(57)【要約】      （修正有）【課題】ＴＶ放送、衛星放送、携帯電話それぞれの周波数帯域の電波に対して反射率を低減させるとともに、充分な日射遮蔽性能と乱反射の少ない透視性に優れた可視光線透過性を有する、自動車用窓ガラス、建築用窓ガラスとして好適な電波透過性波長選択板を提供する。【解決手段】透明基板に透明誘電体層が形成され、透明誘電体層の上にＡｇ微粒子１が形成されてなり、Ａｇ微粒子が少なくとも２カ所以上の頂点部を有し、頂点部の高さが８〜１５０ｎｍ、Ａｇ微粒子の外接円の直径が１００ｎｍ〜６００ｎｍ、透明基板の表面面積に対するＡｇ微粒子の被覆面積の割合が０．２〜０．８である電波透過性波長選択板。【選択図】図２
2006110808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板にＡｇ微粒子の層が形成されてなる電波透過性波長選択板において、透明基板に誘電体層が形成され、該透明誘電体層の上にＡｇ微粒子が形成されてなり、該Ａｇ微粒子が少なくとも２カ所以上の頂点部を有し、頂点部の高さが８〜１５０ｎｍの範囲にあり、Ａｇ微粒子の外接円の直径が１００ｎｍ〜６００ｎｍの範囲にあり、透明基板の表面面積に対するＡｇ微粒子の被覆面積の割合が０．２〜０．８の範囲であることを特徴とする電波透過性波長選択板。
【請求項２】
Ａｇ微粒子に３カ所以上の頂点部を有する場合は、該Ａｇ微粒子における最隣接の３カ所の頂点を結ぶ直線の角度が６０度以上であることを特徴とする請求項１に記載の電波透過性波長選択板。
【請求項３】
式（２）で定義する乱反射比（Ｈｒ）を０.１以下とすることを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載の電波透過性の波長選択板。
【数２】
2006110808.tif 000005
ここで、Ｒnは波長５５０ｎｍにおけるＡｇ微粒子層側の正反射率であり、Ｒtは波長５５０ｎｍにおけるＡｇ微粒子層側の乱反射を含む反射率
【請求項４】
近赤外線遮蔽係数（Ｅｓ）を０.３以上とすることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の電波透過性の波長選択板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、建造物、自動車などの窓ガラスに到来する電波および可視光線を効
率よく透過させることができるとともに、太陽の熱線を反射して充分な断熱性を
発揮する電波透過性波長選択板の作製法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、日射を遮蔽することを目的として、導電性薄膜を被覆した窓ガラス、または導電性薄膜を塗布したフィルムを貼り付けた窓ガラスが普及し始めた。
【０００３】
このような窓ガラスを高層ビルに施工すると、ＴＶ周波数帯域の電波を反射して、ＴＶ画面にゴーストを発生させる原因となる。さらに、屋内に設けたアンテナを用いて衛星放送を受信することが、困難となる。
【０００４】
また、住宅用窓ガラス或いは自動車用窓ガラスとして用いた場合には、携帯電話による通信が困難となる恐れがある。  また、室内アンテナや車両の窓ガラスに設けられたガラスアンテナの利得を低下させる原因となった。
【０００５】
このような事情から、現状では、ガラス基板に電気抵抗の比較的高い透明な熱線反射膜を被覆して、可視光線の一部を透過させるとともに電波の反射を低減させて電波障害を防止することが行なわれている。
【０００６】
例えば、導電性膜付きガラスの場合には、ガラス基板に被覆させた導電性膜を、入射電波の電界方向に平行な導電性膜の長さを電波の波長の１／２０倍以下になるように分割し、電波障害を防止することが知られている（特許文献１）。
【０００７】
しかしながら、前記の電気抵抗の比較的高い透明な熱線反射膜を被覆する方法は、電波の反射を低減して電波障害を防止することは出来るが、熱線遮蔽性能が十分ではなく、生活の快適性において問題があった。
