(57)【要約】【課題】  金型内に冶具を挿入しステージ部を押圧することにより傾斜させ、樹脂の射出時に冶具でステージ部の傾斜を保持することによって、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップを設置する物理量センサの製造方法を提供する。【解決手段】  矩形枠部と、矩形枠部から内方に突出する複数のリード５ｂと、連結リード５ｄにより矩形枠部と連結されるステージ部６、７とを備えるリードフレームを用いて、リードフレームのステージ部６、７に物理量センサチップ２、３を固着し、ステージ部６、７を矩形枠部に対して傾斜させるとともに物理量センサチップ２、３を傾斜させ、傾斜した物理量センサチップ２、３およびリード５ｂを樹脂により一体化する物理量センサの製造方法において、冶具２０をステージ部６、７に押圧することによって物理量センサチップ２、３を傾斜させ、冶具２０によって傾斜が保持された状態で樹脂により一体化する。【選択図】    図４
2006231536.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形枠部と、該矩形枠部から内方に突出する複数のリードと、連結リードにより前記矩形枠部と連結されるステージ部とを備えるリードフレームを用いて、該リードフレームの前記ステージ部に物理量センサチップを固着し、該ステージ部を前記矩形枠部に対して傾斜させるとともに前記物理量センサチップを傾斜させ、傾斜した該物理量センサチップおよび前記リードを樹脂により一体化する物理量センサの製造方法において、
冶具を前記ステージ部に押圧することによって前記物理量センサチップを傾斜させ、該冶具によって傾斜が保持された状態で前記樹脂により一体化することを特徴とする物理量センサの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の物理量センサの製造方法において、
前記冶具を抜脱したのち、前記冶具を抜脱した凹部に充填物を充填することを特徴とする物理量センサの製造方法。
【請求項３】
請求項１から２のいずれか記載の物理量センサの製造方法において、
傾斜した前記ステージ部の少なくとも一部の平面と面接触する平面部を少なくとも一部に備える前記冶具によって、前記ステージ部を傾斜させるとともに、傾斜した前記ステージ部を保持することを特徴とする物理量センサの製造方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか記載の物理量センサの製造方法において、
前記ステージ部に、前記冶具の少なくとも一部の形状と係合する凹部または凸部を形成することを特徴とする物理量センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁界の方位や移動方向などを測定する物理量センサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機に代表される携帯端末装置には、ユーザの位置情報を表示させるＧＰＳ（Global Positioning System）機能を持たせる要求が高まりつつある。
【０００３】
ＧＰＳ機能には、地磁気を検出することにより装置の３次元的な方位や向きの位置情報を特定する磁気センサや、地磁気を検出できない場所において、移動方向を検出することにより位置情報を特定する加速度センサといった物理量センサが用いられている。この種の物理量センサには、複数の物理量センサチップ（磁気センサチップ）が相互に傾斜して配置されるものがあり、小型化、薄型化を図ることができる。
【０００４】
この物理量センサチップを傾斜させる構成の物理量センサは、小型化、薄型化に寄与することに加え、傾斜方向に応じた所定軸方向の感度を高く保ち、基板の表面に沿う方向を含む他軸方向の感度を低減することができる利点も有しており、今後の主流となるものである。
【０００５】
図１３から図１６に示す物理量センサ１は、相互に傾斜させた２つの物理量センサチップ２、３を有することにより、外部磁界の向きと大きさを測定するものであり、金属製薄板をプレス加工もしくはエッチング加工、あるいはこの両方の加工を施すことによって形成されるリードフレーム４を用いて製造されるものである。
【０００６】
