(57)【要約】【課題】  メタルマスク１をフレーム３にレーザ溶接する際に、そのメタルマスク１を簡単な機構を用いてフレーム３に押し付けて密着させ、且つ、焦点ずれを生じさせることなく良好なレーザ加工を行なう技術を提供する。【解決手段】  レーザ照射レンズ３２を昇降ステージ２８に保持させて昇降可能とすると共に、レーザ照射レンズの先端部分に、押え部材３４を一緒に昇降するように設け、その押え部材３４でメタルマスク１を押えてフレーム３に密着させると共にレーザ照射レンズ３２のメタルマスク１からの距離を一定に保ち、焦点ずれを生じることなく良好なレーザ溶接を可能とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザを照射するレーザ照射レンズと、該レーザ照射レンズを保持して昇降する昇降ステージと、前記レーザ照射レンズの先端部分に、該レーザ照射レンズと一緒に昇降するように設けられた押え部材とを備え、該押え部材が、先端に、前記レーザ照射レンズによるレーザのスポットを取り囲む位置で加工対象物を押え付けるための押え面を有すると共に該押え面で前記加工対象物を押えた時に前記レーザ照射レンズが前記加工対象物に対するレーザ加工に適した位置となるように前記押え面のレーザ照射レンズに対する位置を定めていることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
前記押え部材が、前記レーザ照射レンズからのレーザ照射範囲を取り囲むよう先端に向かって細くなる円錐状の遮光性のカバー部を備えていることを特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。
【請求項３】
前記押え部材に形成している円錐状のカバー部の一部に、開口を形成していることを特徴とする請求項２記載のレーザ加工装置。
【請求項４】
前記押え部材が、前記カバー部に形成している開口の向きを変えることができるよう、前記レーザ照射レンズに対して回転可能であることを特徴とする請求項３記載のレーザ加工装置。
【請求項５】
前記昇降ステージに前記押え部材を回転させる回転装置が設けられていることを特徴とする請求項４記載のレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザを用いてスポット溶接や穴あけ等の加工を行うレーザ加工装置に関し、特に、メタルマスク等の金属薄板に対してスポット溶接や穴あけ等の加工を行うのに好適なレーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子製造において真空蒸着が行われており、その蒸着マスクとして、多数の細長い微少なスリットを備えたマスク部を有するメタルマスクが使用されている。そして蒸着に当たってはそのメタルマスクを、前記マスク部よりも大きい開口を備えた剛性の大きい枠状のフレームに磁石等によって取り付けていた。しかしながら、近年、パターニングの微細化が進み、マスク部に形成しているスリットが微細になり且つメタルマスクの板厚自体も薄くなってくると、メタルマスクを単に枠状のフレームに磁石等を用いて固定しただけでは、マスク部にゆがみやたるみが生じ、スリット精度が維持できなくなるという問題が生じた。そこで、本出願人は先に、メタルマスクをフレームに取り付けた状態で、そのメタルマスクをマスク部のスリット方向に引張った状態に保持することの可能なメタルマスクの保持治具を開発した（特許文献１参照）。この保持治具を用いると、マスク部のスリットを構成する細線部分を長手方向に引っ張った状態に保持できるので、スリットを直線状に且つ一定ピッチに保持でき、高精細パターニングが可能であるという利点が得られる。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載のメタルマスクは、１枚のメタルマスクに１個のマスク部を形成しているのみであるので、生産性が悪いという問題点があった。生産性を上げるには、１枚のメタルマスクに複数個のマスク部を形成した多面付けメタルマスクを用いればよいが、多面付けメタルマスクでは、単にその両端をつかんで引っ張っただけでは、メタルマスクの全幅を均等に引っ張っても、マスク部と非マスク部とで剛性が異なるため、マスク部にゆがみやたるみが生じ、所望のスリットパターンが得られず、しかも、各マスク部の位置精度も悪くなるということが判明した。例えば、有機ＥＬ素子製造に用いる蒸着用の多面付けマスクの場合、各マスク部の位置に関して±１０μｍ以下のトータルピッチが求められることがあるが、そのような寸法精度を達成することは困難である。
