(57)【要約】【課題】  微小駆動素子の変位量を増大させる変位増大システムを提供する。【解決手段】  動力発生部２１により発生させた一方向に向かう動力を、第１動力伝達部２２、第２動力伝達部２３を介して、被駆動体であるターゲット２４に伝達する。  動力発生部２１、第１動力伝達部２２、第２動力伝達部２３、ターゲット２４の間には、それぞれヒンジ部２０ａ、２０ｃ、２０ｅが設けられているので、各部を伝達する動力はテコの原理により増幅されながら、ターゲットに伝達される。これにより、動力発生部２１の動力による変位量よりも大きい変位量でターゲット２４が変位する。【選択図】      図１
2006167909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動力発生部において発生した動力を受けて変位する微小駆動素子の変位量を増大させる微小駆動素子の変位量増大システムであって、
前記動力発生部において発生した動力を伝達する第１動力伝達部と、
前記第１動力伝達部により伝達された動力を伝達する第２動力伝達部と、
前記第２動力伝達部により伝達された動力を受けて、前記第１動力伝達部の変位量よりも大きい変位量で、変位する微小駆動素子とから構成され、
前記動力発生部、第１動力伝達部、第２動力伝達部、そして微小駆動素子の間には、少なくとも一つのヒンジ部が設けられており、
前記第１動力伝達部の一端部は前記第２動力伝達部と、前記第１動力伝達部の他端部は固定部とそれぞれ連結されており、
前記動力発生部から動力が前記第１動力伝達部に伝達された場合、前記第１動力伝達部の一端部の変位量が、前記第１動力伝達部の他端部の変位量よりも大きくなり、
前記第２動力伝達部の一端部は固定部と、前記第２動力伝達部の他端部は前記微小駆動素子とそれぞれ連結されており、
前記第１動力発生部から動力が伝達された場合、
前記微小駆動素子と連結された前記第２動力伝達部の一端部の変位量が、前記固定部と連結された前記第２動力伝達部の他端部の変位量よりも大きくなる
ことを特徴とする微小駆動素子の変位増大機構。
【請求項２】
前記ヒンジ部は、弾性的な関節運動が可能である
ことを特徴とする請求項１に記載の微小駆動素子の変位増大機構。
【請求項３】
前記動力発生部は、くし形電極であり、静電気力、磁気力又は圧電力により動力を発生させる
ことを特徴とする請求項１に記載の微小駆動素子の変位増大機構。
【請求項４】
前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達部との動作を容易にするために、前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達部との間にテコをさらに含む
ことを特徴とする請求項１に記載の微小駆動素子の変位増大機構。
【請求項５】
前記第２動力伝達部と前記微小駆動素子との動作を容易にするために、前記第２動力伝達部と前記微小駆動素子との間にテコをさらに含む
ことを特徴とする請求項１に記載の微小駆動素子の変位増大機構。
【請求項６】
前記ヒンジ部と前記テコとは、共振運動により変位が増大される
ことを特徴とする請求項２、請求項４、および請求項５のうちの何れか一項に記載の微小駆動素子の変位増大機構。
【請求項７】
情報の記録／再生が行われるメディア部と、
前記メディア部を挟んで設けられた少なくとも一つ以上の第２動力伝達部と、
前記第２動力伝達部に対して動力を伝達する一つ以上の第１動力伝達部と、
前記第１動力伝達部に対して前記メディア部の一側面部と直交する方向に向かう動力を与える動力発生部と、
前記動力発生部、第１動力伝達部、第２動力伝達部、そしてメディア部の間に形成された一つ以上のヒンジ部とを含み、
前記第１動力伝達部の一端部は前記第２動力伝達部と、前記第１動力伝達部の他端部は固定部とそれぞれ連結されており、
前記動力発生部から動力が前記第１動力伝達部に伝達された場合、前記第１動力伝達部の一端部の変位量が、前記第１動力伝達部の他端部の変位量よりも大きくなり、
前記第２動力伝達部の一端部は固定部と、前記第２動力伝達部の他端部は前記メディア部とそれぞれ連結されており、
前記第１動力発生部から動力が伝達された場合、
前記メディア部と連結された前記第２動力伝達部の一端部の変位量が、前記固定部と連結された前記第２動力伝達部の他端部の変位量よりも大きくなる
