(57)【要約】【課題】  軽量で液体被覆に使用可能なロボットハンドを提供する。【解決手段】  ロボット取付け部１の下端には支持板２が固定され、支持板２の下部には、支持板２を挟むように対向する連結板３が第１の軸４で回転可能に吊り下げられている。各々の連結板３の下部の外側面にはワーク接触板６が連結板３と直角になるよう固定されている。対向するワーク接触板６の間には、先端付近に永久磁石７が固定されたアーム８が配置され、かつワーク接触板６と第２の軸９で回転可能に連結されている。アーム８の後端は、対向するワーク接触板６の間より飛び出ていて、アクチュエータ１０の可動部先端に連結されている。アクチュエータ１０はその駆動方向がアーム８の長手方向と直角になるよう配置されている。そして、アクチュエータ１０の可動端と反対側の端部が、ロボット取付け部１の上端部と固定部材１１を介して固定されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する板部分を有し、該板部分が磁性体からなっていて端面がワークと接触するワーク接触部と、
前記対向する板部分に移動可能に支持され、一端が前記対向する板部分の間に在るアームと、
前記アームの一端に固定された永久磁石とを備えたロボットハンド。
【請求項２】
前記ワーク接触部を軸で回転可能に支持する支持部と、
前記支持部をロボットの可動部先端に取り付けるためのロボット取付け部と、
前記ロボット取付け部に保持され、前記アームの他端を駆動するアクチュエータと、
前記ワーク接触部の一方向の回転を規制する回転規制部とをさらに備えた請求項１に記載のロボットハンド。
【請求項３】
前記ワーク接触部をワークに接触するときの移動方向に長い長穴が前記ワーク接触部に設けられ、該長穴に前記支持部の前記軸が挿入されている請求項２に記載のロボットハンド。
【請求項４】
前記アームの他端に長穴が設けられ、該長穴に前記アクチュエータの可動部先端が軸で連結されている、請求項２または３に記載のロボットハンド。
【請求項５】
前記アームの他端と前記支持部との間にこの間隔を縮める方向の張力が付与されている、請求項２から４のいずれかに記載のロボットハンド。
【請求項６】
前記アームと前記ワーク接触部の前記対向する板部分との間に隙間が設けられている請求項１ないし５のいずれかに記載のロボットハンド。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載のロボットハンドを備え、該ロボットハンドによってワークを吸着して液体に浸漬し、引き上げることでワーク表面に液体を被覆する液体被覆装置であって、
ロボットの可動部先端に前記ロボットハンドを複数個取り付けてなる液体被覆装置。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれかに記載のロボットハンドを備え、該ロボットハンドによってワークを吸着して液体に浸漬し、引き上げることでワーク表面に液体を被覆する液体被覆装置であって、
前記ロボットハンドを３次元に動かせるように構成されている液体被覆装置。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれかに記載のロボットハンドを用い、該ロボットハンドによってワークを吸着して液体に浸漬し、引き上げることでワーク表面に液体を被覆する液体被覆方法であって、
前記アームとともに前記ワーク接触部の前記対向する板部分を水平状態にして前記ワークを前記磁化された対向する板部分に吸着する段階と、
前記アームとともに前記ワーク接触部の前記対向する板部分を傾けることで前記ワークを傾け、この状態で液体に浸漬し引き上げる段階と、
前記アームとともに前記ワーク接触部の前記対向する板部分を水平状態に戻すとともに当該水平状態で前記ワーク接触部を固定したまま、前記アームとともに前記磁石を前記対向する板部分の間から遠ざけることで前記ワークを前記ワーク接触部から離脱させる段階とを有する液体被覆方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁性体で形成されたワークに塗料、潤滑剤および油などの液体を被覆する際に該ワークを磁力で吸着して保持するロボットハンドに関する。さらに、本発明はロボットハンドを使用してワークに液体を被覆するための液体被覆装置および、これを用いた液体被覆方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁力を利用するロボットハンドとして電磁石を使用するものと永久磁石を使用するものが知られている。電磁石を使用するものとしては特許文献１に開示されたロボットハンドがある。これは、一対の爪のうち一方の爪に電磁石を設け、該電磁石で吸着した鉄製ワークを、電磁石と他方の爪とで保持する構成のロボットハンドである。
