(57)【要約】      （修正有）【課題】  圧電アクチュエータ、その製造方法、その駆動方法、及び、磁気ディスク装置に関し、高温・高湿の動作環境における連続駆動を可能にする。【解決手段】圧電アクチュエータ１に直流電圧を印加し続けると、マイグレーションが起こりやすいが、同じ温度でも、乾燥雰囲気では正常に動作する。これは、アクチュエータ１に水分が吸着し劣化を促進している可能性がある。従って、  圧電アクチュエータ１に、圧電アクチュエータ１自身を加熱する無機物の発熱体４を一体に設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電アクチュエータ自身を加熱する無機物の発熱体を具備したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
上記圧電アクチュエータが積層アクチュエータであり、圧電体層の積層面と平行に発熱体を配置したことを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
圧電材料と発熱体材料を同時に形成したのち、一体焼成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項４】
請求項１または２に圧電アクチュエータを水の沸点よりも高い温度で動作させることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動方法。
【請求項５】
請求項１または２に記載の圧電アクチュエータを磁気ヘッド微小移動手段として搭載したことを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電アクチュエータ、その製造方法、その駆動方法、及び、磁気ディスク装置に関するものであり、特に、抗電界の低いソフト材を用いた圧電アクチュエータの側面に露出する電極のマイグレーションに起因する高温・高湿環境下における劣化を抑制するための素子構造に特徴のある圧電アクチュエータ、その製造方法、その駆動方法、及び、磁気ディスク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の小型化・精密化が進んでおり、微小な移動距離が必要なアクチュエータの需要が高まっている。
例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等では、微小距離を移動制御することができる圧電アクチュエータが必要となっている。
【０００３】
この様な小型化・精密化とともに、低電圧化も進み、アクチュエータ自身も薄膜化を行い、低電圧で大きな変位が得られる積層型のアクチュエータが開発されているが、このようなアクチュエータは、結果として、アクチュエータに印加される電界は増大することになり、信頼性が課題となることが多い。
【０００４】
特に、磁気ディスク装置では、圧電アクチュエータに要求される制御距離が大きいため、アクチュエータに印加される電界がかなり大きく、また、動作環境も厳しく、高温・高湿環境での動作を保証しなければならず、高い信頼性が要求されている。
【０００５】
上記の要求特性の内、変位特性を満足するものとして各種の圧電アクチュエータが知られており（例えば、特許文献１乃至特許文献３参照）、また、特許文献１においては電極の剥離を防止して信頼性を高めるために電極材料の圧電アクチュエータを構成するセラミックスを混入することが提案されている。
【０００６】
この様な変位特性に優れた圧電アクチュエータにおいては、ヘッドの変位ストロークを上げるためにＰｂ（Ｎｉ、Ｎｂ）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 （ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ）等の圧電定数の高い材料を使用しているので、ここで図９を参照して従来の積層型圧電アクチュエータを説明する。
【０００７】
図９参照  
図９は従来の積層型圧電アクチュエータの概略的斜視図であり、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ等の圧電体層４１となるグリーンシート上にＰｔ等の内部電極層４２をスクリーン印刷し、次いで、その上に新たなグリーンシートを重ね再び内部電極層４２をスクリーン印刷し、この工程を必要とする積層数だけ繰り返して圧電体ブロックを形成する。
【０００８】
