(57)【要約】      （修正有）【課題】空間照度の絶対値を測定できる空間照度測定装置を提供する。【解決手段】少なくとも一方の端部３ｂ側が棒状に形成され、他方の端部側が紫外線の受光部３ａで、受光した紫外線を可視光に変換する波長変換素子３、素子３を内包した紫外線透過性容器５、素子３からの可視光に基づいて紫外線の照度または照度に対応する値を検出する検出部、素子３の棒状に形成された端部３ｂと光学的に接続されて素子３からの可視光を検出部に伝達する光ファイバー７を備え、容器５は一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、素子３の受光部３ａは容器５の閉塞された端部側に位置し、素子３の棒状に形成された端部３ｂは容器５の開口された端部側に位置しており、容器５の開口された端部は光ファイバー７の一方の端部が着脱可能に取り付けられた閉塞部材９によって閉塞されており、素子３も閉塞部材９に着脱可能に取り付けられている構成とする。【選択図】図１
2006145236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の端部側が棒状に形成され、他方の端部側が紫外線の受光部となり、該受光部で受光した紫外線を可視光に変換する波長変換素子と、該波長変換素子を内包した紫外線透過性を有する筒状の容器と、前記波長変換素子からの可視光に基づいて紫外線の照度または照度に対応する値を検出する検出部と、前記波長変換素子の棒状に形成された一方の端部と光学的に接続されて前記波長変換素子からの可視光を前記検出部に伝達する光ファイバーとを備え、
前記容器は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、前記波長変換素子の受光部は、前記容器の閉塞された端部側に位置し、前記波長変換素子の棒状に形成された端部は、前記容器の開口された端部側に位置しており、該容器の開口された端部は、前記光ファイバーの一方の端部が着脱可能に取り付けられた閉塞部材によって閉塞されており、前記波長変換素子も該閉塞部材に着脱可能に取り付けられている空間照度測定装置。
【請求項２】
前記容器が、紫外線透過性を有し、照度を測定する紫外線ランプを挿入した管に対応する形状の管に挿入されていることを特徴とする請求項１に記載の空間照度測定装置。
【請求項３】
前記容器内、または、該容器が、紫外線透過性を有し、照度を測定する紫外線ランプに対応する形状の管に挿入されている場合、前記容器内及び前記管内に、空気よりも屈折率の大きい媒質が充填されていることを特徴とする請求項１または２に記載の空間照度測定装置。
【請求項４】
複数の紫外線ランプと、該複数の紫外線ランプに囲まれた位置に設置された空間照度測定装置とを備え、該空間照度測定装置として請求項１乃至３のいずれか１項に記載の空間照度測定装置を備えたことを特徴とする紫外線処理装置。
【請求項５】
少なくとも一方の端部が棒状に形成され、他方の端部が紫外線の受光部となり、該受光部で受光した紫外線を可視光に変換する波長変換素子と、該波長変換素子を内包した紫外線透過性を有する筒状の容器と、前記波長変換素子からの可視光に基づいて紫外線の照度または照度に対応する値を検出する検出部と、前記波長変換素子の棒状に形成された一方の端部と光学的に接続されて前記波長変換素子からの可視光を前記検出部に伝達する光ファイバーとを備え、前記容器は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、前記波長変換素子の受光部は、前記容器の閉塞された端部側に位置し、前記波長変換素子の棒状に形成された端部は、前記容器の開口された端部側に位置しており、該容器の開口された端部は、前記光ファイバーの一方の端部に着脱可能に取り付けられた閉塞部材によって閉塞されており、前記波長変換素子も該閉塞部材に着脱可能に取り付けられている空間照度測定装置を用いた空間照度の校正方法であり、
該空間照度測定装置を囲んだ状態で複数の校正用の紫外線ランプを設置して、該複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する照度または照度に対応する数値を前記検出部で検出し、さらに、前記波長変換素子及び前記光ファイバーを取り外した状態の前記閉塞部材を前記容器に取り付けた状態で、前記容器内に光感受性化合物を予め設定した量入れ、前記複数の校正用の紫外線ランプを前記予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する紫外線吸収による前記光感受性化合物の壊変量に基づいて前記各電力に対応する照度の絶対値を検出し、前記検出部で検出した数値と前記光感受性化合物の壊変量に基づいて検出した照度の絶対値との関係を求めることを特徴とする空間照度の校正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空間照度測定装置及び空間照度の校正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
照度を測定するとき、受光素子としてシリコンフォトダイオードや光電管などを備えた照度測定装置を用いるのが一般的であった。しかし、受光素子としてシリコンフォトダイオードや光電管などを用いた照度測定装置よりも、紫外線波長域の光の照度を精度高く測定できる照度測定装置として、板状に形成した蛍光材料を含む波長変換素子を用い、この波長変換素子の平板面を紫外線の受光面として紫外線を可視光に変換して照度を測定する照度測定装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。しかし、このような照度測定装置では、平面に入射する光束、つまり、平面照度Ｅ＝ｄΦ／ｄＡを計測するものである。ここで、ｄΦは平面ｄＡに入射する光束を計測するものである。このため、光度標準光源を用いて校正できる利点があるが、空間照度を測定することはできない。
【０００３】
これに対して、空間照度を測定できる空間照度測定装置として、蛍光材料を含む波長変換素子を棒状やＵ字形状した空間照度測定装置が提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３１７４６３号公報（第２−３頁、第１図）
【特許文献２】実開平５−９４７３２号公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献３】特開２００１−２１４１３号公報（第２−４頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、波長変換素子を棒状やＵ字形状した空間照度測定装置では、空間照度の相対値を測定することは可能であるが、空間照度の校正方法が無いため、空間照度の絶対値を測定することができないという問題がある。このため、空間照度の絶対値を測定できる空間照度測定装置が求められている。
【０００６】
本発明の課題は、空間照度の絶対値を測定することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の空間照度測定装置は、少なくとも一方の端部側が棒状に形成され、他方の端部側が紫外線の受光部となり、この受光部で受光した紫外線を可視光に変換する波長変換素子と、この波長変換素子を内包した紫外線透過性を有する筒状の容器と、波長変換素子からの可視光に基づいて紫外線の照度または照度に対応する値を検出する検出部と、波長変換素子の棒状に形成された一方の端部と光学的に接続されて波長変換素子からの可視光を検出部に伝達する光ファイバーとを備え、容器は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、波長変換素子の受光部は、容器の閉塞された端部側に位置し、波長変換素子の棒状に形成された端部は、容器の開口された端部側に位置しており、この容器の開口された端部は、光ファイバーの一方の端部が着脱可能に取り付けられた閉塞部材によって閉塞されており、波長変換素子もこの閉塞部材に着脱可能に取り付けられている構成とすることにより上記課題を解決する。
【０００８】
このような構成とすることにより、容器内に光感受性化合物を予め設定した量入れ、紫外線を照射したときのこの光感受性化合物の壊変量を測定することにより空間照度の校正を行うことが可能となる。したがって、空間照度の絶対値を測定できる。
【０００９】
また、容器が、紫外線透過性を有し、照度を測定する紫外線ランプを挿入した管に対応する形状の管に挿入されている構成とする。これにより、紫外線ランプを挿入した管の表面に付着した汚れを除去するワイパー機構を利用して、容器が挿入された管の表面に付着した汚れを除去できる。したがって、容器の外表面に汚れが付着することにより、空間照度の絶対値の測定精度が低下するのを抑制できる。
【００１０】
さらに、空気より屈折率の大きい媒質が、容器内、または、容器が紫外線透過性を有する管に挿入されている場合は、容器内及び管内に充填された構成とする。紫外線は、より密な媒質である容器や管の壁からより粗な媒質である容器や管内の空気に進むとき、容器や管の壁の面に対する入射角が所定の角度以上となる紫外線は、容器や管の壁内で全反射するため、容器や管内に進入しない。このため、波長変換素子に全ての紫外線が入射し難くいため、必要な測定精度が得られない場合がある。しかし、容器内、または、容器が紫外線透過性を有する管に挿入されている場合は容器内及び管内に、空気より屈折率の大きい媒質が充填されていれば、全反射を抑制できるため、ほとんどの紫外線を容器内に進入させることができ、空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。
【００１１】
さらに、本発明の紫外線処理装置は、複数の紫外線ランプと、これら複数の紫外線ランプに囲まれた位置に設置された空間照度測定装置とを備え、この空間照度測定装置として上記のいずれかの空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置。このような構成の紫外線処理装置とすれば、空間照度の絶対値を測定できることにより、紫外線処理装置の紫外線の照射処理の精度を向上できる。
【００１２】
また、本発明の空間照度の校正方法は、上記のような構成の空間照度測定装置を囲んだ状態で複数の校正用の紫外線ランプを設置して、これら複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する照度または照度に対応する数値を検出部で検出し、さらに、波長変換素子及び光ファイバーを取り外した状態の閉塞部材を容器に取り付けた状態で、容器内に光感受性化合物を予め設定した量入れ、複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する紫外線吸収による光感受性化合物の壊変量に基づいて各電力に対応する照度の値を検出し、検出部で検出した数値と光感受性化合物の壊変量に基づいて検出した照度の値との関係を求める校正方法とする。これにより、空間照度の校正が可能となるため、空間照度の絶対値を測定できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、空間照度の絶対値を測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を適用してなる空間照度測定装置及び空間照度の校正方法の一実施形態について図１乃至図８を参照して説明する。図１は、本発明を適用してなる空間照度測定装置の波長変換素子側の部分の概略構成を示す断面図である。図２は、本発明を適用してなる空間照度測定装置の検出部側の部分の概略構成を示す断面図である。図３は、本発明を適用してなる空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置の概略構成を示す断面図である。図４は、本発明を適用してなる紫外線処理装置の概略構成を示す上面図である。図５は、本発明を適用してなる紫外線処理装置のワイパー機構の、保護管を払拭するワイパー部分の概略構成を示す断面図である。図６は、本発明を適用してなる空間照度測定装置において、校正時に容器内に光感受性化合物を入れた状態を示す断面図である。図７は、図６のVII?VII線からの矢視断面図である。図８は、本発明を適用してなる空間照度の校正方法における光感受性化合物によって測定した空間照度と光電変換アンプ電圧の測定値との関係の一例を示す図である。
【００１５】
本実施形態の空間照度測定装置１は、図１に示すように、紫外線を可視光に変換する波長変換素子３、波長変換素子３を内包する容器５、波長変換素子３からの可視光を伝達するための光ファイバー７、光ファイバー７の波長変換素子３と接続される側の端部に取り付けられた閉塞部材９などを備えている。紫外線センサー部２を構成する。さらに、空間照度測定装置１は、図２に示すように、光ファイバー７の波長変換素子３と接続される側の端部とは反対側の端部が接続され、光ファイバー７で伝達されてきた可視光を、この可視光の強度に対応する電圧値、つまり、紫外線の照度に対応する電圧値に変換する光電変換アンプ１１などを備えている。この光電変換アンプ１１が、本実施形態における紫外線の照度または照度に対応する値を検出する検出部となる。また、空間照度測定装置１は、図２及び図３に示すように、波長変換素子３、容器５、そして、閉塞部材９などからなるセンサー部１２、さらに、光ファイバー７などを挿入した状態で設置される保護管１３なども備えている。