【０００３】
また、永久磁石を使用するものとしては特許文献２及び３に記載の発明がある。特許文献２に記載の発明は、固定フィンガとこれに対して回動自在に支持された可動フィンガとを有し、この可動フィンガの内側面に永久磁石を固定し、可動フィンガを永久磁石と一緒に固定フィンガに対して回動させることで、ワークの着脱と離脱を行なうものである。さらに、特許文献３に記載の発明は、非磁性体で形成されたワーク当接部材と、このワーク当接部材に対して進退可能に配設された永久磁石とを備え、ワーク当接部材をワークに当接した状態でワーク当接部材に永久磁石を接触させることでワークを吸着し、ワーク当接部材から永久磁石を遠ざけることでワークを離脱させるものである。
【特許文献１】特開２０００−３１７８７４号公報
【特許文献２】特開平７−２６６２７６号公報
【特許文献３】特開平８−１５５８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたロボットハンドのようにワーク吸着のために電磁石を使用するものでは、電磁石の構造上コイルを巻いた鉄心により構成されるためロボットハンドが大型化し重くなる。この問題を解決するため、電磁石に代えて永久磁石を使用することが考えられる。
【０００５】
しかし、特許文献２に開示された従来例では、永久磁石が可動フィンガに固定されているので可動フィンガと一緒に永久磁石も動く。このため、可動フィンガと固定フィンガとで把持したワークを両フィンガの開動作で台の上に離脱させる際、ワークは可動フィンガ側に磁力で引き寄せられ、姿勢が変化しやすい。その結果、ワークが台の上に転倒した状態に置かれる場合がある。また、特許文献３に開示された従来例のように、非磁性体を通して直接磁石の磁力でワークを吸着するものは、ワークの吸着を解除するために磁石をワークから離す場合に大きな力が必要である。そして、この力を発揮できる大型のアクチュエータが必要になり、ロボットハンドが大型化し重くなる。
【０００６】
さらに、ワークを吸着する際に吸着を確実なものとするにはワーク吸着部をワークに接触させる必要があるが、このようなワーク吸着部を例えばロボットに設ける場合、接触による衝撃を吸収する機構が必要である。また、吸着したワークを任意の角度に傾ける必要がある場合、ワークを着脱するための可動部分とは別に角度を変化させるためのアクチュエータやモータが必要である。さらに、ワークの表面に液体を被覆するためにロボットを使用する場合、ロボットハンドとワークとの接触面積を最小限にする事で液体が被覆されない部分を最小限にしなければならない。
【０００７】
本発明は上記従来技術の問題点に鑑み、軽量で液体被覆に使用可能なロボットハンド、該ロボットハンドを用いた液体被覆装置および液体被覆方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明のロボットハンドは、対向する板部分を有し、該板部分が磁性体からなっていて端面がワークと接触するワーク接触部と、前記対向する板部分に移動可能に支持され、一端が前記対向する板部分の間に在るアームと、前記アームの一端に固定された永久磁石とを備えていることを特徴とする。
【０００９】
上記のように構成された発明では、ワーク接触部の対向する板部分の間に、アームの一端の永久磁石を配置することで、ワーク接触部の対向する板部分が磁化する。磁化された対向する板部分をワークに近づけるとワークはその対向する板部分に吸着される。対向する板部分は間隔をおいて配置されていることにより、両方の板部分に同時にワーク上面が吸着されるため、吸着されたワークは安定した姿勢を保てる。また、ワーク接触部の対向する板部分とワーク上面とは線接触となるため、ワークを液体に浸漬した際、ワーク表面に液体が被覆されない面積が最小限になる。
【００１０】
また、対向する板部分を動かない状態にし、磁化された対向する板部分にワークが吸着されている状態からアームを動かした場合、対向する板部分の間からアームとともに永久磁石が動き、対向する板部分を磁化しない距離まで永久磁石が遠ざかることで、ワーク接触部からワークが離脱する。このとき、対向する板部分を水平状態してワークの離脱を行うことで、安定した姿勢でワークを所定の載置場所に置くことができる。
