(57)【要約】【課題】反射ミラーチルティングアクチュエータが提供される。【解決手段】反射ミラーチルティングアクチュエータは、内部空間を有するベースに固定される固定部と弾性連結部を介して一体で連結される水平部を設け、上記反射ミラーを上方へ弾力支持する弾性部材を備えるミラーホルダー;上記反射ミラーの縁部を包囲し上記水平部とカバーとの間に配されるミラーストッパーを備えるミラー支持部;上記水平部に上端が接しながら垂直往復運動を伝達する作動手段を設け、上記水平部に上端が接し上記水平部のチルティングを制限するストッパーを備えるチルティング駆動部;及び、上記水平部と一定の幅の隙を隔てて配されるミラーストッパーを上部に露出させる調整孔を上記カバーに形成し、上記調整孔を通して上記ミラーストッパーに下部端が接する調整ネジを備えて上記反射ミラーの平面図を調整する水平調整部;を含む。【選択図】図１
2006171676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素数に対応して二次元的に備えられるマイクロ反射ミラーを映像信号に応じて光の反射角度が変化するようにチルティング駆動させるアクチュエータであって、
内部空間を有するベースと、
前記ベースに固定される固定部と弾性連結部を介して一体で連結される水平部を有し、上記反射ミラーを上方へ弾力支持する少なくとも一つ以上の弾性部材を備えるミラーホルダーと、
上記水平部の上部に組み立てられるカバーを設け、上記反射ミラーの縁部を包囲し上記水平部とカバーとの間に配されるミラーストッパーを備えるミラー支持部と、
上記水平部に上端が接し垂直往復運動を伝達する作動手段を設け、上記水平部に上端が接し上記水平部のチルティングを制限するストッパーを備えるチルティング駆動部と、
上記水平部と一定の幅の隙を隔てて配されるミラーストッパーを上部に露出させる調整孔を上記カバーに少なくとも一つ以上形成し、上記調整孔を通して上記ミラーストッパーに下部端が接する調整ネジを設け上記反射ミラーの平面度を調整する水平調整部と
を備えるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項２】
前記ベースの底面は、前記ミラーホルダーが位置固定される円形突起を備え、上記作動手段とチルティングストッパーが装着される装着孔を備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項３】
上記弾性連結部は、上記固定部の上端と上記水平部の下部面との境界部位に上記固定部の上端厚さより薄い厚さで備えられる、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項４】
上記水平部の隅は、上記カバーを組み立てるためのネジ部材が締結される複数のネジ孔を備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項５】
上記水平部の隅は、本体一部を欠切した切開部を備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項６】
上記切開部は、上記水平部の上部面の中心を基準に左右対称型で複数備えられる、請求項５に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項７】
上記水平部の上部面は、上記反射ミラーと同一形状の配置部を一定の深さで備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項８】
上記水平部の下部面は、上記作動手段の上下往復運動を案内する中空型案内部材を備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項９】
上記水平部の下部面には、上記チルティングストッパーの上端が下部面に接するタッチ部材を備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１０】
上記タッチ部材の下部面は、上記チルティングストッパーの上端と対応する凹溝を備える、請求項９に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１１】
上記チルティングストッパーの上端と対応する上記水平部の下部面は、凹溝を備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１２】
上記チルティングストッパーの上端は、ラウンド状に形成される、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１３】
上記作動手段は、電源印加時電流方向に応じて上端を一定の高さで垂直方向に往復運動させる圧電素子である、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１４】
