(57)【要約】【課題】  液晶装置等の電気光学装置において、基板サイズを縮小する。【解決手段】  電気光学装置は、基板上に、表示用電極を駆動するための配線及び回路のうち少なくとも一方から、周辺領域に夫々引き出されており、基板上で平面的に見て少なくとも部分的に層間絶縁膜を介して相互に重畳される複数の引出配線を備える。電気光学装置は、基板上に、この複数の引出配線に夫々接続されており、周辺領域に配列された複数の外部回路接続端子を更に備える。【選択図】      図３
2006171387.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、
画像表示領域に配置された表示用電極と、
該表示用電極を駆動するための配線及び回路のうち少なくとも一方と、
該配線及び回路のうち少なくとも一方から、前記画像表示領域の周辺に位置する周辺領域に夫々引き出されており、前記基板上で平面的に見て少なくとも部分的に層間絶縁膜を介して相互に重畳される複数の引出配線と、
該複数の引出配線に夫々接続されており、前記周辺領域に配列された複数の外部回路接続端子と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記基板に所定間隔を隔てて対向配置された対向基板を更に備え、
前記基板は、その第１辺において平面的に見て前記第２基板より張り出した張出部を有し、
前記複数の外部回路接続端子は、前記張出部に配列されており、
前記複数の配線は、前記張出部にて相互に重畳されている
ことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記複数の引出配線は、前記層間絶縁膜を介して積層された複数の導電膜から構成されており、
前記複数の外部回路接続端子は夫々、前記複数の導電膜のうち対応する一つの引出配線と同一膜から構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記複数の引出配線は、前記層間絶縁膜を介して積層された複数の導電膜から構成されており、
前記複数の外部回路接続端子は、前記複数の導電膜のうち一つから構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記一つの導電膜は、前記複数の導電膜のうち前記基板上で最も上層側に位置する一つと同一膜から構成されていることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置。
【請求項６】
前記複数の引出配線は、シート抵抗の揃った導電膜から構成されることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項７】
前記複数の引出配線のうち、電気的に逆極性の信号を供給する一対の配線は、少なくとも部分的に前記層間絶縁膜を介して相互に重畳されるように構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項８】
前記複数の引出配線のうち、相互に重畳される一対の配線の間に、シールド膜を更に備えたことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項９】
前記一対の配線は、画像信号を供給する引出配線とクロック系信号を供給する引出配線とであることを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置等の電気光学装置、及び、該電気光学装置を備えた、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置では、例えば表示用電極及びこれを駆動するための回路部が設けられた基板と対向基板とが、液晶等の電気光学物質を挟んで対向配置されている。
【０００３】
表示用電極が設けられた方の基板は、平面的に見て一辺において対向基板より張り出しており、この張り出す部分（本願明細書では適宜、単に“張出部”という）に、外部回路接続端子及びそれらに接続される引出配線が設けられている。張出部は、基板上で画像表示領域の周辺に位置する周辺領域の一部を占めている。外部回路接続端子は、回路部等から引き出された引出配線と接続される一方で、信号や電源が外部入力されるように表面が、接続用パッドとして、外部に露出するように設けられる。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２５３９９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、外部回路接続端子に接続される引出配線が、同一の下地絶縁層の表面上における同一層、即ち、同一導電膜で構成されていので、パターニング可能な微細化の限界以上に、相隣接する引出配線の間隔を、同一平面内で狭めることできない。このため、上述した張出部に、外部回路接続端子に接続される引出配線をレイアウトするために必要となる面積を縮小するには、本質的な限界があり、電気光学装置の小型化の弊害となっているという問題点がある。
