(57)【要約】      （修正有）【課題】  作業部材の表面屈曲に精密に対応して真直度に優れたスクライブ線を形成するスクライブ装置を提供する。【解決手段】  カッター部２０、振動発生部１０、高さ調整手段４０および予圧提供手段５０の各中心が一直線上に順に位置するように固定するメーンプレート６０と；前記メーンプレート６０と結合されて設けられ、前記メーンプレート６０を上下方向に駆動する上下移動部７０と；を備えてスクライブ装置を構成する。【選択図】図１
2006110980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業部材にスクライブ線を形成するスクライブ装置であって、
振動を発生する振動発生部と；
前記振動発生部から発生する振動を受けて作業部材にスクライブ線を形成するカッター部と；
前記振動発生部とカッター部との間に介在されて設けられ、前記振動発生部の振動をカッター部に伝達する軸と；
前記振動発生部の上側に設けられ、前記作業部材の屈曲によって前記カッター部の高さを調整する高さ調整手段と；
前記高さ調整手段の上側に設けられ、前記カッター部に予圧を提供する予圧提供手段と；
前記カッター部、振動発生部および予圧提供手段と結合されて設けられ、前記カッター部、振動発生部、高さ調整手段および予圧提供手段の各中心が一直線上に順に位置するように固定するメーンプレートと；
前記メーンプレートと結合されて設けられ、前記メーンプレートを上下方向に駆動する上下移動部と；を備えており、
前記振動発生部、カッター部、軸、高さ調整手段および予圧提供手段は、同一の中心線を有するように配置されるスクライブ装置。
【請求項２】
前記上下移動部は、
前記メーンプレートの上下移動に使用される動力を提供するモータと；
前記モータと結合されて設けられ、外周部にねじ山が形成されたボールスクリューと；
前記メーンプレートと結合されて設けられ、前記ボールスクリューと結合する雌ねじ孔が形成される移動ブロックと；を含んで構成されることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項３】
前記上下移動部には、
前記メーンプレートと結合されて設けられ、前記メーンプレートの直線運動を誘導するリニアブロックと；
前記リニアブロックと結合されて設けられ、前記リニアブロックの運動方向を案内するリニアガイドと；がさらに設けられることを特徴とする請求項２記載のスクライブ装置。
【請求項４】
前記モータは、
サーボモータであることを特徴とする請求項２記載のスクライブ装置。
【請求項５】
前記カッター部は、
前記作業部材と接触されて前記作業部材にスクライブ線を形成するカッターと；
円柱状の前記軸の末端が回転自在に挿入結合される結合溝が形成され、その外側下端に前記カッターが結合されるカッターホルダーと；を含んで構成されることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項６】
前記カッターは、
前記カッターホルダーの中心線から離脱されて偏心配置されることを特徴とする請求項５記載のスクライブ装置。
【請求項７】
前記カッターホルダーと前記軸との接触部分には、前記カッターの真直度を補正するボールプランジャがさらに設けられることを特徴とする請求項５記載のスクライブ装置。
【請求項８】
前記カッターホルダーには、
前記カッターがカッターホルダーから離脱されないように固定するカッターカバーがさらに設けられることを特徴とする請求項５記載のスクライブ装置。
【請求項９】
前記カッターホルダーの側壁の所定部分には貫通孔が形成され、前記軸の末端側面のうち前記貫通孔に対応する部分には面取り溝が形成され、
前記貫通孔には、前記カッターホルダーが所定角度以上に回転することを防止する楔が挿入されて設けられることを特徴とする請求項５記載のスクライブ装置。
【請求項１０】
前記振動発生部は、
振動力を提供するアクチュエータと；
前記アクチュエータおよび前記軸とメーンプレートとを結合するとき、前記軸が前記アクチュエータの振動によって直線運動するように結合するアクチュエータブラケットと；
前記アクチュエータが着脱されるように、前記アクチュエータの上端及び前記アクチュエータブラケットと結合される上部アクチュエータプレートと；
前記アクチュエータが着脱されるように、前記アクチュエータの下端及び前記軸と結合される下部アクチュエータプレートと；を含んで構成されることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項１１】
前記アクチュエータは、
