(57)【要約】【課題】  インク供給系の構成の自由度を確保し、内部の異物を除去して常に安定的な吐出特性を持続する。【解決手段】  流路１２から分岐されて形成された他の流路１２に設けられ気泡を滞留させる気泡保持部１３に、回復ユニット５０の循環路３５のインク吸引ノズル１５が着脱可能に接続され、オリフィス基板４の吐出口３に、回復ユニット５０の循環路３５のキャップ部材１６が着脱可能に接続された状態で、流路１２、気泡保持部１３、および循環路３５をインク１００が循環される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するためのエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子が設けられた素子基板と、液滴を吐出する吐出口を有し前記素子基板に接合されるオリフィス基板と、液体タンクから供給された液体を前記素子基板側に供給するための流路の一部を構成する流路構成部材と、前記流路から分岐されて形成された他の流路に設けられ気泡を滞留させる気泡保持部とを備える液体吐出ヘッドにおいて、
前記気泡保持部に、液体循環ユニットの循環路の一端が着脱可能に接続され、前記オリフィス基板の前記吐出口に、前記液体循環ユニットの前記循環路の他端が着脱可能に接続された状態で、前記流路、前記気泡保持部、および前記循環路を液体が循環されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記液体循環ユニットによって、液体が前記オリフィス基板の前記吐出口から前記流路を通って前記気泡保持部に向かって流動する請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記気泡保持部には、前記液体循環ユニットの前記循環路の一端部が挿通されるスリットが形成されたゴム部材が設けられている請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記液体循環ユニットの前記循環路には、循環させる液体を濾過する濾過手段が設けられている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記液体タンクと前記流路構成部材との間には、前記流路に液体を供給する連通路を開閉可能な弁が設けられている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記弁は、前記液体循環ユニットによって液体の循環が行われている間、前記連通路を閉じる請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記ゴム部材を前記気泡保持部内に固定するための固定部材を有し、該固定部材が前記ゴム部材に前記スリットを除く領域で係合されている請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記ゴム部材は、前記気泡保持部内に、前記流路構成部材の一部を溶着することによって固定されている請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記ゴム部材は、前記気泡保持部に、接着剤によって固定されている請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記気泡保持部は、前記流路構成部材に設けられている請求項１ないし９のいいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記素子基板を支持する基板支持部材を備え、
前記気泡保持部は、前記基板支持部材に設けられている請求項１ないし９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体循環ユニットとを備える記録装置。
【請求項１３】
液滴を吐出するためのエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子が設けられた素子基板と、液滴を吐出する吐出口を有し前記素子基板に接合されるオリフィス基板と、液体タンクから供給された液体を前記素子基板側に供給するための流路の一部を構成する流路構成部材と、前記流路から分岐されて形成された他の流路に設けられ気泡を滞留させる気泡保持部とを備える液体吐出ヘッドに着脱可能に接続される液体循環ユニットにおいて、
循環路の一端が、前記気泡保持部に着脱可能に接続され、前記循環路の他端が、前記オリフィス基板の前記吐出口に着脱可能に接続された状態で、前記流路、前記気泡保持部、および前記循環路を、液体を循環させることを特徴とする液体循環ユニット。
【請求項１４】
