(57)【要約】【課題】ガラス繊維を主体繊維とする濾材において、通風使用時に濾材から発生するアウトガス量が少なく、且つ、低圧力損失化と高捕集効率を有し、また高い撥水性を有するエアフィルタ用濾材を提供することである。【解決手段】本発明に係るエアフィルタ用濾材は、ガラス繊維を主体繊維としたエアフィルタ用濾材において、前記ガラス繊維の表面に合成樹脂バインダー及び分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤を付着させていることを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス繊維を主体繊維としたエアフィルタ用濾材において、前記ガラス繊維の表面に合成樹脂バインダー及び分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤を付着させていることを特徴とするエアフィルタ用濾材。
【請求項２】
前記エーテル型非イオン界面活性剤が、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系の非イオン界面活性剤であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項３】
前記エーテル型非イオン界面活性剤が、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系の非イオン界面活性剤であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項４】
前記エーテル型非イオン界面活性剤の添加量は、前記合成樹脂バインダーに対して固形分重量で０．１０〜１０．０重量％であることを特徴とする請求項１、２又は３記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項５】
ガラス繊維を主とする原料繊維を分散させたスラリーを湿式抄紙することによって湿紙を形成させた後、
合成樹脂バインダーと分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤との混合液を前記湿紙に付着させてその後乾燥させるか、或いは、湿式抄紙した前記湿紙をまず乾燥させ、乾燥させた紙に合成樹脂バインダーと分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤との混合液を付着させて、再度乾燥させることを特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体、液晶、バイオ・食品工業関係のクリーンルーム、クリーンベンチなど、あるいはビル空調用エアフィルタ、空気清浄用途などに使用されるエアフィルタ用濾材に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体製造工程ではＬＳＩの集積度向上に伴い、クリーンルームを構成するエアフィルタやその他構成部材から発生するｎｇ／ｍ３オーダーの微量ガス成分アウトガスがシリコンウエハに付着し、半導体製品の歩留を下げる原因として大きな問題となっている。ここで問題とされるアウトガスの成分は、シリコンウエハに付着し易い極性物質一般であるが、特に低分子環状シロキサン類、可塑剤などに使用されるフタル酸エステル化合物、難燃剤などに使用されるリン酸エステル化合物、酸化防止剤等に使用されるフェノール系化合物等が問題視されている。また、前記問題成分以外の物質でもシリコンウエハへ付着すれば半導体の製品歩留は低下してしまう。そのため問題物質はもとより、問題物質以外のアウトガス量の低減が望まれていた。
【０００３】
従来、空気中のサブミクロン、あるいはミクロン単位の粒子を効率的に捕集するためにエアフィルタ用濾材が用いられている。濾材は性能により中性能フィルタ用、ＨＥＰＡフィルタ用又はＵＬＰＡフィルタ用に大別される。このうち、ＨＥＰＡフィルタ用濾材においてはＭＩＬ−Ｆ−５１０７９Ｃ（米軍規格）において、有効面積１００ｃｍ２の濾紙に面風速５．３ｃｍ／秒通風したときの圧力損失が４０ｍｍＨ２Ｏ以下、多分散ＤＯＰ粒子（ＤＯＰ：フタル酸ジオクチル）を含む空気を面風速５．３ｃｍ／秒通風した時の０．３μｍＤＯＰ捕集効率が９９．９７％以上と規定されている。ＵＬＰＡフィルタについては明確な規定はないが、ＩＥＳ（Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ  ｏｆ  Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌ  Ｓｃｉｅｎｃｅｓ  米国環境科学協会）のＲＰ−２１において、面風速２．５ｃｍ／秒通風したときの０．１〜０．２μｍのＤＯＰ捕集効率が９９．９９９％以上と定義づけされている。
【０００４】
エアフィルタ用濾材においては通常、主要構成物として平均繊維径コンマ数μｍ(サブミクロン)〜数十μｍオーダーのガラス繊維が用いられている。
【０００５】
