(57)【要約】【課題】  一方で、例えば僅かに異なる立体角で塗装部の種々に眺めることによって生じるそのような変化を分離することができるが、他方で、互いに著しく異なっている角度での観察も実施できるようにすることにある。【解決手段】  本発明による光表面特性を検査する装置は、少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、前記表面に照射し、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置とを備えている。前記検出装置は輻射の位置分解された検出を行うことができ、前記表面に対して少なくとも一つの所定の第二立体角にして配置されている。その場合、前記照射装置および／または前記検出装置を配置する少なくとも一つの立体角が可変できるようになっている。【選択図】  図１
2006030204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、
前記表面に照射し、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置と、を備え、その場合、前記検出装置が輻射の位置分解された検出を行うことができ、前記表面に対して少なくとも一つの所定の第二立体角にして配置されていて、
前記照射装置および／または前記検出装置を配置する少なくとも一つの立体角が可変できるようになっている、
ことを特徴とする光表面特性を検査する装置。
【請求項２】
前記第一検出装置は、輻射を位置分解して検出できる好ましくは平坦な撮像素子を保有する、ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第一検出装置は、輻射を位置分解して検出できない、ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記第一照射装置を検査すべき表面に対して配置する第一部分立体角α１は可変できる、ことを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記第一検出装置を検査すべき表面に対して配置する第一部分立体角α２は可変できる、ことを特徴とする請求項１から４のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記第一部分立体角α１および／またはα２は０°から３６０°、好ましくは０°から１８０°の範囲内で可変できる、ことを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
少なくとも一つの立体角を所定の範囲内で制御する一つの制御装置が設けてある、ことを特徴とする請求項１から６のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記制御装置は少なくとも一つの立体角を段階的に可変できる、ことを特徴とする請求項１から７のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項９】
前記制御装置は少なくとも一つの立体角を所定の値に設定することができる、ことを特徴とする請求項１から８のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
少なくとも一つの照射装置および／または少なくとも一つの検出装置は少なくとも一つの案内装置の上に配置されていて、この案内装置は前記照射装置および／または前記検出装置の位置を所定の通路に沿って変化させることができる、ことを特徴とする請求項１から９のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記通路は好ましくは検査すべき表面の周りにほぼ円形状、好ましくはほぼ半円形状に延びている、ことを特徴とする請求項１から１０のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
前記少なくとも一つの案内装置は、前記照射装置を配置する立体角と前記検出装置を配置する立体角とが互いに無関係に可変できるように構成されている、ことを特徴とする請求項１から１１のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１３】
少なくとも一つの他の照射装置または少なくとも一つの他の検出装置を設け、前者の装置は少なくとも一つの所定の立体角で輻射を検査すべき表面に放射し、後者の装置は前記表面に放射して、この表面から戻って来る輻射を検出する、ことを特徴とする請求項１から１２のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１４】
少なくとも一つの所定の第一立体角で輻射を検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、
前記表面に放射して、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置と、
輻射を検査すべき表面に放射する少なくとも一つの他の照射装置または前記表面に放射され、この表面から戻って来る輻射を検出する少なくとも一つの他の検出装置と、
を備え、前記第一検出装置が輻射を位置分解して検出することができ、少なくとも一つの所定の第二立体角にして前記表面に対して配置されている、ことを特徴とする光表面特性を検査する装置。
【請求項１５】
前記他の照射装置（１９）は散漫拡散している輻射を放射する、ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１６】
前記他の照射装置（１９）は指向された輻射を放射する、ことを特徴とする請求項１から１５のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１７】
前記他の照射装置または前記他の検出装置が配置されている少なくとも一つの立体角は可変できる、ことを特徴とする請求項１から１６のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１８】
前記検出装置は、カメラ、ＣＣＤチップなどを含む一群の検出装置から選択される、ことを特徴とする請求項１から１７のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１９】
表面を少なくとも時折少なくとも二つの照射装置で同時に照射する、ことを特徴とする請求項１から１８のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２０】
少なくとも一つの他の検出装置を設けている、ことを特徴とする請求項１から１９のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２１】
