(57)【要約】      （修正有）【課題】輝度寿命の優れた電子線励起用蛍光体及びそれを用いた電子線励起蛍光発光素子を提供する。【解決手段】β型窒化ケイ素結晶構造を有するＥｕ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｏ、Ｎの元素で構成された結晶であり、組成式は、Ｅｕa Ｓｉb Ａｌc Ｏd Ｎe （式中、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＝１とする）で示され、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅは、下記（１）〜（５）の条件を満たす電子線励起用蛍光体。  （１）：０．００００１≦  ａ  ≦０．１  （２）：０．２８≦  ｂ  ≦０．４６  （３）：０．００１≦  ｃ  ≦０．３  （４）：０．００１≦  ｄ  ≦０．３  （５）：０．４≦  ｅ  ≦０．６２【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線を照射することにより５００ｎｍから５５０ｎｍの間の波長にピークを持つ蛍光を発するβ型窒化ケイ素結晶構造を有するＥｕが固溶したβ型サイアロン結晶を含有することを特徴とする電子線励起用蛍光体。
【請求項２】
組成式Ｅｕa Ｓｉb Ａｌc Ｏd Ｎｅ（式中、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＝１とする）で表され、式中のａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅが、
０．００００１≦  ａ  ≦０．０１
０．２８≦  ｂ  ≦０．４６
０．００１≦  ｃ  ≦０．３
０．００１≦  ｄ  ≦０．３
０．４≦  ｅ  ≦０．６２
の条件を満たすβ型サイアロン結晶を含有することを特徴とする請求項１記載の電子線励起用蛍光体。
【請求項３】
請求項１または２記載の電子線励起用蛍光体を用いたことを特徴とする電子線励起蛍光発光素子。
【請求項４】
前記電子線励起蛍光発光素子が電界発光素子であることを特徴とする請求項３記載の電子線励起用蛍光発光素子。
【請求項５】
前記電子線励起蛍光発光素子が蛍光表示管であることを特徴とする請求項３記載の電子線励起蛍光発光素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線の射突によって発光する蛍光体及びそれを用いた蛍光発光素子に係り、特に輝度寿命に優れた電子線励起用蛍光体及びこれを被着した陽極の駆動電圧が０. １ｋＶ以上の電子線励起蛍光発光素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電界放出形陰極を電子源に用いた表示素子（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ、以下「ＦＥＤ」と略す）及び熱電子放出形陰極を用いた蛍光表示素子（Ｖａｃｕｕｍ  Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ  Ｄｉｓｐｌａｙ、以下「ＶＦＤ」と略す）等の表示装置において、各発光色を得るために種々の蛍光発光素子からなる蛍光体が用いられている。そして、電子線励起による表示装置用の緑色発光蛍光体としては、例えば特許文献１又は特許文献２に開示されるものが公知である。
【０００３】
特許文献１には、Ａ2 ＳｉＯ5 ：Ｂ蛍光体で表面における組成元素比（Ａ＋Ｂ）／Ｓｉが１．５〜２．５である緑色発光するＡ2 ＳｉＯ5 ：Ｂ蛍光体（但しＡはＹ又はＧｄ、ＢはＣｅ又はＴｂ）及びその製造方法について開示されている。また、特許文献２には、特許文献１の組成とは異なる緑色を発光する蛍光体として、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｕ，Ａｌの蛍光体粉末について開示されている。
【０００４】
