(57)【要約】【課題】高密度実装や小型化に有利な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】圧力発生室１９内のインクをノズル面のノズル開口１５から噴射するヘッド本体１と、上記ヘッド本体１のノズル面とは反対側に配置されて上記圧力発生室１９に圧力を発生させる圧電振動子１４に入力される駆動信号を出力するためのヘッド基板３３とを備え、上記ヘッド基板３３に圧電振動子１４に駆動信号を入力するフレキシブル回路板２２を挿入する開口３５が設けられ、上記開口３５の内側面に、フレキシブル回路板２２との接点３６を設けたことにより、フレキシブル回路板２２を折り曲げずに導通を確保できることから、曲げ幅を確保する必要がなく、その分だけ高密度実装や小型化が可能になる。【選択図】図１
2006231584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生室内の液体をノズル面のノズル開口から噴射するヘッド本体と、上記ヘッド本体のノズル面とは反対側に配置されて上記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生手段に入力される駆動信号を出力するためのヘッド基板とを備え、
上記ヘッド基板の側面に、圧力発生手段に駆動信号を入力するフレキシブル回路板との接点が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
上記ヘッド基板に上記フレキシブル回路板を挿入する開口が設けられ、上記開口の内側面にフレキシブル回路板との接点が設けられている請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
上記開口内に、ヘッド基板の内側面の接点に対してフレキシブル回路板を押し付ける押付部材が設けられている請求項２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
上記ヘッド本体に対して液体を供給する液体供給ユニットと、ヘッド本体と液体供給ユニットとの間をシールするシール部材を備え、上記シール部材に押付部材が設けられている請求項３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
上記ヘッド基板は、基板表面の回路パターンとフレキシブル回路板と対面する側面とにわたって導電被覆層が形成され、上記導電被覆層が接点を構成している請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
上記ヘッド基板とヘッド本体との間が接着固定されている請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体カートリッジ等から供給された液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドの製造方法および液体噴射ヘッドに係るものであり、高密度実装や小型化に有利な液体噴射ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置の代表例であるインクジェット式記録装置においては、圧力発生室を加圧する圧力発生手段と、加圧されたインクをインク滴として噴射するノズル開口とを有するインクジェット式の記録ヘッド（液体噴射ヘッド）がキャリッジに搭載されて構成されている。
【０００３】
図７に示すように、上記記録ヘッドは、複数のノズル開口５１が穿設されたノズルプレート５０と、圧力発生室５２やインク貯留室５３となる空間が形成された流路形成基板５４と、他方の面を封止する振動板５６とが積層されて接合された流路ユニット５７を有している。上記流路ユニット５７は、圧電振動子５８が収容されたヘッドケース５９に固着され、圧電振動子５８による振動板５６の変形応力により圧力発生室５２に圧力を発生させ、ノズル開口５１からインク滴を噴射させるように構成されている。
【０００４】