【０００８】
また、特許文献１には、導電性膜を分割する方法が示されている。分割する長さが太陽光の大部分を占める可視光、近赤外光の波長より非常に大きいので、これらの光は全て反射してしまい、電波障害を防止し充分な日射遮蔽性能を有する電波透過性波長選択スクリーンガラスは得られるが、可視光の透過性が確保できないという問題がある。さらに、開口部のサイズが２ｍ×３ｍのように大きな窓では、例えば、衛星放送波を透過させるためには、衛星放送の波長約２５ｍｍの１／２０、少なくとも導電膜を１.２５ｍｍ平方に、好ましくは０.５ｍｍ平方に切断しなければならない。大面積の導電性膜をこのような小さいセグメントに、例えば、イットリウム−アルミニウム−ガーネットレーザで切断するには、長時間を要し現実的でない等の問題があった。
【０００９】
そこで、本発明者等は、透明基板にＡｇでなる微粒子を形成した電波透過性波長選択板を提案した（特許文献２）。
【００１０】
特許文献２に示すような、粒状のＡｇを透明基板に形成してなる電波透過性波長選択ガラスにおいて、（１）式で定義する近赤外線遮蔽係数（Ｅｓ）を高くするために、分光反射率の最大となる波長（以下、共振波長と略す）を６００ｎｍ〜１５００ｎｍの範囲にシフトさせると、全波長域において、分光反射率が低くなるという不具合が生じた。
【００１１】
【数１】
2006110808.tif 000003
【００１２】
ここで、λ：膜面に入射する電磁波の波長
Ｒdp：波長λにおける膜面の反射率
【特許文献１】特開平６−４０７５２号公報
【特許文献２】特開２０００−２８１３８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明者等は、上記の不具合は、微粒子の底面が占める面積の割合（以下、面積比と略す）が０．２５程度と小さいことに原因があることを見出し、面積比を増大させるために、透明基板表面のＡｇ微粒子にＡｇ層を積層した後、加熱処理を行い、Ａｇ微粒子の周囲にＡｇのみでなる微粒子を形成する方法を特願２００３−１０７７５２号で提案した。
【００１４】
特願２００３−１０７７５２号の提案では、Ａｇ微粒子を透明基板に形成してなる電波透過性波長選択ガラスにおいて、近赤外線遮蔽係数（Ｅｓ）を高くするために、分光反射率の最大となる波長（以下、共振波長と略す）を６００ｎｍ〜１５００ｎｍの範囲にする必要があり、Ａｇ微粒子の粒径を大きくしていたが、Ａｇ微粒子の粒径を大きくすると、乱反射が発生して、ヘーズ値が高くなるという不具合があった。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の電波透過性波長選択板は、透明基板にＡｇ微粒子の層が形成されてなる電波透過性波長選択板において、透明基板に誘電体層が形成され、該透明誘電体層の上にＡｇ微粒子が形成されてなり、、該Ａｇ微粒子が少なくとも２カ所以上の頂点部を有し、頂点部の高さが８〜１５０ｎｍの範囲にあり、Ａｇ微粒子の外接円の直径が１００ｎｍ〜６００ｎｍの範囲にあり、透明基板の表面面積に対するＡｇ微粒子の被覆面積の割合が０．２〜０．８の範囲であることを特徴とする電波透過性波長選択板である。
【００１６】
また、本発明の電波透過性波長選択板は、前記電波透過性波長選択板において、Ａｇ微粒子に３カ所以上の頂点部を有する場合は、該Ａｇ微粒子における一つの頂点部と該頂点部に隣接する２つの頂点部とを結ぶ２つの直線のなす角度が６０度以上であることを特徴とする電波透過性波長選択板である。
【００１７】
また、本発明の電波透過性波長選択板は、前記電波透過性波長選択板において、式（２）で定義する乱反射比（Ｈｒ）を０.１以下とすることを特徴とする電波透過性波長選択板である。
【００１８】
【数２】
2006110808.tif 000004
【００１９】
ここで、Ｒnは波長５５０ｎｍにおけるＡｇ微粒子層側の正反射率であり、Ｒtは波長５５０ｎｍにおけるＡｇ微粒子層側の乱反射を含む反射率
