(57)【要約】【課題】  高品質の鋳造品が得られる低圧鋳造装置を提供する。【解決手段】  低圧鋳造装置は、金型２０と溶湯保持炉３０を備えている。金型２０は、成形空間に連なる複数のゲート２５，２６を有する。溶湯保持炉３０の坩堝３２には複数のポット３３，３４が収容されており、ポット３３，３４には、ゲート２５，２６に接続されたストーク３５，３６が収容されている。ポット３３，３４の底部近傍には溶湯取入口５１が形成されている。溶湯取入口５１を開いた状態で、ポット３３，３４内を負圧にすることにより、坩堝３２内の溶湯をポット３３，３４内に吸い込む。次に、溶湯取入口５１を閉じた状態で、ポット３３，３４に加圧気体を供給することにより、ポット３３，３４内の溶湯をゲート２５，２６に供給する。複数のポット３３，３４に対する上記吸引動作及び／又は上記加圧気体供給動作は、個別に制御される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ア）成形空間と、この成形空間に連なる複数のゲートを有する金型と、
（イ）上記複数のゲートにそれぞれ接続されたストークと、
（ウ）溶湯を保持する共通の溶湯保持炉と、
（エ）１つ又は複数の上記ストークを収容して上記溶湯保持炉内に配置され、底部またはその近傍に溶湯取入口を有する複数のポットと、
（オ）上記ポットの溶湯取入口を開閉する開閉手段と、
（カ）上記溶湯取入口を開いた状態で、上記複数のポット内を負圧にすることにより、溶湯保持炉内の溶湯をポット内に流入させる吸引手段と、
（キ）上記溶湯取入口を閉じた状態で、上記複数のポット内に加圧気体を導入して溶湯湯面を加圧にすることにより、上記ポット内の溶湯をストークを介してゲートに供給する加圧気体供給手段と、
（ク）上記複数のポットに対する上記吸引手段による吸引動作及び／又は上記加圧気体供給手段による加圧動作を、上記複数のポットを少なくとも２組に分けて独立して制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする低圧鋳造装置。
【請求項２】
上記溶湯保持炉が上記金型の下方に配置され、上記ストークが上記金型から垂直に延び、上記複数のポットが上記ストークを１本ずつ収容していることを特徴とする請求項１に記載の低圧鋳造装置。
【請求項３】
上記制御手段は複数の吸引用の連通制御手段を含み、各吸引用の連通制御手段は、上記１または複数のポットと上記吸引手段との間の連通を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の低圧鋳造装置。
【請求項４】
上記制御手段は複数の加圧気体供給用の連通制御手段を含み、各加圧気体供給用の連通制御手段は、上記１または複数のポットと上記加圧気体供給手段との間の連通を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の低圧鋳造装置。
【請求項５】
上記制御手段は複数の圧力制御手段を含み、各圧力制御手段は、１または複数のポットと上記加圧気体供給手段との間に介在され、ポットに供給される加圧気体の圧力を制御することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の低圧鋳造装置。
【請求項６】
上記金型が車両ホイールを成形するためのものであり、金型の成形空間が車両ホイールのディスク部を成形するディスク部成形空間と、車両ホイールのリム部を成形するリム部成形空間とを含み、
上記複数のゲートが、上記ディスク部成形空間の中央に連なるセンターゲートと、上記リム部成形空間に連なるサイドゲートとを含み、
上記制御手段が、少なくともセンターゲートに連なるポットとサイドゲートに連なるポットに分けて、上記吸引動作及び／又は上記加圧気体供給動作を独立して制御することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の低圧鋳造装置。
【請求項７】
上記制御手段が上記吸引手段による吸引動作を制御することにより、上記センターゲートに対応するポットの溶湯の湯面を、上記サイドゲートに対応するポットの湯面より高くすることを特徴とする請求項６に記載の低圧鋳造装置。
