(57)【要約】【課題】板状ワークの搬送システムにおいて、カセットを用いる場合は多量搬送が可能であるが、個別搬送への対応に際して搬送効率を低下させることになり、一方、板状ワーク自体、もしくはトレイで保護して搬送する場合は、全体の搬送効率を上げることができない。【解決手段】一つのストッカ４と、このストッカ４に対応して設けられる複数の処理装置３と、各処理装置３毎に対応して設けられるバッファステーション５Ａ・５Ｂと、を備え、ストッカ４と各バッファステーション５Ａ・５Ｂとの間は、トレイ２の積層体１０が搬送されるバルク搬送区間とし、各バッファステーション５Ａ・５Ｂと各処理装置３との間は、トレイ２が搬送される枚葉搬送区間とし、バッファステーション５Ａには段ばらし装置８Ａを設け、バッファステーション５Ｂには段積み装置５Ｂを設けた。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを載置して搬送するトレイを一つずつ搬送する枚葉搬送区間と、
前記トレイを複数段積み重ねてなる積層体を搬送するバルク搬送区間と、
を設ける、
ことを特徴とするトレイ搬送システム。
【請求項２】
前記枚葉搬送区間から前記バルク搬送区間への接続部に、前記トレイの段積み装置を設け、
前記バルク搬送区間から前記枚葉搬送区間への接続部に、前記積層体の段ばらし装置を設ける、
ことを特徴とする請求項１に記載のトレイ搬送システム。
【請求項３】
一つのストッカと、
このストッカに対応して設けられる複数の処理装置と、
前記各処理装置毎に対応して設けられるバッファステーションと、を備え、
前記ストッカと前記各バッファステーションとの間は、前記積層体が搬送される前記バルク搬送区間とし、
前記各バッファステーションと前記各処理装置との間は、前記トレイが搬送される枚葉搬送区間とする、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のトレイ搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶ディスプレイ用板ガラス等の板状ワークを搬送する搬送システムの技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハや液晶ディスプレイ用ガラス板等の板状ワークを搬送する搬送システムの技術は公知である。
このような搬送システムにおいて、板状ワークの搬送は、板状ワークを多数同時に収容可能なカセットに収容した状態で行なわれている。そして、搬送効率の向上を実現している。
【０００３】
一方、板状ワーク自体を搬送経路に沿って搬送する技術も知られている。
【特許文献１】特開２００４−１６８４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
板状ワークが多数段収容されるカセットを用いる場合、板状ワークの多量搬送には適しているが、搬送経路の途上で個々の板状ワークの搬送先が異なる場合など、個別搬送が必要とされる場合には、却って非効率となる。例えば、同じ搬送先の板状ワークがカセットの収容数に揃うまで、搬送を待機させたり、板状ワークの収容数に満たないカセットを搬送経路上に供給するなどして、余分のカセットが必要となったりする。
このような不具合は、特許文献１に開示される技術のように、板状ワーク自体もしくは板状ワークを収容するトレイのみを搬送するシステムとすると解決するが、この場合、多量搬送ができないので、搬送効率の低下を招いてしまう。
【０００５】
つまり、解決しようとする問題点は、板状ワークの搬送システムにおいて、カセットを用いる場合は多量搬送が可能であるが、個別搬送への対応に際して搬送効率を低下させることになり、一方、板状ワーク自体、もしくはトレイで保護して搬送する場合は、全体の搬送効率を上げることができない点である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００７】
即ち、請求項１においては、
板状ワークを載置して搬送するトレイを一つずつ搬送する枚葉搬送区間と、
