(57)【要約】【課題】螺旋方向の異なる少なくとも二つの螺旋溝を有するバーを用いることによって異物によるスジ故障を抑制し、且つ、二つの螺旋溝の境界部に伴うスジ故障の影響を取り除くことのできるウエブ加工装置を提供する。【解決手段】本発明に係るウエブ加工装置１０は、螺旋方向が異なる二つの螺旋溝Ｘ、Ｙを有するバー２２を用いて長尺状のウエブ１２に塗布処理を施す塗布処理部１４と、塗布処理したウエブ１２を螺旋溝Ｘ、Ｙの境界部Ｚにおける塗布位置で長手方向に裁断する裁断処理部１８と、を備える。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
螺旋溝の螺旋方向が異なる溝形成部を軸方向に少なくとも二つ有するバーを用いて長尺状のウエブに塗布処理を施す塗布処理部と、
前記塗布処理したウエブを、前記二つの溝形成部の境界部における塗布位置で長手方向に裁断する裁断処理部と、を備えたことを特徴とするウエブ加工装置。
【請求項２】
前記塗布処理部は、前記バー又は前記ウエブを該ウエブの幅方向に相対的に移動させることによって、塗布位置を前記ウエブの幅方向に調整する塗布位置調整手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載のウエブ加工装置。
【請求項３】
前記裁断処理部は、前記塗布処理部における前記ウエブの幅方向の塗布位置に応じて、裁断位置を前記ウエブの幅方向に調整する裁断位置調整手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエブ加工装置。
【請求項４】
前記溝形成部の境界部は、前記螺旋溝が重ならないように形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載のウエブ加工装置。
【請求項５】
前記溝形成部の境界部は、前記螺旋溝が重なるように形成されるとともに、該重なり部分が前記バーの軸方向に長さ１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載のウエブ加工装置。
【請求項６】
前記バーは、異なる螺旋方向の螺旋溝が形成されたロッド同士を端面で結合して形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載のウエブ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウエブ加工装置に係り、特に写真用フィルム等の感光性フィルムや、コンピュータバックアップテープ等の磁気テープを製造するウエブ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
連続走行する長尺状のウエブに塗布液を塗布する装置として、バーコータが知られている。バーコータは、バーと呼ばれる円柱状のロッドを、連続走行するウエブの下面に接触させながら、バーの上流側のウエブに塗布液を吐出して塗布液溜まりを形成し、ウエブの下面に塗布層を形成するものである。バーは、連続走行するウエブと同方向、又は反対方向、或いは停止させた状態で用いられる。また、バーとしては、外周面が平坦なフラットバーや、ワイヤーを巻回したワイヤーバーの他、外周面に螺旋溝を形成した転造加工バーが知られている。
【０００３】
これらのバーのうち、転造加工バーを用いたバーコータでは、ウエブのバリや切り粉等の異物がバーに到達した際、その異物が螺旋溝に沿って幅方向に移動する現象が発生する。このため、移動方向の下流側の端部に位置する異物はウエブの縁から外側に押し出され、自動的に除去される。その反面、移動方向の上流側の端部に位置する異物はウエブの中央部に移動するので、この異物によってスジ故障を発生するおそれがある。近年では、塗布処理時におけるウエブの幅寸法が大きくなっており、ウエブ上の異物がウエブの縁まで移動しきれずにスジ故障を発生しやすくなるという問題があった。
【０００４】
ところで、転造加工バーの形状としては従来より様々なものが提案されている。例えば特許文献１には、左右対称の二つの螺旋溝を備えたバーが記載されている。このバーを用いると、ウエブ上の異物が左右両方向に移動するので、異物を迅速にウエブの縁の外側に押し出すことができる。