【００１１】
一方、対向する板部材を固定しないで、磁化された対向する板部分にワークが吸着されている状態からアームを動かすと、対向する板部分は磁化しているためアームと一緒に動く。このとき、磁化された板部分に吸着されたワークも一緒に動く。このように本発明ではワークの着脱操作とワークの傾け操作を同じ機構でまかなえる。また、液体にワークを傾けた状態で浸漬し引き上げれば、ワーク表面に付着した液体の切れが良いため、ワーク表面に均一な被膜を形成することができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明によれば、ワークの吸着に永久磁石を使用しているのでロボットハンドが軽量で小型なものとなる。また、ワーク表面に液体を被覆する際、複雑な機構を用いずにワークの吸着、傾けおよび離脱を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
近年、冷間鍛造でたとえば歯車を作る場合、鍛造前のビレット（円筒状または四角柱状の金属）の表面に高潤滑性の冷間鍛造用薬剤の被膜を形成することになる。このような歯車は非常に過酷なプレスで形成するので、ビレット表面の被膜が非常に均一であることが要求されている。また、高潤滑性の薬剤は高価な場合も多く、必要最少量での被膜処理が要求されてきている。以下に開示するロボットハンド及びこれを用いた液体被覆方法等は、上記のようなビレット（以下、ワークという）の表面に必要最小限の量で均一に薬剤を被覆するのに好適な例である。なお、「液体」とは、鍛造される前のワークと成型金型との間の潤滑性と離型性を維持するために被覆される通常の水系固体潤滑剤の以外に、例えばペンキ塗料のような被覆剤を広く含むものとする。また「均一」とは、ワークの表面に液体を被覆し乾燥した後の被膜の厚みが、ワークに対して全体的に均等に付着していることをいう。
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は本発明の実施の一形態によるロボットハンドの全体図である。図２は図１のロボットハンドの可動部分の詳細図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は左側面図である。
【００１６】
図１及び図２に示すロボットハンドは、ロボット（不図示）の可動部先端に取り付けられるロボット取付け部１を有する。ロボット取付け部１の下端には支持板２が固定されている。支持板２の下部には、支持板２を挟むように対向する連結板３が第１の軸４で回転可能に吊り下げられている。第１の軸４は支持板２とこれを挟むように対向する連結板３を貫通しているが、連結板３に形成された貫通穴が長穴になっていることにより、連結板３は支持板２に対して一定の範囲で上下方向に移動自在である。また、対向する連結板３は、その間に配置されたスペーサ５により一体化されている。
【００１７】
各々の連結板３の下部の外側面には、細長い肉薄の軟鉄からなるワーク接触板６が連結板３と直角になるよう固定されている。これにより、細長い肉薄のワーク接触板６は所定の間隔を空けて対向している。
【００１８】
支持板２には回転規制部としてのストッパーピン１３が設けられ、これにより、対向する連結板３に直角をなすよう固定されたワーク支持板６が水平状態から時計周りに回動することを規制する。
【００１９】
対向するワーク接触板６の間には、先端付近に永久磁石７が固定された細長いアーム８が配置され、かつワーク接触板６と第２の軸９で回転可能に連結されている。このとき、対向するワーク接触板６の間に配置されたアーム８の底面がワーク接触板６の下端から飛び出ないようになっている。換言すると、対向するワーク接触板６の下端部のみがワークと接触できるように構成されている。なお、本例のように永久磁石７が固定されたアーム８とワーク接触板６との間に隙間を有する場合、図示していないが、少なくとも永久磁石７とワーク接触板６の間の部分の隙間を埋めるために例えば樹脂やチタンなどの非磁性材料をアーム８に固着しておいてもよい。さらに前記非磁性材料の表面が潤滑性を有しているとなお良い。
【００２０】
