(57)【要約】  【課題】  簡単な構成により液体を移送することが可能な液体移送装置を提供すること。  【解決手段】  プリンタ６０は、ヘッド１のインク流路１３の内面に形成された第１個別電極１４と、インク流路１３の内面の第１個別電極１４の近傍に形成された第２個別電極１５と、第１個別電極１４と第２個別電極１５の何れか一方に選択的に電圧を印加するドライバＩＣ１６と、第１個別電極１４と第２個別電極１５の表面に設けられた絶縁膜１８とを有し、ドライバＩＣ１６により第２個別電極１５に電圧を印加させて、第１個別電極１４上の絶縁膜１８の表面に気泡を位置させてインク流路１３を閉止し、ドライバＩＣ１６により第１個別電極１４に電圧を印加させて、第２個別電極１５上の絶縁膜１８の表面に気泡を位置させてインク流路１３を開放する。【選択図】  図３
2006035640.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧された導電性の液体が流れる液体流路と、
この液体流路の内面に形成された第１の電極と、
前記液体流路の内面の前記第１の電極の近傍に形成された第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極の何れか一方に選択的に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記第１の電極の表面に設けられ、この第１の電極に電圧が印加されていない状態では、前記液体流路の内面の前記第１の電極及び前記第２の電極が形成された領域以外の領域よりも高い撥液性を有する第１絶縁膜と、
前記第２の電極の表面に設けられ、この第２の電極に電圧が印加されていない状態では、前記液体流路の内面の前記第１の電極及び前記第２の電極が形成された領域以外の領域よりも高い撥液性を有する第２絶縁膜と、
前記電圧印加手段により前記第２の電極に電圧を印加させて、少なくとも前記第１絶縁膜の表面に気体を位置させて前記液体流路を閉止し、前記電圧印加手段により前記第１の電極に電圧を印加させて、前記第２絶縁膜の表面に前記気体を位置させて前記液体流路を開放する開閉制御手段と、
を有することを特徴とする液体移送装置。
【請求項２】
前記第１の電極と前記第２の電極はともに前記液体流路の所定の内面に形成され、
この所定の内面の前記第１の電極と前記第２の電極の両方に隣接した領域に、前記第１の電極及び前記第２の電極が形成された領域以外の領域よりも常に高い撥液性を有する高撥液領域が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
【請求項３】
前記所定の内面において、前記第１の電極が形成された領域と前記高撥液領域とが前記液体の流れる方向と直交する幅方向に隣接して配置されており、前記第１の電極が形成された領域と前記高撥液領域は、前記所定の内面の幅方向における全域を占めていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項４】
前記所定の内面において、前記第２の電極が形成された領域と前記高撥液領域とが前記液体の流れる方向に隣接して配置されており、前記第２の電極が形成された領域と前記高撥液領域は、前記所定の内面の幅方向における一部の領域を占めていることを特徴とする請求項３に記載の液体移送装置。
【請求項５】
前記第１の電極は前記所定の内面の幅方向中央部に形成され、前記第２の電極及び前記高撥液領域は前記所定の内面の幅方向両端部に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体移送装置。
【請求項６】
前記第１の電極は前記所定の内面の幅方向両端部に形成され、前記第２の電極及び前記高撥液領域は前記所定の内面の幅方向中央部に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体移送装置。
【請求項７】
前記第１の電極は前記所定の内面の幅方向一方側部分に形成され、前記第２の電極及び高撥液領域は前記所定の内面の幅方向他方側部分に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体移送装置。
【請求項８】
前記第１の電極と前記第２の電極はともに前記液体流路の所定の内面に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項９】
前記第１の電極が形成された領域が、前記所定の内面の幅方向における全域を占めていることを特徴とする請求項８に記載の液体移送装置。
【請求項１０】
前記第２の電極が形成された領域は、前記所定の内面の幅方向における一部の領域を占めていることを特徴とする請求項９に記載の液体移送装置。
【請求項１１】
前記第２の電極は、前記第１の電極よりも前記液体の流れ方向上流側の領域において、前記液体の流れ方向下流側の部分ほど前記第１の電極に近づく形状に形成されていることを特徴とする請求項２〜１０の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項１２】
前記第２の電極は、前記第１の電極よりも前記液体の流れ方向下流側の領域において、前記液体の流れ方向下流側の部分ほど前記第１の電極から遠ざかる形状に形成されていることを特徴とする請求項２〜１０の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項１３】
前記液体の流れ方向から見て、前記第１の電極と前記第２の電極は重なっていないことを特徴とする請求項２〜１２の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項１４】
前記第２の電極は、前記第１の電極よりも前記液体の流れ方向上流側の領域と下流側の領域の両方に形成されていることを特徴とする請求項１〜１３の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項１５】
前記第１の電極と前記第２の電極が対向する２面に夫々形成されており、前記第２の電極が形成された面には、前記第１の電極及び前記第２の電極が形成された領域以外の領域よりも常に高い撥液性を有する高撥液領域が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項１６】
前記第１の電極が形成された領域と前記撥液性領域は、夫々前記液体流路の幅方向における全域を占めていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項１７】
前記第２の電極は、前記高撥液領域を挟む両側の領域に夫々形成されていることを特徴とする特徴とする請求項１６に記載の液体移送装置。
【請求項１８】
前記液体流路の一端は外部へ開放されており、前記第１の電極及び前記第２の電極が前記液体流路の前記一端近傍部に形成されて、前記気体が外部の大気と繋がっていることを特徴とする請求項１〜１７に記載の液体移送装置。
