(57)【要約】【課題】曲りがある円柱素材を細い円柱材に高精度に成形することができる放電加工による成形方法を提供する。【解決手段】  導電性板材２をプラスに、円柱素材１をマイナスに放電回路４と接続し、曲りδの円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により導電性板材２に加工用穴２１を形成し、次いで円柱素材の半径及びその曲りδ、円柱素材の半径をＲ、加工用穴を形成する第１工程の放電ギャップＧ、形成しようとする細い円柱材の目標の半径をｒ、細い円柱材に成形する第４工程の放電ギャップｇとしたとき、第３工程の円柱素材を移動距離＝（Ｒ＋Ｇ＋δ／２）−ｒ−ｇ移動させ、また導電性板材２をマイナス、円柱素材１をプラスに接続し、円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、導電性板材２に形成された加工用穴２１で円柱素材１を細い成形部１１に放電加工により成形する。【選択図】  図１０
2006231456.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性板材をプラスに、円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により前記導電性板材に加工用穴を形成する第１工程、円柱素材を加工用穴の上方に上昇させる第２工程、加工用穴で円柱素材を細く成形するように円柱素材を横に移動させる第３工程、加工用穴を形成した導電性板材をマイナスに、円柱素材をプラスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する第４工程とを有し、前記第１〜４工程は、導電性板材をテーブルに固定されたままの状態で、円柱素材を保持具に保持されたままの状態で行われる放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する方法において、円柱素材の半径及びその曲りδを測定し、円柱素材の半径をＲ、加工用穴を形成する第１工程の放電ギャップＧ、形成しようとする細い円柱材の目標の半径をｒ、細い円柱材に成形する第４工程の放電ギャップｇとしたとき、第３工程の円柱素材を横に移動させる移動距離は、
移動距離＝（Ｒ＋Ｇ＋δ／２）−ｒ−ｇ、とすることを特徴とする曲りのある円柱素材を放電加工により細い円柱材に成形する方法。
【請求項２】
導電性板材をプラスに、円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により前記導電性板材に加工用穴を形成する第１工程、円柱素材を加工用穴の上方に上昇させる第２工程、加工用穴で円柱素材を細く成形するように円柱素材を横に移動させる第３工程、加工用穴を形成した導電性板材をマイナスに、円柱素材をプラスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する第４工程とを有し、前記第１〜４工程は、導電性板材をテーブルに固定されたままの状態で、円柱素材を保持具に保持されたままの状態で行われる放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する方法において、測定用導電性板材をテーブルに載置し、前記円柱素材を保持具に保持して、測定用導電性板材をプラスに、前記円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により測定用導電性板材に測定用穴を形成し、前記測定用穴の径を計測する予備工程を有し、予備工程で計測した測定用穴の半径Ｄｏ／２、細い円柱材の目標の半径をｒ、細い円柱材に成形する第４工程の放電ギャップｇとしたとき、第３工程の円柱素材を横に移動させる移動距離は、
移動距離＝（Ｄｏ／２）−ｒ−ｇ、とすることを特徴とする曲りのある円柱素材を放電加工により細い円柱材に成形する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電加工による円柱素材を細い円柱材に成形する方法に係り、特に曲りのある円柱素材を放電加工により細い円柱材に成形する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より放電加工は数μｍの微細な加工を行うことができ、機械加工ではできないような微細加工を行うことができるものである。しかしながら放電加工が複数の工程で行われるような場合に、被加工素材と放電加工電極の位置を合わせのために、それぞれの原点合わせをする必要があり、このような原点調整作業は困難で時間がかかるものであった。