(57)【要約】【課題】ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置、およびその方法を提供する。【解決手段】ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置が開示されている。本システムは、ディスク状対象物を含む少なくとも１つのＦＯＵＰをロードポート上へおよびロードポートから離れるように下降および／または上昇させるＯＨＴを備える。光バリア配列が、ＯＨＴによりＦＯＵＰを下降および／または上昇させるように設計されたロードポート領域の前面に取り付けられる。入力装置が設けられており、光バリア配列の障害によりＦＯＵＰの下降および／または上昇が停止された時、この入力装置によりＯＨＴは上記下降および／または上昇処理を再開する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置であって、ディスク状対象物を有するＦＯＵＰをロードポート上へおよびロードポートから離れるように下降および／または上昇させるＯＨＴが前記システムに設けられ、当該ＯＨＴによりＦＯＵＰを下降および／または上昇させるために実装されたロードポート領域の前面に光バリア配列が取り付けられ、前記下降および／または上昇が前記光バリア配列の障害により停止されると前記ＯＨＴをリセットすることができる入力装置が設けられた、リカバリ用の装置。
【請求項２】
前記光バリア配列は、それぞれが光源と受信機とを備えて構成されるいくつかの個々の光バリアの線形配列を備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
第１の壁および第２の壁がロードポート上に取り付けられ、前記システムの入力開口部がその間に実装され、光バリアの線形配列が、前記システムから離れて面する前記第１の壁および第２の壁の端部に設けられた、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記入力装置は、制御機構により前記システムと前記ＯＨＴへ接続された映像表示画面である、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記映像表示画面がタッチスクリーンである、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記システムが、いくつかの信号灯を含む信号塔に接続された、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記ディスク状対象物は、ウェーハ、またはガラス基板上のウェーハ、またはリソグラフィ用のマスク、または平面パネル表示装置である、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
ディスク状対象物を処理するためのシステムにおけるリカバリ方法であって、
ＦＯＵＰをロードポート上へ下降させまたはロードポートから離れるように上昇させる間に前記光バリア配列の障害が発生する工程と、
光バリア配列の障害が継続しているかどうかを監視する工程と、
ロードポート上へのＦＯＵＰの下降またはロードポートから離れるようなＦＯＵＰの上昇をリカバリおよび継続させる工程と、
を特徴とする方法。
【請求項９】
自動リカバリがオペレータにより前記映像表示画面から選択される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記光バリアにより引き起こされた警報が、自動リカバリの結果としてリセットされ、前記処理を再開するためのＥＳ信号が与えられ、そしてＥ８４ロード／アンロードシーケンスが完了する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
手動リカバリがオペレータにより選択され、前記ＯＨＴは手動でリセットされ、そして手動リセットは前記映像表示画面上で確認される、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記光バリアにより引き起こされた警報がリセットされ、Ｅ８４ロード／アンロードシーケンスが再開される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記光バリア配列の障害が除去できない場合、保守技術者を呼ぶ必要がある、請求項８に記載の方法。
【請求項１４】
前記ディスク状対象物が、ウェーハ、またはガラス基板上のウェーハ、またはリソグラフィ用のマスク、または平面パネル表示装置である、請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置に関する。特に、本発明は、ディスク状対象物を有する少なくとも１つのＦＯＵＰをロードポート上へおよびロードポートから離れるように下降および／または上昇させるシステムに設けられたＯＨＴにより、ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置に関する。
