(57)【要約】【課題】  研削装置の機上ワ−クの垂直面（ＹＺ軸面）および水平面（ＸＺ軸面）を１台のＣＣＤカメラ使用で撮像できる撮像装置の提供。。【解決手段】  撮像素子を備えるＣＣＤカメラ１３６に第２アダプタ２１０を介して顕微鏡レンズ筒１３７を結合し、該顕微鏡レンズ筒に内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器１４１および、前記レンズ筒１３７の前部にプリズム２０１を内部に固定する筒状アダプタ２００を取り外し自在に備え、前記ＣＣＤカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置１２２を介して結合されたコンピュ−タ１３１の映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を表示器１３３に映し出す研削装置用ワ−クの撮像装置３０。ワ−クの垂直面（ＹＺ軸面）を撮像するときは、筒状アダプタ２００を外して使用し、ワ−クの水平面（ＸＺ軸面）を撮像するときは、筒状アダプタ２００を顕微鏡レンズ筒１３７前部に取り付けて使用する。【選択図】  図１
2006110661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右方向（Ｘ軸方向）に移動可能なワ−クテ−ブル上に載置されたワ−クと、前後方向（Ｙ軸方向）に移動可能で、かつ、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能に備えられた砥石頭に保持された砥石車の相対的な移動によりワ−クを削加工する研削装置の砥石頭近傍にＣＣＤカメラに結合するテレセントリック系光学レンズを内在させる筒を支持体に回動自在に据え付けたワ−クの撮像装置であって、
該撮像装置は、撮像素子を備えるＣＣＤカメラに第２アダプタを介して顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プを結合し、該顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プに内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器および、前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部にプリズムを内部に固定する筒状アダプタを取り外し自在に備え、前記ＣＣＤカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置を介して結合されたコンピュ−タの映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を映し出す表示器を備えることを特徴とする、研削装置用ワ−クの撮像装置。
【請求項２】
プリズムを内部に固定する筒状アダプタは、ワ−クのＸＺ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部に取り付けられるものであり、ワ−クのＹＺ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部より取り外されて使用するものであり、該筒状アダプタ内に固定されたプリズムがワ−ク面に対向する筒状アダプタ下面側には光が行き来できる穴部が設けられており、前記プリズムは、入射光が該プリズムで屈折され、前記穴部を通過し、ワ−ク面で反射された光が前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プのテレセントリック系光学レンズの光軸に沿ってＣＣＤカメラ側に戻る位置に固定される筒状アダプタであることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置に備えられている砥石車を用いて研削加工中のワ−クの加工状況を、あるいは、研削加工後の機上のワ−ク画像を表示器に投映できる撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
