(57)【要約】【課題】  対物レンズ、及び観察法の少なくとも一方の切り換え時に迷光等によって生じる悪影響を回避させつつ、その切り換え後の観察をより迅速に行える顕微鏡装置を提供する。【解決手段】  制御ユニット９は、入力ユニット１１に設けられた所定のスイッチを観察者が操作すると、モータ１４を駆動して、電動レボルバ７をそのスイッチの種類に応じた方向に１個の対物レンズ６分、回転させることにより、対物レンズ６の切り換えを行う。その切り換え時、ハーフミラー５ｂが照明光１０の光路上に位置していた場合、電動レボルバ７を回転させる前に、モータ１２を駆動して開口絞り部３の羽根絞り２０により照明光１０を遮光させ、電動レボルバ７を回転させた後に、モータ１２を駆動して羽根絞り２０による遮光を解除させる。【選択図】      図１
2006145638.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光の照射によって生じる試料からの光をレボルバに取り付けられた対物レンズに導くことで該試料の観察を可能とさせる顕微鏡装置において、
前記照明光の光路上に配置された、連続的に開口径が変更可能な開口絞り手段と、
前記開口絞り手段に動力を伝達して前記開口径を変更するための駆動手段と、
前記試料からの光が導かれる対物レンズの切り換えに連動させて、前記駆動手段により前記開口径を必要に応じて変更させる制御手段と、
を具備することを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記対物レンズの切り換えが電動で行われる場合に、前記制御手段は、該対物レンズの切り換えが開始する前に、前記駆動手段により、前記開口径を切り換え後の対物レンズの倍率に対して予め設定された大きさに必要に応じて変更させる、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記対物レンズの切り換えが電動で行われる場合に、前記制御手段は、該対物レンズが切り換えられた後、前記駆動手段により、前記開口径を切り換え後の対物レンズの倍率に対して予め設定された大きさに必要に応じて変更させる、
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記試料の観察に複数の観察法が適用できる場合に、前記制御手段は、該試料に適用される観察法の切り換えに連動させて、前記駆動手段により前記開口径を必要に応じて変更させる、
ことを特徴とする請求項１、２、または３記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記試料に適用される観察法の暗視野観察法から明視野観察法への切り換えに連動させて、該試料からの光が導かれる対物レンズの瞳径に応じた開口径に前記駆動手段により必要に応じて変更させる、
ことを特徴とする請求項４記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
照明光の照射によって生じる試料からの光をレボルバに取り付けられた対物レンズに導くことで該試料の観察を可能とさせる顕微鏡装置において、
前記照明光の光路上に配置された、連続的に開口径が変更可能な開口絞り手段と、
前記開口絞り手段に動力を伝達して前記開口径を変更するための駆動手段と、
前記試料の観察に適用される観察法別に前記照明光を該試料に導くための複数の光学手段と、
前記複数の光学手段のなかで前記照明光を導かせる光学手段が切り換えられる場合に、該切り換えによる観察法の変更に連動させて、前記駆動手段により前記開口径を必要に応じて変更させる制御手段と、
