(57)【要約】【課題】  複数の超音波振動子が狭いピッチで並んでいても、超音波振動子と信号線とをワイヤーを介して接続する際のその配線作業を容易にすることが可能な超音波振動子アレイ及びそのワイヤーの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】  ワイヤー１７の基材２６となる金属と異なる導電性の異種金属１９を所定の厚さでその基材２６全体にコーティングすることによりワイヤー１７を構成し、ワイヤー１７の両端部における異種金属を熔解させることによりワイヤー１７を介して超音波振動子と信号線１１とを電気的に接続する。【選択図】      図１
2006110139.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続して並べられる複数の超音波振動子と該複数の超音波振動子にそれぞれ電気的に接続される複数の信号線とを備え、該複数の信号線のうち信号が流れた信号線に対応する前記超音波振動子が超音波を送信し、前記複数の超音波振動子のうち超音波を受信した超音波振動子に対応する前記信号線に信号が流れる超音波振動子アレイであって、
前記複数の超音波振動子と前記複数の信号線とをそれぞれ電気的に接続させるために前記複数の超音波振動子と前記複数の信号線との間にそれぞれ設けられる複数のワイヤーを備え、
前記複数のワイヤーは、それぞれ、前記ワイヤーの基材となる金属と異なる導電性の異種金属が所定の厚さで前記基材全体にコーティングされることにより構成され、前記ワイヤーの両端部における前記異種金属が熔解されることにより前記複数の超音波振動子と前記複数の信号線とをそれぞれ電気的に接続させる、
ことを特徴とする超音波振動子アレイ。
【請求項２】
請求項１に記載の超音波振動子アレイであって、
前記ワイヤーは、前記ワイヤーの両端部における前記異種金属が熔解される際、隣の前記ワイヤーとブリッジしないような厚さの前記異種金属が前記基材全体にコーティングされることにより構成されていることを特徴とする超音波振動子アレイ。
【請求項３】
請求項１に記載の超音波振動子アレイであって、
前記基材は、銅または銀により構成され、
前記異種金属は、鉛、錫、またはビスマスを主成分とする金属により構成されていることを特徴とする超音波振動子アレイ。
【請求項４】
請求項１に記載の超音波振動子アレイであって、
前記ワイヤーは、湿式メッキにより前記異種金属が前記基材全体にコーティングされることにより構成されていることを特徴とする超音波振動子アレイ。
【請求項５】
請求項１に記載の超音波振動子アレイであって、
前記基材は、絶縁被膜されていないことを特徴とする超音波振動子アレイ。
【請求項６】
請求項１に記載の超音波振動子アレイであって、
前記基材は、平角線であることを特徴とする超音波振動子アレイ。
【請求項７】
請求項１に記載の超音波振動子アレイであって、
前記ワイヤーの両端部の端面は、前記異種金属がコーティングされていないことを特徴とする超音波振動子アレイ。
【請求項８】
連続して並べられる複数の超音波振動子と該複数の超音波振動子にそれぞれ電気的に接続される複数の信号線とを備え、該複数の信号線のうち信号が流れた信号線に対応する前記超音波振動子が超音波を送信し、前記複数の超音波振動子のうち超音波を受信した超音波振動子に対応する前記信号線に信号が流れる超音波振動子アレイにおいて、前記超音波振動子と前記信号線とを電気的に接続させるために前記超音波振動子と前記信号線との間に設けられるワイヤーの製造方法であって、
湿式メッキにより前記ワイヤーの基材となる金属と異なる異種金属を前記基材全体にコーティングすることにより前記ワイヤーを構成することを特徴とするワイヤーの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載のワイヤーの製造方法であって、
前記湿式メッキは、電解メッキ法または無電解メッキ法であることを特徴とするワイヤーの製造方法。
【請求項１０】
請求項８に記載のワイヤーの製造方法であって、
固定治具に設けられた複数の棒に前記基材を巻き付けて前記基材を湿式メッキすることを特徴とするワイヤーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続して並べられる複数の超音波振動子のうち選択された超音波振動子が超音波の送受信を行う超音波振動子アレイに関し、特に、超音波内視鏡装置などに備えられるラジアル方式の超音波振動子アレイにおいて超音波振動子と信号線とを電気的に接続させるためのワイヤーの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、既存の超音波内視鏡装置を示す図である。
