(57)【要約】【課題】  工具位置合わせの再現性及び精度を高めることで、高精度な機械加工を行うことができるようにした工具位置合わせ方法、及びその装置を提供する。【解決手段】  情報処理装置４は、カメラ２を用いて撮像された工具６の表わされている画像を認識し、旋回中心軸まわりの回転操作を行ったときにおける工具６の周辺の任意の点１９の移動軌跡を、当該画像を用いて記録し、当該移動軌跡で表わされている円の中心位置を当該旋回中心軸の位置とし、当該旋回中心軸の位置と工具６の周辺の任意の点１９との間の距離に基づいて工具位置合わせの完了を判別する。【選択図】      図１
2006142412.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも直交する２軸の移動操作と当該２軸によって張られる平面に垂直な旋回中心軸まわりの回動操作が可能な軸構成を有する加工機を用い、回転軸対称である光学素子若しくは当該光学素子を成形する成形型の成形面を被加工物とし、当該被加工物を回転させておき、当該被加工物の母線上の各点における法線と工具軸との角度を一定角度に維持しながら工具の接触点を当該被加工物の母線上に走査させることで形状を創成する加工法における、当該工具周辺の任意の点と当該旋回中心軸の位置とを合わせる工具位置合わせの方法であって、
撮像素子を用いて撮像された前記工具の表わされている画像を認識し、
前記旋回中心軸まわりの回転操作を行ったときにおける前記工具の周辺の任意の点の移動軌跡を、前記画像を用いて記録し、
前記移動軌跡で表わされている円の中心位置を前記旋回中心軸の位置とし、
前記旋回中心軸の位置と前記工具の周辺の任意の点との間の距離に基づいて工具位置合わせの完了を判別する、
ことを特徴とする工具位置合わせ方法。
【請求項２】
前記工具の周辺の任意の点を、前記画像から選択することを特徴とする請求項１に記載の工具位置合わせ方法。
【請求項３】
前記加工は、角を有する前記工具の角部を作用点として行われるものであり、
前記画像を構成する各画素の輝度差に基づいて前記工具が表わされている領域とその他の領域との境界を求め、
前記境界を表わす直線を少なくとも２本求め、
前記直線のうちの２本の交点を前記工具の周辺の任意の点とする、
ことを特徴とする請求項１に記載の工具位置合わせ方法。
【請求項４】
前記加工は、丸みを有する工具における当該丸みの中心部を旋回中心とする加工であり、
前記画像を構成する各画素の輝度差に基づいて前記工具が表わされている領域とその他の領域との境界を求め、
前記境界を表わす円を求め、
前記円の中心を前記工具の周辺の任意の点とする、
ことを特徴とする請求項１に記載の工具位置合わせ方法。
【請求項５】
工具の画像を取得する撮像素子と、
前記撮像素子を用いて撮像された画像から前記工具周辺の点を任意に選択する位置選択手段と、
旋回中心軸まわりに前記工具を回転させる操作を行ったときに得られる前記工具の周辺の点の移動軌跡に基づいて当該旋回中心軸の位置を求める位置取得手段と、
前記工具周辺の点と前記旋回中心軸の位置との間の距離を求める距離測定手段と、
を備えていることを特徴とする工具位置合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子や光学素子の成形に用いる成形型の成形面を加工する工具の位置合わせの技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学素子や光学素子を成形する成形型の成形面を被加工物とし、これらの被加工物を機械加工する際には、工作物回転軸及び当該工作物回転軸と直交する軸、更にはこれらの２軸によって張られる平面に垂直である旋回中心軸の３軸を同時制御することが可能な超精密加工機が用いられる。この加工においては、旋回中心軸の位置に工具周辺の任意の点をまず位置合わせしておき、その後、工作物の所望の形状と工具の形状とを基にして、工具の接触点の軌跡が所望の被加工物形状と一致するようにこれらの３軸の位置の制御が行われる。
【０００３】
この加工に用いられる工具の位置合わせの手法として、例えば非特許文献１に開示されている「Ｂ軸反転法」がある。この手法について、図１１を用いて説明する。
「Ｂ軸反転法」は、まず、光軸が旋回中心軸方向と平行となるように設置した顕微鏡を用いて工具を観察し、図１１（ａ）に示すように、旋回中心軸位置に対する工具周辺の任意の点、この場合は工具先端、の変位をδ+x及びδ-zとする。そして、図１１（ｂ）に示すように、顕微鏡の十字線を工具先端にできるだけ正確に合わせる。
【０００４】
