(57)【要約】【課題】  プレス成形後に生じた割れを正確に検知できるようにする。【解決手段】  プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光するレーザー光受光手段と、前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する漏洩面積演算手段と、良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積を基準漏洩面積として記憶する記憶手段と、前記演算された漏洩面積を当該基準漏洩面積と比較する比較手段と、前記演算された漏洩面積が前記基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する判断手段と、を有する。【選択図】            図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、
当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光するレーザー光受光手段と、
前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する漏洩面積演算手段と、
良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積を基準漏洩面積として記憶する記憶手段と、
前記演算された漏洩面積を当該基準漏洩面積と比較する比較手段と、
前記演算された漏洩面積が前記基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する判断手段と、
を有することを特徴とするプレス成形の割れ検知装置。
【請求項２】
前記ワークはテーラードブランク材を用いてプレス成形されており、前記ワークの所定部位は鋼板の繋ぎ合わせ部を含んだ部位であることを特徴とする請求項１に記載のプレス成形の割れ検知装置。
【請求項３】
前記判断手段で前記ワークに割れが生じていると判断されたときに、そのワークが不良品である旨を表示する表示手段または前記ワークを払い出す払い出し手段の少なくともいずれか一方をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のプレス成形の割れ検知装置。
【請求項４】
前記レーザー光照射手段は、
レーザー光を出力するレーザーダイオードと、
当該レーザーダイオードを支持する支持部材と、
当該支持部材を少なくとも二次元方向に移動させるアクチュエータと、
前記レーザーダイオードの前記ワークに対する最適な位置を演算する最適位置演算手段と、
前記アクチュエータを動作させて前記レーザーダイオードの位置を演算された最適な位置に設定する制御手段とを有することを特徴とする請求項１に記載のプレス成形の割れ検知装置。
【請求項５】
前記最適位置演算手段は、
前記レーザーダイオードの位置を検出するレーザーダイオード位置検出手段と、
前記ワークの繋ぎ合わせ位置を検出する繋ぎ合わせ位置検出手段と、
前記レーザーダイオードと検出された繋ぎ合わせ位置との位置ずれ量を演算する位置ずれ量演算手段とを有することを特徴とする請求項４に記載のプレス成形の割れ検知装置。
【請求項６】
プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射する段階と、
当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光する段階と、
前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する段階と、
良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積である基準漏洩面積を演算された漏洩面積と比較する段階と、
演算された漏洩面積が当該基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する段階と、
を含むことを特徴とするプレス成形の割れ検知方法。
【請求項７】
前記レーザー光の漏洩面積を演算する段階の前に、
前記レーザー光の照射位置を最適位置に調整する段階をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載のプレス成形の割れ検知方法。
【請求項８】
前記レーザー光の照射位置を最適位置に調整する段階は、
前記レーザーダイオードの位置を検出する段階と、
前記ワークの繋ぎ合わせ位置を検出する段階と、
前記レーザーダイオードと検出された繋ぎ合わせ位置との位置ずれ量を演算する段階と、
前記レーザーダイオードの位置を当該位置ずれ量だけ移動させる段階と、
を含むことを特徴とする請求項７に記載のプレス成形の割れ検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プレス成形後に生じた割れを正確に検知できるようにしたプレス成形の割れ検知装置およびその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車部品（たとえば、シャフト、ギアなど）のワークの加工を行った際に、ワークに発生している割れを検知するには、一般的に下記特許文献１に記載されているような、ＡＥ（アコースティックエミッション）の技術を応用した割れ検知装置を用いて行っている。
