(57)【要約】 【課題】  液晶画素のエッジ部分における黒点欠陥を的確に検出できる液晶画素検査方法を提供すること。【解決手段】  ＣＣＤカメラによって液晶画素１１を撮像して得られる受光輝度データに基づいて黒点欠陥Ｂを検出する。黒点欠陥Ｂを撮像したカメラ画素の受光輝度Ｐと、その周囲８近傍のカメラ画素の受光輝度Ｐ１〜８との差Δ１〜Δ８を計算し、小さいほうから４番目のΔｉを欠陥判別用データＱとして抽出し、これを欠陥判別閾値Ｑ０と比較して黒点欠陥Ｂを検出する。ブラックマトリックス１２を撮像した３つのカメラ画素に基づく差Δ１，Δ２，Δ８は小さく、小さいほうから１〜３番目になるので、欠陥判別用データＱとして抽出されることがない。そのため、ブラックマトリックス１２による影響を受けることなく、エッジ部分における黒点欠陥を的確に検出できる。【選択図】 図５
2006145232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示装置の表示画素における点状欠陥の有無を検査する表示画素検査方法であって、
前記表示画素を、複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、前記各撮像画素での受光輝度データを取得する表示画素撮像工程と、
取得された前記受光輝度データに基づいて前記個々の撮像画素について欠陥判別用データを取得する欠陥判別用データ取得工程と、
取得された前記欠陥判別用データに基づいて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する点状欠陥検査工程とを備え、
前記欠陥判別用データ取得工程は、前記複数の撮像画素のうち一の撮像画素を着目撮像画素とし、前記着目撮像画素と、その周囲にある複数の周囲撮像画素との受光輝度差を順次計算することによって、複数の受光輝度差データを取得する受光輝度差データ取得工程と、
取得された前記複数の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に所定順位になる一の受光輝度差データを、前記着目撮像画素についての前記欠陥判別用データとして抽出する欠陥判別用データ抽出工程とを備え、
前記受光輝度差データ取得工程および欠陥判別用データ抽出工程を、前記複数の撮像画素において着目撮像画素を順次切り替えて繰り返し行い、
前記点状欠陥検査工程では、前記各欠陥判別用データ抽出工程において抽出された前記各欠陥判別用データの少なくとも一つと、所定の欠陥判別閾値との比較を通じて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する、
ことを特徴とする表示画素検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の表示画素検査方法において、
前記欠陥判別用データ抽出工程における前記所定順位は、前記受光輝度差データ取得工程において前記着目撮像画素との受光輝度差が計算される前記周囲撮像画素の数および配置に応じて設定される、
ことを特徴とする表示画素検査方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の表示画素検査方法において、
前記欠陥判別用データ抽出工程における前記所定順位は、略矩形状の前記表示画素のエッジ部分、および、コーナー部分のいずれの部分における点状欠陥の有無を検査するかに応じて設定される、
ことを特徴とする表示画素検査方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の表示画素検査方法において、
前記受光輝度差データ取得工程では、前記着目撮像画素と、その周囲８近傍にある８個の周囲撮像画素との受光輝度差を順次計算することによって、８個の受光輝度差データを取得し、
前記欠陥判別用データ抽出工程では、前記８個の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に４番目の順位になる一の受光輝度差データを、前記着目撮像画素についての前記欠陥判別用データとして抽出する、
ことを特徴とする表示画素検査方法。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の表示画素検査方法において、
前記受光輝度差データ取得工程では、前記着目撮像画素と、その周囲８近傍にある８個の周囲撮像画素との受光輝度差を順次計算することによって、８個の受光輝度差データを取得し、
前記欠陥判別用データ抽出工程では、前記８個の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に６番目の順位になる一の受光輝度差データを、前記着目撮像画素についての前記欠陥判別用データとして抽出する、
ことを特徴とする表示画素検査方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の表示画素検査方法において、
前記点状欠陥検査工程では、前記各欠陥判別用データ抽出工程において抽出された前記各欠陥判別用データのうち、絶対値が最大の最大欠陥判別用データを抽出し、前記最大欠陥判別用データと、前記欠陥判別閾値との比較を通じて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する、
ことを特徴とする表示画素検査方法。
【請求項７】
画像表示装置の表示画素における点状欠陥の有無を検査する表示画素検査装置であって、
前記表示画素を、複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、前記各撮像画素での受光輝度データを取得する表示画素撮像手段と、
取得された前記受光輝度データに基づいて前記個々の撮像画素について欠陥判別用データを取得する欠陥判別用データ取得手段と、
取得された前記欠陥判別用データに基づいて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する点状欠陥検査手段とを備え、
前記欠陥判別用データ取得手段は、前記複数の撮像画素のうち一の撮像画素を着目撮像画素とし、前記着目撮像画素と、その周囲にある複数の周囲撮像画素との受光輝度差を順次計算することによって、複数の受光輝度差データを取得する受光輝度差データ取得手段と、
取得された前記複数の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に所定順位になる一の受光輝度差データを、前記着目撮像画素についての前記欠陥判別用データとして抽出する欠陥判別用データ抽出手段とを備え、
前記表示画素撮像手段による前記表示画素の撮像の後、前記受光輝度差データ取得手段による受光輝度差データの取得、および、前記欠陥判別用データ抽出手段による欠陥判別用データの抽出を、前記複数の撮像画素において着目撮像画素を順次切り替えて繰り返し行い、
