(57)【要約】【課題】搬送チャックでウエハを把持して横移動し、ウエハ受けにセットされているウエハロットの上部を通過する際、フィンガの水切り用傾斜板から水滴が滴下され、これがウエハに落下・付着し、ウエハの歩留まりの低下を招く。【解決手段】複数列の相対向するハンドアーム２ａ、２ｂ、２ｃと、前記ハンドアーム２ａ、２ｂ、２ｃの下端に設けられた、ウエハ５を把持するフィンガ４と、前記フィンガ４の下端部に設けられ、下向きの傾斜端縁６ａを有する水切り用傾斜板６と、を備え、前記フィンガ４には、ウエハ周縁部を収容する複数のウエハセット溝３が設けられており、前記水切り用傾斜板６の前記傾斜端縁６ａの下端部が、前記ウエハセット溝３から外れた位置に設けられている。【選択図】図１
2006186055.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数列の相対向するハンドアームと、
前記ハンドアームの下端に設けられた、ウエハを把持するフィンガと、
前記フィンガの下端に設けられ、下向きの傾斜端縁を有する水切り用傾斜板と、
を備え、
前記フィンガには、ウエハ周縁部を収容する複数のウエハセット溝が設けられており、
前記水切り用傾斜板の前記傾斜端縁の下端部が、前記ウエハセット溝から外れた位置に設けられていることを特徴とするウエハ搬送チャック。
【請求項２】
請求項１記載のウエハ搬送チャックにおいて、
前記傾斜端縁の下端部が、前記傾斜端縁の下頂点をなしていることを特徴とするウエハ搬送チャック。
【請求項３】
請求項１記載のウエハ搬送チャックにおいて、
前記下端部は、前記複数列のそれぞれのハンドアームの直下に設けられていることを特徴とするウエハ搬送チャック。
【請求項４】
請求項１記載のウエハ搬送チャックにおいて、
前記下端部は、前記複数列のハンドアームのうちの中央に位置するハンドアームの直下に設けられていることを特徴とするウエハ搬送チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハキャリアレスウエット装置において、半導体ウエハを把持して搬送するためのウエハ搬送チャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のウエハ搬送チャックとして、特許文献１の第１図(ｄ)に記載されているような、平板状のアームで構成されたもの、あるいは、特許文献２の図４に記載されているような、ハンドアームに丸棒のフィンガを取り付けた構成のものがある。
【０００３】
また、図５に示すように、スイング式のハンドアーム２ａ，２ｂ，２ｃの下端にウエハ５を把持するフィンガ４が取り付けられた構成の搬送チャックも知られている。この搬送チャックにおいては、フィンガ４の下端部に水切り用傾斜板６が設けられている。この水切り用傾斜板６は側面視で平たい三角形状をなし、その頂点７はフィンガ４の左右方向における中央部（ハンドアーム２ａ，２ｂ間およびハンドアーム２ｂ、２ｃ間の中央部）に位置している。
【特許文献１】特開昭６４−５９８２８号公報
【特許文献２】特開平６−１６８９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来のウエハ搬送チャックは、以下のような課題があった。
図６は、搬送チャックの概略側面図およびウエハロットおよびウエハ受けの側面図、図７は、ウエハキャリアレスウエット装置の最終処理槽である純水槽からスピンドライヤーまでの搬送経路を示す図である。
【０００５】
図７に示すように、搬送チャック１でウエハを把持した状態で下降し、最終処理層である純水槽２０内に浸水し（工程ａ）、処理終了後、純水槽２０内のウエハ受け２１（図６参照）にセットされているウエハ５を、搬送チャック１で両脇から挟み把持する（工程ｂ）。搬送チャック１は、ウエハ５を把持した状態で純水槽２０内から上昇し、ウエハ５をスピン乾燥させるための次のプロセスであるスピンドライヤー２２に搬送し（工程ｃ）、スピンドライヤー２２内のウエハ受け２１にウエハ５をセットする（工程ｄ）。次いで、他のウエハロットの搬送およびスピンドライヤー２２が処理開始する際に蓋（図示せず）の開閉が行われ、搬送チャック１は垂直上昇し（工程ｅ）、別の処理槽に向け移動を開始、次の処理に移行する（工程ｆ）。
【０００６】
上記の工程において、図５および図６に示すような従来の搬送チャックで１は、フィンガ４の中央下部に水切り用傾斜板６の頂点７が位置しているため、図６に示すように、スピンドライヤー２２内のウエハ受け２１にウエハ５がセットされた状態、および搬送チャック１が横移動開始しウエハ５の上部を通過する際（工程ｆ）に、頂点７に集まった水滴が矢印１０のように滴下された場合、確実に各頂点７の直下に位置するウエハ５に落下し、水滴に含まれる石英屑がウエハ５に付着し、そのため、ウエハの歩留まりの低下を招いていた。
【０００７】
なお、特許文献１および２に示すような、フィンガ下部に水切り用の傾斜板が設けていない搬送チャックでは、フィンガ下部のいたるところに水滴を形成し、全ウエハに水滴を落下させ、さらにウエハ歩留まり低下を招いている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、
複数列の相対向するハンドアームと、
前記ハンドアームの下端に設けられた、ウエハを把持するフィンガと、