ことを特徴とする微小駆動素子の変位増大機構。
【請求項８】
前記動力発生部は、くし形電極である
ことを特徴とする請求項７に記載の微小駆動素子の変位増大機構。
【請求項９】
さらに、前記メディア部の変位方向に直交する方向に変位するプローブ部を有する
ことを特徴とする請求項７に記載の微小駆動素子の変位量増大機構。
【請求項１０】
前記ヒンジ部は弾性的な関節運動が可能である
ことを特徴とする請求項７に記載のマイクロ素子の変位増大機構。
【請求項１１】
前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達部との間に形成された第１テコと、
前記第２動力伝達部と前記メディア部との間に形成された第２テコとをさらに含む
ことを特徴とする請求項７に記載のマイクロ素子の変位増大機構。
【請求項１２】
前記ヒンジ部と前記第１テコ及び第２テコは共振運動により変位が拡大される
ことを特徴とする請求項７乃至請求項１１のうちの何れか一項に記載のマイクロ素子の変位増大機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超小型の駆動素子の変位量を増大させる変位増大機構に関するものである。より詳しくは、当該変位増大機構を僅かに変位させるだけで、微小駆動素子の変位量を大きく増大させることのできる変位増大機構（テコ機構）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
始めに、図１１および図１２を参照しながら、従来のデータ記憶装置について、説明する。
図１２に示すように、従来のデータ記憶装置では、メディア部１１を変位させるくし形電極１３が、データを記憶する記憶手段が設けられた基板の各側壁部に形成されている。
そして、メディア部１１の上側には、メディア部１１に対してデータの記憶／再生を行うプローブ（ｐｒｏｂｅ）１２が設けられている。
【０００３】
メディア部１１は、プローブ１２から所定距離離間した位置に配置させられており、このメディア部１１は、くし形電極１３に発生した静電気力により、変位するように構成されている。
ここで、このメディア部１１の変位量は、くし形電極１３の変位の範囲内、すなわち、櫛形電極１３の大きさによって決まる変位量の範囲内である。
【０００４】
図１２には、メディア部１１、および当該メディア部１１を駆動させるくし形電極１３の構造が示してある。
【０００５】
図１２に示すように、被駆動素子であるメディア部１１が平らな基板上に形成されており、このメディア部１１の周りには、静電気力によりメディア部１１を変位させるくし形電極部１３が設けられている。
このようにくし形電極１３を配置することにより、メディア部１１は、１軸方向における揺動運動のみならず、二軸方向の揺動運動をも行うことができる。そのため、メディア部１１は、図中対角線方向への揺動運動をも行うことが可能となり、結果として、メディア部１１は所望の方向へ変位できるように構成されている。
【０００６】
このメディア部１１は、微小駆動素子の一つであり、一般に、静電気力により駆動（揺動）される。なお、この微小駆動素子の駆動には、静電気力の代わりに、磁気力や圧電力等を用いることも可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、このような方法により得られる駆動力は、微小駆動素子の駆動に十分であるとはいえず、さらに、櫛形電極を用いた駆動法の場合、微小駆動素子の変位量が櫛形電極電極の変位量に限定されるので、メディア部１１の変位量を増大させることに限界があった。
そのため、図１１および図１２に示すような構成を備えるデータ記憶装置の場合、微小駆動素子であるメディア部に対してより効率的に情報の読み／書きを行うためには、情報の読み／書きを行うプローブを多数設ける必要があった。
