(57)【要約】【課題】マイクロレンズ形状のより微細化、また非球面レンズ形状など特殊レンズ形状のマイクロレンズ及びその単位マイクロレンズ群によるマイクロレンズアレイの実現、またマイクロレンズ面の精度ある光学的な研磨状態の実現、またマイクロレンズアレイにおける数千万個、数億個のマイクロレンズの同一性の実現、また簡易な製造方式、簡便な製造設備の実現、またより低コストの大量生産性を実現することにある。【解決手段】微小なレンズを複数近接して設けるマイクロレンズ群を製造するマイクロレンズ成形用金型の製造方法において、金型材（１）のレンズ形状加工にマイクロレンズパターン状のブラストホール３０を開孔したマスク２０を用いてブラスト加工により製造することを特徴とし、前記ブラスト加工にはドライブラスト加工とウェットブラスト加工とを併せて使用する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小なレンズを複数近接して設けるマイクロレンズ群を製造するマイクロレンズ成形用金型の製造方法において、金型のレンズ形状加工にブラスト加工を用いることを特徴とするマイクロレンズ成形用金型の製造方法。
【請求項２】
前記ブラスト加工は、ドライブラスト加工と、ウェットブラスト加工とを併せて使用することを特徴とする請求項１記載のマイクロレンズ成形用金型の製造方法。
【請求項３】
前記ブラスト加工は、金型材にマスキング材を被覆してブラスト加工することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロレンズ成形用金型の製造方法。
【請求項４】
前記ブラスト加工は、金型面に対して垂直方向にブラストするとともに、該金型面に対して所定の角度を付けてブラストすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のマイクロレンズ成形用金型の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信分野や固体撮像素子のオンチップレンズや画像ディスプレイなどの光学部品分野などに使用されマイクロレンズ成形用金型の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光通信分野や固体撮像素子のオンチップレンズや画像ディスプレイなどの光学部品分野などには、微小なマイクロレンズが使用されており、レンズ形状の微細化、レンズの光学的正確さなどを、より向上する要求が増している。
【０００３】
これらのマイクロレンズの製造方法としては、直接、透明基板上に透明樹脂を単位マイクロレンズ形状に順次射出して形成するインクジェット方式やディスペンサ方式などによる製造方法があり、また、その他に、マイクロレンズ形状群を彫り込んだ金型に透明樹脂液をキャスティングして成形したり、その金型を転写したりしてマイクロレンズを成形する製造方式がある。
【０００４】
上記マイクロレンズとしては、微細な凸レンズ形状の単位マイクロレンズを極めて大量に規則的に配列して、シート状にマイクロレンズ群として集約したマイクロレンズアレイと呼ばれるものがあり、このような単位マイクロレンズの一つ一つを、同じ形状や同じ光学性能に製造するためのさまざまな技術開発が続けられている。
【０００５】
しかしながら、上記インクジェット方式やディスペンサ方式など直接製造方式では、より微細なレンズ形状や、より特殊な光学レンズである非球面レンズの実現や、より大量の百万個以上を同一形状にすることや、光学的に正確なレンズの形状にすることなど、マイクロレンズの性能向上は、技術課題が多く、解決困難であるという問題点がある。
【０００６】
一方、キャスティング方式や転写方式など金型でマイクロレンズを製造する方式においても同様に困難さを伴うが、さまざなまな方式が試みられている。例えば、金型へのマイクロレンズ形状の彫り込みを切削方式やレーザー加熱加工方式で行ない、上述のマイクロレンズ直接製造方式よりも大面積のマイクロレンズアレイや、単位マイクロレンズが数億個配列された数億個レベルのより大量のマイクロレンズアレイの実現を試行しているが、切削加工工具の磨耗やレーザー加工では、光学的な研磨表面を金型に彫り込めないなどの問題がある。
【０００７】
また、上記のように従来のマイクロレンズ製造方式では、レンズとしての光学特性をより向上する目的で、製造方式や加工方式の精密制御化が試みられているにもかかわらず、きわめて大量のマイクロレンズ群を同一に製造することが困難な状況にある。