続いて前記点状欠陥検査手段は、抽出された前記各欠陥判別用データの少なくとも一つと、所定の欠陥判別閾値との比較を通じて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する、
ことを特徴とする表示画素検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示画素検査方法、および、表示画素検査装置に関する。詳しくは、画像表示装置の表示画素における点状欠陥の有無を検査する表示画素検査方法、および、表示画素検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネル（ライトバルブ）等の画像表示装置によって表示された画像を、複数の撮像画素を有するＣＣＤカメラ等の撮像手段によって撮像し、この撮像データに基づいて画像表示装置における点状欠陥の有無を検査する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
点状欠陥検査に際して、ＣＣＤカメラによる撮像データには、７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタなどの強調フィルタがかけられる。これにより、画像表示装置における点状欠陥が強調されるので、これを容易かつ的確に検出できる。
ここで、強調フィルタとは、撮像データにおける着目撮像画素と、その周囲の周囲撮像画素との受光輝度差が強調されるように重み付けをして畳み込み演算をするためのフィルタである。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２３９７３３号公報（第４〜６頁、図４〜７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
表示画素によって画像を表示する画像表示装置においては、各表示画素間に非発光部分としてのブラックマトリックスが存在する。このため、以下に説明するように、上記の強調フィルタによっては、表示画素のうちブラックマトリックスに隣接する部分、すなわち、表示画素のエッジ部分またはコーナー部分における点状欠陥（黒点欠陥および輝点欠陥）を的確に検出できない。
【０００５】
異常非発光欠陥としての黒点欠陥が表示画素のエッジ部分またはコーナー部分に存在する場合、表示画素内の黒点欠陥、および、これに隣接する表示画素外のブラックマトリックスは、いずれも非発光部分であるため、両者の輝度差は小さい。そのため、上記の強調フィルタによる畳み込み演算をしても、表示画素のエッジ部分またはコーナー部分における黒点欠陥を強調することができず、これを的確に検出できない。
【０００６】
また、表示画素に黒点、輝点等の欠陥が存在しない場合であっても、発光部分としての表示画素のエッジ部分またはコーナー部分と、これに隣接する表示画素外の非発光部分としてのブラックマトリックスとの輝度差は大きい。そのため、上記の強調フィルタによる畳み込み演算をすると、表示画素のエッジ部分またはコーナー部分と、ブラックマトリックスとの大きな輝度差が強調されてしまうので、この部分が輝点欠陥として誤検出されてしまう可能性がある。したがって、表示画素のエッジ部分またはコーナー部分における輝点欠陥を的確に検出できない。
【０００７】
以上の問題は、表示画素によって画像を表示する各種の画像表示装置、例えば、液晶パネルを用いた液晶ディスプレイや液晶プロジェクタ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、に共通する問題である。
【０００８】
本発明の目的は、表示画素のエッジ部分またはコーナー部分における点状欠陥を的確に検出できる表示画素検査方法、および、表示画素検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の表示画素検査方法は、画像表示装置の表示画素における点状欠陥の有無を検査する表示画素検査方法であって、前記表示画素を、複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、前記各撮像画素での受光輝度データを取得する表示画素撮像工程と、取得された前記受光輝度データに基づいて前記個々の撮像画素について欠陥判別用データを取得する欠陥判別用データ取得工程と、取得された前記欠陥判別用データに基づいて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する点状欠陥検査工程とを備え、前記欠陥判別用データ取得工程は、前記複数の撮像画素のうち一の撮像画素を着目撮像画素とし、前記着目撮像画素と、その周囲にある複数の周囲撮像画素との受光輝度差を順次計算することによって、複数の受光輝度差データを取得する受光輝度差データ取得工程と、取得された前記複数の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に所定順位になる一の受光輝度差データを、前記着目撮像画素についての前記欠陥判別用データとして抽出する欠陥判別用データ抽出工程とを備え、前記受光輝度差データ取得工程および欠陥判別用データ抽出工程を、前記複数の撮像画素において着目撮像画素を順次切り替えて繰り返し行い、前記点状欠陥検査工程では、前記各欠陥判別用データ抽出工程において抽出された前記各欠陥判別用データの少なくとも一つと、所定の欠陥判別閾値との比較を通じて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明では、前記欠陥判別用データ抽出工程における前記所定順位は、前記受光輝度差データ取得工程において前記着目撮像画素との受光輝度差が計算される前記周囲撮像画素の数および配置に応じて設定される、ことが好ましい。
また、本発明では、前記欠陥判別用データ抽出工程における前記所定順位は、略矩形状の前記表示画素のエッジ部分、および、コーナー部分のいずれの部分における点状欠陥の有無を検査するかに応じて設定される、ことが好ましい。
【００１１】
ここで、「表示画素」として、液晶パネルにおけるＲＧＢ液晶画素、プラズマディスプレイにおけるＲＧＢプラズマセル、有機ＥＬディスプレイにおけるＲＧＢ発光層などが例示される。また、「撮像画素」として、撮像手段としてのＣＣＤカメラにおけるカメラ画素が例示される。また、「着目撮像画素」とは、複数の撮像画素のうち着目された一の撮像画素である。また、「周囲撮像画素」とは、着目撮像画素の周囲の撮像画素、例えば、周囲４近傍の撮像画素（着目撮像画素に隣接する４つの撮像画素）、周囲８近傍の撮像画素（着目撮像画素を中心とする３×３領域内の撮像画素）、周囲２４近傍の撮像画素（着目撮像画素を中心とする５×５領域内の撮像画素）、周囲４８近傍の撮像画素（着目撮像画素を中心とする７×７領域内の撮像画素）等である。また、「エッジ部分」とは、略矩形状の表示画素における四辺部分であり、「コーナー部分」とは、略矩形状の表示画素における四隅部分である。
【００１２】
表示画素撮像工程では、撮像手段によって表示画素を撮像し、各撮像画素での受光輝度データを取得する。
