(57)【要約】【課題】  工程間の時間制限を守ると共に、生産性を最大限に向上させ、優先ロットの割り込みを実現するようにしながら、設備稼働率を向上させる生産計画策定方法を得る。【解決手段】  機種により処理される複数の工程が定義されると共に工程間の時間制限を有するロットの生産計画に当たって、ステップＳ１で、このロットの各工程での着手調整時間を算出して、ネック工程を検出し、次いで、ステップＳ２で、ステップＳ１により検出されたネック工程に基づき、ロットの先頭工程への投入時点を決定し、次に、このステップＳ２により決定されたロットの先頭工程への投入時点を基準にして、ステップＳ３により、ロットの各工程についてロットの処理計画を作成するようにし、設備稼動率を向上させるようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ処理される複数の工程が定義されると共に工程間の時間制限を有する複数のロットを、優先順位にしたがって順次投入する場合の各ロットの生産計画を策定する生産計画策定方法において、上記ロットのネック工程を検出する第一のステップ、この第一のステップにより検出されたネック工程に基づき、上記ロットの先頭工程への投入時点を決定する第二のステップ、及びこの第二のステップにより決定された上記ロットの先頭工程への投入時点を基準にして上記ロットの各工程について上記ロットの処理計画を作成する第三のステップを含み、上記第一のステップ〜第三のステップは、上記各ロットの投入のつど実行されることを特徴とする生産計画策定方法。
【請求項２】
上記第一のステップは、上記ロットの先頭工程に、投入時点が最終の計画済みのロットの上記先頭工程の終了時点で、上記ロットを工程間の待ち時間を生じないように仮投入し、この仮投入された各工程で、計画済みのロットとの処理時間が重複する着手調整時間が最大になる工程をネック工程とすることを特徴とする請求項１記載の生産計画策定方法。
【請求項３】
上記第一のステップは、上記工程による処理を実行できる複数の設備を有する場合には、各設備の着手調整時間を算出し、その内の最小の着手調整時間を上記工程の着手調整時間とすることを特徴とする請求項２記載の生産計画策定方法。
【請求項４】
上記第一のステップは、割り込みロットが発生したとき、上記割り込みロットの先頭工程に、上記発生した時点または上記発生した時点で投入済みロットの上記先頭工程が処理中の場合には上記投入済みロットの上記先頭工程の終了時点で、上記割り込みロットを工程間の待ち時間を生じないように仮投入し、この仮投入された各工程で、投入済みのロットとの処理時間が重複する着手調整時間が最大になる工程をネック工程とすることを特徴とする請求項１記載の生産計画策定方法。
【請求項５】
上記第一のステップは、上記ロットの先頭工程に、計画済みのロットの上記先頭工程の終了時点で、上記ロットを工程間の待ち時間を生じないように仮投入し、この仮投入された各工程で、計画済みのロットとの処理時間が重複する着手調整時間がないとき、上記第二のステップは、上記ロットの先頭工程への投入時点を、上記計画済みのロットの上記先頭工程の終了時点とすることを特徴とする請求項１記載の生産計画策定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、工程間の仕掛り時間を制限した生産計画を策定する生産計画策定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体等の製造工程では、品質等の制約から、工程間の仕掛り時間に時間制限を設けることが多い。時間制限を考慮した従来の生産計画作成方法としては、例えば特許文献１がある。この特許文献１では、半導体の製造工程において、ロットの優先順位や工程間の時間制限を考慮しながらディスパッチング（投入時期）を決定するものである。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−７９１２号公報（第５〜１１頁、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら特許文献１では、処理予約の基準となる時間は、全工程において前ロットの処理が最も遅く終了する時間となっているため、生産性を最大化するものではなかった。
また、工程において、複数の設備が使用可能な場合があることを考慮していない。このため、設備の空き時間を有効に利用できておらず、生産性を最大化することができていないという問題があった。
また、特急優先ロットが発生した場合、優先処理のための割り込み制御についても考慮されていなかった。
