(57)【要約】【課題】光効率のよい光学デバイスの製造方法、光ヘッド装置および光ディスク装置を提供する。【解決手段】重合性液晶薄膜に光を回折させる回折格子パタンを形成する光学デバイスの製造方法において、基板と、対向する基板と、前記基板の少なくとも一方の基板に形成した突起とを有し、前記対向する２枚の基板の少なくとも一方の表面を配向処理を行い、前記透明基板間に重合性物質を配置し、基板間を狭持し、前記重合性物質を硬化したのち一方の基板を除去し、該重合性液晶薄膜に凹凸状の格子を形成し、前記凹凸状の格子部に等方性の有機膜を配置する構成を採る。【選択図】図４
2006030845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の光学材料に複数の突起を設けた、少なくとも一対の光学材料を対向配置させ、
前記光学材料間に、重合性物質を充填し、
前記重合性物質を硬化したことを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項２】
前記複数の突起は、前記光学材料の間隙が光学材料の全面に亘って略等しくなるように配置されることを特徴とする請求項１の光学デバイスの製造方法。
【請求項３】
少なくとも一方の基板に複数の突起を設けた、少なくとも一対の基板の少なくとも一方の基板表面に配向処理を行い、
前記基板を対向配置し、
前記基板間に、重合性物質を充填し、
前記重合性物質を硬化したことを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【請求項４】
前記重合性物質を硬化したのち一方の基板を除去し、
前記重合性物質に回折格子を形成することを特徴とする請求項３記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項５】
前記基板に形成した突起は、前記回折格子形成領域外に設けたことを特徴とする請求項４の光学デバイスの製造方法。
【請求項６】
前記基板に形成した突起の形状は、突起の根本より突起の先端部が細く形成されたことを特徴とする請求項１から請求項５記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項７】
前記重合性物質を配置する際の厚みは、前記突起の高さと同じかまたは、それ以上の厚みとしたことを特徴とする請求項１から請求項６記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項８】
前記基板に配置される突起の密度は、０．００１〜１個／ｍｍ2の範囲にあることを特徴とする請求項１から請求項７記載の光学デバイスの製造方法。
【請求項９】
光ディスク記録媒体に情報を記録および光ディスク媒体の情報を再生する手段として、請求項１から請求項８の光学デバイス製造方法で製造した光学デバイスを用いたことを特徴とする光ヘッド装置。
【請求項１０】
光ディスク記録媒体に情報を記録および光ディスク媒体の情報を再生する手段として請求項９記載の光ヘッド装置を用いることを特徴とする光ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ビームを用いて情報記録媒体に記録、再生、消去などを行う光ディスクドライブ装置に用いられる光ヘッド装置用の接着剤で貼り合わせる光学デバイスや複屈折材料の膜厚規制を必要とする光学デバイスの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学記録媒体として、ＤＶＤ（デジタルビデオディスク）、ＣＤ−Ｒ（書き込み可能なコンパクトディスク）、ＣＤ−ＲＷ（書き換え可能なコンパクトディスク）等の種々の光ディスクが開発されている。ＤＶＤにおいては、波長約６５０ｎｍのレーザ光により情報の記録または再生が行われる。一方、ＣＤ−ＲやＣＤ−ＲＷにおいては、波長約７８０ｎｍのレーザー光により情報の記録または再生が行われる。このような複数種類の光ディスクに対して情報の記録または再生を行う光ディスク装置が提案されている。
【０００３】
また、このような複数種類の光ディスクに対して情報の記録または再生を行う光ディスクドライブ装置において、光ディスクドライブ装置に搭載される光ヘッド装置の光源としては、複数の異なる波長の光束を出射するレーザー素子を１つのパッケージに隣接して配置したもの（いわゆるハイブリッド型２波長半導体レーザー）や１つの半導体基板に複数の波長の光源を集積化したもの（いわゆるモノリシック型２波長半導体レーザー）などが用いられている。
