(57)【要約】【課題】マスターディスクのクリーニングおよび検査を効率良くおこなう。【解決手段】本発明のマスターディスク１は、磁性薄膜が配置されている内側のランド部２Ａと外側のランド部２Ｂとの間にリング状の凹部１３と、凹部１３の中に４つの凸部１４を備えている。凸部１４の表面はランド部２Ａおよび２Ｂと同じ高さであるが、表面の面積は非常に小さい。ランド部２Ａの存在する領域の直径は約２０ｍｍ、ランド部２Ｂの存在する領域は直径約３５ｍｍから９０ｍｍの間の領域である。凸部１４の直径は２０μｍ程度である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体表面に配置された磁性薄膜と、
被転写部材を圧着することによって前記被転写部材の表面に凹みを生じさせる応力集中部を形成するための凸部と
を有したマスターディスク。
【請求項２】
基体表面に配置された磁性薄膜と、
被転写部材を圧着することによって被転写部材の表面に凹みを生じさせる応力集中部を形成するための凸部と
前記凸部の周囲に配置された凹部と
を有したマスターディスク。
【請求項３】
応力集中部を形成するための凸部が磁性薄膜の配置されている領域よりも外周側に配置されている請求項１に記載のマスターディスク。
【請求項４】
応力集中部を形成するための凹部と凸部が磁性薄膜の配置されている領域よりも外周側に配置されている請求項２に記載のマスターディスク。
【請求項５】
被転写部材と請求項１乃至請求項４に記載のマスターディスクを圧着する工程、
被転写部材の表面に生じた凹みを検出し位置分布を測定する工程、
凹みの位置分布から磁気転写マスターディスクと被転写部材の圧着力が適正かどうかを判定する工程
を含むマスターディスククリーニング工程。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４に記載のマスターディスクが圧着された被転写部材の表面に生じた凹みを検出し位置分布を測定する工程、
凹みの位置分布からマスターディスクに配置されている磁性薄膜が密着した領域を算出する工程
を含むマスターディスク検査工程。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスクなどの記録媒体に磁気情報を磁気転写するマスターディスク、マスターディスクの表面を清浄化するマスターディスククリーニング工程、マスターディスクの清浄度を判定するマスターディスク検査工程に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、代表的な磁気ディスク装置であるハードディスクドライブは、すでに面記録密度が１Ｇｂｉｔ／ｓｑｉｎを越える装置が商品化され、数年後には１０Ｇｂｉｔ／ｓｑｉｎの実用化が議論されるほどの急激な技術進歩が認められる。
【０００３】
このような高記録密度を可能とした技術的背景には、線記録密度の向上もさることながら、わずか数μｍのトラック幅の信号をＳＮ良く再生できる磁気抵抗素子型ヘッドに依るところが大である。
【０００４】
また、高記録密度に伴い磁気記録媒体に対する浮動磁気スライダの浮上量の低減化も要求されてきており、浮上中も何らかの要因でディスク／スライダの接触が発生する可能性が増大している。このような状況下において、記録媒体にはより平滑性が要求されてきている。
【０００５】
ここで、ヘッドが狭トラックを正確に走査するためにはヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たしている。このようなトラッキングサーボ技術を用いた現在のハードディスクドライブでは、ディスクの一周中、一定の角度間隔でトラッキング用のサーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記録されている。ドライブ装置は、ヘッドから一定時間間隔で再生されるこれらの信号によりヘッドの位置を検出し修正して、ヘッドが正確にトラック上を走査することを可能にしている。
【０００６】
上述した、サーボ信号やアドレス情報信号、再生クロック信号等はヘッドが正確にトラック上を走査するための基準信号となるものであるから、その書き込み（以下、フォーマティングと記す）には高い位置決め精度が必要である。現在のハードディスクドライブでは、光干渉を利用した高精度位置検出装置を組み込んだ専用のサーボ装置（以下サーボライタ）を用いて記録ヘッドを位置決めしてフォーマティングが行われている。
