(57)【要約】【課題】  平坦なビアホールを備えた多層プリント配線板の提供。【解決手段】  複数の金属箔と導体層を交互に積層してなる多層プリント配線板であって、第一の絶縁層に設けられた層間接続ビアパッドと配線回路と第二の絶縁層の層間接続ビア底部パッドが同一表面層に設けられ、かつ少なくとも当該層間接続ビアパッドと第二の絶縁層層間接続ビア底部パッドの厚みが同じであることを特徴とする多層プリント配線板。【選択図】  図１
2006186029.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の絶縁層と金属箔を交互に積層してなる多層プリント配線板であって、第一の絶縁層に設けられた層間接続ビアパッドと配線回路と第二の絶縁層の層間接続ビア底部パッドが同一表面層に設けられ、かつ少なくとも当該層間接続ビアパッドと第二の絶縁層層間接続ビア底部パッドの厚みが同じであることを特徴とする多層プリント配線板。
【請求項２】
前記第一の絶縁層の層間接続ビアパッドと第二の絶縁層の層間接続ビア底部パッドが、金属箔−バリア層−金属めっきからなることを特徴とする請求項１記載の多層プリント配線板。
【請求項３】
前記バリア層が、金属箔と同種の無電解めっき−電解ニッケルめっき、金属箔と同種の無電解めっき−電解銀めっき又は金属箔と同種の無電解めっき−電解錫めっきからなることを特徴とする請求項２記載の多層プリント配線板。
【請求項４】
前記バリア層が、無電解ニッケルめっき、無電解銀めっき又は無電解錫めっきからなることを特徴とする請求項２記載の多層プリント配線板。
【請求項５】
前記第一の絶縁層の層間接続ビアパッドと第二の絶縁層の層間接続ビア底部パッドが、金属箔−金属箔と同種の無電解めっき−金属箔と同種の電解めっきからなることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項記載のプリント配線板。
【請求項６】
表裏に金属箔を備えた絶縁基板を用意し、該絶縁基板の少なくとも一方の面に第一の絶縁層と金属箔を積層して回路形成を施す工程と、層間接続用非貫通孔を形成する工程と、略全面にバリア層を形成する工程と、略全面に金属めっきを形成する工程と、層間接続ビアパッド部と上層の層間絶縁層の層間接続ビア底部パッドにエッチングレジストを形成する工程と、前記金属めっきをエッチングして余分な金属めっきを除去する工程と、エッチングレジストを剥離する工程と、露出したバリア層を除去する工程と、第二の絶縁層と金属層を形成する工程と、回路形成する工程と、層間接続用非貫通孔を形成する工程と、略全面にバリア層を形成する工程と、略全面に金属めっきを形成する工程と、最外層の回路形成として、層間接続ビアパッド部にエッチングレジストを形成する工程と、余分な金属めっきを除去する工程と、エッチングレジストを剥離する工程と、バリア層を除去する工程とを有することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
【請求項７】
前記略全面に形成されたバリア層を、金属箔と同種の無電解めっき−電解ニッケルめっき、金属箔と同種の無電解めっき−電解銀めっき又は金属箔と同種の無電解めっき−電解錫めっきにて形成することを特徴とする請求項６記載の多層プリント配線板の製造方法。
【請求項８】
前記略全面に形成されたバリア層を、無電解ニッケルめっき、無電解銀めっき又は無電解錫めっきにて形成することを特徴とする請求項６記載の多層プリント配線板の製造方法。
【請求項９】
前記層間接続用の非貫通孔をレーザにて形成することを特徴とする請求項６〜８の何れか１項記載の多層プリント配線板の製造方法。
【請求項１０】
前記層間接続用の非貫通孔を露光・現像にて形成することを特徴とする請求項６〜８の何れか１項記載の多層プリント配線板の製造方法。
【請求項１１】
表裏に金属箔を備えた絶縁基板を用意し、該絶縁基板に回路形成を施す工程と、層間接続用非貫通孔を形成する工程と、略全面に無電解金属めっきを形成する工程と、略全面に電解金属めっきを形成する工程と、層間接続ビアパッド部と上層の層間絶縁層の層間接続ビア底部パッドにエッチングレジストを形成する工程と、前記金属めっきをエッチングして余分な金属めっきを除去する工程と、エッチングレジストを剥離する工程と、更に絶縁層と金属層を形成する工程と、回路形成する工程と、層間接続用非貫通孔を形成する工程と、略全面に無電解金属めっきを形成する工程と、略全面に電解金属めっきを形成する工程と、最外層の回路形成として、層間接続ビアパッド部にエッチングレジストを形成する工程と、余分な金属めっきを除去する工程と、エッチングレジストを剥離する工程とを有することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
