(57)【要約】【課題】フレキシブル配線基板とエネルギー付与部とを接続するための金属接合材同士が接触することに起因した短絡を防止する。【解決手段】ＦＰＣ４０の電極形成面４０ａには、各圧力室に対応する駆動信号用の接合電極７８の群と、定電位信号用の接合電極７７とが形成されており、さらに両電極７７，７８の間にダミー電極８８が形成されている。圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａには、各接合電極７８に対応する外部端子９１と、接合電極７７に対応する外部端子９０とが形成されている。接合電極７７が外部端子９０の接合端子９４と、接合電極７８が外部端子９１の接合端子９５とそれぞれ加熱により溶融したハンダ１０３を介して接合される。ダミー電極８８及びこれに塗布されたハンダ１０３は、電極形成面４０ａと端子形成面３５ａとを離間させる補強部材として機能し、電極‐端子間のハンダが広がって短絡するのを防止する。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
定電位信号の配線に接続された定電位信号用電極と駆動信号の配線にそれぞれ接続された複数の駆動信号用電極とが形成された電極形成面を有するフレキシブル配線基板と、
インクを吐出する複数のノズル、前記ノズルにそれぞれ連通すると共に互いに隣接配置された複数の圧力室、及び、駆動信号に基づいて前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部を有するヘッド本体と、
を備え、
前記エネルギー付与部が、駆動信号が供給される複数の駆動信号用端子と定電位信号が供給される定電位信号用端子とが形成された端子形成面を有し、
前記定電位信号用端子と前記定電位信号用電極とが金属接合材を介して接合され、且つ、前記駆動信号用端子と前記駆動信号用電極とがそれぞれ金属接合材を介して接合されており、
互いに隣接する前記駆動信号用端子と前記定電位信号用端子との間に配置され、前記端子形成面と前記電極形成面とに接触しつつこれらの間に介在することにより、前記端子形成面と前記電極形成面とを離間させる補強部材をさらに備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
定電位信号の配線に接続された定電位信号用電極と駆動信号の配線にそれぞれ接続された複数の駆動信号用電極とが形成された電極形成面を有するフレキシブル配線基板と、
インクを吐出する複数のノズル、及び、前記ノズルにそれぞれ連通すると共に互いに隣接配置された複数の圧力室が形成された流路ユニットと、
駆動信号が供給される複数の駆動信号用端子と定電位信号が供給される定電位信号用端子とが形成された端子形成面、前記駆動信号用端子にそれぞれ接続された複数の個別電極、前記定電位信号用端子に接続された共通電極、及び、前記個別電極と前記共通電極とによって挟まれた圧電層を有し、駆動信号に基づいて前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータユニットと、
を備え、
前記定電位信号用端子と前記定電位信号用電極とが金属接合材を介して接合され、且つ、前記駆動信号用端子と前記駆動信号用電極とがそれぞれ金属接合材を介して接合されており、
互いに隣接する前記駆動信号用端子と前記定電位信号用端子との間に配置され、前記端子形成面と前記電極形成面とに接触しつつこれらの間に介在することにより、前記端子形成面と前記電極形成面とを離間させる補強部材をさらに備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記駆動信号用端子が所定の間隔をなして配列されることにより群を形成し、
前記定電位信号用端子が前記駆動信号用端子の群より前記端子形成面の外縁に近い位置に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記補強部材が、前記駆動信号用端子と前記駆動信号用電極とが金属接合材を介して接合された部分における前記電極形成面と前記端子形成面との間の距離と実質的に同じ高さを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記補強部材が、互いに隣接する前記駆動信号用電極と前記定電位信号用電極との間に配置され且つ前記電極形成面に形成されたダミー電極と、前記ダミー電極に塗布された金属接合材と、を含んでいることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ダミー電極が前記駆動信号用電極と実質的に同じ形状及び大きさを有することを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記補強部材が、互いに隣接する前記駆動信号用端子と前記定電位信号用端子との間に配置され且つ前記端子形成面に形成されたダミー端子をさらに含み、
前記ダミー電極に塗布された金属接合材が、前記ダミー電極と前記ダミー端子とを接合していることを特徴とする請求項５又は６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記補強部材が熱溶融性樹脂からなることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記定電位信号用端子が、前記端子形成面の外縁の少なくとも一部に沿って延在していることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記定電位信号用端子が前記駆動信号用端子よりも大きい平面積を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記補強部材は前記端子形成面と前記電極形成面とを両者が離隔する方向の力に抗するように固定していることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
複数の電極が形成された電極形成面を有するフレキシブル配線基板と、
インクを吐出する複数のノズル、前記ノズルにそれぞれ連通すると共に互いに隣接配置された複数の圧力室、及び、駆動信号に基づいて前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部を有するヘッド本体と、
を備え、
前記エネルギー付与部が、前記フレキシブル配線基板の電極とそれぞれ金属接合材を介して接続される複数の端子が形成された端子形成面を有し、
前記端子のうち前記フレキシブル配線基板の前記電極形成面の外縁に最も近い位置に配置された端子と当該端子よりも前記外縁から離れた位置に配置された端子との間に配置され、前記端子形成面と前記電極形成面とに接触しつつこれらの間に介在することにより、前記端子形成面と前記電極形成面とを離間させる補強部材をさらに備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１３】
フレキシブル配線基板と端子形成部材との接続構造において、
前記フレキシブル配線基板は複数の電極が形成された電極形成面を有し、
前記端子形成部材は前記フレキシブル配線基板の電極とそれぞれ金属接合材を介して接続される複数の端子が形成された端子形成面を有し、