ここで、図１１（ｃ）に示すように、旋回中心軸を１８０°回転させ、このときの工具先端のＸ、Ｚ方向の移動量をそれぞれΔx 及びΔz とすれば、δ+x＝Δx/2 、δ-z＝Δz/
2 となる。そこで、図１１（ｄ）に示すように、顕微鏡の十字線を１８０°回転させた工具先端位置に正確に合わせてΔx 及びΔz を求め、そこから、図１１（ｅ）に示すように
、顕微鏡の十字線をΔx/2 、Δz/2 の位置へ移動する。そして、そのときの顕微鏡の十字
線へ、図１１（ｆ）に示すように、工具先端をできるだけ正確に合わせることにより、工具先端と旋回中心軸位置との位置合わせができる。これが「Ｂ軸反転法」である。
【非特許文献１】閻紀旺、庄司克雄、厨川常元、「直線包絡法による単結晶シリコン製大口径非球面レンズの超精密切削」、精密工学会誌、社団法人精密工学会、２００２年４月、第６８巻、第４号、ｐ．５６１−５６５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上掲した非特許文献１に開示されている「Ｂ軸半転法」は、以下のような問題点がある。
従来、このような作業において、工具周辺の任意の点は作業者により選択され、また、工具周辺の任意の点と旋回中心軸位置とを合わせる工具位置合わせの完了の判断も作業者により行われることが多い。このような選択および判断には、作業者による経験に裏打ちされた勘やコツ（骨）が必要であり、このような勘やコツを修得するまでには数多くの経験を要するという問題がある。
【０００６】
さらに、このような勘やコツを修得したとしても作業者によるバラツキが発生するため、工具位置合わせの再現性や精度が低くなり、高精度な機械加工を行うことができないという問題がある。
【０００７】
本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、工具位置合わせの再現性及び精度を高めることで、高精度な機械加工を行うことができるようにした工具位置合わせ方法、及びその装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の態様のひとつである工具位置合わせ方法は、少なくとも直交する２軸の移動操作と当該２軸によって張られる平面に垂直な旋回中心軸まわりの回動操作が可能な軸構成を有する加工機を用い、回転軸対称である光学素子若しくは当該光学素子を成形する成形型の成形面を被加工物とし、当該被加工物を回転させておき、当該被加工物の母線上の各点における法線と工具軸との角度を一定角度に維持しながら工具の接触点を当該被加工物の母線上に走査させることで形状を創成する加工法における、当該工具周辺の任意の点と当該旋回中心軸の位置とを合わせる工具位置合わせの方法であって、撮像素子を用いて撮像された当該工具の表わされている画像を認識し、当該旋回中心軸まわりの回転操作を行ったときにおける当該工具の周辺の任意の点の移動軌跡を、当該画像を用いて記録し、当該移動軌跡で表わされている円の中心位置を当該旋回中心軸の位置とし、当該旋回中心軸の位置と当該工具の周辺の任意の点との間の距離に基づいて工具位置合わせの完了を判別する、ことを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
【０００９】
なお、上述した本発明に係る工具位置合わせ方法において、当該工具の周辺の任意の点を、当該画像から選択するようにしてもよい。
また、前述した本発明に係る工具位置合わせ方法において、当該加工は、角を有する当該工具の角部を作用点として行われるものであり、当該画像を構成する各画素の輝度差に基づいて当該工具が表わされている領域とその他の領域との境界を求め、当該境界を表わす直線を少なくとも２本求め、当該直線のうちの２本の交点を当該工具の周辺の任意の点とする、ようにしてもよい。
【００１０】
また、前述した本発明に係る工具位置合わせ方法において、当該加工は、丸みを有する工具における当該丸みの中心部を旋回中心とする加工であり、当該画像を構成する各画素の輝度差に基づいて当該工具が表わされている領域とその他の領域との境界を求め、当該境界を表わす円を求め、当該円の中心を当該工具の周辺の任意の点とする、ようにしてもよい。
【００１１】