上記記録ヘッドは、ヘッドケース５９のノズル面とは反対側に、圧電振動子５８に入力する駆動信号を出力するためのヘッド基板６０が配置されている。上記ヘッド基板６０と圧電振動子５８とはフレキシブル回路板６１で導通が確保されている。上記記録ヘッドでは、ヘッド基板６０にスリット状の開口部６２が形成され、この開口部６２にフレキシブル回路板６１を挿通させて先端部を折り曲げ、基板表面に形成された導電パターン（図示せず）に対してはんだ付け等することが行われる。図において、６３はインク貯留室５３に導入するインクを、図示しないインク供給ユニットから供給を受けるインク供給管６３であり、ヘッド基板６０に形成された露出穴６４を通ってヘッド基板６０の上側に露出するようになっている。
【特許文献１】特開平５−３３８１５９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記記録ヘッドでは、ヘッド基板６０にスリット状の開口部６２を形成し、この開口部６２にフレキシブル回路板６１を挿通させて先端部を折り曲げて基板表面にはんだ付けしている。このように、フレキシブル回路板６１の先端部を所定幅で折り曲げることから、ある程度の曲げ幅（曲げ代）を設ける必要がある。この曲げ幅をあまりに小さくすると、フレキシブル回路板６１の弾性反力が大きくなってはんだ付けが外れてしまうし、無理に曲げようとするとフレキシブル回路板６１を損傷させることになるため、小型化にも限界が生じる。また、インク供給管６３を露出させる露出穴６４と開口部６２との距離ｄもあまり小さくできず、ヘッドの高密度実装にも限界があった。また、上記特許文献１に開示された記録ヘッドでは、フレキシブル回路板６１をヘッド基板に貫通させてはんだ付けしているが、貫通させた基板表面とフレキシブル回路板とをはんだで導通させる必要があることから、はんだ付けが必須となり、作業環境の点でも問題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、高密度実装や小型化に有利な液体噴射ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の液体噴射ヘッドは、圧力発生室内の液体をノズル面のノズル開口から噴射するヘッド本体と、上記ヘッド本体のノズル面とは反対側に配置されて上記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生手段に入力される駆動信号を出力するためのヘッド基板とを備え、上記ヘッド基板の側面に、圧力発生手段に駆動信号を入力するフレキシブル回路板との接点が設けられていることを要旨とする。
【０００８】
すなわち、本発明の液体噴射ヘッドは、上記ヘッド基板の側面に、圧力発生手段に駆動信号を入力するフレキシブル回路板との接点が設けられているため、ヘッド基板側面の接点にフレキシブル回路板を接触させればよいことから、従来のようにフレキシブル回路板を折り曲げてはんだ付けをする必要がなくなる。このため、フレキシブル回路板先端部の折曲幅を確保する必要がなくなり、それだけヘッド自体を小型化できて高密度実装することも可能になる。
【０００９】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ヘッド基板に上記フレキシブル回路板を挿入する開口が設けられ、上記開口の内側面にフレキシブル回路板との接点が設けられている場合には、ヘッド基板の開口の内側面の接点にフレキシブル回路板を接触させればよいため、フレキシブル回路板先端部の折曲幅を確保する必要がなくなり、それだけヘッド自体を小型化できて高密度実装することも可能になる。また、フレキシブル回路板と基板との導通を、ヘッド基板に形成した開口の内側面で確保することから、開口の配置により接点の位置を配置できる。このため、無理にフレキシブル回路板を引き回したり、基板の大きさや配置の制約を受けたりすることもなく、設計の自由度が高くなる。
【００１０】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記開口内に、ヘッド基板の内側面の接点に対してフレキシブル回路板を押し付ける押付部材が設けられている場合には、押付部材でフレキシブル回路板を接点に押し付ければ、はんだを用いなくても導通が確保されるとともにフレキシブル回路板が接点に固定され、作業環境を改善するとともに信頼性も確保できる。