図４に示す超音波内視鏡装置４０は、接続部４１と、操作部４２と、挿入部４３とを備えて構成され、挿入部４３は、先端部４４を備えて構成されている。
【０００３】
上記接続部４１は、例えば、ディスプレイを備える測定装置などに接続され、先端部４４に設けられる超小型カメラなどにより得られた画像がそのディスプレイに表示される。
上記操作部４２は、ユーザの操作により、例えば、挿入部４３の上下左右の湾曲動作などを行う。
【０００４】
上記先端部４４には、上記超小型カメラの他に、例えば、複数の超音波振動子が連続して並べられて構成される超音波振動子アレイが備えられ、この超音波振動子アレイの複数の超音波振動子のうち選択された超音波振動子において超音波の送受信が行われる。また、超音波振動子アレイが受信した超音波は、電気信号に変換され上記ディスプレイなどに画像として表示される。
【０００５】
図５は、図４に示す先端部４４の拡大図である。
図５に示すように、先端部４４は、上記超小型カメラや照明などが設けられるカメラ部５０と、上記超音波振動子アレイなどが設けられる超音波部５１とを備えて構成されている。
【０００６】
図６は、超音波振動子アレイの一例を示す図である。なお、図６に示す超音波振動子アレイは基本的な構成のみを示している。
図６に示すように、超音波振動子アレイ６０は、圧電素子６１と、電極６２と、第１音響整合層６３と、第２音響整合層６４と、導電樹脂６５と、導電体６６と、基板６７とを備えて構成されている。
【０００７】
また、圧電素子６１、電極６２、第１音響整合層６３、第２音響整合層６４、導電樹脂６５、導電体６６、及び基板６７は、共通に設けられる溝６８により複数に分けられ、上記複数の超音波振動子を構成している。
【０００８】
また、各超音波振動子は、それぞれ、対応する信号線に電気的に接続され、測定装置などから信号線を介して信号が超音波振動子に送られると、その超音波振動子は超音波を送信する。また、超音波を受信した超音波振動子は、その超音波を電気信号に変換し信号線を介して測定装置などに送る。
【０００９】
また、超音波振動子アレイ６０の長手方向に対して垂直方向の端面同士が接続されて超音波振動子アレイ６０が筒状に形成されることにより、超音波を環状に送信するラジアル方式の超音波振動子アレイが構成される。
【００１０】
また、このようなラジアル方式の超音波振動子アレイでは、超音波振動子と信号線とが超音波振動子アレイの先端部において接続されるものがある。また、このように、超音波振動子と信号線が先端部において接続されるラジアル方式の超音波振動子アレイでは、超音波振動子アレイ内部に組み付けられた筒状構造部材の先端部の基板を介して超音波振動子と信号線とが接続されるものがある。
【００１１】
図７Ａは、ラジアル方式の超音波振動子アレイに筒状構造部材が組み付けられている様子を示す図である。また、図７Ｂは、筒状構造部材が組み付けられたラジアル方式の超音波振動子アレイを示す図である。なお、図６に示す構成と同じ構成には同じ符号を付している。
【００１２】
図７Ａ及び図７Ｂに示すように、筒状構造部材７０の先端部には基板７１が設けられており、基板７１上には複数の超音波振動子にそれぞれ対応する複数のパッド７２が設けられている。また、複数の超音波振動子の各基板６７にはそれぞれ導電層７３が設けられている。また、ラジアル方式の超音波振動子アレイの外周には音響レンズ７４が設けられている。また、ラジアル方式の超音波振動子アレイの内周にはバッキング材７５が設けられている。
【００１３】
まず、図７Ａに示すように、ラジアル方式の超音波振動子アレイの内部に筒状構造部材７０が挿入される。なお、基板７１上の各パッド７２と各信号線とは予め電気的に接続されているものとする。
【００１４】
すると、図７Ｂに示すように、ラジアル方式の超音波振動子アレイに筒状構造部材７０が組み付けられる。
そして、ラジアル方式の超音波振動子アレイに筒状構造部材７０が組み付けられた後は、例えば、基板７１上の各パッド７２と各導電層７３とが導電性のワイヤーを介して電気的に接続される。
【００１５】
