(57)【要約】【課題】  画素電極についての微細なパターニングを可能にし、しかもガスや水分の影響による特性変化や透過率の低下を防止した、画素電極とその形成方法、およびこの画素電極を備えた電気光学装置、電子機器を提供する。【解決手段】  基板Ｐ上にバンクＢ４を形成する工程と、バンクＢ４によって区画された領域に透明導電性微粒子を含有する第１機能液を液滴吐出法で配置する工程と、第１機能液を乾燥処理して第１層膜１９ｃとする工程と、第１層膜１９ｃ上に珪素化合物を含有する第２機能液を液滴吐出法で配置する工程と、第１層膜１９ｃと第２機能液とを一括焼成し、第１層膜１９ｃとこの膜中の空孔を埋める珪素酸化物とからなる透明導電層１９ａを形成するとともに、その上に珪素酸化物層１９ｂを形成し、透明導電層１９ａと珪素酸化物層１９ｂとが積層されてなる画素電極１９を形成する工程と、を備えている。【選択図】      図９
2006330418.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に画素電極を形成する方法であって、
基板上に前記画素電極の形成領域に対応したバンクを形成する工程と、
前記バンクによって区画された領域に透明導電性微粒子を含有する第１機能液を液滴吐出法で配置する工程と、
前記第１機能液を乾燥処理して第１層膜とする工程と、
前記第１層膜上に珪素化合物を含有する第２機能液を液滴吐出法で配置する工程と、
前記第１層膜と第２機能液とを一括焼成し、前記第１層膜と該第１層膜中の空孔を埋める珪素酸化物とからなる透明導電層を形成するとともに、該透明導電層上に珪素酸化物層を形成し、該透明導電層と珪素酸化物層とが積層されてなる画素電極を形成する工程と、を備えたことを特徴とする画素電極の形成方法。
【請求項２】
前記乾燥処理後に得られる第１層膜の厚さを４００ｎｍ以下とすることを特徴とする請求項１記載の画素電極の形成方法。
【請求項３】
前記珪素酸化物層の厚さを１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とすることを特徴とする請求項２記載の画素電極の形成方法。
【請求項４】
前記基板としてガラス製の基板を用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の画素電極の形成方法。
【請求項５】
基板上にバンクが形成され、前記バンクによって区画された領域に、透明導電性微粒子からなる第１層膜と該第１層膜中の空孔を埋める珪素酸化物とからなる透明導電層と、該透明導電層を覆って形成された珪素酸化物層と、が積層されて設けられてなることを特徴とする画素電極。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の形成方法によって得られた画素電極、または請求項５記載の画素電極を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項６記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に電気光学装置に用いられる透明の画素電極とその形成方法、およびこの画素電極を備えた電気光学装置、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等の電気光学装置では、表示側に画素電極を形成する場合、この画素電極中に光を透過させる必要上、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等からなる透明導電膜によって画素電極を形成している。このようなＩＴＯからなる透明導電膜を形成する場合、一般にはスパッタ法や蒸着法等の気相法が多く用いられている。
【０００３】
スパッタ法等の気相法では、成膜後パターニングを行う必要があることから、通常はフォトリソグラフィ法を用いてパターニングを行っている。しかし、フォトリソグラフィ法を用いたパターンニングは、成膜処理及びエッチング処理時に真空装置等の大掛かりな設備と複雑な工程を必要とし、また材料使用効率が数％程度とそのほとんどを廃棄せざるを得ず、製造コストが高いのみならず、生産性も低いといった問題があった。
【０００４】
このような背景から、液相法で透明導電膜を形成する技術が提供されている。例えば、ＩＴＯの微粒子を樹脂及び有機溶剤に分散させ、得られた分散液をデイップコート、スピンコート、フローティング、スクリーン、グラビア、オフセットなどの塗布法または印刷法で塗布し、さらに乾燥・焼成することにより、透明導電膜を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、特にＩＴＯの微粒子から得られる膜は空孔を有することから、ガスや水分の影響を受けて導電性（比抵抗）が変化してしまうのを防止するべく、空孔を埋めるために金属酸化物膜を形成し、ガスや水分の影響を受けにくくしている。
【特許文献１】特開平９−１９４２３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えば液晶表示装置のトランジスタ（例えばアモルファスシリコンからなるＴＦＴ）を形成した基板側に、前記の方法を用いて透明画素電極（透明導電膜）を形成しようとした場合、特に以下に示す課題がある。
デイップコートやスピンコート、フローティング等の塗布法では、ＩＴＯ微粒子と金属酸化物との混合膜が全面に形成されるため、微細なパターニング（エッチング処理）を行うことができない。すなわち、ＩＴＯ膜については通常塩酸系のエッチング液でウエットエッチングを行い、パターニングを行うのに対し、金属酸化物として例えば珪素酸化物については、フッ酸系のエッチング液でウエットエッチングし、パターニングすることから、これらの混合膜についてはこれを良好にエッチングし得るエッチング液がないからである。
【０００６】
また、スクリーン、グラビア、オフセット等の印刷法では、先にパターニングしたＩＴＯ膜上に、その側端面も良好に覆った状態に金属酸化物層を形成するのが困難である。したがって、このようにして透明電極（透明導電膜）を形成した場合、その側端面から吸湿が起こり、導電性（比抵抗）が変化してしまう。一方、側端面も良好に覆うべく、金属酸化物層を厚く形成することも考えられるが、その場合には、この金属酸化物層によって透明電極の表面抵抗が高くなってしまい、また、透過率も低下してしまう。
【０００７】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、画素電極についての微細なパターニングを可能にし、しかもガスや水分の影響による特性変化や透過率の低下を防止した、画素電極とその形成方法、およびこの画素電極を備えた電気光学装置、電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため本発明の画素電極の形成方法は、基板上に画素電極を形成する方法であって、
基板上に前記画素電極の形成領域に対応したバンクを形成する工程と、
前記バンクによって区画された領域に透明導電性微粒子を含有する第１機能液を液滴吐出法で配置する工程と、
前記第１機能液を乾燥処理して第１層膜とする工程と、
前記第１層膜上に珪素化合物を含有する第２機能液を液滴吐出法で配置する工程と、
前記第１層膜と第２機能液とを一括焼成し、前記第１層膜と該第１層膜中の空孔を埋める珪素酸化物とからなる透明導電層を形成するとともに、該透明導電層上に珪素酸化物層を形成し、該透明導電層と珪素酸化物層とが積層されてなる画素電極を形成する工程と、を備えたことを特徴としている。
【０００９】
この画素電極の形成方法によれば、バンクによって区画された領域に液滴吐出法で第１機能液、第２機能液を順次配置し、画素電極を形成するので、予めバンクを所望の画素電極パターンに対応して形成しておくことにより、例えば微細なパターンであってもこの画素電極を精度よくパターニングして形成することが可能になる。
