(57)【要約】      （修正有） 【課題】真空成膜装置の排気コンダクタンスの悪化を押さえながら排気中の水分の除去効率を高める真空成膜装置用コールドトラップ及び真空成膜装置用排気システムを提供する。【解決手段】成膜室１０と成膜室１０の内部を排気する排気手段２との間の排気流路７ｃ内に磁界を発生させるようにして排気流路７ｃの内部に配置された１以上の永久磁石１ａと、永久磁石１ａの近傍に配置され、冷媒を流通させて排気流路７ｃを流通する排気中の水分子を冷媒配管１ｂに凝結させて除去する冷媒配管１ｂとを備えている。【選択図】  図１
2006007149.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜室と前記成膜室の内部を排気する排気手段との間の排気流路内に磁界を発生させるようにして前記排気流路の内部に配置された１以上の永久磁石と、
前記永久磁石の近傍に配置され、冷媒を流通させて前記排気流路を流通する排気中の水分子を冷媒配管に凝結させて除去する冷媒配管とを備えている、真空成膜装置用コールドトラップ。
【請求項２】
前記永久磁石は、複数の板状片の永久磁石であって、隣接する永久磁石の磁極面同士の極性が相違するようにして前記排気流路の内壁又は構造物に配設されている、請求項１に記載の真空成膜装置用コールドトラップ。
【請求項３】
成膜室の内部を排気する排気手段と、
前記排気手段と前記成膜室とを結ぶ排気ダクトと、
前記排気ダクトに配置された開閉弁と、
前記開閉弁と前記排気手段との間の前記排気ダクト内に設置されたコールドトラップとを備え、
前記コールドトラップは、前記開閉弁と前記排気手段との間の前記排気ダクト内に磁界を発生させるようにして前記排気ダクトの内部に配置された１以上の永久磁石と、前記永久磁石の近傍に配置され、冷媒を流通させて前記排気ダクトを流通する排気中の水分子を冷媒配管に凝結させて除去する冷媒配管とを備えている、真空成膜装置用排気システム。
【請求項４】
前記永久磁石は、複数の板状片の永久磁石であって、隣接する永久磁石の磁極面同士の極性が相違するようにして前記排気ダクト内壁の壁面全周に配設されている、請求項３に記載の真空成膜装置用排気システム。
【請求項５】
前記冷媒配管は、前記開閉弁と前記排気手段との間の前記排気ダクト内壁の壁面に沿うようにしてコイル状を形成し、取付部材を介して前記壁面に固定され、前記冷媒配管の両端が前記排気ダクトの壁面を貫通して外部の冷媒冷却循環装置と連通し、前記冷媒冷却循環装置によって冷却された代替フロンが循環されている、請求項４に記載の真空成膜装置用排気システム。
【請求項６】
前記排気ダクトは、第１の排気ダクトと第２の排気ダクトとからなり、
前記第１の排気ダクトは、成膜室と前記第２の排気ダクトとを結び、前記第２の排気ダクトとの接合部に開閉弁を有し、
前記第２の排気ダクトは、前記第１の排気ダクトと前記排気手段とを結び、
前記コールドトラップは、前記第２の排気ダクトの内部に構成されている、請求項３に記載の真空成膜装置用排気システム。
【請求項７】
前記排気ダクトは、途中に屈曲部を有し、
前記開閉弁は前記屈曲部に配置され、閉鎖時には、弁体の前記排気手段側の主面の縁部全周が前記排気ダクト内壁の壁面全周に亘って形成されているシール面と当接し、開放時には前記弁体が前記主面を前記排気ダクト内に向けて、かつ前記屈曲部の屈曲方向外側に回動して退避し、かつ前記屈曲部の屈曲方向外側の前記排気ダクト内壁に沿うようにして位置するように構成されている、請求項３に記載の真空成膜装置用排気システム。
【請求項８】
成膜室の内部を排気する排気手段と、
前記排気手段と前記成膜室とを結び、途中に屈曲部を有する排気ダクトと、
前記排気ダクトの前記屈曲部に配置された開閉弁と、
前記開閉弁の主面に配置されたコールドトラップとを備え、
前記開閉弁は、閉鎖時には、弁体の前記排気手段側の主面の縁部全周が前記排気ダクト内壁の壁面全周に亘って形成されているシール面と当接し、開放時には前記弁体が前記主面を前記排気ダクト内に向けて、かつ前記屈曲部の屈曲方向外側に回動して退避し、かつ前記屈曲部の屈曲方向外側の前記排気ダクト内壁に沿うようにして位置するように構成され、
