(57)【要約】【課題】  光学システムの複雑化などによる大型化やコストアップを招くことなく、高質な画像形成を可能とし、また、設計自由度及び信頼性の向上を図る。【解決手段】  入力信号に応じて駆動され入射されて透過する光の光路を画素毎に偏向可能な透過型光偏向アレイ素子１０１を設ける。透過型光偏向アレイ素子１０１における光の出射側に、全反射界面１０３ｃを有する光路分離プリズム１０３を設ける。全反射界面１０３ｃによって、透過型光偏向アレイ素子１０１で光路が偏向された出射光を、全反射界面１０３ｃを透過する透過光と全反射界面１０３ｃで反射する反射光とに分離する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次元又は二次元状に複数の画素が配列され、入力信号に応じて前記画素からの出射光を変調する透過型光変調アレイ装置であって、
前記入力信号に応じて駆動され入射されて透過する光の光路を画素毎に偏向可能な透過型光偏向アレイ素子と、
前記透過型光偏向アレイ素子における光の出射側に配置され、前記透過型光偏向アレイ素子からの出射光を、前記透過型光偏向アレイ素子による光路の偏向角範囲よりも広い角度に分離する偏向角分離手段とを備えたことを特徴とする透過型光変調アレイ装置。
【請求項２】
前記偏向角分離手段は、前記透過型光偏向アレイ素子からの出射光を前記偏向角範囲より広い角度を呈する第１の方向と第２の方向とに分離することを特徴とする請求項１記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項３】
前記偏向角分離手段は、少なくとも一部に全反射界面を有し、前記透過型光偏向アレイ素子からの出射光を前記全反射界面を透過する透過光と前記全反射界面で反射する反射光とに分離することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項４】
前記偏向角分離手段は、プリズムを含んで形成されることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項５】
前記偏向角分離手段は、前記透過型光偏向アレイ素子の各画素の配置位置に応じて生じた光路差を補正する光路補償プリズムを有することを特徴とする請求項４記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項６】
前記偏向角分離手段は、少なくとも一部に光干渉膜を有し、該光干渉膜に前記透過型光偏向アレイ素子からの出射光を導入して、該導入した光を透過光と反射光とに分離することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項７】
前記光干渉膜は、誘電体多層膜を含んで形成されることを特徴とする請求項６記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項８】
前記光干渉膜は、コレステリック液晶を含んで形成されることを特徴とする請求項６記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項９】
前記光干渉膜は、偏光依存性を有さないことを特徴とする請求項６〜請求項８のいずれか１項記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項１０】
前記光干渉膜は、光成分におけるＳ波のみを透過光と反射光とに分離することを特徴とする請求項６〜請求項９のいずれか１項記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項１１】
前記透過型光偏向アレイ素子は、微小の可動膜を変位させて透過光の方向を変化させる素子であることを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれか１項記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項１２】
前記透過型光偏向アレイ素子の前記入力信号により駆動する前記画素毎に対応する光偏向要素の光入射側に、前記画素のそれぞれに対応してマイクロレンズを形成したマイクロレンズアレイを配置し、
該マイクロレンズアレイによる集光位置が前記光偏向要素の偏向駆動位置に設定されていることを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれか１項記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項１３】
前記透過型光偏向アレイ素子の前記入力信号により駆動する前記画素毎に対応する光偏向要素の光入射側及び出射側に、前記画素のそれぞれに対応してマイクロレンズを形成したマイクロレンズアレイをそれぞれ配置したことを特徴とする請求項１２記載の透過型光変調アレイ装置。
【請求項１４】
請求項１〜請求項１３のいずれか１項に記載の透過型光変調アレイ装置を用いたことを特徴とする光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一次元又は二次元状に配列された複数の画素を有し、入力信号に応じて光を変調する透過型光変調アレイ装置及びこれを用いた光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクタ等の画像を形成する光学装置には、入力信号に応じて駆動されて入射光の進路を画素毎に偏向する偏向手段を備えた方式がある。この種の偏向手段を備えた光学装置としては、次のようなものが知られている（特許文献１参照）。
図２２に示す装置では、光源１からの光がカラー選択手段３を介してガラスロード５に導かれ、レンズ要素７によって集束される。さらに、この光は、光路変換手段９によって進行経路が変換され、その後、マイクロミラーデバイス１１で画像形成が行われ、投射レンズユニット１３によって拡大投射される。この装置の偏向手段である光路変換手段９は、所定角度よりも小さい角の入射光を透過させる一方、この所定角度よりも大きい角の入射光を反射させることにより光の経路を変える光路分離プリズム１５と、光路を補正する補償プリズム１７とを有している。
【０００３】
また、図２３に示す装置では、光源２１からの光がカラー選択手段２３を介してコリメートレンズ２５へ導かれ、さらに、均一光照射手段２７によって均一化され、集束レンズ２９によって集束され、マイクロミラーデバイス３１に導かれて画像形成される。その後、マイクロミラーデバイス３１で反射した光は、光路変換手段３３によって進行経路が変換され、投光レンズユニット３５によって拡大投射される。そして、この装置の偏向手段である光路変換手段３３は、図２４に拡大図を示すように、全反射臨界角よりも小さい角の入射光を屈折透過させる一方、全反射臨界角よりも大きい角の入射光を反射させることにより光の経路を変える光分離プリズム３７と、この光分離プリズム３７の光路手前側に配置され光の経路を補正する補償プリズム３９とを有している。
