(57)【要約】【課題】切削工具の偏心による回転バランスの低下を招くことなく、回転軸に装着される工具マウントの係合軸に切削工具を取り付ける際のかじりを生じさせないようにする。【解決手段】切削工具７４が装着される工具マウント７２を構成する挿入孔支持部７２４を、雄ねじ部７２３からフランジ部７２１に向けて拡径し切削工具７４の挿入孔７４２の挿入をガイドするガイド部７２４ａと、フランジ部７２１からガイド部７２４ａ側に向けて拡径する逃げ部７２４ｂと、ガイド部７２４ａと逃げ部７２４ｂとの間に形成された支持陵部７２４ｃとで構成して山形状とすることにより、挿入孔７４２と挿入孔支持部７２４との間にカジリが生じないようにする。【選択図】図６
2006212748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
挿入孔を有しリング状に形成された基台と該基台の外周から突出して形成された環状の切り刃部から構成される切削工具を、回転軸に装着された工具マウントに装着する切削工具の装着機構であって、
該工具マウントは、該切削工具の挿入孔の内径より小さい外径を有する係合軸と、該切削工具の挿入孔の内径より大きく該環状の切り刃部の外径より小さい外径を有し該切削工具の端面を支持するフランジ部と、該回転軸に連結される連結部とを少なくとも備え、
該係合軸は、該切削工具の基台を該フランジ部とで挟持する挟持ナットが螺合する雄ねじ部と、該雄ねじ部と該フランジ部との間に形成され該切削工具の挿入孔を支持する挿入孔支持部とを備え、
該挿入孔支持部は、該雄ねじ部から該フランジ部に向けて拡径し該切削工具の挿入孔の挿入をガイドするガイド部と、該フランジ部から該ガイド部側に向けて拡径する逃げ部と、該ガイド部と該逃げ部との間に形成された支持陵部とから構成され、
該切削工具は、該挿入孔が該支持陵部で支持されて該フランジ部と該挟持ナットとによって挟持される切削工具装着機構。
【請求項２】
前記ガイド部は、所定の曲率半径を有する曲面に形成される
請求項１に記載の切削工具装着機構。
【請求項３】
前記支持陵部が円柱側面形状に形成され、該支持稜部の幅をＷとし、該支持稜部の直径をＤとし、前記切削工具の挿入孔の直径をｄとした場合に、
Ｗ２≦ｄ２−Ｄ２
の関係が成立する
請求項１または２に記載の切削工具装着機構。
【請求項４】
回転軸に装着された工具マウントに、環状の切り刃と挿入孔を有し該環状の切り刃を該工具マウントとの間で押さえる押さえフランジとから構成される切削工具を装着する切削工具の装着機構であって、
該工具マウントは、該押さえフランジの挿入孔の内径より小さい外径を有する係合軸と、該押さえフランジの挿入孔の内径より大きく該環状の切り刃の外径より小さい外径を有し該切り刃の一方の面を支持するフランジ部とを少なくとも備え、
該係合軸は、該切り刃及び該押さえフランジを該フランジ部とで挟持する挟持ナットが螺合する雄ねじ部と、該雄ねじ部と該フランジ部との間に形成され該押さえフランジの挿入孔を支持する挿入孔支持部とを備え、
該挿入孔支持部は、該雄ねじ部から該フランジ部に向けて拡径し該押さえフランジの挿入孔の挿入をガイドするガイド部と、該フランジ部から該ガイド部側に向けて拡径する逃げ部と、該ガイド部と該逃げ部との間に形成された支持陵部とから構成され、
該押さえフランジは、該挿入孔が該支持陵部で支持されて該環状の切り刃と共に該フランジ部と該挟持ナットとによって挟持される切削工具装着機構。
【請求項５】
前記ガイド部は、所定の曲率半径を有する曲面に形成される
請求項４に記載の切削工具装着機構。
【請求項６】
前記支持稜部の幅をＷとし、該支持稜部の直径をＤとし、前記押さえフランジの挿入孔の直径をｄとした場合に、
Ｗ２≦ｄ２−Ｄ２
の関係が成立する
請求項４または５に記載の切削工具装着機構。
【請求項７】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該被加工物に切削加工を施す切削手段とを少なくとも備え、
該切削手段は、回転軸と、該回転軸に装着される工具マウントと、該工具マウントに装着される切削工具と、該工具マウントとの間で該切削工具を挟持する挟持ナットとを備え、
