(57)【要約】【課題】ロードポート上にＦＯＵＰを配置する装置およびその方法を提供する。【解決手段】ディスク状対象物を処理するシステムのロードポート２０上にＦＯＵＰを配置する装置が開示されている。ロードポート２０上でのＦＯＵＰの正確なオリエンテーションと位置決めのみならず、ロードポート２０をロードまたはアンロードするためのクリアランスを表示するいくつかのインジケータライト２３がロードポート２０に設けられる。活性化されるとＦＯＵＰ内のディスク状対象物を処理するためのクリアランスを与える、動作エレメント３０がロードポートに配列される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状対象物を処理するシステムのロードポート上にＦＯＵＰを配置する装置であって、前記ロードポートは、ロードポート上でＦＯＵＰの正確なオリエンテーションと位置決めを表示するとともに前記ロードポートをロードまたはアンロードするためのクリアランスを表示するいくつかのインジケータライトを備えて構成され、フィーラがロードポートに配列され、活性化されると前記ＦＯＵＰにおいて前記ディスク状対象物を処理するためのクリアランスを与える装置。
【請求項２】
前記ディスク状対象物の処理がまだ始まっておらず、従って前記ＦＯＵＰが前記ロードポートからいつでも取り除くことができることを表示する内部ライトを前記フィーラが備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記ディスク状対象物が、ウェーハ、またはガラス基板上のウェーハ、またはリソグラフィ用マスク、または平面パネル表示装置である、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記ロードポートがＳＥＭＩ Ｅ１５に準じて実装され、前記ＦＯＵＰの底側と連結する、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
ロードポート上にＦＯＵＰを配置する方法であって、
未使用のロードポート上にＦＯＵＰを配置する工程と、
前記ロードポート上の前記ＦＯＵＰの正確なオリエンテーションを確認する工程と、
前記ロードポート２０に設けられるフィーラ３０の動作を確認する工程と、
前記フィーラ３０が活性化されると、前記ＦＯＵＰの複数の配置および／または除去を可能にする工程と、
を特徴とする方法。
【請求項６】
前記フィーラの活性化は前記フィーラの内部ライトにより表示される、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記フィーラが活性化されると、前記ＦＯＵＰにおけるディスク状対象物が処理される、請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記ＦＯＵＰにおけるディスク状対象物の処理を終えた後、前記ＦＯＵＰは前記ロードポートから取り除くことができる、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記フィーラが活性化されず、前記ＬＯＡＤ表示器が活性化されると、前記ＦＯＵＰはロードポート上に確実に固定することができ、前記フィーラが活性化されず、前記ＵＮＬＯＡＤ表示器が活性化されると、前記ＦＯＵＰは何回でも取り除くことができる、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記ディスク状対象物が、ウェーハ、またはガラス基板上のウェーハ、またはリソグラフィ用マスク、または平面パネル表示装置である、請求項５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロードポート上にＦＯＵＰを配置する装置に関する。本発明は特に、ディスク状対象物を処理するシステムのロードポート上にＦＯＵＰを配置する装置であって、これにより、ロードポート上のＦＯＵＰの正確なオリエンテーションと位置決めのみならず、ロードポートをロードまたはアンロードするためのクリアランスを表示するいくつかのインジケータライトがロードポートに設けられた装置に関する。
【０００２】
更に、本発明は、ロードポート上にＦＯＵＰを配置する方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
半導体の製造において、ウェーハまたはディスク状基板はそれぞれ、生産工程中に多数の処理工程で連続的に処理される。ディスク状基板はコンテナ、ＦＯＵＰに入れられてシステムへ輸送され、その後、様々な処理工程がシステムで行なわれる。
【０００４】
最先端技術によると、ＦＯＵＰはシステムのロードポート上に配置される。ロードポート上のＦＯＵＰの正確な位置とオリエンテーションはセンサにより認識され、オペレータに対しては点灯装置により視覚化される。ＦＯＵＰのディスク状対象物の処理が行なわれている時は、ＦＯＵＰはロードポートから取り除くことはできない。それにもかかわらず取り除かれると、このことが光学または音響信号により表示される。オペレータがこの警報を切ることができる。
【０００５】