欠陥判別用データ取得工程では、受光輝度差データ取得工程および欠陥判別用データ抽出工程を、複数の撮像画素において着目撮像画素を順次切り替えて繰り返し行い、個々の撮像画素について欠陥判別用データを取得する。
【００１３】
受光輝度差データ取得工程では、複数の撮像画素のうち一の撮像画素を着目撮像画素とし、この着目撮像画素と、その周囲撮像画素との受光輝度差データを取得する。これにより、この着目撮像画素について、周囲撮像画素と同数の複数の受光輝度差データが得られる。
欠陥判別用データ抽出工程では、取得された複数の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に所定順位になる一の受光輝度差データを、この着目撮像画素についての欠陥判別用データとして抽出する。
以下、欠陥判別用データとして抽出する受光輝度差データの所定順位を「Ｎ」（Ｎは自然数）と置いて説明する。ここで、順位Ｎの受光輝度差データとは、小さいほうからＮ番目、あるいは、大きいほうからＮ番目の受光輝度差データを意味する。このとき、小さいほうからＮ番目の受光輝度差データ、および、大きいほうからＮ番目の受光輝度差データのいずれを欠陥判別用データとして抽出するかは、検査目的に合わせて予め設定されているものとする。
【００１４】
点状欠陥検査工程では、個々の撮像画素ごとに抽出された欠陥判別用データの少なくとも一つと、所定の欠陥判別閾値との比較を通じて、表示画素における点状欠陥の有無を検査する。
表示画素に黒点欠陥が存在すれば、この黒点欠陥を撮像した撮像画素（以下、黒点欠陥撮像画素という）は、その周囲撮像画素よりも受光輝度が所定程度以上低くなり、また、表示画素に輝点欠陥が存在すれば、この輝点欠陥を撮像した撮像画素（以下、輝点欠陥撮像画素という）は、その周囲撮像画素よりも受光輝度が所定程度以上高くなる。そのため、表示画素に点状欠陥（黒点欠陥または輝点欠陥）が存在すれば、この点状欠陥を撮像した撮像画素（以下、点状欠陥撮像画素という）と、その周囲撮像画素との受光輝度差データの絶対値が大きくなり、欠陥判別用データ抽出工程において抽出される欠陥判別用データの絶対値が所定程度以上に大きくなる。したがって、この欠陥判別用データと、所定の欠陥判別閾値とを比較することによって、表示画素における点状欠陥の有無を検査できる。
【００１５】
本発明によれば、以下に説明するように、表示画素のエッジ部分またはコーナー部分における点状欠陥を的確に検出できる。
【００１６】
表示画素のエッジ部分またはコーナー部分を撮像した撮像画素（以下、エッジ／コーナー撮像画素という）を着目撮像画素とした場合、このエッジ／コーナー撮像画素の周囲には、表示画素内を撮像した周囲撮像画素（以下、表示画素内撮像画素という）と、表示画素外のブラックマトリックスを撮像した周囲撮像画素（以下、表示画素外撮像画素という）とが存在する。表示画素内／外撮像画素の数（Ｓ，Ｔ：後述）は、周囲撮像画素の総数および配置、また、エッジ／コーナー撮像画素が、表示画素のエッジ部分を撮像した撮像画素（以下、エッジ撮像画素という）であるか、表示画素のコーナー部分を撮像した撮像画素（以下、コーナー撮像画素という）であるかに応じて予め決まっている。
今、周囲撮像画素の総数をＳ（例えば、着目撮像画素の周囲４近傍の撮像画素を周囲撮像画素とする場合はＳ＝４）、表示画素内撮像画素の数をＴ、表示画素外撮像画素の数をＵとする（但し、Ｓ＝Ｔ＋Ｕ）。前述したように、Ｓ，Ｔ，Ｕは、それぞれ、検査目的等に応じて予め定まっている。
【００１７】
本発明では、欠陥判別用データ抽出工程において、順位Ｎの受光輝度差データを欠陥判別用データとして抽出することにしているが、ここで、順位Ｎは、検査目的等に応じて予め定まっている表示画素外撮像画素の数Ｕに対して、Ｎ＝Ｕ＋１、となるように予め設定されている。言い換えると、ブラックマトリックスを撮像した表示画素外撮像画素の数は、Ｎ−１（＝Ｕ）である。
【００１８】
表示画素のエッジ部分またはコーナー部分に黒点欠陥が存在する場合、この黒点欠陥撮像画素（エッジ／コーナー撮像画素）の周囲には、Ｔ個の表示画素内撮像画素と、Ｕ（＝Ｎ−１）個の表示画素外撮像画素とが存在する。この黒点欠陥撮像画素を着目撮像画素とする受光輝度差データ取得工程では、合計Ｔ＋Ｕ＝Ｓ個の受光輝度差データが算出されるが、前述したように、黒点欠陥を撮像した黒点欠陥撮像画素と、ブラックマトリックスを撮像したＵ個の表示画素外撮像画素との受光輝度差が小さい。そのため、表示画素外撮像画素に基づくＵ（＝Ｎ−１）個の受光輝度差データの絶対値はいずれも小さく、これらは、受光輝度差データを大きさの順に並べた際の順位が「１〜Ｎ−１」になる。続く、欠陥判別用データ抽出工程では、順位「Ｎ」の受光輝度差データが欠陥判別用データとして抽出されるので、順位「１〜Ｎ−１」の表示画素外撮像画素に基づく絶対値の小さなＵ（＝Ｎ−１）個の受光輝度差データが欠陥判別用データとして抽出されることはない。
【００１９】
したがって、欠陥判別用データとして抽出されるのは、黒点欠陥撮像画素と表示画素内撮像画素との絶対値の大きな受光輝度差データであるから、これと欠陥判別閾値との比較によって黒点欠陥を的確に検出できる。
以上のように、本発明によれば、エッジ／コーナー撮像画素が撮像した黒点欠陥を、表示画素外のブラックマトリックスと混同することなく、的確に検出できる。
【００２０】
また、表示画素に点状欠陥（黒点欠陥または輝点欠陥）が存在しない場合、エッジ／コーナー撮像画素と、ブラックマトリックスを撮像した表示画素外撮像画素とのＵ（＝Ｎ−１）個の受光輝度差データの絶対値はいずれも大きく、これらは、受光輝度差データを大きさの順に並べた際の順位が「１〜Ｎ−１」になる。続く、欠陥判別用データ抽出工程では、順位「Ｎ」の受光輝度差データが欠陥判別用データとして抽出されるので、順位「１〜Ｎ−１」の表示画素外撮像画素に基づく絶対値の大きなＵ（＝Ｎ−１）個の受光輝度差データが欠陥判別用データとして抽出されることはない。
【００２１】
したがって、欠陥判別用データとして抽出されるのは、エッジ／コーナー撮像画素と表示画素内撮像画素との絶対値の小さな受光輝度差データであるから、これと欠陥判別閾値とを比較すれば、点状欠陥が存在しない旨の正しい判断が為される。そのため、特許文献１におけるような輝点欠陥の誤検出を防止できる。
以上のように、本発明によれば、表示画素のエッジ部分またはコーナー部分における輝点欠陥の有無を的確に検査できる。
【００２２】
また、本発明では、前記受光輝度差データ取得工程では、前記着目撮像画素と、その周囲８近傍にある８個の周囲撮像画素との受光輝度差を順次計算することによって、８個の受光輝度差データを取得し、前記欠陥判別用データ抽出工程では、前記８個の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に４番目の順位になる一の受光輝度差データを、前記着目撮像画素についての前記欠陥判別用データとして抽出する、ことが好ましい。
【００２３】