【０００２】
更に、本発明はディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
半導体の製造において、各ウェーハまたはディスク状基板は生産工程中に多数の処理工程で連続的に処理される。ディスク状基板はコンテナ、ＦＯＵＰに入れられてシステムへ輸送され、その後、様々な処理工程がシステムで行なわれる。ＦＯＵＰは、ＯＨＴによりシステムのロードポートへ配送または輸送される。
【０００４】
特許文献１は、個々のＦＯＵＰがＯＨＴによりロードポートへ輸送される方法を開示しているが、ＯＨＴからロードポートの台板までのＦＯＵＰの輸送経路内に物体等が存在しているかどうかを監視する装置を開示していない。
【０００５】
特許文献２は処理機械においてロードポートを位置決めする装置を開示している。上記装置は、処理機械内の対応ピンと相互に作用する少なくとも２つの垂直方向の穿孔が実装された台板を有する。少なくとも１つの水平方向の穿孔が設けられた位置決めブロックが位置決め用に設けられる。ロードポートの位置は穿孔を介して光源と検出器とにより決定される。
【０００６】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００３／００５３８９２  Ａ１号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００２／０１５５６４１  Ａ１号明細書
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の基本的な目的は、ＦＯＵＰをロードポート上へおよび／またはロードポートから離れるように下降および／または上昇させる際に誤動作が発生した場合、稼動を迅速かつ安価に継続させることができる装置を製作することである。
【０００８】
この目的は、ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置により解決される。これによって、ディスク状対象物を含む少なくとも１つのＦＯＵＰをロードポート上へまたはロードポートから離れるように下降および／または上昇させるＯＨＴがシステムに設けられ、ＦＯＵＰをＯＨＴにより下降および／または上昇させるために実装されたロードポート領域の正面に光バリヤ配列が取り付けられ、上記下降および／または上昇が光電センサー配列の障害により停止されるとＯＨＴをリセットすることができる入力装置が設けられる。
【０００９】
本発明のさらなる目的は、ＦＯＵＰをロードポート上へおよび／またはロードポートから離れるように下降および／または上昇させる際に誤動作が発生した場合、迅速で安価な稼動の継続が可能となる方法が利用できるようにすることである。
【００１０】
この目的は以下の特徴、すなわち、
ＦＯＵＰをロードポート上へまたはロードポートから離れるように下降または上昇させる間に光電センサー配列の障害が発生する工程と、
光電センサー配列の障害が継続しているかどうかを監視する工程と、
ロードポート上へまたはロードポートから離れるようにＦＯＵＰの下降またはＦＯＵＰの上昇をリカバリおよび継続させる工程と、
を含む方法により解決される。
【００１１】
ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリのためには、ディスク状対象物を有する少なくとも１つのＦＯＵＰをロードポート上へまたはロードポートから離れるように下降および／または上昇することができるＯＨＴが設けられると特に好都合である。このシステムには光電センサー配列が備えられており、下降および／または上昇の際の障害が光電センサー配列における障害により引き起こされると、ＯＨＴによりＦＯＵＰを下降および／または上昇する処理の障害をリセットすることができる入力装置が設けられる。
【００１２】
光電センサー配列はいくつかの個別の光電センサーからなる線形配列を含み、それぞれのセンサーは光源と受信機とから構成される。第１および第２の側壁がロードポート上に取り付けられる。システム用入力開口部が第１と第２の側壁間に実装される。光バリア配列が、システムから離れて面する第１および第２の壁の端部に取り付けられる。
【００１３】
入力装置は映像表示画面であって、システムおよびＯＨＴ用制御ユニットへ接続される。映像表示画面はタッチスクリーンとして実装することができる。システムは、いくつかの信号灯を含む信号塔へ接続される。
【００１４】
