(57)【要約】【課題】  封止によりレンズのサイズを大きくすることなく、前記した回折光学素子を取り巻く環境の変化に対応することができ、性能耐久性を向上させることが可能な回折光学素子の製造方法及び回折光学素子、並びに該回折光学素子を有する光学系、該光学系を有する撮影装置と観察装置を実現。【解決手段】  本発明は、封止によりレンズのサイズを大きくすることなく、前記した回折光学素子を取り巻く環境の変化に対応することができ、性能耐久性を向上させることが可能な回折光学素子の製造方法及び回折光学素子、並びに該回折光学素子を有する光学系、該光学系を有する撮影装置と観察装置を提供すること。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの回折格子が空間部を設けて積層されて形成された回折光学素子において、金属の層あるいは無機物の層が少なくとも空間部全周にわたって１層以上あることによって空間部を全周封止することを特徴とする回折光学素子。
【請求項２】
前記回折格子の空間部端部に請求項１に記載の封止の層を形成するための勘合構造を有していることを特徴とする請求項１に記載の回折光学素子。
【請求項３】
請求項１または２に記載の封止において、封止の層の下に層を形成するための層が存在することを特徴とする請求項１に記載の回折光学素子。
【請求項４】
請求項１から３いずれかに記載の回折光学素子において、前記封止の層の上あるいは下、もしくは両方に遮光性物質から成る遮光層が形成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項５】
請求項１から４いずれかに記載の回折光学素子において、封止の層として用いられる金属層の上に防錆層が構成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項６】
請求項１から５いずれかに記載の回折光学素子において、前記少なくとも２つの回折格子が、少なくとも２種類の屈折率分散の異なる材質によって構成されていることを特徴とする回折光学素子。
【請求項７】
少なくとも２つの回折格子が空間部を設けて積層されて形成された回折光学素子の製造方法において、金属の層あるいは無機物の層が少なくとも空間部全周にわたって１層以上あることによって空間部を全周封止することを特徴とする回折光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回折光学素子の製造方法及び回折光学素子に関し、特に使用波長領域の拘束が特定次数に集中する格子構造を有する積層の回折光学素子の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学系の色収差を補正するためには、分散の異なる硝材からなる光学素子を組み合わせることによりなされていた。また、屈折型光学系（レンズ）ではなく、回折型光学系を用いることが、非特許文献１に開示されている。分光特性を有する光学系に回折効率を有する回折面を付加する場合、使用する波長領域における回折効率を高く保つことが重要である。しかし、設計次数以外の次数の光は、次数が離れるだけ回折角が大きくなり、焦点距離の差が大きくなるので、デフォーカスとして現れ、特に高輝度な光源が存在する場合、サイドローブが見られることがある。
【０００３】
一方、２層あるいはそれ以上の回折格子を積層して構成した積層構造の回折光学素子は、色収差の補正効果を有する光学系において、使用波長の領域内で設計次数近傍の回折効率が大幅に低減する特性を有している。したがって、この回折光学素子を応用した場合、画質および情報においてかなりの品質向上が期待できることとなる。
【０００４】
このような２層あるいはそれ以上の多層構造を有する回折光学素子を実現する方法として、従来、微細加工技術の代表的なものとして、半導体製造プロセスである光リソグラフィーあるいはダイヤモンドバイトによる精密切削技術が知られている。それらの加工技術による微細形状を型とし、プラスチックまたはガラスを成形することで回折光学素子を製造できる。しかしながら、この積層構造の回折光学素子は上述の光学的性能を向上させる反面、以下に述べるように、従来の方法を流用するだけでは、実用化が難しいという点で問題を有している。
【０００５】
