(57)【要約】【課題】  少量の吐出で簡単に液滴量を測定可能な液適量測定方法、当該測定方法を利用した液滴吐出ヘッドの駆動信号適正化方法および液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】  液滴吐出装置１００は、液滴吐出ヘッド１１６から基板表面１２０ａ上に吐出された液滴１５０を、出射部３２からパルスレーザ光をバックライトとして照射して、カメラ２０で撮像する。パルスレーザ光を発生させるレーザ光源３１は、吐出タイミングに所定の遅延時間を与えたタイミングでパルスレーザ光を照射し、カメラ２０は、その瞬間の静止画像を撮像する。制御用コンピュータ１６０は、撮像した画像から液滴１５０の側面形状を特定する数値データ（接触径、接触角等）を計測し、幾何学的に液滴１５０の体積を計算する。【選択図】      図７
2006167534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドから液滴受容体の一面に向けて液滴を吐出し、吐出した当該液滴の量を測定する液滴量測定方法であって、
前記液滴受容体の一面上に着弾した前記液滴を当該一面に沿った方向から観察し、前記液滴の側面形状を特定する数値データを計測する計測ステップと、
前記数値データから、幾何学的に前記液滴の量を計算する演算ステップと、を有することを特徴とする液滴量測定方法。
【請求項２】
前記計測ステップにおける前記数値データの計測は、前記液滴を撮像して得られた画像によりなされることを特徴とする請求項１に記載の液滴量測定方法。
【請求項３】
前記計測ステップにおける前記数値データの計測は、前記液滴が前記液滴受容体に着弾してから所定のタイミングでなされるように規定されることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴量測定方法。
【請求項４】
前記所定のタイミングは、１０μｓ〜１００μｓの範囲で規定されることを特徴とする請求項３に記載の液滴量測定方法。
【請求項５】
前記計測ステップにおいて、前記液滴に対して閃光を照射し、当該照射の瞬間における前記液滴の画像を撮像して前記側面形状の計測を行う請求項３または４に記載の液滴量測定方法であって、
前記閃光の照射は、前記液滴の吐出タイミングに所定の遅延時間を加えたタイミングでなされることを特徴とする液滴量測定方法。
【請求項６】
前記閃光を照射することによる前記液滴の撮像は、バックライティング法によってなされることを特徴とする請求項５に記載の液滴量測定方法。
【請求項７】
前記撮像ステップにおける前記閃光は、パルスレーザ光であることを特徴とする請求項５または６に記載の液滴量測定方法。
【請求項８】
前記パルスレーザ光の照射は、光ファイバを介してなされることを特徴とする請求項７に記載の液滴量測定方法。
【請求項９】
ノズル近傍に設けられた圧力発生手段を有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生手段を駆動する駆動信号を適正化する駆動信号適正化方法であって、
一ないし二以上の駆動信号により前記圧力発生手段を駆動して、前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出ステップと、
請求項１ないし８のいずれか一項に記載の液滴量測定方法を用いて、前記吐出ステップで吐出した前記液滴の吐出量を測定する吐出量測定ステップと、
前記吐出量測定ステップで測定した前記吐出量に応じて、前記一ないし二以上の駆動信号を基に駆動信号を適正化する適正化ステップと、を有することを特徴とする駆動信号適正化方法。
【請求項１０】
前記吐出量の測定は、複数の前記ノズルに対応してなされることを特徴とする請求項９に記載の駆動信号適正化方法。
【請求項１１】
ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ノズルから吐出される液滴を受ける液滴受容体を載置する載置部と、
前記液滴受容体の一面に着弾した前記液滴を当該一面に沿った方向から観察し、前記液滴の側面形状を特定する数値データを計測する計測手段と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
前記側面形状から幾何学的に前記液滴の量を計算する液滴量演算部を備えることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出装置。
【請求項１３】
前記計測手段は、前記液滴受容体の一面上に着弾した前記液滴に対して閃光を照射する照射手段と、前記液滴受容体の一面に着弾した前記液滴を当該一面に沿った方向から撮像する撮像手段と、を含み、
前記閃光照射は、前記液滴の吐出タイミングに所定の遅延時間を加えたタイミングで前記閃光を照射することを特徴とする請求項１１または１２に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴量を測定する方法と、当該測定方法を利用した液滴吐出ヘッドの駆動信号適正化方法および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、様々な液状体を基板上に液滴として吐出させて描画を行うインクジェットプリンタ等の液滴吐出装置が、紙印刷や工業用途のパターン形成などに広く利用されている。液滴を吐出する液滴吐出ヘッドには、ノズル毎に微細な流路が形成されており、ノズルの近傍に形成された圧力発生手段（例えば、ピエゾ素子など）により、液滴をノズルから吐出する構成となっている。
【０００３】
上述の構成の液滴吐出ヘッドにおいて、ノズルから吐出される液滴の量（吐出量）は、液滴吐出ヘッドの製造ばらつきや吐出する液状体の種類などに左右される。吐出される液滴量は描画の品位を決める重要な要素であるため、描画に先立ち、圧力発生手段を駆動する駆動信号を適正化する必要がある。駆動信号の適正化の方法としては、例えば、仮の駆動電圧に設定された駆動信号で吐出量を測定し、目標吐出量との差分から適正駆動電圧を求めるものがある（特許文献１）。
