(57)【要約】【課題】  カラーフィルタ基板側あるいはＴＦＴ基板側の何れの面を光照射部に向けて配置しても、液晶パネルの貼り合せをできるようにすること。【解決手段】  カラーフィルタ基板側から光を照射する場合は、ピン５により液晶パネルを支持し、ピン移動機構７によりピン５移動させ、光反射面であるワークステージ２表面と液晶パネル８の間隔を、光反射面からの反射光が、ＢＭ下のシール剤に照射される値に設定する。そして、光照射部１から液晶パネル８に光を照射し、光反射面からの反射光で液晶パネルのブラックマトリックス下のシール剤を硬化する。また、ＴＦＴ基板側から光を照射する場合には、マスクをマスクステージ３に置き、ワークステージ移動機構２により、マスクと液晶パネル８の間隔を、両者が接触せず、また光の遮光部への回り込みも少ない値に設定し、マスクを介して光照射部１から液晶パネル８に光を照射する。【選択図】          図１
2006030543.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板の間に、光硬化型シール剤と液晶を挟み込んで一体形状とした液晶パネルに対し、一方の基板側から光を照射し、上記光硬化型シール剤を硬化させ、当該２枚の基板を貼り合せる、液晶パネルの貼り合せ方法において、
光照射部と、表面が光反射面であり液晶パネルを平面状に保持するワークステージと、該ワークステージとは独立して移動する液晶パネルを支持する支持手段とを設け、
液晶パネルのカラーフィルタ基板側から光を照射する際には、上記液晶パネルを、上記支持手段により支持して、上記ステージの光反射面に対し、あらかじめ設定された距離だけ離間させて光照射を行ない、
ＴＦＴ基板側から光を照射する際には、上記光照射部と上記液晶パネルとの間に遮光マスクを設け、上記液晶パネルを、上記ワークステージにより保持して、上記遮光マスクに対し、液晶パネルをあらかじめ設定された距離だけ離間させて光照射を行なう
ことを特徴とする液晶パネルの貼り合せ方法。
【請求項２】
カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板の間に、光硬化型シール剤と液晶を挟み込んで一体形状とした液晶パネルに対し、一方の基板側から光を照射し、上記光硬化型シール剤を硬化させ、当該２枚の基板を貼り合せる液晶パネルの貼り合せ装置であって、
光を照射する光照射部と、
液晶パネルの不所望の部分には、光が照射されないように、上記光照射部からの光を遮光する遮光マスクを保持するマスクステージと、
表面が光反射面であり、液晶パネルを平面状に保持するワークステージと、
上記ワークステージを上記光照射部の方向に移動させるワークステージ移動機構と、
上記液晶パネルを支持する支持手段と、
上記支持手段を上記ワークステージとは独立して移動させ、上記液晶パネルを上記光照射部の方向に移動させる支持手段移動機構と、
上記支持手段移動機構を制御して、液晶パネルを、液晶パネル受け渡し位置及びワークステージ載置位置以外の設定された位置に位置決めする位置決め機構を備えている
ことを特徴とする液晶パネルの貼り合せ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの組立工程において、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板を光硬化型のシール剤で貼り合せる、液晶パネルの貼り合せ方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶画面は、液晶パネルとそれを制御するドライバ、および液晶パネルを裏面から照明するバックライト等から構成されている。液晶パネルは、液晶を封入し、それに印加する電圧を制御することにより、バックライトからの光を透過させたり遮光したりして画面を表示する。
図３は、上記した液晶パネル（カラー液晶パネル）の一例を示す図である。１０１はカラーフィルタ基板、１０２はＴＦＴ基板、１０３はカラーフィルタ、１０４はブラックマトリックス、１０６は配向膜、１０７は液晶、１０８はＴＦＴ素子（薄膜トランジスタ）、１０９はシール剤（接着剤）である。同図は、理解を容易にするため、縦方向を横方向に比べ極端に拡大している。
