(57)【要約】【課題】  液体吐出ヘッド用基板の吐出口形成面を傷つけることなく、簡単な構成により液体吐出ヘッド用基板を選択的に保持または解放できること。【解決手段】  液体吐出ヘッド用基板の吐出口形成面の複数箇所に親水処理部を設け、液体吐出ヘッド用基板の保持装置の保持部にも親水処理部を設け、液体の表面張力によって、前記保持部が前記液体吐出ヘッド用基板を保持することを特徴とする。【選択図】  図１
2006167999.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための吐出口が設けられた吐出口形成面を有する液体吐出ヘッド用基板を保持する保持装置であって、
前記吐出口形成面の前記吐出口の周囲の複数箇所に設けられた親水処理部に対応して設けられた親水処理形成面を、前記液体吐出ヘッド用基板を保持する保持面に備える基板保持部材と、
前記基板保持部材の親水処理形成面または前記液体吐出ヘッド用基板の親水処理部のうちの少なくとも一方に液体を付着させる液体付着手段と、を備え、
前記液体の表面張力によって、前記保持面が前記液体吐出ヘッド用基板を保持することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の保持装置。
【請求項２】
前記液体吐出ヘッド用基板を保持した前記基板保持部材を所定位置まで移送する手段を備えることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド用基板の保持装置。
【請求項３】
前記液体付着手段は、前記保持面に一端が開口する液体供給路と、該液体供給路に液体を選択的に供給する液体供給部とを含んでなることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド用基板の保持装置。
【請求項４】
前記液体付着手段が付着させる液体は、純水であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の保持装置。
【請求項５】
前記液体吐出ヘッド用基板における前記複数の親水処理部の周囲に撥水処理領域が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の保持装置。
【請求項６】
前記基板保持部材の前記保持面における親水処理形成面の周囲に撥水処理領域が設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する微細な吐出口が形成される吐出口形成面を有する液体吐出ヘッド用基板を選択的に保持または解放できる液体吐出ヘッド用基板の保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
記録用の液滴を記録媒体の記録面に対し吐出し画像等を形成する記録動作を行う液体吐出記録ヘッドは、例えば、特許文献１および２にも示されるように、記録用の液滴を吐出するヘッドチップを含んで構成されている。そのような液体吐出ヘッド用基板としてのヘッドチップは、例えば、吐出エネルギー発生部としての電気熱変換体を所定間隔で配列させた吐出素子基板と、この吐出素子基板に重ね合わされることにより、複数の吐出口の吐出口列を有し各吐出口にそれぞれ連通する分岐流路と、これら分岐流路に連通する共通液室とを形成する薄板状のオリフィスプレートとを主要な要素として含んで構成されている。
【０００３】
上述のようなヘッドチップが液体吐出記録ヘッド本体に対し組み立てられる場合、例えば、先ず、所定の搬送保持手段に保持されたヘッドチップは、液体吐出記録ヘッド本体の被接着面部の真上の位置まで搬送された後、次に、下降せしめられるとともに、所定の位置決め精度でその被接着面部に対し位置合わせされ接着剤等により接合される。
【０００４】
搬送保持手段としては、一般に、ホルダーに保持された真空吸着式ピンセットや真空吸着コレット等が利用されている。また、上述のような位置決めに関しては、一般に、例えば、カメラによる画像処理機構と、位置決めステージや位置決めフィンガー等を含む超精密なメカ機構とを組み合わせた位置決め装置（ユニット）とが用いられている。
【０００５】
