(57)【要約】【課題】  紫外線領域において色収差およびその他の収差が良好に補正された紫外線用ズームレンズを提供する。【解決手段】  物体側から順に、正の屈折力を有する第１群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３群Ｇ３と、正の屈折力を有する第４群Ｇ４とを備え、第２群Ｇ２と第３群Ｇ３とを光軸に沿って移動させることにより全系の焦点距離が変化する。第１群Ｇ１、第３群Ｇ３および第４群Ｇ４は全体として、複数の正レンズおよび複数の負レンズを含み、かつそれらにおける各正レンズの材料がすべて蛍石で構成されると共に、各負レンズの材料がすべて石英で構成されている。さらに、以下の条件式（１）を満足する。ｆ２は第２群Ｇ２の焦点距離、ｆＴは望遠端における全系の焦点距離を示す。  −１．５＜ｆ２／ｆＴ＜−０．６  ……（１）【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１群と、負の屈折力を有する第２群と、正の屈折力を有する第３群と、正の屈折力を有する第４群とを備え、
前記第２群と前記第３群とを光軸に沿って移動させることにより全系の焦点距離が変化するようになされ、
前記第１群、前記第３群および前記第４群は全体として、複数の正レンズおよび複数の負レンズを含み、かつ前記各正レンズの材料がすべて蛍石で構成されると共に、前記各負レンズの材料がすべて石英で構成され、
さらに以下の条件式（１）を満足する
ことを特徴とする紫外線用ズームレンズ。
−１．５＜ｆ２／ｆＴ＜−０．６  ……（１）
ただし、
ｆ２：第２群の焦点距離
ｆＴ：望遠端における全系の焦点距離
【請求項２】
前記第２群が物体側から順に、１枚以上の他の負レンズと１枚以上の他の正レンズとで構成され、かつそれらのレンズのうち、前記他の負レンズの少なくとも１枚の材料が蛍石で構成され、それ以外のレンズの材料が石英で構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の紫外線用ズームレンズ。
【請求項３】
前記第２群が物体側から順に、１枚以上の他の負レンズと１枚以上の他の正レンズとで構成され、かつそれらのレンズの材料がすべて石英で構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の紫外線用ズームレンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）や撮像管等の撮像素子を用いたデジタルカメラや、銀塩フィルムなどを用いたカメラに使用されるズームレンズに関し、特に、波長が２００ｎｍ以上程度の紫外線領域で使用される紫外線用ズームレンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線用の光学系の用途としては、例えば以下のものがある。
（１）キズ検査
紫外線は可視光に比べて物体表面での拡散が大きいという特性を利用し、工業製品の表面のキズ検査に利用されている。紫外線照明を製品に照射し、反射光を見ることで物体表面の微細なキズ・欠陥を観察できる。
（２）自然観察の用途
昆虫類の多くは、人間の目には見えない紫外線領域にも視覚を持っていると言われている。紫外線用の光学系を通して風景を撮影すると、可視域では見えなかった風景が観察できる。人間から見た風景と昆虫類の立場から見た風景との差異を知ることができ、昆虫類の生態等を調べるためにも役立つ。
（３）紫外光照明漏れのチェック
多くの昆虫は、３５０ｎｍ〜４００ｎｍ程度の紫外光に誘因されることが知られている。このため、食品加工工場等では虫の混入を防ぐため、照明から紫外光をカットしておくことが好ましい。そのような場合において、紫外光が適切にカットされているか、紫外光の漏れがないかどうかをチェックする必要があり、そのための光学系が必要とされている。
【０００３】
これらの用途の他にも、義歯などの人工物の観察や、植物の断層構造の観察を行う用途もある。特許文献１には、紫外線領域で使用可能な結像レンズに関する記載がある。この結像レンズは、固定焦点レンズとなっている。
【特許文献１】特開平９−３３８０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