一方、従来の蛍光体は、高エネルギーを有する光や電子線等励起源を照射し、これによって励起されて発光するが、その結果、蛍光体の輝度が低下するという問題があった。そのため、輝度低下のない蛍光体が求められている。
このような要望に応えうる蛍光体を提供するために、例えば特許文献３のようなＣａ、Ｅｕ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｏ、Ｎ元素から構成され、それぞれ成分が特定の組成領域範囲を有するα−サイアロンを含有する蛍光体が提案されている。
【０００５】
また、非特許文献１には、β型Ｓｉ3 Ｎ4 やβ型サイアロンなどが開示されている。これらは、従来から耐熱材料として研究されているが、そこには本結晶に光学活性な元素を固溶させること及び固溶した結晶を蛍光体として使用することについて記載されている。  この結晶構造を持つ窒化物または酸窒化物としては、β型Ｓｉ3 Ｎ4 、β型Ｇｅ3 Ｎ4 及びβ型サイアロン（Ｓｉ6-z Ａｌz Ｏz Ｎ8-z 、ただし０≦ｚ≦４．２）などがあり、β型Ｓｉ3 Ｎ4 結晶構造はＰ６3 またはＰ６3 ／ｍの対称性を持ち、理想原子位置を持つ構造として定義される。また、１７００℃以下の合成温度では結晶中には金属元素を固溶せず、焼結助剤などとして添加した金属酸化物は粒界にガラス相を形成して残留することが知られている。
【０００６】
さらに、特許文献４によれば、紫外線を当てることにより５００ｎｍから５５０ｎｍの範囲の波長に発光ピークをもつ蛍光体として、Ｔｂ、Ｙｂ、Ａｇを添加したものが報告されている。
【特許文献１】特開２００１−２７１０６５号公報
【特許文献２】特開２００２−２６５９４２号公報
【特許文献３】特開２００５−８７９３号公報
【特許文献４】特開昭６０−２０６８８９号公報
【非特許文献１】ＣＨＯＮＧ−ＭＩＮ  ＷＡＮＧ  ほか４名“Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｓｃｉｅｎｃｅ”  １９９６年、３１巻、５２８１〜５２９８ページ
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示されるＹ2 ＳｉＯ5:Ｔｂ蛍光体は寿命特性において発光効率の低下が著しく、またＦＥＤではＲＧＢ蛍光体の劣化度合いに極端な差が生じるため、寿命時間が短いとともに色バランスがシフトするという問題があった。また、駆動電圧が３ｋＶ程度のＦＥＤは、電子の浸入深さからメタルバックの使用が困難である。さらに、特許文献２に開示されるＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌなどの硫黄を含有した蛍光体は、電子の射突で硫黄が飛散し電子源を汚染するためエミッション能力が低下し、デバイスとしての寿命を悪化させる問題がある。
【０００８】
また、特許文献３または非特許文献１に開示されるサイアロン蛍光体に関する技術において、電界放出素子などの蛍光表示管に関する具体的な開示はされていない。
【０００９】
また特許文献４に開示されるＴｂを添加した蛍光体は、様々な波長成分を含むためディスプレイや蛍光表示管用の緑色蛍光体としては適さず、また発光寿命が長いため残像が残りディスプレイ用途には適し難い。そして、ＹｂやＡｇを添加したものは輝度が低いという問題もあった。
【００１０】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、劣化度合いが少なく寿命時間とともに色バランスがシフトしない電子線励起用蛍光体及び電子線励起蛍光発光素子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記した目的を達成するために、請求項１記載の電子線励起用蛍光体は、電子線を照射することにより５００ｎｍから５５０ｎｍの間の波長にピークを持つ蛍光を発するβ型窒化ケイ素結晶構造を有するＥｕが固溶したβ型サイアロン結晶を含有することを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載の電子線励起用蛍光体は、請求項１項記載の電子線励起用蛍光体において、組成式Ｅｕa Ｓｉb Ａｌc Ｏd Ｎｅ（式中、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＝１とする）で表され、式中のａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅが、