【請求項８】
上記制御手段が、上記センターゲートに対応するポットへの上記加圧気体供給手段による加圧動作を、上記サイドゲートに対応するポットより早くすることを特徴とする請求項６または７に記載の低圧鋳造装置。
【請求項９】
上記制御手段が、上記センターゲートに対応するポットへの上記加圧気体の圧力を、上記サイドゲートに対応するポットより高くすることを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載の低圧鋳造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両用ホイール等の鋳造品を低圧鋳造する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、アルミ合金製（軽合金製）の車両用ホイールを鋳造する低圧鋳造装置が開示されている。この装置では、金型の成形空間がディスク部成形空間とリム部成形空間とを有しており、ディスク部成形空間の中央にセンターゲートが連なり、リム部成形空間には周方向に離れた複数のサイドゲートが連なっている。
【０００３】
上記センターゲートと複数のサイドゲートには、それぞれストークが接続されており、これらストークは溶湯保持炉内に配置され、その下部は溶湯保持炉内の溶湯中に浸漬している。そして、鋳造時、溶湯保持炉内に加圧気体を導入して溶湯表面を所定圧力で加圧することで、溶湯保持炉内の溶湯が複数のストークおよびセンターゲート，サイドゲートを介して金型の成形空間に充填される。
【特許文献１】特開２００１−２８７０１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記低圧鋳造装置では、溶湯保持炉内に加圧気体を導入する際における各ストーク内の溶湯表面の位置が同一であるとともに、加圧気体の導入による溶湯供給時における各ストーク内の溶湯の上昇開始時期および上昇速度が同一である。そのため、例えば、ディスク部成形空間に溶湯が充満する前に、サイドゲートから溶湯が注がれて、ディスク部成形空間内の湯面に落ちる現象が生じる。その結果、溶湯中に気泡が残ったり、湯面の酸化膜が破壊されて内部に入り込み、さらに新たな酸化膜が形成される等により、鋳造品のさらなる品質向上を図る上での阻害要因になっていた。
また、上記低圧鋳造装置では、溶湯保持炉内の溶湯面高さは、一回の鋳造完了毎に順次低下することになるが、鋳造サイクルは一定にする必要がある。そのため、溶湯保持炉内の溶湯表面に付与する加圧力を高くする制御が行なわれ、その圧力制御系が複雑になるばかりか、圧力制御装置が高価になる。
さらに、金型の成形空間への溶湯供給量は一定にすることが、安定した品質を有する鋳造品を得るために重要であるが、加圧気体による加圧面積が溶湯保持炉内の溶湯液面全体となるため、一定の溶湯量を安定して金型の成形空間に供給することが困難である。
【０００５】
なお、特許文献１では、成形空間に溶湯を充填し終わった後に複数のストークにそれぞれ不活性ガスを供給することにより、湯切れを独立して制御するようになっているが、ゲート毎に溶湯供給を制御するものではない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の低圧鋳造装置は、
（ア）成形空間と、この成形空間に連なる複数のゲートを有する金型と、
（イ）上記複数のゲートにそれぞれ接続されたストークと、
（ウ）溶湯を保持する共通の溶湯保持炉と、
（エ）１つ又は複数の上記ストークを収容して上記溶湯保持炉内に配置され、底部またはその近傍に溶湯取入口を有する複数のポットと、
（オ）上記ポットの溶湯取入口を開閉する開閉手段と、
（カ）上記溶湯取入口を開いた状態で、上記複数のポット内を負圧にすることにより、溶湯保持炉内の溶湯をポット内に流入させる吸引手段と、
（キ）上記溶湯取入口を閉じた状態で、上記複数のポット内に加圧気体を導入して溶湯湯面を加圧にすることにより、上記ポット内の溶湯をストークを介してゲートに供給する加圧気体供給手段と、
（ク）上記複数のポットに対する上記吸引手段による吸引動作及び／又は上記加圧気体供給手段による加圧動作を、上記複数のポットを少なくとも２組に分けて独立して制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