【００１６】
波長変換素子３は、図１に示すように、一方の端部が球状に形成されて受光部３ａになっており、この球状の受光部３ａから棒状の光伝達部３ｂが伸び、この光伝達部３ｂの端部つまり波長変換素子３の他方の棒状の端部が光ファイバー７の端部と光学的に接続されている。本実施形態の波長変換素子３は、１種または複数の蛍光材料を石英ガラスなどに混合した蛍光ガラスを主材料として形成したものである。波長変換素子３に含まれている蛍光材料は、紫外線ランプからの紫外線を可視光に変換する、例えば遷移金属蛍光体、希土類蛍光体、芳香族化合物、タングステン酸塩など、具体的には、例えばナフタレン、アントラセン、タングステン酸マグネシウム、硫化亜鉛、イットリウム化合物などの種々の蛍光材料から適宜選択することができる。
【００１７】
なお、波長変換素子は、蛍光材料をアクリルやポリカーボネートなどの合成樹脂などを混合して形成することもできる。さらに、波長変換素子は、蛍光材料が混合されていない石英ガラス製または合成樹脂製の波長変換素子基材の表層部に蛍光材料が混合された層を形成することや、また、これらの波長変換素子基材の表面に蛍光材料を塗布することなどで形成することもできる。また、波長変換素子の受光部と光伝達部は、同じ材料で形成することもできるし、例えば受光部は蛍光ガラスで、光伝達部は光学ガラスでといったように、異なる材料で形成することもできる。
【００１８】
容器５は、一方の端部が開口し、他方の端部が閉塞された円筒状の容器であり、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン樹脂などで形成されている。本実施形態の容器５では、閉塞された側の端部は半球状に形成されている。また、容器５の大きさは、波長変換素子３少なくとも受光部３の部分を内包可能な大きさであればよいが、本実施形態では、波長変換素子３全体を内包可能な大きさになっている。
【００１９】
光ファイバー７は、透明なガラス製または合成樹脂製であり、光ファイバー７を保護する保護チューブ１５で覆われて光ファイバーコード１６となっている。保護チューブ１５の一方の端部つまり光ファイバー７の一方の端部には閉塞部材９が、保護チューブ１５の他方の端部つまり光ファイバー７の他方の端部には、図２に示すように、光電変換アンプ１１に光学的に接続するための入射フェルール１７が、各々取り付けられている。本実施形態の保護チューブ１５は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレス製である。しかし、光ファイバーコード１６を形成するための保護チューブは、光ファイバー７を保護すると共に紫外線耐性や防食性などを有していれば、様々な金属製チューブまたは合成樹脂製チューブなどを用いることができる。
【００２０】
閉塞部材９は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、円柱状の部分の一方の面の中央部分に２段階に細い径となる円柱状の突起９ａ、９ｂが、他方の面に容器５の開口に対応する形状の円環状の溝９ｃと、この円環状の溝９ｃの中央部分に円形の有底穴９ｄとが、各々円柱状の部分の各面と同軸で形成されている。また、閉塞部材９の突起９ｂの端面にも、この端面の中央部分に、有底穴９ｄに向かう有底穴９ｅが円柱状の部分の面と同軸で形成されている。さらに、閉塞部材９の有底穴９ｄの底と有底穴９ｅの底となる壁には、波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂを挿入可能な貫通穴９ｆが形成されている。さらに、閉塞部材９の有底穴９ｄの内周面及び有底穴９ｅの内周面には、各々、ねじが切られている。
【００２１】
波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂには、波長変換素子３を閉塞部材９に取り付けるためのクランプ部材１９が取り付けられている。クランプ部材１９は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、円盤状の部分の両面の中央部に略円柱状の突起１９ａ、１９ｂが、円盤状の部分の各突起１９ａ、１９ｂが形成された面と同軸で形成された形状になっている。クランプ部材１９の突起１９ａの端面から突起１９ｂの端面側にかけての中心軸部分には、貫通穴１９ｃが穿設されている。クランプ部材１９の貫通穴１９ｃは、直径が波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂと同じになっており、波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂがクランプ部材１９の貫通穴１９ｃに突起１９ｂ側から挿入された状態となっている。波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂの端部の端面は、クランプ部材１９の突起１９ａから突出している。
【００２２】
クランプ部材１９の突起１９ｂの端面には、貫通穴１９ｃよりも大きな径の有底穴１９ｄが、貫通穴１９ｃと同軸に形成されている。したがって、貫通穴１９ｃの突起１９ｂの端面側は、有底穴１９ｄの底面の中心部分に開口している。クランプ部材１９の突起１９ｂの外周面には、ねじが切られている。そして、クランプ部材１９の突起１９ｂの有底穴１９ｄに、波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂの外周面に密着するＯリング２１、クランプ部材１９の突起１９ｂに穿設された有底穴１９ｄの底面にＯリング２１を押しつけるための筒状のＯリング押さえ２３を順に挿入した状態で、クランプ部材１９の突起１９ｂの外周面に切られたねじに対応するねじが内周面に切られ、中心軸部分に貫通穴が形成された断面略凹状のクランプシールナット２５が螺合され、取り付けられている。したがって、波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂは、クランプシールナット２５の貫通穴、Ｏリング押さえ２３の貫通穴、Ｏリング２１の穴、そして、クランプ部材１９の貫通穴１９ｃに送通された状態でクランプ部材１９に固定されている。
【００２３】
一方、クランプ部材１９の突起１９ａは、閉塞部材９の有底穴９ｄに対応する形状に形成されており、突起１９ａの外周面には、閉塞部材９の有底穴９ｄの内周面に切られたねじに対応するねじが切られている。したがって、Ｏリング２１、Ｏリング押さえ２３、クランプシールナット２５を組み付けて波長変換素子３を固定したクランプ部材１９は、クランプ部材１９の突起１９ａを閉塞部材９の有底穴９ｄに螺合させることで閉塞部材９に着脱可能に取り付けられる。このように、波長変換素子３は、棒状の光伝達部３ｂで片持ち支持された状態で、閉塞部材９に着脱可能に取り付けられている。  
