(57)【要約】【課題】マスク表面へのダメージを小さく抑えることができる洗浄方法、洗浄装置を提供すること。【解決手段】蒸着に使用されるマスクを洗浄する洗浄装置において、内部に前記マスクが配設されるチャンバと、前記マスクの上面及び下面が露出するように前記マスクを支持する支持手段と、前記マスクの配設領域と異なる領域に配設され、前記マスクを洗浄するためのエッチングガスを発生するプラズマ源と、該プラズマ源によって発生されたエッチングガスを、露出した前記マスクの上面及び下面に案内する案内手段と、を備えたマスク洗浄装置。【選択図】図１
2006330684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着に使用されるマスクを洗浄する洗浄装置において、
内部に前記マスクが配設されるチャンバと、
前記マスクの上面及び下面が露出するように前記マスクを支持する支持手段と、
前記マスクの配設領域と異なる領域に配設され、前記マスクを洗浄するためのエッチングガスを発生するプラズマ源と、
該プラズマ源によって発生されたエッチングガスを、露出した前記マスクの上面及び下面に案内する案内手段と、を備えたことを特徴とするマスク洗浄装置。
【請求項２】
前記プラズマ源が前記チャンバの外部に配設されることを特徴とする請求項１に記載のマスク洗浄装置。
【請求項３】
前記チャンバ内のエッチングガスをチャンバの外部に排気する排気手段を更に備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のマスク洗浄装置。
【請求項４】
前記支持手段は、前記マスクの端部を下方より支持することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のマスク洗浄装置。
【請求項５】
前記支持手段は、前記マスクと、該マスクを蒸着時に吸着するマグネットプレートとを、前記マスクと前記マグネットプレートとが間隔を空けて対向配置されるように支持することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のマスク洗浄装置。
【請求項６】
前記案内手段は、前記エッチングガスを噴出する多数の穴部を有するシャワーヘッドを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のマスク洗浄装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のマスク洗浄装置において、
前記マスクを加熱する加熱手段を更に備えたことを特徴とするマスク洗浄装置。
【請求項８】
マスクをディスプレイ基板へ位置合わせし、両者を固定するアライメント装置と、
有機材料を載置する蒸着源を有し、前記一方の材料を、前記マスクを介して前記ディスプレイ基板に被着させ、有機層を形成する成膜装置と、
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の洗浄装置と、
前記マスクを上下反転させずに前記マスクを搬送する搬送手段と、
を備えたことを特徴とするＥＬディスプレイ製造装置。
【請求項９】
請求項８に記載のＥＬディスプレイ製造装置において、
前記マスクと前記ディスプレイ基板との固定を解除する解除装置を更に備えたことを特徴とするＥＬディスプレイ製造装置。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載のＥＬディスプレイ製造装置において、
前記マスクの洗浄前もしくは洗浄中に前記マスクを加熱する加熱手段を更に備えたことを特徴とするＥＬディスプレイ製造装置。
【請求項１１】
請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載のＥＬディスプレイ製造装置において、
前記マスクの加熱後に前記マスクを冷却する冷却手段を更に備えたことを特徴とするＥＬディスプレイ製造装置。
【請求項１２】
第１チャンバ内に配設されたマスクを洗浄するマスク洗浄方法において、
マスクの配設位置と異なる領域でエッチングガスを発生させる工程と、
発生させた前記エッチングガスを前記マスクの配設領域に案内して前記エッチングガスを前記マスクの上面及び下面に接触させることにより、前記マスクに付着した付着物を洗浄する工程と、を備えたことを特徴とするマスク洗浄方法。
【請求項１３】
前記エッチングガスを前記チャンバと異なる第２チャンバで発生させることを特徴とする請求項１２に記載のマスク洗浄方法。
【請求項１４】
前記エッチングガスは、前記マスクの配設領域への案内過程でプラズマ状態からラジカル状態に変化することを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載のマスク洗浄方法。
【請求項１５】
前記エッチングガスはフッ素系ガスと酸素を含むことを特徴とする請求項１２乃至請求項１４のいずれかに記載のマスク洗浄方法。
【請求項１６】
前記マスクの洗浄前もしくは洗浄中に前記マスクを加熱することを特徴とする請求項１２乃至請求項１５のいずれかに記載のマスク洗浄方法。
【請求項１７】
複数の開口を有するマスクを基板に位置合わせする工程と、
蒸着法により前記マスクの開口を介して前記基板上に成膜する工程と、
前記成膜に用いたマスクの上面及び下面を反転させることなく上下関係を維持したまま前記マスクを搬送して前記マスクを洗浄する工程と、を備えた蒸着膜の形成方法。
【請求項１８】
前記マスクと前記基板とを位置合わせした後、前記マスクはマグネットプレートの磁力によって前記基板に対して固定されることを特徴とする請求項１７に記載の蒸着膜の形成方法。
【請求項１９】
前記マグネットプレートは前記マスクと共に洗浄されることを特徴とする請求項１８に記載の蒸着膜の形成方法。
【請求項２０】
前記マスクと前記基板の位置合わせ、前記基板への成膜、前記マスクの搬送、及び前記マスクの洗浄は、真空条件下で行なわれることを特徴とする請求項１７乃至請求項１９のいずれかに記載の蒸着膜の形成方法。
【請求項２１】
前記基板への成膜と、前記マスクの洗浄は、異なるチャンバ内で行なわれることを特徴とする請求項１７乃至請求項２０のいずれかに記載の蒸着膜の形成方法。
【請求項２２】
第１ディスプレイ基板と、複数の開口を有するマスクとを位置合わせする工程と、
第１有機材料を、前記マスクの開口を介して前記第１ディスプレイ基板上に被着させ、前記第１ディスプレイ基板上に第１有機発光層を形成する工程と、
前記第１有機発光層の形成に用いた前記マスクの上面及び下面を反転させることなく上下関係を維持したまま前記マスクを搬送して前記マスクを洗浄する工程と、
洗浄した前記マスクを前記第２ディスプレイ基板に位置合わせする工程と、
第２有機材料を、前記マスクの開口を介して前記第２ディスプレイ基板上に被着させ、前記第２ディスプレイ基板上に第２有機発光層を形成する工程と、
を備えたことを特徴とするＥＬディスプレイの製造方法。
【請求項２３】