【０００８】
また、マイクロレンズ形状をより微細にする要求と、きわめて大量のマイクロレンズ群を集約し、より大面積のマイクロレンズアレイにする要求と、非球面レンズなどの特殊光学レンズ形状にするなどのより高度化の要求があり、これらを作りこむ努力だけでなく、これらの要求通りに一つ一つのマイクロレンズが正確に出来ているかどうかと、同時にマイクロレンズアレイ全体で同一に出き上がっているかどうか、検査しないと分からないという問題がある。
【０００９】
さらに、マイクロレンズへの要求が高度になることにより、その製造方式が複雑かつ高度になり製造工程が増え、より高度なレンズ検査手段の導入なども必要になってきており、コスト上昇が懸念されている。
【００１０】
このように、単位マイクロレンズが大量に配列されたマイクロレンズアレイは、きわめて小さなレンズを極めて大量に集約したものであり、レンズとしても極めて高度な光学性能を要求されているものである。このマイクロレンズアレイを安価に大量に生産し、高性能な光学部品として提供しなければならない状況にある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、係る従来技術の問題点を解決するものであり、その課題とするところは、特にマイクロレンズ形状のより微細化であり、また、非球面レンズ形状など特殊レンズ形状のマイクロレンズ及びその単位マイクロレンズ群によるマイクロレンズアレイの実現であり、また、マイクロレンズ面の精度ある光学的な研磨状態の実現であり、また、マイクロレンズアレイにおける数千万個、数億個のマイクロレンズの同一性の実現であり、また、簡易な製造方式、簡便な製造設備の実現であり、また、より低コストの大量生産性を実現し提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず本発明の請求項１に係る発明は、微小なレンズを複数近接して設けるマイクロレンズ群を製造するマイクロレンズ成形用金型の製造方法において、金型のレンズ形状加工にブラスト加工を用いることを特徴とするマイクロレンズ成形用金型の製造方法である。
【００１３】
本発明の請求項２に係る発明は、上記請求項１に係るマイクロレンズ金型の製造方法において、前記ブラスト加工は、ドライブラスト加工と、ウェットブラスト加工とを併せて使用することを特徴とするマイクロレンズ成形用金型の製造方法である。
【００１４】
本発明の請求項３に係る発明は、上記請求項１又は２に係るマイクロレンズ金型の製造方法において、前記ブラスト加工は、金型材にマスキング材を被覆してブラスト加工することを特徴とするマイクロレンズ成形用金型の製造方法である。
【００１５】
本発明の請求項４に係る発明は、上記請求項１乃至３のいずれか１項に係るマイクロレンズ金型の製造方法において、前記ブラスト加工は、金型面に対して垂直方向にブラストするとともに、該金型面に対して所定の角度を付けてブラストすることを特徴とするマイクロレンズ成形用金型の製造方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は以上の構成であるから、下記に示す如き効果がある。
【００１７】
即ち、本発明によれば、マイクロレンズ群（マイクロレンズアレイ）を製造するために使用する金型のレンズ形状加工に、ブラスト加工（被加工体に対して微細な粉体を高速度にて噴射して、所定形状に成形加工する）を用いることを特徴とするものであり、極めて大量のマイクロレンズアレイを同一形状にすることができ、ブラスト加工設備は、簡便で、精密制御も切削加工やレーザー加工に比べて簡易に制御でき、検査工程を設けずにブラスト工程の標準化ができ、ブラスト工程の標準化により検査工程の省力化も可能になり、加工工程の省力化、低コスト化が実現できる。
【００１８】
また、本発明によれば、乾いた粉体を使用するドライブラスト加工と、湿った粉体を使用するウェットブラスト加工とを併せて使用し、ドライブラスト加工は、レンズ形状の荒削りに主に使用し、ウェットブラスト加工は、マイクロレンズ表面の光学的な研磨表面を実現することに主に使用ことにより、より精度良いブラスト加工が実現できる。
【００１９】