前記第二検出装置は、フォトセル、光素子、フォトダイオードなどを含む一群の検出装置から選択される、ことを特徴とする請求項１から２０のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２２】
前記第一検出装置は前記表面の上に約０°の第一部分立体角にして配置されている、ことを特徴とする請求項１から２１のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２３】
少なくとも一つの照射装置が前記表面に対して、−４５°と７５°を含む一群の角度から選択される第一部分立体角にして配置されている、ことを特徴とする請求項１から２２のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２４】
少なくとも一つの照射装置は表面に対して値が７０°より大きく、好ましくは７５度より大きい第一部分立体角にして配置されている、ことを特徴とする請求項１から２３のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２５】
少なくとも一つの検出装置は表面に対して値が７０°より大きく、好ましくは７５度より大きい第一部分立体角にして配置されている、ことを特徴とする請求項１から２４のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２６】
少なくとも二つの第二検出装置は表面に対して、−７５°，−１５°，２５°，４５°，７５°と１１０°を含む一群の角度から選択される第一部分立体角にして配置されている、ことを特徴とする請求項１から２５のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２７】
少なくとも一つの照射装置は指向されている輻射を放射する、ことを特徴とする請求項１から２６のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２８】
少なくとも一つの照射装置は指向されていない輻射を放射する、ことを特徴とする請求項１から２７のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項２９】
複数の照射装置がほぼ一つの円弧に沿って配置されている、ことを特徴とする請求項１から２８のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項３０】
複数の検出装置がほぼ一つの円弧に沿って配置されている、ことを特徴とする請求項１から２９のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項３１】
前記照射装置や前記検出装置もほぼ同じ第二部分立体角にして配置されている、ことを特徴とする請求項１から３０のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項３２】
前記照射装置や前記検出装置もほぼ一つの円弧に沿って配置されている、ことを特徴とする請求項１から３１のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項３３】
一つの第一検出装置や一つの第二検出装置が同じ所定の立体角で検出できるための手段が設けてある、ことを特徴とする請求項１から３２のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項３４】
互いに所定のほぼ一定の角度間隔にされている多数の照射装置が設けてある、ことを特徴とする請求項１から３３のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項３５】
以下のステップ、
第一輻射を少なくとも一つの所定の第一立体角（α１；β１）にして、輻射を表面に放射し、
第一検出装置を用いて、少なくとも一つの所定の第二立体角（α２；β２）で検出すべき表面から戻って来る輻射を検出し、その際、前記検出装置が輻射を位置分解して検出することができ、
少なくとも一つの立体角（α２；β２）を立体角（α２′；β２′）に変更し、
前記第一検出装置を用いて変更された第二立体角（α２′；β２′）で検査すべき表面から戻って来る輻射を検出する、
からなる、ことを特徴とする光表面特性を検査する方法。
【請求項３６】
以下のステップ、
第一輻射を少なくとも一つの所定の第一立体角（α１；β１）にして検査すべき表面に向け、
第一検出装置を用いて少なくとも一つの所定の第二立体角（α２；β２）で検出すべき表面から戻って来る輻射を検出し、その際、前記検出装置が輻射を位置分解して検出することができ、
少なくとも一つの立体角（α１；β１）を立体角（α１′；β１′）に変更し、
前記第一輻射を変更した立体角（α１′；β１′）にして検査すべき表面に向け、
第一検出装置を用いて所定の第二立体角（α２；β２）で検査すべき表面から戻って来る輻射を検出する、
からなる、ことを特徴とする光表面特性を検査する方法。
【請求項３７】
前記第一輻射および前記第二輻射を指向させることが、少なくとも時折同時に行われる、ことを特徴とする請求項３５または３６に記載の方法。
【請求項３８】
前記第一輻射および前記第二輻射を指向させることが、少なくとも時折時間的にずらして行われる、ことを特徴とする請求項３５または３６に記載の方法。
【請求項３９】
以下のステップ、
第一輻射を所定の第一部分立体角にして検査すべき表面（３）に向け、
第一検出装置（７）を用い所定の第二立体角で検査すべき表面（３）から戻って来る輻射を検出し、その際、前記検出装置（７）が前記輻射を位置分解して検出することができ、
第二検出装置（１９）を用い所定の第三立体角で検査すべき表面から戻って来る輻射を検出する、
からなる、ことを特徴とする光表面特性を検査する方法。
【請求項４０】
以下のステップ、
第一輻射を所定の第一部分立体角にして検査すべき表面（３）に向け、
第二輻射を所定の第三立体角にして検査すべき表面（３）に向け、
第一検出装置（７）で所定の第二立体角で検査すべき表面（３）から戻って来る輻射を検出し、その際、前記検出装置（７）が前記輻射を位置分解して検出することができる、
からなる、ことを特徴とする光表面特性を検査する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面の光特性を検査する装置に関する。以下では、この装置を自動車の車体の検査に関連して説明する。しかし、他の表面も本発明による装置で検査できることを指摘しておく。
【背景技術】
【０００２】
表面の光特性を調べるこの種の装置は、現技術水準において周知である。これ等の装置は、原理的に、光を検査すべき表面に指向させる一つの光源と、この表面から反射した光、もしくは散乱した光を検出して評価する一つの検出器とを使用している。この評価によって、例えば色調または光沢のような、表面の光特性を測定できる。この種の測定もしくは特徴付けが必要である。何故なら、自動車の車体または車体の塗装が入射する光に応じて人間の眼に異なった印象を与えるので、客観的な特徴付けをすることが必要となるからである。