上記作動手段は、上端に半円断面状のキャップを一体で有し、上記水平部の下部面は上記キャップと面接触する半円断面状の面接触溝を備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１５】
上記カバーは、上記反射ミラーが露出する開口部の内部面に上記ミラーストッパーの外側縁部が係止する内部係止部を備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１６】
上記ミラーストッパーは、上記反射ミラーが露出する開口部の内部面に上記反射ミラーの外側縁部を包囲する内部段差を、外部面に上記カバーに係止される外部段差を各々備える、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１７】
上記調整孔は、上記カバーの各辺の長さ中央毎に複数備えられる、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１８】
上記調整孔は、上記カバーの各隅毎に複数備えられる、請求項１に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【請求項１９】
上記複数の調整孔は、左右対称構造で備えられる、請求項１７または１８に記載のDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、DLP方式を用いるプロジェクションに備えられるDMDの反射ミラーをチルティングさせるアクチュエータに関する。特に本発明は、チルティング対象物である反射ミラーの平面図をより精密に調整し、その調整作業をより簡便に行えるDLP方式プロジェクタ用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
最近大画面、高画質のディスプレイ装置は、最も重要なイッシューの一つに注目されており、現在こうした大画面ディスプレイ装置によって開発及び商用化されたものとしてはプロジェクションTV及びプロジェクタが代表的である。
【０００３】
こうしたプロジェクションTV及びプロジェクタは、共通に光学エンジンといった装置を含み、こうした光学エンジン内には信号処理された映像情報を表示するCRT(Cathode Ray Tube)、LCD(Liquid Crystal Display)、LCoS(Liquid Crystal on Silicon)、デジタルマイクロミラーデバイス(Digital Micromirror Device：DMD)などのディスプレイ素子が使用される。
【０００４】
最も一般的に使用されるCRTは、小さくて大変明るいブラウン管において所望の画面を生成した後、これをレンズを介して投射するものである。しかし、こうしたCRTは、明るさの低下、周波数による偏向調整の困難、焦点調整の困難などの理由から漸次使用が減っている。
【０００５】
最近こうしたディスプレイ素子は、小型化、軽量化されつつあり、重くて厚いCRTよりはLCDを用いたプロジェクションシステム等が次々と登場しており、LCoS及びDMDを利用したシステム等も既に市場へ導入されるかまたは開発されている。
【０００６】
とりわけ、今まではLCDがメインストリームであったが、高解像度の具現に有利なのに比して開発速度が遅いLCoSより、ハイコントラスト(High contrast)の具現に卓越し開発速度が速いDMDを利用したプロジェクションであるDLP(Digital Light Processing)システムの開発及び市場への導入が主に進んでいる。
【０００７】
また、CRTとLCDはアナログ信号によって駆動される素子なので、信号処理の最終端においてデジタル信号をアナログ信号に変換してディスプレイするのに対して、DMDはD/A変換無しでデジタル信号をパルス幅変調(PWM)を利用して駆動するので、D/A変換において発生しかねないエラーをできる限り省ける利点により、最近プロジェクションシステムとして脚光を浴びている。
【０００８】
図９は、一般のDLP方式のプロジェクタシステムを示す構成図である。、図示のように、こうしたシステム(１)は、照明光学系(１a)、反射型ディスプレイ素子(１b)及び投射光学系(１c)で構成される。
【０００９】
上記照明光学系(１a)は、光源(１０)と、上記光源(１０)から出射した光を反射型ディスプレイ素子(１b)に照明するための光学レンズ(２０)とで構成される。
【００１０】
上記光源(１０)は、光を生成するランプと、生成された光を反射させて進行経路を案内する反射鏡とを含んで構成される。
【００１１】
上記光学レンズ(２０)は、上記光源(１０)から出射した光を集中させる集光レンズ(condensing lens)(２１)と、光を均一光に変えながら光の形状を整形化する整形レンズ(shaping lens)(２３)とを含んで構成される。