前記トレイを複数段積み重ねてなる積層体を搬送するバルク搬送区間と、
を設けるものである。
【０００８】
請求項２においては、
前記枚葉搬送区間から前記バルク搬送区間への接続部に、前記トレイの段積み装置を設け、
前記バルク搬送区間から前記枚葉搬送区間への接続部に、前記積層体の段ばらし装置を設けるものである。
【０００９】
請求項３においては、
一つのストッカと、
このストッカに対応して設けられる複数の処理装置と、
前記各処理装置毎に対応して設けられるバッファステーションと、を備え、
前記ストッカと前記各バッファステーションとの間は、前記積層体が搬送される前記バルク搬送区間とし、
前記各バッファステーションと前記各処理装置との間は、前記トレイが搬送される枚葉搬送区間とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１１】
請求項１においては、
板状ワークの多量搬送ができて搬送効率が高められると共に、板状ワークの個別搬送にも搬送効率を損なうことなく対応でき、全体の搬送効率が高められる。
【００１２】
請求項２においては、
枚葉搬送区間とバルク搬送区間との搬送の接続が良好で、板状ワークの搬送効率の高い搬送システムが実現される。
【００１３】
請求項３においては、
したがって、複数の処理装置に対してサービスするストッカの搬送を、効率的に行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明のトレイ搬送システムの実施の形態を、図面を用いて説明する。
このトレイ搬送システムは、例えば、板状ワークに加工処理を施す工場内において、工場内に備える処理装置間や、処理装置と一時保管装置との間で、板状ワークを搬送するシステムである。
搬送対象となる板状ワークは、液晶ディスプレイ用板ガラスや有機ＥＬ用の樹脂板、半導体ウエハなど、板状の被加工物であれば、特に限定するものではない。
【００１５】
図１、図２を用いて、本実施の形態に適用される板状ワーク１およびトレイ２を説明する。
まず、図１（ａ）に示すように、加工対象となる板状ワーク１は、厚さが薄い板状部材である。このような板状ワークは、液晶ディスプレイ用板ガラスの場合、縦横が１〜２ｍ程度で、厚さが１ｍｍ程度のものである。
【００１６】
図１（ｂ）に示すトレイ２は、板状ワーク１を載置して搬送し、板状ワーク１と搬送手段との直接接触を防止する、板状ワーク１の搬送保護手段である。
図１（ｃ）に示すように、板状ワーク１の板面（面積最大の面）が水平方向となる姿勢で、トレイ２上に板状ワーク１が載置される。
また、図２に示すように、トレイ２は積み重ねることで、一体的な積層体１０を構成することが可能に構成されている。
【００１７】
このため、トレイ２には、板状ワーク１の載置に関連して、板状ワーク１の載置部、載置された板状ワーク１の水平方向の脱落防止部、トレイ２より移載用フォークにより板状ワーク１を取り出し可能とする構成、が備えられている。
また、トレイ２には、積層体１０の形成に関連して、積層されたトレイ２同士の水平方向の脱落防止部、積層体１０の内部に移載用フォークを挿入して、そのフォークより上層のトレイ２群をすくい上げ可能とする構成、トレイ２の両側面をチャック装置により挟持可能とする係合部、が備えられている。
【００１８】
トレイ２は、概略的には、六面を有する箱体の一面を開放した形状をしており、前記開放された面に対抗する位置の一つの板状部分と、この板状部分の四周を囲う四つの板状部分と、からなっている。
前記一つの板状部分は、前記載置部となる載置板部２ａである。前記四つの板状部分は、前記脱落防止部となる部位であり、互いに対向する一対の第一ガイド２ｂ・２ｂと、同じく互いに対向する一対の第二ガイド２ｃ・２ｃと、からなる。
また、板状ワーク１は、載置板部２ａ上に直接ではなく、載置板部２ａ上に立設された多数の支持体２ｄ上に支持される。一方、第二ガイド２ｃには、移載装置のフォークを、支持体２ｄ上の板状ワーク１の下方に挿入可能とする縦幅および横幅の開口２ｅが形成されている。これらの支持体２ｄおよび開口２ｅにより、板状ワーク１を取り出し可能とする前記構成が構成される。