【特許文献１】特開平８−１８９９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、従来の割れ検知装置の場合、被検査対象物であるワークからの音響放射波に基づいてその割れの有無を検知するようになっていたため、ワークが硬い材質の場合にはある程度の精度が確保できるが、柔らかい材質の場合にはワークからの音響放射波のレベルが減衰してしまうことから、ＡＥセンサの配置が適切でないとノイズに埋もれてしまって正確な検出が困難であるという問題がある。
【０００４】
また、ある程度の検知精度を確保するためには、音響放射波に含まれているノイズの除去が必須であるが、そのノイズを除去する装置は複雑な構成を有しているものであり、また、ノイズはワークの種類（形状や大きさ）によって固有であるため、ワークの種類ごとに最適な設定をしなければならないなど、種々の問題がある。
【０００５】
本発明は、以上のような従来の技術の問題点に鑑みて成されたものであり、プレス成形後に生じた割れを正確に検知できるようにしたプレス成形の割れ検知装置およびその方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明に係るプレス成形の割れ検知装置は、プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光するレーザー光受光手段と、前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する漏洩面積演算手段と、良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積を基準漏洩面積として記憶する記憶手段と、前記演算された漏洩面積を当該基準漏洩面積と比較する比較手段と、前記演算された漏洩面積が前記基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する判断手段と、を有することを特徴とする。
【０００７】
また、上記目的を達成するための本発明に係るプレス成形の割れ検知方法は、プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射する段階と、当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光する段階と、前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する段階と、良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積である基準漏洩面積を演算された漏洩面積と比較する段階と、演算された漏洩面積が当該基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する段階と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように構成された本発明に係るプレス成形の割れ検知装置によれば、レーザー光の漏洩面積に基づいてワークが良品であるのか不良品であるのかが判断できるので、少ない工数で正確にかつ迅速にその判断をすることができる。
【０００９】
また、以上のように構成された本発明に係るプレス成形の割れ検知方法によれば、上記と同様に、少ない工数で正確にかつ迅速にその判断をすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明に係る方法を用いて割れ検知を行っている状況を示す図であり、図２から図６は、本発明に係る方法の説明に供する図である。
【００１１】
検査台下部フレーム１０上にはレーザー光を受光するレーザー光受光手段としてのレーザー受光部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ（２０Ｃ、２０Ｄは図の後ろ側に隠れている）が取り付けられている。さらに、検査台下部フレーム１０上にはワークであるプレス成形品２００を所定の位置に位置決めするとともにそれを保持するためのネスティングブロック４０Ａ、４０Ｂがレーザー受光部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄを避けるように取り付けられている。ネスティングブロック４０Ａ、４０Ｂ上にはロケートピン４５Ａ、４５Ｂが形成されており、プレス成形品２００に形成されているロケート穴（図示せず）がこれに係合する。
【００１２】
支持部材としての上部フレーム５０にはレーザー光を照射するレーザー光照射手段としてのレーザーヘッド６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄ（６０Ｃ、６０Ｄは図の後ろ側に隠れている）が取り付けられている。レーザーヘッド６０Ａとレーザー受光部２０Ａ、レーザーヘッド６０Ｂとレーザー受光部２０Ｂ、レーザーヘッド６０Ｃとレーザー受光部２０Ｃ、レーザーヘッド６０Ｄとレーザー受光部２０Ｄはそれぞれ組になっている。