さらに、このようにクランプ部材１９を閉塞部材９に取り付けることにより、波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂの端面が閉塞部材９の貫通穴９ｆに挿入された状態となる。なお、波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂの端部の端面部分は、クランプ部材１９の突起１９ａから、閉塞部材９の貫通穴９ｆの長さの分だけ突出しているため、波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂは、閉塞部材９の中心軸に沿って延在し、波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂの端面は、閉塞部材９の有底穴９ｅの底面と同じ位置に来る。
【００２４】
容器５は、開口側の端部に、この開口側の端部の外周面を覆う略筒状のシールグラウンド２７が、この外周面に密着した状態で取り付けられている。シールグラウンド２７は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、容器５の開口側と反対側に位置する端部が鍔状に張り出した形状になっている。容器５の開口側の端部の端面は、シールグラウンド２７から突出した状態になっている。閉塞部材９に形成された容器５の開口に対応する形状の円環状の溝９ｃは、容器５の開口側の端部とシールグラウンド２７を嵌合可能な形状、大きさに形成されている。さらに、シールグラウンド２７の外周面及び閉塞部材９の円環状の溝９のシールグラウンド２７側の内周面には、互いに対応するねじが切られている。
【００２５】
そして、容器５は、容器５の開口側の端部のシールグラウンド２７から突出した部分の大きさに対応するＯリング２９をこの部分の外周面に装着した状態で、シールグラウンド２７の外周面のねじと閉塞部材９の円環状の溝９の内周面のねじとを螺合させることにより、容器５の開口側の端部とシールグラウンド２７が閉塞部材９の円環状の溝９ｃに嵌合され、片側封じ状態で閉塞部材９に着脱可能に取り付けられる。このとき、シールグラウンド２７の容器５の開口側の端面と閉塞部材９の円環状の溝９ｃの底面との間にＯリング２９が挟み込まれることにより、容器５は、閉塞部材９に気密に取り付けられた状態となる。なお、本実施形態では、容器５の内部には、乾燥空気又は窒素ガスが満たされた状態になっている。
【００２６】
光ファイバーコード１６の閉塞部材９側の端部、つまり、光ファイバー７の閉塞部材９側の端部には、保護チューブ１５を覆った状態で外周面にねじが切られた筒状のねじ部３１が設けられている。そして、保護チューブ１５で覆われた光ファイバー７の閉塞部材９側の端部の端面は、ねじ部３１から突出した状態になっている。本実施形態のねじ部３１は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有するステンレス製である。しかし、光ファイバーコード１６のねじ部は、外周面にねじを切ることができ、紫外線耐性や防食性などを有していれば、様々な金属または合成樹脂などを用いて形成することができる。
【００２７】
閉塞部材９に穿設された有底穴９ｅの内周面には、光ファイバーコード１６のねじ部３１に切られたねじに対応するねじが切られている。したがって、閉塞部材９の有底穴９ｅに光ファイバーコード１６のねじ部３１を螺合させることで、光ファイバーコード１６の端部つまり光ファイバー７の端部に閉塞部材９を取り付けることができる。このとき、光ファイバーコード１６のねじ部３１のねじが切られた外周面にシール材を塗布して閉塞部材９の有底穴９ｅに螺合する。これにより、容器５内へ湿気が侵入しないようシールした状態で光ファイバーコード１６の端部に閉塞部材９を取り付けることができる。なお、シール材を塗布する代わりにシールテープなどを巻くことなどもできる。また、このとき、光ファイバー７は、閉塞部材９の中心軸に沿って延在し、光ファイバー７の端面は、閉塞部材９の有底穴９ｅの底面と同じ位置に来る。
【００２８】
このように、閉塞部材９の有底穴９ｅに光ファイバーコード１６のねじ部３１を螺合し、閉塞部材９の有底穴９ｄにクランプ部材１９の突起１９ａを螺合することで、光ファイバー７の軸芯と波長変換素子３の棒状の光伝達部３ｂの軸芯とを一致させて当接させ、光ファイバー７と波長変換素子３とを光学的に接続することができる。さらに、光ファイバーコード１６のねじ部３１は、シール剤の塗布などにより閉塞部材９の有底穴９ｅにシールされた状態で取り付けられ、容器５は、Ｏリング２９などにより閉塞部材９の円環状の溝９ｃにシールされた状態で取り付けられている。このため、容器５内へ湿気が侵入するのを防ぐことができ、容器５内への湿気の侵入による照度の測定精度の低下を抑制している。
【００２９】
閉塞部材９は、閉塞部材９の突起９ｂの外周面にはねじが切られており、この閉塞部材９の突起９ｂの外周面に切られたねじに対応するねじが一方の端部の内周面に切られた直管状の閉塞部材支持ロッド３３の一方の端部に取り付けられている。つまり、閉塞部材支持ロッド３３の内径は、閉塞部材９の突起９ｂの外径に対応する径になっており、閉塞部材支持ロッド３３の内周面のねじに閉塞部材９の突起９ｂの外周面のねじを螺合させることで、閉塞部材９は、閉塞部材支持ロッド３３の一方の端部に取り付けられている。閉塞部材支持ロッド３３は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、閉塞部材９が取り付けられたとき、閉塞部材支持ロッド３３の環状の一方の端部の端面は、閉塞部材９の突起９ａの、突起９ｂの周囲の端面に当接する。なお、光ファイバーコード１６は、直環状の閉塞部材支持ロッド３３内に挿通されている。
【００３０】
ところで、本実施形態の空間照度測定装置１は、図２及び図３に示すように、光ファイバーコード１６の光ファイバー７で伝達されてきた可視光を対応する電圧値に変換する光電変換アンプ１１や、センサー部１２、光ファイバーコード１６、そして、閉塞部材支持ロッド３３などを挿入した状態で設置される保護管１３なども備えている。波長変換素子３、容器５、そして、閉塞部材９などからなるセンサー部１２は、直管状の保護管１３のほぼ中央部に位置しており、光ファイバーコード１６や閉塞部材支持ロッド３３などは、保護管１３の光電変換アンプ１１が設置された側の端部に向かって延在している。そして、閉塞部材支持ロッド３３は、保護管１３に同軸に挿入されている。保護管１３は、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン樹脂などで形成されている。なお、本実施形態の保護管１３は、空間照度測定装置１を設置する紫外線処理装置に設けられた紫外線ランプを挿入する保護管と同じ形状、大きさのものが用いられている。
