(57)【要約】【課題】  測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、短時間且つ正確に重量測定することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法等を提供することを課題とする。【解決手段】  重量計測手段９１により計測可能な重量に達するように、ｎ個の有効ノズル６５ａからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定し、重量計測手段９１により計測可能な重量に達するように、ｍ個の測定対象ノズル６５ｃ以外の有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定し、それぞれの測定重量の差に基づいて、測定対象ノズル群６６の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出する。【選択図】  図７
2006167544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドのｎ個の有効ノズルのうちの、測定対象となるｍ個（ｎ＞２ｍ）の測定対象ノズルにより構成される測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法であって、
重量計測手段により計測可能な重量に達するように、前記ｎ個の有効ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定する第１測定工程と、
前記重量計測手段により計測可能な重量に達するように、前記ｍ個の測定対象ノズル以外の前記有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定する第２測定工程と、
前記第１測定工程で重量測定した第１測定重量と、前記第２測定工程で重量測定した第２測定重量との差に基づいて、前記測定対象ノズル群の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出する算出工程と、
を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法の測定結果に基づいて、ワークに対し、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法であって、
前記ワークに吐出される機能液量が複数の前記測定対象ノズル群間で均一化されるように、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御する駆動制御工程を、備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法。
【請求項３】
前記駆動制御工程において、前記各測定対象ノズルの吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする請求項２に記載の機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法。
【請求項４】
機能液滴吐出ヘッドのｎ個の有効ノズルのうちの、測定対象となるｍ個（ｎ＞２ｍ）の測定対象ノズルにより構成される測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置であって、
前記機能液滴吐出ヘッドから受け容器上に吐出された機能液の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定する重量計測手段と、
重量測定に際し、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、前記重量計測手段により計測可能な重量に達するように、前記ｎ個の有効ノズルおよび前記ｍ個の測定対象ノズル以外の前記有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルから、それぞれ複数ショット数の機能液滴を前記受け容器上に吐出させる制御手段と、
前記重量計測手段による測定結果を、演算処理する演算手段と、を備え、
前記重量計測手段は、前記ｎ個の有効ノズルからの複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定すると共に、前記（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定し、
前記演算手段は、前記ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量の測定結果である第１測定重量と、前記複数の対象外ノズルからの機能液吐出量の測定結果である第２測定重量との差に基づいて、前記測定対象ノズル群の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置。
【請求項５】
前記重量計測手段は、前記機能液滴吐出ヘッドから前記受け容器上に吐出された機能液の重量を計測することに代えて、前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクの吐出前後の重量を計測することで、前記機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定することを特徴とする請求項４に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置。
【請求項６】
ワークに対し、搭載した前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
請求項４または５に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置と、
前記ｎ個の有効ノズルのうちの、前記描画処理に際して吐出駆動する複数の前記有効ノズルをそれぞれ前記測定対象ノズル群として特定するノズル特定手段と、を備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置による測定結果に基づいて、前記ワークに吐出される機能液量が複数の前記測定対象ノズル群間で均一化されるように、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
複数の画素領域を行方向および列方向に配列したワークに対し、搭載した前記機能液滴吐出ヘッドを前記列方向に相対的に移動させながら、前記複数の画素領域内に前記各有効ノズルから機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置であって、
請求項４または５に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置と、
前記ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを前記列方向に相対的に移動させる移動手段と、
前記ｎ個の有効ノズルのうちの、前記描画処理に際して前記各列の画素領域に臨む前記有効ノズルを前記測定対象ノズル群として特定するノズル特定手段と、を備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置による測定結果に基づいて、前記各画素領域内に吐出される機能液量が複数の前記測定対象ノズル群間で均一化されるように、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記各測定対象ノズルの吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする請求項６または７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項６ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項６ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を用いて、液晶表示装置のカラーフィルタ等を製造する場合、複数の画素領域（カラーフィルター領域）内に吐出・着弾させる機能液量を均一にして、色ムラのないカラーフィルタとすることが求められている。そのため、機能液滴吐出ヘッドの各ノズル毎の機能液吐出量を重量測定し、その測定結果に基づいて、各ノズルの吐出駆動を制御することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−２４８９２５号公報（図９）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、このような機能液吐出量の重量測定に用いられる分析用精密電子天秤の最小表示は、通常、０．１ｍｇであるため、有効数字２桁の正確さで秤量するためには、数ｍｇ以上の重量が必要とされている。しかしながら、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出される１ショット当たりの機能液滴の重量は、数ｎｇ（ナノグラム）程度であるから、単一の測定対象ノズルから数ｍｇの機能液を吐出させるには、百万ショット以上の機能液滴を吐出する必要がある。そのため、通常の吐出周波数１０ｋＨｚで計測可能な機能液の重量に達するまでには、数分間を要し、この測定を全ノズル（例えば１８０個）についてそれぞれ行うと、長時間（数時間以上）を要していた。
【０００４】
さらに、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルからの機能液吐出量は、同時に吐出させるノズルの個数が多いほど、駆動電流不足等により、減少する傾向にある。そのため、複数のノズルのうち単一の測定対象ノズルから機能液を吐出させた場合の機能液吐出量の測定結果は、複数のノズルから同時に機能液を吐出させた場合の当該測定対象ノズルからの機能液吐出量より多い吐出量を示すことになる。したがって、その測定結果に基づいて、測定対象ノズルの吐出駆動を制御したとしても、複数のノズルから同時に機能液を吐出させる描画処理において、測定対象ノズルからは、所望の機能液吐出量よりも少ない機能液を吐出させる結果となり、問題となっていた。
