(57)【要約】【課題】  本発明は荷電粒子ビーム装置の色収差補正方法及び装置に関し、複雑な収差補正の手順を意識することなく、ボタン１つを押すだけで自動的に色収差補正ができる荷電粒子ビーム装置の色収差補正方法及び装置を提供することを目的としている。【解決手段】  荷電粒子ビームの一部をプローブとして試料に照射する装置において、荷電粒子ビームの走査像からプローブ形状を抽出する抽出手段１５と、抽出されたプローブ形状から装置の色収差を算出する色収差算出手段１８と、算出した色収差に基づいて色収差補正器４を動作させる補正手段１２とを含んで構成される。【選択図】    図１
2006085919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビームの一部をプローブとして試料に照射する場合において、  荷電粒子ビームの走査像からプローブ形状を抽出し、
抽出されたプローブ形状から装置の色収差を算出し、
算出した色収差に基づいて色収差補正器を動作させる、
ことを特徴とする荷電粒子ビーム装置の色収差補正方法。
【請求項２】
前記荷電粒子ビームのうち、ジャストフォーカス時の走査像と、荷電粒子のエネルギーを＋ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカスの像と、荷電粒子のエネルギーを−ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカス像の計５枚の走査像を得て、
これら走査像からラインプロファイルを求め、求めたラインプロファイルから色収差を算出することを特徴とする請求項１記載の荷電粒子ビーム装置の色収差補正方法。
【請求項３】
前記荷電粒子のエネルギーシフト量ΔＥを、加速電圧の０．０１％〜１％とすることを特徴とする請求項２記載の荷電粒子ビーム装置の色収差補正方法。
【請求項４】
荷電粒子ビームの一部をプローブとして試料に照射する装置において、
荷電粒子ビームの走査像からプローブ形状を抽出する抽出手段と、
抽出されたプローブ形状から装置の色収差を算出する色収差算出手段と、
算出した色収差に基づいて色収差補正器を動作させる補正手段と、
を含むことを特徴とする荷電粒子ビーム装置の色収差補正装置。
【請求項５】
前記荷電粒子ビームのうち、ジャストフォーカス時の走査像と、荷電粒子のエネルギーを＋ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカスの像と、荷電粒子のエネルギーを−ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカス像の計５枚の走査像を得て、
これら走査像からラインプロファイルを求め、求めたラインプロファイルから色収差を算出することを特徴とする請求項４記載の荷電粒子ビーム装置の色収差補正装置。
【請求項６】
前記荷電粒子のエネルギーシフト量ΔＥを、加速電圧の０．０１％〜１％とすることを特徴とする請求項５記載の荷電粒子ビーム装置の色収差補正装置。
【請求項７】
前記色収差補正器として４段の電極又は磁極を持ち、２段目、３段目にｘ，ｙ方向のラインイメージを形成することを特徴とする請求項３記載の荷電粒子ビーム装置の色収差補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は荷電粒子ビーム装置の色収差補正方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
荷電粒子を用いた試料表面観察装置の一例として、走査型電子顕微鏡を例に図面を元に説明する。図５は従来装置の構成例を示す図であり、収差補正器を搭載した従来の走査型電子顕微鏡を示す。エミッタ１より電子ビーム２が放出され、前記電子ビーム２に作用する集束レンズ３によって色収差補正器４に入射する前記電子ビーム２を制御し、前記色収差補正器４から電子ビーム２を対物レンズ５により試料６の表面に収束させる。
【０００３】
試料６表面で電子ビーム２を走査し、この走査と同期して前記試料６の表面から放出される２次電子７を２次電子検出器８で検出することにより、走査信号に同期してディスプレイ１０上に画像として表示させる。前記２次電子の検出効率は通常低いため、画像積算器９によって検出信号を積算することにより、信号成分のノイズに対する強度比をたかめる。前記収差補正器の例として以下のような技術が知られている（例えば特許文献１，非特許文献１〜３参照）。
【０００４】