パラレルプレストレストアクチュエータ（Parallel Pre-stressed Actuator）であることを特徴とする請求項１０記載のスクライブ装置。
【請求項１２】
前記アクチュエータブラケットと前記軸との接触部分には、前記軸の直線運動を案内するブッシングがさらに設けられることを特徴とする請求項１０記載のスクライブ装置。
【請求項１３】
前記ブッシングは、
リニアメタルブッシング（Linear Metal Bushing）であることを特徴とする請求項１２記載のスクライブ装置。
【請求項１４】
前記アクチュエータブラケットの下端には、前記ブッシングの離脱を防止するブッシングカバーがさらに設けられることを特徴とする請求項１２記載のスクライブ装置。
【請求項１５】
前記アクチュエータの側部には、
前記アクチュエータの駆動過程で前記アクチュエータを冷却するアクチュエータ冷却ブラケットがさらに設けられることを特徴とする請求項１０記載のスクライブ装置。
【請求項１６】
前記アクチュエータ冷却ブラケットは、
前記アクチュエータの側部のうち、前記アクチュエータに電源を供給するために設けられる電極の設置部分のみに配置されることを特徴とする請求項１５記載のスクライブ装置。
【請求項１７】
前記アクチュエータ冷却ブラケットには、
前記アクチュエータ冷却ブラケットに供給される冷媒の圧力を調節する圧力調節手段がさらに設けられることを特徴とする請求項１５記載のスクライブ装置。
【請求項１８】
前記高さ調整手段は、
付加される荷重が予め入力された所定値以下であると伸張され、付加される荷重が予め入力された所定値以上であると収縮されるロードセルであることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項１９】
前記予圧提供手段は、
空気圧によって圧力を提供するエアシリンダであることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項２０】
前記エアシリンダは、
マイクロスピードシリンダ（Micro Speed Cylinder）であることを特徴とする請求項１９記載のスクライブ装置。
【請求項２１】
前記高さ調整手段と前記予圧提供手段との間に介在されて設けられ、前記予圧提供手段から提供される圧力が予め設定された所定大きさ以下になるように調整する圧力調整手段がさらに設けられることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項２２】
前記圧力調整手段は、
電空レギュレータであることを特徴とする請求項２１記載のスクライブ装置。
【請求項２３】
前記メーンプレートと前記予圧提供手段との間には、
前記カッター部の中心軸と前記予圧提供手段の中心軸とが一致するように、前記予圧提供手段を前記メーンプレートに固定する間隔部材がさらに設けられることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項２４】
前記作業部材上にスクライブ線を形成する過程で発生する異物質を除去する異物質除去手段がさらに設けられることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項２５】
前記異物質除去手段は、
前記カッター部の一側に配置されて前記カッター部と共に移動し、前記カッター部と前記作業部材との接触地点に気体を噴射することで、発生した異物質を反対方向に吹き飛ばすブロワー部と；
前記カッター部を中心に前記ブロワー部の反対側に配置されて前記カッター部と共に移動し、前記ブロワー部によって吹き飛ばされた異物質を吸入して除去する吸入部と；を含んで構成されることを特徴とする請求項２４記載のスクライブ装置。
【請求項２６】
前記ブロワー部には、
気体を噴射するノズルと、前記ノズルの角度を調節する噴射角調節手段と、がさらに設けられることを特徴とする請求項２５記載のスクライブ装置。
【請求項２７】
前記メーンプレート及び上下移動部を水平方向に移動する水平移動部がさらに設けられることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項２８】
前記振動発生部を制御するとともに、前記振動発生部から発生する振動を制御する制御部がさらに設けられることを特徴とする請求項１記載のスクライブ装置。
【請求項２９】
前記制御部は、
前記振動発生部を制御する信号を発生する信号発生部と；
前記振動発生部から発生した信号の周波数を変更するコントロール部と；
前記コントロール部から伝達された信号の電圧を増幅する増幅部と；
前記コントロール部及び増幅部から伝達された周波数値及び電圧値を表示するディスプレイ部と；
