(57)【要約】【課題】  冷却媒体が流れる流路を有する光源装置において、その製造コストを低減させる。【解決手段】  電力が供給されることによって光を射出する固体光源２０と、該固体光源２０が載置されるとともにその内部に冷却媒体が流れる流路１１が形成された基台１０（１２，１３）と、上記固体光源２０の周囲を囲み、上記固体光源２０から射出された光を導光するリフレクタ１４とを備える光源装置であって、上記基台１０と上記リフレクタ１４とが同一材料により一体形成されている。【選択図】              図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力が供給されることによって光を射出する固体光源と、該固体光源が載置されるとともにその内部に冷却媒体が流れる流路が形成された基台と、前記固体光源の周囲を囲み、前記固体光源から射出された光を導光するリフレクタとを備える光源装置であって、
前記基台と前記リフレクタとが同一材料により一体形成されていることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記基台が金属材料によって形成されていることを特徴とする請求項１記載の光源装置。
【請求項３】
前記基台上に前記光に対して透明で、かつ、絶縁性の膜が形成されていることを特徴とする請求項２記載の光源装置。
【請求項４】
前記金属材料がアルミニウムであることを特徴とする請求項２または３記載の光源装置。
【請求項５】
前記金属材料が銅であることを特徴とする請求項２または３記載の光源装置。
【請求項６】
前記基台と前記膜との間にニッケルメッキ層が形成されていることを特徴とする請求項５記載の光源装置。
【請求項７】
前記流路を複数に分割する流路壁を備えることを特徴とする請求項１〜６いずれかに記載の光源装置。
【請求項８】
前記流路が複数に分割されることによって形成された各小流路の流路幅が前記固体光源の幅よりも小さいことを特徴とする請求項７記載の光源装置。
【請求項９】
前記固体光源は、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）であることを特徴とする請求項１〜８いずれかに記載の光源装置。
【請求項１０】
光源装置から射出された光を変調して表示面に投射することによって画像を形成するプロジェクタであって、
前記光源装置として、請求項１〜９いずれかに記載の光源装置を備えることを特徴とするプロジェクタ。
【請求項１１】
電力が供給されることによって光を射出する固体光源と、該固体光源が載置されるとともにその内部に冷却媒体が流れる流路が形成された基台と、前記固体光源の周囲を囲み、前記固体光源から射出された光を導光するリフレクタとを備える光源装置の製造方法であって、
前記基台と前記リフレクタとを一体形成する工程と、
前記流路を形成する工程と、  
前記固体光源を配置する工程と
を有することを特徴とする光源装置の製造方法。
【請求項１２】
前記基台が第１基台及び第２基台を備えて構成され、前記流路を形成する工程は、前記リフレクタが一体形成されるとともに前記リフレクタ形成面の裏面に前記固体光源の配置領域に対応する溝部が形成された第１基台と、第２基台とを接合する工程であることを特徴とする請求項１１記載の光源装置の製造方法。
【請求項１３】
前記第１基台の前記溝部に前記流路を複数に分割するための流路壁が、前記第１基台の一体形成されて配置されていることを特徴とする請求項１２記載の光源装置の製造方法。
【請求項１４】
前記基台がアルミニウムによって形成されており、前記基台に対して陽極酸化処理を行うことによって前記基台上に陽極酸化被膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項１１〜１３いずれかに記載の光源装置の製造方法。
【請求項１５】
前記基台が銅によって形成されており、前記基台上にニッケルメッキ層を形成する工程と、前記ニッケルメッキ層上に前記光に対して透明で、かつ、絶縁性の膜を形成する工程とを有することを特徴とする請求項１１〜１３いずれかに記載の光源装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置及びその製造方法、並びにプロジェクタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクタは、近年小型化、高輝度化、長寿命化、廉価化等が図られてきている。例えば、小型化に対しては液晶パネル（光変調素子）サイズは対角１．３インチが０．５インチになり面積比で１／６強の小型化がされてきている。
【０００３】
