(57)【要約】【課題】  アライメントマークを常に最適な色調および光量で照射して、アライメントマークの画像を認識しやすくすることが可能な、アライメント用照明装置およびアライメント用照明方法を提供する。【解決手段】  アライメント用照明装置であるＬＥＤ照明装置５１は、照明部５６と、ＣＣＤカメラ５７ａと、画像処理部５３と、調光制御部５４と、光源部５５とを有し、駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマーク３１と、液晶パネル１ａに形成されたパネルアライメントマーク３２とに照明光を照射する。光源部５５は、赤色ＬＥＤ６６と、緑色ＬＥＤ６７と、青色ＬＥＤ６８と、白色ＬＥＤ６９とを有する。各色ＬＥＤ６６〜６９の波長の合成および光量値を変えることにより、ＣＣＤカメラ５７ａによって撮像した各アライメントマーク３１，３２の画像が最適なコントラストになるように照射する。【選択図】      図４
2006091623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学装置のパネルに形成されたパネルアライメントマークと前記電気光学装置を駆動するための駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークとの撮像領域に照明光の照射を行うアライメント用照明装置であって、
前記２種類のアライメントマークに照射する波長の異なる複数の照明光を備えた照明装置と、
前記複数の照明光のうち少なくとも２つの照明光の波長を組み合わせることが可能な波長合成手段と、
前記波長合成手段で用いた少なくとも２つの照明光の光量値を可変することが可能な光量調整手段と、
前記撮像領域の撮像を行う撮像素子と
を有することを特徴とするアライメント用照明装置。
【請求項２】
請求項１に記載のアライメント用照明装置であって、
前記照明装置は、ＬＥＤを有し、
前記ＬＥＤは、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤの少なくとも２つを有することを特徴とするアライメント用照明装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のアライメント用照明装置であって、
前記ＬＥＤは、白色ＬＥＤを更に有することを特徴とするアライメント用照明装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載のアライメント用照明装置であって、
前記照明装置は、前記パネルアライメントマーク用と前記ＩＣアライメントマーク用とに切り替えて照明光を照射することが可能になっており、
前記パネルアライメントマークには、少なくとも赤色ＬＥＤの照明光を照射し、
前記ＩＣアライメントマークには、少なくとも青色ＬＥＤの照明光を照射することを特徴とするアライメント用照明装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のアライメント用照明装置であって、
前記撮像素子によって撮像された画像からコントラストデータを求める画像処理部と、
前記画像処理部によって求められた補正値情報により、前記ＬＥＤの光量値の制御が行われる調光制御部と
を更に有することを特徴とするアライメント用照明装置。
【請求項６】
請求項５に記載のアライメント用照明装置であって、
前記画像処理部は、演算処理部を有し、
前記演算処理部は、前記２種類のアライメントマークに、前記照明光の波長および光量値を可変させて照射したときに撮像された複数の、前記２種類のアライメントマーク画像のコントラストデータを蓄積し、更に前記複数の、前記２種類のアライメントマーク画像のコントラストデータから、最適条件のコントラストデータを選択して蓄積するデータベース生成部と、
前記最適条件でのコントラストデータと、実装稼動時における２種類のアライメントマークに前記最適条件で照明光を照射して撮像された画像から求められた実装稼動時コントラストデータとを比較する比較部と、
前記比較部で求められた前記実装稼動時コントラストデータと前記最適条件のコントラストデータとの差から、前記実装稼動時コントラストデータを前記最適条件のコントラストデータに近づけるための照明光の波長および光量値を決定する光量決定部と
を有することを特徴とするアライメント用照明装置。
【請求項７】
請求項５に記載のアライメント用照明装置であって、
前記最適条件は、前記２つのアライメントマークとその背景とのコントラストが最大となる照明光の波長および光量値とすることを特徴とするアライメント用照明装置。
【請求項８】
電気光学装置のパネルに形成されたパネルアライメントマークと、前記電気光学装置を駆動するための駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークとの撮像領域に照明光の照射を行うアライメント用照明装置であって、
前記２種類のアライメントマークに照射する波長の異なる複数の照明光を備えた照明装置と、
前記複数の照明光のうち少なくとも２つの照明光の波長を組み合わせることが可能な波長合成手段と、
前記波長合成手段で用いた少なくとも２つの照明光の光量値を可変することが可能な光量調整手段と、
前記撮像領域の撮像を行う撮像素子と
を備え、
波長合成手段が波長の異なる複数の照明光を合成する波長合成工程と、
光量調整手段が前記照明光の光量値を可変する光量調整工程と、
前記波長合成工程によって合成された複数の照明光と、前記光量調整工程によって調整された照明光の光量値とによって前記２種類のアライメントマークに照射を行う照射工程と
を有することを特徴とするアライメント用照明方法。
【請求項９】
パネルを有する電気光学装置の製造方法であって、
前記電気光学装置のパネルに形成されたパネルアライメントマークと、前記電気光学装置を駆動する為の駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークとの撮像領域に照明光の照射を行う為に、波長の異なる複数の照明光を備えた照明装置と、
前記複数の照明光のうち少なくとも２つの照明光の波長を組み合わせることが可能な波長合成手段と、
前記波長合成手段で用いた少なくとも２つの照明光の光量値を可変することが可能な光量調整手段と、
前記撮像領域の撮像を行う撮像素子とを有するアライメント用照明装置を用いて、前記駆動用ＩＣを前記パネルに実装すること
を特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
パネルを有する電気光学装置の製造方法であって、
前記電気光学装置のパネルに形成されたパネルアライメントマークと、前記電気光学装置を駆動する為の駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークとの撮像領域に照明光の照射を行う為に、波長の異なる複数の照明光を備えた照明装置と、
前記複数の照明光のうち少なくとも２つの照明光の波長を組み合わせることが可能な波長合成手段と、
前記波長合成手段で用いた少なくとも２つの照明光の光量値を可変することが可能な光量調整手段と、
前記撮像領域の撮像を行う撮像素子とを有し、
前記照明装置は、ＬＥＤを有し、
前記ＬＥＤは、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤ、白色ＬＥＤのうち少なくとも２つを有するアライメント用照明装置を用いて、前記駆動用ＩＣを前記パネルに実装することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アライメント用照明装置、アラメント用照明方法、および、電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学装置としては、近年ＦＰＤ（Flat Panel Display）が普及し始めており、中でも液晶表示装置が現在主流になっている。液晶表示装置を構成する液晶パネルに、電子部品としての駆動用ＩＣを実装する場合には、液晶パネルと駆動用ＩＣにそれぞれ位置決めマーク（以下、アライメントマークという）を付してそれぞれの画像を認識し、取得した画像からお互いの位置を求めて、駆動用ＩＣと液晶パネルとの位置合わせを行っている。この位置合わせでは、それぞれの画像を認識しやすい状態にするために、アライメントマークに照明光を照射している。
【０００３】
