(57)【要約】【課題】  種々の外乱要因に備えて適切な処置を講じることで、安定かつ効率の良い処理を行うことができるような放電処理装置を提供する。【解決手段】  この放電処理装置は、液体中に浸漬させた少なくとも１対の電極１２，１４と、コンデンサ３４と、充電手段２０とを備え、コンデンサに充電したエネルギーを電極間で短時間に放電させる。この放電処理装置は、コンデンサの充電から電極間における放電に至る経路の電気的状態を判定する電気的状態判定手段１６，３６，２０と、電極の状態を判定する電極状態判定手段３６，２０と、放電の状態を判定する放電状態判定手段２４ａ，２４ｂ，２０と、電気的状態判定手段、電極状態判定手段、及び放電状態判定手段の判定結果に基づき、運転を継続するか、電極の状態を修正して運転を継続するか、運転を停止するかの判断を行う制御手段１６とを有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも１対の電極と、前記電極間で放電させるために電気エネルギーを蓄積するコンデンサと、該コンデンサを所定電圧まで充電するための充電手段とを備え、該コンデンサに充電したエネルギーを電極間で短時間に放電させるパルス放電処理装置において、
コンデンサの充電から電極間における放電に至る経路の電気的状態を判定する電気的状態判定手段と、
電極の状態を判定する電極状態判定手段と、
放電の状態を判定する放電状態判定手段と、
前記電気的状態判定手段、電極状態判定手段、及び放電状態判定手段の判定結果に基づき、運転を継続するか、電極の状態を修正して運転を継続するか、運転を停止するかの判断を行う制御手段とを有することを特徴とする放電処理装置。
【請求項２】
前記電気的状態判定手段は、放電が電極間で行われたことを判定する放電位置確認手段を有することを特徴とする請求項１に記載の放電処理装置。
【請求項３】
前記電気的状態判定手段は、前記コンデンサの充電状態を判定する充電状態判定手段を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の放電処理装置。
【請求項４】
前記電極状態判定手段は、電極間隔を推定するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の放電処理装置。
【請求項５】
前記放電状態判定手段は、放電を物理的に検出するセンサを有することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の放電処理装置。
【請求項６】
液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも１対の電極と、前記電極間で放電させるために電気エネルギーを蓄積するコンデンサと、該コンデンサを所定電圧まで充電するための充電手段とを備え、該コンデンサに充電したエネルギーを電極間で短時間に放電させることにより処理を行うパルス放電処理方法において、
コンデンサの充電から電極間における放電に至る経路の電気的状態を判定する工程と、
電極の状態を判定する工程と、
放電の状態を判定する工程と、
前記電気的状態の判定結果、電極状態の判定結果、及び放電状態の判定結果に基づき、運転を継続するか、電極の状態を修正して運転を継続するか、運転を停止するかの判断を行う工程とを有することを特徴とする放電処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液中で放電を行って種々の処理を行う放電処理装置及び放電処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
水中に浸漬した電極間に水の絶縁破壊電圧以上の電圧を印加すると、電極間で放電を起こす。この放電に伴って紫外線や衝撃波等が発生することが知られており、これらは水中での各種の処理、例えば、水の殺菌、微生物の殺滅、槽や施設への付着物の除去や防止等、に利用することができる。
【０００３】
