(57)【要約】【課題】複数のレーザーの光軸を容易に合わせることを可能とし、高出力のレーザーを出射できる合波装置を提供することに関する。【解決手段】レーザー光を出射する第１レーザー共振機および前記第１レーザー共振機と平行となるように第２レーザー共振機から、…、第ｎレーザー共振機（ｎは２以上の整数）と順に設置されているｎ台のレーザー共振機と、前記レーザー共振機によって出射される各レーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更するｎ個の第１プリズムとからなる自動合波装置であって、前記第ｎレーザー共振機から出射されたレーザー光は、前記第１プリズムによって入射方向に対して垂直になるように光路を変更し、前記第１プリズムを透過する度に前記第（ｎ−１）レーザー共振機から前記第１レーザー共振機までの前記レーザー共振機によって出射された各レーザー光を順に重畳することによって、合波を出射することを特徴とする自動合波装置によって解決される。【選択図】図１
2006186001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光を出射する第１レーザー共振機および前記第１レーザー共振機と平行となるように第２レーザー共振機から、…、第ｎレーザー共振機（ｎは２以上の整数）と順に設置されているｎ台のレーザー共振機と、前記レーザー共振機によって出射される各レーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更するｎ個の第１プリズムとからなる自動合波装置であって、前記第ｎレーザー共振機から出射されたレーザー光は、前記第１プリズムによって入射方向に対して垂直になるように光路を変更し、前記第１プリズムを透過する度に前記第（ｎ−１）レーザー共振機から前記第１レーザー共振機までの前記レーザー共振機によって出射された各レーザー光を順に重畳することによって、合波を出射することを特徴とする自動合波装置。
【請求項２】
前記第ｎレーザー共振機から出射されるレーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更する前記第１プリズムは、ミラーであってもよい請求項１に記載の自動合波装置。
【請求項３】
前記ミラーは、前記第ｎレーザー共振機から出射されたレーザー光に対して４５度の角度になるように設置されている請求項１または２に記載の自動合波装置。
【請求項４】
前記第１レーザー共振機から出射されるレーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更する前記第１プリズムは、前記第１レーザー共振機から出射されるレーザー光を透過させ、かつ、前記第ｎレーザー共振機から前記第２レーザー共振機までの前記レーザー共振機によって出射された重畳したレーザー光を入射方向に対して垂直になるように光路を変更する第２プリズムであってもよい請求項１乃至３のいずれかに記載の自動合波装置。
【請求項５】
前記第ｎレーザー共振機から前記第１レーザー共振機までの前記レーザー共振機によって出射された重畳したレーザー光を、さらにミラーで入射方向に対して垂直になるように反射させる請求項１乃至３のいずれかに記載の自動合波装置。
【請求項６】
前記レーザー共振機は、ガイドを下部に接続しているレーザー設置台の上部に設置され、前記ガイド面内において前記レーザー共振機を水平方向に移動させることにより光軸を調整する請求項１乃至５のいずれかに記載の自動合波装置。
【請求項７】
前記レーザー共振機は、角度補正装置の上部に載置されており、前記角度補正装置で前記レーザー共振機を回転軸を中心として水平方向に移動させることにより光軸を調整する請求項１乃至６のいずれかに記載の自動合波装置。
【請求項８】
合波の出射口に取り付けた計測器の測定値を制御信号に変換し、前記角度補正装置へ前記制御信号を与えて自動的に前記レーザー共振機の位置を最適化する請求項１乃至７のいずれかに記載の自動合波装置。
【請求項９】
前記レーザー共振機のうち少なくとも一つを固定する請求項１乃至８のいずれかに記載の自動合波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー発振機の光軸を調整することにより、高出力の合波出射を可能とした合波装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、レーザーはＣＤやＤＶＤ等の光記録媒体、レーザーメス等の医療機器、情報通信といった様々な分野で使用されている。このような分野で使用されるレーザーは、主に出力が大きいＹＡＧレーザーを使用する場合が一般的である。しかし、ＹＡＧレーザーを使用する場合は冷却機を必要とするため、機器が大型化してしまうという問題が生じる。そのため、小型化が要求される分野においては、冷却機を必要としないＹＶＯ４レーザー等が実用化されている。しかし、現時点においてＹＶＯ４レーザーでは、ＹＡＧレーザーと同等の大出力を達成できないといった問題があった。
