(57)【要約】【課題】ワークの吸着固定およびその解除の動作を速やかに行わせることが可能で、複雑な構造を必要とせずにワークの高速供給に対応することが可能なワーク供給方法およびワーク供給装置を提供する。【解決手段】ワーク１を連続して供給する第１供給機構部２と、第１供給機構部２から供給されたワークが搬送されるワーク搬送路１４と、第１供給機構部２から供給され、列をなして搬送されるワーク１のうちの任意のワーク１（１ｂ）を、静電吸着ヘッド３により吸着固定して、吸着固定されたワーク１（１ｂ）以降のワーク１を堰き止める分離供給機構部４と、分離供給機構部４で吸着固定された位置より先にあるワーク１（１ａ）のみを取り込んで次工程に供給する第２供給機構部５とを備えた構成とする。  また、静電吸着ヘッドを分離供給機構部のワーク搬送路の上方に配置する。【選択図】図１
2006273579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送方向に平行に、列をなして連続的に搬送されてくるワークに対し、任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定することにより、吸着固定位置以降のワークは堰き止め、
吸着固定位置より先にあるワークのみを次工程に供給するように構成されていること
を特徴とするワーク供給方法。
【請求項２】
ワークを連続して供給する第１供給機構部と、
前記第１供給機構部から供給されたワークが搬送されるワーク搬送路と、前記ワーク搬送路上を、列をなして連続的に搬送されてくるワークのうちの任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定する静電吸着ヘッドとを有し、前記静電吸着ヘッドにより、任意の位置のワークを吸着固定して、吸着固定されたワーク以降のワークを堰き止める分離供給機構部と、
前記分離供給機構部で吸着固定された位置より先にあるワークのみを取り込んで次工程に供給する第２供給機構部と
を具備することを特徴とするワーク供給装置。
【請求項３】
前記静電吸着ヘッドが、前記分離供給機構部のワーク搬送路の上方に配置されていることを特徴とする請求項２記載のワーク供給装置。
【請求項４】
前記静電吸着ヘッドへの電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段を備えていることを特徴とする請求項２または３記載のワーク供給装置。
【請求項５】
(ａ)前記分離供給機構部には、前記第１供給機構部から連続供給されてくるワークの先頭検出用のセンサが設置されており、前記センサによる先頭ワーク検出信号にしたがい、先頭のワークを含まず、該先頭から２番目のワークを含む１または２以上のワークを前記静電吸着ヘッドにより吸着固定して、先頭のワークのみを、前記第２供給機構部への取り込みが可能な状態とし、
(ｂ)前記静電吸着ヘッドに吸着固定されるワークが１つである場合には、前記先頭のワークが前記第２供給機構部に取り込まれた後、前記静電吸着ヘッドによる吸着固定を解除して、前記静電吸着ヘッドに吸着固定されていたワークを前記第２供給機構部への取り込みが可能な状態とするとともに、前記吸着固定されていたワークの次のワークを前記静電吸着ヘッドにより吸着固定し、先に吸着固定が解除されたワークを、前記第２供給機構部に取り込み、その後、吸着固定の解除、次のワークの吸着固定、吸着固定の解除されたワークの前記第２供給機構部への取り込み、を繰り返すことにより、ワークが１つずつ所定の間隔をおいて供給されるように構成され、
前記静電吸着ヘッドに吸着固定されるワークが複数である場合には、前記先頭のワークが前記第２供給機構部に取り込まれた後、前記静電吸着ヘッドによる吸着固定を解除し、解除後のワークのうち先頭から２番目のワークを含むが該先頭のワークを含まない複数のワークを前記静電吸着ヘッドにより吸着固定して、先頭のワークを前記第２供給機構部への取り込みが可能な状態とし、先に吸着固定が解除されたワークのうちの先頭のワークを、前記第２供給機構部に取り込み、その後、吸着固定の解除、次のワークの吸着固定、および吸着固定されていないワークの前記第２供給機構部への取り込み、を繰り返すことにより、ワークが１つずつ所定の間隔をおいて供給されるように構成されていること
を特徴とする２〜４のいずれかに記載のワーク供給装置。
【請求項６】
前記第２供給機構部に取り込まれるべきワークの取り込みが、前記第２供給機構部または、前記第２供給機構部の周辺に配設された吸引手段の吸引力により行われるように構成されていることことを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載のワーク供給装置。
【請求項７】
ワークを連続して供給する供給機構部と、
前記供給機構部から供給されたワークが搬送されるワーク搬送路と、前記ワーク搬送路上を、列をなして連続的に搬送されてくるワークのうちの任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定する静電吸着ヘッドとを有し、前記静電吸着ヘッドにより、任意の位置のワークを吸着固定して、吸着固定されたワーク以降のワークを堰き止める分離供給機構部と
を具備することを持徴とするワーク供給装置。
【請求項８】
前記分離供給機構部により分離されたワークをケースに収納するためのケース収納機構部を備えていることを特徴とする請求項７記載のワーク供給装置。
【請求項９】
前記分離供給機構部は、前記供給機構部から連続供給されてくるワークの数を数えるカウント用センサを具備していることを特徴とする請求項７または８記載のワーク供給装置。
【請求項１０】
前記カウント用センサが、前記供給機構部から連続供給されてくるワークの先頭を検出するセンサを兼ねていることを特徴とする請求項９に記載のワーク供給装置。
【請求項１１】
前記静電吸着ヘッドが、前記分離供給機構部のワーク搬送路の上方に配置されていることを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載のワーク供給装置。
【請求項１２】
前記静電吸着ヘッドへの電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段を備えていることを特徴とする請求項７〜１１のいずれかに記載のワーク供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明はワーク供給方法およびワーク供給装置に関し、詳しくは、複数個のワークを連続して供給する場合において、先頭側の１つまたは任意の複数のワークを、他のワークとは所定の間隔をおいて順次供給するためのワーク供給方法およびワーク供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８(ａ)は従来のワーク自動分離搬送装置の構成を示す平面図、図８(ｂ)は要部を示す図である。