【０００５】
本発明は、測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、短時間且つ正確に重量測定することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法は、機能液滴吐出ヘッドのｎ個の有効ノズルのうちの、測定対象となるｍ個（ｎ＞２ｍ）の測定対象ノズルにより構成される測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法であって、重量計測手段により計測可能な重量に達するように、ｎ個の有効ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定する第１測定工程と、重量計測手段により計測可能な重量に達するように、ｍ個の測定対象ノズル以外の有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定する第２測定工程と、第１測定工程で重量測定した第１測定重量と、第２測定工程で重量測定した第２測定重量との差に基づいて、測定対象ノズル群の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出する算出工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置は、機能液滴吐出ヘッドのｎ個の有効ノズルのうちの、測定対象となるｍ個（ｎ＞２ｍ）の測定対象ノズルにより構成される測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置であって、機能液滴吐出ヘッドから受け容器上に吐出された機能液の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定する重量計測手段と、重量測定に際し、機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、重量計測手段により計測可能な重量に達するように、ｎ個の有効ノズルおよびｍ個の測定対象ノズル以外の有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルから、それぞれ複数ショット数の機能液滴を受け容器上に吐出させる制御手段と、重量計測手段による測定結果を、演算処理する演算手段と、を備え、重量計測手段は、ｎ個の有効ノズルからの複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定すると共に、（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定し、演算手段は、ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量の測定結果である第１測定重量と、複数の対象外ノズルからの機能液吐出量の測定結果である第２測定重量との差に基づいて、測定対象ノズル群の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、ｎ個の有効ノズルまたは（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルから機能液を吐出するため、ｍ個の測定対象ノズルから機能液を吐出する場合に比べて、少ないショット数で、重量計測手段により計測可能な重量（計測可能範囲）に達することとなる。このため、重量計測手段により計測可能な量の機能液を、短時間で得ることができる。したがって、測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量の測定を、短時間で行うことができる。
さらに、有効ノズルの個数（ｎ個）は、描画処理時に吐出するノズルの個数と極端に異なることがなく、また、測定対象外ノズルの個数（（ｎ−ｍ）個）も、描画処理時に吐出するノズルの個数と極端に異なることがない。このため、ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量の測定結果は、描画処理時における当該ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量と略同一の吐出量を示し、同様に、（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの機能液吐出量の測定結果は、描画処理時における当該（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの機能液吐出量と略同一の吐出量を示す。したがって、ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量の測定結果と、（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの機能液吐出量とから算出された測定対象ノズル群の機能液吐出量は、描画処理時の当該測定対象ノズル群からの機能液吐出量と略等しくなる。よって、測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、描画処理時と同様の条件で、正確に重量測定することができる。
【０００９】
なお、有効ノズルとは、機能液滴吐出ヘッドの全ノズルであってもよく、一部のノズル（例えば、描画処理時に吐出駆動しないノズル列両端の複数のノズル）を除いた、他の複数のノズルであってもよい。
また、ｎ個の有効ノズルからのショット数と、（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからのショット数とは、重量計測手段により計測可能な重量となる限り、同一の回数であってもよく、互いに異なる回数であってもよい。もっとも、両者同一の回数とすれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出制御が複雑となることがない。
【００１０】
上記の装置において、重量計測手段は、機能液滴吐出ヘッドから受け容器上に吐出された機能液の重量を計測することに代えて、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクの吐出前後の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定することが好ましい。
【００１１】
受け容器上に吐出された機能液の重量を計測する場合には、受け容器上に着弾した機能液滴（１０ピコリットル程度）から溶媒が揮発すると、その揮発溶媒が機能液滴全体に占める重量割合が小さくないため、無視できない測定誤差が生ずるおそれがある。この点、この構成によれば、仮に機能液タンクから溶媒が揮発したとしても、その揮発溶媒が機能液タンク全体に占める重量割合はごく小さいため、その測定誤差は無視できるものとなる。すなわち、機能液の揮発により測定誤差が生ずることを防止できる。本構成は、特に、機能液に揮発性の高い溶媒を使用している場合に有効である。
【００１２】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法は、上記した機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法の測定結果に基づいて、ワークに対し、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法であって、ワークに吐出される機能液量が複数の測定対象ノズル群間で均一化されるように、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御する駆動制御工程を、備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、信頼性の高い上記の吐出量測定方法の測定結果に基づいて、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴の吐出量を、複数の測定対象ノズル群間で短時間且つ正確に均一化させることができる。
【００１４】
この場合、駆動制御工程において、各測定対象ノズルの吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、各測定対象ノズルからの吐出量を簡易に変更することができる。また、ワークに吐出するショット数を増減させる場合に比べ、ワークに吐出される機能液量をきめ細かく変更することができる。さらに、ショット数を減らした場合のように、ドット抜けが生ずるおそれがない。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、搭載した機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出する液滴吐出装置であって、上記した機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置と、ｎ個の有効ノズルのうちの、描画処理に際して吐出駆動する複数の有効ノズルをそれぞれ測定対象ノズル群として特定するノズル特定手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置による測定結果に基づいて、ワークに吐出される機能液量が複数の測定対象ノズル群間で均一化されるように、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、信頼性の高い上記の吐出量測定装置の測定結果に基づいて、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴の吐出量を、描画処理時に吐出駆動する複数の測定対象ノズル群間で、短時間且つ正確に均一化させることができる。したがって、各測定対象ノズル群に対応するワーク側の部位に機能液を均一に着弾させることができ、ワークに対し、精度の高い描画処理を行うことができる。
