(57)【要約】【課題】  駆動電流が小さく、高速で動作可能な光位相変調器を提供すること。【解決手段】  基板５上に、二次の電気光学効果を有し、基板よりも高い誘電率を有する材料からなるクラッド６および導波路コア７を含む導波路を備える。クラッド６上には、＋電極８電極および−電極１０が、電極片９ａおよび電極片１１ｂの間隔が、導波路コア７の幅よりも広い間隔で導波路中の光の進行する方向に沿って配置され、かつ導波路コア７に対して上記方向に電界を印加するようにクラッド６上に配置されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、二次の電気光学効果を有し、前記基板よりも高い誘電率を有する材料からなるコアを含む導波路を備え、該導波路にプラス電極およびマイナス電極を設けて光信号を変調する光位相変調器であって、
前記プラス電極および前記マイナス電極は、前記コアの幅よりも広い間隔で前記導波路中の光の進行する方向に沿って配置され、かつ前記コアに対して前記方向に電界を印加するように前記導波路上に配置されていることを特徴とする光位相変調器。
【請求項２】
前記プラス電極および前記マイナス電極は複数個であり、前記方向に沿って、前記プラス電極および前記マイナス電極が交互になるように前記導波路上に配置されていることを特徴とする請求項１記載の光位相変調器。
【請求項３】
前記材料は、ＫＴａｘＮｂ１−ｘＯ3（０＜ｘ＜１）であることを特徴とする請求項１または２記載の光位相変調器。
【請求項４】
前記導波路のうち、前記コア以外の領域であって、前記プラス電極および前記マイナス電極による電界が印加される領域の少なくとも一部分を除去することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光位相変調器。
【請求項５】
前記導波路は、リッジ型導波路であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光位相変調器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気信号で光信号の経路を切り替える光スイッチ等に応用する光位相変調器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のインターネットの普及に伴い、光通信技術が発達しており、大容量の情報を伝送可能な光ネットワークの形成が求められている。そのような光ネットワークの実現にあたり、光スイッチに対する要求が増している。特に、光パケットに対してルーティングを行うためには、高速かつ高集積度を実現する小型の光スイッチが必要になってくる。
【０００３】
このような光スイッチとしては、位相変調器を用いて構成されたマッハツェンダー型の光スイッチがあるが、この位相変調器を構成するには電気光学素子が必要になる。この電気光学素子を構成する材料として、２次の電気光学効果を有し、高い誘電率を有する誘電体材料が用いられる。このような誘電体材料として、ＫＴａｘＮｂ１−ｘＯ3（０＜ｘ＜１）（ＫＴＮとも呼ぶ）が好ましく用いられる。
【０００４】
ＫＴＮ結晶は、立方晶から正方晶さらに菱面体晶へと温度により結晶系を変える性質を有しており、立方晶においては、大きい２次の電気光学効果を有することが知られている。特に、立方晶から正方晶への相転移温度に近い領域では、比誘電率が発散する現象が起こり、比誘電率の自乗に比例する２次の電気光学効果はきわめて大きい値となる。従って、位相変調の際に必要になる印加電圧を低く抑えることが可能となる。
【０００５】
さて、例えば、広く知られている従来技術による一般的な光スイッチとして、図1のように、導波路のコア部分に＋電極と−電極とを形成して、該両電極間に電圧を印加するものが提案されている（特許文献１参照）。図１（ａ）および（ｂ）は、従来の光位相変調器の構成図であり、図１（ａ）は、従来の光位相変調器の上面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ‘線切断断面図である。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−３４６５６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図１において、基板１上にコア２が形成されており、コア２の両側に＋電極３と−電極４とが対向するように設けられている。このような構成では、電極３および４の間に印加された電位差のために、その間の領域に電界Ｅｃｏｒｅが生じる。すると、コア２が電気光学効果を有する物質の場合、電界の印加された部分の屈折率が変化し、コア２の屈折率は、コア２に生じた電界に応じて変化する。コア２を構成する材料が一次の電気光学効果が支配的な物質の場合、コア２の屈折率の変化量Δｎは、コア２に生じた電界の量に比例する。  