前記信号発生部、コントロール部、増幅部およびディスプレイ部に電源を供給する電源部と；を含んで構成されることを特徴とする請求項２８記載のスクライブ装置。
【請求項３０】
前記コントロール部は、
アナログ信号をデジタル信号に切り替えるＡＤＣ（Analog to Digital Converter）と；
前記信号の周波数を制御するＭＣＵ（Micro Control Unit）と；
デジタル信号をアナログ信号に切り替えるＤＡＣ（Digital to Analog Converter）と；を含んで構成されることを特徴とする請求項２９記載のスクライブ装置。
【請求項３１】
前記増幅部は、
前記信号を予備的に増幅する予備増幅部と；
前記予備増幅部で増幅された信号を増幅する本増幅部と；
前記本増幅部に連結されて設けられ、前記本増幅部を安定化するブースタと；を含んで構成されることを特徴とする請求項２９記載のスクライブ装置。
【請求項３２】
前記増幅部には、
前記本増幅部と前記振動発生部との間に介在されて設けられ、前記振動発生部から前記本増幅部に伝達される影響を除去する緩衝器がさらに設けられることを特徴とする請求項３１記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス、半導体などの脆性材料からなる作業部材にスクライブ線を形成するスクライブ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、板ガラスなどの素材を破断する場合は、作業部材の面に予めスクライブ線を形成し、このスクライブ線に沿って破断している。すなわち、ダイアモンドなどの硬度に優れた素材からなるカッターを振動させながら作業部材の表面に圧力を加えると、その作業部材の表面に厚さ方向にクラックが発生する。この状態で作業部材の表面に沿ってカッターを移動すると、作業部材の表面に連続したスクライブ線が形成される。このようにして作業部材にスクライブ線を形成した後、スクライブ線に沿って力を加えると、作業部材が切断される。
【０００３】
上述したように、作業部材にスクライブ線を形成するスクライブ装置においては、作業部材の破断作業を正確に行うために、スクライブ装置によって作業部材の表面に形成されるスクライブ線が優れた真直度を有するべきである。このためには、作業部材の表面屈曲によってカッターの高さを精密に調整できるスクライブ装置が要求される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、作業部材の表面屈曲に精密に対応して真直度に優れたスクライブ線を形成できるスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するために、本発明は、作業部材にスクライブ線を形成するスクライブ装置であって、振動を発生する振動発生部と；前記振動発生部から発生する振動を受けて作業部材にスクライブ線を形成するカッター部と；前記振動発生部とカッター部との間に介在されて設けられ、前記振動発生部の振動をカッター部に伝達する軸と；前記振動発生部の上側に設けられ、前記作業部材の屈曲によって前記カッター部の高さを調整する高さ調整手段と；前記高さ調整手段の上側に設けられ、前記カッター部に予圧を提供する予圧提供手段と；前記カッター部、振動発生部および予圧提供手段と結合されて設けられ、前記カッター部、振動発生部、高さ調整手段および予圧提供手段の各中心が一直線上に順に位置するように固定するメーンプレートと；前記メーンプレートと結合されて設けられ、前記メーンプレートを上下方向に駆動する上下移動部と；を備えており、前記振動発生部、カッター部、軸、高さ調整手段および予圧提供手段は、同一の中心線を有するように配置されるスクライブ装置を提供する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によるスクライブ装置は、作業部材の表面屈曲に実時間で反応してスクライブ線を一定に形成できるという効果がある。
【０００７】
また、フレーキング現象の発生を防止することで、装置の寿命が長くなるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【０００９】
本実施形態によるスクライブ装置１は、図１に示すように、振動発生部１０、カッター部２０、軸３０、高さ調整手段４０、予圧提供手段５０、メーンプレート６０、上下移動部７０および水平移動部（図示せず）により構成される。
【００１０】
前記振動発生部１０は、カッターを振動させる振動力を発生する構成要素であって、図１に示すように、アクチュエータ１２、アクチュエータブラケット１４、上部アクチュエータプレート１６および下部アクチュエータプレート１８により構成される。