【０００４】
また、上記装置で用いられるマイクロミラーデバイス１１、３１は、図２５に示すように、画素に対応するように基板４１に設けられた複数の可動ミラー４３と、この可動ミラー４３を回動自在に支持するポスト４５と、可動ミラー４３を保持するウインドウ４７とを有している。そして、可動ミラー４３は、基板４１に形成された電極との相互静電引力により傾斜駆動される。これにより、可動ミラー４３は、各画素に対応する電極のＯＮ状態又はＯＦＦ状態によって反射面の角度が選択され、入射光をＯＮ状態の場合の反射光である有用反射光とＯＦＦ状態の場合の反射光である無用反射光とに分ける構造となっている。
【０００５】
次に、偏向手段を備えた他の光学装置を説明する（特許文献２参照）。この装置では、図２６に示すように、光源５１からの光をレンズ５３、偏光板５５を介してビームスプリッター５７で反射させて波長板５９を介してマイクロミラーデバイスからなる空間光変調器アレイ６１へ導く。そして、この空間光変調器６１に入射した光は、ＯＮ状態の有用光とＯＦＦ状態の無用光とに分けられて臨界角プリズム６３に導かれ、有用光のみが臨界角プリズム６３を透過して結像レンズ６５を介してスクリーン６７に導かれて結像し、無用光は、臨界角プリズム６３で全反射され、結像レンズ６５などの表示光学系の経路から外される。
【０００６】
また、入射光を入射角度に応じて分離するものとしては、図２７に示すように、複数のプリズム７１、７３を用いたものも知られている（特許文献３参照）。そして、複数のプリズム７１、７３を備えた光学系によれば、例えば、マイクロミラーデバイスからの反射光がそれぞれのプリズム７１、７３で正しく透過あるいは反射して所定の経路に導かれるか否かを調べ、マイクロミラーデバイスの評価を行うことができる。
【０００７】
このように、画像を形成する光学装置では、マイクロミラーデバイスを用い、反射光の方向を偏向することが一般的に行われている。
なお、入射光を透過させる際にその光を偏向させる透過型の光偏向アレイ素子としては、次のような液晶偏向素子からなるものが知られている（例えば、特許文献４参照）。
この液晶偏向素子は、窓の開いた分割電極で液晶層を挟んだ構造を持ち、分割電極に印加する電圧を制御することにより、液晶層に屈折率分布を付け、光ビームを１０°程度偏向する。本素子の場合も個々の光ビームの偏向方向を制御可能である。
【０００８】
図２８及び図２９に示すように、この液晶偏向素子８１は、ガラス基板８３間に液晶層８５を備え、この液晶層８５を挟むように上下一対の電極８７が画素毎に二組ずつ設けられている。そして、この液層偏向素子８１では、電極８７に電圧を印加しない場合には、図２９（ａ）に示すように、液晶は基板８３に対して垂直に配向したホメオトロピック配向となり、入射光がそのまま透過する。これに対して、電極８７に電圧を印加するとともに一組の電極８７に印加する電圧極性を＋と−に変えると、液晶分子の配向分布が変化し、それによって、屈折率分布が変化し、図２９（ｂ）、（ｃ）に示すように、入射光が偏向する。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２０１７１６号公報
【特許文献２】特開平１１−２４９０３７号公報
【特許文献３】特開平９−２１９６６号公報
【特許文献４】特開平１０―２７４７９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、マイクロミラーデバイスを用いた上記光学装置は、いずれも入射光をマイクロミラーデバイスで反射させて偏向させるもの、つまり、入射光側と反射光側とが同一側であるので、マイクロミラーデバイスでの表面反射光がいわゆる迷光となり、画像形成に影響を与えてしまう。特に、図２２に示した装置の場合、有用光と無用光とが略同一方向へ導かれるので、コントラストの低下が避けられなかった。
【００１１】
ここで、図２３に示した装置のように、複数の全反射臨界面を有する光分離プリズムによって有用光と無用光との経路を完全に分離させれば、コントラストの低下を防ぐことができるが、この光分離プリズムは、複数の全反射臨界面を有するため、大型化が避けられず、その結果、光学システムの全体が大型化してしまう。また、この種の光分離プリズムを設けることによるコストアップも避けられなかった。
また、光源からの入射光側とマイクロミラーデバイスからの反射光側とが同一側である上記装置にあっては、反射光を分離して光学品質を向上させるために光学システムが複雑化し、大型化及びコストアップを招いてしまう。
【００１２】
しかも、入射光側と反射光側とが同一側である場合、コントラストを重視するために有用光と表面反射光などの無用光の方向を異ならせる必要があり、有用光及び無用光の方向が一義的に決定されてしまう。つまり、有用光及び無用光の方向を自由に設定することが困難であり、設計の自由度が低下してしまう。
【００１３】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、光学システムの複雑化などによる大型化やコストアップを招くことなく、高質な画像形成が可能な設計自由度及び信頼性の高い透過型光変調アレイ装置及びそれを用いた光学装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、請求項１記載の透過型光変調アレイ装置は、一次元又は二次元状に複数の画素が配列され、入力信号に応じて前記画素からの出射光を変調する透過型光変調アレイ装置であって、前記入力信号に応じて駆動され入射されて透過する光の光路を画素毎に偏向可能な透過型光偏向アレイ素子と、前記透過型光偏向アレイ素子における光の出射側に配置され、前記透過型光偏向アレイ素子からの出射光を、前記透過型光偏向アレイ素子による光路の偏向角範囲よりも広い角度に分離する偏向角分離手段とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