この種の公知技術である非特許文献１〜３で用いられる多極子による色収差補正器を例として説明する。色収差補正器は系全体の色収差を補正しているが、実際に補正されているかどうかをＳＥＭ像より判断するのは難しい。というのも、試料表面上では、収差を含んでいてもある程度前記電子ビーム２は収束しているからである。前述した公知技術（非特許文献２〜４）では、オペレータがディスプレイ１０に表示されているＳＥＭ像から色収差の大きさを判断して手動にて収差補正器制御器１２を操作することで色収差を補正している。以下、従来手動にて補正されている色収差補正方法について説明する。
【０００５】
電子はエミッタ１から様々な加速度で放出する。そのエネルギーの分布は電界放出あるいは熱電界放出エミッタでは、０．２ｅＶ〜０．９ｅＶ位である。平均的なエネルギーを持った電子が試料面にフォーカスされている時、ΔＥだけエネルギーのずれた電子は、試料面から電子ビームの進行方向に少しずれた位置にフォーカスする。そのズレ量Δｆは２次の色収差まで考慮すると、
Δｆ＝ＣCΔＥ＋ＫCΔＥ2                            （１）
となる。ＣC及びＫCはエネルギー分散に対する系全体の１次、２次の色収差係数を表わす。各ΔＥの式（１）によるフォーカスずれと、ΔＥの分布を掛け合わせた効果により、ＳＥＭ像では像ボケとして観察できるが、非常に微小な量であり、ＳＥＭ像を見て色収差が補正されているか否かを判定するのは難しい。
【０００６】
しかも、この像ボケからだけではＣCの符号も分からない。そこで、前記エミッタ１の電位をエネルギーシフト制御器１１で数Ｖシフトすることによって、ΔＥの分布全体をシフトさせる。そうすると、全体としてアンダーフォーカス又はオーバーフォーカスになるのでＣCの符号を判定することができる。
【０００７】
今、前記エネルギーシフト制御器１１で＋ΔＥだけエミッタ電位を変化させた時、像はぼける。対物レンズ制御器１３で前記対物レンズ５の強度を変化させて像をフォーカスさせることができたとする。この時の前記対物レンズ５の強度変化からフォーカスずれΔｆ１が分かる。同様にして、エミッタ電位を−ΔＥだけ変化させた時のフォーカスずれΔｆ２も分かる。従って、この時のＣCは、（１）式から
ＣC＝（Δｆ１−Δｆ２）／２ΔＥ                  （２）
である。
（２）式が０になるように収差補正器制御器１２を操作して色収差の補正量を調節する。前記色収差補正器４は多極子で構成されており、前記した非特許文献２〜４に述べられているように、ｘ方向とｙ方向を独立に補正することができる。従って、上述した手順をｘ方向及びｙ方向で行なう必要がある。
【特許文献１】J.Zach,International Patent Application Number,W0 01/56057 A1(2000)
【非特許文献１】V.H.Rose,Optik 33 ,Heft1,1(1971)
【非特許文献２】J.Zach,Optik 83, No1, 30(1989)
【非特許文献３】J.Zach and M. Haider,Nucl. Instr. and Meth. In Pyhs. Res. A 363, 316(1995)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
収差補正の手順は、上記したように複雑であり、一般のオペレータがその技術を習得して高分解能の像を得るようになるにはかなりの時間を必要とするという問題があった。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、複雑な収差補正の手順を意識することなく、ボタン１つを押すだけで自動的に色収差補正ができる荷電粒子ビーム装置の色収差補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明は、荷電粒子ビームの一部をプローブとして試料に照射する場合において、荷電粒子ビームの走査像からプローブ形状を抽出し、抽出されたプローブ形状から装置の色収差を算出し、算出した色収差に基づいて色収差補正器を動作させることを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の発明は、前記荷電粒子ビームのうち、ジャストフォーカス時の走査像と、荷電粒子のエネルギーを＋ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカスの像と、荷電粒子のエネルギーを−ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカス像の計５枚の走査像を得て、これら走査像からラインプロファイルを求め、求めたラインプロファイルから色収差を算出することを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の発明は、前記荷電粒子のエネルギーシフト量ΔＥを、加速電圧の０．０１％〜１％とすることを特徴とする。