ところで、このような装置が使用される状況は、多くの場合精密な装置には厳しい環境であり、装置の誤作動や故障を引き起こすおそれが有る。したがって、所定のセンサを設けて、必要に応じて装置を調整するシステムが検討されている。また、このような装置は、重大な故障が起きた場合に、事故を未然に防ぐために、迅速に停止する必要も有る。しかしながら、このような装置は、例えば、無人の状態で自動運転する場合が多いことも予想され、そのような場合に、装置の停止が頻繁に起きると、作業の効率が大幅に低下してしまう。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−８９８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記事情に鑑みて為されたもので、種々の外乱要因に備えて適切な処置を講じることで、安定かつ効率の良い処理を行うことができるような放電処理装置及び放電処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の放電処理装置は、液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも１対の電極と、前記電極間で放電させるために電気エネルギーを蓄積するコンデンサと、該コンデンサを所定電圧まで充電するための充電手段とを備え、該コンデンサに充電したエネルギーを電極間で短時間に放電させるパルス放電処理装置において、コンデンサの充電から電極間における放電に至る経路の電気的状態を判定する電気的状態判定手段と、電極の状態を判定する電極状態判定手段と、放電の状態を判定する放電状態判定手段と、前記電気的状態判定手段、電極状態判定手段、及び放電状態判定手段の判定結果に基づき、運転を継続するか、電極の状態を修正して運転を継続するか、運転を停止するかの判断を行う制御手段とを有することを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載の放電処理装置は、請求項１に記載の発明において、前記電気的状態判定手段は、放電が電極間で行われたことを判定する放電位置確認手段を有することを特徴とする。
放電位置確認手段としては、接地側電極から接地点までのラインの電圧や電流を測定する方法、電極間での光、衝撃波等放電に伴う物理変化の発生を検出する方法、接地側電極ライン以外の短絡もしくは地絡が考えられる経路（容器など）における電流の有無を測定する方法、あるいは、電極保持部に働く斥力の大きさを測定する方法等が考えられる。また、ＣＣＤカメラ等で放電を直接撮像したり、壁面振動や発生音から発生音源位置を逆算して求める方法でも良い。安全対策の見地からは、電流を測定する方法が好ましい。
【０００８】
請求項３に記載の放電処理装置は、請求項１または請求項２に記載の発明において前記電気的状態判定手段は、前記コンデンサの充電状態を判定する充電状態判定手段を有することを特徴とする。充電状態判定手段は、例えば、コンデンサの充電電圧を測定する電圧計とその測定値をしきい値と比較する制御部とを有する。
【０００９】
請求項４に記載の放電処理装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の発明において、前記電極状態判定手段は、電極間隔を推定するものであることを特徴とする。電極間隔を推定する手段としては、他に、電極間の電気抵抗値を測定する方法、カメラ等による画像で判定する方法、光等により両電極の先端位置を検出する方法、さらに電圧印加から放電に至るまでの高圧側電極電圧の変化量を測定する方法などが考えられる。この内、電圧維持時間から推定する方法や高圧側電極電圧を測定する方法は、コンデンサの充電電圧を検出すればよいので、実施が容易でコストも少なくて済む。
【００１０】
請求項５に記載の放電処理装置は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の発明において、前記放電状態判定手段は、放電を物理的に検出するセンサを有することを特徴とする。このセンサは、放電に伴う物理量（光、音、振動など）の変化を測定するものが適宜に使用されるが、特に振動センサ（音響センサ）は設置も容易であり、望ましい。
【００１１】
請求項６に記載の放電処理方法は、液体中に互いに対向して浸漬させた少なくとも１対の電極と、前記電極間で放電させるために電気エネルギーを蓄積するコンデンサと、該コンデンサを所定電圧まで充電するための充電手段とを備え、該コンデンサに充電したエネルギーを電極間で短時間に放電させることにより処理を行うパルス放電処理方法において、コンデンサの充電から電極間における放電に至る経路の電気的状態を判定する工程と、電極の状態を判定する工程と、放電の状態を判定する工程と、前記電気的状態の判定結果、電極状態の判定結果及び放電状態の判定結果に基づき、運転を継続するか、電極の状態を修正して運転を継続するか、運転を停止するかの判断を行う工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１ないし請求項６に記載の放電処理装置または放電処理方法によれば、多様な条件下において、所定の放電状態を安定して維持し、安全で効率の良い処理を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態を説明する。