これにより、各超音波振動子及び各信号線は、それぞれ、パッド７２、上記ワイヤー、導電層７３、導電体６６、及び電極６２を介して電気的に接続される。
このように、基板を介して超音波振動子と信号線とを電気的に接続する構成は、超音波振動子と信号線との位置合わせが容易になるため、超音波振動子と信号線との配線作業をスムーズにさせることができる（例えば、特許文献１または特許文献２参照）。
【００１６】
また、基板に信号線を接続する配線方法としては、例えば、ワイヤーボンディングなどが知られている（例えば、特許文献３参照）。なお、ラジアル方式の超音波振動子アレイの各超音波振動子にそれぞれワイヤーを接続する場合は、各超音波振動子が環状に並んでいるため、例えば、ワイヤーボンディングによりパッド７２とワイヤーとを接続させることは難しい。
【００１７】
図８は、筒状構造部材７０が組み付けられたラジアル方式の超音波振動子アレイを示す図である。なお、図７Ａ及び図７Ｂに示す構成と同じ構成には同じ符号を付している。
図８において、パッド７２とそのパッド７２に対応する導電層を表面に有する基板６７は、できるだけ正確に位置合わせが行われていることが望ましく、パッド７２と導電層を表面に有する基板６７との位置合わせが正確に行われていると、ワイヤーの配線作業が容易になり、超音波振動子と信号線との配線作業をさらにスムーズにさせることができる。
【００１８】
ところで、超音波内視鏡装置の先端部はできるだけ細径化されていることが望ましく、ラジアル方式の超音波振動子アレイに限らず、超音波内視鏡装置に搭載される超音波振動子アレイはできるだけ小さく構成されていることが望ましい。
【００１９】
そのため、超音波内視鏡装置に搭載される超音波振動子アレイでは、各超音波振動子が狭いピッチで並び、ワイヤーの配線作業は難しくなる。例えば、直径１０ｍｍの先端部４４に１９２個の超音波振動子で構成されるラジアル方式の超音波振動子アレイを搭載する場合、それらの超音波振動子は０．２ｍｍ以下程度のピッチで並ぶ。
【００２０】
そこで、このように、各超音波振動子が狭いピッチで並んでいる場合において、ワイヤーの配線作業をスムーズにさせる方法として、例えば、ワイヤーの先端部に予備半田を設けておく方法がある。
【特許文献１】特許２７２９４４２号公報        （第２〜４頁、第１〜４図）
【特許文献２】特開２００３−３３３５４号公報  （第２〜４頁、第１〜１２図）
【特許文献３】特開平３−２５４７３７号公報    （第１〜４頁、第１〜７図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
しかしながら、ワイヤーの先端部に予備半田を設ける場合、一般には、半田ゴテなどによりワイヤーの先端部に少量の半田をつける方法やワイヤーの先端部を半田槽に入れる方法があるが、これらの方法では各ワイヤーのそれぞれの先端部に均一な量の予備半田を設けることができない場合がある。そのため、狭いピッチで並んでいる複数の超音波振動子にそれぞれワイヤーを接続する場合において、各ワイヤーのそれぞれの先端部に設けられる予備半田の量にバラツキがあると、隣り合うワイヤーの半田同士がくっつきワイヤーがブリッジしてしまうおそれがある。
【００２２】
このように、複数の超音波振動子が狭いピッチで並んでいる場合において、超音波振動子と信号線とをワイヤーを介して接続する場合では、そのワイヤーの配線作業が難しいという問題がある。
【００２３】
そこで、本発明は、複数の超音波振動子が狭いピッチで並んでいる場合であっても、超音波振動子と信号線とをワイヤーを介して接続する際のその配線作業を容易にすることが可能な超音波振動子アレイ及びそのワイヤーの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記の課題を解決するために本発明では、以下のような構成を採用した。
すなわち、本発明の超音波振動子アレイは、連続して並べられる複数の超音波振動子と該複数の超音波振動子にそれぞれ電気的に接続される複数の信号線とを備え、該複数の信号線のうち信号が流れた信号線に対応する前記超音波振動子が超音波を送信し、前記複数の超音波振動子のうち超音波を受信した超音波振動子に対応する前記信号線に信号が流れる超音波振動子アレイであって、前記複数の超音波振動子と前記複数の信号線とをそれぞれ電気的に接続させるために前記複数の超音波振動子と前記複数の信号線との間にそれぞれ設けられる複数のワイヤーを備え、前記複数のワイヤーは、それぞれ、前記ワイヤーの基材となる金属と異なる導電性の異種金属が所定の厚さで前記基材全体にコーティングされることにより構成され、前記ワイヤーの両端部における前記異種金属が熔解されることにより前記複数の超音波振動子と前記複数の信号線とをそれぞれ電気的に接続させることを特徴とする。
