(57)【要約】【課題】  インクプール室から気泡をスムーズに排出させるとともに、インクプール室の音響容量を十分確保することを目的とする。【解決手段】  整流板１００の上端１００とダンパープレート４４とは接合されていないので、ダンパープレート４４の弾性変形を妨げない。したがって、インクプール室３８に伝播した圧力波を、インクプール室３８のダンパープレート４４が撓んで弾性変形することによって減衰させ、クロストークを抑制している。【選択図】        図１０
2006212781.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク滴を吐出し、マトリックス状に配設された複数のノズルと、
各前記ノズルと連通し、インクが充填される複数の圧力室と、
前記圧力室の一部を構成する振動板と、
前記振動板を変位させる圧電素子と、
前記振動板を間に置いて前記圧力室と反対側に設けられ、該圧力室の各々に連通するインク供給路を介して供給するインクを貯留するインクプール室と、
を有し、
前記インクプール室は、
前記インクプール室にインクを注入する注入口と、
前記インクプール室の底面に設けられた前記インク供給路の供給口と、
前記底面と対向する天面と、
前記底面から立設した整流板と、
を備え、
前記天面の一部領域、又は全領域は、弾性変形し、前記インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーであり、
前記整流板が前記ダンパーの弾性変形を拘束しない非拘束構造を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記非拘束構造は、前記整流板と前記ダンパーとが接合されていない非接合構造であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記整流板と前記ダンパーとの間に隙間が形成されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
インク滴を吐出し、マトリックス状に配設された複数のノズルと、
各前記ノズルと連通し、インクが充填される複数の圧力室と、
前記圧力室の一部を構成する振動板と、
前記振動板を変位させる圧電素子と、
前記振動板を間に置いて前記圧力室と反対側に設けられ、該圧力室の各々に連通するインク供給路を介して供給するインクを貯留するインクプール室と、
を有し、
前記インクプール室は、
前記インクプール室にインクを注入する注入口と、
前記インクプール室の底面に設けられた前記インク供給路の供給口と、
前記底面と対向する天面と、
前記底面から立設した整流板と、
を備え、
前記天面の一部領域、又は全領域は、弾性変形し、前記インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーであり、
前記整流板は、前記ダンパーの弾性変形の拘束を低減する拘束低減手段で該ダンパーと接合されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記拘束低減手段は、前記整流板が前記底面に接地する接地面積より前記ダンパーとの接合面積の方が狭い幅狭構造であることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
インク滴を吐出し、マトリックス状に配設された複数のノズルと、
各前記ノズルと連通し、インクが充填される複数の圧力室と、
前記圧力室の一部を構成する振動板と、
前記振動板を変位させる圧電素子と、
前記振動板を間に置いて前記圧力室と反対側に設けられ、該圧力室の各々に連通するインク供給路を介して供給するインクを貯留するインクプール室と、
を有し、
前記インクプール室は、
前記インクプール室にインクを注入する注入口と、
前記インクプール室の底面に設けられた前記インク供給路の供給口と、
前記底面と対向する天面と、
前記底面から立設した整流板と、
を備え、
前記天面の一部領域又は全領域、及び前記整流板は、弾性変形し、前記インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記整流板は、内部に空洞を有するエアダンパーであることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記整流板とは別に前記底面から立設し、前記天面の前記ダンパーと接合し、該ダンパーの弾性変形を拘束する支持整流板を備えることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記整流板、及び前記支持整流板のいずれか一方、または両方は、前記供給口に沿って設けられ、前記注入口から注入されたインクの流路を形成することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドは、ノズルからインク滴を吐出する際に発生する圧力波が伝播し、クロストークの発生など、インク吐出特性に影響を与える。
【０００３】
圧力波の影響を抑制する方法として、インクプール室の音響容量を大きくし、伝播した圧力波を減衰させる方法がある。インクプール室の音響容量を増大させる方法としては、インクプール室を構成する一部領域の剛性を弱くし、圧力波が伝播すると弾性変形させて減衰させる、所謂、ダンパーとする構成が提案されている。（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００４】