【請求項１９】
前記第１の電極及び前記第２の電極は、前記電圧印加手段により電圧が印加されていない状態では接地されていることを特徴とする請求項１〜１８の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項２０】
前記液体流路の内面に、常に接地され且つ前記液体と接触する第３の電極が形成されていることを特徴とする請求項１〜１９の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項２１】
前記第３の電極は、前記液体の流れ方向に関して、前記第１の電極と第２の電極が形成された領域よりも上流側の領域と下流側の領域に夫々形成されていることを特徴とする請求項２０に記載の液体移送装置。
【請求項２２】
前記開閉制御手段は、
前記液体流路を流れる液体の流量を決定する液体流量決定手段と、
この液体流量決定手段により決定された液体の流量に基づいて、前記電圧印加手段により前記第１の電極に電圧を印加させて前記液体流路を開放してから、前記第２の電極に電圧を印加させて前記液体流路を閉止するまでの流路開放時間を決定する開放時間決定手段とを有することを特徴とする請求項１〜２１の何れかに記載の液体移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性の液体を移送する液体移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、用紙等の被印刷媒体に印刷するプリント装置としては、例えば、用紙等に対してインクを吐出するインクジェットヘッドがある。このインクジェットヘッドとしては種々の型式のものがあるが、例えば、ノズルに連通する圧力室を含む複数の個別インク流路を備えた流路ユニットと、圧力室内のインクに圧力を付与する圧電式のアクチュエータユニットを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。一般的な圧電式のアクチュエータユニットは、ノズルに連通する複数の圧力室に夫々対応する複数の個別電極と、これら複数の個別電極に対向する共通電極と、個別電極と共通電極との間に挟まれた、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電層とを備えている。そして、所定の個別電極に対して駆動電圧が供給されたときには、個別電極と共通電極との間に挟まれた圧電層の部分に電界が作用して圧電層が部分的に変形し、この圧電層の変形に伴って圧力室内のインクに圧力が付与されて、その圧力室に連通するノズルからインクが吐出される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３２６７１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前述のインクジェットヘッドにおいては、流路ユニット内にノズルと圧力室を含む複数の個別インク流路が形成されており、さらに、この流路ユニットの表面に、複数の個別電極と共通電極と圧電層とを備えたアクチュエータユニットが配置されている。そのため、インクジェットヘッドの構造がかなり複雑になり、製造コストが高くなる。また、一定量のインクを吐出するために圧力室の容積をある所定の容積以上にする必要があるため、インクジェットヘッドにノズル（圧力室）を多数設ける必要がある場合でも、これらノズル及び圧力室を含む複数の個別インク流路を流路ユニット内に密集状に形成することが難しく、インクジェットヘッドを小型化することが困難になる。
【０００５】
本発明の目的は、簡単な構成により液体を移送することが可能な液体移送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
第１の発明の液体移送装置は、加圧された導電性の液体が流れる液体流路と、この液体流路の内面に形成された第１の電極と、前記液体流路の内面の前記第１の電極の近傍に形成された第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極の何れか一方に選択的に電圧を印加する電圧印加手段と、前記第１の電極の表面に設けられ、この第１の電極に電圧が印加されていない状態では、前記液体流路の内面の前記第１の電極及び前記第２の電極が形成された領域以外の領域よりも高い撥液性を有する第１絶縁膜と、前記第２の電極の表面に設けられ、この第２の電極に電圧が印加されていない状態では、前記液体流路の内面の前記第１の電極及び前記第２の電極が形成された領域以外の領域よりも高い撥液性を有する第２絶縁膜と、前記電圧印加手段により前記第２の電極に電圧を印加させて、少なくとも前記第１絶縁膜の表面に気体を位置させて前記液体流路を閉止し、前記電圧印加手段により前記第１の電極に電圧を印加させて、前記第２絶縁膜の表面に前記気体を位置させて前記液体流路を開放する開閉制御手段とを有することを特徴とするものである。
【０００７】
この液体移送装置において、液体流路の内面には、第１の電極と第２の電極が互いに近接した状態で設けられ、これら第１の電極と第２の電極の表面には夫々第１絶縁膜と第２絶縁膜が設けられている。そして、電圧印加手段により第１の電極と第２の電極の何れか一方に電圧が印加されたときには、電圧が印加された電極に設けられた絶縁膜の表面における液体の接触角が小さくなり、電極に電圧が印加されていない状態に比べてその絶縁膜の撥液性が低下するため（エレクトロウェッティング現象、特開２００３−１７７２１９号公報参照）、この絶縁膜の表面に液体が移動することができるようになる。また、液体流路内には、液体流路を開閉するための気体が配置されており、開閉制御手段により電圧印加手段が制御されて、第２の電極に電圧が印加されると、撥液性が低下した第２絶縁膜の表面に液体が移動するとともに、撥液性が高い第１絶縁膜の表面には気体が位置してこの気体により液体流路が閉止される。逆に、第１の電極に電圧が印加されたときには、撥液性が低下した第１絶縁膜の表面に液体が移動するとともに、撥液性が高い第２絶縁膜の表面には気体が移動して液体流路が開放される。従って、所定の液体流路において、第１の電極と第２の電極の何れか一方に電圧を印加することにより、この液体流路内に配置された気体を第１絶縁膜と第２絶縁膜との間で移動させて、液体流路を容易に開閉することができる。また、液体流路を開閉させる構成が簡単になり、液体移送装置の製造コストを低減できる。
【０００８】
第２の発明の液体移送装置は、前記第１の発明において、前記第１の電極と前記第２の電極はともに前記液体流路の所定の内面に形成され、この所定の内面の前記第１の電極と前記第２の電極の両方に隣接した領域に、前記第１の電極及び前記第２の電極が形成された領域以外の領域よりも常に高い撥液性を有する高撥液領域が形成されていることを特徴とするものである。従って、液体流路の開閉状態に関係なく、高撥液領域には常に気体が位置することになるため、この高撥液領域を介して、流路開閉時に第１絶縁膜と第２絶縁膜との間で気体が移動しやすくなり、流路開閉の確実性及び応答性が高まる。
