(57)【要約】【課題】ワークの表面を均一に粗面化することができるワークの表面加工方法を提供すること。【解決手段】ワークの表面加工方法は、ホーニング処理部１で使用された使用済ホーニング液２と洗浄処理部３で使用された使用済洗浄液４とを混合した混合液から砥粒の破砕粒を分離除去する破砕粒除去工程と、破砕粒が除去された混合液をホーニング処理部１に送ってホーニング液として再使用する再使用工程と、混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する健全砥粒回収工程と、回収された健全な砥粒を含有する回収液を混合液に戻す回収液戻し工程と、健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出工程と、外部へ排出される分離液の排出量と外部から洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させる均衡工程と、を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの表面に、ホーニング処理部で砥粒を含有するホーニング液を使用して液体ホーニング処理を施す液体ホーニング処理工程と、
前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークの表面に、洗浄処理部で外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液を使用して洗浄処理を施す洗浄処理工程と、
を含むワークの表面加工方法において、
前記ホーニング処理部で使用された使用済ホーニング液と前記洗浄処理部で使用された使用済洗浄液とを混合する混合工程と、
前記混合工程で混合された混合液から前記砥粒の破砕粒を分離除去する破砕粒除去工程と、
前記破砕粒除去工程で破砕粒が除去された混合液を前記ホーニング処理部に送ってホーニング液として再使用する再使用工程と、
前記破砕粒除去工程で前記混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する健全砥粒回収工程と、
前記健全砥粒回収工程で回収された健全な砥粒を含有する回収液を前記混合液に戻す回収液戻し工程と、
前記健全砥粒回収工程で健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出工程と、
前記分離液排出工程で外部へ排出される分離液の排出量と、前記洗浄処理工程で外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させる均衡工程と、
を含むことを特徴とするワークの表面加工方法。
【請求項２】
前記破砕粒除去工程では、前記混合液を第１液体サイクロン分離器に送ることにより、前記混合液から破砕粒を分離除去する請求項１記載のワークの表面加工方法。
【請求項３】
前記第１液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている請求項２記載のワークの表面加工方法。
【請求項４】
前記健全砥粒回収工程では、前記分離液を第２液体サイクロン分離器に送ることにより、前記分離液から健全な砥粒を回収除去する請求項１〜３のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【請求項５】
前記第２液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている請求項４項記載のワークの表面加工方法。
【請求項６】
前記均衡工程では、前記分離液を外部へ排出する分離液排出管に介装された分離液用流量調節弁と、外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給管に介装された洗浄液用流量調節弁とのうち、少なくとも一方を操作することにより、分離液の排出量と洗浄液の供給量とを均衡させる請求項１〜５のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【請求項７】
前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークを搬送装置により前記ホーニング処理部から前記洗浄処理部に搬送する搬送工程を含む請求項１〜６のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【請求項８】
前記ホーニング処理部と前記洗浄処理部を内部に有し、外気から遮断された加工槽内において、前記液体ホーニング処理工程と前記洗浄処理工程を行う請求項１〜７のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【請求項９】
前記混合液に砥粒を補給する砥粒補給工程を含む請求項１〜８のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【請求項１０】
ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である請求項１〜９のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項記載のワークの表面加工方法により、ワークとして素管の表面を加工することを特徴とするパイプの製造方法。
【請求項１２】
パイプは、感光ドラム基体用パイプである請求項１１記載のパイプの製造方法。
【請求項１３】
ワークの表面に、砥粒を含有するホーニング液を使用して液体ホーニング処理を施すホーニング処理部と、
前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークの表面に、外部から供給される洗浄液を使用して洗浄処理を施す洗浄処理部と、
を備えたワークの表面加工装置において、
前記ホーニング処理部で使用された使用済ホーニング液と前記洗浄処理部で使用された使用済洗浄液とを混合した混合液から前記砥粒の破砕粒を分離除去する第１液体サイクロン分離器と、
前記第１液体サイクロン分離器により破砕粒が除去された混合液をホーニング液として前記ホーニング処理部に送るホーニング液送り管と、
前記第１液体サイクロン分離器により前記混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する第２液体サイクロン分離器と、
前記第２液体サイクロン分離器により回収された健全な砥粒を含有する回収液を前記混合液に戻す回収液戻り管と、
前記第２液体サイクロン分離器により健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出管と、
外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給管と、
前記分離液排出管を通って外部へ排出される分離液排出量と外部から前記洗浄液供給管を通って前記洗浄処理部に供給される洗浄液供給量とを均衡させる均衡手段と、
を備えていることを特徴とするワークの表面加工装置。
【請求項１４】
前記第１液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている請求項１３記載のワークの表面加工装置。
【請求項１５】
前記第２液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている請求項１３又は１４記載のワークの表面加工装置。
【請求項１６】
前記均衡手段は、前記分離液排出管に介装された分離液用流量調節弁と、前記洗浄液供給管に介装された洗浄液用流量調節弁とを有している請求項１３〜１５のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【請求項１７】
前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークを、前記ホーニング処理部から前記洗浄処理部に搬送する搬送装置を備えている請求項１３〜１６のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【請求項１８】
前記ホーニング処理部と前記洗浄処理部を内部に有する加工槽を備えている請求項１３〜１７のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【請求項１９】
前記混合液に砥粒を補給する砥粒補給手段を備えている請求項１３〜１８のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【請求項２０】
ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である請求項１３〜１９のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【請求項２１】
請求項１３〜１９のいずれか１項記載のワークの表面加工装置を備えるとともに、
前記ワークの表面加工装置はワークとして素管の表面を加工するものとなされていることを特徴するパイプの製造装置。
【請求項２２】
パイプは、感光ドラム基体用パイプである請求項２１記載のパイプの製造装置。
【請求項２３】
ワークの表面にホーニング処理部で液体ホーニング処理を施すために使用され、砥粒を含有するホーニング液と、前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークの表面に洗浄処理部で洗浄処理を施すために使用され、外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液と、からなるワークの表面加工液の管理方法であって、
前記ホーニング処理部で使用された使用済ホーニング液と前記洗浄処理部で使用された使用済洗浄液とを混合する混合工程と、
前記混合工程で混合された混合液から前記砥粒の破砕粒を分離除去する破砕粒除去工程と、
前記破砕粒除去工程で破砕粒が除去された混合液をホーニング液として前記ホーニング処理部に送るホーニング液送り工程と、
前記破砕粒除去工程で前記混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する健全砥粒回収工程と、
前記健全砥粒回収工程で回収された健全な砥粒を含有する回収液を前記混合液に戻す回収液戻し工程と、
前記健全砥粒回収工程で健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出工程と、
外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給工程と、
前記分離液排出工程で外部へ排出される分離液の排出量と、前記洗浄液供給工程で外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させる均衡工程と、
を含むことを特徴とするワークの表面加工液管理方法。
【請求項２４】
前記破砕粒除去工程では、前記混合液を第１液体サイクロン分離器に送ることにより、前記混合液から破砕粒を分離除去する請求項２３記載のワークの表面加工液管理方法。
【請求項２５】
前記第１液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている請求項２４記載のワークの表面加工液管理方法。
【請求項２６】
前記健全砥粒回収工程では、前記分離液を第２液体サイクロン分離器に送ることにより、前記分離液から健全な砥粒を回収除去する請求項２３〜２５のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理方法。
