(57)【要約】【課題】  搬送されるワークにダメージを与えることなく、精度良く停止することができるワーク搬送装置を提供する。【解決手段】  搬送装置本体５１のガイドレール５３に支持アーム５４を移動自在に支持し、移送機構５７によってガイドレール５３に沿って移動できるように構成する。支持アーム５４に可動部６１を支持し、可動部６１にリードフレーム３の長さ方向一端側に配置される板状の第１搬送爪６２と他端側に配置される板状の第２搬送爪６３とを設ける。第１搬送爪６２を可動部６１の一端部に固定し、第２搬送爪６３を他端部に設ける。第２搬送爪６３を可変機構７１で駆動可能に構成し、第１搬送爪６２と第２搬送爪６３との離間距離を可変できるように構成する。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送経路上に配置された短冊状のワークを長さ方向に移送するワーク搬送装置において、
前記搬送経路に沿って移動される可動部に、前記ワークの長さ方向一端側に配置される第１搬送爪と、前記ワークの長さ方向他端側に配置される第２搬送爪と、前記第１搬送爪及び前記第２搬送爪間の離間距離を可変する可変機構とを設けるとともに、
前記第１搬送爪又は前記第２搬送爪の少なくともいずれか一方を、前記ワークの端縁に複数点で接触又は線接触する接触構造としたことを特徴とするワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームなど短冊状のワークを搬送するワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ダイボンディング装置には、短冊状のワークを搬送するワーク搬送装置が設けられている。
【０００３】
このワーク搬送装置としては、搬送レール上に配置された短冊状のリードフレームを、その下流側からプッシャで押し出す装置が知られているが、前記プッシャでリードフレームを高速移送すると、リードフレームがオーバーランしてしまい、停止位置精度が低下するという問題があった。
【０００４】
これを解消する為に、リードフレームの側縁部に設けられた孔にピンを挿入するとともに、当該ピンを搬送レールに沿って移動することで、リードフレームを引っ張って移送するピン式の搬送装置が知られている。
【０００５】
また、リードフレームの縁部をグリッパで上下から挟み込むとともに、当該グリッパを搬送レールに沿って移動することで、前記リードフレームを移送するグリップ式の搬送装置も知られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記ダイボンディング装置で形成されるワークとしては、図４に示すように、リードフレーム８０１上にボンディングされた状態でワイヤー８０２，８０２がボンディングされた第１のチップ８０３と、該第１のチップ８０３上に、スペーサ８０４を介してボンディングされた第２のチップ８０５とからなるワークが挙げられる。このように、リードフレーム８０１に複数回ボンディング工程を繰り返してワークを形成する場合、二回目以降のボンディング時には、ボンディングした第１のチップ８０３にワイヤー８０２，８０２がボンディングされたリードフレーム８０１を投入することとなる。
【０００７】
このとき、前者のピン式の搬送装置でワークを移送する際には、リードフレーム８０１の孔にピンを挿入して移送する際に、前記リードフレーム８０１が前記ピンを中心として回転してしまう。すると、当該リードフレーム８０１が搬送レールの側壁に当接して当該リードフレーム８０１に衝撃が加えられ、リードフレーム８０１上にボンディングされたワイヤー８０２，８０２等にダメージが与えられる恐れがあった。
【０００８】
また、後者のグリップ式の搬送装置においては、グリッパで挟み込む際の衝撃がリードフレーム８０１に加えられ、この場合もリードフレーム８０１上にボンディングされたワイヤー８０２，８０２等にダメージが与えられる恐れがあった。
【０００９】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、搬送されるワークにダメージを与えることなく、精度良く停止することができるワーク搬送装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために本発明のワーク搬送装置にあっては、搬送経路上に配置された短冊状のワークを長さ方向に移送するワーク搬送装置において、前記搬送経路に沿って移動される可動部に、前記ワークの長さ方向一端側に配置される第１搬送爪と、前記ワークの長さ方向他端側に配置される第２搬送爪と、前記第１搬送爪及び前記第２搬送爪間の離間距離を可変する可変機構とを設けるとともに、前記第１搬送爪又は前記第２搬送爪の少なくともいずれか一方を、前記ワークの端縁に複数点で接触又は線接触する接触構造とした。