一方、プロジェクタの光源として、固体光源を用いることよる小型化が提案されている。固体光源は、電源を含めて小型であり、瞬時点灯／消灯が可能であること、色再現性が広く長寿命であることなど、プロジェクタ用光源としてのメリットを有している。また、水銀などの有害物質を含まないため、環境保全上からみても好ましいものである。
【０００４】
しかしながら、固体光源をプロジェクタ用光源に用いるためには、光源としての明るさが不足しており、少なくとも放電型光源ランプレベルの明るさを確保（高輝度化）する必要があった。ところが、固体光源を高輝度化するにつれて益々固体光源からの発熱は増大する。固体光源の温度が上昇すると発光効率が低下するため、何らかの発熱対策をとる必要があった。
【０００５】
特許文献１には、固体光源のような高発熱源が載置される基台に冷却媒体が流れる流路を形成し、この流路に冷却媒体を流すことによって熱源を冷却する技術が開示されている。この技術によれば、固体光源も効率的に冷却することができるため、固体光源をより大電流で駆動し、高輝度化することができる。
【特許文献１】特開平１１−４０７１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のような技術を実現させるには、流路が形成された基台に別体の固体光源モジュールを載置する必要があるため、固体光源を備える光源装置の製造コストが増加するという問題が生じる。このため、基台に冷却媒体が流れる流路を有する光源装置は、基台に冷却媒体が流れる流路を有さない光源装置と比較して割高となってしまい、プロジェクタの値段が高くなってしまう。
【０００７】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、基台に冷却媒体が流れる流路を有する固体光源装置において、その製造コストを低減させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の光源装置は、電力が供給されることによって光を射出する固体光源と、該固体光源が載置されるとともにその内部に冷却媒体が流れる流路が形成された基台と、上記固体光源の周囲を囲み、上記固体光源から射出された光を導光するリフレクタとを備える光源装置であって、上記基台と上記リフレクタとが一体形成されていることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の光源装置の製造方法は、電力が供給されることによって光を射出する固体光源と、該固体光源が載置されるとともにその内部に冷却媒体が流れる流路が形成された基台と、上記固体光源の周囲を囲み、上記固体光源から射出された光を導光するリフレクタとを備える光源装置の製造方法であって、上記基台と上記リフレクタとを同一材料により一体形成する工程と、上記流路を形成する工程と、上記固体光源を配置する工程とを有することを特徴とする。
【００１０】
このような特徴を有する本発明の光源装置及びその製造方法によれば、固体光源が載置される基台と、固体光源から射出された光を導光するリフレクタとが同一材料により一体形成される。従来の光源装置においては、基台とリフレクタとが別体で形成された後に接合されていたため、本発明の光源装置及びその製造方法によれば、従来の光源装置よりも安価な光源装置を提供することができる。したがって、本発明の光源装置及びその製造方法によれば、冷却媒体が流れる流路を有する光源装置において、その製造コストを低減させることが可能となる。
【００１１】
また、本発明の光源装置においては、上記基台が金属材料によって形成されているという構成を採用することができる。
このような構成を採用することによって、熱伝導率の高い基台とすることができるため、固体光源において発熱した熱量が基台を伝って冷却媒体に伝導され易くなり、より効率的に固体光源を冷却することが可能となる。
【００１２】
また、本発明の光源装置においては、上記基台が金属材料によって形成されている場合には、上記基台上に上記光に対して透明で、かつ、絶縁性の膜が形成されているという構成を採用することが好ましい。
仮に、基台上に絶縁性の膜が形成されていない場合には、固体光源に供給される電力が基台側にリークする恐れがある。例えば、基台上に載置される固体光源が複数あった場合には、固体光源間でショートする可能性が生じる。
また、この絶縁性の膜を固体光源から射出される光に対して透明とすることによって、基台上に反射される光が変調されることなく射出される。このため、光源装置の発光特性が劣化されることを防止することができる。
【００１３】
また、本発明の光源装置においては、上記金属材料がアルミニウムであるという構成を採用することができる。