研削装置はワ−ク表面を平坦にしたり、ワ−クに溝を設ける等の機械加工に用いられている。図８に示すＮＣ研削装置１において、３は砥石車、４は左右方向に往復移動可能なワ−クテ−ブル、５は作業台部、６はフレ−ム、７は前後方向に往復移動可能なサドル、８は操作盤、９はコラム、１０は砥石頭、１１は研削液供給ノズルである。ワ−クテ−ブル４上に電磁チャックを介して固定されたワ−クの加工は、ワ−クテ−ブル４の左右方向の移動と、回転する砥石車３を備える砥石頭１０を支持するコラム６を起立して固定するサドル７の前後方向移動、および砥石頭１０の上下方向移動の相対的な組み合わせにより実施される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
研削装置で加工されているワ−クやツ−ルの画像を撮影し、これをＣＴＲやテレビブラウン管等の表示器に投影する撮影装置として、ＣＣＤカメラと画像処理装置を備えた撮像装置が用いられている。例えば、図７に示す機台１１１上に前後方向に移動可能に配置されたコラム１１２にモ−タ−１１５の駆動により昇降可能に取り付けられた砥石頭１１４に備えられた砥石車１１６を有し、左右方向に移動可能なテ−ブル上に載置されたワ−クｗを前記砥石車とワ−クの相対的な移動により研削加工できる研削装置１００を用い、研削加工中のワ−クの加工状況を撮像するＣＣＤカメラ１３６を砥石頭１１４側面に固定配置し、左右往復移動するテ−ブル１１８上のワ−クがＣＣＤカメラ１３６の焦点レンジに入った時期を検出するタイミング検出手段１３９のタイミングで前記ＣＣＤカメラの撮像素子ＣＣＤの映像信号をコンピュ−タ１２１の画像メモリ−１３２に取り込み、表示器１３３に画像を映し出すことが提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００４】
また、研削加工中にワ−クの画像チェックおよび寸法測定を行える研削装置として、図５および図６に示すようにＸ軸リニアスケ−ル、Ｙ軸リニアスケ−ル、Ｚ軸リニアスケ−ルを備えた株式会社岡本工作機械製作所のＮＣ成形研削装置ＰＦＧ−５００（商品名）の砥石頭１０に、ユアサテクノ株式会社のＣＣＤカメラ１３６と拡大顕微鏡（レンズ）１３７を結合した撮像装置を設け、この撮像装置より送信される画像イメ−ジ信号を処理する株式会社ミツトヨの画像ユニットデ−タ処理ソフトＱＳＰＡＫ（商品名）を搭載した画像処理装置１２１を備えた成形研削装置を用い、ワ−クテ−ブル４のＴ−溝に固定された電磁チャック４ａ上にワ−クｗを固定し、テ−ブルの左右方向（Ｘ軸方向）移動と回転する砥石車３の上下方向（Ｙ軸方向）および前後方向（Ｚ軸方向）の移動により研削加工されるワ−クの画像をレンズ１３７で拡大し、ＣＣＤカメラ１３６で撮像し、これを画像処理装置１２１で処理し、画像を表示器１３３に投映する研削装置が提案された（例えば、非特許文献１参照。）。
【０００５】
この非特許文献１に記載される撮像装置は、拡大顕微鏡（レンズ）１３７の筒部分を支持する支持棹１３８を回転ア−ム１３９で固定し、ロックハンドル１４０軸回りに回動するように固定されている。また、光源も、反射光源１４１および透過光源１４２いずれでも使用できるようになっている。
【０００６】
更に、本件特許出願人は、特許文献２に記載の撮像装置はＣＣＤカメラのレンズ径が大きいことと、ＣＣＤカメラのレンズが研削液の付着で汚されることを嫌うためにワ−クと砥石車が接する加工点近傍までカメラを近づけることができず、更に、レンズの拡大倍率にも制限があるために映像画像の鮮明さを向上させることができる撮像装置を提案した。具体的には、左右方向（Ｘ軸方向）に移動可能なＸ軸テ−ブル上に載置されたワ−クと、前後方向（Ｙ軸方向）に移動可能で、かつ、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能に備えられた砥石頭に保持された砥石車の相対的な移動によりワ−クを削加工する研削装置の砥石頭近傍に据え付けられるワ−クの撮像装置であって、該撮像装置は、撮像素子を備えるＣＣＤカメラにアダプタを介してボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プを結合し、該ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの光軸に沿う光を照射する照明機器を備え、前記ＣＣＤカメラの撮像素子に結像された映像信号をカメラ制御ユニットＣＣＵを介して結合されたコンピュ−タの映像情報に変換する処理部に送信され、この処理部からの情報を映し出す表示器を備える研削装置用ワ−クの撮像装置である（例えば、特許文献３参照。）。