前記端子のうち前記フレキシブル配線基板の前記電極形成面の外縁に最も近い位置に配置された端子と当該端子よりも前記外縁から離れた位置に配置された端子との間に配置され、前記端子形成面と前記電極形成面とに接触しつつこれらの間に介在することにより、前記端子形成面と前記電極形成面とを離間させる補強部材を備えたことを特徴とする接続構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体にインクを吐出するインクジェットヘッド、及び、フレキシブル配線基板と端子形成部材との接続構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクを吐出する複数のノズル及びノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が形成された流路ユニットと、圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部と、エネルギー付与部に駆動信号を供給するフレキシブル配線基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）とを有するインクジェットヘッドがある。エネルギー付与部としては、例えば、圧力室の容積を変化させることにより圧力室内のインクに吐出エネルギーとしての圧力を付加する圧電式のアクチュエータユニットが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載のアクチュエータユニットは、各圧力室に対向する位置に設けられた個別電極、複数の圧力室に跨る共通電極、及び、複数の個別電極と共通電極とによって挟まれた圧電シートを含む。アクチュエータユニット上には、各個別電極と電気的に接続された駆動信号用端子と、共通電極と電気的に接続される定電位信号用端子とが配置されている。定電位信号用端子は駆動信号用端子の群の両側に位置し、定電位信号用端子は駆動信号用端子よりも大きい平面積を有する。ＦＰＣの一平面上には、ドライバＩＣにより生成された駆動信号を出力する複数の駆動信号用電極と、駆動信号の基準となる定電位信号用電極とが配置されている。定電位信号用電極は駆動信号用電極の群の両側に位置する。各駆動信号用電極が金属接合材としてのハンダを介して対応する駆動信号用端子と接合され、また定電位信号用電極がハンダを介して定電位信号用端子と接合されることにより、アクチュエータユニットとＦＰＣとが接続される。
【０００４】
駆動信号が駆動信号用電極から駆動信号用端子を介して個別電極に印加され、また定電位信号であるグランド電圧が定電位信号用端子から定電位信号用電極を介して共通電極に印加されると、その個別電極と共通電極との間に挟まれた圧電層の部分に対してその厚み方向に電界が作用して、この部分の圧電層が伸長する。これにより、圧力室の容積が変化して圧力室内のインクに圧力、即ち吐出エネルギーが付与される。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３６５６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
アクチュエータユニットとＦＰＣとを接続するには、ＦＰＣの表面に形成されている各電極にハンダを塗布した後、ＦＰＣとアクチュエータユニットとを貼り合わせた状態で加熱する。ここで、上述のように定電位信号用端子が駆動信号用端子よりも平面積が大きいことから、定電位信号用電極に塗布されたハンダが定電位信号用端子の平面に沿って広がり易い。この場合、ハンダの表面張力によって、ＦＰＣにおける定電位信号用端子と対向する領域がアクチュエータユニットに向かって引っ張られる。
【０００７】
このようにして引っ張られたＦＰＣがアクチュエータユニットに近づき過ぎると、定電位信号用端子と定電位信号用電極とを接続するハンダ及び駆動信号用端子と駆動信号用電極とを接続するハンダが、アクチュエータユニットとＦＰＣとの間の空間において、当該空間の延在方向に広がり、互いに接触して短絡するという問題が生じ得る。
【０００８】
本発明の目的は、フレキシブル配線基板とエネルギー付与部、アクチュエータユニット、又は端子形成部材とを接続するための金属接合材同士が接触することに起因した短絡を防止することができるインクジェットヘッド及びフレキシブル配線基板と端子形成部材との接続構造を提供することである。
【課題を解決するための手段および効果】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明に係るインクジェットヘッドは、定電位信号の配線に接続された定電位信号用電極と駆動信号の配線にそれぞれ接続された複数の駆動信号用電極とが形成された電極形成面を有するフレキシブル配線基板と、インクを吐出する複数のノズル、ノズルにそれぞれ連通すると共に互いに隣接配置された複数の圧力室、及び、駆動信号に基づいて圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部を有するヘッド本体と、を備え、エネルギー付与部が、駆動信号が供給される複数の駆動信号用端子と定電位信号が供給される定電位信号用端子とが形成された端子形成面を有し、定電位信号用端子と定電位信号用電極とが金属接合材を介して接合され、且つ、駆動信号用端子と駆動信号用電極とがそれぞれ金属接合材を介して接合されており、互いに隣接する駆動信号用端子と定電位信号用端子との間に配置され、端子形成面と電極形成面とに接触しつつこれらの間に介在することにより、端子形成面と電極形成面とを離間させる補強部材をさらに備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るインクジェットヘッドは、定電位信号の配線に接続された定電位信号用電極と駆動信号の配線にそれぞれ接続された複数の駆動信号用電極とが形成された電極形成面を有するフレキシブル配線基板と、インクを吐出する複数のノズル、及び、ノズルにそれぞれ連通すると共に互いに隣接配置された複数の圧力室が形成された流路ユニットと、駆動信号が供給される複数の駆動信号用端子と定電位信号が供給される定電位信号用端子とが形成された端子形成面、駆動信号用端子にそれぞれ接続された複数の個別電極、定電位信号用端子に接続された共通電極、及び、個別電極と共通電極とによって挟まれた圧電層を有し、駆動信号に基づいて圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータユニットと、を備え、定電位信号用端子と定電位信号用電極とが金属接合材を介して接合され、且つ、駆動信号用端子と駆動信号用電極とがそれぞれ金属接合材を介して接合されており、互いに隣接する駆動信号用端子と定電位信号用端子との間に配置され、端子形成面と電極形成面とに接触しつつこれらの間に介在することにより、端子形成面と電極形成面とを離間させる補強部材をさらに備えたことを特徴とする。
【００１１】
上記構成によると、金属接合材を用いてエネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板とを接続するときに、金属接合材の表面張力によってフレキシブル配線基板における定電位信号用端子と対向する領域がエネルギー付与部又はアクチュエータユニットに向かって引っ張られた場合でも、補強部材がフレキシブル配線基板を支えるので、フレキシブル配線基板がエネルギー付与部又はアクチュエータユニットに近づき過ぎることがない。これにより、金属接合材がエネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板との間の空間において当該空間の延在方向に広がるという問題が軽減され、金属接合材同士が接触することにより短絡が生じるのを抑制することができる。
【００１２】