また、インクを充填する際に気泡がインクプール室に残留してしまうことがある。残留した気泡もインク吐出特性に影響を与える。したがって、インクプール室に整流部（板）を設け、気泡の排出をスムーズにする構成が提案されている。（例えば、特許文献３参照）。
【０００５】
しかし、このような整流板は、ダンパーであるダイヤフラム部に接合されている。このためダイヤフラム部の弾性変形が拘束されるため、ダンパー効果（圧力波を減衰させる効果）が低下する。
【特許文献１】特開２００１−２８７３６１号公報
【特許文献２】特開２００２−３５５９６１号公報
【特許文献３】特開２００３−０１１３６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、インクプール室から気泡をスムーズに排出させるとともに、インクプール室の音響容量を十分確保することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のインクジェット記録へッドは、インク滴を吐出し、マトリックス状に配設された複数のノズルと、各前記ノズルと連通し、インクが充填される複数の圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板を変位させる圧電素子と、前記振動板を間に置いて前記圧力室と反対側に設けられ、該圧力室の各々に連通するインク供給路を介して供給するインクを貯留するインクプール室と、を有し、前記インクプール室は、前記インクプール室にインクを注入する注入口と、前記インクプール室の底面に設けられた前記インク供給路の供給口と、前記底面と対向する天面と、前記底面から立設した整流板と、を備え、前記天面の一部領域、又は全領域は、弾性変形し、前記インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーであり、前記整流板が前記ダンパーの弾性変形を拘束しない非拘束構造を有することを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドは、注入口から注入されたインクが、整流板によってインクプール室内をスムーズに流れる。したがって、例えば、インクジェット記録ヘッドのノズルから吸引し、インクを充填するインク充填作業において、インクプール室内のインクが淀み無くスームズに流れる。よって、気泡がインクプール室に残留せずに、スムーズに排出される。
【０００９】
更に、インクプール室の天面の一部領域、又は全領域は、弾性変形し、インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーとなっているので、インクプール室の音響容量が十分確保されている。よって、例えば、クローストークが抑制される。しかも、ダンパーの弾性変形を拘束しない非拘束構造としているので、整流板によって、音響容量が減少し、例えば、クロストークが顕著になることはない。
【００１０】
つまり、インクプール室から気泡がスムーズに排出されるとともに、インクプール室の音響容量が十分確保されている。
【００１１】
請求項２に記載のインクジェット記録へッドは、請求項１に記載の構成において、前記非拘束構造は、前記整流板と前記ダンパーとが接合されていない非接合構造であることを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載のインクジェット記録へッドは、整流板とダンパーとが接合されていないので、整流板がダンパーの弾性変形を拘束しない。したがって、整流板によって、音響容量が減少し、例えば、クロストークが顕著になることはない。
【００１３】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項２に記載の構成において、前記整流板と前記ダンパーとの間に隙間が形成されていることを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドは、整流板とダンパーとの間に隙間が形成されているので、ダンパーの弾性変形をより拘束しない。
【００１５】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドは、インク滴を吐出し、マトリックス状に配設された複数のノズルと、各前記ノズルと連通し、インクが充填される複数の圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板を変位させる圧電素子と、前記振動板を間に置いて前記圧力室と反対側に設けられ、該圧力室の各々に連通するインク供給路を介して供給するインクを貯留するインクプール室と、を有し、前記インクプール室は、前記インクプール室にインクを注入する注入口と、前記インクプール室の底面に設けられた前記インク供給路の供給口と、前記底面と対向する天面と、前記底面から立設した整流板と、を備え、前記天面の一部領域、又は全領域は、弾性変形し、前記インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーであり、前記整流板は、前記ダンパーの弾性変形の拘束を低減する拘束低減手段で該ダンパーと接合されていることを特徴としている。
【００１６】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドは、注入口から注入されたインクが、整流板によってインクプール室内をスムーズに流れる。したがって、例えば、インクジェット記録ヘッドのノズルから吸引し、インクを充填するインク充填作業において、インクプール室内のインクが淀み無くスームズに流れる。よって、気泡がインクプール室に残留せずに、スムーズに排出される。なお、整流板はダンパーと接合され、ダンパーとの間に隙間がないので、整流効果がより大きい。
