(57)【要約】【課題】  液体の吐出確認が精度よく容易に行なえる液体吐出用ノズルと、それを用いることによって吐出確認のために液状フラックスを多量に消費したり、吐出確認できずに多量の不良品を発生させたりすることなく、製造コストの上昇を抑制できるフラックス塗布装置を提供する。【解決手段】  ノズル３には、超音波ホーン４１の先端面で霧化され吐出する霧状フラックスＦ’の吐出方向において、開口部５１から所定距離離間して温度測定部８０が設けられている。この温度測定部８０は、軸線と直交する受け面８１ａの中心部に測定位置Ｍが形成された温度センサ８１と、温度センサ８１の受け面とは反対側に配置されたヒータ８２とを有している。温度センサ８１の受け面８１ａは、霧状フラックスＦ’中のアルコール成分が蒸発する際の気化熱によって冷やされ、指示温度（測定温度）が急激に低下する。これによって、霧状フラックスＦ’の吐出確認が行なわれる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルコール等の揮発成分を含有するフラックス等の液体を微量毎に吐出するための開口部を有する液体吐出用ノズルであって、
前記液体の吐出方向において、前記開口部から所定距離離間して温度測定部を設け、
その温度測定部は、前記開口部から吐出した液体又はその周囲の大気と接触して、その液体中の揮発成分が蒸発する際に周囲から奪う気化熱を感知し、前記開口部からの前記液体の吐出の有無及び／又は吐出量を検出することを特徴とする液体吐出用ノズル。
【請求項２】
アルコール等の揮発成分を含有するフラックス等の液体を微量毎に超音波振動の印加により霧化させて吐出するための開口部を有する液体吐出用ノズルであって、
霧状となった前記液体の吐出方向において、前記開口部から所定距離離間して温度測定部を設け、
その温度測定部は、前記開口部から吐出した霧状の液体又はその周囲の大気と接触して、その液体中の揮発成分が蒸発する際に周囲から奪う気化熱を感知し、前記開口部からの前記霧状の液体の吐出の有無及び／又は吐出量を検出することを特徴とする液体吐出用ノズル。
【請求項３】
前記温度測定部の近傍には、前記液体中の揮発成分の蒸発を促進するための加熱手段が設けられている請求項１又は２に記載の液体吐出用ノズル。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出用ノズルと、
前記液体として半田付け位置に塗布すべき液状のフラックスを貯留する貯留部と、
その貯留部から前記フラックスを吸引して収納し所定量毎に吐出して前記ノズルに供給するシリンジポンプとを備え、
前記貯留部のフラックスが前記シリンジポンプ内に収納され、そのシリンジポンプ内のフラックスが吐出して前記ノズルに供給され、そのシリンジポンプから供給されたフラックスが前記ノズルの開口部から吐出して、前記半田付け位置にスポット状に塗布されることを特徴とするフラックス塗布装置。
【請求項５】
前記温度測定部は、前記半田付け位置を含む作業エリアとは離れて位置する検査エリア内に配置され、
前記ノズルを前記検査エリア内の測定位置に移動させ、前記温度測定部にて前記開口部からのフラックスの吐出を検出した後前記作業エリア内の半田付け位置に戻り、前記開口部から前記フラックスを塗布する請求項４に記載のフラックス塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は液体吐出用ノズル及びフラックス塗布装置（フラクサあるいはフラクサ装置ともいう）に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリント配線基板の半田付け工程の前工程で用いられるフラックス塗布装置において、液状のフラックスを霧化する霧化器をフラックス塗布用ノズルに備えたものがある。このような霧化式フラクサとして、従来より基板全面に霧状フラックスを噴霧する全面噴霧タイプ（特許文献１参照）が多用されてきた。そして、最近では、超音波振動式霧化器を用いて、多数の塗布位置の各々へ所定量の霧状フラックスをスポット状（ドット状）に塗布する局所塗布タイプも開発されている。
【０００３】
【特許文献１】特公平６−９６１９０号公報
【０００４】