前記マスクと前記第１または第２ディスプレイ基板との位置合わせした後、前記マスクはマグネットプレートの磁力によって前記第１または第２ディスプレイ基板に対して固定されることを特徴とする請求項２２に記載のＥＬディスプレイの製造方法。
【請求項２４】
前記マグネットプレートは前記マスクと共に洗浄されることを特徴とする請求項２３に記載のＥＬディスプレイの製造方法。
【請求項２５】
前記マスクの洗浄前もしくは洗浄中に前記マスクを加熱する工程を備えたことを特徴とする請求項２２乃至請求項２４のいずれかに記載のＥＬディスプレイの製造方法。
【請求項２６】
前記マスクの加熱後に、前記マスクを冷却する工程を備えたことを特徴とする請求項２５に記載のＥＬディスプレイの製造方法。
【請求項２７】
前記マスクの搬送、前記マスクの洗浄、前記第１有機発光層及び前記第２有機発光層の形成、前記マスクと前記第１及び前記第２ディスプレイ基板との位置合わせは、真空状態で行なわれることを特徴とする請求項２２乃至請求項２６のいずれかに記載のＥＬディスプレイの製造方法。
【請求項２８】
前記第１有機発光層または前記第２有機発光層の形成と、前記マスクの洗浄とは、異なるチャンバ内で行なわれることを特徴とする請求項２２乃至請求項２７のいずれかに記載のＥＬディスプレイの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として蒸着に使用されるマスクの洗浄方法、マスクの洗浄装置、並びに、ＥＬディスプレイの製造装置、ＥＬディスプレイの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬディスプレイ等のＥＬディスプレイの製造方法における電極層や発光層等の形成方法として、蒸着マスクを用いた真空蒸着法が一般に知られている。
【０００３】
以下、簡単のためＥＬディスプレイ基板を単に基板ともよび、基板を有機ＥＬディスプレイの基板として説明する。また、以下明細書において、基板と蒸着マスクの位置合わせは単に位置合わせ又はアラインメントという。
【０００４】
真空蒸着法を用いてディスプレイ基板の一主面（ここでは、下面とする）にＲＧＢ（Ｒｅｄ，Ｇｒｅｅｎ，Ｂｌｕｅ）の有機ＥＬ素子を形成する方法は、おおよそ下記工程（１）〜（７）に示す工程となる。なお、ここでは、有機ＥＬ素子は、陽極、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層、陰極の順に積層した構成であるとする。
【０００５】
（１）陽極が形成された基板の下面に全面蒸着用マスクを、該全面蒸着用マスクの下方に材料が載置された蒸着源を、それぞれ配設し、前記蒸着源上の有機材料を蒸発させ、該蒸発物質を、全面蒸着用マスクを介して基板上に蒸着し、陽極上にホール注入層を形成する（図９（ａ））。
【０００６】
（２）次に、蒸着源上の材料を交換した後、工程（１）と同様に、前記全面蒸着用マスクを用いてホール輸送層をホール注入層上に蒸着する（図９（ｂ））。
【０００７】
（３）次に、蒸着源上の材料を交換するとともに、前記全面蒸着用マスクを、各色サブピクセルに対応する多数の開口を有するサブピクセル蒸着用マスクに交換する。
【０００８】
（４）サブピクセル蒸着用マスクを基板に対して位置合わせし、前記サブピクセル蒸着用マスクを用いて赤色光発光層をホール輸送層上に蒸着する（図９（ｃ））。
【０００９】
（５）次に、蒸着源上の材料を交換した後、上記サブピクセル蒸着用マスクを水平方向に移動させ、サブピクセル蒸着用マスクを用いて緑色光発光層をホール輸送層上に蒸着する（図９（ｄ））。
【００１０】
（６）更に、蒸着源上の材料を交換した後、上記サブピクセル蒸着用マスクを水平方向に移動させ、サブピクセル蒸着用マスクを用いて青色光発光層をホール輸送層上に蒸着する（図９（ｅ））。
【００１１】
（７）次に、サブピクセル蒸着用マスクを全面蒸着用マスクに交換するとともに、蒸着源上の材料を交換する。
【００１２】
（８）続いて、全面蒸着用マスクを用いて電子輸送層を各色発光層上に蒸着する（図９（ｆ））。
【００１３】
（９）そして、蒸着源上の材料を交換した後、同じく全面蒸着用マスクを用いて陰極層を電子輸送層上に蒸着し、ＲＧＢの有機ＥＬ素子を形成する（図９（ｇ））。
【００１４】
ところで、蒸着法に使用されたマスクは、その下面（基板との対向面と反対側の面）や開口の内面に蒸着した材料が付着する。このマスク下面や開口の内面に材料が大量に付着した状態で、該マスクを用いて別の材料を蒸着すると、マスクに付着した材料が不純物として混入してしまい、所望の蒸着膜を形成することが困難であるという問題がある。
【００１５】
このため、マスクに付着した蒸着物を除去するため、かかるマスクは洗浄される必要がある。かかる洗浄方法としては、下記特許文献１の先行技術が存在する。特許文献１に記載の洗浄方法は次のような方法である。
【００１６】
（１）まず、真空チャンバ２１内において、赤、緑、青に対応する有機層を、蒸着マスクを用いて基板上に形成する。
【００１７】
（２）次に、使用済みマスクを洗浄室に搬送する。
【００１８】
（３）続いて、使用済みマスクを洗浄室内で洗浄する。具体的には、図１０に示されているように、マスク２４を下部電極２５上に載置したのち、ガス供給源から室内に放電用ガスを供給すると共に、高周波電源から電極に高周波電流を供給することにより、高周波放電により上部電極２６と下部電極２５との間でプラズマガスを発生させ、その発生させたプラズマガスを利用してマスクに付着した付着物を除去する。
【特許文献１】特開2003-332052号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
ところが、特許文献１に記載の洗浄方法においては、洗浄に用いるガスが高周波プラズマ放電で発生された高エネルギーのプラズマガスであり、そのプラズマガスの発生場所とマスク表面へのプラズマガスの接触場所が同じ場所であるため、マスク表面に与える物理的な衝撃が非常に大きく、マスク２４が大きくエッチングされてマスクにダメージを与えるという問題がある。また、物理的な衝突で発生する熱によりマスクに変形や寸法変化が生じたりするという問題がある。また、マスク表面の洗浄対象物、つまり有機EL材料がプラズマにより変質してエッチング除去が困難となり残渣が生じて良好に洗浄できない場合がある。
【００２０】
さらに、通常、蒸着は下から上方へ蒸着粒子を飛ばすので洗浄対象物となる有機EL材料の多くはマスク２４の下面に付着するため、特許文献１の洗浄装置においてマスク２４の下面を洗浄しようとする場合、マスク２４の上下面を反転させて電極上に載置させなければならず、マスク２４を反転させるための大掛かりな機構と、反転機構を設置するために十分なスペースが必要となる。その結果、装置の複雑化、大型化を招き、また、反転のためのタクトタイムも必要となり生産効率を悪くする。
【００２１】
また上記付着物はマスク２４の下面のみならず、マスク２４の開口を介してマスクの上面にも付着する場合もあるが、特許文献１に記載の洗浄方法では、マスク２４を下部電極２５上に載置して洗浄するため、マスク２４の片面しか洗浄できないといった問題も存在する。
