(57)【要約】【課題】カット面形状に歪みが存在する場合でも反射光を均一に受光できるように照射し、中空部と樹脂部のコントラストを向上させて誤検出を低減することができ、併せて端面のカッター異常を早期に発見することのできる中空糸膜モジュール検査装置および中空糸膜モジュールの検査若しくは製造方法を提供する。【解決手段】平面型照明と中空糸膜モジュールからの反射光を受光する第１の撮像手段と、リング型照明と中空糸膜モジュールからの散乱光を受光する第２の撮像手段と、それぞれの撮像手段で得られた画像を処理する欠陥判別手段と、モジュールを移動させるモジュール走査手段とを有し、中空糸膜モジュール端面に発生する欠陥を検出するようにしたことを特徴とする中空糸膜モジュール検査装置。【選択図】図２
2006091007.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面型照明と中空糸膜モジュールからの反射光を受光する第１の撮像手段と、リング型照明と中空糸膜モジュールからの散乱光を受光する第２の撮像手段と、それぞれの撮像手段で得られた画像を処理する欠陥判別手段と、モジュールを移動させるモジュール走査手段とを有し、中空糸膜モジュール端面に発生する欠陥を検出するようにしたことを特徴とする中空糸膜モジュール検査装置。
【請求項２】
前記平面型照明および第１の撮像手段が偏光板を有し、さらに第１の撮像手段がラインセンサカメラであることを特徴とする請求項１に記載の中空糸膜モジュール検査装置。
【請求項３】
前記モジュール走査手段において、モジュールを移動させるためのモジュール支持手段を有し、該モジュール支持手段はノズルの固定手段を備え、該ノズルの固定手段はモジュール位置決め機構を有することを特徴とする、請求項１または２に記載の中空糸膜モジュール検査装置。
【請求項４】
前記中空糸膜モジュール端面位置を測定する端面距離測定手段と撮像装置移動手段とをさらに有し、モジュール端面に撮像手段の焦点位置を合わせることを可能に構成したことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の中空糸膜モジュール検査装置。
【請求項５】
前記中空糸膜モジュールを複数同時に移載、検査することを可能に構成したことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の中空糸膜モジュール検査装置。
【請求項６】
前記第２の撮像手段がエリアセンサカメラであり、エリアセンサカメラ用モジュール支持手段とエリアセンサカメラ用移載手段とリング型照明移動手段とを有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の中空糸膜モジュール検査装置。
【請求項７】
前記欠陥判別手段による判別結果に基づいて欠陥中空糸膜モジュールを分別する手段を有することを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の中空糸膜モジュール検査装置。
【請求項８】
平面型照明から中空糸膜モジュール端面に照射された照射光の反射光を受光する撮像ステップにより得られた画像を処理することにより端面の欠陥の検査を行うことを特徴とする中空糸膜モジュールの検査方法。
【請求項９】
平面型照明から中空糸膜モジュール端面に照射された照射光の反射光を受光する第１の撮像ステップと、リング型照明から前記端面に照射された照射光の散乱光を受光する第２の撮像ステップと、それぞれの撮像ステップで得られた画像を処理する欠陥判別ステップにより、端面の欠陥の検査を実施することを特徴とする中空糸膜モジュールの検査方法。
【請求項１０】
前記平面型照明が偏光光を照射するものであり、前記第１の撮像ステップがラインセンサカメラを用いて偏光成分のみを受光することを特徴とする請求項９に記載の中空糸膜モジュールの検査方法。
【請求項１１】
前記モジュール走査ステップにおける、モジュールを移動させるためのモジュール支持手段が有するノズルの固定手段を用いて、中空糸膜モジュールの固定および撮像の際の位置決めを実施することを特徴とする、請求項９または１０に記載の中空糸膜モジュールの検査方法。
【請求項１２】