【特許文献１】実開平６−２９６６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、二つの螺旋溝を備えたバーを用いて塗布を行うと、バーの中央位置（すなわち、二つの螺旋溝の境界部）でスジ故障等が発生し、製品として使用することができないという知見に至った。すなわち、本願の発明者が、二つの螺旋溝を有するバーを用いて様々な試験を行った結果、二つの螺旋溝の境界部では薄塗りのスジ故障や厚塗りのスジ故障が発生し、塗布条件を変えても、これらのスジ故障を無くすことは困難であるという結論に至った。このため、二つの螺旋溝を有するバーを用いて、異物によるスジ故障の発生を抑制しても、新たなスジ故障が発生して製品として使用できなくなるので、従来は、二つの螺旋溝を有するバーを使えなかった。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、螺旋方向が異なる二つの螺旋溝を有するバーを用いることによって異物によるスジ故障を抑制し、且つ、二つの螺旋溝の境界部に伴うスジ故障の影響を取り除くことのできるウエブ加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は前記目的を達成するために、螺旋溝の螺旋方向が異なる溝形成部を軸方向に少なくとも二つ有するバーを用いて長尺状のウエブに塗布処理を施す塗布処理部と、前記塗布処理したウエブを、前記二つの溝形成部の境界部における塗布位置で長手方向に裁断する裁断処理部と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、少なくとも二つの溝形成部を有するバーを用いて塗布を行う塗布処理部と、幅広のウエブを幅狭に裁断する裁断処理部と組み合わせることによって、二つの溝形成部の境界部に対応させて裁断を行うようにした。これにより、溝形成部の境界部で塗布された部分は、裁断後のウエブの耳部として処理されるので、製品となった際に除去され、悪影響を及ぼすことがない。したがって、本発明によれば、二つの溝形成部を有するバーを用いることによって異物を素早く外側に押し出して異物によるスジ故障の発生を抑制しつつ、且つ、二つの溝形成部の境界部で発生したスジ故障等の悪影響を取り除くことができ、高品質のウエブ加工品を高い得率で製造することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は請求項１の発明において、前記塗布処理部は、前記バー又は前記ウエブを該ウエブの幅方向に相対的に移動させることによって、塗布位置を前記ウエブの幅方向に調整する塗布位置調整手段を備えたことを特徴とする。したがって、請求項２の発明によれば、溝形成部の境界部の塗布位置を、ウエブの幅方向に調整することができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は請求項１又は２の発明において、前記裁断処理部は、前記塗布処理部における前記ウエブの幅方向の塗布位置に応じて、裁断位置を前記ウエブの幅方向に調整する裁断位置調整手段を備えたことを特徴とする。したがって、請求項３の発明によれば、塗布位置に応じて裁断を行うことができ、二つの溝形成部の境界部に対応させて確実に裁断することができる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は請求項１〜３のいずれか１の発明において、前記溝形成部の境界部は、前記螺旋溝が重ならないように形成されることを特徴とする。このような形状のバーを用いると、境界部に螺旋溝がないので異物が引っ掛かることがなく、境界部で異物によるスジ故障が発生することを防止できる。
【００１２】
請求項５に記載の発明は請求項１〜３のいずれか１の発明において、前記溝形成部の境界部は、前記螺旋溝が重なるように形成されるとともに、該重なり部分が前記バーの軸方向に長さ１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下であることを特徴とする。このような形状のバーを用いると、境界部では、両方の螺旋溝に塗布液が保持されるので、境界部で薄塗りのスジ故障が発生することを抑制できる。