ディスク状対象物を処理するためのシステムにおけるリカバリの方法は同様に好都合なものである。この場合、ＦＯＵＰをロードポート上へまたはロードポートから離れるように下降させるか上昇させる間の光電センサー配列における障害がまず記録され、そしてローディング／アンローディング処理は直ちに中断される。その後、光電センサー配列の障害が継続しているかどうかを確定するための監視が始まる。最後に、リカバリが行われ、ロードポート上へまたはロードポートから離れるようにＦＯＵＰを下降、または上昇させることが再開される。
【００１５】
本発明のさらに有利な展開は従属請求項から推測することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の主題は概略的に線図で表現され、添付図面に基づいて以下に説明される。
【００１７】
図１は、ディスク状の半導体基板を処理するシステム１００の概略図である。ディスク状の半導体基板はＦＯＵＰ１０１に入れられてＯＨＴ１０２（ホイスト式天井搬送装置（ｏｖｅｒｈｅａｄ  ｈｏｉｓｔｓ  ｔｒａｎｓｐｏｒｔａｔｉｏｎ））を介してシステム１００のロードポート２０へ配達される。ロードポート２０は台板２１を備えており、ディスク状基板がシステム１００により処理されるようにＦＯＵＰ１０１をその上に下降させることができる。システム１００はさらに、色が変化するいくつかの光源１０４を含む信号塔１０５を備える。光源１０４により、オペレータに潜在的なエラー表示を与える。システム１００は更に、オペレータが入力を行なうことができる映像表示画面を備える。上記映像表示画面により、本目的のためのいくつかの入力フィールド１０７がオペレータに利用可能になる。したがって例えば、オペレータは、入力フィールド１０７の少なくとも１つにより自動リカバリを起動することができる。同様に、オペレータは、映像表示画面を介しシステム１００の手動リセットを確認することができる。
【００１８】
図２は、ディスク状基板を処理するためのシステム１００へ接続されたロードポート２０の透視図である。ロードポート２０はシステム１００へ接続され、ディスク状基板を処理するためのシステム１００と、ディスク状基板をシステム１００中へ入力するためのものとの間のインタフェースを形成する。ロードポート２０は、ＦＯＵＰ１０１を配置することができる台板２１を有する。台板２１自体は、ＳＥＭＩ  Ｅ１５標準に準拠して実装されるとともにＦＯＵＰ１０１の底側（図示せず）と連結する接続板２２を支える。連結により、ＦＯＵＰ１０１はロードポート２０上へしっかりと取り付けられる。この連結に加え、ＦＯＵＰ１０１とロードポート２０間の結合要素（図示せず）が互いに把持し合い、確実な取り付けが完成する。従ってディスク状対象物で満たされたＦＯＵＰ１０１が偶然にロードポート２０から外れることはあり得ない。この結果、ディスク状対象物を保護する追加の安全水準が組み込まれる。さらに、ロードポート２０上のＦＯＵＰ１０１の正確な位置合わせを示すいくつかの信号灯２３がロードポート２０に設けられる。同様にして、信号灯２３は、ＦＯＵＰ１０１がロードポート上に配置されたかどうか、あるいは存在するＦＯＵＰを取り除いてよいかどうかを示す。
【００１９】
図３は、本発明による動作要素フィーラ３０を有するロードポート２０の透視図である。動作要素３０により、ロック装置を初期化することなくＦＯＵＰ１０１をロードポート上へ下降することができ、これによりＦＯＵＰ１０１内に含まれるディスク状対象物がシステム１００により処理される前にＦＯＵＰ１０１が取り除かれることを防ぐ。一旦、オペレータがロードポート上にＦＯＵＰ１０１を配置し、フィーラ３０を押すかあるいは活性化すると、ＦＯＵＰ１０１内に含まれるディスク状対象物が処理される。動作エレメント３０を活性化することなく、オペレータがロードポート２０上にＦＯＵＰ１０１を置く場合、ＦＯＵＰ１０１はロードポート２０上に確実に固定され、そして要望に応じて除去可能であり、また再度下降させることができる。光電センサー配列２４はロードポート２０に適切な方法で設けられ、これにより、ＯＨＴ１０２によるＦＯＵＰ１０１のロード経路内に存在すべきでない事象あるいは物体を検出または記録することができる。この事象としては例えば、オペレータがひじで光電センサー配列２４を妨害することが挙げられる。光電センサー配列２４は、いくつかの個々の光電センサーの線形配列であって、それぞれが光源と受信機とを含む。光電センサー配列２４の空間的配列に関しては、第１の壁２６および第２の壁２７がロードポート２０上に取り付けられ、その間にシステム用入力開口部２８が設けられる。光バリア／光電センサー、すなわち光バリア配列２４は、システムから離れて面する第１の壁２６および第２の壁２７の端部にそれぞれ設けられる。
【００２０】