この透過型光変調アレイ装置によれば、透過型光偏向アレイ素子によって入射されて透過する光の光路を偏向するので、入射側へ反射させる反射型と異なり、表面反射光からなる無用光や迷光による画像形成への影響を確実に防止することができ、画像形成の質を大幅に向上させることができ、信頼性を高めることができる。また、偏向角分離手段が、透過型光偏向アレイ素子からの出射光を前記透過型光偏向アレイ素子による光路の偏向角範囲よりも広い角度に分離するので、大型化、コストアップを招くことなく、良好なコントラストを得ることができ、さらには、光路の設計自由度を高めることができる。しかも、透過型光偏向アレイ素子における駆動量を小さくして、僅かな偏向角による制御を可能とし、応答性を高めることができる。また、偏向角を連続的に変化させることにより、アナログ階調も行うことができる。
【００１６】
請求項２記載の透過型光変調アレイ装置は、前記偏向角分離手段が、前記透過型光偏向アレイ素子からの出射光を前記偏向角範囲より広い角度を呈する第１の方向と第２の方向とに分離することを特徴とする。
【００１７】
この透過型光変調アレイ装置によれば、透過型光偏向アレイ素子からの出射光を広い角度を呈する第１の方向と第２の方向とに分離することにより、画像形成に用いる有用光と画像形成に用いない無用光とを確実に分けてコントラストの向上及び設計の自由度の向上を図ることができる。
【００１８】
請求項３記載の透過型光変調アレイ装置は、前記偏向角分離手段が、少なくとも一部に全反射界面を有し、前記透過型光偏向アレイ素子からの出射光を前記全反射界面を透過する透過光と前記全反射界面で反射する反射光とに分離することを特徴とする。
【００１９】
この透過型光変調アレイ装置によれば、透過型光偏向アレイ素子からの出射光を、全反射界面を透過する透過光と全反射界面で反射する反射光とに確実に分離することができる。
【００２０】
請求項４記載の透過型光変調アレイ装置は、前記偏向角分離手段が、プリズムを含んで形成されることを特徴とする。
【００２１】
この透過型光変調アレイ装置によれば、プリズムによって有用光と無用光とを確実に分離することができる。
【００２２】
請求項５記載の透過型光変調アレイ装置は、前記偏向角分離手段が、前記透過型光偏向アレイ素子の各画素の配置位置に応じて生じた光路差を補正する光路補償プリズムを有することを特徴とする。
【００２３】
この透過型光変調アレイ装置によれば、各画素間における光路を確実に補正して光路を確実に合わせることができ、画像の品質を高めることができる。
【００２４】
請求項６記載の透過型光変調アレイ装置は、前記偏向角分離手段が、少なくとも一部に光干渉膜を有し、該光干渉膜に前記透過型光偏向アレイ素子からの出射光を導入して、該導入した光を透過光と反射光とに分離することを特徴とする。
【００２５】
この透過型光変調アレイ装置によれば、光干渉膜によって透過型光偏向アレイ素子からの出射光を透過光と反射光とに確実に分離することができる。
【００２６】
請求項７記載の透過型光変調アレイ装置は、前記光干渉膜が、誘電体多層膜を含んで形成されることを特徴とする。
【００２７】
この透過型光変調アレイ装置によれば、誘電体多層膜によって形成された光干渉膜によって透過型光偏向アレイ素子からの出射光を透過光と反射光とに確実に分離することができる。
【００２８】
請求項８記載の透過型光変調アレイ装置は、前記光干渉膜が、コレステリック液晶を含んで形成されることを特徴とする。
【００２９】
この透過型光変調アレイ装置によれば、コレステリック液晶を有する光干渉膜によって透過型光偏向アレイ素子からの出射光を透過光と反射光とに確実に分離することができる。
【００３０】
請求項９記載の透過型光変調アレイ装置は、前記光干渉膜が、偏光依存性を有さないことを特徴とする。
【００３１】
この透過型光変調アレイ装置によれば、偏光依存性を有さない光干渉膜によって、透過型光偏向アレイ素子からの出射光を、構成の簡略化を図りつつ透過光と反射光とに確実に分離することができる。
【００３２】
請求項１０記載の透過型光変調アレイ装置は、前記光干渉膜が、光成分におけるＳ波のみを透過光と反射光とに分離することを特徴とする。
【００３３】
この透過型光変調アレイ装置によれば、光干渉膜によって、透過型光偏向アレイ素子からの出射光のＳ波のみを透過光と反射光とに確実に分離することができる。
【００３４】
請求項１１記載の透過型光変調アレイ装置は、前記透過型光偏向アレイ素子が、微小の可動膜を変位させて透過光の方向を変化させる素子であることを特徴とする。
【００３５】
この透過型光変調アレイ装置によれば、液晶素子と比較して制御可能な光の波長の選択自由度が大きい。また、静電気力により駆動される素子は高速応答、低消費電力、高集積性に優れる。
【００３６】
請求項１２記載の透過型光変調アレイ装置は、前記透過型光偏向アレイ素子の前記入力信号により駆動する前記画素毎に対応する光偏向要素の光入射側に、前記画素のそれぞれに対応してマイクロレンズを形成したマイクロレンズアレイを配置し、該マイクロレンズアレイによる集光位置が前記光偏向要素の偏向駆動位置に設定されていることを特徴とする。
【００３７】
この透過型光変調アレイ装置によれば、光偏向要素の光入射側に配置したマイクロレンズアレイのマイクロレンズによって、透過型光偏向アレイ素子の光偏向要素へ入射光を集光することができ、画像形成のための入射光の利用効率を高めることができ、さらには、光偏向要素の小型、軽量化を図ることができ、また、光偏向要素の応答性を高めることができる。また、マイクロレンズアレイのマイクロレンズによる集光箇所以外の領域に駆動回路を配置することができ、これにより、集積度を高めることができるとともに、駆動回路における遮光手段を不要とすることができる。
【００３８】
請求項１３記載の透過型光変調アレイ装置は、前記透過型光偏向アレイ素子の前記入力信号により駆動する前記画素毎に対応する光偏向要素の光入射側及び出射側に、前記画素のそれぞれに対応してマイクロレンズを形成したマイクロレンズアレイをそれぞれ配置したことを特徴とする。
【００３９】
この透過型光変調アレイ装置によれば、光偏向要素の光入射側及び出射側にそれぞれ配置したマイクロレンズアレイのマイクロレンズによって、透過型光偏向アレイ素子の光偏向要素へ入射光を集光することができ、画像形成のための入射光の利用効率を高めることができ、さらには、光偏向要素の小型、軽量化を図ることができ、また、光偏向要素の応答性を高めることができる。
また、マイクロレンズアレイのマイクロレンズによる集光箇所以外の領域に駆動回路を配置することができ、これにより、集積度を高めることができるとともに、駆動回路における遮光手段を不要とすることができる。
【００４０】
請求項１４記載の透過型光変調アレイ装置を用いた光学装置は、上記透過型光変調アレイ装置を用いたことを特徴とする。
【００４１】