【００１７】
更に、インクプール室の天面の一部領域、又は全領域は、弾性変形し、インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーとなっているので、インクプール室の音響容量が十分確保されている。よって、例えば、クローストークが抑制される。しかも、整流板は、ダンパーの弾性変形の拘束を低減する拘束低減手段でダンパーに接合されてるので、音響容量が減少し、例えば、クロストークが顕著になることはない。
【００１８】
つまり、インクプール室から気泡がスムーズに排出されるとともに、インクプール室の音響容量が十分確保されている。
【００１９】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項４に記載の構成において、前記拘束低減手段は、前記整流板が前記底面に接地する接地面積より前記ダンパーとの接合面積の方が狭い幅狭構造であることを特徴としている。
【００２０】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドは、整流板がダンパーに接合されていても、整流板が底面に接地する接地面積よりダンパーとの接合面積の方が狭いので、ダンパーの弾性変形の拘束が低減されている。
【００２１】
請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドは、インク滴を吐出し、マトリックス状に配設された複数のノズルと、各前記ノズルと連通し、インクが充填される複数の圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板を変位させる圧電素子と、前記振動板を間に置いて前記圧力室と反対側に設けられ、該圧力室の各々に連通するインク供給路を介して供給するインクを貯留するインクプール室と、を有し、前記インクプール室は、前記インクプール室にインクを注入する注入口と、前記インクプール室の底面に設けられた前記インク供給路の供給口と、前記底面と対向する天面と、前記底面から立設した整流板と、を備え、前記天面の一部領域又は全領域、及び前記整流板は、弾性変形し、前記インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーであることを特徴としている。
【００２２】
請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドは、注入口から注入されたインクが整流板によってインクプール室内をスムーズに流れる。したがって、例えば、インクジェット記録ヘッドのノズルから吸引し、インクを充填するインク充填作業において、インクプール室内のインクが淀み無くスームズに流れる。よって、気泡がインクプール室に残留せずに、スムーズに排出される。
【００２３】
更に、インクプール室の天面の一部領域、又は全領域と、整流板とは、弾性変形し、インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させるダンパーとなっているので、インクプール室の音響容量が十分確保されている。よって、例えば、クローストークが抑制される。
【００２４】
請求項７に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項６に記載の構成において、前記整流板は、内部に空洞を有するエアダンパーであることを特徴としている。
【００２５】
請求項７に記載のインクジェット記録ヘッドは、整流板が内部に空洞を有するエアダンパーであるので、インクプール室内のインクに伝播した圧力波を減衰させる。
【００２６】
また、エアダンパーの弾性変形によって、ダンパーの弾性変形の拘束を低減する構成とし、より圧力波を減衰させることもできる。
【００２７】
請求項８に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の構成において、前記整流板とは別に前記底面から立設し、前記天面の前記ダンパーと接合し、該ダンパーの弾性変形を拘束する支持整流板を備えることを特徴としている。
【００２８】
請求項８に記載のインクジェット記録ヘッドは、支持整流板が天面のダンパーの弾性変形を拘束しているので、例えば、天面のダンパーが必要以上に低剛性となって緩み、ダンパー効果（圧力波を減衰させる効果）が低下してしまうことが防止されている。
【００２９】
請求項９に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の構成において、前記整流板、及び前記支持整流板のいずれか一方、または両方は、前記供給口に沿って設けられ、前記注入口から注入されたインクの流路を形成することを特徴としている。
【００３０】
請求項９に記載のインクジェット記録ヘッドは、インクプール室に整流板が供給口に沿って設けられ、注入口から注入されたインクの流路を形成している。
【００３１】
したがって、例えば、インクジェット記録ヘッドのノズルから吸引し、インクを充填するインク充填作業において、インクプール室内のインクが淀み無く、よりスームズに流れる。よって、気泡がインクプール室に残留せずに、よりスムーズに排出される。
【００３２】
請求項１０に記載のインクジェット記録装置は、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備えることを特徴としている。
【００３３】
