(57)【要約】【課題】  簡単な構成で、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、各塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ塗布剤を確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで塗布することができる塗布剤の塗布装置およびその方法を提供する。【解決手段】  塗布装置１は、塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面にマスク１０を介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するためのもので、各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３に塗布剤をそれぞれ塗布するパターンが穿孔されたマスク１０、１０、１０と、各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面に対して各マスク１０を移動可能に保持するフローティング機構を含む保持体１１を有している。【選択図】    図１
2006346562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布装置であって、
各塗布対象の表面に対してそれぞれマスクを移動可能に保持する保持体を有することを特徴とする塗布剤の塗布装置。
【請求項２】
複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布装置であって、
マスクが複数の塗布対象を覆い得るよう構成されており、
該マスクの、塗布対象の間と対応する部位の剛性を、塗布対象と対応する部位よりも低下させたことを特徴とする塗布剤の塗布装置。
【請求項３】
複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布方法であって、
塗布対象の表面に対してマスクをそれぞれ移動可能に保持して、各マスクを介して塗布剤を各塗布対象の表面に所定パターンで塗布することを特徴とする塗布剤の塗布方法。
【請求項４】
複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布方法であって、
複数の塗布対象を覆い得るよう構成されたマスクの、塗布対象の間と対応する部位の剛性を、塗布対象と対応する部位よりも低下させ、
該マスクを各塗布対象の表面上に配置して、前記剛性を低下させた部位を少なくとも屈曲または延伸させて各塗布対象の表面に密着させて、マスクを介して塗布剤を各塗布対象の表面に所定パターンで塗布することを特徴とする塗布剤の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布剤の塗布装置およびその塗布方法に関し、特に、複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布装置およびその塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、グリスやクリーム半田などの塗布剤を半導体モジュールの放熱板や回路基板などの塗布対象に所定のパターンで塗布する場合、この塗布するパターンに従って穿孔されたマスクを用意し、このマスクを放熱板上に位置決めし、塗布剤をマスク上に塗ってスキージにより拡げて、塗布剤をマスクの孔から通して塗布対象の表面に塗布することが、一般に行われている（特許文献１）。
特許文献１は、回路基板の対向端面が平行に加工されていない場合であっても、回路基板のワークを完全にクランプして固定することができ、クリーム半田を印刷パターン通りに正確、かつ、確実に回路基板に転写することができるクリーム半田の印刷装置を提供することを目的としたものである。
【０００３】
そして、特許文献１には、印刷パターンが穿孔されたマスクの上面を、へらでクリーム半田をスキージングさせることによりクリーム半田を回路基板の所要箇所に印刷するクリーム半田の印刷装置において、前記回路基板を挟持し、該回路基板をマスクに重合させてクリーム半田を回路基板に印刷させるワーク挟持装置を備え、該ワーク挟持装置は、回路基板の一端面が当接する固定クランプ部材と、この固定クランプ部材に対向し、該固定クランプ部材とで挟持して固定する回路基板の他端面に沿い、該他端面に密着するように傾動可能であり、当該他端面を押圧する移動クランプ部材と、該移動クランプ部材を前記固定クランプ部材側に押圧する押圧部材とを備えることを特徴とするクリーム半田の印刷装置が開示されている。特許文献１では、特に図１３に示されていることから明確なように、ワーク挟持装置によって単一の回路基板を挟持して、クリーム半田などの塗布剤を回路基板に塗布していた。