【００２２】
本発明は上記問題点に鑑み案出されたものであり、その第１の目的は、マスク表面へのダメージを小さく抑えることができる洗浄方法、洗浄装置を提供することにある。
【００２３】
また本発明の第２の目的は、装置を小型に維持できる洗浄方法、洗浄装置、ＥＬディスプレイの製造方法及びＥＬディスプレイの製造装置を提供することにある。
【００２４】
さらに本発明の第３の目的は、高い生産性のＥＬディスプレイの製造方法及びＥＬディスプレイの製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明のマスク洗浄装置は、内部にマスクが配設されるチャンバと、前記マスクの上面及び下面が露出するように前記マスクを支持する支持手段と、前記マスクの配設領域と異なる領域に配設され、前記マスクを洗浄するためのエッチングガスを発生するプラズマ源と、該プラズマ源によって発生されたエッチングガスを露出した前記マスクの上面及び下面に案内する案内手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２６】
また本発明のマスク洗浄装置は、前記プラズマ源が前記チャンバの外部に配設されることを特徴とする。
【００２７】
また本発明のマスク洗浄装置は、前記チャンバ内のエッチングガスをチャンバの外部に排気する排気手段を更に備えたことを特徴とする。
【００２８】
また本発明のマスク洗浄装置は、前記支持手段は、前記マスクの端部を下方より支持することを特徴とする。
【００２９】
また本発明のマスク洗浄装置は、前記支持手段は、前記マスクと、該マスクを蒸着時に吸着するマグネットプレートとを、前記マスクと前記マグネットプレートとが間隔を空けて対向配置されるように支持することを特徴とする。
【００３０】
また本発明のマスク洗浄装置は、前記案内手段は、前記エッチングガスを噴出する多数の穴部を有するシャワーヘッドを備えていることを特徴とする。
【００３１】
また本発明のマスク洗浄装置は、前記マスクを加熱する加熱手段を更に備えたことを特徴とする。
【００３２】
本発明のＥＬディスプレイ製造装置は、マスクをディスプレイ基板へ位置合わせし、両者を固定するアライメント装置と、有機材料を載置する蒸着源を有し、前記一方の材料を、前記マスクを介して前記ディスプレイ基板に被着させ、有機層を形成する成膜装置と、上述のマスク洗浄装置と、前記マスクを上下反転させずに前記マスクを搬送する搬送手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３３】
また本発明のＥＬディスプレイ製造装置は、前記マスクと前記ディスプレイ基板との固定を解除する解除装置を更に備えたことを特徴とする。
【００３４】
また本発明のＥＬディスプレイ製造装置は、前記マスクの洗浄前もしくは洗浄中に前記マスクを加熱する加熱手段を更に備えたことを特徴とする。
【００３５】
また本発明のＥＬディスプレイ製造装置は、前記マスクの加熱後に前記マスクを冷却する冷却手段を更に備えたことを特徴とする。
【００３６】
本発明のマスク洗浄方法は、第１チャンバ内に配設されるマスクの配設位置と異なる領域でエッチングガスを発生させる工程と、発生させた前記エッチングガスを前記マスクの配設領域に案内して前記エッチングガスを前記マスクの上面及び下面に接触させることにより、前記マスクに付着した付着物を洗浄する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００３７】
また本発明のマスク洗浄方法は、前記エッチングガスを前記チャンバと異なる第２チャンバで発生させることを特徴とする。
【００３８】
また本発明のマスク洗浄方法は、前記エッチングガスは、前記マスクの配設領域への案内過程でプラズマ状態からラジカル状態に変化することを特徴とする。
【００３９】
また本発明のマスク洗浄方法は、前記エッチングガスはフッ素系ガスと酸素を含むことを特徴とする。
【００４０】
また本発明のマスク洗浄方法は、前記マスクの洗浄前もしくは洗浄中に前記マスクを加熱することを特徴とする。
【００４１】
本発明の蒸着膜の形成方法は、複数の開口を有するマスクを基板に位置合わせする工程と、蒸着法により前記マスクの開口を介して前記基板上に成膜する工程と、前記成膜に用いたマスクの上面及び下面を反転させることなく上下関係を維持したまま前記マスクを洗浄する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００４２】
また本発明の蒸着膜の形成方法は、前記マスクと前記基板とを位置合わせした後、前記マスクはマグネットプレートの磁力によって前記基板に対して固定されることを特徴とする。
【００４３】
また本発明の蒸着膜の形成方法は、前記マグネットプレートは前記マスクと共に洗浄されることを特徴とする。
【００４４】
また本発明の蒸着膜の形成方法は、前記マスクと前記基板の位置合わせ、前記基板への成膜、前記マスクの搬送、及び前記マスクの洗浄は、真空条件下で行なわれることを特徴とする。
【００４５】
また本発明の蒸着膜の形成方法は、前記基板への成膜と、前記マスクの洗浄は、異なるチャンバ内で行なわれることを特徴とする。
【００４６】
本発明のＥＬディスプレイの製造方法は、第１ディスプレイ基板と、複数の開口を有するマスクとを位置合わせする工程と、第１有機材料を、前記マスクの開口を介して前記第１ディスプレイ基板上に被着させ、前記第１ディスプレイ基板上に第１有機発光層を形成する工程と、前記第１有機発光層の形成に用いた前記マスクの上面及び下面を反転させることなく上下関係を維持したまま前記マスクを洗浄する工程と、洗浄した前記マスクを前記第２ディスプレイ基板に位置合わせする工程と、第２有機材料を、前記マスクの開口を介して前記第２ディスプレイ基板上に被着させ、前記第２ディスプレイ基板上に第２有機発光層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００４７】
また本発明のＥＬディスプレイの製造方法は、前記マスクと前記第１または第２ディスプレイ基板との位置合わせした後、前記マスクはマグネットプレートの磁力によって前記第１または第２ディスプレイ基板に対して固定されることを特徴とする。
【００４８】
また本発明のＥＬディスプレイの製造方法は、前記マグネットプレートは前記マスクと共に洗浄されることを特徴とする。
【００４９】
また本発明のＥＬディスプレイの製造方法は、前記マスクの洗浄前もしくは洗浄中に前記マスクを加熱する工程を備えたことを特徴とする。
【００５０】
また本発明のＥＬディスプレイの製造方法は、前記マスクの加熱後に、前記マスクを冷却する工程を備えたことを特徴とする。
【００５１】
また本発明のＥＬディスプレイの製造方法は、前記マスクの搬送、前記マスクの洗浄、前記第１有機発光層及び前記第２有機発光層の形成、前記マスクと前記第１及び前記第２ディスプレイ基板との位置合わせは、真空状態で行なわれることを特徴とする。
