(57)【要約】【課題】  液体の吐出方向が軸線方向と一致するように容易に調整可能な液体吐出用ノズル及び塗布形状や塗布面積を容易に調整可能な液体吐出用ノズルと、それらを用いることによってフラックスの塗布が高能率で精度よく行なえ、製造コストの上昇を抑制できるフラックス塗布装置を提供する。【解決手段】  フラックス塗布用ノズル３は、所定量の液状フラックスＦを先端面で霧化する軸状の霧化部４０と、霧化部４０を中心として半径方向に所定距離離間してその周囲を取り巻く筒状のカバー部５０と、霧化部４０とカバー部５０との間に形成される環状の空間を周方向に分割して区画形成される４つのエアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄと、各エアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄ毎に加圧された空気Ｇを供給するエアチャージ室数と同数の供給部７０Ａ〜７０Ｄとを備えている。【選択図】        図１
2006263562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定量の液体を先端面で霧化する軸状の霧化部と、
その霧化部を中心として半径方向に所定距離離間してその周囲を取り巻くとともに、前記霧化部の先端面を外部に突出させるための、又はその先端面で霧化された霧状の液体を外部に吐出させるための開口部を一端側に有する筒状のカバー部と、
それら霧化部とカバー部との間に形成されかつ前記開口部と連通する環状の空間を周方向に分割して区画形成され、前記霧状の液体を取り巻く形で前記開口部から噴出するための加圧気体で満たされる複数の圧力室と、
各圧力室毎に前記加圧気体を供給する複数の供給部とを備え、
前記供給部において前記加圧気体の圧力及び／又は流量を前記圧力室毎に個別に調整することにより、前記霧化部の先端面で霧化されスポット状に吐出する霧状の液体の吐出方向を調整可能とすることを特徴とする液体吐出用ノズル。
【請求項２】
所定量の液体を先端面で霧化する軸状の霧化部と、
その霧化部を中心として半径方向に所定距離離間してその周囲を取り巻くとともに、前記霧化部の先端面を外部に突出させるための開口部を一端側に有する筒状のカバー部と、
それら霧化部とカバー部との間に形成されかつ前記開口部と連通する環状の空間を周方向に分割して区画形成され、前記霧化部の先端面で霧化された霧状の液体を取り巻く形で前記開口部から噴出するための加圧気体で満たされる複数の圧力室と、
各圧力室毎に前記加圧気体を供給する複数の供給部とを備え、
前記供給部において前記加圧気体の圧力及び／又は流量を前記圧力室毎に個別に調整することにより、前記霧化部の先端面で霧化されスポット状に吐出する霧状の液体の吐出方向を連続的に又は断続的に変更して、塗布形状及び／又は塗布面積を調整可能とすることを特徴とする液体吐出用ノズル。
【請求項３】
前記霧化部は、先端に向かうにつれて縮径する超音波振動部を有し、
前記複数の圧力室に区画形成するための隔壁が、前記カバー部の内周壁から径方向内側の前記超音波振動部側に向けて突出形成され、前記隔壁の先端縁と前記超音波振動部の外周面との間には隙間が形成されている請求項１又は２に記載の液体吐出用ノズル。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出用ノズルと、
前記液体として半田付け位置に塗布すべき液状のフラックスを貯留する貯留部と、
その貯留部から前記フラックスを吸引して収納し所定量毎に吐出して前記ノズルに供給するシリンジポンプとを備え、