前記フィンガの下端に設けられ、下向きの傾斜端縁を有する水切り用傾斜板と、
を備え、
前記フィンガには、ウエハ周縁部を収容する複数のウエハセット溝が設けられており、
前記水切り用傾斜板の前記傾斜端縁の下端部が、前記ウエハセット溝から外れた位置に設けられていることを特徴とするウエハ搬送チャックが提供される。
【０００９】
本発明のウエハ搬送チャックにおいては、フィンガの下端部が、スピンドライヤー等のウエハ受けにセットされたウエハのロットから外れた箇所に位置することになり、搬送チャックに付着した水分が、下端部から滴下しても、ウエハ上へ落下することはなくなる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フィンガから石英屑を含んだ水滴がウエハに付着することが防止され、ウエハ歩留まり低下を招くことが防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、図１〜図４を用いて説明する。なお、図５および図６に示した符号と同一構成または同一機能のものは同一の符号を付している。
【００１２】
図１、図２の搬送チャック１は、複数列の相対向するハンドアーム２ａ、２ｂ、２ｃと、これらのハンドアーム２ａ、２ｂ、２ｃの下端に設けられた、ウエハ５を把持するフィンガ４と、フィンガ４の下端に設けられ、下向きの傾斜端縁を有する水切り用傾斜板６とを備えている。
【００１３】
フィンガ４には、ウエハ５の周縁部を収容する複数のウエハセット溝３が設けられている。水切り用傾斜板６の傾斜端縁の下端部は、ウエハセット溝３から外れた位置に設けられている。
【００１４】
図１は、本発明に係わるウエハ搬送チャックの第１実施形態を示す斜視図、図２(ａ)は、フィンガ部分の側面図、図２(ｂ)は、スピンドライヤー内の櫛歯にセットされたウエハの側面図である。
【００１５】
図１、図２に示すように、この搬送チャック１は、３対のハンドアーム２ａ、２ｂ、２ｃの下端に、複数の櫛歯状のウエハセット溝３が形成されたフィンガ４が取り付けられている。このウエハセット溝３は、中央のハンドアーム２ｂにより、図２に示すウエハ５のロット５Ａ、５Ｂに対応した２つの溝領域３Ａ、３Ｂに区画されている。このフィンガ４の下端部に水切り用傾斜板６が取り付けられている。
【００１６】
水切り用傾斜板６は、断面において先端が鋭角状に尖った三角形状（図１参照）であり、側面視において下向き傾斜端縁６ａを有する平たい三角形状（図２（ａ）参照）のもので、その下頂点（最大に下方に突出した部分）７が、各ロット５Ａ，５Ｂに対応した溝領域３Ａ，３Ｂから外れた位置、具体的には、各ハンドアーム２ａ，２ｂ，２ｃの直下にくるように構成されている。これにより、下頂点７が、スピンドライヤー内のウエハ受け２１の櫛歯８にセットされたウエハ５のロット５Ａ、５Ｂから外れた箇所に位置することになり、搬送チャックに付着した水分が、各下頂点７から矢印１０のように滴下されたとしても、ウエハ５への落下はなくなり、石英屑を含んだ水滴がウエハ５に付着することが防止される。
【００１７】
図３は、第２実施形態のウエハ搬送チャックを示す。
第２実施形態では、水切り用傾斜板６の下頂点７を、中央のハンドアーム２ｂの直下の１箇所にのみ設けた構成である。すなわち、図４に示すように、下頂点７はウエハの両ロット５Ａ、５Ｂの間に位置されるもので、この構成においても第１実施形態と同様に、水滴が下頂点７から矢印１０のように滴下された場合でも、下頂点７の直下にウエハ５が存在しないため、石英屑を含んだ水滴がウエハ５に付着することが防止される。
【００１８】
上記各実施形態では、下向き傾斜端縁６ａの下端部が頂点７をなす構造を示したが、曲率半径の小さい彎曲面の下端部であってもよい。但し、一点に集中した水滴が生じやすいため、頂点をなす構造の方が好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係わるウエハ搬送チャックの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】（ａ）はフィンガ部分の側面図、(ｂ)はスピンドライヤー内の櫛歯にセットされたウエハの側面図である。
【図３】本発明に係わるウエハ搬送チャックの第２実施形態を示す斜視図である。
【図４】（ａ）はフィンガ部分の側面図、(ｂ)はスピンドライヤー内の櫛歯にセットされたウエハの側面図である。
【図５】従来のウエハ搬送チャックの斜視図である。
【図６】搬送チャックおよびウエハ受けの側面図である。
【図７】ウエハキャリアレスウエット装置の純水槽からスピンドライヤーまでの搬送経路を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  搬送チャック
２ａ、２ｂ、２ｃ  ハンドアーム
３  ウエハセット溝
３Ａ、３Ｂ  溝領域
４  フィンガ
５  ウエハ
５Ａ，５Ｂ  ウエハのロット
６  水切り用傾斜板
６ａ  傾斜端縁
７  下頂点
８  櫛歯
１０  矢印
【図１】
2006186055.tif 000003
【図２】
2006186055.tif 000004
【図３】
2006186055.tif 000005
【図４】
2006186055.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2006186055.tif 000009