図１５に示すリードフレーム４は、外周矩形枠を形成する矩形枠部５ａと、この矩形枠部５ａの各外周辺側から内方に向けて垂直に突出する複数のリード５ｂと、矩形枠部５ａの端部５ｃ側から内方に向けて延出する連結リード５ｄと、この連結リード５ｄと連結し支持される２つのステージ部６、７とにより形成されている。このとき、矩形枠部５ａとリード５ｂと連結リード５ｄとを合わせて、フレーム部５とされる。
【０００７】
２つのステージ部６、７は、矩形状に形成されるとともに、リードフレーム４の中心線を挟み対向に設けられており、対向側の２つの端部６ａ、７ａから対向するステージ部６、７側に突出する一対の突出部８、９を有している。また、この突出部８、９は、細い棒状に形成され、リードフレーム４の裏面４ａ側に傾斜するように形成されている。
【０００８】
連結リード５ｄは、ステージ部６、７を矩形枠部５ａに対して支持するための吊りリードであり、連結リード５ｄの一端部５ｅが各ステージ部６、７の一端部６ｂ、７ｂ側の両端に位置する側端部６ｃ、７ｃに連結されている。この連結リード５ｄのステージ部６、７側の一端部５ｅは、その側面に凹状の切り欠きが設けられて、他の連結リード５ｄより細く形成され、ステージ部６、７を傾斜させる際に、変形して捻ることができる捻れ部５ｅとされている。
【０００９】
図１３から図１４に示す物理量センサ１は、上記リードフレーム４に、ステージ部６、７に各々固着される平面視矩形の板状に形成された２つの物理量センサチップ２、３と、物理量センサチップ２、３とリード５ｂとを電気的に接続するための金属製のワイヤー１０と、物理量センサチップ２、３およびリード５ｂを樹脂により一体化する樹脂モールド部１１とを加えて形成されるとともに、リードフレーム４の矩形枠部５ａおよび樹脂モールド部１１から外側に突出した部分のリード５ｂと連結リード５ｄを切り離して形成されるものである（例えば、特許文献１参照）。
【００１０】
樹脂モールド部１１は、図１３から図１５中に示す二点破線で囲まれた略台形に形成された部分であり、樹脂モールド部１１内には、突出部８、９の先端部８ａ、９ａがリード５ｂの裏面４ａと連続する水平面上に当接することにより、ステージ部６、７および物理量センサチップ２、３が傾斜した状態で樹脂により固定されている。
【００１１】
次に、この物理量センサ１の製造方法について図１５から図１６を参照して説明する。
【００１２】
はじめに、図１５から図１６（ａ）に示すように、フォトエッチング加工によって、ステージ部６、７を含むリード５ｂよりも内側の金属製薄板を、例えば半分の厚さ寸法に、リードフレーム４の他の部分よりも薄く成形したのち、プレス加工もしくはエッチング加工、あるいはこの両方の加工を施すことによって、ステージ部６、７が矩形枠部５ａに支持されたリードフレーム４を形成する。このとき、ステージ部６、７とリード５ｂと連結リード５ｄと捻れ部５ｅとが形成されるとともに、突出部８、９が矩形枠部５ａに対して傾斜した状態で形成される。
【００１３】
ついで、ステージ部６、７の表面６ｄ、７ｄにそれぞれ物理量センサチップ２、３を接着するとともに、ワイヤー１０を配して物理量センサチップ２、３とリード５ｂとを電気的に接続する。
【００１４】
なお、ステージ部６、７を傾斜させる段階において、ワイヤー１０と物理量センサチップ２、３とのボンディング部分１０ａ、およびリード５ｂとのボンディング部分１０ｂが互いに離れることになるため、ワイヤー１０は、その長さもしくは高さに余裕を持たせた状態で取り付けられる。
【００１５】
ついで、図１６（ｂ）に示すように、フレーム部５のうち、矩形枠部５ａおよびリード５ｂと連結リード５ｄの一部を除いた部分を金型Ｄ、Ｅに挟み込んで固定する。これら金型Ｄ、Ｅは、物理量センサチップ２、３を樹脂の内部に埋め、固定するためのものである。
【００１６】
フレーム部５を挟み込む際には、金型Ｅの内面Ｅ１に突出部８、９の先端部８ａ、９ａが押圧され、ステージ部６、７の側端部６ｃ、７ｃに位置する捻れ部５ｅを結ぶ軸線回りに、ステージ部６、７がそれぞれ回転して、捻れ部５ｅが捻れるように変形する。これにより、ステージ部６、７および物理量センサチップ２、３が図１６（ｃ）に示すように、リード５ｂや内面Ｅ１に対して所定の角度で傾斜することになる。
【００１７】