【００１３】
請求項６に記載の発明は請求項１〜３のいずれか１の発明において、前記バーは、異なる螺旋方向の螺旋溝が形成されたロッド同士を端面で結合して形成されることを特徴とする。このような構成のバーを用いると、異物が溝形成部の境界部に留まることなく外側に押し出される。よって、異物によるスジ故障をウエブの全面で防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るウエブ加工装置によれば、螺旋溝の螺旋方向の異なる溝形成部を少なくとも二つ有するバーを用いて塗布するともに、その二つの溝形成部の境界部での塗布位置でウエブを裁断するようにしたので、異物によるスジ故障の発生率を低下させつつ、且つ、境界部で発生するスジ故障の悪影響を取り除くことができ、高品質のウエブ加工品を高い得率で製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下添付図面に従って本発明に係るウエブ加工装置の好ましい実施形態について説明する。図１は本発明に係るウエブ加工装置の構成を示す模式図である。
【００１６】
同図に示すように、ウエブ加工装置１０は主として、塗布処理部１４、乾燥処理部１６、裁断処理部１８、及び巻取処理部２０で構成され、長尺状のウエブ１２が走行することによって、塗布処理部１４、乾燥処理部１６、裁断処理部１８、巻取処理部２０を順に通過するようになっている。したがって、長尺状のウエブ１２は、まず、塗布処理部１４において塗布液が下面に塗布され、次いで乾燥処理部１６で塗布液の乾燥が行われ、さらに裁断処理部１８で長手方向に裁断された後、巻取処理部２０でロール状に巻回される。以下、各処理部について説明する。
【００１７】
塗布処理部１４は、上部にＶ状の溝２４Ａを有する支持部材２４と、支持部材２４の溝２４Ａによって支持されたバー２２によって構成される。前述のウエブ１２は、不図示のガイドローラ等に巻きかけられ、バー２２に所定のラップ角で接触するように走行路が形成されている。このウエブ１２の走行方向に対してバー２２の上流側には、塗布液の吐出路２６が形成され、この吐出路２６からウエブ１２の下面に塗布液が吐出される。そして、ウエブ１２の下面に付着した塗布液はバー２２によって計量され、所定量の塗布液がウエブ１２の下面に塗布される。
【００１８】
図２はバー２２の正面図である。同図に示すように、バー２２は、螺旋方向の異なる二つの螺旋溝Ｘ、Ｙが、バー２２の左右に分けて形成されている。すなわち、バー２２の右半分には螺旋溝Ｘが形成された溝形成部２２Ｘが設けられ、バー２２の左半分には、螺旋溝Ｘと螺旋方向の異なる螺旋溝Ｙが形成された溝形成部２２Ｙが設けられている。
【００１９】
このようなバー２２は、円柱状の芯金を研磨した後、転造加工を施すことによって製造される。転造加工は、溝のないダイスで研磨して表面の凸部を除去した後、溝を有するダイスを芯金の外周面に押し付けながら、芯金とダイスの一方を周方向に回転させ、且つ、軸方向に移動させることによって行われる。この転造加工を、芯金の右端から中央までと、芯金の左端から中央までの二回に分けて行うとともに、その二回の転造加工で逆向きの溝を形成することによって、螺旋方向が異なる二種類の螺旋溝Ｘ、Ｙを形成する。これにより、バー２２には、螺旋溝Ｘを有する溝形成部２２Ｘと、螺旋溝Ｙを有する溝形成部２２Ｙが形成される。なお、芯金としては、転造加工が可能な程度の硬い表面硬度を有する材質のもの、例えばＳＵＳ３０４やＳＵＳ３１６等が使用される。また、螺旋溝Ｘ、Ｙの断面形状は特に限定するものではなく、例えば図３に示すように、断面円弧状の凹部と凸部を交互に繰り返す形状としてもよい。また、断面円弧状の凹部のみを繰り返したり、或いは断面円弧状の凸部のみを繰り返すように形成してもよい。
【００２０】
上記の如く転造加工した芯金は、表面を電解脱脂して付着物を完全除去した後、メッキ処理を施すことが好ましい。メッキ処理としては、硬質素材のコーティング膜（例えば硬質クロムメッキ、アモルファスクロムメッキ、セラミックコーティング膜、ダイヤモンドコーティング膜、硬質性樹脂のコーティング膜等）を施すことが好ましい。メッキ後はピット等を除去するためにバフ研磨することが好ましい。