駆動用ＩＣのアライメントマークは、例えばシリコン部材の表面に形成されている。液晶パネルのアライメントマークは、例えばガラス基板の表面にＩＴＯ（Indium Thin Oxide）で形成されている。それぞれのアライメントマークの見えやすさは、例えば、付された部品の材質によって異なる。このため、認識対象に応じて照射する照明光の色調を変え、アライメントマークとその背景とのコントラストを最適化することにより、アライメントマークが見えやすい状態に調整する必要がある。そこで、駆動用ＩＣや液晶パネルに応じて、それぞれ複数個を有するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、のＬＥＤ（Light Emitting Diode）の点灯個数の割合を変えて、所望の照明色が得られるようにしている照明装置が開示されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３５２９６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、同じ材質であっても、駆動用ＩＣや液晶パネルに形成されたアライメントマークの膜厚など製造バラツキによって、アライメントマークの見えやすさにバラツキが生じていた。これにより、照明装置の照明色を、製品１つずつ調整して対応しなければならなかった。また、ＬＥＤの点灯個数の調整では、光量値に限界があり、所望の照明光を得られなかった。アライメントマークが見えにくくなると、アライメントマークとその背景とのコントラストが低下し、アライメントマークが認識できず、アライメント用照明装置が停止するという問題があった。さらに、画像が認識しずらいと、駆動用ＩＣと液晶パネルとの位置合わせの精度が低下してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような従来の技術の有する未解決な課題に着目してなされたものであって、アライメントマークを常に最適な色調および光量の照明光で照射して、アライメントマークを認識しやすくすることが可能な、アライメント用照明装置およびアライメント用照明方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題を解決するために、本発明に係るアライメント用照明装置は、電気光学装置のパネルに形成されたパネルアライメントマークと、前記電気光学装置を駆動するための駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークとの撮像領域に照明光の照射を行うアライメント用照明装置であって、前記２種類のアライメントマークに照射する波長の異なる複数の照明光を備えた照明装置と、前記複数の照明光のうち少なくとも２つの照明光の波長を組み合わせることが可能な波長合成手段と、前記波長合成手段で用いた少なくとも２つの照明光の光量値を可変することが可能な光量調整手段と、前記撮像領域の撮像を行う撮像素子とを有する。
【０００８】
この構成によれば、ＩＣアライメントマークおよびパネルアライメントマークに膜厚などの製造バラツキがあり、照明装置によって照明光を照射し各アライメントマークから反射した反射光にバラツキが生じていても、波長合成手段と光量調整手段とによって、最適な色調と光量値の照明光に近づけるように調整することが可能なので、撮像素子によって撮像された各アライメントマークを最適なコントラストで認識することができる。よって、各アライメントマークの境目をはっきりさせて画像を取り込むことができる。また、駆動用ＩＣとパネルとの位置合わせ精度を向上させることができる。
【０００９】
本発明に係るアライメント用照明装置では、前記照明装置は、ＬＥＤを有し、前記ＬＥＤは、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤの少なくとも２つを有することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤを組み合わせることができるので、様々な色調を作り出すことが可能となる。よって、２つのアライメントマークのコントラストが最適な状態になるように、それぞれのＬＥＤを組み合わせて使用することができる。
【００１１】
本発明に係るアライメント用照明装置では、前記ＬＥＤは、白色ＬＥＤを更に有することが望ましい。
【００１２】
この構成によれば、白色ＬＥＤを加えたので、他のＬＥＤの光量が不足したとしても、白色ＬＥＤを加えることで、光量を増加させることが可能となる。よって、最適な光量値の照明光をアライメントマークに照射することができる。
【００１３】
本発明に係るアライメント用照明装置では、前記照明装置は、前記パネルアライメントマーク用と前記ＩＣアライメントマーク用とに切り替えて照明光を照射することが可能になっており、前記パネルアライメントマークには、少なくとも赤色ＬＥＤの照明光を照射し、前記ＩＣアライメントマークには、少なくとも青色ＬＥＤの照明光を照射することが望ましい。
【００１４】
この構成によれば、パネルアライメントマーク用とＩＣアライメントマーク用とによって用いるＬＥＤの色を切り替えているので、それぞれのアライメントマークにあった色調をより早く見つけ出すことができる。
【００１５】
本発明に係るアライメント用照明装置では、前記撮像素子によって撮像された画像からコントラストデータを求める画像処理部と、前記画像処理部によって求められた補正値情報により、前記ＬＥＤの光量値の制御が行われる調光制御部とを更に有することが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、画像処理部によって撮像素子から取り込まれた画像のコントラストデータを求めたあと、補正値情報を調光制御部に送ることにより、ＬＥＤの光量値の制御が行われるので、作業者が手動で光量値変更などの操作を行わなくても、自動でＬＥＤの光量値を制御することができる。よって、作業者が調整するときの照明光のバラツキを抑制することが可能となる。従って、安定した色調でアライメントマークを認識することができる。
【００１７】
本発明に係るアライメント用照明装置では、前記画像処理部は、演算処理部を有し、前記演算処理部は、前記２種類のアライメントマークに、前記照明光の波長および光量値を可変させて照射したときに撮像された複数の前記２種類のアライメントマーク画像のコントラストデータを蓄積し、更に前記複数の前記２種類のアライメントマーク画像のコントラストデータから、最適条件のコントラストデータを選択して蓄積するデータベース生成部と、前記最適条件でのコントラストデータと、実装稼動時における２種類のアライメントマークに前記最適条件で照明光を照射して撮像された画像から求められた実装稼動時コントラストデータとを比較する比較部と、前記比較部で求められた前記実装稼動時コントラストデータと前記最適条件のコントラストデータとの差から、前記実装稼動時コントラストデータを前記最適条件のコントラストデータに近づけるための照明光の波長および光量値を決定する光量決定部とを有することが望ましい。
【００１８】
この構成によれば、データベース生成部によって、色調と光量値との組み合わせを可変させたときに得られる画像のコントラストデータを蓄積するので、高いコントラストにするための条件（色調、光量値）を見つけ出すことができる。よって、稼動時に撮像された画像から求められたコントラストと、最適な条件でのコントラストとの差を比較部によって求めることができる。従って、光量決定部によって、最適なコントラストとなるような補正量が決められるので、より最適なコントラストになるように近づけることができる。
【００１９】
本発明に係るアライメント用照明装置では、前記最適条件は、前記２つのアライメントマークとその背景とのコントラストが最大となる照明光の波長および光量値とすることが望ましい。
【００２０】
この構成によれば、アライメンマークとその背景とのコントラストが最大になるような条件で照明光を照射しているので、アライメントマークの境目をはっきりさせることが可能となる。よって、アライメントマークを認識しやすくなり、駆動用ＩＣとパネルとを、精度よく実装することができる。
【００２１】
上記問題を解決するために、本発明に係るアライメント用照明方法は、電気光学装置のパネルに形成されたパネルアライメントマークと、前記電気光学装置を駆動するための駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークとの撮像領域に照明光の照射を行うアライメント用照明装置であって、前記２種類のアライメントマークに照射する波長の異なる複数の照明光を備えた照明装置と、前記複数の照明光のうち少なくとも２つの照明光の波長を組み合わせることが可能な波長合成手段と、前記波長合成手段で用いた少なくとも２つの照明光の光量値を可変することが可能な光量調整手段と、前記撮像領域の撮像を行う撮像素子とを備え、波長合成手段が波長の異なる複数の照明光を合成する波長合成工程と、光量調整手段が前記照明光の光量値を可変する光量調整工程と、前記波長合成工程によって合成された複数の照明光と、前記光量調整工程によって調整された照明光の光量値とによって前記２種類のアライメントマークに照射を行う照射工程とを有する。
