(57)【要約】      （修正有）【課題】常温で高粘度インクを吐出可能な吐出精度の高いインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置の提供。【解決手段】インクが供給されるインク流路部材１２と、インク流路部材１２の中央に形成されたノズル１６と、インク流路部材１２に接合される梁部材と、梁部材を撓ませる第１駆動手段と、梁部材の端部を曲げ、梁部材をインク滴吐出方向に座屈変形させる第２駆動手段と、を備え、第２駆動手段が梁部材をインク滴吐出方向に座屈変形させ、ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、第１駆動手段が梁部材を撓ませることで、第２駆動手段による座屈変形の有無を制御し、インク流路部材と梁部材と第１駆動手段とからなる梁状イジェクタは、長手方向中央近傍の剛性を長手方向両端近傍よりも低くする構成としたインクジェット記録ヘッド。【選択図】図３
2006130781.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクが供給されるインク流路部材と、
前記インク流路部材の略中央に形成されインク滴を吐出するノズルと、
前記インク流路部材と接合される梁部材と、
前記梁部材に接合して設けられ、前記梁部材を撓ませる第１駆動手段と、
前記梁部材の端部を曲げ、前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させる第２駆動手段と、を備え、
前記第２駆動手段が前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴として吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、
前記第１駆動手段が前記梁部材を撓ませることで、前記第２駆動手段による前記梁部材の座屈反転変形の有無を制御し、
前記インク流路部材と前記梁部材と前記第１駆動手段とからなる夫々の梁状イジェクタは、長手方向略中央近傍の剛性を長手方向両端近傍よりも低くしたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記梁部材の長さ方向略中央の幅を狭くしたことを特徴とする請求項１に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記インク流路部材の長さ方向略中央の幅を狭くしたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記夫々の梁状イジェクタにおいて、前記インク流路部材および前記第１駆動手段および前記梁部材のうち一つまたは双方は長手方向略中央近傍の肉厚を長手方向両端近傍よりも薄くしたことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
インクが供給されるインク流路部材と、
前記インク流路部材の略中央に形成されインク滴を吐出するノズルと、
前記インク流路部材と接合される梁部材と、
前記梁部材に接合して設けられ、前記梁部材を撓ませる第１駆動手段と、
前記梁部材の端部を曲げ、前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させる第２駆動手段と、を備え、
前記第２駆動手段が前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴として吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、
前記第１駆動手段が前記梁部材を撓ませることで、前記第２駆動手段による前記梁部材の座屈反転変形の有無を制御し、
前記インク流路部材と前記梁部材と前記第１駆動手段とからなる夫々の梁状イジェクタは長手方向略中央から長手方向に所定の距離をおいた２箇所の剛性を他の部分よりも低くしたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記梁部材がインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形する前に前記第２駆動手段の曲げ動作を停止し、その後に再度曲げ動作を再開し、前記梁部材がインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
インクが供給されるインク流路部材と、
前記インク流路部材の略中央に形成されインク滴を吐出するノズルと、
前記インク流路部材と接合される梁部材と、
前記梁部材に接合して設けられ、前記梁部材を撓ませる第１駆動手段と、
前記梁部材の長さ方向両端が固定される二つの回転部材と、
前記回転部材の片端または両端を保持し、回転させて前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させる第２駆動手段と、を備え、
前記回転部材が前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴として吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、
前記第１駆動手段が前記梁部材を撓ませることで、前記第２駆動手段による前記梁部材の座屈反転変形の有無を制御し、
前記インク流路部材における前記ノズルを、前記回転部材上での前記第２駆動手段から離れるに従って用紙送り方向にずらすように設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記第２駆動手段は、前記回転部材の一方の長手方向両端部に設けられたことを特徴とする請求項７に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
インクが供給されるインク流路部材と、
前記インク流路部材の略中央に形成されインク滴を吐出するノズルと、
前記インク流路部材と接合される梁部材と、
前記梁部材に接合して設けられ、前記梁部材を撓ませる第１駆動手段と、
前記梁部材の長さ方向両端が固定される二つの回転部材と、
前記回転部材の片端または両端を保持し、回転させて前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させる第２駆動手段と、を備え、
前記回転部材が前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴として吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、
前記第１駆動手段が前記梁部材を撓ませることで、前記第２駆動手段による前記梁部材の座屈反転変形の有無を制御し、