【００１１】
ここで、前記アクチュエータ１２は、電源が印加されると、自ら振動して振動力を提供する構成要素であって、本実施形態のアクチュエータとしては、パラレルプレストレストアクチュエータ（Parallel Pre-stressed Actuator）が設けられる。
【００１２】
また、前記アクチュエータブラケット１４は、図５に示すように、前記アクチュエータ１２および前記軸３０とメーンプレート６０とを結合する構成要素である。このとき、前記アクチュエータブラケット１４は、前記軸３０が前記アクチュエータ１４の振動によって直線運動するように結合する。すなわち、前記軸３０は、アクチュエータブラケット１４との結合時、前記アクチュエータブラケット１４に形成される円状の貫通ホールに挿入されることで、その貫通ホールに沿って直線運動をするようになる。また、アクチュエータ１２の上端は、前記アクチュエータブラケット１４に固定される。
【００１３】
また、前記上部アクチュエータプレート１６は、図５および図６に示すように、前記アクチュエータ１２が着脱されるように、前記アクチュエータ１２の上端及び前記アクチュエータブラケット１４と結合される構成要素である。また、下部アクチュエータプレート１８は、前記アクチュエータ１２が着脱されるように、前記アクチュエータ１２の下端及び前記軸３０と結合される構成要素である。
【００１４】
また、前記アクチュエータブラケット１４と前記軸３０との接触部分には、図５および図６に示すように、ブッシング１７がさらに設けられることが好ましい。このブッシング１７は、前記軸３０の直線運動を案内することは勿論で、前記軸３０の直線往復運動から発生する摩擦による軸の損傷により、カッターの真直度が劣化されることを防止する。そのため、このブッシング１７は、摩擦に対する抵抗力の強い素材により形成されることが好ましい。本実施形態のブッシング１７としては、リニアメタルブッシング（Linear Metal Bushing）が設けられる。
【００１５】
また、前記振動発生部１０には、図５に示すように、直線運動過程における前記ブッシングの離脱を防止するために、前記ブッシング１７の下端面一側にブッシングカバー１９がさらに設けられることが好ましい。このブッシングカバー１９は、一側が前記アクチュエータブラケット１７の下端面に結合固定され、その他側が前記ブッシング１７の下端面一側と接触されることでブッシングの離脱を防止する。
【００１６】
また、前記振動発生部１０には、図６に示すように、前記アクチュエータ１２の振動過程におけるアクチュエータ１２の温度上昇を防止するために、アクチュエータ冷却ブラケット１５がさらに設けられることが好ましい。ここで、前記アクチュエータ冷却ブラケット１５は、前記アクチュエータ１２に電源を印加するために設けられた電極１３の設置部分のみに配置されることが好ましい。また、前記アクチュエータ冷却ブラケット１５には、このアクチュエータ冷却ブラケット１５に供給される冷媒の圧力を調節する圧力調節手段（図示せず）がさらに設けられることが好ましい。
【００１７】
また、前記カッター部２０は、図３に示すように、カッター２２およびカッターホルダー２４により構成される。
【００１８】
ここで、前記カッター２２は、スクライブ線を形成するために、作業部材の表面と直接接触してこの作業部材にクラックを発生する構成要素である。そのため、前記カッター２２は、前記作業部材よりも強い硬度の素材により形成されるべきであり、一般には、ダイアモンドにより形成される。
【００１９】
また、前記カッターホルダー２４は、図３に示すように、前記カッター２２に固定結合されるとともに、前記カッター２２と前記軸３０とを結合する構成要素である。前記カッターホルダー２４には、円柱状の前記軸３０の末端が挿入結合される結合溝２４ａが形成されており、前記カッターホルダー２４の外側下端には、前記カッター２２が固定結合される溝が形成される。前記カッター２２は、図３に示すように、前記カッターホルダー２４の中心線からやや離脱されて偏心配置される。そのため、前記カッターホルダー２４が回転自在に設けられて前進する場合、前記カッター２２は、前記カッターホルダー２４の中心線よりも後側で、前記カッターホルダー２４の中心線から所定距離を有する仮想線に沿って移動するようになる。したがって、前記カッター２２によって形成されるスクライブ線は、優れた真直度を有するという長所がある。また、前記カッターホルダー２４と結合された前記カッター２２には、前記カッターホルダー２４からの離脱を防止するために固定するカッターカバー（図示せず）がさらに設けられることが好ましい。