【００１１】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ヘッド本体に対して液体を供給する液体供給ユニットと、ヘッド本体と液体供給ユニットとの間をシールするシール部材を備え、上記シール部材に押付部材が設けられている場合には、シール部材と押付け部材を同一部品とすることにより、部品点数や組み立て作業を増加させることなく、はんだを不用にし、高密度実装と小型化に有利なヘッドを得ることができる。
【００１２】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ヘッド基板は、基板表面の回路パターンとフレキシブル回路板と対面する側面とにわたって導電被覆層が形成され、上記導電被覆層が接点を構成している場合には、基板表面の回路パターンと上記側面にわたって導電被覆層を形成するだけで容易に接点を形成することができる。
【００１３】
本発明の液体噴射ヘッドにおいて、上記ヘッド基板とヘッド本体との間が接着固定されている場合には、ヘッド基板とヘッド本体を接着固定することにより、フレキシブル回路板と接点との接合部の信頼性を向上させることができる。
また、この場合において、ヘッド基板の周辺部に接着剤層を形成させた場合には、ヘッド本体の液体がヘッド基板にまわることがなく、ヘッド基板の損傷を防止する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
つぎに、本発明の実施の形態を詳しく説明する。
【００１５】
図１〜図４は、本発明を適用したインクジェット式の記録ヘッドの構造の一例を示す図である。図１は上記記録ヘッドの全体構造を示す分解斜視図、図２は記録ヘッドの縦断面図、図３は上記記録ヘッドをヘッド基板側から見た図、図４はヘッド基板の要部拡大斜視図である。
【００１６】
図１および図２に示すように、上記記録ヘッドは、圧力発生室１９内の液体をノズル面のノズル開口１５から噴射するヘッド本体１と、上記ヘッド本体１のノズル面とは反対側に配置されて上記圧力発生室１９に圧力を発生させる圧電振動子（圧力発生手段）１４に入力される駆動信号を出力するためのヘッド基板３３とを備えている。また、上記ヘッド本体１には、インク供給ユニット４５から噴射するインクの供給を受けるようになっている。なお、図１ではノズル開口１５が形成されたノズル面を上に、図２ではノズル面を下にして示している。
【００１７】
上記ヘッド本体１は、圧電振動子１４が収容されるヘッドケース１６と、このヘッドケース１６のユニット固着面に接着剤等で固着される流路ユニット２６とを備えて構成されている。
【００１８】
上記流路ユニット２６は、インクを噴射するノズル開口１５が列状に形成されたノズルプレート１０と、上記各ノズル開口１５に連通する圧力発生室１９の列と上記各圧力発生室１９に供給するインクを貯留するインク貯留室１７を含む流路空間が形成された流路形成基板１１と、上記流路形成基板１１の一面に接合され圧力発生室１９を含む流路空間を封止する振動板（弾性板）１２とが積層されて構成されている。
【００１９】
上記ノズルプレート１０は、ノズル開口１５が複数列設されてノズル列２５が形成され、この例では２列のノズル列２５が形成されてそれぞれ異なる種類のインクを噴射するようになっている。このノズルプレート１０は、この例ではステンレス板から形成されている。
【００２０】
上記流路形成基板１１は、上記各ノズル開口１５に連通する圧力発生室１９が列設されている。また、各圧力発生室１９にインク供給路１８を介して連通して各圧力発生室１９に対して供給するインクを貯留する共通のインク貯留室１７が、上記圧力発生室１９の列に沿って配置されるよう形成されている。
【００２１】
上記ノズル列２５は、図２における紙面に垂直な方向に設けられている。そして、この例では、上記ノズル列２５が２列設けられ、各ノズル列２５に対応するよう圧力発生室１９の列も２列設けられている。上記圧力発生室１９の列は２列１組で対向させて配置され、その両側に、各圧力発生室１９の列に対応してそれぞれ１つずつ共通のインク貯留室１７を配置した構造である。上記流路形成基板１１は、この例ではＳｉ単結晶基板をエッチングすることにより形成されている。
【００２２】
上記振動板１２は、ポリフェニレンサルファイドフィルムからなり、ステンレス板製の島部１３等がラミネートされて形成されている。
【００２３】
そして、上記流路形成基板１１の一面にノズルプレート１０が積層され、他面に振動板１２が島部１３を外側に配置するように積層されて流路ユニット２６が構成されている。    
