(57)【要約】【課題】  液体の含有空気量を低く抑えるとともに、液体への圧力の正確な付加を可能にすることで、液体塗布部での安定した液体の塗布を可能にする液体供給装置を提供する。【解決手段】  液体供給装置１０は、柔軟性を有する袋部材１、剛性が高い液体貯蔵タンク２、液体排出口３、圧力供給口５及び圧力付加装置７等を備えている。圧力供給口５は液体貯蔵タンク２の上面に設けられ、液体排出口３は液体貯蔵タンク２の底面に設けられている。袋部材１は、液体貯蔵タンク２の内部に配置され、圧力供給口５に接続されている。圧力負荷装置７は、圧力供給口５から袋部材１の内部に圧力を付加する。液体８は、液体貯蔵タンク２の内壁面と袋部材１の外表面との間に充填され、袋部材１内の気圧を変化させることで液体排出口３を介して図示しないスピンコートへ供給される。【選択図】  図１
2006130455.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を塗布する液体塗布部に前記液体を供給する液体供給装置において、
圧力の供給を受け入れる圧力供給口を有する液体収納容器と、
前記液体収納容器の内部に配置され、前記圧力供給口に接続された柔軟性を有する袋部材と、
前記圧力供給口を介して前記袋部材の内部に圧力を付加する圧力付加手段と、を備え、
前記液体収納容器の内壁面と前記袋部材の外表面との間に前記液体が充填されることを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】
前記袋部材は、外表面に金属の薄膜を備えることを特徴とする請求項１に記載の液体供給装置。
【請求項３】
前記圧力付加手段は、前記袋部材の内部に付加する加圧力を発生する加圧力発生手段と、前記袋部材の内部に付加する負圧力を発生する負圧力発生手段と、前記袋部材に対する前記加圧力発生手段と前記負圧力発生手段との接続状態を切り換える切換手段と、を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の液体供給装置。
【請求項４】
前記圧力付加手段によって前記袋部材の内部に付加される圧力を測定し、測定結果に基づいて前記液体収納容器内の液体の空状態を検出する圧力センサをさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液体を塗布する液体塗布部に液体を供給する液体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液体塗布装置の液体収納容器に収納された液体を液体塗布部に供給するため、および、液体塗布部から液体を安定して塗布するために、液体収納容器内の液体に圧力を付加する必要がある。図３は、従来の液体供給装置の一例を示す構成図である。例えば、従来の液体供給装置１００は、剛性が高い液体収納容器１０２と、液体収納容器１０２の底面に設けられた液体排出口１０３と、液体排出口１０３から図示しない液体塗布部へ液体１０８を供給する液体供給管１０４と、液体収納容器１０２の上面に設けられた圧力供給口１０５と、液体収納容器１０２内へ付加する圧力を発生する圧力発生装置１０７と、圧力発生装置１０７で発生された圧力を圧力供給口１０５から液体収納容器１０２内へ供給する圧力供給管１０６と、を備えている。液体１０８は、液体収納容器１０２内に空気１２３とともに収納されている。
【０００３】
液体供給装置１００において液体塗布部へ液体１０８を供給する場合、圧力発生装置１０７から圧力供給管１０６を介して液体収納容器１０２内へ圧力を付加し、液体収納容器１０２内の空気１２３の気圧を変化させることで、液体供給管１０４を介して液体塗布部へ液体１０８を供給する。
【０００４】
ところで、上述のような液体供給装置１００では、液体収納容器１０２内に必ず空気１２３を必要とする。液体収納容器１０２内で液体１０８は空気１２３と接するので、液体１０８の揮発性が高い場合又は液体１０８の腐食性が強い場合、液体供給口１０３及び液体供給管１０４のように液体１０８が直接接する部分のみならず圧力供給口１０５及び圧力発生装置１０７のように液体１０８が直接接しない部分にも、結露防止手段又は耐腐食防止手段を設ける必要が生じ、液体供給装置１００が大型化している。
