(57)【要約】【課題】  載置した液晶パネルの着脱の際等に働く外力で、ゴム弾性体が支持盤から剥がれることがなく、さらに、エッチング処理工程で使用しても劣化しにくい搬送用トレイの滑り止めを提供することを目的とする。【解決手段】  裏面４に他部材への取着部６を突設した金属製又は樹脂製の支持盤１と、支持盤１に一体状に設けられるゴム弾性体２と、を備えたものである。かつ、支持盤１の表て面３から裏面４に複数の連結孔９を貫設する。さらに、ゴム弾性体２は、表て面３の略全体に被着される受け片部７と、裏面４から周縁部５と連結孔９とを経て受け片部７に連結する離脱防止部８Ｃと、から成るものである。【選択図】  図８
2006036290.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
裏面（４）に他部材への取着部（６）を突設した金属製又は樹脂製の支持盤（１）と、該支持盤（１）に一体状に設けられるゴム弾性体（２）と、を備え、さらに、ゴム弾性体（２）は、上記支持盤（１）の表て面（３）の略全体に被着される受け片部（７）と、上記裏面（４）から周縁部（５）を経て上記受け片部（７）に抱込状に連結する離脱防止部（８Ａ）と、から成ることを特徴とする滑り止め。
【請求項２】
裏面（４）に他部材への取着部（６）を突設した金属製又は樹脂製の支持盤（１）と、該支持盤（１）に一体状に設けられるゴム弾性体（２）と、を備え、さらに、上記支持盤（１）の裏面（４）側に浅い環状凹溝（10）が形成され、支持盤（１）の表て面（３）から上記環状凹溝（10）に複数の連結孔（９）を貫設し、上記ゴム弾性体（２）は、上記表て面（３）の略全体に被着される受け片部（７）と、上記環状凹溝（10）と連結孔（９）に充填されて上記受け片部（７）に連結する離脱防止部（８Ｂ）と、から成ることを特徴とする滑り止め。
【請求項３】
裏面（４）に他部材への取着部（６）を突設した金属製又は樹脂製の支持盤（１）と、該支持盤（１）に一体状に設けられるゴム弾性体（２）と、を備え、上記支持盤（１）の表て面（３）から裏面（４）に複数の連結孔（９）を貫設し、上記ゴム弾性体（２）は、上記表て面（３）の略全体に被着される受け片部（７）と、上記裏面（４）から周縁部（５）と上記連結孔（９）とを経て上記受け片部（７）に連結する離脱防止部（８Ｃ）と、から成ることを特徴とする滑り止め。
【請求項４】
液晶パネル搬送装置又はプラズマテレビ用のガラス板搬送装置等に用いられる請求項１，２又は３記載の滑り止め。
【請求項５】
ゴム弾性体（２）が、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム、ニトリルゴムの中から選ばれる少なくとも１種である請求項１，２，３又は４記載の滑り止め。
【請求項６】
ゴム弾性体（２）はパーフロロエラストマから成る請求項１，２，３又は４記載の滑り止め。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル搬送装置やプラズマテレビ用のガラス板搬送装置等で使用する、半導体、液晶パネルや大型ガラス板等の搬送用トレイの滑り止めに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の製造ラインでは、液晶パネルを、搬送用トレイに載置したり額縁状の枠に固定したりして、コンベア上を搬送していたが、搬送用トレイが搬送状態から停止したときに、液晶パネルがトレイ上を滑って位置がずれたり、液晶パネルの大型化に伴って、液晶パネルが自重により枠の中央で撓んで歪みが生じたりしていた。このことは、表面処理を高度な寸法精度で行う液晶パネルの製造工程に於て、起こってはならない事項とされている。
上記問題を解決するために、従来は、樹脂板から成る支持体に接着材と粘着材層を順次積層した治具を作成し、その粘着材層の上に液晶表示素子の基板（液晶パネル）を着脱自在に取付け搬送していた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−８６９９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来の搬送用の治具は、支持体と接着材と粘着材層をそれぞれ気泡が混入しないように張り合わさなければならず、その製造工程が煩雑で手間のかかるものであった。さらに、搬送用の治具が半導体等のエッチング処理工程で使用され、プラズマ状態にある腐食性のガス雰囲気下に曝される場合は、劣化し剥がれ落ちて製品に不純物が付着（混入）する原因となっていた。