【０００４】
ところで、例えば、ＩＰＭ（インテリジェントパワーモジュール）などの半導体装置においては、図１０に示すように、樹脂などからなるハウジングＨに対して複数の放熱板Ｗ１〜Ｗ３を配列・保持したものがある。そして、図１２に示すように、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３には、絶縁基板５を介して半導体素子６をはんだ付けしたものがある。このような半導体装置においては、アルミニウムからなる伝熱性の高いケースやヒートシンクなどの組み付け対象に組み付ける際に、放熱性能を確保するために、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３の裏面（図では上面）に放熱性グリスを均一に塗布する。放熱板Ｗ１〜Ｗ３に放熱性グリスを塗布する際には、塗布装置３の放熱板Ｗ１〜Ｗ３を覆い得るように構成されたマスク３０を放熱板Ｗ１〜Ｗ３上に載置し、スキージにより放熱性グリスをマスク３０上でのばして透孔を通過させて、放熱板Ｗ１〜Ｗ３のメタルマスク３０が穿孔された部分と対応する部分のみに放熱性グリースを塗布する。この場合に、メタルマスク３０は、ハウジングＨに保持された複数の放熱板Ｗ１〜Ｗ３の配置やその大きさなどに応じて穿孔され、単一の枠体３２に固着されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平４−２３８０３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図１０に示すように、成形された放熱板Ｗ１〜Ｗ３の厚さに誤差が生じることにより、ハウジングＨに保持されたときの放熱板Ｗ１〜Ｗ３の高さが異なることとなる（図１０では放熱板Ｗ２が他の放熱板Ｗ１、Ｗ３よりも高い）。上述したように単一の枠体３２に固着されたメタルマスク３０を使用する従来の技術にあっては、図１１に斜線を施した部分で示すように、高さが高い放熱板Ｗ２に対してはその全面にわたってメタルマスク３０が密着するために、その全面にわたって放熱性グリースを塗布することができるが、低い放熱板Ｗ１、Ｗ３に対してはその全面にわたってメタルマスク３０が密着せず、放熱性グリースを塗布できなかったり所定のパターンの通りに塗布できない部分Ｆが生じるという問題があった。
【０００７】
また、上記従来の技術にあっては、図１２に示すように、絶縁基板５を介して半導体素子６をはんだ付けする際の熱や成形誤差などによって放熱板Ｗ１〜Ｗ３が反るように変形する場合もある。このような場合にも、上述したように配列された放熱板Ｗ１〜Ｗ３によってはその全面にメタルマスク３０が密着しないのは同様のこと、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３のなかでも部分的にメタルマスク３０が全面にわたって密着せず、放熱性グリースを塗布できなかったり所定のパターンの通りに塗布できない部分Ｆが生じるという問題があった。
さらに、図１３に示すように、複数の放熱板Ｗ１〜Ｗ３を保持するハウジングＨの中央部が高くなるように反ったり（ａ）、周辺部が高くなるように反ったりする（ｂ）など、変形することによっても、メタルマスク３０が放熱板Ｗ１〜Ｗ３に対して全面にわたって密着せず、放熱性グリースを塗布できなかったり所定のパターンの通りに塗布できない部分Ｆが生じるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上述した問題を優位に解決するためになされたもので、簡単な構成で、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、各塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ塗布剤を確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで塗布することができる塗布剤の塗布装置およびその方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の塗布剤の塗布装置に係る発明は、上記目的を達成するため、複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布装置であって、各塗布対象の表面に対してそれぞれマスクを移動可能に保持する保持体を有することを特徴とする。
請求項２の塗布剤の塗布装置に係る発明は、上記目的を達成するため、複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布装置であって、マスクが複数の塗布対象を覆い得るよう構成されており、該マスクの、塗布対象の間と対応する部位の剛性を、塗布対象と対応する部位よりも低下させたことを特徴とする。
