(57)【要約】      （修正有）【課題】複数のシリンダ部を備えるシリンダー装置のピストン移動に要する時間を短縮し、運転時のエネルギー効率を改善する機構を備えたシリンダ装置を提供する。【解決手段】インナーシリンダ部３０に設けられて往復動するインナーピストン３１と、インナー助勢シリンダー部４０に嵌挿されてインナーピストンを付勢するインナー助勢ピストン４１と、インナーシリンダ部に接続されてインナー補助ピストンがインナーピストン付勢時に作動流体が流入するインナープレフィル流出入口５１と、アウターシリンダ部６０に設けられて往復動するアウターピストン６１と、アウター助勢シリンダー部７０に嵌挿されてアウターピストン６１を付勢するアウター助勢ピストン７１と、アウターシリンダ部に接続されてアウター補助ピストンがアウターピストン付勢時に作動流体が流入するアウタープレフィル流出入口８１とを備える。【選択図】図４
2006130529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物のための加工載置部を備えた載置側部材と、
前記載置側部材に対向配置されるシリンダ部材と、
前記シリンダ部材内のインナーシリンダ部に嵌挿されていると共に、前記インナーシリンダ部に設けられたインナー前側流出入口及びインナー後側流出入口から流出入する作動流体によって往復動されるインナーピストンと、
前記インナーピストンの往復動に連動して前記加工載置部に載置された被加工物の加圧を行うインナー加圧部材と、
前記インナーシリンダ部の後側に設けられるインナー助勢シリンダー部に嵌挿されていると共に、前記インナー助勢シリンダー部と接続されたインナー助勢後側流出入口へ流入する作動流体によって前記インナーピストンを付勢するインナー助勢ピストンと、
前記インナーシリンダ部に接続され、前記インナー補助ピストンが前記インナーピストンを付勢するときに作動流体が流入するインナープレフィル流出入口と、
前記シリンダ部材内のアウターシリンダ部に嵌挿されていると共に、前記アウターシリンダ部に設けられたアウター前側流出入口及びアウター後側流出入口から流出入する作動流体によって往復動されるアウターピストンと、
前記アウターピストンの往復動に連動して前記加工載置部に載置された被加工物の加圧を行うアウター加圧部材と、
前記アウターシリンダ部の後側に設けられるアウター助勢シリンダー部に嵌挿されていると共に、前記アウター助勢シリンダー部と接続されたアウター助勢後側流出入口へ流入する作動流体によって前記アウターピストンを付勢するアウター助勢ピストンと、
前記アウターシリンダ部に接続され、前記アウター補助ピストンが前記アウターピストンを付勢するときに作動流体が流入するアウタープレフィル流出入口と
を備えたことを特徴とするシリンダ装置。
【請求項２】
前記アウターシリンダ部が前記インナーシリンダ部の外周にリング状に形成されている請求項１に記載のシリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダ装置に関し、特にシリンダ部材内にアウターシリンダ部とインナーシリンダ部とを有する多重のシリンダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、油圧シリンダ装置をプレス加工に用いる場合、ピストンの前進を受けた加工部材を板金等の被加工物（ワーク）に当接させて、所定型面の加工を行っている。この場合、被加工部材に加工部材が当接するまでの間は、何ら加工作業に関与しているわけではない。そこで、被加工部材に加工部が当接するまでの間について、できる限り時間短縮を図ることが、単位時間当たりの生産効率上望ましい。
【０００３】
とりわけ、単一の装置内に複数のシリンダ部を備えるシリンダー装置（例えば、特許文献１，２参照。）においては、単位時間当たりの生産効率の向上が急務である。すなわち、各シリンダ部内のピストン（加工部材）が全て所定位置に移動するまでの時間を合計すると、当然、当該装置内のピストン数の増加に伴い加工に要する時間が延びることとなる。
【０００４】
そこで、油圧シリンダ装置において迅速にピストンを移動させる際には、シリンダ内のピストンの後室側に作動油を短時間で流入させことが必要となる。このため、従来、強力なポンプ、モーター等を用いて作動油の流入容量を増加させることによって対応してきた。
【０００５】