特許文献１に係る吐出量の測定は、液滴吐出ヘッドから規定数の液滴を吐出させて総重量を測定し、計算によって一滴あたりの平均重量を求めるものである。また、所定の深さで形成された微小な窪みを有するシャーレの当該窪み内に液滴を着弾させ、シャーレの表面に透光性の蓋を被せて液滴の高さを規定し、窪み内に広がった液滴の面積を画像処理によって求めることで、当該液滴の体積を求める方法も知られている（特許文献２）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−９０３５７号公報
【特許文献２】特開２００１−４１７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１に係る測定方法の場合、重量測定の精度を高めるために多くの数の液滴を吐出させねばならず、液状体を浪費してしまうことになる。また、特許文献２に係る測定方法の場合、専用のシャーレを微細加工によって準備せねばならず、また、測定する液滴量の大小に応じてシャーレに形成する窪みも変えなければならない為、工程準備が大変であった。
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、少量の吐出で簡単に液滴量を測定可能な液適量測定方法、当該測定方法を利用した液滴吐出ヘッドの駆動信号適正化方法および液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、液滴吐出ヘッドから液滴受容体の一面に向けて液滴を吐出し、吐出した当該液滴の量を測定する液滴量測定方法であって、前記液滴受容体の一面上に着弾した前記液滴を当該一面に沿った方向から観察し、側面形状を特定する数値データを計測する計測ステップと、前記数値データから、幾何学的に前記液滴の量を計算する演算ステップと、を有することを特徴とする。
また、前記液滴量測定方法において、前記計測ステップにおける前記数値データの計測は、前記液滴を撮像して得られた画像によりなされることを特徴とする。
【０００８】
ここで、液滴受容体とは、液滴を着弾させるための対象物であって、例えば、ガラス、合成樹脂、金属等で形成された板状部材（基板）である。また、このとき、液滴受容体の着弾面には、樹脂コートや撥液処理等の表面処理が施されていても構わない。また、液滴として吐出される液状体としては、着色インクや導電性インクなど、各種機能性材料や溶剤を含んだものを用いることができる。また、液滴の側面形状を特定する数値データとは、例えば、液滴受容体の一面に対する液滴の接触径や接触角、または高さなどを指している。
この液滴量測定方法によれば、液滴受容体上における液滴の側面の像を観察して当該液滴の側面形状を特定する数値データを計測し、液滴の底面以外の表面を球面で近似するなどして、当該液滴の量を幾何学的に求めることができる。かくして、一滴単位で簡単に液滴の量を測定することができる。
また、数値データの計測は測定者が直接行うこともできるが、撮像した画像から計測を行う方が、時間的にも精度的にも優れている。
【０００９】
また、前記液滴量測定方法において、前記計測ステップにおける前記数値データの計測は、前記液滴が前記液滴受容体に着弾してから所定のタイミングでなされるように規定されることを特徴とする。
また、好ましくは、前記所定のタイミングは、１０μｓ〜１００μｓの範囲で規定されることを特徴とする。
【００１０】
液滴受容体に着弾した液滴は、着弾後、表面張力や粘度、液滴受容体との濡れなどに支配された動力学的挙動を示す。例えば、着弾直後においては液滴の振動が収まりきっておらず、このようなタイミングでは液滴の形状が安定化していない。また、液滴と液滴受容体との濡れ性が大きい場合には、着弾から時間が経つと液滴が濡れ広がってしまい、液滴の側面形状を上手く捉えられなくなってしまう。このような事情により、演算で得られる液滴量の精度は、数値データを計測するタイミングによって変化する。
本発明の液滴量測定方法では、あらかじめ規定された所定のタイミングで数値データを計測することで、当該数値データを高精度に測定可能にしている。特に、所定タイミングを、１０μｓ〜１０００μｓの範囲、さらに好適には、１０μｓ〜１００μｓの範囲とすることで、低粘度の液状体を用いた場合や濡れ性のよい場合においても、液滴の側面形状を正確に計測することができ、種々の液状体や基板に有効に対応することができる。
【００１１】
また、前記液滴量測定方法は、前記計測ステップにおいて、前記液滴に対して閃光を照射し、当該照射の瞬間における前記液滴の画像を撮像して前記側面形状の計測を行うものであって、前記閃光の照射は、前記液滴の吐出タイミングに所定の遅延時間を加えたタイミングでなされることを特徴とする。
また、好ましくは、前記閃光を照射することによる前記液滴の撮像は、バックライティング法によってなされることを特徴とする。
また、好ましくは、前記撮像ステップにおける前記閃光は、パルスレーザ光であることを特徴とする。
また、好ましくは、前記パルスレーザ光の照射は、光ファイバを介してなされることを特徴とする。
【００１２】
先に述べた液滴量測定方法のように、液滴の数値データの計測を所定のタイミングで行うには、例えば、高速度カメラで液滴を撮像し、当該所定のタイミングに対応する液滴の像に対して計測を行うようにしてもよい。しかしこのような方法では、高速度カメラが高価であるために実施に先立って多くの出費を必要とする。
この発明の液滴量測定方法によれば、閃光の照射によってその照射の瞬間の画像を撮像するので、高速度カメラのような特別な撮像手段を用いずとも、閃光の照射制御によって任意のタイミングにおける液滴の像（静止像）を得ることができる。
またこのとき、液滴にバックライトを照射して撮像するバックライティング法によって撮像を行うことにより、液滴の像の輪郭をより鮮明にとらえることができる。またこのとき、パルスレーザ光を用いれば、白色光のような色収差の影響を受けることがなく、鋭敏な明暗変化により液滴の像のブレが低減されて、より鮮明な画像を得ることができる。またこのとき、光ファイバを介してパルスレーザ光の照射を行えば、光ファイバにより狭い範囲に光線を集中して照射することができ、また、光ファイバを通る過程でパルスレーザ光の位相が分散されて可干渉性が低下するので、液滴の輪郭（エッジ）における回折の影響を低減することができる。
【００１３】