前記コールドトラップは、前記開閉弁の主面近傍に磁界を発生させるようにして前記開閉弁の主面の縁部を除く中心部に配置された１以上の永久磁石と、前記永久磁石の近傍に配置され、冷媒を流通させて前記排気ダクトを流通する排気中の水分子を冷媒配管に凝結させて除去する冷媒配管とを備えている、真空成膜装置用排気システム。
【請求項９】
前記開閉弁の主面の縁部を除く中心部には、端部を当接する円筒体が突設され、
前記永久磁石は、複数の板状片の永久磁石であって、隣接する永久磁石の磁極面同士の極性が相違するようにして前記円筒体の内壁の壁面全周に亘って配設されている、請求項８に記載の真空成膜装置用排気システム。
【請求項１０】
前記冷媒配管は、前記円筒体の内壁の壁面と沿うようにしてコイル状になって、取付部材を介して前記壁面に固定され、前記冷媒配管の両端が前記開閉弁の駆動機構を伝い、前記駆動機構の前記排気ダクトからの貫通部内部を貫通することによって外部の冷媒冷却循環装置と連通し、前記冷媒冷却循環装置によって冷却された代替フロンが循環されている、請求項９に記載の真空成膜装置用排気システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空成膜装置用コールドトラップ及び真空成膜装置用コールドトラップを備えた真空成膜装置用排気システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
スパッタリング装置、真空蒸着装置等の真空成膜装置の成膜室は、成膜室内を排気して減圧する排気ポンプを有する排気システムを備えている。そして、成膜室には排気システムに連通する排気ダクトが接続され、この排気ダクトを介して成膜室内が排気システムによって減圧される。そして、排気ダクトには成膜室と排気システムとを隔離及び連通する開閉弁が備えられている。
【０００３】
ここで、排気システムの排気ポンプには、一般的に油拡散ポンプあるいはターボ分子ポンプが用いられている。そして、油拡散ポンプの油が水分との接触によって劣化するなど水分による排気ポンプへの影響を軽減するため、従来の真空成膜装置の排気システムは、排気流路に冷媒配管を配置して冷媒配管に排気中の水分を凝結させることによって成膜室内からの排気中の水分を除去するコールドトラップを設けている（特許文献１参照）。すなわち、コールドトラップとは、冷媒配管に気中の水分が凝結されるように構成された装置である。
【特許文献１】実開昭６３−４２１５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、真空成膜装置用排気システムにおいては、高度の減圧状態までの排気を行うことから、排気流路中の構造物は、排気流路の排気抵抗となり、排気システムの排気コンダクタンスを悪化させる要因となっている。したがって、コールドトラップは、排気流路の壁面近傍に配置することが一般的である。そうすると、コールドトラップは冷媒配管近傍の水分を除去するのみであり、排気流路を通過する水分の除去効率には改善の余地がある。特に、真空成膜装置では、真空成膜の前に、成膜室内及び成膜室内の基体の表面浄化のためにイオンボンバード処理が行われ、付着不純物等が排気システムに引き込まれて除去される。このイオンボンバード処理において、水分を利用したイオンボンバード処理が行われると、多量の水分がイオン化し、かつイオン化した水分子が排気システムに引き込まれる。
【０００５】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、真空成膜装置の排気コンダクタンスの悪化を押さえながら排気中の水分の除去効率を高める真空成膜装置用コールドトラップ及び真空成膜装置用排気システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る真空成膜装置用コールドトラップは、成膜室と前記成膜室の内部を排気する排気手段との間の排気流路内に磁界を発生させるようにして前記排気流路の内部に配置された１以上の永久磁石と、前記永久磁石の近傍に配置され、冷媒を流通させて前記排気流路を流通する排気中の水分子を冷媒配管に凝結させて除去する冷媒配管とを備えている（請求項１）。かかる構成とすると、磁場を利用して排気中のイオン化した水分子を誘導かつ拘束して、除去するので、真空成膜装置の排気コンダクタンスの悪化を抑えながら排気中の水分の除去効率を高めることができる。
