(57)【要約】【課題】光学素子の、光軸に対する位置調整を簡単に行うことができる光学装置を提供する。【解決手段】レーザ光源ユニット（２）と、レーザ光源ユニットハウジング（３、４）と、第１の光学素子ハウジング（５）と、を含む。レーザ光源ユニットは、レーザ光源（１）を含み、光軸と一致する回転対称軸を有する円筒形である。レーザ光源ユニットハウジングは、レーザ光源と嵌合する円筒形の中空部を有し、レーザ光源ユニットを嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度の面を有する第１の部材（３）を備える。第１の光学素子ハウジングは、光学素子を含み、光軸に対して前記一定の角度の面を備える。レーザ光源ユニットは、円筒形の中空部において光軸方向および光軸と一致する回転対称軸のまわりの回転方向に位置調整ができる。第１の光学素子ハウジングは、光軸に対して前記一定の角度の面を摺動させることにより、位置調整ができる。【選択図】図１
2006091725.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源を含む光学装置であって、
レーザ光源を含み、光軸と一致する回転対称軸を有する円筒形のレーザ光源ユニットと、
レーザ光源ユニットと嵌合する円筒形の中空部を有し、レーザ光源ユニットを嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度の面を有する第１の部材を備えるレーザ光源ユニットハウジングと、
光学素子を含み、光軸に対して前記一定の角度の面を備える第１の光学素子ハウジングと、を含み
レーザ光源ユニットが、レーザ光源ユニットハウジングの円筒形の中空部において光軸方向および光軸と一致する回転対称軸のまわりの回転方向に位置調整ができるように構成され、
第１の光学素子ハウジングが、光軸に対して前記一定の角度の面を摺動させることにより、光軸に対して位置調整ができるように構成された光学装置。
【請求項２】
レーザ光源ユニットハウジングが、第１の部材にレーザ光源ユニットを嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度の面を有する第２の部材をさらに備え、
当該装置が、光学素子を含み、光軸に対して、第２の部材における前記一定の角度の面を備える第２の光学素子ハウジングをさらに含み、
第２の光学素子ハウジングが、光軸に対して、第２の部材における前記一定の角度の面を摺動させることにより、光軸に対して位置調整ができるように構成された光学装置。
【請求項３】
第１の部材の、前記一定の角度が９０度である請求項１に記載の光学装置。
【請求項４】
第１の光学素子ハウジングが、ベースを含み、前記一定の角度の面がベースの面である請求項１に記載の光学装置。
【請求項５】
第１の光学素子ハウジングが、前記一定の角度の面に対する傾き調整機構を含む請求項１に記載の光学装置。
【請求項６】
第１の光学素子ハウジングが、ベースおよび前記一定の角度の面に対する傾き調整機構を含み、前記一定の角度の面がベースの面であり、傾き調整機構によってベース以外の部分の傾きがベースに対して調整される請求項１に記載の光学装置。
【請求項７】
第２の部材の、前記一定の角度が９０度である請求項２に記載の光学装置。
【請求項８】
第２の光学素子ハウジングが、ベースを含む請求項２に記載の光学装置。
【請求項９】
第２の光学素子ハウジングが、第２の部材の前記一定の角度の面に対する傾き調整機構を含む請求項２に記載の光学装置。
【請求項１０】
第２の光学素子ハウジングが、ベースおよび第２の部材の前記一定の角度の面に対する傾き調整機構を含む請求項２に記載の光学装置。
【請求項１１】
レーザ光源を含み、光軸と一致する回転対称軸を有する円筒形のレーザ光源ユニットと、レーザ光源ユニットと嵌合する円筒形の中空部を有し、レーザ光源ユニットを嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度の面を有する第１の部材を備えるレーザ光源ユニットハウジングと、光学素子を含み、光軸に対して前記一定の角度の面を備える第１の光学素子ハウジングと、を含む光学装置を調整する方法であって、
レーザ光源ユニットを、第１の部材の円筒形の中空部に勘合させるステップと、
光軸をＺ軸として、波面の点像を観察しながらレーザ光の中心を像の中心に合わせるように、光学装置全体のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を調整するステップと、
波面収差を測定し、測定結果に基づいて第１の光学素子ハウジングのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置、レーザ光源ユニットのＺ軸方向の位置およびレーザ光源ユニットのＺ軸まわりの回転位置を調整するステップと、を含む方法。