【請求項２７】
前記第２液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている請求項２６項記載のワークの表面加工液管理方法。
【請求項２８】
前記均衡工程では、前記分離液を外部へ排出する分離液排出管に介装された分離液用流量調節弁と、外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給管に介装された洗浄液用流量調節弁とのうち、少なくとも一方を操作することにより、分離液の排出量と洗浄液の供給量とを均衡させる請求項２３〜２７のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理方法。
【請求項２９】
前記混合液に砥粒を補給する砥粒補給工程を含む請求項２３〜２８のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理方法。
【請求項３０】
ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である請求項２３〜２９のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理方法。
【請求項３１】
ワークの表面にホーニング処理部で液体ホーニング処理を施すために使用され、砥粒を含有するホーニング液と、前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークの表面に洗浄処理部で洗浄処理を施すために使用され、外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液と、からなるワークの表面加工液の管理装置であって、
前記ホーニング処理部で使用された使用済ホーニング液と前記洗浄処理部で使用された使用済洗浄液とを混合した混合液から前記砥粒の破砕粒を分離除去する第１液体サイクロン分離器と、
前記第１液体サイクロン分離器により破砕粒が除去された混合液をホーニング液として前記ホーニング処理部に送るホーニング液送り管と、
前記第１液体サイクロン分離器により前記混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する第２液体サイクロン分離器と、
前記第２液体サイクロン分離器により回収された健全な砥粒を含有する回収液を前記混合液に戻す回収液戻り管と、
前記第２液体サイクロン分離器により健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出管と、
外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給管と、
前記分離液排出管を通って外部へ排出される分離液の排出量と外部から前記洗浄液供給管を通って前記洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させる均衡手段と、
を備えていることを特徴とするワークの表面加工液管理装置。
【請求項３２】
前記第１液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている請求項３１記載のワークの表面加工液管理装置。
【請求項３３】
前記第２液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている請求項３１又は３２記載のワークの表面加工液管理装置。
【請求項３４】
前記均衡手段は、前記分離液排出管に介装された分離液用流量調節弁と、前記洗浄液供給管に介装された洗浄液用流量調節弁とを有している請求項３１〜３３のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理装置。
【請求項３５】
前記混合液に砥粒を補給する砥粒補給手段を備えている請求項３１〜３４のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理装置。
【請求項３６】
ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である請求項３１〜３５のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光ドラム基体用パイプの素管等の様々なワークの表面に液体ホーニング処理及び洗浄処理を順次施すワークの表面加工方法及びワークの表面加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば電子複写機、レーザプリンタ等に搭載される感光ドラムにおける、セレンや有機感光体等の光導電性の感光層を支持する感光ドラム基体は、アルミニウム（その合金を含む。）等の金属製パイプから形成されている。このパイプは、高い寸法精度（例：真直度）が要求される上、更に、高品位な画像を得るために高い表面精度が要求される。
【０００３】
ところで、このパイプは、多くの場合、引抜き加工により得られた素管から製作されているが、このような素管は不均一な表面状態であることが多い。そこで従来では、素管の表面を均一化（例えば均一に粗面化）するために、素管の表面に砥粒を含有するホーニング液を吹き付け素管の表面に液体ホーニング処理を施している。さらに、液体ホーニング処理された素管の表面にはホーニング液中の砥粒が付着していることから、この砥粒を除去するために、素管の表面に洗浄処理が施されている（例えば特許文献１−４参照）。
【特許文献１】特開平９−１７９３２４号公報（請求項１、図１）
【特許文献２】特開平９−２３６９３７号公報（請求項１、図１）
【特許文献３】特開２００１−２９６６７９号公報
【特許文献４】特開２００４−２４６１２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
而して、上述した、素管の表面に液体ホーニング処理及び洗浄処理を順次施す素管の表面加工方法において、複数の素管を液体ホーニング処理するためにホーニング液を繰り返し使用する場合には、次のような問題があった。
【０００５】
すなわち、使用済のホーニング液には、砥粒が素管表面に衝突することで砥粒が微細に破砕されて生じた砥粒の破砕粒が少量ながら含まれており、この破砕粒は鋭利な角をもっている。そのため、一度使用したホーニング液を再度使用すると、該ホーニング液中の破砕粒が素管の表面に突き刺さるなどして素管の表面粗度が悪化し、素管の表面を均一に粗面化することができなくなる。
【０００６】
さらに、ホーニング液を繰り返し使用する際にホーニング液の砥粒濃度が変動した場合には、複数の素管について安定した表面粗度を得ることができなくなる。
【０００７】
本発明は、上述した技術背景に鑑みてなされたもので、その目的は、ワークの表面を均一に粗面化することができるワークの表面加工方法及びこれに好適に用いることができるワークの表面加工装置を提供すること、さらに、前記ワークの表面加工方法を用いたパイプの製造方法及びこれに好適に用いることができるパイプの製造装置を提供すること、さらに、前記ワークの表面加工方法に使用される加工液におけるホーニング液を砥粒濃度が略一定になるように管理することができるワークの表面加工液管理方法及びこれに好適に用いることができるワークの表面加工液管理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は以下の手段を提供する。
【０００９】
［１］  ワークの表面に、ホーニング処理部で砥粒を含有するホーニング液を使用して液体ホーニング処理を施す液体ホーニング処理工程と、前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークの表面に、洗浄処理部で外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液を使用して洗浄処理を施す洗浄処理工程と、を含むワークの表面加工方法において、前記ホーニング処理部で使用された使用済ホーニング液と前記洗浄処理部で使用された使用済洗浄液とを混合する混合工程と、前記混合工程で混合された混合液から前記砥粒の破砕粒を分離除去する破砕粒除去工程と、前記破砕粒除去工程で破砕粒が除去された混合液を前記ホーニング処理部に送ってホーニング液として再使用する再使用工程と、前記破砕粒除去工程で前記混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する健全砥粒回収工程と、前記健全砥粒回収工程で回収された健全な砥粒を含有する回収液を前記混合液に戻す回収液戻し工程と、前記健全砥粒回収工程で健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出工程と、前記分離液排出工程で外部へ排出される分離液の排出量と、前記洗浄処理工程で外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させる均衡工程と、を含むことを特徴とするワークの表面加工方法。
【００１０】
［２］  前記破砕粒除去工程では、前記混合液を第１液体サイクロン分離器に送ることにより、前記混合液から破砕粒を分離除去する前項１記載のワークの表面加工方法。
【００１１】
［３］  前記第１液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている前項２記載のワークの表面加工方法。
【００１２】
［４］  前記健全砥粒回収工程では、前記分離液を第２液体サイクロン分離器に送ることにより、前記分離液から健全な砥粒を回収除去する前項１〜３のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【００１３】
［５］  前記第２液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている前項４項記載のワークの表面加工方法。
【００１４】
［６］  前記均衡工程では、前記分離液を外部へ排出する分離液排出管に介装された分離液用流量調節弁と、外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給管に介装された洗浄液用流量調節弁とのうち、少なくとも一方を操作することにより、分離液の排出量と洗浄液の供給量とを均衡させる前項１〜５のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【００１５】
［７］  前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークを搬送装置により前記ホーニング処理部から前記洗浄処理部に搬送する搬送工程を含む前項１〜６のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【００１６】
［８］  前記ホーニング処理部と前記洗浄処理部を内部に有し、外気から遮断された加工槽内において、前記液体ホーニング処理工程と前記洗浄処理工程を行う前項１〜７のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【００１７】
［９］  前記混合液に砥粒を補給する砥粒補給工程を含む前項１〜８のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【００１８】
［１０］  ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である前項１〜９のいずれか１項記載のワークの表面加工方法。
【００１９】