【００３１】
閉塞部材支持ロッド３３の他方の端部は、保護管１３の光電変換アンプ１１が設置された側の端部に設けられた閉塞部材支持ロッド固定座３５に固定されている。閉塞部材支持ロッド固定座３５は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、片方の端部が閉塞された断面が凹形状の円筒状の部材である。閉塞部材支持ロッド固定座３５は、保護管１３の光電変換アンプ１１が設置された側の端部に取り付けられた略筒状の保護管スリーブシールナツト３７の端部に被せた状態で設置されている。
【００３２】
保護管スリーブシールナツト３７は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、保護管１３の光電変換アンプ１１が設置された側の端部の外周面を覆い、この保護管１３の端部の端面よりも突出した状態で保護管１３の端部に取り付けられている。そして、閉塞部材支持ロッド固定座３５は、保護管スリーブシールナット３７の保護管１３の端面よりも突出した側の端部に被せた状態で設置されている。閉塞部材支持ロッド３３は、閉塞部材支持ロッド３３の端部が、このような保護管スリーブシールナツト３７を介して保護管１３に取り付けられた閉塞部材支持ロッド固定座３５の端部を閉塞する円形の壁の面の中心部に形成された貫通穴に挿入され、この円形の壁の面に対して垂直に延在する状態で固定されている。これにより、閉塞部材支持ロッド固定座３５に閉塞部材支持ロッド３３を介して固定されたセンサー部１２は、このセンサー部１２の保護管１３への着脱を繰り返しても、波長変換素子３の受光部３ａに入射する光量が一定になるようになっている。
【００３３】
本実施形態の検出部となる光電変換アンプ１１は、閉塞部材支持ロッド固定座３５の円形の壁の外面側に固定リブ３９を介して固定されている。光ファイバーコード１６のセンサー部１２と反対側の端部には、光ファイバー７を光電変換アンプ１１に光学的に接続するための入射フェルール１７が設けられている。入射フェルール１７は、閉塞部材支持ロッド固定座３５のセンサー部１２と反対側の端部の開口を閉塞する栓４１に挿通された状態で閉塞部材支持ロッド固定座３５内から外に突出し、光電変換アンプ１１に接続され、光電変換アンプ１１内に設置されている図示していない可視光受光素子、例えば可視光用シリコンフォトダイオードや光電管などとに光学的に接続されている。
【００３４】
光電変換アンプ１１は、前述のように、図示していない可視光受光素子や、この可視光受光素子で発生した電気信号を増幅する図示していない増幅回路、光電変換アンプ１１に電力を供給するための電源ケーブルや紫外線ランプの照度または紫外線ランプの照度に対応する電圧値などを表示するための図示していない表示器などに電気信号を出力するための出力ケーブルなどをまとめたケーブル４３などを有している。
【００３５】
ここで、空間照度測定装置１の設置例として、水中の微生物の殺滅や有機物質の酸化処理を行なう紫外線処理装置４５に設置した場合について説明する。紫外線処理装置４５は、図３及び図４に示すように、被処理水が通流する縦型の処理槽４７中に、処理槽４７の延在方向に沿ってつまり縦方向に直管状のランプ保護管４９内に挿入された状態の紫外線ランプ５１が複数設置されている。ランプ保護管４９は、保護管１３と同様に、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやテフロン樹脂などで形成されており、ランプ保護管４９と保護管１３とは、同じ形状及び大きさのものである。処理槽４７は、防食性の材料、例えばステンレスやアルミニウムなどの金属などで形成され、両端部にフランジを有する略円筒状の胴部４７ａの上部開口及び底部開口を円盤状の天板４７ｂ及び底板４７ｃをフランジにボルト５２などによって固定することで、略円筒状の胴部４７ａの両端部の開口を閉塞した構造になっている。
【００３６】
天板４７ｂ及び底板４７ｃには、各々の対応する位置に、天板４７ｂ及び底板４７ｃの中心軸を囲む２重の同心円を描く位置に等間隔で複数の円筒状のニップル５３が、天板４７ｂ及び底板４７ｃを貫通し、天板４７ｂ及び底板４７ｃから外側に突出した状態で設置されている。天板４７ｂ及び底板４７ｃの対応する位置にある各々のニップル５３内にランプ保護管４９の端部が挿入され、ニップル５３及びランプ保護管４９の端部の面にＯリング５５を押しつけた状態で、ニップル５３の天板４７ｂ及び底板４７ｃから外側に突出した端部に、断面が凹字形状のシールナット５７が被せてある。これにより、ランプ保護管４９内は、湿気などの進入を防ぐように気密に密閉された状態になっている。なお、ランプ保護管４９に挿入された紫外線ランプ５１は、シールナット５７内の空間に設置された図示していないソケットなどに口金が接続されることで、ランプ保護管４９内に支持されている。
【００３７】
一方、天板４７ｂ及び底板４７ｃの中心軸の位置にも、図２及び図３に示すように、各々、円筒状のニップル５３が、天板４７ｂ及び底板４７ｃを貫通し、天板４７ｂ及び底板４７ｃから外側に突出した状態で設置されている。この天板４７ｂ及び底板４７ｃの中心軸の位置に設置されたニップル５３内には、空間照度測定装置１の保護管１３の端部が挿入されている。天板４７ｂに設けられたニップル５３では、ニップル５３の端面及び保護管１３のニップル５３から突出した端部の部分の外周面にＯリング５５を押しつけた状態で、このニップル５３の天板４７ｂから外側に突出した端部に、円筒状の保護管スリーブシールナツト３７が取り付けられ、保護管スリーブシールナツト３７に閉塞部材支持ロッド固定座３５が被せてある。底板４７ｃに設けられたニップル５３では、ランプ保護管４９の場合と同様に、Ｏリング５５を押しつけた状態でシールナット５７が被せてある。
【００３８】
このように、紫外線処理装置４５には、図３に示すように、上下方向に延在する複数本の紫外線ランプ５１に囲まれた状態で、空間照度測定装置１が設置されている。また、紫外線処理装置４５は、処理槽４７の下端部側と上端部側に、各々、被処理水を処理槽４７に流入させるための流入口部４７ｄ、被処理水を処理槽４７から流出させるための流出口部４７ｅを有し、さらに、天板４７ｂの外面側を覆うカバー４７ｆ、処理槽４７を支持する台座部５８、図示していない紫外線ランプ５１の点灯の制御部などを有している。また、本実施形態の紫外線処理装置４５は、図３及び図５に示すように、ランプ保護管４９及び空間照度測定装置１の保護管１３の外表面に汚れなどが付くことにより紫外線の照射能力や照度の測定精度が低下するのを防ぐため、図示していない駆動部により、処理槽４７内を上下動してランプ保護管４９及び空間照度測定装置１の保護管１３の外表面の汚れを払拭するワイパー５９を有するワイパー機構を備えている。