また、本発明の光源装置においては、上記金属材料が銅であるという構成を採用することもできる。
なお、上記金属材料が銅である場合には、熱伝導性が高いものの、反射率が低い。このため、上記基台と上記膜との間にニッケルメッキ層が形成されているという構成を採用することが好ましい。このようなニッケルメッキ層を形成することによって、熱伝導性が高く、かつ、反射率の高い基台及びリフレクタとすることができる。
【００１４】
また、本発明の光源装置においては、上記流路を複数に分割する流路壁を備えるという構成を採用することができる。このような構成を採用することによって、固体光源において発生した熱が流路壁も伝って冷却媒体に伝導されるため、より固体光源の冷却効率を向上させることができる。また、流路壁によって基台の剛性を向上させることができるため、堅固な光源装置とすることができる。
なお、上記流路が複数に分割されることによって形成された各小流路の流路幅は、固体光源の幅よりも小さいことが好ましい。小流路の流路幅を固体光源の幅より小さくすることによって、流路壁を伝って冷却媒体に伝導される熱量が増加するため、より効率的に固体光源を冷却することが可能となる。
【００１５】
また、本発明の光源装置においては、上記固体光源が、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）であるという構成を採用することができる。
【００１６】
次に、本発明のプロジェクタは、光源装置から射出された光を変調して表示面に投射することによって画像を形成するプロジェクタであって、上記光源装置として、本発明の光源装置を備えることを特徴とする。
本発明の光源装置によれば、冷却媒体が流れる流路を有する光源装置において、その製造コストを低減させることができる。したがって、このような本発明の光源装置を備える本発明のプロジェクタは、安価なものとなる。
【００１７】
また、本発明の光源装置の製造方法においては、上記基台が第１基台及び第２基台を備えて構成され、上記流路を形成する工程は、上記リフレクタが一体形成されるとともに上記リフレクタ形成面の裏面に上記固体光源の配置領域に対応する溝部が形成された第１基台と、第２基台とを接合する工程であるという構成を採用することができる。
このような構成を採用することによって、容易に流路を形成することができるとともに、流路の側壁部が、固体光源が載置される第１基台と一体形成される。このため、流路の底部を除いた大部分に接合面がなく、流路に至るまでの熱伝導率が高くなる。したがって、より効率的に固体光源を冷却することが可能となる。
【００１８】
また、本発明の光源装置の製造方法においては、上記第１基台の上記溝部に上記流路を複数に分割するための流路壁が、上記第１基台の一体形成されて配置されているという構成を採用することができる。
このような構成を採用することによって、容易に流路壁を有する流路を形成することができるとともに、流路壁が第１基台と一体形成されているため、第１基台から流路壁までの間に接合面が存在せず、固体光源において発生した熱量が効率的に流路壁に伝導される。したがって、より効率的に固体光源において発生した熱量を冷却媒体に伝熱させることができ、より効率的に固体光源を冷却することが可能となる。
【００１９】
また、本発明の光源装置の製造方法においては、上記基台がアルミニウムによって形成されており、上記基台に対して陽極酸化処理を行うことによって上記基台上に陽極酸化被膜を形成する工程を有するという構成を採用することができる。
このような構成を採用することによって、容易に基台上に固体光源から射出された光に対して透明で、かつ、絶縁性の膜を形成することができ、固体光源に供給される電力が基台側にリークすることを防止することができる。また、陽極酸化被膜は、非常に薄く形成することができるため、固体光源において発生した熱量の基台側への伝導率の低下を最小限に抑えることが可能となる。
【００２０】
また、本発明の光源装置の製造方法においては、上記基台が銅によって形成されており、上記基台上にニッケルメッキ層を形成する工程と、上記ニッケルメッキ層上に上記光に対して透明で、かつ、絶縁性の膜を形成する工程とを有するという構成を採用することができる。
このような構成を採用することによって、容易に基台及びリフレクタの反射率を向上させることができるとともに、基台上に固体光源から射出された光に対して透明で、かつ、絶縁性の膜を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明に係る光源装置及びその製造方法、並びにプロジェクタの一実施形態について説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