【０００５】
特に、液体収納容器１０２に負圧を付加する場合、圧力供給口１０５及び圧力発生装置１０７などの空気１２３を吸引する部分にコンパレータ又はミストトラップを設ける必要があり、液体供給装置１００の大型化及び製造コストの高騰を招いている。また、液体１０８の種類によっては、液体１０８が空気１２３と直接接することによる液体１０８の化学的な性質変化、及び、液体１０８内の含有空気量の増加が発生し、液体塗布装置の性能の低下を招いている。例えば、インクジェット方式の液体塗布装置では、液体収納容器１０２内に負圧が付加されるので、コンパレータ又はミストトラップを設ける必要が生じ、さらに、液体１０８内の含有空気量が増加した場合、液体１０８を吐出する圧力室内で空気が発生し、液体の吐出の安定性が損なわれる。したがって、インクジェット方式の液体塗布装置では、使用できる液体の種類が少数に限定されている。
【０００６】
そこで、液体と空気とを直接接触させない状態で液体収納容器内に液体を収納する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。図４に示すように、他の従来の液体供給装置２００は、剛性が高い液体収納容器２０２と、液体収納容器２０２内に配置された袋部材２０１と、液体収納容器２０２の側面に設けられた液体排出口２０３と、液体排出口２０３から図示しない液体塗布部へ液体２０８を供給する液体供給管２０４と、液体収納容器２０２の上面に設けられた圧力供給口２０５と、液体収納容器２０２内へ付加する圧力を発生する圧力発生装置２０７と、圧力発生装置２０７で発生された圧力を圧力供給口２０５から液体収納容器２０２内へ供給する圧力供給管２０６と、を備えている。袋部材２０１の開口部は、液体排出口２０３に接続されている。液体２０８は、袋部材２０１内に充満された状態で収納され、袋部材２０１の外表面と液体収納容器２０２の内壁面との間にある空気２２３と、袋部材２０１によって隔離されている。
【０００７】
液体供給装置２００において液体２０８を液体塗布部へ供給する場合、圧力発生装置２０７から圧力供給管２０６を介して、袋部材２０１の外表面と液体収納容器２０２の内壁面との間にある空気２２３に圧力を付加し、空気２２３の気圧を変化させることで、液体供給口２０３及び液体供給管２０４を介して液体塗布部へ、袋部材２０１内の液体２０８を供給する。
【０００８】
液体供給装置２００では、液体２０８と空気２２３とを袋部材２０１で隔離することで、液体供給装置１００の場合のように圧力供給口２０５及び圧力発生装置２０７に結露防止手段又は耐腐食防止手段を設けずに、圧力供給口２０５及び圧力発生装置２０７の構成を簡略化しようとしている。また、液体２０８と空気２２３との接触による液体２０８の特性変化、及び、液体２０８の含有空気量の増加を防止して、液体吐出部から安定して液体を吐出しようとしている。
【特許文献１】特開昭５９−４８１６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、近年では、液体塗布装置で液体を塗布する対象物である基板が大型化されているとともに、インクジェット方式の液体塗布装置が液晶パネル及びＰＤＰ（プラズマ・ディスプレイ・パネル）製造装置に用いられることが多い。このため、液体塗布装置で塗布する液体の使用量が増加するとともに、使用する液体の種類も多様化している。
【００１０】
しかし、上述のような液体供給装置２００を液晶パネル等の製造装置に用いた場合、次のような３つの問題が生じる。
【００１１】
第１に、袋部材２０１内に多量の液体２０８を収納する場合、袋部材２０１の外側から付加する圧力が袋部材２０１の内部の液体２０８に伝達されにくくなるとともに、液体２０８に特異的な圧力が発生する場合がある。
【００１２】