【００２２】
この構成によれば、パネルと駆動用ＩＣとを位置決めする際、波長合成工程によって異なる複数の波長の照明光を組み合わせることが可能になり、光量調整工程によって、光量値を可変させることが可能になり、照射工程により組み合わせた照明光と調整した光量値とによって照射することにより、常に各アライメントマークと背景とのコントラストが大きい状態のアライメントマークを撮像することができる。よって、製品によって各アライメントマークから反射する反射光にバラツキがあっても、コントラストが高くなるような照明光を照射することが可能となる。従って、アライメントマークを認識しやすくすることができる。
【００２３】
上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、パネルを有する電気光学装置の製造方法であって、前記電気光学装置のパネルに形成されたパネルアライメントマークと、前記電気光学装置を駆動する為の駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークとの撮像領域に照明光の照射を行う為に、波長の異なる複数の照明光を備えた照明装置と、前記複数の照明光のうち少なくとも２つの照明光の波長を組み合わせることが可能な波長合成手段と、前記波長合成手段で用いた少なくとも２つの照明光の光量値を可変することが可能な光量調整手段と、前記撮像領域の撮像を行う撮像素子とを有するアライメント用照明装置を用いて、前記駆動用ＩＣを前記パネルに実装することを特徴とする。
【００２４】
この構成によれば、ＩＣアライメントマークおよびパネルアライメントマークに膜厚などの製造バラツキがあり、照明装置によって照明光を照射し各アライメントマークから反射した反射光にバラツキが生じていても、波長合成手段と光量調整手段とによって、最適な色調と光量値の照明光に近づけるように調整することが可能なので、撮像素子によって撮像された各アライメントマークを最適なコントラストで認識することができる。よって、各アライメントマークの境目をはっきりさせて画像を取り込むことができる。その結果、駆動用ＩＣとパネルとの位置合わせ精度を向上させて実装することができる。
【００２５】
上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、パネルを有する電気光学装置の製造方法であって、前記電気光学装置のパネルに形成されたパネルアライメントマークと、前記電気光学装置を駆動する為の駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークとの撮像領域に照明光の照射を行う為に、波長の異なる複数の照明光を備えた照明装置と、前記複数の照明光のうち少なくとも２つの照明光の波長を組み合わせることが可能な波長合成手段と、前記波長合成手段で用いた少なくとも２つの照明光の光量値を可変することが可能な光量調整手段と、前記撮像領域の撮像を行う撮像素子とを有し、前記照明装置は、ＬＥＤを有し、前記ＬＥＤは、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤ、白色ＬＥＤのうち少なくとも２つを有するアライメント用照明装置を用いて、前記駆動用ＩＣを前記パネルに実装することを特徴とする。
【００２６】
この構成によれば、ＩＣアライメントマークおよびパネルアライメントマークに膜厚などの製造バラツキがあり、照明装置によって照明光を照射し各アライメントマークから反射した反射光にバラツキが生じていても、波長合成手段と光量調整手段とによって、最適な色調と光量値の照明光に近づけるように調整することが可能なので、撮像素子によって撮像された各アライメントマークを最適なコントラストで認識することができる。また、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤを組み合わせることができるので、様々な色調を作り出すことが可能となる。よって、２つのアライメントマークのコントラストが最適な状態になるように、それぞれのＬＥＤを組み合わせて使用することが可能となる。よって、各アライメントマークの境目をはっきりさせて画像を取り込むことができる。その結果、駆動用ＩＣとパネルとの位置合わせ精度を向上させて実装することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明に係るアライメント用照明装置の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２８】
図１は、本実施形態の電気光学装置を模式的に示す分解斜視図である。以下、本実施形態の電気光学装置について、図１を参照しながら説明する。なお、図１に示した電気光学装置としての液晶表示装置１は、例えば、ＣＯＧ（Chip On Glass）方式である。液晶表示装置１としては、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）アクティブマトリクス型、パッシブマトリクス型、ＴＦＤ（Thin Film Diode：薄膜ダイオード）アクティブマトリクス型の液晶表示装置などのいずれであってもよい。
【００２９】
図１に示すように、液晶表示装置１は、ガラス、石英あるいはプラスチックなどで形成された一対の基板である第１基板１１と第２基板１２とが、シール材１３を挟み所定の間隔を隔てて接着固定されている。
シール材１３には、液晶（図示せず）を注入する液晶注入口１３ａが形成されている。この液晶注入口１３ａは、紫外線硬化樹脂からなる封止材１３ｂで封止されている（液晶注入後）。
【００３０】
第１基板１１と第２基板１２とには、互いに直交する方向に駆動用の第１配線１４と第２配線１５とが、透明なＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜などによってストライプ状に形成されている。第１基板１１と第２基板１２とは、シール材１３を介して、電気的に導通可能な状態になっている。第１配線１４と第２配線１５とは、液晶表示装置１を反射型や半透過反射型とする場合、アルミニウム等の反射性金属膜によって一方の電極を形成してもよい。また、第１配線１４と第２配線１５との交差部分には、画素（図示せず）が形成されている。
【００３１】
第１基板１１は、第２基板１２の外周縁から張り出した領域（以下、「張出し領域」という）１８を有する。張出し領域１８の面上には、出力端子群１９と、入力端子群２０とが形成されている。出力端子群１９には、第１配線１４、第２配線１５がそれぞれ延在して接続される。出力端子群１９と入力端子群２０とは、ＩＣ実装領域２１に実装される駆動用ＩＣ２２を介して、電気的に導通可能な状態に接続される。駆動用ＩＣ２２とＩＣ実装領域２１との位置決めは、お互いに形成されている位置決めマーク（以下、アライメントマークという）（図２参照）を基準に行っている。
【００３２】
入力端子群２０は、例えば、フレキシブル基板２３を介して、回路基板等の外部電極（図示せず）に接続される。第１基板１１および第２基板１２の各外側表面には、それぞれ第１偏光板１６、第２偏光板１７が貼られている。本実施形態では、液晶表示装置１に、駆動用ＩＣ２２およびフレキシブル基板２３が実装されていない状態をパネルとしての液晶パネル１ａとする。
【００３３】
図２は、駆動用ＩＣと液晶パネルとの位置合わせ方法を示す模式平面図でり、同図（ａ）は駆動用ＩＣに形成されたアライメントマークを示した平面図、同図（ｂ）は液晶パネルに形成されたアライメントマークを示した平面図、同図（ｃ）は駆動用ＩＣと液晶パネルとの位置合わせ後の状態を示す平面図である。以下、駆動用ＩＣと液晶パネルとの位置合わせ方法を、図２を参照しながら説明する。
【００３４】
同図（ａ）に示すように、駆動用ＩＣ２２には、両端付近に第１ＩＣアライメントマーク３１ａと第２ＩＣアライメントマーク３１ｂが形成されている。駆動用ＩＣ２２の表面は、例えばシリコン材料で形成されいる。
【００３５】
同図（ｂ）に示すように、ガラス基板で構成された液晶パネル１ａの表面には、駆動用ＩＣ２２が実装される実装領域内（同図（ｃ）参照）に、第１パネルアライメントマーク３２ａと第２パネルアライメントマーク３２ｂとが形成されている。２つのパネルアライメントマーク３２ａ，３２ｂは、例えば、ＩＴＯで構成されている。
【００３６】