紫外線用の光学系は上記したように種々の用途での市場がある。しかしながら、これまでは特許文献１に記載のような固定焦点レンズしか開発されておらず、紫外線用のズームレンズは存在していない。原因として、紫外線領域で使用できるレンズ材料が光透過率の問題から現状、石英（ＳｉＯ2）と蛍石（ＣａＦ2）の２種類のみに限られており、ズームレンズで色消しを行うのが困難であることが挙げられる。また、ペッツバール和の補正も困難である。また、特に蛍石はその結晶構造から、曲率半径の小さな面や凹面の研磨加工がし難く、製造性の点で形状が限定されてしまうという制約もある。このため、すべてのズーム域で色収差およびその他の収差の補正をする必要のあるズームレンズでは、紫外線領域での結像レンズがこれまで存在しなかった。
【０００５】
紫外線領域でのズームレンズが開発されれば、これまでレンズを交換しなければ観察できなかったものが１つのズームレンズで観察できるため、上記した種々の用途での使用の幅が広がる。また、連続的に倍率が変えられるので倍率調整が精密にでき、使用に適した倍率での観察ができる。このため、紫外線領域でのズームレンズの開発が望まれる。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、例えば２３０ｎｍ〜３８０ｎｍ程度の紫外線領域において色収差およびその他の収差が良好に補正された紫外線用ズームレンズを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による紫外線用ズームレンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１群と、負の屈折力を有する第２群と、正の屈折力を有する第３群と、正の屈折力を有する第４群とを備え、第２群と第３群とを光軸に沿って移動させることにより全系の焦点距離が変化するようになされている。そして、第１群、第３群および第４群が全体として、複数の正レンズおよび複数の負レンズを含み、かつ各正レンズの材料がすべて蛍石で構成されると共に、各負レンズの材料がすべて石英で構成され、さらに以下の条件式（１）を満足するものである。式中、ｆ２は第２群の焦点距離、ｆＴは望遠端における全系の焦点距離を示す。
−１．５＜ｆ２／ｆＴ＜−０．６  ……（１）
【０００８】
本発明による紫外線用ズームレンズでは、４群ズーム方式のレンズにおいて、負の屈折力を有する第２群と正の屈折力を有する第３群とを光軸に沿って移動させることにより全系の焦点距離が変化し、変倍が行われる。正の屈折力を有する第１群、第３群および第４群における各正レンズの材料をすべて蛍石にすると共に、各負レンズの材料をすべて石英で構成し、さらに、負の屈折力を有する第２群に関して条件式（１）を満たして第２群の屈折力を適切なもとすることで、すべてのズーム域において良好に収差補正が行われる。
そして、さらに、要求される仕様等に応じて次の好ましい条件を適宜採用して満足することで、収差性能をより良好なものとすることができる。
【０００９】
本発明による紫外線用ズームレンズにおいて、第２群は例えば、物体側から順に、１枚以上の他の負レンズと１枚以上の他の正レンズとで構成することができる。それらのレンズのうち、他の負レンズの少なくとも１枚の材料が蛍石で構成され、それ以外のレンズの材料が石英で構成されていることが好ましい。
ズームレンズにおいて各ズーム域で色収差を抑えるためには、各群で色収差が補正されていることが好ましい。第２群は負の屈折力を有しているので、正の屈折力を有する第１群、第３群および第４群とは逆に、負レンズに蛍石を用いることで色収差が良好に補正される。
【００１０】
第２群はまた、物体側から順に、１枚以上の他の負レンズと１枚以上の他の正レンズとで構成され、かつそれらのレンズの材料がすべて石英で構成されていても良い。