この超音波式局所塗布フラクサ用ノズルでは、図７に示すように、図示しないポンプ等から供給された所定量の液状フラックスＦが、霧化部１４０に備えられる超音波ホーン１４１の先端面で霧化され、基板の半田付け位置Ｓにスポット状に塗布される。このとき、霧化された霧状フラックスＦ’を超音波ホーン１４１の先端面から半田付け位置Ｓへスムーズに移行させるために、霧状フラックスＦ’を取り巻く形でカバー部１５０の先端開口部１５１から加圧空気Ｇを噴出させている。この加圧空気Ｇは、カバー部１５０の内部（カバー部１５０と超音波ホーン１４１との間）に形成されたエアチャージ室１６０に、エア供給継手１７１を介して外部から送り込まれており、エアチャージ室１６０と開口部１５１とは連通している。
【０００５】
近年、回路の高集積度化がますます顕著となり、図７に示す超音波式フラクサ用ノズルにおいても、霧化部１４０を軸線方向に貫通して液状フラックスＦを超音波ホーン１４１の先端面に供給する貫通孔１４０ａの孔径が小さくなっている（例えば０．１ｍｍ程度）。このような貫通孔１４０ａの小径化に伴って、液状フラックスＦあるいは霧状フラックスＦ’が貫通孔１４０ａの先端開口で詰まりを生じやすくなり、半田付け位置Ｓにフラックス塗布がなされないことによる不良品発生率が上昇（歩留りが低下）するおそれがある。このような事態を回避するには、従来では図５に示すように、精密はかり２００のはかり台２０１に設定した測定位置Ｍにおいて霧状フラックスＦ’を下向きに吐出させ、これを受けて秤量するしか方法がなかった。
【０００６】
しかしこのような方法では、１回あたりの吐出量が１ｍｌ以下（時には１００μｌ以下）といった微量のフラックスを秤量するには、高価なはかりを用いかつ周囲環境を一定にして精密に測定しなければならない。さらに、微量ではあっても落下する霧状フラックスＦ’を受ける形で重量を測定するため、落下の衝撃（重力加速度）が測定精度に影響を及ぼすおそれもある。
【０００７】
そのため、実際のフラックス塗布及び半田付け工程においては、基板へのフラックス塗布開始に先立って、半田付け位置（塗布位置）とは異なる場所で、塗布ミスを確実に防止できる回数分（例えば１０回）だけ予備吐出操作を行なうのが一般的であった。したがって、予備吐出操作回数を多めに設定しておく場合には、予備吐出操作で消費されるフラックス量が増大し、製造コストが上昇する一因となる。一方、予備吐出操作回数を少なめに設定しておく場合には、半田付け位置にフラックスが塗布されないことによる不良品発生率の上昇（歩留りの低下）を招くことになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、液体の吐出確認が精度よく容易に行なえる液体吐出用ノズルと、それを用いることによって吐出確認のために液状フラックスを多量に消費したり、吐出確認できずに多量の不良品を発生させたりすることなく、製造コストの上昇を抑制できるフラックス塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の液体吐出用ノズルは、
アルコール等の揮発成分を含有するフラックス等の液体を微量毎に吐出するための開口部を有する液体吐出用ノズルであって、
前記液体の吐出方向において、前記開口部から所定距離離間して温度測定部を設け、
その温度測定部は、前記開口部から吐出した液体又はその周囲の大気と接触して、その液体中の揮発成分が蒸発する際に周囲から奪う気化熱を感知し、前記開口部からの前記液体の吐出の有無及び／又は吐出量を検出することを特徴とする。
【００１０】
また、上記課題を解決するために、本発明の液体吐出用ノズルは、
アルコール等の揮発成分を含有するフラックス等の液体を微量毎に超音波振動の印加により霧化させて吐出するための開口部を有する液体吐出用ノズルであって、
霧状となった前記液体の吐出方向において、前記開口部から所定距離離間して温度測定部を設け、
その温度測定部は、前記開口部から吐出した霧状の液体又はその周囲の大気と接触して、その液体中の揮発成分が蒸発する際に周囲から奪う気化熱を感知し、前記開口部からの前記霧状の液体の吐出の有無及び／又は吐出量を検出することを特徴とする。
【００１１】