【０００７】
上記構成によれば、共通の溶湯保持炉内に複数のポットを配する構成を採用し、ポットに対する吸引動作及び／又は加圧動作を少なくとも２組に分けて制御することにより、一括した溶湯供給では無し得なかったきめ細かな溶湯供給が採用可能となり、鋳造品の品質向上に寄与することができる。
また、溶湯表面への加圧力は、最適値に固定設定することにより、鋳造毎の金型内への溶湯充填が一定で安定して行なうことができ、しかも、圧力制御系が簡素化できる。また、加圧気体による加圧表面が小さくなることにより、溶湯供給量の制御性が向上する。
【０００８】
好ましくは、上記溶湯保持炉が上記金型の下方に配置され、上記ストークが上記金型から垂直に延び、上記複数のポットが上記ストークを１本ずつ収容している。これによれば、ストークの構造が簡単になるとともに、より一層きめ細かな溶湯制御を行なうことができる。
【０００９】
好ましくは、上記制御手段は複数の吸引用の連通制御手段を含み、各吸引用の連通制御手段は、上記１または複数のポットと上記吸引手段との間の連通を制御する。これによれば、ポットにおける湯面のレベルを異ならせることができ、ひいてはゲートへの溶湯の到達時刻を異ならせることができる。
【００１０】
好ましくは、上記制御手段は複数の加圧気体供給用の連通制御手段を含み、各加圧気体供給用の連通制御手段は、上記１または複数のポットと上記加圧気体供給手段との間の連通を制御する。これによれば、ゲートへの加圧気体供給開始時刻を異ならせることができ、ひいてはゲートへの溶湯の到達時刻を異ならせることができる。
【００１１】
好ましくは、上記制御手段は複数の圧力制御手段を含み、各圧力制御手段は、１または複数のポットと上記加圧気体供給手段との間に介在され、ポットに供給される加圧気体の圧力を制御する。これによれば、溶湯の供給速度を異ならせることができる。
【００１２】
本発明の一態様では、上記金型が車両ホイールを成形するためのものであり、金型の成形空間が車両ホイールのディスク部を成形するディスク部成形空間と、車両ホイールのリム部を成形するリム部成形空間とを含み、
上記複数のゲートが、上記ディスク部成形空間の中央に連なるセンターゲートと、上記リム部成形空間に連なるサイドゲートとを含み、
上記制御手段が、少なくともセンターゲートに連なるポットとサイドゲートに連なるポットに分けて、上記吸引動作及び／又は上記加圧気体供給動作を独立して制御する。
【００１３】
上記構成によれば、センターゲートへの溶湯供給とサイドゲートへの溶湯供給を個別に制御するので、高品質の車両ホイールを鋳造することができる。
【００１４】
上記態様において、好ましくは、上記制御手段は次の制御形態を採用する。
上記吸引手段による吸引動作を制御することにより、上記センターゲートに対応するポットの溶湯の湯面を、上記サイドゲートに対応するポットの湯面より高くする。
上記センターゲートに対応するポットへの上記加圧気体供給手段による加圧動作を、上記サイドゲートに対応するポットより早くする。
上記センターゲートに対応するポットへの上記加圧気体の圧力を、上記サイドゲートに対応するポットより高くする。
【００１５】
上記制御形態の採用により、サイドゲートからの溶湯がセンターゲートからディスク部成形空間に充填された溶湯に大きな落差で落ちるのを回避できるので、気泡が入り込んだり多量の酸化膜を形成せずに済み、車両ホイールの品質を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明によれば、きめこまかな溶湯供給制御により、鋳造品の品質向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の第１実施形態をなす、アルミ合金製（軽合金製）の車両用ホイール（鋳造品）の低圧鋳造装置について、図１〜図４を参照しながら説明する。車両用ホイールは、周知のようにディスク部とディスク部の周縁に一体に形成されたリム部とを有している。
【００１８】
図１に示すように、上記低圧鋳造装置は、支持フレーム１０と、支持フレーム１０に設置された金型２０と、金型２０の下方に設置された溶湯保持炉３０とを基本構成要素として備えている。
