(57)【要約】【課題】  フィルタから均一かつ直進性の高いエアーを送気させることができるファン・フィルタユニットおよびこれを備えたクリーンブースを提供する。【解決手段】  前側に送気開口４および後側に吸気開口３を形成した筐体２と、吸気開口３に面して筐体２内に収容したファン５と、送気開口４に面して筐体２内に収容したフィルタ６とを備えたファン・フィルタユニット１において、奥行き方向におけるファン５とフィルタ６との間に、随伴流としてフィルタ６側からファン５側に流れるエアーの流れを遮蔽する遮蔽板１６と、筐体２の左右両側壁に当ってフィルタ６側に流れるエアーの流れを、フィルタ６の左右中間部に向ける左右一対の内向き指向板１７と、フィルタ６に沿ってフィルタ６の左右中間部に向かう左右の向流エアーを、フィルタ６の左右中間部でフィルタ６側に向ける外向き指向板１８と、を備えた。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前側に送気開口を形成すると共に後側に吸気開口を形成した筐体と、前記吸気開口に面して前記筐体内に収容したファンと、前記送気開口に面して前記筐体内に収容したフィルタと、を備え、
前記ファンにより、左右両側方に送気したエアーを、前記フィルタを通過させて前方に吹き出すようにしたファン・フィルタユニットにおいて、
奥行き方向における前記ファンと前記フィルタとの間に、
随伴流として前記フィルタ側から前記ファン側に流れるエアーの流れを遮蔽する遮蔽板、を備えたことを特徴とするファン・フィルタユニット。
【請求項２】
前側に送気開口を形成すると共に後側に吸気開口を形成した筐体と、前記吸気開口に面して前記筐体内に収容したファンと、前記送気開口に面して前記筐体内に収容したフィルタと、を備え、
前記ファンにより、左右両側方に送気したエアーを、前記フィルタを通過させて前方に吹き出すようにしたファン・フィルタユニットにおいて、
奥行き方向における前記ファンと前記フィルタとの間に、
前記筐体の左右両側壁に当って前記フィルタ側に流れるエアーの流れを、前記フィルタの左右中間部に向ける左右一対の内向き指向板、を備えたことを特徴とするファン・フィルタユニット。
【請求項３】
前側に送気開口を形成すると共に後側に吸気開口を形成した筐体と、前記吸気開口に面して前記筐体内に収容したファンと、前記送気開口に面して前記筐体内に収容したフィルタと、を備え、
前記ファンにより、左右両側方に送気したエアーを、前記フィルタを通過させて前方に吹き出すようにしたファン・フィルタユニットにおいて、
奥行き方向における前記ファンと前記フィルタとの間に、
前記フィルタに沿って前記フィルタの左右中間部に向かう左右の向流エアーを、前記フィルタの左右中間部で前記フィルタ側に向ける外向き指向板、を備えたことを特徴とするファン・フィルタユニット。
【請求項４】
前側に送気開口を形成すると共に後側に吸気開口を形成した筐体と、前記吸気開口に面して前記筐体内に収容したファンと、前記送気開口に面して前記筐体内に収容したフィルタと、を備え、
前記ファンにより、左右両側方に送気したエアーを、前記フィルタを通過させて前方に吹き出すようにしたファン・フィルタユニットにおいて、
奥行き方向における前記ファンと前記フィルタとの間に、
随伴流として前記フィルタ側から前記ファン側に流れるエアーの流れを遮蔽する遮蔽板と、
前記筐体の左右両側壁に当って前記フィルタ側に流れるエアーの流れを、前記フィルタの左右中間部に向ける左右一対の内向き指向板と、
前記フィルタに沿って前記フィルタの左右中間部に向かう左右の向流エアーを、前記フィルタの左右中間部で前記フィルタ側に向ける外向き指向板と、を備えたことを特徴とするファン・フィルタユニット。
【請求項５】
前記遮蔽板と前記各内向き指向板とは、左右方向に間隙を存して配設されていることを特徴する請求項４に記載のファン・フィルタユニット。
【請求項６】
前記各内向き指向板は、前記フィルタに対し、奥行き方向に間隙を存して配設されていることを特徴とする請求項２、４または５に記載のファン・フィルタユニット。
【請求項７】