この透過型光変調アレイ装置を用いた光学装置によれば、画像形成の質を大幅に向上させることができ、信頼性を高めることができる。また、この光学装置によれば、大型化、コストアップを招くことなく、良好なコントラストを得ることができ、さらには、光路の設計自由度を高めることができる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明の透過型光変調アレイ装置によれば、透過型光偏向アレイ素子によって入射されて透過する光を偏向するので、入射側へ反射させる反射型と異なり、表面反射光からなる無用光や迷光による画像形成への影響を確実に防止することができ、画像形成の品質を大幅に向上させることができ、信頼性を高めることができる。また、偏向角分離手段が、透過型光偏向アレイ素子からの出射光を前記透過型光偏向アレイ素子による光の偏向角範囲よりも広い角度に分離するので、大型化、コストアップを招くことなく、光路の設計自由度を高めることができる。しかも、透過型光偏向アレイ素子における駆動量を小さくして、僅かな偏向角による制御を可能とし、応答性を高めることができる。また、偏向角を連続的に変化させることにより、アナログ階調の制御も行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明に係る透過型光変調アレイ装置及びこれを用いた光学装置の好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
（第１の実施形態）
まず、本発明に係る第１の実施形態について説明する。
図１は第１の実施形態に係る透過型光変調アレイ装置の基本原理を説明する概略構成図、図２は透過型光変調アレイ装置を構成する偏向角分離手段の特性を示すグラフである。
【００４４】
図１に示すように、この透過型光変調アレイ装置１００は、透過型光偏向アレイ素子１０１を備えている。この透過型光偏向アレイ素子１０１は、二次元状に複数の画素を有し、入力信号に応じて駆動されて入射光を透過させる際に、その光を画素毎に微小角度偏向させるものである。ここで、この透過型光偏向アレイ素子１０１としては、例えば図２８，図２９に示すような、窓の開いた分割電極で液晶層を挟んだ構造を持ち、分割電極に印加する電圧を制御することにより、液晶層に屈折率分布を付け、透過時に入射光の光路を偏向する液晶偏向素子が用いられる。また、本発明人が出願中の特許（特願２００４−１６８０９７号）に記載されている微小透明光学部材（例えば微小プリズム）を電気機械動作により傾斜変位させて微小透明光学部材からの光出射方向を変化させる透過型光変調アレイ素子などのように所謂ＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical Systems）による透過型光偏向アレイ素子が用いられる。
【００４５】
この透過型光偏向アレイ素子１０１には、光路の前方に、偏向角分離手段として、光路分離プリズム１０３を備えている。この光路分離プリズム１０３は、透過型光偏向アレイ素子１０１によって偏向された光を、その光路に応じて全反射界面１０３ａを透過させる透過光と、全反射界面１０３ａで反射する反射光とに分離すると共に、透過光と反射光とのなす角を透過型光偏向アレイ素子１０１による微小な偏向角より十分に大きい角度φで分離するものである。
【００４６】
ここで、この光路分離プリズム１０３は、図２に示すように、全反射界面１０３ａの特性が、この全反射界面１０３ａの法線Ｎに対して透過型光偏向アレイ素子１０１を透過して入射する光の入射角θｉが、全反射界面１０３ａの全反射臨界角θｃ以上である場合に、その光を全反射させ、入射角が全反射臨界角θｃよりも小さい場合に、その光を透過させる。
つまり、この光路分離プリズム１０３は、臨界角θｃ以上の角度θ1の光を、全反射界面１０３ａで全反射させ、臨界角θｃよりも小さい角度θ2の光を、全反射界面１０３ａで透過させる。
【００４７】
また、この透過型光変調アレイ装置１００は、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａに対して十分な空隙（例えば、光の波長をλとした場合、２λ以上）をあけて配置された光路補償プリズム１０５を有している。
この光路補償プリズム１０５は、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過して外部へ光を出射させる際に、各画素に生じた光路を補正するもので、この光路補償プリズム１０５を透過した光は、画素毎に光路が補正され、出射する際に、それぞれの光路が合わされる。
【００４８】
このように、透過型光変調アレイ装置１００によれば、透過型光偏向アレイ素子１０１によって、入射されて透過する光の光路を偏向するので、入射側へ反射させる反射型と異なり、表面反射光からなる無用光や迷光による画像形成への影響を確実に防止することができ、画像形成の品質を大幅に向上させることができ、信頼性を高めることができる。
また、偏向角分離手段である光路分離プリズム１０３が、透過型光偏向アレイ素子１０１からの出射光を透過型光偏向アレイ素子１０１による光路の偏向角範囲よりも広い角度に分離するので、大型化、コストアップを招くことなく、良好なコントラストを得ることができ、さらには、光路の設計自由度を高めることができる。
【００４９】
しかも、透過型光偏向アレイ素子１０１における駆動量を小さくして、僅かな偏向角による制御を可能とし、応答性を高めることができる。また、偏向角を連続的に変化させることにより、アナログ階調も行うことができる。さらに、光路補償プリズム１０５により、各画素間における光路を確実に補正して光路を確実に合わせることができ、画像の品質を高めることができる。
【００５０】
次に、上記の透過型光変調アレイ装置１００を備えた光学装置の構成例を説明する。
図３は、透過型光変調アレイ装置を備えた光学装置の一構成例を示す概略構成図である。
この光学装置１１０は、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過した光を有用光とし、全反射界面１０３ａで反射した光を無用光とするものである。
【００５１】
つまり、図３に示すように、この光学装置１１０では、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過し、光路補償プリズム１０５で画素毎にプリズム内での光路が合わされた有用光は、結像投影レンズ１０７を介して投影面１０９に導かれて結像する。また、光分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａで反射した無用光は、遮光板１１１に導かれる。
そして、この光学装置１１０では、露光システムとして用いる場合は、投影面１０９に配設した感光材料に画像を露光することができ、また、プロジェクタとして用いる場合は、スクリーン等の投影面１０９に画像を表示させることができる。
