(57)【要約】【課題】ギアの歯部の摩耗を防いで長寿命化を図ると共に、摩耗粉によるワークの傷を防止することのできる研磨装置を提供する。【解決手段】ワークを保持するキャリア１３の外歯１３ａが、外側ピン歯車１１の内歯と内側ピン歯車１２の外歯にそれぞれ係合することにより、キャリア１３が自転及び公転されて、前記ワークを上定盤と下定盤で研磨する研磨装置であって、外側ピン歯車１１の内歯と内側ピン歯車１２の外歯の少なくとも一方が、ピンリング１１ｂ、１２ｂに上方に突出して軸線を中心に回転可能に支持されたピン体２２と、ピン体２２に回転可能に外嵌される円筒状のカラー２４とを有し、ピンリング１１ｂ、１２ｂに周方向に一定間隔をおいて設けられた複数個の歯部２０、３０からなることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを保持するキャリアの外歯が、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯にそれぞれ係合することにより、該キャリアが自転及び公転されて、前記ワークを上定盤と下定盤で研磨する研磨装置であって、
外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯の少なくとも一方が、ピンリングに上方に突出して軸線を中心に回転可能に支持されたピン体と、該ピン体に回転可能に外嵌される円筒状のカラーとを有し、ピンリングに周方向に一定間隔をおいて設けられた複数個の歯部からなることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記カラーは、下方に開放する有底円筒状をなすことを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
ワークを保持するキャリアの外歯が、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯にそれぞれ係合することにより、該キャリアが自転及び公転されて、前記ワークを上定盤と下定盤で研磨する研磨装置であって、
外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯の少なくとも一方が、ピンリングに上方に突出して、軸線を中心に回転可能に支持されると共に、ピンリングに周方向に一定間隔をおいて設けられた複数個のピン軸からなることを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、両面研磨装置に関するものであり、詳しくはワークを保持するキャリアを回転させるための外側ピン歯車と内側ピン歯車を備える研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハ等のワークの両面を同時に研磨する装置として、両面研磨装置が使用されている。両面研磨装置では、互いに独立して回転する下定盤と上定盤との間で、ワークを保持するキャリアを回転駆動させることにより、上定盤と下定盤によってワークの両面を同時に研磨する。
キャリア２０８を回転駆動する機構としては、図６に示すようなインターナルギア２０４と、そのほぼ中央に配置される太陽ギア２０６とを用いた構成が使用されている。
インターナルギア２０４と太陽ギア２０６は、各々独立して回転する。そして、板状のキャリア２０８は、その外周縁に沿って外歯が形成されており、この外歯がインターナルギア２０４の内歯と太陽ギア２０６の外歯に歯合することで、自転しながら太陽ギア２０６の周りを公転する。
インターナルギア２０４と太陽ギア２０６との間には、上記構成からなるキャリア２０８が複数個配置されており、さらに１個のキャリア２０８には、研磨対象であるワークを保持するための透孔２０７が複数個設けられて、１度に多数のワークを研磨できるように構成されている。
【０００３】
ところで、上記構成による研磨装置は、インターナルギアの内歯と太陽ギアの外歯の摩耗が激しいという課題があり、この課題を解決し、長寿命化を図った研磨装置として例えば、特許文献１に記載のものがある。
