(57)【要約】【課題】安定した中間調を記録可能とするインナードラム露光装置を提供する。【解決手段】記録材料を円弧状に保持する支持体と、円偏光した光ビームを出射する光源と、光ビームを画像情報に応じて変調する変調手段と、回転駆動され、かつ全反射鏡面を備え、記録材料に対し、変調光ビームを全反射鏡面で偏向走査する走査手段とを有し、走査手段が、さらに、全反射鏡面に対して所定の距離を隔てて設けられる偏光ビームスプリッター面をその表面に備える光学部材を有し、この偏光ビームスプリッター面と全反射鏡面とにより形成される平行な２つのビームによってそれぞれ記録材料上に形成される２つのビームスポットを、これらの一部どうしが互いに重なるように副走査方向に並列配置されたビームスポットにすることにより、上記課題を解決する。【選択図】図１
2006231918.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像が記録される記録材料を保持する円弧状の内周面を持つ支持体と、
光ビームとして円偏光した光を出射する光源と、
前記光源から出射された前記光ビームを画像情報に応じて変調する変調手段と、
回転駆動され、かつ全反射鏡面を備え、前記支持体に保持された前記記録材料に対し、前記変調手段によって前記画像情報に応じて変調された光ビームを前記全反射鏡面で偏向して走査する走査手段とを有し、
前記走査手段によって前記変調光ビームを走査することにより、前記記録材料に前記画像を記録するインナードラム露光装置であって、
前記走査手段が、さらに、前記全反射鏡面に対して所定の距離を隔てて設けられる偏光ビームスプリッター面をその表面に備える光学部材を有し、
この偏光ビームスプリッター面と前記全反射鏡面とにより形成される平行な２つのビームによってそれぞれ前記記録材料上に形成される２つのビームスポットを、これらの一部どうしが互いに重なるように副走査方向に並列配置されたビームスポットにすることを特徴とするインナードラム露光装置。
【請求項２】
前記偏光ビームスプリッター面と前記全反射鏡面との間の前記所定の距離は、前記光ビームの半値幅に近似されるものである請求項１に記載のインナードラム露光装置。
【請求項３】
前記偏光ビームスプリッター面は、前記光ビーム中のＰ偏光成分を実質的に透過するが、前記光ビーム中のＳ偏光成分を実質的に反射する光学特性を有するものである請求項１または２に記載のインナードラム露光装置。
【請求項４】
前記光学部材は、前記全反射鏡面上に薄膜技術で形成された薄膜であり、前記偏光ビームスプリッター面は、前記全反射鏡面上に薄膜技術で形成された前記薄膜の表面である請求項１〜３のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
【請求項５】
前記光学部材は、前記全反射鏡面上に形成された透明支持部材と、この透明部材上に薄膜技術で形成された薄膜とを有し、前記偏光ビームスプリッター面は、前記全反射鏡面上に形成された前記透明支持部材の上に薄膜技術で形成された前記薄膜の表面である請求項１〜３のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
【請求項６】
前記走査手段が、さらに、前記全反射鏡面が形成されている支持ブロックと、前記偏光ビームスプリッター面上に設けられ、前記支持ブロックと略同質量の透明材料からなるバランス調整部材を有する請求項１〜５のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
【請求項７】
前記偏光ビームスプリッター面上に、反射防止層が形成されている請求項１〜５のいずれかに記載のインナードラム露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は支持体の円弧状の内周面に保持された記録材料に対し、画像情報に応じて変調された光ビームを、回転駆動される走査手段の全反射鏡面で偏向し走査することによって画像を記録するインナードラム露光装置に関し、より具体的には、安定した中間調を記録可能とするインナードラム露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、円筒ドラム状の支持体の内周面に保持された記録材料の感光面にレーザ等の光ビームを導いて走査露光を行うインナードラム露光装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。露光により画像が記録された記録材料は、必要に応じて自動現像機にかけられ、記録材料上に形成された潜像が顕像に変換される。