特許文献１は、処理機械においてロードポートを方向付けるための装置を開示している。上記装置は、処理機械内の対応ピンと相互に作用する少なくとも２つの垂直方向の穿孔が実装された台板を有する。少なくとも１つの水平方向の穿孔が設けられたオリエンテーションブロックが方向付け用に設けられる。ロードポートのオリエンテーションは穿孔を介して光源と検出器により確定される。
【０００６】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００２／０１５５６４１  Ａ１号明細書
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の基本的な目的は、未使用のロードポート上にＦＯＵＰを安全に配置できるとともに、警報を発動させることなくＦＯＵＰをこれらのロードポートからいつでも取り除くことができる装置を製作することである。
【０００８】
この目的は、ディスク状対象物を処理するシステムのロードポート上にＦＯＵＰを配置する装置により解決される。上記ロードポートは、ロードポート上のＦＯＵＰの正確なオリエンテーションと位置決めのみならず、ロードポートをロードまたはアンロードするためのクリアランスと、を表示するいくつかのインジケータライトを備える。更に、活性化されるとＦＯＵＰ中のディスク状対象物を処理するためのクリアランスを与える動作エレメントがロードポートに配列される。
【０００９】
本発明のさらなる目的は、ＦＯＵＰを安全に配置できるとともに、警報を発動することなくＦＯＵＰに電源を入れることができる方法を利用可能にすることである。
【００１０】
この目的は、以下の特徴、すなわち
未使用のロードポート上にＦＯＵＰを配置する工程と、
ロードポート上のＦＯＵＰの正確なオリエンテーションを確認する工程と、
ロードポート２０に設けられるフィーラ３０の動作を確認する工程と、
フィーラ３０が活性化されると、ＦＯＵＰの複数の配置および／または除去を可能にする工程と、
を含む方法により解決される。
【００１１】
例えば別のシステムで処理が発生する前にＦＯＵＰをロードポート上に配置できるようにロードポートが実装されると特に有利である。ディスク状対象物を処理するシステムのロードポート上にＦＯＵＰを配置する装置は、ロードポートにいくつかのインジケータライトを備えている。インジケータライトは、ロードポート上でのＦＯＵＰの正確なオリエンテーションと位置決めを表示する。ＦＯＵＰのタイプと正確な位置決めはセンサによって確定することができる。フィーラがロードポートに配列され、活性化されるとＦＯＵＰ中のディスク状対象物を処理するためのクリアランスを与える。
【００１２】
フィーラは、ディスク状対象物の処理がまだ始まっていないこと、従ってＦＯＵＰはいつでも取り除くことができることを示すインジケータライトを備える。ロードポートはＳＥＭＩ  Ｅ１５に準じて実装され、ＦＯＵＰの底側と連結する。
【００１３】
ロードポート上にＦＯＵＰを配置する方法は、未使用のロードポート上にＦＯＵＰを設定する工程と、ロードポート上のＦＯＵＰの正確なオリエンテーションを確認する工程と、ロードポートに設けられるフィーラの動作を確認する工程と、フィーラが活性化されると、ＦＯＵＰの複数の配置および／または除去を可能にする工程と、を含む。フィーラの動作はフィーラ中のライトにより表示される。活性化された、すなわち点灯されたフィーラにより、ロードポートからＦＯＵＰの複数の配置および／または除去が可能となる。
【００１４】
本発明の更に有利な展開は従属請求項から推測することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の主題は概略的に線図で表され、添付図面に基づいて以下に説明される。
【００１６】
図１は、マイクロ検査装置１０１とマクロ検査装置１０２とを含むシステム１００の第１の実施形態の概略図を示す。マクロ検査装置１０２はモジュールとして実装され、従って迅速かつ容易にシステム１００に接続することができる。ディスク状対象物４の正面側と背面側２、３（図４を参照）はマクロ検査装置１０２において画像化される。更に、システム１００は少なくとも１つのＦＯＵＰ１０３を備え、これを介してディスク状対象物４がシステム１００へ、およびシステム１００から輸送される。本システムは、ＦＯＵＰ１０３からディスク状対象物４を取り除きそれらをＦＯＵＰ１０３内に配置するかあるいはそれらをマクロ検査装置１０２または３パドルハンドラ１０５へ転送するハンドラ１０４を備えている。図１において表されたシステム１００は第１の転送位置、第２の転送位置および第３の転送位置を含む。３パドルハンドラ１０５は、第１の転送位置でハンドラ１０４からディスク状対象物４を引き取る。第２の転送位置には、３パドルハンドラ１０５からディスク状対象物４を引き取る前調節器１０６が存在する。第３の転送位置では、マイクロ検査装置１０１が３パドルハンドラ１０５からディスク状対象物を引き取る。前述のシステム１００は、この具体的な実施形態に限定されないことは明白である。１つまたはいくつかのＦＯＵＰ１０３が、ディスク状対象物を処理するシステム１００と相互に作用することができる他の多くの配置が考えられる。
【００１７】