【００１８】
また、本発明の液滴吐出装置は、複数の画素領域を行方向および列方向に配列したワークに対し、搭載した機能液滴吐出ヘッドを列方向に相対的に移動させながら、複数の画素領域内に各有効ノズルから機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置であって、上記した機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置と、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを列方向に相対的に移動させる移動手段と、ｎ個の有効ノズルのうちの、描画処理に際して各列の画素領域に臨む有効ノズルを測定対象ノズル群として特定するノズル特定手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置による測定結果に基づいて、各画素領域内に吐出される機能液量が複数の測定対象ノズル群間で均一化されるように、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、信頼性の高い上記の吐出量測定装置の測定結果に基づいて、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴の吐出量を、描画処理時に吐出駆動する複数の測定対象ノズル群間で、短時間且つ正確に均一化させることができる。このため、各測定対象ノズル群に対応する各列の画素領域内に均等な量の機能液を着弾させることができ、ワークに対し、精度の高い描画処理を行うことができる。したがって、色ムラのないカラーフィルタ等を製造することができる。
【００２０】
これらの場合、制御手段は、各測定対象ノズルの吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、各測定対象ノズルからの吐出量を任意に変更することができる。このため、ワークに吐出するショット数を増減させる場合に比べ、ワークに吐出される機能液量をきめ細かく変更することができる。また、ショット数を減らした場合のように、ドット抜けが生ずるおそれがない。
【００２２】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２４】
これらの構成によれば、信頼性の高い測定結果に基づいて、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することができ、描画精度の高い液滴吐出装置を用いて描画処理を行うことで、高品質な電気光学装置を効率良く製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２５】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２６】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれた描画システムに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、液晶表示装置のカラーフィルタ等の基板上に機能液滴による成膜部を形成するものである。そこで、まず、吐出対象ワークである基板について簡単に説明する。なお、以下に説明する画素領域のサイズ等の値は概数である。
【００２８】
図１に示すように、基板Ｗは、石英ガラスやポリイミド樹脂等で構成された透明基板である。基板Ｗには、複数の画素領域５０７ａが行方向（基板の長辺方向）および列方向（基板の短辺方向）に配列されている。また、基板Ｗの周縁部の左右２箇所には、導入された液滴吐出装置１（図２参照）により位置認識される一対の基板アライメントマークＷｍ、Ｗｍがそれぞれ形成されており、その長辺（行方向）がＹ軸方向と平行になるようにして、セットされる。
【００２９】
各画素領域５０７ａは、区画壁部５０７ｂで囲まれた平面視長方形の凹部となっており、後述する機能液滴吐出ヘッド１８によりＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）３色の成膜部（着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ）を形成する際に、機能液滴の着弾領域となる（図１１参照）。基板Ｗの行方向における各画素領域５０７ａの寸法Ｄａは、例えば３００μｍ、基板Ｗの列方向における各画素領５０７ａの寸法Ｄｂは、例えば１００μｍである。また、行方向における区画壁部５０７ｂの寸法Ｌａは、例えば５０μｍ、列方向における区画壁部５０７ｂの寸法Ｌｂは、例えば２０μｍである。この場合、行方向の画素領域ピッチＰａは、４００μｍ、列方向の画素領域ピッチＰｂは、１２０μｍである。
【００３０】
そして、着弾させた機能液滴の溶媒が揮発した後、所定の膜厚の着色層５０８が形成されるように、所定量の機能液滴を着弾させる。例えば、固形分（フィルタ材料）濃度１０％の機能液を用いて乾燥処理後の最終膜厚０．９μｍの成膜部を形成するためには、各画素領域５０７ａに対して２７０ピコリットルの機能液滴を着弾させることとなる。
【００３１】
なお、後述するように、区画壁部５０７ｂ（バンク５０３、図１１参照）は疎水（疎液）性の樹脂材料で構成されているため、区画壁部５０７ｂに機能液滴が着弾しても、その機能液滴は隣接する画素領域５０７ａ内へ流れ込むようになっている。一方、基板Ｗの表面は、表面処理により親水（親液）性となっており、着弾した機能液滴は、画素領域５０７ａ内に濡れ拡がるようになっている。
【００３２】
また、本実施形態における多数の画素領域５０７ａの配色パターンは、基板Ｗの行方向においてすべて同色となるストライプ配列であるが、マトリクスの縦列（Ｘ軸方向）においてすべて同色となるストライプ配列であってもよい。さらに、マトリクスの縦列・横列に並んだ任意の３つの画素が、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列であってもよく、複数の画素領域５０７ａが千鳥をなすデルタ配列であってもよい。そして、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴がそれぞれ着弾した３個の画素領域５０７ａにより、いわゆる画素が構成される。
【００３３】
続いて、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のうち、いずれか１色（例えばＲ）の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入し、基板Ｗに対して吐出（描画）するものであり、上記の描画システムには、各色の機能液に対応する液滴吐出装置が１台ずつ、計３台設置されている。もちろん、１台の液滴吐出装置により、３色の機能液を吐出する構成であってもよい。
【００３４】
図２に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド１８を搭載した描画装置３と、機能液滴吐出ヘッド１８に機能液を供給する機能液供給機構６と、機台２上の端部に設置されたメンテナンス装置４と、メンテナンス装置４の各種ユニットを一括載置して機台２上を移動させるメンテナンス系移動テーブル５と、を備え、メンテナンス装置４により機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理を行うと共に、描画装置３により基板Ｗ上に機能液滴を吐出・着弾させる描画処理を行うようにしている。また、液滴吐出装置１には、上記の描画システム全体を制御する上位コンピュータ１００に接続されると共に、液滴吐出装置１の各部を制御するコントローラ７（制御部１２０、図４参照）等が組み込まれている。さらに、図示しないが、液滴吐出装置１には、ロボットアームで構成された基板搬出入装置が添設されており、この基板搬出入装置を介して、液滴吐出装置１に基板Ｗが導入される。
【００３５】
まず、液滴吐出装置１の描画装置３およびこれによる描画処理について説明する。描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられ、ヘッドθ軸テーブル１５およびヘッドＺ軸テーブル（図示省略）を有するメインキャリッジ１４（キャリッジ）と、メインキャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１６とを有している。そして、ヘッドユニット１６には、サブキャリッジ１７を介して、機能液滴吐出ヘッド１８が搭載されている。ヘッドθ軸テーブル１５は、ヘッドユニット１６を水平面内で回転させ、ヘッドＺ軸テーブルは、ヘッドユニット１６をＺ軸方向（上下方向）に昇降させる。なお、図示のサブキャリッジ１７には、１つの機能液滴吐出ヘッド１８が搭載されているが、これが複数であってもよい。
【００３６】
一方、基板Ｗは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対の基板認識カメラ１９，１９により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。
【００３７】
Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２４を有し、これに吸着テーブル２２および基板θ軸テーブル２３等から成るセットテーブル２１を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３１を有し、これに上記のメインキャリッジ１４を介してヘッドユニット１６を移動自在に搭載して、構成されている。
【００３８】