【０００７】
上記特許文献２、特許文献３および非特許文献１に記載の撮像装置は、ワ−クテ−ブル上に固定された研削加工ワ−クの垂直面（ＹＺ平面）側を撮像するものであるが、研削加工ワ−クの水平面（ＸＺ平面）側を撮像するために、テレセントリック光学系を用いたＣＣＤカメラをワ−クテ−ブル上に固定されたワ−クに対向して砥石頭に設置し、ワ−クの溝加工後に撮像された信号を画像処理装置で処理して加工位置および溝幅を検出し、これらの位置デ−タおよび溝幅デ−タから砥石軸方向（Ｚ軸方向）の加工位置ずれを算出し、ワ−ク目標寸法に切断溝幅を加算することにより次回砥石送り量を得る研削装置が提案されている（例えば、特許文献４参照。）。
【特許文献１】特開２０００−３１７８２９号公報
【特許文献２】特開２０００−７９５３９号公報
【非特許文献１】ユアサテクノ株式会社、”機上画像計測システム”、〔online〕、２００４年７月３日、〔平成１６年１０月５日検索〕、インタ−ネット<URL:http://www.yuasa-techno.co.jp/03/200407/main.html>
【特許文献３】特願２００３−３７３８６８号明細書
【特許文献４】特開２００４−５０３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ＮＣ研削装置の機上のワ−クの加工状態を観察するには、前記特許文献２、特許文献３および非特許文献１に記載の撮像装置のように、ワ−クテ−ブル上に固定された研削加工ワ−クの垂直面（ＹＺ平面）側を撮像する場合もあれば、前記特許文献４に記載の撮像装置のように研削加工ワ−クの水平面（ＸＺ平面）側を撮像する場合もある。両方の撮像装置を砥石頭に備えさせて画像処理装置で３次元画像を表示器に投映させることも可能であるが、両者の撮像装置を砥石頭に設置することは、研削加工作業現場を狭くすることとなるし、２台のＣＣＤカメラが必要となり、撮像装置設置コストが高くなる。ワ−クの研削加工によっては、２次元画像の撮像で十分であることが多い。本発明は、前記特許文献３および非特許文献１に記載のＸＹ面撮像装置のＣＣＤカメラに結合するテレセントリック系光学レンズ（顕微鏡レンズ、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プ）先端にプリズムを固定したアダプタを連結することにより１台のＣＣＤカメラでワ−クのＸＺ面も撮像可能となる撮像装置を設置したＮＣ研削装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、左右方向（Ｘ軸方向）に移動可能なワ−クテ−ブル上に載置されたワ−クと、前後方向（Ｙ軸方向）に移動可能で、かつ、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能に備えられた砥石頭に保持された砥石車の相対的な移動によりワ−クを削加工する研削装置の砥石頭近傍にＣＣＤカメラに結合するテレセントリック系光学レンズを内在させる筒を支持体に回動自在に据え付けたワ−クの撮像装置であって、
該撮像装置は、撮像素子を備えるＣＣＤカメラに第２アダプタを介して顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プを結合し、該顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プに内在させるテレセントリック系光学レンズの光軸に沿う光を照射する照明機器および、前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部にプリズムを内部に固定する筒状アダプタを取り外し自在に備え、前記ＣＣＤカメラの撮像素子に結像された映像信号を画像処理装置を介して結合されたコンピュ−タの映像情報に変換する処理部に送信し、この処理部からの情報を映し出す表示器を備えることを特徴とする、研削装置用ワ−クの撮像装置を提供するものである。