【０００３】
インナードラム露光装置では、記録材料に露光して中間調を表現する場合に、ＡＭスクリーン（網点画像により濃淡画像を形成する手法）を用いて網形状で中間調を表現するのが普通である。ＡＭスクリーンは、最小単位の網点画像が、一例として１４（水平方向ドット数）×１４（垂直方向ドット数）の合計１９６ドット等、多数のドットで構成されており、この網点画像を２次元平面状に並べて記録することにより、濃淡画像を記録するようにしている。但し、ＡＭスクリーンを用いて中間調を表現する場合には、モアレ縞を生じたり、またトーンジャンプが発生することがある。
【０００４】
これに対して、網点画像により濃淡画像を形成する手法として、ＦＭスクリーンを用いる方法がある。ＦＭスクリーンは、規則性を持たない不定形ドットの集合密度によって記録画像の濃淡を表現するものであり、例えば２×２の合計４ドット等、比較的少数のドットで構成された画像を２次元平面状に分散配置して階調表現を行うものである。このＦＭスクリーンでは、原理的にモアレ縞の発生を抑えることができるという利点がある。
【０００５】
このような理由から、高い生産性を得ることが可能なインナードラム露光装置においても、ＦＭスクリーンを用いて、小さな網形状で中間調を表現することが望まれている。
【０００６】
しかしながら、通常のインナードラム露光装置では、単一横モードのレーザ光源から出射した光ビームを、記録材料の被走査面上に結像させて画像を形成するように構成されているため、光ビームによって記録材料の被走査面（記録面）上に形成されるビームスポットの光強度分布の形状はガウス分布を有している。光強度分布がこのようなガウス分布を有しているビームスポットを用いて記録材料を露光して画素を記録する場合には、通常、走査線間に隙間ができないように、ビームスポットの半値幅を、画素サイズと同じサイズか、画素サイズ以上のサイズとするように設計する。
【０００７】
これは、エッジ部が比較的なだらかなビームスポットにより露光してＦＭスクリーンを記録した場合の画像は、光パワーの変動や自動現像機による現像の度合い等によって記録画素の大きさが変化すると、網点画像の割合（網点面積率特性）が急激に変化し、濃淡の変動が大きく現われるのを抑止するためである。
【０００８】
しかし、このような配慮を行っても、ビームスポットの光強度分布の形状がガウス分布を有している以上、インナードラム露光装置でＦＭスクリーンを用いて、小さな網形状で中間調を表現することは困難であるという問題は解決されない。
【特許文献１】特開平１０−１３３１３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、前記従来技術に基づく問題点を解消した、安定した中間調を記録可能とするインナードラム露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、画像が記録される記録材料を保持する円弧状の内周面を持つ支持体と、光ビームとして円偏光した光を出射する光源と、前記光源から出射された前記光ビームを画像情報に応じて変調する変調手段と、回転駆動され、かつ全反射鏡面を備え、前記支持体に保持された前記記録材料に対し、前記変調手段によって前記画像情報に応じて変調された光ビームを前記全反射鏡面で偏向して走査する走査手段とを有し、前記走査手段によって前記変調光ビームを走査することにより、前記記録材料に前記画像を記録するインナードラム露光装置であって、前記走査手段が、さらに、前記全反射鏡面に対して所定の距離を隔てて設けられる偏光ビームスプリッター面をその表面に備える光学部材を有し、この偏光ビームスプリッター面と前記全反射鏡面とにより形成される平行な２つのビームによってそれぞれ前記記録材料上に形成される２つのビームスポットを、これらの一部どうしが互いに重なるように副走査方向に並列配置されたビームスポットにすることを特徴とするインナードラム露光装置を提供するものである。
【００１１】
ここで、前記偏光ビームスプリッター面と前記全反射鏡面との間の前記所定の距離は、前記光ビームの半値幅に近似されるものであるのが好ましい。