図１は、本第１実施形態の光源装置１の概略構成を示した平面図である。また、図２は図１におけるＡ−Ａ’断面図、図３は図１におけるＢ−Ｂ’断面図である。
これらの図に示すように、本実施形態の光源装置１は、基台１０と、ＬＥＤチップ２０（固体光源）と、樹脂フレーム３０と、キャップ４０とを備えて構成されている。
【００２３】
基台１０は、アルミニウムによって形成されており、その内部に液媒体（冷却媒体）が流れる流路１１が形成されている。この基台１０は、具体的には、第１基台１２及び第２基台１３を備えて構成されている。第１基台１２の上面には、ＬＥＤチップ２０が実装されており、このＬＥＤチップ２０の周囲を環状に囲むようにリフレクタ１４が形成されている。このリフレクタ１４は、ＬＥＤチップ２０から射出された光を導光するものである。そして、本実施形態の光源装置１においては、第１基台１２（基台）とリフレクタ１４とが同一材料、すなわちアルミニウムによって一体形成されている。また、第１基台１２の下面（リフレクタ形成面の裏面）には、ＬＥＤチップ２０の配置領域に対応した溝部が形成されており、この第１基台１２と上面が平らな第２基台１３とが接合されることによって、上述の流路１１が形成されている。
【００２４】
ＬＥＤチップ２０は、電力を供給されることによって光を射出するものであり、図４の拡大図に示すように、本実施形態の光源装置１においては、シリコン等によって形成されかつＬＥＤチップ２０に電力を供給するための配線が形成されたサブマウント２１上にフリップチップ実装され、このサブマウント２１ごと熱伝導性の接着剤（例えば、銀ペースト）によって第１基台１２上に実装されている。また、図４に示すように、第１基台１２上には、アルミナ被膜（膜，陽極酸化膜）１５が形成されており、このアルミナ被膜１５を介してサブマウント２１が配置されている。このように、第１基台１２上に、ＬＥＤ光源２０から射出される光に対して透明で、かつ、絶縁性のアルミナ皮膜１５を形成することによって、ＬＥＤチップ２０に供給されるはずの電力がサブマウント２１等を介して第１基台１２側にリークすることを防止することができ、光源装置１がショートすることを防止することができる。
【００２５】
また、本実施形態の光源装置１においては、図２及び図４に示すように、流路１１が複数の流路壁１６によって複数の小流路１１ａに分割されている。このような流路壁１６を形成することによって、ＬＥＤチップ２０において発生した熱量が基台１０及び流路壁１６を伝わって液媒体に伝導されるため、よりＬＥＤチップ２０の冷却効率を向上させることができる。また、このような流路壁１６を形成することによって、第１基台１２の剛性を向上させることができるため、堅固な光源装置１となる。
なお、図４に示すように、小流路の流路幅ｄは、ＬＥＤチップ２０の幅Ｄよりも小さいことが好ましい。小流路の流路幅ｄをＬＥＤチップ２０の幅Ｄよりも小さくすることによって、流路壁１６を伝って液媒体に伝導される熱量が増加するため、より効率的にＬＥＤチップ２０を冷却することが可能となる。
【００２６】
また、第１基台１２の上面には、リフレクタ１４を囲うように樹脂フレーム３０が配置されている。そして、樹脂フレーム３０の上部に支持されてキャップ４０が配置されており、キャップ４０と樹脂フレーム３０によって形成された空間内には、シリコンオイル等が充填されている。図１及び図２に示すように、樹脂フレーム３０には、アウターリード３１，３２がインサードモールドされており、このアウターリード３１，３２の一端が第１基台１２上に配置されたフレキシブル基板１７，１８と接続され、他端が金ワイヤ２２等によってサブマウント２１上に形成された接続パッドと接続されている。そして、サブマウント２１、フレキシブル基板１７，１８、アウターリード３１，３２及び金ワイヤ２２を介してＬＥＤチップ２０に電力が供給される。なお、本実施形態においては、図１に示すように、各アウターリード３１，３２に３本ずつの金ワイヤ２２が接続されているが、ＬＥＤチップ２０に供給される電力量に応じて金ワイヤ２２の本数は変更される。
【００２７】
また、本実施形態の光源装置１においては、基台１０の端部の一部が広く開口されて開口部１９が形成されている。この開口部１９は、第１基台１２及び第２基台１３が変形されることによって形成されており、流路１１と接続されている。そして、この流路１１に液媒体を供給するためのパイプが接続される。
【００２８】