【００２１】
図３は、図２のＰ部の拡大図である。図３に示すように、右側の螺旋溝Ｘと左側の螺旋溝Ｙは、中央部で重ならないようにして形成されている。すなわち、溝形成部２２Ｘと溝形成部２２Ｙの境界部Ｚには、螺旋溝Ｘ、Ｙのないフラットな部分が設けられている。
【００２２】
図４は、本発明の特徴部分である塗布処理部１４と裁断処理部１８の構成を模式的に示す斜視図である。同図に示すように、塗布処理部１４のバー２２は、その右端部が回転用モータ３０に連結され、この回転用モータ３０を駆動することによって、バー２２がウエブ１２の走行方向に回転するようになっている。回転用モータ３０は、スライド板３２に搭載されており、このスライド板３２は基台３４に対して、バー２２の幅方向（すなわちウエブの幅方向）にスライド自在に支持される。またスライド板３２には、送りネジ３６が螺合しており、この送りネジ３６はギア３８、３８を介して位置調整用モータ４０により回転するようになっている。したがって、位置調整用モータ４０を駆動して送りネジ３６を回転させることによって、スライド板３２及び回転用モータ３０がスライドし、バー２２の位置を幅方向に調整することができる。なお、位置調整用モータ４０は制御装置４２に接続され、この制御装置４２によって駆動制御される。制御装置４２には寸動レバー４２Ａが設けられ、この寸動レバー４２Ａを左右に操作することによって、位置調整用モータ４０が駆動され、バー２２の位置が幅方向に調整される。
【００２３】
バー２２の左側には、バー２２の幅方向の位置を検出する位置検出センサ４４が設けられる。位置検出センサ４４は制御装置４２に接続されており、制御装置４２は、この位置検出センサ４４の検出値に基づいてバー２２の位置をフィードバック制御するようになっている。
【００２４】
また、ウエブ１２の走行方向に対してバー２２の上流側には、ウエブ１２の縁位置を検出する縁位置検出センサ４６が設けられる。制御装置４２は、この縁位置検出センサ４６の検出値に基づいてバー２２の位置を幅方向に調整し、溝形成部２２Ｘ、２２Ｙの境界部Ｚをウエブ１２の幅方向の中央位置に配置する。
【００２５】
一方、裁断処理部１８は、円盤状の上刃５０と下刃５２から成るロータリーカッターを備える。上刃５０は回動自在に支持されており、下刃５２は回転用モータ５６に連結され、この回転用モータ５６を駆動することによって、下刃５２が、走行するウエブ１２に同調して回転される。すなわち、下刃５２が、ウエブ１２の走行方向に、ウエブ１２と同じ速度で回転される。ウエブ１２は、上刃５０と下刃５２の間を通過するように配置され、これによって、ウエブ１２が長手方向に裁断される。回転用モータ５６はスライド板５８に取り付けられており、このスライド板５８は、基台６０に対してウエブ１２の幅方向にスライド自在に支持される。スライド板５８には送りネジ６２が螺合されており、この送りネジ６２はギア６４、６４を介して位置調整用モータ６６に接続される。したがって、位置調整用モータ６６を駆動することによって、送りネジ６２が回転し、スライド板５８及び回転用モータ５６が幅方向に移動する。よって、上刃５０及び下刃５２がウエブ１２の幅方向に移動するので、ウエブ１２の裁断位置をウエブ１２の幅方向に調整することができる。
【００２６】
ウエブ１２の走行方向に対して上刃５０及び下刃５２の上流側には、ウエブ１２の縁位置を検出する縁位置検出センサ６８が設けられる。制御装置４２は、この縁位置検出センサ６８の検出位置に基づいて上刃５０及び下刃５２の位置を幅方向に調整することによって、ウエブ１２の幅方向の中央位置で裁断を行うように制御する。すなわち、溝形成部２２Ｘ、２２Ｙの境界部Ｚで塗布した部分で裁断を行うように制御する。
【００２７】
裁断後の幅狭のウエブ１２、１２は、巻取処理部２０の巻取軸７０、７０に巻き取られる。巻取軸７０、７０に巻き取られた幅狭のウエブ１２、１２は、不図示の後工程設備において、幅方向の端部（耳部）が取り除かれ、製品化される。
【００２８】
