(57)【要約】【課題】アクチュエータ装置及びそのアクチュエーティング方法を提供する。【解決手段】制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御する静電型アクチュエータにおいて、アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するアクチュエータ制御信号生成部と、固定くし形電極及び移動くし形電極を備え、アクチュエータ制御信号によって電圧が調節されるアクチュエータと、を備えることを特徴とするアクチュエータ装置である。これにより、アクチュエータ駆動信号の電圧が高く、搬送信号の周波数が高い場合にも、パルス幅変調されたアクチュエータ駆動信号により容易に制御され得る。【選択図】図１
2006296196.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御する静電型アクチュエータにおいて、
アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するアクチュエータ制御信号生成部と、
前記固定くし形電極及び前記移動くし形電極を備え、前記アクチュエータ制御信号によって前記電圧が調節されるアクチュエータと、を備えることを特徴とするアクチュエータ装置。
【請求項２】
前記アクチュエータ装置は、
前記固定くし形電極と前記移動くし形電極との間に充電される電荷量の変化推移を感知する感知部と、
前記感知された変化推移をあらかじめ設定された基準値と比較し、前記比較された結果に対応して前記アクチュエータ駆動信号を生成するアクチュエータ駆動信号制御部と、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。
【請求項３】
前記感知部は、
前記電荷量の変化推移を感知して、前記感知された結果を表す検出信号を生成する検出部と、
前記検出信号を所定時間の間隔でサンプリングし、サンプリングされた値をホールディングするサンプリング及びホールディング部と、を備えることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ装置。
【請求項４】
前記アクチュエータ装置は、
前記搬送信号の大きさがあらかじめ設定された臨界値に到達する臨界時刻に関する情報を生成するサンプリング制御部をさらに備え、
前記サンプリング及びホールディング部は、前記臨界時刻毎にサンプリングすることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ装置。
【請求項５】
前記アクチュエータ装置は、
あらかじめ設定された上限値を超える前記アクチュエータ駆動信号の大きさを前記上限値に変更するリミッターをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。
【請求項６】
制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御するアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法において、
アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するステップと、
前記固定くし形電極及び前記移動くし形電極を備え、前記アクチュエータ制御信号によって前記電圧が調節されるステップと、を含むことを特徴とするアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法。
【請求項７】
前記アクチュエータ装置のアクチュエーティング方法は、
前記固定くし形電極と前記移動くし形電極との間に充電される電荷量の変化推移を感知するステップと、
前記感知された変化推移をあらかじめ設定された基準値と比較し、前記比較された結果によって前記アクチュエータ駆動信号を生成するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法。
【請求項８】
前記感知するステップは、
前記電荷量の変化推移を感知して、前記感知された結果を表す検出信号を生成するステップと、
前記検出信号を所定時間の間隔でサンプリングするステップと、
前記サンプリングされた値をホールディングするステップと、を含むことを特徴とする請求項７に記載のアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法。
【請求項９】
前記アクチュエータ装置のアクチュエーティング方法は、
前記搬送信号の大きさがあらかじめ設定された臨界値に到達する臨界時刻に関する情報を生成するステップをさらに含み、
前記サンプリングするステップは、前記臨界時刻毎にサンプリングすることを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法。
【請求項１０】
