(57)【要約】  【課題】  材料の搬送効率が高く、システム投資にかかる浪費を防ぐ自動材料搬送システムを提供する。  【解決手段】  本願発明の自動材料搬送システムは、複数のテーブルと、第一、第二側面に複数の搬送ポートをそれぞれ設けたストッカーとを具えてなり、且つ該複数のテーブルが該第一側面の複数の搬送ポートに接続する複数の加工センターと、該加工センターのストッカーの第二側面に設けた搬送ポートの内の少なくとも一つに接続する連続式の搬送ベルトと、  該搬送ベルトの提供する搬送ルートを利用して該ストッカーとの間において材料の搬送を行う少なくとも一以上の台車とを含み、構成される。【選択図】  図３  
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のテーブルと、第一、第二側面に複数の搬送ポートをそれぞれ設けたストッカーとを具えてなり、且つ該複数のテーブルが該第一側面の複数の搬送ポートに接続する複数の加工センターと、
該加工センターのストッカーの第二側面に設けた搬送ポートの内の少なくとも一つに接続する連続式の搬送ベルトと、
該搬送ベルトの提供する搬送ルートを利用して該ストッカーとの間において材料の搬送を行う少なくとも一以上の台車とを含むことを特徴とする自動材料搬送システム。
【請求項２】
前記ストッカーの第一、第二側面との間に、該搬送ポートとの間において材料の搬送を行う搬送機を設けることを特徴とする請求項１に記載の自動材料搬送システム。
【請求項３】
前記材料が１ロットを単位としてカセット内に収納され、更に該台車によって搬送されることを特徴とする請求項１に記載の自動材料搬送システム。
【請求項４】
前記連続式の搬送ベルトが高架式で設けられ、且つ天井、及び該ストッカーの第二側面によって支持されることを特徴とする請求項１に記載の自動材料搬送システム。
【請求項５】
前記ストッカー内の搬送ポートには、垂直方向の対応する位置に複数の暫時保存領域を設けることを特徴とする請求項１に記載の自動材料搬送システム。
【請求項６】
前記材料搬送システムが第一加工センターと第二加工センターを含んでなり、該第一加工センターのストッカーの第二側面に双方向搬送ポートを設け、
該第二加工センターのストッカーの第二側面に双方向搬送ポートを設け、
該連続式の搬送ベルトが、二つの該双方向搬送ポートとの間において双方向搬送を行うことを特徴とする請求項１に記載の自動材料搬送システム。
【請求項７】
前記二つの加工センターがいずれも同様の製造工程を提供し、互いに製造工程のサポートを行い、且つ暫時保存空間を提供することを特徴とする請求項６に記載の自動材料搬送システム。
【請求項８】
前記第一加工センターが前工程を提供し、前期第二加工センターが後工程を提供し、該第二加工センターの材料に再加工を行う必要がある場合、該第一加工センターに該連続式の搬送ベルトで逆方向に搬送して再加工を行うことを特徴とする請求項６に記載の自動材料搬送システム。
【請求項９】
前記材料搬送システムが、更にプログラマブルロジックコントローラと、インターロック装置を含み、該プログラマブルロジックコントローラによって該第一加工センターと該第二加工センターの信号を連結し、該インターロック装置によって該第一加工センターと該第二加工センターとの間の搬送ベルトの搬送方向を制御することを特徴とする請求項６に記載の自動材料搬送システム。
【請求項１０】
複数のテーブルと、第一、第二側面に複数の搬送ポートをそれぞれ設けたストッカーとを具えてなり、且つ該複数のテーブルが該ストッカーの第一側面の複数の搬送ポートに接続する複数の独立した加工センター領域と、
該加工センター領域内に設けられ、該加工センターのストッカーの第二側面に設けた搬送ポートの内の少なくとも一つに接続する複数の段落式の搬送ベルトと、
該段落式の搬送ベルト上に位置し、該搬送ベルトの提供する搬送ルートを利用して該ストッカーとの間において材料の搬送を行う複数の台車とを含むことを特徴とする自動材料搬送システム。
【請求項１１】
前記ストッカーの第一側面と第二側面との間に、該搬送ポートとの間において材料の搬送を行う搬送機を設けることを特徴とする請求項１０に記載の自動材料搬送システム。
【請求項１２】
前記材料が１ロットを単位としてカセット内に収納され、更に該台車によって搬送されることを特徴とする請求項１０に記載の自動材料搬送システム。
【請求項１３】