【００１９】
上記支持フレーム１０は、中間高さに固定台１１を有し、この固定台１１の上方に昇降台１２を有している。
【００２０】
上記金型２０は、上記固定台１１に固定された下型２１と、上記昇降台１２に固定された上型２２と、周方向に複数に分割された横型２３とを備えている。
【００２１】
図４に示すように、上記金型２０の型締め状態では、横型２３の側面同士が互いに当たり、横型２３の下面が下型２１に当たり、横型２３の上面が上型２２に当たっており、内部に車両ホイールを鋳造するためのホイール成形空間４０が形成される。このホイール成形空間４０は、ディスク部成形空間４０ａとその周縁に連なるリム部成形空間４０ｂとを有している。
【００２２】
図１，図４に示すように、上記下型２１には、上記ディスク部成形空間４０ａの中央に連なるセンターゲート２５が形成されている。また、隣接する横型２３の側面間には、サイドゲート２６が形成されている。本実施形態では、横型２３が４分割されており、サイドゲート２６が４つ形成されている。なお、横型２３が２分割されている場合にはサイドゲート２６は２つ形成される。これらサイドゲート２６は下型２１に形成された湯道２７にそれぞれ連なっている。
【００２３】
図１に示すように、上記溶湯保持炉３０は、支持フレーム１０に固定された断熱容器３１と、断熱容器３１内に収容された坩堝３２とを備えている。この断熱容器３１の内周にはヒータ３９が設けられている。また、断熱容器３１の上端開口は蓋部３１ａにより塞がれている。
【００２４】
上記坩堝３２内には、複数の長尺のポット３３，３４が収容され、これらポット３３、３４内には、直管形状の複数のストーク３５，３６がそれぞれ収容されている。
【００２５】
上記ポット３３，３４は、その上端部が断熱容器３１の蓋部３１ａに固定されていて、その下部が坩堝３２内の溶湯に浸漬するように垂直に垂れ下がっている。ポット３３，３４の上端部は封止部材３３ａ，３４ａにより封止されている。
【００２６】
１つのポット３３は、断熱容器３１の蓋部３１ａの中央に配置されており、上記センターゲート２５の真下に位置している。他の４つのポット３４は、上記断熱容器３１の蓋部３１ａの中央を中心とする円周上に互いに等間隔をなして配置されており、上記サイドゲート２６のほぼ真下に位置している。
【００２７】
１つのストーク３５は、固定台１１の中央に固定され、ポット３３の封止部材３３ａを貫通してポット３３内に垂直に垂れ下がっており、その上端開口は上記センターゲート２５に連なり、下端開口はポット３３内の溶湯中に浸漬してポット３３の底部に対峙している。
【００２８】
同様に他の４つのストーク３６は、固定台１１に固定され、ポット３４の封止部材３４ａを貫通してポット３４内に垂直に垂れ下がっており、その上端開口は上記湯道２７を介して上記サイドゲート２６に連なり、下端開口はポット３４内の溶湯中に浸漬してポット３４の底部に対峙している。
【００２９】
図３に示すように、各ポット３３，３４の底部近傍には溶湯取入口５１を有するポート部材５０が取りつけられている。この取入口５１は、ロッド形状の溶湯遮断弁５２（開閉手段）により開閉されるようになっている。すなわち、溶湯遮断弁５２は、断熱容器３１の蓋部３１ａを貫通しており、この蓋部３１ａに設置された駆動機構により上下動され、取入口５１を開閉するようになっている。
【００３０】
図２に示すように、低圧鋳造装置は、吸引手段６１と、ドライエア供給手段６２（加圧気体供給手段）と、窒素ガス供給手段６３（加圧気体供給手段）と、制御手段６０とを備えている。
【００３１】
上記吸引手段６１は、共通の吸引通路６１ｘに吸引ポンプ６１ａと逆止弁６１ｂと圧力ゲージ６１ｃとを上流側から順に設けることにより構成されている。
【００３２】
上記ドライエア供給手段６２および窒素ガス供給手段６３は、手動の三方弁６４により共通の加圧気体供給通路６５ｘに選択的につながるようになっている。通常の低圧鋳造では、ドライエア供給手段６２が供給通路６５ｘに接続され、鋳造品に高品質が要求される場合には三方弁６４により窒素ガス供給手段６３が供給通路６５ｘに接続されるようになっている。
【００３３】