このワーク自動分離搬送装置は、連続して搬送されるワーク（チップ）から、任意のチップを分離して搬送するための搬送装置であって、図８(ａ)，(ｂ)に示すように、ボールフィーダ５０と、ボールフィーダ５０から複数個のワーク５１を連続して供給する供給手段（フィーダ）５２と、複数個のワーク収納凹部５３が所定の間隔をおいて上面周縁に形成された回転可能な搬送テーブル５４と、供給手段５２と搬送テーブル５４との間に設けられた分離供給機構５５（図８(ｂ)）と、ワーク５１の先頭検出用のセンサ６１とを備えており、搬送テーブル５４には、ワーク５１を供給手段５２から、搬送テーブル５４のワーク収納凹部５３に取り込むための吸気口６２が設置されている（特許文献１参照）。
【０００３】
そして、このワーク自動分離搬送装置によれば、図８(ｂ)に示すように、分離供給機構５５が、センサ６１による先頭ワーク検出信号にしたがい、供給手段５２から一列供給されるワーク５１のうちの先頭から２番目のワーク５１（５１ｂ）を、噴気孔６３から供給される噴気（圧空）による押圧力によって固定し、固定されたワーク５１（５１ｂ）より先にある１個のワーク５１（５１ａ）を後続のワーク５１から分離し、搬送テーブル５４にワーク５１を供給することが可能になる。
【０００４】
また、特に図示しないが、特許文献１には、圧空による押圧力によってワークを固定するかわりに、真空吸引による吸着力によってワークを固定するようにした構成の搬送装置や、ピンによりワークを固定するようにした構成の搬送装置も示されている。
【０００５】
しかしながら、上記従来のワーク自動分離搬送装置においては、圧空による押圧力（あるいはや真空吸引による吸着力やピンによる押圧力）を利用してワークを分離するようにしているため、吸着固定およびその解除の電気的な指示（ＯＮ／ＯＦＦ信号）に対し、実際の吸着固定動作および解除動作（エアーの噴出／吸引およびその中止、あるいはピンの上下動作）までにタイムラグが生じ、ワークの高速搬送が制約されるという問題点がある。
【０００６】
また、圧空による押圧力、あるいはピンを使用してワークを分離する場合には、ワークを固定するため、また、ワークがばらけないようにするために、搬送路をトンネル状にすることが必要になり、構造の複雑化、設備コストの増大を招くという問題点がある。
【０００７】
また、搬送路にエアー噴気孔やエアー吸引孔、あるいはピン収納孔を設けることが必要になるためワーク搬送の障害になり、安定した搬送が妨げられるという問題点がある。
【０００８】
また、エアー噴気孔やエアー吸引孔が異物で閉塞するおそれがあり、ワーク供給の信頼性が必ずしも十分ではないという問題点がある。
【０００９】
また、ピンを使用してワークを分離する場合には、機械的な動作機構となるため、高速・高頻度搬送においては部品の消耗が大きく、メンテナンスコストがかかるばかりでなく、ピンとの接触によりワークを損傷するおそれがあるという問題点がある。
【特許文献１】特開平７−１５７０７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本願発明は、上記課題を解決するものであり、ワークの吸着固定およびその解除の指示（例えば電気的なＯＮ／ＯＦＦ信号）に対し、ワークの吸着固定およびその解除の動作までのタイムラグがほとんどなく、複雑な構造を必要とせずにワークの高速供給に対応することが可能で、しかもワークの供給信頼性が高く、経済性に優れたワーク供給方法およびワーク供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１のワーク供給方法は、
搬送方向に平行に、列をなして連続的に搬送されてくるワークに対し、任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定することにより、吸着固定位置以降のワークは堰き止め、
吸着固定位置より先にあるワークのみを次工程に供給するように構成されていること
を特徴としている。
【００１２】
また、請求項２のワーク供給装置は、
ワークを連続して供給する第１供給機構部と、
前記第１供給機構部から供給されたワークが搬送されるワーク搬送路と、前記ワーク搬送路上を、列をなして連続的に搬送されてくるワークのうちの任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定する静電吸着ヘッドとを有し、前記静電吸着ヘッドにより、任意の位置のワークを吸着固定して、吸着固定されたワーク以降のワークを堰き止める分離供給機構部と、
前記分離供給機構部で吸着固定された位置より先にあるワークのみを取り込んで次工程に供給する第２供給機構部と
を具備することを特徴としている。
【００１３】
また、請求項３のワーク供給装置は、請求項２記載の発明の構成において、前記静電吸着ヘッドが、前記分離供給機構部のワーク搬送路の上方に配置されていることを特徴としている。
【００１４】
また、請求項４のワーク供給装置は、請求項２または３記載の発明の構成において、前記静電吸着ヘッドへの電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段を備えていることを特徴としている。
【００１５】
また、請求項５のワーク供給装置は、請求項２〜４のいずれかに記載の構成において、
(ａ)前記分離供給機構部には、前記第１供給機構部から連続供給されてくるワークの先頭検出用のセンサが設置されており、前記センサによる先頭ワーク検出信号にしたがい、先頭のワークを含まず、該先頭から２番目のワークを含む１または２以上のワークを前記静電吸着ヘッドにより吸着固定して、先頭のワークのみを、前記第２供給機構部への取り込みが可能な状態とし、
(ｂ)前記静電吸着ヘッドに吸着固定されるワークが１つである場合には、前記先頭のワークが前記第２供給機構部に取り込まれた後、前記静電吸着ヘッドによる吸着固定を解除して、前記静電吸着ヘッドに吸着固定されていたワークを前記第２供給機構部への取り込みが可能な状態とするとともに、前記吸着固定されていたワークの次のワークを前記静電吸着ヘッドにより吸着固定し、先に吸着固定が解除されたワークを、前記第２供給機構部に取り込み、その後、吸着固定の解除、次のワークの吸着固定、吸着固定の解除されたワークの前記第２供給機構部への取り込み、を繰り返すことにより、ワークが１つずつ所定の間隔をおいて供給されるように構成され、
