(57)【要約】【課題】所定の向き、特に回転駆動部の回転軸に対して高精度に位置調整できるレンズホルダと、このレンズホルダを用いるレンズ測定装置と、レンズホルダ調整方法とを提供すること。【解決手段】被検レンズ１０５を保持するためのレンズホルダ１２０であって、被検レンズ１０５を保持するレンズ保持部１２２と、レンズ保持部１２２を含む平面に略直交する方向へ光を反射する反射面１２３とを有する。好ましくは、レンズホルダ１２０は筒形状を有し、レンズ保持部１２２は、筒形状の一方の端面に形成されている。【選択図】        図４
2006145257.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検レンズを保持するためのレンズホルダであって、
前記被検レンズを保持するレンズ保持部と、
前記レンズ保持部を含む平面に略直交する方向へ光を反射する反射面とを有することを特徴とするレンズホルダ。
【請求項２】
前記レンズホルダは筒形状を有し、
前記レンズ保持部は前記筒形状の一方の端面に形成され、
前記反射面は前記筒形状の一方の前記端面近傍に形成され、前記筒形状の中心軸に対して略直交する面であることを特徴とする請求項１に記載のレンズホルダ。
【請求項３】
前記レンズ保持部と前記反射面とは同一面上に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のレンズホルダ。
【請求項４】
前記レンズ保持部が形成されている前記端面の近傍に凹部が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズホルダ。
【請求項５】
前記被検レンズを吸引するための貫通孔をさらに有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズホルダ。
【請求項６】
前記貫通孔に接続されている吸引部をさらに有することを特徴とする請求項５に記載のレンズホルダ。
【請求項７】
前記被検レンズ保持部が形成されている前記端面の近傍に設けられている第１の磁石と、
前記被検レンズを介して前記第１の磁石に対向して設けられている第２の磁石とを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のレンズホルダ。
【請求項８】
前記被検レンズを前記レンズ保持部に対して押圧する付勢部を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のレンズホルダ。
【請求項９】
被検レンズを保持するレンズホルダを固定するレンズホルダ保持部と、
前記レンズホルダ保持部を回転させる回転駆動部と、
前記レンズホルダに形成されている反射面の変位を検出する変位検出部とを有することを特徴とするレンズ測定装置。
【請求項１０】
前記変位検出部は、前記反射面に光を照射する光照射部と、
前記反射面から反射した光を受光する光検出部と、
前記光検出部の検出結果に基づいて前記反射面の変位を算出する演算部とを有することを特徴とする請求項９に記載のレンズ測定装置。
【請求項１１】
前記演算部により算出された前記反射面の変位を表示する表示部を有することを特徴とする請求項１０に記載のレンズ測定装置。
【請求項１２】
前記変位検出部は、前記被検レンズの面の変位を測定することを特徴とする請求項９〜１１のいずれか一項に記載のレンズ測定装置。
【請求項１３】
被検レンズを保持するレンズホルダの調整方法において、
前記レンズホルダに形成されている反射面からの反射光に基づいて前記反射面の変位を検出する変位検出ステップと、
前記反射面の変位に基づいて前記レンズホルダの位置と傾きとの少なくとも一方を調整する調整ステップとを有することを特徴とするレンズホルダ調整方法。
【請求項１４】
前記変位検出ステップは、さらに、
前記反射面に光を照射する光照射ステップと、
前記レンズホルダを回転する回転ステップと
前記反射面からの反射光を点像として受光する点像受光ステップと、
前記点像の情報に基づいて前記反射面の変位を算出する演算ステップとを含み、
前記調整ステップでは、前記レンズホルダを回転させている状態において、検出される前記点像の位置が略一定となるように前記レンズホルダの位置と傾きとの少なくとも一方を調整することを特徴とする請求項１３に記載のレンズ調整方法。
【請求項１５】
前記調整ステップでは、前記レンズホルダを回転させている状態において、レンズホルダの中心軸と回転軸とが略一致するように前記レンズホルダの位置と傾きとの少なくとも一方を調整することを特徴とする請求項１３または１４に記載のレンズ調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検レンズを保持するレンズホルダ、このレンズホルダを用いて被検レンズの偏心量を測定するためのレンズ測定装置、及びレンズホルダ調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のレンズ偏心測定装置では、まず被検レンズをレンズホルダに保持する。次に、スピンドル等の回転駆動部により所定の回転軸を中心としてレンズホルダを回転させる。そして、偏心測定部は回転している被検レンズの偏心量を測定する。ここで、スピンドルの回転軸と、レンズホルダの中心軸とを一致させる必要がある。このため、スピンドルの回転軸に対するレンズホルダの傾き（チルト）を調整する。レンズホルダの傾き調整は、例えば、特許文献１に提案されているように、レンズホルダの上面に平行平面板を載置する。偏心測定部は、平行光を平行平面板に照射する。平行平面板は、照射された平行光を反射する。偏心測定部は、平行平面板で反射した光の光路の変化を検出する。これにより、レンズホルダの傾きを調整する。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８８０４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えば、平行平面板を載置する面に異物等が存在するとき、平行平面板は取り付け誤差を生じた状態でレンズホルダに載置されてしまう。このことは、小口径レンズを測定するための径の小さなレンズホルダのとき、さらに顕著になる。また、平行平面板の面精度が低いときも、平行平面板が所定の状態とは異なる状態でレンズホルダに載置されてしまう。この結果、従来技術では、レンズホルダの傾き調整を高精度に行なうことが困難になる場合がある。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、所定の向きに高精度に位置調整できるレンズホルダと、このレンズホルダを用いるレンズ測定装置と、レンズホルダ調整方法とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、第１の本発明によれば、被検レンズを保持するためのレンズホルダであって、被検レンズを保持するレンズ保持部と、レンズ保持部を含む平面に略直交する方向へ光を反射する反射面とを有することを特徴とするレンズホルダを提供できる。
【０００７】
また、本発明の好ましい態様によれば、レンズホルダは筒形状を有し、レンズ保持部は筒形状の一方の端面に形成され、反射面は筒形状の一方の端面近傍に形成され、筒形状の中心軸に対して略直交する面であることが望ましい。
【０００８】
また、本発明の好ましい態様によれば、レンズ保持部と反射面とは同一面上に形成されていることが望ましい。
【０００９】