その結果、製造コストが増大するという問題や、データ記憶手段からのデータの送受信に使用する配線の取り回しが複雑になるという問題が存在している。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、微小駆動素子の変位可能な範囲を増大すると共に、当該微小駆動素子を可能な限り細かく制御することのできる変位増大機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では前記目的を達成するために為されたものであり、本発明は、動力発生部において発生した動力を受けて変位する微小駆動素子の変位量を増大させる微小駆動素子の変位量増大システムであって、前記動力発生部において発生した動力を伝達する第１動力伝達部と、前記第１動力伝達部により伝達された動力を伝達する第２動力伝達部と、前記第２動力伝達部により伝達された動力を受けて、前記第１動力伝達部の変位量よりも大きい変位量で、変位する微小駆動素子とから構成され、前記動力発生部、第１動力伝達部、第２動力伝達部、そして微小駆動素子の間には、少なくとも一つのヒンジ部が設けられている微小駆動素子の変位増大機構に関するものである。
【００１０】
本発明に係る微小駆動素子の変位増大機構では、前記第１動力伝達部の一端部は前記第２動力伝達部と、前記第１動力伝達部の他端部は固定部とそれぞれ連結されており、前記動力発生部から動力が前記第１動力伝達部に伝達された場合、前記第１動力伝達部の一端部の変位量が、前記第１動力伝達部の他端部の変位量よりも大きくなるように構成されていることが好ましい。
【００１１】
さらに本発明に係る微小駆動素子の変位増大機構では、前記第２動力伝達部の一端部は固定部と、他端部は前記微小駆動素子とそれぞれ連結されており、前記第１動力発生部から動力が伝達された場合、前記微小駆動素子と連結された前記第２動力伝達部の一端部の変位量が、前記固定部と連結された前記第２動力伝達部の他端部の変位量よりも大きくなることが好ましい。
【００１２】
ここで、前記ヒンジは弾性的な関節運動が可能なように構成されており、前記動力発生部は、静電気力、磁気力又は圧電力により動力を発生させる構成であると良い。
【００１３】
さらに、前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達部との動作を容易にするために、前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達部との間にテコが設けられている構成とすることが好ましい。
そして、前記ヒンジ部と前記レバーとは共振運動により変位が拡大される構成であることが好ましい。
【００１４】
さらに、本発明に係るマイクロ素子の変位増大機構は、情報の記録／再生が行われるメディア部と、前記メディア部を挟んで設けられた少なくとも一つ以上の第２動力伝達部と、前記第２動力伝達部に対して動力を伝達する一つ以上の第１動力伝達部と、前記第１動力伝達部に対して所定方向に向かう動力を与える動力発生部と、前記動力発生部、第１動力伝達部、第２動力伝達部、そしてメディア部の間に形成された一つ以上のヒンジ部とを含んでいる。
【００１５】
本発明に係るマイクロ素子の変位増大機構では、前記ヒンジ部は弾性的な関節運動が可能であり、前記第１動力伝達部と前記第２動力伝達部との間に形成された第１テコと、前記第２動力伝達部と前記メディア部との間に形成された第２テコとが含まれることが好ましい。なお、前記ヒンジ部と前記第１テコ及び第２テコは共振運動により変位が拡大される構成としても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る微小駆動素子の変位量を増大させる変位増大機構について説明する。
なお、本発明は、一般的な梃子の原理を、微小駆動素子を駆動させる機構（システム）に導入することで、微小駆動素子の変位を増大させることを特徴とする。
【００１７】
はじめに、図１または図２を適宜参照しながら、本発明の内容を説明するが、以下の説明において、ターゲット２４とは、駆動対象をいい、動力発生部２１とは、ターゲット２４を変位させる動力を発生する部分をいう。
ここで、動力発生部２１で発生される動力は特に限定されるものではない。本実施の形態では、静電気力、電磁気力、そして圧電力等が適宜利用可能である。
【００１８】
動力発生部２１と駆動対象であるターゲット２４とは、動力伝達部２２，２３やヒンジ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇを介して接続されている。
【００１９】
