(57)【要約】【課題】  ガラス基板に、ワイプ材でガラス基板上の異物を拭き取った後から偏光板を貼り付ける直前まで、ゴミなどの異物が付着していない状態で偏光板を貼り付けることができる、電気光学装置の製造装置、その製造装置を用いた製造方法を提供する。【解決手段】  洗浄貼付装置３１は、外気と略閉鎖されたハウジング内に、液晶基板１ａを洗浄する洗浄部３３と、洗浄後の液晶基板１ａを乾燥させる乾燥部３４と、乾燥させた液晶基板１ａに偏光板１６，１７を貼り付ける貼付部３５とを有する。偏光板１６，１７の貼付作業の直前で液晶基板１ａを洗浄、乾燥し、その後、作業者の手を介さずに偏光板１６，１７の貼付作業を貼付部３５が行うことで、液晶基板１ａと外気中に浮遊する異物との接触を防止する。【選択図】      図２
2006091050.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外気と略閉鎖された室を形成するハウジングと、
異物を削り取った電気光学装置を前記ハウジングの中に搬入する搬入部と、
前記搬入部から搬入した前記電気光学装置を洗浄する洗浄部と、
前記洗浄部で濡れた前記電気光学装置を乾燥させる乾燥部と、
前記乾燥部で乾燥された前記電気光学装置に偏光板を貼り付ける貼付部と、
前記偏光板が貼られた前記電気光学装置をハウジングの外に搬出する搬出部と、
前記ハウジング内に搬入された前記電気光学装置を、前記洗浄部、前記乾燥部、前記貼付部の順に搬送する搬送部と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置の製造装置であって、
前記乾燥部は、前記洗浄後の前記電気光学装置に付着した水滴をおとす水切機構を有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造装置であって、
前記電気光学装置は、液晶表示装置であることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置を用いた製造方法であって、
異物が削り取られた電気光学装置を、搬入部がハウジングの中に搬入する搬入工程と、
前記搬入部から搬入された前記電気光学装置を、洗浄部が洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄部から搬送された前記電気光学装置を、乾燥部が乾燥させる乾燥工程と、
前記乾燥部から搬送された前記電気光学装置に、貼付部が偏光板を貼り付ける貼付工程と、
前記貼付部から搬送された前記電気光学装置を、搬出部が前記ハウジングの外に搬出させる搬出工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記搬入工程の前に、前記電気光学装置の表裏二面のうち少なくとも一方の面の異物を削り取る削取工程を更に有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の電気光学装置の製造方法であって、
前記乾燥工程は、前記洗浄後の前記電気光学装置に付着した水滴をおとす水切工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の製造装置、および、その製造装置を用いた製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学表示装置では液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）という）が現在主流になっている。ＬＣＤに用いられる偏光板は、通常フィルム状のもので、例えばＬＣＤのガラス基板に貼り付けて用いられるが、その際、偏光板とガラス基板との間に異物が介在すると、偏光の乱れによる光漏れの発生、あるいは異物による光の遮蔽などによって、表示品位が大きく損なわれる。偏光板のガラス基板の表面への接着は、通常予め片面に粘着剤を塗布された偏光板を、接合されたガラス基板の表面に貼り付ける方法によって行われている。
【０００３】