該切削工具は、請求項１乃至６のいずれかに記載の切削工具装着機構に装着される切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転により被加工物を切削する切削工具を回転軸に装着される工具マウントに装着させるための機構及びその機構を有する切削装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
集積回路等のデバイスがストリートによって区画されて複数形成されたウェーハは、切削装置によってストリートを切削することにより個々のデバイスに分割され、各種電子機器等に利用されている。
【０００３】
切削装置には、例えば図１２に示すような切削手段９を備えている。この切削手段９においては、ハウジング７０によって回転軸７１が回転可能に支持されている。回転軸７１には工具マウント９０が装着され、締め付けナット７３によって固定される。
【０００４】
切削手段９には、アルミ等によって形成された基台７４０の外周からダイヤモンド等の砥粒を有する切り刃部７４１が突出されて形成された切削工具７４を備えており、基台７４０の中心部には挿入孔７４２が形成されている。切削工具７４は、予め回転軸７１に装着され締め付けナット７３によって固定された工具マウント９０に挿入孔７４２を挿入することにより工具マウント９０に装着される。そして更に、挟持ナット７５を係合軸９００の雄ねじ部９００ａに螺合させて切削工具７４を挟持する。
【０００５】
このように構成される切削手段９は、被加工物との関係での相対的な移動と共に、回転する切削工具７４の切り刃部７４１が被加工物に切り込むことにより、ウェーハ等の種々の被加工物を切削する。
【０００６】
切削工具７４を工具マウント９０に装着する際には、切削工具７４に形成された挿入孔７４２に係合軸９００を挿通させるため、挿入孔７４２の内径は係合軸９００の外径より大きく形成されていなければならない。一方、被加工物の切削時は、切削工具７４は、係合軸９００に取り付けられた状態で高速回転するため、切削工具７４に形成された挿入孔７４２の内周面と係合軸９００の外周面との間に大きな隙間があると、切削工具７４が回転時に偏心して回転バランスが崩れ、切削精度が低下するという問題がある。したがって、挿入孔７４２の内径を係合軸９００の外径より僅かに（数μｍ〜数十μｍ程度）大きく形成することにより、切削工具７４の工具マウント９０への取り付けを可能とすると共に、切削工具７４の回転時の偏心を最小限にすることとしている（例えば特許文献１、特許文献２参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１６５０３６号公報
【特許文献２】特開２００２−２１９６４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、切削工具７４の挿入孔７４２の内径は、係合軸９００の外径より僅かに大きく形成されている程度であるため、図１３に示すように、切削工具７４を工具マウント９０に装着する際に、切削工具７４の挿入孔７４２の内周面と工具マウント９０の係合軸９００の外周面とが接触すると、挿入孔７４２と係合軸９００との間にカジリが生じ、切削工具７４を円滑に挿入できないことがあるという問題がある。また、カジリが生じているにもかかわらず無理に切削工具７４を挿入すると、係合軸９００に傷が付き、装着精度が低下するという問題もある。このような問題は、基台と切り刃部とが別体に形成されているタイプの切削工具においても同様に生じる。
【０００９】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、切削工具の偏心による回転バランスの低下を招くことなく、切削工具を係合軸に取り付ける際のかじりを生じさせないようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第一の発明は、挿入孔を有しリング状に形成された基台と該基台の外周から突出して形成された環状の切り刃部から構成される切削工具を、回転軸に装着される工具マウントに装着する切削工具の装着機構であって、工具マウントは、切削工具の挿入孔の内径より小さい外径を有する係合軸と、切削工具の挿入孔の内径より大きく基台の外径より小さい外径を有し基台の端面を支持するフランジ部と、回転軸に連結される連結部とを少なくとも備え、係合軸は、切削工具の基台をフランジ部とで挟持する挟持ナットが螺合する雄ねじ部と、雄ねじ部とフランジ部との間に形成され切削工具の挿入孔を支持する挿入孔支持部とを備え、挿入孔支持部は、雄ねじ部からフランジ部に向けて拡径し切削工具の挿入孔の挿入をガイドするガイド部と、フランジ部からガイド部側に向けて拡径する逃げ部と、ガイド部と逃げ部との間に形成された支持陵部とから構成され、挿入孔支持部によって支持された切削工具がフランジ部と挟持ナットとによって挟持される。
【００１１】
ガイド部は、所定の曲率半径を有する曲面に形成されることが好ましい。また、支持陵部が円柱側面形状に形成される場合は、支持稜部の幅をＷとし、支持稜部の直径をＤとし、切削工具の挿入孔の直径をｄとすると、（Ｗ２≦ｄ２−Ｄ２）の関係が成立するようにする。
【００１２】
第二の発明は、回転軸に装着される工具マウントに、切り刃と切り刃を工具マウントとの間で押さえる押さえフランジとから構成される切削工具を装着する切削工具の装着機構であって、工具マウントは、押さえフランジの内径より小さい外径を有する係合軸と、押さえフランジの挿入孔の内径より大きい外径を有し切り刃の一方の面を支持するフランジ部とを少なくとも備え、係合軸は、切り刃及び押さえフランジをフランジ部とで挟持する挟持ナットが螺合する雄ねじ部と、雄ねじ部とフランジ部との間に形成され押さえフランジの挿入孔を支持する挿入孔支持部とを備え、挿入孔支持部は、雄ねじ部からフランジ部に向けて拡径し押さえフランジの挿入孔の挿入をガイドするガイド部と、フランジ部からガイド部側に向けて拡径する逃げ部と、ガイド部と逃げ部との間に形成された支持陵部とから構成され、挿入孔支持部によって支持された押さえフランジがフランジ部と挟持ナットとによって挟持される。
【００１３】
ガイド部は、所定の曲率半径を有する曲面に形成されることが好ましい。また、支持陵部が円柱側面形状に形成される場合は、支持稜部の幅をＷとし、支持稜部の直径をＤとし、押さえフランジの挿入孔の直径をｄとすると、（Ｗ２≦ｄ２−Ｄ２）の関係が成立するようにする。
【００１４】
第三の発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に切削加工を施す切削手段とを少なくとも備え、切削手段は、回転軸と、回転軸に装着される工具マウントと、工具マウントに装着される切削工具と、工具マウントとの間で切削工具を挟持する挟持ナットとを備え、切削工具は、上記第一または第二の発明の切削工具装着機構により工具マウントに装着されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
上記第一の発明では、切削工具を構成する挿入孔の内周面を支持する挿入孔支持部をガイド部と支持陵部と逃げ部とで山形状に形成したため、装着される切削工具の挿入孔は、ガイド部によって支持陵部まで案内された後に、支持陵部によって支持される。したがって、回転時の偏心を大きくすることなく、かつ、カジリを生じさせることなく切削工具の装着を円滑に行うことができ、係合軸に傷が付くこともない。
【００１６】
また、ガイド部が所定の曲率半径を有する曲面に形成されている場合は、挿入時に切削工具が係合軸の軸心に対して傾いた場合でも、挿入孔がガイド部に沿うため、挿入孔の内周面とガイド部との滑りがより良好となり、カジリが激減する。
【００１７】
更に、支持稜部の幅をＷ、支持稜部の直径をＤ、切削工具の挿入孔の直径をｄとした場合に、（Ｗ２≦ｄ２−Ｄ２）の関係が成立する場合には、切削工具の挿入孔の内周面と支持陵部との接触面積が小さくなり、切削工具をフランジ部に当接するまで押し込んでもカジリが生じることがない。
【００１８】