次に上記の如く構成されたウエブ加工装置１０の作用について説明する。
【００２９】
ウエブ１２の端部には、バリ（例えば高温環境下においてナイフカッターで切断した際に発生する特有の切断部のカエリ）や切粉等の異物が存在することがある。この異物は、塗布処理部１４に達すると、バー２２によって掻き落とされる。そして、異物は、図５に示すように、バー２２の螺旋溝Ｘ、Ｙの螺旋運動により、塗布液とともに幅方向に移動する。すなわち、バー２２の右半分では螺旋溝Ｘの作用によって異物が右方向に移動し、バー２２の左半分では螺旋溝Ｙの作用によって異物が左方向に移動する。したがって、異物はバー２２の中央部に入ることなく迅速に外側に押し出されるので、異物によってスジ故障が発生することを防止できる。
【００３０】
このように本実施の形態によれば、螺旋方向の異なる二つの螺旋溝Ｘ、Ｙをバー２２に形成するようにしたので、異物をバー２２によって積極的に除去することができ、異物によるスジ故障の発生を防止できる。
【００３１】
ところで、上記の如く二つの螺旋溝Ｘ、Ｙを有するバー２２を用いると、螺旋溝Ｘ、Ｙの境界部Ｚにおいて薄塗りのスジ故障が発生することが、本願発明の発明者の試験によって明らかになった。そこで、本実施の形態では、塗布処理部１４においてバー２２の中央部（すなわち、溝形成部２２Ｘ、２２Ｙの境界部Ｚ）がウエブ１２の幅方向の中央位置になるように制御するとともに、裁断処理部１８においてウエブ１２の幅方向の中央位置で裁断するように制御している。すなわち、境界部Ｚでの塗布位置と、裁断処理部１８での裁断位置とをウエブ１２の幅方向に一致させている。したがって、裁断後の幅狭のウエブ１２は、前述したスジ故障が幅方向の縁部に配置されることになる。この縁部は、後段の処理において、耳部として裁断されて取り除かれる。したがって、本実施の形態によれば、製品となる幅狭のウエブ１２の中央部分にスジ故障がないので、高品質の加工品を得ることができる。
【００３２】
さらに、本実施の形態によれば、バー２２を転造加工によって製造したので、表面形状（すなわち螺旋溝Ｘ、Ｙ）を高い精度で形成することができる。また、バー２２は、芯金表面をメッキ処理したので、表面の硬度が向上し、バー２２の表面の損傷を抑制でき、バー２２の寿命を延長することができる。さらに、バー２２は、転造加工によって形成した表面にメッキ処理を施したことによって、表面に汚れが付きにくく、異物の付着によるスジ故障の発生を防止できる。
【００３３】
なお、上述した実施の形態は、バー２２を幅方向に移動させて塗布位置の調整を行ったが、ウエブ１２を幅方向に移動させることによって塗布位置を調整するようにしてもよい。同様に、上述した実施の形態は、上刃５０と下刃５２を幅方向に移動させて裁断位置を調整したが、ウエブ１２を幅方向に移動させることによって裁断位置を調整するようにしてもよい。ウエブ１２の移動はガイドローラ（パスローラ）等の移動や傾斜によって行うことができる。
【００３４】
また、上述した実施の形態は、塗布位置の調整と裁断位置の調整をそれぞれ独立して行うようにしたが、溝形成部２２Ｘ、２２Ｙの境界部Ｚと裁断位置を合わせるのであればよく、塗布位置と裁断位置の一方を固定して行うようにしてもよい。例えば塗布位置を固定した場合には、塗布位置を検出し、その塗布位置に応じて裁断位置を調整するようにするとよい。
【００３５】
なお、上述した実施の形態は、溝形成部２２Ｘ、２２Ｙの境界部Ｚで螺旋溝Ｘ、Ｙが重ならないようしたが、境界部Ｚの構成はこれに限定するものではない。例えば図６に示すバー８０は、螺旋溝Ｘ、Ｙがバー８０の中央部において部分的に重なるように構成される。この場合、螺旋溝Ｘ、Ｙの不完全山部分（すなわち、仕様の溝深さよりも低い溝が形成された部分）同士を重ね合わせるとともに、その重ね合わせ部分の長さＬが１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下になるようにする。このように形成したバー８０を用いると、境界部Ｚでは、互いの不完全山部分が１０ｍｍ以上重なっているので、この不完全山部分で塗布液を保持することができ、フラットな場合に比べて、薄塗りのスジ故障の発生を抑制できる。また、重なり部分を３０ｍｍ以下としたことによって、重なり部分で異物が保持されてスジ故障が発生しやすくなることを抑制できる。