【０００６】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板サイズの縮小が可能な電気光学装置、及び、そのような電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、基板上に、画像表示領域に配置された表示用電極と、該表示用電極を駆動するための配線及び回路のうち少なくとも一方と、該配線及び回路のうち少なくとも一方から、前記画像表示領域の周辺に位置する周辺領域に夫々引き出されており、前記基板上で平面的に見て少なくとも部分的に層間絶縁膜を介して相互に重畳される複数の引出配線と、該複数の引出配線に夫々接続されており、前記周辺領域に配列された複数の外部回路接続端子とを備える。
【０００８】
本発明の電気光学装置によれば、その動作時には、外部回路から、画像信号、クロック信号、各種制御信号、電源信号等が外部回路接続端子を介して、配線及び回路のうち少なくとも一方に供給される。ここに本発明に係る「配線及び回路の少なくとも一方」とは、表示用電極の一例としての画素電極に接続された画素スイッチング用の薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：以下適宜“ＴＦＴ”と呼ぶ）等の電子素子や、このＴＦＴ等に接続された走査線やデータ線、更にこれらの走査線やデータ線を駆動するための走査線駆動回路やデータ線駆動回路等の基板上に作り込まれる又は取り付けられる各種の配線や回路を意味する。また、本発明に係る「表示用電極」とは、画素電極の他、ストライプ状の電極やセグメント状の電極等の各種電極を意味する。即ち、当該電気光学装置の駆動方式としては、アクティブマトリクス駆動方式に限らず、パッシブマトリクス駆動方式、セグメント駆動方式等の各種の駆動方式が考えられる。
【０００９】
ここで本発明では特に、外部回路接続端子に一端が夫々接続された複数の引出配線は、基板上で平面的に見て少なくとも部分的に、層間絶縁膜を介して相互に重畳されている。例えば、複数の外部回路接続端子は、一列又は二列等の形式で、周辺領域に配列されているが、これらに接続された複数の引出配線については、少なくとも部分的に層間絶縁膜を介して重畳されている。従って、基板をその法線方向から見た一定領域内に、より多くの引出配線を、相互にショートしないように配線することが可能となる。即ち、一本一本の配線幅を相対的に広く確保しつつ、より多くの引出配線を配線することが可能となる。言い換えれば、相互に重畳されている分だけ、基板の法線方向から見た配線が占める面積は、配線の総面積と比べて低減されている。仮に、同一平面内或いは同一層に、多数の引出配線を形成しようとすれば、配線ピッチ、或いは相隣接する引出配線の基板上における間隔を狭くしようとすると、配線間がショートしてしまう問題や、配線幅を狭くすることによる配線抵抗が増加してしまう問題が生じるのである。このため、通常は外部回路接続端子と同一膜から形成された引出配線は、平面的に見て重畳しないように引き回されており、その分だけ、引出配線が占める基板上領域が増大してしまうのである。
【００１０】
これに対して、本発明によれば、複数の引出配線については、層間絶縁膜を介して重畳されているので、このような問題を効果的に防止しつつ、より多くの引出配線を形成でき、引出配線を配線する平面領域を削減できる。これにより、画像表示領域を広く確保しつつ、周辺領域の削減による基板全体、惹いては電気光学装置の全体の小型化を図ることが可能となる。同一マザー基板上に当該電気光学装置を数枚や十数枚或いは数十枚配列して製造する場合、例えば第１基板のサイズをコンマ数ｍｍや数ｍｍ程度に僅かに小さくできるだけでも、同一マザー基板上に一列や複数列だけ多く、或いは一行や複数行だけ多く、当該電気光学装置を形成することも可能となり得る。よって、このように第１基板のサイズを僅かに小さくできるだけでも、実用上は、極めて有益であり、その効果は絶大であると言える。
【００１１】
以上のように、本発明の電気光学装置によれば、基板サイズの縮小が可能となる。
【００１２】
本発明の電気光学装置の一態様では、前記基板に所定間隔を隔てて対向配置された対向基板を更に備え、前記基板は、その第１辺において平面的に見て前記第２基板より張り出した張出部を有し、前記複数の外部回路接続端子は、前記張出部に配列されており、前記複数の配線は、前記張出部にて相互に重畳されている。
【００１３】
この態様によれば、張出部を除く周辺領域、即ち第１辺を除く各辺については、第１及び第２基板を、ほぼ又は完全に面一にすることが可能となる。言い換えれば、外部回路接続端子が配列され且つ引出配線が重畳されている張出部以外については、第１及び第２基板の平面形状を、ほぼ又は完全に同一にすることが可能となる。しかも、このように張出部に配置された複数の配線が重畳されることで、張出部の面積自体を小さくすることも可能となる。これにより、面一の基板及び対向基板から張り出した張出部における、例えば半分以上といった主要領域を、外部回路接続端子を形成する領域に割り当てることが可能となる。よって、例えばＦＰＣ等により外部回路を接続するための基板上領域以外は、対向基板と面一とされている、理想的な電気光学装置を実現することも可能となる。