そこで、本発明者等は、原点調整作業を行なうことなく位置合わせを容易に行うことができる放電加工による素材の成形方法を提案した（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００４−１４２０８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記の先に提案した放電加工による素材の成形方法は、原点調整作業を行なうことなく位置合わせを容易に行うことができ、放電加工による微細な成形加工を効率的に行うことができるものであり、この放電加工による素材の成形方法は、素材の直径データを基にして、板材をテーブルに固定されたままの状態で、素材は保持されたままの状態で行われるものであり、板材の穴及び素材は原点がそのままでなので、原点調整作業を行なうことなく位置合わせを容易に行うことができるものである。
しかしながら、先に提案した放電加工の技術で、成形しようとする円柱素材（以下「円柱素材」という）を直径データを基にして成形すると、原点は正確に調整されるが、成形されたものに種々のサイズのものがあり、精度よく成形することができなかった。
【０００４】
その原因を調べたところ、円柱素材の曲りに原因のあることが分かった。円柱素材に曲りがあると、円柱素材の直径データを基にして行う、先に提案した放電加工による成形方法では、原点は正確に調整されても、所定のサイズに精度よく成形することができなかった。
円柱の素材は工業的に太さ（直径）は統一されているものであるが、棒状素材には曲がっている場合もあり、それは一本毎に異なっており、曲がりはさまざまである。この曲がっている円柱の素材では、原点を正確に調整しても同じのものを精度良く成形することができないということが明らかになった。
そこで、本発明は、円柱素材に曲りがある場合でも、円柱素材を細い円柱材に高精度に成形することができる放電加工による成形方法を提供するものである。    
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明（請求項１）は、導電性板材をプラスに、円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により前記導電性板材に加工用穴を形成する第１工程、円柱素材を加工用穴の上方に上昇させる第２工程、加工用穴で円柱素材を細く成形するように円柱素材を横に移動させる第３工程、加工用穴を形成した導電性板材をマイナスに、円柱素材をプラスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する第４工程とを有し、前記第１〜４工程は、導電性板材をテーブルに固定されたままの状態で、円柱素材を保持具に保持されたままの状態で行われる放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する方法において、円柱素材の半径及びその曲りδを測定し、円柱素材の半径をＲ、加工用穴を形成する第１工程の放電ギャップＧ、形成しようとする細い円柱材の目標の半径をｒ、細い円柱材に成形する第４工程の放電ギャップｇとしたとき、第３工程の円柱素材を横に移動させる移動距離は、
移動距離＝（Ｒ＋Ｇ＋δ／２）−ｒ−ｇ、
とすることを特徴とする曲りのある円柱素材を放電加工により細い円柱材に成形する方法である。
【０００６】
また、本発明（請求項２）は、導電性板材をプラスに、円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により前記導電性板材に加工用穴を形成する第１工程、円柱素材を加工用穴の上方に上昇させる第２工程、加工用穴で円柱素材を細く成形するように円柱素材を横に移動させる第３工程、加工用穴を形成した導電性板材をマイナスに、円柱素材をプラスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する第４工程とを有し、前記第１〜４工程は、導電性板材をテーブルに固定されたままの状態で、円柱素材を保持具に保持されたままの状態で行われる放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する方法において、測定用導電性板材をテーブルに載置し、前記円柱素材を保持具に保持して、測定用導電性板材をプラスに、前記円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により測定用導電性板材に測定用穴を形成し、前記測定用穴の径を計測する予備工程を有し、予備工程で計測した測定用穴の半径Ｄｏ／２、細い円柱材の目標の半径をｒ、細い円柱材に成形する第４工程の放電ギャップｇとしたとき、第３工程の円柱素材を横に移動させる移動距離は、