【００２４】
一方、上記ヘッドケース１６は、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂が射出成形されてなり、上下に貫通する収容空間２１に、上記各圧力発生室１９に対応して上記振動板１２を変形させて圧力発生室１９に圧力を発生させる圧電振動子１４が収容されるようになっている。
【００２５】
上記圧電振動子１４は、縦振動モードの圧電振動子１４であり、後端側が固定板２０に固着されて棒状の圧電振動子１４が列状をなしている。上記圧電振動子１４が固定板２０に列状に固定されるとともに、圧電振動子１４の列にフレキシブル回路板２２が接合されて振動子ユニット３０が構成されている。
【００２６】
上記振動子ユニット３０は、固定板２０のノズルプレート１０側に位置する一端から圧電振動子１４がノズルプレート１０側に棒状に突出するよう一定ピッチで列設されている。また、上記振動子ユニット３０は、この例では、上記流路ユニット２６において２列１組で対向させて配置された圧力発生室１９の列のそれぞれに対応して２つ設けられている。上記固定板２０は、この例ではアルミニウム等の金属板から形成されている。
【００２７】
上記ヘッドケース１６には、上述した振動子ユニット３０を収容する収容空間２１が２つ形成されている。上記収容空間２１は、ヘッドケース１６の流路ユニット２６の固着面と反対側に開口し、流路ユニット２６の固着面には、圧電振動子１４の列の先端を流路ユニット２６の振動板１２の島部１３に当接させるためのスリット３２が形成されている。
【００２８】
そして、上記ヘッドケース１６のユニット固着面に、流路ユニット２６の振動板１２側が接着剤で接合された状態で、圧電振動子１４の先端面が振動板１２の島部１３に固着されるとともに、固定板２０がヘッドケース１６に接着固定されることにより、ヘッド本体１が構成されている。
【００２９】
上記ヘッドケース１６には、インク供給ユニット４５からインクの供給を受けるインク供給管２４がユニット固着面と反対側に突出形成されている。上記インク供給管２４は、インク貯留室１７と連通しており、インク供給ユニット４５から、噴射するためのインクの供給を受けてインク貯留室１７に供給するようになっている。したがって、この例では、インク供給管２４は、圧力発生室１９の列に対応して設けれられたインク貯留室１７の数に対応して２つ設けられている。
【００３０】
一方、上記ヘッド基板３３は、上記ヘッド本体１のノズル面とは反対側に配置され、ヘッドケース１６のユニット固着面と反対側の面に載置されている。
【００３１】
上記ヘッド基板３３は、この例では、ガラス繊維織物を積層して樹脂を含浸して固化させたプリント基板材料の表面に、銅箔がラミネートされ、上記銅箔に対してエッチングにより回路パターン３９が形成されたプリント基板が用いられている。
【００３２】
上記ヘッド基板３３には、ヘッド本体１のヘッドケース１６に形成されたインク供給管２４を、インクの供給を受けることを可能とするようヘッド基板３３よりも上側に露出させる露出穴３４が２つ設けられている。
【００３３】
また、上記ヘッド基板３３には、ノズル列２５に対応して設けられた圧電振動子１４の列に接合されて各圧電振動子１４に駆動信号を入力するフレキシブル回路板２２を挿入する開口３５が形成されている。上記開口３５は、圧電振動子１４の列に沿って細長い長方形状に形成されている。そして、上記開口３５の内側の側面（内側面）にフレキシブル回路板２２との接点３６が設けられている。
【００３４】
この例では、２列のノズル列２５に対応し、２列の圧力発生室１９の列が対向するように配置され、２列の圧力発生室１９の列を挟んで両側にそれぞれ圧力発生室１９の列に対応するインク貯留室１７が設けられている。したがって、圧電振動子１４の列は圧力発生室１９の列に対応するよう配置されており、固定板２０は圧力発生室１９の列よりも外側に位置し、フレキシブル回路板２２は圧力発生室１９の列よりも内側寄りに配置されている。
【００３５】
そして、フレキシブル回路板２２の銅パターン露出面は、フレキシブル回路板２２が圧電振動子１４に接合された面に存在することから、上記開口３５は、圧電振動子１４の列よりも内側よりに配置されて形成され、上記接点３６は、開口３５において、フレキシブル回路板２２の銅パターン露出面と対面する面に形成されている。この例では、外側に位置する内側面である。