制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御するアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法において、
アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するステップと、
前記固定くし形電極及び前記移動くし形電極を備え、前記アクチュエータ制御信号によって前記電圧が調節されるステップと、を含むことを特徴とするアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法を行うコンピュータプログラムを保存するコンピュータで読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ装置及びそのアクチュエーティング方法に係り、さらに詳細には、演算増幅器を使用せずに変調されたアクチュエータ駆動信号を利用して、制御しようとする対象の変位を検出するアクチュエータ装置及びそのアクチュエーティング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータ装置は、制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御する。このとき、その変位検出のために固定くし形電極に入力されるアクチュエータ制御信号は、高周波の搬送信号が含まれたアクチュエータ駆動信号であることが望ましい。
【０００３】
ここで、アクチュエータ制御信号は、静電型アクチュエータに設けられた演算増幅器により搬送信号がアクチュエータ駆動信号に含まれることによって生成される。このとき、演算増幅器の特性上、高周波の搬送信号は、高圧のアクチュエータ駆動信号に含まれ難い。
【０００４】
結局、従来のアクチュエータ装置は、アクチュエータ駆動信号の電圧が高く、搬送信号の周波数が高い場合、その変調されたアクチュエータ駆動信号により制御された変位を感知し難いという問題点を有する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明が解決しようとする技術的課題は、演算増幅器を使用せずにパルス幅が変調されたアクチュエータ駆動信号を利用して、制御しようとする対象の変位を制御し、その変位量を感知するアクチュエータ装置を提供することである。
【０００６】
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、演算増幅器を使用せずにパルス幅変調されたアクチュエータ駆動信号を利用して、制御しようとする対象の変位を制御し、その変位量を感知するアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法を提供することである。
【０００７】
本発明が解決しようとするさらに他の技術的課題は、演算増幅器を使用せずにパルス幅変調されたアクチュエータ駆動信号を利用して、制御しようとする対象の変位を制御し、その変位量を感知するアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法を行うコンピュータプログラムを保存するコンピュータで読み取り可能な記録媒体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明によるアクチュエータ装置は、制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御する静電型アクチュエータにおいて、アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するアクチュエータ制御信号生成部と、前記固定くし形電極及び前記移動くし形電極を備え、前記アクチュエータ制御信号によって前記電圧が調節されるアクチュエータと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明は、前記固定くし形電極と前記移動くし形電極との間に充電される電荷量の変化推移を感知する感知部と、前記感知された変化推移をあらかじめ設定された基準値と比較し、前記比較された結果に対応して前記アクチュエータ駆動信号を生成するアクチュエータ駆動信号制御部と、をさらに備えることが望ましい。
【００１０】
この場合、前記感知部は、前記電荷量の変化推移を感知して、前記感知された結果を表す検出信号を生成する検出部と、前記検出信号を所定時間の間隔でサンプリングし、サンプリングされた値をホールディングするサンプリング及びホールディング部と、を備えることが望ましい。
【００１１】
本発明は、前記搬送信号の大きさがあらかじめ設定された臨界値に到達する臨界時刻に関する情報を生成するサンプリング制御部をさらに備え、前記サンプリング及びホールディング部は、前記臨界時刻毎にサンプリングすることが望ましい。
【００１２】
本発明は、あらかじめ設定された上限値を超える前記アクチュエータ駆動信号の大きさを前記上限値に変更するリミッターをさらに備えることが望ましい。
【００１３】