【請求項１２】
レーザ光源を含み、光軸と一致する回転対称軸を有する円筒形のレーザ光源ユニットと、レーザ光源と嵌合する円筒形の中空部を有し、レーザ光源ユニットを嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度の面を有する第１の部材および光軸に対して一定の角度の面を有する第２の部材を備えるレーザ光源ユニットハウジングと、光学素子を含み、第１の部材の前記一定の角度の面を備える第１の光学素子ハウジングと、光学素子を含み、第２の部材の前記一定の角度の面を備える第２の光学素子ハウジングと、を含む光学装置を調整する方法であって、
レーザ光源ユニットを、第１の部材の円筒形の中空部に勘合させるステップと、
光軸をＺ軸として、波面の点像を観察しながらレーザ光の中心を像の中心に合わせるように、光学装置全体のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を調整するステップと、
波面収差を測定し、測定結果に基づいて第１の光学素子ハウジングのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置、レーザ光源ユニットのＺ軸方向の位置およびレーザ光源ユニットのＺ軸まわりの回転位置を調整するステップと、
波面収差を測定し、測定結果に基づいて第２の光学素子ハウジングのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ならびにＺ軸方向の位置を調整するステップと、を含む方法。
【請求項１３】
第１の部材の、前記一定の角度が９０度である請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
第１の部材の光軸と一定の角度の面に対する第１の光学素子ハウジングの傾きを調整するステップをさらに含む請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
第１の部材の、前記一定の角度および第２の部材の、前記一定の角度が９０度である請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
第１の部材の光軸と一定の角度の面に対する第１の光学素子ハウジングの傾きを調整するステップおよび第２の部材の光軸と一定の角度の面に対する第２の光学素子ハウジングの傾きを調整するステップをさらに含む請求項１２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光源を含む光学装置およびその調整方法に関する。特に、レーザ光源としての半導体レーザおよび光学素子としてのレンズを含む光学装置およびその調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光源としての半導体レーザは、種々の光学素子と組み合わせて種々の分野で広く使用されている。
【０００３】
図４および５は、半導体レーザが使用されるレーザビームプリンタの、光源部分の光学系の水平および垂直方向断面の光路図を示す。一般に、半導体レーザのレーザ光の出射角は、活性層に対して垂直方向では広く水平方向では狭い。図４および５において光源に近い位置に配置された第１レンズは、光軸に垂直な光束断面における水平方向および垂直方向の径を揃える、ビーム整形機能を有する。第１のレンズの、光源と反対側に配置された第２レンズは、コリメータレンズである。
【０００４】
図６は、半導体レーザ、第１レンズおよび第２レンズを入射光学系として含む、レーザビームプリンタの光学系を示す。レーザビームプリンタの光学系は、入射光学系の他にポリゴンミラーと走査光学系を含む。入射光学系は、上述のように、半導体レーザからの拡散光をビーム整形し、平行光とする。ポリゴンミラーは、ビームの向きを変化させる。走査光学系は、像面上の所望の位置にビームを結像させる。
【０００５】
上述の半導体レーザを含む入射光学系は、レーザビームプリンタの他に、光記憶装置の光ピックアップシステムなどに広く使用される。
【０００６】
図７は、レーザ光源としての半導体レーザからのレーザビームを光ファイバに結合するための光結合素子の、垂直方向断面および水平方向断面の光路図を示す。集光位置が光ファイバの端面の位置である。光結合素子は、光軸に垂直な光束断面における水平方向および垂直方向の径を揃える、ビーム整形機能および集光機能を有する。
【０００７】
上述の、半導体レーザと光学素子とを含む光学系においては、光学素子について以下の調整が必要となる。
【０００８】
光学素子の光軸調整（光軸に垂直な面内の位置調整）
光学素子の、光軸方向の位置調整
光学素子の、光軸のまわりの回転方向の位置調整
光学素子の、光軸に対する傾き調整
