(57)【要約】【課題】プローブを迅速かつ容易に交換可能なコンタクトプローブ装置を提供する。【解決手段】接触型のプローブ５を保持すると共にプローブ案内機構ＰＭ１に着脱可能に固定されるプローブ保持手段４を備え、検査手段に他端側が電気的に接続される接続用ケーブルＷ１の一端がプローブ６に接続されているコンタクトプローブ装置１において、プローブ保持手段４は、接続用ケーブルＷ１の他端が接続される保持手段側電極１１ａ，１１ｂを備え、保持手段側電極１１ａ，１１ｂは、プローブ案内機構ＰＭ１に配設されて検査手段に電気的に接続された案内機構側電極４１ａ，４１ｂに接触可能に構成されている。【選択図】図２
2006330006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接触型のプローブを保持すると共にプローブ案内機構に着脱可能に固定されるプローブ保持手段を備え、検査手段に他端側が電気的に接続される接続用ケーブルの一端が前記プローブに接続されているコンタクトプローブ装置において、
前記プローブ保持手段は、前記接続用ケーブルの前記他端が接続される保持手段側電極を備え、当該保持手段側電極は、前記プローブ案内機構に配設されて前記検査手段に電気的に接続された案内機構側電極に接触可能に構成されていることを特徴とするコンタクトプローブ装置。
【請求項２】
前記プローブ保持手段は、前記保持手段側電極としての導体パターンが形成されたプリント基板を備えていることを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項３】
前記プリント基板は、多層基板で構成され、その一面には、前記接続用ケーブルの前記一端が接続される前記保持手段側電極としての導体パターンが形成され、他面には、前記案内機構側電極に接触する前記保持手段側電極としての導体パターンが形成され、その内層には、前記両導体パターン間を互いに接続する前記保持手段側電極としての内層導体パターンが形成され、かつ前記一面および前記他面の少なくとも一方には、前記内層導体パターンをシールドするシールドパターンが形成されていることを特徴とする請求項２記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項４】
前記プリント基板には、前記プローブ案内機構に取り付けるための取付用ねじを挿通可能な取付用孔と、前記プローブ案内機構に配設された位置決め用凸部に嵌合可能な位置決め用嵌合部とが形成されていることを特徴とする請求項２または３記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置と、前記検査手段と、前記プローブ案内機構と、前記案内機構側電極としての導体パターンが形成されて前記プローブ保持手段が取り付けられるプリント基板と、前記検査手段および前記案内機構側電極間を互いに接続する接続用ケーブルとを備えていることを特徴とする回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロービング対象体に接触させて電気的検査を行うためのコンタクトプローブ装置、およびコンタクトプローブ装置を備えた回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、接触型のプローブを回路基板の導体パターンに接触させて所定の電気的検査を行う回路基板検査装置は、回路基板に対してＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向（上下方向）にプローブを移動させるためのプローブ案内機構を備えている。この種のプローブ案内機構に配設されたコンタクトプローブ装置として、図７に示すプローブユニット５１（例えば、特願平１０−３０６２２９号）が従来から知られている。このプローブユニット５１は、プローブ案内機構ＰＭ１１に取り付けられた状態で図外の検査装置に接続され、図外のもう１つのプローブユニット５１と共にプロービング対象体に接触させられて四端子法による電気的検査を実行可能に構成されている。
【０００３】
具体的には、プローブユニット５１は、プローブ案内機構ＰＭ１１に着脱可能に固定されるプローブ保持部５４と、プローブ保持部５４に保持されたコンタクトプローブ５７，５７と、極細の信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１とを備えている。プローブ保持部５４は、全体として絶縁性樹脂で平板状に形成され、その中央部分には、図８に示すように、プローブ案内機構ＰＭ１１に取り付けるための取付用ねじＳ１１，Ｓ１１を挿通可能な取付用孔６１，６１が上面５４ａから底面５４ｄまで連通形成されている。また、プローブ保持部５４の側面５４ｂ，５４ｃには、固定用ねじＳ１３，Ｓ１３をねじ止め可能なねじ穴６２，６２がそれぞれ形成されている。
【０００４】
コンタクトプローブ５７は、保持具５５、およびプロービング対象体に接触させられるプローブピン６を備えている。保持具５５は、プローブ保持部５４に固定するための横長小判形の固定用孔７１，７１が形成された固定部５５ａと、弾性変形可能な角棒状のアーム５５ｂとで一体形成され、アーム５５ｂの先端部のヘッド部５５ｃには、プローブピン６を固定するための固定用溝７２が形成されている。また、プローブピン６は、プロービング対象体に先端６ａが接触可能なように固定用溝７２に圧入されることによって保持具５５に保持され、その後端６ｂには、図７に示すように、信号ケーブルＷ１１の一端が導電性接着剤で接着されている。この場合、各信号ケーブルＷ１１の図外の他端側は、検査装置にそれぞれ接続される。
【０００５】
プローブユニット５１の組立てに際しては、まず、保持具５５におけるヘッド部５５ｃの固定用溝７２にプローブピン６を圧入してコンタクトプローブ５７を組み立てる。次に、コンタクトプローブ５７，５７をプローブ保持部５４にそれぞれ固定する。この際に、各固定用孔７１，７１に挿通させた固定用ねじＳ１３，Ｓ１３をねじ穴６２，６２に軽く締め付けた後、両プローブピン６，６の先端６ａ，６ａが所定の離間距離を有するように、両コンタクトプローブ５７，５７の固定位置を微調整した状態で固定用ねじＳ１３，Ｓ１３を強く締め付ける。次いで、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１の各々の一端を両プローブピン６，６の後端６ｂ，６ｂにそれぞれ導電性接着剤で接着する。これにより、プローブユニット５１が完成する。
【０００６】