なお、基板Ｗを搭載したＸ軸テーブル１２の機能液滴吐出ヘッド１８に対する移動速度は、２００ｍｍ／秒である。また、Ｘ軸テーブル１２には、Ｘ軸方向に沿ってＸ軸リニアスケール（図示省略）が設けられており、これに基づいて、Ｘ軸テーブル１２を移動するセットテーブル２１の刻々の位置を正確に把握し、制御部１２０の駆動信号発生回路１２６（図４参照）に供給する吐出タイミング用基準パルス（トリガーパルス）を得ている。
【００３９】
Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３６，３６に支持されている。Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とを跨ぐように延在している。
【００４０】
そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１６を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア４１と、メンテナンス系移動テーブル５の直上部に位置するメンテナンスエリア４２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入した基板Ｗに描画を行う場合には、ヘッドユニット１６を描画エリア４１に臨ませ、後述する機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理を行う場合には、ヘッドユニット１６をメンテナンスエリア４２に臨ませる。
【００４１】
一方、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部は、上記の基板搬出入装置により基板ＷをＸ軸テーブル１２にセットするための基板搬出入エリア４３となっており、この基板搬出入エリア４３には、上記一対の基板認識カメラ１９，１９が配設されている。そして、この一対の基板認識カメラ１９，１９により、吸着テーブル２２上に供給された基板Ｗの２箇所の基板アライメントマークＷｍ，Ｗｍが同時に認識され、この認識結果に基づいて、基板Ｗのアライメントがなされる。
【００４２】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１８は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針５２，５２を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５３と、機能液導入部５１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体５４と、を備えている。各接続針５２は、後述する機能液供給チューブ８３を介して機能液を貯留する機能液タンク８１に接続されており（図２参照）、機能液導入部５１は、各接続針５２から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体５４は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部６１（吐出駆動素子）と、２本のノズル列６４，６４を相互に平行に形成したノズル面６３を有するノズルプレート６２と、を有している。そして、機能液滴吐出ヘッド１８は、ノズル列方向画がＹ軸方向と平行になるようにして、メインキャリッジ１４に搭載されている。
【００４３】
各ノズル列６４は、複数（１８０個）のノズル６５が等ピッチ（例えば、１４０μｍ）で並べられて構成されている。そして、２本のノズル列６４，６４は、ノズル列方向（Ｙ軸方向）に互いにノズルピッチの１／２倍の長さづつ位置ずれして形成されており、計３６０個のノズル７５は、Ｙ軸方向に７０μｍのピッチで描画ラインを構成するようになっている。もっとも、ヘッド内流路の構造上、両端部に位置するノズル６５からの吐出量は、中央部に位置するノズル６５からの吐出量に比べてかなり多くなっているため、両端部のそれぞれ１０個のノズル６５を不吐出ノズルとし、中央部の１６０個のノズル６５を吐出ノズルとしている。そのため、ノズル列６４のうち中央部の１６０個の吐出ノズルにより構成される描画ラインの長さは、２２．６ｍｍとなる。なお、詳細は後述するが、中央部の１６０個のノズル６５間でも、各ノズル６５の吐出量が微妙に異なっている。
【００４４】
一方、ヘッド基板５３には、２連のコネクタ５６，５６が設けられており、各コネクタ５６はフレキシブルフラットケーブルを介してヘッドドライバ１１１（図４参照）に接続されている。そして、ヘッドドライバ１１１で生成された駆動波形（後述する）が各コネクタ５６を介して各ポンプ部６１に供給され、各ノズル６５から機能液滴が吐出される。
【００４５】
図２に示すように、機能液供給装置６は、液滴吐出装置１の描画エリア４１の近傍に位置しており、機能液を貯留する機能液タンク８１と、機台２上に設けられ、機能液タンク８１を載置する昇降機構付きのタンク架台８２と、機能液タンク８１と機能液滴吐出ヘッド１８とを接続する機能液供給チューブ８３とを備えており、機能液滴吐出ヘッド１８のポンプ作用（機能液の吐出）で機能液タンク８１内の機能液を、機能液供給チューブ８３を介して機能液滴吐出ヘッド１８に供給する。
【００４６】
機能液タンク８１は、タンク架台８２により昇降自在に載置され、機能液滴吐出ヘッド１８よりも低い位置に、すなわち所定の水頭差を生じさせる高さ位置に調整した状態で設置されており、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル６５からの液だれを防ぐと共に、所定量の液滴吐出が為されるようになっている。図示しないが、機能液タンク８１は、樹脂ケースに収容されたアルミ蒸着フィルム製の機能液パックから構成されており、１日稼動分の機能液（０．２リットル程度）が貯留されている。なお、機能液タンク８１は、機能液滴吐出ヘッド１８との間に、圧力調整弁を介在させることにより、メインキャリッジ１４に搭載することも可能である。
【００４７】
ここで、図２を参照して、描画装置３による基板Ｗへの一連の吐出動作（描画処理）について簡単に説明する。まず、機能液滴を吐出する前の準備として、吸着テーブル２２にセットされた基板Ｗの位置補正が、基板θ軸テーブル２３によるθ軸方向の位置補正と、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データ補正とにより行われると共に、メインキャリッジ１４にセットされたヘッドユニット１６の位置補正が、ヘッドθ軸テーブル１５によるθ軸方向の位置補正と、機能液滴吐出ヘッド１８のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データ補正とにより行われる。
【００４８】
そして、描画装置３は、制御部１２０による制御を受けながら、基板ＷをＸ軸テーブル１２によりＸ軸方向に往動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１８を選択的に駆動させて、基板Ｗに対する機能液の吐出走査（主走査）が行われる。そして、Ｙ軸テーブル１３によりヘッドユニット１６を描画ラインの長さ分Ｙ軸方向に移動（副走査）させた後、基板ＷをＸ軸方向に復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１８を選択的に駆動させて、再度吐出走査が行われる。そして、このような基板の往復動に伴う吐出走査（主走査）および副走査を複数回繰り返すことで、基板Ｗの端から端まで描画が行われる。なお、ヘッドユニット１６をＸ軸方向に移動させる構成であってもよく、また、ヘッドユニット１６を固定とし、基板ＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であってもよい。
【００４９】
続いて、図２を参照して、液滴吐出装置１におけるメンテナンス装置４およびこれによる機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理（機能検査・機能回復処理）について簡単に説明する。機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理は、メンテナンス系移動テーブル５によりこれに載置したメンテナンス装置４の各種ユニットをメンテナンスエリア４２に移動させると共に、上述したようにＹ軸テーブル１３によりヘッドユニット１６をメンテナンスエリア４２に移動させて行われる。
【００５０】
メンテナンス系移動テーブル５は、機台２本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、モータ駆動のＸ軸移動機構（図示省略）を備え、共通ベース７１上に分散して載置されたメンテナンス装置４の各種ユニットをＸ軸方向に移動してメンテナンスエリア４２に位置させる。
【００５１】
メンテナンス装置４は、上記のメンテナンス系移動テーブル５上に互いに隣接して載置され、機能液滴吐出ヘッド１８の機能液吐出量を重量測定する重量測定ユニット７６と、機能液滴吐出ヘッド１８内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う吸引ユニット７７と、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル面６３を払拭するワイピングユニット７８とを備えている。
【００５２】
重量測定ユニット７６は、機能液吐出量を重量測定して吐出機能を検査するためのものであって（詳細は後述する）、受け皿９５上に吐出された機能液の重量を測定する電子天秤９１と、電子天秤９１を収容する天秤収容ボックス９２と、天秤収容ボックス９２を支持すると共に、電子天秤９１の高さおよび平行度を調節可能な調節脚を有する天秤スタンド９３とを備えている。
【００５３】
