(57)【要約】      （修正有）【課題】基板支持機構上にある基板とハンドとの距離を可及的に短くして、ハンドに備えたセンサーが誤動作することなく簡単な機構を用いることで、ハンドがハンド上に基板を載置するまでの移動距離を基板の撓みに影響を受けることなく、正確に検出する基板支持機構を提供する。【解決手段】基板５を搬送する非接触式センサー４を備えたハンド３によって搬入出される基板５を載置する基板支持機構１において、搬入出される基板５と基板支持機構１との間であってハンド３が搬入出する空間の近傍に基板５の撓みを防止する撓み防止機構２を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する非接触式センサーを備えたハンドによって搬入出される基板を載置する基板支持機構において、前記搬入出される基板と前記基板支持機構との間であって前記ハンドが搬入出する空間の近傍に基板の撓みを防止する撓み防止機構を設けた基板支持機構。
【請求項２】
前記空間に前記ハンドを挿入したときに、前記ハンドに備えた非接触式センサーと前記非接触式センサーの垂直上方に位置する基板との距離を略一定に保つように、前記撓み防止機構によって基板の撓みを防止する請求項１に記載の基板支持機構。
【請求項３】
前記撓み防止機構が複数からなる。請求項１及び２に記載の基板支持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型の液晶基板、ガラス基板等を搬入出する基板支持機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
大型の液晶基板、ガラス基板等(以下、基板という)の表面に塗布、露光等の加工処理を施す場合、基板は基板搬送装置によって各々の処理工程を行うための基板支持機構に載置される。
【０００３】
図４を用いて従来の基板を載置する基板支持機構の説明をする。
図４は従来の基板支持機構上にある基板と基板搬送装置の先端に備えたハンドを示す概略模式図である。
図４に示すように、基板支持機構１上に突出させた支持ピン１１によって支持された基板５は基板搬送装置（図示省略）の先端に備えられたハンド３(以下、ハンド３という)によって搬入または搬送される。ところで大型で薄い基板を基板支持機構１上の支持ピン１１によって支持する場合は、基板の自重によって撓みを生じる。この撓みを生じた基板５と基板５を搬入出するハンド３とが干渉しないように、支持ピンの長さ、位置等を調整してハンド３の搬入出するスペースを確保するような機構が従来から用いられている。
ところで、図４に示すように、ハンド３の一部には非接触式のセンサー４が設けられており、このセンサー４によってハンド３上の基板５の有無や基板５とハンド３との距離を検出している。
すなわち、センサー４を設けることによって、基板５が基板支持機構１上に載置されているかどうかの確認及び基板支持機構１と基板５との間の空間にハンド３を挿入した後、ハンド３を上昇させてハンド３上に基板５を載置するまでに必要なハンド３の移動（上昇）距離を検出している。
【特許文献１】特開２００４−３３７７４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、基板支持機構１と基板５との間の空間は、ハンド３と撓みを生じた基板５とが干渉しないように十分な距離を設けている。そのために、基板５とハンド３に備えたセンサー４との距離も大きくなっている。すなわち、基板５の大型化に伴い基板５の撓みも大きくなるが、その基板５の撓みを考慮すると基板５を支持する支持ピン１１の長さを大きくする必要があり、基板５とセンサー４との距離がさらに大きくなることとなる。そのため、センサー４は目的物（基板５）までの距離を検出する検出範囲の大きなものを採用する必要があり、さらに高品質のセンサーを使用することとなる。
また、基板５に撓みを生じると基板５とセンサー４との距離を正確に検出することが困難となる。図５は撓みを生じた基板５とセンサー４との関係を示した概略図である。通常、センサー４には光センサーが用いられている。光センサーは光を目的物に発光した後に反射した反射光がセンサーに戻るまでの時間を計測することでその目的物との距離を検出することができる。図５に示すように、基板５の撓みによってセンサー４のセンサー光が反射する部位に傾きが生じていると反射光が正確にセンサーに戻らないために、センサー４が誤動作して正確に基板５との距離を検出することができない。
すなわち、図５に示すように、センサー４から（破線で示す）矢示するようなセンサー光が基板５に向かって照射されるときに、基板５の傾きが非常に大きい場合は、基板５に反射した後の反射光が正確にセンサー４に戻らないことがあり、基板の傾きが大きい程、その可能性が大きく、そのため、センサー４が誤動作する可能性も大きくなる。
【０００５】
本発明の目的は、基板支持機構１上にある基板５とハンド３に備えたセンサー４との距離を可及的に短くしハンド３に備えたセンサー４が誤動作することなく簡単な機構を用いることで、ハンド３上に基板５を載置するまでのハンド３の移動距離を基板５の撓みに影響を受けることなく、正確に検出することができる基板支持機構１を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施の形態は、基板５を搬送する非接触式センサー４を備えたハンド３によって搬入出される基板５を載置する基板支持機構１において、前記搬入出される基板５と前記基板支持機構１との間であって前記ハンド３が搬入出する空間の近傍に基板５の撓みを防止する撓み防止機構２を設けた基板支持機構１である。
