(57)【要約】【課題】インクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の水分を完全除去することが可能であり、インク吐出口の膜張りによるヘッド製造の印字歩留まりが低下することを抑制し、不具合コストの上昇を抑えることができるインクジェット記録ヘッドの記録素子基板乾燥装置を提供すること。【解決手段】ウエハ状態から切断後のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板をダイシングフレーム及びダイシングフィルムに固定したまま上下に往復動作するステージに吸着させ、左右に往復動作する複数配列されたブローノズルからクリーンエア又は窒素等の不活性ガスを噴射し、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板上に形成されているインク吐出口の一列からインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部を経由し、他方のインク吐出口から排出させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングにて洗浄／乾燥されたインクジェット記録ヘッドの記録素子基板をダイシングフレーム及びダイシングフィルムに固定されたまま上下に往復動作するステージに吸着させ、角度及び位置調整可能な複数配列されたブローノズルを左右に往復動作させることにより、記録素子基板の水分を除去すことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの記録素子基板乾燥装置。
【請求項２】
上下に往復動作するステージ及び左右に往復動作する複数配列されたノズル部の制御をシーケンサーで行い、プログラムにより往復動作時間及びサイクル、ブロー時間、ブロー圧を任意に設定できることが可能なインクジェット記録ヘッドの記録素子基板乾燥装置。
【請求項３】
複数列あるインクジェット記録ヘッドの記録素子基板ノズル部（インク吐出口）の一列から直接クリーンエア又は窒素等の不活性ガスを当て、ブローの当っていない列からインクジェット記録素子基板内部の水分を排出除去することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの記録素子基板乾燥装置。
【請求項４】
複数列あるインクジェット記録ヘッドの記録素子基板ノズル部（インク吐出口）の一列から直接クリーンエア又は窒素等の不活性ガスを当てると同時にノズル部以外にもクリーンエア又は窒素等の不活性ガスを当て、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板の上面も乾燥させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの記録素子基板乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクを吐出して記録媒体に付着させ記録を行うインクジェット記録ヘッドは、高精彩な記録を可能にするため微細な吐出口を有しており、そのサイズは例えば数１０μｍ程度である。このように微細な吐出口に水分残りによる膜が張ると、インクが吐出されなかったり、又、インクの吐出方向が安定せず記録媒体への着弾位置がずれたり、インクの吐出量が低下したりする等の問題が発生する。
【０００３】
これに対して、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板の乾燥は、切断装置であるダイサーに内蔵されているユニットで行っている。そのユニットの構成は、軸線を縦向きのスピンモーターにおける上向き出力軸の上端に、ウエハ状態から切断後のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板をダイシングフレーム及びダイシングフィルムに固定したまま吸着固定するユニットを設け、このユニットの上方に乾燥用のノズルを配し、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板をカバー容器内においてスピンモーターにて回転させることによりその上面における水分を遠心力と一方向からのブローで除去させる構成となっている。よって、製造工程上の対策としてスピンモーターの回転数、ブロー時間、ブロー圧等の条件を振り最適条件にて乾燥させる方法が従来から実施されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１９５６３５号公報
【特許文献２】特開平１１−３０７５０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記のように製造工程でインクジェット記録ヘッドの記録素子基板を乾燥していても、記録素子基板の内部にしばしば水分が残ってしまい、その水分がインク吐出口に膜を形成してしまう。この形式の従来の乾燥装置は、構造上どうしてもインクジェット記録ヘッドの記録素子基板上面部の乾燥が主となり、積極的にインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部を乾燥できる訳ではない。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の水分を完全除去することが可能であり、インク吐出口の膜張りによるヘッド製造の印字歩留まりが低下することを抑制し、不具合コストの上昇を抑えることができるインクジェット記録ヘッドの記録素子基板乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は、ウエハ状態から切断後のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板をダイシングフレーム及びダイシングフィルムに固定したまま上下に往復動作するステージに吸着させ、左右に往復動作する複数配列されたブローノズルからクリーンエア又は窒素等の不活性ガスを噴射し、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板上に形成されているインク吐出口の一列からインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部を経由し、他方のインク吐出口から排出させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板が吸着されたステージの上下往復動作と、複数配列されたブローノズルの左右往復動作により、クリーンエア又は窒素等の不活性ガスをインク吐出口の一列からインクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部を経由させ、他方のインク吐出口から排出することにより、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部に残った水分がその気流に乗り、デバイスの外へ放出される。それと同時にインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の外面に付着している水分もインク吐出口から流入しなかったクリーンエア又は窒素等の不活性ガスによって乾燥が可能となり、乾燥に要する時間も前記従来の場合よりも遥かに短縮される。