請求項４記載の発明は、荷電粒子ビームの一部をプローブとして試料に照射する装置において、荷電粒子ビームの走査像からプローブ形状を抽出する抽出手段と、抽出されたプローブ形状から装置の色収差を算出する色収差算出手段と、算出した色収差に基づいて色収差補正器を動作させる補正手段とを含むことを特徴とする。
【００１２】
請求項５記載の発明は、前記荷電粒子ビームのうち、ジャストフォーカス時の走査像と、荷電粒子のエネルギーを＋ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカスの像と、荷電粒子のエネルギーを−ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカス像の計５枚の走査像を得て、これら走査像からラインプロファイルを求め、求めたラインプロファイルから色収差を算出することを特徴とする。
【００１３】
請求項６記載の発明は、前記荷電粒子のエネルギーシフト量ΔＥを、加速電圧の０．０１％〜１％とすることを特徴とする。
請求項７記載の発明は、前記色収差補正器として４段の電極又は磁極を持ち、２段目、３段目にｘ，ｙ方向のラインイメージを形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１記載の発明によれば、プローブ形状から装置の色収差を算出し、算出した色収差に基づいて色収差補正器を動作させることにより、色収差を補正することができる。
請求項２記載の発明によれば、ジャストフォーカス時の走査像と、荷電粒子のエネルギーを＋ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカス走査像と、荷電粒子のエネルギーを−ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカスの走査像の合計５枚の走査像からラインプロファイルを求め、このラインプロファイルから色収差を算出できるので、この色収差をなくす方向で補正を行なうことができる。
【００１５】
ΔＥが大きすぎると、高次の色収差が大きく影響しすぎて本来補正すべき色収差がわかりずらく、ΔＥが小さすぎるとボケが小さすぎて判定できなくなるが、請求項３記載の発明によれば、最適なエネルギーシフト量に設定することができる。
【００１６】
請求項４記載の発明によれば、色収差補正手段によりプローブ形状から装置の色収差を算出し、算出した色収差に基づいて色収差補正器を動作させることにより、色収差を補正することができる。
【００１７】
請求項５記載の発明によれば、ジャストフォーカス時の走査像と、荷電粒子のエネルギーを＋ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカス走査像と、荷電粒子のエネルギーを−ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカスの走査像の合計５枚の走査像からラインプロファイルを求め、このラインプロファイルから色収差を算出できるので、この色収差をなくす方向で補正を行なうことができる。
【００１８】
ΔＥが大きすぎると、高次の色収差が大きく影響しすぎて本来補正すべき色収差がわかりずらく、ΔＥが小さすぎるとボケが小さすぎて判定できなくなるが、請求項６記載の発明によれば、最適なエネルギーシフト量に設定することができる。
【００１９】
請求項７記載の発明によれば、色収差補正器として４段のものを用い、２段目、３段目にｘ，ｙ方向のラインイメージを形成させることにより、色収差を正確に行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態例を詳細に説明する。
図１は本発明の一実施の形態例を示す構成図である。図５と同一のものは、同一の符号を付して示す。図５に示す従来装置との構成上の差異は、本発明では、色収差自動補正器を設けて、従来オペレータが手動で行なっていた色収差補正操作を自動化した点にある。即ち、オペレータが操作開始ボタンを１つ押すだけで、自動的に色収差補正を行なってくれる。