また、請求項３の塗布剤の塗布方法に係る発明は、上記目的を達成するため、複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布方法であって、塗布対象の表面に対してマスクをそれぞれ移動可能に保持して、各マスクを介して塗布剤を各塗布対象の表面に所定パターンで塗布することを特徴とする。
請求項４の塗布剤の塗布方法に係る発明は、上記目的を達成するため、複数の塗布対象の表面にマスクを介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するための塗布剤の塗布方法であって、複数の塗布対象を覆い得るよう構成されたマスクの、塗布対象の間と対応する部位の剛性を、塗布対象と対応する部位よりも低下させ、該マスクを各塗布対象の表面上に配置して、前記剛性を低下させた部位を少なくとも屈曲または延伸させて各塗布対象の表面に密着させて、マスクを介して塗布剤を各塗布対象の表面に所定パターンで塗布することを特徴とする。
【００１０】
請求項１の発明では、各塗布対象と対応するマスクが、保持体により各塗布対象の表面に対してそれぞれ移動可能に保持されていることにより、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、各塗布対象の表面に対してマスクがそれぞれ移動して密着するため、塗布剤が確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで各塗布対象の表面に塗布される。
請求項２の発明では、マスクが複数の塗布対象を覆い得るような大きさで構成されており、該マスクの、塗布対象の間と対応する部位の剛性を、塗布対象と対応する部位よりも低下させたことにより、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、マスクの互いに隣接する塗布対象の間と対応する部位が屈曲および／または延伸するため、各塗布対象の表面に対してマスクがそれぞれ密着し、塗布剤が確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで各塗布対象の表面に塗布される。
また、請求項３の発明では、塗布対象の表面に対してマスクをそれぞれ移動可能に保持して、各マスクを介して塗布剤を各塗布対象の表面に所定パターンで塗布することにより、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、各塗布対象の表面に対してマスクをそれぞれ密着させるため、塗布剤が確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで各塗布対象の表面に塗布される。
請求項４の発明では、複数の塗布対象を覆い得るような大きさで構成されたマスクの、塗布対象の間と対応する部位の剛性を、塗布対象と対応する部位よりも低下させ、該マスクを各塗布対象の表面上に配置して、前記剛性を低下させた部位を少なくとも屈曲または延伸させて各塗布対象の表面に密着させて、マスクを介して塗布剤を各塗布対象の表面に所定パターンで塗布するため、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、塗布剤が確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで各塗布対象の表面に塗布される。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明によれば、各塗布対象と対応するマスクが、保持体により各塗布対象の表面に対してそれぞれ移動可能に保持されているという簡単な構成により、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、各塗布対象の表面に対してマスクがそれぞれ移動して密着するため、塗布剤を確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで各塗布対象の表面に塗布することができる塗布剤の塗布装置を提供することができる。
請求項２の発明によれば、マスクが複数の塗布対象を覆い得るよう構成されており、該マスクの、塗布対象の間と対応する部位の剛性を、塗布対象と対応する部位よりも低下させたという簡単な構成により、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、マスクの互いに隣接する塗布対象の間と対応する部位が屈曲および／または延伸するため、各塗布対象の表面に対してマスクがそれぞれ密着し、塗布剤を確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで各塗布対象の表面に塗布することができる塗布剤の塗布装置を提供することができる。