【０００３】
このような問題を解決するために、例えば特許文献１では、複数のレーザーを一本の合波にすることで出力を向上させる装置について提案している。複数のレーザーを一本の合波にして出力を大きくするには、複数のレーザー光の光軸を正確に調整する必要がある。しかし、光軸がわずかにずれると十分な出力を得られず、また、複数の光軸を正確に調整することは非常に困難であり、より簡単でかつ正確に光軸を調整できる方法が求められている。
【特許文献１】特開２００４−９６０８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上述したような実情に鑑みてなされたものであり、複数のレーザー光の光軸を容易に調整でき、高出力のレーザーを出射できる自動合波装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の上記目的は、レーザー光を出射する第１レーザー共振機および前記第１レーザー共振機と平行となるように第２レーザー共振機から、…、第ｎレーザー共振機（ｎは２以上の整数）と順に設置されているｎ台のレーザー共振機と、前記レーザー共振機によって出射される各レーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更するｎ個の第１プリズムとからなる自動合波装置であって、前記第ｎレーザー共振機から出射されたレーザー光は、前記第１プリズムによって入射方向に対して垂直になるように光路を変更し、前記第１プリズムを透過する度に前記第（ｎ−１）レーザー共振機から前記第１レーザー共振機までの前記レーザー共振機によって出射された各レーザー光を順に重畳することによって、合波を出射することによって効果的に達成される。
【０００６】
また、本発明の上記目的は、前記第ｎレーザー共振機から出射されるレーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更する前記第１プリズムは、ミラーであってもよいことによって、或は前記ミラーは、前記第ｎレーザー共振機から出射されたレーザー光に対して４５度の角度になるように設置されていることによって、或は前記第１レーザー共振機から出射されるレーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更する前記第１プリズムは、前記第１レーザー共振機から出射されるレーザー光を透過させ、かつ、前記第ｎレーザー共振機から前記第２レーザー共振機までの前記レーザー共振機によって出射された重畳したレーザー光を入射方向に対して垂直になるように光路を変更する第２プリズムであってもよいことによって、或は前記第ｎレーザー共振機から前記第１レーザー共振機までの前記レーザー共振機によって出射された重畳したレーザー光を、さらにミラーで入射方向に対して垂直になるように反射させることによって、より効果的に達成される。
【０００７】
さらに本発明の上記目的は、前記レーザー共振機は、ガイドを下部に接続しているレーザー設置台の上部に設置され、前記ガイド面内において前記レーザー共振機を駆動用モーター水平方向に移動させることにより光軸を調整することによって、或は前記レーザー共振機は、角度補正装置の上部に載置されており、前記角度補正装置で前記レーザー共振機を回転軸を中心として水平方向に移動させることにより光軸を調整することによって、或は合波の出射口に取り付けた計測器の測定値を制御信号に変換し、前記角度補正装置へ前記制御信号を与えて自動的に前記レーザー共振機の位置を最適化することによって、或は前記レーザー共振機のうち少なくとも一つを固定することによって、より効果的に達成される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る自動合波装置によれば、ガイドおよび角度補正装置でレーザー共振機の位置を移動させることで、複数のレーザー光の光軸を容易に調整することができる。これにより、シングルモードおよびマルチモードの高出力レーザー光を出射することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明に係る自動合波装置は、レーザー光を出射する複数台のレーザー共振機と、複数個のプリズムとからなる自動合波装置に関する。以下、本発明の第１実施形態について説明する。
【００１０】
図１は、本発明の第１実施形態を示した平面図である。本体１には、レーザー光を出射する第１レーザー共振機２１、第２レーザー共振機２２、第３レーザー共振機２３、第４レーザー共振機２４、…、第（ｎ−２）レーザー共振機２（ｎ−２）、第（ｎ−１）レーザー共振機２（ｎ−１）、第ｎレーザー共振機２ｎと順にｎ台のレーザー共振機２が設置されている（ｎは２以上の整数）。本体１内には、第ｎレーザー共振機２ｎから第２レーザー共振機２２までのレーザー共振機２によって出射される各レーザー光ごとに入射方向に対して垂直となるように光路を変更するｎ個の第１プリズム３が収められている。