【０００４】
これらのユニットと光学デバイスを組み合わせることによりＤＶＤ系の往路（集光系）と復路（検出系）を共通化するとともにＣＤとＤＶＤとでコリメートレンズ、対物レンズを共有して部品点数を削減し小型な光ヘッド装置を提供できる。
【０００５】
ところで、前記光学デバイスを製造する方法として、従来は、図８に示すように、対向する２枚の基板の少なくとも一方に配向処理を形成し、基板３０１と対向するダミー基板３０２間に間隔を一定に保持するスペーサ３０５と重合性液晶薄膜３０４を狭持し液晶膜を光照射によって硬化させた構造としていた（特許文献１）。
【０００６】
また、基板の外周縁の少なくとも２辺に外枠部分を形成し、基板間の重合性液晶モノマーの塗布厚の均一化を図る方法があった（特許文献２）。
【特許文献１】特開平１１−２１１９０５号公報
【特許文献２】特開２００２−３６５４１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記（特許文献１）のように、対向する基板間にスペーサと高分子液晶膜を狭持して基板間隔を一定にする方法によると、スペーサによって光の散乱が発生し、また透過性が悪化する課題があった。またスペーサの影響で重合性物質の配向性が乱れる課題があった。
【０００８】
また、前記（特許文献２）のように、基板の外周縁の少なくとも２辺に外周枠を形成し、基板間隔を均一化する方法では、外周縁を面で支持する為、支持する面の均一性を精度よく確保しなければ、液晶樹脂厚の精度決定に影響することになり、歩留りの改善上課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
かかる課題を解決するため、本発明の光学デバイスの製造方法は、少なくとも一方の光学材料に複数の突起を設けた、少なくとも一対の光学材料を対向配置させ、前記光学材料間に、重合性物質を充填し、前記重合性物質を硬化した構成を採る。
【００１０】
かかる構成によれば、前記突起部により、複数の光学材料間の重合性物質の膜厚を制御できるとともに光透過性の優れた光学デバイスを提供できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の製造方法によれば、透明基板の間隔を形成された突起で回折格子形成部の膜厚を均一にでき、また重合性液晶部にスペーサ等の材料を配置していないため、スペーサによって光が散乱することがなくまた光の透過性もよくなる。さらに重合性物質の配向性もよくなるため光効率のよい光学デバイスを提供できるとともにこの素子を使用した光効率のよい光ヘッド装置および光ドライブ装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
請求項１の光学デバイスの製造方法は、少なくとも一方の光学材料に複数の突起を設けた、少なくとも一対の光学材料を対向配置させ、前記光学材料間に、重合性物質を充填し、前記重合性物質を硬化した構成を採る。
【００１３】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、前記突起部により、複数の光学材料間の重合性物質の膜厚を制御できるとともに光透過性の優れた光学デバイスを提供できる。
【００１４】
請求項２の光学デバイスの製造方法は、請求項１の光学デバイスの製造方法に於いて、前記複数の突起は、前記光学材料の間隙が光学材料の全面に亘って略等しくなるように配置される構成を採る。
【００１５】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、前記重合性物質の膜厚を光学材料全面に亘って均一にすることができる。
【００１６】
請求項３の光学デバイスの製造方法は、少なくとも一方の光学材料に複数の突起を設けた、少なくとも一対の光学材料の少なくとも一方の基板表面に配向処理を行い、前記光学部材を対向配置し、前記光学材料間に、重合性物質を充填し、前記重合性物質を硬化したことを特徴とする光学デバイスの製造方法。
【００１７】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、対向する一対の基板間の重合性物質の光学特性が優れた光学デバイスを提供できる。