【０００９】
第３の発明の液体移送装置は、前記第２の発明において、前記所定の内面において、前記第１の電極が形成された領域と前記高撥液領域とが前記液体の流れる方向と直交する幅方向に隣接して配置されており、前記第１の電極が形成された領域と前記高撥液領域は、前記所定の内面の幅方向における全域を占めていることを特徴とするものである。従って、第２の電極に電圧が印加されたときには、所定の内面の幅方向における全域を占める、第１の電極の表面の第１絶縁膜と高撥液領域に気体を移動させて、この気体により液体流路を確実に閉止することができる。
【００１０】
第４の発明の液体移送装置は、前記所定の内面において、前記第２の電極が形成された領域と前記高撥液領域とが前記液体の流れる方向に隣接して配置されており、前記第２の電極が形成された領域と前記高撥液領域は、前記所定の内面の幅方向における一部の領域を占めていることを特徴とするものである。従って、第１の電極に電圧が印加されたときに、第２絶縁膜と高撥液領域とが設けられた、所定の内面の幅方向における一部の領域に気体を移動させて、第２絶縁膜と高撥液領域が設けられていない他の領域において流体を確実に下流側へ移送することができるようになる。
【００１１】
ここで、第１の電極は、前記所定の内面の幅方向中央部に形成され、前記第２の電極及び前記高撥液領域は前記所定の内面の幅方向両端部に形成されていてもよい（第５の発明）。この場合、第１の電極に電圧が印加されたときに、気体が２以上の複数に分裂して夫々液体流路の幅方向両端部に移動するため、液体流路の中央部を液体が流れることになり、液体が下流側へ流れやすくなる。また、前記第１の電極は前記所定の内面の幅方向両端部に形成され、前記第２の電極及び前記高撥液領域は前記所定の内面の幅方向中央部に形成されていてもよく（第６の発明）、あるいは、前記第１の電極は前記所定の内面の幅方向一方側部分に形成され、前記第２の電極及び高撥液領域は前記所定の内面の幅方向他方側部分に形成されていてもよい（第７の発明）。
【００１２】
第８の発明の液体移送装置は、前記第１又は第２の発明において、前記第１の電極と前記第２の電極はともに前記液体流路の所定の内面に形成されていることを特徴とするものである。このように、第１の電極と第２の電極が同一の内面に形成されているため、第１絶縁膜と第２絶縁膜との間で気体が移動しやすくなり、流路開閉の確実性及び応答性がより高まる。
【００１３】
第９の発明の液体移送装置は、前記第８の発明において、前記第１の電極が形成された領域が、前記所定の内面の幅方向における全域を占めていることを特徴とするものである。第２の電極に電圧が印加されたときには、所定の内面の幅方向における全域を占める、第１の電極の表面の第１絶縁膜に気体を移動させて、この気体により液体流路を確実に閉止することができる。
【００１４】
第１０の発明の液体移送装置は、前記第９の発明において、前記第２の電極が形成された領域は、前記所定の内面の幅方向における一部の領域を占めていることを特徴とするものである。従って、第１の電極に電圧が印加されたときに、第２絶縁膜が設けられた、所定の内面の幅方向における一部の領域に気体を移動させて、第２絶縁膜が設けられていない他の領域において、流体を確実に下流側へ移送することができるようになる。
【００１５】
尚、前記第２〜第１０の何れかの発明において、前記第２の電極は、前記第１の電極よりも前記液体の流れ方向上流側の領域において、前記液体の流れ方向下流側の部分ほど前記第１の電極に近づく形状に形成されていてもよく（第１１の発明）、あるいは、前記第２の電極は、前記第１の電極よりも前記液体の流れ方向下流側の領域において、前記液体の流れ方向下流側の部分ほど前記第１の電極から遠ざかる形状に形成されていてもよい（第１２の発明）。このような場合には、流路開放時に気体が第２絶縁膜の表面に移動したときに、気体が、液体の流れを妨げない形状に変形するため、液体がスムーズに流れるようになる。尚、第２の電極の形状は、三角形状、円弧状など種々の形状に形成することができる。
【００１６】
第１３の発明の液体移送装置は、前記第２〜第１２の何れかの発明において、前記液体の流れ方向から見て、前記第１の電極と前記第２の電極は重なっていないことを特徴とするものである。従って、気体が第１絶縁膜から第２絶縁膜の表面に移動したときに、液体の流れが第２絶縁膜上の気体により遮られないため、液体を流路の下流側へ確実に移送することができる。
【００１７】
第１４の発明の液体移送装置は、前記第１〜第１３の何れかの発明において、前記第２の電極は、前記第１の電極よりも前記液体の流れ方向上流側の領域と下流側の領域の両方に形成されていることを特徴とするものである。従って、流路開閉時に、気体が、第１絶縁膜とその上流側及び下流側に設けられた第２絶縁膜との間で夫々移動するため、流路開閉時の応答性がより高くなる。
【００１８】
第１５の発明の液体移送装置は、前記第１又は第２の発明において、前記第１の電極と前記第２の電極が、対向する２面に夫々形成されており、前記第２の電極が形成された面には、前記第１の電極及び前記第２の電極が形成された領域以外の領域よりも常に高い撥液性を有する高撥液領域が形成されていることを特徴とするものである。従って、流路開閉時に第１絶縁膜と第２絶縁膜との間で気体が移動しやすくなり、応答性が高くなる。
【００１９】
第１６の発明の液体移送装置は、前記第２の発明において、前記第１の電極が形成された領域と前記撥液性領域は、夫々前記液体流路の幅方向における全域を占めていることを特徴とするものである。従って、第２の電極に電圧が印加されたときに、所定の内面の幅方向における全域を占める、第１の電極の表面の第１絶縁膜と高撥液領域に気体が移動して液体流路が閉止される。さらに、互いに対向する第１絶縁膜と高撥液領域により気体が確実に保持されて、液体の圧力により気体が流されにくくなるため、液体流路がより確実に閉止される。
【００２０】
第１７の発明の液体移送装置は、前記第１６の発明において、前記第２の電極は、前記高撥液領域を挟む両側の領域に夫々形成されていることを特徴とするものである。高撥液領域の表面には、流路の開閉状態に関係なく常に気体が位置しており、この高撥液領域の両側に第２の電極が設けられているため、流路開放時に、第１絶縁膜の表面から第２の電極の表面に設けられた第２絶縁膜に気体が移動しやすくなる。
【００２１】
第１８の発明の液体移送装置は、前記第１〜第１７の何れかの発明において、前記液体流路の一端は外部へ開放されており、前記第１の電極及び前記第２の電極が前記液体流路の前記一端近傍部に形成されて、前記気体が外部の大気と繋がっていることを特徴とするものである。従って、流路開閉時に、気体が液体流路と外部との間で移動することができるようになり、気体がより素早く移動することができるようになるため、応答性がより高くなる。
