(57)【要約】【課題】  従来のピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドにおける、ＦＰＣと振動板との間の剥れ発生の問題を解決できる、ピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドを提供する。同時に、そのようなピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドの製作方法を提供する。【解決手段】  インク圧力室とそれに接続するオリフィスの組みを、複数有し、且つ、その１面側にインク圧力室を揃えて配列し、別の１面側にオリフィスを配列させた、筐体を備え、該筐体のインク圧力室側の面に、振動板と、第１のＦＰＣと、圧電素子と、第２のＦＰＣとを、この順に、積層配設し、且つ、前記第１のＦＰＣは前記圧電素子を駆動するための回路を配したＦＰＣであり、前記第１のＦＰＣ、第２のＦＰＣを、いずれも、異方導電性接着層を介して、その回路側を圧電素子側にして圧電素子に圧着しており、また、前記振動板は前記筐体のインク圧力室側の面に固定してあるものであり、接着材層を介して、第１のＦＰＣと振動板とを積層固定している。【選択図】      図１
2006231721.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク圧力室に圧電素子の歪に起因する圧力波を与えることにより、該インク圧力室に接続するオリフィスからインクを吐出するピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドであって、インク圧力室とそれに接続するオリフィスの組みを、複数有し、且つ、その１面側にインク圧力室を揃えて配列し、別の１面側にオリフィスを配列させた、筐体を備え、該筐体のインク圧力室側の面に、振動板と、第１のＦＰＣと、圧電素子と、第２のＦＰＣとを、この順に、積層配設し、且つ、前記第１のＦＰＣは前記圧電素子を駆動するための回路を配したＦＰＣであり、前記第１のＦＰＣ、第２のＦＰＣを、いずれも、異方導電性接着層を介して、その回路側を圧電素子側にして圧電素子に圧着しておりまた、前記振動板は前記筐体のインク圧力室側の面に固定してあるものであり、接着材層を介して、第１のＦＰＣと振動板とを積層固定していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドであって、前記第２のＦＰＣは、前記圧電素子を駆動するための回路を配したＦＰＣであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドであって、前記筐体は、所定形状にエッチング加工された金属板材を積層して形成したものであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載のインクジェットヘッドであって、前記金属板材がステンレス材であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載のインクジェットヘッドであって、前記振動板がステンレス材で、前記筐体のインク圧力室側の面に、熱圧着固定されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
インク圧力室に圧電素子の歪に起因する圧力波を与えることにより、該インク圧力室に接続するオリフィスからインクを吐出するピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドで、且つ、インク圧力室とそれに接続するオリフィスの組みを、複数有し、その１面側にインク圧力室を揃えて配列し、別の１面側にオリフィスを配列させた、筐体を備え、該筐体のインク圧力室側の面に、振動板と、第１のＦＰＣと、圧電素子と、第２のＦＰＣとを、この順に、積層配設しているインクジェットヘッドの作製方法であって、（ａ）異方導電性接着層を介して、圧電素子を駆動するための回路を配した第１のＦＰＣと第２のＦＰＣとを、それぞれ、その回路側を圧電素子側にして圧電素子に圧着して、圧電素子と一体的に積層した、第１のＦＰＣ、圧電素子、第２のＦＰＣとが一体の第１の構造体を形成する工程と、（ｂ）振動板を、筐体のインク圧力室側の面に固定した、第２の構造体を形成する工程と、（ｃ）前記第１の構造体の第１のＦＰＣ側と前記第２の構造体の振動板側とを、接着材層を介して固定する工程とを行うことを特徴とするインクジェットヘッドの作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク圧力室に圧電素子の歪に起因する圧力波を与えることにより、該インク圧力室に接続するオリフィスからインクを吐出するピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドとその作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＰＣ（ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）等の電子製品及びデジタル製品の普及により、インクジェットプリンターの市場が急成長しており、このインクジェット方式には種々あるが、解像性の面、高速性の面からは、ＤＯＤ（Ｄｏｔ  Ｏｎ  Ｄｅｍａｎｄ）型であるピエゾ圧電方式が採られている。
そして、この方式のインクジェットプリンターには、そのインキ噴出部に、インキを吐出するオリフィス開口とオリフィス開口にインキを流す流路構造体を備えたインクジェット用へッドと呼ばれる部材が使用されている。
【０００３】
ＤＯＤ（Ｄｏｔ  Ｏｎ  Ｄｅｍａｎｄ）型であるピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドとしては、例えば、図３（ａ）や図３（ｂ）にその一部断面を示すＳｔｅｍｍｅ方式がある。
尚、図３（ａ）のＤ１−Ｄ２位置における断面状態を示したものが図３（ｂ）で、図３（ｂ）のＤ３−Ｄ４位置における断面状態を示したものが図３（ａ）である。
図３に示すインクジェットヘッドは、流路２１１内にインクを供給し、流路２１１ａを通りオリフィス２７１から吐出させるものであるが、簡単には、圧電素子２４０を電気信号により駆動し、これに歪を与えることにより、筐体に形成されたインキの流路２１１ａにおいて、振動板２２０が流路２１１ａ側に凹むように周期的に変形させ、この部分のインクに圧力波が発生し、該圧力波がインキ流路２１１中を進行して、直径２０μ〜１００μｍ開口のオリフィス２７１に到達し、インキを噴出させるものである。
筐体２１０には、このようなオリフィス２７１が複数配列されており、それぞれについて、同様に、インク流路や圧電素子を配している。
尚、振動板２２０が直接作用する流路２１１ａを、以下、インク圧力室とも言う。
尚、振動板２２０が直接作用する流路２１１ａを、以下、インク圧力室とも言う。
振動板２２０は、インク圧力室２１１ａに、直接、圧電素子２４０の歪（振動）を伝達するための板状の部材である。
図３に示す筐体２１０のインクジェットヘッドの場合、接着材層２５０を振動板１２０の全面に配して、ＦＰＣ１３０を振動板１２０に接着固定させている。
ＦＰＣ（フレキシブルプリント回路）２３０は、圧電素子２４０を駆動するための駆動電極が形成されており、圧電素子２４０に駆動用の電気信号を送るもので、例えば、ポリイミド等の樹脂基材の一面にフォトエッチング法により電極部がパターニングされているものが用いられ、圧電素子２４０と圧着する際に圧電素子２４０の電極部とＦＰＣの電極部との導通がとられる。
インク流路２１１を微細に精度良く形成するために、筐体２１０は、それぞれ、所定形状にエッチング加工されたステンレスの薄板２１０ａを熱圧着積層して形成されている。  図３において、細点線はステンレスの薄板同士の境界部分位置を示しているがステンレスの薄板同士は熱拡散接着されている。
また、異方導電性接着層２６０を介して、圧電素子２４０を駆動するための駆動回路の電極部を形成する回路を配したＦＰＣ２３０を、その回路側を圧電素子２４０側にして圧電素子２４０に圧着しており、これにより、圧電素子２４０とＦＰＣ２３０との電気的な導通をとっている。
図３に示すインクジェットヘッドにおいては、ステンレスの薄板２１０ａの面方向にオリフィス２７１を設けているが、このような形態に限定はされない。
例えば、図４に示すインクジェットヘッドのように、ステンレスの薄板２１０ａの面方向に直交する方向にオリフィス２７１を設ける形態ののものも挙げられる。
尚、図４は図３（ａ）断面に相当するものである。