【０００４】
そこで、この問題を解決すべく検討した結果、メタルマスクの４辺のそれぞれを、複数のクランプで把持し、各クランプによって前記メタルマスクにテンションを加え、かつそのテンションを各クランプごとに調整することで、メタルマスクをしわやたるみの無い平坦な状態とし、各マスク部のスリットを直線状に且つ一定ピッチに保持できることを見出した。また、メタルマスクにテンションを加えて平坦な状態とし、その状態で枠状のフレームにスポット溶接によって固定することで、クランプを外した後においてもメタルマスクをテンションが掛けられて平坦となった状態に保持でき、従って、単純な構造のフレームを用いて多面付けマスクをゆがみやたるみの無い状態に保持できることを見出した。
【０００５】
ところで、このようにメタルマスクの４辺のそれぞれにテンションを加えた状態でフレームにスポット溶接する際、メタルマスクとフレームの間に隙間があると溶接不良を生じる。これを回避するためには、溶接時にメタルマスクをフレームに押し付けておく必要がある。そこで、図６に示すように、フレーム支え２０で支持している枠状のフレーム３の上にメタルマスク１を配置し、それをクランプ１７で把持して引っ張り、メタルマスク１にテンションを加えた状態で、そのメタルマスク１をフレーム３に対してスポット溶接するに際し、メタルマスク１のフレーム３に面する領域全体を押えることのできる形状で、スポット溶接位置に円錐状の穴４１を形成した押えプレート４０を用意し、これをエアシリンダ等を用いた押え機構（図示せず）でメタルマスク１に押し付けてメタルマスク１をフレーム３に押し付け、この状態で、水平面内でＸ−Ｙ方向に移動可能な移動台４３に保持されたレーザ照射レンズ４４からレーザ照射してスポット溶接し、且つそのレーザ照射レンズ４４を、フレーム３に沿って所望ピッチずつ移動させて順次スポット溶接を繰り返すというスポット溶接方法を試みた。
【０００６】
ところが、この方法では、フレーム３の形状に合った押えプレートを用意しなければならず、且つ大きい押えプレートをメタルマスク１に均等に押し付けるために複雑な構造の押え機構が必要となり、設備費が高くなるという問題があった。また、押えプレート４０がメタルマスク１に接触する部分には溶接を行なうことができず、溶接位置の選定の自由度が低かった。更に、フレーム３のサイズが大きい場合、フレーム３の厚さむらが大きくなり、例えば、図６の右側領域に誇張して示すように、フレーム３が薄い場合、レーザ照射レンズ４４の焦点位置がフレーム３の上面からずれた位置となり、溶接不良を生じることもあった。
【特許文献１】特開２００３−６８４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はかかる状況に鑑みてなされたもので、メタルマスクをフレームにレーザ溶接する場合のように、金属薄板などの加工対象物にレーザ加工を行なう場合に、その加工対象物を簡単な機構を用いて良好に押さえることができ、且つ、焦点ずれを生じさせることなく良好なレーザ加工を行なうことができる構造簡単なレーザ加工装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するため、レーザを照射するレーザ照射レンズを昇降ステージに保持させて昇降可能とすると共に、そのレーザ照射レンズの先端部分に、押え部材を一緒に昇降するように設け、その押え部材の先端に、前記レーザ照射レンズによるレーザのスポットを取り囲む位置で加工対象物を押え付けるための押え面を形成し且つその押え面の前記レーザ照射レンズに対する位置を、該押え面で加工対象物を押えた時に前記レーザ照射レンズが加工対象物に対するレーザ加工に適した位置となるように定めておくという構成としたものである。この構成により、昇降ステージを下降させて押え部材先端の押え面を加工対象物に押し付けることで、レーザのスポット照射位置を取り囲む位置で加工対象物を押えることができ、同時に、レーザ照射レンズをレーザ加工に適した高さに位置決めでき、スポット溶接などのレーザ加工を良好に行なうことができる。
【０００９】
ここで、前記押え部材には、前記レーザ照射レンズからのレーザ照射範囲を取り囲むよう先端に向かって細くなる円錐状の遮光性のカバー部を設けておくことが好ましく、これにより、レーザの周囲への漏れを大幅に防止できる。