【００５２】
また本発明のＥＬディスプレイの製造方法は、前記第１有機発光層または前記第２有機発光層の形成と、前記マスクの洗浄とは、異なるチャンバ内で行なわれることを特徴とする。
【発明の効果】
【００５３】
本発明によれば、マスクを洗浄するエッチングガスを、マスクの配設領域と異なる領域でプラズマ源によって発生させるようにしたことから、発生させたエッチングガスをマスクの配設領域まで案内する過程で、ガスの大部分が高エネルギーのプラズマ状態からプラズマ状態よりも低エネルギーのラジカル状態に変化することとなる。このため、エッチングガスによる洗浄によってマスクが傷ついたり、熱によって大きくマスクが変形したりすることが抑制され、マスクへのダメージを低減することができる。その結果、マスクを長期にわたり再利用することができ、ＥＬディスプレイの生産性を向上させることが可能となる。
【００５４】
また本発明によれば、成膜時に使用したマスクを上下反転させることなくそのままマスクを洗浄することができるため、マスクの反転に使用するスペースや機構が不要となり、装置の大型化を防止できる。
【００５５】
さらに本発明によれば、洗浄されるマスクは上面及び下面ともに露出されるため、マスクの両面を良好に洗浄することができる。
【００５６】
さらに本発明によれば、マスクを基板に固定するために使用されるマグネットプレートをマスクと共に洗浄することにより、マグネットプレートに付着した付着物をも良好に洗浄することができる。
【００５７】
また本発明によれば、前記エッチングガスの案内手段にシャワーヘッドを使用した場合には、効率的により制御性良くエッチングガスの流れを制御することができる。
【００５８】
さらに本発明において、エッチングガスをチャンバの外部に排気する排気手段を設けることにより、エッチングガスによって除去されたマスクの付着物が良好にチャンバの外部へ排気され、上記付着物がマスクの再付着することが良好に防止される。
【００５９】
また本発明において、前記エッチングガスをフッ素系ガスと酸素を用いることにより、メタルマスクに与えるダメージを小さく抑えつつ、メタルマスクを良好に洗浄することができる。
【００６０】
さらに本発明において、前記マスクを加熱する加熱手段を設け、前記マスクの洗浄前もしくは洗浄中にマスクを加熱すれば、高い反応速度でマスクの付着物をエッチングすることができ、短時間でクリーニングすることができる。
【００６１】
しかもこの場合、マスクを加熱した後、マスクを冷却するようにすれば、熱によってマスクが大きく伸びることが抑制され、基板とマスクとの位置合わせ精度を高く維持することができるという利点がある。
【００６２】
また本発明によれば、第１ディスプレイ基板と、複数の開口を有するマスクとを位置合わせする工程と、第１有機材料を、前記マスクの開口を介して前記第１ディスプレイ基板上に被着させ、前記第１ディスプレイ基板上に第１有機発光層を形成する工程と、前記第１有機発光層の形成に用いた前記マスクの上面及び下面を反転させることなく上下関係を維持したまま前記マスクを洗浄する工程と、洗浄した前記マスクを前記第２ディスプレイ基板に位置合わせする工程と、第２有機材料を、前記マスクの開口を介して前記第２ディスプレイ基板上に被着させ、前記第２ディスプレイ基板上に第２有機発光層を形成する工程と、を備えているため、マスクを再利用しつつ、マスク及び基板の組を順々に流すことができ、ＥＬディスプレイの生産性を向上させることができる。
【００６３】
さらに本発明によれば、マスクの洗浄と、基板への蒸着、マスクと基板との位置合わせを真空状態で行なうことにより、マスクを可能な限り清潔に保つことができ、ＥＬディスプレイの品質や歩留まり向上に寄与することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６４】
本発明の洗浄装置およびＥＬディスプレイデバイスの製造装置の実施形態について図面を用いて説明する。
【００６５】
＜マスク洗浄装置＞
図１は本発明に係る洗浄装置の一実施形態を示す断面図である。本実施形態に係るマスク洗浄装置は、真空チャンバ１と、メタルマスク４に付着した有機物をエッチングするためのエッチングガスを生成する高周波プラズマ源２と、前記エッチングガスを真空チャンバ１内に案内する案内ポート３（案内手段）と、メタルマスク４およびマグネットプレート５とを所定の距離を保って保持する支持手段６と、真空ポンプ７に接続され、メタルマスク４の下方に配置された排気ポート８（排気手段）と、メタルマスク４およびマグネットプレート５を真空チャンバ１内に出し入れするための搬送手段（図示せず）と、を備えた構造を有している。そして、かかるマスク洗浄装置は、真空チャンバ１内に導入されたエッチングガスによってメタルマスク４及びマグネットプレート５に付着した有機物を洗浄するためのものである。
【００６６】
なお、マスク洗浄装置は、エッチングガスを真空チャンバ１内の所定方向に噴出するための多数の穴部を有するシャワーヘッド９（案内手段）を備えていてもよい。シャワーヘッド９は、案内ポート３に接続される。
【００６７】
真空チャンバ１は、例えば、アルミニウム製やＳＵＳ製など周知の真空チャンバ材料を用いて形成される。また、真空チャンバ１は、その表面がポリテトラフルオロエチレンで被覆されることにより、真空チャンバ１内においてエッチングガスの活性が失われることが抑えられ、マスクを洗浄する効果が向上する。
【００６８】
高周波プラズマ源２は、例えば、高周波発振機として工業的に常用されている１３．５６ＭＨｚ帯や２．４５ＧＨｚ帯の高周波で、エッチングガスをプラズマ励起するものである。特に、高周波として２．４５ＧＨｚ帯のマイクロ波を用いた場合には、マスクに付着した有機ＥＬ材料を効率的にエッチングすることが可能なラジカルを高密度に含むエッチングガスを生成することが可能となる。
【００６９】
この高周波プラズマ源２は、メタルマスク４及びマグネットプレート５が配設される領域と異なる領域に配置されている。本実施形態においては、真空チャンバ１と異なるチャンバ（不図示）に収容されている。
【００７０】
高周波プラズマ源２によって発生されるエッチングガスとしては、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８等のＣＦ系ガスを用いるか、あるいは、かかるＣＦ系ガスとＯ２、Ｎ２・Ａｒ・Ｘｅ等の希ガスとの混合ガスを用いる。かかる高周波プラズマ源２によって発生されたエッチングガスは、プラズマ状態である。
【００７１】
また高周波プラズマ源２によって発生したエッチングガスは、排気ポート８による真空排気の圧力勾配によって所定の方向に導入される。そして、導入されたエッチングガスは、案内ポート３及びシャワーヘッド９等の案内手段を介して真空チャンバ１内のメタルマスク４とマグネットプレート５の配設領域に案内される。
【００７２】