また、本発明によれば、金型材にマスキング材を被覆してブラスト加工するので、金型材へのマスクパターンを変えることにより、金型の彫り込み形状が変えられ、様々なマイクロレンズ形状を実現でき、任意の縦横比のレンズを実現でき、密集した複数種の形状のマイクロレンズアレイなどもマスクすることにより実現することができる。
【００２０】
そして、また、ブラスト加工におけるブラスト吹き出し方向（粉体吹き出し方向）を、金型材面に対して垂直方向にブラスト（粉体吹き出し）するだけでなく、所定の角度を付けてブラストすることにより、非球面レンズ形状を彫り込みできる。
【００２１】
さらに、本発明によれば、ブラスト加工におけるブラスト吹き出し方向（粉体吹き出し方向）を適宜に変えることにより、マイクロレンズの縦方向と横方向の非球面度合いを変えることもできるようになる。
【００２２】
従って本発明によれば、ブラスト加工方式でマイクロレンズ金型の成形加工を実現できることにより、数億個の単位のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイを比較的容易に製造することができるようになり、一つ一つの単位マイクロレンズが光学的に正確で数億個のレンズ集合体であっても同一形状と性能のレンズ群となり、また、その単位マイクロレンズ形状も従来にない光学的な特徴を有する形状のマイクロレンズが実現でき、このような形状の単位マイクロレンズ群からなるマイクロレンズアレイを簡単で、低コストにて大量に製造できるようになり、優れた実用上の効果を発揮するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法は、図１（ａ）の模式図に示すように、円筒状金型材（１）の全周全面に単位マイクロレンズパターンを多数孔設したフォトレジストコーティング層（フォトリソグラフィ法にてレジストパターンを用いてエッチングにて彫り込むために、レジストコーティング層を露光現像してレジストパターンを形成したフォトレジストコーティング層）又はシート（又はフィルム）からなるマスク（２０）を被覆して施す。
【００２５】
そして、前記マスク（２０）面上よりブラスト加工法にて微細粉体を所定速度で噴射して（フォトリソグラフィ法にてレジストパターンを用いてエッチングにて彫り込むように）彫り込み、円筒状金型材（１）の周面にマスク（２０）のマイクロレンズパターンに対応する形状の多数のブラストホール（３０）を開孔して、円筒状のマイクロレンズ成形用金型を製造する。
【００２６】
金型材（１）は、プラスチック射出成型金型用の鋼材を使用することにより、実生産型の金型を直接製造することができるようになる。
【実施例】
【００２７】
以下に、本発明の具体的実施例を説明する。
【００２８】
まず、図１（ａ）に示すように、直径５０ｍｍ、長さ１００ｍｍのＳ４５Ｃ材を円筒状金型材（１）として使用した。マスク（２０）には、感光性のレジスト材料（フォトレジスト）を使用し、円筒状金型材（１）の外周面への塗布厚さは２０μｍから５０μｍとした。
【００２９】
マスク（２０）に形成するブラストホール（３０）は、成形すべき単位マイクロレンズ
の各々レンズ径とほぼ等しくした。本実施例では、レンズ径が直径１５０μｍとなるように、塗布したフォトレジストに対して、多数の規則的配列の多数のマイクロレンズ群からなるブラストホール（３０）のパターンの露光、現像を行って、円筒状金型材（１）にマスク（２０）を被覆形成した。
【００３０】
破線で示したブラストホール（４０）は、マイクロレンズを一つおきに形成するため、マスク（２０）の円筒状金型材（１）の外周面へのブラストホール（３０）の形成処理を本実施例においては２回行うため、１回目のマスク（２０）のブラストホール（３０）の位置に対して、２回目のマスク処理の時には、破線で示したブラストホール（４０）の位置にマスク（２０）のブラストホール（３０）を配置して、円筒状金型材（１）の外周面にブラストホール（３０）を市松模様のレンズアレイ状に配置するということを概念的に示したものである。
【００３１】
図１（ｂ）は図１（ａ）を側断面図で表した模式図であり、金型材（１）の外周面にマスク（２０）の被覆形成用のフォトレジストを塗布し、多数の規則的配列の多数のマイクロレンズ群からなるブラストホール（３０）のパターンを露光、現像することにより、マスク（２０）にはレンズアレイ状に多数のブラストホール（３０）が開孔されている。
【００３２】