移動距離＝（Ｄｏ／２）−ｒ−ｇ、
とすることを特徴とする曲りのある円柱素材を放電加工により細い円柱材に成形する方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、導電性板材をプラスに、円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により前記導電性板材に加工用穴を形成する第１工程、円柱素材を加工用穴の上方に上昇させる第２工程、加工用穴で円柱素材を細く成形するように円柱素材を横に移動させる第３工程、加工用穴を形成した導電性板材をマイナスに、円柱素材をプラスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する第４工程とを有し、これら第１〜４工程が導電性板材をテーブルに固定されたままの状態で、円柱素材を保持具に保持されたままの状態で行われる放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する方法であり、その円柱素材の半径及びその曲りδを測定し、それらのデータを基にして、上記の第３工程の円柱素材を移動させる距離を定めることにより、円柱素材に曲りがある場合でも、細い円柱材に高精度に成形することができるものである。
また、予備工程で、円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により測定用導電性板材に測定用穴を形成し、測定用穴の径を計測し、測定用穴径のデータを基にして、上記の第３工程の円柱素材を移動させる距離を定めることにより、円柱素材に曲りがある場合でも、細い円柱材に高精度に成形することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の実施の形態について、図１〜図１１を参照して説明する。
図１（ａ）（ｂ）及び図２（ｃ）（ｄ）の斜視図で、円柱素材を放電加工により細い円柱材に成形する方法を説明する。
図１（ａ）に示すように、細い円柱材に成形しようとする円柱素材１は保持具（図示省略）に保持する。保持具は円柱素材１を、その軸方向（Ｚ）に下降、上昇させることができ、かつ矢印Ａのように回転させることができるものである。  導電性板材２はテーブル３に載置され固定される。テーブル３はＸ、Ｙ方向に移動することができるものである。例えば、テーブル３のＸ、Ｙ方向移動を行なわせる手段、円柱素材１を保持具し軸方向（Ｚ）に下降、上昇させまた矢印Ａのように回転させるものである。
【０００９】
テーブル３に載置され固定されている導電性板材２をプラスに、細く成形しようとする円柱素材１をマイナスに放電回路４と接続する。
テーブル３には、円柱素材１が、導電性板材２の裏側に貫けるようにし、かつ放電加工液が流れるように開口部３１を設けている。放電回路としては、例えば、ＲＣ放電回路で、電源、コンデンサー、抵抗で構成されているものであり、放電加工液としては、例えばパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油を用いる。放電回路は、例えば電圧７０Ｖ〜１１０Ｖ、コンデンサー容量１０〜３３００ｐＦで放電加工を行うものである。
次いで、図１（ｂ）に示すように、円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、放電加工により導電性板材２に穴２１を形成する。この穴２１が、円柱素材１を放電加工により細く成形する加工用穴である。
これが、本発明の導電性板材をプラスに、細く成形しようとする円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により導電性板材に加工用穴を形成する第１工程であり、次いで第２工程で円柱素材１を加工用穴２１の上方に上昇させる。
【００１０】
次いで、図２（ｃ）に示すように、導電性板材２に形成された加工用穴２１で、円柱素材１を細く成形するように円柱素材１を横に移動させる。円柱素材１が破線１ａのように加工用穴２１に重なる位置に移動させる。円柱素材１をＸまたはＹ方向に移動させて、円柱素材１が破線１ａのように加工用穴２１に重なるようにする。またはテーブル３をＸまたはＹ方向に移動させて、そこに載置されている導電性板材２の加工用穴２１に円柱素材１が破線１ａのように重なるようにする。これが加工用穴２１で円柱素材１を細く成形するように円柱素材１を横に移動させる第３工程である。