上記ドライエア供給手段６２は、上流側から順に圧縮ドライエア源（図示しない），手動の開閉弁６２ａ，フィルタ６２ｂ，圧力レギュレータ６２ｃを有している。
同様に上記窒素ガス供給手段６３は、上流側から順に圧縮窒素ガス源（図示しない），手動の開閉弁６３ａ，フィルタ６３ｂ，圧力レギュレータ６３ｃを有している。
【００３４】
上記制御手段６０は、１つのセンターゲート用制御部６０ａと、４つのサイドゲート用制御部６０ｂとを有している。各制御部６０ａ，６０ｂは、上述した共通の吸引通路６１ｘの下流端で分岐された分岐吸引通路６１ｙと、共通の供給通路６５ｘの下流端で分岐された分岐供給通路６５ｙを有している。
【００３５】
各分岐吸引通路６１ｙには開閉弁６６（吸引用の連通制御手段）が設けられている。
【００３６】
各分岐供給通路６５ｙには上流側から順に圧力ゲージ６５ａ，圧力制御弁６５ｂ（圧力制御手段），流量ゲージ６５ｃ，圧力ゲージ６５ｄ，開閉弁６７（加圧気体供給用の連通制御手段）が設けられている。上記圧力制御弁６５ｂは空電比例弁６５ｅにより制御されるようになっている。すなわち、この空電比例弁６５ｅは、圧力ゲージ６５ｄの検出圧力が設定圧力になるように、圧力制御弁６５ｂをフィードバック制御する。
【００３７】
制御部６０ａにおける分岐吸引通路６１ｙと分岐供給通路６５ｙは、上記ポット３３
の封止部材３３ａを貫通する管からなる作動通路６８に接続されている。
同様に各制御部６０ｂにおける分岐吸引通路６１ｙと分岐供給通路６５ｙは、上記ポット３４の封止部材３４ａを貫通する管からなる作動通路６８に接続される。
【００３８】
上記構成の装置を用いた低圧鋳造方法について詳述する。まず、密閉のポット３３，３４内の吸引動作を行なう。すなわち、溶湯取入口５１を開いた状態で、制御部６０ａ，６０ｂの開閉弁６７を閉じる一方、開閉弁６６を開き吸引ポンプ６１ａを作動させて、ポット３３，３４内部の空気を吸引し、ポット３３，３４内を負圧にする。これにより、坩堝３２内に保持されていたアルミ合金の溶湯が溶湯取入口５１からポット３３，３４内に流入する。
【００３９】
ポット３３，３４内には湯面センサ（図示しない）が設けられており、各ポット３３，３４がそれぞれ設定レベルＬ１，Ｌ２に達した時に、この湯面センサが検出して、溶湯取入口５１及び上記開閉弁６６を閉じて吸引動作を終了する。
【００４０】
図１に示すように、センターゲート２５に対応するポット３３の湯面設定レベルＬ１は、サイドゲート２６に対応するポット３４の湯面設定レベルＬ２より高く、そのため密閉ポット３３の溶湯取入口５１及び制御部６０ａの開閉弁６６は、密閉ポット３４の溶湯取入口５１及び制御部６０ｂの開閉弁６６より遅く閉じる。
【００４１】
次に、ポット３３，３４内の加圧動作を行なう。すなわち、溶湯取入口５１及び開閉弁６６を閉じた状態で、制御部６０ａ，６０ｂの開閉弁６７を開いて圧縮ドライエアをポット３３，３４内に供給する。これによりポット３３内の溶湯表面が加圧されて、ストーク３５，センターゲート２５を経てディスク部成形空間４０ａに溶湯が供給されるとともに、ポット３４内の溶湯表面が加圧されて、ストーク３６，サイドゲート２６を経てリム部成形空間４０ｂに溶湯が供給される。
【００４２】
上述したように、ポット３３内の湯面がポット３４内の湯面より高いので、ポット３４内の溶湯がサイドゲート２６に達するより、ポット３３内の溶湯がセンターゲート２５に達するのが早く、図４に示すようにディスク部成形空間４０ａへの溶湯の充填が略終了した時に、サイドゲート２６からリム部成形空間４０ｂへの溶湯注入がなされる。その結果、サイドゲート２６からの溶湯がディスク部成形空間４０ａの湯面へと大きな落差を伴って落下する不都合を回避でき、溶湯中に気泡が入り込んだり酸化膜が多量に生成される不都合を回避できるので、鋳造された車両ホイールの品質を向上させることができる。
【００４３】
上記のような吸引動作時のポット３３，３４内における湯面高さ制御を行なう代わりに、制御部６０ａの開閉弁６７の開き動作を、制御部６０ｂの開閉弁６７の開き動作より早くすることにより、センターゲート２５への溶湯到達をサイドゲート２６への溶湯到達より早くしてもよい。
【００４４】