【００１０】
前記押え部材に形成している円錐状のカバー部の一部には、必要に応じ、開口を形成し、レーザ加工位置の周囲に存在している部材への干渉を避けるようにしてもよく、開口を設けておくことで、周囲に何かの部材が存在している場合においても、その部材の近傍でのレーザ加工が可能となる。
【００１１】
更に、押え部材のカバー部に開口を形成した場合において、その押え部材をレーザ照射レンズに対して回転可能とすることが好ましく、これにより、レーザ照射位置の周囲に存在している部材がどの方向にあっても、カバー部に形成している開口をその部材に向け、干渉を避けることができる。押え部材の回転は手動で行なう構成としてもよいが、前記昇降ステージに押え部材を回転させる回転装置を設けておくと自動化できるので好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のレーザ加工装置では、レーザ照射レンズを保持した昇降ステージを降下させることで、押え部材でレーザのスポット照射位置を取り囲む位置で加工対象物を押えることができ、同時に、レーザ照射レンズをレーザ加工に適した高さに位置決めでき、常に高品質でのスポット溶接などのレーザ加工を行なうことができる。また、押え部材はレーザ照射レンズを保持した昇降ステージに保持させればよいので、押え部材専用の昇降機構は不要であり、図６に示したような押えプレート４０及び押え機構を設ける場合に比べて装置構造を簡略化できる。更に、レーザ照射レンズ及びその先端に配置している押え部材が移動しうる任意の位置にレーザ加工することができるので、レーザ照射位置の選択の自由度がアップする等の効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のレーザ加工装置は、金属薄板のようにレーザ加工の際に押えておく必要がある任意の加工対象物に対するレーザ加工に用いることができ、その好適な例として、精密さを要求される有機ＥＬ素子製造用の蒸着用多面付けマスクとして使用するメタルマスクを枠状のフレームにスポット溶接する場合を挙げることができる。以下、有機ＥＬ素子製造における蒸着用多面付けマスクとして使用するメタルマスクをフレームにスポット溶接する場合を例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。図１は本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置を備えたメタルマスク貼り付け装置を、一部を断面で示す概略側面図、図２（ａ）はそのメタルマスク貼り付け装置の主要部分の概略断面図、図２（ｂ）は押え部材の一部の概略側面図、図３はメタルマスク貼り付け装置に設けている複数のテンションユニット及びそれに保持されているメタルマスクを示す概略平面図、図４はこのメタルマスク貼り付け装置で取り扱うメタルマスク及びそれを固定する枠状のフレームを示す概略斜視図、図５はフレームにメタルマスクを固定して形成した蒸着マスク装置の概略斜視図である。
【００１４】
図４において、１は蒸着マスクとして使用する直角四辺形状のメタルマスクであり、複数のマスク部２を縦横に並べて形成している。各マスク部２は、蒸着を許容する多数の微少な開口部を備えたものである。各マスク部２における開口部の形状、配列は任意であり、例えば、細長いスリット状の開口部を平行に並べたもの、短い開口部を縦方向に並べると共に平行にも並べたもの等を挙げることができる。３はメタルマスク１を取り付けるための剛性の大きい枠状のフレームであり、メタルマスク１の多数のマスク部２を形成した領域を包含する大きさの開口４を備えている。メタルマスク１は、フレーム３よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作られており、フレーム３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線５を形成している。なお、易切断線５は、メタルマスク１に加える引張力には耐え得る強度を備えたものである。メタルマスク１の厚さ、マスク部２の寸法、それに形成したスリットの寸法等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、メタルマスク１の厚さは３０〜２００μｍ、マスク部２の寸法は長さが５０〜７０ｍｍ、幅が３０〜５０ｍｍ、開口部の幅が４０〜１００μｍ、平行に配列された開口部間の無孔部分の幅が８０〜１５０μｍ等を例示できる。