【００５２】
そして、この透過型光変調アレイ装置１００を備えた光学装置１１０によれば、画像形成の質を大幅に向上させることができ、信頼性を高めることができる。また、大型化、コストアップを招くことなく、良好なコントラストを得ることができ、さらには、光路の設計自由度を高めることができる。
【００５３】
図４は、透過型光変調アレイ装置を備えた光学装置の他の構成例を示す概略構成図である。
この光学装置１２０は、全反射界面１０３ａで反射した光を有用光とし、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過した光を無用光とするものである。
【００５４】
つまり、図４に示すように、この光学装置１２０では、光分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａで反射した有用光は、結像投影レンズ１０７を介して投影面１０９に導かれて結像する。また、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過した無用光は遮光板１１１に導かれる。
そして、この光学装置１２０でも、露光システムとして用いる場合は、投影面１０９に配設した感光材料に画像を露光することができ、また、プロジェクタとして用いる場合は、スクリーン等の投影面１０９に画像を表示させることができる。
【００５５】
そして、この透過型光変調アレイ装置１００を備えた光学装置１２０の場合も、画像形成の品質を大幅に向上させることができ、信頼性を高めることができる。また、大型化、コストアップを招くことなく、良好なコントラストを得ることができ、さらには、光路の設計自由度を高めることができる。
なお、この光学装置１２０では、全反射界面１０３ａで反射した光を有用光とし、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過した光を無用光とするため、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過した画素毎の有用光の光路は、殆ど一致しており合わせる必要がなく、光路補償プリズム１０５は設けられていない。
【００５６】
（第２の実施形態）
次に、本発明に係る第２の実施形態について説明する。
図５は、第２の実施形態に係る透過型光変調アレイ装置を説明する概略構成図、図６は、第２の実施形態の透過型光変調アレイ装置に用いられる光干渉膜の原理を説明する断面図、図７及び図８は、光干渉膜の特性を示すグラフである。
【００５７】
図５に示すように、この透過型光変調アレイ装置２００は、透過型光偏向アレイ素子１０１の光路の前方に、偏向角分離手段として、光干渉膜２０１を有している。
この光干渉膜２０１は、透過型光偏向アレイ素子１０１に対して所定角度に傾斜されて設置されている。なお、ここでは、透過型光偏向アレイ素子１０１に対して４５°に傾けられている。
【００５８】
この光干渉膜２０１は、透過型光偏向アレイ素子１０１によって光路が偏向された所定の波長の光を、その光路に応じて透過させる透過光と反射する反射光とに分離するものである。
この光干渉膜２０１は、図６に示すように、ガラス基板２０３に誘電体多層膜２０５を形成した構造とされており、誘電体多層膜２０５は、酸化チタン（ＴｉＯ2）と酸化シリコン（ＳｉＯ2）とを交互に積層することにより形成されている。
【００５９】
本実施形態では、誘電体多層膜２０５の酸化チタンと酸化シリコンとの積層構造を、表１に示す膜構造とすることにより、波長λ＝５２０ｎｍの光を誘電体多層膜２０５の法線に対して入射角θ1＝４５°で入射させると、この光を反射し、入射角θ2＝１０°で入射させると、この光を透過させる特性が生じる。
【００６０】
【表１】
2006091666.tif 000003
【００６１】
また、この誘電体多層膜２０５は、図７及び図８に示すように、波長λ＝５２０ｎｍの光成分のＳ波及びＰ波のそれぞれについて、入射角θ1＝４５°で反射し、入射角θ2＝１０°で透過する特性を有している。
【００６２】
そして、この誘電体多層膜２０５を備えた透過型光変調アレイ装置２００では、透過型光偏向アレイ素子１０１を透過した波長λ＝５２０ｎｍの光が、入射角度θ1＝４５°で光干渉膜２０１に入射すると、この光は、光干渉膜２０１で全反射される。また、透過型光偏向アレイ素子１０１を透過して偏向された波長λ＝５２０ｎｍの光が、入射角度θ2＝１０°で光干渉膜２０１に入射すると、この光は、光干渉膜２０１を透過する。この特性は、Ｓ波、Ｐ波共に共通である。
【００６３】
つまり、透過型光変調アレイ装置２００によれば、光干渉膜２０１の誘電多層膜２０５によって透過型光偏向アレイ素子１０１からの出射光を透過光と反射光とに確実に分離することができる。
【００６４】
なお、光干渉膜２０１は、誘電体多層膜２０５の膜構造を適宜変更することにより、種々の波長の光に対する入射角度に応じた透過あるいは反射の特性を変えることができる。
【００６５】
ここで、他の特性を有する光干渉膜について説明する。
図９はＳ波のみ偏向させる光学システムの概略図、図１０及び図１１は図９の光干渉膜の特性を示すグラフである。
図９に示すように、図５に示す透過型光変調アレイ装置２００の場合と同様に、透過型光偏向アレイ素子１０１の光路の前方には、偏向角分離手段として、光干渉膜２０２が設けてある。この光干渉膜２０１は、透過型光偏向アレイ素子１０１に対して所定角度に傾斜されて設置されている。なお、ここでは、透過型光偏向アレイ素子１０１に対して４５°に傾けられている。
【００６６】
この光干渉膜２０２は、誘電体多層膜からなり、波長λ＝５２０ｎｍの光成分のＳ波のみを入射角θ1＝５２°で反射し、Ｓ波（及びＰ波）を入射角θ2＝４０°で透過する特性を有している。
【００６７】
つまり、この光干渉膜２０２を備えた透過型光変調アレイ装置では、例えばＳ波のみの光成分の変調を行う場合に用いられ、透過型光偏向アレイ素子１０１における光の偏向角度θ1−θ2を１２°（５２°−４０°）としている。
この光干渉膜２０２を構成する誘電体多層膜は、図１０及び図１１に示すように、波長λ＝５２０ｎｍの光成分のＳ波及びＰ波のそれぞれについて、入射角θ1＝４５°で反射し、入射角θ2＝１０°で透過する特性を有している。
なお、この偏光依存性を有する誘電体多層膜は、その膜構造を、表２に示す構造とすることにより得られる。
【００６８】
【表２】
2006091666.tif 000004
【００６９】