前記静電吸着ヘッドに吸着固定されるワークが複数である場合には、前記先頭のワークが前記第２供給機構部に取り込まれた後、前記静電吸着ヘッドによる吸着固定を解除し、解除後のワークのうち先頭から２番目のワークを含むが該先頭のワークを含まない複数のワークを前記静電吸着ヘッドにより吸着固定して、先頭のワークを前記第２供給機構部への取り込みが可能な状態とし、先に吸着固定が解除されたワークのうちの先頭のワークを、前記第２供給機構部に取り込み、その後、吸着固定の解除、次のワークの吸着固定、および吸着固定されていないワークの前記第２供給機構部への取り込み、を繰り返すことにより、ワークが１つずつ所定の間隔をおいて供給されるように構成されていること
を特徴としている。
【００１６】
また、請求項６のワーク供給装置は、請求項２〜５のいずれかに記載の発明において、前記第２供給機構部に取り込まれるべきワークの取り込みが、前記第２供給機構部または、前記第２供給機構部の周辺に配設された吸引手段の吸引力により行われるように構成されていることことを特徴としている。
【００１７】
また、請求項７のワーク供給装置は、
ワークを連続して供給する供給機構部と、
前記供給機構部から供給されたワークが搬送されるワーク搬送路と、前記ワーク搬送路上を、列をなして連続的に搬送されてくるワークのうちの任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定する静電吸着ヘッドとを有し、前記静電吸着ヘッドにより、任意の位置のワークを吸着固定して、吸着固定されたワーク以降のワークを堰き止める分離供給機構部と
を具備することを持徴としている。
【００１８】
また、請求項８のワーク供給装置は、請求項７の発明の構成において、前記分離供給機構部により分離されたワークをケースに収納するためのケース収納機構部を備えていることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項９のワーク供給装置は、請求項７または８の発明の構成において、  前記分離供給機構部は、前記供給機構部から連続供給されてくるワークの数を数えるカウント用センサを具備していることを特徴としている。
【００２０】
また、請求項１０のワーク供給装置は、請求項９に記載の発明の構成において、前記カウント用センサが、前記供給機構部から連続供給されてくるワークの先頭を検出するセンサを兼ねていることを特徴としている。
【００２１】
また、請求項１１のワーク供給装置は、請求項７〜１０のいずれかに記載の発明の構成において、前記静電吸着ヘッドが、前記分離供給機構部のワーク搬送路の上方に配置されていることを特徴としている。
【００２２】
また、請求項１２のワーク供給装置は、請求項７〜１１のいずれかに記載の発明の構成において、前記静電吸着ヘッドへの電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段を備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２３】
請求項１のワーク供給方法は、搬送方向に平行に、列をなして連続的に搬送されてくるワークに対し、任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定することにより、吸着固定位置以降のワークは堰き止め、吸着固定位置より先にあるワークのみを次工程に供給するようにしているので、複雑な構造を必要とせずに、ワークの吸着固定およびその解除の電気的な指示（例えばＯＮ／ＯＦＦ信号）から実際の吸着固定動作および固定解除動作までのタイムラグを極めて小さくすることが可能になり、ワークの供給信頼性を確保しつつ、高速供給に対応することが可能になる。
【００２４】
すなわち、本願発明においては、供給装置から、列をなして搬送されてくるワークに対し、任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定するようにしているので、ワークの吸着固定と解放を速やかに行うことが可能になるとともに、ワークに損傷を与えることなくワークの吸着固定を行うことが可能になり、高い供給信頼性を実現することができる。
また、ワーク吸着面に凸凹がある場合にも安定した吸着固定が可能になる。なお、真空吸引による固定の方法では、ワーク吸着面に凸凹があると、真空がリークするため吸着が不安定になる。
【００２５】
また、請求項２のワーク供給装置は、ワークを連続して供給する第１供給機構部と、第１供給機構部から供給されたワークが搬送されるワーク搬送路と、ワーク搬送路上を、列をなして連続的に搬送されてくるワークのうちの任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定する静電吸着ヘッドとを有し、静電吸着ヘッドにより、任意の位置のワークを吸着固定して、吸着固定されたワーク以降のワークを堰き止める分離供給機構部と、分離供給機構部で吸着固定された位置より先にあるワークのみを取り込んで次工程に供給する第２供給機構部とを具備しているので、本願請求項１のワーク供給方法を確実に実施して、ワークを高速で、安定して、しかも経済的に供給することが可能になる。
【００２６】
なお、静電吸着ヘッドは、搬送路に埋設された状態となるように配設することが可能であることから、ワークの搬送を妨げるおそれがなく、高い搬送安定性を実現することが可能になる。また、静電吸着ヘッドは機構がシンプルであることから、設備の省スペース化、小型化を実現することができる。
【００２７】
また、請求項３のワーク供給装置のように、静電吸着ヘッドを、分離供給機構部のワーク搬送路の上方に配置するようにした場合、ワークの自重が働くため、静電吸着をＯＦＦにしたときのワーク離れ性を向上させることが可能になり、高速搬送（分離）により確実に対応することが可能になる。
【００２８】
また、請求項４のワーク供給装置のように、静電吸着ヘッドへの電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段を備えた構成とした場合、ワークの吸着固定の強度や時間を、ワーク供給条件などに応じて調整することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。すなわち、静電吸着ヘッドへの電気入力に応じ、吸着固定力を調整することが可能になることから、供給の対象となるワークの重量や吸着面状態が変化しても同一機構で対応することが可能になる。
【００２９】