【００３９】
ワイパー機構のワイパー５９は、弾性を有すると共に紫外線耐性や防食性などを有するゴムなどの樹脂や合成樹脂などで形成されており、ランプ保護管４９及び空間照度測定装置１の保護管１３の外表面に接触する環状に形成されている。なお、ワイパー機構のワイパーは、ステンレスブラシなど適宜の材料で形成することができる。また、ワイパー機構のワイパー５９は、図示していない駆動部に連結されて処理槽４７内を上下動するワイパー保持フレーム６１によって保持されている。ワイパー機構のワイパー保持フレーム６１は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成されている。このように、本実施形態の空間照度測定装置１では、紫外線処理装置４５に設置されたランプ保護管４９に対応する形状の保護管１３を用いており、紫外線処理装置４５に空間照度測定装置１の保護管１３をランプ保護管４９と平行に設置している。このため、紫外線処理装置で一般的に用いられているワイパー機構を利用して、空間照度測定装置１の保護管１３の外表面の汚れなどを払拭することができる。
【００４０】
このような本実施形態の空間照度測定装置１の動作や校正方法、本発明の特徴部などについて説明する。紫外線処理装置４５の紫外線ランプ５１から照射される紫外線は、空間照度測定装置１の保護管１３そして容器５を透過し、容器５内の波長変換素子３の受光部３ａに入射する。波長変換素子３は、含有する蛍光材料の紫外線励起により発光し、可視光に変換される。波長変換素子３で発生した可視光は、光伝達部３ｂを介して光ファイバー７へ入射し、光ファイバーコード１６の光ファイバー７を通って光電変換アンプ１１へ伝達される。光電変換アンプ１１に伝達された可視光は、図示していない可視光受光素子によって可視光の照度、すなわち紫外線の照度に応じた電気信号として、図示していない紫外線照度指示計に出力される。本実施形態の光電変換アンプ１１は、紫外線処理装置４５が有する紫外線ランプ５１の紫外線照射による紫外線の空間照度に応じた値の電圧を電気信号として出力する。このとき、本実施形態の空間照度測定装置１は校正が行われているため、空間照度測定装置１が出力する電圧値は、紫外線の空間照度の絶対値に対応するものである。
【００４１】
ここで、紫外線殺菌装置や促進酸化装置などの紫外線処理装置における紫外線の照射量は、例えば紫外線処理装置４５の場合、処理槽４７内の体積平均照度（Ｗ／ｍ２）＊照射時間（秒）により算出される。体積平均照度は、空間照度を処理槽４７内の全体積で平均したものであるため、体積平均照度を求めるには、空間照度の絶対値を測定する必要がある。そして、空間照度の絶対値を測定するためには、空間照度測定装置を校正する必要がある。空間照度は、微小球体の表面積をｄＳとし、この表面積ｄＳに入射する紫外線光束をｄΦとすれば、空間照度＝ｄΦ／ｄＳで表されるため、空間照度測定装置を校正するには、微小球体へ入射する光量を測定する必要がある。
【００４２】
また、空間照度測定装置１の波長変換素子３の形成に用いたような蛍光ガラスは、紫外線を吸収して可視光を発するが、その総合変換率は、センサー部１２の構造や形態、さらに、波長変換素子３と光ファイバー７、光ファイバー７と光電変換アンプ１１などの接続損失のばらつきにより個体差が生じる。こような、個体差が存在しても、信頼がおける空間照度の絶対値を測定できるようにするためにも、校正の必要がある。
【００４３】
本実施形態の空間照度測定装置１では校正が可能であるが、その校正は以下のような方法で行われる。紫外線処理装置４５の構成と同様の複数本の校正用の紫外線ランプ、望ましくは４本以上の紫外線ランプを設置した校正用紫外線照射槽を準備する。この校正用紫外線照射槽に、紫外線処理装置４５への空間照度測定装置１の設置方法と同様に、保護管１３にセンサー部１２を挿入した空間照度測定装置１を、センサー部１２が複数本の紫外線ランプに囲まれた状態で設置する。そして、紫外線ランプの電力を４段階、例えば７２Ｗ、５７Ｗ、５０Ｗ、４２Ｗといったように変化させ、各電力に対応する空間照度測定装置１の光電変換アンプ１１での電圧値を測定する。
【００４４】
続いて、空間照度測定装置１の閉塞部材支持ロッド固定座３５を取り外して保護管１３からセンサー部１２を取り出し、図６及び図７に示すように、センサー部１２から波長変換素子３と光ファイバーコード１６を取り外し、容器５内に紫外線の照射により壊変する光感受性化合物６３、例えばウリジン又はロ−ズベンガルなどを予め設定した量張り込んだセンサー部１２を、再び保護管１３に挿入して設置する。このとき、閉塞部材支持ロッド３３を介して閉塞部材支持ロッド固定座３５に連結されたセンサー部１２は、波長変換素子３と光ファイバーコード１６のあるなしに関わらず、保護管１３内の同じ位置つまり校正用紫外線照射槽内の同じ位置に来る。なお、ウリジン又はロ−ズベンガルなどの光感受性化合物６３を容器５内に張り込む量は、入射角７１度以下の紫外線が全量入射できる量として設定されたものである。
【００４５】
この状態で、空間照度測定装置１のセンサー部１２に波長変換素子３と光ファイバーコード１６を取り付けていたときと同様に、校正用紫外線照射槽に設置した紫外線ランプを、４段階の電力、例えば７２Ｗ、５７Ｗ、５０Ｗ、４２Ｗと変化させて点灯し、各電力における照射時間を変化させて光感受性化合物６３の壊変量を測定する。そして、光感受性化合物６３がウリジンであるとすると、照射時間をｔ、照射時間ｔ＝０秒におけるウリジン濃度をＣ０、照射時間ｔ秒後のウリジン濃度をＣｔとしたとき、照射時間ｔを横軸に、ｌｏｇ（Ｃｔ／Ｃ０）を縦軸にプロットすると直線が得られるので、その勾配を求め、次式（１）により空間照度測定装置１の容器５表面での空間照度を算出する。
−ｌｏｇ（Ｃｔ／Ｃ０）＝φｕ・εｕ＊Ｉａｖ＊ｔ  ・・・（１）
なお、φｕは、ウリジンの量子収率（４.０３４＊１０−８ｍｏｌウリジン／Ｊ）、εｕは、ウリジンのモル吸光係数（８４１ｍ２／ｍｏｌウリジン）、Ｉａｖは、容器５に占めるウリジン溶液内の空間照度の平均値である。
【００４６】
容器５ヘの表面照度をＩ０、吸収されずに容器５を透過する照度をＩとすると、Ｉａｖは、Ｉ０とＩの対数平均照度として次式（２）より求めることができる。
Ｉａｖ＝（Ｉ０−Ｉ）／２.３０３ｌｏｇ（Ｉ０／Ｉ）  ・・・（２）