［１１］  前項１〜１０のいずれか１項記載のワークの表面加工方法により、ワークとして素管の表面を加工することを特徴とするパイプの製造方法。
【００２０】
［１２］  パイプは、感光ドラム基体用パイプである前項１１記載のパイプの製造方法。
【００２１】
［１３］  ワークの表面に、砥粒を含有するホーニング液を使用して液体ホーニング処理を施すホーニング処理部と、前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークの表面に、外部から供給される洗浄液を使用して洗浄処理を施す洗浄処理部と、を備えたワークの表面加工装置において、前記ホーニング処理部で使用された使用済ホーニング液と前記洗浄処理部で使用された使用済洗浄液とを混合した混合液から前記砥粒の破砕粒を分離除去する第１液体サイクロン分離器と、前記第１液体サイクロン分離器により破砕粒が除去された混合液をホーニング液として前記ホーニング処理部に送るホーニング液送り管と、前記第１液体サイクロン分離器により前記混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する第２液体サイクロン分離器と、前記第２液体サイクロン分離器により回収された健全な砥粒を含有する回収液を前記混合液に戻す回収液戻り管と、前記第２液体サイクロン分離器により健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出管と、外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給管と、前記分離液排出管を通って外部へ排出される分離液排出量と外部から前記洗浄液供給管を通って前記洗浄処理部に供給される洗浄液供給量とを均衡させる均衡手段と、を備えていることを特徴とするワークの表面加工装置。
【００２２】
［１４］  前記第１液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている前項１３記載のワークの表面加工装置。
【００２３】
［１５］  前記第２液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている前項１３又は１４記載のワークの表面加工装置。
【００２４】
［１６］  前記均衡手段は、前記分離液排出管に介装された分離液用流量調節弁と、前記洗浄液供給管に介装された洗浄液用流量調節弁とを有している前項１３〜１５のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【００２５】
［１７］  前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークを、前記ホーニング処理部から前記洗浄処理部に搬送する搬送装置を備えている前項１３〜１６のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【００２６】
［１８］  前記ホーニング処理部と前記洗浄処理部を内部に有する加工槽を備えている前項１３〜１７のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【００２７】
［１９］  前記混合液に砥粒を補給する砥粒補給手段を備えている前項１３〜１８のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【００２８】
［２０］  ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である前項１３〜１９のいずれか１項記載のワークの表面加工装置。
【００２９】
［２１］  前項１３〜１９のいずれか１項記載のワークの表面加工装置を備えるとともに、前記ワークの表面加工装置はワークとして素管の表面を加工するものとなされていることを特徴するパイプの製造装置。
【００３０】
［２２］  パイプは、感光ドラム基体用パイプである前項２１記載のパイプの製造装置。
【００３１】
［２３］  ワークの表面にホーニング処理部で液体ホーニング処理を施すために使用され、砥粒を含有するホーニング液と、前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークの表面に洗浄処理部で洗浄処理を施すために使用され、外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液と、からなるワークの表面加工液の管理方法であって、前記ホーニング処理部で使用された使用済ホーニング液と前記洗浄処理部で使用された使用済洗浄液とを混合する混合工程と、前記混合工程で混合された混合液から前記砥粒の破砕粒を分離除去する破砕粒除去工程と、前記破砕粒除去工程で破砕粒が除去された混合液をホーニング液として前記ホーニング処理部に送るホーニング液送り工程と、前記破砕粒除去工程で前記混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する健全砥粒回収工程と、前記健全砥粒回収工程で回収された健全な砥粒を含有する回収液を前記混合液に戻す回収液戻し工程と、前記健全砥粒回収工程で健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出工程と、外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給工程と、前記分離液排出工程で外部へ排出される分離液の排出量と、前記洗浄液供給工程で外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させる均衡工程と、を含むことを特徴とするワークの表面加工液管理方法。
【００３２】
［２４］  前記破砕粒除去工程では、前記混合液を第１液体サイクロン分離器に送ることにより、前記混合液から破砕粒を分離除去する前項２３記載のワークの表面加工液管理方法。
【００３３】
［２５］  前記第１液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている前項２４記載のワークの表面加工液管理方法。
【００３４】
［２６］  前記健全砥粒回収工程では、前記分離液を第２液体サイクロン分離器に送ることにより、前記分離液から健全な砥粒を回収除去する前項２３〜２５のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理方法。
【００３５】
［２７］  前記第２液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている前項２６項記載のワークの表面加工液管理方法。
【００３６】
［２８］  前記均衡工程では、前記分離液を外部へ排出する分離液排出管に介装された分離液用流量調節弁と、外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給管に介装された洗浄液用流量調節弁とのうち、少なくとも一方を操作することにより、分離液の排出量と洗浄液の供給量とを均衡させる前項２３〜２７のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理方法。
【００３７】
［２９］  前記混合液に砥粒を補給する砥粒補給工程を含む前項２３〜２８のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理方法。
【００３８】
［３０］  ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である前項２３〜２９のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理方法。
【００３９】
［３１］  ワークの表面にホーニング処理部で液体ホーニング処理を施すために使用され、砥粒を含有するホーニング液と、前記ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークの表面に洗浄処理部で洗浄処理を施すために使用され、外部から前記洗浄処理部に供給される洗浄液と、からなるワークの表面加工液の管理装置であって、前記ホーニング処理部で使用された使用済ホーニング液と前記洗浄処理部で使用された使用済洗浄液とを混合した混合液から前記砥粒の破砕粒を分離除去する第１液体サイクロン分離器と、前記第１液体サイクロン分離器により破砕粒が除去された混合液をホーニング液として前記ホーニング処理部に送るホーニング液送り管と、前記第１液体サイクロン分離器により前記混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去する第２液体サイクロン分離器と、前記第２液体サイクロン分離器により回収された健全な砥粒を含有する回収液を前記混合液に戻す回収液戻り管と、前記第２液体サイクロン分離器により健全な砥粒が除去された分離液を外部へ排出する分離液排出管と、外部から洗浄液を前記洗浄処理部に供給する洗浄液供給管と、前記分離液排出管を通って外部へ排出される分離液の排出量と外部から前記洗浄液供給管を通って前記洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させる均衡手段と、を備えていることを特徴とするワークの表面加工液管理装置。
【００４０】
［３２］  前記第１液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている前項３１記載のワークの表面加工液管理装置。
【００４１】
［３３］  前記第２液体サイクロン分離器は、複数段に配設されている前項３１又は３２記載のワークの表面加工液管理装置。
【００４２】
［３４］  前記均衡手段は、前記分離液排出管に介装された分離液用流量調節弁と、前記洗浄液供給管に介装された洗浄液用流量調節弁とを有している前項３１〜３３のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理装置。
【００４３】
［３５］  前記混合液に砥粒を補給する砥粒補給手段を備えている前項３１〜３４のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理装置。
【００４４】
［３６］  ワークは、感光ドラム基体用パイプの素管である前項３１〜３５のいずれか１項記載のワークの表面加工液管理装置。
【発明の効果】
【００４５】
本発明は以下の効果を奏する。
【００４６】
［１］の発明では、破砕粒が除去された使用済ホーニング液と使用済洗浄液との混合液をホーニング液として再使用するから、ワークの表面を均一に粗面化することができる。
【００４７】
さらに、健全砥粒回収工程において、混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒が回収除去されるとともに、回収液戻し工程において、回収された健全な砥粒を含有する回収液が混合液に戻されるから、健全な砥粒が外部へ排出されるのを防止することができ、もって健全な砥粒の量を略一定に維持することができる。さらに、均衡工程において、外部へ排出される分離液の排出量と、外部から洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させることにより、再使用されるホーニング液の砥粒濃度を略一定に維持することができる。したがって、ホーニング液を繰り返し使用する場合において、安定した表面粗度を得ることができる。
【００４８】
［２］の発明では、混合液から破砕粒を確実に分離除去することができる。
【００４９】
