(57)【要約】【課題】フレキシブルプリント配線板とインクジェットヘッドマニホールド等の固着を、短時間で、かつ、良好な状態で確実に行うことができ、生産性の向上を図ることのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドマニホールド２とＦＰＣ５とを接着剤層５０１を介して当接させ、位置決めピン５１２を途中までＦＰＣ側位置決め孔５ａに圧入し、その先端部をマニホールド側位置決め孔２０ａに挿入して位置決めする。この状態から、プレス装置５１０を作動させ、位置決めされた状態のインクジェットヘッドマニホールド２とＦＰＣ５とを加圧、加熱する。この時、位置決めピン５１２のＦＰＣ５の表面から突出した部分はプレス装置５１０により押圧されて下方にスライドする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にインク流路が形成され、側壁部に前記インク流路内のインクを押圧するための振動板が固着されたインクジェットヘッドマニホールドに、前記振動板を圧電素子によって駆動するための電気配線が形成されたフレキシブルプリント配線板を固着するインクジェットヘッドの製造方法であって、
予め、所定の外径を有する位置決めピンの外径より僅かに小径とされ前記位置決めピンを摺動可能に係止するプリント配線板側位置決め孔を前記フレキシブルプリント配線板に形成するとともに、
前記プリント配線板側位置決め孔に対応した前記インクジェットヘッドマニホールドの位置に前記位置決めピンの外径より僅かに大径とされたマニホールド側位置決め孔を形成しておき、
前記インクジェットヘッドマニホールドと前記フレキシブルプリント配線板とを接着剤層を介して当接させ、前記位置決めピンを、前記プリント配線板側位置決め孔に圧入するとともにその一端を前記マニホールド側位置決め孔に挿入して前記フレキシブルプリント配線板と前記インクジェットヘッドマニホールドとを位置決めし、
位置決めされた前記フレキシブルプリント配線板と前記インクジェットヘッドマニホールドとをプレスで押圧しつつ、上部に突出した前記位置決めピンの部分を押圧して当該位置決めピンを下方にスライドさせ、この状態で前記接着剤層を硬化させ、前記インクジェットヘッドマニホールドと前記フレキシブルプリント配線板とを固着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
インクを吐出させるための圧電素子と、この圧電素子を駆動するための電気配線が形成されたフレキシブルプリント配線板とを固着するインクジェットヘッドの製造方法であって、
予め、所定の外径を有する位置決めピンの外径より僅かに小径とされ前記位置決めピンを摺動可能に係止するプリント配線板側位置決め孔を前記フレキシブルプリント配線板に形成するとともに、
前記プリント配線板側位置決め孔に対応した前記圧電素子の位置に前記位置決めピンの外径より僅かに大径とされた圧電素子側位置決め孔を形成しておき、
前記圧電素子と前記フレキシブルプリント配線板とを異方導電性接着剤層を介して当接させ、前記位置決めピンを、前記プリント配線板側位置決め孔に圧入するとともにその一端を前記圧電素子側位置決め孔に挿入して前記フレキシブルプリント配線板と前記圧電素子とを位置決めし、
位置決めされた前記フレキシブルプリント配線板と前記圧電素子とをプレスで押圧しつつ、上部に突出した前記位置決めピンの部分を押圧して当該位置決めピンを下方にスライドさせ、この状態で前記異方導電性接着剤層を硬化させ、前記圧電素子と前記フレキシブルプリント配線板とを固着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
内部にインク流路が形成されたインクジェットヘッドマニホールドの側壁部に、前記インク流路内のインクを押圧するための振動板の機能を有するとともにインクを吐出させるための圧電素子を駆動するための電気配線が形成されたフレキシブルプリント配線板を固着するインクジェットヘッドの製造方法であって、
予め、所定の外径を有する位置決めピンの外径より僅かに小径とされ前記位置決めピンを摺動可能に係止するプリント配線板側位置決め孔を前記フレキシブルプリント配線板に形成するとともに、
前記プリント配線板側位置決め孔に対応した前記インクジェットヘッドマニホールドの位置に前記位置決めピンの外径より僅かに大径とされたマニホールド側位置決め孔を形成しておき、
