(57)【要約】  【課題】  気泡を迅速に除去して表示品質を高め、タクトタイムを減少する。  【解決手段】  液晶パネルを用意する段階、前記液晶パネルを第１バッファーチャンバーに収容する段階、前記液晶パネルを収容した第１バッファーチャンバーを一定の圧力で加圧する段階、前記液晶パネルを反応チャンバーに搬入させる段階、前記反応チャンバーに搬入された前記液晶パネルに気圧を加える段階、第２バッファーチャンバーを一定の圧力で加圧する段階、前記気圧を加えた液晶パネルを搬出して前記加圧された第２バッファーチャンバーに収容する段階を含む第１バッファーチャンバー、反応チャンバー及び第２バッファーチャンバーがインラインで配列されているので、液晶パネルを連続して移動することができ、チャンバーで基板組立体と偏光板の間に存在する気泡を迅速に除去することで表示品質を高め、タクトタイムを減少する。  【選択図】  図２
2006085132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光板が付着した液晶パネルを第１バッファーチャンバー内に収容する段階と、
前記液晶パネルを収容した前記第１バッファーチャンバー内部の圧力を昇圧する段階と、
前記第１バッファーチャンバー内部と加圧状態の反応チャンバーの内部とを連結する段階と、
前記第１バッファーチャンバー内の前記液晶パネルを反応チャンバーに搬入する段階と、
第２バッファーチャンバー内部の圧力を昇圧する段階と、
前記第２バッファーチャンバーの内部と前記反応チャンバーの内部とを連結する段階と、
前記反応チャンバーから前記第２バッファーチャンバーに前記液晶パネルを搬出する段階と、
を含むことを特徴とする、液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記反応チャンバー内で前記液晶パネルの気泡を除去することを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記第１バッファーチャンバー内で前記液晶パネルの気泡を除去することを特徴とする、請求項２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記第１バッファーチャンバー内の前記液晶パネルを反応チャンバーに搬入した後、前記反応チャンバー内部を前記第１バッファーチャンバー内部と隔離する段階と、
前記反応チャンバー内の前記液晶パネルを前記第２バッファーチャンバーに搬出した後、前記反応チャンバー内部を前記第１バッファーチャンバー内部と隔離する段階と、
をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記昇圧された前記第１バッファーチャンバー内の圧力を、前記反応チャンバー内部の圧力と実質的に同一に調整することを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記昇圧された前記第２バッファーチャンバー内の圧力を、前記反応チャンバー内部の圧力と実質的に同一に調整することを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記反応チャンバー内部の圧力を、１ないし６kgf/cm2に調整することを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記反応チャンバーの温度を４０-８０℃に調整することを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記第１バッファーチャンバー内部と前記反応チャンバーの内部とを連結する前に、前記第１バッファーチャンバーを前記反応チャンバーの温度と同一に昇温する段階と、
前記第２バッファーチャンバー内部と前記反応チャンバーの内部とを連結する前に、前記第２バッファーチャンバーを前記反応チャンバーの温度と同一に昇温する段階と、
をさらに含むことを特徴とする、請求項８に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記液晶パネルが前記反応チャンバー内に留まる時間を１０〜２０分に調整することを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記反応チャンバー内部を清浄空気で満たすことを特徴とする、請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
偏光板が付着した少なくとも１つの第１液晶パネルを第１バッファーチャンバー内に収容する段階と、
前記第１液晶パネルを収容した前記第１バッファーチャンバー内部の圧力を昇圧する段階と、