【００１４】
尚、張出部に隣接する基板部分上においても、複数の配線は、相互に重畳されてもよい。
【００１５】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記複数の引出配線は、前記層間絶縁膜を介して積層された複数の導電膜から構成されており、前記複数の外部回路接続端子は夫々、前記複数の導電膜のうち対応する一つの引出配線と同一膜から構成されている。
【００１６】
この態様によれば、複数の外部回路接続端子は夫々、対応する一つの引出配線と同一の導電膜から構成されているので、基板上における積層構造及び製造工程を簡略化することが可能である。また、外部回路接続端子は、接続される引出配線と同一膜として形成されることから、引出配線の積層構造とは別に設けずに済むので、基板上の構造をより簡素化できる。
【００１７】
或いは本発明の電気光学装置の他の態様では、前記複数の引出配線は、前記層間絶縁膜を介して積層された複数の導電膜から構成されており、前記複数の外部回路接続端子はいずれも、前記複数の導電膜のうち一つから構成されている。
【００１８】
この態様によれば、複数の外部回路接続端子はいずれも共通して、一つの導電膜から構成されているので、例えば接続用パッドなどの外部回路接続端子を、基板上における同一高さとすることが可能となる。これにより、例えばＦＰＣ等を通常通りに支障なく接続することが可能となる。また、外部回路接続端子は、接続される引出配線と同一膜として形成されることから、引出配線の積層構造とは別に設けずに済むので、基板上の構造をより簡素化できる。
【００１９】
尚、異なる複数の導電膜から複数の外部回路接続端子を形成した場合には、例えば接続用パッドなどの外部回路接続端子が基板上で異なる高さを有することになるが、多少の相異であれば、弾性を有する導電体からなるＦＰＣ等によって、支障なく接続することは可能である。
【００２０】
この態様では、前記一つの導電膜は、前記複数の導電膜のうち前記基板上で最も上層側に位置する一つと同一膜から構成されてもよい。
【００２１】
このように構成すれば、基板の表面上で、殆ど段差無く露出した導電膜からなる、接続用パッドなどの外部回路接続端子を実現でき、それと、ＦＰＣ等との接続を安易にして良好に実施することが可能となる。そのような構成は、例えば、外部回路接続端子と接続される引出配線の一部を、コンタクトホール等を介して導通させることで実現できる。
【００２２】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記複数の引出配線は、シート抵抗の揃った導電膜から構成される。
【００２３】
この態様によれば、複数の引出配線は、シート抵抗の揃った導電膜から構成されるので、引出配線間における配線抵抗のばらつきに起因した表示ムラの発生を抑えることが可能となる。尚、本発明に係る「シート抵抗の揃った導電膜」とは、例えば、同一導電材料から同一膜厚を有するように形成されることで、シート抵抗が文字通りに同じである導電膜を意味することの他、当該電気光学装置に要求される性能や仕様に鑑みて、引出配線間における配線抵抗のばらつきに起因した表示ムラが発生しないとして扱える程度にシート抵抗が同一又は類似であれば足りる、即ち、実質的に揃えられている場合も含む趣旨である。従って、異なる導電材料を利用して、複数の導電膜を形成することも可能であり、更に、各導電膜は、単一層構造を有する場合のみならず、多層構造を有する場合も含む。
【００２４】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記複数の引出配線のうち、電気的に逆極性の信号を供給する一対の配線は、少なくとも部分的に前記層間絶縁膜を介して相互に重畳されるように構成されている。
【００２５】
この態様によれば、複数の引出配線のうち、例えば、クロック信号とその反転クロック信号となど、或いは、正極性の画像信号と負極性の画像信号となど、電気的に逆極性の信号を供給する一対の配線が、重畳されている。従って、一対の配線上における信号による電磁ノイズを大なり小なり相殺、即ちキャンセルすることが可能となる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記複数の引出配線のうち、相互に重畳される一対の配線の間に、シールド膜を更に備える。
【００２７】
この態様によれば、相互に重畳される複数の引出配線は、シールド膜により、相互に信号から発生する電磁ノイズが低減されることになる。ここに本発明に係る「シールド膜」とは、導電等の電磁シールド機能を有する膜を意味する。この結果、一対の配線上における信号による電磁ノイズの低減された各種信号に基づいて、より高品位の画像表示が可能となる。
【００２８】
この態様では、前記一対の配線は、画像信号を供給する引出配線とクロック系信号を供給する引出配線とであるように構成してもよい。
【００２９】
このように構成すれば、通常高周波信号であるクロック系信号による電磁ノイズ、即ち、クロックノイズが、画像信号に悪影響を及ぼすことを低減でき、より高品位の画像表示が可能となる。