動力伝達部２２，２３およびヒンジ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇは、動力発生部２１で発生された動力をターゲット２４に伝達すると共に、ターゲット２４の変位する方向を規定する。
これら動力伝達部２２，２３や、ヒンジ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇは、弾力性のある材料で構成されることが望ましい。
【００２０】
動力発生部２１は、第１動力伝達部２２に、ヒンジ部２０ａを介して連結されており、この第１動力伝達部２２は、固定部２６にヒンジ部２０ｂを介して連結されている。さらにこの第１動力伝達部２２は、第２動力伝達部２３にヒンジ部２０ｃを介して連結されている。
【００２１】
第２動力伝達部２３は、固定部２６およびターゲット２４と、それぞれヒンジ部２０ｄおよびヒンジ部２０ｅを介して連結されている。
ターゲット２４は、第２動力伝達部２３のほかに支持部２５とも、ヒンジ部２０ｆを介して連結されている。そして、この支持部２５は、固定部２６とヒンジ部２０ｇを介して連結されている。
【００２２】
すなわち、ターゲット２４は、第１動力伝達部２２と第１動力伝達部２３とを介して動力発生部２１と連結されると共に、支持部２５を介して固定部２６と連結されている。
よって、このターゲット２４は、動力発生部２１からの動力を第１動力伝達部２２と第１動力伝達部２３とを介して受けて、駆動（変位）させられる。
ここで、動力伝達部２２，２３や支持部２５は、それぞれ固定部２６にも連結されているので、それぞれ平衡性が保たれた状態で配置している。
そして、これらを繋ぐ全ての連結部分は、弾性変形が可能なヒンジ部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇとなっている。
【００２３】
次に、前述の構造を有する変位量増大機構の動作を説明する。
【００２４】
動力発生部２１により発生した一方向への動力がヒンジ部２０ａに加わると、この動力発生部２１からの動力は、ヒンジ部２０ａを介して第１動力伝達部２２に伝達される。すなわち、第１動力伝達部２２は、一方向へ向かう動力（応力）を受けることになる。
【００２５】
この時、ヒンジ部２０ｂとヒンジ部２０ａとの間に、梃子の原理が働く。
その結果、第１動力伝達部２２のヒンジ部２０ｃ側の一端の変位が、ヒンジ部２０ｂ側の一端の変位よりも大きくなる。
言い換えれば、第１動力伝達部２２における、ヒンジ部２０ｂ側の距離Ｒが、ヒンジ部２０ｃ側の距離Ｒ１よりも短いので、梃子の原理により、第１動力伝達部２２のヒンジ部２０ｃ側の変位がヒンジ部２０ｂ側の変位よりも大きくなり、この第１動力伝達部２２は、図中矢印で示す方向に変位する。
【００２６】
そして、第１動力伝達部２２に連結されたヒンジ部２０ｂおよびヒンジ部２０ｃが弾性的に関節運動（変形）することで、第１動力伝達部２２に加えられた動力を、第２動力伝達部２３に伝達する。
【００２７】
第２動力伝達部２３においてもまた、ヒンジ部２０ｄとヒンジ部２０ｅとに梃子の原理が働き、ヒンジ部２０ｅと連結された第２動力伝達部２３の一端部側での変位が、ヒンジ部２０ｄが連結された第２動力伝達部２３の他端側の変位より大きくなる。
すなわち、第２動力伝達部２３における、ヒンジ部２０ｄ側の距離Ｒ３が、ヒンジ部２０ｅ側の距離Ｒ４よりも短いので、梃子の原理により、ヒンジ部２０ｅ側の変位がヒンジ部２０ｄ側の変位よりも大きくなり、第２動力伝達部２３は図中矢印で示す方向に変位する。
【００２８】
その結果、第２動力伝達部２３からヒンジ部２０ｅを介して動力を受けたターゲット２４は、動力発生部２１と連結されたヒンジ部２０ａの変位量よりもずっと大きい変位量で変位することになる。
【００２９】
ここで、ターゲット２４は、支持部２５にヒンジ部２０ｆを介して連結されており、この支持部２５は、固定部２６にヒンジ部２０ｇを介して連結されている。その結果、支持部２５にも、同様の梃子の原理が働くことになる。
そのため、指示部２５が図中矢印で示す方向に変位することが可能となるので、ターゲット２４のさらなる変位が許容される。よって、ターゲット２４は、第１動力伝達部２２および第２動力伝達部２３を介して受けた動力発生部２１からの動力による変位量よりもさらに大きい変位量をもって、一方向に変位することになる。