また、本発明の電波透過性波長選択板は、前記電波透過性波長選択板において、Ａｇ微粒子から成る層の表面に電磁波が入射し、近赤外線遮蔽係数（Ｅｓ）を０.３以上とすることを特徴とする電波透過性の波長選択板である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明による電波透過性波長選択板は、ＴＶ放送、衛星放送、携帯電話それぞれの周波数帯域の電波に対して反射率を低減させるとともに、充分な日射遮蔽性能と乱反射の少ない透視性に優れた可視光線透過性を有する、自動車用窓ガラス、建築用窓ガラスとして好適な電波透過性波長選択板を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明に用いる透明基板は、ガラス基板、透明セラミック基板、耐熱性透明プラスチック基板等を用いることができ、建物や、車両の開口部に、本発明の電波透過性波長選択板を用いる場合は、ガラス基板が望ましいが、使用する場所等に応じてガラス基板、透明セラミック基板、耐熱性透明プラスチック基板等を選択することが好ましい。
【００２２】
図１は、本発明の電波透過性波長選択板の構成を示す断面図である。有透明基板５の上に透明誘電体層２を形成させ、透明誘電体層２の上にＡｇ微粒子層３が形成される。
【００２３】
透明誘電体層２としては、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｉｎ、Ｗ、Ｖ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、ステンレス鋼のいずれかの金属の窒化物、Ａｌ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｉｎ、Ｗ、Ｖ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、ステンレス鋼のいずれかの金属の酸化物、或いはこれらを多層に積層したもの等を用いることができる。
【００２４】
特に、Ａｌ、Ｓｉの金属の窒化物、Ａｌ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｉｎの金属の酸化物は無色透明であるので、可視光透過率の高い電波透過性波長選択板を必要とする建築用、車輌用窓ガラスに好適である。
【００２５】
なお、Ａｇ微粒子上に、さらに透明誘電体層４を被覆すると、透明基板上に成膜した透明誘電体層４との相互作用によって可視光透過率が高められるとともに、Ａｇ粒状層の変質防止等の保護膜としての作用をするのでより好ましく、この場合に用いる透明誘電体層４としては、Ａｌ、Ｓｉの窒化物、Ａｌ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｉｎの酸化物または、これらを多層に積層したものが望ましい。
【００２６】
透明誘電体層４を成膜する方法については、スパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ法、イオンプレーティング等の成膜法を用いる。特に、ＤＣマグネトロンスパッタリング法は生成する層の均一性、生産性の点より好ましい。
【００２７】
Ａｇ微粒子は、透明誘電体層２に成膜されたＡｇ膜を加熱することにより、球あるいは楕円体を平面で切り取った形状のＡｇ微粒子が少なくとも２個以上重なり合い、従って２カ所以上の頂点部を有している形状のＡｇ微粒子を形成する。図２の（イ）は、透明基板の法線方向からＡｇ微粒子を観察したときの模式図であり、図１の（ロ）は、（イ）のａａ´垂直断面を示す。図１（ロ）のＰ１、Ｐ２はＡｇ微粒子の頂点部を示し、ｈ１、ｈ２はＡｇ微粒子の高さを示す。
【００２８】
Ａｇ微粒子の形状は、図２に示すような球体を平面で切り取った形状の微粒子が合体したものの他に、ドーム状、扁平状、鱗片状、針状の微粒子が合体したものであり、光学的な性能から、球体を平面で切り取った形状、ドーム状、扁平状、鱗片状の形状のＡｇ粒子が重なり合ったような形状のＡｇ微粒子が好ましい。
【００２９】