従来、ＬＣＤのガラス基板の表面に付着した異物を除去するために、金属片をガラス基板に接触させて削る装置が開示されている（例えば、特許文献１）。そのあと、例えば、図４に示すように、ガラス基板１０１上に残った異物１０２を、溶剤を付着させた布（以下、ワイプ材という）１０３で拭き取ることにより、残った異物１０２の除去を行っている。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２４８３７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、異物１０２を拭き取るとき、ワイプ材１０３から繊維１０４が離れ、この繊維１０４が再びガラス基板１０１に付着してしまっていた。また、作業者の皮膚などの異物が、ワイプ材で異物を拭き取った後にガラス基板１０１に付着してしまうことがあった。その後、ガラス基板１０１に繊維１０４などの異物が付着したまま、偏光板（図示せず）を貼り合わせることにより、外観不良が発生してしまっていた。外観不良が発生すると、異物を除去するために、ガラス基板１０１から偏光板を剥がして異物を除去し、その後、再度ガラス基板１０１に偏光板を貼り付けるなどの修正に手間がかかるという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような従来の技術の有する未解決な課題に着目してなされたものであって、ガラス基板に、ワイプ材でガラス基板上の異物を拭き取った後から偏光板を貼り付ける直前まで、ゴミなどの異物が付着していない状態で偏光板を貼り付けることができる、電気光学装置の製造装置、その製造装置を用いた製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、外気と略閉鎖された室を形成するハウジングと、異物を削り取った電気光学装置を前記ハウジングの中に搬入する搬入部と、前記搬入部から搬入した前記電気光学装置を洗浄する洗浄部と、前記洗浄部で濡れた前記電気光学装置を乾燥させる乾燥部と、前記乾燥部で乾燥された前記電気光学装置に偏光板を貼り付ける貼付部と、前記偏光板が貼られた前記電気光学装置をハウジングの外に搬出する搬出部と、前記ハウジング内に搬入された前記電気光学装置を、前記洗浄部、前記乾燥部、前記貼付部の順に搬送する搬送部とを有する。
【０００８】
この構成によれば、電気光学装置の製造装置は、ハウジングの中で、洗浄部によって電気光学装置を洗浄し、乾燥部によって濡れた電気光学装置を乾燥し、貼付部によって電気光学装置に偏光板を貼り付け、さらに搬送部によって電気光学装置の順次搬送が、ゴミなどの異物が浮遊する外気と略接触しない状態で行うことが可能になる。これにより、電気光学装置にゴミなどの異物が付着していない状態で偏光板を貼り付けることができる。その結果、例えば、異物による外観不良の不良率を抑えることができるとともに、異物除去のための電気光学装置からの偏光板の剥離および貼り付けなどの修正頻度を抑制することができる。
【０００９】
本発明に係る電気光学装置の製造装置では、前記乾燥部は、前記洗浄後の前記電気光学装置に付着した水滴をおとす水切機構を有することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、水切機構によって、電気光学装置に付着した水滴を、水切機構がない状態に比べ多く取り除くことが可能なる。よって、乾燥部で電気光学装置を乾燥させるときに、より早く電気光学装置を乾燥させることができる。よって、次工程でより早く作業を開始することが可能になる。
【００１１】
本発明に係る電気光学装置の製造装置では、前記電気光学装置は、液晶表示装置である。
【００１２】
この構成によれば、電気光学装置と偏光板との間に異物が挟み込まれる頻度の少ない液晶表示装置を提供することが可能になる。
【００１３】
上記問題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置を用いた製造方法は、異物が削り取られた電気光学装置を、搬入部がハウジングの中に搬入する搬入工程と、前記搬入部から搬入された前記電気光学装置を、洗浄部が洗浄する洗浄工程と、前記洗浄部から搬送された前記電気光学装置を、乾燥部が乾燥させる乾燥工程と、前記乾燥部から搬送された前記電気光学装置に、貼付部が偏光板を貼り付ける貼付工程と、前記貼付部から搬送された前記電気光学装置を、搬出部が前記ハウジングの外に搬出させる搬出工程とを有する。
【００１４】
この構成によれば、外気と略閉鎖されたハウジングの中で、洗浄工程によって電気光学装置を洗浄し、乾燥工程によって濡れた電気光学装置を乾燥し、貼付工程によって電気光学装置に偏光板を貼り付けるので、外気中に浮遊するゴミなどの異物との接触を防止することが可能となる。これにより、電気光学装置にゴミなどの異物が付着していない状態で偏光板を貼り付けることができる。その結果、例えば、異物による外観不良の不良率を抑えることができるとともに、異物除去のための電気光学装置からの偏光板の剥離および貼り付けなどの修正頻度を抑制することができる。