前記インク流路部材における前記ノズル位置を、前記回転部材上で前記インク流路部材が保持される位置が前記回転部材の長手方向両端から中央に近付くに従って、用紙送り方向にずらすように設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
前記回転部材の長手方向両端に設けられた前記第２駆動手段は同時に駆動されることを特徴とする請求項７または請求項９に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項１１】
前記回転部材の長手方向両端に設けられた前記第２駆動手段は時間差をもって駆動されることを特徴とする請求項７または請求項９に記載されたインクジェット記録ヘッド。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを使用したことを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在市販されている水性インクジェットプリンターは、概ね粘度５cps前後、高々１０cpsオーダの染料インクや顔料インクを採用している。媒体に着弾した際のインク滲み防止や、光学的な色濃度アップ、含水量低減による媒体の膨潤抑制／短時間乾燥、あるいは、そうした高品質インクをトータル設計するに当たり自由度が大きくとれる等の理由から、インク粘度を増加することによってプリント性能は向上できることが知られている。
【０００３】
反面、高粘度インクを吐出するには、高出力な圧力発生機構が必要であり、コストやヘッドサイズ増加等の弊害を招く。従来からイジェクターにヒーターを別途設け、吐出時のインク粘度を強制的に下げる技術は公知である（例えば、特許文献１参照）が、インクを加熱する上記の方法はインク劣化や流路のダメージを早める根本課題があり、また使用できるインクも熱による劣化のないものに制限される。
【０００４】
このほか、インク吐出する際の逆方向へのインク流を梁状の弁によって抑制し、より高粘度なインクを吐出する技術（例えば、特許文献２参照）が開示されている。
【０００５】
大変形が得られる座屈曲がりを利用し、圧力発生機構自体をパワーアップする方法として、発熱体層との熱膨張差で変形するダイヤフラム状アクチュエータを使用した技術（例えば、特許文献３参照）、また、同様の構成で片持ち梁状のアクチュエータを使用した技術（例えば、特許文献４参照）が開示されている。
【０００６】
例えば図１７に示すインクジェット記録ヘッド１００はインク室１０６中のインク１０１をアクチュエータ１０２を図１７（ａ）から図１７（ｂ）のように変形させることによって急激に加圧し、ノズル１０４からインク滴１０８として吐出させる。
【０００７】
しかしながら、上記の従来技術でも、粘度１０cpsを大きく上回る５０〜１００cpsのような高粘度インクを、常温において安定吐出することは極めて困難である。
【０００８】
本発明の目的はこれらの課題を解決し、特に常温で５０〜１００cpsオーダの高粘度インクが吐出可能なインクジェット記録ヘッドを提供することにある。具体的には、梁に圧縮と回転運動を与え、座屈曲げ方向が反転する際の急峻な上下運動を利用し、ノズルからインク滴を所望の方向に慣性離脱させるインクジェット記録ヘッドであり、特に夫々のノズルのインク吐出方向やインク吐出のタイミングを高精度化できるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【特許文献１】特開２００３−２２０７０２号公報  （図１、第４頁〜第６頁）
【特許文献２】特開平９−３２７９１８号公報      （図１、第８頁〜第９頁）
【特許文献３】特開２００３−１１８１１４号公報  （図３、第４頁〜第５頁）
【特許文献４】特開２００３−３４７１０号公報  （図１３、第６頁〜第８頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記事実を考慮し、常温で高粘度インクを吐出可能な吐出精度の高いインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドは、インクが供給されるインク流路部材と、前記インク流路部材の略中央に形成されインク滴を吐出するノズルと、前記インク流路部材と接合される梁部材と、前記梁部材に接合して設けられ、前記梁部材を撓ませる第１駆動手段と、前記梁部材の端部を曲げ、前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させる第２駆動手段と、を備え、前記第２駆動手段が前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴として吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記第１駆動手段が前記梁部材を撓ませることで、前記第２駆動手段による前記梁部材の座屈反転変形の有無を制御し、前記インク流路部材と前記梁部材と前記第１駆動手段とからなる夫々の梁状イジェクタは、長手方向略中央近傍の剛性を長手方向両端近傍よりも低くしたことを特徴とする。
【００１１】
上記構成の発明では、梁部材の長手方向中央付近の剛性を低くしたことで、第２駆動手段による座屈反転変形の際にノズルのある中央以外の箇所で変形してしまう、非対称な曲がり方を防ぎ、正しく中央で曲げることによりインク滴の吐出方向を規正することができる。
【００１２】
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記梁部材の長さ方向略中央の幅を狭くしたことを特徴とする。
【００１３】
上記構成の発明では、梁部材の中央付近の幅を狭くしたことで剛性を下げ、非対称な曲がり方を防ぎ、正しく中央で曲げることによりインク滴の吐出方向を規正することができる。
【００１４】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記インク流路部材の長さ方向略中央の幅を狭くしたことを特徴とする。
【００１５】
上記構成の発明では、インク流路部材の中央付近の幅を狭くしたことで剛性を下げ、非対称な曲がり方を防ぎ、正しく中央で曲げることによりインク滴の吐出方向を規正することができる。
【００１６】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記夫々の梁状イジェクタにおいて、前記インク流路部材および前記第１駆動手段および前記梁部材のうち一つまたは双方は長手方向略中央近傍の肉厚を長手方向両端近傍よりも薄くしたことを特徴とする。
【００１７】