Δｎ∝Ｅｃｏｒｅ
また、コア２を構成する材料が、二次の電気光学効果が支配的な物質の場合、コア２の屈折率の変化量Δｎは、コア２に生じた電界の量の二乗に比例する。  
Δｎ∝Ｅｃｏｒｅ２
このとき、一次、二次いずれの電気光学効果の場合も、コア２に沿って伝播していく光は、屈折率の変化に伴って位相の変化Δφを受ける。  
Δφ＝Δｎ*Ｌ／λ  
ここで、Ｌは屈折率が変化したコア部分の長さであり、λは伝搬光の波長である。
【０００８】
従って、従来技術において、二つの電極３および４の間に印加された電圧によって、コア２を進行する光の位相をΔφだけ変調することが可能になる。
【０００９】
しかし、コア２が特に高誘電率材料を用いた場合は、従来技術では以下のような欠点が顕在化する。すなわち、コア２に高誘電率材料を用いた場合、電極３および４の間の電気容量Ｃが大きくなる。このとき、電極３および４の間に一定の電圧を印加するのに必要な電流の量は、電気容量Ｃの増加に応じて増加する。コア２に対して、位相変調に必要十分な電界を印加するのに必要な電極３および４の間に印加する電圧をＶ０とする。この電圧Ｖ０を印加するために充電する必要がある電荷の量Ｑは、Ｑ＝ＣＶ０となる。コア２を伝播する光の位相を時間的に変化させるには、コア２に印加する電界を時間的に変化させる必要がある。例えば、ある時間τの間に電荷Ｑを充電するには、  
Ｉ＝Ｑ／τ＝ＣＶ０／τ          （１）
の駆動電流を流す必要がある。例えば、Ｃ＝１ｎＦの容量を有するスイッチで駆動電圧Ｖ０＝３Ｖ、動作周波数１ＧＨｚで動作させようとした場合、時間τは約３００ｐｓ程度となる。そのため、充電時に最大１０Ａもの電流が必要になり、高速で駆動電流が大きく、消費電力の大きい駆動回路が必要になってしまう。
【００１０】
このように、コア部分に高誘電率材料を用いた場合に、その駆動電流が大きくならないようにするためには、極力駆動電圧Ｖ０を小さくし、かつ電気容量Ｃを小さく設計することが必要になる。しかしながら、このためには、まず電極に印加する電圧が、有効にコアに印加されることが必要になる。
【００１１】
なるべくコアだけに電界を生成するためには、極力電極の間隔をコア（導波路）の幅と同程度に狭くすることが必要になる。しかし、駆動電圧Ｖ０を下げるために電極間隔（コアの両側に対向して配置された電極間の間隔）を狭くするほど電極間の電気容量Cは増大してしまい、式（1）で決まる充電に必要な電流を大きく下げることは難しい。逆に、電気容量Cを下げるためには、電極の問隔を広げればよいが、そうすると、印加した電圧がコア部分に有効にかかりにくくなるために、必要な電界をコアに生成させるための電圧Ｖ０が増大してしまい、やはり駆動電流を減らすことはできないという問題があった。
【００１２】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、駆動電流が小さく、高速で動作可能な光位相変調器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、このような目的を達成するために、請求項１記載の発明は、基板上に、二次の電気光学効果を有し、前記基板よりも高い誘電率を有する材料からなるコアを含む導波路を備え、該導波路にプラス電極およびマイナス電極を設けて光信号を変調する光位相変調器であって、前記プラス電極および前記マイナス電極は、前記コアの幅よりも広い間隔で前記導波路中の光の進行する方向に沿って配置され、かつ前記コアに対して前記方向に電界を印加するように前記導波路上に配置されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記プラス電極および前記マイナス電極は複数個であり、前記方向に沿って、前記プラス電極および前記マイナス電極が交互になるように前記導波路上に配置されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、前記材料は、ＫＴａｘＮｂ１−ｘＯ3（０＜ｘ＜１）であることを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記導波路のうち、前記コア以外の領域であって、前記プラス電極および前記マイナス電極による電界が印加される領域の少なくとも一部分を除去することを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記導波路は、リッジ型導波路であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明によれば、プラス電極およびマイナス電極の間隔を広げることができ、上記電極間の電気容量を大幅に低減することが可能となる。