【０００３】
最近、顔料または所謂フレークを有するそのような塗装も取り分け人気がある。これ等の顔料もしくはフレークは、ラッカー層またはその表面に統計的に分布している金属粒子である。より正確に言えば、例えば金属性の顔料は、極度に微細な鏡のように働く非常に薄い金属のフレークで構成されている。この種のラッカーを規格化すること、またはその表面特性を測定することは、種々の問題を提起する。何故なら、これ等の顔料は光の入射方向に応じて異なった特性を示し、例えば、観察方向が僅かに異なるだけでも、他の色調もしくは他の輝度を示すからである。
【０００４】
更に、特に広い表面領域を観察する場合、多少正確に指定されるカラー反転角度（Ｆｌｏｐ）を伴うカラー変化を誘起する干渉性顔料を含むラッカーが、特に使用されている。その場合、時折非常に異なった着色効果が得られので、塗装面が全体として異なった明るさもしくは異なった色調になる。
【０００５】
これ等の効果、および、例えば、フレークまたは着色効果顔料のようなラッカー添加物の異なった厚さ、異なった分布および異なった組成に起因する表面の異なった感触は、現技術水準による装置を用いても検出することができない。何故なら、対応する検出器が、それぞれ測定面の異なった場所からそこへ入射する光の積算強度、即ち空間分解能を与えずに強度の積算に関する情報しかもたらさないからである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、一方で、例えば僅かに異なる立体角で塗装部の種々に眺めることによって生じるそのような変化を分離することができるが、他方で、互いに著しく異なっている角度での観察も実施できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、上記の課題は、請求項１の装置によって解決されている。好ましい改良と実施態様は従属請求項の対象事項である。
【０００８】
表面の光特性を検査する本発明による装置には、検査すべき表面に向けて輻射を少なくとも一つの所定の第一立体角で照射する少なくとも一つの第一照射装置がある。その他、表面に向けて照射し、その表面から戻って来た輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置が装備されている。その場合、この検出装置は輻射を位置分解して検出することができ、検査すべき表面に対して少なくとも一つの所定の第二立体角にして配置されている。
【０００９】
ここで、この照射装置および／またはこの検出装置を配置する少なくとも一つの立体角は可変できる。
【００１０】
照射装置は一つの輻射源もしくは一つの光源と解されるもので、特に発光ダイオードおよび／またはレーザーダイオード、グローランプ、ハロゲンランプなどの形の光源も例外でない。発光スペクトルが異なる光源、例えば多数の発光ダイオードの配置も照射装置と解される。
【００１１】
立体角は、数学的な立体角の用語と区別して、本発明の範囲内では、複数の部分立体角からなるラッパ状の円錐体と解される。その場合、立体角の第一成分、つまり第一部分立体角αは、直交座標系の原点で始まるハーフラインで定まる空間方向を正のｚ軸に対してｘ／ｚ面に投影した角度である。
【００１２】
更に、立体角の第二成分、つまり第二部分立体角βは、正のｚ軸に対して前記ハーフラインをｙ／ｚ面に投影した角度である。その場合、座標系は測定面もしくは測定面の少なくとも一部がｘ／ｙ面内にあるように設定されている。
【００１３】
これにより、この立体角は照射装置または検出装置を検査すべき表面に対して整列させることを曖昧さなく特徴付けるのに適している。立体角の幾何学的な調整を図面の説明でもう一度示す。（０°，０°）の立体角とは、例えば照射装置から出た輻射が検査すべき表面に対してほぼ垂直に入射するように、照射装置または検出装置が検査すべき表面の上に存在している状態の立体角と解される。
【００１４】
検査装置とは、入射する光の少なくとも一つのパラメータを検出し、このパラメータに相当する信号を出力することのできる何らかの装置である。この場合、用語「検出装置」は光センサ、フォトセルおよび光検出器でもよく、例えばカメラ、ＣＣＤチップなどもよい。
【００１５】
或る一つの装置の可変できる角度とは、この装置が例えば機械的に動かないように配置されているのではなく、例えばモータを使用して湾曲しているレール内を移動できる、もしくは回転できる軸受のような外部の処置によって可変できることを意味する。
【００１６】
この照射装置またはこの検出装置の一方の部分立体角だけを変え、その都度、他方の立体角を不変に保つことも可能である。
【００１７】
第一検出装置が輻射を位置分解して検出できる、好ましくは平坦な撮像素子を保有していると有利である。この平坦な素子は、入射した輻射を位置分解して検査することができる、例えば一つのＣＣＤチップであってもよい。位置分解するこの検査により、個々の顔料もしくはフレークによって生じる効果、特にスペクトル効果を調べることができる。
【００１８】
これに反して、位置分解能のない平坦な検出器は、検出器の表面の個々の点について、それぞれこの表面に入射した輻射の強度をただ積分して入射した輻射の積算強度を求めているので、それぞれのその根源に関する情報を提供することはない。
【００１９】
異なった光の照射もしくは異なった立体角での光の照射に起因するそのような影響も考慮することを行うため、異なった立体角で表面に向けて放射する多数の光源を設けることも考えられる。しかし、一つの照射装置を先ず所定の第一立体角の状態にして配置し、次いで光を表面に入射させて測定を行い、次にこの立体角を変えて測定を新たに行うことも可能である。
【００２０】
更に、多数の照射装置の代わりに、異なった立体角で検出を行える多数の検出装置を設けて特徴付けることも可能である。ここでも、その代わりに、検出装置を先ず所定の第一立体角の状態にして配置して、測定を実施し、別なステップで立体角を変更して、一回または数回の他の測定を行うことが可能であり、このことは本発明により提唱される。
【００２１】
更に、組み合わせた装置、つまり、複数の照射装置と複数の検出装置を用いることも可能である。その他、一回の測定の範囲内で照射装置が配置されている状態の立体角や検出装置が配置されている状態の立体角を変更することも考えられる。
【００２２】
更に、それぞれの立体角を少なくとも一部可変できる複数の照射装置と複数の検出装置を設けることもできる。
【００２３】
第一照射装置が検査すべき表面に対して配置されている状態の第一部分立体角が可変できると好ましい。他の有利な実施態様では、検査すべき表面に対して配置されている第一検出装置の第一部分立体角を可変できる。
【００２４】
この場合、第一検出装置と第二検出装置がほぼ等しい第二部分立体角の状態にして配置されていると好ましい。好ましい実施態様の場合、第一照射装置および／または第一検出装置が検査すべき表面の上でほぼ半円に沿って移動できる。