その後、金型Ｅの内面Ｅ１が突出部８、９の先端部８ａ、９ａを押圧した状態で、金型Ｄ、Ｅ内に溶融樹脂を射出し、物理量センサチップ２、３を樹脂の内部に埋め、樹脂モールド部１１を形成する。これにより、物理量センサチップ２、３が、相互に傾斜した状態で、樹脂モールド部１１内に固定されることになる。
【００１８】
最後に、図１３から図１５中の二点破線で示される矩形枠部５ａおよび樹脂モールド部１１の外側に突出した部分のリード５ｂと連結リード５ｄを切り離して、物理量センサ１の製造が完了する。
【特許文献１】特開２００４−１２８４７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、この物理量センサの製造方法は、ステージ部の先端に形成された突出部が金型内面に押圧されることによって、ステージ部を傾斜させることから、連結リードの捻れ部が所定の捻れ効果を発揮できない場合があることや、突出部と金型の接触面に摩擦抵抗が生じて、所定の傾斜角に傾斜変形しないなどの問題があり、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップを設置できない場合があるという問題があった。
【００２０】
また、樹脂モールド部を形成する前のステージ部の傾斜角は、細い棒状の突出部の先端部が金型内面に当接されることにより保持されていることから、金型内に樹脂を射出する際に、この射出によってステージ部の歪みが生じやすく、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップを設置できない場合があるという問題があった。
【００２１】
本発明は、上記事情を鑑み、金型内に冶具を挿入しステージ部を押圧することにより傾斜させ、樹脂の射出時に冶具でステージ部の傾斜を保持することによって、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップを設置する物理量センサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【００２３】
請求項１に係る発明は、矩形枠部と、該矩形枠部から内方に突出する複数のリードと、連結リードにより前記矩形枠部と連結されるステージ部とを備えるリードフレームを用いて、該リードフレームの前記ステージ部に物理量センサチップを固着し、該ステージ部を前記矩形枠部に対して傾斜させるとともに前記物理量センサチップを傾斜させ、傾斜した該物理量センサチップおよび前記リードを樹脂により一体化する物理量センサの製造方法において、冶具を前記ステージ部に押圧することによって前記物理量センサチップを傾斜させ、該冶具によって傾斜が保持された状態で前記樹脂により一体化することを特徴とする。
【００２４】
この発明に係る物理量センサの製造方法においては、冶具をステージ部に押圧することによって物理量センサチップを傾斜させ、該冶具によって傾斜が保持された状態で樹脂により一体化することから、冶具を所定量挿入する簡易な操作で適正にステージ部を傾斜させることができるとともに、金型内に樹脂を射出する際に、冶具によって確実にステージ部が保持されるため、樹脂の射出による歪みやずれが生じることはなく、ステージ部を所定の傾斜角で固定することができる。
【００２５】
請求項２に係る発明は、請求項１記載の物理量センサの製造方法において、前記冶具を抜脱したのち、前記冶具を抜脱した凹部に充填物を充填することを特徴とする。
【００２６】
この発明に係る物理量センサの製造方法においては、冶具を抜脱したのち、冶具を抜脱した凹部に充填物を充填することができるため、物理量センサの放熱効率を向上させたい場合には、熱伝導率の高い充填物を充填することができる。
【００２７】
請求項３に係る発明は、請求項１から２のいずれか記載の物理量センサの製造方法において、傾斜した前記ステージ部の少なくとも一部の平面と面接触する平面部を少なくとも一部に備える前記冶具によって、前記ステージ部を傾斜させるとともに、傾斜した前記ステージ部を保持することを特徴とする。
【００２８】