本発明は、ノズル近傍に設けられた圧力発生手段を有する液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧力発生手段を駆動する駆動信号を適正化する駆動信号適正化方法であって、一ないし二以上の駆動信号により前記圧力発生手段を駆動して、前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出ステップと、前記液滴量測定方法を用いて、前記吐出ステップで吐出した前記液滴の吐出量を測定する吐出量測定ステップと、前記吐出量測定ステップで測定した前記吐出量に応じて、前記一ないし二以上の駆動信号を基に駆動信号を適正化する適正化ステップと、を有することを特徴とする。
【００１４】
ここで、駆動信号とは、ピエゾ素子等の圧力発生手段を駆動するための電圧パルス等であり、パルスの電圧差や勾配等に応じてノズルから吐出される液滴の吐出量が変化するという特徴を持つ。
この駆動信号適正化方法によれば、上述の液滴量測定方法により一ないし二以上の駆動信号（ダミー用駆動信号）による吐出量を取得し、当該吐出量と理想吐出量との差分から、当該ダミー用駆動信号を基に、理想吐出量が得られる駆動信号を生成することができる。
【００１５】
また、前記駆動信号適正化方法において、前記吐出量の測定は、複数の前記ノズルに対応してなされることを特徴とする。
この駆動信号適正化方法によれば、吐出量の測定が複数のノズルに対応してなされるので、ノズル間における吐出量のばらつきを考慮した駆動信号の適正化が可能である。
【００１６】
本発明は、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ノズルから吐出される液滴を受ける液滴受容体を載置する載置部と、前記液滴受容体の一面に着弾した前記液滴を当該一面に沿った方向から観察し、前記液滴の側面形状を特定する数値データを計測する計測手段と、を備えることを特徴とする。
また、好ましくは前記側面形状から幾何学的に前記液滴の量を計算する液滴量演算部を備えることを特徴とする。
【００１７】
この液滴吐出装置によれば、計測手段により、液滴の側面形状を特定する数値データを計測することができる。かくして、得られた数値データを基に液滴の底面以外の表面を球面で近似するなどして、当該液滴の量を幾何学的に求めることができる。液滴の量の演算は、好ましくは、液滴吐出装置に備えられた液滴量演算部により自動的に行われる。
【００１８】
また、前記液滴吐出装置において、前記計測手段は、前記液滴受容体の一面上に着弾した前記液滴に対して閃光を照射する照射手段と、前記液滴受容体の一面に着弾した前記液滴を当該一面に沿った方向から撮像する撮像手段と、を含み、前記閃光照射は、前記液滴の吐出タイミングに所定の遅延時間を加えたタイミングで前記閃光を照射することを特徴とする。
この発明の液滴吐出装置によれば、照射手段で閃光を照射し、その瞬間における液滴の像を撮像手段で撮像するので、閃光を照射するタイミングを制御することで任意のタイミングにおける液滴の像（静止像）を得ることができる。また、閃光の照射タイミングは、液滴の吐出タイミングを基準時として正確に計られるので、適切なタイミングで液滴の側面形状の計測を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００２０】
（液滴吐出装置の全体構成）
先ずは、図１、図２を参照して液滴吐出装置の全体構成について説明する。図１は、本実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。図２は、ヘッド部における液滴吐出ヘッドの配置を示す平面図である。
図１に示すように液滴吐出装置１００は、支持脚１０６に支えられた定盤１０７の上に、液滴を吐出するヘッド部１１０を有するヘッド機構部１０２と、液滴受容体としての基板１２０をヘッド部１１０に対して移動可能に載置する基板機構部１０３と、ヘッド部１１０に液状体１３３を供給する液状体供給部１０４とを備えている。また、液滴吐出装置１００は、定盤１０７の下側に、ヘッド機構部１０２、基板機構部１０３の駆動制御および、ヘッド部１１０の吐出制御を制御する制御部１０５を備えている。
ここで、基板１２０としては、ガラス基板、金属基板、合成樹脂基板など、平板状のものであればたいていのものが利用できる。また、液状体としては、例えば、カラーフィルタのフィルタ材料、有機ＥＬ装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料、ＰＤＰ装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための液状金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料などを含む溶液が、描画の目的に応じて用意される。
【００２１】
ヘッド機構部１０２は、液状体１３３を液滴として吐出するヘッド部１１０と、ヘッド部１１０を搭載したキャリッジ１１１と、キャリッジ１１１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド１１３と、Ｙ軸ガイド１１３に沿って設置されたＹ軸ボールねじ１１５と、Ｙ軸ボールねじ１１５を正逆回転させるＹ軸モータ１１４と、キャリッジ１１１の下部にあって、Ｙ軸ボールねじ１１５と螺合してキャリッジ１１１を移動させる雌ねじ部が形成されたキャリッジ螺合部１１２とを備えている。
【００２２】
基板機構部１０３の移動機構は、ヘッド機構部１０２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に配置されており、基板１２０を載置している載置部としての載置台１２１と、載置台１２１の移動をガイドするＸ軸ガイド１２３と、Ｘ軸ガイド１２３に沿って設置されたＸ軸ボールねじ１２５と、Ｘ軸ボールねじ１２５を正逆回転させるＸ軸モータ１２４と、載置台１２１の下部にあって、Ｘ軸ボールねじ１２５と螺合して載置台１２１を移動させる載置台螺合部１２２とから構成されている。
【００２３】
