(57)【要約】【課題】走行台車の発進、走行及び停止時のマストの振動を抑制することにより、スタッカークレーンの搬送サイクルタイムを短縮し、安全に搬送効率を向上させること。【解決手段】走行台車２の上にメインマスト３とサブマスト４とを所定間隔をおいて立設するとともに、メインマスト３とサブマスト４の間に、昇降台６を昇降可能に配設し、この昇降台６に移載機７を搭載したスタッカークレーンのメインマスト３とサブマスト４にガイド９を配設し、このガイド９に昇降台６のガイド受部６１を係合させるとともに、ガイド受け部６１と昇降台本体の間にダンパー８を介設する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行台車上にメインマストとサブマストとを所定間隔をおいて立設するとともに、該メインマストとサブマストの間に、昇降台を昇降可能に配設し、該昇降台に移載機を搭載したスタッカークレーンにおいて、メインマストとサブマストにガイドを配設し、該ガイドに昇降台のガイド受部を係合させるとともに、該ガイド受け部と昇降台本体の間にダンパーを介設したことを特徴とするスタッカークレーン。
【請求項２】
メインマストとサブマストの固有振動数が異なるようにしたことを特徴とする請求項１記載のスタッカークレーン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スタッカークレーンに関し、特に、撓みに起因して発生するマストの振動を抑制することにより、スタッカークレーンの搬送サイクルタイムを短縮し、安全に搬送効率を向上させるようにしたスタッカークレーンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶、有機ＥＬ、半導体などの電子部品製造工場などにおいては、ガラス薄板等の薄い基板（以下、「基板」と称する。）の複数枚をカセット内に収容し、このカセットをスタッカークレーンにより各加工ステーションのストッカー位置で、受け渡しをして移載し、それぞれ必要な加工を施したのち、再び次の加工ステーションのストッカー位置へ搬送するようにしている。そして、このカセットの移載は、メインマストとサブマストに昇降可能に配設した移載機を用いてカセットを出し入れして行うスタッカークレーンが提案されている。
ところで、近年、より多くのカセットをストッカー内に収容するために、ストッカー高が高くなる傾向があり、この高いストッカーに応じて、スタッカークレーンのマストの高さも増す傾向にあるが、従来によるスタッカークレーンは、下部位置に配設した走行レールに沿って走行可能とした走行台車に、所要長、特に限定されるものではないが、例えば、１０ｍ以上の長さを有するメインマストとサブマストを立設し、かつ該メインマストとサブマストに昇降可能とした昇降台を備え、該昇降台には搬送ライン、加工ステーションのストッカー間のカセットの受け渡しを、該昇降台に搭載した移載機にて行うようにしている。
【０００３】
また、このスタッカークレーンを用いて搬送する基板が大型化されており、この大型の基板を収容するカセットも必然的に大きさも大きくなり、さらに所要枚数の基板を重積するようにして収容したカセットの総重量は、５００Ｋｇ〜１０００Ｋｇにもなるとともに、またカセット搬送のサイクルタイムを短縮して搬送効率を向上させるため、走行台車の走行と同時にカセットを搭載した昇降台をカセットの受け渡しを行う棚の高さまで上昇させるようにしている。
このように、重量大なるカセットを乗せた昇降台をマストの比較的上部の位置まで上昇させた状態で、かつ該スタッカークレーンを走行させると、下部の走行台車の走行速度と、上昇位置にてカセットを支持したマストの移動速度とを完全に一致させることが難しい。これは、通常昇降台の移動速度は走行台車速度に対して少し遅れ気味となり、反対に走行台車の停止時には、走行台車が定位置に停止していても、昇降台を有するメインマストとサブマストは直ちに停止（静止）することなく、その慣性により走行台車が停止した定位置よりもさらに前方向へ移動するようになる。
このように、メインマストとサブマストは前方向へ撓んだ後、次にはその反動によって後方向に撓むものとなり、この動作が繰り返され、昇降台を備えたマストの慣性力が弱まり０になるまで、走行台車が定位置で停止した後もメインマストとサブマストは前後方向に振動し続ける。
【０００４】
このため、この基板搬送用のスタッカークレーンにおいては、走行台車が定位置で停止していても、上部の昇降台が完全に定位置にて停止し、かつ移載機のアームが突出してカセットを棚に向かって突出するのに安全となる完全に静止するまで待ってからでないと、安全性の点からしても次の移載作業を行うことができず、このためにサイクルタイムを短縮できないという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来のスタッカークレーンが有する問題点に鑑み、走行台車の発進、走行及び停止時のマストの振動を抑制することにより、スタッカークレーンの搬送サイクルタイムを短縮し、安全に搬送効率を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