【００３０】
ここで、理解をより容易にするために、図２を参照しながら説明する。
図２は本発明に係る微小駆動素子に使用される変位増大機構の原理図である。
【００３１】
なお、以下の説明において、図１に示した各構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３２】
動力発生部２１が動力を発生し、一軸方向の直線的変位を生じた場合、第１動力伝達部２２の一端部に連結されたヒンジ部２０ｃはヒンジ部２０ａよりも相対的に大きい変位量で変位する。
すなわち、図中矢印で示す方向に第１動力伝達部のヒンジ２０ｃ側は変位する。
【００３３】
このとき、ヒンジ部２０ｂが回転軸として働き、ヒンジ部２０ｃと連結された第１動力伝達部２２の一端部の回転変位量が、ヒンジ部２０ａとヒンジ部２０ｂとの距離Ｒと、ヒンジ部２０ａとヒンジ部２０ｃとの距離Ｒ１との比率に応じて、変化する。
【００３４】
即ち、ＲよりもＲ１が大きい場合、ヒンジ部２０ｃの変位量は、ヒンジ部２０ａの変位量よりも大きくなる。したがって、第１動力伝達部２２の変位が、当該第１動力伝達部２２にヒンジ部２０ｃを介して連結された第２動力伝達部２３に、より大きな変位をもたらすことになる。
【００３５】
第２動力伝達部２３は、固定部２６にヒンジ部２０ｄを介して連結されているので、ヒンジ部２０ｄは回転軸として働く。
すなわち、第２動力伝達部２３のヒンジ部２０ｅ側は、図中矢印で示す方向に、ヒンジ部２０ｄを回転軸として、変位する。
ここでも梃子の原理が働くので、第２動力伝達部２３のヒンジ部２０ｅが連結された一端側の変位量が、ヒンジ部２０ｃとヒンジ部２０ｄとの距離Ｒ２と、ヒンジ部２０ｃとヒンジ部２０ｅとの距離Ｒ３の比率に応じて、増加する。
【００３６】
ヒンジ部２０ｅはターゲット２４と連結され、当該ターゲット２４は前述の第２動力伝達部２３と類似した形状の支持部２５に、ヒンジ部２０ｆを介して連結されている。さらに、この支持部２５は、固定部２６にヒンジ部２０ｇを介して連結されている。
【００３７】
したがって、第２動力伝達部２３からターゲット２４に動力が伝達されると、前記ターゲット２４は図中矢印方向に変位することになるが、この際の変位量は、動力発生部２１によるヒンジ部２０ａの変位量よりも、大きい変位量となる。
【００３８】
図３および図４は、本発明に係る変位増大機構（テコ機構）をデータ記憶装置に適用した一例を示した図面である。
【００３９】
ここで図３はデータ記憶装置の平面図であり、図４は本発明に係る変位増大機構（テコ機構）の動作を示す一部拡大図である。
この図３は、水平方向へ向かう動力を僅かに与えることで、駆動される対象であるターゲットが、大きな変位量をもって変位するように構成されたデータ記憶装置に関するものである。
【００４０】
図３に示すように、固定部であるフレーム部３５には、動力発生部３１、ヒンジ部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ、第１動力伝達部３２、第２動力伝達部３３、およびデータを記憶するメディア部３４が設けられている。
動力発生部３１は、第１動力伝達部３２にヒンジ３０ａを介して連結されており、静電力、磁気力、圧電力等の動力を発生させる。
【００４１】
第１動力伝達部３２の一端側は、フレーム３５にヒンジ部３０ｂを介して連結されており、他端側は、第２動力伝達部３３にヒンジ部３０ｃを介して連結されている。
第２動力伝達部３３の一端側は、フレーム３５にヒンジ部３０ｄを介して連結されており、他端側は、メディア部３４にヒンジ部３０ｅを介して連結されている。
このような構造の変位増大機構が、メディア部３４の４隅にそれぞれ形成されている。
【００４２】
このデータ記憶装置のメディア部３４は、図１および図２の構成において説明したテコの原理を利用して、変位させられる。
すなわち、動力発生部３１において、ヒンジ部３０ａを変位させるために、静電力、磁気力、または圧電力を発生させると、力が第１動力伝達部３２、第２動力伝達部３３、および各ヒンジ部３０ｃ，３０ｅを介してメディア部３４に伝達される。この際、梃子の原理により、ヒンジ部３０ａの変位量に比べて前記メディア部３４の変位量は、大きく増加される。