液滴を吐出するためのエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子が設けられた素子基板と、液滴を吐出する吐出口を有し前記素子基板に接合されるオリフィス基板と、液体タンクから供給された液体を前記素子基板側に供給するための流路の一部を構成する流路構成部材と、前記流路から分岐されて形成された他の流路に設けられ気泡を滞留させる気泡保持部とを備える液体吐出ヘッドに対して、液体循環ユニットの循環路の一端を前記気泡保持部に着脱可能に接続し、前記液体循環ユニットの前記循環路の他端を前記オリフィス基板の前記吐出口に着脱可能に接続した状態で、前記流路、前記気泡保持部、および前記循環路を、液体を循環させることによって内部の異物を除去する異物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出させて飛翔液滴を形成するための液体吐出ヘッドと、この液体吐出ヘッドを備え被記録材に液滴で記録を行うための記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出ヘッドの吐出口（オリフィス）から記録液（インク）を吐出させることにより記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点で優れた記録装置として知られている。
【０００３】
このようなインクジェット記録方法に用いられているインクジェット記録装置は、一般にインクを飛翔液滴として吐出させるための吐出口と、この吐出口に連通するインク流路と、このインク流路の一部に設けられこのインク流路内のインクに飛翔液滴を形成するためのエネルギを付与する吐出エネルギ発生素子とを有するインクジェット記録ヘッドを備えている。
【０００４】
インクジェット記録ヘッドによる記録では、吐出エネルギ発生素子を駆動してノズル内のインクにエネルギを付与し、吐出口からインクを飛翔液滴として吐出させ、この液滴を被記録材に付着させることによって行う。
【０００５】
このようなインクジェット記録装置によって記録を行う際に使用されるインクは、一般に顔料や染料などの溶質成分、この溶質成分を溶解または分散するための主に水、または水と水溶性有機溶剤あるいは非水系溶剤からなる溶媒成分とによって形成されている。
【０００６】
吐出エネルギ発生素子によって発生した圧力は、インクを介して、吐出口に向かう吐出口方向と、吐出口側にインクを供給するための液室に向かう液室方向とにそれぞれ伝わる。吐出口方向に伝わる圧力は、ノズル内のインクを吐出口から押し出して飛翔させ、インク液滴を形成し、被記録面へ飛翔インク液滴を付着させて記録を行う。飛翔インク液滴がノズルから離れる際、飛翔インク液滴の吐出量に応じてノズル内のインクが圧縮してメニスカスを引っ張ることによって、吐出口におけるメニスカスが後退する。メニスカスの後退が最大になったところから、インクの表面張力によってメニスカスは、所定時間の経過後に吐出前の初期状態へと復帰する。このメカニズムを繰り返すことによって、インクジェット記録装置では、常に安定的な吐出動作を持続し、高品位な画像の記録が可能となる。
【０００７】
しかしながら、液室やノズルの周辺のインク中に塵埃等の異物が存在していた場合には、上述したインクの流れが乱れ、吐出するインク量が減少したり、記録用紙上に形成されるドット径が小さくなったりすることで、吐出速度が不安定になり、記録用紙上におけるインク液滴の着弾位置をばらつかせる結果を生じ、画像品位を極端に劣化させる等の問題が発生する。
【０００８】
特に多数のノズルが設けられるインクジェット記録装置では、そのような不安定な吐出が生じる可能性が当然高くなる。
【０００９】
そのため、このような異物を除去する方法が採られたインクジェット記録ヘッドとしては、ノズル列の両端にインク流路が設けられてインクを循環させ、そのインク流路の下流側の一部に排出部が設けられることによって、吐出口から排出されなかった異物を除去するための構成が開示されている（特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−２３８２７０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述した従来のインクジェット記録ヘッドでは、流路内の異物を除去するための構造が、記録時にインクジェット記録ヘッドにインクを供給するためのインク供給系として、インク記録ヘッドに着脱可能に接続されるジョイント部を有するインク供給装置を備える構成を採用することが前提になっている。したがって、従来のインクジェット記録ヘッドは、ノズルにインクを供給するためのインク供給系として使用できる構成が限られているという不都合がある。すなわち、従来のインクジェット記録ヘッドは、例えば、ノズルにインクを供給するインクタンクが一体的に結合された構造に適用することが困難であった。