【００１８】
請求項４の光学デバイスの製造方法は、請求項３の製造方法に於いて、前記重合性物質を硬化したのち、一方の光学材料を除去し、前記重合性物質に回折格子を形成する構成を採る。
【００１９】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、前記基板形成された突起の厚みによる規制で基板の間隔をで均一にでき、また重合性液晶部にスペーサ等の材料を配置していないため、スペーサによって光が散乱することがなくまた光の透過性もよくなる。さらに重合性物質の配向性もよくなるため光効率のよい光学デバイスを提供できる。
【００２０】
請求項５の光学デバイスの製造方法は、請求項４の光学デバイスの製造方法において、前記基板に形成した突起は回折格子パタン形成領域以外に設けた構成を採る。
【００２１】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、突起部が回折格子形成領域外に配設されるこ
とにより、基板に形成された突起部による光効率低下、光の散乱の影響がなくなる。
【００２２】
請求項６の光学デバイスの製造方法は、請求項４記載の光学デバイス製造方法において、前記基板に形成した突起の形状は、突起の根本より突起の先端部が細く形成された構成を採る。
【００２３】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、配設された突起の根本より先端部が細く形成されることにより、透明基板を対向させて配置する際に２枚の基板の接触部の面積を小さくでき、重合性物質の樹脂厚のコントロールが容易である。
【００２４】
請求項７記載の光学デバイスの製造方法は、請求項４記載の光学デバイス製造方法において、前記重合性物質の厚みは、突起部の高さと同じかまたは、それ以上の厚みとした構成を採る。
【００２５】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、２枚の基板間の加重コントロールが容易で、重合性物質の厚みを均一にコントロールすることができ、厚みのむらがなくなって歩留まりが向上する。
【００２６】
請求項８記載の光学デバイス製造方法は、請求項４記載の光学デバイス製造方法において、前記基板に配置される突起の密度は、０．００１〜１個／ｍｍ2の範囲とした構成を採る。
【００２７】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、前記対向する基板の間隔を均一にすることができるとともに、回折格子形成領域の突起部による光の透過性および光の散乱が少ない光学デバイスを提供できる。
【００２８】
請求項９記載の光ヘッド装置は、光ディスク記録媒体に情報を記録および光ディスク媒体の情報を再生するとして、請求項１から請求項８の光学デバイス製造方法で製造した光学デバイスを用いた構成を採る。
【００２９】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、光の散乱が少なくまた透過性もよく、重合性物質の配向性がよい光学デバイスを使用することでき、光利用効率の高い光ヘッド装置を提供できる。
【００３０】
請求項１０記載の光ディスクドライブ装置は、光ディスク記録媒体に情報を記録および光ディスク媒体の情報を再生する手段として請求項９記載の光ヘッド装置を用いる構成を採る。
【００３１】
かかる光学デバイスの製造方法によれば、前記請求項９記載の光ヘッド装置を用いることで、コンパクトで光利用効率の高いディスクドライブ装置を提供できる。
【００３２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一の構成または機能を有する構成要素および相当部分には、同一の符号を付してその説明は繰り返さない。
【００３３】
（実施の形態１）
図１において、光ディスクドライブ装置１には筐体２及びトレイ３があり、トレイ３にはピックアップモジュール４及びベゼル５が構成されている。図１は筐体２からトレイ３を引き出した状態を示している。トレイ３の両側部にはレール部６があり、両側部共にレール７とディスク引き出し方向に摺動自在に嵌合している。また、レール７は筐体２両側
