(57)【要約】      （修正有）【課題】  常温で高粘度インクを吐出可能なインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】  インク流路部材１２が予めインク吐出方向に撓みを持たせた状態であるとき、逆回転方向に回転エンコーダ２０を回動させると、インク流路部材１２はインク吐出方向に凸から凹へと撓み方向が変化する。次に、ここから再び回転エンコーダ２０を正転させるとインク流路部材１２は回転エンコーダ２０に近い方から次第に吐出方向に凸へと撓み方向が変化する。この変化が両端から中央に近付くと、インク流路部材１２はある点で急峻な座屈反転を起こし、インク吐出方向へと急激に変形する。インク流路部材１２の長さ方向略中央にはノズル１６が設けられている。【選択図】        図２
2006130780.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク滴を吐出するノズルと、
前記ノズルを含むインク流路部材と、
前記インク流路部材をインク滴吐出方向および逆方向に移動させる駆動手段と、
を備えたインクジェット記録ヘッドであって
前記駆動手段は前記インク流路部材をインク滴吐出方向に移動させたのち急停止させ、あるいは逆方向に移動させることで内部のインクに吐出方向の慣性を与え、前記ノズルからインク滴を吐出させることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
インク流路部材と接合もしくはインク流路部材を含む梁部材を備え、
前記駆動手段は前記梁部材をインク滴吐出方向に凹となるように弾性曲げ変形させた後、インク滴吐出方向に凸となるよう座屈反転変形させ、
前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与え前記ノズルより吐出させることを特徴とする請求項１に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記駆動手段は前記梁部材の長手方向両端または一端をインク滴吐出方向に回動自在に保持し、
前記梁部材がインク滴吐出方向に凹となるように前記梁部材の長手方向に圧縮したのち、前記梁部材の長手方向両端または一端を回動させてインク滴吐出方向に凸となるように座屈反転変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えノズルより吐出させることを特徴とする請求項２に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
インク滴を吐出するノズルと、
前記ノズルを含むインク流路部材と、
前記インク流路部材と接合もしくは前記インク流路部材を含む梁部材と、
前記梁部材の両端を保持する保持部材と、
前記保持部材の一方または両方をインク滴吐出方向に回動自在に支持し前記梁部材を圧縮して回動させる回転エンコーダと、
を備え、
前記保持部材は前記回転エンコーダの回転中心よりオフセットして支持されることにより、前記回転エンコーダの回転によって前記梁部材を座屈反転変形させ、
前記インク流路内部のインクに吐出方向の慣性を与え、前記ノズルからインク滴を吐出させることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記回転エンコーダの回転角度を変更することで前記梁部材の前記ノズル近傍におけるインク滴吐出方向の移動距離を制御し、前記移動距離の長短で前記ノズル近傍のインクに加わる慣性の大小を制御することにより、吐出されるインク滴の大小を制御することを特徴とする請求項４に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
インク滴を吐出するノズルと、
前記ノズルを含むインク流路部材と、
前記インク流路部材と接合もしくは前記インク流路部材を含み、予めインク滴吐出方向に凹となる方向に曲げて配置された梁部材と、
前記梁部材をインク滴吐出方向に凸となる方向に撓ませるアクチュエータと、
を備え、
前記アクチュエータは前記梁部材をインク滴吐出方向に凹となる方向から凸となる方向に座屈反転させ、前記インク流路内部のインクに吐出方向の慣性を与えることで前記ノズルからインク滴を吐出させることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記アクチュエータは、前記梁部材の長手方向長さの略半分にわたって設けられたことを特徴とする請求項６に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記アクチュエータはピエゾアクチュエータであることを特徴とする請求項６乃至請求項７に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいすれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを使用したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在市販されている水性インクジェットプリンターは、概ね粘度５cps前後、高々１０cpsオーダの染料インクや顔料インクを採用している。媒体に着弾した際のインク滲み防止や、光学的な色濃度アップ、含水量低減による媒体の膨潤抑制／短時間乾燥、あるいは、そうした高品質インクをトータル設計するに当たり自由度が大きくとれる等の理由から、インク粘度を増加することによってプリント性能は向上できることが知られている。