【００２２】
第１９の発明の液体移送装置は、前記第１〜第１８の何れかの発明において、前記第１の電極及び前記第２の電極は、前記電圧印加手段により電圧が印加されていない状態では接地されていることを特徴とするものである。第１の電極と第２の電極のうち、一方の電極に電圧が印加されたときに、他方の電極が接地されていると、液体流路内の液体の電位は第１の電極と第２の電極との間の中間的な電位となる。従って、電圧が印加された電極と液体との間に電位差が生じて、電圧が印加された電極の表面の絶縁膜の撥液性が低下するため、液体流路の開閉が可能になる。
【００２３】
第２０の発明の液体移送装置は、前記第１〜第１９の何れかの発明において、前記液体流路の内面に常に接地され、且つ前記液体と接触する第３の電極が形成されていることを特徴とするものである。従って、第３の電極と接触する、液体流路内の導電性の液体も接地されるため、第１の電極又は第２の電極の何れか一方に電圧が印加されたときに、その電極と液体との間の電位差が大きくなり、その電極の表面の絶縁膜（第１絶縁膜又は第２絶縁膜）の撥液性が確実に低下するため、液体流路を効率的に開閉することができる。
【００２４】
第２１の発明の液体移送装置は、前記第２０の発明において、前記第３の電極は、前記液体の流れ方向に関して、前記第１の電極と第２の電極が形成された領域よりも上流側の領域と下流側の領域に夫々形成されていることを特徴とするものである。第１の電極上の第１絶縁膜の表面に気体が位置して液体流路が閉止されている状態では、この気体により分離されて第１絶縁膜及び第２絶縁膜に関して上流側と下流側の領域に夫々位置する液体は、共に第３の電極に接触しており、接地されている。従って、この閉止状態から第１の電極に電圧を印加して流路を開放するときに、上流側と下流側の両方の領域において第１の電極と液体との間の電位差が大きくなるため、効率よく流路を開放することができる。また、流路開閉時の応答性も向上する。
【００２５】
第２２の発明の液体移送装置は、前記第１〜第２１の何れかの発明において、前記開閉制御手段は、前記液体流路を流れる液体の流量を決定する液体流量決定手段と、この液体流量決定手段により決定された液体の流量に基づいて、前記電圧印加手段により前記第１の電極に電圧を印加させて前記液体流路を開放してから、前記第２の電極に電圧を印加させて前記液体流路を閉止するまでの流路開放時間を決定する開放時間決定手段とを有することを特徴とするものである。従って、液体流路を開放してから次に液体流路を閉止するまでの流路開放時間を変化させることにより、所望の量の液体を移送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、記録用紙にインクを移送して印刷するプリンタに本発明を適用した一例である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ６０は、インクカートリッジ５３から供給されたインクを貯留するインクタンク５０と、記録用紙Ｐ（図３参照）に対してインクを移送して印刷するヘッド１と、図示しない紙送り機構による記録用紙Ｐの搬送動作やヘッド１によるインクＩの印字動作等、プリンタ６０の種々の動作の制御を司る制御装置７０（図６参照）を有する。インクカートリッジ５３とインクタンク５０はインク供給管５２により接続され、さらに、インクタンク５０には、その内部に空気を供給する為の空気供給管５１が設けられている。尚、ヘッド１により記録用紙Ｐに移送されるインクＩは導電性を有するインクである。
【００２７】
図２に示すように、インク供給管５２には、インクカートリッジ５３内のインクをインクタンク５０へ供給するポンプ５２ａと、インク供給管５２内のインク流路を開閉可能な弁５２ｂとが設けられている。一方、空気供給管５１には、空気をインクタンク５０内へ送り込むポンプ５１ａと、空気供給管５１内の空気流路を開閉可能な弁５２ｂとが設けられている。そして、ヘッド１により記録用紙Ｐに印刷を行う場合には、インク供給管５２の弁５２ｂを閉止し、空気供給管５１の弁５１ｂを開放してから、ポンプ５１ａによりインクタンク５０内に空気を送り込むことにより、インクタンク５０内のインクを加圧して、インクをヘッド１へ圧送する。尚、ポンプ５１ａは、空気の供給量を周期的に微少変動させることにより、空気の圧力を変動させて、インクタンク５０内のインクを加圧する。また、インクタンク５０内へインクＩを補充する必要がある場合には、空気供給管５１の弁５１ｂを閉止し、インク供給管５２の弁５２ｂを開放してから、ポンプ５２ａによりインクカートリッジ５３からインクＩを供給する。
【００２８】
次に、ヘッド１について図３〜図５を参照して説明する。尚、図３はヘッド１の要部斜視図、図４は図３の横断面図、図５は図４のＢ−Ｂ線断面図である。尚、図３、図４において、ヘッド１の長手方向をＸ方向、ヘッド１の幅方向をＹ方向としている。
図３〜図５に示すように、ヘッド１は、矩形板状の第１流路形成部材１０及び第２流路形成部材１１とを有し、これら第１流路形成部材１０と第２流路形成部材１１は互いに対向した状態で接合されている。尚、第１流路形成部材１０と第２流路形成部材１１は、夫々、ガラス材料、ポリイミド、あるいは、表面にＳｉＯ2が形成されたシリコン等からなり、少なくとも後述する電極が形成される面やインクが接触する面において絶縁性を有する。
【００２９】
第１流路形成部材１０のＹ方向一端側部分（図４、図５の右半部）にはＸ方向に延びる凹溝１０ａが形成されている。一方、第１流路形成部材１１のＹ方向他端側部分（図４、図５の左半部）にはＹ方向に延びる複数の隔壁１１ａが形成されている。そして、第１流路形成部材１０の凹溝１０ａと第１流路形成部材１１によりＸ方向に延びるマニホールド１２が形成され、さらに、第１流路形成部材１０と第１流路形成部材１１の複数の隔壁１１ａにより、マニホールド１２から夫々分岐してＹ方向に延びる複数のインク流路１３とが形成されている。尚、図３、図４においては、３つのインク流路１３のみが示されているが、実際には４以上の複数のインク流路１３がＸ方向に等間隔に配置されている。そして、ポンプ５１ａで加圧されてインクタンク５０からヘッド１内へ流入したインクＩは、マニホールド１２から複数のインク流路１３へ夫々供給され、さらに、これら複数のインク流路１３を介してインクが記録用紙Ｐに移送される。尚、記録用紙Ｐは、図３の前方において、図示しない紙送り機構により上下方向に送られる。各インク流路１３は矩形の断面形状を有し、本実施形態においては、インク流路１３の幅Ｂ（図４参照）は７０μｍ程度であり、インク流路１３の高さＨ（図５参照）は２０μｍ程度である。
【００３０】
各インク流路１３の底面１３ａの幅方向中央部の領域には、平面視でＹ方向に長い矩形状の第１個別電極１４（第１の電極）が設けられている。一方、各インク流路１３の底面１３ａの幅方向両端部の領域であって、矩形状の第１個別電極１４の四隅に夫々隣接する４つの領域には、夫々平面形状が直角三角形の４つの第２個別電極１５（第２の電極）が設けられている。そして、インクＩの流れ方向（Ｙ方向）から見て、第１個別電極１４と第２個別電極１５は互いに重ならない位置に配置されている。
