(57)【要約】【課題】搬送室の容積は常に一定であるため、実稼動時に必要な容積に対してムダな容積を有することになり、運転コストが高い。【解決手段】搬送室２の上部にファンフィルターユニット３を、下部に排気孔４を備え、ファンフィルターユニット３から噴出されるクリーンエアを排気孔４から排出することにより、上から下への気流を生じさせるようにしたものであって、昇降可能に配置されたファンフィルターユニット３と、ファンフィルターユニット３に連結された昇降機構１６とを備え、昇降機構１６によりファンフィルターユニット３の高さ位置を変更することにより、搬送室２の容積を変更する。【選択図】図１
2006186193.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送室の上部にファンフィルターユニットを、下部に排気孔を備え、前記ファンフィルターユニットから供給されるクリーンエアを前記排気孔から排出することにより、上か下への気流を生じさせるようにした搬送室ユニットであって、
昇降可能に配置された前記ファンフィルターユニットと、
前記ファンフィルターユニットに連結され、前記ファンフィルターユニットの高さ位置を変更可能とする昇降機構と、
を備えたことを特徴とする搬送室ユニット。
【請求項２】
請求項１記載の搬送室ユニットにおいて、
前記ファンフィルターユニットと前記搬送室とを伸縮カーテンにより連結したことを特徴とする搬送室ユニット。
【請求項３】
請求項１記載の搬送室ユニットにおいて、
前記昇降機構は、前記ファンフィルターユニットに連結され、前記ファンフィルターユニットの高さ位置を変更することにより前記搬送室の容積を変更可能にしたことを特徴とする搬送室ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファンフィルターユニットによりクリーン化した搬送室を備えた搬送室ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
図５に、従来の搬送室ユニット（局所クリーン化搬送室）を示している。
搬送室２内の下部に排気孔４を有する床板１２が、上部にはファンフィルターユニット３が設けられ、床板１２上にウエハハンドリング装置１３が設けられている。ファンフィルターユニット３から供給される清浄な空気は、床板１２の排気孔４を通過し、排気口２３より排出されるようになっている。これにより、上から下へ清浄な空気の流れ（ダウンフロー）ができ、ウエハハンドリング装置１３付近をクリーンな環境としている。
【０００３】
床板１２上に配置された移動カバー３０により、床板１２の排気孔４の開口面積を可変にすることにより、ファンフィルターユニット３からの風量を最適化しようとするものである。
【特許文献１】特開２００４−１６５３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の搬送室ユニットは、人が入ってメンテナンス等の作業を行える容積に設計されているが、実稼動時（ウエハハンドリング装置１３でウエハを搬送しているとき）に必要な容積はこれより小さくてよい。
【０００５】
上記した従来の搬送室ユニットでは、搬送室２の容積は常に一定であるため、実稼動時において実際に必要な容積に対して無駄な容積を有することになり、したがって、運転コストが高くなるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、
搬送室の上部にファンフィルターユニットを、下部に排気孔を備え、前記ファンフィルターユニットから供給されるクリーンエアを前記排気孔から排出することにより、上か下への気流を生じさせるようにした搬送室ユニットであって、
昇降可能に配置された前記ファンフィルターユニットと、
前記ファンフィルターユニットに連結され、前記ファンフィルターユニットの高さ位置を変更可能とする昇降機構と、
を備えたことを特徴とする搬送室ユニット
が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の搬送室ユニットにおいては、搬送室の使用態様に応じてファンフィルターユニットの高さ位置を変化させ、搬送室の容積を可変できるようにしたので、搬送室内における自動運転時の容積を最小にすることにより、運転コストを下げることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、図５に示した符号と同一構成または同一機能のものは同一の符号を付している。
【０００９】
図１は、本発明の実施形態に係わる搬送室ユニットの側面断面図、図２は、正面断面図である。
【００１０】
図１および図２に示した搬送室ユニット１は、搬送室２の上部にファンフィルターユニット３を、下部に排気孔４を備え、ファンフィルターユニット３から供給されるクリーンエアを排気孔４から排出することにより、上から下への気流を生じさせるようにしたものである。この搬送室ユニット１は、昇降可能に配置されたファンフィルターユニット３と、ファンフィルターユニット３に連結され、ファンフィルターユニット３の高さ位置を変更可能とする昇降機構１６とを備える。昇降機構１６はによりファンフィルターユニット３の高さ位置を変更することにより、搬送室２の容積を変更可能な構成となっている。
【００１１】