しかし、前掲の特許文献等のシリンダ装置において、個々のシリンダ部内に収容されているピストン移動のために、大容量の圧送ポンプ、モータを備え、これらを制御することは、設備コスト的に負担が大きくなることに加えて、運転時のエネルギー効率上も問題がある。
【特許文献１】特許第３２８８０６０号公報
【特許文献２】特許第３２８８０６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は前記の点に鑑みなされたものであり、単一の装置内に複数のシリンダ部を備えるシリンダー装置において、ピストン移動に要する時間を短縮し、かつ運転時のエネルギー効率を改善する機構を備えたシリンダ装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、請求項１の発明は、被加工物のための加工載置部を備えた載置側部材と、前記載置側部材に対向配置されるシリンダ部材と、前記シリンダ部材内のインナーシリンダ部に嵌挿されていると共に、前記インナーシリンダ部に設けられたインナー前側流出入口及びインナー後側流出入口から流出入する作動流体によって往復動されるインナーピストンと、前記インナーピストンの往復動に連動して前記加工載置部に載置された被加工物の加圧を行うインナー加圧部材と、前記インナーシリンダ部の後側に設けられるインナー助勢シリンダー部に嵌挿されていると共に、前記インナー助勢シリンダー部と接続されたインナー助勢後側流出入口へ流入する作動流体によって前記インナーピストンを付勢するインナー助勢ピストンと、前記インナーシリンダ部に接続され、前記インナー補助ピストンが前記インナーピストンを付勢するときに作動流体が流入するインナープレフィル流出入口と、前記シリンダ部材内のアウターシリンダ部に嵌挿されていると共に、前記アウターシリンダ部に設けられたアウター前側流出入口及びアウター後側流出入口から流出入する作動流体によって往復動されるアウターピストンと、前記アウターピストンの往復動に連動して前記加工載置部に載置された被加工物の加圧を行うアウター加圧部材と、前記アウターシリンダ部の後側に設けられるアウター助勢シリンダー部に嵌挿されていると共に、前記アウター助勢シリンダー部と接続されたアウター助勢後側流出入口へ流入する作動流体によって前記アウターピストンを付勢するアウター助勢ピストンと、前記アウターシリンダ部に接続され、前記アウター補助ピストンが前記アウターピストンを付勢するときに作動流体が流入するアウタープレフィル流出入口とを備えたことを特徴とするシリンダ装置に係る。
【０００８】
請求項２の発明は、前記アウターシリンダ部が前記インナーシリンダ部の外周にリング状に形成されている請求項１に記載のシリンダ装置に係る。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明に係るシリンダ装置によると、シリンダ部材内のインナーシリンダ部に嵌挿されて流出入口から流出入する作動流体によって往復動されるインナーピストンと、前記インナーピストンの往復動に連動して前記加工載置部に載置された被加工物の加圧を行うインナー加圧部材と、前記インナーシリンダ部の後側に設けられるインナー助勢シリンダー部に嵌挿され、前記インナーピストンを付勢するインナー助勢ピストンと、前記インナーシリンダ部に接続され、前記インナー補助ピストンが前記インナーピストンを付勢するときに作動流体が流入するインナープレフィル流出入口と、シリンダ部材内のアウターシリンダ部に嵌挿されて流出入口から流出入する作動流体によって往復動されるアウターピストンと、前記アウターピストンの往復動に連動して前記加工載置部に載置された被加工物の加圧を行うアウター加圧部材と、前記アウターシリンダ部の後側に設けられるアウター助勢シリンダー部に嵌挿され、前記アウターピストンを付勢するアウター助勢ピストンと、前記アウターシリンダ部に接続され、前記アウター補助ピストンが前記アウターピストンを付勢するときに作動流体が流入するアウタープレフィル流出入口とが備えられているため、インナーピストン及びアウターピストンをインナー助勢ピストン及びアウター助勢ピストンが前進を付勢することにより、インナー加圧部材及びアウター加圧部材の被加工物に当接するまでの時間は短縮される。
【００１０】
また、インナー助勢ピストン及びアウター助勢ピストンの前進動には、比較的小流量（低圧力）の作動流体の圧送で十分であるため、小型のポンプ、モータ等の使用で足り、しかも、運転に要するエネルギーの低減を図ることができる。
【００１１】