このとき、印加する電圧の大きさは大きくなるが、それ以上に電気容量の減少の効果が大きいので、駆動電流が小さく、高速で動作可能な光位相変調器を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。  
【００２０】
（第１の実施形態）  
図２（ａ）および（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る光位相変調器の構成図であり、図２（ａ）は、本実施形態に係る光位相変調器の上面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＢ−Ｂ‘線切断断面図である。  
図２において、高誘電率のＫＴａｘＮｂ１−ｘＯ3（０＜ｘ＜１）（ＫＴＮ）からなる導波路コア７およびクラッド６が、ＫＴＮと比べて誘電率の低いＫＴａＯ３からなる基板５上に形成されることにより導波路を形成している。すなわち、基板５上に形成したクラッド６に、導波路コア７が囲まれるように形成された埋め込み導波路となっている。このとき、クラッド６の屈折率は、導波路コア７の屈折率よりも実効的に低くすることは言うまでもない。
【００２１】
クラッド６上には、導波路コア７に電界を印加するために、二つの金属電極である、＋電極８および−電極１０が、導波路コア７の両側に互いに対向するように、共にくし型にして配置されている。＋電極８は、複数の電極片９ａと、該電極片９ａのそれぞれの一方端を接続する電極部９ｂとからなり、−電極１０は、複数の電極片１１ａと、該電極片１１ａのそれぞれの一方端を接続する電極部１１ｂとからなる。このとき、各電極片９ａと各電極片１１ａとは、互いに略平行に、かつそれら電極片の長手方向が、導波路コア７を伝搬する光の進行方向Ｐに対してほぼ直交する方向になるように配置されている。また、各電極片９ａと各電極片１１ａとは、導波路コア７と必要最小限のクラッド６とに電界を印加できるように、導波路コア７の対応する領域をほぼ覆うように配置されている。
【００２２】
また、クラッド６の各電極片９ａ間、および各電極片１１ａ間には、略矩形でありクラッド６を貫通する深さである、除去領域１２が形成されている。すなわち、除去領域１２は、クラッド６について、高誘電率部が除去された領域であり、導波路コア７と必要最小限のクラッド６以外の部分に極力電界が印加されないようにできる、クラッド６のうち電界が印加される領域の少なくとも一部分である。このように、導波路のうち、各電極片の間で、導波路コア７以外の高誘電率部分を除去することで、導波路コア７と必要最小限のクラッド６以外の部分に極力電界がかからないようになっている。
【００２３】
なお、除去領域１２の形状は略矩形に限定されない。すなわち、導波路コア７および必要最小限のクラッド６以外の部分に極力電界が印加されないようにするために、各電極片９ａ間、および各電極片１１ａ間の領域において、クラッド６から高誘電率部を除去することが重要であって、除去領域１２の形状は、導波路コア７および必要最小限のクラッド６以外の部分に電界が極力印加されないような適切な形状であればいずれであってもよい。
【００２４】
さらに、導波路コア７上での隣り合う電極片９ａと電極片１１ａとの間隔Ｌ１は、導波路コアの幅Ｗに比べて広くなっていて（Ｌ１＞W）、電極の間の電気容量が小さくなるようになっている。導波路の上の各電極片の数は、＋、−共に、隣り合う異符号の電極で電界形成されるような数であればよく、電極片９ａ、１１ａ共にn個（ｎ≧２）とすればよい。また、電極片９ａまたは電極片１１ａのいずれか一方がｎ個であり、他方がｎ−１個であってもよい。さらに、導波路コア７の上の電極片の幅Ｗ２は、問隔Ｌ１に比べて非常に小さく設定する（Ｌ１＞＞Ｗ２）。
【００２５】
上述の間隔Ｌ１と幅Ｗとの関係を以下で説明する。  