【００１５】
本発明に係る電気光学装置の製造方法では、前記搬入工程の前に、前記電気光学装置の表裏二面のうち少なくとも一方の面の異物を削り取る削取工程を更に有することが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、搬入工程の前に、削取工程によって電気光学装置に付着した異物を削り取るので、洗浄工程において異物の除去をしやすくすることが可能になる。よって、貼付工程において、電気光学装置に偏光板を貼り付けるとき、電気光学装置に異物の付着が低減された状態で行うことができる。
【００１７】
本発明に係る電気光学装置の製造方法では、前記乾燥工程は、前記洗浄後の前記電気光学装置に付着した水滴をおとす水切工程を有することが望ましい。
【００１８】
この構成によれば、水切工程によって、洗浄時に電気光学装置に付着した水滴を、水切工程がないときに比べてより多く除去することが可能なる。よって、乾燥工程で電気光学装置を乾燥させるときに、より早く電気光学装置を乾燥させることができる。よって、次工程でより早く作業を開始することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る電気光学装置の製造装置の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２０】
図１は、本実施形態の電気光学装置を模式的に示す分解斜視図である。以下、本実施形態の電気光学装置について、図１を参照しながら説明する。なお、図１に示した電気光学装置としての液晶表示装置１は、例えば、ＣＯＧ（Chip On Glass）方式である。液晶表示装置１としては、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）アクティブマトリクス型、パッシブマトリクス型、ＴＦＤ（Thin Film Diode：薄膜ダイオード）アクティブマトリクス型の液晶表示装置などのいずれであってもよい。
【００２１】
図１に示すように、液晶表示装置１は、ガラス、石英あるいはプラスチックなどで形成された一対の基板である第１基板１１と第２基板１２とが、シール材１３を挟み所定の間隔を隔てて接着固定されている。
シール材１３には、液晶（図示せず）を注入する液晶注入口１３ａが形成されている。この液晶注入口１３ａは、紫外線硬化樹脂からなる封止材１３ｂで封止されている。
第１基板１１と第２基板１２には、互いに直交する方向に駆動用の第１配線１４と第２配線１５とが、透明なＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜などによってストライプ状に形成されている。第１基板１１と第２基板１２とは、シール材１３を介して、電気的に導通可能な状態になっている。第１配線１４と第２配線１５とは、液晶表示装置１を反射型や半透過反射型とする場合、アルミニウム等の反射性金属膜によって一方の電極を形成してもよい。また、第１配線１４と第２配線１５との交差部分には、画素（図示せず）が形成されている。
【００２２】
第１基板１１は、第２基板１２の外周縁から張り出した領域（以下、「張出し領域」という）１８を有する。張出し領域１８の面上には、出力端子群１９と、入力端子群２０とが形成されている。出力端子群１９には、第１配線１４、第２配線１５がそれぞれ延在して接続される。出力端子群１９と入力端子群２０とは、ＩＣ実装領域２１に実装される駆動用ＩＣ２２を介して、電気的に導通可能な状態に接続される。入力端子群２０は、例えば、フレキシブル基板２３を介して、回路基板等の外部電極（図示せず）に接続される。
【００２３】
第１基板１１および第２基板１２の各外側表面には、それぞれ第１偏光板１６、第２偏光板１７が貼られている。第１基板１１と第１偏光板１６、および、第２基板１２と第２偏光板１７との間に、ゴミなどの異物が挟まると、画素の欠陥（例えば、点欠陥）が発生する。
【００２４】
図２は、液晶表示装置の製造装置の構成を模式的に示す概略断面図である。以下、製造装置である洗浄貼付装置の構成を、図２を参照しながら説明する。なお、本実施形態では、液晶表示装置１に第１偏光板１６、第２偏光板１７、駆動用ＩＣ２２、フレキシブル基板２３が装着されていない状態を液晶基板１ａという（図１参照）。