【請求項１２】
前記層間接続用の非貫通孔をレーザにて形成することを特徴とする請求項１１記載の多層プリント配線板の製造方法。
【請求項１３】
前記層間接続用の非貫通孔を露光・現像にて形成することを特徴とする請求項１１記載の多層プリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、層間接続ビアの接続信頼性が高く、かつ高密度配線が可能な多層プリント配線板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板の回路形成方法は、銅箔などの金属導体層上にエッチングレジストを形成し、当該エッチングレジストから露出した金属導体層をエッチング処理して配線回路を形成するサブトラクティブ法と、回路と逆パターンのめっきレジストを形成し、当該めっきレジストの開口部にめっきを析出させて配線回路を形成するアディティブ法の２つがある。
【０００３】
サブトラクティブ法はアディティブ法と比較して製造工程が容易なことから、安価に製造することが可能であるが、貫通スルーホール及びブラインドバイアホール等（以降、ビアホールと呼ぶことにする）の形成の際、絶縁基板全体に無電解めっき及び電解めっき処理を施す必要があるため、エッチングする導体層の厚みは金属箔＋めっきとなり、良好な微細配線回路例えば、Ｌ／Ｓ（配線回路幅／配線回路間隙）が７５μｍ／７５μｍ以下の配線回路の形成にはあまり向いていない工法であった。
【０００４】
これに対し、アディティブ法は、微細配線回路形成に有利であるが、絶縁層にめっきを析出して配線回路を形成するため、サブトラクティブ法のように、初めから絶縁層に金属箔が積層された絶縁基板を加工するのと比較して、配線回路の密着性に劣る等の不具合を有していた。
【０００５】
更に、プリント配線板の設計上、配線回路は基板面内に不均一に形成されるため、アディティブ法のように、選択めっきで配線回路を形成すると、配線回路が粗な部分では必要以上に電流が集中し、配線回路の厚みにばらつきが生じ、インピーダンスの整合が取り難いなどの問題も生じていた。
【０００６】
このような不具合を解決するためのプリント配線板の製造方法としては、例えば次のような技術が既に報告されている（特許文献１参照）。
【０００７】
すなわち、予め金属箔の部分で配線回路を形成し、次いで、少なくともバリア層を略全面に形成してから非貫通孔を形成した後、ビアホールを含む略全面に無電解めっき、次いで電解めっきを施してビアホールを形成する方法である。これにより微細配線回路と同時に接続信頼性の高いビアホールを形成することができる。
【特許文献１】特開２００４−３１９９９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の従来法においては、特に、微細配線回路の配線回路幅／配線回路間隙が、３０μｍ、２０μｍ、１０μｍになるにつれ金属箔厚も、１２μｍ、９μｍ、７μｍの材料が使用される。
【０００９】
而して、この方法においては、配線回路を微細化し金属箔の厚みを薄くすると上層に絶縁層を重ね、さらに配線回路及びビアホールを接続することになるが、新たに配線回路を上層の絶縁層ビアホール底部パッドとして使用すると、金属箔の厚みが薄いため、例えばレーザ加工にて非貫通孔を形成するとビアホール底部パッドを突き抜けて非貫通孔が形成できなくなると言う問題が発生していた。すなわち、図４記載のＣのような陥没が形成され、層間接続が保てなくなるのが実状であった。
【００１０】
また、ビアホール上にビアホールを重ねる場合と金属箔上にビアホールを形成するのでは各層の金属膜の高さが異なるため、例えば、金属箔上にビアホールを設けた場合、ビアホール内に十分に金属めっきが充填されず凹み部分が出てしまうと言う問題も発生していた。すなわち、図５記載のＤのような凹みが発生してしまうのが実状であった。
【００１１】
本発明は、上記の如く従来の問題と実状に鑑み、平坦なビアホールを備えた多層プリント配線板を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、複数の絶縁層と金属箔を交互に積層してなる多層プリント配線板であって、第一の絶縁層に設けられた層間接続ビアパッドと配線回路と第二の絶縁層の層間接続ビア底部パッドが同一表面層に設けられ、かつ少なくとも当該層間接続ビアパッドと第二の絶縁層層間接続ビア底部パッドの厚みが同じ多層プリント配線板により上記課題を解決したものである。
【００１３】
斯かる構成により、ビアホールの非貫通孔の深さが同じになるため、複数の絶縁層間で層間の接続ビアも平坦になる。
