(57)【要約】【課題】  設置スペースを小さくすることができるボンディング装置を提供する。【解決手段】  ボンデングユニット１１の横幅方向Ｗ側部にローダユニット１２を配置する。ボンディングユニット１１のボンディングゾーン２３に、リードフレーム２がセットされるテーブル３３を設け、テーブル３３をボンディングゾーン２３においてボンディング装置１の横幅方向Ｗに往復移動できるように構成する。ボンディングゾーン２３の右側に、ローダユニット１２のマガジンから供給用待機レール５２に供給されたリードフレーム２をテーブル３３に供給してセットする供給動作と、テーブル３３にセットされたリードフレーム２を回収用待機レール５１に移動した後、ローダユニット１２のマガジンに収容する収容動作とを行うワーク送り装置４１を設ける。【選択図】        図１
2006186113.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディングユニットを備えたボンディング装置において、
前記ボンデングユニットの横幅方向側部に、前記リードフレームを保持するマガジンがセットされたローダユニットを配置する一方、
前記ボンディングユニットに、前記リードフレームをセットした状態でボンディングゾーンにて前記横幅方向に往復移動するテーブルと、前記ローダユニットの前記マガジンに保持されたリードフレームを前記テーブルに供給する為の供給動作及び前記テーブルにセットされた前記リードフレームを前記ローダユニットの前記マガジンに収容する為の収容動作を行うワーク送り装置とを設けたことを特徴とするボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、短冊状のリードフレームにチップをボンディングする際には、図６に示すように、ボンディング装置８０１が用いられている。
【０００３】
このボンディング装置８０１は、ボンディングを行うボンディングユニット８１１を中心に構成されている。該ボンディングユニット８１１の上流側には、リードフレーム８１２を供給するローダユニット８１３が設けられており、該ローダユニット８１３は、前記リードフレーム８１２を収容した供給用のマガジン８１４を保持するマガジンローダ８１５と、リードフレーム８１２が配置されるワークローダ８１６とを備えている。
【０００４】
これにより、ボンディングが全く行われていないリードフレーム８１２にボンディングを行う際には、リードフレーム８１２を前記ワークローダ８１６に重ねてセットする一方、一回目等のボンディングが行われたリードフレーム８１２にボンディングを行う際には、各リードフレーム８１２を上下に離間して保持する供給用のマガジン８１４に収容した状態で前記マガジンローダ８１５にセットできるように構成されている。
【０００５】
また、前記ローダユニット８１３の上流側には、プッシャー８２１が設けられており、前記ワークローダユニット８１３にセットされたリードフレーム８１２を前記ボンデングユニット８１１の搬送レール８３１上に押し出せるように構成されている。
【０００６】
これにより、前記ボンディングユニット８１１では、前記搬送レール８３１上のリードフレーム８１２を送り機構８３５によって下流側へピッチ送りしながら、ウエハシート８４１上のチップを前記リードフレーム８１２にボンディングした後、下流側に設けられたワーク送り装置８４２によって下流側へ排出できるように構成されている。
【０００７】
前記ボンディングユニット８１１の下流側には、アンローダユニット８５１が設けられている。該アンローダユニット８５１は、前記リードフレーム８１２を上下に離間して収容する回収用のマガジン８５２を備えており、前記ワーク送り機構８４２によって排出されたリードフレーム８１２を回収用のマガジン８５２に順次収容できるように構成されている。
【０００８】
これにより、単一のリードフレーム８１２にボンディングを複数回行う際には、前記ボンディングユニット８１１にてボンディングが行われ、下流側の前記アンローダユニット８５１の回収用のマガジン８５２に回収されたリードフレーム８１２を、上流側に設けられたローダユニット８１３のワークローダ８１６にセットすることによって、一回目等のボンディングが行われたリードフレーム８１２にボンディング作業を繰り返し行えるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、このようなボンディング装置８０１にあっては、リードフレーム８１２を一方向に流して作業工程を経た後に下流側のマガジン８５２に収容するように構成されているため、ボンディングユニット８１１の上流側及び下流側にマガジンを扱うユニットを設置する必要であった。
【００１０】
これにより、装置全体としての幅方向の長さ寸法が大きくなり、設置スペースを要するという問題があった。