この発明に係る物理量センサの製造方法においては、傾斜したステージ部の少なくとも一部の平面と面接触する平面部を少なくとも一部に備える冶具によって、ステージ部を傾斜させるとともに、傾斜したステージ部を保持することにより、冶具を所定量挿入する簡易な操作で適正にステージ部を傾斜させることができるとともに、金型内に樹脂を射出する際に、傾斜したステージ部の平面と冶具の平面部とが面接触されているため確実にステージ部が保持され、樹脂の射出による歪みやずれが生じることはなく、ステージ部を所定の傾斜角で固定することができる。
【００２９】
請求項４に係る発明は、請求項１から３のいずれか記載の物理量センサの製造方法において、前記ステージ部に、前記冶具の少なくとも一部の形状と係合する凹部または凸部を形成することを特徴とする。
【００３０】
この発明に係る物理量センサの製造方法においては、ステージ部に、冶具の少なくとも一部の形状と係合する凹部または凸部を形成することによって、冶具を所定量挿入する簡易な操作で適正にステージ部を傾斜させることができるとともに、金型内に樹脂を射出する際に、ステージ部に形成された凹部または凸部と冶具が係合するため、確実にステージ部が保持され、樹脂の射出による歪みやずれが生じることはなく、ステージ部を所定の傾斜角に固定することができる。
【発明の効果】
【００３１】
請求項１に係る発明によれば、冶具をステージ部に押圧することによって物理量センサチップを傾斜させ、該冶具によって傾斜が保持された状態で樹脂により一体化することから、冶具を所定量挿入する簡易な操作で適正にステージ部を傾斜させることができるとともに、金型内に樹脂を射出する際に、冶具によって確実にステージ部が保持されるため、樹脂の射出による歪みやずれが生じることはなく、ステージ部を所定の傾斜角で固定することができる。これにより、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップを設置できる。
【００３２】
請求項２に係る発明によれば、冶具を抜脱したのち、冶具を抜脱した凹部に充填物を充填することができるため、物理量センサの放熱効率を向上させたい場合には、熱伝導率の高い充填物を充填することができ、物理量センサの長寿命化を図ることができる。
【００３３】
請求項３に係る発明によれば、冶具が傾斜したステージ部の少なくとも一部の平面と面接触するする平面部を少なくとも一部に備えることによって、冶具を所定量挿入する簡易な操作で適正にステージ部を傾斜させることができるとともに、金型内に樹脂を射出する際に、傾斜したステージ部の平面と冶具の平面部が面接触されるため確実にステージ部が保持され、樹脂の射出による歪みやずれが生じることなく、ステージ部を所定の傾斜角で固定することができる。これにより、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップを設置できる。
【００３４】
請求項４に係る発明によれば、ステージ部に、冶具の少なくとも一部の形状と係合する凹部または凸部を形成することによって、冶具を所定量挿入する簡易な操作で適正にステージ部を傾斜させることができるとともに、金型内に樹脂を射出する際に、ステージ部に形成された凹部または凸部と冶具が係合するため、確実にステージ部が保持され、樹脂の射出による歪みやずれが生じることはなく、ステージ部を所定の傾斜角で固定することができる。これにより、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップを設置できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、図１から図６を参照し、この発明の第１実施形態について説明する。本実施形態の説明において、前述の図１３から図１６に示した物理量センサと共通する構成については、同一符号を付して詳細についての説明を省略する。
【００３６】
図１に示す物理量センサ１は、前述した図１３から図１６に示すものと同様に、相互に傾斜させた２つの物理量センサチップ２、３を有することにより外部磁界の向きと大きさを測定するものであり、リードフレーム４を用いて製造されるものである。
【００３７】
図２に示すように、リードフレーム４は、外周矩形枠を形成する矩形枠部５ａと、この矩形枠部５ａの各外周辺側から内方に向けて垂直に突出する複数のリード５ｂと、矩形枠部５ａの端部５ｃ側から内方に向けて延出する連結リード５ｄと、この連結リード５ｄと連結し支持される２つのステージ部６、７とにより形成されている。このとき、矩形枠部５ａとリード５ｂと連結リード５ｄとを合わせて、フレーム部５とされる。