【０００５】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたものであり、工程間の時間制限を守ると共に、生産性を最大限に向上させ、優先ロットの割り込みを実現するようにしながら、設備稼働率を向上させる生産計画策定方法を得ることを目的にしている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係わる生産計画策定方法においては、それぞれ処理される複数の工程が定義されると共に工程間の時間制限を有する複数のロットを、優先順位にしたがって順次投入する場合の各ロットの生産計画を策定する生産計画策定方法において、ロットのネック工程を検出する第一のステップ、この第一のステップにより検出されたネック工程に基づき、ロットの先頭工程への投入時点を決定する第二のステップ、及びこの第二のステップにより決定されたロットの先頭工程への投入時点を基準にしてロットの各工程についてロットの処理計画を作成する第三のステップを含み、第一のステップ〜第三のステップは、各ロットの投入のつど実行されるものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明は、以上説明したように、それぞれ処理される複数の工程が定義されると共に工程間の時間制限を有する複数のロットを、優先順位にしたがって順次投入する場合の各ロットの生産計画を策定する生産計画策定方法において、ロットのネック工程を検出する第一のステップ、この第一のステップにより検出されたネック工程に基づき、ロットの先頭工程への投入時点を決定する第二のステップ、及びこの第二のステップにより決定されたロットの先頭工程への投入時点を基準にしてロットの各工程についてロットの処理計画を作成する第三のステップを含み、第一のステップ〜第三のステップは、各ロットの投入のつど実行されるので、工程間の時間制限を守ると共に、設備稼働率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法のロット処理予約作成フローを示すフローチャートである。
図２は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法のネック工程検出フローを示すフローチャートである。
【０００９】
図３は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法のロットサイズを示す図である。
図３において、連続設備がロットサイズＬのロットを加工する所要時間をＴＲ１、ＴＲ２とし、ロットサイズが変化した場合の工程所要時間を示している。バッチ設備の場合は、ロットサイズに係わらず、工程所要時間をＴＢ１、ＴＢ２としている。
【００１０】
図４は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の工程間時間制限を示す図である。
図４において、二つの連続する工程で設定される場合の工程間時間制限ＴＰ１−Ｐ２、また複数間の工程を跨ぐ場合の工程間時間制限ＴＰ２−Ｐｎが示されている。なお、ＴＳは各工程の開始時間、ＴＥは各工程の終了時間である。
【００１１】
図５は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の着手調整時間を示す図である。
図５（ａ）は、着手調整時間として１ロット分遅らせ、前後ロット処理の間に処理時間以上の待機時間があれば、その間で処理可能なケースを示す図、
図５（ｂ）は、１ロット遅らせても処理時間以上の待機時間が確保できないため、後続ロットも考慮し、着手調整時間として複数ロット分遅らせる必要があるケースを示す図、
図５（ｃ）は、仮投入時点で処理時間以上の待機時間が確保できており、投入を遅らせる必要は無いケース、つまり着手調整時間のないケースを示す図である。
【００１２】
図６は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の着手調整時間算出フローを示すフローチャートである。
【００１３】
図７は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の工程モデルを示す図である。
図７において、縦軸は設備、横軸は時間軸である。開始時間ＴＳと終了時間ＴＥの間のブロックは、その工程で処理するロットの着手から完了までの処理を表す。工程間時間制限ＴＰ−Ｐを太線で示している。
図８は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の機種１の工程フローを示す図である。