請求項１０に記載のインクジェット記録装置は、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備えているので、インクプール室に気泡の残留がない。更に、インクプール室の音響容量が十分確保されているので、例えば、クロストークが抑制されている。よって、インク滴が安定して吐出する。したがって、高品質な画像形成ができる。
【発明の効果】
【００３４】
以上説明したように本発明によれば、インクプール室から気泡がスムーズに排出されるとともに、インクプール室の音響容量が十分確保されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。なお、記録媒体は記録紙Ｐとして説明をする。また、記録紙Ｐのインクジェット記録装置１０における搬送方向を副走査方向として矢印Ｓで表し、その搬送方向と直交する方向を主走査方向として矢印Ｍで表す。また、図において、矢印ＵＰ、矢印ＬＯが示されている場合は、それぞれ上方向、下方向を示すものとし、上下の表現をした場合は、上記各矢印に対応しているものとする。
【００３６】
まず最初に、インクジェット記録装置１０の概要を説明する。
【００３７】
図１に示すように、インクジェット記録装置１０は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクジェット記録ユニット３０（インクジェット記録ヘッド３２）を搭載するキャリッジ１２を備えている。このキャリッジ１２の記録紙Ｐの搬送方向上流側には一対のブラケット１４が突設されており、そのブラケット１４には円形状の開孔１４Ａ（図２参照）が穿設されている。そして、その開孔１４Ａに、主走査方向に架設されたシャフト２０が挿通されている。
【００３８】
また、主走査方向の両端側には、主走査機構１６を構成する駆動プーリー（図示省略）と従動プーリー（図示省略）が配設されており、その駆動プーリーと従動プーリーに巻回されて、主走査方向に走行するタイミングベルト２２の一部がキャリッジ１２に固定されている。したがって、キャリッジ１２は主走査方向に往復移動可能に支持される構成である。
【００３９】
また、このインクジェット記録装置１０には、画像印刷前の記録紙Ｐを束にして入れておく給紙トレイ２６が設けられており、その給紙トレイ２６の上方には、インクジェット記録ヘッド３２によって画像が印刷された記録紙Ｐが排出される排紙トレイ２８が設けられている。そして、給紙トレイ２６から１枚ずつ給紙された記録紙Ｐを所定のピッチで副走査方向へ搬送する搬送ローラー及び排出ローラーからなる副走査機構１８が設けられている。
【００４０】
その他、このインクジェット記録装置１０には、印刷時において各種設定を行うコントロールパネル２４と、メンテナンスステーション９９等が設けられている。
【００４１】
また、各色のインクジェット記録ユニット３０は、図２で示すように、インクジェット記録ヘッド３２と、それにインクを供給するインクタンク３４とが一体に構成されたものであり、インクジェット記録ヘッド３２の下面中央のインク吐出面３２Ａに形成された複数のノズル５６（図３参照）が、記録紙Ｐと対向するようにキャリッジ１２上に搭載されている。したがって、インクジェット記録ヘッド３２が主走査機構１６によって主走査方向に移動しながら、記録紙Ｐに対してノズル５６から選択的にインク滴を吐出することにより、所定のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録される。
【００４２】
そして、主走査方向への１回の移動が終了すると、記録紙Ｐは、副走査機構１８によって副走査方向に所定ピッチ搬送され、再びインクジェット記録ヘッド３２（インクジェット記録ユニット３０）が主走査方向（前述とは反対方向）に移動しながら、次のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録されるようになっており、このような動作を複数回繰り返すことによって、記録紙Ｐに画像データに基づく全体画像がフルカラーで記録される。
【００４３】
前述したメンテナンスステーション９９は、印字範囲外に設けられ、キャップ９８、吸引ポンプ（図示略）、ダミージェット受け（図示略）、クリーニング機構（図示略）等から構成されており、吸引回復動作、ダミージェット動作、クリーニング動作等のメンテナンス動作を行うようになっている
尚、吸引回復動作とは、インクジェット記録ヘッド３２の複数のノズル５６（図３参照）からインクを吸引することで、例えば、インクジェット記録ヘッド３２内の気泡の排出を行い、吐出特性を回復する動作のことをいう。
【００４４】
具体的には、図７に示すように、メンテナンスステーション９９のキャップ９８上に搬送されたインクジェット記録ヘッド３２のインク吐出面３２Ａに、昇降機構（図示略）によってキャップ９８を密着させ、吸引ポンプ（図示略）によって、ノズル５６からインクを吸引し、吐出特性の回復を行う。ノズル５６から吸引したインクは廃インクタンク（図示省略）に送られ回収される。
【００４５】
つぎに、インクジェット記録ヘッド３２について詳細に説明する。
【００４６】
図３はインクジェット記録ヘッド３２の構成を示す概略平面図であり、図４は図３のＸ−Ｘ線概略断面図である。これらの図３、図４で示すように、インクジェット記録ヘッド３２には、インクタンク３４（図２参照）と連通するインク注入ポート３６が設けられており、そのインク注入ポート３６から注入されたインクＱは、平面視すると並行四角形をした略箱形状のインクプール室３８（図８、図９参照）に貯留される。
【００４７】
インクプール室３８は天板４０と隔壁４２とによって、その容積が規定されており、インク注入ポート３６は、インクプール室３８の隅部の天板４０に穿設されている。