本発明によれば、着目撮像画素を中心として、これを３×３の正方形状に包囲する８個の周囲撮像画素との受光輝度差データに基づいて、略矩形状の表示画素の点状欠陥検査を、より的確に行える。
【００２４】
また、本発明によれば、表示画素のエッジ部分における点状欠陥検査を的確に行える。エッジ撮像画素を着目撮像画素とした場合、８（＝Ｓ）個の周囲撮像画素のうち、５（＝Ｔ）個は表示画素内を撮像した表示画素内撮像画素であり、３（＝Ｕ）個は表示画素外のブラックマトリックスを撮像した表示画素外撮像画素である。また、欠陥判別用データ抽出工程における順位Ｎは、Ｎ＝Ｕ＋１＝４である。
前述したように、表示画素外撮像画素に基づく３（＝Ｕ＝Ｎ−１）個の受光輝度差データは、順位が「１〜３」になる。欠陥判別用データ抽出工程では、順位４（＝Ｎ）の受光輝度差データが欠陥判別用データとして抽出されるので、順位「１〜３」の表示画素外撮像画素に基づく３個の受光輝度差データが欠陥判別用データとして抽出されることはない。
したがって、本発明によれば、表示画素外のブラックマトリックスの影響を受けることなく、エッジ撮像画素における欠陥の有無の検査を的確に行うことができる。
【００２５】
また、本発明では、前記受光輝度差データ取得工程では、前記着目撮像画素と、その周囲８近傍にある８個の周囲撮像画素との受光輝度差を順次計算することによって、８個の受光輝度差データを取得し、前記欠陥判別用データ抽出工程では、前記８個の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に６番目の順位になる一の受光輝度差データを、前記着目撮像画素についての前記欠陥判別用データとして抽出する、ことが好ましい。
【００２６】
本発明によれば、表示画素のコーナー部分における点状欠陥検査を的確に行える。コーナー撮像画素を着目撮像画素とした場合、８（＝Ｓ）個の周囲撮像画素のうち、３（＝Ｔ）個は表示画素内を撮像した表示画素内撮像画素であり、５（＝Ｕ）個は表示画素外のブラックマトリックスを撮像した表示画素外撮像画素である。また、欠陥判別用データ抽出工程における順位Ｎは、Ｎ＝Ｕ＋１＝６である。
前述したように、表示画素外撮像画素に基づく５（＝Ｕ＝Ｎ−１）個の受光輝度差データは、順位が「１〜５」になる。欠陥判別用データ抽出工程では、順位６（＝Ｎ）の受光輝度差データが欠陥判別用データとして抽出されるので、順位「１〜５」の表示画素外撮像画素に基づく５個の受光輝度差データが欠陥判別用データとして抽出されることはない。
したがって、本発明によれば、表示画素外のブラックマトリックスの影響を受けることなく、コーナー撮像画素における欠陥の有無の検査を的確に行うことができる。
【００２７】
また、本発明では、前記点状欠陥検査工程では、前記各欠陥判別用データ抽出工程において抽出された前記各欠陥判別用データのうち、絶対値が最大の最大欠陥判別用データを抽出し、前記最大欠陥判別用データと、前記欠陥判別閾値との比較を通じて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する、ことが好ましい。
【００２８】
前述したように、表示画素に点状欠陥が存在する場合、この点状欠陥を撮像した点状欠陥撮像画素についての欠陥判別用データの絶対値が所定程度以上に大きくなる。
そのため、表示画素における点状欠陥の有無を検査するためには、全ての撮像画素についての欠陥判別用データを個々に欠陥判別閾値と比較する必要はなく、本発明のように、絶対値が最大の最大欠陥判別用データのみを欠陥判別閾値と比較すればよい。これによれば、検査時間を短縮化でき、検査を効率良く行える。
【００２９】
本発明の表示画素検査装置は、画像表示装置の表示画素における点状欠陥の有無を検査する表示画素検査装置であって、前記表示画素を、複数の撮像画素を有する撮像手段によって撮像し、前記各撮像画素での受光輝度データを取得する表示画素撮像手段と、取得された前記受光輝度データに基づいて前記個々の撮像画素について欠陥判別用データを取得する欠陥判別用データ取得手段と、取得された前記欠陥判別用データに基づいて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する点状欠陥検査手段とを備え、前記欠陥判別用データ取得手段は、前記複数の撮像画素のうち一の撮像画素を着目撮像画素とし、前記着目撮像画素と、その周囲にある複数の周囲撮像画素との受光輝度差を順次計算することによって、複数の受光輝度差データを取得する受光輝度差データ取得手段と、取得された前記複数の受光輝度差データを大きさの順に並べた際に所定順位になる一の受光輝度差データを、前記着目撮像画素についての前記欠陥判別用データとして抽出する欠陥判別用データ抽出手段とを備え、前記表示画素撮像手段による前記表示画素の撮像の後、前記受光輝度差データ取得手段による受光輝度差データの取得、および、前記欠陥判別用データ抽出手段による欠陥判別用データの抽出を、前記複数の撮像画素において着目撮像画素を順次切り替えて繰り返し行い、続いて前記点状欠陥検査手段は、抽出された前記各欠陥判別用データの少なくとも一つと、所定の欠陥判別閾値との比較を通じて、前記表示画素における点状欠陥の有無を検査する、ことを特徴とする。
【００３０】
本発明の表示画素検査装置は、前記表示画素検査方法を実施するための構成を備えているので、前記表示画素検査方法と同じ作用・効果を奏することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１は、液晶パネルにおける個々の液晶画素について点状欠陥検査を行うための装置構成を示す。
液晶パネル１は、多数の液晶画素（表示画素）を備える画像表示装置である。個々の液晶画素の透過率は、液晶パネル駆動装置２から入力される駆動信号に応じて変化される。液晶パネル１を図示しないバックライトによって照明すると、個々の液晶画素の透過率に応じて透過された光によって画像が生成される。
ＣＣＤカメラ３は、液晶パネル１における個々の液晶画素を撮像する撮像手段であり、多数の微小なカメラ画素（撮像画素）を有する。
液晶パネル１が載置されるテーブル４は移動可能に設けられており、液晶パネル１とＣＣＤカメラ３とが相対移動可能になっている。これにより、ＣＣＤカメラ３が撮像する液晶画素を順次切り替えることができる。
【００３２】
本発明の表示画素検査装置としての液晶画素検査装置５は、液晶パネル１における個々の液晶画素における点状欠陥の有無を検査する装置である。
液晶画素検査装置５は、表示画素撮像手段としての液晶画素撮像手段５１と、受光輝度差データ取得手段５２と、欠陥判別用データ抽出手段５３と、点状欠陥検査手段５４とを備えて構成される。なお、受光輝度差データ取得手段５２および欠陥判別用データ抽出手段５３によって、本発明の欠陥判別用データ取得手段が構成されている。
【００３３】
液晶画素撮像手段５１は、液晶パネル駆動装置２によって液晶パネル１を駆動して所望の画像を表示させ、液晶パネル１における一の液晶画素を、ＣＣＤカメラ３によって撮像し、各カメラ画素での受光輝度データを取得する。