また、前記偏光ビームスプリッター面は、前記光ビーム中のＰ偏光成分を実質的に透過するが、前記光ビーム中のＳ偏光成分を実質的に反射する光学特性を有するものであるのが好ましい。
【００１２】
また、前記光学部材は、前記全反射鏡面上に薄膜技術で形成された薄膜であり、前記偏光ビームスプリッター面は、前記全反射鏡面上に薄膜技術で形成された前記薄膜の表面であるのが好ましい。
また、前記光学部材は、前記全反射鏡面上に形成された透明支持部材と、この透明部材上に薄膜技術で形成された薄膜とを有し、前記偏光ビームスプリッター面は、前記全反射鏡面上に形成された前記透明支持部材の上に薄膜技術で形成された前記薄膜の表面であるのが好ましい。
【００１３】
また、前記走査手段が、さらに、前記全反射鏡面が形成されている支持ブロックと、前記偏光ビームスプリッター面上に設けられ、前記支持ブロックと略同質量の透明材料からなるバランス調整部材を有するのが好ましい。
さらに、前記バランス調整部材を有しない場合には、前記偏光ビームスプリッター面上に反射防止層が形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、安定した中間調を記録可能とするインナードラム露光装置を実現できるという顕著な効果を奏する。
【００１５】
より具体的には、本発明によれば、比較的簡単な構成で、光ビームを２つの成分に分割し、分割された２つの光ビーム成分によってそれぞれ走査面（記録材料の記録面）上に形成される２つのビームスポットを、それぞれが並置されて合成される１つの略矩形状のスポットとするとともに、このスポットのエッジ部の光強度分布の立ち上がりを急峻にできるので、このようなビームスポットを用いて露光することにより、安定した中間調を記録可能とするという効果が得られるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明を詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態に係るインナードラム露光装置の概略構成を示す斜視図である。本実施形態に係るインナードラム露光装置は、前述のように、インナードラム露光装置において、ＦＭスクリーンを用いて、小さな網点形状で中間調を表現可能とするために、平行な２つのビームによってそれぞれ記録材料上に形成される２つのビームスポットを、これらの一部どうしが互いに重なるように副走査方向（後述するスピナーミラー装置１６による走査方向）に並列配置された１つの合成ビームスポットに合成することを特徴とするものである。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０は、円筒内周面の一部を構成する形状の支持体１２を母体として構成されており、この支持体１２の内周面に沿って記録材料１４（フォトポリマー版もしくは通常のＰＳ版等）を支持するように構成されるものである。
【００１９】
なお、このインナードラム露光装置１０では、図示されていない記録材料１４の供給・排出装置によって未記録の記録材料１４を供給し、支持体１２の内周面に確実に密着させた状態に装着して露光処理を行い、また、露光処理済みの記録材料１４を支持体１２から外部に排出する操作を行う。
【００２０】
また、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０には、支持体１２の円弧中心位置に、走査手段としてのスピナーミラー装置１６が配設されている。このスピナーミラー装置１６は、円柱状の回転軸１８を、その中心軸を回転軸（支持体１２の円弧中心軸と一致する）として駆動源であるモータ２０によって回転可能に構成されている。
【００２１】
そして、このスピナーミラー装置１６の回転軸１８の先端部には、回転軸１８に対して４５度の角度をなす、後述する全反射ミラー面１９Ａとこの全反射ミラー面１９Ａから所定の距離隔離された偏光ビームスプリッター面１９Ｂとを備えたキューブプリズム１９が配設されている。
【００２２】
上述のスピナーミラー装置１６は、図示されていない副走査移動手段によって、支持体１２の円弧中心軸の軸線方向（図１中で、矢印Ｃ方向）に等速度で移動走査される。このスピナーミラー装置１６は、スピナードライバ２２によって、そのモータ２０の回転速度が制御され、上記副走査移動手段によって副走査方向に移動制御される。
【００２３】