電子天秤９１は、最小表示が０．１ｍｇの分析用精密天秤であって、機能液滴吐出ヘッド１８の各ノズル６５から吐出された機能液滴を受ける受け皿９５と、受け皿９５を支持すると共に、受け皿９５上に吐出された機能液の重量を計測する計測部９６（図７および図８参照）とを有している。受け皿９５は、機能液滴吐出ヘッド１８に対応する形状であって、計測部９６に対し着脱可能に載置されたステンレス製のもので構成され、また、その内部には、所定の間隙（２ｍｍ）を存して（所定の重量測定高さで）機能液滴吐出ヘッド３０が対峙するように、耐食性の連続多孔質体で構成された機能液吸収材９７（図７および図８参照）が敷設されており、吐出された機能液を確実に補足できるようになっている。なお、詳細は後述するが、本実施形態では、有効数字２桁の正確さでの秤量をすべく、５．０ｍｇを計測可能な機能液の重量としている。
【００５４】
天秤収容ボックス９２は、電子天秤９１の測定結果に対する気流の影響を防止するためのものであって、上面が開放され、内部に電子天秤９１を収容する没入部９４と、没入部９４の上面を閉蓋するように設けた透明な覆装プレート９８と、覆装プレート９８を開閉移動させる覆装シリンダ（図示省略）とを有している。そして、機能液滴吐出ヘッド１８から吐出された機能液滴を受け皿９５に受けるときのみ、覆装プレート９８が移動して、受け皿９５の上面が露出するようになっている。
【００５５】
重量測定ユニット７６の一連の動作について簡単に説明する。まず、受け皿９５に機能液滴吐出ヘッド１８が臨むよう、ヘッドユニット１６を移動させる。このとき、電子天秤９１のゼロ点調整（ゼロ表示）を行う。そして、覆装シリンダを駆動して覆装プレート９８を開蓋すると共に、ヘッドＺ軸テーブルによりヘッドユニット１６を所定の重量測定高さまで下降させ、機能液滴吐出ヘッド１８から機能液を受け皿９５上に複数ショット吐出させる。機能液の吐出が終了すると、ヘッドユニット１６を上昇させると共に、覆装プレート９８を閉蓋し、受け皿９５上に吐出された機能液の重量を計測する。
【００５６】
なお、本実施形態では、電子天秤９１の計測部が受け皿９５の載置台を兼ねており、受け皿９５に機能液が吐出された後、即座に計測部により重量計測可能に構成されているが、受け皿９５の載置台を電子天秤９１（計測部９６）とは別に設け、受け皿載置台上の受け皿に機能液を吐出させた後、受け皿９５を計測部９６上に移載し、その重量を計測するようにしてもよい。
【００５７】
吸引ユニット７７は、メンテナンスエリア４２に移動した機能液滴吐出ヘッド１８に対して下方から臨み、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル面６３にそれぞれ封止させるキャップ７７ａを備えている。これにより、非稼動時等に、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル６５の機能液が乾燥して吐出機能が低下することを防止できる。さらに、キャップ７７ａをノズル面６３に封止させた状態でノズル６５から機能液を吸引し、機能液滴吐出ヘッド１８内で増粘した機能液を排出する。
【００５８】
ワイピングユニット７８は、機能液滴吐出ヘッド１８の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面６３を、ワイピングシート７８ａを押し当てて拭き取るものである。そして、上記の吸引処理と、このワイピングとにより、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド１８の吐出機能を回復させることができる。
【００５９】
次に、図４を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、描画システム全体を制御する上位コンピュータ１００（パーソナルコンピュータ）と、機能液滴吐出ヘッド１８、ＸＹ移動機構１１、メンテナンス装置４等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１１０と、駆動部１１０を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部１２０（コントローラ７）とを備えている。
【００６０】
上位コンピュータ１００は、コントローラ７に接続されたコンピュータ本体１０１に、キーボード１０２や、キーボード１０２による入力結果等を画像表示するディスプレイ１０３等が接続されて構成されている。
【００６１】
駆動部１１０は、機能液滴吐出ヘッド１８を吐出駆動制御するヘッドドライバ１１１と、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の各モータをそれぞれ駆動制御する描画系移動用ドライバ１１２と、メンテナンス系移動テーブル５を駆動制御するメンテナンス系移動用ドライバ１１３と、メンテナンス装置４の吸引ユニット８２およびワイピングユニット８３を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１１４とを備えている。
【００６２】
制御部１２０は、ＣＰＵ１２１と、ＲＯＭ１２２と、ＲＡＭ１２３と、Ｐ−ＣＯＮ１２４とを備え、これらは互いにバス１２５を介して接続されていると共に、ヘッドドライバ１１１に供給する吐出駆動信号を発生する駆動信号発生回路１２６を備えている。ＲＯＭ１２２は、ＣＰＵ１２１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画処理やメンテナンス処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００６３】
ＲＡＭ１２３は、各種レジスタ群のほか、基板Ｗに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基板Ｗおよび機能液滴吐出ヘッド１８の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。このＲＡＭには、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル６５の個数およびノズルピッチＰｎ（図６参照）に関するノズル情報や、基板Ｗの画素領域５０７ａの個数、画素領域サイズ（Ｄａ×Ｄｂ）および画素領域ピッチ（Ｐａ，Ｐｂ）に関する画素領域情報が記憶されている。
【００６４】
Ｐ−ＣＯＮ１２４には、駆動部１１０の各種ドライバのほか、上記の重量測定ユニット７６、基板認識カメラ１９、ヘッド認識カメラ２５および機能液供給機構６等が接続されており、ＣＰＵ１２１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。
【００６５】
駆動信号発生回路１２６は、上記の吐出タイミング用基準パルスが供給されると、吐出駆動信号を発生させてヘッドドライバ１１１に出力し、ヘッドドライバ１１１は、吐出駆動信号が入力されると、１ないし複数の駆動波形を機能液滴吐出ヘッド１８に印加する。
【００６６】
図５に示すように、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド１８の各ノズル６５に連なるポンプ部６１に対して、電圧値の小さい小駆動波形（同図（ａ）参照）と、中間電圧の中駆動波形（同図（ｂ）参照）と、電圧値の大きい大駆動波形（同図（ｃ）参照）との３種類の駆動波形を印加可能に構成されている。そして、各ポンプ部６１に対する駆動波形の大きさ（印加電圧値の大きさ）に応じて、圧力発生室に生ずる圧力変動幅が変化するため、各ポンプ部６１に印加電圧値の異なる複数種の駆動波形を印加することで、各ノズル６５から液滴吐出量の異なる複数種の機能液滴を吐出させることができる。すなわち、各ノズル７５は、小駆動波形が印加されると、液滴吐出量が５ピコリットルの小液滴ＤＲｓを吐出し（同図（ｄ）参照）、中駆動波形が印加されると、液滴吐出量が１０ピコリットルの中液滴ＤＲｍを吐出し（同図（ｅ）参照）、大駆動波形が印加されると、液滴吐出量が１５ピコリットルの大液滴ＤＲｂを吐出しする（同図（ｆ）参照）。なお、上述したように、各駆動波形に対する液滴吐出量は、ノズル間で微妙に異なっている。
【００６７】
このように、駆動波形のタイミング（間隔）、大きさ（電圧値）、個数を制御することで、機能液滴吐出ヘッド１８の各ノズル６５からの機能液滴の吐出周波数（吐出間隔）、吐出量、ショット数がそれぞれ制御される。また、吐出周波数は、通常１０ｋＨｚ程度であるが、この大小によっても、各ノズル６５からの機能液吐出量が増減する。
【００６８】
なお、同時に吐出させるノズル６５の個数が多いほど、駆動電流不足等により、図５に示すような整った駆動波形（台形波）とならず、機能液滴吐出ヘッド１８の各ノズル６５からの機能液吐出量は、減少する傾向にある。例えば、単一のノズル６５に対して中駆動波形を印加したときに、そのノズル６５からの液滴吐出量が１０ピコリットルであったとしても、全（１８０個）ノズル６５に対して中駆動波形を印加したときには、そのノズル６５からの液滴吐出量が９．５ピコリットルであったりする。
【００６９】
そして、ＣＰＵ１２１は、ＲＯＭ１２２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１２３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して駆動部１１０等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。
【００７０】
例えば、ＣＰＵ１２１は、基板Ｗに対し描画処理を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド１８の吐出駆動を制御すると共に、ＸＹ移動機構１１により基板Ｗおよびヘッドユニット１６の走査範囲の移動動作等を制御する。また、機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理を行う場合には、メンテナンス系移動テーブル５の移動動作を制御すると共に、メンテナンス装置４の各種ユニットを制御する。
【００７１】
ここで、図６ないし図９を参照して、本発明の中心となる機能液滴吐出ヘッド１８の吐出量測定処理および駆動制御処理について詳細に説明する。なお、以下では、説明を簡略化するため、図６に示したように、基板Ｗには、上記の画素領域５０７ａ（Ｄａ×Ｄｂ）が、行方向にＰａ（４００μｍ）、列方向にＰｂ（１２０μｍ）の画素ピッチで、７行５列に配列されており、また、機能液滴吐出ヘッド１８には、１９個のノズル６５が一列に等ピッチ（Ｐｎ：１００μｍ）で列設されているものとする。また、機能液の比重は、１．０とする。