受光輝度差データ取得手段５２は、液晶画素撮像手段５１によって取得された受光輝度データ上において、一のカメラ画素を着目カメラ画素（着目撮像画素）とし、この着目カメラ画素と、その周囲８近傍にある８個の周囲カメラ画素（周囲撮像画素）との受光輝度差を順次計算することによって、８個の受光輝度差データを取得する。
欠陥判別用データ抽出手段５３は、受光輝度差データ取得手段５２によって取得された８個の受光輝度差データを大きさの順に並べた際にＮ番目の順位になる一の受光輝度差データを、前記着目カメラ画素についての欠陥判別用データとして抽出する。
点状欠陥検査手段５４は、欠陥判別用データ抽出手段５３によって抽出された欠陥判別用データに基づいて、前記一の液晶画素における点状欠陥の有無を検査する。
【００３４】
［黒点欠陥検査］
図２は、液晶パネル１の個々の液晶画素における黒点欠陥の有無を検査するための方法を示すフローチャートである。
＜液晶画素撮像工程（表示画素撮像工程）＞
液晶パネル１とＣＣＤカメラ３との相対位置をテーブル４によって適宜調整した上で、液晶画素撮像手段５１は、ＣＣＤカメラ３によって液晶パネル１における１個の液晶画素を撮像する（Ｓ１）。
図３は、ＣＣＤカメラ３による撮像の様子を示したものであり、この図において二点鎖線によって包囲された領域がＣＣＤカメラ３による撮像領域である。この撮像領域には、１個の液晶画素１１と、これを包囲するブラックマトリックス１２とが含まれている。
図４は、ＣＣＤカメラ３による撮像によって得られる各カメラ画素での受光輝度データ（受光輝度の数値については図示を省略）を示す。この図における微小正方形（１０×３０＝３００個）が、個々のカメラ画素を表す。なお、図４における液晶画素１１およびブラックマトリックス１２は、図３との対応関係を明瞭に示すために便宜上図示したものであり、実際に得られる受光輝度データは、個々のカメラ画素での受光輝度の数値のみによって構成される。
以上のように得られた受光輝度データは、液晶画素検査装置５に入力される。
【００３５】
＜受光輝度差データ取得工程＞
受光輝度差データ取得手段５２は、図４の受光輝度データにおける１個のカメラ画素を着目カメラ画素に設定し（Ｓ２）、この着目カメラ画素の受光輝度Ｐと、着目カメラ画素の周囲８近傍の周囲カメラ画素の受光輝度Ｐｉ（ｉ＝１，２，・・・，８）との８個の受光輝度差データΔｉ＝Ｐｉ−Ｐを取得する（Ｓ３）。
【００３６】
＜欠陥判別用データ抽出工程＞
欠陥判別用データ抽出手段５３は、Ｓ３によって取得された８個の受光輝度差データΔｉを、その大きさの順にソートし、小さいほうからＮ番目（順位Ｎ）のΔｉを、この着目カメラ画素についての欠陥判別用データＱとして抽出する（Ｓ４）。
【００３７】
未処理カメラ画素、すなわち、欠陥判別用データＱが抽出されていないカメラ画素が有るか否かを判断し、未処理カメラ画素が無くなるまでＳ２〜Ｓ４を繰り返す（Ｓ５）。
なお、Ｓ２〜Ｓ５によって、Ｓ１で取得された受光輝度データ（図４）に基づいて個々のカメラ画素について欠陥判別用データＱを取得する本発明の欠陥判別用データ取得工程が構成されている。
【００３８】
＜点状欠陥検査工程＞
点状欠陥検査手段５４は、Ｓ４によって抽出された個々のカメラ画素の欠陥判別用データＱの最大値Ｑｍａｘ（最大欠陥判別用データ）を抽出する（Ｓ６）。
抽出されたＱｍａｘは、所定の欠陥判別閾値Ｑ０と比較され（Ｓ７）、Ｑｍａｘ＞Ｑ０のときは、液晶画素１１に黒点欠陥が有ると判定され（Ｓ８１）、Ｑｍａｘ≦Ｑ０のときは、液晶画素１１に黒点欠陥が無いと判定される（Ｓ８２）。
【００３９】
以下、検査対象の液晶画素１１に実際に黒点欠陥が存在する場合の具体的な処理について図５〜図１３を用いて説明する。
液晶画素１１における黒点欠陥検査を行うためには、まず、前記Ｓ４における順位Ｎを「４」に設定する。
【００４０】
図５に、エッジ部分に黒点欠陥Ｂが存在する検査対象液晶画素１１を示す。この図における３×３＝９個の小正方形および３×３＝９個の大正方形は、それぞれ、ＣＣＤカメラ３のカメラ画素を表す。ここで、９個の大正方形は、９個の小正方形を拡大表示したものである。各大正方形内に記載されているＰおよびＰ１〜Ｐ８は、前述したように各カメラ画素の受光輝度であり、その実際の数値は括弧内の数字として図示されている。
図５は、前記Ｓ２において、黒点欠陥Ｂを撮像したカメラ画素（以下、黒点欠陥撮像カメラ画素という）を着目カメラ画素として設定したときの様子を示すものである。この図における９個のカメラ画素のうち、中心にあるのが着目カメラ画素としての黒点欠陥撮像カメラ画素であり、その受光輝度Ｐは１０と著しく低く、液晶画素１１の該当部分において黒点欠陥が存在していることが示唆されている。受光輝度Ｐ１，Ｐ２，Ｐ８を有する３個の周囲カメラ画素は、液晶画素１１外のブラックマトリックス１２を撮像した周囲カメラ画素であり、その受光輝度は、黒点欠陥撮像カメラ画素での受光輝度Ｐと同程度に低い。また、受光輝度Ｐ３〜Ｐ７を有する５個の周囲カメラ画素は液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素であり、その受光輝度は１５０〜１６０程度と、黒点欠陥撮像カメラ画素の受光輝度Ｐや、ブラックマトリックス１２を撮像した周囲カメラ画素の受光輝度Ｐ１，Ｐ２，Ｐ８に比べて所定程度以上高い。
【００４１】
続くＳ３においては、着目カメラ画素としての黒点欠陥撮像カメラ画素の受光輝度Ｐと、周囲カメラ画素の受光輝度Ｐ１〜Ｐ８との受光輝度差データΔ１〜Δ８が計算される。
図６に、その計算結果を示す。
【００４２】
図７は、続くＳ４において、図６の計算結果におけるΔｉを、小さいほうから順にソートした結果を示すものであり、その順に従って各Δｉに「１〜８」の順位が付されている。
ここで、順位が「１〜３」のΔ８，Δ２，Δ１は、図５においてブラックマトリックス１２を撮像した周囲カメラ画素（受光輝度Ｐ８，Ｐ２，Ｐ１）に基づく受光輝度差データであり、また、順位が「４〜８」の残りの受光輝度差データは、図５において液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素に基づくものである。
Ｓ４においては、順位が「４（＝Ｎ）」のΔｉ（図７においてはΔ４）が、欠陥判別用データＱ（＝１４０）として抽出されるので、順位が「１〜３」のブラックマトリックス撮像カメラ画素に基づく受光輝度差データΔ８，Δ２，Δ１は、欠陥判別用データＱとして抽出されることなく、液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素に基づく受光輝度差データが欠陥判別用データＱとして必ず抽出される。
【００４３】
以降、Ｓ５を経て、他のカメラ画素についても欠陥判別用データＱが抽出された後、Ｓ６において、Ｑの最大値Ｑｍａｘが抽出される。図５に示されるように液晶画素１１に１個の黒点欠陥Ｂのみが存在する場合には、図７において抽出されたＱ（＝１４０）がＱｍａｘとして抽出され、Ｓ７において、欠陥判別閾値Ｑ０と比較される。Ｑ０を１００程度に設定しておけば、Ｑｍａｘ＞Ｑ０、となるので、液晶画素１１のエッジ部分における黒点欠陥Ｂを検出できる（Ｓ８１）。