前記他の課題を解決するために、本発明によるアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法は、制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御するアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法において、アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するステップと、前記固定くし形電極及び前記移動くし形電極を備え、前記アクチュエータ制御信号によって前記電圧が調節されるステップと、を含むことを特徴とする。
【００１４】
本発明は、前記固定くし形電極と前記移動くし形電極との間に充電される電荷量の変化推移を感知するステップと、前記感知された変化推移をあらかじめ設定された基準値と比較し、前記比較された結果によって前記アクチュエータ駆動信号を生成するステップと、をさらに含むことが望ましい。
【００１５】
前記さらに他の課題を解決するために、本発明によるコンピュータで読み取り可能な記録媒体は、制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御するアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法において、アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するステップと、前記固定くし形電極及び前記移動くし形電極を備え、前記アクチュエータ制御信号によって前記電圧が調節されるステップと、を含むことを特徴とするアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法を行うコンピュータプログラムを保存することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によるアクチュエータ装置及びそのアクチュエーティング方法は、アクチュエータ駆動信号の電圧が高く、搬送信号の周波数が高い場合にも、変調されたアクチュエータ駆動信号により容易に制御され得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、添付された図面を参照して、本発明に係るアクチュエータ装置及びそのアクチュエーティング方法の一実施形態について詳細に説明する。ただし、後述される用語は、本発明での機能を考慮して定義された用語であって、これは、ユーザー、運用者の意図または慣例によって変わり得る。したがって、当該定義は、本明細書の全般にわたって内容に基づいて下されなければならない。
【００１８】
図１は、本発明によるアクチュエータ装置を説明するためのブロック図であって、アクチュエータ制御信号生成部１１０、アクチュエータ１２０、ミラー部１３０、感知部１４０、サンプリング制御部１６０、アクチュエータ駆動信号制御部１７０及びリミッター１８０からなる。ここで、ＩＮ１は、アクチュエータ駆動信号を意味し、ＩＮ２は、搬送信号を意味する。
【００１９】
アクチュエータ制御信号生成部１１０は、アクチュエータ駆動信号ＩＮ１及び所定の搬送信号ＩＮ２を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成する。例えば、アクチュエータ制御信号がパルス値を有する時間区間は、搬送信号ＩＮ２の大きさがアクチュエータ駆動信号ＩＮ１の大きさより大きい区間である。
【００２０】
アクチュエータ１２０は、固定くし形電極２２０、２３０及び移動くし形電極２１０を備える。このとき、アクチュエータ１２０は、静電型アクチュエータであることが望ましい。このような静電型アクチュエータは、制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極２２０、２３０と移動くし形電極２１０との間の電圧を調節することによって制御する。ここで、電圧は、アクチュエータ制御信号により制御され、固定くし形電極２２０または２３０に印加される。
【００２１】
すなわち、アクチュエータ制御信号生成部１１０とアクチュエータ１２０との間にはスイッチング素子（図示せず）が設けられることが望ましい。結局、アクチュエータ制御信号によりスイッチング素子がオンになる場合に限り、その電圧が固定くし形電極２２０、２３０と移動くし形電極２１０との間に印加される。
【００２２】
その印加される電圧により固定くし形電極２２０、２３０に対する移動くし形電極２１０の相対的な位置が変更され、前記位置の変化推移を表す情報（以下、“推移情報”という）がアクチュエータ１２０に蓄積された電荷の変動量または電流として移動くし形電極２１０から出力される。
【００２３】
一方、静電型アクチュエータがプロジェクションＴＶに設けられ、プロジェクションビームがそのＴＶスクリーンにプロジェクティングされる位置を決定するミラーを制御しようとすれば、前記制御しようとする対象はミラーとなる。このようなアクチュエータ１２０は、固定くし形電極２２０、２３０に対する移動くし形電極２１０の相対的な位置をアクチュエータ制御信号によって調節して制御しようとする対象の変位を制御する。