同図（ｃ）に示すように、駆動用ＩＣ２２と液晶パネル１ａとは、２つのＩＣアライメントマーク３１ａ，３１ｂから求められた駆動用ＩＣ２２の基準位置３３と、２つのパネルアライメントマーク３２ａ，３２ｂから求められた液晶パネル１ａの基準位置３４とを基準に位置合わせが行われる。回転方向は、例えば、液晶パネル１ａおよび駆動用ＩＣ２２に設けられた各アライメントマーク３１，３２の中心点を結んだラインを基準にお互いを合わせている。
【００３７】
図３は、アライメントマークと、アライメントマークを検出するための検出画像とを示す模式平面図であり、同図（ａ）は、ＩＣアライメントマークと３つの検出画像とを示す平面図であり、同図（ｂ）は、パネルアライメントマークと３つの検出画像とを示す平面図である。同図（ａ）は、図２（ａ）のＡ部を示す模式拡大図であり、同図（ｂ）は、図２（ｂ）のＢ部を示す模式拡大図である。なお、第１ＩＣアライメントマーク３１ａと第２ＩＣアライメントマーク３１ｂとは、同様に構成されているので、第１ＩＣアライメントマーク３１ａのみを説明する。また、第１パネルアライメントマーク３２ａと第２パネルアライメントマーク３２ｂとは、同様に構成されているので、第１パネルアライメントマーク３２ａのみを説明する。
【００３８】
同図（ａ）に示すように、ＩＣアライメントマーク検出領域４１は、第１ＩＣマーク領域４１ａと、第２ＩＣマーク領域４１ｂと、第３ＩＣマーク領域４１ｃとを有し、各領域ごとに反射する濃淡色が異なっている。反射する濃淡色は、例えば、材料の違いや、材料の厚みの違い等によって異なっている。
上記各ＩＣマーク領域４１ａ〜４１ｃの濃淡値を検出するために、第１ＩＣマーク領域４１ａの一部の画像である第１検出画像４２ａと、第２ＩＣマーク領域４１ｂの一部の画像である第２検出画像４２ｂと、第３ＩＣマーク領域４１ｃの一部の画像である第３検出画像４２ｃとを、撮像素子であるＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ５７ａ（図４参照）によって撮像する。
【００３９】
撮像した第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃそれぞれの白色から黒色の濃淡値差（以下、コントラストという）が小さければ、第１ＩＣアライメントマーク３１ａの輪郭がぼやけ、形状を認識することが難しくなる。コントラストが大きければ、第１ＩＣアライメントマーク３１ａの輪郭がはっきりするので、形状を認識することが可能となる。よって、常に最大のコントラストになるような照明光を照射することによって、第１ＩＣアライメントマーク３１ａの輪郭をはっきりさせ、その結果、精度よく第１ＩＣアライメントマーク３１ａを認識することができる。
【００４０】
同図（ｂ）に示すように、パネルアライメントマーク検出領域４３は、第１パネルマーク領域４３ａと、第２パネルマーク領域４３ｂと、第３パネルマーク領域４３ｃとを有し、ＩＣアライメントマーク検出領域４１と同様に、各領域ごとに反射する濃淡色が異なっている。
上記各パネルマーク領域４３ａ〜４３ｃの濃淡値を検出するために、第１パネルマーク領域４３ａの一部の画像である第４検出画像４４ａと、第２パネルマーク領域４３ｂの一部の画像である第５検出画像４４ｂと、第３パネルマーク領域４３ｃの一部の画像である第６検出画像４４ｃとを、例えば、第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃで用いたＣＣＤカメラ５７ａ（図４参照）によって撮像する。また、ＣＣＤカメラ５７ａと別の、専用のＣＣＤカメラによって撮像するようにしてもよい。
【００４１】
撮像した第４〜第６検出画像４４ａ〜４４ｃそれぞれのコントラストは、上記した第１ＩＣアライメントマーク３１ａと同様、最大コントラストになるような照明光を第１パネルアライメントマーク３２ａに照射することにより、精度よく形状を認識することができる。
【００４２】
図４は、アライメント用照明装置としてのＬＥＤ照明装置の構成を模式的に示す構成図である。以下、ＬＥＤ照明装置の構成を、図４を参照しながら説明する。ＬＥＤ照明装置５１は、ヘッドユニット５２と、画像処理部５３と、光量調整手段である調光制御部５４と、波長合成手段である光源部５５とを有する。
【００４３】
ヘッドユニット５２は、照明部５６と、撮像部５７とを有する。照明部５６は、光源部５５から供給された照明光５８を、光ケーブル５９を介してＩＣアライメントマーク３１およびパネルアライメントマーク３２に照射を行う。
【００４４】
撮像部５７は、ＣＣＤカメラ５７ａを備え、ＣＣＤカメラ５７ａによって、ＩＣアライメントマーク３１およびパネルアライメントマーク３２の画像を撮像する。詳しくは、ＩＣアライメントマーク３１およびパネルアライメントマーク３２から反射された反射光５８ａを撮像している。本実施形態では、ＣＣＤカメラ５７ａは、例えば、白黒ＣＣＤカメラを用いている。ＣＣＤカメラ５７ａは、例えば、５００ｎｍ付近の波長をピークとする感度特性を有する。
【００４５】
画像処理部５３は、ＲＯＭ６１と、ＲＡＭ６２と、ＣＰＵ６３とを有する。ＲＯＭ６１には、制御プログラムが格納されている。ＲＡＭ６２には、ＣＣＤカメラ５７ａによって撮像された、ＩＣアライメントマーク３１およびパネルアライメントマーク３２の濃淡値データや、予め作成した光量を可変させたときのコントラストデータがデータベースとして格納されている。ＣＰＵ６３は、演算処理部６３ａを有し、演算処理部６３ａによってデータベース化を行ったり、データベース化されたデータとアライメントを行う対象物のコントラストとを比較したり、最適光量値にするための演算を行う。なお、演算処理部６３ａは、機能ブロック図として模式的に示したものである。ＣＰＵ６３は、撮像した画像のコントラストが最適コントラストになるような制御信号を調光制御部５４に転送する。
【００４６】
調光制御部５４は、演算処理部６３ａで求められた、照明光および光量値の補正量を光量制御信号として光源部５５に転送する。各ＬＥＤ６６〜６９の光量値の制御は、例えば、パルス幅変調方式（Pulse Width Modulation：ＰＷＭ）で行う。
【００４７】
光源部５５は、ＬＥＤ電源部６４と、調光部６５とを有する。ＬＥＤ電源部６４は、調光制御部５４からの光量制御信号を基に、調光部６５に備えられたそれぞれ波長の異なるＬＥＤの光量値を調整している。光量値の調整は、ＬＥＤを「ＯＮ（点灯）／ＯＦＦ（消灯）」する時間を変えることにより調整している。つまり、パルス幅を可変させることにより、光量値を調整している。「ＯＮ／ＯＦＦ」を繰り返す１サイクルは、例えば１６μsecであり、この１６μsecを０〜２５５段階のパルス幅に設定して制御する。２５５段階が一番「ＯＮ」する時間が長く、明るく照射することができる。制御する周波数は、例えば、６０ｋＨｚである。
【００４８】
調光部６５は、それぞれ波長の異なる赤色ＬＥＤ６６と、緑色ＬＥＤ６７と、青色ＬＥＤ６８と、白色ＬＥＤ６９とを有し、各ＬＥＤ６６〜６９の照明光が合成される。赤色ＬＥＤ６６は、例えば、６３０ｎｍが最大となる分光パワー特性を有する。緑色ＬＥＤ６７は、例えば、５２０ｎｍが最大となる分光パワー特性を有する。青色ＬＥＤ６８は、例えば、４７０ｎｍが最大となる分光パワー特性を有する。白色ＬＥＤ６９は、例えば、４６０ｎｍが最大となる分光パワー特性を有する。なお、本実施形態では、それぞれのアライメントマーク３１，３２に適したＬＥＤを使用し、ＩＣアライメントマーク３１を照射するときは、青色ＬＥＤ６８を使用する。青色ＬＥＤ６８の光量が足りないときには、白色ＬＥＤ６９を加えて、光量を増加させている。ＩＣアライメントマーク３１への照射時は、赤色ＬＥＤ６６の光量値を「０」とし、青色ＬＥＤ６８の光量値を「０」〜「２５５」とし、白色ＬＥＤ６９の光量値を「０」〜「２５５」として可変させて組み合わせ、その照明光を照射している。パネルアライメントマーク３２を照射するときは、赤色ＬＥＤ６６を使用する。パネルアライメントマーク３２への照射時は、赤色ＬＥＤ６６の光量値を「０」〜「２５５」とし、青色ＬＥＤ６８の光量値を「０」とし、白色ＬＥＤ６９の光量値を「０」として可変させて組み合わせ、その照明光を照射している。
【００４９】
以上により、光源部５５は、各色ＬＥＤ６６〜６９の光量値（諧調値）を調整をすることにより、自由な色調を作り出すことが可能になる。よって、調光制御部５４から送られたアライメントマーク３１，３２を最大コントラストにするための光量制御信号を基に、ＩＣアライメントマーク３１およびパネルアライメントマーク３２へ最適な光量値および色調で照射することが可能となる。これにより、照明部５６から最適な照明光５８をアライメントマーク３１，３２に照射することができる。
【００５０】