前記中空糸膜モジュール端面位置を測定する端面距離測定ステップと、測定された前記端面位置に基づいて第１または第２の撮像ステップにおける撮像装置の焦点位置を合わせる撮像装置移動ステップを含む請求項９〜１１のいずれかに記載の中空糸膜モジュールの検査方法。
【請求項１３】
前記中空糸膜モジュールを複数同時に検査することを特徴とする、請求項９〜１２のいずれかに記載の中空糸膜モジュールの検査方法。
【請求項１４】
前記第２の撮像ステップにおいて、前記中空糸膜モジュールをエリアセンサ用モジュール支持手段に移載し、前記リング型照明内に前記中空糸膜モジュールを挿入し、エリアセンサカメラを用いて撮像することを特徴とする、請求項９〜１３のいずれかに記載の中空糸膜モジュールの検査方法。
【請求項１５】
前記欠陥判別ステップによる判別結果に基づいて欠陥中空糸膜モジュールを分別することで中空糸膜モジュールを得ることを特徴とする、請求項９〜１４のいずれかに記載の中空糸膜モジュール製造方法。
【請求項１６】
中空糸膜モジュールの糸束端部の樹脂をカットするカット工程と、カットした端面を撮像する撮像工程と、前記撮像工程で得られた画像の特徴量により、前記カット工程の異常を判定するカット状態判定工程とを含む中空糸膜モジュールの製造方法。
【請求項１７】
前記カット状態判定工程が、前記画像における前記糸束端部の樹脂部領域の平均輝度値に基づいて前記カット工程の異常を判定する工程であることを特徴とする請求項１６に記載の中空糸膜モジュールの製造方法。
【請求項１８】
前記カット状態判定工程が、前記画像における前記糸束端部の樹脂部領域の輝度標準偏差に基づいて前記カット工程の異常を判定する工程であることを特徴とする請求項１６に記載の中空糸膜モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中空糸膜モジュールの端面に発生する欠陥を検出するための中空糸膜モジュール検査装置および中空糸膜モジュールの検査若しくは製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば血液透析装置、浄水器等に使用される中空糸膜モジュールの端面に発生する欠陥を検出する装置が知られている（例えば、特許文献１、２）。これら特許文献に記載されている中空糸膜モジュール検査装置は、スリット光源を使用していた。ところが、図１（ａ）に示すように、中空糸膜モジュールＭの端部カット面は、正常な場合にはフラットな面に形成されるのであるが、中空糸膜モジュールＭの外径が大きい場合には、カット面形状がフラットではなく、図１（ｂ）に示すように、中央部が凹み、外周部が盛り上がる形状となることがある。このような場合にスリット光源を使用すると、カット面外周部分（盛り上がり部）での反射光がカメラに入射せず、低輝度に撮像され、その結果欠陥として誤検出されることがある。
【０００３】
また、従来の中空糸膜モジュール検査装置では、光源、カメラが偏光板を有していなかったため、中空糸膜モジュールの端面における中空糸の中空部と中空糸の束を固める樹脂部のコントラストが低く、糸束を認識できない場合があり、不通糸（中空糸膜の端面から内部に樹脂が入り込み、端部が閉塞されてしまう糸）として誤検出する場合があった。
また、中空糸膜モジュールの製造方法において通常、血液透析等に使用する中空糸を円柱型のケース等に挿入し、端部を樹脂で固めるが、ケース端部より外にはみ出た樹脂をカットする工程があり、かかる端部カット工程は通常は中空糸膜モジュール検査工程の前工程に位置するが、工程で使用するカッターは摩耗等により異常状態（カッター異常）が発生することがある。したがって、かかるカッター異常を調べて、カッター交換を実施するかどうかの判断をする必要がある。従来、この判断は該カット工程において定期的にサンプリングしたモジュールの目視検査を行うことによってなされていた。しかし、この場合、カッター異常の発生から発見までタイムラグが生じ、一旦は正常と判断して次工程に流した中空糸膜モジュールまで遡って不良品と判断して回収する必要があったため、収率の低下に繋がっていた。
【特許文献１】特開２００４−１１３８９４号公報