加えて、インナープレフィル流出入口、アウタープレフィル流出入口を備えて作動流体が流入するため、インナーピストン及びアウターピストンの前進時に生じる各ピストン後側の負圧の解消が図られる。同時に、インナー助勢ピストン及びアウター助勢ピストンの前進時のポンプ、モータ等に要するエネルギーをさらに低減することができる。
【００１２】
請求項２の発明に係るシリンダ装置によると、請求項１の発明において、前記アウターシリンダ部が前記インナーシリンダ部の外周にリング状に形成されているため、一のシリンダ部材内に両シリンダ部を集約して収容することができ、装置全体の小型化が可能となる。また、各々のピストンに接続されているロッドに偏心荷重を生じさせることなく、各加圧部材の進退を正確に制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。図１は本発明の一実施例に係るシリンダ装置における加工部材の後退状態を示す縦断面図、図２は図１のシリンダ装置における加工部材の中間状態を示す縦断面図、図３は図１のシリンダ装置における加工部材の前進状態を示す縦断面図、図４はシリンダ部材の拡大縦断面図、図５は図１のシリンダ装置のＡ−Ａ線における横断面図、図６は図１のシリンダ装置のＢ−Ｂ線における横断面図である。
【００１４】
図示の実施例のシリンダ装置１は、油圧駆動のプレス成形装置としての使用例である。図１ないし３に示すとおり、シリンダ装置１は、被加工物Ｗ（ワーク）のための加工載置部１１を備えた載置側部材１０と、当該載置側部材１０に対向配置されるシリンダ部材２０とを有する。前記の載置側部材１０とシリンダ部材２０は支持脚部材１４により固定されている。このシリンダ部材２０の内部にインナーシリンダ部３０と、アウターシリンダ部６０が備えられており、シリンダ部材２０は、いわゆる多重シリンダ（二重シリンダ）として構成されている。
【００１５】
これより、シリンダ部材２０の内部構造について、図１ないし図３に図４を加えて詳述する。本実施例において、各ピストンの前進方向とは、図示の下向きの方向であり、各ピストンの後退方向とは、図示の上向きの方向である。また、各シリンダ部における前側とは、各ピストンが前進する方向側であり、図示の各シリンダ部の下部である。同様に、各シリンダ部における後側とは、各ピストンが後退する方向側であり、図示の各シリンダ部の上部である。
【００１６】
シリンダ部材２０内のインナーシリンダ部３０の内部にインナーピストン３１が嵌挿され、このインナーピストン３１の前進方向に複数本、本実施例では４本（図６参照）のインナーロッド３２が接続されている。そして、インナーロッド３２にインナーピストンの往復動に連動して加工載置部１１に載置された被加工物Ｗの加圧を行うインナー加圧部材３７が設けられている。
【００１７】
インナーシリンダ部３０の前進方向側（前側）にはインナー前側流出入口３４と、同シリンダ部３０の後退方向側（後側）にはインナー後側流出入口３５の両流出入口が形成される。前記の流出入口３４，３５に作動流体である作動油が流出入することにより、インナーピストン３１の進退は制御される。
【００１８】
加えて、インナーシリンダ部３０の後側にインナー助勢シリンダ部４０が設けられている。このインナー助勢シリンダ部４０内にインナー助勢ピストン４１が嵌挿され、同時に該ピストン４１にインナー助勢ロッド４２が接続される。実施例においては、インナー助勢シリンダ部４０（インナー助勢ロッド４２）はインナーシリンダ部３０に対して３箇所である（図５参照）。
【００１９】
インナー助勢シリンダ部４０の前進方向側（前側）にインナー助勢前側流出入口４４と、同助勢シリンダ部４０の後退方向側（後側）にインナー助勢後側流出入口４５が形成されている。このインナー助勢後側流出入口４５に作動流体である作動油が流入することにより、インナー助勢ピストン４１は前進し、インナー助勢ロッド４２を介して前記のインナーピストン３１を付勢して前進させる。なお、インナー助勢ピストン４１の前進時、インナー助勢シリンダ部４０内（インナー助勢ピストン４１の前側）の作動油は、インナー助勢前側流出入口４４を経由してインナーシリンダ部３０に（インナーシリンダ部の後側から）流入する。
【００２０】
さらに、インナーシリンダ部３０の後側にインナープレフィル流出入口５１が設けられている。インナー助勢ピストン４１の付勢によるインナーピストン３１の前進時、作動油はインナープレフィル流出入口５１より、インナーシリンダ部３０内に流入する。従って、インナーピストン３１の前進時にインナーピストンの後側に生じる負圧は解消され、インナーピストン３１の前進動は円滑となる。符号５２はインナー側プレフィル弁である。ちなみに、インナープレフィル流出入口５１はインナーシリンダ部３０に対して３箇所形成されている（図５参照）。