ヘッド部１１０は、図２に示すように、互いに同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド１１６を保持している。液滴を吐出するための液滴吐出ヘッド１１６は、Ｘ軸方向に延びる２つのノズル列を有していて、１つのノズル列は、例えば１８０個のノズル１１７…を有している。各液滴吐出ヘッド１１６…は、Ｘ軸方向におけるノズルの位置（座標）が、所定の間隔でオフセットされるように配置されている。
【００２４】
再び図１に戻って、ヘッド部１１０に液状体１３３を供給する液状体供給部１０４は、ヘッド部１１０に連通する流路を形成するチューブ１３１ａと、チューブ１３１ａへ液体を送り込むポンプ１３２と、ポンプ１３２へ液状体１３３を供給するチューブ１３１ｂ（流路）と、チューブ１３１ｂに連通して液状体１３３を貯蔵するタンク１３０とから成っており、定盤１０７上の一端に配置されている。
【００２５】
ヘッド機構部１０２および基板機構部１０３には、ヘッド部１１０と載置台１２１の移動した位置を検出する図示しない位置検出手段が、それぞれ備えられている。また、キャリッジ１１１と載置台１２１には、ＸＹ方向に直交するＺ方向を回転軸方向とした、回転方向を調整する機構が組込まれ、ヘッド部１１０の回転方向調整、および載置台１２１の回転方向調整が可能である。
【００２６】
上述の構成において、Ｘ軸モータ１２４、Ｙ軸モータ１１４の駆動制御により、ヘッド部１１０と基板１２０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に相対移動することができる。そして、この相対移動と同期させて、液状体供給部１０４から供給された液状体１３３を、ヘッド部１１０から液滴として吐出することにより、基板表面１２０ａ上に描画を行うことができる。
【００２７】
液滴吐出装置１００は、基板表面１２０ａ上の液滴を観察するための計測手段として、撮像手段としてのカメラ２０と、照射手段としてのレーザ光源３１、出射部３２、光ファイバ３３と、これらをＸＹ軸方向に移動するための計測手段移動機構部９１，９２および支持バー９０を備えている。また、制御部１０５、カメラ２０、レーザ光源３１は、制御用コンピュータ１６０と電気的に接続されている。制御用コンピュータ１６０は、直接的あるいは制御部１０５を介して上述の計測手段やヘッド部１１０などを制御し、後述する液滴量の測定や駆動信号の適正化を行う。
【００２８】
カメラ２０は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）センサ等の固体撮像素子を有する撮像部２２と、鏡筒２１とから構成されている。カメラ２０は、計測手段移動機構部９１，９２によってＸＹ軸方向に移動可能に設置され、基板表面１２０ａ上における任意の箇所に対して視野および焦点を合わせることができる。撮像部２２で取得された画像データは、制御用コンピュータ１６０に送られ、画像処理を施こしたり、モニタ１６１に表示させることができる。
【００２９】
照射手段を構成するレーザ光源３１は、閃光としてのパルスレーザ光を発生する。パルスレーザ光は撮像部２２において撮像感度の高い波長域のものを選択することが好ましく、本実施形態では、レーザ光源３１として、Ｏｘｆｏｒｄ  Ｌａｓｅｒｓ社製：ＨＳＩ１０００を採用し、近赤外域の半導体パルスレーザ光を得ている。レーザ光源３１で発生したパルスレーザ光を誘導する光ファイバ３３は、計測手段移動機構部９１，９２と一体に移動可能な支持バー９０に沿って這わされ、その一端に設けられた出射部３２から、カメラ２０に対向する方向にパルスレーザ光を照射するようになっている。
カメラ２０および出射部３２は、共に計測手段移動機構部９１，９２によって移動する構成であるため、両者の相対位置関係は常に一定に保たれ、撮像時における光量や光の入射角も安定している。本実施形態においては、パルスレーザ光の出射軸は鏡筒２１の光軸とほぼ平行に設定されており、液滴をいわゆるバックライティング法によって撮像することができる。
【００３０】
（液滴吐出ヘッドの構成および吐出制御）
次に、図３〜図６を参照して、液滴吐出ヘッドの構成と吐出制御について説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの主要部構造を示す概略斜視図である。
図３に示すように、液滴吐出ヘッド１１６は、隔壁１４１…に仕切られて形成された複数のキャビティ１４０…を備え、１つのキャビティ１４０に対して１つのノズル１１７が設けられている。ノズル１１７は、隔壁１４１…を構成する部材の下面に接着固定されたノズルプレート１４４に形成されている。キャビティ１４０には、１対の隔壁１４１間に位置する供給口１４６を介して、リザーバ１４５から液状体が供給されるようになっている。リザーバ１４５は一定量の液状体を貯留するための液溜めの役割を果たしており、リザーバ１４５へは、孔１４７を通して液状体が供給される。
キャビティ１４０…の上部は圧力発生手段としての振動板１４３となっていて、振動板１４３上には、それぞれのキャビティ１４０に対応して、振動子１４２…が位置する。振動子１４２は、ピエゾ素子と、ピエゾ素子を挟む１対の電極（図示せず）とから成る。この１対の電極に駆動信号（図４参照）を印加することで、振動子１４２に対応する箇所の振動板１４３が変形し、キャビティ１４０の内圧が変化して、液状体がノズル１１７から液滴１５０となって吐出される。
【００３１】
図４は、駆動信号の一例と当該駆動信号に対応するノズル内の液状体の挙動を示す図である。
図４に示す駆動信号３００は、放電パルス３０１、充電パルス３０２、放電パルス３０３を有する一連のパルス群３０５，３０５が周期的に中間電位３０４で接続された構成となっている。放電パルス３０１が振動子１４２（図３参照）に印加されると、電圧レベルの低下と共にキャビティ１４０（図３参照）内が減圧され、ノズル１１７内における液状体１３３の量が減少する（タイミングＴｐ）。次に、急峻な充電パルス３０２が振動子１４２（図３参照）に印加されると、電圧レベルの上昇と共にキャビティ１４０（図３参照）内が加圧され、液状体１３３はノズル１１７から大きく突出する（タイミングＴｅ）。このときノズル１１７を含む流路内では固有振動と呼ばれる圧力振動が発生し、この固有振動に従い、液状体１３３はやがてノズル１１７の奥に引き込まれる動きに転じる。このため、先に突出した部分とノズル１１７側の部分との境界で液状体１３３の切断が起こり、当該突出部分は液滴１５０となって飛翔してゆく（タイミングＴｂ）。放電パルス３０３は、キャビティ１４０（図３参照）内の固有振動の残留成分を打ち消すと共に上昇した電位レベルを中間電位に戻す役割を果たしており、これで一周期分の吐出駆動が終了する。尚、液滴１５０が吐出されるタイミング（以下、吐出タイミングとする）は、ある瞬間として明確に捉えられるものではないが、本実施形態では、充電パルス３０２の印加終了時点であるタイミングＴｅを吐出タイミングとして扱うものとする。