前記第１バッファーチャンバー内部と複数の第２液晶パネルが入っている加圧状態の反応チャンバーの内部とを連結する段階と、
前記第１バッファーチャンバー内の前記第１液晶パネルを反応チャンバーに搬入する段階と、
第２バッファーチャンバー内部の圧力を昇圧する段階と、
前記第２バッファーチャンバーの内部と前記反応チャンバーの内部とを連結する段階と、
前記第２液晶パネルのうちの少なくとも１つを、前記反応チャンバーから前記第２バッファーチャンバーに搬出する段階と、
を含む液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記搬出段階で前記第２液晶パネルのうち一部だけ搬出することを特徴とする、請求項１２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記反応チャンバーは、液晶パネルを収容するために、上下に配列されている複数のケージを含む搭載部を含んでおり、
前記第２液晶パネルのうち少なくとも1つを前記第２バッファーチャンバーに搬出する前に、搬出される前記第２液晶パネルを収容しているケージが、前記第２バッファーチャンバーとほぼ同じ高さになるように、前記搭載部を移動させる段階をさらに含むことを特徴とする、請求項１３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記搬入段階で搬入される前記第１液晶パネルの数を、前記搬出段階で搬出される前記第２液晶パネルの数と同一にすることを特徴とする、請求項１２に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
液晶パネルを収容するための複数のケージを含む搭載部と、前記搭載部を移動させる乗降部と、液晶パネルを搬入するための搬入口と、液晶パネルを搬出するための搬出口と、を有し、内部で前記液晶パネルを加圧するための反応チャンバーと、
前記搬入口を通じて前記反応チャンバーと連結され、前記液晶パネルを収納するための第１バッファーチャンバーと、
前記搬出口を通じて前記反応チャンバーと連結され、前記液晶パネルを収納するための第２バッファーチャンバーと、
を含む液晶表示装置の製造装置。
【請求項１７】
前記反応チャンバーの内部に気圧を加える気圧供給部をさらに含むことを特徴とする、請求項１６に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１８】
前記第１及び第２バッファーチャンバーの内部に気圧を加える気圧供給部をさらに含むことを特徴とする、請求項１７に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１９】
前記反応チャンバー内の温度を調節する温度調節部をさらに含むことを特徴とする、請求項１７に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項２０】
前記ケージは上下一列に配列されていることを特徴とする、請求項１７に記載の液晶表示装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置の製造方法とその製造装置に関する。さらに詳しくは液晶表示装置用基板と偏光板の間の気泡を除去する気泡除去方法とその製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は偏光板が付着した薄膜トランジスタ基板とカラーフィルター基板、そしてこれらの間に液晶層が位置している液晶パネルを含む。このような液晶パネルは受光素子であるため、薄膜トランジスタ基板の後面に光を照射するためのバックライトユニットが位置する。バックライトユニットから照射された光は液晶層の配列状態によって透過量が調整される。
【０００３】
それ以外に、液晶パネルの各画素を駆動するために、制御部と制御部から信号を受信して表示領域内のデータ線とゲート線に電圧を印加するデータ駆動部とゲート駆動部が具備されている。
ところが、このような液晶表示装置の薄膜トランジスタ基板とカラーフィルター基板の外部板面に偏光板を付着する過程で、各基板と偏光板の間に微細な気泡が形成されることがあり、このような気泡は基板と偏光板の間の接着力を低下させ、表示品質に悪影響を及ぼす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１は従来の気泡除去装置の斜視図である。図１に示したように、従来の気泡除去装置１００はチャンバー１１０とチャンバー１１０を開閉するドア１２０を含む。チャンバー１１０には液晶パネル１４０収容部１３０が具備されている。この他に図示していないが、チャンバー１１０に一定の圧力の気体を供給するポンプ及びヒーターをさらに含む。