前記遮蔽板の左右両外端部は、それぞれ後方に向かって湾曲形成されていることを特徴とする請求項１、４ないし６のいずれかに記載のファン・フィルタユニット。
【請求項８】
前記遮蔽板は、前記外向き指向板の左右両端に連結され、前記外向き指向板から左右外側にそれぞれ延在する左遮蔽部と右遮蔽部と、で構成されていることを特徴とする請求項４ないし７のいずれかに記載のファン・フィルタユニット。
【請求項９】
前記遮蔽板と前記外向き指向板とは、一体に成形されていることを特徴とする請求項８に記載のファン・フィルタユニット。
【請求項１０】
前記外向き指向板は、左右中間の頂部からそれぞれ斜め後方に延在する左指向部と右指向部と、で構成されていることを特徴とする請求項３ないし９のいずれかに記載のファン・フィルタユニット。
【請求項１１】
前記左右各指向部は、湾曲しながら斜め後方に延在していることを特徴とする請求項１０に記載のファン・フィルタユニット。
【請求項１２】
前記頂部は、前記フィルタに略接触していることを特徴とする請求項１０または１１に記載のファン・フィルタユニット。
【請求項１３】
前記内向き指向板は、一端を前記筐体の側壁に接した状態で、斜め前方に延在していることを特徴とする請求項２、４ないし１２のいずれかに記載のファン・フィルタユニット。
【請求項１４】
前記内向き指向板は、湾曲しながら斜め前方に延在していることを特徴とする請求項１３に記載のファン・フィルタユニット。
【請求項１５】
請求項１ないし１４のいずれかに記載のファン・フィルタユニットを、天井部に備えたことを特徴とするクリーンブース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンブース等に備えるファン・フィルタユニットおよびこれを備えたクリーンブースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファン・フィルタユニットとして、前側にフィルタおよび後側にターボファンを有したチャンバと、ターボファンとフィルタとの間を仕切るよう平行に設けられ、中央近傍に開口部を形成した遮蔽板と、遮蔽板からフィルタ側に距離を隔て開口部を覆うように設けられ、パンチングメタル材で構成された拡散板と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
この場合、ターボファンから吹き出されたエアーは、左右の両側板に向かって送り出され、さらに側板に当たって前方へ向かうが、遮蔽板に遮られ、遮蔽板を沿うようにして中央の開口部へ進むこととなる。この後、エアーは、開口部から、遮蔽板を回り込むエアーと、拡散板に当るエアーと、に分岐し、遮蔽板を回り込んだエアーは、フィルタを介して前方に排気され、拡散板に当ったエアーは、パンチ孔を通り、フィルタを介して前方に排気される。
【特許文献１】特開平１１−１３２５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような、上記のファン・フィルタユニットでは、開口部を通過したエアーは、拡散板自身を通過する流れと、その両側に分散する流れとにより、フィルタを通過した時点で比較的均一な流れとなる。しかし、開口部の手前において、開口部に向かう左右のエアーの流れは、遮蔽板に沿って流れると共に、ファン近傍に発生する随伴流により、ファン側に引かれるように流れることになる。このため、向流となる左右のエアーは、それぞれ左右方向に強い指向性を持って、開口部で衝突し、流速が相殺される。したがって、エアーをフィルタから均一に送気することはできるが、流速が極端に落ち、十分な直進性を保つことができない問題があった。
【０００５】