【００２０】
このとき、前記軸３０とカッターホルダー２４との間には、ボールプランジャ２６がさらに設けられることが好ましい。このボールプランジャ２６は、図３に示すように、前記軸３０の下端に形成されるプランジャ溝３１に挿入されて設けられる。また、図４に示すように、前記ボールプランジャ２６は、その下部にボール２６ａが配置され、その上部にスプリング２６ｂが配置され、それらボール２６ａとスプリング２６ｂとの間に板２６ｃが配置されて構成される。また、前記ボールプランジャ２６は、前記カッター２２が作業部材に接触された状態で水平移動しながらスクライブ線を形成するとき、前記カッター２２を所定間隔内で上下方向に移動させることで、前記カッター２２によって形成されるスクライブ線の真直度を向上するようになる。
【００２１】
一方、前記カッターホルダー２４は、前記軸３０との結合状態で回動自在に設けられる。これは、前記カッター２２の偏心構造によって水平移動するとき、常に前記カッター２２が前記カッターホルダー２４の中心線と同一の経路に移動するように、自由度を与えるためである。このとき、前記カッターホルダー２４が３６０°回転される場合、前記カッターの運動を制御することが困難であるため、前記カッターホルダー２４を所定角度以内のみで回動させる必要がある。そのため、本実施形態では、前記軸３０の末端側面の所定部分を面取りして面取り溝３２を形成し、前記カッターホルダー２４の側壁のうち前記面取り溝３２と対応する部分に貫通孔２４ｂを厚さ方向に形成する。また、この貫通孔２４ｂに楔２８を挿入固定するが、この楔２８の末端は、前記面取り溝３２に接触配置される。また、前記楔２８の末端は、図３に示すように、曲面を有して加工されることで、前記カッターホルダー２４が所定角度内で回動するようになる。
【００２２】
また、前記軸３０は、図１に示すように、前記振動発生部１０とカッター部２０との間に介在されて設けられ、前記振動発生部１０の振動をカッター部２０に伝達する構成要素である。
【００２３】
また、前記高さ調整手段４０は、図１に示すように、前記振動発生部１０の上側に設けられ、前記作業部材の屈曲によって前記カッター部２０の高さを調整する構成要素である。一般に、スクライブ装置によって破断される作業部材の表面は、平らに加工されるが、実際の作業部材の表面には、微細な屈曲が多く形成されており、局地的には平らであっても、全体的に屈曲が形成される場合もある。そのため、作業部材の表面屈曲に沿って前記カッター部２０の高さを調整することで、作業部材に形成されるスクライブ線の真直度を向上する必要がある。よって、本実施形態では、このような作業部材の屈曲を感知し、これを実時間で反映してカッター部２０の高さを調整する高さ調整手段が設けられる。本実施形態の高さ調整手段４０としては、付加される荷重が予め入力された所定値以下であるとその長さが伸張され、付加される荷重が予め入力された所定値以上であるとその長さが収縮されるロードセルが設けられることが好ましい。
【００２４】
また、前記予圧提供手段５０は、前記高さ調整手段４０の下側に設けられ、前記カッター部２０に予圧を提供する役割をする構成要素である。ここで、予圧とは、前記カッター部２０を軸方向に圧縮する力をいう。よって、この予圧提供手段５０は、前記カッター２２が作業部材と接触してスクライブ線を形成するとき、前記カッター２２を軸方向に圧縮して前記作業部材に厚さ方向の衝撃を加える。
【００２５】
本実施形態の予圧提供手段５０としては、空気圧によって圧力を発生するエアシリンダが設けられる。また、このエアシリンダは、マイクロスピードシリンダ（Micro Speed Cylinder）であることが好ましい。
【００２６】
また、本実施形態によるスクライブ装置１には、圧力調整手段８０がさらに設けられることが好ましい。この圧力調整手段８０は、図１に示すように、前記高さ調整手段４０と前記予圧提供手段５０との間に介在されて設けられる。また、前記圧力調整手段８０は、前記予圧提供手段５０で提供される圧力が予め設定された所定大きさ以下になるように圧力を調整する役割をする。すなわち、前記予圧提供手段５０で過度な圧力を加える場合は、作業部材に損傷が発生することもあるため、前記圧力調節手段８０は、作業部材によって定められる所定大きさ以上の圧力が加えられないように圧力を調整する。ここで、本実施形態の圧力調整手段８０としては、電空レギュレータが設けられる。
【００２７】