図５は、演算処理部の構成を示す機能ブロック図である。以下、演算処理部の各処理内容を、図５を参照しながら説明する。演算処理部６３ａは、マーク形状認識部７１と、データベース（ＤＢ）生成部７２と、比較部７３と、光量決定部７４とを有する。
【００５１】
マーク形状認識部７１は、駆動用ＩＣ２２に形成されたＩＣアライメントマーク３１の形状（図２（ａ）、図３（ａ）参照）と、液晶パネル１ａに形成されたパネルアライメントマーク３２の形状（図２（ｂ）、図３（ｂ）参照）とを認識する。ＩＣアライメントマーク３１とパネルアライメントマーク３２とは、形状および大きさが異なっていることからそれぞれ区別して判断することが可能となっている。
【００５２】
データベース（ＤＢ）生成部７２は、色調および光量値を可変させて撮像した各アライメントマーク３１，３２の画像から求められたコントラストデータを蓄積する。データベース生成部７２は、ＩＣアライメントマーク３１に関するデータベースを生成する第１ＤＢ生成部７２ａと、パネルアライメントマーク３２に関するデータベースを生成する第２ＤＢ生成部７２ｂとを有する。
【００５３】
第１ＤＢ生成部７２ａは、ＩＣアライメントマーク３１に照射する照明光の色調および光量値を変えて撮像した第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃを基に、それぞれのコントラストデータを作成する（初期データベース設定時）。複数の条件ごとのコントラストデータを作成したことにより、ＩＣアライメントマーク３１に照射するときの最適な照明光５８（色調、光量）、すなわち各ＬＥＤ６６〜６９の光量値（諧調値）の組み合わせがわかるとともに、逆に稼動時に得られたコントラストデータから各ＬＥＤ６６〜６９の光量値の組み合わせを求めることが可能になる。
【００５４】
最適なコントラストの条件は、第１ＤＢ生成部７２ａのデータベースから求めることができ、第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃの濃淡値の差が大きくなる組み合わせとする。例えば、青色ＬＥＤ６８の光量値が「２００」、白色ＬＥＤ６９の光量値が「２５０」であるとする。この条件のときに、ＩＣアライメントマーク３１が認識しやすい状態となる。
また、第１ＤＢ生成部７２ａは、初期のデータベースを作成するとともに、実装稼動中に撮像したＩＣアライメントマーク３１のコントラストデータを求めている（実装稼動時）。
【００５５】
第２ＤＢ生成部７２ｂも第１ＤＢ生成部７２ａと同様に、パネルアライメントマーク３２に照射する照明光５８の色調と光量値とを変化させたときの、濃淡値の差のデータを作成する（初期データベース設定時）。複数の条件ごとのコントラストデータを作成したことにより、パネルアライメントマーク３２に照射するときの最適な照明光５８（色調、光量）、すなわち各ＬＥＤ６６〜６９の光量値の組み合わせが求められる。逆に、実装稼動時に得られたコントラストデータから、各ＬＥＤ６６〜６９の光量値の組み合わせを求めることが可能になる。
最適なコントラスト条件は、例えば、赤色ＬＥＤ６６のみで、光量値が「１２５」であるとする。この条件のときに、パネルアライメントマーク３２が認識しやすい状態となる。
また、第２ＤＢ生成部７２ｂは、初期のデータベースを作成するとともに、実装稼動中に撮像したパネルアライメントマーク３２のコントラストデータを求めている（実装稼動時）。第１、第２ＤＢ生成部７２ａ，７２ｂによって作成された、基準となる色調と光量値とを変化させたときのコントラストデータ（濃淡値の差）は、ＲＡＭ６２に記憶される。
【００５６】
比較部７３は、第１比較部７３ａと、第２比較部７３ｂとを有する。第１比較部７３ａは、ＩＣアライメントマーク３１において初期に作成した、最適なコントラストデータ（濃淡値の差）と、実装稼動時にＣＣＤカメラ５７ａによって撮像されたコントラストデータ（濃淡値の差）とを比較する。詳述すると、例えば、初期に作成したデータベースから、最適コントラストの組み合わせが、上記した、青色ＬＥＤ６８の光量値が「２００」、白色ＬＥＤ６９の光量値が「２５０」の組み合わせとする。次に、実装稼動時に、上記の最適条件での照明光を照射し、ＩＣアライメントマーク３１の画像のコントラスト（濃淡値の差）を、初期に作成したデータベースに当てはめて逆算すると、青色ＬＥＤ６８の光量値が「１５０」、白色ＬＥＤ６９の光量値が「２００」の組み合わせであるとする。これにより最適な照明光条件と、現状の照明光条件によって照射したときの反射光５８ａとの差分は、青色ＬＥＤ６８の光量値が「−５０」、白色ＬＥＤ６９の光量値が「−５０」となる。
【００５７】
第２比較部７３ｂは、パネルアライメントマーク３２において初期に作成した、最適なコントラストデータ（濃淡値の差）と、実装稼動時にＣＣＤカメラ５７ａによって撮像されたコントラストデータ（濃淡値の差）とを比較する。詳述すると、例えば、初期に作成したデータベースから、最適コントラストの組み合わせが、上記した、赤色ＬＥＤ６６の光量値「１２５」とする。実装稼動時に、上記の最適条件での照明光を照射させ、パネルアライメントマーク３２の画像のコントラスト（濃淡値の差）を、初期に作成したデータベースに当てはめて逆算すると、赤色ＬＥＤ６６の光量値が「１００」であるとする。これにより最適な照明光条件と、現状の照明光条件によって照射したときの反射光５８ａとの差分は、赤色ＬＥＤ６６の光量値が「−２５」となる。
【００５８】
光量決定部７４は、比較部７３において求められた差分を基に、最適なコントラストに近づけるための補正量を決定する。まず、ＩＣアライメントマーク３１において求められた光量値（諧調値）の差分が、青色ＬＥＤ６８の光量値が「−５０」、白色ＬＥＤ６９の光量値が「−５０」であるので、ＬＥＤ６８，６９の光量値の補正値を「＋５０」と決定する。
次に、パネルアライメントマーク３２において求められた光量値（諧調値）の差分は、赤色ＬＥＤ６６が「−２５」であるので、補正値を「＋２５」と決定する。これらの補正値信号は、調光制御部５４に送信され、調光制御部５４によって光源部５５に備えられた各色ＬＥＤ６６〜６９の光量値が調整される。
【００５９】
図６は、駆動用ＩＣを液晶パネルに実装する実装工程を示す工程図である。以下、実装方法を、図６を参照しながら説明する。
【００６０】
まず、ステップＳ１１では、照明部５６からの照明光５８を駆動用ＩＣ２２のＩＣアライメントマーク３１に照射する。２つのＩＣアライメントマーク３１ａ，３１ｂには、例えば、青色ＬＥＤ６８と白色ＬＥＤ６９とを組み合わせた照明光を照射する。それぞれのＬＥＤ６８，６９は、初期のデータベースで求められた最適条件での光量値を照射する。
【００６１】
ステップＳ１２では、２つのＩＣアライメントマーク３１ａ，３１ｂに照射する照明光の光量値が最適になるように設定する。ステップＳ１１において、最適条件の光量値で照射させたとしても、アライメントマーク３１ａ，３１ｂの膜厚の製造バラツキなどによって、反射光５８ａが異なることがある。これにより、アライメントマーク３１ａ，３１ｂの輪郭がぼやけて認識しずらくなるので、最適なコントラストに近づけるための光量値設定を行う。最適コントラストに近づけるための光量値設定方法は、後述する（図７，８参照）。
【００６２】
ステップＳ１３では、ＣＣＤカメラ５７ａによって撮像された２つのＩＣアライメントマーク３１ａ，３１ｂから、駆動用ＩＣ２２の基準位置情報を生成する。まず、第１ＩＣアライメントマーク３１ａの中心位置と、第２ＩＣアライメントマーク３１ｂの中心位置とを基に、２つのＩＣアライメントマーク３１ａ，３１ｂ間の基準位置３３を求める（図２参照）。
【００６３】
ステップＳ１４では、照明部５６からの照明光５８を液晶パネル１ａ用に切り替え、この照明光５８を２つのパネルアライメントマーク３２ａ，３２ｂに照射する。２つのパネルアライメントマーク３２ａ，３２ｂには、例えば、赤色ＬＥＤ６６の照明光を照射する。また、赤色ＬＥＤ６６は、初期のデータベースで求められた最適条件での光量値を照射する。
【００６４】
ステップＳ１５では、パネルアライメントマーク３２ａ，３２ｂに照射する光量値が最適になるように設定する。最適コントラストに近づけるための光量値設定方法は、後述する（図９，１０参照）。
【００６５】
ステップＳ１６では、ＣＣＤカメラ５７ａによって撮像された２つのパネルアライメントマーク３２ａ，３２ｂから、液晶パネル１ａの基準位置情報を生成する。まず、第１パネルアライメントマーク３２ａの中心位置と、第２パネルアライメントマーク３２ｂの中心位置とを基に、２つのパネルアライメントマーク３２ａ，３２ｂ間の基準位置３４を求める（図２参照）。
【００６６】
ステップＳ１７では、駆動用ＩＣ２２の基準位置３３の情報と、液晶パネル１ａの基準位置３４の情報とに基づいて、駆動用ＩＣ２２と液晶パネル１ａとの位置合わせを行う。