【００１１】
そこで、本発明は、インク供給系の構成が制約を受けることなく内部の異物を除去することを可能にし、常に安定的な吐出特性を持続することができる液体吐出ヘッドおよびこの液体吐出ヘッドを備える記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した目的を達成するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するためのエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子が設けられた素子基板と、液滴を吐出する吐出口を有し素子基板に接合されるオリフィス基板と、液体タンクから供給された液体を素子基板側に供給するための流路の一部を構成する流路構成部材と、流路から分岐されて形成された他の流路に設けられ気泡を滞留させる気泡保持部とを備える。そして、この液体吐出ヘッドでは、気泡保持部に、液体循環ユニットの循環路の一端が着脱可能に接続され、オリフィス基板の吐出口に、液体循環ユニットの循環路の他端が着脱可能に接続された状態で、流路、気泡保持部、および液体循環ユニットの循環路を液体が循環される。
【発明の効果】
【００１３】
上述したように、本発明によれば、インク供給系の構成が制約を受けることなく内部の異物を除去することを可能にし、常に安定的な吐出特性を持続することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
まず、本発明が適用されるインクジェット記録ヘッドの概略構成を説明する。
【００１６】
図１に、第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドの模式的な斜視図を示す。図２に、インクジェット記録ヘッドの模式的な断面図を示す。
【００１７】
図１および図２に示すように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク滴を吐出するためのエネルギを発生する吐出エネルギ発生素子であるヒータ２が設けられた素子基板１と、インクを吐出するための吐出口３を有するオリフィス基板４とを備える。
【００１８】
素子基板１は、基板支持部材であるチッププレート５上に配置され、電気配線テープ６とリード７によって、後述するインクジェット記録装置の駆動制御部（不図示）に電気的に接続されている。チッププレート５には、素子基板１の液室（不図示）を介して吐出口３に連通される流路が設けられている。電気配線テープ６は、一端がチッププレート５に接着されており、インクジェット記録装置とのコンタクト部８を有する電気コンタクト基板９に電気的に接続されている。電気コンタクト基板９は、流路構成部材であるチップタンク１０に位置決めされて固定されている。また、チップタンク１０は、インクタンク１１にジョイント部材３３を介して接続され、素子基板１に、インクタンク１１からのインク１００を供給する流ための路１２が設けられている。この流路１２は、ジョイント部材３３の連通路３４を介して、インクタンク１１のインク収容部に連通されている。このジョイント部材３３には、後述するインクジェット記録装置の駆動制御部に制御されることによって連通路３４を開閉するためのインク開閉弁１８が設けられている。
【００１９】
そして、チップタンク１０には、図２に示すように、インクタンク１１側から吐出口３側に向かう流路１２の中途部から分岐されて、チップタンク１０の外周面まで延長されて設けられた流路１２の一端部に、気泡を滞留させるための気泡保持部１３が設けられている。
【００２０】
図３に、気泡保持部１３近傍の拡大図を示す。図３に示すように、この気泡保持部１３内には、チップタンク１０の外周面に開口されている気泡保持部１３の一端部がゴム栓部材１４によって気密に封止されることで、通常密閉空間が形成されている。ゴム栓部材１４は、固定プレート２２およびビス２３によって固定されている。
【００２１】
ゴム栓部材１４には、中央に、後述する回復ユニット５０側のインク吸引ノズル１５が挿通されるスリット２１が貫通して設けられている。このスリット２１は、インク吸引ノズル１５が挿入されていない状態で、ゴム栓部材１４の弾性によって気密に閉塞されている。また、気泡保持部１３の一端部には、段差が形成されており、この段差にゴム栓部材１４の一端が突き当てられて位置決めされている。
【００２２】