前記した光学素子が要求される性能を達成するためには、回折格子の寸法と回折格子を構成する材料の可視全域での屈折率値が非常に高い精度に限定されてしまう。そして、この要求は、比較的安価で一般消費製品への普及を優先した場合、プラスチック成形による対応が望まれるが、プラスチック材料による成形の場合、成形転写性や材料自体の光学的安定性が大きな課題となる。
【０００６】
特にカメラなどのレンズとして使用する場合、厳しい耐久性が要求され、材料の光学特性を保証することが不可欠となる。さらに、プラスチック材料はガラスと比較して、温度変化・水分量などにより屈折率が大きく変化することが知られている。また、前述の光学素子においては、その回折特性に大きな影響を与え、光学機器としてはその画質を劣化させてしまう恐れがある。
【０００７】
プラスチック材料を使用した回折光学素子の提案として、特許文献１が公開されているが、そこでは前述のような温度変化・水分量などの耐環境性の対策は全く考慮されていない。
【０００８】
そこで特許文献２に前記環境変化に対する安定性を改善する方法として積層した回折光学素子の空間部を気密封止して回折光学素子を形成する方法が公開されている。材料の可視全域での屈折率値が非常に高い精度が要求される回折光学素子の場合、前記公報での提案は非常に有効な方法である。
【特許文献１】特開平９−１２７３２２号公報
【特許文献２】特開２００２−０７１９２３号公報
【非特許文献１】ＳＰＩＥ  Ｖｏｌ．１３５４第２４〜３７巻
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら，前記後方に記載のあるようにカメラなどのレンズとして使用する場合には水分の透湿方向に厚みを持たせて封止する必要性がある。そのため透湿方向に封止の厚みをもたせるためにはガラスに封止するための面を設ける必要性がある。その結果レンズのサイズが大きくなるなど、カメラなどのレンズの設計に対して制約を設けなければならない。またガラス上の封止部の封止するための面を小さくすると封止が不十分となり前記環境変化に対する安定性を得られないという課題がある。
【００１０】
そこで、本発明は、封止によりレンズのサイズを大きくすることなく、前記した回折光学素子を取り巻く環境の変化に対応することができ、性能耐久性を向上させることが可能な回折光学素子の製造方法及び回折光学素子、並びに該回折光学素子を有する光学系、該光学系を有する撮影装置と観察装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を達成するために、つぎの（１）〜（６）のように構成した回折光学素子の製造方法及び回折光学素子、並びに該回折光学素子を有する光学系、該光学系を有する撮影装置と観察装置を提供するものである。
【００１２】
（１）少なくとも２つの回折格子が空間部を設けて積層されて形成された回折光学素子において、金属の層あるいは無機物の層が少なくとも空間部全周にわたって１層以上あることによって空間部を全周封止すること。
【００１３】
（２）前記回折格子の空間部端部に（１）に記載の封止の層を形成するための勘合構造を有していること。
【００１４】
（３）（１）及び（２）に記載の封止において、封止の層の下に層を形成するための層が存在すること。
【００１５】
（４）（１）から（３）に記載の回折光学素子において、前記封止の層の上あるいは下、もしくは両方に遮光性物質から成る遮光層が形成されていること。
【００１６】
（５）（１）から（４）に記載の回折光学素子において、封止の層として用いられる金属層の上に防錆層が構成されていること。
【００１７】
（６）（１）から（５）に記載の回折光学素子において、少なくとも２つの回折格子が、少なくとも２種類の屈折率分散の異なる材質によって構成されていること。
【発明の効果】
【００１８】
以上に説明したように、本発明によれば、封止によりレンズのサイズを大きくすることなく、前記した回折光学素子を取り巻く環境の変化に対応することができ、性能耐久性を向上させることが可能な回折光学素子の製造方法及び回折光学素子、並びに該回折光学素子を有する光学系、該光学系を有する撮影装置と観察装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の実施の形態においては、上記構成を適用することにより、回折格子が空間部を設けて積層されて形成された回折光学素子において、これら回折光学素子を取り巻く環境の変化に対応することができ、回折光学素子の性能を高い環境安定性に導くことが可能となる。
【００２０】