前記貯留部のフラックスが前記シリンジポンプ内に収納され、そのシリンジポンプ内のフラックスが吐出して前記ノズルに供給され、そのシリンジポンプから供給されたフラックスが前記ノズルの霧化部で霧化され霧状に吐出して、前記半田付け位置にスポット状に塗布されることを特徴とするフラックス塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は液体吐出用ノズル及びフラックス塗布装置（フラクサあるいはフラクサ装置ともいう）に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリント配線基板の半田付け工程の前工程で用いられるフラックス塗布装置において、液状のフラックスを霧化する霧化器をフラックス塗布用ノズルに備えたものがある。このような霧化式フラクサとして、従来より基板全面に霧状フラックスを噴霧する全面噴霧タイプ（特許文献１参照）が多用されてきた。そして、最近では、超音波振動式霧化器を用いて、多数の塗布位置の各々へ所定量の霧状フラックスをスポット状（ドット状）に塗布する局所塗布タイプも開発されている。
【０００３】
【特許文献１】特公平６−９６１９０号公報
【０００４】
この超音波式局所塗布フラクサ用ノズルでは、図９に示すように、図示しないポンプ等から供給された所定量の液状フラックスＦが、霧化部１４０に備えられる超音波ホーン１４１の先端面で霧化され、基板Ｗの半田付け位置Ｓにスポット状に塗布される。このとき、霧化された霧状フラックスＦ’を超音波ホーン１４１の先端面から半田付け位置Ｓへスムーズに移行させるために、霧状フラックスＦ’を取り巻く形でカバー部１５０の先端開口部１５１から加圧空気Ｇを噴出させている。この加圧空気Ｇは、カバー部１５０の内部（カバー部１５０と超音波ホーン１４１との間）に形成されたエアチャージ室１６０に、エア供給継手１７１を介して外部から送り込まれており、エアチャージ室１６０と開口部１５１とは連通している。図９に示すフラクサによれば、スポット状の半田付け位置Ｓ以外の基板Ｗを覆うためのマスキングや塗布されなかった霧状フラックスＦ’の回収を要しないため、フラックス塗布工程の高能率化を図ることができる。
【０００５】
しかし、図９のような超音波式局所塗布フラクサ用ノズルでは、エア供給継手１７１は円筒状のカバー部１５０の周方向１箇所にのみ設けられるため、エアチャージ室１６０内の加圧空気Ｇの圧力分布に周方向の偏りを生じる場合がある。その結果、霧状フラックスＦ’を取り巻く加圧空気Ｇの噴出流が軸線に対して対称形でなくなると、霧状フラックスＦ’の塗布位置と半田付け位置Ｓとのずれの程度によっては半田付け品質の低下を招くおそれがある。また、一旦ノズルの形状が定められると、フラックスの塗布形状や塗布面積を変更することができないので、例えば楕円形状（長円形状）に塗布するには専用の超音波ホーンに取り替える必要がある。
【０００６】
一方、例えばこのようなフラックス塗布用ノズルをフラックス塗布装置、特にプリント配線基板の半田付けのように多数の半田付け位置へ塗布するものに用いた場合には、フラックス塗布位置と半田付け位置とのずれによる半田付け品質の低下（極端な場合には、歩留りの低下）、ずれ修正のための熟練技術の確保等によって製造コストの上昇を招くことになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、液体の吐出方向が軸線方向と一致するように容易に調整可能な液体吐出用ノズル及び塗布形状や塗布面積を容易に調整可能な液体吐出用ノズルと、それらを用いることによってフラックスの塗布が高能率で精度よく行なえ、製造コストの上昇を抑制できるフラックス塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の液体吐出用ノズルは、
所定量の液体を先端面で霧化する軸状の霧化部と、
その霧化部を中心として半径方向に所定距離離間してその周囲を取り巻くとともに、前記霧化部の先端面を外部に突出させるための、又はその先端面で霧化された霧状の液体を外部に吐出させるための開口部を一端側に有する筒状のカバー部と、
それら霧化部とカバー部との間に形成されかつ前記開口部と連通する環状の空間を周方向に分割して区画形成され、前記霧状の液体を取り巻く形で前記開口部から噴出するための加圧気体で満たされる複数の圧力室と、
各圧力室毎に前記加圧気体を供給する複数の供給部とを備え、
前記供給部において前記加圧気体の圧力及び／又は流量を前記圧力室毎に個別に調整することにより、前記霧化部の先端面で霧化されスポット状に吐出する霧状の液体の吐出方向を調整可能とすることを特徴とする。