また、請求項３の発明によれば、塗布対象の表面に対してマスクをそれぞれ移動可能に保持して、各マスクを介して塗布剤を各塗布対象の表面に所定パターンで塗布するという簡単な構成により、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、各塗布対象の表面に対してマスクがそれぞれ密着するため、塗布剤を確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで各塗布対象の表面に塗布することができる塗布剤の塗布方法を提供することができる。
請求項４の発明によれば、複数の塗布対象を覆い得るよう構成されたマスクの、塗布対象の間と対応する部位の剛性を、塗布対象と対応する部位よりも低下させ、該マスクを各塗布対象の表面上に配置して、前記剛性を低下させた部位を少なくとも屈曲または延伸させて各塗布対象の表面に密着させて、マスクを介して塗布剤を各塗布対象の表面に所定パターンで塗布するため、各塗布対象が均一な高さでない場合や変形あるいは傾斜している場合であっても、塗布剤を確実にかつ精度良くそれぞれ所定のパターンで各塗布対象の表面に塗布することができる塗布剤の塗布方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
最初に、本発明の塗布剤の塗布装置１およびその塗布方法の実施の一形態を、図１〜図６に基いて詳細に説明する。
本発明の塗布剤の塗布装置１は、概略、複数の塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面にマスク１０を介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するためのものであって、各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３に塗布剤をそれぞれ塗布するパターンが穿孔されたマスク１０、１０、１０と、各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面に対して各マスク１０を移動可能に保持するフローティング機構を含む保持体１１を有している。
また、本発明の塗布剤の塗布方法は、概略、複数の塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面にマスク１０を介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するためのものであって、各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３に塗布剤を塗布するパターンが穿孔されたマスク１０、１０、１０を塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面に対してそれぞれ移動可能に保持して、各マスク１０を介して塗布剤を各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面に所定パターンで塗布するものである。
なお、以下の実施の形態では、塗布対象が半導体装置のハウジングＨに配列保持される３つの放熱板Ｗ１〜Ｗ３であり、塗布剤が放熱性グリースである場合により説明する。
【００１３】
ハウジングＨは、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３を収容する収容部５０が形成されており、各収容部５０の底面中央には開口部５１が形成されて放熱板Ｗ１〜Ｗ３の下面が露出している。各収容部５０の底面の開口部５１周囲は、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３を支持する段部５２が構成されている。放熱板Ｗ１〜Ｗ３は、ハウジングＨの収容部５０にそれぞれ嵌め込まれて段部５２で支持されると、その厚さ方向の上半分がハウジングＨの上面から突出し、隣接する放熱板Ｗ１とＷ２、および、Ｗ２とＷ３の間に所定の間隔をあけた状態で配列される。なお、放熱板Ｗ１〜Ｗ３の表面（図では下面）には、図１２に示したように、絶縁基板５を介して半導体素子６がはんだ付けされている場合があり、かかる絶縁基板５および半導体素子６は、開口部５１に通される。
【００１４】
マスク１０は、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３と個別に対応するよう複数用意される。各マスク１０は、例えばアルミニウムやニッケルなど、金属製の薄板により構成されたもので、それぞれ放熱性グリースを塗布するパターンに応じて、すなわちこの実施の形態では、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３の表面にほぼ全面にわたって放熱性グリースを塗布する場合には各放熱板Ｗ１〜Ｗ３と相似形で、その大きさと同じかまたは僅かに小さい大きさで開口するよう穿孔されている。なお、各マスクＷ１〜Ｗ３に穿孔するパターンは、塗布対象に塗布するパターンに応じて、部分的である場合があり、また塗布対象によって異なる場合もある。各マスクＷ１〜Ｗ３は、その周縁が枠体１２の一方側の面に固着されている。
