(57)【要約】【課題】有機溶剤を含有する排ガス処理装置に使用される吸着濃縮装置において、ガスの濃度が変動しても、処理風量を変えずに確実にガスを除去するとともに安定した濃縮ガスを供給することを目的とする。【解決手段】吸着手段１は、吸着部１ａと脱着部１ｂを備え、吸脱着周期調整手段３によって設定した周期でそれぞれ切り替えられる。吸着部１ａの入口には入口濃度測定手段２を備え、測定した濃度信号を吸脱着周期調整手段３に送る。脱着部１ｂには、ファン５により脱着用の気体が送られる。脱着部１ｂよりガスを脱着し濃縮ガスを２次処理手段に供給する。上記構成において、排ガスの濃度が変動した場合においても、吸着手段１に吸着するガス量を安定化することができる。そのため、確実にガスを除去できるとともに、安定した濃縮ガスを得ることが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
低濃度の有機溶剤を含有する排ガスを吸着する吸着体が配設された吸着手段と前記吸着手段をガスを吸着するための吸着部と吸着したガスを脱着する脱着部とで構成し、前記脱着部で吸着された有機溶剤を脱着するための脱着用気体を供給する脱着用気体供給手段とで構成し、吸着部と脱着部を周期的に切替え動作する吸着濃縮装置において、吸着手段の入口濃度を測定する入口濃度測定手段と前記入口濃度測定手段の信号を受け、吸脱着周期を調整する吸脱着周期調整手段を備えた吸着濃縮装置。
【請求項２】
低濃度の有機溶剤を含有する排ガスを吸着する吸着体が配設された吸着手段と前記吸着手段をガスを吸着するための吸着部と吸着したガスを脱着する脱着部とで構成し、前記脱着部で吸着された有機溶剤を脱着するための脱着用気体を供給する脱着用気体供給手段とで構成し、吸着部と脱着部を周期的に切替え動作する吸着濃縮装置において、吸着手段の出口濃度を測定する出口濃度測定手段と前記出口濃度測定手段の信号を受け、吸脱着周期を調整する吸脱着周期調整手段を備えた吸着濃縮装置。
【請求項３】
低濃度の有機溶剤を含有する排ガスを吸着する吸着体が配設された吸着手段と前記吸着手段をガスを吸着するための吸着部と吸着したガスを脱着する脱着部とで構成し、前記脱着部で吸着された有機溶剤を脱着するための脱着用気体を供給する脱着用気体供給手段とで構成し、吸着部と脱着部を周期的に切替え動作する吸着濃縮装置において、前記吸着部の入口濃度を測定する入口濃度測定手段と出口濃度を測定する出口濃度測定手段と前記入口濃度測定手段と出口濃度測定手段の信号を受け吸脱着周期を調整する吸脱着周期調整手段を備えた吸着濃縮装置。
【請求項４】
低濃度の有機溶剤を含有する排ガスを吸着する吸着体が配設された吸着手段と前記吸着手段をガスを吸着するための吸着部と吸着したガスを脱着する脱着部とで構成し、前記脱着部で吸着された有機溶剤を脱着するための脱着用気体を供給する脱着用気体供給手段とで構成し、吸着部と脱着部を周期的に切替え動作する吸着濃縮装置において、前記吸着部の入口と出口から交互に切替えて気体をサンプリングするサンプリング手段と前記サンプリング手段でサンプリングした気体のガス濃度を測定する濃度測定手段と前記濃度測定手段の信号を受け吸脱着周期を調整する吸脱着周期調整手段を備えた吸着濃縮装置。
【請求項５】
出口濃度測定手段の信号もしくは、入口濃度測定手段と出口濃度測定手段の信号より、吸着体のメンテナンス時期を知らせるメンテナンス信号を出力するメンテナンス信号出力手段を備えた請求項１，２，３または４記載の吸着濃縮装置。
【請求項６】
吸脱着周期調整手段で調整された吸脱着周期に応じて、脱着用気体風量調整手段により脱着用気体の風量を調整する構成とした請求項１，２，３，４、または５記載の吸着濃縮装置。
【請求項７】
脱着手段によって脱着した脱着ガスの濃度を測定する脱着ガス濃度測定手段を備え、前記脱着ガス濃度測定手段の信号を受け、脱着ガスの濃度が定常になるように脱着用気体風量調整手段により脱着用気体の風量を調整する構成とした請求項１，２，３，４、または５記載の吸着濃縮装置。
【請求項８】
吸着手段の入口濃度測定手段と出口濃度測定手段と脱着ガス濃度測定手段の信号より、吸脱着周期と脱着用気体の風量を演算し、それぞれ吸脱着周期調整手段、脱着用気体風量調整手段に出力する信号処理手段を備えた請求項１，２，３，４、または５記載の吸着濃縮装置。
【請求項９】