【００３０】
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様を含む）を備える。
【００３１】
本発明の電子機器は、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品位の画像を表示可能な、テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなど、更には電気光学装置を露光用ヘッドとして用いたプリンタ、コピー、ファクシミリ等の画像形成装置など、各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば、電子ペーパなどの電気泳動装置、電子放出装置（Field Emission Display及びConduction Electron-Emitter Display）等を実現することも可能である。
【００３２】
本発明のこのような作用及び他の利得は、次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態では、本発明の電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
＜第１実施形態＞
第１実施形態に係る電気光学装置について、図１から図６を参照して説明する。
【００３４】
先ず、図１及び図２を参照して、本実施形態に係る電気光学装置の全体構成について、説明する。ここに図１は、本実施形態に係る電気光学装置の構成を示す平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ´線での断面図である。
【００３５】
図１及び図２において、液晶装置１００では、ＴＦＴアレイ基板１０に対向基板２０を所定間隔で対向させ、両基板の相対向する面の周縁をシール材５２で貼り合わせることによって、内部空間が形成されている。ＴＦＴアレイ基板１０には、平面的に見て対向基板２０より張り出した張出部２０１が存在している。シール材５２の内縁に沿って設けられた額縁遮光膜５３は、画像が表示される画像表示領域１０ａの額縁を規定している。
【００３６】
ＴＦＴアレイ基板１０の対向面（図２中、上面）のうち、画像表示領域１０ａには、画素スイッチング用ＴＦＴや走査線、データ線等の配線の上層に、画素電極９ａが設けられている。そして、画素電極９ａの直上に配向膜が形成されている。対向基板２０の対向面（図２中、下面）には、ストライプ状の遮光膜２３を介して対向電極２１が形成されており、その上層に配向膜が形成されている。また、対向基板２０の角部の少なくとも１個所（ここでは４個所全部）には、ＴＦＴアレイ基板１０との間を電気的に導通させる上下導通端子１０６が設けられている。液晶層５０の液晶の配向状態は、画素電極９ａと対向電極２１との間に印加される電界に応じて変化するが、電界が印加されていない状態では、配向膜によって規定される初期配向をとる。
【００３７】
ＴＦＴアレイ基板１０の対向面のうち、シール材５２が形成されたシール領域の外側の周辺領域には、走査線を駆動する走査線駆動回路１０４と配線１０５とが設けられている。図１において、走査線駆動回路１０４は、ＴＦＴアレイ基板１０の左右の辺に一つずつ設けられ、配線１０５は、これら２つの走査線駆動回路１０４の相互間を接続すべく、ＴＦＴアレイ基板１０の上辺に引き回されている。
【００３８】
ＴＦＴアレイ基板１０の張出部２０１には、データ線を駆動するデータ線駆動回路１０１が、図１において、シール材５２の下辺に沿って配置されている。
【００３９】
尚、本実施形態においては、ＴＦＴ等の電子素子や走査線、データ線等の配線、走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１を含むＴＦＴアレイ基板１０上の回路全般が、本発明に係る「回路」の具体例に対応している。また、張出部２０１には、データ線駆動回路１０１に加えて、複数のデータ線に画像信号を所定のタイミングで印加するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の液晶装置１００の品質、欠陥等を検査するための検査回路等が形成されていてもよい。或いは、このようなサンプリング回路等は、シール領域の内側における、例えば額縁遮光膜５３が形成された領域に形成されてもよい。
【００４０】
本実施形態では特に、張出部２０１において複数の引出配線１０３の少なくとも一部が、平面的に見て相互に重畳されるように設けられている。具体的には後述するが、この液晶装置１００では、相互に重畳される二つの引出配線１０３は、例えば層間絶縁膜を介して積層された二つの導電膜から形成されている。
【００４１】
これら外部回路接続端子１０２は、ＦＰＣ等を介して接続された外部回路から液晶装置１００内に電源や信号を供給するために設けられており、夫々、引出配線１０３を介して走査線駆動回路１０４やデータ線駆動回路１０１等の駆動回路と適宜に接続されている。液晶装置１００では、これら外部回路接続端子１０２に外部入力された信号に応じて画素電極９ａが駆動され、画像が表示される。ここで、データ線駆動回路１０１は、図１に示したように、張出部２０１側の両端において、引出配線１０３を介して複数の外部回路接続端子１０２と接続されている。