上記構成の発明では、梁部材とインク流路部材の一つまたは双方の中央付近の剛性を下げ、非対称な曲がり方を防ぎ、正しく中央で曲げることによりインク滴の吐出方向を規正することができる。
【００１８】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドは、インクが供給されるインク流路部材と、前記インク流路部材の略中央に形成されインク滴を吐出するノズルと、前記インク流路部材と接合される梁部材と、前記梁部材に接合して設けられ、前記梁部材を撓ませる第１駆動手段と、前記梁部材の端部を曲げ、前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させる第２駆動手段と、を備え、前記第２駆動手段が前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴として吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記第１駆動手段が前記梁部材を撓ませることで、前記第２駆動手段による前記梁部材の座屈反転変形の有無を制御し、前記インク流路部材と前記梁部材と前記第１駆動手段とからなる夫々の梁状イジェクタは長手方向略中央から長手方向に所定の距離をおいた２箇所の剛性を他の部分よりも低くしたことを特徴とする。
【００１９】
上記構成の発明では、梁部材の長手方向中央付近をフラットに保ちながらフラット部分の両端の剛性を低くしたことで、第２駆動手段による座屈反転変形の際にノズルのある中央以外の箇所で変形してしまう、非対称な曲がり方を防ぎ、中央付近をフラットに保ちながら両側を曲げることによりインク滴の吐出方向を規正することができる。
【００２０】
請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記梁部材がインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形する前に前記第２駆動手段の曲げ動作を停止し、その後に再度曲げ動作を再開し、前記梁部材がインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させることを特徴とする。
【００２１】
上記構成の発明では、座屈変形直前に曲げ動作を一時停止することで、梁の曲がり形状バラツキが落ち着き、安定した後に座屈変形を起こすので、安定した吐出性能を得ることができる。
【００２２】
請求項７に記載のインクジェット記録ヘッドは、インクが供給されるインク流路部材と、前記インク流路部材の略中央に形成されインク滴を吐出するノズルと、前記インク流路部材と接合される梁部材と、前記梁部材に接合して設けられ、前記梁部材を撓ませる第１駆動手段と、前記梁部材の長さ方向両端が固定される二つの回転部材と、前記回転部材の片端または両端を保持し、回転させて前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させる第２駆動手段と、を備え、前記回転部材が前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴として吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記第１駆動手段が前記梁部材を撓ませることで、前記第２駆動手段による前記梁部材の座屈反転変形の有無を制御し、前記インク流路部材における前記ノズルを、前記回転部材上での前記第２駆動手段から離れるに従って用紙送り方向にずらすように設けたことを特徴とする。
【００２３】
上記構成の発明では、第２駆動手段からの距離に応じてノズル位置を補正することで、第２駆動手段によって回転される固定部材が第２駆動手段からの距離に伴って捻れ変形を起こし、インク滴の吐出タイミングがずれることを補正し、全てのノズルから吐出されるインク滴の着弾位置を用紙送り方向に揃えることができる。
【００２４】
請求項８に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記第２駆動手段は、前記回転部材の一方の長手方向両端部に設けられたことを特徴とする。
【００２５】
上記構成の発明では、第２駆動手段を回転部材の両端に設けたことで、回転部材の捻れ変形が少なく、かつ幅方向に対称な変形とすることができる。
【００２６】
請求項９に記載のインクジェット記録ヘッドは、インクが供給されるインク流路部材と、前記インク流路部材の略中央に形成されインク滴を吐出するノズルと、前記インク流路部材と接合される梁部材と、前記梁部材に接合して設けられ、前記梁部材を撓ませる第１駆動手段と、前記梁部材の長さ方向両端が固定される二つの回転部材と、前記回転部材の片端または両端を保持し、回転させて前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させる第２駆動手段と、を備え、前記回転部材が前記梁部材をインク滴吐出方向に凹から凸となるように変形させ、前記ノズル近傍のインクに吐出方向の慣性を与えることでノズルよりインク滴として吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、前記第１駆動手段が前記梁部材を撓ませることで、前記第２駆動手段による前記梁部材の座屈反転変形の有無を制御し、前記インク流路部材における前記ノズル位置を、前記回転部材上で前記インク流路部材が保持される位置が前記回転部材の長手方向両端から中央に近付くに従って用紙送り方向にずらすように設けたことを特徴とする。
【００２７】
上記構成の発明では、第２駆動手段が設けられた両端からの距離に応じてノズル位置を補正することで、第２駆動手段によって回転される固定部材が第２駆動手段からの距離に伴って捻れ変形によるインク滴の吐出タイミングずれを補正し、全てのノズルから吐出されるインク滴の着弾位置を用紙送り方向に揃えることができる。
【００２８】
請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記回転部材の長手方向両端に設けられた前記第２駆動手段は同時に駆動されることを特徴とする。
【００２９】
上記構成の発明では、ノズル位置によって吐出タイミングを補正し第２駆動手段を同時に駆動することで、第２駆動手段によって回転される固定部材の捻れ変形量のばらつきを低減できる。その結果、吐出タイミングのズレを幅方向に対称な構造とすることができ、インク滴の着弾位置ばらつきを低減できる。
【００３０】
請求項１１に記載のインクジェット記録ヘッドは、前記回転部材の長手方向両端に設けられた前記第２駆動手段は時間差をもって駆動されることを特徴とする。
【００３１】