また、プローブユニット５１をプローブ案内機構ＰＭ１１に取り付ける際には、取付用孔６１，６１に下方から挿通させた取付用ねじＳ１１，Ｓ１１を、プローブ案内機構ＰＭ１１の下端部に形成されたねじ穴（図示せず）にそれぞれねじ止めすることにより、プローブ保持部５４の上面５４ａとプローブ案内機構ＰＭ１１の底面とを密着固定する。次に、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１の図外の他端を例えばねじ止めによって検査装置の所定部位に接続する。これにより、プローブユニット５１の取付作業が完了する。
【０００７】
一方、先端６ａの摩耗などによりプローブピン６を交換する場合、通常、プローブユニット５１が回路基板検査装置の奥まった部位に位置しているため、保持具５５の固定用溝７２からのプローブピン６の取外し、信号ケーブルＷ１１のプローブピン６からの取外し、新たなプローブピン６の固定用溝７２への圧入、および信号ケーブルＷ１１のプローブピン６への接着は、非常に困難な作業となる。このため、まず、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１の他端を検査装置から取り外した後、取付用ねじＳ１１，Ｓ１１を緩めてプローブユニット５１をプローブ案内機構ＰＭ１１から取り外す。次いで、新たなプローブユニット５１を前述した取付方法に従ってプローブ案内機構ＰＭ１１に取り付けた後、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１を引き回して、その他端を検査装置に接続する。これにより、プローブユニット５１の交換作業が完了する。
【先行出願１】
【０００８】
特願平１０−３０６２２９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、従来のプローブユニット５１には、以下の問題点がある。すなわち、従来のプローブユニット５１では、プローブピン６を交換するためには、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１における検査装置側の他端の取外し作業および引き回し作業を行わなければならない。この場合、これらの作業は、１対の信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１について同時に行わなければならないため、プローブユニット５１の交換作業が非常に煩雑で、かつ長時間を要するという問題点がある。加えて、信号ケーブルＷ１１の引き回し作業の際に、極細の信号ケーブルＷ１１をプローブ案内機構ＰＭ１１などに引っ掛けて断線させてしまうことがあるため、その交換作業を慎重に行わざるを得ない結果、より長時間を費やしてしまうという問題点も存在する。
【００１０】
さらに、従来のプローブユニット５１では、プローブユニット５１がプローブ案内機構ＰＭ１１に対して回動しないように、２本の取付用ねじＳ１１，Ｓ１１をねじ止めすることによってプローブユニット５１をプローブ案内機構ＰＭ１１に固定している。このため、１対のプローブユニット５１，５１のプローブ案内機構ＰＭ１１への固定時やコンタクトプローブ５７の交換時に、その取付用ねじＳ１１，Ｓ１１・・の止め外し作業に時間がかかってしまうという問題点もある。
【００１１】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プローブを迅速かつ容易に交換可能なコンタクトプローブ装置および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブ装置は、接触型のプローブを保持すると共にプローブ案内機構に着脱可能に固定されるプローブ保持手段を備え、検査手段に他端側が電気的に接続される接続用ケーブルの一端がプローブに接続されているコンタクトプローブ装置において、プローブ保持手段は、接続用ケーブルの他端が接続される保持手段側電極を備え、保持手段側電極は、プローブ案内機構に配設されて検査手段に電気的に接続された案内機構側電極に接触可能に構成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項２記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１記載のコンタクトプローブ装置において、プローブ保持手段は、保持手段側電極としての導体パターンが形成されたプリント基板を備えていることを特徴とする。
【００１４】
請求項３記載のコンタクトプローブ装置は、請求項２記載のコンタクトプローブ装置において、プリント基板は、多層基板で構成され、その一面には、接続用ケーブルの一端が接続される保持手段側電極としての導体パターンが形成され、他面には、案内機構側電極に接触する保持手段側電極としての導体パターンが形成され、その内層には、両導体パターン間を互いに接続する保持手段側電極としての内層導体パターンが形成され、かつ一面および他面の少なくとも一方には、内層導体パターンをシールドするシールドパターンが形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項４記載のコンタクトプローブ装置は、請求項２または３記載のコンタクトプローブ装置において、プリント基板には、プローブ案内機構に取り付けるための取付用ねじを挿通可能な取付用孔と、プローブ案内機構に配設された位置決め用凸部に嵌合可能な位置決め用嵌合部とが形成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項５記載の回路基板検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置と、検査手段と、プローブ案内機構と、案内機構側電極としての導体パターンが形成されてプローブ保持手段が取り付けられるプリント基板と、検査手段および案内機構側電極間を互いに接続する接続用ケーブルとを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載のコンタクトプローブ装置によれば、保持手段側電極と案内機構側電極とが接触するようにコンタクトプローブ装置をプローブ案内機構に取り付けることにより、接続用ケーブルの取り外し作業や引き回し作業を行うことなく、接続用ケーブルを介してプローブを検査手段に電気的に接続することができるため、迅速かつ容易にプローブ交換を行うことができる。
【００１８】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ装置によれば、プリント基板の導体パターンで保持手段側電極を形成したことにより、金属片などで保持手段側電極を形成するのと比較して、接続用ケーブルの接続が容易で、しかもプローブ案内機構への固定用部材としての機能を兼用させることができるため、コンタクトプローブ装置の製造コストの低減を図ることができる。
【００１９】
さらに、請求項３記載のコンタクトプローブ装置によれば、プリント基板にシールドパターンを形成したことにより、プローブの検出信号へのノイズの混入を防止することができる。