前記インクジェットヘッドマニホールドと前記フレキシブルプリント配線板とを接着剤層を介して当接させ、前記位置決めピンを、前記プリント配線板側位置決め孔に圧入するとともにその一端を前記マニホールド側位置決め孔に挿入して前記フレキシブルプリント配線板と前記インクジェットヘッドマニホールドとを位置決めし、
位置決めされた前記フレキシブルプリント配線板と前記インクジェットヘッドマニホールドとをプレスで押圧しつつ、上部に突出した前記位置決めピンの部分を押圧して当該位置決めピンを下方にスライドさせ、この状態で前記接着剤層を硬化させ、前記インクジェットヘッドマニホールドと前記フレキシブルプリント配線板とを固着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクの微細な粒子を吐出して印刷を行うインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インクを吐出して印刷を行うインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドとして、圧電素子によって生じるポンプ作用によりインクを噴出するインクジェットヘッドが知られている（例えば、特許文献１参照。）。また、磁力によって生じるポンプ作用や、インクを加熱して生じる気泡によりインクを噴出するインクジェットヘッドも知られている。
【０００３】
図７は、上記のようなインクジェットヘッドのうち、圧電素子によって生じるポンプ作用によりインクを噴出する形式のインクジェットヘッドの製造方法を示すものである。同図において７０１は内部にインク流路が形成されたインクジェットヘッドマニホールドを示している。このインクジェットヘッドマニホールド７０１の側壁部には、インク流路内のインクを押圧するための振動板（図示せず）が固着されており、この振動板を電気的に駆動させるための機構として、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit））７０２及び圧電素子７０３が固着される。
【０００４】
図７に示す工程は、予めフレキシブルプリント配線板７０２と圧電素子７０３とを異方導電性接着剤（ＡＣＡ（Anisotropic Conductive Adhesives））層７０４によって固着した状態で、このフレキシブルプリント配線板７０２とインクジェットヘッドマニホールド７０１とを固着する工程を示したものである。
【０００５】
この工程では、フレキシブルプリント配線板７０２とインクジェットヘッドマニホールド７０１とを位置決めした状態で、接着剤層７０５を介して当接させ、プレス装置７１０によって加圧しつつ加熱して圧着する。このため、プレス治具７１１内にフレキシブルプリント配線板７０２とインクジェットヘッドマニホールド７０１とを収容し、これらの位置決めを位置決めピン７１２によって行い、プレス治具７１１ごと加圧及び加熱するようになっている。
【０００６】
しかしながら、上記の工程によって、フレキシブルプリント配線板７０２とインクジェットヘッドマニホールド７０１とを固着する場合、プレス治具７１１によって熱が伝わり難くなり、固着に時間がかかるとともに、加熱むらが生じて部分的に固着が不完全になるという問題があった。また、プレス治具７１１の位置決めピン７１２の上方位置に、位置決めピン７１２より大径な逃げ孔７１３が形成されているため、位置決めピン７１２の周囲で加圧が行われず、この部分で固着が不完全になるという問題がある。また、同様な問題は、フレキシブルプリント配線板７０２と圧電素子７０３との固着工程においても生じていた。
【特許文献１】特開２００４−１６７９６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したとおり、従来のインクジェットヘッドの製造方法では、フレキシブルプリント配線板とインクジェットヘッドマニホールドとの固着工程、或いは、フレキシブルプリント配線板と圧電素子との固着工程において、時間がかかるとともに、固着が不完全になり易く、生産性が悪化するという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、フレキシブルプリント配線板とインクジェットヘッドマニホールドとの固着、或いは、フレキシブルプリント配線板と圧電素子との固着を、短時間で、かつ、良好な状態で確実に行うことができ、従来に比べて生産性の向上を図ることのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明は、内部にインク流路が形成され