【００１３】
上部フレーム５０は図示されていないレーザーヘッドアクチュエータによって三次元方向に移動自在に支持されており、各レーザーヘッド６０Ａ〜６０Ｄから出力されるレーザー光がプレス成形品２００の所望の位置に照射されるようにその位置を調整できるようになっている。
【００１４】
プレス成形前のテーラードブランクシート１００の外観を図２に示す。テーラードブランク材１００は、溶接によって複数の鋼板を目的に合わせて仕立てたプレス素材のことを言うが、テーラードブランク材１００を利用すれば、一枚の素材の特性を部分的に容易に変えることができるので、素材形状の自由度が大きく、部品点数の削減が期待できる。自動車は車体の場所により要求される特性が異なる場合があるので、最近ではテーラードブランク材１００をプレス成形することによって１つの部品を作成している。図２に示すテーラードブランク材１００は、板厚の異なる２種類の板材１１０Ａ、１１０Ｂを４箇所１２０Ａ〜１２０Ｄでレーザー溶接することによって作成されている。
【００１５】
テーラードブランク材１００のプレス成形後の外観を図３に示す。テーラードブランク材１００がプレス成形されると図に示すような形状のプレス成形品２００が得られる。プレス成形品２００は図１のロケートピン４５Ａ、４５Ｂと係合するロケート穴２１０Ａ、２１０Ｂを有している。プレス成形品２００の繋ぎ合わせ部であるレーザー溶接箇所１２０Ａ〜１２０Ｄはその形状に沿って図に示すように変形する。レーザー溶接箇所１２０Ａ〜１２０Ｄは通常はしっかりと溶接されているので、その部分に割れが生じることはないが、レーザー溶接された部分の近傍は溶接時の熱により硬度が上昇することから板材の伸び特性が低下し、溶接状態によっては割れが生じることがある。また、割れの発生は溶接の条件などでばらつくため、レーザー溶接箇所１２０Ａ〜１２０Ｄに起こりやすいが、正確には場所の特定はできない。本発明は、この割れを容易に検知することができるようにしたものである。
【００１６】
この割れを検知するために、図４に示すように、プレス成形品２００のレーザー溶接箇所１２０Ａ〜１２０Ｄ（所定部位）のそれぞれを包含しプレス成形品２００からはみ出す検査領域３００Ａ〜３００Ｄにレーザーヘッド６０Ａ〜６０Ｄ（図ではレーザーヘッド６０Ｄのみを示す）からレーザー光を照射する。このため、検査領域３００Ａ〜３００Ｄは経験上割れが発生しやすいと思われる領域全体をカバーする領域としている。なお、図では、レーザーヘッド６０Ｄからレーザー光が拡散して照射されているかのように描かれているが、実際はレーザースポット光が検査領域内を高速で縦横に走査される。このため、レーザーヘッド６０Ａ〜６０Ｄはスポットレーザー光を検査領域内に走査する走査手段を備えている。
【００１７】
図５はレーザー溶接箇所１２０Ａに割れが生じていない場合にレーザー受光部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄが受光する領域を説明するための図であり、図６はレーザー溶接箇所１２０Ａに割れがある場合にレーザー受光部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄが受光する領域を説明するための図である。
【００１８】
図５に示すように検査領域３００Ａは寸法Ａ×Ｂの面積（またはａ１＋ａ２＋ａ３の面積）である。この検査領域３００にレーザー光を照射すると、図５に示す割れのない良品のプレス成形品２００の場合、レーザー受光部２０Ａはプレス成形品２００からはみ出す、ａ１＋ａ３の漏洩面積でそのレーザー光が受光される。ところが、図６に示す割れのある不良品のプレス成形品の２００の場合、ｂ１＋ｂ３の漏洩面積でそのレーザー光が受光される。この場合、ｂ１はａ１と同じ面積であるが、ｂ３の面積は割れの面積の分だけａ３の面積よりも大きくなる。したがって、良品のプレス成形品２００の漏洩面積（ａ１＋ａ３）を基準とし、被検査プレス成形品の漏洩面積がそれよりも大きければ不良品と、また同一であれば良品と判断することができる。
【００１９】
このような割れを検知する割れ検知装置の概略構成を図７に示す。
【００２０】
上部フレーム５０はレーザーヘッドアクチュエータ４００によって図示三次元方向に移動自在することができる。なお、レーザーヘッドアクチュエータ４００は必ずしも上部フレーム５０を三次元方向に移動させるものでなくともよく、少なくともそれを２次元方向に移動させるものであれば良い。レーザーヘッド６０は、その内部にスポットレーザー光を出力するレーザーダイオードとそのレーザー光を検査領域に走査させる光学系を備えている。レーザー光は、図に示すように、プレス成形品２００の所定部位を包含しプレス成形品２００からはみ出す検査領域に対してプレス成形品２００の前面から照射される。プレス成形品２００の下側には検査領域に照射されたレーザー光をその背面から受光するレーザー受光部２０が設けられ、プレス成形品２００からはみ出して照射されたレーザー光を受光する。