少なくとも２つの回折格子が空間部を設けて積層されて形成された回折光学素子において、金属の層あるいは無機物の層が少なくとも空間部全周にわたって１層以上あることによって空間部を全周封止することが好ましい。
【００２１】
積層構造の回折光学素子は、回折格子どうしを微小間隔空けて積層する構造になっている。素子を取り巻く環境の変化、特に湿度の変化で、その回折格子と空間部において常に水分の交換が発生することが、格子部の屈折率変化を引き起こす大きな要因となっている。したがって、初期における格子部および成形部全体と空間部の水分を極力少なくすることが必要である。しかし、その状態を保つためには、前述した空間部の封止等によって、如何に外界からの水分を断絶できるかが重要である。一般に樹脂などの有機物を封止材料として用いた場合、水分の透湿方向に封止層の厚みがあることで透湿を抑えることが可能である。
【００２２】
しかしながらアルミニウム、ニッケル、インジウム、鉛、銀などの金属や合金、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｔａ２Ｏ５、ＳｎＯ２、ＺｒＯ２等に代表される無機酸化物、ＭｇＦ２等の無機フッ化物、ＳｉＮ、ＴｉＮ等の無機窒化物の等、無機物を空間の封止層として構成することによって樹脂のように透湿方向に数ｍｍも厚みを持たすことなく透湿を抑えることが可能となる。金属や無機物の封止を用いた場合、膜を連続して形成することが可能であるならば３００ｎｍ程度の厚みで透湿を抑制することが可能となる。
【００２３】
前記回折格子が封止層を形成するための勘合構造を有していることが好ましい。金属や無機物の封止層を構成する場合、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、めっき、銀鏡反応、半田、ガラス溶融等を用いることが一般的である。これら製造方法を用いた場合、簡易的に積層しただけでは積層した隙間などから、光学有効面に金属や無機物が付着してしまうことが多々生じてくる。この問題については、回折格子端部を勘合構造にすることによって、隙間がなくなり、封止層を形成することが容易となる。その結果、製造工程において光学有効面への付着を防ぐことが可能となる。
【００２４】
封止層の下に封止層を形成するための層を有することが好ましい。前記した封止層の製造方法での問題である光学有効面への封止材料の付着を防ぐ方法として積層した隙間をふさぐために層を１層以上設けることで勘合構造を有するのと同様に光学有効面への付着を防ぐことが可能となる。
【００２５】
封止層の上あるいは下、もしくは両方に遮光性物質から成る遮光層が形成されていることが好ましい。レンズにおいては外部や内部の乱反射や散乱、不用次数回折光などの迷光（結像に関与する光束以外の光）が入射・出射してしまうことがある。これはゴーストやフレアなどの原因となることがある。封止層として金属や無機物を用いた場合、これらの迷光が減衰しにくく画質低下の原因の１つとなりやすい。これについては封止層を封止層の上あるいは下、もしくは両方に遮光性塗料などで遮光層を形成することで抑制が可能となる。
【００２６】
封止層として用いられる金属層の上に防錆層が構成されていることが好ましい。封止材料に金属を用いた場合環境変化によって酸化してしまうことがある。この酸化によって微小のホール等の欠陥が生じる。また、封止層と密着している面からの界面剥離が生じてしまう。欠陥や剥離は水分を透過させてしまうため格子材料の屈折率変化を引き起こす原因となる。これは防錆層を形成することで抑制が可能となる。
【実施例１】
【００２７】
図１は、本発明の実施例１によって製造される所望の回折光学格子の基本形状を示すものである。ガラス基板１１上に樹脂で回折格子１２成形されている。回折格子１２と同じ格子先端のピッチ周期を有する他の回折格子１３を接合した構成をもつ積層構造の回折光学素子である。ここでの２つの回折格子間は、１．５μｍの空気ギャップ１４がある。本実施例の回折光学素子は、ブレーズド形状の格子を有し、第１の回折格子１１は高屈折率で屈折率分散の大きい光硬化樹脂、第２層の回折格子１２は低屈折率で屈折率分散の小さい光硬化樹脂によって形成されている。それぞれの樹脂の選択については、光学的設計により２種類あるいは多種の樹脂材料の組み合わせできまるので、用途により任意である。
【００２８】