【０００３】
反面、高粘度インクを吐出するには、高出力な圧力発生機構が必要であり、コストやヘッドサイズ増加等の弊害を招く。従来からイジェクターにヒーターを別途設け、吐出時のインク粘度を強制的に下げる技術は公知である（例えば、特許文献１参照）が、インクを加熱する上記の方法はインク劣化や流路のダメージを早める根本課題があり、また使用できるインクも熱による劣化のないものに制限される。
【０００４】
このほか、インク吐出する際の逆方向へのインク流を梁状の弁によって抑制し、より高粘度なインクを吐出する技術（例えば、特許文献２参照）が開示されている。
【０００５】
大変形が得られる座屈曲がりを利用し、圧力発生機構自体をパワーアップする方法として、発熱体層との熱膨張差で変形するダイヤフラム状アクチュエータを使用した技術（例えば、特許文献３参照）、また、同様の構成で片持ち梁状のアクチュエータを使用した技術（例えば、特許文献４参照）が開示されている。
【０００６】
例えば図８に示すインクジェット記録ヘッド１００はインク室１０６中のインク１０１をアクチュエータ１０２を図８（ａ）から図８（ｂ）のように変形させることによって急激に加圧し、ノズル１０４からインク滴１０８として吐出させる。
【０００７】
しかしながら、上記の従来技術でも、粘度１０cpsを大きく上回る５０〜１００cpsのような高粘度インクを、常温において安定吐出することは極めて困難である。本発明の目的は、これらの課題を解決し、特に常温で５０〜１００cpsオーダの高粘度インクが吐出可能なインクジェット記録ヘッドを提供することにある。具体的には、梁に圧縮と回転運動を与え、座屈曲げ方向が反転する際の急峻な上下運動を利用し、ノズルからインク滴を慣性離脱させるインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供する。
【特許文献１】特開２００３−２２０７０２号公報  （図１、第４頁〜第６頁）
【特許文献２】特開平９−３２７９１８号公報      （図１、第８頁〜第９頁）
【特許文献３】特開２００３−１１８１１４号公報  （図３、第４頁〜第５頁）
【特許文献４】特開２００３−３４７１０号公報  （図１３、第６頁〜第８頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記事実を考慮し、常温で高粘度インクを吐出可能なインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドはインク滴を吐出するノズルと、前記ノズルを含むインク流路部材と、前記インク流路部材をインク滴吐出方向および逆方向に移動させる駆動手段と、を備えたインクジェット記録ヘッドであって前記駆動手段は前記インク流路部材をインク滴吐出方向に移動させたのち急停止させ、あるいは逆方向に移動させることで内部のインクに吐出方向の慣性を与え、前記ノズルからインク滴を吐出させることを特徴とする。
【００１０】
上記構成の発明では、ノズルが設けられたインク流路部材を移動後に急停止または反転することでノズルからインク滴を慣性離脱させて吐出する方法を用いたので、従来のサーマルあるいはピエゾ方式などに比較してインクの粘性が高くても吐出可能となる。
【００１１】
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドはインク流路部材と接合もしくはインク流路部材を含む梁部材を備え、前記駆動手段は前記梁部材をインク滴吐出方向に凹となるように弾性曲げ変形させた後、インク滴吐出方向に凸となるよう座屈反転変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与え前記ノズルより吐出させることを特徴とする。
【００１２】
上記構成の発明では、インク流路部材と一体化した梁部材を吐出方向に凹から凸へ座屈変形させることで、一気にインク滴を慣性離脱させ高速で吐出可能となる。
【００１３】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドは前記駆動手段は前記梁部材の長手方向両端または一端をインク滴吐出方向に回動自在に保持し、前記梁部材がインク滴吐出方向に凹となるように前記梁部材の長手方向に圧縮したのち、前記梁部材の長手方向両端または一端を回動させてインク滴吐出方向に凸となるように座屈反転変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えノズルより吐出させることを特徴とする。