部内面に設けられたレールガイド（図示せず）ともディスク引き出し方向に摺動自在に嵌合しており、トレイ３は筐体２からディスクが着脱出来るよう引き出すことが出来る。ピックアップモジュール４には光学系を構成した光ヘッド装置９とディスクを回転させるスピンドルモータ４ａが設けられている。スピンドルモータ４ａにはディスク装着部４ｂがあり、ディスクを装着し回転駆動させる。
【００３４】
図２に光ヘッド装置について示す。ＤＶＤ用レーザ１０１からの光はダイクロイックプリズム１０２表面で反射され、コリメートレンズ１０３により平行光となり、反射ミラー１０４を経て、光学デバイス１０５を全透過し、６００〜７００ｎｍの波長に対して１／４波長の位相差を与える１／４波長板１０６で円偏光に変換され、対物レンズ１０７により、基材厚０．６ｍｍのディスク１０８面に集光される。ディスク１０８を反射した光は１／４波長板１０６で往路と直交する直線偏光となり、光学デバイス１０５でほぼ全光量回折される。回折光は光源に隣接して設けられたフォトディテクタ（図示せず）に入射し、信号検出される。一方、ＣＤ用レーザ１１０からの光は、集積ユニットと一体化したガラスホログラム１１１、ダイクロイックプリズム１０２を透過し、コリメートレンズ１０３、反射ミラー１０４を経て、光学デバイス１０５、１／４波長板１０６を透過する。１／４波長板１０６は７００〜８００ｎｍの光に対してほぼ１波長相当の位相差となり、往路、復路ともに透過光の偏光は変わらない。透過光は、対物レンズ１０７により基材厚１．２ｍｍのディスク面に集光される。ディスク１０８を反射した光は、１／４波長板１０６を経て、光学デバイス１０５で回折されずに全透過し、往路と逆の光路をたどってガラスホログラム１１１で回折分岐され、フォトディテクタ（図示せず）により信号検出される。この光ヘッドにおいては、一対の対物レンズ１０７、コリメートレンズ１０３で２つの波長の光、異なる基材厚のディスク１０８に対応できる。
【００３５】
図３に前記光学デバイス１０５と１／４波長板２０４と開口フィルタ４０４を組み合わせた開口ホログラム波長板４００を示す。基板３０１表面に配向膜３０６を配置し重合性液晶薄膜３０４で生成された有機膜４０１と、等方性膜４０２とで形成された光学デバイス１０５に１／４波長板２０４を貼り合わせ、さらに開口フィルタ４０４を配置しチップ両面をＡＲ膜４０３で形成された構成としている。
【００３６】
図４に光学デバイス１０５の製造方法の一例を示す。
【００３７】
図４（ａ）、図５（ｂ）に本実施の形態の透明な基板３０１上に回折用の格子を設ける回折素子であって、回折格子（ホログラムパタン）を形成するための重合性液晶薄膜を作製する一例を以下に示す。
【００３８】
図４（ａ）に示すように、透明な基板３０１とダミー基板３０２を対向させ配置する。ダミー基板３０２には凸状の突起３０３を設ける。前記凸状の突起３０３は、透明な基板３０１とダミー基板３０２の間隔を均一に確保するために設けるものであり、前記基板３０１とダミー基板３０２間の間隔を均一化によって、この間に配置する重合性液晶薄膜３０４を均一化するように設定する。重合性液晶薄膜３０４の膜厚が均一でないと均一な回折効果が得られなくなるため、透明な基板３０１と対向するダミー基板３０２の間隔を均一にするため、前記突起３０３の形状は、球状、円柱状、角柱状、円錐状、角錐状等が選択できるが基板間の樹脂厚規制精度を高くするには、
円錐状＞角錐状＞球面状＞平面上
のように突起３０３の先端は細く点で接触する構成とした方が望ましい。
【００３９】
突起３０３の高さは、前記重合性液晶薄膜３０４の厚みと同等もしくは前記重合性液晶薄膜３０４の厚みより、低く設定するほうがよく、２〜５μｍ厚に設定する。また透明な基板３０１およびダミー基板３０２の材料は、ガラスや、アクリル、プラスチック等の透
明の樹脂が利用できるが強度や耐久性の点でガラス材が望ましい。また、突起３０３は、回折格子を形成する領域３０９の外側に配置したほうが、光学特性への影響が少なくできる。
【００４０】
透明な基板３０１およびダミー基板３０２は、厚みを０．３〜０．８ｍｍとする。基板３０１の表面のゴミや酸化膜を除去するため、純水等で洗浄したのち重合性液晶薄膜３０４に接する面に重合性液晶薄膜３０４の分子配向を調整するために配向膜３０６を形成し、この配向膜３０６の配向処理を行う。
【００４１】
配向膜３０６の材料としては、ポリイミド膜やポリアミド膜の高分子膜やＳｉＯ2等が使用できる。