図４は、ＦＯＵＰ２０を下降させるための本発明による方法のブロック図の図式である。ＯＨＴ１０２とロードポート２０間のＥ８４ローディングシーケンスが開始される（４０）。ＯＨＴ１０２を介してＦＯＵＰ１０１を下降する処理中に、ＦＯＵＰ１０１を下降する処理を妨害する光電センサーの障害が存在する（４１）。ＥＳ信号はＥ８４インタフェースを介して与えられ、その結果ロードポート２０はＯＨＴ１０２を停止させる（４２）。警報が、映像表示画面および／または信号塔上に与えられる（４３）。それがなお継続すると、光電センサーの障害はオペレータにより取り除かれる（４４）。システムは、障害が取り除かれたか否かを確定するために状態問合せを行う（４５）。状態問合せ（４５）の結果、障害が取り除かれていないと、保守技術者を呼ぶ必要がある。状態問合せ（４５）の結果、障害が取り除かれていれば、更なる状態問合せが行われ（４６）、システムが自動リカバリを行うべきかどうかを決定する。状態問合せ（４６）の結果が自動リカバリを行うべきでないならば、行動（４７１）が次に続き、ＯＨＴは手動でリセットされる。手動リセットが発生したとの確認（４７２）が映像表示画面上に現われる。光電センサーの警報はリセットされ（４７３）、Ｅ８４ローディングシーケンスは再開される（４７４）。
【００２１】
状態問合せ（４６）の結果、自動リカバリを行うべきであるならば、自動リカバリは、オペレータが自動リカバリを選択すること（４８１）により行われる。この選択（４８１）後、光電センサーはリセットされる（４８２）。続いて、Ｅ８４ロードシーケンスの再開を許可するＥＳ信号が与えられる（４８３）。最後に、Ｅ８４ロードシーケンスは終了する（４８４）。このことは、ロードポート上のＦＯＵＰ１０１の下降が終了したことを意味する。
【００２２】
図５は、ＦＯＵＰ１０１を上昇させるための本発明による方法のブロック図の図式である。ＯＨＴ１０２とロードポート２０間のＥ８４アンローディングシーケンス５０が開始される。ＯＨＴ１０２を介してＦＯＵＰ１０１を上昇する処理中に光電センサーの障害が存在し（５１）、従ってＦＯＵＰ１０１を上昇させる処理は中断される。次に、ＥＳ信号が与えられ、ロードポート２０はＯＨＴ１０２を停止する（５２）。次に警報が、映像表示画面および／または信号塔上に記録される（５３）。障害がなお存在する場合、光電センサーの障害はオペレータにより取り除かれる（５４）。システムは、障害が取り除かれたか否かを確定するために状態問合せを行う（５５）。状態問合せ（５５）の結果、障害が取り除かれていないならば、保守技術者を呼ぶ必要がある。状態問合せ（５５）の結果、障害が取り除かれていると、更なる状態問合せが開始され、システムが自動リカバリを行うべきかどうかを決定する（５６）。状態問合せの結果、自動リカバリを行うべきでないならば（５６）、行動（５７１）が次に続きＯＨＴが手動でリセットされる。手動リセットが発生したとの確認が映像表示画面上に現われる（５７２）。光電センサーの警報はリセットされ（５７３）、Ｅ８４アンロードシーケンスが再開される（５７４）。
【００２３】
状態問合せ（５６）の結果、自動リカバリを行うべきであれば、自動リカバリは、オペレータが自動リカバリを選択すること（５８１）により行われる。この選択（５８１）後、光電センサーはリセットされる（５８２）。続いて、Ｅ８４アンロードシーケンスの再開を許可するＥＳ信号が与えられる（５８３）。最後に、Ｅ８４アンロードシーケンスは終了される（５８４）。このことは、ロードポートからのＦＯＵＰ１０１の上昇が完了したことを意味する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】ディスク状半導体基板を処理するシステムの概略図である。
【図２】ディスク状基板を処理するシステムへ接続されたロードポートの透視図である。
【図３】図３は、本発明による動作要素フィーラを有するロードポートの透視図である。
【図４】ＦＯＵＰを下降させるための本発明による方法のブロック図の図式である。
【図５】ＦＯＵＰを上昇させるための本発明による方法のブロック図の図式である。
【符号の説明】
【００２５】
２０  ロードポート
２１  台板
２２  接続板
２３  信号灯
２４  光電センサー配列
２６  第１の壁
２７  第２の壁
２８  入力開口部
３０  動作要素フィーラ
３０  動作要素
３０  フィーラ
１００  システム
１０１  ＦＯＵＰ
１０２  ＯＨＴ（ホイスト式天井搬送装置）
１０４  光源
１０５  信号塔
１０７  入力フィールド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2006186360.tif 000007
【外国語明細書】
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