また、バンク内に画素電極を形成するので、特にこの画素電極の側端面がバンクに覆われるようになり、したがって側端面からの吸湿による画素電極の導電性変化を、透過率の低下を伴うことなく抑えることが可能になる。
【００１０】
また、前記画素電極の形成方法においては、前記乾燥処理後に得られる第１層膜の厚さを４００ｎｍ以下とするのが好ましい。
このようにすれば、得られる画素電極の透明性をより良好に確保することができる。
【００１１】
また、前記画素電極の形成方法においては、前記珪素酸化物層の厚さを１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とするのが好ましい。
１０ｎｍ未満ではこの珪素酸化物層の平坦性が低下することから、透過率が低下するおそれがあり、１００ｎｍを越えると、この珪素酸化物層に容量が形成されてしまうおそれが生じてしまう。したがって、前記の範囲とすることで、画素電極の透過率低下を抑え、かつ容量の形成も防止することが可能になる。
【００１２】
また、前記画素電極の形成方法においては、前記基板としてガラス製の基板を用いるのが好ましい。
このようにすれば、特に透明導電層と珪素酸化物層とを積層することで画素電極を形成しているので、珪素酸化物層がガラスとほぼ同じ透過率を有することから、画素電極自体もガラスに近い透過率を有するようになる。したがって、画素電極とガラス製基板との間での屈折率が十分に小となることなどにより、特にこの画素電極を電気光学装置に用いた場合に、電気光学装置の表示性能を向上させることが可能になる。
【００１３】
本発明の画素電極は、基板上にバンクが形成され、前記バンクによって区画された領域に、透明導電性微粒子からなる第１層膜と該第１層膜中の空孔を埋める珪素酸化物とからなる透明導電層と、該透明導電層を覆って形成された珪素酸化物層と、が積層されて設けられてなることを特徴としている。
【００１４】
この画素電極によれば、バンクによって区画された領域に、透明導電層とこれを覆って形成された珪素酸化物層とが積層されて設けられているので、予めバンクを所望の画素電極パターンに対応して形成しておくことにより、例えば微細なパターンであってもこの画素電極が精度よくパターニングされたものとなる。
また、バンク内に透明導電層と珪素酸化物層とが形成されているので、これら各層の側端面がバンクに覆われるようになり、したがって特に側端面からの吸湿による透明導電層の導電性変化が、透過率の低下を伴うことなく抑えられる。
【００１５】
本発明の電気光学装置は、前記の形成方法によって得られた画素電極、または前記の画素電極を備えたことを特徴としている。
この電気光学装置によれば、画素電極の微細化が可能となっていることにより、表示の精細化が可能になる。また、透過率の低下を伴うことなく画素電極の導電性変化が抑えられているので、安定した表示が可能になる。
【００１６】
本発明の電子機器は、前記の電気光学装置を備えたことを特徴としている。
この電子機器によれば、その電気光学装置により、精細で安定した表示が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明を詳しく説明する。なお、参照する各図において、図面上で認識可能な大きさとするために縮尺は各層や各部材ごとに異なる場合がある。
（電気光学装置）
まず、本発明の電気光学装置の一実施形態について説明する。図１は、本発明の電気光学装置の一実施形態である液晶表示装置１００を示す等価回路図である。この液晶表示装置１００において、画像表示領域を構成するマトリクス状に配置された複数のドットには、画素電極１９と該画素電極１９を制御するためのスイッチング素子であるＴＦＴ６０とがそれぞれ形成されており、画像信号が供給されるデータ線（電極配線）１６が該ＴＦＴ６０のソースに電気的に接続されている。データ線１６に書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、この順で線順次に供給されるか、あるいは相隣接する複数のデータ線１６に対してグループ毎に供給される。また、走査線（電極配線）１８ａがＴＦＴ６０のゲートに電気的に接続されており、複数の走査線１８ａに対して走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍが所定のタイミングでパルス的に線順次で印加される。また、画素電極１９はＴＦＴ６０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ６０を一定期間だけオンすることにより、データ線１６から供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込む。
【００１８】
画素電極１９を介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、後述する共通電極との間で一定期間保持される。そして、この印加される電圧レベルに応じて液晶の分子集合の配向や秩序が変化するのを利用して光を変調し、任意の階調表示を可能にしている。また各ドットには、液晶に書き込まれた画像信号がリークするのを防止するために、画素電極１９と共通電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量７０が付加されている。符号１８ｂはこの蓄積容量７０の一側の電極に接続された容量線である。
【００１９】
次に、図２は、液晶表示装置１００の全体構成図である。液晶表示装置１００は、ＴＦＴアレイ基板１０と、対向基板２５とが、平面視略矩形枠状のシール材５２を介して貼り合わされた構成を備えており、前記両基板１０，２５の間に挟持された液晶が、シール材５２によって前記基板間に封入されたものとなっている。なお、図２では、対向基板２５の外周端が、シール材５２の外周端に平面視で一致するように表示している。
【００２０】
シール材５２の内側の領域には、遮光性材料からなる遮光膜（周辺見切り）５３が矩形枠状に形成されている。シール材５２の外側の周辺回路領域には、データ線駆動回路２０１と実装端子２０２とがＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って配設されており、この一辺と隣接する２辺に沿ってそれぞれ走査線駆動回路１０４，１０４が設けられている。ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺には、前記走査線駆動回路１０４，１０４間を接続する複数の配線１０５が形成されている。また、対向基板２５の角部には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２５との間で電気的導通をとるための複数の基板間導通材１０６が配設されている。
【００２１】
次に、図３は、液晶表示装置１００の画素構成を説明するための図であって、平面構成を模式的に示した図である。図３に示すように、液晶表示装置１００の表示領域には、複数の走査線１８ａが一方向に延在しており、これらの走査線１８ａに交差する方向に複数のデータ線１６が延在している。図３において、走査線１８ａとデータ線１６とに囲まれた平面視矩形状の領域がドット領域である。１つのドット領域に対応して３原色のうち１色のカラーフィルタが形成され、図示した３つのドット領域で３色の着色部２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂを有する１つの画素領域を形成している。これらの着色部２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂは、液晶表示装置１００の表示領域内に周期的に配列されている。
【００２２】
図３に示す各ドット領域内には、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等の透光性の導電膜からなる平面視略矩形状の画素電極１９が設けられており、画素電極１９と、走査線１８ａ、データ線１６との間に、ＴＦＴ６０が配設されている。ＴＦＴ６０は、半導体層３３と、半導体層３３の下層側（基板側）に設けられたゲート電極層８０と、半導体層３３の上層側に設けられたソース電極３４と、ドレイン電極３５とを備えて構成されている。半導体層３３とゲート電極層８０とが対向する領域には、ＴＦＴ６０のチャネル領域が形成されており、その両側の半導体層には、ソース領域、及びドレイン領域が形成されている。