通常、液晶パネルは、カラーフィルタ基板１０１とＴＦＴ基板１０２からなる２枚の光透過性基板（以下はガラス基板で説明するが透明な樹脂基板の場合もある）から構成されている。カラーフィルタ基板１０１には、ブラックマトリックスと呼ばれる遮光膜１０４（以下ＢＭと略す）や、カラーフィルタ１０３、配向膜１０６、透明電極１０５等が形成されている。
ＴＦＴ基板１０２には、液晶を駆動するための駆動素子、例えばＴＦＴ素子１０８や、透明導電膜で形成された液晶駆動電極１０５、およびそれらをつなぐ配線が形成されている。
液晶パネルにおいて、画像を見る側（表側）がカラーフィルタ基板１０１であり、反対側（裏側）がＴＦＴ基板１０２となる。
ＢＭ１０４は、例えばクロム蒸着膜や黒色樹脂等で形成されており、画像の表示に関係のない部分（液晶以外の部分）、例えばＴＦＴ素子１０８や配線の部分から、バックライトからの光が漏れて画像を乱さないように、目隠しの役割を果たしている。
【０００３】
上記のような液晶パネルの製造工程において、滴下工法（Ｏｎｅ  Ｄｒｏｐ  Ｆｉｌｌ略してＯＤＦという）と呼ばれる製造方法が採用されるようになってきた。滴下工法については、例えば特許文献１に記載されている。
以下、滴下工法について簡単に説明する。
（１）２枚のガラス基板を別々に形成する。即ち、一方の基板にはＴＦＴ素子や液晶駆動電極を形成し、他方の基板には、ＢＭやカラーフィルタを形成する。
（２）一方のガラス基板上に、光硬化型接着剤（以下、シール剤ともいう）を用いて囲み（以下画郭と呼ぶ。この画郭の部分がいわゆる液晶画面となる）を複数形成する。
（３）液晶が上記画郭の中に滴下され、その中にたまる。シール剤の幅は１〜１．５ｍｍ程度である。
（４）その上に、他方のガラス基板を載せ、ガラス基板越しにシール剤に対し光を照射する。現在は、光硬化型樹脂として主に３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲に感度を有する紫外線硬化型のシール剤が、一般的に使用されている。
（５）光源としては、紫外線硬化型シール剤の感度に対応した３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲の紫外線を効率よく放射するとともに、パネル基板の大型化に対応しやすい、棒状の高圧水銀ランプやメタルハライドランプを使用する。パネル基板の幅に対応する発光長を有する上記棒状ランプを、パネル基板の長さに対応する本数分並べて配置する。そして、パネル基板全体に対して一括して照射を行なう。
（６）光源からの光によりシール剤が硬化し、２枚の基板が貼り合わされる（接着される）。シール剤は液晶の封止と、２枚の基板の接着を兼ねる。また、この時、２枚のガラス基板の間に、例えばスペーサと呼ばれる球状の微粒子を噴霧して、液晶を挟み込むための間隔を確保する。
（７）接着後、画郭ごとに基板を分割（切断）し、パソコンやテレビに表示画面として組み込まれる。
【０００４】
図４に貼り合された液晶パネルを示す。２枚のガラス基板の間にシール剤をはさんで形成した液晶パネル８には、複数（本図では４面）の画郭が形成されている。そして各画郭を囲むようにシール剤が塗布され、該シール剤にかぶさるようにＢＭ１０４が形成される。なお、同図では、複雑になるのを避けるため、ＢＭ１０４は、シール剤上に形成したもののみ示している。
上記したように、シール剤を硬化させるための光照射は、ガラス基板越しに行なうが、カラーフィルタ側から行なうか、ＴＦＴ基板側から行なうかは、一長一短があり、製造プロセスの条件等により選択される。
現在は紫外線硬化型のシール剤が使用され、したがって、光源からは紫外線を含む光が照射される。ところが、液晶は紫外線が照射により変質や特性の変化が生じる（以下、液晶のダメージと呼ぶ）ことがある。
したがって、２枚のガラス基板の間に挟み込まれている液晶に、シール剤を硬化させるための強い紫外線が液晶に照射されると、製品不良の原因となる場合がある。
【０００５】
カラーフィルタ基板側から光照射を行なう場合、カラーフィルタは、紫外線透過率が２％程度であるため、液晶に紫外線が照射されるのを防ぐマスクとして働く。したがって、液晶の部分を遮光するような、特別なマスクを別途準備する必要がなく、実際にも、遮光マスクなしで光照射を行なうことが多い。