【０００７】
また、前記永久磁石は、複数の板状片の永久磁石であって、隣接する永久磁石の磁極面同士の極性が相違するようにして前記排気流路の内壁又は構造物に配設されている（請求項２）。かかる構成とすると、隣接する永久磁石の表面間で磁力線が形成されるので、様々な方向の磁力線が排気流路内に形成され、電子の様々な移動方向に対してもローレンツ力を作用させることができ、ひいては、より多くのイオン化した水分子を誘導かつ拘束することが可能となる。
【０００８】
本発明に係る真空成膜装置用排気システムは、成膜室の内部を排気する排気手段と、前記排気手段と前記成膜室とを結ぶ排気ダクトと、前記排気ダクトに配置された開閉弁と、前記開閉弁と前記排気手段との間の前記排気ダクト内に設置されたコールドトラップとを備え、前記コールドトラップは、前記開閉弁と前記排気手段との間の前記排気ダクト内に磁界を発生させるようにして前記排気ダクトの内部に配置された１以上の永久磁石と、前記永久磁石の近傍に配置され、冷媒を流通させて前記排気ダクトを流通する排気中の水分子を冷媒配管に凝結させて除去する冷媒配管とを備えている（請求項３）。かかる構成とすると、磁場を利用して排気中のイオン化した水分子を誘導かつ拘束して除去するので、真空成膜装置の排気コンダクタンスの悪化を抑えながら排気中の水分の除去効率を高めることができる。
【０００９】
前記永久磁石は、複数の板状片の永久磁石であって、隣接する永久磁石の磁極面同士の極性が相違するようにして前記排気ダクト内壁の壁面全周に配設されている（請求項４）。かかる構成とすると、隣接する永久磁石の表面間で磁力線が形成されるので、様々な方向の磁力線が排気流路内に形成され、電子の様々な移動方向に対してもローレンツ力を作用させることができ、ひいては、より多くのイオン化した水分子を誘導かつ拘束することが可能となる。
【００１０】
前記冷媒配管は、前記開閉弁と前記排気手段との間の前記排気ダクト内壁の壁面と沿うようにしてコイル状を形成し、取付部材を介して前記壁面に固定され、前記冷媒配管の両端が前記排気ダクトの壁面を貫通して外部の冷媒冷却循環装置と連通し、前記冷媒冷却循環装置によって冷却された代替フロンが循環されている（請求項５）。かかる構成とすると、永久磁石表面前方の排気空間に冷媒配管を配置することができるので、永久磁石の磁場に誘導かつ拘束されるイオン化した水分子を効率よく冷媒配管に凝結させることができる。
【００１１】
前記排気ダクトは、第１の排気ダクトと第２の排気ダクトとからなり、  前記第１の排気ダクトは、成膜室と前記第２の排気ダクトとを結び、前記第２の排気ダクトとの接合部に開閉弁を有し、  前記第２の排気ダクトは、前記第１の排気ダクトと前記排気手段とを結び、前記コールドトラップは、前記第２の排気ダクトの内部に構成されている（請求項６）。かかる構成とすると、コールドトラップは第２の排気ダクトとして構成されることになるので、コールドトラップの不調時には、第２の排気ダクトを交換することによって迅速に対応でき、真空成膜装置用排気システムの保守性を向上させることができる。
【００１２】
前記排気ダクトは、途中に屈曲部を有し、前記開閉弁は前記屈曲部に配置され、閉鎖時には、弁体の前記排気手段側の主面の縁部全周が前記排気ダクト内壁の壁面全周に亘って形成されているシール面と当接し、開放時には前記弁体が前記主面を前記排気ダクト内に向けて、かつ前記屈曲部の屈曲方向外側に回動して退避し、かつ前記屈曲部の屈曲方向外側の前記排気ダクト内壁に沿うようにして位置するように構成されている（請求項７）。かかる構成とすると、進退動の開閉弁に比べて開放時の開閉弁の退避に要する所要スペースを小さくすることができるので、排気コンダクタンスの悪化を抑制しながら排気対象容積の減少を図ることができる。
【００１３】