図８において、工程と設備の関係、及び各設備について連続またはバッチの設備タイプを示している。
図９は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の機種１の工程間時間制限を示す図である。
図９において、工程間（開始工程と終了工程の間）毎の工程間時間制限を示している。
図１０は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の機種２の工程フローを示す図である。
図１０において、工程と設備の関係、及び各設備について連続またはバッチの設備タイプを示している。
図１１は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の機種２の工程間時間制限を示す図である。
図１１において、工程間（開始工程と終了工程の間）毎の工程間時間制限を示している。
【００１４】
図１２は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の投入ロットを示す図である。
図１２において、図７のモデルに投入するロットを示し、投入ロットの優先度、ロット名、ロットサイズ、機種が示されている。
【００１５】
図１３は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法のロット処理計画作成フローの実施例を示す図である。
図１３では、図７の工程モデルに図１２のロット名Ａを投入する場合を示している。
図１４は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の実ネック工程検出の実施例を示す図である。
図１４では、図７の工程モデルに図１２のロット名Ｂを投入する場合を示している。
【００１６】
図１５は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の特急ロットの優先処理計画方法の実施例を示す図である。
図１５では、図７の工程モデルに図１２のロット名αを投入する場合を示している。
図１６は、この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の設備空き時間有効利用の実施例を示す図である。
図１６では、図７の工程モデルに図１２のロット名Ｃを投入する場合を示している。
【００１７】
実施の形態１は、図１に示すようなステップにより、投入ロットのロット処理予約作成を行うことにより、工程間時間制限を守りつつ、設備の稼動率を上げ、生産性をアップさせる生産計画を策定するものである。
【００１８】
以下、実施の形態１について、詳述する。
まず、この生産計画で用いられる製品ロットについて説明する。
各ロットにはロット名、投入日、納期等が設定されている。各項目を単独、もしくは総合的に判断してロット優先順位が決定されている。またロットサイズ（１つのロットを構成するワーク数）は、ロットによって異なる場合がある。各ロットは、機種ごとに製造工程フローが定義される。
【００１９】
次いで、工程処理時間の算出方法について説明する。
工場で使用する設備は、ワーク毎に加工を行う連続設備と、炉のように一度に複数のワークを処理するバッチ設備がある。
図３に示すように、連続設備がロットサイズＬのロットを加工する所要時間をＴＲ１、ＴＲ２、バッチ設備の場合は、ＴＢ１、ＴＢ２とし、ロットサイズが変化した場合の工程所要時間は、連続設備では、ロットサイズに比例し、バッチ設備では、ロットサイズに係わらず一定である。
すなわち、連続設備では、設備の１ワークを処理する能力と、ロットサイズによって処理時間が決定される。一方、バッチ設備は、設備能力によってのみ処理時間が決定され、ロットサイズの違いによる変動はない。
【００２０】
次に、工程間時間制限について説明する。
品質上の制約により、工程フローの一部において、工程間時間制限が定義される。この工程間時間制限は、工程フローごとに設定される。工程間時間制限は、制限開始工程の工程完了時点から、制限終了工程の工程着手時点までの放置可能時間の上限を表す。時間制限イメージを図４に示す。
図４に示すように、二つの連続する工程で設定される場合（図中ＴＰ１−Ｐ２）、また複数間の工程を跨ぐ場合（図中ＴＰ２−Ｐｎ）がある。工程Ｐｎにおける着手時間、完了時間をそれぞれＴＳＰｎ、ＴＥＰｎとすると、時間制限終了工程の工程着手時間は、
ＴＳＰ２＜ＴＥＰ１＋ＴＰ１−Ｐ２、ＴＳＰｎ＜ＴＥＰ２＋ＴＰ２−Ｐｎとなる必要がある。
【００２１】