ここで、メディア部３４の対角線上に位置する各隅には、同一構造の変位増大機構が形成されているので、メディア部３４は、平面上で直線運動（揺動）をすることが可能となっている。
【００４３】
図５は、本発明に係る微小駆動素子の変位増大機構を、従来の微小メディアに適応した例を示す図である。
図５に示すように、くし形電極４１が、メディア部４４を移動させるための動力発生部として働く構成となっており、この構成では、メディア部４４は、本発明に係る変位増大機構により直接的に変位させられる。
【００４４】
くし形電極４１が、メディア部４４を移動させるために動力を発生すると、メディア部４４は、本発明に係る変位増大機構により、くし形電極４１の変位量よりも相対的に大きい変位量で移動させられ、所定の位置に変位させられる。
【００４５】
ここで、第２動力伝達部４３およびメディア部４４の変位をより円滑にするために、テコ４５，４５’が、第１動力伝達部４２と第２動力伝達部４３との間に設けられている。これにより、メディア部４４が平面上で一方向に変位することになる。
【００４６】
なお、メディア部４４に対して情報の記録または再生を行うプローブは、メディア部４４の変位方向とは、異なる方向に動くように構成されることが好ましい
。
すなわち、メディア部４４の上部にメディア部４４をスキャンするプローブを配置させる場合、プロープの変位方向が、メディア部４４の変位方向に対して、垂直方向とになるように設けると良い。
【００４７】
図６は、図５のテコ４５，４５’を設けて、メディア部の変位量を増大させる場合の、テコの作用を説明する図である。
図６に示すように、一方向、たとえば動力伝達部の左側方向から力を加えると、メディア部４４は反対側、すなわち右側方向に移動する。
この際、第１動力伝達部４３からメディア部４４に力が伝達される間に、その変位が増大させられることが判る。
ここで、テコ４５，４５’が設けられているので、変位対象であるメディア部の変位量が急激に増加することになっても、メディア部４４は目的の方向に円滑に変位する。
【００４８】
言い換えれば、第１動力伝達部４２と第２動力伝達部４３との間、そして第２動力伝達部４３とメディア部４４との間に、テコが設けられていない場合には、メディア４４の変位範囲が狭い範囲に限られることになる。
【００４９】
図７乃至図１０は、本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、小型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図である。
この図に示す例では、図３または図４に示す変位増大機構が、メディア３４を水平方向に動かす為に設けられているのに加えて、変位増大機構（テコ機構）は、プローブ部５４を垂直方向に動かす為にも設けられている。
【００５０】
図７に示す変位増大機構の構成は、前述の図５に示す構成と同一である。すなわち、くし形電極５１２より発生された動力を、第１動力伝達部５２および第２動力伝達部５３に伝達することで、プローブ部５４の変位量がさらに増大させられる。
【００５１】
また、第１動力伝達部５２と第２動力伝達部５３との間、そして第２動力伝達部５３とプローブ部５４との間には、その変位動作を容易にするためにテコ５５，５５’が設けられている。
【００５２】
図８には、図７のプローブ部５４が示してあるが、このプローブ部５４には、くし形電極５４が設けられており、図７に示したテコ５５、５５’を介して精密に制御されるように構成されている。
そして、このプローブ部５４には、固定ポール５４２、弾性部材５４３、および弾性部材５４３により支持される移動板５４４とが設けられている。
【００５３】
データの記録／再生を行うプローブ５４５は、その両側に設けられた圧電体５４６により、メディア部（図示せず）とプローブ５４５との距離が調節可能となるように、昇降自在に構成されている。
【００５４】
したがって、微小駆動素子の変位量を増大させるために、変位増大機構（テコ機構）が、図７および図８に示すような構成で設けられると、駆動対象である微小駆動素子を、水平方向および垂直方向に動かすことができる。
【００５５】
さらに、図９および図１０に示すように、図７のプローブ部５４に、プローブ５４５が上下方向に変位するようにするために、前述の圧電体５４６に換えて、固定子くし形電極５４７と回転子くし形電極５４８を設けた構成とすることも可能である。