【００３１】
また、図４に示すように、第１個別電極１４よりもインクＩの流れ方向上流側（図４の右側）に位置する２つの第２個別電極１５に関しては、幅方向内側に位置する斜辺がインクＩの流れ方向下流側ほど第１個別電極１４に近づくように延びている。即ち、これら２つの第２個別電極１５は、インクＩの流れ方向下流側の部分ほど第１個別電極１４に近づく形状に形成されている。一方、第１個別電極１４よりもインクＩの流れ方向下流側（図４の左側）に位置する２つの第２個別電極１５に関しては、幅方向内側に位置する斜辺がインクＩの流れ方向下流側ほど第１個別電極１４から離れるように延びている。つまり、これら２つの第２個別電極１５は、インクＩの流れ方向下流側の部分ほど第１個別電極１４から遠ざかる形状に形成されている。尚、これら第１個別電極１４及び第２個別電極１５は、インク流路１３の底面１３ａを形成する第２流路形成部材１１の表面に形成されているため、これら第１個別電極１４及び第２個別電極１５を、蒸着法、スパッタ法、あるいは、印刷法等の公知の方法により第２流路形成部材１１の表面に一度に形成することができ、電極の形成が容易になる。
【００３２】
これら第１個別電極１４と４つの第２個別電極１５は、夫々配線部１４ａ，１５ａを介してドライバＩＣ１６（図６参照）と電気的に接続されている。そして、第１個別電極１４と４つの第２個別電極１５の何れか一方に、ヘッド制御部３０（図６参照）からの信号に基づいてドライバＩＣ１６により電圧が印加される。尚、電圧が印加されていない状態の第１個別電極１４と第２個別電極１５はドライバＩＣ１６を介して接地され、グランド電位に保持される。
【００３３】
マニホールド１２の底面１２ａには、Ｘ方向に延びる共通電極１７（第３の電極）が設けられ、この共通電極１７は、配線部１７ａを介して常に接地されている。従って、ヘッド１内の導電性のインクＩは共通電極１７に接触して、インクＩは常にグランド電位に保持されている。尚、この共通電極も、第１個別電極１４及び第２個別電極１５と同様に、蒸着法、スパッタ法、あるいは、印刷法等の公知の方法により第２流路形成部材１１の表面に形成することができる。
【００３４】
さらに、第１個別電極１４と第２個別電極１５の表面の領域、及び、これら第１個別電極１４と第２個別電極１５に囲まれた領域（図３、図４における網状にハッチングされた領域）には、これらの領域に亙って連続的に絶縁膜１８が設けられている。この絶縁膜１８は、インク流路１３の内面のうちの絶縁膜１８が設けられていない領域（第１個別電極１４及び第２個別電極１５が形成された領域以外の領域）よりも高い撥液性を有する。そして、高い撥液性を有する状態では、この絶縁膜１８の表面にはインクＩが移動できず、代わりに、絶縁膜１８の表面には気泡２０（気体：図８〜図１１参照）が位置する。
【００３５】
ところが、ドライバＩＣ１６により第１個別電極１４又は第２個別電極１５に電圧が印加されて、この電圧が印加された電極とグランド電位に保持されたインクＩとの間に電位差が生じると、絶縁膜１８の表面におけるインクの接触角が小さくなり、電極に電圧が印加されていない状態に比べて絶縁膜１８の撥液性が低下する（エレクトロウェッティング現象）。また、インクＩの液滴は、その一部分が撥液性の高い領域に接触し、残りの部分が撥液性の低い領域に接触する状態となると、撥液性の低い領域にのみ位置するように移動しようとする。そのため、電圧が印加された電極上の絶縁膜１８の表面にインクが移動できるようになる。従って、後述するように、第１個別電極１４と第２個別電極１５の何れか一方に電圧を印加することにより、インク流路１３を開放することが可能になる。この絶縁膜１８は、例えば、インク流路１３の底面１３ａに対して、フッ素系樹脂をスピンコート法等によりコーティングすることにより形成することができる。また、本実施形態においては、絶縁膜１８の膜厚は０．１μｍ程度である。ここで、第１個別電極１４の表面に形成された絶縁膜１８の部分が本願の第１絶縁膜に相当し、第２個別電極１５の表面に形成された絶縁膜１８の部分が本願の第２絶縁膜に相当する。
【００３６】
尚、インクＩは共通電極１７に接触してグランド電位に保持されているため、第１個別電極１４と第２個別電極１５の何れか一方に電圧が印加されたときには、その電圧が印加された電極とインクＩとの間の電位差が大きくなり、電極表面の絶縁膜１８の撥液性が確実に低下する。
【００３７】
尚、第１個別電極１４と第２個別電極１５が夫々形成された領域に囲まれた領域は、絶縁膜１８の下側に電圧が印加される電極がないため、常に高い撥液性を有する高撥液領域１９となっており、この高撥液領域１９には常に気泡２０が位置することになる。また、図４に示すように、第１個別電極１４が形成された領域と高撥液領域１９は、Ｘ方向（インク流路１３の幅方向）に互いに隣接して配置されており、これら第１個別電極１４が形成された領域と高撥液領域１９は、インク流路１３の底面１３ａの幅方向における全域を占めている。一方、第２個別電極１５が形成された領域と高撥液領域１９はＹ方向（インクの流れ方向）に互いに隣接して配置されており、これら第２個別電極１５が形成された領域と高撥液領域１９は、底面１３ａの幅方向両端部のみを占めている。
【００３８】
次に、本実施形態のプリンタ６０の電気的な構成について図６のブロック図を参照して説明する。
制御装置７０は、中央処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）と、プリンタ６０の全体動作を制御する為の各種プログラムやデータ等が格納されたＲＯＭ（Read Only Memory）と、ＣＰＵで処理されるデータ等を一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）等を備えている。そして、この制御装置７０は、空気供給管５１のポンプ５１ａを制御してヘッド１にインクを供給したり、あるいは、インク供給管５２のポンプ５２ａを制御してインクタンク５０にインクを補充する。また、図示しない紙送り機構を制御して記録用紙Ｐの搬送を行う。さらに、制御装置７０は、ヘッド１による記録用紙Ｐに対する印字動作を制御するヘッド制御部３０を備えている。このヘッド制御部３０は、制御装置７０内のＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等で構成されており、ヘッド制御部３０は、ドライバＩＣ１６による第１個別電極１４及び第２個別電極１５に対する電圧印加を制御して各インク流路１３を個別に開閉するように構成されている。尚、このヘッド制御部３０が、本願発明における開閉制御手段に相当する。
【００３９】