しかし、ガラス繊維それ自体には、一般に使用されているパルプ繊維のような自己接着力がなく、そのままでは後加工や実使用に耐えられる強度が無い。あるいは、通風時にガラス繊維が飛散してしまうなど問題点が生じてしまう。従来、この問題を解決するために、ガラス繊維基材にバインダー、特に合成樹脂バインダーを付与する方法が用いられている。使用される合成樹脂バインダーとしては、アクリル系ラテックス、アクリロニトリル・ブタンジエンゴム（以下、「ＮＢＲ」と略す。）系ラテックス、酢酸ビニル系ラテックス、オレフィン系ラテックス等などがある。
【０００６】
しかし、この方法で濾材の強度を上げようとするとバインダー付着量を増やす必要があるが、付着量を増やすとガラス繊維間にバインダーの水掻き状膜が増えるため、濾材の圧力損失が高くなり、また、バインダー膜が微細繊維を埋め込んでしまい、粒子の捕集効率を下げる問題が生じる。
【０００７】
これを解決する手段として、シリコーン樹脂を含有することによりバインダーの表面張力を低下させ、バインダーの水掻き状膜を解消、または、減少させる方法（例えば特許文献１を参照。）が提案されている。
【０００８】
しかし、シリコーン樹脂は、製造時の未反応物、反応副生物や添加物などの低分子量成分に由来する、前記問題成分が多く含まれており、通風使用時にこれらが濾材からアウトガスとして発生するため使用は難しい。
【０００９】
また、本発明者らが過去に提案したフッ素系界面活性剤を添加してバインダーの表面張力を下げる方法（特許文献２を参照。）もある。しかし、フッ素系界面活性剤は、バインダーの表面張力低下能力が高く、濾材自体の濡れ性が高くなり、濾材の撥水性を低下させる問題点がある。フッ素系界面活性剤添加によって下がった撥水性を上げるために撥水剤の添加量を多くすると濾材からのアウトガス発生量が多くなる問題がある。
【００１０】
また、本発明者らが過去に提案した非イオン界面活性剤の一種であるアセチレン系界面活性剤を添加してバインダーの表面張力を下げる方法（特許文献３を参照。）もある。この方法では撥水性を低下させることなくフィルタ捕集性能を向上させることが出来る。しかし、アセチレン系界面活性剤は低分子量で、分子がコンパクトな構造であるため、通風使用時にアセチレン系の物質がアウトガスとして濾材から大量に発生するため問題がある。
【００１１】
以上のようにエアフィルタ用濾材から発生するアウトガス量を少なく抑えると同時に低圧力損失化・高捕集効率化を達成し、かつ十分な撥水性を有することは非常に困難である。しかし、このような特性を全て満たす濾材への要求は非常に強く、それらを達成するための改良手段が必要となっていた。
【特許文献１】特開平２−１７５９９７号公報
【特許文献２】特開平１０−１５６１１６号公報
【特許文献３】特開２００３−７１２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の目的は、通風使用時に濾材から発生するアウトガス量が少なく、且つ、低圧力損失化と高捕集効率を有するエアフィルタ用濾材を提供し、さらに高い撥水性も有するエアフィルタ用濾材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者らは、ガラス繊維表面に合成樹脂バインダーと分子量が所定以上のエーテル型非イオン界面活性剤を付着させて、繊維の交絡点を接着させることで上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成させた。すなわち、本発明に係るエアフィルタ用濾材は、ガラス繊維を主体繊維としたエアフィルタ用濾材において、前記ガラス繊維の表面に合成樹脂バインダー及び分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤を付着させていることを特徴とする。
【００１４】
ここで、前記エーテル型非イオン界面活性剤が、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系の非イオン界面活性剤であることが好ましい。或いは、前記エーテル型非イオン界面活性剤が、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系の非イオン界面活性剤であることが好ましい。合成樹脂バインダーの表面張力を低下させつつ、それ自身はアウトガスとして濾材から脱離し難い。
【００１５】
前記エーテル型非イオン界面活性剤の添加量は、前記合成樹脂バインダーに対して固形分重量で０．１０〜１０．０重量％であることが好ましい。合成樹脂バインダーの表面張力を下げつつ、所定以上の撥水性が得られる。
【００１６】