また、本発明の好ましい態様によれば、レンズ保持部が形成されている端面の近傍に凹部が設けられていることが望ましい。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様によれば、被検レンズを吸引するための貫通孔をさらに有することが望ましい。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様によれば、貫通孔に接続されている吸引部をさらに有することが望ましい。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様によれば、被検レンズ保持部が形成されている端面の近傍に設けられている第１の磁石と、被検レンズを介して第１の磁石に対向して設けられている第２の磁石とを有することが望ましい。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様によれば、被検レンズをレンズ保持部に対して押圧する付勢部を有することが望ましい。
【００１４】
また、第２の本発明によれば、被検レンズを保持するレンズホルダを固定するレンズホルダ保持部と、レンズホルダ保持部を回転させる回転駆動部と、レンズホルダに形成されている反射面の変位を検出する変位検出部とを有することを特徴とするレンズ測定装置を提供できる。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様によれば、変位検出部は、反射面に光を照射する光照射部と、反射面から反射した光を受光する光検出部と、光検出部の検出結果に基づいて反射面の変位を算出する演算部とを有することが望ましい。
【００１６】
また、本発明の好ましい態様によれば、演算部により算出された反射面の変位を表示する表示部を有することが望ましい。また、変位検出部は、前記被検レンズの面の変位を測定することが望ましい。
【００１７】
また、第３の本発明によれば、被検レンズを保持するレンズホルダの調整方法において、レンズホルダに形成されている反射面からの反射光に基づいて反射面の変位を検出する変位検出ステップと、反射面の変位に基づいてレンズホルダの位置と傾きとの少なくとも一方を調整する調整ステップとを有するレンズホルダ調整方法を提供できる。
【００１８】
また、本発明の好ましい態様によれば、変位検出ステップは、さらに、反射面に光を照射する光照射ステップと、レンズホルダを回転する回転ステップと、反射面からの反射光を点像として受光する点像受光ステップと、点像の情報に基づいて反射面の変位を算出する演算ステップとを含み、調整ステップでは、レンズホルダを回転させている状態において、検出される点像の位置が略一定となるようにレンズホルダの位置と傾きとの少なくとも一方を調整することが望ましい。
【００１９】
また、本発明の好ましい態様によれば、調整ステップでは、レンズホルダを回転させている状態において、レンズホルダの中心軸と回転軸とが略一致するようにレンズホルダの位置と傾きとの少なくとも一方を調整することが望ましい。
【発明の効果】
【００２０】
第１の本発明では、レンズホルダが反射面を備えている。反射面は、レンズ保持部を含む平面に略直交する方向へ光を反射する。これにより、レンズホルダの反射面は、例えば照射される平行光を、レンズ保持部を含む平面に略直交する方向へ反射する。レンズホルダを回転させる回転駆動部の回転軸に対して、レンズホルダが傾いていることがある。このとき、反射面で反射された平行光は、その傾きに応じて光路が変化する。この変化に基づいて、レンズホルダの傾き調整を行なうことができる。また、本発明では、レンズホルダ自身が反射面を備えている。このため、別途、平行平面板を用いる必要がない。これにより、レンズホルダに対する平行平面板の取り付け誤差の問題を生じない。この結果、所定の向き、特に回転駆動部の回転軸に対して高精度に位置調整、特に傾き調整できる。
【００２１】
また、第２の本発明では、変位検出部はレンズホルダに形成されている反射面の変位を、例えば光学的に検出する。光学的に反射面の変位を検出するには、例えば平行光を反射面に照射する。反射面は、レンズホルダの傾きに対応した方向へ平行光を反射する。変位検出部は、反射面で反射された光の光路の変化を検出する。これにより、変位検出部は、レンズホルダの変位を非接触で検出できる。本発明では、レンズホルダの位置調整時に、平行平面板を用いる必要がない。これにより、レンズホルダに対する平行平面板の取り付け誤差の問題を生じない、この結果、回転駆動部の回転軸に対して高精度にレンズホルダの位置調整、特に傾きを調整できる。従って、被検レンズの偏心量を高精度に測定できる。
【００２２】
また、第３の本発明によれば、変位検出ステップはレンズホルダに形成されている反射面からの反射光に基づいて反射面の変位を検出する。光学的に反射面の変位を検出するには、例えば平行光を反射面に照射する。反射面は、レンズホルダの傾きに対応した方向へ平行光を反射する。変位検出ステップにおいて、反射面で反射された光の光路の変化を検出する。これにより、変位検出ステップでは、レンズホルダの変位を非接触で検出できる。本発明では、レンズホルダの調整ステップにおいて、平行平面板を用いる必要がない。これにより、レンズホルダに対する平行平面板の取り付け誤差の問題を生じない、この結果、回転駆動部の回転軸に対して高精度にレンズホルダの位置調整、特に傾きを調整できる。このように、平行平面板をレンズホルダに載置するステップを省略できる。さらに、被検レンズの偏心量を高精度に測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明に係るレンズホルダ、レンズ測定装置及びレンズホルダ調整方法の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００２４】
図１は、本発明の実施例１に係るレンズ測定装置１００の概略構成を示す。レンズ測定機１００は、大きくレンズ測定部１１０と、位置調整部１３０と、回転駆動部１４０とを有している。また、演算・制御部１５０は、レンズ測定部１１０と回転駆動部１４０とに接続されている。レンズ測定部１１０と演算・制御部１５０とは、変位検出部に対応する。
【００２５】
光源１１１は、後述するレンズホルダ１２０へ照射する光を供給する。光源１１１として、例えば半導体レーザ、白色光源を用いることができる。光源１１１からの光は、コリメータレンズ１１２に入射する。コリメータレンズ１１２は、入射した光を略平行光に変換して射出する。略平行光に変換された光は偏光ビームスプリッタ１１３に入射する。偏光ビームスプリッタ１１３は、特定の振動方向の偏光光を透過し、特定の振動方向に直交する振動方向の偏光光を反射する。偏光ビームスプリッタ１１３は、例えばｐ偏光光を透過し、ｓ偏光光を反射する。偏光ビームスプリッタ１１３を透過したｐ偏光光は、１／４波長板１１４に入射する。１／４波長板１１４を透過した偏光光は、対物光学系１１５に入射する。
【００２６】
対物光学系１１５は、入射光を焦点位置に集光する。対物光学系１１５は、焦点距離が使用目的または被検レンズ１０５の曲率半径に応じて調整可能に構成されている。例えば、対物光学系１１５は、異なる焦点距離を有する他の対物光学系（不図示）と交換可能に構成されている。これにより、対物光学系１１５を適宜交換することにより、光を所定の焦点位置へ集光できる。また、対物光学系１１５を変倍（ズーム）可能に構成しても良い。これによっても、光を所定の焦点位置へ集光できる。さらに、対物光学系１１５の変倍の際、後述するように、焦点位置が無限遠、即ち平行光を射出することができるように構成しておくが望ましい。
【００２７】