また、前記メーンプレート６０は、図１に示すように、前記カッター部２０、振動発生部１０および予圧提供手段５０とそれぞれ結合されて設けられ、前記カッター部２０、振動発生部１０、高さ調整手段４０および予圧提供手段５０の各中心線が一直線上に順に位置されるように固定する役割をする。また、前記カッター部２０、振動発生部１０、高さ調整手段４０および予圧提供手段５０は、前記メーンプレート６０に固定された状態で上下方向及び水平方向に移動される。
【００２８】
また、本実施形態では、図１に示すように、前記メーンプレート６０と前記予圧提供手段５０との間には、間隔部材６２がさらに設けられることが好ましい。この間隔部材６２は、前記予圧提供手段５０の中心軸と前記カッター部２０の中心軸とを一致させることで、前記予圧提供手段５０の駆動過程における位置変動を防止するように固定する役割をする。
【００２９】
また、前記上下移動部７０は、前記メーンプレート６０と結合されてこのメーンプレート６０を上下方向に駆動する構成要素である。前記上下移動部７０は、図１および図２に示すように、サイドベース７２に固定されて設けられ、モータ７４、ボールスクリュー７６および移動ブロック７８により構成される。ここで、前記モータ７４は、前記メーンプレート６０の上下移動に必要な動力を提供する構成要素であって、本実施形態のモータ７４としては、前記メーンプレート６０の上下方向移動を精密に制御するためのサーボモータが設けられる。
【００３０】
また、前記ボールスクリュー７６は、前記モータ７４と結合されて回転される部材であって、その外周面にねじ山が形成される。また、前記ボールスクリュー７６が前記メーンプレート６０に固定された移動ブロック７８と結合されることで、この移動ブロック７８には、前記ボールスクリュー７６が通過できる程度の大きさの雌ねじ孔が形成され、この雌ねじ孔の内面には、前記ボールスクリュー７６のねじ山と一致する雌ねじが形成される。よって、前記ボールスクリュー７６が前記モータ７４によって回転すると、前記移動ブロック７８は、上下方向に移動するようになる。
【００３１】
また、前記上下移動部７０には、前記メーンプレート６０の直線運動を誘導するために、リニアブロック７５およびリニアガイド７７がさらに設けられることが好ましい。前記リニアブロック７５は、前記メーンプレート６０と結合されて設けられ、前記メーンプレート６０の直線運動を誘導する。また、前記リニアガイド７７は、前記リニアブロック７５と結合されて設けられ、前記リニアブロック７５の運動方向を案内する。
【００３２】
また、本実施形態のスクライブ装置１には、図７に示すように、異物質除去手段９０がさらに設けられることが好ましい。この異物質除去手段９０は、作業部材上にスクライブ線を形成する過程で発生するガラス粉などの異物質を除去する構成要素であって、ブロワー部９２および吸入部９４により構成される。
【００３３】
ここで、前記ブロワー部９２は、図７に示すように、前記カッター部２０の一側に配置されて前記カッター部２０と共に移動し、前記カッター部２０と前記作業部材Ｓとの接触地点方向に気体を噴射することで、作業過程で発生する異物質を反対方向に吹き飛ばす役割をする。このとき、前記ブロワー部９２には、気体を噴射するノズル９２ａと、このノズル９２ａの角度を調節する噴射角調節手段９２ｂと、がさらに設けられることが好ましい。前記噴射角調節手段９２ｂは、図７に示すように、前記ノズル９２ａとの結合状態で回動する構造であるため、前記ノズル９２ａの気体噴射角度を調整することができる。
【００３４】
また、前記吸入部９４は、図７に示すように、前記カッター部２０を中心に前記ブロワー部９２の反対側に配置されて前記カッター部２０と共に移動し、前記ブロワー部６２によって吹き飛ばされた異物質を吸収して除去する構成要素である。
【００３５】
また、本実施形態では、前記メーンプレート６０及び上下移動部７０を水平方向に移動する水平移動部がさらに設けられることが好ましい。
【００３６】
また、本実施形態のスクライブ装置１には、前記振動発生部１０を制御するとともに、前記振動発生部１０から発生する振動を制御する制御部（図示せず）がさらに設けられる。
【００３７】
前記制御部は、図８に示すように、信号発生部、コントロール部、増幅部およびディスプレイ部により構成される。
【００３８】
ここで、前記信号発生部は、前記振動発生部１０を制御する信号を最初に発生する構成要素であって、この振動発生部１０は、図９に示すように、三角波、正弦派およびパルス派を発生する。本実施形態では、１Ｖの電圧及び所定周波数を有する正弦派信号を発生した後、その信号を前記コントロール部に伝達する。
【００３９】