【０００９】
従って、本発明によると、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板の乾燥に際して、表面の乾燥のみならず、内部の確実な水分除去が可能となり、インク吐出口への水分残りによる膜張りを無くすことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１１】
図１は本発明による乾燥装置をインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の乾燥に応用した一実施形態の概略構造を表す上面図、側面図、正面図である。本実施形態の説明では、乾燥装置を駆動する電気的な配線や配管、窒素等の不活性ガスを供給するための配管等は記載を省略している。
【００１２】
１は装置架台に対して垂直に設置された上下方向に往復動作をする１軸のロボット１（メガスラスト等）に取り付けられている吸着ステージを示している。この吸着ステージ２にダイサー３による切断・乾燥が完了したインクジェット記録ヘッドの記録素子基板をダイシングフィルムとダイシングフレームに固定したままの状態で水平の姿勢で吸着させる。
【００１３】
又、図２のノズル部側面拡大図に示す通り、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の上面に対してクリーンエア又は窒素等の不活性ガスを噴射する上段ブローノズル５が角度θ１で斜め下向きに設置され、且つ、下段ブローノズル６が角度θ２で斜め上向きに配置される。このとき、各ブローノズルの角度θ１，θ２は４５°〜９０°の範囲で設定する。
【００１４】
次に、図３に示す通り、吸着ステージ２の上面に配置されたインクジェット記録ヘッドの記録素子基板３を１軸ロボット１の上昇端から下方向に移動させると同時に、ブローユニット４を左右方向に往復運動させながら、上段ブローノズル５よりクリーンエア又は窒素等の不活性ガスを噴射し、下降端まで移動させる（このとき、下段ブローノズル６からはクリーンエア又は窒素等の不活性ガスは噴射させない）。
【００１５】
次に、下降端から上方向に移動させると同時にブローユニット４を左右方向に往復運動させながら、下段ブローノズル６よりクリーンエア又は窒素等の不活性ガスを噴射し、上昇端まで移動させる（このとき、上段ブローノズル５からはクリーンエア又は窒素等の不活性ガスは噴射させない）。この吸着ステージ２の上下１往復の間に左右方向の往復動作は必要に応じて任意に設定し、上下１往復を１サイクルとし、必要に応じてサイクル数を設定する。
【００１６】
この動作により、各ノズルから噴射されたクリーンエア又は窒素等の不活性ガスは、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３に対して常に一方向から当たり、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３内部へ流入し、水分を乾燥させながら順次デバイスの外へ排出することが可能となる。このとき、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の内部へ流入しなかったクリーンエア又は窒素等の不活性ガスは、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の上面を乾燥させる。
【００１７】
尚、上段ブローノズル５及び下段ブローノズル６は、図４のノズル部上面拡大図に示すように、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の上面に対してθ３，θ４の角度で配置されており、互いのノズルから噴射されたクリーンエア又は窒素等の不活性ガスは交差や合流することなく、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の上面に噴射させる構成とする。
【００１８】
これにより、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３内部における、クリーンエア又は窒素等の不活性ガスの流れは図５に示す通りとなる。上段ブローノズル５及び下段ブローノズル６より噴射されたクリーンエア又は窒素等の不活性ガスはインク供給口７より流入し、８に示す通りインクジェット記録ヘッドの記録素子基板３内部を経由し残留水分９を他方のインク供給口１０より排出する。
【００１９】
以上の構成により、従来の一方向からのブロー乾燥よりも積極的にインクジェット記録ヘッドの記録素子基板３内部にクリーンエア又は窒素等の不活性ガスを流すことが可能になり、ダイシング後の乾燥では取り切れなかったインクジェット記録ヘッドの記録素子基板３内部の残留水分９は、クリーンエア又は窒素等の不活性ガスの気流に乗り他方のインク吐出口１０より排出され、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の内部と上面を同時に短時間で急速に乾燥させることが可能となる。
【００２０】
尚、前記インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の上面に対する上段ブローノズル５及び下段ブローノズル６の噴射角度は図６に示す通り調整可能で、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の大きさやインク吐出口７，１０の形状や配列に応じて最適の状態に任意に設定することができる。
【００２１】
又、本発明の実施の形態では、上段ブローノズル５及び下段ブローノズル６による２段方式で左右方向一直線上に各７本、計１４本を配置した構成としているが、本発明はこれに限らずブローノズルの本数や配列を変更することにより、インクジェット記録ヘッドの記録素子基板３の大きさやインク吐出口７，１０の形状や配列に応じて最適の状態に任意に設定することが可能となる。
【００２２】
又、吸着ステージ２の大型化や、背面の上下方向に往復運動する１軸ロボット１を２軸化することにより様々な形状のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板３を乾燥させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明による乾燥装置をインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の乾燥に応用した一実施形態の概略構造を表す側面、上面、正面図である。
【図２】ノズル部側面拡大図である。
【図３】図１の側面図である。
【図４】ノズル部上面拡大図である。
【図５】インクジェット記録ヘッドの記録素子基板内部の気流図である。
【図６】図２に示したブローノズルの調整範囲を示す図である。
【符号の説明】
【００２４】
１    １軸ロボット
２    吸着ステージ
３    インクジェット記録ヘッドの記録素子基板
４    ブローユニット
５    上段ブローノズル
６    下段ブローノズル
７    インク吐出口
８    クリーンエア又は窒素等の不活性ガスの気流
９    残留水分
１０  インク吐出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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