(57)【要約】  【課題】  ファイル管理における作業効率の向上およびコスト削減に寄与することのできる基板処理装置を提供する。  【解決手段】  編集されたファイルを保存する編集ファイル保存部と、前記編集されたファイルの編集履歴に関する履歴ファイルを保存する履歴ファイル保存部と、前記編集ファイル保存部に保存されているファイルの内の任意のファイルに対して行われた編集毎に対応させて前記履歴ファイル保存部に保存されている履歴ファイルの一覧を表示させる履歴ファイル表示部と、前記表示される履歴ファイルのうち、少なくとも２つの任意の履歴ファイル間の内容の相違点を強調させて画面表示させる履歴ファイル表示制御部とを備えてなる。  【選択図】  図３
2006085531.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
編集されたファイルの履歴ファイルを保存する履歴ファイル保存部と、
前記履歴ファイル保存部に保存されている履歴ファイルの一覧を表示させる履歴ファイル表示部と、
前記履歴ファイル表示部にて表示される履歴ファイルのうち、少なくとも２つの任意の履歴ファイル間の内容の相違点を強調させて画面表示させる履歴ファイル表示制御部とを備えてなることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、縦型拡散ＣＶＤ装置などの基板処理装置では、レシピやテーブル等を編集してＨＤＤにファイルとして保存している。図９に従来の基板処理装置の機能ブロック図を示す。
【０００３】
同図に示すように、従来の基板処理装置は、ウェーハ移載機３、ヒータ（反応炉）４、ポンプ・圧力バルブ５、ガス配管・ＭＦＣ６、操作部１Ｊ、メモリＬおよび制御部２Ｊを備えてなる構成となっている。
【０００４】
ウェーハ移載機３はウェーハの搬送を行う役割を、ヒータ（反応炉）４は炉内におけるウェーハを加熱する役割を、ポンプ・圧力バルブ５は炉内の圧力調整の役割を、ガス配管・ＭＦＣ６は炉内へのガスの供給等の役割を有している。
【０００５】
操作部１Ｊは、レシピ／テーブルパラメータ編集画面表示モジュール１０１、ＨＤＤ１０２および編集画面データ入力部１０３を備えている。ここで、レシピ／テーブルパラメータ編集画面表示モジュール１０１は、操作部１Ｊにおけるレシピやテーブルのデータの編集を行う際の画面表示を行う役割を、ＨＤＤ１０２は編集画面データ入力部１０３にて編集されたデータをファイルとして格納する役割を、編集画面データ入力部１０３はユーザの操作入力により入力されたデータをＨＤＤ１０２に格納されているデータに反映させるための役割を有する。
【０００６】
メモリＬは、各種設定パラメータ２０４、共用設定パラメータ２０５およびレシピデータ２０６を格納している。具体的に、各種設定パラメータ２０４はレシピにおける各ステップの実行時において参照される温度、速度、時間等のパラメータであり、共用設定パラメータ２０５は同一のレシピにおける複数のステップが共通して利用するパラメータであり、レシピデータ２０６は基板処理装置において実行されるレシピのデータである。
【０００７】
制御部２Ｊは、制御パラメータ展開モジュール２０１、共用設定パラメータ展開モジュール２０２およびレシピシーケンス制御モジュール２０３を備えている。ここで、制御パラメータ展開モジュール２０１はレシピ中の実行されるべきステップで参照する制御パラメータ（各種設定パラメータ２０４）を当該制御パラメータを利用する部分（例えば、ウェーハ移載機３やヒータ４など）に対して割り振る役割を、共用設定パラメータ展開モジュール２０２はレシピのステップに応じてメモリＬに格納されている共用設定パラメータ２０５を参照等する役割を、レシピシーケンス制御モジュール２０３はメモリＬに格納されているレシピデータ２０６を参照しつつ、レシピにおける各ステップを実行させる役割を有する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の基板処理装置では、ＨＤＤに保存可能な全ての種類のファイルの履歴管理（ファイルの世代管理）をサポートしていないため、ファイルの種類によっては、いつ誰がどの部分のデータを何に変更したのかを確認できない場合がある。従って、このような場合、誤った設定等をしてしまった場合（特に、１００℃を１０℃と誤設定した場合、１０分を１分と誤設定した場合などのように目視で確認しても見逃しやすい場合）に、誤った設定等をしてしまった箇所を特定することは難しい。