次いで、圧電体ブロックを大気中で例えば、１０５０℃で焼成し、圧電体ブロックをカットソーにより所定の大きさに切断し、側面にＡｕ等を蒸着し、露出する内部電極層４２を交互に接続する表面電極４３を設けたものである。
【特許文献１】特開２００４−０３０８２３号公報
【特許文献２】特開２００３−２８４３６２号公報
【特許文献３】特開２００３−０６１３７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、上記のような圧電アクチュエータを高温・高湿環境下で動作し続けると極端に劣化（絶縁抵抗低下）が早くなるという問題がある。
【００１０】
例えば、Ｐｂ（Ｎｉ、Ｎｂ）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 （ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ）を用いて層厚４０μｍ×３層の積層型アクチュエータを作製し、環境温度８０℃、湿度８０％の環境に置き、約６０ＶのＤＣ電圧を連続的に印加した場合、試験前は、３００ＧΩ以上あった絶縁抵抗は、２５０時間後には、２．５ＭΩまで低下した。
【００１１】
劣化の原因は、側面に電極が露出していることによるマイグレーションと考えられている（必要ならば、Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，Ｖｏｌ．３７，Ｎｏ．９Ｂ，ｐｐ．５３０６−５３１０，１９９８参照）。
即ち、圧電アクチュエータにおいて、直流電圧を印加し続けると、特に、高湿環境では電極材料などが、一方の電極から他方の電極に向かって電界に引かれて拡散するマイグレーションが起こりやすくなる。
【００１２】
図１０参照  
この様なマイグレーションに対する耐性を高めるためには図１０に示すように、側面に電極が露出しないような構成をとることも可能であるが、そのような構成の場合、壁４４が変位量を拘束してしまい、圧電アクチュエータが本来持っている変位量を低減させてしまい、要求される変位特性を満たせないことが多い。
以上の事情から、依然として信頼性まで含めた高性能圧電アクチュエータが開発されていないのが現状である。
【００１３】
したがって、本発明は、高温・高湿の動作環境における側面に露出している電極に起因するマイグレーションを抑制して絶縁抵抗の低下を防止し、連続駆動を可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
図１は本発明の原理的構成図であり、ここで図１を参照して、本発明における課題を解決するための手段を説明するが、図における符号５，６はそれぞれ表面電極及びヒータ電極である。
図１参照
上記課題を解決するために、本発明は、圧電アクチュエータ１において、圧電アクチュエータ１自身を加熱する無機物の発熱体４を具備したことを特徴とする。
【００１５】
上述のように、直流電圧あるいはバイアス電圧を伴ったパルス電圧を印加し続けると、マイグレーションが起こりやすく、特に高湿環境では加速され１００時間程度で絶縁性が低下してしまうが、同じ温度であっても、乾燥雰囲気では正常に動作するため、圧電アクチュエータ１表面に水分子が吸着し、劣化を促進している可能性がある。
【００１６】
そこで、圧電アクチュエータ１に発熱体４を具備し、圧電アクチュエータ１自身を加熱することで、圧電アクチュエータ１の表面への水分子の吸着を抑制することができ、それによって、高湿環境でも長時間にわたり良好に動作することが可能になる。
【００１７】
特に、マイクロアクチュエータでは、ヒータを作製してアクチュエータに取り付ける工程が困難なであるため、圧電アクチュエータ１が積層アクチュエータである場合には、圧電体層２の積層面と平行に発熱体４を配置するような一体構成とすることが望ましく、それによって、小型の圧電アクチュエータ１に発熱体４を組み込むことが容易になる。
【００１８】
また、圧電アクチュエータ１が本来持っている変位量を低減させないために、積層アクチュエータを構成する内部電極層３が積層アクチュエータの側端面に露出するように構成した場合にも、電極材料のマイグレーションによる劣化を防止することができる。
【００１９】
また、発熱体４としては、正の熱抵抗係数（ＰＴＣ）を有する発熱体４、典型的には主成分がＢａＴｉＯ3 の発熱体４が望ましく、それによって、必要以上の温度上昇を抑制することができるため、ヒータ抑制機構が不要になり構成が簡素化される。
【００２０】
或いは、発熱体４は、Ｐｔ等の金属で構成しても良く、この場合には内部電極層３と同様な工程で圧電アクチュエータ１内に組み込むことができる。
【００２１】