図４に示すインクジェットヘッドは、オリフィス２７１を設ける方向で図３に示すものと異なるが、それ以外は図３に示すものと同じ構造で、筐体２１０には、オリフィス２７１が複数配列されており、それぞれについて、同様に、流路２１１や圧電素子２４０を配している。
【０００４】
図３、図４に示すインクジェットヘッドにおいてはオリフィス２７１を形成したオリフィス板部２７０を筐体２１０に圧着して配設している。
例えば、特開２００２−２８３５７６号公報（特許文献１）には、エッチング加工が施された金属薄板に、オリフィスを形成されたオリフィスプレートとを接着して形成したオリフィス板部（図３、図４の２７０に相当）、あるいは、オリフィス部をめっき形成により、金属板材の開口部に形成するオリフィス板部の記載があるが、このようにして形成されたオリフィス板部（図３、図４の２７０に相当）を筐体２１０に圧着して配設する。
【特許文献１】特開２００２−２８３５７６号公報
【０００５】
図３、図４に示すインクジェットヘッドにおいては、筐体２１０の上面には順に、ステンレス箔、接着材層、ＦＰＣ、圧電素子を形成しているが、このようなインクジェットヘッドにおいても、最近の品質的アップ要求が伴い、各オリフィス２７１からのより均一なインク吐出が求められるようになってきた。
尚、各インク圧力室２１１ａ面上は、圧電素子２４０作用を均一に受けるため、ＦＰＣ２３０との接着材層が完全に硬化し、膜厚が均一であることが条件であるが、図３、図４に示す構造の場合には、例えば、図３（ａ）に示すＦＰＣ２３０を境に外側にソリが発生し、図５に示すように、ＦＰＣ２３０と振動板２２０との間に剥れ（図５２８０が剥れ部）が発生し易く、剥れが発生した場合には、各オリフィスから均一なインク吐出をすることができず、問題になっていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、近年、インクジェットヘッドとして、ＤＯＤ（Ｄｏｔ  Ｏｎ  Ｄｅｍａｎｄ）型であるピエゾ圧電方式が採られるが、この方式についても、最近の品質的アップ要求に伴い、各オリフィスからのより均一なインク吐出が求められるようになってきたが、このような方式の図３、図４に示す構造のインクジェットヘッド場合、従来、図５に示すように、ＦＰＣ２３０と振動板２２０との間に剥れが発生し易く、剥れが発生した場合には、各オリフィスから均一なインク吐出をすることができず、問題になっていた。
本発明はこれに対応するもので、具体的には、従来の図３、図４に示す構造のインクジェットヘッドにおける、ＦＰＣ２３０と振動板２２０との間の剥れ発生の問題を解決できる、ピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドを提供しようとするものである。
同時に、そのようなピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドの製作方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のインクジェットヘッドは、インク圧力室に圧電素子の歪に起因する圧力波を与えることにより、該インク圧力室に接続するオリフィスからインクを吐出するピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドであって、インク圧力室とそれに接続するオリフィスの組みを、複数有し、且つ、その１面側にインク圧力室を揃えて配列し、別の１面側にオリフィスを配列させた、筐体を備え、該筐体のインク圧力室側の面に、振動板と、第１のＦＰＣと、圧電素子と、第２のＦＰＣとを、この順に、積層配設し、且つ、前記第１のＦＰＣは前記圧電素子を駆動するための回路を配したＦＰＣであり、前記第１のＦＰＣ、第２のＦＰＣを、いずれも、異方導電性接着層を介して、その回路側を圧電素子側にして圧電素子に圧着しており、また、前記振動板は前記筐体のインク圧力室側の面に固定してあるものであり、接着材層を介して、第１のＦＰＣと振動板とを積層固定していることを特徴とするものである。
尚、ここでは、インク圧力室とそれに接続するオリフィスからなる複数組みは、いずれも、実質的に同じで、通常は、同じ構造で、同じサイズであるとする。