図１及び図２に示すのは、この発明の１つの実施の形態の放電処理装置であって、例えば、後述するアーク放電の場合に好適な装置である。この装置は、被処理液を収容する筒状の密閉可能な容器１０内に一対の棒状または板状の電極、すなわち、高圧側電極１２と接地側電極１４が左右の側壁を挿通して容器１０の中心部で所定の間隙Ｇを形成するように対向して配置されて構成されている。この容器１０には、被処理液が流入する流入口と、処理後の被処理液を排出する排出口が、それぞれ液密的に閉止可能に設けられているが、いずれも図示は省略している。
【００１４】
高圧側電極１２は、給電支持部１７を介して支持され、給電装置１８の充電部２０の高圧出力端子に接続されている。接地側電極１４は、電流計１６を介して接地されている。これらの接地側及び高圧側の電極１２，１４は、図示しないシール機構を介して容器１０に挿入され、容器１０の外部に設けられた電極駆動機構２２ａ，２２ｂにより、容器１０の軸線を通る水平面内において前後移動可能になっている。したがって、電極駆動機構２２ａ，２２ｂの動作により接地側及び高圧側の電極１２，１４の位置や間隔を調整して、放電状態を適切に維持することができる。
【００１５】
給電装置１８は、充電部２０と制御部２６を有しており、充電部２０は、電源２８と、電源電圧を充電電圧に昇圧するトランス（変圧器）３０と、トランス３０の１次側に配置されて充電をオンオフするスイッチング素子（ＩＧＢＴ）３２と、トランス３０の２次側に配置された充電用コンデンサ３４と、充電用コンデンサ３４と並列に配置されてその充電状態を検出する電圧計３６とを有している。コンデンサ３４の接地側端子は、電流計１６を介して接地側電極１４に接続され、コンデンサ３４の高圧側端子は高圧側電極１２に接続されている。トランス３０の出力電圧は、被処理液の絶縁破壊電圧より高い適当な電圧に設定されている。
【００１６】
このように構成された放電処理装置において、容器１０内に所定量の被処理液を収容した状態で、制御部２６は所定のタイミングで電源２８につながるスイッチング素子３２をオンにする。これにより、トランス３０により昇圧された電圧がコンデンサ３４に印加されてコンデンサ３４を充電する。充電電圧が容器１０内の被処理液の絶縁破壊電圧より小さい間は放電は起こらず、単に電極１２，１４間に電圧が負荷された状態となる。充電電圧が被処理液の絶縁破壊電圧を超えると、電極１２，１４間にいくつかの筋状の電離放電路が延びるストリーマ放電状態となる。充電がさらに進行して充電電圧が上昇すると、１本の太い放電路が形成され、被処理液の蒸発とそれによる衝撃波を伴うアーク放電が発生し、コンデンサ３４の蓄電エネルギーは消費されて充電電圧が初期の低電圧状態に戻る。放電のピッチは、スイッチング素子３２を制御することにより行われる。アーク放電を起こさずにストリーマ放電を継続させるには、ストリーマ放電を維持するような放電電圧やコンデンサ容量に設定すればよい。
【００１７】
電流計１６によって接地側電極に流れ込んだ電流が検出され、これが所定の下限値Ｉmin以上である場合には、放電が電極間で起きていると推定される。すなわち、電流計１６は電気的に放電を検知する手段である。しかしながら、これだけでは、放電が電極間で適正に起きているかどうかまで検知することはできない。そこで、この装置には、放電を物理的に検出する物理的放電検出手段が設けられている。すなわち、容器１０の側壁部には、各電極１２，１４の挿入位置の近傍にそれぞれ接地側及び高圧側の振動センサ２４ａ，２４ｂが設けられている。これは、水中での放電を振動として検出するものであるが、放電が光の発生を伴う場合には光検出手段を用いても良く、その他の適宜のセンサを用いることができる。制御部２６には、左右の振動センサ２４ａ，２４ｂ、電圧計３６、電流計１６の出力信号が入力され、また、制御部２６からは、スイッチング素子３２、電極駆動機構２２ａ，２２ｂ及び電源２８にそれぞれ制御信号が出力されるようになっている。
【００１８】