上記構成の発明では、ノズル位置によって吐出タイミングを補正し、第２駆動手段を固定部材の捻れ変形スピードに応じた時間差（遅れ）をもって駆動する。これによって、第２駆動手段によって回転される固定部材の捻れ変形量のばらつきを低減でき、吐出タイミングのズレ、従ってインク滴の着弾位置ばらつきを低減できる。
【００３２】
請求項１２に記載のインクジェット記録装置は、請求項１乃至請求項１１に記載のインクジェット記録ヘッドを使用したことを特徴とする。
【００３３】
上記構成の発明では、請求項１乃至は請求項１１に記載のインクジェット記録ヘッドを使用しているので、高粘度のインクを記録媒体に吐出させることができる。従来のインクジェット記録装置と比較して、滲みのない優れた品質の記録を行うことができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明は上記構成としたので、常温で高粘度インクを吐出可能な吐出精度の高いインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置とすることができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
図１には、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが示されている。
【００３６】
図１（ａ）、（ｂ）に示すようにインクジェット記録ヘッド１０は、内部にインク流路１３を備え長さ方向略中央にノズル１６を備えた中空チューブ状のインク流路部材１２と、インク流路部材１２を支持する梁部材１４とが接合され、両端を保持部材１８が支持する構造となっている。
【００３７】
梁部材１４にはピエゾ素子３０が接合され、さらにピエゾ素子３０には信号電極３２が接合され梁部材１４、ピエゾ素子３０、信号電極３２でアクチュエータ３６を構成している。梁部材１４はピエゾ素子３０の共通電極を兼ねており、梁部材１４と信号電極３２とでピエゾ素子３０を挟む構造となっている。信号電極３２の一方の端には電極パッド３３が設けられ、配線３４にて図示しないスイッチングＩＣと接続されている。このスイッチングＩＣからの信号によりピエゾ素子３０は駆動され、梁部材１４を撓ませる／撓ませないの制御が行われる。
【００３８】
インク流路部材１２は、インク吐出方向（図中上）および逆方向に撓み可能であり、インクプール２４から供給されインク流路１３を通ってノズル１６まで達したインクを慣性によって吐出方向にインク滴として吐出する。
【００３９】
ここで用いられるインクは前述のように、媒体に着弾した際のインク滲み防止や、光学的な色濃度アップ、含水量低減による媒体の膨潤抑制／短時間乾燥、あるいは、そうした高品質インクをトータル設計するに当たり自由度が大きくとれる等の理由から、インク粘度の極めて高い、具体的には粘度１０cpsを大きく上回るような（例えば５０〜１００cps）高粘度インクである。
【００４０】
保持部材１８は回転エンコーダ２０に設けられたアーム２２に固定され、回転エンコーダ２０の回転中心からアーム２２の長さ分だけオフセットされた位置にて両側から押圧され、あるいは曲げ方向に力が加えられインク吐出方向あるいは逆方向に梁部材１４と接合したインク流路部材１２を撓ませる。
【００４１】
保持部材１８は、図１（ａ）の紙面前後方向に長い棒状でもよく、保持部材１８に複数のインク流路部材１２が設けられた梯子状の構造であってもよい。
【００４２】
図１（ｂ）は、ノズル１６の周囲だけを切り出した斜視図である。図１（ｂ）に示すようにインク流路部材１２は中空チューブ状の部材を複数並べ、長さ方向の略同一位置にノズル１６を切り欠いて設けることで、以下のような効果を有する。
【００４３】
すなわち、例えばノズル孔を設けた薄板あるいはフィルム材を積層して製造したヘッド構造では、多ノズルヘッドを低コスト／狭ピッチに製造できないが、予め分離されたチューブを多数本整列しヘッドアレイとすることによって、これを容易に実現できる。
【００４４】
また、積層構造によって形成される流路と比べ、チューブ内の流路には内部の段差等が存在せず、インク充填性や気泡排出性に優れる。
【００４５】
以下に実際の動作について説明する。
【００４６】
図２には、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作が示されている。
【００４７】
図２（ａ）のようにまず回転エンコーダ２０が反転（インク流路部材１２を引き伸ばす方向へ回転）し、初期状態では吐出方向へ凸形状となっているインク流路部材１２を真っ直ぐに伸ばし、撓みのない状態とする。
【００４８】
次いで図２（ｂ）のようにインク流路部材１２に吐出を指示する信号がスイッチングＩＣより送られた場合はアクチュエータ３６が駆動され、吐出方向に凹となるように撓んだ状態となる。
【００４９】
さらに図２（ｃ）で回転エンコーダ２０を矢印方向に正回転させると、インク流路部材１２は回転エンコーダ２０に近い方、すなわち両端から次第に吐出方向（図中上）に凸へと撓み方向が変化する。
【００５０】
この変化が両端から中央に近付くと、インク流路部材１２（あるいは梁部材１４）はある点で急峻な座屈反転を起こし、インク吐出方向（図中上）へと急激に変形する（図２（ｄ））。
【００５１】
インク流路部材１２の長さ方向略中央にはノズル１６が設けられているため、ノズル１６まで達しているインクはこの座屈反転によるインク流路部材１２の吐出方向への変形に伴い、ノズル１６からインク滴２として吐出される。
【００５２】
さらに図２（ｄ）で撓み量が最大となり回転エンコーダ２０が停止したのち、逆回転してインク流路部材１２を平坦にする（図２（ａ））ことでインク流路部材１２は初期位置図２（ａ）へ復帰する。
【００５３】
この座屈反転による変形の速度は通常のアクチュエータなどによる変位と比較すれば非常に大きなものであり、本発明に採用した高粘度インクであっても十分にインク滴２として吐出することが可能である。
【００５４】
図３には、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが示されている。
【００５５】
図３（ａ）のようにインク滴２が吐出される際に、インク流路部材１２（あるいは梁部材１４）がノズル１６の設けられている長さ方向中央から外れた箇所で座屈反転を起こしてしまうと、ノズル１６が所望の方向へ向かない状態でインク滴２を吐出してしまい、結果として吐出方向が狂い、用紙への着弾位置がずれてしまう。
【００５６】
図３（ｂ）は、インク吐出方向から見た本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドにおける夫々の梁状イジェクタを概略示したものであり、ここではインク流路部材１２（あるいは梁部材１４）の形状が示されている。
【００５７】