また、上記のように補強部材を設けた場合、短絡を抑制するために単に駆動信号用端子と定電位信号用端子との距離を大きくした場合に比べ、短絡をより効果的に抑制することができる。
【００１３】
駆動信号用端子が所定の間隔をなして配列されることにより群を形成し、定電位信号用端子が駆動信号用端子の群より端子形成面の外縁に近い位置に配置されていることが好ましい。この場合、定電位信号用端子が駆動信号用端子同士の間に配置されないので、駆動信号用端子を効率よく配置することができ、インクジェットヘッドの小型化を図ることができる。
【００１４】
補強部材が、駆動信号用端子と駆動信号用電極とが金属接合材を介して接合された部分における電極形成面と端子形成面との間の距離と実質的に同じ高さを有することが好ましい。この場合、フレキシブル配線基板がエネルギー付与部又はアクチュエータユニットに向けて引っ張られるのを効果的に抑制することができる。さらに、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板との距離が均一化し、フレキシブル配線基板がひずみにくくなると共に、各端子及び電極を正確に接続することができる。
【００１５】
補強部材が、互いに隣接する駆動信号用電極と定電位信号用電極との間に配置され且つ電極形成面に形成されたダミー電極と、ダミー電極に塗布された金属接合材と、を含んでいることが好ましい。この場合、補強部材の金属接合材と各端子及び電極を接合する金属接合材とが略同じ条件で溶融し、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板とが接続される。これにより、上記と同様の効果、即ちエネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板との距離が均一化し、フレキシブル配線基板がひずみにくくなると共に、各端子及び電極を正確に接続することができるという効果を得ることができる。また、各電極に金属接合材を塗布するのと同時にダミー電極に金属接合材を塗布して補強部材を形成することができるため、インクジェットヘッドの製造コストを小さくすることができる。
【００１６】
ダミー電極が駆動信号用電極と実質的に同じ形状及び大きさを有することが好ましい。この場合、ダミー電極及び駆動信号用電極に塗布された金属接合材がより確実に同じ条件で溶融し、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板とが接続されるので、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板との距離をより一層効率よく均一化することができる。
【００１７】
補強部材が、互いに隣接する駆動信号用端子と定電位信号用端子との間に配置され且つ端子形成面に形成されたダミー端子をさらに含み、ダミー電極に塗布された金属接合材が、ダミー電極とダミー端子とを接合していることが好ましい。この場合、ダミー電極とダミー端子とを接合する金属接合材と、各端子及び電極を接合する金属接合材との溶融条件が同じなるため、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板との距離がさらにより一層均一化する。
【００１８】
補強部材が熱溶融性樹脂からなることが好ましい。この場合、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板とを接続する際の加熱によって、各端子及び電極を接合する金属接合材と共に補強部材が溶融し、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板とが接続される。これにより、上述と同様、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットとフレキシブル配線基板との距離が均一化し、フレキシブル配線基板がひずみにくくなると共に、各端子及び電極を正確に接続することができるという効果を得ることができる。
【００１９】
定電位信号用端子が端子形成面の外縁の少なくとも一部に沿って延在していることが好ましい。この場合、駆動信号用端子及び駆動信号用電極を高密度に配置することができる。
【００２０】
定電位信号用端子が駆動信号用端子よりも大きい平面積を有することが好ましい。この場合、定電位信号を効率よく伝達することができる。
【００２１】
補強部材は端子形成面と電極形成面とを両者が離隔する方向の力に抗するように固定していることが好ましい。この場合、エネルギー付与部又はアクチュエータユニットからフレキシブル配線基板を剥離させるような外力が作用しても、補強部材がその外力に抗するため、各端子と電極との接合が断絶して断線が生じるという問題が軽減される。
【００２２】
さらに、本発明に係るインクジェットヘッドは、複数の電極が形成された電極形成面を有するフレキシブル配線基板と、インクを吐出する複数のノズル、ノズルにそれぞれ連通すると共に互いに隣接配置された複数の圧力室、及び、駆動信号に基づいて圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するエネルギー付与部を有するヘッド本体と、を備え、エネルギー付与部が、フレキシブル配線基板の電極とそれぞれ金属接合材を介して接続される複数の端子が形成された端子形成面を有し、上記端子のうちフレキシブル配線基板の電極形成面の外縁に最も近い位置に配置された端子と当該端子よりも外縁から離れた位置に配置された端子との間に配置され、端子形成面と電極形成面とに接触しつつこれらの間に介在することにより、端子形成面と電極形成面とを離間させる補強部材をさらに備えたことを特徴とする。
【００２３】
上記構成のインクジェットヘッドでは、金属接合材を用いてエネルギー付与部とフレキシブル配線基板とを接続するときに、金属接合材の表面張力によってフレキシブル配線基板の外縁近傍がエネルギー付与部に向かって引っ張られた場合でも、補強部材がフレキシブル配線基板を支えるので、フレキシブル配線基板がエネルギー付与部に近づき過ぎることがない。これにより、金属接合材がエネルギー付与部とフレキシブル配線基板との間の空間において当該空間の延在方向に広がるという問題が軽減され、金属接合材同士が接触することにより短絡が生じるのを抑制することができる。
【００２４】
また、本発明に係るフレキシブル配線基板と端子形成部材との接続構造によると、フレキシブル配線基板は複数の電極が形成された電極形成面を有し、端子形成部材はフレキシブル配線基板の電極とそれぞれ金属接合材を介して接続される複数の端子が形成された端子形成面を有し、上記端子のうちフレキシブル配線基板の電極形成面の外縁に最も近い位置に配置された端子と当該端子よりも外縁から離れた位置に配置された端子との間に配置され、端子形成面と電極形成面とに接触しつつこれらの間に介在することにより、端子形成面と電極形成面とを離間させる補強部材を備えたことを特徴とする。
【００２５】
上記構成の接続構造によると、金属接合材を用いて端子形成部材とフレキシブル配線基板とを接続するときに、金属接合材の表面張力によってフレキシブル配線基板の外縁近傍が端子形成部材に向かって引っ張られた場合でも、補強部材がフレキシブル配線基板を支えるので、フレキシブル配線基板が端子形成部材に近づき過ぎることがない。これにより、金属接合材が端子形成部材とフレキシブル配線基板との間の空間において当該空間の延在方向に広がるという問題が軽減され、金属接合材同士が接触することにより短絡が生じるのを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２７】