後述するが、印加する電圧と電気容量とにはトレードオフがある。電気容量Cと電圧Ｖ０とのトレードオフによって決まる駆動電流を従来技術と比較するために、例として、本実施形態において、導波路コアを直方体と仮定し、その断面の面積の大きさを面積Ｓ（＝Ｗ×Ｗ）とする。このとき、例えば、導波路コアの長手方向に長さ１０Ｗだけ進む毎に周期的に電極片９ａおよび電極片１１ａを交互になるように配置するとする。この電極間（隣り合う電極片９ａと電極片１１ａとの間の）の電気容量は、Ｗ*Ｗ*１０Ｗの直方体の長手方向の両端に電極をつけた場含の電気容量で近似することができる。この電気容量は、
Ｃ１＝εＷＷ／（１０Ｗ）＝０．１εＷ        （２）
となる。ここでεは導波路コアの誘電率である。
【００２６】
また、従来技術のように、導波路コアの長手方向に対して直交方向に＋と一との電極を配置したときの、上述の直方体と同じ直方体の容量は,Ｗ*Ｗ*１０Ｗの直方体の長手方向に沿った、向かい合う長い面に電極をつけた場合の容量で近似することができる。このときの容量は、  
Ｃ２＝εＷ（１０Ｗ）／Ｗ＝１０εＷ          （３）
となる。
【００２７】
式（２）および（３）から分かるように、本実施形態に係るＣ１は従来技術のＣ２と比較して容量が１／１００の大きさであり、電気容量については、本実施形態は従来技術１００の改善となる。また、＋電極と−電極との間の間隔については、従来技術では短辺の長さWであったのに対して、本実施形態の場合は、長辺の１０Ｗとなる。従って、導波路コアに同程度の電界をかけるのに従来技術と比較して１０倍の電圧が必要になる（ここでは、導波路コアに沿った方向の一定の位相（屈折率）変化を生成するのに必要な印加電界は、導波路コアの長手方向に電圧を印加した場合でも、それと直交する方向に印加した場合でも同じとして比較している）。
【００２８】
しかしながら、結果として、上述した式（１）から分かるように、充電するのに必要なトータルの電流は、Ｃ、Ｖ０の効果を合わせて従来技術に比べて１／１０になることがわかる。つまり、同じように導波路コアにのみ電界をかける状況であっても、本実施形態に係る位相変調器の方が、従来のものよりも駆動に必要な電流の量を少なくすることができる。よって、間隔Ｌ１を導波路コアの幅Ｗよりも大きくすることによって、＋および−の電極間の電気容量を小さくすることができ、電極間に印加する電圧を考慮しても、位相変調動作に必要な駆動電流を抑えることができる。
【００２９】
実際に電極片を導波路コアに形成する際には、ある必要な長さ（導波路コアのうち電界印加により屈折率が変化する部分の長さ）Ｌの間に、例えばトータルでN＝２n個または2ｎ−１個の電極片を形成する。その中のn個が、上述のように＋電極片であり、残りのN−n個が−電極片として、これらの＋と−の電極片とを交互に等間隔に形成していくことになる。その際に、トータルの電極片の数Ｎが減って、それぞれの＋と−との電極片の間隔が広がるにつれて、＋と−との電極片の間に印加するべき電圧Ｖ０は大きくなるが、その代わりに、隣り合う異符号同士の電極片の間隔が広がること、および電極の数が減る。このため、隣り合う異符号の電極片の間の電気容量Ｃが減少する。つまり、電極片のトータル数Ｎを変えることによって、印加する電圧と電気容量とのトレードオフがある。
【００３０】
上述のトレードオフに関する従来技術からも分かるように、本実施形態の効果は、電極の距離を離すほど顕著になる。完全に導波路コアにのみ電界が印加される場合には、導波路全体の両端にのみ＋と−の電極（電極片）を配置するのが理想的であり、このとき駆動電流は最小になる。しかし、現実には、＋および−の電極の距離が離れるほど、導波路コア以外の不要な部分に電界がかかりやすくなり、容量が不要に大きくなり易くなる。また、＋および−の電極の距離があまり離れると駆動する電圧が大きくなり過ぎてしまう。従って、＋および−の電極片の数については、不要部分への電圧のかかり方や、駆動可能な電圧を考慮して適切な数を決定することになる。このように、適切な数の電極片を設けることにより、電界の印加する部分をさらに導波路コアに限定することが可能となる。
【００３１】
一方、本実施形態の電極間隔Ｌ１が、導波路コア７の幅Ｗと同じ場合は、電極間の容量は従来と同じになり、また導波路コア７に従来と同程度の電界をかけるのに必要な電圧も従来と同じになる。従って、本実施形態において上述の効果を発揮するためには、電極間隔Ｌ１が導波路コア幅Ｗよりも広くなくてはならない。
