(57)【要約】【課題】  光学要素の充分な配置精度が簡単な構成で実現され、低コスト化が可能な分光器を提供する。【解決手段】  分光の対象光が伝搬する分光光路が内部に設定される光学体１０と、対象光を入射する光入射スリット１６と、入射された対象光を分光する回折格子１７と、回折格子１７で分光された対象光を検出するフォトダイオードアレイ１８とによって、分光器１Ａを構成する。また、光学体１０とフォトダイオードアレイ１８とを光学的に接続させる光学部材として、分光された対象光に対する光入射面２１が光学体１０の上面１１に接し、光出射面２２がフォトダイオードアレイ１８に接するとともに、光出射面２２が光入射面２１に対して所定角度で傾いた形状に形成された光学接続部材２０を設置する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分光対象となる所定の波長範囲内の対象光を通過させる材料によって形成され、その内部に前記対象光が伝搬する分光光路が設定される光学体と、
前記分光光路上となる所定位置に設けられた分光素子と、
前記分光光路に対して入射側に位置し、前記対象光を入射させる光入射手段と、
前記分光光路に対して出射側に位置し、前記光入射手段から入射して前記分光素子で分光された前記対象光を検出する光検出手段と、
前記光学体及び前記光検出手段を光学的に接続させる光学接続部材とを備え、
前記光学接続部材は、前記分光素子で分光された前記対象光に対する光入射面が前記光学体の所定の面に接し、前記光入射面とは反対側となる光出射面が前記光検出手段に接するとともに、前記光出射面が前記光入射面に対して所定角度で傾いた形状に形成されていることを特徴とする分光器。
【請求項２】
前記光学接続部材は、前記分光素子からの前記対象光の一部が前記光出射面で反射された反射光が、前記分光光路から外れる方向に伝搬するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の分光器。
【請求項３】
前記光学接続部材は、前記分光素子で分光された前記対象光の波長による焦点ラインに対して、前記光出射面が沿うように構成されていることを特徴とする請求項１記載の分光器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入射した光を分光するための分光器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
分光器（スペクトロメータ）は、測定対象となる光をプリズムや回折格子などの分光素子によって各スペクトル成分へと分解する光学装置である。このような装置では、分光素子によって分光された光のスペクトル成分を検出することにより、光の波長分布や特定波長成分の強度などを知ることができ、様々な用途に用いられている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【特許文献１】特開２０００−２９８０６６号公報
【特許文献２】特開平４−２９４２２３号公報
【特許文献３】特開２０００−６５６４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、様々な分光測定装置や測定システムに対して適用される小型の分光器の開発が進められている。小型の分光器の利点の１つは、従来の分光器に比べて低コスト化が可能な点にある。分光器が低コストとなれば、これまでコスト的に適用ができなかった新しい分野への分光器の適用が可能となる。分光器を低コスト化する方法としては、例えば、低コストの材料を用いて分光器を構成する方法、分光器を構成する部材に対するトレランスを緩和して、その製造を簡単化する方法などが挙げられる。
【０００４】
一方、分光器においては、分光器を構成する光入射部や光検出器などの各光学要素を高い位置決め精度で配置する必要がある。小型の分光器では、そのような光学要素の配置の精度としては、例えば１０μｍ以下の精度が要求される。このような配置精度を実現するため、いくつかの構成が提案されている。例えば、上記した特許文献１には、光線入力、回折格子、光検出器を精度良く配置するためのマウント構造について開示されている。しかしながら、このような構成では、分光器の製造を低コストで行うことができない。
【０００５】