【００１１】
レーザー共振機２が接続されている側の反対側に、合波を計測する計測器を取付ける計測器取付け用ガイド７と、合波を本体１の外へ出射するレーザー出射口８が備えられている。
【００１２】
レーザー共振機２は、レーザー出射口８から近い順に第１レーザー共振機２１、第２レーザー共振機２２、第３レーザー共振機２３、第４レーザー共振機２４、…、第（ｎ−２）レーザー共振機２（ｎ−２）、第（ｎ−１）レーザー共振機２（ｎ−１）、第ｎレーザー共振機２ｎと、ｎ台のレーザー共振機２が本体１に設置されている。第２レーザー共振機２２から第ｎレーザー共振機２ｎまでのレーザー共振機２は、全て第１レーザー共振機２１と平行となるように設置されている。ｎは２以上の整数である。ｎは２以上の整数であれば、上限値は特に限定されず、ｎの値が大きいほど高出力のレーザー光を出射することができる。本発明の第１実施形態で使用するｎ台のレーザー共振機２は、全て波長等が同一のレーザー共振機を使用することが好ましい。波長等が同一のレーザー共振機をｎ台使用することにより、光軸を容易に調整することができるようになる。
【００１３】
本発明に使用するレーザーの種類は特に限定されず、例えば、ヘリウムイオンレーザー、アルゴンイオンレーザー、炭酸ガスレーザー等のガスレーザー、エキシマレーザー、ＹＡＧレーザー、ＹＶＯ４レーザー等の固体レーザー、自由電子レーザー、半導体レーザー等公知の種々のレーザーを使用することができる。
【００１４】
第１プリズム３は、１台のレーザー共振機２から出射されるレーザー光に対して１つの第１プリズム３で入射方向に対して垂直に光路を変更するように設置されており、各レーザー共振機２に対して１個の第１プリズム３で光路を変更するため、ｎ個の第１プリズム３が設置されている。すなわち、第ｎレーザー共振機２ｎから出射されるレーザー光は、第１プリズム３ｎによって入射方向に対して垂直に光路を変更し、第１プリズム３（ｎ−１）を透過する。透過する際、第（ｎ−１）レーザー共振機２（ｎ−１）から出射されるレーザー光は、第１プリズム３（ｎ−１）によって入射方向に対して垂直に光路を変更し、第ｎレーザー共振機２ｎから出射されたレーザー光と重畳する。重畳したレーザー光は、第１プリズム３（ｎ−２）を透過し、同時に第１プリズム３（ｎ−２）によって垂直に光路を変更された第（ｎ−２）レーザー共振機２（ｎ−２）から出射されるレーザー光と重畳する。
【００１５】
同様に、第４レーザー共振機２４から出射されるレーザー光は、第１プリズム３４によって入射方向に対して垂直に光路を変更し、順に重畳してきたレーザー光と重畳する。第３レーザー共振機２３から出射されるレーザー光は、第１プリズム３３によって入射方向に対して垂直に光路を変更し、順に重畳してきたレーザー光と重畳する。第２レーザー共振機２２から出射されるレーザー光は、第１プリズム３２によって入射方向に対して垂直に光路を変更し、順に重畳してきたレーザー光と重畳する。
【００１６】
最後に、順に重畳してきたレーザー光と第１レーザー共振機２１から出射されるレーザー光は重畳し、レーザー出射口８から高出力合波レーザーを外部ヘ出射する。このように、第１プリズム３を透過する度に第（ｎ−１）レーザー共振機２（ｎ−１）から第１レーザー共振機２１までのレーザー共振機２から出射されるレーザー光を順に重畳して、合波を本体１の外へ出射する。
【００１７】
第１プリズム３は、使用する用途、目的等に応じて様々なプリズムを使用することができるが、第１プリズム３は、第（ｎ−１）レーザー共振機２（ｎ−１）から第２レーザー共振機２２までのレーザー共振機２から出射した各レーザー光を効率よく重畳させるために直角プリズムを使用することが好ましい。
【００１８】
計測器取付け用ガイド７は、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光の合波を計測する機器（例えばビームプロファイラー）をとりつけるためのものである。計測器取付け用ガイド７に計測器を取付け、合波状況を計測することにより、第１レーザー共振機２１から出射されたレーザー光と第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光とのずれを確認することができる。
【００１９】
レーザー出射口８は、合波を本体１内部から外部ヘ出射する出射口であり、形状、大きさ等は使用する目的等に応じて適宜に変更することができる。
【００２０】
本発明の第１実施形態では、図２に示したように、第ｎレーザー共振機２ｎから出射されるレーザー光を入射方向に対して垂直に光路を変更する第１プリズム３を第１ミラー４に置き換えてもよい。第１ミラー４は、第ｎレーザー共振機２ｎから出射されたレーザー光に対して４５度の角度となるように設置する。第１ミラー４をこのような角度となるように設置することにより、レーザー光を入射方向に対して垂直に反射させ光路を変更させることができる。