【００４２】
前記配向膜３０６形成後の配向処理の方法は、図７に示す。図７で、ロール５０１に布５０２を巻き付けて回転させながら透明な基板３０１に配置した配向膜３０６を擦るラビング処理を行う。
【００４３】
また、図４（ａ）に示すように、ダミー基板３０２に対しても、配向処理を行う。ダミー基板は、重合性液晶薄膜３０４の硬化後に除去する必要があるため、剥離性および配向膜の双方の特性を持った材料３０７を塗布する。
【００４４】
また、前記基板３０１とダミー基板３０２の配向処理は、１８０度の逆方向で配向処理したほうが、液晶分子の配向が一軸配向となりやすい。前記配向の方向は、ラビング処理の方向を含めた方向で、基板とダミー基板で同じ向きで方向が、１８０度ずれる（アンチパラレル）の向きとする。
【００４５】
配向処理実施に際しては、透明な基板３０１，ダミー基板３０２の両基板に対してラビング処理時の布５０２の押しつけ量は、およそ１００〜８００μｍ程度とすることで、ダミー基板３０２に凸部があっても配向性に影響を及ぼすことは少ない。なお、押しつけ量は望ましくは、２００〜６００μｍとする。１００μｍより少ないと、配向処理の効果が薄れ、また８００μｍより大きいと、突起形状の先端部に影響を与える場合がある。
【００４６】
この配向処理された透明な基板３０１とダミー基板３０２の間隙は、図４（ｂ）に示すように、ダミー基板３０２に配設された突起３０３による手段で両基板を所定の加重を加え、基板間隔を均一間隔に保持する。
【００４７】
前記基板間隔の空隙には重合性液晶薄膜３０４を塗布して重合性液晶薄膜３０４材硬化手段にて硬化させ重合性液晶薄膜３０４とする。重合性液晶薄膜３０４の硬化手段としては、ＵＶ光や可視光、レーザ光や加熱による方法があるが、本実施の形態では波長３６５ｎｍのＵＶ光の照射で重合性液晶薄膜３０４を硬化した。
【００４８】
このようにして製造された重合性液晶薄膜３０４のダミー基板３０２を除去する。図４（ｃ）に示すように、ダミー基板３０２を除去すると、前記重合性液晶薄膜３０４には、ダミー基板３０２に配置した凸部の影響による凹部３０８が残る。この凹部３０８は数が多くなると光学特性に影響が出る為、基板間の間隔を均一化できる範囲でできるだけ少なく配置したがよい。本実施の形態では、突起３０３の数は、対向する基板３０１とダミー基板３０２の間隔を維持し、かつ光学デバイス１０５の光効率をよくするために、１ｍｍ2あたり０．００１〜１個程度配置した。０．００１より少ない配置にすると、一対の基板間の均一性が保たれず重合性液晶膜厚の厚みが不均一となる。また、１個より多く配置すると、光の散乱等による光効率が悪化する。
【００４９】
図９に基板を示す。本実施の形態では、図９（ａ）に示すように、３インチのウエーハに対しチップをダイシング等により２５６個程度に切断する。１つのウエーハにおよそ１０個程度のダミー基板３０２に凸部３０３をおよそ１０個程度配置すると、重合性液晶薄膜にも対応する凹部３０８が１０個程度配置され、１ｍｍ2あたりおよそ０．００２個の凹部３０８を配置することになる。
【００５０】
かかる構成にすると、１チップ内に配置される凹部３０８の１チップあたりでは平均０．０４個程度の凹部３０８が発生するが、一チップ内に凹部３０８が発生することは最大でも１個となり、光学特性への影響は無視できる。
【００５１】
また、図９（ｂ）に示すように、この前記凹部３０８を回折格子形成領域の外に配置すれば、さらに光学特性への影響がなくなる。
【００５２】
次に、図４（ｄ）に示すように、重合性液晶薄膜３０４に、フォトリソグラフィ法にてパターンを転写し、ドライエッチング方法で断面が凹凸の回折格子を形成し光学デバイス１０５ができる。
【００５３】
次に、図３に示すように、光学デバイス１０５のパターン形成部４０１に１／４波長板２０４を等方性の有機膜４０２で貼り合わせる。
【００５４】
さらに、開口フィルタ４０４を形成するための透明基板３１０上に開口フィルタ４０４を成膜する。その後、前記光学デバイス１０５と１／４波長板２０４を貼り合わせた部材と前記開口フィルタ４０４を貼り合わせ、表および裏面をＡＲ膜（反射防止膜）４０３を形成して開口ホログラム波長板４００ができる。
【００５５】
反射防止膜の材料としては、ＴｉＯ2／ＳｉＯ2の多層膜、ＭｇＦ2／Ａｌ2Ｏ3の多層膜、ＴｉＯ2／ＭｇＦ2／Ａｌ2Ｏ3／ＳｉＯ2の多層膜を使用できる。