このように構成された本実施形態の光源装置１において、ＬＥＤチップ２０に電力が供給されると、ＬＥＤチップ２０から光が射出され、この射出された光がキャップ４０を介して光源装置１から射出される。そして、ＬＥＤチップ２０から側方に射出された光は、リフレクタ１４によってキャップ４０方向に反射され、その後キャップ４０を介して光源装置１から射出される。ここで、本実施形態の光源装置１においては、第１基台１２上にアルミナ被膜１５が形成されているため、第１基台１２と一体形成されているリフレクタ１４の表面にもアルミナ被膜１５が形成されている。しかしながら、このアルミナ被膜１５は、ＬＥＤチップ２０から射出される光に対して透明であるため、ＬＥＤチップ２０から側方に射出された光は、アルミナ被膜１５で変調されることなく反射される。このため、光源装置１の発光特性が劣化されることを防止することができる。
【００２９】
また、アルミナ被膜１５は、非常に薄い膜であるため、ＬＥＤチップ２０において発生した熱量の基台１０側への伝導率の低下を最小限に抑えることが可能となる。
【００３０】
次に、本実施形態の光源装置１の製造方法について説明する。
【００３１】
まず、図５（ａ）に示すように、第１基台１２及び第２基台１３がアルミニウムのプレス成形によって作成される。ここで、本実施形態の光源装置１の製造方法においては、第１基台１２が作成される際に、リフレクタ１４が第１基台１２と同一材料（本実施形態においてはアルミニウム）によって、第１基台１２と一体形成される。このように、第１基台１２とリフレクタ１４とを一体形成することによって、１つの工程において第１基台１２とリフレクタ１４とを作成することができるため、製造コストを低減させることが可能となる。
【００３２】
なお、第１基台１２の下面には、図示するように、流路１１の一部を構成する溝部１１ｂが形成されている。このような溝部１１ｂは、第１基台１２をプレス成形する際に容易に形成することができる。また、このような溝部１１ｂを第１基台１２に形成することによって、流路１１の側壁部が、第１基台１２と一体形成されるため、流路１１の底部を除いた大部分に接合面がなく、流路１１に至るまでの熱伝導率が高くなる。したがって、より効率的にＬＥＤチップ２０を冷却することが可能となる。
【００３３】
また、この溝部１１ｂには、流路１１を複数に分割するための流路壁１６が、第１基台１２と一体形成されている。このような流路壁１６も、第１基台１２をプレス成形する際に容易に形成することができる。また、このように流路壁１６と一体形成することによって、第１基台１２から流路壁１６までの間に接合面が存在せず、ＬＥＤチップ２０において発生した熱量が効率的に流路壁１６に伝導される。したがって、より効率的にＬＥＤチップ２０において発生した熱量を液媒体に伝熱させることができ、より効率的にＬＥＤチップ２０を冷却することが可能となる。
【００３４】
その後、図５（ｂ）に示すように、第１基台１２上にアルミナ被膜１５を形成する。具体的には、第１基台１２を陽極酸化処理することによって、第１基台１２の表層部をアルミナ被膜１５に変質させることによって、第１基台１２上にアルミナ被膜１５を形成する。このように、陽極酸化処理によってアルミナ被膜１５を形成することによって、第１基台１２上に、非常に薄いアルミナ被膜１５を形成することができる。
【００３５】
そして、図５（ｃ）に示すように、第１基台１２と第２基台１３とが接合されることによって、流路１１が形成される。具体的には、第１基台１２と第２基台１３とをろう付け材によって接合することができる。なお、この際に、同時に基台１０に形成される開口部１９（図５においては不図示）に液媒体を供給するためのパイプをろう付け材にて接合しても良い。
【００３６】
続いて、図５（ｄ）に示すように、配線パターンが形成されたフレキシブル基板１７，１８を第１基台１２上に貼り付ける。
そして、図６（ａ）に示すように、アウターリード３１，３２がインサードモールドされた樹脂フレーム３０に接合し、アクターリード３１，３２をフレキシブル基板１７，１８に半田付けする。
【００３７】
そして、図６（ｂ）に示すように、リフレクタ１４によって囲まれた領域の中心部（第１基台の上面）に、サブマウント２１に実装されたＬＥＤチップ２０をサブマウント２１ごと実装する。
その後、図６（ｃ）に示すように、金ワイヤ２２によってサブマウント２１上に形成された接続パッドとアウターリード３１，３２とが電気的に接続される。
【００３８】
続いて、図６（ｄ）に示すように、樹脂フレーム３０によって囲まれた空間内に、シリコンオイルを充填し、樹脂フレーム３０の上部に支持させる形でキャップ４０を配置することによって、本実施形態の光源装置１が製造される。
【００３９】