【００２５】
他の好適な実施態様では、第一部分立体角が０°から３６０°の範囲内、好ましくは０°から１８０°の範囲内で可変できる。０°から３６０°の範囲内で可変することにより、その時の照射装置および／または検査装置を検査すべき表面の周りにほぼ完全に回すことができ、この方法で透過光処理法でも測定を行うことができる。
【００２６】
他の実施態様では、照射装置および／または検出装置に対する少なくとも一つの立体角を所定の範囲内で調整するため一つの制御装置が設けてある。
【００２７】
その場合、例えば第一照射装置の第一部分立体角を所定の間隔内で、例えば１度刻みで変えることが可能である。こうして、例えば０°から１８０°の所定の間隔で連続的に測定を行うことができる。
【００２８】
同様に、第一検出装置の対応する第一部分立体角も可変できる。更に、照射装置や検出装置の対応する立体角も所定の間隔内で可変できる。その場合、例えば照射装置または検出装置を、例えば０°から１８０°、あるいは０°から３６０°の所定の角度範囲内で連続的に変える方式で光学走査を行うことができる。
【００２９】
更に、この制御装置は、利用者が所定の立体角を設定でき、次いでこの制御装置を動作させることができるように構成されている。つまり、例えば所定の立体角の対（α１；β１）と（α２；β２）を利用者が入力し、こうして、第一照射装置と第一検出装置が検査すべき表面に対して正確に定めた位置を占めるようにさせることができる。
【００３０】
これに対応する第二の部分立体角β１とβ２の制御部も他の実施態様の中で使用されている。また、或る一つの他の実施態様では、制御装置は第一制御装置および第一検出装置が一回の測定サイクルを完全に行うため、予めプログラムされた一定の角度で順次動作するように設計されている。つまり、例えば第一照射装置を順々に角度α１＝ ３０°，６０°，９０°，１２０°，１５０°および１７０°に設定することができる。当然のことであるが、任意の他の角度も予めプログラムすることができる。検出装置も同じようにプログラムすることができる。
【００３１】
好ましくは、一方または両方の部分立体角を小さな刻み、例えば１°の刻みで変えることもできる。こうして、効果性顔料の可塑性を小さな角度変化によって調べることができる。
【００３２】
他の実施態様では、複数の照射装置および／または複数の検出装置が用いられている。以下に説明するように、幾つかの測定方法では、二つまたはそれ以上の照射装置で表面を同時に照らすことができると有益である。この場合でも、複数の照射装置および／または複数の検出装置を制御装置で制御し、個々の装置の各々に対して任意のそれぞれの角度位置を可能とすることができる。これにより、特別な照明を実現させることができる、および／または測定を早く実行することができる。
【００３３】
他の実施態様では、少なくとも一つの照射装置および／または少なくとも一つの検出装置がこの照射装置および／または検出装置の位置を所定の通路に沿って移動させることのできる少なくとも一つの案内装置の上に配置されている。この案内装置は、例えばほぼ円形状のレールであって、このレールに沿ってその時の照射装置または検出装置が検査すべき表面の周りに半円状に案内される。
【００３４】
その他、この案内装置は端部に照射装置または検出装置が配設されていて、それによりこの検出装置を所定の通路上で案内させることのできる一つのアームであってもよい。この案内装置はほぼ円形状以外の構成も考えられる。
【００３５】
他の好適な実施態様では、照射装置が配置されている状態の立体角と検出装置が配置されている状態の立体角とが互いに概ね無関係に可変できるように、少なくとも一つの案内装置が構成されている。このことは、例えば角度α１＝ ３０°の照射装置がα１＝ １２０°の角度に移行し、それに対して検出装置が立体角α２＝ １２０°から立体角α２＝３０°に移行するときに、照射装置と検出装置が互いに隣接して通過できるようにも案内装置が構成されていることを意味する。
【００３６】
他の好適な実施態様では、少なくとも一つの所定の第三立体角で輻射を検査すべき表面に放射する少なくとも一つの他の照射装置か、あるいは表面に向けて放射され、この表面から戻って来る輻射を検出する、少なくとも一つの他の検出装置を設けている。既に上で説明したように、複数の立体角で輻射を同時に検査すべき表面に放射することは多くの他の測定方式にとって有益である。第三の立体角は、好適な一実施態様の場合、可変できる。
【００３７】
表面の光特性を検査する本発明による他の装置には、少なくとも一つの所定の立体角で輻射を検査すべき表面に向けて放射する少なくとも一つの第一照射装置がある。その他、表面の少なくとも一部に向けて放射され、そこから戻って来た輻射を捕集する少なくとも一つの検出装置を設けていて、その場合、この検出装置は輻射を位置分解して検出することができ、表面に対して少なくとも一つの所定の第二立体角にして配置されている。それに従って、少なくとも一つの他の照射装置が設けてある。この他の照射装置は指向されている輻射を放射すると好ましい。他の好適な実施態様では、この他の照射装置は散漫拡散している輻射を放射する。
【００３８】
他の有利な実施態様では、これ等の照射装置およびこれ等の検出装置は輻射を検査すべき表面に導く開口を有し、輻射を実質上透過しない一つの共通のハウジングの中に装備されている。これにより個々の検出装置には検査すべき表面から戻って来る光だけがほぼ到達することを保証できる。
【００３９】
他の有利な実施態様では、表面が少なくとも時折少なくとも二つの照射装置によって同時に照射される。それ故、表面を第一の照射装置だけで照射する、あるいは第二の照射装置だけで照射する、あるいは両方の照射装置で同時に照射することが有利に行える。他の実施態様で二つより多くの照射装置を設けている場合には、これ等の照射装置の個々のものだけを、あるいはそれ等の組み合わせを（あるいは全部をも）作動させることができる。
【００４０】
こうして、検査すべき表面に対して異なった結果が得られる。例えば、一つの所定の角度だけで照射する場合には表面の挙動に関する情報の結果が、また多くの角度で同時に照射する場合には他の情報が得られる。これによって、例えば拡散した日光への近似もしくは光沢効果の特徴付けが可能になる。
【００４１】
他の有利な実施態様では、第二の検出装置はフォトセル、光素子、フォトダイオードなどを含む一群の検出装置から選択される。これ等の素子によって、上に示したように、輻射の位置分解された検査ではなく、輻射の強度と分光特性の検査が行える。
【００４２】
分光特性を解明するため、照射装置として可視光のほぼ全スペクトルを覆う多数のＬＣＤを使用すると好ましい。この方法で、受信装置または検出装置のスペクトル分解が達成される。逆に、検査すべき表面の後のビーム通路内に、例えば光学格子のような周波数選択素子を挿入することもできる。
【００４３】