【００３８】
ここで、２つのステージ部６、７は、矩形状に形成されるとともに、リードフレーム４の中心線を挟み対向に設けられており、前述した図１３から図１６に示すものと異なり、突出部８、９は形成されていない。
【００３９】
連結リード５ｄは、前述の図１３から図１６と同様に、一端部５ｅが各ステージ部６、７の一端部６ｂ、７ｂ側の両端に位置する側端部６ｃ、７ｃに連結されており、一端部５ｅは、その側面に凹状の切り欠きを設けて、ステージ部６、７を傾斜させる際に、変形して捻ることができる捻れ部５ｅとなっている。
【００４０】
図１に示す物理量センサ１は、上記のリードフレーム４に、ステージ部６、７に各々固着される２つの物理量センサチップ２、３と、物理量センサチップ２、３とリード５ｂとを電気的に接続するためのワイヤー１０と、物理量センサチップ２、３およびリード５ｂを一体化する樹脂モールド部１１とを加えて形成されるとともに、矩形枠部５ａおよび樹脂モールド部１１から外側に突出した部分のリード５ｂと連結リード５ｄを切り離して形成されている。
【００４１】
ついで、この物理量センサ１の製造方法について説明する。
【００４２】
図２に示すように、図１５に示すものから突出部８、９を除き、同様に製造されたリードフレーム４を用意したのち、ステージ部６、７の表面６ｄ、７ｄにそれぞれ物理量センサチップ２、３を接着するとともに、ワイヤー１０を配して物理量センサチップ２、３とリード５ｂとを電気的に接続する。
【００４３】
ついで、図３に示すように、フレーム部５のうち、矩形枠部５ａおよびリード５ｂの一部を除いた部分を金型Ｆ、Ｇにより挟み込んで固定する。これら金型Ｆ、Ｇは、物理量センサチップ２、３を樹脂の内部に埋め、固定するためのものである。
【００４４】
このとき、金型Ｇには、詳細は後述の冶具２０を挿入するための開口部２１が設けられており、開口部２１を除く内面Ｇ１は、矩形枠部５ａおよびリード５ｂの裏面４ａと密着するよう平面とされている。
【００４５】
ついで、図４に示すように、金型Ｇの開口部２１に冶具２０を挿入する。このとき、冶具２０の先端部２０ａがステージ部６、７の裏面６ｅ、７ｅを押圧し、これとともに、ステージ部６、７が徐々に傾斜していき、ステージ部６、７の所定の傾斜角に見合った挿入量で冶具２０が挿入されることにより、ステージ部６、７は所定の傾斜角で傾斜される。このとき、冶具２０の先端部２０ａには、各ステージ部６、７の裏面６ｅ、７ｅが所定の傾斜角で傾斜された際に形成する傾斜した平面６ｅ、７ｅと面接触する平面部２０ｂ、２０ｃが形成されている。
【００４６】
ここで、冶具２０の平面部２０ｂ、２０ｃは、１つのステージ部６、７の２つの捻れ部５ｅを結ぶ直線からステージ部６、７の先端部６ｆ、７ｆまでの距離ａに対し、ステージ部６、７の裏面６ｅ、７ｅと面接触する平面部２０ｂ、２０ｃの側端部２０ｄ、２０ｅから面接触するステージ部６、７の先端部６ｆ、７ｆまでの距離ｄが距離ａの３０％から７０％となるように形成されている。この場合、距離ｄは距離ａの５０％程度が好ましい。
【００４７】
ついで、ステージ部６、７が所定の傾斜角になるように冶具２０の挿入を完了した段階で、冶具２０を固定する。このとき、冶具２０の先端部２０ａに設けられた平面部２０ｂ、２０ｃと、傾斜したステージ部６、７の裏面６ｅ、７ｅが面接触され、冶具２０がステージ部６、７を支持しているため、ステージ部６、７は所定の傾斜角で保持されることとなる。ここで、所定の傾斜角とは、物理量センサ１により外部磁界の方位や向きを確実に検出可能な角度とされる。
【００４８】
金型Ｆ、Ｇ内に冶具２０が挿入された状態で、金型Ｆ、Ｇ内に溶融樹脂を射出し、物理量センサチップ２、３を樹脂の内部に埋め、樹脂モールド部１１を形成する。これにより、物理量センサチップ２、３が、相互に傾斜した状態で、樹脂モールド部１１内に固定される。
【００４９】
ついで、図５に示すように、樹脂が固結し樹脂モールド部１１が形成されたのち、冶具２０を抜脱し、金型Ｆ、Ｇを取り外す。このとき、樹脂モールド部１１には、挿入した冶具２０の形状を呈する凹部１１ａが形成される。
【００５０】