図３は、３カ所以上の頂点部を有するＡｇ微粒子の例を模式的に示すものである。Ｐ５の頂点部に隣接する頂点部はＰ４とＰ６であり、頂点部Ｐ５に隣接する２つの頂点部を結ぶ２つの直線のなす角度がθである。
【００３０】
本発明のＡｇ微粒子において、電波透過性能を有する用にするために、θは６０度以上とすることが望ましい。
【００３１】
本発明は、図２に示すＡｇ微粒子の形状制御が容易となり、その結果、本発明の電波透過性波長選択板は、式（１）で定義する乱反射比を増大することなく、共振波長を近赤外線遮蔽係数の大きい６００ｎｍ〜１５００ｎｍの範囲にすることが可能となり、優れた断熱性を有する電波透過性波長選択板が得られるものである。
【００３２】
本発明の電波透過性波長選択板は、透明基板に平行となるＡｇ微粒子の面を多く有するＡｇ微粒子から成り、かつ粒子の頂点部の高さが外接円の直径に比べて小さい。その結果、本発明の電波透過性波長選択板は、式（１）で定義する乱反射比を増大することなく、共振波長を近赤外線遮蔽係数の大きい６００ｎｍ〜１５００ｎｍの範囲に入るように設計することが可能となり、優れた断熱性を有する電波透過性波長選択板が得られるものである。
【００３３】
透明基板上に直接成膜したＡｇ連続膜を加熱すると、膜中のＡｇ原子が単位体積あたりの表面エネルギーが小さい部位に移動する。その結果、連続膜に欠損部位が生じ、網目状の層に変化する。さらに、加熱を続けると、少なくとも２カ所以上の頂点部を有するＡｇ微粒子に変化し、最後に独立粒が生成する。この粒形変化は非常に短い時間内に完了するので、２カ所以上の頂点部を有するＡｇ微粒子を形成することは非常に困難であった。
【００３４】
本発明の電波透過性波長選択板は、透明基板よりＡｇ膜との親和性の高い誘電体膜、例えば酸化チタン膜上にＡｇ膜を積層することで、Ａｇ膜中のＡｇ原子は加熱中にエネルギーが低い部位に移動する速度が減少することを見出し、比較的容易に２カ所以上の頂点部を有するＡｇ微粒子を得ることを可能とするものである。
【００３５】
また、粒状Ａｇの単位面積あたりの数は、透明誘電体膜の膜厚で制御することでき、さらに、Ａｇ微粒子の粒径は、透明誘電体膜上に積層するＡｇ膜の膜厚で制御可能であることが見出され、したがって、粒状Ａｇの単位面積あたりの数は、透明誘電体膜の膜厚で制御することが好ましい。さらに、Ａｇ微粒子の粒径は、透明誘電体膜上に積層するＡｇ膜の膜厚で制御することが好ましい。
【００３６】
なお、Ａｇ微粒子の好ましい粒子高さは、８ｎｍ〜１５０ｎｍであるが、これらに限定するものではない。また、Ａｇ微粒子の外接円の直径が１００ｎｍ〜６００ｎｍの大きさが好ましい。粒子高さは、図２において、Ａｇ微粒子の頂点部の高さである。
【００３７】
Ａｇ膜は、膜厚を５ｎｍ〜１μｍの範囲とすることが好ましい。５ｎｍ未満では、Ａｇ膜が島状になり、均一に成膜されないので好ましくなく、１μｍを越えると透明基板の軟化点以下の加熱温度で、粒状に形成することが困難となり、好ましくない。
【００３８】
Ａｇ膜を成膜する方法については、特に限定するものではなく、スパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ法、イオンプレーティング等の成膜法を用いることができる。特に、ＤＣマグネトロンスパッタリング法は生成する層の均一性、生産性の点より好ましい。
【００３９】
Ａｇ膜の加熱方法は、抵抗加熱、ガス燃焼加熱、レーザまたは電子線などのビームの照射、または誘導加熱等の方法で行える。
【００４０】
耐熱性透明プラスチックを透明基板とする場合、該透明基板にほとんど吸収されないレーザービームによる加熱や、導電性物質のみを選択的に加熱できる誘導加熱は、好適な加熱方法である。
【００４１】
なお、加熱条件については、加熱温度は１５０℃以上で透明基板が軟化しない温度以下とすることが好ましい。
【００４２】
Ａｇ膜を形成した透明基板を、例えば加熱炉などで加熱する場合、粒状Ａｇ合金や、Ａｇ微粒子を数時間で成形するために、１５０℃以上にすることが望ましい。
【００４３】