【００５６】
前記実施の形態では、対向する基板間隔を均一にする手段の突起３０３を、透明な基板３０１とダミー基板３０２のうちダミー基板３０２に形成して光学デバイス１０５を形成する構成をとったが、基板３０１とダミー基板間３０２の間隔を均一にする方法であれば、図５に示すように、透明な基板３０１側に突起３０３を設けてもよい。
【００５７】
このような構成にすることで、ダミー基板３０２を除去後も突起３０３が重合性液晶薄膜３０４の中に配置され残る。透明な基板３０１に配置された突起３０３は数が多くなると光学特性に影響が出る為、基板間の間隔を均一化できる範囲でできるだけ少なく配置したがよい。本実施の形態では、突起３０３の数は、対向する基板３０１とダミー基板３０２の間隔を維持し、かつ光学デバイス１０５の光効率をよくするために、１ｍｍ2あたり０．００１〜１個程度配置した。また、できるだけ回折格子形成部分の領域３０９の外側に配置した構成とした。
【００５８】
また図６に示すようにダミー基板３０２側に突起３０３を設けて基板３０１側の凹部３１１を設けて、突起部３０３と凹部３１１をあわせて組み込む構成を取ってもよいし、逆に基板３０１側に突起３０３を設けてダミー基板側の凹部と嵌合させる構成としてもよい。この構成によれば、突起３０３の配置精度がよくなり、光学特性がさらによくなり、回折効率のよい光学デバイス１０５が提供できるようになる。
【００５９】
なお、前記実施の形態では、回折格子を構成する光学デバイスに関して述べたが、他の光学素子を接着剤で貼り合わせた光学デバイス、例えばプリズム等の組み立て部材にも適用ができる。この構成を採ることで、光学デバイス間の間隔を、少なくとも一方の光学材
料に設けた突起の高さで調整することができる。
【００６０】
また、接着剤の厚みを均一化することもでき、屈折率が均一化ができるため光の収差に悪影響を及ぼすことがなく、光学特性のよい光学デバイスを提供できる。
【００６１】
また重合性物質として、複屈折材料を配置する場合にも厚みを均等にできるため、複屈折材料のファクターの１つであるリタデーション値が均一になる。
【００６２】
リタデーション＝Δｎ・ｄ
Δｎ：常光、異常光の屈折率差、ｄ：複屈折材料厚み
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、光ビームを用いて情報記録媒体に情報を記録また前記記録媒体の情報を再生、消去などを行う光ヘッド装置、並びにこの光ヘッド装置を用いた光ディスクドライブ装置として利用することができ、光学特性のよい光ヘッド装置および光ディスクドライブ装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施の形態における光ディスクドライブ装置の一例を示す外観図
【図２】本発明の実施の形態における光ヘッド装置の構成図
【図３】本発明の実施の形態における開口ホログラム波長板の断面図
【図４】本発明の実施の形態における製造の工程図
【図５】本発明の別の実施の形態における製造の一例の工程図
【図６】本発明の別の実施の形態における製造の一例の工程図
【図７】本発明の実施の形態における配向処理の構成図
【図８】従来の実施の形態の断面図
【図９】本発明の実施の形態における基板図
【符号の説明】
【００６５】
９    光ヘッド装置
１０５    光学デバイス
１０６    １／４波長板
１０８ａ    ＤＶＤディスク
１０８ｂ    ＣＤディスク
３０１    基板
３０２    ダミー基板
３０３    突起
３０４    重合性液晶薄膜
３０５    スペーサ
３０６    配向膜
３０７    剥離性配向膜
３０８    凹部
３０９    回折格子形成領域
４００    開口ホログラム波長板
【図１】
2006030845.tif 000003
【図２】
2006030845.tif 000004
【図３】
2006030845.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006030845.tif 000009
【図８】
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【図９】
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