前記連続式の搬送ベルトが高架式で設けられ、且つ天井、及び該ストッカーの第二側面によって支持されることを特徴とする請求項１０に記載の自動材料搬送システム。
【請求項１４】
前記ストッカー内の搬送ポートには、垂直方向の対応する位置に複数の暫時保存領域を設けることを特徴とする請求項１０に記載の自動材料搬送システム。
【請求項１５】
前記段落式の搬送ベルトが、単一方向の搬送を行うことを特徴とする請求項１０に記載の自動材料搬送システム。
【請求項１６】
前記段落式の搬送ベルトが、双方向の搬送を行うことを特徴とする請求項１０に記載の自動材料搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、自動材料搬送システムに関し、特にベルトコンベアで材料を送る自動材料搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
製造技術の弛まぬ発展に伴い、半導体、もしくは光電産業において生産される材料のサイズ（ウェハとガラス基板を含む）も弛まなくサイズが多くなっている。これら材料は通常２５枚を１ロットとし、カセットに載置する。その重量は人力の付加能力を明らかに超える。このため、目下、製造工場ではほとんどが自動材料搬送システム（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｈａｎｄｌｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ：ＡＭＨＳ）を採用してカセットの搬送を行っている。
【０００３】
図１Ａは、従来の技術によるシングルループの自動材料搬送システムを示した説明図である。図面によれば、自動材料搬送システム１０は高架方式で設けられ、単一方向に回転するレール１１を含む。レール１１の回りには製造工程の必要に基づいて企画し、各種機能を有する加工センター１２（ｂａｙ）を設ける。また、高架方式で設け、単一方向に回転するレール１１上には、複数の搬送車１３（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｅｒ、ＯＨＳ）を設置し、該運搬車１３内にカセットを設ける。また、搬送者１３はレール１１のルートに沿ってそれぞれの加工センター１２の間で材料の搬送を行う。材料がそれぞれの加工センター１２の間で搬送されるため、係る搬送システムは一般にＩｎｔｅｒｂａｙ搬送システムと称する。
【０００４】
それぞれの加工センター１２内にはストッカー１４と、複数のテーブル１５（ｔｏｏｌ）を有する。同一の加工センター１２内に設けられるテーブル１５は通常製造工程上、互いに依拠する性質を有する。よって、製造工程を規格する上で加工センター１２は一つの製造ユニットとみなされる。
【０００５】
ストッカー１４は、運搬車１３とテーブル１５との間において材料を搬送する場合の集荷配送ステーションと、暫時保存領域を主な機能とする。従来のストッカー１４は矩形の立方体を呈し、対向する長手の側面内にそれぞれ複数の搬送ポート１４１を設ける。短いほうの側面はレール１１に接続する。中間にはクレーンを設け、それぞれの搬送ポート１４１の間で材料の搬送を行う。
【０００６】
ストッカー１４はレール１１に接近した一つ、もしくは二つの搬送ポート１４１ａ、１４１ｂを運搬車１３に対して材料搬送の入出力ポートとする。その他搬送ポート１４１はそれぞれテーブル１５と接続し、テーブル１５とストッカー１４との間において材料を搬送する入出力ポートとする。
【０００７】
従来の単一方向回転材料搬送システムは、回転方向のみに回転するレールを提供する。よって、台車の制御と搬送の規制が容易であって、多くの業者が採用している。但し、次に掲げるように、多くの欠点が尚も存在する。
【０００８】
Ａ．搬送効果が好ましくない。従来の技術は単一方向の搬送しか提供できない。例えば再加工（ｒｅｗｏｒｋ）のように製造工程の必要によって加工センターに戻し作業を行わなければならない場合、台車が直接バックできないため全体のレールのルートを回って初めて本来の加工センターに戻り再加工が行われる。従って、従来の技術は搬送効果が好ましくない。
Ｂ．従来の技術を長距離の単一方向Ｉｎｔｅｒｂａｙ搬送に応用した場合、風車をリターンさせる問題が発生する。生産工場におけるレイアウトの規格において、加工センターに単一方向の長距離方式を用いなければならない場合、従来の単一方向回転では風車がリターンする問題が発生する。台車を配送する規格において風車がリターンする時間も考慮しなければならない。