【０００９】
また、レシピやテーブル等を変更した際の履歴が残らないため、チェックを行うために、毎回レシピやテーブルファイルを開いて目視で確認する必要がある。しかし、プロセスを実施した際に、顧客が要求する成膜条件に合わない場合などにおいて、特にレシピは複数のステップから構成されるため、毎回レシピを開いて目視で確認するのは手間がかかり、作業効率の向上およびコスト削減の観点から好ましくない。
【００１０】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、ファイル管理における作業効率の向上およびコスト削減に寄与することのできる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するため、本発明に係る基板処理装置は、編集されたファイルの履歴ファイルを保存する履歴ファイル保存部と、前記履歴ファイル保存部に保存されている履歴ファイルの一覧を表示させる履歴ファイル表示部と、前記履歴ファイル表示部にて表示される履歴ファイルのうち、少なくとも２つの任意の履歴ファイル間の内容の相違点を強調させて画面表示させる履歴ファイル表示制御部とを備えてなることを特徴とする。
さらに、本発明に係る基板処理装置は、編集されたファイルを保存する編集ファイル保存部と、前記編集されたファイルの編集履歴に関する履歴ファイルを保存する履歴ファイル保存部と、前記編集ファイル保存部に保存されているファイルの内の任意のファイルに対して行われた編集毎に対応させて前記履歴ファイル保存部に保存されている履歴ファイルの一覧を表示させる履歴ファイル表示部と、前記表示される履歴ファイルのうち、少なくとも２つの任意の履歴ファイル間の内容の相違点を強調させて画面表示させる履歴ファイル表示制御部とを備えてなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上に詳述したように本発明によれば、ファイル管理における作業効率の向上およびコスト削減に寄与することのできる基板処理装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１４】
まず、本実施の形態による基板処理装置の全体構成について、図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図１は、本発明に適用される基板処理装置の外観斜視図である。尚、この図は透視図として描かれている。また、図２は図１に示す基板処理装置の平面図である。
【００１５】
本実施の形態による基板処理装置は、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したポッド（基板収納容器）１００を、外部から筐体１０１内へ挿入するため、およびその逆に筐体１０１内から外部へ払出すためのＩ／Ｏステージ（保持具授受部材）１０５が筐体１０１の前面に付設され、筐体１０１内には挿入されたポッド１００を保管するためのカセット棚（載置手段）１１０が敷設されている。また、筐体１０１内の中ほどには、ウエハ２００を移載するためのＮ２パージ室（第１の気密室）１０３が設けられている。ウエハ２００の処理を行なうときのＮ２パージ室１０３の内部は、ウエハ２００の自然酸化膜を防止するためにＮ２ガスなどの不活性ガスが充満されるように、Ｎ２パージ室１０３は密閉容器となっている。
【００１６】
