬入コンベア１００からガラス基板を受け取り、これを目的の剥離室２５の入口位置まで上昇させる。その後、台車ＣＡＲが限界位置ＬＴに移動するのに合わせて、移送装置４０の支持アーム４７が剥離室２５に入室する。そして、台車ＣＡＲが基準位置ＳＴに戻るのに合わせて、支持アーム４７は、ガラス基板を残して剥離室２５から退室し、その後、降下して導入装置３０の中に収容される。
【００３６】
図７に示すように、垂直駆動部４３は、駆動モータＭＯと、傘歯車８０ａ，８０ｂを利用した回転伝達機構８１，８１と、誘導ポール４４と平行に延設される２つの送りネジ８２，８２とで構成されている。送りネジ８２は、スライダ部４５の一部（８４）に形成されたネジ溝に螺合しているので、駆動モータＭＯに駆動されて２つの送りネジ８２が同方向に回転するのに合わせて、スライダ部４５が垂直方向上下に移動することになる。なお、図示例では、２つの送りネジ８２，８２を設けているが、送りネジ同士８２，８２の干渉を避けるために、一方のネジ軸は、ネジ山のないガイド軸に変更してもよい。
【００３７】
誘導ポール４４，４４は、その基端が台車ＣＡＲの底面に固定されることで、誘導ポール４４全体が台車ＣＡＲに吊り下がっている。そして、誘導ポール４４，４４の間隔は、誘導ポール４４が剥離棚２０に向けて前後移動しても、導入装置３０に接触しないよう、導入装置３０の幅よりも広く設定されている（図２）。
【００３８】
スライダ部４５は、誘導ポール４４を包含する中空の角柱８３と、角柱８３の一側面に設けられた螺合部８４と、角柱８３の上下端面に配置された回転ローラ８５とで構成されている。螺合部８４には、送りネジ８２を受け入れるネジ溝が設けられ、合計８個の回転ローラ８５は、それぞれ誘導ポール４４の外周に接触して自由回転している。したがって、送りネジ８２，８２の回転に合わせて、スライダ部４５全体が、誘導ポール４４に案内されて昇降することになる。
【００３９】
図３に示すように、搬送装置５０は、複数の回転ユニット５１・・・５１が、剥離棚２０の天板２０ｄに支持されて構成されている。各回転ユニット５１は、平滑な周面を有する複数の大径ローラ５１ａ…５１ａが、連結軸５１ｂに等間隔で固定されて構成されている。なお、各回転ユニット５１・・・５１は、タイミングベルトによって、全てが同期して回転するようになっている。そして、駆動モータは、天板２０ｄの下部に配置されている。
【００４０】
大径ローラ５１ａの半径と連結軸５１ｂの半径の差Ｒは、移送装置４０の支持アーム４７の板厚より十分大きく設定され、一本の連結軸５１ｂに保持されて隣接する大径ローラ５１ａ，５１ａの隙間ＳＰは、支持アーム４７の幅より十分大きく設定されている。そのため、支持アーム４７（４７Ａ〜４７Ｆ）は、大径ローラ５１ａ，５１ａの隙間ＳＰに無理なく挿入可能であり、また、この挿入状態で支持アーム４７を降下させて、ガラス基板を大径ローラ５１ａに渡すことが可能となる。
【００４１】
図９（ａ）は、洗浄装置６０の要部を示す斜視図であり、図１０は、図９のＢ−Ｂ線で切った正面図である。洗浄装置６０は、積層物を剥離した後のガラス基板を洗浄するための装置であり、洗浄動作を実現する洗浄室６１と、洗浄室６１を昇降させる昇降機構６２とで構成されている（図１０）。
【００４２】
昇降機構６２は、適宜に正逆回転する駆動モータ６３と、ギアと傘歯車を備える回転伝達機構６４と、回転伝達機構６４を通して駆動される送りネジ６５，６５とで構成されている。送りネジ６５，６５は、洗浄室６１の側面に固定された螺合部６６のネジ溝と螺合することで、洗浄室６１を昇降させている。なお、図示例では、２つの送りネジ６５，６５を設けているが、送りネジ同士６５，６５の干渉を避けるために、一方のネジ軸は、ネジ山のないガイド軸に変更してもよい。
【００４３】
図９（ａ）に示すように、洗浄室６１は、正面板６７と背面板６８とで閉塞される収納ケース６９の中に、二系統の洗浄パイプ７０，７１と、複数の回転ローラ７２が配置されて構成されている。ここで、各回転ローラ７２・・・７２は、収納ケース６９の側板７４に固定された駆動モータ７５（図２）によって同期回転するよう構成されている。
【００４４】