制御部は、振動センサ２４ａ，２４ｂからの情報により、放電の発生やその状態を検知することができる。例えば、センサ信号の振幅が大きい場合には、強い衝撃波（圧力波）を伴うアーク放電が発生していると判断し、逆に振幅が小さい場合は、弱いアーク放電もしくはストリーマ放電が発生していると判定する。制御部は、振動センサ２４ａ，２４ｂの検出結果が意図した放電に該当する場合に、放電が良好であると判定し、例えば、パルスの振幅がいずれの放電にも該当しないような微小値である場合には、絶縁破壊を伴わない電界処理であると判断する。ただし、振動センサだけでなく、電圧維持時間や電流等の信号も併せて考慮して、放電状態を検知すればより的確に判定できるため好ましい。さらに、この実施の形態では、物理的放電検出手段として振動センサ２４ａ，２４ｂを用いているので、その検出信号の時間差によって放電発生位置を判断することもできる。
【００１９】
また、制御部は、電圧計３６の測定電圧が所定の電圧に到達してから放電が発生するまでの時間（電圧維持時間と呼ぶ。）を、電極間隔を判断する値として用いることができる。すなわち、電圧維持時間Ｔと電極間隔Ｄの間には、図３に示すように、一定の関係、Ｄ＝ｆ（Ｔ）、が有る。したがって、制御部と電圧計３６により、電極間隔検出手段が構成される。電圧維持時間Ｔと電極間隔Ｄの関係は、装置の運転条件や被処理液の性状等によって変化するので、処理を開始する前に試験的に求めておくことが好ましい。なお、放電が発生したことは、電圧計３６や電流計１６により電気的に検知することができる。
【００２０】
適切な放電をするためには、電極間隔Ｄが適切な範囲に有ることが必要である。すなわち、電極間隔Ｄが下限値Ｄmin以下であると、必要な充電電圧になる前に放電してしまい、また、電極間隔Ｄが上限値Ｄmaxを超えると放電のタイミングが遅れたり、過大な充電電圧になって、過大な放電電流が流れたり、あるいは放電が発生しなかったりする。このような電極間隔の正常範囲（Ｄmax＞Ｄ＞Ｄmin）も、被処理液の性状、放電のパターン等によって異なると考えられ、事前に試験等により求めておくことが好ましい。通常、処理の進行に伴い、電極の摩耗等によって電極間隔が拡大することが多いが、電極面への析出等によって縮小する場合も有る。制御部は、電圧維持時間Ｔを検出することにより、このような電極間隔の変化をモニターすることができる。
【００２１】
制御部２６は、このような電気的放電検出手段、物理的放電検出手段、及び電極間隔検出手段の判定結果の組み合わせに基づいて装置の稼動状況を判断し、（１）運転をそのまま継続するか、（２）所定の調整の後に運転を継続するか、（３）運転を停止するか、を選択する。以下、その過程を図４のフロー図を用いて説明する。
【００２２】
制御部は、ステップ１においてスイッチング素子をオンにし、これにより、コンデンサ３４の充電が開始される。次に、制御部は、電流計１６の出力値が所定の下限値Ｉmin以上を示したかどうか、すなわち、電流が接地側電極に流れ込んだかを判断する。電流値が正常であった場合、制御部は、ステップ３において、振動センサの検出値に基づき、所定の放電が検知されたかどうかを判断する。正常な放電が検知されたと判断される場合、ステップ１に戻ってそのまま運転を継続する。正常な放電が物理的に検知されなかった場合、制御部はステップ４において、電極間隔Ｄが正常範囲内であったかどうかを、前回の放電時の電圧維持時間Ｔ及び図３の関係に基づいて判断する。
【００２３】
ステップ４において、電極間隔が範囲外であれば、ステップ５において、制御部は電極駆動機構２２ａ，２２ｂに駆動信号を送り、電極間隔が範囲内に入るようにする。この際の調整は、例えば、電極間隔が正常範囲の中間値、すなわち、
Ｄmean=（Ｄmax＋Ｄmin）／２
になるように行う。調整が終わった後に、ステップ１に戻って運転を再開する。一方、ステップ４において、電極間隔が範囲内であれば、少なくとも放電電流が接地側電極に流れていることは確認できているので緊急停止の必要は無いので続行する。ただし繰り返し起こる場合には何らかの異常が起こっていると考えられる為、その繰り返し数がある数を越えたら停止するような回路をつけても良い。
【００２４】
ステップ２において、電流計１６の値がＩminより小さい場合には、ステップ６において放電が物理的に検知されたかを確認し、正常な放電が確認されていれば、正規の電流経路以外の経路で放電電流が流れているので、装置を停止する。ステップ６において正常な放電が確認されていなければ、ステップ７において充電状態が正常であったかどうかを判断する。これは、例えば、その処理における電圧計３６の最大測定値が所定の電圧に達しているかどうかで判断する。ステップ７において充電状態が正常であれば、ステップ８において電極間隔が所定範囲内かどうかを確認し、電極間隔が範囲外であればこれを調整して（ステップ５）運転を再開し、電極間隔が範囲内であれば装置を停止する（ステップ９）。また、ステップ７において充電状態が正常でない場合も、ステップ９において装置を停止する。