また、特許文献２では、回折格子が取り付けられた支持体の面と、光検出器であるダイオード列との間に空隙を設ける構成が開示されている。しかしながら、このような構成では、支持体と光検出器との間の空隙を空気で満たした場合、界面での反射によって光の通過率が低下し、また、ゴースト像が生成される原因ともなる。また、この空隙をエポキシなどのポリマーで充填した場合、分光器の全体のトレランスを確保するために、例えば数１００μｍ程度とかなりの厚さが必要となる。また、厚い接着層は、分光器の熱サイクルや、長期的な安定性、厳しい環境に対する耐久性、などの点でも問題がある。
【０００６】
また、特許文献３には、分光の対象光を透明な光学体の内部で伝搬させることによって高い信頼性を実現する分光器の構成が開示されている。この構成は、熱的な安定性などの点で優れている。また、光学体同士を接続する場合には、光学体間は、分光器の特性に影響を与えない屈折率整合光学接着剤の薄い層などによって接続することができる。しかしながら、このような構成では、一媒体中での光の伝搬を利用する構成であるため、光学要素の配置を精度良く調整する場合に、上記した空隙等を用いることができない。
【０００７】
本発明は、以上の問題点を解決するためになされたものであり、光学要素の充分な配置精度が簡単な構成で実現され、低コスト化が可能な分光器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するために、本発明による分光器は、（１）分光対象となる所定の波長範囲内の対象光を通過させる材料によって形成され、その内部に対象光が伝搬する分光光路が設定される光学体と、（２）分光光路上となる所定位置に設けられた分光素子と、（３）分光光路に対して入射側に位置し、対象光を入射させる光入射手段と、（４）分光光路に対して出射側に位置し、光入射手段から入射して分光素子で分光された対象光を検出する光検出手段と、（５）光学体及び光検出手段を光学的に接続させる光学接続部材とを備え、（６）光学接続部材は、分光素子で分光された対象光に対する光入射面が光学体の所定の面に接し、光入射面とは反対側となる光出射面が光検出手段に接するとともに、光出射面が光入射面に対して所定角度で傾いた形状に形成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記した分光器においては、分光対象となる光を光学体内で伝搬させ、その光学体に対してそれぞれ所定位置に光入射手段、分光素子、及び光検出手段の各光学要素を配置して分光器を構成している。これにより、安定性に優れ信頼性の高い分光器が実現される。また、光学体内に設定される分光光路の出射側において、光検出手段を光学体の面上に直接に配置するのではなく、光学体と光検出手段との間に、光出射面が光入射面に対して傾いた光学接続部材を設置している。このような構成では、光学接続部材の傾き方向（光学接続部材の厚さが一定の方向に対して直交する方向）での位置を変えることによって、光学体内での分光光路に対する光検出手段の光路方向の配置を調整することが可能である。これにより、光学要素の充分な配置精度が簡単な構成で実現され、かつ、その低コスト化が可能な分光器が得られる。
【００１０】
ここで、上記構成の分光器において、光学接続部材は、分光素子からの対象光の一部が光出射面で反射された反射光が、分光光路から外れる方向に伝搬するように構成されていることが好ましい。これにより、光学接続部材に接続された光検出手段の光入射面で発生する迷光の影響を抑制することができる。
【００１１】
あるいは、光学接続部材は、分光素子で分光された対象光の波長による焦点ラインに対して、光出射面が沿うように構成されていることが好ましい。これにより、分光素子によって分光された対象光の各スペクトル成分を好適に検出することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による分光器によれば、光学体内に設定される分光光路の出射側において、光学体と光検出手段との間に、光出射面が光入射面に対して傾いた光学接続部材を設置することにより、光学要素の充分な配置精度が簡単な構成で実現されるとともに、その低コスト化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面とともに本発明による分光器の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００１４】
まず、分光器の構成の基本概念について説明する。本発明による分光器においては、分光の対象光が伝搬する分光光路上に、光出射面が光入射面に対して所定角度で傾いたウエッジ形状の光学部材を設置する。そして、この光学部材を利用して、対象光の焦点位置に対する光学要素の配置精度を向上する。
