(57)【要約】【課題】本発明は、反射散乱光による撮像で検出でき、透過散乱光による撮像では検出できない欠点であっても確実に検出することができるガラス板の欠点検査方法及びその装置を提供することを目的とする。【解決手段】実施の形態の欠点検査装置１０は、ガラス基板１２の上面１２Ｂで反射した赤色の反射散乱光、ガラス基板１２の下面１２Ｃで反射した青色の反射散乱光、及びガラス基板１２の端面１２Ａで反射した緑色の反射散乱光に基づいて欠点を検査する。すなわち、本発明は、Ｂバンドカットフィルタ２８、Ｒバンドカットフィルタ３０によって透過散乱光をカットして欠点の検査を実施するため、反射散乱光による撮像では検出できるが、透過散乱光による撮像では検出できない欠点であっても確実に検出することができる。【選択図】図２
2006030067.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射するとともに、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射してガラス板の欠点検査を行う欠点検査方法であって、
前記ガラス板の一方面を、第１のプリズムと少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像手段により撮像するとともに、ガラス板の他方面を、第２のプリズムと少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して前記撮像手段により撮像し、
前記撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出手段によって検出することを特徴とするガラス板の欠点検査方法。
【請求項２】
前記ガラス板の端部に向けて光を照射してガラス板の端部を前記撮像手段によって撮像し、前記撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出することを特徴とする請求項１に記載のガラス板の欠点検査方法。
【請求項３】
ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射するとともに、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射してガラス板の欠点検査を行う欠点検査方法であって、
前記ガラス板の一方面を、少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して第１の撮像手段により撮像するとともに、ガラス板の他方面を、少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して第２の撮像手段により撮像し、
前記第１の撮像手段及び第２の撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出手段によって検出することを特徴とするガラス板の欠点検査方法。
【請求項４】
前記ガラス板の端部に向けて光を照射してガラス板の端部を第３の撮像手段によって撮像し、第３の撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出することを特徴とする請求項３に記載のガラス板の欠点検査方法。
【請求項５】
ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射する第１の照明手段と、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射する第２の照明手段とを用いてガラス板の欠点を検査する欠点検査装置であって、
前記ガラス板の一方面を、第１のプリズムと少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像するとともに、前記ガラス板の他方面を、第２のプリズムと少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出する検出手段と、
を備えたことを特徴とするガラス板の欠点検査装置。
【請求項６】
前記ガラス板の端部に向けて光を照射する第３の照明手段を有し、ガラス板の端部を前記撮像手段によって撮像し、撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出することを特徴とする請求項５に記載のガラス板の欠点検査装置。
【請求項７】
ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射する第１の照明手段と、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射する第２の照明手段とを用いてガラス板の欠点を検査する欠点検査装置であって、
前記ガラス板の一方面を、少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して撮像する第１の撮像手段と、
前記ガラス板の他方面を、少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して撮像する第２の撮像手段と、
前記第１の撮像手段及び第２の撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出する検出手段と、
を備えたことを特徴とするガラス板の欠点検査装置。
【請求項８】