、側壁部に前記インク流路内のインクを押圧するための振動板が固着されたインクジェットヘッドマニホールドに、前記振動板を圧電素子によって駆動するための電気配線が形成されたフレキシブルプリント配線板を固着するインクジェットヘッドの製造方法であって、予め、所定の外径を有する位置決めピンの外径より僅かに小径とされ前記位置決めピンを摺動可能に係止するプリント配線板側位置決め孔を前記フレキシブルプリント配線板に形成するとともに、前記プリント配線板側位置決め孔に対応した前記インクジェットヘッドマニホールドの位置に前記位置決めピンの外径より僅かに大径とされたマニホールド側位置決め孔を形成しておき、前記インクジェットヘッドマニホールドと前記フレキシブルプリント配線板とを接着剤層を介して当接させ、前記位置決めピンを、前記プリント配線板側位置決め孔に圧入するとともにその一端を前記マニホールド側位置決め孔に挿入して前記フレキシブルプリント配線板と前記インクジェットヘッドマニホールドとを位置決めし、位置決めされた前記フレキシブルプリント配線板と前記インクジェットヘッドマニホールドとをプレスで押圧しつつ、上部に突出した前記位置決めピンの部分を押圧して当該位置決めピンを下方にスライドさせ、この状態で前記接着剤層を硬化させ、前記インクジェットヘッドマニホールドと前記フレキシブルプリント配線板とを固着することを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の発明は、インクを吐出させるための圧電素子と、この圧電素子を駆動するための電気配線が形成されたフレキシブルプリント配線板とを固着するインクジェットヘッドの製造方法であって、予め、所定の外径を有する位置決めピンの外径より僅かに小径とされ前記位置決めピンを摺動可能に係止するプリント配線板側位置決め孔を前記フレキシブルプリント配線板に形成するとともに、前記プリント配線板側位置決め孔に対応した前記圧電素子の位置に前記位置決めピンの外径より僅かに大径とされた圧電素子側位置決め孔を形成しておき、前記圧電素子と前記フレキシブルプリント配線板とを異方導電性接着剤層を介して当接させ、前記位置決めピンを、前記プリント配線板側位置決め孔に圧入するとともにその一端を前記圧電素子側位置決め孔に挿入して前記フレキシブルプリント配線板と前記圧電素子とを位置決めし、位置決めされた前記フレキシブルプリント配線板と前記圧電素子とをプレスで押圧しつつ、上部に突出した前記位置決めピンの部分を押圧して当該位置決めピンを下方にスライドさせ、この状態で前記異方導電性接着剤層を硬化させ、前記圧電素子と前記フレキシブルプリント配線板とを固着することを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の発明は、内部にインク流路が形成されたインクジェットヘッドマニホールドの側壁部に、前記インク流路内のインクを押圧するための振動板の機能を有するとともにインクを吐出させるための圧電素子を駆動するための電気配線が形成されたフレキシブルプリント配線板を固着するインクジェットヘッドの製造方法であって、予め、所定の外径を有する位置決めピンの外径より僅かに小径とされ前記位置決めピンを摺動可能に係止するプリント配線板側位置決め孔を前記フレキシブルプリント配線板に形成するとともに、前記プリント配線板側位置決め孔に対応した前記インクジェットヘッドマニホールドの位置に前記位置決めピンの外径より僅かに大径とされたマニホールド側位置決め孔を形成しておき、前記インクジェットヘッドマニホールドと前記フレキシブルプリント配線板とを接着剤層を介して当接させ、前記位置決めピンを、前記プリント配線板側位置決め孔に圧入するとともにその一端を前記マニホールド側位置決め孔に挿入して前記フレキシブルプリント配線板と前記インクジェットヘッドマニホールドとを位置決めし、位置決めされた前記フレキシブルプリント配線板と前記インクジェットヘッドマニホールドとをプレスで押圧しつつ、上部に突出した前記位置決めピンの部分を押圧して当該位置決めピンを下方にスライドさせ、この状態で前記接着剤層を硬化させ、前記インクジェットヘッドマニホールドと前記フレキシブルプリント配線板とを固着することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、フレキシブルプリント配線板とインクジェットヘッドマニホールドとの固着、或いは、フレキシブルプリント配線板と圧電素子との固着を、短時間で、かつ、良好な状態で確実に行うことができ、従来に比べて生産性の向上を図ることのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１〜４は、本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの構成を示すものである。