また、微小物体の他の搬送保持手段としては、例えば、非特許文献１にも示されるように、動作制御されるプローブの先端に塗布された液体（例えば、水）を微小物体としての微小球に接触させ、プローブの先端と微小球との間に形成される液架橋力（表面張力）により、その微小球をプローブの先端で引き上げ保持する方法が提案されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３０５８５３号公報
【特許文献２】特開平１０−２９３１０号公報
【非特許文献１】尾畑等、「微小物体操作のための液架橋力解析」（Ｍａｔｅ  ２００３）第９回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合、実装技術シンポジウム論文集  社団法人  溶接学会  ｖｏｌ  ９  ２００３年、Ｐ．８１−８６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
液体吐出ヘッド用基板が上述のような真空吸着式ピンセット、または真空ピンセット形態の吸着フィンガーにより保持される場合、シリコンゴム等の非常に軟らかい材質で作られている真空吸着式ピンセットの吸着パッド（フィンガー）部の先端が、必ず、液体吐出ヘッド用基板の吐出口形成面に直接的に接触した状態になる。
【０００８】
しかし、液体吐出ヘッド用基板のオリフィスプレートにおける吐出口形成面に吸着パッド（フィンガー）の先端が接触している限り、何らかの傷が吐出口形成面に生じる可能性は否めない。液体吐出ヘッド用基板のオリフィスプレートは、吸着パッドの吸着面に対し超微細で精密な液体吐出口を多数個具備しているので例えば、その傷が顕微鏡等でしか確認出来ない超微細な傷であったとしても、そのような記録ヘッドにおける液滴の吐出性能特性を大きく悪化させる可能性がある。また、その吸着位置の精度や吸着パッド（フィンガー）の劣化等の原因による吸着パッドの吸着面におけるリーク現象が発生し、その結果、吸着面における吸着力の低下等の吸着トラブルが発生する虞もある。そのため、吸着位置の決定に関しては、特に精密に管理する必要がある。
【０００９】
さらに、液体吐出ヘッド用基板を取り扱うにあたっては、その液体吐出ヘッド用基板が置かれる雰囲気における空気中に浮遊する超微細な異物等に対しても特に注意が必要である。液体吐出ヘッド用基板においては、上述の液体吐出口の他に、液体吐出ヘッド用基板を貫通し、液体吐出口に連通している液体供給口（孔）を有しているタイプの液体吐出ヘッド用基板が多い。仮に、吸着パッドの吸着面におけるリークが発生した場合、液体吐出ヘッド用基板に対する吸着パッドの吸着面における吸着力が低下すると同時に、その液体供給口および液体吐出口からも大気を吸引する場合がある。このような場合、この雰囲気中に含まれる超微細な異物等が液体供給口から大気とともに吸引され、その異物等が液体吐出口内部に滞留したとき、液体吐出口の目詰まりが発生する可能性が非常に高い。この場合も、上述したような記録ヘッドの液体吐出性能に非常に大きな影響を与えてしまう。このような事情から、液体供給口を有する液体吐出ヘッド用基板の吸着保持に関して、液体吐出ヘッド用基板のオリフィスプレートにおける吐出口形成面の全面を吸着して保持する真空吸着式コレットを使用することは、基本的に困難である。
【００１０】
位置決めに関しては、上述したように、高精度な機械的な機構と、画像処理機構とを組み合わせた位置決め装置を使用することによって、極めて高精度な位置決めをすることができる。しかし、その装置構成が非常に複雑になり、また、機械的な機構の調整や、装置のメンテナンス等についても高度な技術、および非常に微妙な調整が必要となる。その結果、その装置そのものおよびランニングコストが非常に高価となってしまう。
【００１１】
以上の問題点を考慮し、本発明は、液体を吐出する微細な吐出口が形成される吐出口形成面を有する液体吐出ヘッド用基板を選択的に保持または解放できる液体吐出ヘッド用基板の保持装置であって、極めて高精度な位置決めを要することなく、比較的簡単な構成により液体吐出ヘッド用基板を選択的に保持または解放できる液体吐出ヘッド用基板の保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述の目的を達成するために、本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置は、液体を吐出するための吐出口が設けられた吐出口形成面を有する液体吐出ヘッド用基板を保持する保持装置であって、吐出口形成面の吐出口の周囲の複数箇所に設けられた親水処理部に対応して設けられた親