【０００９】
この液体吐出用ノズルによれば、複数の圧力室毎に加圧気体の圧力や流量を個別に調整することにより、開口部から噴出する加圧気体の噴出流を軸線に対して対称形（円柱状、円錐状、円錐台状等）に形成することが容易にできる。これによって、霧化部の先端面からスポット状に吐出する霧状の液体は、周囲を加圧気体の噴出流によって均等に取り巻かれ、液体の吐出方向が軸線方向と一致するように容易に調整できる。
【００１０】
また、上記課題を解決するために、本発明の液体吐出用ノズルは、
所定量の液体を先端面で霧化する軸状の霧化部と、
その霧化部を中心として半径方向に所定距離離間してその周囲を取り巻くとともに、前記霧化部の先端面を外部に突出させるための開口部を一端側に有する筒状のカバー部と、
それら霧化部とカバー部との間に形成されかつ前記開口部と連通する環状の空間を周方向に分割して区画形成され、前記霧化部の先端面で霧化された霧状の液体を取り巻く形で前記開口部から噴出するための加圧気体で満たされる複数の圧力室と、
各圧力室毎に前記加圧気体を供給する複数の供給部とを備え、
前記供給部において前記加圧気体の圧力及び／又は流量を前記圧力室毎に個別に調整することにより、前記霧化部の先端面で霧化されスポット状に吐出する霧状の液体の吐出方向を連続的に又は断続的に変更して、塗布形状及び／又は塗布面積を調整可能とすることを特徴とする。
【００１１】
この液体吐出用ノズルによれば、複数の圧力室毎に加圧気体の圧力や流量を個別に調整することにより、開口部から噴出する加圧気体の噴出流の噴出方向を軸線に対して斜め交差状とすることが容易にできる。それにつれて、霧化部の先端面からスポット状に吐出する霧状の液体は、その吐出方向が変更されるので、塗布形状や塗布面積を容易に調整できる。例えば、特定の圧力室に供給される加圧気体の圧力や流量を他の圧力室よりも大とすれば、噴出流の噴出方向を径方向の対称位置側に偏らせることができ、塗布形状を円形状から楕円形状（長円形状）に変更することができる。なお、加圧気体（噴出流）として、加圧された空気、窒素ガス、不活性ガス（Ａｒ，Ｈｅ等）等が用いられる。
【００１２】
これらの液体吐出用ノズルにおいて、霧化部は、先端に向かうにつれて縮径する超音波振動部（超音波ホーン）を有し、複数の圧力室に区画形成するための隔壁が、カバー部の内周壁から径方向内側の超音波振動部側に向けて突出形成され、隔壁の先端縁と超音波振動部の外周面との間に隙間を形成することができる。超音波振動方式の霧化部とすることにより、液体を微細な霧状として吐出又は塗布することができる。その際、隔壁の先端縁と超音波振動部の外周面との間に隙間を形成してあるので、超音波振動部（超音波ホーン）の微小振動が隔壁に直接伝わらず、各圧力室内の圧力分布に偏りを生じないから、液体の吐出方向や塗布位置の安定化が促進される。
【００１３】
なお、隔壁の先端縁と超音波振動部の外周面との間の隙間を介して、隣接する圧力室間で加圧気体が若干流通することになるが、この隙間は超音波振動（通常、振幅２μｍ程度）による接触を避ける程度でよく、両圧力室内の気体圧力が均一化されるほどではない。したがって、隣接する圧力室間に圧力差（圧力勾配）を設けることは十分可能であり、各圧力室に供給される加圧気体の圧力調整によって上記した塗布形状や塗布面積の調整（変更）を達成できる。
【００１４】
ところで、筒状のカバー部の開口部側端部（下端部；先端部）を先端側ほど縮径する縮径部に形成する場合には、例えばノズルの軸線をプリント配線基板の表面に対して斜めに傾斜して縮径部の外面を基板表面と平行状に位置させれば、基板の隅部にフラックスを塗布することができるようになり、液体吐出用ノズルの汎用性が高まる。
【００１５】
次に、上記課題を解決するために、本発明のフラックス塗布装置は、
上記した液体吐出用ノズルと、
液体として半田付け位置に塗布すべき液状のフラックスを貯留する貯留部と、
その貯留部からフラックスを吸引して収納し所定量毎に吐出してノズルに供給するシリンジポンプとを備え、