アーム８の後端は、対向するワーク接触板６の間より飛び出ていて、直線駆動を行うエアシリンダ等のアクチュエータ１０の可動部先端に連結されている。この可動部先端とアーム８の後端の連結は第３の軸１１で行われている。第３の軸１１はアクチュエータ１０の可動部先端とアーム８の後端とを貫通しており、アーム８の後端に形成された貫通穴が長穴になっていることにより、アーム８の後端はアクチュエータ１０の可動部先端に対し一定の範囲で上下方向に移動自在である。
【００２１】
アクチュエータ１０はその駆動方向がアーム８の長手方向と直角になるよう配置されている。そして、アクチュエータ１０の可動端と反対側の端部が、ロボット取付け部１の上端部と固定部材１１を介して固定されている。
【００２２】
上述のように構成されたロボットハンドによれば、ワークの吸着、離脱、傾けを行うことができる。これらの動作原理について、本実施形態のロボットハンドの一部を簡略化した図面（図３〜図５）に基づいて説明する。
【００２３】
図３に示すように、対向するワーク接触板６の間に永久磁石７が入ることでワーク接触板６が磁化する。磁化された対向するワーク接触板６をワークに近づけるとワークは対向するワーク接触板６に吸着される。対向するワーク接触板６は間隔をおいて配置されていることにより、対向するワーク接触板６の両方でワーク上面が吸着されるため、吸着されたワークは安定した姿勢を保てる。
【００２４】
図４（ａ）は、永久磁石７が対向するワーク接触板６を磁化し、ワーク１４を吸着している状態である。この状態から、図４（ｂ）に示すように、対向するワーク接触板６を動かない状態にし、アーム８を時計周りに揺動して、対向するワーク接触板６の間からアーム８を引き上げ、対向するワーク接触板６のワーク１４との吸着部分が磁化されない距離まで永久磁石７を遠ざけることで、ワーク接触板６からワーク１４を離脱させることができる。このとき、永久磁石７が固定されたアーム８とワーク接触板６との間に隙間を有していると、ワーク接触板６からの永久磁石の離脱をスムーズに行うことができる。この結果、永久磁石の離脱時にワーク接触板６に衝撃を与えることがなく、ワークを安定して所定の位置に解放することができる。
【００２５】
なお、図４（ｂ）のように本実施形態では磁石７を揺動させることでワーク１４を離脱させているが、例えば図４（ｃ）に示すように、磁石７をワーク接触板６と平行な方向に移動することでワーク１４を離脱させてもよい。
【００２６】
図５は磁石７を揺動することで、対向するワーク接触板６とこれに吸着したワーク１４とを同時に揺動する機構の模式図である。
【００２７】
図５（ａ）の状態からアーム８の後端をアクチュエータ１０により上昇させて磁石７を揺動させると、図５（ｂ）に示すように、対向するワーク接触板６は磁石７により磁化しているため磁石７を動かすと一緒に揺動する。このとき、磁化されたワーク接触板６に吸着されたワーク１４も一緒に揺動する。
【００２８】
次に、本実施形態のロボットアームを用いてワーク表面に液体を被覆させる方法について説明する。
【００２９】
図６は図１のロボットハンドを用いたワークへの液体被覆方法を説明するための図である。図６（ａ）はワークを吸着するときの状態を示している。この状態では、対向するワーク接触板６の間に永久磁石７が位置しているため、対向する接触板６は永久磁石７により磁化されている。そして、ワーク接触板６が水平状態のままで、ワーク接触板６の、永久磁石７で磁化されている先端部がワーク１４の真上に位置するようにロボットハンドを移動させた後、該ロボットハンドを下降させ、ワーク接触板６の下端部をワーク１４の上面に接触させる。これにより、ワーク接触板６にワーク１４が磁力により吸着される。
【００３０】
次に、ワーク接触板６が水平状態のままで、ワーク接触板６に吸着されているワーク１４が処理液槽１５の真上に位置するようにロボットハンドを移動させる。そして、図６（ｂ）に示すように、アクチュエータ（不図示）を駆動してアーム８の後端の第３の軸１１を引き上げると、アーム８が第１の軸４を支点として永久磁石７が下方向に揺動するのに伴い、対向するワーク接触板６とこれに吸着されたワーク１４も一緒に揺動する。これにより、ワーク１４を斜めの状態に傾けることができる。このようにワーク１４を斜めに傾けた状態でロボットハンドを下降させ、処理液槽１５の処理液にワーク１４全体を漬けた後、ワーク１４を斜めに傾けた状態でロボットハンドを上昇させる。すなわち、処理液にワーク１４を斜めの状態で漬けて、この状態のままワーク１４を引き上げる。