図２に示すように、洗浄貼付装置３１は、搬入部３２と、洗浄部３３と、乾燥部３４と、貼付部３５と、搬出部３６とを有する。洗浄部３３から貼付部３５までは、作業者が介在しない、外気と略閉鎖されたクローズユニット（以下、ハウジング８８という）となっている。なお、搬入部３２および搬出部３６から、ハウジング内に外気が流入しない構成になっている。
【００２５】
搬入部３２は、搬入ベルト４１と、第１モータ４２とを有し、液晶基板１ａを洗浄貼付装置３１に搬入する。搬入ベルト４１には、一対のプーリ４３と、一対のプーリ４３に掛けられたベルト４４とを有し、一対のプーリ４３のうち１個のプーリ４３ａが第１モータ４２に接続されている。この接続されたプーリ４３ａは、第１モータ４２によって回転駆動され、この第１モータ４２の回転力によってベルト４４が回転される。
搬送する液晶基板１ａは、液晶基板１ａ上に付着した異物をカッタ４５で削った状態のものである。カッタ４５で削る作業は、作業者がハンドワークで行ってもよいし、機械で行ってもよい。カッタ４５で削ったあとの液晶基板１ａには、微少な異物がわずかな粘着力によって付着している。
【００２６】
洗浄部３３は、洗浄槽４６と、清浄ユニット４７と、第２〜第４モータ４８〜５０とを有する。洗浄槽４６は、洗浄水５１と、搬送部を構成する第１〜第３搬送ベルト５２〜５４とを有する。洗浄水５１は、例えば、純水である。第１〜第３搬送ベルト５２〜５４には、それぞれ一対のプーリ５５〜５７と、一対のプーリに掛けられたベルト５８〜６０とを有し、一対のプーリのうち１個のプーリ５５ａ，５６ａ，５７ａがそれぞれ第２モータ４８、第３モータ４９、第４モータ５０に接続されている。プーリ５５ａ〜５７ａは、それぞれのモータ４８〜５０によって回転駆動され、それぞれのモータ４８〜５０の回転力によってベルト５８〜６０が回転される。この第１〜第３搬送ベルト５２〜５４によって、洗浄槽４６の中に貯められた洗浄水５１の中で、液晶基板１ａの搬送が行われる。
【００２７】
清浄ユニット４７は、パイプ６１と、フィルタ６２と、ポンプ６３とを有する。フィルタ６２は、パイプ６１を介して流れてきた、洗浄槽４６内の洗浄水５１に含まれる異物を取り除いている。ポンプ６３は、フィルタ６２によって異物が除去された浄化後の洗浄水５１を、パイプ６１を介して洗浄槽４６内に送り出している。よって、洗浄槽４６内の洗浄水５１は、液晶基板１ａの搬送方向６４と逆の方向６５に流れるようになっている。これにより、液晶基板１ａは、常にきれいな洗浄水５１と接触することが可能になっている。
【００２８】
乾燥部３４は、水切機構である水切ユニット７１と、乾燥ユニット７２とを有する。水切ユニット７１は、搬送部を構成する水切ローラ群９５と、第５モータ７３とを有し、洗浄後の液晶基板１ａに付着した水滴を取り除いている。水切ローラ群９５は、例えば、上下に配置される一対の水切ローラ９５ａが３組並んで構成されており、それぞれが第５モータ７３に接続されている。３組の水切ローラ９５は、第５モータ７３によって回転駆動され、第５モータ７３の回転力によって、それぞれが搬送方向に向かって回転される。一対の水切ローラ９５ａは、例えば、ゴムなどの弾性部材で構成されており、お互いのローラ間に、洗浄後の液晶基板１ａを挟み込んで搬送するようになっている。もちろん、液晶基板１ａを挟み込まず、液晶基板１ａの上面側を非接触で搬送するようにしてもよい。
【００２９】
乾燥ユニット７２は、搬送部を構成する搬送ローラ群７４と、複数のエアーノズル７５と、第１バルブ７６と、第２バルブ７７と、第１エアー供給装置７８と、第２エアー供給装置７９と、エアーチューブ８０とを有する。
搬送ローラ群７４は、水切ユニット７１から貼付部３５との間に、液晶基板１ａを搬送することが可能な間隔に、それぞれのローラが配置されている。この搬送ローラ群７４によって、水切り後の液晶基板１ａを、水切ユニット７１から貼付部３５に搬送している。
複数のエアーノズル７５は、搬送ローラ群７４の上下方向（搬送される液晶基板の上下方向）に、それぞれ複数配置されている。搬送ローラ群７４の上方向に配置されたエアーノズル７５は、それぞれエアーチューブ８０を介して、第１バルブ７６と接続されている。第１バルブ７６は、エアーを供給する第１エアー供給装置７８に接続されている。搬送ローラ群７４の下方向に配置されているエアーノズル７５は、それぞれエアーチューブ８０を介して、第２バルブ７７と接続されている。第２バルブ７７は、エアーを供給する第２エアー供給装置７９に接続されている。第１、第２エアー供給装置７８，７９から供給されたエアーは、第１、第２バルブ７６，７７によって流量が調節されて、複数のエアーノズル７５から噴出される。このエアーは、例えば、温風であってもよい。水切ユニット７１によっておおよそ水切りされた液晶基板１ａを、乾燥ユニット７２の中に搬送することにより、液晶基板１ａに付着した水滴を乾燥させることが可能になっている。