【００１４】
また、本発明は、前記第一の絶縁層の層間接続ビアパッドと第二の絶縁層の層間接続ビア底部パッドが、金属箔−バリア層−金属めっきからなる多層プリント配線板により上記課題を解決したものである。
【００１５】
斯かる構成により、配線回路は金属箔による微細回路の形成が可能となり、また層間接続ビアパッドの厚みと上層の絶縁層の層間接続ビア底部の厚みが同じになる結果、ビアホールの接続信頼性が向上する。
【００１６】
また、本発明は、前記のバリア層が、金属箔と同種の無電解めっき−電解ニッケルめっき、金属箔と同種の無電解めっき−電解銀めっき又は金属箔と同種の無電解めっき−電解錫めっきからなる多層プリント配線板により上記課題を解決したものである。
【００１７】
斯かる構成により、金属箔で形成した微細回路がバリア層で保護されるので、配線回路のばらつきがなくなり、インピーダンスコントロールし易くなる。
【００１８】
また、本発明は、前記のバリア層が無電解ニッケルめっき、無電解銀めっき又は無電解錫めっきからなる多層プリント配線板により上記課題を解決したものである。
【００１９】
斯かる構成により、金属箔で形成した微細回路のバリア層による保護がより強化され、配線回路のばらつきがなくなり、インピーダンスコントロールをよりし易くなる。
【００２０】
また、本発明は、前記第一の絶縁層の層間接続ビアパッドと第二の絶縁層の層間接続ビア底部パッドが、金属箔−金属箔と同種の無電解めっき−金属箔と同種の電解めっきからなる多層プリント配線板により上記課題を解決したものである。
【００２１】
斯かる構成により、めっきレジストをバリア層の代わりとして使用し得るので、配線回路のばらつきがなくなり、インピーダンスコントロールをよりし易くなる。
【００２２】
また、本発明は、表裏に金属箔を備えた絶縁基板を用意し、該絶縁基板の少なくとも一方の面に第一の絶縁層と金属箔を積層して回路形成を施す工程と、層間接続用非貫通孔を形成する工程と、略全面にバリア層を形成する工程と、略全面に金属めっきを形成する工程と、層間接続ビアパッド部と上層の層間絶縁層の層間接続ビア底部パッドにエッチングレジストを形成する工程と、前記金属めっきをエッチングして余分な金属めっきを除去する工程と、エッチングレジストを剥離する工程と、露出したバリア層を除去する工程と、第二の絶縁層と金属層を形成する工程と、回路形成する工程と、層間接続用非貫通孔を形成する工程と、略全面にバリア層を形成する工程と、略全面に金属めっきを形成する工程と、最外層の回路形成として、層間接続ビアパッド部にエッチングレジストを形成する工程と、余分な金属めっきを除去する工程と、エッチングレジストを剥離する工程と、バリア層を除去する工程とを有する多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。
【００２３】
斯かる製造方法によれば、ビアホールの非貫通孔の深さが同じになるため、複数の絶縁層間で層間の接続ビアも平坦に形成することができる。
【００２４】
また、本発明は、前記略全面に形成されたバリア層を、金属箔と同種の無電解めっき−電解ニッケルめっき、金属箔と同種の無電解めっき−電解銀めっき又は金属箔と同種の無電解めっき−電解錫めっきにて形成する多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。
【００２５】
斯かる製造方法によれば、金属箔による微細回路がバリア層で保護されるので容易に微細回路と金属めっきによるビアホールの形成が可能となる。
【００２６】
また、本発明は、前記略全面に形成されたバリア層を、無電解ニッケルめっき、無電解銀めっき又は無電解錫めっきにて形成する多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。
【００２７】
斯かる製造方法によれば、金属箔とは、異種金属でバリア層を形成しているので、選択エッチングが可能になり、サブトラクティブ法による微細回路を容易に形成できる。
【００２８】
また、本発明は、前記層間接続用の非貫通孔をレーザにて形成する多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。
【００２９】
斯かる製造方法によれば、非貫通孔の底部パッドに金属めっきを残すことで、孔あけ加工を効率良く行なうことができる。
【００３０】
また、本発明は、前記層間接続用の非貫通孔を露光・現像にて形成する多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。
【００３１】
斯かる製造方法によれば、孔数が多い場合でも加工時間が短く、生産性が向上する。