吸着手段が１つもしくは複数の吸着塔に充填された吸着体で構成された請求項１，２，３，４，５，６，７または８記載の吸着濃縮装置。
【請求項１０】
吸着手段が吸着ローターで構成した請求項１，２，３，４，５，６，７または８記載の吸着濃縮装置。
【請求項１１】
ガス濃度を測定する濃度測定手段を半導体式ガスセンサで構成した請求項１，２，３，４，５，６，７、８，９または１０記載の吸着濃縮装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排ガス中に含まれる有機溶剤などの有害物質を除去する排ガス浄化装置に使用される吸着濃縮装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の吸着濃縮装置は、低濃度の有機溶剤ガスを処理する場合、低濃度有機溶剤ガスを吸着材に通気吸着させ、吸着された有機溶剤を少量の加熱気体にて吸着材から脱着し、脱着された小風量、高濃度の有機溶剤ガスを２次処理装置で処理する濃縮処理方法が用いられ、２次処理装置としては触媒燃焼装置などの酸化分解装置や、冷却し液化する回収装置などが一般的に使用される。そして、２次処理装置を効率的に、安全に動作させるため２次処理装置の運転状況より、吸着濃縮装置の動作を制御したものが知られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
以下、その吸着濃縮について図９乃至図１１を参照しながら説明する。
【０００４】
図９に示すように、ファン１０３を介して吸着体１０１の吸着部１０１ａに通気された有機溶剤ガスは、吸着浄化され放出される。一方、溶剤を吸着した吸着材は、吸着部１０１ａから１０１ｂへ移動され、ファン１０２を介して加熱部５にて加熱された少量の空気で脱着再生される。脱着部１０１ｂから少量の加熱空気で脱着された有機溶剤は、濃縮ガスとしてファン１０５を介して触媒燃焼装置１０６に付設された加熱器１０６ａによって加熱され触媒１０６ｂに通気される。触媒入口のガス温度は温度検出部１０８と温度調節器１０９が加熱器１０６ａを制御することによって調整される。濃縮ガスは、触媒１０６ｂによって有機溶剤が酸化分解されることによって浄化され、排出される。
【０００５】
温度検出器１０７によって検出された触媒燃焼装置１０６の出口温度を温度指示器１１０が吸脱着周期調整器１１１に伝達し、該吸脱着周期調整器１１１により、吸着体１０１の吸脱着周期を調整する。
【０００６】
また、図１０に示すように、温度検出器１０７によって検出された触媒燃焼装置１０６の出口温度を温度指示器１１０がファン１０２およびファン１０５に伝達し、吸着体１０１の脱着部１０１ｂに供給する脱着再生用の加熱空気の風量および触媒燃焼装置１０６への供給風量を調整する。
【０００７】
また、この種の吸着濃縮装置には、吸気側のガス濃度を測定し、吸気風量を調整しているものもある（例えば、特許文献３参照）。
【０００８】
以下、その吸着濃縮装置について図１１を参照しながら説明する。吸着部１０１ａと脱着部１０１ｂを有する吸着体１０１とアンモニア、硫化水素および揮発性有機化合物などの周期成分に感度を有する脱臭制御用ガスセンサ１１２を備える。上記吸着体１０１の吸着部１０１ａにガスを供給するファン１０３を設ける。そして、上記脱臭制御用ガスセンサ１１２により検出されたガス濃度が濃くなるほど吸着用ファン１０３の風量が多くなり、脱臭制御用ガスセンサ１１２により検出されたガス濃度が薄くなるほど吸着用ファン１０３の風量が少なくなるように、制御部１１３により吸着用ファン１０３を制御している。
【特許文献１】特開平１０−３３０号公報
【特許文献２】特開平１０−１２８０４８号公報
【特許文献３】特開２００２−１２６４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
このような従来の吸着濃縮装置では、排気ガスの濃度が変動しても吸着材で確実に除去するとともに、２次処理装置に導入する濃縮ガスの濃度を２次処理が効率的に行える濃度で提供することが要求されている。
【００１０】
しかしながら、２次処理装置である触媒燃焼装置の温度を測定する方法では、他の方式の２次処理装置に用いることができなかった。
【００１１】