ここで、留意すべき点は、光学素子は、光軸に垂直な光束断面における水平方向および垂直方向の径を揃える、ビーム整形機能を有するので、光軸を回転軸とした場合に回転非対称な形状を備える点である。このため、半導体レーザと光学素子との、光軸のまわりの回転方向の位置調整は、特に重要である。
【０００９】
さらに、レーザプリンタの光分解能化や光記憶装置の高密度化が進むにつれて、光学系に要求される精度もますます高くなってきている。このため、半導体レーザと光学素子との、上述の位置調整にも従来以上に高い精度が要求されている。
【００１０】
半導体レーザと光学素子との位置調整のための装置および方法は、たとえば、特許文献１（図１および８乃至１１段落他）、特許文献２（図１および９乃至１０段落他）、特許文献３（図２乃至３および２３乃至３１段落）、特許文献４（図６および５４乃至５９段落）および特許文献５（図５乃至６および５０乃至５８段落）に記載されている。しかし、これらの従来の装置または方法は、上述の調整の全てを可能にするものではない。
【００１１】
【特許文献１】特開平５−４７０１０号公報
【特許文献２】特開平６−２７００７４号公報
【特許文献３】特開平１１−２５８５３５号公報
【特許文献４】特開２０００−２９２７２４号公報
【特許文献５】特開２０００−３１４８４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
レーザ光源と光学素子との光軸調整（光軸に垂直な面内の位置調整）、レーザ光源と光学素子との、光軸方向の位置調整、レーザ光源と光学素子との、光軸のまわりの回転方向の位置調整およびレーザ光源と光学素子との、光軸に対する傾き調整の全てを簡単に行うことのできる、レーザ光源と光学素子とを含む光学装置に対するニーズがある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によるレーザ光源を含む光学装置は、レーザ光源ユニットと、レーザ光源ユニットハウジングと、第１の光学素子ハウジングと、を含む。レーザ光源ユニットは、レーザ光源を含み、光軸と一致する回転対称軸を有する円筒形である。レーザ光源ユニットハウジングは、レーザ光源と嵌合する円筒形の中空部を有し、レーザ光源ユニットを嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度の面を有する第１の部材を備える。第１の光学素子ハウジングは、光学素子を含み、光軸に対して前記一定の角度の面を備える。レーザ光源ユニットは、第１の部材の円筒形の中空部において光軸方向および光軸と一致する回転対称軸のまわりの回転方向に位置調整ができるように構成されている。第１の光学素子ハウジングは、光軸に対して前記一定の角度の面を摺動させることにより、レーザ光源ユニットハウジングに対して位置調整ができるように構成されている。
【００１４】
本発明による光学装置を調整する方法は、レーザ光源ユニットと、レーザ光源ユニットハウジングと、第１の光学素子ハウジングと、を含む光学装置を調整する。レーザ光源ユニットは、レーザ光源を含み、光軸と一致する回転対称軸を有する円筒形である。レーザ光源ユニットハウジングは、レーザ光源と嵌合する円筒形の中空部を有し、レーザ光源ユニットを嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度の面を有する第１の部材を備える。第１の光学素子ハウジングは、光学素子を含み、光軸に対して前記一定の角度の面を備える。本発明による光学装置を調整する方法は、レーザ光源ユニットを、第１の部材の円筒形の中空部に勘合させるステップと、光軸をＺ軸として、波面の点像を観察しながらレーザ光の中心を像の中心に合わせるように、光学装置全体のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を調整するステップと、を含む。さらに、波面収差を測定し、測定結果に基づいて第１の光学素子ハウジングのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置、レーザ光源ユニットのＺ軸方向の位置およびレーザ光源ユニットのＺ軸まわりの回転位置を調整するステップを含む。
【００１５】
本発明によれば、第１のレーザ光源ユニットハウジングを介して、光学素子の、光軸に垂直な面内の位置調整、光軸方向の位置調整、光軸のまわりの回転方向の位置調整および光軸に対する傾き調整を簡単に行うことができる。
【００１６】
本発明の一実施形態によれば、第１のレーザ光源ユニットハウジングの、前記一定の角度が９０度である。
【００１７】
したがって、レーザ光源と光学素子との、光軸に垂直な面内の位置調整を容易に行うことができる。
【００１８】
本発明の他の実施形態によれば、第１の光学素子ハウジングが、ベースを含み、前記一定の角度の面がベースの面である。
【００１９】
本発明の他の実施形態によれば、第１の光学素子ハウジングが、前記一定の角度の面に対する傾き調整機構を含む。
