(57)【要約】【課題】小型で、圧縮比が高い真空ポンプを提供する。【解決手段】遠心流ポンプ部４を備える真空ポンプにおいて、遠心流ポンプ部４は、遠心流ポンプロータ４０１の回転軸を中心として同心円状に、複数の遠心流ポンプａ〜ｄを多段に配置し、外側の遠心流ポンプｄから内側の遠心流ポンプａの方向に排気を行なう構造とし、また、少なくとも最内側の遠心流ポンプａのシール面に、遠心流ポンプロータ４０１の回転により差圧を生じさせるリード溝が設けられるものとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するロータと該ロータの端面に対向する固定のステータとの間に該ロータの回転により排気動作を行なう遠心流ポンプ部を備えた真空ポンプであって、
上記遠心流ポンプ部のシール面に、上記ロータの回転により差圧を生じさせるリード溝を設けたこと
を特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
回転するロータと該ロータの端面に対向する固定のステータとの間に該ロータの回転により排気動作を行なう遠心流ポンプ部を備えた真空ポンプであって、
上記遠心流ポンプ部は、上記ロータの回転軸を中心として同心円状に、複数の遠心流ポンプを多段に配置し、外側の遠心流ポンプから内側の遠心流ポンプの方向に排気を行なうこと
を特徴とする真空ポンプ。
【請求項３】
回転するロータと該ロータの端面に対向する固定のステータとの間に該ロータの回転により排気動作を行なう遠心流ポンプ部を備えた真空ポンプであって、
上記遠心流ポンプ部は、上記ロータの回転軸を中心として同心円状に、複数の遠心流ポンプを多段に配置し、外側の遠心流ポンプから内側の遠心流ポンプの方向に排気を行なう構造であり、
上記複数の遠心流ポンプのうち、少なくとも最内側の遠心流ポンプのシール面に、上記ロータの回転により差圧を生じさせるリード溝を設けたこと
を特徴とする真空ポンプ。
【請求項４】
上記複数の遠心流ポンプをシールする手段として、遠心流ポンプ間にリング部材が設けられ、このリング部材の内面、外面、上面のうち少なくとも１のシール面に上記リード溝が設けられていること
を特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
上記リード溝を有する上記リング部材は上記ステータに取り付け固定されること
を特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
上記リード溝は、プレス、ローレット加工を含む鍛造、鋳物、またはホブ加工のいずれかで製作されていること
を特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置、電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析装置、粒子加速器または核融合実験装置等に用いられる真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ポンプ排気口を大気圧の状態で運転して高真空を得る、大気圧排気型の真空ポンプにおいては、圧縮比を確保するため、ターボ分子ポンプの下流側にドラッグポンプ等のポンプステージを直列に多数連結している（例えば、特許文献１の第２頁右下欄第９行〜１２行の記載、第１図を参照）。
【０００３】
しかし、上記従来構造の真空ポンプによると、ターボ分子ポンプを含む多段のポンプステージにより順次大気圧から高真空側に真空引きをしていくが、その際、ポンプステージ内およびポンプステージ間のシールを十分に行なうことができず、そのため、シール不足によるリークが生じ、各ポンプステージの圧縮比を高めることができないという問題点がある。また、ターボ分子ポンプの下流側にドラッグポンプ等のポンプステージが直列に多数連結される構造なので、真空ポンプ全体がポンプ軸方向に大型化するといった問題点もある。
【０００４】
