(57)【要約】【課題】フィルターを疎らに設置した乱流方式のクリーンルームにおいて、該クリーンルーム内の清浄度を均一にする。【解決手段】フィルター濾材１と同一サイズの板に複数列に亘って、通気用の開口部５を複数個間隔を有して設けると共に、前記各開口部５の端縁部に送風方向を制御するフラッパー６を傾斜して起立固定してフラッパー付き濾材保護板３を形成する一方、該ラッパー付き濾材保護板３の外周縁部を、前記フィルター濾材１との間に通気空間７を有して、フィルター取付枠２のフィルター濾材１の下流側に周設された取付凹溝４に嵌合固定する。【選択図】図１
2006231098.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状濾材を波形状に折曲して形成されたフィルター濾材をフィルター取付枠の内周壁面に密に接合固定したフィルター装置において、前記フィルター濾材と同一サイズの板に複数列に亘って、通気用の開口部を複数個間隔を有して設けると共に、前記各開口部の端縁部に送風方向を制御するフラッパーを傾斜して起立固定してフラッパー付き濾材保護板を形成する一方、該フラッパー付き濾材保護板の外周縁部を前記フィルター濾材との間に通気空間を有して、前記フィルター取付枠のフィルター濾材の下流側に周設された取付凹溝に嵌合固定したことを特徴とするフィルター装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体および液晶基板の製造工場において使用するフィルター装置であって、特にフィルター装置を疎らに設置した乱流方式のクリーンルームにおいて、該クリーンルーム内の清浄度を均一にすることができるフィルター装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ＩＣ回路の微細化により、３００ｍｍウェハの製造ラインでは、製造環境も大幅な変革が進み、従来の製造ラインを設置するクリーンルームにおいては、全体のクリーン度を上げるボールルーム方式から、ウェハの周囲のみのクリーン度を上げるミニ・エンバイロメント方式に変わってきた。
【０００３】
前記ミニ・エンバイロメント方式クリーンルームでは、初期投資、ランニングコスト削減の目的からクリーンルーム全体のクリーン度を従来より低くして、装置間のウェハの搬送は密閉型収納容器に入れて行われている。このウェハ収納容器は、ＦＯＵＰと呼ばれ、その仕様は世界標準となっている。
【０００４】
そして、半導体および液晶基板の製造工場におけるクリーンルームは、要求される清浄度が低く、乱流方式クリーンルームが採用されるのが一般的である。
【０００５】
一般にクラス１から１０の高清浄度に保つクリーンルーム方式は、天井全面にフィルター装置を設置し、クリーンルーム全体を層流にする方式が採用される。この場合、天井に設置されるフィルター装置は、シート状濾材を波形状に折曲して、フィルター取付枠に接合固定したフィルター濾材が採用され、フィルター濾材面全体から均一な風速が得られることが要求される。
【０００６】
前記半導体および液晶基板の製造工場におけるクリーンルームは、前記したように、要求クリーン度はクラス２００から１０００程度に低くしてもよい。この場合、クリーンルームの天井には、前記フィルター装置が間隔を空けて、疎らに設置される乱流方式が採用されている。
【０００７】
しかしながら、前記天井にフィルター装置が疎らに設置されたクリーンルーム内では、フィルター装置直下の清浄度は高く、それ以外の場所は低くなるという、不均一な清浄度になってしまう。
【０００８】
そして、前記清浄度の不均一を避けるという構成を備えた過去の特許文献を遡及検索すると、下記の特許文献が公知である。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−１６６７５７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、前記特許文献１記載のクリーンルームにフィルター濾材の下面に、
風向板が一連に連結固定されているため、製造に手間がかかり、そのためフィルターユニットの製造コストが高くなり、更に、フィルター濾材を保護するための保護板を装置することができないという課題があった。
【００１１】