図１に示す本実施形態のインクジェットヘッド１は、流路ユニット１０と、圧電アクチュエータ１２と、ＦＰＣ４０とを有する。ヘッド１は、所謂シリアルタイプであって、用紙の搬送方向（副走査方向、Ｙ方向）と直交する方向（主走査方向、Ｘ方向）に往復移動するキャリッジ（図示せず）に取り付けられている。キャリッジには、ヘッド１に供給されるシアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの各色のインクカートリッジが着脱可能に収容されている。
【００２８】
流路ユニット１０の下面には、多数のノズル１１ａ（図２参照）が開口している。ノズル１１ａはそれぞれ、流路ユニット１０上面に形成された圧力室２３に連通している。圧電アクチュエータ１２は、ノズル１１ａからインクを吐出させるため、対応する圧力室２３に圧力波を発生させるものである。圧電アクチュエータ１２は、プレート型で、流路ユニット１０の上面に接着剤を介して接着されている。ＦＰＣ４０は、圧電アクチュエータ１２を駆動するための駆動信号及び定電圧信号であるコモン信号を圧電アクチュエータ１２に供給するものであり、圧電アクチュエータ１２の上面に接合されている。
【００２９】
ここで、図２及び図３を参照しつ、流路ユニット１０の詳細について説明する。
【００３０】
図２に示すように、流路ユニット１０は、下層から順にノズルプレート１１、カバープレート１５、ダンパープレート１６、２枚のマニホールドプレート１７、１８、２枚のスペーサプレート１９、２０及び圧力室２３が形成されているベースプレート２１の合計８枚の偏平な板を積層して接着剤で接合したものである。ノズルプレート１１は合成樹脂製であり、その他のプレート１５〜２１は４２％ニッケル合金鋼板製である。プレート１１，１５〜２１の板厚は５０μｍ〜１５０μｍ程度である。
【００３１】
ノズルプレート１１には、２５μｍの微小径のノズル１１ａが多数穿設されている。ノズル１１ａはＹ方向に沿って千鳥配列状に配置され、ノズル列はＸ方向に関して間隔をなしつつ５列形成されている。図２にはＹ方向に沿った５つのノズル列のうち第１列Ｎ１、第２列Ｎ２、及び第３列Ｎ３が示されており、第４列及び第５列は図示されていない。第１列〜第５列の各ノズル列の長さは１インチであり、各列に含まれるノズル１１ａは７５個であるので、配列密度は７５ｄｐｉ（dot per inch）である。ノズル列のうち第１列Ｎ１のノズル１１ａからはシアンインク、第２列Ｎ２のノズル１１ａからはイエローインク、第３列Ｎ３ノズル１１ａからはマゼンタインク、第４列及び第５列（図２に示されていない）のノズル１１ａからはブラックインクがそれぞれ吐出される。
【００３２】
ベースプレート２１には、各ノズル１１ａに対応する圧力室２３が穿設されている。圧力室２３は、ノズル１１ａと同様Ｙ方向に沿って千鳥配列状に配置されており、圧力室列はＸ方向に関して間隔をなしつつ５列形成されている。図２ではＹ方向に沿った５つの圧力室列にそれぞれ参照番号２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−５を付している。図３に示すように、各列に含まれる圧力室２３は、Ｙ方向において隔壁２４を介して配置され、隣接する列に含まれる圧力室２３に対してＹ方向に半ピッチずれて、所謂千鳥状に配列されている。各圧力室２３はＸ方向に細長な形状を有し、その長手方向の一端は上側スペーサプレート２０に穿設された連通孔２９に、他端は、カバープレート１５、ダンパープレート１６、マニホールドプレート１７、１８、スペーサプレート１９、２０に穿設された連通路２５を介して各ノズル１１ａに連通している。
【００３３】
ベースプレート２１にはさらに、そのＹ方向の一端近傍に、４つのインク供給口３１が穿設されている。図２ではＸ方向に適宜間隔で穿設された４つのインク供給口３１にそれぞれ参照番号３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄを付している。スペーサプレート１９，２０には各インク供給口３１と連通するインク供給通路３２が穿設されている。
【００３４】
マニホールドプレート１７、１８には、圧力室２３の各列の下方においてＹ方向に延在するインク通路が穿設されており、プレート１７，１８が積層されることにより５つの共通インク室２６が形成される。各共通インク室２６の一端は、インク供給通路３２及びインク供給口３１と連通している。図２では５つの共通インク室に参照番号２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄ、２６ｅを付している。スペーサプレート１９，２０に穿設された各インク供給通路３２を介して、共通インク室２６ａ、２６ｂ、２６ｃはインク供給口３１ａ、３１ｂ、３１ｃにそれぞれ連通し、共通インク室２６ｄ、２６ｅは共にインク供給口３１ｄに連通している。
【００３５】
ダンパープレート１６の下面には、各共通インク室２６と平面視で一致する形状のダンパー室２７が凹設されており、ダンパープレート１６とカバープレート１５とが積層されることにより密閉状のダンパー室２７が形成される。これにより、圧力室２３に作用する圧力波のうち共通インク室２６の方向に向かう後退成分を、ダンパー室２７上部の板厚の薄い壁の振動により吸収することができ、所謂クロストークの発生を防止することができる。
【００３６】
図３に示すように、下側スペーサプレート１９の上面には、Ｘ方向に細長な絞り部２８が凹設されている。絞り部２８はそれぞれ圧力室２３に対応するものである。各絞り部２８の一端は対応する共通インク室２６に連通し、他端は上側スペーサプレート２０に穿設された連通孔２９を介して圧力室２３に連通する。
【００３７】
各インク供給口３１に供給されたインクは、対応する共通インク室２６に流入し、そして絞り部２８、連通孔２９を通って各圧力室２３内に分配された後、各圧力室２３から連通路２５を通って当該圧力室２３に対応するノズル１１ａに至る。インク供給口３１ａにはシアンインク、インク供給口３１ｂにはイエローインク、インク供給口３１ｃにはマゼンタインク、インク供給口３１ｄにはブラックインクがそれぞれ供給される。
【００３８】
次に、図４、図５、図６、図７（ａ），（ｂ）を参照しつつ、圧電アクチュエータ１２の詳細について説明する。
【００３９】
圧電アクチュエータ１２では、圧電シート３３，３４における個別電極３６とコモン電極３７とで挟まれた部分が活性部となる。任意の個別電極３６とコモン電極３７との間に電圧を印加することにより、印加された個別電極３６に対応した圧電シートの活性部に、積層方向に圧電縦効果による歪みが発生する。ＦＰＣ４０を介してコモン電極３７に定電位信号即ちコモン信号が印加され、個別電極３６に駆動信号が印加される。駆動信号の電圧変化に伴って個別電極３６とコモン電極３７との間に電圧差が生じる。
【００４０】
活性部は、圧力室２３と同一の数で且つ平面視で一致するように形成されている。つまり各活性部は圧力室２３と同様にＸ方向に細長な形状であり、且つ、活性部は圧力室２３の列の延在方向（Ｙ方向）に沿って５列に並べられている。各列に含まれる活性部は、隣接する列に含まれる活性部に対してＹ方向に半ピッチずれて、所謂千鳥状に配列されている。
【００４１】