【００１４】
上記構成の発明では、駆動手段によって吐出方向に凹となるように予備変形させた梁部材を凸に座屈反転させインク滴を吐出させることで、予備変形の有無によって座屈反転の有無すなわちインク滴の吐出の有無を制御できる。
【００１５】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドはインク滴を吐出するノズルと、前記ノズルを含むインク流路部材と、前記インク流路部材と接合もしくは前記インク流路部材を含む梁部材と、前記梁部材の両端を保持する保持部材と、前記保持部材の一方または両方をインク滴吐出方向に回動自在に支持し前記梁部材を圧縮して回動させる回転エンコーダと、を備え、前記保持部材は前記回転エンコーダの回転中心よりオフセットして支持されることにより、前記回転エンコーダの回転によって前記梁部材を座屈反転変形させ、前記インク流路内部のインクに吐出方向の慣性を与え、前記ノズルからインク滴を吐出させることを特徴とする。
【００１６】
上記構成の発明では、梁部材に加える圧縮量すなわちエンコーダの回転量によって梁部材の座屈反転の有無、つまりインク滴の吐出の有無を制御できる。
【００１７】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドは前記回転エンコーダの回転角度を変更することで前記梁部材の前記ノズル近傍におけるインク滴吐出方向の移動距離を制御し、前記移動距離の長短で前記ノズル近傍のインクに加わる慣性の大小を制御することにより、吐出されるインク滴の大小を制御することを特徴とする。
【００１８】
上記構成の発明では、梁部材に加える圧縮量すなわちエンコーダの回転量によってインク滴に加わる慣性の大きさ、つまりインク滴の大小を制御できる。
【００１９】
請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドはインク滴を吐出するノズルと、前記ノズルを含むインク流路部材と、前記インク流路部材と接合もしくは前記インク流路部材を含み、予めインク滴吐出方向に凹となる方向に曲げて配置された梁部材と、前記梁部材をインク滴吐出方向に凸となる方向に撓ませるアクチュエータと、を備え、前記アクチュエータは前記梁部材をインク滴吐出方向に凹となる方向から凸となる方向に座屈反転させ、前記インク流路内部のインクに吐出方向の慣性を与えることで前記ノズルからインク滴を吐出させることを特徴とする。
【００２０】
上記構成の発明では、吐出方向に凹となる予備変形を加えた梁部材をアクチュエータで凸方向に座屈変形させてインク滴を吐出させることで、単純な構造で高粘度インクを吐出可能とできる。
【００２１】
請求項７に記載のインクジェット記録ヘッドは前記アクチュエータは、前記梁部材の長手方向長さの略半分にわたって設けられたことを特徴とする。
【００２２】
上記構成の発明では、アクチュエータを梁部材の略半分の長さとしたことで、座屈反転の撓みが最も大きくなる梁中央部においてアクチュエータが破損することが防止され、座屈変形を起こす箇所を梁部材の中央近傍に規定できる。
【００２３】
請求項８に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記アクチュエータはピエゾアクチュエータであることを特徴とする。
【００２４】
上記構成の発明では、比較的低い応答速度でよいアクチュエータに大変位が得られるピエゾ素子を用いることで、安価で信頼性の高いインクジェット記録ヘッドとすることができる。
【００２５】
請求項９に記載のインクジェット記録装置は、請求項１乃至請求項８に記載のインクジェット記録ヘッドを使用することを特徴とする。
【００２６】
上記構成の発明では、高粘度のインクを記録媒体に吐出させることができる。従来のインクジェット記録装置と比較して、滲みのない優れた品質の記録を行うことができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明は上記構成としたので、常温で高粘度インクを吐出可能なインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置とすることができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
図１には、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが示されている。
【００２９】
図１に示すようにインクジェット記録ヘッド１０は、内部にインク流路１３を備え長さ方向略中央にノズル１６を備えたインク流路部材１２と、インク流路部材１２を支持する梁部材１４とが接合され、両端を保持部材１８が支持する構造となっている。インク流路部材１２は、インク吐出方向（図中白矢印）および逆方向に撓み可能であり、インクプール２４から供給されインク流路１３を通ってノズル１６まで達したインクを慣性によって吐出方向にインク滴として吐出する。