上述の発熱体４を具備した圧電アクチュエータ１を製造する場合には、通常の焼成工程を利用して圧電材料と発熱体材料を同時に形成したのち、一体焼成すれば良い。
【００２２】
また、上述の圧電アクチュエータ１を駆動する場合には、動作雰囲気温度よりも高い温度で動作させることが望ましく、それによって水分の露結による付着を防止することができる。
特に、圧電アクチュエータ１を水の沸点よりも高い温度で動作させることにより、水分の露結は全く発生することがなくなる。
【００２３】
また、発熱体４を常時駆動する必要はなく、劣化が顕著に起きやすい動作雰囲気の湿度が４０％以上の時のみ上記発熱体４を駆動するようにすれば良い。
【００２４】
なお、いずれの場合にも、圧電アクチュエータ１を圧電アクチュエータ１を構成する圧電材料のキュリー温度よりも低い温度で動作させることが望ましく、それによって、圧電特性自体の劣化を防止することができる。
【００２５】
また、上述の圧電アクチュエータ１を磁気ヘッド微小移動手段、望ましくは、磁気ヘッドを構成するスライダ駆動手段として設けることが好適であり、それによって、磁気ディスク装置を高温高湿下で安定して連続駆動することが可能になる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、圧電アクチュエータ自身を加熱する無機物の発熱体を具備し、積層面と平行に発熱体を配置させることで、圧電材料と発熱体材料を一体に形成でき構成が簡素化されるとともに、圧電アクチュエータを発熱体により加熱することで、高湿環境下でも良好な連続駆動が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明は、ＰＮＮ−ＰＺＴ等の圧電体材料からなるとともにその表面に内部電極パターンを印刷したグリーンシートを積層させ、この積層体の上下面の少なくとも一方にＢａＴｉＯ3 等の発熱材料からなるグリーンシート或いは発熱体パターンを形成したグリーンシートを積層したのち焼成して、圧電アクチュエータとヒータを一体化したものである。
【実施例１】
【００２８】
ここで、図２及び図３を参照して、本発明の実施例１のヒータ付き圧電アクチュエータの製造方法を説明する。
図２参照  
まず、ＰｂＯ、ＮｉＯ、Ｎｂ2 Ｏ5 、ＴｉＯ2 、及び、ＺｒＯ2 の各原料を所定量秤量し、溶媒として純水（Ｈ2 Ｏ）またはアルコールを用いて、ボールミルによって湿式粉砕しながら混合する。
なお、この場合の各原料はいずれも粉末状であり、例えば、各原料がモル％において、ＰｂＯ：ＮｉＯ：Ｎｂ2 Ｏ5 ：ＴｉＯ2 ：ＺｒＯ2 ＝５０：８．３：１６．３：１７：８になるように秤量する。
【００２９】
次いで、湿式混合したスラリーをミルから取り出し、ボールを分離除去したのち、乾燥器中で溶媒の水を蒸発させることによって粉末を乾燥させる。
次いで、乾燥した粉末を電気炉に入れ、例えば、８５０℃で３時間仮焼成させてペロブスカイト構造を有するＰｂ（Ｎｉ、Ｎｂ）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 （ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺ）の化合物からなる仮焼粉末を得る。
【００３０】
次いで、得られた粉末に対し、溶媒、バインダ、可塑剤、及び、分散剤を添加し、再び、ボールミルを用いて湿式混練する。
この場合の溶媒としてはエチルアルコールを、バインダとしてはポリビニルブチラールを、可塑剤としてはフタル酸ジブチルを、分散剤としてはセルナ５０１（中京油脂社製商品名）を用いるものであり、混合比は粉末１００重量部に対して、
エチルアルコール                        ３５．０重量部
ポリビニルブチラール                      ５．０重量部
フタル酸ジブチル                          １．９重量部
セルナ５０１（中京油脂社製商品名）        １．８重量部
とする。
【００３１】
次いで、混練したスラリーをミルから取り出し、ボールを分離除去したのち、脱泡器の中に入れてエチルアルコールを蒸発させてスラリーの粘度を調整する。
【００３２】
次いで、粘度を調整したスラリーをドクターブレード法によって、マイラーシート上に、厚さが、例えば、焼成後に３８μｍになるようにシート状に形成し、乾燥させることによって圧電体グリーンシート１１としたのち、乾燥した圧電体グリーンシート１１を切断し、所定の大きさに打ち抜く。
【００３３】