【００２１】
また、図３に示すように、第１レーザー共振機２１から出射されたレーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更する第１プリズム３を第２プリズム５に置き換えてもよい。なお、第１ミラー４を第１プリズム３に置きかえることもできる。
【００２２】
第２プリズム５は、第１プリズム３を左に９０度回転させた状態で本体１内に設置されたプリズムである。そのため、第２プリズム５は、第ｎレーザー共振機２ｎから第２レーザー共振機２２までのレーザー共振機２によって出射された重畳したレーザー光を入射方向に対して垂直になるように光路を変更する。同時に、第１レーザー共振機２１から出射されるレーザー光を透過し、第ｎレーザー共振機２ｎから第２レーザー共振機２２までのレーザー共振機２によって出射された重畳したレーザー光と、第１レーザー共振機２１から出射されるレーザー光と重畳し、レーザー出射口８から本体１の外へ合波を出射する。
【００２３】
第１プリズム３と同様に第２プリズム５は、使用する用途、目的等に応じて様々なプリズムを使用することができるが、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２から第ｎレーザー共振機２ｎ出射したレーザー光を重畳させるために直角プリズムを使用することが好ましい。また、第１プリズム３と第２プリズム５とは、同種のプリズムを使用してもよい。
【００２４】
本発明の第１実施形態では、図４に示すように第ｎレーザー共振機２ｎから第１レーザー共振機２１までのレーザー共振機２から出射されたレーザー光を全て重畳させ、重畳したレーザー光を第２ミラー６で反射させて本体１の外へ合波を出射するようにしてもよい。第２ミラー６の角度を使用目的等に応じて適宜変更することにより、あらゆる方向に合波を出射することができる。
【００２５】
次に、図面を参照にしながら本発明に係る自動合波装置の第２実施形態を説明する。なお、上述した内容と重複する箇所については説明を省略する。
【００２６】
本発明の第２実施形態は、２台のレーザー共振機２、第１レーザー共振機２１と第２レーザー共振機２２が設置されており、第１プリズム３は設置されておらず、第１レーザー共振機２１から出射されるレーザー光を透過する第２プリズム５が設置されている。
【００２７】
図５は、本発明に係る自動合波装置の第２実施形態を示した模式図であり、図６はその平面図である。
【００２８】
本体１は、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２と接続されており、第２レーザー共振機２２は、第１レーザー共振機２１と平行になるように本体１と接続している。本体１の内部は、第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光を入射方向に対して垂直になるように反射させて光路を変更させる第１ミラー４と、第１ミラー４により反射されたレーザー光を入射方向に対して垂直になるように反射させて光路を変更させ、かつ、第１レーザー共振機２１から出射されたレーザー光を透過させて、レーザー光を重畳させる第２プリズム５が収められている。第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２が接続されている側の反対側に、合波を計測する計測器を取付ける計測器取付け用ガイド７と、合波を出射するレーザー出射口８が備えられている。
【００２９】
第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２とは、第１実施形態と同様に波長等が全て同一のレーザー共振機を使用する。
【００３０】
第１ミラー４は、第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光に対して４５度の角度となるように設置されている。第１ミラー４をレーザー光に対して４５度の角度となるように設置することにより、レーザー光を入射方向に対して垂直に反射させ光路を変更させることができる。なお、第１ミラー４は第１プリズム３に置きかえることもできる。
【００３１】
第２プリズム５は、第１レーザー共振機２１から出射されたレーザー光を透過させるプリズムを使用する。この第２プリズム５は、第１ミラー４により垂直に反射された第２レーザー共振機２２からのレーザー光に対して光路が垂直に変化するように設置されている。すなわち、第１ミラー４から反射されたレーザー光に対して４５度の角度となるように設置されている。
【００３２】
