(57)【要約】【課題】部品が溶接領域に沿って溶接される、少なくとも二つの金属部品をレーザ溶接する方法を提供する。【解決手段】本発明は、部品１１が溶接領域１に沿って溶接される、少なくとも二つの金属部品１１をレーザ溶接する方法に関する。この方法は、連続的なレーザビーム４２およびパルス化されたレーザビーム３４が、溶接領域１上に同時に適用されることを特徴とする。本発明の方法では、パルス化されたレーザ３４の作用が、連続的なレーザ４２の作用に追加され、連続的なレーザ４２が、溶接領域１において安定した溶融浴を形成することを可能にし、パルス化されたレーザ３４が、その大きいピークエネルギーにより、エネルギーの貫通、したがって溶融浴の貫通を容易にして、より深い溶接を可能にする。本発明は、この方法を実行する装置にも関わる。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品（１１）が溶接領域（１）に沿って溶接される、少なくとも二つの金属部品（１１）をレーザ溶接する方法であって、連続的なレーザビーム（２５、４２、６２）およびパルス化されたレーザビーム（２７、３４、５４）が、溶接領域（１）上の同じ点に同時に適用され、連続的なレーザビーム（２５、４２、６２）が、安定した液状溶接浴を形成するように構成され、パルス化されたレーザビーム（２７、３４、５４）が、浴を材料の中に通させるように構成されることを特徴とする、方法。
【請求項２】
連続的なレーザビーム（２５、４２、６２）およびパルス化されたレーザビーム（２７、３４、５４）が、溶接領域（１）上の同じ点に焦点合わせされることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
連続的なレーザビーム（２５、４２、６２）およびパルス化されたレーザビーム（２７、３４、５４）が、溶接領域（１）上の部品（１１）において異なる深さに焦点合わせされる、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
連続的なレーザビーム（２５、４２、６２）およびパルス化されたレーザビーム（２７、３４、５４）が、ＹＡＧレーザビームである、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
連続的なレーザビームが、環状のビーム（２５）であり、該環状のビーム中に、円筒形のパルス化されたレーザビームが同軸に伝搬され、前記連続的なレーザビームおよびパルス化されたレーザビーム（２５、２７）が、集束レンズ（２８）によって溶接領域（１）に焦点合わせされる、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
連続的なレーザビーム（４２）およびパルス化されたレーザビーム（３４）が、溶接領域（１）に同じ集束レンズ（４０）で焦点合わせされる円筒形のビームである、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
連続的なレーザビーム（６２）が、集束レンズ（６４）によって焦点合わせされ、パルス化されたレーザビーム（３４）が、集束ハーフレンズ（６０）によって溶接領域（１）に焦点合わせされる、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
環状の連続的なレーザビーム（２５）を形成する装置（２９）と、円筒形のパルス化されたレーザビーム（２７）を通す穴（１５）が貫通された、環状の連続的なレーザビーム（２５）を送り返すミラー（１４）と、前記環状の連続的なレーザビームおよび円筒形のパルス化されたレーザビーム（２５、２７）を溶接領域（１）に焦点合わせするレンズ（２８）とを備える、請求項５に記載の方法を適用する装置。
【請求項９】
パルス化されたレーザビーム（３４）を平行にするレンズ（３３）と、連続的なレーザビーム（４２）を平行にするレンズ（４１）と、パルス化されたレーザビーム（３４）を送り返す第１のミラー（３６）および第２のミラー（３８）と、連続的なレーザビーム（４２）およびパルス化されたレーザビーム（３４）を、溶接領域（１）に焦点合わせするレンズ（４０）とを備える、請求項６に記載の方法を適用する装置。
【請求項１０】