そして、この透過型光変調アレイ装置は、例えば一軸偏光されたレーザ光源や、放電ランプ等の無偏光光源を一軸に偏光した光源に適用できる。この透過型光変調アレイ装置によれば、透過型光変調アレイ素子における偏向角度をより小さくできるので駆動量が小さく高速応答が可能となる。また、光学システムに要求される許容誤差を大きくすることが可能となり、低コスト化が図られる。
【００７０】
（第３の実施形態）
次に、本発明に係る第３の実施形態について説明する。
図１２は、第３の実施形態に係る透過型光変調アレイ装置に用いられるコレステリック液晶装置を説明する概略構成図、図１３は、第３の実施形態の透過型光変調アレイ装置に用いられる液晶装置の原理を説明する断面図、図１４は、液晶装置の特性を示すグラフである。
【００７１】
図１２に示すものは、透過型光偏向アレイ素子１０１の光路の前方に、偏向角分離手段として設置されるコレステリック液晶フィルタ３００である。
このコレステリック液晶フィルタ３００は、ＩＴＯ等からなる一対の透明電極３０１と、その内側に形成された配向層３０３と、配向層３０３に囲まれたコレステリック液晶層３０５とからなる。
【００７２】
コレステリック液晶層３０５は、コレステリック液晶分子が層に対して平行に配向され、層の垂直方向に対して螺旋構造を呈している。
ここで、コレステリック液晶層３０５の常光屈折率をｎｏ、異常光屈折率をｎｅ、複屈折率をΔｎ、平均屈折率をｎとすると、複屈折率Δｎは（１）式で表せる。
【００７３】
Δｎ＝ｎｅ−ｎｏ          （１）
また、平均屈折率ｎは、近似的に（２）式により表せる。
ｎ＝（ｎｅ＋ｎｏ）／２    （２）
【００７４】
さらに、コレステリック液晶層３０５の螺旋ピッチをＰ［nm］とした場合、コレステリック液晶層３０５はブラッグ反射の原理で選択的に反射する特性を示す。即ち、入射角θ［deg］でコレステリック液晶層３０５に入射した光が選択的に反射された場合の入射光の中心波長λ（θ）［nm］は（３）式で表せる。
λ（θ）＝λ（０）・cos［sin−１（sinθ／ｎ）］    （３）
【００７５】
ただし、入射光は空気（屈折率＝１）から入射させるものとする。ここで、λ（０）［nm］は入射角がθ、即ち、層に対して垂直入射したときの中心波長であり、（４）式で表せる。
λ（０）＝ｎ・Ｐ          （４）
また、反射波長幅Δλ［nm］は（５）式で表せる。
Δλ＝Δｎ・Ｐ            （５）
【００７６】
従って、コレステリック液晶層３０５の物性値である常光屈折率ｎｏ、異常光屈折率ｎｅ、螺旋ピッチＰを制御して層を形成することにより、入射角θに応じて変化する任意の反射中心波長λ（θ）と、所望の反射波長幅Δλを有した光学フィルタを形成できる。例えば、螺旋ピッチＰの調整は、螺旋ピッチの異なる２種以上の材料を混合して調整する等の製法により可能である。
さらに、対象とする入射光の波長域が広い場合は、コレステリック液晶層３０５の選択反射波長域も広げる必要がある。この場合は、螺旋ピッチが厚み方向で連続的に異なるように液晶を配向させることで反射波長域を広げることができる。また、異なる選択反射波長域のコレステリック液晶層３０５を積層することによっても反射波長域を広げることができる。
【００７７】
なお、このコレステリック液晶層３０５は、次のようにして製造できる。
コレステリック液晶を成膜する支持体上にポリイミド配向膜を塗布、乾燥し、ラビングによる表面処理を行う。これにより、ポリイミド配向膜が形成される。この上に、低分子コレステリック液晶、又はネマチック液晶とねじれを発現させるカイラル剤の混合物、高分子モノマー、光重合開始剤を有機溶剤で混合させた調整液により塗布した後、適当な温度で配向させる。その後、必要な部分に紫外線を露光して光重合させ、現像により不要部分を除去する。最後に高温ベークを行って安定させる。
ねじれ方向及び反射入射角度を制御するためには、コレステリック液晶、カイラル剤、及び各々の濃度を適宜変更すればよい。
【００７８】
また、高分子コレステリック液晶を用いて成膜することも可能である。この場合は、上記同様にポリイミド配向膜の上に高分子コレステリック液晶と光重合開始剤を有機溶媒で混合させた調整液により塗布した後、適当な温度で配向させ、必要な部分に紫外線を露光して光重合させる。反射入射角度は、配向温度を適宜選択することで制御でき、光重合により安定化する。
【００７９】
ここで、この構成のコレステリック液晶フィルタ３００の特性について、図１３及び図１４によって説明する。
このコレステリック液晶層３０５（図１２参照）は、左ねじれコレステリック液晶層と右ねじれ液晶層を重ねた例で、反射波長域では全偏光成分を反射する。入射角がθ0からθ1までの場合では、分光透過率が入射光の波長λ（例えばλ＝５２０ｎｍ）に対して略０％となって反射状態となるが、入射角がさらに大きい角度θ2、θ3となると、分光透過率の透過特性が短波長側にシフトするため入射光が透過する。
つまり、透過型光偏向アレイ装置として前述のコレステリック液晶フィルタ３００を透過型光偏向アレイ素子の出射側に適宜配置することにより、透過型光偏向アレイ素子からの出射光がコレステリック液晶フィルタに対して角度θ1以下で入射する場合はコレステリック液晶フィルタによって反射され、透過型光偏向アレイ素子からの出射光がコレステリック液晶フィルタに対して角度θ2以上で入射する場合はコレステリック液晶フィルタを透過する。従って、透過型偏向アレイ素子の出射光を透過光と反射光とに分離することが可能となる。
【００８０】
この構成によれば、前述の偏向角分離手段と同様な作用効果が得られると共に、塗布法等により成膜できるので、より低コストで透過型光偏向アレイ素子１０１からの出射光を透過光と反射光とに確実に分離する偏向角分離手段を実現することができる。
【００８１】
（第４の実施形態）
次に、透過型光変調アレイ装置にマイクロレンズアレイを設けたものを第４の実施形態として説明する。
図１５は、第４の実施形態に係る透過型光変調アレイ装置を示す概略構成図、図１６は、透過型光変調アレイ装置の要部を拡大した概略構成図である。
図に示すように、この透過型光変調アレイ装置４００では、透過型偏向アレイ素子１０１における光の入射側に、マイクロレンズアレイ４０１が配設されている。このマイクロレンズアレイ４０１は、透過型偏向アレイ素子１０１の各画素に対応する複数のマイクロレンズ４０３を有している。
【００８２】
ここで、図１６に示すように、透過型光偏向アレイ素子１０１は、例えば前述の微小プリズムなどを電気機械動作により傾斜変位させて微小透明光学部材からの光出射方向を変化させるような所謂ＭＥＭＳ型の透過型光変調アレイ素子が好適に用いられる。この透過型光変調アレイ素子１０１は、素子基板１０１ａと対向基板１０１ｂとを備え、これら素子基板１０１ａと対向基板１０１ｂとの間に、画素毎の光偏向要素１０１ｃを有している。