上記ポッド１００としては、現在ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）というタイプが主流で使用されており、ポッド１００の一側面に設けられた開口部を蓋体（図示せず）で塞ぐことで大気からウエハ２００を隔離して搬送でき、蓋体を取り去る事でポッド１００内へウエハ２００を入出させることができる。このポッド１００の蓋体を取外し、ポッド内の雰囲気とＮ２パージ室１０３の雰囲気とを連通させるために、Ｎ２パージ室１０３の前面側には、ポッドオープナ（開閉手段）１０８が設けられている。ポッドオープナ１０８、カセット棚１１０、およびＩ／Ｏステージ１０５間のポッド１００の搬送は、カセット移載機１１４によって行なわれる。このカセット移載機１１４によるポッド１００の搬送空間には、筐体１０１に設けられたクリーンユニット（図示せず）によって清浄化した空気をフローさせるようにしている。
【００１７】
筐体１０１の後方には、Ｎ２パージ室１０３と接続された２つのロードロック室（第２の気密室）１０２が設けられており、それらのロードロック室１０２の上方にはウエハ２００を処理する処理炉２０２が１つずつ設けられている。
【００１８】
各ロードロック室１０２には、Ｎ２パージ室１０３と連通する開口部を開閉する仕切手段としてのロードロックドア１２３が備えられている。このロードロックドア１２３を閉じることにより、ロードロック室１０２はＮ２パージ室１０３とは独立した気密室となる。そしてロードロック室１０２は、Ｎ２等の不活性ガスが充満されたり、あるいは減圧雰囲気とされる。
【００１９】
ロードロック室１０２には、ウエハを多段に積載するボート２１８と、ボート２１８を処理炉２０２へローディングおよび処理炉２０２からアンローディングするためのボートエレベータ（昇降手段）１１３が設けられている。
【００２０】
上記Ｎ２パージ室１０３の内部には、ウエハ２００のノッチ（又はオリエンテーションフラット）の位置を任意の位置に合わせる基板位置合わせ装置１０６と、処理炉２０２にてウエハ２００の処理を行なう前後のウエハを一時仮置きしておく載置台１２４と、ポッドオープナ１０８上のポッド１００、基板位置合わせ装置１０６、載置台１２４、ロードロック室１０２内のボート２１７の間でウエハの搬送を行なうウエハ移載機（搬送手段）１１２とが設けられている。
【００２１】
次に、本実施の形態による基板処理装置の動作について説明する。
【００２２】
先ず、ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）やＯＨＴ（Ｏｖｅｒ  ｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）などにより筐体１０１の外部から搬送されてきたポッド１００は、Ｉ／Ｏステージ１０５に載置される。Ｉ／Ｏステージ１０５に載置されたポッド１００は、カセット移載機１１４によって、直接ポッドオープナ１０８上に搬送されるか、または、一旦カセット棚１１０にストックされた後にポッドオープナ１０８上に搬送される。ポッドオープナ１０８上に搬送されたポッド１００は、ポッドオープナ１０８によってポッド１００の蓋体を取外され、ポッド１００の内部雰囲気がＮ２パージ室１０３の雰囲気と連通される。
【００２３】
次に、ウエハ移載機１１２によって、Ｎ２パージ室１０３の雰囲気と連通した状態のポッド１００内からウエハ２００を取出す。取出されたウエハ２００は、基板位置合わせ装置１０６によって任意の位置にノッチが定まる様に位置合わせが行なわれる。位置合わせ後、ウエハ２００は、ウエハ移載機１１２によって、２つのロードロック室１０２の内のどちらか１つのロードロック室１０２内のボート２１７へ、または載置台１２４に一時載置された後にどちらかのボート２１７へ搬送される。
【００２４】
２つの内のどちらのボート２１７へウエハ２００を搬送するかについては、任意により選択でき、例えば、２つのボート２１７に交互に搬送するようにしておいても良いし、片方の処理炉２０２をメンテナンスしている場合などには、もう一方のボート２１７へしか搬送しないようにするなど、種々設定が可能である。
【００２５】
ボート２１７へのウエハ２００の搬送が完了したならば、ロードロックドア１２３が閉じられ、ロードロック室１０２は、不活性ガスで充満される、もしくは減圧雰囲気とされる。
【００２６】