【００４８】
また、天板４０は、インクプール室３８の天面を構成し、インク滴を吐出する際に発生する圧力波によって弾性変形し、圧力波を減衰させる樹脂膜製のダンパープレート４４を備えている。
【００４９】
天板４０の材質（ダンパープレート４４を除く）は、例えばガラス、セラミックス、シリコン、樹脂等、インクジェット記録ヘッド３２の支持体になり得る強度を有する絶縁体であれば何でもよい。また、天板４０には、駆動ＩＣ６０へ通電するための金属配線９０が設けられている。この金属配線９０は、樹脂膜９２で被覆保護されており、インクＱによる侵食が防止されるようになっている。
【００５０】
隔壁４２は樹脂で成形され、インクプール室３８を矩形状に仕切っている。また、インクジェット記録ヘッド３２は、圧電素子４６と、その圧電素子４６によって上下方向に撓み変形させられる振動板４８を介して、インクプール室３８と圧力室５０とが上下に配設されている。つまり、圧電素子４６及び振動板４８が、インクプール室３８と圧力室５０との間に配置される構成とされ、インクプール室３８と圧力室５０とが同一水平面上に存在しないように構成されている。
【００５１】
したがって、圧力室５０を互いに接近させた状態に配置することが可能であり、ノズル５６をマトリックス状に高密度に配設することが可能となっている。
【００５２】
また、このような構成にしたことにより、キャリッジ１２の主走査方向への１回の移動で、広いバンド領域に画像を形成することができるので、その走査時間が短くて済む。すなわち、少ないキャリッジ１２の移動回数及び時間で記録紙Ｐの全面に亘って画像形成を行う高速印刷が実現可能となっている。（図１参照）。
【００５３】
圧電素子４６は、圧力室５０毎に振動板４８の上面に接着されている。振動板４８は、ＳＵＳ等の金属で成形され、少なくとも上下方向に弾性を有し、圧電素子４６に通電されると（電圧が印加されると）、上下方向に撓み変形する（変位する）構成になっている。なお、振動板４８は、ガラス等の絶縁性材料であっても差し支えはない。圧電素子４６の下面には一方の極性となる下部電極５２が配置され、圧電素子４６の上面には他方の極性となる上部電極５４が配置されている。そして、この上部電極５４に駆動ＩＣ６０が金属配線８６により電気的に接続されている。
【００５４】
また、圧電素子４６は、低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０で被覆保護されている。圧電素子４６を被覆保護している低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０は、水分透過性が低くなる条件で着膜するため、水分が圧電素子４６の内部に侵入して信頼性不良となること（ＰＺＴ膜内の酸素を還元することにより生ずる圧電特性の劣化）を防止できる。なお、下部電極５２と接触する金属（ＳＵＳ等）製の振動板４８は、低抵抗なＧＮＤ配線としても機能するようになっている。
【００５５】
更に、圧電素子４６は、その低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０の上面が、樹脂膜８２で被覆保護されている。これにより、圧電素子４６において、インクＱによる侵食の耐性が確保されるようになっている。また、金属配線８６も、樹脂保護膜８８で被覆保護され、インクＱによる侵食が防止されるようになっている。
【００５６】
また、圧電素子４６の上方は、樹脂膜８２で被覆保護され、樹脂保護膜８８が被覆されない構成になっている。樹脂膜８２は、柔軟性がある樹脂層であるため、このような構成により、圧電素子４６（振動板４８）の変位阻害が防止されるようになっている（上下方向に好適に撓み変形可能とされている）。つまり、圧電素子４６上方の樹脂層は、薄い方がより変位阻害の抑制効果が高くなるので、樹脂保護膜８８を被覆しないようにしている。
【００５７】
なお、樹脂保護膜８８は、金属配線８６が積層される樹脂膜８２と同種の樹脂材料で構成されているため、金属配線８６を被覆するそれらの接合力が強固になり、界面からのインク１１０の侵入による金属配線８６の腐食を防止することができる。
【００５８】
また、金属配線８６を挟むようにして被覆する樹脂保護膜８８と樹脂膜８２とが同種の樹脂材料とされているので熱膨張率が略等しい。よって、熱応力の発生が少ない。
【００５９】
更に、この樹脂保護膜８８は、隔壁４２とも同種の樹脂材料となっているため、この隔壁４２に対する接合力も強固になっている。したがって、その界面からのインク１１０の侵入がより一層防止される構成である。また、このように、同種の樹脂材料で構成されると、それらの熱膨張率が略等しくなるので、同様に熱応力の発生が少ない。
【００６０】
駆動ＩＣ６０は、圧電素子基板７０に実装されており、隔壁４２で規定されたインクプール室３８の外側で、かつ天板４０と振動板４８との間に配置され、振動板４８や天板４０から露出しない（突出しない）構成とされている。したがって、インクジェット記録ヘッド３２の小型化が実現可能となっている。
【００６１】
なお、圧電素子基板７０とは、圧電素子４６から上の基板全体を指し、天板４０が支持体となっている。
【００６２】
また、その駆動ＩＣ６０の周囲は樹脂材５８で封止されている。この駆動ＩＣ６０を封止する樹脂材５８の注入孔４０Ｂは、図５で示すように、製造段階における天板４０において、各インクジェット記録ヘッド３２を仕切るように格子状に複数個穿設されており、圧電素子基板７０と圧力室５０などが形成された流路基板とを結合（接合）後、樹脂材５８によって封止された（閉塞された）注入孔４０Ｂに沿って天板４０を切断することにより、マトリックス状のノズル５６（図３参照）を有するインクジェット記録ヘッド３２が１度に複数個製造される構成になっている。