また、加工用穴２１を形成した導電性板材２をマイナスに、細く成形しようとする円柱素材１をプラスに放電回路４と接続する。
【００１１】
次いで、図２（ｄ）に示すように、プラスに接続された円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させて放電加工により円柱素材を細い円柱材１１に成形するもので、これが第４工程である。
図１〜図２に示した工程では、導電性板材２はテーブル３に固定されたままの状態で、円柱素材１は保持具に保持されたままの状態で行われるものであり、導電性板材２の加工用穴２１及び円柱素材１は原点がそのままであり、原点調整作業を行なうことなく位置合わせを容易に行うことができるものである。
【００１２】
図３（ａ）〜図６（ｊ）で円柱素材を放電加工により細い円柱材に成形するものについて、原点調整作業を行なうことなく位置合わせを容易に行うことができる放電加工について説明する。なお、図３（ａ）〜図６（ｊ）は、図１、図２を詳しく示したものである。
図３（ａ）に示すように、細い円柱材に成形しようとする円柱素材１は保持具（図示省略）に回転かつ昇降可能に保持する。導電性板材２はテーブル３に載置し固定する。テーブル３に固定されている導電性板材２をプラスに、円柱素材１をマイナスに放電回路４と接続する。
次いで、図３（ｂ）に示すように、円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により導電性板材２に加工用穴２１を形成する。
次いで、図３（ｃ）に示すように、円柱素材１を矢印Ｚのように上昇させる。円柱素材１を上昇させるときに矢印Ａのように回転させながら上昇させる場合を図示したが、回転させないで上昇させてもよい。
【００１３】
次いで、図４（ｄ）と図４（ｅ）の平面図に示すように、円柱素材１は動かさず、導電性板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動距離Ｓの移動を行う。円柱素材１は、その一部が加工用穴２１に重なるようにする。また加工用穴２１を形成した導電性板材２をマイナス、円柱素材１をプラスに放電回路４と接続する。
次いで、図４（ｆ）に示すように、円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、図５（ｇ）と図５（ｈ）の平面図に示すように、導電性板材２に形成された加工用穴２１で円柱素材１は細い成形部１１に放電加工により成形されるものである。
【００１４】
図６（ｉ）の平面図は、円柱素材１を回転させながら下降させ放電加工により導電性板材２に形成された加工用穴２１を示したものである。図３（ａ）（ｂ）で形成された加工用穴２１である。
図６（ｊ）の平面図は、円柱素材１は動かさず、導電性板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に距離Ｓの移動を示すもので、図４（ｄ）と図４（ｅ）の移動を説明する図である。
円柱素材１の半径をＲ、加工用穴２１を円柱素材１で形成する第１工程の放電ギャップＧ、放電加工により成形する細い円柱材の半径をｒ、細い円柱材に成形する第４工程の放電ギャップｇとしたとき、
加工用穴２１の半径は、Ｒ＋Ｇ  （なお直径は２Ｒ＋２Ｇ）であり、
半径ｒの細い円柱材に成形するときの移動距離は、（Ｒ＋Ｇ）−ｒ−ｇ  である。
なお、移動距離は、円柱素材１の軸方向中心位置と加工用穴２１の中心位置の距離を示すものである。
【００１５】
上記のように、円柱素材１が真っ直ぐで曲りがない場合には、導電性板材２に形成される加工用穴２１は、円柱素材１の半径をＲとその放電ギャップＧからＲ＋Ｇであることが明らかであり、その際に、半径をｒの細い円柱材に放電加工で成形しようとするとき、その移動距離は（Ｒ＋Ｇ）−ｒ−ｇであり、円柱素材１の半径Ｒが分かっていれば、それを基に移動距離Ｓを算出して、半径ｒの細い円柱材を成形することができるものである。そして、導電性板材２の加工用穴２１及び円柱素材１は原点がそのままであり、原点調整作業を行なうことなく、移動距離の位置合わせを容易に行うことができるものである。
【００１６】
しかしながら、工業的に生産されている円柱素材には曲がりのある場合には成形しようとする円柱素材の太さ（直径データ）のみを基にして、円柱素材を細く成形すると、精度よく成形することができない。
そこで、本発明は、あらかじめ円柱素材の曲りδを測定し、それにより、曲がりのある円柱素材でも精度良く細い円柱に成形するものである。