【０００７】
しかしながら、上記サーボライタによるフォーマティングには以下の課題が存在する。第１に、ヘッドを高精度に位置決めしながら多数のトラックにわたって信号を書き込むには多くの時間がかかる。生産性を上げるには多くのサーボライタを同時に稼働させなければならない。
【０００８】
第２に、多くのサーボライタの導入、維持管理には多額のコストがかかる。これらの課題はトラック密度が向上し、トラック数が多くなるほど深刻である。そこで、フォーマティングをサーボライタではなく、予め全てのサーボ情報が書き込まれたマスタと呼ばれるディスクとフォーマティングすべき磁気ディスクを重ね合わせ外部から転写用のエネルギーを与えることによりマスタの情報を磁気ディスクに一括転写する方式が提案されている。その一例として、特許文献１に示された磁気転写装置が挙げられる。
【０００９】
同公報には、基体の表面に、情報信号に対するパターン形状で強磁性材料からなる磁性部を形成して磁気転写用マスタとし、この磁気転写用マスタの表面を、強磁性薄膜あるいは強磁性粉塗布層が形成されたシート状もしくはディスク状磁気記録媒体の表面に接触させ、所定の磁界をかけることにより、磁気転写用マスタに形成した情報信号に対応するパターン形状の磁化パターンを磁気記録媒体に記録する方法が開示されている。
【００１０】
しかし、ディスクが回転している時のヘッドとディスク表面のクリアランスは通常３０ｎｍ程度であり、従ってディスク表面の凹凸は最大でも２０ｎｍ程度に押さえる必要がある。磁気記録媒体上にそれ以上の突起が存在すれば、データ記録再生時に、磁気ヘッドと磁気記録媒体とが接触することになり、かかる場合、接触した瞬間に磁気ヘッドと磁気ディスクのクリアランスが大となり信号の記録再生性能が低下し、また磁気ヘッドが磁気ディスクと物理的に接触することにより、磁気ヘッドの寿命低下の原因となっていた。
【００１１】
つまり、上記特許文献１に開示された磁気転写装置では、フォーマティングが一瞬にして可能な反面、磁気転写用マスタと磁気ディスクが全面にわたり接触するため、このようなヘッド、ディスク間クリアランスでも実使用に耐え得るためには厳重な表面管理が必要となる。
【００１２】
これに対し、上記従来の磁気転写装置においては、いくら厳重な管理をしても微少な異物の混入を回避することは不可能であり、マスタとフォーマティングすべき磁気ディスクとを重ね合わせた瞬間に、かかる異物によってマスタあるいは磁気ディスクの表面に微少な異常突起が生じていた。通常、マスタの材質はシリコンであり、磁気ディスクがそれよりも硬度の低い材質、例えばアルミニウムのような場合は、マスタ上の異物による凸部が磁気ディスク側の窪みとして形状転写され、逆に磁気ディスクが硬度の高い材質、例えばガラスのような場合は、磁気ディスク上に存在する異物によってマスタ側に欠陥が生じていた。かかる場合はその後に磁気転写される磁気ディスクには全てその欠陥が反映され、高品質な磁気ディスクを効率良く安定に製造するのが困難であった。
【００１３】
上記の課題を解決する手段として特許文献２が提案されている。同発明によれば、マスターディスクをダミーディスクと繰り返し圧着させることでマスターディスク表面の異物をダミーディスクに付着させて取り除くとともに、マスターディスク表面の異常突起を平坦化する方法が開示されている。また、特許文献３には、マスターディスクに圧着したダミーディスクの表面を検査することによりマスターディスクの欠陥や清浄度を検査、判定する方法が開示されている。
【００１４】
ところで近年、全世界的なデジタル情報通信網の発展により携帯電話に代表される携帯型情報機器の普及が目覚ましい。それにともない大容量メモリを携帯型情報機器に搭載する傾向にあり、小型のハードディスクが性能と価格の点から注目されている。このような状況において、これまで普及している３．５インチサイズや２．５インチサイズに加えて１．８インチサイズや１インチサイズ、さらには１インチ以下の小径の磁気ディスクに情報を記録する小型ハードディスクドライブが開発されて、普及しつつある。
【００１５】
そして、このような小型のハードディスクドライブにおいても特許文献１で開示されているような磁気転写によって小径磁気ディスクにサーボ信号を記録するのが生産効率が非常に良い。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開２００１−１６７４３４号公報
【特許文献３】特開２００２−３２４３１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
