(57)【要約】【課題】背面板と隙間なく密着させることができるようにし、またパネル化を良好に行なえるようにしたプラズマディスプレイパネル用金属隔壁を提供すること。【解決手段】貫通する複数の抜き孔２を有する金属板からなり、プラズマディスプレイパネルを構成する背面板に貼り付けられて抜き孔２の部分により背面板と前面板との間にセル空間を区画する金属隔壁であって、抜き孔以外の隔壁部分３の背面板側に吸着溝４を有し、その吸着溝４が金属板を貫通する吸引孔に接続した構成とする。背面板上にセットした状態で吸引孔５を通して吸着溝４から排気することにより、金属隔壁１を背面板と隙間なく密着させることができる。さらに、パネル化時における排気効率を上げるため、隔壁部分３の前面板側に各セル空間を繋げるための連絡溝６を有するようにしてもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通する複数の抜き孔を有する金属板からなり、プラズマディスプレイパネルを構成する背面板に貼り付けられて抜き孔の部分により背面板と前面板との間にセル空間を区画する金属隔壁であって、抜き孔以外の隔壁部分の背面板側に吸着溝を有し、その吸着溝が金属板を貫通する吸引孔に接続していることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用金属隔壁。
【請求項２】
隔壁部分の前面板側に各セル空間を繋げるための連絡溝を有することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル用金属隔壁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス放電を利用した自発光形式の平板ディスプレイであるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）の技術分野に属し、詳しくは、セル空間を区画するために用いられる金属隔壁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般にＰＤＰは、ＡＣ型又はＤＣ型に関わらず、ガラス基板からなる前面板と背面板との間に複数の放電セルを配した構造になっている。すなわち、絶縁性の隔壁により２枚のガラス基板の間にギャップを形成するとともにセル空間を区画している。この隔壁の形成方法としては、ガラス基板上にスクリーン印刷によりガラスペーストをパターン状に重ね刷りし、乾燥後にこのガラスペーストを焼成して所望の隔壁を形成するスクリーン印刷法が採られていたが、この方法は工程が複雑であるとともに良好な線幅精度が得られ難いことから、最近ではサンドブラスト法が多く採用されている。このサンドブラスト法は、ガラス基板上にガラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させ、その上に耐サンドブラスト性を有するマスクをパターン状に形成してから、このマスクを介してサンドブラスト加工を行ってガラスペーストの不要部分を研削し、次いでマスクを除去した後に焼成する工程を行うものである。しかしながら、スクリーン印刷法やサンドブラスト法は、基板に対する加工工程が多く量産性に劣るため、コストが高くなるという問題があることから、格子状に抜き孔が開いた金属板からなる金属隔壁を用いることが提案されている。
【特許文献１】特開平３−２０５７３８号公報
【特許文献２】特開平４−１９９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のようにＰＤＰの隔壁には種々のタイプがあり、そのうちスクリーン印刷法やサンドブラスト法で形成した隔壁については、その製造工程からして背面板との密着性が問題になることはない。ところが、金属隔壁の場合は、背面板に貼り付けられて抜き孔の部分により前面板との間にセル空間を区画するため、背面板との密着性が重要になる。すなわち、金属隔壁を背面板上にセットする時に、抜き孔以外の隔壁部分を背面板に密着させて貼り付ける必要があるが、金属隔壁を構成する金属板は薄くて面積が大きい上に複数の抜き孔が開いているので、背面板上に密着状態でセットすることは容易ではない。