まず、図７（ａ）（ｂ）（ｃ）、図８（ｄ）（ｅ）で、円柱素材に曲りがある場合に形成される加工用穴について説明する。
図７（ａ）は、円柱素材１の曲りの状態を図示したものである。円柱素材１に曲りがあると、円柱素材１を矢印のように回転させたとき、円柱素材１は実線と点線のように円柱素材１は振られる。本発明では円柱素材１の曲りδは、円柱素材１を矢印のように回転させたときの、実線の位置と点線の位置の端部の距離を測定したものである。円柱素材１の曲りδの測定は、例えば顕微鏡により行うものである。具体的には、直径が数百μｍというような円柱素材を一回転させ、数μｍ〜数十μｍの曲りを顕微鏡で見ながら計測するものである。
【００１７】
図７（ｂ）に示すように、曲りδの円柱素材１は保持具（図示省略）に回転かつ昇降可能に保持し、導電性板材２はテーブル３に載置し固定する。導電性板材２をプラスに、円柱素材１をマイナスに放電回路４と接続する。
次いで、図７（ｃ）に示すように、曲りδの円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により導電性板材２に加工用穴２１を形成する。
図８（ｄ）（ｅ）は、曲りδの円柱素材１を上昇させた状態であり、曲りδの円柱素材１で導電性板材２に形成された加工用穴２１を示している。また図８（ｅ）の平面図は導電性板材２に形成された加工用穴２１で、曲りδの円柱素材１が、実線と点線の位置を回転しながら下降して放電加工により導電性板材２に加工用穴２１を形成することを説明した図である。
円柱素材１の曲りδ、円柱素材１の半径をＲ、加工用穴を形成する図７（ｃ）  第１工程（図７（ｃ）の工程）の放電ギャップＧ、としたとき
加工用穴２１の直径は、２Ｒ＋δ＋２Ｇである。（半径は、Ｒ＋δ／２＋Ｇ）      
【００１８】
成形しようとする円柱素材が真っ直ぐのときには、図６（ｉ）に示すように、加工用穴２１の直径は２Ｒ＋２Ｇであるが、円柱素材に曲りのある場合には、加工用穴２１の直径は２Ｒ＋δ＋２Ｇである。
これは、成形しようとする円柱素材の直径データのみを基にして、本発明の導電性板材をプラスに、細く成形しようとする円柱素材をマイナスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により前記導電性板材に加工用穴を形成する第１工程、円柱素材を加工用穴の上方に上昇させる第２工程、加工用穴で円柱素材を細く成形するように円柱素材を横に移動させる第３工程、加工用穴を形成した導電性板材をマイナスに、細く成形しようとする円柱素材をプラスとし、前記円柱素材を回転させながら下降させて放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する第４工程で放電加工により円柱素材を細い円柱材に成形する方法を行えば、成形された素材に、円柱素材の曲りδによる誤差が生じて、細い円柱材に精度よく成形することができなかった。
そこで、本発明は、円柱素材に曲りがある場合でも、その曲りを測定することにより、円柱素材を細く高精度に成形することができるようにしたものである。      
【００１９】
図９（ａ）（ｂ）（ｃ）、図１０（ｄ）（ｅ）（ｆ），図１１（ｇ）（ｈ）は、曲りのある円柱素材を本発明の放電加工により細い円柱材に成形するもので、、円柱素材は、その太さ（直径または半径）及びその曲りδのデータを基にして、移動を行い細い円柱材に成形するものである。
図９〜図１１に示した工程では、導電性板材２はテーブル３に固定されたままの状態、曲りのある円柱素材１は保持具に保持されたままの状態で行われるものであり、導電性板材２の加工用穴２１及び円柱素材１は、それらの原点が変わらず、原点調整作業を行なうことなく位置合わせを行うことができるものである。
図９（ａ）は、円柱素材１の曲りδを測定した。この曲りδの円柱素材１を保持具に保持し、導電性板材２はテーブル３に載置し固定する。導電性板材２をプラスに、円柱素材１をマイナスに放電回路４と接続する。曲りδの円柱素材１を回転させながら下降させ放電加工により導電性板材２に加工用穴２１を形成し、その後、曲りδの円柱素材１を上昇させた状態を示したものである。図１１（ｇ）は、図９（ａ）の導電性板材２と形成された加工用穴２１を示した平面図である。図９（ａ）、図１１（ｇ）に示すように、円柱素材１の曲りδ、円柱素材１の半径をＲ、加工用穴を形成する工程の放電ギャップＧ、としたとき
加工用穴２１の半径は、Ｒ＋δ／２＋Ｇとなる。
【００２０】