【００３２】
駆動信号３００における電位差成分Ｖｃ，Ｖｈや時間成分（パルスの傾きやパルス間の接続間隔など）、パルス群３０５の形状などは、液滴の吐出量等に大きく関わっており、目的とする吐出特性に応じて、駆動信号３００はあらかじめ設計されている。しかし、液滴吐出ヘッド１１６の製造ばらつきに起因して、同じ駆動信号３００を印加しても吐出量等が個体毎にばらつくことがあり、このようなばらつきを補正する技術が必要となる。
そこで、一般には、液滴吐出装置１００毎に、あるいは液滴吐出ヘッド１１６毎に駆動信号の適正化を行い、上述の課題に対応している。具体的には、例えば、各パルスの基本形状や時間成分は変えずに電圧成分のみを等比率で変化させて、いわゆる駆動電圧を変化させることにより行う。より具体的には、一ないし二の所定の駆動電圧で液滴を吐出させて吐出量を測定し、当該吐出量と目標吐出量との差分から適正な駆動電圧（適正電圧）を求めるものである（特許文献１参照）。このような駆動信号３００の適正化は、液状体の変更に伴う吐出量変化にも適用可能であり、一つの液滴吐出装置で複数種の液状体を使用する場合に有効である。本実施形態における液滴吐出装置１００には、駆動信号（駆動電圧）を適正化する機能があらかじめ備えられており、具体的な動作手順については後で詳しく説明する。
【００３３】
図５は、液滴吐出ヘッドの駆動回路の一例を示す回路図である。図６は、駆動信号および制御信号のタイミングを示す図である。
図５において、制御信号発生回路２２０、駆動信号発生回路２３０は、制御部１０５（図１参照）に備えられている。また、フリップフロップ２２６…、フリップフロップ２２７…、トランジスタ２２９…は、液滴吐出ヘッド１１６の圧電振動子１４２…（図３参照）の各々に対応して設けられていて、制御信号発生回路２２０、駆動信号発生回路２３０と各信号線２２３，２２４，２２５，２３１で接続されている。
【００３４】
制御信号発生回路２２０は、データバス２２２を介して送られてくるデータ信号（図６参照）を取り込み、液滴吐出ヘッド１１６が印字位置に達したことを示す印字タイミング信号（図６参照）が端子２２１に入力された段階で、取り込んだデータ信号を１ビットずつ信号線２２４に出力する。この信号線２２４に出力されたデータ信号は、カスケードに接続されシフトレジスタを構成するフリップフロップ２２６のデータ端子に入力される。また、信号線２２５にはシフトクロック信号が出力され、このシフトクロック信号によってシリアル転送されたデータ信号がシフトされながら、フリップフロップ２２６…に転送される。そして、すべての圧電振動子１４２…に対するデータ（ノズルのＯＮ／ＯＦＦ情報）が転送された段階で、信号線２２３にラッチ信号（図６参照）が送られ、データがフリップフロップ２２７…の出力側に現われる。そして、印字動作を行うべき圧電振動子１４２に対応するトランジスタ２２９がＯＮ状態となる。一方、駆動信号発生回路２３０は、制御信号発生回路２２０、信号線２６０を介して印字タイミング信号（図６参照）が入力されると、駆動信号（図６参照）を信号線２３１から出力し、ＯＮ状態となったトランジスタ２２９に対応する圧電振動子１４２を駆動する。
尚、駆動信号発生回路２３０が生成する駆動信号の形状や、データ信号のデータ、印字タイミング信号の印加タイミング、周波数などは、制御用コンピュータ１６０からの命令により、自由に設定することが可能である。かくして、液滴吐出ヘッド１１６の任意のノズルから、任意のタイミングで、任意の駆動信号によって液滴１５０を吐出させることが可能となる。
【００３５】
図６において、吐出タイミングＴｅは、駆動信号に依存して決まるタイミングであり、印字タイミング信号の立ち上がりタイミングともラッチ信号の立ち上がりタイミングＴｌ（以下、ラッチタイミングＴｌとする）とも異なったタイミングとなっている。しかし、吐出タイミングＴｅとラッチタイミングＴｌとは、常に一定の時間間隔Ｔｉで規定される関係にあり、ラッチタイミングＴｌをもって吐出タイミングＴｅを捉えることが可能である。ラッチ信号は、制御部１０５から制御用コンピュータ１６０に送られ（図１参照）、制御用コンピュータ１６０は、ラッチタイミングＴｌを基準として、レーザ光源３１におけるパルスレーザ光の発生制御やカメラ２０の撮像制御を行っている。すなわち、制御用コンピュータ１６０は、本発明における照射手段を構成している。
【００３６】
（液滴量の測定動作）
次に、図７〜図１０を参照して、液滴吐出装置を用いた液滴量（吐出量）の測定動作について説明する。図７は、液滴量の測定動作に係る液滴吐出装置の機能構成を示す図である。図８は、駆動信号、ラッチ信号、トリガ信号、パルスレーザ光出力のタイミングを示す図である。
【００３７】
図７に示すように、液滴吐出ヘッド１１６のノズル面１４８と基板表面１２０ａとは、一定の距離ｇが保たれるように構成されており、基板１２０は基板機構部１０３によってＸ軸方向に、液滴吐出ヘッド１１６はヘッド機構部１０２によってＹ軸方向にそれぞれ移動可能となっている。また、カメラ２０および出射部３２は、計測手段移動機構部９１，９２によって、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能となっている。これらの構成により、液滴吐出ヘッド１１６は、基板１２０における任意の位置に液滴１５０を吐出することができ、カメラ２０は、任意のノズル１１７（図２参照）から吐出された液滴１５０を撮像することができる。
液滴量の測定は、電気配線などの各種機能膜の形成のためのパターン描画に先立って行われる。液滴受容体としての基板１２０には、液滴量測定用の専用基板が用意されることもあるし、描画用基板をそのまま利用することもある。後者の場合には、測定対象としての液滴１５０の吐出は、描画しないダミー領域に対して行われる。尚、このとき基板表面１２０ａには、樹脂や無機物の薄膜などが形成されていてもよく、親液ないし撥液処理が施されていてもよい。ある程度の平坦性が確保されていれば十分であり、基板表面１２０ａの状態の影響をあまり受けないことは、本願発明の特徴の一つである。