上記したように第２群では色収差の補正のために、負レンズに蛍石を用いることが好ましいが、一方で蛍石の結晶構造の性質上、凹面の研磨加工がし難い。このため、第２群をすべて石英で構成することで、製造面では有利となる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の紫外線用ズームレンズによれば、正の屈折力を有する第１群、第３群および第４群における各正レンズの材料をすべて蛍石にすると共に、各負レンズの材料をすべて石英で構成し、さらに、負の屈折力を有する第２群に関して条件式（１）を満たして第２群の屈折力を適切な値に設定したので、すべてのズーム域において良好に収差補正を行うことができる。これにより、例えば２３０ｎｍ〜３８０ｎｍ程度の紫外線領域において色収差およびその他の収差が良好に補正された紫外線用ズームレンズを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１（Ａ），（Ｂ）は、本発明の一実施の形態に係る紫外線用ズームレンズの第１の構成例を示している。この構成例は、後述の第１の数値実施例（図５，図７）のレンズ構成に対応している。特に図１（Ａ）は広角端でのレンズ配置を示し、図１（Ｂ）は望遠端でのレンズ配置を示している。図２は、図１（Ａ）の紫外線用ズームレンズを拡大して示したものである。また、図３（Ａ），（Ｂ）は、第２の構成例を示している。この構成例は、後述の第２の数値実施例（図６，図８）のレンズ構成に対応している。特に図３（Ａ）は広角端でのレンズ配置を示し、図３（Ｂ）は望遠端でのレンズ配置を示している。図４は、図３（Ａ）の紫外線用ズームレンズを拡大して示したものである。図２，図４において、符号Ｒｉは、最も物体側の構成要素の面を１番目として、像側（結像側）に向かうに従い順次増加するようにして符号を付したｉ番目の面の曲率半径を示す。符号Ｄｉは、ｉ番目の面とｉ＋１番目の面との光軸Ｚ１上の面間隔を示す。なお符号Ｄｉについては、変倍に伴って移動する部分の面間隔Ｄ６，Ｄ１２，Ｄ１６のみ符号を付す。なお、各構成例共に基本的な構成は同じなので、以下では図１（Ａ），（Ｂ），図２に示した第１の構成例を基本にして説明する。
【００１３】
この紫外線用ズームレンズは、撮像素子を用いたデジタルカメラや、銀塩フィルムなどを用いたカメラに搭載され、例えば、キズ検査や自然観察等の各種の用途に使用されるものである。この紫外線用ズームレンズは、光軸Ｚ１に沿って物体側から順に、正の屈折力を有する第１群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３群Ｇ３と、正の屈折力を有する第４群Ｇ４とを備えている。
【００１４】
この紫外線用ズームレンズの結像面（撮像面）Ｓｉｍｇには、例えば図示しない撮像素子が配置される。図示しないが、第４群Ｇ４と撮像面との間には、レンズを装着するカメラ側の構成に応じて、カバーガラスや各種光学フィルタなどの光学部材が配置されていても良い。
【００１５】
この紫外線用ズームレンズは、第２群Ｇ２と第３群Ｇ３とを変倍群として光軸Ｚ１に沿って移動させて相互の間隔を変化させることにより焦点距離を連続的に変化させ、変倍を行うようになっている。より具体的には、第２群Ｇ２を光軸上で移動させることにより変倍が行われ、それに伴う像面変動の補正が第３群Ｇ３を光軸上で移動させることにより行われるようになっている。第２群Ｇ２と第３群Ｇ３は、広角端から望遠端へと変倍させるに従い、図に実線で示した軌跡を描くように移動する。第１群Ｇ１および第４群Ｇ４は、変倍時には固定となっている。
【００１６】
この紫外線用ズームレンズにおいて、正の屈折力を有する群である第１群Ｇ１、第３群Ｇ３および第４群Ｇ４は全体として、複数の正レンズおよび複数の負レンズを含み、かつ各正レンズの材料がすべて蛍石で構成されると共に、各負レンズの材料がすべて石英で構成されている。
この紫外線用ズームレンズは、以下の条件式（１）を満足している。式中、ｆ２は第２群Ｇ２の焦点距離、ｆＴは望遠端における全系の焦点距離を示す。
−１．５＜ｆ２／ｆＴ＜−０．６  ……（１）
【００１７】
第１群Ｇ１は、例えば３枚のレンズＬ１１〜Ｌ１３により構成されている。レンズＬ１１〜Ｌ１３はそれぞれ、例えば負レンズ、正レンズおよび正レンズとなっている。レンズＬ１１は例えば両凹レンズとなっている。レンズＬ１２，Ｌ１３は例えば両凸レンズとなっている。
【００１８】