Ｃ．従来の技術を段落的なＩｎｔｅｒｂａｙ搬送に応用した場合、設備投資のコストが高くなる。図２に開示するようにＩｎｔｅｒｂａｙ搬送が段落式の伝送であった場合、全体の搬送システムは複数の互いに独立した加工センターを設けるように企画する。これら独立した加工センターの間では材料の搬送を行う必要がない。分別する便宜を図るために、異なる加工センター１２の数字の後ろに異なるアルファベットを表示する。従来の技術による単一方向回転の搬送システム１０は一つの完全なシステムである。よって、それぞれの独立した加工センターの間（点線で囲んだ領域）は、システムの設備投資の浪費となる。
Ｄ．従来の技術はシステムの台車の数量の制限を受け、処理待ち材料（Ｗｏｒｋｉｎｇ  Ｉｎ  Ｐｒｏｃｅｓｓ，ＷＩＰと称する）の暫時保存領域とすることができない。
Ｅ．従来の技術において、搬送する方向は固定的なものである。よって、搬送方向の変更、もしくは双方向搬送の機能を提供することができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この発明は材料の搬送効率を高めることのできる自動材料搬送システムを提供することを課題とする。
【００１０】
またこの発明は、空車がリターンする問題を改善する自動材料搬送システムを提供することを課題とする。
【００１１】
またこの発明は段落式Ｉｎｔｅｒｂａｙ搬送に応用する場合、それぞれの独立した加工センターの間のシステム投資にかかる浪費を防ぐ自動材料搬送システムを提供することを課題とする。
またこの発明は比較的多数の暫時保存領域を提供し、処理待ち保存材料の暫時保存領域に提供することのできる自動材料搬送システムを提供することを課題とする。
【００１２】
またこの発明は双方向搬送の機能を提供し、選択的な材料の搬送を実現する自動材料搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そこで、本発明者は従来の技術に見られる欠点に鑑み鋭意研究を重ねた結果、複数のテーブルと、第一、第二側面に複数の搬送ポートをそれぞれ設けたストッカーとを具えてなり、且つ該複数のテーブルが該第一側面の複数の搬送ポートに接続する複数の加工センターと、
該加工センターのストッカーの第二側面に設けた搬送ポートの内の少なくとも一つに接続する連続式の搬送ベルトと、
該搬送ベルトの提供する搬送ルートを利用して該ストッカーとの間において材料の搬送を行う少なくとも一以上の台車とを含んでなる自動材料搬送システムによって課題を解決できる点に着眼し、かかる知見に基づいて本発明を完成させた。
【００１４】
以下、この発明について具体的に説明する。
請求項１に記載する自動材料搬送システムは、複数のテーブルと、第一、第二側面に複数の搬送ポートをそれぞれ設けたストッカーとを具えてなり、且つ該複数のテーブルが該第一側面の複数の搬送ポートに接続する複数の加工センターと、
該加工センターのストッカーの第二側面に設けた搬送ポートの内の少なくとも一つに接続する連続式の搬送ベルトと、
該搬送ベルトの提供する搬送ルートを利用して該ストッカーとの間において材料の搬送を行う少なくとも一以上の台車とを含む。
【００１５】
請求項２に記載する自動材料搬送システムは、請求項１におけるストッカーの第一、第二側面との間に、該搬送ポートとの間において材料の搬送を行う搬送機を設ける。
【００１６】
請求項３に記載する自動材料搬送システムは、請求項１における材料が１ロットを単位としてカセット内に収納され、更に該台車によって搬送される。
【００１７】
請求項４に記載する自動材料搬送システムは、請求項１における連続式の搬送ベルトが高架式で設けられ、且つ天井、及び該ストッカーの第二側面によって支持される。
【００１８】
請求項５に記載する自動材料搬送システムは、請求項１におけるストッカー内の搬送ポートには、垂直方向の対応する位置に複数の暫時保存領域を設ける。
【００１９】
請求項６に記載する自動材料搬送システムは、請求項１における材料搬送システムが第一加工センターと第二加工センターを含んでなり、該第一加工センターのストッカーの第二側面に双方向搬送ポートを設け、
該第二加工センターのストッカーの第二側面に双方向搬送ポートを設け、