そして、上記のインクジェットヘッドであって、前記第２のＦＰＣは、前記圧電素子を駆動するための回路を配したＦＰＣであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記のインクジェットヘッドであって、前記筐体は、所定形状にエッチング加工された金属板材を積層して形成したものであることを特徴とするものであり、前記金属板材がステンレス材であることを特徴とするものであり、更に、前記振動板がステンレス材で、前記筐体のインク圧力室側の面に、熱圧着固定されていることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明のインクジェットヘッドの作製方法は、インク圧力室に圧電素子の歪に起因する圧力波を与えることにより、該インク圧力室に接続するオリフィスからインクを吐出するピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドで、且つ、インク圧力室とそれに接続するオリフィスの組みを、複数有し、その１面側にインク圧力室を揃えて配列し、別の１面側にオリフィスを配列させた、筐体を備え、該筐体のインク圧力室側の面に、振動板と、第１のＦＰＣと、圧電素子と、第２のＦＰＣとを、この順に、積層配設しているインクジェットヘッドの作製方法であって、（ａ）異方導電性接着層を介して、圧電素子を駆動するための回路を配した第１のＦＰＣと第２のＦＰＣとを、それぞれ、その回路側を圧電素子側にして圧電素子に圧着して、圧電素子と一体的に積層した、第１のＦＰＣ、圧電素子、第２のＦＰＣとが一体の第１の構造体を形成する工程と、（ｂ）振動板を、筐体のインク圧力室側の面に固定した、第２の構造体を形成する工程と、（ｃ）前記第１の構造体の第１のＦＰＣ側と前記第２の構造体の振動板側とを、接着材層を介して固定する工程とを行うことを特徴とするものである。
【０００９】
（作用）
請求項１の発明のインクジェットヘッドは、このような構成にすることにより、従来のインクジェットヘッド（図３、図４参照）における、ＦＰＣと振動板との間の接着時の位置ずれ、接着後の剥れ発生の問題を解決できる、ピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドの提供を可能とするものである。
具体的には、インク圧力室とそれに接続するオリフィスの組みを、複数有し、且つ、その１面側にインク圧力室を揃えて配列し、別の１面側にオリフィスを配列させた、筐体を備え、該筐体のインク圧力室側の面に、振動板と、第１のＦＰＣと、圧電素子と、第２のＦＰＣとを、この順に、積層配設し、且つ、前記第１のＦＰＣは前記圧電素子を駆動するための回路を配したＦＰＣであり、前記第１のＦＰＣ、第２のＦＰＣを、いずれも、異方導電性接着層を介して、その回路側を圧電素子側にして圧電素子に圧着しており、また、前記振動板は前記筐体のインク圧力室側の面に固定してあるものであり、接着材層を介して、第１のＦＰＣと振動板とを積層固定していることにより、これを達成している。
特に、従来のインクジェットヘッド（図３、図４参照）のように、筐体に固定された振動板に、接着材層を振動板の全面に配して、順に、ＦＰＣ、圧電素子を積層した構成ではなく、筐体に固定された振動板に、接着材層を振動板の全面に配して、順に、第１のＦＰＣ、圧電素子、第２のＦＰＣを積層した構成にすることにより、従来のインクジェットヘッドにおけるＦＰＣと振動板との間の接着時の位置ずれ、接着後の剥れ発生の問題を解決できるものとしている。
詳しくは、第１のＦＰＣ、第２のＦＰＣを、いずれも、異方導電性接着層を介して、その回路側を圧電素子側にして圧電素子に圧着しており、第１のＦＰＣ、圧電素子、第２のＦＰＣからなる積層構造体は圧電素子を境に対称な積層構造を採っており、該積層構造体自体はソリが発生し難い構造である。
尚、ここで、第２のＦＰＣにも圧電素子を駆動する回路としては機能を持たせても良いが、第２のＦＰＣが、圧電素子を駆動する回路としては機能しない、いわばダミー用のＦＰＣでも、ソリ発生を防止できる前述の対称な積層構造を形成することができる。
また、このように、第１のＦＰＣと圧電素子とは、異方導電性接着層を介して、圧着されており、圧電素子と第１のＦＰＣとの電気的な導通をとれるものとしている。
また、第２のＦＰＣが、前記圧電素子を駆動するための回路を配したＦＰＣである請求項２の発明の構成とすることにより、第１のＦＰＣのみに圧電素子を駆動するための回路を配した場合と比較して、圧電素子に対する電極の面積を増大することができ、印加電圧を高めることなく、面積の増大により圧電素子の振幅を増大させることを可能としている。