案内ポート３やシャワーヘッド９を介して真空チャンバ１内に案内されたエッチングガスは、プラズマで励起されてラジカル、イオンなどを含んでいる。ところが、エッチングガス中のイオンは、エッチングガスが真空チャンバ１へ案内される過程で、電気的に引き寄せられることで案内ポート３やシャワーヘッド９の壁面に接触することが多い。その結果、エッチングガス中のイオンは活性が失われ、中性のラジカルに変わるものがある。一方、ラジカルは他の原子と結合することで活性が失われやすいものの、反応相手と衝突しない限りラジカル状態が保持される。つまり、ラジカルは、イオンと比較して長寿命である。従って、エッチングガスが真空チャンバ１内へ案内される過程において、エッチングガス中に残存するのは主としてラジカルである。
【００７３】
ラジカルはプラズマよりも低エネルギーである中性粒子であるため、主としてラジカルが存在するエッチングガスを用いてマスクを洗浄すると、エッチングガスによってマスクが受けるダメージが低減される。つまり、荷電粒子が有るプラズマの場合にはマスク表面近傍に生じる自己バイアスによって加速されて物理的な衝撃をマスクに与えるが、電気的に中性なラジカルは自己バイアスによって大きく加速されることはほとんどなく、マスクへの物理な衝撃は小さい。
【００７４】
なお、エッチングガスによってマスクに付着した付着物を洗浄できる理由は、エッチングガス中のフッ素ラジカルと酸素ラジカル等のラジカルがマスクの付着物と接触すると、化学反応によって付着物（有機EL材料など）が水や二酸化炭素、金属フッ化物などの蒸発し得るものとなるからである。
【００７５】
有機ＥＬディスプレイの有機層に用いられる有機材料は、Ｃ、Ｈ、Ｎなどを主成分とする有機物であるが、かかる有機物は金属錯体が使用されるので、エッチングガスとして酸素ラジカルだけではなくフッ素ラジカルを用いると効率的にエッチング除去ができる。また、エッチングガス中にＮ２・Ａｒ・Ｘｅ等の希ガスを混合した場合には、酸素ラジカルやフッ素ラジカルは、エッチングガスおよびエッチング生成物を輸送するキャリアガスとして働き、良好に排気でき残渣のないクリーニング処理ができる。エッチングガスの種類、流量は実験により所望のエッチング特性即ちクリーニング性能が得られるように決めれば良い。ＣＦ系ガスの流量がＯ２ガスの流量に比べて０．５よりも大きい場合には、ＣＦ系のポリマーが堆積しやすい。一方、ＣＦ系ガスの流量がＯ２ガスの流量に比べて０．０５よりも小さい場合にはエッチングレートが小さくなる。従って、（ＣＦ系ガスの流量）／（Ｏ２ガスの流量）は、０．０５〜０．５に設定することが適当である。また、ＣＦ系ガスの流量としては、１０ｓｃｃｍ〜５００ｓｃｃｍ程度である。エッチングガス中に希ガスを導入する場合、（希ガスの流量）／（Ｏ２ガスの流量）は５％〜２０％程度とすれば良い。
【００７６】
メタルマスク４は、ニッケルまたはニッケル系合金等の磁性体から成るメタルマスクシート部４ａをアルミニウムやＳＵＳ等から成るマスクフレーム４ｂに張力をかけて固定された構造体である。ニッケル系合金としては、例えばニッケル−コバルト合金がある。メタルマスク４は電鋳法やエッチング法により製造されたものである。メタルマスクシート部４ａの厚みは約１０μｍ〜３０μｍである。メタルマスクシート部４ａには蒸着粒子を通す多数の開口が形成されており、この開口を介して発光層や電極層の構成材料が基板上に被着され、基板上に発光層や電極層が形成される。
【００７７】
マグネットプレート５は、ＳＵＳやアルミニウム等により形成されたプレートであり、該プレートの内部または表面にマグネット５ｂを配置したものであり、メタルマスク４上に配置される。なお、マグネットプレート５は、基板への蒸着時において、メタルマスク４及び基板上に配置され、マグネットプレート５の磁力によってメタルマスク４をマグネットプレート５側に引き寄せ、メタルマスク４とマグネットプレート５との間に基板を挟みこみ、基板に対してメタルマスク４の位置を固定する役割を有している。
【００７８】
これらメタルマスク４やマグネットプレート５は、後述する支持手段６が挿入される穴部をそれぞれ端部付近に有している。そして、支持手段６によってメタルマスク４とマグネットプレート５とが所定の間隔を空けて配置されるため、メタルマスク４及びマグネットプレート５の上面及び下面の大部分が露出され、メタルマスク４及びマグネットプレート５がエッチングガスにより良好に洗浄される。
【００７９】
支持手段６は、図２に示すように、複数の突起６ａ、６ｂ、６ｃをメタルマスク４の厚み方向（図１の紙面に垂直な方向）に積み重ねた構造を有している。また突起の幅は、支持手段６の先端ほど小さくなるように設定されている。そして、上述のマグネットプレート５の穴部は、突起６ａ、６ｂよりも小さく、突起６ｃよりも大きく設定されている。一方、メタルマスク４の穴部は、突起６ａよりも小さく、突起６ｂ、６ｃよりも大きく設定されている。従って、支持手段６をメタルマスク４及びマグネットプレート５の穴部に挿入すると、突起６ａによってメタルマスク４が、突起６ｂによってマグネットプレート５がそれぞれ下方から支持される。
【００８０】
なお、メタルマスク４及びマグネットプレート５の穴部に支持手段６を挿入させるには、磁力により互いに固定されたメタルマスク４とマグネットプレート５を搬送手段によって支持手段６の上方に配置し、その後、メタルマスク４とマグネットプレート５を下降させることによって支持手段６の突起をメタルマスク４及びマグネットプレート５の穴部に挿入させる。そして、挿入後、マグネットプレート５とメタルマスク４とを外力の印加によって引き離す。このとき、マグネットプレート５の磁力が大きすぎると引き離しに必要な外力は大きくなり、メタルマスク４が変形したり破損したりするおそれがあるため、メタルマスク４とマグネットプレート５の間に、マグネットプレート５よりも磁力の弱いＳＵＳやアルミニウム等から成る中間プレート５ｃを介在させると良い（図３参照）。中間プレート５ｃを用いる場合、まず、マグネットプレート５と中間プレート５ｃとを離間し、その後、中間プレート５ｃとメタルマスク４とを離間すると、メタルマスク４の変形や破損を防止できる。
【００８１】
メタルマスク４とマグネットプレート５との間隔は、５ｍｍ以上（より好ましくは１０ｍｍ以上）とすることが好ましい。また前記間隔は、エッチングガスの平均自由工程の１０倍程度以上の距離とすると更に好ましい。これらの値に離間距離を設定する理由はエッチングガスが十分行渡るようにするためである。一方、前記間隔は５０ｍｍ以下とすることが好ましい。上限値を５０ｍｍとする理由は、ある程度以上の距離ではエッチング作用の効果はそれほど変わりなく、間隔を広くすることはチャンバ容積を無駄に増加させることになるからである。
【００８２】
また、マグネットプレート５や中間プレート５ｃの表面はポリテトラフルオロエチレンによって被覆することにより、活性状態のエッチングガスが失活することを抑えることができ、より高いレートで有機材料をエッチング除去することができる。
【００８３】
真空ポンプ７は、油回転ポンプ、ドライポンプ、ターボ分子ポンプ等のように、エッチングガスやエッチング生成物に対して十分耐性があり、エッチングプロセスに適切な排気能力を有するものを選択して使用すれば良い。