ここで不活性ガスで充満されるという点について詳説する。上記したように、元々、Ｎ２パージ室１０３は、不活性ガスで充満されているので、ロードロックドア１２３が開放されていれば、ロードロック室１０２も不活性ガス雰囲気となる。ロードロックドア１２３を閉じてなお、ロードロック室を不活性ガスで充満させる意図は、処理炉２０２へローディング、アンローディングする時に処理炉２０２の熱によって加熱されたウエハ２００は、加熱されていない時のものと比べ自然酸化膜が形成されやすい状態となっており、Ｎ２パージ室１０３の不活性ガス濃度以上にロードロック室の不活性ガス濃度を高める事により、更にウエハ２００上への自然酸化膜の付着防止が図れるということにある。
【００２７】
従い、ロードロック室１０２も不活性ガスで充満させる場合には、Ｎ２パージ室、ロードロック室夫々に不活性ガスを流量調整しつつ導入する導入路（図示せず）を有し、導入路は不活性ガス源と接続される事となる。
【００２８】
ロードロック室１０２を減圧雰囲気とする場合には、ロードロック室１０２の雰囲気を排気する為の排気管（図示せず）と、排気管の先にはポンプが接続される事となる。
【００２９】
ロードロック室１０２が、任意の不活性ガス雰囲気（濃度）、または任意の減圧状態となったら、処理炉２０２の炉口シャッタ１１６を開けて、ボートエレベータ１１５によりウエハ２００を搭載したボート２１７をローディングする。
【００３０】
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施され、処理後は上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１００は筐体１０１の外部へ払出される。
【００３１】
図３に、上述のような構成の基板処理装置における機能ブロックを示す。
【００３２】
本実施の形態による基板処理装置は、図９にて示した従来の基板処理装置に対してファイルの履歴管理を行うための機能を付加したものである。以下、すでに図９において説明した部分と同一の構成および機能を有する部分には同一符号を付し、説明は割愛する。
【００３３】
具体的に、本実施の形態による基板処理装置では、操作部１と制御部２は一体的に構成されておらず、互いにネットワーク接続（ＬＡＮ接続など）された構成となっている。
【００３４】
また、操作部１は、従来の基板処理装置における操作部１Ｊの構成に加え、編集ファイルＨＤＤ保存モジュール１０４、編集履歴ファイルＨＤＤ保存モジュール１０６、ファイル履歴画面表示モジュール１０５、データ送受信モジュール１１０およびメモリＭを備えている。
【００３５】
ここで、編集ファイルＨＤＤ保存モジュール１０４およびＨＤＤ１０２により、編集ファイル保存部が構成されている。また、編集履歴ファイルＨＤＤ保存モジュール１０６およびＨＤＤ１０２により、履歴ファイル保存部が構成されている。なお、ファイル履歴画面表示モジュール１０５は、履歴ファイル表示部および履歴ファイル表示制御部に相当する。
【００３６】
制御部２は、従来の基板処理装置における制御部２Ｊの構成に加え、データ送受信モジュール２０７およびメモリＮを備えている。
【００３７】
ここで、メモリＭとメモリＮは、少なくとも、共に各種設定パラメータ２０４、共用設定パラメータ２０５およびレシピデータ２０６を格納している。
【００３８】
操作部１と制御部２は、データ送受信モジュール１１０およびデータ送受信モジュール２０７により、ネットワークを介して通信可能となっており、これによって、例えば操作部１および制御部２の内いずれか一方から他方のメモリに格納されているデータを参照することも可能となっている。また、操作部１および制御部２の両方が各種設定パラメータ２０４、共用設定パラメータ２０５およびレシピデータ２０６を格納する構成とすることで、例えば操作部１および制御部２の内一方に故障等のトラブルがあった場合でも、他方における各種設定パラメータ２０４等の情報へのアクセスを可能とすることができ、装置全体としての稼動安定性の向上に寄与することができる。
【００３９】
続いて、本実施の形態による基板処理装置における処理の流れについて説明する。図４は、本実施の形態による基板処理装置における処理の流れを示すフローチャートである。
【００４０】
まず、レシピ／テーブルパラメータ編集画面表示モジュール１０１によってレシピ／テーブル編集画面が表示される（Ｓ１０１）。