【００２０】
本発明の他の実施形態によれば、第１の光学素子ハウジングが、ベースおよび前記一定の角度の面に対する傾き調整機構を含み、前記一定の角度の面がベースの面であり、傾き調整機構によってベース以外の部分の傾きがベースに対して調整される。
【００２１】
したがって、光学素子の、光軸に対する傾き調整を容易に行うことができる。
【００２２】
本発明の他の実施形態によれば、レーザ光源ユニットハウジングが、第１の部材にレーザ光源ユニットを嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度の面を有する第２の部材をさらに備える。当該装置は、光学素子を含み、光軸に対して、第２の部材における前記一定の角度の面を備える第２の光学素子ハウジングをさらに含む。第２の光学素子ハウジングは、光軸に対して、第２の部材における前記一定の角度の面を摺動させることにより、レーザ光源ユニットハウジングに対して位置調整ができるように構成されている。
【００２３】
したがって、レーザ光源ユニットハウジングを介して、２つの光学素子の位置調整を行うことができる。
【００２４】
本発明の他の実施形態によれば、第２の部材の、前記一定の角度が９０度である。
【００２５】
したがって、レーザ光源と光学素子との、光軸に垂直な面内の位置調整を容易に行うことができる。
【００２６】
本発明の他の実施形態によれば、第２の光学素子ハウジングが、ベースを含む。
【００２７】
本発明の他の実施形態によれば、第２の光学素子ハウジングが、第２の部材の前記一定の角度の面に対する傾き調整機構を含む。
【００２８】
本発明の他の実施形態によれば、第２の光学素子ハウジングが、ベースおよび第２の部材の前記一定の角度の面に対する傾き調整機構を含む。
【００２９】
したがって、光学素子の、光軸に対する傾き調整を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
図１を参照して、本発明のレーザ光源を含む光学装置の構成を説明する。本発明のレーザ光源１を含む光学装置は、レーザ光源ユニット２と、レーザ光源ユニットハウジング３、４と、第１の光学素子ハウジング５とを含む。
【００３１】
レーザ光源ユニット２は、レーザ光源１を含み、光軸と一致する回転対称軸を有する円筒形である。
【００３２】
レーザ光源ユニットハウジングは、レーザ光源ユニット２と嵌合する中空部を有する第１の部材３を備え、第１の部材３はレーザ光源ユニット２を嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度を有する面を備える。第１の光学素子ハウジング５は、光学素子を含み、第１の部材３の光軸に対して一定の角度の面に対応する、光軸に対して一定の角度の面を備える。本実施形態においては、第１の光学素子ハウジング５がベース６を備え、このベース６が、第１の部材３の当該一定の角度の面に当接する、当該一定の角度の面を備える。ベース６は、たとえば、円板形状である。本実施形態においては、一定の角度は９０度である。
【００３３】
レーザ光源ユニットハウジングは、第２の部材４を備える。第２の部材４は、レーザ光源ユニット２を第１の部材３に嵌合させた場合に光軸に対して一定の角度を有する面を備える。本実施形態においては、一定の角度は９０度である。第１の部材３と第２の部材４とは、一体として形成される。
【００３４】
第１の光学素子ハウジング５とベース６とは、たとえばネジ９および１０によって固定されている。第２の部材４の周囲の、第１の光学素子ハウジング５の高さの位置に、たとえば調整用ネジ１１を備えることにより、第１の光学素子ハウジング５の、光軸に垂直な面内の位置を調整することができる。調整用ネジ１１によって、光軸に垂直な面内において第１の光学素子ハウジング５を移動させると、第１の光学素子ハウジング５とベース６が、第１の部材３の、光軸に９０度の面上を摺動する。
【００３５】
ここで、レーザ光源ユニット２は、第１の部材３の中空部において光軸方向および光軸と一致する回転対称軸のまわりの回転方向に位置調整ができるように構成されている。光軸方向の調整は、ヘリコイドステージ２４によって行われる。光軸と一致する回転対称軸のまわりの回転方向の位置調整は、回転ステージ２３によって行われる。レーザ光源ユニット２は、ヘリコイドステージ２４上のサポート台２６によって支持されている。
【００３６】
本実施形態において、光学装置は第２の光学素子ハウジング７およびベース８をさらに備える。ベース８は底部とフランジ部とを備える。ベース８の底部に第２の光学素子ハウジング７を配置する。ベース８のフランジ部の下側の面が、第２の部材４の、上向きの面と当接するように構成される。第２の部材４の上向きの面は、光軸と９０度の角度をなすように構成される。
【００３７】