次いで、圧電体グリーンシート１１上に、例えば、白金ペーストをスクリーン印刷法によって印刷することによってベタパターンの内部電極層１２を形成する。
【００３４】
一方、圧電体グリーンシート１１と同様な製造方法によりＢａＴｉＯ3 となる発熱体グリーンシート１３を形成する。
なお、この時の発熱体グリーンシート１３の厚さは、焼成後の厚さが２０μｍになるようにシート状に形成する。
【００３５】
次いで、内部電極層１２をスクリーン印刷した圧電体グリーンシート１１を４枚重ねるとともに、必要に応じて何も印刷していないグリーンシートを上下に重ねたのち、さらに、その上下に発熱体グリーンシート１３を重ね、プレスを用いて、例えば、１００℃の熱を加えながら一軸加圧成形する。
なお、何も印刷していないグリーンシートは、全体の厚さが薄い場合に、良好な焼成が行われないために設けるものであり、素子特性には直接影響しないものである。
【００３６】
図３参照  
次いで、グリーンシート積層体を電気炉において、例えば、５００℃で４時間熱処理することによってグリーンシート中のバインダ或いは可塑剤等の有機成分を飛ばして脱脂したのち、脱脂したグリーンシートを再び電気炉において、１０００℃以上、例えば、１０５０℃において６時間焼成することによって、ａＰｂＮｉ1/3 Ｎｂ2/3 Ｏ3 −ｂＰｂＴｉＯ3 −ｃＰｂＺｒＯ3 の組成の圧電体層１５の表裏にセラミックヒータ１６を設けた圧電アクチュエータ母体１４を得ることができる。
なお、この場合、組成比ａ，ｂ，ｃは、上記の秤量比の場合には、ａ≒０．５、ｂ≒０．３４、ｃ≒０．１６となる。
【００３７】
次いで、圧電アクチュエータ母体１４の内部電極層１２が交互に露出している一対の端面にＡｕを選択的に蒸着して表面電極１７及びヒータ電極１８を形成する。
【００３８】
次いで、ダイシングソーを用いて所定の幅に切り出すことによって、本発明の実施例１のヒータ付き圧電アクチュエータ１０が得られる。
【００３９】
このようにして作製されたヒータ付き圧電アクチュエータ１０を８０℃８０％の高温・高湿環境に置き、互いに対向する端面に設けた一対のヒータ電極１８を介してセラミックヒータ１６に電流を流して１２０℃に加熱した状態で、約６０ＶのＤＣ電圧を連続的に印加したところ、試験前、２５０ＧΩ以上あった絶縁抵抗は、１０００時間後も２５０ＧΩ以上あり、全く絶縁性は失われていなかった。
【００４０】
このように、本発明の実施例１の圧電アクチュエータにおいては、高温・高湿環境下で駆動する場合に、圧電アクチュエータに一体形成したヒータを加熱して温度を水の沸点以上に高めた状態で駆動しているので、駆動中に圧電アクチュエータの露出面に水分が付着することがなく、したがって、マイグレーションに起因する絶縁抵抗の低下が発生することがない。
【００４１】
また、本発明の実施例１の圧電アクチュエータにおいては、製造段階で圧電アクチュエータにヒータを一体焼成しているので、マイクロアクチュエータにおいてもヒータを一体化することが可能になる。
【００４２】
また、ＢａＴｉＯ3 は正の熱抵抗係数を有しているので、温度が上昇するにしたがって抵抗が大きくなり電流が流れにくくなり、セラミックヒータ１６の発熱量が自動的に抑制されるので、ヒータ制御機構を別途設ける必要がない。
【実施例２】
【００４３】
次に、図４を参照して本発明の実施例２のヒータ付き圧電アクチュエータを説明するが、製造工程自体は上記の実施例１と同様であるので、構造のみ説明する。
図４参照  
図４は、本発明の実施例２のヒータ付き圧電アクチュエータの概略的斜視図であり、焼成前に積層する発熱体グリーンシートを上表面にのみ設けたものであり、それによって、最終構造としても上表面にのみセラミックヒータ１６を備えたヒータ付き圧電アクチュエータ１９が得られる。
【００４４】
このように、本発明の実施例２においては、セラミックヒータ１６を一方の表面にのみ設けているので、素子構造を小型化・簡素化することができる。
【実施例３】
【００４５】
次に、図５を参照して本発明の実施例３のヒータ付き圧電アクチュエータを説明するが、製造工程自体は上記の実施例１と同様であるので、構造のみ説明する。
図５参照  
図５は、本発明の実施例３のヒータ付き圧電アクチュエータの概略的斜視図であり、焼成する際に、表裏に設けた発熱体グリーンシートを被覆するように何も印刷していないグリーンシートを重ねたのち、焼成したものであり、セラミックヒータ１６の表面が絶縁用セラミック層２１で覆われたヒータ付き圧電アクチュエータ２０が得られる。
【００４６】