【００１５】
図１〜図３において、全体を参照符号１０で示すメタルマスク貼り付け装置は、支持台１１と、その支持台１１に、上面１２ａが水平となるように保持されたＸ、Ｙ、θステージ１２と、そのＸ、Ｙ、θステージ１２の上面１２ａに、メタルマスク１の４辺の各々の複数箇所を把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニット１３を備えている。Ｘ、Ｙ、θステージ１２は、水平な上面１２ａを、水平面内で縦方向（Ｘ方向）、横方向（Ｙ方向）に位置調整することができると共に中心の垂直な軸線を中心として回転方向（θ方向）にも位置調整することができるものである。
【００１６】
各テンションユニット１３は、図２に拡大して示すように、ベース部材１５と、そのベース部材１５に直動案内１６を介して移動可能に保持されたクランプ１７と、クランプ１７を往復動させるエアシリンダ等の駆動手段１８等を備えている。クランプ１７は、固定爪１７ａと、可動爪１７ｂと、可動爪１７ｂを固定爪１７ａに強く押し付けて両者の間にメタルマスク１を把持するよう可動爪１７ｂを旋回させ且つ閉位置に保持するトグル機構及びエアシリンダ（共に図示せず）等を備えている。各テンションユニット１３は、図３から良く分かるように、メタルマスク１の各辺をそれぞれ複数のテンションユニット１３で把持してその辺に直角方向にテンションを加えることができるように配置されている。更に、メタルマスク１の各辺を把持するように配置されている複数のテンションユニット１３のクランプ１７は、メタルマスク１のマスク部２と非マスク部に合わせて配置されており、従って、メタルマスク１のマスク部２を形成した縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域と、マスク部の無い縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域とを、それぞれ別個のクランプ１７で引っ張ってテンションを付与することが可能である。
【００１７】
複数のテンションユニット１３にそれぞれ設けられている駆動手段１８には、メタルマスク１に付与するテンションを個々に調整できるよう、その駆動手段による駆動力を個々に調整する調整手段（図示せず）が設けられている。更に具体的には、駆動手段１８を構成するエアシリンダにはエア供給配管が接続されており、そのエア供給配管に、各エアシリンダへの供給圧力を個々に調整可能なレギュレータが調整手段として設けられている。なお、全部のテンションユニット１３の駆動手段（エアシリンダ）１８を同時に作動させることができるよう、これらのエアシリンダに連結されているエア供給配管には共通の開閉弁を介してエアが供給されるようになっており、且つ各エアシリンダの作動タイミングを調整することができるよう各エアシリンダへのエア供給配管にスピードコントローラも設けられている。
【００１８】
図１、図２において、テンションユニット１３のベース部材１５には、フレーム３を支持するフレーム支え２０が設けられている。このフレーム支え２０は、その上にフレーム３を乗せることで、フレーム３を水平面内の所定位置に位置決めすると共にフレーム３の上面が、クランプ１７に把持されてテンションを付与されているメタルマスク１にほぼ接する位置となるように上下方向にも位置決めすることができるように配置されている。
【００１９】
図１において、メタルマスク貼り付け装置１０は更に、支持台１１の両端に設けられた側枠２２に水平に移動可能に保持された移動台２３と、その移動台２３を、テンションユニット１３に保持されているメタルマスク１の上方の所定位置と、メタルマスク１の上方を離れる待機位置とに往復動させる移動装置（図示せず）と、その移動台２３に縦方向及び横方向に移動可能に保持されたＸ−Ｙステージ２４と、そのＸ−Ｙステージ２４をＸ方向、Ｙ方向に移動させるＸ−Ｙ駆動装置（図示せず）と、Ｘ−Ｙステージ２４に設けられたレーザ加工装置２５等を備えている。
【００２０】
レーザ加工装置２５は、Ｘ−Ｙステージ２４に垂直に取り付けられた昇降ポスト２７と、それに昇降するように保持された昇降ステージ２８と、その昇降ステージ２８を昇降させる昇降駆動装置（図示せず）と、ＹＡＧレーザ等のレーザ発生装置（図示せず）と、そのレーザ発生装置に連結された光ファイバ２９と、その光ファイバ２９に連結され、且つ垂直方向の下方に向かってレーザ３０を照射するように、昇降ステージ２８に取り付けられたレーザ照射レンズ３２と、そのレーザ照射レンズ３２の先端部分に、そのレーザ照射レンズ３２と一緒に昇降するように設けられた押え部材３４等を備えている。