また、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０においては、その特徴的動作として、ビーム分割（ここでは、２分割）を行ってこの分割されたビームにより、支持体１２の内周面上に配置（セット）した記録材料１４の記録面上を、図１中で矢印Ｘ方向に主走査するように構成されている。
【００２４】
前述の全反射ミラー面１９Ａと偏光ビームスプリッター面１９Ｂとを備えたキューブプリズム１９は、スピナーミラー装置１６の回転軸１８と一体的に回転するように固着された回転軸１８に嵌合されたホルダ２４によって、強固に保持されている。
【００２５】
上述の、全反射ミラー面１９Ａと偏光ビームスプリッター面１９Ｂとを備えたキューブプリズム１９は、光源側の集光レンズ２８の後方（光源から遠い方）に配設されており、また、全反射ミラー面１９Ａと偏光ビームスプリッター面１９Ｂとが所定の距離ｄ（この距離は、２分割されたビーム間の距離に依存する）隔離されるように、全反射ミラー面１９Ａ上に誘電体膜１９Ｂ’（図では、所定の距離ｄに相当する厚みｄが誇張されている）を形成する。ここで、誘電体膜１９Ｂ’は、その表面が、偏光ビームスプリッター面１９Ｂとなる本発明の光学部材を構成する。
【００２６】
図２に、キューブプリズム１９の具体的構成例を示した。ここでは、前述の２分割され並列配置された光ビーム（の中心）間の距離を約５μｍとするため、上述の誘電体膜１９Ｂ’の厚みｄは、全反射ミラー面１９Ａの光軸に対する傾斜角が４５度であることから、
５／√２≒３.５４
μｍとなっている。
【００２７】
キューブプリズム１９の全反射ミラー面１９Ａの後方（光源から遠い方）側は、４５度の反射角度を得るための４５度傾斜した全反射ミラー面を有する光学ガラスブロック１９Ｃで構成されている。また、キューブプリズム１９の偏光ビームスプリッター面１９Ｂの前方（光源に近い方）には、上記ガラスブロック１９Ｃに対して質量のバランスを取るための、やはり光学ガラスで形成されるガラスブロック１９Ｄが固着されている。
【００２８】
このように、キューブプリズム１９全体として、回転時における質量のバランスを確保するようにしたことにより、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０においては、スピナーミラー装置１６を安定に高速回転させることが可能になっている。
【００２９】
ところで、上述の偏光ビームスプリッター面１９Ｂは、キューブプリズム１９に入射される円偏光ビームのうちから、Ｓ偏光成分ｓのみをその表面で反射させ、Ｐ偏光成分ｐについてはそのまま透過させる機能を備えているものである。なお、この偏光ビームスプリッター面１９Ｂを透過したＰ偏光成分ｐは、全反射ミラー面１９Ａで反射される。
【００３０】
上述した２つの面の反射特性の差異、並びに全反射ミラー面１９Ａと偏光ビームスプリッター面１９Ｂとの間においた距離（前記５／√２）により、キューブプリズム１９に入射される１本の円偏光ビームから、約５μｍ離れた２本のビームによる変形（並列配置）されたビームが形成される。
【００３１】
なお、これらの２本のビーム（それぞれが、Ｓ偏光成分ｓとＰ偏光成分ｐとからなる）は、円偏光ビームを２分割したものであるため、略同じ光強度（光量）を有するものであり、後述するように、これらが近接して配置された場合に、断面が副走査方向に長い略矩形形状であり、略均一な光強度を持つ光ビームが形成（合成）されることになる。この合成光ビームは、記録材料１４の走査面（記録面）において、副走査方向に長い略矩形形状（略長方形）のビームスポット形状となる。
【００３２】
また、前記偏光ビームスプリッター面１９Ｂを全反射面１９Ａに近接・隔離して配置するための薄膜を形成する材料並びに形成方法としては、例えば特開平１０−８２５２号公報に開示されている各種のフッ化物，特開平０５−８８０３４号公報に開示されている石英系ガラスの各薄膜形成技術が利用可能である。
【００３３】
上述のように、光ビームをそのＳ偏光成分ｓとＰ偏光成分ｐとに略等光強度（光量）で分割し、互いに平行となるように一方をシフトさせて、走査面（記録材料１４の記録面）上に、２つ並べたビームスポットを形成する場合には、図３に示すように、例えば、半値幅５μｍのガウス分布状の光強度を持つ光ビームを、約５μｍの距離をおいて並べた状態となり、走査面上において、副走査方向に対して、より矩形形状に近い形状になるとともに、主走査方向（スピナーミラー装置１６による走査方向：図１中のＸ方向）に対しても、光強度分布の形状（立ち上がり）がシャープな状態となる。