さらに、Ｂｅｅｒ−Ｌａｍｂｅｒｔの法則より、Ｉ／Ｉ０＝１０−αｄ、Ｉ０−Ｉ＝Ｉ０（１−１０−αｄ）を式（２）に代入して、次式（３）が得られ、容器５ヘの表面照度Ｉ０を求めることができる。
Ｉ０／Ｉａｖ＝２.３０２αｄ／（１−１０−αｄ）  ・・・（３）
【００４７】
このような校正方法によって、ウリジンにより測定した容器５の表面照度と光電変換アンプ１１で検出した電圧との関係を求めた結果の一例を図８に示す。本実施形態の空間照度測定装置１では、このような校正方法によって、図８のような容器５の表面照度と光電変換アンプ１１で検出した電圧のような検出部で検出した数値との関係が得られるため、光電変換アンプ１１のような検出部によって検出した数値から得られる空間照度の値を校正できる。
【００４８】
このように、本実施形態の空間照度測定装置１では、波長変換素子３を内包し、閉塞部材９で開口した側の端部が閉塞された容器５を備えている。さらに、波長変換素子３や光ファイバー７は、閉塞部材９に着脱可能に取り付けられている。このため、上記のような、容器５内に光感受性化合物６３を予め設定した量入れ、紫外線を照射したときのこの光感受性化合物の壊変量を測定することにより空間照度の校正を行うことが可能となり、空間照度の絶対値を測定できる。
【００４９】
さらに、蛍光ガラスファイバーなどで形成された波長変換素子３は、多少の曲がりがあり、両端で支持すると折れて破損することがある。しかし、本実施形態の空間照度測定装置１では、波長変換素子３を、波長変換素子３の光伝達部３ｂ側に取り付けられたクランプ部材１９を閉塞部材９に取り付けることにより片持ち支持される。このため、波長変換素子３に曲がりがあっても、波長変換素子３が折れて破損するのを抑制できる。
加えて、本実施形態の空間照度測定装置１では、波長変換素子３を内包する容器５が、紫外線ランプ５１を挿入したランプ保護管４９に対応する形状の保護管１３に挿入されている。このため、紫外線ランプ５１のランプ保護管４９の外表面に付着した汚れを除去するワイパー５９を有するワイパー機構を利用して、保護管１３の外表面に付着した汚れを除去できる。したがって、保護管１３が容器５の外表面への汚れ付着を防ぎ、また、保護管１３の外表面に付着した汚れをワイパー機構により除去できる。これにより、空間照度の絶対値の測定精度の低下を抑制できる。ただし、紫外線を照射する処理対象が汚れの付着などが起こる物でない場合などは、保護管１３を設けていない構成にすることもできる。
【００５０】
さらに、波長変換素子と光ファイバーの光学的な接続においては、光パワーの損失ができるだけ小さいこと、着脱が容易なこと、着脱を繰り返しても損失がほとんど変化しないことなどが要求される。これに対して、本実施形態の空間照度測定装置１では、容器５を閉塞するための閉塞部材９に形成された有底穴９ｄ、９ｅに、各々、波長変換素子３の取り付けたクランプ部材１９の突起１９ａ、光ファイバーコード１６に設けられたねじ部３１を螺合させることで、波長変換素子３と光ファイバー７を、光パワーの損失ができるだけ小さい状態で光学的に接続することができる。また、波長変換素子３と光ファイバー７の着脱を容易にでき、着脱を繰り返しても損失がほとんど変化しない。
【００５１】
加えて、校正を行うためにセンサー部１２を着脱したとき、着脱によってセンサー部１２の位置が変わらないようにできることも、校正の精度を向上する上で重要である。これに対して、本実施形態の空間照度測定装置１では、センサー部１２は、閉塞部材９によって閉塞部材支持ロッド３３の一方の端部に取り付けられている。そして、閉塞部材支持ロッド３３の他方の端部には、閉塞部材支持ロッド固定座３５が取り付けられている。この閉塞部材支持ロッド固定座３５は、位置が変化することがない紫外線処理装置４５の天板４７ｂといったような位置が変化することがない部材に固定されたニップル５３といった部材に、本実施形態では保護管スリーブシールナツト３７などを介して取り付けられている。したがって、校正を行うためにセンサー部１２を着脱しても、センサー部１２の位置は変わることがなく、校正の精度を向上できる。
【００５２】
ところで、本発明を適用してなる空間照度測定装置では、本実施形態の空間照度測定装置１のように波長変換素子３を容器５内に内包したような構成となる。しかし、この波長変換素子３を内包する容器５内が空気の場合、紫外線は密な媒質、例えば石英などで形成された容器５の壁から粗な媒質である容器５内の空気に進むことになる。このため、容器５の壁の面に対する入射角が４９度以上では全反射が起こり、入射角４９度以上の紫外線は、容器５内に入射しないことになる。このため、波長変換素子３で受光する紫外線は、実際の紫外線の照射量よりも少なくなり、測定した紫外線の空間照度も実際よりも小さくなる。
【００５３】
このように測定した空間照度が真の空間照度より小さくなるのを防ぐため、波長変換素子３を内包する容器５のような容器内に、屈折率が空気より大きく、かつ、紫外線感受性のない媒質、例えば純水や石英の粉などを充填する。これにより、紫外線の全反射が抑制され、ほとんどの紫外線が容器内に進入できるようになるため、空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。
【００５４】
同様に、本実施形態の空間照度測定装置１のようにセンサー部１２が保護管１３内に挿入されているとき、保護管１３内が空気の場合、紫外線は密な媒質である石英などで形成された保護管１３の壁から粗な媒質である保護管１３内の空気に進む。このため、紫外線の保護管１３の壁の面に対する入射角が４９度以上では全反射が起こり、入射角４９度以上の紫外線は、保護管１３内に入射しないため、容器５内へも入射しないことになる。これを防ぐためには、保護管内にも屈折率が空気より大きく、かつ、紫外線感受性のない媒質、例えば純水とか石英の粉を充填する。これにより、空間照度の絶対値の測定精度を向上できる。
【００５５】
さらに、例えば紫外線処理装置４５のような、通流する被処理水３１中の微生物の殺滅や有機物の酸化などを行なう流水型の紫外線処理装置などでは、運転管理指標として、複数の紫外線ランプ５１から照射される紫外線の総合照度つまり空間照度の絶対値を計測することが重要である。しかし、従来の紫外線照度計では、紫外線受光素子の受光面にほぼ垂直に紫外線を入射させる必要があるため、各紫外線ランプ毎に紫外線受光素子を設置しなければならず、紫外線の空間照度の絶対値を計測することはできない。
【００５６】
これに対して、本実施形態の紫外線処理装置４５は、複数の紫外線ランプ５１に囲まれた位置に空間照度測定装置１を備えている。このため、空間照度測定装置１によって紫外線処理装置４５に設置された複数の紫外線ランプ５１から照射される紫外線の空間照度の絶対値を計測できる。したがって、空間照度の絶対値を測定して監視することができ、紫外線処理装置の紫外線の照射処理の精度を向上できる。