【００２３】
ゲート電極層８０は、走査線１８ａの一部をデータ線１６の延在方向に分岐して形成されており、その先端部において、半導体層３３と図示略の絶縁膜（ゲート絶縁膜）を介して紙面垂直方向で対向している。ソース電極３４は、データ線１６の一部を走査線１８ａの延在方向に分岐して形成されており、半導体層３３（ソース領域）と電気的に接続されている。ドレイン電極３５の一端（図示左端）側は、前記半導体層３３（ドレイン領域）と電気的に接続されており、ドレイン電極３５の他端（図示右端）側は画素電極１９と電気的に接続されている。
前記構成のもとＴＦＴ６０は、走査線１８ａを介して入力されるゲート信号により所定期間だけオン状態とされることで、データ線１６を介して供給される画像信号を、所定のタイミングで液晶に対して書き込むスイッチング素子として機能するようになっている。
【００２４】
図４は、図３のＢ−Ｂ’線に沿うＴＦＴアレイ基板１０の要部断面構成図である。図４に示すようにＴＦＴアレイ基板１０は、ＴＦＴ６０をガラス製の基板Ｐの内面側（図示上面側）に形成し、さらに本発明の画素電極１９を形成して構成されたものである。基板Ｐ上には、一部が開口された第１バンクＢ１が形成され、このバンクＢ１の開口部には、ゲート電極層８０とこれを覆うキャップ層８１とが埋設されている。ゲート電極層８０は、ガラス基板Ｐ上に、Ａｇ，Ｃｕ，Ａｌ等の金属材料が設けられて形成されたものである。キャップ層８１は、前記ゲート電極層８０を覆ってこれを構成する金属の拡散を防止するもので、Ｎｉ，Ｔｉ，Ｗ，Ｍｎ等の金属材料が、前記ゲート電極層８０に積層されることで形成されたものである。
【００２５】
第１バンクＢ１上には第２バンクＢ２が形成されており、この第２バンクＢ２には、前記ゲート電極層８０及びキャップ層８１を含む領域を露出させる開口が形成されている。この開口内には、酸化シリコンや窒化シリコン等からなるゲート絶縁膜８３が形成されており、このゲート絶縁膜８３上であってゲート電極層８０と平面的に重なる位置に半導体層３３が形成されている。半導体層３３は、アモルファスシリコン層８４と、このアモルファスシリコン層８４上に積層されたＮ＋シリコン層８５とからなる。Ｎ＋シリコン層８５は、アモルファスシリコン層８４上で平面的に離間された２つの部位に分割されており、一方のＮ＋シリコン層８５は、ゲート絶縁膜８３上と該Ｎ＋シリコン層８５上とに跨って形成されたソース電極３４と電気的に接続され、他方のＮ＋シリコン層８５は、ゲート絶縁膜８３上と該Ｎ＋シリコン層８５とに跨って形成されたドレイン電極３５と電気的に接続されている。
【００２６】
ソース電極３４とドレイン電極３５とは、第２バンクＢ２の前記開口内に形成された第３バンクＢ３によって分離されたもので、後述するように第２バンクＢ２と第３バンクＢ３とに区画された領域内に、後述するように液滴吐出法で形成されたものである。また、ソース電極３４及びドレイン電極３５上には、前記の開口内を埋めるように絶縁材料８６が配置されている。さらに、第２バンクＢ２及び絶縁材料８６上には、第４バンクＢ４に区画された領域内に画素電極１９が形成されている。この画素電極１９は、本発明の画素電極の一実施形態となるもので、透明導電層１９ａと、該透明導電層１９ａを覆って形成された珪素酸化物層１９ｂとからなるものである。透明導電層１９ａは、後述するように透明導電性微粒子からなる第１層膜と、該第１層膜中の空孔を埋める珪素酸化物とから形成されている。また、このような構成からなる画素電極１９は、前記絶縁材料８６に形成されたコンタクトホール８７を介してドレイン電極３５に導通させられている。そして、このような構成のもとにＴＦＴ６０が形成されている。
【００２７】
なお、図３に示したように、データ線１６とソース電極３４、及び走査線１８ａとゲート電極層８０とは、それぞれ一体に形成されているので、データ線１６はソース電極３４と同様に絶縁材料８６で覆われた構造となっており、走査線１８ａはゲート電極層８０と同様にキャップ層８１に覆われた構造となっている。
【００２８】
また、実際には、画素電極１９、及び第４バンクＢ４の表面上には、液晶の初期配向状態を制御するための配向膜が形成されており、ガラス基板Ｐの外面側には、液晶層に入射する光の偏光状態を制御するための位相差板や偏光板が設けられている。さらに、ＴＦＴアレイ基板１０の外側（パネル背面側）には、透過型ないし半透過反射型の液晶表示装置の場合の照明手段として用いられるバックライトが設けられている。
【００２９】
対向基板２５については、詳細な図示は省略するが、ガラス基板Ｐと同様の基板の内面（ＴＦＴアレイ基板との対向面）側に、図３に示した着色部２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂを配列形成してなるカラーフィルタ層と、平面ベタ状の透光性導電膜からなる対向電極とを積層した構成を備えている。また、前記対向電極上にＴＦＴアレイ基板と同様の配向膜が形成されており、基板外面側には、必要に応じて位相差板や偏光板が配設されたものとなっている。
【００３０】
また、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２５との間に封止された液晶層は、主として液晶分子で構成されている。この液晶層を構成する液晶分子としては、ネマチック液晶、スメクチック液晶など配向し得るものであればいかなる液晶分子を用いても構わないが、ＴＮ型液晶パネルの場合、ネマチック液晶を形成させるものが好ましく、例えば、フェニルシクロヘキサン誘導体液晶、ビフェニル誘導体液晶、ビフェニルシクロヘキサン誘導体液晶、テルフェニル誘導体液晶、フェニルエーテル誘導体液晶、フェニルエステル誘導体液晶、ビシクロヘキサン誘導体液晶、アゾメチン誘導体液晶、アゾキシ誘導体液晶、ピリミジン誘導体液晶、ジオキサン誘導体液晶、キュバン誘導体液晶等が挙げられる。
【００３１】
以上の構成を備えた本実施形態の液晶表示装置１００は、バックライトから入射した光を、電圧印加により配向状態を制御された液晶層で変調することで、任意の階調表示を行えるようになっている。また各ドットに着色部２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂが設けられているので、各画素毎に３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の色光を混色して任意のカラー表示を行えるようになっている。  
【００３２】
（薄膜トランジスタの製造方法）
次に、前記ＴＦＴ６０の製造方法を基に、本発明の画素電極の製造方法の一実施形態を説明する。前記ＴＦＴ６０においては、ゲート電極層８０、ソース電極３４、ドレイン電極３５、画素電極１９を、バンクを用いた液滴吐出法でパターン形成している。
【００３３】
［液滴吐出装置］
まず、本実施形態の製造方法において用いられる、液滴吐出装置について説明する。本製造方法では、液滴吐出装置に備えられた液滴吐出ヘッドのノズルから、導電性微粒子や他の機能材料を含むインク（機能液）を液滴状に吐出し、薄膜トランジスタを構成する各構成要素を形成するものとしている。本実施形態で用いる液滴吐出装置としては、図５に示した構成のものを採用することができる。
【００３４】
図５（ａ）は、本実施形態で用いる液滴吐出装置ＩＪの概略構成を示す斜視図である。
液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド３０１と、Ｘ軸方向駆動軸３０４と、Ｙ軸方向ガイド軸３０５と、制御装置ＣＯＮＴと、ステージ３０７と、クリーニング機構３０８と、基台３０９と、ヒータ３１５とを備えている。