【００３８】
撮像手段としてのカメラ２０は、照射手段としての出射部３２から照射される閃光としてのパルスレーザ光をバックライトとして、基板表面１２０ａに沿った方向から基板表面１２０ａ上の液滴１５０を撮像する。カメラ２０は、出射部３２によって液滴１５０が照射された瞬間の像を静止画として撮像することができる。すなわち、液滴１５０が基板表面１２０ａに着弾した後の任意のタイミングでパルスレーザ光を照射することにより、当該タイミングにおける液滴１５０の像を撮像することが可能である。
照射の光源にはパルスレーザ光が用いられるので、白色光のような色収差の影響を受けることがなく、また、鋭敏な明暗変化により液滴１５０の像のブレが低減されて、鮮明な静止画像を得ることができる。また、液滴１５０にバックライトを照射して撮像するバックライティング法によって撮像を行っているので、液滴の像の輪郭をより鮮明にとらえることができる。また、パルスレーザ光は、光ファイバ３３を介して照射されるので、パルスレーザ光の位相が分散されて可干渉性が低下し、液滴１５０のエッジにおける回折の影響を低減することができる。また、光ファイバ３３でパルスレーザ光を収束して照射することにより、ノズル面１４８と基板表面１２０ａとの間隔ｇが狭い場合においても液滴１５０を有効に照射することができる。
【００３９】
上述のパルスレーザ光の照射制御および撮像制御は、制御用コンピュータ１６０から発信されるトリガ信号によって行われる。すなわち、制御用コンピュータ１６０で生成されたトリガ信号を受けて、レーザ光源３１はパルスレーザ光を出力し、撮像部２２はパルスレーザ光によって照射された液滴１５０を静止画像として撮像する。撮像された画像情報は、制御用コンピュータ１６０に送られて、適宜画像処理される。
ここで、トリガ信号は、制御信号発生回路２２０から送られてくるラッチ信号を同期信号として生成される。すなわち、図８において、ラッチタイミングＴｌに所定の時間＝Ｔｉ＋Ｔｄを加えたタイミングＴｆ（以下、撮像タイミングＴｆとする）でトリガ信号を発生させる。ここで、Ｔｉは、先にも説明したように、ラッチタイミングＴｌと吐出タイミングＴｅとの時間差であり、つまりは、Ｔｄは、吐出タイミングＴｅに対する撮像タイミングＴｆの遅延時間を表している。
このように、ラッチ信号を同期信号としてＴｉ＋Ｔｄの時間差でトリガ信号を発生させることで、吐出タイミングＴｅに遅延時間Ｔｄを加えたタイミングで、パルスレーザ光の照射および撮像が行われる。そして、遅延時間Ｔｄを変化させることにより、吐出タイミングＴｅを基準とする任意のタイミングで液滴１５０を撮像することができる。尚、図示するタイミングＴｗは、液滴１５０が基板表面１２０ａに着弾するタイミング（以下、着弾タイミングＴｗとする）を表している。
【００４０】
着弾タイミングＴｗは、吐出タイミングＴｅに対して一定時間の遅れ、すなわち、図７において、液滴１５０がノズル面１４８から基板表面１２０ａに至る間隔ｇを飛翔する時間分の遅れを生じることになる。例えば、間隔ｇが０．７ｍｍ、平均飛翔速度が７ｍ／ｓであるとすると、液滴１５０が吐出してから基板表面１２０ａに着弾するまでの時間は１００μｓに相当する。この場合、遅延時間Ｔｄを１００μｓ以上に設定すれば、基板表面１２０ａに着弾した後の液滴１５０が撮像されるわけである。
このように、吐出タイミングＴｅから着弾タイミングまでの時間差は間隔ｇが保たれていることで一定になるので、吐出タイミングＴｅ（直接的には吐出タイミングと同期するラッチタイミングＴｌ）を基準とする遅延時間Ｔｄにより、着弾タイミングＴｗから撮像までの経過時間Ｔｒを規定することができる。
【００４１】
図９には、遅延時間Ｔｄを変えて撮像した液滴の画像の一例が示されている。ここで、液滴１５０には、市販のインクジェットプリンタに使用される染料インクが用いられており、基板表面１２０ａは、ドデシルトリエトキシシラン（Dodecyl triethoxy silane）の分子が吸着されて親液化された状態にある。
図９（ａ）に示す着弾直後の段階においては、液滴１５０は着弾時の衝撃に伴う振動が収まっておらず、液滴１５０の側面形状は不安定な状態にある。着弾から少し時間が経過するとこのような振動は収束し、図９（ｂ）に示すように液滴１５０は安定した球面形状を示す。そして時間の経過に伴って液滴１５０は濡れ広がってゆき、図９（ｃ）の状態を経て、図９（ｄ）に示すように大きく濡れ広がった状態で定常化する。
撮像された画像は、計測手段を構成する制御用コンピュータ１６０によって画像処理が施され、液滴１５０の側面形状が計測される。より具体的には、例えば、図９（ｂ）に示す接触径ｄ、接触角θ、高さｈや、像の面積など、側面形状を特定する数値データが取得される。図１０は、このようにして計測した接触径ｄ（図１０（ａ））および液滴高さｈ（図１０（ｂ））と、着弾から撮像までの経過時間Ｔｒとの関係を示している。
【００４２】
このように、液滴１５０の側面形状は、着弾後の経過時間Ｔｒによって変動し、着弾直後は残留振動の影響により、着弾から長時間経過後は濡れ広がりの影響により、側面形状の特定が困難になる。この後で行う液滴量の演算においては、液滴１５０の側面形状から幾何学的にその体積を求めることになるので、側面形状の特定は体積測定の精度に関わる大きな要素である。すなわち、液滴１５０を撮像するタイミング（遅延時間Ｔｄ、経過時間Ｔｒ）は、液滴量の計算精度に大きく関わっている。
撮像に適したタイミングは、着弾直後の残留振動や濡れ広がりの影響を受けない時間範囲であり、Ｔｒ＝１０μｓ〜１０００μｓ、より好適には、１０μｓ〜１００μｓである。着弾後における液滴の挙動特性は、液滴１５０の粘度や基板表面１２０ａとの濡れ性などによって変化するものであるが、この範囲のタイミングで撮像を行えば、低粘度の液状体を用いた場合や濡れ性のよい場合においても、液滴１５０の側面形状を正確に計測することができ、種々の液状体や基板に有効に対応することができる。本実施形態の液滴吐出装置１００においては、液滴１５０を撮像するタイミングが、上述の時間範囲内の時間（例えばＴｒ＝１５μｓ）に規定されており、液滴１５０の側面形状の正確な測定が可能である。