電圧を印加した際に圧電素子に歪を発生させますが、第１のＦＰＣのみの場合ですと、圧電素子の歪の振幅を大きくさせるためには、印加電圧を増大させなければなりませんが、第１のＦＰＣと併せて、第２のＦＰＣを圧電素子を駆動するために用いると、圧電素子に対する電極の面積が増大するため、印加電圧を高めることなく、面積の増大により圧電素子の歪の振幅を増大させることができる。
また、筐体を、所定形状にエッチング加工された金属板材を積層して形成した請求項３の発明の構成とすることにより、インク流路の作製を高い精度で微細に形成することを可能としている。
勿論、筐体内部にインク流路以外に、インクチャンバー（溜め部）を形成することもできる。
この場合、金属板材としてはステンレス材が熱圧着により拡散接合し易く好ましい。
金属板材としてはステンレス材とした場合、振動板をステンレス材とすることで、筐体のインク圧力室側の面に、振動板を熱圧着固定することができ、好ましい。
【００１０】
本発明のインクジェットヘッドの作製方法は、このような構成にすることにより、従来のインクジェットヘッド（図３、図４参照）における、ＦＰＣと振動板との間の接着時の位置ずれ、接着後の剥れ発生の問題を解決できる、ピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドを作製する方法の提供を可能とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、上記のように、本発明は、従来のインクジェットヘッド（図３、図４参照）における、ＦＰＣと振動板との間の接着時の位置ずれ、接着後の剥れ発生の問題を解決できる、ピエゾ圧電方式のインクジェットヘッド、およびその作製方法の提供を可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明のインクジェットヘッドの実施の形態の１例のインク圧力室を跨ぐ１断面図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ２における断面図で、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ５側からみた図で、図２は図１に示すインクジェットヘッドの作製方法の１例の工程フロー図である。
尚、図１（ａ）は図１（ｂ）のＡ３−Ａ４における断面図である。
図２中のＳ１１〜Ｓ１６は処理ステップを示している。
図１、図２中、１１０は筐体、１１０ａは（加工された）ステンレス薄板、１１０ｂは加工部、１１１はインク流路、１１１ａはインク圧力室、１２０は振動板、１３０は第１のＦＰＣ、１３５は第２のＦＰＣ、１４０はピエゾ圧電素子（単に圧電素子とも言う）、１５０は接着材層、１６０、１６５は異方導電性接着層、１７０はオリフィス板部、１７１はオリフィスである。
【００１３】
はじめに、本発明のインクジェットヘッドの実施の形態の１例を図１に基づいて説明する。
本例のインクジェットヘッドは、インク圧力室１１１ａに圧電素子１４０の歪に起因する圧力波を与えることにより、該インク圧力室１１１ａに接続するオリフィス１７１からインクを吐出するピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドで、表示装置用のＣＦ（カラーフィルタ）基板のＣＦ部の作製等に用いられるもので、ＣＦ部を各色のインクをオリフィス１７１から制御して吐出することにより形成する。
本例のインクジェットヘッドは、同じ、インク圧力室１１１ａとそれに接続するオリフィス１７１の組みを、複数有する筐体１１０の１面側（図１の上側の面）にインク圧力室１１１ａを揃えて配列し、別の１面側（図１の右側の面）にオリフィスを配列させ、インク圧力室１１１ａ側の面に、振動板１２０と、第１のＦＰＣ１３０と、圧電素子１４０と、第２のＦＰＣ１３５とを、この順に、積層配設しているが、第１のＦＰＣ１３０は前記圧電素子１４０を駆動するための回路を配したＦＰＣで、第２のＦＰＣ１３５はダミー用ＦＰＣである。
第１のＦＰＣ１３０、第２のＦＰＣ１３５は、それぞれ、異方導電性接着層１６０，１６５を介して、その回路側を圧電素子１４０側にして圧電素子１４０に圧着しており、第１のＦＰＣ１３０、圧電素子１４０、第２のＦＰＣ１３５からなる積層構造体は圧電素子１４０を境に対称な積層構造を採っている。