【００３２】
また、本発明は、表裏に金属箔を備えた絶縁基板を用意し、該絶縁基板に第一の絶縁層と金属箔を積層して回路形成を施す工程と、層間接続用非貫通孔を形成する工程と、略全面に無電解金属めっきを形成する工程と、略全面に電解金属めっきを形成する工程と、層間接続ビアパッド部と上層の層間絶縁層の層間接続ビア底部パッドにエッチングレジストを形成する工程と、前記金属めっきをエッチングして余分な金属めっきを除去する工程と、エッチングレジストを剥離する工程と、第二の絶縁層と金属層を形成する工程と、回路形成する工程と、層間接続用非貫通孔を形成する工程と、略全面に無電解金属めっきを形成する工程と、略全面に電解金属めっきを形成する工程と、最外層の回路形成として、層間接続ビアパッド部にエッチングレジストを形成する工程と、余分な金属めっきを除去する工程と、エッチングレジストを剥離する工程とを有することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。
【００３３】
斯かる製造方法によれば、ビアホールの非貫通孔の深さが同じになるため、複数の絶縁層間で層間の接続ビアも平坦に形成することができる。
【００３４】
また、本発明は、前記層間接続用の非貫通孔をレーザにて形成する多層プリント配線板の製造方法。
【００３５】
斯かる製造方法によれば、非貫通孔の底部パッドに金属めっきを残すことで、孔あけ加工を効率良く行なうことができる。
【００３６】
また、本発明は、前記層間接続用の非貫通孔を露光・現像にて形成する多層プリント配線板の製造方法により上記課題を解決したものである。
【００３７】
斯かる製造方法によれば、孔数が多い場合でも加工時間が短く、生産性が向上する。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、配線回路は、金属箔のみで導体厚を薄くしてサブトラクティブ法により微細回路が形成できると共に、層間接続ビアホールパッド及び上層の層間接続ビア底部パッドの厚みを同じにすることで、平坦なビアホールを備えた多層プリント配線板を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
図１は本発明の第一の実施の形態の概略断面説明図で、ビルドアップ層２層のスタックド構造の多層プリント配線板１の例を示している。
この図１において、下層配線回路２の上には第一の絶縁層３及び金属箔が積層されて第一の配線回路４が形成されている。ここで金属箔としては、銅箔、アルミ箔、銀箔、錫箔などが挙げられるが安価で一般的に扱い易い銅箔を使用するのが好ましい。当該第一の配線回路４（金属箔のみで形成）は、第一の層間接続ビア５のパッド部及び第二の絶縁層７に形成される第二の層間接続ビア底部６のパッド部においては、その上面にバリア層５ａ、６ａが形成されていると共に、更に金属めっき５ｂ、６ｂが形成され、それぞれ第一絶縁層層間ビアパッドＡ及び第二絶縁層層間ビア底部パッドＢが構成されている。ここで当該第一の配線回路４と、第一絶縁層層間接続ビアパッドＡと、第二絶縁層層間ビア底部パッドＢは同一表面層に設けられ、かつ第一絶縁層層間ビアパッドＡと第二絶縁層層間ビア底部パッドＢの厚みは同じになっており、これにより第二の層間接続ビア１０の凹みを押さえることができるとともに配線回路４に使用している金属箔が薄くとも、例えばレーザ加工で非貫通孔を形成する際に層間接続底部が陥没する問題も解決できる。
第一の配線回路４面には第二の絶縁層７が金属箔と共に積層されて第二の配線回路８（金属箔のみで形成）と第二の層間接続ビア９、１０が形成されている。当該層間接続ビア９、１０は、バリア層９ａ、１０ａと金属めっき９ｂ、１０ｂから構成されている。
【００４０】
ここでバリア層５ａ、６ａ並びに９ａ、１０ａとしては、金属箔と同種の無電解金属めっき−電解ニッケルめっき、金属箔と同種の無電解めっき−電解銀めっき、金属箔と同種の無電解めっき−電解錫めっき等からなるものが挙げられる。あるいはまた、無電解ニッケルめっき、無電解銀めっき、無電解錫めっき、めっきレジストなどからなるものであってもよい。
【００４１】
次に、図２は本発明の第二の実施の形態の概略断面説明図で、基本的には図１と同一であるが、第一の層間接続ビアホールと第二の層間接続ビアホールの接続構造がスタガードビア構造の多層プリント配線板１の例を示している。
因に、スタックド構造は、第一と第二の層間接続ビアホールが上下直上に形成されたものであるが、スタガード構造は、第一と第二の層間接続ビアが階段状に形成されたものである。
【００４２】