図３（ｂ）のようにインク流路部材１２（あるいは梁部材１４）の幅を、ノズル１６が設けられた中央付近のみ狭くすることでノズル１６近傍の剛性を下げることができる。
【００５８】
これによりインク流路部材１２（あるいは梁部材１４）の座屈反転すなわちインク滴２の吐出において、ノズル１６近傍で折れ曲がり易くなるため、図３（ａ）のように吐出方向が狂い、用紙への着弾位置がずれることを防止できる。
【００５９】
このとき、インク流路部材１２あるいは梁部材１４やアクチュエータ３６の幅を狭くする以外に厚みを薄くする、あるいは多孔質の素材に両端部のみ樹脂を染み込ませて強化するなどの方法で中央と両端部の剛性に差を持たせることでも同等の効果を得ることができる。
【００６０】
図４には、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作が示されている。
【００６１】
図４（ａ）のようにまず回転エンコーダ２０が反転（インク流路部材１２を引き伸ばす方向へ回転）し、吐出方向へ凸形状となっているインク流路部材１２を真っ直ぐに伸ばし、撓みのない状態とする。インク流路部材１２にはアクチュエータ３６が接合されている（拡大図４（ｄ））ため、アクチュエータ３６の駆動によって吐出方向に凹または凸にインク流路部材１２を撓ませることができる。
【００６２】
次いで図４（ｂ）のようにインク流路部材１２に吐出を指示する信号が図示しないスイッチングＩＣより送られた場合はアクチュエータ３６が駆動され、インク流路部材１２の中央部が吐出方向に凹となるように撓んだ状態となる。
【００６３】
このとき、図に示すようにインク流路部材１２は中央部のみ薄い（あるいは幅が狭くてもよい）ので剛性が低く、多の部分よりも撓みやすいので、非対称な撓み方をせずノズル１６の設けられた中央近傍が凹となるように変形する。
【００６４】
さらに図４（ｂ）、（ｃ）で回転エンコーダ２０を矢印方向に回動させると、インク流路部材１２は回転エンコーダ２０に近い方、すなわち両端から次第に吐出方向（図中上）に凸へと撓み方向が変化する。
【００６５】
この変化が両端から中央に近付くと、インク流路部材１２（あるいは梁部材１４）はある点で急峻な座屈反転を起こし、インク吐出方向（図中上）へと急激に変形する（図４（ｃ））。
【００６６】
このとき、図に示すようにインク流路部材１２は中央部が撓んでいるので、非対称な座屈反転変形をせずノズル１６の設けられた中央近傍が凸となるように変形する。これによりノズル１６から吐出されるインク滴２を所望の方向に飛ばすことができる。
【００６７】
図５には本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが示されている。
【００６８】
図５（ａ）は、夫々の梁状イジェクタを概略示したものであり、ここではインク流路部材１２（あるいは梁部材１４）の形状が示されている。このようにインク流路部材１２（あるいは梁部材１４）の幅を、ノズル１６が設けられた中央部１２ｃの両端のみ狭くすることでノズル１６近傍の中央部１２ｃ両端の剛性を部分的に下げることができる。
【００６９】
これによりインク流路部材１２（あるいは梁部材１４）の座屈反転すなわちインク滴２の吐出において、ノズル１６近傍の中央部１２ｃがフラットな形状を保ったまま吐出方向に高速で移動するため、吐出時にインク滴２の吐出方向が狂い、用紙への着弾位置がずれることを防止できる。
【００７０】
このとき、インク流路部材１２あるいは梁部材１４やアクチュエータ３６の幅を狭くする以外に厚みを薄くする、あるいは多孔質の素材に両端部のみ樹脂を染み込ませて強化するなどの方法で中央部１２ｃと両端部の剛性に差を持たせることでも同等の効果を得ることができる。
【００７１】
図６には本発明の第３実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作が示されている。
【００７２】
図６にはインク流路部材１２が座屈反転を起こす直前からインク滴を吐出した直後までのインクジェット記録ヘッド１７の動作、アクチュエータ３６に印加される電圧、回転エンコーダ２０の動作の時間による変化が示されている。
【００７３】
図６（ａ）で回転エンコーダ２０が逆転（インク流路部材１２を両端から引っ張る方向）駆動され、押圧によって変形したインク流路部材１２を伸ばし、初期状態に戻すことでインク流路部材１２は撓みのない状態となる。
【００７４】
続いて図６（ｂ）で回転エンコーダ２０が停止し、ここで吐出を指示する信号がスイッチングＩＣより送られ、アクチュエータ３６が駆動されるとインク流路部材１２は吐出方向に凹となるように撓みが発生する。
【００７５】
アクチュエータ３６による変形が終了し、インク流路部材１２が規定の撓み量となると図６（ｃ）のように回転エンコーダ２０が正転（インク流路部材１２を両端から押圧する方向）駆動され、インク流路部材１２は回転エンコーダ２０に近い方、すなわち両端から次第に吐出方向（図中上）に凸へと撓み方向が変化する。
【００７６】
このとき、回転エンコーダ２０による変形にはバラツキが発生し、回転エンコーダ２０の回転量に対してインク流路部材１２（梁部材１４）の撓み量は僅かな時間の間に変動するため、暴れが生じている。この影響によりインク流路部材１２（梁部材１４）の変形は再現性が低くなり、インク滴２の吐出精度も低いものとなってしまう。
【００７７】
上記の変形バラツキは時間と共に解消されるので、本実施形態においては吐出前、すなわち座屈反転が起こる前（図６（ｃ）→（ｄ）間）に一旦回転エンコーダ２０を停止する。これによりインク流路部材１２（梁部材１４）の曲がり形状の暴れやバラツキが落ち着き、安定した状態で吐出を行うことができる。
【００７８】
インク流路部材１２の撓み変化が両端から中央に近付くと、インク流路部材１２（あるいは梁部材１４）はある点で急峻な座屈反転を起こし（図６（ｄ））、インク吐出方向（図中上）へと急激に変形する。
【００７９】
このときインク流路部材１２内部のインクは慣性のため等速度で吐出方向に進もうとするので、両者の速度差によりノズル１６からインク滴２が突出する。梁部材１４の変形が最大量となれば吐出方向への変位は停止するので、インク滴２のみがノズル１６から突出し（図６（ｄ））、そのまま慣性に従ってインク滴２は吐出方向に撃ち出される。
【００８０】
ここで回転エンコーダ２０は停止し、次のサイクルに備える。以上の実施例では、この一連の動作は１サイクルあたり３Ｈｚで駆動したが、梁部材１４の座屈反転による変位は短い時間のあいだに起こるので、インクの粘性が高い本発明においても良好な吐出性能が得られる。
【００８１】
また上記のように座屈反転直前で回転エンコーダ２０の回動を一旦停止し、インク流路部材１２（梁部材１４）の曲がり形状が安定した状態で吐出を行うことにより吐出精度を高くすることができる。