【００４２】
次に、第１実施形態に係る電気光学装置における引出配線１０３及び外部回路接続端子１０２のレイアウトについて、図３から図５を参照して、詳細に説明する。ここに図３は、本実施形態に係る引出配線及び外部回路接続端子の平面レイアウトを示した部分拡大平面図である。図４は、図３のＳ−Ｓ’断面図を示しており、図５は、図３のＴ−Ｔ’断面図を示している。
【００４３】
図３から図５に示すように、複数の外部回路接続端子１０２は、ＴＦＴアレイ基板１０の縁（図１参照）に沿って横一列に並べられており、外部回路接続端子１０２に一端が夫々接続された複数の引出配線１０３は、相隣接する引出配線１０３の対毎に、第３層間絶縁膜４３を介して相互に重畳されている。特に、図４及び図５から分かるように、ＴＦＴアレイ基板１０上には、順に、下地絶縁膜１２、第１層間絶縁膜４１、第２層間絶縁膜４２、第３層間絶縁膜４３、第４層間絶縁膜４４が、この順に積層されている。第２層間絶縁膜４２上に積層された導電膜から、引出配線１０３ａ及びこれに一体的に接続された外部回路接続端子１０２ａが夫々形成されている。第３層間絶縁膜４３上に積層された導電膜から、引出配線１０３ｂ及びこれに一体的に接続された外部回路接続端子１０２ｂが夫々形成されている。層間絶縁膜４３の表面は、例えばＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing：化学的機会研磨）等の平坦化処理が施されている。但し、このような平坦化処理が施されていなくても構わない。
【００４４】
このようにＴＦＴアレイ基板１０上に、このように複数の層間絶縁膜及び導電膜が積層されているので、これらを利用して、更にこれらの層間に積層される他の導電膜や半導体膜等を利用して、ＴＦＴ等の各種回路を、ＴＦＴアレイ基板１０上における画像表示領域内に作り込むことが可能となり、これと同一又は別機会に、ＴＦＴ等の各種回路を含んで成るデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等の周辺回路を作り込むことが可能となる。
【００４５】
従って、第１実施形態によれば、ＴＦＴアレイ基板１０をその法線方向から見た一定領域内に、より多くの引出配線１０３を、相互にショートしないように配線することが可能となる。即ち、引出配線１０３の一本一本の配線幅を相対的に広く確保しつつ、より多くの引出配線１０３を配線することが可能となる。言い換えれば、相互に重畳されている分だけ、ＴＦＴアレイ基板１０の法線方向から見た引出配線１０３が占める面積は、引出配線１０３の総面積と比べて低減されている。
【００４６】
ここで図６に示した本実施形態に係る比較例と比較することで、上述の如く構成された本実施形態の作用効果について検討する。ここに図６は、本実施形態の比較例における図３と同趣旨の部分拡大平面図である。
【００４７】
図６に示す比較例では、相互に重畳されることのない同一導電層から、全ての引出配線１０３が形成されている。この比較例において、配線ピッチ、或いは相隣接する引出配線１０３のＴＦＴアレイ基板１０上における相互の間隔を狭くしようとすると、引出配線１０３間がショートしてしまう。或いは、配線幅を狭くすることによる配線抵抗が増加してしまう。逆に言えば、比較例によれば、外部回路接続端子１０２と同一膜から形成された引出配線１０３は、平面的に見て相互に重畳しないように引き回されており、その分だけ、引出配線１０３が占める基板上領域が増大している。
【００４８】
しかるに図３から図５に示した本実施形態によれば、複数の引出配線１０３については、第３層間絶縁膜４３を介して重畳されているので（特に図３及び図４参照）、より多くの引出配線１０３を形成でき、引出配線１０３を配線する平面領域を削減できる。具体的には、図６において複数の引出配線１０３が占める配線幅Ｌ１に比べて、図４において複数の引出配線１０３が占める配線幅Ｌ２は、格段に狭くされている。これにより、画像表示領域１０ａ（図１参照）を広く確保しつつ、電気光学装置の全体の小型化を図ることが可能となる。この際、本実施形態では、張出部２０１を除く周辺領域、即ち図１において左右の辺及び上の辺については、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０を、ほぼ又は完全に面一にすることが可能となる。しかも、このように張出部２０１に配置された複数の引出配線１０３が重畳されることで、張出部２０１の面積自体を小さくすることも可能となる。
【００４９】
加えて、本実施形態では、複数の引出配線１０３ａは、外部回路接続端子１０２ａと同一膜から構成されており、複数の引出配線１０３ｂは、外部回路接続端子１０２ｂと同一膜から構成されているので、ＴＦＴアレイ基板１０上における積層構造及び製造工程の簡略化が図られている。
【００５０】