【００１１】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、設置スペースを小さくすることができるボンディング装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するために本発明のボンディング装置にあっては、短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディングユニットを備えたボンディング装置において、前記ボンデングユニットの横幅方向側部に、前記リードフレームを保持するマガジンがセットされたローダユニットを配置する一方、前記ボンディングユニットに、前記リードフレームをセットした状態でボンディングゾーンにて前記横幅方向に往復移動するテーブルと、前記ローダユニットの前記マガジンに保持されたリードフレームを前記テーブルに供給する為の供給動作及び前記テーブルにセットされた前記リードフレームを前記ローダユニットの前記マガジンに収容する為の収容動作を行うワーク送り装置とを設けた。
【００１３】
すなわち、単一のリードフレームにボンディングを複数回行う際には、ローダユニットにセットされたマガジンから一回目等のボンディングが行われたリードフレームを取り出すとともに、このリードフレームを、供給動作されるワーク送り装置によって、ボンディングユニットのテーブルにセットする。そして、このテーブルを移動しつつ、各ボンディングポイントへのボンディングを行う。
【００１４】
次に、このリードフレームの各ボンディングポイントへのボンディングが終了した際には、前記テーブルを移動して前記リードフレームを前記ワーク送り装置との受け渡し位置まで移動し、収容動作される前記ワーク送り装置によって、前記テーブルにセットされたリードフレームを前記ローダユニットの前記マガジンに収容する。
【００１５】
このように、前記ボンデングユニットの横幅方向に往復移動するテーブルを用いることによって、当該ボンデングユニットへのリードフレームの供給方向と排出方向とを同方向に設定することができ、供給する又は排出されたリードフレームを保持するマガジンがセットされたローダユニットを、前記ボンデングユニットの一方の側部側に配置することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明のボンディング装置にあっては、リードフレームを供給する又は排出するマガジンがセットされたローダユニットをボンデングユニットの一方の側部側に配置することができる。
【００１７】
このため、リードフレームを一方向へ流す構造上、リードフレームを供給するマガジンを上流側に配置するとともに、ボンディングされたリードフレームを回収するマガジンを下流側に配置しなければならなかった従来と比較して、装置全体としての横幅方向の長さ寸法を小さくすることができる。したがって、設置スペースを小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるボンディング装置１を示す図であり、該ボンディング装置１は、短冊状のリードフレーム２にチップをボンディングする装置である。
【００１９】
このボンディング装置１は、ボンディングを行うボンディングユニット１１を中心に構成されており、該ボンデングユニット１１の横幅方向Ｗの図１中右側には、ローダユニット１２が近接して配置されている。
【００２０】
前記ボンディングユニット１１の図１中左方には、ワークローダ２１が設けられており、該ワークローダ２１は、ボンディングが全く行われていないリードフレーム２を積層して載置するワーク載置部２２と、該ワーク載置部２２に載置されたリードフレーム２を、一枚ずつボンディングゾーン２３に供給するワーク供給装置２４とによって構成されている。
【００２１】
前記ボンディングゾーン２３では、該ボンディングゾーン２３手前に設けられたウエハシートゾーン３１のウエハリング３２から図外のボンディングヘッドでチップをピックアップし、このチップを前記ボンディングゾーン２３のテーブル３３上に供給されたリードフレーム２のボンディングポイントにボンディングするように構成されている。このチップのボンディングとしては、一回のボンディング工程でボンディングを完了する部品と、複数回のボンディング工程を繰り返す部品とがあり、後者の場合には、初回のボンディングが終了したリードフレーム２を一度排出した後、このリードフレーム２を再度ボンデング装置１にセットして二回目以降のボンディングを行うように構成されている。
【００２２】
前記テーブル３３の下部は、図２にも示すように、スライダ３５，３５が設けられており、該スライダ３５，３５は、当該ボンディング装置１に延設されたガイドレール３６に沿って移動自在に設けられている。このスライダ３５，３５と前記ガイドレール３６とを備えることによって前記テーブル３３を直線駆動する駆動機構３７が構成されており、該駆動機構３７の駆動力によって前記テーブル３３は、前記リードフレーム２を上面にセットした状態で前記ボンディングゾーン２３において当該ボンディング装置１の前記横幅方向Ｗに往復移動できるように構成されている。
【００２３】
前記ボンディングゾーン２３の図１中右側には、リードフレーム２を移動するワーク送り装置４１が設けられている。該ワーク送り装置４１は、前記リードフレーム２を前記テーブル３３と待機部４２との間で移動するとともに、該待機部４２と前記ローダユニット１２との間で移動できるように構成されている。
【００２４】
前記待機部４２は、前記ボンディングゾーン２３でボンディングされたリードフレーム２を待機させる回収用待機レール５１と、前記ボンディングゾーン２３でボンディングが行われるリードフレーム２を待機させる供給用待機レール５２とを備えており、両待機レール５１，５２は、奥行き方向Ｄにスライドすることによって選択的に前記ボンディングゾーン２３の前記テーブル３３に位置合わせできるように構成されている。