前記ガラス板の端部に向けて光を照射する第３の照明手段と、ガラス板の端部を撮像する第３の撮像手段とを有し、第３の撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出することを特徴とする請求項７に記載のガラス板の欠点検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の端面及びその近傍、すなわちガラス板周辺部（エッジ付近）のチッピング、ハマ欠け等の傷及び未面取り等の欠点を検出するガラス板の欠点検査方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばディスプレイ用のガラス基板は、所定の厚み（例えば、約０．５〜２．８ｍｍ）に製造された板ガラスを、製品に対応した大きさに切断し、これを面取り加工したり、その表面に生じている微小な凹凸やうねりを除去するために研磨加工したりすることにより製品化される。
【０００３】
製品化されたガラス基板は、出荷前において、その端面及びその近傍に発生しているチッピングやハマ欠け等の傷及び未面取り等の欠点の有無が欠点検査装置によって検査される（例えば、特許文献１）。
【０００４】
ここで、前記欠点について説明すると、図５の如くチッピング１は、ガラス基板２の上面２Ｂと端部２Ａとの境界部２Ｄに発生する極小の欠けであり、ハマ欠け３は、上面２Ｂから端部２Ａにかけて発生する比較的大きい欠けである。また、端部２Ａには、面取り砥石の磨耗等が原因で未面取り部４が生じる場合があり、これもまた欠点として判断されている。これらの欠点は、その大きさで所定の閾値が設定され、閾値を超えた場合に、そのガラス板が不良品として処理される。
【０００５】
なお、ガラス板に関する前記欠点の検査は、ディスプレイ用のガラス基板に限定されるものではなく、建築用ガラス板、自動車用ガラス板等の他の用途に使用されるガラス板においても実施される。
【０００６】
ところで、特許文献１に開示された欠点検査装置は、例えばスポット照明によってガラス基板の端部及びその近傍を照射し、ガラス基板の上面側をプリズムを介してカメラにより撮像するとともに、ガラス基板の下面側を別のプリズムを介して同一のカメラにより撮像するものである（特許文献１の段落〔００１７〕）。そして、得られた画像を処理し、欠点の有無を検出し、その大きさ等を、予め定められた閾値と比較して、良、不良を判別するものである。
【特許文献１】特開２００２−６２２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、特許文献１のように光を用いたガラス板の欠点検査装置では、例えばガラス板の上面をカメラで撮像する際に、上面側から照射された照明の反射散乱光と下面側から照射された照明の透過散乱光とが含まれることになる。このときの反射散乱光の明るさは、通常で透過散乱光の明るさの１０〜２０％であり、透過散乱光の方が圧倒的に明るい。
【０００８】
ここで、ガラス板の上面に発生している欠点が、反射散乱光による撮像では検出できるが、透過散乱光による撮像では検出できない欠点の場合（例えば、透明で浅いハマ欠け等が発生していた場合）、引用文献１の欠点検査装置では、上面側に発生している欠点による反射散乱光が、その光よりも明るい透過散乱光に重ねられて撮像されることからＳＮ比が悪化し、その欠点を検出することができないという問題があった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガラス板の端面及びその近傍、すなわちガラス板周辺部（エッジ付近）に発生している欠点を確実に検出することができるガラス板の欠点検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、前記目的を達成するために、ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射するとともに、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射してガラス板の欠点検査を行う欠点検査方法であって、前記ガラス板の一方面を、第１のプリズムと少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像手段により撮像するとともに、ガラス板の他方面を、第２のプリズムと少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して前記撮像手段により撮像し、前記撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出手段によって検出するすることを特徴とする欠点検査方法を提供する。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、前記目的を達成するために、ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射する第１の照明手段と、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射する第２の照明手段とを用いてガラス板の欠点を検査する欠点検査装置であって、前記ガラス板の一方面を、第１のプリズムと少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像するとともに、前記ガラス板の他方面を、第２のプリズムと少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出する検出手段と、を備えたことを特徴とする欠点検査装置を提供する。