を具備することを特徴とする顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明光の照射によって生じる試料からの光をレボルバに取り付けられた対物レンズに導くことでその試料の観察を可能とさせる顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば落射照明法が採用された顕微鏡装置では、通常、照明光源からの落射照明光は対物レンズを通って試料に照射されるようになっている。その対物レンズは回転可能なレボルバに複数、取り付けられるようになっているのが普通である。それにより、レボルバを回転させることで対物レンズの切り換えを行えるようになっている。
【０００３】
図８は、落射照明法が採用された従来の顕微鏡装置の光学系の構成を説明する図である。
回転可能なレボルバ１０７に取り付けられた図８に示す対物レンズ１０６は、暗視野観察法用のものであり、その観察法用に照明光１１０を導くための光路１０６ａ、及び試料Ｓからの反射光を導くための光路１０６ｂを備えている。照明光源１０１から放射された照明光１１０は、コレクタレンズ１０２、開口絞り部材１０３、視野絞り部材１１８、リレーレンズ１０４、ハーフミラーユニット１０５、及び対物レンズ１０６の光路１０６ａを介して試料Ｓに照射される。
【０００４】
照明光１１０を照射したことによる試料Ｓからの正反射光は、照射光１１０の入射角と同じ角度で反射する。そのため、その正反射光は光路１０６ｂには入射せず、散乱光のみがその光路１０６ｂに入射する。それにより、暗視野観察法では、試料Ｓからの反射光の一つである散乱光による観察を行うようになっている。
【０００５】
特には図示していないが、上記ハーフミラーユニット１０５は、暗視野観察法用のハーフミラー（輪状）の他に、明視野観察法用のハーフミラーを備えている。それにより、照明光１１０を反射させるハーフミラーを切り換えることで所望の観察法で試料Ｓを観察できるようになっている。明視野観察法による観察は、周知のように、試料Ｓからの反射光を回折光とすることで実現される。
【０００６】
図８では対物レンズ１０６を１つのみ示しているが、レボルバ１０７には複数の対物レンズ１０６を取り付けることが可能である。それにより、対物レンズ１０６の切り換えは、レボルバ１０７を回転させることで行うようになっている。
【０００７】
そのレボルバ１０７を回転させると、その回転中に、それまで光軸上に配置されていた対物レンズ１０６は光軸からずれて照明光１１０の一部が光路１０６ａから外れ、その一部が光路１０６ｂを通って試料Ｓに照射される。そのずれによって試料Ｓからの正反射光は光路１０６ｂに入射するようになる。それにより、観察側に余計な光線として観察される迷光が発生する。
【０００８】
暗視野観察法で観察される散乱光は一般的に弱い。上記のように発生する迷光はそれと比較して非常に大きい。それにより、観察者にとっては対物レンズ１０６の切り換えに伴い、迷光も観察することになる。これは、観察者に不快感を与えるといった面から非常に望ましくない。このことから、特許文献１、及び２に記載されているように、その迷光による悪影響を回避させた顕微鏡装置が創案されている。
【０００９】
特許文献１に記載された従来の顕微鏡装置では、開口絞り部材１０３として、複数の異なる口径の穴が形成された部材を採用し、対物レンズ１０６の切り換え時に、その部材の穴が形成されていない部分を照明光１１０の光路上に移動させることにより、照明光１１０を遮光している。他方の特許文献２に記載された従来の顕微鏡装置では、視野絞り部材１１８により照明光１１０を遮光している。
【００１０】
それらの顕微鏡装置で照明光源１０１のオン／オフ等を行わないのは、その光源１０１に採用されるもの（ランプ等）の多くはオン／オフによって寿命が短くなるか、或いはそのオン／オフを迅速に行えないためである。また、対物レンズ１０６の切り換え時に照明光１１０を遮光するための専用の部材等を用意していないのは、部品点数を抑え、コストの上昇を回避させるためである。
【００１１】