パルス化されたレーザビーム（３４）を送り返す第１のミラー（３６）および連続的なレーザビーム（４２）を平行にするレンズ（４１）が、パルス化されたレーザビーム（３４）と連続的なレーザビーム（４２）との間の角を設定するよう調節可能である、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
パルス化されたレーザビーム（５４）を平行にするレンズ（５３）と、連続的なレーザビーム（６２）を平行にするレンズ（６１）と、パルス化されたレーザビーム（５４）を送り返す第１のミラー（５６）および第２のミラー（５８）と、溶接領域（１）に連続的なレーザビーム（６２）を焦点合わせするレンズ（６４）と、溶接領域（１）にパルス化されたレーザビーム（５４）を焦点合わせするハーフレンズ（６０）とを備える、請求項７に記載の方法を適用する装置。
【請求項１２】
パルス化されたレーザビーム（５４）を送り返す第１のミラー（５６）および連続的なレーザビーム（６２）を平行にするレンズ（６１）が、パルス化されたレーザビーム（５４）と連続的なレーザビーム（６２）との間の角を設定するように調節可能である、請求項１１に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも二つの金属部品をレーザ溶接する方法と、この方法を適用する関連する装置とに関わる。
【背景技術】
【０００２】
工業における多数の用途では、二つの金属部品を縁と縁とを接して溶接することを必要としている。例えば、アーク溶接、プラズマアーク溶接、電子ビーム溶接、およびレーザ溶接等の、多数の溶接技術がある。
【０００３】
特に、溶接の結果に対する制約が非常に多い航空分野では、溶接ビードの質に対して良好な保証を提供するレーザビーム溶接方法、または厚さがかなり厚い場合には電子ビーム溶接方法が、一般的に使用される。
【０００４】
二つの主なタイプのレーザが存在し、すなわちレーザビームの出力が連続的に放出されるか、連続的なパルスで放出されるかによって、いわゆる連続的レーザと、いわゆるパルス化されたレーザとである。一般的に、連続的レーザは溶接用途に用いられ、パルス化されたレーザは機械加工またはドリリング用途に用いられる。
【０００５】
航空基準により、約５ｍｍより厚い厚さで溶接される部品について、レーザでの利用可能な出力が不十分であるため、電子ビーム溶接方法が現在は使用されている。高出力の連続的なレーザを使用することができたとしても、その作用は、部品を劣化させ溶接を受け入れ難いものとする一方で、パルス化されたレーザは部品を溶接する代わりに部品を貫通する。したがって、電子ビーム溶接方法の使用が現在では必須である。
【０００６】
しかしながら、この場合、溶接される部品が複雑な形状であるとき、電子ビーム溶接装置は、溶接線を好適に追随するための十分な移動性を有さず、一方、より良い移動性を有するレーザビーム溶接装置は、報告されている通り、好適な溶接を提供するには強力でない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、これらの問題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このために、本発明は、部品が溶接領域に沿って溶接される、少なくとも二つの金属部品をレーザ溶接する方法に関し、連続的なレーザビームおよびパルス化されたレーザビームが、溶接領域上の同じ点に同時に適用され、連続的なレーザビームが、安定した液状溶接浴（ｌｉｑｕｉｄ  ｗｅｌｄｉｎｇ  ｂａｔｈ）を形成するように構成され、パルス化されたレーザビームが、浴を材料の中に通させるように構成されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の方法により、パルス化されたレーザの作用が、連続的なレーザの作用に追加され、連続的なレーザが、溶接領域において安定した溶融浴（ｍｏｌｔｅｎ  ｂａｔｈ）を形成することを可能にし、パルス化されたレーザが、その大きいピークエネルギーにより、エネルギーの貫通を容易にし、したがって溶融浴の貫通を容易にし、より深い溶接を可能にする。
【００１０】