また、請求項５のワーク供給装置は、請求項２〜４のいずれかに記載の構成において、(ａ)分離供給機構部に、ワークの先頭検出用のセンサを設置し、先頭ワーク検出信号にしたがって、先頭のワークを含まず、該先頭から２番目のワークを含む１または２以上のワークを静電吸着ヘッドにより吸着固定し、先頭のワークのみを、前記第２供給機構部への取り込みが可能な状態とし、(ｂ)静電吸着ヘッドに吸着固定されるワークが１つである場合には、先頭のワークが第２供給機構部に取り込まれた後、静電吸着ヘッドによる吸着固定を解除して、静電吸着ヘッドに吸着固定されていたワークを第２供給機構部への取り込みが可能な状態とするとともに、吸着固定されていたワークの次のワークを静電吸着ヘッドにより吸着固定し、先に吸着固定が解除されたワークを、第２供給機構部に取り込み、その後、吸着固定の解除、次のワークの吸着固定、吸着固定の解除されたワークの第２供給機構部への取り込み、を繰り返すことにより、ワークが１つずつ所定の間隔をおいて供給されるようにし、静電吸着ヘッドに吸着固定されるワークが複数である場合には、先頭のワークが第２供給機構部に取り込まれた後、静電吸着ヘッドによる吸着固定を解除し、解除後のワークのうち先頭から２番目のワークを含むが該先頭のワークを含まない複数のワークを静電吸着ヘッドにより吸着固定して、先頭のワークを第２供給機構部への取り込みが可能な状態とし、先に吸着固定が解除されたワークのうちの先頭のワークを、第２供給機構部に取り込み、その後、吸着固定の解除、次のワークの吸着固定、および吸着固定されていないワークの第２供給機構部への取り込み、を繰り返すことにより、ワークが１つずつ所定の間隔をおいて供給されるようにしているので、第１供給機構部から連続供給されてくるワークを１つずつ第２供給機構部に供給することが可能になり、信頼性の高い供給を行うことが可能になる。
【００３０】
また、請求項６のワーク供給装置は、請求項２〜５のいずれかに記載の発明において、第２供給機構部に取り込まれるべきワークの取り込みが、第２供給機構部または、第２供給機構部の周辺に配設された吸引手段の吸引力により行われるように構成されているので、分離供給機構部で第２供給機構部に取り込まれるべきワークを確実に第２供給機構部に取り込むこと（移行させること）が可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができる。
【００３１】
請求項７のワーク供給装置は、ワークを連続して供給する供給機構部と、供給機構部から供給されたワークが搬送されるワーク搬送路と、ワーク搬送路上を、列をなして連続的に搬送されてくるワークのうちの任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定する静電吸着ヘッドとを有し、静電吸着ヘッドにより、任意の位置のワークを吸着固定して、吸着固定されたワーク以降のワークを堰き止める分離供給機構部とを備えており、任意の位置のワークを、静電吸着力を利用して吸着固定することにより、吸着固定位置以降のワークは堰き止め、吸着固定位置より先にあるワークのみを、所定の用途や工程に供給することができるように構成されているので、複雑な構造を必要とせずに、所定のワークを分離して、一つずつ、あるいは所定個数ずつ、所定の量になるまでワークを袋や容器などに収納したりするような工程などに広く適用することが可能になる。
また、静電気力による吸着を利用してワークの分離を行うようにしているので、ワークに対し損傷を与えることがなく有意義である。
【００３２】
すなわち、従来技術のようにピンを用いた分離機構によりワークにダメージを与えた場合、テーピング部品であれば、テープ挿入時やテープ挿入後に外観選別をすることにより、不良品を出荷してしまうことを防止することができるが、ワークをまとめて袋に詰めるようなバルク詰め機に、従来技術のようにピンを用いた分離機構を適用した場合、ダメージが検出されることなくバルク詰めされて出荷されることになる。そのような場合に、バルク詰めのような外観選別しにくい用途に、請求項７のような静電吸着力を用いた分離機構を適用することにより、ワークに与えるダメージを極力小さくして、不良品の流出を防ぐことができる。
また、請求項７のワーク供給装置においても、ワークの吸着固定およびその解除の電気的な指示（例えばＯＮ／ＯＦＦ信号）から実際の吸着固定動作および固定解除動作までのタイムラグを極めて小さくすることが可能になり、ワークの供給信頼性を確保しつつ、高速供給に対応することが可能になる。
【００３３】
また、請求項８のワーク供給装置のように、請求項７の発明の構成において、分離供給機構部により分離されたワークをケースに収納するためのケース収納機構部を備えた構成とした場合、ケースに収容されて出荷されるようなワークを、効率よく搬送して、ケースに詰めることが可能になる。
なお、ケースの態様や構成材料などに特別の制約はなく、柔軟性を有する材料からなる袋や、剛性を有する材料（例えば、樹脂材料や紙系材料など）からなる箱状やスティック状のケースなどが例示される。
【００３４】
また、請求項９のワーク供給装置のように、請求項７または８の発明の構成において、分離供給機構部が、供給機構部から連続供給されてくるワークの数を数えるカウント用センサを具備する構成とした場合、例えば、ケースに詰めて出荷されるバルク電子部品などを所定の個数だけ確実にケースに詰めることが可能になり、有意義である。
【００３５】
また、請求項１０のワーク供給装置のように、請求項９に記載の発明の構成において、カウント用センサが、供給機構部から連続供給されてくるワークの先頭を検出するセンサを兼ねるようにした場合、少ない部品点数で、ワークの先頭の検出と、ワークの数を数えることが可能なワーク供給装置を構成することが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
【００３６】
また、請求項１１のワーク供給装置のように、請求項７〜１０のいずれかに記載の発明の構成において、静電吸着ヘッドを、分離供給機構部のワーク搬送路の上方に配置するようにした場合、ワークの自重が働くため、静電吸着をＯＦＦにしたときのワーク離れ性を向上させることが可能になり、高速搬送（分離）により確実に対応することが可能になる。
【００３７】
また、請求項１２のワーク供給装置のように、請求項７〜１１のいずれかに記載の発明の構成において、静電吸着ヘッドへの電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段を備えた構成とした場合、ワークの吸着固定の強度や時間を、ワーク供給条件などに応じて調整することが可能になり、本願発明をさらに実効あらしめることが可能になる。すなわち、静電吸着ヘッドへの電気入力に応じ、吸着固定力を調整することが可能になることから、供給の対象となるワークの重量や吸着面状態が変化しても同一機構で対応することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
【実施例１】
【００３９】
図１は本願発明の一実施例にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。