【００２０】
また、請求項４記載のコンタクトプローブ装置によれば、取付用孔と位置決め用嵌合部とをプリント基板に形成したことにより、プローブ案内機構にコンタクトプローブ装置を固定する際の位置決めが容易で、しかも、例えば、１本の取付用ねじを用いてコンタクトプローブ装置をプローブ案内機構に取り付けることができる結果、より短時間かつ容易にコンタクトプローブ装置をプローブ案内機構に固定することができる。
【００２１】
さらに、請求項５記載の回路基板検査装置によれば、保守点検のし易い回路基板検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ装置および回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。
【００２３】
回路基板検査装置Ｓは、図１に示すように、プローブユニット１を取り付けるためのプリント基板８が配設されたプローブ案内機構ＰＭ１と、本発明におけるコンタクトプローブ装置に相当するプローブユニット１とを備えている。
【００２４】
プローブユニット１は、図１に示すように、プローブ保持部４、本発明におけるプローブに相当するコンタクトプローブ７，７、および本発明における接続用ケーブルに相当する信号ケーブルＷ１，Ｗ１を備え、１本の取付用ねじＳ１によってプローブ案内機構ＰＭ１に固定されている。プローブ保持部４は、本発明におけるプローブ保持手段に相当し、図２に示すように、プリント基板２およびベース部３を備えている。
【００２５】
プリント基板２は、プローブ案内機構ＰＭ１およびベース部３を連結固定する機能と、信号ケーブルＷ１，Ｗ１の中継機能とを有し、図４（ａ）に示すように、厚肉の多層基板で構成されている。また、その表面２ａには、本発明における保持手段側電極としての導体パターンに相当し信号ケーブルＷ１，Ｗ１が半田付けされる接続用パターン１１ａ，１１ｂと、シールドパターン１２とが形成され、その裏面２ｂには、同図（ｂ）に示すように、本発明における保持手段側電極としての導体パターンに相当する接続用パターン１３ａ，１３ｂと、シールドパターン１４とが形成されている。この場合、接続用パターン１１ａ，１３ａ間、接続用パターン１１ｂ，１３ｂ間、およびシールドパターン１２，１４間は、図外の内層導体パターンでそれぞれ電気的に相互に接続されている。また、プリント基板２には、プローブ案内機構ＰＭ１に固定するための取付用ねじＳ１を挿通可能な取付用孔１５と、本発明における位置決め用嵌合部に相当する位置決め用孔１６，１６と、ベース部３を連結固定するための固定用ねじＳ２，Ｓ２（図３参照）を挿通可能な固定用孔１７，１７とが表面２ａから裏面２ｂまで連通形成されている。
【００２６】
ベース部３は、図３に示すように、全体として絶縁性樹脂で形成され、その正面３ａには、プリント基板２に連結固定するためのねじ穴２１，２１が形成され、コンタクトプローブ７，７が固定される側面３ｂ，３ｃには、固定用ねじＳ３，Ｓ３をねじ止め可能なねじ穴２２，２２がそれぞれ形成されている。一方、コンタクトプローブ７は、ベース部３に取り付けるための保持具５と、プローブピン６とを備えている。保持具５は、固定用ねじＳ３，Ｓ３を挿通可能な取付け用孔２３，２３が形成された固定部５ａと、固定部５ａに対して相対的に上下動可能にアーム５ｂ，５ｃを介して連結されると共にプローブピン６を固定するための固定用溝２４が形成されたヘッド部５ｄとを備え、全体として四節回転リンク機構を構成する。また、プローブピン６は、固定用溝２４に圧入されることによって保持具５に固定され、その後端６ｂには、信号ケーブルＷ１（図２参照）の一端が導電性接着剤によって接続されている。この場合、信号ケーブルＷ１，Ｗ１の各他端は、図２に示すように、プリント基板２の接続用パターン１１ａ，１１ｂに半田付けされる。
【００２７】
一方、プローブ案内機構ＰＭ１は、全体として金属で形成され、図５に示すように、プローブユニット１の取付け部位には、取付用ねじＳ１をねじ止め可能なねじ穴３１が形成され、ねじ穴３１の上方および下方には、本発明における位置決め用凸部に相当し、プリント基板２の位置決め用孔１６，１６に挿通可能な位置決め用ピン３２，３２が立設され、位置決め用ピン３２のさらに右上方には、多層基板のプリント基板８を取り付けるためのねじ穴３３，３３が形成されている。また、プローブ案内機構ＰＭ１に取り付けられるプリント基板８は、プリント基板２とは、厚みが異なるだけで、パターン配置および各種孔の形成位置が同一に形成されている。また、その表面８ａには、図６（ａ）に示すように、本発明における案内機構側電極としての導体パターンに相当する接続用パターン４１ａ，４１ｂと、シールドパターン４２とが形成され、その裏面８ｂには、同図（ｂ）に示すように、信号ケーブルＷ２，Ｗ２を半田付けするための接続用パターン４３ａ，４３ｂと、シールドパターン４４とが形成されている。この場合、接続用パターン４１ａ，４３ａ間、接続用パターン４１ｂ，４３ｂ間、およびシールドパターン４２，４４間は、図外の内層導体パターンでそれぞれ電気的に相互に接続されている。さらに、プリント基板８には、図５に示すように、取付用ねじＳ１を挿通可能な取付用孔４５と、プローブ案内機構ＰＭ１の位置決め用ピン３２，３２を挿通可能な位置決め用孔４６，４６と、プローブ案内機構ＰＭ１に固定するための固定用ねじＳ４，Ｓ４を挿通可能な固定用孔４７，４７とが形成されている。
【００２８】
次に、プローブユニット１の組立方法、およびプローブ案内機構ＰＭ１への取付方法について説明する。
【００２９】
プローブユニット１の組立てに際しては、まず、保持具５におけるヘッド部５ｄの固定用溝２４にプローブピン６を圧入することにより、コンタクトプローブ７を製作する。次に、保持具５の取付け用孔２３，２３に挿通させた固定用ねじＳ３，Ｓ３をベース部３のねじ穴２２，２２にねじ止めすることにより、両コンタクトプローブ７，７をベース部３に固定する。次いで、プリント基板２の表面２ａ側から固定用孔１７，１７に固定用ねじＳ２，Ｓ２を挿通させてベース部３のねじ穴２１，２１にねじ止めすることにより、プリント基板２とベース部３とを連結固定する。続いて、信号ケーブルＷ１，Ｗ１の各一端をプローブピン６，６の後端６ｂ，６ｂに導電性接着剤でそれぞれ接続した後、信号ケーブルＷ１，Ｗ１の各他端をプリント基板２の接続用パターン１１ａ，１１ｂにそれぞれ半田付けする。これにより、コンタクトプローブ７，７がプローブ保持部４に固定されると共にプローブピン６，６が接続用パターン１３ａ，１３ｂに電気的に接続されてプローブユニット１が完成する。
【００３０】