０．００００１≦  ａ  ≦０．０１
０．２８≦  ｂ  ≦０．４６
０．００１≦  ｃ  ≦０．３
０．００１≦  ｄ  ≦０．３
０．４≦  ｅ  ≦０．６２
の条件を満たすβ型サイアロン結晶を含有することを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の電子線励起蛍光発光素子は、請求項１または２記載の電子線励起用蛍光体を用いたことを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載の電子線励起蛍光発光素子は、請求項３記載の電子線励起蛍光発光素子において、前記電子線励起蛍光発光素子が電界発光素子であることを特徴とする。
【００１５】
請求項５記載の電子線励起蛍光発光素子は、請求項３記載の電子線励起蛍光発光素子において、前記電子線励起蛍光発光素子が蛍光表示管であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の電子線励起用蛍光体及び電子線励起蛍光発光素子によれば、０．１ｋＶ以上の駆動電圧において劣化度合いが少なく、輝度寿命の優れた緑色の電子線励起用蛍光体を提供することができるとともに、ＦＥＤやＶＦＤなどの表示装置に用いる電子線励起用蛍光発光素子に用いた場合、輝度寿命に優れているため、ＲＧＢの色のバランスのシフトを抑制する効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、添付した図面を参照しながら具体的に説明する。図１は本発明の電子線励起用蛍光体を用いた電子線励起蛍光発光素子と従来の蛍光発光素子とのアノード電圧−アノード電流を比較したグラフ、図２は同電子線励起蛍光発光素子と従来の表示素子との発光効率を比較したグラフ、図３は同電子線励起蛍光発光素子と従来の表示素子とのエミッション能力を比較したグラフ、図４は同電子線励起蛍光発光素子と従来の表示素子との色度変化量を示す図表、図５は一般的なＦＥＤの断面図である。
【００１８】
本発明の電子線励起用蛍光体は、β型窒化ケイ素結晶構造を有する結晶であり、Ｅｕが固溶したβ型サイアロン結晶を主成分として含んでなるものである。β型窒化ケイ素結晶構造は、Ｘ線回折や中性子線回折により同定することができ、純粋なβ型Ｓｉ3 Ｎ4 と同一の回折を示す物質の他に、構成元素が他の元素と置き換わることにより格子定数が変化したものもβ型窒化ケイ素結晶構造である。β型サイアロンとはβ- Ｓｉ3 Ｎ4 結晶のＳｉの一部がＡｌで、Ｎの一部がＯで置換された構造であり、一般に、Ｓｉ、Ａｌ、Ｏ、Ｎを含みβ型窒化ケイ素結晶構造を有する結晶である。
【００１９】
そして、本願発明者等は、電界放出形素子はアノード電圧が数百Ｖ〜数ｋＶに設定されるため、種々の蛍光体試料を用いた実験研究の結果、高電圧の電子の射突によって分解飛散しにくいために電界放出形素子用緑色発光蛍光体としてはサイアロン蛍光体が有望であることを知得し、さらに緑色発光のものについて鋭意研究したところ、蛍光体としてβ型窒化ケイ素結晶構造を有するＥｕが固溶したβ型サイアロン結晶を含有する蛍光体を採用するという新規な着想を得た。
【００２０】
本発明においては、β型Ｓｉ3 Ｎ4 結晶構造を持ち、Ｅｕ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｏ、Ｎの元素を含む結晶であれば、組成の種類を特に規定しないが、次の組成でβ型サイアロンの含有割合が高く、輝度が高い緑色蛍光体が得られる。組成式は、Ｅｕa Ｓｉb Ａｌc Ｏd Ｎe （式中、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＝１とする）で示され、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅは、下記（１）〜（５）の条件を全て満たす値から適宜選択される。