被検面１０５の第１面１０５ａの曲率中心位置と、対物光学系１１５の焦点位置とを一致させるように調整する。対物光学系１１５からの集光光は、被検レンズ１０５の第１面１０５ａにより反射される。第１面１０５ａが被検面となる。被検レンズ１０５は、レンズホルダ１２０に保持されている。なお、レンズホルダ１２０の調整方法と偏心測定方法との詳しい手順は後述する。第１面１０５ａで反射された光は、再度、対物光学系１１５に入射する。対物光学系１１５を往路とは逆方向に進行した光は、１／４波長板１１４を透過する。往路と復路とで１／４波長板１１４を２回透過する。これにより、例えばｐ偏光光はｓ偏光光へ変換される。変換されたｓ偏光光は、偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射される。偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射された光は、レンズ系１１６、１１７を透過して光位置検出素子１１８の受光面上に集光される。光位置検出素子１１８として、例えば２次元ＣＣＤ等を用いることができる。光位置検出素子１１８は、光検出部に対応する。また、光が進行する方向に沿って、光源１１１から対物光学系１１５までに至る光学系は、光照射部に対応する。さらに、被検レンズ１０５からの反射光に沿って、対物光学系１１５から光位置検出素子１１８までに至る光学系は、光検出部に対応する。従って、偏光ビームスプリッタ１１３と対物光学系１１５とは、それぞれ光照射部の機能と光検出部の機能とを兼用する。
【００２８】
次に、位置調整部１３０、回転駆動部１４０について説明する。被検レンズ１０５は、レンズホルダ１２０に吸引により吸着保持されている。被検レンズ１０５を吸着保持する構成、及びレンズホルダ１２０の詳細な構成については後述する。位置調整部１３０は、可動ステージ１３２を備えている。可動ステージ１３２は、シフト（位置）とチルト（傾き）とが調整可能に構成されている。レンズホルダ１２０は、底面の中央部分に雌ねじ部１２１が形成されている。また、可動ステージ１３２の中央部分には雄ネジ部１２６が形成されている。雄ネジ部１２６は、レンズホルダ保持部に対応する。両ネジ部を螺合することで、レンズホルダ１２０は可動ステージ１３２に固着される。
【００２９】
図１では、シフト調整用の機構の断面構成を示す。可動ステージ１３２は、シフト調整用摘み１３１と圧縮ばね１３３とに挟持されている。また、可動ステージ１３２は、さらに、直交する方向に設けられている他のシフト調整用摘み（不図示）と圧縮ばね（不図示）とにより挟持されている。これにより、可動ステージ１３２は、ｘｙ面内のシフト方向に移動可能である。
【００３０】
また、図２は、位置調整部１３０のチルト調整用の機構の断面構成を示す。位置調整部１３０は、回転駆動部１４０に対してボールジョイント１３６と２個のチルト調整用摘み１３４とにより取り付けられている。なお、図２では、２個のチルト調整用摘みのうち、一方の摘みのみを図示し、他方の摘みの図示は省略する。また、チルト調整用摘み１３４と回転駆動部１４０との間には圧縮ばね１３５が配置されている。これにより、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対して、可動ステージ１３２の傾き（チルト）を調整可能である。このように、位置調整部１３０は、シフト、チルトが調整可能な公知の構成を用いることができる。また、チルト調整用の可動ステージと、シフト調整用の可動ステージとを重ねて配置する構成とすることもできる。
【００３１】
図１に戻って説明を続ける。回転駆動部１４０は、回転用モータ１５１により回転軸ＡＸを中心に回転する。回転駆動部１４０は、例えばエアースピンドルを用いることができる。光源１１１とコリメータレンズ１１２と対物光学系１１５とは、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸと同軸になるように配置されている。回転駆動部１４０は、位置調整部１３０全体を回転軸ＡＸの周りに回転させる。
【００３２】
演算・制御部１５０は、光位置検出素子１１８からの検出信号に基づいて、後述するレンズホルダ１２０の反射面１２３の変位を算出する。また、演算・制御部１５０は、回転用モータ１５１を制御する。演算・制御部１５０は、演算部に対応する。また、表示部１５３は、光位置検出素子１１８の受光結果や、算出された変位量を表示する。
【００３３】
次に、レンズホルダ１２０が被検レンズ１０５を吸着保持する構成を説明する。図３は、被検レンズ１０５を吸着保持するための断面構成を示す。上述したように、レンズホルダ１２０は、可動ステージ１３０にネジ部１２１を介して固着される。レンズホルダ１２０は、円筒形状を有している。レンズホルダ１２０の内周部には、貫通孔１４２が形成されている。また、可動ステージ１３０には、貫通孔１４２に連続するように吸引孔１４２が形成されている。さらに、回転駆動部１４０にも、吸引孔１４２に接続するように吸引孔１４１が形成されている。吸引孔１４１の端部には、吸引部１５２が設けられている。吸引部１５２は、エアーを吸引するポンプである。吸引部１５２がエアーを吸引するとき、図３中において矢印で示す方向へエアーが吸引される。これにより、被検レンズ１０５は、レンズホルダ１２０に吸着保持される。
【００３４】
（レンズホルダの構成）
図４は、レンズホルダ１２０の概略構成を示す。レンズホルダ１２０は、上述したように中空の筒形状、詳しくは円筒形状を有している。筒形状の一方の端面にレンズ保持部１２２が形成されている。レンズ保持部１２２は、さらに、内側レンズ保持部１２２ａと外側レンズ保持部１２２ｂとを含んでいる。
【００３５】
また、レンズホルダ１２０の一方の端面には、反射面１２３が形成されている。反射面１２３は、円筒形状の中心軸ＡＸＬに対して略直交する面である。そして、反射面１２３は、中心軸ＡＸＬに沿って平行な方向に入射する光を、レンズ保持部１２２を含む平面に略直交する方向へ反射する。このように、レンズ保持部１２２と反射面１２３とは同一面上に形成されている。
【００３６】
レンズホルダ１２０は、例えば、真ちゅうや、ステンレス等の金属で構成されている。そして、円筒形状の端面を研磨することで反射面とすることができる。さらに好ましくは、反射率を上げるために、アルミニウム等を蒸着することが望ましい。レンズホルダ１２０の寸法は、例えば、直径は略５ｍｍ〜１０ｍｍ、高さは略５０ｍｍである。そして、小口径レンズを保持するために好適に構成されている。また、この寸法に限定されることなく、中口径レンズ、大口径レンズを保持する構成としても良い。
【００３７】
また、レンズホルダ１２０の内側の中空部分は、上述した貫通孔１２４を構成する。貫通孔１２４を通してエアーが吸引される。被検レンズ１０５の第１面１０５ａの偏心を測定するとき、第２面１０５ｂとレンズ保持部１２２とが当接するように被検レンズ１０５を載置する。第２面１０５ｂが凸面のとき、内側レンズ保持部１２２ａで被検レンズ１０５を保持する。これに対して、被検レンズ１０５の第２面１０５ｂが凹面のとき、外側レンズ保持部１２２ｂで被検レンズ１０５を保持する。
【００３８】
（レンズホルダ調整方法）
次に、図５−１、５−２、５−３を参照して、レンズホルダの調整方法を説明する。なお、図５−１、５−２、５−３において、説明の便宜のため、可動ステージを、チルト調整用可動ステージ１３２ａとシフト調整用可動ステージ１３２ｂとに分けて図示する。被検レンズ１０５の偏心測定の前に、レンズホルダ１２０のチルト調整とシフト調整とを行なう。レンズホルダ１２０のチルト調整により、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対するレンズホルダ１２０の傾き（チルト）を略ゼロの状態にする。また、レンズホルダ１２０のシフト調整により、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対するレンズホルダ１２０の位置（シフト）を略ゼロの状態にする。本実施例では、レンズ測定部１１０により、チルト調整とシフト調整とを光学的に行なう。これらの調整は、変位検出ステップと調整ステップとからなる。
【００３９】
図５−１を参照して、レンズホルダ１２０のチルト調整の手順を説明する。チルト調整の際、上述したように、レンズホルダ１２０を可動ステージ１３２に固定する。レンズ測定部１１０の対物光学系１１５の焦点距離を無限遠に調整する。光照射ステップにおいて、レンズ測定部１１０からレンズホルダ１２０へ平行光Ｌ１が照射される。レンズホルダ１２０の反射面１２３は、照射された平行光Ｌ１をレンズ保持部１２２を含む平面に略直交する方向へ反射する。反射された平行光Ｌ１（以下、適宜「測定光」という。）は、再度レンズ測定部１１０へ入射する。