【００１２】
上記集光レンズ(２１)と整形レンズ(２３)との間には、回転しながら特定色の光を選別透過させ得るように駆動源(図示せず)により片方へ回転駆動され、円周方向に複数のカラーフィルターが等間隔に配されるカラーウィール(２２)が含まれる。
【００１３】
そして、上記照明光学系(１a)から出射した光が照らされるディスプレイ素子(１b)はDMD(３０)を備えるが、上記DMD(３０)は、プロセッサ(３１)とメモリー(３２)を備える基板(３３)上に搭載され、チルティング角度に応じて上記照明光学系(１c)と投射光学系(１c)の光経路を分離するものである。
【００１４】
こうしたDMD(３０)は、米国TI(Texas Instruments)社が開発した光制御半導体を使用する投射型表示器であって、シリコンウェーハ上に微細な大きさを有する複数のマイクロ反射ミラーを二次元的に備え、上記反射ミラーを通して光が反射するのを制御し画像を表現するものである。上記反射ミラーは、１ミラーあたり一つのピクセル構造を担いながら各画素に対応する。
【００１５】
上記反射ミラーは、１０μＳ(１００万分の１分)の大変速い速度でチルティングアクチュエータによってチルティング運動しながら入射した光の経路を２種状態(オン/オフ)に転換し反射する。
【００１６】
即ち、所定画素に対応する反射ミラーがオン状態で上記チルティングアクチュエータによってチルティングされると、上記反射ミラーから反射した光は上記投射光学系(１c)の投射レンズ(projection lens)(４０)を通して拡大されスクリーン(５０)に照射されるのに対して、上記反射ミラーがオフ状態でチルティングされると、上記反射ミラーから反射した光は上記投射レンズ(４０)を逸れてスクリーン(５０)に照射されない。
【００１７】
したがって、上記DMD(３０)は、これに含まれる各反射ミラーを各画素に対する映像信号に応じて独立的にチルティング駆動して光の反射角度を変化させることにより光をオン/オフさせ、投射レンズ(４０)を通して拡大された画像を上記スクリーン(５０)に大画面で結像させるのである。
【００１８】
一方、上記チルティングアクチュエータは、上記反射ミラーから反射する光を所望の方向に転換させるために、上記反射ミラーを６０Ｈｚの周期及び±１０度内外のチルティング角度でチルティングさせなければならないが、この際上記反射ミラーの平面度は０.００１２ｍｍ、即ち１.２μｍ以内で精密に管理しなければならない。
【００１９】
しかし、上記チルティングアクチュエータと反射ミラーの組立を完成した後、上記反射ミラーの平面度を１.２μｍ以内に精密に調整するのは困難であって、その調整作業が大変難しいといった問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
したがって、本発明は、上記のような従来の問題点を解消するためのもので、光の経路をオン/オフさせるようチルティングされる反射ミラーの平面図を精密且つ簡便に調整し得るDLP方式プロジェクタ用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータを提供することである。
【００２１】
本発明のほかの目的は、外力によるチルティングストッパーの変位発生を防止して一定のチルティング角度で反射ミラーをチルティングし停止させることができ、製品の信頼性を向上させ得るDLP方式プロジェクタ用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記のような目的を成し遂げるための技術的な構成として、本発明は、画素数に対応して二次元的に備えられる反射ミラーを映像信号に応じて光の反射角度を変化させるようチルティング駆動させるアクチュエータにおいて、内部空間を有するベース;上記ベースに固定される固定部と弾性連結部を介して一体で連結される水平部を設け、上記反射ミラーを上方へ弾力支持する少なくとも一つ以上の弾性部材を備えるミラーホルダー;上記水平部の上部に組み立てられるカバーを設け、上記反射ミラーの縁部を包囲しながら上記水平部とカバーとの間に配されるミラーストッパーを備えるミラー支持部;上記水平部に上端が接し垂直往復運動を伝達する作動手段を設け、上記水平部に上端が接し上記水平部のチルティングを制限するストッパーを備えるチルティング駆動部;及び上記水平部と一定の幅の隙を隔てて配されるミラーストッパーを上部に露出させる調整孔を上記カバーに少なくとも一つ以上形成し、上記調整孔を通して上記ミラーストッパーに下部端が接する調整ネジを備え上記反射ミラーの平面図を調整する水平調整部;を含むことを特徴とするDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータを提供する。