【００２４】
ミラー部１３０は、ミラーを含んでアクチュエータ１２０の移動くし形電極２１０と連結されている。結局、移動くし形電極２１０の動きによってミラーも移動して、ミラーの位置に変化が発生する。一方、ミラー部１３０は、移動くし形電極２１０そのものにもなり得る。
【００２５】
このとき、発生した位置の変化量が制御しようとする対象の変位である。ここで、位置の変化は、回転運動により発生してもよく、並進運動により発生してもよい。一方、‘ミラー’は、説明の便宜のために提案されたものであるので、静電型アクチュエータにより変位の制御可能な他の対象に代替され得る。
【００２６】
感知部１４０は、前記電荷量または電流の変化推移を感知する。すなわち、感知部１４０は、アクチュエータ１２０の移動くし形電極から出力された推移情報を感知する。
【００２７】
さらに具体的に、感知部１４０の検出部１５０は、前記電荷量または電流の変化推移を感知し、その感知された結果を表す検出信号を生成する。このとき、検出信号の大きさは制御しようとする対象の変位に比例する。一方、感知部１４０のサンプリング及びホールディング部１５５は、検出信号を所定時間の間隔でサンプリングし、サンプリングされた値をホールディングする。以下、感知部１４０の出力信号を感知信号と命名する。
【００２８】
サンプリング制御部１６０は、搬送信号ＩＮ２の大きさがあらかじめ設定された臨界値に到達する臨界時刻に関する情報を生成する。この場合、サンプリング及びホールディング部１５５は、臨界時刻ごとにサンプリングすることが望ましい。
【００２９】
アクチュエータ駆動信号制御部１７０は、感知部１４０で感知された電荷量または電流の変化推移をあらかじめ設定された基準値ＩＮ３と比較し、その比較された結果に対応してアクチュエータ駆動信号を生成する。すなわち、アクチュエータ駆動信号制御部１７０は、感知信号の大きさをあらかじめ設定された基準値ＩＮ３と比較し、その比較された結果に対応してアクチュエータ駆動信号を生成する。
【００３０】
リミッター１８０は、あらかじめ設定された上限値を超えるアクチュエータ駆動信号ＩＮ１の大きさをその上限値に変更する。アクチュエータ制御信号生成部１１０は、全ての時間区間で搬送信号ＩＮ２より大きなアクチュエータ駆動信号ＩＮ１を入力された場合、あらゆる時間区間で０の大きさを有するアクチュエータ制御信号を生成する。ただし、本発明にリミッター１８０が設けられる場合、その場合の発生を防止できる。
【００３１】
図２は、図１に示すアクチュエータ１２０の本発明による実施形態の斜視図である。図２に示すように、アクチュエータ１２０は、固定くし形電極２２０、２３０及び移動くし形電極２１０を備える。図２の場合、固定くし形電極は、第１固定くし形電極２２０及び第２固定くし形電極２３０からなる。固定くし形電極２２０、２３０と移動くし形電極２１０とも、くし形である。アクチュエータ制御信号は、固定くし形電極２２０、２３０に入力され、推移情報は、移動くし形電極２１０から出力される。
【００３２】
図３は、図２に示す斜視図のａ−ａ’線による断面図である。移動くし形電極２１０の突出した部分と固定くし形電極２２０または２３０の突出した部分との間には電荷が充電される。一方、移動くし形電極２１０及び固定くし形電極２２０または２３０は、平板型の電極からも構成され得る。
【００３３】
もし、移動くし形電極２１０が第１固定くし形電極２２０側にｘ程度移動すれば、第２固定くし形電極２３０からｘ程度離れうる。この場合、移動くし形電極２１０と第１固定くし形電極２２０との間に充電された電荷量は増え、移動くし形電極２１０と第２固定くし形電極２３０との間に充電された電荷量は減る。参照番号３１０は、ｘを意味する。
【００３４】
図４は、図１に示す検出部の本発明による望ましい実施形態の回路図である。移動くし形電極２１０と固定くし形電極２２０、２３０との間に電荷が充電されるので、アクチュエータ１２０は、参照番号４１０のような回路図で具現され得る。
【００３５】
すなわち、互いに対向する“移動くし形電極２１０の突出部分と第１固定くし形電極２２０の突出部分”は、キャパシタｃ１で表現され得る。同様に、互いに対向する“移動くし形電極２１０の突出部分と第２固定くし形電極２３０の突出部分”は、キャパシタｃ２で表現され得る。一方、アクチュエータ制御信号生成部１１０とアクチュエータ１２０との間は、抵抗Ｒ１及び抵抗Ｒ２で表現され得る。
【００３６】
アクチュエータ制御信号は、パルス幅変調信号であり、前述のように、固定くし形電極２２０、２３０に入力される。νＰＷＭは、アクチュエータ制御信号を意味する。図４の場合、第１固定くし形電極２２０にはνＰＷＭが入力され、第２固定くし形電極２３０には反転されたνＰＷＭが入力される。このために、抵抗Ｒ２の一側には、インバータＩ１が設けられる。
【００３７】