また、格子の高さやピッチ周期などの格子形状も用途と材料で決定される。ガラス端部と回折格子端部との距離は５０μｍになるように設計した。回折格子を成形するために用いる型は、所望の回折格子の反転形状を、超鋼にＫＮメッキを数十μｍ施し、そのメッキ層をダイヤモンドバイトで切削して作製される。
【００２９】
プロセスによる収縮などの形状については補正を行い、あらかじめ型形状に補正を行ったものを用いた。つぎに、その成形型を使い、成形を行う工程を説明する。ガラス基板は、樹脂との密着性を高めるため、あらかじめ表面にシランカップリング剤をスプレー等で塗布後、オーブンで乾燥させる。
【００３０】
樹脂材料を成形型上の中心にディスペンサーで所望の膜厚となるように制御した量の樹脂を滴下する。成形品の基板となるガラス板の中心にごく少量の樹脂を滴下し、その樹脂滴と型上の樹脂を最初に接触させた後、ゆっくりとガラス板を降下させ所望の位置で固定する。本例では光硬化性の樹脂を使用しており、ガラス面側から紫外線ランプを照射して硬化させ、ガラス基板の周囲を引き上げることにより型から成形品ごと離型させる。その後、高温による信頼性試験において、収縮などのないようあらかじめ収縮させた。
【００３１】
以上の工程を、もう一つの回折格子についても同様に製作する。以上により、出来上がった２種の回折格子面には、反射防止膜などを施してもよい。次に、接合方法について述べる。まず、上記で作製した２種類の樹脂材料からなる回折格子レンズの一方を固定冶具にセットし、光硬化接着剤をレンズの周方向の複数箇所に滴下する。次にもう一方の回折光学レンズを成形面が向き合い、お互いの中心を合わせ固定する。
【００３２】
このとき中心の位置合わせ精度としては１μｍ以内に合わせることが望ましい。その後、紫外線を照射し、前記接着剤を硬化させ接合する。次に、封止方法について述べる。封止材料には金属を用いる。本実施形態では金属の封止層を、真空蒸着を用いて作製を行う。上記で接合したサンプルのガラス面にマスクを施すためヤトイを用いる。ヤトイはレンズの光学有効面に蒸着材料が回りこまないように上下面を圧着する。圧着に際してはゴムなどを使用する。ガラス端面に蒸着が成膜されるよう傾斜をつけ、自公転させながら接合された回折光学素子の端面に蒸着を行う。
【００３３】
封止材料としては蒸着元として一般的な材料であればよいが、本実施形態ではアルミニウムを用いる。膜厚制御は水晶振動子を用い３００ｎｍ程度の膜厚で蒸着を行った。上記方法にてガラス端面にアルミニウム蒸着を施し本実施形態の封止層１５を得た。前記方法にて本実施例の回折光学素子を得た。本実施例で得た回折光学素子を信頼性試験として６０℃９０％１０００時間の炉に投入し、回折効率に変化がないことを確認した。
【００３４】
［比較例１］
本比較例ではガラス端部と開設格子端部との距離が２ｍｍである素子を実施例１と同様の方法で回折光学素子の成形を行い、接合した。封止においてはカチオン重合による硬化タイプである紫外線硬化エポキシ樹脂を用いた。封止は回折格子端部からガラス端部までの間を封止した。前記方法にて本比較例の回折光学素子を得た。本比較例で得た回折光学素子を信頼性試験として６０℃９０％１０００時間の炉に投入し、回折効率に変化がないことを確認した。
【００３５】
［比較例２］
実施例１と同様にガラス端部と回折格子端部との距離が５０μｍである素子を実施例１と同様の方法で回折光学素子を成形し、接合した。封止においてはカチオン重合による硬化タイプであるエポキシ紫外線硬化樹脂を用いた。封止は回折格子端部からガラス端部までの間を封止した。前記方法にて本比較例の回折光学素子を得た。本比較例で得た回折光学素子を信頼性試験として６０℃９０％１０００時間の炉に投入した。回折効率の低下が観測された。
【実施例２】
【００３６】
図２は、本発明の実施例２によって製造される所望の回折光学格子の基本形状を示すものである。実施例１と同様にガラス基板２１上に樹脂で回折格子２２成形されている。回折格子２２と同じ格子先端のピッチ周期を有する他の回折格子２３を接合した構成をもつ積層構造の回折光学素子である。ここでの２つの回折格子間は、１．５μｍの空気ギャップ２４がある。
【００３７】
実施例１と異なり樹脂で成形された回折格子の端部がテーパー状の勘合構造を有している。実施例１と同様の方法で成形を行い２種類の回折光学レンズを得た。次に本実施例での接合方法について述べる。本実施形態ではテーパー状の勘合部２６をもち、しまりしろを持って貼り合わされる。勘合部に適切な押圧を加えることにより、つきあて部２７につき当たり所望の高さ方向クリアランスを持ち、アライメントと同時にカシメによる接合を行う。次に封止を行った。光学ガラス有効面にシールテープでマスキングを行い、無電解ニッケルめっきにより３００ｎｍ程度の封止を行い、封止層２７を得た。めっき工程において、回折格子間の空間部へのめっき液の進入もなく封止を行えた。