【００２５】
また、上記超音波振動子アレイのワイヤーは、前記ワイヤーの両端部における前記異種金属が熔解される際、隣の前記ワイヤーとブリッジしないような厚さの前記異種金属が前記基材全体にコーティングされることにより構成されていることが望ましい。
【００２６】
また、上記超音波振動子アレイのワイヤーの基材は、銅または銀により構成され、前記異種金属は、鉛、錫、またはビスマスを主成分とする金属により構成されていてもよい。
また、上記超音波振動子アレイのワイヤーは、湿式メッキにより前記異種金属が前記基材全体にコーティングされることにより構成されてもよい。
【００２７】
また、上記超音波振動子アレイのワイヤーの基材は、絶縁被膜が形成されていなくてもよい。
また、上記超音波振動子アレイのワイヤーの基材として平角線が使用されてもよい。
【００２８】
また、上記超音波振動子アレイのワイヤーの両端部の端面は、前記異種金属がコーティングされていなくてもよい。
また、本発明のワイヤー製造方法は、連続して並べられる複数の超音波振動子と該複数の超音波振動子にそれぞれ電気的に接続される複数の信号線とを備え、該複数の信号線のうち信号が流れた信号線に対応する前記超音波振動子が超音波を送信し、前記複数の超音波振動子のうち超音波を受信した超音波振動子に対応する前記信号線に信号が流れる超音波振動子アレイにおいて、前記超音波振動子と前記信号線とを電気的に接続させるために前記超音波振動子と前記信号線との間に設けられるワイヤーの製造方法であって、湿式メッキにより前記ワイヤーの基材となる金属と異なる異種金属を前記基材全体にコーティングすることにより前記ワイヤーを構成することを特徴とする。
【００２９】
また、上記ワイヤーの製造方法の湿式メッキは、電解メッキ法または無電解メッキ法としてもよい。
また、上記ワイヤーの製造方法では、固定治具に設けられた複数の棒に前記基材を巻き付けて前記基材を湿式メッキしてもよい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、ワイヤーの基材にコーティングされた所定の厚さの異種金属を熔解させることによりワイヤーを介して超音波振動子と信号線とを電気的に接続させるので、各超音波振動子と各信号線とをそれぞれ所定量の異種金属により接続させることができる。これにより、全てのワイヤーの配線部分においてブリッジの発生を防止することができるので、各超音波振動子が狭いピッチで並んでいる場合であっても超音波振動子と信号線とをワイヤーを介して接続する際のその配線作業を容易にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
図１は、本発明の実施形態の超音波振動子アレイの断面を示す図である。なお、図７Ａ及び図７Ｂに示す構成と同じ構成には同じ符号を付している。
【００３２】
図１に示す超音波振動子アレイ１０は、ラジアル方式の超音波振動子アレイであって、例えば、超音波内視鏡装置に搭載される。
また、超音波振動子アレイ１０は、圧電素子６１と、電極６２と、第１音響整合層６３と、第２音響整合層６４と、導電体６６と、基板６７と、バッキング材７５とを備えて構成されている。なお、圧電素子６１、電極６２、第１音響整合層６３、第２音響整合層６４、導電体６６、及び基板６７において共通に複数の溝を設けることにより、複数の超音波振動子を構成しているものとする。
【００３３】
また、超音波振動子アレイ１０は、複数の超音波振動子にそれぞれ電気的に接続される各信号線１１が束ねられて構成されたケーブル１２を超音波振動子アレイ１０内部に通すための筒状構造部材１３を備えている。
【００３４】
また、筒状構造部材１３の先端部には基板１４が設けられており、基板１４上には各信号線１１に対応する複数のパッド１５が設けられている。
また、各パッド１５は、それぞれ基板１４上の配線パターンを介して複数のパッド１６に電気的に接続されている。
【００３５】