【特許文献１】特開昭６４−６９７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、小型で、圧縮比が高い真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、（１）本発明は、回転するロータと該ロータの端面に対向する固定のステータとの間に、該ロータの回転により作動する遠心流ポンプ部を備えた真空ポンプであって、上記遠心流ポンプ部のシール面に、上記ロータの回転により差圧を生じさせるリード溝を設けたことを特徴とする。
【０００７】
また、上記目的を達成するために、（２）本発明は、回転するロータと該ロータの端面に対向する固定のステータとの間に、該ロータの回転により作動する遠心流ポンプ部を備えた真空ポンプであって、上記遠心流ポンプ部は、上記ロータの回転軸を中心として同心円状に、複数の遠心流ポンプを多段に配置し、外側の遠心流ポンプから内側の遠心流ポンプの方向に排気を行なうことを特徴とする。
【０００８】
さらに、上記目的を達成するために、（３）本発明は、回転するロータと該ロータの端面に対向する固定のステータとの間に、該ロータの回転により作動する遠心流ポンプ部を備えた真空ポンプであって、上記遠心流ポンプ部は、上記ロータの回転軸を中心として同心円状に、複数の遠心流ポンプを多段に配置し、外側の遠心流ポンプから内側の遠心流ポンプの方向に排気を行なう構造であり、上記複数の遠心流ポンプのうち、少なくとも最内側の遠心流ポンプのシール面に、上記ロータの回転により差圧を生じさせるリード溝を設けたことを特徴とする。
【０００９】
上記（３）本発明においては、上記複数の遠心流ポンプをシールする手段として、遠心流ポンプ間にリング部材が設けられ、このリング部材の内面、外面、上面のうち少なくとも１のシール面に上記リード溝が設けられるものとしてよい。この場合、リーダ溝を設ける部材がリング状なので、プレス加工、ローレット加工を含む鍛造加工等の転造、鍛造加工等、安価な加工方法でリード溝を形成することができる。
【００１０】
上記リード溝を有する上記リング部材は、上記ステータに取り付け固定されるものとしてよい。
【００１１】
上記リード溝は、プレス、ローレット加工を含む鍛造、鋳物、またはホブ加工のいずれかで製作されるものとしてよい。
【発明の効果】
【００１２】
上記（１）本発明にあっては、遠心流ポンプ部のシール面に設けたリード溝とロータの回転との相互作用（ポンピング作用）で当該シール面に差圧が生じ、この差圧が遠心流ポンプ部のシール面を介するガスのリークを防止する手段となり、シール面を介するガスのリークが減り、圧縮比の向上を図れる。
【００１３】
上記（２）及び（３）本発明によると、遠心ポンプ部の具体的な構成として、複数の遠心流ポンプが同心円状に多段に配置される構成を採用したので、ポンプ軸方向に真空ポンプ全体の小型化を図れる。
【００１４】
また、上記（２）及び（３）本発明によると、遠心流ポンプ部は、外側から内側に向かってガスの圧力を高めてガスを排気していくから、内側の遠心ポンプより半径の大きい外側の遠心ポンプの方が真空に近い低圧となる。真空ポンプの駆動に必要な動力は圧力×半径３×回転数３に比例する。上記遠心ポンプ部は、上記の如く半径の大きい外側の遠心ポンプの方が比較的低圧となるから、駆動動力が低減され、真空ポンプ全体の省エネルギー化も図れる。
【００１５】
特に、上記（３）本発明によると、最内側の遠心流ポンプのシール面に設けたリード溝とロータの回転との相互作用（ポンピング作用）により当該シール面に差圧が生じ、この差圧により当該シール面を介するガスのリークが防止され、最内側の遠心流ポンプより上流に位置する外側の遠心流ポンプをより一層真空に近い低圧とすることができるから、駆動動力の更なる低減も図れる。
【００１６】
上記（１）及び（３）本発明によると、リード溝の形成によりシール面が鋸状の山形になるので、反応生成物などの噛み込みも減少し、反応生成物の堆積によるトラブルに対する抵抗力が高い真空ポンプを提供しうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の一実施形態である真空ポンプの縦断面図、図２は図１のII-II線断面図、図３（ａ）は遠心流ポンプロータの裏面図、図３（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、図４（１）は図１中の遠心流ポンプｂ、ｃ付近の拡大図、図４（２）は差圧の圧力分布の説明図、図５はリング部材の上面図、図６（ａ）は図５のＡ矢視図、図６（ｂ）は図５のＢ−Ｂ線断面図である。