さらに、図６に示すように、樹脂モールド部１１に形成された凹部１１ａに充填物を充填する。このとき、充填物１１ｂとして、物理量センサ１の放熱効率を向上させる場合には、熱伝導率の高い充填物１１ｂを充填する。例えば、銅、真鋳からなる凹部１１ａに沿う形状のヒートシンクを接蓋する、もしくは高放熱樹脂、あるいは金属を混入した樹脂を凹部１１ａにポンティングする方法で充填できる。物理量センサ１の放熱効率を向上させる必要性がない場合には、樹脂モールド部１１と同じ樹脂を充填する。
【００５１】
最後に、矩形枠部５ａおよびリード５ｂのうち樹脂モールド部１１の外側に突出する部分を切り落として、物理量センサ１の製造が完了する。
【００５２】
したがって、上記の物理量センサ１の製造方法においては、ステージ部６、７に冶具２０を押圧することによりステージ部６、７を傾斜させるため、冶具２０を所定量挿入する簡易な操作で適正にステージ部６、７を傾斜させることができる。
【００５３】
また、上記の物理量センサ１の製造方法においては、傾斜したステージ部６、７の裏面６ｅ、７ｅが形成する平面６ｅ、７ｅと面接触する平面部２０ｂ、２０ｃを、冶具２０が備えることから、金型Ｆ、Ｇ内に樹脂を射出する際に、確実にステージ部６、７が保持され、樹脂の射出による歪みやずれが生じることなく、ステージ部６、７を所定の傾斜角で固定することができる。
【００５４】
さらに、上記の物理量センサ１の製造方法においては、冶具２０を抜脱したことによって形成された樹脂モールド部１１の凹部１１ａに充填物を充填できるため、物理量センサ１の放熱効率を向上させる場合には、熱伝導率の高い充填物を充填することができ、物理量センサ１の放熱効率を向上させる必要性がない場合には、樹脂モールド部１１と同じ樹脂を充填できる選択的充填を可能にする。
【００５５】
よって、上記の物理量センサの製造方法によれば、冶具２０を挿入し押圧することによりステージ部６、７を傾斜させ、樹脂の射出時に冶具２０でステージ部６、７の傾斜を保持することによって、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップ２、３を設置できる。
【００５６】
なお、本発明は、上記の第１実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、冶具２０を抜脱したことによって形成された樹脂モールド部１１の凹部１１ａに充填物を充填するものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、この樹脂モールド部１１に形成された凹部１１ａは、残存させてもよいものである。
【００５７】
また、図１から図２に示すようなステージ部６、７を傾斜させる際に変形して捻ることができる捻れ部５ｅは、例えば図７から図８に示すように、ステージ部６、７を傾斜させる際に変形して折り曲げることができる折曲部５ｆとされてもよいものである。ここで、図８（ａ）および図８（ｂ）は、それぞれ図７に示した物理量センサ１のＡ−Ａ線矢視図、Ｂ−Ｂ線矢視図を示している。
【００５８】
この図７から図８に示す物理量センサ１では、物理量センサチップ２、３の一端部２ｂ、３ｂ側が位置するリード５ｂの内方側が、例えば半分の厚さ寸法に薄く形成されている。
【００５９】
この物理量センサ１は、図８に示すように、ステージ部６、７を冶具２０で押圧することによって、連結リード５ｄに設けられた折曲部５ｆが折れ曲がり、ステージ部６、７を傾斜させたものである。その結果、内方側のリード５ｂの上部に傾斜した物理量センサチップ２、３の一端部２ｂ、３ｂがくるが、この部分は薄く形成されているので、リード５ｂに物理量センサチップ２、３が当たらないものとされている。
【００６０】
よって、冶具２０を押圧することによるステージ部６、７の傾斜は、捻れ部５ｅの捻れ変形によることに限定されるのではなく、連結リード５ｄに設けられた折曲部５ｆのリード５ｂの折れ曲り変形によってなされてもよい。
【００６１】
ついで、以下、図１から図２および図９から図１２を参照し、この発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の説明においては、前述の図１３から図１６に示した物理量センサおよび第１実施形態に係る物理量センサと共通する構成について、同一符号を付し詳細についての説明を省略する。