次いで、プローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭ１に取り付ける際には、図２に示すように、プリント基板８をプローブ案内機構ＰＭ１に予め固定する。この際には、接続用パターン４３ａ，４３ｂに信号ケーブルＷ２，Ｗ２の各一端を半田付けした後、プローブ案内機構ＰＭ１の位置決め用ピン３２，３２を位置決め用孔４６，４６に挿通させることにより、プリント基板８をプローブ案内機構ＰＭ１に取り付ける。次に、固定用ねじＳ４，Ｓ４を固定用孔４７，４７に挿通させてねじ穴３３，３３にねじ止めすることにより、プリント基板８をプローブ案内機構ＰＭ１に固定する。次いで、信号ケーブルＷ２，Ｗ２の図外の各他端を本発明における検査手段に相当する検査部に接続する。この状態では、プリント基板８のシールドパターン４４がプローブ案内機構ＰＭ１に密着する結果、シールドパターン４２がグランド電位に電気的に接続される。
【００３１】
次に、プローブユニット１の取付けに際しては、位置決め用ピン３２，３２を位置決め用孔１６，１６に挿通させることにより、プローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭ１に装着し、次いで、取付用ねじＳ１をプリント基板２の取付用孔１５を介してねじ穴３１にねじ止めする。この際には、プリント基板２の接続用パターン１３ａとプリント基板８の接続用パターン４１ａとが面接触し、かつ、接続用パターン１３ｂと接続用パターン４１ｂとが面接触して、それぞれ電気的に相互に接続される。同様にして、シールドパターン１４，４２が面接触すると共にプリント基板８の位置決め用孔４６がプローブ案内機構ＰＭ１の表面に面接触しているため、シールドパターン１２，１４，４２，４４がプローブ案内機構ＰＭ１のグランド電位に電気的にそれぞれ接続される。これにより、プローブユニット１の取付作業が完了する。この状態では、接続用パターン１１ａ，１３ａ間を接続する内層導体パターン、および接続用パターン１１ｂ，１３ｂ間を接続する内層導体パターンがシールドパターン１２，１４によって挟み込まれ、かつ接続用パターン４１ａ，４３ａ間を接続する内層導体パターン、および接続用パターン４１ｂ，４３ｂ間を接続する内層導体パターンがシールドパターン４２，４４によって挟み込まれるため、プローブピン６によって検出された信号へのノイズの混入が有効に防止される。
【００３２】
また、プローブ案内機構ＰＭ１に既に取り付けられているプローブユニット１を交換する際には、１本の取付用ねじＳ１を緩めることにより、プローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭ１から迅速かつ容易に取り外すことができる。次いで、新たなプローブユニット１に交換して取付用ねじＳ１をねじ止めする。これにより、プローブユニット１の交換作業が完了する。このように、このプローブユニット１では、信号ケーブルＷ１，Ｗ１を含めたユニット単位で交換することにより、プローブユニット１の交換作業を迅速かつ容易に完了することができる。また、位置決め用ピン３２，３２を位置決め用孔１６にはめ込むことにより、プリント基板２を所定の取付位置に正確に位置決めでき、かつプローブユニット１の回動を防止できるため、２本の取付用ねじをねじ止めする必要のある従来のプローブユニット５１と比較して、プローブユニット１を短時間かつ容易に脱着することができる。
【００３３】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、本発明におけるプローブ保持手段の一部としてプリント基板を用いて構成した例について説明したが、プローブ保持手段は、例えば、保持手段側電極としての金属片を埋設してベース部３をインサート成形することにより、プローブ案内機構ＰＭ１に取付け可能に構成することもできる。同様にして、案内機構側電極の構成も、保持手段側電極が接触可能な電極がプローブ案内機構ＰＭ１に配設されている限り、その構成を適宜変更することができる。また、保持手段側電極は、多層基板に限定されず、単層の両面基板であってもよい。この場合、絶縁シートなどによる絶縁層を両面基板の表裏に配設し、その絶縁層の表面に、シールドシートの貼付などによるシールドを施すこともできる。さらに、接続用ケーブルの保持手段側電極への接続は、半田付けに限定されず、コネクタを用いて接続する方式であってもよい。
【００３４】
また、本発明の実施の形態では、プリント基板８を固定用ねじＳ４，Ｓ４によってプローブ案内機構ＰＭ１に固定する例について説明したが、固定用ねじＳ４，Ｓ４は必ずしも必要とされない。例えば、位置決め用ピン３２，３２が位置決め用孔４６，４６，１６，１６に挿通された状態のプリント基板８，２を取付用ねじＳ１で共締め固定してもよい。さらに、本発明におけるプローブは、コンタクトプローブ７の形状に限定されず、独立したピンタイププローブなどの任意の形状で構成することができる。また、本発明の実施の形態では、１対のコンタクトプローブ７，７を備えた構成について説明したが、本発明におけるプローブの数はこれに限定されず、１つまたは３つ以上のコンタクトプローブ７（プローブ）をベース部３に固定してもよい。この場合には、本発明における保持手段側電極は、コンタクトプローブ７（プローブ）の数に応じた数が配設される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭ１に取り付けた状態の外観斜視図である。
【図２】プローブユニット１とプローブ案内機構ＰＭ１とを分離した状態の外観斜視図である。
【図３】プローブユニット１の分解斜視図である。
【図４】（ａ）はプリント基板２を表面２ａ側から見た外観斜視図、（ｂ）は裏面２ｂ側から見た外観斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るプローブ案内機構ＰＭ１からプリント基板８を分離した状態の外観斜視図である。
【図６】（ａ）はプリント基板８を表面８ａ側から見た外観斜視図、（ｂ）は裏面８ｂ側から見た外観斜視図である。
【図７】従来のプローブユニット５１をプローブ案内機構ＰＭ１１に取り付けた状態の外観斜視図である。
【図８】プローブユニット５１の分解斜視図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  プローブユニット
２  プリント基板
３  ベース部
４  プローブ保持部
５  保持具
６  プローブピン
７  コンタクトプローブ
８  プリント基板
１１ａ，１１ｂ，１３ａ，１３ｂ  接続用パターン
１２，１４  シールドパターン
１５  取付用孔
１６  位置決め用孔
３２  位置決め用ピン
４１ａ，４１ｂ，４３ａ，４３ｂ  接続用パターン
４２，４４  シールドパターン
４５  取付用孔
４６  位置決め用孔
ＰＭ１  プローブ案内機構
Ｓ  回路基板検査装置
Ｗ１，Ｗ２  信号ケーブル
【図１】
2006330006.tif 000003
【図２】
2006330006.tif 000004
【図３】