本実施例では、二系統の洗浄パイプ７０，７１のうち、第１系統の洗浄パイプ７０からは予備洗浄液を吐出させ、第２系統の洗浄パイプ７１からは水を吐出させるようにしている。そして、最初、予備洗浄液を吐出してガラス基板上の剥離液（無機酸Ａ）を洗い流した後、水を吐出してガラス基板を仕上げ洗浄するようにしている。ここで、予備洗浄液は、無機酸Ａを水で希釈したものである。そのため、ガラス基板表面に残存する無機酸Ａを適切に除去することができる。
【００４５】
図９（ｂ）に示すように、第１系統の洗浄パイプ７０は、背面板６８に平行に配置される基体パイプ７０ａと、図９の矢印方向に延びる複数の枝パイプ７０ｂ・・・７０ｂとが連結されて構成され、各パイプは収納ケース６９の天板に固定されている。また、第２系統の洗浄パイプ７１は、正面板６７に平行に配置される垂直パイプ７１ａと、図９の矢印方向に延びる複数の枝パイプ７１ｂ・・・７１ｂとが連結されて構成され、各パイプは収納ケース６９の天板に固定されている。図示の通り、枝パイプ７０ｂと枝パイプ７１ｂとは、重合しないよう離間して平行に配置される。また、枝パイプ７０ｂ，７１ｂには等間隔で多数の吐出口が形成されている。
【００４６】
洗浄パイプ７０への洗浄液の供給は、予備洗浄液を貯留する洗浄液タンクＴＮ２からポンプを通じて供給される。一方、洗浄パイプ７１へは水道水が供給されている。ここで、予備洗浄液と水は、柔軟な樹脂チューブによってそれぞれ供給され、洗浄室６１の昇降移動に応じて樹脂チューブが屈曲する構成となっている。また、洗浄室６１の底部の排出口には、排出用の樹脂チューブが接続されており、この樹脂チューブも洗浄室の昇降移動に応じて屈曲するようになっている。なお、排出用の樹脂チューブは一系統しか設けていないが、洗浄液タンクＴＮ２に近接して設けた逆Ｔ字管によって樹脂チューブを分岐させると共に、分岐点の直後に設けた開閉弁を開閉することで、予備洗浄液の回収路と水の回収路とを切り分けている。なお、回収された予備洗浄液は、洗浄液タンクＴＮ２に戻されて再使用されるが、回収された水は、剥離洗浄室ＢＯＸの外に排出される。
【００４７】
図９（ａ）に示す通り、洗浄室６１の側板７３，７４には、自由回転するガイドローラ７６と、螺合部６６が設けられている。ガイドローラ７６は、垂直方向に設けられた４本のガイド棒７７に接触して洗浄室６１を正しい姿勢に維持している。また、先に説明したように、螺合部６６は、送りネジ６５を受け入れるネジ溝を備えている。
【００４８】
正面板６７は、収納ケース６９に形成されたスライド溝７８を滑動する突条を備えて、図９の上下方向にスライド可能に構成されている。また、正面板６７の上端には、正面板６７に直交して係合フランジ６７Ａが連設され、正面板６７の下端には、正面板６７に直交して係止フランジ６７Ｂが連設されている。そして、係止フランジ６７Ｂと収納ケース６９との間には２つの弾性体（スプリング）７９，７９が左右両端に配置されている。
【００４９】
係合フランジ６７Ａは、剥離洗浄室ＢＯＸの壁面に取り付けられた係合片９０に係合する部分である。そして、洗浄室６１が最上部の近くまで上昇すると、係合片９０が係合フランジ６７Ａに当接して、正面板６７の上昇を阻止するよう構成されている。この阻止状態で、洗浄室６１が更に上昇すると、正面板６７が取り残されることで、洗浄室６１の正面が図９の開放状態となる（図１１参照）。
【００５０】
この開放状態の洗浄室６１にガラス基板を収容し、その後、洗浄室６１を降下させると、洗浄室６１の降下動作に合わせて、係合片９０と係合フランジ６７Ａの係合が解除されて、正面板６７が自動的に閉塞されることになる。なお、この閉塞動作において、係止フランジ６７Ｂが収納ケース６９の底面に当接してストッパの役目を果たす。
【００５１】
背面板６８の構成も、上記した正面板６７の構成と同じである。すなわち、背面板６８は、収納ケース６９に形成されたスライド溝に対応する突条を備えて、図９の上下方向にスライド可能に構成されている。また、背面板６８の下端には、背面板６８に直交して係合フランジ６８Ａが連設され、背面板６８の上端には、背面板６８に直交して係止フランジ６８Ｂが連設されている。そして、係止フランジ６８Ｂと収納ケース６９との間には２つのスプリングが左右両端に配置されている。
