(57)【要約】【課題】  デバイスの形状のばらつきや端子と接触子の凹凸のばらつきによるデバイスと吸着搬送手段のずれを防止して電気的特性の正確な検査が可能な自重落下式ハンドラを提供する。【解決手段】  所定の間隙を有するレールを用いてデバイスを滑落させるシュートと、前記レールの間隙中に配置され前記デバイスを所定の位置で停止させるストッパと、このストッパで停止した前記デバイスを吸着しデバイス検査装置に搬送する吸着搬送手段を有する自重落下式ハンドラにおいて、前記ストッパは前記デバイスの衝突面に対して所定の角度を有している。【選択図】                    図１
2006145338.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隙を有するレールを用いてデバイスを滑落させるシュートと、前記レールの間隙中に配置され前記デバイスを所定の位置で停止させるストッパと、このストッパで停止した前記デバイスを吸着しデバイス検査装置に搬送する吸着搬送手段を有する自重落下式ハンドラにおいて、前記ストッパは前記デバイスの衝突面に対して所定の角度を有することを特徴とする自重落下式ハンドラ。
【請求項２】
前記ストッパの角度はデバイスが衝突したときに落下方向に対して角直方向に跳ねる角度に形成したことを特徴とする請求項１に記載の自重落下式ハンドラ。
【請求項３】
前記ストッパは間隙を有するレールに出し入れ自在に構成するとともに微調整部を有することを特徴とする請求項１または２に記載の自重落下式ハンドラ。
【請求項４】
所定の間隙をするレールを用いてデバイスを滑落させるシュートと、前記レールの間隙中に配置され前記デバイスを所定の位置で停止させるストッパと、このストッパで停止した前記デバイスを吸着しデバイス検査装置に搬送する吸着搬送手段を有する自重落下式ハンドラにおいて、前記デバイス検査装置に所定の角度を有するデバイス案内部材を設けたことを特徴とする自重落下式ハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、傾斜したシュートに沿ってデバイス（ＩＣなど）を滑落させ、デバイス検査装置（テスターなど）へ搬送し、検査後のデバイスを検査結果に基づいて自動的に分類収納する自重落下式ハンドラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
デバイスの電気的特性の検査に当たっては、ハンドラがデバイスをデバイス検査装置のテストヘッドに搬送し、デバイスのリードをテストヘッドのコンタクト部に接触させる。リードがコンタクト部に接触すると、テスト装置は電流または電圧信号をデバイスに与え、このときのデバイスの出力電流値または電圧値を測定することにより電気的特性を検査する。検査が終了すると、ハンドラはデバイスを検査結果に応じて複数の分類、例えば、良品、不良品、再検査品等に分類し、分類毎に収納する。
【０００３】
デバイスの搬送方式としては、水平搬送方式と、自重落下方式がある。前者は、真空吸着装置を用いてデバイスの搬送を行う方式である。後者は、デバイス搬送のための通路を傾斜した通路と垂直な通路で形成し、デバイスの搬送を自重による自然落下で行う方式で
ある。本発明は、後者の自重落下方式を採用したハンドラの改良に関する。
このような自重落下式ハンドラに関する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２７９６２２号公報
【０００５】
図３は一般的な自重落下式ハンドラのシュート部分の構成例を示した図である。図３で、シュート２０は傾斜した通路２０ａと垂直な通路２０ｂから形成されている。組立が完了したデバイス１はシュートの入口２２から列をなして装填され、通路２０ａと通路２０ｂを滑落する。ストッパ２５はシュートの途中で滑落しているデバイスを止める。ストッパ２５はシュート内にピンを突き出してデバイスを止める構成になっており、出し入れ可能になっている。テスター２６で検査されたデバイスは通路２０ｂを滑落して出口１３から出る。この場合、ストッパ２５の衝突面はフラットな形状となっている。
【０００６】
図４はデバイスの吸着搬送部の概要を示すものである。下レール３５はバネ３７によりデバイス１を挟んで上レール３４に密着している。また、下レール３５はフレーム３９上の支点３８により回転可能な状態となっている。上レール３４はシリンダー３２に具備されたプッシャ４０とバネ４１によりフレーム３９に押し付けられて停止している。プッシャ４０は下レール３５を回転させるカム４３が具備され、カム４３が下レール３５に具備されたカムフォロア４４を押すことにより、下レール３５は支点３８を中心に回転する。
【０００７】