【００３４】
これは、従来のガウス分布状ビームスポット形状である半値幅８.８μｍ（１／ｅ２幅１５μｍ）にした場合を示す図４と比較すると、従来のガウス分布状の光強度を持つ光ビームのビームスポット形状が、横断面円形で副走査方向に延びることがなく、しかも、ビームスポットの光強度分布の形状（立ち上がり）がなだらかに末広がりとなることからも、効果の相違が明白である。
【００３５】
図２に示したように、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０においては、スピナーミラー装置１６によりビーム分割を行って記録材料１４の記録面上を主走査するように構成したので、スピナーミラー装置１６には、円偏光している光ビームを投射する光源側の光学系が配設されている。
【００３６】
この光源側の光学系は、略直線偏光からなるレーザビームＬを出力する半導体レーザ光源（ＬＤ）３０と、この半導体レーザ光源３０から出射されたレーザビームＬを記録材料１４の露光面上に集光する集光光学系とを有している。半導体レーザ光源３０としては、中心光強度が高く、中心から離れるに従って光強度が徐々に低下する強度分布を有する単一横モード半導体レーザを用いることができる。
【００３７】
上述の光源側の光学系は、例えば、半導体レーザ光源３０側から、１／４波長板３２、反射鏡３４、反射鏡３６、集光レンズ２８を、この順に配設して構成される。
上述の１／４波長板３２は、半導体レーザ光源３０から出射された略直線偏光からなるレーザビームＬを、この１／４波長板３２を透過させることによって円偏光に変換する機能を有するものである。
【００３８】
そして、上述の１／４波長板３２により円偏光に変換されたレーザビームＬは、集光レンズ２８で集光された後、前述の全反射ミラー面１９Ａと偏光ビームスプリッター面１９Ｂとを備えたキューブプリズム１９を透過することによって、円偏光レーザビームＬが、略等光強度（光量）でビーム分割されて互いに平行にシフトして、副走査方向に２つのビームが並ぶ状態となる。
【００３９】
さらに、この略等光強度（光量）でビーム分割され、互いに平行にシフトして副走査方向に並ぶ２つのビームがキューブプリズム１９から出射して、インナードラム露光装置１０の支持体１２の内周面にセットされた記録材料１４の露光面上の集光点（走査面）に、副走査方向に対して略矩形形状の分布となって集光・照射され、露光処理が行われる。
【００４０】
また、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０では、図１に示したように、スピナーミラー装置１６と半導体レーザ光源３０とを、中央制御装置４０で制御しながら、記録材料１４に画像を記録する作業を行う。このインナードラム露光装置１０では、図示されていない入力装置から露光すべき画像情報を入力し、中央制御装置４０に露光開始指令を送信すると、中央制御装置４０が上記画像情報に基づいて画像信号をレーザドライバ４２に送信する。
【００４１】
レーザドライバ４２は、半導体レーザ光源３０を駆動制御して、画像信号に基づいて変調されたレーザビームＬを出射し、光源側の光学系によってスピナーミラー装置１６側に照射する。これと同時に、中央制御装置４０は、モータ２０を駆動制御して、光源側の光学系からスピナーミラー装置１６（キューブプリズム１９）に入射する光を支持体１２にセットされている記録材料１４に対して主走査方向への走査露光を行うとともに、スピナードライバ２２へ制御信号を送信する。
【００４２】
この制御信号を受信したスピナードライバ２２は、図示されていない副走査移動手段を制御し、スピナーミラー装置１６を等速度で移動走査する。これにより、スピナーミラー装置１６で主走査方向への走査露光を行いながら、スピナーミラー装置１６を副走査方向に移動させて、記録材料１４の記録面全面に対して２次元画像を記録する処理を行う。
【００４３】
次に、本実施形態に係るインナードラム露光装置１０の作用および動作について詳細に説明する。
【００４４】