図９（ｂ）、図９（ｃ）及びそれを詳細に示した図１１（ｈ）のように、半径ｒの細い円柱材に成形するために、曲りδの円柱素材１は動かさず、導電性板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向に移動距離Ｓ＋δ／２だけ移動させる。
なお、Ｓは、真っ直ぐで半径Ｒの円柱素材１を目標の半径をｒの細い円柱材に成形するときの移動距離で、Ｓ＝（Ｒ＋Ｇ）−ｒ−ｇ  である。
次いで、図１０（ｄ）、図１０（ｅ）及び図１０（ｆ）（図１０（ｆ）は図１０（ｅ）の平面図）に示すように、加工用穴２１を形成した導電性板材２をマイナス、円柱素材１をプラスに放電回路４と接続し、移動距離Ｓ＋δ／２だけ移動させた円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、導電性板材２に形成された加工用穴２１で円柱素材１は細い成形部１１に放電加工により成形される。
【００２１】
すなわち、半径Ｒで曲りδの円柱素材１で、導電性板材２に加工用穴２１を形成し、次いで曲りδの円柱素材１は動かさず、加工用穴２１をＸまたはＹ方向に移動距離Ｓ＋δ／２だけ移動させ、そこで加工用穴２１を形成した導電性板材２をマイナス、円柱素材１をプラスに放電回路４と接続し、円柱素材を回転させながら下降させ、加工用穴２１で円柱素材１を細い成形部１１に成形するものであり、曲がっている円柱素材でもその曲がりδを測定し、円柱素材の半径及び曲がりδのデータを基にして、また原点を正確に調整して、精度良く成形することができるものであり、例えば、直径が数百μｍで曲りが数μｍ〜数十μｍのような円柱素材を、直径が数十μｍの微細な円柱に精度よく成形することができるものである。
なお、図９〜図１１では、導電性板材２を固定したテーブル３を移動させる場合を示したが、円柱素材１を保持した保持具を移動させるようにしてもよい。
【００２２】
具体的にデータを示す。これは図７〜図１１について具体的にデータを示すものである。
実施例１として、円柱素材１は直径１４８μｍ（半径Ｒは１４８μｍ÷２＝７４μｍ）のタングステン線材、導電性板材２は厚さ１００μｍの銅板である。
放電加工の条件は、導電性板材に加工用穴を形成する第１工程（図７（ａ）〜（ｃ））では、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量３３００ｐＦ、素材１を送り速度５μｍ／秒、放電加工液としてパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油中で放電加工を行った。また細い円柱材に成形する第４工程（図１０（ｅ））では、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量１００ｐＦ、素材１を送り速度２μｍ／秒、放電加工液としてパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油中で放電加工を行った。
細い円柱材の成形目標の直径３０μｍ（半径ｒは３０μｍ÷２＝１５μｍ）
加工用穴２１を形成する第１工程の放電ギャップＧは７μｍ
細い円柱材１１に成形する第４工程の放電ギャップｇは１．５μｍ
そして円柱素材１（タングステン線材）の曲りを測定したところδは７μｍであった。
このとき、第３工程（図１１（ｈ））の円柱素材を横に移動させる移動距離＝（Ｒ＋Ｇ＋δ／２）−ｒ−ｇであるから、
移動距離＝（７４μｍ＋７μｍ＋７μｍ÷２）−１５μｍ−１．５μｍ
＝６８μｍ
となり、これにより直径２９．２μｍの円柱材に成形された。
【００２３】
実施例２は、放電加工の条件は実施例１と同じである。
円柱素材１は直径１４８μｍ（半径Ｒは１４８μｍ÷２＝７４μｍ）のタングステン線材、導電性板材２は厚さ１００μｍの銅板である。
細い円柱材の成形目標の直径３０μｍ（半径ｒは３０μｍ÷２＝１５μｍ）
加工用穴２１を形成する第１工程の放電ギャップＧは７μｍ
細い円柱材１１に成形する第４工程の放電ギャップｇは１．５μｍ
そして円柱素材１（タングステン線材）の曲りを測定したところδは１６μｍであった。
このとき、第３工程（図１１（ｈ））の円柱素材を横に移動させる移動距離は  移動距離＝（７４μｍ＋７μｍ＋１６μｍ÷２）−１５μｍ−１．５μｍ
＝７２．５μｍ
となり、これにより直径３２μｍの円柱材に成形された。
【００２４】
実施例３は、放電加工の条件は実施例１と同じである。
円柱素材１は直径１４８μｍ（半径Ｒは１４８μｍ÷２＝７４μｍ）のタングステン線材、導電性板材２は厚さ１００μｍの銅板である。
細い円柱材の成形目標の直径３０μｍ（半径ｒは３０μｍ÷２＝１５μｍ）
加工用穴２１を形成する第１工程の放電ギャップＧは７μｍ
細い円柱材１１に成形する第４工程の放電ギャップｇは１．５μｍ