【００３２】
導波路コア２を伝搬する光が受ける電気光学効果について以下で説明する。  
上述の電極配置により導波路コア７には、方向Ｐに平行で電極片９ａから電極片１１ａへの第１の方向の電界と、方向Ｐとは逆向きで電極片１１ａから電極片９ａへの第２の方向の電界を交互に印加されている。この構成では、導波路コア７として一次の電気光学効果を利用した材料を用いる場合、電極片９ａおよび電極片１１ａの数が２つ以上あると、電界は第１の方向と第２の方向に印加されているため、変調の効果がキャンセルしてしまう。しかしながら、導波路コア７として二次の電気光学効果を利用した材料を用いると、電極片９ａおよび電極片１１ａの数が２つ以上あっても、上述のように、屈折率の変化量Δｎは電界の方向に関係なくその絶対値の二乗に比例する。従って、電界の印加方向が第１の方向および第２の方向のどちらであっても、位相の変化は、同じ方向でキャンセルされず、蓄積されていく。このため、＋と−の電極片を増やしていっても、全体として位相変調領域の長さに比例した大きさの位相変調が可能になる。
【００３３】
また、＋と−の電極片の間隔Ｌ１は導波路コア７の幅Ｗに比べて広いために、主たる印加電界が導波路コアの進行方向（長手方向）に平行なものとなる。このとき、導波路コア７を伝播する光の受ける電界による位相変化は、光の偏光に依存しなくなり、偏波無依存の位相変調器が実現可能になる。光スイッチには、偏波無依存動作が要求されるため、本実施形態に係る光位相変調器を用いて干渉計を構成すれば、そのまま光スイッチとして用いることが可能になる。
【００３４】
以下で、本実施形態に係る光位相変調器の動作を説明する。  
すなわち、間隔Ｌ１の隣り合う電極片９ａと電極片１１ｂとの間に電圧Ｖｂｉａｓが定常的に印加されている。ここに、さらにＶ０を加えてＶｂｉａｓ＋Ｖ０（＝Ｖａｌｌ）の電圧を印加する。すると、導波路コア７の部分に主に方向Ｐに平行な電界  
Ｅ＝Ｖａｌｌ／Ｌ１＝（Ｖｂｉａｓ＋Ｖ０）／Ｌ１ 
が印加される。するとＫＴＮの有する二次の電気光学効果によって、方向Ｐの導波路コア７の屈折率がΔｎだけ変化する。このＶ０＝０のときからの屈折率変化Δｎは、以下のような電圧依存性を有する。  
Δｎ∝（Ｖｂｉａｓ＋Ｖ０）２／Ｌ１２−Ｖｂｉａｓ２／Ｌ１２ 
＝２ＶｂｉａｓＶ０／Ｌ１２＋Ｖ０２／Ｌ１２          （４）
Ｖｂｉａｓ＞＞Ｖ０の場合は、式（４）の右辺の第一項だけが効いて、２ＶｂｉａｓＶ０／Ｌ１２に比例した屈折率変化が起こる。その結果、導波路コア７を方向Ｐに進行した光の位相が、Ｖ０＝０の場合と比較して、  
Δφ１＝Δｎ*Ｌ１／λ∝２ＶｂｉａｓＶ０／（λ・Ｌ１）  
だけ変化することになる。
【００３５】
図２では、電界印加方向が第１の方向となる領域が３個、第２の方向となる領域が２個あるので、電界が印加された領域としては合わせて５個の領域があり、Ｌ１＞＞Ｗ２であるので、導波路コア７のうち電界印加により屈折率が変化する部分の全体の長さ（位相変調領域の長さ）は５*Ｌ１となる。ここで、「位相変調領域」とは、導波路コアについての、導波路コアの長手方向において電界が印加される領域であって、該領域を進行する光の位相を変調する領域のことを指す。
【００３６】
すなわち、方向Ｐにおける位相変調領域の開始地点に＋電極である電極片９ａを配置し、電界印加方向が第１の方向となる領域がｎ個、第２の方向となる領域がｎ−１個である場合は、それらを合わせると２ｎ−１個の領域となり、位相変調領域の長さは、Ｌ１＞＞Ｗ２を考慮して、（２ｎ−１）*Ｌ１となる。二次の電気光学効果を持つ材料で導波路コア７が構成されているから、印加電界方向が第１の方向となる領域でも第２の方向となる領域でも、受ける位相の変化する方向は同じであり、全体としての位相変化量Δφｔｏｔは加算されて、  
Δφｔｏｔ∝（２ｎ−１）*２ＶｂｉａｓＶ０／（λ・Ｌ１）  
となる。
【００３７】
このように、光位相変調器に入力される光信号の位相を、駆動電流の量を抑えて変調することができる。また、電極片９ａおよび電極片１１ａの数に応じて、位相変調量を制御することができる。
【００３８】
なお、本実施形態では、導波路コア、クラッドにＫＴＮを用いているが、これに限定されず、基板よりも誘電率が高く、かつ二次の電気光学効果を有する材料であればいずれを用いても良い。
【００３９】