［３］の発明では、混合液から破砕粒を更に確実に分離除去することができる。
【００５０】
［４］の発明では、分離液から健全な砥粒を確実に回収除去することができる。
【００５１】
［５］の発明では、分離液から健全な砥粒を更に確実に回収除去することができる。
【００５２】
［６］の発明では、分離液の排出量と洗浄液の供給量とを確実に均衡させることができる。
【００５３】
［７］の発明では、ホーニング処理部で液体ホーニング処理されたワークを、ホーニング処理部から洗浄処理部に確実に搬送することができる。
【００５４】
［８］の発明では、外気中の埃や塵等の異物がワーク表面に付着することによるワークの表面清浄度の低下を防止することができる。
【００５５】
［９］の発明では、再使用されるホーニング液の砥粒濃度を確実に一定に維持することができる。したがって、ホーニング液について繰り返し使用可能な回数を増大させることができる。
【００５６】
［１０］の発明では、感光ドラム基体用パイプの素管の表面を均一に粗面化することができる。
【００５７】
［１１］の発明では、パイプの素管の表面を均一に粗面化することができる。
【００５８】
［１２］の発明では、感光ドラム基体用パイプの素管の表面を均一に粗面化することができる。
【００５９】
［１３］〜［２０］の発明では、本発明に係るワークの表面加工方法に好適に用いることができるワークの表面加工装置を提供できる。
【００６０】
［２１］の発明では、素管の表面を均一に粗面化することができるパイプの製造装置を提供できる。
【００６１】
［２２］の発明では、感光ドラム基体用パイプの素管の表面を均一に粗面化することができる、感光ドラム基体用パイプの製造装置を提供できる。
【００６２】
［２３］の発明では、破砕粒が除去された、使用済ホーニング液と使用済洗浄液との混合液がホーニング液としてホーニング処理部に送られる。この送られてきたホーニング液を再使用することにより、ワークの表面を均一に粗面化することができる。
【００６３】
さらに、健全砥粒回収工程において、混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒が回収除去されるとともに、回収液戻し工程において、回収された健全な砥粒を含有する回収液が混合液に戻されるから、健全な砥粒が外部へ排出されるのを防止することができ、もって健全な砥粒の量を略一定に維持することができる。さらに、均衡工程において、外部へ排出される分離液の排出量と、外部から洗浄処理部に供給される洗浄液の供給量とを均衡させることにより、再使用されるホーニング液を砥粒濃度が略一定なるように管理することができる。
【００６４】
［２４］の発明では、混合液から破砕粒を確実に分離除去することができる。
【００６５】
［２５］の発明では、混合液から破砕粒を更に確実に分離除去することができる。
【００６６】
［２６］の発明では、分離液から健全な砥粒を確実に回収除去することができる。
【００６７】
［２７］の発明では、分離液から健全な砥粒を更に確実に回収除去することができる。
【００６８】
［２８］の発明では、分離液の排出量と洗浄液の供給量とを確実に均衡させることができる。
【００６９】
［２９］の発明では、再使用されるホーニング液の砥粒濃度を確実に一定に維持することができる。したがって、ホーニング液について繰り返し使用可能な回数を増大させることができる。
【００７０】
［３０］の発明では、感光ドラム基体用パイプの素管の表面を加工するために使用される加工液について管理することができる。
【００７１】
［３１］〜［３６］の発明では、本発明に係るワークの表面加工液管理方法に好適に用いることができるワークの表面加工液管理装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７２】
次に、本発明の幾つかの実施形態について図面を参照して以下に説明する。
【００７３】
図１は、本発明の第１実施形態に係るワークの表面加工装置の概略構成図である。
【００７４】
このワークの表面加工装置（1A）により加工されるワーク（Ｗ）は、精密パイプの素管であり、詳述すると、電子複写機、レーザプリンタ、ＦＡＸ装置等に搭載される感光ドラムの基体に用いられるパイプの素管、即ち感光ドラム基体用パイプの素管である。
【００７５】
このワーク（素管）（Ｗ）は、所定長さに設定された円筒状のものであり、引抜き加工により得られたアルミニウム（その合金を含む。以下同じ。）製の引抜き管からなる。例えば、このワーク（Ｗ）の長さは２００〜４５０ｍｍ、外径は１５〜５０ｍｍ、肉厚は０．５〜２ｍｍに設定されている。
【００７６】
なお本発明では、ワーク（Ｗ）はアルミニウム製のものに限定されるものではなく、他の金属製のものであっても良いし、他の材料製のものであっても良い。また、ワーク（Ｗ）の形状は円柱状であっても良いし、他の形状であっても良い。また、ワーク（Ｗ）は引抜き管からなるものに限定されるものではなく、その他に、例えば、切削加工を用いた切削管等からなるものであっても良い。
【００７７】
本実施形態では、ワーク（素管）（Ｗ）の表面（詳述すると外周面）にこの加工装置（1A）によって液体ホーニング処理及び洗浄処理を順次施すことにより、感光ドラム基体用パイプが製造される。換言すると、この加工装置（1A）は、感光ドラム基体用パイプの製造装置に備えられた、ワーク（素管）（Ｗ）の表面に液体ホーニング処理及び洗浄処理を順次施すためのものである。
【００７８】
このワークの表面加工装置（1A）は、図１に示すように加工槽（７）を備えている。この加工槽（７）の内部には、ホーニング処理部（１）と洗浄処理部（３）と搬送装置（５）とが配置されている。ホーニング処理部（１）と洗浄処理部（３）は、加工槽（７）内において互い隣接して配置されている。また、この加工槽（７）の内部は外気から遮断されている。
【００７９】
ホーニング処理部（１）では、ワーク（Ｗ）の表面に液体ホーニング処理が施される。
【００８０】
洗浄処理部（３）では、ホーニング処理部（１）で液体ホーニング処理されたワーク（Ｗ）の表面に洗浄処理が施される。なお本実施形態によれば、洗浄処理部（３）では洗浄処理としてシャワー洗浄処理がワーク（Ｗ）の表面に施される。
【００８１】
搬送装置（５）は、ホーニング処理部（１）で液体ホーニング処理されたワーク（Ｗ）をホーニング処理部（１）から洗浄処理部（３）に搬送するためのものである。この搬送装置（５）は例えばターンテーブル式のものであって、（5a）は搬送装置（５）のターンテーブルである。
【００８２】
また、この加工槽（７）には、図示していないが、ワーク投入口とワーク取出口とワーク投入口及び取出口にそれぞれ対応する開閉蓋（例えば電動開閉蓋）とが設けられている。そして、この加工槽（７）では、液体ホーニング処理時及び洗浄処理時にワーク投入口とワーク取出口がそれぞれ対応する開閉蓋で閉塞される一方、ワーク（Ｗ）をホーニング加工槽（７）内に投入するとき及び加工槽（７）の内部からワーク（Ｗ）を取り出すときに、ワーク投入口とワーク取出口が開口されるものとなされている。
【００８３】
ホーニング処理部（１）においてワーク（Ｗ）の表面に液体ホーニング処理を施すために使用されるホーニング液（２）は、所定の平均粒径範囲に設定された砥粒を所定濃度含有している。砥粒は、従来の公知のものを用いることができ、例えば、酸化アルミニウム、炭化珪素、窒化珪素、窒化ホウ素、酸化カルシウム等からなるものを用いることができる。
【００８４】
このホーニング液（２）は、ホーニング処理部（１）に配置されたホーニングガン（1a）によってワーク（Ｗ）の表面に向けて噴出されて該ワーク（Ｗ）表面に吹き付けられる。
【００８５】
ホーニング液（２）に含有される砥粒の平均粒径は１０〜６０μｍの範囲に設定するのが望ましい。こうすることにより、ワーク（Ｗ）の表面を感光ドラム基体用パイプに適した粗さに確実に粗面化することができる。換言すると、平均粒径がこの範囲に設定された砥粒は、ワーク（Ｗ）の表面を感光ドラム基体用パイプに適した粗さ（即ち、所定の粗さ）に粗面化することができる砥粒として使用することができる。特に望ましい砥粒の平均粒径範囲は２０〜４０μｍである。
【００８６】
また、ホーニング液（２）における砥粒濃度は５〜２０vol％の範囲に設定するのが望ましい。こうすることにより、ワーク（Ｗ）の表面を感光ドラム基体用パイプに適した粗さに確実に粗面化することができる。特に望ましい砥粒濃度範囲は７〜１３vol％である。
【００８７】
なお、上述した砥粒の平均粒径範囲及び濃度範囲は、このワーク（Ｗ）から製造される製品としての感光ドラム基体用パイプに適した範囲であり、これらの範囲は、ワーク（Ｗ）の材質や製品の種類などに応じて適宜設定変更されるものである。
【００８８】
洗浄処理部（３）においてワーク（Ｗ）の表面にシャワー洗浄処理を施すために使用される洗浄液（４）は、清浄水等からなる。
【００８９】
この洗浄液（４）は、外部から洗浄処理部（３）に供給されたものであり、洗浄処理部（３）に配置された洗浄液噴射ノズル（3a）からワーク（Ｗ）の表面に噴射されるものである。
【００９０】
この加工槽（７）では、ホーニング処理部（１）で使用された使用済ホーニング液（２）と、洗浄処理部（３）で使用された使用済洗浄液（４）とは、外部へ棄てられないで、後述する混合液サブタンク（９）に混合状態で貯留されるものとなされている。
【００９１】
使用済ホーニング液（２）には、上述した所定の平均粒径範囲に設定された砥粒、即ち健全な砥粒の他に、当該健全な砥粒よりも微細な破砕粒が少量ながら含有されている。この破砕粒は、液体ホーニング処理時にホーニング液（２）中の砥粒がワーク表面に衝突することにより砥粒が微細に破砕されて生じたものである。
【００９２】
さらに、このワークの表面加工装置（1A）は、混合液サブタンク（９）と、混合液メインタンク（15）と、第１液体サイクロン分離器（13）と、第２液体サイクロン分離器（20）と、ホーニング液送り管（16）と、回収液戻り管（21）と、分離液排出管（22）と、洗浄液供給管（24）とを備えている。
【００９３】
混合液サブタンク（９）は、ホーニング処理部（１）で使用された使用済ホーニング液（２）と、洗浄処理部（３）で使用された使用済洗浄液（４）とを混合状態で貯留するためのものである。この混合液サブタンク（９）には、使用済ホーニング液（２）と使用済洗浄液（４）との混合液を加工槽（７）から混合液サブタンク（９）に導入するサブタンク用混合液導入管（８）が接続されている。使用済ホーニング液（２）と使用済洗浄液（４）とは、この混合液サブタンク（９）内で均一に混合される。あるいは、両方の液が加工槽（７）から混合液導入管（８）に流入する際に又は流入する途中で混合されるものとなされていても良い。
【００９４】
この混合液サブタンク（９）は、該サブタンク（９）内の混合液を撹拌する撹拌装置（図示せず）を有している。この撹拌装置によって混合液サブタンク（９）内の混合液を撹拌することにより、混合液中の砥粒を均一に分散させることができ、もって第１液体サイクロン分離器（13）による砥粒の破砕粒の分離除去精度を向上させることができる。
【００９５】
第１液体サイクロン分離器（13）は、混合液サブタンク（９）内の混合液から砥粒の破砕粒を分離除去するためのものである。この第１液体サイクロン分離器（13）には、混合液サブタンク（９）内の混合液を混合液サブタンク（９）から第１液体サイクロン分離器（13）に送る混合液送り管（10）が接続されている。
【００９６】