そして、このマイクロレンズアレイ４０１は、入射光を各マイクロレンズ４０３で透過型光偏向アレイ素子１０１の各光偏向素子１０１ｃに集光させる。これにより、集積度を高めることができるとともに、駆動回路における遮光手段を不要とすることができる。
【００８３】
そして、このマイクロレンズアレイ４０１を備えることにより、光偏向要素１０１ｃの光入射側に配置したマイクロレンズアレイ４０１のマイクロレンズ４０３によって、透過型光偏向アレイ素子１０１の光偏向要素１０１ｃへ入射光を集光することができ、画像形成のための入射光の利用効率を高めることができ、さらには、光偏向要素１０１ｃの小型、軽量化を図ることができ、これにより、光偏向要素１０１ｃの応答性を高めることができる。
【００８４】
また、マイクロレンズアレイ４０１のマイクロレンズ４０３による集光箇所以外の領域に駆動回路を配置することができ、これにより、集積度を高めることができるとともに、駆動回路における遮光手段を不要とすることができる。
なお、マイクロレンズアレイ４０１の配置場所は、光偏向要素１０１ｃの入射側であれば、いずれの場所であっても良い。
【００８５】
また、図１７及び図１８に示すものは、複数のマイクロレンズアレイ４０１を備えた透過型光変調アレイ装置４１０である。
図１８に示すように、この透過型光変調アレイ装置４１０では、透過型偏向アレイ素子１０１の素子基板１０１ａの入射側の入射側マイクロレンズアレイ４０１ａを備え、また、対向基板１０１ｂの入射側に出射側マイクロレンズアレイ４０１ｂを備えている。
【００８６】
そして、この透過型光変調アレイ装置４１０では、入射側マイクロレンズアレイ４０１ａが、入射光を各マイクロレンズ４０３で透過型光偏向アレイ素子１０１の各光偏向素子１０１ｃに集光させる。
さらに、出射側マイクロレンズアレイ４０１ｂは、各光偏向素子１０１ｃから出射された光を各マイクロレンズ４０３によってさらに集光し、対向基板１０１ｂに出射させる。
【００８７】
これにより、この透過型光偏向アレイ素子１０１では、光偏向要素１０１ｃを駆動させるために素子基板１０１ａに設けられた、例えば、ＣＭＯＳや電極などによって入射光が遮られるような不具合がなくされ、さらに、光偏向要素１０１ｃからの光を集光して広がりが抑えられて略平行光とされ、下流側の光路分離プリズム１０３などの偏向角分離手段へ出射させるので、下流側における光路分離系や結像系の設計自由度を向上させることができる。
【００８８】
なお、入射側マイクロレンズアレイ４０１ａの配置場所は、光偏向要素１０１ｃの入射側であれば、いずれの場所であっても良く、また、出射側マイクロレンズアレイ４０１ｂの配置場所は、光偏向素子１０１ｃの出射側であれば、いずれの場所であっても良い。
【００８９】
（第５の実施形態）
次に、上記実施形態に係る透過型光変調アレイ装置を採用した光学機器を第５の実施形態として説明する。
図１９は、透過型光偏向アレイ素子を用いた第５の実施形態による露光装置の構成図、図２０は、露光装置のブロック図、図２１は、露光ヘッドの構成図である。
上記した透過型光変調アレイ素子は、例えば図１９に示す露光装置５００に好適に用いることができる。この場合の透過型光変調アレイ素子は、例えば上記の透過型光変調素子１００にマイクロレンズアレイ４０１ａ等を備えて構成することができる。この露光装置５００は、露光対象物５０１を外周面に吸着して保持するドラム５０３と、ドラム５０３の回転軸に沿って延在するガイド軸５０５に移動自在に支持される副走査ユニット５０７とを基本構成として備える。ドラム５０３は図示しない回転駆動モータによって図１９の反時計回りに回転される。副走査ユニット５０７は、図示しない水平駆動モータによって図１９の左右方向に移動される。ここで、露光対象物５０１は、ドラム５０３の回転によるＤ方向が主走査方向となり、副走査ユニット５０７の移動によるＬ方向が副走査方向となる。
【００９０】
副走査ユニット５０７は、図１９に示すように、透過型光偏向アレイ装置５０９と、結像レンズ系５１１を備える。ドラム５０３の回転位置は主走査位置検出器５１３によって検出され、副走査ユニット５０７の移動位置は副走査位置検出器５１５によって検出される。これら主走査位置検出器５１３及び副走査位置検出器５１５によって検出された位置信号は、信号発生器５１７に入力される。信号発生器５１７は、これらの位置信号に基づき、上位制御部から送られる画像信号に応じて変調信号、光源信号を透過型光偏向アレイ装置５０９へ出力する。結像レンズ系５１１は、透過型光偏向アレイ装置５０９から変調されて出射されたレーザ光を露光対象物５０１の表面に倍率を変えて結像させる組合ズームレンズ５１１ａ、５１１ｂで構成される。
【００９１】
透過型光偏向アレイ装置５０９は、透過型光偏向アレイ素子１０１が副走査方向に複数配列されている。従って、この配列方向に直行する方向（主走査方向）で露光対象物５０１と副走査ユニット５０７とを相対移動させると、透過型光偏向アレイ素子１０１の配列数と同数の画素数で、１ライン分を露光対象物５０１の同方向に露光することができる。
【００９２】
露光対象物５０１の主走査方向への移動と共に、画像信号が１ライン分、変調信号、光源信号とし透過型光偏向アレイ素子１０１へ送出され、それぞれの透過型光偏向アレイ素子１０１がオンオフ制御される。これにより副走査ユニット５０７から出射される露光光がオンオフされて、露光対象物５０１が、主走査方向に透過型光偏向アレイ素子１０１の数と同数の画素単位で露光され、１ライン分の走査露光が行われる。その後、副走査ユニット５０７が副走査方向に移動され、同様にして次の１ライン分が順次に露光されて行く。
【００９３】
ところで、透過型光偏向アレイ装置５０９は、図２１に示すように、光源からの光を偏向する透過型光偏向アレイ素子１０１と、透過型光偏向アレイ素子１０１からの出射光をこの透過型光偏向アレイ素子１０１の偏向角範囲よりも広い角度に分離して出射させる光路分離プリズム１０３、及び光路補償プリズム１０５を有する透過型光変調アレイ装置１１０を備える。
【００９４】
透過型光偏向アレイ素子１０１を透過した光は、光路分離プリズム１０３に入射し、この光路分離プリズム１０３では、透過型光偏向アレイ素子１０１から出射される光の入射角度に応じて、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過する有用光と、全反射界面１０３ａで全反射する無用光とに分離する。
その後、全反射界面１０３ａを透過した有用光は、光路補償プリズム１０５で画素毎に光路が合わされて出射される。