これらの液体吐出用ノズルによれば、揮発成分が蒸発する際に周囲から奪う気化熱に着目して液体の吐出確認を行なうものであるから、予備吐出操作１回ごとに吐出確認が行なえる。このように、吐出確認が精度よく容易に行なえるので、吐出用の液体を無駄に消費することがない。しかも、吐出された液体又はその周囲の大気と接触して温度変化を測定する温度測定部（温度センサ）を設けるだけの簡素な構成ですむ。なお、ここで言う「吐出確認」には吐出有無の確認（検出）と吐出量過不足の確認（検出）とを含む。
【００１２】
例えば、液状のフラックスを例にとると、アルコール成分が全体の約９７％を占める場合もあり、アルコール成分はフラックスが吐出してから数秒間（例えば２〜３秒間）のうちに蒸発して、その気化熱によって周囲の温度を下げるように作用する。そこで、温度センサによってこの間の温度変化を測定すれば、予備吐出操作１回ごとにフラックスが吐出されたか否かを確認できる。また、温度変化の度合い（大小）により、フラックスの吐出量が設定値に達しているか否かを検定することも可能となる。
【００１３】
なお、温度測定部に用いることのできる温度センサとして、熱電対、測温抵抗体、サーミスタ等の接触式センサがある。
【００１４】
そして、温度測定部の近傍には、液体中の揮発成分の蒸発を促進するための加熱手段を設けてもよい。揮発成分の割合が相対的に低い液体や常温で揮発しにくい液体の場合でも、加熱手段で蒸発を促進することによって、より短時間で吐出確認が行なえるようになる。なお、加熱手段には、通電による発熱を利用するもの、燃焼や化学反応による発生熱を利用するもの、高温体からの輻射熱を利用するもの等が用いられる。
【００１５】
次に、上記課題を解決するために、本発明のフラックス塗布装置は、
上記した液体吐出用ノズルと、
液体として半田付け位置に塗布すべき液状のフラックスを貯留する貯留部と、
その貯留部からフラックスを吸引して収納し所定量毎に吐出してノズルに供給するシリンジポンプとを備え、
貯留部のフラックスがシリンジポンプ内に収納され、そのシリンジポンプ内のフラックスが吐出してノズルに供給され、そのシリンジポンプから供給されたフラックスがノズルの開口部から吐出して、半田付け位置にスポット状に塗布されることを特徴とする。
【００１６】
このように、上記した液体吐出用ノズルをフラックス塗布用ノズルとして用い、フラックス塗布装置に適用することによって、予備吐出操作１回ごとに吐出確認が精度よく容易に行なえるので、液状フラックスを無駄に消費することがない。したがって、吐出確認のために液状フラックスを多量に消費したり、吐出確認できずに多量の不良品を発生させたりすることなく、製造コストの上昇を抑制できる。また、予備吐出操作（吐出確認）は、例えばワーク交換等の段取り換えと並行処理できるので、作業工程上の時間ロスをほとんど生じない。
【００１７】
このようなフラックス塗布装置において、温度測定部が、半田付け位置を含む作業エリアとは離れて位置する検査エリア内に配置されていると、ノズルを検査エリア内の測定位置に移動させ、温度測定部にて開口部からのフラックスの吐出を検出した後作業エリア内の半田付け位置に戻り、開口部からフラックスを塗布することができる。このように、フラックスの吐出確認を半田付け位置（すなわちワークの塗布位置）に代わる検査エリア内の測定位置で行なうことによって、半田付け位置（塗布位置）ひいては作業エリアの配置を制限したり、作業工程を複雑化したりすることがない。しかも、フラックスの吐出確認は上記したようにワーク交換と同時に並行して行なえるので、無駄時間の発生を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（実施例）
以下、本発明の実施の形態を図面に示す実施例を参照しつつ説明する。図１は本発明に係るフラックス塗布用ノズルを用いた制御構成の一例を示す説明図である。図１に示すように、フラックス塗布用ノズル３（液体吐出用ノズル）は、後述するシリンジポンプユニット１（図２参照）等から供給された所定量（例えば１回あたり１００μｌ）のアルコール入り液状フラックスＦ（液体）を先端面で霧化する軸状の霧化部４０と、霧化部４０を中心として半径方向に所定距離離間してその周囲を取り巻く筒状のカバー部５０と、霧化部４０とカバー部５０との間に形成される環状の空間であるエアチャージ室６０（圧力室）とを備えている。
【００１９】