次に、図１（ｃ）の側断面図で表した模式図に示すように、金型材（１）外周面のマスク（２０）上方から、ブラスト方向Ｌの方向に乾いた微細粉体（研磨材）を噴射してドライブラスト加工することで、金型材（１）外周面のマスク（２０）の無いブラストホール（３０）の部分に、マイクロレンズホール（３１）を彫り込む。ブラスト加工時間はおおよそ１５分程度であった。彫り込む深さは、最大でおおよそ３０μｍから５０μｍ程度とした。その際に、ブラスト加工における噴射時間や、噴射空気圧力、微細粉体（研磨材、ブラスト材）噴射量を調整した。なお、ドライブラスト加工に使用する微細粉体（研磨材）は、粒径２μｍ〜５μｍを使用した。
【００３３】
また、本実施例では、ブラストガン（噴射器）の吹き出し口径１０ｍｍ、空気圧力８ｋｇ／ｃｍ2 、ブラスト材混入は空気流路へ自由落下、流路径５ｍｍ、吹き出し口から金型までの距離１０ｍｍ、ブラストガン移動速度５０ｍｍ／分〜１００ｍｍ／分とした。ブラストガンの移動におけるブラスト材の噴射幅の重なり率は１０％程度とした。
【００３４】
次に、図１（ａ）に示す円筒状金型材（１）の外周面から上記１回目のマスク（２０）を剥離した後、図２（ａ）に示すように、再び、上記と同様にして先に彫り込まれたブラストホール（３１）を覆うようにフォトレジストを塗布して２回目のマスク処理を行い、図１（ａ）に示す破線で示したブラストホール（４０）の位置に、多数の規則的配列の多数のマイクロレンズ群からなるブラストホール（３０）のパターンを露光、現像して、レンズアレイ状に多数のブラストホール（３０）を開孔した。
【００３５】
図２（ｂ）は図２（ａ）を側断面図で表した模式図であり、金型材（１）の外周面に先に彫り込まれたブラストホール（３１）を覆うようにマスク（２０）の被覆形成用のフォトレジストを塗布し、多数の規則的配列の多数のマイクロレンズ群からなるブラストホール（３０）のパターンを露光、現像することにより、マスク（２０）にはレンズアレイ状に多数のブラストホール（３０）が開孔され、先に彫り込まれたブラストホール（３１）内にはマスク（２０）が被覆される。
【００３６】
次に、図２（ｃ）の側断面図で表した模式図に示すように、金型材（１）外周面のマスク（２０）上方から、ブラスト方向Ｌの方向に乾いた微細粉体（研磨材）を噴射してドライブラスト加工することで、金型材（１）外周面のマスク（２０）の無いブラストホール（３０）の部分に、マイクロレンズホール（３１）を彫り込む。ブラスト加工時間はおお
よそ１５分程度であった。彫り込む深さは、最大でおおよそ３０μｍから５０μｍ程度とした。その際に、ブラスト加工における噴射時間や、噴射空気圧力、微細粉体（研磨材、ブラスト材）噴射量を調整した。なお、ドライブラスト加工に使用する微細粉体（研磨材）は、粒径２μｍ〜５μｍを使用した。
【００３７】
続いて、図２（ａ）に示す金型材（１）外周面からマスク（２０）を剥離することにより、図３（ａ）の模式図に示すように、規則的に配列された多数のマイクロレンズホール（３１）からなるマイクロレンズアレイホールが露出する。
【００３８】
金型材（１）外周面には、ドライブラスト加工処理によりマイクロレンズアレイホールが彫り込まれていたが、その各々単位マイクロレンズホールの各ホール表面は、光学レンズ金型としての平滑表面ではなかった。
【００３９】
そのために、多数のマイクロレンズホール（３１）からなる上記マイクロレンズアレイホールに対して、ウェットブラスト加工処理による表面研磨を行うことにより、図３（ｂ）の側断面図で表した模式図に示すように、平滑化したマイクロレンズホール（３１）からなるマイクロレンズアレイホールが得られ、光学マイクロレンズ成形用金型としての平滑表面が実現した。
【００４０】
ウェットブラスト加工は、粒径０．５μｍ〜１．２μｍの研磨材と水を混合したウエットブラスト液を、突出圧力３ｋｇ／ｃｍ2 、吹き出し口径１０ｍｍ、吹き出し口から金型材（１）までの距離３０ｍｍ、ウェットブラスト移動速度２０ｍｍ／分〜４０ｍｍ／分にてウエットブラスト液を噴射させて行った。ウェットブラスト加工時間は、おおよそ３０分程度であった。
【００４１】
ウェットブラストガンによる微細粉体（研磨材、ブラスト材）の噴射幅の移動の重なり率は１０％から２０％程度とすることで、マイクロレンズホール（３１）の表面には光学マイクロレンズ成形用金型としての平滑表面が実現した。
【００４２】
本実施例のマイクロレンズ成形用金型を製造する時間は、マスク処理、パターニング処理、ドライブラスト処理、ウェットブラスト処理の各処理時間の合計で、３時間から４時間ほどであった。