【００４０】
図１に戻って説明を続ける。対物光学系１１５と１／４波長板１１４を透過した測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３に入射する。上述したように、測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射される。そして、反射された測定光は、光路ＬＢを進行する。測定光は、レンズ系１１６、１１７により、光位置検出素子１１８の受光面上に点像として集光される（点像受光ステップ）。光位置検出素子１１８は、点像として集光された測定光を画像信号に変換する。変換された画像信号は、演算・制御部１５０へ出力される。表示部１５３は、光位置検出素子１１８が受光した点像の状態をモニタに表示する。
【００４１】
回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対してレンズホルダ１２０のチルトが無い状態を考える。チルトが無い状態とは、反射面１２３と、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対して略直交する平面とが一致する状態をいう。チルトが無い状態では、反射面１２３で反射した測定光の光路ＬＢと、光源１１１から対物光学系１１５までの照射光（往路）の光路ＬＡとが同軸となる。ここで、光源１１１から対物光学系１１５までの照射光（往路）の光路ＬＡと、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸとは同軸となるように構成されている。
【００４２】
回転駆動部１４０により位置調整部１３０を回転軸ＡＸの周りに回転させる。これにより、回転ステップにおいて、レンズホルダ１２０も回転軸ＡＸを中心として回転する。レンズホルダ１２０にチルトが無い状態では、回転中において反射面１２３で反射された測定光の光路ＬＢは一定であり、変化しない。このため、光位置検出素子１１８における集光位置も一定である。この結果、点像受光ステップにおいて、表示部１５３に表示されている測定光の点像の位置は動かない。
【００４３】
これに対して、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対してレンズホルダ１２０にチルトが存在する状態を考える。チルトが存在する状態とは、反射面１２３と、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対して略直交する平面とが不一致である状態をいう。チルトが存在する状態では、反射面１２３で反射した測定光の光路ＬＢと、光源１１１から対物光学系１１５までの照射光（往路）の光路ＬＡとが異なる。
【００４４】
レンズホルダ１２０にチルトが存在する状態では、回転中において反射面１２３で反射された測定光の光路ＬＢは、チルト量に応じて照明光（往路）の光路ＬＡと異なってくる。このため、測定光の光路ＬＢと回転軸ＡＸとは同軸とならない。この結果、点像受光ステップにおいて、表示部１５３に表示されている測定光の点像の位置は円弧状の軌跡を描く。測定者は、光位置検出素子１１８の受光面において、点像の円弧状の軌跡の半径が極力小さくなるように、好ましくは略ゼロとなるようにチルト調整用可動ステージ１３２ａ（図５−１）を調整する。このように、調整ステップでは、レンズホルダ１２０を回転させている状態において、検出される点像の位置が略一定となるようにレンズホルダ１２０の傾きを調整する。
【００４５】
ここで、演算ステップにおいて、演算・制御部１５０は、光位置検出素子１１８の検出結果に基づいて、反射面１２３の変位（チルトの方向）を算出しても良い。そして、測定者は、算出結果に基づいて、点像の円弧状の軌跡の半径が略ゼロとなるようにチルト調整用可動ステージ１３２ａを調整する。また、反射面１２３の面積と、光位置検出素子１１８が受光する測定光の光量とは対応する。このため、反射面１２３の領域を大きくすると、測定光の光量が増加する。この結果、点像の輝度が明るくなる。従って、測定者は、より容易にチルト調整を行なうことができる。
【００４６】
次に、図５−２を参照して、レンズホルダ１２０のシフト調整の手順を説明する。シフト調整の際、ボールレンズ１６０をレンズホルダ１２０に載置する。ボールレンズ１６０は、高い真球度を有する基準レンズである。ボールレンズ１６０は、内側レンズ保持部１２２ａの部分でレンズホルダ１２０に当接する。このため、ボールレンズ１６０は、内側レンズ保持部１２２ａで吸引保持される。レンズ測定部１１０の対物光学系１１５の焦点距離を調整する。具体的には、ボールレンズ１６０の球心位置と、対物光学系１１５の焦点位置とを一致させる。これにより、レンズ測定部１１０からレンズホルダ１２０へ集光（収束）光Ｌ２が照射される。ボールレンズ１６０は、照射された集光光Ｌ２を対物光学系１１５の方向へ反射する。反射された光（以下、適宜「測定光」という。）は、再度レンズ測定部１１０へ入射する。
【００４７】
図１に戻って説明を続ける。対物光学系１１５と１／４波長板１１４を透過した測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３に入射する。上述したように、測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射される。次に、反射された測定光は、光路ＬＢを進行する。そして、測定光は、レンズ系１１６、１１７により、光位置検出素子１１８の受光面上に点像として集光される。チルト調整時と同様に、表示部１５３は、光位置検出素子１１８が受光した点像の状態をモニタに表示する。
【００４８】
回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対してレンズホルダ１２０のシフトが無い状態を考える。シフトが無い状態とは、ボールレンズ１６０の球心が、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸ上に存在する状態をいう。シフトが無い状態では、ボールレンズ１６０で反射した測定光の光路ＬＢと、光源１１１から対物光学系１１５までの照射光（往路）の光路ＬＡとが同軸となる。
【００４９】
チルト調整時と同様に、回転駆動部１４０により位置調整部１３０を回転軸ＡＸの周りに回転させる。これにより、ボールレンズ１６０も回転軸ＡＸを中心として回転する。レンズホルダ１２０にシフトが無い状態では、回転中においてボールレンズ１６０で反射された測定光の光路ＬＢは一定であり、変化しない。このため、光位置検出素子１１８における集光位置も一定である。この結果、表示部１５３に表示されている測定光の点像の位置は動かない。
【００５０】
これに対して、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対してレンズホルダ１２０のシフトが存在する状態を考える。シフトが存在する状態とは、ボールレンズ１６０の球心の位置が、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸ上に存在しない状態をいう。シフトが存在する状態では、ボールレンズ１６０で反射した測定光の光路ＬＢと、光源１１１から対物光学系１１５までの照射光（往路）の光路ＬＡとが異なる。
【００５１】
回転駆動部１４０により位置調整部１３０を回転軸ＡＸの周りに回転させる。これにより、レンズホルダ１２０も回転軸ＡＸを中心として回転する。レンズホルダ１２０にシフトが存在する状態では、回転中においてボールレンズ１６０で反射された測定光の光路ＬＢは、シフト量に応じて照明光（往路）の光路ＬＡと異なってくる。このため、測定光の光路ＬＢと回転軸ＡＸとは同軸とならない。この結果、表示部１５３に表示されている測定光の点像の位置は円弧状の軌跡を描く。測定者は、光位置検出素子１１８の受光面において、点像の円弧状の軌跡の半径が極力小さくなるように、好ましくは略ゼロとなるようにシフト調整用可動ステージ１３２ｂを調整する。