従来の気泡除去装置１００を利用した気泡除去方法は次の通りである。
【０００５】
まず、ドア１２０を開いてチャンバー１１０を開放する。その後、複数の液晶パネル１４０を同時に液晶パネル収容部１３０にローディングする。この時、チャンバー１１０の内部の温度と圧力は各々常温と大気圧である。液晶パネル１４０がローディングされると、ドア１２０を閉じてチャンバー１１０を密閉する。
この状態でチャンバー１１０内の温度と圧力を所定の値に上げる。チャンバー１１０内の液晶パネル１４０は圧力と熱を受けるようになり、これにより基板と偏光板の間に存在する気泡が接着面の外部に押し出されて除去される。気泡除去が完了すると、チャンバー１１０内の温度と圧力を各々常温と大気圧に再び下げる。その後、ドア１２０を開いてチャンバー１１０を開放し、液晶パネル１４０をアンロ−ディングする。
【０００６】
図２は従来の気泡除去装置を利用して気泡を除去する場合の時間によるチャンバー１１０内の温度または圧力の変化を示したグラフである。図２で‘I’区間は常温と大気圧状態にあるチャンバー１１０内の温度と圧力を所定の値に上げる段階である。この段階は通常８分かかる。‘II’区間はチャンバー１１０を所定の温度と圧力に維持する段階であり、通常１５分かかる。‘III’区間はチャンバー１１０内の温度と圧力を常温と大気圧に還元させる段階であり、通常７分かかる。
【０００７】
このような従来の気泡除去方法の問題は、第一に、チャンバー１１０が大気圧及び常温の状態で液晶パネル１４０をローディング及びアンロ−ディングするので、工程進行の条件に合う温度と圧力の増加と減少に費やされる時間の消耗が多いという点である。
第二に、複数の液晶パネル１４０を１つの配置単位でローディング及びアンロ−ディングすることによって工程時間の消耗が多い。また、液晶パネル１４０が次第に大きくなるにしたがって、チャンバー１１０の大きさも大きくならなければならないが、大きいチャンバー１１０を使用すると、液晶パネル１４０を配置単位でローディング及びアンロ−ディングする時に時間が長くかかる。
【０００８】
第三に、従来の配置式の液晶パネル１４０のローディング及びアンロ−ディングは液晶表示装置の大量生産においてライン自動化に困難が生じる。
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、このような従来の問題点を解決することであり、ライン自動化が可能な液晶表示装置の気泡除去方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明１は、下記の段階を含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
・偏光板が付着した液晶パネルを第１バッファーチャンバー内に収容する段階、
・前記液晶パネルを収容した前記第１バッファーチャンバー内部の圧力を昇圧する段階、
・前記第１バッファーチャンバー内部を加圧状態の反応チャンバーの内部と連結する段階、
・前記第１バッファーチャンバー内の前記液晶パネルを反応チャンバーに搬入する段階、
・第２バッファーチャンバー内部の圧力を昇圧する段階、
・前記第２バッファーチャンバーの内部を前記反応チャンバーの内部と連結する段階、
・前記液晶パネルを前記反応チャンバーから前記第２バッファーチャンバーに搬出する段階。
【００１０】
発明２または３は、発明１において、前記反応チャンバーまたは前記第１バッファー内で前記液晶パネルの気泡を除去する液晶表示装置の製造方法を提供する。
発明4は、発明1において、さらに下記の段階を含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
・前記第１バッファーチャンバー内の前記液晶パネルを反応チャンバーに搬入した後、前記反応チャンバー内部を前記第１バッファーチャンバー内部と隔離する段階、
・前記反応チャンバー内の前記液晶パネルを前記第２バッファーチャンバーに搬出した後、前記反応チャンバー内部を前記第１バッファーチャンバー内部と隔離する段階。
【００１１】
発明5または６は、発明1において、前記昇圧された前記第１または第２バッファーチャンバー内の圧力を、前記反応チャンバー内部の圧力と実質的に同一に調整する液晶表示装置の製造方法を提供する。液晶パネルの気泡除去工程を均一に行いながらも液晶パネルの搬出入を自由に行うことができる。したがって、液晶パネルを１つまたはそれ以上連続して処理することができるのでインライン生産に適している。
【００１２】
