(57)【要約】【課題】均一な洗浄が可能で洗浄液の使用量が少ないルツボ洗浄装置を提供する。【解決手段】本ルツボ洗浄装置は洗浄されるルツボＲが底部を上にして載置される回転テーブル４と、この回転テーブル４の中心近傍に設けられ洗浄液をコーン状に噴射してルツボＲの内表面に噴きつける噴射ノズル５と、回転テーブル４の上方に設けられ、ルツボＲの外表側に洗浄液を流出させる１個の流出ノズル６を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄されるルツボが底部を上にして載置される回転テーブルと、この回転テーブルの中心近傍に設けられ洗浄液をコーン状に噴射して前記ルツボの内表面に噴きつける噴射ノズルと、前記回転テーブルの上方に設けられ、前記底部の外表面に洗浄液を流出させる１個の流出ノズルを備えたことを特徴とするルツボ洗浄装置。
【請求項２】
前記ノズルは前記底部の外表面の中央近傍に洗浄液を流出させることを特徴とする請求項１に記載のルツボ洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はルツボ洗浄装置に係り、特に洗浄液の噴射構造を改良したルツボ洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にシリコン単結晶の引上げはチョクラルスキー法を用いて行われているが、単結晶引上げ時、石英ルツボに内面に発生するブラウンモールドは、単結晶の成長に悪影響を与えるため、ブラウンモールドの発生を抑える必要がある。
【０００３】
このブラウンモールド発生の要因は、石英ルツボ内面の最終洗浄の清浄度が大きな要因であると考えられている。
【０００４】
そこで、従来石英ルツボ内面の洗浄には種々の提案がなされている。
【０００５】
例えば、特許文献１には、ルツボ開口面を下向きに設置して、そのルツボの内表面と外表面を複数の噴射口を備えた内ノズルから洗浄液を噴射しルツボ内面を洗浄し、複数個の外ノズルによりルツボ外表面を洗浄する石英ルツボの洗浄装置が提案されているが、この洗浄装置では内表面に複数の噴射口から洗浄液を噴射するため、薬液が重畳して、不均一な洗浄となり、まだらなエッチングとなり好ましくなく、外表面に複数個の外ノズルから洗浄液を噴射するので洗浄液を多く必要とし好ましくない。
【０００６】
さらに、特許文献２には、ルツボの内表面と外表面を複数の噴射口を備えた内ノズルから洗浄液を噴射しルツボ内表面を洗浄し、複数の噴射口を備えルツボの半周に渡るようにＣ字形状の外ノズルから洗浄液を噴射してルツボ外表面を洗浄する石英ルツボの洗浄装置が提案されているが、この洗浄装置では内面に複数の噴射口から洗浄液を噴射するため、薬液が重畳して、不均一な洗浄となり、まだらなエッチングとなり好ましくなく、外表面に複数の噴射口を備え外ノズルから噴射させるので、大量の洗浄液を使用し、また、装置部材（例えば、チャンバ内壁構成部材）に噴射洗浄液がルツボから強く反射し、部材を変形もしくは触媒させるおそれがある。
【０００７】
さらに、特許文献３には、特許文献２におけるＣ字形状の外ノズルに換えて複数の外ノズルを設けた石英ルツボの洗浄装置が提案されているが、特許文献２と同様に大量の洗浄液を使用し、好ましくない。
【特許文献１】特開平５−１４８０７５号公報
【特許文献２】特開２０００−１４３３８６号公報
【特許文献３】特開２００１−１０６１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、均一な洗浄が可能で洗浄液の使用量が少ないルツボ洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した目的を達成するため、本発明に係るルツボ洗浄装置は、洗浄されるルツボが底部を上にして載置される回転テーブルと、この回転テーブルの中心近傍に設けられ洗浄液をコーン状に噴射して前記ルツボの内表面に噴きつける噴射ノズルと、前記回転テーブルの上方に設けられ、前記底部の外表面に洗浄液を流出させる１個の流出ノズルを備えたことを特徴とする。
【００１０】
好適には、前記ノズルは前記底部の外表面の中央近傍に洗浄液を流出させる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るルツボ洗浄装置によれば、均一な洗浄が可能で洗浄液の使用量が少ないルツボ洗浄装置を提供することを目的とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係るルツボ洗浄装置の一実施形態について添付図面を参照して説明する。
【００１３】
図１は本発明の一実施形態に係るルツボ洗浄装置の側面を示す概念図、図２はその平面を示す概念図である。
【００１４】