このように、本発明の実施例３においては、セラミックヒータ１６を絶縁用セラミック層２１で電気的に絶縁しているので、圧電アクチュエータを磁気ディスク装置のアームに取り付ける際にセラミックヒータ１６に起因する短絡を考慮することなく、圧電アクチュエータを取り付けることが可能になる。
【実施例４】
【００４７】
次に、図６及び図７を参照して本発明の実施例４のヒータ付き圧電アクチュエータの製造方法を説明するが、ヒータの構成が異なるだけでグリーンシートの製造方法は上記の実施例１と同様であるので、手順のみを簡単に説明する。
図６参照  
まず、上記の実施例１と全く同様に内部電極層１２を印刷した圧電体グリーンシート１１を作製するとともに、圧電体グリーンシート１１と全く同様の組成のヒータ用グリーンシート２２の表面にＰｔからなるヒータ用電極パターン２３を印刷する。
【００４８】
次いで、内部電極層１２をスクリーン印刷した圧電体グリーンシート１１を４枚重ねるとともに、必要に応じて何も印刷していないグリーンシートを上下に重ねたのち、さらに、その上下にヒータ用グリーンシート２２を重ね、プレスを用いて、例えば、１００℃の熱を加えながら一軸加圧成形する。
【００４９】
図７参照  
次いで、グリーンシート積層体を電気炉において、例えば、５００℃で４時間熱処理することによってグリーンシート中のバインダ或いは可塑剤等の有機成分を飛ばして脱脂したのち、脱脂したグリーンシートを再び電気炉において、１０００℃以上、例えば、１０５０℃において６時間焼成することによって表裏に金属ヒータ２５を設けた圧電アクチュエータ母体２４を得ることができる。
【００５０】
次いで、圧電アクチュエータ母体２４の内部電極層１２が交互に露出している一対の端面にＡｕを選択的に蒸着して表面電極１７及びヒータ電極２６を形成する。
【００５１】
最後に、ダイシングソーを用いて所定の幅に切り出すことによって、本発明の実施例４のヒータ付き圧電アクチュエータ２７が得られる。
【００５２】
このように、本発明の実施例４においては、ヒータを金属ヒータ２５で構成しているので、圧電体グリーンシート同じ材料及び同じ印刷工程を利用してヒータ付き圧電アクチュエータを製造することができ、製造工程が簡素化される。
【００５３】
この実施例４の場合にも、高温・高湿環境下で駆動する場合にヒータ電極２６を介して金属ヒータ２５に電流を流すことによって、圧電アクチュエータを水の沸点以上の温度に加熱した状態で動作させることによって、絶縁抵抗の低下を防止することができる。
【実施例５】
【００５４】
次に、図８を参照して本発明の実施例５の磁気ディスク装置を説明するが、ここでは、圧電アクチュエータとして上記実施例３のヒータ付き圧電アクチュエータを採用した場合を示す。
図８参照  
図８は、上述のヒータ付き圧電アクチュエータを採用した本発明の実施例５の磁気ディスク装置の本体部を示す要部斜視図であり、磁気ディスク装置３０は、磁気ディスク３１に書き込まれた磁気情報を読み取るとともに、磁気ディスク３１に磁気情報を書き込む磁気センサを備えたスライダ３２、サスペンション（図示を省略）を介してスライダ３２を先端部に取り付けた微動アーム３３、微動アーム３３を駆動する一対のヒータ付き圧電アクチュエータ２０、微動アーム３３を軸３５により揺動支持するとともに磁気ディスク装置３０のシャーシ（図示を省略）に回動可能に支持されたベースアーム３４、ベースアーム３４を駆動する電磁アクチュエータ３６によって構成される。
この場合、ヒータ付き圧電アクチュエータ２０は、その上下面が微動アーム３３の後端部とベースアーム３４の先端部に接着固定されている。
【００５５】
以上、本発明の各実施例を説明してきたが、本発明は各実施例に記載した条件・構成に限られるものではなく、各種の変更が可能であり、例えば、各実施例に記載した積層数や材料組成は単なる一例であり、用途に応じて適宜変更されるものである。
【００５６】
例えば、実施例１乃至実施例３におけるセラミックヒータ材料としてＢａＴｉＯ3 を用いているが、ＢａＴｉＯ3 と同様にＰＣＴヒータになりうるもので、１０００℃以上の耐熱性があるものであれば、グリーンシートの焼成工程において形状変化・化学変化を起こさないのでなんら問題はない。
【００５７】
また、上記の実施例４においては、金属ヒータを構成する金属発熱体としてＰｔを用いているが、Ｐｔに限られるものではなく、ペースト状にでき印刷できるものであれば、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ，Ｎｉ−Ｃｒ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ等の他の導電体を用いても良いものである。