（１）：０．００００１≦  ａ  ≦０．１
（２）：０．２８≦  ｂ  ≦０．４６
（３）：０．００１≦  ｃ  ≦０．３
（４）：０．００１≦  ｄ  ≦０．３
（５）：０．４≦  ｅ  ≦０．６２
【００２１】
組成式中のａは、発光中心となる元素Ｅｕの添加量を表す。ａ値が０．００００１より小さいと発光中心となるＥｕの数が少ないため発光輝度が低下する。また、０．１より大きいとＥｕイオン間の干渉により濃度消光を起こして輝度が低下する。原子比で０．００００１≦ａ≦０．１となるようにするのがよい。
【００２２】
組成式中のｂはＳｉの量であり、原子比で０．２８≦ｂ≦０．４６となるようにするのがよい。また、組成式中のｃはＡｌの量であり、原子比で０．００１≦ｃ≦０．３となるようにするのがよい。
そして、ｂとｃの値の合計は、０．４１≦ｂ＋ｃ≦０．４４となるようにするのが好ましく、特に好ましくは０．４２９がよい。なお、ｂ及びｃ値がこの範囲をはずれるとβ型サイアロン以外の結晶相の生成割合が増え、緑色の発光強度が低下する。
【００２３】
組成式中のｄは酸素の量であり、原子比で０．００１≦ｄ≦０．３となるようにするのがよい。また、組成式中のｅは窒素の量であり、原子比で０．５４≦ｅ≦０．６２となるようにするのがよい。
そして、ｄとｅの値の合計は、０．５６≦ｄ＋ｅ≦０．５９となるようにするのが好ましく、特に好しくは０．５７１がよい。なお、ｄ及びｅ値がこの範囲をはずれるとβ型サイアロン以外の結晶相の生成割合が増え、緑色の発光強度が低下する。
【００２４】
次に、β型サイアロン蛍光体の組成及び製造方法の一例を示す。なお、以下に示す製造方法は一例であり、これに限定されることはない。
【００２５】
原料粉末は、平均粒径０．５μｍ、酸素含有量０．９３重量％、α型含有量９２％の窒化ケイ素粉末、比表面積３．３ｍ2 ／ｇ、酸素含有量０．７９％の窒化アルミニウム粉末、純度９９．９％の酸化ユーロピュウム粉末を用いた。
【００２６】
組成式Ｅｕ0.00296 Ｓｉ0.41395 Ａｌ0.01334 Ｏ0.00444 Ｎ0.56528 で示される化合物を得るべく、窒化ケイ素粉末と窒化アルミニウム粉末と酸化ユーロピウム粉末とを、各々９４．７７重量％、２．６８重量％、２．５５６重量％となるように秤量し、窒化ケイ素焼結体製のポットと窒化ケイ素焼結体製のボールとｎ−ヘキサンを用いて湿式ボールミルにより２時間混合した。
【００２７】
ロータリーエバポレータによりｎ−ヘキサンを除去し、混合粉体の乾燥物を得た。得られた混合物をメノウ乳鉢と乳棒を用いて粉砕した後に５００μｍのふるいを通すことで流動性に優れる粉体凝集体を得た。この粉体凝集体を直径６０ｍｍ高さ３５ｍｍの大きさの窒化ホウ素製るつぼに自然落下させて、試料を投入した。
【００２８】
次に、るつぼを黒鉛抵抗加熱方式の電気炉にセットした。焼成操作は、まず、拡散ポンプにより焼成雰囲気を真空とし、室温から８００℃まで毎時５００℃の速度で加熱し、８００℃で純度が９９．９９９体積％の窒素を導入して圧力を１ＭＰａとし、毎時５００℃で２０００℃まで昇温し、２０００℃で８時間保持した。
【００２９】
そして、合成した試料をメノウの乳鉢を用いて粉末に粉砕し、ＣｕのＫα線を用いた粉末X 線回折測定（ＸＲＤ）を行った。その結果、得られたチャートは、β型窒化ケイ素構造を有していた。
【００３０】
このように作製したβ型サイアロン蛍光体を用い、ＶＦＤによるＣＬ（カソードルミネッセンス）評価を行った。
【００３１】