【００１９】
また、第一ガイド２ｂの上面に係合凸部２ｆ・２ｆが形成されると共に、これらの係合凸部２ｆに対応する位置（平面視重複する位置）に、載置板部２ａの下面より内側に向けて係合凹部２ｇ・２ｇが形成されている。これらの係合凸部２ｆおよび係合凹部２ｇにより、前記脱落防止部が構成される。
また、第一ガイド２ｂの上面（つまり直上にあるトレイ２の下面）と、支持体２ｄ上の板状ワーク１の上面との高さ幅は、移載装置のフォークを挿入可能とする幅に設定されている。つまり、適宜設定された支持体２ｄおよび第一ガイド２ｂにより、フォークより上層のトレイ２群をすくい上げ可能とする前記構成が構成されている。そして、積層体内に前記フォークを挿入してすくい上げることで、前記積層体が、このフォークに支持される上層のトレイ群と、このフォークより下に位置する下層のトレイ群とに、分離される。なお、前記開口２ｅは、トレイ２の側面視において、板状ワーク１の下面より下方まで形成されているため、当然板状ワーク１の上面も開放される。
また、各第一ガイド２ｂの外側面には、前記係合部として、係合凹部２ｈ・２ｈが形成されている。
【００２０】
図３を用いて、トレイ搬送システムを説明する。
板状ワーク１の加工工場など、板状ワーク１が搬送対象物とされる設備には、板状ワーク１の搬送システムが備えられている。
本発明のトレイ搬送システムは、板状ワーク１の搬送システムにおいて、板状ワークの搬送の一部を、トレイ２を用いて行なうものとしたシステムである。
特に、トレイ搬送システムには、三通りの搬送形態があり、板状ワーク１自体を搬送するワーク搬送と、板状ワーク１をトレイ２に載置した状態で搬送する枚葉搬送およびバルク搬送と、がある。
【００２１】
図１（ａ）に示すように、板状ワーク１自体を、コンベア等の搬送手段により搬送する場合が、ワーク搬送である。
図１（ｃ）に示すように、板状ワーク１が載置されたトレイ２を単体で、コンベア等の搬送手段により搬送する場合が、枚葉搬送である。
また、図２に示すように、板状ワーク１が載置されたトレイ２を積み重ねてなる積層体１０を、コンベア等の搬送手段により搬送する場合が、バルク搬送である。
【００２２】
トレイ搬送システムは、板状ワーク１の載置されたトレイ２（実トレイ）と、板状ワーク１の載置されないトレイ２（空トレイ）とを、共に搬送可能とするものであるが、以下においては、説明において必要のある場合を除き、実トレイと空トレイとを区別することなく用いるものとする。
【００２３】
図３に戻って、前記三通りの搬送の役割を説明する。
トレイ搬送システムにおいて、板状ワーク１の搬送は、主として、トレイ２を利用した搬送である枚葉搬送およびバルク搬送により、行なわれる。
ここで、ワーク搬送は、主として、板状ワーク１の処理装置３の内部や、この処理装置３への板状ワーク１の受渡部において、行なわれるものである。つまり、単体の板状ワーク１が必要とされる処理装置３内およびその周辺部を別として、板状ワーク１の搬送は、トレイ２に保護された状態で行なわれるものである。
【００２４】
一方、枚葉搬送およびバルク搬送の使い分けは、板状ワーク１の搬送先の状況に応じて、行なわれるものである。
バルク搬送は、一度に多量（積層している段数分）の板状ワーク１を搬送することができ、枚葉搬送に比較して搬送効率上有利である。そこで、搬送元より同一の搬送先に向けて板状ワーク１の搬送を行なう場合、バルク搬送が利用される。
ところが、バルク搬送で送り出しても、板状ワーク１の搬送元と搬送先との間で、滞留が発生するような場合や、一部の板状ワーク１の搬送先が、主たる搬送先より分岐する場合など、バルク搬送が非効率となる場合がある。このような場合は、枚葉搬送が利用される。
【００２５】
例えば、積層体１０が収容されるストッカ（保管装置）４より、処理装置３に向けて板状ワーク１を搬送する場合、処理装置３においては一枚ずつ板状ワーク１の処理が行なわれるため、滞留が発生する。そこで、ストッカ４から処理装置３に至る搬送経路の途上で、バルク搬送が枚葉搬送に変更され、処理装置３の手前でワーク搬送に変更されることになる。