本発明は、フィルタから均一かつ直進性の高いエアーを送気させることができるファン・フィルタユニットおよびこれを備えたクリーンブースを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファン・フィルタユニットは、前側に送気開口を形成すると共に後側に吸気開口を形成した筐体と、吸気開口に面して筐体内に収容したファンと、送気開口に面して筐体内に収容したフィルタと、を備え、ファンにより、左右両側方に送気したエアーを、フィルタを通過させて前方に吹き出すようにしたファン・フィルタユニットにおいて、奥行き方向におけるファンとフィルタとの間に、随伴流としてフィルタ側からファン側に流れるエアーの流れを遮蔽する遮蔽板、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ファンから吹き出されたエアーは、左右に流れ、それぞれ筐体の側板により、前方に、また一部は斜め前方に流れる。また、この斜め前方に指向された左右の向流エアーは、遮蔽板により随伴流が阻止されるため、ファン側に引かれることがなく、そのままフィルタを通過して前方へ流れる。したがって、流速を落とすことなくエアーを送気することができるため、フィルタからは均一かつ直進性の高いエアーを送気することができる。
【０００８】
また、本発明の他のファン・フィルタユニットは、前側に送気開口を形成すると共に後側に吸気開口を形成した筐体と、吸気開口に面して筐体内に収容したファンと、送気開口に面して筐体内に収容したフィルタと、を備え、ファンにより、左右両側方に送気したエアーを、フィルタを通過させて前方に吹き出すようにしたファン・フィルタユニットにおいて、奥行き方向におけるファンとフィルタとの間に、筐体の左右両側壁に当ってフィルタ側に流れるエアーの流れを、フィルタの左右中間部に向ける左右一対の内向き指向板、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、ファンから吹き出されたエアーは、左右に流れ、それぞれ筐体の側板および内向き指向板により、斜め前方に指向されるようにして流れる。このため、その一部は、フィルタ手前の左右中央において合流し、前方へと流れ、また、この合流による圧力上昇を受けて、左右の向流エアーの一部は、内向き指向板をそれぞれ廻り込んで前方へ流れる。したがって、流速を落とすことなくエアーを送気することができるため、フィルタからは均一かつ直進性の高いエアーを送気することができる。
【００１０】
また、本発明の他のファン・フィルタユニットは、前側に送気開口を形成すると共に後側に吸気開口を形成した筐体と、吸気開口に面して筐体内に収容したファンと、送気開口に面して筐体内に収容したフィルタと、を備え、ファンにより、左右両側方に送気したエアーを、フィルタを通過させて前方に吹き出すようにしたファン・フィルタユニットにおいて、奥行き方向におけるファンとフィルタとの間に、フィルタに沿ってフィルタの左右中間部に向かう左右の向流エアーを、フィルタの左右中間部でフィルタ側に向ける外向き指向板、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、ファンから吹き出されたエアーは、左右に流れ、それぞれ筐体の側板により、前方に、また一部は斜め前方に流れる。また、この斜め前方に指向された左右の向流エアーは、フィルタ手前の左右中央において、外向き指向板により更に前方に指向される。このため、左右の向流エアーは、前方に向かって流れ、フィルタを通過する。したがって、流速を落とすことなくエアーを送気することができるため、フィルタからは均一かつ直進性の高いエアーを送気することができる。
【００１２】
また、本発明の他のファン・フィルタユニットは、前側に送気開口を形成すると共に後側に吸気開口を形成した筐体と、吸気開口に面して筐体内に収容したファンと、送気開口に面して筐体内に収容したフィルタと、を備え、ファンにより、左右両側方に送気したエアーを、フィルタを通過させて前方に吹き出すようにしたファン・フィルタユニットにおいて、奥行き方向におけるファンとフィルタとの間に、随伴流としてフィルタ側からファン側に流れるエアーの流れを遮蔽する遮蔽板と、筐体の左右両側壁に当ってフィルタ側に流れるエアーの流れを、フィルタの左右中間部に向ける左右一対の内向き指向板と、フィルタに沿ってフィルタの左右中間部に向かう左右の向流エアーを、フィルタの左右中間部でフィルタ側に向ける外向き指向板と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、ファンから吹き出されたエアーは、左右に流れ、それぞれ筐体の側板および内向き指向板により、斜め前方に指向される。