このような本実施形態の光源装置１及びその製造方法によれば、第１基台１２とリフレクタ１４とが同一材料によって一体形成されているため、第１基台とリフレクタとが別体で形成された後接合される従来の光源装置及びその製造方法と比較して、安価な光源装置となる。したがって、本実施形態の光源装置１及びその製造方法によれば、液媒体が流れる流路１１を有する光源装置において、その製造コストを低減させることが可能となる。
【００４０】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、本第２実施形態の説明において、上記第１実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
【００４１】
本第２実施形態の光源装置２においては、上記第１実施形態においてアルミニウムによって形成されていた基台１０が銅によって形成されている。
図７は、本第２実施形態の光源装置２の概略構成を示した断面図である。この図に示すように、本第２実施形態の光源装置２においては、基台１０（第１基台１２及び第２基台１３）が銅によって形成されており、第１基台１２の上面には、ニッケルメッキ層５０と酸化シリコン膜６０（膜）が積層されている。
【００４２】
このような構成を有する本第２実施形態の光源装置２によれば、基台１０が銅によって形成されているため、基台１０がアルミニウムによって形成されている場合よりも基台１０の熱伝導率が約１．５倍に向上され、より効率的にＬＥＤチップ２０を冷却することが可能となる。なお、銅は、アルミニウムと比較して反射率が低いが、本実施形態の光源装置１においては、第１基台１２の上面にニッケルメッキ層５０が形成されており、第１基台１２の上面及びリフレクタ１４の表面に充分な反射率が付与されているため、ＬＥＤチップ２０から射出された光を損失することなく光源装置２の外部に射出することができる。また、ニッケルメッキ層５０上には、ＬＥＤチップ２０から射出される光に対して透明で、かつ、絶縁性の酸化シリコン膜６０が形成されているため、上記第１実施形態のアルミナ被膜１５と同様に、ＬＥＤチップ２０に供給される電力が基台１０側にリークすることを防止することができる。また、このシリコン酸化膜６０は、ＬＥＤチップ２０から射出される光に対して透明であるため、ＬＥＤチップ２０から射出された光を変調することなく光源装置２の外部に射出することができる。
【００４３】
なお、本第２実施形態の光源装置２を製造する場合には、銅板を上記第１実施形態と同様にプレス成形することによって、第１基台１２とリフレクタ１４とが一体形成される。このため、上記第１実施形態と同様に、安価な光源装置２とすることができる。また、ニッケルメッキ層５０は、周知のメッキ処理によって容易に形成することができる。また、シリコン酸化膜６０は、スパッタ法によって、容易に薄く形成することができる。
【００４４】
（第３実施形態）
次ぎに、本発明の第３実施形態について説明する。なお、本第３実施形態の説明においても上記第１実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
【００４５】
図８は、本第３実施形態の光源装置３の概略構成を示した平面図である。この図に示すように、本第３実施形態の光源装置３は、３つのＬＥＤチップ２０を備えて構成されており、各ＬＥＤチップ２０に対応して樹脂フレーム３０及びキャップ４０が各々３つ配置されている。
【００４６】
そして、第１基台１２の下面図である図９に示すように、本実施形態の光源装置３においては、各ＬＥＤチップ２０の配置領域に対応して複数の流路１１が形成されている。このような第１基台１２もプレス成形において容易に形成することができる。
【００４７】
このような本実施形態の光源装置３によれば、複数のＬＥＤチップ２０を備えるため、より高輝度の光源装置となる。
なお、異なる色光（例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ）を射出するＬＥＤチップを１つずつ配置し、これらのＬＥＤチップを交番発光させることによって、端板式のプロジェクタの光源装置として用いることもできる。
また、ＬＥＤチップ２０の数は、必ずしも３つである必要はなく、もっと複数のＬＥＤチップ２０を配置しても良い。この場合には、ＬＥＤチップ２０の数に応じた流路が形成されることとなる。
【００４８】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態として、上記実施形態の光源装置を備えるプロジェクタについて説明する。
【００４９】
図１０は、上記実施形態の光源装置を備えたプロジェクタ５００の説明図である。図中、符号５１２、５１３、５１４は上記実施形態の光源装置、５２２、５２３、５２４は液晶ライトバルブ（光変調手段）、５２５はクロスダイクロイックプリズム（色光合成手段）、５２６は投写レンズ（投写手段）を示している。