【００２１】
この押え部材３４は、図２から良く分かるように、レーザ照射レンズ３２を取り囲む円筒部分３４ａと、レーザ照射レンズ３２からのレーザ照射範囲を取り囲むよう先端に向かって細くなる円錐状のカバー部分３４ｂと、先端（下端）のリング状の押え部３４ｃとを備えており、その押え部３４ｃの下面にメタルマスク１を押えるための環状の押え面３４ｄを形成している。押え面３４ｄの内径は、レーザ３０のスポットに干渉しない範囲で、小さい径としており、これにより、レーザ３０のスポットの近くで且つそのスポットを取り囲む位置でメタルマスク１を押えることができる。ここで、押え部材３４の押え面３４ｄの位置は、昇降ステージ２８を下降させて押え面３４ｄで加工対象物（メタルマスク１）を押えた時にレーザ照射レンズ３２が加工対象物に対するレーザ加工に適した距離となるように、すなわち、レーザ３０の焦点位置がメタルマスク１とフレーム３との接触面となるように定めている。
【００２２】
押え部材３４は遮光性の金属材で作られており、レーザ３０が周囲に漏れるのを防止するようにしている。押え部材３４のカバー部３４ｂには、レーザ照射レンズ３２をクランプ１７の近傍に移動させ、クランプ１７の近傍でメタルマスク１をスポット溶接する際にカバー部３４ｂがクランプ１７に干渉しないようにするため、開口３６を設けている。開口３６の大きさは、クランプ１７に干渉しない範囲で極力小さくすることが、レーザ３０の周囲への漏れ量を少なくできるので好ましい。押え部材３４は、レーザ照射レンズ３２に同心状に配置されると共に、軸受３９を介して回転可能なように昇降ステージ２８に取り付けられている。更に、昇降ステージ２８には、押え部材３４を所望の角度位置に回転させるモータ３７ａ、プーリ３７ｂ、３７ｃ、ベルト３７ｄ等を備えた回転装置３７が設けられている。なお、回転装置３７は図示した構造のものに限らず、押え部材３４を所望の回転位置に回転させることができる任意の機構のものを用いてよい。
【００２３】
次に、上記構成のメタルマスク貼り付け装置１０によるメタルマスク貼り付け動作を説明する。レーザ加工装置２５を保持している移動台２３がＸ、Ｙ、θステージ１２の上方を外れた待機位置にある状態で、複数のテンションユニット１３のフレーム支え２０にフレーム３を保持させ、次いで、その上にメタルマスク１を乗せ、その４辺を複数のテンションユニット１３のクランプ１７で把持させる。この状態が図３に示す状態である。次に、各クランプ１７に連結している駆動手段（エアシリンダ）１８に加圧エアを送って各クランプ１７をメタルマスク１から離れる方向に移動させ、メタルマスク１に多数のクランプによって縦横両方向にテンションを加え、メタルマスク１を張った状態とし、必要に応じ、Ｘ、Ｙ、θステージ１２でメタルマスク１の位置決めを行なう。その後、各テンションユニット１３の引張力を調整してメタルマスク１に加わるテンションを調整し、メタルマスク１をゆがみやたるみのない平坦な状態で且つ各マスク部２の多数の開口部を平行に引き揃えた状態とすると共に各マスク部２の位置（マスク部間のピッチ）も調整する。
【００２４】
次に、移動台２３が複数のテンションユニット１３で張られた状態のメタルマスク１の上方に移動して来て停止する。次いで、Ｘ−Ｙステージ２４がレーザ照射レンズ３２を、最初にスポット溶接すべき位置（例えば、図３にＡ点で示す位置）の真上に位置決めし、回転装置３７が押え部材３４を、それに形成している開口３６がスポット溶接すべき位置に隣接しているクランプ１７の方向を向く位置となるように回転させる。次に、昇降ステージ２８が下降してレーザ照射レンズ３２及び押え部材３４を下降させ、押え部材３４の下端の押え面３４ｄがメタルマスク１をフレーム３に押し付けるとその位置に停止し、レーザ照射レンズ３２がレーザ３０を照射してスポット溶接を行ない（図２参照）、スポット溶接部３８（図３参照）を形成する。この際、押え部材３４がメタルマスク１をフレーム３に押し付けているので、両者は密着状態に保たれており、良好なスポット溶接が行われる。また、フレーム３の厚さにむらがあっても、押え部材３４がメタルマスク１をフレーム３に押し付けた状態ではレーザ照射レンズ３２の焦点位置がメタルマスク１とフレーム３の接触面に一致しているので、この点からも良好なスポット溶接が行なわれる。更に、レーザ照射時、レーザ３０の周囲の大部分は、押え部材３４で覆われているため、レーザの周囲への漏れが少なく、作業者が目視してもほとんど問題はなく安全である。