また、この斜め前方に指向された左右の向流エアーは、遮蔽板により随伴流が阻止されると共に、外向き指向板によりフィルタ手前の左右中央において前方に指向される。更に、左右中央における圧力上昇を受けて、左右の向流エアーの一部は、内向き指向板をそれぞれ廻り込んで前方へ流れる。したがって、エアーの流れが円滑になり、流速を落とすことなくエアーを送気することができるため、フィルタからは均一かつ直進性の高いエアーを送気することができる。
【００１４】
この場合、遮蔽板と各内向き指向板とは、左右方向に間隙を存して配設されていることが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、遮蔽板と各内向き指向板との間を広くすることができるため、エアーの流れを円滑に導くことができる。
【００１６】
この場合、各内向き指向板は、フィルタに対し、奥行き方向に間隙を存して配設されていることが、好ましい。
【００１７】
この構成によれば、各内向き指向板にガイドされたエアーは、各内向き指向板を廻り込んでフィルタの内側に流れる。これにより、直進性を保ちつつ、フィルタの内側全面にエアーを行き渡らせることができる。
【００１８】
この場合、遮蔽板の左右両外端部は、それぞれ後方に向かって湾曲形成されていることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、遮蔽板と各内向き指向板との間において、エアーの導入部分が広く形成されるため、気流を円滑に導くことができる。
【００２０】
この場合、遮蔽板は、外向き指向板の左右両端に連結され、外向き指向板から左右外側にそれぞれ延在する左遮蔽部と右遮蔽部と、で構成されていることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、左右の向流エアーは、それぞれ左右各遮蔽部により随伴流を阻止することができ、これにより、エアーの流れを前方に送ることができる。
【００２２】
この場合、遮蔽板と外向き指向板とは、一体に成形されていることが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、遮蔽板と外向き指向板とを一体にすることで、エアーの流れを円滑にすることができると共に、両者を例えば、プレス成形等で簡単に作成することができる。
【００２４】
この場合、外向き指向板は、左右中間の頂部からそれぞれ斜め後方に延在する左指向部と右指向部と、で構成されていることが、好ましい。
【００２５】
この構成によれば、左右両方向から流れてきたエアーを頂部に向かって送ることができ、これにより、エアーの流れを前方へと導くことができる。
【００２６】
この場合、左右各指向部は、湾曲しながら斜め後方に延在していることが、好ましい。
【００２７】
この構成によれば、左右両方向から流れてきたエアーを、流速を落とすことなくその頂部に向かって導くことができ、これにより、エアーの流れを前方へと円滑に導くことができる。
【００２８】
この場合、頂部は、フィルタに略接触していることが、好ましい。
【００２９】
この構成によれば、頂部に送られてきたエアーを、そのままフィルタに送ることができ、左右の向流エアーが中央で衝突することがない。
【００３０】
この場合、内向き指向板は、一端を筐体の側壁に接した状態で、斜め前方に延在していることが、好ましい。
【００３１】
この構成によれば、ファンから吹き出されたエアーを、斜め前方に送ることができ、これにより、エアーの流れをフィルタの中央へと導くことができる。
【００３２】
この場合、内向き指向板は、湾曲しながら斜め前方に延在していることが、好ましい。
【００３３】
この構成によれば、ファンから吹き出されたエアーを、円滑に斜め前方に導くことができ、エアーの流速を落とすことなく、フィルタの中央へと導くことができる。
【００３４】