本発明に係る真空成膜装置用排気システムは、成膜室の内部を排気する排気手段と、前記排気手段と前記成膜室とを結び、途中に屈曲部を有する排気ダクトと、前記排気ダクトの前記屈曲部に配置された開閉弁と、前記開閉弁の主面に配置されたコールドトラップとを備え、前記開閉弁は、閉鎖時には、弁体の前記排気手段側の主面の縁部全周が前記排気ダクト内壁の壁面全周に亘って形成されているシール面と当接し、開放時には前記弁体が前記主面を前記排気ダクト内に向けて、かつ前記屈曲部の屈曲方向外側に回動して退避し、かつ前記屈曲部の屈曲方向外側の前記排気ダクト内壁に沿うようにして位置するように構成され、前記コールドトラップは、前記開閉弁の主面近傍に磁界を発生させるようにして前記開閉弁の主面の縁部を除く中心部に配置された１以上の永久磁石と、前記永久磁石の近傍に配置され、冷媒を流通させて前記排気ダクトを流通する排気中の水分子を冷媒配管に凝結させて除去する冷媒配管とを備えている（請求項８）。かかる構成とすると、コールドトラップは屈曲する排気流路の外側に位置するので、排気中の気体粒子は遠心力によってコールドトラップ側に接近し、イオン化した水分子を効率よく冷媒配管に凝結させることができる。
【００１４】
前記開閉弁の主面の縁部を除く中心部には、端部を当接する円筒体が突設され、前記永久磁石は、複数の板状片の永久磁石であって、隣接する永久磁石の磁極面同士の極性が相違するようにして前記円筒体の内壁の壁面全周に亘って配設されている（請求項９）。
【００１５】
前記冷媒配管は、前記円筒体の内壁の壁面と沿うようにしてコイル状になって、取付部材を介して前記壁面に固定され、前記冷媒配管の両端が前記開閉弁の駆動機構を伝い、前記駆動機構の前記排気ダクトからの貫通部内部を貫通することによって外部の冷媒冷却循環装置と連通し、前記冷媒冷却循環装置によって冷却された代替フロンが循環されている、（請求項１０）。かかる構成とすると、排気ダクトからの外部貫通部を増やすことはないので、真空成膜装置用排気システムの密閉構造の複雑化を回避することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明は、磁場を利用して排気中のイオン化した水分子を誘導かつ拘束して除去するので、真空成膜装置の排気コンダクタンスの悪化を押さえながら排気中の水分の除去効率を高めるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る真空成膜装置用排気システムを一部断面にして示す側面図である。
【００１９】
真空成膜装置用排気システム１００は、コールドトラップ１、排気ポンプ２（排気手段）、第１の排気ダクト３，第２の排気ダクト７、開閉弁４、開閉弁駆動軸５，シリンダ装置６、真空ポンプ２０、及び開閉弁２１，２２を有して構成されている。
【００２０】
第１の排気ダクト３は、成膜室１０の開口部１０ａと第２の排気ダクト７とを結ぶダクトである。第１の排気ダクト３内には開閉弁駆動軸５に支持された開閉弁４が備えられている。開閉弁４は、第１の排気ダクト３内で開閉弁駆動軸５の進退動作により、第１の排気ダクト３と第２の排気ダクト７とを連通及び隔離するように構成されている。第２の排気ダクト７はさらに排気ポンプ２に接続されている。排気ポンプ２は、開閉弁２１を介して真空ポンプ２０に接続されている。これにより、成膜室１０内の気体は排気ポンプ２及び真空ポンプ２０を経由して外部に排気されることが可能となる。また、真空ポンプ２０は、開閉弁２２を介して成膜室１０とも接続されている。これにより、真空ポンプ２０のみによって、成膜室１０内を粗排気することが可能となる。
【００２１】
第１の排気ダクト３は、中空直方体形状のダクトであって、成膜装置１０の開口部１０ａと接合するダクト口３ａの延在面と第２の排気ダクト７と接合するダクト口３ｂの延在面とが略直交するように形成されている。すなわち、図中矢印で示すように、第１の排気ダクト３は、排気流路を屈曲させる屈曲部を有している。
【００２２】
開閉弁４は、ダクト口３ｂを閉塞できる主面を有しており、ダクト口３ｂに主面を向けて配置され、かかる主面の背後から開閉弁駆動軸５に支持されている。ダクト口３ｂとの接触部にはスクィーズパッキン４ａが配置されている。開閉弁駆動軸５は開閉弁４の主面に垂直の方向に延伸し、ダクト口３ｂに対向するように位置する壁面３ｃを軸封部３ｆを介して貫通している。開閉弁駆動軸５は、壁面３ｃの外面においてシリンダ装置６に接続されている。シリンダ装置６は、開閉弁駆動軸５を進退可能とするようにして、壁面３ｃの外面に装着されている。これによって、開閉弁４は、開閉弁駆動軸５を介してシリンダ装置６によって進退動作可能となり、ダクト口３ｂの開閉が可能となる。また、開閉弁４の開放時には、開閉弁４は壁面３ｃ近傍にまで後退するように構成されている。これによって、開閉弁４は、成膜室１０から気体分子の排出に対する抵抗とならずに、排気コンダクタンスの悪化を抑制することができる。