【００３６】
図４に示すように、上記接点３６は、基板表面に形成された回路パターン３９と、フレキシブル回路板２２の銅パターンに対面する側面とにわたって、導電被覆層３６が形成され、上記導電被覆層３６が接点３６を構成している。
【００３７】
上記導電被覆層３６としては、具体的には各種のものを適用することができる。例えば導電性塗料を塗布したり、導電性接着剤を塗布したり、めっき層を形成させたり、あるいは蒸着やスパッタリング等を行ったりすることにより導電被覆層３６を形成し、接点３６とすることができる。上記回路パターン３９および接点３６は、１つの回路パターン３９と接点３６が１つの圧電振動子１４に対応するよう各圧電振動子１４に対応した数形成されている。
【００３８】
導電性接着剤で導電被覆層３６を形成した場合、フレキシブル回路板２２を接着することにより導通を確保できるので、作業性が格段に向上し、信頼性も向上する。また、めっき層で導電被覆層３６を形成した場合、接点の剛性が高くなり、信頼性が向上する。
【００３９】
そして、上記開口３５の内側面の接点３６にフレキシブル回路板２２を対面させた状態で、上記開口３５内に上記接点３６に対してフレキシブル回路板２２を押し付ける押付部材３７が設けられている。上記押付部材３７は、先端がやや細くなった略くさび状に形成され、エラストマーやゴム等の弾性部材から形成されている。そして、上記開口３５内側面の接点３６にフレキシブル回路板２２を接触させて導通を確保した状態で、ヘッド基板３３の上面から開口３５内に押し込まれ、フレキシブル回路板２２を接点３６に向かって押し付け、フレキシブル回路板２２と接点３６との導通を確実なものとし、フレキシブル回路板２２が接点３６から外れることを防止する。
【００４０】
また、上記ヘッド基板３３とヘッド本体１との間は、接着剤層３８により接着固定されている。上記接着剤層３８は、ヘッド基板３３およびヘッドケース１６の外周部に沿って環状に塗布されており、ヘッドケース１６とヘッド基板３３とを接合して固定するとともに、ヘッドケース１６とヘッド基板３３との間を封止してインクの侵入を防止している。上記接着剤層３８としては、ヘッドケース１６とヘッド基板３３との接合と封止を実現するものであれば、特に限定するものではないが、例えばシリコーン系の接着剤を好適に用いることができる。
【００４１】
上記ヘッド本体１は、ヘッド基板３３がノズル面と反対側に載置された状態で、インク供給ユニット４５に取り付けられる。上記インク供給ユニット４５は、図示しないインクカートリッジのインクをヘッド本体１に対して供給するものであり、インクカートリッジのインクをヘッド本体１に供給する流路４４が下面に形成されている。上記流路４４はヘッド本体１のインク供給管２４に対してインクを導入するものであり、流路４４の下端開口はヘッド基板３３の露出穴３４から上部に露出したインク供給管２４の開口と一致するようになっている。
【００４２】
そして、上記インク供給ユニット４５の流路４４の下端開口と、ヘッド本体１のインク供給管２４の上部開口との間に挟まれて両開口の間をシールするシール部材４０を備えている。上記シール部材４０は、板状に形成され、上面でインク供給ユニット４５の流路４４の下端開口に当接して当該開口を封止し、下面でヘッド本体１のインク供給管２４の上部開口に当接して当該開口を封止する弾性部材からなるシール部４２と、上記ドーナツ状のシール部４２内で上記流路４４の下端開口とインク供給管２４の上部開口を連通させる連通口４３とが設けられている。
【００４３】
上記構成の記録ヘッドは、ヘッド基板３３に実装した駆動回路（図示せず）で発生させた駆動信号をフレキシブル回路板２２を介して圧電振動子１４に入力することにより、圧電振動子１４が長手方向に伸縮される。この圧電振動子１４の伸縮により、振動板１２の島部１３を振動させて圧力発生室１９内の圧力を変化させ、圧力発生室１９内のインクをノズル開口１５からインク滴として吐出させるようになっている。図において、２７はヘッドカバーである。
【００４４】
上記記録ヘッドは、記録用紙の紙幅方向に往復移動するキャリッジに取り付けられ、キャリッジを移動させながら記録用紙上にインク滴を吐出させ、記録用紙に画像や文字をドットマトリックスにより印刷するようになっている。