圧電アクチュエータ１２は、図４及び図５に示すように、１枚の厚さが３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる７枚の圧電シート３３、３４が交互に積層された群、この群の上面に積層された拘束シート４６、及び、拘束シート４６の上面に積層されたトップシート３５を含む。拘束シ−ト４６及びトップシ−ト３５は、電気的絶縁性を有する限り、圧電セラミックス板でも良いし、他の材料でも良い。
【００４２】
各圧電シート３３の上面には、各圧力室２３に対応した個別電極３６のパターンがスクリーン印刷形成されている。各個別電極３６は、図７（ｂ）に一点鎖線で示すように、直線状の直線部３６ｂと、直線部３６ｂから斜め方向へと延出した端部３６ａとを含む。直線部３６ｂは、対応する圧力室２３（図７（ｂ）の点線参照）より一回り小さな矩形状を有し、その周縁が圧力室２３の周縁より内周に位置するように配置されている。端部３６ａは、平面視で対応する圧力室２３と重ならず、圧力室２３の外側に位置する。
【００４３】
図４では、圧力室列２３−１、２３−２、２３−３、２３−４、２３−５にそれぞれ対応する個別電極３６の列３６−１、３６−２、３６−３、３６−４、３６−５を付している。第３列３６−３に含まれる個別電極３６のみ、端部３６ａの直線部３６ｂからの延出方向が交互になるように配列されている。
【００４４】
各端部３６ａは、図４及び図７（ｂ）に示すように、上側の圧電シート３４及び拘束シート４６に形成された接続用個別電極３８，５３のそれぞれと平面視で重なっている。また図７（ｂ）に示すように、各端部３６ａは、上側の圧電シート３４を貫通するスルーホール状の内部導通電極４２と電気的に接続可能な位置に配置されている。
【００４５】
各圧電シート３３の上面にはさらに、図４に示すように、圧電シート３３の縁に沿って接続用コモン電極４３が形成されている。
【００４６】
各圧電シート３４の上面にはコモン電極３７がスクリーン印刷形成されている。最下層の圧電シート３４におけるコモン電極３７は当該圧電シート３４の上面全体に形成されている。
【００４７】
最下層の圧電シート３４を除く各圧電シート３４に形成されたコモン電極３７は、図４に示すように、圧電シート３４の長辺方向（Ｙ方向）に延在する５つの第１電気導通部分３７ａと、第１電気導通部分３７ａそれぞれの両端を連結するよう圧電シート３４の短辺方向（Ｘ方向）に延在する第２電気導通部分３７ｂとを有する。５つの第１電気導通部分３７ａは個別電極列３６−１〜３６−５とそれぞれ平面視で重なっている。
【００４８】
最下層の圧電シート３４を除く各圧電シート３４にはさらに、第１の島状個別導通部としての接続用個別電極３８が形成されている。各接続用個別電極３８は、略矩形状であって、対応する個別電極３６の端部３６ａと平面視で部分的に重なっている。接続用個別電極３８の列は、隣接する第１電気導通部分３７ａの間に挟まれるよう形成されている。
【００４９】
拘束シート４６の上面には、接続用個別電極５３が接続用個別電極３８と平面視で一致するよう形成されている。拘束シート４６の上面にはさらに、拘束シート４６の短辺に沿ってコモン導通部としての接続用コモン電極５４が形成されている。接続用コモン電極５４は、コモン電極３７の第２電気導通部分３７ｂ及び接続用コモン電極４３の一部とそれぞれ平面視で重なっている。
【００５０】
圧電シート３３における接続用コモン電極４３が形成される位置、最下層を除く圧電シート３４におけるコモン電極３７が形成される位置、及び、拘束シート４６における接続用コモン電極５４が形成される位置にはそれぞれ、スルーホールが穿設されている。各スルーホール内に導電性ペーストを充填して内部導通電極（図示せず）を形成することにより、上下に位置するコモン電極３７、接続用コモン電極４３，５４が電気的に接続される。
【００５１】
同様に、圧電シート３３における個別電極３６の端部３６ａが形成される位置、圧電シート３４における接続用個別電極３８が形成される位置、及び、拘束シート４６における接続用個別電極５３が形成される位置にはそれぞれ、スルーホールが穿設されている。各スルーホール内に導電性ペーストを充填して内部導通電極４２（図５参照）を形成することにより、個別電極３６、接続用個別電極３８，５３が電気的に接続される。各シート３３、３４、４６に形成される内部導通電極４２は、平面視で重ならないよう適宜距離だけ隔てて形成されている（図５及び図７（ｂ）参照）。
【００５２】
トップシ−ト３５の上面である端子形成面３５ａには、図４に示すように、コモン電極用の外部端子９０及び個別電極用の外部端子９１が形成されている。外部端子９０はＦＰＣ４０の接合電極７７に接合され、外部端子９１はＦＰＣ４０の接合電極７８に接合される。外部端子９０、９１はそれぞれ、薄い表面電極９２、９３と、当該表面電極９２、９３上に形成される厚い接合端子９４、９５とを含む（図４、図５、及び図６参照）。外部端子９０は端子形成面３５ａの外縁に沿って帯状に延在しており、外部端子９１は所定間隔をなして配列されることにより群を形成している。詳細には、外部端子９１は図２及び図４に示すようにＹ方向に沿った圧力室列２３−１〜２３−５に対応する列をなしつつ千鳥状に形成されている。
【００５３】
外部端子９０に含まれる表面電極９２は、図４に示すように、拘束シ−ト４６の接続用コモン電極５４と平面視で重なるよう帯状に形成されている。接合端子９４は、表面電極９２上の複数箇所に適宜形状にて付着されている。外部端子９０は各外部端子９１よりも大きい平面積を有する。
【００５４】
外部端子９１に含まれる表面電極９３は、図６に示すように、Ｘ方向に延在する細幅部９３ａと、細幅部９３ａに連接された広幅部９３ｂとを含む。外部端子９１はＹ方向に関して細幅部９３ａからの広幅部９３ｂの延出方向が交互になるように形成されている。これにより、広幅部９３ｂを含む場合でも、Ｙ方向に関して隣接する外部端子９１の間隔を充分に確保することができ、外部端子９１間の電気的短絡を抑制することができる。
【００５５】
細幅部９３ａは圧力室２３を画定する隔壁２４の幅Ｗ１よりも狭い幅Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を有し、広幅部９３ｂは隔壁２４の幅Ｗ１よりも若干広い幅Ｗ３を有する（図７（ｂ）参照）。各表面電極９３は、拘束シ−ト４６の接続用個別電極５３と平面視で部分的に重なるように形成されている。
【００５６】
表面電極９３は、図５及び図７（ｂ）に示すように、各隔壁２４の上方に位置する。つまり、圧力室２３のＹ方向に関する配置間隔Ｐ０と同じ間隔にて、圧力室２３の配置と半ピッチずれた位置に、表面電極９３が形成されている。本実施形態では、配置間隔Ｐ０＝０．３３９μｍ、Ｗ１＝１２０μｍ 〜１５０μｍ、Ｗ２＝１００μｍ、Ｗ３＝１５０〜３００μｍ、好ましくはＷ３＝２００〜２２０μｍ、広幅部９３ｂの長さＬ３＝３６０μｍ程度である（図７（ａ），（ｂ）参照）。表面電極９３の厚さは１〜２μｍである。
【００５７】
広幅部９３ｂの表面に付着される接合端子９５は、広幅部９３ｂの面積よりも小さく、且つ、その周縁が広幅部９３ｂの周縁よりも内周に位置するように配置されている。本実施形態では、接合端子９５の幅Ｗ４＝１５０〜２００μｍ、接合端子９５の周縁と広幅部９３ｂの周縁との間隔Ｗ５＝２５μｍである。接合端子９５の厚さは２０μｍである。
【００５８】
トップシ−ト３５における外部端子９０，９１が形成される位置にはそれぞれスルーホールが穿設されている。各スルーホール内に導電性ペーストを充填して内部導通電極４４（図５及び図６参照）を形成することにより、外部端子９０は接続用コモン電極５４と、外部端子９１は接続用個別電極５３と、それぞれ電気的に接続される。
【００５９】
