(57)【要約】【課題】液状材料の液滴を塗布すべき領域のパターンを装置に予め記憶させる必要がなく、高い効率で製品を製造することができる液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液状材料を塗布すべき領域が形成された基体に対し、液状材料を液滴として吐出して領域に付与する液滴吐出装置であって、液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段と、基体と液滴吐出手段とを相対的に移動させる移動手段と、基体上の領域のパターンを光学的に読み取る読取手段と、液滴吐出手段および移動手段の作動を制御する制御手段とを備え、制御手段は、読取手段により読み取られたデータに基づいて、領域に対して液状材料の液滴が付与されるように、液滴吐出手段および移動手段の作動を制御する。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状材料を塗布すべき領域が形成された基体に対し、液状材料を液滴として吐出して前記領域に付与する液滴吐出装置であって、
液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段と、
前記基体と前記液滴吐出手段とを相対的に移動させる移動手段と、
前記基体上の前記領域のパターンを光学的に読み取る読取手段と、
前記液滴吐出手段および前記移動手段の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記読取手段により読み取られたデータに基づいて、前記領域に対して液状材料の液滴が付与されるように、前記液滴吐出手段および前記移動手段の作動を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記読取手段は、前記液滴吐出手段と一体となって前記基体に対し相対的に移動するように設けられており、前記移動手段の作動によって前記読取手段を前記基体に対し相対的に走査することにより前記領域のパターンを読み取る請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記基体上の前記領域は、バンクおよび／またはブラックマトリクスにより囲まれて形成されており、
前記読取手段は、前記バンクおよび／または前記ブラックマトリクスの形状を光学的に読み取る請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記読取手段により読み取られたデータに二値化処理を施すことにより、前記領域のパターンに関する情報を抽出する請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記基体は、画像表示装置の構成要素となるチップを１枚または複数枚製造するためのものであり、
前記制御手段は、前記読取手段により読み取られたデータに基づいて、前記基体における前記チップの位置および数に関する情報と、前記各チップ内の各画素の中心位置および画素数に関する情報と、前記画素の面積に関する情報との少なくとも一つの情報を抽出し、該抽出した情報に基づいて、前記基体に対する液滴の付与位置を決定する請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
液状材料を塗布すべき領域が形成された基体と、液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させ、前記ノズルから液状材料を液滴として吐出して前記領域に付与する液滴付与方法であって、
前記基体上の前記領域のパターンを光学的に読み取り、その読み取ったデータに基づいて、前記領域に対して液状材料の液滴が付与されるように制御することを特徴とする液滴付与方法。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて基体上の所定の領域に液状材料の液滴を付与する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置のカラーフィルタなどを製造する方法として、インクジェット描画装置（液滴吐出装置）を用いて、基板上に形成された多数の画素領域に対し、顔料を含んだ液状材料を液滴として付与することにより、各画素を形成する方法が知られている。
このような方法においては、画素領域等の、液状材料を塗布すべき領域のパターンに適合した描画アルゴリズム（液滴吐出アルゴリズム）を、基板設計データ等に基づいてオペレーターが予め作成・選択し、インクジェット描画装置に記憶させた上で、当該基板に画素形成用液状材料の液滴を付与していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このため、カラーフィルタの画素パターンが異なる基板や、１枚の基板内に配置されるカラーフィルタチップの数および位置のパターンが異なる基板など、異なる使用の基板に液状材料を付与する際には、基板の種類ごとに、描画アルゴリズムを作成し、インクジェット描画装置に記憶させなければならず、準備段階の作業が煩雑であった。また、異種基板を混在して生産ラインに流すことは困難で、生産効率の向上が図れなかった。
また、従来のインクジェット描画装置では、液滴の精確な付与位置は、基板に設けられたアライメントマークを基準にして定めていたので、基板ごとのアライメントマークの誤差により、画素領域に正しく液滴を着弾させることができない場合が発生し、異なる色の液状材料が混ざって混色する場合があった。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２７５６５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、液状材料の液滴を塗布すべき領域のパターンを装置に予め記憶させる必要がなく、高い効率で製品を製造することができる液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、液状材料を塗布すべき領域が形成された基体に対し、液状材料を液滴として吐出して前記領域に付与する液滴吐出装置であって、
液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段と、
前記基体と前記液滴吐出手段とを相対的に移動させる移動手段と、
前記基体上の前記領域のパターンを光学的に読み取る読取手段と、
前記液滴吐出手段および前記移動手段の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記読取手段により読み取られたデータに基づいて、前記領域に対して液状材料の液滴が付与されるように、前記液滴吐出手段および前記移動手段の作動を制御することを特徴とする。
【０００７】
これにより、液状材料を塗布すべき領域（例えば画素領域等）のパターンを読取手段で読み取り、その読み取り結果に基づいて制御手段が自動的に液滴の付与位置を決定するので、基体の種類ごとに液滴吐出アルゴリズムを事前に作成して液滴吐出装置に記憶させる作業が不要であり、準備段階の作業負担を大幅に削減することができ、高い生産効率が得られる。例えばカラーフィルタ基板の場合には、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列、ペンタイル配列等の画素パターン、画素の大きさ、１枚の基体内のチップの位置および数等にかかわらず、液状材料を塗布すべき領域に対して液滴を精確に付与することができ、極めて有利である。
また、本発明では、液滴吐出手段から液滴を吐出するに際してアライメントをしなくてもよいので、高い生産効率が得られる。また、基体にアライメントマークが不要であるとともに、従来のような基体ごとのアライメントマーク位置の誤差に起因する液滴着弾位置ズレが生じることもない。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置では、前記読取手段は、前記液滴吐出手段と一体となって前記基体に対し相対的に移動するように設けられており、前記移動手段の作動によって前記読取手段を前記基体に対し相対的に走査することにより前記領域のパターンを読み取ることが好ましい。
これにより、読取手段と液滴吐出手段との相対位置をより高精度に規定することができ、液状材料を塗布すべき領域の読み取りをより精確に行うことができるので、より精確な位置精度で液滴を付与することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記基体上の前記領域は、バンクおよび／またはブラックマトリクスにより囲まれて形成されており、
前記読取手段は、前記バンクおよび／または前記ブラックマトリクスの形状を光学的に読み取ることが好ましい。
これにより、液状材料を塗布すべき領域の読み取りをより精確に行うことができるので、より精確な位置精度で液滴を付与することができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記制御手段は、前記読取手段により読み取られたデータに二値化処理を施すことにより、前記領域のパターンに関する情報を抽出することが好ましい。
これにより、液状材料を塗布すべき領域のパターンに関する情報をより精確に抽出することができるので、より精確な位置精度で液滴を付与することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記基体は、画像表示装置の構成要素となるチップを１枚または複数枚製造するためのものであり、
前記制御手段は、前記読取手段により読み取られたデータに基づいて、前記基体における前記チップの位置および数に関する情報と、前記各チップ内の各画素の中心位置および画素数に関する情報と、前記画素の面積に関する情報との少なくとも一つの情報を抽出し、該抽出した情報に基づいて、前記基体に対する液滴の付与位置を決定することが好ましい。
これにより、画像表示装置の構成要素となるチップを高い生産効率で製造することができる。
【００１２】