固定プレート２２には、中央に、インク吸引ノズル１５を挿入するための挿入口３１が設けられている。また、固定プレート２２には、外周部近傍に、ビス２３が挿通される複数のビス穴３２がそれぞれ設けられている。挿入口３１は、ゴム栓部材１４のスリット２１に対応する位置に、ゴム栓部材１４の外径よりも小さく形成されている。固定プレート２２は、気泡保持部１３内の一端部に嵌め込まれたゴム栓部材１４の端面に係合され、ゴム栓部材１４を固定させる。
【００２３】
そして、上述のインクジェット記録ヘッドの流路１２に接続される液体循環ユニットである回復ユニット５０は、図４に示すように、インクジェット記録ヘッドの流路１２に連通されたインクの循環路３５を構成し、流路１２内のインクを抜き取るためのインク吸引ノズル１５と、オリフィス基板４の吐出口３を気密に覆うキャップ部材１６と、循環路３５に沿ってインクを循環させるためのポンプ１７とを有している。
【００２４】
インク吸引ノズル１５は、回復ユニット５０が構成する循環路３５の一端部に位置して設けられており、中途部に、外部から空気を吸引するための大気吸引口２５が設けられている。キャップ部材１６は、回復ユニット５０が構成する循環路３５の他端部に位置して設けられている。ポンプ１７は、循環路３５の中途部に配置されている。また、循環路３５の中途部には、循環されたインクを濾過する濾過手段であるフィルタ２０が設けられており、このフィルタ２０によって、インクジェット記録ヘッド側から流れ込んだインク中の塵埃等の異物１９が捕らえられる。
【００２５】
以上のように構成されたインクジェット記録ヘッドについて、流路１２内のインク１００に混入した異物１９を除去する動作の原理を簡単に説明する。図４は、流路内のインクが循環される状態を示す模式図である。
【００２６】
まず、回復ユニット５０が構成する循環路３５の一端部に位置するインク吸引ノズル１５が、ゴム栓部材１４のスリット２１から気泡保持部１３内に挿入され、回復ユニット５０が構成する循環路３５の他端部に位置するキャップ部材１６によって吐出口３の周辺が気密に覆われる。これによって、インク吸引ノズル１５とキャップ部材１６は、インクジェット記録ヘッドの流路、およびポンプ１７を介して連通されて循環路が構成される。
【００２７】
続いて、ポンプ１７が駆動されることによって、インク吸引ノズル１５を介して気泡保持部１３内からインク１００が吸引され、回復ユニット５０側を循環されたインク１００が、キャップ部材１６から吐出口３を通って流路１２内に流れ込む。このとき、インクジェット記録装置側の駆動制御部（不図示）によってインク開閉弁１８が制御され、インクタンク１１とチップタンク１０との間の連通路がインク開閉弁１８によって閉塞されることで、回復ユニットのポンプ１７から、キャップ部材１６、吐出口８、素子基板１の液室、チッププレート５の流路、チップタンク１０の流路、インク吸引ノズル１５を経てポンプ１７に至る循環路が良好に構成され、ノズル周辺のインク１００が効率良く循環される。このように、回復ユニットによって流路１２に沿ってインク１００を流動させることによって、異物１９は、気泡保持部１３内からインクジェット記録ヘッドの外方に排出され、回復ユニット５０側に配置されているフィルタ２０に捕らえられる。
【００２８】
図５は、ゴム栓部材１４を気泡保持部１３内の一端部に固定する工程を示す模式図である。
【００２９】
図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、チップタンク１０の流路１２内および気泡保持部１３内を洗浄した後、ゴム栓部材１４を気泡保持部１３内の一端部に挿入して嵌め込む。図５（ｂ）および図５（ｃ）に示すように、気泡保持部１３内にゴム栓部材１４を挿入した後、固定プレート２２を位置決めしてチップタンク１０の側面に突き当てる。図５（ｃ）および図５（ｄ）に示すように、固定プレート２２を突き当て、ビス穴３２にビス２３を挿通して、ビス止め穴２４に固定する。図５（ｄ）に示すように、ビス止め穴２４にビス２３が固定されることで、固定プレート２２の挿入口３１近傍がゴム栓部材１４の端面に係合され、ゴム栓部材１４が固定される。
【００３０】
図６に、インクジェット記録ヘッドの内部から異物１９を除去した後に、再び気泡保持部１３内に気泡を形成するまでの手順を示す。
【００３１】
図６（ａ）に示すように、インク吸引ノズル１５によって異物１９を除去した後、気泡保持部１３内がインクで充満されており、気泡保持部１３内の気泡が消失している。続いて、図６（ｂ）に示すように、インク吸引ノズル１５を所定量だけ気泡保持部１３内から引き抜き、インク吸引ノズル１５の大気吸引口２５がゴム栓部材１４の端面から外方に位置させると共に、インク吸引ノズル１５の先端を気泡保持部１３内に位置させる。このとき、インクジェット記録ヘッドは、内部がインクを流路１２内に保持するために負圧状態に保たれているため、大気吸引口２５から空気が吸い込まれて流路１２内に気泡２６が徐々に入り込む。そして、所定時間が経過した後、図６（ｃ）に示すように、大気吸引口２５を介して気泡保持部１３内に所望量の空気が取り込まれ、インク吸引ノズル１５は、ゴム栓部材１４のスリット２１から抜き取られる。