【００１２】
請求項１、及び５に記載の発明によれば、第１の照明手段からガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射するとともに、第２の照明手段からガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射する。そして、ガラス板の一方面を、第１のプリズムと少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像手段により撮像するとともに、ガラス板の他方面を、第２のプリズムと少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して前記撮像手段により撮像する。そして、この撮像手段によって撮像された画像に基づき、ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出手段によって検出する。
【００１３】
すなわち、本願発明は、その原色光を照射する側の撮像系に、他の原色光をカットするフィルタを設け、他の原色光をカットした光像によって欠点を検査することを基本的な考えとしている。したがって、フィルタによって透過散乱光がカットされ、撮像手段には反射散乱光が入射するので、ガラス板に発生している欠点を確実に検出することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の欠点検査方法の発明において、前記ガラス板の端部に向けて光を照射してガラス板の端部を前記撮像手段によって撮像し、前記撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出することを特徴とする。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の欠点検査装置の発明において、前記ガラス板の端部に向けて光を照射する第３の照明手段を有し、ガラス板の端部を前記撮像手段によって撮像し、撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出することを特徴とする。
【００１６】
請求項２、及び６に記載の発明によれば、第３の照明手段からガラス板の端部に向けて光を照射してガラス板の端部を前記撮像手段によって撮像し、撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出する。ガラス板の端部も同一の撮像手段によって撮像することができる。また、第３の照明手段から照射される光は、撮像手段に対する透過散乱光の影響が小さいので、特に限定されるものではなく、すなわち、Ｒ、Ｇ、Ｂの光のうちの一つでもよく白色光でもよい。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、前記目的を達成するために、ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射するとともに、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射してガラス板の欠点検査を行う欠点検査方法であって、前記ガラス板の一方面を、少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して第１の撮像手段により撮像するとともに、ガラス板の他方面を、少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して第２の撮像手段により撮像し、前記第１の撮像手段及び第２の撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出手段によって検出することを特徴とするガラス板の欠点検査方法を提供する。
【００１８】
請求項７に記載の発明は、前記目的を達成するために、ガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射する第１の照明手段と、ガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射する第２の照明手段とを用いてガラス板の欠点を検査する欠点検査装置であって、前記ガラス板の一方面を、少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して撮像する第１の撮像手段と、前記ガラス板の他方面を、少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタを介して撮像する第２の撮像手段と、前記第１の撮像手段及び第２の撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出する検出手段と、を備えたことを特徴とするガラス板の欠点検査装置を提供する。
【００１９】