水処理形成面を、液体吐出ヘッド用基板を保持する保持面に備える基板保持部材と、基板保持部材の親水処理形成面または前記液体吐出ヘッド用基板の親水処理部のうちの少なくとも一方に液体を付着させる液体付着手段と、を備え、液体の表面張力によって、保持面が液体吐出ヘッド用基板を保持することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置は、基板保持部材の保持面が、液体の表面張力により液体吐出ヘッド用基板を保持するので極めて高精度な位置決めを要することなく、比較的簡単な構成により液体吐出ヘッド用基板を選択的に保持または解放できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置の第１実施例の要部を概略的に示す。
【００１５】
図１において、液体吐出ヘッド用基板の保持装置は、後述する液体吐出ヘッド用基板３０を選択的に保持するフィンガー１０と、フィンガー１０の内部における液体供給路に液体を供給する液体供給部１５と、フィンガー１０を所定位置に固定される後述する記録ヘッド本体部に向かって近接するように下降させ、または記録ヘッド本体部に対して離隔するように上昇させるフィンガー搬送駆動制御部（不図示）とを含んで構成されている。
【００１６】
薄板状の液体吐出ヘッド用基板３０は、例えば、記録媒体の記録面に対し画像を形成するように記録動作を行うバブルジェット式の記録ヘッドの一部を構成するものとされる。
【００１７】
例えば、サイドシュータ型の液体吐出ヘッド用基板３０は、液滴を吐出する微細な吐出口が複数個、配列形成される吐出口形成面３０Ｅを有するオリフィスプレートと、その吐出口形成面３０Ｅの吐出口に対応して、液体を滴として飛ばすエネルギーを液体に与えるためのヒータが形成され、オリフィスプレートと一体とされるヒータボードとを含んで構成されている。ヒータボードと吐出口形成面との間には、流路が形成されている。液体吐出ヘッド用基板３０は、図３（Ａ）に示される記録ヘッド本体３２におけるチップ支持部３２ａの上面に所定の接着剤により接着される。チップ支持部３２ａの中央部には、例えば、所定の液体（インク）を液体吐出ヘッド用基板３０内に導くインク供給口がその上面に開口している。
【００１８】
そのオリフィスプレートには、図２に示されるように、吐出口形成面３０Ｅの周囲の表面部に親水処理部３０Ｒｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）が所定の間隔で複数箇所に形成されている。各親水処理部３０Ｒｉは、液体、例えば、純水等が付着し易いように所定の面積についてフォトリソプロセス法により表面処理されている。親水処理部３０Ｒｉが設けられる箇所の数は、例えば、各親水処理部３０Ｒｉに付着した液体により形成される表面張力（液架橋力）の合計により、約数ｇ程度の液体吐出ヘッド用基板３０が確実に保持されるような数に設定されている。
【００１９】
一方、吐出口形成面３０Ｅの周囲の表面部において、親水処理部３０Ｒｉを除く他の部分には、撥水処理面３０ＮＲが形成されている。撥水処理面３０ＮＲは、純水等の液体が付着しないように表面処理されている。
【００２０】
フィンガー１０の上端部は、図示が省略されるフィンガー搬送駆動制御部に連結されている。フィンガー１０の下端部には、図１に示されるように、上述の液体吐出ヘッド用基板３０の吐出口形成面３０Ｅ側の表面全体を保持する保持面１０ａが形成されている。保持面１０ａには、上述の液体吐出ヘッド用基板３０の親水処理部３０Ｒｉに対応した微小な孔１２ａｉ，１２ｂｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）が形成されている。一列に形成される孔１２ａｉ，および１２ｂｉは、それぞれ、互いに略平行に形成されている。孔１２ａｉ，および１２ｂｉの間隔および数量は、上述の液体吐出ヘッド用基板３０の親水処理部３０Ｒｉに対応した間隔および数量に設定されている。各孔１２ａｉ，および１２ｂｉの開口端の周縁のみには、親水処理された親水処理領域がそれぞれ、フォトリソプロセス等により形成されている。親水処理領域相互間は、撥水処理がなされている。
【００２１】