袋部材２０１内に多量の液体２０８を収納した場合、袋部材２０１内の液体２０８の重量が増加するので、液体２０８の自重による圧力に耐え得る高い剛性を有する袋部材２０１が必要となる。しかし、袋部材２０１の剛性が高い場合、袋部材２０１の外側から付加する圧力が袋部材２０１の内部の液体２０８に伝達されにくくなる。また、袋部材２０１として剛性が高いものを用いた場合、液体を消費することで袋部材２０１内部の液体２０８の量が減った際に、それに追従して袋部材２０１が円滑に変形しにくく、袋部材２０１の変形の仕方によっては特異的な圧力が発生することがある。特異的な圧力が液体２０８を加圧するように発生した場合、液体塗布部での液体の漏れ及び液体塗布部の誤動作が発生する。また、特異的な圧力が液体２０８に負圧を付加するように発生した場合、液体塗布部での液体の塗布の安定性を低下させる。
【００１３】
特に、液体２０８の収納量が１０リットルを超える場合、液体２０８の自重によって袋部材２０１の底部が大きく変形し、液体２０８に付加される圧力が安定しない。また、袋部材２０１の最も表面積が大きい面を底部にした図４に示すような置き方以外の置き方をした場合は、いっそう底部が大きく変形し、圧力が液体２０８にほとんど伝達されなくなる。
【００１４】
第２に、腐食性の高い液体を用いた場合、袋部材２０１の材料の選択が非常に困難になる。したがって、腐食性の高い液体を用いることが困難である。
【００１５】
通常、耐腐食性が高い材料として、テフロン（登録商標）等のフッ素樹脂や、ポリエチレン等の樹脂材料にアルミニウム等の金属材料の薄膜を形成したものが考えられる。しかし、フッ素樹脂は剛性が高く、第１の問題として記載した上述のような問題があるとともに、袋部材２０１の開口部と液体排出口２０３とを接続する際に熱溶着による溶着力が弱く、溶着部から液漏れが発生する等の問題がある。また、液体２０８と接触する袋部材２０１の内表面に金属材料の薄膜を形成することは構造上困難である。さらに、金属材料の薄膜を形成したシートから袋部材２０１を形成する場合は、袋状に密閉するために溶着用の樹脂材料を使用する必要があり、結局は溶着用の樹脂材料を使用した部分から腐食するという問題がある。したがって、腐食性の高い液体を用いることが困難である。
【００１６】
第３に、袋部材２０１の内部に空気を混入せずに液体２０８を充填した場合、袋部材２０１の内部の液体２０８の空状態の検出が困難である。
【００１７】
図３に示す液体供給装置１００では、液体１０８と空気１２３との境界面（以下、液面という。）が存在するため、液体排出口１０３と液体塗布部との間の液体供給管１０４の途中に、光学式又は超音波式の液面センサを設け、液面センサで液面を検出することによって、液体１０８の空状態を検出することが可能である。しかし、図４に示す液体供給装置２００では、液体２０８と空気２２３とが隔離され液面が存在しないので、液面センサで液体２０８の空状態を検出することはできない。また、袋部材２０１の変形量を検出する方法では、常に一定した変形をしないので安定した検出を行えず、液体２０８を含む袋部材２０１の重量を測定する方法では、袋部材２０１の一部が液体排出口２０３に接続されているので、正確に袋部材２０１の重量を測定することができない。また、変形量を検出する方法及び重量を測定する方法ともに、液体収納容器２０２内にセンサを設ける必要があるとともに、液体収納容器２０２を密閉する必要があるので、液体供給装置２００の構造が非常に複雑化する。
【００１８】
この発明の目的は、液体の含有空気量を低く抑えるとともに、液体への圧力の正確な付加を可能にすることで、液体塗布部での安定した液体の塗布を可能にする液体供給装置を提供することにある。
【００１９】
また、この発明の他の目的は、結露防止手段又は耐腐食防止手段を設けることなく簡易な構造で、揮発性及び腐食性の高い液体を使用することができる液体供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
この発明の液体供給装置は、上述の課題を解決するために以下のように構成される。
【００２１】