また、処理装置３で不良品が発生した場合などは、その不良品の板状ワーク１は、正常品の板状ワーク１の搬送経路とは異なる経路で、検査装置等に搬送されることになる。この場合、正常品の板状ワーク１の搬送経路が主たる搬送経路であり、不良品の搬送経路は、例外的な搬送経路である。このような例外的な搬送経路を辿る板状ワーク１は相対的に少ないため、バルク搬送で搬送すると却って非効率であるので、この板状ワーク１のみが枚葉搬送で個別に搬送されることになる。
【００２６】
トレイ２や積層体１０の搬送は、コンベア、搬送台車、スタッカークレーン（特に積層体）等の搬送装置により行なわれる。これらの搬送装置は、トレイの搬送と、積層体の搬送とにおいて、荷重制限等の制限を別として、基本的に共用可能である。
これらの搬送装置間におけるトレイ２や積層体１０の受渡は、搬送装置間で直接受渡ができない場合は、移載装置により行なわれる。
【００２７】
前記搬送台車には、フォーク式の移載装置が備えられており、このフォーク式の移載装置は、トレイや積層体をすくい上げるフォークを上下方向及び水平方向で駆動可能とするものである。
また、スタッカークレーンは、トレイや積層体をすくい上げるフォークを、上下方向および水平方向に移動自在に構成した装置であり、フォーク式の移載装置を備える構成である。
したがって、前記搬送台車やスタッカークレーンと、他の搬送装置と、の間においては、トレイや積層体の受渡は、移載装置を別設することなく可能である。
また、一対のコンベア間などにおいては、両コンベアの接続部で、トレイや積層体の受渡ができない場合は、移載装置を別設して行なうものとする。
【００２８】
板状ワーク１自体の搬送に関しても、トレイ２や積層体１０の搬送装置と同様に、コンベア、搬送台車、スタッカークレーンを用いることが可能であるが、コンベアによる搬送が望ましい。
コンベアは、多数の板状ワークを同時に多数搬送することが可能であるので、前記処理装置３の内部において、順次連続的に板状ワーク１に処理を施すことができる。このような理由で、板状ワーク１自体の搬送装置はコンベアが望ましい。
【００２９】
図３に示すように、トレイ搬送システムが対象とする搬送領域は、三つに大別される搬送領域と、これらの搬送領域の接続部と、からなる。
三つに大別される搬送領域とは、バルク搬送が行なわれるバルク搬送領域、枚葉搬送が行なわれる枚葉搬送領域、ワーク搬送が行なわれるワーク搬送領域、である。
また、前記搬送領域の接続部とは、枚葉搬送とバルク搬送との接続部であるバルク枚葉接続部と、ワーク搬送と枚葉搬送との接続部であるトレイワーク接続部である。
【００３０】
トレイワーク接続部では、実トレイからの板状ワーク２の取り出しや、空トレイへの板状ワーク１の取り入れ、が行なわれる。
同じく、バルク枚葉接続部では、トレイ２を積み重ねて積層体１０を形成したり（段積み）、積層体１０よりトレイ２を取り出して積層体１０の一部もしくは全部を崩したり（段ばらし）、することが行なわれる。
なお、本実施の形態では、図１、図２に示すトレイ２の構造上、積層体１０中の各トレイ２より板状ワーク１を取り出すことができないため、ワーク搬送とバルク搬送とが、直接接続されることはない。
【００３１】
前記バルク枚葉接続部には、積層体を一時保管するためのバッファステーション５が備えられている。
このバッファステーション５には、トレイ２を積み重ねて積層体１０を形成する段積み装置または、積層体１０よりトレイ２を取り出して積層体１０を崩す段ばらし装置が、備えられている。
図１、図２に示すトレイ２や積層体１０の構造により、汎用の段積み装置や段ばらし装置を利用して、このバッファステーション５に備える段積み装置や段ばらし装置を構成することが可能である。
そして、バッファステーション５において、バルク搬送により搬入された積層体よりトレイ２を取り出して枚葉搬送で搬出したり、枚葉搬送で搬入されたトレイ２をバルク搬送で搬出する積層体の一部に加えたりする。