本発明による方法は、多数の利点を有する。すなわち、タッピングモードにおいて、航空基準、溶接速度の増加、溶接ビードの幅の減少を満たす一方で、厚さが５ｍｍより厚い部品の溶接を提供し、それによってレーザ溶接装置の移動性により、部品の変形を制限し、溶接に関する気孔率を減少し、かつ溶接線に沿った複雑な形状の部品を溶接する。
【００１１】
本発明は、添付の図面を参照して、本発明の方法の好ましい実施形態の以下の説明、およびこの方法を適用する装置の以下の説明を用いてより良く理解されるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
一般的に、レーザは、共振器とエネルギー源とを備える。共振器は、誘導放出により光子を解放することができる原子、分子、またはイオンを含有するレーザ媒体を備え、共振器の端部には、互いに対向する二つのミラーが配置される。エネルギー源は、レーザ媒体の要素を励起し、誘導放出により両方のミラー間を往復する光子を放出する。一方のミラーは半透明であるため、レーザビームが透過可能である。任意には、共振器の半透明ミラーの下流側に増幅器が位置決めされる。レーザビームは、光学ファイバを介して出力される。
【００１３】
エネルギー源は、レーザ媒体に対して連続的なエネルギーを供給してもよく、その結果、連続的なレーザビームが放出される。エネルギー源は、別の方法でエネルギー放出をレーザ媒体に提供してもよく、その結果、パルス化されたレーザビーム、即ち、エネルギーがパルスに分散されるビームが放出される。この場合、ビームは、最大のエネルギーピークを有し、時間にわたって平均エネルギーを供給する。
【００１４】
本発明の方法の範囲内で使用されるレーザは、いわゆるＹＡＧレーザである。ＹＡＧレーザにおいて、レーザ媒体は、ネオジム（Ｎｄ）でドーピングされた、アルミニウムおよびイットリウムガーネット（ＹＡＧ）からなる。励起された粒子は、ネオジムイオンＮｄ３＋である。使用されるレーザは、１０６４ｎｍの波長のビームを放出する。この放出を可能にするファイバを用いると、例えば、電子ビーム溶接装置の移動性よりもこの装置の移動性をより大きくすることができ、複雑な形状の部品を溶接することを可能にする。
【００１５】
図１を参照すると、本発明による方法は、溶接領域に同時に適用される二つのレーザビームを用いて、二つの金属部品を縁と縁とを接して溶接するために使用される。このような方法の応用は、概略的に図１に示される。図１の断面は、溶接領域１に沿った溶接される二つの金属部品間の接合部に位置する。
【００１６】
溶接される厚さｈが５ｍｍに等しい領域Ａでは、連続的なＹＡＧレーザビームの適用が溶接に十分である。したがって、材料を融解し材料の溶接を可能にする前に、ビームは、図において右から左に、当業者によって従来決定された速度および出力で移動される。
【００１７】
領域Ｂ上の点Ｃからは、厚さｈよりも大きい厚さｈ’に対して溶接を実施することが望ましい。連続的なＹＡＧレーザビームの適用では、この溶接は不可能である。点Ｃから領域Ｂ全体にわたって、ピーク２によって図式化されたパルス化されたＹＡＧレーザビームが、連続的なＹＡＧレーザビームに追加される。これら両方のビームが、任意にはそれぞれの焦点距離を異なる設定にして、同じ点に同時に適用される。両方のビームは、１０６４ｎｍといった同じ波長を有する。領域Ｂ全体にわたって連続的なＹＡＧレーザビームによって適用される出力は、領域Ａに対する出力と同じである。
【００１８】
連続的なレーザビームを用いると、安定した液状溶融浴を得ることが可能であり、一方、パルス化されたレーザビームのエネルギーピークは、エネルギーを材料内、したがって浴から材料の内側に貫通することを可能にする一方で、流体浴の安定性を保持する。更に、溶融浴の固化後の閉じ込められた気泡の発生に関連して、溶接速度が増加されかつ気孔率の存在が減少される。
【００１９】
したがって、パルス化されたレーザビームは、浴が材料中に貫通することができるように、連続的なレーザビームによって形成される流体浴に対して作用する。浴内での攪拌は、パルス化されたレーザビームを追加することでより均一になる。最後に、同等の溶接について、溶接ビードの幅は、パルス化されたレーザビームを使用する場合の方が小さく、溶接される部品の変形を減少させる。
【００２０】