【００３０】
貼付部３５は、第１貼付ユニット８１と、反転ユニット８２と、第２貼付ユニット８３と、搬送部を構成するピックアップアンドプレースユニット（図示せず）とを有する。
第１貼付ユニット８１は、第１貼付ローラ８４と、第１貼付ステージ８５とを有する。第１貼付ステージ８５には、乾燥部３４によって乾燥された液晶基板１ａが固定される。固定された液晶基板１ａには、第１偏光板供給装置（図示せず）から第１偏光板１６が供給される。供給された第１偏光板１６は、偏光板１６を斜めの姿勢で貼るためのガイド部材（図示せず）と、第１貼付ローラ８４とによって、液晶基板１ａのうち第１基板１１の上面に貼着される。
【００３１】
反転ユニット８２は、液晶基板１ａの上下を反転させる反転部と、液晶基板１ａを固定する固定部（いずれも図示せず）とを有する。この反転ユニット８２の回転機構により、液晶基板１ａの回転が行われ、次工程の第２貼付ユニット８３への搬送後は、第２基板１２が液晶基板１ａの上面になるように配置される。つまり、第１貼付ユニット８１で貼られた第１偏光板１６が下面になるように配置される。
【００３２】
第２貼付ユニット８３は、第２貼付ステージ８６と、第２貼付ローラ８７とを有する。第２貼付ステージ８６には、反転ユニット８２によって、第２基板１２が上面になった状態の液晶基板１ａが固定されている。固定された液晶基板１ａには、第２偏光板供給装置（図示せず）から第２偏光板１７が供給される。供給された第２偏光板１７は、ガイド部材（図示せず）と、第２貼付ローラ８７によって、第２基板１２の上面に貼着される。これにより、液晶基板１ａの第１基板１１および第２基板１２側には、それぞれ偏光板１６，１７が貼着され、外気と略閉鎖された洗浄貼付装置３１のハウジング８８での製造工程が終了する。
また、液晶基板１ａに偏光板を貼り付ける順序は、上記した順序に限らず、最初に第２基板１２が上面にくるように搬送してもよい。詳しくは、第２基板１２に第２偏光板１７を貼り付けたあと、反転ユニット８２によって液晶基板１ａを反転し、そのあと、第１基板１１に第１偏光板１６を貼り付ける。
【００３３】
なお、ハウジング８８内は、内部に備えられたノズルから常時一定量のエアーが噴射されており、内部が外部に対して気圧が高くなるように調整されている。また、ノズルでなく、専用の気圧調整機構によって調整されていてもよい。これにより、ハウジング８８内に、外気中に浮遊するゴミなどの異物が入り込むことを抑制できる。
【００３４】
ピックアップアンドプレースユニットは、液晶基板１ａを挟むピックアップ部と、液晶基板１ａを所定の位置に移動させる移動部と、液晶基板１ａを所定の場所に載置するプレース部（いずれも図示せず）とを有する。ピックアップアンドプレースユニットによって、乾燥ユニット７２から搬送された液晶基板１ａを、第１貼付ユニット８１、反転ユニット８２、第２貼付ユニット８３の順に搬送し、搬出部３６に受け渡すことが可能になっている。
【００３５】
搬出部３６は、搬出ベルト８９と、第６モータ９０とを有し、液晶基板１ａのクローズされたハウジング８８からの搬出が行われる。搬出ベルト８９には、一対のプーリ９１と、一対のプーリ９１に掛けられたベルト９２とを有し、一対のプーリ９１のうち１個のプーリ９１ａが第６モータ９０に接続されている。この接続されたプーリ９１ａは、第６モータ９０によって回転駆動され、この第６モータ９０の回転力によってベルト９２が矢印方向に回転される。
【００３６】
図３は、液晶表示装置の製造方法を模式的に示す工程図である。以下、液晶表示装置の製造方法を、図３を参照しながら説明する。図３に示すように、まず、液晶基板１ａの洗浄貼付処理を開始する。
【００３７】
ステップＳ１１では、液晶基板１ａに付着した異物を削る。異物は、例えば、人間の皮膚や被服の繊維などの不純物である。この異物が第１、第２偏光板１６，１７を貼り付ける液晶基板１ａ上の面に固着した状態になっている。この異物を、例えば、ハンドワークによって、カッタ４５などの金属片で削る（図２参照）。
【００３８】