【００３６】
図７に示すバー８２は、螺旋溝Ｘを形成したロッドと螺旋溝Ｙを形成したロッドを、その端面同士で結合したものである。このようなバー８２は、溝形成部２２Ｘ、２２Ｙの境界部Ｚに不完全な溝がなく、薄塗りのスジ故障の発生を防止できる。また、バー８２は製造の精度によって、溝形成部２２Ｘ、２２Ｙの境界部Ｚで厚塗りのスジ故障（段差）が発生するおそれがあるが、本実施の形態では螺旋溝Ｘ、Ｙの境界部Ｚで裁断を行うので、そのスジ故障を取り除くことができる。
【００３７】
次に第２の実施形態について説明する。第２の実施形態は、図１の裁断処理部１８において、幅広のウエブ１２を幅方向の二カ所で裁断する例である。
【００３８】
図８に示すように第２の実施形態のバー９０は、右側の略２／３に螺旋溝Ｘが形成され、左側の略１／３に螺旋溝Ｙが形成されている。すなわち、バー９０の右側略２／３には螺旋溝Ｘが形成された溝形成部９０Ｘが設けられ、バー９０の左側略１／３には螺旋溝Ｙが形成された溝形成部９０Ｙが設けられる。また、第２の実施形態の裁断処理部１８（不図示）では、溝形成部９０Ｘ、９０Ｙの境界部Ｚで裁断を行うとともに、溝形成部９０Ｘの略中間位置において裁断を行うようになっている。
【００３９】
上記の如く構成された第２の実施形態は、溝形成部９０Ｘでは異物が右方向に移動し、溝形成部９０Ｙでは異物が左方向に移動する。したがって、バー９０に螺旋溝Ｘだけ、或いは螺旋溝Ｙだけを形成した場合に比べて、迅速且つ確実に異物を押し出すことができ、異物によるスジ故障の発生を抑制できる。さらに第２の実施形態によれば、溝形成部９０Ｘ、９０Ｙの境界部Ｚで裁断するようにしたので、境界部Ｚで発生するスジ故障が製品時には取り除かれる。したがって、スジ故障のない高品質のウエブ加工品を製造することができる。
【００４０】
なお、上述した第２の実施形態では、バー９０の右側の略２／３に螺旋溝Ｘを形成し、左側の略１／３に螺旋溝Ｙを形成したが、バー９０の右側の略１／３に螺旋溝Ｘを形成し、左側の略２／３に螺旋溝Ｙを形成するようにしてもよい。
【００４１】
また、上述した第２の実施形態では、バー９０の軸方向に二つの溝形成部９０Ｘ、９０Ｙを設けたが、三つの溝形成部を設けてもよい。例えば、図９に示すように、バー９２の右側の略１／３に螺旋溝Ｙを有する溝形成部９２Ｙを形成し、中央の略１／３に螺旋溝Ｘを有する溝形成部９２Ｘを形成し、残りの左側の略１／３に螺旋溝Ｙを有する溝形成部９２Ｙを形成する。この場合にも、溝形成部９２Ｘと溝形成部９２Ｙ、９２Ｙの二つの境界部Ｚ、Ｚで裁断を行うことによって、スジ故障のない製品を製造することができる。なお、この場合には、溝のピッチや深さを変えた三種類の溝形成部を設けてもよい。
【００４２】
さらに、上述した第２の実施形態では、幅広のウエブ１２を幅方向に二カ所で裁断するようにしたが、三カ所以上で裁断するようにしてもよい。この場合にも裁断位置と溝形成部の境界部Ｚとを対応させることによってスジ故障の影響のない製品を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係るウエブ加工装置の構成を示す模式図
【図２】塗布処理部のバーを示す正面図
【図３】図２のＰ部を示す拡大図
【図４】塗布処理部と裁断処理部の構成を模式的に示す斜視図
【図５】ウエブ加工装置の作用を説明する説明図
【図６】図３と螺旋溝の境界部の構成が異なるバーを示す図
【図７】図３と螺旋溝の境界部の構成が異なるバーを示す図
【図８】第２の実施形態のバーを示す正面図
【図９】図８と異なる構成のバーを示す正面図
【符号の説明】
【００４４】
１０…ウエブ加工装置、１２…ウエブ、１４…塗布処理部、１８…裁断処理部、２２…バー、３０…回転用モータ、４０…位置調整用モータ、５０…上刃、５２…下刃、６６…位置調整用モータ、Ｘ…螺旋溝、Ｙ…螺旋溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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