このようにして光変調された光は、結像レンズ系５１１により、露光対象物５０１に照射される。従って、反射光を結像レンズ系５１１を介して露光対象物５０１に露光し、画像記録すれば、露光或いは画像記録が可能となる。
なお、光分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａで反射した無用光は、遮光板１１１に導かれる。
【００９５】
そして、この露光装置５００によれば、光偏向アレイ素子が透過型であるため光偏向アレイ素子における迷光や表面反射光などの発生が抑制され、また、光路分離プリズムにより有用光のみが分離されて露光対象物５０１に導かれ、無用光は遮光されるために高コントラストの露光を得ることができる。さらに光偏向アレイ素子が透過型であるため、入射側の光学系と出射側の光学系を異なる側に配置できることから光学系の大型化、煩雑化、コストアップを抑えることができ、また光路の設計自由度を高めることができる。
【００９６】
また、露光対象物５０１は、ドラム５０３に保持される記録媒体の他、スクリーンであってもよい。この場合、画像信号に応じて透過型光偏向アレイ素子１０１を駆動制御し、透過型光偏向アレイ素子１０１を透過する光を、投影レンズを介してスクリーンに投影すれば、透過型光変調アレイ素子１０１を用いたプロジェクタが得られる。
【００９７】
なお、上記露光装置５００では、第１の実施形態で示した透過型光変調アレイ装置を備えた光学装置１１０を用いたが、露光装置に用いて好適な透過型光変調アレイ装置としては、第１の実施形態のものに限定されない。
また、前述の光学装置において、全反射界面１０３ａで反射した光を有用光とし、光路分離プリズム１０３の全反射界面１０３ａを透過した光を無用光とする構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る透過型光変調アレイ装置の基本原理を説明する概略構成図である。
【図２】透過型光変調アレイ装置を構成する透過型光偏向アレイ素子の特性を示すグラフである。
【図３】透過型光変調アレイ装置を備えた光学装置の一構成例を示す概略構成図である。
【図４】透過型光変調アレイ装置を備えた光学装置の他の構成例を示す概略構成図である。
【図５】第２の実施形態に係る透過型光変調アレイ装置を説明する概略構成図である。
【図６】第２の実施形態の透過型光変調アレイ装置に用いられる光干渉膜の原理を説明する断面図である。
【図７】光干渉膜の特性を示すグラフである。
【図８】光干渉膜の特性を示すグラフである。
【図９】Ｓ波のみ偏向させる光学システムの概略図である。
【図１０】光干渉膜の特性を示すグラフである。
【図１１】光干渉膜の特性を示すグラフである。
【図１２】第３の実施形態に係る透過型光変調アレイ装置に用いられる液晶装置を説明する概略構成図である。
【図１３】第３の実施形態の透過型光変調アレイ装置に用いられる液晶装置の原理を説明する断面図である。
【図１４】液晶装置の特性を示すグラフである。
【図１５】第４の実施形態に係る透過型光変調アレイ装置を示す概略構成図である。
【図１６】透過型光変調アレイ装置の要部を拡大した概略構成図である。
【図１７】複数のマイクロレンズアレイを備えた透過型光変調アレイ装置を示す概略構成図である。
【図１８】複数のマイクロレンズアレイを備えた透過型光変調アレイ装置の要部を拡大した概略構成図である。
【図１９】透過型光偏向アレイ素子を用いた第５の実施形態による露光装置の構成図である。
【図２０】露光装置のブロック図である。
【図２１】露光ヘッドの構成図である。
【図２２】従来の光学装置を説明する光学装置の概略構成図である。
【図２３】従来の光学装置を説明する光学装置の概略構成図である。
【図２４】図２２の光学装置の要部を説明する概略構成図である。
【図２５】従来のマイクロミラーデバイスの構造を説明する断面図である。
【図２６】従来の他の光学装置を説明する光学装置の概略構成図である。
【図２７】従来のマイクロミラーデバイス等の装置を検査する光学系を示す概略構成図である。
【図２８】透過型の光偏向アレイ素子の一例を示す概略平面図である。
【図２９】透過型の光偏向アレイ素子の概略断面図である。
【符号の説明】
【００９９】
１００，２００，４００，４１０  透過型光変調アレイ装置
１０１  透過型光偏向アレイ素子
１０１ｃ  光偏向要素
１０３  光路分離プリズム（偏向角分離手段）
１０３ｃ  全反射界面
１０５  光路補償プリズム
１１０，１２０  光学装置
２０１  光干渉膜（偏向角分離手段）
２０５  誘電体多層膜
３０５  コレステリック液晶
４０１  マイクロレンズアレイ
４０３  マイクロレンズ
５００  露光装置（光学装置）
【図１】
2006091666.tif 000005
【図２】
2006091666.tif 000006
【図３】
2006091666.tif 000007
【図４】
2006091666.tif 000008
【図５】
2006091666.tif 000009
【図６】
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【図７】
2006091666.tif 000011
【図８】
2006091666.tif 000012
【図９】
2006091666.tif 000013
【図１０】
2006091666.tif 000014
【図１１】
2006091666.tif 000015
【図１２】
2006091666.tif 000016
【図１３】
2006091666.tif 000017
【図１４】
2006091666.tif 000018
【図１５】
2006091666.tif 000019
【図１６】
2006091666.tif 000020
【図１７】
2006091666.tif 000021
【図１８】
2006091666.tif 000022
【図１９】
2006091666.tif 000023
【図２０】
2006091666.tif 000024
【図２１】
2006091666.tif 000025
【図２２】
2006091666.tif 000026
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
2006091666.tif 000029
【図２６】
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【図２７】
2006091666.tif 000031
【図２８】
2006091666.tif 000032
【図２９】
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