のスタッカークレーンは、走行台車上にメインマストとサブマストとを所定間隔をおいて立設するとともに、該メインマストとサブマストの間に、昇降台を昇降可能に配設し、該昇降台に移載機を搭載したスタッカークレーンにおいて、メインマストとサブマストにガイドを配設し、該ガイドに昇降台のガイド受部を係合させるとともに、該ガイド受け部と昇降台本体の間にダンパーを介設したことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、メインマストとサブマストの固有振動数が異なるようにすることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のスタッカークレーンによれば、走行台車上にメインマストとサブマストとを所定間隔をおいて立設するとともに、該メインマストとサブマストの間に、昇降台を昇降可能に配設し、該昇降台に移載機を搭載したスタッカークレーンにおいて、メインマストとサブマストにガイドを配設し、該ガイドに昇降台のガイド受部を係合させるとともに、該ガイド受け部と昇降台本体の間にダンパーを介設することから、走行台車の発進や走行、停止時に慣性力によりマストに撓みが生じても、この撓みに起因するマストの振動をダンパーによって吸収することができ、これにより、マストの静止を早めて、スタッカークレーンの搬送サイクルタイムを短縮し、安全に搬送効率を向上させることができる。
【０００９】
また、メインマストとサブマストの固有振動数が異なるようにすることにより、マストの振動を効率よく吸収することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明のスタッカークレーンの実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１〜図３に、本発明のスタッカークレーンの一実施例を示す。
このスタッカークレーンは、液晶、有機ＥＬ、半導体などの電子部品製造工場などの床面等に配設した走行レール１に沿って走行可能とし、かつ速度及び定位置停止を制御できるようにした走行台車２を設け、該走行台車２の上に、例えば、１８ｍ程度の長さを有するメインマスト３とサブマスト４とを所定間隔をおいて立設するとともに、該メインマスト３とサブマスト４の間に、昇降台６を昇降可能に配設し、該昇降台６に、出没及び旋回可能とした複数本の移載用アーム７１を組み合わせてなる、カセット５を移載するための移載機７を搭載して構成するようにしている。  
そして、このスタッカークレーンは、メインマスト３とサブマスト４にガイド９を配設し、該ガイド９に昇降台６のガイド受部６１を係合させるとともに、該ガイド受け部６１と昇降台本体の間にメカニカルダンパー８を介設している。
【００１２】
走行台車２は、その下部に走行駆動装置を配設し、この走行駆動装置は、走行用モータ２１により変速可能に駆動されるようにした複数の走行車輪２２を介し、走行レール１に沿って安定走行を行う。
走行駆動装置は、特に限定されるものではないが、例えば、図１に示すように、走行台車２の走行方向に沿って敷設される走行レール１の頂面に接触し、かつ走行台車２の全荷重を支持するようにした複数の走行車輪２２を転動可能にして支持するとともに、走行レール１の両側面と対峙し、かつ該走行レール１の両側面を挟持するようにガイド車輪２３を配設し、これにより、走行台車２が搬送行路となる走行レール１に沿って安全に、かつ高速で走行できるようにしている。
【００１３】
メインマスト３とサブマスト４は、昇降台６を挟み前後に対向するように、走行台車２の上部に所定間隔をおいて立設されており、剛性を変えたりすることにより、メインマスト３とサブマスト４を固有振動数が異なるようにしている。
メインマスト３とサブマスト４には、それぞれガイド９が上下方向に設置されており、該ガイド９には、昇降台６のガイド受部６１が昇降可能かつ前後方向には離脱しないように係合している。
【００１４】
また、マスト２の上部には、走行台車２の走行・停止時において、マストの上部が許容範囲以上に揺動することがないように、揺動防止機構が設けられている。
この揺動防止機構は、マスト２の上方位置に配置されるガイドレール１０の両側から挟持するように接触させたガイド車輪１１を配設し、このガイド車輪１１を、マスト２の揺動防止を行うようにする走行上部モータ（ダンピングモータ）１２にて制御駆動している。
この場合、走行台車２の下部に配設して主として走行用の走行用モータ２１の容量を大に、ガイド車輪１１を駆動する走行上部モータ１２の容量を小とする。そして、この走行用モータ２１と走行上部モータ１２とを電気的に接続し、走行用モータ２１により走行駆動される走行台車２の速度を検出し、この速度信号を走行上部モータ１２側にフィードバックさせて走行上部モータ１２の出力トルクを制御するようにする。
なお、ガイドレール１０は、走行台車２の走行方向に伴ってマストが移動する軌跡の上方位置で、前記走行レール１と上下に平行するように配設されている。
【００１５】