本発明の液滴付与方法は、液状材料を塗布すべき領域が形成された基体と、液滴を吐出するノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させ、前記ノズルから液状材料を液滴として吐出して前記領域に付与する液滴付与方法であって、
前記基体上の前記領域のパターンを光学的に読み取り、その読み取ったデータに基づいて、前記領域に対して液状材料の液滴が付与されるように制御することを特徴とする。
【００１３】
これにより、液状材料を塗布すべき領域（例えば画素領域等）のパターンを読取手段で読み取り、その読み取り結果に基づいて制御手段が自動的に液滴の付与位置を決定するので、基体の種類ごとに液滴吐出アルゴリズムを事前に作成して液滴吐出装置に記憶させる作業が不要であり、準備段階の作業負担を大幅に削減することができ、高い生産効率が得られる。例えばカラーフィルタ基板の場合には、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列、ペンタイル配列等の画素パターン、画素の大きさ、１枚の基体内のチップの位置および数等にかかわらず、液状材料を塗布すべき領域に対して液滴を精確に付与することができ、極めて有利である。
また、本発明では、液滴吐出手段から液滴を吐出するに際してアライメントをしなくてもよいので、高い生産効率が得られる。また、基体にアライメントマークが不要であるとともに、従来のような基体ごとのアライメントマーク位置の誤差に起因する液滴着弾位置ズレが生じることもない。
【００１４】
本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いて基体上の所定の領域に液状材料の液滴を付与する工程を有することを特徴とする。
これにより、高品質の電気光学装置を高い生産効率で製造することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置の製造方法により製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高品質の電気光学装置を備えた電子機器を安価に提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜液滴吐出装置の第１実施形態＞
（液滴吐出装置の全体構成）
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、液状材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１から液状材料１１１が供給される吐出走査部１０２と、を備える。吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド１１４をキャリッジ１０５に搭載してなる液滴吐出手段１０３と、液滴吐出手段１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、後述する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。タンク１０１と、液滴吐出手段１０３における複数の液滴吐出ヘッド１１４とは、チューブ１１０で連結されており、タンク１０１から複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれに液状材料１１１が圧縮空気によって供給される。
【００１６】
キャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、液滴吐出手段１０３をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させる機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで液滴吐出手段１０３を回転させる機能も有している。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有している。
【００１７】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、液状材料１１１を塗布すべき領域（画素）を有する基体をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
上述のように、液滴吐出手段１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッド１１４の相対位置が変わる。
なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。
【００１８】
（液滴吐出手段）
図２は、図１に示す液滴吐出装置１００における液滴吐出手段１０３および基体１０Ａの平面図である。
以下の説明では、液晶表示装置の構成要素であるカラーフィルタ基板を液滴吐出装置１００によって製造する場合について代表して記載するが、後述するように、本発明は、カラーフィルタ基板以外の各種の電気光学装置の製造に適用することができる。
【００１９】
図２に示すように、液滴吐出手段１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド１１４と、これらの液滴吐出ヘッド１１４を保持するキャリッジ１０５とを有している。なお、図２中では、液滴吐出ヘッド１１４が見えるようにするため、キャリッジ１０５を仮想線（二点鎖線）で表している。
本実施形態では、液滴吐出手段１０３に設置された液滴吐出ヘッド１１４の数は８個である。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、後述する複数のノズル１１８が設けられた底面（ノズルプレート）を有している。キャリッジ１０５に保持された液滴吐出ヘッド１１４の底面はステージ１０６側を向いており、さらに、液滴吐出ヘッド１１４の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とに平行である。
【００２０】
基体１０Ａは、液晶表示装置の構成要素であるカラーフィルタ基板を製造するためのものである。この基体１０Ａは、後述するような処理および加工を施した後、３×３の行列状に９つのチップ３００に切り分けると、その各チップ３００がカラーフィルタ基板となる。すなわち、一つの基体１０Ａから９枚のカラーフィルタ基板を製造することができる。
このような基体１０Ａには、後述するように、行列状に配置された多数の領域（画素となるべき領域）が形成されている。液滴吐出装置１００は、画素を形成するための顔料を含んだ液状材料をこれらの各領域に液滴として付与（塗布）する。
【００２１】
キャリッジ１０５の下面側には、さらに、基体１０Ａ上の、液状材料を塗布すべき領域のパターンを光学的に読み取るラインスキャナー（読取手段）３０１が設置されている。このラインスキャナー３０１は、Ｘ軸方向に平行に配置されている。ラインスキャナー３０１には、ＣＣＤラインセンサ等の１次元イメージセンサと、照明光を投光する投光部とが設けられており、照明光を基体１０Ａの表面に照射し、その反射光を１次元イメージセンサで受光して光電変換することにより、基体１０Ａ上の、液状材料を塗布すべき領域のパターンを光学的に読み取ることができる。
ステージ移動機構１０８を作動させて基体１０ＡをＹ軸方向に移動させると、基体１０Ａがラインスキャナー３０１の下を通過するので、ラインスキャナー３０１が基体１０Ａ上を相対的に走査することとなり、液状材料を塗布すべき領域の読み取りを行うことができる。
【００２２】
本実施形態では、ラインスキャナー３０１を液滴吐出手段１０３に一体に設け、ステージ移動機構１０８の作動によってラインスキャナー３０１を基体１０Ａに対し相対的に走査するように構成したことにより、ラインスキャナー３０１と液滴吐出手段１０３（液滴吐出ヘッド１１４）との相対位置を高精度に規定することができ、液状材料を塗布すべき領域の読み取りをより精確に行うことができる。
【００２３】
本実施形態では、ラインスキャナー３０１は、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするような長さのものである。これにより、１回の走査で基体１０Ａの全体に渡り読み取りを行うことができる。このような構成に限らず、ラインスキャナー３０１は、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さの一部をカバーするようなものでもよい。
なお、本発明では、上記の構成に限らず、ラインスキャナー３０１を基体１０Ａに対し走査させる別個の移動機構を設けてもよい。また、読取手段は、ラインスキャナー３０１に限らず、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等の２次元イメージセンサを備えるカメラで構成してもよい。
【００２４】
（液滴吐出ヘッド）
図３は、液滴吐出ヘッド１１４の底面を示す。液滴吐出ヘッド１１４は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル１１８を有する。これら複数のノズル１１８は、液滴吐出ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰが約７０μｍとなるように配置されている。ここで、「液滴吐出ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰ」は、液滴吐出ヘッド１１４におけるノズル１１８のすべてをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。
【００２５】
本実施形態では、液滴吐出ヘッド１１４における複数のノズル１１８は、ともにＸ軸方向に延びるノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとをなす。ノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとは、間隔を空けて並行に配置されている。そして、ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれにおいて、９０個のノズル１１８が一定間隔でＸ軸方向に一列に並んでいる。本実施形態では、この一定間隔は約１４０μｍである。つまり、ノズル列１１６ＡのノズルピッチＬＮＰおよびノズル列１１６ＢのノズルピッチＬＮＰは、ともに約１４０μｍである。