また、超音波振動子アレイ１０は、各パッド１６と各超音波振動子のそれぞれの基板６７上に設けられる各導電層７３とを電気的に接続させるための複数のワイヤー１７を備えている。
【００３６】
例えば、１９２個の超音波振動子により超音波振動子アレイ１０が構成される場合、パッド１５、パッド１６、ワイヤー１７、及び導電層７３は、それぞれ１９２個ずつ用意される。
【００３７】
上記各信号線１１及び各パッド１５は、それぞれ電気的に接続され、ポッティング樹脂１８により固定されている。また、各ワイヤー１７の一方端は、後述する異種金属１９により各パッド１６とそれぞれ電気的に接続され、各ワイヤー１７の他方端も、異種金属１９により各導電層７３とそれぞれ電気的に接続されている。
【００３８】
これにより、各超音波振動子及び各信号線は、それぞれ、パッド１５、パッド１６、ワイヤー１７、導電層７３、導電体６６、及び一方の電極６２を介して電気的に接続される。
【００３９】
また、筒状構造部材１３の内部側面２０は、導電性の金属でメッキされており、ケーブル１２内を通って筒状構造部材１３までのばされたＧＮＤ線２１と半田２２により接続されている。また、筒状構造部材１３の外部側面２３も、導電性の金属でメッキされており、ケーブル１２内を通って筒状構造部材１３までのばされ、且つ、筒状構造部材１３の側面の孔２４に通されたＧＮＤ線２５と半田２２により接続されている。また、他方の電極６２は、筒状構造部材１３の外部側面２３に電気的に接続されているものとする。
【００４０】
上記超音波振動子アレイ１０の特徴とする点は、ワイヤー１７の基材となる金属と異なる導電性の異種金属１９が所定の厚さでその基材全体にコーティングされることにより各ワイヤー１７がそれぞれ構成され、各ワイヤー１７の両端部における異種金属を半田ゴテなどを使用して熔解させることにより各ワイヤー１７を介して各超音波振動子と各信号線１１とをそれぞれ電気的に接続させている点である。
【００４１】
図２Ａは、ワイヤー１７の一例を示す図である。また、図２Ｂは、図２Ａに示すワイヤー１７のＡ１−Ａ２断面を示す図である。
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、ワイヤー１７の基材２６となる導体線は、例えば、幅Ｗが０．１ｍｍ、厚さＨ１が０．０２５ｍｍの板状に形成された、いわゆる、平角線であり、その基材２６の材質は、例えば、銅や銀などの導電性の良い金属が考えられる。なお、基材２６の形状は、丸線など平角線に限定されないが、平角線の基材２６を使用する場合は、丸線の基材２６を使用する場合に比べて、パッド１６とワイヤー１７との接触面積及びワイヤー１７と導電層７３との接触面積を共に大きくすることができるので、パッド１６とワイヤー１７、及び、ワイヤー１７と導電層７３とをより確実に接続することができ、ワイヤーの配線部分の信頼性を高めることができる。また、平角線の基材２６を使用する場合は、必要最小限の断面積で必要な許容電流を得ることができるので、ワイヤー１７の細径化及び微細配線に適している。
【００４２】
また、図２Ｂに示すように、基材２６の外周には、基材２６の全長にわたってほぼ均一の厚さＨ２（例えば、０．００５ｍｍの厚さ）の異種金属１９がコーティングされている。なお、異種金属１９は、例えば、鉛、錫、またはビスマスなどを主成分とする金属が考えられる。また、異種金属１９の厚さは、異種金属１９が半田ゴテなどで熔解される際、隣のワイヤー１７とブリッジしないような厚さであることが望ましい。
【００４３】
このように、基材２６に所定の厚さの異種金属１９をコーティングすることによりワイヤー１７を構成しているので、各超音波振動子と各信号線１１とをそれぞれ所定量の異種金属１９により接続させることができる。
【００４４】
これにより、全てのワイヤー１７の配線部分においてブリッジの発生を防止することができるので、超音波振動子アレイ１０の各超音波振動子が狭いピッチで並んでいてもパッド１６とワイヤー１７、及び、ワイヤー１７と導電層７３との配線作業を容易にすることができる。
【００４５】
また、基材２６の全体に異種金属１９がコーティングされているので、基材２６の酸化を防止することができる。これにより、ワイヤー１７の耐食性を高め、超音波振動子アレイ１０の品質を安定させることができると共に、ワイヤー１７の配線作業性を向上させることができる。また、基材２６の全体に異種金属１９がコーティングされて構成されたワイヤー１７は、超音波内視鏡の製造工程において、洗浄が頻繁に行われる超音波内視鏡装置に搭載される超音波振動子アレイに使用されるワイヤーとして特に有効である。また、基材２６の全体に異種金属１９がコーティングされて構成されたワイヤー１７は、ワイヤー１７自体にある程度のコシをもたせることができるので、ワイヤー１７の配線作業性を向上させることができる。