しかし、シール剤は、図５のように、５００μｍ〜１ｍｍ程度の幅で、カラーフィルタ基板１０１に形成されているＢＭ１０４と一部重なって設けられており、カラーフィルタ基板１０１側からではＢＭ１０４と重なった部分のシール剤１０９には光があたらず、硬化できない部分が残る。そうなると、貼り合せ強度が不足すると同時に、硬化されなかったシール剤が、接している液晶内に溶け出し、液晶の変質や特性の変化を引き起こし、製品不良の原因となる場合がある。
そこで、このようにＢＭ１０４が形成されたカラーフィルタ基板１０１側から光照射して、液晶パネルの貼り合せを行なう場合、ＢＭ１０４と重なった部分のシール剤を硬化させるための工夫が必要である。
この問題を解決するための先行技術として、例えば特許文献２、特許文献３に記載のものが知られている。これら特許文献では、貼り合せを行なうパネルを挟んで光照射部と対向する位置に光反射部材を配置して、そこからの反射光を利用することが提案されている。
一方、ＴＦＴ基板１０２側から光照射を行なう場合、ＴＦＴ基板１０２側には、ＢＭ１０４やカラーフィルタ１０３のような遮光部分がないので、ＢＭ１０４と重なった部分のシール剤に光を照射して硬化させることはできる。しかし、液晶にも紫外線を含む光が照射されてしまうので、液晶部分に対応した遮光部を形成した遮光手段（マスク）を介して照射する必要がある。
【特許文献１】特開平９−７３０９６号公報
【特許文献２】特許第２８２８４０３号公報
【特許文献３】特開２００３−２０７７９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液晶パネルの貼り合せ装置としては、製造プロセスの自由度を確保するために、カラーフィルタ基板側を光照射部に向けて配置し、紫外線を含む光が照射されても、ＢＭと重なった部分のシール剤を硬化させることができるし、ＴＦＴ基板側を光照射部に向けて配置し、マスクを介して光照射を行ない、液晶に紫外線による悪影響を与えることなくシール剤を硬化させることもできる装置が望まれている。
しかしながら、そのためには、装置として、以下に説明するような機能を有する必要があり、今のところそのような機能を兼ね備えた貼り合せ装置はない。
（１）ＢＭが形成されたカラーフィルタ基板側から光照射して、液晶パネルの貼り合せを行なう場合。
前述したように、ＢＭと重なった部分のシール剤を硬化させるための工夫が必要である。この問題を解決するため前記特許文献２では、貼り合せる基板を透過した光が、パネルを挟んで光照射部と対向する位置に配置された光反射部材で反射され、該反射光が遮光部の反対側からシール剤に照射されることにより、ＢＭと重なった部分のシール剤を硬化させるようにしている。
また、特許文献３では、光照射部を傾け、液晶パネルに対して斜めに光を入射し、遮光部の影になる部分のシール剤を硬化させている。さらに、パネルを挟んで光照射部と対向する位置に配置された光反射部材からの反射光も利用している。
【０００７】
上記特許文献２，３に記載されるように、貼り合せを行なうパネルを挟んで、光照射部と対向する位置に配置された光反射部材からの反射光を利用すれば、ＢＭ下のシール剤を硬化させることができる。しかし、次のような問題がある。
図６に示すように、光反射部材により反射した光が、ＢＭ１０４下のシール剤に照射される時、光反射面と液晶パネル８との間隔が狭いと、反射光が液晶に近い奥のほうのシール剤にまで届かない（同図Ａの場合）。一方、間隔が広いと、反射光は幅１〜１．５ｍｍのシール剤を通り過ぎて液晶部分に光が照射されてしまう（同図Ｂの場合）。
したがって、光反射部材からの反射光がシール剤に対して適切に照射されるように、液晶パネル８を、光反射部材に対してある適切な間隔の範囲で保持する必要がある。そのため、光反射部材と、光反射部材と液晶パネル８の間隔を設定する間隔設定手段が必要になる。
【０００８】
（２）ＴＦＴ基板側から光照射して、液晶パネルの貼り合せを行なう場合。
この場合には、前述したように、液晶部分に紫外線を含む光が照射されないよう遮光部を設けた遮光手段（マスク）を介して照射する必要がある。遮光手段は、液晶の部分に対応する個所に遮光部が形成され、シール剤が塗布形成されている部分に対応する個所には開口部が形成されたマスクでも良いし、上記したようにカラーフィルタは紫外線を通しにくいので、カラーフィルタを利用したものでも良い。以下、このような遮光手段のことを、総称してマスクと呼ぶ。
ここで、光照射部の光源には、上記したように紫外線を含む光を放射する棒状ランプを使用する。棒状ランプからの光は発散光であり、斜めに入射する成分も多い。したがって、マスクと液晶パネルまでの間隔が広いと、マスクの開口部から斜めに入射した光が、遮光部の下に回り込み、光に含まれている紫外線が液晶に照射されてしまう。