特許文献１に記載の両面研磨装置では、太陽ギアの作用をなすものとして内側ピン歯車が、インターナルギアの作用をなすものとして外側ピン歯車が配設されている。内側ピン歯車の外歯は、内側ピン歯車の外周に沿って配設された複数個の歯部によって構成されている。また、外側ピン歯車の内歯も、外側ピン歯車の内周に沿って配設された複数個の歯部によって構成されている。そして、キャリアの外歯が外側ピン歯車の歯部と内側ピン歯車の歯部にそれぞれ係合することにより、キャリアが回転駆動される。
【０００４】
図７は、内側ピン歯車における１個の歯部３０６ａの構成を説明する断面図である。
内側ピン歯車の本体である内側ピンリング３０６ｂには貫通穴３０６ｃが設けられ、貫通穴３０６ｃには下方からピン体３１４が挿入されて、ナット３１５によって固定されている。上方に突出したピン体３１４には、円筒状のカラー３１３がピン体３１４の外側に回転可能に遊嵌されている。上部に大径化されたつまみ部３１１を有するキャップ３１０は、ピン体３１４の上部に螺入されてカラー３１３の抜け止めの役目をしている。
外側ピン歯車の歯部も、内側ピン歯車の歯部と同様の構成を有している。
上記構成からなる外側ピン歯車の歯部と内側ピン歯車の歯部は、キャリアの外歯に係合しながらカラー３１３がピン体３１４の外側で回転するので、カラー３１３に対する摩擦が低減され、カラーの摩耗を減らすことができる。これにより、外側ピン歯車と内側ピン歯車の耐久性が向上する。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２３９６５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記構成からなる歯部であっても摩耗は避けられず、摩耗によって生じる摩耗粉がワークの傷の原因となることもあった。
【０００７】
そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、歯部の摩耗を防いで長寿命化を図ると共に、摩耗粉によるワークの傷を防止することのできる研磨装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、本発明は、ワークを保持するキャリアの外歯が、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯にそれぞれ係合することにより、該キャリアが自転及び公転されて、前記ワークを上定盤と下定盤で研磨する研磨装置であって、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯の少なくとも一方が、ピンリングに上方に突出して軸線を中心に回転可能に支持されたピン体と、該ピン体に回転可能に外嵌される円筒状のカラーとを有し、ピンリングに周方向に一定間隔をおいて設けられた複数個の歯部からなることを特徴とする。
これによれば、歯部の摩耗を効果的に防いで長寿命化を図ると共に、摩耗粉によるワークの傷を防止することができる。
【０００９】
また、前記カラーは、下方に開放する有底円筒状をなすことを特徴とする。これによれば、カラーの交換が簡単にできる。
また、ワークを保持するキャリアの外歯が、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯にそれぞれ係合することにより、該キャリアが自転及び公転されて、前記ワークを上定盤と下定盤で研磨する研磨装置であって、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯の少なくとも一方が、ピンリングに上方に突出して、軸線を中心に回転可能に支持されると共に、ピンリングに周方向に一定間隔をおいて設けられた複数個のピン軸からなることを特徴とする。
これによれば、部品点数を減らして装置を簡略化することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の研磨装置によれば、歯部の摩耗を防いで長寿命化を図ると共に、摩耗粉によるワークの傷を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
（第１実施形態）