【００４５】
このような構成により、本発明の記録ヘッドは、ヘッド基板３３側面の接点３６にフレキシブル回路板２２を接触させればよいことから、従来のようにフレキシブル回路板２２を折り曲げてはんだ付けをする必要がなくなる。このため、フレキシブル回路板２２先端部の折曲幅を確保する必要がなくなり、それだけヘッド自体を小型化できて高密度実装することも可能になる。
【００４６】
また、上記ヘッド基板３３に上記フレキシブル回路板２２を挿入する開口３５が設けられ、上記開口３５の内側面にフレキシブル回路板２２との接点３６が設けられているため、ヘッド基板３３の開口３５の内側面の接点３６にフレキシブル回路板２２を接触させればよいため、ヘッド自体を小型化できて高密度実装することも可能になる。また、フレキシブル回路板２２と基板との導通を、ヘッド基板３３に形成した開口３５の内側面で確保することから、開口３５の配置により接点３６の位置を配置でき、無理にフレキシブル回路板２２を引き回したり、基板の大きさや配置の制約を受けたりすることもなく、設計の自由度が高くなる。
【００４７】
さらに、上記開口３５内に、ヘッド基板３３の内側面の接点３６に対してフレキシブル回路板２２を押し付ける押付部材３７が設けられているため、押付部材３７でフレキシブル回路板２２を接点３６に押し付ければ、はんだを用いなくても導通が確保されるとともにフレキシブル回路板２２が接点に固定され、作業環境を改善するとともに信頼性も確保できる。
【００４８】
また、上記ヘッド基板３３は、基板表面の回路パターン３９とフレキシブル回路板２２と対面する側面とにわたって導電被覆層３６が形成され、上記導電被覆層３６が接点３６を構成しているため、基板表面の回路パターン３９と上記側面にわたって導電被覆層３６を形成するだけで容易に接点を形成することができる。
【００４９】
さらに、上記ヘッド基板３３とヘッド本体１との間が接着固定されているため、ヘッド基板３３とヘッド本体１を接着固定することにより、フレキシブル回路板と接点との接合部の信頼性を向上させることができ、ヘッド基板３３の周辺部に接着剤層３８を形成させたことから、ヘッド本体１のインクがヘッド基板３３にまわることがなく、ヘッド基板３３の損傷を防止する。
【００５０】
図５は、本発明の記録ヘッドの第２例を示す。
【００５１】
この例では、上記ヘッド本体１に対してインクを供給するインク供給ユニット４５と、ヘッド本体１とインク供給ユニット４５との間をシールするシール部材４０の下面に、押付部材３７が突出形成されている。
【００５２】
上記シール部材４０は、シール部４２を形成する弾性部材と同様の弾性部材により押付部材３７が形成されている。このように、シール部材４０は、もともと弾性部材から形成されたシール部４２を有することから、同様の弾性部材から形成された押付部材３７を一体的に形成するのは、極めて都合がよい。
【００５３】
また、上記シール部材４０には、押付部材３７に沿って組みつけの際の確認窓４１が形成されている。上記確認窓４１は、押付部材３７がフレキシブル回路板２２を押し付ける側に、押付部材３７と隣り合うよう形成されている。これにより、ヘッド本体１にヘッド基板３３を載置し、開口３５にフレキシブル回路板２２を挿入した状態で、押付部材３７を開口３５に挿入しながらシール部材４０を組み付ける際に、フレキシブル回路板２２の状態を確認しながら作業を行うことができて極めて作業性がよくなる。
【００５４】
この例では、シール部材４０と押付部材３７を同一部品とすることにより、部品点数や組み立て作業を増加させることなく、はんだを不用にし、高密度実装と小型化に有利なヘッドを得ることができる。それ以外は、上記実施例と同様であり、同様の部分には同じ符号を付しており、上記実施例と同様の作用効果を奏する。
【００５５】
図６は、本発明の記録ヘッドの第３例を示す。
【００５６】
この例は、上述した各実施例と同様に、２列のノズル列２５に対応し、２列の圧力発生室１９の列が対向するように配置され、２列の圧力発生室１９の列を挟んで両側にそれぞれ圧力発生室１９の列に対応するインク貯留室１７が設けられている。そして、圧電振動子１４の列は圧力発生室１９の列に対応するよう配置され、固定板２０が、圧力発生室１９の列よりも内側に位置し、フレキシブル回路板２２は圧力発生室１９の列よりも外側寄りに配置されている。