ステップＳ１２では、液晶基板１ａを、洗浄貼付装置３１の搬入ベルト４１に投入する（図２に示す搬入部３２によって行われる）。まず、付着した異物を削った状態の液晶基板１ａを、洗浄貼付装置３１の搬入ベルト４１上に載置する。このときの液晶基板１ａは、例えば、第１基板１１が上面に配置されるように搬入ベルト４１上に載置する。液晶基板１ａは、搬入ベルト４１に接続された第１モータ４２の駆動により、洗浄部３３に搬送される。
【００３９】
ステップＳ１３では、液晶基板１ａを洗浄する（図２に示す洗浄部３３によって行われる）。なお、このステップＳ１３から行われる洗浄工程より、作業者が介在しない略閉鎖された装置（ハウジング）内での処理になる。まず、液晶基板１ａを、第１搬送ベルト５２によって洗浄槽４６の中の洗浄水５１の中に投入する。次に、液晶基板１ａを、清浄ユニット４７のポンプ６３によって液晶基板１ａの搬送方向６４と逆らうように流れる洗浄水５１の中を、第２、第３搬送ベルト５３，５４により搬送させる。この流水状態の洗浄水５１により、液晶基板１ａ上に付着した異物が剥離されるようになっている。これにより、剥離した異物は、洗浄水５１の中に混入する。混入した洗浄水５１は、清浄ユニット４７のフィルタ６２を通すことにより、異物だけを洗浄水５１から取り除くことが可能になっている。
【００４０】
ステップＳ１４では、洗浄部３３で洗浄した液晶基板１ａの水切りを行う（図２に示す乾燥部３４によって行われる）。まず、第３搬送ベルト５４によって搬送された液晶基板１ａを、水切ユニット７１の水切ローラ群９５に投入する。液晶基板１ａは、一対の水切ローラ９５ａに挟まれることにより、洗浄時に付着した水滴を水切ローラ群９５のローラ側に転写することが可能になっている。さらに、２組の水切ローラ９５ａによって、液晶基板１ａに付着した水滴を取り除いている。これにより、液晶基板１ａには、わずかな水滴が付着した状態となっている。
【００４１】
ステップＳ１５では、液晶基板１ａを乾燥させる（図２に示す乾燥部３４によって行われる）。まず、水切り後の液晶基板１ａを、水切ローラ群９５から搬送ローラ群７４に搬送する。液晶基板１ａは、搬送ローラ群７４の回転により、矢印方向への進行を開始する。次に、乾燥ユニット７２内の第１、第２エアー供給装置７８，７９によって発生させたエアーを、第１、第２バルブ７６，７７によって流量調節し、エアーチューブ８０を介して複数のエアーノズル７５に送り込む。次に、エアーノズル７５から噴射されたエアーを液晶基板１ａに当てる。液晶基板１ａに付着したわずかな水滴は、上下方向に備えられたエアーノズル７５から噴射されるエアーの中を液晶基板１ａが進行することによって、蒸発して乾燥する。エアーは、例えば、温風である。
【００４２】
ステップＳ１６では、液晶基板１ａの表面に第１偏光板１６を貼り付ける（図２に示す貼付部３５によって行われる）。まず、乾燥ユニット７２によって乾燥された液晶基板１ａを、ピックアンドプレースユニット（図示せず）によって、貼付部３５の第１貼付ステージ８５上の所定位置に載置して固定する。次に、第１偏光板供給装置（図示せず）から第１偏光板１６を液晶基板１ａ上に供給し、ガイド部材（図示せず）と第１貼付ローラによって、第１偏光板１６を第１基板１１上に貼り付ける。具体的には、ガイド部材によって偏光板を斜めの姿勢に保持し、第１貼付ローラによって一端から他端に順に貼り付けている。このとき、液晶基板１ａの洗浄後に、作業者の手を介さず、閉鎖された装置内で貼付作業を行うので、外気中に浮遊するゴミなどの異物が第１基板１１に接触することなく、第１偏光板１６の貼付作業を行うことができる。
【００４３】
ステップＳ１７では、液晶基板１ａの上下を反転させる（図２に示す貼付部３５によって行われる）。まず、第１偏光板１６の貼付作業が終わった液晶基板１ａを、ピックアップアンドプレースユニットによって、反転ユニット８２の固定部に固定する。次に、反転ユニット８２の反転部によって、上下を反転させる。次に、ピックアップアンドプレースユニットによって、反転した液晶基板１ａを、第２貼付ステージ８６上の所定位置に載置して固定する。このとき、液晶基板１ａは、第２基板が上面にくるように載置する。
【００４４】
ステップＳ１８では、第２基板１２の表面に第２偏光板１７を貼り付ける（図２に示す貼付部３５によって行われる）。まず、第２偏光板供給装置（図示せず）から第２貼付ステージ８６上に固定された液晶基板１ａ上に、第２偏光板１７を供給する。次に、ガイド部材と第２貼付ローラ８７とによって、第２偏光板１７を第２基板１２に貼り付ける。このとき、第１偏光板１６の貼付作業と同様に、液晶基板１ａの洗浄後、作業者の手を介さず、閉鎖された装置内で貼付作業を行うので、外気中に浮遊するゴミなどの異物が第２基板１２と接触することなく、第２偏光板１７の貼付作業を行うことができる。これにより、液晶基板１ａに、第１、第２偏光板１６，１７がそれぞれ貼り付けられ、閉鎖されたハウジング８８内での作業が終了する。