これを防ぐためには、マスクと液晶パネルとの間隔を狭くすれば良く、経験的には５００μｍ程度に接近させる。
しかし、近年液晶パネル用のガラス基板はますます大型化し、１辺が１ｍ以上あるものも少なくない。このように大きくなると、自重によるたわみが生じるので、平面度の良いステージのような支持体（ワークステージ）で保持しないと、マスクと液晶パネルとの間隔を５００μｍといった狭い間隔に保持できない。
液晶パネルにたわみが生じると、マスクと液晶パネルとの間隔が一定でなくなり、間隔が広い個所では、紫外線が液晶の部分に回りこみ悪影響を与えたり、間隔が狭い場所では、場合によってはマスクとパネルが接触し、両者に傷がついたりすることがある。
【０００９】
本発明は、上述した事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、カラーフィルタ側から光を照射する場合は、光照射部とは反対側に設けた光反射面に対し、液晶パネルを所望の間隔に設定保持でき、また、ＴＦＴ基板側から光を照射する場合は、遮光マスクを用い、液晶パネルを平面に保持して、該マスクと液晶パネルを所望の間隔に設定保持できるようにすることで、一つの液晶パネルの貼り合せ装置により、カラーフィルタ基板側を光照射部に向けて配置し紫外線を含む光を照射しても、あるいはＴＦＴ基板側を光照射部に向けて配置し光照射しても２枚の基板に挟み込まれている液晶には紫外線が照射されずに、光硬化型接着剤を硬化させて、液晶パネルの貼り合せできるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、次のようにして前記課題を解決する。
液晶パネルの貼り合せ装置を、光照射部、遮光手段（マスク）を保持するマスクステージ、表面が光反射面であり液晶パネルを平面度の良く保持するワークステージ、ワークステージを光照射部の方向（Ｚ方向）に移動させるワークステージ移動機構、液晶パネルを支持する支持手段、この支持手段をワークステージとは別に独立して移動させ、液晶パネルを光照射部の方向（Ｚ方向）に移動させる支持手段移動機構、この支持手段移動機構を制御して、上記液晶パネルを、液晶パネル受け渡し位置及びワークステージ載置位置以外の設定された位置に位置決めする位置決め機構から構成する。
上記支持手段は、例えば、液晶パネルを複数箇所で支持する複数のピンから構成され、上記支持手段移動機構は、該複数のピンを移動させる。
液晶パネルを液晶パネル貼り合せ装置内へ搬入する際、液晶パネルは上記液晶パネル受け渡し位置で搬送装置から上記支持手段に受け渡され、また、貼り合せ処理の終わった液晶パネルは、上記液晶パネル受け渡し位置で上記支持手段から搬送装置に受け渡されて、液晶パネルの貼り合せ装置外に搬出される。また、上記支持手段がワークステージ載置位置にあるとき、液晶パネルは、上記ワークステージ上に平面状に保持される。
本発明に貼り合せ装置により、以下のようにして液晶パネルに光を照射して、液晶パネルを貼り合せる。
（１) カラーフィルタ基板側から光を照射する場合。
(a) 液晶パネルを、支持手段により、カラーフィルタ基板側が光照射部に向くように支持する。この場合、遮光手段（マスク）は使用しない。
(b) 支持手段移動機構により、支持手段を上下方向に移動させ、光反射面であるワークステージ表面と液晶パネルの間隔を、ワークステージからの反射光が、ＢＭ下のシール剤に照射される値に設定する。この値はあらかじめ実験で求めておく。
(c) 間隔設定後、光照射部から液晶パネルに光を照射する。
（２）ＴＦＴ基板側から光を照射する場合。
(a) 遮光手段（マスク）をマスクステージに置く。
(b) 液晶パネルを、ＴＦＴ基板側が光照射部に向くようにワークステージ上に載置する。ワークステージ移動機構により、遮光手段と液晶パネルの間隔を、両者が接触せず、また光の遮光部への回り込みも少ない値に設定する。この値はあらかじめ実験により求めておく。
(c) 間隔設定後、遮光手段を介して光照射部から液晶パネルに光を照射する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）液晶パネルの貼り合せに際し、カラーフィルタ側から光を照射する場合は、支持手段（ピン）に液晶パネルを保持し、ワークステージの光反射面との間隔を設定することにより、ワークステージの光反射面からの反射光でＢＭ下の光硬化型のシール剤を硬化することができる。