【００２３】
真空ポンプ２０は、ロータリーポンプのように粗排気に適したポンプが用いられる。開閉弁２１，２２の開閉によって、成膜室１０の粗排気あるいは排気ポンプ２の減圧を行うことができる。
【００２４】
排気ポンプ２は、油拡散ポンプあるいはターボ分子ポンプなどが用いられる。排気ポンプ２は、真空ポンプ２０によって、排気ポンプ２が起動可能（すなわち、油拡散ポンプあるいはターボ分子ポンプが起動可能）となる程度にまで減圧（例えば、３０Ｐａ）された後に起動され、成膜室１０内を成膜作業可能な圧力（例えば、６×１０-3Ｐａ程度）にまで減圧することができる。
【００２５】
第２の排気ダクト７は、ダクト口３ｂと排気ポンプ２との間を連通するダクトである。第２の排気ダクト７の内壁にはコールドトラップ１が構成されている。コールドトラップ１は冷媒配管１ｂと永久磁石１ａとを有して構成されている。ここでは、両端に開口を有する筒状である。
【００２６】
図２は、本発明の実施の形態１に係る真空成膜装置用排気システムの第２の排気ダクトの断面斜視図である。
【００２７】
第２の排気ダクト７の内壁全周に亘って永久磁石１ａと冷媒配管１ｂとが配置されている。
【００２８】
永久磁石１ａは、第２の排気ダクト７内に磁場を発生させるように配置される。特定の極性配置は要しない。ここでは、板状片の永久磁石１ａが、隣接する永久磁石１ａの磁極面同士の極性が相違するようにして配設されている。また、永久磁石１ａは、第２の排気ダクト７の週方向に環状に連なるようにして配置され、この環状が複数列形成されるように配置されている。これによって、隣接する永久磁石１ａ間において磁束が結ばれる形となり、第２の排気ダクト７内に形成されている排気空間７ｃには、様々な方向の磁力線が形成されるとともに、第２の排気ダクト７の内壁近傍ほど磁束密度が高い磁場が形成されている。
【００２９】
冷媒配管１ｂは、永久磁石１ａに近接して設置されている。ここでは、冷媒配管１ｂは永久磁石１ａの排気空間７ｃ側において、壁面と沿うようにして、例えば３周のコイル状に設置され、取付部材７ｄを介して、壁面に固定されている。冷媒配管１ｂの両端は排気空間７ｃの壁面を貫通して外部の冷媒冷却循環装置（図示せず）と連通している。冷媒配管７ｂは内部には冷媒冷却循環装置によって冷却された冷媒が循環されている。ここでは、冷媒配管７ｂは銅管で構成され、内部には代替フロンが冷媒として流通し、代替フロンは冷媒冷却循環装置によって−１４０℃程度に冷却されて循環されている。
【００３０】
次に、このように構成された実施の形態１に係る真空成膜装置用排気システム１００の動作について説明する。
【００３１】
成膜室１０内を排気する際には、まず、開閉弁４は閉鎖されていて、真空ポンプ２０によって、開閉弁２２を介して成膜室内１０が排気される。真空ポンプ２０による排気によって、成膜室１０内は排気ポンプ２の起動を可能せしめる圧力（例えば、３０Ｐａ）にまで減圧される。
【００３２】
そして、開閉弁２２が閉止され、開閉弁４が開放され、かつ開閉弁２１が開放されて、排気ポンプ２と真空ポンプ２０とによって、成膜室１０がさらに排気される。成膜室１０が、成膜作業に適した気圧（例えば、６×１０-3Ｐａ程度）にまで減圧されると、成膜室での成膜処理の準備が整う。
【００３３】