【００１５】
図１（ａ）及び（ｂ）は、ウエッジ形状の光学部材と、対象光の焦点位置との関係を示す図である。図１に示す光学系では、対象光の光軸であるｚ軸上に、集束レンズ５５及び光学部材５０を設置している。また、光学部材５０は、その光入射面５１がｚ軸に対して直交するとともに、光出射面５２が光入射面５１に対して傾いたウエッジ形状となっている。具体的には、図１においては、光学部材５０の光出射面５２は、光入射面５１に対してｘ軸方向を傾き方向として角度θで傾いており、光学部材５０の厚さがｘ軸の正の方向に向かって大きくなる構成となっている。
【００１６】
このような光学部材５０に対し、図１（ａ）では、レンズ５５から対象光の焦点Ｐ１までの焦点距離がＬ１であり、この焦点Ｐ１が光出射面５２上に位置するように光学部材５０が配置されている。一方、図１（ｂ）では、レンズ５５から対象光の焦点Ｐ２までの焦点距離がＬ１よりも大きいＬ２（Ｌ２＞Ｌ１）となっている。これに対して、光学部材５０は、図１（ａ）の配置からみてｘ軸の負の方向にずらした位置に配置されている。これにより、対象光の光路上での光学部材５０の厚さが大きくなり、焦点Ｐ２が光出射面５２上に位置するようになっている。すなわち、対象光が伝搬する光路上にウエッジ形状の光学部材５０を設置することにより、この光学部材５０を利用して、対象光の焦点位置に対して光学系の構成を調整することができる。以下、このような光学部材を用いた本発明による分光器について説明する。
【００１７】
図２は、本発明による分光器の第１実施形態の構成を示す斜視図である。ここで、以下においては、説明の便宜のため、図２に示すように互いに直交するｘ軸、ｙ軸、及びｚ軸を定義して用いることとする。また、説明上必要な場合には、ｘ軸の負の方向、正の方向をそれぞれ左方向、右方向、ｙ軸の負の方向、正の方向をそれぞれ前方向、後方向、ｚ軸の負の方向、正の方向をそれぞれ下方向、上方向として説明する。また、図３は、図２に示した分光器の構成を示すｙ軸の負の側からみた側面図である。
【００１８】
本実施形態の分光器１Ａは、光学体１０と、光学部材２０とを備えている。図２においては、ｚ軸の負の方向が分光器１Ａでの光の入射方向となっている。この分光器１Ａは、分光の対象光が伝搬する光路（分光光路）を光学体１０の媒体中に設定して、対象光の分光を行うように構成されている。
【００１９】
光学体１０は、本分光器１Ａによる分光対象となる所定の波長範囲内の対象光を通過させるガラス材料により、ｚ軸方向を中心軸とする円筒形状に形成されている。本実施形態においては、光学体１０の上面１１は平面状、また、下面１２は光学体１０の内部からみて凹面状（したがって外部に向かって凸面状）の面形状に形成されている。また、光学体１０の下面１２上には、その所定範囲に、分光の対象光を反射する反射ミラー１５が設けられている。
【００２０】
光学体１０の上面１１上には、図中の右側から左側へと順に、光入射スリット１６、回折格子１７、及び光学部材２０が所定の位置関係で設置されている。光入射スリット１６は、光学体１０内に設定された分光光路に対して入射側に位置し、分光の対象光を光学体１０へと入射させる光入射手段である。この光入射スリット１６を介して対象光が入射することにより、光学体１０内への対象光の入射光路が決められる。
【００２１】
回折格子１７は、分光光路上となる所定位置に設けられた分光素子であり、光入射スリット１６から入射した対象光を分光して、各スペクトル成分へと分解する。図２においては、回折格子１７の一例として、ｘ軸方向を光の分散方向として光学体１０の上面１１上に形成された反射型の平面回折格子を示している。このような回折格子１７としては、例えば、光学体１０の形成時にブレーズド格子などの回折格子パターンを上面１１に形成した後、パターンが形成された部位にアルミニウムなどによる反射コートを施す構成を用いることができる。
【００２２】
また、これらの光学体１０、光入射スリット１６、及び回折格子１７に対して、分光光路の出射側で上面１１の上方となる所定位置に、光検出器１８が設置されている。光検出器１８は、光入射スリット１６から入射して回折格子１７で分光された対象光を検出する光検出手段である。このような光検出器１８としては、例えば、回折格子１７での光の分散方向と一致するｘ軸方向を配列方向として複数のフォトダイオード（光検出素子）が配列されたフォトダイオードアレイ（光検出素子アレイ）が用いられる。
【００２３】