また、吸気ガス濃度を測定し、吸気風量を調整する吸着濃縮装置では、工場の排気において、一定量の排気風量を保つ必要や、製造設備からの排気においては、排気風量を定常に保つ必要があり、このような用途では用いることができなかった。
【００１２】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、排気ガス濃度が変動した場合においても吸着材への吸着量を調整する事ができ、また、安定した濃度の濃縮ガスを２次処理装置に供給することができる吸着濃縮装置を提供することを目的としている。
【００１３】
また、処理風量を変動させずに安定して排気ガスを吸着濃縮することのできる吸着濃縮装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の吸着濃縮装置は上記目的を達成するために、吸着体の入口ガス濃度を測定し、ガス濃度に応じて吸着体の吸脱着周期を調整するとしたものである。
【００１５】
この手段によりガス濃度が変動しても吸着体へのガス吸着量を安定化することができ、また、装置への供給風量を変えることなくガスを確実に除去でき、２次処理装置に安定した濃縮ガスを供給できる吸着濃縮装置が得られる。
【００１６】
また、他の手段は、吸着体の出口ガス濃度を測定し、ガス濃度に応じて吸着体の吸脱着周期を調整するとしたものである。
【００１７】
これにより吸着体に吸着したガスが増加し除去性能が低下していく度合いを知ることができ、ガス濃度が変動しても風量を変えることなく除去性能を維持するとともに、吸着体へのガス吸着量を安定化でき、２次処理装置に安定した濃縮ガスを供給できる吸着濃縮装置が得られる。
【００１８】
また、他の手段は、吸着体の入口ガス濃度と出口ガス濃度を測定し、そのガス濃度に応じて吸脱着周期を調整するとしたものである。
【００１９】
これにより、吸着体に供給されるガスの濃度変動、除去後のガス濃度、除去性能を知ることができるため、最適な吸脱着周期で運転することができ、ガス濃度が変動しても風量を変えることなく除去性能を維持するとともに、吸着体へのガス吸着量を安定化でき、２次処理装置に安定した濃縮ガスを供給できる吸着濃縮装置が得られる。
【００２０】
また、他の手段は、吸着体の入口濃度と出口濃度を１つの濃度測定手段で測定し、そのガス濃度に応じて吸脱着周期を調整するとしたものである。
【００２１】
これにより、１台の濃度測定手段で吸着体に供給されるガスの濃度変動、除去後のガス濃度、除去性能を知ることができるため、最適な吸脱着周期で運転することができ、ガス濃度が変動しても風量を変えることなく除去性能を維持するとともに、吸着体へのガス吸着量を安定化でき、２次処理装置に安定した濃縮ガスを供給できる吸着濃縮装置が得られる。
【００２２】
また、他の手段は、吸着体の入口ガス濃度と出口ガス濃度を測定し、吸着体のメンテナンス時期を知らせるものである。
【００２３】
これにより、吸着体の除去性能の低下から最適なメンテナンス時期を知ることができるため、長期にわたり除去性能を維持できる吸着濃縮装置が得られる。
【００２４】
また、他の手段は、吸脱着周期によって脱着用気体の風量を調整し、周期が短い場合は風量を多く、周期が長い場合は風量を少なくすることによって、脱着した濃縮ガスの濃度を安定化することが出来る吸着濃縮装置が得られる。
【００２５】
また、他の手段は、脱着した脱着ガスの濃度を測定し、脱着ガスの濃度が安定するように脱着用気体の風量を調整することによって、安定した濃縮ガスを得ることが出来る吸着濃縮装置が得られる。
【００２６】
また、他の手段は、吸着手段の入口濃度と出口濃度と脱着ガス濃度を測定し、その濃度より吸脱着周期と脱着用気体の風量を調整するものである。
【００２７】
これにより、最適な吸脱着周期と脱着用気体の風量を設定できるため、確実にガスを除去できるとともに安定した濃縮ガスを得ることが出来る吸着濃縮装置を得ることが出来る。
【００２８】
また、他の手段は、吸着手段が１つもしくは複数の吸着塔に吸着体を充填したものである。
【００２９】
これにより、確実な除去性能と安定な濃縮ガスを得ることが出来る吸着濃縮装置が得られる。
【００３０】
また、他の手段は、吸着手段が吸着ロータとしたものである。
【００３１】
これにより、簡易な構成で確実な除去性能と安定な濃縮ガスを得ることが出来る吸着濃縮装置が得られる。
【００３２】
また、他の手段は、ガス濃度を測定する濃度測定手段を半導体式ガスセンサとしたものである。