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載の撮像装置に使用するプリズムを内部に固定する筒状アダプタは、ワ−クのＸＺ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部に取り付けられるものであり、ワ−クのＹＺ面を撮像する際には前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プの前部より取り外されて使用するものであり、該筒状アダプタ内に固定されたプリズムがワ−ク面に対向する筒状アダプタ下面側には光が行き来できる穴部が設けられており、前記プリズムは、入射光が該プリズムで屈折され、前記穴部を通過し、ワ−ク面で反射された光が前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プのテレセントリック系光学レンズの光軸に沿ってＣＣＤカメラ側に戻る位置に固定される筒状アダプタであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
プリズムを内部に固定する筒状アダプタを１台のＣＣＤカメラに結合している顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プのテレセントリック系光学レンズ前部に取り付けることにより、ワ−クの水平面（ＸＺ面）の画像を撮影できる。筒状アダプタの結合側と反対側の後部面を蓋することにより研削液が筒状アダプタ内に侵入するのが妨げられる。また、ワ−クの研削中、この撮像装置が邪魔となるときは、ＣＣＤカメラの支持体を回動させて砥石頭近傍にレンズ、筒状アダプタを避難させる。ワ−クの垂直面（ＹＺ面）の画像を撮影するときは、プリズムを内部に固定する筒状アダプタを前記顕微鏡レンズ筒、ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プより取り外して使用する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図１は撮像装置のＣＣＤカメラ、顕微鏡レンズ筒、およびプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタを結合した状態を示す一部を切り欠いた正面図、図２はＣＣＤカメラおよび顕微鏡レンズ筒を結合した状態を示す側面図、図３はプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタの斜視図、図４はプリズムを内部に固定して内蔵する筒状アダプタを顕微鏡レンズ筒に結合した状態を示す一部を切り欠いた下面図、図９は撮像装置を備えた研削装置の平面図である。
【００１３】
図１および図２に示す撮像装置３０において、ｗはワ−ク、３は砥石車、４はワ−クテ−ブル、４ａは電磁チャック、１３６はＣＣＤカメラ、１３７は顕微鏡レンズ筒、１３８は顕微鏡レンズ筒部分を支持する支持棹、１３９は回転ア−ムで前記支持棹にボルト締めされている。１４０はロックハンドル、１４１は反射光源、２００は筒状アダプタで、内部にプリズム２０１を内蔵する。筒状アダプタ２００の顕微鏡レンズ筒１３７と結合された反対側背面（砥石車側前面）は、蓋２０２でビス２０３止めされており、研削液が筒状アダプタ内へ侵入するのを妨げている。筒状アダプタ２００と顕微鏡レンズ筒１３７と結合された部分はＯ−リングシ−ル２０５されている。筒状アダプタ２００の下側面には光が通過する穴部２０４が設けられている。２１０は第２アダプタで、プリズム２１１を内蔵し、ＣＣＤカメラ１３６と顕微鏡レンズ筒１３７を連結する。
【００１４】
撮像装置の顕微鏡レンズ筒１３７に光源１４１より入射した光３００は、筒状アダプタ２００内のプリズム２０１により屈折されてワ−クｗ面で反射され、プリズム２０１により再び反射光は屈折されて顕微鏡レンズ筒のレンズ光軸４００に沿って進み、第２アダプタ２１０内のプリズム２１１で屈折されＣＣＤカメラ１３６のレンズの光軸４０１側に進行し、ＣＣＤカメラ１３６の対物レンズを入射した光像をコリメ−トレンズに通した後、荷電結合素子（ＣＣＤ）に結像する。ＣＣＤカメラ１３６は、荷電結合素子（撮像素子：ＣＣＤ）に結像された映像信号を図６または図９に示すカメラ制御ユニット（ＣＣＵ）１２１に送信する。カメラ制御ユニット（ＣＣＵ）１２１はコンピュ−タ１３１の画像記録部に（ＲＡＭ）結ばれており、この画像記録部に送信されてきた映像信号をＣＣＵの画像処理部が処理し、テレビジョン表示器１３３に画像を映像する。コンピュ−タ１３１のメモリ−部（ＲＯＭ）には画像処理プログラミングソフト、例えば、株式会社ミツトヨの画像ユニットデ−タ処理ソフトＱＳＰＡＫ（商品名）が搭載されており、画面外、画面内を計測可能となっており、検査結果をＥＸＣＥＬ表にして表示器１３３に表示可能となっている。