霧化部４０には、先端に向かうにつれて縮径し、少なくとも軸線方向（上下方向）に微小振動（例えば振幅２μｍ）する超音波ホーン４１（超音波振動部）が備えられ、超音波ホーン４１の先端面で液状フラックスＦの霧化が行なわれる。この超音波ホーン４１は、ダンパ等の緩衝部材（図示せず）を介して支持部４２に保持されている。また、支持部４２は、その外周面に形成されたねじ部４２ａによってカバー部５０に螺合されている。したがって、フラックス供給継手４３（液体供給口）から供給された液状フラックスＦは、霧化部４０を軸線方向（上下方向）に貫通形成された貫通孔４０ａを通り、超音波ホーン４１の先端面で微小振動を受けて霧化され、霧状のフラックスＦ’が軸線方向に吐出する。
【００２０】
カバー部５０の一端側（下端側）には、超音波ホーン４１（霧化部４０）の先端面を外部に突出させるための開口部５１が形成されている。この開口部５１の下方において、霧化部４０を貫通する貫通孔４０ａの出口側（下端側）が開口している。また、開口部５１とエアチャージ室６０とは連通している。
【００２１】
エアチャージ室６０には、コンプレッサ７５（図示せず）等で加圧された空気Ｇ（加圧気体）が供給されている。この加圧空気Ｇは、超音波ホーン４１（霧化部４０）の先端面で霧化され吐出する霧状フラックスＦ’を取り巻く形で開口部５１から噴出する。なお、符号７１は、加圧空気Ｇをエアチャージ室６０に導入するために、カバー部５０の周面にねじ止めされるエア供給継手（気体供給口）である。
【００２２】
ノズル３には、超音波ホーン４１の先端面で霧化され吐出する霧状フラックスＦ’の吐出方向（軸線方向）において、開口部５１から所定距離離間して温度測定部８０が設けられている。この温度測定部８０は、軸線と交差（直交）する受け面８１ａ（対向面）の中心部に測定位置Ｍが形成された温度センサ８１（例えば測温抵抗体、サーミスタ、熱電対）と、温度センサ８１の受け面とは反対側（裏側）に配置されたヒータ８２（加熱手段；例えば電熱式ヒータ）とを有している。
【００２３】
制御部９０は、ノズル３からの吐出確認及びノズル３の移動制御を司るために、ＣＰＵ９２，ＲＡＭ９３，ＲＯＭ９４，入出力インターフェース９１，９５等を有し、これらが送受信可能に接続されたマイクロコンピュータにより構成されている。ＣＰＵ９２は、ＲＯＭ９４から読み込んだ制御プログラムに基づいてノズル３からの吐出確認等を実行する。ＲＡＭ９３はそのプログラムを実行する際のワークエリアとして使用される。
【００２４】
温度センサ８１による温度検出信号（測定データ）が、入力インターフェース９１を介して制御部９０へ入力されている。一方、制御部９０からの制御信号が、出力インターフェース９５を介してノズル移動アクチュエータ９６（例えばエアシリンダ）と警報装置９７とに出力されている。
【００２５】
次に、図２に示すフローチャートと図３のグラフを用いて、霧状フラックスＦ’の吐出確認等を行なう際の手順を説明する。まず、Ｓ１にてノズル３の軸線を温度測定部８０（温度センサ８１）の測定位置Ｍに一致させ、霧状フラックスＦ’を軸線方向（下向き）に吐出させる。このとき、霧状フラックスＦ’が超音波ホーン４１の先端面から温度センサ８１の受け面８１ａへ移行しやすくするために、吐出する霧状フラックスＦ’を取り巻く形で、加圧空気Ｇが開口部５１から噴出される。そして、Ｓ２にてタイマのカウントを開始するとともに、第一回の温度測定（測定値Ｔ１）を行なう。そして、温度センサ８１の受け面８１ａに霧状フラックスＦ’が到達（付着）し、霧状フラックスＦ’中のアルコール成分が蒸発するに要する時間が経過したとき、すなわち受け面８１ａでの気化完了までの設定時間（例えば１〜３秒間）が経過したとき（Ｓ３でＹＥＳ；図３のΔｔ）、Ｓ４にて第二回の温度測定（測定値Ｔ２）を行なう。
【００２６】
次に、Ｓ５にて両測定値の温度差Ｔ１−Ｔ２とアルコール成分の蒸発による温度差ΔＴ（推定閾値）とを比較する。前者が後者以上であれば（Ｓ５でＹＥＳ；図３参照）、吐出正常と判断し、エアシリンダ９６（図１参照）を作動させてノズル３をフラックス塗布等の作業エリアに移動させる（図４参照）。
【００２７】
このときの状況を図３により説明すると、温度センサ８１の受け面８１ａは、霧状フラックスＦ’中のアルコール成分が蒸発する際の気化熱によって冷やされ、設定時間Δｔが経過するまでに指示温度（測定温度）が急激に低下している。