各孔１２ａｉ，および１２ｂｉは、それぞれ、フィンガー１０の内部に形成される分岐供給路１０ａｉ，１０ｂｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）の一端に連通している。複数の分岐供給路１０ａｉ，１０ｂｉの他端は、それぞれ、分岐供給路１０ａｉ，１０ｂｉの他端を互いに連結する共通供給路１０ｃｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）に接続されている。各共通供給路１０ｃｉの一端は、液体供給部１５からの液体を導く液体供給路１４の一端に合流するように接続されている。
【００２２】
液体供給部１５は、液体、例えば、純水を所定量、貯留するタンク部２２と、タンク部２２と液体供給路１４の他端との間に配され液体供給路１４に接続される流路をタンク部２２または吸引ポンプ１８に接続するように選択的に切り換える切換バルブ１６と、液体供給路１４を介して共通供給路１０ｃｉ、分岐供給路１０ａｉ，１０ｂｉ等の内部の液体を吸引する吸引ポンプ１８とを含んで構成されている。
【００２３】
タンク部２２は、二流路を切り換える切換バルブ１６を介して液体供給路１４の他端に接続されている。切換バルブ１６のポート１６ｐａとタンク部２２とが連通している状態の場合、その液体の自重により液体が共通供給路１０ｃｉ、分岐供給路１０ａｉ，１０ｂｉを介して各孔１２ａｉ，および１２ｂｉまで供給されることとなる。
【００２４】
切換バルブ１６は、選択的に流路を切換可能とされ、液体供給路１４の他端に接続されるポート１６ｐａと、吸引ポンプ１８に接続されるポート１６ｐｂと、タンク部２２に接続される他のポートと、封止されているポートとを有している。切換バルブ１６が選択的に切り換えられることにより、上述したように、切換バルブ１６のポート１６ｐａを介してタンク部２２と液体供給路１４とが連通している状態、または、切換バルブ１６のポート１６ｐａおよび１６ｐｂを介して吸引ポンプ１８と液体供給路１４とが連通している状態となる。
【００２５】
斯かる構成において、上述の液体吐出ヘッド用基板３０を、図３（Ａ）に示される記録ヘッド本体３２におけるチップ支持部３２ａの上面に所定の接着剤により接着するにあたり、先ず、フィンガー１０がフィンガー搬送駆動制御部により、所定の動作プログラムに従う移動経路に沿って移動されて液体吐出ヘッド用基板３０が収容されるトレー（不図示）の真上に配される。その際、ポート１６ｐａを介してタンク部２２と液体供給路１４とが連通している状態とされた後、所定期間経過後、切換バルブ１６のポート１６ｐａおよび１６ｐｂを介して吸引ポンプ１８と液体供給路１４とが連通している状態となるように切換バルブ１６が切り換えられる。これにより、図４（Ａ）に拡大されて示されるように、液滴２４ｄが各孔１２ａｉ，および１２ｂｉの周縁に表面張力により付着することとなる。
【００２６】
次に、フィンガー１０の保持面１０ａが液体吐出ヘッド用基板３０の表面に対して近接するように所定の位置まで下降せしめられる。その際、フィンガー１０の保持面１０ａに形成される液滴２４ｄの液体吐出ヘッド用基板３０の各親水処理部３０Ｒｉに対する相対位置の位置決めは、フィンガー搬送駆動制御部による所定の動作プログラムに従う移動経路に沿って移動されることにより可能とされる。従って、従来のような画像認識による液体吐出ヘッド用基板３０のアライメントが不要とされる。
【００２７】
これにより、図４（Ｂ）に拡大されて示されるように、フィンガー１０の保持面１０ａに形成される液滴２４ｄが液体吐出ヘッド用基板３０の各親水処理部３０Ｒｉに付着することにより、液体吐出ヘッド用基板３０がフィンガー１０の保持面１０ａに液滴２４ｄの表面張力により保持されることとなる。
【００２８】
続いて、図３（Ａ）に示されるように、フィンガー１０の保持面１０ａに保持された液体吐出ヘッド用基板３０は、所定の移動経路に沿って移動され、記録ヘッド本体３２におけるチップ支持部３２ａの上面の真上となる位置に配置される。チップ支持部３２ａの被接着面には、予め熱／紫外線併用硬化型接着剤３４が所定量塗布されている。なお、熱／紫外線併用硬化型接着剤３４は、その粘度が低く、その厚さができるだけ薄くなるように形成されることが好ましい。
【００２９】
続いて、図３（Ｂ）に示されるように、フィンガー１０は、保持する液体吐出ヘッド用基板３０がチップ支持部３２ａの被接着面に当接するまでチップ支持部３２ａに向かって下降せしめられる。
【００３０】