【００１１】
すなわち、搬送経路に配置されたワークを搬送する際には、可動部に設けられた第１搬送爪を前記ワークの長さ方向一端側に配置するとともに、第２搬送爪を前記ワークの長さ方向他端側に配置する。そして、可変機構によって前記第１搬送爪及び前記第２搬送爪間の離間距離を狭くして、前記第１搬送爪を前記ワークの一端に当接するとともに前記第２搬送爪を前記ワークの他端に当接し、前記両搬送爪で前記ワークを挟む。あるいは、前記第１搬送爪を前記ワークの一端に近接するとともに前記第２搬送爪を前記ワークの他端に近接し、前記両搬送爪によって前記ワークとの間にクリアランスを保ちつつ当該ワークを挟む。
【００１２】
この状態において、前記可動部を前記搬送経路に沿って移動する。すると、前記両搬送爪で挟まれた前記ワークは、下流側に配置された一方側の搬送爪に押されつつ、前記可動部の移動方向へ移動されるとともに、他方側の搬送爪によって停止時でのオーバーランが防止される。
【００１３】
このとき、前記第１搬送爪又は前記第２搬送爪の少なくともいずれか一方が、前記ワークの端縁に複数点で接触又は線接触しており、搬送爪が一点で点接触する場合と比較して、ワークの不用意な回転が防止される。
【００１４】
また、前記ワークは、下流側に配置された搬送爪で押されて移送される。このため、ワークをグリッパで上下から挟んで移送する構造上、移送中に離脱しない程度の強さでワークを挟持する必要があった従来と比較して、前記両搬送爪から前記ワークへ伝達され得る衝撃が抑制される。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように本発明のワーク搬送装置にあっては、可動部の両搬送爪で挟まれたワークを、下流側に配置された一方側の搬送爪で押しながら当該可動部の移動方向へ移動することができる。このとき、前記ワークの上流側に配置された他方側の搬送爪によって停止時でのオーバーランを防止することができる。これにより、移送されたワークを精度良く停止することができる。
【００１６】
そして、前記第１搬送爪又は第２搬送爪の少なくともいずれか一方が、前記ワークの端縁に複数点で接触又は線接触しており、搬送爪が一点で点接触する場合と比較して、ワークの不用意な回転を防止することができる。これにより、ワークが回転して搬送レールに当接し、当該ワークに衝撃が加えられるといった不具合を解消することができる。
【００１７】
また、前記ワークは、下流側に配置された搬送爪で押されて移送される。このため、ワークを上下から挟んで移送する構造上、移送中に離脱しない程度の強さでワークを挟持する必要があった従来と比較して、前記両搬送爪から前記ワークへ伝達され得る衝撃を抑制することができる。
【００１８】
このように、ワークに加えられる衝撃を抑制することができるので、搬送されるワークへのダメージを防止することができる。したがって、前記ワークがリードフレームの場合には、ボンディングされたワイヤー等へのダメージの付与を未然に防止することができる。
【００１９】
また、前記ワークは、一端側に配置された搬送爪と他端側に配置された搬送爪とによって挟まれた状態で移送される。このため、一端側に配置された搬送爪又は他端側に配置された搬送爪のいずれであっても、ワークを押して移送することができる。これにより、前記ワークをいずれの方向へも移動することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるワーク搬送装置１を備えたボンディング装置２を示す図であり、該ボンディング装置２は、短冊状のワークとしてのリードフレーム３にチップをボンディングする装置である。
【００２１】
このボンディング装置２は、ボンディングを行うボンディングユニット１１を中心に構成されており、該ボンデングユニット１１の横幅方向Ｗの図１中右側には、ローダユニット１２が近接して配置されている。
【００２２】
前記ボンディングユニット１１の図１中左方には、ワークローダ２１が設けられており、該ワークローダ２１は、ボンディングが全く行われていないリードフレーム３を積層して載置するワーク載置部２２と、該ワーク載置部２２に載置されたリードフレーム３を、一枚ずつボンディングゾーン２３に供給するワーク供給装置２４とによって構成されている。
【００２３】
前記ボンディングゾーン２３には、テーブル３１が設けられており、該テーブル３１には、前記リードフレーム３が載置される搬送路３２が前記横幅方向Ｗに延設されている。このボンディングゾーン２３では、ボンディングゾーン２３手前に設けられたウエハシートゾーン３３のウエハリング３４から図外のボンディングヘッドでチップをピックアップし、このチップを前記テーブル３１に供給されたリードフレーム３のボンディングポイントにボンディングするように構成されている。このチップのボンディングとしては、一回のボンディング工程でボンディングを完了する部品と、複数回のボンディング工程を繰り返す部品とがあり、後者の場合には、初回のボンディングが終了したリードフレーム３を一度排出した後、このリードフレーム３を再度ボンデング装置２にセットして二回目以降のボンディングを行うように構成されている。このとき、前記ボンデング装置２には、ボンディングされたチップにワイヤーがボンディングされたリードフレーム３を投入することとなる（背景技術参照）。