【００３２】
以上のように、インクジェット記録ヘッド内に存在していた異物１９を取り除き、再び気泡保持部１３内に所望量の気泡を取り込むことで、流路１２に連通されている気泡保持部１３内に充満された気体が、発泡エネルギによるインク滴の吐出動作に応じて膨張収縮することによって、流路１２内のインクの振動が抑制される。このため、安定的な吐出特性が維持され、印字における劣化が抑制されるので、非常に高品質に記録を行うことができる。
【００３３】
なお、本実施形態のインクジェット記録ヘッドでは、所定の時間が経過した後に、インク吸引ノズル１５をスリット２１から引き抜かれるように制御される構成にされたが、気泡保持部１３内に取り込まれた空気量を検出するセンサーを備えて、大気吸引口２５から気泡保持部１３内に取り込まれた空気量を検出した検出結果に基づいて、スリット２１からインク吸引ノズル１５を抜き取るタイミングが制御されるように構成されてもよい。
【００３４】
上述したように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドによれば、気泡保持部１３内から外部に流路１２内のインク１００を取り除き、この取り除いたインク１００をフィルタ２０で濾過して循環させて吐出口３側から取り入れることによって、比較的少量のインクの消費で、インクジェット記録ヘッドの内部に存在していた異物１９が取り除かれ、再び気泡保持部１３内に所望量の気泡が取り込まれるので、安定的な吐出特性を持続することができる。したがって、このインクジェット記録ヘッドによれば、印字における劣化が抑制され、非常に高品質に記録を行うことができる。
【００３５】
一般に、インクを流路の外方に吸引するインク吸引ノズルを流路から引き抜く際に、流路内に少量の気泡が入り込んでしまい、インク中に混入した気泡による悪影響が及ぼされるが、本実施形態のインクジェット記録ヘッドによれば、インク吸引ノズル１５が接続される接続位置が、気泡２６を滞留させるための気泡保持部１３の一端に配置されていることで、流路内に少量入り込んでしまう気泡を考慮する必要がなく、記録品質に何ら影響を及ぼすことがない。
【００３６】
そして、本実施形態のインクジェット記録ヘッドによれば、記録時にインクジェット記録ヘッドにインクを供給するためのインク供給系として、インクジェット記録ヘッドの流路に着脱自在に接続されるジョイント部を有するインク供給ユニットを備える構成に記録装置が制約を受けずに、インク供給系の構成の自由度を向上することができる。
【００３７】
上述した実施形態のインクジェット記録ヘッドでは、固定プレート２２をビス止めしてゴム栓部材１４を固定する構造が採られたが、熱溶着によってゴム栓部材１４を固定する他の構造について簡単に説明する。
【００３８】
チップタンク１０の側面には、図７（ａ）に示すように、気泡保持部の一端部近傍に、ゴム栓部材１４を固定するための複数の溶着リブ２７が一体に形成されている。図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように、チップタンク１０の流路１２と気泡保持部１３を洗浄した後、ゴム栓部材１４を気泡保持部１３内の一端部に挿入して嵌め込む。図７（ｂ）および図７（ｃ）に示すように、気泡保持部１３内にゴム栓部材１４を挿入した後、溶着リブ２７を溶着ホーン２８で熱圧着して溶かし込む。そして、図７（ｄ）に示すように、溶かされた溶着リブ２７よって接合部２９が形成されることで、接合部２９がゴム栓部材１４の端面に係合され、ゴム栓部材１４が固定される。
【００３９】
本実施形態によれば、チップタンク１０の一部に形成された溶着リブ２７によってゴム栓部材１４が固定されるため、上述の固定プレート２２、ビス２３等が不要になり、部品点数の増加を最小限に抑えることができる。
【００４０】
なお、溶着リブ２７を溶融する方法としては、例えば加熱ヒータ、インパルスヒータ、超音波ホーン等を用いる他の方法が採られてもよい。また、ゴム栓部材１４は、接着剤によって気泡保持部１３に接合固定されてもよい。
【００４１】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態のインクジェット記録ヘッドについて、図面を参照して説明する。なお、第２の実施形態のインクジェット記録ヘッドは、上述の第１の実施形態と基本構成がほぼ等しいので、同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