上記第二の発明では、切削工具を構成する押さえフランジの挿入孔の内周面を支持する挿入孔支持部をガイド部と支持陵部と逃げ部とで山形状に形成したため、装着される押さえフランジの挿入孔は、ガイド部によって支持陵部まで案内された後に、支持陵部によって支持される。したがって、回転時の偏心を大きくすることなく、かつ、カジリを生じさせることなく押さえフランジの装着を円滑に行うことができ、係合軸に傷が付くこともない。
【００１９】
また、ガイド部が所定の曲率半径を有する曲面に形成されている場合は、挿入時に押さえフランジが係合軸の軸心に対して傾いた場合でも、挿入孔がガイド部に沿うため、挿入孔の内周面とガイド部との滑りがより良好となり、カジリが激減する。
【００２０】
更に、支持稜部の幅をＷ、支持稜部の直径をＤ、押さえフランジの挿入孔の直径をｄとした場合に、（Ｗ２≦ｄ２−Ｄ２）の関係が成立する場合には、押さえフランジの挿入孔の内周面と支持陵部との接触面積が小さくなり、切削工具をフランジ部に当接するまで押し込んでもカジリが生じることがない。
【００２１】
上記第三の発明では、上記第一、第二の発明の切削工具装着機構により切削工具が工具マウントに装着されるため、切削工具の偏心を大きくすることなく、切削工具の装着を円滑に行うことできるため、切削の精度を低下させることなく、切削工具の交換等を効率良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１に示す切削装置１は、半導体ウェーハ等の被加工物を切削する装置であり、切削対象の被加工物、例えばウェーハＷは、保持テープＴを介してリング状のフレームＦと一体となった状態でウェーハカセット２に複数収容される。
【００２３】
ウェーハカセットＷに収容されたウェーハＷは、Ｙ軸方向に移動可能な搬出入手段３によって仮置き領域３０に搬出された後に、搬送手段４によってチャックテーブル５に搬送され、保持される。
【００２４】
チャックテーブル５はＸ軸方向に移動可能となっており、チャックテーブル５の移動経路の上方には、ウェーハＷの表面を撮像手段６０によって撮像し切削すべき位置を検出する機能を有するアライメント手段６が配設されている。
【００２５】
ウェーハＷは、チャックテーブル５の＋Ｘ方向の移動によりアライメント手段６の直下に位置付けられ、そこで切削すべき位置が検出される。そして、チャックテーブル５が更に＋Ｘ方向に移動することにより、切削手段７の作用を受けて切削が行われる。
【００２６】
切削手段７には、例えば図２に示すように、ハウジング７０によって回転可能に支持された回転軸７１を備えている。回転軸７１はテーパ面７１０を有し、テーパ面７１０の端部より先端側の先端軸部７１１には、第一の雄ねじ部７１１ａが形成されている。
【００２７】
図２に示す工具マウント７２は、切削工具を支持するために回転軸７１に装着されるものであり、回転軸７１に挿入して連結させるための連結孔７２０と、後述する図３に示す切削工具７４の基台７４０の端面を支持するフランジ部７２１と、図３の切削工具７４の挿入孔７４２を係合させるための係合軸７２２とから構成される。係合軸７２２の先端部には、後述する図３に示す挟持ナット７５を螺合させるための第二の雄ねじ部７２３が形成されており、雄ねじ部７２３とフランジ部７２１との間には、切削工具７４の挿入孔７４２を係合させて支持する挿入孔支持部７２４が形成されている。
【００２８】
工具マウント７２の連結孔７２０を回転軸７１に挿入し、図２に示す締め付けナット７３を第一の雄ねじ部７１１ａに螺合させて締め付けると、テーパ面７１０と締め付けナット７３とによって工具マウント７２が挟持されて固定される。
【００２９】
図３に示す切削工具７４は、基台７４０と切り刃部７４１とが一体に形成されたハブブレードである。基台７４０はリング状に形成され、その中心部には、工具マウント７２の係合軸７２２に挿入して係合させるための挿入孔７４２が形成されている。切り刃部７４１は、基台７４０の外周から突出して環状に形成されている。
【００３０】
工具マウント７２のフランジ部７２１の外径は、切削工具７４の挿入孔７４２の内径より大きく基台７４０の外径より小さい。一方、係合軸７２２の外径は、切削工具７４の挿入孔７４２の内径より若干小さい。