ステージ３０７は、この液滴吐出装置ＩＪによりインク（機能液）を設けられる基板Ｐを支持するものであって、基板Ｐを基準位置に固定する不図示の固定機構を備えている。
【００３５】
液滴吐出ヘッド３０１は、複数の吐出ノズルを備えたマルチノズルタイプの液滴吐出ヘッドであり、長手方向とＹ軸方向とを一致させている。複数の吐出ノズルは、液滴吐出ヘッド３０１の下面にＹ軸方向に並んで一定間隔で設けられている。液滴吐出ヘッド３０１の吐出ノズルからは、ステージ３０７に支持されている基板Ｐに対して、前述したインク（機能液）が吐出されるようになっている。
【００３６】
Ｘ軸方向駆動軸３０４には、Ｘ軸方向駆動モータ３０２が接続されている。Ｘ軸方向駆動モータ３０２はステッピングモータ等であり、制御装置ＣＯＮＴからＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ軸方向駆動軸３０４を回転させる。Ｘ軸方向駆動軸３０４が回転すると、液滴吐出ヘッド３０１はＸ軸方向に移動する。
Ｙ軸方向ガイド軸３０５は、基台３０９に対して動かないように固定されている。ステージ３０７は、Ｙ軸方向駆動モータ３０３を備えている。Ｙ軸方向駆動モータ３０３はステッピングモータ等であり、制御装置ＣＯＮＴからＹ軸方向の駆動信号が供給されると、ステージ３０７をＹ軸方向に移動する。
【００３７】
制御装置ＣＯＮＴは、液滴吐出ヘッド３０１に液滴の吐出制御用の電圧を供給する。また、Ｘ軸方向駆動モータ３０２に液滴吐出ヘッド３０１のＸ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を、Ｙ軸方向駆動モータ３０３にステージ３０７のＹ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を供給する。
【００３８】
クリーニング機構３０８は、液滴吐出ヘッド３０１をクリーニングするものである。クリーニング機構３０８には、図示しないＹ軸方向の駆動モータが備えられている。このＹ軸方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構は、Ｙ軸方向ガイド軸３０５に沿って移動する。クリーニング機構３０８の移動も、制御装置ＣＯＮＴによって制御されるようになっている。
ヒータ３１５は、ここではランプアニールにより基板Ｐを熱処理する手段であり、基板Ｐ上に塗布された液体材料に含まれる溶媒の蒸発及び乾燥を行う。このヒータ３１５の電源の投入及び遮断も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
【００３９】
液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド３０１と基板Ｐを支持するステージ３０７とを相対的に走査しつつ基板Ｐに対して液滴を吐出する。ここで、以下の説明において、Ｘ軸方向を走査方向、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向を非走査方向とする。したがって、液滴吐出ヘッド３０１の吐出ノズルは、非走査方向であるＹ軸方向に一定間隔で並んで設けられている。なお、図５（ａ）では、液滴吐出ヘッド３０１は、基板Ｐの進行方向に対し直角に配置されているが、液滴吐出ヘッド３０１の角度を調整し、基板Ｐの進行方向に対して交差させるようにしてもよい。このようにすれば、液滴吐出ヘッド３０１の角度を調整することで、ノズル間のピッチを調節することができる。また、基板Ｐとノズル面との距離を任意に調節できるようにしてもよい。
【００４０】
図５（ｂ）は、ピエゾ方式によるインクの吐出原理を説明するための液滴吐出ヘッドの概略構成図である。
図５（ｂ）において、インク（機能液）を収容する液体室３２１に隣接してピエゾ素子３２２が設置されている。液体室３２１には、インクを収容する材料タンクを含むインク供給系３２３を介してインクが供給される。ピエゾ素子３２２は駆動回路３２４に接続されており、この駆動回路３２４を介してピエゾ素子３２２に電圧を印加し、ピエゾ素子３２２を変形させて液体室３２１を弾性変形させる。そして、この弾性変形時の内容積の変化によってノズル３２５から液体材料が吐出されるようになっている。
この場合、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子３２２の歪み量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子３２２の歪み速度を制御することができる。ピエゾ方式による液滴吐出は材料に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えにくいという利点を有する。
【００４１】
［インク（機能液）］
ここで、本実施形態の製造方法において、前記ゲート電極層８０、ソース電極３４、ドレイン電極３５等の導電パターンの形成に用いられる、インク（機能液）について説明する。
本実施形態で用いられる導電パターン用のインク（機能液）は、導電性微粒子を分散媒に分散させた分散液、若しくはその前駆体からなるものである。導電性微粒子として、例えば金、銀、銅、パラジウム、アルミニウム、チタン、タングステン、マンガン、ニオブ及びニッケル等を含有する金属微粒子の他、これらの前駆体、合金、酸化物、並びに導電性ポリマーやインジウム錫酸化物等の透明導電性微粒子などが用いられる。
【００４２】
特に、後述する画素電極１９のような透明導電膜を形成する場合には、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）やインジウム亜鉛酸化物、またはインジウム、錫、亜鉛等の酸化物からなる透明導電性微粒子が用いられる。
これらの導電性微粒子（透明導電性微粒子を含む）は、分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ〜０．１μｍ程度であることが好ましい。０．１μｍより大きいと、液体吐出ヘッド３０１のノズルに目詰まりが生じるおそれがあるだけでなく、得られる膜の緻密性が悪化する可能性がある。また、１ｎｍより小さいと、導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
【００４３】
分散媒としては、前記の導電性微粒子を分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法（インクジェット法）への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。
【００４４】
前記導電性微粒子の分散液の表面張力は０．０２Ｎ／ｍ〜０．０７Ｎ／ｍの範囲内であることが好ましい。インクジェット法にて液体を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、インク組成物のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えるとノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や、吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、前記分散液には、基板との接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、液体の基板への濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。前記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。
【００４５】