なお、（11）及び（12）は、混合液送り管（10）に介装された混合液送りポンプ及び混合液用流量調節弁である。この流量調節弁（12）は流量計（12a）を具備している。（43）は、混合液送り管（10）を流通する混合液を必要に応じて混合液サブタンク（９）に戻す混合液戻り管である。（44）は、混合液戻り管（43）に介装された開閉弁である。第１液体サイクロン分離器（13）への混合液の送り量は、混合液用流量調節弁（12）を操作することにより調節することができる。混合液戻り管（43）は通常、開閉弁（44）により閉じられており、この混合液戻り管（43）は、例えば、第１液体サイクロン分離器（13）への混合液の送り量を混合液用流量調節弁（12）によって調節する際に開閉される。
【００９７】
この第１液体サイクロン分離器（13）により分離除去される破砕粒は、その粒径が上述した砥粒の平均粒径範囲よりも小さいものであり、特に粒径が２０μｍ以下（更に好ましくは１５μｍ以下）のものであることが望ましい。なお、分離除去される破砕粒の下限値は０μｍである。
【００９８】
なお、上述した、分離除去される破砕粒の粒径範囲は、このワーク（Ｗ）から製造される製品としての感光ドラム基体用パイプに適した範囲であり、この範囲は、ワークの材質や製品の種類などに応じて適宜設定変更されるものである。
【００９９】
また、この第１液体サイクロン分離器（13）により分離除去される破砕粒の粒径範囲は、第１液体サイクロン分離器（13）への混合液の送り量、第１液体サイクロン分離器（13）の寸法等の様々な条件により決定されるものである。よって、この条件を選定することにより、第１液体サイクロン分離器（13）により分離除去される破砕粒の粒径範囲を上記の範囲に確実に設定することができる。
【０１００】
混合液メインタンク（15）は、第１液体サイクロン分離器（13）により破砕粒が除去された混合液を貯留するためのものである。この混合液メインタンク（15）には、第１液体サイクロン分離器（13）により破砕粒が除去された混合液を第１液体サイクロン分離器（13）から混合液メインタンク（15）に導入するメインタンク用混合液導入管（14）が接続されている。
【０１０１】
この混合液メインタンク（15）は、該メインタンク（15）内の混合液を撹拌する撹拌装置（図示せず）を有している。この撹拌装置によって混合液メインタンク（15）内の混合液を撹拌することにより、混合液中の砥粒を均一に分散させることができ、もってホーニング処理を良好に行えるようになる。
【０１０２】
ホーニング液送り管（16）は、第１液体サイクロン分離器（13）により破砕粒が除去された混合液をホーニング液（２）として第１液体サイクロン分離器（13）からホーニング処理部（１）に送るためのものである。本実施形態では、混合液メインタンク（15）内の混合液がホーニング液（２）として混合液メインタンク（15）からホーニング液送り管（16）を通ってホーニング処理部（１）に送られる。このホーニング液送り管（16）の出口側の端部は、ホーニング処理部（１）のホーニングガン（1a）に接続されている。
【０１０３】
なお、（17）及び（18）は、ホーニング液送り管（16）に介装されたホーニング液送りポンプ及びホーニング液用流量調節弁である。（45）は、ホーニング液送り管（16）を流通するホーニング液（２）を必要に応じて混合液メインタンク（15）に戻すホーニング液戻り管である。（46）は、ホーニング液戻り管（45）に介装された開閉弁である。ホーニング処理部（１）へのホーニング液（２）の送り量は、ホーニング液用流量調節弁（18）を操作することにより調節することができる。ホーニング液戻り管（45）は通常、開閉弁（46）により閉じられており、このホーニング液戻り管（45）は、例えば、ホーニング処理部（１）へのホーニング液（２）の送り量をホーニング液用流量調節弁（18）によって調節する際に開閉される。
【０１０４】
第２液体サイクロン分離器（20）は、第１液体サイクロン分離器（13）により混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から、健全な砥粒を回収除去するためのものである。この第２液体サイクロン分離器（20）には、分離液を第１液体サイクロン分離器（13）から第２液体サイクロン分離器（20）に送る分離液送り管（19）が接続されている。
【０１０５】
この第２液体サイクロン分離器（20）により回収除去される健全な砥粒は、ワーク（Ｗ）の表面を均一に粗面化することが可能なものであり、具体的には、その粒径が例えば上述した砥粒の平均粒径範囲のものである。
【０１０６】
なお、上述した、分離液から回収除去される健全な砥粒の粒径範囲は、このワーク（Ｗ）から製造される製品としての感光ドラム基体用パイプに適した範囲であり、この範囲は、ワーク（Ｗ）の材質や製品の種類などに応じて適宜設定変更されるものである。
【０１０７】
また、この第２液体サイクロン分離器（20）により回収除去される健全な砥粒の粒径範囲は、第２液体サイクロン分離器（20）への分離液の送り量、第２液体サイクロン分離器（20）の寸法等の様々な条件により決定されるものである。よって、この条件を選定することにより、第２液体サイクロン分離器（20）により回収除去される健全な砕粒の粒径範囲を上記の範囲に確実に設定することができる。
【０１０８】
なお、（19'）は、分離液送り管（19）に介装された流量調節弁である。この流量調節弁（19'）は流量計（19'a）を具備している。第２液体サイクロン分離器（20）への分離液の送り量は、この流量調節弁（19'）を操作することにより調節することができる。
【０１０９】
回収液戻り管（21）は、第２液体サイクロン分離器（20）により回収された健全な砥粒を含有する回収液を第２液体サイクロン分離器（20）から混合液に戻すためのものである。本実施形態では、回収液は、第２液体サイクロン分離器（20）から回収液戻り管（21）を通って混合液サブタンク（９）に供給されて該サブタンク（９）内の混合液と混合される。
【０１１０】
分離液排出管（22）は、第２液体サイクロン分離器（20）により健全な砥粒が除去された分離液を外部に排出するためのものである。本実施形態では、第２液体サイクロン分離器（20）により健全な砥粒が除去された分離液は、第２液体サイクロン分離器（20）から分離液排出管（22）を通って外部に排出される。この分離液排出管（22）の出口側の端部は、沈降分離タンク（図示せず）に接続されており、したがって、分離液が分離液排出管（22）を通って外部に排出されると、この分離液は沈降分離タンクに供給される。
【０１１１】
洗浄液供給管（24）は、外部から洗浄液（４）を加工槽（７）内の洗浄処理部（３）に供給するためのものである。この洗浄液供給管（24）の出口側の端部は、洗浄処理部（３）の洗浄液噴射ノズル（3a）に接続されている。
【０１１２】
さらに、このワークの表面加工装置（1A）は、分離液排出管（22）を通って外部へ排出される分離液の排出量と、外部から洗浄液供給管（24）を通って洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量とを均衡させる均衡手段（26）を備えている。この均衡手段（26）は、分離液排出管（22）に介装された分離液用流量調節弁（23）と、洗浄液供給管（24）に介装された洗浄液用流量調節弁（25）とからなる。
【０１１３】
分離液用流量調節弁（23）は、分離液排出管（22）を通って外部へ排出される分離液の排出量を調節するためのものであって、手動又は電動で操作可能なものであり、分離液用流量計（23a）を具備している。
【０１１４】
洗浄液用流量調節弁（25）は、洗浄液供給管（24）を通って洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量を調節するためのものであって、手動又は電動で操作可能なものであり、洗浄液用流量計（25a）を具備している。
【０１１５】
さらに、混合液サブタンク（９）には、該混合液サブタンク（９）内の混合液に砥粒を補給する砥粒補給手段（41）として、砥粒補給口からなる砥粒補給部（40）が設けられている。
【０１１６】
このワークの表面加工装置（1A）では、加工液の総量は、外部から洗浄液供給管（24）を通って洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量と、分離液排出管（22）を通って外部へ排出される分離液の排出量とだけで設定されるものとなされている。
【０１１７】
なお、本発明に用いる液体サイクロン分離器（13）（20）は、従来の標準的な液体サイクロン分離器から選定することができる。液体サイクロン分離器（13）（20）として、例えば、直径１に対して全長１．５〜３の比率のものを用いることができ、更に詳述すると直径１に対し全長２（ストレート部１＋コーン部１）の比率のものを用いることができる。第１液体サイクロン分離器（13）は処理量の確保を目的とし、第２液体サイクロン分離器（20）は分級精度の確保を目的として、選定したものである。
【０１１８】
次に、上記ワークの表面加工装置（1A）を用いたワークの表面加工方法について以下に説明する。
【０１１９】
まず、未加工のワーク（Ｗ）を加工槽（７）内に入れてホーニング処理部（１）に配置する。本実施形態では、ホーニング処理部（１）に配置されたワーク（Ｗ）は、搬送装置（５）のターンテーブル（5a）上に搭載される。
【０１２０】
次いで、ホーニング処理部（１）において、ワーク（Ｗ）の表面に公知の方法で液体ホーニング処理を施す［液体ホーニング処理工程］。
【０１２１】
この液体ホーニング処理を簡単に説明すると、次のとおりである。
【０１２２】
すなわち、ホーニング液送り管（16）を通ってホーニング処理部（１）に送られてきたホーニング液（２）を、ホーニングガン（1a）によって、自軸回転しているワーク（Ｗ）の表面に向けて噴射して、該ワーク（Ｗ）の表面にホーニング液（２）を吹き付けながら、ホーニングガン（1a）をワーク（Ｗ）の軸方向に移動させる。これにより、ワーク（Ｗ）の表面全体に液体ホーニング処理が施され、ワーク（Ｗ）の表面全体が粗面化される。なお、この際には、メインタンク（15）内に予め初期量のホーニング液（２）が貯留されている。
【０１２３】
次いで、ホーニング処理部（１）で液体ホーニング処理されたワーク（Ｗ）を搬送装置（５）によってホーニング処理部（１）から洗浄処理部（３）に搬送する［搬送工程］。
【０１２４】
次いで、新たに未加工のワーク（Ｗ）を加工槽（７）内に入れて上記と同じようにホーニング処理部（１）に配置する。
【０１２５】
次いで、洗浄処理部（３）において、液体ホーニング処理されたワーク（Ｗ）の表面に公知の方法で洗浄処理としてシャワー洗浄処理を施す［洗浄処理工程］。またこれと同時に、ホーニング処理部（１）において、未加工のワーク（Ｗ）の表面に液体ホーニング処理を施す。
【０１２６】
洗浄処理部（３）で行われる洗浄処理を簡単に説明すると、次のとおりである。
【０１２７】
すなわち、外部から洗浄液（４）を洗浄液供給管（24）を通じて洗浄処理部（３）に供給する［洗浄液供給工程］。そして、供給されてきた洗浄液（４）を洗浄液噴射ノズル（3a）から自軸回転しているワーク（Ｗ）の表面に噴射しながら、該ノズル（3a）をワーク（Ｗ）の軸方向に移動させる。これにより、ワーク（Ｗ）の表面全体に洗浄処理が施され、ワーク（Ｗ）の表面に付着した砥粒が除去される。
【０１２８】
次いで、洗浄処理されたワーク（Ｗ）を洗浄処理部（３）から加工槽（７）外側に取り出す。これにより、所望する加工品が得られる。この加工品は感光ドラム基体用パイプとして用いられる。
【０１２９】
次いで、ホーニング処理部（１）でホーニング処理されたワーク（Ｗ）を、搬送装置（５）によってホーニング処理部（１）から洗浄処理部（３）に搬送する。次いで、新たに未加工のワーク（Ｗ）を加工槽（７）内に入れて上記と同じようにホーニング処理部（１）に配置する。そして、それぞれのワーク（Ｗ）の表面に上述のように所定の処理を施す。
