(57)【要約】【課題】  コア層を伝搬する光信号を直角に曲げることのできる光反射面及びその形成方法を提供する。【解決手段】  基板１１上に、断面が略矩形状の高屈折率コア層１３を設け、その高屈折率コア層１３を覆うように低屈折率上部クラッド層１４を設け、上記高屈折率コア層１３に、高屈折率コア層１３を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面１７を形成する溝１６を備えた直角曲げ導波路の光反射面１７において、溝１６を形成する際、その溝壁の平面部を高屈折率コア層１３に位置させるべく、低屈折率上部クラッド層１４上方からレーザビームＢを高屈折率コアガラス層１３に照射し、上記平面部を光反射面１７とした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に断面が略矩形状の高屈折率コア層を設け、その高屈折率コア層を覆うように低屈折率上部クラッド層を設け、上記高屈折率コア層に、高屈折率コア層を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面を形成する溝を備えた直角曲げ導波路の光反射面において、
上記低屈折率上部クラッド層上方からCO2レーザビームを上記高屈折率コア層に照射して、高屈折率コア層に対して略45°の傾斜を有すると共に少なくとも高屈折率コア層の幅よりも広い溝を形成し、その溝壁の平面部で構成されることを特徴とする光反射面。
【請求項２】
基板上に断面が略矩形状の高屈折率コア層を設け、その高屈折率コア層を覆うように低屈折率上部クラッド層を設け、上記高屈折率コア層に、高屈折率コア層を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面を形成する溝を備えた直角曲げ導波路の光反射面において、
上記低屈折率上部クラッド層をその厚さ20μｍ以上に形成し、上記低屈折率上部クラッド層上方からCO2レーザビームを上記高屈折率コア層に照射して、高屈折率コア層に対して略45°の傾斜を有すると共に少なくとも高屈折率コア層の幅よりも広い溝を形成し、その溝壁の平面部で構成されることを特徴とする光反射面。
【請求項３】
上記低屈折率上部クラッド層の面に対して52〜56°方向のCO2レーザビームを照射して上記溝が形成された請求項１または２に記載の光反射面。
【請求項４】
上記低屈折率上部クラッド層の面に対して4〜7°方向のCO2レーザビームを照射して上記溝が形成された請求項１または２に記載の光反射面。
【請求項５】
基板上に低屈折率下部クラッド層を介して上記高屈折率コア層を設けた請求項１〜４いずれかに記載の光反射面。
【請求項６】
基板上に、断面が略矩形状の高屈折率コア層を設け、その高屈折率コア層を覆うように低屈折率上部クラッド層を設け、上記高屈折率コア層に、高屈折率コア層を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面を形成する溝を備えた直角曲げ導波路の光反射面の形成方法において、
上記低屈折率上部クラッド層上方からCO2レーザビームを上記高屈折率コア層に照射して、高屈折率コア層に対して略45°の傾斜を有すると共に少なくとも高屈折率コア層の幅よりも広い溝を形成し、その溝壁の平面部で構成することを特徴とする光反射面の形成方法。
【請求項７】
基板上に、断面が略矩形状の高屈折率コア層を設け、その高屈折率コア層を覆うように低屈折率上部クラッド層を設け、上記高屈折率コア層に、高屈折率コア層を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面を形成する溝を備えた直角曲げ導波路の光反射面の形成方法において、
上記低屈折率上部クラッド層をその厚さ20μｍ以上に形成し、その記低屈折率上部クラッド層上方からCO2レーザビームを上記高屈折率コア層に照射して、高屈折率コア層に対して略45°の傾斜を有すると共に少なくとも高屈折率コア層の幅よりも広い溝を形成し、その溝壁の平面部で構成することを特徴とする光反射面の形成方法。
【請求項８】
上記低屈折率上部クラッド層の面に対して52〜56°方向のCO2レーザビームを照射して、上記溝を形成する請求項６または７に記載の光反射面の形成方法。
【請求項９】
上記低屈折率上部クラッド層の面に対して4〜7°方向のCO2レーザビームを照射して、上記溝を形成する請求項６または７に記載の光反射面の形成方法。
【請求項１０】
上記低屈折率上部クラッド層表面をガルバノミラーを用いてCO2レーザビームでスキャンして上記溝を形成する請求項６〜９いずれかに記載の光反射面の形成方法。