前記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ〜５０ｍＰａ・ｓであることが好ましい。インクジェット法を用いて液体材料を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合にはノズル周辺部がインクの流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、ノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となるだけでなく、液滴の吐出量が減少する。
【００４６】
また、第１バンクＢ１、第２バンクＢ２、第３バンクＢ３、第４バンクＢ４の形成には、特に限定されることはないものの、その形成材料についてはポリシラザン液が好適に用いられる。このポリシラザン液は、ポリシラザンを主成分とするもので、例えばポリシラザンと光酸発生剤とを含む感光性ポリシラザン液が用いられる。この感光性ポリシラザン液は、ポジ型レジストとして機能するようになるもので、露光処理と現像処理とによって直接パターニングすることができるものである。なお、このような感光性ポリシラザンとしては、例えば特開２００２−７２５０４号公報に記載された感光性ポリシラザンを例示することができる。また、この感光性ポリシラザン中に含有される光酸発生剤についても、特開２００２−７２５０４号公報に記載されたものが用いられる。
【００４７】
このようなポリシラザンは、例えばポリシラザンが以下の化学式（１）に示すポリメチルシラザンである場合、後述するように加湿処理を行うことで化学式（２）または化学式（３）に示すように一部加水分解し、さらに３５００℃未満の加熱処理を行うことにより、化学式（４）〜化学式（６）に示すように縮合してポリメチルシロキサン［−（ＳｉＣＨ３Ｏ１．５）ｎ−］となる。また、化学式では示さないものの、３５０℃以上の加熱処理を行うと、側鎖のメチル基の脱離が起こり、特に４００℃から４５０℃で加熱処理を行うと、側鎖のメチル基がほぼ脱離してポリシロキサンとなる。なお、化学式（２）〜化学式（６）においては、反応機構を説明するため、化学式を簡略化して化合物中の基本構成単位（繰り返し単位）のみを示している。
【００４８】
このようにして形成されるポリメチルシロキサンまたはポリシロキサンは、無機質であるポリシロキサンを骨格としているので、例えば液滴吐出法で配置され、さらに焼成されて形成された金属層に比べ、十分に緻密性を有するものとなる。したがって、形成される層（膜）表面の平坦性についても、良好なものとなる。また、熱処理に対して高い耐性を有することから、バンク材料としても好適なものとなる。
・化学式（１）；−（ＳｉＣＨ３（ＮＨ）１．５）ｎ−
・化学式（２）；ＳｉＣＨ３（ＮＨ）１．５＋Ｈ２Ｏ  
→ＳｉＣＨ３（ＮＨ）（ＯＨ）＋０．５ＮＨ３
・化学式（３）；ＳｉＣＨ３（ＮＨ）１．５＋２Ｈ２Ｏ
→ＳｉＣＨ３（ＮＨ）０．５（ＯＨ）２＋ＮＨ３
・化学式（４）；ＳｉＣＨ３（ＮＨ）（ＯＨ）＋ＳｉＣＨ３（ＮＨ）（ＯＨ）＋Ｈ２Ｏ
→２ＳｉＣＨ３Ｏ１．５＋２ＮＨ３ 
・化学式（５）；ＳｉＣＨ３（ＮＨ）（ＯＨ）＋ＳｉＣＨ３（ＮＨ）０．５（ＯＨ）２
→２ＳｉＣＨ３Ｏ１．５＋１．５ＮＨ３
・化学式（６）；ＳｉＣＨ３（ＮＨ）０．５（ＯＨ）２＋ＳｉＣＨ３（ＮＨ）０．５（ＯＨ）２
→２ＳｉＣＨ３Ｏ１．５＋ＮＨ３＋Ｈ２Ｏ
【００４９】
なお、本発明においては、第１バンクＢ１、第２バンクＢ２、第３バンクＢ３、第４バンクＢ４の形成材料として、前記のポリシラザン液を必ずしも用いる必要はなく、従来公知の有機レジストを用いるようにしてもよい。また、各バンクのうちの一部をポリシラザン液によって形成し、残部を有機レジストによって形成する、といったように、形成材料をバンク毎に使い分けてもよい。
【００５０】
［ＴＦＴアレイ基板の製造方法］
以下、ＴＦＴ６０の製造方法を含む、ＴＦＴアレイ基板１０の各製造工程について、図６から図９を参照して説明する。なお、図６から図９は、本実施形態の形成方法における一連の工程を示す断面工程図である。
【００５１】
＜電極形成工程＞
図６の各図に示すように、基体として無アルカリガラス等からなるガラス基板Ｐを用意し、その一面側に第１バンクＢ１を形成した後、この第１バンクＢ１に形成した開口部３０に対し、所定のインク（機能液）を滴下することで、開口部３０内にゲート電極層８０を形成する。このゲート電極層形成工程は、バンク形成工程と、撥液化処理工程と、第１電極層形成工程と、第２電極層形成工程と、焼成工程と、を含むものとなっている。
【００５２】
｛第１バンク形成工程｝
まず、ゲート電極層８０（及び走査線１８ａ）をガラス基板上に所定パターンで形成するために、図６（ａ）に示すように、ガラス基板Ｐ上に所定パターンの開口部３０を有する第１バンクＢ１を形成する。この第１バンクＢ１は、基板面を平面的に区画する仕切部材であり、このバンクの形成にはフォトリソグラフィ法や印刷法等、任意の方法を用いることができる。例えば、フォトリソグラフィ法を使用する場合は、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等所定の方法で、ガラス基板Ｐ上に形成するバンクの高さに合わせてアクリル樹脂等の有機系感光性材料を塗布して感光性材料層を形成する。そして、形成したいバンク形状に合わせて感光性材料層に対して紫外線を照射することで、ゲート電極層用の開口部３０を備えた第１バンクＢ１を形成する。
【００５３】
また、この第１バンクＢ１については、前記の感光性ポリシラザン液を用い、これをスピンコート法等で塗布した後、露光・現像処理し、さらに焼成処理を行うことで形成してもよい。さらには、ポリシラザン液を液滴吐出法によって選択的に配し、さらに焼成処理を行うことにより、直接バンク形状にパターニングしてもよい。
【００５４】
｛撥液化処理工程｝
次に、第１バンクＢ１に対して撥液化処理を行い、その表面に撥液性を付与する。撥液化処理としては、例えば大気雰囲気中でテトラフルオロメタンを処理ガスとするプラズマ処理法（ＣＦ４プラズマ処理法）を採用することができる。ＣＦ４プラズマ処理の条件は、例えばプラズマパワーが５０ｋＷ〜１０００ｋＷ、４フッ化メタンガス流量が５０ｍｌ／ｍｉｎ〜１００ｍｌ／ｍｉｎ、プラズマ放電電極に対する基板搬送速度が０．５ｍｍ／ｓｅｃ〜１０２０ｍｍ／ｓｅｃ、基板温度が７０℃〜９０℃である。なお、処理ガスとしては、テトラフルオロメタン（四フッ化炭素）に限らず、他のフルオロカーボン系のガスを用いることもできる。
このような撥液化処理を行うことにより、第１バンクＢ１には、これを構成するアルキル基などにフッ素基が導入され、高い撥液性が付与される。
【００５５】
また、前記撥液化処理に先立って、開口部３０の底面に露出されたガラス基板Ｐの表面を清浄化する目的で、Ｏ２プラズマを用いたアッシング処理やＵＶ（紫外線）照射処理を行っておくことが好ましい。この処理を行うことで、ガラス基板Ｐ表面のバンクの残渣を除去することができ、撥液化処理後の第１バンクＢ１に対する接触角と該基板表面に対する接触角との差を大きくすることができ、後段の工程で開口部３０内に配される液滴を正確に開口部３０の内側に閉じ込めることができる。また、第１バンクＢ１がアクリル樹脂やポリイミド樹脂からなるものである場合、ＣＦ４プラズマ処理に先立って第１バンクＢ１をＯ２プラズマに曝しておくと、よりフッ素化（撥液化）されやすくなるという性質があるので、第１バンクＢ１をこれらの樹脂材料で形成している場合には、ＣＦ４プラズマ処理に先立ってＯ２アッシング処理を施すことが好ましい。
【００５６】
前記Ｏ２アッシング処理は、具体的には、基板Ｐに対しプラズマ放電電極からプラズマ状態の酸素を照射することで行う。処理条件としては、例えばプラズマパワーが５０Ｗ〜１０００Ｗ、酸素ガス流量が５０ｍｌ／ｍｉｎ〜１００ｍｌ／ｍｉｎ、プラズマ放電電極に対する基板Ｐの板搬送速度が０．５１０ｍｍ／ｓｅｃ〜１０ｍｍ／ｓｅｃ、基板温度が７０℃〜９０℃である。
【００５７】
なお、第１バンクＢ１に対する撥液化処理（ＣＦ４プラズマ処理）は、先の残渣処理で親液化された基板Ｐ表面に対して多少は影響があるものの、特に基板Ｐがガラス等からなる場合には、撥液化処理によるフッ素基の導入が起こりにくいため、基板Ｐの親液性、すなわち濡れ性が実質上損なわれることはない。また、第１バンクＢ１については、撥液性を有する材料（例えばフッ素基を有する樹脂材料）によって形成することにより、その撥液処理を省略するようにしてもよい。