本発明の別の態様のひとつである工具位置合わせ装置は、工具の画像を取得する撮像素子と、当該撮像素子を用いて撮像された画像から当該工具周辺の点を任意に選択する位置選択手段と、旋回中心軸まわりに当該工具を回転させる操作を行ったときに得られる当該工具の周辺の点の移動軌跡に基づいて当該旋回中心軸の位置を求める位置取得手段と、当該工具周辺の点と当該旋回中心軸の位置との間の距離を求める距離測定手段と、を備えていることを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、以上のようにすることにより、工具位置合わせの再現性及び精度が高められるので、高精度な機械加工を行うことができるようになる結果、目標成形面精度を達成するまでの加工回数の減少に伴う工数が低減され、また、工具表面の形態の劣化の防止により工具の交換頻度が低減するという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１４】
［構成］
図１について説明する。同図は、被加工物２２である光学素子や光学素子を成形するための成形型の成形面を加工する工作機である、ＸＺＢ３軸同時制御可能な超精密加工用旋盤１の構成を示しており、少なくとも直交する２軸の移動操作と当該２軸によって張られる平面に垂直な旋回中心軸まわりの回動操作が可能な軸構成を有している。なお、被加工物２２の成形面は回転軸対称とする。
【００１５】
Ｂ軸ステージ２３上には、ＸＺ平面内で直交する２軸方向に操作可能なステージ２１が
設けられており、このステージ２１上に円柱状の工具６が設置されている。
【００１６】
被加工物２２を超精密加工用旋盤１で加工するときには、被加工物２２を回転させておき、被加工物２２の母線上の各点における法線と工具６の軸との角度を一定角度に維持しながら工具６の接触点を被加工物２２の母線上に走査させてその形状を創成する。
【００１７】
超精密加工用旋盤１は、工具６を観察するためのカメラ２を有している。カメラ２は撮像素子を有しており、工具６を撮像してその画像を表している画像データを、通信ケーブル３を通じて情報処理装置４へ送信する機能を有している。
【００１８】
情報処理装置４は、ごく標準的な構成のもの、すなわち、情報処理装置４全体の動作制御を司るＣＰＵ（中央処理装置）、このＣＰＵによって実行される基本制御プログラムやその実行の際に必要に応じて使用される各種のデータが格納されているＲＯＭ、ＣＰＵが各種の処理を行う際に必要に応じて作業用として使用するＲＡＭ、ＣＰＵによって実行される各種の制御プログラムやその実行の際に必要に応じて使用される各種のデータ及び画像ファイルを格納する磁気ディスク記憶装置、例えばマウス等のポインティングデバイスやキーボート装置などを有して構成されていてそれらに対する操作の内容に対応付けられているユーザからの指示を取得する入力部、例えばＣＤ（Compact Disc）やＭＯ（Magneto Optical ）ディスク、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）等の記録媒体に記録されている各種のデータを読み取るデータ読取装置、ＣＰＵの指示に応じて所定の画像を表示する表示装置、他の機器との間で各種のデータの授受を行うインタフェース部、などを備えて構成されているものである。
【００１９】
詳細は後述するが、この情報処理装置４は、カメラ２から送られてきた画像データを記録する機能を提供し、更に、図２、図５、図７、及び図９に各々示すように、画像データ上における任意の点１９を認識してその座標値を記録する機能を有し、設定された閾値に基づき工具領域とその他の領域との光量差から境界座標値群を求める境界座標値群選択機能５と、座標値群の任意の複数の座標値からその座標群を表す数式を最小二乗法により求める数式解析機能７と、複数の数式からなる連立方程式の解を求める数式解析機能８と、円を表す数式からその円の半径、中心位置などの情報を求める数式解析機能９と、カメラから得た画像データの工具形状の特徴を記憶することにより工具が移動・旋回しても認識した工具周辺の任意の点１９と工具６の位置関係を維持し工具周辺の任意の点１９を追従する機能を有し、旋回中心軸位置と工具周辺の任意の点１９との距離が所定の値以下になったとき工具位置合わせ完了と判別する位置合わせ判別機能１０と、を提供する。なお、これらの各機能は、当該各機能を情報処理装置４に行わせるためのプログラムを予め作成しておき、情報処理装置４の有する不図示のＣＰＵにこのプログラムを実行させることによって、情報処理装置４で提供される。
［作用］
以下、図２に示すフローチャートに沿って、実施例１に係る工具位置合わせ方法の手順を説明する。なお、以下の説明では、図３及び図４を適宜参照する。
【００２０】
なお、実施例１においては、工具６として、例えば円柱状砥石や平バイトを用いるものとする。