【００５８】
また、上記の実施例４においては、金属ヒータを構成する金属発熱体をＵ字状パターンとしているが、パターン形状は任意であり、必要とする発熱量が面内均一に得られるように適宜設計すれば良い。
【００５９】
また、上記の各実施例においては、圧電アクチュエータを構成する圧電材料はＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺであるが、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺに限られるものではなく、各種の圧電材料に適用されるものであるが、特に、抗電界が１００ｋＶ／ｃｍ2 以下のソフト材料が望ましい。
【００６０】
この様なソフト材料としては、ＰｂＴｉＯ3 、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 、Ｐｂ（Ｎｉ，Ｎｂ）Ｏ3 、Ｐｂ（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ3 、或いは、Ｐｂ（Ｍｇ，Ｎｂ）Ｏ3 −Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ3 等が挙げられる。
【００６１】
また、上記の各実施例においては、内部電極をＰｔで構成しているがＰｔに限られるものではなく、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ、Ａｕ、Ｉｒ、或いは、Ｉｒ酸化物等を用いても良いものであり、いずれにしてもグリーンシートと一緒に焼成できる導電材料であれば良く、印刷が困難な場合には蒸着で形成しても良いものである。
【００６２】
さらには、圧電体に対する電極に密着性を向上するために、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｉｒ、或いは、Ｉｒ酸化物からなる電極材料にセラミックスを混入することが望ましく、特に、圧電アクチュエータを構成する組成と同じセラミックスを用いた場合には、焼成温度や、不所望な成分の拡散による特性劣化を考慮する必要がない。
【００６３】
また、上記の実施例２においては、上表面側にのみセラミックヒータを設けているが、上表面側に限られるものではなく、裏面側のみに設けても良いものである。
【００６４】
また、上記の実施例３のように、セラミックヒータの表面を絶縁用セラミック層で覆う場合にも、セラミックヒータは表裏のどちらか一方の面のみに設けても良いものである。
【００６５】
また、上記の実施例３のように、ヒータとして金属ヒータを用いる場合にも、金属ヒータは表裏の一方の面のみに設けても良いものであり、また、金属ヒータの表面を実施例３の場合と同様に絶縁性セラミック層で覆っても良いものである。
【００６６】
また、上記の駆動状態の説明においては、常時ヒータに通電加熱して圧電アクチュエータを駆動しているが、常時加熱する必要は必ずしもなく、例えば、室温で湿度８０％の場合、加熱していくと温度の上昇とともに湿度は４０％程度まで低下するので、少なくとも動作雰囲気の湿度が４０％以上の時のみヒータに通電して加熱するようにしても良い。
【００６７】
また、上記の実施例１乃至３においては、温度自己制御機能を有するＰＴＣヒータを用いているため動作温度の上限については言及していないが、圧電アクチュエータを構成する圧電材料のキュリー温度よりも高くなると圧電特性は劣化するので、圧電材料のキュリー温度よりも低い温度で動作させることが望ましい。
【００６８】
また、上記の実施例５においては、ヒータ付圧電アクチュエータを微動アームを駆動するために使用しているが、使用箇所は微動アーム駆動用に限られるものではなく、ベースアーム等の他の可動部材を駆動用として用いても良いものである。
【００６９】
ここで再び図１を参照して、本発明の詳細な特徴を改めて説明する。
再び、図１参照  
（付記１）  圧電アクチュエータ１自身を加熱する無機物の発熱体４を具備したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
（付記２）  上記圧電アクチュエータ１が積層アクチュエータであり、圧電体層２の積層面と平行に発熱体４を配置したことを特徴とする付記１記載の圧電アクチュエータ。
（付記３）  上記積層アクチュエータを構成する内部電極層３が、積層アクチュエータの側端面に露出していることを特徴とする付記２記載の圧電アクチュエータ。