前述のように、アクチュエータ制御信号生成部１１０とアクチュエータ１２０との間にはスイッチング素子（図示せず）が設けられ、スイッチング素子が第１スイッチング素子及び第２スイッチング素子からなれば、第１スイッチング素子の一側は、アクチュエータ制御信号生成部１１０に連結され、他側は、第１固定くし形電極２２０に連結されることが望ましい。これと同様に、第２スイッチング素子の一側は、アクチュエータ制御信号生成部１１０に連結され、他側は、第２固定くし形電極２２０に連結されることが望ましい。結局、第１スイッチング素子と第２スイッチング素子とは、交互にオンになる。
【００３８】
第１スイッチング素子がオンになる場合、第１電圧が第１固定くし形電極２２０に印加され、この場合、固定くし形電極２２０、２３０と移動くし形電極２１０との間に印加される電圧は第１電圧である。これと同様に、第２スイッチング素子がオンになる場合、第２電圧が第２固定くし形電極２３０に印加され、この場合、固定くし形電極２２０、２３０と移動くし形電極２１０との間に印加される電圧は第２電圧である。このとき、第１電圧と第２電圧とは一致し得る。このような、第１電圧または第２電圧の大きさによって、制御しようとする対象の変位が制御される。
【００３９】
その結果、固定くし形電極２２０、２３０と移動くし形電極２１０との間に充電される電荷量が変化する。このとき、その電荷量の変化推移が、いわゆる前記位置の変化推移を意味するので、その電荷量の変化推移は、結局、推移情報となる。
【００４０】
推移情報は、検出部１５０に入力される電流ｉＩＮに含まれる。ｉＩＮは、次のような数式により算出されることが望ましい。
【００４１】
【数１】
2006296196.tif 000003
【００４２】
【数２】
2006296196.tif 000004
【００４３】
【数３】
2006296196.tif 000005
【００４４】
【数４】
2006296196.tif 000006
【００４５】
【数５】
2006296196.tif 000007
【００４６】
【数６】
2006296196.tif 000008
【００４７】
ここで、Ｃ０は、ｘが０であるときのｃ１またはｃ２を意味する定数である。
【００４８】
また、Ｎは、単位コムアクチュエータの個数を意味する。すなわち、Ｎは、移動くし形電極２１０と固定くし形電極２２０または２３０との間に存在する離れた空間のうち、電荷を蓄積できる空間の個数を意味する。一方、ε０は、誘電率を意味し、ｔは、固定くし形電極２２０または２３０の突出部分または移動くし形電極２１０の突出部分が有する幅を意味する。
【００４９】
ｄは、移動くし形電極２１０の突出部分と第１固定くし形電極２２０の突出部分との間の距離を意味し、移動くし形電極２１０の突出部分と第２固定くし形電極２３０の突出部分との間の距離を意味することも可能である。
【００５０】
一方、ｓは、ラプラス因子であり、ν１＋ν２は、定数である。
【００５１】
Ｓｒは、スルー率を意味し、これは、ｄν１／ｄｔでも、−ｄν２／ｄｔでも可能である。
【００５２】
検出部１５０は、参照番号４２０のような回路図で具現され得る。抵抗Ｒｆは、その一側が演算増幅器４３０の出力端に連結され、他側は、反転端子に連結される。また、キャパシタＣｆも、その一側は、演算増幅器４３０の出力端に連結され、他側は、反転端子に連結される。
【００５３】
演算増幅器４３０の非反転端子は、接地されることが望ましい。すなわち、基準電圧Ｖｒｅｆは、接地であることが望ましい。演算増幅器４３０の出力信号は、検出信号Ｖｃｏである。
【００５４】
検出信号は、次の数式により算出され得る。
【００５５】
【数７】
2006296196.tif 000009
【００５６】
図５は、アクチュエータ駆動信号５１０、搬送信号５２０、アクチュエータ制御信号５３０、検出信号５５０、トリガー信号５６０及び感知信号５７０のタイミング図の一例である。
【００５７】
図５に示すように、アクチュエータ駆動信号５１０の大きさは経時的に大きくなる。この場合、制御しようとする対象の変位は、次第に大きくなる。一方、搬送信号５２０は、のこぎり波を使用することが望ましい。参照番号５２５は、搬送信号５２０の周期Ｔを意味する。
【００５８】
Ｖｓ１は、第１固定くし形電極２２０に入力されるアクチュエータ制御信号を意味し、Ｖｓ２は、第２固定くし形電極２３０に入力される信号であって、前記アクチュエータ制御信号の反転信号である。周期Ｔに対してＶｓ１がオンになる時間の比率をデューティー比Ｄとすると、参照番号５３５は、ＤＴを意味する。この場合、参照番号５４５は、（１−Ｄ）Ｔを意味する。
【００５９】
一方、数式７で算出されたＶｃｏ（ｔ）は、図５の（ｄ）に示すように、第１検出信号５５２及び第２検出信号５５４からなる。第１検出信号５５２は、Ｖｓ１が上昇する度に発生して、その大きさが経時的に減る。同様に、第２検出信号５５４は、Ｖｓ２が下降する度に発生して、その大きさが経時的に減る。
【００６０】