そして、金属隔壁が背面板上に隙間なく密着していないと、隔壁上部の平面性が悪くなり、前面板との間に隙間を生じてパネル化が良好にできないという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、背面板と隙間なく密着させることができるようにし、また背面板と前面板とを合わせるパネル化を良好に行なえるようにしたＰＤＰ用金属隔壁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するため、本発明のＰＤＰ用金属隔壁は、貫通する複数の抜き孔を有する金属板からなり、ＰＤＰを構成する背面板に貼り付けられて抜き孔の部分により背面板と前面板との間にセル空間を区画する金属隔壁であって、抜き孔以外の隔壁部分の背面板側に吸着溝を有し、その吸着溝が金属板を貫通する吸引孔に接続していることを特徴としている。
【０００６】
そして、上記構成のＰＤＰ用金属隔壁において、隔壁部分の前面板側に各セル空間を繋げるための連絡溝を有することが好ましい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のＰＤＰ用金属隔壁は、貫通する複数の抜き孔を有する金属板からなり、ＰＤＰを構成する背面板に貼り付けられて抜き孔の部分により背面板と前面板との間にセル空間を区画する金属隔壁であって、抜き孔以外の隔壁部分の背面板側に吸着溝を有し、その吸着溝が金属板を貫通する吸引孔に接続していることを特徴としているので、背面板上にセットした状態で吸引孔を通して吸着溝から排気することにより、金属隔壁を背面板と隙間なく密着させることができる。
【０００８】
また、上記の構成に加え、隔壁部分の前面板側に各セル空間を繋げるための連絡溝を有するように構成することにより、上記効果に加えて、背面板と貼り合わせた後で前面板と合わせてパネル化する時に、連絡溝を通してエアが移動するので、排気工程に要する時間を短縮することができる。また、製品を実際に使用する時に、隣接セルから電子、イオン、励起粒子等の放電の種になる初期粒子が連絡溝を通って流入することにより、安定した放電を短時間に立ち上げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は本発明に係るＰＤＰ用金属隔壁の一例をその一部分を拡大して示す斜視図である。また、図２は図１のＰＤＰ用金属隔壁の背面側を模式的に示した説明図である。
【００１０】
図１に示すＰＤＰ用の金属隔壁１は、貫通する矩形状の抜き孔２がマトリックス状に配置された一枚の金属板からなるもので、ＰＤＰを構成する背面板に貼り付けられ、抜き孔２の部分により背面板と前面板との間にセル空間を区画する。この金属隔壁１は、下面側が背面板に貼り付けられることにより、抜き孔２の部分が前面板側に向かって広がるセル空間となり、抜き孔以外の部分が隔壁部分３となる。そして、図２に示すように、隔壁部分３はその背面側に各抜き孔２の間を金属板の端縁近くまで縦断する吸着溝４を有しており、その吸着溝４の両端は金属隔壁１の周辺部分でそれぞれ金属板を貫通する吸引孔５に接続している。
【００１１】
また、図１に示す金属隔壁１は、上記の構成に加え、隔壁部分３の前面板側に各セル空間を繋げるための連絡溝６を設けている。このように連絡溝６を設ける場合、すべてのセル空間が連絡溝６を通って金属板の外側に繋がるように設計する。図１の金属隔壁１では、隔壁部分３における抜き孔２の短辺側に連絡溝６を設けているが、これに限定されるものではなく、長辺側に設けてもよいし、短辺側と長辺側に入り交じって設けてもよい。要は、セル空間が連絡溝を通して金属板の外側に繋がるように設けてあればよい。
【００１２】
この金属隔壁１は、表面にスプレー法等により絶縁被膜を形成した状態で背面板上の所定位置に貼り付けられる。すなわち、背面板を構成するガラス基板上に形成されたアドレス電極が隔壁部分３の長辺と平行となり且つ抜き孔２の中央を縦断するようにして、絶縁被膜付きの金属隔壁１がシール材により背面板上に貼り付けられる。ここでシール材としては、例えばフリットガラスなどの無機系のシール材を使用する。
【００１３】
この貼り付け工程において、金属隔壁１を背面板上に載せた状態で吸引孔５から真空引きする。この場合、金属隔壁１側の接着面にシール材を薄く塗り、このシール材付きの金属隔壁１を背面板上に置いて吸引し焼成する。このように真空引きすることにより、吸引孔５を通して吸着溝４から排気が行なわれ、金属隔壁１は背面板に密着状態で貼り付けられることになる。
【００１４】