【００１５】
図３および図４に示すように、プリズム２０１を筒内部に固定する筒状アダプタ２００は、顕微鏡レンズ筒１３７の筒状フランジ部１３７ａを挿入できる略環状の端面２０６を有し、その環状断面は、プリズムが固定される中程の位置で段部２０８を設けて環の直径を小さくしている。この環状端面の４箇所に切り込み２０７を設けてプリズム２０１の挿入を容易とするとともに、顕微鏡レンズ筒１３７のフランジ部から筒状アダプタ２００を取り外すのを容易としている。また、その反対側の端面２０９も略環状の端面で、蓋２０２をビス２０３で締め付けて塞いでいる。筒状アダプタ２００の下面には、穴部２０４が設けられ、プリズム２０１の屈折面がワ−クに対向するようになっている。また、筒状アダプタ２００を顕微鏡レンズ筒１３７の筒状フランジ部１３７ａに固定する位置決めピン２１１が設けられている。
【００１６】
アダプタ２００の筒体の上面側２０９は、砥石車３と筒状アダプタ２００間の距離をできるだけ広くするため、円弧を削ってフラット平面にするのが好ましい。砥石車３とアダプタ２００間の距離が十分でなく、ワ−ク研削中、筒状アダプタ２００が砥石車３に衝突のおそれがあるときは、衝突しない距離のワ−ク研削が終えるまでは、図５に示されるロックハンドル１４０を回動させて筒状アダプタ２００を砥石車３より遠ざけておく。衝突しない距離のワ−ク研削が終えたらロックハンドル１４０を回動させてワ−クが撮像できる位置に筒状アダプタ２００を戻す。
【００１７】
筒状アダプタ２００の筒体および蓋体２０２の素材は、アルミニウム、アルミニウム・マグネシウム合金、ハステロイ、合成樹脂等の軽量素材で形成されるのが望ましい。また、表面をアルマイト処理またはフッ化炭素樹脂コ−トして腐食性を向上させるのが望ましい。
【００１８】
図９に示す研削装置１は、ＣＣＤカメラ１３６を第２アダプタ２１１により結合し、この第２アダプタにボアスコ−プ１３７を装着し、さらにプリズムを内部に固定して備える筒状アダプタ２００をボアスコ−プ前部に結合して設置した撮像装置３０を備える研削装置１である。図中、３は砥石車、４は水平方向（Ｘ軸方向）に往復移動可能なワ−クテ−ブル、５は作業台、８は研削装置の制御ユニット、７はサドル、９はコラム、１０は砥石頭、１３はサ−ボモ−タで砥石頭１０を垂直方向（Ｚ軸方向）に移動する。２５はＸ軸リニアスケ−ル、および、３０は撮像装置である。
【００１９】
撮像装置３０は、画像処理装置（カメラ制御ユニットＣＣＵ）１２１、画像処理部を有するパ−ソナルコンピュ−タ（ＣＰＵ）１３１、テレビジョン表示器１３３、マウス１３４、キィボ−ド１３５、照明機器（反射光源：図示されていない）、撮像素子ＣＣＤを備えるＣＣＤカメラ１３６、ボアスコ−プ１３７および、第２アダプタ２１０、プリズムを内蔵する筒状アダプタ２００より構成される。
【００２０】
この撮像装置３０の第２アダプタ２１０は、支持棹に把持固定され、支持棹は回動ア−ムに固定され、更に、下面にガイド３８を備える前後移動用スライダ−３９に保持され、研削装置１のコラム９側壁にボルトで固定された支持軸３７に水平に保持された一対のレ−ル３８ａ上をガイド３８が前後方向に移動可能に設置されている。また、前記スライダ−３９は前面に垂直方向にガイド４０ａを起立させ、このガイド前面に昇降用スライダ４１を固定し、ガイド４０ａをレ−ル４０上で滑走させる構造を採る。よって、ＣＣＤカメラ３６は、ワ−クに対し上下方向に昇降可能に、かつ、ワ−クに対し前後方向に移動可能な構造となっており、焦点深度を高めることが可能である。
【００２１】