2006330006.tif 000005
【図４】
2006330006.tif 000006
【図５】
2006330006.tif 000007
【図６】
2006330006.tif 000008
【図７】
2006330006.tif 000009
【図８】
2006330006.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成18年10月3日(2006.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接触型のプローブを保持すると共にプローブ案内機構に着脱可能に固定されて、当該プローブ案内機構によって回路基板に向けて案内されることにより前記プローブを当該回路基板に接触させるプローブ保持手段を備え、検査手段に他端側が電気的に接続される接続用ケーブルの一端が前記プローブに接続されているコンタクトプローブ装置において、
前記プローブ保持手段は、前記接続用ケーブルの前記他端が接続される保持手段側電極を備えると共に、当該保持手段側電極と接触する案内機構側電極が配設された前記プローブ案内機構による前記プローブの案内方向と直交する方向から着脱可能に構成されていることを特徴とするコンタクトプローブ装置。
【請求項２】
前記プローブ保持手段は、前記保持手段側電極としての導体パターンが形成されたプリント基板を備え、
前記プリント基板は、多層基板で構成され、その一面には、前記接続用ケーブルの前記一端が接続される前記保持手段側電極としての導体パターンが形成され、他面には、前記案内機構側電極に接触する前記保持手段側電極としての導体パターンが形成され、その内層には、前記両導体パターン間を互いに接続する前記保持手段側電極としての内層導体パターンが形成され、かつ前記一面および前記他面の少なくとも一方には、前記内層導体パターンをシールドするシールドパターンが形成されていることを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項３】
前記プリント基板には、前記プローブ案内機構に取り付けるための取付用ねじを挿通可能な取付用孔と、前記プローブ案内機構に配設された位置決め用凸部に嵌合可能な位置決め用嵌合部とが形成されていることを特徴とする請求項２記載のコンタクトプローブ装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置と、前記検査手段と、前記プローブ案内機構と、前記検査手段および前記案内機構側電極間を互いに接続する接続用ケーブルとを備えていることを特徴とする回路基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロービング対象体に接触させて電気的検査を行うためのコンタクトプローブ装置、およびコンタクトプローブ装置を備えた回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、接触型のプローブを回路基板の導体パターンに接触させて所定の電気的検査を行う回路基板検査装置は、回路基板に対してＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向（上下方向）にプローブを移動させるためのプローブ案内機構を備えている。この種のプローブ案内機構に配設されたコンタクトプローブ装置として、図７に示すプローブユニット５１（例えば、特願平１０−３０６２２９号（特開２０００−１３１３４０））が従来から知られている。このプローブユニット５１は、プローブ案内機構ＰＭ１１に取り付けられた状態で図外の検査装置に接続され、図外のもう１つのプローブユニット５１と共にプロービング対象体に接触させられて四端子法による電気的検査を実行可能に構成されている。
【０００３】
具体的には、プローブユニット５１は、プローブ案内機構ＰＭ１１に着脱可能に固定されるプローブ保持部５４と、プローブ保持部５４に保持されたコンタクトプローブ５７，５７と、極細の信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１とを備えている。プローブ保持部５４は、全体として絶縁性樹脂で平板状に形成され、その中央部分には、図８に示すように、プローブ案内機構ＰＭ１１に取り付けるための取付用ねじＳ１１，Ｓ１１を挿通可能な取付用孔６１，６１が上面５４ａから底面５４ｄまで連通形成されている。また、プローブ保持部５４の側面５４ｂ，５４ｃには、固定用ねじＳ１３，Ｓ１３をねじ止め可能なねじ穴６２，６２がそれぞれ形成されている。
【０００４】
コンタクトプローブ５７は、保持具５５、およびプロービング対象体に接触させられるプローブピン６を備えている。保持具５５は、プローブ保持部５４に固定するための横長小判形の固定用孔７１，７１が形成された固定部５５ａと、弾性変形可能な角棒状のアーム５５ｂとで一体形成され、アーム５５ｂの先端部のヘッド部５５ｃには、プローブピン６を固定するための固定用溝７２が形成されている。また、プローブピン６は、プロービング対象体に先端６ａが接触可能なように固定用溝７２に圧入されることによって保持具５５に保持され、その後端６ｂには、図７に示すように、信号ケーブルＷ１１の一端が導電性接着剤で接着されている。この場合、各信号ケーブルＷ１１の図外の他端側は、検査装置にそれぞれ接続される。
【０００５】
プローブユニット５１の組立てに際しては、まず、保持具５５におけるヘッド部５５ｃの固定用溝７２にプローブピン６を圧入してコンタクトプローブ５７を組み立てる。次に、コンタクトプローブ５７，５７をプローブ保持部５４にそれぞれ固定する。この際に、各固定用孔７１，７１に挿通させた固定用ねじＳ１３，Ｓ１３をねじ穴６２，６２に軽く締め付けた後、両プローブピン６，６の先端６ａ，６ａが所定の離間距離を有するように、両コンタクトプローブ５７，５７の固定位置を微調整した状態で固定用ねじＳ１３，Ｓ１３を強く締め付ける。次いで、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１の各々の一端を両プローブピン６，６の後端６ｂ，６ｂにそれぞれ導電性接着剤で接着する。これにより、プローブユニット５１が完成する。
【０００６】
また、プローブユニット５１をプローブ案内機構ＰＭ１１に取り付ける際には、取付用孔６１，６１に下方から挿通させた取付用ねじＳ１１，Ｓ１１を、プローブ案内機構ＰＭ１１の下端部に形成されたねじ穴（図示せず）にそれぞれねじ止めすることにより、プローブ保持部５４の上面５４ａとプローブ案内機構ＰＭ１１の底面とを密着固定する。次に、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１の図外の他端を例えばねじ止めによって検査装置の所定部位に接続する。これにより、プローブユニット５１の取付作業が完了する。