【００２１】
続いて、シリンダ部材２０内のアウターシリンダ部６０の内部にアウターピストン６１が嵌挿され、このアウターピストン３１の前進方向に複数本、本実施例では４本（図６参照）のアウターロッド６２が接続されている。そして、アウターロッド６２にも、アウターピストンの往復動に連動して加工載置部１１に載置された被加工物Ｗの加圧を行うアウター加圧部材６７が設けられる。さらに実施例では、アウター加圧部材６７にマンドレル６８が設けられ、被加工物Ｗに対しプレス成形が行われる。
【００２２】
アウターシリンダ部６０の前進方向側（前側）にアウター前側流出入口６４と、同シリンダ部６０の後退方向側（後側）にアウター後側流出入口６５の両流出入口が形成され、前記の流出入口６４，６５に作動流体である作動油が流出入することにより、アウターピストン６１の進退は制御される。
【００２３】
加えて、アウターシリンダ部６０の後側にはアウター助勢シリンダ部７０が設けられている。このアウター助勢シリンダ部７０内にアウター助勢ピストン７１が嵌挿され、同時に該ピストン７１にアウター助勢ロッド７２が接続される。実施例において、アウター助勢シリンダ部７０（アウター助勢ロッド７２）はアウターシリンダ部６０に対して３箇所である（図５参照）。
【００２４】
アウター助勢シリンダ部７０の前進方向側（前側）にアウター助勢前側流出入口７４と、同助勢シリンダ部７０の後退方向側（後側）にアウター助勢後側流出入口７５が形成されている。このアウター助勢後側流出入口７５に作動流体である作動油が流入することにより、アウター助勢ピストン７１は前進し、アウター助勢ロッド７２を介して前記のアウターピストン６１を付勢して前進させる。なお、アウター助勢ピストン７１の前進時、アウター助勢シリンダ部７０内（アウター助勢ピストン７１の前側）の作動油は、アウター助勢前側流出入口７４を経由してアウターシリンダ部６０に（アウターシリンダ部の後側から）流入する。
【００２５】
さらに、アウターシリンダ部６０の後側にもアウタープレフィル流出入口８１が設けられている。アウター助勢ピストン７１の付勢によるアウターピストン６１の前進時、作動油はアウタープレフィル流出入口８１より、アウターシリンダ部６０内に流入する。従って、上記と同様にアウターピストン６１の前進時にアウターピストンの後側に生じる負圧は解消され、アウターピストン６１の前進動は円滑となる。符号８２はアウター側プレフィル弁である。ちなみに、アウタープレフィル流出入口８１はアウターシリンダ部６０に対して３箇所形成されている（図５参照）。
【００２６】
ここで、載置側部材１０の構成を説明する。符号１２は機台、１３は金型部、１０１は載置側シリンダ部、１０５は加工制御部材、１０６は加工物支持部、１０７は載置側ピストンである。後に詳述するが、金型部１３の加工載置部１１に載置された被加工物Ｗは、インナー加圧部材３７及びアウター加圧部材６７（マンドレル６８）の押圧を受け、所定形状にプレス加工される。前記のインナー加圧部材３７及びアウター加圧部材６７は平板形状からなる。
【００２７】
実施例のシリンダ装置１にあっては、図５及び図６から理解されるように、実施例のシリンダ装置１のシリンダ部材２０において、アウターシリンダ部６０はインナーシリンダ部３０の外周にリング状に形成されている。そのため、一のシリンダ部材内に両シリンダ部を集約して収容することができ、装置全体の大きさを小型化することができる。併せて、各々のピストンに接続されているロッドに偏心荷重を生じさせることなく、各加圧部材の進退を正確に制御することができる。このため、実施例のシリンダ装置にあっては、高精度の成形が可能となる。
【００２８】
これより、本発明のシリンダ装置１の作動を図１ないし図３を用いて説明する。図１に示すシリンダ装置１において、インナー加圧部材３７及びアウター加圧部材６７（マンドレル６８）は後退状態にある。当該後退状態において、被加工物Ｗは金型部１３の加工載置部１１の所定位置に載置される。また、インナーピストン３１及びアウターピストン６１、並びにインナー助勢ピストン４１及びアウター助勢ピストン７１も後退状態を示す。
【００２９】