【００２８】
図２に戻り、前者が後者未満であれば（Ｓ５でＮＯ）、吐出異常（詰まり発生）と判断し、警報装置９７を移動させる。
【００２９】
このようにして、霧状フラックスＦ’の吐出確認、すなわち開口部５１からの霧状フラックスＦ’の吐出有無の検出（又は吐出量過不足の検出）が行なわれる。なお、温度測定部８０側に吹き付けられる加圧空気Ｇの噴出流によって受け面８１ａが冷却されて誤作動しないように、受け面８１ａでの気化完了までの設定時間Δｔ（例えば１〜３秒間）よりも、加圧空気Ｇの噴出時間を短く（例えば０．１〜０．５秒間）しておくことが望ましい。
【００３０】
また、ヒータ８２を併用しながら温度センサ８１で温度測定を行なう場合でも、以上の説明と同様にして吐出確認等を行なえばよい。ただし、ヒータ８２による加熱効果により、気化完了までの設定時間は相対的に短縮されてΔｔ’となる。また、霧状フラックスＦ’中のアルコール成分の蒸発（気化）が活発化するため、温度差の閾値は相対的に大きくなってΔＴ’に設定される。このように、ヒータ８２を用いることによって、揮発成分の割合が相対的に低いフラックスや常温で揮発しにくいフラックスの場合でも蒸発（気化）が促進されて、より短時間で吐出確認が行なえる。
【００３１】
図４は、図１のフラックス塗布用ノズルを用いたフラックス塗布装置の一例を示す配管図である。図４のフラックス塗布装置１００は、図１で説明したフラックス塗布用ノズル３と、プリント配線基板Ｗ（ワーク）の半田付け位置Ｓに塗布する液状のフラックスＦ（液体）を貯留する貯留タンク２（貯留部）と、貯留タンク２からシリンジポンプ１０内に収納したフラックスＦを所定量毎に吐出してノズル３に供給するシリンジポンプユニット１とを備えている。
【００３２】
シリンジポンプユニット１は、液状のフラックスＦが収納されるシリンジポンプ１０と、可逆式電動モータ２０（駆動源；例えばステッピングモータ）と、モータ２０からの駆動力をシリンジポンプ１０へ動力伝達する伝動機構３０とを備えている。
【００３３】
シリンジポンプ１０は、フラックスＦを吐出又は吸引する開口部１１ａが一端側に形成されたシリンダ１１と、そのシリンダ１１の他端側から摺動可能に挿入されたピストン１２とを有している。モータ２０は、シリンジポンプ１０のピストン１２を軸線方向に直線的に移動させて、開口部１１ａからフラックスＦを所定量毎に吐出又は吸引させる。また、伝動機構３０において、カップリング２１を介してモータ２０と接続されたボールねじ３９（ねじ部材）がピストン１２と平行状に配置されている。そして、ボールねじ３９の雌ねじ部材３９ａは、ピストン１２の基端部と連結され、かつそのピストン１２と平行状に配置された直線状のガイド３９ｂに摺動可能に着座している。
【００３４】
シリンダ１１の開口部１１ａからノズル３に至る管路及び貯留タンク２からシリンダ１１の開口部１１ａに至る管路には、４ポート２位置型の電磁切換弁１０１が介装されている。また、雌ねじ部材３９ａの移動範囲を規定するリミットスイッチ１０２Ａ，１０２Ｂの検知信号に基づいて、電磁切換弁１０１（のソレノイド）及びモータ２０に作動制御信号が発せられる。
【００３５】
図４では、電磁切換弁１０１がシリンダ１１の開口部１１ａとノズル３とを連通させる位置（ａ位置）にあり、貯留タンク２からシリンダ１１の開口部１１ａに至る管路は閉じられている。この状態で、モータ２０が一方向（例えば反時計回り）に回転すると、ピストン１２が上向きに移動して開口部１１ａから一定量毎にシリンダ１１内のフラックスＦを吐出する。そのフラックスＦは電磁切換弁１０１を介してノズル３に供給され、液状フラックスＦ（又は上記した霧状フラックスＦ’）がプリント配線基板Ｗの半田付け位置Ｓに塗布される。
【００３６】
雌ねじ部材３９ａがリミットスイッチ１０２Ｂに当接すると、その検知信号に基づいて、電磁切換弁１０１が貯留タンク２とシリンダ１１の開口部１１ａとを連通させる位置（ｂ位置）に切り換えられ、シリンダ１１の開口部１１ａからノズル３に至る管路は閉じられる。同時に、モータ２０の回転も逆方向（例えば時計回り）に切り換わり、ピストン１２は下向きに移動し、電磁切換弁１０１を介して貯留タンク２からフラックスＦを汲み上げて、開口部１１ａから一定量毎にフラックスＦを吸引しシリンダ１１内に収納する。