図３に示すストッパ２５で停止したデバイス１は、バキューム吸着機能を具備した上レール３４に吸着されたあと、図５（ａ）に示すようにプッシャ４０がシリンダ−３２により押し下げられ、カム４３が下レール３５に具備されたカムフォロア４４を押すことにより、下レール３５は支点３８を中心に回転する。プッシャー４０が上レール３４に接触し、図５（ｂ）に示すように、プッシャ４０が上レール３４を押し出し、上レール３４に吸着固定されたデバイス１をテスター２６に電気的に接続されたソケット２に押し付け電気的特性を検査する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、デバイス１は図６に示すようにモールド部１ａと端子部１ｂから構成されている。その場合、製造のロットによって図６（ａ）に示すようにモールド部１ａにテーパが生じたり、図６（ｂ）に示すように端子部１ｂとずれが生じることがある。
【０００９】
図７は衝突面がフラットな従来のストッパ２５にデバイス１が衝突した状態を示すものである。デバイスは矢印Ａ方向から落下し、平面がフラットなストッパ２５に衝突して矢印Ｂ方向に跳ね返る。このようなデバイスの検査は一分間に数百個の単位で行われるため、デバイスが跳ね上がった状態のところを吸着搬送手段４で吸着する。しかし、跳ね返りの状態にはばらつきがあり、正確なデバイスの位置決めができず電気的特性不良の原因となっていた。
【００１０】
また、製造ロットによりモールド部１ａと端子部１ｂにずれが生じたり、モールド部にテーパが生じるとストッパでの跳ね上がりの状態が異なってくるが、ストッパの縦方向の位置の微調整が難しく、調整に時間がかかるという問題があった。
【００１１】
図８は吸着搬送手段４にデバイス１が吸着された状態とソケット２の位置関係を示す図である。図８（ａ）に示すようにデバイス１を吸着した吸着搬送手段４は矢印ｃ方向に移動する。そしてデバイス１を構成する端子１ｃがソケット２に設けられた接触子２ａに接触することにより電気的特性が検査される。その場合、端子１ｃや接触子２ａの高さが同一であれば正常ななコンタクトが行われて正確な電気的特性の検査が行われる。
【００１２】
しかし、図８（ｂ）に示すように端子１や接触子２ａの高さにはばらつきがあり、必ずしも同一高さに形成されていない。その場合、接触時にデバイス１に横向きの力がかかることがあり、吸着搬送手段４とデバイス１は真空状態で吸着されているのみなのでその横向きの力によりずれが生じ電気的特性の正確な検査が行われないという問題があった。
【００１３】
本発明は上述の問題点を解決するためになされたもので、デバイス１の形状のばらつきや端子１ｃと接触子２ａの凹凸のばらつきによるデバイス１と吸着搬送手段４のずれを防止して正確に電気的特性の検査が可能な自重落下式ハンドラを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
所定の間隙を有するレールを用いてデバイスを滑落させるシュートと、前記レールの間隙中に配置され前記デバイスを所定の位置で停止させるストッパと、このストッパで停止した前記デバイスを吸着しデバイス検査装置に搬送する吸着搬送手段を有する自重落下式ハンドラにおいて、前記ストッパは前記デバイスの衝突面に対して所定の角度を有することを特徴とする。
【００１５】
請求項２記載の発明は請求項１に記載の自重落下式ハンドラにおいて、
前記ストッパの角度はデバイスが衝突したときに落下方向に対して角直方向に跳ねる角度に形成したことを特徴とする。
【００１６】
請求項３記載の発明は請求項１または２に記載の自重落下式ハンドラにおいて、
前記ストッパは間隙を有するレールに出し入れ自在に構成するとともに微調整部を有することを特徴とする。
【００１７】
請求項４記載の発明は、
所定の間隙をするレールを用いてデバイスを滑落させるシュートと、前記レールの間隙中に配置され前記デバイスを所定の位置で停止させるストッパと、このストッパで停止した前記デバイスを吸着しデバイス検査装置に搬送する吸着搬送手段を有する自重落下式ハンドラにおいて、前記デバイス検査装置に所定の角度を有するデバイス案内部材を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２，３の発明によれば、ストッパはデバイスが衝突したときに落下方向に対して角直方向に跳ねる角度に形成され、レールに出し入れ自在に構成しているので、跳ね返る距離が一定に制限される。吸着搬送手段４に吸着するときには傾斜部２５ｂが案内となって吸着される。この結果、吸着搬送手段４とデバイス１は一定の位置での吸着が可能となる。また、吸着搬送手段に吸着するときには傾斜部が案内となって吸着される。この結果、吸着搬送手段とデバイスは一定の位置での吸着が可能となる。
【００１９】
また、請求項４記載の発明によれば、