【００２１】
漏洩面積演算部５００は漏洩面積演算手段として機能するものであって、レーザー受光部２０が検査領域で受光したレーザー光の位置情報からレーザー光の漏洩面積（図６のｂ１＋ｂ３）を演算する。基準漏洩面積記憶部５１０は記憶手段として機能するものであって、良品のプレス成形品２００におけるレーザー光の漏洩面積を基準漏洩面積（図５のａ１＋ａ３）として記憶する。比較部５２０は比較手段として機能するものであって、漏洩面積演算部５００によって演算された漏洩面積と基準漏洩面積記憶部５１０に記憶されている基準漏洩面積とを比較する。判断部５３０は判断手段として機能するものであって、判断部５３０によって漏洩面積が基準漏洩面積よりも大きいと判断されたときにプレス成形品２００の所定部位（レーザー溶接箇所１２０Ａ〜１２０Ｄ）に割れが生じていると判断する。表示部５４０は表示手段として機能し、プレス成形品２００に割れが生じていると判断されたときに、そのプレス成形品２００が不良品である旨を表示する。また、ワーク払い出し装置５５０はワーク払い出し手段として機能するものであって、不良品と判断されたプレス成形品２００を検査ラインから払い出す。
【００２２】
形状測定部４１０はカメラ３５０が検査領域において受光したレーザー光からプレス成形品２００の断面形状を測定する。ワークデータ記憶部４２０はプレス成形品２００各部の板厚、レーザーヘッド６０からプレス成形品２００までの距離、レーザー照射角などの情報を記憶している。ワーク位置測定部４３０は繋ぎ合わせ位置検出手段および位置ずれ量演算手段として機能するものであって、形状測定部４１０で測定されたプレス成形品２００の断面形状からレーザー溶接箇所１２０の繋ぎ合わせ位置を検出し、ワークデータ記憶部４２０に記憶されている良品のプレス成形品２００におけるレーザー溶接箇所１２０の繋ぎ合わせ位置とこの検出された位置を比較して位置ずれ量を演算する。駆動指示部４４０は制御手段として機能するものであって、レーザーヘッドアクチュエータ４００が把握している現在のレーザーダイオードの位置（内蔵されているレーザーダイオード位置検出手段によって求められる）とワーク位置測定部４３０で演算された位置ずれ量に基づいて、上部フレーム５０の移動方向と移動量を求め、レーザーヘッドアクチュエータ４００に移動指示を出力する。
【００２３】
次に、上記装置を用いたプレス成形の割れ検知方法を図１〜図１０を参照しながら詳細に説明する。
【００２４】
図７はレーザー光の照射領域の中心をプレス成形品２００の繋ぎ合わせ部と一致させるための処理を示すフローチャートである。
【００２５】
まず、図２に示したテーラードブランクシート１００をプレス成形し図３に示したプレス成形品２００を作成する。作成したプレス成形品２００を図１のネスティングブロック４０Ａ、４０Ｂ上でプレス成形品２００のロケート穴２１０Ａ、２１０Ｂにロケートピン４５Ａ、４５Ｂを係合させて載置する。そして、レーザーヘッド６０Ａ〜６０Ｄからそれぞれの検査領域３００Ａ〜３００Ｄにレーザー光を照射する。検査領域は、図１および図７に示すように、レーザー溶接箇所１２０Ａ〜１２０Ｄを包含しプレス成形品２００をはみ出す領域である。プレス成形品２００はロケートピン４５Ａ、４５Ｂによって位置決めされるが、ロケート穴２１０Ａ、２１０Ｂとロケートピン４５Ａ、４５Ｂとの間には若干の遊びがあるため、また、ロケートピン４５Ａ、４５Ｂの開口位置も常に同じ位置だとは限らないため、プレス成形品２００の位置決め誤差を吸収するために次のような処理を行う。
【００２６】
形状測定部４１０は、カメラ３５０から入力した信号に基づいて、図１０に示すような検査領域３００におけるプレス成形品２００の形状を測定する。次に、ワーク位置測定部４３０は、形状測定部４１０で測定されたプレス成形品２００の形状から繋ぎあわせ部１２０の位置を検出する。さらにワークデータ記憶部４２０に記憶されているプレス成形品２００各部の板厚ｔ１、ｔ２、レーザーヘッド６０からプレス成形品２００までの距離Ｌ、レーザー照射角θＬ、θＲ（θＬ＝θＲ）を取り出す（Ｓ１）。そして、ワーク位置測定部４３０は、検出した繋ぎあわせ部１２０の位置と検査領域３００の終端の位置とから距離Ｃ１を測定する（Ｓ２）。そして、ワーク位置測定部４３０は、繋ぎあわせ部１２０の位置と検査領域３００の終端の位置とから距離Ｃ２を求める。Ｃ２は次の式を演算することによって求める。
【００２７】
Ｃ２＝（Ｌ＋ｔ１−ｔ２）・ｓｉｎθＲ＋Ｌ・ｓｉｎθＬ−Ｃ１
さらに求めた距離Ｃ２とＣ１とからレーザーヘッド６０の照射位置と繋ぎ合わせ位置１２０との位置ずれ量Ｃ３を演算する。Ｃ３は、Ｃ１-Ｃ２を演算することによって求めることができる（Ｓ３）。
【００２８】
ワーク位置測定部４３０はＣ３の値が０であるか否かを判断する（Ｓ４）。ワーク位置測定部４３０はＣ３の値が０でなければ（Ｓ４：ＮＯ）、ずれ角θ１を算出する。ずれ角θ１はｔａｎ−１（Ｃ３／Ｌ）で求めることができ（Ｓ５）、したがって、θＬは、θＬ＝θＬ＋θ１によって、また、θＲは、θＲ＝θＲ−θ１によってそれぞれ求めることができる（Ｓ６）。
【００２９】