照明光１１０を遮光することにより、迷光の発生（それによる悪影響）は回避される。しかし、特許文献１に記載された従来の顕微鏡装置では、穴が形成されていない部分の光路上への移動、対物レンズ１０６の切り換え後のその部材の移動、を順次、行わなければならない。特許文献２に記載された従来の顕微鏡装置では、暗視野観察光路が大きい場所に配置された視野絞り部材１１８（図８）によって遮光している。暗視野観察光を最大限確保するためには視野絞り部材１１８の絞り込む径が大きくなってしまうため、遮光する場合、視野絞り部材１１８を大きく動かさなければならない。このようなことから、何れも対物レンズ１０６を切り換えての観察を開始できるようになるまでに長い時間がかかるという問題点があった。
【００１２】
暗視野観察法で観察する散乱光は反射光の一部である。そのため、照明光１１０としては、明視野観察法のときと比較して、より強いものが必要なのが普通である。それにより、観察を開始できるようになるまでに長い時間がかかるという問題点は、暗視野観察法から明視野観察法に観察法を切り換える場合にも発生する。このことから、そのような観察法の切り換えにも適切に対応することが重要であると考えられる。
【特許文献１】特開２０００−８９１２６号公報
【特許文献２】特公平７−１１７６５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、対物レンズ、及び観察法の少なくとも一方の切り換え時に迷光等によって生じる悪影響を回避させつつ、その切り換え後の観察をより迅速に行える顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第１、及び第２の態様の顕微鏡装置は共に、照明光の照射によって生じる試料からの光をレボルバに取り付けられた対物レンズに導くことで該試料の観察を可能とさせることを前提とし、それぞれ以下の手段を具備する。
【００１５】
第１の態様の顕微鏡装置は、照明光の光路上に配置された、連続的に開口径が変更可能な開口絞り手段と、開口絞り手段に動力を伝達して開口径を変更するための駆動手段と、試料からの光が導かれる対物レンズの切り換えに連動させて、駆動手段により開口径を必要に応じて変更させる制御手段と、を具備する。
【００１６】
なお、上記第１の態様では、対物レンズの切り換えが電動で行われる場合に、制御手段は、該対物レンズの切り換えが開始する前に、駆動手段により、開口径を切り換え後の対物レンズの倍率に対して予め設定された大きさに必要に応じて変更させる、ことが望ましい。また、対物レンズの切り換えが電動で行われる場合に、制御手段は、該対物レンズが切り換えられた後、駆動手段により、開口径を切り換え後の対物レンズの倍率に対して予め設定された大きさに必要に応じて変更させる、ことが望ましい。
【００１７】
また、試料の観察に複数の観察法が適用できる場合に、制御手段は、該試料に適用される観察法の切り換えに連動させて、駆動手段により開口径を必要に応じて変更させる、ことが望ましい。更に制御手段は、試料に適用される観察法の暗視野観察法から明視野観察法への切り換えに連動させて、該試料からの光が導かれる対物レンズの瞳径に応じた開口径に駆動手段により必要に応じて変更させる、ことが望ましい。
【００１８】
第２の態様の顕微鏡装置は、照明光の光路上に配置された、連続的に開口径が変更可能な開口絞り手段と、開口絞り手段に動力を伝達して開口径を変更するための駆動手段と、試料の観察に適用される観察法別に照明光を該試料に導くための複数の光学手段と、複数の光学手段のなかで照明光を導かせる光学手段が切り換えられる場合に、該切り換えによる観察法の変更に連動させて、駆動手段により開口径を必要に応じて変更させる制御手段と、を具備する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、対物レンズ、及び観察法の少なくとも一方の切り換え時に迷光等によって生じる悪影響を回避させつつ、その切り換え後の観察をより迅速に行えるようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について述べる。
＜第１の実施の形態＞