図２は、ディスク状基板を処理するシステム１００へ接続されたロードポート２０の透視図である。ロードポート２０はシステム１００へ接続され、従ってディスク状基板を処理するシステム１００との間のインタフェースを形成する。ロードポート２０は、ＦＯＵＰ（図示せず）１０１を配置することができる台板２１を備える。台板２１自体は、ＳＥＭＩ  Ｅ１５標準に準拠して実装されるとともにＦＯＵＰ１０１の底側（図示せず）と連結する接続板２２を支える。連結により、ＦＯＵＰ１０１はロードポート２０上へしっかりと取り付けられる。前述の連結に加え、ＦＯＵＰ１０１とロードポート２０間の結合要素（図示せず）が互いに把持し合い、確実な取り付けが完成する。従ってディスク状対象物を有するＦＯＵＰ１０１が偶然にロードポート２０から外れることはあり得ない。この結果、ディスク状対象物を保護する追加の安全水準が組み込まれる。更に、ロードポート２０上のＦＯＵＰ１０１の正確な位置合わせを表示するいくつかのインジケータライト２３がロードポート２０に設けられる。同様にして、インジケータライト２３は、ＦＯＵＰ１０１がロードポート上に配置されたかどうか、あるいは存在するＦＯＵＰを取り除いてよいかどうかを表示する。更に、開口部２５がロードポート２０に設けられ、これを介してディスク状対象物はＦＯＵＰからシステム１００へ輸送される。
【００１８】
図３は、本発明によるフィーラ３０を有するロードポート２０の透視図である。フィーラ３０により、ロック装置を初期化することなくＦＯＵＰ１０１をロードポート上へ配置することができ、これによりＦＯＵＰ１０１内に含まれるディスク状対象物がシステム１００により処理される前にＦＯＵＰ１０１が取り除かれることを防ぐ。一旦、オペレータがロードポート上にＦＯＵＰ１０１を配置し、フィーラ３０を押すかあるいは活性化すると、ＦＯＵＰ１０１内に含まれるディスク状対象物が処理される。動作エレメント３０を活性化することなく、オペレータがロードポート２０上にＦＯＵＰ１０１を置く場合、ＦＯＵＰ１０１はロードポート２０上に確実に固定され、そして要望に応じ除去可能であり、また再度下降させることができる。
【００１９】
図４は、ロードポート２０の台板２１上に設けられるフィーラ３０の概略図である。フィーラ３０は、ディスク状対象物の処理がまだ始まっておらず、従ってＦＯＵＰはロードポート２０からいつでも取り除くことができることを示す内部ライトを備える。動作エレメント３０は活性化要素３１を更に含み、これを介してフィーラ３０の活性化あるいは不活性化をそれぞれ行うことができる。
【００２０】
図５は、本発明による処理のフローチャートの図式である。解放された、または未使用のロードポート２０が利用可能である。第１段階４０では、オペレータはこのロードポート２０上でＦＯＵＰを配置するかまたは取り除くことができる。この時、ロードポート２０はＦＯＵＰが正しく配置されたかどうかを確定する検査を行う。ＦＯＵＰが正しく配置されていない場合は、これを補正することができる。第１の状態問合せ４２において、ＦＯＵＰの位置が確定される。続いて、状態問合せ４３ａは、動作エレメント３０中のインジケータライト３３が活性化されたかどうかを確定する。活性化されない場合は、当該処理を再開することができ、第２の状態問合せ４４が、ＦＯＵＰ中のディスク状基板を処理することができるか否かを確定する。処理するか否かの確定は、動作エレメント３０を活性化すること（４５）により起動される。さらなる状態問合せ４３ｂでは、動作エレメント３０中のインジケータライト３３が不活性化されるかどうかが確定される。動作エレメント３０中のインジケータライト３３が不活性化されると、ＦＯＵＰ中のディスク状対象物が処理される。ＦＯＵＰの処理４６が続いて発生する。一旦処理が終了すると、ＦＯＵＰはロードポート２０から取り除くことができる。言いかえれば、ＦＯＵＰはロードポート２０から除去される（４７）。動作エレメント３０が押されない場合、ＦＯＵＰはロードポート２０からいつでも取り除くことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】マイクロ検査装置とマクロ検査装置とを含むシステムの第１の実施形態の概略図である。
【図２】ディスク状基板を処理するシステムへ接続されたロードポートの透視図である。
【図３】本発明によるフィーラを有するロードポートの透視図である。
【図４】ロードポートの台板上に設けられるフィーラの概略図である。
【図５】本発明による処理のフローチャートの図式である。
【符号の説明】
【００２２】
４  ディスク状対象物
２０  ロードポート
２１  台板
２２  接続板
２３  インジケータライト
２５  開口部
３０  フィーラ
３０  動作エレメント
３１  活性化要素
３３  インジケータライト
１００  システム
１０１  マイクロ検査装置
１０２  マクロ検査装置
１０３  ＦＯＵＰ
１０４  ハンドラ
１０５  ３パドルハンドラ
１０６  前調節器
【図１】
2006186361.tif 000003
【図２】
2006186361.tif 000004
【図３】
2006186361.tif 000005
【図４】
2006186361.tif 000006
【図５】
2006186361.tif 000007
【外国語明細書】
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