まず、Ｓ１０１において、情報処理装置４は、カメラ２から送信されて通信ケーブル３を通じて送られてきた工具６の画像データを取得して記録する処理を行う。
【００２１】
Ｓ１０２では、情報処理装置４は境界座標値群選択機能５を実行し、カメラ２から得た画像データの光量差（画像データで表されている画像を構成する各画素の輝度差）に基づき、工具６の領域とその他の領域との境界を表わしている境界座標値群データを求める処理が行われる。図３において、所定の閾値よりも光量が小である領域が工具６の領域であり、当該閾値よりも光量が大である領域がその他の領域である。
【００２２】
Ｓ１０３では、情報処理装置４は数式解析機能７を実行し、境界座標値群データから、工具６の領域の境界に相当する、図３に示されている辺１１及び辺１２をそれぞれ表わしている直線の数式を求める処理が行われる。
【００２３】
Ｓ１０４では、情報処理装置４は数式解析機能８を実行し、辺１１を表わしている直線の数式と辺１２を表わしている直線の数式とからなる連立方程式の解を求める処理が行われる。
【００２４】
Ｓ１０５では、前ステップでの処理によって求められた解の座標に対応する点、すなわち辺１１を表わしている直線と辺１２を表わしている直線との交点を、工具周辺の任意の点１９として認識する処理が情報処理装置４で行われる。
【００２５】
Ｓ１０６では、カメラ２から送られてきた画像データで表わされている画像のうち工具６と工具周辺の任意の点１９とを含む部分の画像の特徴を記憶する処理が情報処理装置４で行われる。
【００２６】
Ｓ１０７では、旋回中心軸回りに工具６を旋回移動させる。このとき、情報処理装置４は、Ｓ１０８において、カメラ２から送られてくる画像データで表わされている工具６の旋回移動の画像において、図４に示すように、工具周辺の任意の点１９と工具６との位置関係を維持しつつ当該点１９を追従させることにより、当該点１９の移動軌跡を取得し、この移動軌跡に相当する座標値群を記録する処理を行う。
【００２７】
Ｓ１０９では、情報処理装置４は数値解析機能７を実行し、前ステップの処理によって得られた座標値群から抽出される任意の複数の座標値より、工具周辺の任意の点１９の移動軌跡に相当する円（円弧）を表わしている数式を求める処理が行われる。
【００２８】
Ｓ１１０では、情報処理装置４は数値解析機能９を実行し、前ステップの処理によって得られた円を表す数式より、その円の中心位置を求める処理が行われる。
Ｓ１１１では、前ステップでの処理によって求められた円の中心位置を旋回中心軸位置２０（図４参照）として認識する処理が情報処理装置４で行われる。
【００２９】
Ｓ１１２では、ステージ２１により工具６を移動させる。このときの移動の方向は、工具６との位置関係が維持されているとしたときの工具周辺の任意の点１９が旋回中心軸位置２０に近づく方向とする。このとき、情報処理装置４は、Ｓ１１３において位置合わせ機能を実行し、旋回中心軸位置２０と工具周辺の任意の点１９との距離が所定の値以下になったことを判別することにより工具位置合わせの完了を確認する処理が行われる。
【００３０】
以上の手順によって、工具周辺の任意の点１９と旋回中心軸位置２０との位置合わせが完了する。
［効果］
上述した実施例１に係る工具位置合わせ方法を使用することにより、円柱状工具や平バイトのような角を有する工具の角部を作用点とする加工において、工具の角部を高い再現性で自動認識できるようになるので、工具位置合わせの再現性及び精度が高くなり、高精度な機械加工が可能となる。
【実施例２】
【００３１】
［構成］
実施例２は、実施例１と同様、図１にその構成を示した超精密加工用旋盤１で実施されるが、実施例２では、工具６としてＲバイトを用いる点のみが実施例１と異なっている。
［作用］
以下、図５に示すフローチャートに沿って、実施例２に係る工具位置合わせ方法の手順を説明する。なお、以下の説明では、図６を適宜参照する。
【００３２】
まず、Ｓ２０１において、情報処理装置４は、カメラ２から送信されて通信ケーブル３を通じて送られてきた工具６の画像データを取得して記録する処理を行う。
Ｓ２０２では、情報処理装置４は境界座標値群選択機能５を実行し、カメラ２から得た画像データの光量差に基づき、工具６の領域とその他の領域との境界を表わしている境界座標値群データ（図６における、境界線上の任意の複数点の各々の座標値データ）を求める処理が行われる。
【００３３】
Ｓ２０３では、情報処理装置４は数式解析機能７を実行し、境界座標値群データから、Ｒバイトである工具６の領域の境界に相当する円を表わしている数式を求める処理が行われる。この円は、図６における、境界線上の任意の複数点から求めた円に相当する。