金属隔壁１を背面板に貼り付けた後、背面板と抜き孔２により形成されるセル空間内に蛍光面を形成する。具体的には、３色の蛍光体ペーストをセル空間内にスクリーン印刷により選択的に充填して乾燥させる工程を３回繰り返し、その後で焼成する工程を行う。このようにセル空間内に蛍光面を形成して隔壁付きの背面板が完成する。
【００１５】
金属隔壁１を貼り付けてなる背面板は、前面板と合わせてパネル化する。このパネル化に際しては、エアを吸引する排気工程を行なうが、隔壁部分３の前面板側に連絡溝６のあるタイプでは、その排気工程の際に連絡溝６を通してエアが移動するので、所要時間が短くて済むことになる。
【００１６】
なお、上記のように、隔壁部分の前面板側に連絡溝を設ける代わりに、隔壁部分における前面側の表面粗度を大きくしてもよい。この表面粗さにより、パネル化時において前面板との間に空隙が生じるので、排気工程の効率を上げることができる。例えば、ブラスト処理により表面粗度（Ｒａ）を０．５μｍ以上にするとよい。
【００１７】
本発明の金属隔壁は、上記のように、吸着溝４、吸引孔５を設けることにより、金属部分の体積が減少するので電気容量が低減される。また、これらに加えて連絡溝６を設けることにより電気容量はさらに低減される。
【００１８】
金属板に所定の孔や溝を開けて金属隔壁の形状にする方法としては、エッチング法が用いられる。具体的には、金属板の両面に所定のパターンでフォトレジストを設け、両面から同時にエッチングすることにより作製することができる。図１及び図２に示すタイプの金属隔壁についてその製造手順を説明すると次のようである。
【００１９】
まず最初に、金属隔壁１を構成する金属板を準備し、アルカリ溶液等によって脱脂処理を施した後、その金属板の両面にパターニングしたフォトレジスト膜を形成する。すなわち、フォトレジストを全面ベタでコーティングし、マスクを介しての露光とそれに続く現像によりフォトレジストをパターニングする。この場合、一方のフォトレジスト膜に対しては、抜き孔２、吸引孔５及び連絡溝６に合ったガラスパターンを被せ、他方のフォトレジスト膜に対しては、抜き孔２、吸着溝４及び吸引孔５に合ったガラスパターンを被せて露光を行う。
【００２０】
次に、金属板の両面からエッチングを行って、抜き孔２、吸着溝４、吸引孔５及び連絡溝６を同時に形成した後、金属板の両面にあるフォトレジスト膜を除去する。このようにして貫通孔（抜き孔２と吸着孔５）と溝（吸着溝４と連絡溝６）が形成された金属板は、その貫通孔以外の金属部分が隔壁部分３を構成することになる。なお、この金属板に対するエッチング法では、フォトレジストのパターン形状を工夫することにより、所望形状の貫通孔や溝を形成することができる。
【００２１】
図３〜図５は金属隔壁の背面側に設ける吸着溝とそれに繋がる吸引孔の別パターンを例示した説明図である。図３に示す金属隔壁では、吸着溝４は各抜き孔２の間を金属板の端縁近くまで縦断する縦方向の吸着溝４ａとそれらの両端を連絡する横方向の２本の吸着溝４ｂとからなり、吸引孔５がコーナー付近の一箇所にだけ設けられている。図４に示す金属隔壁では、吸着溝４は抜き孔２の一つ置きに金属板の端縁近くまで縦断する縦方向の吸着溝４ａとそれらの両端を連絡する横方向の吸着溝４ｂとからなり、吸引孔５がコーナー付近の一箇所にだけ設けられている。また、図５に示す金属隔壁では、吸着溝４は、金属板の中央で抜き孔２の間を金属板の端縁近くまで縦断する縦方向の一本の吸着溝４からなり、その吸着溝４の一端に吸引孔５が設けられている。これらのいずれのタイプの金属隔壁でも、背面板上に載せた状態で吸引孔５から真空引きすると、吸引孔５を通して吸着溝４から排気が行われ、金属隔壁は背面板に密着する。
【００２２】
本発明の金属隔壁に使用する金属板としては、現在シャドウマスクに使用されているのと同材質のものを用いることができる。中でも、ガラス基板や誘電体層材料と熱膨張係数が同等のものが好適に使用される。具体的には、冷間圧延によって製造される板厚０．０１〜１．０ｍｍの４８％Ｎｉ−Ｆｅ合金、４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金、３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金等よりなるエッチング加工用のＮｉ−Ｆｅ合金素材である。