請求項３、及び７に記載の発明によれば、第１の照明手段からガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射するとともに、第２の照明手段からガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射する。そして、ガラス板の一方面を、少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して第１の撮像手段により撮像するとともに、ガラス板の他方面を、少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して第２の撮像手段により撮像する。そして、第１及び第２の撮像手段によって撮像された画像に基づき、ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出手段によって検出する。基本的には、請求項１、５に記載の発明と同様であるが、請求項３、７の如く撮像手段をその撮像系毎に設けてもよい。撮像手段としてＣＣＤカメラを適用した場合、小型軽量なＣＣＤカメラが安価で市販されているため、装置の大型化及びコストアップにはつながらず、コンパクト化を図ることができ廉価で提供できる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の欠点検査方法の発明において、前記ガラス板の端部に向けて光を照射してガラス板の端部を第３の撮像手段によって撮像し、第３の撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出することを特徴とする。
【００２１】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の欠点検査装置の発明において、前記ガラス板の端部に向けて光を照射する第３の照明手段と、ガラス板の端部を撮像する第３の撮像手段とを有し、第３の撮像手段によって撮像された画像に基づき、前記ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出することを特徴とする。
【００２２】
請求項４、及び８に記載の発明によれば、第３の照明手段からガラス板の端部に向けて光を照射し、第３の撮像手段によってガラス板の端部を撮像し、撮像された画像に基づき、ガラス板の端部に存在する欠点を前記検出手段によって検出する。基本的には、請求項２、６に記載の発明と同様であるが、請求項４、８の如く端部を撮像する第３の撮像手段を個別に設けてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように本発明に係るガラス板の欠点検査方法及びその装置によれば、第１の照明手段からガラス板の一方面に向けて光三原色のうちいずれか一つの原色光を照射するとともに、第２の照明手段からガラス板の他方面に向けて前記原色光以外の他の原色光を照射し、ガラス板の一方面を、第１のプリズムと少なくとも前記他方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して撮像手段により撮像するとともに、ガラス板の他方面を、第２のプリズムと少なくとも前記一方面に向けて照射される原色光をカットするフィルタとを介して前記撮像手段により撮像し、撮像手段によって撮像された画像に基づき、ガラス板の一方面、及び他方面に存在する欠点を検出手段によって検出するので、ガラス板に発生している欠点を確実に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、添付図面に従って本発明に係るガラス板の欠点検査方法及びその装置の好ましい実施の形態を詳説する。
【００２５】
図１に示す欠点検査装置１０は、液晶ディスプレイ用のガラス基板１２の端面及びその近傍、すなわちガラス基板１２の周辺部（エッジ付近）に発生する欠点（図５参照）を検査する装置であり、その要部斜視図が示されている。また、図２は、図１に示した欠点検査装置１０の側面図であり、図中の矢印は光の照射方向及び反射方向を示している。この欠点検査装置１０は、ガラス基板１２を搬送する不図示の搬送装置に隣接配置され、ガラス基板１２は搬送中にその欠点が欠点検査装置１０によって検出される。
【００２６】
欠点検査装置１０は、図１の如く第１プリズム１４、第２プリズム１６、ＣＣＤカメラ（撮像手段に相当）１８、及び画像処理装置（検出手段に相当）２０を主な構成としており、第１プリズム１４は、ガラス基板１２の上面（一方面に相当）１２Ｂに対向配置され、第２プリズム１６は、ガラス基板１２の下面（他方面に相当）１２Ｃに対向配置されている。なお、ここで説明するガラス基板１２の前記上面及び下面とは、ガラス基板１２の端部１２Ａ近傍の面である。
【００２７】
第１、第２プリズム１４、１６は、入射面１４Ａ、１６Ａ、反射面１４Ｂ、１６Ｂ、及び出射面１４Ｃ、１６Ｃが形成された同一形状のプリズムである。第１、第２プリズム１４、１６によれば、図２に示すように入射面１４Ａ、１６Ａから入射した光線束は、反射面１４Ｂ、１６Ｂで全反射されて９０°方向変換され、出射面１４Ｃ、１６Ｃから外部に出射される。また、第１、第２プリズム１４、１６は、各々の入射面１４Ａ、１６Ａがガラス基板１２を挟んで対向するように配置されるとともに、出射面１４Ｃ、１６Ｃが同一平面上に位置するように配置されている。
【００２８】
ＣＣＤカメラ１８は、第１プリズム１４と第２プリズム１６とで挟まれたガラス基板１２の端部１２Ａを直接撮像するように、端部１２Ａに対向して配置されている。また、ＣＣＤカメラ１８は、第１プリズム１４の出射面１４Ｃから出射された光線束を撮像する位置に配置されるとともに、第２プリズム１６の出射面１６Ｃから出射された光線束を撮像する位置に配置されている。これにより、カメラ１８は、ガラス基板１２の検査部位１３である端部１２Ａ、上面１２Ｂ、及び下面１２Ｃを図３の如く同時に撮像することができる。
【００２９】
一方、欠点検査装置１０には、検査部位１３を照明すべく多数の照明手段が設けられている。
【００３０】