図１は、第１の実施の形態による顕微鏡装置の構成を説明する図である。
【００２１】
その顕微鏡装置は落射照明法が採用されたものである。図１に示すように、ハロゲンランプ等の照明光源１から放射される照明光１０の光路上には、コレクタレンズ２、開口絞り部３、リレーレンズ４、及びハーフミラーユニット５が配置されている。
【００２２】
上記開口絞り部３は、複数の絞り羽根部材が同心円状に連続変化する構造の羽根絞り２０と、その羽根絞り２０に動力を伝達して口径を変化させるためのモータ１２と、その口径を検出するためのセンサ１３と、を備えている。ハーフミラーユニット５は、明視野観察法用のハーフミラーユニット５ａと、暗視野観察法用のハーフミラー５ｂと、選択された観察法に応じてミラーユニット５ａ、及びミラー５ｂの一方を光路上に移動させるためのモータ１６と、を備えている。ユニット５ａは、明視野観察用のハーフミラー５ａ１、及びリレーレンズ５ａ２を備えている。ミラーユニット５近傍に設置されたセンサ１７は、照明光１０の光路上に配置された暗視野観察用のハーフミラー５ｂを検出するためのものである。
【００２３】
電動レボルバ７には、複数の対物レンズ６が取り付け可能である。その電動レボルバ７を回転させるためのモータ１６、及びその電動レボルバ７に対物レンズ６用に設けた穴のうちの何れが照明光１０の光路上に位置しているかを検出するためのセンサ１５が併せて設置されている。暗視野観察法用の対物レンズ６には、その観察法用に照明光１０を導くための光路６ａ、及び試料ＳＭからの反射光を導くための光路６ｂが設けられている。
【００２４】
上述の各モータ１２、１４、及び１６は、制御ユニット９によって駆動される。そのユニット９に接続された入力ユニット１１には、観察者（ユーザ）が各種指示を行うための複数のスイッチが設けられている。ユニット９には、各種データ入力用に、入力装置（例えばパーソナルコンピュータ）８が接続可能となっている。
【００２５】
図２は、上記制御ユニット９の構成、及び入力ユニット１１に設けられた各種スイッチを説明する図である。
その制御ユニット９は、図２に示すように、モータ１２を駆動して羽根絞り２０の開口を変化させる開口絞り制御駆動回路２１と、各種データの記録に用いられる記録回路２２と、モータ１４を駆動して電動レボルバ７を回転させることにより、対物レンズ６の切り換えを行うレボルバ制御駆動回路２３と、モータ１６を駆動して、照明光１０の光路上にハーフミラーユニット５ａ、或いはハーフミラー５ｂを移動させることにより、観察法の切り換えを行うハーフミラー制御駆動回路２４と、各回路２１〜２４を介して顕微鏡装置全体の制御を行う制御回路２５と、入力装置８等の外部装置との間でデータの入出力を行うためのＩ／Ｏ２６と、を備えて構成されている。
【００２６】
その制御ユニット９には、入力ユニット１１の他に、上記センサ１３、１５、及び１７を有するセンサ群４０、及び上記モータ１２、１４、及び１６を有するモータ群４１が接続されている。
【００２７】
一方の入力ユニット１１には、観察者が操作対象とするスイッチとして、羽根絞り２０の閉じる方向（口径を小さくする方向）での動作を指示するための絞りスイッチ３１ａ、その逆に開ける方向（口径を大きくする方向）での動作を指示するための開放スイッチ３１ｂ、電動レボルバ７を正回転方向に対物レンズ６の１つ分、回転させるための正転回転スイッチ３２ａ、その逆方向に回転させるための逆回転スイッチ３２ｂ、明視野観察法を選択するための明視野スイッチ３３ａ、暗視野観察法を選択するための暗視野スイッチ３３ｂ、が設けられている。それにより、羽根絞り２０の口径（開口径）の調整、対物レンズ６の切り換え、及び観察法の切り換えは対応するスイッチへの操作により電動で行わせられるようになっている。
【００２８】