【特許文献２】特開平８−２７１２４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、上記のような従来の技術における問題点を解決し、カット面形状に図１に示したような歪みが存在する場合でも反射光を均一に受光できるように照射し、中空部と樹脂部のコントラストを向上させて誤検出を低減することができ、併せて端面のカッター異常を早期に発見することのできる中空糸膜モジュール検査装置および中空糸膜モジュールの検査若しくは製造方法を提供することにある。
【０００５】
また、中空糸膜モジュールの端面を撮像する際、常にピントの合った状態で撮像でき、中空糸膜モジュール１本当たりの検査タクトを短縮でき、中空糸膜が透明度の高いものであっても、高速で精度良く検査できる中空糸膜モジュール検査装置および中空糸膜モジュールの検査若しくは製造方法を提供することも課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明に係る中空糸膜モジュール検査装置は、第１の撮像手段を、平面型照明から中空糸膜モジュール端面に照射された照射光の反射光を受光する撮像手段とするものであり、より具体的には、平面型照明と中空糸膜モジュールからの反射光を受光する第１の撮像手段と、リング型照明と中空糸膜モジュールからの散乱光を受光する第２の撮像手段と、それぞれの撮像手段で得られた画像を処理する欠陥判別手段と、モジュールを移動させるモジュール走査手段とを有し、中空糸膜モジュール端面に発生する欠陥を検出するようにしたことを特徴とするものからなる。
【０００７】
この中空糸膜モジュール検査装置においては、平面型照明および第１の撮像手段が偏光板を有し、さらに第１の撮像手段がラインセンサカメラであることが好ましい。
【０００８】
また、中空糸膜モジュールに設けられたノズルの固定手段がモジュール位置決め機構を有していることが好ましい。
【０００９】
また、中空糸膜モジュール端面位置を測定する端面距離測定手段と撮像装置移動手段とを有しており、モジュール端面に撮像手段の焦点位置を合わせることが可能に構成されていることが好ましい。
【００１０】
また、中空糸膜モジュールを複数同時に移載、検査することが可能に構成されていることが好ましい。
【００１１】
また、第２の撮像手段がエリアセンサカメラであり、エリアセンサカメラ用モジュール支持手段とエリアセンサカメラ用移載手段とリング型照明移動手段とを有することが好ましい。
【００１２】
さらに、欠陥判別手段による判別結果に基づいて欠陥中空糸膜モジュールを分別する手段を有することが好ましい。
【００１３】
また、上記手段からなる装置を使用して撮像した端面の画像の特徴量により、端面カット工程の異常を判定するカット状態判定工程を有することが好ましい。
【００１４】
その際、カット状態判定工程が撮像した画像における糸束端部の樹脂部領域の平均輝度値あるいは輝度標準偏差に基づいてカット工程における異常状態を判定する工程であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る中空糸膜モジュール検査装置、中空糸膜モジュールの検査若しくは製造方法によれば、次のような種々の効果が得られる。
（１）中空糸膜モジュールの端部カット面の歪みによる暗部領域の発生が防止できるため、誤検出を防ぐことができる。
（２）偏光板を用いれば、中空糸と糸束の認識精度が向上し、さらに誤検出を防ぐことができる。
（３）撮像の際の中空糸膜モジュールの位置決めを、高速に実施することができる。
（４）中空糸膜モジュールを常にピントの合った状態で撮像することができる。
（５）複数同時に検査することで検査タクトを短縮することができる。
（６）リング型照明を中空糸膜モジュールに挿入することで、主原料がポリメチルメタクリレートのような透明度の高い中空糸でも精度良く検査することができる。
（７）リング型照明をモジュールに挿入する場合に、モジュール走査手段（モジュール走査ステップ）から中空糸膜モジュールをモジュール支持手段に移載・設置することによって検査タクトを短縮することができる。
（８）判別結果に基づいて中空糸膜モジュールの排出を行なうので、不良品流出の防止と、生産性の向上を実現できる。