【００２３】
好ましくは、上記ベースの底面には、上記ミラーホルダーが位置固定される円形突起を備え、上記作動手段とチルティングストッパーが装着される装着孔を備える。
【００２４】
好ましくは、上記弾性連結部は上記固定部の上端と上記水平部の下部面との境界部位に上記固定部の上端の厚さより薄い厚さで備える。
【００２５】
好ましくは、上記水平部の隅には上記カバーを組み立てるためのネジ部材が締結される複数個のネジ孔を備える。 
【００２６】
好ましくは、上記水平部の隅には本体一部を欠切した切開部を備え、上記切開部は上記水平部の上部面中心を基準に左右対称型で複数個備えられることがより好ましい。
【００２７】
好ましくは、上記水平部の上部面には上記反射ミラーと同一形状の配置部を一定の深さで備える。
【００２８】
好ましくは、上記水平部の下部面には上記作動手段の上下往復運動を案内する中空型案内部材を備える。
【００２９】
好ましくは、上記水平部の下部面には上記チルティングストッパーの上端が下部面に接するタッチ部材を備え、上記タッチ部材の下部面には上記チルティングストッパーの上端と対応する凹溝を備えることがより好ましい。
【００３０】
好ましくは、上記チルティングストッパーの上端と対応する上記水平部の下部面に凹溝を備える。 
【００３１】
好ましくは、上記チルティングストッパーの上端はラウンド状に形成される。
【００３２】
好ましくは、上記作動手段は電源印加時電流方向に応じて上端を一定の高さで垂直方向に往復運動させる圧電素子である。
【００３３】
好ましくは、上記作動手段は上端に半円断面状のキャップを一体で設け、上記水平部の下部面には上記キャップと面接触する半円断面状の面接触溝を備える。
【００３４】
好ましくは、上記カバーは上記反射ミラーが露出する開口部の内部面に上記ミラーストッパーの外側縁部が係止する内部係止部を備える。
【００３５】
好ましくは、上記ミラーストッパーは上記反射ミラーが露出する開口部の内部面に上記反射ミラーの外側縁部を包囲する内部段差を備え、外部面に上記カバーに係止される外部段差を各々備える。 
【００３６】
好ましくは、上記ネジ孔は上記カバーの各辺の長さ中央毎に複数個備えられるか、上記カバーの各隅毎に複数個備えられ、上記複数個のネジ孔は左右対称構造で備えることがより好ましい。
【発明の効果】
【００３７】
上記構成を有する本発明によれば、カバーとミラーホルダーとの間に配され反射ミラーを包囲するミラーストッパーの上部面に下端が接する調整ネジをカバーのネジ孔に締結して備えることにより、調整ネジの絞りと弛め作動によってカバーとミラーホルダーとの間隙を広げたり狭くしてミラーストッパーの位置を可変させられるので、上部において反射ミラーの平面度を簡便且つ迅速に調整することができる。
【００３８】
また、反射ミラーの平面図を調整するよう絞る力と弛める力を発生させる調整部と反射ミラーを一定角度チルティングするよう垂直方向の外力を発生させるチルティング駆動部が相互分離され組み立てられることにより、外力による作動手段とチルティングストッパーの変位発生を防止できるので常に一定なチルティング角度及び一定した停止位置において反射ミラーをチルティングし停止させられ製品の信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、添付された図面に応じて本発明をより詳しく説明すれば次のとおりである。
【００４０】
図１は本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータの構成図で、図２(a)(b)(c)は本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータの平面図と断面図である。
【００４１】
本発明のチルティングア５クチュエータ(１００)は図１と図２に示すように、デジタル光を作るために画素数に対応しDMDに２次元的に備えられる反射ミラー(M)を独立的にチルティング駆動させながら光経路をオン/オフさせる反射ミラー(M)の平面度を精密且つ簡便に調整できるものであり、ベース(１１０)、ミラーホルダー(１２０)、ミラー支持部(１３０)、チルティング駆動部(１４０)及び水平調整部(１５０)で構成される。
【００４２】
即ち、上記ベース(１１０)は図１ないし図３(a)(b)(c)に示すように、上部は開放された四角枠形状の開口部(１１９)を成し、下部面は密閉され一定の大きさの内部空間を有する固定構造物である。 
【００４３】
こうしたベース(１１０)の底面には上記ミラーホルダー(１２０)を位置固定できるよう複数個の円形突起(１１２a)(１１２b)を上部に一定の高さで突設し、上記ベース(１１０)の底面中央には上記チルティング駆動部(１４０)を構成する作動手段(１４１)とチルティングストッパー(１４２)を各々装着できるよう複数個の装着孔(１１４a)(１１４b)を貫通形成する。