図１に示すように、エチルセルロースをブチルカルブトールに溶解した有機溶媒にβ型サイアロン蛍光体を混合したペーストを使用して蛍光体をアノード電極に形成し、ＶＦＤを作製して評価したところ、アノード電圧を約２５０Ｖ以上に印加して初めてアノードに電流が流れて発光が確認できた（図中Ａ線）。また、比較の為にＹ2 ＳｉＯ5:Ｔｂ蛍光体について同様に評価したところ、アノード電圧が８０Ｖ位でアノードに電流が流れて発光が確認できた（図中Ｂ線）。そこで、β型サイアロン蛍光体に、導電剤としてＺｎＯを蛍光体に対して５ｗｔ％混入して評価したところ、アノード電流の流れ出し電圧は約１０Ｖと低くなり、発光も確認できた（図中Ｃ線）。
【００３２】
次に、β型サイアロン蛍光体に、導電剤としてＺｎＯを蛍光体に対して５ｗｔ％混入してエチルセルロースをブチルカルブトールに溶解した有機溶媒と、混入した蛍光体ペーストとを使用した蛍光体をアノード電極に形成し、ＦＥＤを作製して評価した。なお、駆動条件は、加速電圧３ｋＶ，デューティ１／２４０のパルス駆動，電流密度8 ｍＡ／ｃｍ2 で実施した。
【００３３】
図２は、上記駆動条件における発光効率の半減時間を相対比で表したものである。比較例１はＹ2 ＳｉＯ5:Ｔｂ蛍光体を使用した蛍光発光素子、比較例２はＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ蛍光体とし、Ｙ2 ＳｉＯ5:Ｔｂ蛍光体を１．０の基準とした。図２に示すように、比較例１が１．０、比較例２が３．０であるのに対し、本実施例は約５．５であった。これにより、本実施例は、比較例１と比較して約５．５倍、比較例２と比較して約１．８３倍近く発光効率が向上したことを示す。
【００３４】
図３は、同様の駆動条件で、エミッション能力の半減時間を相対比で表したものである。比較例１はＹ2 ＳｉＯ5:Ｔｂ蛍光体を使用した蛍光発光素子、比較例２はＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ蛍光体を使用した蛍光発光素子とし、Ｙ2 ＳｉＯ5:Ｔｂ蛍光体を１．０の基準とした。図３に示すように、比較例１が１．０、比較例２が０．２１であるのに対し、本実施例の蛍光発光素子は約１．２２であった。これにより、本実施例は、比較例１と比較して約１．２２倍、比較例２と比較して約６．０倍近くエミッション能力が向上したことを示す。
【００３５】
図４は、ＦＥＤ全点灯における寿命試験２０００ｈ後の色度変化量を示したものである。本実施例の蛍光発光素子は、比較例１のＹ2 ＳｉＯ5:Ｔｂ蛍光体を使用した蛍光発光素子及び比較例２のＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ蛍光体を使用した蛍光発光素子と比較し、色度変化が少なく寿命安定性に優れていることが分かる。
【００３６】
以下、上述した本発明を実施例によって更に具体的に説明する。なお、下記の各実施例は、本発明を限定する性質のものではなく、前・後記の趣旨に徴して設計変更することはいずれも本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【００３７】
（実施例１）
図５は一般的な構成のＦＥＤを示す。陽極基板１と陰極基板２を対面させて周囲を封止した外囲器を有している。電子源である電界放出陰極３（ＦＥＣ）は陰極基板２の内面に形成され、発光部である陽極４は陰極基板２に対面する陽極基板１の内面に形成されている。ＦＥＣ３は、陰極基板２に形成された陰極導体５と、その上に形成された絶縁層６と、その上に形成されたゲート７と、絶縁層６とゲート７に形成されたホール８と、ホール８内の陰極導体５上に形成されたコーン形状のエミッタ９を有している。陽極４は、陽極基板１に陽極導体として形成された例えばＩＴＯなどの透明導電膜１０と、その上に形成された蛍光体層１１から構成されている。ＦＥＣ３から放出された電子は陽極４の蛍光体層１１に射突してこれを発光させる。蛍光体層１１の発光は、透光性の透明導電膜１０と陽極基板１を介して陽極基板１の外側から観察される。
【００３８】