（１）液体を塗布する液体塗布部に前記液体を供給する液体供給装置において、圧力の供給を受け入れる圧力供給口を有する液体収納容器と、前記液体収納容器の内部に配置され、前記圧力供給口に接続された柔軟性を有する袋部材と、前記圧力供給口を介して前記袋部材の内部に圧力を付加する圧力付加手段と、を備え、前記液体収納容器の内壁面と前記袋部材の外表面との間に前記液体が充填されることを特徴とする。
【００２２】
この構成においては、液体収納容器の内壁面と袋部材の外表面との間に液体が充填され、袋部材の内部の気圧を変化させることで液体に圧力が付加され、液体が液体塗布部に供給され液体塗布部から塗布される。袋部材の材料は、液体の量にかかわらず袋部材に付加すると想定される最高の圧力に耐え得るだけの剛性を有するものであればよく、袋部材として柔軟性を有するものが用いられる。また、液体の揮発性が高く又は腐食性が強い場合でも、圧力供給口に袋部材が接続され圧力供給口が液体から隔離されているので、圧力供給口に結露防止手段及び耐腐食防止手段を設ける必要がない。
【００２３】
（２）前記袋部材は、外表面に金属の薄膜を備えることを特徴とする。
【００２４】
この構成においては、袋部材は袋部材の外表面に金属の薄膜が形成される。袋部材が柔軟性を有するように樹脂で形成された場合でも、液体と接触する外表面に金属の薄膜が形成されるので、袋部材の耐腐食性が向上する。また、金属の薄膜が形成される場所は袋部材の外表面であるので、容易に金属の薄膜が形成される。
【００２５】
（３）前記圧力付加手段は、前記袋部材の内部に付加する加圧力を発生する加圧力発生手段と、前記袋部材の内部に付加する負圧力を発生する負圧力発生手段と、前記袋部材に対する前記加圧力発生手段と前記負圧力発生手段との接続状態を切り換える切換手段と、を含むことを特徴とする。
【００２６】
この構成においては、液体に対して加圧力及び負圧力が選択的に付加される。
【００２７】
（４）前記圧力付加手段によって前記袋部材の内部に付加される圧力を測定し、測定結果に基づいて前記液体収納容器内の液体の空状態を検出する圧力センサをさらに備えることを特徴とする。
【００２８】
この構成においては、圧力付加手段によって袋部材の内部に付加される圧力が圧力センサによって測定される。液体収納容器内に多量の液体があり袋部材の容積が小さい場合より、液体収納容器内の液体が空状態になり袋部材の容積が最大限まで大きくなった場合の方が、圧力センサによる検出結果の絶対値が大きくなる。したがって、圧力センサに所定の閾値を設定しておくことで、液体収納容器内の液体の空状態が検出される。
【発明の効果】
【００２９】
この発明によれば、以下の効果を奏することができる。
【００３０】
（１）液体収納容器内で液体を空気と隔離して収納することで、液体の含有空気量を低く抑えることができる。また、袋部材として柔軟性を有するものを用いることができるので、液体に圧力を正確に付加することができる。したがって、液体塗布部での安定した液体の塗布が可能となる。さらに、圧力供給口に結露防止手段及び耐腐食防止手段を設ける必要がないので、液体供給装置を小型化することができる。
【００３１】
（２）袋部材の耐腐食性を向上させ、圧力供給口を液体と隔離したことで、腐食性が高い液体を使用することができる。
【００３２】
（３）液体に対して加圧力及び負圧力を選択的に付加することができるので、液体塗布部がインクジェット方式である場合にも、液体塗布部での安定した液体の塗布が可能となる。
【００３３】
（４）液体が空気と隔離して収納され液体と空気との境界面（液面）が存在しない場合でも、液体収納容器内の液体の空状態を容易に検出することができる。
【００３４】
また、液体の空状態を検出するセンサを、密閉する必要がある液体収納容器内に設ける必要がないので、簡易な構成で液体の空状態を検出できる。したがって、液体の空状態を検出するセンサを設けた場合でも液体供給装置を小型化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下に、この発明の実施形態について図面に基づいて説明する。図１は、この発明の実施形態に係る液体供給装置の構成を示し、図１（ａ）は液体貯蔵タンクに液体が多量に充填されている状態の構成図であり、図１（ｂ）は液体貯蔵タンク内の液体が所定量使用された状態の構成図である。