【００３０】
ここで用いられるインクは前述のように、媒体に着弾した際のインク滲み防止や、光学的な色濃度アップ、含水量低減による媒体の膨潤抑制／短時間乾燥、あるいは、そうした高品質インクをトータル設計するに当たり自由度が大きくとれる等の理由から、インク粘度の極めて高い、具体的には粘度１０cpsを大きく上回るような（例えば５０〜１００cps）高粘度インクである。
【００３１】
保持部材１８は回転エンコーダ２０に設けられたアーム２２に固定され、回転エンコーダ２０の回転中心からアーム２２の長さ分だけオフセットされた位置にて両側から押圧され、あるいは曲げ方向に力が加えられインク吐出方向あるいは逆方向に梁部材１４と接合したインク流路部材１２を撓ませる。
【００３２】
保持部材１８は図１（ｂ）のように、保持部材１８に複数のインク流路部材１２が設けられた梯子状の構造であってもよい。
【００３３】
以下に実際の動作について説明する。
【００３４】
図２（ａ）のようにインク流路部材１２が予めインク吐出方向（図中上）に撓みを持たせた状態であり、この状態での回転エンコーダ２０の角度を０度とした場合、図２（ｂ）のように回転エンコーダ２０を矢印方向に、例えば０度〜プラス２０度に回転させると、図２（ｃ）、図２（ｄ）のようにインク流路部材１２はインク吐出方向に撓むのみであって、撓み量が最大となる図２（ｄ）に至るまでインク流路部材１２は常にインク吐出方向に凸であり続ける。
【００３５】
すなわち図２（ａ）から図２（ｄ）まで変位するまでの間にインク流路部材１２内部のインクに吐出方向への十分な加速度が加わらないため、インク滴としてノズル１６から吐出されることはない（拡大図（ｅ））。
【００３６】
一方、図３（ａ）に示すように、インク流路部材１２が予めインク吐出方向（図中上）に撓みを持たせた状態であっても、逆回転方向（図中矢印方向）に回転エンコーダ２０を、例えばマイナス５度に回転させると、インク流路部材１２はインク吐出方向に凸から凹へと撓み方向が変化する（図３（ｂ））。
【００３７】
次に図３（ｃ）で、ここから再び回転エンコーダ２０をマイナス５度〜プラス２０度に正転（図中矢印方向）させるとインク流路部材１２は回転エンコーダ２０に近い方から次第に吐出方向（図中上）に凸へと撓み方向が変化する。この変化が両端から中央に近付くと、インク流路部材１２（あるいは梁部材１４）はある点で急峻な座屈反転を起こし、インク吐出方向（図中上）へと急激に変形する（図３（ｄ））。
【００３８】
インク流路部材１２の長さ方向略中央にはノズル１６が設けられているため、ノズル１６まで達しているインクはこの座屈反転によるインク流路部材１２の吐出方向への変形に伴い、ノズル１６からインク滴２として吐出される。
【００３９】
この座屈反転による変形の速度は通常のアクチュエータなどによる変位と比較すれば非常に大きなものであり、本発明に採用した高粘度インクであっても十分にインク滴２として吐出することが可能である。
【００４０】
図３（ｃ）から図３（ｄ）間のインク流路部材１２（梁部材１４）の変位とインク滴２の吐出の関係を図４に示す。
【００４１】
図４にはインク流路部材１２が座屈反転を起こす直前からインク滴を吐出した直後までのインク流路部材１２（梁部材１４）の、ノズル１６近傍の移動距離の時間による変化が示されている。
【００４２】
梁部材１４が座屈反転を起こす直前（ａ’）はインク吐出方向に対して略静止状態なのでノズル１６内のインクの液面に変動はない（ａ）。
【００４３】
座屈反転が起こり始めると（ｂ）、吐出方向に向けて急激に移動が始まるので、インクは慣性のため反対方向に押圧される形となり、ノズル１６内のインク面は内側に凹となる。
【００４４】
このまま座屈反転による変形が続き、やがて梁部材１４の変形が最大量となる手前で吐出方向への変位速度が落ち始める（ｃ）。内部のインクは慣性のため等速度で吐出方向に進もうとするので、両者の速度差によりノズル１６からインク滴２が突出し始める。
【００４５】
梁部材１４の変形が最大量となれば吐出方向への変位は停止するので（ｄ’）、インク滴２のみがノズル１６から突出し（ｄ）、そのまま慣性に従ってインク滴２は吐出方向に撃ち出される（ｅ）。
【００４６】
梁部材１４の座屈反転による（ａ）〜（ｅ）までの変位は極めて短い時間のあいだに起こるので、インクの粘性が高い本発明においても極めて良好な吐出性能が得られる。また、回転エンコーダ２０は保持部材１８の片方のみに設けてもインク滴２を吐出させることができる。
【００４７】