【請求項１１】
CO2レーザビームのパワー或いはガルバノミラーのスキャン速度の少なくとも一方を制御して、上記溝の深さを調節する請求項１０に記載の光反射面の形成方法。
【請求項１２】
基板上に低屈折率下部クラッド層を設け、その低屈折率下部クラッド層上に上記高屈折率コア層を設ける請求項６〜１１いずれかに記載の光反射面の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路のコア層内を伝搬する光信号を直角に曲げて伝搬させるための光反射面及びその形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図７に示すように、ガラス導波路７０は、基板７１上に設けられる低屈折率下部クラッド層７２と、低屈折率下部クラッド層７２上に設けられ断面が略矩形状の高屈折率コア層７３と、高屈折率コア層７３を覆うように設けられる低屈折率上部クラッド層７４とを備える。先に本発明者は、高屈折率コア層７３を伝搬する光信号を直角に曲げるための光反射面を形成する溝を、CO2レーザビームＢを上部クラッド層７４の上方から45°傾けて、高屈折率コア層７３に照射する方法により形成した直角曲げ導波路を提案している。
【０００３】
図８に示すように、その直角曲げ導波路８０は、低屈折率上部クラッド層７４の面に対して４５°傾いた溝８１を備え、コア層７３内を伝搬する光信号（矢印Ｌ５）を、溝８１とコア層７３との境界面（光反射面）８２で反射させて、低屈折率上部クラッド層８４の上方向に伝搬させている（矢印Ｌ６）。
【０００４】
直角曲げ導波路８０の基板７１には、石英系ガラス基板或いはSi基板が用いられる。CO2レーザビームＢは、そのビームスポット径が150〜200μｍであり、その出力は数十Ｗから数百Ｗである。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３１１２７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図８の直角曲げ導波路８０の光反射面８２には以下の問題点があった。
【０００７】
（１）CO2レーザビームのビームスポット径は、150〜200μｍと大きいために、低屈折率上部クラッド層７４の上面に45°傾けてCO2レーザビームを照射して溝８１を形成しても、溝８１の傾斜角度は45°にならず、図９に示す溝８１の形状分布９１によれば、約６５°の溝が形成されてしまう。そのため、高屈折率コア層７３内を伝搬する光信号を直角に上面に曲げることができない。
【０００８】
（２）図９に示したように、溝８１の形状分布９１は直線的な斜面にならず、CO2レーザビームのパワー分布（ガウス分布）が斜めに入射することによる曲線的な斜面となり、この斜面で曲げられた（反射された）光信号は、直角曲げ導波路８０の上面方向に大きく拡がりを有して出射されることがわかった。このため、光信号を所望の直角方向に出射させることができない。例えば、直角曲げ導波路８０の上面に設けた光受光素子に光信号を効率よく受光させることができないことがある。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、コア層を伝搬する光信号を直角に曲げることのできる光反射面及びその形成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、基板上に断面が略矩形状の高屈折率コア層を設け、その高屈折率コア層を覆うように低屈折率上部クラッド層を設け、上記高屈折率コア層に、高屈折率コア層を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面を形成する溝を備えた直角曲げ導波路の光反射面において、上記低屈折率上部クラッド層上方からCO2レーザビームを上記高屈折率コア層に照射して、高屈折率コア層に対して略45°の傾斜を有すると共に少なくとも高屈折率コア層の幅よりも広い溝を形成し、その溝壁の平面部で構成される光反射面である。
【００１１】
請求項２の発明は、基板上に断面が略矩形状の高屈折率コア層を設け、その高屈折率コア層を覆うように低屈折率上部クラッド層を設け、上記高屈折率コア層に、高屈折率コア層を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面を形成する溝を備えた直角曲げ導波路の光反射面において、上記低屈折率上部クラッド層をその厚さ20μｍ以上に形成し、上記低屈折率上部クラッド層上方からCO2レーザビームを上記高屈折率コア層に照射して、高屈折率コア層に対して略45°の傾斜を有すると共に少なくとも高屈折率コア層の幅よりも広い溝を形成し、その溝壁の平面部で構成される光反射面である。
