(57)【要約】【課題】露光装置のタクトタイム短縮を図ることのできる大型基板の露光方法を提供する。【解決手段】  パレット１２を位置決めする位置決め部を露光ステージ１１に設けるとともに、位置決め部に係合する係合部を有するパレット１２上に基板ＢＰを載置し、パレット１２を露光ステージ１１上に位置決めして基板ＢＰを露光する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光ステージを有する露光装置により大型基板を露光する方法であって、前記露光ステージに位置決め部を設けるとともに、前記位置決め部に係合する係合部を有するパレット上に前記基板を載置し、前記パレットを前記露光ステージ上に位置決めして前記基板を露光するようにしたことを特徴とする大型基板の露光方法。
【請求項２】
請求項１記載の大型基板の露光方法において、露光済みの基板をパレットと共に露光装置から取り出す場合にパレットを供給側と反対側から搬出することを特徴とする大型基板の露光方法。
【請求項３】
請求項１記載の大型基板の露光方法において、露光済みの基板をパレットと共に露光装置から取り出す場合にパレットの供給方向と直交する方向からパレットを搬出することを特徴とする大型基板の露光方法。
【請求項４】
請求項１記載の大型基板の露光方法において、前記位置決め部は上下動可能に設けられていることを特徴とする大型基板の露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ等を製造する場合に用いられる大型基板の露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ等を製造する場合に用いられる露光方式として、方形状のガラス基板を露光装置の露光ステージ上に載置し、露光ステージをマスクステージに近づけてガラス基板を近接露光する方式（以下「プロキシミティ露光方式」という）が知られている（特許文献１参照）。このようなプロキシミティ露光方式にてガラス基板を近接露光する場合、露光精度を高めるためには、マスクステージに保持されたフォトマスクに対してガラス基板を位置決めする必要があり、従来においては、ガラス基板を露光ステージ上に載置した後にガラス基板の位置決めを行っている。
【特許文献１】特開２００２−３６５８０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、板厚１．１ｍｍ以下のガラス基板が１ｍ四角以上の大きさになると、ガラス基板に大きな撓みが生じ、ガラス基板に生じた撓みによりガラス基板を露光ステージ上で位置決めするのが困難となる。このため、ガラス基板の位置決めに多くの時間を要し、露光装置のタクトタイム短縮を阻害するという問題があった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、露光装置のタクトタイム短縮を図ることのできる大型基板の露光方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の目的を達成するために、本発明は、露光ステージを有する露光装置により大型基板を露光する方法であって、前記露光ステージに位置決め部を設けるとともに、前記位置決め部に係合する係合部を有するパレット上に前記基板を載置し、前記パレットを前記露光ステージ上に位置決めして前記基板を露光するようにしたことを特徴とする。
本発明に係る大型基板の露光方法において、露光済みの基板をパレットと共に露光装置から取り出す場合は、パレットを供給側と反対側から搬出するか或いはパレットの供給方向と直交する方向からパレットを搬出することが好ましい。また、前記位置決め部は上下動可能に設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【０００５】
本発明に係る大型基板の露光方法によれば、露光ステージの位置決め部に係合する係合部を有するパレット上に基板を載置し、パレットを露光ステージ上に位置決めして基板を露光するようにしたことで、基板の位置決めを露光ステージ上で行わずに基板を露光できるので、露光装置のタクトタイム短縮を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、図面を参照して本発明に係る大型基板の露光方法について説明する。
図１は本発明に係る大型基板の露光方法に適用される露光ステージの一例を示す図であり、同図に示されるように、露光ステージ１１には、図２に示すパレット１３を露光ステージ１１上の所定位置に位置決めする位置決め部１２ａ〜１２ｆが設けられている。これらの位置決め部１２ａ〜１２ｆは露光ステージ１１の上面部に設けられており、パレット１３の側面部と下面部には、上記位置決め部１２ａ〜１２ｆに係合する係合部１４ａ〜１４ｆが設けられている。位置決め部１２ａ〜１２ｆのうち位置決め部１２ａ，１２ｂ，１２ｃは上下動可能に設けられている。
【０００７】
このような露光ステージ１１とパレット１２を使用して基板ＢＰを露光する場合は、図３に示すように、先ず、パレット１２の上面に基板ＢＰを載置する。次に、プッシャー等のパレット搬送機構（図示せず）を作動させ、基板ＢＰが載置されたパレット１２を露光ステージ１１上に移動させる。
このとき、パレット１２が露光ステージ１１上の所定位置まで移動すると、パレット１２に設けられた係合部１４ａ〜１４ｆが露光ステージ１１に設けられた位置決め部１２ａ〜１２ｆに係合する。これにより、図４に示すように、パレット１２が露光ステージ１１上に位置決めされるため、基板ＢＰの位置決めを露光ステージ１１上で行わずに基板ＢＰを露光することができる。
【０００８】
したがって、露光ステージ１１の位置決め部１２ａ〜１２ｆに係合する係合部１４ａ〜１４ｆを有するパレット１３上に基板ＢＰを載置し、パレット１２を露光ステージ１１上に位置決めして基板ＢＰを露光することで、基板ＢＰの位置決めを露光ステージ１１上で行わずに基板ＢＰを露光することができるので、露光装置のタクトタイム短縮を図ることができる。位置決め部１２ｃが上下動しない場合には、パレット１２を搬入方向から搬出する。
【０００９】
なお、露光済みの基板をパレットと共に露光装置から取り出す場合には、位置決め部１２ｃを下げることで、図５に示す矢印のように、パレット１２を供給側と反対側から搬出することにより、供給側と同じ方向にパレット１２を搬出する場合と比較して、露光装置のタクトタイムをより一層短縮することができる。
また、図６に示す矢印のように、露光済みの基板をパレットと共に露光装置から取り出す場合には、パレット１２の供給方向と直交する方向からパレット１２を搬出することにより、供給側と同じ方向にパレット１２を搬出する場合と比較して、露光装置のタクトタイムをより一層短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に係る大型基板の露光方法に適用される露光ステージの一例を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る大型基板の露光方法に適用されるパレットの一例を示す図で、（ａ）はパレットの斜視図、（ｂ）はパレットの下面を示す図である。
【図３】本発明に係る大型基板の露光方法を説明するための説明図である。
【図４】パレットが露光ステージ上に位置決めされた状態を示す図である。
【図５】露光済みの基板をパレットと共に露光装置から取り出す場合の一例を説明するための説明図である。
【図６】露光済みの基板をパレットと共に露光装置から取り出す場合の他の例を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００１１】
ＢＰ  基板
１１  露光ステージ
１２ａ〜１２ｆ  位置決め部
１３  パレット
１４ａ〜１４ｆ  係合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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