【００５２】
係合フランジ６８Ａは、剥離洗浄室ＢＯＸの壁面に取り付けられた係合片（不図示）に係合する部分である。そして、洗浄室６１が最下部の近くまで降下すると、係合片が係合フランジ６８Ａに当接して、背面板６８の降下を阻止するよう構成されている。この阻止状態で、洗浄室６１が更に降下すると、背面板６８が取り残されることで、洗浄室６１の背面が開放状態となる。
【００５３】
この開放状態の洗浄室６１からガラス基板を排出し、その後、洗浄室６１を上昇させると、洗浄室６１の上昇動作に合わせて、係合片と係合フランジ６８Ａの係合が解除されて、背面板６８が自動的に閉塞されることになる。この閉塞動作において、係止フランジ６８Ｂが収納ケース６９の頂面に当接してストッパの役目を果たす。
【００５４】
続いて、以上の構成からなる剥離装置１０についてその動作内容を説明する。
［Ａ．ガラス基板の受け取り］
初期状態において、台車ＣＡＲは図１の実線で示す基準位置ＳＴに待機している。また、移送装置４０の作業部４１は、図１の想像線で示す待機位置ＷＡまで降下しており、支持アーム４７Ａ〜４７Ｆは、導入装置３０の中に収容されている。
【００５５】
かかる待機状態において、搬入コンベア１００は、ガラス基板を一枚ずつ間欠的に図１の左方向に搬送してくる。そこで、これに合わせて、導入装置３０の回転ユニットＵＮが一斉に回転して、ガラス基板を受け取る。そして、ガラス基板が図６の矢印の方向に進行して目的位置に達すると、これを検出したセンサの出力に基づいて、回転ユニットＵＮと搬入コンベア１００の動作が停止される。
［Ｂ．ガラス基板の剥離室への収容］
次に、移送装置４０の垂直駆動部４３が動作を開始して、移送装置４０の作業部４１が待機位置ＷＡから上昇を開始する。この上昇動作によって、導入装置３０が保持しているガラス基板が、作業部４１の支持アーム４７に渡されることになる。そして、ガラス基板を保持した支持アーム４７が、空室状態の剥離室２５の入口位置まで上昇すると垂直駆動部４３の動作が停止される。この停止状態では、ガラス基板の下面は、剥離室２５に配置された載置片２２の上端面より、やや上側に位置している。なお、どの剥離室２５が空室状態かはコントローラによって把握されている。
【００５６】
続いて、水平駆動部４２が動作を開始して台車ＣＡＲが図１の基準位置ＳＴから、限界位置ＬＴに向かって移動を開始する。その結果、ガラス基板を保持した支持アーム４７が剥離室２５に入室することになる。そして、台車ＣＡＲが限界位置ＬＴに達して停止すると、水平駆動部４２に代わって垂直駆動部４３が動作を開始して、支持アーム４７を少しだけ降下させる。その結果、支持アーム４７の保持したガラス基板が、剥離室２５の載置片２２に渡されることになる。
【００５７】
ガラス基板の受け渡しが終わると、垂直駆動部４３に代わって水平駆動部４２が動作を開始し、台車ＣＡＲが図１の限界位置ＬＴから、基準位置ＳＴに向かって移動を開始する。その結果、支持アーム４７がガラス基板を残して剥離室２５から退室することになる。そして、台車ＣＡＲが基準位置ＳＴに達して停止すると、水平駆動部４２に代わって垂直駆動部４３が動作を開始して、支持アーム４７が降下されて導入装置３０の中に収容される。
【００５８】
以下、同様であり、一日の作業が開始される初期状態では、ガラス基板の搬入コンベア１００からの受け取り作業と、ガラス基板の剥離室２５への収容作業が繰り返される。なお、本実施例では、剥離室２５が空室状態であるか否かに拘わらず、各剥離室２５には、常に剥離液を噴出しており、各剥離液パイプ２３の剥離液は、常に流動状態となる。このような構成を採用すると制御負担が軽減されるだけでなく、剥離液を定常的に流動させることから、剥離液を所定温度に正確に維持することができる。なお、剥離液の供給と停止とを繰り返すと、配管パイプなどを通した放熱によって剥離液の温度を所定値に維持することが困難となる。
［Ｃ．ガラス基板の剥離室からの回収］