このような引出配線１０３ａ及び１０３ｂを形成する導電膜の材料としては夫々、例えば低抵抗のアルミニウム（Ａｌ）が好適に用いられる。この際、複数の引出配線１０３ａ及び１０３ｂは、好ましくは、シート抵抗の揃った導電膜から形成されており、引出配線１０３ａ及び１０３ｂ間における配線抵抗のばらつきに起因した表示ムラの発生を抑えることが可能となる。更に、各導電膜は、図４及び図５に示したように、主要部を構成するＡｌ等の低抵抗膜と、その表面に薄膜状に形成された他の金属膜１０２ａ'、１０２ｂ'、１０３ａ'、或いは１０３ｂ'とを有してもよく、これにより、材料選択の自由度が増し、比較的容易に所望の配線抵抗や、所望の機械的又は科学的強度を有する引出配線１０３を構築できる。
【００５１】
以上詳細に説明したように、本実施形態によれば、比較的容易にして且つ比較的簡単な構成を用いて、画像表示領域を狭めることなく電気光学装置を小型化することが可能となる。そして特に、このような構成とすれば、複数のＴＦＴアレイ基板１０となるマザー基板上に複数の電気光学装置を形成した後に切断して個々の電気光学装置にするという汎用的な製造工程において、同一面積内により多くの電気光学装置を形成することが可能となる。
【００５２】
加えて、このように構成される本実施形態において、相互に重畳される対をなす相隣接する引出配線１０３ａ及び１０３ｂ（図４参照）については、電気的に逆極性の信号を供給する一対の配線として構成されるのが、より好ましい。例えば、クロック信号とその反転クロック信号となど、或いは、正極性の画像信号と負極性の画像信号となど、電気的に逆極性の信号が供給されるのが、好ましい。このように構成すれば、一対の引出配線１０３ａ及び１０３ｂ上における信号による電磁ノイズを大なり小なり相殺、即ちキャンセルすることが可能となる。
＜第２実施形態＞
第２実施形態に係る電気光学装置について、図７を参照して説明する。ここに図７は、第２実施形態における図５と同趣旨の外部回路接続端子部分に係る断面図である。尚、図７において、図１から図６に示した第１実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付し、それらの説明は適宜省略する。
【００５３】
図７に示すように第２実施形態は、複数の引出配線１０３は、第３層間絶縁膜４３を介して積層された複数の導電膜から構成されているが、複数の外部回路接続端子１０２はいずれも、これらの導電膜のうち上層側にある導電膜を含んで構成されている。即ち、下層側にある導電膜から形成された引出配線１０３に接続された外部回路接続端子１０２については、第３層間絶縁膜４３に開孔されたコンタクトホール２０ｂを介して、下層側の導電膜と上層側の導電膜とが接続されることで、外部回路接続端子１０２が構成されている。その他の構成については、上述した第１実施形態の場合と同様である。
【００５４】
なお、外部回路接続端子１０２、及び引出配線１０３の導電膜はその表面に薄膜状に形成された他の金属膜１０２'、或いは１０３'とを有してもよい。
【００５５】
このように構成された第２実施形態によれば、例えば接続用パッドなどの外部回路接続端子１０２を、ＴＦＴアレイ基板１０上における同一高さとすると共に、殆ど段差無く露出した導電膜からなる、外部回路接続端子１０２を実現できる。これにより、比較的簡単な構成により、例えばＦＰＣ等を通常通りに支障なく接続することが可能となる。
＜第３実施形態＞
第３実施形態に係る電気光学装置について、図８を参照して説明する。ここに図８は、第３実施形態における図４と同趣旨の部分拡大平面図である。尚、図８において、図１から図６に示した第１実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付し、それらの説明は適宜省略する。
【００５６】
図８に示すように第３実施形態は、複数の引出配線１０３のうち、相互に重畳される一対の配線の間に、例えば、Ａｌ膜等の導電性の金属膜からなる電磁シールドとしての機能を果たす、シールド膜９１を更に備えて構成されている。その他の構成については、上述した第１実施形態の場合と同様である。
【００５７】
このように構成された第２実施形態によれば、相互に重畳される複数の引出配線１０３ａ及び１０３ｂは、シールド膜９１により、相互に信号から発生する電磁ノイズを低減できる。
【００５８】
加えて、このような一対の引出配線１０３ａ及び１０３ｂは、一方が画像信号を供給する引出配線であり、他方が、高周波信号であるクロック系信号を供給する引出配線であるように構成するとよい。即ち、このように構成すれば、高周波信号であるクロック系信号による電磁ノイズが、画像信号に悪影響を及ぼすことを低減できるので、電磁シールドによる効果が顕著に発揮される。
＜電子機器＞
次に、上述した電気光学装置である液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
【００５９】