【００５０】
図２３のプロジェクタ５００は、本実施形態のように構成した３個の光源装置５１２、５１３、５１４を備えている。各光源装置５１２、５１３、５１４には、それぞれ赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光するＬＥＤが採用されている。なお、光源光の照度分布を均一化させるための均一照明系として、各光源装置の後方にロッドレンズやフライアイレンズを配置してもよい。
【００５１】
赤色光源装置５１２からの光束は、重畳レンズ５３５Ｒを透過して反射ミラー５１７で反射され、赤色光用液晶ライトバルブ５２２に入射する。また、緑色光源装置５１３からの光束は、重畳レンズ５３５Ｇを透過して緑色光用液晶ライトバルブ５２３に入射する。
また、青色光源装置５１４からの光束は、重畳レンズ５３５Ｂを透過して反射ミラー５１６で反射され、青色光用液晶ライトバルブ５２４に入射する。なお、各光源からの光束は重畳レンズを介することにより液晶ライトバルブの表示領域において重畳され、液晶ライトバルブが均一に照明されるようになっている。
【００５２】
また、各液晶ライトバルブの入射側および出射側には、偏光板（図示せず）が配置されている。そして、各光源からの光束のうち所定方向の直線偏光のみが入射側偏光板を透過して、各液晶ライトバルブに入射する。また、入射側偏光板の前方に偏光変換手段（図示せず）を設けてもよい。この場合、入射側偏光板で反射された光束をリサイクルして各液晶ライトバルブに入射させることが可能になり、光の利用効率を向上させることができる。
【００５３】
各液晶ライトバルブ５２２、５２３、５２４によって変調された３つの色光は、クロスダイクロイックプリズム５２５に入射する。このプリズムは４つの直角プリズムを貼り合わせて形成され、その内面に赤色光を反射する誘電体多層膜と青色光を反射する誘電体多層膜とが十字状に配置されている。これらの誘電体多層膜によって３つの色光が合成され、カラー画像を表す光が形成される。そして、合成された光は投写光学系である投写レンズ５２６により投写スクリーン５２７上に投写され、拡大された画像が表示される。
【００５４】
上述した本実施形態の光源装置は、ＬＥＤチップが冷却されることによって高輝度化されるとともに安価に製造することができるものである。したがって、上述した光源装置を備えることにより、表示特性の優れたプロジェクタを安価に提供することができる。
【００５５】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る光源装置及びその製造方法、並びにプロジェクタの好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００５６】
例えば、上記実施形態では固体光源としてＬＥＤチップを採用したが、固体光源として半導体レーザ等を採用することも可能である。さらに、上述したプロジェクタでは光変調手段として液晶ライトバルブを採用したが、光変調手段として微小ミラーアレイデバイス等を採用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の第１実施形である光源装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ’断面図である。
【図４】図２の部分拡大図である。
【図５】本発明の第１実施形態である光源装置の製造方法について説明するための図である。
【図６】本発明の第１実施形態である光源装置の製造方法について説明するための図である。
【図７】本発明の第２実施形態である光源装置の概略構成を示した断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態である光源装置の概略構成を示した平面図である。
【図９】本発明の第３実施形態である光源装置が備える第１基台の下面図である。
【図１０】本発明の光源装置を備えるプロジェクタの概略構成を示した説明図である。
【符号の説明】
【００５８】
１，２，３……光源装置、１０……基台、１１……流路、１２……第１基台、１３……第２基台、１４……リフレクタ、１５……アルミナ被膜（膜）、１６……流路壁、２０……ＬＥＤチップ（固体光源）、５０……ニッケルメッキ層、６０……酸化シリコン膜（膜）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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