図２に示すシリンダ装置１において、インナー加圧部材３７及びアウター加圧部材６７（マンドレル６８）は中間状態にある。当該中間状態において、インナー助勢後側流出入口４５に作動油（作動流体）が流入（圧送）され、インナー助勢シリンダ部４０に嵌挿されているインナー助勢ピストン４１は前進する。そこで、インナー助勢ピストン４１はインナー助勢ロッド４２を介してインナーピストン３１を前進させる。インナーピストンの前進時、インナーシリンダ部３０のインナーピストン３１の後側が負圧となるため、例えばインナー側プレフィル弁５２等を介してインナープレフィル流出入口５１から無圧の作動油が流入される。こうして、インナーピストン３１の後側に生じる負圧は解消され、インナーピストン３１は円滑に前進する。
【００３０】
同様に、アウター助勢後側流出入口７５にも作動油（作動流体）が流入（圧送）され、アウター助勢シリンダ部７０に嵌挿されているアウター助勢ピストン７１は前進する。そこで、アウター助勢ピストン７１はアウター助勢ロッド７２を介してアウターピストン６１を前進させる。このときも同じく、アウターシリンダ部６０のアウターピストン６１の後側が負圧となるため、例えばアウター側プレフィル弁８２等を介してアウタープレフィル流出入口８１から無圧の作動油が流入される。こうして、アウターピストン６１の後側に生じる負圧は解消され、アウターピストン６１は円滑に前進する。
【００３１】
図２に示すシリンダ装置１の中間状態において、インナーシリンダ部３０のインナーピストン３１の前側にある作動油は、インナー前側流出入口３４からシリンダ部材２０外に流出する。同じく、アウターシリンダ部６０のアウターピストン６１の前側にある作動油もアウター前側流出入口６４からシリンダ部材２０外に流出する。また、インナーピストン３１及びアウターピストン６１の前進時には、インナー後側流出入口３５及びアウター後側流出入口６５は閉じられることにより、シリンダ部内に流入した作動油の流出が抑止される。
【００３２】
実施例において、インナー助勢シリンダ部４０のインナー助勢ピストン４１の前側にある作動油は、インナー助勢前側流出入口４４からインナーシリンダ部３０に流入する。同様に、アウター助勢シリンダ部７０のアウター助勢ピストン７１の前側にある作動油も、アウター助勢前側流出入口７４からアウターシリンダ部６０に流入する。従って、インナー助勢シリンダ部４０及びアウター助勢シリンダ部７０内の助勢ピストンの前進動作に負荷が生じなくなる。なお、インナー助勢前側流出入口、アウター助勢前側流出入口の末端をシリンダ部材２０外として作動油を排出することも適宜可能である。
【００３３】
図２の中間状態の直後、インナ加圧部材３７及びマンドレル６８（アウター加圧部材６７）は被加工物Ｗに当接する（当接直後は図示せず）。そうすると、インナー助勢ピストン４１及びアウター助勢ピストン７１の前進に負荷が生じ、インナー助勢後側流出入口４５及びアウター助勢後側流出入口７５に流入供給される作動油に圧力変化となって現れる。そこで、この圧力変化を公知の圧力センサによる検知、あるいは適宜の圧力スイッチ等を用いることによって、前記のインナー助勢後側流出入口４５（インナー助勢シリンダ部４０）及びアウター助勢後側流出入口７５（アウター助勢シリンダ部７０）への作動油の流入供給（圧送）は停止され、当該流出入口４５，７５は閉鎖される。
【００３４】
また同時に、インナ加圧部材３７及びマンドレル６８（アウター加圧部材６７）の被加工物Ｗに当接時には、インナープレフィル流出入口５１及びアウタープレフィル流出入口８１に流入供給される作動油にも圧力変化となって現れる。そのため、前記のインナープレフィル弁５２、アウタープレフィル弁８２等により、インナーシリンダ部３０、アウターシリンダ部６０への作動油の流入供給は停止され、当該流出入口５１，８１は閉鎖される。
【００３５】
続いて、図３に示すシリンダ装置１の前進状態にあっては、上記のとおり、インナー助勢後側流出入口４５、アウター助勢後側流出入口７５、インナープレフィル流出入口５１、アウタープレフィル流出入口８１は、既に閉鎖されている。これに代えて、インナー後側流出入口３５及びアウター後側流出入口６５から、インナーシリンダ部３０及びアウターシリンダ部６０への作動油の流入供給（圧送）が始まり、作動油のみによってインナーピストン３１及びアウターピストン６１の前進が行われる。こうして、被加工物Ｗは所定形状にプレス加工（成形）される。なお、実施例のシリンダ装置では、アウターピストン６１（すなわちマンドレル６８）の前進速度に合わせて載置側シリンダ部１０１の載置側ピストン１０７も降下する。そのため、加工制御部材１０５の加工支持部１０６もマンドレル６８の前進速度に合わせて降下するため、被加工物Ｗの成形を良好に行うことができる。