【００４６】
また、ワイヤー１７の両端の端面は、異種金属１９をコーティングさせないようにしてもよい。このように構成されたワイヤー１７は、パッド１６または導電層７３と接続される際、熔解された異種金属１９により端面が覆われる。これにより、ワイヤー１７の端面に異種金属１９が覆ったか否かを確認するだけで、パッド１６とワイヤー１７、または、ワイヤー１７と導電層７３とが異種金属１９により接続されたか否かを容易に判別することができ、ワイヤー１７の配線作業性を向上させることができる。
【００４７】
また、基材２６の全体に異種金属１９がコーティングされて構成されたワイヤー１７は、従来のように、ワイヤー１７毎に予備半田が設けられているか否かの判断をする必要がないので、ワイヤー１７の配線作業におけるミスを低減させることができる。
【００４８】
次に、基材２６に異種金属１９をコーティングさせるためのメッキ方法について説明する。
一般に、メッキ方法としては、例えば、湿式メッキ（電解メッキ法、無電解メッキ法など）、乾式メッキ（真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法など）、化学気相メッキ（ＣＶＤ法）、または、溶融メッキ（ディッピング）などが考えられるが、上述のように、基材２６全体にほぼ均一の厚さの異種金属１９をコーティングさせる場合は湿式メッキが行われることが望ましい。
【００４９】
以下、湿式メッキの電解メッキ法により基材２６を異種金属１９でコーティングする方法を説明する。
図３Ａは、基材２６に異種金属１９をコーティングするために使用される治具を示す図である。なお、図２Ａ及び図２Ｂに示す構成と同じ構成には同じ符号を付している。
【００５０】
図３Ａに示すように、固定治具３０は、正方形の板部材により構成されている。なお、固定治具３０の材質や大きさは、特に限定はされないが、電解メッキ法を使用する場合では表面に金属部分が無い板部材であることが望ましい。
【００５１】
また、固定治具３０の４つの隅には、それぞれ、金属棒３１が設けえられている。なお、固定治具３０に設けられる金属棒３１の本数は、２本や５本以上でもよく特に限定されない。
【００５２】
また、ワイヤー１７を構成させる基材２６はその４つの金属棒３１に一定の間隔が空けられて巻き付けられている。
このように、基材２６が金属棒３１に巻き付けられていることにより、基材２６をのばした状態でその基材２６に異種金属１９をコーティングすることができる。
【００５３】
なお、図３Ａに示す例では、１本の基材２６が４つの金属棒３１に巻き付けられている構成であるが、複数本の基材２６がそれぞれ４つの金属棒３１に一定の間隔が空けられて巻き付けられていてもよい。
【００５４】
図３Ｂは、湿式メッキの電解メッキ法の一例を示す図である。なお、図３Ａに示す構成と同じ構成には同じ符号を付している。また、メッキ槽３２には、予めメッキ液３３が入れられているものとする。
【００５５】
まず、金属棒３１に巻き付けられた基材２６及び電極板３４をメッキ液３３の中に入れる。
次に、所定時間、電極板３４を電源３５のプラス電極につなぐと共に、ある金属棒３１の先端部に設けられた端子３６をメッキ液３３の外部において電源３５のマイナスの電極につなぐ。なお、メッキ槽３２の底には攪拌装置３７が備えられ、メッキ液３３が攪拌されているものとする。
【００５６】
例えば、メッキ液３３の金属成分の組成を８７％〜９２％の錫（残りを鉛）とし、８５％の錫で構成される電極板３４を使用し、電流値を下げて電圧値を１Ｖとし、ゆっくりと基材２６をメッキさせた場合、８５％の錫が基板２６にコーティングされる。
【００５７】
また、例えば、メッキ液３３の金属成分の組成を８７％〜９２％の錫（残りを鉛）とし、８５％の錫で構成される電極板３４を使用し、電流値を上げて基材２６をメッキさせた場合、８７％〜９２％の錫が基板２６にコーティングされる。
【００５８】
なお、図３Ｂに示すメッキ方法を用いて、鉛フリーで基板２６に異種金属１９をコーティングさせてもよい。例えば、１００％の錫や錫−銅の異種金属１９を基板２６にコーティングさせてもよい。