このような構成において、光入射スリット１６から光学体１０内の分光光路へと入射した分光の対象光は、下面１２の凹面反射ミラー１５で反射され、コリメート光として分光素子である上面１１の回折格子１７へと到達する。この対象光は、回折格子１７によって反射されるとともに分光され、凹面反射ミラー１５を介してフォトダイオードアレイ１８に集束しつつ入射する。そして、得られた対象光のスペクトル成分が、それぞれフォトダイオードアレイ１８の対応するフォトダイオードで検出されることによって、対象光の分光測定が行われる。
【００２４】
本分光器１Ａにおいては、さらに、内部に分光光路が設定された光学体１０と、光検出手段であるフォトダイオードアレイ１８との間に、上記した光学部材２０が設置されている。光学部材２０は、光学体１０及びフォトダイオードアレイ１８を光学的に接続する光学接続部材であり、所定の波長範囲内の対象光を通過させるガラス材料によって形成されている。これらの光学体１０及び光学接続部材２０は、光学的に接続された状態で一体に設けられている。また、このとき、光入射スリット１６からフォトダイオードアレイ１８への分光光路の一部は、光学接続部材２０の内部に設定されている。
【００２５】
具体的には、光学接続部材２０は、その下面を分光された対象光に対する光入射面２１とし、光入射面２１とは反対側となる上面を光出射面２２として構成されている。また、光学接続部材２０は、光入射面２１が光学体１０の上面１１に接するとともに、光出射面２２がフォトダイオードアレイ１８の光入射面に接するように配置されている。このような構成により、光学接続部材２０は、光入射面２１と光出射面２２との間で、光学体１０とフォトダイオードアレイ１８とを光学的に接続する。
【００２６】
また、この光学接続部材２０は、その光出射面２２が光入射面２１に対してｘ軸方向を傾き方向として所定角度θ（図３参照）で傾いたウエッジ形状に形成されている。これにより、光学接続部材２０は、そのｚ軸方向の厚さ、すなわち、光学体１０の上面１１に接する光入射面２１と、光出射面２２の各部位との距離がｘ軸の正の方向に向かって大きくなる構成となっている。光学接続部材２０は、上記したウエッジ形状を考慮して、凹面反射ミラー１５から集束しつつフォトダイオードアレイ１８へと入射する対象光の焦点Ｐが光出射面２２上に位置するように配置されている。これにより、光学接続部材２０の光出射面２２に接するように配置されたフォトダイオードアレイ１８に対して、分光された対象光が好適に入射される。
【００２７】
上記実施形態による分光器の効果について説明する。
【００２８】
図２及び図３に示した分光器１Ａにおいては、分光対象となる光を光学体１０内で伝搬させ、その光学体１０に対してそれぞれ所定位置に光入射スリット１６、回折格子１７、及びフォトダイオードアレイ１８の各光学要素を配置して分光器１Ａを構成している。このように、対象光が内部を伝搬可能な光学体１０を用いて分光器１Ａを構成することにより、安定性に優れ信頼性の高い分光器が実現される。
【００２９】
また、光学体１０内に設定される分光光路の出射側において、光検出手段であるフォトダイオードアレイ１８を光学体１０の上面１１上に直接に配置するのではなく、光学体１０とフォトダイオードアレイ１８との間に、光出射面２２が光入射面２１に対して傾いた光学接続部材２０を設置している。このような構成では、光学接続部材２０の傾き方向であるｘ軸方向（光学接続部材２０の厚さが一定の方向であるｙ軸方向に対して直交する方向）での位置を変えることによって、光学体１０内での分光光路に対するフォトダイオードアレイ１８の配置、及び光路方向であるｚ軸方向についてのフォトダイオードアレイ１８への対象光の入射位置を調整することが可能である。これにより、分光器１Ａを構成する各光学要素の充分な配置精度を簡単な構成で実現することができる。また、分光器１Ａの構成が簡単化されることにより、その低コスト化が可能となる。
【００３０】
例えば、上記の分光器１Ａにおいては、分光光路の出射側における対象光の焦点Ｐは、図３に示すように、光学体１０の上面１１から距離Ｌの位置にある。ここで、この対象光の焦点位置は、分光器１Ａの各構成要素のトレランス、例えば光学体１０の高さ、光学面の曲率、光入射スリット１６の位置のずれなどによって、ある程度変化する。このような対象光の焦点について、上記構成を有する分光器１Ａでは、光学体１０の上面１１から焦点Ｐまでの距離がＬからずれた場合であっても、光学接続部材２０を利用して、対象光の焦点位置に対して光学系の構成を調整することが可能である。
【００３１】