【００１５】
保持体１１は、放熱板Ｗ１〜Ｗ３の表面に対して垂直方向に延在するウエブ１３と、ウエブ１３の両端に放熱板Ｗ１〜Ｗ３の表面と平行に延在するフランジ１４、１５とにより構成されている。各マスク１０の枠体１２は、両フランジ１４、１５の間でウエブ１３に沿って移動することができ、かつ、その移動がフランジ１４、１５によって規制されるよう保持されており、これによりフローティング機構が構成されている。このような保持体１１にマスク１０の枠体１２を組み付けるためには、図３に示すように、保持体１１の一方のフランジ１４を構成する板状の部材１１Ａと、他方のフランジ１５とウエブ１３を構成する部材１１Ｂとに分割して成形し、互いに隣接するウエブ１５、１５の間に各マスク１０の枠体１２をそれぞれ嵌挿配置し、部材１１Ａのフランジ１４と部材１１Ｂのウエブ１５の端面とを接着、溶着、あるいはボルトで締結するなど、接合することにより構成することができる。なお、本発明の保持体１１は、各マスク１０の枠体１２を取り囲むようにして板材を屈曲成形して接合することにより、ウエブ１３とフランジ１４、１５とを構成することもできる。なお、下方のフランジ１５は、放熱板Ｗ１〜Ｗ３に干渉することなく、ハウジングＨの上面に当接し得る幅に成形される。
【００１６】
各放熱板Ｗ１〜Ｗ３に放熱性グリースを塗布するに際しては、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３に対して各マスク１０が対応するように保持体１１をハウジング上に位置決め載置し、各マスク１０上に放熱性グリースを載せてスキージより拡げる。ここで、放熱板Ｗ１〜Ｗ３は、その成形誤差などによって、高さが異なる場合がある。図４に示した実施の形態の場合、中央の放熱板Ｗ２の厚さが両側の放熱板Ｗ１、Ｗ３よりも高くなっている。しかしながら、本発明では、マスク１０の枠体１２が放熱板Ｗ１〜Ｗ３の高さに応じてウエブ１３に沿って保持体に対して相対的に垂直方向に昇降移動可能に案内される。また、図１２に示したように放熱板Ｗ１〜Ｗ３が変形したり、図１３に示したようにハウジングＨが変形して、放熱板Ｗ１〜Ｗ３が傾斜した状態で保持されたような場合であっても、各マスク１０が保持体１１に対してフランジ１４、１５の間で昇降したり傾斜するよう移動可能に支持されているために、放熱板Ｗ１〜Ｗ３の表面の変形や傾斜に応じてマスク１０が昇降したり傾斜するよう移動する。そのため、互いに隣接する放熱板Ｗ１〜Ｗ３の高さの違いや変形あるいは傾斜などに影響されることなく、放熱板Ｗ１〜Ｗ３の上面にマスク１０がそれぞれ密着することとなる。したがって、従来の技術のように放熱性グリースを塗布できなかったり所定のパターンの通りに塗布できない部分Ｆ（図１１を参照）が生じることがなく、放熱板Ｗ１〜Ｗ３の上面に放熱性グリースをマスク１０に穿孔されたパターン通りに確実かつ精度良く塗布することができる。
【００１７】
ここで、塗布対象である放熱板Ｗ１〜Ｗ３に対して各マスク１０を正確に位置決めする必要がある場合には、図５に部分拡大図で示すように、保持体１１の下方のフランジ１５を放熱板Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間隔にそれぞれ応じた幅に成形し、マスク１０の枠体１２を保持体１１のウエブ１３に摺動可能に接するように構成して、放熱板Ｗ１〜Ｗ３に対して保持体１１が位置決めされ、この保持体１１に対してマスク１０の枠体１２が位置決めされるように構成することができる。この場合においては、フランジ１５を放熱板Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間に容易に挿入することができるようフランジ１５の下方角隅部に傾斜面を形成することが望ましい。
また、図６に部分拡大図で示すように、マスク１０の枠体１２を放熱板Ｗ１〜Ｗ３に直接嵌合することにより、放熱板Ｗ１〜Ｗ３に対してマスク１０が位置決めされるように構成することもできる。この場合においては、マスク１０の枠体１２を各放熱板Ｗ１〜Ｗ３に容易に嵌合することができるよう枠体１２の下方内周角隅部に傾斜面を形成することが望ましい。また、保持体１１の下方のフランジ１５を放熱板Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間隔よりも狭い幅に成形し、マスク１０の枠体１２の外周が保持体１１のウエブ１３に接することがないようにして、保持体１１が放熱板Ｗ１〜Ｗ３に対して僅かに遊びを有するように構成することができる。