第２実施形態では、第２プリズム５を第１プリズム３に置き換えてもよい。この場合、第１レーザー共振機２１から出射されるレーザー光を入射方向に対して垂直となるように光路を変更し、同時に第２レーザー共振機２２から出射されるレーザー光を透過させ、各レーザー共振機２から出射されたレーザー光を重畳させる。
【００３３】
計測器取付け用ガイド７は、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光の合波を計測する機器（例えばビームプロファイラー）をとりつけるためのものである。計測器取付け用ガイド７に計測器を取付け、合波状況を計測することにより、第１レーザー共振機２１から出射されたレーザー光と第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光とのずれを確認することができる。
【００３４】
レーザー出射口８は、合波を本体１内部から外部ヘ出射する出射口であり、形状、大きさ等は使用する目的等に応じて適宜に変更することができる。
【００３５】
第２実施形態での本発明に係る自動合波装置では、第２レーザー共振機２２は、第１レーザー共振機２１と平行になるように設置する。第２レーザー共振機２２を第１レーザー共振機２１と平行になるように設置しない場合、第２プリズム５が第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２から出射したレーザー光を第２プリズム５で重畳させることができず、光軸の一致した合波を発生させることができなくなる。そのため、高出力のレーザーを出射することができなくなる。
【００３６】
本発明に係る自動合波装置は以下のように作動する。
【００３７】
第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光は、本体１内に入射される。レーザー光は第１ミラー４に反射し、入射方向に対して垂直（９０度）に光路を変更する。第１ミラー４により反射したレーザー光は、第２プリズム５で入射方向に対して垂直方向に変化する。
【００３８】
第１レーザー共振機２１から出射されたレーザー光は第２プリズム５を透過し、第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光と第２プリズム５で重畳され合波となる。合波は、レーザー出射口８から出射される。レーザー出射口８の傍の計測器取付け用ガイド７に設置した計測器で、合波内において光軸のずれがないか確認する。
【００３９】
図面を参照にしながら本発明に係る自動合波装置の第３実施形態を説明する。なお、上述した内容と重複する箇所については説明を省略する。
【００４０】
図７は、本発明に係る第３実施形態の側面図であり、図８は、レーザー共振機側から見た側面図、図９はその平面図、図１０は本発明に係る第３実施形態の自動合波装置を下から見た図である。
【００４１】
本体１は、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２と接続されており、第２レーザー共振機２２は、第１レーザー共振機２１と平行になるように本体１と接続している。本体１の内部は、第１レーザー共振機２１から出射されたレーザー光を入射方向に対して垂直になるように反射させて光路を変更させる第１ミラー４と、第１ミラー４により反射されたレーザー光を入射方向に対して垂直になるように反射させて光路を変更させ、かつ、第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光を透過させて、レーザー光を重畳させる第２プリズム５が収められている。第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２が接続されている側の反対側に、計測器取付け用ガイド７と、合波を出射するレーザー出射口８が備えられている。
【００４２】
第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２の上部と下部には、それぞれ可動支点ピン１２で本体１に固定されている。可動支点ピン１２を中心にして第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２を水平方向に移動させることができる。第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２を水平方向に移動させても、合波装置側可動接続部１１が第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２に伴って移動し、本体１の内部が常に密閉されるようになっている。
【００４３】
第１レーザー共振機２１はレーザー設置台８の上部に載置されており、レーザー設置台９はガイド１０の上部に設置されている。ガイド１０の下部には、レーザー設置台９を自動でガイド１０に沿って移動させるためのレーザー共振機設置台駆動用モーター１３とレーザー共振機設置台駆動用ネジユニット１４とが設置されている。なお、第２レーザー共振機２２も第１レーザー共振機２１と同様な構造をとっている。