【０１３０】
以上のように、未加工のワーク（Ｗ）を次々に加工槽（７）内に入れるとともに、加工槽（７）内に入れられたワーク（Ｗ）をホーニング処理部（１）及び洗浄処理部（３）に順次搬送することにより、複数のワーク（Ｗ）についてワークの表面加工を連続して行う。
【０１３１】
このワークの表面加工方法において、ホーニング処理部（１）で使用された使用済ホーニング液（２）と、洗浄処理部（３）で使用された使用済洗浄液（４）とを、サブタンク用混合液導入管（８）を通じて混合液サブタンク（９）に導入供給し、両方の液（２）（４）を混合液サブタンク（９）内で混合して一時的に貯留する［混合工程］。
【０１３２】
次いで、混合液サブタンク（９）内の混合液には砥粒の破砕粒が少量含有されていることから、この破砕粒を混合液から分離除去するため、混合液サブタンク（９）内の混合液を混合液送りポンプ（11）の動力によって混合液送り管（10）を通じて第１液体サイクロン分離器（13）に送る。これにより、第１液体サイクロン分離器（13）によって混合液から破砕粒を分離除去する［破砕粒除去工程］。
【０１３３】
この破砕粒除去工程では、混合液が第１液体サイクロン分離器（13）に送られて供給されると、混合液中の健全な砥粒は、破砕粒よりも比重が大きいため、第１液体サイクロン分離器（13）からの遠心力によって、第１液体サイクロン分離器（13）内を流下して該第１液体サイクロン分離器（13）の混合液排出口からメインタンク用混合液導入管（14）に流入する。一方、混合液中の破砕粒は、健全な砥粒よりも比重が小さいため、第１液体サイクロン分離器（13）内を上昇して該第１液体サイクロン分離器（13）の分離液排出口から分離液送り管（19）に流入する。このようにして、混合液から破砕粒が分離除去される。
【０１３４】
なお、第１液体サイクロン分離器（13）への混合液の送り量は、混合液用流量調節弁（12）を操作することにより調節することができる。
【０１３５】
破砕粒が除去された混合液は、メインタンク用混合液導入管（14）を通って混合液メインタンク（15）に導入供給され、該メインタンク（15）に一時的に貯留される。
【０１３６】
次いで、混合液メインタンク（15）内の混合液を、ホーニング液（２）として、ホーニング液送りポンプ（17）の動力によってホーニング液送り管（16）を通じてホーニング処理部（１）に送る。送られてきたホーニング液（２）は、ホーニングガン（1a）に供給され、ホーニング処理部（１）に配置された未加工のワーク（Ｗ）の表面を液体ホーニング処理するために再使用される［再使用工程］。
【０１３７】
一方、第１液体サイクロン分離器（13）により混合液から分離された破砕粒を含有する分離液には、健全な砥粒が少量残存していることから、この分離液から健全な砥粒を回収除去するため、この分離液を分離液送り管（19）を通じて第２液体サイクロン分離器（20）に送る。これにより、第２液体サイクロン分離器（20）によって分離液から健全な砥粒を回収除去する［健全砥粒回収工程］。
【０１３８】
この健全砥粒回収工程では、分離液が第２液体サイクロン分離器（20）に送られて供給されると、分離液中の健全な砥粒は、破砕粒よりも比重が大きいため、第２液体サイクロン分離器（20）からの遠心力によって、第２液体サイクロン分離器（20）内を流下して該第２液体サイクロン分離器（20）の回収液排出口から回収液戻り管（21）に流入する。一方、分離液中の破砕粒は、健全な砥粒よりも比重が小さいため、第２液体サイクロン分離器（20）内を上昇して該第２液体サイクロン分離器（20）の分離液排出口から分離液排出管（22）に流入する。このようにして、分離液から健全な砥粒が回収除去される。
【０１３９】
なお、第２液体サイクロン分離器（20）への分離液の送り量は、流量調節弁（19'）を操作することにより調節することができる。
【０１４０】
次いで、回収された健全な砥粒を含有する回収液を、混合液に戻すために、回収液戻り管（21）を通じて混合液サブタンク（９）に供給する［回収液戻し工程］。これにより、回収液が混合液サブタンク（９）内の混合液と混合される。
【０１４１】
一方、健全な砥粒が除去された分離液を、分離液排出管（22）を通じて外部へ排出する［分離液排出工程］。なお、排出された分離液は、上述したように沈降分離タンク（図示せず）に供給される。
【０１４２】
さらに、以上のワーク（Ｗ）の表面加工時において、分離液排出管（22）を通って外部へ排出される分離液の排出量と、外部から洗浄液供給管（24）を通って洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量とを均衡させる［均衡工程］。本実施形態では、分離液用流量調節弁（23）と洗浄液用流量調節弁（25）のうち少なくとも一方を操作することにより、分離液の排出量と洗浄液（４）の供給量とを均衡させる。
【０１４３】
なお本実施形態では、分離液用流量調節弁（23）だけを操作して分離液の排出量を調節することにより、両方の量を均衡させても良いし、洗浄液用流量調節弁（25）だけを操作して洗浄液（４）の供給量を調節することにより、両方の量を均衡させても良いし、あるいは、両方の流量調節弁（23）（25）を操作して分離液の排出量と洗浄液（４）の供給量とを調節することにより、両方の量を均衡させても良い。また、各流量調節弁（23）（25）の操作は、手動で行われるものとなされていても良いし、自動で行われるものとなされていても良い。
【０１４４】
なおこの均衡工程では、不測の事態によりホーニング液（２）の砥粒濃度が変化した場合には、分離液の排出量と洗浄液の供給量との均衡を変えることで、砥粒濃度を容易に調節することができる。例えば、砥粒濃度が低下した場合には、洗浄液の供給量を減少させるか、分離液の排出量を増加させれば良い。一方、砥粒濃度が増加した場合には、洗浄液の供給量を増加させるか、分離液の排出量を低減させれば良い。
【０１４５】
而して、上記のワークの表面加工方法及び表面加工装置（1A）は、次の利点を有している。
【０１４６】
すなわち、上記ワークの表面加工方法では、混合工程において使用済ホーニング液（２）と使用済洗浄液（４）とが混合され、次いで破砕粒除去工程においてこの混合液から破砕粒が分離除去される。そして、再使用工程において、破砕粒が除去された混合液をホーニング液（２）としてホーニング液送り管（16）を通じてホーニング処理部（１）に送って再使用する。このとき、再使用されるホーニング液（２）には破砕粒が除去されているから、ワーク（Ｗ）の表面に液体ホーニング処理を良好に施すことができて、ワーク（Ｗ）の表面を均一に粗面化することができる。
【０１４７】
さらに、健全砥粒回収工程において、混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から健全な砥粒が回収除去されるとともに、回収液戻し工程において、混合液から回収された健全な砥粒を含有する回収液が回収液戻り管（21）を通って混合液に戻されるから、健全な砥粒が外部へ排出されるのを防止することができ、もって健全な砥粒の量を略一定に維持することができる。さらに、均衡工程において、分離液排出管（22）を通って外部へ排出される分離液の排出量と、外部から洗浄液供給管（24）を通って洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量とを均衡させることにより、再使用されるホーニング液（２）の砥粒濃度を略一定に維持することができる。したがって、ホーニング液（２）を繰り返し使用して複数のワーク（Ｗ）の表面加工を行う場合において、安定した表面粗度を得ることができる。
【０１４８】
なお、上記のワークの表面加工方法によれば、分離液排出工程では分離液中の破砕粒が分離液と一緒に外部へ排出されるから、砥粒の総量は厳密には減少するけれども、分離液中の破砕粒の含有量は極少量であるから、分離液中の破砕粒が外部へ排出されても、ホーニング液（２）の砥粒濃度は殆ど低下しない。したがって、ホーニング液（２）の砥粒濃度は略一定に維持される。
【０１４９】
さらに、本実施形態では、ワークの表面加工時において、外部から新たな砥粒（Ｔ）を破砕粒の排出量相当分だけ混合液に補給しても良い［砥粒補給工程］。こうすることにより、ホーニング液（２）の砥粒濃度を確実に一定に維持することができ、もってホーニング液について繰り返し使用可能な回数を更に増大させることができる。なお、砥粒（Ｔ）は、砥粒補給手段（41）としての、混合液サブタンク（９）の砥粒補給部（40）から、該サブタンク（９）に適宜投入されて、該サブタンク（９）内の混合液に補給される。
【０１５０】
また、破砕粒除去工程において、混合液から破砕粒を分離除去する装置として第１液体サイクロン分離器（13）を用いていることから、この第１液体サイクロン分離器（13）に混合液を送ることにより、混合液から破砕粒を確実に分離除去することができる。
【０１５１】
さらに、健全砥粒回収工程において、分離液から健全な砥粒を回収除去する装置として第２液体サイクロン分離器（20）を用いていることから、この第２液体サイクロン分離器（20）に分離液を送ることにより、分離液から健全な砥粒を確実に回収除去することができる。
【０１５２】
また、搬送工程において、ホーニング処理部（１）で液体ホーニング処理されたワーク（Ｗ）は、搬送装置（５）によりホーニング処理部（１）から洗浄処理部（３）に搬送されるので、ワーク（Ｗ）の搬送を確実に行うことができる。
【０１５３】
また、ホーニング処理部（１）と洗浄処理部（３）とを内部に有し、外気から遮断された加工槽（７）内において、液体ホーニング処理工程と洗浄処理工程が行われるから、外気中の埃や塵等の異物がワーク（Ｗ）表面に付着することによるワーク（Ｗ）の表面清浄度の低下を防止することができる上、更に、回収される使用済ホーニング液（２）及び使用済洗浄液（４）への異物の混入を防止できる。さらに、加工槽（７）内の圧力を外気に対して陽圧に設定しても良く、この場合、同様の効果を得ることができる。
【０１５４】
また、ワークの表面加工装置（1A）は、分離液の排出量と洗浄液（４）の供給量とを均衡させる均衡手段（26）として、分離液用流量調節弁（23）と洗浄液用流量調節弁（25）とを有していることから、両方の流量調節弁（23）（25）のうち少なくとも一方を操作することにより、分離液の排出量と洗浄液（４）の供給量とを確実に且つ簡単に均衡させることができる。
【０１５５】
次に、上記ワークの表面加工装置（1A）によってワーク（Ｗ）の表面を加工する場合における、本発明の第１実施形態に係るワークの表面加工液管理方法及び管理装置（1C）について、図２に示した工程図を参照して説明する。
【０１５６】
本第１実施形態のワークの表面加工液管理方法及び管理装置（1C）では、ワークの表面加工液は、加工槽（７）内のホーニング処理部（１）で使用されるホーニング液（２）と洗浄処理部（３）で使用される洗浄液（４）とからなる。
【０１５７】
図１及び図２に示すように、ホーニング液（２）は、上述したようにホーニング液送り管（16）を通ってホーニング処理部（１）に供給される。
【０１５８】
洗浄液（４）は、上述したように外部から洗浄液供給管（24）を通って洗浄処理部（３）に供給される［洗浄液供給工程（106）］。
【０１５９】
ホーニング処理部（１）と洗浄処理部（３）とでそれぞれ使用された使用済ホーニング液（２）と使用済洗浄液（４）は、サブタンク用混合液導入管（８）を通って混合液サブタンク（９）に導入供給され、該サブタンク（９）内で混合されて一時的に貯留される［混合工程（100）］。