【００３６】
この実施形態に係る液体供給装置１０は、剛性が高い液体貯蔵タンク２と、液体貯蔵タンク２内に配置された柔軟性を有する袋部材１と、液体貯蔵タンク２の底面に設けられた液体排出口３と、一端が液体排出口３に接続され他端が図示しないスピンコートに接続されて液体排出口３からスピンコートへ液体８を供給する液体供給管４と、液体貯蔵タンク２の上面に設けられた圧力供給口５と、袋部材１内へ付加する任意の圧力を発生する圧力発生装置７と、一端が圧力発生装置７に接続され他端が圧力供給口５に接続されて圧力発生装置７で発生された圧力を圧力供給口５から袋部材１の内部へ供給する圧力供給管６と、を備えている。液体貯蔵タンク２はこの発明の液体収納容器に相当し、スピンコートは液体塗布部に相当する。
【００３７】
この実施形態では、液体８として、硬化型樹脂組成物と、溶剤としてのカルビトールアセテート、メタノール、アセトン、トルエン、または、Ｎ−メチル−２−ピロリドンと、からなるものが用いられている。液体貯蔵タンク２は、液体８に付加された圧力によって変形しない剛性を有している。袋部材１は、ポリエチレン製の袋の外表面にアルミニウムの薄膜を蒸着することで形成されている。
【００３８】
袋部材１は圧力供給口５に接続され、圧力発生装置７から圧力供給管６及び圧力供給口５を介して袋部材１の内部に圧力が付加される。液体８は、液体貯蔵タンク２の内壁面と袋部材１の外表面との間に、空気が入らないように充填されている。袋部材１が圧力供給口５に接続されていることで、圧力供給口５は液体８と隔離されている。
【００３９】
図１（ａ）に示すように、液体貯蔵タンク２内に最大量の液体８を収納する場合、袋部材１内に若干の空気を入れた状態で液体８を充填する。これによって、袋部材１の一部同士が貼り付いて剥がれないという問題を防いでいる。
【００４０】
液体貯蔵タンク２からスピンコートへ液体８を供給する場合、圧力発生手段７によって所定の圧力を発生し、圧力供給管６及び圧力供給口５を介して袋部材１内に所定の圧力を付加する。袋部材１内に所定の圧力を付加すると、袋部材１内の気圧が変化し、液体８に所定の圧力が付加される。これによって、液体８が液体貯蔵タンク２からスピンコートへ供給される。
【００４１】
図１（ｂ）に示すように、液体８が消費されて、液体貯蔵タンク２内の液体８の量が減少し、袋部材１内の容積が大きくなった場合でも、液体８の量にかかわらず袋部材１の内部に正確に圧力が付加され、液体８に正確に圧力が伝達される。
【００４２】
液体供給装置１０によれば、液体貯蔵タンク２内で液体８を空気と隔離して収納することで、液体８の含有空気量を低く抑えることができる。また、液体８を袋部材１の内部ではなく外部に収納するので、袋部材１として大きな負荷に耐え得る剛性を有するものを用いる必要がなく、袋部材１として柔軟性を有するものを用いることができ、液体８に圧力を正確に付加することができる。したがって、スピンコート（液体塗布部）での安定した液体８の塗布が可能となる。さらに、液体８の揮発性及び腐食性が高い場合でも圧力供給口５に結露防止手段及び耐腐食防止手段を設ける必要がないので、液体供給装置１０を小型化することができる。
【００４３】
また、袋部材１の外表面に金属の薄膜を形成することで袋部材１の耐腐食性を向上させ、圧力供給口５を液体８と隔離したことで、腐食性が高い液体を使用することができる。さらに、液体８が袋部材１と接触するのは袋部材１の外表面であり、金属の薄膜は袋部材１の外表面に形成すればよいので、金属の薄膜を容易に形成することができる。
【００４４】
なお、袋部材１をポリエチレン以外の樹脂で形成することもできる。また、袋部材１の外表面に形成する金属の薄膜は、アルミニウムに限定されず、金の薄膜であってもよい。袋部材１の外表面を金の薄膜で覆うことによって、袋部材１の耐腐食性が向上し、いっそう強い腐食性を有する液体を使用することができるようになる。さらに、袋部材１の内部の気圧変化を正確に液体８に伝達できる程度に袋部材１が柔軟性を有する限りにおいて、及び、袋部材１と圧力供給口５との溶着部が所定の強度を有する限りにおいて、袋部材１の材料として、ＰＴＦＥ及びＰＦＡ等のフッ素樹脂を用いてもよい。