まず、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図９は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。この図９に示されるように、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド１１０４内に配置された４枚のミラー１１０６および２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇに入射される。
【００６０】
液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇの構成は、上述した液晶装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。このダイクロイックプリズム１１１２においては、ＲおよびＢの光が９０度に屈折する一方、Ｇの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
【００６１】
ここで、各液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇによる表示像について着目すると、液晶パネル１１１０Ｇによる表示像は、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂによる表示像に対して左右反転することが必要となる。
【００６２】
なお、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇには、ダイクロイックミラー１１０８によって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。
【００６３】
次に、液晶装置を、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図１０は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図１０において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、液晶表示ユニット１２０６とから構成されている。この液晶表示ユニット１２０６は、先に述べた液晶装置１００５の背面にバックライトを付加することにより構成されている。
【００６４】
さらに、液晶装置を、携帯電話に適用した例について説明する。図１１は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図１１において、携帯電話１３００は、複数の操作ボタン１３０２とともに、反射型の液晶装置１００５を備えるものである。この反射型の液晶装置１００５にあっては、必要に応じてその前面にフロントライトが設けられる。
【００６５】
尚、図９から図１１を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビや、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
【００６６】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及び該電気光学装置を備えてなる電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る、電気光学装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’の断面図である。
【図３】第１実施形態に係る引出配線及び外部回路接続端子の平面レイアウトを示した部分拡大平面図である。
【図４】図３のＳ−Ｓ’断面図である。
【図５】図３のＴ−Ｔ’断面図である。
【図６】本実施形態の比較例における図３と同趣旨の部分拡大平面図である。
【図７】本発明の第２実施形態における図５と同趣旨の外部回路接続端子部分に係る断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態における図４と同趣旨の引出配線部分に係る断面図である。
【図９】電気光学装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す平面図である。
【図１０】電気光学装置を適用した電子機器の一例たるパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図１１】電気光学装置を適用した電子機器の一例たる携帯電話の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０…ＴＦＴアレイ基板、９ａ…画素電極、１０ａ…画像表示領域、２０…対向基板、２１…対向電極、５０…液晶層、５２…シール材、５３…額縁遮光膜、１０１…データ線駆動回路、１０２、１０２ａ、１０２ｂ…外部回路接続端子、１０３、１０３ａ、１０３ｂ…引出配線、１０４…走査線駆動回路、１０５…配線、１０６…上下導通端子、２０１…張出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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