また、本発明に係るエアフィルタ用濾材の製造方法は、ガラス繊維を主とする原料繊維を分散させたスラリーを湿式抄紙することによって湿紙を形成させた後、（１）合成樹脂バインダーと分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤との混合液を前記湿紙に付着させてその後乾燥させるか、或いは、（２）湿式抄紙した前記湿紙をまず乾燥させ、乾燥させた紙に合成樹脂バインダーと分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤との混合液を付着させて、再度乾燥させることを特徴とする。合成樹脂バインダーと分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤との混合液を、湿紙または乾燥した紙を構成するガラス繊維の表面に同時に付着形成することで、合成樹脂バインダーの表面張力を下げつつ、所定以上の撥水性を得る。合成樹脂バインダーとエーテル型非イオン界面活性剤を付着させた後の湿紙又は紙を最終的に乾燥させることで、合成樹脂バインダーを架橋させて強固な接合強度と得ると共に、充分な撥水性を得ることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のエアフィルタ用濾材は、通風使用時に濾材から発生するアウトガス量が少なく、且つ、低圧力損失化と高捕集効率を有する。さらに高い撥水性も有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明について詳細に説明するが、本発明はこれらの記載に限定して解釈されない。
【００１９】
本実施形態に係るエアフィルタ用濾材は、ガラス繊維を主体繊維としたエアフィルタ用濾材であり、ガラス繊維の表面に合成樹脂バインダー及び分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤を付着させている。ここで、ガラス繊維同士の交絡点をバインダーで接着せしめている。
【００２０】
本発明で主体繊維として使用するガラス繊維とは、必要とされる濾過性能やその他物性に応じて、種々の繊維径や繊維長を有する極細ガラス繊維やチョップドガラス繊維の中から自由に選ぶことが出来る。また、半導体工程の汚染を防止する目的で、ローボロンガラス繊維やシリカガラス繊維を使用することも出来る。更に副資材として、天然繊維や有機合成繊維や有機バインダー繊維などをガラス繊維中に配合しても差し支えない。しかし、有機繊維を使用する際には、アウトガスの発生量を抑えるためにも、素材の選定をする必要がある。
【００２１】
本実施形態のエアフィルタ用濾材で用いられるエーテル系非イオン界面活性剤は、分子量６００以上のエーテル型非イオン界面活性剤である。ここでエーテル型非イオン界面活性剤としては、特にポリオキシエチレンアルキルエーテル系の非イオン界面活性剤又はポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系の非イオン界面活性剤が好ましい。
【００２２】
ポリオキシエチレンアルキルエーテル系の非イオン界面活性剤は、疎水基に高級アルコール、親水基に酸化エチレンを付加したものであり、精製されたものが好ましい。
【００２３】
ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系の非イオン界面活性剤は、疎水基にポリプロピレングリコール、親水基に酸化エチレンを付加したものであり、精製されたものが好ましい。
【００２４】
ガラス繊維間のバインダー水掻き状膜の形成は、製造工程におけるバインダー液の表面張力に大きな影響を受けることは本発明者らの既出願発明（特許文献２又は３）の通りである。このバインダー膜が空隙を塞いで、圧力損失を増大させ、また、粒子捕集効率が高い極細繊維を膜内に埋め込んでしまい濾材の捕集性能を落としてしまう。そこで、バインダーの表面張力を下げて、繊維への濡れ性を改善し、水掻き状膜を減少させて、空隙を確保し、極細繊維が出現できるようにし、圧力損失の低下と捕集上率を向上させる。しかし、バインダーの表面張力を低下させるのに界面活性剤を使用すると、界面活性剤の種類や分子量によっては濾材からのアウトガス量が多くなってしまう問題点がある。
【００２５】
この問題を解決するために鋭意検討した結果、エーテル系非イオン界面活性剤の中の、分子量６００以上のポリオキシエチレンアルキルエーテル系のエーテル型非イオン界面活性剤又は分子量６００以上のポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系のエーテル型非イオン界面活性剤を用いることで効果が得られることが解った。
【００２６】
エーテル型非イオン界面活性剤には代表的なものにポリオキシエチレンアルキルエーテル系、ポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル系、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系がある。
【００２７】
エーテル型非イオン界面活性剤の中でも、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系又はポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系のエーテル型非界面活性剤は、疎水基と親水基がエーテル結合によって結合されているため、結合強度が強く分子が切れにくく、また分子量が６００以上ならばアウトガスとして濾材から発生しにくい特徴がある。しかし、分子量が６００未満では、分子量が小さいためそのものがアウトガスとして発生する可能性が高い。
【００２８】