発明７は、発明1において、前記反応チャンバー内部の圧力を、１ないし６kgf/cm2に調整する液晶表示装置の製造方法を提供する。このように大気圧より高い圧力が液晶パネルの表面に均一に加わると、基板組立体と偏光板間の気泡はこの圧力によって液晶パネルの縁に押出され、結局液晶パネルから除去される。
発明8は、反応チャンバー内部の温度を４０-８０℃に調整する液晶表示装置の製造方法を提供する。この温度では基板組立体に偏光板を付着する時に使用した接着剤の粘度が低くなり、接着剤の間の気泡が容易に抜け出ることができる。
【００１３】
発明9は、
・前記第１バッファーチャンバー内部と前記反応チャンバーの内部とを連結する前に、前記第１バッファーチャンバーを前記反応チャンバーの温度と同一に昇温する段階、
・前記第２バッファーチャンバー内部と前記反応チャンバーの内部とを連結する前に、前記第２バッファーチャンバーを前記反応チャンバーの温度と同一に昇温する段階、
をさらに含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
【００１４】
発明10は、発明1において、前記液晶パネルが前記反応チャンバー内に留まる時間を１０〜２０分に調整する液晶表示装置の製造方法を提供する。この程度の時間、液晶パネルを反応チャンバー内にとどめることにより、気泡を液晶パネルから除去することができる。
発明11は、発明1において、前記反応チャンバー内部を清浄空気で満たす液晶表示装置の製造方法を提供する。
【００１５】
発明12は、下記の段階を含む液晶表示装置の製造方法を提供する。
・偏光板が付着した少なくとも１つの第１液晶パネルを第１バッファーチャンバー内に収容する段階、
・前記第１液晶パネルを収容した前記第１バッファーチャンバー内部の圧力を昇圧する段階、
・前記第１バッファーチャンバー内部を、複数の第２液晶パネルが入っている加圧状態の反応チャンバーの内部と連結する段階、
・前記第１バッファーチャンバー内の前記第１液晶パネルを、反応チャンバーに搬入する段階、
・第２バッファーチャンバー内部の圧力を昇圧する段階、
・前記第２バッファーチャンバーの内部を前記反応チャンバーの内部と連結する段階、
・前記第２液晶パネルのうちの少なくとも１つを前記反応チャンバーから前記第２バッファーチャンバーに搬出する段階。
【００１６】
発明13は、発明12において、前記搬出段階で前記第２液晶パネルのうち一部だけ搬出する液晶表示装置の製造方法を提供する。
発明14は、発明13において、前記反応チャンバーは、液晶パネルを収容するために、上下に配列されている複数のケージを含む搭載部を含んでいる液晶表示装置の製造方法を提供する。この方法は、前記第２液晶パネルのうち少なくとも１つを前記第２バッファーチャンバーに搬出する前に、搬出される前記第２液晶パネルを収容しているケージが、前記第２バッファーチャンバーと同じ高さになるように、前記搭載部を移動させる段階をさらに含む。
【００１７】
発明15は、発明12において、前記搬入段階で搬入される前記第１液晶パネルの数を、前記搬出段階で搬出される前記第２液晶パネルの数と同一にする液晶表示装置の製造方法を提供する。
発明16は、下記の構成要素を有する液晶表示装置の製造装置を提供する。
・内部で液晶パネルを加圧し、前記液晶パネルを収容することができる複数のケージを含む搭載部と、前記搭載部を移動させる乗降部と、液晶パネルを搬入する搬入口と、液晶パネルを搬出する搬出口と、を有する反応チャンバー、
・液晶パネルを収容して前記搬入口を通じて前記反応チャンバーと連結される第１バッファーチャンバー、
・液晶パネルを収容して前記搬出口を通じて前記反応チャンバーと連結される第２バッファーチャンバー。
【００１８】
発明17は、発明16において、前記反応チャンバーの内部に気圧を加える気圧供給部をさらに含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
発明18は、発明17において、前記第１及び第２バッファーチャンバーの内部に気圧を加える気圧供給部をさらに含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
発明19は、発明17において、前記反応チャンバー内の温度を調節する温度調節部をさらに含む液晶表示装置の製造装置を提供する。
【００１９】
発明20は、発明17において、前記ケージが上下一列に配列されている液晶表示装置の製造装置を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