【００２５】
制御部２６は、上記のように、放電処理装置の運転状況を判断して、装置の運転の続行、電極状態の調整、または運転の停止を行う。その詳細は、表１に示されている。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
上記のように、この発明の放電処理装置では、電気的放電判定手段が否であっても、物理的放電判定及び電極状態判定手段との総合的な判断で、地短絡故障でなく運転が継続されると判断される場合は、必要な場合に電極間隔の調整等を行いつつ運転を継続する。したがって、夜間の無人運転等であって、人が対応できない場合でも、可能な限り運転を継続して、作業効率を高めることができる。
【００２８】
なお、上記の実施の形態では、同形の接地側及び高圧側の電極１２，１４を対向して配置した構成としたが、この発明の装置は、これに限られず、同軸の筒状体等、用途や状況に応じてその他の任意の形状を採用することができる。また、上記の実施の形態では、放電パルスをオン−オフするスイッチを充電部２０の１次側に設けたが、これに限られず、充電部２０の２次側（コンデンサ３４の後）に設けてもよいことは言うまでもない。
【００２９】
図５に示すのは、この発明の他の実施の形態の放電装置であって、コンデンサ３４と高圧側電極１２の間に二次側スイッチ３８が設けられている。制御部は電圧計の測定値が所定値に達したことを確認してからこのスイッチ３８をオンにして、放電を行う。この実施の形態では、図３の電圧維持時間Ｔは、スイッチ３８がオンになってから、放電が行われるまでの時間になる。この実施の形態の放電処理装置の制御動作も、基本的に図４に示す先の実施の形態と同様であるが、放電は充電状態が正常である場合にのみ行われるので、ステップ７は常にＹＥＳとなる。
【００３０】
図６及び図７に示すのは、この発明の他の実施の形態の放電装置であって、流体を流通させる導管の中に、接地側電極及び高圧側電極を同軸状に配置したものである。すなわち、高圧側電極１２Ａは中心軸線に沿って延び、接地側電極１４Ａはこれを囲む筒状に形成されている。図６は、導管１０Ａを含めた全体図であり、図７は導管１０Ａの部分を省略して示す図である。この装置は、基本的にストリーマ放電によって液体を処理するものである。
【００３１】
高圧側電極１２は、導管１０Ａの一側（ここでは上側）に軸方向に間隔を置いて設けられた開口フランジ４０から導管１０Ａ内に挿入された棒状の絶縁体からなる一対の高圧側支持部材４２により両端を支持されている。高圧側電極１２Ａの端部は、高圧側支持部材４２を挿通する導線４４により導管１０Ａの外部に導出され、充電部２０の高圧端子に接続されている。
【００３２】
また、接地側電極１４Ａは筒体を軸線を含む面に沿って２分割した一対の分割電極板１４ａ，１４ｂから構成され、各分割電極板１４ａ，１４ｂがそれぞれ導管１０Ａの側部に対向して配置された一対の開口フランジ４０から導管１０Ａ内に挿入された棒状の絶縁体からなる接地側支持部材４６により支持されている。接地側電極１４Ａは、接地側支持部材４６を挿通する導線４５により導管１０Ａの外部に導出され、アーク放電の発生またはストリーマ放電の消失検出用の電流計１６を介して接地されている。導管１０Ａの側壁部には、放電を物理的に検出する振動センサ２４ａ，２４ｂが設けられている。
【００３３】
各接地側支持部材４６は、開口フランジ４０の外側にそれぞれ設けられた電極駆動機構２２ａ，２２ｂにより、導管１０Ａに直交する面内において水平方向に移動可能になっている。電極駆動機構２２ａ，２２ｂは、電動モータ等の電気駆動アクチュエータや、エアシリンダ等の流体圧駆動アクチュエータなど、適宜のアクチュエータと、必要に応じて支持部材を直線駆動させるネジ送り機構等の駆動力変換機構と、所定の位置検出センサの出力に基づいて変位を制御するサーボ機構等を備えている。
【００３４】
この実施の形態の制御の方法は、基本的に図４に示す先の実施の形態の場合と同様である。但し、この実施の形態では、アーク放電でなくストリーマ放電を行うので、例えばステップ３またはステップ６において物理的に放電の判定を行う際に、それらの振動パターンを判断して、ストリーマ放電の場合のみ、放電状態を良と判断する。さらに電圧維持時間や電流の判定についても同様に、ストリーマ放電のパターンの場合を良と判断し、継続するか、電極調節して継続するかもしくは停止するかの判断を行えば良い。