その後、ワーク１４およびこれを吸着したワーク接触板６を斜めに傾いたままでロボットハンドを移動し、ワーク１４を所定の載置面に接近させる。このような一連の動作において、ワーク１４の表面に均一に処理液を被覆することができる。また、ワーク接触板６は細長い肉薄の部材であるため、ワーク接触板６とワーク上面とは線接触となり、ワーク表面に液体が被覆されない面積を最小限にすることができる。このように液体が被覆されない部分を最小面積にする事ができると、その後のワーク離脱時に、その液体が被覆されない部分が液体の表面張力で自然に覆われるという効果がある。なお、本例ではワーク接触板とワーク表面との接触状態を線接触としたが、液体が被覆されない部分を最小面積にするには、ワーク接触板の下端部に針状の突起を設けて両者の接触状態を点接触とするとより好ましい。
【００３１】
次に、ワーク１４およびこれを吸着したワーク接触板６を斜めに傾けた状態からアクチュエータ（不図示）を駆動してアーム８の後端の第３の軸１１を下に下げると、アーム８が時計周りに動くと同時に、磁化されたワーク接触板１とこれに吸着されているワーク１４も第１の軸４を支点として、図６（ａ）のような水平状態になるよう揺動する。そして、図６（ａ）に示した位置まで揺動すると、対向するワーク接触板６を固定している連結板３がストッパーピン１３と接触する。そこから更にアクチュエータ（不図示）を動かし、第３の軸１１を下に下げるとアーム８が動くが、対向するワーク接触板６は、これを固定している連結板３がストッパーピン１３と接触しているため、動かずに水平状態のままである。そのため、図６（ｃ）に示すようにアーム８は第２の軸９を支点として磁石７を上方に動かす事になる。すると、磁石７は、対向するワーク接触板６の間から外に揺動する。そして、磁石７が、ワーク接触板６を磁化しない距離まで揺動すると、対向するワーク接触板６に磁力で吸着されていたワーク１４が離脱する。このようにワーク１４が離脱する瞬間まで、対向するワーク接触板６は水平状態を保っているため、ワーク１４を安定した姿勢で所定の載置面に置くことができる。
【００３２】
ここで、上記のロボットハンドに備わる当該ロボットハンドの損傷を防ぐ機構を説明する。ワーク１４を吸着するためまたは何らかのトラブルによりロボットハンドに対し垂直方向（図１や図６等の紙面上下方向）に力がかかった場合、支持板２に対して連結板３が上下方向に動くため、力を受け流し、ロボットハンドの損傷を防止する。さらに、図６（ｃ）に示したようなワーク離脱時には第３の軸１１が下に移動してアーム８の後端に力がかかり連結板３が動くときは連結板３とストッパーピン１３が接触して連結板３の時計回りの可動を規制するが、このとき、アクチュエータ１０の可動部先端がアーム８の後端に対して動くので力を受け流すことができる。
【００３３】
また、ワーク離脱動作ではワーク接触板６から磁石７がワーク接触板６を磁化しない位置まで離れた時、それまで磁石７にワーク接触板６が引き寄せられていた力が急に無くなることによる反動が、ワーク接触板６に対して磁石７の移動方向とは逆向きに生じる。本例のロボットアームはこのような反動を吸収できる機構となっている。すなわち、本例では対向するワーク接触板６およびこれに吸着されたワーク１４を揺動するときに第１の軸４を回動支点としているが、磁石７をワーク接触板６が磁化しない位置まで揺動させる軸（第２の軸９）をワーク接触板６の回動支点である第１の軸４と異なる場所に設け、なおかつ、その第２の軸９を、第１の軸４を支点として揺動する部位に配置する事で、磁石７が外れる際に生じる反動を吸収することができる。
【００３４】
このとき、アーム８の後端と連結板３との間にこの間隔を縮めるような引っ張り力を付加しておくと、上記のような反動によるワーク接触板６の、磁石７の移動方向とは逆向きの移動量を軽減することができ、ワーク離脱後に、離脱したワークにワーク接触板６が下がりすぎて干渉する心配がなくなる。この引っ張り力は例えばばねを用いて発生させることができる。
【００３５】
図７はワーク１４に液体被覆処理を行なっている際の模式図である。本発明では、対向するワーク接触板６に吸着したワーク１４をワーク形状に最適な角度で被覆する液体に浸漬し引き上げることでワーク１４の表面に液体を均一に被覆する。また、ワーク１４の形状がカップ型であったり一部に窪みがある場合、ワーク１４を引き上げるだけでなく、図７のようにロボットによりワーク１４を３次元方向に傾けることでワーク表面の被膜を均一にすることができる。