【００３４】
Ｓ２０４では、情報処理装置４は数式解析機能９を実行し、前ステップの処理によって得られた円を表す数式より、その円の中心の位置を求める処理が行われる。
Ｓ２０５では、前ステップでの処理によって求められた円の中心点を、図６に示すように、工具周辺の任意の点１９として認識する処理が情報処理装置４で行われる。
【００３５】
以降のＳ２０６からＳ２１３にかけての手順の内容は、図２におけるＳ１０６からＳ１１３にかけてのものと同様であるので、説明は省略する。
以上の手順によって、工具周辺の任意の点１９と旋回中心軸位置２０との位置合わせが完了する。
［効果］
上述した実施例２に係る工具位置合わせ方法を使用することにより、球・トーラス状工具やＲバイトのようなＲ（丸み）を有する工具のＲ中心部を旋回中心とする加工において、工具のＲ中心部を高い再現性で自動認識できるようになるので、工具位置合わせの再現性及び精度が高くなり、高精度な機械加工が可能となる。
【実施例３】
【００３６】
［構成］
実施例３も、実施例１と同様、図１にその構成を示した超精密加工用旋盤１で実施されるが、実施例３では、情報処理装置４が点を任意に選択する機能である任意点選択機能２４を更に有する点のみが実施例１と異なっている。
［作用］
以下、図７に示すフローチャートに沿って、実施例３に係る工具位置合わせ方法の手順を説明する。なお、以下の説明では、図８を適宜参照する。
【００３７】
まず、Ｓ３０１において、情報処理装置４は、カメラ２から送信されて通信ケーブル３を通じて送られてきた工具６の画像データを取得して記録する処理を行う。
Ｓ３０２では、情報処理装置４は任意点選択機能２４を実行し、カメラ２から得た画像データで表わされている画像上において、旋回中心軸位置２０に対する位置合わせを行いたい点（例えば、工具６の領域とその他の領域との境界上の点）を選択する処理が行われる。
【００３８】
Ｓ３０３では、前ステップでの処理によって選択された点を、図８に示すように、工具周辺の任意の点１９として認識する処理が情報処理装置４で行われる。
以降のＳ３０４からＳ３１０にかけての手順の内容は、図２におけるＳ１０７からＳ１１３にかけてのものと同様であるので、説明は省略する。
【００３９】
以上の手順によって、工具周辺の任意の点１９と旋回中心軸位置２０との位置合わせが完了する。
［効果］
上述した実施例３に係る工具位置合わせ方法を使用して、旋回中心軸の位置に対する位置合わせを行う点を任意に選択することにより、工具位置合わせの再現性及び精度が高くなり、高精度な機械加工が可能となる。
【実施例４】
【００４０】
［構成］
実施例４は、図１にその構成を示した超精密加工用旋盤１において、工具周辺の任意の点１９と旋回中心軸位置２０との位置関係を求める位置関係算出装置２５を情報処理装置４が備え、ステージ２１の移動量を数値で指定することのできる数値制御駆動装置２６をステージ２１が備える構成で実施される。
［作用］
以下、図９に示すフローチャートに沿って、実施例４に係る工具位置合わせ方法の手順を説明する。なお、以下の説明では、図１０を適宜参照する。
【００４１】
まず、Ｓ４０１において、情報処理装置４は、カメラ２から送信されて通信ケーブル３を通じて送られてきた工具６の画像データを取得して記録する処理を行う。
Ｓ４０２では、情報処理装置４は境界座標値群選択機能５を実行し、カメラ２から得た画像データの光量差に基づき、工具６の領域とその他の領域との境界を表わしている境界座標値群データを求める処理が情報処理装置４で行われる。
【００４２】
Ｓ４０３では、情報処理装置４は数式解析機能７を実行し、境界座標値群データから、工具６の領域の境界に相当する各辺をそれぞれ表わしている直線の数式を求める処理が行われる。
【００４３】
Ｓ４０４では、情報処理装置４は数式解析機能８を実行し、前ステップの処理によって得られた各辺を表わしている直線の数式からなる連立方程式の解を求める処理が行われる。
【００４４】
Ｓ４０５では、前ステップでの処理によって求められた解の座標に対応する点を、工具周辺の任意の点１９として認識する処理が情報処理装置４で行われる。
Ｓ４０６では、カメラ２から送られてきた画像データで表わされている画像のうち工具６と工具周辺の任意の点１９とを含む部分の画像の特徴を記憶する処理が情報処理装置４で行われる。
【００４５】
Ｓ４０７では、旋回中心軸回りに工具６を旋回移動させる。このとき、情報処理装置４は、Ｓ４０８において、カメラ２から送られてくる画像データで表わされている工具６の旋回移動の画像において、工具周辺の任意の点１９と工具６との位置関係を維持しつつ当該点１９を追従させることによって当該点１９の移動軌跡を取得し、この移動軌跡に相当する座標値群を記録する処理を行う。