【００３２】
前記トレイワーク接続部には、トレイ２を一時保管するための出入ステーション６が備えられている。
この出入ステーション６には、実トレイより板状ワーク１を取り出したり、空トレイに板状ワーク１を取り入れるための移載装置が、備えられている。
この移載装置は、前記フォーク式の移載装置でも、ベルヌーイ効果を利用した空圧式非接触の移載装置であってもよい。
【００３３】
前記バルク搬送領域内には、バルク搬送が行なわれるバルク搬送区間が、少なくとも一つ設けられている。このバルク搬送区間は、積層体の搬送元と搬送先とを結ぶ区間として設定されるものである。
積層体１０の搬送元や搬送先に相当するのは、バルク搬送領域内に配置されるストッカ４や、前記バルク枚葉接続部に配置されるバッファステーション５である。つまり、これらのストッカ４・４間や、ストッカ４とバッファステーション５を結ぶ区間は、バルク搬送区間である。
また、二つのバッファステーション５・５間が、積層体１０の搬送装置により接続される場合は、これらのバッファステーション５・５間を結ぶ区間も、バルク搬送区間となる。
【００３４】
前記枚葉搬送領域内には、枚葉搬送が行なわれる枚葉搬送区間が、少なくとも一つ設けられている。この枚葉搬送区間は、トレイ２の搬送元と搬送先とを結ぶ区間として設定されるものである。
トレイ２の搬送元や搬送先に相当するのは、前記バルク枚葉接続部に配置されるバッファステーション５や、前記トレイワーク接続部に配置される出入ステーション６である。つまり、バッファステーション５と出入ステーション６とを結ぶ区間は、枚葉搬送区間である。
また、二つの出入ステーション６・６間が、トレイ２の搬送装置により接続される場合は、これらの出入ステーション６・６間を結ぶ区間も、枚葉搬送区間である。特に、ある出入ステーション６において実トレイより取り出された板状ワーク１の移動先（ワーク搬送による移動先）が、別の出入ステーション６である場合、両出入ステーション６・６を接続して、その接続経路に沿って空トレイを搬送すると、トレイ２を効率的に活用することが可能である。
【００３５】
前記ワーク搬送領域内には、ワーク搬送が行なわれるワーク搬送区間が、少なくとも一つ設けられている。このワーク搬送区間は、板状ワーク１の搬送元と搬送先とを結ぶ区間として設定されるものである。
板状ワーク１の搬送元や搬送先に相当するのは、ワーク搬送領域内に配置される処理装置３や、前記トレイワーク接続部に配置される出入ステーション６である。つまり、出入ステーション６と処理装置３とを結ぶ区間や、処理装置３・３間を結ぶ区間は、ワーク搬送区間である。
【００３６】
次に、図４を用いて、トレイ搬送システムの一実施例であるエリア搬送システム２１を説明する。
図４には、板状ワーク１の加工処理が行なわれる工場内の一部、一つのストッカ４を中心に設定される単位エリア２０を示している。
この単位エリア２０内には、一つのストッカ４と、二つの処理装置３と、が備えられている。
【００３７】
各処理装置３には、トレイの搬入側と搬出側とにそれぞれ対応するように、バッファステーション５と、出入ステーション６とが、一対ずつ設けられている。
特に、搬入側と搬出側とを区別する必要がある場合には、搬入側のバッファステーションの符号を５Ａとし、搬出側のバッファステーションの符号を５Ｂとする。同じく、搬入側の出入ステーションの符号を６Ａとし、搬出側の出入ステーションの符号を６Ｂとする。
【００３８】
単位エリア２０内には、次のような搬送経路が構成されている。
まず、ストッカ４の出庫口４ａより出て、同じストッカ４の入庫口４ｂに戻る搬送経路であり、この搬送経路に沿って積層体１０を搬送する装置がコンベア１１である。
また、コンベア１１の搬送経路上には、各処理装置３毎に、一対のバッファステーション５・５が直列に接続されている。そして、各処理装置３毎において、バッファステーション５Ａより出入ステーション６Ａに至る実トレイの搬送経路（コンベア１２Ａ）と、出入ステーション６Ａから、その処理装置３の内部を経て出入ステーション６Ｂに至る板状ワークの搬送経路（コンベア１３）と、出入ステーション６Ｂよりバッファステーション５Ｂに至る実トレイの搬送経路（コンベア１２Ｂ）と、出入ステーション６Ａから出入ステーション６Ｂに至る空トレイの搬送経路（コンベア１２Ｃ）と、が形成されている。