【００３１】
工具マウント７２の係合軸７２２に切削工具７４の挿入孔７４２を係合させ、挟持ナット７５を第二の雄ねじ部７２３に螺合させることにより、切削工具７４がフランジ部７２１と挟持ナット７５とによって挟持されて工具マウント７２に固定される。すなわち、工具マウント７２と挟持ナット７５とによって切削工具装着機構が構成される。こうして切削工具装着機構によって切削工具７４が回転軸７１に固定され、更に図４に示すように上方から工具カバー７６によって切削工具７４を覆った状態で、切削工具７４が高速回転して切り刃部７４１が被加工物に切り込むことにより、実際の切削が行われる。工具カバー７６には、切削水を噴出する２つの切削水ノズル７６０が切削工具７４を挟み込むようにして配設されている。
【００３２】
図５に示すように、工具マウント７２の係合軸７２２を構成する挿入孔支持部７２４は、第二の雄ねじ部７２３側からフランジ部７２１側に向けて拡径し切削工具７４の挿入孔７４２の挿入をガイドするガイド部７２４ａと、フランジ部７２１からガイド部７２４ａ側に向けて拡径する逃げ部７２４ｂと、ガイド部７２４ａと逃げ部７２４ｂとの間に形成された支持陵部７２４ｃとから構成される。
【００３３】
ガイド部７２４ａは、断面が所定の曲率半径を有する円弧状になるように形成されている。また、支持陵部７２４ｃは、図示の例では円柱外側面形状（断面が平面状）の幅Ｗを有する。
【００３４】
図６（Ａ）に示すように、切削工具７４を工具マウント７２に装着するために、切削工具７４の挿入孔７４２を工具マウント７２の係合軸７２２に挿入していくと、挿入孔７４２の内周面７４２ａが拡径するガイド部７２４ａに沿うようにして移動させることができる。
【００３５】
更に切削工具７４をフランジ７２１側に向けて移動させると、切削工具が工具マウント７２の軸心方向と垂直でない場合でも、図６（Ｂ）に示すように、挿入孔７４２の内周面７４２ａがガイド部７２４ａに接した状態でカジリを生じさせることなく進入する。
【００３６】
そして更に切削工具７４を同方向に移動させていくと、図６（Ｃ）に示すように、基台７４０の端面７４０ａがフランジ部７２１に当接する。このとき、図６（Ｃ）において拡大して示すように、挿入孔７４２の内周面７４２ａは、支持陵部７２４ｃによって支持される。
【００３７】
ここで、図５に示すように、支持陵部７２４ｃが円柱側面形状に形成される場合において、支持陵部７２４ｃの軸心方向の幅をＷ、支持陵部７２４ｃの直径（外径）をＤ、切削工具７４の挿入孔７４２の直径（内径）をｄとする。
【００３８】
図７において、直径Ｄ（半径Ｄ／２）を有する円の接線を軸心方向に描き、その接線と直径ｄ（半径ｄ／２）を有する円との２つの交点の間の距離をＷとすると、下記の式（１）が成立する。
（Ｗ／２）２＝（ｄ／２）２―（Ｄ／２）２・・・式（１）
【００３９】
したがって、下記の式（２）が成立する。
Ｗ２＝ｄ２−Ｄ２・・・式（２）
【００４０】
図７において二点鎖線で示すように、切削工具７４の挿入時に挿入方向が係合軸７２２の軸心に対して傾いた場合でも、上記式（２）の条件を満たすかぎり、切削工具７４をフランジ部７２１に接触するまで押し込んでも、内周面７４２ａと支持陵部７２４ｃとの間でカジリが生じることはない。また、支持陵部７２４ｃの幅Ｗが、図７における接線より短い場合も同様である。したがって、下記の式（３）が成立する場合は、内周面７４２ａと支持陵部７２４ｃとの間でカジリが生じることはない。
Ｗ２≦ｄ２−Ｄ２・・・式（３）
【００４１】
なお、支持陵部７２４ｃの磨耗を少なくするためには、その幅Ｗを、上記式（３）が成立する範囲内においてできるだけ広くすることが望ましい。
【００４２】
また、図５及び図６に示したガイド部７２４ａを、所定の曲率半径を有する曲面形状とすれば、切削工具７４の挿入孔７４２の内周面７４２ａとの間での滑りが良好となり、カジリが激減する。この場合、所定の曲率半径は、例えば切削工具７４の挿入孔７４２の半径（ｄ／２）以下であり、曲面の断面である曲線は、支持陵部７２４ｃのガイド部７２４ａ寄りの直径上に中心をもって描く。
【００４３】