他の有利な実施態様では、輻射を空間分解して検査できる第一検出装置にも入射した輻射の全強度を計測する手段がある。これは、特に例外なく、ＣＣＤチップの個々のフォトセルに入射した輻射強度を積分して行われる。
【００４４】
他の有利な実施態様では、第一検出装置がほぼ０°の第一部分立体角にして表面の上に配置されている。この第一検出装置は０°の第二部分立体角で表面上に配置されていても好ましい。これは、上で説明したように、第一検出装置が検査すべき表面からほぼ垂直な方向に放射する輻射を検出することを意味する。
【００４５】
他の有利な実施態様では、少なくとも一つの照射装置が−４５°、−１５°および＋７５°を含む一群の角度から選択される第一部分立体角で表面に対して配設されている。この場合、第二部分立体角は０°であると好ましい。
【００４６】
その時の角度表示は、大まかな表示とすれば、例えば４５°の角度になっているとすれば、±５°の許容公差内にあるような角度とも、つまり、４０°と５０°の間の角度と見なされる。
【００４７】
他の有利な実施態様では、多数の照射装置が予め与えられた立体角で配置されている。その場合、−１５°，−４５°および＋４５°と＋７５°の第一部分立体角を使用すると好ましい。反対に、一つの照射源を使用し、その時の検出装置を所定の第一部分立体角、特に限定するものではないが、−７５°，−６５°，−４５°，−１５°または２０°のような部分立体角度で使用することもできる。しかし、提示した大きさは一部予め与えられた規格に従ったものである。その場合、今まで現技術水準で大きな第一部分立体角、つまり（α＝−９０°）または（α＝＋９０°）に比較的近い立体角を使用していない。このような部分立体角を使用すると、表面上の顔料あるいはそれ等の分布をより良く特徴付けることができる。少なくとも一つの検出装置を値が (７０°，β２) より大きく、好ましくは (７５°，β２) よりも大きいそのような第一部分立体角にして配置すると好ましい。
【００４８】
第一部分立体角に対して大きな差が生じるように、好ましくは１００°以上の差となるように、第一および第二の立体角を選択すると好ましい。
【００４９】
他の有利な実施態様では、少なくとも一つの検出装置も、小さい第一部分立体角の値にして配置されている。好ましくは、（３０°，β）より小さい値となる、特に好ましくは（６０°，β）より小さいか、または等しい角度にして配置されている。このように小さな部分立体角を使用すると、大きな色ずれを示す顔料を最良に特徴付けることができる。
【００５０】
他の有利な実施態様では、少なくとも一つの照射装置が指向されていない輻射もしくは散漫拡散している輻射を放射する。
【００５１】
第一立体角および第二立体角は、第一部分立体角に対して小さな差となるように、好ましくは ５０°より小さい差となるように選択されていると好ましい。
【００５２】
指向させてある輻射とは、光がほぼ所定の方向に、あるいは所定の立体角にして検査すべき表面に入射するような輻射と解される。他の有利な実施態様では、少なくとも一つの照射装置が指向されている輻射を放射する (即ち、定まった、一部規格化された開口を有する輻射ビーム束)。
【００５３】
指向されていない輻射とは、異なった立体角で、例えばハウジングの内面で多重散乱した後、検査すべき表面に入射する輻射と解される。これは、特に例外とするものではないが、散乱ディスクおよび曇りガラスディスクを使用して達成される。
【００５４】
他の有利な実施態様では、複数の照射装置が一つの円弧にほぼ沿って配置されている。他の有利な実施態様では、複数の検出装置を一つの円弧にほぼ沿って配置するか、あるいは複数の照射装置と複数の検出装置を一つの円弧にほぼ沿って配置することも可能である。こうして、当該照射装置および／または検出装置を同じ第二の部分立体角にして、あるいは一つの面内に配置することが達成される。
【００５５】
或る一つの好適な実施態様では、当該照射装置および検出装置が配設されているこの第二の部分立体角が概ね０°になっている。
【００５６】
他の有利な実施態様では、第一検出装置や第二検出装置も同じ所定の立体角で輻射を検出できるようにする手段を設けている。この手段は、輻射の一定成分が第一検出装置に到達し、他の成分が第二検出装置に到達するように働くビームスプリッターである。その場合、第一検出装置が輻射の位置の差を分析することができ、第二検出装置が位置積分強度を調べることができると好ましい。
【００５７】
しかし、例えば半透明の鏡、偏光子などのような他の手段も可能である。
【００５８】
他の有利な実施態様では、互いに予め与えられたほぼ一定の角度間隔を持つ多数の照射装置が設けてある。その場合、この多数の装置が同じ第二部分立体角であるが、異なる第一部分立体角に配置されていると好ましい。角度間隔は、この場合、照射装置の第一部分立体角と隣の照射装置の第一部分立体角の差で与えられる。
【００５９】
他の実施態様では、多数の照射装置が異なった第一部分立体角に、しかも異なった第二部分立体角にして配置されている。同様に、多数の検出装置も異なった第一および／または第二の部分立体角に配置されていてもよい。そして、第一および／または第二の部分立体角に関してそれぞれ異なっている多数の照射装置や多数の検出装置も配置されていてもよい。
【００６０】
更に、本発明は表面の光特性を調べる方法も目指している。その場合、第一処理過程では第一の輻射が少なくとも一つの所定の第一立体角（α１；β１）で検査すべき表面に放射される。
【００６１】
他の処理過程では、検査すべき表面から戻って来た輻射が少なくとも一つの第一検出装置を用いて少なくとも一つの所定の第二立体角（α２；β２）で検出される。その場合、この検出装置は輻射を位置分解して検出することができる。
【００６２】
他の処理過程では、少なくとも一つの検出装置が配置されている少なくともその立体角（α２；β２）を立体角（α２′；β２′）に変更する。
【００６３】
他の処理過程では、検査すべき表面から戻って来た輻射が第一検出装置を用いて変更された第二立体角（α２′；β２′）で検出される。
【００６４】
一回の測定サイクルの間に、立体角を複数回変更し、それに次いで検査すべき輻射の複数回の検出を行うことができると好ましい。その場合、この変更が所定のステップでも、例えば１度刻みなどで、行えるとよい。
【００６５】
更に、測定を段階的に１度刻みで行うのではなく、連続的に行うこともできる。即ち、例えば ２０°>α２>５０°のような所定の角度範囲を走査し、その時に戻って来た光を連続的に検出する。こうして、表面の連続的な特性を集めることができる。
【００６６】
本発明による他の方法では、一回の処理過程で第一輻射を少なくとも一つの所定の第一立体角（α１；β１）で検査すべき表面に指向させる。
【００６７】
他の処理過程では、検査すべき表面から戻って来た輻射が少なくとも一つの第一検出装置を用いて少なくとも一つの所定の第二立体角（α２；β２）で検出される。この場合、その検出装置は輻射を位置分解して検出することができる。
【００６８】