上記小径磁気ディスクに対して磁気転写するためのマスターディスクにおいて、磁気転写するための磁性薄膜パターンが存在する領域（磁気転写領域）は当然ながらハードディスクのサイズより小さい。ところがマスターディスクをクリーニングするためのダミーディスクは上記小径磁気ディスクと同様なサイズのものが現在市販されておらず、またそのような特殊なサイズのダミーディスクを新規に開発製造するにはコストがかかり、磁気転写によって磁気ディスクの製造コストを下げた意味がなくなる。現在入手が簡単でコストも安い３．５インチサイズのダミーディスクを使用するのが妥当である。また、ダミーディスクの検査装置も３．５インチサイズのディスクを検査する装置と共用できなければ、新たな装置を整備しなければならずやはり製造コストが高くなってしまう。
【００１７】
しかしながら、３．５インチサイズのダミーディスクと３．５インチサイズに対応したディスク検査装置を用いてマスターディスクの清浄度を検査する場合、ダミーディスク上でマスターディスクの磁性薄膜が接触した領域を特定することが困難であり、正確な検査ができないという課題があった。以下にこの課題について説明する。
【００１８】
図６は従来のマスターディスクの構成を模式的に示す斜視図である。図６において１は１インチサイズ以下の小径磁気ディスクに情報信号を磁気転写するための従来のマスターディスクであり、４インチサイズのシリコンウエハ等を基板としている。マスターディスク１の表面には磁気転写の際に小径磁気ディスク（図示せず）と接触する内側のランド部２Ａと小径磁気ディスクとは接触しない外側のランド部２Ｂ、および溝部３がある。溝部３は小径磁気ディスクやダミーディスクなどの被転写ディスクとマスターディスク１が密着した際に両者の間の空気が排出されるのを助け、ランド部２Ａや２Ｂの表面と被転写ディスクの空隙を減少させる。
【００１９】
図７に小径用のマスターディスクの部分断面図を示す。図７（ａ）はランド部２Ａのある内側の領域の断面図であり、ランド部２Ａに小径磁気ディスクに情報信号を磁気転写するための磁性体薄膜４が規則的に配置され、一方、図７（ｂ）に示すようにランド部２Ｂには、磁性薄膜は配置されない。ランド部２Ａおよび２Ｂと溝部３との段差は数μｍから数十μｍである。
【００２０】
図８は、上記小径用マスターディスクとダミーディスクを重ね合わせて小径用マスターディスクの表面をクリーニングする方法を示したものである。図８において５は、３．５インチサイズのハードディスク用アルミ基板からなるダミーディスクであり、マスターディスク１との位置関係がわかるように輪郭のみ表示されている。磁気転写の際に小径磁気ディスクと密着する磁性薄膜４が形成されているランド部２Ａをクリーニングするには、ダミーディスク５に対してマスターディスク１を図８に示すように偏心させて重ね合わせ
る。
【００２１】
図９は図８で示した位置関係でマスターディスク１とダミーディスク５を密着、離間させて、マスターディスクをクリーニングする方法を示している。
【００２２】
図９において、６はマスターディスク１を保持するためのマスター保持パッドであり、図示されない機構によりマスターディスクを吸着保持するとともに、上下移動可能に支持する。７はダミーディスクを保持するディスクスタンド、９はダミーディスクの中心孔８を通じてマスターディスク１とダミーディスク５の間の空気を排出するための通気孔、１０は通気孔９に接続された３方弁、１１は吸引ポンプ、１２は給気ポンプである。また、矢印は空気の流れを示している。図９（ａ）は給気ポンプ１２から３方弁１０、通気孔９、中心孔８を通って空気が流れ、マスターディスク１とダミーディスク５の間に空気が満たされて両者が離間している状態を示している。一方図９（ｂ）は３方弁１０の流路が切り替えられ、中心孔８から通気孔９、３方弁１０、吸引ポンプ１１へと空気が流れ、マスターディスク１とダミーディスク５の間の空気が排出されるのでマスターディスク１とダミーディスク５が大気圧により圧着されている状態を示している。図９において３方弁１１の流路の切り替えを繰り返すことによってマスターディスク１とダミーディスク５の離間と密着を繰り返すことができ、マスターディスク１の表面の異物をダミーディスクに付着させて取り除いたり、マスターディスク表面の異常突起を平坦化させることができる。
【００２３】