調整ネジ１３は、ベース８を第２の部材４に固定している。また、調整ネジ１３は、第２の光学素子ハウジング７およびベース８の高さおよび傾き調整にも使用される。第２の光学素子ハウジング７の周囲に、たとえば調整用ネジ１１を備えることにより、第２の光学素子ハウジング７の、光軸に垂直な面内の位置を調整することができる。調整用ネジ１１によって、光軸に垂直な面内において第２の光学素子ハウジング７を移動させると、第２の光学素子ハウジング７が、ベース８の底部の面上を摺動する。
【００３８】
レーザ光源１は半導体レーザであり、シングルモードであるのが好ましい。波長は３５０乃至１３００ｎｍ、主に４００または９００ｎｍ付近である。レーザ出力は、２Ｗクラスまで可能である。本実施形態においては、出力２００ｍＷ、波長９４０ｎｍのシングルモード半導体レーザである。
【００３９】
つぎに、本発明の光学装置の調整方法について以下に説明する。
【００４０】
図２は、本発明の光学装置と、レーザ光の波面を測定する測定光学系とを含む調整システムの構成を示す。以下に詳細に説明するように、測定光学系によってレーザ光の波面を測定しながら、本発明の光学装置によってレーザ光源と光学素子との位置調整を行う。レーザ光源１によって射出されたレーザ光束が、光学素子によって平行とされる場合を例として説明する。平行レーザ光束は、それぞれの焦点の和の間隔を空けて配置された焦点距離F1のレンズ１０１および焦点距離F2のレンズ１０３を通過させることによって平行レーザ光束の直径を変更する。具体的に平行レーザ光束の直径は、F2/F1倍となる。平行レーザ光束の直径は、後方に配置されたマイクロレーザアレイ１０５の面積に合わせるように行う。
【００４１】
つぎに、波面測定について説明する。波面測定には、シャックハルトマン測定法を使用する。測定に際しては、たとえばヘリウム・ネオン光源１１１からの基準光をマイクロレンズアレイ１０５に入射させる。マイクロレンズアレイ１０５におけるマイクロレンズの焦点距離は、１００００マイクロメートル、配置ピッチは、０．３ミリメートルである。各マイクロレンズは、入射された基準光をそれぞれ集光する。結像レンズ１０７を使用して焦点像をディテクタアレイ（CCD）１０９上に結像して、個々の焦点の位置を記録する。つぎに測定光をマイクロレンズアレイ１０に入射させ、同様に焦点像を記録する。基準光での焦点位置と測定光の焦点位置のズレ量を求める。基準光とのズレ量は波面の傾きを表しているので、ビーム径全体について積分するとビーム光の波面が求まる。
【００４２】
測定された波面の変位、すなわち波面収差をチェルニケ係数展開することで収差を個別に評価することがでる。具体的にチェルニケ係数１項はＸ軸の傾きを、チェルニケ係数２項はＹ軸の傾きを、チェルニケ係数３項は光学素子のデファーカスを、チェルニケ係数４項および５項は非点収差を、チェルニケ係数６項および７項はコマ収差（光学素子の表面裏面の位置、半導体レーザ光源と光学素子との軸ずれなど）、チェルニケ係数８項は球面収差を示す。波面収差をチェルニケ係数展開する上述の処理は、ディテクタアレイ１０９に接続された図示しないプロセッサによって行われる。プロセッサは、たとえばパーソナルコンピュータであってもよい。
【００４３】
上述の波面測定の結果に基づいて、本発明の光学装置によって、レーザ光源ユニットハウジング３、４を介して、レーザ光源ユニット２、第１の光学素子ハウジング５および第２の光学素子ハウジング７の位置関係を調整する。
【００４４】
上述のレーザ光源ユニット２、第１の光学素子ハウジング５および第２の光学素子ハウジング７の位置関係の調整によっても、収差がなお目標値、たとえばλ/4以下とならない場合には、加工用レーザ光源１１３および加工用集光レンズ１１５を使用してレーザアブレーション加工法により波面補正板１２の形状を加工することにより収差をさらに小さくする。具体的には、第１および第２の光学素子と波面補正板１２を透過した半導体レーザ光の波面を測定して、位相の進み具合を示す等高線マップを作成する。このマップの位相が遅れている所に対応する波面補正板の部分をレーザアブレーションで除去して位相を調整する。樹脂製の波面補正板を使用することにより、光学素子がガラス製であっても補正可能となる。レーザアブレーション加工法の詳細については、特許第３０８５８７５号（光学面の形成方法）に記載されている。
【００４５】
上述の調整手順を、図３の流れ図を参照して説明する。ステップＳ０１０において、レーザ光源ユニット２、レーザ光源ユニットハウジング３、４を、図１のハウジング台２５に取付ける。
【００４６】
ステップＳ０２０において、波面の点像を観察しながら、波面の点像の位置が左右・上下が対称となるように、図１のＸＹステージ２１により、回転ステージ２３および光学装置全体をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させることにより、レーザ光源の中心を測定光学系に合わせる。さらに、半導体レーザチップの取付け誤差によるレーザ光の光軸ずれを、図１のチルトステージ２２で調整する。