他の処理過程では、少なくとも一つの照射装置の立体角（α１；β１）を立体角（α１′；β１′）に変更する。他の処理過程では第一輻射を変更した立体角（α１′；β１′）で検査すべき表面に指向させる。
【００６９】
他の処理過程では、第一検査装置を用いて検査すべき表面から戻って来た輻射を所定の第二立体角（α２；β２）にして検出する。
【００７０】
この方法でも、その時の第一部分立体角α１またはα２をより頻繁に変更し、この変更に続き、その都度、輻射を検出すると好ましい。上に述べた方法を組み合わせること、つまり、照射装置が表面に対して配置されている状態の立体角や、検出装置が表面に対して配置されている状態の立体角も連続的にもしくは段階的に可変できると好ましい。
【００７１】
この変更により、どんな任意の角度間隔も、また実質上可能な全ての入射角と放射角を検出することができる。
【００７２】
本発明による他の方法では、第一の処理過程で第一輻射を所定の第一部分立体角にして検査すべき表面に指向させる。他の処理過程では、第二輻射を所定の第三立体角にして検査すべき表面に指向させ、他の処理過程で第一検査装置を用いて検査すべき表面から戻って来る輻射を所定の第二立体角にして検出する。その場合、この検出装置は輻射を位置分解して検出することができる。
【００７３】
第一輻射と第二輻射を用いた照射を少なくとも時折同時に行うと好ましい。
【００７４】
その場合、或る一つの処理過程で第一輻射を所定の第一部分立体角で検査すべき表面に放射する。他の処理過程では、第一検査装置を用いて検査すべき表面から戻って来た輻射を所定の第二立体角で検出する。その場合、この検出装置は輻射を位置分解して検出することができる。
【００７５】
他の処理過程では、第二検出装置を用いて検査すべき表面から戻って来た輻射を所定の第三立体角で検出する。
【００７６】
本発明による他の方法では、第一処理過程で第一輻射を所定の第一部分立体角で検査すべき表面に指向させる。他の処理過程では、第二輻射を所定の第三立体角で検査すべき表面に指向させ、他の処理過程で第一検査装置を用いて検査すべき表面から戻って来た輻射を所定の第二立体角で検出する。その場合、この検出装置は輻射を位置分解して検出することができる。
【００７７】
所定の第一立体角を変更することは、少なくとも第一部分立体角または第二部分立体角を可変することと理解される。それ故、第二部分立体角を維持したまま、第一部分立体角を変更するか、あるいは第一部分立体角を維持したまま、第二部分立体角を変更することもできる。更に、両方の部分立体角を変更することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７８】
上に述べた本発明による装置の構成とその機能に加えて、本発明の他の利点および実施態様は添付図面から明らかになる。
【００７９】
図１は、本発明による装置１の第一実施例の模式図である。この装置には、所定の立体角で検査すべき表面３に対して配設されている一つの照射装置１５がある。更に、同じように所定の立体角で検査すべき表面３に対して配設されている一つの検出装置７が設けてある。矢印Ｐ１は表面３に向かう光を意味し、矢印Ｐ４はこの表面３から戻って来るため検出装置７で検出される光を意味する。
【００８０】
照射装置１５は所定の第一部分立体角α１にして配置されている。検出装置７は、ここに示す図面では、部分立体角α２＝０°にして配置されている。照射装置１５と検出装置７のそれぞれの部分立体角β１とβ２は、ここに示す実施例１の場合、同じように０°である。これからずれている角度は軸ｘの周りの回転を意味する。つまり、紙面から回転していることを意味する。
【００８１】
角度α１は、上に説明するように、調節可能である。このため、照射装置１５はスライド装置５６により実施例１でほぼ半円状に形成されている案内装置５１に沿って移動する。従って、この照射装置１５は検査すべき表面３に対して（−９０°；０°）から（＋９０°；０°）の全角度を占める。
【００８２】
検出装置７もスライド装置５７によってここではほぼ円形状の案内装置５２に沿って案内される。その場合、この検出装置７も検査すべき表面３に対して（−９０°；０°）から（＋９０°；０°）の角度範囲内で移動させることができる。
【００８３】
その時の部分立体角βも可変できると好ましい。こうして、照射装置と検出装置が同じ角度α（であるが角度βは異なる）にして配置することができる。
【００８４】
案内装置５１，５２を配置することにより、照射装置１５と検出装置７が互いに接して傍を移動すること、照射装置１５が検出装置７よりも小さい第一部分立体角を占めることおよび逆に検出装置７が照射装置１５よりも小さい部分立体角を示すことも可能になる。測定を一回行うため、例えば照射装置１５を先ず図１に示す位置に配置し、次いでこの位置で測定を行うことができる。他の過程では、検出装置７を破線で示す第二位置に移動させ、他の測定を行うため、矢印Ｐ２に沿って新たに表面３に向けて照射する。
【００８５】
図２には本発明の第二実施例が模式的に示してある。図１に示す実施例とは異なり、ここでは、他の一つの検出装置１３と他の一つの照射装置１９が用いられている。この検出装置と照射装置も、その立体角に関して検査すべき表面３に対して可変できるので、少なくともこの実施例２でも、案内装置５１，５２が検査すべき表面の周りにほぼ円形状に配置されている。つまり、個々の照射装置１５，１９および個々の検出装置７，１３は検査すべき表面３の周りにほぼ３６０°の全角だけ回転させることができる。これにより、照射装置１５，１６が検査すべき表面７の下に配置されている場合、透過光処理での測定が可能になる。
【００８６】
ここに図示する案内装置５１，５２の代わりに、その時の入射角や検出角を調整することのできる可動アームの上に個別のまたは複数の照射装置または検出装置を設けることもできる。照射装置１５，１９に付いては、この装置を他の位置、特に参照符号６１で示すように、案内装置５１，５２の内部に設けることも考えられる。この場合、例えば半球状のハウジングの内面に、輻射をそれに応じて検査すべき表面３に向ける鏡６２を装着してもよい。
【００８７】
より正確に言えば、多数の鏡６２，６２ａなどを所定の角度にして配置し、その場合、照射装置６１を回転可能に保持してもよい。
【００８８】
参照符号６３は、特に、これに限定するものではないが、一つのセンサのような位置分解を可能にする一つの検出装置を示す。
【００８９】
図３には、本発明による装置の第三実施例が示してある。この実施例３では検出装置７だけが回動可能に配置されている。一つの照射装置の代わりに、ここでは、多数の照射装置５４ａ，５４ｂが用いられている。これ等の照射装置はハウジングの内面上に均等に配置されていると好ましい。その場合、これ等の照射装置５４ａ，５４ｂなどは、個別の光導体もしくは個別の小さなＬＥＤモジュールである。
【００９０】
