(57)【要約】【課題】  断線対策費用等の増大を招くこと無く、トラブルの発生を未然に防止することができるワーク搬送装置を提供する。【解決手段】  各レール８１〜８３とワーク送り装置とでリードフレームを搬送するワーク搬送装置を構成する。各レール８１〜８３を支持する支持ブロック８４を昇降機構８７で昇降自在に支持し、昇降機構８７を、エアシリンダで水平駆動される板カム９１と、支持ブロック８４に設けられたカムフォロア９２で構成する。板カム９１を水平移動してカム面９３を転動するカムフォロア９２を上下動することで、カムフォロア９２が設けられた支持ブロック８４及び各レール８１〜８３を昇降して、各レール８１〜８３をワーク送り装置の各搬送爪に対して昇降できるように構成する。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送レール上に配置されたワークを、前記搬送レールに沿って駆動される搬送爪により移送するワーク搬送装置において、
前記搬送爪に対して前記搬送レールを昇降する昇降手段を備えたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記昇降手段を、水平方向に駆動される板カムと、該板カムの上面に形成されたカム面を転動する前記搬送レール側に設けられたカムフォロアとで構成し、
前記搬送レール上昇時に前記カムフォロアが位置する前記カム面の部位を、水平方向に延在する平坦面で構成したことを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームなど短冊状のワークを搬送するワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ダイボンディング装置には、短冊状のワークを搬送するワーク搬送装置が設けられている。
【０００３】
このワーク搬送装置は、搬送路上のリードフレームと係合する搬送爪を備えており、該搬送爪を上下駆動できるように構成されている。
【０００４】
これにより、リードフレーム搬送時には、搬送爪を下降して前記リードフレームに係合するとともに、この搬送爪を移動することによって前記リードフレームを移動できるように構成されている。また、移送後には、前記搬送爪を上昇して前記リードフレームとの係合状態を解除するとともに、前記搬送爪を元位置まで戻せるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このようなワーク搬送装置にあっては、搬送爪の駆動系にシリンダなどのアクチュエータを使用する構造上、昇降駆動される昇降部との間に配線や配管が設けられている。
【０００６】
このため、この配線や配管が断線等する恐れがある。あるいは、耐屈曲性の向上及びケーブル保護など高価な対策が必要となる。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、断線対策費用等の増大を招くこと無く、トラブルの発生を未然に防止することができるワーク搬送装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために本発明の請求項１のワーク搬送装置にあっては、搬送レール上に配置されたワークを、前記搬送レールに沿って駆動される搬送爪により移送するワーク搬送装置において、前記搬送爪に対して前記搬送レールを昇降する昇降手段を備えている。
【０００９】
すなわち、搬送レール上に配置されたワークを移送する際には、前記搬送レールを昇降手段によって下降するとともに、搬送レールに沿って移動される搬送爪を所定位置まで移動する。そして、前記搬送レールを、前記搬送爪によって前記ワークを移動できる高さ位置まで上昇した後、前記搬送爪を駆動して前記ワークを移動する。
【００１０】
一方、搬送後には、前記搬送レールを、前記搬送爪が前記ワークと干渉しない高さ位置まで下降することによって、前記搬送爪を元位置まで移動する。
【００１１】
このように、前記搬送爪を昇降することなく、搬送レール上のワークが移送される。
【００１２】
また、請求項２のワーク搬送装置においては、前記昇降手段を、水平方向に駆動される板カムと、該板カムの上面に形成されたカム面を転動する前記搬送レール側に設けられたカムフォロアとで構成し、前記搬送レール上昇時に前記カムフォロアが位置する前記カム面の部位を、水平方向に延在する平坦面で構成した。
【００１３】
これにより、板カムを水平方向に駆動して、板カム上面のカム面に沿って転動するカムフォロアを昇降することによって、該カムフォロアが設けられた前記搬送レールを昇降することができる。
【００１４】
このとき、前記カム面には、前記搬送レール上昇時に前記カムフォロアが位置する部位に、水平方向に延在する平坦面が設定されており、前記板カムを駆動する駆動機構停止時には、前記カムフォロアが前記平坦面に位置することで、前記搬送レールが上昇された状態が維持される。
【００１５】