これにより、該積層構造体自体はソリが発生し難い構造であり、また、圧電素子１４０と第１のＦＰＣ１３０との電気的な導通がとれている。
第２のＦＰＣ１３５は、ソリを防止できる構造とするために、異方導電性接着層１６５を介して、圧電素子１４０に圧着されている。
本例のインクジェットヘッドにおいて、筐体１１０は、エッチングにより外形加工されたステンレス薄板１１０ａを積層し、熱圧着して形成しており、更に、別に作製したステンレス板を基材としたオリフィス板部１７０を熱圧着しており、また、ステンレス薄板からなる振動板１４０を、筐体１１０のインク圧力室１１１ａ側の面に熱圧着して固定してある。
尚、圧電素子１４０への１のＦＰＣ１３０、第２のＦＰＣ１３５の圧着は、異方導電性接着層１６０、１６５の硬化温度（例えば１５０°〜１７０°）に合わせて加熱して行う。
ここでは、第１のＦＰＣ１３０、第２のＦＰＣ１３５の樹脂基材として、ポリイミド基材を用いたが、他には液晶ポリマーフィルム基材やアラミドフィルム基材、ポリエステルフィルム基材等が挙げられる。
また、異方導電性接着層１６０、１６５は、ポリイミド等の樹脂中に、導電性の粒子（例えば、ＣｕコアＡｕ粒子）を分散させているが、これに限定はされない。
また、圧電素子１４０としては、例えば、厚さ１０μｍ〜５０μｍチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）と厚さ数μｍの銀・パラジウム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極とを交互に積層した形態のものが挙げられる。
尚、本例では、オリフィス板部１７０として、エッチング加工により開口が形成されたステンレス薄板とオリフィスが形成されたオリフィスプレートとを接着して形成しているものを用いているが、これに限定はされない。
また、振動板１２０全面に配した接着材層１５０により、第１のＦＰＣ１３０を振動板１２０に固定して、ＦＰＣ１３０と振動板１２０とを積層している。
【００１４】
ここで、本例のインクジェットヘッドの作製方法を図３に基づいて、簡単に説明しておく。
形成する筐体１１０のインク流路１１１の形状にしたがい、これを積層形成するためのステンレス薄板１１０ａを、それぞれ、所定形状にエッチング加工しておく。（Ｓ１１）  エッチング加工としては、例えば、耐エッチング性のレジストを基材の両面に塗布し、マスク原版を介して選択的に露光し、現像し、乾燥等を行い所定形状の開口を有するレジストをマスクとして、塩化第二鉄溶液によりエッチングして外形加工し、レジストの剥離、洗浄するフォトエッチング加工法が挙げられるが、これに限定はされない。
次いで、エッチング加工された各ステンレス薄板１１０ａを位置合わせしながら熱圧着して筐体１１０を作製する。（Ｓ１２）
一方、エッチング加工によりス外形加工したテンレス薄板からなる振動板１２０を形成しておく。（Ｓ１３）
次いで、筐体１１０と振動板１２０とを熱圧着する。（Ｓ１４）
ここでは、筐体１１０と振動板１２０とが一体となったものを、第２の構造体と言う。  一方また、異方導電性接着層１６０、１６５を介して、圧電素子１４０の面に、それぞれ、駆動するため回路を配した第１のＦＰＣ１３０、ダミー用の第２のＦＰＣ１３５を、その回路側を圧電素子１４０側にして圧電素子１４０に圧着して、圧電素子と一体的に積層し、第１のＦＰＣ１３０、圧電素子１４０、第２のＦＰＣ１３５とが一体の第１の構造体（Ｓ１５積層構造体）を形成しておく。（Ｓ１５）
尚、異方導電性接着層１６０、１６５の硬化温度（例えば、１５０°〜１７０°）に合わせて加熱して圧着を行う。
第１のＦＰＣ１３０、第２のＦＰＣ１３５としては、例えば、ポリイミド樹脂基材の一面に銅箔をエッチング加工して、電極等の回路を形成したものが挙げられる。
ここでは、第２のＦＰＣは、ソリ発生を防止できる前述の対称な積層構造を形成するために、いわば、ダミー用のＦＰＣとして、異方導電性接着層を介して、圧電素子に圧着するもので、圧電素子１４０とは電気的に接続せず、圧電素子１４０を駆動する回路としては機能しない。
次いで、前記第１の構造体の第１のＦＰＣ１３０側と前記第２の構造体の振動板１２０側とを、接着材層１５０により固定し、本例のインクジェットヘッドを得る。（Ｓ１６）  このようにして、本例のインクジェットヘッドは作製される。
【００１５】
次に、本発明のインクジェットヘッドの別の形態例を挙げる。