この方法により、一方の面とその対向する面との間のタッピングモード、即ち、溶接される部品の厚さ全体にわたって溶接が行われるモードにおいて、５ｍｍよりも大きい厚さに対して溶接を実施することが可能となる。
【００２１】
連続的なレーザビームとパルス化されたレーザビームとを同時に適用することにより二つの部品を溶接する方法は、様々な装置を用いて適用されることができ、その幾つかを例として説明する。
【００２２】
図２、図３、および図４において、溶接される部品１１が、水平方向の平坦な表面を有すると仮定する。したがって、垂直性および水平性の概念は、溶接される表面の向きに対して理解され、装置の向きは、溶接される表面に水平性がない場合には、したがって適合されることは明らかであろう。
【００２３】
図２は、溶接方法を適用する第１の装置１０を示す。この装置１０は、図示しない二つのレーザ源を備える。
【００２４】
第１のレーザ源は、パルス化されたＹＡＧレーザビームを放出するファイバ１２を出力部に有し、このファイバ１２は、溶接される部品１１の溶接領域１に垂直に配置され、部品１１の表面に対して全体的に垂直方向に方向付けられる。第２のレーザ源は、連続的なＹＡＧレーザビームを放出するファイバ１３を出力部に有し、このファイバ１３は、パルス化されたレーザのファイバ１２に対して垂直に方向付けられる。
【００２５】
円形の穴１５が貫通されたミラー１４は、パルス化されたレーザのファイバ１２と溶接される部品１１との間に配置される。ミラー１４は、このファイバ１２の軸１６に対して４５°に方向付けられる。ファイバ１２からのパルス化されたレーザビームは、コリメータレンズ１７を通過した後、円筒形のパルス化されたレーザビーム２７として伝搬し、穴１５を通ってミラー１４を通過する。したがって、ミラー１４は、円筒形のパルス化されたレーザビーム２７の伝搬に影響を及ぼさない。
【００２６】
ファイバ１３からの連続的なレーザビームは、コリメータレンズ１８を通過し、上流側表面２０が平面であり下流側表面２１が凸の円錐である、第１のプリズム１９を通過し、上流側表面２３が凹の円錐であり下流側表面２４が平面である、第２のプリズム２２を通る。環状の連続的なレーザビーム２５は、第２のプリズム２２の出力部で得られる。第１のプリズム１９および第２のプリズム２２は、環状の連続的なレーザビーム２５を形成する装置２９を構成する。
【００２７】
環状の連続的なレーザビーム２５は、パルス化されたレーザビームと連続的なレーザビームとを放出するファイバ１２、１３間の垂直性により、表面が環状のビーム２５の軸２６に対して４５°に方向付けられる、リターンミラー１４に向かって伝搬する。ミラー１４の穴１５は、環状のビーム２５が、貫通することなく穴１５の周りでミラー１４に当たり、したがって、円筒形のパルス化されたレーザビーム２７の軸１６において、入射の軸２６に対して垂直に反射されるように構成される。
【００２８】
したがって、溶接される部品１１に向かってミラー１４の下流側では、円筒形のパルス化されたレーザビーム２７は、環状の連続的なレーザビーム２５の中を環状の連続的なレーザビーム２５に対して同軸上に伝搬する。両方のビーム２５、２７は、集束レンズ２８を通過し、溶接領域１上の同じ場所で部品１１に当たるよう焦点合わせされ、それにより、望みに応じて異なる深さで焦点合わせされてもよく、されなくてもよい。同時に適用される連続的なレーザビーム２５およびパルス化されたレーザビーム２７を用いて、部品１１を溶接する方法を適用する。
【００２９】
図３は、溶接方法を適用する第２の装置３０を示す。この装置３０は、図示しない二つのレーザ源を備える。
【００３０】
第１のレーザ源は、パルス化されたＹＡＧレーザビームを放出するファイバ３１を出力部に有し、このファイバ３１は、垂直方向に配置されるが、溶接される部品１１の溶接領域１からシフトされ、溶接領域１における部品１１の表面に対して全体的に垂直方向に方向付けられる。第２のレーザ源は、連続的なＹＡＧレーザビームを放出するファイバ３２を出力部に有し、このファイバ３２は、パルス化されたレーザのファイバ３１に対して平行に方向付けられる。両方のファイバ３１、３２は、溶接領域１の表面に対して相対的に同じ高さに配置される。
【００３１】