【００６７】
ステップＳ１８では、位置合わせを行った駆動用ＩＣ２２を液晶パネル１ａのＩＣ実装領域２１に実装する。
【００６８】
図７は、駆動用ＩＣに形成されたＩＣアライメントマークに照射する照明光の色調および光量との組み合わせとコントラストとの関係を求めるための、データベースを作成する方法を示すフローチャートである。以下、データベース作成方法を、図７を参照しながら説明する。なお、各色ＬＥＤ６６〜６９の光量値の設定は、それぞれ最大光量値を「２５５」として、「０」から「２５５」まで「１」ずつ可変可能とする。
【００６９】
ステップＳ２１では、各色ＬＥＤ６６〜６９の光量値の初期条件を設定する。本実施形態のＩＣアライメントマーク３１への照明光は、青色ＬＥＤ６８と白色ＬＥＤ６９とを可変させて照射する。最初の照明光の条件は、青色ＬＥＤ６８の光量値を「１」に、赤色ＬＥＤ６６の光量値を「０」に、白色ＬＥＤ６９の光量値を「０」に設定する。
【００７０】
ステップＳ２２では、第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃの取り込みを行う（図３参照）。まず、ＬＥＤ照明装置５１のヘッドユニット５２を、ＩＣアライメントマーク３１を撮像することが可能な領域上に移動する。次に、ヘッドユニット５２内に備えられたＣＣＤカメラ５７ａによって、第１ＩＣマーク領域４１ａのうち一部の領域の画像である第１検出画像４２ａを撮像する。次に、第２ＩＣマーク領域４１ｂのうち一部の領域の画像である第２検出画像４２ｂを撮像する。次に、第３ＩＣマーク領域４１ｃのうち一部の領域の画像である第３検出画像４２ｃを撮像する。
【００７１】
ステップＳ２３では、設定された照射条件で撮像された第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃの濃淡値を記憶する。濃淡値は、画像処理部５３によって、撮像された第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃから求められる。濃淡値は、例えば、「２５５」を最大値として現され、設定された照射条件（使用ＬＥＤの組み合わせ、光量値）とともに、画像処理部５３のＲＡＭ６２に記憶される。
【００７２】
ステップＳ２４では、青色ＬＥＤ６８の光量値を「１」アップする。例えば、現在の青色ＬＥＤ６８の光量値の設定条件を「１」とする。これを、青色ＬＥＤ６８の光量値「２」に設定する。
【００７３】
ステップＳ２５では、現在の青色ＬＥＤ６８の光量値設定が「２５５」以上であるか否かを判断する。青色ＬＥＤ６８の光量値が「２５５」以上であれば、ステップＳ２６に移行する。青色ＬＥＤ６８の光量値が「２５５」より下であれば、ステップＳ２２に移行し、青色ＬＥＤ６８の光量値が「２５５」以上になるまで、ステップＳ２２〜ステップＳ２５を繰り返し行う。
【００７４】
ステップＳ２６では、各色ＬＥＤ６６，６８，６９の光量値を改めて設定する。ここで、青色ＬＥＤ６８の光量値を「２００」に、赤色ＬＥＤ６６の光量値を「０」に、白色ＬＥＤ６９の設定を「１」に設定する。本実施形態において、青色ＬＥＤ６８の光量値を最大の「２５５」ではなく「２００」に設定する理由として、ＬＥＤの光量値を最大値で使用することにより寿命が短くなることから、光量値を「２００」に下げて設定している。
【００７５】
ステップＳ２７では、設定された各ＬＥＤ６６，６８，６９の光量値で照射を行い、このときの第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃの取り込みを行う。詳しくは、ステップＳ２２と同様に、第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃを撮像する。
【００７６】
ステップＳ２８では、設定された条件で撮像した第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃの濃淡値を記憶する。濃淡値は、ステップＳ２３と同様に、画像処理部５３によって撮像された第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃから求められる。求められた濃淡値は、設定された条件（使用ＬＥＤの組み合わせ、光量値）とともに、画像処理部５３のＲＡＭ６２に記憶される。
【００７７】
ステップＳ２９では、白色ＬＥＤ６９の光量値を「１」アップする。例えば、現在の設定条件は、青色ＬＥＤ６８の光量値が「２００」、白色ＬＥＤ６９の光量値が「１」とする。これを、青色ＬＥＤ６８の光量値が「２００」のままで、白色ＬＥＤ６９の光量値を「２」に変更する。
【００７８】
ステップＳ３０では、現在の白色ＬＥＤ６９の光量値設定が、「２５５」以上であるか否かを判断する。白色ＬＥＤ６９の光量値が「２５５」以上であれば、ステップＳ３１に移行する。白色ＬＥＤ６９の光量値が「２５５」より下であれば、ステップＳ２７に移行し、白色ＬＥＤ６９の光量値が「２５５」以上になるまで、ステップＳ２７〜ステップＳ３０を繰り返し行う。
【００７９】
ステップＳ３１では、上記内容に基づいてＲＡＭ６２に記憶された、各設定条件毎の濃淡値データを読み出す。詳述すると、青色ＬＥＤ６８を２５５段階に可変させた第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃの濃淡値データと、白色ＬＥＤ６９を２５５段階に可変させた第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃの濃淡値データとを読み出す。なお、第１検出画像４２ａの濃淡値を「Ｘ１」とし、第２検出画像４２ｂの濃淡値を「Ｙ１」とし、第３検出画像４２ｃの濃淡値を「Ｚ１」とする。
【００８０】
ステップＳ３２では、各設定条件毎のコントラスト値（濃淡値の差）を求める。求めるコントラスト値は、各設定条件（使用ＬＥＤの組み合わせ、光量値）毎の、「Ｘ１−Ｙ１」（図７において、ＩＣ＿Ｄ１）と、「Ｙ１−Ｚ１」（図７において、ＩＣ＿Ｄ２）と、「Ｚ１−Ｘ１」（図７において、ＩＣ＿Ｄ３）とを求める。これにより、ＩＣ＿Ｄ１〜ＩＣ＿Ｄ３の全ての組み合わせについてのコントラスト値（濃淡値の差）を求めることが出来る。
【００８１】
ステップＳ３３では、ステップＳ３２で求めた、「ＩＣ＿Ｄ１」と、「ＩＣ＿Ｄ２」と、「ＩＣ＿Ｄ３」とのコントラスト値をＲＡＭ６２に記憶する。また、これらのデータから、ＩＣ＿Ｄ１〜ＩＣ＿Ｄ３においてお互いのコントラストが大きくなる組み合わせ条件（最適コントラスト条件）を求めることができる。
【００８２】
以上により、５１０（青色ＬＥＤ可変：２５５＋白色ＬＥＤ可変：２５５）種類の設定条件（使用ＬＥＤ、光量値）における、３つのコントラスト値（ＩＣ＿Ｄ１〜ＩＣ＿Ｄ３）を基準のデータとして求めることができる。また、上記した青色ＬＥＤ６８と白色ＬＥＤ６９との光量値の可変に限定されず、他の色のＬＥＤを組み合わせて可変し、初期のデータベースにするようにしてもよい。
【００８３】
図８は、実装稼動時におけるＩＣアライメントマークへの照明光を、最適な照明光に近づけるように調整する方法を示すフローチャートである。以下、ＩＣアライメントマークの照明光設定方法を、図８を参照しながら説明する。この調整は、製造ロット毎に行うようにしてもよく、製品１個づつ行うようにしてもよい。
【００８４】
ステップＳ４１では、実装稼動時におけるＩＣアライメントマーク３１の第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃの取り込みを行う（図３参照）。最初に照射する照明光は、初期のデータベース化で求められた最適な条件（色調および光量値）の照明光を照射する。例えば、最適な照明光の条件が、上記した、青色ＬＥＤ６８の光量値が「２００」、白色ＬＥＤ６９の光量値が「２５０」の組み合わせとする。
【００８５】
ステップＳ４２では、ステップＳ４１で取り込んだ、稼動時におけるＩＣアライメントマーク３１の第１〜第３検出画像４２ａ〜４２ｃのコントラスト値（濃淡値の差）を求める。求めるコントラスト値は、「Ｘ１−Ｙ１」（図８において、ＩＣ＿Ｄ４）と、「Ｙ１−Ｚ１」（図８において、ＩＣ＿Ｄ５）と、「Ｚ１−Ｘ１」（図８において、ＩＣ＿Ｄ６）とを求める。これにより、実装稼動時における各ＩＣマーク領域４１ａ〜４１ｃの全ての組み合わせのコントラスト値を求めることが出来る。
【００８６】