また、ＴＦＴ基板側から光を照射する場合は、ワークステージに液晶パネルを載置し、遮光手段との間隔を設定することで、シール剤のみに光を照射することができ、液晶に悪影響を与えることがない。
（２）光照射部、遮光手段（マスク）を保持するマスクステージ、表面が光反射面であり液晶パネルを平面度の良く保持するワークステージ、ワークステージを光照射部の方向（Ｚ方向）に移動させるワークステージ移動機構を備えた液晶パネルの貼り合せ装置において、液晶パネルを支持する支持手段と、この支持手段をワークステージとは別に独立して移動させ、液晶パネルを光照射部の方向（Ｚ方向）に移動させる支持手段移動機構、この支持手段移動機構を制御して、液晶パネルを、液晶パネル受け渡し位置と、ワークステージ載置位置との間の設定された位置に位置決めする位置決め機構から構成することにより、カラーフィルタ側から光を照射する場合は、上記支持手段により、液晶パネルとワークステージの光反射面との間隔を所望の値に設定することができ、ワークステージの光反射面からの反射光でＢＭ下の光硬化型のシール剤を硬化させることができる。
また、ＴＦＴ基板側から光を照射する場合は、遮光手段を上記マスクステージに載置するとともに、ワークステージに液晶パネルを載置し、液晶パネルと遮光手段との間隔を設定することにより、液晶に悪影響を与えることなく、シール剤のみに光を照射することができる。
すなわち、一つの液晶パネルの貼り合せ装置により、カラーフィルタ基板側を光照射部に向けて配置しても、あるいはＴＦＴ基板側を光照射部に向けて配置しても、液晶パネルの光硬化型接着剤を硬化させて、液晶パネルの貼り合せをすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１に、本発明の実施例の液晶パネルの貼り合せ装置の概略構成図を示す。なお、同図は、棒状ランプの長手方向に直交する方向での断面図であり、後述するように、カラーフィルタ基板側から光を照射する場合を示している。
図１において、光照射部１は、紫外線を含む光を放射する複数のランプ１ａと、ランプ１ａからの光をワークステージ２側に反射するミラー１ｂから構成されている。本実施例では、ランプ１ａは棒状の高圧水銀ランプ、またはメタルハライドランプを使用している。棒状ランプ１ａは、液晶パネルの全面を一括して照射できるように、液晶パネル８（以下ワークともいう）の幅に対応した長さの棒状のランプ１ａを、ワーク８の長さに対応した本数だけ並べる。
遮光手段であるマスクを保持するマスクステージ３は、光照射部１の光出射側に設けられ、液晶パネル８の不所望の部分に紫外線が照射されないよう遮光部を形成したマスクを保持する。なお、図１においては、マスクステージ３にマスクは取り付けられていない。また、マスクを保持するための真空吸着機構も省略している。
【００１３】
ワークステージ２は、光に含まれる紫外線が効率良く反射されるように、表面が電解研磨または化学研磨により光輝仕上げを行なったアルミ、もしくは白アルマイト処理したものを用いる。白アルマイト処理の場合、反射光は散乱光成分が多くなる。
また、ワークステージ２の表面は、液晶パネル８を載置した時、平面度良く保持できるように、高い平面精度で仕上げられている。また、ワークステージ２には、後述する支持手段であるピン５が貫通する貫通孔２ａが、ピン５の数に応じて設けられている。また、載置した液晶パネル８を保持固定するために、真空吸着孔２ｂまたは真空吸着溝も設けられている。
ワークステージ２には、ワークステージ移動機構４が取り付けられている。ワークステージ移動機構４は、装置制御部１０に設けられたワークステージ制御部１０ａからの信号に基づき、ワークステージ２全体を、光照射部１に対して接近または離間する方向（Ｚ方向、図１における上下方向）に移動させる。
ワークステージ移動機構４は、例えばステッピングモータとボールねじの組み合せであり、ワークステージ制御部１０ａからの信号に基づき、任意の位置で停止させ、その位置に固定することができる。
【００１４】
ワークステージ２とは別に、液晶パネル８を支持する支持手段を設ける。支持手段は、ワークステージ２を貫通する棒状のピン５であり、液晶パネル８をバランスよく支持できるように複数個所配置する。また、支持した液晶パネル８を保持固定するために、各ピン５の先端には真空吸着孔５ａも設けられている。