【０００７】
一方、先端６ａの摩耗などによりプローブピン６を交換する場合、通常、プローブユニット５１が回路基板検査装置の奥まった部位に位置しているため、保持具５５の固定用溝７２からのプローブピン６の取外し、信号ケーブルＷ１１のプローブピン６からの取外し、新たなプローブピン６の固定用溝７２への圧入、および信号ケーブルＷ１１のプローブピン６への接着は、非常に困難な作業となる。このため、まず、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１の他端を検査装置から取り外した後、取付用ねじＳ１１，Ｓ１１を緩めてプローブユニット５１をプローブ案内機構ＰＭ１１から取り外す。次いで、新たなプローブユニット５１を前述した取付方法に従ってプローブ案内機構ＰＭ１１に取り付けた後、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１を引き回して、その他端を検査装置に接続する。これにより、プローブユニット５１の交換作業が完了する。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−１３１３４０号公報（第２−３頁、第８図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、従来のプローブユニット５１には、以下の問題点がある。すなわち、従来のプローブユニット５１では、プローブピン６を交換するためには、信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１における検査装置側の他端の取外し作業および引き回し作業を行わなければならない。この場合、これらの作業は、１対の信号ケーブルＷ１１，Ｗ１１について同時に行わなければならないため、プローブユニット５１の交換作業が非常に煩雑で、かつ長時間を要するという問題点がある。加えて、信号ケーブルＷ１１の引き回し作業の際に、極細の信号ケーブルＷ１１をプローブ案内機構ＰＭ１１などに引っ掛けて断線させてしまうことがあるため、その交換作業を慎重に行わざるを得ない結果、より長時間を費やしてしまうという問題点も存在する。
【００１０】
さらに、従来のプローブユニット５１では、プローブユニット５１がプローブ案内機構ＰＭ１１に対して回動しないように、２本の取付用ねじＳ１１，Ｓ１１をねじ止めすることによってプローブユニット５１をプローブ案内機構ＰＭ１１に固定している。このため、１対のプローブユニット５１，５１のプローブ案内機構ＰＭ１１への固定時やコンタクトプローブ５７の交換時に、その取付用ねじＳ１１，Ｓ１１・・の止め外し作業に時間がかかってしまうという問題点もある。
【００１１】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プローブを迅速かつ容易に交換可能なコンタクトプローブ装置および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブ装置は、接触型のプローブを保持すると共にプローブ案内機構に着脱可能に固定されて、プローブ案内機構によって回路基板に向けて案内されることによりプローブを回路基板に接触させるプローブ保持手段を備え、検査手段に他端側が電気的に接続される接続用ケーブルの一端がプローブに接続されているコンタクトプローブ装置において、プローブ保持手段は、接続用ケーブルの他端が接続される保持手段側電極を備えると共に、保持手段側電極と接触する案内機構側電極が配設されたプローブ案内機構によるプローブの案内方向と直交する方向から着脱可能に構成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項２記載のコンタクトプローブ装置は、請求項１記載のコンタクトプローブ装置において、前記プローブ保持手段は、前記保持手段側電極としての導体パターンが形成されたプリント基板を備え、前記プリント基板は、多層基板で構成され、その一面には、前記接続用ケーブルの前記一端が接続される前記保持手段側電極としての導体パターンが形成され、他面には、前記案内機構側電極に接触する前記保持手段側電極としての導体パターンが形成され、その内層には、前記両導体パターン間を互いに接続する前記保持手段側電極としての内層導体パターンが形成され、かつ前記一面および前記他面の少なくとも一方には、前記内層導体パターンをシールドするシールドパターンが形成されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項３記載のコンタクトプローブ装置は、請求項２記載のコンタクトプローブ装置において、前記プリント基板には、前記プローブ案内機構に取り付けるための取付用ねじを挿通可能な取付用孔と、前記プローブ案内機構に配設された位置決め用凸部に嵌合可能な位置決め用嵌合部とが形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項４記載の回路基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ装置と、前記検査手段と、前記プローブ案内機構と、前記検査手段および前記案内機構側電極間を互いに接続する接続用ケーブルとを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載のコンタクトプローブ装置によれば、保持手段側電極と案内機構側電極とが接触するようにコンタクトプローブ装置をプローブの案内方向と直交する方向からプローブ案内機構に取り付けることにより、接続用ケーブルの取り外し作業や引き回し作業を行うことなく、接続用ケーブルを介してプローブを検査手段に電気的に接続することができるため、迅速かつ容易にプローブ交換を行うことができる。
【００１７】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ装置によれば、プリント基板の導体パターンで保持手段側電極を形成したことにより、金属片などで保持手段側電極を形成するのと比較して、接続用ケーブルの接続が容易で、しかもプローブ案内機構への固定用部材としての機能を兼用させることができるため、コンタクトプローブ装置の製造コストの低減を図ることができる。また、このコンタクトプローブ装置によれば、プリント基板にシールドパターンを形成したことにより、プローブの検出信号へのノイズの混入を防止することができる。
【００１８】
また、請求項３記載のコンタクトプローブ装置によれば、取付用孔と位置決め用嵌合部とをプリント基板に形成したことにより、プローブ案内機構にコンタクトプローブ装置を固定する際の位置決めが容易で、しかも、例えば、１本の取付用ねじを用いてコンタクトプローブ装置をプローブ案内機構に取り付けることができる結果、より短時間かつ容易にコンタクトプローブ装置をプローブ案内機構に固定することができる。