【００４２】
図８に示すように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、第１の実施形態と比較して、インクタンク１１と流路１２との間の連通路３４に配置されたインク開閉弁１８を備えていない構成のみが異なっており、他の構成は第１の実施形態と同様に構成されている。チップタンク１０の流路１２は、インクタンク１１のインク収容部（不図示）に連通されて、チップタンク１０とインクタンク１１が一体的にが組み付けられている。
【００４３】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドによれば、回復ユニット５０のインク吸引ノズル１５によって、気泡保持部１３内からインクを外方に流し出す際に、オリフィス基板４の吐出口３側から気泡保持部１３側に向かう流れと、インクタンク１１側から気泡保持部１３側に向かう流れとがそれぞれ生じ、吐出口３側の異物の除去に加えて、インクタンク１１側流路の異物を除去することも可能にされている。
【００４４】
また、上述した各実施形態では、気泡保持部１３が、チップタンク１０の流路１２に設けられる構成が採られたが、吐出口３側にインクを供給するための流路に連通されて形成される構成であれば、チッププレート５に形成されてもよい。
【００４５】
最後に、上述した各実施形態のインクジェット記録ヘッド、および回復ユニット５０を備えるインクジェット記録装置について簡単に説明する。
【００４６】
本実施形態のインクジェット記録装置は、上述したインクジェット記録ヘッドおよび回復ユニット５０を備え、図示しないが、インクジェット記録ヘッドを記録材に対して主走査方向に移動させるヘッド駆動機構と、インクジェット記録ヘッド側に記録材を主走査方向に直交する副走査方向に搬送する搬送機構と、インクジェット記録ヘッドによって記録された記録材を装置外方に排出する排出機構と、これらインクジェット記録ヘッドおよび各機構を駆動制御する駆動制御部とを備えている。そして、このインクジェット記録装置では、インク記録ヘッドの吐出特性を回復する際に、上述したよう回復ユニット５０によってインクジェット記録ヘッドの内部のインクを循環させて異物を除去する。
【００４７】
なお、本発明に係る記録装置は、例えば紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録材に対して記録を行う、例えばプリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた記録装置に適用されて好適である。
【００４８】
また、本発明において、「記録」とは、被記録材に対して、文字や図形等の意味を持つ画像を付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することも含めて指している。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドを模式的に示す斜視図である。
【図２】第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドを模式的に示す断面図である。
【図３】気泡保持部近傍を模式的に示す拡大断面図である。
【図４】流路内のインクが循環される状態を示す模式図である。
【図５】気泡保持部にゴム栓部材を固定する工程を示す模式図である。
【図６】気泡保持部内に気泡を再充填する動作を説明するための模式図である。
【図７】気泡保持部にゴム栓部材を固定する他の工程を示す模式図である。
【図８】第２の実施形態のインクジェット記録ヘッドを模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  素子基板
２  ヒータ
３  吐出口
４  オリフィス基板
５  チッププレート
１０  チップタンク
１１  インクタンク
１２  流路
１３  気泡保持部
１５  インク吸引ノズル
１６  キャップ部材
１９  異物
２６  気泡
３５  循環路
５０  回復ユニット
１００  インク
【図１】
2006130682.tif 000003
【図２】
2006130682.tif 000004
【図３】
2006130682.tif 000005
【図４】
2006130682.tif 000006
【図５】
2006130682.tif 000007
【図６】
2006130682.tif 000008
【図７】
2006130682.tif 000009
【図８】
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