【００８２】
ところで、図７に示すように、回転エンコーダ２０によって保持部材１８が回転され、インク流路部材１２を変形させる時、保持部材１８は回転エンコーダ２０に把持されている部分に力が加わるので、回転方向に対して抵抗となるインク流路部材１２（あるいは図示しない梁部材１４やアクチュエータ３６）の変形抵抗を抑えて回転することにより、ねじり変形が生じる。
【００８３】
すなわち図７（ａ）Ａ方向から保持部材１８の変形が始まりＢ方向へ伝達される場合、Ａで始まった保持部材１８の回転・変形がＢに伝達されるまでに所定の時間を要するので、保持部材１８のＢ側端が動力のないベアリング２５などで保持されていれば、Ａ側端で始まった回転・変形が保持部材１８をねじり変形させながらインク流路部材１２を変形させるタイミングは次第に遅れて行き、Ｂ側端では最も遅れて変形が起こる。
【００８４】
つまり座屈変形によるノズル１６からのインク滴吐出もまたＡ側端からＢ側端までの間に遅れて行くので、このまま用紙を通過させて印字を行えば図７（ｂ）のようにＡ側端からＢ側端に向けて、用紙の進行に伴う遅れがインク滴の着弾位置ズレとなって現れる。
【００８５】
すなわちＡ側端が回転エンコーダ２０に最も近いため吐出タイミングも早く、Ｂ側端は回転エンコーダ２０から最も遠いので吐出タイミングが遅いことにより、用紙の進行方向（網目矢印）後ろ側（図中上）に着弾位置がずれてしまう。結果として図１１（ｂ）に示すような吐出パターンとなってしまうことになる。
【００８６】
この着弾位置ずれを解消するために図８のようにヘッド全体を傾け、ノズル１６の位置を回転エンコーダ２０の側からずらすように配置すれば、保持部材１８のねじれによる吐出タイミングずれを補正する方向にノズル１６の位置を移動させることができる。なお、この形態では、本来のノズル１６の間隔をｄとしたとき角度θで傾けたことによりノズル１６の間隔がｄｃｏｓθとなってしまうため、ドットピッチを補正する必要が生じる。
【００８７】
そこで本実施形態ではドットピッチを変えずに、吐出タイミングのズレによるインク滴の着弾位置ズレを補正する。
【００８８】
図９には本発明の第４実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが示されている。
【００８９】
図９（ａ）に示すようにインクジェット記録ヘッド１９は、長さ方向略中央にノズル１６を備えた複数のインク流路部材１２の両端をそれぞれ保持部材１８が支持する梯子状の構造となっている。
【００９０】
２本ある保持部材１８の一端にはそれぞれ回転エンコーダ２０が設けられ、保持部材１８を回転させインク流路部材１２を座屈反転変形させる。インク流路部材１２には、長さ方向略中央にノズル１６が設けられ、インク流路部材１２の座屈変形によってインク滴を吐出する。
【００９１】
本実施形態ではノズル１６の位置を、回転エンコーダ２０から離れるに従って用紙送り方向（図中下）にずらして配置したことを特徴としている。すなわち、用紙を固定してインク滴を吐出したと仮定すれば図９（ｂ）に示したような吐出パターンとなるノズル配置とする。
【００９２】
このノズル配置は図７（ｂ）に示した、保持部材１８のねじれ変形に起因する吐出タイミングずれによる着弾位置ずれを補正するパターンとなっている。
【００９３】
つまり補正なしでは吐出タイミングずれにより図１０（ａ）のように着弾位置ずれを起こすが、ノズル１６の配置を図９（ｂ）のような吐出パターンとすることで着弾位置ずれを補正し、図１０（ｂ）に示すように点線の着弾位置ずれを一点鎖線のノズル配置で補正することにより実線のように正しい着弾パターンとすることができる。
【００９４】
但しこのとき、ノズル１６の配置を単純に図７（ｂ）の逆とするのではなく、保持部材１８からノズル１６までの距離の変化によって座屈反転が起こるまでに要する時間の変動を考慮に入れることでより正確な補正を行うことができる。
【００９５】
あるいは図１１に示すように、２本ある保持部材１８のうち１本のみが回転エンコーダ２０によって回転され、インク流路部材１２を変形させる場合、保持部材１８のうち回転エンコーダ２０に把持されている方（図中上）のみ、把持部分に力が加わるので、回転方向に対して抵抗となるインク流路部材１２（あるいは図示しない梁部材１４やアクチュエータ３６）の変形抵抗を抑えて回転することにより、ねじり変形が生じる。
【００９６】
すなわち図１１（ａ）のＡ、Ｂ両方向から保持部材１８の変形が始まり中央へ伝達されるとき、両端で始まった保持部材１８の回転・変形が中央に伝達されるまでに所定の時間を要するので、両端で始まった回転・変形が保持部材１８をねじり変形させながらインク流路部材１２を変形させるタイミングは次第に遅れて行き、中央では最も遅れて変形が起こる。
【００９７】
つまり座屈変形によるノズル１６からのインク滴吐出もまた両端から中央までの間に遅れて行くので、このまま用紙を通過させて印字を行えば図１１（ｂ）のように両端から中央に向けて、用紙の進行に伴う遅れがインク滴の着弾位置ズレとなって現れる。
【００９８】
すなわち両端が回転エンコーダ２０に最も近いため吐出タイミングも早く、中央は回転エンコーダ２０から最も遠いので吐出タイミングが遅いことにより、用紙の進行方向（網目矢印）後ろ側（図中上）に着弾位置がずれてしまう。結果として図１１（ｂ）に示すような吐出パターンとなってしまうことになる。
【００９９】
このズレは半円あるいは略放物線形状などの上凸形状となるので、図８のようなヘッドの傾きでは補正できない。そこで本実施形態では吐出タイミングのズレによるインク滴の着弾位置ズレをノズル１６の配置で補正する。
【０１００】
図１２には本発明の第５実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが示されている。
【０１０１】
図１２（ａ）に示すようにインクジェット記録ヘッド２１は、長さ方向略中央にノズル１６を備えた複数のインク流路部材１２の両端をそれぞれ保持部材１８が支持する梯子状の構造となっている。
【０１０２】
保持部材１８のうち１本は両端にそれぞれ回転エンコーダ２０が設けられ、保持部材１８を回転させインク流路部材１２を座屈反転変形させる。インク流路部材１２には、長さ方向略中央にノズル１６が設けられ、インク流路部材１２の座屈変形によってインク滴を吐出する。
【０１０３】
本実施形態ではノズル１６の位置を、回転エンコーダ２０の設けられた両端から離れるに従って用紙送り方向（図中下）にずらして配置したことを特徴としている。すなわち、用紙を固定してインク滴を吐出したと仮定すれば図１２（ｂ）に示したような吐出パターンとなるノズル配置とする。
【０１０４】