【００３８】
［比較例３］
実施例１と同様にガラス端部と回折格子端部との距離が５０μｍである素子を実施例１と同様の方法で回折光学素子を成形し、接合した。封止においては実施例２と同様の方法で無電解ニッケルめっきを行い、封止を行った。めっき工程において、毛細管現象により空間部へのめっき液の進入があり、光学有効面にめっきが付着してしまい、良好な光学素子を得ることができなかった。
【実施例３】
【００３９】
図３は、本発明の実施例３によって製造される所望の回折光学格子の基本形状を示すものである。本実施例では実施例１と同じ形状の回折格子レンズを作製し接合した。実施例１と同様にガラス基板３１上に樹脂で回折格子３２成形されている。回折格子３２と同じ格子先端のピッチ周期を有する他の回折格子３３を接合した構成をもつ積層構造の回折光学素子である。ここでの２つの回折格子間は、１．５μｍの空気ギャップ３４がある。
【００４０】
接合後、めっき液などの進入がないよう接合端面をアクリル塗料でコートし、接合部端面を平坦化することで封止を形成するための層３５を得た。その後、実施例２と同様の方法にて回折格子端面に無電解ニッケルめっきを施し本実施形態の封止層３６を得た。めっき工程において空間部へのめっき液の進入もなく封止を行えた。本実施例で得た回折光学素子を信頼性試験として６０℃９０％１０００時間の炉に投入し、回折効率に変化がないことを確認した。
【実施例４】
【００４１】
図４は、本発明の実施例４によって製造される所望の回折光学格子の基本形状を示すものである。実施例２と同様にガラス基板４１上に樹脂で回折格子４２成形されている。回折格子４２と同じ格子先端のピッチ周期を有する他の回折格子４３を接合した構成をもつ積層構造の回折光学素子である。ここでの２つの回折格子間は、１．５μｍの空気ギャップ４４がある。本実施例では実施例２と同じ形状の回折格子レンズを作製し接合した。
【００４２】
その後、接合面端部に黒色の遮光塗料をコートし、封止下面遮光層４５を平坦に形成した。遮光層４５上に実施例１と同様の方法にてガラス端面にアルミニウム蒸着を施し本実施形態の封止層４６を得た。さらに封止層４６の上に黒色の遮光塗料をコートし、封止上面遮光層４７を形成し、本実施例４の回折光学素子を得た。前記方法にて本比較例の回折光学素子を得た。
【００４３】
本実施例で得た回折光学素子を信頼性試験として６０℃９０％１０００時間の炉に投入し、回折効率に変化がないことを確認した。また実施例１と比較してゴースト、フレアの少ない回折光学素子を得ることができた。
【実施例５】
【００４４】
図５は、本発明の実施例５によって製造される所望の回折光学格子の基本形状を示すものである。実施例１と同様にガラス基板５１上に樹脂で回折格子５２成形されている。回折格子５２と同じ格子先端のピッチ周期を有する他の回折格子５３を接合した構成をもつ積層構造の回折光学素子である。ここでの２つの回折格子間は、１．５μｍの空気ギャップ５４がある。本実施例では実施例２と同じ形状の回折格子レンズを作製し接合した。
【００４５】
次に封止を行った。光学ガラス有効面にシールテープでマスキングを行い、無電解銅めっきにより３００ｎｍ程度の封止を行い、封止層５５を得た。めっき工程において空間部へのめっき液の進入もなく封止を行えた。封止層５５上にアクリル樹脂のコートを行うことで防錆層５６を形成し、本実施例５の回折光学素子を得た。本実施例で得た回折光学素子を信頼性試験として６０℃９０％１０００時間の炉に投入し、回折効率に変化がないことを確認した。
【００４６】
［比較例４］
実施例５と同様に回折光学素子を成形し、接合した。封止においても実施例５と同様の方法で無電解銅めっきを行い、封止を行った。本比較例で得た回折光学素子を信頼性試験として６０℃９０％１０００時間の炉に投入した。銅めっき部に酸化が生じているのが変色により見られた。また、ガラスとめっきの界面から膜浮きなどの剥離部が見られた。また、回折効率においても低下が観測された。
【実施例６】
【００４７】