【００１９】
図１の真空ポンプＰは、ポンプ筐体１内に複数の回転系ポンプとして、軸流ポンプ系のターボ分子ポンプ部２、ネジ溝ポンプ部３、および遠心流ポンプ部４を収容し、これらの回転系ポンプにより段階的に真空引きを行なうポンプ構成を採用している。ポンプ筐体１は、円筒状のケーシング１Ａ、ケーシング１Ａの下部に密封接続された円筒状のベース１Ｂ、ベース１Ｂの下面を密閉して覆う下カバー（図示省略）から構成されている。
【００２０】
［ターボ分子ポンプ部］
ターボ分子ポンプ部２は、ターボ分子ポンプロータ２０１の外周面に一体に設けられた複数のロータ翼２０２と、ケーシング１Ａ側に取り付けられ、ロータ翼２０２と交互に重ねて配置されたステータ翼２０３とを有する。上記ターボ分子ポンプロータ２０１はモータ６の出力軸６Ａに取り付けられている。
【００２１】
上記構造のターボ分子ポンプ部２では、周知のように、ターボ分子ポンプロータ２０１と一体にロータ翼２０２が回転することにより、ロータ翼２０２、ステータ翼２０３の隙間を気体分子が下方へ送られるようになっている。
【００２２】
［ネジ溝ポンプ部］
上記ネジ溝ポンプ部３はネジ溝ポンプロータ３０１を有し、ネジ溝ポンプロータ３０１は後述する遠心流ポンプロータ４０１を介して上記ターボ分子ポンプロータ２０１の下部外周に一体に固定され、ターボ分子ポンプロータ２０１と一緒にモータ６で回転駆動される。また、このネジ溝ポンプロータ３０１は、円筒状で、上記ベース１Ｂの上面付近まで延びている。ネジ溝ポンプロータ３０１の外周面と接近する位置には、第１のネジ溝ステータ３０２が設けられており、この第１のネジ溝ステータ３０２はケーシング１Ａに取り付け固定されている。一方、ネジ溝ポンプロータ３０１の内周面と接近する位置には、第２のネジ溝ステータ３０３が配設されており、この第２のネジ溝ステータ３０３は、コラム７Ａの外周面に取り付け固定されている。尚、コラム７Ａはベース１Ｂの上部に固定されている。コラム７Ａの内部には上記モータ６を構成するモータステータが取り付けられている。
【００２３】
上記構造のネジ溝ポンプ部３では、ターボ分子ポンプ部２から下方に送られてきた気体分子がネジ溝ポンプロータ３０１の回転によりネジ溝ポンプロータ３０１と第１のネジ溝ステータ３０２との隙間に導入され、周知のネジ溝ポンプ作用によって下方に送られる。そして、気体分子は、更にベース１Ｂ上面の空間Ｇで折り返してネジ溝ポンプロータ３０１と第２のネジ溝ステータ３０３との隙間に導入され、遠心流ポンプの吸気口ＥＸ１に向けて、更に、ネジ溝ポンプ作用によって上方へ送られるようになっている。
【００２４】
［遠心流ポンプ部］
図１の真空ポンプＰにおいては、ターボ分子ポンプロータ２０１の下部に一体に遠心流ポンプ用のロータ４０１（以下「遠心流ポンプロータ４０１」という）を設け、このロータ４０１の端面と近接して対向する位置に遠心流ポンプ用のステータベース４０２（以下「遠心流ポンプステータベース４０２」という）を配置し、その遠心流ポンプロータ４０１と遠心流ポンプステータベース４０２との間に、該ロータ４０１の回転により排気動作を行なう遠心流ポンプ部４が設けられる構造を採用している。
【００２５】
上記遠心流ポンプロータ４０１は、その回転軸としてターボ分子ポンプロータ２０１の回転軸（モータ６の出力軸６Ａ）を共用し、ターボ分子ポンプロータ２０１と一緒にモータ６で回転駆動される。また、上記遠心流ポンプステータベース４０２は、円板状で、上記コラム７Ａの上面に取り付け固定されている。
【００２６】
本実施形態では、上記遠心流ポンプ部４の具体的な構成として、遠心流ポンプロータ４０１の回転軸、すなわちモータ６の出力軸６Ａを中心として同心円状に、遠心流ポンプａ〜ｄを多段に配置し、外側の遠心流ポンプｄから内側の遠心流ポンプａの方向に向かってガスの排気動作を行なう構造を採用している。この構造上、図２のように、最外側の遠心流ポンプｄの吸気口Ｓ１はネジ溝ポンプ部３の遠心流ポンプの吸気口ＥＸ１（図１参照）に通じ、遠心流ポンプｄの排気口Ｅ１は次段の遠心流ポンプｃの吸気口Ｓ２に連通し、この遠心流ポンプｃの排気口Ｅ２は更に次段の遠心流ポンプｂの吸気口Ｓ３に連通する。また、遠心流ポンプｂの排気口Ｅ３は遠心流ポンプａの吸入口Ｓ４に連通し、この遠心流ポンプａの排気口Ｅ４は真空ポンプ排気口８に連通する排気通路ＥＸに通じる構成となっている。