また、前記カム面が形成するカム曲線を、なだらかに設定することで、前記搬送レールの昇降が滑らかに行われる。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように本発明の請求項１のワーク搬送装置にあっては、搬送レールに沿って駆動される搬送爪を昇降することなく、前記搬送レール上のワークを移送することができる。このため、駆動系を構成するアクチュエータへの配線や配管が設けられた搬送爪側を昇降する場合と比較して、これらの配線や配管が断線等する恐れが無く、耐屈曲性の向上及びケーブル保護など高価な対策が不要となる。
【００１７】
したがって、断線対策費用等の増大を招くこと無く、断線等のトラブルの発生を未然に防止することができるワーク搬送装置となり得る。
【００１８】
また、請求項２のワーク搬送装置においては、板カムを水平方向に駆動して該板カム上面のカム面に沿って転動するカムフォロアを昇降することによって、該カムフォロアが設けられた前記搬送レールを昇降する昇降手段を構成することができる。
【００１９】
このとき、前記カム面には、前記搬送レール上昇時に前記カムフォロアが位置する部位に、水平方向に延在する平坦面が設定されており、前記板カムを駆動する駆動機構停止時には、前記カムフォロアが前記平坦面に位置することで、上昇した搬送レールを、その位置に維持することができる。このため、前記搬送レールを、例えばエアシリンダで直接昇降する場合と比較して、エアダウン時に搬送レールが下降するといった不具合を確実に防止することができる。
【００２０】
また、前記カム面が形成するカム曲線を、なだらかに設定することで、前記搬送レールの昇降を滑らかに行うことができる。このため、前記搬送レールを、例えばエアシリンダで直接昇降する場合と比較して、昇降時に生じ得る前記搬送レール及び該搬送レール上のワークへの衝撃の入力が防止される。
【００２１】
ここで、前記ワークがリードフレームであって、該リードフレームに複数回ボンディング工程が繰り返し行われる場合、二回目以降のボンディング時には、初回にボンディングされたチップにワイヤーをボンディングしたリードフレームが投入され、このリードフレームを搬送することとなる。
【００２２】
このとき、前記搬送レール昇降時に生じ得る搬送レール上のワークへの衝撃の入力を防止することで、前記リードフレームにボンディングされたワイヤーへの衝撃の入力が防止されるため、該ワイヤー等へのダメージの付与を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるワーク搬送装置１を備えたボンディング装置２を示す図であり、該ボンディング装置２は、短冊状のワークとしてのリードフレーム３にチップをボンディングする装置である。
【００２４】
このボンディング装置２は、ボンディングを行うボンディングユニット１１を中心に構成されており、該ボンデングユニット１１の横幅方向Ｗの図１中右側には、ローダユニット１２が近接して配置されている。
【００２５】
前記ボンディングユニット１１の図１中左方には、ワークローダ２１が設けられており、該ワークローダ２１は、ボンディングが全く行われていないリードフレーム３を積層して載置するワーク載置部２２と、該ワーク載置部２２に載置されたリードフレーム３を、一枚ずつボンディングゾーン２３に供給するワーク供給装置２４とによって構成されている。
【００２６】
前記ボンディングゾーン２３には、テーブル３１が設けられており、該テーブル３１には、前記リードフレーム３が載置される搬送路３２が前記横幅方向Ｗに延設されている。このボンディングゾーン２３では、ボンディングゾーン２３手前に設けられたウエハシートゾーン３３のウエハリング３４から図外のボンディングヘッドでチップをピックアップし、このチップを前記テーブル３１に供給されたリードフレーム３のボンディングポイントにボンディングするように構成されている。
【００２７】
このチップのボンディングとしては、一回のボンディング工程でボンディングを完了する部品と、複数回のボンディング工程を繰り返す部品とがあり、後者の場合には、初回のボンディングが終了したリードフレーム３を一度排出した後、このリードフレーム３を再度ボンデング装置２にセットして二回目以降のボンディングを行うように構成されている。このとき、前記ボンデング装置２には、ボンディングされたチップにワイヤーがボンディングされたリードフレーム３を投入することとなる。
【００２８】
前記ボンディングゾーン２３の図１中右側には、リードフレーム３を移送する前記ワーク搬送装置１が設けられている。該ワーク搬送装置１は、前記リードフレーム３を前記テーブル３１と待機部４２との間で搬送経路に沿って長さ方向に移動するとともに、該待機部４２と前記ローダユニット１２との間で搬送経路に沿って長さ方向に移動するワーク送り装置４３を備えて構成されている。
【００２９】
すなわち、図２に示すように、前記ワーク送り装置４３の装置本体５１は、ボンディング装置２に立設された支柱５２に支持されている。前記装置本体５１は、前記ボンディング装置２の横幅方向Ｗに延在するガイドレール５３を備えており、該ガイドレール５３には、支持アーム５４，５４が移動自在に支持されている。各支持アーム５４，５４は、前記装置本体５１に設けられたボールネジ５５及び該ボールネジ５５に螺合するナット部（図示省略）と前記ボールネジ５５を回動するモータ５６とからなる移送機構５７によって前記ガイドレール５３に沿って移動されるように構成されている。