【００５７】
また、本実施形態では、一方の端部が球状の受光部３ａとなっている波長変換素子３を用いているが、波長変換素子としては、図９に示すように、棒状の波長変換素子６５など様々な形状のものを用いることもできる。また、波長変換素子を内包する容器を閉塞するための閉塞部材の形状や、波長変換素子や光ファイバーを閉塞部材に取り付けるための構造なども、本実施形態の閉塞部材９のような形状や、クランプ部材１９などを用いた構造に限らず、波長変換素子や光ファイバーを光学的に接続した状態で取り付けることができ、容器の開口を閉塞できれば様々な形状や構造にできる。
【００５８】
例えば、図９に示す空間照度測定装置６７のように、一方の端面に突起６９ａを、他方の端面に２段階に径が小さな同軸に形成された突起６９ｂ、６９ｃを設けた円柱状の閉塞部材６９を用いることもできる。閉塞部材６９は、突起６９ａの端面から突起６９ｃの端面にかけて貫通穴６９ｄが形成されており、貫通穴６９ｄの突起６９ｃの端面での開口部分は、波長変換素子６５と同じ径に縮径しており、波長変換素子６５を挿入可能になっている。閉塞部材６９の貫通穴６９ｄ内には、突起６９ｃ側から、円筒状のバイトン製クランプ部材７１、Ｏリング７３、円筒状のアルミニウム製クランプ部材７５の順に設置されている。波長変換素子６５は、波長変換素子６５の一方の端部の端面が、閉塞部材６９の貫通穴６９ｄに挿入されたアルミニウム製クランプ部材７５の突起６９ａ側の端面と同じ位置に来るように突起６９ｃの端面の貫通穴６９ｄの開口から挿入されている。
【００５９】
光ファイバーコード１６は、ねじ部３１が、閉塞部材６９の貫通穴６９ｄの突起６９ａ側から内周面に切られたねじに螺合されることで、閉塞部材６９に取り付けられている。このとき、光ファイバーコード１６の光ファイバー７の端面は、閉塞部材６９の貫通穴６９ｄに挿入されたアルミニウム製クランプ部材７５の突起６９ａ側の端面と同じ位置に来る。これにより、波長変換素子６５と光ファイバー７が光学的に接続される。閉塞部材６９の突起６９ｃは、容器５の内径と同じ径に形成されており、容器５の開口に挿入可能になっている。容器５の開口側の端部には略筒状のシールナット７７が取り付けられており、シールナット７７の容器５が取り付けられた側と反対側の開口の内径は、閉塞部材６９の突起６９ｂの径に対応する径に形成されている。
【００６０】
そして、シールナット７７の容器５が取り付けられた側と反対側の開口の内周面と、閉塞部材６９の突起６９ｂの外周面には、対応するねじが切られており、容器５の開口側の端面と閉塞部材６９の突起６９ｂの突起６９ｃ周囲の面との間にＯリング７９を挟んだ状態で、シールナット７７を閉塞部材６９の突起６９ｂに螺合させることで、容器５内が気密な状態で、容器５が閉塞部材６９に取り付けられる。なお、空間照度測定装置６７では、閉塞部材６９の突起６９ａに、閉塞部材支持ロッド３３の端部の内周面に切られたねじに対応するねじが切られており、閉塞部材６９の突起６９ａに閉塞部材支持ロッド３３が螺合され、閉塞部材６９の突起６９ａに閉塞部材支持ロッド３３が取り付けられる。
【００６１】
このように、本発明を適用してなる空間照度測定装置は、波長変換素子を内包する容器を備え、容器の開口側の端部に閉塞部材が設けられ、この閉塞部材に取り付けられた波長変換素子と光ファイバーとが光学的に接続されていれば、様々な構成にできる。
【００６２】
また、本実施形態では、被処理水中の微生物の殺滅や有機物の酸化処理を行なう縦型の紫外線処理装置４５に本実施形態の照度測定装置１を設置した場合を例として説明した。しかし、本発明はこれに限らず、気体中や物品に付着している微生物の殺滅処理、半導体の製造工程などにおける紫外線感光処理、紫外線を光源とする光触媒処理など、様々な用途、様々な構成の紫外線ランプを備えた紫外線処理装置や、様々な用途、様々な構成の紫外線ランプを備えた紫外線処理装置、また、横型の紫外線処理装置といったように様々な構成の紫外線処理装置における紫外線の空間照度の測定を行う空間照度測定装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態における波長変換素子側の部分の概略構成を示す断面図である。
【図２】本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態における検出部側の部分の概略構成を示す断面図である。
【図３】本発明を適用してなる空間照度測定装置を備えた紫外線処理装置の一実施形態の概略構成を示す断面図である。
【図４】本発明を適用してなる紫外線処理装置の一実施形態の概略構成を、天板に設置されたカバーを外した状態で示す上面図である。
【図５】本発明を適用してなる紫外線処理装置の一実施形態のワイパー機構の、保護管を払拭するワイパー部分の概略構成を示す断面図である。
【図６】本発明を適用してなる空間照度測定装置の一実施形態において、校正時に容器内に光感受性化合物を入れた状態を示す断面図である。
【図７】図６のVII?VII線からの矢視断面図である。
【図８】本発明を適用してなる空間照度の校正方法の一実施形態における光感受性化合物によって測定した空間照度と光電変換アンプ電圧の測定値との関係の一例を示す図である。
【図９】本発明を適用してなる空間照度測定装置の別の実施形態における波長変換素子側の部分の概略構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１  空間照度測定装置
３  波長変換素子
３ａ  受光部
３ｂ  光伝達部
５  容器
７  光ファイバー
９  閉塞部材
１２  センサー部
１５  保護チューブ  
１６  光ファイバーコード
１９  クランプ部材
２１、２９  Ｏリング
２３  Ｏリング押さえ
２５  クランプシールナット
２７  シールグラウンド
【図１】
2006145236.tif 000003
【図２】
2006145236.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006145236.tif 000006
【図５】
2006145236.tif 000007
【図６】
2006145236.tif 000008
【図７】
2006145236.tif 000009
【図８】
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【図９】
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