【００３３】
これにより、簡易にガス濃度が測定できるため、簡易な構成で確実な除去性能と安定な濃縮ガスを得ることが出来る吸着濃縮装置が得られる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば排気ガスの濃度が変動しても、風量を変えることなく確実に除去できるという効果のある吸着濃縮装置を提供できる。
【００３５】
また、安定した濃度の濃縮ガスを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
本発明請求項１記載の発明は、低濃度の有機溶剤を含有する排ガスを吸着する吸着体が配設された吸着手段と前記吸着手段をガスを吸着するための吸着部と吸着したガスを脱着する脱着部とで構成し、前記脱着部で吸着された有機溶剤を脱着するための脱着用気体を供給する脱着用気体供給手段とで構成し、吸着部と脱着部を周期的に切替え動作する吸着濃縮装置において、吸着手段の入口濃度を測定する入口濃度測定手段と前記入口濃度測定手段の信号を受け、吸脱着周期を調整する吸脱着周期調整手段を備えた吸着濃縮装置としたものであり、入口濃度が低い場合は吸着時間を長く、入口濃度が高い場合は吸着時間を短く吸脱着周期を調整する作用を有する。
【００３７】
また、請求項２記載の発明は、低濃度の有機溶剤を含有する排ガスを吸着する吸着体が配設された吸着手段と前記吸着手段をガスを吸着するための吸着部と吸着したガスを脱着する脱着部とで構成し、前記脱着部で吸着された有機溶剤を脱着するための脱着用気体を供給する脱着用気体供給手段とで構成し、吸着部と脱着部を周期的に切替え動作する吸着濃縮装置において、吸着手段の出口濃度を測定する出口濃度測定手段と前記出口濃度測定手段の信号を受け、吸脱着周期を調整する吸脱着周期調整手段を備えた吸着濃縮装置としたものであり、出口濃度が高くなってくると吸着から脱着に切替えるよう吸脱着周期を調整する作用を有する。
【００３８】
また、請求項３記載の発明は、低濃度の有機溶剤を含有する排ガスを吸着する吸着体が配設された吸着手段と前記吸着手段をガスを吸着するための吸着部と吸着したガスを脱着する脱着部とで構成し、前記脱着部で吸着された有機溶剤を脱着するための脱着用気体を供給する脱着用気体供給手段とで構成し、吸着部と脱着部を周期的に切替え動作する吸着濃縮装置において、前記吸着部の入口濃度を測定する入口濃度測定手段と出口濃度を測定する出口濃度測定手段と前記入口濃度測定手段と出口濃度測定手段の信号を受け吸脱着周期を調整する吸脱着周期調整手段を備えた吸着濃縮装置としたものであり、入口濃度と出口濃度、さらに入口濃度と出口濃度の差から、吸脱着周期を最適に設定する作用を有する。
【００３９】
また、請求項４記載の発明は、低濃度の有機溶剤を含有する排ガスを吸着する吸着体が配設された吸着手段と前記吸着手段をガスを吸着するための吸着部と吸着したガスを脱着する脱着部とで構成し、前記脱着部で吸着された有機溶剤を脱着するための脱着用気体を供給する脱着用気体供給手段とで構成し、吸着部と脱着部を周期的に切替え動作する吸着濃縮装置において、前記吸着部の入口と出口から交互に切替えて気体をサンプリングするサンプリング手段と前記サンプリング手段でサンプリングした気体のガス濃度を測定する濃度測定手段と前記濃度測定手段の信号を受け吸脱着周期を調整する吸脱着周期調整手段を備えた吸着濃縮装置としたものであり、１つの濃度測定手段で入口濃度と出口濃度を測定し、吸脱着周期を最適に調整する作用を有する。
【００４０】
また、請求項５記載の発明は、出口濃度測定手段の信号もしくは、入口濃度測定手段と出口濃度測定手段の信号より、吸着体のメンテナンス時期を知らせるメンテナンス信号を出力するメンテナンス信号出力手段を備えたものであり、出口濃度もしくは入口濃度と出口濃度を比較することにより、吸着手段の除去能力の低下を判断しメンテナンス時期を知ることができる作用を有する。
【００４１】
また、請求項６記載の発明は、吸脱着周期調整手段で調整された吸脱着周期に応じて、脱着用気体風量調整手段により脱着用気体の風量を調整する構成としたものであり、脱着周期が短い場合は風量を多く、周期が長い場合は風量を少なくし脱着される濃縮ガスの濃度を安定化する作用を有する。
【００４２】