本実施形態に係るインナードラム露光装置１０では、中央制御装置４０およびレーザドライバ４２により制御された半導体レーザ光源３０から画像情報に応じて変調され出力されたレーザビームＬが、１／４波長板３２に入射する。１／４波長板３２に入射した略直線偏光であるレーザビームＬは、円偏光に変換されて、反射鏡３４と反射鏡３６とに反射され、集光レンズ２８により集光されて、スピナーミラー装置１６（キューブプリズム１９）に入射する。
【００４５】
円偏光であるレーザビームＬは、キューブプリズム１９によりＳ偏光成分ｓとＰ偏光成分ｐとにビーム分割される。なお、前述の通り、ビーム分割されたＳ偏光成分ｓとＰ偏光成分ｐの光強度は略同じに設定されている。
【００４６】
キューブプリズム１９によって副走査方向にビーム分割され、光強度の調整されたＳ偏光成分ｓとＰ偏光成分ｐとは、記録材料１４上の集光点（走査面）において、副走査方向に対して略矩形形状に分布する合成ビームスポットとなって集光される。すなわち、このインナードラム露光装置１０では、走査面において、ビーム分割されて略矩形形状の分布に合成されるとともに、エッジ部の光強度（の立ち上がり）が急峻になったビームスポットが、副走査方向に細長くなる状態が常に維持されることとなる。
【００４７】
つまり、走査面上における略矩形形状に分布するビームスポットの長手方向が副走査方向に沿う状態を常に維持しながら露光を行うことになるので、前述のＦＭスクリーンを記録したときの画像が、光パワーの変動等があっても、記録画素の周長が少しも変動しないようになるとともに、網点画像の割合（網点面積率特性）が急激に変化するのを防止して、ＦＭスクリーンを用いた場合に安定して中間調を表現するよう記録することができる。
【００４８】
次に、本発明の他の実施形態に係るインナードラム露光装置について説明する。
本実施形態に係るインナードラム露光装置も、前述の実施形態と同様に、インナードラム露光装置において、ＦＭスクリーンを用いて、小さな網点形状で中間調を表現可能とするために、平行な２つのビームによってそれぞれ前記記録材料上に形成される２つのビームスポットを、これらの一部どうしが互いに重なるように副走査方向に並列配置されたビームスポットにすることを特徴とするものである。
【００４９】
図１に示した実施形態に係るインナードラム露光装置１０との相違点は、本実施形態に係るインナードラム露光装置においては、図１に示した実施形態に係るインナードラム露光装置１０のスピナーミラー装置１６（図２参照）に代えて、図５に示すようなスピナーミラー装置２１を用いるようにした点にある。
【００５０】
図２に示したスピナーミラー装置１６が、入射される円偏光ビームのうちから、Ｓ偏光成分ｓのみをその表面で反射させ、Ｐ偏光成分ｐについてはそのまま透過させる機能を備えたキューブプリズム１９を備えていたのに対して、図５に示したスピナーミラー装置２１は、スピナーミラー装置２１の回転軸１８に嵌合されたホルダに固着された円筒状ミラー２３を備えている。
【００５１】
この円筒状ミラー２３は、キューブプリズム１９に比べると質量の大きい、金属製の本体２３Ｃと、この本体２３Ｃの４５度傾斜面に設けられている全反射ミラー面２３Ａと、並びにこの全反射面２３Ａ上に薄膜技術で形成されている所定厚みｄの誘電体膜２３Ｂ’と、誘電体膜２３Ｂ’の表面によって形成される偏光ビームスプリッター面２３Ｂを有している。ここで、誘電体膜２３Ｂ’の厚みｄは、全反射ミラー面２３Ａと偏光ビームスプリッター面２３Ｂとを離隔する所定の距離ｄ隔離に相当する。なお、全反射ミラー面２３Ａ、偏光ビームスプリッター面２３Ｂおよび誘電体膜２３Ｂ’は、それぞれ、前述の全反射ミラー面１９Ａ、偏光ビームスプリッター面１９Ｂおよび誘電体膜１９Ｂ’に対応する機能を有するものである。
【００５２】
なお、先の実施形態に示したキューブプリズム１９では、偏光ビームスプリッター面１９Ｂ上に、ガラスブロック１９Ｃに対して質量のバランスを取るための、やはり光学ガラスで形成されるガラスブロック１９Ｄが備えられていたが、本実施形態に係る円筒状ミラー２３では、この円筒状ミラー２３自体の質量をキューブプリズム１９より大きくしておくことで、全体として傾斜面の両端部での質量の差を小さくするようにして、このようなバランス材を省略している。
【００５３】
本実施形態に係る、円筒状ミラー２３を用いるインナードラム露光装置の作用および動作については、先に示した実施形態のそれと略同様であるので、詳細については説明を省略する。
【００５４】