【００４３】
本実施例により得られたマイクロレンズ成形用金型のマイクロレンズ個数は、２５万個ほどであり、従来に比べて、きわめて短時間で製造金型を作り上げることができた。
【００４４】
例えば、直径４００ｍｍ、長さ１３００ｍｍの円筒状のマイクロレンズ成形用金型とした場合には、２５時間程で製造金型を作り上げることができることになる。さらに、ブラスト加工条件を変更することで１０時間程度まで短縮することができると予測できる。
【００４５】
次に、本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法におけるブラスト加工のブラスト方向Ｌ（粉体噴射方向）と、その彫り込み形状との関係を、図４、図５に基づいて以下に説明する。
【００４６】
図４（ａ）の側断面図で表した模式図に示すように、金型材（１）にマスク（２０）を塗布してブラストホール（３０）を開孔し、ブラスト方向Ｌ（研磨材吹き付け方向）を該マスク２０上方から金型材（１）に対して垂直方向にしてブラスト加工を行う。
【００４７】
このブラスト加工により、図４（ｂ）に示すように、金型材（１）の表面には、ブラストホール（３０）を通してマイクロレンズホール（３１）が彫り込まれていき、さらに、
図４（ｃ）に示すようにマイクロレンズホール（３１）は深く彫りこまれていく。彫り込みの形状は、半球形に進むことはなく、図示するように円錐状に彫り込まれていく。そのためにマイクロレンズとした場合は非球面レンズとなる。なお、その際にはマスク２０も削り取られて薄くなっていく。
【００４８】
上記非球面レンズ形状のマイクロレンズホール（３１）を、球面レンズに近い形状にするには、図５（ａ）の側断面図で表した模式図に示すように、ブラスト方向Ｌを垂直方向にした状態で、ある程度（レンズの厚さより浅い程度）まで彫り込みした状態から、ブラスト方向Ｌ（研磨材吹き付け方向）を変えることにより、彫り込み形状を変えることができる。
【００４９】
その様子は、図５（ａ）に示すように、ブラスト方向Ｌを金型材（１）の平坦面に対して垂直方向にして吹き付けていたブラスト加工から、図５（ｂ）に示すように、ブラスト方向Ｌを左上方から右下方へ、例えば、垂直方向に対して３０度から４０度程度の角度に傾けてブラスト加工を行うことにより、図５（ｂ）に示すように研磨材の吹き付けられたブラストホール（３１）の側面の彫り込み形状は湾曲形状となる。
【００５０】
続いて、図５（ｃ）に示すように、ブラスト方向Ｌを右上方から左下方へ、例えば、垂直方向に対して３０度から４０度程度の角度に傾けてブラスト加工を行うことにより、図５（ｃ）に示すように、研磨材の吹き付けられたブラストホール（３１）の側面の彫り込み形状は湾曲形状となって、ブラストホール（３１）の最終的な彫り込み形状は、半球体の形状になる。以上からマイクロレンズとした場合、球面レンズに近い形状とすることができる。
【００５１】
次に、マスク２０に開孔したブラストホール３０のマイクロレンズパターンと、彫り込み形状との関係を、図６（ａ）〜（ｉ）に基づいて以下に説明する。
【００５２】
図６（ａ）は、マスク（２０）に円形（真円形状）のブラストホール（３０）をパターニングして金型材（１）面に被覆したマスクの平面模式図であり、図６（ｂ）は、そのＭ−Ｍ側断面模式図、図６（ｃ）は、そのＮ−Ｎ側断面模式図である。
【００５３】
図６（ａ）に示す円形（真円形状）のブラストホール（３０）をパターニングしたマスク（２０）を用いてブラスト加工した場合には、図６（ｂ）〜（ｃ）に示すように、ブラストホール（３１）は円錐状となって彫り込まれて、この金型材（１）を用いてマイクロレンズとした場合のレンズ形状は、円錐状の単位マイクロレンズを配列したレンズアレイとなる。
【００５４】
図７（ａ）は、マスク（２０）に横長の楕円形状のブラストホール（３０）をパターニングして金型材（１）面に被覆したマスクの平面模式図であり、図７（ｂ）は、そのＭ−Ｍ側断面模式図、図７（ｃ）は、そのＮ−Ｎ側断面模式図である。
【００５５】
図７（ａ）に示す横長の楕円形状のブラストホール（３０）をパターニングしたマスク（２０）を用いてブラスト加工した場合には、図７（ｂ）に示すＭ−Ｍ側断面のブラストホール（３１）は細くて浅い円錐状となり、図７（ｃ）に示すＮ−Ｎ側断面のブラストホール（３１）は図６（ｂ）〜（ｃ）と同様の円錐状となって彫り込まれて、この金型材（１）を用いてマイクロレンズとした場合のレンズ形状は、浅い皿を２枚合わせた様な、縁が薄くなっている円盤状の単位マイクロレンズを配列したレンズアレイとなり、従来にないレンズ形状を実現することができる。