また、請求項７記載の発明は、脱着手段によって脱着した脱着ガスの濃度を測定する脱着ガス濃度測定手段を備え、前記脱着ガス濃度測定手段の信号を受け、脱着ガスの濃度が定常になるように脱着用気体風量調整手段により脱着用気体の風量を調整する構成としたものであり、脱着ガス濃度が低くなると風量を少なくし、ガス濃度が高くなると風量を多くする作用を有する。
【００４３】
また、請求項８記載の発明は、吸着手段の入口濃度測定手段と出口濃度測定手段と脱着ガス濃度測定手段の信号より、吸脱着周期と脱着用気体の風量を演算し、それぞれ吸脱着周期調整手段、脱着用気体風量調整手段に出力する信号処理手段を備えたものであり、最適な吸脱着周期および脱着用気体の風量を設定する作用を有する。
【００４４】
また、請求項９記載の発明は、吸着手段が１つもしくは複数の吸着塔に充填された吸着体で構成したものであり、吸着塔を切り替えることにより吸脱着を行う作用を有するものである。
【００４５】
また、請求項１０記載の発明は、吸着手段が吸着ローターで構成したものであり、吸着ローターの回転速度で吸脱着周期を調整する作用を有する。
【００４６】
また、請求項１１記載の発明は、ガス濃度を測定する濃度測定手段を半導体式ガスセンサで構成したものであり、半導体式ガスセンサの信号よりガス濃度を測定する作用を有する。
【００４７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４８】
（実施の形態１）
図１に示すように、吸着手段１は、吸着体として、活性炭やゼオライトなどの有機溶剤を吸着する材料で構成され、吸着部１ａと脱着部１ｂを備え、吸脱着周期調整手段３によって設定した周期でそれぞれ切り替えられる。また、吸着手段１の構成としては、吸着体を充填した吸着塔で構成し、吸着と脱着を切替えて吸着部１ａには、ファン４により排気ガスが導入される。また、吸着部１ａの入口には入口濃度測定手段２を備え、測定した濃度信号を吸脱着周期調整手段３に送る。
【００４９】
また、脱着部１ｂには、ファン５により脱着用の気体が送られる。脱着部１ｂよりガスを脱着し濃縮ガスを２次処理手段に供給する。ここで、脱着用の気体としては、加熱空気や水蒸気、加熱窒素ガスなどが用いられ熱源としては、ヒーター、ボイラーなどが用いられる。
【００５０】
また、入口濃度測定手段２は、ＦＩＤ方式やＰＩＤ方式の検知器や半導体方式のガスセンサなどを用いることができる。
【００５１】
特に、半導体式のガスセンサを用いると、コストが安く、構成も簡単になる。
【００５２】
上記構成において、入口濃度測定手段２吸着手段１に供給される排気ガスの濃度を測定し、マイコンである吸脱着周期調整手段３に信号を送る、吸脱着周期調整手段３は信号を受け、ガスの濃度が低い場合は吸着時間を長くし、逆にガス濃度が高い場合は、吸着時間を短くするように周期を調整する。そのため、排ガスの濃度が変動した場合においても、吸着手段１に吸着するガス量を安定化することができる。そのため、確実にガスを除去できるとともに、安定した濃縮ガスを得ることが可能となる。
【００５３】
ここで、吸着手段１の構成としては、吸着体を充填した吸着塔で構成し、吸着と脱着を切替えて動作する。
【００５４】
また、吸着塔を複数設置し、順番に吸着と脱着を切替えて動作しても良い。
【００５５】
さらに、吸着材を円筒形のハニカム状のローターとし、回転させることによりその一部を吸着と脱着に切り替えても良い。
【００５６】
（実施の形態２）
実施の形態１と同じ部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図２は、本発明の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図である。
【００５７】
図において、出口濃度測定手段６は、ファン４により吸着手段１の吸着部１ａに供給された排ガスの吸着部１ａを通過後の出口におけるガス濃度を測定する。出口濃度測定手段６で測定したガス濃度は、吸脱着周期調整手段３に送られ吸着手段１の吸脱着切換周期を調整する。
【００５８】
上記構成において、出口濃度測定手段６で測定するガス濃度は、吸着手段１の吸着部１ａでガス成分を除去した後のガス濃度である。ここで、吸着部１ａへのガスの吸着量が増加し飽和に近くなると徐々にガスの除去量が低下し始め、出口ガス濃度が増加する。この出口ガス濃度の増加を検知し吸着から脱着に切りかえることにより、除去性能を維持しつつ吸着手段１への吸着量を安定化できることになり、得られる濃縮ガスの濃度を安定化することができる。