図６は本実施例６によって製造される所望の回折光学格子の基本形状を示すものである。本実施例の回折光学素子は４００ｎｍから７００ｎｍの波長領域の光束が設計次数に集中するように回折格子６１、６２の材料に合わせ金型を設計した。回折格子６１の材料には高屈折率で屈折率分散の大きいビニルカルバゾールを主成分とした光硬化性樹脂を用いた。
【００４８】
前記回折格子６１の光学材料はＮ−ビニルカルバゾール（東京化成工業（株）製）９．８０ｇと光重合開始剤としてイルガキュア１８４（チバスペシャリティ・ケミカル製）０．１ｇ及び、アジピン酸ジビニル（日本酢ビ・ポバール（株）製）０．５ｇを混合し、８０℃で２時間加熱溶解し、十分に攪拌し作製した。回折格子２には屈折率分散が回折格子６１の材料より小さい光硬化性樹脂であるＧＲＡＮＤＩＣ＿ＲＣ−８９２２（大日本インキ化学工業製）を用いた。格子間のピッチは８０μｍであり、ビニルカルバゾールを主成分として用いた回折格子６１の格子高さは４．７２μｍである。またＧＲＡＮＤＩＣ＿ＲＣ−８９２２を用いた回折格子６２の格子高さは７．５８μｍである。
【００４９】
２つの回折格子間は、１．５μｍの空気ギャップ６３を設け、本実施例では実施例２と同じ回折格子の端部がテーパー状の勘合構造を有している形状を用いた。プロセスによる収縮などの形状については補正を行い、あらかじめ型形状に補正を行ったものを用いた。該設計された金型を用い、これら各光学素子をレプリカ成形により形成した。８０℃にて保温した回折格子６１の光学材料約０．０４ｇを８０℃で金型の上にディスペンサーを用いて吐出した。金型温度は温調制御によって±１．０℃以内に制御されている。
【００５０】
８０℃に保温された反射防止膜を施した硝子板６４（ＢＫ７）を吐出液上にゆっくりと接液した後、圧着させゆっくりと気泡が入らないように押し広げ、本実施例の光学材料を硝子板と金型の間に充填させた。さらに、硝子板方向から中心波長３６５ｎｍの紫外線を４０ｍＷで２５００ｓ照射し硬化させた。前記硬化物を金型から剥がし本実施例の光学材料を用いて成形された回折格子６１を得た。
【００５１】
同様に、回折格子６２の金型を用いて回折格子６１と同様に接液、圧着、充填後、硝子板方向から中心波長３６５ｎｍの紫外線を４０ｍＷで１０００ｓ照射し硬化させ、金型から剥がし回折格子６２を得た。その後、回折格子６１、６２共に、高温による信頼性試験において、収縮などのないようあらかじめ収縮させた。以上により、出来上がった２種の回折格子面に、反射防止膜を成膜した。次に実施例２と同様の方法で接合を行った。その後、接合面端部に２液性の黒色顔料の入ったエポキシ樹脂を遮光塗料としてはけで平坦に塗り、焼成を行い、封止下面遮光層６５を得た。遮光層６５上に実施例１と同様の方法にてガラス端面にアルミニウム蒸着を施し本実施形態の封止層６６を得た。
【００５２】
さらに封止層６６の上に遮光層６５と同様の方法で黒色の遮光塗料をコートし、封止上面遮光層６７を形成し、本実施例６の回折光学素子を得た。本実施例で得られた回折光学素子の初期の回折効率と６０℃９０％１０００ｈｒ後の回折効率を図７に示す。初期において良好な回折効率が得られており、信頼性試験後においても変動は観測されなかった。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施例１に係る回折光学素子の構成を示す模式断面図
【図２】本発明の実施例２に係る回折光学素子の構成を示す模式断面図
【図３】本発明の実施例３に係る回折光学素子の構成を示す模式断面図
【図４】本発明の実施例４に係る回折光学素子の構成を示す模式断面図
【図５】本発明の実施例５に係る回折光学素子の構成を示す模式断面図
【図６】本発明の実施例６に係る回折光学素子の構成を示す模式断面図
【図７】本発明の実施例６に係る回折光学素子の回折効率を示す図
【符号の説明】
【００５４】
１１、２１、３１、４１、５１、６４    基材
１２、２２、３２、４２、５２、６１    回折格子１
１３、２３、３３、４３、５３、６２    回折格子２
１４、２４、３４、４４、５４、６３    空気間ギャップ
１５、２７、３６、４６、５５、６６    封止層
２５    勘合部
２６    つきあて部
３５    封止を形成するための層
４５、６５    封止下面遮光層
４７、６７    封止上面遮光層
５６    防錆層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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