排気ポンプ２を経由して排気される際には、成膜室１０内の気中粒子は第２の排気ダクト７を通過する。ここで、排気中の電子及びイオンの進行方向は微視的には一定ではないものの、巨視的には少なくとも排気方向には進行している。したがって、排気中の電子は、永久磁石１ｂの磁場により少なくとも排気方向とは垂直方向にはローレンツ力を受ける。すなわち、排気中の電子は、少なくとも排気方向に対して垂直の方向には進行方向の変化を生じ、そして、サイクロトロン運動のようにして磁力線に絡むことになる。他方、イオンは電子ほど極端には磁力線に絡む運動はしないものの、電子との間に働くクーロン力によって、電子に追随して移動する。ここで、排気空間７ｃの壁面の全周には永久磁石１ａが配置されているので、排気空間７ｃの壁面近傍に近づくほど磁束密度が高くなる。したがって、電子は排気空間７ｃの壁面近傍に近づくほど、より強いローレンツ力を受け、排気空間７ｃの壁面に近づくほど拘束されやすくなる。そして、イオンはクーロン力によって電子に追随するようにして、排気空間７ｃの壁面近傍に拘束される。このようにして、排気中のイオン化している水分子は、排気空間７ｃの壁面近傍に誘導され、拘束されやすくなるので、冷媒配管１ｂに凝結して、排気中から除去されやすくなる。
【００３４】
（変形例１）
本発明の変形例１は、図１の構成の開閉弁４の開閉方向を変更した真空成膜装置用排気システム１１０である。
【００３５】
図３は、実施の形態１の変形例に係る真空成膜装置用排気システムを一部断面にして示す側面図である。図４は、実施の形態１の変形例に係る真空成膜装置用排気システムを一部断面及び開削にして示す背面図である。
【００３６】
図３に示すように、変形例１に係る真空成膜装置用排気システム１１０は、図１の真空成膜装置用排気システム１００とは、開閉弁駆動軸５の構造、第１の排気ダクト３の形状及びシリンダ装置６の配置を除いて、実質上同じ構成である。
【００３７】
ここで、第１の排気ダクト３は、側面視においてダクト口３ａとダクト口３ｂとの双方に対向する壁面３ｅが斜面を形成するように構成されている。これによって、第１の排気ダクト３のダクト容積を縮小できるので、成膜室１０を含めた排気対象容積を縮小することができ、排気時の時間とエネルギーを節約することができる。
【００３８】
また、開閉弁４の開閉を、側面視においてダクト口３ｂと壁面３ｅが形成する角部を回転軸とした回転駆動によって行うように構成されている。これによって、開閉弁４が成膜室１０の開口部１０ａと接続されているダクト口３ａに向けてダクト口３ｂを大きく開口させるとともに、開閉弁４の開放時には、開閉弁４は壁面３ｅ近傍にまで後退可能であるので、排気弁４による排気コンダクタンスの悪化を抑制することができる。
【００３９】
開閉弁４の回転駆動については、一般的な駆動機構を用いている。ここでは、開閉弁駆動軸５は、開閉弁４に揺動可能に接続された弁アーム５ａ、支軸５ｂ、梃子部材５ｃ、シリンダ軸接合軸５ｄ及びシリンダ軸５ｅから構成され、シリンダ軸５ｅがシリンダ装置６に装着されて、進退駆動されるように構成されている。
【００４０】
開閉弁４は、第１の排気ダクト３内において、開閉弁４に装着された弁アーム５ａ及び支軸５ｂを介して軸封部３ｆ、３ｆによって支持されるように構成されている。支軸５は、ダクト口３ｂと壁面３ｅとが形成する角部に側面方向に延びるようにして設置されている。支軸５は、図４に示すように側面方向両端が軸封部３ｆ、３ｆを介して気密的に第１の排気ダクト３を貫通している。軸封部３ｆは、第１の排気ダクト３に固定されていて、支軸５ｂを気密的に回転可能なように支持するように構成されている。支軸５ｂの両端は、第１の排気ダクト３の外部において一対の梃子部材５ｃ、５ｃと固定的に接合されている。梃子部材５ｃ，５ｃは、シリンダ軸接合軸５ｄを介してシリンダ軸５ｅ，５ｅと接合されている。シリンダ軸接合軸５ｄは、梃子部材５ｃがシリンダ軸５ｅに対して傾動可能となるようにして双方を接合している。シリンダ軸５ｅ，５ｅは、壁面３ｅの傾斜方向にシリンダ接合軸５ｄを進退させるように配され、シリンダ装置６、６によって進退可能なように装着されている。シリンダ装置６、６は、第１の排気ダクト３の外面に接合されている。これによって、シリンダ装置６、６がシリンダ軸５ｅ、５ｅを押し出すことによって、梃子部材５ｃ，５ｃは支軸５ｂを支点にして回動され、弁アーム５ａ及び開閉弁４は支軸５ｂを中心として開放方向に回動する。同様にして、シリンダ装置６、６がシリンダ軸５ｅ、５ｅを引き戻すことによって、弁アーム５ａ及び開閉弁４は支軸５ｂを中心として閉鎖方向に回動する。
【００４１】
また、このように構成された変形例１の真空成膜装置用排気システム１１０の動作は、実施の形態１の真空成膜装置用排気システム１００と同様である。