【００５９】
（実施の形態３）
実施の形態１または２と同じ部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図３は、本発明の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図である。
【００６０】
図において、入口濃度測定手段２と出口濃度測定手段６は、それぞれ吸着部１ａの入口と出口のガス濃度を吸脱着周期調整手段３に伝える。吸脱着周期調整手段３は、入口濃度測定手段２と出口濃度測定手段６の信号を受けて、吸脱着周期を調整し、吸着部１ａおよび脱着部１ｂを切りかえる。
【００６１】
上記構成において、吸脱着周期調整手段３は、吸着部１ａの入口濃度と出口濃度の比較を行い吸着手段１の吸着部１ａにおけるガスの除去率を演算する。演算結果である、除去率が低下することを検知して吸着から脱着に切りかえることにより、除去性能を維持しつつ吸着手段１への吸着量を安定化できることになり、得られる濃縮ガスの濃度を安定化することができる。
【００６２】
（実施の形態４）
実施の形態１乃至３のいずれかと同じ部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図４は、本発明の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図である。
【００６３】
図において、濃度測定手段７は吸着手段１の吸着部１ａの入口と出口のガスを切替えて交互にサンプリングできるように配管及びバルブ、ポンプで構成したサンプリング手段１２で接続されている。濃度測定手段７で測定したガス濃度は、吸脱着周期調整手段３に送られる。濃度測定手段７は、ＦＩＤ方式やＰＩＤ方式の検知器や半導体方式のガスセンサなどを用いることができる。
【００６４】
上記構成において、濃度測定手段７で測定した吸着部１ａの入口および出口のガス濃度は、吸脱着周期調整手段３に伝えられ、吸着部１ａの入口濃度と出口濃度の比較を行い吸着手段１の吸着部１ａにおけるガスの除去率を演算する。演算結果である、除去率が低下することを検知して吸着から脱着に切りかえることにより、除去性能を維持しつつ吸着手段１への吸着量を安定化できることになり、得られる濃縮ガスの濃度を安定化することができる。
【００６５】
（実施の形態５）
実施の形態１乃至４のいずれかと同じ部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図５は、本発明の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図である。
【００６６】
図において、メンテナンス信号出力手段８は、吸脱着周期調整手段３から吸着手段１の吸着部１ａの除去率の信号を受け、吸着体の除去性能低下を判断し、メンテナンス信号を出力する。
【００６７】
上記構成において、メンテナンス信号出力手段８は、吸着部１ａの除去率が低下していることを知ることができるため、吸着部１ａもしくは吸着手段１の吸着体の劣化を検知することができるため、適切に吸着体の交換やクリーニングなどの処置を行うことができる。メンテナンス信号出力手段８としては、マイコンとＬＥＤ等の表示との組合せ等がある。
【００６８】
（実施の形態６）
実施の形態１乃至５のいずれかと同じ部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図６は、本発明の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図である。
【００６９】
図において、脱着用気体風量調整手段９は、吸脱着周期調整手段３から吸脱着周期の信号を受け、脱着用気体の風量を計算しファン５に信号を送る。ファンは、脱着用気体風量調整手段９の信号を受け、風量を調整し吸着手段１の脱着部１ｂに脱着用気体を送風する。
【００７０】
上記構成において、脱着用気体風量調整手段９は、脱着周期が短い場合は風量を少なく、逆に周期が長い場合は、風量を多く調整しファン５を制御する。そのため、脱着部１ｂから脱着されるガス濃度は、吸脱着周期が変動する場合においても安定したガス濃度を得ることが可能となる。