【００１９】
さらに、請求項４記載の回路基板検査装置によれば、上記のコンタクトプローブ装置と、保持手段側電極と接触する案内機構側電極が配設されたプローブ案内機構とを備え、プローブの案内方向と直交する方向からプローブ保持手段をプローブ案内機構に着脱可能に固定する構成としたことにより、接続用ケーブルの取り外し作業や引き回し作業を行うことなく、接続用ケーブルを介してプローブを検査手段に電気的に接続することができる。また、これにより、迅速かつ容易にプローブ交換を行うことができる結果、保守点検のし易い回路基板検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ装置および回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。
【００２１】
回路基板検査装置Ｓは、図１に示すように、プローブユニット１を取り付けるためのプリント基板８が配設されたプローブ案内機構ＰＭ１と、本発明におけるコンタクトプローブ装置に相当するプローブユニット１とを備えている。
【００２２】
プローブユニット１は、図１に示すように、プローブ保持部４、本発明におけるプローブに相当するコンタクトプローブ７，７、および本発明における接続用ケーブルに相当する信号ケーブルＷ１，Ｗ１を備え、１本の取付用ねじＳ１によってプローブ案内機構ＰＭ１に固定されている。プローブ保持部４は、本発明におけるプローブ保持手段に相当し、図２に示すように、プリント基板２およびベース部３を備えている。
【００２３】
プリント基板２は、プローブ案内機構ＰＭ１およびベース部３を連結固定する機能と、信号ケーブルＷ１，Ｗ１の中継機能とを有し、図４（ａ）に示すように、厚肉の多層基板で構成されている。また、その表面２ａには、本発明における保持手段側電極としての導体パターンに相当し信号ケーブルＷ１，Ｗ１が半田付けされる接続用パターン１１ａ，１１ｂと、シールドパターン１２とが形成され、その裏面２ｂには、同図（ｂ）に示すように、本発明における保持手段側電極としての導体パターンに相当する接続用パターン１３ａ，１３ｂと、シールドパターン１４とが形成されている。この場合、接続用パターン１１ａ，１３ａ間、接続用パターン１１ｂ，１３ｂ間、およびシールドパターン１２，１４間は、図外の内層導体パターンでそれぞれ電気的に相互に接続されている。また、プリント基板２には、プローブ案内機構ＰＭ１に固定するための取付用ねじＳ１を挿通可能な取付用孔１５と、本発明における位置決め用嵌合部に相当する位置決め用孔１６，１６と、ベース部３を連結固定するための固定用ねじＳ２，Ｓ２（図３参照）を挿通可能な固定用孔１７，１７とが表面２ａから裏面２ｂまで連通形成されている。
【００２４】
ベース部３は、図３に示すように、全体として絶縁性樹脂で形成され、その正面３ａには、プリント基板２に連結固定するためのねじ穴２１，２１が形成され、コンタクトプローブ７，７が固定される側面３ｂ，３ｃには、固定用ねじＳ３，Ｓ３をねじ止め可能なねじ穴２２，２２がそれぞれ形成されている。一方、コンタクトプローブ７は、ベース部３に取り付けるための保持具５と、プローブピン６とを備えている。保持具５は、固定用ねじＳ３，Ｓ３を挿通可能な取付け用孔２３，２３が形成された固定部５ａと、固定部５ａに対して相対的に上下動可能にアーム５ｂ，５ｃを介して連結されると共にプローブピン６を固定するための固定用溝２４が形成されたヘッド部５ｄとを備え、全体として四節回転リンク機構を構成する。また、プローブピン６は、固定用溝２４に圧入されることによって保持具５に固定され、その後端６ｂには、信号ケーブルＷ１（図２参照）の一端が導電性接着剤によって接続されている。この場合、信号ケーブルＷ１，Ｗ１の各他端は、図２に示すように、プリント基板２の接続用パターン１１ａ，１１ｂに半田付けされる。
【００２５】
一方、プローブ案内機構ＰＭ１は、全体として金属で形成され、図５に示すように、プローブユニット１の取付け部位には、取付用ねじＳ１をねじ止め可能なねじ穴３１が形成され、ねじ穴３１の上方および下方には、本発明における位置決め用凸部に相当し、プリント基板２の位置決め用孔１６，１６に挿通可能な位置決め用ピン３２，３２が立設され、位置決め用ピン３２のさらに右上方には、多層基板のプリント基板８を取り付けるためのねじ穴３３，３３が形成されている。また、プローブ案内機構ＰＭ１に取り付けられるプリント基板８は、プリント基板２とは、厚みが異なるだけで、パターン配置および各種孔の形成位置が同一に形成されている。また、その表面８ａには、図６（ａ）に示すように、本発明における案内機構側電極としての導体パターンに相当する接続用パターン４１ａ，４１ｂと、シールドパターン４２とが形成され、その裏面８ｂには、同図（ｂ）に示すように、信号ケーブルＷ２，Ｗ２を半田付けするための接続用パターン４３ａ，４３ｂと、シールドパターン４４とが形成されている。この場合、接続用パターン４１ａ，４３ａ間、接続用パターン４１ｂ，４３ｂ間、およびシールドパターン４２，４４間は、図外の内層導体パターンでそれぞれ電気的に相互に接続されている。さらに、プリント基板８には、図５に示すように、取付用ねじＳ１を挿通可能な取付用孔４５と、プローブ案内機構ＰＭ１の位置決め用ピン３２，３２を挿通可能な位置決め用孔４６，４６と、プローブ案内機構ＰＭ１に固定するための固定用ねじＳ４，Ｓ４を挿通可能な固定用孔４７，４７とが形成されている。
【００２６】
次に、プローブユニット１の組立方法、およびプローブ案内機構ＰＭ１への取付方法について説明する。
【００２７】
プローブユニット１の組立てに際しては、まず、保持具５におけるヘッド部５ｄの固定用溝２４にプローブピン６を圧入することにより、コンタクトプローブ７を製作する。次に、保持具５の取付け用孔２３，２３に挿通させた固定用ねじＳ３，Ｓ３をベース部３のねじ穴２２，２２にねじ止めすることにより、両コンタクトプローブ７，７をベース部３に固定する。次いで、プリント基板２の表面２ａ側から固定用孔１７，１７に固定用ねじＳ２，Ｓ２を挿通させてベース部３のねじ穴２１，２１にねじ止めすることにより、プリント基板２とベース部３とを連結固定する。続いて、信号ケーブルＷ１，Ｗ１の各一端をプローブピン６，６の後端６ｂ，６ｂに導電性接着剤でそれぞれ接続した後、信号ケーブルＷ１，Ｗ１の各他端をプリント基板２の接続用パターン１１ａ，１１ｂにそれぞれ半田付けする。これにより、コンタクトプローブ７，７がプローブ保持部４に固定されると共にプローブピン６，６が接続用パターン１３ａ，１３ｂに電気的に接続されてプローブユニット１が完成する。
【００２８】