（付記４）  上記発熱体４が、正の熱抵抗係数を有することを特徴とする付記１乃至３のいずれか１に記載の圧電アクチュエータ。
（付記５）  上記発熱体４の主成分が、ＢａＴｉＯ3 であることを特徴とする付記４記載の圧電アクチュエータ。
（付記６）  上記発熱体４が、金属からなることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１に記載の圧電アクチュエータ。
（付記７）  圧電材料と発熱体４材料を同時に形成したのち、一体焼成することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
（付記８）  付記１乃至６のいずれか１に記載の圧電アクチュエータ１を、動作雰囲気温度よりも高い温度で動作させることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動方法。
（付記９）  付記１乃至６のいずれか１に記載の圧電アクチュエータ１を水の沸点よりも高い温度で動作させることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動方法。
（付記１０）  付記１乃至６のいずれか１に記載の圧電アクチュエータ１を、動作雰囲気の湿度が４０％以上の時のみ上記発熱体４を加熱した状態で動作させることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動方法。
（付記１１）  上記圧電アクチュエータ１を、前記圧電アクチュエータ１を構成する圧電材料のキュリー温度よりも低い温度で動作させることを特徴とする付記８乃至１０のいずれか１に記載の圧電アクチュエータの駆動方法。
（付記１２）  付記１乃至６のいずれか１に記載の圧電アクチュエータ１を磁気ヘッド微小移動手段として搭載したことを特徴とする磁気ディスク装置。
（付記１３）  上記磁気ヘッド微小移動手段が、磁気ヘッドを構成するスライダ駆動手段であることを特徴とする付記１２記載の磁気ディスク装置。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明の活用例としては、磁気ディスク装置用の圧電アクチュエータが典型的なものであるが、磁気ディスク装置に限られるものではなく、光学系の焦点補正や傾角制御に用いる圧電アクチュエータ、或いは、インクジェットプリンタ装置用の圧電アクチュエータにも適用されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の実施例１のヒータ付き圧電アクチュエータの途中までの製造工程の説明図である。
【図３】本発明の実施例１のヒータ付き圧電アクチュエータの図２以降の製造工程の説明図である。
【図４】本発明の実施例２のヒータ付き圧電アクチュエータの概略的斜視図である。
【図５】本発明の実施例３のヒータ付き圧電アクチュエータの概略的斜視図である。
【図６】本発明の実施例４のヒータ付き圧電アクチュエータの途中までの製造工程の説明図である。
【図７】本発明の実施例４のヒータ付き圧電アクチュエータの図６以降の製造工程の説明図である。
【図８】本発明の実施例５の磁気ディスク装置の本体部を示す要部斜視図である。
【図９】従来の積層型圧電アクチュエータの概略的斜視図である。
【図１０】従来の壁を設けた積層型圧電アクチュエータの概略的斜視図である。
【符号の説明】
【００７２】
１  圧電アクチュエータ
２  圧電体層
３  内部電極層
４  発熱体
５  表面電極
６  ヒータ電極
１０  ヒータ付き圧電アクチュエータ
１１  圧電体グリーンシート
１２  内部電極層
１３  発熱体グリーンシート
１４  圧電アクチュエータ母体
１５  圧電体層
１６  セラミックヒータ
１７  表面電極
１８  ヒータ電極
１９  ヒータ付き圧電アクチュエータ
２０  ヒータ付き圧電アクチュエータ
２１  絶縁用セラミック層
２２  ヒータ用グリーンシート
２３  ヒータ用電極パターン
２４  圧電アクチュエータ母体
２５  金属ヒータ
２６  ヒータ電極
２７  ヒータ付き圧電アクチュエータ
３０  磁気ディスク装置
３１  磁気ディスク
３２  スライダ
３３  微動アーム
３４  ベースアーム
３５  軸
３６  電磁アクチュエータ
４１  圧電体層
４２  内部電極層
４３  表面電極
４４  壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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