【００５２】
レンズホルダ１２０のチルト調整とシフト調整が完了した状態では、レンズホルダ１２０の円筒形状の中心軸ＡＸＬと、回転駆動部１４０の回転軸ＡＸとが略一致している。この状態において、次に被検レンズ１０５の偏心測定を行なう。
【００５３】
（被検レンズの偏心測定）
図５−３を参照して、被検レンズ１０５の偏心測定の手順を説明する。シフト調整とチルト調整が完了した状態のレンズホルダ１２０に被検レンズ１０５を吸着保持させる。このとき、第１面１０５ａと対物光学系１１５とが対向するように配置する。また、被検レンズ１０５の有効径よりも外側の領域に、回転方向を認識するためのマーク（印）を形成しておく。レンズ測定部１１０の対物光学系１１５の焦点距離を調整する。具体的には、被検レンズ１０５の第１面１０５ａの曲率中心位置と、対物光学系１１５の焦点位置とを一致させる。レンズ測定部１１０からレンズホルダ１２０へ集光光Ｌ３が照射される。被検レンズ１０５の第１面１０５ａは、照射された集光光Ｌ３を対物光学系１１５の方向へ反射する。反射された光（以下、適宜「測定光」という。）は、再度レンズ測定部１１０へ入射する。
【００５４】
図１に戻って説明を続ける。対物光学系１１５と１／４波長板１１４を透過した測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３に入射する。上述したように、測定光は、偏光ビームスプリッタ１１３の偏光面で反射される。次に、反射された測定光は、光路ＬＢを進行する。そして、測定光は、レンズ系１１６、１１７により、光位置検出素子１１８の受光面上に点像として集光される。チルト調整時、シフト調整時と同様に、表示部１５３は、光位置検出素子１１８が受光した点像の状態をモニタに表示する。
【００５５】
回転駆動部１４０により位置調整部１３０を回転軸ＡＸの周りに回転させる。これにより、レンズホルダ１２０も回転軸ＡＸを中心として回転する。被検レンズ１０５の第１面１０５ａの偏心量に応じて、光位置検出素子１１８の受光面において、点像は円弧状の軌跡を描く。表示部１５３は、測定光の点像の位置を表示する。演算・制御部１５０は、光位置検出素子１１８からの検出結果（画像信号）と被検レンズ１０５に形成したマークの位置とに基づいて、第１面１０５ａの変位（偏心量）を算出する。
【００５６】
次に、測定者は、被検レンズ１０５の第２面１０５ｂが対物光学系１１５と対向するようにレンズホルダ１２０に載置する。そして、上述した第１面１０５ａと同様に、第２面１０５ｂの偏心測定を行なう。このようにして、被検レンズ１０５の両面の偏心測定を行なうことができる。
【００５７】
以上説明したように、本実施例では、レンズホルダ１２０が反射面１２３を備えている。反射面１２３は、対物光学系１１５から照射された平行光を、レンズ保持部１２２を含む平面に略直交する方向へ反射する。反射面１２３で反射した測定光に基づいて、レンズホルダ１２３のチルト（傾き）調整を行なうことができる。また、本実施例では、レンズホルダ１２０自身が反射面１２３を備えている。このため、別途、平行平面板を用いる必要がない。これにより、レンズホルダ１２０に対する平行平面板の取り付け誤差の問題を生じない。この結果、レンズホルダ１２０を回転駆動部１４０の回転軸ＡＸに対して、光学的に高精度に位置調整、特に傾き調整できる。さらに、例えば、異物が反射面１２３に付着していても、光位置検出素子１１８の点像の位置には影響しない。この結果、異物が反射面１２３に付着しているときでも、高精度にレンズホルダ１２０のチルト調整を行なうことができる。
【実施例２】
【００５８】
図６は、実施例２に係るレンズホルダ２２０の斜視構成を示す。レンズホルダ２２０は、中空の円筒形状を有している。筒形状の一方の端面にレンズ保持部２２２が形成されている。レンズ保持部２２２は、さらに、内側レンズ保持部２２２ａと外側レンズ保持部２２２ｂとを含んでいる。なお、以下全ての実施例において上記実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５９】
また、レンズホルダ２２０の一方の端面には、反射面２２３が形成されている。反射面２２３は、レンズ保持部２２２よりも所定高さｈだけ低い領域に形成されている。また、反射面２２３は、輪帯形状の端面において、円周方向に沿って略間隔に離散的に設けられている。これにより、レンズ保持部２２２と反射面２２３とは円周方向に沿って交互に凹凸を繰り返すように構成される。反射面２２３は、円筒形状の中心軸ＡＸＬに対して略直交する面である。そして、反射面２２３は、中心軸ＡＸＬに沿って平行な方向に入射する光を、レンズ保持部２２２を含む平面に略直交する方向へ反射する。また、実施例１と同様に、貫通孔（不図示）が形成されている。
【００６０】
レンズホルダ２２０は、例えば、上述したボールレンズ１６０のような凸面を内側レンズ保持部２２２ａで吸着保持する。また、被検レンズの凹面側を保持するときは、外側レンズ保持部２２２ｂで吸着保持する。
【００６１】
本実施例では、実施例１の効果に加え、さらに、以下の効果を奏する。被検レンズ１０５は、レンズ保持部２２２ａで保持される。反射面２２３は、レンズ保持部２２２よりも所定高さだけ低い領域に形成されている。このため、被検レンズ１０５は、反射面２２３に当接することがない。この結果、例えば、レンズホルダ２２０を繰り返し使用したときでも、接触による反射面２２３の損傷を低減できる。この結果、反射面２２３の反射率を維持できる。
【００６２】
（実施例２の第１の変形例）
図７は、本実施例の第１の変形例に係るレンズホルダ３２０の構成を示す。図７の符号（ａ）で示すのはレンズホルダ３２０の斜視構成、符号（ｂ）で示すのは断面構成である。レンズホルダ３２０は、中空の円筒形状を有している。筒形状の一方の端面の外周部分と内周部分とに輪帯形状のレンズ保持部３２２が形成されている。レンズ保持部３２２は、さらに、内側レンズ保持部３２２ａと外側レンズ保持部３２２ｂとを含んでいる。
【００６３】
また、２つのレンズ保持部３２２の中間の領域に輪帯形状の反射面３２３が形成されている。反射面３２３は、レンズ保持部３２２よりも所定高さｈだけ低い領域に形成されている。これにより、レンズ保持部３２２と反射面３２３とは半径方向に沿って交互に凹凸を繰り返すように構成される。反射面３２３は、円筒形状の中心軸ＡＸＬに対して略直交する面である。そして、反射面３２３は、中心軸ＡＸＬに沿って平行な方向に入射する光を、レンズ保持部３２２を含む平面に略直交する方向へ反射する。また、実施例１と同様に、貫通孔１２４が形成されている。
【００６４】
レンズホルダ３２０は、例えば、上述したボールレンズ１６０のような凸面を内側レンズ保持部３２２ａで吸着保持する。また、被検レンズの凹面側を保持するときは、外側レンズ保持部３２２ｂで吸着保持する。本変形例は、反射面３２３は、レンズ保持部３２２よりも所定高さｈだけ低い領域に形成されている。このため、被検レンズ１０５は、反射面３２３に当接することがない。この結果、例えば、レンズホルダ３２０を繰り返し使用したときでも、接触による反射面３２３の損傷を低減できる。この結果、反射面３２３の反射率を維持できる。さらに、レンズ保持部３２２ａまたはレンズ保持部３２２ｂの円周全体で被検レンズ１０５を吸着保持できる。この結果、実施例２に比較して、被検レンズ１０５をさらに確実に吸着保持できる。
【００６５】
（実施例２の第２の変形例）
図８は、本実施例の第２の変形例に係るレンズホルダ４２０の斜視構成を示す。レンズホルダ４２０は、中空の円筒形状を有している。筒形状の一方の端面の内周部分に輪帯形状のレンズ保持部１２２が形成されている。レンズ保持部１２２は、さらに、内側レンズ保持部１２２ａと外側レンズ保持部１２２ｂとを含んでいる。