ここで、４８％Ｎｉ−Ｆｅ合金、４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金、３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金というのは、例えばＭｉｌｉｔａｌｙ規格（ＭＩＬ−Ｉ−２３０１１Ｃ（１９７４年３月２９日）「ＩＲＯＮ  ＮＩＣＫＥＬ  ＡＬＬＯＹＳ  ＦＯＲ  ＳＥＡＬＩＮＧ  ＴＯ  ＧＬＡＳＳＥＳ  ＡＮＤ  ＣＥＲＡＭＩＣＳ」（ＴＡＢＬＥ  ＩＩ  Ｃｌａｓｓ５、Ｃｌａｓｓ７参照）で規定される公知のいわゆる４８％合金、４２％合金、３６％合金を意味し、具体的にはそれぞれ４８％程度、４２％程度、３６％程度のＮｉを含有するＮｉ−Ｆｅ合金を意味する。
【実施例１】
【００２３】
図１及び図２に示すタイプの金属隔壁を以下の手順で作製した。まず、金属板として４８％Ｎｉ−Ｆｅ合金（板厚０．１８ｍｍ）を用意し、水酸化ナトリウム溶液を用いてこの金属板の脱脂処理を行った。その後、金属板を水洗した後、両面にカゼインレジストを全面ベタでコーティングして乾燥させた。そして、両面にそれぞれガラスパターンのマスクを被せて露光し、続いて現像することにより、両面にそれぞれ開口をパターニングした。この場合、一方のカゼインレジスト膜に対しては、抜き孔、吸引孔及び連絡溝に合ったガラスパターンを被せ、他方のカゼインレジスト膜に対しては、抜き孔、吸着溝及び吸引孔に合ったガラスパターンを被せて露光を行った。
【００２４】
次いで、塩化鉄溶液を用いて金属板の両面から同時にエッチングした。そして、このエッチングによって、貫通する抜き孔と吸引孔、表面側の連絡溝、裏面側の吸着溝をそれぞれ形成した。その後、エッチングをした金属板を水洗してから、水酸化ナトリウム溶液でカゼインレジスト膜を剥離し、再び水洗した。このようにして得られた金属隔壁に対し、スプレー法で酸化アルミニウムの絶縁被膜（３μｍ）を形成した。以上の手順により、抜き孔と吸引孔を有し、さらには表裏にそれぞれ連絡溝と吸引溝のある４０インチの絶縁被膜付きの金属隔壁を作製した。
【００２５】
一方、同様の手順で、図３〜図５に示すタイプの４０インチの金属隔壁も作製した。また、抜き孔だけを形成した４０インチの金属隔壁も別途作製しておいた。ただし、後者の金属隔壁については、隔壁部分の前面板側にブラスト処理を施し、表面粗度を大きくしておいた。
【００２６】
そして、図１及び図２、図３〜図５に示すタイプの金属隔壁をそれぞれ無機系のシール材を介して背面板上にセットしたところ、そのまま置いた場合は反射光で判別できる程度のうねりが発生したが、吸引孔より真空引きした場合はうねりが改善され、背面板と隙間なく密着させることができた。特に、図３〜図５に示すタイプの金属隔壁に比べて図１及び図２に示すタイプの金属隔壁は、先に中心部を吸引してから、周辺部に向けて順を追って吸引することにより平面性がより良好となった。
【００２７】
また、図１及び図２に示す連絡溝がある金属隔壁と、連絡溝はないが前面板側を研磨処理した金属隔壁とをそれぞれ背面板上に貼り付け、これらの金属隔壁付き背面板に対して前面板をセットして排気を行ったところ、Ｎｅ−Ｘｅガス注入前の所定の真空に到達する時間は略２：３の割合となり、表面粗度を粗くするよりも連絡溝を設けた方がより効果のあることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係るプラズマディスプレイパネル用金属隔壁の一例をその一部分を拡大して示す斜視図である。
【図２】図１のプラズマディスプレイパネル用金属隔壁の背面側を模式的に示した説明図である。
【図３】金属隔壁の背面側に設ける吸着溝とそれに繋がる吸引孔の別パターンを例示した説明図である。
【図４】金属隔壁の背面側に設ける吸着溝とそれに繋がる吸引孔の別パターンを例示した説明図である。
【図５】金属隔壁の背面側に設ける吸着溝とそれに繋がる吸引孔の別パターンを例示した説明図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  金属隔壁
２  抜き孔
３  隔壁部分
４  吸着溝
５  吸引孔
６  連絡溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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