透明基板の温度が軟化点を越えると、特に、透明基板に酸化物ガラスを用いる場合、Ａｇ原子が透明基板内に拡散し、電磁波の反射による波長選択性が著しく低下する。
【００４４】
なお、Ａｇ膜をレーザまたは電子線などのビームの照射、あるいは誘導加熱で行う場合、透明基板を加熱せずに、Ａｇ膜を選択的に加熱できるので、加熱温度の上限を、Ａｇの沸点２２１２℃とすることができる。
【００４５】
また、加熱時間は、抵抗加熱、ガス燃焼加熱の場合、数秒から数時間、レーザまたは電子線などのビームの照射、あるいは誘導加熱の場合は、マイクロ秒から数秒とすることが好ましい。なお、加熱後、自然放冷による冷却、あるいは空気を吹き付けるなどの強制放冷で冷却してもよい。
【００４６】
さらに、本発明の電波透過性波長選択板は、Ａｇ膜の厚み、透明誘電体膜の厚みおよび加熱条件により、Ａｇ微粒子の粒径、個数、分布等を制御し、近赤外線を選択的に反射するものである。個数は、粒径に対して、基板表面の占有面積比として把握してもよい。
【００４７】
近赤外線を選択的に反射するためには、（２）式で定義した近赤外線遮蔽係数（Ｅｓ）が、０．３以上であることが好ましい。近赤外線遮蔽係数を０．３以上とするために、電波透過性波長選択板の分光反射率が最大となる波長は６００ｎｍ〜１５００ｎｍの波長範囲にあることが望ましく、また、Ａｇ微粒子の個数、粒径を制御し、Ａｇ微粒子の外接円の直径は１００ｎｍ〜６００ｎｍの範囲にあることが好ましい。さらに、望ましくは、占有面積比は０．２〜０．８の範囲にあることが好ましい。
【００４８】
Ａｇ微粒子の占有面積比が０．２未満になると、粒状Ａｇ間の平均距離が粒径の２倍以上となり、粒子間の相互干渉が小さくなり、有効な近赤外線遮蔽係数を有する電波透過性波長選択板が得られない。
【００４９】
また、Ａｇ微粒子の外接円の直径が１００ｎｍ未満の場合、分光反射率の最大値が６００ｎｍ以下となってしまい。６００ｎｍを越える場合、分光反射率の最大値が１５００ｎｍ以上となり、近赤外線遮蔽効率が激減する。
【００５０】
占有面積比が０．８を越えると、ほとんどのＡｇ微粒子が連鎖上となって、電波を透過させるという波長選択の機能が失われてしまう。
【００５１】
Ａｇ微粒子の占有面積比は、例えば、透明基板の法線方向から電界放射型走査電子顕微鏡（ＦＥ−ＳＥＭ）で観察した写真（以後ＳＥＭ画像という）を得、Ａｇ微粒子とＡｇ微粒子の存在しない透明基板の表面とを画像処理でＳＥＭ画像を２値化して、Ａｇ微粒子の総面積をＳＥＭ画像全体の面積で除して、求めることができる。
【００５２】
また、Ａｇ微粒子の粒径は、ＳＥＭ画像を２値化して得られる画像でＡｇ微粒子の個数を求め、該個数でＡｇ微粒子の総面積を除し、求められた面積を同面積の円として、その円の直径をＡｇ微粒子の粒径としてもよい。
【００５３】
従って、例えばＡｇ微粒子の形状がドーム状の場合は、粒径はドームの底面の直径に対応する。
【００５４】
本発明の電波透過性波長選択板において、Ａｇ微粒子の上層に透明誘電体層を設けることが好ましい。
【００５５】
Ａｇ微粒子の上層に透明誘電体層を設ける場合には、Ａｇ微粒子を形成した後、該Ａｇ微粒子の上に透明誘電体層を積層する。
【実施例１】
【００５６】
実施例１
本発明の電波透過性波長選択板は次に示す手順で製造した。透明基板としてフロートガラス板を用いた。
【００５７】
（１）先ず、洗浄した厚さ３ｍｍのフロートガラス板をＤＣマグネトロンスパッタリング装置内に入れ、槽内の真空度が２〜４×１０−４Ｐａに達するまで排気した。なお、ターゲットとガラス基板との距離は９０ｍｍにした。
【００５８】
（２）次に、Ｔｉターゲット（直径１５２ｍｍ、厚み５ｍｍ）にＤＣ２００Ｗの電力で印加して放電させ、膜厚１００ｎｍの酸化チタン膜を成膜した。成膜中、Ａｒと酸素の混合ガスの圧力を１Ｐａに制御した。
【００５９】
（３）次に、Ａｇターゲット（直径１５２ｍｍ、厚み５ｍｍ）にＤＣ３０Ｗの電力で印加して放電させ、膜厚１２．７ｎｍのＡｇ膜を成膜した。成膜中、Ａｒガスの圧力を１Ｐａに制御した。
【００６０】