【０１６０】
混合液サブタンク（９）内の混合液は、混合液送り管（10）を通って第１液体サイクロン分離器（13）に送られることにより、混合液から破砕粒が分離除去される［破砕粒除去工程（101）］。
【０１６１】
破砕粒除去工程（101）で破砕粒が除去された混合液は、メインタンク用混合液導入管（14）を通って混合液メインタンク（15）に導入供給され、該メインタンク（15）に一時的に貯留される。そして、混合液メインタンク（15）内の混合液は、ホーニング液（２）として、ホーニング液送りポンプ（17）の動力によってホーニング液送り管（16）を通ってホーニング処理部（１）に送られる［ホーニング液送り工程（102）］。送られてきたホーニング液（２）は、ホーニングガン（1a）に供給され、ホーニング処理部（１）に配置された未加工のワーク（Ｗ）の表面を液体ホーニング処理するために再使用される。
【０１６２】
破砕粒除去工程（101）で混合液から分離された破砕粒を含有する分離液は、分離液送り管（19）を通って第２液体サイクロン分離器（20）に送られ、これにより、分離液から健全な砥粒が回収除去される［健全砥粒回収工程（103）］。
【０１６３】
健全砥粒回収工程（103）で回収された健全な砥粒を含有する回収液は、これを混合液に戻すために回収液戻り管（21）を通って混合液サブタンク（９）に供給されて該サブタンク（９）内の混合液と混合される［回収液戻し工程（104）］。
【０１６４】
健全砥粒回収工程（103）で健全な砥粒が除去された分離液は、分離液排出管（22）を通って外部へ排出される［分離液排出工程（105）］。
【０１６５】
分離液排出工程（105）で外部へ排出される分離液の排出量と、洗浄液供給工程（106）で外部から洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量とは、均衡手段（26）としての分離液用流量調節弁（23）と洗浄液用流量調節弁（25）とのうち少なくとも一方を操作することにより、均衡される［均衡工程（107）］。
【０１６６】
また、必要に応じて、外部から新たな砥粒（Ｔ）を破砕粒の排出量相当分だけ砥粒補給部（40）から混合液サブタンク（９）に投入して該サブタンク（９）内の混合液に補給する［砥粒補給工程（108）］。
【０１６７】
而して、上記のワークの表面加工液管理方法及び管理装置（1C）は、次の利点を有している。
【０１６８】
すなわち、破砕粒除去工程（101）では使用済ホーニング液（２）と使用済洗浄液（４）との混合液から破砕粒が分離除去される。そして、ホーニング液送り工程（102）において、破砕粒が除去された混合液がホーニング液（２）としてホーニング液送り管（16）を通ってホーニング処理部（１）に送られる。この送られてきたホーニング液（２）を再使用することにより、ワーク（Ｗ）の表面を均一に粗面化することができる。
【０１６９】
さらに、健全砥粒回収工程（103）において、混合液から分離された破砕粒を含有する分離液から健全な砥粒が回収除去されるとともに、回収液戻し工程（104）において、回収された健全な砥粒を含有する回収液が回収液戻り管（21）を通って混合液に戻されるから、健全な砥粒が外部へ排出されるのを防止することができ、もって健全な砥粒の量を略一定に維持することができる。さらに、均衡工程（107）において、外部へ排出される分離液の排出量と、外部から洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量とを均衡させることにより、再使用されるホーニング液（２）を砥粒濃度が略一定になるように管理することができる。
【０１７０】
また、破砕粒除去工程（101）において、混合液を第１液体サイクロン分離器（13）に送ることにより、混合液から破砕粒を確実に分離除去することができる。
【０１７１】
また、健全砥粒回収工程（103）において、分離液を第２液体サイクロン分離器（20）に送ることにより、分離液から健全な砥粒を確実に回収除去することができる。
【０１７２】
また、砥粒補給工程（108）において、外部から砥粒（Ｔ）を混合液に補給することにより、ホーニング液（２）の砥粒濃度を確実に一定に維持することができ、もってホーニング液（２）について繰り返し使用可能な回数を更に増大させることができる。
【０１７３】
また、ワークの表面加工液管理装置（1C）は、分離液の排出量と洗浄液（４）の供給量とを均衡させる均衡手段（26）として、分離液用流量調節弁（23）と洗浄液用流量調節弁（25）とを有していることから、両方の流量調節弁（23）（25）のうち少なくとも一方を操作することにより、分離液の排出量と洗浄液（４）の供給量とを確実に且つ簡単に均衡させることができる。
【０１７４】
図３は、本発明の第２実施形態に係るワークの表面加工装置の概略構成図である。
【０１７５】
このワークの表面加工装置（1B）では、第１液体サイクロン分離器（13）は、混合液流れ方向において上流側と下流側に二段に配設されており、また第２液体サイクロン分離器（20）は、分離液流れ方向において上流側と下流側に二段に配設されている。
【０１７６】
このワークの表面加工装置（1B）では、混合液サブタンク（９）内の混合液は、第１混合液送りポンプ（11A）の動力によって、第１混合液送り管（10A）を通って一段目の第１液体サイクロン分離器（13A）に送られる。これにより、混合液から破砕粒が分離除去される。
【０１７７】
破砕粒が除去された混合液は、第１メインタンク用混合液導入管（14A）を通って第１混合液メインタンク（15A）に導入供給され、該メインタンク（15A）に一時的に貯留される。この第１混合液メインタンク（15A）は、該メインタンク（15A）内の混合液を撹拌する撹拌装置（図示せず）を有している。
【０１７８】
そして、第１混合液メインタンク（15A）内の混合液は、第２混合液送りポンプ（11B）の動力によって、第２混合液送り管（10B）を通って二段目の第１液体サイクロン分離器（13B）に送られる。これにより、混合液から破砕粒が再度分離除去され、もって混合液中における破砕粒の含有量（残存量）が更に一層低下する。
【０１７９】
こうして破砕粒の含有量が著しく低下した混合液は、第２メインタンク用混合液導入管（14B）を通って第２混合液メインタンク（15B）に導入供給され、該メインタンク（15B）に一時的に貯留される。この第２混合液メインタンク（15B）は、該メインタンク（15B）内の混合液を撹拌する撹拌装置（図示せず）を有している。
【０１８０】
そして、第２混合液メインタンク（15B）内の混合液は、ホーニング液送りポンプ（17）の動力によって、ホーニング液（２）として、ホーニング液送り管（16）を通ってホーニング処理部（１）に送られ、未加工のワーク（Ｗ）の表面に液体ホーニング処理に施すために再使用される。
【０１８１】
また、二段目の第１液体サイクロン分離器（13B）により混合液から分離された破砕粒を含有する分離液は、第２分離液送り管（19B）を通って混合液サブタンク（９）に供給され、該サブタンク（９）内の混合液と混合される。
【０１８２】
一方、一段目の第１液体サイクロン分離器（13A）により混合液から分離された破砕粒を含有する分離液は、第１分離液送り管（19A）を通って一段目の第２液体サイクロン分離器（20A）に送られる。これにより、分離液から健全な砥粒が回収除去される。
【０１８３】
一段目の第２液体サイクロン分離器（20A）により回収された健全な砥粒を含有する回収液は、第１回収液戻り管（21A）を通って混合液サブタンク（９）に供給され、該サブタンク（９）内の混合液と混合される。
【０１８４】
一段目の第２液体サイクロン分離器（20A）により健全な砥粒が除去された分離液は、分離液導入管（30）を通って分離液タンク（31）に導入供給され、該分離液タンク（31）に一時的に貯留される。この分離液タンク（31）は、該タンク（31）内の分離液を撹拌する撹拌装置（図示せず）を有している。
【０１８５】
そして、分離液タンク（31）内の分離液は、分離液送りポンプ（33）の動力によって、第３分離液送り管（32）を通って二段目の第２液体サイクロン分離器（20B）に送られる。これにより、分離液から健全な砥粒が再度回収除去され、もって分離液中における健全な砥粒の含有量（残存量）が更に一層低下する。
【０１８６】
こうして健全な砥粒の含有量が著しく低下した分離液は、分離液排出管（22）を通って外部へ排出される。
【０１８７】
二段目の第２液体サイクロン分離器（20B）により回収された健全な砥粒を含有する回収液は、第２回収液戻り管（21B）を通って混合液サブタンク（９）に供給され、該サブタンク（９）内の混合液と混合される。
【０１８８】
なお、（12A）は、第１混合液送り管（10A）に介装された混合液用第１流量調節弁である。この第１流量調節弁（12A）は流量計（12Aa）を具備している。（43A）は、第１混合液送り管（10A）を流通する混合液を必要に応じて混合液サブタンク（９）に戻す第１混合液戻り管である。（44A）は、第１混合液戻り管（43A）に介装された開閉弁である。一段目の第１液体サイクロン分離器（13A）への混合液の送り量は、この第１流量調節弁（12A）を操作することにより調節することができる。
【０１８９】
また、（12B）は、第２混合液送り管（10B）に介装された混合液用第２流量調節弁である。この第２流量調節弁（12B）は流量計（12Ba）を具備している。（43B）は、第２混合液送り管（10B）を流通する混合液を必要に応じて第１混合液メインタンク（15A）に戻す第２混合液戻り管である。（44B）は、第２混合液戻り管（43B）に介装された開閉弁である。二段目の第１液体サイクロン分離器（13B）への混合液の送り量は、この第２流量調節弁（12B）を操作することにより調節することができる。
【０１９０】
また、（19A'）は、第１分離液送り管（19A）に介装された流量調節弁である。この流量調節弁（19A'）は流量計（19A'a）を具備している。一段目の第２液体サイクロン分離器（20A）への分離液の送り量は、この流量調節弁（19A'）を操作することにより調節することができる。
【０１９１】
また、（19B'）は、第２分離液送り管（19B）に介装された流量調節弁である。この流量調節弁（19B'）は流量計（19B'a）を具備している。
【０１９２】
また、（34）は、第３分離液送り管（32）に介装された流量調節弁である。この流量調節弁（34）は流量計（34a）を具備している。二段目の第２液体サイクロン分離器（20B）への分離液の送り量は、この流量調節弁（34）を操作することにより調節することができる。（47）は、第３分離液送り管（32）を流通する分離液を必要に応じて分離液タンク（31）に戻す分離液戻り管である。（48）は、分離液戻り管（47）に介装された開閉弁である。
【０１９３】
上記第２実施形態のワークの表面加工方法及び加工装置（1B）の他の構成は、上記第１実施形態のもとの同じである。
【０１９４】
而して、上記ワークの表面加工方法及び加工装置（1B）は、更に次の利点を有している。
【０１９５】
すなわち、第１液体サイクロン分離器（13）が二段に配設されているので、混合液から破砕粒を更に確実に分離除去することができ、もってワーク（Ｗ）の表面を更に均一に粗面化することができる。
【０１９６】
さらに、第２液体サイクロン分離器（20）が二段に配設されているので、分離液から健全な砥粒を更に確実に回収除去することができる。
【０１９７】
而して、上記第２実施形態のワークの表面加工装置（1B）によってワーク（Ｗ）の表面を加工する場合における、本発明の第２実施形態に係るワークの表面加工液管理方法及び管理装置（1D）において、その構成は、上述した第２実施形態のワークの表面加工方法及び加工装置（1B）の説明により容易に理解されるであろう。