【００２６】
ノズル列１１６Ｂの位置は、ノズル列１１６Ａの位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の正の方向（図３の右方向）にずれている。このため、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは、ノズル列１１６Ａ（またはノズル列１１６Ｂ）のノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）である。
したがって、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズル線密度は、ノズル列１１６Ａ（またはノズル列１１６Ｂ）のノズル線密度の２倍である。なお、本明細書において「Ｘ軸方向のノズル線密度」とは、複数のノズルをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像の単位長さ当たりの数に相当する。
【００２７】
もちろん、液滴吐出ヘッド１１４が含むノズル列の数は、２つだけに限定されない。液滴吐出ヘッド１１４はＭ個のノズル列を含んでもよい。ここで、Ｍは１以上の自然数である。この場合には、Ｍ個のノズル列のそれぞれにおいて複数のノズル１１８は、ノズルピッチＨＸＰのＭ倍の長さのピッチで並ぶ。さらに、Ｍが２以上の自然数の場合には、Ｍ個のノズル列のうちの一つに対して、他の（Ｍ−１）個のノズル列は、ノズルピッチＨＸＰのｉ倍の長さだけ重複無くＸ軸方向にずれている。ここで、ｉは１から（Ｍ−１）までの自然数である。
【００２８】
さて、ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズル１１８からなるため、１つの液滴吐出ヘッド１１４は１８０個のノズル１１８を有する。ただし、ノズル列１１６Ａの両端のそれぞれ５ノズルは「休止ノズル」として設定されている。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端のそれぞれ５ノズルも「休止ノズル」として設定されている。そして、これら２０個の「休止ノズル」からは液状材料１１１が吐出されない。このため、液滴吐出ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、１６０個のノズル１１８が液状材料１１１を吐出するノズルとして機能する。
【００２９】
図２に示すように、液滴吐出手段１０３においては、複数個の上記液滴吐出ヘッド１１４がＸ軸方向に沿って２列に配置されている。一方の列の液滴吐出ヘッド１１４と他方の列の液滴吐出ヘッド１１４とは、休止ノズル分を考慮して、Ｙ軸方向から見て一部重なるように配置されている。これにより、液滴吐出手段１０３においては、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さに渡り、液状材料１１１を吐出するノズル１１８が前記ノズルピッチＨＸＰでＸ軸方向に連続するように構成されている。
本実施形態の液滴吐出手段１０３では、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするように液滴吐出ヘッド１１４を配置しているが、本発明における液滴吐出手段は、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さの一部をカバーするようなものでもよい。
【００３０】
図４（ａ）および（ｂ）に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、を備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００３１】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。
【００３２】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。
ここで、本明細書において「液状材料」とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。ノズルから吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。
【００３３】
制御手段１１２（図１）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル１１８から吐出される材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御されてもよい。そのような場合には、ノズル１１８のそれぞれから吐出される材料１１１の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変にしてもよい。また、制御手段１１２は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８と、を設定することもできる。
【００３４】
本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、駆動素子として、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
【００３５】
なお、本発明では、液滴吐出手段１０３におけるノズルピッチＨＸＰは、上記の大きさに限らず、いかなる大きさであってもよい。
さらに、液滴吐出手段１０３は、図２に示す構成以外に、複数の液滴吐出ヘッド１１４がＹ軸方向に重ねて配置した構成としてもよい。その場合、液滴吐出手段１０３全体としてのＸ軸方向のノズルピッチ（ノズル線密度）をさらに短くすることができるので、より高精細に液滴を付与することができる。
【００３６】
（制御手段）
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図５に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３とを備えている。
【００３７】
バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
【００３８】
入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から液状材料１１１の液滴の吐出を行うためのデータを受け取る。このデータは、オンノズルとして機能するノズル１１８を指定するデータと、オフノズルとして機能するノズル１１８を指定するデータと、を含む。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。
記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。
【００３９】
キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０５、すなわち液滴吐出手段１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６、すなわち基体１０ＡのＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
【００４０】
処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２およびステージ位置検出手段３０３の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、液滴吐出手段１０３およびラインスキャナー３０１の位置と、基体１０Ａの位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわち基体１０Ａの移動速度を制御する。
【００４１】
また、処理部２０４は、ラインスキャナー３０１により読み取られたデータに基づいて、吐出タイミング毎のノズル１１８のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド１１４に与える。この結果、液滴吐出ヘッド１１４における対応するノズル１１８から、液状材料１１１が液滴として吐出される。
制御手段１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
【００４２】
次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図６（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳと、を有する。図６（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル１１８から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
【００４３】
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、吐出部１２７のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数と吐出部１２７の数（つまりノズル１１８の数）とは同じである。
処理部２０４は、ノズル１１８のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル１１８から液状材料１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。
【００４４】