具体的には、梁部材１４は２０μｍ厚で、長さ１０ｍｍのＳＵＳプレート、流路部材１２は５０μｍ厚の樹脂フィルムを使用し、フォトリソ法で流路１３をパタニングした後、梁部材１４に積層接合する。流路部材１２をパタニングした後の流路１３の幅は５０μｍとした。ノズル１６は２５μｍ厚のポリイミドフィルムにレーザ加工を利用してφ３０μｍの孔を穿孔加工する。フィルム間はエポキシ系接着剤を用いて接合し、さらに剛体で製作した保持部材１８にエポキシ系接着剤で接合したものを使用する。
【００４８】
回転エンコーダ２０と保持部材１８は、回転エンコーダ２０の回転中心から２．５ｍｍオフセットさせた状態で接合し、インクを吐出させる時（梁座屈反転させる時）は回転エンコーダ２０をマイナス５〜プラス２０度に回転させる。この時、梁部材１４の中央部は、インク吐出方向に約１０ｍ/ｓの速度で、１ｍｍ程移動する。グリセリンの混合比を増加させて５０ｃｐｓ粘度に調整したインクは約２５μｍ径、１００ｃｐｓ粘度のインクは約２０μｍ径のインク滴２としてノズル１６から吐出する。
【００４９】
吐出実験では吐出周期は３Hzで駆動し、ストロボ法によってインク滴２を観察した。なお、回転エンコーダ２０をマイナス５〜プラス３０度回転に回転角度を増やすと、吐出するインク量は増大し、５０ｃｐｓ粘度のインクは約３０μｍ径、１００ｃｐｓ粘度のインクは約２５μｍ径のインク滴２として吐出した。
【００５０】
上記のように梁部材１４の座屈曲がり反転を利用し、慣性でインク滴２を吐出する本方法は、従来技術では極めて困難であった５０〜１００ｃｐｓの高粘度インクを、加熱することなく吐出することが可能である。
【００５１】
また梁部材１４に加える圧縮と回転の量、すなわち回転エンコーダ２０の回転角度によって、インク滴２を吐出させる／吐出させない（座屈反転が起こるか／起こらないか）を制御することが可能であり、また梁部材１４に加える圧縮と回転の量によってインクに加える慣性の大きさを可変でき、吐出するインク滴２の液量を変えることが可能となる。
【００５２】
図５には、本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが示されている。
【００５３】
図５に示すようにインクジェット記録ヘッド１１は、内部にインク流路１３を備え長さ方向略中央にノズル１６を備えたインク流路部材１２と、インク流路部材１２を支持する梁部材１４とが接合され、両端を保持部材１８が支持する構造となっている。インク流路部材１２は、インク吐出方向（図中白矢印）および逆方向に撓み可能であり、インクプール２４から供給されインク流路１３を通ってノズル１６まで達したインクを慣性によって吐出方向にインク滴として吐出する。
【００５４】
梁部材１４にはピエゾ素子３０が長さ方向の片側の略半分まで接合され、ピエゾ素子３０によって梁部材１４は曲げ方向に力が加えられインク吐出方向あるいは逆方向に梁部材１４および梁部材１４と接合したインク流路部材１２を撓ませる。
【００５５】
ピエゾ素子３０には個別電極３２が形成されており、さらに信号線３４が設けられている。信号線３４は図示しないスイッチングＩＣへ接続され、ＯＮ／ＯＦＦ制御によってインク滴を吐出する／しないの制御を受ける。
【００５６】
梁部材１４はピエゾ素子３０の共通電極を兼ねており、一方でピエゾ素子３０と接続され、他方で図示しない電源と接続されている。ピエゾ素子３０、個別電極３２、梁部材１４を併せてアクチュエータ３６として扱うことができる。
【００５７】
以下に実際の動作について説明する。
【００５８】
図６には、本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作が示されている。
【００５９】
図６（ａ）のようにインク流路部材１２（梁部材１４等は省略）は予めインク吐出方向と逆（図中下）に撓みを持たせた状態で保持されている。
【００６０】
ここでピエゾ素子３０（アクチュエータ３６を構成する他の要素は省略）が図示しないスイッチングＩＣからの信号により駆動され、インク流路部材１２をインク吐出方向（図中上）に撓ませる（図６（ｂ））。
【００６１】
これによりインク流路部材１２は保持部材１８に保持された両端部から、インク吐出方向（図中上）に撓み始める。ノズル１６の設けられた中央近傍はこの段階では反吐出方向（図中下）に凸すなわち吐出方向に凹となっている。
【００６２】
ピエゾ素子３０による変形がさらに進み、インク流路部材１２がインク吐出方向に座屈反転すると（図６（ｃ））、インク流路部材１２は保持部材１８に近い方から次第に吐出方向（図中上）に凸へと撓み方向が変化する。この変化が両端から中央に近付くと、インク流路部材１２（あるいは梁部材１４）はある点で急峻な座屈反転を起こし、インク吐出方向（図中上）へと急激に変形する。
【００６３】
インク流路部材１２の長さ方向略中央にはノズル１６が設けられているため、ノズル１６まで達しているインクはこの座屈反転によるインク流路部材１２の吐出方向への変形に伴い、ノズル１６からインク滴２として吐出される（図６（ｄ））。
【００６４】