【００５８】
｛ゲート電極層形成工程｝
次に、開口部３０に対して、液滴吐出装置ＩＪの液滴吐出ヘッド３０１からゲート電極層形成用インク（図示せず）を滴下する。ここでは、導電性微粒子としてＡｇ（銀）を用い、溶媒（分散媒）としてジエチレングリコールジエチルエールを用いたインクを吐出配置する。このとき、第１バンクＢ１の表面には撥液性が付与されており、開口部３０の底面部の基板表面には親液性が付与されているので、吐出された液滴の一部が第１バンクＢ１に載っても、バンク表面で弾かれて開口部３０内に滑り込むようになっている。
【００５９】
次いで、電極形成用インクからなる液滴を吐出した後、分散媒の除去のため、必要に応じて乾燥処理を行う。乾燥処理は、例えば基板Ｐを加熱する通常のホットプレート、電気炉などによる加熱処理によって行うことができる。本実施形態では、例えば１８０℃で６０分間程度の加熱を行う。この加熱は窒素ガス雰囲気下など、必ずしも大気中で行う必要はない。
【００６０】
また、この乾燥処理は、ランプアニールによって行うこともできる。ランプアニールに使用する光の光源としては、特に限定されないが、赤外線ランプ、キセノンランプ、ＹＡＧレーザ、アルゴンレーザ、炭酸ガスレーザ、ＸｅＦ、ＸｅＣｌ、ＸｅＢｒ、ＫｒＦ、ＫｒＣｌ、ＡｒＦ、ＡｒＣｌなどのエキシマレーザなどを光源として使用することができる。これらの光源は一般には、出力１０Ｗ〜５０００Ｗの範囲のものが用いられるが、本実施形態では１００Ｗ〜１０００Ｗの範囲で十分である。この中間乾燥工程を行うことにより、図６（ｂ）に示すように、固体のゲート電極層８０が形成される。
【００６１】
｛キャップ層形成工程｝
次に、液滴吐出装置による液滴吐出法を用いて、キャップ層形成用インク（図示せず）を、第１バンクＢ１の開口部３０に配置する。ここでは、導電性微粒子としてＮｉ（ニッケル）を用い、溶媒（分散媒）として水およびジエタノールアミンを用いたインク（液体材料）を吐出配置する。このとき、第１バンクＢ１の表面には撥液性が付与されているので、吐出された液滴の一部が第１バンクＢ１に載っても、バンク表面で弾かれて開口部３０内に滑り込むようになっている。ただし、開口部３０の内部に先に形成されている第１電極層８０ａの表面は、本工程で滴下するインクに対して高い親和性を有しているとは限らないため、インクの滴下に先立って、ゲート電極層８０上にインクの濡れ性を改善するための中間層を形成してもよい。この中間層は、インクを構成する分散媒の種類に応じて適宜選択されるが、本実施形態のようにインクが水系の分散媒を用いている場合には、例えば酸化チタンからなる中間層を形成しておけば、中間層表面で極めて良好な濡れ性が得られる。
【００６２】
液滴を吐出した後、分散媒の除去のため、必要に応じて乾燥処理をする。乾燥処理は、例えば基板Ｐを加熱する通常のホットプレート、電気炉などによる加熱処理によって行うことができる。処理条件は、例えば加熱温度１８０℃、加熱時間６０分間程度である。この加熱についても、窒素ガス雰囲気下など、必ずしも大気中で行う必要はない。
【００６３】
また、この乾燥処理は、ランプアニールによって行うこともできる。ランプアニールに使用する光の光源としては、先の第１電極層形成工程後の中間乾燥工程で挙げたものを用いることができる。また加熱時の出力も同様に１００Ｗ〜１０００Ｗの範囲とすることができる。この中間乾燥工程を行うことにより、図６（ｃ）に示すように、ゲート電極層８０上に固体のキャップ層８１が形成される。
【００６４】
｛焼成工程｝
吐出工程後の乾燥膜については、導電性微粒子間の電気的接触を向上させるため、分散媒を完全に除去する必要がある。また、液中での分散性を向上させるために有機物などのコーティング剤が導電性微粒子の表面にコーティングされている場合には、このコーティング剤も除去する必要がある。そのため、吐出工程後の基板には熱処理及び／又は光処理を施す。
【００６５】
この熱処理及び／又は光処理は通常大気中で行うが、必要に応じて、窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガス雰囲気中で行うこともできる。熱処理及び／又は光処理の処理温度は、分散媒の沸点（蒸気圧）、雰囲気ガスの種類や圧力、微粒子の分散性や酸化性等の熱的挙動、コーティング剤の有無や量、基材の耐熱温度などを考慮して適宜決定されるが、係る構成でも、前記第１電極層８０ａ及び第２電極層８０ｂが先に挙げた材料を用いて形成されているので、２５０℃以下の焼成温度とすることができる。
【００６６】
ただし、本工程では、基板Ｐ上にまだ半導体層を形成していないので、第１バンクＢ１の耐熱温度の範囲内で焼成温度を高めることができ、例えば２５０℃以上、あるいは３００℃程度の焼成温度とすることで、さらに良好な導電性を具備した金属配線を形成することができる。具体的には、前述したようにポリシラザン液を用いて、ポリシロキサンを骨格とする無機質層からなる第１バンクＢ１を形成した場合には、焼成温度を２５０℃以上とすることができる。
以上の工程により、吐出工程後の乾燥膜は微粒子間の電気的接触が確保されて導電性膜に変換され、図６（ｃ）に示したように、ゲート電極層８０とキャップ層８１とが積層されてなる導電パターン８２が形成される。また、図３に示したように、ゲート電極層８０と一体の走査線１８ａも前記工程によってガラス基板Ｐ上に形成される。
【００６７】
なお、前記各工程では、Ａｇからなるゲート電極層８０ａと、Ｎｉからなるキャップ層８０ｂとを形成し、これらゲート電極層８０とキャップ層８１との積層体によって導電パターン８２を形成しているが、ゲート電極層８０については、Ａｇ以外の金属、例えばＣｕやＡｌ、あるいはこれらの金属を主成分とする合金で形成してもよい。また、キャップ層８１についても、Ｎｉ以外の金属、例えばＴｉやＷ、Ｍｎ、あるいはこれらの金属を主成分とする合金で形成してもよい。さらに、第１層目に密着層として機能するＭｎやＴｉ、Ｗ等を形成し、第２層目に、主導電層として機能するＡｇやＣｕ、Ａｌ等を形成してもよい。また、電極層を三層以上積層してゲート電極として機能する導電パターン８２を形成してもよく、もちろん、単一の電極層によって導電パターン８２を形成してもよい。
【００６８】
＜第２バンクの形成工程＞
次に、前記第１バンクＢ１上の所定位置に、液滴吐出ヘッド３０１から前記インク（ポリシラザン液）を吐出し配置する。なお、ポリシラザン液からなるインクとしては、前述したポリシラザンを主成分とするものが用いられる。また、第１バンクＢ１上の所定位置とは、ソース電極３４及びドレイン電極３５を形成するための領域を区画する位置であり、第２バンクＢ２を形成するための領域である。ここで、前記所定位置へのポリシラザン液の吐出については、液滴吐出ヘッド３０１を用いた液滴吐出法で行うことから、一連の処理で所望位置に選択的に塗布することができる。
【００６９】
このようにして、第１バンクＢ１上にポリシラザン液を配したら、得られたポリシラザン薄膜を、必要に応じ例えばホットプレート上にて１１０℃で１分程度プレベークする。
次いで、例えば３００℃で６０分程度焼成処理を行うことにより、図６（ｄ）に示すように第２バンクＢ２を形成する。ここで、インクとしてのポリシラザン液として、前述した、ポリシラザンと光酸発生剤とを含む感光性ポリシラザン液を用いた場合には、焼成処理に先立ち、全面露光処理及び加湿処理を行うようにしてもよい。このような処理を行うことで、前記化学式（１）で示したようなポリシラザンから、化学式（４）〜（６）に示したようなポリメチルシロキサンに容易に変化させることが可能となる。そして、このようにして形成された第２バンクＢ２は、無機質であるポリシロキサンを骨格とすることにより、例えば有機材料からなるバンクに比べ、耐熱性が格段に優れたものとなる。
【００７０】
＜ゲート絶縁膜形成工程＞