【００４４】
以上、Ｎ＝４として液晶画素１１のエッジ部分に黒点欠陥Ｂが存在する場合について説明したが、図８のように、液晶画素１１のエッジ部分およびコーナー部分から所定程度以上離れた液晶画素１１内部に黒点欠陥Ｂが存在する場合であっても、Ｎ＝４として、これを検出できる。
図９は、図８に基づいて計算された受光輝度差データΔｉを、小さいほうから順にソートした結果を示す。ここでは、全ての受光輝度差データΔ１〜Δ８が、図８において液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素に基づくものである。前記Ｓ４では、順位が「４」のΔ７（＝１４２）が、欠陥判別用データＱとして抽出される。このＱ（＝１４２）は、１００程度の前記Ｑ０よりも大きい（Ｑ＞Ｑ０）ので、Ｓ７を通じて、液晶画素１１における黒点欠陥Ｂが検出される（Ｓ８１）。
【００４５】
なお、液晶画素１１に黒点欠陥が存在しなければ、全てのカメラ画素について欠陥判別用データＱの絶対値が小さくなるため、Ｓ８２において、黒点欠陥無しと正しく判定されることになる。例えば、図５において、黒点欠陥Ｂが存在しないとして、着目カメラ画素の受光輝度Ｐが１５０だったとすると、Δ１＝−１３５，Δ２＝−１３８，Δ３＝１０，Δ４＝０，Δ５＝２，Δ６＝８，Δ７＝２，Δ８＝−１４２、であり、これらの中から４番目に小さいΔ４（＝０）が欠陥判別用データＱとして抽出されるが、Ｑ＝０であり、絶対値が小さい。そのため、Ｓ６においてＱの最大値Ｑｍａｘを抽出しても、Ｑｍａｘ≦Ｑ０（≒１００）、となり（Ｓ７）、黒点欠陥無しと判定されることになる（Ｓ８２）。
【００４６】
また、図１０のように、前記Ｓ２において液晶画素１１外のブラックマトリックス１２を撮像したカメラ画素が着目カメラ画素に設定された場合には、図１１のように、順位が「４」のΔ７（＝２）が欠陥判別用データＱとして抽出されるが、このとき、Ｑ（＝２）＜Ｑ０（≒１００）なので、ブラックマトリックス１２を撮像したカメラ画素が、黒点欠陥を撮像したカメラ画素として誤検出されるおそれはない。
【００４７】
以上のように、前記Ｓ４における順位Ｎを「４」に設定すれば、液晶画素１１のエッジ部分における黒点欠陥（図５参照）、および、液晶画素１１のエッジ部分およびコーナー部分から所定程度以上離れた液晶画素１１内部における黒点欠陥（図８参照）を的確に検出でき、また、液晶画素１１に黒点欠陥が存在しない場合にはこれを誤検出することもなく、液晶画素１１外の低輝度のブラックマトリックス１２を黒点欠陥として誤検出することもない（図１０，図１１参照）。
【００４８】
しかし、順位Ｎを「４」に設定すると、液晶画素１１のコーナー部分における黒点欠陥検査を適切に行うことができない。
図１２のように、液晶画素１１のコーナー部分に黒点欠陥Ｂが存在する場合、受光輝度差データΔｉをソートすると図１３のようになる。ここで、順位が「４」の受光輝度差データΔ１＝５が欠陥判別用データＱとして抽出されてしまうと、Ｑ（＝５）＜Ｑ０（≒１００）なので（Ｓ７）、黒点欠陥として検出されなくなってしまう（Ｓ８２）。
【００４９】
そこで、Ｎ＝４と設定して行った欠陥検査の後、Ｎ＝６と設定して液晶画素１１のコーナー部分における欠陥検査を行う。
これによれば、図１３において順位が「６」のΔ５（＝１４２）を欠陥判別用データＱとして抽出でき、Ｑ（＝１４２）＞Ｑ０（≒１００）、なので（Ｓ７）、コーナー部分における黒点欠陥Ｂを検出できる（Ｓ８１）。
【００５０】
ここで、Ｎ＝６としてコーナー部分における黒点欠陥Ｂを検出できるのは、この黒点欠陥撮像カメラ画素の８個の周囲カメラ画素のうち、５個（図１２では、受光輝度Ｐ１〜Ｐ４，Ｐ８を有する５個の周囲カメラ画素）は、液晶画素１１外のブラックマトリックス１２を撮像した周囲カメラ画素であり、３個（図１２では、受光輝度Ｐ５〜Ｐ７を有する３個の周囲カメラ画素）は、液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素だからである。
このとき、ブラックマトリックス１２を撮像した５個の周囲カメラ画素に基づく小さな（−２〜８）受光輝度データΔ８，Δ３，Δ２，Δ１，Δ４は、図１３において、順位が「１〜５」であるから、欠陥判別用データＱとして抽出されることがない。
【００５１】
以上のように、Ｎ＝４と設定して行う検査と、Ｎ＝６と設定して行う検査とによって、液晶画素１１の全域（エッジ部分、コーナー部分、エッジ部分およびコーナー部分から所定程度以上離れた液晶画素１１の内部）における黒点欠陥の有無を的確に検査でき、また、液晶画素１１外のブラックマトリックス１２を黒点欠陥として誤検出することもない。したがって、本実施形態によれば、ブラックマトリックス１２による影響を受けることなく、液晶画素１１における黒点欠陥検査を的確に行うことができる。
【００５２】
［輝点欠陥検査］
図１４は、液晶パネル１の個々の液晶画素における輝点欠陥の有無を検査するための方法を示すフローチャートである。なお、輝点欠陥検査の方法と、図２のフローチャートによる黒点欠陥検査の方法とは、ほとんどの部分において共通するので、その共通部分については説明を省略または簡略化し、また、両方法において同一または類似の手順については同一符号を付す。
【００５３】
Ｓ３では、Δｉ＝Ｐ−Ｐｉ（図２では、Δｉ＝Ｐｉ−Ｐ）、によって各着目カメラ画素について８個の受光輝度差データΔｉを算出する。
Ｓ４では、Ｓ３において算出された８個の受光輝度差データΔｉを、その大きさの順にソートし、大きいほうからＮ番目（順位Ｎ）のΔｉ（図２では、小さいほうからＮ番目のΔｉ）を、欠陥判別用データＱとして抽出する。
Ｓ６では、図２と同様に、Ｓ４によって抽出された個々のカメラ画素の欠陥判別用データＱの最大値Ｑｍａｘ（最大欠陥判別用データ）を抽出する。
Ｓ７では、抽出されたＱｍａｘを、欠陥判別閾値Ｑ０と比較し、Ｑｍａｘ＞Ｑ０のときは、液晶画素１１に輝点欠陥が有ると判定し（Ｓ８１）、Ｑｍａｘ≦Ｑ０のときは、液晶画素１１に輝点欠陥が無いと判定する（Ｓ８２）。
【００５４】
以下、具体的な例を用いて輝点欠陥検査の処理について説明する。
輝点欠陥検査においても、黒点欠陥検査の場合と同様に、まず、Ｎ＝４に設定して液晶画素１１のコーナー部分以外についての検査を行い、続いて、Ｎ＝６に設定して液晶画素１１のコーナー部分についての検査を行う。その概要は、黒点欠陥の場合とほとんど同様であるので詳細な説明は行わない。以下では、特に、Ｎ＝４に設定して行う検査についてのみ説明する。
【００５５】
図１５に、輝点欠陥が存在しない検査対象液晶画素１１を示す。この図は、前記Ｓ２において、液晶画素１１のエッジ部分におけるカメラ画素を着目カメラ画素として設定したときの様子を示すものである。
