(57)【要約】  【課題】  光学部品や電子部品等の製造において、仮固定に用いるワックスを除去するために使用する洗浄剤であって、環境問題や人体への影響が懸念される塩素系溶剤、フロン系溶剤、芳香族系溶剤を使用することなく、ワックスに対して高い洗浄力を有する洗浄剤用組成物を提供する。  【解決手段】  例えば、２０質量%以上のε−カプロラクトン等の特定の環状化合物を含み、必要に応じて他の有機溶媒や界面活性剤を含有する洗浄剤を使用する。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式で示される環状化合物を２０質量％以上含有してなるワックス用洗浄剤。
【化１】
2006328212.tif 000003
（式中、ＲはＣＨ２またはＯであり、Ｒ’は置換基を有してもよいアルキレン基である。）
【請求項２】
請求項１記載の環状化合物が、ε-カプロラクトンである請求項１に記載のワックス用洗浄剤。
【請求項３】
被加工物品を保持台にワックスを用いて固定する固定工程、保持台に固定された前記被加工物品を加工する加工工程、洗浄剤を用いて前記ワックスを除去することにより加工された物品と保持台とを分離する分離工程を含む物品の製造方法において、前記洗浄剤として請求項１に記載の洗浄剤を使用することを特徴とする物品の製造方法。
【請求項４】
ワックスを用いて被加工物品を相互に接合してから加工を行う工程、及び洗浄剤を用いて前記ワックスを除去することにより加工された物品を互いに分離する工程を含む物品の製造方法において、前記洗浄剤として請求項１に記載の洗浄剤を使用することを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワックスの洗浄剤に関する。更に詳しくは、加工時の仮接着に用いるワックスの除去を目的とする洗浄剤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学部品や電子部品等の製造において、ワックスを用いて部品を冶具に仮接着し、切断や研磨などの加工を行う工程がある。次工程に移る前に不要になったワックスを除去する必要があるが、近年、部品の小型化や加工精度の向上のためにより少量で強固な接着力を持つワックスを用いる傾向にあり、その除去がより難しくなっている。
【０００３】
従来、これらの洗浄には、洗浄力が優れていること、不燃性であること、入手が容易なこと、毒性が低いこと等の観点から、メチレンクロライドやトリクロロエチレンが広く使用されていた。しかし、これらはオゾン層を破壊することが明らかとなり、環境問題の観点からその使用が敬遠されるようになった。そこで、洗浄力が優れ、かつ、引火の危険性が低く、環境への悪影響も少ない洗浄剤が提案されている。例えば、特許文献１には、エチレングリコールジアルキルエーテル類を主成分とする洗浄剤が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２４７４９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、近年、エチレングリコールジアルキルエーテルに生殖毒性があることが明らかとなり、エチレン系グリコールエーテルを含む洗浄剤の使用も敬遠されるようになっている。洗浄工程は人手による部分も多く、強い急性毒性のある洗浄剤のみならず、長期にわたって体内に蓄積し、悪影響を及ぼすものも原則として使用できない。
【０００６】
本発明の目的は、上記の課題を鑑みて、洗浄力に優れ、引火の危険性も低く、環境への悪影響も少なく、かつ、人体への悪影響も少ない洗浄剤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意検討を行なった。その結果、特定の環状化合物を含有してなる洗浄剤が、洗浄力に優れ、引火の危険性も低く、環境への悪影響も少なく、かつ、人体への悪影響も少ないことを見出し、本発明を完成させるに至った。
【０００８】
即ち、第一の本発明は、下記式で示される環状化合物を２０質量％以上含有してなるワックス用洗浄剤である。
【０００９】
【化１】
2006328212.tif 000002
【００１０】
（式中、ＲはＣＨ２またはＯであり、Ｒ’は置換基を有してもよいアルキレン基である。）
また、第二の本発明は、被加工物品を保持台にワックスを用いて固定する固定工程、保持台に固定された前記被加工物品を加工する加工工程、洗浄剤を用いて前記ワックスを除去することにより加工された物品と保持台とを分離する分離工程を含む物品の製造方法において、前記洗浄剤として前記第一の本発明の洗浄剤を使用することを特徴とする物品の製造方法である。さらに、第三の本発明は、ワックスを用いて被加工物を品相互に接合してから加工を行う工程、及び洗浄剤を用いて前記ワックスを除去することにより加工された物品を互いに分離する工程を含む物品の製造方法において、前記洗浄剤として請求項１に記載の洗浄剤を使用することを特徴とする物品の製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の洗浄剤は、ワックスに対して優れた除去性能を発揮する。しかも、引火の危険性も低く、環境への悪影響も少なく、かつ、人体への悪影響も少ない。そのため、本発明の洗浄剤を用いることにより、高効率で安全に光学部品や電子部品等の製造を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明のワックス用洗浄剤は、必須成分として前記式で示される環状化合物を２０質量％以上含有する。前記式において、−Ｒ−は−ＣＨ２−または−Ｏ−を意味し、−Ｒ’−は、置換基を有していても良いアルキレン基を意味する。−Ｒ’−として好適な基を具体的に例示すれば、−ＣＨ２−または−ＣＨ（ＣＨ３）−が挙げられる。前記式で示される環状化合物のうち好適なものを例示すれば、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン、ε−カプロラクトン、ヒドロキシ−γ−ブチロラクトン等のラクトン；及びエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、グルタリックアンヒドライド、メチルグルタリックアンヒドライド、グリセロール１，２−カーボネート等の環状カーボネートを挙げることができる。これらのうち、ラクトンが好ましく、洗浄力や安全性、入手の容易さの観点から、ε−カプロラクトンが特に好ましい。これら環状化合物は単独で用いても良いし、２種類以上の該環状化合物を混合して使用しても良い。