【００２５】
これにより、このワーク送り装置４１は、前記ローダユニット１２のマガジンから前記供給用待機レール５２に供給されたリードフレーム２を前記テーブル３３に供給してセットする供給動作と、前記テーブル３３にセットされた前記リードフレーム２を前記回収用待機レール５１に移動した後、前記ローダユニット１２のマガジンに収容する収容動作とを行えるように構成されている。
【００２６】
前記ローダユニット１２は、前記供給用待機レール５２に供給するリードフレーム２を収容した供給用のマガジン６１を保持するマガジンローダ６２と、前記回収用待機レール５１のリードフレーム２を回収して収容する回収用のマガジン６３を保持するマガジンアンローダ６４とが設けられており、リードフレーム２に複数回のボンディングを繰り返して部品を製造する際に、既にボンディングが行われたリードフレーム２が供給用のマガジン６１から前記ボンディングユニット１１に供給されるとともに、当該リードフレーム２にボンディングが行われた際に、このリードフレーム２が回収用のマガジン６３に収容されるように構成されている。
【００２７】
そして、前記マガジンローダ６２は、前記マガジンアンローダ６４の奥側に設けられており、前記マガジンローダ６２及び前記マガジンアンローダ６４は、当該ローダユニット１２の奥行き方向Ｄに並設されている。
【００２８】
このローダユニット１２の前記マガジンローダ６２は、図３にも示すように、前記供給用のマガジン６１が複数収容されるロードマガジン配置部７１が設けられており、その載置面７２には、載置された供給用のマガジン６１を順次当該ローダユニット１２の中央部へ押圧して移動するローダ押圧部７３が設けられている。また、前記マガジンアンローダ６４は、前記回収用のマガジン６３が複数収容されるアンロードマガジン配置部７５が設けられており、その載置面７６には、載置された回収用のマガジン６３を順次当該ローダユニット１２の中央部へ押圧して移動するアンローダ押圧部７７が設けられている。
【００２９】
前記供給用のマガジン６１及び前記回収用のマガジン６３は、図４に示すように、中空の矩形枠状に形成されており、その内側面には、リードフレーム２の側縁部を支持する複数の支持片８１が等間隔をおいて上下に設けられている。これにより、対向した支持片８１，８１の上部及び下部には、リードフレーム２を収容する収容部８２が形成されており、各収容部８２に収容されたリードフレーム２，２間に間隙を確保することによって、リードフレーム２にボンディングされたチップ等が干渉しないように構成されている。
【００３０】
前記マガジンローダ６２の前記ロードマガジン配置部７１と、前記マガジンアンローダ６４の前記アンロードマガジン配置部７５との間には、エレベーション９１が設けられており、該エレベーション９１は、図５にも示すように、スライドベース９２に立設されている。該スライドベース９２は、当該ローダユニット１２に設けられたスライドレール９３に移動自在に支持されており、当該スライドレール９３に設けられたナット部９４が前記スライドレール９３の端部に設けられたスライドモータ９５より延出するボールネジ９６と螺合している。これにより、前記スライドモータ９５を駆動することによって、前記エレベーション９１を前記奥行き方向Ｄへ移動できるように構成されている。
【００３１】
このエレベーション９１は、図４にも示したように、前記スライドベース９２に立設されたガイドレール１０１と、該ガイドレール１０１に移動自在に支持された昇降スライダ１０２とを備えており、該昇降スライダ１０２に設けられたナット部１０３が前記ガイドレール１０１の上端に設けられた昇降モータ１０４より延出するボールネジ１０５に螺合している。これにより、前記昇降モータ１０４を駆動することによって、前記昇降スライダ１０２を上下方向に昇降する昇降機構１０６が構成されている。
【００３２】
この昇降スライダ１０２の一側部には、ロードマガジン保持機構１１１が設けられており、他側部には、アンロードマガジン保持機構１１２が設けられている。前記ロードマガジン保持機構１１１は、前記マガジンローダ６２側に配置されており、前記ロードマガジン配置部７１に配置された前記供給用のマガジン６１を保持する供給マガジングリップ１１５を備えている。該供給マガジングリップ１１５は、下端に固定爪１１６が設けられた支持板１１７と、該支持板１１７の上端部に設けられた可動爪１１８とからなり、該可動爪１１８は、図外の駆動機構によって上下動されるように構成されている。
【００３３】
また、前記アンロードマガジン保持機構１１２は、前記マガジンアンローダ側６４に配置されており、前記アンロードマガジン配置部７５に配置された前記回収用のマガジン６３を保持する回収マガジングリップ１２１を備えている。該回収マガジングリップ１２１は、下端に固定爪１２２が設けられた支持板１２３と、該支持板１２３の上端部に設けられた可動爪１２４とからなり、該可動爪１２４は、図外の駆動機構によって上下動されるように構成されている。
【００３４】