続いて、図３（Ｃ）に示されるように、チップ支持部３２ａの周辺に相対向して複数設けられる紫外線投光部３６Ａおよび３６Ｂから紫外線ビームＵＶが熱／紫外線併用硬化型接着剤３４に所定期間、照射される。その際、紫外線ビームＵＶは、液体吐出ヘッド用基板３０全体に向けて照射される。これにより、液体吐出ヘッド用基板３０はチップ支持部３２ａに仮固定されることとなる。
【００３１】
続いて、切換バルブ１６のポート１６ｐａおよび１６ｐｂを介して吸引ポンプ１８と液体供給路１４とが連通している状態となるように切換バルブ１６が切り換えられ、吸引ポンプ１８が所定期間、作動状態とされる。これにより、共通供給路１０ｃｉ、分岐供給路１０ａｉ，１０ｂｉを介して各孔１２ａｉ，および１２ｂｉの液体が液体供給路１４を介して吸引ポンプ１８により矢印の示す方向に吸引されるので液体吐出ヘッド用基板３０が保持面１０ａに対して解放されることとなる。
【００３２】
そして、図３（Ｄ）に示されるように、フィンガー１０がチップ支持部３２ａに対し離隔するように上昇せしめられる。
【００３３】
仮固定された液体吐出ヘッド用基板３０は、記録ヘッド本体３２とともにオーブンや、ホットプレート等で熱キュアされることにより、紫外線ビームＵＶが照射されなかった部分を含め、熱／紫外線併用硬化型接着剤３４が完全に硬化される。従って、液体吐出ヘッド用基板３０がチップ支持部３２ａに対し完全に接着される。
【００３４】
このような構成により、液滴２４ｄの容量（容積）を、より精密にコントロールすることが可能になる。従って、液体吐出ヘッド用基板３０を、より精密に位置決めすることが可能になる。また、液体を撥水処理領域部分へ付着させていないので撥水処理領域部分の耐久性も向上し、長寿命化を図ることも可能となる。
【００３５】
さらに、液体を介して液体吐出ヘッド用基板３０をアライメントすることにより、液体吐出ヘッド用基板３０の表面にキズが生じることが無くなり、歩留まりを大幅に向上させる事が可能になる。
【００３６】
大気の吸引（真空式吸着）による液体吐出ヘッド用基板３０の保持（吸着）を廃止できるのでゴミの吸引が無くなる。従って、ゴミの液体吐出ヘッド用基板３０への付着も必然的に防止する事が可能になり歩留まりを大幅に上げる事が可能になる。
【００３７】
画像認識による液体吐出ヘッド用基板３０のアライメント作業が軽減されるので生産設備への投資を大幅に削減する事が可能になる。
【００３８】
液体吐出ヘッド用基板３０と、フィンガー１０の保持面１０ａとの間に液体が介在することによって、液体吐出ヘッド用基板３０に対するフィンガー１０の平行度（平面度）の許容範囲を広げる事ができるので装置の調整時間を大幅に短縮することが可能になる。その結果、記録ヘッドの生産性を大幅に向上させることが可能になり、また、そのコストを大幅に下げることが可能になる。
【００３９】
図５は、本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置の第２実施例の要部を概略的に示す。
【００４０】
図１に示される例においては、液体を保持面１０ａに供給する液体供給路がフィンガー１０の内部に設けられるとともに、その液体を液体供給路に供給する液体供給部１５が備えられる構成とされているが、その代わりに、図５に示される例においては、そのような液体供給路を設けることなく、フィンガー４０の保持面４０ａの各親水処理部４０Ｒｉに対し液体を浸漬あるいは噴霧等により付着させるものとされる。なお、本実施例においても、フィンガー４０を上述したような記録ヘッド本体部に向かって近接するように下降させ、または記録ヘッド本体部に対して離隔するように上昇させるフィンガー搬送駆動制御部とを含んで構成されている。また、フィンガー４０の保持面４０ａは、上述の液体吐出ヘッド用基板としての薄板状の液体吐出ヘッド用基板３０を選択的に保持するものとされる。
【００４１】
図５および図６において、フィンガー４０の下端部には、上述の液体吐出ヘッド用基板３０の吐出口形成面３０Ｅ側の表面全体を保持する保持面４０ａが形成されている。保持面４０ａには、上述の液体吐出ヘッド用基板３０の親水処理部３０Ｒｉに対応した微小な親水処理部４０Ｒｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）がフォトリソプロセス等により形成されている。親水処理部４０Ｒｉの間隔および数量は、上述の液体吐出ヘッド用基板３０の親水処理部３０Ｒｉに対応した間隔および数量に設定されている。保持面４０ａにおける親水処理部４０Ｒｉ相互間および中央部分には、撥水処理がなされた撥水処理領域４０ＮＲが形成されている。