本発明のクリーンブースは、上記のファン・フィルタユニットを、天井部に備えたことを特徴とする。
【００３５】
この構成によれば、直進性の優れたクリーンなエアーがフィルタから送気されるため、エアーの送気方向において気流が乱れることなく、清浄空間を維持することができる。特に、机上に設置した装置等に、クリーンなエアーを直接吹き付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付の図面に基づいて、本発明の一実施形態に係るファン・フィルタユニットについて説明する。ファン・フィルタユニットは、後面から外気を取り込むと共に、前面に設けたフィルタを介してクリーンなエアーを送気するものである。また、これを備えたクリーンブースは、ブース外部のエアーを、このファン・フィルタユニットを用いて取り込むと共に、これを介してブース内にクリーンなエアーを送気し、クリーン度の高い空間を得るものである。
【００３７】
図１は、ファン・フィルタユニット（ＦＦＵ）の背面図および断面図である。同図に示すように、このファン・フィルタユニット１は、チャンバを構成する筐体２と、筐体２の後面中央部に形成した吸気開口３と、筐体２の前面全域に亘って形成した送気開口４と、吸気開口３に面して筐体２内に設けたファン５と、送気開口４に装着したフィルタ６と、筐体２内に配設した隔板群７と、で構成されている。ファン５の駆動により、吸気開口３から吸気されたエアーは、隔板群７によりその流れ方向８を調整された後、フィルタ６を通過しクリーンエアーとして送気される。
【００３８】
筐体２は、内部にエアーチャンバを構成すべく、ステンレス製やスチール製の背板１０、両側板１１、上板１２および下板１３で箱状に形成されている。背板１０の中央部には、吸気開口３が設けられ、前板に相当する部分にはフィルタ６が嵌め込まれており、全体として、例えば１２００Ｗ×６００Ｈ×２２５Ｄ等の建築モジュール基準のサイズに形成されている。吸気開口３は、開口廻りの補強を考慮して、ファン５の羽根車より一回り大きな方形の額縁状に形成されると共に、メッシュ状のプレフィルタ（図示省略）を有している。また、図示では省略したが、送気開口４には、フィルタ６を装着するための金具が設けられている。
【００３９】
ファン５は、ターボファン等の遠心送風機で構成されており、吸気開口３から吸気した外部エアーを周方向に遠心送風する。また、周方向に遠心送風されたエアーは、筐体２の上板１２および下板１３に案内されるようにして、側方に指向される。フィルタ６は、いわゆるＨＥＰＡフィルタであり、フィルタ材９と、フィルタ材９の四周を囲む枠体２３と、フィルタ材９を押さえるように枠体２３の前後に張設したフィルタ材押さえ（パンチングメタル）１４と、で構成されている。この場合、フィルタ６は送気開口４に着脱自在に、すなわちカセット形式で交換可能に構成されている。
【００４０】
隔板群７は、奥行き方向においてファン５とフィルタ６の間に介設されており、ファン５とフィルタ６の間を仕切るように左右中央に設けた遮蔽板１６と、左右の間隙を存して遮蔽板１６の外方に配設した左右一対の内向き指向板１７と、前方に突出するように遮蔽板１６の前面中央に添設した外向き指向板１８と、で構成されている。また、遮蔽板１６、両内向き指向板１７および外向き指向板１８は、筐体２と同様にステンレス板やスチール板で構成されている。
【００４１】
遮蔽板１６は、ファン５から吹き出されたエアーの随伴流としてフィルタ６側からファン５側に引かれるようにして流れるエアーを遮蔽するものであり、上記の背板１０とフィルタ６の略中間にこれらに平行に配設されている。遮蔽板１６の上端は上記の上板１２に突き当てられ、また下端は下板１３に突き当てられていて、遮蔽板１６全体として長方形に形成されている。なお、遮蔽板１６の幅は、上記の随伴流を阻止し且つ両側板１１に案内される前方に向かうエアーの流れを阻止することのない寸法となるため、ファン５の送風性能や筐体２の内幅により決定される。
【００４２】