（９）カット工程におけるカッター状態異常を速やかに判定し、警告信号を発生させる等することでカッター交換等の対策が速やかに実施可能となり、収率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明の望ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図２は、本発明の一実施態様に係る中空糸膜モジュール検査装置の全体構成を示している。図２において、Ｍは中空糸膜モジュール、１はモジュール移載手段、２は第１の撮像手段としての正反射画像撮像手段、３は第２の撮像手段としての散乱画像撮像手段、４は操作指令手段、５は欠陥判別手段、６は表示装置を、それぞれ示している。前工程から供給される中空糸膜モジュールＭを、モジュール搬入手段１０１を用いてモジュール支持手段１０２に設置する。モジュール支持手段１０２は、図４に示すように、中空糸膜モジュールＭに設けられたノズル１０５の固定手段１０６を備えており、該ノズル固定手段１０６はＶ字型のモジュール位置決め機構を有している。モジュールＭが設置された後、モジュールの端面距離測定手段２０１の測定結果をもとに、撮像装置移動手段２０２、３０１が撮像装置２０３、３０２のピント位置を調整する。その後モジュール走査手段１０３が動作を開始し、正反射画像撮像手段２によって、照明光源２０７に接続された平面型照明２０６からの照射光の反射光を撮像装置２０３が受光する。
【００１８】
ここで、前記第１の撮像手段はラインセンサカメラであることが好ましい。また、前記第２の撮像手段はエリアセンサカメラであることが好ましい。
【００１９】
モジュール走査手段１０３は一定速度で走査を継続し、照明光源３０４に接続されたリング型照明３０３による中空糸膜モジュール端面の散乱光を、散乱画像撮像手段３の撮像装置３０２が受光する。
【００２０】
得られた２つの撮像結果に基づいて、欠陥判別手段５を用いて欠陥を判別する。判別結果をもとに、モジュール排出手段１０４を用いて良品モジュールのみを次工程へ排出する。
【００２１】
中空糸膜モジュールの外径が大きい場合、カット面形状がフラットではなく、中央部が凹み外周部が盛り上がる形状となることがある（前述の図１）。従来のようにスリット光源を使用した場合、カット面外周部分（盛り上がり部）での反射光がカメラに入射せず、低輝度に撮像され欠陥として誤検出されることがあった。カット面の形状は最大で±１０°程度傾く。
【００２２】
図３は、正反射画像撮像手段２において撮像装置２０３に入射する反射光がカット面の歪みによって異なることを示している。カット面の歪みの角度がθである場合、光軸は２θ傾く。ここで、本発明における平面型照明とは、電球などの点光源や、棒状の蛍光灯のような１次元的な広がりをもつ光源に対し、２次元以上の広がりをもつ光源を指す。具体的には、照明の照射領域が後述する入射光発生位置の変化範囲以上の領域を有し、厚さが５０ｍｍ以下、光量分布均斉度が６０％以上であるものをいう。このような本発明における平面型照明は、撮像装置２０３に入射するカット面からの反射光に対応する照明からの入射光の発生位置が、カット面の歪みにより変化した場合においても、前記入射光発生位置の変化範囲以上の照射領域を有することを特徴とする。
【００２３】
図８は、カット面の歪みにより前述の入射光発生位置が変化することを示している。図９は、カット面の歪みによる入射光発生位置の変化範囲以上の照射領域を有する平面型照明の照射領域算出方法を示している。算出式を同図に示す。図９においてＷは、平面型照明端部〜カット面間の距離である。検査の前工程である樹脂部カット工程において、カット装置の異常等により樹脂部が切断されていない状態で中空糸膜モジュールを走査した場合においても、平面型照明と中空糸膜モジュールが接触しないよう、Ｗの幅を１０ｍｍ以上に設定する必要がある。図９において、Ｗは、同図に示した式（１）によって求められる。図９において、Ｗ１  は、平面型照明端部〜斜め向きカット面距離、Ｗ２  は、平面型照明外周部に存在する非照射領域の幅である。図９に示すように、（２）、（３）、（４）式から、Ｗ４  である平面型照明照射領域幅１が求められる。また、（５）式から、Ｗ５  である平面型照明照射領域幅２が求められる。前述した、入射光発生位置の変化範囲以上の照射領域を有する平面型照明とは、照射領域の１辺がＷ４  以上であり、もう１辺がＷ５  以上の長さを有するものを意味する。このように、平面型照明を使用することで、カット面の歪みによる暗部領域の発生が防止できるため、誤検出を防ぐことができる。なお、図９において、Ｗ．Ｄは撮像手段１（第１の撮像手段２０３）〜カット面距離、Ｌは平面型照明照射領域中心〜カット面距離、φは撮像手段１（第１の撮像手段２０３）の撮像角度、θはカット面歪み角度、Ｒは中空糸膜モジュール検査領域外径を、それぞれ示している。