【００４４】
そして、上記ベース(１１０)の内部空間に備えられるミラーホルダー(１２０)は図１、２、４及び図５(a)(b)(c)に示すように、固定部(１２１)、弾性連結部(１２２)及び水平部(１２３)が略Ｈ断面状となるよう一体で構成され、アルミニウムやこれを含む金属素材から成る軽量の構造物である。 
【００４５】
上記固定部(１２１)は上記ベース(１１０)の内部底面に突設された円形突起(１１２a)(１１２b)と対応して組み立てられる円形孔(１２４a)(１２４b)を複数個貫通形成し、上記ベース(１１０)の装着孔(１１４a)(１１４b)と対応して一致する他の装着孔(１２５a)(１２５b)を複数個貫通形成する。
【００４６】
上記弾性連結部(１２２)は、位置固定された固定部(１２１)に対して上記水平部(１２３)を一定角度でチルティングしてから水平状態に復帰する弾性復元力を発生させるために、上記固定部(１２１)の上端と上記水平部(１２３)の下部面との境界部に備えられ、上記固定部(１２１)の上端厚さ(T)より相対的に大変薄い厚さ(t)で形成することが好ましい。
【００４７】
上記水平部(１２３)は上記反射ミラー(M)を上方へ弾力支持するよう上部面に少なくとも一つ以上の弾性部材(１２６)を設け、こうした弾性部材(１２６)は上端が反射ミラー(M)の下部面に接し、下端は上記水平部(１２３)の上部面に常時接するよう配されるスプリング部材で備えられる。
【００４８】
上記反射ミラー(M)を上方へ弾力支持する弾性部材(１２６)がスプリング部材で備えられる場合、弾性部材(１２６)の位置を安定的に維持するために後述する案内部材(１２７)やタッチ部材(１２８)が組み立てられるよう、上記水平部(１２３)の上部面に形成されるネジ孔(１２７a)(１２８a)に配されたり、上記水平部(１２３)の上部面に別途の凹溝を複数個形成しても良い。
【００４９】
ここで上記弾性部材(１２６)は、位置を安定的に維持するための別途の凹溝を必要とするスプリング部材の代わりに、上記反射ミラー(M)の下部面に上部面が接し、上記水平部(１２３)の上部面に下部面が接するよう配され上下圧縮時弾性復元力を発生させる、一定の厚さを有する板状のゴム部材で構成してもよい。
【００５０】
こうした弾性部材(１２６)が備えられる水平部(１２３)の上部面は上記反射ミラー(M)を接触せずに配置できるよう上記反射ミラー(M)と同一な四角形状の配置部(１２９)を一定深さ(H)で陥没形成し、上記水平部(１２３)の各隅には後述するカバー(１３１)を通して組み立てられるネジ部材(１３９)を締結できるよう複数個のネジ孔(１２３b)を各々形成する。
【００５１】
一方、上記ミラーホルダー(１２０a)を構成する水平部(１２３a)は図６に示すように、４個の隅中少なくとも一つ以上の隅本体を四角断面状に欠切した切開部(C)を形成して構造的により軽量化させてもよい。
【００５２】
この際、上記切開部(C)は上記水平部(１２３a)の上部面中心を基準に左右対称型で複数個備えられることが好ましい。
【００５３】
こうした場合、上記切開部(C)によって上記ミラーホルダー(１２０a)がより軽量化されチルティング変形後原状の水平状態に復帰する時間がより短縮されるので、上記作動手段(１４１)による上記ミラーホルダー(１２０)のチルティング作動時上記作動手段(１４１)の復帰時間が上記水平部(１２３a)の原状復帰時間より速いことから発生する上記作動手段(１４１)と水平部(１２３a)との接触による騒音の発生をできる限り予防できるのである。
【００５４】
上記水平部(１２３)の下部面には、上記作動手段(１４１)の上下往復運動を案内する中空型案内部材(１２７)を備えるよう案内部材固定用ネジ部材(１２７a)が締結されるネジ孔(１２７b)を複数個貫通形成し、上記チルティングストッパー(１４２)の上端が下部面に接するタッチ部材(１２８)を備えるようタッチ部材固定用ネジ部材(１２８a)が締結される他のネジ孔(１２８b)を複数個貫通形成する。
【００５５】
上記中空型案内部材(１２７)とタッチ部材(１２８)にも上記ネジ部材(１２７a)(１２８a)が締結される複数個のネジ孔を形成する。
【００５６】
また、上記反射ミラー(M)を支持するミラー支持部(１３０)は図１、２と図７、８に示すように、カバー(１３１)とミラーストッパー(１３２)で構成されるが、上記カバー(１３１)は上記反射ミラー(M)を上部に露出させるよう四角形状の開口部(１３１a)を開口形成し、上記水平部(１２３)の上部縁部とほぼ同じ大きさを有する四角枠形状で備える。
【００５７】
上記開口部(１３１a)の内部面には上記ミラーストッパー(１３２)の外側縁部と接し係止する内部係止部(１３３a)を突設する。
【００５８】