なお、前記括弧書きは、各搬送経路に対応する搬送装置を示すものである。
【００３９】
ストッカ４には、積層体１０を多数収容可能とするラック部４１と、前記出庫口４ａや入庫口４ｂとラック部４１との間で積層体１０を移載するスタッカークレーン４２と、が備えられている。
【００４０】
搬入側のバッファステーション５Ａには、積層体１０よりトレイ２を取り出す段ばらし装置８Ａが備えられている。
また、搬出側のバッファステーション５Ｂには、トレイ２を積み重ねて積層体１０を形成する段積み装置８Ｂが備えられている。
【００４１】
搬入側の出入ステーション６Ａには、実のトレイ２より板状ワーク１を取り出すワーク移載装置９が備えられている。
搬出側の出入ステーション６Ｂには、空のトレイ２に板状ワーク１を載置するワーク移載装置９が備えられている。
【００４２】
ここで、ストッカ４から搬出された積層体１０が、一つの処理装置３において、前記積層体１０内の各板状ワーク１が加工処理を受けた後、再びストッカ４に戻るまでの様子について説明する。
積層体１０は、ストッカ４の出庫口４ａから、コンベア１１により、目的の処理装置３に対応する、搬入側のバッファステーション５Ａに搬送される。
このバッファステーション５Ａにおいて、段ばらし装置８Ａにより前記積層体１０から取り出されたトレイ２は、コンベア１２Ａにより、同じく搬入側の出入ステーション６Ａへと搬送される。
【００４３】
この出入ステーション６Ａにおいて、ワーク移載装置９より取り出された板状ワーク１は、コンベア１３により前記処理装置３の内部を通過して、搬出側の出入ステーション６Ｂへと搬送される。板状ワーク３は、処理装置３の内部を搬送される際に、その処理装置３より加工処理を受ける。
一方、前記搬入側の出入ステーション６Ａで、前記板状ワーク１が取り出されて残留した空のトレイ２は、コンベア１２Ｃにより、搬出側の出入ステーション６Ｂへと搬送される。そして、この出入ステーション６Ｂにおいて、コンベア１２Ｃにより搬送された空のトレイ２に、コンベア１３により搬送された板状ワーク１が、この出入ステーション６Ｂに備えるワーク移載装置９により、載置される。
【００４４】
搬出側の出入ステーション６Ｂにある前記トレイ２は、コンベア１２Ｂにより、同じく搬出側のバッファステーション５Ｂへと搬送される。
このバッファステーション５Ｂにおいて、段積み装置８Ｂにより、先に搬送されたトレイ２よりなる積層体上に、今回搬送されたトレイ２が積み重ねられて、積層体が形成される。最終的には、ストッカ４から搬出された積層体１０と同じ段数の積層体が、このバッファステーション５Ｂで形成される。なお、段ばらし装置８Ａや段積み装置８Ｂの構成により、同じトレイ２よりなる積層体であっても、ストッカ４からの搬出時と、ストッカ４への搬入時とで、積み方は必ずしも同一とはならない。
そして、このバッファステーション５Ｂにおいて、搬入時と同じ段数の積層体が形成されると、この積層体が、再びコンベア１１により、ストッカ４の入庫口４ｂへ搬送される。
【００４５】
以上のようにして、ストッカ４から搬出された積層体１０が、一つの処理装置３において、前記積層体１０内の各板状ワーク１が加工処理を受けた後、再びストッカ４に搬入される。
なお、以上の例では、ストッカ４より搬出された積層体１０が、一つの処理装置３で加工処理を受けたのちに、他の処理装置３を経由することなく、そのまま同じストッカ４に搬入されるものとしているが、引き続いて他の処理装置３での処理を経た後、ストッカ４に戻るものとしてもよい。
【００４６】
以上の例におけるエリア内搬送システム２１の搬送経路は、次のように、バルク搬送区間、枚葉搬送区間、ワーク搬送区間に、分類される。