受光輝度Ｐ１，Ｐ２，Ｐ８を有する３個の周囲カメラ画素は、液晶画素１１外のブラックマトリックス１２を撮像した周囲カメラ画素であり、その受光輝度は、１０〜２０程度と低い。また、受光輝度Ｐを有する着目カメラ画素、および、受光輝度Ｐ３〜Ｐ７を有する５個の周囲カメラ画素は液晶画素１１内を撮像したカメラ画素であり、その受光輝度は１００〜１１０程度と、ブラックマトリックス１２を撮像した周囲カメラ画素の受光輝度Ｐ１，Ｐ２，Ｐ８に比べて所定程度以上高い。
【００５６】
図１６は、図１５に基づいて計算された受光輝度差データΔｉ（＝Ｐ−Ｐｉ）を、大きいほうから順にソートし、番号を付した結果を示す。
ここで、順位が「１〜３」のΔ２，Δ１，Δ８は、図１５においてブラックマトリックス１２を撮像した周囲カメラ画素（受光輝度Ｐ２，Ｐ１，Ｐ８）に基づく受光輝度差データであり、また、順位が「４〜８」の残りの受光輝度差データは、図１５において液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素に基づくものである。
前記Ｓ４においては、順位が「４（＝Ｎ）」のΔｉ（図１６においてはΔ７）が、欠陥判別用データＱ（＝９）として抽出されるので、順位が「１〜３」のブラックマトリックス撮像カメラ画素に基づく受光輝度差データΔ２，Δ１，Δ８は、欠陥判別用データＱとして抽出されることなく、液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素に基づく受光輝度差データが欠陥判別用データＱとして必ず抽出される。
【００５７】
図１７に、エッジ部分に輝点欠陥Ｗが存在する検査対象液晶画素１１を示す。この図は、前記Ｓ２において、エッジ部分における輝点欠陥撮像カメラ画素を着目カメラ画素として設定したときの様子を示すものである。
ここで、輝点欠陥Ｗを撮像した着目カメラ画素の受光輝度Ｐは１８７と、液晶画素１１内を撮像した周辺カメラ画素の受光輝度Ｐ３〜Ｐ７よりも著しく高く、液晶画素１１の該当部分において輝点欠陥Ｗが存在していることが示唆されている。
【００５８】
図１８は、図１７に基づいて計算された受光輝度差データΔｉ（＝Ｐ−Ｐｉ）を、大きいほうから順にソートし、番号を付した結果を示す。
ここで、順位が「１〜３」のΔ２，Δ１，Δ８は、図１７においてブラックマトリックス１２を撮像した周囲カメラ画素（受光輝度Ｐ２，Ｐ１，Ｐ８）に基づく受光輝度差データであり、また、順位が「４〜８」の残りの受光輝度差データは、図１７において液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素に基づくものである。
前記Ｓ４においては、順位が「４（＝Ｎ）」のΔｉ（図１８においてはΔ７）が、欠陥判別用データＱ（＝８４）として抽出されるので、順位が「１〜３」のブラックマトリックス撮像カメラ画素に基づく受光輝度差データΔ２，Δ１，Δ８は、欠陥判別用データＱとして抽出されることなく、液晶画素１１内を撮像した周囲カメラ画素に基づく受光輝度差データが欠陥判別用データＱとして必ず抽出される。
【００５９】
さて、上記の２つの例においては、図１５において輝点欠陥を撮像していないカメラ画素の欠陥判別用データＱが９（図１６参照）、図１７において輝点欠陥Ｗを撮像したカメラ画素の欠陥判別用データＱが８４（図１８参照）であるので、欠陥判別閾値Ｑ０を５０程度に設定すれば、輝点欠陥を的確に検出できる。
【００６０】
＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、図２または図１４のＳ４における順位Ｎを「４」に設定することによって、液晶画素１１のエッジ部分における点状欠陥（図５，図１７参照）、および、液晶画素１１のエッジ部分およびコーナー部分から所定程度以上離れた液晶画素１１内部における点状欠陥（図８参照）を的確に検出でき、また、液晶画素１１に点状欠陥が存在しない場合（図１０，図１５参照）にはこれを誤検出することもない。
また、図２または図１４のＳ４における順位Ｎを「６」に設定することによって、液晶画素１１のコーナー部分における点状欠陥（図１２参照）を的確に検出できる。
【００６１】
特に、本実施形態によれば、液晶画素１１のエッジ部分またはコーナー部分に黒点欠陥が存在する場合であっても、この黒点欠陥を、液晶画素１１外のブラックマトリックス１２と混同することなく的確に検出できる。
また、本実施形態によれば、液晶画素１１のエッジ部分またはコーナー部分と、ブラックマトリックス１２との大きな輝度差を有する部分を輝点欠陥として誤検出することがなくなるので、輝点欠陥の検出精度を向上させることができる。
【００６２】
また、本実施形態では、Ｓ３（図２または図１４参照）において、着目カメラ画素と、その周囲８近傍にある８個の周囲カメラ画素との８個の受光輝度差データΔ１〜Δ８を計算しているので、着目カメラ画素を中心として、これを３×３の正方形状に包囲する８個の周囲カメラ画素との受光輝度差データΔ１〜Δ８に基づいて、略矩形状の液晶画素１１の点状欠陥検査を的確に行える。
【００６３】
また、本実施形態では、Ｓ６（図２または図１４参照）において欠陥判別用データＱの最大値Ｑｍａｘを抽出し、Ｓ７においてＱｍａｘとＱ０とを比較することによって、液晶画素１１における点状欠陥の有無を検査している。
これによれば、全てのカメラ画素についての欠陥判別用データＱを個々に欠陥判別閾値Ｑ０と比較しなくて済むので、検査時間を短縮化でき、検査を効率良く行える。
【００６４】
また、従来は、液晶画素における点状欠陥検査を、液晶画素間のブラックマトリックスに影響されることなく的確に行うために、本実施形態の図４のような受光輝度データから、ブラックマトリックス１２に対応する領域を除去し、液晶画素１１内に対応する領域のみを検査対象として抽出する工程を追加的に行う必要があった。
これに対して本実施形態よれば、このような追加的な工程を行わなくても、ブラックマトリックス１２に影響を受けることなく、液晶画素１１における点状欠陥検査をおこなうことができるので、検査における工程の数を少なくでき、検査を行うための装置構成を簡素化できるから、安価な検査装置を構成できる。
【００６５】
また、本実施形態では、ＣＣＤカメラ３による撮像の際の画像拡大率を適当な光学手段により調整することにより、図４の受光輝度データにおける各カメラ画素の大きさを所望の大きさに調整できる。ここでの各カメラ画素の大きさは、検出したい点状欠陥の大きさに対応するので、本実施形態によれば、所望の大きさの点状欠陥の有無を検査できる。
【００６６】
なお、本発明は以上で説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、Ｓ４（図２または図１２参照）における順位Ｎを「４」に設定することによって、液晶画素１１のコーナー部分以外についての点状欠陥検査を行い、また、順位Ｎを「６」に設定することによって、液晶画素１１のコーナー部分についての点状欠陥検査を行っていたが、順位Ｎを「５」、または、「７」，「８」としてもよい。順位Ｎを「５」とすれば、順位Ｎが「４」の場合と同様に、液晶画素１１のコーナー部分以外についての点状欠陥検査を行うことができ、また、順位Ｎを「７」，「８」とすれば、順位Ｎが「６」の場合と同様に、液晶画素１１のコーナー部分についての点状欠陥検査を行うことができる。