内部導通電極４４における表面電極９２、９３と接触する上部が端子形成面３５ａ、即ち圧電アクチュエータ１２上に露出されないよう、内部導通電極４４の当該上部には、接合端子９４、９５と同じ材料からなる充填電極９６が形成されている。これにより、内部導通電極４４と表面電極９２、９３との接続箇所が保護される。
【００６０】
図６及び図７（ａ）に示すように、各表面電極９３に対する内部導通電極４４はＹ方向に沿って配置されており、Ｙ方向に配列された各外部端子９１に含まれる接合電極９５は１つおきに充填電極９６としても機能し、内部導通電極４４はＹ方向に関して接合端子９５及び充填電極９６によって交互に保護されている。
【００６１】
充填電極９６、接合端子９４、９５の形状は、矩形状以外にも、小判型、楕円状等適宜の形状であってよい。
【００６２】
上記の圧電アクチュエータ１２は、表面電極９２，９３や内部の各電極３６，３７等を各圧電シートに印刷形成した後、それら圧電シートを積層し焼成によって一体化することにより製作される。その後、表面電極９２，９３上に接合端子９４，９５を印刷やメッキ等の方法により付着させる。上記焼成工程において表面電極９２，９３が変質するので表面電極９２，９３と後述するハンダ１０３との接合性が悪くなるが、焼成工程の後に接合端子９４，９５を形成して当該接合端子９４，９５とハンダ１０３とを接合することにより、接合性の問題を解消している。
【００６３】
次に、図８（ａ），（ｂ）を参照しつつ、ＦＰＣ４０の構成について説明する。図１に示すように、ＦＰＣ４０はその一端が圧電アクチュエータ１２上に重ねられ、そしてＸ方向に外側に延出されている。
【００６４】
図８（ａ），（ｂ）に示すように、ＦＰＣ４０は、電気絶縁性且つ可撓性を有する合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなるＸ方向に細長な帯状のベース材１００を有する。ベース材１００の下面である電極形成面４０ａには、コモン電極用の接合電極７７、個別電極用の接合電極７８、ダミー電極８８、微細な配線７９及び端子１０４、１０５がフォトレジスト等により形成されている。電極７７，７８，８８、配線７９、及び端子１０４、１０５は共に銅箔からなる。さらに電極形成面４０ａの表面には、電気絶縁性且つ可撓性を有する合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなるカバーレイ１０１が、後述のように電極７７，７８，８８上のハンダ１０３を塗布する箇所を残して被覆されている。
【００６５】
接合電極７７は、ＦＰＣ４０の外縁に沿って形成されており、Ｘ方向に延在する一対の第１コモン接合電極７７−１と、Ｙ方向延在する１本の第２コモン接合電極７７−２とを含む。第２コモン接合電極７７−２の両端は各第１コモン接合電極７７−１の一端と接続されている。各第１コモン接合電極７７−１の他端は接続端子１０４と接続されている。接合電極７７上における、圧電アクチュエータ１２上面に形成された外部端子９０の複数の接合端子９４と対向する複数箇所には、それぞれハンダ１０３が塗布されている。接合電極７７は、圧電アクチュエータ１２の外部端子９０とハンダ１０３を介して接合される。
【００６６】
接合電極７８は、図２及び図４に示す外部端子９１の接合端子９５と対向するように、Ｙ方向に沿った圧力室列２３−１〜２３−５に対応する列組（図８（ａ）ではそれぞれ参照番号７８−１、７８−２、７８−３、７８−４、７８−５を付している）をなしつつ千鳥状に形成されている。各列組７８−１、７８−２、７８−３、７８−４、７８−５は２列の接合電極７８を含む。各接合電極７８上には、接合電極７７に塗布されたものと同じ大きさ及び形状のハンダ１０３が塗布されており、接合電極７８は圧電アクチュエータ１２の外部端子９１とハンダ１０３を介して接合される。
【００６７】
ダミー電極８８は、形状及び大きさが接合電極７８と同じであり、帯状の２本の第１コモン接合電極７７−１と個別電極用の接合電極７８の群との間において第１コモン接合電極７７−１の延在方向（Ｘ方向）に沿うように、且つ、圧電アクチュエータ１２上面における外部端子９０と外部端子９１の群との間の領域と対向するように、配列されている。各ダミー電極８８上には、接合電極７７に塗布されたものと同じ大きさ及び形状のハンダ１０３が塗布されている。ダミー電極８８はハンダ１０３と一体となって補強部材８０を形成する（図９（ａ）参照）。
【００６８】
上記の各電極に塗布されるハンダ１０３は、一括してスクリーン印刷形成され、各電極に塗布されるハンダ１０３の量はほぼ同量とされる。
【００６９】
ＦＰＣ４０にはドライバＩＣ１０２が実装されている。Ｘ方向に延在する配線７９はノズル１１ａ又は圧力室２３と同じ数だけ設けられており、その一端は各接合電極７８、他端はドライバＩＣ１０２に接続されている。つまり配線７９を介して、各接合電極７８とドライバＩＣ１０２の端子とが電気的に接続されている。ドライバＩＣ１０２は、外部機器、例えばヘッド１を含む記録装置本体の制御基板からシリアル転送されてくる記録データを、各ノズル１１ａに対応するパラレルデータに変換し、且つ、記録データに対応した所定電圧の波形信号を生成して各配線７９に出力する。当該波形信号は各配線７９から各接合電極７８へと伝送される。
【００７０】
ドライバＩＣ１０２よりも外部機器に近い部分には、Ｘ方向に沿って端子１０５が多数配列されており、当該多数の端子１０５の群の両側にさらに端子１０４が形成されている。端子１０４は接合電極７７、端子１０５はドライバＩＣ１０２と電気的に接続されている。図８（ａ）に示すように、ドライバＩＣ１０２と圧電アクチュエータ１２との間にはノズル数と同じ数の配線７９を高密度に形成する必要があるが、ドライバＩＣ１０２よりも外部機器に近い部分では、上述のように外部機器からドライバＩＣ１０２にはシリアルデータが転送されてくるので、低密度な配線パターンの端子１０５が形成されている。
【００７１】
次に、図９（ａ），（ｂ）を参照しつつ、ＦＰＣ４０と圧電アクチュエータ１２との接合について説明する。
【００７２】
図９（ａ）に示すように、ＦＰＣ４０と圧電アクチュエータ１２とを接続するときは、各電極７７，７８，８８にハンダ１０３を塗布した後、接合電極７７が外部端子９０の接合端子９４と対向するように、且つ、接合電極７８が外部端子９１の接合端子９５と対向するように、ＦＰＣ４０及び圧電アクチュエータ１２を配置する。そしてＦＰＣ４０及び圧電アクチュエータ１２を貼り合わせた状態で押圧しながら加熱すると、各ハンダ１０３が溶融し、接合電極７７がハンダ１０３を介して外部端子９０に電気的及び機械的に接合されると共に、接合電極７８がハンダ１０３を介して外部端子９１に電気的及び機械的に接合される（図９（ｂ）参照）。
【００７３】
外部端子９１の群と外部端子９０との間には補強部材８０が配置されており、補強部材８０は圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａとＦＰＣ４０の電極形成面４０ａとに接触しつつこれらの間に介在することにより、端子形成面３５ａと電極形成面４０ａとを離間させている。補強部材８０は、外部端子９１と接合電極７８とがハンダ１０３を介して接合された部分におけるＦＰＣ４０の電極形成面４０ａと圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａとの間の距離と実質的に同じ高さを有する。
【００７４】