【００２４】
平面型照明と撮像装置のみでカット面を撮像すると、偏光方向が揃っていないため、中空部と樹脂部のコントラストが低くなるおそれがある。そこで、図２に示すように、平面型照明に偏光板２０５を取り付けて偏光方向を揃え、更に撮像装置２０３にも偏光板２０４を取り付けることで、中空部と樹脂部のコントラストを向上できる。中空部と樹脂部のコントラストが向上することから、中空糸と糸束の認識精度が向上し、より確実に誤検出を防ぐことができる。
【００２５】
中空糸膜モジュールのノズル１０５（図４）を把持してモジュールを支持手段に移載・固定する際、位置ズレが生じてピントの合ってない状態で撮像される場合がある。このため、図４に示す通りノズル１０５を把持する際にＶ字型の溝等によるモジュール位置決め機構を用いることで位置ズレを防止することができる。また、撮像の際の中空糸膜モジュールの位置決めを、高速に実施することができる。
【００２６】
上記したＶ字溝による位置決め機構で中空糸膜モジュールの位置決めをした場合でも、カット面の位置が前後する場合がありピントが合った状態で撮像できない場合がある。このため、端面距離測定手段で端面を測定し、カメラ移動手段を用いて焦点位置を調整し、ピントの合った画像を得られるようにする。中空糸膜モジュールの位置が大幅にズレた場合には、光学系の位置関係がズレるため、上記したＶ字溝による位置決めと端面距離測定の両方を具備することが好ましい。カット面には中空部があるため、一般に使用される微小スポット径のレーザー変位計を使用すると誤差が大きい。このため、中空部の断面面積の総和の３倍以上の測定領域を持つ装置が好ましい。
【００２７】
図２で示した実施形態では、移載に時間がかかるおそれがあり、中空糸膜モジュール１本あたりの検査タクトが長くなるおそれがある。そこで、例えば図５に示すように、複数の中空糸膜モジュールを同時に移載・検査することで、１本あたりの検査タクトを短縮することができる。
【００２８】
また、図２で示した実施形態では、散乱画像撮像手段３において、透明度の高い中空糸、例えば主原料をポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）とするものについて、中空糸からの充分な散乱光が得られないため精度の良い検査が困難になる場合がある。そこで図６に示すように、中空糸膜モジュールＭにリング型照明３０３をリング型照明移動手段３０５により挿入することで精度の良い検査が可能となる。この時、モジュール走査手段に設置されたままリング型照明３０３を挿入すると、撮像終了までの間走査手段が停止状態となるため、検査タクトが長くなる。そこで、モジュール走査手段とは別に散乱画像撮像用モジュール支持手段を具備し、平面型照明による撮像終了後、直ちに前記散乱画像撮像用モジュール支持手段に移載することで、平面型照明による撮像とリング型照明による撮像を平行して実施することが可能となり、検査タクトを短縮することができる（後述の実施例２参照）。
【００２９】
本発明によるリング型照明とは、図６（ｂ）の３０３に示すように、中央が空洞部を有し出射領域が円形である光源をいう。
【００３０】
上記散乱画像撮像用モジュール支持手段にモジュールを設置する場合、カメラのピント合わせのため、前述したのと同様、中空糸膜モジュール端面位置を測定する端面距離測定手段と撮像装置移動手段とを有しており、モジュール端面に撮像手段の焦点位置を合わせることを可能にした構成を採用することが好ましい。また、中空糸膜モジュールを複数同時に移載、検査することが可能な構成を採用することが好ましい。さらにまた、端面距離測定手段がカメラの視野を妨げないように、端面距離測定手段移動手段を具備することが好ましい。
【００３１】
図７は、具体的な構成例を示しており、図６に示した構成を採用した例を示している。
図２に示した構成に比べ、さらに、モジュール中間移載手段１１１、モジュール支持手段１１２、端面距離測定手段３１１、照明移動手段３１２、端面距離測定手段移動手段３１３が追加されている。
【００３２】