【００１８】
次に、上述した実施の形態の変形例を図７に基いて説明する。なお、ここでは、上述した実施の形態と同様の部分または相当する部分については、同じ符号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
図７は、ハウジングＨに配列された放熱板Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間隔Ｋが上述した実施の形態よりも狭い場合を示した部分拡大断面図である。この実施の形態における保持体１１’は、上述した実施の形態において放熱板Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間に位置するウエブ１３がない代りに、両フランジ１４、１５の間にわたって延在する線条のガイド部材１６が設けられており、マスク１０の枠体１２’にはガイド部材１６を挿通するガイド孔１７が形成されている。このような構成により、ガイド部材１６がガイド孔１７に挿通された枠体１２’は、保持体１１’に対して相対的に昇降したり傾斜するよう移動することができ、したがって、放熱板Ｗ１〜Ｗ３の高さの違いや変形あるいは傾斜などに応じてマスク１０が移動することができる。そして、ガイド部材１６によりマスク１０の枠体１２が昇降移動することができるよう構成したことにより、上述した実施の形態のように放熱板Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間に位置するウエブ１３をなくすることができるため、互いに隣接するマスク１０の枠体１２を近付けることができ、したがって、ハウジングＨに配列された放熱板Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間隔Ｋが狭い場合にも対応することができる。
【００１９】
次に、本発明の塗布剤の塗布装置およびその塗布方法の別の実施の形態を、図８および図９に基いて詳細に説明する。この実施の形態を説明するに際しては、上述した実施の形態と同様の部分または相当する部分については同じ符号を付してその説明を省略する。
本発明の塗布剤の塗布装置２は、概略、複数の塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面にマスク２０を介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するためのものであって、マスク２０が複数の塗布対象Ｗ１〜Ｗ３を覆い得るよう構成されており、このマスクは、塗布対象Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間と対応する部位２４が、塗布対象Ｗ１〜Ｗ３と対応する部位２３よりも剛性を低下させている。
また、本発明の塗布剤の塗布方法は、概略、複数の塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面にマスク２０を介してそれぞれ所定のパターンで塗布剤を塗布するためのものであって、複数の塗布対象Ｗ１〜Ｗ３を覆い得るようマスクを構成するとともに、このマスク２０の、塗布対象Ｗ１ＷとＷ２、Ｗ２とＷ３の間と対応する部位２４の剛性を、塗布対象Ｗ１〜Ｗ３と対応する部位２３の剛性よりも低下させ、このマスク２０を各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面上に配置して、前記剛性を低下させた部位２４を少なくとも屈曲または延伸させることにより各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面に密着させて、マスク２０を介して塗布剤を各塗布対象Ｗ１〜Ｗ３の表面に所定パターンで塗布するものである。
なお、この実施の形態においても、上述した実施の形態と同様に、塗布対象が半導体装置のハウジングＨに配列保持される３つの放熱板Ｗ１〜Ｗ３であり、塗布剤が放熱性グリースである場合で説明する。
【００２０】
マスク２０は、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３を覆い得る大きさに成形されており、単一の枠体２２に固着されている。マスク２０の、互いに隣接する放熱板Ｗ１とＷ２、Ｗ２とＷ３の間と対応する部位２４はその剛性が低下されている。マスク２０の剛性を部分的に低下させるための手法としては、図９の（ａ）に断面図で示すようにマスク２０の板厚を減少させた部分２４ａを形成したり、図９の（ｂ）に断面図で示すようにマスク２０に波状あるいは蛇腹状の部分２４ｂを屈曲成形したり、図９の（ｃ）に平面図で示すように、開口部２４ｃを複数穿設することなどにより達成することができる。
【００２１】