【００６２】
図９から図１２に示す物理量センサ１は、前述の図２に示すリードフレーム４のうち、ステージ部２２、２３の裏面２２ａ、２３ａに、ステージ部２２、２３が所定の傾斜角で傾斜した際に冶具２４と係合する凹部２２ｂ、２３ｂが形成されている。
【００６３】
ついで、この物理量センサ１の製造方法について説明する。
【００６４】
図９に示すように、ステージ部２２、２３の裏面２２ａ、２３ａに、冶具２４と係合する凹部２２ｂ、２３ｂが形成されたリードフレーム４のフレーム部５のうち、矩形枠部５ａおよびリード５ｂの一部を除いた部分を金型Ｆ、Ｇにより挟み込んで固定する。これら金型Ｆ、Ｇは、物理量センサチップ２、３を樹脂の内部に埋め、固定させるためのものである。
【００６５】
このとき、金型Ｇには、冶具２４を挿入するための開口部２１が設けられており、開口部２１を除く内面Ｇ１は、矩形枠部５ａおよびリード５ｂの裏面４ａと密着するよう平面とされている。
【００６６】
ついで、図１０に示すように、金型Ｇの開口部２１に冶具２４を挿入する。これにより、冶具２４の先端の両端部２４ａ、２４ｂがステージ部２２、２３の裏面２２ａ、２３ａを押圧し、ステージ部２２、２３が徐々に傾斜される。冶具２４が所定の挿入量で挿入された時点で、ステージ部２２、２３は所定の傾斜角で傾斜されており、このとき、ステージ部２２、２３の裏面２２ａ、２３ａに形成された凹部２２ｂ、２３ｂが冶具２４の両端部２４ａ、２４ｂに係合され、ステージ部２２、２３は、冶具２４によって所定の傾斜角で保持される。
【００６７】
ついで、ステージ部２２、２３の裏面２２ａ、２３ａに形成された凹部２２ｂ、２３ｂが冶具２４の両端部２４ａ、２４ｂに係合された状態で、金型Ｆ、Ｇ内に溶融樹脂を射出し、物理量センサチップ２、３を樹脂の内部に埋め、樹脂モールド部１１を形成する。これにより、物理量センサチップ２、３が、相互に傾斜した状態で、樹脂モールド部１１内に固定される。
【００６８】
図１１に示すように、樹脂が固結し樹脂モールド部１１が形成されたのち、冶具２４を抜脱し、金型Ｆ、Ｇを取り外す。このとき、樹脂モールド部１１には、挿入した冶具２４の形状を呈する凹部１１ａが形成される。
【００６９】
図１２に示すように、樹脂モールド部１１に形成された凹部１１ａに充填物を充填する。このとき、充填物として、物理量センサ１の放熱効率を向上させる場合には、熱伝導率の高い充填物を充填する。例えば、銅、真鋳からなる凹部１１ａに沿う形状のヒートシンクを接蓋する、もしくは高放熱樹脂、あるいは金属を混入した樹脂を凹部１１ａにポンティングする方法で充填できる。物理量センサ１の放熱効率を向上させる必要性がない場合には、樹脂モールド部１１と同じ樹脂を充填する。
【００７０】
最後に、矩形枠部５ａおよびリード５ｂと連結リード５ｄのうち樹脂モールド部１１の外側に突出する部分を切り離して、物理量センサ１の製造が完了する。
【００７１】
したがって、上記の物理量センサ１の製造方法においては、ステージ部２２、２３に冶具２４を押圧することによりステージ部２２、２３を傾斜させるため、冶具２４を所定量挿入する簡易な操作で適正にステージ部２２、２３を傾斜させることができる。
【００７２】
また、上記の物理量センサ１の製造方法においては、ステージ部２２、２３の裏面２２ａ、２３ａに、冶具２４の先端の両端部２４ａ、２４ｂと係合する凹部２２ｂ、２３ｂが形成されているため、金型Ｆ、Ｇ内に樹脂を射出する際に確実にステージ部２２、２３が保持され、樹脂の射出による歪みやずれが生じることなく、ステージ部２２、２３を所定の傾斜角で固定することができる。
【００７３】
さらに、上記の物理量センサ１の製造方法においては、冶具２４を抜脱することによって形成された樹脂モールド部１１の凹部１１ａに充填物を充填できるため、物理量センサ１の放熱効率を向上させる場合には、熱伝導率の高い充填物を充填することができ、物理量センサ１の放熱効率を向上させる必要性がない場合には、樹脂モールド部１１と同じ樹脂を充填できる選択的充填を可能にする。
【００７４】
よって、上記の物理量センサの製造方法によれば、冶具２４を挿入し押圧することによりステージ部２２、２３を傾斜させ、樹脂の射出時に冶具２４でステージ部２２、２３の傾斜を保持することによって、所定の傾斜角で正確に物理量センサチップ２、３を設置できる。