【００６３】
また、この駆動ＩＣ６０の下面には、図４、図６で示すように、複数のバンプ６２がマトリックス状に所定高さ、突設されており、振動板４８上に圧電素子４６が形成された圧電素子基板７０の金属配線８６にフリップチップ実装（表面実装）されている。したがって、圧電素子４６に対する高密度接続が容易に実現可能であり、駆動ＩＣ６０の高さの低減を図ることができる（薄くすることができる）。これによっても、インクジェット記録ヘッド３２の小型化が実現可能となっている。
【００６４】
また、図３において、駆動ＩＣ６０の外側には、バンプ６４が設けられている。このバンプ６４は、天板４０に設けられる金属配線９０（図４参照）と、圧電素子基板７０に設けられる金属配線８６とを接続しており、当然ながら、圧電素子基板７０に表面実装された駆動ＩＣ６０の高さよりも高くなるように設けられている。
【００６５】
したがって、インクジェット記録装置１０（図１参照）の本体側から天板４０の金属配線９０に通電され、その天板４０の金属配線９０からバンプ６４を経て金属配線８６に通電され、そこから駆動ＩＣ６０に通電される構成である。そして、その駆動ＩＣ６０により、所定のタイミングで圧電素子４６に電圧が印加され、振動板４８が上下方向に撓み変形することにより、圧力室５０内に充填されたインクＱが加圧されて、ノズル５６からインク滴が吐出する構成である。
【００６６】
インク滴を吐出するノズル５６は、圧力室５０毎に１つずつ、その所定位置に設けられている。圧力室５０とインクプール室３８とは、圧電素子４６を回避するとともに、振動板４８に穿設された貫通孔４８Ａを通るインク供給路６６と、圧力室５０から図４において水平方向へ向かって延設されたインク供給路６８とが連通することによって接続されている。このインク供給路６８は、インクジェット記録ヘッド３２の製造時に、インク供給路６６とのアライメントが可能なように（確実に連通するように）、予め実際のインク供給路６６との接続部分よりも少し長めに設けられている。
【００６７】
つぎに、第一の実施形態のインクプール室３８について説明する。
【００６８】
図９に示すように、インクプール室３８の底面１０２には、インク供給路６６の供給口６７がマトリックス状に並んで形成されている。なお、便宜上、供給口６７の長手方向（上下方向）の並びを「列」、列と交差する方向（左右方向）の並びを「行」とする。
【００６９】
なお、以降のインクプール室の図では模式的に示しているので、圧力室５０と供給口６７とが重なって見えているが、図４に示すように、正確には重なっていない。しかし、本発明の作用効果とは特に関係が無いので、図が複雑化して判りにくくなるのを避ける為、このように図示している。また、図１０、及び、つぎに説明する第二から第五の実施形態を示す図１１から図１４は、インクジェット記録ヘッド３２の断面を模式的に判りやすく図示している。
【００７０】
図９に示すように、供給口６７の各列間に、供給口６７の各列に沿って整流板１００が配設されている。また、整流板１００の一端部１００Ａと他端部１００Ｂともに、インクプール室３８の側壁４２Ａと側壁４２Ｂとには接しておらず、隙間が形成されている。また、図８にも示すように、整流板１００は底面１０２から立設している。
【００７１】
図１０（Ａ）に示すように、整流板１００の上端１００Ｄは、ダンパープレート４４に接しているが接合されていない。よって、図１０（Ｂ）に示すように、ダンパープレート４４は整流板１００に拘束されることなく撓んで弾性変形する。
【００７２】
さて、このようにインクプール室３８に整流板１００を配設したので、図９の矢印Ｒで示すように、インク注入ポート３６から注入されたインクＱは、整流板１００によって構成されたインクの流路に沿って流れ、各供給口６７からインク供給路６６を介して圧力室５０に送られる。
【００７３】
つぎに、本実施形態の作用について説明する。
【００７４】
インクジェット記録ヘッド３２を製造した直後は、インクが充填されていない。よって、治具を用いてノズル５６（図３参照）から吸引し、インクを充填するインク充填作業を行う。
【００７５】
また、前述したように、所定のタイミングでインクジェット記録ヘッド３２のインク吐出面３２Ａにキャップ９８を密着させ、ノズル５６からインクを吸引し、インク吐出特性の回復動作を行う。（図７参照）。
【００７６】
なお、以降、インク充填作業と回復動作との両方をまとめ「インク吸引動作」ということがある。
【００７７】
このようなインク吸引動作では、インク注入ポート３６からインクがインクプール室３８に注入される。そして、図９に示すように、インク注入ポート３６から注入されたインクは、矢印Ｒで示すように、整流板１００によって構成されたインクの流路に沿って流れ、各供給口６７からインク供給路６６を介して圧力室５０に送られる。よって、インクプール室３８のインクは、無秩序に流れないので、淀みが発生しない。
【００７８】
したがって、本実施形形態のインクジェット記録ヘッド３２は、インクとともに、気泡がスムーズにノズル５６から吸引されて排出される。よって、インク吸引動作が短時間で終了する。つまり、インクを無駄に消費しない。また、インク充填作業も効率良く行える。あるいは、回復動作時間も短くて済む。
【００７９】
なお、整流板１００の高さが低すぎると、上記のような整流効果が十分得られない可能性もあるが、ダンパープレート４４は十分高いので（本実施形態では、ダンパープレート４４までの高さ）、上述した整流効果が十分得られる。
【００８０】