【００８４】
排気ポート８は、一端が真空チャンバ１に、他端が真空ポンプ７にそれぞれ接続されている。排気ポート８の配設位置は、メタルマスク４の下方であり、エッチングプロセス（洗浄プロセス）に適当な排気コンダクタンスが得られるように設定されている。排気ポート８は、コンダクタンスを可変できる機構としても良い。排気ポート８は、メタルマスク４の下方中央付近に配置されれば、マグネットプレート５とメタルマスク４との間に導入されたエッチングガスは、メタルマスク４の開口を介してメタルマスク４の下方へ良好に流れ、エッチング生成物がメタルマスク４に再び堆積されたり、エッチング速度が低下したりすることが抑制され、良好にメタルマスク４を洗浄できる。
【００８５】
さらに、マスク洗浄装置は、エッチングプロセス中の真空チャンバ１内の圧力を調整できるように圧力調整機構を備えると良い。圧力としては５Ｐａ〜１００Ｐａ程度が好ましく（更に好ましくは、圧力が１０Ｐａ〜５０Ｐａ程度）、この場合、等方的なエッチングが可能となるため、メタルマスク４やマグネットプレート５の上面、下面、穴部の内面等に付着した有機材料を良好に除去することができる。圧力が低すぎたり高すぎる場合には、エッチングレートが小さくなったり、高周波プラズマ源２が不安定になったりする。
【００８６】
＜メタルマスク・マグネットプレートの洗浄方法＞
次に上述の洗浄装置を用いてメタルマスク、マグネットプレートを洗浄する方法を詳細に説明する。
【００８７】
（１）まず、支持手段６を用いてメタルマスク４及びマグネットプレート５を間に所定の間隔を空けるようにして真空チャンバ１内に配設する。
【００８８】
このとき、メタルマスク４とマグネットプレート５は、その上面及び下面が露出した形となっており、従来のように、メタルマスク４を洗浄するためにメタルマスク４を上下反転させることなく、有機材料等が付着しやすいメタルマスク４の下面を露出させている。従って、洗浄装置にメタルマスクを反転させるための機構やスペースを省くことができ、洗浄装置の構成の簡素化、小型化を実現できる。
【００８９】
（２）次に、高周波プラズマ源２を用いて真空チャンバ１の外側に位置する別のチャンバ内でエッチングガスを発生させる。このエッチングガスは主としてプラズマ状態である。
【００９０】
（３）次に、発生させたエッチングガスを案内ポート３やシャワーヘッド９を介して真空チャンバ１内に導入する。
【００９１】
導入されたエッチングガスは上述した理由によりプラズマ状態からラジカル状態となって低エネルギー化されるため、エッチングガスによってメタルマスク４を洗浄する際、メタルマスク４のダメージを低減できる。
【００９２】
また、導入されたエッチングガスはマグネットプレート５の上面側、マグネットプレート５とメタルマスク４との間、及びメタルマスク４の下面側に拡散し、マグネットプレート５の上下面及びメタルマスク４の上下面にエッチングガスが接触するため、マグネットプレート５やメタルマスク４に付着した有機材料等の付着物とエッチングガスが化学反応を起こし、付着物が良好にエッチング除去され、メタルマスク４やマグネットプレート５が良好に洗浄される。
【００９３】
なお、拡散したエッチングガスは真空ポンプ７で吸引されることにより排気ポート８より真空チャンバ１外に排気される。この際、上述の化学反応により除去された付着物が排気ポート８に良好に排気されるため、上記付着物がメタルマスク４やマグネットプレート５に再付着することを良好に防止できる。
【００９４】
＜有機ＥＬディスプレイの製造装置＞
次に、図５を用いて本発明の一実施形態である有機ELディスプレイの製造装置について説明する。
【００９５】
同図に示す製造装置は、大略的には、ディスプレイ基板１１とメタルマスク４との位置合わせを行うアライメント装置７２Ｒ，７２Ｇ，７２Ｂ（Ｒは赤色有機層形成用、Ｇは緑色有機層形成用、Ｂは青色有機層形成用という意味、以下同じ）と、蒸着物が載置される蒸着源を有し、ディスプレイ基板１１への成膜を行う成膜装置７３Ｒ，７３Ｇ，７３Ｂと、ディスプレイ基板１１への成膜後にメタルマスク４をディスプレイ基板１１より離間させ、両者の一体化を解除する解除装置７５と、上述の洗浄装置７７と、メタルマスク４を上下反転させることなくそのままメタルマスク４を各装置間で搬送する図示しない搬送手段と、を備えた構成を有している。なお、ディスプレイ基板１１は、ガラス基板と、各画素に対応する下部電極と、を含んで構成されている。
【００９６】
アライメント装置７２Ｒ，７２Ｇ，７２Ｂは、図６に示す如く、メタルマスク４とディスプレイ基板１１との位置合わせを行うためのＣＣＤカメラと、メタルマスク４の上面側を吸着するマグネットプレート５と、マグネットプレート５の上面に接続される支持ロッド１３と、支持ロッド１３の上端部に接続される図示しない昇降装置と、を有している。かかるアライメント装置でメタルマスク４とディスプレイ基板１１との位置合わせを行う場合、まず、ＣＣＤカメラを用いた公知の方法でメタルマスク４とディスプレイ基板１１を位置合わせ（アライメント）する。次に、支持ロッド１３によりマグネットプレート５を降下させてディスプレイ基板１１に接触させ、ディスプレイ基板１１を挟んでマグネットプレート５とメタルマスク４とを磁力で固定する。なお、上述したように、マグネットプレート５とメタルマスク４との一体化を解除する際に、メタルマスク４に印加される外力によってメタルマスク４に歪みが発生するのを防止するため、マグネットプレート５とメタルマスク４との間に中間プレートを介在させるようにしても良い。
【００９７】
またアライメント装置７２Ｒ，７２Ｇ，７２Ｂの隣に配設される成膜装置７３Ｒ，７３Ｇ，７３Ｂは、様々な有機材料が載置される蒸着源７４Ｒ，７４Ｇ，７４Ｂを有している。蒸着源７４Ｒ，７４Ｇ，７４Ｂに載置される有機材料は、発光層の用途であれば、例えば、アルミ錯体，アントラセン類，希土類錯体，イリジウム錯体等が用いられる。また、正孔注入層の用途であれば、有機材料は、例えば、アリールアミン類，フタロシアニン類等が用いられる。正孔輸送層の用途であれば、有機材料は、例えば、アリールアミン類等が用いられる。電子輸送層の用途であれば、有機材料は、例えば、アルミ錯体，オキサジアゾール類，トリアゾール類等が用いられる。
【００９８】
この成膜装置７３Ｒ，７３Ｇ，７３Ｂは、アライメント装置７２Ｒ，７２Ｇ，７２Ｂによってメタルマスク４が位置合わせされたディスプレイ基板１１に対して有機材料を成膜して有機発光層を形成するためのものである。
【００９９】
成膜装置７３の内部においては、図７に示すように、蒸着源７４の上方にメタルマスク４、ディスプレイ基板１１、マグネットプレート５が一体化された状態で配置されている。そして、蒸着源７４を加熱し、有機材料の蒸発温度以上に蒸着源が加熱されると、有機材料が蒸発し、メタルマスク４の開口より露出したディスプレイ基板１１上に蒸発した有機材料が堆積され、ディスプレイ基板１１上に有機発光層が形成される。通常、有機発光層は、電子注入層、電子輸送層、発光層、ホール輸送層、ホール注入層などの数種類の層から構成されるので、成膜装置７３Ｒ，７３Ｇ，７３Ｂには各層を形成するための複数の蒸着源が所定の間隔で配置される。層の膜厚ムラを防止するため、蒸着源は長尺状であることが好ましい。また層の膜厚ムラを防止するため、ディスプレイ基板１１を移動させながら蒸着することが好ましい。