ワーク位置測定部４３０は、駆動指示部４４０にレーザーヘッド６０の照射位置と繋ぎ合わせ位置１２０との位置ずれを補正するための信号を出力し、レーザーヘッドアクチュエータ４００はレーザーヘッド５０の位置を、Ｃ１とＣ２とが等しくなるような位置に微調整する（Ｓ７）。この微調整はレーザーヘッド６０をＣ３だけ水平方向に移動させても良いし、レーザー光の照射角をθ１だけ調整するようにしても良い。レーザー光の照射角を調整する場合には、レーザーヘッド５０内の光学系で調整しても良いし、上部フレーム５０のその取り付け角度を傾斜させても良い。
【００３０】
以上の処理によってレーザーヘッド６０の照射位置と繋ぎ合わせ位置１２０の位置とが鉛直線上に位置されたら、位置ずれ量Ｃ３の値が０になるので（Ｓ４：ＹＥＳ）、次に説明する面積測定の処理を実行する（Ｓ８）。なお、以上では、Ｃ３の値が０になることを条件に面積測定に移行する場合を述べたが、ずれ量Ｃ３のＯＫ範囲を設けてもよい。たとえば、−０．０５ｍｍ＜Ｃ３、０．０５ｍｍ＞Ｃ３の範囲であればＯＫと判断させるようにしても良い。
【００３１】
レーザーヘッド６０の照射位置と繋ぎ合わせ位置１２０の位置とが鉛直線上に位置されたら、ワーク位置測定部４３０から測定開始指令が出力されるので、漏洩面積演算部５００は、この測定開始指令を受けてレーザー受光部２０で受光されたレーザー光の漏洩面積を演算する（Ｓ１１）。比較部５２０は、基準漏洩面積記憶部５１０に記憶されている基準漏洩面積（良品のプレス成形品２００におけるレーザー光の漏洩面積）と漏洩面積演算部５００で演算された漏洩面積とを比較する（Ｓ１２）。判断部５３０は漏洩面積の合計が基準漏洩面積と同一であれば（Ｓ１２：ＹＥＳ）、検査対象となっているプレス成形品２００には割れがないので、表示部５４０にＯＫ表示を表示させる（Ｓ１３）。一方、判断部５３０は漏洩面積の合計が基準漏洩面積と同一でなければ（Ｓ１２：ＮＯ）、検査対象となっているプレス成形品２００には割れが存在するので、表示部５４０にＮＧ表示を表示させ（Ｓ１４）、そのプレス成形品２００を検査ラインから払い出させる（Ｓ１５）。
【００３２】
以上のように、本発明によれば、プレス成形後の製品に単にレーザー光を照射し、製品によって遮られなかったレーザー光の受光面積を演算することのみによって製品の良否（割れ発生の有無）が判断できるので、比較的簡単な装置で高精度の検査が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
プレス成形後に生じた割れを比較的簡単かつ正確に検知できるので検査工程で有益に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る方法を用いて割れ検知を行っている状況を示す図である。
【図２】本発明に係る方法の説明に供する図である。
【図３】本発明に係る方法の説明に供する図である。
【図４】本発明に係る方法の説明に供する図である。
【図５】本発明に係る方法の説明に供する図である。
【図６】本発明に係る方法の説明に供する図である。
【図７】プレス成形の割れ検知装置の概略構成図である。
【図８】図７に示した装置の動作フローチャートである。
【図９】図７に示した装置の動作フローチャートである。
【図１０】レーザーヘッドの位置調整方法の説明に供する図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０    検査台下部フレーム、
２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ    レーザー受光部、
４０Ａ、４０Ｂ    ネスティングブロック、
４５Ａ、４５Ｂ    ロケートピン、
５０    上部フレーム、
６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄ    レーザーヘッド、
１００    テーラードブランクシート、
１２０Ａ〜１２０Ｄ    レーザー溶接箇所、
２００    プレス成形品、
２１０Ａ、２１０Ｂ    ロケート穴、
３００Ａ〜３００Ｄ    検査領域、
３５０    カメラ、
４００    レーザーヘッドアクチュエータ、
４１０    形状測定部、
４２０    ワークデータ記憶部、
４３０    ワーク位置測定部、
４４０    駆動指示部、
５００    漏洩面積演算部、
５１０    基準漏洩面積記憶部、
５２０    比較部、
５３０    判断部、
５４０    表示部、
５５０    ワーク払い出し装置。
【図１】
2006145326.tif 000003
【図２】
2006145326.tif 000004
【図３】
2006145326.tif 000005
【図４】
2006145326.tif 000006
【図５】
2006145326.tif 000007
【図６】
2006145326.tif 000008
【図７】
2006145326.tif 000009
【図８】
2006145326.tif 000010
【図９】
2006145326.tif 000011
【図１０】
2006145326.tif 000012