尚、前記図１及び図２においては、層間接続ビア５、９、１０が、金属めっきで充填されている例を挙げて説明したが、非貫通孔の内壁のみに金属めっきを析出させてＢＶＨ凹部を形成し、該ＢＶＨ凹部には、絶縁層の樹脂や導電性ペーストなどを充填して実施することもできる。また図１、図２においては、基本構造の片側に、２層に形成したビルドアップ層について説明したが、本発明は３層、４層それ以上の構造もしくは両側ビルドアップ構造で実施できることは言うまでもない。
【００４３】
続いて、本発明の製造方法について図３を用いて説明する。
【００４４】
まず、図３（ａ）に示すように、下層配線回路２１に第一の絶縁層２２と金属箔２３を積層する。次いで、図３（ｂ）に示すように、金属箔２３に配線回路２４をサブトラクティブ法により形成する。次いで、図３（ｃ）に示すように、層間接続用の非貫通孔２５をレーザ加工あるいは感光性絶縁樹脂を露光・現像にて形成し、デスミア処理する。次いで、図３（ｄ）に示すように、略全面にバリア層２６を形成する。ここでバリア層２６は、金属箔２３と同種の無電解めっき−電解ニッケルめっき、金属箔２３と同種の無電解めっき−電解銀めっきあるいは金属箔２３と同種の無電解金属めっき−電解錫めっきなどによって形成される。あるいはまた、無電解ニッケルめっき、無電解銀めっき、無電解錫めっき、めっきレジストなどによって形成することもできる。
【００４５】
次いで、図３（ｅ）に示すように、略全面に電解金属めっき２７を施す。ここで電解金属めっき２７は、一般的に使用されている銅めっきが好ましい。次いで、図３（ｆ）に示すように、エッチングレジスト２８を写真法にて形成する。ここで使用されるエッチングレジストとしては、ドライフィルム、感光性の液状樹脂、電着塗膜などが挙げられる。
【００４６】
次いで、図３（ｇ）に示すように、エッチングにて余分な電解金属めっき２７を除去した後、エッチングレジスト２８を剥離する。次いで、図３（ｈ）に示すように、露出したバリア層２６をエッチングにて除去して、配線回路２４（金属箔２３）、バリア層２６及び電解金属めっき２７から形成された層間接続ビアパッドＡの厚みと、同じく配線回路２４（金属箔２３）、バリア層２６及び電解金属めっき２７から第二絶縁層に形成された層間接続ビア底部パッドＢの厚みを同じにする。これにより第二の層間接続ビアが凹みなく平坦に形成することが可能になる。因に、当該ＡとＢの厚みを同じにしないと電解金属めっきの工程で凹みを無くすために余分な金属めっきを析出させなければならず生産性が劣る問題が発生する。
【００４７】
次いで、図３（ｉ）に示すように、第二の絶縁層２９と金属箔を重ね積層する。次いで、図３（ｊ）に示すように、第二の配線回路３０を形成する。次いで、図３（ｋ）に示すように、第二の絶縁層２９に非貫通孔２５を形成し、略全面にバリア層２６を形成する。次いで、図３（ｌ）に示すように、略全面に電解金属めっき２７を形成する。次いで、図３（ｍ）に示すように、エッチングレジスト２８を写真法にて形成する。次いで、図３（ｎ）に示すように、余分な電解金属めっき２７をエッチングにて除去し、エッチングレジスト２８を剥離する。次いで、図３（ｏ）に示すように、露出したバリア層２６をエッチング除去することにより本発明の多層プリント配線板３１が完成する。尚、図示しないが、最外層の配線回路には、部品実装の際にはんだからの保護のためのソルダーレジストが形成される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第一の実施の形態を示す多層プリント配線板の概略断面図説明。
【図２】本発明の第二の実施の形態を示す多層プリント配線板の概略断面図説明。
【図３】本発明の製造方法を示す概略断面工程説明図。
【図４】従来の多層プリント配線板を示す概略断面説明図。
【図５】他の従来の多層プリント配線板を示す概略断面説明図。
【符号の説明】
【００４９】
１、３１：多層プリント配線板
２、２１：下層配線回路
３、２２：第一の絶縁層
４、２４：第一の配線回路（金属箔）
５、９、１０：層間接続ビア
５ａ、６ａ、９ａ、１０ａ、２６：バリア層
５ｂ、６ｂ、９ｂ、１０ｂ、２７：電解金属めっき
６：第二絶縁層層間接続ビア底部
７、２９：第二の絶縁層
８、３０：第二の配線回路（金属箔）
２３：金属箔
２５：非貫通孔
２８：エッチングレジスト
Ａ：第一絶縁層層間接続ビアパッド
Ｂ：第二絶縁層層間接続ビア底部パッド
Ｃ：第二絶縁層層間接続ビア底部パッドの陥没
Ｄ：層間接続ビアの凹み
【図１】
2006186029.tif 000003
【図２】
2006186029.tif 000004
【図３】
2006186029.tif 000005
【図４】
2006186029.tif 000006
【図５】
2006186029.tif 000007