【００２１】
図において、１は荷電粒子ビーム２ａを発生するエミッタ、３は前記荷電粒子ビーム２ａを制御する集束レンズ、４は色収差を補正する色収差補正器、５は前記荷電粒子ビーム２ａを試料６に収束させるための対物レンズ、８は試料６から発生した２次電子７を検出するための２次電子検出器、９は該２次電子検出器８からの信号を積算する画像積算器、１０は該画像積算器９の信号を表示するディスプレイ、１１は前記エミッタ１の電位を変化させるためのエネルギーシフト制御器、１２は前記色収差補正器４を制御する収差補正器制御器、１３は前記対物レンズ５を制御するための対物レンズ制御器である。ディスプレイ１０としては、例えばＣＲＴや液晶表示器が用いられる。１４は本発明に係る構成要素でり、前記エネルギーシフト制御器１１と、対物レンズ制御器１３に自動的に指示を出しながら、それと同期して前記画像積算器９から画像を取得し、色収差を補正するための指示を前記収差補正器制御器１２に自動的に出力する色収差自動補正器である。荷電粒子ビーム２ａは電子ビームとイオンビームを含むものである。該色収差自動補正器１４としては、例えばコンピュータが用いられる。このように構成された装置の動作を概説すれば、以下の通りである。
【００２２】
色収差自動補正器１４は、荷電粒子ビーム２ａの走査像からプローブ形状を抽出し、抽出されたプローブ形状から装置の色収差を算出する。そして、算出した色収差に基づいて色収差補正器４を動作させる。このことにより、色収差を補正することができる。
【００２３】
図１の構成について更に詳細に説明する。先ず、色収差自動補正器１４は、試料６から出射される２次電子信号を受けたものを画像積算器９で積算し、ジャストフォーカス時における走査像を得る。次に、エネルギーシフト制御器１１に制御信号を送り、荷電粒子ビーム２ａのエネルギーを＋ΔＥだけ変化させる。この時の走査像のオーバーフォーカス走査像とアンダーフォーカス走査像を得る。オーバーフォーカス像とアンダーフォーカス像は、対物レンズ制御器１３から対物レンズ５を制御することにより得る。次に、荷電粒子ビーム２ａのエネルギーを−ΔＥだけ変化させ、この時のオーバーフォーカス走査像とアンダーフォーカス走査像を得る。以上で５枚の走査像を得たことになる。色収差自動補正器１４は、前記５枚の走査像を元にして色収差係数を得る（詳細後述）。色収差係数が得られたら、この色収差係数に基づいて収差補正器制御器１２を制御する。収差補正器制御器１２は、色収差補正器４を制御して色収差を補正する。
【００２４】
このように、本発明によれば、荷電粒子ビームの色収差を自動補正することができる。本発明によれば、オペレータが色収差補正ボタンを押すだけで、後は色収差自動補正器１４が自動で色収差補正を行なってくれる。
【００２５】
図２は本発明の動作説明図で、色収差自動補正器１４の処理の流れを示している。図１と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、９は画像積算器で、該画像積算器９からジャストフォーカス走査像と、−ΔＥ変化時のアンダーフォーカス走査像、−ΔＥ変化時のオーバーフォーカス走査像、＋ΔＥ変化時のアンダーフォーカス走査像、＋ΔＥ変化時のオーバーフォーカス走査像が得られる。１５はこれら５枚の走査像を受けてプローブ形状を抽出するプローブ形状抽出器、１６は抽出されたプローブ形状からラインプロファイルを抽出するラインプロファイル抽出器である。
【００２６】
１７はラインプロファイルから特徴量を抽出する特徴量抽出器、１８は該ラインプロファイル特徴量抽出器１７の出力を受けて収差を算出する収差算出器、１９は該収差算出器１８の出力を受けて収差補正を更に行なうべきかどうかを判断する収差補正判断器、２０は該収差補正判断器１９の出力を受けて収差補正用のフィードバック量を設定するフィードバック量設定器、１２は該フィードバック量設定器２０の出力を受ける収差補正器制御器である。該収差補正器制御器１２の出力が色収差補正器４に補正信号として与えられる。図中の、プローブ形状抽出器１５、ラインプロファイル抽出器１６、ラインプロファイル特徴量抽出器１７、収差算出器１８、収差補正判断器１９、フィードバック量設定器２０は、色収差自動補正器１４内に設けられている。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
【００２７】