【００７２】
機能液滴吐出ヘッド１８の吐出量測定処理として、はじめに、描画処理における機能液滴吐出ヘッド１８の全吐出パターンを生成する（図９のＳ１１）。ここでは、まず、制御部１２０（ＲＡＭ１２３）に記憶されているノズル情報や画素領域情報に基づいて、描画処理において吐出駆動させる有効ノズル６５ａを特定する。
【００７３】
具体的には、図６に示すように、各列の画素領域５０７ａに臨む１５個のノズル６５を有効ノズル６５ａとして特定すると共に、画素領域５０７ａ間の区画壁部５０７ｂに臨んでいる図示左側から４番目、８番目、１２番目および１６番目の各ノズル６５（以下、図示左からｎ番目のノズルをｎ番ノズルという。）を、描画処理において吐出駆動しない不吐出ノズル６５ｂとして特定する。
【００７４】
続いて、描画処理時に各有効ノズル６５ａ（のポンプ部６１）に印加する駆動波形を決定する。上述したように、各画素領域５０７ａに対する機能液吐出量は、２７０ピコリットルであるから、各画素領域５０７ａに臨む３個のノズル６５からは、例えば、それぞれ９ショットの中液滴ＤＲｍ（約１０ピコリットル）を吐出させるようにする。一方、各画素領域の列方向（Ｘ軸方向）の寸法Ｄｂは、１００μｍであるから、Ｘ軸方向に移動する基板Ｗに対し、例えば、９ショットの中液滴ＤＲｍをそれぞれ１０μｍの間隔で、着弾させるようにする。また、上記のように、基板Ｗの移動速度は２００ｍｍ／秒であるから、基板Ｗは５０マイクロ秒で１０μｍの着弾間隔分移動し、６００マイクロ秒で列方向の画素領域ピッチＰｂ（１２０μｍ）分移動する。そのため、各有効ノズル６５ａから、対応する各列７個の画素領域５０７ａのそれぞれに９ショットの機能液滴が着弾するように、６００マイクロ秒毎（１．７ｋＨｚ）に、９ショットの機能液滴を５０マイクロ秒間隔（２０ｋＨｚ）で吐出させるようにする。したがって、各有効ノズル６５ａに対し、２０ｋＨｚの９個の中駆動波形が６００マイクロ秒毎（１．７ｋＨｚ）に印加されるように、描画処理における駆動波形を決定する。このように、有効ノズル６５ａを特定すると共に、描画処理時に各有効ノズル６５ａに印加する駆動波形を決定して、機能液滴吐出ヘッド１８の全吐出パターンを生成する（Ｓ１１）。
【００７５】
次に、各列の画素領域５０７ａに臨む有効ノズル６５ａを、それぞれ測定対象ノズル群６６として特定する（Ｓ１２）。具体的には、図示左側から、１番〜３番ノズル６５を第１測定対象ノズル群６６と、５番〜７番ノズル６５を第２測定対象ノズル群６６と、９番〜１１番ノズル６５を第３測定対象ノズル群６６と、１３番〜１５番ノズル６５を第４測定対象ノズル群６６と、１７番〜１９番ノズル６５を第５測定対象ノズル群６６とを特定する。すなわち、各測定対象ノズル群６６は、３個（有効ノズル６５ａの個数（１５個）の半数未満）の測定対象ノズル６５ｃにより構成されている。
【００７６】
測定対象ノズル群６６が特定されると、重量測定処理を開始する（Ｓ１３〜Ｓ１４）。まず、１５個の有効ノズル６５ａから、電子天秤９１により計測可能な重量である７．５ｍｇ（５．０ｍｇ以上）となるように、各有効ノズル６５ａから０．５ｍｇすなわち０．５マイクロリットルの機能液を吐出させる（図７（ａ）参照）。すなわち、各有効ノズル６５ａから、中液滴ＤＲｍを５０，０００ショット吐出させる。ここで、各有効ノズル６５ａに対し、ヘッドドライバ１１１から、全吐出パターン生成工程（Ｓ１１）で決定した描画処理時における駆動波形と、同一吐出周波数（２０ｋＨｚの９個の中駆動波形を６００マイクロ秒毎（１．７ｋＨｚ）に印加）で同一印加電圧の駆動波形（中駆動波形）を印加する。そのため、この５０，０００ショットの吐出に要する時間、すなわち、電子天秤９１により計測可能な重量に達するまでの時間は、３．３秒である。
【００７７】
そして、上記の重量測定ユニット７６により、１５個の有効ノズル６５ａから受け皿９５上に吐出された５０，０００ショットに亘る機能液の重量を測定し、その重量測定結果（７．５ｍｇ）を制御部１２０に出力する。
【００７８】
次に、各測定対象ノズル群６６について、順に単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定していく。まず、第１測定対象ノズル群６６について測定する。具体的には、第１測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第２〜第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から、上記と同様に、電子天秤９１により計測可能な重量である６．０ｍｇ（５．０ｍｇ以上）となるように、上記１２個の測定対象外ノズルに対し、描画処理時における駆動波形と同一吐出周波数・同一印加電圧（対駆動波形）の駆動波形を印加して、中液滴ＤＲｍを５０，０００ショット吐出させる（図７（ｂ）参照）。この場合も、５０，０００ショットの吐出に要する時間は３．３秒である。
【００７９】
そして、重量測定ユニット７６により５０，０００ショットに亘る機能液の重量を測定し、その重量測定結果（６．０ｍｇ）を制御部１２０に出力する。この場合、１５個の有効ノズル６５ａからの機能液吐出量の測定結果である７．５ｍｇと、１２個の測定対象外ノズル（第２〜第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）からの機能液吐出量の測定結果である６．０ｍｇとから、第１測定対象ノズル群６６からの５０，０００ショット当たりの機能液吐出量は、１．５ｍｇ（１．５マイクロリットル）であり、１ショット当たりの機能液吐出量は、３０ピコリットルであると算出される。
【００８０】
以下同様にして、図７（ｃ）に示すように、第２測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第１、第３〜第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から吐出させた５０，０００ショットの機能液吐出量を重量測定して（６．３ｍｇ）、第２測定対象ノズル群６６からの１ショット当たりの機能液吐出量を算出し（２４ピコリットル）、図８（ａ）に示すように、第３測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第１・第２・第４・第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から吐出させた５０，０００ショットの機能液吐出量を重量測定して（６．０ｍｇ）、第３測定対象ノズル群６６からの１ショット当たりの機能液吐出量を算出し（３０ピコリットル）、図８（ｂ）に示すように、第４測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第１〜第３、第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から吐出させた５０，０００ショットの機能液吐出量を重量測定して（６．０ｍｇ）、第４測定対象ノズル群６６からの１ショット当たりの機能液吐出量を算出し（３０ピコリットル）、図８（ｃ）に示すように、第５測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第１〜第４測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から吐出させた５０，０００ショットの機能液吐出量を重量測定して（５．７ｍｇ）、第５測定対象ノズル群６６からの１ショット当たりの機能液吐出量を算出する（３６ピコリットル）。
【００８１】
したがって、本実施形態では、５個の測定対象ノズル群６６のそれぞれの単位ショット数当たりの機能液吐出量を測定するために、５０，０００ショットの液滴吐出を６回行うことになり、それに要する時間は、３．３秒／回×６回＝２０秒である。
一方、各測定対象ノズル群６６（３個の測定対象ノズル６５ｃ）から、電子天秤９１により計測可能な重量である５．０ｍｇ以上に達するように、２００，０００ショット以上の機能液滴を吐出させることで、５個の測定対象ノズル群６６のそれぞれの単位ショット数当たりの機能液吐出量を測定した場合には、２００，０００ショットの液滴吐出を５回行うことになり、各２００，０００ショットの液滴吐出に要する時間は１３秒であるから、合計所要時間は、１３秒／回×５回＝６５秒となる。
【００８２】
このように、本実施形態では、１５個の有効ノズル６５ａまたは１２個の測定対象外ノズルから機能液を吐出するため、３個の測定対象ノズル６５ｃから機能液を吐出する場合に比べて、少ないショット数で５，０ｍｇ以上の機能液を吐出させることができる。このため、電子天秤９１による計測可能な機能液の重量を、短時間で得ることができる。したがって、各測定対象ノズル群６６から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量の重量測定を、短時間で行うことができる。
【００８３】
さらに、この場合、有効ノズル６５ａの個数（１５個）は、描画処理時に吐出するノズル６５の個数と同一であり、また、複数の測定対象外ノズルの個数（１２個）も、描画処理時に吐出するノズル６５の個数と極端に異なることがない。このため、１５個の有効ノズル６５ａからの機能液吐出量の測定結果は、描画処理時における当該１５個の有効ノズル６５ａからの機能液吐出量と略同一の吐出量を示し、同様に、１２個の対象外ノズルからの機能液吐出量の測定結果は、描画処理時における当該１２個の対象外ノズルからの機能液吐出量と略同一の吐出量を示す。したがって、１５個の有効ノズル６５ａからの機能液吐出量の測定結果と、複数の測定対象外ノズルからの機能液吐出量とから算出された測定対象ノズル群６６の機能液吐出量は、描画処理時の当該測定対象ノズル群６６からの機能液吐出量と略等しくなる。よって、各測定対象ノズル群６６から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、描画処理時と同様の条件で、正確に重量測定することができる。