【００１２】
請求項３の発明は、上記低屈折率上部クラッド層の面に対して52〜56°方向のCO2レーザビームを照射して上記溝が形成された請求項１または２に記載の光反射面である。
【００１３】
請求項４の発明は、上記低屈折率上部クラッド層の面に対して4〜7°方向のCO2レーザビームを照射して上記溝が形成された請求項１または２に記載の光反射面である。
【００１４】
請求項５の発明は、基板上に低屈折率下部クラッド層を介して上記高屈折率コア層を設けた請求項１〜４いずれかに記載の光反射面である。
【００１５】
請求項６の発明は、基板上に、断面が略矩形状の高屈折率コア層を設け、その高屈折率コア層を覆うように低屈折率上部クラッド層を設け、上記高屈折率コア層に、高屈折率コア層を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面を形成する溝を備えた直角曲げ導波路の光反射面の形成方法において、上記低屈折率上部クラッド層上方からCO2レーザビームを上記高屈折率コア層に照射して、高屈折率コア層に対して略45°の傾斜を有すると共に少なくとも高屈折率コア層の幅よりも広い溝を形成し、その溝壁の平面部で構成する光反射面の形成方法である。
【００１６】
請求項７の発明は、基板上に、断面が略矩形状の高屈折率コア層を設け、その高屈折率コア層を覆うように低屈折率上部クラッド層を設け、上記高屈折率コア層に、高屈折率コア層を伝搬する光信号を直角に上方向或いは下方向に曲げて伝搬させるための光反射面を形成する溝を備えた直角曲げ導波路の光反射面の形成方法において、上記低屈折率上部クラッド層をその厚さ20μｍ以上に形成し、その記低屈折率上部クラッド層上方からCO2レーザビームを上記高屈折率コア層に照射して、高屈折率コア層に対して略45°の傾斜を有すると共に少なくとも高屈折率コア層の幅よりも広い溝を形成し、その溝壁の平面部で構成する光反射面の形成方法である。
【００１７】
請求項８の発明は、上記低屈折率上部クラッド層の面に対して52〜56°方向のCO2レーザビームを照射して、上記溝を形成する請求項６または７に記載の光反射面の形成方法である。
【００１８】
請求項９の発明は、上記低屈折率上部クラッド層の面に対して4〜7°方向のCO2レーザビームを照射して、上記溝を形成する請求項６または７に記載の光反射面の形成方法である。
【００１９】
請求項１０の発明は、上記低屈折率上部クラッド層表面をガルバノミラーを用いてCO2レーザビームでスキャンして上記溝を形成する請求項６〜９いずれかに記載の光反射面の形成方法である。
【００２０】
請求項１１の発明は、CO2レーザビームのパワー或いはガルバノミラーのスキャン速度の少なくとも一方を制御して、上記溝の深さを調節する請求項１０に記載の光反射面の形成方法である。
【００２１】
請求項１２の発明は、基板上に低屈折率下部クラッド層を設け、その低屈折率下部クラッド層上に上記高屈折率コア層を設ける請求項６〜１１いずれかに記載の光反射面の形成方法である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、コア層を伝搬する光信号を直角に曲げることができるといった優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２４】
図１は本発明に係る直角曲げ導波路の光反射面の好適な第１の実施の形態を示した断面図である。
【００２５】
図１に示すように、直角曲げ導波路１０は、基板１１と、基板１１上に設けられる低屈折率下部クラッド層（以下、下部クラッド層）１２と、下部クラッド層１２上に設けられ断面が略矩形状の高屈折率コア層（以下、コア層）１３と、コア層１３を覆って設けられる低屈折率上部クラッド層（以下、上部クラッド層）１４とからなる光導波路１５を備える。
【００２６】
本実施の形態では、基板１１として石英ガラス基板を用いたが、石英ガラス以外に多成分系ガラス、Si、GaAs、InP等の半導体材料、セラミックス等の磁性体材料、LiNbO3、LiTaO5等の強誘電体材料或いはプラスチック等で形成された基板を用いてもよい。
【００２７】
直角曲げ導波路１０は、コア層１３に光反射面１７を形成するための溝１６を備え、その溝１６は、矢印Ｌ１方向からコア層１３内に入射してコア層１３内を伝搬する光信号を、光反射面１７で反射させて上部クラッド層１４の面に対して垂直に曲げて（矢印Ｌ２方向に）伝搬させるために形成されるものである。