【００２５】
最初のレーザ照射によるスポット溶接が終わると、昇降ステージ３４が上昇し、次いで、Ｘ−Ｙステージ２４がレーザ照射レンズ３２を、次にスポット溶接すべき位置（例えば、図３のＢ点）の真上に位置決めし、上記と同様にしてスポット溶接を行なう。以下、同様の動作を繰り返して、メタルマスク１の１辺に沿って次々とスポット溶接を行なって行く。そして、１辺のスポット溶接が終了すると、Ｘ−Ｙステージ２４がレーザ照射レンズ３２を、次の辺の最初にスポット溶接すべき位置の真上に位置決めし、回転装置３７が押え部材３４を９０°回転させて、開口３６を、その辺に位置しているクランプ１７に向ける。その後は、上記したのと同じ手順で次々とスポット溶接を行い、その辺のスポット溶接が終わると、更に次の辺のスポット溶接を行なう。このようにして、メタルマスク１の４辺がフレーム３に多数のスポット溶接部３８によって固定される。その後、メタルマスク１をクランプ１７から外し、メタルマスク１の周縁部分を易切断線５を利用して除去する。以上により、図５に示すように、フレーム３にメタルマスク１を多数のスポット溶接部３８で固定した構成の蒸着マスク装置８を製造できる。
【００２６】
得られた蒸着マスク装置８では、メタルマスク１がゆがみやたるみの無い状態で且つマスク部２の多数の開口部が正確に平行に揃った状態に保たれており、且つ各マスク部の位置も所定の寸法精度内に保たれている。かくして、この蒸着マスク装置８を用いて蒸着を行うことにより、微細なパターンの蒸着を多面付けで正確に行うことができる。
【００２７】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載の範囲内で適宜変更可能である。例えば、上記した実施の形態では、押え部材３４に開口３６を設けてクランプ１７に干渉しない構成としているが、開口３６を設けなくてもクランプ１７に干渉しない位置にスポット溶接する場合には、当然開口３６を形成しなくてもよい。開口３６を設けなければ、レーザ３０の周囲の全域を押え部材３４でカバーできるので、レーザ３０の漏れを一層確実に防止でき、作業者が誤ってレーザ３０を直視し、目を痛めるといった事故を防止できる。更に、上記した実施の形態では、スポット溶接する場合を説明したが、本発明はスポット溶接に限らず、レーザを用いた穴あけ等の加工を行なう場合にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置を備えたメタルマスク貼り付け装置を、一部を断面で示す概略側面図
【図２】（ａ）は図１に示すメタルマスク貼り付け装置の主要部分の概略断面図、（ｂ）は押え部材の一部の概略側面図
【図３】図１に示すメタルマスク貼り付け装置に設けている複数のテンションユニット及びそれに保持されているメタルマスクを示す概略平面図
【図４】図１に示すメタルマスク貼り付け装置で取り扱うメタルマスク及びそれを固定する枠状のフレームを示す概略斜視図
【図５】フレームにメタルマスクを固定して形成した蒸着マスク装置の概略斜視図
【図６】フレームにメタルマスクを押えプレートで押し付けてレーザ溶接する状態を説明する概略断面図
【符号の説明】
【００２９】
１  メタルマスク
２  マスク部
３  フレーム
４  開口
５  易切断線
８  蒸着マスク装置
１０  メタルマスク貼り付け装置
１１  支持台
１２  Ｘ、Ｙ、θステージ
１３  テンションユニット
１５  ベース部材
１６  直動案内
１７  クランプ
１７ａ  固定爪
１７ｂ  可動爪
１８  駆動手段（エアシリンダ）
２０  フレーム支え
２２  側枠
２３  移動台
２４  Ｘ−Ｙステージ
２５  レーザ加工装置
２７  昇降ポスト
２８  昇降ステージ
２９  光ファイバ
３０  レーザ
３２  レーザ照射レンズ
３４  押え部材
３４ａ  円筒部
３４ｂ  カバー部
３４ｃ  押え部
３４ｄ  押え面
３６  開口
３７  回転装置
３８  スポット溶接部
３９  軸受
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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