ＦＰＣ４０と圧電アクチュエータ１２とを接続する際の加熱によって、各電極７７，７８，８８に塗布されたハンダ１０３は溶融し、各外部端子９０，９１の接合端子９４，９５に沿って濡れ広がる。ここで、外部端子９０は外部端子９１より大きな平面積を有しているため、外部端子９０においてハンダ１０３がより広がり易くなり、ハンダ１０３の表面張力によってＦＰＣ４０における外部端子９０と対向する領域が圧電アクチュエータ１２に向けて引っ張られる。しかしながら、外部端子９０の近傍において補強部材８０がＦＰＣ４０を支えるので、ＦＰＣ４０が圧電アクチュエータ１２に近づき過ぎることがない。これにより、ハンダ１０３が圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０との間の空間において当該空間の延在方向に広がるという問題が軽減され、ハンダ１０３同士が接触することにより短絡が生じるのを抑制することができる。
【００７５】
本実施形態のように補強部材８０を設けた場合、短絡を抑制するために単に接合電極７８と接合電極７７との距離を大きくした場合と比較して、短絡をより効果的に抑制することができる。
【００７６】
図４に示すように、外部端子９１は所定の間隔をなして配列されることにより群を形成し、外部端子９０は外部端子９１の群よりもトップシート３５の端子形成面３５ａの外縁に近い位置に配置されている。つまり、外部端子９０の接合端子９４が外部端子９１の接合端子９５同士の間に配置されていない。これにより、接合端子９５を効率よく配置することができ、インクジェットヘッド１の小型化を図ることができる。
【００７７】
上述のように、補強部材８０は、外部端子９１と接合電極７８とがハンダ１０３を介して接合された部分におけるＦＰＣ４０の電極形成面４０ａと圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａとの間の距離と実質的に同じ高さを有する。これにより、ＦＰＣ４０が圧電アクチュエータ１２に向けて引っ張られるのを効果的に抑制することができる。さらに、圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０との距離が均一化し、ＦＰＣ４０がひずみにくくなると共に、各接合端子及び各接合電極を正確に接続することができる。
【００７８】
補強部材８０がダミー電極８８とダミー電極８８に塗布されたハンダ１０３とを含んでいるので、補強部材８０のハンダ１０３と各端子９０，９１及び電極７７，７８を接合するハンダ１０３とが略同じ条件で溶融し、圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０とが接続される。これにより上記と同様の効果、即ち圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０との距離が均一化し、ＦＰＣ４０がひずみにくくなると共に、各接合端子及び各接合電極を正確に接続することができるという効果を得ることができる。また、接合電極７７及び接合電極７８にハンダ１０３を塗布するのと同時にダミー電極８８にハンダ１０３を塗布して補強部材８０を形成することができるため、インクジェットヘッド１の製造コストを小さくすることができる。
【００７９】
ダミー電極８８が接合電極７８と同じ形状及び大きさを有するので、各電極８８，７８に塗布されたハンダ１０３がより確実に同じ条件で溶融して圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０とが接続される。これにより、圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０との距離をより一層効率よく均一化することができる。
【００８０】
コモン電極用の外部端子９０は、図４に示すように、圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａの外縁の一部に沿って形成されている。これにより、外部端子９１及び接合電極７８を高密度に配置することができる。
【００８１】
外部端子９０は各外部端子９１より大きい平面積を有しており、コモン信号を効率よく伝達することができる。
【００８２】
次に、上述した実施形態の変形例について説明する。
【００８３】
図１０は第１変形例を示す。本変形例では、圧電アクチュエータ１２のトップシ−ト３５の上面、即ち端子形成面３５ａにおけるダミー電極８８と対向する位置に、表面電極１９３及び接合端子１９５がさらに形成されている。表面電極１９３及び接合端子１９５は、それぞれ表面電極９３及び接合端子９５と同じ材料からなり且つ同じ形状及び大きさを有するが、信号の伝達に寄与するものではない。ＦＰＣ４０と圧電アクチュエータ１２とを接続するとき、ダミー電極８８に塗布されたハンダ１０３が、ダミー電極８８と表面電極１９３及び接合端子１９５とを接合する。本変形例に係る補強部材１８０は、ダミー電極８８、ハンダ１０３、表面電極１９３、及び接合端子１９５から形成されている。この場合、ダミー電極８８と表面電極１９３及び接合端子１９５とを接合するハンダ１０３と、各端子９０，９１及び電極７７，７８を接合するハンダ１０３との溶融条件が同じなるため、圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０との距離がさらにより一層均一化する。
【００８４】
また、ダミー電極８８に塗布されたハンダ１０３が圧電アクチュエータ１２上の接合端子１９５と接合されることにより、補強部材１８０は圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａとＦＰＣ４０の電極形成面４０ａとを両者が離隔する方向の力に抗するように固定している。この場合、上述の実施形態のようにダミー電極８８に塗布されたハンダ１０３が直接圧電アクチュエータ１２上面に当接するのみのものに比べ、接合強度の点で有利になり、補強部材１８０が配置された外縁近傍においてＦＰＣ４０と圧電アクチュエータ１２との接合強度が向上する。このため、圧電アクチュエータ１２からＦＰＣ４０を剥離させるような外力が作用しても、補強部材１８０がその外力に抗し、各端子９０，９１と電極７７，７８との接合が断絶して断線が生じるという問題が軽減される。
【００８５】
図１１（ａ），（ｂ）及び図１２は第２変形例を示す。本変形例は図１０に示すダミー電極８８を接合電極７７と一体にしたものであり、本変形例に係る補強部材２８０は図１２に示すようにダミー電極２８８、ハンダ１０３、表面電極１９３、及び接合端子１９５から形成されている。
【００８６】
図１１（ａ）は、圧電アクチュエータ１２におけるＦＰＣ４０の先端（圧電アクチュエータ１２から引き出される方向と反対側の端部）と接続される部分であって、図１の紙面奥側の角部近傍に対応する部分を示す。この図はＦＰＣ４０の先端のＹ方向一端に対応する部分のみを示すが、他端もこれと対称に同様に構成されている。圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａには、端子形成面３５ａのＸ方向に延びる両外縁に沿ってのみコモン電極用の外部端子９０が形成されており、両外部端子９０間に、個別電極用の外部端子９１の群が形成されている。さらに、外部端子９１の各列の延長上であって、外部端子９０との間に、図１０に示した第１変形例の表面電極１９３及び接合端子１９５が外部端子９１の表面電極９３及び接合端子９５とそれぞれ同様のパターンで形成されている。本変形例ではＹ方向に沿って形成された外部端子９０（図４参照）が省略されており、これに対応するＦＰＣ４０の第２コモン接合電極７７−２（図８（ａ）参照）も省略されている。表面電極１９３及び接合端子１９５の組合せからなる端子は、圧力室２３の列端に位置するインクの吐出に寄与しない圧力室に対向するよう配置されてもよいし、圧力室２３の列の延長上で圧力室がない位置に対応するよう配置されてもよい。