【００４５】
図２は、他の実施形態に係る液体供給装置を示す構成図である。なお、説明の便宜上、上述の実施形態に係る液体供給装置１０と同様に構成されている部分については同じ符号を使用し、詳しい説明を省略する。
【００４６】
この実施形態に係る液体供給装置１０ａは、剛性が高い液体貯蔵タンク２と、液体貯蔵タンク２内に配置された柔軟性を有する袋部材１と、液体貯蔵タンク２の底面に設けられた液体排出口３と、液体排出口３から図示しないインクジェットヘッドへ液体８を供給する液体供給管４と、液体貯蔵タンク２の上面に設けられた圧力供給口５と、袋部材１内へ付加する任意の大きさの加圧力を発生する加圧力発生装置１１と、袋部材１内へ付加する任意の大きさの負圧力を発生する負圧力発生装置１２と、加圧力発生装置１１又は負圧力発生装置１２で発生された圧力を圧力供給口５から袋部材１の内部へ供給する圧力供給管６と、袋部材１に対する加圧力発生装置１１と負圧力発生装置１２との接続状態を切り換える切換弁１３と、袋部材１内に付加される圧力を検出する圧力センサ９と、を備えている。
【００４７】
加圧力発生装置１１はこの発明の加圧力発生手段に相当し、負圧力発生装置１２はこの発明の負圧力発生手段に相当し、切換弁１３はこの発明の切換手段に相当し、インクジェットヘッドは液体塗布部に相当する。
【００４８】
袋部材１は圧力供給口５に接続され、圧力供給口５は液体８と隔離されている。液体８は、液体貯蔵タンク２の内壁面と袋部材１の外表面との間に、空気が入らないように充填されている。
【００４９】
加圧力発生装置１１及び負圧力発生装置１２はそれぞれ、圧力供給管６を介して切換弁１３に接続され、切換弁１３と圧力供給口５との間に配設された圧力供給管６の中間に圧力センサ９が配置されている。
【００５０】
この実施形態では、液体８ａとして、カラーフィルタの着色剤と、溶剤と、からなるものが用いられている。溶剤としては、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートを主成分とした溶液、又は、ブチルカルビトールアセテートを主成分とした溶液が用いられている。
【００５１】
上述のようにこの実施形態では液体塗布部としてインクジェットヘッドが液体供給管４に接続されているので、インクジェットヘッドからの液体８ａの漏れを防止し、及び、塗布時のサテライトを低減するために、液体８ａの塗布時に、インクジェットヘッド内の液体８ａに負圧が付加される。具体的には例えば、液体８ａの塗布時に、負圧力発生装置１２と液体供給口５とを接続するように切換弁１３を切り換え、負圧力発生装置１２によって−４ｋＰａの負圧を発生することで、インクジェットヘッド内の液体８ａの圧力を−２ｋＰａにしている。そして、インクジェットヘッドは、複数のインク室を備え、各インク室内の液体８ａを加圧することで、液体８ａを塗布する。
【００５２】
インクジェットヘッドが目詰まり等によって液体８ａを塗布できない場合、メンテナンスとして、インクジェットヘッド内の液体８ａに加圧力を付加する。具体的には例えば、加圧力発生装置１１と圧力供給口５とを接続するように切換弁１３を切り換え、加圧力発生装置１１によって４０ｋＰａの加圧力を発生することで、液体貯蔵タンク２内の液体８ａを加圧し、インクジェットヘッド内の液体８ａの圧力を４５ｋＰａにしている。これによって、インクジェットヘッドから液体８ａを勢いよく排出して、インクジェットヘッド内の気泡及びゴミを除去する。
【００５３】