このワーク供給装置は、ワーク（例えば、積層セラミックコンデンサなどの電子部品）１を連続して供給する第１供給機構部２と、第１供給機構部２から供給され、一列に搬送されてくるワーク１に対し、任意の位置のワーク１（この実施例では先頭から２番目のワーク１（１ｂ））を、静電吸着力を利用した静電吸着ヘッド３により吸着固定して、吸着固定されたワーク１（１ｂ）以降のワーク１を堰き止める分離供給機構部４と、分離供給機構部４で吸着固定された位置より先にあるワーク１（１ａ）のみを取り込み、次工程に供給する第２供給機構部（搬送テーブル）５とを具備している。
【００４０】
なお、第１供給機構部２としては、振動式のパーツフィーダなどの種々の構成のものを用いることが可能である。
また、この実施例のワーク供給装置においては、第２供給機構部５は、円盤状で、主面が略水平なテーブル状の構造を有し、外周部近傍に配設された凹部（ワーク収納凹部）７がワーク１を保持するワーク保持部となるように構成されている。
ただし、第２供給機構部５としては、以下の実施例２〜４に示すように、円盤状で、主面が略垂直になるように配設され、その外周面がワーク保持面となるように構成されたものを用いることも可能である。
【００４１】
また、第２供給機構部（搬送テーブル）５には、ワーク１を、分離供給機構部４から、第２供給機構部（搬送テーブル）５のワーク収納凹部７に取り込むための吸気孔（吸引手段）８が設置されている。
【００４２】
さらに、この実施例のワーク供給装置は、静電吸着ヘッド３への電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段（図示せず）を備えている。
【００４３】
また、分離供給機構部４には、第１供給機構部２から連続供給されてくるワーク１のうちの先頭のワーク１（１ａ）を検出するためのセンサ９が設置されており、センサ９が先頭のワーク１（１ａ）を検出した時点で発せられる先頭ワーク検出信号にしたがい、２番目のワーク１（１ｂ）を静電吸着ヘッド３により吸着固定して、先頭のワーク１（１ａ）のみを、第２供給機構部５への取り込みが可能な状態とすることができるように構成されている。
なお、上記の先頭のワーク１（１ａ）を検出するためのセンサ９が、第１供給機構部２から連続供給されてくるワーク１の数を数えるカウント用センサとしても機能するように構成することも可能である。
【００４４】
さらに、先頭のワーク１（１ａ）が第２供給機構部５に取り込まれた後、静電吸着ヘッド３による吸着固定を解除し、静電吸着ヘッド３に吸着固定されていたワーク１（１ｂ）を、ワーク搬送路１４を搬送して、第２供給機構部５に取り込むことが可能な状態とするとともに、吸着固定されていたワーク１（１ｂ）の次のワーク１（１ｃ）を静電吸着ヘッド３により吸着固定する。これにより、先に吸着固定が解除されたワーク１（１ｂ）が、分離供給機構部４のワーク搬送路１４上を搬送され、第２供給機構部５に取り込まれることになる。
そして、その後に、上述のワーク１（１ｃ）の吸着固定の解除、次のワーク１（１ｄ）の吸着固定、吸着固定の解除されたワーク１（１ｃ）の第２供給機構部５への取り込み、を繰り返すことにより、ワーク１が１つずつ所定の間隔をおいて供給されることになる。
なお、分離供給機構部４のワーク搬送路１４はワーク１がばらけないように、上蓋１５を備えており、ワーク１がほぼトンネル状のワーク搬送路１４を通過するように構成されている。
【００４５】
上述のように構成されたこの実施例１のワーク供給装置は、ワーク１の先頭検出用のセンサ９を備えており、先頭ワーク検出信号にしたがって、先頭から２番目の位置のワーク１（１ｂ）を、静電吸着ヘッド３の静電力を利用して吸着固定して、吸着固定位置以降のワーク１（２番目のワーク１（１ｂ）以降のワーク１）は堰き止め、吸着固定位置より先にあるワーク１（１ａ）のみを次工程に供給するとともに、上述のワーク１の吸着固定の解除、次のワーク１の吸着固定、吸着固定の解除されたワーク１の第２供給機構部５への取り込みを繰り返すようにしているので、ワーク１の吸着固定およびその解除の電気的な指示（ＯＮ／ＯＦＦ信号）に対し、実際の吸着固定動作および解除動作を速やかに行うことが可能になる。したがって、所定のワークの固定までのタイムラグがほとんどなく、複雑な構造を必要とせずにワークの高速供給に対応することが可能になる。
【００４６】
また、静電吸着ヘッド３の静電吸着力を利用してワーク１を吸着固定するようにしているので、ワーク１の吸着固定と解放を速やかに行うことが可能になるとともに、ワーク１を損傷することなくワーク１の吸着固定を行うことが可能になり、高い供給信頼性を実現することができる。
【００４７】
また、静電吸着ヘッド３への電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段を備えているので、ワーク１の吸着固定の強度や時間をワーク供給条件などに対応して調整することができるとともに、重量や吸着面状態が異なるワーク１に対しても同一機構で対応することができる。
【００４８】
また、第２供給機構部５に取り込まれるべきワーク１の取り込みが、第２供給機構部５に配設された吸気孔（吸引手段）８からの吸引力により行われるように構成されているので、分離供給機構部４で第２供給機構部５に取り込まれることが許容されたワーク１を確実に第２供給機構部５に取り込むこと（移行させること）が可能で、ワーク１を効率よく供給することが可能になる。
【実施例２】
【００４９】
図２は本願発明の他の実施例（実施例２）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。なお、図２において、図１と同一符号を付した部分は、同一または相当部分を示している。
【００５０】
この実施例２のワーク供給装置は、図２に示すように、
(ａ)分離供給機構部４がそのワーク搬送路１４を覆う部材（実施例１のワーク供給装置における上蓋１５（図１参照））を備えていないこと、
(ｂ)第２供給機構部５が、円盤状で主面が略垂直になるように配設され、回転可能で、外周面１７にワーク１を吸着保持することができるように所定の間隔をおいて複数の吸引孔１６が配設された構造を有するものであること
を除いて、上記実施例１のワーク供給装置と同様の構成を備えている。
【００５１】
この実施例２のワーク供給装置においては、静電吸着ヘッド３がワーク搬送路１４に埋設され、ワーク１の下側から吸着固定を行うように構成されているため、分離供給機構部４の分離作用を果たす部分に上蓋がなくてもワーク１を静電吸着により固定して分離することができる。そして、上蓋が設けられていないことから、静電吸着した状態でワーク１を上方から外観検査手段１８により、外観検査などを行ったりすることが可能になり、さらに効率のよい供給を行うことが可能になる。
【００５２】