そして、上記構成からなるＦＥＤに、前述したβ型サイアロン蛍光体で表される緑色発光する蛍光体に導電剤として平均粒径０．５μｍのＺｎＯ微粒子を５ｗｔ％混合し、エチルセルロースとブチルカルビトールからなる溶媒に分散しペーストとした蛍光体ペーストを実装して寿命特性の評価を行なった。比較のため、Ｙ2 ＳｉＯ5:Ｔｂ、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ蛍光体もそれぞれ別のＦＥＤを作製して同じ条件下で点灯して評価して比較した結果、実施例１は比較例１または比較例２に比べて寿命安定性に優れていることが確認された。
【００３９】
（実施例２）
β型サイアロン蛍光体で表される緑色発光する蛍光体に導電剤として平均粒径０．５μｍのＳｎＯ2 微粒子を５ｗｔ％混合した。これをエチルセルロースとブチルカルビトールからなる溶媒に分散しペーストとした。そして、この蛍光体ペーストを使用し、実施例１と同様、ＦＥＤに実装して寿命特性の評価を行なった結果、実施例２においても実施例１と同様の効果が得られた。
【００４０】
（実施例３）
β型サイアロン蛍光体で表される緑色発光する蛍光体に導電剤として平均粒径０．５μｍのＺｎＯを５ｗｔ％混合した。これをエチルセルロースとブチルカルビトールからなる溶媒に分散しペーストとした。そして、蛍光体ペーストを使用してＶＦＤを作製してアノード電極に５０Ｖ印加したところ、実用的な輝度で緑色の発光が得られた。
【００４１】
（実施例４）
β型サイアロン蛍光体で表される緑色発光する蛍光体に導電剤として平均粒径０．５μｍのＳｎＯ2 微粒子を５ｗｔ％混合した。これをエチルセルロースとブチルカルビトールからなる溶媒に分散しペーストとした。これをエチルセルロースとブチルカルビトールからなる溶媒に分散しペーストとした。そして、蛍光体ペーストを使用してＶＦＤを作製してアノード電極に５０Ｖ印加したところ、実施例３と同様に実用的な輝度で緑色の発光が得られた。
【００４２】
このように、上述した電子線励起用蛍光体及び電子線励起蛍光発光素子は、０．１ｋＶ以上の駆動電圧において輝度寿命の優れた緑色の電子線励起用蛍光体を提供することができる。また、ＦＥＤやＶＦＤなどの表示装置に用いる電子線励起用蛍光発光素子に用いた場合、輝度寿命に優れているため、ＲＧＢの色のバランスのシフトを抑制する効果を奏する。
【００４３】
ところで、結晶相としてβ型Ｓｉ3 Ｎ4 結晶構造を持つサイアロン結晶の単相から構成されることが望ましいが、これに限定されることはなく、例えば特性が低下しない範囲内の他の結晶相やアモルファス相との混合物から構成することもできる。この場合、β型Ｓｉ3 Ｎ4 結晶構造を持つサイアロン結晶の含有量が５０質量％以上であることが高い輝度を得るために望ましい。
【００４４】
以上、本発明を用いて最良の形態について説明したが、この形態による記述及び図面により本発明が限定されることはない。すなわち、この形態に基づいて当業者等によりなされる他の形態、実施例及び運用技術等はすべて本発明の範疇に含まれることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の電子線励起用蛍光体を用いた電子線励起蛍光発光素子と従来の蛍光発光素子とのアノード電圧−アノード電流を比較したグラフである。
【図２】同電子線励起蛍光発光素子と従来の蛍光発光素子との発光効率を比較したグラフである。
【図３】同電子線励起蛍光発光素子と従来の蛍光発光素子とのエミッション能力を比較したグラフである。
【図４】同電子線励起蛍光発光素子と従来の表示素子との色度変化量を示す図表である。
【図５】一般的なＦＥＤの断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  陽極基板
２  陰極基板
３  電界放出素子（ＦＥＣ）
４  陽極
５  陰極導体
６  絶縁層
７  ゲート
８  ホール
９  エミッタ
１０  陽極導体
１１  蛍光体層
【図１】
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【図２】
2006273929.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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