次に説明する実施形態は、ウェーハ等のワークの両面を同時に研磨する両面研磨装置である。両面研磨装置は、下定盤と上定盤とがそれぞれ独立して回転し、両者の間で、ワークを保持するキャリアを回転駆動することにより、上定盤と下定盤によってワークの両面を同時に研磨することができる。
キャリア１３を回転駆動する機構としては、図５に示すような外側ピン歯車１１と、そのほぼ中央に配置される内側ピン歯車１２とを用いた機構が使用される。
外側ピン歯車１１と内側ピン歯車１２は、各々独立して回転する。板状のキャリア１３は、その外周に外歯１３ａが形成されており、この外歯１３ａが外側ピン歯車１１の内歯１１ａと内側ピン歯車１２の外歯１２ａに係合することで、自転しながら内側ピン歯車１２の周りを公転する。
外側ピン歯車１１と内側ピン歯車１２との間には、キャリア１３が複数個配置されており、さらに１個のキャリア１３には、研磨対象であるワークを保持するための透孔１３ｂが複数個設けられて、１度に多数のワークを研磨できるように構成されている。
【００１２】
次に内側ピン歯車１２について説明する。
図５に示されるように内側ピン歯車１２は、歯車本体である外周が円形の板状の内側ピンリング（ピンリング）１２ｂを有し、その外歯１２ａは、複数個の歯部２０で構成されている。歯部２０は、ピン体２２とカラー２４から構成され、複数個の歯部２０は、内側ピンリング１２ｂに周方向に一定間隔をおいて設けられている。
内側ピンリング１２ｂの外周側には、複数個の貫通する取付穴２１が、外周に沿って等間隔あけて設けられている。取付穴２１の位置は、内側ピンリング１２ｂの外周縁から所定距離内側に入った位置である。この複数の取付穴２１には、歯部２０を構成するピン体２２がそれぞれ挿入されて、上方に突出した状態で支持される。
【００１３】
図１は、内側ピン歯車１２の歯部２０の構成を示す断面図である。ピン体２２は、内側ピンリング１２ｂにその軸線Ａを中心として回転可能に支持され、カラー２４はそのピン体２２に回転可能に外嵌されている。
ピン体２２は、金属、セラミックス、合成樹脂等で形成される。また、ピン体２２は、その軸線Ａ方向の中途部に、大径化されたフランジ部２２ｂが形成され、フランジ部２２ｂより上部側、下部側が各々小径部２２ａ、２２ｃとなっている。
これに対して取付穴２１は、内側ピンリング１２ｂの上面側から取付上部穴２１ａ、軸受穴２１ｂ、取付下部穴２１ｃを有し、これらは中心線を同一にして形成されている。
取付上部穴２１ａは、その内径がピン体２２のフランジ部２２ｂの外径よりも大きく設定されている。
軸受穴２１ｂには、軸受２７が挿入されて固定されている。軸受２７は転がり軸受でも、滑り軸受でもよい。
また、取付下部穴２１ｃは、後述するナット２６の外径よりも大きい内径を有する。
【００１４】
ピン体２２は、取付穴２１に固定された軸受２７によって、その軸線Ａを中心に回転可能に軸支されている。ピン体２２の取付構造について詳しく説明する。
ピン体２２は、内側ピンリング１２ｂの上方から軸受２７内に挿入される。このとき、ピン体２２のフランジ部２２ｂは、取付上部穴２１ａ内に位置して、軸受２７の上面に当接する。また、ピン体２２のフランジ部２２ｂより下部側の小径部２２ｃには、ナット２６が螺嵌される。ナット２６は、その上部側が取付下部穴２１ｃ内に進入している。こうして、ナット２６とピン体のフランジ部２２ｂとにより軸受２７を上下方向から挟むことで、ピン体２２の内側ピンリング１２ｂからの抜け止めがなされる。また、ピン体２２は、フランジ部２２ｂより上部側の小径部２２ａが、内側ピンリング１２ｂから上方に突出して支持される。
【００１５】
さらに、内側ピンリング１２ｂの上面側で、内側ピンリング１２ｂとピン体２２との間の隙間を塞ぐように、シール部材２８が配設されて、取付穴２１内への研磨剤等の液体やスラリーの浸入を防止している。リング状のシール部材２８は、フランジ部２２ｂに外嵌された状態で、取付上部穴２１ａ内に配設されている。この際、シール部材２８の上面、フランジ部２２ｂの上面及び内側ピンリング１２ｂの上面は揃っている。ピン体２２がその軸線Ａを中心に回転する際には、取付上部穴２１ａ内に固定されているシール部材２８に対して摺動する。
【００１６】
内側ピンリング１２ｂ上面から上方へと突出するピン体２２の部位には、円筒状のカラー２４が回転可能に外嵌される。カラー２４は、合成樹脂、セラミックス、金属等からなる。