図１０はマスターディスク１に密着したダミーディスク５を市販の光学検査装置で検査した結果を示す。図１０において１６は検査領域を表し、ダミーディスクの全表面にほぼ等しい。マップに表示されている点はダミーディスク５の表面の凹凸欠陥である。図１１に検出された凹欠陥の例を写真で示す。マスターディスク１と密着させたダミーディスク５の検査結果において表示される凹凸欠陥がないということはマスターディスク１の表面に異物が無い可能性が高いことを示している。逆に、表示される凹凸欠陥があるということは、対応するマスターディスク１の表面に異物や以上突起が存在する可能性が高いということである。小径ディスク用のマスターディスクを検査する場合、図６に示したランド２ａに異物や突起があるかを判断しなくてはならない。ところが図８に示したように、ダミーディスク５のサイズが大きいので、ダミーディスク５にはランド部２ａだけでなくランド部２ｂも接触する。したがって図１０に示したような欠陥マップのどれがランド部２ａに相当するものかが明確にできない。したがって、マスターディスクのランド部２ａに異物や異常突起があるのか無いのかの判定が困難であった。
【００２４】
このように、従来の方法では、小径磁気ディスク用マスターディスクの磁性薄膜４が配置されている領域（磁気転写領域）における清浄度を正確に判定するのが困難であった。
【００２５】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、小径磁気ディスク用マスターディスクの磁性薄膜が配置されている領域（磁気転写領域）における清浄度を正確に判定することが可能なマスターディスク、マスターディスククリーニング工程、マスターディスク検査工程を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
本発明によるマスターディスクは、基体表面に配置された磁性薄膜と、被転写部材を圧着することによって被転写部材の表面の一部に凹みを生じさせる応力集中部を形成するための凸部を有している。
【００２７】
好ましい実施形態において前記応力集中部を形成するための凸部が磁性薄膜の配置されている領域よりも外周側に配置されている。
【００２８】
好ましい実施形態において基体表面に配置された磁性薄膜と、被転写部材と磁気転写マスターディスクを圧着することによって被転写部材の表面の一部に凹みを生じさせる応力集中部を形成するための凹部と凸部を有している。
【００２９】
好ましい実施形態において前記応力集中部を形成するための凹部と凸部が磁性薄膜の配置されている領域よりも外周側に配置されている。
【００３０】
本発明のマスターディスククリーニング工程は、被転写部材と磁気転写マスターディスクを圧着する工程、被転写部材の表面に生じた複数の凹みを検出し位置分布を測定する工程、凹みの位置分布から磁気転写マスターディスクと被転写部材の圧着力が適正かどうかを判定する工程を含む。
【００３１】
本発明のマスターディスク検査工程はマスターディスクが圧着された被転写部材の表面に生じた凹みを検出し位置分布を測定する工程、凹みの位置分布からマスターディスクに配置されている磁性薄膜が密着した領域を算出する工程を含む。
【発明の効果】
【００３２】
本発明のマスターディスク、マスターディスククリーニング工程、マスターディスク検査工程によれば、１インチサイズやより小径の磁気ディスクに磁気転写するためのマスターディスクを低コストで確実にクリーニングすることができ、小径磁気ディスクを用いる小型ハードディスクドライブの生産性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００３４】
まず、図１を参照する。図１は、本実施形態におけるマスターディスクの構成を模式的に示す斜視図である。
【００３５】
図１に示されるマスターディスク１は、磁性薄膜が配置されている内側のランド部２Ａと外側のランド部２Ｂとの間にリング状の凹部１３と、凹部１３の中に４つの凸部１４を備えている。凸部１４の表面はランド部２Ａおよび２Ｂと同じ高さであるが、表面の面積は非常に小さい。ランド部２Ａの存在する領域の直径は約２０ｍｍ、ランド部２Ｂの存在する領域は直径約３５ｍｍから９０ｍｍの間の領域である。凸部１４の直径は２０μｍ程度である。
【００３６】