【００４２】
フィンガー４０の保持面４０ａにおける親水処理部４０Ｒｉに液体、例えば、純水の液滴を付着させるにあたっては、フィンガー４０が図７（Ａ）に示されるような純水４２が貯留される貯留タンク４４の真上に配置された後、図７（Ａ）に二点鎖線で示されるように、フィンガー４０の保持面４０ａが貯留タンク４４に対し下降せしめられ純水４２に浸漬される。
【００４３】
そして、フィンガー４０の保持面４０ａが貯留タンク４４に対し離隔するように上昇せしめられることにより、図７（Ｂ）に示されるように、液滴４２ｄが各親水処理部４０Ｒｉに付着されることとなる。即ち、液滴４２ｄは、撥水処理領域４０ＮＲには撥水効果のために存在する事は無く、親水処理部４０Ｒｉにのみ存在することになる。液滴４２ｄは、液体の表面張力現象により、非常に安定した形状の水玉となる。なお、液滴を各親水処理部４０Ｒｉに付着させる方法は、斯かる例に限られることなく、例えば、液体を、フィンガー４０に向けて、霧状に噴霧する方法等、あるいは、フィンガー４０ではなく、液体吐出ヘッド用基板３０の親水処理部３０Ｒｉに液体を霧状に噴霧する方法等もある。
【００４４】
次に、液滴４２ｄが付着されたフィンガー４０は、上述の第１実施例と同様に、保持面４０ａが液体吐出ヘッド用基板３０の表面に対して近接するように所定の位置まで下降せしめられる。その際、フィンガー４０の保持面４０ａに形成された液滴４２ｄの液体吐出ヘッド用基板３０の各親水処理部３０Ｒｉに対する相対位置の位置決めは、フィンガー搬送駆動制御部による所定の動作プログラムに従う移動経路に沿って移動されることにより可能とされる。従って、従来のような画像認識による液体吐出ヘッド用基板３０のアライメントが不要とされる。
【００４５】
これにより、フィンガー４０の保持面４０ａに形成される液滴４２ｄが液体吐出ヘッド用基板３０の各親水処理部３０Ｒｉに付着することにより、液体吐出ヘッド用基板３０がフィンガー４０の保持面４０ａに保持されることとなる。
【００４６】
続いて、フィンガー４０の保持面４０ａに保持された液体吐出ヘッド用基板３０は、所定の移動経路に沿って移動され、記録ヘッド本体３２におけるチップ支持部３２ａの上面の真上となる位置に配置される。チップ支持部３２ａの被接着面には、予め熱／紫外線併用硬化型接着剤３４が所定量塗布されている。なお、熱／紫外線併用硬化型接着剤３４は、その粘度が低く、その厚さができるだけ薄くなるように形成されることが好ましい。
【００４７】
続いて、フィンガー４０は、保持する液体吐出ヘッド用基板３０がチップ支持部３２ａの被接着面に当接するまでチップ支持部３２ａに向かって下降せしめられる。
【００４８】
続いて、上述したようにチップ支持部３２ａの周辺に相対向して複数設けられる紫外線投光部３６Ａおよび３６Ｂから紫外線ビームＵＶが熱／紫外線併用硬化型接着剤３４に所定期間、照射される。その際、紫外線ビームＵＶは、液体吐出ヘッド用基板３０全体に向けて照射される。これにより、液体吐出ヘッド用基板３０はチップ支持部３２ａに熱／紫外線併用硬化型接着剤３４の接着力により仮固定されることとなる。
【００４９】
そして、フィンガー４０がその接着力に抗してチップ支持部３２ａに対し離隔するように上昇せしめられる。
【００５０】
仮固定された液体吐出ヘッド用基板３０は、記録ヘッド本体３２とともにオーブンや、ホットプレート等で熱キュアされることにより、紫外線ビームＵＶが照射されなかった部分を含め、熱／紫外線併用硬化型接着剤３４が完全に硬化される。従って、液体吐出ヘッド用基板３０がチップ支持部３２ａに対し完全に接着される。
【００５１】
図８および図９は、本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置の第３実施例の要部を概略的に示す。
【００５２】
図５および図６に示される例においては、１つの液体吐出ヘッド用基板３０を保持するためのフィンガー４０とされるが、その代わりに、図８および図９に示される例では、二つの液体吐出ヘッド用基板４８および５０を保持するためのフィンガー４６とされる。なお、本実施例においても、フィンガー４６を上述したような記録ヘッド本体部に向かって近接するように下降させ、または記録ヘッド本体部に対して離隔するように上昇させるフィンガー搬送駆動制御部とを含んで構成されている。
【００５３】