【００５７】
そして、フレキシブル回路板２２の銅パターン露出面は、フレキシブル回路板２２が圧電振動子１４に接合された面に存在することから、上記開口３５は、圧電振動子１４の列よりも外側よりに配置されて形成され、上記接点３６は、開口３５において、内側に位置する内側面に形成されている。それ以外は、上記各実施例と同様であり、同様の部分には同じ符号を付しており、上記実施例と同様の作用効果を奏する。
【００５８】
なお、上述した説明は、ノズル列２５が２列でインク貯留室１７が２つ設けられた流路形成基板１１について説明したが、これに限定するものではなく、ノズル列２５が３列以上でインク貯留室１７が３つ以上形成された流路形成基板１１や、複数のノズル列２５に対応する複数のインク貯留室１７が連通した流路形成基板１１にも適用することができる。この場合も、同様の作用効果を奏し、全体の圧電振動子１４の位置精度のばらつきが抑えられ、結果的に、インク滴の噴射特性のばらつきも少なくなって画質の向上につながる。
【００５９】
上記各実施例では、縦振動モードの圧電振動子１４を備えた記録ヘッドについて説明したが、これに限定するものではなく、本発明は撓み振動モードの圧電振動子を備えた記録ヘッドに適用することもできるし、圧力発生手段として圧電振動子ではなく、圧力発生室内部の液体を加熱して気泡を発生させるバブルジェット（登録商標）タイプの記録ヘッドに適用することも可能である。
【００６０】
本発明は、液体噴射装置に適用可能であり、その代表例としては、画像記録用のインクジェット式記録ヘッドを備えたインクジェット式記録装置がある。その他の液体噴射装置としては、例えば液晶ディスプレー等のカラーフィルタ製造に用いられる色材噴射ヘッドを備えた装置、有機ＥＬディスプレー、面発光ディスプレー（ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材（導電ペースト）噴射ヘッドを備えた装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドを備えた装置、精密ピペットとしての試料噴射ヘッドを備えた装置等があげられる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明が適用される記録ヘッドの一例を示す分解斜視図である。
【図２】上記記録ヘッドを示す断面図である。
【図３】上記記録ヘッドをヘッド基板側から見た図である。
【図４】上記ヘッド基板を示す要部拡大斜視図である。
【図５】本発明が適用される記録ヘッドの第２例を示す断面図である。
【図６】本発明が適用される記録ヘッドの第３例を示す断面図である。
【図７】従来の記録ヘッドを示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  ヘッド本体，１０  ノズルプレート，１１  流路形成基板，１２  振動板，１３  島部，１４  圧電振動子，１５  ノズル開口，１６  ヘッドケース，１７  インク貯留室，１８  インク供給路，１９  圧力発生室，２０  固定板，２１  収容空間，２２  フレキシブル回路板，２４  インク供給管，２５  ノズル列，２６  流路ユニット，２７  ヘッドカバー，３０  振動子ユニット，３２  スリット，３３  ヘッド基板，３４  露出穴，３５  開口，３６  接点（導電被覆層），３７  押付部材，３８  接着剤層，３９  回路パターン，４０  シール部材，４１  確認窓，４２  シール部，４３  連通口，４４  流路，４５  インク供給ユニット，５０  ノズルプレート，５１  ノズル開口，５２  圧力発生室，５３  インク貯留室，５４  流路形成基板，５６  振動板，５７  流路ユニット，５８  圧電振動子，５９  ヘッドケース，６０  ヘッド基板，６１  フレキシブル回路板，６２  開口部，６３  インク供給管，６４  露出穴
【図１】
2006231584.tif 000003
【図２】
2006231584.tif 000004
【図３】
2006231584.tif 000005
【図４】
2006231584.tif 000006
【図５】
2006231584.tif 000007
【図６】
2006231584.tif 000008
【図７】
2006231584.tif 000009