図４は、図２に示した分光器の変形例を示す斜視図である。また、図５は、図４に示した分光器の構成を示すｙ軸の負の側からみた側面図である。この変形例においては、図５に示すように、対象光の焦点が、光学体１０の上面１１からの距離がＬよりも小さいＬ’（Ｌ’＜Ｌ）の焦点Ｐ’となっている。
【００３２】
これに対して、本構成では、ウエッジ形状の光学接続部材２０が、図２に示した構成よりもｘ軸の正の方向にずれた位置に配置されている。これにより、光学接続部材２０は、フォトダイオードアレイ１８へと入射する対象光の焦点Ｐ’が光出射面２２上に位置するように配置されている。このように、光学接続部材２０を用いた上記構成の分光器によれば、光学体１０の上面１１から焦点までの距離に応じて光学接続部材２０のｘ軸方向の位置を調整することにより、光学体１０から光学接続部材２０を通過してフォトダイオードアレイ１８へと入射する対象光の焦点に対する光出射面２２の位置が調整される。
【００３３】
ここで、対象光の焦点位置がｘ軸方向またはｙ軸方向に変化した場合、光学体に対するフォトダイオードアレイの位置をｘｙ面内で調整することにより対応することが可能である。一方、対象光の焦点位置がｚ軸方向に変化した場合には、光学体の上面上に直接にフォトダイオードアレイを設置する構成では、フォトダイオードアレイの位置をｚ軸方向で調整することができない。これに対して、光学体１０とフォトダイオードアレイ１８との間にウエッジ形状の光学接続部材２０を設けた上記構成によれば、対象光の焦点位置が光路方向に変化した場合であっても、光学接続部材２０の位置を傾き方向で調整することにより、光学体１０及び光学接続部材２０内での分光光路と、フォトダイオードアレイ１８との位置関係を調整することができる。また、光学接続部材２０の位置を傾き方向で調整して対象光の焦点位置を光出射面２２に合わせた上で、さらに、光出射面２２上でフォトダイオードアレイ１８の位置を調整しても良い。これにより、対象光の焦点位置を光出射面２２においたまま、フォトダイオードアレイ１８への対象光の入射位置を調整することができる。
【００３４】
なお、上記実施形態においては、対象光の分光光路が設定される光学体１０、及び光学接続部材２０をガラス部材としている。一般には、これらの光学体１０、光学接続部材２０は、分光対象となる所定の波長範囲内の対象光を通過させる材料から形成されていれば良く、例えば、樹脂材料から形成しても良い。
【００３５】
また、光学体１０での分光光路に対して設けられる光入射手段については、上記実施形態では、光入射スリット１６として模式的に図示している。このような光入射手段の具体的な構成としては、例えば、スリット状のパターンを形成する構成や、スリット部材を設置する構成など、様々な構成を用いることができる。対象光を分光する分光素子についても、回折格子以外の光学素子を用いても良い。また、分光された対象光を検出する光検出手段についても、同様に、フォトダイオードアレイ以外の光検出器を用いても良い。
【００３６】
本発明による分光器の構成について、さらに説明する。
【００３７】
対象光を分光して光検出器で検出する分光器の構成では、対象光が光検出器へと入射する際に、光検出器の光入射面において対象光の一部が反射される場合がある。このような反射光は分光器内での迷光となり、分光の測定効率の低下や分解能の低下などの原因となる。これに対して、ウエッジ形状の光学部材を対象光の光路上に配置する上記構成では、図６に示すように、光検出器の光入射面に対応する光学部材６０の光出射面６２が光入射面６１に対して傾いていることにより、光出射面６２での反射光が、対象光の入射光路から外れる方向に伝搬する構成とすることが可能である。
【００３８】
図７は、本発明による分光器の第２実施形態の構成を示す斜視図である。本実施形態の分光器１Ｂは、図２に示した分光器１Ａと同様の構成を有し、光学体１０と、光学接続部材２０と、反射ミラー１５と、光入射スリット１６と、回折格子１７と、フォトダイオードアレイ１８とを備えている。
【００３９】
本実施形態においては、光学体１０から光学接続部材２０を通過してフォトダイオードアレイ１８に入射する対象光の分光光路に対して、光出射面２２が所定角度で傾くように光学接続部材２０が構成されている。これにより、本分光器１Ｂでは、回折格子１７から反射ミラー１５を介して到達した対象光の一部が光出射面２２で反射された場合に、その反射光が、対象光の分光光路から外れる方向に伝搬する構成となっている。
【００４０】