図６（ｂ）に示す例では、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル１１８のそれぞれから、周期２ＥＰで液状材料１１１が吐出される。また、これら２つのノズル１１８に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル１１８からほぼ同じタイミングで液状材料１１１が吐出される。
【００４５】
＜液滴付与方法の実施形態＞
以下、上述したような液滴吐出装置１００を用いて実施される、本発明の液滴付与方法の実施形態について説明する。
図７は、基体１０Ａの一部を拡大して示す平面図である。同図に示すように、基体１０Ａ上には、ブラックマトリクス１４（およびバンク１６）に囲まれて形成される画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが行列状に多数配置されている。画素１８Ｒには、Ｒ（赤）の顔料を含む液状材料を付与し、画素１８Ｇには、Ｇ（緑）の顔料を含む液状材料を付与し、画素１８Ｂには、Ｂ（青）の顔料を含む液状材料が付与される。
【００４６】
各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、ほぼ長方形をなしており、その長手方向がＹ軸方向に平行であり、その短手方向がＸ軸方向に平行になっている。
Ｘ軸方向に並ぶ一組の画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、カラーフィルタ基板の一画素分に相当する。この基体１０Ａは、ストライプ配列のカラーフィルタ基板を製造するためのものである。
【００４７】
図９は、本発明の液滴付与方法の実施形態を示すフローチャート、図１０は、ラインスキャナー３０１の読取信号と、その読取信号を制御手段１１２が処理した後の信号とを示すグラフである。
以下、これらの図に基づいて、本発明の液滴付与方法を、緑色の画素１８Ｇに液状材料を付与する場合を例に順を追って説明する。
【００４８】
まず、ステージ移動機構１０８を作動させることにより、ラインスキャナー３０１を基体１０Ａに対しＹ軸方向に相対的に走査する。この間、ラインスキャナー３０１と基体１０Ａとの相対位置および相対移動速度に関する情報が、ステージ位置検出手段３０３から処理部２０４へ入力される。
このようなラインスキャナー３０１の走査を行うことにより、基体１０Ａ上の、液状材料を塗布すべき領域、すなわち画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂのパターンが読み取られる（図９中のステップＳ０１）。ラインスキャナー３０１により読み取られたデータは、制御手段１１２の処理部２０４に入力され、さらに記憶手段２０２に記憶される。
ラインスキャナー３０１により読み取られたデータは、基体１０Ａの表面の２次元情報（画像データ）である。以下、このデータについて、図７中の一点鎖線で示す位置におけるデータを例にとって説明する。
【００４９】
図７中の一点鎖線で示す位置をラインスキャナー３０１が読み取った信号は、図１０（１）のようなグラフで表される。画素１８Ｇの領域内は、ラインスキャナー３０１の投光部により照射された照明光の反射率が高いため、ラインスキャナー３０１の読取信号出力が大きくなる。これに対し、ブラックマトリクス１４の位置では、照明光の反射率が低いため、ラインスキャナー３０１の読取信号出力が小さくなる。よって、図１０（１）のようなグラフでは、横軸で示されるＹ軸方向の位置に沿って、読取信号の大きいところと小さいところが繰り返し現れ、読取信号の大きいところは画素１８Ｇであり、読取信号の小さいところがブラックマトリクス１４である。
【００５０】
次いで、処理部２０４は、ラインスキャナー３０１により読み取ったデータに対し二値化処理を施す。これにより、図１０（２）のようなデータが得られる。処理部２０４は、この二値化されたデータに基づいて、基体１０Ａにおけるチップ３００（図２参照）の位置および数に関する情報と、チップ３００内の各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの中心位置および総画素数に関する情報と、画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの一つの面積に関する情報とを抽出する（ステップＳ０２）。これら抽出された情報は、記憶手段２０２に記憶される。
【００５１】
また、この液滴吐出装置１００では、緑色の画素１８Ｇにのみ液状材料を付与するので、ステップＳ０２で抽出する情報には、画素１８Ｇを他の画素１８Ｒ、１８Ｂから判別するための情報も含む。
ステップＳ０２の後、処理部２０４は、ステップＳ０２で抽出した情報に基づいて、基体１０Ａに対する液滴３０４の付与位置を決定し、各ノズル１１８について、液滴吐出位置を指令する信号を生成する（ステップＳ０３）。この際、処理部２０４は、入力バッファメモリ２００に予め記憶された成膜情報を利用する。この成膜情報は、液状材料１滴当たりの量や、画素領域の単位面積当たりに必要な液状材料の量などである。処理部２０４は、この成膜情報と、ステップＳ０２で抽出した１画素の面積情報とに基づいて、１画素内に吐出する液滴の数を決定することができる。
【００５２】
本実施形態の場合には、１画素当たり５滴の液状材料を１つのノズル１１８から順次吐出するものとする。よって、図７中の一点鎖線上を通過するノズル１１８に対しての液滴吐出位置指令信号は、図１０（３）に示すグラフで表される。この図１０（３）のグラフは、図１０（２）のグラフに現れた各画素１８Ｇの位置に対してそれぞれ液滴を５回吐出する指令となっている。これに対し、画素１８Ｒおよび１８Ｂ上を通過するノズル１１８や、ブラックマトリクス１４の上しか通過しないようなノズル１１８は、液滴３０４を吐出しないようにされる。
【００５３】
さらに、処理部２０４は、液滴吐出手段１０３と基体１０Ａとの相対位置および相対移動速度に関する情報に基づいて、ステップＳ０３で得た、ノズル１１８に対しての液滴吐出位置指令信号を各ノズル１１８に対する吐出タイミングの信号に変換する。これにより、例えば図７中の一点鎖線上を通過するノズル１１８に対しては、図１０（４）に示すような吐出タイミングの信号が抽出される（ステップＳ０４）。この吐出タイミング信号は、記憶手段２０２に記憶される。
【００５４】
以上のようにして各ノズル１１８に対する吐出タイミングの信号が抽出されたら、再度ステージ移動機構１０８を作動し、基体１０Ａと液滴吐出手段１０３とをＹ軸方向に相対的に移動させつつ、この吐出タイミング信号と、ステージ位置検出手段３０３により検出される液滴吐出手段１０３と基体１０Ａとの相対位置および相対移動速度とに基づいて、液状材料をノズル１１８から液滴３０４として吐出する。
図８は、上述した制御によって液滴を付与したときの、基体１０Ａの一つの画素への液滴付与位置を示す平面図である。同図に示すように、本実施形態では、各画素１８Ｇ内に、液状材料の液滴３０４が５滴、Ｙ軸方向に沿って等間隔に付与される。
【００５５】
以上、本発明の液滴付与方法を、緑色の画素１８Ｇに液状材料を付与する場合を例に説明したが、赤色の画素１８Ｒおよび青色の画素１８Ｂに対しても、それぞれ別個の液滴吐出装置１００を用いて同様に液状材料を付与することができる。また、本発明では、画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂをそれぞれ専用の液滴吐出装置１００を用いて形成する方法に限らず、液滴吐出手段１０３に、赤色の液状材料を吐出する液滴吐出ヘッド１１４と、緑色の液状材料を吐出する液滴吐出ヘッド１１４と、青色の液状材料を吐出する液滴吐出ヘッド１１４とを設けた場合には、１台の液滴吐出装置１００で画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに同時に液状材料の液滴を付与するようにしてもよい。
【００５６】
また、上述した説明では、ラインスキャナー３０１で読み取りを行う際の液滴吐出手段１０３（ラインスキャナー３０１）と基体１０Ａとの相対移動（走査）と、液滴を吐出する際の液滴吐出手段１０３と基体１０Ａとの相対移動（走査）とを別個に行う場合を例に説明したが、ラインスキャナー３０１での読み取りと液滴吐出手段１０３での液滴吐出とを１回の走査で同時に行うようにしてもよい。
【００５７】
以上説明したように、本発明では、液状材料を塗布すべき領域（例えば画素領域）をラインスキャナー３０１で読み取り、その読み取り結果に基づいて制御手段１１２が自動的に液滴の付与位置を決定するので、基体の種類ごとに液滴吐出アルゴリズムを事前に作成して液滴吐出装置１００に記憶させる作業が不要であり、準備段階の作業負担を大幅に削減することができ、高い生産効率が得られる。すなわち、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列、ペンタイル配列等の画素パターンや、１枚の基体１０Ａ内のチップ３００の位置、数等にかかわらず、液状材料を塗布すべき領域に対して液滴を精確に付与することができ、極めて有利である。その他、後に説明する図１１ないし図１５のような場合にも、液状材料を塗布すべき領域に対して液滴を精確に付与することができる。
また、本発明では、液滴吐出手段１０３から液滴を吐出するに際してアライメントをしなくてもよいので、高い生産効率が得られる。また、基体１０Ａにアライメントマークが不要であるとともに、従来のような基体ごとのアライメントマーク位置の誤差に起因する液滴着弾位置ズレ（混色）が生じることもない。
【００５８】
図１１は、一つ一つの画素の大きさが大きい画素パターンの場合における画素内の液滴付与位置を示す平面図である。本発明の液滴吐出方法では、上述したように、一つの画素領域の面積に応じ、処理部２０４が必要な液滴の数を決定するので、一つ一つの画素１８Ｇ’が大きい場合には、図１１に示すように、必要量の液状材料が塗布されるように、各画素１８Ｇ’に対し多数の液滴３０４が付与される。
【００５９】
図１２は、さらに他の画素パターンの場合における画素内の液滴付与位置を示す平面図、図１３は、図１２のように付与された液滴が濡れ広がった後の様子を示す平面図である。