上記のようにして切削工具７４を工具マウント７２に装着した後に、挟持ナット７５を第二の雄ねじ部７２３に螺合させて締め付けることにより、切削工具７４が工具マウント７２にしっかりと固定された状態となる。
【００４４】
以上の例においては、基台７４０と切り刃部７４１とが一体に形成されたハブブレードタイプの切削工具７４を工具マウント７２に装着する場合について説明したが、次に、基台と切り刃とが別体となっている切削工具を工具マウントに装着する場合について説明する。
【００４５】
図８に示す切削手段８は、ハウジング８０によって回転可能に支持された回転軸８１を備えており、回転軸８１には工具マウント８２が装着され、締め付けナット８３によって固定されている。工具マウント８２には基台と一体になっていない切り刃８４が装着され、押さえフランジ８５及び挟持ナット８６によって固定される。切り刃８４と押さえフランジ８５とによって切削工具８７が構成される。
【００４６】
工具マウント８２は、回転軸８１に挿入して連結させるための連結孔（図示せず）と、切り刃８４の一方の面を支持するフランジ部８２１と、切り刃８４の内周を係合させるための第一の係合軸８２２と、押さえフランジ８５に形成された挿入孔８５０の内周面８５０ａを係合させるための第二の係合軸８２３とから構成される。
【００４７】
第二の係合軸８２３の先端部には、挟持ナット８６を螺合させるための雄ねじ部８２４が形成されており、雄ねじ部８２４とフランジ部８２１との間には、押さえフランジ８５の挿入孔８５０を係合させて支持する挿入孔支持部８２５が形成されている。
【００４８】
押さえフランジ８５はリング状に形成され、第二の係合軸８２３を挿通させるための挿入孔８５０を中心部に備えている。押さえフランジ８５の外径は、切り刃８４の外径より小さい。また、押さえフランジ８５の挿入孔８５０の内径は、第二の係合軸８２３の外径より数μｍ〜数十μｍほど大きい。
【００４９】
また、工具マウント８２のフランジ部８２１の外径は、切り刃８４及び押さえフランジ８５の内径より大きく、切り刃８４の外径より小さい。一方、第二の係合軸８２３の外径は、切り刃８４の内径より小さく、押さえフランジ８５の挿入孔８５０の内径より若干小さい。
【００５０】
図９に示すように、工具マウント８２の第二の係合軸８２３を構成する挿入孔支持部８２５は、雄ねじ部８２４側からフランジ部８２１側に向けて拡径し押さえフランジ８５の挿入孔８５０の挿入をガイドするガイド部８２５ａと、フランジ部８２１からガイド部８２５ａ側に向けて拡径する逃げ部８２５ｂと、ガイド部８２５ａと逃げ部８２５ｂとの間に形成された支持陵部８２５ｃとから構成される。ガイド部８２５ａは、断面が所定の曲率半径を有する円弧状になるように形成されている。また、支持陵部８２５ｃは、図示の例では円柱外側面形状の幅Ｗを有する。
【００５１】
押さえフランジ８５は、工具マウント８２に装着された切り刃８４に当接する第一の端面８５１と、工具マウント８２の第一の係合軸８２２の端面に当接する第二の端面８５２とを備えている。
【００５２】
工具マウント８２に切削工具８７（図８参照）を装着する際は、最初に工具マウント８２の第二の係合軸８２３に切り刃８４を係合させてフランジ部８２１に押し当てる。このとき、切り刃８４は厚さが数十μｍ程度であり柔軟性があるため、第二の係合軸８２３との間でカジリが生じることはない。
【００５３】
次に、押さえフランジ８５を第二の係合軸８２３に挿入し、挟持ナット８６を雄ねじ部８２４に螺合させることにより、図１０に示すように、切削工具８７がフランジ部８２１と挟持ナット８６とによって挟持されて工具マウント８２に固定される。すなわち、工具マウント８２と挟持ナット８６とによって切削工具装着機構が構成される。
【００５４】
図９に示したように、ガイド部８２５ａがフランジ部８２１に向けて拡径しているため、挿入孔８５０の内周面８５０ａがガイド部８２５ａに沿って滑るため、内周面８５０ａと第二の係合軸８２３との間にカジリを生じさせることなく、押さえフランジ８５を円滑に挿入することができる。
【００５５】