【００４５】
ステップＳ１９では、洗浄貼付装置３１のハウジング８８から液晶基板１ａを搬出する（図２に示す搬出部３６によって行われる）。まず、ピックアンドプレースユニットにより、第２貼付ステージ８６上に載置された液晶基板１ａを、搬出ベルト８９上に載置する。搬出ベルト８９は、第６モータ９０の駆動により回転し、液晶基板１ａをハウジング８８から排出する。これで、液晶基板１ａの洗浄貼付処理が終了する。
【００４６】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
（１）本実施形態によれば、外気から略閉鎖された状態の洗浄貼付装置３１の中において、液晶基板１ａに第１、第２偏光板１６，１７を貼り付ける直前に液晶基板１ａを洗浄しているので、偏光板１６，１７の貼付時に、液晶基板１ａと外気中に浮遊するゴミなどの異物との接触を防止することができる。よって、液晶基板１ａの表面に異物が付着することを低減することが可能になり、異物による液晶表示装置１の外観不良の不良率を抑えることができる。これにより、その後の、異物除去のための液晶基板１ａからの偏光板１６，１７の剥離および貼り付けなどの修正頻度を抑制することができる。
【００４７】
（２）本実施形態によれば、液晶基板１ａに付着した異物の洗浄を、洗浄貼付装置３１の洗浄槽４６に貯められた洗浄水５１によって洗浄しており、ワイプ材を使用しなくて済むので、ワイプ材を使用して洗浄したときに剥離するワイプ材の繊維が液晶基板１ａに付着することを防止できる。よって、液晶基板１ａに繊維等の異物が付着したまま偏光板１６，１７を貼り付けたときに発生する、液晶表示装置１の点欠陥の不良を抑制することができる。
【００４８】
なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
（変形例１）前記実施形態では、液晶基板１ａに固着した異物をハンドワークで削り、この液晶基板１ａを搬入ベルト４１に載せて、ハウジング８８内に搬入していた。これを、異物を削り取ることが可能な削取装置（削取部）を、ハウジング８８内に配置し、削取り工程と、洗浄工程と、乾燥工程と、貼付工程とを、全てハウジング８８内で行う装置として構成するようにしてもよい。これによれば、作業者の手を介在することなく、液晶基板１ａに固着した異物の剥ぎ取り作業から、偏光板１６，１７の貼付作業まで行うことができる。なお、削取装置は、例えば、特許文献１に記載された装置を搬入部３２と洗浄部３３の間に配置して構成し、さらに削取部と洗浄部３３との間に削取工程から洗浄工程へ液晶基板１ａを受け渡す搬送部を設ける。
【００４９】
（変形例２）前記実施形態では、液晶基板１ａの上下面に偏光板１６，１７を貼り付けるために、貼付部３５に反転ユニット８２を設けて、液晶基板１ａを反転させていた。これを、片面のみ偏光板を貼り付けるタイプの液晶基板であれば、反転ユニット８２を設けずに、第１貼付ユニット８１又は第２貼付ユニット８３のどちらかによって偏光板を貼り付けるようにしてもよい。
【００５０】
（変形例３）前記実施形態では、洗浄槽４６の中の洗浄水５１は、ポンプ６３によって流水状態にして液晶基板１ａを洗浄していた。これを、流水状態ではなく、シャワータイプのものにして液晶基板１ａを洗浄するようにしてもよい。また、洗浄水に加えて、ブラシによって液晶基板１ａを洗浄するようにしてもよい。これによれば、前記した実施形態に加えて、より確実に、液晶基板１ａに付着した異物を取り除くことができる。
【００５１】
（変形例４）前記実施形態では、第１〜第３搬送ベルト５２〜５４によって、液晶基板１ａを洗浄部３３の中で搬送していた。これを、第１〜第３搬送ベルト５２〜５４のようなベルト搬送ではなく、クランプ機構を有した搬送ユニットによって液晶基板１ａをクランプして、さらに、洗浄槽４６の中を移動させて洗浄するようにしてもよい。
【００５２】