第２群Ｇ２は、物体側から順に、１枚以上の負レンズと１枚以上の正レンズとで構成されている。かつそれらのレンズのうち、負レンズの少なくとも１枚の材料が蛍石で構成され、それ以外のレンズの材料が石英で構成されている。第２群Ｇ２は、より具体的には例えば３枚のレンズＬ２１〜Ｌ２３により構成されている。レンズＬ２１，Ｌ２２は負レンズ、レンズＬ２３は正レンズとなっている。レンズＬ２１，Ｌ２２は例えば、両凹レンズとなっている。レンズＬ２３は例えば、両凸レンズとなっている。例えばレンズＬ２１，Ｌ２２の材料が蛍石、レンズＬ２３の材料が石英となっている。
このように第２群Ｇ２において少なくとも１枚の負レンズの材料を蛍石にした場合、式（１）に関してはさらに次の条件を満足することが望ましい。
−１．２＜ｆ２／ｆＴ＜−０．６  ……（１Ａ）
【００１９】
ただし、第２群Ｇ２のすべてのレンズの材料を石英で構成するようにしても良い。図３（Ａ），（Ｂ），図４に示した第２の構成例では、３枚のレンズＬ２１〜Ｌ２３の材料がすべて石英となっている。
このように第２群Ｇ２のすべてのレンズの材料を石英にした場合、式（１）に関してはさらに次の条件を満足することが望ましい。
−１．５＜ｆ２／ｆＴ＜−０．８  ……（１Ｂ）
【００２０】
第３群Ｇ３は、例えば２枚のレンズＬ３１，Ｌ３２により構成されている。レンズＬ３１は正レンズ、レンズＬ３２は負レンズとなっている。レンズＬ３１は例えば、両凸レンズとなっている。レンズＬ３２は例えば、像側に凹面を向けた負のメニスカスレンズとなっている。ただし、図３（Ａ），（Ｂ），図４に示した第２の構成例のように、レンズＬ３２を両凹レンズとしても良い。
【００２１】
第４群Ｇ４は、例えば７枚のレンズＬ４１〜Ｌ４７により構成されている。レンズＬ４１，Ｌ４３，Ｌ４４，Ｌ４６は負レンズ、レンズＬ４２，Ｌ４５，Ｌ４７は正レンズとなっている。
【００２２】
なお、本実施の形態に係る紫外線用ズームレンズの特徴部分は主に、各群におけるレンズ材料の選択、第２群Ｇ２のパワー配分の最適化にあり、各群におけるレンズ枚数やそのレンズ形状などは、図示したものに限らず他の構成をとり得る。
【００２３】
次に、以上のように構成された紫外線用ズームレンズの作用および効果を説明する。
【００２４】
この紫外線用ズームレンズでは、負の屈折力を有する第２群Ｇ２と正の屈折力を有する第３群Ｇ３とを光軸Ｚ１に沿って移動させて相互の間隔を変化させることにより、変倍が行われる。この場合において、正の屈折力を有する第１群Ｇ１、第３群Ｇ３および第４群Ｇ４における各正レンズの材料をすべて蛍石にすると共に、各負レンズの材料をすべて石英で構成し、さらに、負の屈折力を有する第２群Ｇ２に関して条件式（１）を満たして第２群Ｇ２の屈折力を適切なものとすることで、すべてのズーム域において良好に収差補正が行われる。また、第２群Ｇ２を物体側から順に、負・正のレンズで構成することで、レンズ径を小さくすることができる。
【００２５】
条件式（１）において、下限を越えると、第２群Ｇ２のパワーが弱くなり過ぎ、全長が延びるので好ましくない。また、第１群Ｇ１の径も大きくなるので好ましくない。上限を越えると、第２群Ｇ２のパワーが強くなり過ぎ、色収差を良好に補正できなくなるので好ましくない。
【００２６】
ここで、紫外線領域における色消しの条件について述べる。２５０ｎｍ〜３７０ｎｍの紫外域でのレンズのアッベ数νUVを以下の式で定義する。Ｎ250は波長２５０ｎｍでの屈折率、Ｎ310は波長３１０ｎｍでの屈折率、Ｎ370は波長３７０ｎｍでの屈折率を示す。なお、波長領域がこれと異なる場合であっても、その紫外線領域における最短波長での屈折率、最長波長での屈折率、および中間波長での屈折率を、この定義式に当てはめれば、同様にしてアッベ数を定義できる。
νUV＝（Ｎ310−１）／（Ｎ250−Ｎ370）
紫外線領域で使用可能なレンズ材料は現状、石英と蛍石の２種類だけである。上記定義式から石英および蛍石のレンズのアッベ数は、以下のようになる。
石英のアッベ数νUV＝１４．４
蛍石のアッベ数νUV＝１９．８
【００２７】
従って、可視域と同様、紫外域でも石英に比べて蛍石の方が分散が小さい。ズームレンズにおいて各ズーム域で色収差を抑えるためには、各群で色収差を補正する必要がある。このため、正の群（第１群Ｇ１、第３群Ｇ３および第４群Ｇ４）では、正レンズに低分散の材料（蛍石）、負レンズに高分散の材料（石英）を用いると共に、負の群（第２群Ｇ２）では逆に、正レンズに高分散の材料、負レンズに低分散の材料を用いることが好ましい。本実施の形態では、この色消しの条件に従い第１群Ｇ１、第３群Ｇ３および第４群Ｇ４における各正レンズの材料をすべて蛍石とし、各負レンズの材料をすべて石英としている。