これによって、第１バッファーチャンバー、反応チャンバー及び第２バッファーチャンバーがインラインで配列されているので、液晶パネルを連続して移動することができ、チャンバーで基板組立体と偏光板の間に存在する気泡を迅速に除去することで優れた表示品質の液晶表示装置を製造することができ、タクトタイムを減少することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付した図面を参考にして本発明の実施例について本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。
（液晶パネルと気泡）
図３ａは本発明の一実施例による液晶パネルの断面図であり、図３ｂは図３ａに示した液晶パネルを拡大した断面図であって、基板と偏光板の間に生じた気泡を示している。
【００２２】
液晶パネル１０は基板組立体１１と基板組立体１１の両板面に付着した偏光板１６、１７を含む。
基板組立体１１はカラーフィルター基板１２と薄膜トランジスタ基板１３、そして両基板１２、１３とシーリング部材１５が囲む空間に注入されている液晶層１４を含む。薄膜トランジスタ基板１３がカラーフィルター基板１２より多少大きいが、これは薄膜トランジスタ基板１２上に駆動回路を実装するための空間を確保するためである。
【００２３】
カラーフィルター基板１２には遮光部材（ブラックマトリックス）（図示せず）、カラーフィルター（図示せず）、共通電極（図示せず）などが形成されており、薄膜トランジスタ基板１２には薄膜トランジスタ（図示せず）、ゲート線（図示せず）、データ線（図示せず）、画素電極（図示せず）などが形成されている。液晶層１４は共通電極と画素電極の間の電圧によってその配列形態が変更される。
【００２４】
偏光板１６、１７は基板組立体１１の両板面、つまりカラーフィルター基板１２の外部面と薄膜トランジスタ基板１３の外部面に各々付着されている。液晶表示装置は液晶の複屈折性を利用するため、偏光板１６、１７が必ず存在しなければならない。
液晶表示装置はこのような液晶パネル１０と、薄膜トランジスタ基板１３の背面に配置されるバックライトユニット（図示せず）、駆動回路部（図示せず）、そしてこれらを収容する外部ケーシング（図示せず）を含む。
【００２５】
しかし、偏光板１６、１７を基板１２、１３に付着する時に各基板１２、１３に偏光板１６、１７を位置させた状態で圧着ローラーでプレスして付着する方法などを使用するが、図３ｂに示したように、偏光板１６、１７と各基板１２、１３の間には気泡（‘A’、‘B’）が形成されることがある。このような気泡は各基板１２、１３と偏光板１６、１７間の接着力を低下させ、液晶表示装置の表示品質を低下させる要因になる。
【００２６】
（気泡除去装置の構成）
本発明の一実施例による液晶表示装置の製造装置について、図４を参考にして詳細に説明する。
図４は本発明の一実施例による気泡除去装置の概略的な断面図である。
図４を参考にすると、本実施例による気泡除去装置は、圧力と熱のうち少なくとも１つを加えて液晶パネル１０の気泡を除去する反応チャンバー２００と、これに結合されて液晶パネル１０を収容する第１バッファーチャンバー４００及び第２バッファーチャンバー５００を含む。第１及び第２バッファーチャンバー４００、５００の下には各々第１及び第２搬送部３００、６００が設置されている。
【００２７】
反応チャンバー２００の壁面には第１バッファーチャンバー４００と連結されて液晶パネル１０を搬入可能にする搬入口２０１と、第２バッファーチャンバー５００に連結されて液晶パネル１０を第２バッファーチャンバー５００に搬出可能にする搬出口２０２が設置されている。
反応チャンバー２００の内部には液晶パネル１０を収容して一列以上が上下に配列されている複数の板状ケージ２８からなる搭載部３０と搭載部３０を上下及び回転運動させる乗降部２９が具備されている。
【００２８】
また、反応チャンバー２００の上部には反応チャンバー２００内の気圧を調節してケージ２８に収容された液晶パネル１０に圧力を加える気圧供給部２７が設置されている。気圧供給部２７で供給する気体はGN２、AIR、PN２（Purified  N２）、O２、H２、Arで、清浄空気（clean  air）であることがさらに好ましい。反応チャンバー２００内の気圧は約１ないし６kgf/cm2、特に約５kgf/cm2であるのが好ましい。このように大気圧より高い圧力が液晶パネル１０の表面に均一に加わると、基板組立体１１と偏光板１６、１７間の気泡はこの圧力によって液晶パネル１０の縁に押出され、結局液晶パネル１０から除去される。このような気圧供給部２７はファンまたはポンプから構成される。
【００２９】