そして円柱素材１（タングステン線材）の曲りを測定したところδは２０μｍであった。
このとき、第３工程（図１１（ｈ））の円柱素材を横に移動させる移動距離は  移動距離＝（７４μｍ＋７μｍ＋２０μｍ÷２）−１５μｍ−１．５μｍ
＝７４．５μｍ
となり、これにより直径２９．４μｍの円柱材に成形された。
【００２５】
実施例４は、放電加工の条件は実施例１と同じである。
円柱素材１は直径１４８μｍ（半径Ｒは１４８μｍ÷２＝７４μｍ）のタングステン線材、導電性板材２は厚さ１００μｍの銅板である。
細い円柱材の成形目標の直径３０μｍ（半径ｒは３０μｍ÷２＝１５μｍ）
加工用穴２１を形成する第１工程の放電ギャップＧは７μｍ
細い円柱材１１に成形する第４工程の放電ギャップｇは１．５μｍ
そして円柱素材１（タングステン線材）の曲りを測定したところδは２２．８μｍであった。
このとき、第３工程（図１１（ｈ））の円柱素材を横に移動させる移動距離は  移動距離＝（７４μｍ＋７μｍ＋２２．４μｍ÷２）−１５μｍ−１．５μｍ          ＝７５．９μｍ
となり、これにより直径３０．１μｍの円柱材に成形された。
【００２６】
実施例５は、放電加工の条件は実施例１と同じである。
円柱素材１は直径１４８μｍ（半径Ｒは１４８μｍ÷２＝７４μｍ）のタングステン線材、導電性板材２は厚さ１００μｍの銅板である。
細い円柱材の成形目標の直径３０μｍ（半径ｒは３０μｍ÷２＝１５μｍ）
加工用穴２１を形成する第１工程の放電ギャップＧは７μｍ
細い円柱材１１に成形する第４工程の放電ギャップｇは１．５μｍ
そして円柱素材１（タングステン線材）の曲りを測定したところδは２９μｍであった。
このとき、第３工程（図１１（ｈ））の円柱素材を横に移動させる移動距離は  移動距離＝（７４μｍ＋７μｍ＋２９μｍ÷２）−１５μｍ−１．５μｍ
＝７９μｍ
となり、これにより直径２９．１μｍの円柱材に成形された。
以上、実施例１〜５に示したように、円柱素材１の曲りδを測定し、それらのデータを基にして、第３工程の円柱素材を移動させる距離を定めることにより、円柱素材１に曲りがある場合でも、細い円柱材に精度よく成形することができた。
【００２７】
本発明もう１つの実施の形態を図１２〜図１６に示す。
図１２（ａ）（ｂ）（ｃ）、図１３（ｄ）は、本発明の予備工程で測定用穴を形成し、曲がっている円柱素材でも原点を正確に調整し、精度良く成形することができる場合について説明する図である。
図１２（ａ）に示すように、測定用導電性板材４２をテーブル３に載置する。細い円柱材に成形しようとする円柱素材１を保持具（図示せず）に保持する。測定用導電性板材４２をプラスに、細い円柱材に成形しようとする円柱素材１をマイナスに放電回路４と接続する。曲りδは計測しないものであるが、円柱素材１が曲っいるものを示すために、１／２×δの曲り、これが回転して円柱素材１はδの振れとなることを図示した。
【００２８】
次いで、図１２（ｂ）に示すように、曲っている円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ放電加工により測定用導電性板材４２に測定用穴４１ａを形成する。次いで、図１２（ｃ）に示すように、円柱素材１を矢印のように上昇させる。そして測定用穴４１ａの直径Ｄｏを計測する。測定用穴４１ａの直径Ｄｏは、図１３（ｄ）に示すように、半径Ｒでかつ曲っている円柱素材１で放電加工を行って形成したもので、その放電加工ギャップＧを含んでいるものである。測定用穴４１ａの計測は、測定用導電性板材４２をテーブル３から取り外して行う。この円柱素材により形成された測定用穴４１ａの直径Ｄｏは、その後の第１工程で形成される加工用穴径のデータである。
なお、予備工程で保持具に保持された曲っている円柱素材１は、その保持具に保持されたままの状態で、続いて第１〜４工程が行うものである。
【００２９】
図１４〜図１６に示す曲りδの円柱素材１は、図１２〜図１３で説明したように予備工程で測定用穴４１ａの直径Ｄｏを計測したもので、この測定用穴４１ａの直径Ｄｏを基にして、円柱素材１を細い円柱材に成形する移動距離を定めるものである。なお、予備工程で測定用導電性板材４２に測定用穴４１ａを形成する放電加工の条件と、本発明の第１工程の放電加工により導電性板材に加工用穴を形成する放電加工の条件は同じであり、測定用穴４１ａの径と導電性板材の加工用穴の径は同じに形成されるものである。