なお、この実施例２では、第２供給機構部５として、円盤状で主面が略垂直になるように配設され、回転可能で、外周面１７にワーク１を吸着保持することができるように所定の間隔をおいて複数の吸引孔１６が配設された構造のものが用いられているが、第２供給機構部５としては、実施例１で用いられているような、円盤状で、主面が略水平なテーブル状の構造を有し、外周部近傍に配設された凹部（ワーク収納凹部）７がワーク１を保持するワーク保持部となるような構成のものを用いることも可能である。
【実施例３】
【００５３】
図３は本願発明の他の実施例（実施例３）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。なお、図３において、図１および図２と同一符号を付した部分は、同一または相当部分を示している。
【００５４】
この実施例３のワーク供給装置は、図３に示すように、
(ａ)静電吸着ヘッド３が、分離供給機構部４のワーク搬送路１４の上方に配置されており、かつ、先頭のワーク１（１ａ）に続く、２番目と３番目の２つのワーク１（１ｂ，１ｃ）が静電吸着ヘッド３により吸着固定されるように構成されていること、
(ｂ)分離供給機構部４が、ワーク搬送路１４を覆う部材（実施例１のワーク供給装置における上蓋１５）（図１参照）を備えていないこと、
(ｃ)第２供給機構部５が、円盤状で主面が略垂直になるように配設され、回転可能で、外周面１７にワーク１を吸着保持することができるように所定の間隔をおいて複数の吸引孔１６が配設された構造を有するものであること
を除いて、上記実施例１のワーク供給装置と同様の構成を備えている。
【００５５】
この実施例３のワーク供給装置においては、静電吸着ヘッド３が分離供給機構部４のワーク搬送路１４の上方に配置されており、静電吸着ヘッド３により静電吸着されたワーク１に自重が働く。その結果、静電吸着を解除したとき（すなわち、電気入力（静電吸着）をＯＦＦにしたとき）の、ワーク１の静電吸着ヘッド３からの離れやすさ（ワーク離れ性）を向上させることが可能になり、高速搬送により効率よく対応することが可能になる。
【００５６】
なお、この実施例３では、先頭のワーク１（１ａ）に続く、２番目と３番目の２つのワーク１（１ｂ，１ｃ）が静電吸着ヘッド３により同時に吸着固定されるように構成されているが、この構成の場合にも、順次、先頭のワーク１（１ａ）を第２供給機構部５に取り込むことにより、第１供給機構部２から連続供給されてくるワーク１を、所定の間隔をおいて１つずつ第２供給機構部５に供給することができる。
【００５７】
なお、この実施例３のような構成とすることにより、ワークが小型化しても、それに対応して小型の静電吸着ヘッドを用意することを必要とせずに、連続供給されてくるワークを、所定の間隔をおいて１つずつ供給することが可能になり、有意義である。
ただし、この実施例３の場合にも、ワークの寸法に対応した寸法の（小型の）静電吸着ヘッドを用いて、２番目のワーク１（１ｂ）のみを吸着固定するように構成することも可能である。
【００５８】
また、この実施例３では、分離供給機構部４のワーク搬送路１４には上蓋が配設されていないが、例えば、静電吸着ヘッドを上蓋に埋め込むことにより一体化した上蓋を備えた構成とすることも可能である。
また、静電吸着ヘッドが上蓋を兼ねるような構成とすることも可能である。
【００５９】
なお、この実施例３では、第２供給機構部５として、円盤状で主面が略垂直になるように配設され、回転可能で、外周面１７にワーク１を吸着保持することができるように所定の間隔をおいて複数の吸引孔１６が配設された構造のものが用いられているが、第２供給機構部５としては、実施例１で用いられているような、円盤状で、主面が略水平なテーブル状の構造を有し、外周部近傍に配設された凹部（ワーク収納凹部）７がワーク１を保持するワーク保持部となるような構成のものを用いることも可能である。
【実施例４】
【００６０】
図４は、本願発明の他の実施例（実施例４）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。なお、図４において、図１と同一符号を付した部分は、同一または相当部分を示している。
【００６１】
この実施例４のワーク供給装置においては、図４に示すように、第２供給機構部５として、円盤状で主面が略垂直になるように配設されており、軸Ｘを回転軸として、矢印Ｙの方向に回転可能に構成され、外周面２７にワーク１を吸着保持することができるように所定の間隔をおいて複数の吸引孔２６が配設された構造を有するものが用いられている。
【００６２】
また、この実施例４のワーク供給装置においては、図４に示すように、第２供給機構部５に取り込まれるべきワーク１の取り込みが、第２供給機構部５の近傍に配設された吸引手段（吸引機構部）２８の吸引力により行われるように構成されている。
すなわち、分離供給機構部４において分離された先頭のワーク１が、円盤状の第２供給機構部５を介して、分離供給機構部４と隣り合うように配設された吸引手段（吸引機構部）２８に配設された吸引孔２９からの真空吸引により、円盤状の第２供給機構部５の、外周面２７の上面側の位置に取り込まれ、第２供給機構部５の吸引孔２６からの吸引により、ワーク１が第２供給機構部５の外周面２７上に保持されるように構成されている。
【００６３】
また、図５は、図４の実施例４のワーク供給装置の変形例を示す図である。図４のワーク供給装置においては、第２供給機構部５の、外周面２７の上面側の位置にワーク１が取り込まれるように構成されているが、この図５のワーク供給装置においては、第２供給機構部５の、外周面２７の下面側の位置にワーク１が取り込まれ、第２供給機構部５の吸引孔２６からの吸引により、ワーク１が第２供給機構部５の外周面２７上に保持されるように構成されている。
【００６４】
図４，図５に示すように、この実施例４のワーク供給装置においては、第２供給機構部５に取り込まれるべきワーク１の取り込みが、第２供給機構部５の近傍に配設された吸引手段（吸引機構部）２８に配設された吸引孔２９からの真空吸引により行われるように構成されているので、分離供給機構部４で第２供給機構部５に取り込まれることが許容されたワーク１（１ａ）を確実に第２供給機構部に取り込むこと（移行させること）が可能になるとともに、分離供給機構部４および第２供給機構部５の配設態様の自由度を向上させることが可能になり、本願発明の有用性をさらに向上させることができる。
【００６５】
なお、第１供給機構部２、分離供給機構部４、および第２供給機構部５の組み合わせ態様や、第１供給機構部２、分離供給機構部４、および第２供給機構部５の具体的な構成に特別の制約はなく、本願発明の効果を損なわない範囲において、種々の構成のものを、ワークの供給条件などに応じて、任意に組み合わせて用いることが可能である。
【実施例５】
【００６６】
図６は、本願発明の他の実施例（実施例５）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。なお、図６において、図１と同一符号を付した部分は、同一または相当部分を示している。