【００４１】
レシピ／テーブル編集画面において、編集画面データ入力部１０３によって所望のデータが設定されると、編集ファイルＨＤＤ保存モジュール１０４により、当該編集内容が最新の編集ファイルとしてＨＤＤ１０２に保存される（編集ファイル保存ステップ）（Ｓ１０２）。
【００４２】
また、上述のステップ（Ｓ１０２）における編集内容の履歴に関するデータが、編集履歴ファイルＨＤＤ保存モジュール１０６により、上述の編集ファイルとは別に履歴ファイルとして最大で１０ファイル分ＨＤＤ１０２に保存される（履歴ファイル保存ステップ）（Ｓ１０３）。
【００４３】
上述のようにして、ＨＤＤ１０２に編集されたファイルのデータや当該ファイルについての編集履歴ファイルが保存されている場合、例えば図５に示すようなファイル一覧画面がレシピ／テーブルパラメータ編集画面表示モジュール１０１にて画面表示される。このファイル一覧画面において任意のファイルＳ（ここでは、ファイル「ＴＥＭＰ」）を選択し、履歴ボタンＲを選択すると、ファイル履歴画面表示モジュール１０５により、図６に示すような履歴ファイル一覧画面が表示される（履歴ファイル表示ステップ）（Ｓ１０４）。この履歴ファイル一覧画面では、最大で１０世代分の履歴ファイルを一覧表示されるようになっている。表示される内容の例としては、そのファイルが何世代目のファイルかを示すヒストリＮｏ（履歴番号）７０１、そのファイルが過去に何回更新されたかを示す更新カウンタ７０２、ファイル名、編集者、編集日時およびコメント等が挙げられる。同図では、「ＴＥＭＰ」というファイルについては、「ＴＥＭＰ」と「ＴＥＭＰ．１」という履歴ファイルが一覧表示されている。
【００４４】
続いて、上述のような履歴ファイル一覧画面に表示された履歴ファイルの内、任意の２つ以上のファイル（ここでは例として、「ＴＥＭＰ」と「ＴＥＭＰ．１」という温度補正に関する少なくとも２つの履歴ファイル）を選択,し、相違点ボタン７０３を選択すると、図７および図８に示すような履歴ファイル参照画面が表示される（Ｓ１０５）。
【００４５】
図７は履歴ファイル参照画面においてボタン「ＴＥＭＰ」８０１を選択した場合の画面表示例を、図８は履歴ファイル参照画面においてボタン「ＴＥＭＰ．１」８０２を選択した場合の画面表示例を示している。図７および図８では、履歴ファイル「ＴＥＭＰ」における温度補正テーブルのデータ内容８０５ａと履歴ファイル「ＴＥＭＰ．１」における温度補正テーブルのデータ内容８０５ｂとの相違点（すなわち、変更された部分）を太枠で囲むことにより強調表示させている（履歴ファイル表示制御ステップ）。
【００４６】
このように、変更された部分を強調表示させるようにすることで、変更された  部分の視認性を高めることができ、人為的ミスの発生の抑制および操作性の向上などに寄与することができる。なお、上述の相違点の強調表示の方法としては、上述の太枠で数値等を囲む方法だけでなく、表示色やフォントを異ならせて表示させるようにしてもよい。
【００４７】
本実施の形態では、ＨＤＤに格納される全てのファイルが対象となっており、ＨＤＤに保存されるファイルとしては、例えば、プロセスレシピ、サブレシピ、アボートレシピ、ＷＡＰテーブル、ＣＡＰテーブル、スピードテーブル、ポジションテーブル、リンクチェックテーブルおよびプロファイルテーブル等に関するファイルが挙げられる。すなわち、ＨＤＤに保存されるファイルには、いわゆるレシピファイルが含まれている。尚、最大１０ファイルとしているが、当然ながらこの数値は適宜変更可能である。
【００４８】
なお、本実施の形態では、縦型の基板処理装置に対して本発明を適用した例を示したが、これに限られるものではなく、枚葉装置や横型装置としての基板処理装置に対しても適用可能であることは言うまでもない。
【００４９】
また、基板処理装置としては、半導体製造装置だけでなく、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置などであってもよい。すなわち、基板（半導体基板、ガラス基板など）の処理を行う装置であれば、本発明は適用可能である。もちろん、炉内における処理は、どのような種類の処理であってもよく、ＣＶＤ、酸化、拡散、アニール処理等である場合にも適用可能である。