【００２７】
上記各段の遠心流ポンプａ〜ｄを更に詳細に説明する。図１のように、各段の遠心流ポンプａ〜ｄは、横断面形状が扁平な半円弧のＣ型リング状円弧溝４０３（図４参照）と、Ｃ型リング状円弧溝４０３の上面に配置されるリング状凸部４０４（図４参照）を有している。遠心流ポンプステータベース４０２の表面には、遠心流ポンプロータ４０１の回転軸（モータ６の出力軸６Ａ）を中心とする同心円状の溝が複数設けられており、これらの溝が上記各遠心流ポンプａ〜ｄのＣ型リング状円弧溝４０３である。また、遠心流ポンプロータ４０１の端面には、遠心流ポンプロータ４０１の回転軸を中心とする同心円状の凸部が複数突出形成されており、これらの凸部が上記各遠心流ポンプａ〜ｄのリング状凸部４０４である。
【００２８】
図３にも示したように、上記遠心流ポンプロータ４０１端面のリング状凸部４０４の先端部には、そのリング中心からみて放射状に複数の円弧状切り欠き溝４０５が形成されている。これらの円弧状切り欠き溝４０５は、リング状凸部４０４の内側から外側に向かうに連れ深くなるように円弧状に形成されている。互いに隣り合う２つの円弧状切り欠き溝４０５間は、ブレードのような細い板形状になっている。
【００２９】
上記のような構造からなる遠心流ポンプ部４において、遠心流ポンプロータ４０１が回転すると、例えば、最外側の遠心流ポンプｄでは、多数の円弧状切り欠き溝４０５が移動する。このとき、各円弧状切り欠き溝４０５の内部ではその半径方向の角速度差により溝の外側に気体を押し出し、後述するリング部材４０６のＣ型リング状円弧溝４０７、およびＣ型リング状円弧溝４０３へと循環するが高速で回転しているので円弧状切り欠き溝４０５とリング部材４０６のＣ型リング状円弧溝４０７とＣ型リング状円弧溝４０３内のガスが螺旋状の渦流となって遠心流ポンプｄの吸気口Ｓ１から排気口Ｅ１側に向かう。そのガスはさらに内側の遠心流ポンプｃ内に入る。このような排気の動作がいずれの遠心流ポンプａ〜ｄでも行なわれることにより、遠心ポンプ部４はその外側から内側に向かってガスを排気する。
【００３０】
図１の真空ポンプＰは、遠心流ポンプ部４の各段のシール手段として、円環状のリング部材４０６を具備する。このリング部材４０６は、複数の遠心流ポンプａ〜ｂ間、具体的には隣り合う２つのリング状凸部４０４間と、ネジ溝ポンプ部３と最外側の遠心流ポンプｄとの境界部、具体的には最外側の遠心流ポンプｄの外周側に、それぞれ一つずつ配置され、いずれのリング部材４０６も、遠心流ポンプステータベース４０２の上面にネジ止め固定されている。この場合、図４、図６に示したように、各リング部材４０６の内面４０６ａ、外面４０６ｂ、上面４０６ｃが遠心流ポンプロータ４０１に面し各段のシール面となる。このリング部材４０６の裏面にもＣ型リング状円弧溝４０７があり、このＣ型リング状円弧溝４０７は、上記遠心流ポンプステータベース４０２のＣ型リング状円弧溝４０３と一緒に一つの円弧を形成し連通している。
【００３１】
図１の真空ポンプＰでは、図５、図６のように上記遠心流ポンプ部４のシール面、すなわち各リング部材４０６の内面、外面、上面のいずれの面にも、リード溝５が形成される構造を採用している。これらのリード溝５は、遠心流ポンプロータ４０１の回転によるポンピング作用で各段の差圧によりリークしてくる気体を押し戻し当該シール面を介するガスのリークを防止するものである。
【００３２】
上記構造の遠心流ポンプ部４では、最外側の遠心流ポンプｄから最内側の遠心流ポンプａの方向に向かってガスの排気動作が行われるので、遠心流ポンプ部４の外側から内側に向かって圧力が高まる。このため、図４（１）の矢印イで示すように、圧力が大気圧に近く高い最内側の遠心流ポンプａから真空に近く圧力の低い最外側の遠心流ポンプｄの方向に向かってガスのリークが生じうる。このリークのルートは、遠心流ポンプａ〜ｄのシール面を通過するもの、具体的には図４（１）のようにリング部材４０６の内面４０６ａ、上面４０６ｂ、外面４０６ｃをその順に通過するものである。