前述したように、画像積算器９から５枚のＳＥＭ画像を得る。その５枚とは、前述したように、ジャストフォーカス時の画像（ｊｕｓｔ）、−ΔＥの時のアンダーフォーカス画像（−ΔＥ  ｕｎｄｅｒ）、−ΔＥの時のオーバーフォーカス画像（−ΔＥ  ｏｖｅｒ）、＋ΔＥの時のアンダーフォーカス画像（＋ΔＥ  ｕｎｄｅｒ）、＋ΔＥの時のオーバーフォーカス画像（＋ΔＥ  ｏｖｅｒ）の５枚である。
【００２８】
ここで、ΔＥは加速電圧の０．０１％〜１％の値に設定すべきであることが実験的に確かめられている。その理由は、ΔＥが大きすぎると高次の色収差が大きく影響しすぎて、例えば本来補正すべき色収差係数Ｃｃがわかりずらく、反対にΔＥが小さすぎると、ボケが小さすぎて判定できなくなるからである。
【００２９】
ここで、エミッタ電位を±ΔＥだけ変化させるためにエネルギーシフト制御器１１へ与える指示、及びアンダーフォーカス、オーバーフォーカスにするために対物レンズ制御器１３へ与える指示は、画像積算器９からそれぞれの画像を取得するタイミングに同期して色収差自動補正器１４が自動的に出す。ここで、アンダーフォーカスとは、対物レンズの強度がジャストフォーカス時に比較して不足しており、試料面よりも後方に結像する状態、オーバーフォーカスとは、対物レンズの強度がジャストフォーカス時に比較して強すぎて試料面よりも前方に結像する状態をいう。
【００３０】
これら５枚のＳＥＭ画像から、ジャストフォーカス時の画像を基準としてプローブ形状をプローブ形状抽出器１５によって抽出する。その方法は、非特許文献１に示すように公知である。この結果、図に示すように４枚のプローブ形状ａ〜ｄが得られる。これらプローブ形状から、ラインプロファイル抽出器１６でプローブ形状の重心周りにラインプロファイルをとり、ラインプロファイル特徴量抽出器１７で各ラインプロファイルの幅、左右非対称性、中心付近の曲率を求める。それらの特徴量から、収差算出器１８で各収差を算出する。
【００３１】
収差補正判断器１９は、補正すべき収差がまだ残っているかどうか、及びどの収差を優先的に補正すべきかを判断する。フィードバック量設定器２０では、前記収差算出器１８で定量化された各収差のうち、収差補正判断器１９で指定されたものに対して、それらを補正するための収差補正器制御器１２に対して収差補正信号として与える。
【００３２】
そして、前記収差補正判断器１９で指定されたものに対して、それらを補正するためのフィードバックを収差補正器制御器１２に対して与える。そして、前記収差補正判断器１９で補正したい全ての収差が十分小さい値になるまでこの一連の動作が繰り返される。
【００３３】
このように本発明によれば、ジャストフォーカス時の走査像と、荷電粒子のエネルギーを＋ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカス走査像と、荷電粒子のエネルギーを−ΔＥだけ変化させた時のアンダーフォーカス、オーバーフォーカス走査像の合計５枚の走査像からラインプロファイルを求め、このラインプロファイルから色収差を算出できるので、この色収差をなくす方向で補正を行なうことができる。
【００３４】
以下、各構成要素の動作について詳細に説明する。
（ａ）ラインプロファイル特徴量抽出器
ラインプロファイル抽出器１７で抽出されたラインプロファイルをｆ１とおく。但し、ｌ＝０，±１，±２，…であり、ｆ０がプローブ形状の重心位置における輝度を表わす。このラインプロファイルから次の量を求める。
【００３５】
【数１】
2006085919.tif 000003
【００３６】
ここで、μ，σ，ρはラインプロファイルの左右非対称性、幅、中心付近の凹凸（ラインプロファイルの特徴量）を表わす。
（ｂ）収差算出器
ラインプロファイルの特徴量μ，σ，ρから、次のＣ０〜Ｃ１１を求め、各収差を表わす目安として使用する。但し、そえ字のｕ＋，ｋは＋ΔＥのアンダーフォーカスのプローブ形状の、θk＝（π／Ｎ）ｋの方向のラインプロファイルから求められた特徴量であることを意味する。同様にｏ＋，ｋは＋ΔＥのオーバーフォーカスのプローブ形状の、θkの方向のラインプロファイルから求められた特徴量、ｕ−，ｋは−ΔＥのアンダーフォーカスのプローブ形状の、θkの方向のラインプロファイルから求められた特徴量、ｏ−，ｋは−ΔＥのオーバーフォーカスのプローブ形状の、θk方向のラインプロファイルから求められた特徴量を意味する。
【００３７】
【数２】
2006085919.tif 000004
【００３８】