【００２８】
直角曲げ導波路１０において、重要なことは、光導波路１５に溝１６を形成する際、その溝壁の平面部をコア層１３に位置させるべく、上部クラッド層１４上方からレーザビームをコア層１３に照射し、溝壁の平面部を光反射面１７とすることである。そのため、上部クラッド層１４の厚みを20μｍ以上に厚く設けるのが好ましい。
【００２９】
また、溝１６は、上部クラッド層１４の上面に対して角度52°〜56°方向のCO2レーザビームをコア層１３上方の上部クラッド層１４表面に照射して形成され、光反射面１７が、コア層１３に対して略45°の傾斜角度を有している。
【００３０】
さらに、溝１６のｘ方向の長さを溝幅、溝１６のｙ方向の長さを溝長さとすると、光反射面１７を形成する溝１６の溝長さが、コア層１３の幅より広く形成されている。
【００３１】
直角曲げ導波路１０では、下部クラッド層１２、上部クラッド層１４及びコア層１３が、石英系ガラス材料で形成されている。コア層１３は、SiO2にGeO2を添加した材料で形成され、その厚さ及び幅は約５×５μｍに形成されている。下部クラッド層１２及び上部クラッド層１４は、SiO2或いはSiO2にFを添加した材料で形成されている。コア層１３とクラッド層１２，１４との比屈折率差Δは0.3〜3％の範囲である。
【００３２】
ここで、石英ガラス基板を用いて、その基板にCO2レーザビームをガルバノミラーで溝長さ20μｍの範囲をスキャンしながら照射し、溝壁の傾斜角度を略45°に形成する方法、すなわち光反射面を形成する方法について説明する。
【００３３】
図３に示すように、厚みが1ｍｍの石英ガラス基板３１をθ°傾けておき、その石英ガラス基板３１の上面方向からCO2レーザビーム（パワー55W）Ｂをガルバノミラーで溝長さ20μｍの範囲にわたり、スキャン速度500mm/sの速度でスキャンしながら照射し、石英ガラス基板３１に溝３２を形成した。
【００３４】
本発明者は、角度θ°をパラメータにして溝３２を複数形成し、それらの溝３２の形状分布を触診段差計で測定して、各々角度θにおける溝壁角φ１及びφ２を求めた。溝壁角φ１は溝３２の一方の溝壁３３と石英ガラス基板上面３５とがなす角度を表し、溝壁角φ２は溝３２の他方の溝壁３４と石英ガラス基板上面３５とがなす角度を表す。
【００３５】
図４に示すように、本発明者は、測定結果から、角度θを約55°付近にしてCO2レーザビームＢを照射することにより、傾斜角度が略45°の光反射面を形成することができることを見出した。すなわち、溝壁角φ１の分布線４１によれば、角度θが約55°となるように石英ガラス基板３１を傾けて形成した溝３２は、その溝壁角φ１が略45°の光反射面を有することがわかった。
【００３６】
図５は、レーザビームＢの照射角度を約55°としたときの石英ガラス基板３１に形成された溝３２の形状分布を触診段差計で測定した結果である。図５に示すように、溝の形状分布５１によれば、溝壁角φ１が約45°になっており、この形状分布５１を有する溝を図１の光反射面１７として作用させることができる。また、形状分布５１からわかるように、石英ガラス基板表面３５から約20μｍの深さまでは曲線形状になっており、約20μｍよりも深い位置では直線的に溝３２が掘られている（形成されている）ことがわかる。
【００３７】
したがって、図１の直角曲げ導波路１０において、上部クラッドを20μｍ以上の厚さに形成すれば、溝壁が直線的に形成された箇所（平面部）がコア層１３に位置し、平面的な光反射面１７が得られる。
【００３８】
次に、直角曲げ導波路（伝搬長約80ｍｍ）１０の光学特性測定結果について示す。図１の直角曲げ導波路１０において、矢印Ｌ１方向からコア層１３内に入射させる波長1.55μｍの光信号のパワーと、矢印Ｌ２方向に出射する光信号のパワーとを測定して光損失を評価した。出射した光信号のパワーは、光反射面１７上方かつ上部クラッド層１４のすぐ真上に径100μｍのピンホールを設置し、そのピンホールを通過した光のパワーである。測定した結果、1.5dBであった。この値から光導波路１５の伝搬損失（約1dB）を引けば光反射面１７の光損失は約0.5dBと低損失である。
【００３９】
本実施の形態の光反射面及びその形成方法は以下に示す効果を有する。
【００４０】