これらの照明手段は、ガラス基板１２の上面１２Ｂに向けて赤色の原色光Ｒを照射するＬＥＤ２２、２２と、ガラス基板１２の下面１２Ｃに向けて青色の原色光Ｂを照射するＬＥＤ２４、２４と、ガラス基板１２の端部１２Ａに向けて緑色Ｇの原色光を照射するＬＥＤ２６とから構成される。
【００３１】
ＬＥＤ２２、２２は、第１プリズム１４を介してガラス基板１２の上面１２Ｂを照射する位置に配置され、また、ＬＥＤ２４、２４も同様に、第２プリズム１６を介してガラス基板１２の上面１２Ｂを照射する位置に配置されている。このように、上面１２Ｂあるいは下面１２Ｃに対し、それぞれ２個又は３個以上のＬＥＤを用いて照射することにより、上面１２Ｂ及び下面１２Ｃで反射した反射散乱光の受光量分布を検査部位１３の全域において均一に近づけることができ、検査精度を向上させることができる。
【００３２】
また、第１プリズム１４の出射面１４Ｃに対向してＢバンドカットフィルタ２８が配置されている。Ｂバンドカットフィルタ２８は、青色光をカットするフィルタであり、これによって、第１プリズム１４の出射面１４Ｃから出射した光のうち青色光が、Ｂバンドカットフィルタ２８によってカットされ、それ以外の光がＣＣＤカメラ１８に撮像される。すなわち、青色のＬＥＤ２４、２４から照射されガラス基板１２を透過した透過散乱光は、Ｂバンドカットフィルタ２８によってカットされるのでＣＣＤカメラ１８には撮像されない。
【００３３】
同様に、第２プリズム１６の出射面１６Ｃに対向してＲバンドカットフィルタ３０が配置されている。Ｒバンドカットフィルタ３０は、赤色光をカットするフィルタであり、これによって、第２プリズム１６の出射面１６Ｃから出射した光のうち赤色光が、Ｒバンドカットフィルタ３０によってカットされ、それ以外の光がＣＣＤカメラ１８に撮像される。すなわち、赤色のＬＥＤ２２、２２から照射されガラス基板１２を透過した透過散乱光は、Ｒバンドカットフィルタ３０によってカットされるのでＣＣＤカメラ１８には撮像されない。
【００３４】
ＬＥＤ２６から照射された緑色の光は、ガラス基板１２の端部１２Ａで反射し、その反射散乱光がＣＣＤカメラ１８によって直接撮像される。これにより、ＣＣＤカメラ１８は、ガラス基板１２の上面１２Ｂで反射した赤色の反射散乱光、ガラス基板１２の下面１２Ｃで反射した青色の反射散乱光、及びガラス基板１２の端部１２Ａで反射した緑色の反射散乱光を同時に撮像する。
【００３５】
カメラ１８は、撮影レンズ３２及びカメラ本体３４から構成される。カメラ本体３４内には、図２中破線で示すＣＣＤエリアセンサ３６が配置され、このＣＣＤエリアセンサ３６の受光面は、撮影レンズ３２の結像位置に設置されている。ＣＣＤエリアセンサ３６から出力される映像信号は、図１の画像処理装置２０に出力される。
【００３６】
画像処理装置２０は、ＣＣＤセンサ３６から出力される映像信号から、明部面積、暗部面積または総面積等の特徴量を取得する。そして、画像処理装置２０は、その特徴量と、メモリ３８に記憶されているそれぞれの閾値とを比較して、特徴量が閾値を超えた場合に自動判別装置４０を制御して、そのガラス基板１２を不良品として区別させる。なお、前記映像信号のレベルが所定の閾値を超えた時に、欠点が存在したと判断してもよい。
【００３７】
次に、前記の如く構成された欠点検査装置１０の作用について説明する。
【００３８】
図１の状態で欠点検査装置１０を作動させるとともに、各ＬＥＤ２２、２４、２６を点灯させてガラス基板１２の検査部位１３を照明する。そして、ガラス基板１２を不図示の搬送装置によって所定の速度で図１上矢印方向に搬送し、ガラス基板１２の欠点検査を開始する。
【００３９】
欠点検査時において、ＣＣＤカメラ１８は、ガラス基板１２の上面１２Ｂで反射した赤色の反射散乱光、ガラス基板１２の下面１２Ｃで反射した青色の反射散乱光、及びガラス基板１２の端部１２Ａで反射した緑色の反射散乱光を同時に撮像している。図３は、ＣＣＤカメラ１８によって撮像されているガラス基板１２の像が示されている。
【００４０】
そして、カメラ１８のＣＣＤセンサ３６から出力される映像信号が画像処理装置２０に出力されると、画像処理装置２０は、その映像信号から明部面積等の特徴量を取得する。そして、画像処理装置２０は、特徴量と、メモリ３８に記憶されているそれぞれの閾値とを比較する。そして、特徴量が閾値を超えた場合に、自動判別装置４０を制御して、そのガラス基板１２を不良品として区別させる。
【００４１】
このように実施の形態の欠点検査装置１０は、ガラス基板１２の上面１２Ｂで反射した赤色の反射散乱光、ガラス基板１２の下面１２Ｃで反射した青色の反射散乱光、及びガラス基板１２の端部１２Ａで反射した緑色の反射散乱光に基づいて、すなわち、Ｂバンドカットフィルタ２８及びＲバンドカットフィルタ３０により透過散乱光をカットして欠点の検査を実施するため、反射散乱光による撮像では検出できるが、透過散乱光による撮像では検出できない欠点（例えば、透明で浅いハマ欠け等）であっても確実に検出することができる。
【００４２】
なお、実施の形態では、上面１２Ｂを赤色光で照射し、下面１２Ｃを青色光で照射したが、これに限定されない。要するに本願発明は、その原色光を照射する側の撮像系に、他の原色光をカットするフィルタを設け、他の原色光をカットした光像によって欠点を検査することを基本的な考えとしている。よって、上面１２Ｂを例えば青色光で照射し、下面１２Ｃを赤色光で照射してもよく、この場合には、上面１２Ｂ側にＲバンドカットフィルタ３０を配置し、下面１２Ｃ側にＢバンドカットフィルタ２８を配置すればよい。また、第３の照明手段であるＬＥＤ２６として緑色光を照射するＬＥＤを適用したが、この光はＣＣＤカメラ１８に対する透過散乱光の影響が小さいので、特に限定されるものではない。すなわち、Ｒ、Ｇ、Ｂの光のうちの一つでもよく蛍光灯のような白色光でもよい。