開口絞り部３に設けられたセンサ１３は、例えば予め定めた口径（以下「基準口径」）となった羽根絞り２０を検出するものである。開口絞り制御駆動回路２１は、その基準口径となってからモータ１２により羽根絞り２０を広げた、或いは閉じさせた口径分を示すデータを記録回路２２に記録する。それにより、現在の口径を特定できるようにさせる。なお、そのデータとは、例えばモータ１２がステッピングモータであれば基準口径から現在の口径に変化させるために必要なパルス数である。なお、上記口径は「孔径」とも表記することとする。
【００２９】
制御回路２５は、スイッチ３１ａ、或いは３１ｂが操作されている間、例えばその種類に応じた方向でのモータ１２の駆動を開口絞り制御駆動回路２１に指示する。それにより、観察者が所望の口径に調整できるようにさせる。調整後の口径が判明している場合には、その口径を指定してその口径への調整（変更）を駆動回路２１に対し指示する。
【００３０】
スイッチ３３ａ、或いは３３ｂが操作された場合、制御回路２５は、その種類に応じて、ハーフミラー制御駆動回路２４に対する指示を行う。駆動回路２４は、その指示によるハーフミラー５ｂの光路上への移動は、例えばセンサ１７がミラー５ｂを検出するまでモータ１６をそのための方向に駆動させることで行う。ミラーユニット５ａの光路上への移動は、例えばそれに必要な移動量分、モータ１６をそのための方向に駆動させることで行う。
【００３１】
スイッチ３２ａ、或いは３２ｂが操作された場合、制御回路２５は、その種類に応じて、レボルバ制御駆動回路２３に対する指示を行う。駆動回路２３は、その指示により指定された方向に対物レンズ６の１個分、電動レボルバ７を回転させるためにモータ１４を駆動する。それにより、対物レンズ６を隣の何れかの対物レンズ６に切り換える。
【００３２】
電動レボルバ７の近傍に配置したセンサ１５は、例えば対物レンズ６の取り付け用に設けた穴の内の一つが所定位置に存在していることを確認するためのものである。その所定位置から正方向、或いは逆方向に移動した量を対物レンズ６単位で管理することにより、現在、光路上に位置している穴（対物レンズ６）を特定することができる。穴と取り付けられた対物レンズ６の対応関係は、それが固定であれば予め記録装置２２に記録させれば良く、それが任意に変更可能であれば、例えば入力装置８を接続してその対応関係を入力できるようにさせれば良い。Ｉ／Ｏ２６を介して入力される対応関係（例えば穴毎にその穴に取り付けられた対物レンズ６の倍率を特定するもの）を示すデータ（以降「対応関係データ」と呼ぶ））は、例えば制御回路２５により記録回路２２等に保存させれば良い。センサ１５は、各穴（対物レンズ６）毎に用意しても良い。
【００３３】
図３は、暗視野観察法選択時の切り換え処理のフローチャートである。観察者が暗視野観察法に切り換えるために暗視野スイッチ３３ｂの操作を行い、続けて対物レンズ６の切り換えのためにスイッチ３２ａ、或いは３２ｂを操作した場合に、制御回路２５が実行する処理を抜粋してその流れを示したものである。次に図３を参照して、その切り換え時における制御回路２５の動作について詳細に説明する。
【００３４】
先ず、ステップＳ１では、照明光１０の光路上に暗視野観察（ＤＦ）用のハーフミラー５ｂを配置する指示を検出したか否か判定する。その指示のために観察者が暗視野スイッチ３３ｂを操作した場合、その旨を示す信号が入力ユニット１１から制御ユニット９の制御回路２５に通知されることから、判定はＹＥＳとなってステップＳ２に移行する。そうでない場合には、判定はＮＯとなり、ここで一連の処理を終了する。
【００３５】
ステップＳ２では、ハーフミラー制御駆動回路２４に指示して、ハーフミラー５ｂを照明光１０の光路上に移動させるとともに、開口絞り制御駆動回路２１に指示して、開口絞り部３の羽根絞り２０の口径を最大とさせる。その後に移行するステップＳ３では、対物レンズ６を切り換えるための電動レボルバ７の回転指示を検出したか否か判定する。その指示のために観察者がスイッチ３２ａ、或いは３２ｂを操作した場合、その旨を示す信号が入力ユニット１１から制御ユニット９の制御回路２５に通知されることから、判定はＹＥＳとなってステップＳ４に移行する。そうでない場合には、判定はＮＯとなり、ここで一連の処理を終了する。