貯留部のフラックスがシリンジポンプ内に収納され、そのシリンジポンプ内のフラックスが吐出してノズルに供給され、そのシリンジポンプから供給されたフラックスがノズルの霧化部で霧化され霧状に吐出して、半田付け位置にスポット状に塗布されることを特徴とする。
【００１６】
このように、上記した液体吐出用ノズルをフラックス塗布用ノズルとして用い、フラックス塗布装置に適用することによって、霧化されたフラックスの吐出方向が安定し、その霧状フラックスの塗布位置を半田付け位置に一致させやすくなる。そして、プリント配線基板のように多数の塗布位置を有するワークに対し、微量（例えば１回あたり１ｍｌ以下）のフラックスを微小径（例えば０．１ｍｍ以下）のスポット状にして高精度で塗布できる。したがって、フラックス塗布位置の半田付け位置からのずれに基づく不良品発生率を低下（半田付け品質を向上、ひいてはワークの歩留りを向上）させることができ、ずれ修正のために特殊な熟練技術を要しない。また、専用の超音波ホーンを用いなくても塗布形状や塗布面積を容易に調整（変更）できるので、半田付けの形状や面積に合わせてフラックス塗布の形状や面積を自在に変更・調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（実施例）
以下、本発明の実施の形態を図面に示す実施例を参照しつつ説明する。図１は本発明に係るフラックス塗布用ノズルの一例を示す分解斜視図、図２はそのフラックス塗布用ノズルの正面断面図、図３は図２のＡ−Ａ断面図である。図１に示すように、フラックス塗布用ノズル３（液体吐出用ノズル）は、後述するシリンジポンプユニット１（図５参照）等から供給された所定量（例えば１回あたり１００μｌ）の液状フラックスＦ（液体）を先端面で霧化する軸状の霧化部４０と、霧化部４０を中心として半径方向に所定距離離間してその周囲を取り巻く筒状のカバー部５０と、霧化部４０とカバー部５０との間に形成される環状の空間を周方向に等分割して区画形成される複数（例えば４つ）のエアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄ（圧力室）と、各エアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄ毎にコンプレッサ７５（図４参照）等で加圧された空気Ｇ（加圧気体）を供給するエアチャージ室数と同数の供給部７０Ａ〜７０Ｄとを備えている。
【００１８】
図２及び図３に示すように、霧化部４０には、先端に向かうにつれて縮径し、少なくとも軸線方向（上下方向）に微小振動（例えば振幅２μｍ）する超音波ホーン４１（超音波振動部）が備えられ、超音波ホーン４１の先端面で液状フラックスＦの霧化が行なわれる。この超音波ホーン４１は、ダンパ等の緩衝部材（図示せず）を介して支持部４２に保持されている。また、支持部４２は、その外周面に形成されたねじ部４２ａによってカバー部５０に螺合されている。したがって、フラックス供給継手４３（液体供給口）から供給された液状フラックスＦは、霧化部４０を軸線方向（上下方向）に貫通形成された貫通孔４０ａを通り、超音波ホーン４１の先端面で微小振動を受けて霧化される。
【００１９】
カバー部５０の一端側（下端側）には、超音波ホーン４１（霧化部４０）の先端面を外部に突出させるための開口部５１が形成されている。この開口部５１の下方において、霧化部４０を貫通する貫通孔４０ａの出口側（下端側）が開口している。また、開口部５１と各エアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄとは連通している。
【００２０】
４つのエアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄは、対応する供給部７０Ａ〜７０Ｄからそれぞれ供給された加圧空気Ｇで満たされており、この加圧空気Ｇは、超音波ホーン４１（霧化部４０）の先端面で霧化された霧状のフラックスＦ’を取り巻く形で開口部５１から噴出する。これらのエアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄは、カバー部５０の内周壁から径方向内側の超音波ホーン４１側に向けて突出形成される４枚の隔壁６１，６１，６１，６１によって区画形成されている。そして、各々の隔壁６１の先端縁（上縁及び内縁）と超音波ホーン４１の外周面との間には、超音波ホーン４１の振動によって両者が干渉しないように隙間Ｋが形成されている。