サンプリング制御部１６０により生成されたトリガー信号５６０は、搬送信号５２０が上昇する度に発生する信号であることが望ましい。サンプリング及びホールディング部１５５は、周期Ｔが経過する度に検出信号５５０をサンプリング及びホールディングする。一方、第２検出信号５５４は、発生時点がＤによって可変可能であるので、サンプリング及びホールディング部１５５は、第１検出信号５５２が発生する度に検出信号をサンプリングすることが望ましい。
【００６１】
搬送信号５２０が上昇する時刻と第１検出信号５５２が上昇する時刻とは一般的に一致するので、サンプリング及びホールディング部１５５は、サンプリング制御部１６０からトリガー信号５６０を入力され、トリガー信号５６０が発生した時点毎に検出信号をサンプリングすることが望ましい。その結果、図５の（ｆ）に示す感知信号５７０が生成される。
【００６２】
図５に示すように、感知信号５７０の大きさは漸進的に大きくなるので、本発明による静電型アクチュエータは、印加されたアクチュエータ駆動信号５１０に正しく対応した。アクチュエータ駆動信号制御部１７０は、感知信号５７０に対応してアクチュエータ駆動信号ＩＮ１を制御する。
【００６３】
図６は、本発明によるアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法を説明するための一実施形態のフローチャートであって、アクチュエータ制御信号を生成して制御しようとする対象の変位を制御するステップ（ステップ６１０及びステップ６２０）、及び電荷量の変化推移を感知してアクチュエータ駆動信号を制御するステップ（ステップ６３０及びステップ６４０）からなる。
【００６４】
アクチュエータ制御信号生成部１１０は、所定のアクチュエータ駆動信号ＩＮ１をパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成する（ステップ６１０）。アクチュエータ１２０は、そのアクチュエータ制御信号によって動く（ステップ６２０）。
【００６５】
感知部１４０は、固定くし形電極２２０、２３０と移動くし形電極２１０との間に充電される電荷量の変化推移を感知する（ステップ６３０）。アクチュエータ駆動信号制御部１７０は、その感知された結果によって、アクチュエータ駆動信号を制御する（ステップ６４０）。
【００６６】
また、本発明は、コンピュータで読み取り可能な記録媒体にコンピュータで読み取り可能なコードとして具現することが可能である。コンピュータで読み取り可能な記録媒体は、コンピュータシステムにより読み取られ得るデータが保存される全ての種類の記録装置を含む。コンピュータで読み取り可能な記録媒体の例としては、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、フロッピー（登録商標）ディスク、光データ保存装置などがあり、また、キャリアウェーブ（例えば、インターネットを介した伝送）の形態で具現されるものも含む。また、コンピュータで読み取り可能な記録媒体は、ネットワークに連結されたコンピュータシステムに分散されて、分散方式でコンピュータで読み取り可能なコードが保存され、かつ実行され得る。そして、本発明を具現するための機能的なプログラム、コード及びコードセグメントは、当業界のプログラマーにより容易に推論され得る。
【００６７】
以上で説明したところは、本発明に係るアクチュエータ装置及びそのアクチュエーティング方法を実施するための一つの実施形態に過ぎず、本発明は、前述の実施形態に限定されず、当業者ならば、特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、誰でも多様な変更実施が可能であるであろう。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、アクチュエータ装置に関連した技術分野に好適に適用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明によるアクチュエータ装置を説明するためのブロック図である。
【図２】図１に示すアクチュエータ装置の本発明による実施形態の斜視図である。
【図３】図２に示す斜視図をａ−ａ’線による断面図である。
【図４】図１に示す検出部の本発明による望ましい実施形態の回路図である。
【図５】アクチュエータ駆動信号、搬送信号、アクチュエータ制御信号、検出信号、トリガー信号及び感知信号のタイミング図である。
【図６】本発明によるアクチュエータ装置のアクチュエーティング方法を説明するための一実施形態のフローチャートである。
【符号の説明】
【００７０】
１１０  アクチュエータ制御信号生成部
１２０  アクチュエータ
１３０  ミラー部
１４０  感知部
１５０  検出部
１５５  サンプリング及びホールディング部
１６０  サンプリング制御部
１７０  アクチュエータ駆動信号制御部
１８０  リミッター
ＩＮ１  アクチュエータ駆動信号
ＩＮ２  搬送信号
ＩＮ３  基準値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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