【００８７】
図１１（ｂ）は、ＦＰＣ４０における図１１（ａ）に示す圧電アクチュエータ１２の端部に接合される部分を示すものであり、ＦＰＣ４０の上面（電極形成面４０ａとは反対側の面）が描かれている。したがって、ＦＰＣ４０の電極形成面４０ａに形成された電極やハンダは破線で示されている。この図からわかるように、ＦＰＣ４０の電極形成面には、接合電極７８の列組７８−１（図８（ａ）参照）のＹ方向端部に近接するように、ダミー電極２８８が第１コモン接合電極７７−１と連続して一体的に形成されている。当該ダミー電極２８８上には、接合端子１９５（図１１（ａ）参照）に対応する位置にハンダ１０３が塗布されている。なお、端部の列組７８−１よりもＦＰＣ４０が圧電アクチュエータ１２から引き出される方向の下流側にある接合電極の列組７８−２（図８（ａ）参照）のＹ方向端部と第１コモン接合電極７７−１との間は、接合端子１９５が対向配置されるにも関わらず、ハンダ１０３が塗布されていない。この部分は列組７８−１に含まれる各接合電極７８に接続される配線７９を通すために用いられる。
【００８８】
本変形例においても、第１変形例と同様の効果が得られる。
【００８９】
図１３は第３変形例を示す。本変形例の補強部材３８０は熱溶融性樹脂、好ましくは熱溶融性接着剤からなる。当該熱溶融性樹脂又は熱溶融性接着剤の融点はハンダと略同じであることが好ましい。ＦＰＣ４０と圧電アクチュエータ１２とを接続する際の加熱によって、各ハンダ１０３と補強部材３８０とが共に溶融し、圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０とが接続される。この変形例においても、上述の実施形態と同様、圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０との距離が均一化し、ＦＰＣ４０がひずみにくくなると共に、各接合端子及び各接合電極を正確に接続することができるという効果を得ることができる。補強部材３８０は、ハンダ１０３と同等の接合力をもって圧電アクチュエータ１２とＦＰＣ４０とを接合するものであることが好ましい。
【００９０】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００９１】
例えば、補強部材は、圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａ及びＦＰＣ４０の電極形成面４０ａの両方に接触しつつこれらの間に介在すればよく、これらの面３５ａ，４０ａに固定されなくてよい。
【００９２】
上述の実施形態では個別電極用の外部端子９１が群状に配列されており且つコモン電極用の外部端子９０が外部端子９１の群よりも端子形成面３５ａの外縁に近い位置に設けられているが、外部端子９０，９１の配置はこれに限定されない。例えば、コモン電極用の外部端子が個別電極用の外部端子同士の間に配置されてもよい。
【００９３】
補強部材８０は、外部端子９１と接合電極７８とがハンダ１０３を介して接合された部分におけるＦＰＣ４０の電極形成面４０ａと圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａとの間の距離より高くてもよいし、低くてもよい。
【００９４】
ダミー電極８８は、個別電極用の接合電極７８と異なる形状であってよい。
【００９５】
コモン電極用の外部端子９０は圧電アクチュエータ１２の端子形成面３５ａの外縁の一部に沿って形成されることに限定されない。
【００９６】
外部端子９０は各外部端子９１より大きい平面積を有するのに限定されず、各外部端子９１と同じ又は小さい平面積を有してよい。
【００９７】
上述の実施の形態では接合電極７８及び外部端子９１、接合電極７７及び外部端子９０をそれぞれ接続するのにハンダ１０３を用いているが、導電性接着剤等、ハンダ１０３以外の金属接合材を用いてよい。
【００９８】
上述の実施形態では、圧電アクチュエータ１２を駆動させることにより圧力室２３内のインクに吐出エネルギーとなる圧力波を発生させるが、圧電式のものに限定されず、サーマル式等他の駆動方式を採用してよい。
【００９９】
本発明はインクジェットヘッドに限定されず、インクジェットヘッド以外の、電極が形成された電極形成面を有するＦＰＣと、当該ＦＰＣの電極とそれぞれ金属接合材を介して接続される端子が形成された端子形成面を有する端子形成部材との接続構造にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドに含まれる流路ユニットの分解斜視図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図１のインクジェットヘッドに含まれる圧電アクチュエータの部分分解斜視図である。
【図５】図１のインクジェットヘッドに含まれるＦＰＣ、圧電アクチュエータ、及び流路ユニットを示す部分拡大断面図である。
【図６】圧電アクチュエータの上面に形成された外部端子を示す部分斜視図である。
【図７】（ａ）は外部端子の位置関係を示す平面図である。（ｂ）は外部端子と圧力室等との位置関係を示す平面図である。
【図８】（ａ）はＦＰＣの電極形成面に形成された接合端子、配線、集積回路等を示す平面図である。（ｂ）は（ａ）の側面図である。
【図９】（ａ）はＦＰＣと圧電アクチュエータとの接続前の状態を示す部分断面図である。（ｂ）はＦＰＣと圧電アクチュエータとの接続後の状態を示す部分断面図である。
【図１０】第１変形例に係るインクジェットヘッドのＦＰＣと圧電アクチュエータとの接続状態を示す部分断面図である。
【図１１】（ａ）は第２変形例に係るインクジェットヘッドにおける圧電アクチュエータの端子形成面を示す平面図である。（ｂ）は第２変形例に係るインクジェットヘッドにおけるＦＰＣの電極形成面とは反対側の面を示す平面図である。
【図１２】図１１（ａ），（ｂ）に示すＦＰＣと圧電アクチュエータとの接続状態を示すＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿った断面図である。
【図１３】第３変形例に係るインクジェットヘッドのＦＰＣと圧電アクチュエータとの接続状態を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１  インクジェットヘッド
１０  流路ユニット（ヘッド本体）
１１ａ  ノズル
１２  圧電アクチュエータ（ヘッド本体，エネルギー付与部，アクチュエータユニット，端子形成部材）
２３  圧力室
３５ａ  端子形成面
３６  個別電極
３７  コモン電極（共通電極）
３３，３４  圧電シート圧電層
４０  ＦＰＣ（フレキシブル配線基板）
４０ａ  電極形成面
７７  接合電極（定電位信号用電極）
７８  接合電極（駆動信号用電極）
７９  配線（駆動信号の配線）
８０，１８０，２８０，３８０  補強部材
８８  ダミー電極
９０  外部端子（定電位信号用端子）
９１  外部端子（駆動信号用端子）
１０３  ハンダ（金属接合材）
１０４  端子（定電位信号の配線）
１９３  表面電極
１９５  接合端子（ダミー端子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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