図２は、上記本発明のマスターディスクとダミーディスクを重ね合わせてマスターディスクの表面をクリーニングする工程においてマスターディスクとダミーディスクの位置関係を示すものである。図２において、５は、３．５インチサイズのハードディスク用アルミ基板からなるダミーディスクであり、マスターディスク１との位置関係がわかるように輪郭のみ表示されている。本発明のマスターディスククリーニング工程では、ランド部２Ａの周囲に配置された凸部１４がダミーディスク５に重なるようマスターディスク１を偏心させて両者を重ね合わせる。
【００３７】
図２で示したように両者を重ね合わせ、図９で示したように従来と同じくマスターディスク１とダミーディスク５の圧着、離間を繰り返すことによりマスターディスク１のクリーニングを行なう。このとき本発明のマスターディスククリーニング工程では、マスターディスク１に凹部１３と凸部１４を配置したことによりダミーディスク５に凹みを形成する。
【００３８】
図３は前記凹みの形成過程を説明する図であり、マスターディスク１の凸部の領域を拡大した断面図である。まず図３マスターディスク１とダミーディスク５は図９（ａ）に示したように対向してセットされる。次には図９（ｂ）で示すようにマスターディスク１とダミーディスク５は大気圧によって密着される。このとき図３（ｃ）に示すように凹部１３の領域ではマスターディスク１の基体が凹部１３に落ち込むように変形しようとする。そして凹部１３の領域にかかる大気圧のほとんどが凹部１３の中心にある凸部１４の先端部にかかる。凸部１４の先端の面積は非常に小さいので凸部１４の先端とダミーディスク５との接触応力は非常に大きくなる。前記接触応力がダミーディスク５の基体の弾性変形限界を超えると永久ひずみが残り、図３（ｄ）に示すようにダミーディスク５の表面に凹み１５が形成される。前記凹み１５は凸部１４が一定の応力以上で接触したことを示すマーカーとなる。以下この凹みをマーカー凹みと記する。
【００３９】
本発明のマスターディスククリーニング工程、およびマスターディスク検査工程は、ダミーディスクに凹みを形成することができる本発明になるマスターディスクを用いることにより、１インチサイズやより小径の磁気ディスクに磁気転写するためのマスターディスクを低コストで確実にクリーニングすることができる。以下に、その実施の形態を図を用いて説明する。
【００４０】
図４は、本実施形態におけるマスターディスククリーニング工程とマスターディスク検査工程のフローチャートである。
【００４１】
まずマスターディスククリーニング工程を説明する。ＳＴ１は本発明のマスターディスクと１枚のダミーディスクを重ね合わせて圧着する工程である。ＳＴ２は前記ダミーディスクを市販の光学検査装置等で検査する工程であり、ＳＴ３は検査結果としてのダミーディスク表面の凹凸欠陥の位置座標データ出力である。ＳＴ４はＳＴ３の位置座標データからパターンマッチング等の手法を用いてマーカー凹みを検出する工程である。もし、工程ＳＴ４でマーカー凹みが検出されれば、マスターディスクとダミーディスクは一定の応力以上で圧着されたということになる。しかし、もしマーカー凹みの全てあるいは一部が検出されなければ、マスターディスクとダミーディスクの圧着力が不足しているところがあるということになる。その場合はＳＴ５に示す調整工程でマスターディスクとダミーディスクの保持姿勢や吸引ポンプの吸引力を調整し、再びＳＴ１の工程に戻る。マーカー凹みがすべて検出されたならばＳＴ６の工程でマスターディスクとダミーディスクを繰り返し圧着させてマスターディスクをクリーニングする。
【００４２】
このように本発明のマスタークリーニング工程によれば、ダミーディスクのマーカー凹みを検出することによってマスターディスクとダミーディスクの圧着力が必要な領域において一定以上であることを確認できるのでマスターディスクのクリーニングを確実に行なうことができる。
【００４３】
次に、本実施形態おけるマスターディスク検査工程を説明する。図４において、ＳＴ７はマスターディスクに１枚のダミーディスクを圧着する工程である。ＳＴ８はダミーディスクの表面を市販の光学検査機等で検査する工程であり、ＳＴ９は検査結果としての凹凸欠陥の位置座標データ出力である。ＳＴ１０は、ＳＴ９の位置座標データからパターンマッチング等の手法を用いてマーカー凹みを検出し、マーカー凹みの位置からマスターディスクのランド部２Ｂ（図１を参照）が接触した領域を特定し、前記領域の範囲内における凹凸欠陥の有無を出力する工程である。ＳＴ１１は検査結果を判定する工程であり、前記領域の範囲内に凹凸欠陥があればマスターディスクのランド部２Ｂに異物や異常突起が存在する可能性があるのでマスターディスクをクリーニング工程に戻すよう判定し、もし、前記領域の範囲内に凹凸欠陥が無ければマスターディスクのランド部２Ｂに異物や異常突起が存在しないのでマスターディスクのクリーニングをこれ以上行なう必要は無いと判定する。