【００８４】
さらに、このようにして、全測定対象ノズル群６６について、機能液吐出量の測定が終了すると、この測定結果に基づいて、各画素領域５０７ａ内に吐出される機能液量が５個の測定対象ノズル群６６間で均一化されるように、印加電圧を設定する（Ｓ１５）。
【００８５】
すなわち、上記の測定結果から、１列目の各画素領域５０７ａに対しては、２７０ピコリットルの機能液が吐出され、２列目の各画素領域５０７ａに対しては、２１６ピコリットルの機能液が吐出され、３列目の各画素領域５０７ａに対しては、２７０ピコリットルの機能液が吐出され、４列目の各画素領域５０７ａに対しては、２７０ピコリットルの機能液が吐出され、５列目の各画素領域５０７ａに対しては、３２４ピコリットルの機能液が吐出されることになるため、先の工程（Ｓ１１）で生成した全吐出パターンにより、描画処理を行うと、各画素領域５０７ａに対して均等量の機能液を吐出させることができない。
【００８６】
そこで、第２測定対象ノズル群６６に対して、３個の測定対象ノズル６５ｃから吐出される２７ショットの中液滴ＤＲｍの一部を、大液滴ＤＲｂとすることで、各測定対象ノズル群６６からの機能液吐出量が均一化されるようにする。具体的には、第２測定対象ノズル群６６からは、第１・第３・第４測定対象ノズル群６６に比べて、８０％の吐出量であるから、第１・第３・第４測定対象ノズル群６６であれば約３４０ピコリットルの吐出量となるように、例えば、中液滴ＤＲｍを１２ショット（１２０ピコリットル）、大液滴ＤＲｂを１５ショット（２２５ピコリットル）とする。したがって、第２測定対象ノズル群６６の各測定対象ノズル６５ｃに対し、各画素領域５０７ａについて、４個の中駆動波形と５個の大駆動波形とを印加するように制御する。
【００８７】
また、第５測定対象ノズル群６６に対しては、３個の測定対象ノズル６５ｃから吐出される２７ショットの中液滴ＤＲｍの一部を、小液滴ＤＲｓとする。具体的には、第２測定対象ノズル群６６からは、第１・第３・第４測定対象ノズル群６６に比べて、１２０％の吐出量であるから、第１・第３・第４測定対象ノズル群６６であれば約２２５ピコリットルの吐出量となるように、例えば、中液滴ＤＲｍを１８ショット（１８０ピコリットル）、小液滴ＤＲｓを９ショット（４５ピコリットル）とする。したがって、第２測定対象ノズル群６６の各測定対象ノズル６５ｃに対し、各画素領域５０７ａについて、６個の中駆動波形と３個の大駆動波形とを印加するように制御する。なお、ショット数を増減してもよいが、ショット数を減らす場合には、ドット抜けが生ずるおそれがあるため、本実施形態のように、駆動波形の種類（印加電圧）を変更することで、各測定対象ノズル６５ｃの吐出駆動を制御することが好ましい。なお、駆動波形の種類をさらに増やすことも可能であり、より細かい吐出量の調整が可能となる。
【００８８】
これによれば、上述した信頼性の高い吐出量測定方法の測定結果に基づいて、各測定対象ノズル６５ｃの吐出駆動を制御することで、基板Ｗに吐出される機能液滴の吐出量を、描画処理時に吐出駆動する５個の測定対象ノズル群６６間で、短時間且つ正確に均一化させることができる。このため、各測定対象ノズル群６６に対応する各列の画素領域５０７ａ内に均等な量の機能液を着弾させることができ、基板Ｗに対し、精度の高い描画処理を行うことができる。
【００８９】
なお、各測定対象ノズル６５ｃに対する印家電圧の設定が終了し、確認測定を実行する場合には、上記と同様にして、１５個の有効ノズルからの機能液吐出量を測定すると共に（Ｓ１６）、各測定対象ノズル群６６について、測定対象外ノズルからの機能液吐出量を順に測定して（Ｓ１７）、各測定対象ノズル群６６の単位ショット当たりの機能液吐出量を測定し、全測定対象ノズル群６６の測定が終了すると、測定結果をログファイルに書き込み（Ｓ１８）、一連の吐出量測定処理および駆動波形制御処理が終了する。
【００９０】
以上のように、本実施形態の機能液滴吐出ヘッド１８の吐出量測定方法によれば、測定対象ノズル群６６から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、短時間且つ正確に重量測定することができる。また、本実施形態の機能液滴吐出ヘッド１８の駆動制御方法によれば、基板Ｗに吐出される機能液滴の吐出量を、描画処理時に吐出駆動する複数の測定対象ノズル群６６間で、短時間且つ正確に均一化させることができる。
【００９１】
なお、本実施形態では、ノズルピッチＰｎ（１００μｍ）に対し行方向の画素領域ピッチＰａ（４００μｍ）が整数倍となっているが、ノズルピッチＰｎに対し画素領域ピッチＰａが整数倍とならず、測定対象ノズル群６６に属する測定対象ノズル６５ｃの個数が相違する場合でも、本発明が適用できることは、いうまでもない。
【００９２】
また、全測定対象ノズル群６６について、それぞれ単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定したが、特定の測定対象ノズル群６６のみ吐出量の過多或いは過少が認められる場合には、その測定対象ノズル群６６についてのみ、機能液吐出量を測定し、機能液滴吐出ヘッド１８の駆動制御を行うようにすればよい。
【００９３】
また、単一の機能液滴吐出ヘッド１８が搭載された場合について説明したが、複数の機能液滴吐出ヘッド１８が搭載された場合には、各機能液滴吐出ヘッド１８について、順次、この吐出量測定処理・駆動制御処理をそれぞれ行うようにする。もっとも、同一製造ロットのものであれば、任意の１の機能液滴吐出ヘッド１８についてのみ、吐出量測定処理を行い、その測定結果に基づいて、他の機能液滴吐出ヘッド１８を吐出駆動制御するようにしてもよい。同一製造ロットの機能液滴吐出ヘッド１８に交換された場合も同様である。
【００９４】
また、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド１８から受け皿９５上に吐出された機能液の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッド１８からの機能液吐出量を重量測定したが、これに代えて、上記の機能液供給装置６のタンク架台８２上に電子天秤を設置すると共に、この電子天秤上に機能液タンク８１を載置して、機能液タンク８１の吐出前後の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッド１８からの機能液吐出量を重量測定するようにしてもよい。
【００９５】
本実施形態のように、受け皿９５上に吐出された機能液の重量を計測する場合には、受け皿９５上に着弾した機能液滴（１０ピコリットル程度）から溶媒が揮発すると、その揮発溶媒が機能液滴全体に占める重量割合が小さくないため、無視できない測定誤差が生ずるおそれがある。この点、この機能液タンク８１の吐出前後の重量を計測する構成によれば、機能液タンク８１からの溶媒の揮発は生じないため、吐出前後において、機能液の吐出以外に、機能液タンク８１の重量が変化する要因がなく、仮に、機能液タンク８１から溶媒が揮発したとしても、その揮発溶媒が機能液タンク８１全体に占める重量割合はごく小さいため、その測定誤差は無視できるものとなる。すなわち、機能液の揮発により測定誤差が生ずることを防止できる。本構成は、特に、機能液に揮発性の高い溶媒を使用している場合に有効である。また、計測ミスを防止すべく、上記両測定方法を併用することも可能である。
【００９６】
さらに、本実施形態の機能液滴吐出ヘッド１８の吐出量測定方法および駆動制御方法は、液滴吐出装置１を金属配線形成に用いる場合にも有効である。この場合、使用されるノズル６５をノズル単位で測定対象ノズル群６６とし、ノズル６５毎の単位ショット数当たりの機能液吐出量を測定することが好ましい。これによれば、信頼性の高い上記の吐出量測定方法の測定結果に基づいて、各測定対象ノズル６５ｃの吐出駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴（液状金属材料）の吐出量を、ノズル単位で、短時間且つ正確に均一化させることができる。したがって、各ノズル６５に対応するワーク側の部位に機能液を均一に着弾させることができ、ワークに対し、精度の高い描画処理（金属配線形成）を行うことができる。
【００９７】
なお、金属配線形成方法では、機能液滴吐出ヘッド１８に液状金属材料を導入し、機能液滴吐出ヘッド１８を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、後述する液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、後述する有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用することができる。また、この種のフラットディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることはいうまでもない。
【００９８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００９９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１００】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１８により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１０１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【０１０２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１８によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１８を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１０４】