【００５０】
以上のように、本実施の形態による基板処理装置は、編集したファイルを保存するとともに前記ファイルの履歴を表すファイル（履歴ファイル）を保存するコントローラを備え、前記コントローラにより前記ファイルを実行することにより基板の処理を施すように基板処理装置において、前記操作画面上に前記ファイルの一覧を表示して、あるファイルを選択すると、当該ファイルの数世代前までの履歴ファイルの一覧を表示させる履歴ファイル表示手段と、前記履歴ファイルのうち、２つの履歴ファイルの内容を比較し、前記内容の相違点を強調させて前記操作画面上に表示させる履歴ファイル表示制御手段と、を有する構成となっている。
【００５１】
なお、本実施の形態による基板処理方法は、編集されたファイルを保存する編集ファイル保存ステップと、前記編集されたファイルの編集履歴に関する履歴ファイルを保存する履歴ファイル保存ステップと、前記編集ファイル保存部に保存されているファイルの内の任意のファイルに対して行われた編集毎に対応させて前記履歴ファイル保存部に保存されている履歴ファイルの一覧を表示させる履歴ファイル表示ステップと、前記表示される履歴ファイルのうち、少なくとも２つの任意の履歴ファイル間の内容の相違点を強調させて画面表示させる履歴ファイル表示制御ステップとを備えてなることを特徴とするものである。
【００５２】
上述のような基板処理方法は、上述のような構成の基板処理装置に備えられている不図示の記憶部に格納されているプログラムを不図示のＣＰＵに実行させることにより、その各ステップが実現されるものである。
【００５３】
このように、本実施の形態によれば、レシピやテーブル等のファイルの世代管理を行い、履歴確認画面で変更されたデータ部分を色付け等して強調表示することにより、変更した部分の特定が容易となるようにしている。
【００５４】
上述のような構成により、オペレータの設定ミスの早期発見が容易となり、また、パラメータ変更履歴が残ることで変更点の確認がしやすくなり、生産性および操作性の向上に寄与することができる。
【００５５】
プロセスを実施した際に、顧客要求のプロセス条件に合わない場合に、レシピの設定を確認し、どのパラメータを変更したのかを把握する必要がある。このような場合、従来は毎回プロセスレシピ等のファイルを開いて確認しなければならず、手間がかかったが、本実施の形態では簡便な操作により、容易に相違点が分かるようにしているため、すぐにどのパラメータを変更したかわかるだけでなく、レシピの設定変更が容易にでき、プロセスを実施できるため、装置の稼働率の向上につながる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明に適用される基板処理装置の外観斜視図である。
【図２】図１に示す基板処理装置の平面図である。
【図３】本実施の形態による基板処理装置における機能ブロック図である。
【図４】本実施の形態による基板処理装置における処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】ファイル一覧画面について説明するための図である。
【図６】履歴ファイル一覧画面について説明するための図である。
【図７】履歴ファイル参照画面について説明するための図である。
【図８】履歴ファイル参照画面について説明するための図である。
【図９】従来の基板処理装置の機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  操作部、１０４  編集ファイルＨＤＤ保存モジュール、１０６  編集ファイルＨＤＤ保存モジュール、１０５  ファイル履歴画面表示モジュール、１１０  データ送受信モジュール、Ｍ  メモリ、２  制御部、２０７  データ送受信モジュール、Ｎ  メモリ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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