バルク搬送経路は、ストッカ４から搬入側のバッファステーション５Ａに至る積層体１０の搬送経路（コンベア１１）、搬出側のバッファステーション５Ｂよりストッカ４に至る積層体１０の搬送経路（コンベア１１）、である。
枚葉搬送区間は、搬入側のバッファステーション５Ａから同じく搬入側の出入ステーション６Ａへと至るトレイ２（実トレイ）の搬送経路（コンベア１２Ａ）、搬出側の出入ステーション６Ｂから同じく搬出側のバッファステーション５Ｂへと至るトレイ２（実トレイ）の搬送経路（コンベア１２Ｂ）、搬入側の出入ステーション６Ａから搬出側の出入ステーション６Ｂへと至るトレイ２（空トレイ）の搬送経路（コンベア１２Ｃ）、である。
ワーク搬送区間は、搬入側の出入ステーション６Ａから搬出側の出入ステーション６Ｂへと至るトレイ２（空トレイ）の搬送経路（コンベア１２Ｃ）、である。
【００４７】
以上で説明した搬送の状況は、基本的な搬送の状況である。
これに対して、各板状ワーク１の作業工程が部分的に異なる場合や、異なる種類の板状ワークが入り混じっている場合などは、同じ積層体１０に収容されている板状ワーク１の群であっても、個々の板状ワーク１の搬送先が異なる場合がある。
【００４８】
例えば、ストッカ４より搬出されて一つの処理装置３へ向かう、ある積層体１０において、その積層体１０に収容される大部分の板状ワーク１は、その処理装置３での処理後にストッカ４へ収容されるのに対し、一部の板状ワーク１はさらに、別の処理装置３で処理を行なう必要があるような場合である。
この場合、搬送先の異なる一部の板状ワーク１は、一つの処理装置３での処理が終了した後、コンベア１２等を経由する通常の搬送経路を経ることなく、その処理装置３に対応する出入ステーション６Ｂで、例えば搬送台車７に移載されて、直接、他の処理装置３に対応する出入ステーション６Ａへと搬送される。
多数の板状ワークを収容可能とする一体物のカセットの場合は、このような個別搬送への対応性が低いものであるが、トレイ２による個別搬送（枚葉搬送）と、積層体１０による多量搬送（バルク搬送）とを同時に可能とすることで、個別搬送にも対応しながら搬送効率の低下を招くことがない。
【００４９】
また、前記工場において、単位エリア２０間での板状ワーク１の搬送は、例えば、異なる単位エリア２０のそれぞれに備えるストッカ４・４同士を、コンベア２２等の積層体１０の搬送装置により接続することで、行なわれる。この搬送は、積層体１０の搬送であるので、バルク搬送である。
また、処理装置３において、不良品の板状ワーク１が発生した場合は、その不良の板状ワーク１のみを個別に、検査装置１９（図４に図示）へ搬送する。この場合、出庫側の出入ステーション６Ｂにおいて、不良の板状ワーク１をトレイ２に載置した後、そのトレイ２を、コンベア１２等を経由する通常の搬送経路を経ることなく、例えば搬送台車７に移載して、直接検査装置１９へと搬送する。この搬送台車７には、出入ステーション６Ｂとの間でトレイ２の移載を可能とするフォーク式の移載装置７ａが搭載されている。
この搬送台車７によるトレイ２の搬送も枚葉搬送である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】板状ワークやトレイの構成を示す斜視図であり、（ａ）図は板状ワークを示す図、（ｂ）図はトレイを示す図、（ｃ）図は板状ワークが載置されたトレイを示す図である。
【図２】板状ワークが載置されたトレイを重ねてなる積層体を示す斜視図である。
【図３】トレイ搬送システムの構成を示す図である。
【図４】トレイ搬送システムの一実施例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５１】
１    板状ワーク
２    トレイ
３    処理装置
４    ストッカ
５    バッファステーション
８Ａ    段ばらし装置
８Ｂ    段積み装置
１０    積層体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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