上記のような中空糸膜モジュールの欠陥判別結果をもとに、モジュール排出装置が良品のみを次工程へ供給することで、後工程での部品ロスが少なくなり生産性を向上出来る。
また、上記に述べた撮像手段により得られた画像の特徴量を用いると、前工程である端部カット工程での異常判定を行うことができ、しかも従来に比較して早期に異常を発見できるため、収率を向上させることが出来る。
【００３３】
たとえば、前記正反射画像撮像手段２（第１の撮像ステップ）での撮像画像において、カット工程のカッターが正常な場合は図１０（ａ）に示すような画像となる。樹脂部の正反射画像を撮像するため、樹脂部では高輝度に撮像され、中空糸膜の中空部は低輝度に撮像される。
このとき、カッターが磨耗等の原因で経時劣化した場合は端面の表面全体に微小な凹凸が発生し、図１０（ｂ）に示すように全体的に低輝度に撮像されることがわかっている。また、刃こぼれ等の原因でカッターの一部分が劣化した場合は、図１０（ｃ）に示すように端面の一部分のみが低輝度に撮像されることがわかっている。
以上の知見から、前記正反射画像撮像手段２（第１の撮像ステップ）での撮像画像において、樹脂部領域のみを評価範囲として、範囲内における全画素輝度における平均値からカッターの経時劣化状態を、範囲内における標準偏差の値からカッターの一部分の劣化状態を、それぞれあらかじめ定めた所定の閾値と比較することで判定可能である。図１０（ｂ，ｃ）の画像における樹脂部領域の抽出画像をそれぞれ図１０（ｄ，ｅ）に示す。
樹脂部領域の抽出は以下に示す手順（図１１）で行う。
図１１に示すように、撮像画像（ａ）にローパスフィルタを施した画像（ｂ）と撮像画像（ａ）の、差分画像（ｃ）を得ることにより、中空糸膜部分を強調することができる。さらに２値化処理を実施して中空糸膜部分を検出したあと、膨張・収縮処理を実施して画像（ｅ）に示す中空糸束領域を得る。前記画像（ｅ）と撮像画像（ａ）の差分画像（ｆ）を得ることで、樹脂部領域の抽出が可能である。抽出した樹脂部領域における全画素輝度の平均値からカッターの経時劣化を判定し、標準偏差からカッターの一部分の劣化を判定可能である。なお、カッターの一部分の劣化判定については、差分画像（ｃ）と膨張・収縮処理画像（ｅ）との差分画像における、全画素輝度の標準偏差の値を評価することで，より高精度なカッター判定が可能となる。
【００３４】
これらのカッター判定を中空糸膜モジュールの検査毎に実施し、異常判定となった場合は警告信号を発生させる等することで、カッター交換等の対策が速やかに実施可能となり、収率を向上させることができる。
なお、上記実施形態においては、前記正反射画像撮像手段２（第１の撮像ステップ）を用いてカット工程異常の判定を実施したが、その他の撮像手段を用いてもよく、例えば前記散乱画像撮像手段３（第２の撮像ステップ）を用いても良い。ただし、前記散乱画像撮像手段３（第２の撮像ステップ）は散乱光を撮像するものであるところ、本実施形態においては前記端面の表面状態が画像に反映されやすい、反射光を用いた前記正反射画像撮像手段２（第１の撮像ステップ）を用いたものである。
【実施例】
【００３５】
以下に、本発明を、実施例を用いて、具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。
実施例１（図５参照）
図２に示した装置構成に、検査タクト短縮のため、複数同時移載・検査機能を持たせた。本実施例においては、中空糸膜モジュールＭは２本同時に移載・検査される。前工程でのカット装置異常により、端部に形成された樹脂が切断されていない状態の中空糸膜モジュールが発生した場合においても、異常中空糸膜モジュールが平面型照明と接触しないように、平面型照明端部〜カット面距離を１０ｍｍ以上となるよう設定した。平面型照明２０６〜モジュール端面間距離を１１０ｍｍに設定し、撮像装置２０３〜モジュール端面間距離を３６１ｍｍに設定した。平面型照明２０６、中空糸膜モジュールＭ、撮像装置２０３の位置関係において、カット面の歪み±１０°に対応可能なように平面型照明２０６の照射領域を９０ｍｍ×９０ｍｍとし、照明外周部の非照射領域を７ｍｍ以下とした。具体的には、平面型照明２０６にはモリテックス社製のＭＰＰ９０−１５００Ｓを使用した。また、撮像装置２０３、３０２には、ラインセンサカメラであるＮＥＤ社製のＮＳＵＦ２０１４を使用した。更に、端面距離測定手段にはオムロン社製のＺＸ−ＬＤ４０Ｌを使用し、欠陥判別手段５にはＰＣ／ＡＴ互換機を使用した。この構成により、目標とする性能を達成できた。