液体供給装置１０ａでは、次のようにして液体貯蔵タンク２内の液体８ａの空状態を検出する。上述のように、液体８ａの塗布時に、袋部材１内に所定の負圧力が付加される。また、インクジェットヘッドから液体８ａを塗布して液体貯蔵タンク２内の液体８ａを消費した場合、袋部材１内の容積は増加する。液体貯蔵タンク２内に液体８ａがある場合、圧力センサ９は一定の負圧値を示す。しかし、液体貯蔵タンク２内の液体８ａが空状態となり袋部材１が最大限まで膨らんだ場合、袋部材１内の負圧力の絶対値は増加し、圧力センサ９が示す負圧値の絶対値が増加する。そこで、圧力センサ９にスレッシュレベル（閾値）を設定しておき、圧力センサ９が示す値が所定の負圧値より低くなった場合に、例えば警報ランプを点灯するように構成することで、液体貯蔵タンク２内の液体８ａが空状態になったことを容易に検出できる。
【００５４】
液体貯蔵タンク２内の液体８ａが空状態になったことを検出することによって、インクジェットヘッド内に液体８ａが供給されず、インクジェットヘッドの吐出部から気泡が入り込み、液体８ａを補給しても吐出できなくなること、および、インクジェットヘッドが損傷されることが、防止される。
【００５５】
液体供給装置１０ａによればさらに、液体８ａの含有空気量を低く抑えることができるとともに、液体８ａに対して加圧力及び負圧力を選択的に付加することができるので、液体塗布部がインクジェット方式である場合にも、液体塗布部での安定した液体８ａの塗布が可能となる。
【００５６】
また、液体８ａが空気と隔離して収納され液体８ａと空気との境界面（液面）が存在しない場合でも、液体貯蔵タンク２内の液体８ａの空状態を容易に検出することができる。
【００５７】
さらに、液体８ａの空状態を検出するセンサを、密閉する必要がある液体貯蔵タンク２内に設ける必要がないので、簡易な構成で液体８ａの空状態を検出することができる。したがって、液体８ａの空状態を検出するセンサを設けた場合でも液体供給装置１０ａを小型化することができる。
【００５８】
なお、液体供給装置１０，１０ａにおいて、液体塗布部としてスピンコート及びインクジェットヘッドを用いたが、これらに限定されず、ディスペンサ及びその他のコータ等を用いた場合にも、液体供給装置１０，１０ａは、液体８，８ａの含有空気量を低く抑えるとともに、液体８，８ａへの圧力の正確な付加を可能にすることで液体塗布部での安定した液体８，８ａの塗布を可能にする、という上述のような効果を奏することができる。
【００５９】
また、上述の実施形態では、袋部材１内に空気を入れないようにしたが、液体供給管４の中間にエアートラップ機構等を設け、袋部材１内に空気を入れる構成にしてもよい。この場合でも、袋部材１として柔軟性を有するものを用いることができ、液体８ａに圧力を正確に付加することができるので、インクジェットヘッドでの安定した液体８ａの塗布が可能となる等の効果を奏することができる。したがって、液体供給管４の中間にエアートラップ機構等を設けた場合、上述のような一定の効果を有しながら、液体貯蔵タンク２内の液体８ａの空状態を検出するために液面センサを用いることができ、液体８ａの空状態を検出する検出手段の選択肢を広げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】この発明の実施形態に係る液体供給装置の構成を示し、（ａ）は液体貯蔵タンクに液体が多量に充填されている状態の構成図であり、（ｂ）は液体貯蔵タンク内の液体が所定量使用された状態の構成図である。
【図２】他の実施形態に係る液体供給装置を示す構成図である。
【図３】従来の液体供給装置の一例を示す構成図である。
【図４】従来の液体供給装置の他の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  袋部材
２  液体貯蔵タンク（液体収納容器）
５  圧力供給口
６  圧力供給管
７  圧力発生装置（圧力発生手段）
８，８ａ  液体
９  圧力センサ
１０，１０ａ  液体供給装置
１１  加圧力発生装置（加圧力発生手段）
１２  負圧力発生装置（負圧力発生手段）
１３  切換弁
【図１】
2006130455.tif 000003
【図２】
2006130455.tif 000004
【図３】
2006130455.tif 000005
【図４】
2006130455.tif 000006