【００３６】
ステップＳ４では、開口絞り制御駆動回路２１に指示して、開口絞り部３の羽根絞り２０の口径を最小とさせる。続くステップＳ５では、レボルバ制御駆動回路２３に指示して、操作されたスイッチの種類に対応した回転方向に対物レンズ６の１個分、電動レボルバ７を回転させる。ステップＳ６にはその回転により対物レンズ６を切り換えさせた後に移行し、開口絞り制御駆動回路２１に指示して、開口絞り部３の羽根絞り２０の口径を最大とさせる。その後、一連の処理を終了する。
【００３７】
このようにして本実施の形態では、羽根絞り２０により照明光１０を遮光させた状態で対物レンズ６の切り換えを行うようにさせている。その羽根絞り２０は、照明光１０の集束している位置に設けられている。このため、羽根絞り２０の開閉は迅速に行うことができる。複数の異なる口径の穴が形成された部材を羽根絞り２０の代わりに採用した場合と比較してもより迅速に行うことができる。これらのことから、対物レンズ６の切り換え時に迷光が生じるのは回避され、その切り換え後の観察はより迅速に行うことができる。
【００３８】
明視野観察法選択時では、対物レンズ６の切り換えは、切り換え後の対物レンズ６の瞳径に応じて羽根絞り２０の口径を調整した後に行うようにしている。その口径は、例えば切り換え後の対物レンズ６の瞳径の７０％となるように調整するようにしている。それにより、切り換え後はより適切な明るさでの観察を迅速に開始できるようにさせている。羽根絞り２０の対物レンズ６に応じて調整する口径は、例えば上記対応関係データから求めてデータとして記録回路２２に保存させている。
【００３９】
暗視野観察法が選択された状態で観察者が明視野スイッチ３３ａを操作したことに応答して暗視野観察法から明視野観察法に切り換える場合、制御回路２５は同様にして、現在、照明光１０の光路上に位置する対物レンズ６の瞳径の７０％となるように羽根絞り２０の口径を調節する。それにより、そのような観察法の切り換え後はより適切な明るさでの観察を迅速に開始できるようにさせている。羽根絞り２０の口径の調整は、ハーフミラーユニット５ａを光路上に移動させる前の時点からその移動が終了した後の時点の間に行えば良い。
＜第２の実施の形態＞
上記第１の実施の形態では、対物レンズ６の切り換え時、その切り換えを行う前に照明光１０を羽根絞り２０により遮光して迷光の発生を回避させている。これに対し、第２の実施の形態は、羽根絞り２０の口径を迷光の光量が実用上、問題のないレベルになるようにすることにより、それによる悪影響を回避させるようにしたものである。
【００４０】
羽根絞り２０で照明光１０を完全に遮光させないようにすることにより、その羽根絞り２０の開閉量（口径を変化させる量）は遮光させる場合と比較してより小さくなる。このため、第１の実施の形態と比較して、対物レンズ６の切り換えから観察を開始できるようになるまでの時間が短くなり、より迅速に観察が行えるようになる。
【００４１】
第２の実施の形態による顕微鏡装置の構成は、基本的に第１の実施の形態におけるそれと同じである。動作も大部分は同じか、或いは基本的に同じである。このことから、第１の実施の形態で付した符号をそのまま用いて、第１の実施の形態から異なる部分についてのみ説明する。
【００４２】
図４Ａ、及び図４Ｂは、開口絞り口径（羽根絞り２０の口径）と迷光の照度（ルックス）の関係を対物レンズ６の倍率別に説明する図である。図４Ａは例えば照明光源１として水銀ランプを採用した場合のものであり、図４Ｂは例えば照明光源１としてハロゲンランプを採用した場合のものである。
【００４３】
図４Ａ、及び図４Ｂに示すように、対物レンズ６の倍率によって眩しくない（眩しい）と感じる迷光の光量は異なる。その光量以下に迷光を抑えれば、実用上、問題は発生しないことになる。このことから、第２の実施の形態では、電動レボルバ７に取り付けられる対物レンズ６の倍率毎に、その倍率の対物レンズ６に切り換える前に調整すべき羽根絞り２０の口径を定義したデータを記録回路２２に保存させるようにしている。以降、その口径は「絞りプリセット設定値」と呼ぶことにする。その絞りプリセット設定値としては、具体的には図６に示すような内容が設定される。