次に、図７（ａ）に示すように前記第２バンクＢ２に区画された領域内に、窒化珪素からなるゲート絶縁膜８３を形成する。このゲート絶縁膜８３は、例えばプラズマＣＶＤ法により全面成膜した後、フォトリソグラフィ法により適宜パターニングすることで形成することができる。ＣＶＤ工程において用いる原料ガスとしては、モノシランと一酸化二窒素との混合ガスや、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン、Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）４）と酸素、ジシランとアンモニア等が好適で、形成するゲート絶縁膜８３の膜厚は１５０ｎｍ〜４００ｎｍ程度である。なお、成膜した窒化珪素についてのパターニングは、必ずしも行う必要はなく、第２バンクＢ２上にも窒化珪素膜が形成された状態のままであってもよい。
【００７１】
＜半導体層形成工程＞
次に、図７（ｂ）に示す半導体層３３をゲート絶縁膜８３上に形成する。この半導体層３３は、ゲート絶縁膜８３を形成した基板Ｐの全面に、１５０ｎｍ〜２５０ｎｍ程度の膜厚のアモルファスシリコン膜と、膜厚５０ｎｍ〜１００ｎｍ程度のＮ＋シリコン膜とをプラズマＣＶＤ法等により積層形成し、フォトリソグラフィ法により所定形状にパターニングすることで得られる。アモルファスシリコン膜の形成工程で用いる原料ガスとしては、ジシランやモノシランが好適である。続くＮ＋シリコン膜の形成工程では、前記アモルファスシリコン膜の形成で用いた成膜装置に、Ｎ＋シリコン層形成用の原料ガスを導入して成膜を行うことができる。
【００７２】
その後、前記アモルファスシリコン膜およびＮ＋シリコン膜を、フォトリソグラフィ法により図７（ｂ）に示した形状にパターニングすることで、ゲート絶縁膜８３上に所定平面形状のアモルファスシリコン層８４とＮ＋シリコン層８５とが積層された半導体層３３が得られる。パターニングに際しては、Ｎ＋シリコン膜の表面に、図示の半導体層３３の側断面形状と同様の略凹形のレジストを選択配置し、係るレジストをマスクにしてエッチングを行う。このようなパターニング法によりゲート電極層８０と平面的に重なる領域にてＮ＋シリコン層８５が選択的に除去されて２つの領域に分割され、これらのＮ＋シリコン層８５、８５が、それぞれソースコンタクト領域及びドレインコンタクト領域を形成する。
【００７３】
次に、図８（ａ）に示すように、前記の２つの領域に分割されたＮ＋シリコン層８５、８５間上に絶縁材料からなる第３バンクＢ３を形成し、これらＮ＋シリコン層８５、８５間を電気的にも分離する。この第３バンクＢ３についても、前記第２バンクＢ２と同様に、液滴吐出ヘッド３０１からポリシラザン液（インク）を選択的に吐出配置し、さらに乾燥・焼成処理を行うことで形成する。このようにして形成された第３バンクＢ３は、前記第２バンクＢ２とともに、ソース電極３４の形成領域、ドレイン電極３５の形成領域を区画するものとなる。
【００７４】
＜電極形成工程＞
次いで、半導体層３３が形成されたガラス基板Ｐ上に、図４に示したソース電極３４及びドレイン電極３５を形成する。
｛撥液化処理工程｝
まず、前記の第２バンクＢ２、第３バンクＢ３に対して撥液化処理を行い、その表面に撥液性を付与する。撥液化処理としては、例えば大気雰囲気中でテトラフルオロメタンを処理ガスとするプラズマ処理法（ＣＦ４プラズマ処理法）を採用することができる。
【００７５】
｛電極膜形成工程｝
次に、図４に示したソース電極３４、ドレイン電極３５を形成するためのインク（機能液）を、前記液滴吐出装置ＩＪを用いて第２バンクＢ２と第３バンクＢ３とに囲まれた領域に塗布する。ここでは、導電性微粒子として銀を用い、溶媒（分散媒）としてジエチレングリコールジエチルエーテルを用いたインクを吐出する。このようにして液滴を吐出した後、分散媒の除去のため、必要に応じて乾燥処理をする。乾燥処理は、例えば基板Ｐを加熱する通常のホットプレート、電気炉などによる加熱処理によって行うことができる。本実施形態では、例えば１８０℃加熱を６０分間程度行う。この加熱はＮ２雰囲気下など、必ずしも大気中で行う必要はない。
また、この乾燥処理は、ランプアニールによって行うこともできる。ランプアニールに使用する光の光源としては、先の第１電極層形成工程後の中間乾燥工程で挙げたものを用いることができる。また加熱時の出力も同様に１００Ｗ〜１０００Ｗの範囲とすることができる。
【００７６】
｛焼成工程｝
吐出工程後の乾燥膜は、微粒子間の電気的接触をよくするために、分散媒を完全に除去する必要がある。また、導電性微粒子の表面に分散性を向上させるために有機物などのコーティング剤がコーティングされている場合には、このコーティング剤も除去する必要がある。そのため、吐出工程後の基板Ｐに、熱処理及び／又は光処理を施す。この熱処理及び／又は光処理については、前記ゲート電極層８０の形成の際の焼成処理条件と同様にして行うことができる。
このような工程により、吐出工程後の乾燥膜は微粒子間の電気的接触が確保されて導電性膜に変換され、図８（ｂ）に示したように、一方のＮ＋シリコン層８５に接続し導通するソース電極３４と、他方のＮ＋シリコン層８５に接続し導通するドレイン電極３５とが形成される。
【００７７】
次に、第２バンクＢ２と第３バンクＢ３とによって区画され、ソース電極３４及びドレイン電極３５が形成された凹部（開口）内に、図９（ａ）に示すように該凹部（開口）を埋めるようにして絶縁材料８６を配置する。
次いで、ドレイン電極３５側の絶縁材料８６にコンタクトホール８７を形成する。
【００７８】
次いで、前記第２バンクＢ２、絶縁材料８６、第３バンクＢ３上の所定位置に、液滴吐出ヘッド３０１から、前記のポリシラザン液からなるインクを吐出し配置する。なお、ポリシラザン液からなるインクとしては、前述したポリシラザンを主成分とするものが用いられる。また、前記の所定位置とは、画素電極１９を形成するための領域を区画する位置であり、第４バンクＢ４を形成するための領域である。ここで、前記所定位置へのポリシラザン液の吐出については、液滴吐出ヘッド３０１を用いた液滴吐出法で行うことから、一連の処理で所望位置に選択的に塗布することができる。
【００７９】
このようにしてポリシラザン液を配したら、得られたポリシラザン薄膜を、必要に応じ例えばホットプレート上にて１１０℃で１分程度プレベークする。
次いで、例えば３００℃で６０分程度焼成処理を行うことにより、第４バンクＢ４を形成する。ここで、インクとしてのポリシラザン液として、前述した、ポリシラザンと光酸発生剤とを含む感光性ポリシラザン液を用いた場合には、焼成処理に先立ち、全面露光処理及び加湿処理を行うようにしてもよい。このような処理を行うことで、前記化学式（１）で示したようなポリシラザンから、化学式（４）〜（６）に示したようなポリメチルシロキサンに容易に変化させることが可能となる。そして、このようにして形成された第４バンクＢ４は、無機質であるポリシロキサンを骨格とすることにより、例えば有機材料からなるバンクに比べ、耐熱性が格段に優れたものとなる。ただし、この第４バンクＢ４についても、ポリシラザン液によって形成することなく、従来公知の有機材料（有機レジスト）によって形成するようにしてもよい。
【００８０】
次いで、前記第１バンクＢ１の場合と同様にして、第４バンクＢ４に対し撥液化処理を行い、その表面に撥液性を付与する。
次に、第４バンクＢ４に区画された領域に、液滴吐出装置ＩＪの液滴吐出ヘッド３０１から前記の透明導電性微粒子を分散液に分散させてなる透明インク（第１機能液）を滴下する。本実施形態では、透明インクとして、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）を分散液に分散したものが好適に用いられる。このとき、第４バンクＢ４の表面には撥液性が付与されているので、吐出された液滴の一部が第４バンクＢ４に載っても、バンク表面で弾かれて区画された領域内に滑り込むようになっている。なお、この工程では、特にコンタクトホール８７内に透明インクを良好に充填するべく、コンタクホール８７の開口部上に、所定量の透明インクを選択的に吐出し配置するのが好ましい。