図１２に示す画素１８Ｇ’’は、画素１８Ｇ’’の短手方向がＹ軸方向（走査方向）となっている画素パターンの場合である。この場合には、図１２に示すように、画素１８Ｇ’’上を通過する１０個のノズル１１８が画素１８Ｇ’’上に来た際に２滴ずつ液滴３０４を吐出し、計２０滴の液滴が一つの画素１８Ｇ’’内に付与される。
【００６０】
この図１２の場合を例に、画素パターンおよび付与する液状材料の具体例について説明する。図１２の場合には、画素領域の短手方向の画素ピッチが７１ミクロン、長手方向の画素ピッチが２１３ミクロン、バンク１６（ブラックマトリクス１４）の幅が１２ミクロンであるので、一つ一つの画素１８’’の大きさは、５９ミクロン×２０１ミクロンである。１滴の液状材料の量は、１０ナノグラム、液状材料は、有機溶剤インクであり、その固形分は１１％である。
以上のような条件で画素１８Ｇ’’に付与された液状材料は、図１３に示すように、全体にくまなく濡れ広がる。
【００６１】
図１４は、ステージ１０６上に置かれた基体１０Ａ’の向きが斜めになっていた場合を示す平面図、図１５は、図１４の場合における画素内の液滴付与位置を示す平面図である。
図１４に示す基体１０Ａ’は、図１１のような一つ一つの画素１８Ｒ’、１８Ｇ’、１８Ｂ’の大きさが大きい画素パターンのものである。このような基体１０Ａ’がステージ１０６上に斜めに置かれた場合、各画素には、図１５に示すようにして液滴３０４が付与され、図１１のように基体１０Ａ’の向きが真っ直ぐだった場合と同様に、画素内に必要な量の液状材料を付与することができる。このように、本発明では、仮に基体１０Ａ’の向きが斜めだった場合であっても、それに対応して液滴の付与位置を適切に決定することができる。よって、ステージ１０６の回転によって基体１０Ａ’の向きを補正するのを省略することもでき、高い生産効率が得られる。
【００６２】
＜液滴吐出装置の第２実施形態＞
次に、本発明をカラーフィルタ基板の製造に適用した例についてさらに詳細に説明する。
図１６（ａ）および（ｂ）に示す基体１０Ａは、後述する製造装置１（図１７）による処理を経て、カラーフィルタ基板１０となる基板である。基体１０Ａは、マトリクス状に配置された複数の画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂを有する。
【００６３】
具体的には、基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板１２と、支持基板１２上に形成されたブラックマトリクス１４と、ブラックマトリクス１４上に形成されたバンク１６と、を含む。ブラックマトリクス１４は遮光性を有する材料で形成されている。そして、ブラックマトリクス１４とブラックマトリクス１４上のバンク１６とは、支持基板１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素領域、が規定されるように位置している。
【００６４】
それぞれの画素領域において、支持基板１２、ブラックマトリクス１４、およびバンク１６で規定される凹部は、画素１８Ｒ、画素１８Ｇ、画素１８Ｂに対応する。画素１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＲが形成されるべき領域であり、画素１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＧが形成されるべき領域であり、画素１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【００６５】
図１６（ｂ）に示す基体１０Ａは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。基体１０Ａにおいて、画素１８Ｒ、画素１８Ｇ、および画素１８Ｂは、Ｘ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、画素１８Ｒ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、画素１８Ｇ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、そして、画素１８Ｂ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。
【００６６】
図１７に示す製造装置１は、図１６の基体１０Ａの画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂのそれぞれに対して、対応するカラーフィルタ材料を吐出する装置である。具体的には、製造装置１は、前述した液滴付与方法によって画素１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒを付与する液滴吐出装置１００Ｒと、画素１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１１Ｒを乾燥させる乾燥装置１５０Ｒと、前述した液滴付与方法によって画素１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇを付与する液滴吐出装置１００Ｇと、画素１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１１Ｇを乾燥させる乾燥装置１５０Ｇと、前述した液滴付与方法によって画素１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂを付与する液滴吐出装置１００Ｂと、画素１８Ｂのカラーフィルタ材料１１１Ｂを乾燥させる乾燥装置１５０Ｂと、カラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを再度加熱（ポストベーク）するオーブン１６０と、ポストベークされたカラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの層の上に保護膜２０を設ける液滴吐出装置１００Ｃと、保護膜２０を乾燥させる乾燥装置１５０Ｃと、乾燥された保護膜２０を再度加熱して硬化する硬化装置１６５と、を備えている。さらに製造装置１は、液滴吐出装置１００Ｒ、乾燥装置１５０Ｒ、液滴吐出装置１００Ｇ、乾燥装置１５０Ｇ、液滴吐出装置１００Ｂ、乾燥装置１５０Ｂ、液滴吐出装置１００Ｃ、乾燥装置１５０Ｃ、硬化装置１６５の順番に基体１０Ａを搬送する搬送装置１７０も備えている。
【００６７】
図１８に示すように、液滴吐出装置１００Ｒの構成は、第１実施形態の液滴吐出装置１００の構成と基本的に同じである。ただし、タンク１０１とチューブ１１０とに代えて、液滴吐出装置１００Ｒが液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒ用のタンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｒの構成は液滴吐出装置１００の構成と異なる。なお、液滴吐出装置１００Ｒの構成要素のうち、液滴吐出装置１００の構成要素と同様なものには第１実施形態と同じ参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【００６８】
液滴吐出装置１００Ｇの構成と、液滴吐出装置１００Ｂの構成と、液滴吐出装置１００Ｃの構成とは、いずれも基本的に液滴吐出装置１００Ｒの構造と同じある。ただし、液滴吐出装置１００Ｒにおけるタンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｇがカラーフィルタ材料１１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｇの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｂがカラーフィルタ材料１１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｂの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。さらに、タンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｃが保護膜材料用のタンクとチューブとを備える点で液滴吐出装置１００Ｃの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。なお、本実施形態における液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂは、本発明の液状材料の一例である。
【００６９】
次に、液滴吐出装置１００Ｒの動作を説明する。液滴吐出装置１００Ｒは、基体１０Ａ上でマトリクス状に配置された複数の画素１８Ｒに同一の材料を吐出する。なお、第３実施形態において説明するように、基体１０Ａは、エレクトロルミネッセンス表示装置用の基板に置き換わってもよいし、さらには、プラズマ表示装置用の背面基板に置き換わってもよく、また、電子放出素子を備えた画像表示装置の基板に置き換わってもよい。
【００７０】
以下では、製造装置１によってカラーフィルタ基板１０が得られるまでの一連の工程を説明する。
まず、以下の手順にしたがって図１６の基体１０Ａを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板１２上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス１４を形成する。ブラックマトリクス１４の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板１２は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板１２およびブラックマトリクス１４を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク１６が得られる。以上の工程によって、基体１０Ａが得られる。
【００７１】
なお、バンク１６に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜（ブラックマトリクス１４）は不要となり、バンク層は、１層のみとなる。