以上が、この発明を説明するための前提を示している。
この発明は、上述のとおり、ロット投入のつど、図１のフローを実行することにより、生産効率を上げる生産計画の策定を可能にするものである。
次に、図１について、説明する。
ステップＳ１（第一のステップ）のネック工程の検出により、最初に、そのロットを製造する全工程中からネック工程を検出する。ここで言うネック工程とは、生産する上で最も処理が混み合う工程を意味する。ステップＳ１は、後述の図２により、ネック工程検出を行うが、各工程の着手調整時間を算出し、その最大値を検出して、ネック工程とする。
ステップＳ２（第二のステップ）の先頭工程投入時点決定では、ステップＳ１で検出したネック工程での着手調整時間先頭工程を投入時点に反映し、該当ロットの先頭工程投入時点はＴＥｌａｓｔ＋ＴＫｍａｘとする。つまり、ＴＫｍａｘの時間をずらして、ロット投入を行う。
ステップＳ３（第三のステップ）の計画作成では、ステップＳ２で決定した先頭工程投入時点に基づき、先頭工程から最終工程までロットの処理計画を作成する。この時点でロットを先頭工程へ投入すると、次以降の全工程は、ロット到着時には前ロットの処理を完了してロット待ち状態になっているため、待ち時間ゼロで工程着手できる。よって工程間時間制限を守ることができ、かつネック工程では待ち時間を最小に抑えることができるため、生産性を最大にすることが可能となる。
【００２２】
次に、上記ステップＳ１のネック工程検出フローについて、図２によりさらに詳細に説明する。
図２では、まず、ステップＳ１１で、工程フローの先頭工程で使用する設備における前ロット完了時間ＴＥｌａｓｔを投入時点として、次に投入するロットの先頭工程から最終工程まで仮投入を行う。この仮投入の各工程の必要処理時間は、実際の各工程の必要処理時間と同じであり、工程間の待ち時間がゼロになるように仮投入される。
次に、ステップＳ１２で、各工程において、直近で処理可能な時間帯を探す。処理可能な時間帯とは、工程において該当ロットを処理するための必要処理時間以上の待機時間のことである。その時間帯を探すために、各工程Ｐ１、Ｐ２・・・Ｐｎにおいて、着手調整時間（ＴＫ＿Ｐ１、ＴＫ＿Ｐ２・・・ＴＫ＿Ｐｎ）を算出する。この着手調整時間は、工程の重なり時間であり、この分だけ工程をずらす必要のある時間である。着手調整時間のイメージ図を図５に示す。なお、この着手調整時間算出については、図６により後述する。
次に、ステップＳ１３で、各工程の着手調整時間（ＴＫ＿Ｐ１、ＴＫ＿Ｐ２・・・ＴＫ＿Ｐｎ）を比較し、着手調整時間の最大値ＴＫｍａｘを持つ工程を発見する。  ステップＳ１４で、ステップＳ１３で検出した着手調整時間の最大値ＴＫｍａｘを持つ工程を、該当ロットを投入する際のネック工程に設定する。
なお、同一のＴＫｍａｘを２つ以上の工程で検出した場合、最も先頭工程に近い工程をネック工程とする。
【００２３】
特許文献１では、単純に処理が最も遅く終了する工程を基準としており、これでは、設備能力と工程フローにより決定されるネック工程に空き時間を生じてしまう。本発明では、ロット毎のネック工程の検出、ネック工程を基準とした計画作成を行うことにより、生産性の最大限の向上を可能とする。
【００２４】
次に、上記ステップＳ１２の着手調整時間算出について、図６により詳述する。
ステップＳ２１で、各工程において、該当ロットを仮投入した時点で、すでに存在するロット（Ｌ１、Ｌ２・・・Ｌｎ−１、Ｌｎ）の処理時間外の待機時間において、該当ロットの処理時間以上の待機時間を探す。
ステップＳ２１で、待機時間が確保できない場合には、ステップＳ２２で、他ロットの完了時間まで仮投入ロット着手時間を遅らせる。
待機時間が確保できる場合には、ステップＳ２３で、着手調整時間ＴＫ＿Ｐｎを算出する。この算出は、最終の仮投入着手時間から、当初の仮投入着手時間を減ずることにより行う。
なお、工程Ｐｎで複数の設備が使用可能な場合、それぞれの設備における着手調整時間（ＴＫ＿Ｐｎ＿Ｅ１、ＴＫ＿Ｐｎ＿Ｅ２・・・ＴＫ＿Ｐｎ＿Ｅｎ）を算出し、最も小さい設備の着手調整時間を、その工程での着手調整時間として採用する。
【００２５】
実施の形態１によれば、工程間の時間制限を守ると共に、生産性を最大限に向上させ、設備稼働率を向上させることができる。
また、特急ロットの割り込みを実現することができる。
【実施例】
【００２６】
次に、本発明を、工程モデルを用いて具体的に説明する。
時間制限が存在する一般的な工程モデルを図７に示す。図７中のブロックは、その工程で処理するロットの着手から完了までの処理を示している。また、工程フローと各工程で使用する設備を、機種別に図８、図１０に示す。工程によっては複数の設備の使用が可能である。ただし、１つのロットは、１つの設備で処理するものとする。また、設備能力の差異により、処理完了までの所要時間が違う場合がある。