【０００４】
また、従来の搬送用の治具の製造工程の手間を解消するために、図13に示すように、裏面４に他部材への取着部６を有する金属製又は樹脂製の支持盤１の表て面３に環状の蟻溝39を形成し、その表て面３にゴム弾性体２を一体状に付設した滑り止め（シート付ビス）を、搬送用トレイのコーナー部に取り付け、その上に液晶パネル等を載置していた。
しかし、支持盤１とゴム弾性体２との接合は強固なものではなく、載置した液晶パネルを取り外す際に、ゴム弾性体２も一緒に引き剥がされる問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、載置した液晶パネルの着脱の際等に働く外力で、ゴム弾性体が支持盤から剥がれることがなく、さらに、エッチング処理工程で使用しても劣化しにくい搬送用トレイの滑り止め（シート付ビス）を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係る滑り止めは、裏面に他部材への取着部を突設した金属製又は樹脂製の支持盤と、該支持盤に一体状に設けられるゴム弾性体と、を備え、さらに、ゴム弾性体は、上記支持盤の表て面の略全体に被着される受け片部と、上記裏面から周縁部を経て上記受け片部に抱込状に連結する離脱防止部と、から成るものである。
【０００７】
また、裏面に他部材への取着部を突設した金属製又は樹脂製の支持盤と、該支持盤に一体状に設けられるゴム弾性体と、を備え、さらに、上記支持盤の裏面側に浅い環状凹溝が形成され、支持盤の表て面から上記環状凹溝に複数の連結孔を貫設し、上記ゴム弾性体は、上記表て面の略全体に被着される受け片部と、上記環状凹溝と連結孔に充填されて上記受け片部に連結する離脱防止部と、から成るものである。
【０００８】
また、裏面に他部材への取着部を突設した金属製又は樹脂製の支持盤と、該支持盤に一体状に設けられるゴム弾性体と、を備え、上記支持盤の表て面から裏面に複数の連結孔を貫設し、上記ゴム弾性体は、上記表て面の略全体に被着される受け片部と、上記裏面から周縁部と上記連結孔とを経て上記受け片部に連結する離脱防止部と、から成るものである。
【０００９】
また、液晶パネル搬送装置又はプラズマテレビ用のガラス板搬送装置等に用いられるものである。
また、ゴム弾性体が、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム、ニトリルゴムの中から選ばれる少なくとも１種である。
また、ゴム弾性体はパーフロロエラストマから成るものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、次のような著大な効果を奏する。
本発明に係る滑り止めによれば、載置した載置物の着脱の際等に働く外力で、ゴム弾性体の受け片部が支持盤から剥離するといったことがない。
また、エッチング処理工程で使用しても、ゴム弾性体は劣化しにくいので、製品に不純物（劣化し発塵したゴム弾性粉）が付着することがなくなり、品質の高い液晶パネルやプラズマテレビ用ガラス板等の製品を提供できる。また、製造ラインの中でエッチング処理工程が存在しても、一枚の搬送用トレイで搬送して全ての工程を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、実施の形態に示す図面に基づき本発明を詳説する。
図１、図２及び図３に示す第１の実施の形態に於て、１は金属製又は樹脂製の支持盤であり、扁平かつ平面視円形である。その支持盤１にはゴム弾性体２が一体状に付設されている。支持盤１の裏面４の中心には、（搬送用トレイ等の）他部材へ着脱可能な取着部６が裏面４に直交して突設されており、支持盤１と取着部６は一体成形されている。この場合、取着部６は雄ネジに形成されている。また、支持盤１の表て面３の中心には、締付け用凹部11が形成されている。この締付け用凹部11は、マイナスドライバーの先端を嵌め込むように直線型の溝に形成されているが、十字型や六角形又はそれ以外の形状であってもよい。さらに、支持盤１の裏面４には、周縁部５から所定幅寸法Ｗで切り欠いた環状の切欠部12が形成されており、つまり、支持盤１は、大径の円盤の裏面側に小径の円盤を同心円状に一体に付設したように形成されている。