図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１０５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１０６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１０７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１０９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１８で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１８で行うことも可能である。
【０１１０】
図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１１１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１１２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１１３】
図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１１４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１１５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１１６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１１７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１１８】
次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１１９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１２０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１２１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１２２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１２３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１２４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１２５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１２６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１２７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１２８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１２９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１３０】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１３１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１３２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１８を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１３３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１３４】
図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１８から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２０に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１３５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１３６】
そして次に、図２１に示すように、各色のうちのいずれか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１３７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１３８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１８を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１３９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１４０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１４１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１４２】
次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１４３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１４４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１４５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１８により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１４７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１４８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１８から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１４９】
次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１５０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１５１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１５２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１５３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１５４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１５５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１５６】
【図１】基板を模式的に表した平面図である。
【図２】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】液滴吐出装置の制御系について説明するブロック図である。
【図５】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドに印加される小駆動波形、（ｂ）は中駆動波形、（ｃ）は大駆動波形であり、（ｄ）は小駆動波形による吐出された小液滴、（ｄ）は中駆動波形による吐出された中液滴、（ｄ）は大駆動波形による吐出された大液滴である。
【図６】有効ノズルの特定を説明する図である。
【図７】重量測定ユニットによる重量測定を模式的に表した図である。
【図８】図７と同様に、重量測定ユニットによる重量測定を模式的に表した図である。
【図９】機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定処理および駆動制御処理を示すフローチャートである。
【図１０】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１７】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２５】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２６】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２７】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１５７】
１…液滴吐出装置  ７…コントローラ  １８…機能液滴吐出ヘッド  ６１…ポンプ部  ６５ａ…有効ノズル  ６５ｃ…測定対象ノズル  ６６…測定対象ノズル群  ７６…重量測定ユニット  ８１…機能液タンク  ９１…電子天秤  ９５…受け皿  １１１…ヘッドドライバ  ５００…カラーフィルタ  ５０７ａ…画素領域  ５０８…着色層  Ｗ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
2006167544.tif 000027
【図２６】
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【図２７】
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