ところで、剥離室にガラス基板が収容されてから所定の剥離時間が経過すると、ガラス基板の回収作業が開始される。回収作業では、待機位置ＷＡにある支持アーム４７が目的の剥離室２５の入口位置まで上昇して停止する。この停止状態では、支持アーム４７の上面は、剥離室２５の載置片２２に保持されているガラス基板の下面より、やや低い位置となる。
【００５９】
この状態で台車ＣＡＲが図１の基準位置ＳＴから、限界位置ＬＴに向かって移動を開始する。その結果、支持アーム４７がガラス基板の下側を通って、剥離室２５に入室することになる。そして、台車ＣＡＲが限界位置ＬＴに達して停止すると、水平駆動部４２に代わって垂直駆動部４３が動作を開始して、支持アーム４７を少しだけ上昇させる。その結果、載置片２２の保持していたガラス基板が、支持アーム４７に渡されることになる。
【００６０】
このようにして、ガラス基板の受け渡しが終わると、垂直駆動部４３に代わって水平駆動部４２が動作を開始して、台車ＣＡＲが図１の限界位置ＬＴから、基準位置ＳＴに向かって移動を開始する。その結果、支持アーム４７がガラス基板を保持した状態で剥離室２５から退室することになる。そして、台車ＣＡＲが基準位置ＳＴに達して停止すると、水平駆動部４２に代わって垂直駆動部４３が動作を開始して、支持アーム４７が搬送装置５０の位置まで上昇して停止する。この停止状態では、ガラス基板の下面は、搬送装置５０の大径ローラ５１ａの外周面の上端位置より、やや上側に位置している。
［Ｄ．移送装置の待機位置への復帰、及びガラス基板の剥離室への収納］
続いて、水平駆動部４２が動作を開始して、台車ＣＡＲが基準位置ＳＴから限界位置ＬＴに向かって前進する。そして、限界位置ＬＴに達すると、水平駆動部４２に代わって、垂直駆動部４３が動作を開始して、支持アーム４７をやや降下させる。
【００６１】
その結果、支持アーム４７の保持していたガラス基板が搬送装置５０の大径ローラ５１ａに渡されることになる。その後、台車ＣＡＲが限界位置ＬＴから基準位置ＳＴに戻り、その状態で支持アーム４７が降下して待機位置ＷＡに収容される。
【００６２】
以上の動作によって、剥離室２５が一つ空室状態となったので、続いて、上記したガラス基板の受け取り作業（Ａ）と、ガラス基板の剥離室への収容作業（Ｂ）を開始することができる。この実施例では、初期動作として、全ての剥離室２５のガラス基板を収容した後は、定常的に、図１２に示す処理フローで剥離作業が繰り返し実行されている。すなわち、一つの剥離室で剥離作業が終われば、剥離作業を終えたガラス基板を退室させた後、直ちに、次のガラス基板を剥離室に入室させて剥離作業を開始している。このような動作を採用するため、空室状態の剥離室で剥離液が吐出されている無駄な時間を短縮化することができ、また、洗浄処理に要する時間を確保することもできる。なお、剥離作業を終えたガラス基板について、その回収作業が遅れても、ガラス基板がエッチングされることはないので特に問題は生じない。
［Ｅ．ガラス基板の洗浄装置への搬送］
ガラス基板を受け取った搬送装置５０では、大径ローラ５１ａを回転させてガラス基板を洗浄装置６０に渡す。この受け渡しタイミングでは、洗浄装置６０は、最上部に位置して正面板６７が開放状態となっている。また、洗浄室６１の回転ローラ７２の外周面の上端と、搬送装置５０の大径ローラ５１ａの外周面の上端とは、同一水平面に位置している。このような状態において、大径ローラ５１ａが回転すると共に、回転ローラ７２が回転することで、ガラス基板が洗浄室６１に収容される。なお、ガラス基板が収容されると、大径ローラ５１ａ及び回転ローラ７２の回転が停止される。
［Ｆ．ガラス基板の洗浄］
ガラス基板を収容した洗浄室６１では、降下動作に合わせて、洗浄パイプ７０からの予備洗浄液の噴射動作が開始される。その結果、ガラス基板に残存する剥離液が予備洗浄液によって洗い流されることになる。そして、予備洗浄液の噴射動作が所定時間継続されると、予備洗浄液の噴射が停止されて、洗浄パイプ７１からの水の噴射動作が開始される。なお、これらの動作は、洗浄室６１の降下動作に合わせて実行される。
【００６３】
そして、洗浄室６１が最下部まで降下したときには、背面板６８が開放状態となっており、また、ガラス基板の下面は、搬出コンベア２００の搬送面の位置に一致している。