反応チャンバー２００の上部にはまた反応チャンバー２００内の温度を調節する熱処理部２６が設置されている。気泡除去に適切な処理温度は約４０℃ないし約８０℃であり、さらに好ましくは５０℃程度である。この温度では基板組立体１１に偏光板１６、１７を付着する時に使用した接着剤の粘度が低くなり接着剤の間の気泡が容易に抜け出るが、温度が４０℃以下になると接着剤の粘度下降効果が僅かであり、８０℃を越えると偏光板１６、１７が損傷するおそれがある。このような熱処理部２００は熱線から構成される。
【００３０】
しかし、このような気圧供給部２７と熱処理部２６のうち１つだけを設置することもでき、この場合には圧力または熱のうちいずれか１つで気泡除去を行う。
反応チャンバー２００内には気体の温度と圧力を測定することができる温度センサー（図示せず）及び圧力センサー（図示せず）が具備される。
本実施例による気泡除去装置はまた気圧供給部２７から供給される気体の圧力と熱処理部２６が加える熱を制御することができる制御部をさらに含む。
【００３１】
第１及び第２バッファーチャンバー４００、５００は内部の圧力と温度を各々調節することができる別途の気圧供給部（図示せず）及び熱処理部（図示せず）と、液晶パネル１０を移送することができる移送アーム（図示せず）を含む。熱処理部は省略可能であり、移送アームは垂直、水平方向に動いたり回転することができる。第１バッファーチャンバー４００の移送アームは第１搬送部３００から移送された液晶パネル１０を第１バッファーチャンバー４００に移し、再び反応チャンバー２００に移すのに使用し、第２バッファーチャンバー６００の移送アームは処理が終わった反応チャンバー２００内の液晶パネル１０を第２搬送部６００に移し、再び第２搬送部６００に移すのに使用する。第１及び第２バッファーチャンバー４００、５００にはまた液晶パネル１０を移動する手段としてターンテーブルを含む。
【００３２】
第１及び第２搬送部３００、６００は液晶パネル１０を移送するコンベヤーであって、ローラー３０１、６０１と支持台４０１、５０１からなり、ローラー３０１、６０１は駆動モータ（図示せず）によって駆動される。しかし、コンベヤーではない他の形態の移送手段の場合もある。
（気泡除去装置の動作）
では、このような気泡除去装置の動作について、図５ないし図７を参考にして詳細に説明する。図５は図４に示した気泡除去装置を使用して液晶パネルの気泡を除去する方法を示したフローチャートであり、図６は気泡除去過程での第１及び第２バッファーチャンバーと反応チャンバー内の圧力（または温度）の変化を示したグラフであり、図７は気泡除去の原理を説明するための図面である。
【００３３】
基板組立体１１と基板組立体１１の両板面に付着した偏光板１６、１７を含む液晶パネル１０を製造した後、第１搬送部３００に液晶パネル１０をローディングする（S１）。この時、液晶パネル１０は２つ以上が１つの組になりトレイなどに載せられ移動する。
第１搬送部３００が液晶パネル１０を第１バッファーチャンバー４００まで移動させると、第１バッファーチャンバー４００は第１搬送部３００と連結されるドアを開けて移送アームを使用して液晶パネル１０を内部に入れる（S２）。第１バッファーチャンバー４００のドアを閉めて内部を密閉し、内部の圧力と温度を反応チャンバー２００の圧力と温度水準まで上げる（S３）。この時、図６の‘I’区間で示したように、約１分程度で第１バッファーチャンバー４００の内部の圧力と温度が大気圧と常温状態から反応チャンバー２００の圧力及び温度水準に到達することができる。これは従来の技術に比べて約７分程度の工程時間を減少させる。
【００３４】
反応チャンバー２００の搬入口２０１を開き、これを通じて液晶パネル１０を反応チャンバー２００に入れた後、搬入口２０１を閉じる（S４）。この時、乗降部２９は液晶パネル１０が搭載される搭載部３０のケージ２８を搬入口２０１の位置に移動させて第１バッファーチャンバー４００の移送アームが液晶パネル１０をケージ２８に搭載できるようにする。液晶パネル１０が搭載されるケージ２８は、直前に処理が終わった液晶パネル１０の搬出が完了したケージ２８であることが乗降部２９の安定した動作のためには好ましく、空いているケージがない場合には、反応チャンバー２００内に液晶パネル１０を搬入しないことは当然である。また、各ケージ２８には２つ以上の液晶パネル１０が積載でき、先に説明したように２つ以上の液晶パネル１０をトレイに入れて移送する場合には、トレイ自体をケージに搭載することができる。
【００３５】