【００１４】
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、金属製のインクジェットヘッドマニホールド２を具備している。このインクジェットヘッドマニホールド２は、図２に示すように、複数種（図２に示す例では大別して５種）の金属製の第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５を複数枚（例えば、２５〜２５０枚）積層して構成されている。これらの第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５は、厚さが例えば０．０２ｍｍ〜０．２ｍｍの金属製（例えば、ＳＵＳ３０４等）の板材から構成されており、これらを拡散接合等によって圧着することにより、ブロック状に形成されている。
【００１５】
また、インクジェットヘッドマニホールド２の底面には、図２，３に示すように、複数のインク吐出口３ａ（直径、例えば０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍ）が形成されたオリフィスプレート３が拡散接合等によって接合されている。このオリフィスプレート３は、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４等）から構成されており、厚さが例えば０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍとされている。図３に示すように、インク吐出口３ａは直線上に形成されている。
【００１６】
また、インクジェットヘッドマニホールド２の両面には、図２に示すように、振動板  （箔）４が、拡散接合等によって接合されている。この振動板４は、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４等）から構成されており、厚さが例えば０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍとされている。
【００１７】
振動板４の外側面には、接着剤によって、所定形状の導体パターンが形成されたＦＰＣ（Flexible Printed Circuit（フレキシブルプリント配線板））５が固着されており、このＦＰＣ５には、圧電素子６が異方導電性接着剤によって固着されている。圧電素子６は、ＰＺＴ等から構成されており、厚さが例えば、０．５ｍｍ〜２ｍｍとされている。この圧電素子６には、各インク吐出口３ａに夫々対応した電極が、蒸着等の方法で形成されており、これらの電極は、ＦＰＣ５に形成された導体パターンと異方導電性接着剤を介して電気的に接続されている。
【００１８】
図２に示される、第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５は、中央部に配置される第１流路形成積層板２１から積層方向両側に向けて対称に配置されており、中央部から積層方向両側に向けてインク流路が形成されるようになっている。そして、これらの両側のインク流路は、一方側と他方側が、僅かにずれた位置に形成されるようになっている。
【００１９】
上記中央部に配置される第１流路形成積層板２１には、インク供給流路２０１、インク溜め部２０２、インク吐出部２０７を形成するための開口部が設けられている。また、第１流路形成積層板２１の外側に配置される第２流路形成積層板２２には、インク供給流路２０１、インク溜め部２０２を形成するための開口部が設けられている。
【００２０】
上記第２流路形成積層板２２の外側に配置される第３流路形成積層板２３には、下側インク流路２０６と、上側共通インク流路２０３とを形成するための開口部が設けられている。また、この第３流路形成積層板２３の外側に配置される第４流路形成積層板２４には、下側インク流路２０６と、上側個別インク流路２０４とを形成するための開口部が設けられている。
【００２１】
そして、最も外側に配置される第５流路形成積層板２５には、上下方向インク流路２０５を形成するための開口部が設けられている。
【００２２】