昇降台６は、そのガイド受部６１がメインマスト３とサブマスト４の各ガイド９に係合することにより、上下に昇降可能かつ前後方向には離脱しないように支持されており、その昇降動作は、ワイヤ１３を介して図示省略するモータにより行われる。
ガイド受部６１は、昇降台６のメインマスト３側とサブマスト４側とにそれぞれ上下２個ずつ配設されており、本実施例では、サブマスト４側の下のガイド受部６１と昇降台本体との間に、伸長圧縮両方に機能し、かつマスト３、４の撓み方向の力を減衰する油圧式のメカニカルダンパー８が介設されている。
なお、メインマスト３側のガイド受部６１は、メインマスト３の撓みに追従できるように、縦方向に回動可能に枢支されている。また、図３（ｂ）に示すように、ガイド受部６１を２個設け、その中間部を枢支することも可能である。
【００１６】
移載機７は、図３（ａ）に示すように、その移載用アーム７１を、走行台車２の走行方向に沿ってその両側又は片側に配設し、かつ複数の棚を多段式にして備えたストッカー１４に向かって突出（伸張）するようにしている。
これにより、カセット５を移載機７のアーム７１を介して、ストッカー１４に形成した複数段からなる棚のいずれかへ、或いは反対にストッカー１４のいずれかの棚からこの移載機７のアーム７１へと簡易に移載できるようにしている。
【００１７】
次に、本実施例のスタッカークレーンの作用を説明する。
図４（ａ）に示す速度で走行台車２を走行させたときのメインマスト３の撓みを、図４（ｂ）（ｃ）に示す。
図４（ｂ）はダンパーがない従来のスタッカークレーンのもので、加速、速度維持、減速、停止の全ての状態で撓みに起因する振動が続き、特に停止状態で顕著である。
これに対し、図４（ｃ）はダンパー８を設けた本実施例のスタッカークレーンのものであり、撓みはあるものの、加速、速度維持、減速、停止の全ての状態で振動を抑制し、特に停止状態では、図４（ｂ）の従来例との差が顕著に現れる。
なお、図４（ｄ）は、本実施例のスタッカークレーンのダンパー８の減衰力を示し、該ダンパー８は、図１に示すように、例えば、昇降台６の慣性によりメインマスト３に発生した撓み力Ｆ１を減衰し、小さくした撓み力Ｆ２としてサブマスト４に伝達する。
反動の場合は、サブマスト４の撓み力を減衰し、小さくした撓み力としてサブマスト４に伝達し、これらの繰り返しにより、マスト３、４の振動を吸収することができる。
【００１８】
かくして、本実施例のスタッカークレーンは、走行台車２上にメインマスト３とサブマスト４とを所定間隔をおいて立設するとともに、該メインマスト３とサブマスト４の間に、昇降台６を昇降可能に配設し、該昇降台６に移載機７を搭載したスタッカークレーンにおいて、メインマスト３とサブマスト４にガイド９を配設し、該ガイド９に昇降台６のガイド受部６１を係合させるとともに、該ガイド受け部６１と昇降台本体の間にメカニカルダンパー８を介設することから、走行台車の発進や走行、停止時に慣性力によりマスト３、４に撓みが生じても、この撓みに起因するマスト３、４の振動をダンパー８によって吸収することができ、これにより、マスト３、４の静止を早めて、スタッカークレーンの搬送サイクルタイムを短縮し、安全に搬送効率を向上させることができる。
【００１９】
以上、本発明のスタッカークレーンについて、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例えば、ダンパーを複数設けたり、メインマスト側にも設けるなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明のスタッカークレーンは、走行台車の発進、走行及び停止時のマストの振動を抑制することにより、スタッカークレーンの搬送サイクルタイムを短縮し、安全に搬送効率を向上させるという特性を有していることから、高いマストを有するスタッカークレーンを用いた搬送物の定位置停止を伴った搬送、移載を行う用途に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のスタッカークレーンの一実施例を示す正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】同スタッカークレーンとストッカーを示す側面図である。
【図４】（ａ）は走行台車の走行速度を示すグラフ、（ｂ）は従来のスタッカークレーンのメインマストの撓みを示すグラフ、（ｃ）は本発明のスタッカークレーンのメインマストの撓みを示すグラフ、（ｄ）はダンパーの減衰力を示すグラフである。
【符号の説明】
【００２２】
１    走行レール
２    走行台車
２１  走行用モータ
２２  走行車輪
２３  ガイド車輪
３    メインマスト
４    サブマスト
５    カセット
６    昇降台
６１  ガイド受け部
７    移載機
７１  移載アーム
８    ダンパー
９    ガイド
１０  ガイドレール
１１  ガイド車輪
１２  走行上部モータ
１３  ワイヤ
１４  ストッカー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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