ボアスコ−プは、例えば、株式会社側モリテックス、株式会社キ−エンスより入手できる。第２アダプタ２１０は、ＣＣＤカメラにボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プ１３７を結合させるものであり、株式会社モリテックス、株式会社キ−エンス、株式会社ミツトヨより入手できる。顕微鏡レンズ筒１３７は、ユアサテクノ株式会社、株式会社キ−エンスより購入できる。顕微鏡レンズ筒の倍率は種々のものがあるので、撮像の目的に応じて選択する。ボアスコ−プまたはファイバ−スコ−プ１３７に散り付ける光源１４１はハロゲンランプが好ましい。
【００２２】
ＣＣＤカメラ１３６は、対物レンズを入射した光像をコリメ−トレンズに通した後、荷電結合素子（ＣＣＤ）に結像する。ＣＣＤカメラ１３６はカメラ制御ユニット（ＣＣＵ）１２１を介してコンピュ−タ１３１の画像記録部に（ＲＡＭ）結ばれており、この画像記録部に送信されてきた映像信号を画像処理部が処理し、テレビジョン表示器１３３に画像を映像する。コンピュ−タ１３１のメモリ−部（ＲＯＭ）には画像処理プログラミングソフト、例えば、株式会社ミツトヨの画像ユニットデ−タ処理ソフトＱＳＰＡＫ（商品名）が搭載されており、画面外、画面内を計測可能となっており、検査結果をＥＸＣＥＬ表にして表示器１３３に表示可能となっている。
【００２３】
以上、撮像装置３０のＣＣＤカメラ１３６、第２アダプタ、テレセントリック系光学レンズを内蔵するレンズ内蔵筒１３７、プリズムを内蔵する筒状アダプタ２００の組み合わせの光軸をＬ字型に設置した例を示したが、第２アダプタ２１０を使用しないで、ＣＣＤカメラ１３６、テレセントリック系光学レンズを内蔵するレンズ内蔵筒１３７、およびプリズムを内蔵する筒状アダプタ２００を直線的に配列して設置することができることは勿論のことである。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の研削装置の機上ワ−クの撮像装置３０は、１台のＣＣＤカメラ１３６、第２アダプタ、テレセントリック系光学レンズを内蔵するレンズ内蔵筒１３７、プリズムを内蔵する筒状アダプタ２００の組み合わせたものである。プリズムを内蔵する筒状アダプタ２００をレンズ筒１３７に取り付けることによりワ−クの研削加工中にワ−ク水平面の画像チェックや寸法測定を行うことができる。ワ−クの研削加工中にワ−ク垂直面の画像チェックや寸法測定を行う際は、プリズムを内蔵する筒状アダプタ２００を取り外して使用する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】撮像装置のＣＣＤカメラ、顕微鏡レンズ筒、およびプリズムを内蔵する筒状アダプタを結合した状態を示す一部を切り欠いた正面図である。
【図２】ＣＣＤカメラおよび顕微鏡レンズ筒を結合した状態を示す側面図である。
【図３】プリズムを内蔵する筒状アダプタの斜視図である。
【図４】プリズムを内蔵する筒状アダプタを顕微鏡レンズ筒に結合した状態を示す一部を切り欠いた下面図である。
【図５】ワ−クの垂直面を撮像する撮像装置の構成図である。（公知）
【図６】ワ−クの垂直面を撮像する撮像装置のシステム図である。（公知）
【図７】ワ−クの垂直面を撮像する撮像装置のを備えた研削装置の斜視図である。（公知）
【図８】研削装置の斜視図である。（公知）
【図９】撮像装置を備えたＮＣ研削装置の平面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１    ＮＣ研削装置
ｗ    ワ−ク
３      砥石車
４      ワ−クテ−ブル
８      制御盤
９      コラム
３０    撮像装置
１２１  画像処理装置
１３１  コンピュ−タ（ＣＰＵ）
１３３  表示器
１３６  ＣＣＤカメラ
１３７  顕微鏡レンズ筒
１４０  ロックハンドル
１４１  反射光源（照明機器）
２００  プリズムを内蔵する筒状アダプタ
２１０  第２アダプタ
【図１】
2006110661.tif 000003
【図２】
2006110661.tif 000004
【図３】
2006110661.tif 000005
【図４】
2006110661.tif 000006
【図５】
2006110661.tif 000007
【図６】
2006110661.tif 000008
【図７】
2006110661.tif 000009
【図８】
2006110661.tif 000010
【図９】
2006110661.tif 000011