【００６６】
また、レンズ保持部１２２の外側に輪帯状の反射面４２３が形成されている。反射面４２３は、レンズ保持部１２２よりも所定高さｈだけ低い領域に形成されている。反射面４２３は、円筒形状の中心軸ＡＸＬに対して略直交する面である。そして、反射面４２３は、中心軸ＡＸＬに沿って平行な方向に入射する光を、レンズ保持部１２２を含む平面に略直交する方向へ反射する。また、実施例１と同様に、貫通孔（不図示）が形成されている。
【００６７】
レンズホルダ４２０は、例えば、上述したボールレンズ１６０のような凸面を内側レンズ保持部１２２ａで吸着保持する。また、被検レンズの凹面側を保持するときは、外側レンズ保持部１２２ｂで吸着保持する。本変形例は、反射面４２３は、レンズ保持部１２２よりも所定高さｈだけ低い領域に形成されている。このため、被検レンズ１０５は、反射面２２３に当接することがない。この結果、例えば、レンズホルダ４２０を繰り返し使用したときでも、接触による反射面４２３の損傷を低減できる。この結果、反射面４２３の反射率を維持できる。さらに、レンズ保持部１２２の直径を小さくしつつ、反射面４２３の面積を任意の大きさに形成できる。この結果、レンズホルダ４２０は、例えば小口径レンズを保持できる。同時に、反射面４２３からの反射光の光量を十分に確保できる。
【実施例３】
【００６８】
図９−１は、実施例３に係るレンズホルダ５２０の端部近傍の斜視構成を示す。本実施例のレンズホルダ５２０は、外周側面に中心軸ＡＸＬに沿って切欠き部５２４が形成されている。
【００６９】
図９−２は、レンズホルダ５２０の中心軸ＡＸＬを含む平面の断面構成を示す。被検レンズ１０５は、有効径の外側部分に突起部１０６を有している。そして、突起部１０６は、切欠き部５２４に係合する。これにより、レンズホルダ５２０に被検レンズ１０５を載置したときに、被検レンズ１０５の位置決めを容易に行える。また、被検レンズ１０５のレンズ面が意図的に偏心を有しているときがある。このような偏心レンズは、レンズ面は予め所定量だけ傾き（チルト）を有する。本実施例のように、被検レンズ１０５とレンズホルダ５２０とが容易に位置決めできるとき、位置決めの再現性が高い。高い位置決めの再現性は、上述したような偏心レンズを測定するときに有用である。
【００７０】
（実施例３の第１の変形例）
図１０−１は、実施例３の第１の変形例に係るレンズホルダ６２０の端部近傍の斜視構成を示す。上記実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。本実施例のレンズホルダ６２０は、輪帯状の反射面１２３の一部に突起部６２１が形成されている。
【００７１】
図１０−２は、レンズホルダ６２０の断面構成を示す。被検レンズ１０５は、有効径の外側部分に孔部１０７を有している。そして、突起部６２１は、孔部１０７に係合する。これにより、レンズホルダ６２０に被検レンズ１０５を載置したときに、被検レンズ１０５の位置決めを容易に行える。なお、孔部１０７は、溝形状に形成しておいても良い。
【実施例４】
【００７２】
図１１は、実施例４に係るレンズホルダ７２０の端部近傍の斜視構成を示す。レンズホルダ７２０は、中央に凹部を有する３角柱形状で構成されている。反射面７２３は、中空の３角形形状である。また、図１２に示すように、レンズホルダ８２０を、中央に凹部を有する６角柱形状に形成しても良い。このとき、反射面８２３は、中空の６角形形状である。上記各実施例では、レンズホルダは被検レンズ１０５を吸着保持している。これに対して、本実施例では、レンズホルダが被検レンズ１０５を磁力で保持する点が異なる。
【００７３】
図１３は、レンズホルダ８２０が、被検レンズ１０５を保持しているときの断面構成を示す。レンズホルダ８２０の中央部には凹部８２１が形成されている。凹部８２１の底面には第１の磁石８２４が設けられている。また、可動ステージ１３２はベース部８２５上に設けられている。ベース部８２５には、支柱状のアーム部８２７が設けられている。アーム部８２７の一方の端部には第２の磁石８２８が設けられているアーム部８２７の他方の端部にはアクチュエータ部８２６が設けられている。このように、第１の磁石８２４と第２の磁石８２８とは、被検レンズ１０５を介して対向して配置されている。そして、第１の磁石８２４の磁極と、第２の磁石８２８の磁極とは、両磁石間に引力が発生するように構成されている。
【００７４】
アクチュエータ部８２６は、アーム部８２７を任意の位置、方向へ移動させる。アクチュエータ部８２６は、１ヶ所に限られず、アーム部８２７の複数の位置に設けても良い。これにより、アーム部８２７の移動方向の自由度が大きくなる。アクチュエータ部８２７は、第２の磁石８２８を、被検レンズ１０５の外縁部に近接させる。第１の磁石８２４は、レンズホルダ８２０の凹部８２１に固定されている。この結果、第２の磁石８２８は、第１の磁石８２４の方向へ引かれる。従って、被検レンズ１０５は、第１の磁石８２４と第２の磁石８２８とにより固着される。なお、少なくとも第２の磁石８２８は、レンズ測定部１１０からの照射光の光路の外側の領域に配置することが望ましい。
【００７５】
本実施例では、簡易な構成により被検レンズ１０５をレンズホルダ８２０に保持できる。また、吸引による保持方法を用いていない。このため、レンズホルダ８２０に貫通孔を形成する必要がない。この結果、反射面の面積８２３を大きくとることができる。従って、上述したように、明るい点像に基づいて、レンズホルダ８２０のチルト調整を行うことができる。さらに、第１の磁石８２４と第２の磁石８２８とは、照射光や反射した測定光の光路外であれば任意の位置に設けることができる。磁石を光路外に設けることで被検レンズ１０５の光束が入射する領域（有効径の領域）を接触により損傷することを低減できる。また、レンズホルダ８２０は、上述の形状に限定されず、多角形形状であれば他の構成とすることができる。加えて、吸引による保持ではないため、被検レンズ１０５と、レンズ保持部１２２との間に隙間が生じていても良い。また、図示しないが、レンズホルダ７２０が、被検レンズ１０５を保持する場合においても、上述のレンズホルダ８２０の場合と同様の構成にすればよい。
【００７６】
（実施例４の第１の変形例）
図１４、１５は、本実施例の第１の変形例に係るレンズホルダ９２０、９２５の斜視構成を示す。レンズホルダ９２０、９２５共に、第１の磁石は中央の凹部の底面に設けられる代わりに、端面に形成されている。図１４に示す４角柱形状のレンズホルダ９２０では、対向する２辺近傍に第１の磁石９２１ａ、９２１ｂが設けられている。図１５に示す６角柱形状のレンズホルダ９２５では、反射面１２３と交互に第１の磁石９２６ａ、９２６ｂ、９２６ｃが設けられている。
【００７７】
（実施例４の第２の変形例）
図１６は、本実施例の第２の変形例に係るレンズホルダ８２０が、被検レンズ１０５を保持しているときの断面構成を示す。レンズホルダ１０５の中央部には凹部８２１が形成されている。また、アーム部８２７の一方の端部には錘８２９が設けられている。錘８２９は、付勢部に対応する。錘８２９は、被検レンズ１０５を内側レンズ保持部１２２ａに対して押圧する。これにより、さらに簡易な構成により被検レンズ１０５を保持できる。なお、本実施例及びその変形例において、レンズホルダは円筒形状でも良い。
【実施例５】
【００７８】
図１７は、実施例５に係るレンズホルダ１０２０近傍の断面構成を示す。上記実施例１では、レンズホルダ１２０と可動ステージ１３２とはねじ部１２１、１２６を介して固着されている。これに対して、本実施例では、レンズホルダ１０２０の他方の端部近傍に錐体部１０２１が形成されている。また、可動ステージ１３２には、錐体部１０２１を受けるための受け部１０２２が形成されている。受け部１０２２は、錐体状の凹部である。これにより、ねじによる固着に比較して、さらに正確に中心軸ＡＸＬに沿った方向の位置決めができる。