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ａを親液化する。この処理によって、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、で規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）における支持基板１２の表面と、ブラックマトリクス１４の表面と、バンク１６の表面と、が親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク１６の表面がフッ化処理（撥液性に処理）され、このことで、バンク１６の表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板１２の表面およびブラックマトリクス１４の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。このように、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂとなる。
【００７２】
なお、支持基板１２の材質、ブラックマトリクス１４の材質、およびバンク１６の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、によって規定された凹部の表面が画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂである。
【００７３】
画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成された基体１０Ａは、搬送装置１７０によって、液滴吐出装置１００Ｒのステージ１０６に運ばれる。そして、図１９（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｒは、画素１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｒは、前述した液滴付与方法で画素１８Ｒにカラーフィルタ材料１１１Ｒを付与する。基体１０Ａの画素１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｒ内に位置させる。そして、画素１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１１Ｒを完全に乾燥させることで、画素１８Ｒ上にフィルタ層１１１ＦＲを得る。
【００７４】
次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｇのステージ１０６に位置させる。そして、図１９（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｇは、画素１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｇは、前述した液滴付与方法で画素１８Ｇにカラーフィルタ材料１１１Ｇを付与する。基体１０Ａの画素１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｇ内に位置させる。そして、画素１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１１Ｇを完全に乾燥させることで、画素１８Ｇ上にフィルタ層１１１ＦＧを得る。
【００７５】
次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｂのステージ１０６に位置させる。そして、図１９（ｃ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｂは、画素１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｂは、前述した液滴付与方法で画素１８Ｂにカラーフィルタ材料１１１Ｂを付与する。基体１０Ａの画素１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｂ内に位置させる。そして、画素１８Ｂ上のカラーフィルタ材料１１１Ｂを完全に乾燥させることで、画素１８Ｂ上にフィルタ層１１１ＦＢを得る。
【００７６】
次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを、オーブン１６０内に位置させる。その後、オーブン１６０はフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。
次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｃのステージ１０６に位置させる。そして、液滴吐出装置１００Ｃは、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆って保護膜（オーバーコート）２０が形成されるように、液状の保護膜材料を吐出する。
【００７７】
この液滴吐出装置１００Ｃにおいては、ラインスキャナー３０１により読み取ったチップ３００（図２参照）の位置および数に関する情報に基づいて、チップ３００の上にのみ液状の保護膜材料の液滴を吐出する。これにより、チップ３００の上にのみ無駄なく精確に保護膜２０を形成することができる。
フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜２０が形成された後に、搬送装置１７０は基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｃ内に位置させる。そして、乾燥装置１５０Ｃが保護膜２０を完全に乾燥させた後に、硬化装置１６５が保護膜２０を加熱して完全に硬化することで、基体１０Ａはカラーフィルタ基板１０となる。
【００７８】
＜液滴吐出装置の第３実施形態＞
次に、本発明をエレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置に適用した例を説明する。
図２０（ａ）および（ｂ）に示す基体３０Ａは、後述する製造装置２（図２１）による処理によって、エレクトロルミネッセンス表示装置３０となる基板である。基体３０Ａは、マトリクス状に配置された複数の画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂを有する。
【００７９】
具体的には、基体３０Ａは、支持基板３２と、支持基板３２上に形成された回路素子層３４と、回路素子層３４上に形成された複数の画素電極３６と、複数の画素電極３６の間に形成されたバンク４０と、を有している。支持基板３２は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の画素電極３６のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）電極である。また、複数の画素電極３６は、回路素子層３４上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素領域を規定する。そして、バンク４０は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極３６のそれぞれを囲む。また、バンク４０は、回路素子層３４上に形成された無機物バンク４０Ａと、無機物バンク４０Ａ上に位置する有機物バンク４０Ｂとからなる。
【００８０】
回路素子層３４は、支持基板３２上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜４２と、絶縁膜４２上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子４４と、複数のスイッチング素子４４を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜４５と、を有する層である。それぞれのスイッチング素子４４のゲート電極４４Ｇおよびソース電極４４Ｓは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜４５上には複数の画素電極３６が位置する。層間絶縁膜４５には、各スイッチング素子４４のドレイン電極４４Ｄに対応する部位にスルーホール４４Ｖが設けられており、このスルーホール４４Ｖを介して、スイッチング素子４４と、対応する画素電極３６と、の間の電気的接続が形成されている。また、バンク４０に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子４４が位置している。つまり、図２０（ｂ）の紙面に垂直な方向から観察すると、複数のスイッチング素子４４のそれぞれは、バンク４０に覆われるように位置している。
【００８１】
基体３０Ａの画素電極３６とバンク４０とで規定される凹部（画素領域の一部）は、画素３８Ｒ、画素３８Ｇ、画素３８Ｂに対応する。画素３８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＲが形成されるべき領域であり、画素３８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＧが形成されるべき領域であり、画素３８Ｂは、青の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＢが形成されるべき領域である。
【００８２】
図２０（ｂ）に示す基体３０Ａは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。基体３０Ａにおいて、画素３８Ｒ、画素３８Ｇ、および画素３８Ｂは、Ｘ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、画素３８Ｒ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、画素３８Ｇ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、同様に、画素３８Ｂ同士はＹ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。