【００３０】
前記支持アーム５４，５４には、図２及び図３に示すように、可動部６１が支持されており、該可動部６１は、前記移送機構５７により前記ガイドレール５３に沿って移動されるように構成されている。この可動部６１には、前記リードフレーム３を移送する際に前記リードフレーム３の長さ方向一端側に配置される第１搬送爪６２と、前記リードフレーム３の長さ方向他端側に配置される第２搬送爪６３とが設けられている。
【００３１】
前記第１搬送爪６２は、前記可動部６１の一端部に固定されており、前記第２搬送爪６３は、前記可動部６１の他端部に設けられている。前記両搬送爪６２，６３は、板状の部材で構成されており、前記リードフレーム３の端部に当接した際に、前記リードフレーム３の端縁に線接触する接触構造を有している。
【００３２】
前記第２搬送爪６３は、前記可動部６１に設けられた可変機構７１によって駆動されるように構成されており、該可変機構７１は、前記第２搬送爪６３を前記第１搬送爪６２に近接する方向及び離間する方向へ移動するように構成されている。これにより、前記可変機構７１によって前記第１搬送爪６２と前記第２搬送爪６３との離間距離を可変できるように構成されている。
【００３３】
前記待機部４２は、図１及び図４並びに図５に示すように、レールユニット８０で構成されており、該レールユニット８０は、前記ボンディングゾーン２３でボンディングされたリードフレーム３を待機させる回収用待機レール８１と、前記ボンディングゾーン２３でボンディングが行われるリードフレーム３を待機させる供給用待機レール８２と、予備レール８３とを備え、搬送レールを構成する各レール８１〜８３は、前記ワーク送り装置４３と共に前記リードフレーム３を搬送するワーク搬送装置１を構成している。前記各レール８１〜８３は、支持ブロック８４で支持されており、該支持ブロック８４は、スライドベース８５に立設された昇降レール８６に支持されているとともに、昇降手段を構成する昇降機構８７によって昇降自在に支持されている（図５参照）。
【００３４】
該昇降機構８７は、前記スライドベース８５上を図外のエアシリンダによって水平方向に駆動される板カム９１と、前記支持ブロック８４の側部に回動自在に設けられたカムフォロア９２とによって構成されており、該カムフォロア９２は、前記板カム９１の上面に形成されたカム面９３を転動するように構成されている。該カム面９３は、前記各レール８１〜８３を下降した際に前記カムフォロア９２が位置する第１平坦部９５と、前記各レール８１〜８３を上昇した際に前記カムフォロア９２が位置する第２平坦部９６と、前記第１平坦部９５と前記第２平坦部９６とを結ぶ傾斜面９７とからなり、前記第１平坦部９５と第２平坦部９６とは、水平方向に延在する平坦な面で構成されている。
【００３５】
これにより、前記エアシリンダで前記板カム９１を水平移動して前記カム面９３を転動する前記カムフォロア９２を上下動することによって、該カムフォロア９２が設けられた前記支持ブロック８４及び前記各レール８１〜８３を昇降できるように構成されており、前記各レール８１〜８３を、前記ワーク送り装置４３の前記各搬送爪６２，６３に対して昇降できるように構成されている。
【００３６】
そして、前記スライドベース８５は、レール１０１，１０１に支持されたスライダ１０２，１０２を介してベース１０３に支持されており（図５参照）、スライド機構１０４によりスライドできるように構成されている（図４参照）。このスライド機構１０４によって、搬送経路を構成する前記各レール８１〜８３は、図１に示したように、奥行き方向Ｄにスライドされるように構成されており、各レール８１〜８３を選択的に前記テーブル３１の前記搬送路３２に位置合わせできるように構成されている。
【００３７】
これにより、前記ワーク搬送装置１は、前記ローダユニット１２のマガジン１１１から前記供給用待機レール８２に供給されたリードフレーム３を前記テーブル３１の搬送路３２に供給してセットする供給動作と、前記テーブル３１の搬送路３２にセットされた前記リードフレーム３を前記回収用待機レール８１に移動した後、前記ローダユニット１２のマガジン１１１に収容する収容動作とを行えるように構成されている。
【００３８】
前記ローダユニット１２は、前記供給用待機レール８２に供給するリードフレーム３を収容した供給用のマガジン１１１を保持するマガジンローダ１２１と、前記回収用待機レール８１のリードフレーム３を回収して収容する回収用のマガジン１１１を保持するマガジンアンローダ１２２とが設けられており、リードフレーム３に複数回のボンディングを繰り返して部品を製造する際に、既にボンディングが行われたリードフレーム３を供給用のマガジン１１１から前記ボンディングユニット１１に供給するとともに、当該リードフレーム３にボンディングが行われた際に、このリードフレーム３を回収用のマガジン１１１に収容できるように構成されている。
【００３９】