図６に示すように、ヘッド制御部３０は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）４０から入力された印字データを記憶する印字データ記憶部３１と、この印字データ記憶部３１に記憶された印字データに基づいてインク流路１３を流れるインクＩの流量を決定するインク流量決定部３２（液体流量決定手段）と、このインク流量決定部３２により決定されたインクＩの流量に基づいて、インク流路１３の流路開放時間を決定する開放時間決定部３３（開放時間決定手段）と、ドライバＩＣ１６により電圧が印加される電極（第１個別電極１４と第２個別電極１５の何れか一方）を変更する印加電極変更部３４とを有する。
【００４０】
このヘッド制御部３０により実行される流路開閉処理について、図７のフローチャートと図８〜図１１を参照して説明する。この流路開閉処理は、ＰＣ４０から入力された印字データに基づいて、インク流路１３を介して記録用紙ＰにインクＩを移送する場合に実行される。尚、図７において、Ｓｉ（ｉ＝１０，１１，１２・・・）は各ステップを示す。また、第１個別電極１４及び第２個別電極１５に夫々接続された配線部１４ａ，１５ａの接点部の“＋”は電極１４，１５に電圧が印加されている状態を示し、“ＧＮＤ”は電極１４，１５に電圧が印加されていない状態（グランド電位にある状態）を示す。
【００４１】
図８、図９に示すように、インク流路１３によりインクＩが移送されない場合では、このインク流路１３の４つの第２個別電極１５にのみ電圧が印加されており、第１個別電極１４はグランド電位に保持されている。この状態では、電圧が印加された第２個別電極１５の表面の絶縁膜１８の撥液性は低下しており、この絶縁膜１８の表面にインクＩが移動する。しかし、電圧が印加されていない第１個別電極１４の表面の絶縁膜１８の撥液性は高い状態にあり、その表面にはインクＩは移動できない。また、第１個別電極１４が形成された領域と第２個別電極１５が形成された領域に囲まれた高撥液領域１９は、第１個別電極１４と第２個別電極１５に対する電圧印加の状態に関わらず常に撥液性が高いため、インクＩは高撥液領域１９に移動できない。そのため、第１個別電極１４の表面の絶縁膜１８と幅方向両側に夫々隣接する２つの高撥液領域１９の絶縁膜１８に亙って気泡２０が位置して、この気泡２０によりインク流路１３が閉止されている。尚、前述したように、第１個別電極１４が形成された領域と高撥液領域１９はインク流路１３の幅方向の全域を占めているため、これらの領域に気泡２０が位置している状態では、インク流路１３が確実に閉止される。
【００４２】
このように、気泡２０によりインク流路１３が閉止されている状態から、例えば、図８における一番下のインク流路１３を開放してこのインク流路１３からインクＩを移送する場合には、図７に示すように、まず、印字データ記憶部３１に記憶された印字データに基づいて、インク流量決定部３２により、このインク流路１３を流れるインクの流量Ｆ（このインク流路１３により記録用紙Ｐへ移送されるインクの量）を決定する（Ｓ１０）。次に、インク流量決定部３２により決定されたインク流量Ｆに基づき、インク流路１３の断面積や長さ、あるいは、インクＩの粘度、圧力等の諸条件を勘案して、開放時間決定部３３によりインク流路１３の流路開放時間Ｔ0を決定する（Ｓ１１）。尚、当然ながら、この流路開放時間Ｔ0はインクの流量Ｆが大きいほど長くなるように決定される。
【００４３】
そして、印加電極変更部３４により、電圧が印加される電極を、４つの第２個別電極１５から第１個別電極１４に変更し、ドライバＩＣ１６により第１個別電極１４に電圧を印加する（Ｓ１２）。すると、電圧が印加された第１個別電極１４の表面の絶縁膜１８において、インクＩとの接触角が小さくなって撥液性が低下し、この絶縁膜１８の表面にインクＩが移動できるようになる。一方、電圧が印加されなくなった第２個別電極１５の表面の絶縁膜１８の撥液性は高くなる。従って、図１０、図１１に示すように、第１個別電極１４が形成された領域にインクＩが移動すると同時に、その領域に位置してインク流路１３を閉止していた気泡２０が２つに分裂して幅方向両側に夫々移動し、第２個別電極１５が形成された領域と高撥液領域１９の表面に気泡２０が位置するようになる。そのため、第１個別電極１４が形成された領域の上流側と下流側の領域が連通し、インク流路１３が開放されてインクが記録用紙Ｐに移送される。
【００４４】
ここで、第１個別電極１４と第２個別電極１５は、インク流路１３の同一の内面（底面１３ａ）に形成されているため、気泡２０が、第１個別電極１４が形成された領域から第２個別電極１５が形成された領域へ移動しやすい。また、インク流路１３の底面１３ａに形成された第１個別電極１４と第２個別電極１５に夫々隣接して高撥液領域１９が設けられているため、気泡２０が、第１個別電極１４が形成された領域から第２個別電極１５が形成された領域に高撥液領域１９を介して移動する。従って、これらの領域間で気泡２０が移動しやすくなり、流路開放動作の確実性及び応答性がより高くなる。さらに、第２個別電極１５は、第１個別電極１４よりもインクＩの流れ方向上流側の領域と下流側の領域の両方に形成されているため、気泡２０が、第１個別電極１４が形成された領域から、その上流側及び下流側の第２個別電極１５が形成された領域に移動しやすくなり、流路開放動作の応答性がさらに高くなる。
【００４５】
また、インクＩの流れ方向（Ｙ方向）から見て、第１個別電極１４と第２個別電極１５は互いに重ならない位置に配置され、さらに、第２個別電極１５が形成された領域と高撥液領域１９は、インク流路１３の幅方向の両端部だけを占めているため、インク流路１３の幅方向中央部には気泡２０が存在せず、インクＩがインク流路１３の中央部を通って確実に下流側へ流れる。さらに、前述したように、第１個別電極１４よりもインク流路１３の上流側に設けられた２つの第２個別電極１５は、インクの流れ方向下流側の部分ほど第１個別電極１４に近づく形状に形成されており、第１個別電極１４よりもインク流路１３の下流側に設けられた２つの第２個別電極１５は、インクＩの流れ方向下流側の部分ほど第１個別電極１４から遠ざかる形状に形成されている。従って、気泡２０が第２個別電極１５が形成された領域へ移動したとき、この気泡２０はインクの流れを妨げない形状に変形するため、インクは、インク流路１３の幅方向中央部の領域を通って下流側へスムーズに流れる。
【００４６】
そして、Ｓ１２において、電圧が印加される電極を第２個別電極１５から第１個別電極１４に変更して、インク流路１３が開放されてから開放時間決定部３３により決定された所定の開放時間Ｔ0が経過したときには（Ｓ１３：Ｙｅｓ）、印加電極変更部３４により、電圧が印加される電極を、再び第１個別電極１４から４つの第２個別電極１５に変更し、ドライバＩＣ１６により第２個別電極１５にのみ電圧を印加する（Ｓ１４）。すると、再び第１個別電極１４の表面の絶縁膜１８の撥液性が高くなるため、この絶縁膜１８の表面をインクＩが移動することができなくなり、図８、図９に示すように、第２個別電極１５が形成された領域から第１個別電極１４が形成された領域に気泡２０が移動して、気泡２０によりインク流路１３が閉止される。尚、この流路閉止時においても、気泡２０が、第２個別電極１５が形成された領域から第１個別電極１４が形成された領域に高撥液領域１９を介して移動するために、これらの領域間で気泡２０が移動しやすくなり、流路閉止動作の確実性及び応答性も高くなる。