（４）次いで、酸化チタン膜とＡｇ膜を積層した透明基板を雰囲気温度５５０℃の恒温炉で５分間加熱したのち、炉外に取り出し放冷することにより、透明基板の表面に、粒状のＡｇを形成した。
【００６１】
日立製作所製Ｕ−４０００型自記分光光度計を用いて波長３００〜２５００ｎｍの範囲で得られた電波透過性波長選択板の分光反射率、分光透過率を測定した。さらに、測定値を式（２）に代入し、近赤外線遮蔽係数を算出した。
【００６２】
その結果、共振波長が８７５ｎｍで近赤外線遮蔽係数が０．４５と大きく、かつ乱反射比が０．０１で、可視光透過率が５５％の良好な波長選択板が得られた。
【００６３】
さらに、日立製作所製Ｓ−４５００型ＦＥ−ＳＥＭを用いて酸化チタン膜上に生成したＡｇ微粒子の形態を観察した。
【００６４】
その結果、該Ａｇ微粒子は、２カ所以上の頂点部を有するＡｇ微粒子でなり、微粒子の面積の割合が０．４８であった。粒子の高さは２０ｎｍから８０ｎｍで、誘起電流の経路長は１００ｎｍ〜３５０ｎｍの範囲であった。  
【００６５】
比較例１
本発明の電波透過性波長選択板は次に示す手順で製造した。透明基板としてフロートガラス板を用いた。
【００６６】
（１）先ず、洗浄した厚さ３ｍｍのフロートガラス板をＤＣマグネトロンスパッタリング装置内に入れ、槽内の真空度が２〜４×１０−４Ｐａに達するまで排気した。なお、ターゲットとガラス基板との距離は９０ｍｍにした。
【００６７】
（２）次に、Ａｇターゲット（直径１５２ｍｍ、厚み５ｍｍ）のエロージョン域にＰｄチップ（１０ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍの直方体）４個を等間隔に載置した。このターゲットにＤＣ３０Ｗの電力で印加して放電させ、膜厚１３ｎｍのＡｇ−Ｐｄ混合膜を成膜した。成膜中、Ａｒガスの圧力を１Ｐａに制御した。
【００６８】
（３）次いで、Ａｇ混合膜を成膜した透明基板を雰囲気温度５００℃の恒温炉で５分間加熱したのち、炉外に取り出し放冷することにより、透明基板の表面に、粒状のＡｇ合金を形成した。
【００６９】
（４）次いで、Ａｇターゲット（直径１５２ｍｍ、厚み５ｍｍ）にＤＣ３０Ｗの電力で印加して放電させ、粒状のＡｇ合金に膜厚１３ｎｍのＡｇ膜を積層した。なお、成膜中の雰囲気は、圧力を１ＰａのＡｒガスとした。
【００７０】
（５）次いで、Ａｇ膜を積層したものを雰囲気温度４５０℃の恒温炉で５分間加熱した後、炉外に取り出し放冷することにより、基板ガラス表面にＡｇ微粒子を作製した。
【００７１】
（６）次いで、（４）と（５）の工程をさらに２回繰り返して、Ａｇ微粒子の粒径Ｌと高さを増大させた。
【００７２】
その結果、半球状の孤立粒から成るＡｇ微粒子が生成し、共振波長が７２０ｎｍで近赤外線遮蔽係数が０．５１と高い値となった。  しかし、乱反射比が０．６３と高くなり、良好な波長選択板が得られなかった。
【００７３】
実施例１は、乱反射比を０．１以下に抑えながら共振波長を６００ｎｍ〜１５００ｎｍの範囲にシフトさせて、ヘーズ値が低く、かつ近赤外線遮蔽係数の高い波長選択板が得られた。しかし、比較例１の場合、近赤外線遮蔽係数が高い波長選択板を作製できたが、ヘーズ値が低いものは得られなかった。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】電波透過性波長選択板の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】頂点部が２カ所のＡｇ微粒子の形状を示す模式図である。
【図３】頂点部が３カ所以上のＡｇ微粒子の形状を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１    Ａｇ微粒子
２    透明誘電体層
３    Ａｇ微粒子層
４    透明誘電体層
５、５´      透明基板
【図１】
2006110808.tif 000006
【図２】
2006110808.tif 000007
【図３】
2006110808.tif 000008