【００８３】
図２１に示す製造装置２は、図２０の基体３０Ａの画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂのそれぞれに対して、対応する発光材料を吐出する装置である。製造装置２は、画素３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒを付与する液滴吐出装置２００Ｒと、画素３８Ｒ上の発光材料２１１Ｒを乾燥させる乾燥装置２５０Ｒと、画素３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇを付与する液滴吐出装置２００Ｇと、画素３８Ｇ上の発光材料２１１Ｇを乾燥させる乾燥装置２５０Ｇと、画素３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂを付与する液滴吐出装置２００Ｂと、画素３８Ｂ上の発光材料Ｂを乾燥させる乾燥装置２５０Ｂと、を備えている。さらに製造装置２は、液滴吐出装置２００Ｒ、乾燥装置２５０Ｒ、液滴吐出装置２００Ｇ、乾燥装置２５０Ｇ、液滴吐出装置２００Ｂ、乾燥装置２５０Ｂの順番に基体３０Ａを搬送する搬送装置２７０も備えている。
【００８４】
図２２に示す液滴吐出装置２００Ｒは、液状の発光材料２１１Ｒを保持するタンク２０１Ｒと、チューブ２１０Ｒと、チューブ２１０Ｒを介してタンク２０１Ｒから発光材料２１１Ｒが供給される吐出走査部１０２と、を備える。吐出走査部１０２の構成は、第１実施形態の吐出走査部１０２（図１）の構成と同じであるため、同様な構成要素には同一の参照符号を付けるとともに、重複する説明を省略する。また、液滴吐出装置２００Ｇの構成と液滴吐出装置２００Ｂの構成とは、どちらも基本的に液滴吐出装置２００Ｒの構造と同じある。ただし、タンク２０１Ｒとチューブ２１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｇが発光材料２１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｇの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク２０１Ｒとチューブ２１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｂが発光材料２１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｂの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。なお、本実施形態における液状の発光材料２１１Ｒ、２１１Ｂ、２１１Ｇは、本発明の液状材料の一例である。
製造装置２を用いたエレクトロルミネッセンス表示装置３０の製造方法を説明する。まず、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて、図２０に示す基体３０Ａを製造する。
【００８５】
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体３０Ａを親液化する。この処理によって、画素電極３６とバンク４０とで規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）における画素電極３６の表面、無機物バンク４０Ａの表面、および有機物バンク４０Ｂの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体３０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク４０Ｂの表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで有機物バンク４０Ｂの表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極３６の表面および無機物バンク４０Ａの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。このように、画素電極３６と、バンク４０と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂとなる。
【００８６】
なお、画素電極３６の材質、無機バンク４０の材質、および有機バンク４０の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、画素電極３６と、バンク４０と、によって規定された凹部の表面は画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂである。
【００８７】
ここで、表面処理が施された複数の画素電極３６のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成してもよい。正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂが、画素電極３６と、後述の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢと、の間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。複数の画素電極３６のそれぞれの上に正孔輸送層を設ける場合には、正孔輸送層と、バンク４０と、によって規定された凹部が、画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに対応する。
【００８８】
なお、正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂをインクジェット法により形成することも可能である。この場合、正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成するための材料を含む溶液を各画素領域ごとに所定量塗布し、その後、乾燥させることにより正孔輸送層を形成することができる。なお、正孔輸送層を本明細書に記載する液滴付与方法を用いて形成してもよい。
【００８９】
画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成された基体３０Ａは、搬送装置２７０によって、液滴吐出装置２００Ｒのステージ１０６に運ばれる。そして、図２３（ａ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｒは、画素３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｒは、前述した液滴付与方法で画素３８Ｒに発光材料２１１Ｒを付与する。基体３０Ａの画素３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｒ内に位置させる。そして、画素３８Ｒ上の発光材料２１１Ｒを完全に乾燥させることで、画素３８Ｒ上に発光層２１１ＦＲを得る。
【００９０】
次に搬送装置２７０は、基体３０Ａを液滴吐出装置２００Ｇのステージ１０６に位置させる。そして、図２３（ｂ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｇは、画素３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｇは、前述した液滴付与方法で画素３８Ｇに発光材料２１１Ｇを付与する。基体３０Ａの画素３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｇ内に位置させる。そして、画素３８Ｇ上の発光材料Ｇを完全に乾燥させることで、画素３８Ｇ上に発光層２１１ＦＧを得る。
【００９１】
次に搬送装置２７０は、基体３０Ａを液滴吐出装置２００Ｂのステージ１０６に位置させる。そして、図２３（ｃ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｂは、画素３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｂは、前述した液滴付与方法で画素３８Ｂに発光材料２１１Ｂを付与する。基体３０Ａの画素３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｂ内に位置させる。そして、画素３８Ｂ上の発光材料２１１Ｂを完全に乾燥させることで、画素３８Ｂ上に発光層２１１ＦＢを得る。
【００９２】
図２３（ｄ）に示すように、次に、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク４０を覆うように対向電極４６を設ける。対向電極４６は陰極として機能する。
その後、封止基板４８と基体３０Ａとを、互いの周辺部で接着することで、図２３（ｄ）に示すエレクトロルミネッセンス表示装置３０が得られる。なお、封止基板４８と基体３０Ａとの間には不活性ガス４９が封入されている。
エレクトロルミネッセンス表示装置３０において、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから発光した光は、画素電極３６と、回路素子層３４と、支持基板３２と、を介して射出する。このように回路素子層３４を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。
【００９３】
以上、本発明を液晶表示装置（カラーフィルタ基板）の製造や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適用した場合について説明したが、本発明は、これらに限定されず、例えば、プラズマ表示装置の背面基板の製造や、電子放出素子を備えた画像表示装置（ＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）またはＦＥＤ（Field Emission Display）と呼ばれることもある）の製造にも適用することができる。