また、カラー２４は、その外径がピン体２２のフランジ部２２ｂの外径と略同じに形成される。そして、カラー２４が、ピン体２２に外嵌されて取り付けられた際には、カラー２４の下端面がシール部材２８に接触することなく、フランジ部２２ｂの上面に当接する。
ボルト状に形成された固定部材２５は、ピン体２２の上部側に螺入され、その側方に張り出して形成された大径部分２５ａによってカラー２４のピン体２２からの抜け止めの作用をなしている。
【００１７】
次に外側ピン歯車１１について説明する。図１及び図５に示されるように外側ピン歯車１１の内歯１１ａも、ピン体とカラーとを有する複数個の歯部３０からなる。
外側ピン歯車１１は、歯車本体である内側が円形に刳り貫かれた板状の外側ピンリング（ピンリング）１１ｂを有する。外側ピンリング１１ｂの内周側には、複数個の貫通する取付穴３１が、内周に沿って等間隔あけて設けられている。取付穴３１の位置は、外側ピンリング１１ｂの内周縁から所定距離外側の位置である。この複数の取付穴３１に歯部３０がそれぞれ設けられ、複数個の歯部３０は外側ピンリング１１ｂに周方向に一定間隔をおいて設けられる。そして、外側ピン歯車１１の歯部３０として、図１を用いて説明した内側ピン歯車の歯部２０と同様のものが使用される。
【００１８】
この実施形態では次のような効果を得ることができる。
キャリア１３の外歯１３ａが、内側ピン歯車１２の歯部２０と外側ピン歯車１１の歯部３０にそれぞれ係合する際に、外歯１３ａに直接接触する各々のカラー２４がピン体２２の外側で回転するので、キャリア１３の外歯１３ａとこれらカラー２４との摩擦を軽減してカラー２４の摩耗を防止することができる。
また従来は、図７を用いて説明したように、ピン体３１４はピンリング３０６ｂに対して固定されていた。そのため、キャリア１３の外歯との係合により回転するカラー３１３は、ピン体３１４との摩擦によっても摩耗が生じていた。これに対して上記実施形態では、ピン体２２は、ピンリング１１ｂ、１２ｂに回転可能に支持されているので、カラー２４が回転すると、カラー２４とピン体２２との接触によりピン体２２が連れ回りする。これにより、カラー２４とピン体２２との摩擦による互いの摩耗を減らすことができる。
このように、上記実施形態によれば、歯部２０、３０の摩耗を減らして、外側ピン歯車、内側ピン歯車の長寿命化を図ると共に、歯部２０、３０の摩耗粉によるワークの傷を防ぐことができる。
また、カラー２４は、ピン体２２に対して着脱可能となっているので、ピン体２２に比べて摩耗しやすいカラー２４のみをピンリング１１ｂ、１２ｂから取り外して交換することができる。
【００１９】
（第２実施形態）
図４に、第２実施形態における歯部２０、３０の構成を示す。
本実施形態では、第１実施形態の内側ピン歯車１２の歯部２０及び外側ピン歯車１１の歯部３０に対して、次のようにそれぞれ変更した他は第１実施形態と同様の構成が採用される。
カラー２４は、下方に開放する有底円筒状に形成する。ピン体２２は、その上面周囲の角部が面取りされている。カラー２４は、底部２４ａを上方に向けた姿勢で、ピン体２２に回転可能に外嵌されて装着される。このとき、カラー２４は、その底部２４ａがピン体２２の上部に当接して、ピン体２２に支持される。つまり、カラー２４は、その底部２４ａの内面がピン体２２の上面に当接し、下端面２４ｂとフランジ部２２ｂ或いはピンリング１１ｂ、１２ｂとの間に若干隙間を有する状態でピン体２２に装着される。
又は、カラー２４は、その下端面２４ｂがピンリング１１ｂ、１２ｂ或いはフランジ部２２ｂに当接して、ピン体２２或いはピンリング１１ｂ、１２ｂに支持される構成であってもよい。つまり、カラー２４は、その下端面２４ｂがピンリング１１ｂ、１２ｂ或いはフランジ部２２ｂに当接し、底部２４ａの内面とピン体２２の上面との間に若干隙間を有する構成であってもよい。
【００２０】
そして、カラー２４は、ピン体２２との間に設けられた嵌合部３５によってピン体２２からの抜け止めがなされる。嵌合部３５は、嵌合凸部と嵌合凹部とからなる。カラー２４に嵌合凸部を設け、ピン体２２に嵌合凹部を設けてもよいし、カラー２４に嵌合凹部を設け、ピン体２２に嵌合凸部を設けても良い。どちらにしても、嵌合凸部が、嵌合凹部内に遊びがある状態で嵌め込まれるとよい。そして、嵌合部３５は、キャリア１３の外歯１３ａと係合する際のカラー２４の回転を阻止することなく、カラー２４のピン体２２からの顕著な浮き上がりを防止する。さらに、カラー２４がピン体２２に対して着脱自在となるように嵌合部３５を設ける。