ここで、Ｃ0は色ｘコマに関するものであり、Ｃ1式は色ｙコマに関するものであり、Ｃ2は色ｘ三角に関するものであり、Ｃ3は色ｙ三角に関するものであり、Ｃ4は色収差に関するものであり、Ｃ5は色ｘｙに関するものであり、Ｃ6は色４５゜非点に関するものであり、Ｃ7は色ｃｏｓ４ｆｏｌｄに関するものであり、Ｃ8は色ｓｉｎ４ｆｏｌｄに関するものであり、Ｃ9は色球面に関するものであり、Ｃ10は色ｘｙスターに関するものであり、Ｃ11は色４５゜スターに関するものである。
（ｃ）収差補正判断器
収差補正判断器１９は、補正すべき収差がまだ残っているかどうかを判断する。例えば、
【００３９】
【数３】
2006085919.tif 000005
【００４０】
を求め、Ｃ＜δになったら収差補正を終了する。ここで、ｗiは収束判定基準への各収差の重みであり、δは収束判定基準の厳しさを表わす。また、収差補正判断器１９では、どの収差を優先的に補正すべきかを判断する。各収差は独立に定量化できるが、ある収差が非常に大きく出ている時は、他の収差の定量化の精度が悪くなる可能性がある。特に、Ｃ9，Ｃ10，Ｃ11はそれぞれＣ4，Ｃ5，Ｃ6と同じ対称性を持っており、より高次の収差である。このため、Ｃ4，Ｃ5，Ｃ6が大きく出ているときには、Ｃ9，Ｃ10，Ｃ11の定量化の精度は悪くなる可能性がある。これを防ぐため、各収差毎に閾値を設け、それを超えたら先ずその収差のみを補正する。
（ｄ）フィードバック量設定器
収差算出器１８からの出力Ｃ0〜Ｃ11のうち、収差補正判断器１９で指定された収差を補正するために色収差補正器４に加えるべき場を求める。例として、図３に示すような、４段の電極を備えた色収差補正器で、２段目にｘ方向のラインイメージ、３段目にｙ方向のラインイメージが作られている場合を考える。
【００４１】
このような１次軌道を作るための場として、１〜４段目の電極に加えられる標準４極子電場Ｅ１〜Ｅ４が使用される。これらの場以外に、２，３段目にはＥ２，Ｅ３と相似な軸上分布を持つ斜め４極子電場Ｅ２，Ｅ３が重畳できる。ここで、Ｅ２とＢ２の組み合わせにより、１次軌道を変えずにｘ方向の色収差軌道のみを変えることができる。同様に、Ｅ３とＢ３（磁場）の組み合わせで１次軌道を変えずにｙ方向の色収差軌道のみを変えることができる。
【００４２】
Ｅ２とＥ３で１次軌道を保ちながらＢ２とＢ３を１：１の比で変えていった時の、（１２）式で定量化されるＣ４の変化は、図４に示すように直線的となる。同様に、Ｅ２とＥ３で１次軌道を保ちながらＢ２とＢ３を１：１の比で変えていった時の（１３）式で示されるＣ5の変化も直線的となる。従って、これらの直線の傾きをシミュレーション又は実験で予め求めておけば、収差算出器１８からの出力に対して、どれだけの場を変化させれば収差が補正できるかが分かる。このように、本発明によれば、色収差補正器として４段のものを用い、２段目、３段目にｘ，ｙ方向のラインイメージを形成させることにより、色収差を正確に行なうことができる。
【００４３】
本発明の効果を説明すれば、以下の通りである。
１．色収差補正の手順を自動化したので、手動での収差補正の方法を知らない一般のオペレータでも高分解能の像が得られる。
２．オペレータは、複雑な構成の収差補正器を意識せずに操作することができるようになる。
３．従来、手動で行われていた色収差補正は、ｘ方向，ｙ方向に独立に行なわれていて、補正に時間を要したが、本発明によれば、色収差補正をｘ方向，ｙ方向同時に判断しているため、時間短縮ができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施の形態例を示す構成図である。
【図２】本発明の動作説明図である。
【図３】収差補正器の例を示す図である。
【図４】Ｃ4の変化を示す図である。
【図５】従来装置の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    エミッタ
２ａ  荷電粒子ビーム
３    集束レンズ
４    色収差補正器
５    対物レンズ
６    試料
７    ２次電子
８    ２次電子検出器
９    画像積算器
１０  ディスプレイ
１１  エネルギーシフト制御器
１２  収差補正器制御器
１３  対物レンズ制御器
１４  色収差自動補正器
【図１】
2006085919.tif 000006
【図３】
2006085919.tif 000007
【図４】
2006085919.tif 000008
【図５】
2006085919.tif 000009
【図２】
2006085919.tif 000010