【００９４】
＜本発明の電子機器の実施形態＞
前述したような方法で製造された液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置、電子放出素子を備えた画像表示装置等の画像表示装置（電気光学装置）１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図２４は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【００９５】
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。
【００９６】
図２５は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
図２６は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
【００９７】
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
【００９８】
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
【００９９】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
【０１００】
なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
【０１０１】
以上、本発明の液滴吐出装置、液滴付与方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、前述した実施形態の液滴吐出装置１００では、図２に示すように、液滴吐出ヘッド１１４およびラインスキャナー３０１は、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするように設けられており、液滴吐出手段１０３と基体１０ＡとをＹ軸方向に相対的に走査するだけで基体１０Ａ全体に対し読み取りおよび液滴吐出を可能とするように構成されているが、このような構成に限らず、図２７に示すように、液滴吐出ヘッド１１４およびラインスキャナー３０１が基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さに満たないような構成であってもよい。この場合には、キャリッジ移動機構１０４の作動によって液滴吐出手段１０３のＸ軸方向の位置をずらして（副走査して）、液滴吐出手段１０３と基体１０ＡとのＹ軸方向の相対走査（主走査）を複数回行うことにより、基体１０Ａ全体に対する読み取りおよび液滴吐出が可能となる。
【０１０２】
また、本発明では、読取手段で読み取る、液状材料を塗布すべき領域としては、画素のような領域に限らず、光学的に読み取り可能なバンクあるいはブラックマトリクスで囲まれた領域であればいかなる領域でもよく、例えば、基体上に金属配線を形成するためのバンクで囲まれた領域を読み取り、その領域に金属配線形成材料の液滴を吐出することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の第１実施形態の液滴吐出装置の斜視図。
【図２】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段および基体を示す平面図。
【図３】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面を示す図。
【図４】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図。
【図５】図１に示す液滴吐出装置のブロック図。
【図６】（ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。
【図７】基体の一部を拡大して示す平面図。
【図８】基体の一つの画素への液滴付与位置を示す平面図。
【図９】本発明の液滴付与方法の実施形態を示すフローチャート。
【図１０】ラインスキャナーの読取信号と、その読取信号を制御手段が処理した後の信号とを示すグラフ。
【図１１】一つ一つの画素の大きさが大きい画素パターンの場合における画素内の液滴付与位置を示す平面図。
【図１２】さらに他の画素パターンの場合における画素内の液滴付与位置を示す平面図。
【図１３】図１２のように付与された液滴が濡れ広がった後の様子を示す平面図。
【図１４】ステージ上に置かれた基体の向きが斜めになっていた場合を示す平面図。
【図１５】図１４の場合における画素内の液滴付与位置を示す平面図。
【図１６】本発明の第２実施形態の液滴吐出装置で液滴を付与する基体を示す模式図。
【図１７】本発明の第２実施形態の液滴吐出装置を含む製造装置を示す模式図。
【図１８】本発明の第２実施形態の液滴吐出装置の斜視図。
【図１９】第２実施形態の液滴吐出装置による製造方法を示す模式図。
【図２０】本発明の第３実施形態の液滴吐出装置で液滴を付与する基体を示す模式図。
【図２１】本発明の第３実施形態の液滴吐出装置を含む製造装置を示す模式図。
【図２２】本発明の第３実施形態の液滴吐出装置の斜視図。
【図２３】第３実施形態の液滴吐出装置による製造方法を示す模式図。
【図２４】本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図２５】本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。
【図２６】本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。
【図２７】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段の他の構成例および基体を示す平面図。
【符号の説明】
【０１０４】
１、２……製造装置  １００、１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂ、１００Ｃ、２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ……液滴吐出装置  １０１、１０１Ｒ、２０１Ｒ……タンク  １０２……吐出走査部  １０３……液滴吐出手段  １０４……キャリッジ移動機構  １０５……キャリッジ  １０６……ステージ  １０８……ステージ移動機構  １１０、２１０Ｒ……チューブ  １１１……液状材料  １１２……制御手段  １１４……液滴吐出ヘッド  １１４Ｇ……ヘッド群  １１６Ａ、１１６Ｂ……ノズル列  １１８……ノズル  １１８Ｒ……基準ノズル  １２０……キャビティ  １２２……隔壁  １２４……振動子  １２４Ａ、１２４Ｂ……電極  １２４Ｃ……ピエゾ素子  １２６……振動板  １２７……吐出部  １２８……ノズルプレート  １２９……液たまり  １３０……供給口  １３１……孔  ２００……バッファメモリ  ２０２……記憶手段  ２０３……駆動信号生成部  ２０４……処理部  ２０６……走査駆動部  ２０８……ヘッド駆動部  ＡＳ……アナログスイッチ  ＤＳ……駆動信号  ＳＣ……選択信号  ＥＳ……吐出信号  １０Ａ、１０Ａ’、３０Ａ……基体  １０……カラーフィルタ基板  １２、３２……支持基板  １４……ブラックマトリクス  １６、４０……バンク  ２０……保護膜  １８Ｒ、１８Ｒ’、１８Ｇ、１８Ｇ’、１８Ｇ’’、１８Ｂ、１８Ｂ’、３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ……画素  １１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ……フィルタ層  ３０……エレクトロルミネッセンス表示装置  ３４……回路素子層  ３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂ……正孔輸送層  ３６……画素電極  ４０Ａ……無機物バンク  ４０Ｂ……有機物バンク  ４２……絶縁膜  ４４……スイッチング素子  ４４Ｇ……ゲート電極  ４４Ｓ……ソース電極  ４４Ｄ……ドレイン電極  ４４Ｖ……スルーホール  ４５……層間絶縁膜  ４６……対向電極  ４８……封止基板  ４９……不活性ガス  １５０Ｃ……乾燥装置  １５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ、２５０Ｒ、２５０Ｇ、２５０Ｂ……乾燥装置  １１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ……カラーフィルタ材料  １６０……オーブン  １６５……硬化装置  １７０、２７０……搬送装置  ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ……発光材料  ２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ……発光層  ３００……チップ  ３０１……ラインスキャナー  ３０２……キャリッジ位置検出手段  ３０３……ステージ位置検出手段  ３０４……液滴  １０００……画像表示装置  １１００……パーソナルコンピュータ  １１０２……キーボード  １１０４……本体部  １１０６……表示ユニット  １２００……携帯電話機  １２０２……操作ボタン  １２０４……受話口  １２０６……送話口  １３００……ディジタルスチルカメラ  １３０２……ケース（ボディー）  １３０４……受光ユニット  １３０６……シャッタボタン  １３０８……回路基板  １３１２……ビデオ信号出力端子  １３１４……データ通信用の入出力端子  １４３０……テレビモニタ  １４４０……パーソナルコンピュータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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