【００５９】
そして、異種金属１９がコーティングされた基材２６を金属棒３１から切り出すことにより、図２Ａ及び図２Ｂに示すようなワイヤー１７を構成させる。
このように、基材２６に異種金属１９をコーティングさせる際のメッキ方法として、湿式メッキの電解メッキ法を用いることにより、基材２６全体においてほぼ均一の厚さの異種金属１９をコーティングすることができる。また、メッキ液３３の金属成分や電解時間などを調整することにより、異種金属１９の厚みをほぼ所定の厚みに制御することができる。
【００６０】
これにより、異種金属１９の厚みを、例えば、異種金属１９が半田ゴテなどで熔解される際に隣のワイヤー１７とブリッジしないような厚さにすることができるので、超音波内視鏡装置に搭載される超音波振動子アレイにおける各超音波振動子のように、各超音波振動子が狭いピッチで並んでいる場合であっても、全てのワイヤー１７の配線部分においてブリッジの発生を防止することができるので、超音波振動子と信号線１１とをワイヤー１７を介して電気的に接続する際のそのワイヤー１７の配線作業を容易にすることができる。
【００６１】
なお、上記実施形態では、湿式メッキの電解メッキ法により基材２６に異種金属１９をコーティングする構成であるが、湿式メッキの無電解メッキ法により基材２６に異種金属１９をコーティングしてもよい。このように、湿式メッキの無電解メッキ法により基材２６に異種金属１９をコーティングする場合は、メッキ液の金属成分（例えば、パラジウムなど）やメッキ液に基材２６を入れている時間を調整することにより、異種金属１９の厚みをほぼ所定の厚みに制御することができる。
【００６２】
このように、湿式メッキの無電解メッキ法により基材２６に異種金属１９をコーティングする場合においても、ほぼ均一の厚さの異種金属１９を基材２６全体にコーティングさせることができると共に、異種金属１９の厚さをほぼ所定の厚さに制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施形態の超音波振動子アレイの断面を示す図である。
【図２Ａ】ワイヤーの一例を示す図である。
【図２Ｂ】ワイヤーの断面を示す図である。
【図３Ａ】ワイヤーをメッキする際に使用される治具の一例を示す図である。
【図３Ｂ】ワイヤーのメッキ方法の一例を示す図である。
【図４】既存の超音波内視鏡装置を示す図である。
【図５】先端部の拡大図である。
【図６】超音波振動子アレイの一例を示す図である。
【図７Ａ】ラジアル方式の超音波振動子アレイに筒状構造部材が組み付けられる様子を示す図である。
【図７Ｂ】筒状構造部材が組み付けられたラジアル方式の超音波振動子アレイを示す図である。
【図８】筒状構造部材が組み付けられたラジアル方式の超音波振動子アレイを示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０      超音波振動子アレイ
１１      信号線
１２      ケーブル
１３      筒状構造部材
１４      基板
１５      パッド
１６      パッド
１７      ワイヤー
１８      ポッティング樹脂
１９      異種金属
２０      内部側面
２１      ＧＮＤ線
２２      半田
２３      外部側面
２４      孔
２５      ＧＮＤ線
２６      基材
３０      固定治具
３１      金属棒
３２      メッキ槽
３３      メッキ液
３４      電極板
３５      電源
３６      端子
３７      攪拌装置
６１      圧電素子
６２      電極
６３      第１音響整合層
６４      第２音響整合層
６５      導電樹脂
６６      導電体
６７      基板
７５      バッキング材
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図６】
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【図８】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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