【００２１】
図４に示すように、コンプレッサ７５からの加圧空気Ｇは、コンプレッサ７５に対して並列的に配置される複数（ここでは４つ）の供給部７０Ａ〜７０Ｄを介して対応するエアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄに分配供給されている。各供給部７０Ａ〜７０Ｄには、２ポート２位置型の電磁切換弁７４、圧力調整器７３、流量調整弁７２等が直列状に配置され、カバー部５０の周面にねじ止めされたエア供給継手７１（気体供給口）から各エアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄに導入される。なお、エア供給継手７１は、その雄ねじ部７１ａがカバー部５０の壁部に形成された雌ねじ部５０ａと螺合して固定される。
【００２２】
各々の電磁切換弁７４は、コントローラ７６からの制御信号によって、コンプレッサ７５からの加圧空気Ｇを各エアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄに供給する位置（ａ位置）と供給停止する位置（ｂ位置）とに一斉に切り換えられる。また、各々の流量調整弁７２は、コントローラ７６からの制御信号によって、各エアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄに供給される加圧空気Ｇの流量を個別に調整する。同様に、各々の圧力調整器７３は、コントローラ７６からの制御信号によって、各エアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄに供給される加圧空気Ｇの圧力を個別に調整する。
【００２３】
したがって、図４に示す各供給部７０Ａ〜７０Ｄにおいて、加圧空気Ｇの圧力を圧力調整器７３により、あるいはその流量を流量調整弁７２により、エアチャージ室６０Ａ〜６０Ｄ毎に個別に調整することができる。これによって、図２に示すように、超音波ホーン４１の先端面で霧化されてスポット状に吐出する霧状のフラックスＦ’の吐出方向及び加圧空気Ｇの噴出方向を所定の方向（例えば鉛直下向き）に調整して、半田付け位置Ｓに塗布することができる。
【００２４】
また、上記と同様に圧力調整器７３や流量調整弁７２を調整することによって、図７に示すように、加圧空気Ｇの噴出方向及び霧状のフラックスＦ’の吐出方向を首振り状に変更（変動）して、塗布形状を楕円状（長円状）とすることができる。なお、加圧空気Ｇの噴出方向及び霧状のフラックスＦ’の吐出方向を軸線周りで１回転させれば、塗布面積（直径）の大きな円形状に形成することもできる。しかも、このような塗布形状や塗布面積の調整は、圧力調整器７３や流量調整弁７２の調整によって可能であり、超音波ホーン４１を交換する必要がないため、フラックス塗布工程や半田付け工程を長時間中断しなくてよい。
【００２５】
図２に示すように、筒状のカバー部５０の開口部５１側端部（下端部；先端部）は、先端側ほど縮径（例えば４５°のテーパ状）する縮径部５２に形成されている。そこで、図８に示すように、ノズル３の軸線をプリント配線基板Ｗの表面に対して斜めに傾斜させて縮径部５２の外面を基板Ｗ表面と平行状に位置させれば、基板Ｗの隅部に霧状のフラックスＦ’を塗布することができるようになり、狭いところでの塗布作業が可能となる。
【００２６】
図５は、図１のフラックス塗布用ノズルを用いたフラックス塗布装置の一例を示す配管図である。図５のフラックス塗布装置１００は、図１〜図３で説明したフラックス塗布用ノズル３と、プリント配線基板Ｗ（ワーク）の半田付け位置Ｓに塗布する液状のフラックスＦ（液体）を貯留する貯留タンク２（貯留部）と、貯留タンク２からシリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂ内に収納したフラックスＦを所定量毎に吐出してノズル３に供給するシリンジポンプユニット１とを備えている。