こうしたカバー(１３１)の各隅には上記水平部(１２３)の隅に備えられたネジ孔(１２３b)と一致するネジ孔(１３１b)を形成し、上記水平部(１２３)との組立時ネジ部材(１３９)は上記カバー(１３１)のネジ孔(１３１b)を通して上記水平部(１２３)のネジ孔(１２３b)に締結され、上記ネジ部材(１３９)の締結時上記カバー(１３１)の外側下部面は上記水平部(１２３)の外側上部面と面接触するようになるのである。
【００５９】
一方、図６に示すように、上記水平部(１２３a)の隅に切開部(C)を形成する場合、上記ミラーホルダー(１２０a)の水平部(１２３a)と上記ミラー支持部(１３０)のカバー(１３１)との組立は、上下積層される水平部(１２３a)とカバー(１３１)の外側から内側方向へ「コ」の字型固定部材(図示せず)を弾力的に挿入して上記水平部(１２３a)の外側上部面と上記カバー(１３１)の外側下部面とが相互面接触しながら固定されるようにする。
【００６０】
上記ミラーストッパー(１３２)は四角板状の反射ミラー(M)を上部に露出させるよう四角形状の開口部(１３２a)を開口形成し、上記開口部(１３２a)の内部面には反射ミラー(M)の上方離脱を防ぐよう上記反射ミラーの外側縁部が接し係止される内部段差(１３４a)を形成し、上記ミラーストッパー(１３２)の外部面には上記内部係止部(１３３a)と面接触する外部段差(１３４b)を各々形成する。 
【００６１】
こうしたミラーストッパー(１３２)は上記ミラーホルダー(１２０)の水平部(１２３)と上記ミラー支持部(１３０)のカバー(１３１)との間に上記水平部(１２３)の底面と平行に配され、上記ミラーストッパー(１３２)の外側下部面は弾性部材(１２６)により上方へ弾力支持されながら開口部(１３２a)に配される反射ミラー(M)と共に上下遊動が可能なよう上記水平部(１２３)の外側上部面との間に一定の幅の隙(G)を形成する。
【００６２】
そして、上記反射ミラー(M)を基準水平面に対して一定角度でチルティングさせるチルティング駆動部(１４０)は、図１、２に示すように、上記カバー(１３１)と組み立てられた水平部(１２３)を一定角度でチルティングさせるよう作動手段(１４１)とチルティングストッパー(１４２)を含む。
【００６３】
上記作動手段(１４１)は上記ベース(１１０)、ミラーホルダー(１２０)の各装着孔(１１４a)(１２５a)を通して組み立てられ位置固定され、電源印加時上端は上記水平部(１２３)の下部面に接し垂直運動を繰り返し伝達し、上記水平部(１２３)のみを上記弾性連結部(１２２)を中心に一定角度でチルティングさせる。
【００６４】
こうした作動手段(１４１)は上記水平部(１２３)の下部面に装着される中空型案内部材(１２７)を通して上記水平部(１２３)の下部面と上端が接触することになり、上記作動手段(１４１)の上端には上記水平部(１２３)の下部面との接触時広い接触面積が形成できるよう半円断面状のキャップ(１４３)を一体で有し、上記水平部(１２３)の下部面には上記キャップ(１４３)と面接触する半円断面状の面接触溝(１４３a)を形成することが好ましい。
【００６５】
ここで、上記作動手段(１４１)は電源印加時電流方向に応じて上端を一定の高さ垂直方向へ往復運動させる圧電素子のような圧電部品で構成されることが好ましい。
【００６６】
上記チルティングストッパー(１４２)は上記ベース(１１０)、ミラーホルダー(１２０)の他の装着孔(１１４b)(１２５b)を通して垂直に組み立てられ下端が垂直に位置固定され、上記反射ミラー(M)のチルティング角度を制限するようチルティングされる水平部(１２３)の下部面と上端が接触する一定の長さの丸棒部材である。
【００６７】
こうしたチルティングストッパー(１４２)は、上記水平部(１２３)の下部面と上端が直接的に接するよう備えるか、上記水平部(１２３)の下部面に組み立てられるタッチ部材(１２８)と上端が接触するよう備えることができる。
【００６８】
ここで、上記チルティングストッパー(１４２)の上端と対応する上記水平部(１２３)の下部面や上記タッチ部材(１２８)の下部面には衝撃を吸収できるよう凹溝(１４３b)を陥没形成し、上記チルティングストッパー(１４２)の上端は上記水平部(１２３)またはタッチ部材(１２８)との接触時発生する衝撃及びこれによる騒音の発生を最少化できるようラウンド状に形成することが好ましい。
【００６９】
一方、上記水平調整部(１５０)は、上記水平部(１２３)とミラーストッパー(１３２)との隙(G)の幅を少なくとも一つ以上の位置において変化させ上記反射ミラー(M)の平面度を調整するもので、上記ミラーホルダー(１２０)と共に上記ミラーストッパー(１３２)を支持するカバー(１３１)には、上記ミラーホルダー(１２０)に備えられる水平部(１２３)の最上部面と一定の幅の隙(G)を隔てて配されるミラーストッパー(１３２)の上部面を上部に露出させる調整孔(１５１)を少なくとも一つ以上貫通形成する。