上記の複数のピン５は、全て一つの台座６に固定され、該台座６には、支持手段移動機構であるピン移動機構７が取り付けられている。ピン移動機構７は、装置制御部１０に設けられたピン制御部１０ｂからの信号に基づき、台座６を移動させることにより、複数のピン５を、同時に光照射部１に対して接近または離間する方向（Ｚ方向）に移動させる。ピン５は、上記したワークステージの貫通孔を介して、Ｚ方向に移動する。
なお、ピン移動機構７は、位置制御が可能な例えばサーボモータを使用しており、ピン制御部１０ｂからの信号により、ピン５のワークステージ２の表面からの高さを制御することができる。これにより、ピン５に保持されている液晶パネル８と、ワークステージ２の光反射面との間隔を、あらかじめ設定した値に設定することができる。
通常、ピン移動機構７によりピン５を最上点に上昇させた位置で、液晶パネルが不図示の搬送装置からピン５に、またはピン５から搬送装置に受け渡される。したがって、この位置は、受け渡し位置と呼ばれる。一方、ピン５を最下点に下降させる時、液晶パネルがピン５からワークステージ２に載置されるので、この位置は、ワークステージ載置位置と呼ばれる。
なお、ピン５を最下点にまで下降させた時、ピン５の上端が、ワークステージ２の表面から突出しない位置にまで下降できることが必須である。
ワークステージ移動機構４とピン移動機構７は、装置制御部１０に設けられたワークステージ制御部１０ａとピン制御部１０ｂにより、独立して制御可能である。即ち、ワークステージのＺ方向の移動とピンのＺ方向の移動とは、別々に制御することができる。
【００１５】
次に本実施例の液晶パネルの貼り合せ装置による液晶パネルの貼り合せ処理について図１、図２により説明する。
（１）カラーフィルタ基板側から光を照射する場合。
図１において、貼り合せを行なう液晶パネル８の、画郭（シール剤による囲み）の中には液晶が封じられている。前記したように、カラーフィルタ基板１０１にはブラックマトリックス（ＢＭ）１０４が形成され、シール剤１０９はブラックマトリックス（ＢＭ）１０４の下にも塗布されている。また、光照射部１は、ランプ１ａは点灯しているが、不図示のシャッタにより遮光されている。
(i) 貼り合せを行なう液晶パネル８が、カラーフィルタ基板１０１を光照射部１側に向けて、不図示の搬送装置により、貼り合せ装置内に搬入される。液晶パネル８は、搬送装置から、受渡し位置にまで上昇しているピン５に受け渡される。
(ii)ピン５の真空吸着孔５ａに真空が供給され、液晶パネル８はピン５上に吸着保持される。
【００１６】
(iii) ワークステージ２表面から液晶パネル８下面までの間隔が、あらかじめ設定された値になるように、ピン移動機構７によりピン５をＺ方向に移動させる。
光反射面であるワークステージ２表面から液晶パネル８下面までの間隔は、あらかじめ実験により最適な位置を求めておく。最適な間隔は、光照射部１から液晶パネル８までの距離や、画郭即ちＢＭの間隔などに依存する。いくつかの画郭パターンにより実験したところでは、液晶パネル８下面とワークステージ２の光反射面との間隔は２ｍｍ〜８ｍｍの範囲（望ましくは約４ｍｍ）が適しているとわかった。なお、この液晶パネル８に光を照射する位置は、おおむね液晶パネル受け渡し位置とワークステージ載置位置の間になる。  棒状のピン５による支持であるため、液晶パネル８は、自重により場所によっては１ｍｍ程度のたわみが生じることがある。しかし、液晶パネル８下面と光反射面との間隔は、それ程厳密な設定は必要なく、１ｍｍ程度の範囲であれば問題なく、ＢＭ１０４の下のシール剤に対し反射光を照射することができる。
(iv)ワークステージ２表面から液晶パネル８下面までの間隔が設定値になると、その位置で、光照射部１のシャッタを開け、紫外線を含む光を照射する。ＢＭ１０４からはみ出ているシール剤１０９は光照射部１からの直射光により硬化し、ＢＭ１０４下のシール剤１０９は、液晶パネル８を通過し、ワークステージ２の光反射面で反射した光が、ＴＦＴ基板側から照射されて硬化する。
カラーフィルタは画郭の内側に形成されており、前記したように遮光作用があるので、その下にある液晶には紫外線がほとんど届かない。したがって、液晶は紫外線による悪影響を受けない。