デバイス検査装置に所定の角度を有するデバイス案内部材を設けたので、端子と接触子の凹凸のばらつきによるデバイスと吸着搬送手段のずれを防止して正確に電気的特性の検査が可能な自重落下式ハンドラを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る自重落下式ハンドラの一実施例を示す図である。なお、図７に示した部品と同一要素については説明を省略する。図１において、２５ａは本発明に係るストッパであり、上レール３４と下レール３５の間隙に傾斜部２５が突出して配置されている。この傾斜部の角度はおよそ４５度に形成されており、ストッパ全体がねじとナットで構成された微調整部１０により、矢印Ｄ方向に調整可能とされている。
【００２１】
このような構成において、上レール３４と下レール３５の間隙を矢印Ａ方向に落下してきたデバイス１のモールド部がストッパ２５ａの傾斜部２５ｂに衝突する。このときストッパの傾斜部２５ｂはおよそ４５度に形成されているので、デバイスは矢印Ｂの水平方向に跳ね返って下レールに衝突する。その跳ね返ったところを吸着搬送手段４がデバイス１を押し付けて吸着する。
【００２２】
なお、上レール３４と下レール３５とデバイスの間隙は極めて狭く形成されており跳ね返って下レール３５に到達する距離はきわめてわずかである。また、吸着搬送手段４に吸着するときには傾斜部２５ｂが案内となって吸着される。この結果、吸着搬送手段４とデバイス１は一定の位置での吸着が可能となる。
【００２３】
また、このような傾斜部２５ｂを有する構成によれば、図６（ａ，ｂ）に示すように製造ロットによりモールド部１ａと端子部１ｂがずれていたとしても、ストッパ２５ａを矢印Ｄ方向に移動させて衝突の位置を変えることにより吸着搬送手段４への吸着位置を正確にかつ、簡単に調整することができる。
【００２４】
図２（ａ〜ｃ）は本発明の請求項４に関する説明図である。図２(ａ)は案内部材５の平面図、図２(ｂ)は図２(ａ)のＡ−Ａ断面図、図２(ｃ)は案内部材５をソケット２上に載置して案内部材固定金具６で固定した状態を示している。
【００２５】
この案内部材５には矩形状の穴５ａが設けられ、穴５ａには底辺から少し上がったＨで示す部分を基点としてテーパ５ｂが形成されている。このテーパ５ｂの広口部の幅は吸着搬送手段４に吸着されたデバイス１が所定の位置からずれた場合の最大値と考えられる寸法とされ、狭口部（Ｈの基点）の寸法はデバイス１のモールド部１ａと端子部１ｂのずれが最大となると考えられる寸法とされる。
【００２６】
また、垂直部Ｈはデバイス１がソケット２に挿入され端子１ｃと接触子２ａが接触し、ばね７が圧縮されて最深部まで進んだときにモールド部１ａが垂直部Ｈにわずかに進入する程度の深さに形成されている。
また、テーパ部の長さＨ１は吸着搬送手段４へ吸着されたときのデバイスのずれや端子１ｃと接触子２ａが接触したときの段差に起因するずれを無理なく矯正できる程度の長さに形成されている。
【００２７】
本発明の以上の説明は、説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。例えばストッパの傾斜面の角度はおよそ４５度として説明したがこの角度に限るものではない。
特許請求の範囲の欄の記載により定義される本発明の範囲は、その範囲内の変更、変形を包含するものとする。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の自重落下式ハンドラの一実施例を示す説明図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す説明図である。
【図３】シュータの説明図である。
【図４】自重落下式ハンドラの説明図である。
【図５】自重落下式ハンドラの動作説明である。
【図６】デバイスのモールド部と端子部の形状やずれの状態を示す説明図である。
【図７】従来例のストッパの説明図である。
【図８】端子や接触子の凹凸の状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  デバイス
２  ソケット
４  吸着搬送手段
５  案内部材
６  案内部材固定金具
７，３７，４１  ばね
１０  微調整部
２０  通路
２２  入口
２３  出口
２５  ストッパ
２６  テスター
３２  シリンダー
３４  上レール
３５  下レール
３８  支点
３９  フレーム
４０  プッシャ
４３  カム
４４  カムフォロア
【図１】
2006145338.tif 000003
【図２】
2006145338.tif 000004
【図３】
2006145338.tif 000005
【図４】
2006145338.tif 000006
【図５】
2006145338.tif 000007
【図６】
2006145338.tif 000008
【図７】
2006145338.tif 000009
【図８】
2006145338.tif 000010