【００２４】
前記ボンディングゾーン２３の図１中右側には、リードフレーム３を移送する前記ワーク搬送装置１が設けられている。該ワーク搬送装置１は、前記リードフレーム３を前記テーブル３１と待機部４２との間で搬送経路に沿って長さ方向に移動するとともに、該待機部４２と前記ローダユニット１２との間で搬送経路に沿って長さ方向に移動できるように構成されている。
【００２５】
すなわち、図２に示すように、前記ワーク搬送装置１の搬送装置本体５１は、ボンディング装置２に立設された支柱５２に支持されている。前記搬送装置本体５１は、前記ボンディング装置２の横幅方向Ｗに延在するガイドレール５３を備えており、該ガイドレール５３には、支持アーム５４，５４が移動自在に支持されている。各支持アーム５４，５４は、前記搬送装置本体５１に設けられたボールネジ５５及び該ボールネジ５５に螺合するナット部（図示省略）と前記ボールネジ５５を回動するモータ５６とからなる移送機構５７によって前記ガイドレール５３に沿って移動されるように構成されている。
【００２６】
前記支持アーム５４，５４には、図２及び図３に示すように、可動部６１が支持されており、該可動部６１は、前記移送機構５７により前記ガイドレール５３に沿って移動されるように構成されている。この可動部６１には、前記リードフレーム３を移送する際に前記リードフレーム３の長さ方向一端側に配置される第１搬送爪６２と、前記リードフレーム３の長さ方向他端側に配置される第２搬送爪６３とが設けられている。
【００２７】
前記第１搬送爪６２は、前記可動部６１の一端部に固定されており、前記第２搬送爪６３は、前記可動部６１の他端部に設けられている。前記両搬送爪６２，６３は、板状の部材で構成されており、前記リードフレーム３の端部に当接した際に、前記リードフレーム３の端縁に線接触する接触構造を有している。なお、この接触構造としては、前記第１搬送爪６２及び前記第２搬送爪６３を板状に形成することで線接触させた場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものでは無く、例えば並設された複数のピンを前記リードフレーム３の端縁に複数点で接触させる接触構造であっても良い。
【００２８】
前記第２搬送爪６３は、前記可動部６１に設けられた可変機構７１によって駆動されるように構成されており、該可変機構７１は、前記第２搬送爪６３を前記第１搬送爪６２に近接する方向及び離間する方向へ移動するように構成されている。これにより、前記可変機構７１によって前記第１搬送爪６２と前記第２搬送爪６３との離間距離を可変できるように構成されている。
【００２９】
前記待機部４２は、図１に示したように、前記ボンディングゾーン２３でボンディングされたリードフレーム３を待機させる回収用待機レール８１と、前記ボンディングゾーン２３でボンディングが行われるリードフレーム３を待機させる供給用待機レール８２とを備えており、搬送経路を構成する両待機レール８１，８２は、奥行き方向Ｄにスライドすることによって選択的に前記テーブル３１の前記搬送路３２に位置合わせできるように構成されている。
【００３０】
これにより、前記ワーク搬送装置１は、前記ローダユニット１２のマガジン９１から前記供給用待機レール８２に供給されたリードフレーム３を前記テーブル３１の搬送路３２に供給してセットする供給動作と、前記テーブル３１の搬送路３２にセットされた前記リードフレーム３を前記回収用待機レール８１に移動した後、前記ローダユニット１２のマガジン９１に収容する収容動作とを行えるように構成されている。
【００３１】
前記ローダユニット１２は、前記供給用待機レール８２に供給するリードフレーム３を収容した供給用のマガジン９１を保持するマガジンローダ１０１と、前記回収用待機レール８１のリードフレーム３を回収して収容する回収用のマガジン９１を保持するマガジンアンローダ１０２とが設けられており、リードフレーム３に複数回のボンディングを繰り返して部品を製造する際に、既にボンディングが行われたリードフレーム３が供給用のマガジン９１から前記ボンディングユニット１１に供給されるとともに、当該リードフレーム３にボンディングが行われた際に、このリードフレーム３が回収用のマガジン９１に収容されるように構成されている。
【００３２】