(v) 所定の光照射時間が経過すると、光照射部１のシャッタを閉じる。ピン５は受渡し位置まで移動し、真空吸着による保持を解除する。液晶パネル８がピン５から搬送装置に受け渡され、貼り合せ装置外に搬出される。
【００１７】
（２）ＴＦＴ基板側から光を照射する場合。
図２において、光照射部１の光出射側にあるマスクステージ３にマスク９をセットする。マスク９は、液晶パネルの所望しない部分、例えば画郭内の液晶やＴＦＴ回路素子に紫外線が照射されるのを防ぐために遮光部が形成されている。前記したようにマスク９はカラーフィルタを転用したものでも良い。
上記と同様、光照射部１は、ランプは点灯しているが、不図示のシャッタにより遮光されている。
(i) 貼り合せを行なう液晶パネル８が、ＴＦＴ基板１０２を光照射部１側に向けて、不図示の搬送装置により、貼り合せ装置内に搬入され、受渡し位置にまで上昇しているピン５に受け渡される。
(ii)ピン５には真空は供給されず、ピン移動機構７により、ピン５は下降し、液晶パネルはワークステージ２上に置かれる。ワークステージ２の真空吸着孔２ｂまたは真空吸着溝に真空が供給され、液晶パネル８がワークステージ２上に吸着保持される。
【００１８】
(iii) ワークステージ移動機構４により、ワークステージ２が上昇し、液晶パネル８の上面からマスク９下面までの間隔が、あらかじめ設定された値になるように移動する。
経験的にマスク９と液晶パネル８の間隔は、５００μｍ程度が適している。これ以上接近させると、マスク９のたわみもあるので、両者が接触し場合によっては傷つくことがある。また、その間隔のばらつきも面内で±２５０μｍ以内にすることが望ましい。それ以上のばらつき大きくなると、光の回りこみの影響により、液晶への紫外線の回り込み防止やシール剤への光照射精度に影響が出る。
なお、ピン５ではなく、ワークステージ２によって液晶パネル８を上昇させる理由は、平面精度の良いワークステージ２で保持することにより、マスク９と液晶パネル８を５００μｍのような狭い距離にまで接近させ、かつ該間隔をパネル全体にわたって±２５０μｍのような均一に高い精度で保持できるためである。
ピン５を使って液晶パネル８を支持するのでは、上記したように液晶パネル８の自重によるたわみをなくすることができず、場所によっては１ｍｍ程度のたわみが生じる。したがって、マスク９と液晶パネル８の間隔を全体にわたって均一に高い精度で保持できない。また、５００μｍのような狭い距離にまで両者が接触しないよう接近させることも難しくなる。
(iv)マスク９下面と液晶パネル８上面までの間隔が設定値になると、その位置で、光照射部１のシャッタを開け、マスク９を介して紫外線を含む光を照射する。シール剤にのみ光が照射され硬化する。
(v) 所定の光照射時間が経過すると、光照射部１のシャッタを閉じる。ワークステージ２が下降し、液晶パネル８の吸着保持が解除される。ピン５が液晶パネル８を載せて受渡し位置にまで上昇する。液晶パネル８は、ピン５から搬送装置に受け渡され、貼り合せ装置外に搬出される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施例の液晶パネルの貼り合せ装置の概略構成を示す図（カラーフィルタ基板側から光を照射する場合）を示す図である。
【図２】本発明の実施例の装置においてＴＦＴ基板側から光を照射する場合を説明する図である。
【図３】液晶パネル（カラー液晶パネル）の一例を示す図である。
【図４】貼り合された液晶パネルを示す図である。
【図５】シール剤とブラックマトリックス（ＢＭ）の重なりを説明する図である。
【図６】光反射部材により反射した光が、シール剤に照射される様子を示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
１      光照射部
１ａ    ランプ
１ｂ    ミラー
２      ワークステージ
２ａ    真空吸着孔
３      マスクステージ
４      ワークステージ移動機構
５      ピン（支持手段）
５ａ    真空吸着孔
６      台座
７      ピン移動機構
８      液晶パネル
９      マスク
１０    装置制御部
１０ａ  ワークステージ制御部
１０ｂ  ピン制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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