この座屈反転による変形の速度は通常のアクチュエータなどによる変位と比較すれば非常に大きなものであり、本発明に採用した高粘度インクであっても十分にインク滴２として吐出することが可能である。すなわち、アクチュエータ３６による変位がゆっくりとしたものであっても、座屈反転による変形は十分に高速なので、高粘度のインクを使用していてもノズル１６からインク滴２を吐出させることが可能となる。
【００６５】
本実施形態においてはインク滴２を吐出する／しないの制御はピエゾ素子３０への信号のＯＮ／ＯＦＦのみなので、単純な構造で高粘度のインクを吐出するインクジェット記録ヘッドとすることができる。
【００６６】
図７には、本発明に係るインクジェット記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置が示されている。
【００６７】
図７に示すようにインクジェット記録装置５０はヘッド支持部材５４を備え、本発明のインクジェット記録ヘッド１０ないしは１１がヘッド支持部材５４に保持される。ヘッド支持部材５４はインクジェット記録ヘッド１０ないしは１１を保持し、かつインク吐出動作を妨げない構造となっている。ヘッド支持部材５４の下には状記録媒体Ｐを載置し保持するテーブル５２が設けられている。
【００６８】
記録媒体Ｐをテーブル５２にセットして、テーブル５２を平面内でＸおよびＹ方向（図中白矢印）に移動させるとともに、インクジェット記録ヘッド１０ないしは１１を駆動し、高粘度インクのインク滴２を吐出する。前述のように高粘度インクを使用しているので記録媒体Ｐに着弾した際のインク滴２の滲みは防止でき、高品質な記録が行える。
【００６９】
尚、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
【００７０】
例えば、上記実施の形態では、アクチュエータはピエゾ素子３０と梁部材１４とからなっているが、ピエゾ素子３０のかわりに発熱抵抗体を利用し、熱膨張差で撓み変形するアクチュエータであっても良いし、静電力や磁力を利用したものであっても良い。或いは、その他の形態のアクチュエータであっても良い。
【００７１】
また、上記実施の形態では、ノズル１６とインク流路１３は、それぞれ別々の樹脂フィルムに形成して接着接合したが、これに限定されない。例えば、ノズル、インク供給路を一体に形成しても良い。或いは、さらに梁部材１４が一体の構造であっても良い。或いは、その他の形態であっても良い。
【００７２】
また、上記実施の形態では、インクジェット記録ヘッド１０ないしは１１を固定し、記録媒体Ｐを移動させながら記録を行うが、例えば、記録媒体Ｐを固定し、インクジェット記録ヘッド１０ないしは１１をキャリッジに搭載して搬送しながら記録を行っても良いし、双方を搬送しながら記録を行ってもよい。あるいは記録媒体Ｐをドラムに巻き付けて回転させる構造としてもよい。
【００７３】
また、本明細書におけるインクジェット記録とは、記録紙上への文字や画像の記録に限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、液状の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりするなど、工業用的に用いられる液滴噴射装置全般に対して本発明を利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す図である。
【図２】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図３】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図４】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図５】本発明の第２形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す図である。
【図６】本発明の第２形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図７】本発明に係るインクジェット記録装置を示す図である。
【図８】従来のインクジェット記録ヘッドを示す図である。
【符号の説明】
【００７５】
１０    インクジェット記録ヘッド
１１    インクジェット記録ヘッド
１２    インク流路部材
１４    梁部材
１６    ノズル
１８    保持部材
２０    回転エンコーダ
３０    ピエゾ素子
５０    インクジェット記録装置
【図１】
2006130780.tif 000003
【図２】
2006130780.tif 000004
【図３】
2006130780.tif 000005
【図４】
2006130780.tif 000006
【図５】
2006130780.tif 000007
【図６】
2006130780.tif 000008
【図７】
2006130780.tif 000009
【図８】
2006130780.tif 000010