略長方形の液体吐出ヘッド用基板としての薄板状の液体吐出ヘッド用基板５０は、例えば、記録媒体の記録面に対し画像を形成するように記録動作を行うバブルジェット式の記録ヘッドの一部を構成するものとされる。
【００５４】
例えば、サイドシュータ型の液体吐出ヘッド用基板５０は、液滴を吐出する微細な吐出口が複数個配列形成される吐出口形成面５０Ｅを有するオリフィスプレートと、その吐出口形成面５０Ｅの吐出口に対応してヒータが形成されオリフィスプレートと一体とされるヒータボードとを含んで構成されている。液体吐出ヘッド用基板５０は、記録ヘッド本体（不図示）におけるチップ支持部の上面に所定の接着剤により接着される。そのチップ支持部の中央部には、例えば、所定のインクを液体吐出ヘッド用基板５０内に導くインク供給口がその上面に開口している。
【００５５】
そのオリフィスプレートは、図１０に示されるように、吐出口形成面５０Ｅの周囲の表面部に親水処理部５０Ｒｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）が所定の間隔で複数箇所に形成されている。各親水処理部５０Ｒｉは、液体、例えば、純水等が付着し易いように所定の面積についてフォトリソプロセス法により表面処理されている。親水処理部５０Ｒｉが設けられる箇所の数は、例えば、各親水処理部５０Ｒｉに付着した液体により形成される表面張力（液架橋力）の合計により、約数ｇ程度の液体吐出ヘッド用基板５０が確実に保持されるような数に設定されている。
【００５６】
一方、吐出口形成面５０Ｅの周囲の表面部において、親水処理部５０Ｒｉを除く他の部分は、撥水処理面５０ＮＲが形成されている。撥水処理面５０ＮＲは、純水等の液体が付着しないように表面処理されている。
【００５７】
薄板状の液体吐出ヘッド用基板４８は、液体吐出ヘッド用基板５０の幅に比して大なる幅、および、液体吐出ヘッド用基板５０の長さに比して小なる全長を有しており、液体吐出ヘッド用基板５０と同様に同一の記録ヘッドの一部を構成するものとされる。
【００５８】
例えば、サイドシュータ型の液体吐出ヘッド用基板４８は、液滴を吐出する微細な吐出口が複数個配列形成される吐出口形成面４８Ｅを有するオリフィスプレートと、その吐出口形成面４８Ｅの吐出口に対応してヒータが形成されオリフィスプレートと一体とされるヒータボードとを含んで構成されている。液体吐出ヘッド用基板４８は、記録ヘッド本体（不図示）におけるチップ支持部の上面に所定の接着剤により接着される。そのチップ支持部の中央部には、例えば、所定のインクを液体吐出ヘッド用基板４８内に導くインク供給口がその上面に開口している。
【００５９】
そのオリフィスプレートは、図１０に示されるように、吐出口形成面４８Ｅの周囲の表面部に親水処理部４８Ｒｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）が所定の間隔で複数箇所に形成されている。各親水処理部４８Ｒｉは、液体、例えば、純水等が付着し易いように所定の面積についてフォトリソプロセス法により表面処理されている。親水処理部４８Ｒｉが設けられる箇所の数は、例えば、各親水処理部４８Ｒｉに付着した液体により形成される表面張力の合計により、約数ｇ程度の液体吐出ヘッド用基板４８が確実に保持されるような数に設定されている。
【００６０】
一方、吐出口形成面４８Ｅの周囲の表面部において、親水処理部４８Ｒｉを除く他の部分は、撥水処理面４８ＮＲが形成されている。撥水処理面４８ＮＲは、純水等の液体が付着しないように表面処理されている。
【００６１】
フィンガー４６の下端部には、上述の液体吐出ヘッド用基板４８の吐出口形成面４８Ｅ側の表面全体、および、液体吐出ヘッド用基板５０の吐出口形成面５０Ｅ側の表面全体を保持する保持面４６ａおよび４６ｂが同一平面上に形成されている。略長方形の保持面４６ａは、図９に示されるように、その長辺側の端面が略長方形の保持面４６ｂの長辺側の端面に対し所定の間隔をもって略平行となり、かつ、その短辺側の端面が保持面４６ｂの短辺側の端面に対し一方向にずれるように形成されている。
【００６２】
保持面４６ａには、上述の液体吐出ヘッド用基板５０の親水処理部５０Ｒｉに対応した微小な親水処理部４６ＡＲｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）がフォトリソプロセス等により形成されている。親水処理部４６ＡＲｉの間隔および数量は、上述の液体吐出ヘッド用基板５０の親水処理部５０Ｒｉに対応した間隔および数量に設定されている。保持面４６ａにおける親水処理部４６ＡＲｉ相互間および中央部分には、撥水処理がなされた撥水処理領域４６ＡＮＲが形成されている。