【００７０】
上記調整孔(１５１)には上記ミラーストッパー(１３２)の上部面に下端が接するよう締結される一定の長さの調整ネジ(１５２)を組み立てる。
【００７１】
ここで、上記調整孔(１５１)は上記カバー(１３１)の四角枠を構成する各辺の長さ中央毎に形成するか、上記カバー(１３１)の各隅に形成されるネジ孔(１３１b)と重ならないよう各隅毎に形成してもよい。
【００７２】
この際、上記カバー(１３１)に複数個形成される調整孔(１５１)は左右対称構造で配されることが好ましい。
【００７３】
これにより、上記調整孔(１５１)に締結された調整ネジ(１５２)を締めたり弛めると、上記調整孔(１５１)が形成された位置毎に上記ミラー支持部(１３０)のミラーストッパー(１３２)と上記ミラーホルダー(１２０)の水平部(１２３)との隙(G)の幅を縮めたり広げることができ、上記反射ミラー(M)の平面度を上記ベース(１１０)の最上端の基準水平面に合わせて調節できるのである。
【００７４】
上記構成を有する本発明のチルティングアクチュエータ(１００)は、図９に示したように、照明光学系(１a)から照射された光を映像信号に応じてオン/オフ動作しながら反射する反射ミラー(M)を個別的にチルティング駆動させるよう、上記反射ミラー(M)が２次元的に複数個配されるDMD(３０)に備えられるものである。
【００７５】
上記反射ミラー(M)は、図１と図２に示すように、ベース(１１０)の内部空間に配されるミラーホルダー(１２０)の水平部(１２３)上に配され、上記水平部(１２３)の上部面に備えられる複数個の弾性部材(１２６)により直上方へ弾力支持される。
【００７６】
そして、上記ミラーストッパー(１３２)の内部段差(１３４a)に外側縁部が接する反射ミラー(M)は、複数個のネジ部材(１３９)によって上下組み立てられるカバー(１３１)とミラーホルダー(１２０)の水平部(１２３)との間に配される。この際、上記カバー(１３１)の外側下部面と上記水平部(１２３)の外側上部面との間は相互面接触するのに対して、上記上記ミラーストッパー(１３２)の外側下部面と上記水平部(１２３)の外側上部面との間には上記反射ミラー(M)と共にミラーストッパー(１３２)の上下移動が可能なよう一定の幅の隙(G)を形成する。
【００７７】
さらに、上記ミラーホルダー(１２０)の弾性連結部(１２２)を基準にその左右両側には、電源印加時上記水平部(１２３)の下部面に上端が接し垂直方向の外力を与え上記水平部(１２３)を一定角度チルティングさせる作動手段(１４１)を備え、上記水平部(１２３)のチルティング時他方の下部面に上端が接し水平部(１２３)のチルティングを制限するチルティングストッパー(１４２)を各々備える。
【００７８】
こうした状態において、上記反射ミラー(M)は、上記ミラーホルダー(１２０)に備えられる作動手段(１４１)の繰り返した上下直線運動によって１０μSの大変速い速度でチルティング運動しながら上記照明光学系(１a)から入射した光の経路をオン/オフに切り換え反射するものである。 
【００７９】
一方、上記反射ミラー(M)の平面度は基準設定値１.２μｍより大きくなると、これから反射して投射レンズ(４０)に入射する光の経路を転換させるオン/オフ作動が映像信号に応じて正確に行えず、スクリーン(５０)に画像が正しく結像されなくなる。
【００８０】
そのため、上記チルティングアクチュエータ(１００)の組立完成後の上記反射ミラー(M)の平面度は１.２μｍ以内に精密に調整されなければならないのである。
【００８１】
こうした反射ミラー(M)の平面度を調整する作業は、上記カバー(１３１)の上部面に複数個形成された調整孔(１５１)を通して締結され、その下端が上記ミラーストッパー(１３２)の上部面に接する調整ネジ(１５２)によって行う。
【００８２】
即ち、作業者が上記カバー(１３１)の上部に備えられる複数個の調整ネジ(１５２)中いずれかを右回りに締めると、上記ミラーストッパー(１３２)は一定の幅の隙(G)を形成するよう上下組立られたカバー(１３１)の水平部(１２３)間に配され、上記ミラーストッパー(１３２)に配された反射ミラー(M)は弾性部材(１２６)によって上方へ弾力支持されるので、上記ミラーストッパー(１３２)は上記調整ネジ(１５２)の絞り量によるピッチ移動だけ下部へ移動し、これと共に上記反射ミラー(M)も下部に移動するのである。
【００８３】
また、上記カバー(１３１)の上部において上記調整ネジ(１５２)を左回りに解くと、上記ミラーストッパー(１３２)は上記調整ネジ(１５２)の弛み量によるピッチ移動だけ上部に移動し、これと共に上記反射ミラー(M)も上部に移動するのである。
【００８４】
この際、上記反射ミラー(M)の上下移動は上記調整ネジ(１５２)が備えられる上記カバーの各辺長さ中央か、各隅において個別的に行われながら上記反射ミラー(M)の平面度を１.２μｍ以内に調整する。