本発明は、前記課題を解決すべくなされたもので、フィルター濾材を取付けたフィルター取付枠に、気流制御とフィルター濾材保護とを兼ねるフラッパー付き濾材保護板を、極めて簡単、且つ容易に一体として取付けることができ、予め製造工場において、画一化された製品の製造が可能で、その結果、工期の短縮と、コスト低減を図ることができるフィルター装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、シート状濾材を波形状に折曲して形成されたフィルター濾材をフィルター取付枠の内周壁面に密に接合固定したフィルター装置において、前記フィルター濾材と同一サイズの板に複数列に亘って、通気用の開口部を複数個間隔を有して設けると共に、前記各開口部の端縁部に送風方向を制御するフラッパーを傾斜して起立固定してフラッパー付き濾材保護板を形成する一方、該ラッパー付き濾材保護板の外周縁部を前記フィルター濾材との間に通気空間を有して、前記フィルター取付枠のフィルター濾材の下流側に周設された取付凹溝に嵌合固定するという手段を採用することにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１３】
フィルター装置に取付けられたフラッパー付き濾材保護板により、機械的外力によるフィルター濾材の破損が防止されると共に、前記開口部の位置、開口サイズおよびフラッパーの傾斜角度により、フィルター濾材で清浄化された清浄空気を、クリーンルーム内の任意の風速で、任意の方向に噴出すことができる。また、フィルター濾材を取付けたフィルター取付枠に、気流制御とフィルター濾材保護とを兼ねるフラッパー付き濾材保護板を極めて簡単、且つ容易に、一体として取付けることができ、予め製造工場において、画一化された製品の製造が可能で、その結果、工期の短縮と、コスト低減を図ることができる。
【実施例】
【００１４】
本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明すると、フィルター濾材１をその内周壁面に密に接合固定するフィルター取付枠２の下流側の下端内周壁面に、フラッパー付き濾材保護板３の外周縁部を嵌合装着する取付凹溝４が周設されている。                            
【００１５】
前記フィルター取付枠２の取付凹溝４に嵌合装着するフラッパー付き濾材保護板３は、前記フィルター濾材１と同一サイズの板の両側に通気用の開口部５を複数個間隔を有して設けると共に、該各開口部５の外方側端縁部に、送風方向を制御するため所定の角度で傾斜して起立したフラッパー６を、それぞれ前記各開口部５に連設して形成されている。
【００１６】
前記フラッパー付き濾材保護板３は、その外周縁部を前記フィルター取付枠２の取付凹溝４に単に嵌合するのみで、フィルター濾材１との間に通気空間７を有して極めて簡単、且つ容易に装着固定されて、本発明フィルター装置８が形成されている。そして前記フィルター装置８は、システム天井９上に載置固定される。
【００１７】
本発明フィルター装置の作用について説明する。フィルター濾材１の上流側から導入された空気１０は、前記フィルター濾材１を通過して清浄空気１１となって、通気空間７内に噴出される。前記通気空間７内に噴出した清浄空気１１は、フラッパー付き濾材保護板３の中央部分は通気可能に形成されていないため、該通気空間７内において乱流し、その後、複数の開口部５より各フラッパー６にガイドされた斜めの噴出方向に向けてクリーンルーム１２内に、前記フィルター濾材１からの噴出速度より流速を早めて噴出される。
【００１８】
クリーンルーム１２内に噴出された清浄空気１１は、本発明フィルター装置８が天井面に疎らに設置されているため、各装置の開口部５から斜め方向に噴出された清浄空気１１が入り乱れて、クリーンルーム１２内の空気を攪拌し、該クリーンルーム１２内の清浄度を均一にすることができる。
【００１９】
前記フィルター装置８に取付けられたフラッパー付き濾材保護板３により、機械的外力によるフィルター濾材１の破損が防止されると共に、前記開口部５の位置、開口サイズおよびフラッパー６の傾斜角度により、フィルター濾材１で清浄化された清浄空気１１を、クリーンルーム１２内の任意の風速で、任意の方向に噴出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明フィルター装置をシステム天井に載置し、一部を切り欠いて示す縦断面図である。
【図２】同システム天井を省略して示す底面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１  フィルター濾材
２  フィルター取付枠
３  フラッパー付き濾材保護板
４  取付凹溝
５  開口部
６  フラッパー
７  通気空間
８  フィルター装置
９  システム天井
１０  空気
１１  清浄空気
１２  クリーンルーム
【図１】
2006231098.tif 000003
【図２】
2006231098.tif 000004