このような構成では、対象光の分光光路から外れた位置で反射光の光路上に、迷光を捕捉する迷光トラップを設けることが可能である。これにより、光学接続部材２０の光出射面２２に接続されたフォトダイオードアレイ１８へと対象光が入射する際に発生する迷光の影響を抑制することができる。対象光の分光光路に対する光学接続部材２０の光出射面２２の傾き角度については、分光器の具体的な構成に応じて適宜設定すれば良い。この傾き角度は、例えば５°程度に設定できる。
【００４１】
なお、フォトダイオードアレイ１８の光入射面での対象光の反射は、光学体１０及び光学接続部材２０と、フォトダイオードアレイ１８との屈折率差などに起因して発生する。例えば、光学体１０及び光学接続部材２０としてガラス部材を用いた場合、その屈折率は１．５程度、フォトダイオードアレイ１８としてシリコンセンサを用いた場合、その屈折率は３．４程度である。このような構成では、フォトダイオードアレイ１８へと入射する対象光の１５％程度が反射される。
【００４２】
図８は、本発明による分光器の第３実施形態の構成を示す斜視図である。本実施形態の分光器１Ｃは、図２に示した分光器１Ａと同様の構成を有し、光学体１０と、光学接続部材２０と、反射ミラー１５と、光入射スリット１６と、回折格子１７と、フォトダイオードアレイ１８とを備えている。
【００４３】
本実施形態においては、回折格子１７で分光された対象光について、分光光路の出射側に形成される波長による焦点ラインが光学体１０の上面１１に対して傾いた構成となっている。このような対象光の焦点ラインに対し、光学接続部材２０は、その光出射面２２が焦点ラインに沿うように構成されている。図８中においては、この波長による焦点ラインについて、２つの波長λ１、λ２に対する光出射面２２上の焦点Ｐ１、Ｐ２を示している。
【００４４】
このような構成では、回折格子１７によって分光された対象光の各スペクトル成分を、フォトダイオードアレイ１８によって好適に検出することができる。例えば、フォトダイオードアレイ１８に対して対象光が斜めに入射した場合、その光入射面での対象光の反射率が対象光の偏光状態に依存してしまうため、対象光に偏光依存損失が発生する。これに対して、光学体１０の上面１１に対して傾いた光学接続部材２０の光出射面２２が焦点ラインに沿う構成とすることにより、フォトダイオードアレイ１８に対して対象光を垂直に入射させて、偏光依存損失の発生を防止することが可能となる。
【００４５】
本発明による分光器は、上記した実施形態に限られるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、光入射手段、分光素子、及び光検出手段を用いた分光器の構成、あるいは光学体の内部に設定される分光光路の構成については、具体的には上記構成以外にも様々な構成を用いて良い。また、上記した各光学要素の光学体に対する配置についても、分光光路と併せて様々な変形が可能である。例えば、図２に示した構成では、光入射スリット１６、回折格子１７、及びフォトダイオードアレイ１８が、光学体１０に対していずれも上面１１側に配置されているが、それぞれ異なる面側に配置された構成としても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、光学要素の充分な配置精度が簡単な構成で実現され、低コスト化が可能な分光器として利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】ウエッジ形状の光学部材と、対象光の焦点位置との関係を示す図である。
【図２】分光器の第１実施形態の構成を示す斜視図である。
【図３】図２に示した分光器の構成を示す側面図である。
【図４】図２に示した分光器の変形例を示す斜視図である。
【図５】図４に示した分光器の構成を示す側面図である。
【図６】ウエッジ形状の光学部材の光出射面での反射光について示す図である。
【図７】分光器の第２実施形態の構成を示す斜視図である。
【図８】分光器の第３実施形態の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４８】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ…分光器、１０…光学体、１１…上面、１２…下面、１５…凹面反射ミラー、１６…光入射スリット、１７…反射型平面回折格子、１８…フォトダイオードアレイ、２０…光学接続部材、２１…光入射面、２２…光出射面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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