次いで、プローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭ１に取り付ける際には、図２に示すように、プリント基板８をプローブ案内機構ＰＭ１に予め固定する。この際には、接続用パターン４３ａ，４３ｂに信号ケーブルＷ２，Ｗ２の各一端を半田付けした後、プローブ案内機構ＰＭ１の位置決め用ピン３２，３２を位置決め用孔４６，４６に挿通させることにより、プリント基板８をプローブ案内機構ＰＭ１に取り付ける。次に、固定用ねじＳ４，Ｓ４を固定用孔４７，４７に挿通させてねじ穴３３，３３にねじ止めすることにより、プリント基板８をプローブ案内機構ＰＭ１に固定する。次いで、信号ケーブルＷ２，Ｗ２の図外の各他端を本発明における検査手段に相当する検査部に接続する。この状態では、プリント基板８のシールドパターン４４がプローブ案内機構ＰＭ１に密着する結果、シールドパターン４２がグランド電位に電気的に接続される。
【００２９】
次に、プローブユニット１の取付けに際しては、位置決め用ピン３２，３２を位置決め用孔１６，１６に挿通させることにより、プローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭ１に装着し、次いで、取付用ねじＳ１をプリント基板２の取付用孔１５を介してねじ穴３１にねじ止めする。この際には、プリント基板２の接続用パターン１３ａとプリント基板８の接続用パターン４１ａとが面接触し、かつ、接続用パターン１３ｂと接続用パターン４１ｂとが面接触して、それぞれ電気的に相互に接続される。同様にして、シールドパターン１４，４２が面接触すると共にプリント基板８の位置決め用孔４６がプローブ案内機構ＰＭ１の表面に面接触しているため、シールドパターン１２，１４，４２，４４がプローブ案内機構ＰＭ１のグランド電位に電気的にそれぞれ接続される。これにより、プローブユニット１の取付作業が完了する。この状態では、接続用パターン１１ａ，１３ａ間を接続する内層導体パターン、および接続用パターン１１ｂ，１３ｂ間を接続する内層導体パターンがシールドパターン１２，１４によって挟み込まれ、かつ接続用パターン４１ａ，４３ａ間を接続する内層導体パターン、および接続用パターン４１ｂ，４３ｂ間を接続する内層導体パターンがシールドパターン４２，４４によって挟み込まれるため、プローブピン６によって検出された信号へのノイズの混入が有効に防止される。
【００３０】
また、プローブ案内機構ＰＭ１に既に取り付けられているプローブユニット１を交換する際には、１本の取付用ねじＳ１を緩めることにより、プローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭ１から迅速かつ容易に取り外すことができる。次いで、新たなプローブユニット１に交換して取付用ねじＳ１をねじ止めする。これにより、プローブユニット１の交換作業が完了する。このように、このプローブユニット１では、信号ケーブルＷ１，Ｗ１を含めたユニット単位で交換することにより、プローブユニット１の交換作業を迅速かつ容易に完了することができる。また、位置決め用ピン３２，３２を位置決め用孔１６にはめ込むことにより、プリント基板２を所定の取付位置に正確に位置決めでき、かつプローブユニット１の回動を防止できるため、２本の取付用ねじをねじ止めする必要のある従来のプローブユニット５１と比較して、プローブユニット１を短時間かつ容易に脱着することができる。
【００３１】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、本発明におけるプローブ保持手段の一部としてプリント基板を用いて構成した例について説明したが、プローブ保持手段は、例えば、保持手段側電極としての金属片を埋設してベース部３をインサート成形することにより、プローブ案内機構ＰＭ１に取付け可能に構成することもできる。同様にして、案内機構側電極の構成も、保持手段側電極が接触可能な電極がプローブ案内機構ＰＭ１に配設されている限り、その構成を適宜変更することができる。また、保持手段側電極は、多層基板に限定されず、単層の両面基板であってもよい。この場合、絶縁シートなどによる絶縁層を両面基板の表裏に配設し、その絶縁層の表面に、シールドシートの貼付などによるシールドを施すこともできる。さらに、接続用ケーブルの保持手段側電極への接続は、半田付けに限定されず、コネクタを用いて接続する方式であってもよい。
【００３２】
また、本発明の実施の形態では、プリント基板８を固定用ねじＳ４，Ｓ４によってプローブ案内機構ＰＭ１に固定する例について説明したが、固定用ねじＳ４，Ｓ４は必ずしも必要とされない。例えば、位置決め用ピン３２，３２が位置決め用孔４６，４６，１６，１６に挿通された状態のプリント基板８，２を取付用ねじＳ１で共締め固定してもよい。さらに、本発明におけるプローブは、コンタクトプローブ７の形状に限定されず、独立したピンタイププローブなどの任意の形状で構成することができる。また、本発明の実施の形態では、１対のコンタクトプローブ７，７を備えた構成について説明したが、本発明におけるプローブの数はこれに限定されず、１つまたは３つ以上のコンタクトプローブ７（プローブ）をベース部３に固定してもよい。この場合には、本発明における保持手段側電極は、コンタクトプローブ７（プローブ）の数に応じた数が配設される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブユニット１をプローブ案内機構ＰＭ１に取り付けた状態の外観斜視図である。
【図２】プローブユニット１とプローブ案内機構ＰＭ１とを分離した状態の外観斜視図である。
【図３】プローブユニット１の分解斜視図である。
【図４】（ａ）はプリント基板２を表面２ａ側から見た外観斜視図、（ｂ）は裏面２ｂ側から見た外観斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るプローブ案内機構ＰＭ１からプリント基板８を分離した状態の外観斜視図である。
【図６】（ａ）はプリント基板８を表面８ａ側から見た外観斜視図、（ｂ）は裏面８ｂ側から見た外観斜視図である。
【図７】従来のプローブユニット５１をプローブ案内機構ＰＭ１１に取り付けた状態の外観斜視図である。
【図８】プローブユニット５１の分解斜視図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  プローブユニット
２  プリント基板
３  ベース部
４  プローブ保持部
５  保持具
６  プローブピン
７  コンタクトプローブ
８  プリント基板
１１ａ，１１ｂ，１３ａ，１３ｂ  接続用パターン
１２，１４  シールドパターン
１５  取付用孔
１６  位置決め用孔
３２  位置決め用ピン
４１ａ，４１ｂ，４３ａ，４３ｂ  接続用パターン
４２，４４  シールドパターン
４５  取付用孔
４６  位置決め用孔
ＰＭ１  プローブ案内機構
Ｓ  回路基板検査装置
Ｗ１，Ｗ２  信号ケーブル