（１）基板１１上に、断面が略矩形状のコア層１３を設け、そのコア層１３を覆うように上部クラッド層１４を設け、コア層１３に、コア層１３を伝搬する光信号を直角に上部クラッド層１４方向に曲げて伝搬させるために、CO2レーザビームＢを上部クラッド層１４表面に対して角度52°〜56°方向から照射し、そのコア層１３に略45°の傾斜を有すると共に、溝長さが少なくともコア層１３の幅よりも広い溝１６を形成した構造とすることにより、光信号を直角に曲げてクラッド層１４の上方向に効率よく低損失で出射させることができる。
【００４１】
ここで、コア層１３の上に形成されている上部クラッド層１４の厚みを少なくとも20μｍよりも厚く形成する理由を以下に述べる。本発明者は、CO2レーザビームのパワー分布（ガウス分布）が上部クラッド層１４表面に斜めに入射することによって形成される溝１６の形状が、上部クラッド層１４の領域では変形した曲線的な斜面となり、それよりも深い領域、すなわちコア層１３の領域では45°の直線的な斜面が形成されるという実験結果を見出した。これにより、このコア層１３の領域での45°の直線的な斜面を光反射面１７として作用させるように、上部クラッド層１４の厚みを20μｍ以上とした。尚、コア層１３よりも更に深い領域（下部クラッド層１２）は再び変形した曲線的な斜面となった。
【００４２】
（２）本実施の形態の光反射面１７の形成方法には、従来のCO2レーザを用いることができ、しかもそのビームスポット径は150〜200μｍのままでよい。さらに、その出力は数十Ｗから数百Ｗ程度のものを用いることができるので、安価なレーザ加工装置（数百万円）を用いて、きわめて高速に（加工速度が50mm/sから500mm/sへと十倍程度）加工することができる。これにより、低コストで、生産性よく直角曲げ導波路を形成することができる。また、その直角曲げ導波路を用いて高性能な光デバイスを低コストで作製することができる。
【００４３】
（３）本実施の形態の直角曲げ導波路１０の光反射面１７は、光導波路１５を作製した後の段階で、CO2レーザ加工をすることにより作製することができるので、光導波路１５の製造工程を束縛することなく作製することができる。これにより、光信号を直角に曲げる構造を多用する光回路と電気回路とを複合化した光電気複合デバイスの作製を容易に実現することができる。
【００４４】
（４）コア層１３に略45°の傾斜を有すると共に、溝１６の長さを少なくともコア層１３の幅よりも広い溝１６を形成した構造とすることにより、コア層１３内を伝搬した光信号の大部分を極めて効率よく直角に曲げて伝搬させることができる。
【００４５】
（５）CO2レーザで形成した溝１６は、溝壁が凹凸しておらず、極めて滑らかな（シャープな）傾斜面を有しているので、効率のよい光反射面１７を形成することができる。
【００４６】
（６）コア層１３を分断するように形成した溝１６からなる光反射面１７は、一方の方向からコア層１３内を伝搬してきた光信号を直角に曲げて伝搬させることができるが、反対方向からコア層１３内に伝搬した光信号に対しては溝１６で不均一に散乱させて一方側のコア層１３内に伝搬することを阻止することができる。
【００４７】
（７）本実施の形態の直角曲げ導波路の光反射面は、CO2レーザビームをガルバノミラーでスキャンすることで、高速で形成することができる。ひいては、低コストの光デバイスの実現に有効である。
【００４８】
次に、本発明に係る直角曲げ導波路の光反射面の好適な第２の実施形態について説明する。
【００４９】
基本的な構成部分は上述した図１の直角曲げ導波路１０とほぼ同様であり、同一構成部分には図１の場合と同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００５０】
図２に示すように、本実施の形態の直角曲げ導波路２０の備える溝２１は、矢印Ｌ３方向からコア層１３内に入射してコア層１３内を伝搬する光信号を、光反射面２２で反射させて基板１１の裏面（図２中では下面）に対して垂直に曲げて（矢印Ｌ４方向に）伝搬させるために形成されるものである。
【００５１】
ここで重要なことは、前実施の形態の直角曲げ導波路１０と同様な理由により、上部クラッド層１４の厚みを少なくとも20μｍよりも厚く設けることである。また、溝２１は、コア層１３内を伝搬する光信号を基板１１に対して直角に曲げて基板１１の裏面側に伝搬させるために、CO2レーザビームを上部クラッド層１４表面に対して角度4°〜7°方向から照射し、コア層１３に略45°の傾斜を有する光反射面２２を形成した。CO2レーザビームの照射角度を4°〜7°とする理由を、先に説明した図４に基づいて説明する。
【００５２】