ファイバ３１からのパルス化されたレーザビームは、コリメータレンズ３３を通過し、このコリメータレンズ３３から、図では垂直である軸３５に沿って「円筒形の」パルス化されたレーザビーム３４として現れる。円筒形のパルス化されたレーザビーム３４は、軸３５に対して４５°に方向付けられる第１のリターンミラー３６に向かって伝搬し、元の軸３５に対して垂直な第２の軸３７に沿って、第２の軸３７に対して４５°に方向付けられる第２のリターンミラー３８に向かって伝搬するよう反射される。円筒形のパルス化されたレーザビーム３４は、元の軸３５に対して平行な軸３９に沿って第２のミラー３８によって反射されるが、両方のミラー３６、３８間の水平方向の距離だけ元の軸３５に対して相対的にシフトされる。
【００３２】
第２のミラー３８によって反射される円筒形のパルス化されたレーザビーム３４は、次に集束レンズ４０に向かって伝搬する。
【００３３】
ファイバ３２からの連続的なレーザビームは、コリメータレンズ４１を通過し、コリメータレンズ４１から、図では垂直であり、第２のミラー３８によって反射されるパルス化されたレーザビームの伝搬の軸３９に対して平行な軸４３に沿って、「円筒形の」連続的なレーザビーム４２として現れる。この円筒形の連続的なレーザビーム４２は、次に、第２のミラー３８によって反射される円筒形のパルス化されたレーザビーム３４に対して平行に集束レンズ４０に向かって伝搬し、第２のミラー３８は、この伝搬と干渉しないように、円筒形の連続的なレーザビーム４２の伝搬の軸４３に対して相対的に十分にシフトされ配置される。
【００３４】
集束レンズ４０は、パルス化された円筒形のレーザビーム３４および連続的な円筒形のレーザビーム４２の伝搬の軸３９、４３に対して垂直に、即ち、図では水平に位置決めされる。ビーム３４、４２の両方は、異なる領域でレンズ４０を通る。装置は、望みに応じて同じ深さか異なる深さで、溶接領域１における溶接される部品１１上の同じ場所でビームが焦点合わせされるよう構成され、それにより、同時に適用される連続的なレーザビーム４２およびパルス化されたレーザビーム３４を用いて、部品１１を溶接する方法の適用が可能となる。
【００３５】
集束レンズからの出力におけるビーム３４、４２間の角を変えるために、第１のミラー３６は垂直方向に調節可能であり、連続的なレーザビームのコリメータレンズ４１は水平方向に調節可能である。
【００３６】
図４は、溶接方法を適用する第３の装置５０を示す。装置５０は、図示しない二つのレーザ源を備える。
【００３７】
第１のレーザ源は、パルス化されたＹＡＧレーザビームを放出するファイバ５１を出力部に有し、このファイバ５１は、垂直に配置されるが、溶接される部品１１の溶接領域１からシフトされ、溶接領域１における部品１１の表面に対して全体的に垂直方向に方向付けられる。第２のレーザ源は、連続的なＹＡＧレーザビームを放出するファイバ５２を出力部に有し、このファイバ５２は、パルス化されたレーザのファイバ５１に対して平行に方向付けられる。ファイバ５１、５２の両方は、溶接領域１の表面に対して相対的に同じ高さに配置される。
【００３８】
ファイバ５１からのパルス化されたレーザビームは、コリメータレンズ５３を通り、コリメータレンズ５３から、図では垂直である軸５５に沿って「円筒形の」パルス化されたレーザビーム５４として現れる。この円筒形のパルス化されたレーザビーム５４は、次に、軸５５に対して４５°に方向付けられる第１のリターンミラー５６に向かって伝搬し、したがって元の軸５５に対して垂直な第２の軸５７に沿って、第２の軸５７に対して４５°に方向付けられる第２のリターンミラー５８に向かって伝搬するよう反射される。円筒形のパルス化されたレーザビーム５４は、元の軸５５に対して平行な軸５９に沿って第２のミラー５８によって反射されるが、両方のミラー５６、５８間の水平方向の距離だけ元の軸５５に対してシフトされる。
【００３９】
第２のミラー５８から反射される円筒形のパルス化されたレーザビーム５４は、次に、集束ハーフレンズ６０に向かって伝搬し、その有用性は後で説明する。
【００４０】
ファイバ５２からの連続的なレーザビームは、コリメータレンズ６１を通り、コリメータレンズ６１から、図では垂直であり、第２のミラー５８によって反射されるパルス化されたレーザビームの伝搬の軸５９に対して平行な軸６３に沿って、「円筒形の」連続的なレーザビーム６２として現れる。円筒形の連続的なレーザビーム６２は、次に、集束レンズ６４に向かって伝搬する。