更に押さえフランジ８５をフランジ部８２１側に向けて移動させると、押さえフランジ８５が工具マウント８２の軸心方向と垂直でない場合でも、挿入孔８５０の内周面８５０ａがガイド部８２５ａに接した状態でカジリを生じさせることなく進入させることができる。
【００５６】
そして更に押さえフランジ８５を同方向に移動させていくと、押さえフランジ８５の第一の端面８５１がフランジ部８２１に当接し、第二の端面８５２が第一の係合軸８２２の端面に当接する。このとき、図１１において拡大して示すように、押さえフランジ８５の挿入孔８５０の内周面８５０ａは、支持陵部８２５ｃによって支持される。
【００５７】
ここで、図９に示すように、支持陵部８２５ｃの軸心方向の幅をＷ、支持陵部８２５ｃの直径（外径）をＤ、押さえフランジ８５の挿入孔８５０の直径（内径）をｄとした場合、前記式（３）が成立するようにすると、内周面８５０ａと支持陵部８２５ｃとの間にカジリが生じることがないことは、図７で示したのと同様である。
【００５８】
また、ガイド部８２５ａを、所定の曲率半径を有する曲面形状とすれば、押さえフランジ８５の挿入孔８５０の内周面８５０ａとの間でのカジリが激減する。この場合、所定の曲率半径は、例えば押さえフランジ８５の挿入孔８５０の半径（ｄ／２）以下であり、その曲面の断面である曲線は、支持陵部８２５ｃのガイド部８２４ａ寄りの直径上に中心をもって描く。
【００５９】
上記のようにして押さえ切り刃８４及び押さえフランジ８５を工具マウント８２に装着した後に、図７に示したように、挟持ナット８６を雄ねじ部８２４に螺合させて締め付けることにより、切削工具８７が工具マウント８２にしっかりと固定された状態となる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】切削手段の第一の例一部を示す分解斜視図である。
【図３】切削手段の第一の例を示す分解斜視図である。
【図４】工具カバーが取り付けられた切削手段の第一の例を示す斜視図である。
【図５】切削手段の第一の例における工具マウント及び切削工具を略示的に示す断面図である。
【図６】切削工具を工具マウントに装着する状態を略示的に示す断面図である。
【図７】切削工具の挿入孔の内径と支持陵部の外径との関係を示す説明図である。
【図８】切削手段の第二の例を示す分解斜視図である。
【図９】切削手段の第二の例における工具マウント及び切削工具を略示的に示す断面図である。
【図１０】切削手段の第二の例を示す斜視図である。
【図１１】切削手段の第二の例における切削工具を工具マウントに装着した状態を略示的に示す断面図である。
【図１２】従来の切削手段を示す分解斜視図である。
【図１３】従来の切削工具と工具マウントとの間でカジリが生じている状態を略示的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１：切削装置
２：ウェーハカセット  ３：搬出入手段  ４：搬送手段  ５：チャックテーブル
６：アライメント手段
７：切削手段
７０：ハウジング
７１：回転軸
７１０：テーパ面
７１１：先端軸部
７１１ａ：第一の雄ねじ部
７２：工具マウント
７２０：連結孔  ７２１：フランジ部
７２２：係合軸  ７２３：第二の雄ねじ部
７２４：挿入孔支持部
７２４ａ：ガイド部  ７２４ｂ：逃げ部  ７２４ｃ：支持陵部
７３：締め付けナット
７４：切削工具
７４０：基台  ７４１：切り刃部  ７４２：挿入孔
７５：挟持ナット
７６：工具カバー
７６０：切削水ノズル
８：切削手段
８０：ハウジング  ８１：回転軸
８２：工具マウント
８２１：押さえフランジ  ８２２：第一の係合軸  ８２３：第二の係合軸
８２４：雄ねじ部
８２５：挿入孔支持部
８２５ａ：ガイド部  ８２５ｂ：逃げ部  ８２５ｃ：支持陵部
８３：締め付けナット
８４：切り刃
８５：押さえフランジ
８５０：挿入孔  ８５１：第一の端面  ８５２：第二の端面
８６：挟持ナット
８７：切削工具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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