【００５６】
図８（ａ）は、マスク（２０）に十文字形のブラストホール（３０）をパターニングし
て金型材（１）面に被覆したマスクの平面模式図であり、図８（ｂ）は、そのＭ−Ｍ側断面模式図、図８（ｃ）は、そのＮ−Ｎ側断面模式図である。
【００５７】
図８（ａ）に示す十文字形のブラストホール（３０）をパターニングしたマスク（２０）を用いてブラスト加工した場合には、図８（ｂ）に示すＭ−Ｍ側断面のブラストホール（３１）は、十文字の腕部分は浅く、中央付近が半球形状なり、図８（ｃ）に示すＮ−Ｎ側断面のブラストホール（３１）は、十文字の腕部分は浅く、中央付近が半球形状となって彫り込まれ、この金型材（１）を用いてマイクロレンズとした場合のレンズ形状は、縁部分が浅い皿状で、中央部分が半球体の非球面レンズとなり、従来にないレンズ形状を実現することができる。
【００５８】
本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法により作製された上記マイクロレンズ成形用金型により、ポリメチルメタアクリレート樹脂（ＰＭＭＡ）等の合成樹脂材料を用いて、キャスティング方式、インジェクション方式、金型転写方式等の成形加工方式によりプラスチック成形加工することにより、マイクロレンズ又はマイクロレンズアレイを作製するものである。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】（ａ）は本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法において円筒状金型材の周面に一回目のマスクを被覆した場合の説明図、（ｂ）はその金型材の側断面図、（ｃ）はブラスト加工した状態の金型材の側断面図。
【図２】（ａ）は本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法において円筒状金型材の周面に二回目のマスクを被覆した場合の説明図、（ｂ）はその金型材の側断面図、（ｃ）はブラスト加工した状態の金型材の側断面図。
【図３】（ａ）は本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法により製造完成した状態の金型の説明図、（ｂ）はその側断面図。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法におけるブラスト加工の垂直方向のブラスト方向とマスクパターンによりマイクロレンズホールが彫り込まれていく様子を説明する模式図。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法におけるブラスト加工のブラスト方向の変化とマスクパターンによりマイクロレンズホールが彫り込まれていく様子を説明する模式図。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法におけるマスクのパターン形状と彫り込まれていくマイクロレンズホールの形状を説明する模式図。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法におけるマスクのパターン形状と彫り込まれていくマイクロレンズホールの形状を説明する模式図。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は本発明のマイクロレンズ成形用金型の製造方法におけるマスクのパターン形状と彫り込まれていくマイクロレンズホールの形状を説明する模式図。
【符号の説明】
【００６０】
１…金型材
２０…マスク
３０…ブラストホール
３１…マイクロレンズホール
Ｌ…ブラスト方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2006035394.tif 000006
【図５】
2006035394.tif 000007
【図６】
2006035394.tif 000008
【図７】
2006035394.tif 000009
【図８】
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