【００５６】
このように、本発明に係る変位増大機構と、変位発生機構とを組み合わせると、２軸方向のみならず３軸方向の変位が可能な微小駆動素子を提供することが可能となる。
さらに、本発明では、ヒンジ部の弾性変形微小素子の変位を増幅することができるので、テコおよびヒンジ部の共振特性を利用して、微小駆動素子の変位量を可能な限り増大させることのできる変位増大機構を提供することができる。
【００５７】
以上説明したように、本発明では、マイクロ単位の精密な部品において、簡単な構造でその変位量を増大させることができる。
微小駆動素子の変位を増大させる変位増大機構（テコ機構）では、情報記録装置において必要とされるヘッドのような高価なプロープの使用量を減らすことができる。さらに、従来の装置に比べて、配線構造が簡単にできる。また、従来に比べて大きい精度を要せず、共振型の駆動装置を用いる場合には、低電力で装置を駆動させることが可能となり、より経済性に優れたシステムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明に係る微小駆動素子に使用される変位増大機構を説明する図面である。
【図２】本発明に係る微小駆動素子に使用される変位増大機構の原理図である。
【図３】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）をデータ記憶装置に適用した一例を示した図面である。
【図４】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）をデータ記憶装置に適用した一例を示した図面である。
【図５】本発明に係る微小駆動素子の変位増大機構を、従来の微小メディアに適応した例を示す図である。
【図６】テコを設けてメディア部の変位量を増大させる場合の、テコの動作を説明する図である。
【図７】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、小型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図である。
【図８】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、小型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図である。
【図９】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、小型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図である。
【図１０】本発明に係る変位増大機構（テコ機構）を、小型記憶システムのプローブに応用した場合を示す図である。
【図１１】微小駆動素子の従来の駆動装置を示した図面である
【図１２】微小駆動素子の従来の駆動装置を示した図面である
【符号の説明】
【００５９】
１１，３４，４４・・・メディア部
１２・・・プローブ
１３・・・くし形電極
１４・・・弾性要素
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ・・・ヒンジ部
２１，３１，４１，５１・・・動力発生部
２２，３２，４２，５２・・・第１動力伝達部
２３，３３，４３，５３・・・第２動力伝達部
２４・・・ターゲット
２５・・・支持部
２６，３５・・・固定部
３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ・・・ヒンジ部
４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ，４０ｅ，４０ｆ，４０ｇ・・・ヒンジ部
４５，４５’・・・テコ
５４１・・・くし形電極部
５４２・・・固定ポール
５４３・・・弾性部材
５４４・・・移動部
５４５・・・プローブ
５４６・・・圧電体
５４７・・・固定子くし形電極
５４８・・・回転子くし形電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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