各内向き指向板１７は、各側板１１に案内される前方に向かうエアーの流れを、更にフィルタ６の幅方向（左右）の中央に導くものであり、左右の一端を側板１１に突き当てた状態で斜め前方に延在している。この場合も、各内向き指向板１７は、上端を上記の上板１２に突き当てられ、下端を下板１３に突き当てられていて、全体として長方形に形成されている。各内向き指向板１７の他端（延在方向先端）２２は、左右方向において遮蔽板１６との間に十分な間隙を存し、且つ奥行き方向においてフィルタ６との間に適宜の間隙を存して、配設されている。すなわち、前者の間隙は、フィルタ６に向かうエアーの流れを阻止しないように、後者の間隙は、遮蔽板１６の前面に適宜エアーが回り込むように、それぞれ設計されている。
【００４３】
外向き指向板１８は、内向き指向板１７により斜め前方に導かれたエアーの流れを前方のフィルタ６に導くものであり、遮蔽板１６の前面中央部に浅い「Ｖ」字を為すように設けられている。この場合も、外向き指向板１８は、上端を上記の上板１２に突き当てられ、下端を下板１３に突き当てられていて、断面浅い「Ｖ」字状に且つ正面視長方形に形成されている。すなわち、外向き指向板１８は、頂部１９を中心として左ガイド板部２０および右ガイド板部２１を構成すべく、長方形の平板をその左右中間位置で折り曲げて形成されている。また、外向き指向板１８の頂部１９は、左右の向流エアーがフィルタ６の手前で衝突しないように、ほぼフィルタ６の内面（左右中央）に接触するように配設されている。なお、外向き指向板１８の幅および遮蔽板１６に対する角度は、内向き指向板１７により斜め前方に導かれたエアーの流速および流量により、決定される。
【００４４】
次に、遮蔽板１６、両内向き指向板１７および外向き指向板１８により調整される一連のエアーの流れについて説明する。ファン５から吹き出されたエアーは、左右の両側板１１に向かって送り出され、側板１１および左右一対の内向き指向板１７により、斜め前方に指向され、フィルタ６の中央へと流れる。このとき、各内向き指向板１７と遮蔽板１６との間隙は、広く設けられているため、エアーの流れを前方に円滑に導くことができる。また、この斜め前方に指向された左右の向流エアーの一部は、遮蔽板１６により、ファン５側に引かれる随伴流が阻止され、かつ外向き指向板１８により、左右両方向から流れてきたエアーは前方に向かって送り出される。これにより、左右中央でエアーが衝突することなく、エアーの流れを前方へと導くと共に、そのままフィルタ６を通過することができる。更に、左右中央において圧力が上昇し、これを受けて、左右の向流エアーの一部は、各内向き指向板１７をそれぞれ廻り込み、前方への直進性を維持しつつフィルタ６の内側全域にエアーが行き渡る。これにより、エアーの流れが円滑になり、流速を落とすことなくエアーを前方に送気することができる。
【００４５】
上記の構成によれば、ファン・フィルタユニット１のフィルタ６からは、均一且つ直進性の高い（流速の速い）クリーンエアーを送気することができる。なお、遮蔽板１６、内向き指向板１７および外向き指向板１８は、それぞれ単体でも円滑にエアーを送気することができるため、流速を落とすことなく、フィルタ６からは均一且つ直進性の高いエアーを送気することができる。すなわち、本実施形態では、上記３種類の隔板群７を用いたが、少なくとも１種類の隔板を用いてファン・フィルタユニットを構成してもよい。
【００４６】
次に、図２を参照して、隔板群７の変形例について説明する。この変形例に係る隔板群７では、遮蔽板１６と外向き指向板１８とが一体に形成されている。遮蔽板１６は、左遮蔽板部２４と右遮蔽板部２５とから成り、左遮蔽板部２４は、外向き指向板１８の左ガイド板部２０と連続し、右遮蔽板部２５は、外向き指向板の右ガイド板部２１と連続している。また、左ガイド板部２０および右ガイド板部２１は、それぞれ後方に「凸」となるように湾曲形成されている。逆に、左遮蔽板部２４および右遮蔽板部２５の外端部２６は、各遮蔽板部２４、２５と各内向き指向板１７との間を広く形成するよう、それぞれ前方に「凸」となるように湾曲形成されている。さらに、各内向き指向板１７は、それぞれ前方に「凸」となるように湾曲形成されている。なお、遮蔽板１６、両内向き指向板１７および外向き指向板１８は、プレス成形等により形成されることは、いうまでもない。