以上の構成にかかる本実施の形態において、前記ワーク搬送装置１で前記各レール８１〜８３上に配置されたリードフレーム３を移送する際には、前記各レール８１〜８３を昇降機構８７によって下降するとともに、各レール８１〜８３に沿って移動されるワーク送り装置４３の各搬送爪６２，６３を所定位置まで移動する。次に、前記昇降機構８７で前記各レール８１〜８３を上昇して各レール８１〜８３上のリードフレーム３を前記各搬送爪６２，６３で移動できる高さ位置まで移動し、前記両搬送爪６２，６３で前記リードフレーム３の挟み込みを行うとともに、前記各搬送爪６２，６３を駆動して前記リードフレーム３を所定の方向へ移動する。
【００４０】
一方、搬送後には、前記昇降機構８７によって前記各レール８１〜８３を下降して、前記各搬送爪６２，６３と前記リードフレーム３と干渉しない高さ位置まで移動した後、前記各搬送爪６２，６３を元位置まで移動する。
【００４１】
このように、前記各レール８１〜８３に沿って駆動される各搬送爪６２，６３を昇降することなく、前記各レール８１〜８３上のリードフレーム３を移送することができる。このため、可動部６１を駆動する移送機構５７や第２搬送爪６３を駆動する可変機構７１を備えることによってアクチュエータへの配線や配管が設けられた前記各搬送爪６２，６３側のワーク送り装置４３を昇降する場合と比較して、これらの配線や配管が昇降動作によって断線等する恐れが無く、耐屈曲性の向上及びケーブル保護など高価な対策が不要となる。
【００４２】
したがって、断線対策費用等の増大を招くこと無く、断線等のトラブルの発生を未然に防止することができる。
【００４３】
また、前記昇降機構８７を、水平方向に駆動される板カム９１と、該板カム９１のカム面９３を転動するカムフォロア９２とで構成したため、前記板カム９１をエアシリンダで水平方向に駆動し、該板カム９１のカム面９３に沿って転動するカムフォロア９２を上下動して、該カムフォロア９２を有する支持ブロック８４で支持された前記各レール８１〜８３を昇降することができる。
【００４４】
このとき、前記カム面９３には、前記各レール８１〜８３上昇時に前記カムフォロア９２が位置する部位に、水平方向に延在する平坦な第２平坦部９６が設定されており、前記板カム９１を駆動するエアシリンダ停止時には、前記カムフォロア９２が前記第２平坦部９６に位置することで、上昇した前記各レール８１〜８３を、その位置に維持することができる。このため、前記各レール８１〜８３をエアシリンダで直接昇降する場合と比較して、エアダウン時に各レール８１〜８３が下降するといった不具合を確実に防止することができる。
【００４５】
そして、前記カム面９３が形成するカム曲線を、なだらかに設定することで、前記各レール８１〜８３の昇降を滑らかに行うことができる。このため、前記各レール８１〜８３を、エアシリンダで直接昇降する場合と比較して、昇降時に生じ得る前記各レール８１〜８３及び該各レール８１〜８３上のリードフレーム３への衝撃の入力が防止される。
【００４６】
ここで、前記ボンディング装置２で取り扱うワークとしては、図６に示すように、リードフレーム３上にボンディングされた状態でワイヤー１５１，１５１がボンディングされた第１のチップ１５２と、該第１のチップ１５２上にスペーサ１５３を介してボンディングされた第２のチップ１５４とからなるワークが挙げられる。このように、リードフレーム３に複数回ボンディング工程を繰り返してワークを形成する場合、二回目以降のボンディング時には、ボンディングした第１のチップ１５２にワイヤー１５１，１５１がボンディングされたリードフレーム３を投入することとなる。
【００４７】
このとき、昇降時に生じ得る前記各レール８１〜８３上のリードフレーム３への衝撃の入力を防止することによって、該リードフレーム３にボンディングされた前記ワイヤー１５１，１５１への衝撃の入力を防止することができ、該ワイヤー１５１，１５１等へのダメージの付与を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態のワーク送り装置を示す斜視図である。
【図３】同実施の形態のワーク送り装置を示す側面図である。
【図４】同実施の形態に設けられた各レールの支持構造を示すである。
【図５】同実施の形態に設けられた各レールの支持構造を示す側面図である。
【図６】同実施の形態で形成されるワークの一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
１    ワーク搬送装置
３    リードフレーム
４３    ワーク送り装置
６２    第１搬送爪
６３    第２搬送爪
８７    昇降機構
９１    板カム
９２    カムフォロア
９３    カム面
９６    第２平坦部
【図１】
2006186242.tif 000003
【図２】
2006186242.tif 000004
【図３】
2006186242.tif 000005
【図４】
2006186242.tif 000006
【図５】
2006186242.tif 000007
【図６】
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