【００７５】
なお、本発明は、上記の第２実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、ステージ部２２、２３の裏面２２ａ、２３ａに、冶具２４の先端の両端部２４ａ、２４ｂと係合する凹部２２ｂ、２３ｂを形成するものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、ステージ部２２、２３の裏面２２ａ、２３ａに、冶具２４と係合する凸部を形成してもよいものであり、かつ、これらの凹部、凸部に係合される冶具２４の部位は、先端の両端部２４ａ、２４ｂに限定されるものではない。
【００７６】
また、冶具２４を抜脱したことによって形成された樹脂モールド部１１の凹部１１ａに充填物を充填するものとしたが、必ずしもこの限りではない。つまり、この樹脂モールド部１１に形成された凹部１１ａは、残存させてもよいものである。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の実施形態に係る製造方法により製造される物理量センサを示す平面図である。
【図２】図１の物理量センサにおいて、リードフレームに物理量センサチップを搭載した状態を示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る図１の物理量センサにおいて、ステージ部および物理量センサチップを傾斜させる方法を示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る図１の物理量センサにおいて、冶具によりステージ部および物理量センサを傾斜させる方法を示す図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る物理量センサの側断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る樹脂モールドの凹部に充填物を充填した物理量センサの側断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る製造方法により製造される物理量センサの変形例として示した図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る図７の物理量センサの、Ａ−Ａ線矢視図およびＢ−Ｂ線矢視図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る図１の物理量センサにおいて、ステージ部および物理量センサチップを傾斜させる方法を示す図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る図１の物理量センサにおいて、冶具によりステージ部および物理量センサを傾斜させる方法を示す図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る物理量センサの側断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る樹脂モールドの凹部に充填物を充填した物理量センサの側断面図である。
【図１３】従来の他の物理量センサの製造方法により製造される物理量センサを示す平面図である。
【図１４】図１３の従来の物理量センサの側断面図である。
【図１５】図１３の従来の物理量センサにおいて、リードフレームに物理量センサチップを搭載した状態を示す平面図である。
【図１６】図１３の従来の物理量センサにおいて、ステージ部および物理量センサチップを傾斜させる方法を示す図である。
【符号の説明】
【００７８】
２，３・・・物理量センサチップ、４・・・リードフレーム、５ａ・・・矩形枠部、５ｂ・・・リード、５ｄ・・・連結リード、６，７，２２，２３・・・ステージ部、６ｅ，７ｅ・・・平面、１１・・・樹脂モールド部、１１ａ・・・樹脂モールド部の凹部、２０，２４・・・冶具、２０ｂ，２０ｃ・・・平面部、２２ｂ，２３ｂ・・・ステージ部の凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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