同じエーテル型でもポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル系では、疎水基にベンゼン環を持つことから、他のポリオキシエチレンアルキルエーテル系又はポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系と比べて結合が切れやすい傾向にある。そのため、分子量が６００以上であっても、切れた断片の分子量は小さいため、アウトガスとして濾材から発生しやすくなり、使用は困難である。
【００２９】
また他の非イオン系面活性剤の種類としては、エステル型、エーテル・エステル型、アルカノールアミド型があるが、これらにも問題点がある。
【００３０】
エステル型は、疎水基と親水基がエステル結合によって結合されているが、エステル結合は切れやすいため、たとえ全体の分子量が６００以上であっても、切れた断片がアウトガスとして濾材から発生しやすい傾向がある。
【００３１】
エーテル・エステル型もエステル型と同様にエステル結合部分が切れやすいため、濾材からのアウトガスとして発生しやすい。
【００３２】
アルカノールアミド型は、安定な泡を作る特徴がある。そのため工程中に泡を大量に発生させてしまい、合成樹脂バインダーを濾材に均一に付着させることが出来ずに、撥水性などを低下させてしまう問題がある。また、撥水性を補うために撥水剤の添加量を多くすると濾材からのアウトガス発生量が多くなってしまう。
【００３３】
また、非イオン界面活性剤以外のカチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤では、合成樹脂バインダーやその他カップリング剤との相溶性が悪いと凝集が起こる。特に撥水性を向上させるために併用する撥水剤との相溶性が悪いと凝集がり、濾材への均一な付着が阻害され結果として期待する撥水性は得られない。そのため、撥水性を高めるためにより多くの撥水剤を必要としてしまい、アウトガス発生量が多くなってしまう。
【００３４】
通風使用時に濾材から発生するアウトガス量が少なく、且つ、低圧力損失化と高捕集効率を有し、また、高い撥水性を有するエアフィルタ用濾材を達成するためには、（１）濾材からアウトガスとして発生しにくく、且つ、（２）合成樹脂バインダーの表面張力を低下させ、合成樹脂バインダーの水掻き状膜を解消、又は、減少させる能力を持ち、（３）濾材の濡れ性を極力抑えることが必要である。また、エーテル型非イオン界面活性剤自体もアウトガスとして発生しにくくなければならない。
【００３５】
分子量６００以上のポリオキシエチレンアルキルエーテル系又はポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系のエーテル型非イオン界面活性剤ならば、目的の達成が可能であることを見出した。
【００３６】
本実施形態で使用する合成樹脂バインダーとは、例えば、アクリル系ラテックス、ＮＢＲ系ラテックス、酢酸ビニル系ラテックス、オレフィン系ラテックス、ポリビニール系ラテックス等がある。これらを単独、又は２種類以上を混合して併用しても差し支えない。また、エーテル型非イオン界面活性剤との混合物として同時付着させる方が好ましい。また、アウトガスとして発生の少ない合成樹脂バインダーを選定する必要がある。
【００３７】
合成樹脂バインダーの添加量はガラス繊維を主体とする繊維に対して、固形分重量で、２．０〜１５．０重量％、好ましくは３．０〜１０．０重量％である。２．０重量％未満では濾材の強度が十分に得られず、１５．０重量％を超えると、濾材の空隙を埋め、圧力損失を上昇させ濾材の捕集性能を低下させてしまう。そのため、エーテル型界面活性剤の添加量が多く必要となり、濾材からのアウトガス発生量が多くなってしまう。
【００３８】
また、このときの界面活性剤の添加量は、固形分重量で、対合成樹脂バインダー０．１０重量％〜１０．０重量％、さらに好ましくは１．０重量％〜７．０重量％である。対合成樹脂バインダー０．１０重量％未満では、合成樹脂バインダーとエーテル型非イオン界面活性剤との混合液の表面張力を十分に下げる効果がなく、また、対合成樹脂バインダーが１０．０重量％を超えると撥水性を低下させてしまう。
【００３９】
ポリオキシエチレンアルキルエーテル系又はポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系のエーテル型非イオン界面活性剤と合成樹脂バインダーを混合した混合液をガラス繊維表面に同時付着させる方が好ましい。
【００４０】
本実施形態に係るエアフィルタ濾材では、ガラス繊維表面に、合成樹脂バインダー及びエーテル型非イオン界面活性剤と共に、より高い撥水性を付与するために撥水剤を併用してもよい。合成樹脂バインダーの表面張力を下げつつ、より高い撥水性が得られる。ここで本実施形態における撥水性とは、ＭＩＬ−ＳＴＤ−２８２の測定方法で規定されるものである。濾材に撥水性を付与する目的としては、濾材をエアフィルタユニットに加工する際に使用するシール剤やホットメルト等のしみ込みを防ぐことや、濾材面に雨水などにより水が付着した場合や、温度変化による結露した場合でも、そのまま濾材を利用できるようにすること等が上げられる。ＭＩＬ規格においては、ＨＥＰＡ濾材の撥水性は５０８ｍｍ水柱高以上と規定されている。但し、ＨＥＰＡ濾材全てがこの規格に準拠している訳ではなく、その使用状況により、適切な撥水性が設定されている。しかし、アウトガスの発生量を抑えるためにも、添加量はある程度で抑えたほうが良い。また、撥水剤の種類としては、アウトガスの発生が少ない物を選定する必要がある。