【００４７】
以上説明したプリンタ６０によれば、次のような効果が得られる。
ドライバＩＣ１６により第１個別電極１４と第２個別電極１５の何れか一方に電圧を印加させて、インク流路１３内に配置された気泡２０を第１個別電極１４の表面の絶縁膜１８と第２個別電極１５の表面の絶縁膜１８との間で移動させることにより、インク流路１３を容易に開閉することができる。また、インク流路１３を開閉させる構成が簡単になり、プリンタ６０の製造コストを低減できる。
【００４８】
第１個別電極１４と第２個別電極１５は、インク流路１３の同一の内面（底面１３ａ）に形成されており、さらに、第２個別電極１５は、第１個別電極１４よりもインクＩの流れ方向上流側の領域と下流側の領域の両方に４つ形成されているため、第１個別電極１４が形成された領域とその上流側と下流側の第２個別電極１５が形成された領域との間で移動することになり、流路開閉動作の応答性が高い。さらに、インク流路１３の底面１３ａに形成された第１個別電極１４と第２個別電極１５に夫々隣接した領域に、撥液性が常に高い高撥液領域１９が設けられているため、流路開閉時に、気泡２０が、高撥液領域１９を介して、第１個別電極１４が形成された領域と第２個別電極１５が形成された領域との間を移動するため、２つの領域間で気泡２０が移動しやすくなり、流路開閉動作の確実性及び応答性がさらに高くなる。
【００４９】
インクＩは共通電極１７に接触してグランド電位に保持されているため、第１個別電極１４と第２個別電極１５の何れか一方に電圧が印加されたときに、その電極とインクＩとの間の電位差が大きくなって、電極表面の絶縁膜１８の撥液性が確実に低下する。従って、第１個別電極１４と第２個別電極１５に印加する電圧を極力低くして、インク流路１３を効率的に開閉することが可能になる。
【００５０】
インク流量決定部３２で決定されたインク流量Ｆに基づいて、開放時間決定部３３により流路開放時間Ｔ0が決定され、その流路開放時間Ｔ0の間だけインク流路１３が開放されるため、開放時間決定部３３により流路開放時間Ｔ0を調整することにより、所望の量のインクＩをインク流路１３を介して記録用紙Ｐに移送することができる。
【００５１】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
１］第２個別電極の平面形状としては、前記実施形態のような直角三角形に限られるものではない。例えば、図１２の変更形態１のヘッド１Ａのように、第２個別電極１５Ａが１／４の円弧形状に形成されていてもよい。その他、１／４の楕円弧形状や、幅方向内側の角が丸い略矩形状など、インクＩの流れを妨げない形状に気泡を変形させることが可能な形状に形成されることが好ましい。
【００５２】
２］図１３の変更形態２のヘッド１Ｂのように、第１個別電極１４Ｂがインク流路１３の底面の幅方向両端部に形成され、第２個別電極１５Ｂと高撥液領域１９Ｂがインク流路１３の底面の幅方向中央部に形成されていてもよい。あるいは、図１４の変更形態３のヘッド１Ｃのように、第１個別電極１４Ｃはインク流路１３の底面の幅方向一方側（図１４ではインク流路１３の下側）部分に形成され、第２個別電極１５Ｃ及び高撥液領域１９Ｃはインク流路１３の底面の幅方向他方側（図１４ではインク流路１３の上側）部分に形成されていてもよい。
【００５３】
３］図１５の変更形態４のヘッド１Ｄのように、第２個別電極１５Ｄが、第１個別電極１４に対してインク流路１３の上流側（図１５の右側）の領域にのみ設けられていてもよい。あるいは、図１６の変更形態５のヘッド１Ｅのように、第２個別電極１５Ｅが、第１個別電極１４に対してインク流路１３の下流側（図１５の左側）の領域にのみ設けられていてもよい。
【００５４】
４］常に高い撥液性を有する高撥液領域を省略することもできる。例えば、図１７、図１８に示すように、変更形態６のヘッド１Ｆにおいては、インク流路１３の底面において、第１個別電極１４Ｆが幅方向の全域を占めるように設けられている。さらに、インク流路１３の底面の幅方向両端部の領域であって、第１個別電極１４Ｆに対して上流側の領域と下流側の領域には、夫々平面視で略矩形状の４つの第２個別電極１５Ｆが設けられている。
【００５５】
第２個別電極１５Ｆに電圧が印加されており、第１個別電極１４Ｆには電圧が印加されていない状態では、第２個別電極１５Ｆの表面の絶縁膜１８の撥液性が低下する一方、第１個別電極１４Ｆの表面の絶縁膜１８の撥液性は高い状態であるため、図１７に示すように、第１個別電極１４Ｆが形成された領域に気泡２０が位置して、この気泡２０によりインク流路１３は閉止されている。ここで、第１個別電極１４Ｆが形成された領域は、インク流路１３の幅方向の全域を占めているため、この領域に気泡２０が位置したときに、気泡２０によりインク流路１３が確実に閉止される。
【００５６】
この状態から、第１個別電極１４Ｆに電圧が印加され、第２個別電極１５Ｆには電圧が印加されなくなると、第１個別電極１４Ｆの表面の絶縁膜１８の撥液性が低下する一方で、第２個別電極１５Ｆの表面の絶縁膜１８の撥液性が高くなるため、図１８に示すように、気泡２０が４つに分離して、第１個別電極１４Ｆが形成された領域から、第２個別電極１５Ｆが形成された４つの領域に夫々移動し、インク流路１３が開放される。ここで、第２個別電極１５Ｆは、インク流路１３の幅方向の両端部にのみ設けられているため、この第２個別電極１５Ｆが形成された領域に気泡２０が移動したときには、インク流路１３の幅方向中央部が確実に開放される。
【００５７】
尚、図１８に示すように、気泡２０が第２個別電極１５Ｆが形成された領域に移動したときに、インク流路１３の幅方向中央部を流れるインクＩの流れを極力妨げない形状に気泡が変形するように、４つの第２個別電極１５Ｆの角のうち、幅方向内側に位置し且つ第１個別電極１４Ｆから遠い側の角は丸くなっている。
【００５８】
５］図１９の変更形態７のヘッド１Ｇのように、インクＩの流れ方向に関して、第１個別電極１４と第２個別電極１５が形成された領域よりも上流側の領域に形成された共通電極１７に加えて、さらに、各インク流路１３において、第１個別電極１４と第２個別電極１５が形成された領域よりも下流側の領域にも常に接地された共通電極８０が形成されていてもよい。この場合、第１個別電極１４が形成された領域に気泡２０が位置してインク流路１３が閉止されている状態でも、気泡２０により分断されて気泡２０の上流側の領域と下流側の領域に夫々位置するインクＩは、夫々共通電極１７，８０に接触してグランド電位に保持されている。従って、インク流路１３の閉止状態からインク流路１３を開放する際に第１個別電極１４に電圧が印加されるときでも、インクＩの流れ方向上流側と下流側の両方の領域において第１個別電極１４とインクＩとの間の電位差が大きくなり、効率よく流路を開放することができる。また、流路開閉時の応答性も向上する。