本例のインクジェットヘッドは、図１に示すインクジェットヘッドにおいて、第２のＦＰＣ１３５を圧電素子１４０を駆動するための回路を配したＦＰＣとしたものである。
それ以外は、図１に示すインクジェットヘッドと同じである。
勿論、本例のインクジェットヘッドの作製方法も、基本的に、図１に示すインクジェットヘッドと同じである。
本例においては、第１のＦＰＣ１３０と併せて、第２のＦＰＣ１３５を圧電素子１４０を駆動するために用い、圧電素子１４０に対する電極の面積を増大させ、印加電圧を高めることなく、面積の増大により圧電素子の歪の振幅を増大させることができる。
ここでは、第１のＦＰＣ１３０、第２のＦＰＣ１３５は、それぞれ、異方導電性接着層１６０、１６５を介して、その回路側を圧電素子１４０側にして圧電素子１４０に圧着しており、第１のＦＰＣ１３０、圧電素子１４０、第２のＦＰＣ１３５からなる積層構造体は圧電素子１４０を境に対称な積層構造を採っている。
これにより、該積層構造体自体はソリが発生し難い構造であり、また、圧電素子１４０と第１のＦＰＣ１３０、第２のＦＰＣ１３５との電気的な導通がとれている。
【００１６】
上記例のインクジェットヘッドは、いずれも１例で、本発明は、これらに限定されるものではない。
筐体１１０にインク流路１１１の他、例えば、インクチャンバー（溜め）等を設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１（ａ）は本発明のインクジェットヘッドの実施の形態の１例のインク圧力室を跨ぐ１断面図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ２における断面図で、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ５側からみた図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドの作製方法の１例の工程フロー図である。
【図３】従来のピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドを説明するための概略構成図である。
【図４】別の従来のピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドを説明するための概略構成図である。
【図５】従来のピエゾ圧電方式のインクジェットヘッドにおける、ＦＰＣと振動板との境のはがれ状態を示した図である。
【符号の説明】
【００１８】
１１０                筐体
１１０ａ            （加工された）ステンレス薄板
１１０ｂ              加工部
１１１                インク流路
１１１ａ              インク圧力室
１２０                振動板
１３０                第１のＦＰＣ
１３５                第２のＦＰＣ
１４０                ピエゾ圧電素子（単に圧電素子とも言う）
１５０                接着材層
１６０、１６５        異方導電性接着層
１７０                オリフィス板部
１７１                オリフィス
２１０                筐体
２１０ａ              ステンレス薄板
２１１              （インクの）流路
２１１ａ              インク圧力室（インクの流路とも言う）
２２０                振動板
２３０                ＦＰＣ
２４０                圧電素子
２５０                接着材層
２６０                異方導電性接着層
２７０                オリフィス板部
２７１                オリフィス
２８０                剥れ部
【図１】
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【図２】
2006231721.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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