【００３６】
図８はロボットハンドを複数取り付けることで同時に複数のワークの搬送及び液体被覆処理を行う装置の模式図である。この図のような液体被覆装置では前述のロボットハンド１６を並列に並べこれらをロボットに取り付けることで一度に複数のワークを搬送すると共に液体被覆処理を行うことが可能である。並列に並べるロボットハンド１６の数はロボットの搬送能力とその他処理する場所の大きさによって任意に決めることができる。
【００３７】
図９は本発明の他の実施の形態によるロボットハンドの可動部分を示す模式図である。この図では図１のロボットハンドの構成部品と同一の部品には同一符号を付してある。この図のロボットハンドでは、図１に示したロボットハンドのワーク接触板とアームの形状が異なっている。
【００３８】
詳述すると、支持板２の下部には、支持板２を挟むように対向するワーク接触板２６が第１の軸４で回転可能に吊り下げられている。第１の軸４は支持板２とこれを挟むように対向するワーク接触板２６を貫通しているが、ワーク接触板２６に形成された貫通穴が長穴になっていることにより、ワーク接触板２６は支持板２に対して一定の範囲で上下方向に移動自在である。また、対向するワーク接触板２６は、その間に配置されたスペーサ（不図示）により一体化されている。これにより、ワーク接触板６は所定の間隔を空けて対向している。
【００３９】
ワーク接触板６は細長い肉薄の軟鉄からなり、支持板２に対して水平に配置される。支持板２にはストッパーピン１３が設けられ、これにより、ワーク支持板６が水平状態から時計周りに回動することを規制する。
【００４０】
対向するワーク接触板６の間には、先端付近に永久磁石７が固定された細長いアーム２８が配置され、かつワーク接触板６と第２の軸９で回転可能に連結されている。このとき、対向するワーク接触板６の下端部のみがワークと接触できるように構成されている。
【００４１】
アーム２８の後端は、対向するワーク接触板６の間から支持板２の下端部を迂回するように延びていて、直線駆動を行うエアシリンダ等の可動部先端（不図示）に連結される。
【００４２】
このような形態においても、前述した図１の形態と同様にワークの吸着、離脱、傾けを行うことができる。なお、これらの動作原理は図１の形態と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の一形態によるロボットハンドの全体図である。
【図２】図１のロボットハンドの可動部分の詳細図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は左側面図である。
【図３】図１のロボットハンドのワーク接触部を簡略化した図である。
【図４】図１のロボットハンドによるワークの吸着および離脱の原理を説明するためにロボットハンドの一部を簡略化した図である。
【図５】図１のロボットハンドによるワークの傾け動作を説明するためにロボットハンドの一部を簡略化した図である。
【図６】図１のロボットハンドを用いた液体被覆方法を説明するための図である。
【図７】図１のロボットハンドでワークに液体被覆処理を行っている時の様子を示す模式図である。
【図８】図１のロボットハンドをロボットに並列に複数個取り付けた構成の液体被覆装置を示す模式図である。
【図９】本発明の他の実施の形態によるロボットハンドの可動部分を示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１    ロボット取付け部
２    支持板
３    連結板
４    第１の軸
５    スペーサ
６、２６    ワーク接触板
７    永久磁石
８、２８    アーム
９    第２の軸
１０    アクチュエータ
１１    第３の軸
１２    固定部材
１３    ストッパーピン
１４    ワーク
１５    処理液槽
１６    ロボットハンド
【図１】
2006110658.tif 000003
【図２】
2006110658.tif 000004
【図３】
2006110658.tif 000005
【図４】
2006110658.tif 000006
【図５】
2006110658.tif 000007
【図６】
2006110658.tif 000008
【図７】
2006110658.tif 000009
【図８】
2006110658.tif 000010
【図９】
2006110658.tif 000011