【００８１】
このようにして透明インクを第４バンクＢ４内に塗布したら、例えば１０分間程度の自然乾燥を行う。次いで、基板Ｐを焼成炉内に入れ、例えば空気雰囲気中で２００℃／ｈｒの昇温速度で加熱し、さらに５５０℃で３０分程度保持し、その後、２００℃／ｈｒの降温速度で室温まで冷却する。このような加熱処理（乾燥処理）を行うことにより、図９（ｂ）に示すように前記透明導電性微粒子からなる第１層膜１９ｃを形成する。このようにして第１層膜１９ｃを形成すると、この第１層膜１９ｃは透明導電性微粒子の集合体であることから、微視的に見ると微粒子間に多くの空孔（図示せず）を形成したものとなる。
【００８２】
続いて、前記第１層膜１９ｃ上に、珪素化合物を含有する第２機能液を液滴吐出法で配置する。珪素化合物として具体的には、熱分解性シロキサンやシリケート、ポリシラザン、シリコンアルコキシド等の、少なくともＳｉ原子を含有し、後述する加熱処理によって容易に酸化物となる化合物の微粒子が用いられ、第２機能液としては、前記の化合物微粒子を分散させる分散液が用いられる。
このような第２の機能液を第１層膜１９ｃ上に吐出し配置したら、例えば窒素雰囲気中で２００℃／ｈｒの昇温速度で加熱し、さらに５５０℃で３０分程度保持し、その後、２００℃／ｈｒの降温速度で室温まで冷却する。このような加熱処理を行うことにより、前記第１層膜１９ｃと第２機能液とが一括焼成され、図９（ｃ）に示すように前記第１層膜１９ｃと該第１層膜中の空孔を埋める珪素酸化物とからなる透明導電層１９ａが形成される。
【００８３】
なお、この透明導電層１９ａについては、特に第１層膜１９ｃの底部側にまで第２機能液が染み入らず、結果として第１層膜１９ｃの底部側がその空孔内に珪素酸化物を有することなく、第１層膜１９ｃ単独のままで形成されることもある。しかし、本発明の透明導電層１９ａとしては、このような単独の第１層膜１９ｃを底部側に有した構造であってもよく、その場合にも、後述する作用効果を奏するものとなる。
【００８４】
また、前記の第２機能液の吐出配置に際しては、第１層膜１９ｃと第２機能液とを一括焼成した後、前記透明導電層１９ａ上に、前記第２機能液からなる珪素酸化物層１９ｂが形成されるように、前記第２機能液の吐出量を調整して行う。
そして、このように第１機能液、第２機能液の吐出量をそれぞれ適宜に調整しておくことにより、前記の乾燥処理後に得られる第１層膜１９ｃの厚さを４００ｎｍ以下とし、また、前記珪素酸化物層１９ｂの厚さを１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とする。
【００８５】
第１層膜１９ｃの厚さを４００ｎｍ以下とすることで、得られる画素電極１９の透明性をより良好に確保することができる。
また、珪素酸化物層１９ｂの厚さを１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とすることで、得られる画素電極１９の透過率低下を抑え、かつ容量の形成も防止することができる。１０ｎｍ未満では、この珪素酸化物層１９ｂの平坦性が低下することから、透過率が低下するおそれがあり、１００ｎｍを越えると、この珪素酸化物層１９ｂに容量が形成されてしまうおそれが生じてしまうが、前記範囲とすることで、透過率の低下も容量の形成も抑えられるからである。
【００８６】
このようにして、第１層膜１９ｃと該第１層膜中の空孔を埋める珪素酸化物とからなる透明導電層１９ａを形成するとともに、これの上に前記第２機能液からなる珪素酸化物層１９ｂを形成し、これら透明導電層１９ａと珪素酸化物層１９ｂとが積層されてなる画素電極１９を形成することにより、ＴＦＴ６０をガラス基板Ｐの内面側（図示上面側）に形成し、さらに本発明に係る画素電極１９を形成してなる、ＴＦＴアレイ基板１０が得られる。
【００８７】
本実施形態の形成方法によれば、第４バンクＢ４によって区画された領域に液滴吐出法で第１機能液、第２機能液を順次配置し、画素電極１９を形成するので、予めバンクＢ４を所望の画素電極パターンに対応して形成しておくことにより、例えば微細なパターンであってもこの画素電極１９を精度よくパターニングして形成することができる。
また、第４バンクＢ４内に画素電極１９を形成するので、特にこの画素電極１９の側端面がバンクＢ４に覆われるようになり、したがって側端面からの吸湿による画素電極１９の導電性変化を、透過率の低下を伴うことなく抑えることができる。
【００８８】
また、特に透明導電層１９ａと珪素酸化物層１９ｂとを積層することで画素電極１９を形成しているので、珪素酸化物層１９ｂがガラスとほぼ同じ透過率を有することから、画素電極１９自体もガラスに近い透過率を有するようになる。したがって、基板Ｐとしてガラス製の基板を用いているので、この基板Ｐと画素電極１９との間での屈折率が十分に小となることなどにより、特にこの画素電極１９を電気光学装置に用いた場合に、電気光学装置の表示性能をより向上させることができる。
【００８９】
また、前記のＴＦＴアレイ基板１０を備えた液晶表示装置１００にあっては、画素電極１９の微細化が可能となっていることにより、表示の精細化が可能なものとなる。また、透過率の低下を伴うことなく画素電極１９の導電性変化が抑えられているので、安定した表示が可能なものとなる。
なお、本発明は前記液晶表示装置１００に限定されることなく、各種の電気光学装置に適用することができる。例えば、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置等にも本発明を好適に採用することができる。
【００９０】
（電子機器）
図１０は、本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。この図に示す携帯電話１３００は、本発明の液晶表示装置を小サイズの表示部１３０１として備え、複数の操作ボタン１３０２、受話口１３０３、及び送話口１３０４を備えて構成されている。
なお、前記実施形態の電気光学装置は、前記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、映像モニタ、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができる。
このような電子機器は、前記電気光学装置が精細で安定した表示が可能となっているので、この電子機器自体も精細で安定した表示が可能なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】実施形態に係る液晶表示装置の等価回路図。
【図２】同、全体構成を示す平面図。
【図３】同、１画素領域を示す平面構成図。
【図４】同、ＴＦＴアレイ基板の部分断面構成図。
【図５】（ａ）は液滴吐出装置の一例を示す図、（ｂ）は吐出ヘッドの概略図。
【図６】薄膜トランジスタの製造方法を説明するための断面工程図。
【図７】薄膜トランジスタの製造方法を説明するための断面工程図。
【図８】薄膜トランジスタの製造方法を説明するための断面工程図。
【図９】薄膜トランジスタの製造方法を説明するための断面工程図。
【図１０】電子機器の一例を示す斜視構成図。
【符号の説明】
【００９２】
Ｐ…ガラス基板（基板）、１９…画素電極、１９ａ…透明導電層、１９ｂ…珪素酸化物層、１９ｃ…第１層膜、３３…半導体層、３４…ソース電極、３５…ドレイン電極、６０…ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）、８０…ゲート電極層、８１…キャップ層、８２…導電パターン、８３…ゲート絶縁膜、８４…アモルファスシリコン層、８５…Ｎ＋シリコン層、Ｂ１…第１バンク、Ｂ２…第２バンク、Ｂ３…第３バンク、Ｂ４…第４バンク（バンク）、１００…液晶表示装置（電気光学装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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