【０００７】
好ましい実施の形態は、前記空間に前記ハンド３を挿入したときに、前記ハンド３に備えた非接触式センサー４と前記非接触式センサー４の垂直上方に位置する基板５との距離を略一定に保つように、前記撓み防止機構２によって基板５の撓みを防止する基板支持機構１である。
【０００８】
好ましい実施の形態は、前記撓み防止機構２が複数からなる基板支持機構１である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、基板５を載置した基板支持機構１において、基板５の撓みを防止する撓み防止機構２を基板支持機構１の近傍に備えることによって、基板５の大型化に伴う基板５の撓みが大きくなった場合でも、ハンド３に備えられた非接触式センサー４と基板５との距離を略一定に保つことができ、ハンド３と基板５との距離をより正確に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、本発明の撓み防止機構を備えた基板支持機構とハンドとを示す概略平面図である。同図において、２は基板支持機構１に取付けられた撓み防止機構であって、図示を省略する駆動機構、例えば一般的に用いられているシリンダーによって、(後述する図３に良く示されている)撓み防止部材２１を上下方向に駆動及び水平方向に回動させることができる。３は基板搬送装置（図示省略）の先端に備えられたハンドであって、ハンド３の一部には非接触式のセンサー４が設けられている。
【００１１】
図２は、本発明の基板支持機構１に取付けられた撓み防止機構２の動作を説明する概略平面図であって、図２（ａ）は基板支持機構１にハンド３を挿入する前の状態であって、図２（ｂ）は基板支持機構１にハンド３を挿入したときの状態を示す概略平面図である。図３は図２(ａ)の矢示Ａの方向から撓み防止機構２１を見たときの一部拡大概略図であって、図３(ａ)は撓み防止機構２に取付けられた撓み防止部材２１を水平方向に回動させた状態（すなわち図２（ａ）の実線で示す状態）であって、図３(ｂ)は撓み防止部材２１を上昇させた状態を示す一部拡大概略図である。
【００１２】
図２及び図３に示すように、基板５が予め基板支持機構１の上部に載置されている場合に、この基板１が非常に大型で薄い基板であるときは、図３(ａ)に示すように自重によって基板５が撓むこととなる（このときの撓み量Ｔは非常に大きい）。このとき、撓み防止機構２に備えた撓み防止部材２１を水平方向に回動(図２の実線または図３（ａ）の状態に)させた後、上方に駆動（図３（ｂ）の実線で示した状態に）させて基板の撓みを可及的に小さくする。この状態で図２(ｂ)に示すようにハンド３を基板５と基板支持機構１との間の空間に挿入させる。このとき、ハンド３に備えたセンサー４の近傍は、撓み防止機構２によって基板１の撓みが可及的に小さくなっており、撓みによる傾きも非常に小さなものとなっている。（例えば図３（ｂ）に示すように撓み量Ｔは非常に小さい状態である。）そのため、センサー４によって基板５とハンド３との距離をより正確に検出することができる。
【００１３】
以上のことから明らかなように、撓み防止機構２を基板支持機構１に備えるものであって、センサー５を高価なものとすることなく、簡単な機構を用いるだけでハンド３上に基板５を載置するまでの距離を基板５の撓みに影響を受けることなく検出することができる。
【００１４】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。
【００１５】
撓み防止機構２に備えた撓み防止部材２１はセンサー５の近傍の撓みを可及的に防止するものであれば良く、センサー４を備えたハンド３が基板支持機構１に挿入出する際に干渉しない程度のものであって非常に小さなものとすることができる。
【００１６】
本発明の実施例では、撓み防止機構２を基板支持機構１に備えたものとしているが、必ずしも基板支持機構１に備える必要はなく、撓み防止機構２を独立して基板支持機構１の近傍に設置させてもよい。
【００１７】
また、撓み防止機構２は図２及び図３に示したように２箇所に設けているが、ハンド３が基板支持機構１上に挿入出するときの妨げにならない位置であれば２個に限定することなく、さらに複数個設けて(例えば基板の周辺に複数個設けて)基板５の撓みをさらに防止させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の基板支持機構とハンドとを示す概略平面図である。
【図２】本発明の撓み防止機構の動作を説明する概略平面図である。
【図３】図２の一部拡大概略図である。
【図４】従来の基板を載置する基板支持機構の概略模式図である。
【図５】従来の撓みを生じた基板とセンサーとの関係を示した概略図である。
【符号の説明】
【００１９】
１      基板支持機構
１１    支持ピン
２      撓み防止機構
２１    撓み防止部材
３      ハンド
４      センサー
５      基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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