【００４７】
ステップＳ０３０において、第１の部材３の光軸に対して９０度の面に第１の光学素子ハウジング５およびベース６を載せる。ディテクタアレイ１０９によって波面収差を測定する。チェルニケ係数１乃至７項を最小とするように、図１の回転ステージ２３によってレーザ光源ユニット２を回転させて調整するとともに、調整ネジ１１によって第１の光学素子ハウジング５のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を調整する。
【００４８】
ステップＳ０４０において、ディテクタアレイ１０９によって波面収差を測定する。チェルニケ係数３項を最小とするように、図１のヘリコイドステージ２４によって第１の光学素子ハウジング５の位置に対するレーザ光源ユニット２の高さを調整する。
【００４９】
ステップＳ０５０において、非点収差の調整が必要かどうか判断する。必要であれば、ステップＳ０６０に進み、必要でなければステップＳ０７０に進む。ステップＳ０６０において、チェルニケ係数４および５項を最小とするように、チルト調整ネジ１０によって、ベース６に対して光学素子ユニット５をＸ軸方向またはＹ軸方向に傾ける。
【００５０】
その後、ステップＳ０３０に戻り、再び、第１の光学素子ハウジング５の位置とレーザ光源ユニット２の高さを調整する。
【００５１】
ステップＳ０７０において、第２の部材４の光軸に対して９０度の面に第２の光学素子ユニット７およびベース８を載せる。ディテクタアレイ１０９によって波面収差を測定する。チェルニケ係数１乃至７項を最小とするように、調整ネジ１１によって第２の光学素子ハウジング７のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置を調整する。
【００５２】
ステップＳ０８０において、ディテクタアレイ１０９によって波面収差を測定する。チェルニケ係数３項を最小とするように、調整ネジ１３によって、第２の部材４に対するベース８の高さを調整する。
【００５３】
ステップＳ０９０において、非点収差の調整が必要かどうか判断する。必要であれば、ステップＳ１００に進み、必要でなければステップＳ１１０に進む。
【００５４】
ステップＳ１００において、チェルニケ係数４および５項を最小とするように、調整ネジ１３によって、第２の部材４に対して第２の光学素子ハウジングおよびベース８をＸ軸方向またはＹ軸方向に傾ける。
【００５５】
その後、ステップＳ０７０に戻り、再び、第２の光学素子ハウジング７の位置と高さを調整する。
【００５６】
ステップＳ１１０において、レーザ光源ユニット２およびレーザ光源ユニットハウジング３、４をＵＶ硬化樹脂などの接着剤で固定する。また、ベース６を含む第１の光学素子ユニット５、ベース８を含む第２の光学素子ユニット７およびレーザ光源ユニットハウジング３、４をＵＶ硬化樹脂などの接着剤で固定する。ＵＶ硬化樹脂などの接着剤を使用する代わりに、レーザの照射による融着によって固定してもよい。
【００５７】
ステップＳ１２０において、波面を測定し、波面補正板による補正が必要かどうか判断する。必要であれば、ステップＳ１３０に進む。必要でなければ、終了する。ステップＳ１３０において、加工用レーザ光源１１３および加工用集光レンズ１１５を使用してレーザアブレーション加工法により波面補正板１２の形状を加工することにより収差をさらに小さくする。レーザアブレーション加工法の詳細については、特許第３０８５８７５号（光学面の形成方法）に記載されている。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施形態によるレーザ光源を含む光学装置の構成を示す。
【図２】本発明の一実施形態によるレーザ光源を含む光学装置を調整するための光学系の構成を示す。
【図３】本発明の一実施形態によるレーザ光源を含む光学装置の調整手順を示す流れ図である。
【図４】半導体レーザが使用されるレーザビームプリンタの、光源部分の光学系の水平方向断面の光路図を示す。
【図５】半導体レーザが使用されるレーザビームプリンタの、光源部分の光学系の垂直方向断面の光路図を示す。
【図６】レーザビームプリンタの光学系を示す。
【図７】半導体レーザからのレーザビームを光ファイバに結合するための光結合素子の、垂直方向断面および水平方向断面の光路図を示す。
【符号の説明】
【００５９】
１  レーザ光源
２  レーザ光源ユニット
３  レーザ光源ユニットハウジングの第１の部材
４  レーザ光源ユニットハウジングの第２の部材
５  第１の光学素子ハウジング
７  第２の光学素子ハウジング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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