【００２８】
図１（Ａ），（Ｂ），図２に示した第１の構成例では、負の群である第２群Ｇ２についても、上記した色消しの条件に従い、負レンズに蛍石を用いている。これにより色収差が良好に補正される。蛍石を用いていることで色収差が補正されるため、第２群Ｇ２の負のパワーを強めることができ、系の全長を短くすることができる。ただし、蛍石はその結晶構造から、曲率半径の小さな面や凹面の研磨加工がし難いという面もある。これらを考慮すると、式（１）に関しては次の条件を満足することがより好ましい。これにより、加工性を考慮しつつ第２群Ｇ２の負のパワーを適切にすることができる。
−１．２＜ｆ２／ｆＴ＜−０．６  ……（１Ａ）
【００２９】
このように色収差の補正のためには第２群Ｇ２の負レンズに蛍石を用いることが好ましい。一方、図３（Ａ），（Ｂ），図４に示した第２の構成例のように、第２群Ｇ２のすべてのレンズの材料を石英で構成するようにしても良い。この場合には、色収差の補正には不利になるものの、製造面では有利となる。またこの場合、第２群Ｇ２の負のパワーを強くしすぎると、色収差の補正が困難になる。これらを考慮すると、式（１）に関しては次の条件を満足することがより好ましい。これにより、第２群Ｇ２の負のパワーを比較的弱くして、色収差のバランスを取ることができる。
−１．５＜ｆ２／ｆＴ＜−０．８  ……（１Ｂ）
【００３０】
以上説明したように、本実施の形態に係る紫外線用ズームレンズによれば、すべてのズーム域において良好に収差補正を行うことができる。これにより、例えば２３０ｎｍ〜３８０ｎｍ程度の紫外線領域において色収差およびその他の収差が良好に補正された紫外線用ズームレンズを実現できる。この紫外線用ズームレンズにより、紫外線領域ではこれまでレンズを交換しなければ観察できなかったものが１つのズームレンズで観察できるため、紫外線領域における種々の用途での使用の幅が広がる。また、連続的に倍率が変えられるので倍率調整が精密にでき、紫外線領域における使用に適した倍率での観察ができる。
【実施例】
【００３１】
次に、本実施の形態に係る紫外線用ズームレンズの具体的な数値実施例について説明する。以下では、第１，第２の数値実施例（実施例１，２）をまとめて説明する。
【００３２】
図５，図７は、図１（Ａ），（Ｂ）および図２に示した紫外線用ズームレンズの構成に対応する具体的なレンズデータ（実施例１）を示している。図５には基本的なレンズデータを示し、図７にはその他のデータを示す。また、図６，図８は、図３（Ａ），（Ｂ）および図４に示した紫外線用ズームレンズの構成に対応する具体的なレンズデータ（実施例２）を示している。図６には基本的なレンズデータを示し、図８にはその他のデータを示す。
【００３３】
図５，図６に示したレンズデータにおける面番号Ｓｉの欄には、各実施例に係る紫外線用ズームレンズについて、最も物体側の構成要素の面を１番目として、像側に向かうに従い順次増加するようにして符号を付したｉ番目（ｉ＝１〜３０）の面の番号を示している。曲率半径Ｒｉの欄には、図２，図４において付した符号Ｒｉに対応させて、物体側からｉ番目の面の曲率半径の値を示す。面間隔Ｄｉの欄についても、同様に物体側からｉ番目の面Ｓｉとｉ＋１番目の面Ｓｉ＋１との光軸上の間隔を示す。曲率半径Ｒｉおよび面間隔Ｄｉの値の単位はミリメートル（ｍｍ）である。Ｎｊの欄には、物体側からｊ番目（ｊ＝１〜１５）のレンズ要素の波長３１０ｎｍに対する屈折率の値を示す。
【００３４】
また、各レンズの材料名も併記した。この紫外線用ズームレンズは蛍石（ＣａＦ2）と石英（ＳｉＯ2）のみで構成されている。なお上記した定義式によれば、紫外線領域における石英のアッベ数は１４．４、蛍石のアッベ数は１９．８である。実施例１，２共に、第１群Ｇ１、第３群Ｇ３および第４群Ｇ４における各正レンズの材料はすべて蛍石、各負レンズの材料はすべて石英となっている。第２群Ｇ２は、実施例１については、負レンズの材料が蛍石、正レンズの材料が石英となっているが、実施例２については第２群Ｇ２がすべて石英となっている。