【００４６】
Ｓ４０９では、情報処理装置４は数値解析機能７を実行し、前ステップの処理によって得られた座標値群から抽出される任意の複数の座標値より、工具周辺の任意の点１９の移動軌跡に相当する円（円弧）を表わしている数式を求める処理が行われる。
【００４７】
Ｓ４１０では、情報処理装置４は数値解析機能９を実行し、前ステップの処理によって得られた円を表す数式より、その円の中心位置を求める処理が行われる。
Ｓ４１１では、前ステップでの処理によって求められた円の中心位置を旋回中心軸位置２０として認識する処理が情報処理装置４で行われる。
【００４８】
なお、以上までのＳ４０１からＳ４１１にかけての手順の内容は、図２におけるＳ１０１からＳ１１１にかけてのものと同様である。
Ｓ４１２では、情報処理装置４に備えられている位置関係算出装置２５が、工具周辺の任意の点１９と旋回中心軸位置２０との間の距離を示す距離データ２７（図１０参照）を算出する処理を行う。なお、この処理においては、当該距離データの算出を、ステージ２１が移動可能である、直交する２軸方向に分けて行う。
【００４９】
Ｓ４１３では、算出された距離データ２７を数値制御駆動装置２６へ送付してステージ２１を移動させて当該ステージ２１上の工具６を移動させる。このときの移動の方向は、工具６との位置関係が維持されているとしたときの工具周辺の任意の点１９が旋回中心軸位置２０に近づく方向、すなわち、距離データ２７の値が小さくなる方向とする。このとき、情報処理装置４は、Ｓ４１４において位置合わせ機能を実行し、旋回中心軸位置２０と工具周辺の任意の点１９との距離が所定の値以下になったことを判別することにより工具位置合わせの完了を確認する処理が行われる。
【００５０】
以上の手順によって、工具周辺の任意の点１９と旋回中心軸位置２０との位置合わせが完了する。
［効果］
上述した実施例４に係る工具位置合わせ方法を使用して、工具周辺の任意の点と旋回中心軸の位置とを合わせる工具位置合わせを自動で行うことにより、工具位置合わせの再現性及び精度が高くなり、高精度な機械加工が可能となる。
【００５１】
なお、本発明は、上述した各実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明を実施する超精密加工用旋盤の構成を示す図である。
【図２】実施例１に係る工具位置合わせ方法の手順を示すフローチャートである。
【図３】工具周辺の任意の点の決め方を説明する図である。
【図４】旋回中心点の求め方を説明する図である。
【図５】実施例２に係る工具位置合わせ方法の手順を示すフローチャートである。
【図６】Ｒバイトの中心点の求め方を説明する図である。
【図７】実施例３に係る工具位置合わせ方法の手順を示すフローチャートである。
【図８】点の任意選択を説明する図である。
【図９】実施例４に係る工具位置合わせ方法の手順を示すフローチャートである。
【図１０】距離データの求め方を説明する図である。
【図１１】従来の工具の位置合わせの手法の一例を説明する図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  超精密加工用旋盤
２  カメラ
３  通信ケーブル
４  情報処理装置
５  境界座標値群選択機能
６  工具
７、８、９  数式解析機能
１０  位置合わせ判別機能
１１、１２  辺
１９  工具周辺の任意の点
２０  旋回中心軸位置
２１  ステージ
２２  被加工物
２３  Ｂ軸ステージ
２４  任意点選択機能
２５  位置関係算出装置
２６  数値制御駆動装置
２７  距離データ
【図２】
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【図３】
2006142412.tif 000004
【図４】
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【図５】
2006142412.tif 000006
【図６】
2006142412.tif 000007
【図７】
2006142412.tif 000008
【図８】
2006142412.tif 000009
【図９】
2006142412.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１】
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