【００４２】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２に係る真空成膜装置用排気システムを一部断面にして示す側面図である。
【００４３】
本発明の実施の形態２は、実施の形態１の変形例のコールドトラップ１を開閉弁４の主面に構成した真空成膜装置用排気システム１２０である。したがって、実施の形態２においては、第１の排気ダクト３はダクト口３ｂにおいて排気ポンプ２と連通するように構成されている。
【００４４】
図５に示すように、実施の形態２に係る真空成膜装置用排気システム１２０は、実施の形態１の変形例の真空成膜装置用排気システム１１０とは、コールドトラップ１の配置位置を除いて、実質的に同じ構成である。
【００４５】
すなわち、開閉弁４の主面にコールドトラップ１が構成されている。ここでは、開閉弁４の主面に中空円筒型の枠体である円筒体４ｅが端面を接合して設置され、円筒体４ｅ内面において、実施の形態１と同様にして、永久磁石１ａと冷媒配管１ｂとが配置されコールドトラップ１が構成されている。コールドトラップ１の円筒体４ｅへの永久磁石１ａ及び冷媒配管１ｂの取付構成も実施の形態１と同様である。冷媒配管１ｂの両端は、排気弁４を貫通してアーム５ａを伝い、支軸５ｂを貫通して外部の冷媒冷却循環装置（図示せず）に接続されるように構成されている。これによって、開閉弁４開放時には開閉弁４の主面は、屈曲する排気流路（図５中矢印）の外側に位置し、かつ排気流路に曝露されるように位置する。したがって、排気時には、ダクト口３ａ側から排気されてきた気体粒子は、屈曲方向外側に遠心力を受けるので、開閉弁４の主面近傍には気体粒子濃度が比較的高くなる。これによって、排気中の電子はさらに効率的に永久磁石１ｂの磁場に拘束されやすくなり、排気中のイオン化した水分子もクーロン力によって電子に追随して誘導されかつ永久磁石１ａ近傍に拘束される。これによって、イオン化した水分子はより多くが冷媒配管に凝結されることになる。
【００４６】
また、このように構成された実施の形態２の真空成膜装置用排気システム１２０の動作は、実施の形態１の真空成膜装置用排気システム１００と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
排気コンダクタンスの悪化を押さえながら排気中の水分の除去効率を高める真空成膜装置用コールドトラップ及び真空成膜装置用排気システムとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態１に係る真空成膜装置用排気システムを一部断面にして示す側面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る真空成膜装置用排気システムの第２の排気ダクトの断面斜視図である。
【図３】実施の形態１の変形例に係る真空成膜装置用排気システムを一部断面にして示す側面図である。
【図４】実施の形態１の変形例に係る真空成膜装置用排気システムを一部断面及び開削にして示す背面図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る真空成膜装置用排気システムを一部断面にして示す側面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  コールドトラップ
１ａ  永久磁石
１ｂ  冷媒配管
２  排気ポンプ
３  第１の排気ダクト
３ａ、３ｂ  ダクト口
３ｃ，３ｅ  壁面
３ｆ  軸封部
４  開閉弁
４ａ  スクィーズパッキン
４ｅ  円筒体
５  開閉弁駆動軸
５ａ  弁アーム
５ｂ  支軸
５ｃ  梃子部材
５ｄ  シリンダ軸接合軸
５ｅ  シリンダ軸
６  シリンダ装置
７  第２の排気ダクト
７ｃ  排気空間
７ｄ  取付部材
１０  成膜室
１０ａ  開口部
２０ 真空ポンプ
２１，２２ 開閉弁
１００、１１０，１２０ 真空成膜装置用排気システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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