上記構成の第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５を、所定の順序で、所定枚数積層し、圧着することにより、インクジェットヘッドマニホールド２内には、インク供給流路２０１からインク吐出部２０７に至るインク流路が、積層方向中央部から両側に向けて形成される。そして、図１及び図４に示すように、インクジェットヘッドマニホールド２の上側に、インク供給口２ａが開口した状態となる。
【００２３】
インクジェットヘッドマニホールド２へのインクの供給は、インク供給口２ａから行われる。そして、このインク供給孔口２ａから供給されたインクは、インク供給流路２０１を通って、インク溜め部２０２に導入され、このインク溜め部２０２から、上側共通インク流路２０３、上側個別インク流路２０４、上下方向インク流路２０５、下側インク流路２０６をこの順で通過して、インク吐出部２０７内にまで充填される。
【００２４】
そして、上記のようにインクジェットヘッドマニホールド２内にインクが充填された状態で、ＦＰＣ５を介して、圧電素子６に駆動信号が加わると、駆動信号が加わった部分の圧電素子６が変形することによって対応する部分の振動板４を振動させ、対応する部分の上下方向インク流路２０５内のインクを押圧し、オリフィスプレート３の対応するインク吐出孔３ａから所定量のインクが吐出されるようになっている。
【００２５】
図５は、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を示す図である。同図に示す工程は、上記インクジェットヘッドマニホールド２とＦＰＣ５との固着工程である。
【００２６】
図５において、５１０はプレス装置であり、５１２は所定の外径を有する位置決めピンである。ＦＰＣ５には、予め位置決めピン５１２の外径より僅かに小径で、位置決めピン５１２を摺動可能に係止するＦＰＣ側位置決め孔５ａが複数設けられている。また、インクジェットヘッドマニホールド２には、ＦＰＣ側位置決め孔５ａに対応した位置に、予め位置決めピン５１２の外径より僅かに大径なマニホールド側位置決め孔２０ａが複数設けられている。なお、ＦＰＣ５には、圧電素子６が異方導電性接着剤（ＡＣＡ（Anisotropic Conductive Adhesives））層５０２を介して固着されている。
【００２７】
本実施形態では、まず、図５（Ａ）に示すように、インクジェットヘッドマニホールド２とＦＰＣ５とを接着剤層５０１を介して当接させ、位置決めピン５１２を途中までＦＰＣ側位置決め孔５ａに圧入し、その先端部をマニホールド側位置決め孔２０ａに挿入することによって、インクジェットヘッドマニホールド２とＦＰＣ５とを位置決めする。
【００２８】
この時、位置決めピン５１２は、位置決めピン５１２の外径より僅かに小径のＦＰＣ側位置決め孔５ａに圧入されることによって、ＦＰＣ５に係止された状態となっており、その上端側は、ＦＰＣ５の表面から僅かに突出した状態となっている。
【００２９】
そして、この状態から、プレス装置５１０を作動させ、図５（Ｂ）に示すように、位置決めされた状態のインクジェットヘッドマニホールド２とＦＰＣ５とを加圧する。この時、プレス装置５１０のプレスヘッドの移動により、位置決めピン５１２のＦＰＣ５の表面から突出した部分は押圧されて下方（インクジェットヘッドマニホールド２側）にスライドし、位置決めピン５１２の頂部はＦＰＣ５の表面と面一の状態となる。そして、この状態でインクジェットヘッドマニホールド２とＦＰＣ５とを所定圧力（例えば、２ＭＰａ）で加圧しつつ所定温度（例えば、１５０℃）に加熱し、接着剤層５０１を硬化させてインクジェットヘッドマニホールド２とＦＰＣ５との固着を行う。
【００３０】
以上の構成の本実施形態によれば、ＦＰＣ側位置決め孔５ａの近傍においても、非加圧部分が生じることなく、ＦＰＣ５とインクジェットヘッドマニホールド２とが均一に加圧される。また、図７に示した従来の方法の場合に比べて、プレス治具による熱伝達の阻害作用を削減することができ、ＦＰＣ５及びインクジェットヘッドマニホールド２を均一に短時間で加熱することができる。
【００３１】
これによって、ＦＰＣ５とインクジェットヘッドマニホールド２と固着を、短時間で、かつ、良好な状態で確実に行うことができ、従来に比べて生産性の向上を図ることができる。なお、上記の説明では、ＦＰＣ５と圧電素子６を固着した後、ＦＰＣ５とインクジェットヘッドマニホールド２とを固着する場合について説明したが、ＦＰＣ５と圧電素子６とを固着する前に、ＦＰＣ５とインクジェットヘッドマニホールド２を固着する場合についても同様にして適用することができる。