【０１００】
なお、成膜装置７３Ｒ，７３Ｇ，７３Ｂもしくはアライメント装置７２Ｂ，７２Ｇ，７２Ｂの近傍にはバッファ室７１Ｒ，７１Ｇ，７１Ｂが設けられている。このバッファ室はディスプレイ基板１１を下流に搬送するタイミングを調整するために一時的にディスプレイ基板１１を格納しておくための空間であり、アライメント装置よりもディスプレイ基板１１の搬送方向上流側に配設されている。
【０１０１】
以上説明したバッファ室７１Ｒ，７１Ｇ，７１Ｂ、アライメント装置７２Ｒ，７２Ｇ，７２Ｂ、成膜装置７３Ｒ，７３Ｇ，７３Ｂは、ディスプレイ基板１１の搬送方向上流側から下流側に向かって、バッファ室７１Ｂ、アライメント装置７２Ｂ、成膜装置７３Ｂ、バッファ室７１Ｇ、アライメント装置７２Ｇ、成膜装置７３Ｇ、バッファ室７１Ｒ、アライメント装置７２Ｒ、成膜装置７３Ｒの順に配設されている。
【０１０２】
そして、成膜装置７３Ｒよりも搬送方向下流側には上述した解除装置７５が存在する。この解除装置７５は、マグネットプレート５の磁力によって一体化されているメタルマスク４、ディスプレイ基板１１、マグネットプレート５をそれぞれ分離するための装置であり、油圧シリンダーやモーター駆動のプッシャーピン等によってメタルマスク４及びマグネットプレート１１に外力を印加することにより両者を分離する。
【０１０３】
また、解除装置７５はマスク移送部７６を介して洗浄装置７７に接続されている。この洗浄装置７７は上述した洗浄装置と基本的に同様の構成を有している。
【０１０４】
さらにメタルマスク４やマグネットプレート５、ディスプレイ基板１１を搬送する搬送手段としては、ローラー搬送機やロボットが挙げられる。この搬送手段は、メタルマスク４やマグネットプレート５を上下反転する機構を特に備えている必要がない。従って、搬送手段の構成を簡素にすることができる上、メタルマスク４やマグネットプレート５を上下反転させるための広いスペースが不要となり、有機ＥＬディスプレイの製造装置の小型化に供することが可能となる。
【０１０５】
＜有機ＥＬディスプレイの製造方法＞
次に、図５の製造装置を用いて有機ＥＬディスプレイを製造する方法について詳細に説明する。
【０１０６】
（１）まず、前工程よりディスプレイ基板１１が、マスクストッカー７９よりメタルマスク４、マグネットプレート５がそれぞれバッファ室７１Ｂに搬送される。
【０１０７】
（２）次に、マグネットプレート５、メタルマスク４、ディスプレイ基板１１を所定のタイミングでバッファ室７１Ｂからアライメント装置７２Ｂへ搬送する。
【０１０８】
（３）次に、アライメント装置でメタルマスクとディスプレイ基板とを位置合わし、しかる後、マグネットプレートを用いてマグネットプレート、ディスプレイ基板、メタルマスクを一体化して固定する（以下、一体化されたマグネットプレート、ディスプレイ基板、メタルマスクをセット基板という）。
【０１０９】
（４）続いて、ローラー搬送機などの搬送手段を用いてセット基板を成膜装置７３Ｂ内に搬送し、蒸着源７４Ｂより青色に対応する有機材料を蒸発させ、メタルマスク４の開口から露出するディスプレイ基板１１上に青色に対応する有機発光層を形成する。
【０１１０】
（５）続いてバッファ室７１Ｇにセット基板を搬送した後、所定のタイミングでセット基板をアライメント装置７２Ｇに搬送する。
【０１１１】
（６）以下、上記（３）〜（５）と同様の工程をアライメント装置７２Ｇ，成膜装置７３Ｇ，アライメント装置７２Ｒ，成膜装置７３Ｒで繰り返すことにより、ディスプレイ基板１１上に緑色に対応する有機発光層、赤色に対応する有機発光層が形成される。
【０１１２】
（７）次に、セット基板を解除装置７５に搬送し、解除装置７５内でセット基板が個々の部材（ディスプレイ基板１１、メタルマスク４、マグネットプレート５）に分離される。
【０１１３】
（８）セット基板の一体化が解除された後、ディスプレイ基板１１については後工程に回され、有機発光層上に下部電極や保護膜が形成される。一方、メタルマスク４、マグネットプレート５については上下反転させることなくロボット等の搬送手段でマスク移送部７６を介して洗浄装置７７内に搬送される。洗浄装置７７ではメタルマスク４、マグネットプレート５の洗浄が行われる。洗浄装置７７は、上述したように、メタルマスク４を反転させることなく、有機材料が主に付着するメタルマスク４の下面を露出させて該下面を洗浄することができるため、メタルマスク４を反転させるための機構やスペースが不要となり、装置の構成を小型化、簡素化することができる。
【０１１４】
（９）洗浄が終わったメタルマスク４、マグネットプレート５は、ローラー搬送機等の搬送手段を用いてマスク搬送室７８を介してマスクストッカー７９内に搬送される。
【０１１５】
（１０）マスクストッカー７９内に搬送されたメタルマスク４、マグネットプレート５は、バッファ室７１Ｂに搬送される。このとき、バッファ室７１Ｂには前工程からディスプレイ基板１１が搬送される。
【０１１６】
（１１）以下、（２）〜（１０）を繰り返すことによってメタルマスク４やマグネットプレート５が再利用されることとなる。
【０１１７】
なお、バッファ室、アライメント装置、成膜室、解除装置、マスク移送部、洗浄装置、マスク搬送室、マスクストッカーは、各々のチャンバが図示しない真空ポンプで排気されて減圧下で各プロセスが処理される。それ故、メタルマスク４及びマグネットプレート５は、マスク洗浄からディスプレイ基板への成膜、及びディスプレイ基板への成膜からマスク洗浄までの一連のプロセス（マスクの搬送、マスクの位置合わせ等のプロセスを含む）において、真空状態が維持されることとなり、マスク洗浄前やマスク洗浄後にメタルマスク４やマグネットプレート５に対して多くの塵や埃が付着することが良好に防止される。
【０１１８】
メタルマスク４、マグネットプレート５、ディスプレイ基板１１は複数連続的に流して処理してもよく、この場合、短いタクトで生産性良く有機発光層を形成できる。
【０１１９】
またメタルマスク４およびマグネットプレート５の洗浄は毎回行っても良いし、Ｎ（Ｎは２以上の自然数）回毎に行ってもよい。Ｎ回毎にメタルマスク４やマグネットプレート５の洗浄を行う場合、メタルマスク４やマグネットプレート５を洗浄せずそのまま再利用する処理が存在する。この処理は、解除装置７５で一体化が解除されたメタルマスク４は洗浄装置７７に搬送されず、マスク移送部７６、マスク搬送室７８を介してマスクストッカー７９に搬送される。
【０１２０】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において種々の変更、改良が可能である。
【０１２１】