【００７１】
（実施の形態７）
実施の形態１乃至６のいずれかと同じ部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図７は、本発明の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図である。
【００７２】
図において、脱着ガス濃度測定手段１０は吸着手段１の脱着部１ｂの出口に設置され、脱着ガスの濃度を測定する。脱着ガス濃度測定手段１０で測定した脱着ガスの濃度は、脱着用気体風量調整手段９に送られる。脱着用気体風量調整手段９は、脱着ガスの濃度を受け、風量を演算しファン５に出力する。
【００７３】
上記構成において、脱着用気体風量調整手段９は脱着ガスの濃度が設定値より高い場合は、風量を増やし、逆に、設定値より脱着ガスの濃度が低い場合は、風量を減らすように調整し、ファン５を制御する。そのため、脱着ガスの濃度を安定化することができ、２次処理装置に安定した濃縮ガスを供給することが可能となる。
【００７４】
ここで、設定するガス濃度は、２次処理装置の性能に依存し、２次処理装置が効率的に動作できる濃度に設定することが望ましい。
【００７５】
（実施の形態８）
実施の形態１乃至７のいずれかと同じ部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図８は、本発明の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図である。
【００７６】
図において、信号処理手段１１は、吸着手段１の吸着部１ａの入口濃度を測定する入口濃度測定手段２と出口濃度を測定する出口濃度測定手段６と脱着部１ｂの出口濃度を測定する脱着ガス濃度測定手段１０の信号を受け、吸脱着周期と脱着用気体の風量を演算し、それぞれ吸脱着周期調整手段３と脱着用気体風量調整手段９に出力する。
【００７７】
上記構成において、信号処理手段１１は、吸着部１ａの入口ガス濃度および出口ガス濃度より、処理すべきガス量と除去率、さらに脱着ガスの濃度を入力するため、総合的に最適な吸脱着周期と脱着用気体の風量を演算することができる。そのため、吸着部１ａにおける除去性能の安定化と脱着ガスの濃度の安定化を確実に行うことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
印刷や塗装、接着、化学製品製造、工業用洗浄などの揮発性有機溶剤を排出する施設に取り付けた排出ガス処理装置を効率的に運転するための排出ガス濃縮装置として有用である。また、悪臭ガスの処理装置の用途にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示すブロック図
【図２】本発明の実施の形態２の構成を示すブロック図
【図３】本発明の実施の形態３の構成を示すブロック図
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示すブロック図
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示すブロック図
【図６】本発明の実施の形態６の構成を示すブロック図
【図７】本発明の実施の形態７の構成を示すブロック図
【図８】本発明の実施の形態８の構成を示すブロック図
【図９】従来の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図
【図１０】従来の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図
【図１１】従来の吸着濃縮装置の構成を示すブロック図
【符号の説明】
【００８０】
１    吸着手段
１ａ  吸着部
１ｂ  脱着部
２    入口濃度測定手段
３    吸脱着周期調整手段
５    ファン
６    出口濃度測定手段
７    濃度測定手段
８    メンテナンス信号出力手段
９    脱着用気体風量調整手段
１０    脱着ガス濃度測定手段
１１    信号処理手段
１２    サンプリング手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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