【００４４】
図５は、開口絞り口径（羽根絞り２０の口径）と照明光１０（暗視野観察法選択時）の照度（ルックス）の関係を対物レンズ６の倍率別に説明する図である。
図５に示すように、対物レンズ６の倍率によって照明光１０の限界となる光量が異なる。これは、対物レンズ６の切り換え後に調整する羽根絞り２０の口径はその倍率に応じて適切なものが存在することを意味する。このことから、第２の実施の形態では、電動レボルバ７に取り付けられる対物レンズ６の倍率毎に、その倍率の対物レンズ６に切り換えた後に調整すべき羽根絞り２０の口径を定義したデータを記録回路２２に保存させるようにしている。以降、その口径は「開放プリセット設定値」と呼ぶことにする。その開放プリセット設定値としては、具体的には図６に示すような内容が設定される。
【００４５】
制御回路２５は、対物レンズ６の切り換え時に記録回路２２に保存された絞りプリセット設定値、開放プリセット設定値を参照する。それにより、切り換えを開始する前に、次に切り換える対物レンズ６の倍率に対応する絞りプリセット設定値で指定された口径に羽根絞り２０を調整してその切り換えを行い、その切り換え後は、その倍率に対応する開放プリセット設定値で指定された口径に羽根絞り２０を調整する。そのようにして、羽根絞り２０の開閉量をより抑えることにより、迷光による悪影響の発生を回避させての対物レンズ６の切り換えを更に迅速、且つ適切に行えるようにさせている。なお、絞りプリセット設定値、及び開放プリセット設定値は、それらのうちの少なくとも一方を任意に変更できるようにさせても良い。
【００４６】
図７は、第２の実施の形態における暗視野観察法選択時の切り換え処理のフローチャートである。観察者が暗視野観察法に切り換えるために暗視野スイッチ３３ｂの操作を行い、続けて対物レンズ６の切り換えのためにスイッチ３２ａ、或いは３２ｂを操作した場合に、制御回路２５が実行する処理を抜粋してその流れを示したものである。次に図７を参照して、その切り換え時における制御回路２５の動作について詳細に説明する。ここでは、電動レボルバ７には最大で計５個の対物レンズ６を取り付けられることを前提としている。
【００４７】
先ず、ステップＳ１１では、照明光１０の光路上に暗視野観察用のハーフミラー５ｂを配置する指示を検出したか否か判定する。その指示のために観察者が暗視野スイッチ３３ｂを操作した場合、その旨を示す信号が入力ユニット１１から制御ユニット９の制御回路２５に通知されることから、判定はＹＥＳとなってステップＳ１２に移行する。そうでない場合には、判定はＮＯとなり、ここで一連の処理を終了する。
【００４８】
ステップＳ１２では、センサ１５の検出結果を参照しつつ、現在、照明光１０の光路上に位置する対物レンズ６の特定を行い、それによって対物レンズ６を特定できたか否か判定する。その対物レンズ６を特定できた場合、判定はＹＥＳとなってステップＳ１３に移行し、そうでない場合には、判定はＮＯとなり、ここで一連の処理を終了する。
【００４９】
ステップＳ１３では、特定した対物レンズ６（の倍率）に対応する開放プリセット設定値で指定された口径に羽根絞り２０を調整させるための指示を開口絞り制御駆動回路２１に対して行う。ステップＳ１４にはその後に移行する。
【００５０】
ステップＳ１４では、対物レンズ６を切り換えるための電動レボルバ７の回転指示を検出したか否か判定する。その指示のために観察者がスイッチ３２ａ、或いは３２ｂを操作した場合、その旨を示す信号が入力ユニット１１から制御ユニット９の制御回路２５に通知されることから、判定はＹＥＳとなってステップＳ１５に移行する。そうでない場合には、判定はＮＯとなり、ここで一連の処理を終了する。
【００５１】