以上の構成にかかる本実施の形態において、テーブル３１に設けられた搬送路３２上のリードフレーム３をワーク搬送装置１で搬送する際には、移送機構５７で可動部６１をリードフレーム３上に移動して、当該可動部６１に設けられた第１搬送爪６２を前記リードフレーム３の長さ方向一端側に配置するとともに、第２搬送爪６３を前記リードフレーム３の長さ方向他端側に配置する。そして、前記可動部６１に設けられた可変機構７１で前記第２搬送爪６３を可動することによって前記第１搬送爪６２及び前記第２搬送爪６３間の離間距離を狭くして、前記第１搬送爪６２を前記リードフレーム３の一端に当接するとともに前記第２搬送爪６３を前記リードフレーム３の他端に当接し、前記両搬送爪６２，６３で前記リードフレーム３を挟む。あるいは、前記第１搬送爪６２を前記リードフレーム３の一端に近接するとともに前記第２搬送爪６３を前記リードフレーム３の他端に近接し、前記両搬送爪６２，６３によって前記リードフレーム３との間にクリアランスを保持した状態で当該リードフレーム３を挟む。
【００３３】
この状態において、前記移送機構５７によって前記可動部６１を前記テーブル３１の搬送路３２及び前記回収用待機レール８１に沿って移動する。すると、前記両搬送爪６２，６３で挟まれた前記リードフレーム３は、図中左方に配置された第１搬送爪６２で押されつつ、前記可動部６１の移動方向へ移動されるとともに、他方側の第２搬送爪６３によって停止時でのオーバーランが防止される。これにより、移送したリードフレーム３を精度良く停止することができる。
【００３４】
このとき、前記第１搬送爪６２及び前記第２搬送爪６３は、前記リードフレーム３の端縁に線接触する接触構造を有しており、搬送爪が一点で点接触する場合と比較して、リードフレーム３の不用意な回転を防止することができる。この接触構造としては、例えば並設された複数のピンを前記リードフレーム３の端縁に複数点で接触させる接触構造であっても良く、この場合にも、搬送爪が一点で点接触する場合と比較して、リードフレーム３の不用意な回転を防止することができる。これにより、リードフレーム３が回転して搬送路３２や回収用待機レール８１の側壁に当接し、当該リードフレーム３に衝撃が加えられるといった不具合を解消することができる。
【００３５】
また、前記リードフレーム３は、前記第１搬送爪６２で押されて移送される。このため、リードフレーム３をグリッパで上下から挟んで移送する構造上、移送中に離脱しない程度の強さでリードフレーム３を挟持する必要があった従来と比較して、前記両搬送爪６２，６３から前記リードフレーム３へ伝達され得る衝撃を抑制することができる。
【００３６】
このように、リードフレーム３に加えられる衝撃を抑制することで、搬送されるリードフレーム３へのダメージを防止することができる。これにより、当該リードフレーム３にボンディングされたワイヤー等へのダメージの付与を確実に防止することができる。
【００３７】
また、このワーク搬送装置１では、リードフレーム３の一端側に配置された第１搬送爪６２と他端側に配置された第２搬送爪６３とによって前記リードフレーム３を挟んだ状態で移送する。このため、一端側に配置された第１搬送爪６２又は他端側に配置された第２搬送爪６３のいずれであっても、前記リードフレーム３を押して移送することができる。これにより、前記リードフレーム３をいずれの方向へも移動することができる。
【００３８】
すなわち、ローダユニット１２のマガジン９１から供給用待機レール８２に供給されたリードフレーム３をテーブル３１の搬送路３２に供給してセットする際には、可動部６１を供給用待機レール８２のリードフレーム３上に移動して、第１搬送爪６２及び第２搬送爪６３をリードフレーム３の両端に配置するとともに、可変機構７１によって前記第１搬送爪６２及び前記第２搬送爪６３間の離間距離を狭くして、前記両搬送爪６２，６３で前記リードフレーム３を挟む。
【００３９】
この状態において、前記可動部６１を前記テーブル３１の搬送路３２上へ移動することによって、前記両搬送爪６２，６３間に挟まれた前記リードフレーム３を、前述と逆方向である前記テーブル３１上に移送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態のワーク搬送装置を示す斜視図である。
【図３】同実施の形態のワーク搬送装置を示す側面図である。
【図４】ワークの一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    ワーク搬送装置
３    リードフレーム
３２    搬送路
６１    可動部
６２    第１搬送爪
６３    第２搬送爪
７１    可変機構
【図１】
2006186241.tif 000003
【図２】
2006186241.tif 000004
【図３】
2006186241.tif 000005
【図４】
2006186241.tif 000006