個々のＬＥＤモジュール５４ａ，５４ｂなどを別々にオン・オフできると好ましい。何故なら、一つの制御装置によってその都度個々の光波をオン・オフさせることができると好ましいからである。この実施例ではガラス繊維を採用すると有利である。
【００９１】
他の有利な実施態様では、検出装置７を平坦な素子として好ましくは案内装置５１，５２のほぼ全体に沿って配置することもできる。
【００９２】
図３に示す光源５４ａ，５４ｂなどの他に、拡散光を放射する他の一つの光源を用いてもよい。このため、くもりガラスディスク、散乱ディスクなどを使用することもできる。
【００９３】
図４は光学表面３を検査する本発明による装置を示す。この場合、図４と５では案内装置は図示しない。本発明の一実施態様では、全ての照射装置と検出装置が動かないように配置されている。つまり、立体角の可変性が省かれている。この装置には内部に中空空間１２を有するハウジング２１がある。
【００９４】
この中空空間は、ここでは、半円状に、あるいは三次元的に見て、半球もしくは半球セグメントに形成されている。しかし、この中空空間に対して他の構造を用いることもできる。中空空間の内面と測定面との間の多重散乱による、指向されている光を用いた測定結果の劣化を防止するため、中空空間の内面がほぼ完全に輻射を吸収できると好ましい。他の有利な実施態様では、中空空間の内面が概ね吸収性の膜の形にされている。こうして、所定の測定条件の下では、表面特性を拡散光状態で特徴付けるため、コリメートされていない光を発生させることができる。
【００９５】
このハウジングの下側には一つの開口８があり、この開口の下に検査すべき表面３が配置されている。参照符号１５は第一照射装置を示し、参照符号１９は第二照射装置を示す。これ等の照射装置１５，１９は所定の立体角の下で光を検査すべき表面３に当てる。その場合、指向されている輻射を用いることが大切である。
【００９６】
照射装置１５と１９が配置されている第一部分立体角はα＝−１５°もしくはα＝＋７５°になる。この場合、部分立体角α＝０°は、図４において光が検査すべき表面３から垂直に上に進む角度を意味する。
【００９７】
この場合、軸ｘの周りの装置の傾きを示す角度βも０°である。図４に示す実施態様では、照射装置は全てＸ管を貫通する垂直面内で表面３の上に配置されている。つまり、全ての照射装置に対して角度β＝０°である。参照符号７はカメラを示し、参照符号４は光センサを示す。両者は角度α＝β＝０°にして配置されている。つまり、これ等の検出要素は検査すべき表面から垂直に上に出る光を検出する。カメラと検出器のこの配置は両方の測定装置が同じ光を検出するか、もしくは特徴付けすることを保証する。
【００９８】
しかし、両方の照射装置１５と１９の代わりに、ただ一つの照射装置を用いることも可能である。その場合、この装置のその時の立体角も自由に選択することができる。カメラ７と光センサ４は（０°；０°）からずれた立体角、場合によっては、異なった角度に配置することもできる。
【００９９】
参照符号１３，１４，１６，１７と１８は他の光検出器を示す。ここに提示する実施例の場合、これ等の光検出器は部分立体角α＝−６０°（光検出器１４）、α＝−３０°（光検出器１８）、α＝ ２０°（光検出器１７）、α＝ ３０°（光検出器１６）およびα＝ ６０°(光検出器１３) にして配置されている。開口２０の中には他の光検出器または他の照射装置も設けてある。
【０１００】
これに対して、検出器の代わりに、他の照射装置または検出器と共に同時に同じ位置または隣の個所に複数の照射装置を設けてもよい。これは、例えばビームスプリッターで実現させることができる。その場合、例えば二色性の鏡などを使用することができる。
【０１０１】
つまり、例えば照射装置と表面上で輻射の放射点との間の幾何学的な接続線に対して４５°にして配置されている二色性の鏡が照射装置から出た光を照射できるようにするが、この鏡が検査すべき表面から反射する光の反射に対して実質上透光性であり、これを検出装置に対して概ね通させるように、組み合わせた照射装置と検出装置を構成してもよい。
【０１０２】
参照符号１１は、表面を検査する装置の位置を検査すべき表面に対して好ましくは調節できる一つの調節装置を示す。ハウジングの一部分２２には、例えば利用者用の表示部、個々の検出装置や照射装置用の制御装置、複数の制御装置、モータなどが装着されている。
【０１０３】
図５を参照し、本発明による装置を用いた測定方法を説明する。この場合、矢印Ｐ１とＰ２は照射装置１５と１９からそれぞれ表面３に照射された光を示す。この光は矢印Ｐ４（一点鎖線で示す）に沿ってカメラ７の方向に照射される。このカメラ装置７には図７に示すビームを分割するシステムがある。このビームスプリッターを用いると、最初に照射装置６から矢印Ｐ３に沿って放射した一つの成分と、照射装置１５および１９に由来する上に述べたビームとからなる矢印Ｐ４に沿って進むビームが分割されることになる。
【０１０４】
カメラは位置分解された画像表示を可能にするので、これにより検査すべき表面の位置分解された画像を表示できる。こうして、個々の顔料もしくはフレークが見えるようになる。
【０１０５】
カメラ７や一つの光検出器４を備えたここに使用しているシステムの代わりに、一つのカメラだけを用いて測定を行い、積分強度、特にこれに限定するものではないが、カメラに生じる画像からコンピュータ支援により求めた積分強度を求めることもできる。
【０１０６】
こうして、正確な表面構造、つまりその時のラッカー層の上またはその中の顔料の正確な幾何学位置を調べることができ、それによって、取り分け使用している着色効果顔料の密度、分布およびタイプから得られる効果を評価することができる。
【０１０７】
照射装置６から出た光も同じように表面３に当り、そこから種々の立体角で検出される。上に説明したように、（０°；０°）で戻るビームが検出装置４で検出される。更に、ここに示す実施例の場合、検出装置１３，１４，１６，１７と１８を用いて上に述べた他の立体角で検出を行える。
【０１０８】
冒頭に述べたように、検査すべき材料、例えばラッカーは、それが照明される方向に応じて種々の光特性を保有している。それ故、個々の検出器１３から１８は異なった分光結果を提供する。何故なら、これ等の検出器は、例えば観察者の異なった眺め方向をシミュレーションしているからである。
【０１０９】
他の実施態様では、異なった立体角にして配置されていて、同じように例えば動かないように配置された一つの検出器を用いて異なった観察方向をシミュレートする多数の照射装置を使用することもできる。この照射装置１９は、上に説明したように、−７５°の第一部分立体角にして配置されている。つまり、この照射装置から出た光はかなり急激な角度で検査すべき表面３に入射する。この照射装置１９の配置は、先ず、第一に、湾曲した、特に凹状の面を調べるのに役立つ。
【０１１０】
この応用は、図５ｂに示すように、高い輻射強度の環境に対して顔料を認識するのに適している。
【０１１１】