【００１３】
本発明のワックス用洗浄剤は、必要に応じてグリコールエーテル類やパラフィン、イソパラフィン、ナフテン等の炭化水素を含んでいても良い。また、界面活性剤や酸化防止剤等の安定化剤を添加することもできる。界面活性剤としては、非イオン性界面活性剤、陰イオン性界面活性剤、陽イオン性界面活性剤、両性界面活性剤いずれでもよいが疎水性の強い界面活性剤を使用するのが望ましい。好ましくは非イオン界面活性剤であり、例えば、高級アルコール類のアルキレンオキサイド付加物、アルキルフェニルエーテルのアルキレンオキサイド付加物や脂肪酸のアルキレンオキサイド付加物等が挙げられる。
【００１４】
本発明のワックス用洗浄剤における該環状化合物の含有量は、ワックスに対する洗浄力の観点から、洗浄剤全体の質量を基準として２０質量％以上である必要があり、特に５０質量％以上とするのが好適である。
【００１５】
本発明において、洗浄の対象となるワックスとは加工用仮止め接着剤として使用されるワックスを意味し、具体的にはシェラック、ミツロウ、ロジンなどの天然樹脂、熱可塑性樹脂、石油系ワックス等が挙げられる。
【００１６】
脆い、微細である、或いは薄いといった理由から直接保持台に固定して加工することが難しい光学部品、電子部品などの物品に切断、切削、研磨などの加工を施こす場合には、上記したようなワックスを用いてこれら部品を保持台（たとえば治具）に固定してから加工するのが一般的であり、加工された物品は、洗浄剤を用いてワックスを溶かすことによって保持台と分離される。本発明の洗浄剤は、ワックスに対する洗浄力が高いのでこのような加工工程及び分離工程を有する物品の製造方法、すなわち、被加工物品を保持台にワックスを用いて固定する固定工程、保持台に固定された前記被加工物品を切断、切削、研磨等を行う加工工程、洗浄剤を用いて前記ワックスを除去することにより加工された物品と保持台とを分離する分離工程を含む物品の製造方法における前記洗浄剤として好適に使用される。
【００１７】
上記製造方法における被加工物品とは、切断、切削、または研磨といった加工を施される物品を意味し、たとえばガラス、石英等の透光性材料で構成される光学レンズやプリズム等の光学物品；これらの構成部材となる物品；シリコンウェハ、セラミック基板、水晶振動子などの電子製品の原料や部品となる物品を含む。
【００１８】
これら被加工物品、特に水晶振動子のような微細な部品を加工する場合には、材料を所定の厚さにスライスしてから、ワックスを用いて複数のスライス片を相互に接合し、所定の大きさに切りそろえることもあるが、このような場合にも加工後に接合された物品を分離するに際し、本発明の洗浄剤が好適に使用できる。
【００１９】
上記分離工程で洗浄剤を用いて加工された物品と保持台、或いは相互に接合された物品を分離するためには、洗浄槽に導入された洗浄剤に加工後の物品（ワックスにより保持台又は他の物品と接合された状態のも）を浸漬し、必要に応じて超音波を照射することにより洗浄をすればよい。本発明の洗浄剤はワックスに対する洗浄力が極めて高いので、短時間で両者をきれいに分離することができる。
【００２０】
以上、光学物品、電子部品を製造する際に使用する場合を例に本発明の洗浄剤について説明したが、本発明の洗浄剤の用途はこれに限定されものではなく、例えばワックスによりジグ（治具）に固定して研磨する機械部品の研磨後の洗浄、樹脂塗布用マスク、ジグ類の洗浄等、同様の汚染物質を取り除くための洗浄剤としても好適に使用することができる。
【００２１】
以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００２２】
実施例１
九重電気株式会社製CSワックス約０．１ｇをスライドガラスに塗布し、４０℃で保たれたε−カプロラクトンに１時間浸漬したところ、完全に溶解した。
【００２３】
実施例２
実施例１のε−カプロラクトンの代わりに８容量のε−カプロラクトンに対して２容量のジプロピレングリコールジメチルエーテルを混合した洗浄剤（ε−カプロラクトン含有量２６．４質量％）を用いたこと以外は、実施例１と全く同様の方法で検討したところ、試料は完全に溶解した。
【００２４】
実施例３
実施例１のワックスの代わりに日化精工株式会社製シフトワックス６４０６を用いたこと以外は、実施例１と全く同様の方法で検討したところ、試料は完全に溶解した。
【００２５】
比較例１
実施例１のε−カプロラクトンの代わりにノルマルパラフィンを用い、４０℃で８時間浸漬したが、試料は殆ど溶解しなかった。
【００２６】
比較例２
実施例３のε−カプロラクトンの代わりにノルマルパラフィンを用い、４０℃で８時間浸漬したが、試料は殆ど溶解しなかった。
【００２７】
比較例３
実施例１のε−カプロラクトンの代わりにジプロピレングリコールジプロピルエーテルを用い、４０℃で８時間浸漬したが、試料は殆ど溶解しなかった。
【００２８】
比較例４
実施例１のε−カプロラクトンの代わりに１容量のε−カプロラクトンに対して９容量のノルマルパラフィンを混合した洗浄剤（ε−カプロラクトン含有量１３．７質量％）を用いたこと以外は、実施例１と全く同様の方法で検討したところ、試料は殆ど溶解しなかった。