【００２７】
シリンジポンプユニット１は、液状のフラックスＦが収納されて並列的に配置される一対のシリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂと、単一の可逆式電動モータ２０（駆動源；例えばステッピングモータ）と、モータ２０からの駆動力を各々のシリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂへ同時に動力伝達する伝動機構３０とを備えている。
【００２８】
シリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂは、フラックスＦを吐出又は吸引する開口部１１ａ，１１ａが一端側に形成されたシリンダ１１Ａ，１１Ｂと、そのシリンダ１１Ａ，１１Ｂの他端側から摺動可能に挿入されたピストン１２Ａ，１２Ｂとを有している。一対のシリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂは、その軸線がそれぞれほぼ垂直上下方向を向くように互いに平行状に配置されている。そして、開口部１１ａ，１１ａはそれぞれシリンダ１１Ａ，１１Ｂの上端部に形成されている。
【００２９】
モータ２０は、各シリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂのピストン１２Ａ，１２Ｂを軸線方向に直線的に移動させて、開口部１１ａ，１１ａからフラックスＦを所定量毎に吐出又は吸引させる。また、伝動機構３０は、ピストン１２Ａ，１２Ｂの移動方向が一対のシリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂで互いに逆方向となるように、モータ２０の駆動力をシリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂへ動力伝達する。
【００３０】
ところで、伝動機構３０は、中央に設けた揺動支軸３１ａ（支点）の周りに所定の角度範囲で揺動可能な揺動アーム３１（揺動体）を有している。揺動アーム３１の両端部は、ピストン１２Ａ，１２Ｂの基端部（下端部）とそれぞれ係合され、モータ２０によって揺動される。具体的には、カップリング２１を介してモータ２０と接続されたボールねじ３９（ねじ部材）がピストン１２Ａ，１２Ｂと平行状に配置されている。そして、ボールねじ３９の雌ねじ部材３９ａは、一方のピストン１２Ａの基端部と連結され、かつそのピストン１２Ａと平行状に配置された直線状のガイド３９ｂに摺動可能に着座している。
【００３１】
シリンダ１１Ａの開口部１１ａからノズル３に至る管路及び貯留タンク２からシリンダ１１Ａの開口部１１ａに至る管路には、４ポート２位置型の電磁切換弁１０１Ａが介装されている。同様に、シリンダ１１Ｂの開口部１１ａからノズル３に至る管路及び貯留タンク２からシリンダ１１Ｂの開口部１１ａに至る管路には、４ポート２位置型の電磁切換弁１０１Ｂが介装されている。また、揺動アーム３１の揺動範囲を規定するリミットスイッチ１０２Ａ，１０２Ｂの検知信号に基づいて、電磁切換弁１０１Ａ，１０１Ｂ（のソレノイド）及びモータ２０に作動制御信号が発せられる。
【００３２】
図５では、電磁切換弁１０１Ａがシリンダ１１Ａの開口部１１ａとノズル３とを連通させる位置（ａ位置）にあり、電磁切換弁１０１Ｂが貯留タンク２とシリンダ１１Ｂの開口部１１ａとを連通させる位置（ａ位置）にある。この状態で、モータ２０が一方向（例えば反時計回り）に回転すると、一方のピストン１２Ａが上向きに移動して開口部１１ａから一定量毎にシリンダ１１Ａ内のフラックスＦを吐出する。そのフラックスＦは電磁切換弁１０１Ａを介してノズル３に供給され、液状フラックスＦ（又は上記した霧状フラックスＦ’）がプリント配線基板Ｗの半田付け位置Ｓに塗布される。他方のピストン１２Ｂは下向きに移動し、電磁切換弁１０１Ｂを介して貯留タンク２からフラックスＦを汲み上げて、開口部１１ａから一定量毎にフラックスＦを吸引しシリンダ１１Ｂ内に収納する。
【００３３】