ステップＳ４３では、ステップＳ４２で求められた稼動時におけるＩＣアライメントマーク３１のコントラスト値と、初期にデータベース化して求められた最適な条件のコントラスト値とを比較する。まず、求められた稼動時のコントラスト値を、初期に作成したデータベースに当てはめ、どの照射条件（使用ＬＥＤ、光量値）に相当するのかを逆算する。これにより、最適条件として照射した照明光の条件と、現状のＩＣアライメントマーク３１に照射して得られた照明光の条件との差を求めることができる。つまり、ＩＣアライメントマーク３１の製造バラツキによって変化する反射光５８ａの誤差を光量値の差に置き換えて求めることができる。なお、本実施形態では、光量値の補正を１回で行うようにしていたが、数回繰り返して、最適な照明光になるようにしてもよい。
【００８７】
例えば、初期のデータベース化によって求められた最適コントラストの組み合わせ条件が、青色ＬＥＤ６８の光量値「２００」、白色ＬＥＤ６９の光量値「２５０」の組み合わせとする。実装稼動時に求められた組み合わせが、初期のデータベースから逆算して、青色ＬＥＤ６８の光量値「１５０」、白色ＬＥＤ６９の光量値「２００」であるとする。これにより各ＬＥＤ６８，６９の光量値の差分は、青色ＬＥＤ６８が「−５０」、白色ＬＥＤ６９が「−５０」となる。この差が、ＩＣアライメントマーク３１の製造バラツキによって発生する、照明光５８と反射光５８ａとの誤差となる。
【００８８】
ステップＳ４４では、最適な照明光５８に近づけるために、各ＬＥＤ６８，６９の補正量を決定する。ステップＳ４３で求められた光量値の差分が、青色ＬＥＤ６８「−５０」、白色ＬＥＤ６９「−５０」であるので、それぞれのＬＥＤ６８，６９の光量値の補正量を「＋５０」と決定する。
【００８９】
ステップＳ４５では、ステップＳ４４で決定した補正量をＲＡＭ６２に記憶する。青色ＬＥＤ６８の光量値の補正量を「＋５０」、白色ＬＥＤ６９の光量値の補正量を「＋５０」として記憶する。
【００９０】
ステップＳ４６では、補正量として記憶した各色ＬＥＤ６８，６９の光量値をＲＡＭ６２から読み出し、その補正量の信号を調光制御部５４へ転送する。そして、調光制御部５４によって、光源部５５に備えられた各色ＬＥＤ６８，６９の光量値が調整される。
【００９１】
以上のステップにより、ＩＣアライメントマーク３１に製造バラツキがあり、ＩＣアライメントマーク３１からの反射光５８ａにバラツキが生じていても、最適な照明光５８に近づけるように光量値の補正を行うので、ＩＣアライメントマーク３１を最適なコントラストで認識することが可能になる。
【００９２】
図９は、液晶パネルに形成されたパネルアライメントマークに照射する照明光の色調および光量との組み合わせとコントラスト値との関係を求めるための、データベースを作成する方法を示すフローチャートである。以下、データベース作成方法を、図９を参照しながら説明する。なお、ＩＣアライメントマーク３１のデータベース作成方法と同様に、各色ＬＥＤの光量値設定は、それぞれ最大光量値を「２５５」として、「０」から「２５５」まで「１」ずつ可変可能とする。
【００９３】
ステップＳ５１では、各色ＬＥＤ６６，６８，６９の光量値の初期条件を設定する。本実施形態のパネルアライメントマーク３２への照明光は、赤色ＬＥＤ６６のみを可変させて照射する。最初の照明光の条件は、青色ＬＥＤ６８の光量値を「０」に、赤色ＬＥＤ６６の光量値を「１」に、白色ＬＥＤ６９の光量値を「０」に設定する。
【００９４】
ステップＳ５２では、第４〜第６検出画像４４ａ〜４４ｃの取り込みを行う（図３参照）。まず、ＬＥＤ照明装置５１のヘッドユニット５２を、パネルアライメントマーク３２を撮像することが可能な領域上に移動する。次に、ヘッドユニット５２内に備えられたＣＣＤカメラ５７ａによって、第１パネルマーク領域４３ａのうち一部の領域の画像である第４検出画像４４ａを撮像する。次に、第２パネルマーク領域４３ｂのうち一部の領域の画像である第５検出画像４４ｂを撮像する。次に、第３パネルマーク領域４３ｃのうち一部の領域の画像である第６検出画像４４ｃを撮像する。
【００９５】
ステップＳ５３では、設定された照射条件で撮像された第４〜第６検出画像４４ａ〜４４ｃの濃淡値を記憶する。濃淡値は、画像処理部５３によって、撮像された第４〜第６検出画像４４ａ〜４４ｃから求められる。濃淡値は、例えば、「２５５」を最大値として現され、設定された照射条件（使用ＬＥＤの組み合わせ、光量値）とともに、画像処理部５３のＲＡＭ６２に記憶される。
【００９６】
ステップＳ５４では、赤色ＬＥＤ６６の光量値を「１」アップする。例えば、現在の赤色ＬＥＤ６６の光量値の設定条件を「１」とする。これを、赤色ＬＥＤ６６の光量値「２」に設定する。
【００９７】
ステップＳ５５では、現在の赤色ＬＥＤ６６の光量値設定が「２５５」以上であるか否かを判断する。赤色ＬＥＤ６６の光量値が「２５５」以上であれば、ステップＳ５６に移行する。赤色ＬＥＤ６６の光量値が「２５５」より下であれば、ステップＳ５２に移行し、赤色ＬＥＤ６６の光量値が「２５５」以上になるまで、ステップＳ５２〜ステップＳ５５を繰り返し行う。
【００９８】
ステップＳ５６では、上記内容に基づいてＲＡＭ６２に記憶された、各設定条件毎の濃淡値データを読み出す。詳述すると、赤色ＬＥＤ６６を２５５段階に可変させた第４〜第６検出画像４４ａ〜４４ｃの濃淡値データを読み出す。なお、第４検出画像４４ａの濃淡値を「Ｘ２」とし、第５検出画像４４ｂの濃淡値を「Ｙ２」とし、第６検出画像４４ｃの濃淡値を「Ｚ２」とする。
【００９９】
ステップＳ５７では、各設定条件毎のコントラスト値（濃淡値の差）を求める。求めるコントラスト値は、ＩＣアライメントマーク３１と同様に、各設定条件（使用ＬＥＤの組み合わせ、光量値）毎の、「Ｘ２−Ｙ２」（図９において、Ｐ＿Ｄ１）と、「Ｙ２−Ｚ２」（図９において、Ｐ＿Ｄ２）と、「Ｚ２−Ｘ２」（図９において、Ｐ＿Ｄ３）とを求める。これにより、Ｐ＿Ｄ１〜Ｐ＿Ｄ３の全ての組み合わせについてのコントラスト値（濃淡値の差）を求めることが出来る。
【０１００】
ステップＳ５８では、ステップＳ５７で求めた、「Ｐ＿Ｄ１」と、「Ｐ＿Ｄ２」と、「Ｐ＿Ｄ３」とのコントラスト値をＲＡＭ６２に記憶する。また、これらのデータから、Ｐ＿Ｄ１〜Ｐ＿Ｄ３においてお互いのコントラストが大きくなる組み合わせ条件（最適コントラスト条件）を求めることができる。
【０１０１】
以上により、２５５種類の設定条件（使用ＬＥＤ、光量値）における、３つのコントラスト値（Ｐ＿Ｄ１〜Ｐ＿Ｄ３）を基準となるデータベースとして求めることができる。また、上記した赤色ＬＥＤ６６のみの光量値の可変に限定されず、他の色のＬＥＤを組み合わせて可変し、初期のデータベースにするようにしてもよい。
【０１０２】
図１０は、実装稼動時におけるパネルアライメントマークへの照明光を、最適な照明光に近づけるように調整する方法を示すフローチャートである。以下、パネルアライメントマークの照明光設定方法を、図１０を参照しながら説明する。
【０１０３】
ステップＳ６１では、実装稼動時におけるパネルアライメントマーク３２の第４〜第６検出画像４４ａ〜４４ｃの取り込みを行う（図３参照）。最初に照射する照明光は、初期のデータベース化で求められた最適な条件（色調および光量値）の照明光を照射する。例えば、最適な照明光の条件が、上記したように、赤色ＬＥＤ６６の光量値が「１２５」とする。
【０１０４】
ステップＳ６２では、ステップＳ６１で取り込んだ、稼動時におけるパネルアライメントマーク３２の第４〜第６検出画像４４ａ〜４４ｃのコントラスト値（濃淡値の差）を求める。求めるコントラスト値は、「Ｘ２−Ｙ２」（図１０において、Ｐ＿Ｄ４）と、「Ｙ２−Ｚ２」（図１０において、Ｐ＿Ｄ５）と、「Ｚ２−Ｘ２」（図１０において、Ｐ＿Ｄ６）とを求める。これにより、実装稼動時における各パネルマーク領域４３ａ〜４３ｃの全ての組み合わせのコントラスト値を求めることが出来る。
【０１０５】
ステップＳ６３では、ステップＳ６２で求められた稼動時におけるパネルアライメントマーク３２のコントラスト値と、初期にデータベース化して求められた最適な条件のコントラスト値とを比較する。まず、求められた稼動時のコントラスト値を、初期に作成したデータベースに当てはめ、どの照射条件（使用ＬＥＤ、光量値）に相当するのかを逆算する。これにより、最適条件として照射した照明光の条件と、稼動時のパネルアライメントマーク３２に照射して得られた照明光の条件との差を求めることができる。つまり、パネルアライメントマーク３２の製造バラツキによって変化する反射光５８ａの誤差を光量値の差に置き換えて求めることができる。
【０１０６】
例えば、初期のデータベース化によって求められた最適コントラストの組み合わせ条件が、赤色ＬＥＤ６６の光量値「１２５」とする。実装稼動時に求められた組み合わせが、初期のデータベースから逆算して、赤色ＬＥＤ６６の光量値「１００」であるとする。これにより、赤色ＬＥＤ６６の光量値の差分は、「−２５」となる。この差が、パネルアライメントマーク３２の製造バラツキによって発生する、照明光５８と反射光５８ａとの誤差となる。