また、制御部６０ａの圧力制御弁６５ｂの設定圧力を制御部６０ｂの圧力制御弁６５ｂの設定圧力より高くすることによって、ポット３３への加圧気体の圧力をポット３４への圧力より高くしてもよい。これによれば、センターゲート２５への溶湯供給量を増大させることができ、サイドゲート２６からの溶湯充填前に、ディスク部成形空間４０ａに溶湯を十分に供給することができる。
【００４５】
さらに、本実施形態において、上記３つの制御態様のうちの任意の２つを同時に行なってもよいし、３つの制御態様を同時に行なってもよい。
【００４６】
本実施形態では、複数のサイドゲート２６毎に制御部６０ｂを有しているので、より一層きめ細かな制御が可能である。例えばスポーク部が５つある車両ホイールを鋳造する場合、４つのサイドゲート２６毎に溶湯の充填抵抗が異なるが、充填抵抗の高いサイドゲート２６に対応するポット３４へは、他のポット３４よりも吸引動作時の湯面を高くしたり、加圧気体の供給を早くしたり、加圧気体の圧力を高くする。
【００４７】
次に本発明の他の実施形態について説明する。これら実施形態において第１実施形態に対応する構成部には同番号を付してその詳細な説明を省略する。
図５に示す第２実施形態では、複数のサイドゲート２６に対応するポット３４への吸引動作制御および加圧気体供給制御を共通の制御部６０ｂで行う。
また、複数のサイドゲート２６に対応するポット３４への吸引動作制御を第１実施形態と同様に個別に行ない、加圧気体供給制御だけを共通の制御部で行うようにしてもよい。
【００４８】
図６に示す第３実施形態では、サイドゲート２６に接続される複数のストーク３６が１つの共通のポット３４に収容されている。この実施形態では、制御手段は、図５と同様に制御部３０ａ，３０ｂを１つずつ有している。
【００４９】
本発明は上記実施形態に制約されず、種々の形態を採用可能である。例えば、金型のリム成形部は、最終製品のリム部よりはるかに厚いリム部を成形するものであってもよい。この場合、鋳造後にリム部をスピニング加工することにより、最終製品形状またはそれに近い形状にする。
【００５０】
溶湯保持炉として上記実施形態では、坩堝式溶湯保持炉を用いたが、図７に示すように、補充溶湯が供給される第１溶湯保持室６０Ａと複数の長尺のポット３３，３４を収容する第２溶湯保持室６０Ｂとが、昇降式遮断弁６１により開閉される連通口６２を介して連設されるバス式２室型溶湯保持炉を用いてもよい。なお、６３は横型浸漬ヒータである。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１実施形態に係わる車両用ホイールの低圧鋳造装置の縦断面図である。
【図２】同装置における複数のポットに対する吸引，圧縮気体供給を個別に制御するシステムの回路構成図である。
【図３】同ポットにおける溶湯取入口および開閉弁を示す要部拡大断面図である。
【図４】同装置の金型の要部を型締め状態で示す拡大断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態を示す制御システムの回路構成図である。
【図６】本発明の第３実施形態を示す低圧鋳造装置の概略図である。
【図７】本発明に使用可能なバス式２室型溶湯保持炉の縦断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
２０  金型
２５  センターゲート
２６  サイドゲート
３０  溶湯供給炉
３２  坩堝
３３，３４  ポット
３５，３６  ストーク
４０  車両ホイール成形空間
４０ａ  ディスク部成形空間
４０ｂ  リム部成形空間
５１  溶湯取入口
５２  開閉弁（開閉手段）
６０  制御手段
６１  吸引手段
６２  ドライエア供給手段（加圧気体供給手段）
６３  窒素ガス供給手段（加圧気体供給手段）
６５ｂ  圧力制御弁（圧力制御手段）
６６  開閉弁（吸引用の連通制御手段）
６７  開閉弁（加圧気体供給用の連通制御手段）
【図１】
2006346718.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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