【００４３】
液滴１５０を撮像し、その側面形状を特定する数値データを計測したら、次に、取得された数値データを用いて液滴量の演算が行われる。この演算は、液滴量演算部を備える制御用コンピュータ１６０で行われ、本実施形態では、着弾径ｄと接触角θが計測され（計測ステップ）、式１に示す計算式を用いて液滴１５０の体積Ｖが計算される（演算ステップ）。このように、本実施形態に係る液滴吐出装置１００は、液滴１５０の側面形状から幾何学的に液滴量を求めるようになっているため、１滴単位での測定が可能であり、また、基板表面１２０ａの状態にあまり影響されることがない。
【００４４】
【数１】
2006167534.tif 000003
【００４５】
式１は、液滴１５０の液面が球面を形成すると近似して導いた計算式であるが、必要に応じ、実量との誤差を補正するための補正係数を乗じるようにしてもよい。また、液滴量の演算は、上述のような計算方法に限定されるものではなく、着弾径ｄと高さｈから算出する方法でもよいし、液滴１５０の側面像の面積を計測して積分により体積を算出する方法でもよい。また、液滴１５０の体積ではなく、用いられる液状体の密度を用いて質量（重量）が得られるようになっていてもよい。
【００４６】
（駆動電圧の適正化動作）
次に、図１１のフローチャートに沿って、図７および図１２を参照して、駆動信号における駆動電圧の適正化動作について説明する。図１１は、液滴量の測定動作の一例を示すフローチャートである。図１２は、撮像視野を示す概略側面図である。
駆動電圧の適正化は、必要に応じ、描画に先立って行われる。適正化動作が必要となるのは、例えば、液滴吐出装置１００のメンテナンスにより、ヘッド部１１０（図２参照）の液滴吐出ヘッド１１６の一部ないし全部が交換されたときや、液状体１３３（図１参照）の種類や組成が変更されたときである。
【００４７】
図７において、駆動電圧適正化のための動作命令が制御用コンピュータ１６０から送られると、まず、第１駆動電圧が設定される（図１１のステップＳ１）。この第１駆動電圧は、適正化動作における吐出駆動で使用される仮の駆動電圧であり、あらかじめ値が制御部１０５に記憶されている。
次に、ヘッド機構部１０２、基板機構部１０３の駆動により、液滴吐出ヘッド１１６が基板１２０に対する所定の相対位置に移動し、液滴の吐出位置（着弾位置）が合わせられる（図１１のステップＳ２）。このとき、基板１２０が描画用基板である場合には、基板１２０におけるダミー領域上に液滴吐出ヘッド１１６が移動する。尚、このステップＳ２に先立ち、液滴吐出ヘッド１１６のノズル内における増粘した液状体（ノズル開口から水分が蒸発して粘度が上昇した液状体）を廃棄するために、液滴吐出装置１００に設けられた図示しない捨てうち領域に、液滴吐出を行うようにしてもよい。
次に、計測手段移動機構部９１，９２の駆動により、カメラ２０および出射部３２が移動し、撮像位置（視野および焦点）が合わせられる（図１１のステップＳ３）。本実施形態においては、図１２に示すように、液滴吐出ヘッド１１６の一のノズル列（図２参照）について、当該ノズル列の中央部および両端部の３つの撮像領域ｆ１〜ｆ３が設定されており、１領域について６ノズルを同時に撮像する。例えば最初のステップＳ２においては、撮像領域ｆ１が撮像視野となる。
【００４８】
次に、図１２に示すように、液滴吐出ヘッド１１６から液滴１５０…が吐出される（図１１の吐出ステップＳ４）。このときの吐出条件はあらかじめ規定されており、本実施形態では、１列の全ノズル（１８０ノズル）から同時に１滴ずつ液滴を吐出させる。吐出条件を規定するのは、液滴吐出ヘッド１１６の構造的ないし駆動信号の電気的クロストークにより、同時に駆動するノズル数によって吐出量が変動する場合があるからである。設計条件が許せば、１撮像領域：６ノズル単位で吐出を行うようにしても構わない。
次に、撮像領域ｆ１における基板表面１２０ａ上の液滴１５０…にパルスレーザ光を照射して撮像し（図１１のステップＳ５）、指定撮像エリアの全てが終了しているか否かのチェックが行われる（図１１のステップＳ６）。尚、ステップＳ５における撮像条件は、先に説明した液滴量の測定の場合と同様である。
【００４９】
ステップＳ６において、指定撮像エリアが残っている場合にはステップＳ２に戻り、ステップＳ２〜Ｓ６までの一連の動作が行われる。ここで、吐出位置を合わせるためのステップＳ２と吐出ステップＳ４は、必要に応じて行われる。例えば、先に吐出された液滴１５０…に対して、撮像位置だけをｆ２、ｆ３と順に移動させ、撮像を行うようにしてもよい。この場合、ｆ２、ｆ３における撮像タイミングは、計測手段移動機構部９１，９２の駆動に要する時間や撮像部２２の処理速度の関係で、ｆ１における撮像タイミングよりも遅れることになる。しかし、液滴１５０が基板表面１２０ａに対して濡れにくい場合には十分有効であり、消費する液状体の量や撮像に要する時間を短縮することができる。また、それぞれの撮像タイミングを一致させたい場合には、ステップＳ２により吐出位置（着弾位置）を少しずらした上で撮像位置を移動させ（ステップＳ３）、液滴吐出（ステップＳ４）、撮像（ステップＳ５）を上述と同じ手順で行うことになる。
【００５０】
このようにして、他のノズル列や他の液滴吐出ヘッド１１６（図２参照）についても同様の動作を繰り返し、ステップＳ６において指定撮像エリアが全て終了したと判断されたら、撮像された全ての画像における液滴１５０に対して、側面形状を特定する数値データの計測が行われる（図１１の計測ステップＳ７）。そして、計測した数値データに基づいて、液滴１５０の体積、すなわち吐出ステップＳ４における吐出量が演算により求められる（図１１の演算ステップＳ８）。つまり、液滴１５０の撮像を行うステップＳ５、液滴１５０の側面に係る数値データ計測する計測ステップＳ７、液滴量の演算を行う演算ステップＳ８は、本発明における吐出量測定ステップを構成している。
【００５１】
吐出量の測定は１ノズル単位からでも行うことが可能であるが、本実施形態では、ノズル間の吐出量ばらつきを考慮して、複数のノズルについての測定を行うようにしている。吐出量を、ノズル列単位または液滴吐出ヘッド１１６単位または吐出ヘッド１１０全体の平均値として求めることで、このようなノズル間ばらつきの影響を低減し、平均的な特性を知ることができる。