反応チャンバー２００の内部は気圧供給部２７と熱処理部２６によって液晶パネル１０の気泡が充分に抜け出る最適の圧力と温度を維持しており、これにより反応チャンバー２００の内部に搬入された液晶パネル１０の基板組立体１１と偏光板１６、１７間に存在する微細な気泡が急速に除去される（S５）。気泡除去に必要な時間は、図６で‘II’区間として示したように、約１０分から２０分、好ましくは１５分程度であり、反応チャンバー２００内の圧力と温度は圧力センサー及び温度センサーを使用して精密に制御することができる。圧力によって気泡が除去される原理を説明すると、図７に図示したように、液晶パネル１０の真ん中部分（‘T’）にまず気体の圧力が加わり、このような圧力が加わる領域が同心円を描いて益々広くなり液晶パネル１０の板面全体から気泡が除去されるものである。
【００３６】
反応チャンバー２００で一定の時間留まって気泡が除去された液晶パネル１０は搬出口２０２を通じて反応チャンバー２００から出るが、この時、乗降部２９は液晶パネル１０が搭載されているケージ２８を搬出口２０２の位置に移動させ、第２バッファーチャンバー６００の移送アームが液晶パネル１０を第２バッファーチャンバー６００の内部に運ぶことができるようにする（S６）。この時、第２バッファーチャンバー５００の内部の圧力及び温度は反応チャンバー２００の圧力及び温度と同一状態である。
【００３７】
液晶パネル１０が第２バッファーチャンバー５００に移動した後、反応チャンバー２００の搬出口２０２を閉じて反応チャンバー２００の内部を第２バッファーチャンバー５００と隔離させる。第２バッファーチャンバー５００の液晶パネル１０は移送アームによって第２搬送部６００に移されて他の場所に移送され（S７）、液晶パネル１０が第２搬送部６００に移動した後、第２バッファーチャンバー５００のドアを閉め、再び内部の圧力と温度を反応チャンバー２００水準に上げる（S８）。第２バッファーチャンバー５００の圧力と温度を大気圧と常温状態から反応チャンバー２００の圧力及び温度水準に上げるのに所要する時間は図６の‘III’区間で示したようにやはり約１分程度である。
【００３８】
このように、液晶パネル１０を反応チャンバー２００内に搬入または反応チャンバー２００から搬出する間に反応チャンバー２００内の圧力と温度が変化しないので、液晶パネル１０の気泡除去工程を均一に行いながらも液晶パネル１０の搬出入を自由に行うことができる。したがって、本実施例の気泡除去装置は液晶パネルを１つまたはそれ以上連続して処理することができるのでインライン生産に適しており、反応チャンバー２００で基板組立体１１と偏光板１６、１７の間に存在する気泡を急速に除去することによって工程時間を減らし、液晶表示装置の表示品質を高めることができる。ここでタクトタイムとは、液晶パネル１０が第１バッファーチャンバーへの移動から反応チャンバー２００から第２バッファーチャンバー５００搬出までの液晶パネル１０の気泡除去時間をいう。
【００３９】
また、第１及び第２バッファーチャンバー４００の圧力及び温度もまた反応チャンバー２００の圧力及び温度と類似するかあるいは同一なので、その内部でも液晶パネル１０の気泡が除去される。したがって、反応チャンバー２００内での気泡除去時間を減少させて生産性を高めることができる。
以上で説明したように、本発明によると、基板と偏光板の間に発生する気泡を連続した過程を通じて除去することができる液晶表示装置の製造方法とその製造装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】従来の気泡除去装置の斜視図
【図２】従来の気泡除去装置を利用して気泡を除去する場合の時間によるチャンバー内の温度及び圧力の変化を示したグラフ
【図３ａ】本発明の一実施例による液晶パネルの断面図
【図３ｂ】図３ａに示した液晶パネルを拡大した断面図
【図４】本発明の一実施例による気泡除去装置の概略的な断面図
【図５】図４に示した気泡除去装置を使用して液晶パネルの気泡を除去する方法を示したフローチャート
【図６】気泡除去過程での第１及び第２バッファーチャンバーと反応チャンバー内の圧力（または温度）の変化を示したグラフ
【図７】気泡除去の原理を説明するための図面
【符号の説明】
【００４１】
１０  液晶パネル
１１  基板組立体
１２  カラーフィルター基板
１３  薄膜トランジスタ基板
１４  液晶層
１５  シーリング部材
１６、１７  偏光板
２６  熱処理部
２７  気圧供給部
２８  ケージ
２９  乗降部
３０  搭載部
２００  反応チャンバー
２０１  搬入口
２０２  搬出口
３００  第１搬送部
３０１、６０１  ローラー
４００  第１バッファーチャンバー
５００  第２バッファーチャンバー
４０１、５０１  支持台
６００  第２搬送部
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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