このノズル配置は図１１（ｂ）に示した、保持部材１８のねじれ変形に起因する吐出タイミングずれによる着弾位置ずれを補正するパターンとなっている。
【０１０５】
つまり補正なしでは吐出タイミングずれにより図１３（ａ）のように着弾位置ずれを起こすが、ノズル１６の配置を図１２（ｂ）のような吐出パターンとすることで着弾位置ずれを補正し、図１３（ｂ）に示すように点線の着弾位置ずれを一点鎖線のノズル配置で補正することにより実線のように正しい着弾パターンとすることができる。
【０１０６】
図１４には、本発明の第５実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作が示されている。
【０１０７】
図１４（ａ）のようにまず回転エンコーダ２０が反転（インク流路部材１２を引き伸ばす方向へ回転）し、吐出方向へ凸形状となっているインク流路部材１２を真っ直ぐに伸ばし、撓みのない状態とする。このとき保持部材１８は一端を回転エンコーダ２０、他端を固定部材２３にて保持されているので、回転エンコーダ２０の回転による変形は回転エンコーダ２０に保持された側（図中右）から発生する。
【０１０８】
次いでインク流路部材１２に吐出を指示する信号がスイッチングＩＣより送られた場合はアクチュエータが駆動され、吐出方向に凹となるように撓んだ状態となる。
【０１０９】
さらに図１４（ｂ）で回転エンコーダ２０を矢印方向に回転させると、インク流路部材１２は回転エンコーダ２０に近い方、すなわち図中右端から次第に吐出方向（図中上）に凸へと撓み方向が変化する。
【０１１０】
ここで、インク流路部材１２の長さ方向中央付近は図示しないアクチュエータ３６によって吐出方向に凹となるように変形しているので、図のように中央付近を除いて吐出方向（図中上）に凸へと撓み方向が変化する。
【０１１１】
この変化が回転エンコーダ２０に近い方、すなわち図中右端から中央に近付くと、インク流路部材１２（あるいは梁部材１４）はある点で急峻な座屈反転を起こし、インク吐出方向（図中上）へと急激に変形する（図１４（ｃ））。
【０１１２】
インク流路部材１２の長さ方向略中央にはノズル１６が設けられているため、ノズル１６まで達しているインクはこの座屈反転によるインク流路部材１２の吐出方向への変形に伴い、ノズル１６からインク滴２として吐出される。
【０１１３】
さらに図１４（ｃ）で撓み量が最大となり回転エンコーダ２０が停止したのち、逆回転してインク流路部材１２を平坦にする（図１４（ａ））ことでインク流路部材１２は初期位置図１４（ａ）へ復帰する。
【０１１４】
この座屈反転による変形量は通常のアクチュエータなどによる変位と比較すれば非常に大きなものであり、本発明に採用した高粘度インクであっても十分にインク滴２として吐出することが可能である。また、アクチュエータ３６により初期撓み（吐出方向に凹）を与えられるので、回転エンコーダ２０は保持部材１８の片側のみでも十分にインク流路部材１２に座屈反転変形を起こすことができる。
【０１１５】
図１５には本発明の第５実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの他の形態が示されている。
【０１１６】
図１５（ａ）に示すようにインクジェット記録ヘッド２１は、長さ方向略中央にノズル１６を備えた複数のインク流路部材１２の両端をそれぞれ保持部材１８が支持する梯子状の構造となっている。
【０１１７】
２本の保持部材１８は両端にそれぞれ回転エンコーダ２０が設けられ、保持部材１８を回転させインク流路部材１２を座屈反転変形させる。インク流路部材１２には、長さ方向略中央にノズル１６が設けられ、インク流路部材１２の座屈変形によってインク滴を吐出する。
【０１１８】
このとき、回転エンコーダ２０は保持部材１８の両端において同時駆動ではなく、回転エンコーダ２０Ａと２０Ｂで時間差を付与して駆動するようにしてもよい。例えば回転エンコーダ２０Ａを先に駆動開始し、ねじり変形スピードに応じた遅れの時間差をもって２０Ｂを駆動するようにしてよい。この場合も、保持部材１８のねじり変形は図７と同様に図中右から左へと進んでいくので吐出パターンもまた図７（ｂ）のように右から左へと遅れることになる。
【０１１９】
よって本実施形態ではノズル１６の位置を、回転エンコーダ２０の設けられた両端から離れるに従って用紙送り方向（図中下）にずらして配置する。すなわち、用紙を固定してインク滴を吐出したと仮定すれば図９（ｂ）に示したような吐出パターンとなるノズル配置とする。
【０１２０】
このノズル配置は回転エンコーダ２０Ａと２０Ｂの時間差に起因する吐出タイミングずれによる着弾位置ずれを補正するパターンとなっている。
【０１２１】
つまり補正なしでは吐出タイミングずれにより着弾位置ずれを起こすが、ノズル１６の配置を図１５（ａ）のようなパターンとすることで着弾位置ずれを補正し、正しい着弾パターンとすることができる。なお、本実施例では、２本の保持部材１８の両端に設けた回転エンコーダ２０に時間差を与えて駆動するので、片側の保持部材１８の両端にのみ回転エンコーダ２０を設けた場合（図９参照）と比較して、吐出タイミングのばらつき量を小さくすることができる。このため、２本の保持部材１８を駆動する比較的複雑な構成になる反面、着弾位置を高精度にできる効果を有する。
【０１２２】
但しこのとき、ノズル１６の配置を単純に着弾位置ずれの逆とするのではなく、保持部材１８からノズル１６までの距離の変化によって座屈反転が起こるまでに要する時間の変動を考慮に入れることでより正確な補正を行うことができるのは第４実施形態と同様である。
【０１２３】
あるいは２本の保持部材１８の両端に設けた回転エンコーダ２０を同時に駆動するようにしてもよい。つまり図１５（ｂ）のように回転エンコーダ２０Ａと２０Ｂを同時に駆動すれば図１５（ｂ）のＡ、Ｂ両方向から保持部材１８の変形が始まり中央へ伝達されるとき、両端で始まった保持部材１８の回転・変形が中央に伝達されるまでに所定の時間を要するので、両端で始まった回転・変形が保持部材１８をねじり変形させながらインク流路部材１２を変形させるタイミングは次第に遅れて行き、中央では最も遅れて変形が起こる。
【０１２４】
つまり座屈変形によるノズル１６からのインク滴吐出もまた両端から中央までの間に遅れて行くので、このまま用紙を通過させて印字を行えば両端から中央に向けて、用紙の進行に伴う遅れがインク滴の着弾位置ズレとなって現れる。
【０１２５】
すなわち両端が回転エンコーダ２０に最も近いため吐出タイミングも早く、中央は回転エンコーダ２０から最も遠いので吐出タイミングが遅いことにより、用紙の進行方向（網目矢印）後ろ側（図中上）に着弾位置がずれてしまう。
【０１２６】