尚、上述の実施形態において、測定対象を１列のノズル列に対して３つの領域：１８ノズルに限定したのは、測定に要する時間を短縮するための扱いであり、もちろん全てのノズルについて吐出量を測定しても構わない。また、逆に、液滴吐出ヘッド１１６の特定の１ノズルについて、液滴吐出ヘッド１１６全体、あるいはヘッド部１１０全体の平均特性との相関が既にわかっているのであれば、当該特定の１ノズルについてのみ吐出量を測定するようにしてもよい。
【００５２】
上述のようにして、第１駆動電圧による吐出量が求められたら、次に、第２駆動電圧による吐出量の測定がなされたか否かの判定が行われる（図１１のステップＳ９）。第２駆動電圧による吐出量の測定がまだであれば、第２駆動電圧が設定され（図１１のステップＳ１０）、ステップＳ２〜Ｓ９の一連の動作により、第２駆動電圧による吐出量が求められる。
第２駆動電圧による吐出量の測定がなされていれば、第１駆動電圧に対する吐出量と第２駆動電圧に対する吐出量とから適正電圧が計算され、駆動電圧として設定される（図１１の適正化ステップＳ１１）。具体的には、例えば、第１駆動電圧値および第２駆動電圧値と測定した吐出量との関係から、線形補間により、目標吐出量を得るための駆動電圧を求める（特許文献１参照）。また、精度はやや劣るものの、一方の駆動電圧による吐出量だけを測定して、適正電圧を求める方法もある。このように適正電圧を求めて駆動信号を適正化することにより、設計吐出量（目標吐出量）に基づいた正確な描画を行うことができる。
【００５３】
液滴吐出装置１００が、複数種類の駆動信号による印字モードを有する場合には、対応するそれぞれの駆動信号について適正電圧が求められ、設定される。また、適正電圧は、駆動信号発生回路２３０ごとに演算され、設定される。例えば、ノズル列ごとまたは液滴吐出ヘッド１１６ごとに独立した駆動信号発生回路２３０を備えているのならば、当該ノズル列ないし液滴吐出ヘッドごとに平均化した吐出量を計算し、適正電圧の演算、設定を行い、駆動信号の適正化がなされる。
【００５４】
本発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、図４などに示す駆動信号はあくまでも一例に過ぎず、本発明は多様な形状の駆動信号（例えば、特許文献１参照）に対して適用することができる。また、圧力発生手段に関しても、ピエゾ素子を用いたものに限定されるものではなく、駆動信号の形状等によって吐出量が変化する性質を有していれば、本発明を適用することができる。
また、駆動信号の適正化は、上述のように駆動電圧を適正化することにより行うことが一般的であるが、時間成分等を変化させて適性化することを否定するものではない。
また、照射手段による閃光の照射は、パルスレーザ光に限定されるものではなく、白色ストロボによってなされてもよい。
また、液滴量の測定における液滴を撮像するタイミングは、上述の実施形態のように所定のタイミングに規定されることに限定されるものではない。本発明適用の要件としては、液滴の側面形状を特定する数値データが計測できれば十分であり、例えば、液滴が基板表面に対して濡れにくいような場合には、液滴が定常状態となった段階における任意のタイミングで撮像すれば十分である。また、このような場合には、液滴の側面形状が高速で変化するわけではないので、閃光を用いて静止画像として撮像する必要もない。
また、上述の実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】ヘッド部における液滴吐出ヘッドの配置を示す平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドの主要部構造を示す概略斜視図。
【図４】駆動信号の一例と当該駆動信号に対応するノズル内の液状体の挙動を示す図。
【図５】液滴吐出ヘッドの駆動回路の一例を示す回路図。
【図６】駆動信号および制御信号のタイミングを示す図。
【図７】液滴量の測定動作に係る液滴吐出装置の機能構成を示す図。
【図８】駆動信号、ラッチ信号、トリガ信号、パルスレーザ光出力のタイミングを示す図。
【図９】撮像画像の一例を示す図。
【図１０】（ａ）は、着弾から撮像までの経過時間と撮像画像から計測した接触径との関係を示す図。（ｂ）は、着弾から撮像までの経過時間と撮像画像から計測した液滴高さとの関係を示す図。
【図１１】液滴量の測定動作の一例を示すフローチャート。
【図１２】撮像視野を示す概略側面図。
【符号の説明】
【００５６】
２０…撮像手段（計測手段）としてのカメラ、２１…鏡筒、２２…撮像部、３１…照射手段（計測手段）を構成するレーザ光源、３２…照射手段（計測手段）を構成する出射部、３３…照射手段（計測手段）を構成する光ファイバ、９０…支持バー、９１，９２…計測手段移動機構部、１００…液滴吐出装置、１０２…ヘッド機構部、１０３…基板機構部、１０４…液状体供給部、１０５…制御部、１１０…ヘッド部、１１１…キャリッジ、１１６…液滴吐出ヘッド、１１７…ノズル、１２０…液滴受容体としての基板、１２０ａ…液滴受容体の一面としての基板表面、１２１…載置部としての載置台、１３３…液状体、１４０…キャビティ、１４１…隔壁、１４２…圧力発生手段としての振動子、１４３…振動板、１４４…ノズルプレート、１４５…リザーバ、１４６…供給口、１４８…ノズル面、１５０…液滴、１６０…計測手段を構成し液滴量演算部を備える制御用コンピュータ、１６１…モニタ、２２０…制御信号発生回路、２３０…駆動信号発生回路、３００…駆動信号、３０１…放電パルス、３０２…充電パルス、３０３…放電パルス、３０４…中間電位、３０５…パルス群、Ｔｅ…吐出タイミング、Ｔｆ…撮像タイミング、Ｔｄ…遅延時間、Ｔｒ…着弾から撮像までの経過時間、ｄ…数値データとしての接触径ｄ、θ…数値データとしての接触角、ｈ…数値データとしての液滴の高さ。
【図１】
2006167534.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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