【００３３】
そこで、本実施形態では、上記リークを防止するために、リング部材４０６上面のリード溝５として図５に示す形状のものを採用し、遠心流ポンプロータ４０１が回転すると、リング部材４０６の上面では、上記リード溝５と遠心流ポンプロータ４０１の回転との相互作用により、リング部材４０６の外側から内側に向かってポンピング作用が生じ、これによりリング部材４０６の上面に図４（２）のような差圧が発生するものとした。この差圧は、上記リークを生じさせる圧力差と同じ向きの圧力差となる。このため、その差圧により上記リークを防止する効果が生じる。リング部材４０６の内面４０６ａや外面４０６ｃのリード溝５についても、リング部材４０６上面４０６ａのリード溝５と同様の作用効果が生じるように設けられている。
【００３４】
［真空引き動作］
次に、上記の如く構成された図１の真空ポンプＰの動作について説明する。尚、以下の説明では、ケーシング１Ａ上面の真空ポンプ吸気口Ｓに、図示しない真空チャンバが接続され、この真空チャンバ内の真空引きが行われるものとする。
【００３５】
図１の真空ポンプＰ内部では、真空ポンプ吸気口Ｓ、ターボ分子ポンプ部２、ネジ溝ポンプ部３、遠心流ポンプ部４、排気通路ＥＸ、ベース１Ｂに設けた真空ポンプ排気口（図示省略）の順に排気経路が形成される。
【００３６】
図１の真空ポンプＰで真空引きを行なう際は図示されていない補助ポンプを起動時のみ動作させ２００Ｔｏｕｒ以下の真空にしてモータ６を起動する。そうすると、ターボ分子ポンプロータ２０１、ネジ溝ポンプロータ３０１、遠心流ポンプロータ４０１が一体に回転し、遠心流ポンプ部４の働きにより、ネジ溝ポンプ部３、ターボ分子ポンプ部２の空気抵抗が低下し、ネジ溝ポンプ部３、ターボ分子ポンプ部２が正常に機能する状態となり、真空ポンプＰは定常運転状態に入り、上記排気経路で真空チャンバ内のガスを外部へ排気する。この状態に達したときに補助ポンプは停止させても良い。
【００３７】
その際、遠心流ポンプ部４内では、最外側の遠心流ポンプａから順に最内側の遠心流ポンプｄの方向に向かってガスの排気動作が行われ、最外側の遠心流ポンプｄから最内側の遠心流ポンプａに向かうのに従いガス圧が高まる。このため、遠心流ポンプ部４内においては、シール面すなわち各リング部材４０６の内面４０６ａ、上面４０６ｂ、外面４０６ｃで、図４（１）の矢印イで示すようにガスのリークが生じようとする。しかし、遠心流ポンプロータ４０１の回転とリード溝５との相互作用により、各段の遠心流ポンプａ〜ｄのシール面には上記リークを生じさせる圧力差と同じ向きの差圧（圧力差）が生じ、この差圧により上記リークが抑制されるから、シール面を介するリークは減少し、各遠心流ポンプａ〜ｄの圧縮比が向上する。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態の真空ポンプＰにあっては、遠心流ポンプ部４のシール面に設けたリード溝５と遠心流ポンプロータ４０１の回転との相互作用によるポンピング作用で当該シール面に差圧が生じ、この差圧が遠心流ポンプ部４のシール面を介するガスのリークを防止する手段になるから、シール面を介するガスのリークが減り、圧縮比が向上する。このため、最内側の遠心流ポンプｄの排気口側を大気圧まで引き上げることができ、起動時のみ補助ポンプを用いることにより大気圧から高真空までの広範囲の真空引きを同図の真空ポンプＰだけで行なうことも可能となる。
【００３９】
本実施形態の真空ポンプＰは、遠心ポンプ部４の具体的な構成として、複数の遠心流ポンプａ〜ｄが同心円状に多段に配置される構成を採用したので、真空ポンプＰ全体としてポンプ軸方向に小型なものとなる。
【００４０】
本実施形態の真空ポンプＰによると、遠心流ポンプ部４は、外側から内側に向かってガスの圧力を高めて排気していくため、半径の大きい外側の遠心ポンプｄが真空に近い低圧となることから、駆動動力が低減され、真空ポンプ全体の省エネルギー化も図れる。
【００４１】