該連続式の搬送ベルトが、二つの該双方向搬送ポートとの間において双方向搬送を行う。
【００２０】
請求項７に記載する自動材料搬送システムは、請求項１における二つの加工センターがいずれも同様の製造工程を提供し、互いに製造工程のサポートを行い、且つ暫時保存空間を提供する。
【００２１】
請求項８に記載する自動材料搬送システムは、請求項６における第一加工センターが前工程を提供し、前期第二加工センターが後工程を提供し、該第二加工センターの材料に再加工を行う必要がある場合、該第一加工センターに該連続式の搬送ベルトで逆方向に搬送して再加工を行う。
【００２２】
請求項９に記載する自動材料搬送システムは、請求項６における材料搬送システムが、更にプログラマブルロジックコントローラと、インターロック装置を含み、該プログラマブルロジックコントローラによって該第一加工センターと該第二加工センターの信号を連結し、該インターロック装置によって該第一加工センターと該第二加工センターとの間の搬送ベルトの搬送方向を制御する。
【００２３】
請求項１０に記載する自動材料搬送システムは、複数のテーブルと、第一、第二側面に複数の搬送ポートをそれぞれ設けたストッカーとを具えてなり、且つ該複数のテーブルが該ストッカーの第一側面の複数の搬送ポートに接続する複数の独立した加工センター領域と、
該加工センター領域内に設けられ、該加工センターのストッカーの第二側面に設けた搬送ポートの内の少なくとも一つに接続する複数の段落式の搬送ベルトと、
該段落式の搬送ベルト上に位置し、該搬送ベルトの提供する搬送ルートを利用して該ストッカーとの間において材料の搬送を行う複数の台車とを含む。
【００２４】
請求項１１に記載する自動材料搬送システムは、請求項１０におけるストッカーの第一側面と第二側面との間に、該搬送ポートとの間において材料の搬送を行う搬送機を設ける。
【００２５】
請求項１２に記載する自動材料搬送システムは、請求項１０における材料が１ロットを単位としてカセット内に収納され、更に該台車によって搬送される。
【００２６】
請求項１３に記載する自動材料搬送システムは、請求項１０における連続式の搬送ベルトが高架式で設けられ、且つ天井、及び該ストッカーの第二側面によって支持される。
【００２７】
請求項１４に記載する自動材料搬送システムは、請求項１０におけるストッカー内の搬送ポートには、垂直方向の対応する位置に複数の暫時保存領域を設ける。
【００２８】
請求項１５に記載する自動材料搬送システムは、請求項１０における段落式の搬送ベルトが、単一方向の搬送を行う。
【００２９】
請求項１６に記載する自動材料搬送システムは、請求項１０における段落式の搬送ベルトが、双方向の搬送を行う。
【発明の効果】
【００３０】
本願発明の自動材料搬送システムは、材料の搬送効果を高めるとともに、システムを構築するコストを節減し、且つ材料の搬送効果を高めるといった効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本願発明は、ベルトコンベアで材料を送る自動材料搬送システムを提供するものであって、複数のテーブルと、第一、第二側面に複数の搬送ポートをそれぞれ設けたストッカーとを具えてなり、且つ該複数のテーブルが該第一側面の複数の搬送ポートに接続する複数の加工センターと、該加工センターのストッカーの第二側面に設けた搬送ポートの内の少なくとも一つに接続する連続式の搬送ベルトと、該搬送ベルトの提供する搬送ルートを利用して該ストッカーとの間において材料の搬送を行う少なくとも一以上の台車とによって構成し、材料の搬送効果を高めるとともに、材料の搬送効果を高めるといった目的を実現するものである。
係る構成の自動材料搬送システムについて、その構造と特徴を説明するために、図面を参照にして以下に詳述する。
【実施例１】
【００３２】
図３にこの発明による自動材料搬送システム３０の第一の実施例を開示する。図面によれば自動材料搬送システム３０は、複数の加工センター３１と、連続式の搬送ベルト３２と、複数の台車３３とを含む。生産工場における製造工程を自動化する上で、工場内部の加工センター３１にアレンジする方式は製造工程の規格によって決める。材料の搬送の便宜を図るため、加工センター３１は通常、ライン性配列か、もしくは環状配列を採用し、それぞれの加工センター３１を製造ユニットとみなす。その内部は複数のテーブル３４とストッカー３５によって構成される。これらテーブル３４は製造工程上において通常、ある程度の互いに依頼する性質を有し、製造過程の規格上一つの製造ユニットと見なす。