【０１０７】
ステップＳ６４では、最適な照明光５８に近づけるために、赤色ＬＥＤ６６の光量値の補正量を決定する。ステップＳ６３で求められた赤色ＬＥＤ６６の光量値の差分が「−２５」であるので、赤色ＬＥＤ６６の光量値の補正量を「＋２５」と決定する。
【０１０８】
ステップＳ６５では、ステップＳ６４で決定した補正値をＲＡＭ６２に記憶する。赤色ＬＥＤ６６の光量値の補正量を「＋２５」として記憶する。
【０１０９】
ステップＳ６６では、補正量として記憶した赤色ＬＥＤ６６の光量値をＲＡＭ６２から読み出し、その補正量の信号を調光制御部５４へ転送する。そして、調光制御部５４によって、光源部５５に備えられた赤色ＬＥＤ６６の光量値が調整される。
【０１１０】
以上のステップにより、パネルアライメントマーク３２に製造バラツキがあり、パネルアライメントマーク３２からの反射光５８ａにバラツキが生じていても、最適な照明光５８に近づけるように光量値の補正を行うので、パネルアライメントマーク３２を最適なコントラストで認識することが可能になる。
【０１１１】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
（１）本実施形態によれば、ＩＣアライメントマーク３１およびパネルアライメントマーク３２に製造バラツキがあり、各アライメントマーク３１，３２からの反射光５８ａにバラツキが生じていても、照射する照明光５８を最適な照明光に近づけるように光量値の補正を行うので、各アライメントマーク３１，３２を最適なコントラストで認識することができる。よって、各アライメントマーク３１，３２の境目がはっきりとした画像をＣＣＤカメラ５７ａによって取り込むことができる。また、駆動用ＩＣ２２と液晶パネル１ａとの位置合わせ精度を向上させることができる。
【０１１２】
（２）本実施形態によれば、ＩＣアライメントマーク３１に照射するＬＥＤは、青色ＬＥＤ６８と白色ＬＥＤ６９とを組み合わせて使用している。よって、青色ＬＥＤ６８だけでは最適な光量値が得られなくても、白色ＬＥＤ６９を加えることにより、最適な光量値で照射することが可能となる。よって、ＩＣアライメントマーク３１を最適なコントラストで認識することができる。
【０１１３】
（３）本実施形態によれば、演算処理部６３ａによって、初期にデータベース化した色調と光量値との組み合わせとコントラスト値との関係を示すコントラストデータと、実装稼動時の各アライメントマーク３１，３２のコントラストデータとを比較することにより、照明光の光量値の差分を求めることができる。よって、最適な照明光にするための、光量値の差分を求めることが可能となる。従って、最適なＬＥＤ６６〜６９と光量値との組み合わせの照明光によって、アライメントマーク３１，３２を照射することができる。
【０１１４】
なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
（変形例１）前記実施形態では、モノクロのＣＣＤカメラ５７ａを用いて、アライメントマーク３１，３２の第１〜第６検出画像４２ａ〜４２ｃ、４４ａ〜４４ｃを認識していた。これを、カラーのＣＣＤカメラを用いて、アライメントマーク３１，３２を認識するようにしてもよい。
【０１１５】
（変形例２）前記実施形態では、ＣＣＤカメラ５７ａ、画像処理部５３、調光制御部５４によって、それぞれのアライメントマーク３１，３２に対して、最適なコントラストになるように自動で光量値の補正を行うようにしていた。これを、作業者が手動によって、各色ＬＥＤ６６〜６９を組み合わせ、それぞれの光量値を調整して、最適な照明光になるようにしてもよい。この場合、作業者は、ＣＣＤカメラ５７ａによって撮像した画像を画面上で見て、最適な照明光になるよう調整するのが望ましい。これによれば、各色ＬＥＤ６６〜６９の光量値の調整に時間がかかるものの、演算処理部６３ａ、調光制御部５４などを必要とせずに、アライメントマーク３１，３２を認識させることができる。
【０１１６】
（変形例３）前記実施形態では、各色ＬＥＤ６６〜６９の光量値を制御するのに、パルス幅変調方式でパルス幅を変調させることにより行っていた。これを、電圧を可変させて各色ＬＥＤ６６〜６９の光量値を制御するようにしてもよい。これによれば、ＣＣＤカメラ５７ａによって画像を取り込むスピードが速い場合、タイミングによってパルス幅の「ＯＦＦ」の状態を認識する可能性があるが、電圧制御によれば「ＯＦＦ」の状態を認識することを防止することができる。
【０１１７】
（変形例４）前記実施形態では、駆動用ＩＣ２２のＩＣアライメントマーク３１に照明光を照射するのに、青色ＬＥＤ６８と白色ＬＥＤ６９との２つのＬＥＤを使用していた。これを、青色ＬＥＤ６８が必要な光量を有していれば、青色ＬＥＤ６８単色で照射するようにしてもよい。
【０１１８】
（変形例５）前記実施形態では、光源部５５は、赤色ＬＥＤ６６、緑色ＬＥＤ６７、青色ＬＥＤ６８、白色ＬＥＤ６９のそれぞれ１個ずつで構成していた。これを、各ＬＥＤ６６〜６９それぞれ複数個によって構成するようにしてもよい。これによれば、複数の各ＬＥＤ６６〜６９によってアライメントマーク３１，３２を照射するので、より照度の向上した照明光を照射することが可能となる。よって、より最適コントラストを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１９】
【図１】一実施形態における液晶表示装置の構成を模式的に示す分解斜視図。
【図２】駆動用ＩＣと液晶パネルとの位置合わせの方法を示す模式平面図であり、同図（ａ）は駆動用ＩＣのアライメントマークを示した平面図、同図（ｂ）は液晶パネルのアライメントマークを示した平面図、同図（ｃ）は駆動用ＩＣと液晶パネルとの位置合わせを行ったあとの状態を示す平面図。
【図３】アライメントマークと検出画像領域とを示す模式拡大図であり、同図（ａ）はＩＣアライメントマークと検出画像領域とを示す模式拡大図、同図（ｂ）はパネルアライメントマークと検出画像領域とを示す模式拡大図。
【図４】アライメント用照明装置の構成を示す模式構成図。
【図５】演算処理部の構成を示す機能ブロック図。
【図６】駆動用ＩＣを液晶パネルに実装する実装工程を示す工程図。
【図７】初期のデータベースを作成する方法を示すフローチャート。
【図８】コントラストを最適値に調整する方法を示すフローチャート。
【図９】初期のデータベースを作成する方法を示すフローチャート。
【図１０】コントラストを最適値に調整する方法を示すフローチャート。
【符号の説明】
【０１２０】
１…電気光学装置としての液晶表示装置、１１…パネルを構成する第１基板、１２…パネルを構成する第２基板、２１…ＩＣ実装領域、２２…電子部品としての駆動用ＩＣ、３１…ＩＣアライメントマーク、３１ａ…第１ＩＣアライメントマーク、３１ｂ…第２ＩＣアライメントマーク、３２…パネルアライメントマーク、３２ａ…第１パネルアライメントマーク、３２ｂ…第２パネルアライメントマーク、３３…基準位置、３４…基準位置、４１…ＩＣアライメントマーク検出領域、４１ａ…第１ＩＣマーク領域、４１ｂ…第２ＩＣマーク領域、４１ｃ…第３ＩＣマーク領域、４２ａ…第１検出画像、４２ｂ…第２検出画像、４２ｃ…第３検出画像、４３…パネルアライメントマーク検出領域、４３ａ…第１パネルマーク領域、４３ｂ…第２パネルマーク領域、４３ｃ…第３パネルマーク領域、４４ａ…第４検出画像、４４ｂ…第５検出画像、４４ｃ…第６検出画像、５１…アライメント用照明装置としてのＬＥＤ照明装置、５２…ヘッドユニット、５３…画像処理部、５４…光量調整手段としての調光制御部、５５…波長合成手段としての光源部、５６…照明部、５７…撮像部、５７ａ…撮像素子としてのＣＣＤカメラ、５８…照明光、５８ａ…反射光、６１…画像処理部を構成するＲＯＭ、６２…画像処理部を構成するＲＡＭ、６３…画像処理部を構成するＣＰＵ、６３ａ…演算処理部、６４…ＬＥＤ電源部、６５…調光部、６６…赤色ＬＥＤ、６７…緑色ＬＥＤ、６８…青色ＬＥＤ、６９…白色ＬＥＤ、７１…マーク形状認識部、７２…ＤＢ生成部、７２ａ…第１ＤＢ生成部、７２ｂ…第２ＤＢ生成部、７３…比較部、７３ａ…第１比較部、７３ｂ…第２比較部、７４…光量決定部。
【図１】
2006091623.tif 000003
【図２】
2006091623.tif 000004
【図３】
2006091623.tif 000005
【図４】
2006091623.tif 000006
【図５】
2006091623.tif 000007
【図６】
2006091623.tif 000008
【図７】
2006091623.tif 000009
【図８】
2006091623.tif 000010
【図９】
2006091623.tif 000011
【図１０】
2006091623.tif 000012