しかも、同真空ポンプＰによると、最内側の遠心流ポンプａのシール面にリード溝５が形成され、そのリード溝５により最内側の遠心流ポンプ部４のシール面に差圧が生じ、該シール面を介するガスのリークが防止され、最内側の遠心流ポンプ部４の圧縮比が高まるから、最内側の遠心流ポンプａより上流の外側の遠心流ポンプｂ、ｃ、ｄをより一層真空に近い低圧とすることができ、駆動動力の更なる低減が図られている。
【００４２】
また、本実施形態の真空ポンプＰによると、リード溝５の形成により遠心ポンプ部４のシール面が鋸状の山形になるので、反応生成物などの噛み込みも減少し、反応生成物の堆積によるトラブルに対する抵抗力が高い。
【００４３】
さらに、本実施形態の真空ポンプＰで採用した遠心流ポンプロータ４０１は、その端面形状が、同心円上に配置された凸部の先端面の片側にブレードを形成したような形状だから、抜き勾配をつけて鋳物又は鍛造で加工することができる。また機械加工の場合でもフライス加工ができる形状である。遠心ポンプステータベース４０２の表面に配置されるリング部材４０６はネジで分離可能なリングなので、リング部材４０６上面のリード溝５はプレス又は歯切りのホブカッターで加工でき、また、リング部材４０６の内面と外面のリード溝５も同様にホブカッターまたは転造のローレット加工で製作できる。
【００４４】
図７は、遠心流ポンプの他の例として円周流ポンプの断面図を示したものである。同図の円周流ポンプ９は、上下の円周流ポンプステータ９０１、９０２間に、円周流ポンプロータ９０３が回転自在に挟み込まれ、円周流ポンプロータ９０３は外周上下面に多数の溝を持つ羽車となっている。この羽車の回転が、上下の円周流ポンプステータ９０１、９０２の重ね合わせにより形成される円環状の空間に導入されたガスに渦を発生させ、ポンプ作用を発生させる。このような構造の円周流ポンプ９にも前述のリード溝５を設けて回転軸の隙間から流入する空気をシールし差圧を大きくする。この場合、当該リード溝５は上下の円周流ポンプステータ９０１ａ、９０２ａの両対向面またはいずれか一方の面に形成してよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態である真空ポンプの縦断面図。
【図２】図１のII-II線断面図。
【図３】図３（ａ）は遠心流ポンプロータの裏面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】図４（１）は図１中の遠心流ポンプｂ、ｃ付近の拡大図、図４（２）は差圧の圧力分布の説明図である。
【図５】リング部材の上面図。
【図６】図６（ａ）は図５のＡ矢視図、図６（ｂ）は図５のＢ−Ｂ線断面図。
【図７】本発明を適用した遠心流ポンプの他の例の説明図。
【符号の説明】
【００４６】
Ｐ  真空ポンプ
１  ポンプ筐体
１Ａ  ケーシング
１Ｂ  ベース
２  ターボ分子ポンプ部
２０１  ターボ分子ポンプロータ
２０２  ロータ翼
２０３  ステータ翼
３  ネジ溝ポンプ部
３０１  ネジ溝ポンプロータ
３０２  第１のネジ溝ステータ
３０３  第２のネジ溝ステータ
４  遠心流ポンプ部
４０１  遠心流ポンプロータ
４０２  遠心流ポンプステータベース
４０３  Ｃ型リング状円弧溝
４０４  リング状凸部
４０５  円弧状切り欠き溝
４０６  リング部材
４０７  リング部材のＣ型リング状円弧溝
５  リード溝
６  モータ
６Ａ  モータ出力軸
７Ａ  コラム
７Ｂ  ベアリングホルダ
８  真空ポンプ排気口
ａ、ｂ、ｃ、ｄ  遠心流ポンプ
ＥＸ１  遠心流ポンプの吸気口
ＥＸ  排気通路
Ｇ  ベース上面の空間
Ｓ  真空ポンプ吸気口
Ｓ１  遠心流ポンプａの吸入口
Ｅ１  遠心流ポンプａの排気口
Ｓ２  遠心流ポンプｂの吸入口
Ｅ２  遠心流ポンプｂの排気口
Ｓ３  遠心流ポンプｃの吸入口
Ｅ３  遠心流ポンプｃの排気口
Ｓ４  遠心流ポンプｄの吸入口
Ｅ４  遠心流ポンプｄの排気口
【図１】
2006257988.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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