【００７９】
（実施例５の変形例）
図１８−１は、実施例５の変形例の中心軸ＡＸＬを含む面内の断面構成を示す。また、図１８−２は、中心軸ＡＸＬに直交する面内の断面構成を示す。可動ステージ１３２のうちレンズホルダ１２０を受ける部分が、第１の可動ステージ１３２ｃと第２の可動ステージ１３２ｄとから構成されている。第１の可動ステージ１３２ｃと第２の可動ステージ１３２ｄとは、図１８−２に示すように、半円状の輪帯形状を有している。ねじ部１３８により、第１の可動ステージ１３２ｃと第２の可動ステージ１３２ｄとは固着される。そして、いわゆる抱き締めによりレンズホルダ１２０を固着する。これにより、簡易な構成でレンズホルダ１２０を可動ステージ１３２に固着できる。
【実施例６】
【００８０】
図１９−１は、実施例６に係るレンズホルダ１２０ａの斜視構成を示す。また、図１９−２は、中心軸ＡＸＬに直交する面内の断面構成を示す。本実施例のレンズホルダ１２０ａは、中空の円筒形状のレンズホルダを中心軸ＡＸＬを通る平面で切断した形状である。レンズホルダ１２０ｂも同様の形状を有している。そして、図１９−２に示すように、レンズホルダ１２０ａとレンズホルダ１２０ｂとは、ねじ部１２５ａ、ねじ部１２５ｂとで固着される。これにより、一体のレンズホルダを構成する。
【００８１】
上記実施例１では、貫通孔１２４を形成するために、円柱状の部材の中央部分をくり抜いて切削する必要がある。これに比較して、本実施例では、簡便に貫通孔１２４を形成できる。
【００８２】
（実施例６の変形例）
図２０は、実施例６の変形例に係るレンズホルダの斜視構成を示す。レンズホルダ１２０ｃとレンズホルダ１２０ｄとは、上記実施例１で説明したレンズホルダを中心軸ＡＸＬに直交する平面で切断した形状を有する。これにより、個々のレンズホルダ１２０ｃ、１２０ｄに形成する貫通孔１２４の長さを、一体のレンズホルダ１２０の貫通孔１２４に比較して半分にできる。この結果、上記実施例１と比較して、簡便に貫通孔１２４を形成できる。
【実施例７】
【００８３】
図２１−１は、実施例７に係るレンズホルダ１１２０の斜視構成を示す。また、図２１−２は、中心軸ＡＸＬを含む面内の断面構成を示す。本実施例のレンズホルダ１１２０は、輪帯状の反射面１２３が曲面、例えば円弧状の凸面で形成されている。曲面状の反射面１２３の面頂部は、中心軸ＡＸＬに略直交する面上に存在するように構成されている。反射面１２３の面頂部近傍に標識ライン１２３Ｌが形成されている。標識ライン１２３Ｌは、レンズホルダ１１２０を構成する材質の色と異なる色で形成する。これにより、標識ライン１２３Ｌを容易に認識できる。標識ライン１２３Ｌは、後述するレンズ偏心測定手順において用いる。
【実施例８】
【００８４】
図２２−１は、実施例８に係るレンズホルダ調整方法を説明する図である。上記実施例１では、レンズ測定部１１０を用いてレンズホルダ１２０のチルト調整を行っている。本実施例では、非接触式変位測定器１２１０を用いてチルト調整を行う。レンズホルダ１２０がチルトしているとき、レンズホルダ１２０が回転軸ＡＸの周りに回転している状態で、反射面１２３と非接触式変位測定器１２１０との距離間隔が正弦波状に変化する。従って、レンズホルダ１２０を回転させながら、非接触式変位測定器１２１０の出力結果のＰＶ値が小さくなるように、好ましくは出力値が略一定となるように、チルト調整用可動ステージ１３２ａを調整する。これにより、レンズホルダ１２０のチルト調整を行うことができる。このため、反射面１２３に非接触で調整可能である。従って、反射面１２３の傷等の損傷、磨耗を低減できる。
【００８５】
また、図２２−２に示すように、接触式変位測定器１１１０を反射面１２３に接触させて、チルト調整を行うこともできる。接触式変位測定器１１１０として、例えばピックテスターを用いることができる。接触子をレンズホルダ１２０の端面に接触させるだけで良い。従って、チルト調整のセッティングが容易である。
【実施例９】
【００８６】
図２３−１、２３−２、２３−３は、実施例９に係るレンズホルダ調整方法を説明する図である。本実施例では、非接触式変位測定器１３１０を用いてチルト調整とシフト調整とを行う。非接触式変位測定器１３１０は、２つの機能を兼用している。第１の機能は、反射面１２３との距離、変位量を測定する距離計としての機能である。第２の機能は、測定点を観察できる撮像部（イメージャ）としての機能である。
【００８７】
まず、チルト調整について説明する。図２３−１は、チルト調整時の構成を示す。チルト測定時は、非接触式変位測定器１３１０の距離計としての機能を用いる。上記実施例８と同様に、レンズホルダ１２０を回転させながら、非接触式変位測定器１３１０からの出力の変位量が最小となるようにチルト調整用可動ステージ１３２ａを調整する。
【００８８】
また、非接触式変位測定器１３１０の撮像部としての機能を用いてチルト調整することもできる。非接触式変位測定器１３１０は、光軸方向に移動可能なオートフォーカス機構を備えている。このとき、光源１１１は、測定者が容易に認識できる波長領域の光を供給することが望ましい。また、確実に結像（フォーカシング）させるために、実施例７で述べたような標識ライン１２３Ｌを備えるレンズホルダ１１２０を用いることが好ましい。
【００８９】
レンズホルダ１１２０の反射面、特に標識ライン１２３Ｌが結像するようにセッティングする。次に、レンズホルダ１１２０を回転させる。レンズホルダ１１２０にチルトがあると、標識ライン１２３Ｌが、非接触式変位測定器１３１０に対して、近接離間するように動く。ここで、標識ライン１２３Ｌが均一に結像されるように、オートフォーカス機能がはたらく。例えば、非接触式変位測定器１３１０が、標識ライン１２３Ｌの移動量に応じて光軸方向に移動する。従って、測定者は、非接触式変位測定器１３１０の光軸方向への移動量が最小となるように、好ましくは略０となるように、チルト調整用可動ステージ１３２ａを調整する。これにより、反射面が平面でないときでも、チルト調整ができる。なお、非接触式変位測定器１３１０の位置を固定し、オートフォーカス機能をＯＦＦとする構成でも良い。このときは、回転の際、チルトに応じて標識ライン１２３Ｌがぼけてしまう。従って、測定者は、標識ライン１２３Ｌがぼけることなく均一に結像するように、チルト調整用可動ステージ１３２ａを調整する。
【００９０】
次に、シフト調整時には、非接触式変位測定器１３１０の撮像部としての機能を用いる。図２３−２、２３−３にそれぞれ示すように、レンズホルダ１２０を回転させながら、非接触式変位測定器１３１０により、レンズホルダ１２０の端面のエッジ部分、例えば内側レンズ保持部１２２ａ、外側レンズ保持部１２２ｂの像を表示部１５３により観察する。レンズホルダ１２０がシフトしているとき、エッジ部分の画像は回転軸ＡＸに直交する面内で振れる。エッジ部分の振れ量が小さくなるように、シフト調整用可動ステージ１３２ｂを調整する。これにより、レンズホルダ１２０のシフト調整ができる。これにより、ボールレンズ１６０を用いることなしにシフト調整できる。また、被検レンズ１０５が凹レンズのみのとき、レンズホルダ１２０に貫通孔または凹部を設ける必要がない。
【００９１】
本実施例では、上述したように、シフト調整とチルト調整とを一つの非接触式変位測定器１３１０で行うことができる。また、レンズホルダの外径のエッジ部分に対する中心軸ＡＸと回転軸ＡＸＬとを容易に一致させることができる。
【００９２】
以上説明したような種々の構成のレンズホルダと、レンズ測定装置と、レンズ調整方法とを適宜組み合わせて用いることができる。このように、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形例をとることができる。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
以上のように、本発明のレンズホルダは、偏心測定する際に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】実施例１に係るレンズ測定器の概略構成を示す図である。