図１及び図２に示すように、本発明に係るルツボ洗浄装置１は、装置本体２を備え、この装置筐体２には、装置基台３に回転自在に取付けられ、洗浄される石英ルツボＲが底部を上にして載置される回転テーブル４が内装され、この回転テーブル４の中心近傍に設けられ洗浄液をルツボの内面に噴射する噴射ノズル５が設けられている。さらに、装置筐体２の上部で回転テーブル４の上方には、石英ルツボＲの底部の外表面に洗浄液を流出させる１個の流出ノズル６が設けられている。
【００１５】
噴射ノズル５は低圧高流量タイプのノズルで複数個の噴射口を備え、図３に示すように、フルコーン状に洗浄液を噴霧することが可能なフルコーンノズルが好ましく、１７０°フルコーン状に噴霧され、常に洗浄液が全ルツボ内表面に当るタイプのものが好ましい。
【００１６】
流出ノズル６は噴射ノズル５と対向する位置すなわち、回転テーブル４に載置されるルツボＲの底部中央近傍に対向するように配置され、噴射ノズル５とは異なり洗浄液を噴射するタイプのものではなく、緩やかに洗浄液を流出させるタイプのものである。
【００１７】
回転テーブル４は装置基台３に取付けられたモータ７により回転され、さらに、回転テーブル４にはその表面のルツボＲが載置される２本の装置側レール８が取付けられており、石英ルツボＲの回転テーブル４への載置時及び取出し時、ルツボ搬送用の台車９に設けられた台車側レール１０を接続させることにより、ルツボ洗浄装置１と台車９間の石英ルツボＲの受渡が容易に行えるようになっている。
【００１８】
次に本発明に係るルツボ洗浄装置を用いたルツボの洗浄方法について説明する。
【００１９】
図１に示すように、石英ルツボＲを台車９の台車側レール１０に乗せて、ルツボＲを台車９に載置する。台車９をルツボ洗浄装置１に近接させて、装置側レール８と台車側レール１０が接続するようにし、石英ルツボＲを台車側レール１０及び装置側レール８上で滑らせて、回転テーブル４に載置する。
【００２０】
台車９をルツボ洗浄装置１から遠ざけ、装置筐体２を密閉状態にし、回転テーブル４を回転させて石英ルツボＲを回転させる。
【００２１】
しかる後、図４に示すように、噴射ノズル５から洗浄液をコーン状に噴射させて、石英ルツボＲの内表面に噴きつける。このとき、洗浄液はコーン状に噴射されて石英ルツボＲの内表面に噴きつけられるので、内表面全体が均一に洗浄され、特に円弧部ｒ１から直胴部ｒ２にかけても、効果的に洗浄される。
【００２２】
一方、石英ルツボＲの外表面は流出ノズル６から石英ルツボＲの底部中央近傍に洗浄液が流出されるので、この洗浄液は石英ルツボの回転に伴って、底部を渦巻き状かつ薄膜状、均一に流れ、さらに、直胴部分を均一に流れ、洗浄する。
【００２３】
石英ルツボの洗浄は、噴射ノズル５及び流出ノズル６を用いて、例えば３５℃の洗浄液で５分間薬液シャワーを行い、さらに、１分間の液抜きを行い、再び６０℃の温水で３分間温純水シャワーを行い、さらに、１分間エアブローを行い乾燥させる。
【００２４】
上記洗浄過程において、洗浄液はフルコーン状に内表面に噴きつけられるので、内表面全体の均一洗浄が可能となり、特に円弧部から直胴部にかけても、効果的に洗浄され、一方、外表面は石英ルツボの底部中央近傍に洗浄液が流出され、底部を渦巻き状かつ薄膜状、均一に流れ、均一に洗浄される。外表面は１個の流出ノズルから緩やかに流出する洗浄液によって洗浄されるので、洗浄液の使用量を減少させることができ、さらに、洗浄液圧によって装置部材を変形させることもない。
【００２５】
上記実施形態にルツボ洗浄装置によれば、洗浄液をコーン状に噴射してルツボ内表面に噴きつける噴射ノズルと洗浄液を外表面に流出させる流出ノズルを設けることにより、均一な洗浄が可能で洗浄液の使用量が少ないルツボ洗浄装置が実現される。
【実施例】
【００２６】
本発明に係る上記ルツボ洗浄装置を用いて洗浄を行った石英ルツボを用いて、シリコン単結晶の引上げを行い、ＤＦ率と使用後の内表面のブラウンモード発生状況を調べ、ルツボの内表面と外表面を複数の噴射口を備えた内ノズルと複数の外ノズルで洗浄する従来例と比較した。
【００２７】
２２インチルツボ、１００個について実施した。
【００２８】
結果を表１に示す。  
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施形態に係るルツボ洗浄装置の側面を示す概念図。
【図２】本発明の一実施形態に係るルツボ洗浄装置の平面を示す概念図。
【図３】本発明の一実施形態に係るルツボ洗浄装置の噴射ノズルの洗浄液噴射状態を示す概念図。
【図４】本発明の一実施形態に係るルツボ洗浄装置の噴射ノズルの洗浄液噴射状態を示す概念図。
【符号の説明】
【００３０】
１  ルツボ洗浄装置
２  装置筐体
３  装置基台
４  回転テーブル
５  噴射ノズル
６  流出ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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