また、圧電素子４６が撓み、あるノズル５６からインク滴が吐出すると、その吐出の際に発生する圧力波が伝播し、他のノズル５６から吐出するインク滴の吐出特性（インク滴量、インク滴速度、吐出周波数など）に影響を与える、所謂、クロストークが発生する。
【００８１】
しかし、図１０（Ｂ）に示すように、インクプール室３８に伝播した圧力波を、インクプール室３８のダンパープレート４４が撓んで弾性変形することによって減衰させ、クロストークを抑制している。換言すると、ダンパープレート４４によってインクプール室３８の音響容量を増大させ、圧力波を減衰させクロストークを抑制している。なお、前述したように、整流板１００の上端１００とダンパープレート４４とは接合されていないので、ダンパープレート４４の弾性変形を妨げない。
【００８２】
このように、気泡をスムーズに排出する効果とクロストークを抑制する効果とを両立させている。
【００８３】
つぎに、第二の実施形態のインクプール室２３８について説明する。なお、第一の実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００８４】
図１１に示すように、整流板２００の上端２００Ｄとダンパープレート４４との間に隙間２００Ｅが形成されている。なお、隙間２００Ｅが大きすぎると、前述したような整流効果が減少する。よって、本実施形態では、整流効果が十分確保される隙間２００Ｅとなっている。
【００８５】
つぎに、本実施形態の作用について説明する。
【００８６】
第二の実施形態も第一の実施形態と同様の作用を奏すが、隙間２００Ｅが形成されているので、ダンパープレート４４の弾性変形をより妨げない。
【００８７】
つぎに、第三の実施形態のインクプール室３３８について説明する。なお、第一及び第二の実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００８８】
図１２に示すように、整流板３００の上部は幅が狭い幅狭部３０２が形成されている。そして、幅狭部３０２の上端３０２Ｄとダンパープレート４４とが接合されている。よって、整流板３００が底面１０２に接地している接地面積より、ダンパープレート４４との接合面積の方が狭い。
【００８９】
つぎに、本実施形態の作用について説明する。
【００９０】
整流板３００は、幅狭部３０２の上端３０２Ｄがダンパープレート４４と接合しているので、接合面積が狭い。よって、ダンパープレート４４の弾性変形の拘束が低減されている（弾性変形を余り妨げていない）。また、整流板３００はダンパープレート４４と接合されているので、ダンパープレート４４が必要以上に低剛性となって緩み、かえってダンパー効果（圧力波を減衰させる効果）が低下してまうことがない。
【００９１】
つぎに、第四の実施形態のインクプール室４３８について説明する。なお、第一から第三の実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００９２】
図１３に示すように、整流板４００の上端４００Ｄは、ダンパープレート４４と接合されている。また、整流板４００は、ダンパープレート４４と同様の樹脂膜製からなり、内部に空洞４０２を備えるエアダンパーとなっている。
【００９３】
つぎに、本実施形態の作用について説明する。
【００９４】
インクプール室４３８に圧力波が伝播すると、図１３（Ｂ）に示すように、ダンパープレート４４が撓んで弾性変形するともに、整流板４００の空洞４０２が圧縮され整流板４００も弾性変形し、圧力波を減衰する。なお、整流板４００は、幅方向（横方向）のみでなく上下方向にも弾性変形（延び縮み）する。（図中の矢印を参照）。よって、ダンパープレート４４の弾性変形も拘束されにくい。
【００９５】
また、ダンパープレート４４と複数の各整流板４００とが一体となって弾性変形しているので、各々個別に弾性変形する場合より、圧力波を緩和する効果が大きい。例えば、真中の領域Ｘにのみ圧力波が伝播しても、ダンパープレート４４と各整流板４００とが一体となって弾性変形し、圧力波を緩和する。
【００９６】
つぎに、第五の実施形態のインクプール室５３８について説明する。なお、第一から第四の実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００９７】
図１４に示すように、端から、整流板２００・整流板２００・支持整流板５００の順番（整流板２００が連続して二つ配設された後、支持整流板５００が配設）で並んでいる。整流板２００は、第二の実形態と同様に上端２００Ｄとダンパープレート４４との間に隙間２００Ｅが形成されている。支持整流板５００の上端５００Ｄは、ダンパープレート４４と接合し、ダンパープレート４４の弾性変形を拘束している。
【００９８】
つぎに、本実施形態の作用について説明する。
【００９９】
整流板２００とダンパープレート４４とは接合されておらず、隙間２００Ｅがあいているので、ダンパープレート４４の弾性変形を妨げない。また、支持整流板５００はダンパープレート４４の弾性変形を拘束しているので、ダンパープレート４４が必要以上に低剛性となって緩み、ダンパー効果（圧力波を減衰させる効果）が低下するのを防止している。
【０１００】
なお、本実施実施形態では、整流板２００は、第二の実形態の整流板２００と同様であったが、第一、第三、第四、第五の整流板１００，３００，４００を適用しても良い。
【０１０１】
尚、本発明は上記の実施形態に限定されない。
【０１０２】
例えば、上記実施形態では、整流板はいずれも供給口６７の各列に沿って配設されていたが、必ずしも各列に沿って配設されていなくても良い。
【０１０３】
例えば、整流板は、各行に沿って配設されていても良い。