【図２】実施例１のレンズホルダ近傍の概略構成を示す図である。
【図３】実施例１のレンズホルダ近傍の概略構成を示す他の図である。
【図４】実施例１のレンズホルダの概略構成を示す図である。
【図５−１】実施例１におけるレンズホルダ調整方法を説明する図である。
【図５−２】実施例１におけるレンズホルダ調整方法を説明する他の図である。
【図５−３】実施例１における被検レンズの測定方法を説明するさらに他の図である。
【図６】実施例２に係るレンズホルダの概略構成を示す図である。
【図７】実施例２の第１の変形例のレンズホルダの概略構成を示す図である。
【図８】実施例２の第２の変形例のレンズホルダの概略構成を示す図である。
【図９−１】実施例３のレンズホルダの斜視構成を示す他の図である。
【図９−２】実施例３のレンズホルダの断面構成を示す他の図である。
【図１０−１】実施例３の第１の変形例のレンズホルダの斜視構成を示す他の図である。
【図１０−２】実施例３の第１の変形例のレンズホルダの断面構成を示す他の図である。
【図１１】実施例４のレンズホルダの概略構成を示す図である。
【図１２】実施例４の他のレンズホルダの概略構成を示す図である。
【図１３】実施例４のレンズホルダを固着する概略構成を示す図である。
【図１４】実施例４の変形例のレンズホルダの概略構成を示す図である。
【図１５】実施例４の他の変形例のレンズホルダの概略構成を示す図である。
【図１６】実施例４の変形例のレンズホルダを固着する概略構成を示す図である。
【図１７】実施例５のレンズホルダを固着する概略構成を示す図である。
【図１８−１】実施例５の変形例のレンズホルダを固着する中心軸を含む断面構成を示す図である。
【図１８−２】実施例５の変形例のレンズホルダを固着する中心軸に直交する断面構成を示す図である。
【図１９−１】実施例６のレンズホルダの斜視構成を示す図である。
【図１９−２】実施例６のレンズホルダの中心軸に直交する断面構成を示す図である。
【図２０】実施例６の変形例のレンズホルダの斜視構成を示す図である。
【図２１−１】実施例７のレンズホルダの斜視構成を示す図である。
【図２１−２】実施例７のレンズホルダの断面構成を示す図である。
【図２２−１】実施例８におけるレンズホルダ調整方法を説明する図である。
【図２２−２】実施例８の他のレンズホルダ調整方法を説明する図である。
【図２３−１】実施例９のレンズホルダ調整方法を説明する図である。
【図２３−２】実施例９のレンズホルダ調整方法を説明する他の図である。
【図２３−３】実施例９のレンズホルダ調整方法を説明するさらに他の図である。
【符号の説明】
【００９５】
１００  レンズ測定装置
１０５  被検レンズ
１０５ａ  第１面
１０５ｂ  第２面
１０６  突起部
１０７  孔部
１１０  レンズ測定部
１１１  光源
１１２  コリメータレンズ
１１３  偏光ビームスプリッタ
１１４  １／４波長板
１１５  対物光学系
１１６、１１７  レンズ系
１１８  光位置検出素子
１２０  レンズホルダ
１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ  レンズホルダ
１２１  ねじ部
１２２  レンズ保持部
１２２ａ  内側レンズ保持部
１２２ｂ  外側レンズ保持部
１２３  反射面
１２４  貫通孔
１２５ａ、１２５ｂ  ねじ部
１２６  ねじ部
１３０  位置調整部
１３１  シフト調整用摘み
１３２  可動ステージ
１３２ａ  チルト調整用可動ステージ
１３２ｂ  シフト調整用可動ステージ
１３２ｃ  第１の可動ステージ
１３２ｄ  第２の可動ステージ
１３３  圧縮ばね
１３４  チルト調整用摘み
１３５  圧縮ばね
１３６  ボールジョイント
１３７  あおり板
１３８  ねじ部
１４０  回転駆動部
１４１、１４２  吸引孔
１５０  演算・制御部
１５１  回転用モータ
１５２  吸引部
１５３  表示部
１６０  ボールレンズ
２２０  レンズホルダ
２２２  レンズ支持部
２２２ａ  内側レンズ支持部
２２２ｂ  外側レンズ支持部
２２３  反射面
３２０  レンズホルダ
３２２  レンズ支持部
３２２ａ  内側レンズ支持部
３２２ｂ  外側レンズ支持部
３２３  反射面
４２０  レンズホルダ
４２３  反射面
５２０  レンズホルダ
５２４  切欠き部
６２０  レンズホルダ
６２１  突起部
７２０  レンズホルダ
７２３  反射面
８２０  レンズホルダ
８２１  凹部
８２３  反射面
８２４  第１の磁石
８２５  ベース部
８２６  アクチュエータ部
８２７  アーム部
８２８  第２の磁石
８２９  錘
９２０  レンズホルダ
９２１ａ、９２１ｂ  磁石
９２５  レンズホルダ
９２６ａ、９２６ｂ、９２６ｃ  磁石
１０２０  レンズホルダ
１０２１  錐体部
１０２２  受け部
１１２０  レンズホルダ
１２３Ｌ  標識ライン
１１１０  接触式変位測定器
１２１０  非接触式変位測定器
１３１０  非接触式変位測定器
ＡＸＬ  中心軸
ＡＸ  回転軸
Ｌ１  平行光
Ｌ２、Ｌ３  集光光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５−１】
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【図５−２】
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【図５−３】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９−１】
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【図９−２】
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【図１０−１】
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【図１０−２】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８−１】
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【図１８−２】
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【図１９−１】
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【図１９−２】
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【図２０】
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【図２１−１】
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【図２１−２】
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【図２２−１】
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【図２２−２】
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【図２３−１】
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【図２３−２】
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【図２３−３】
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