【００６７】
順位Ｎを「５」として、図７，図９，図１１，図１６，図１８においてＱとして抽出される「５」の順位のΔｉは、「４」の順位のΔｉと略同じ値であるから（例えば、図７においては、順位「５」のΔ５＝１４２≒順位「４」のΔ４＝１４０）、順位Ｎを「４」から「５」に変更しても、前記Ｓ４（図２，図１４参照）において抽出されるＱの値はほとんど変わらず、Ｓ７における判断も変わらない。
また、順位Ｎを「７」（「８」でも同様）として、図１３においてＱとして抽出される「７」の順位のΔｉは、「６」の順位のΔｉと略同じ値であるから（例えば、図１３においては、順位「７」のΔ７＝１４２≒順位「６」のΔ５＝１４２）、順位Ｎを「６」から「７」に変更しても、前記Ｓ４（図２，図１４参照）において抽出されるＱの値はほとんど変わらず、Ｓ７における判断も変わらない。
【００６８】
また、前記実施形態では、着目カメラ画素の周囲８近傍のカメラ画素を周囲カメラ画素として受光輝度差データΔ１〜Δ８を算出する場合について説明したが、本発明では、着目撮像画素の周囲４近傍、２４近傍、４８近傍等の撮像画素を周囲撮像画素として受光輝度差データを算出して、これらを点状欠陥検査に利用してもよい。ここで、Ｓ４における順位Ｎは、周囲撮像画素の数・配置、および、略矩形状の表示画素のエッジ部分、および、コーナー部分のいずれの部分における点状欠陥の有無を検査するか、に応じて適宜設定できる。
【００６９】
また、前記実施形態では、黒点欠陥検査の際（図２参照）には、Ｓ３においてΔｉ＝Ｐｉ−Ｐとして受光輝度差データΔｉを算出していたが、Δｉ＝Ｐ−Ｐｉとして算出してもよい。このとき、Ｓ４ではＮ番目に「大きい」Δｉを欠陥判別用データＱとして抽出することにし、Ｓ６ではＱｍａｘの代わりにＱの最小値Ｑｍｉｎを抽出することにし、Ｓ７ではＱｍｉｎ＜Ｑ０であるか否かを判別することにすれば、図２と同じ黒点欠陥検査が可能である。同様に、輝点欠陥検査の際（図１４参照）には、Δｉ＝Ｐ−Ｐｉ、とする代わりに、Δｉ＝Ｐｉ−Ｐ、として受光輝度差データを算出してもよい。
【００７０】
また、前記実施形態では、最大欠陥判別用データＱｍａｘのみをＱ０と比較して欠陥検査を行っていたが、全てのカメラ画素についての欠陥判別用データＱを個々にＱ０と比較してもよい。これによれば、液晶画素における点状欠陥の有無だけではなく、点状欠陥の数や、それぞれの位置までも検出できる。
【００７１】
また、前記実施形態では、図４に示される受光輝度データにおける全てのカメラ画素を着目カメラ画素に順次設定して（Ｓ２）液晶画素１１の欠陥検査を行っていたが、液晶画素１１の欠陥検査を行うためには、図４において液晶画素１１内を撮像したカメラ画素を着目カメラ画素として処理を行えば十分であり、液晶画素１１外のブラックマトリックス１２を撮像したカメラ画素を着目カメラ画素として処理を行う必要はない。そこで、本発明では、このような検査に直接必要のないカメラ画素を予め処理対象から外してもよい。このための方法としては、例えば、予め液晶画素１１の形状を記憶しておき、これと受光輝度データ（図４参照）とをマッチングさせることにより、受光輝度データから、液晶画素１１から所定程度以上離れたブラックマトリックス１２領域を取り除く方法などが例示される。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、表示画素によって画像を表示する各種の画像表示装置、例えば、液晶パネルを用いた液晶ディスプレイや液晶プロジェクタ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイにおける個々の表示画素の点状欠陥検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】液晶パネルにおける個々の液晶画素について点状欠陥検査を行うための装置構成を示すブロック図。
【図２】液晶画素における黒点欠陥検査の手順を示すフローチャート。
【図３】ＣＣＤカメラによる液晶パネル撮像の様子を示す図。
【図４】ＣＣＤカメラによる撮像によって得られる、各カメラ画素での受光輝度データを示す図。
【図５】エッジ部分に黒点欠陥が存在する検査対象液晶画素を示す図。
【図６】図５に基づいて受光輝度差データを計算した結果を示す図。
【図７】図６の計算結果におけるΔｉを、小さいほうから順にソートした結果を示す図。
【図８】エッジ部分およびコーナー部分から離れた箇所に黒点欠陥が存在する液晶画素を示す図。
【図９】図８に基づいて計算された受光輝度差データΔｉを、小さいほうから順にソートした結果を示す図。
【図１０】液晶画素外のブラックマトリックスを撮像したカメラ画素が着目カメラ画素に設定されている状態を示す図。
【図１１】図１０に基づいて計算された受光輝度差データΔｉを、小さいほうから順にソートした結果を示す図。
【図１２】コーナー部分に黒点欠陥が存在する検査対象液晶画素を示す図。
【図１３】図１２に基づいて計算された受光輝度差データΔｉを、小さいほうから順にソートした結果を示す図。
【図１４】液晶画素における輝点欠陥検査の手順を示すフローチャート。
【図１５】輝点欠陥が存在しない検査対象液晶画素を示す図。
【図１６】図１５に基づいて計算された受光輝度差データΔｉを、大きいほうから順にソートした結果を示す図。
【図１７】エッジ部分に輝点欠陥が存在する検査対象液晶画素を示す図。
【図１８】図１７に基づいて計算された受光輝度差データΔｉを、大きいほうから順にソートした結果を示す図。
【符号の説明】
【００７４】
１…液晶パネル，２…液晶パネル駆動装置，３…ＣＣＤカメラ，４…テーブル，５…液晶画素検査装置，１１…液晶画素，１２…ブラックマトリックス，５１…液晶画素撮像手段，５２…受光輝度差データ取得手段，５３…欠陥判別用データ抽出手段，５４…点状欠陥検査手段，Ｂ…黒点欠陥，Ｗ…輝点欠陥。
【図１】
2006145232.tif 000003
【図２】
2006145232.tif 000004
【図３】
2006145232.tif 000005
【図４】
2006145232.tif 000006
【図５】
2006145232.tif 000007
【図６】
2006145232.tif 000008
【図７】
2006145232.tif 000009
【図８】
2006145232.tif 000010
【図９】
2006145232.tif 000011
【図１０】
2006145232.tif 000012
【図１１】
2006145232.tif 000013
【図１２】
2006145232.tif 000014
【図１３】
2006145232.tif 000015
【図１４】
2006145232.tif 000016
【図１５】
2006145232.tif 000017
【図１６】
2006145232.tif 000018
【図１７】
2006145232.tif 000019
【図１８】
2006145232.tif 000020