【００１２】
ゴム弾性体２は、支持盤１の表て面３の略全体──本発明では90％以上をいうものと定義する──に被着される受け片部７と、支持盤１の切欠部12から周縁部５を経て受け片部７に抱込状に一体に連結する離脱防止部８Ａと、から成っている。受け片部７は、平面視円形の均一厚さのシート状であり、その外周縁部は支持盤１の周縁部５より大径の同心円を形成するように配置されている（図１参照）。さらに、受け片部７の上記締付け用凹部11と対応する位置には、円形の貫通孔部13が形成されている。離脱防止部８Ａは、底面視に於て同一幅の円形のリング状であり、その下面15は支持盤１の裏面４の最下面と同一面状に配置されている。また、離脱防止部８Ａの外周縁部と受け片部７の外周縁部は同一円周状に配置されている。
【００１３】
ゴム弾性体２は、パーフロロエラストマ、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）又はニトリルゴム（ＮＢＲ）等から成っているが、エッチング処理環境下で使用する場合は、耐熱性・耐プラズマエッチング性を有するパーフロロエラストマ製であることが好ましい。
支持盤１は、エッチング処理環境下で使用する場合は、耐腐食性を有する点、加工性の点で、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼製であることが好ましい。また、支持盤１が樹脂製である場合は、公知のものが適用されるが、耐熱性の点で、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエチルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリイミド（ＰＩ）、パーフルオロアルコキシルアルカン（ＰＦＡ）が好ましい。
なお、上記支持盤１にゴム弾性体２を一体状に付設する方法としては、次の製法が挙げ得る。一つは、金型内に支持盤１を設置して、溶融ゴムを射出して、その後、加硫工程によって溶融ゴムを硬化させて、支持盤１と一体化する。他の方法としては、圧縮成型の金型内に支持盤１を設置し、生ゴムを圧縮成型にて支持盤１に付着し、その後、加硫工程によって硬化一体化させる方法である。別の方法としては、加硫成型したゴム弾性体２を支持盤１に、接着剤にて一体化させる方法である。
【００１４】
次に、図４、図５及び図６に示す第２の実施の形態に於て、支持盤１と、その支持盤１の一体状に設けられるゴム弾性体２と、を備えており、支持盤１の裏面４側には浅い環状凹溝10が形成され、表て面３から環状凹溝10の底壁へ貫通する横断面円形の複数の連結孔９を形成している。
【００１５】
ゴム弾性体２が支持盤１から外れにくくするために、環状凹溝10は角溝と成っており、複数の連結孔９は周方向に沿って所定ピッチで配置され、さらに、連結孔９の横断面の直径寸法は、環状凹溝10の幅寸法より小さく設定されている。
また、環状凹溝10の内外側壁は、底面視して、支持盤１の周縁部５と同心円状に配置されている（図６参照）。
【００１６】
ゴム弾性体２は、表て面３の略全体に被着される受け片部７と、環状凹溝10と連結孔９に充填されて受け片部７に一体に連結する離脱防止部８Ｂと、から成っている。受け片部７は、平面視にて、その外周縁部は支持盤１の周縁部５と同一円周状に配置されている。また、離脱防止部８Ｂの下面15は支持盤１の裏面４の最下面と同一面状に配置されている。
なお、図４〜図６に於て、図１〜図３と同一の符号は図１〜図３と同様の構成であるので説明を省略する。
【００１７】
また、図７〜図10に示す第３の実施の形態に於て、支持盤１と、その支持盤１の一体状に設けられるゴム弾性体２と、を備えており、支持盤１の裏面４には、周縁部５から所定幅寸法Ｗで切り欠いた環状の切欠部12が形成されている。さらに、支持盤１の表て面３から裏面４に、複数の横断面円形の連結孔９を貫設し、その連結孔９の裏面４側の開口部は、切欠部12より支持盤１の中心寄りに形成されている。図９に示すように、底面視にて、複数の連結孔９は、それぞれ所定ピッチでかつ支持盤１の中心と同心の円周上に並んで配置されている。また、支持盤１の裏面４には、それぞれの連結孔９と切欠部12とを連結する結合凹溝16を形成し、それらの結合凹溝16は、支持盤１の径方向に配置されている。