図１４（ａ）に示すように、予備工程で測定用穴径がＤｏと計測されている円柱素材１を保持具に保持し、また導電性板材２はテーブル３に載置し固定する。導電性板材２をプラスに、円柱素材１をマイナスに放電回路４と接続する。曲りのある円柱素材１を回転させながら下降させ放電加工により導電性板材２に加工用穴２１を形成し、その後円柱素材１を上昇させた状態を示したものである。加工用穴２１の直径は、予備工程で計測されているＤｏである。
【００３０】
次いで、図１４（ｂ）及びそれを詳細に示した平面図の図１５（ｃ）のように、半径ｒの細い円柱材に成形するために、円柱素材１は動かさず、導電性板材２を固定したテーブル３をＸまたはＹ方向への移動距離Ｄｏ／２−ｒ−ｇを移動させ。
ここで、Ｄｏ／２は測定用穴から計測した半径であり、加工用穴２１の半径として扱う。成形しようとする細い円柱材の半径をｒ、細い円柱材に成形する第４工程の放電ギャップｇとする。
次いで、図１６（ｄ）に示すように、加工用穴２１を形成した導電性板材２をマイナス、円柱素材１をプラスに放電回路４と接続し、円柱素材１を矢印Ａのように回転させながら矢印Ｚのように下降させ、導電性板材２に形成された加工用穴２１で、円柱素材１は細い成形部１１に放電加工により成形される。
【００３１】
具体的には、円柱素材１は直径１４８μｍのタングステン線材、導電性板材２は厚さ１００μｍの銅板である。
放電加工の条件は、測定用導電性板材に測定用穴を形成する予備工程（図１２（ａ）（ｂ））及び、導電性板材に加工用穴を形成する第１工程（図１４（ａ）では、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量３３００ｐＦ、素材１を送り速度５μｍ／秒、放電加工液としてパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油という同じ条件で放電加工を行った。また細い円柱材に成形する第４工程（図１６（ｄ））では、電回路４の電圧１１０Ｖ、コンデンサー容量１００ｐＦ、素材１を送り速度２μｍ／秒、放電加工液としてパラフィン系炭化水素を主成分とした鉱物油中で放電加工を行った。
細い円柱材の成形目標の直径３０μｍ（半径ｒは３０μｍ÷２＝１５μｍ）
細い円柱材１１に成形する第４工程の放電ギャップｇは１．５μｍ
そして円柱素材１（タングステン線材）には曲りがあるがこれを測定しない。  予備工程として厚さ１００μｍの測定用の導電性板材（銅板）４２に直径１４８μｍの円柱素材１で形成された測定用穴の直径Ｄｏは１７８．２μｍでは、
第３工程の円柱素材を横に移動させる移動距離は、（Ｄｏ／２）−ｒ−ｇであり、移動距離＝１７８．２μｍ÷２−１５μｍ−１．５μｍ＝７２．６μｍであった。これにより直径３１．６μｍの円柱材に成形された。
【００３２】
また  測定用穴の直径Ｄｏが１８９．６μｍでは
移動距離＝１８９．６μｍ÷２−１５μｍ−１．５μｍ＝７８．３μｍであった。これにより直径３２．５μｍの円柱材に成形された。
また、測定用穴の直径Ｄｏが１８１．０μｍでは
移動距離＝１８１．０μｍ÷２−１５μｍ−１．５μｍ＝７４．０μｍであった。これにより直径３２．９μｍの円柱材に成形された。
これらは、円柱材の成形目標の直径３０μｍに対して、曲りを考慮したことにより誤差を２〜３μｍにすることができた。
以上のように、細く成形しようとする曲がっている円柱素材につて、予備工程で測定用穴を形成してその径を測定し、そのデータを基にして、円柱素材１を細い円柱材に成形する移動距離を定めるものであり、精度良く細い円柱材に成形することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態を説明する図
【図２】本発明の実施形態を説明する図
【図３】本発明の実施形態を説明する図
【図４】本発明の実施形態を説明する図
【図５】本発明の実施形態を説明する図
【図６】本発明の実施形態を説明する図
【図７】本発明の実施形態を説明する図
【図８】本発明の実施形態を説明する図
【図９】本発明の実施形態を説明する図
【図１０】本発明の実施形態を説明する図
【図１１】本発明の実施形態を説明する図
【図１２】本発明のもう１つの実施形態を説明する図
【図１３】本発明のもう１つの実施形態を説明する図
【図１４】本発明のもう１つの実施形態を説明する図
【図１５】本発明のもう１つの実施形態を説明する図
【図１６】本発明のもう１つの実施形態を説明する図
【符号の説明】
【００３４】
１  円柱素材
２  導電性板材
３  テーブル
４  放電回路
２１  加工用穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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