上に説明したように、個々の照射装置を互いに無関係に動作させることができる。つまり、両方の照射装置の何れか一方１５または１９だけで表面を照射するか、あるいは両方の装置で同時に照射することもできる。完全な測定サイクルを実現するため、両方の実施態様を組み合わせることもできる。
【０１１２】
光沢を調べるため、この実施態様では、表面を照射装置１５と１９で同時に照射し、カメラ７で画像を撮影する。
【０１１３】
粒度を調べるため、ここに示す実施態様の場合、−１５°で、つまり、照射装置１５によって照射し、図示するように、０°で検出する。
【０１１４】
ここに示す照射装置の他に、指向されていない輻射を放射する他の輻射源を使用することも可能である。これにより、例えば空が曇っている場合、表面３の照明をシミュレートすることができる。上に説明したように、指向されていない輻射を曇りガラスディスクまたは空間的に分布している個々の輻射源によって発生させることができる。
【０１１５】
更に、指向させた輻射と指向させていない輻射を、例えば順々に、あるいはほぼ同時に一緒に使用することも可能である。
【０１１６】
図６は、照射装置１９の詳細な側面図を示す。この装置には、ハウジング４３の中に装着されている一つの高出力ＬＥＤ４１がある。更に、コリメートした光を表面に向けるため、一つの絞り４６と一つのレンズ４４が使用されている。一つの発光ダイオードの他に、特に可視光領域で異なった発光スペクトルを有する多数の発光ダイオードを使用することもできる。個々の照射装置がそれぞれ発光スペクトルの異なる発光ダイオードを保有していてもよい。更に、概ね白色光または白色光に近い光を放出する照射装置を設けてもよい。
【０１１７】
図７は、図４の本発明による装置の横断面を示す。その場合、ここでは、上で既に説明したように、全ての照射装置および検出装置がある一つの部分立体角β＝０°にして配置されている。破線はこの装置を４５°にして配置している部分立体角βを示す。好適な実施態様では、この装置を図４に示す軸ｘ上にある点Ｐの周りに傾けることができる。これにより、光をほぼ任意の部分立体角βで照射できるか、あるいは検出できる。
【０１１８】
既に説明したように、本発明による装置には、図５で矢印Ｐ１とＰ３に沿って表面に入射し、矢印Ｐ４に沿って戻って来る光をカメラに向けるため、一つのビームスプリッターシステム２がある。この光は一つのビームスプリッター３１によって約９０°だけ偏向され、一つのフィルターおよび一つのレンズによってカメラ７もしくは感光性の表面に誘導される。光の他の（図示していない）成分は検出装置４に導入される。
【０１１９】
有利な実施態様では、ビームＳに対してカメラ７または感光性の表面の位置をずらすことができる。つまり、好ましくは、紙面内で垂直に、あるいは紙面に対して垂直に進む方向ＺあるいはＸにずらすことができる。更に、装置を検査すべき表面に対して正確に、例えば垂直に調整するため、ハウジング３９の下側に（図示していない）調節装置を設けることができる。
【０１２０】
図８ａ、図８ｂ、および図８ｃは、本発明による装置で検出できる表面効果の例を示す。図８ａには、表面の湾曲により生じる色ずれを示す。この色ずれは、例えばカラー画像カメラで調べることができる。詳しく言えば、入射角または検出角の変化がどんなカラー変化もしくはどんな輝度変化をもたらすかを調べることができる。しかし、他の実施態様では、白黒カメラの他に、個々の顔料の色に関する付加的な情報を提供する一つのカラーカメラを採用することもできる。白黒カメラと異なった発光スペクトルを有する多数の輻射源を使用すると、同じように顔料の色に関する情報が得られる。
【０１２１】
同様に、この撮像位置で異なった観察角度により生じる明暗の差を検知できることが分かる。左上の領域では画像が幾分暗く見えるが、右下の領域ではより明るい。図８ｄはカメラで撮影した表面の撮影像でなく、図８ａに示す明るさの変化を模式的に示したものである。観察角度に応じて、個々の顔料が非常に異なった状態で反射し、これにより、ここに示す明暗の移行が生じる。
【０１２２】
図８ｂは、表面のカメラ撮影像を示す。この場合、照射装置の適当な立体角、例えば（７５°，β）により個々の顔料またはフレークが特に強く反射する。この撮影像により個々の顔料の分布あるいはその大きさや反射能も調べることができる。図５ｂに示す測定撮影像を発生させるため、より大きい入射角またはより大きい部分立体角αの値を使用すると好ましい。カメラが０°で検出するので、表面から反射した光の大部分がカメラに到達することがないので、これによりフレークの作用が非常に少ないバックグランド輻射で測定できる。図５ｂに示す画像は個々の画素を示す。
【０１２３】
図８ｃには、検査すべき表面の構造が示してある。これにより表面の顆粒度を検知できる。その場合、照射は拡散光または適当な入射角度で行われる。
【０１２４】
更に、図８ｃに示す像はカメラの分解能を変えて達成させることができる。しかし、他の実施例ではこのためにデジタルフィルターを使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】本発明による装置の第一実施例の模式図である。
【図２】本発明による装置の第二実施例の模式図である。
【図３】本発明による装置の第三実施例の模式図である。
【図４】表面を検査するための本発明による装置の断面図である。
【図５】他の測定方法を加入した図４の本発明による装置の断面図である。
【図６】図４の装置の部分詳細図である。
【図７】図４の装置の部分断面図である。
【図８ａ】図４の装置で得られた測定結果の写真である。
【図８ｂ】図４の装置で得られた測定結果の他の写真である。
【図８ｃ】図４の装置で得られた測定結果の他の写真である。
【図８ｄ】図４の装置で得られた測定結果の他の写真である。
【符号の説明】
【０１２６】
１  装置
２  ビームスプリッターシステム
３  表面
４  検出装置
４  光検出器
６  照射装置
７  カメラ
８  開口
１１  調節装置
１２  中空空間
１３，１４，１６，１７、１８  検出装置
１５，１９  照射装置
２０  開口
２１  ハウジング
２２  ハウジングの一部分
３１  ビームスプリッター
４１  高出力ＬＥＤ
４３  ハウジング
４４  レンズ
５１，５２  案内装置
５４ａ，５４ｂ  照射装置
５６、５７  スライド装置
６１  照射装置
６２，６２ａ  鏡
６３  検出装置
【図１】
2006030204.tif 000003
【図２】
2006030204.tif 000004
【図３】
2006030204.tif 000005
【図４】
2006030204.tif 000006
【図５】
2006030204.tif 000007
【図６】
2006030204.tif 000008
【図７】
2006030204.tif 000009
【図８ａ】
2006030204.tif 000010
【図８ｂ】
2006030204.tif 000011
【図８ｃ】
2006030204.tif 000012
【図８ｄ】
2006030204.tif 000013