【００４１】
集束ハーフレンズ６０および集束レンズ６４は、パルス化された円筒形のレーザビーム５４および連続的な円筒形のレーザビーム６２の伝搬の軸５９、６３に対して垂直、即ち、図では水平に位置決めされる。それぞれのレンズは、望みに応じて同じ深さか異なる深さで、溶接領域１における溶接される部品１１上の同じ場所でビーム５４、６２が焦点合わせされるよう構成され、それにより、同時に適用される連続的なレーザビーム４２およびパルス化されたレーザビーム３４を用いて、部品１１を溶接する方法の適用が可能となる。
【００４２】
連続的なレーザビーム６２の集束レンズ６４は、垂直方向の高さに、ミラー５６、５８の上方に、したがって集束ハーフレンズ６０の上方に配置される。
【００４３】
パルス化されたレーザビーム５４の焦点合わせは、連続的なレーザビーム６２にパルス化されたレーザビーム５４を最大限近付けるために、ハーフレンズ６０を用いて実施される。したがって、ビーム５４、６２は、重なり合う傾向があるが、それぞれの伝播の独立性を維持し、ビーム５４、６２の両方は溶接領域１でだけ交わる。
【００４４】
集束ハーフレンズ６０および集束レンズ６４それぞれからの出力部における、パルス化されたレーザビーム５４と連続的なレーザビーム６２との間の角を変えるために、第１のミラー５６は垂直方向に調節可能であり、一方、連続的なレーザビームのコリメータレンズ６１は水平方向に調節可能である。
【００４５】
上述の三つの装置は、所望の溶接に応じてパルス化されたレーザと共に、またはパルス化されたレーザなしで動作してもよく、且つ、所望の適用に応じて、周囲のガス媒体、様々な出力、レーザビームの時間にわたる出力変動、焦点距離、偏光などの調節が当業者によって適合される。
【００４６】
例として、上述の装置では、パルス化されたレーザ２７、３４、５４は、１ｋＷの平均出力、３０ｋＷのピーク出力を有してもよく、連続的なレーザ２５、４２、６２は４ｋＷの出力を有してもよい。
【００４７】
更なる例として、図４の第３の装置に関して、集束ハーフレンズ６０は２００ｍｍの焦点距離を有し、集束レンズ６４は２５０ｍｍの焦点距離を有し、両方のレンズ６０、６４は高さに関して５０ｍｍだけ離間され、溶接領域１が集束レンズ６４から２５０ｍｍの場所に存在する。
【００４８】
本発明の方法は、ＹＡＧレーザの使用に関連して説明されたが、十分な出力を伝達することができれば、一方が連続モードで他方がパルス化されたモードの他のレーザが使用されてもよいことは明らかである。
【００４９】
更に、本発明の方法は、二つの金属部品の縁と縁とを接した溶接について説明したが、ある条件下では二つ以上の部品を溶接するために使用されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の方法によって部分的に実現される、溶接ビードの概略的断面図である。
【図２】本発明の方法を適用する第１の装置の概略的な側面図である。
【図３】本発明の方法を適用する第２の装置の概略的な側面図である。
【図４】本発明の方法を適用する第３の装置の概略的な側面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  溶接領域
２  ピーク
１０、３０、５０  装置
１１  溶接される部品
１２、１３、３１、３２、５１、５２  ファイバ
１４  ミラー
１５  穴
１６、３７、３９、４３、５５、５７、５９、６３  軸
１７、１８、３３、４１、５３、６１  コリメータレンズ
１９  第１のプリズム
２０、２３  上流側表面
２１、２４  下流側表面
２２  第２のプリズム
２５、２７、３４、４２、５４、６２  レーザビーム
２６  入射軸
２８、４０、６４  集束レンズ
２９  連続的なレーザビーム形成装置
３５  元の軸
３６、５６  第１のリターンミラー
３８、５８  第２のリターンミラー
６０  集束ハーフレンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【外国語明細書】
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