これにより、前記昇降スライダ１０２を下降して前記スライドベース９２を前記マガジンローダ６２側へ移動するとともに、前記供給マガジングリップ１１５の可動爪１１８を下動することで、当該供給マガジングリップ１１５で前記供給マガジン６１を保持できるように構成されている。また、前記スライドベース９２を前記マガジンアンローダ６４側へ移動するとともに、前記回収マガジングリップ１２１の可動爪１２４を下動することで、当該回収マガジングリップ１２１で前記回収用のマガジン６３を保持できるように構成されており、この状態で、前記昇降スライダ１０２を所定位置まで上昇することで、前記ロードマガジン保持機構１１１で保持した前記供給マガジン６１及び前記アンロードマガジン保持機構１２１で保持した前記回収用のマガジン６３に設定されたリードフレーム２の各収容部８２を、前記ボンデングユニット１１との間でリードフレーム２の受け渡しを行う高さ位置に合わせて昇降できるように構成されている。
【００３５】
そして、前記ボンディング装置１は、図１に示しように、供給用のマガジン６１に収容されたリードフレーム２を前記供給用待機レール５２側へ押し出すプッシャ１３１を備えている。
【００３６】
以上の構成にかかる本実施の形態において、単一のリードフレーム２にボンディングを複数回行う際には、一回目等のボンディングが行われたリードフレーム２を供給用のマガジン６１からプッシャ１３１によって供給用待機レール５２へ押し出した後、該供給用待機レール５２をテーブル３３位置に合わせてスライドさせる。そして、ワーク送り装置４１を供給作動して、前記供給用待機レール５２上のリードフレーム２をボンディングユニット１１のテーブル３３にセットする。その後、このテーブル３３を所定ピッチで移動しつつ、前記リードフレーム２に設定された各ボンディングポイントへチップをボンディングする。
【００３７】
各ボンディングポイントへのボンディングが終了した際には、前記テーブル３３を移動して前記リードフレーム２を前記ワーク送り装置４１との受け渡し位置まで移動するとともに、前記回収用待機レール５１をスライドして前記テーブル３３に位置合わせ、該テーブル３３にセットされたリードフレーム２を、前記ワーク送り装置４１によって前記回収用待機レール５１上へ移送する。そして、この回収用待機レール５１を、前記ローダユニット１２の回収用のマガジン６３位置に合わせてスライドした後、前記回収用待機レール５１上のリードフレーム２を前記ワーク送り装置４１によって回収用のマガジン６３に収容する。
【００３８】
このように、前記ボンデングユニット１１の横幅方向Ｗに往復移動する前記テーブル３３を用いることによって、当該ボンデングユニット１１へのリードフレーム２の供給位置と排出位置とを同方向（図１中右方）に設定することができ、供給する又は排出されたリードフレーム２を保持するマガジン６１，６３がセットされたローダユニット１２を、前記ボンデングユニット１１の図１中右方の側部側に配置することができる。
【００３９】
このため、リードフレームを一方向へ流す構造上、リードフレームを供給するマガジンを上流側に配置するとともに、ボンディングされたリードフレームを回収するマガジンを下流側に配置しなければならなかった従来と比較して、装置全体としての横幅方向Ｗの長さ寸法を小さくすることができる。したがって、設置スペースを小さくすることができる。
【００４０】
また、前記ローダユニット１２において、ロードマガジン配置部７１とアンロードマガジン配置部７５との間に、供給用のマガジン６１及び回収用のマガジン６３を保持して昇降するエレベーション９１を設けたので、前記ロードマガジン配置部７１及び前記アンロードマガジン配置部７５の各々に、供給用のマガジン６１及び回収用のマガジン６３を昇降する昇降機構を設ける場合と比較して、省スペース化を図ることができるとともに、前記エレベーション９１及びスライドベース９２の共有化を図ることができる。
【００４１】
なお、本実施の形態では、リードフレーム２にチップをボンディングするボンディング装置１を例に挙げて説明したが、これに限定されるものでは無く、リードフレーム２上にワイヤをボンディングする装置に応用しても良い。
【００４２】
また、前記ローダユニット１２にマガジンローダ６２とマガジンアンローダ６４とを設けた場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、ボンディングユニット１１の側部に、別体からなるマガジンローダ６２とマガジンアンローダ６４とを並設しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態のテーブルを示す側面図である。
【図３】同実施の形態のローダユニットを示す斜視図である。
【図４】同実施の形態のローダユニットを示す正面図である。
【図５】同実施の形態のローダユニットを示す平面図である。
【図６】従来のボンディング装置を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４４】
１    ボンディング装置
２    リードフレーム
１１    ボンディングユニット
１２    ローダユニット
３３    テーブル
４１    ワーク送り装置
６１    供給用のマガジン
６３    回収用のマガジン
Ｄ    奥行き方向
Ｗ    横幅方向
【図１】
2006186113.tif 000003
【図２】
2006186113.tif 000004
【図３】
2006186113.tif 000005
【図４】
2006186113.tif 000006
【図５】
2006186113.tif 000007
【図６】
2006186113.tif 000008