(57)【要約】【課題】  安定したコーティング液の供給を行えるコーティング液供給装置を提供する。【解決手段】  コーティング液供給装置１は、Ａ液７を貯蔵するＡ液タンク３、Ｂ液９を貯蔵するＢ液タンク５を有し、Ａ液タンク３とＢ液タンク５はミキサ１０に接続されている。  ミキサ１０は中間タンク１７に接続され、中間タンク１７はタンク２０を有している。中間タンク１７には脱気装置３５が接続され、脱気装置３５には１次フィルタ３９が接続されている。  Ａ液タンク３、Ｂ液タンク５、ミキサ１０、タンク２０、脱気装置３５、１次フィルタ３９には冷却パイプ３ａ、５ａ、１０ａ、１９ａ、３５ａ、３９ａがらせん状に巻きつけられており、コーティング液１９ａはこれらによって冷却される。【選択図】  図９
2006263653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の種類の溶液をそれぞれ保持する複数のタンクと、
前記複数の溶液を混合させて、コーティング液を生成する混合装置と、
前記混合装置からの前記コーティング液を一時的に保持し、精密塗布装置に前記コーティング液を供給する中間タンクと、
を具備し、
前記溶液を保持する複数のタンク、前記混合装置、前記中間タンクのうち、少なくとも１つには冷却手段が設けられていることを特徴とするコーティング液供給装置。
【請求項２】
前記中間タンクと、前記精密塗布装置の間に脱気装置、フィルタ、精密に定量できる輸液ポンプが設けられ、
前記脱気装置、前記フィルタ、前記輸液ポンプ、前記精密塗布装置の少なくとも１つには冷却手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載のコーティング液供給装置。
【請求項３】
前記冷却手段は、パイプ内に冷却水を流すものであり、
前記パイプは、各装置の周囲に設けられることを特徴とする請求項１または請求項２記載のコーティング液供給装置。
【請求項４】
前記複数の種類の溶液、前記コーティング液の流路は、２重管で構成され、内部または外部に冷却水が流れることを特徴とする請求項１または請求項２記載のコーティング液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コーティング液供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、細密化が進み、電子機器を構成する部品においても、精度の高い微細なパターンが求められている。
特に、携帯電話やノート型パーソナルコンピュータの普及により、これらの表示装置に求められるカラー液晶ディスプレイの精細さの向上には著しいものがある。
【０００３】
カラー液晶ディスプレイは、通常、赤、緑、青の三原色の着色パターンを備えたカラーフィルタを有しており、赤、緑、青のそれぞれの画素に対応する電極を流れる電流をＯＮ、ＯＦＦすることにより、液晶がシャッタとして作動し、それぞれの画素を光が通過してカラー表示を行う。
【０００４】
カラーフィルタの着色方法としては、基板を染色浴に浸漬する染色法や、顔料を分散した感光性樹脂層を形成して、これをパターニングする顔料分散法などがあるが、近年、インクジェット方式で着色インクを基板に吹きつける方法が提案されている。
【０００５】
インクジェット方式を用いる場合、基板表面には、あらかじめ親インク性と撥インク性のパターンを形成しておく必要がある（特許文献１）。
【０００６】
このような処理を行った基板表面にインクを吹きつけると、親インク面にのみインクが定着するため、所望の着色層のパターンを形成することができる。
【０００７】
ここで、基板に塗布するコーティング液は、２種類以上の溶液からなる場合がある。
このように、使用直前に混合しなくてはならない溶液としては、混合することで硬化、凝集、分解、その他特性劣化が起こるものが挙げられ、２液硬化型塗料や２液型接着剤がその代表例である。
前述の親インク性と撥インク性のパターンを形成するためのコーティング液には、混合することで特性が経時劣化するものがあり、これをミキサに接続された精密定量塗布装置、例えばダイコータやビードコータ、キャップコータ等を用いて基板上に塗布することがある（特許文献２）。
【特許文献１】特開平１１-３４４８０４号公報
【特許文献２】特開２００４-２６４４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前記コーティング液を精密定量塗布装置で塗布する際には、コーティング液を充填、流動中に、コーティング液が劣化してしまう問題があった。
【０００９】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的はコーティング液の流動中の劣化を抑制することで塗布時間を延長でき、安定なコーティング液の供給を行え、コーティング膜の品質を改善できるコーティング液供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記コーティング液は、冷却することで特性の経時劣化を遅らせることができるものがある。前述した目的を達成するために、本発明は、複数の種類の溶液をそれぞれ保持する複数のタンクと前記複数の種類の溶液を混合させて、コーティング液を生成する混合装置と、前記混合装置からの前記コーティング液を一時的に保持し、精密塗布装置にコーティング液を供給する中間タンクと、を具備し、前記溶液を保持する複数のタンク、前記混合装置、前記中間タンクのうち、少なくとも1つには冷却手段が設けられていることを特徴とするコーティング液供給装置である。
また、前記中間タンクと、前記精密塗布装置の間に脱気装置、フィルタ、精密に定量できる輸液ポンプが設けられ、前記脱気装置、前記フィルタ、前記輸液ポンプ、前記精密塗布装置の少なくとも1つには冷却手段が設けられていることを特徴とするコーティング液供給装置である。