【００６３】
保持面４６ｂには、上述の液体吐出ヘッド用基板４８の親水処理部４８Ｒｉに対応した微小な親水処理部４６ＢＲｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）がフォトリソプロセス等により形成されている。親水処理部４６ＢＲｉの間隔および数量は、上述の液体吐出ヘッド用基板４８の親水処理部４８Ｒｉに対応した間隔および数量に設定されている。保持面４６ｂにおける親水処理部４６ＢＲｉ相互間および中央部分には、撥水処理がなされた撥水処理領域４６ＢＮＲが形成されている。
【００６４】
本実施例においても、上述の第２実施例と同様に、フィンガー４６の保持面４６ａおよび４６ｂにそれぞれ液滴が付着された後、フィンガー４６はその液滴による表面張力に基づく保持力により液体吐出ヘッド用基板４８および５０を略同時に保持し所定の記録ヘッド本体（不図示）におけるチップ支持部の上面まで搬送する。その液体吐出ヘッド用基板４８および５０を保持する際、液体吐出ヘッド用基板４８および５０は、保持面４６ａおよび４６ｂの配置に対応して同一のトレー上に配置されている。
【００６５】
そして、上述の例と同様に、液体吐出ヘッド用基板４８および５０がそれぞれ、所定の接着剤により記録ヘッド本体（不図示）におけるチップ支持部の上面に接着される。
【００６６】
なお、上述の各実施例においては、液体吐出ヘッド用基板の親水領域のパターンを円形とし、規則正しく均等に精密配列した例が示されているが、斯かる例に限られることなく、例えば、親水領域の形状は、鈍角（非鋭角）的な形状が望ましく、例えば、四角形や正多角形、あるいは、線状のパターン等も可能であり、またはこれらを混在させるものであってもよい。さらに、配置あるいは配列についても、左右対称で、精密に配置されてあれば、必ずしも均等に配置される必要はない。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置の第１実施例の要部の構成を概略的に示す構成図である。
【図２】本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置の第１実施例が適用される記録ヘッドチップを示す平面図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、および、（Ｄ）は、それぞれ、図１に示される例における動作説明に供される図である。
【図４】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、図１に示される例における動作説明に供される図である。
【図５】本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置の第２実施例に用いられるフィンガーを概略的に示す平面図である。
【図６】図５に示される例におけるフィンガーの側面図である。
【図７】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、図５に示される例における液滴付着の手順の説明に供される図である。
【図８】本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置の第３実施例に用いられるフィンガーを概略的に示す側面図である。
【図９】図８に示される例におけるフィンガーの平面図である。
【図１０】本発明に係る液体吐出ヘッド用基板の保持装置の第３実施例が適用される記録ヘッドチップを示す平面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０、４０、４６    フィンガー
１０ａ、４０ａ，４６ａ，４６ｂ    保持面
４０Ｒｉ、４６ＡＲｉ，４６ＢＲｉ    親水処理部
１２ａｉ，１２ｂｉ    孔
３０、４８、５０    液体吐出ヘッド用基板
３０Ｒｉ，４８Ｒｉ，５０Ｒｉ    親水処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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