【００３６】
被加工物Ｗの成形終了後、インナー後側流出入口３５、アウター後側流出入口６５、インナー助勢後側流出入口４５、アウター助勢後側流出入口７５、インナープレフィル流出入口５１、アウタープレフィル流出入口８１の閉鎖は解かれると共に、インナー前側流出入口３４及びアウター前側流出入口６４に作動油は流入供給され、インナーピストン３１及びアウターピストン６１の後退が始まり、前述の図１の状態に復帰する。併せて、載置側ピストン１０７（加工支持部１０６）も上昇し、成形後の被加工物Ｗは加工載置部１１に現れる。以降、これまでに述べた順序に従って動作は繰り返され、被加工物の成形が行われる。
【００３７】
実施例から明らかなように、インナー加圧部材及びアウター加圧部材の被加工物に当接するまでの時間は、インナーピストン及びアウターピストンをインナー助勢ピストン及びアウター助勢ピストンが前進を付勢するため、従前と比して短縮される。
【００３８】
従来のシリンダ装置の機構によると、被加工物に当接するまでの時間を短縮しようとする場合、インナー後側流出入口、アウター後側流出入口から作動油を圧送しなければならず、その分、ポンプ、モータ等の高出力を要し、いきおい大型のポンプ、モータ等しなければならなかった。しかし、本発明のとおり、インナー助勢ピストン及びアウター助勢ピストンをインナーピストン及びアウターピストンの後側に備えているため、前記の両助勢ピストンの前進動は、比較的小流量（低圧力）の作動油の圧送で十分である。従って、従前よりも小型のポンプ、モータ等の使用で足り、しかも、運転に要するエネルギーの低減を図ることができる。
【００３９】
併せて、インナープレフィル流出入口、アウタープレフィル流出入口を備えて作動油が流入するため、インナーピストン及びアウターピストンの前進時に生じる各ピストン後側の負圧の解消が図られる。そのため、インナー助勢ピストン及びアウター助勢ピストンの前進時のポンプ、モータ等に要するエネルギーをさらに低減することができる。また、前記の両プレフィル流出入口には無圧の作動油の供給でもよいため、供給に際しポンプ、モータ等に負荷をかけることはない。
【００４０】
なお、本発明のシリンダ装置は、前述の実施例のみに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において構成の一部を適宜に変更して実施することができる。
【００４１】
例えば、図示を省略するが、実施例のアウターシリンダーのさらに外周に第３ピストンが嵌挿される第３シリンダ部を設け、該第３ピストンを助勢ピストンにより付勢する構成も可能である。むろん、第３シリンダ部にもプレフィル流出入口は接続される。
【００４２】
このように、本発明のシリンダ装置の構成は、実施例のインナーシリンダ部、アウターシリンダ部という２箇所のシリンダ部に限定されるものではなく、必要に応じて適宜のシリンダ部の数に拡張が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施例に係るシリンダ装置における加工部材の後退状態を示す縦断面図である。
【図２】図１のシリンダ装置における加工部材の中間状態を示す縦断面図である。
【図３】図１のシリンダ装置における加工部材の前進状態を示す縦断面図である。
【図４】シリンダ部材の部分拡大縦断面図である。
【図５】図１のシリンダ装置のＡ−Ａ線における横断面図である。
【図６】図１のシリンダ装置のＢ−Ｂ線における横断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  シリンダ装置
１０  載置側部材
２０  シリンダ部材
３０  インナーシリンダ部
３１  インナーピストン
３７  インナー加圧部材
４０  インナー助勢シリンダ部
４１  インナー助勢ピストン
４５  インナー助勢後側流出入口
５１  インナープレフィル流出入口
６０  アウターシリンダ部
６１  アウターピストン
６７  アウター加圧部材
７０  アウター助勢シリンダ部
７１  アウター助勢ピストン
７５  アウター助勢後側流出入口
８１  アウタープレフィル流出入口
Ｗ  被加工物
【図１】
2006130529.tif 000003
【図２】
2006130529.tif 000004
【図３】
2006130529.tif 000005
【図４】
2006130529.tif 000006
【図５】
2006130529.tif 000007
【図６】
2006130529.tif 000008