また、本実施形態では、導波路コアとクラッドとは、同じ材料を用いているが、互いに異なる材料であっても良い。その際は、導波路コアは、基板よりも誘電率が高く、かつ二次の電気光学効果を有する材料であることは言うまでもない。一方、クラッドは、上記性質を有する材料である必要はなく、導波路コアを伝搬する光の波長に透明であり、導波路コアよりも実効的に屈折率が低ければいずれの材料であってもよい。
【００４０】
さらに、＋電極８および−電極１０の配置順序も、方向Ｐに対して電極片９ａおよび電極片１１ａの順序で配置することに限定されず、方向Ｐに対して電極片１１ａおよび電極片９ａの順に配置するようにしても良い。
【００４１】
（第２の実施形態）  
図３（ａ）および（ｂ）は、本発明の第２の実施形態に係る光位相変調器の構成図であり、図３（ａ）は、本実施形態に係る光位相変調器の上面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ‘線切断断面図である。なお、なお、本実施形態において、図２と同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【００４２】
本実施形態では、第１の実施形態と同様に、高誘電率のＫＴａｘＮｂ１−ｘＯ3（０＜ｘ＜１）（ＫＴＮ）からなる導波路コア７およびクラッド６が、ＫＴＮと比べて誘電率の低いＫＴａＯ３からなる基板５上に形成されることにより導波路を形成している。ただし、本実施形態では、高誘電率部（クラッド６）を極力少なくして、リッジ型の導波路とした後に、＋電極１３および−電極１５が第１の実施形態の電極構造と同様にくし型に形成されている。すなわち、導波路コア７が埋め込まれたクラッド６を基板５上に突起するようにして、リッジ構造を形成している。
【００４３】
＋電極１３は、複数の電極片１４ａと、該電極片１４ａのそれぞれの一方端を接続する電極部１４ｂとからなり、−電極１５は、複数の電極片１６ａと、該電極片１６ａのそれぞれの一方端を接続する電極部１１ｂとからなる。このとき、各電極片１４ａと各電極片１６ａとは、互いに略平行に、かつそれら電極片の長手方向が方向Ｐに対してほぼ直交する方向になるように配置されている。また、各電極片１４ａと各電極片１６ａとは、リッジ構造であるクラッド６を囲むようにして配置されている。
【００４４】
このような電極構造のため、第１の実施形態よりもさらに不要な高誘電率部分が少なく、隣り合う異符号の各電極片間の電気容量を低減することができるので、駆動電流の少ない光位相変調器が実現可能である。
【００４５】
電極の間隔Ｌ１は、やはり第１の実施形態と同様に導波路コア７の幅Ｗに比べて広くなっていて、隣り合う異符号の電極片の間の電気容量を小さくするようになっている。動作の状況についても第１の実施形態と同じであるので、説明は省略する。
【００４６】
なお、本発明の光位相変調器を、周知のマッハツェンダ型干渉回路の位相変調部に適用し、強度変調器や光スイッチとして用いることが出来るのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】（ａ）および（ｂ）は、従来の光位相変調器の構成図であり、（ａ）は、従来の光位相変調器の上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ‘線切断断面図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る光位相変調器の構成図であり、（ａ）は、本発明の一実施形態に係る光位相変調器の上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ‘線切断断面図である。
【図３】（ａ）および（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る光位相変調器の構成図であり、（ａ）は、本発明の一実施形態に係る光位相変調器の上面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＣ−Ｃ‘線切断断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
５    基板
６    クラッド
７    導波路コア
８    ＋電極
９ａ    電極片
９ｂ    電極部
１０    −電極
１１ａ    電極片
１１ｂ    電極部
１２    除去領域
【図１】
2006085080.tif 000003
【図２】
2006085080.tif 000004
【図３】
2006085080.tif 000005