【００３５】
なお、この実施の形態では、駆動機構を２つの支持部材に対して個別に備えているが、これらを適当なリンク機構によって中心からの距離が等しくなるように連動させることにより、１つのアクチュエータで位置制御することもできる。また、この実施の形態では、電流計１６を１つのみ設置しているが、電流計１６を２つの分割電極板１４ａ，１４ｂに個別に設け、それぞれの放電電流を検知して、各分割電極板１４ａ，１４ｂの高圧側電極１２Ａに対する位置を個別に制御するようにしてもよい。
【００３６】
さらに、上記の実施の形態では、図８（ａ）に示すように、接地側電極を２分割した構成としたが、図８（ｂ）に示すように、３つの分割電極板１４ａ，１４ｂ，１４ｃあるいはそれ以上に分割するようにしても良い。また、図８（ｃ）に示すように、高圧側電極１２Ａを小径の筒状体で構成してもよい。さらに、図８（ｄ）に示すように、分割電極板１４ａ，１４ｂの端部にこれを外方に延ばすようにした鍔部４８を形成してもよい。これにより、図８（ｅ）に示すような端部効果によるアーク放電５０の発生を防止することができる。
【００３７】
図９に示すのは、この発明の第６の実施の形態であり、湖沼等の水を処理するための装置である。この放電処理装置は、ボートのような水上を走行可能な搬送手段の底部に、図８（ｄ）に示す放電装置を設置したもので、図９は船体の前方から見た図である。すなわち、船体５２から垂下して設けられた一対のアーム５４によって、図７に示す放電装置が水中において支持されている。
【００３８】
この装置では、船体５２の走行に伴って電極板内の水が後方に流れ、水の処理がなされるので、例えば、湖沼において発生するアオコ（藻）のような微生物の処理に好適である。この実施の形態では、導管を設けておらず、水中に直接に電極を配置しているが、導管あるいは整流部材を設けて、整流や障害物の侵入防止機能を持たせてもよい。また、放電装置の前方に微生物を濃縮させる前処理手段を設けたり、後方に微生物の死骸を受ける回収手段を設けたりしてもよい。
【００３９】
また、本発明において“停止”と判断される場合、地短絡等の重大な故障が起こっていると考えられる為、特に無人運転を行う場合にはこの“停止”信号の発生により、非常通報装置や各種安全装置が働くようにすることも、もちろん可能である。また、複数台の装置のうち、1台が故障/停止してしまった場合に、足りなくなった1台分の放電回数を他の装置で補う際に、この“停止”信号を利用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】この発明の第１の実施の形態の放電処理装置の全体の構成を示す図である。
【図２】この発明の第１の実施の形態の放電処理装置の要部である給電装置を示す図である。
【図３】電極間隔と電圧維持時間の関係を示すグラフである。
【図４】放電処理装置の制御動作を示すフロー図である。
【図５】他の実施の形態の給電装置を示すグラフである。
【図６】この発明の第２の実施の形態の放電処理装置を示す図である。
【図７】第２の実施の形態の要部を示す図である。
【図８】（ａ）ないし（ｅ）は、この発明の第５の実施の形態の電源装置の要部である分割電極板の種々の形状をそれぞれ示す図である。
【図９】この発明の第３の実施の形態の放電処理装置を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  容器
１０Ａ  導管
１２，１２Ａ  高圧側電極
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ  分割電極板
１４，１４Ａ  接地側電極
１６  制御手段
１６  電流計
１７  給電支持部
１８  給電装置
２０  充電部
２２ａ，２２ｂ  電極駆動機構
２４ａ，２４ｂ  振動センサ
２６  制御部
２８  電源
３０  トランス
３２  スイッチング素子
３４  コンデンサ
３６  電圧計
３８  二次側スイッチ
４０  開口フランジ
４２  高圧側支持部材
４４  導線
４５  導線
４６  接地側支持部材
４８  鍔部
５０  アーク放電
５２  船体
５４  アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006247570.tif 000008
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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