また、前記コントロール部は、前記振動発生部１０から発生した信号の周波数を適切に変更し、その値をディスプレイ部に伝達する構成要素であって、アナログ信号をデジタル信号に切り替えるＡＤＣ（Analog to Digital Converter）、前記信号の周波数を制御するＭＣＵ（Micro Control Unit）と、デジタル信号をアナログ信号に切り替えるＤＡＣ（Digital to Analog Converter）と、から構成される。
【００４０】
また、前記増幅部は、図１０に示すように、前記信号を予備的に増幅する予備増幅部と、この予備増幅部で増幅された信号を増幅する本増幅部と、この本増幅部に連結されて設けられ、前記本増幅部を安定化するブースタと、から構成される。このとき、前記予備増幅部は、前記コントロール部から伝達される信号を予備的に増幅することで、前記本増幅部に適した信号に取り替える。また、前記本増幅部では、前記振動発生部１０で要する大きさの電圧に増幅するが、本実施形態では、２０Ｖの電圧を有するように増幅する。また、本実施形態では、前記本増幅部と前記振動発生部１０との間に緩衝器がさらに設けられることが好ましい。すなわち、前記本増幅部が前記振動発生部１０に直接連結されることで、前記振動発生部１０から発生する影響が本増幅部にそのまま伝達されるようになり、本増幅部が損傷される憂いがある。そのため、前記緩衝器は、前記振動発生部１０から発生する影響を防止して除去することで、前記本増幅部を保護する役割をする。
【００４１】
また、前記ディスプレイ部は、前記コントロール部及び前記増幅部から伝達される周波数値及び電圧値をディスプレイする構成要素である。よって、このディスプレイ部により、本実施形態による制御部の作動状態を一目で把握することができる。
【００４２】
また、前記電源部は、前記信号発生部、コントロール部、増幅部およびディスプレイ部に電源を供給する構成要素である。
【００４３】
以下、本実施形態によるスクライブ装置１の使用方法を説明する。
【００４４】
まず、処理される作業部材によって適合な予圧を設定して前記圧力調整手段８０に入力し、前記圧力調整手段８０は、それ以上の圧力が作業部材に付加されないようにする。次いで、前記上下移動部７０の駆動により前記カッター２２と作業部材の表面とを接触させる。次いで、前記予圧提供手段５０の駆動により前記作業部材に予圧を加えることで、前記制御部がアクチュエータ１２に信号を伝達して振動を発生する。次いで、前記カッター２２の振動により作業部材の表面にクラックを形成するとともに、水平移動部の駆動によりスクライブ装置１を水平方向に移動する。その結果、スクライブ装置１の移動方向に沿ってスクライブ線が形成される。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態によるスクライブ装置の構成を示した側面図である。
【図２】本発明の一実施形態による上下移動部の構造を示した斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態によるカッター部の構造を示した断面図である。
【図４】本発明の一実施形態によるボールプランジャの構造を示した断面図である。
【図５】本発明の一実施形態による振動発生部の構造を示した側面図である。
【図６】本発明の一実施形態による振動発生部の構造を示した正面図である。
【図７】本発明の一実施形態による異物質除去手段の構成を示した側面図である。
【図８】本発明の一実施形態による制御部の構成を示したブロック図である。
【図９】本発明の一実施形態による信号発生部の構成を示したブロック図である。
【図１０】本発明の一実施形態による増幅部の構成を示したブロック図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  スクライブ装置
１０  振動発生部
１２  アクチュエータ
１４  アクチュエータブラケット
２０  カッター部
２２  カッター
２４  カッターホルダー
２６  ボールプランジャ
３０  軸
３２  面取り溝
４０  高さ調整手段
５０  予圧提供手段
６０  メーンプレート
７０  上下移動部
７２  サイドベース
８０  圧力調整手段
９０  異物質除去手段
９２  ブロワー部
９４  吸入部
【図１】
2006110980.tif 000003
【図２】
2006110980.tif 000004
【図３】
2006110980.tif 000005
【図４】
2006110980.tif 000006
【図５】
2006110980.tif 000007
【図６】
2006110980.tif 000008
【図７】
2006110980.tif 000009
【図８】
2006110980.tif 000010
【図９】
2006110980.tif 000011
【図１０】
2006110980.tif 000012