（変形例５）前記実施形態では、ハウジング８８内を外部に対して気圧が高くなるように設定して、外部に浮遊する異物がハウジング８８内に入り込まないようにしていた。これを、さらに、搬出部３６（貼付部３５）から搬入部３２（洗浄部３３）に向かう気流を発生させる気流発生装置を設けて、洗浄部３３で発生する水蒸気が貼付部３５に流れ込まないようにしてもよい。洗浄槽４６から蒸発した水蒸気が貼付部３５へ流れ込むことが可能な構成であると、乾燥後の液晶基板１ａの表面に微少な水滴が結露したり、貼付部３５周辺で結露した水滴が液晶基板１ａの貼付面に落下等して付着する恐れがある。万一、液晶基板１ａの表面に水滴が付着したまま偏光板１６，１７が貼り付けられると、偏光板１６，１７の貼付面に気泡が残り、光学的欠陥や偏光板１６，１７の貼付強度の低下をもたらす。これに対し、気流発生装置を設けた本変形例によれば、搬出部３６（貼付部３５）から搬入部３２（洗浄部３３）に向かう気流により、洗浄槽４６からの水蒸気が貼付部３５に流れ込むことを防止でき、その結果、乾燥後の液晶基板１ａに微少な水滴などが付着することを防止できる。従って、偏光板１６，１７の貼付面に水滴に起因する気泡が生じることがなく、この種の気泡に起因して発生する光学的欠陥や偏光板１６，１７の貼付強度の低下を防ぐことができる。
【００５３】
（変形例６）前記実施形態では、ハウジング８８内において液晶基板１ａを搬送する方法は、第１〜第３搬送ベルト５２〜５４、水切ローラ群９５、搬送ローラ群７４、ピックアップアンドプレースユニット（図示せず）などによって搬送していた。これを、例えば洗浄部３３と乾燥部３４と貼付部３５のそれぞれの間に、それらとは別装置となる搬送ユニット（ピックアップアンドプレース装置）を１つずつ配設し、搬送ユニットによって、液晶基板１ａをそれぞれの工程間で受け渡すようにしてもよい。
【００５４】
前記実施形態および各変形例から把握できる請求項以外の技術的思想について、以下にその効果とともに記載する。
【００５５】
外気と略閉鎖された室を形成するハウジングと、基板を前記ハウジングの中に搬入する搬入部と、前記搬入部から搬入された前記基板の面から異物を削り取る削取部と、前記削取部から搬入した前記基板を洗浄する洗浄部と、前記洗浄部で濡れた前記基板を乾燥させる乾燥部と、前記乾燥部で乾燥された前記基板に偏光板を貼り付ける貼付部と、前記偏光板が貼られた前記基板をハウジングの外に搬出する搬出部と、前記ハウジング内に搬入された前記基板を、前記削取部、前記洗浄部、前記乾燥部、前記貼付部の順に搬送する搬送部とを有することを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【００５６】
この構成によれば、外気と略閉鎖されたハウジング内で、基板に付着した異物の除去から偏向板貼り付けまでを行うので、作業者が介在せずに行うことが可能になる。よって、作業者から剥離した皮膚などの異物が基板に付着するのを、更に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】一実施形態における、液晶表示装置の構成を模式的に示す分解斜視図。
【図２】製造装置の構成を模式的に示す模式断面図。
【図３】液晶基板に偏光板を貼り付ける貼付方法を示すフローチャート。
【図４】従来技術の液晶基板の洗浄方法を模式的に示す模式断面図。
【符号の説明】
【００５８】
１…電気光学装置としての液晶表示装置、１ａ…液晶表示装置を構成する液晶基板、１１…液晶基板を構成する第１基板、１２…液晶基板を構成する第２基板、１６…液晶表示装置を構成するとともに偏光板としての第１偏光板、１７…液晶表示装置を構成するととともに偏光板としての第２偏光板、３１…製造装置としての洗浄貼付装置、３２…洗浄貼付装置を構成する搬入部、３３…洗浄貼付装置を構成する洗浄部、３４…洗浄貼付装置を構成する乾燥部、３５…洗浄貼付装置を構成する貼付部、３６…洗浄貼付装置を構成する搬出部、４１…搬入ベルト、４６…洗浄部を構成する洗浄槽、５１…洗浄水、５２…搬送部を構成する第１搬送ベルト、５３…搬送部を構成する第２搬送ベルト、５４…搬送部を構成する第３搬送ベルト、７１…乾燥部を構成する水切機構としての水切ユニット、７２…乾燥部を構成する乾燥ユニット、７５…乾燥ユニットを構成するエアーノズル、８１…貼付部を構成する第１貼付ユニット、８２…貼付部を構成する反転ユニット、８３…貼付部を構成する第２貼付ユニット、８８…ハウジング、８９…搬出部を構成する搬出ベルト、９５…水切ユニットとともに搬送部を構成する水切ローラ群。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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