【００６７】
このワーク供給装置は、ワーク（例えば、積層セラミックコンデンサなどの電子部品）１を連続して供給する供給機構部（振動式のパーツフィーダなど）３０と、供給機構部３０から供給され、一列に搬送されてくるワーク１に対し、任意の位置のワーク１（この実施例では先頭から２番目のワーク１（１ｂ）、３番目のワーク１（１ｃ）および４番目のワーク１（１ｄ））を、静電吸着力を利用した静電吸着ヘッド３により吸着固定して、吸着固定されたワーク１（１ｂ、１ｃ、１ｄ）以降のワーク１を堰き止める分離供給機構部４と、分離供給機構部４で吸着固定された位置より先にあるワーク１（１ａ）のみを取り込み、ケース３１に収納するためのケース収納機構部３２とを具備している。
【００６８】
そして、この実施例のワーク供給装置においては、分離供給機構部４により分離されたワークを収納するケース３１として、バルクケースが用いられている。
また、静電吸着ヘッド３は、分離供給機構部４のワーク搬送路１４の下側に配置されている。
【００６９】
さらに、この実施例のワーク供給装置は、静電吸着ヘッド３への電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段（図示せず）を備えている。
【００７０】
なお、分離供給機構部４に具備されているセンサ９ａは、供給機構部３０から連続供給されてくるワークの数を数えるカウント用センサとなっている。また、センサ９ａは、供給機構部３０から連続供給されてくるワーク１のうちの先頭のワーク１（１ａ）を検出するためのセンサを兼ねており、センサ９ａが先頭のワーク１（１ａ）を検出した時点で発せられる先頭ワーク検出信号にしたがい、２〜４番目のワーク１（１ｂ〜１ｄ）を静電吸着ヘッド３により吸着固定して、先頭のワーク１（１ａ）のみを、ケース３１に収納することが可能な状態とすることができるように構成されている。
なお、実施例５においては、カウント用センサが、供給機構部から連続供給されてくるワークのうちの先頭のワークを検出するためのセンサを兼ねた構成となっているが、カウント用センサと、先頭検出用センサとを別々に設置することも可能である。
【００７１】
さらに、先頭のワーク１（１ａ）がケース３１に収納された後、静電吸着ヘッド３による吸着固定を解除し、静電吸着ヘッド３に吸着固定されていたワーク１（１ｂ、１ｃ、１ｄ）の内での先頭側のワーク１（１ｂ）を、ワーク搬送路１４を搬送して、ケース３１に収納することが可能な状態とするとともに、静電吸着ヘッド３に吸着固定されていたワーク１（１ｂ、１ｃ、１ｄ）の内での先頭側にない２つのワーク１（１ｃ、１ｄ）を、吸着固定されていたワーク１（１ｂ〜１ｄ）の次のワーク１（１ｅ）とともに静電吸着ヘッド３により吸着固定する。これにより、先に吸着固定が解除されたワーク１（１ｂ〜１ｄ）の内での先頭側のワーク１（１ｂ）が、分離供給機構部４のワーク搬送路１４上を搬送され、ケース３１に収納されることになる。
そして、その後に、上述のワーク１（１ｃ、１ｄ、１ｅ）の吸着固定の解除、次のワーク１（１ｄ、１ｅ、１ｆ）の吸着固定、吸着固定の解除されたワーク１（１ｃ）のケース３１への収納、を繰り返すことにより、ワーク１が１つずつ所定の間隔をおいてケース３１へ供給されることになる。
なお、この実施例５においては、静電吸着ヘッド３により吸着固定されるワークは３つずつ、ケース３１へ収納されるワークは１つずつになるように構成されているが、実施例１と同様に、静電吸着ヘッド３により１つずつのワークが吸着固定されるように構成することも可能である。
また、この実施例５では、ワークが一つずつケース３１に収納されるように構成されているが、複数のワークが一度にケース３１へ収納されるように構成することも可能である。
なお、分離供給機構部４のワーク搬送路１４はワーク１がばらけないように、上蓋１５を備えており、ワーク１がほぼトンネル状のワーク搬送路１４を通過するように構成されているが、上蓋１５を具備しない構成とすることも可能である。
【００７２】
上述のように構成されたこの実施例５のワーク供給装置は、静電吸着ヘッド３の静電力を利用して、吸着固定位置以降のワーク１（５番目のワーク１（１ｅ）以降のワーク１）は堰き止め、吸着固定位置より先にあるワーク１（１ａ）のみをケース３１に収納するとともに、上述のワーク１の吸着固定の解除、次のワーク１の吸着固定、吸着固定の解除されたワーク１のケース３１への収納、を繰り返すようにしているので、ワーク１の吸着固定およびその解除の電気的な指示（ＯＮ／ＯＦＦ信号）に対し、実際の吸着固定動作および解除動作を速やかに行うことが可能になる。したがって、所定のワークの固定までのタイムラグがほとんどなく、複雑な構造を必要とせずに、所定の量になるまでワークを効率よくケースに収納することが可能になる。
また、バルク詰めのような外観選別しにくい用途にも、静電吸着力を用いた分離機構を適用することにより、ワーク１に与えるダメージを極力小さくして、不良品の流出を防ぐことができ、ケース３１に収容されて出荷されるようなワーク１を、効率よく搬送して、所定の個数だけ確実にケース３１に詰めることが可能になる。
また、カウント用のセンサ９ａが、供給機構部３０から連続供給されてくるワーク１の先頭を検出するセンサを兼ねるようにした場合、少ない部品点数で、ワークの先頭の検出と、ワークの数を数えることが可能なワーク供給装置を構成することが可能になる。
【００７３】
また、静電吸着ヘッド３の静電吸着力を利用してワーク１を吸着固定するようにしているので、ワーク１の吸着固定と解放を速やかに行うことが可能になるとともに、ワーク１を損傷することなくワーク１の吸着固定を行うことが可能になり、高い供給信頼性を実現することができる。
【００７４】
さらに、静電吸着ヘッド３への電気入力の強さおよび時間を制御する制御手段を備えているので、ワーク１の吸着固定の強度や時間をワーク供給条件などに対応して調整することができるとともに、重量や吸着面状態が異なるワーク１に対しても同一機構で対応することができるため、汎用性にも優れている。
【実施例６】
【００７５】
図７は、本願発明の他の実施例（実施例６）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。なお、図７において、図１と同一符号を付した部分は、同一または相当部分を示している。
【００７６】
このワーク供給装置は、ワーク（例えば、積層セラミックコンデンサなどの電子部品）１を連続して供給する供給機構部（振動式のパーツフィーダなど）３０と、供給機構部３０から供給され、一列に搬送されてくるワーク１に対し、任意の位置のワーク１（この実施例では先頭から２番目のワーク１（１ｂ）、３番目のワーク１（１ｃ）および４番目のワーク１（１ｄ））を、静電吸着力を利用した静電吸着ヘッド３により吸着固定して、吸着固定されたワーク１（１ｂ、１ｃ、１ｄ）以降のワーク１を堰き止める分離供給機構部４と、分離供給機構部４で吸着固定された位置より先にあるワーク１（１ａ）のみを取り込み、ケース３１ａに吸引するためのケース収納機構部３２とを具備している。