【００６４】
そこで、搬出コンベア２００の動作を開始させると共に、洗浄室６１の回転ローラ７２を回転させて、洗浄室６１のガラス基板を搬出コンベア２００に引き渡す。そして、ガラス基板の引渡し処理が終われば、洗浄室６１が上昇して図９に示す最上部位置に戻る。
【００６５】
以上、本実施例について具体的に説明したが、具体的な機器構成は適宜に変更可能であり、特に、本発明を限定するものではない。例えば、実施例の支持アーム４７は、回転自在な複数の球体ＢＯを配置して構成されているが、剥離室２５からガラス基板を導出させる際のガラス基板の滑りを防止する趣旨から、球体ＢＯを設けない構成を採っても良い。一方、回転可能な球体ＢＯを設ける場合には、支持アーム４７の先端に、ガラス基板の移動を阻止する突起を設けるのが好適である。
【００６６】
また、実施例では、洗浄室６１の洗浄パイプ７０，７１を、ガラス基板の上方に配置したが、ガラス基板の上方だけでなく、下方からも洗浄液を噴出させても良い。また、この洗浄動作中に、回転ローラ７２を正逆回転させるようにしても良い。
【００６７】
本実施例の場合、無機酸を使用するので、剥離洗浄室ＢＯＸ内の各装置に金属を使用せず、耐酸性に優れた合成樹脂のみを使用するのが好適である。また、誘導ポール４４や送りネジ８２などを金属で構成する場合には、各スライダ部４５，４５の上下を蛇腹状の樹脂材で閉塞する構成が好適である。同様に、モータを含む駆動部を、耐酸性と放熱性に優れた樹脂材料で閉塞しても良い。
【００６８】
また、実施例では、液晶ディスプレイ用ガラス基板表面上に形成された積層物を剥離する方法に関して説明したが、本発明によれば、剥離液を変更するだけで、マスキングに使用したマスキング剤を剥離することが可能である。その他、液晶ディスプレイ用ガラス基板のみならず、エレクトロルミネッセンスディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに使用されるガラス基板面上に形成された積層物を剥離することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】実施例に係る剥離装置の正面図である。
【図２】実施例に係る剥離装置の平面図である。
【図３】図１の剥離装置を構成する剥離棚を示す斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線で切った剥離棚の一部断面図である。
【図５】剥離棚の正面図の一部である。
【図６】導入装置を示す概略斜視図である。
【図７】移送装置の要部を示す正面図である。
【図８】移送装置の要部を示す斜視図である。
【図９】洗浄装置の要部を示す斜視図である。
【図１０】洗浄装置の要部を示す正面図である。
【図１１】洗浄室の開閉動作を説明する図面である。
【図１２】剥離作業と洗浄作業の手順を説明するフロー図である。
【図１３】変形実施例を示す図面である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  剥離装置
２０  剥離棚
２５  剥離室
３０  導入路
４０  移送装置
４１  作業部
４７  支持アーム
５０  搬送装置
６０  洗浄装置
６１  洗浄室
６７  正面板
６８  背面板
【図１】
2006060075.tif 000003
【図２】
2006060075.tif 000004
【図３】
2006060075.tif 000005
【図４】
2006060075.tif 000006
【図５】
2006060075.tif 000007
【図６】
2006060075.tif 000008
【図７】
2006060075.tif 000009
【図８】
2006060075.tif 000010
【図９】
2006060075.tif 000011
【図１０】
2006060075.tif 000012
【図１１】
2006060075.tif 000013
【図１２】
2006060075.tif 000014
【図１３】
2006060075.tif 000015