【０１９８】
以上で、本発明の幾つかの実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に示したものに限定されるものではなく、様々に設定変更加工である。
【０１９９】
例えば、第１液体サイクロン分離器（13）は、一段であっても良いし、三段に配設されていても良いし、四段以上に配設されていても良い。また、第２液体サイクロン分離器（20）は、一段であっても良いし、三段に配設させていても良いし、四段以上に配設されていても良い。
【０２００】
また、本発明では、液体ホーニング処理と洗浄処理とが同一場所で行われるものであっても良く、すなわちホーニング処理部と洗浄処理部とが共通していても良い。なおこの場合には、当然のことながらワークをホーニング処理部から洗浄処理部に搬送する搬送装置は必要とされない。
【０２０１】
また、本発明に係るワークの表面加工方法により加工されるワークは、感光ドラム基体用パイプの素管の他に、例えば、光学機器（例：カメラ、望遠鏡）に搭載される鏡筒用パイプ等の精密パイプの素管であっても良いし、その他の用途に用いられる素管であっても良い。
【実施例】
【０２０２】
次に、本発明の具体的な実施例を以下に示す。
【０２０３】
＜実施例１＞
ワークの表面加工装置として、図１に示した第１実施形態のもの（1A）を準備した。また、ワーク（Ｗ）として、感光ドラム基体用パイプの素管（アルミニウム製）を準備した。ワーク（素管）（Ｗ）の長さは２００〜４５０ｍｍ、外径は１５〜５０ｍｍ、肉厚は０．５〜２．０ｍｍである。
【０２０４】
また、使用した砥粒は酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）からなり、その平均粒径は２０〜４０μｍの範囲に設定されている。また、使用したホーニング液（２）の砥粒濃度は７〜１３vol％の範囲に設定されている。
【０２０５】
また、第１液体サイクロン分離器（13）において、その長さ（高さ）は４００ｍｍ、上部（即ち大径部）の直径はφ１５０ｍｍ、混合液送り管（10）と接続される混合液供給口の口径はφ２０ｍｍ、メインタンク用混合液導入管（14）と接続される混合液排出口の口径はφ１５ｍｍ、分離液送り管（19）と接続される分離液排出口の口径はφ１０ｍｍである。
【０２０６】
また、第２液体サイクロン分離器（20）において、その長さ（高さ）は２００ｍｍ、上部（即ち大径部）の直径はφ１００ｍｍ、分離液送り管（19）と接続される分離液供給口の口径はφ１５ｍｍ、回収液戻り管（21）と接続される回収液排出口の口径はφ１３ｍｍ、分離液排出管（22）と接続される分離液排出口の口径はφ１０ｍｍである。
【０２０７】
また、図１に示すように、ホーニング液送り管（16）を流通するホーニング液（２）の流量は、ホーニング液用流量調節弁（18）を操作することにより３５Ｌ／ｍｉｎに設定した。洗浄液供給管（24）を流通する洗浄液の流量、即ち外部から洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量は、洗浄液用流量調節弁（25）を操作することにより１０Ｌ／ｍｉｎに設定した。したがって、サブタンク用混合液導入管（８）を流通する混合液の流量は４５Ｌ／ｍｉｎに設定される。
【０２０８】
混合液送り管（10）を流通する混合液の流量は、混合液用流量調節弁（12）を操作することにより５０Ｌ／ｍｉｎに設定した。また、メインタンク用混合液導入管（14）を通流する混合液の流量は３５Ｌ／ｍｉｎ、分離液送り管（19）を流通する分離液の流量は１５Ｌ／ｍｉｎにそれぞれ設定した。
【０２０９】
回収液戻り管（21）を流通する回収液の流量は５Ｌ／ｍｉｎに設定した。分離液排出管（22）を流通する分離液の流量、即ち外部へ排出される分離液の排出量は、分離液用流量調節弁（23）を操作することにより１０Ｌ／ｍｉｎに設定し、外部から洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量と均衡させた（即ち同量にした）。
【０２１０】
また、第１液体サイクロン分離器（13）により分離除去される破砕粒の粒径は、２０μｍ以下に設定した。
【０２１１】
また、第２液体サイクロン分離器（20）により回収除去される健全な砥粒の粒径は、上記砥粒の平均粒径範囲に設定した。
【０２１２】
また、各タンク（９）（15）内の液はプロペラ撹拌装置により撹拌した。
【０２１３】
以上の条件で、ホーニング液（２）を繰り返し使用して１０００個のワーク（Ｗ）の表面加工を行ったところ、全てのワーク（Ｗ）の表面を均一に粗面化することができ、また安定した表面粗度を得ることができた。
【０２１４】
なお、本実施例において、ワーク（Ｗ）において均一な表面粗度を得るためには、ホーニング液（２）のホーニング処理部（１）への供給量が３５Ｌ／ｍｉｎである場合、分離液送り管（19）を流通する分離液の流量が５Ｌ／ｍｉｎ以上（特に望ましくは１０Ｌ／ｍｉｎ以上）になるように設定することが望ましい。その理由は、分離液の流量が５Ｌ／ｍｉｎ未満では、第１液体サイクロン分離器（13）による破砕粒の分離除去能力が不足し、破砕粒が混合液中に残存する虞があるからである。
【０２１５】
＜実施例２＞
ワークの表面加工装置として、図３に示した第２実施形態のもの（1B）を準備した。また、ワーク（Ｗ）として、上記実施例１と同じものを準備した。
【０２１６】
また、使用した砥粒及びその平均粒径の範囲は、上記実施例１と同じである。また同じく、ホーニング液（２）の砥粒濃度は、上記実施例１と同じである。
【０２１７】
また、二段の第１液体サイクロン分離器（13A）（13B）のうち、一段目の第１液体サイクロン分離器（13A）において、その長さ（高さ）は４００ｍｍ、上部（即ち大径部）の直径はφ１５０ｍｍ、混合液送り管（10A）と接続される混合液供給口の口径はφ２０ｍｍ、メインタンク用混合液導入管（14A）と接続される混合液排出口の口径はφ１５ｍｍ、分離液送り管（19A）と接続される分離液排出口の口径はφ１０ｍｍである。二段目の第１液体サイクロン分離器（13B）の構成は、一段目の第１液体サイクロン分離器（13A）と同じである。
【０２１８】
また、二段の第２液体サイクロン分離器（20A）（20B）のうち、一段目の第２液体サイクロン分離器（20A）において、その長さ（高さ）は２００ｍｍ、上部（即ち大径部）の直径はφ１００ｍｍ、第１分離液送り管（19A）と接続される分離液供給口の口径はφ１５ｍｍ、第１回収液戻り管（21A）と接続される回収液排出口の口径はφ１３ｍｍ、分離液導入管（30）と接続される分離液排出口の口径はφ１０ｍｍである。二段目の第２液体サイクロン分離器（20B）の構成は、一段目の第２液体サイクロン分離器（20A）と同じである。
【０２１９】
また、図３に示すように、ホーニング液送り管（16）を流通するホーニング液（２）の流量は、ホーニング液用流量調節弁（18）を操作することにより３５Ｌ／ｍｉｎに設定した。洗浄液供給管（24）を流通する洗浄液の流量、即ち外部から洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量は、洗浄液用流量調節弁（25）を操作することにより１０Ｌ／ｍｉｎに設定した。したがって、サブタンク用混合液導入管（８）を流通する混合液の流量は４５Ｌ／ｍｉｎに設定される。
【０２２０】
第１混合液送り管（10A）を流通する混合液の流量は、第１混合液用流量調節弁（12A）を操作することにより８０Ｌ／ｍｉｎに設定した。第１メインタンク用混合液導入管（14A）を流通する混合液の流量は６０Ｌ／ｍｉｎ、第１分離液送り管（19A）を流通する分離液の流量は２０Ｌ／ｍｉｎに設定した。
【０２２１】
第２混合液送り管（10B）を流通する混合液の流量は、第２混合液用流量調節弁（12B）を操作することにより６０Ｌ／ｍｉｎに設定した。また、第２メインタンク用混合液導入管（14B）を流通する混合液の流量は３５Ｌ／ｍｉｎ、第２分離液送り管（19B）を流通する分離液の流量は２５Ｌ／ｍｉｎにそれぞれ設定した。
【０２２２】
また、第１回収液戻り管（21A）を流通する回収液の流量は５Ｌ／ｍｉｎに設定した。分離液導入管（30）を流通する分離液の流量は１５Ｌ／ｍｉｎに設定した。
【０２２３】
第３分離液送り管（32）を流通する分離液の流量は、第３分離液用流量調節弁（34）を操作することにより１５Ｌ／ｍｉｎに設定した。第２回収液戻り管（21B）を流通する回収液の流量は５Ｌ／ｍｉｎに設定した。分離液排出管（22）を流通する分離液の流量、即ち外部へ排出される分離液の排出量は、分離液用流量調節弁（23）を操作することにより１０Ｌ／ｍｉｎに設定し、外部から洗浄処理部（３）に供給される洗浄液（４）の供給量と均衡させた（即ち同量にした）。
【０２２４】
また、各第１液体サイクロン分離器（13A）（13B）により分離除去される破砕粒の粒径は、１５μｍ以下に設定した。
【０２２５】
また、各第２液体サイクロン分離器（20A）（20B）により回収除去される健全な砥粒の粒径は、上記砥粒の平均粒径範囲に設定した。
【０２２６】
また、各タンク（９）（15A）（15B）（31）内の液はプロペラ撹拌装置により撹拌した。
【０２２７】
以上の条件で、ホーニング液（２）を繰り返し使用して５０００個のワーク（Ｗ）の表面加工を行ったところ、全てのワーク（Ｗ）の表面を均一に粗面化することができ、また安定した表面粗度を得ることができた。
【産業上の利用可能性】
【０２２８】
本発明に係るワークの表面加工方法及びワークの表面加工装置は、感光ドラム基体用パイプの素管や光学機器の鏡筒用パイプの素管等の様々なワークの表面に液体ホーニング処理及び洗浄処理を順次施すワークの表面加工方法及びワークの表面加工装置に利用可能である。
【０２２９】
本発明に係るワークの表面加工液管理方法及びワークの表面加工液管理装置は、感光ドラム基体用パイプの素管や光学機器の鏡筒用パイプの素管等の様々なワークの表面に液体ホーニング処理及び洗浄処理を順次施す際に使用されるワークの表面加工液についての管理方法及び管理装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２３０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るワークの表面加工装置の概略構成図である。
【図２】同ワークの表面加工装置によってワークを表面加工する場合における、ワークの表面加工液管理方法の工程図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るワークの表面加工装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【０２３１】
1A、1B…ワークの表面加工装置
1C、1D…ワークの表面加工液管理装置
１…ホーニング処理部
２…ホーニング液
３…洗浄処理部
４…洗浄液
５…搬送装置
７…加工槽
９…混合液サブタンク
10…混合液送り管
13…第１液体サイクロン分離器
15…混合液メインタンク
16…ホーニング液送り管
19…分離液送り管
20…第２液体サイクロン分離器
21…回収液戻り管
22…分離液排出管
23…分離液用流量調節弁
24…洗浄液供給管
25…洗浄液用流量調節弁
26…均衡手段
40…砥粒補給部
41…砥粒補給手段
Ｗ…ワーク
【図１】
2006231505.tif 000003
【図２】
2006231505.tif 000004
【図３】
2006231505.tif 000005