図５はダミーディスクの凹凸欠陥マップからマスターディスクのランド部２Ａが接触した範囲を特定した例を示す。１６は検査装置の検査範囲でありダミーディスクの全表面にほぼ等しい。１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄはマスターディスクに配置された凸部１４によって形成されたマーカー凹み点を表している。１８は前記マーカー凹み点の位置座標から算出した判定領域であり、マスターディスクのランド部２Ａの接触した領域である。この例では、特定された判定領域１８に１個の凹凸欠陥があるので、マスターディスクのクリーニングをさらに行なうことが必要であると判定される。
【００４４】
以上説明したように、本発明のマスターディスク検査工程では、小径磁気ディスクに磁気転写を行なう際にマスターディスクが小径磁気ディスクと接触する範囲を特定して検査するのでマスターディスクのクリーン度の判定が確実に行なえる。
【００４５】
なお、図１に示すように本実施形態のマスターディスク１ではダミーディスクにマーカー凹みを形成するための凸部１４を４個設けているがその数を変更しても問題は無い。ただし、凹凸欠陥検査の位置座標データからパターンマッチング等でマーカー凹みを検出するためには最低でも２個で必要であり、４個から８個が適当である。８個以上になると凸部の先端部とダミーディスクの接触応力が減少するので好ましくない。
【００４６】
さらに本実施の形態のマスターディスク１ではダミーディスクにマーカー凹みを形成するための凸部１４の周囲に凹部１３を配置してマスターディスク１を変形させることにより凸部１４の先端に応力を集中させたが、凸部１４の高さを周囲のランド部より高くすることによっても同様の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明によれば、小径磁気ディスク転写用マスターディスクのクリーニングが確実に行なえるので、小径磁気ディスクを用いる小型ハードディスクドライブを効率良く量産することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明によるマスターディスクの実施形態の構成を示す斜視図
【図２】本発明によるマスターディスクとダミーディスクの位置合わせを示す図
【図３】本発明よるマスターディスクとダミーディスクを圧着した時にダミーディスクに凹みが形成される過程を示す図
【図４】本発明のマスターディスククリーニング工程およびマスターディスク検査工程の実施の形態を示すフローチャート
【図５】本発明のマスターディスク検査工程を説明するためのダミーディスクの凹凸欠陥を表す図
【図６】従来のマスターディスクの構成を示す斜視図
【図７】マスターディスクの詳細な構成を示す部分断面図
【図８】従来のマスターディスクとダミーディスクの位置合わせを示す図
【図９】マスターディスクとダミーディスクを圧着離間させる方法を示す図
【図１０】従来のマスターディスク検査工程を説明するためのダミーディスクの凹凸欠陥を示す図
【図１１】ダミーディスク表面の凹みを示す図
【符号の説明】
【００４９】
１    マスターディスク
２ａ    ランド部
２ｂ    ランド部
３    溝部
４    磁性薄膜
５    ダミーディスク
６    マスター保持パッド
７    ディスクスタンド
８    中心孔
９    通気孔
１０    三方弁
１１    吸引ポンプ
１２    給気ポンプ
１３    凹部
１４    凸部
１５    凹み
１６    検査領域
１７ａ    マーカー凹み点
１７ｂ    マーカー凹み点
１７ｃ    マーカー凹み点
１７ｄ    マーカー凹み点
１８    判定領域
【図１】
2006085750.tif 000003
【図２】
2006085750.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006085750.tif 000008
【図７】
2006085750.tif 000009
【図８】
2006085750.tif 000010
【図９】
2006085750.tif 000011
【図１０】
2006085750.tif 000012
【図１１】
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