【００２１】
図４に示す歯部２０、３０の嵌合部３５は、ピン体２２に設けられた嵌合凸部３２と、カラー２４に設けられた嵌合凹部３３とからなる。
ピン体２２に設けられた嵌合凸部３２は、ピン体２２の外周面から突出して形成されている。嵌合凸部３２は、ピン体２２の外周１周にわたって形成するとよい。例えば、嵌合凸部３２を、ピン体２２の外周面からリング状に突出して形成する。或いは、嵌合凸部３２を、ピン体２２の外周１周において間隔をあけて数ヵ所に部分的に突出して形成してもよい。
また、嵌合凸部３２の設けられる位置は、ピン体２２のピンリング１１ｂ、１２ｂから突出する部位の下部側であると、カラーの取り付けが容易となる。  
【００２２】
これに対して、カラー２４の内周面には、ピン体２２の嵌合凸部３２に相対する位置に嵌合凹部３３が形成されている。嵌合凹部３３は、カラー２４の内周面が、リング状に１周分刳り抜かれた状態に形成される。
カラー２４をピン体２２に取り付ける際には、カラー２４をピン体２２に被せて押し下げ、カラー２４の嵌合凹部３３内にピン体２２の嵌合凸部３２を進入させて嵌め合せる。
これにより、カラー２４は、嵌合部３５によって抜け止めされた状態で、回転可能にピン体２２に外嵌される。
そして、ピンリング１１ｂ、１２ｂから抜け止めされた状態のピン体２２に対して、カラー２４を上方へ持ち上げる作業により、嵌合凹部３３と嵌合凸部３２との嵌め合わせが外されて、カラー２４をピン体２２から取り外すことができる。
【００２３】
このような構成からなるピン体２２は、金属、合成樹脂等で形成するとよい。また、カラー２４は、金属、合成樹脂、セラミックス等で形成するとよい。カラー２４を弾性を有する材料で形成すると、カラー２４のピン体２２に対する脱着が容易となる。特に、カラー２４を、弾性を有する合成樹脂で形成するとよい。
或いは、ピン体２２を金属で形成し、カラー２４をセラミックスで形成する。そして、ピン体２２に設けられた嵌合凸部３２を、弾性を有する合成樹脂又は合成ゴムによってピン体２２の外周面からリング状に突出して形成する。金属やセラミックス等の弾性を有しない材料でピン体２２とカラー２４を形成すると、嵌合部３５の嵌め込みが困難となる場合がある。そこで、嵌合凹部３３を有するカラー２４と、ピン体２２の嵌合凸部３２のどちらか一方を弾性を有する材料、例えば弾性を有する合成樹脂で形成することにより、嵌合凹部３３内への嵌合凸部３２の嵌め込みと取外しが容易となり、カラー２３のピン体２２への脱着が簡単になる。  
【００２４】
本実施形態によれば、第１実施形態の効果は勿論のこと、次のような効果がある。
この実施形態は、カラー２４の抜け止めのためのキャップが不要となり、部品点数を減らして装置を簡略化することができる上に、カラー２４の交換が簡単にできるようになる。
また、従来の歯部３０６ａ（図７参照）では、カラー３１３とキャップ３１０の間の隙間Ｂを介して、カラー３１３とピン体３１４との間に研磨液等の液体やスラリーが入り込んで固体化し、カラー３１３の回転を阻止することがあった。しかし、この構成は、ピン体２２に有底円筒状のカラー２４が被せられる構成なので、カラー２４とピン体２２との間の隙間へ、液体やスラリーが入り込むことを防止できる。
さらに、カラー２４の下端面２４ｂがフランジ部２２ｂ、或いはピンリング１１ｂ、１２ｂに当接する構成とした場合、カラー２４とピン体２２との間の隙間が外方に開口しないので、より確実に隙間への液体やスラリーの浸入を防止できる。
【００２５】
（第３実施形態）
図２、図３に第３実施形態における歯部２０、３０の構成を示す。
本実施形態では、第２実施形態の内側ピン歯車１２の歯部２０及び外側ピン歯車１１の歯部３０に対して、次のようにそれぞれ変更した他は第２実施形態と同様の構成が採用される。