実施例２（図７参照）
図２に示した装置構成に、透明度の高い中空糸膜を採用した品種を検査するため、リング型照明移動手段（リング型照明移動ステップ）を持たせた。本実施例においては、正反射画像撮像手段２の撮像（第１の撮像ステップ）が終了すると、モジュール走査手段１０３の走査（モジュール走査ステップ）が停止し、モジュール中間移載手段１１１（モジュール中間移載ステップ）によって中空糸膜モジュールＭをモジュール支持手段１１２に設置する。その後、モジュール走査手段１０３（モジュール走査ステップ）は次の中空糸膜モジュールＭを走査するため原点位置に復帰するとともに、散乱画像撮像手段３（第２の撮像ステップ）ではモジュール支持手段１１２に設置された中空糸膜モジュールＭの撮像が開始される。モジュール支持手段１１２にモジュールが設置された後、端面距離測定手段３、１１（端面距離測定ステップ）の測定結果をもとに撮像装置移動手段３０１（撮像装置移動ステップ）がピント位置を調整する。その後の照明移動手段３１２（リング型照明移動ステップ）がリング型照明３０３をモジュール方向へ移動させるとともに、端面距離測定手段移動手段３１３が端面距離測定手段を撮像装置３０２の視野外へと移動させる。その後散乱画像撮像手段３（第２の撮像ステップ）によって、リング型照明３０３による散乱光を撮像装置３０２が受光する。なお、正反射画像撮像手段２に使用した機器・光学系構成は実施例１と同様である。散乱画像撮像手段３においては、リング型照明３０３の挿入幅（図６参照）を１０．５ｍｍとした。また撮像装置３０２は、エリアセンサカメラである竹中システム機器社製のＦＣ１３２０ＣＬを使用した。この構成により、目標とする性能を達成できた。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】正常状態である中空糸膜モジュール端部カット面形状と、歪みの発生したカット面形状を示す概略側面図である。
【図２】本発明の一実施態様に係る中空糸膜モジュール検査装置の全体構成図である。
【図３】中空糸膜モジュール端部カット面形状の歪みによる光軸のズレを示す説明図である（実線が入反射光）。
【図４】ノズル固定手段による、中空糸膜モジュールの位置決め機構を示すモジュールの正面図（ａ）および側面図（ｂ）である。
【図５】本発明の別の実施態様に係る中空糸膜モジュール検査装置（複数本同時移載検査の実施例）の全体構成図である。
【図６】中空糸膜モジュールにリング型照明を挿入する構成例を示すモジュールの正面図（ａ）および側面図（ｂ）である。
【図７】本発明のさらに別の実施態様に係る中空糸膜モジュール検査装置の全体構成図である。
【図８】中空糸膜モジュール端部カット面に歪みがある場合の正反射光学系の一例を示す説明図である。
【図９】平面型照明を用いた場合の正反射光学系の一例を示す説明図である。
【図１０】カッター状態に対応する、第１の撮像手段（第１の撮像ステップ）で得られたカット面画像と、樹脂部領域抽出画像である。
【図１１】樹脂部領域抽出における画像処理順序と、各処理結果の画像である。
【符号の説明】
【００３７】
Ｍ  中空糸膜モジュール
１  モジュール移載手段
２  正反射画像撮像手段
３  散乱画像撮像手段
４  操作指令手段
５  欠陥判別手段
６  表示装置
１０１  モジュール搬入手段
１０２  モジュール支持手段
１０３  モジュール走査手段
１０４  モジュール排出手段
１０５  ノズル
１０６  ノズル固定手段
１１１  モジュール中間移載手段
１１２  モジュール支持手段
２０１  端面距離測定手段
２０２  撮像装置移動手段
２０３  撮像装置
２０４  偏光板
２０５  偏光板
２０６  平面型照明
２０７  照明光源
３０１  撮像装置移動手段
３０２  撮像装置
３０３  リング型照明
３０４  照明光源
３０５  リング型照明移動手段
３１１  端面距離測定手段
３１２  照明移動手段
３１３  端面距離測定手段移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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