そこで本実施形態では吐出タイミングのズレによるインク滴の着弾位置ズレを図１５（ｂ）のようなノズル１６配置とすることで補正する。なお、本実施例では、２本の保持部材１８の両端に設けた回転エンコーダ２０を同時に駆動するので、片側の保持部材１８の両端にのみ回転エンコーダ２０を設けた場合（図１２参照）と比較して、吐出タイミングのずれの絶対量を小さくすることができる。このため、２本の保持部材１８を駆動する比較的複雑な構成になる反面、ずれ量のばらつきを低減できる効果を有する。
【０１２７】
この場合もノズル１６の配置を単純に着弾位置ずれの逆とするのではなく、保持部材１８からノズル１６までの距離の変化によって座屈反転が起こるまでに要する時間の変動を考慮に入れることでより正確な補正を行うことができるのは第４実施形態と同様である。
【０１２８】
図１６には、本発明に係るインクジェット記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置が示されている。
【０１２９】
図１６に示すようにインクジェット記録装置５０はヘッド保持部材５４を備え、本発明のインクジェット記録ヘッド１０ないしは２１がヘッド保持部材５４に保持される。ヘッド保持部材５４はインクジェット記録ヘッド１０ないしは２１を保持し、かつインク吐出動作を妨げない構造となっている。ヘッド保持部材５４の下には状記録媒体Ｐを載置し保持するテーブル５２が設けられている。
【０１３０】
記録媒体Ｐをテーブル５２にセットして、テーブル５２を平面内でＸおよびＹ方向（図中白矢印）に移動させるとともに、インクジェット記録ヘッド１０ないしは２１を駆動し、高粘度インクのインク滴２を吐出する。前述のように高粘度インクを使用しているので記録媒体Ｐに着弾した際のインク滴２の滲みは防止でき、高品質な記録が行える。
【０１３１】
尚、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。
【０１３２】
例えば、上記実施の形態では、アクチュエータはピエゾ素子３０と梁部材１４とからなっているが、ピエゾ素子３０のかわりに発熱抵抗体を利用し、熱膨張差で撓み変形するアクチュエータであっても良いし、静電力や磁力を利用したものであっても良い。或いは、その他の形態のアクチュエータであっても良い。
【０１３３】
また、上記実施の形態では、インク流路部材１２と梁部材１４は、それぞれ別々の材料で形成して接合したが、これに限定されない。例えば、梁部材１４がインク流路部材１２に含まれたり、一体の構造であっても良い。或いは、その他の形態であっても良い。
【０１３４】
また、上記実施の形態では、インクジェット記録ヘッド１０ないしは２１を固定し、記録媒体Ｐを移動させながら記録を行うが、例えば、記録媒体Ｐを固定し、インクジェット記録ヘッド１０ないしは２１をキャリッジに搭載して搬送しながら記録を行っても良いし、双方を搬送しながら記録を行ってもよい。あるいは記録媒体Ｐをドラムに巻き付けて回転させる構造としてもよい。
【０１３５】
また、本明細書におけるインクジェット記録とは、記録紙上への文字や画像の記録に限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、液状の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりするなど、工業用的に用いられる液滴噴射装置全般に対して本発明を利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３６】
【図１】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す図である。
【図２】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図３】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図４】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図５】本発明の第２形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図６】本発明の第３形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図７】従来のインクジェット記録ヘッドの構造を示す図である。
【図８】従来のインクジェット記録ヘッドの構造を示す図である。
【図９】本発明の第４形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す図である。
【図１０】本発明の第４形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図１１】従来のインクジェット記録ヘッドの構造を示す図である。
【図１２】本発明の第５形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す図である。
【図１３】本発明の第５形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図１４】本発明の第５形態に係るインクジェット記録ヘッドの動作を示す図である。
【図１５】本発明の第５形態に係るインクジェット記録ヘッドの変形例を示す図である。
【図１６】本発明に係るインクジェット記録装置を示す図である。
【図１７】従来のインクジェット記録ヘッドを示す図である。
【符号の説明】
【０１３７】
１０    インクジェット記録ヘッド
１５    インクジェット記録ヘッド
１７    インクジェット記録ヘッド
１９    インクジェット記録ヘッド
２１    インクジェット記録ヘッド
１２    インク流路部材
１３    インク流路
１４    梁部材
１６    ノズル
１８    保持部材
２０    回転エンコーダ
２５    ベアリング
３０    ピエゾ素子
【図１】
2006130781.tif 000003
【図２】
2006130781.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2006130781.tif 000011
【図１０】
2006130781.tif 000012
【図１１】
2006130781.tif 000013
【図１２】
2006130781.tif 000014
【図１３】
2006130781.tif 000015
【図１４】
2006130781.tif 000016
【図１５】
2006130781.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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