【００３３】
ストッカー３５は、矩形の立方体を呈し、対向する長手の側面を第１側面３５１、及び第２側面３５２とする。ストッカー３５の第１側面３５１、及び第２側面３５２には、それぞれ複数の搬送ポート３５３を設ける。これら搬送ポート３５３は、単一方向搬送ポートか、もしくは双方向搬送ポートとすることができる。両側面の間には搬送機３６（crane）を設けて、搬送ポート３５３とテーブル３４との間の材料の搬送を行う。第２側面３５３には、少なくとも１以上の搬送ポート３５３が連続式の搬送ベルト３２に連結して台車３３と搬送ポート３５３との間で材料の搬送を行う。運搬機３６はそれぞれの搬送ポート３５３間の材料の搬送を行う。よって、ストッカー３５は加工センター３１内の材料搬送の配送ステーションとすることができる。
【００３４】
また、それぞれの搬送ポート３５３は垂直方向の対応する位置に複数の暫時保存領域３７（図４参照）を設け、材料を搬送ポート３５３と座印字保存領域３６との間で搬送する。従ってストッカー３１は加工センター３１内において、材料を製造作業に投入する場合の暫時保存領域とすることができる。
【００３５】
連続式搬送ベルト３２は、直線状か、もしくは単一方向回転する環状であってもよく、ストッカー３５の第２側面３５２に接続する。第２側面３５２はストッカー３５の対向する長手の側面であるため、連続式のベルト３２を高架方式で天井４に架設する場合、ストッカー３５の第２側面３５２が支持力を提供（図５参照）し、搬送ベルト３２の安定性を高めることができる。仮に、ストッカー３５の短い側面に搬送ベルト３２を接続すると、提供される支持面積と支持力が小さく、搬送ベルト３２の安定性が低くなる。
【００３６】
複数の台車３３はカセットを搬送するものであって、カセット内には材料を収納する。台車３３は返送ベルト３３の提供する搬送ルート上を移動してそれぞれの加工センター３１間の材料の搬送を行う。
【実施例２】
【００３７】
図６にこの発明の第２の実施例を開示する。図面によれば、自動材料搬送システム６０は第一加工センター６１と、第二加工センター６２を含む。第一加工センターはストッカー６３の第二側面６３２に双方向の搬送ポート６４を設け、第二加工センター６２のストッカー６３の第二側面６３２に双方向の搬送ボート６４を設ける。連続式の搬送ベルト６５はこの二つの搬送ボート６４の間において双方向の搬送を行う。二つの加工センター６１、６２の提供する製造工程が同様であった場合、二つの加工センター６１、６２の間において互いに製造工程をバックアップし、且つ暫時保存空間を提供することができる。その実施方式を次に説明する。
【００３８】
第一加工センター６１のライン上の生産能力が極限に達し、第二加工センター６２がスタンバイの状態にある場合、第一加工センター６１に暫時保存された材料は両加工センター６１、６２間の搬送ベルト６５を介して材料を第二加工センター６２に搬送し、製造工程の作業を行う。このため、両加工センター６１、６２の生産能力を最高の状態で発揮することができ、全体的な生産の効率を高めることができる。逆に第二加工センター６２のライン上の生産能力が極限に達し、第一加工センター６１がスタンバイ状態にあった場合、両加工センター６１、６２間の搬送ベルト６３を介して材料を第一加工センター６１に搬送して製造工程の作業を行う。
【００３９】
また、第二の実施例は二つの異なる製造工程を行う加工センターに応用することができる。例えば第一加工センター６１が前工程を行い、第二加工センター６２が後工程を行い、第二加工センター６２の材料を再加工する場合、両加工センター６１、６２間の搬送ベルト６５を介し材料を第一加工センター６１に搬送して再加工を行う。
【００４０】
また、搬送ベルト６５が双方向の搬送を行う場合にエラーが発生しないように、この発明では搬送システムにプログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）６６、及びインターロック装置６７を設け、第一加工センター６１と第二加工センター６２の信号を連結し、第一加工センター６１と第二加工センター６２間の搬送の方向を制御するようにしてもよい。
【実施例３】
【００４１】