図１および図２に示すように、外側の骨格をなす４本の縦フレーム５およびこの縦フレームの上部に設けられた横フレーム６とを有し、縦フレーム５の前面（図１の右側）には前面密閉カバー７、両側面には側面密閉カバー８が設けられ、後部には処理ステージ９を有する処理装置１０が設けられている。搬送室２は、前面密閉カバー７、側面密閉カバー８、および処理装置１０により囲まれた密閉空間となっている。前面密閉カバー７の前面にはウエハ投入ボックス１１が設けらている。
【００１２】
搬送室２の下部には、排気孔４が形成された床板１２が設けられ、この床板１２上にウエハハンドリング装置１３が設置され、ここにウエハ投入ボックス１１からウエハが投入されるようになっている。
【００１３】
搬送室２の上部の横フレーム６上には、前後左右にリニアガイド１４が立設されており、このリニアガイド１４にファンフィルターユニット３が上下動可能に連結されている。なお、ファンフィルターユニット３は、ファン３ａとフィルタ３ｂとからなるものである。
【００１４】
縦フレーム５の上端部には、左右１対の昇降機構１６が設けられている。この昇降機構１６は、上部の固定部１７に取り付けられたモータ１８と、このモータ１８により駆動されるボールネジ１９と、縦フレーム５上に取り付けられ、ボールネジ１９の下端を受ける軸受２０と、ボールネジ１９に螺合された昇降体２１とからなる。この昇降体２１にファンフィルターユニット３が固定されている。
【００１５】
ファンフィルターユニット３と、縦フレーム５の上部に取り付けられた横フレーム６との間に蛇腹状の伸縮カーテン２２が連結され、この伸縮カーテン２２がファンフィルターユニット３に追従して上下動するようになっている。
【００１６】
上部のファンフィルターユニット３よりクリーンなエアーが噴出し、床板１２の排気孔４を抜け、下部の排気口２３から室外へ排出されることにより、上から下への気流（ダウンフロー）２５を発生させ、搬送室２内をクリーンな環境としている。
【００１７】
モータ１８によりボールネジ１９を回転させると、昇降体２１の上下動にともなって、昇降体２１に取り付けられているファンフィルターユニット３がリニアガイド１４に沿って上下動する。このとき、伸縮カーテン２２は伸縮しながら上下動し、ファンフィルターユニット３と搬送室２の間を気密状態に保っている。
【００１８】
ウエハハンドリング装置１３により、自動運転を行う際は、図１および図２に示すように、ファンフィルターユニット３を下降位置に設定し、搬送室２の容積を最小限にしておく。また、メンテナンス等において、搬送室２内で人が作業を行う場合は、図３および図４に示すように、ファンフィルターユニット３を上昇位置に設定し、搬送室２の容積を最大限にする。これにより、ウエハハンドリング装置１３の自動運転時は搬送室２の容積を最小にして無駄なスペースをなくし、運転コストを下げることが可能となる。
【００１９】
以上のように、本実施形態の搬送室ユニットにおいては、ファンフィルターユニット３は、上下方向を向くリニアガイド１４に上下動可能に取り付けられ、かつ、昇降機構１６に連結されているので、昇降機構１６の駆動によりファンフィルターユニットは上下動して搬送室２の容積を可変することができる。ファンフィルターユニット３と搬送室２を伸縮カーテン２２により連結しているので、昇降の際、伸縮カーテン２２が追従することにより、ファンフィルターユニット３が上下動しても搬送室２の気密性を保つことができる。
【００２０】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することができる。
【００２１】
例えば、昇降機構１６は、ボールネジ１９とこれに螺合した昇降体２１に代えて、エアシリンダあるいはラック・ピニオン機構を採用してもよい。
【００２２】
また、搬送室２は、ウエハ検査装置、ウエハ露光装置その他のウエハ処理装置はもとより、液晶基板その他各種ワークの搬送処理に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施の形態に係る搬送室ユニットの側面断面図である。
【図２】実施の形態に係る搬送室ユニットの正面断面図である。
【図３】ファンフィルターユニット上昇時の側面断面図である。
【図４】ファンフィルターユニット上昇時の正面断面図である。
【図５】従来の搬送室ユニットの構造を示す図である。
【符号の説明】
【００２４】
１  搬送室ユニット
２  搬送室
３  ファンフィルターユニット
３ａ  ファン
３ｂ  フィルタ
４  排気孔
５  縦フレーム
６  横フレーム
７  前面密閉カバー
８  側面密閉カバー
９  処理ステージ
１０  処理装置
１１  ウエハ投入ボックス
１２  床板
１３  ウエハハンドリング装置
１４  リニアガイド
１５  ガイド部材
１６  昇降機構
１７  固定部
１８  モータ
１９  ボールネジ
２０  軸受
２１  昇降体
２２  伸縮カーテン
２３  排気口
２５  ダウンフロー
【図１】
2006186193.tif 000003
【図２】
2006186193.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006186193.tif 000006
【図５】
2006186193.tif 000007