【００５９】
一方、逆に、共通電極１７を省略することも可能である。この場合には、第１個別電極１４と第２個別電極１５のうち、一方の電極に電圧が印加されたときに、他方の電極は接地されているために、インク流路１３内のインクＩの電位は第１個別電極１４と第２個別電極１５との間の中間的な電位となる。従って、共通電極１７を省略した場合でも、電圧が印加された電極とインクＩとの間に電位差が生じて、電圧が印加された電極の表面の絶縁膜１８の撥液性が低下するため、インク流路１３の開閉が可能になる。
【００６０】
６］図２０の変更形態８のヘッド１Ｈのように、インク流路１３の一端が外部へ開放されており、第１個別電極１４及び第２個別電極１５が、開放されたインク流路１３の一端近傍部に形成されて、気泡２０が外部の大気と繋がっていてもよい。この場合には、流路開閉時に、気泡２０がインク流路１３と外部との間で移動することができ、気泡２０がより素早く移動することができるようになるため、応答性がより高くなる。
【００６１】
７］前記実施形態のように、第１個別電極と第２個別電極とが同一面上に形成されている必要は必ずしもなく、第１個別電極と第２個別電極が互いに対向する２面に夫々形成されていてもよい。例えば、図２１、図２２に示すように、変更形態９のヘッド１Ｉにおいては、インク流路１３の底面１３ａに第１個別電極１４Ｉが形成されている。この第１個別電極１４Ｉは、インク流路１３の底面１３ａにおいて幅方向の全域を占めている。また、この第１個別電極１４Ｉの表面には第１絶縁膜８１が設けられている。
【００６２】
一方、インク流路１３の上面１３ｂには、第１個別電極１４Ｉと対向する位置に対して、インクの流れ方向上流側と下流側の領域に、夫々２つの第２個別電極１５Ｉが形成されている。２つの第２個別電極１５Ｉは、夫々インク流路１３の上面１３ｂにおいて幅方向の全域を占めている。そして、これら２つの第２個別電極１５Ｉとその間の領域に亙って連続的に第２絶縁膜８２が設けられている。従って、第１個別電極１４Ｉと対向する領域は常に高い撥液性を有する高撥液領域１９Ｉとなっている。そして、この高撥液領域１９Ｉもインク流路１３の上面１３ｂにおいて幅方向の全域を占めている。
【００６３】
第２個別電極１５Ｉに電圧が印加され、第１個別電極１４Ｉには電圧が印加されていない状態では、インク流路１３の底面１３ａの第１絶縁膜８１の撥液性は高いため、図２３に示すように、底面１３ａの第１絶縁膜８１とこの第１絶縁膜８１に対向する上面１３ｂの高撥液領域１９Ｉの間で気泡２０が保持される。このとき、第１個別電極１４Ｉの表面の第１絶縁膜８１と高撥液領域１９Ｉは、共にインク流路１３の幅方向の全域を占めているため、気泡２０によりインク流路１３が確実に閉止される。また、互いに対向する第１絶縁膜８１と高撥液領域１９Ｉにより気泡２０が確実に保持されて、インクＩの圧力により気泡２０が流されにくくなるため、インク流路１３を確実に閉止することができる。
【００６４】
この状態から、第１個別電極１４Ｉに電圧が印加され、第２個別電極１５Ｉには電圧が印加されなくなると、インク流路１３の底面１３ａの第１絶縁膜８１の撥液性が低下すると同時に、インク流路１３の上面１３ｂの第２絶縁膜８２の撥液性が高くなる。従って、図２４に示すように、インク流路１３の上面１３ｂの第２絶縁膜８２と高撥液領域１９Ｉに気泡２０が付着するため、インク流路１３の下側部分が開放されて、インクＩが下流へ流れるようになる。
【００６５】
８］前述の実施形態及びその変更形態においては、インク流路１３は矩形の断面形状を有するものであったが、このようなものに限られるものではなく、例えば、断面が楕円形でその長軸が流路幅方向と平行であるインク流路や、断面が円形のインク流路であってもよい。但し、このような場合には、第１個別電極と第２個別電極とが形成される内面（前記実施形態における底面１３ａに相当する面）は、流路の幅方向における一端から他端まで延在していることが望ましい。
【００６６】
９］以上、インクを移送するプリンタに本発明を適用した形態について説明したが、マイクロ総合分析システム（μＴＡＳ）内部で薬液や生化学溶液等の液体を移送する液体移送装置、マイクロ化学システム内部で溶媒や化学溶液等の液体を移送する液体移送装置等、インク以外の導電性の液体を移送する液体移送装置に本発明を適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】ヘッドの要部斜視図である。
【図４】ヘッドの横断面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】プリンタの電気的構成を示す機能ブロック図である。
【図７】流路開閉処理のフローチャートである。
【図８】流路が閉止された状態におけるヘッドの横断面図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１０】流路の一部が開放された状態におけるヘッドの横断面図である。
【図１１】図９のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１２】変更形態１のヘッドの横断面図である。
【図１３】変更形態２のヘッドの横断面図である。
【図１４】変更形態３のヘッドの横断面図である。
【図１５】変更形態４のヘッドの横断面図である。
【図１６】変更形態５のヘッドの横断面図である。
【図１７】流路が閉止された状態における変更形態６のヘッドの横断面図である。
【図１８】流路の一部が開放された状態における変更形態６のヘッドの横断面図である。
【図１９】変更形態７のヘッドの横断面図である。
【図２０】変更形態８のヘッドの横断面図である。
【図２１】変更形態９のヘッドの横断面図である。
【図２２】図２１のＥ−Ｅ線断面図である。
【図２３】流路が閉止された状態における変更形態９のヘッドの断面図である。
【図２４】流路が開放された状態における変更形態９のヘッドの断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１，１Ａ〜１Ｉ  ヘッド
１３  インク流路
１４，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｆ，１４Ｉ  第１個別電極
１５，１５Ａ〜１５Ｆ，１５Ｉ  第２個別電極
１６  ドライバＩＣ
１７  共通電極
１８  絶縁膜
１９，１９Ｂ，１９Ｃ，１９Ｉ  高撥液領域
２０  気泡
３０  ヘッド制御部
３２  インク流量決定部
３３  開放時間決定部
６０  プリンタ
８０  共通電極
８１  第１絶縁膜
８２  第２絶縁膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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