【００１８】
ゴム弾性体２は、表て面３の略全体に被着される受け片部７と、受け片部７に一体に連結する離脱防止部８Ｃと、から成っている。離脱防止部８Ｃは、切欠部12内から周縁部５を経て受け片部７に連結すると共に、切欠部12内から結合凹溝16と連結孔９に充填されて受け片部７に連結されている。このように、本発明の第３の実施の形態は、上記第１の実施の形態又は第２の実施の形態と比べて、受け片部７と離脱防止部８Ｃは一層強固に連結されているので、ゴム弾性体２が支持盤１から剥離するのを防止するには、第３の実施の形態が望ましい。
【００１９】
また、受け片部７の外周縁部は支持盤１の周縁部５より大径の同心円を形成するように配置されている（図７参照）。離脱防止部８Ｃの外周縁部と受け片部７の外周縁部は、同一円周状に配置されている。また、離脱防止部８Ｃの下面15は、支持盤１の裏面４の最下面と同一面状に配置されている。
【００２０】
また、図７〜図10に示した滑り止めは設計変更自由であり、切欠部12の幅寸法Ｗを大きく設定して、連結孔９を表て面３から切欠部12内に貫設するようにしてもよい。即ち、結合凹溝16を設けなくてもよい。
なお、図７〜図10に於て、図１〜図３と同一の符号は図１〜図３と同様の構成であるので、説明を省略する。
【００２１】
また、取着部６は設計変更自由であり、図12（ａ）に示すように、取着部６を（他部材の丸孔に挿入される）丸棒状に形成してもよい。さらに、図12（ｂ）に示すように、取着部６の外周の一部を大径として、他部材の丸孔の内面に弾発的に圧接するようにしてもよい。また、図12（ｃ）に示すように、取着部６を棒状部材の周囲に突起部を設けた鍵型とし、図12（ｄ）に示すように、鍵孔部18を形成し、取着部６をその鍵孔部18に差し込んだ後回転させて係止するようにしてもよい。また、取着部６を内周面に雌ネジ部を形成した筒状部材とし、他部材に雄ネジ部を形成して螺合するようにしても自由である（図示省略）。
なお、図12の（ｂ）と（ｃ）及び図１〜図10に示す取着部６は、図12（ａ）で示す取着部６に比べて上下方向（軸心方向）の振動に対して強固に他部材に固着できるが、液晶パネル等の搬送は主に前後左右の方向の移動であるので、図12（ａ）で示す取着部６であっても振動によって他部材から取着部６が外れることはない。
【００２２】
上述した本発明である滑り止め（シート付ビス）の使用方法（作用）について説明する。
図11に於て、30はコンベア上を流れる矩形扁平状の搬送用トレイであり、搬送用トレイ30の四隅（コーナー部）には雌ネジ孔が形成されている（図示省略）。それぞれの雌ネジ孔に、本発明の滑り止めの取着部６を回転して螺合させ、表て面３の締付け用凹部11にドライバー等の先端を嵌め込みさらに回転させて、滑り止めを搬送用トレイ30に締結する。そして、ゴム弾性体２の受け片部７の上に、液晶パネルやガラス板等の載置物40を載置して、搬送する。
【００２３】
上記の搬送用トレイ30に載置した載置物40が処理工程を終える等した場合は、載置物40をゴム弾性体２の受け片部７上から取り外し、また、別の処理前の載置物40を載置して搬送する。
本発明の滑り止めは、搬送用トレイ30の四隅（コーナー部）以外にも雌ネジ孔を形成すれば取り付け可能であり、取付け箇所・取付け個数等は、載置物40の種類や搬送速度等に応じて適宜設定変更することが望ましい。
【００２４】
以上のように、本発明である滑り止めは、裏面４に他部材への取着部６を突設した金属製又は樹脂製の支持盤１と、支持盤１に一体状に設けられるゴム弾性体２と、を備え、さらに、ゴム弾性体２は、支持盤１の表て面３の略全体に被着される受け片部７と、裏面４から周縁部５を経て受け片部７に抱込状に連結する離脱防止部８Ａと、から成るので、ゴム弾性体２の受け片部７と離脱防止部８Ａは強固に接合し、載置した載置物40の着脱の際等に働く外力で、ゴム弾性体２の受け片部７が支持盤１から剥離することがない。
また、本発明の滑り止めを、既設の搬送用トレイ30に取付けることができ、載置物40の種類や搬送速度等に応じて、トレイ30に簡単に取付け・取外しができる。
【００２５】