【０１０４】
あるいは、一列や二列おき（あるいは一行おきや二行おき）に整流板を配設しても良い。なお、このような構成とすると、より音響容量が増加するので、クロストークがより抑制される。
【０１０５】
更に、整流板の形状も単純な板形状でなく、渦巻き状などの任意の形状であっても良い。
【０１０６】
また、ダンパープレート４４の弾性変形の拘束を低減する拘束低減手段も第三及び第四の実施形態に限定されない。例えば、整流板の上端はダンパープレート４４と接合されているが、整流板の一部、あるいは全部が弾性変形する材料、例えば、弾性ゴムやバネなどで構成することで、ダンパープレート４４の弾性変形の拘束を低減しても良い。
【０１０７】
また、例えば、上記実施形態では、図１０（Ｂ）に示すように、単純にダンパープレート４４が撓んで弾性変形することで圧力波を緩和したが、その他の形態のダンパーであっても良い。例えば、第三の実施形態の整流板４００のような、内部に空洞を備えるエアダンパーであっても良い。
【０１０８】
また、上記実施形態のインクジェット記録装置１０では、主走査機構１６と副走査機構１８を有するＰａｒｔｉａｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）の例で説明したが、本発明におけるインクジェット記録は、これに限定されず、紙幅対応のいわゆるＦｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ）であってもよい。
【０１０９】
また、その他、上記実施例のインクジェット記録装置１０では、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ユニット３０がそれぞれキャリッジ１２に搭載され、それら各色のインクジェット記録ヘッド３２から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が記録紙Ｐに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、記録紙Ｐ上への文字や画像の記録に限定されるものではない。
【０１１０】
すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、工業的に用いられる液滴噴射装置全般に対して、本発明に係るインクジェット記録ヘッド３２及びインクジェット記録装置１０を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】インクジェット記録装置を示す概略斜視図である。
【図２】キャリッジに搭載されたインクジェット記録ユニットを示す概略斜視図である。
【図３】インクジェット記録ヘッドの構成を示す概略平面図である。
【図４】図３のＸ−Ｘ線概略断面図である。
【図５】インクジェット記録ヘッドとして切断される前の天板を示す概略平面図である。
【図６】駆動ＩＣのバンプを示す概略平面図である。
【図７】回復動作を説明する説明図である。
【図８】インクプール室を模式的に示す分解斜視図である。
【図９】インクプール室を模式的に示し、インクの流れを説明する平面図である。
【図１０】第一の実施形態のインクプール室を模式的に示し、（Ａ）はダンパープレートが撓んでいない状態を示し、（Ｂ）はダンパープレートが撓んだ状態を示す図である。
【図１１】第二の実施形態のインクプール室を模式的に示す図である。
【図１２】第三の実施形態のインクプール室を模式的に示す図である。
【図１３】第四の実施形態のインクプール室を模式的に示し、（Ａ）はダンパープレートと整流板が変形していない状態を示し、（Ｂ）はダンパープレートと整流板が変形した状態を示す図である。
【図１４】第５の実施形態のインクプール室を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１０      インクジェット記録装置
３２      インクジェット記録ヘッド
３６      インク注入ポート（注入口）
３８      インクプール室
４４      ダンパープレート（天面）
４６      圧電素子
４８      振動板
５０      圧力室
５６      ノズル
６０      駆動ＩＣ
６６      インク供給路
６７      供給口
６８      インク供給路
７０      圧電素子基板
８６      金属配線
９０      金属配線
９９      メンテナンスステーション
１００      整流板
１０２      底面
２００      整流板
２００      整流板
３００      整流板
４００      整流板
５００      支持整流板
Ｑ      インク
【図１】
2006212781.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2006212781.tif 000006
【図５】
2006212781.tif 000007
【図６】
2006212781.tif 000008
【図７】
2006212781.tif 000009
【図８】
2006212781.tif 000010
【図９】
2006212781.tif 000011
【図１０】
2006212781.tif 000012
【図１１】
2006212781.tif 000013
【図１２】
2006212781.tif 000014
【図１３】
2006212781.tif 000015
【図１４】
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