【００４１】
本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法については、以下の製造方法で本発明に係るエアフィルタ用濾材を得ることが出来る。原料の分散工程は、ガラス繊維の分散をよくするために、硫酸などにより、酸性領域であるｐＨ２〜４の範囲で調整する方法、又は、中性領域で分散剤などの界面活性剤を使用してもよい。分散させた原料スラリーを湿式抄紙し湿紙を形成する。
【００４２】
次に合成樹脂バインダーにポリオキシエチレンアルキルエーテル系又はポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系のエーテル型非イオン界面活性剤を添加した混合液を、ガラス繊維表面に付着形成する工程について説明する。その際にパラフィンワックス系やアルキルケテンダイマー等のアウトガスとして発生しにくい撥水剤等を併用してもなんら差し支えない。ポリオキシエチレンアルキルエーテル系又はポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系のエーテル型非イオン界面活性剤を添加した混合液の付与の方法としては、特に限定されるものではないが、湿紙又はその湿紙を乾燥させた紙を混合液に浸透させる方法、湿紙又はその湿紙を乾燥させた紙に混合液をスプレーで吹き付ける方法、ロールに混合液を付着させ、湿紙又はその湿紙を乾燥させた紙に転写する方法などが挙げられる。
【００４３】
以上の工程を経た後、混合液を付着させたシート（湿紙又はその湿紙を乾燥させた紙）を乾燥させ、濾材を得る。乾燥方法としては、熱風方式、赤外線方式、ヤンキードライヤーや多筒式ドライヤーなど様々な方法が利用できる。乾燥温度は８０〜２２０℃とすることが望ましい。８０℃未満では合成樹脂バインダーの架橋が進まず、エアフィルタ用濾材としての十分な強度が得られず、また、十分な撥水性が得られない。また、２２０℃を超えると合成樹脂バインダーの成分の分解が始まってしまいエアフィルタ用濾材としての十分な強度が得られない。さらに好ましくは１００〜１８０℃とすることが望ましい。
【実施例】
【００４４】
以下、実施例を挙げて詳細に説明するが、本発明の内容は実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
平均繊維径が３μｍ以下の極細ボロシリケートガラス繊維９５重量％、平均繊維径６μｍチョップドガラス繊維５重量％を、テーブル離解機にてｐＨ３．５の酸性水を用いて濃度０．５重量％で離解後、手抄装置にて抄紙し湿紙を得た。次に、バインダー液組成が、アクリル系ラテックス（商品名：ヨドゾールＡＤ−５７、製造元：日本エヌエスシー（株））とポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤（商品名：エマルゲン１１３５Ｓ−７０（分子量６００以上）、製造会社：花王（株））とを固形分量比１００／２となるようにしたバインダー液を湿紙に付与し、その後１３０℃の循環乾燥機で乾燥し、目付重量７０.２ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．７重量％の濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００４５】
（実施例２）
実施例１において、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系の非イオン界面活性剤の代わりに、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレングリコール系のエーテル型非イオン界面活性剤（商品名：プロノン♯２０２Ｂ（分子量６００以上）製造会社：日本油脂(株)）とした以外は実施例１と同様にして、目付重量７１.２ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．５重量％の濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００４６】
（実施例３）
実施例１において、平均繊維径３μｍ以下の極細ローボロンガラス繊維９５重量％と平均繊維径９μｍチョップドローボロンガラス繊維５重量％とした以外は実施例１と同様にして、目付重量７１．５ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．４重量％の濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００４７】
（比較例１）
バインダー液組成がアクリル系ラテックス（商品名：ヨドゾールＡＤ−５７、製造元：日本エヌエスシー（株））のみとした以外は実施例１と同様にして、目付重量７０．５ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．５重量％の濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００４８】
（比較例２）