【００４７】
このような構成では、遮蔽板１６、両内向き指向板１７および外向き指向板１８に添って流れるエアーが、湾曲形成されたこれら隔板群７により円滑に導かれるため、エアーの圧力損失が抑制される。したがって、フィルタ６から、上記の場合に比してより一層、均一且つ直進性の高いクリーンエアーを送気することができる。
【００４８】
ここで、図３を参照して、本実施形態のファン・フィルタユニット１を設置したクリーンブース３０について説明する。同図に示すように、このクリーンブース３０は、クリーンの対象となる製造装置３６を覆うように設けられており、天井部分に設けた複数（実施形態では６台）のファン・フィルタユニット１からクリーンエアーを製造装置３６に向かって下向きに流し、床面から側方に排気するようになっている。
【００４９】
クリーンブース３０は、直方体に骨組みされたブースフレーム３１と、天壁を構成する天井板３２と、側壁を構成する４枚のビニールカーテン３３と、ブースフレーム３１の下端に取り付けた４つの脚部３４および４つのキャスタ３５と、天井板３２に、その全域に亘って略隙間無く配設した６台のファン・フィルタユニット１と、を備えている。各ファン・フィルタユニット１は、下向きに設置され、クリーンエアーを下向きに送気するようになっている。ブースフレーム３１は、軽量形材等を枠組して構成され、各部をねじ等により接合することで分解可能に構成されている。各ビニールカーテン３３は、静電防止用の透明カーテンで構成され、出入り口となるビニールカーテン３３は、２枚重ねのものが用いられている。
【００５０】
実施形態のクリーンブース３０は、製造装置３６の平面サイズ、これに付随する作業台や部品ストッカ等の平面サイズ、および作業スペースを考慮した平面サイズに設計され、また人間の背丈を考慮して高さ２０００ｍｍ程度に設計されている。上述したように、実施形態の各ファン・フィルタユニット１からは、下向きに直進性の高いクリーンエアーが送気される。具体的には、フィルタ６面から略１０００ｍｍの下方位置まで直進性を維持する。このため、所望のクリーン度を要求される作業位置（床面から１０００ｍｍ〜１５００ｍｍ）には、クリーンエアーが直接当るため、所望のクリーン度を確実に得ることができる。
【００５１】
なお、クリーンブース３０内において、部分的にのみクリーン度を要する場合では、ファン・フィルタユニット１の台数を削減し、クリーン度を要する部分の直上部にファン・フィルタユニット１を配置することが、好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】（ａ）は実施形態に係るファン・フィルタユニットの背面図であり、（ｂ）はファン・フィルタユニットの断面図である。
【図２】（ａ）は実施形態の変形例に係るファン・フィルタユニットの背面図であり、（ｂ）は変形例に係るファン・フィルタユニットの断面図である。
【図３】実施形態のファン・フィルタユニットを備えたクリーンブースの外観斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１    ファン・フィルタユニット            ２    筐体
３    吸気開口                            ４    送気開口
５    ファン                              ６    フィルタ
１６    遮蔽板                            １７    内向き指向板
１８    外向き指向板                      １９    頂部
２０    左ガイド板部                      ２１    右ガイド板部
２４    左遮蔽部                          ２５    右遮蔽部
３０    クリーンブース
【図１】
2006263688.tif 000003
【図２】
2006263688.tif 000004
【図３】
2006263688.tif 000005