各放熱板Ｗ１〜Ｗ３に放熱性グリースを塗布するに際しては、図８に示すように、全ての放熱板Ｗ１〜Ｗ３に対してマスク２０が覆うように載置し、マスク２０上に放熱性グリースを載せてスキージより拡げる。放熱板Ｗ１〜Ｗ３の高さが異なる（図８ではＷ２が高い）場合には、マスク２０の剛性を低下された部分２４が屈曲および／または延伸することにより、マスク２０の塗布対象Ｗ１〜Ｗ３と対応する部位２３が昇降移動して、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３に密着することとなる。また、放熱板Ｗ１〜Ｗ３が変形したり傾斜するよう保持されている場合であっても、放熱板Ｗ１〜Ｗ３の表面に応じて、塗布対象Ｗ１〜Ｗ３と対応する部位２３が傾斜移動して各放熱板Ｗ１〜Ｗ３に密着することとなる。そのため、互いに隣接する放熱板Ｗ１〜Ｗ３の高さの違いに影響されることなく、放熱板Ｗ１〜Ｗ３の上面にマスク２０の対応する部分２３が密着することとなる。したがって、従来の技術のように放熱性グリースを塗布できなかったり所定のパターンの通りに塗布できない部分Ｆ（図１１を参照）が生じることがなく、各放熱板Ｗ１〜Ｗ３の上面に放熱性グリースをマスク２０に穿孔されたパターン通りに確実かつ精度良く塗布することができる。なお、マスク２０の剛性が低下された部分２４が延伸した場合においては、特に図９の（ｂ）に示したように蛇腹状などに成形することにより、放熱性グリースの塗布が完了して放熱板Ｗ１〜Ｗ３上からマスク２０を除去したときに、かかる延伸した部分２４が収縮復帰するよう構成することができる。
【００２２】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されることはない。半導体装置のハウジングＨに配列保持された放熱板以外の塗布対象に塗布剤を塗布する場合にも適用することができ、３つ以外の複数の塗布対象にも適用することができる。また塗布剤としては、放熱性グリース以外にクリーム半田など、ゲル状の流動性を有する他のものにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の塗布剤の塗布装置の一実施の形態を説明するために概念的に示した断面図である。
【図２】図１の底面図である。
【図３】図１に示した塗布剤の塗布装置を組み立てるための構成を概念的に示した断面図である。
【図４】図１に示した塗布剤の塗布装置を、複数の塗布対象である放熱板を保持したハウジングに適用した場合を示す断面図である。
【図５】塗布対象に対してマスクを位置決めする必要がある場合の実施の一形態を示す部分拡大断面図である。
【図６】塗布対象に対してマスクを位置決めする必要がある場合の図５と異なる実施の一形態を示す部分拡大断面図である。
【図７】図１に示した本発明の塗布剤の塗布装置の変形例を説明するために示した部分拡大断面図である。
【図８】本発明の塗布剤の塗布装置の別の実施の形態を、複数の塗布対象である放熱板を保持したハウジングに載置した状態で説明するために示した断面図である。
【図９】図８に示した塗布剤の塗布装置のマスクの剛性を低下させるための構成の実施の形態を説明するために示した断面図（ａ）（ｂ）および、平面図（ｃ）である。
【図１０】従来の塗布剤の塗布装置を、高さが異なる放熱板を保持したハウジングに載置した状態で説明するために示した断面図である。
【図１１】図１０に示した高さの異なる放熱板に対して塗布装置により塗布剤を塗布した状態を説明するために示した平面図である。
【図１２】従来の塗布剤の塗布装置を、変形した放熱板を保持したハウジングに載置した状態で説明するために示した断面図である。
【図１３】複数の放熱板を保持するためのハウジングが変形した状態で成形された状態を説明するために示した断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１：本発明の塗布装置、  １０：マスク、  １１：保持体、  ２：本発明の塗布装置、  ２０：マスク、  ２３：マスクの塗布対象と対応する部位、  ２４：マスクの塗布対象の間と対応する部位（剛性低下部分）
【図１】
2006346562.tif 000003
【図２】
2006346562.tif 000004
【図３】
2006346562.tif 000005
【図４】
2006346562.tif 000006
【図５】
2006346562.tif 000007
【図６】
2006346562.tif 000008
【図７】
2006346562.tif 000009
【図８】
2006346562.tif 000010
【図９】
2006346562.tif 000011
【図１０】
2006346562.tif 000012
【図１１】
2006346562.tif 000013
【図１２】
2006346562.tif 000014
【図１３】
2006346562.tif 000015