実施例１において、界面活性剤の分子量６００以上のものから分子量５００以下のポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤（商品名：レオックスＣＣ−５０  製造会社：ライオン(株)）にした以外は実施例１と同様にして、目付重量７１．３ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．８重量％の濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００４９】
（比較例３）
実施例１において、界面活性剤をポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤からエーテル・エステル型非イオン界面活性剤（商品名：レオドールＴＷ―Ｏ１０６  製造会社：花王(株)）にした以外は実施例１と同様にして、目付重量７０．８ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．５重量％の濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００５０】
（比較例４）
実施例１において、界面活性剤をポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤からフッ素系界面活性剤（商品名：メガファックＦ−１２０  製造会社：大日本インキ化学工業(株)）にした以外は実施例１と同様にして、目付重量７１．９ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．６％の重量濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００５１】
（比較例５）
実施例１において、界面活性剤をポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤からアセチレン系界面活性剤（商品名：ダイノール６０４  製造会社：日信化学工業(株)）にした以外は実施例１と同様にして、目付重量７０．７ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．６重量％の濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００５２】
（比較例６）
実施例３において、界面活性剤をポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤からエーテル・エステル型非イオン界面活性剤（商品名：レオドールＴＷ―Ｏ１０６  製造会社：花王(株)））にした以外は実施例３と同様にして、目付重量７１．３ｇ／ｍ２、ガラス繊維に対してバインダー組成物固形分付着量５．６重量％の濾材を得た。後記表１のようなフィルタ性能が得られた。
【００５３】
（１）圧力損失
有効面積１００ｃｍ２の濾紙に面風速５．３ｃｍ／ｓｅｃで通風した時の圧力損失を微差圧計で測定した。
（２）ＤＯＰ捕集効率
ラスキンノズルで発生させた多分散ＤＯＰ粒子を含む空気を、有効面積１００ｃｍ２の濾紙に面風速５．３ｃｍ／ｓｅｃで通風した時のＤＯＰの捕集効率をリオン社製レーザーパーティクルカウンターＫＣ−１８で測定した。ＤＯＰ捕集効率は、０．３−０．４μｍのＤＯＰ粒子の捕集効率（％）とする。
（３）ＰＦ値
濾紙のフィルタ性能の指標となるＰＦ値は、（１）と（２）の測定に基づき、次式（数１）より求めた。ＰＦ値が高いほど、同一圧力損失で高捕集効率を示す。
【数１】
2006167491.tif 000002
（４）撥水性
ＭＩＬ−ＳＴＤ−２８２に準拠して測定した。
（５）アウトガス発生速度（アウトガス発生量）
いわゆるダイナミックヘッドスペース法を用いた。発生ガス濃縮導入装置（ジーエルサイエンス社製  ＭＳＴＤ−２５８）を用い、試料約０．２ｇを９９．９９９％の不活性Ｈｅガス気流中（流量５０ｍｌ／分）で、８０℃、１時間加熱し、試料から発生したアウトガスを吸着剤（ＴＥＮＡＸ  ＴＡ）で捕集濃縮し、２７０℃で再脱離させたガスをクライオフォーカスユニットでサンプルバンドを狭めた後、ガスクロマトグラフ質量分析計（島津製作所製ＧＣＭＳ-ＱＰ５０５０Ａ）に導入して測定した。キャピラリーカラムは、ＴＣ-１（ジーエルサイエンス社製；０．２５ｍｍ×６０ｍ、膜圧０．２５μｍ）を用いた。質量分析計の装置のイオン化法は電子衝撃法（イオン化電圧７０ｅＶ）である。このときの時間あたりのアウトガス発生量をアウトガス発生速度として、ｎ−ヘキサデカン検量線によって相対評価した。
【００５４】
【表１】
2006167491.tif 000003
【００５５】
実施例１，２又３では、作製したエアフィルタは全てＰＦ値は１６．０以上、撥水性は４００ｍｍ水柱高以上であり、且つアウトガス発生量は１８０ｎｇ／ｇ・ｈｒ以下でありバランスが取れていずれも優良であった。一方、比較例１はＰＦ値１５．０１とフィルタ捕集性能が低く劣る結果であった。また、比較例２，３，５，６はＰＦ値、撥水性共に良好な結果であったが、アウトガス発生量が実施例１に比べ２倍以上と多く、劣る結果となった。さらに比較例４は撥水性が２０ｍｍ水柱高と低く劣る結果となった。