【００４４】
レーザー設置台９は、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２を載置することができれば、材質、大きさ等は特に限定されない。ガイド１０は、第１レーザー共振機２１もしくは第２レーザー共振機２２の水平角度が−１０〜＋１０度となる範囲内で移動できるように設置する。なお、必要に応じて、水平角度が１０度以上の範囲で移動できるように適宜変更することができる。また、ガイド１０の材質、大きさ等は特に限定されない。
【００４５】
レーザー設置台９はレーザー共振機設置台駆動用ネジユニット１４と接続しており、レーザー共振機設置台駆動用ネジユニット１４はレーザー共振機設置台駆動用モーター１３と接続している。レーザー共振機設置台駆動用モーター１３を作動させてレーザー共振機設置台駆動用ネジユニット１４を回転させることにより、可動支点ピン１２を中心にしてレーザー設置台９がレーザー共振機設置台駆動用ネジユニット１４の回転に合わせて移動する。このようにして、光軸が本体１の入射側面と垂直になるように調整する。なお、図８、図１０では、レーザー共振機設置台駆動用モーター１３とレーザー共振機設置台駆動用ネジユニット１４がガイド１０の下部にそれぞれ設置されているが、一つのレーザー共振機設置台駆動用モーター１３とレーザー共振機設置台駆動用ネジユニット１４で第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２を水平方向に移動させるようにしてもよい。
【００４６】
第３実施形態では、第１レーザー共振機２１もしくは第２レーザー共振機２２のいずれか一つを固定することが好ましい。
【００４７】
なお、説明の便宜上、レーザー共振機２が２台の場合について説明したが、第３実施形態は、図１１に示すようにレーザー共振機２がｎ台の場合であってもよい。この場合、第１ミラー４と第２プリズム５との間に第１プリズム３を設置する。レーザー共振機２がｎ台の場合、第１プリズム３は（ｎ−２）個設置すればよい。また、第１ミラー４を第１プリズム３と置き換えてもよく、第２プリズム５を第１プリズム３に置き換えてもよい。
【００４８】
図面を参照にしながら本発明に係る自動合波装置の第４実施形態を説明する。なお、上述した内容と重複する箇所については説明を省略する。以下、第４実施形態は説明の便宜上、レーザー共振機が２台の場合について説明するが、第４実施形態は、レーザー共振機がｎ台の場合であってもよい。
【００４９】
図１２は、本発明に係る第４実施形態の側面図であり、図１３は、第４実施形態のレーザー共振機側から見た側面図である。
【００５０】
本体１は、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２と接続されており、第２レーザー共振機２２は、第１レーザー共振機２１と平行になるように本体１と接続されている。本体１の内部は、第２レーザー共振機２２から出射されたレーザー光を入射方向に対して垂直になるように反射させて光路を変更させる第１ミラー４と、第１ミラー４により反射されたレーザー光を入射方向に対して垂直になるように反射させて光路を変更させ、かつ、第１レーザー共振機２１から出射されたレーザー光を透過させて、レーザー光を重畳させる第１プリズム３が収められている。第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２が接続されている側の反対側に、合波を計測する計測器を取付ける計測器取付け用ガイド７と、合波を出射するレーザー出射口８が備えられている。第１レーザー共振機２１は、角度補正装置１５の上部に載置されており、角度補正装置１５はガイド１０の上部に設置されている。第２レーザー共振機２２も同様に角度補正装置１５の上部に載置されており、角度補正装置１５はガイド１０の上部に設置されている。
【００５１】
角度補正装置１５の内部には、図示していないが角度補正装置１５をガイド１０に沿って移動させるための駆動用モーターが組み込まれている。この駆動モーターを作動させることにより、角度補正装置１５の上部に載置してある第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２を水平方向に移動させて光軸を調整する。角度補正装置１５によって第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２を水平方向に移動させても、合波装置側可動接続部１１が第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２に伴って移動し、本体１の内部が常に密閉されるようになっている。このようにして、角度補正装置１５を水平方向に移動させることにより、光軸が本体１の入射側面と垂直になるように調整することができる。