【００３２】
また、上記実施形態では、ＦＰＣ５とインクジェットヘッドマニホールド２との間に、振動板４が設けられている場合について説明したが、ＦＰＣ５が振動板４の機能を有し、別個に振動板４が設けられていない構成のインクジェットヘッドの場合についても、同様にして適用することができる。
【００３３】
図６は、他の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を示すものである。同図に示す工程は、ＦＰＣ５と圧電素子６との固着工程を示すもので、同図において６１０はプレス装置であり、６１２は所定の外径を有する位置決めピンである。ＦＰＣ５には、予め位置決めピン６１２の外径より僅かに小径で、位置決めピン６１２を摺動可能に係止するＦＰＣ側位置決め孔５ｂが複数設けられている。また、圧電素子６には、ＦＰＣ側位置決め孔５ｂに対応した位置に、予め位置決めピン６１２の外径より僅かに大径な圧電素子側位置決め孔６ｂが複数設けられている。
【００３４】
本実施形態では、まず、図６（Ａ）に示すように、圧電素子６とＦＰＣ５と異方導電性接着剤層５０２を介して当接させ、位置決めピン６１２を途中までＦＰＣ側位置決め孔５ｂに圧入し、その先端部を圧電素子側位置決め孔６ｂに挿入することによって、圧電素子６とＦＰＣ５とを位置決めする。
【００３５】
この時、位置決めピン６１２は、位置決めピン６１２の外径より僅かに小径のＦＰＣ側位置決め孔５ｂに圧入されることによって、ＦＰＣ５に係止された状態となっており、その上端側は、ＦＰＣ５の表面から僅かに突出した状態となっている。
【００３６】
そして、この状態から、プレス装置６１０を作動させ、図６（Ｂ）に示すように、位置決めされた状態の圧電素子６とＦＰＣ５とを加圧する。この時、プレス装置６１０のプレスヘッドの移動により、位置決めピン６１２のＦＰＣ５の表面から突出した部分は押圧されて下方（圧電素子６側）にスライドし、位置決めピン６１２の頂部はＦＰＣ５の表面と面一の状態となる。そして、この状態で圧電素子６とＦＰＣ５とを所定圧力（例えば、２〜４ＭＰａ）で加圧しつつ所定温度（例えば、１７０℃）に加熱し、異方導電性接着剤層５０２を硬化させて圧電素子６とＦＰＣ５との固着を行う。
【００３７】
以上の構成の本実施形態によれば、ＦＰＣ側位置決め孔５ｂの近傍においても、非加圧部分が生じることなく、ＦＰＣ５と圧電素子６とが均一に加圧される。また、プレス治具による熱伝達の阻害作用を削減することができ、ＦＰＣ５及び圧電素子６を均一に短時間で加熱することができる。
【００３８】
これによって、ＦＰＣ５と圧電素子６との固着を、短時間で、かつ、良好な状態で確実に行うことができ、従来に比べて生産性の向上を図ることができる。なお、上記の説明では、ＦＰＣ５とインクジェットヘッドマニホールド２と固着する前に、ＦＰＣ５と圧電素子６とを固着する場合について説明したが、ＦＰＣ５とインクジェットヘッドマニホールド２と固着した後、ＦＰＣ５と圧電素子６とを固着する場合についても同様にして適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの全体の概略構成を示す図。
【図２】図１のインクジェットヘッドの構造を分解して示す図。
【図３】図１のインクジェットヘッドの底面の構成を示す図。
【図４】図１のインクジェットヘッドの上面の構成を示す図。
【図５】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図。
【図６】本発明の他の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図。
【図７】従来のインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図。
【符号の説明】
【００４０】
１……インクジェットヘッド、２……インクジェットヘッドマニホールド、３……オリフィスプレート、４……振動板（箔）、５……ＦＰＣ、６……圧電素子、２０ａ……マニホールド側位置決め孔、５ａ，５ｂ……ＦＰＣ側位置決め孔、６ａ……圧電素子側位置決め孔、５０１……接着剤層、５０２……異方導電性接着剤（ＡＣＦ）層、５１０，６１０……プレス装置、５１２，６１２……位置決めピン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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