なお、図２または図５において、キューブプリズム１９または円筒状ミラー２３に入射する光ビームが偏光ビームスプリッター面１９Ｂまたは偏光ビームスプリッター面２３Ｃを透過する前後の光軸に、○印および△印が付されているのは、それぞれ、その光軸がＳ偏光成分ｓとＰ偏光成分ｐの光軸であることを示している。
【００５５】
また、図２または図５において、キューブプリズム１９または円筒状ミラー２３の全反射ミラー面１９Ａまたは２３Ａは、４５度傾斜した全反射ミラー面とした例を示したが、この角度は４５度に限定されるものではなく、一般的には、θ（図２，図５参照）としてよい。この場合、前述の２分割され並列配置されたビーム間の距離を約５μｍとするための、上述の誘電体膜１９Ｂ’または２３Ｂ’の厚みｄは、５×cos θ（μｍ）と表わされる。
【００５６】
なお、図５に示した実施形態においては、円筒状ミラー２３の全反射ミラー面２３Ａ上に、本発明の光学部材として薄膜技術で形成した誘電体膜２３Ｂ’により偏光ビームスプリッター面２３Ｂを形成する例を示したが、本発明の光学部材として、最初に透明な光学ガラス層を形成した後で、より薄層の誘電体膜を形成して、光学ガラス層と偏光ビームスプリッター面２３Ｂを形成する薄層の誘電体膜との２層構成としても良い。
【００５７】
さらに、この誘電体膜で形成される偏光ビームスプリッター面２３Ｂ上に、反射防止膜（ＡＲ層）を設けることにより、偏光ビームスプリッター面２３Ｂにおける無用な反射を防止するようにしてもよい。
【００５８】
なお、上記各実施形態は、いずれも本発明の一例を示したものであり、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更や改良を行ってもよいことはいうまでもない。
【００５９】
例えば、前記実施形態に示したキューブプリズム１９においては、その全反射ミラー面１９Ａの後方側は、４５度の反射角度を得るための４５度傾斜した全反射ミラー面を有する光学ガラスブロック１９Ｃとしているが、これは金属（例えば、ベリリウム）等、他の材料を用いて形成してもよい。なお、この場合には、キューブプリズム１９の偏光ビームスプリッター面１９Ｂの前方に配設されるガラスブロック１９Ｄの質量は、使用する金属等の材質（密度）に応じた寸法（質量）とすることが好ましい。
【００６０】
また、上記各実施形態においては、全反射ミラー面並びに偏光ビームスプリッター面を形成するプリズム（キューブプリズム１９または円筒状ミラー２３）を、いずれも四角柱状または円筒状のものとした例を示したが、この形状は、回転の際のバランスを考慮した上で、前記形状以外のもの（多角形等）としてもよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の一実施形態に係るインナードラム露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示したインナードラム露光装置のスピナーミラー装置の構成の詳細を示す図である。
【図３】図１に示したインナードラム露光装置において形成される、Ｓ偏光成分ｓとＰ偏光成分ｐとに分割された光ビームを平行にシフトさせて並列配置したビームスポットを示す図である。
【図４】従来技術による、１つのビームスポットを示す図である。
【図５】他の実施形態に係るインナードラム露光装置のスピナーミラー装置の構成の詳細を示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０  インナードラム露光装置
１２  支持体
１４  記録材料
１６  スピナーミラー装置
１８  回転軸
１９  キューブプリズム
１９Ａ  全反射ミラー面
１９Ｂ  偏光ビームスプリッター面
１９Ｃ  バランス材
２１  スピナーミラー装置
２３  円筒状ミラー
２３Ａ  全反射ミラー面
２３Ｂ  偏光ビームスプリッター面
２４  ホルダ
２８  集光レンズ
３０  半導体レーザ光源
３２  １／４波長板
３４，３６  反射鏡
Ｌ  レーザビーム
ｐ  Ｐ偏光成分
ｓ  Ｓ偏光成分
【図１】
2006231918.tif 000003
【図２】
2006231918.tif 000004
【図３】
2006231918.tif 000005
【図４】
2006231918.tif 000006
【図５】
2006231918.tif 000007