【００５２】
第４実施形態では第３実施形態と同様に、第１レーザー共振機２１もしくは第２レーザー共振機２２のいずれか一つを固定することが好ましい。
【００５３】
なお、図１２、図１３には図示していないが角度補正装置１５の下部にレーザー設置台８を設置してもよい。
【００５４】
また、第１ミラー４を第１プリズム３で置き換えてもよく、第２プリズム５を第１プリズム３に置き換えてもよく、レーザー共振機２をｎ台設置してもよい。
【００５５】
以上、図面を参照にしながら本発明の各実施形態を説明したが、上述した内容は本発明の一実施の形態であり、本発明がこれらに限定される趣旨のものではない。例えば、図１４に示した本発明に係る第５実施形態のように、計測器取付け用ガイド７で取付けた計測器によって得られる測定値をＰＣ１６へフィードバックし、それを元にレーザー共振機設置台駆動用モーター１３と角度補正装置１５へ制御信号を与え、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２の底面に平行な面内での調整と共振機側面に平行な面内での調整により、第１レーザー共振機２１および第２レーザー共振機２２の位置の最適化を自動で行うようにするようにしてもよい。なお、第５実施形態に関してもレーザー共振機２をｎ台設置し、第１ミラー４と第２プリズム５との間に第１プリズム３を（ｎ−２）台設置しても実施でき、第２プリズム５を第１プリズム３に置き換えること、および第２ミラー６を適宜目的等に応じて設置することができることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１実施形態の平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態において、第１プリズムを第１ミラーに置き換えた場合を示した平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態において、第１プリズムを第２プリズムに置き換えた場合を示した平面図である。
【図４】本発明の第１実施形態において、第２ミラーを付け加えた場合を示した平面図である。
【図５】本発明の第２実施形態の模式図である。
【図６】本発明の第２実施形態の平面図である。
【図７】本発明の第３実施形態の側面図である。
【図８】本発明の第３実施形態のレーザー共振機側から見た側面図である。
【図９】本発明の第３実施形態の平面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態の平面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態において、レーザー共振機が３台以上ある場合の平面図である。
【図１２】本発明の第４実施形態の側面図である。
【図１３】本発明の第４実施形態のレーザー共振機側から見た側面図である。
【図１４】本発明の第５実施形態の側面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１        本体
２        レーザー共振機
２１      第１レーザー共振機
２２      第２レーザー共振機
２３      第３レーザー共振機
２４      第４レーザー共振機
２（ｎ−２）  第（ｎ−２）レーザー共振機
２（ｎ−１）  第（ｎ−１）レーザー共振機
２ｎ      第ｎレーザー共振機
３        第１プリズム
３１      レーザー出射口側から数えて１番目の第１プリズム
３２      レーザー出射口側から数えて２番目の第１プリズム
３３      レーザー出射口側から数えて３番目の第１プリズム
３４      レーザー出射口側から数えて４番目の第１プリズム
３（ｎ−３）  レーザー出射口側から数えて（ｎ−３）番目の第１プリズム
３（ｎ−２）  レーザー出射口側から数えて（ｎ−２）番目の第１プリズム
３（ｎ−１）  レーザー出射口側から数えて（ｎ−１）番目の第１プリズム
３ｎ      レーザー出射口側から数えてｎ番目の第１プリズム
４        第１ミラー
５        第２プリズム
６        第２ミラー
７        計測器取付け用ガイド
８        レーザー出射口
９        レーザー設置台
１０      ガイド
１１      合波装置側可動接続部
１２      可動支点ピン
１３      レーザー共振機設置台駆動用モーター
１４      レーザー共振機設置台駆動用ネジユニット
１５      角度補正装置
１６      ＰＣ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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