【００８５】
そして、上記調整ネジ(１５２)により調整された反射ミラー(M)の平面度はバイブロメータなどの測定手段により測定し、その測定値は調整前の平面度と相互比較し、調整が完了された調整ネジ(１５２)は最終組立工程において接着剤により完全に接着固定する。
【００８６】
上記のように、作業者が上記反射ミラー(M)の平面度調整作業は上記反射ミラー(M)と共にチルティングアクチュエータ(１００)が備えられるDMD(３０)の直上部において行われ、平面度調整作業がより簡便になる。
【００８７】
また、上記カバー(１３１)の調整孔(１５１)に締結された調整ネジ(１５２)を絞ったり弛めて上記反射ミラー(M)の平面度を調整する作業時、上記調整ネジ(１５２)を絞る力や弛める力は上記作動手段(１４１)やチルティングストッパー(１４２)に全く伝達されないので、上記作動手段(１４１)とチルティングアクチュエータ(１４２)の変位発生により上記水平部(１２３)に与えられる垂直な外力の強さや上記水平部(１２３)との接触位置が変化することを防止してチルティング特性を一定に維持することができる。
【００８８】
本発明は特定した実施例に係わり図示し説明したが、本発明の特許請求範囲により設けられる本発明の精神や分野を外れない限度内において本発明が多様に改造及び変化されることは当業界において通常の知識を有する者であれば容易に想到することを明かしておく。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータの斜視図である。
【図２ａ】本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータを示す平面図である。
【図２ｂ】図２(a)のA-A線に沿って切開した断面図である。
【図２ｃ】図２(a)のB-B線に沿って切開した断面図である。
【図３ａ】本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータに備えられるベースを示した平面図である。
【図３ｂ】図３(a)のC-C線に沿って切開した断面図である。
【図３ｃ】図３(a)のD-D線に沿って切開した断面図である。
【図４】本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータに備えられるミラーホルダーの斜視図である。
【図５】図４のミラーホルダーを示したものであって、(a)は平面図、(b)は(a)のE-E線に沿って切開した断面図、(c)は(b)のF-F線に沿って切開した断面図である。
【図６】本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータに備えられる他のミラーホルダーの斜視図である。
【図７】本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータに備えられるカバーを示したものであって、(a)は平面図、(b)は(a)のG-G線に沿って切開した断面図、(c)は(a)のH-H線に沿って切開した断面図である。
【図８】本発明によるDLP方式プロジェクション用DMDの反射ミラーチルティングアクチュエータに備えられるミラーストッパーを示したものであって、(a)は平面図、(b)は(a)のI-I線に沿って切開した断面図である。
【図９】一般的なDLP方式のプロジェクションステムを示した構成図である。
【符号の説明】
【００９０】
１a  照明光学系
１c  投射光学系
３０  DMD
１００  チルティングアクチュエータ
M  反射ミラー
G  隙
１１０  ベース
１１４a、１１４b  装着孔
１２０  ミラーホルダー
１２１  固定部
１２２  弾性連結部
１２３  水平部
１２６  弾性部材
１３０  ミラー支持部
１３１  カバー
１３２  ミラーストッパー
１４０  チルティング駆動部
１４１  作動手段
１４２  チルティングストッパー
１５０  水平調整部
１５１  調整孔  
１５２  調整ネジ
【図１】
2006171676.tif 000003
【図２ａ】
2006171676.tif 000004
【図２ｂ】
2006171676.tif 000005
【図２ｃ】
2006171676.tif 000006
【図３ａ】
2006171676.tif 000007
【図３ｂ】
2006171676.tif 000008
【図３ｃ】
2006171676.tif 000009
【図４】
2006171676.tif 000010
【図５】
2006171676.tif 000011
【図６】
2006171676.tif 000012
【図７】
2006171676.tif 000013
【図８】
2006171676.tif 000014
【図９】
2006171676.tif 000015