図４に示すように、本発明者は、測定結果から、角度θを約6°付近にしてCO2レーザビームＢを照射することにより、傾斜角度が略45°の光反射面を形成することができることを見出した。すなわち、溝壁角φ２の分布線４２によれば、角度θが約6°となるように石英ガラス基板３１を傾けて形成した溝３２は、その溝壁角φ２が略45°の光反射面を有するためである。
【００５３】
図６はCO2レーザビームの照射角度θを6°としたときの石英ガラス基板３１に形成された溝３２の形状分布を触診段差計で測定した結果である。図６に示すように、形状分布６１によれば、溝壁角φ２は約45°となっており、直角曲げ導波路２０の光反射面２２として作用させることができる。
【００５４】
次に、図２の直角曲げ導波路（伝搬長約80ｍｍ）の光学特性の測定結果について示す。
【００５５】
直角曲げ導波路２０において、矢印Ｌ３方向からコア層１３内に入射させる波長1.55μｍの光信号のパワーと、矢印Ｌ４方向に出射する光信号のパワーとを測定して光損失を評価した結果、1.8dBであった。この値から光導波路１５の伝搬損失（約１dB）を引けば光反射面２２の光損失は約0.8dBであった。
【００５６】
本実施の形態の直角曲げ導波路２０の光損失が、前実施の形態の直角曲げ導波路１０と比較して大きくなる理由としては、石英ガラス基板１１の厚みが１ｍｍもあるために、矢印Ｌ４方向に出射される光信号が、ピンホールに到達するまで広がりをもってしまい、光信号が広がった分だけ径100μｍのピンホール外に漏れてしまったためと考えられる。
【００５７】
本実施の形態の直角曲げ導波路２０の光反射面２２は、基板１１上に、断面が略矩形状のコア層１３を設け、そのコア層１３を覆うように上部クラッド層１４を設け、コア層１３に、コア層１３を伝搬する光信号を直角に基板１１方向に曲げて伝搬させるために、CO2レーザビームＢを上部クラッド層１４表面に対して角度4°〜7°方向から照射し、そのコア層１３に略45°の傾斜を有すると共に、溝長さが少なくともコア層１３の幅よりも広い溝２１を形成した構造とすることにより、光信号を基板１１に対して直角に曲げて、基板１１の裏面方向に効率よく出射させることができる。
【００５８】
本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではない。例えば、基板１１に透明な低屈折率のガラス基板（例えば、石英ガラス基板）を用いた場合には、下部クラッド層１２を設けなくともよい。光導波路１５は、シングルモード導波路或いはマルチモード導波路のいずれでもよい。マルチモード導波路を形成する場合には、コア層１３の厚さ及び幅を数十μｍから数百μｍに形成するので、溝１６がコア層１３を貫通するべく溝１６の深さをコア層１３の厚さに応じて深くする必要がある。また、光導波路１５は、石英系ガラス材料の他に、多成分系ガラス材料或いはプラスチック材料を用いて形成してもよい。
【００５９】
また、光導波路１５に溝１６を形成する際に、CO2レーザビームのパワー、ガルバノミラーのスキャン速度の少なくとも一方を制御することにより溝１６の深さを調節してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る直角曲げ導波路の光反射面の好適な第１の実施形態を示す断面図である。
【図２】レーザビームの基板への入射角の定義を説明する図である。
【図３】図２のφ１，φ２とθとの関係を示す図である。
【図４】図１の基板に形成した溝の形状分布を示す図である。
【図５】直角曲げ導波路の光反射面の好適な第２の実施形態を示す断面図である。
【図６】図５の基板に形成した溝の形状分布を示す図である。
【図７】従来の直角曲げ導波路を示す断面図である。
【図８】図７の直角曲げ導波路の製造方法を説明する断面図である。
【図９】図７の溝の形状分布を示す図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０  光導波路
１１  基板
１２  低屈折率下部クラッド層
１３  高屈折率コア層
１４  低屈折率上部クラッド層
１６  溝
１７  光反射面
Ｂ    CO2レーザビーム
【図１】
2006330066.tif 000003
【図２】
2006330066.tif 000004
【図３】
2006330066.tif 000005
【図４】
2006330066.tif 000006
【図５】
2006330066.tif 000007
【図６】
2006330066.tif 000008
【図７】
2006330066.tif 000009
【図８】
2006330066.tif 000010
【図９】
2006330066.tif 000011