例えば、上述の実施形態においては、本発明のマスク洗浄装置を有機ＥＬディスプレイの製造装置や製造方法に適用する場合について説明したが、無機ＥＬディスプレイの製造装置や製造方法にも適用可能である。
【０１２２】
また、上述の実施形態においては、マスク洗浄装置において、高周波プラズマ源２を真空チャンバ１の外側に配設したが、これに代えて、高周波プラズマ源２を真空チャンバ１の内部に配設しても良い。この場合、例えば図８に示す如く、高周波プラズマ源２の配設領域とメタルマスク４の配設領域とを異ならせるようにする。また高周波プラズマ源２の配設領域とメタルマスク４の配設領域との境界には複数の穴部を有する遮蔽板１２を配設することが好ましい。なお、遮蔽板１２はアルミニウムやSUSにより形成されてものを採用することが好ましい。また高周波プラズマ源２としては、ICP型、SWP型、NLD型など従来ダウンフロー方式のプラズマ源として用いられるものを利用することが好ましい。
【０１２３】
また、上述の実施形態において、マスク洗浄装置は、メタルマスク４やマグネットプレート５を加熱する加熱手段を更に備えても良い。例えば、加熱手段としては、赤外線ランプヒータやホットプレート等が挙げられる。この加熱手段は、メタルマスク４やマグネットプレート５の洗浄中にメタルマスク４やマグネットプレート５を加熱することが好ましく、この場合、エッチングレートが高くなり短時間の洗浄処理が可能となる。加熱温度としては、メタルマスク４やマグネットプレート５の温度が１０℃〜７０℃となる温度とすることが好ましい。７０℃よりも高くなると、メタルマスクの変形や寸法精度悪化を招くからである。なお、本発明者による実験によれば、メタルマスク４の温度が５０℃で３００ｎｍ／ｍｉｎ程度のエッチングレートが得られる。
【０１２４】
さらに、上記加熱手段は、マスク洗浄装置の内部ではなく、マスク洗浄装置の外部に設けてもよい。この場合、上述の有機ＥＬディスプレイの製造装置においては、解除装置７５やマスク移送部７６に加熱手段を設け、メタルマスク４の洗浄前に、メタルマスク４やマグネットプレート５を予め加熱することになる。
【０１２５】
また、加熱手段をマスク洗浄装置の内部または外部に設ける場合、メタルマスクの洗浄後にメタルマスク４およびマグネットプレート５を冷却する冷却手段を洗浄装置の外部（上述の有機ＥＬディスプレイの製造装置ではマスクストッカー７９やバッファ室７１Ｂ等）に設けるようにすることが好ましい。メタルマスク４が加熱された状態では熱膨張によりメタルマスク４の寸法が変化し、位置合わせされる基板との位置ズレが生じやすくなるからである。冷却手段としては、メタルマスク４およびマグネットプレート５に接触される冷却プレートや冷却ローラー、Ｎ２、Ａｒ、Ｈｅなどの不活性ガスが考えられる。
【実施例】
【０１２６】
＜実施例１＞
本実施例においては、図1に示した洗浄装置でメタルマスクの洗浄処理を行った。６５０ｍｍ×６５０ｍｍ×２５０ｍｍの内容積のアルミニウム製の真空チャンバ内に、６００ｍｍ×３５０ｍｍのメタルマスクと、その上方に配置した６００ｍｍ×３５０ｍｍ×１０ｍｍのＳＵＳ容器の中にネオジウムマグネットを配置したマグネットプレートとを２０ｍｍの間隔を空けて保持した。石英ガラス管にエッチングガスとしてＣＦ４を７５ｓｃｃｍ、Ｏ２を４２５ｓｃｃｍ、Ｎ２を５０ｓｃｃｍ導入し、これに導波管で伝送した２．４５ＧＨｚ、１ｋＷのマイクロ波発振機からのマイクロ波を導入してエッチングガスをプラズマ励起した。真空チャンバに接続したポートからエッチングガスを真空チャンバ内に導入して、クリーニング処理を行った。処理時の真空チャンバ内圧力は３５Ｐａで行った。メタルマスクの下面に銅フタロシアニン膜やＡｌｑ３膜、ＮＰＢ膜など、周知の有機材料を成膜したサンプルを準備してエッチング除去を行った。いずれの材料についても、ＣＦ４が５０〜１００ｓｃｃｍ、Ｏ２が４００〜４５０ｓｃｃｍで、２５ｎｍ／ｍｉｎ以上のエッチングレートでメタルマスク全面に渡り良好にエッチング除去できた。
【０１２７】
メタルマスクとマグネットプレートを５０℃に加熱して同様のテストを行ったところ、約３００ｎｍ／ｍｉｎのエッチングレートでエッチング除去できた。
【０１２８】
また、マグネットプレートの上面をポリテトラフルオロエチレンからなるシートでカバーして同様のテストを行ったところ、約１．７倍のエッチングレート（４２．５ｎｍ／ｍｉｎ）でエッチング除去できた。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】本発明に係る洗浄装置の一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１の支持手段によってメタルマスクとマグネットプレートとを支持する様子を示す断面図である。
【図３】本発明の洗浄装置の支持手段によってメタルマスクと中間プレートとマグネットプレートとを支持する様子を示す断面図である。
【図４】（ａ）は図３に示されたマグネットプレートの平面図、（ｂ）は図３に示された中間プレートの平面図、（ｃ）は図３に示されたメタルマスクの平面図である。
【図５】本発明に係る有機ＥＬディスプレイの製造装置の構成を示す概略平面図である。
【図６】図５に示す有機ＥＬディスプレイの製造方法を構成するアライメント装置の断面図である。
【図７】図５に示す有機ＥＬディスプレイの製造装置を構成する成膜装置の断面図である。
【図８】本発明に係る洗浄装置の他の実施形態を示す断面図である。
【図９】（ａ）〜（ｇ）は、従来の有機ＥＬディスプレイの製造方法を表す平面図である。
【図１０】従来の洗浄装置の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１３０】
１・・・真空チャンバ
２・・・高周波プラズマ源
３・・・案内ポート
４・・・メタルマスク
４ａ・・・メタルマスクシート部
４ｂ・・・メタルマスクフレーム
５・・・マグネットプレート
５ｂ・・・マグネット
５ｃ・・・中間プレート
６・・・支持手段
６ａ・・・突起
７・・・真空ポンプ
８・・・排気ポート
９・・・シャワーヘッド
１０・・・長尺蒸着源
１１・・・基板（ディスプレイ基板）
１２・・・遮蔽板
１３・・・支持ロッド
７１Ｂ、７１Ｇ、７１Ｒ・・・バッファ室
７２Ｂ、７２Ｇ、７２Ｒ・・・アライメント装置
７３Ｂ、７３Ｇ、７３Ｒ・・・成膜装置
７４Ｂ、７４Ｇ、７４Ｒ・・・蒸着源
７５・・・解除装置
７６・・・マスク移送部
７７・・・洗浄装置
７８・・・マスク搬送室
７９・・・マスクストッカー
【図１】
2006330684.tif 000003
【図２】
2006330684.tif 000004
【図３】
2006330684.tif 000005
【図４】
2006330684.tif 000006
【図５】
2006330684.tif 000007
【図６】
2006330684.tif 000008
【図７】
2006330684.tif 000009
【図８】
2006330684.tif 000010
【図９】
2006330684.tif 000011
【図１０】
2006330684.tif 000012