また、裏面４に他部材への取着部６を突設した金属製又は樹脂製の支持盤１と、支持盤１に一体状に設けられるゴム弾性体２と、を備え、さらに、支持盤１の裏面４側に浅い環状凹溝10が形成され、支持盤１の表て面３から環状凹溝10に複数の連結孔９を貫設し、ゴム弾性体２は、表て面３の略全体に被着される受け片部７と、環状凹溝10と連結孔９に充填されて受け片部７に連結する離脱防止部８Ｂと、から成るので、ゴム弾性体２の受け片部７と離脱防止部８Ｂは強固に接合し、載置した載置物40の着脱の際等に働く外力で、ゴム弾性体２の受け片部７が支持盤１から剥離することがない。
また、本発明の滑り止めを、既設の搬送用トレイ30に取付けることができ、載置物40の種類や搬送速度等に応じて、トレイ30に簡単に取付け・取外しができる。
【００２６】
また、裏面４に他部材への取着部６を突設した金属製又は樹脂製の支持盤１と、支持盤１に一体状に設けられるゴム弾性体２と、を備え、支持盤１の表て面３から裏面４に複数の連結孔９を貫設し、ゴム弾性体２は、表て面３の略全体に被着される受け片部７と、裏面４から周縁部５と連結孔９とを経て受け片部７に連結する離脱防止部８Ｃと、から成るので、ゴム弾性体２の受け片部７と離脱防止部８Ｃは強固に接合し、載置した載置物40の着脱の際等に働く外力で、ゴム弾性体２の受け片部７が支持盤１から剥離することがない。
また、本発明の滑り止めを、既設の搬送用トレイ30に取付けることができ、載置物40の種類や搬送速度等に応じて、トレイ30に簡単に取付け・取外しができる。
【００２７】
また、液晶パネル搬送装置又はプラズマテレビ用のガラス板搬送装置等に用いられるので、載置物40が搬送用トレイ30上を滑ってずれることがなく、載置物40を所定位置に固定して安定して搬送することができ、高度な寸法精度で載置物40の種々の処理を行うことができる。また、大型の液晶パネルや大型ガラス板も、位置ずれすることなく、安定して搬送でき、高度な寸法精度で種々の処理を行うことができる。
【００２８】
また、ゴム弾性体２が、フッ素ゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム、ニトリルゴムの中から選ばれる少なくとも１種であるので、種々の処理工程で使用しても劣化しにくい。
【００２９】
また、ゴム弾性体２はパーフロロエラストマから成るので、エッチング処理工程で使用しても劣化しにくい。特に、プラズマ化したガス等の腐食ガス雰囲気下で使用しても、劣化しにくい。このことにより、エッチング処理工程で劣化（腐食）して発塵したゴム弾性体２（不純物）が、製品に付着（混入）することがなくなり、品質の高い製品を提供できる。また、製造ラインの中でエッチング処理工程が存在しても、一枚の搬送用トレイ30で搬送して全ての工程を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す平面図である。
【図２】断面側面図である。
【図３】底面図である。
【図４】第２の実施の形態を示す平面図である。
【図５】断面側面図である。
【図６】底面図である。
【図７】第３の実施の形態を示す平面図である。
【図８】断面側面図である。
【図９】底面図である。
【図１０】断面斜視図である。
【図１１】使用状態を示す斜視図である。
【図１２】取着部の他の実施の形態を示す説明図である。
【図１３】従来の滑り止めを示す断面側面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  支持盤
２  ゴム弾性体
３  表て面
４  裏面
５  周縁部
６  取着部
７  受け片部
８Ａ，８Ｂ，８Ｃ  離脱防止部
９  連結孔
10  環状凹溝
【図１】
2006036290.tif 000003
【図２】
2006036290.tif 000004
【図３】
2006036290.tif 000005
【図４】
2006036290.tif 000006
【図５】
2006036290.tif 000007
【図６】
2006036290.tif 000008
【図７】
2006036290.tif 000009
【図８】
2006036290.tif 000010
【図９】
2006036290.tif 000011
【図１０】
2006036290.tif 000012
【図１１】
2006036290.tif 000013
【図１２】
2006036290.tif 000014
【図１３】
2006036290.tif 000015