揺動アーム３１がリミットスイッチ１０２Ｂに当接すると、その検知信号に基づいて、図６に示すように、電磁切換弁１０１Ｂがシリンダ１１Ｂの開口部１１ａとノズル３とを連通させる位置（ｂ位置）に切り換えられ、電磁切換弁１０１Ａが貯留タンク２とシリンダ１１Ａの開口部１１ａとを連通させる位置（ｂ位置）に切り換えられる。同時に、モータ２０の回転も逆方向（例えば時計回り）に切り換わり、他方のピストン１２Ｂが上向きに移動して開口部１１ａから一定量毎にシリンダ１１Ｂ内のフラックスＦを吐出する。そのフラックスＦは電磁切換弁１０１Ｂを介してノズル３に供給され、液状フラックスＦ（又は上記した霧状フラックスＦ’）がプリント配線基板Ｗの半田付け位置Ｓに塗布される。一方のピストン１２Ａは下向きに移動し、電磁切換弁１０１Ａを介して貯留タンク２からフラックスＦを汲み上げて、開口部１１ａから一定量毎にフラックスＦを吸引しシリンダ１１Ａ内に収納する。
【００３４】
そして、揺動アーム３１がリミットスイッチ１０２Ａに当接すると、再び図５の工程を繰り返す。以下同様にして、開口部１１ａからのフラックスＦの吐出と吸引とが、フラックス塗布装置１００を長時間停止させることなく継続的に行なわれる。
【００３５】
なお、揺動アーム３１がリミットスイッチ１０２Ｂ（又は１０２Ａ）に当接して電磁切換弁１０１Ａ，１０１Ｂがｂ位置（又はａ位置）に切り換えられモータ２０が時計回り（又は反時計回り）に回転変更されるとき、当初の所定時間（所定回数）にわたり半田付け位置Ｓ以外の場所でピストン１２Ｂ（又は１２Ａ）を上向きに移動（空打ち）させることができる。これによって、吸引工程で外気等の気泡が混入したとしても、吸引工程終了後で吐出工程開始前に、気泡をシリンダ１１Ｂ（又は１１Ａ）から排出（エア抜き）することができる。
【００３６】
なお、これらの各工程を通じ、貯留タンク２を密閉状にして加圧気体（例えば加圧空気）を導入し、フラックスＦの液面に与圧をかけておくことが望ましい。これによって、吸引工程で、シリンジポンプ１０Ａ，１０Ｂによる貯留タンク２からの汲み上げが容易になり、気泡の混入頻度も低下する。
【００３７】
なお、以上の実施例では、液体吐出用ノズルをフラックス塗布用ノズル３としてフラックス塗布装置１００に適用する場合のみについて説明したが、液体吐出用ノズルをその他の液体にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係るフラックス塗布用ノズルの一例を示す分解斜視図。
【図２】図１のフラックス塗布用ノズルの正面断面図。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図。
【図４】図１のフラックス塗布用ノズルの配管図。
【図５】図１のフラックス塗布用ノズルを用いたフラックス塗布装置の一例を示す配管図。
【図６】図５とは異なる作動状態を示す配管図。
【図７】フラックス塗布状態の一例を示す説明図。
【図８】フラックス塗布状態の他の例を示す説明図。
【図９】従来のフラックス塗布用ノズルを示す断面図。
【符号の説明】
【００３９】
１        シリンジポンプユニット
２        貯留タンク（貯留部）
３        フラックス塗布用ノズル（液体吐出用ノズル）
１０Ａ，１０Ｂ  シリンジポンプ
４０      霧化部
４１      超音波ホーン（超音波振動部）
５０      カバー部
５１      開口部
６０Ａ〜６０Ｄ  エアチャージ室（圧力室）
６１      隔壁
７０Ａ〜７０Ｄ  供給部
７１      エア供給継手（気体供給口）
７２      流量調整弁
７３      圧力調整器
１００    フラックス塗布装置
Ｆ        液状フラックス（液体）
Ｆ’      霧状フラックス
Ｇ        加圧空気（加圧気体）
Ｋ        隙間
Ｓ        半田付け位置（塗布位置）
Ｗ        プリント配線基板（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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