次に、工程間時間制限定義を図９、図１１に示す。工程間時間制限は、開始工程の完了から、終了工程の着手までの間の停滞可能上限時間を意味する。工程Ｐｎの着手時間をＴＳＰｎ、完了時間をＴＥＰｎとし、各工程間時間制限と着手・完了時間の条件を以下に示す。
ＴＳＰ２＜ＴＥＰ１＋ＴＰ１−Ｐ２
ＴＳＰ３＜ＴＥＰ２＋ＴＰ２−Ｐ３
ＴＳＰ４＜ＴＥＰ３＋ＴＰ３−Ｐ４
ＴＳＰ６＜ＴＥＰ４＋ＴＰ４−Ｐ６
【００２７】
次に、ロット投入のいくつかの実施例について説明する。
図１２は、この実施例で、工程モデルに投入するロットを示し、優先度は生産管理システムなど上位系より指定されるものとする。ロット投入は、優先度の高いロットから順次行う。また、特急ロットは、最高優先度を持つロットであり、生産変動等に応じて突発的に投入指示される。
ロット投入は、そのつど、図１のフローにより生産計画が作成される。
【００２８】
実施例１．
図７のモデルでの図１２の優先１のロット（ロットＡ）投入について、図１３により説明する。
まず、現時点（ロットの到着時点）において、先頭工程Ｐ１にロットＡを仮投入する。ネック工程検出のため、最終工程Ｐｎまで工程間に空き時間を設けずに仮投入を行う。次に、各工程での着手調整時間ＴＫ１、ＴＫ２・・・・ＴＫｎ、及び最大値ＴＫｍａｘを算出する。ここでは工程Ｐ２において、着手調整時間が最大となっており、ＴＫｍａｘ＝ＴＫ２となる。そこで先頭工程での投入タイミングをＴＫ２だけ遅らせて実投入を行う。
【００２９】
実施例２．
図１２の優先１のロット（ロットＡ）投入に続いて、図１２の優先２のロット（ロットＢ）投入について、図１４により説明する。この実施例２は、実ネック工程検出の実施例である。
まず、現時点において、先頭工程Ｐ１に仮投入する。現時点は、先行ロットＡが完了した時間となる。ネック工程検出のため、最終工程Ｐｎまで仮投入を行う。工程Ｐ４は、複数設備使用可能であるため、前ロットの処理を行っていない待機中の設備Ｅｅを使用できる。
次に、各工程での着手調整時間を求める。ロットＢの場合、工程Ｐ６の着手調整時間が最大であるため、ＴＫｍａｘ＝ＴＫ６となる。そこで先頭工程Ｐ１の投入をＴＫｍａｘだけずらして実投入することで、時間制限を守り、かつネック工程を最大限活用することができる。
この実施例２に示すように、本発明のロジックでは、工程処理時間だけでは見出せない、実際にネックとなる工程の検出を行い、且つそのネック工程の着手調整時間をロットの投入に活用することができる。
【００３０】
実施例３．
図１２の優先２のロット（ロットＢ）に割り込む図１２の特急ロット（ロットα）投入について、図１５により説明する。この実施例３は、特急ロット割り込み計画方法の実施例である。
実施例３は、図１５のように、先頭工程Ｐ１において、ロットＡとロットＢの間に特急ロットαが突発的に投入された時のもので、このときの特急ロットの優先処理計画を作成する例である。
特急ロットα到着時点では、ロットＡは、すでに工程Ｐ１に投入済みのため、ロットＡを追い越すことはできないが、ロットＢは、工程Ｐ１未投入であり、計画を見直すことが可能である。ここで、仮投入は、割り込みロットが発生した時点、または工程Ｐ１でロットＡが終了していない場合には、ロットＡの工程Ｐ１の終了時点で、行われる。
図１５の場合には、割り込みロットの発生時点で、仮投入され、特急ロットαの着手調整時間の最大値は、工程Ｐ３であり、割り込みロットの発生時点から、この最大値だけ、特急ロットαの投入時間を遅らせる。
ロットＢは再計画し、このときのロットＢの着手調整時間の最大値は、工程Ｐ６であり、この最大値だけロットＢの投入時間を遅らせる。
図１５に特急ロットα、ロットＢの再計画後の結果を示す。このように、先に作成したロットＢの計画を全て破棄して、特急ロットα、ロットＢの順で再計画することにより、特急ロットαが到着した段階での特急ロットαの割り込みが可能となる。
【００３１】
実施例４．
図１２の優先２のロット（ロットＢ）投入に続いて、図１２の優先３のロット（ロットＣ）投入について、図１６により説明する。この実施例４は、設備空き時間有効利用の実施例である。
ロットＣは、工程フローが、上述の３ロットとは違い、先頭工程がＰ２である。したがって、図１のロット処理予約作成フローに従い、先頭工程Ｐ２での投入済みロットＡの終了時点で、実施例１〜実施例３と同様に処理計画を作成する。ロットＣは、工程フロー、ロットサイズより、どの工程でも着手調整時間がゼロであるので、図中の現時点より着手可能である。すなわち、ロットα、ロットＢより前に着手することができる。