ステップＳ１５では、例えば上記対応関係データも参照して、操作されたスイッチの種類に対応した回転方向の隣に位置する対物レンズ６を特定し、特定した対物レンズ６（の倍率）に対応する絞りプリセット設定値で指定された口径に羽根絞り２０を調整させるための指示を開口絞り制御駆動回路２１に対して行う。続くステップＳ１６では、レボルバ制御駆動回路２３に指示して、操作されたスイッチの種類に対応した回転方向に対物レンズ６の１個分、電動レボルバ７を回転させる。その次に移行するステップＳ１７では、ステップ１５で特定した対物レンズ６（の倍率）に対応する開放プリセット設定値で指定された口径に羽根絞り２０を調整させるための指示を開口絞り制御駆動回路２１に対して行う。それにより、照明光１０の光量をその対物レンズ６に適切なものとさせた後、一連の処理を終了する。
【００５２】
なお、本実施の形態（第１、及び第２の実施の形態）では、切り換える対物レンズ６は電動レボルバ７に取り付けられているが、ターレット等に取り付けられていても良い。採用する照明法も落射照明法以外のものであっても良い。
【００５３】
ハーフミラーユニット５は電動で動作するようになっているが、手動で動くものであっても良い。手動で動くハーフミラーユニット５であっても、ハーフミラー５ｂが光路上に位置しているか否かはセンサ１７により確認できるため、同様に、上述したような羽根絞り２０の口径の調整を行わせることができる。そのセンサ１７は、ハーフミラー５ｂが光路上に位置しているか否かを正確に確認するためのものである。そのミラー５ｂの光路上への移動、及びその退避（ハーフミラーユニット５ａの光路上への移動）を電動で確実に行えるような場合、センサ１７は省くこともできる。
【００５４】
本発明を適用した顕微鏡装置は、羽根絞り２０のような連続的に口径（孔径）を変更できる部材を開口絞り部３に採用した顕微鏡装置には、上述したような動作を実現させるプログラムを実行させることで実現させることもできる。このことから、そのようなプログラムを用意し、既存の顕微鏡装置にインストールさせても良い。これら以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】第１の実施の形態による顕微鏡装置の構成を説明する図である。
【図２】制御ユニットの構成、及び入力ユニットに設けられた各種スイッチを説明する図である。
【図３】暗視野観察法選択時の切り換え処理のフローチャートである。
【図４Ａ】開口絞り口径と迷光の照度の関係を対物レンズの倍率別に説明する図である（その１）。
【図４Ｂ】開口絞り口径と迷光の照度の関係を対物レンズの倍率別に説明する図である（その２）。
【図５】開口絞り口径と照明光の照度の関係を対物レンズの倍率別に説明する図である（暗視野観察法選択時）。
【図６】対物レンズの切り換え時に行う開口絞り口径の調整用に設定された内容を説明する図である。
【図７】暗視野観察法選択時の切り換え処理のフローチャートである（第２の実施の形態）。
【図８】落射照明法が採用された従来の顕微鏡装置の光学系の構成を説明する図である。
【符号の説明】
【００５６】
１    照明光源
３    開口絞り部
５、５ａ    ハーフミラーユニット
５ｂ    ハーフミラー
６    対物レンズ
７    電動レボルバ
９    制御ユニット
１０    照明光
１１    入力ユニット
１２、１４、１６    モータ
１３、１５、１７    センサ
２１    開口絞り制御駆動回路
２２    記録回路
２３    レボルバ制御駆動回路
２４    ハ−フミラー制御駆動回路
２５    制御回路
３２ａ  正転回転スイッチ
３２ｂ  逆回転スイッチ
３３ａ  明視野スイッチ
３３ｂ  暗視野スイッチ
ＳＭ    試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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