図７にこの発明の第３の実施例を開示する。第３の実施例は段落式のＩｎｔｅｒｂａｙに応用する自動材料搬送システム７０であって、複数の独立した加工センターエリア７１ａ，７１ｂと、複数の段落式の搬送ベルト７２ａ、７２ｂと、複数の台車７３ａ，７３ｂを含む。
【００４２】
加工センターエリア７ａ、７１ｂは互いに独立していて、その内部には少なくとも一以上の加工センター７１と、段落式の搬送ベルト７２を含む。それぞれの加工センター７１は複数のテーブル７４とストッカー７５とを有する。段落式の搬送ベッド７２はストッカー７５の第二側面７５２に設けられた、少なくとも1以上の搬送ポート７５３に接続し、搬送ベッド７２の提供する搬送ルートによってストッカー７５と台車７３との間の材料伝送を行う。
【００４３】
段落式のInterbay材料伝送の過程において、材料は加工センター領域７１内において加工作業が完成し、その他加工センター領域７１に再度搬送して、加工作業を行う必要がない。よって、この発明のそれぞれの段落式搬送ベルト７２の間は、それぞれ独立しているため接続する必要がない。搬送システムは加工センター領域７１の間において浪費を発生させない。また、それぞれの段落式搬送ベルト７２の間は互いに独立しているため、搬送方向を単一搬送か双方向搬送に設計することができる。従って、この発明は搬送の規格において従来の技術に比して選択性を有する。
【００４４】
以上はこの発明の好ましい実施例であって、この発明の実施の範囲を限定するものではない。よって、当業者のなし得る修正、もしくは変更であって、この発明の精神の下においてなされ、この発明に対して均等の効果を有するものは、いずれも本発明の特許請求の範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】従来の技術による単一方向回転式の自動材料搬送システムの説明図である。
【図２】従来の技術を段落式のInterbay搬送に応用した例を示した説明図である。
【図３】この発明による自動材料搬送システムの構造を示した説明図である（実施例１）
【図４】この発明におけるストッカーの側面説明図である（実施例１）
【図５】この発明における搬送ベルトを天井とストッカーで支持する状態を示した説明図である。
【図６】この発明による自動材料搬送システムの他の構造を示した説明図である（実施例２）。
【図７】この発明による自動材料搬送システムのその他構造を示した説明図である（実施例３）。
【符号の説明】
【００４６】
１０        自動材料搬送システム
１１          レール
１２          加工センター
１３          搬送車
１４          ストッカー
１４１        搬送ポート
１５          テーブル
３０          自動材料搬送システム
３１          加工センター
３２          搬送ベルト
３３          台車
３４          複数のテーブル
３５          ストッカー
３５１        第１側面
３５２        第２側面
３５３        搬送ポート
３６          運搬機
３７          暫時保存領域
４            天井
６０          動材料搬送システム
６１          第一加工センター
６２          第二加工センター
６３          搬送ベルト
６３２        第二側面
６４          搬送ボート
６５          搬送ベルト
６６          プログラマブルロジックコントローラ
６７          インターロック装置
７０          自動材料搬送システム
７１          加工センターエリア
７２          複数の段落式の搬送ベルト
７３          台車
７４          テーブル
７５          ストッカー
７５２        第二側面
７５３        搬送ポート
【図１】
2006036539.tif 000003
【図２】
2006036539.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006036539.tif 000006
【図５】
2006036539.tif 000007
【図６】
2006036539.tif 000008
【図７】
2006036539.tif 000009