【００３５】
各実施例に係る紫外線用ズームレンズは、変倍に伴って第２群Ｇ２および第３群Ｇ３が光軸上を移動するため、これらの各群の前後の面間隔Ｄ６，Ｄ１２，Ｄ１６の値は可変となっている。図７，図８には、これらの面間隔Ｄ６，Ｄ１２，Ｄ１６の変倍時のデータとして、広角端、および望遠端における値を示す。なお、第３群Ｇ３と第４群Ｇ４との間隔であるＤ１６の値は、中間域で最小の値を取るため、その値も併記した。図７，図８にはまた、広角端および望遠端での焦点距離ｆの値（ｍｍ）とＦナンバー（ＦＮＯ．）の値とについても示す。
【００３６】
図９には、上述の条件式（１）に関する値を、各実施例についてまとめたものを示す。図９から分かるように、各実施例の値が、条件式（１）の数値範囲内となっている。
【００３７】
図１０（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ、実施例１に係る紫外線用ズームレンズにおける広角端での球面収差、非点収差、およびディストーションを示している。図１１（Ａ）〜（Ｃ）は、望遠端における同様の各収差を示している。各収差図には、３１０ｎｍを基準波長とした収差を示すが、球面収差図には、波長２５０ｎｍ，波長３７０ｎｍについての収差も示す。非点収差図において、実線はサジタル方向、破線はタンジェンシャル方向の収差を示す。ＦＮＯ．はＦ値、ωは半画角を示す。同様に、実施例２についての諸収差を図１２（Ａ）〜（Ｃ）（広角端）、および図１３（Ａ）〜（Ｃ）（望遠端）に示す。
【００３８】
以上の各数値データおよび各収差図から分かるように、各実施例について、色収差およびその他の収差が良好に補正された紫外線用ズームレンズが実現できている。
【００３９】
なお、本発明は、上記実施の形態および各実施例に限定されず種々の変形実施が可能である。例えば、各レンズ成分の曲率半径、面間隔および屈折率の値などは、上記各数値実施例で示した値に限定されず、他の値をとり得る。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施の形態に係る紫外線用ズームレンズの第１の構成例を示すものであり、実施例１に対応するレンズ断面図である。
【図２】実施例１に係る紫外線用ズームレンズの詳細なレンズ断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る紫外線用ズームレンズの第２の構成例を示すものであり、実施例２に対応するレンズ断面図である。
【図４】実施例２に係る紫外線用ズームレンズの詳細なレンズ断面図である。
【図５】実施例１に係る紫外線用ズームレンズの基本的なレンズデータを示す図である。
【図６】実施例２に係る紫外線用ズームレンズの基本的なレンズデータを示す図である。
【図７】実施例１に係る紫外線用ズームレンズのその他のレンズデータを示す図である。
【図８】実施例２に係る紫外線用ズームレンズのその他のレンズデータを示す図である。
【図９】条件式に関する値を各実施例についてまとめて示した図である。
【図１０】実施例１に係る紫外線用ズームレンズの広角端における諸収差を示す収差図であり、（Ａ）は球面収差、（Ｂ）は非点収差、（Ｃ）はディストーションを示す。
【図１１】実施例２に係る紫外線用ズームレンズの望遠端における諸収差を示す収差図であり、（Ａ）は球面収差、（Ｂ）は非点収差、（Ｃ）はディストーションを示す。
【図１２】実施例２に係る紫外線用ズームレンズの広角端における諸収差を示す収差図であり、（Ａ）は球面収差、（Ｂ）は非点収差、（Ｃ）はディストーションを示す。
【図１３】実施例２に係る紫外線用ズームレンズの望遠端における諸収差を示す収差図であり、（Ａ）は球面収差、（Ｂ）は非点収差、（Ｃ）はディストーションを示す。
【符号の説明】
【００４１】
Ｇ１…第１群、Ｇ２…第２群、Ｇ３…第３群、Ｇ４…第４群、Ｒｉ…物体側から第ｉ番目のレンズ面の曲率半径、Ｄｉ…物体側から第ｉ番目と第ｉ＋１番目のレンズ面との面間隔、Ｚ１…光軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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