【００３７】
そして、雌ねじ部材３９ａがリミットスイッチ１０２Ａに当接すると、再び図４の工程を繰り返す。以下同様にして、開口部１１ａからのフラックスＦの吐出と吸引とが、フラックス塗布装置１００を長時間停止させることなく継続的に行なわれる。
【００３８】
なお、これらの各工程を通じ、貯留タンク２を密閉状にして加圧気体（例えば加圧空気）を導入し、フラックスＦの液面に与圧をかけておくことが望ましい。これによって、吸引工程で、シリンジポンプ１０による貯留タンク２からの汲み上げが容易になり、気泡の混入頻度も低下する。
【００３９】
次に、ワーク（プリント配線基板Ｗ）に対するフラックス塗布が終了し、次のワークとの交換が行なわれるとき、図５に拡大して示すように、ノズル３は、半田付け位置Ｓ（塗布位置）を含む作業エリアから離れて位置する検査エリア内の測定位置Ｍに移動する。この検査エリアには図１とほぼ同様の温度測定部８０が配置され、温度センサ８１は測定皿８３に載置されている。
【００４０】
検査エリア内では、図２，図３の説明と同様にして、霧状フラックスＦ’の吐出確認が行なわれる。吐出正常と確認されると、エアシリンダ９６（図１参照）の作動によって（図２のＳ６）、ノズル３は再び作業エリア内の半田付け位置Ｓ（塗布位置）に戻り、次のワークに対するフラックス塗布工程を開始する。
【００４１】
ところで、ワーク交換時間（通常５秒間以上）よりも受け面８１ａでの気化完了までの設定時間Δｔ（図３参照；例えば１〜３秒間）の方が短くなるように設定すれば、ワーク交換毎に検査エリア内でノズル３の吐出確認を行なっても、無駄時間を生じにくい。
【００４２】
図５のようにノズル３を移動させる代わりに、図６に示す態様を採用してもよい。図６では、ノズル３を固定配置するとともに、温度センサ８１、ヒータ８２、測定皿８３をユニット化し、そのユニット化された検査ユニット８００を検査位置と退避位置との間で移動させている。この例では、ノズル３は、検査ユニット８００が退避位置にあるときフラックス塗布工程を実行し、検査ユニット８００が検査位置にあるとき吐出検査工程を実行することになる。
【００４３】
なお、以上の実施例では、液体吐出用ノズルをフラックス塗布用ノズル３としてフラックス塗布装置１００に適用する場合のみについて説明したが、液体吐出用ノズルをその他の液体にも適用することができる。また、温度センサ８１は、図１や図５のように直接霧状フラックスＦ’に接触する形態で用いられる他、図５の測定皿８３に埋め込んだり、測定皿８３の下面（裏面）に貼り付けたりする非接触形態で用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係るフラックス塗布用ノズルを用いた制御構成の一例を示す説明図。
【図２】図１の制御例を示すフローチャート。
【図３】温度センサによる測定温度の経時変化を示すグラフ。
【図４】図１のフラックス塗布用ノズルを用いたフラックス塗布装置の一例を示す配管図。
【図５】フラックス塗布装置における本発明の実施形態を示す拡大説明図。
【図６】図５の変形例を示す説明図。
【図７】従来のフラックス塗布用ノズルを示す説明図。
【符号の説明】
【００４５】
１        シリンジポンプユニット
２        貯留タンク（貯留部）
３        フラックス塗布用ノズル（液体吐出用ノズル）
１０Ａ，１０Ｂ  シリンジポンプ
４０      霧化部
４０ａ    貫通孔
４１      超音波ホーン（超音波振動部）
５０      カバー部
５１      開口部
６０      エアチャージ室（圧力室）
８０      温度測定部
８１      温度センサ
８２      ヒータ（加熱手段）
１００    フラックス塗布装置
Ｆ        液状フラックス（液体）
Ｆ’      霧状フラックス
Ｇ        加圧空気（加圧気体）
Ｍ        測定位置
Ｓ        半田付け位置（塗布位置）
Ｗ        プリント配線基板（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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