【００７７】
そして、この実施例６のワーク供給装置においては、分離供給機構部４により分離されたワークを収納するケースとして、スティック状のケース３１ａが用いられている。このスティック状のケース３１ａは、吸引によりワークを引き込む構造となっている。
なお、この実施例６のワーク供給装置は、上述のようにワークを収納するケースとして、スティック状のケース３１ａが用いられており、分離供給機構部４で分離され、供給されるワーク（図７では１（１ａ））が吸引によりスティック状のケース３１ａに引き込まれるように構成されており、その他の構成は、上記実施例５のワーク供給装置の場合と同様である。
【００７８】
そして、この実施例６のワーク供給装置においても、分離供給機構部４に具備されているセンサ９ａは、供給機構部３０から連続供給されてくるワークの数を数えるカウント用センサと、供給機構部３０から連続供給されてくるワーク１のうちの先頭のワーク１（１ａ）を検出するためのセンサを兼ねており、センサ９ａが先頭のワーク１（１ａ）を検出した時点で発せられる先頭ワーク検出信号にしたがい、２〜４番目のワーク１（１ｂ〜１ｄ）を静電吸着ヘッド３により吸着固定して、先頭のワーク１（１ａ）のみを、ケース３１ａにより吸引することが可能な状態とすることができる。
【００７９】
さらに、先頭のワーク１（１ａ）がケース３１ａにより吸引された後、静電吸着ヘッド３による吸着固定を解除し、静電吸着ヘッド３に吸着固定されていたワーク１（１ｂ、１ｃ、１ｄ）の内での先頭側のワーク１（１ｂ）を、ワーク搬送路１４を搬送して、ケース３１ａにより吸引することが可能な状態とするとともに、静電吸着ヘッド３に吸着固定されていたワーク１（１ｂ、１ｃ、１ｄ）の内での先頭側にない２つのワーク１（１ｃ、１ｄ）を、吸着固定されていたワーク１（１ｂ〜１ｄ）の次のワーク１（１ｅ）とともに静電吸着ヘッド３により吸着固定する。これにより、先に吸着固定が解除されたワーク１（１ｂ〜１ｄ）の内での先頭側のワーク１（１ｂ）が、分離供給機構部４のワーク搬送路１４上を搬送され、ケース３１ａにより吸引されることになる。
そして、その後に、上述のワーク１（１ｃ、１ｄ、１ｅ）の吸着固定の解除、次のワーク１（１ｄ、１ｅ、１ｆ）の吸着固定、吸着固定の解除されたワーク１（１ｃ）のケース３１ａによる吸引、を繰り返すことにより、ワーク１が１つずつ所定の間隔をおいてケース３１ａへ供給されることになる。
【００８０】
上述のように構成されたこの実施例６のワーク供給装置を用いることにより、複雑な構造を必要とせずに、所定の量になるまでワークを効率よくスティック状のケースに収納することが可能になる。
なお、この実施例６のワーク供給装置によれば、その他の点においても、上記実施例５において得られる効果と同様の効果を得ることが可能である。
また、装置構成の細部の変形に関しても、上記実施例５の場合と同様の変形を加えることが可能である。
【００８１】
本願発明は、さらにその他の点においても上記の各実施例に限定されるものではなく、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
上述のように、本願発明のワーク供給方法およびワーク供給装置は、ワークを、静電吸着力（静電吸着ヘッド）を利用して吸着固定するようにしているので、ワークの吸着固定およびその解除の動作を速やかに行わせることが可能になり、複雑な構造を必要とせずにワークの高速供給に対応することができる。
したがって、本願発明は、電子部品の製造工程や実装工程で、ワーク（電子部品素子や電子部品など）を供給する場合に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本願発明の一実施例（実施例１）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。
【図２】本願発明の他の実施例（実施例２）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。
【図３】本願発明のさらに他の実施例（実施例３）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。
【図４】本願発明のさらに他の実施例（実施例４）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。
【図５】本願発明のさらに他の実施例（実施例４）にかかるワーク供給装置の変形例を示す図である。
【図６】本願発明のさらに他の実施例（実施例５）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。
【図７】本願発明のさらに他の実施例（実施例６）にかかるワーク供給装置の構成を示す図である。
【図８】(ａ)は従来のワーク自動分離搬送装置の構成を示す平面図、(ｂ)は要部を示す図である。
【符号の説明】
【００８４】
１            ワーク
１（１ａ）    先頭のワーク
１（１ｂ）    先頭から２番目のワーク
１（１ｃ）    先頭から３番目のワーク
１（１ｄ）    先頭から４番目のワーク
１（１ｅ）    先頭から５番目のワーク
１（１ｆ）    先頭から６番目のワーク
２            第１供給機構部
３            静電吸着ヘッド
４            分離供給機構部
５            第２供給機構部（搬送テーブル）
７            外周部近傍に配設された凹部（ワーク収納凹部）
８            吸気孔（吸引手段）
９、９ａ      センサ
１４          ワーク搬送路
１５          上蓋
１６          吸引孔
１７          外周面
１８          外観検査手段
２６          吸引孔
２７          外周面
２８          吸引手段（吸引機構部）
２９          吸引孔
３０          供給機構部
３１          ケース（バルクケース）
３１ａ        ケース（スティック状のケース）
３２          ケース収納機構部
【図１】
2006273579.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006273579.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006273579.tif 000009
【図８】
2006273579.tif 000010