歯部２０、３０は、第２実施形態のピン体２２とカラー２４を一体化させた形態のものである。すなわち、ピンリング１１ｂ、１２ｂに、軸線を中心に回転可能に支持されたピン軸３４を歯部２０、３０とする。ピン軸３４は、ピンリング１１ｂ、１２ｂに上方に突出して支持される。複数個のピン軸３４は、ピンリング１１ｂ、１２ｂに周方向に一定間隔をおいて設けられる。このようなピン軸３４は、金属、合成樹脂、セラミックス等で形成するとよい。
【００２６】
シール部材２８の配設等、ピン軸３４のピンリング１１ｂ、１２ｂへの取付構造は、第１実施形態のピン体２２の取付構造と同様である。具体的には、ピン軸３４は、大きく分けて、大径部３４ａと小径部３４ｂの２つの部位からなる。これに対して取付穴２１、３１は、図１を用いて説明した前記実施形態と同様の構成を有する。そして、ピン軸３４は、その小径部３４ｂが取付穴２１、３１内に挿入され、大径部３４ａがピンリング１１ｂ、１２ｂから上方へ突出した状態でピンリング１１ｂ、１２ｂに支持される。このとき、大径部３４ａと小径部３４ｂの間の段差面３４ｃが、軸受２７の上面に当接している。こうして、小径部３４ｂの下部側に螺嵌されたナット２６と段差面３４ｃとによって、軸受２７を上下方向から挟むことで、ピン軸３４のギア本体１１ｂ、１２ｂからの抜け止めがなされる。また、ピンリング１１ｂ、１２ｂの上面側で、ピンリング１１ｂ、１２ｂとピン軸３４との間の隙間を塞ぐように、シール部材２８が配設されている。
【００２７】
こうして、ピン軸３４は、その軸線を中心に回転可能に、ピンリング１１ｂ、１２ｂに固定された軸受２７によって軸支される。ピン軸３４を回転可能に支持する軸受２７は、滑り軸受（図２参照）でも、転がり軸受（図３参照）でもよい。
本実施形態では、キャリア１３の外歯１３ａが内側ピン歯車１２の歯部２０と外側ピン歯車１１の歯部３０にそれぞれ係合する際には、各々のピン軸３４が外歯１３ａに直接接触して回転する。これにより、歯部２０、３０とキャリア１３の外歯１３ａとの摩擦による歯部２０、３０の摩耗を減らして、長寿命化を図ることができ、さらに、歯部２０、３０の摩耗粉によるワークの傷を防止することができる。
また、部品点数を減らして装置を簡略化することができる。
【００２８】
以上、本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは勿論である。
例えば、下定盤と上定盤がそれぞれ独立して回転する研磨装置を挙げて説明したが、回転せずに静止している上定盤と、回転する下定盤を有する研磨装置であってもよい。
また、研磨装置は、上定盤、下定盤、外側ピン歯車及び内側ピン歯車が、各々別個に設けられたモータ等の駆動源によって回転駆動する構成であってもよいし、１個の駆動源の回転力をギア及びクラッチを介してそれぞれに伝達し回転駆動する構成であってもよい。
また、外側ピン歯車の内歯と内側ピン歯車の外歯のどちらか一方が、本発明の上記構成からなる歯部で構成される研磨装置であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】歯部の構成を示す断面図である。
【図２】歯部の他の構成を示す断面図である。
【図３】歯部の他の構成を示す断面図である。
【図４】歯部の他の構成を示す断面図である。
【図５】内側ピン歯車、キャリア及び外側ピン歯車の構成を示す平面図である。
【図６】従来の太陽ギア、キャリア及びインターナルギアの構成を示す平面図である。
【図７】従来の歯部の構成を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１１  外側ピン歯車
１１ｂ  外側ピンリング
１２  内側ピン歯車    
１２ｂ  内側ピンリング
１３  キャリア
２０  歯部
２１  取付穴
２２  ピン体
２４  カラー
２７  軸受
３０  歯部
３４  ピン軸
【図１】
2006212739.tif 000003
【図２】
2006212739.tif 000004
【図３】
2006212739.tif 000005
【図４】
2006212739.tif 000006
【図５】
2006212739.tif 000007
【図６】
2006212739.tif 000008
【図７】
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