【００４３】
更にまた、実施の形態では、ＬＥＤ２２、２４からの照明光を第１プリズム１４、第２プリズム１６を介して検査部位１３に照射したが、これに限定されるものではなく、第１プリズム１４、第２プリズムを介することなく検査部位１３を直接照射してもよい。また、照明手段はＬＥＤに限定されるものではなく、欠点検査装置１０とは別個に設けられた原色光の光源から、ライトガイドケーブルを延設し、このライトガイドケーブルの光出射端から検査部位１３に原色光を照射するようにしてもよい。
【００４４】
図４は、他の実施の形態の欠点検査装置５０の構成を示す側面図であり、図２に示した欠点検査装置１０と同一若しくは類似の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。
【００４５】
図４の欠点検査装置５０は、プリズムを使用することなくＣＣＤカメラ５２、５４、５６をその撮像系毎に設けたものであり、これらのＣＣＤカメラ５２、５４、５６としては、図１に示したＣＣＤカメラ１８よりも画素数の少ないエリアセンサ又はラインセンサを搭載したＣＣＤカメラが適用されている。
【００４６】
この欠点検査装置５０によれば、ガラス基板１２の上面１２Ｂを撮像するＣＣＤカメラ５２は、ＬＥＤ２４からの青色光（青色の透過散乱光）がＢバンドカットフィルタ２８によってカットされるので、ガラス基板１２の上面１２Ｂで反射した赤色の反射散乱光を撮像する。また、ガラス基板１２の下面１２Ｃを撮像するＣＣＤカメラ５４は、ＬＥＤ２２からの赤色光（赤色の透過散乱光）がＲバンドカットフィルタ３０によってカットされるので、ガラス基板１２の下面１２Ｃで反射した青色の反射散乱光を撮像する。そしてＣＣＤカメラ５６は、ガラス基板１２の端部１２Ａで反射した緑色の反射散乱光を撮像する。画像処理装置２０（図１参照）は、ＣＣＤカメラ５２、５４、５６から出力される映像信号に基づいてガラス基板１２に発生している欠点（図５参照）を検出する。この検出方法については先に説明したので省略する。
【００４７】
このように、プリズムを用いることなく撮像系毎にＣＣＤカメラ５２、５４、５６を設けても図１の欠点検査装置１０と同様にガラス基板１２に発生している欠点を確実に検出することができる。
【００４８】
なお、特開平４−３７７１１号公報には、カラー液晶表示パネルの検査方法が開示されている。この検査方法は、カラー表示用のカラーフィルタが作り込まれた状態のガラス基板に対し、白色光の光源からカラーフィルタの各色に対応した原色を選択的に取り出すフィルタを用い、このフィルタを介して各原色光をカラーフィルタに照射することにより、それぞれの色毎にカラーフィルタの欠陥の有無を検査する方法である。この検査方法は、検査光として原色光を使用する点で本願発明と類似しているが、本願発明は、その原色光を照射する側の撮像系に、他の原色光をカットするフィルタを設け、他の原色光をカットした光像によって欠点を検査することを基本的な考えとしている。したがって、本願発明と、特開平４−３７７１１号公報の検査方法とは、その検査手法が根本的に異なる。
【００４９】
特開２００３−１４８９２７号公報の図１には、アクティブセンシング法を利用した三次元形状検査装置が開示されている。この検査装置は、検査対象物に対して異なる波長の光（赤色光、緑色光、青色光）を投光するリング状の発光体と、検査対象物から反射した前記光の反射光が入射するカラーＣＣＤカメラとを備えている。異なる波長の光を照射角度を変えて検査対象物４に投光すると、カラーＣＣＤカメラから見た検査対象物は、表面の形状に応じて異なる色彩で着色して見える。この画像の着色パターンを解析することによって、検査対象物の凹凸状態を判断する。この検査方法は、検査光として原色光を使用する点で本願発明と類似しているが、本願発明は、その原色光を照射する側の撮像系に、他の原色光をカットするフィルタを設け、他の原色光をカットした光像によって欠点を検査することを基本的な考えとしている。したがって、本願発明と、特開２００３−１４８９２７号公報とは、その検査手法が全く異なる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態に係る欠点検査装置の拡大斜視図
【図２】図１に示した欠点検査装置の側面図
【図３】図１に示した欠点検査装置のＣＣＤカメラで撮像された映像を示す説明図
【図４】本発明の他の実施の形態に係る欠点検査装置の側面図
【図５】ガラス板に生じる欠点を説明するための模式図
【符号の説明】
【００５１】
１０、５０…欠点検査装置、１２…ガラス基板、１２Ａ…ガラス基板の端部、１２Ｂ…ガラス基板の上面、１２Ｃ…ガラス基板の下面、１３…検査部位、１４…第１プリズム、１６…第２プリズム、１８、５２、５４、５６…ＣＣＤカメラ、２０…画像処理装置、２２、２４、２６…ＬＥＤ、２８…Ｂバンドカットフィルタ、３０…Ｒバンドカットフィルタ、３２…撮影レンズ、３４…カメラ本体、３６…ＣＣＤエリアセンサ、３８…メモリ、４０…自動判別装置
【図１】
2006030067.tif 000003
【図２】
2006030067.tif 000004
【図３】
2006030067.tif 000005
【図４】
2006030067.tif 000006
【図５】
2006030067.tif 000007