ロットＣは、このように、計画済みロットの先頭工程Ｐ２の終了時点で、仮投入して、着手調整時間を確認し、どの工程でも着手調整時間がゼロの場合、すなわちどの工程でも設備空き時間で処理可能な場合に投入することができる。
本実施例４に示すように、本発明のロジックでは、処理計画の作成は、ロット優先度に従うが、各設備の空き時間の有効利用を図るために、実際のロット処理順序を変更する場合がある。このため、ロット優先度だけでは判断できない、生産性向上のためのロット処理順序を立案することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法のロット処理予約作成フローを示すフローチャートである。
【図２】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法のネック工程検出フローを示すフローチャートである。
【図３】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法のロットサイズを示す図である。
【図４】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の工程間時間制限を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の着手調整時間を示す図である。
【図６】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の着手調整時間算出フローを示すフローチャートである。
【図７】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の工程モデルを示す図である。
【図８】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の機種１の工程フローを示す図である。
【図９】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の機種１の工程間時間制限を示す図である。
【図１０】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の機種２の工程フローを示す図である。
【図１１】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の機種２の工程間時間制限を示す図である。
【図１２】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の投入ロットを示す図である。
【図１３】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法のロット処理計画作成フローの実施例を示す図である。
【図１４】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の実ネック肯定検出の実施例を示す図である。
【図１５】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の特急ロットの優先処理計画方法の実施例を示す図である。
【図１６】この発明の実施の形態１による生産計画策定方法の設備空き時間有効利用の実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
Ｌ  ロット、Ｐ  工程、Ｅ  設備、
ＴＳ  工程開始時間、ＴＥ  工程終了時間、ＴＰ−Ｐ  工程間時間制限、
ＴＫ  着手調整時間。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006330820.tif 000009
【図８】
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【図９】
2006330820.tif 000011
【図１０】
2006330820.tif 000012
【図１１】
2006330820.tif 000013
【図１２】
2006330820.tif 000014
【図１３】
2006330820.tif 000015
【図１４】
2006330820.tif 000016
【図１５】
2006330820.tif 000017
【図１６】
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