前記冷却手段は、パイプ内に冷却水を流すものであり、前記パイプは各装置の周囲に設けられてもよい。
前記複数の種類の溶液、前記コーティング液の流路は、２重管で構成され、内部または外部に冷却水が流れてもよい。
【００１１】
本発明では、コーティング液供給装置に冷却手段を備えており、コーティング液を冷却手段によって冷却する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、コーティング液供給装置に冷却手段を備えているため、コーティング液供給装置に流動中のコーティング液の特性劣化を遅らせることができ、コーティング膜の品質が改善される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて本発明に好適な実施形態であるカラーフィルタの作製を詳細に説明する。
最初に、図１を用いてカラーフィルタ用の基板７１の着色工程の概略を説明する。
【００１４】
図１は、本実施形態に係るカラーフィルタ用の基板７１の着色工程を示すフローチャートであって、図２は処理前の基板７１を示す図であり、図３はコーティング層１９を形成するための基板７１へのコーティング液１９ａの塗布工程を示す図である。
また、図４は基板７１にコーティング液１９ａを塗布して形成したコーティング層１９の乾燥工程を示す図、図５は基板７１の水洗工程を示す図、図６は基板７１の露光工程を示す図であり、図７は基板７１へのインクの吹き付け工程を示す図である。
【００１５】
図２に示すように、カラーフィルタ用の基板７１は、ガラス基板７３上にブラックマトリクス７５ａ、７５ｂ、７５ｃ、７５ｄを配置した構造を有している。
【００１６】
まず、図１および図３に示すように、ダイコートノズル７７を用いて、コーティング液１９ａを基板７１上に塗布し、コーティング層１９を形成する（ステップ１０１）。
【００１７】
次に、図１および図４に示すように、乾燥機８１内で基板７１上に塗布したコーティング層１９を乾燥させる（ステップ１０２）。
次に、図１に示すように、基板７１上に塗布したコーティング層１９を焼成する（ステップ１０３）。
なお、この状態では、コーティング層１９の表面はインクを弾く撥インク性を有している。
【００１８】
次に、図１および図５に示すように、コーティング層１９を塗布した基板７１をシャワー８３で水洗する（ステップ１０４）。
水洗を行う目的は基板７１上に付着したゴミを除去し、後述する露光の際の、ゴミによる点欠陥を除去するためである。
【００１９】
次に、図１および図６に示すように、コーティング層１９を塗布した基板７１に紫外線８９を照射し、コーティング層１９の一部を露光する（ステップ１０５）。
この際、基板７１の裏面、即ちガラス基板７３側から紫外線８９を照射するため、遮光部となるブラックマトリクス７５ａ、７５ｂ、７５ｃ、７５ｄの上部に塗布されたコーティング層１９には紫外線８９が当たらず、この部分は撥インク性を有する撥インク部８７ａ、８７ｂ、８７ｃ、８７ｄのままである。
【００２０】
一方、ブラックマトリクス７５ａ、７５ｂ、７５ｃ、７５ｄが載置されていない部分に塗布されたコーティング層１９には紫外線８９が当たるため、この部分は紫外線によって感光されて物性が変化し、親インク性を有する親インク部８５ａ、８５ｂ、８５ｃとなる（ステップ１０６）。
【００２１】
次に、ノズル等を用い、カラーインク９１ａ、９１ｂ、９１ｃを基板７１の表面に吹き付け、着色層を形成する（ステップ１０７）。
この際、図７に示すように、撥インク部８７ａ、８７ｂ、８７ｃ、８７ｄは撥インク性を有するためカラーインク９１ａ、９１ｂ、９１ｃは濡れ広がらず、親インク部８５ａ、８５ｂ、８５ｃのみにインクは濡れ広がり、着色層が形成される。
【００２２】
このようにして、基板７１上にインクが塗布される。
【００２３】
次に、コーティング液１９ａの塗布工程で用いられるコーティング液供給装置１の構造について詳細に説明する。図８はコーティング液供給装置１の構造を示す図である。
【００２４】
図８に示すように混合装置４はＡ液タンク３を有し、Ａ液タンク３には流路６および流路１３ａを解してモーノモンプ１１ａが設けられている。
モーノモンプ１１ａには流路１３ｃを介してミキサ１０が設けられている。
【００２５】
一方、混合装置４はＢ液タンク５を有し、Ｂ液タンク５には流路８および流路１３ｂを解してモーノモンプ１１ｂが設けられており、モーノモンプ１１ｂには流路１３ｄを介してミキサ１０が設けられている、
【００２６】
Ａ液タンク３はＡ液７を貯蔵する容器であり、Ｂ液タンク５はＢ液９を貯蔵する容器である。
Ａ液７及びＢ液９の具体例については後述する。
【００２７】
モーノポンプ１１ａは、流路６を介してＡ液タンク３から供給されたＡ液７を、流路１３ａか流路１３ｃのいずれかに供給するポンプであり、モーノポンプ１１ｂは、流路８を介してＢ液タンク５から供給されたＢ液９を、流路１３ｂか流路１３ｄのいずれかに供給するポンプである。
ミキサ１０は、Ａ液７とＢ液９を混合して撹拌し、コーティング液１９ａを生成する。
【００２８】
即ち、モーノポンプ１１ａがＡ液７を流路１３ａ側に供給する場合、Ａ液７は矢印Ｃ方向に流れ、Ａ液タンク３とモーノポンプ１１ａの間を循環する。
同様に、モーノポンプ１１ｂがＢ液９を流路１３ｂ側に供給する場合、Ｂ液９は矢印Ｄ方向に流れ、Ｂ液タンク５とモーノポンプ１１ｂの間を循環する。
この場合、Ａ液７、Ｂ液９はミキサ１０に供給されない。
【００２９】
一方、モーノポンプ１１ａがＡ液７を流路１３ｃ側に供給する場合、Ａ液７は矢印Ｅ方向に流れ、ミキサ１０に供給される。
同様に、モーノポンプ１１ｂがＢ液９を流路１３ｄ側に供給する場合、Ｂ液９は矢印Ｆ方向に流れ、ミキサ１０に供給される。
【００３０】
なお、モーノポンプ１１ａ、モーノポンプ１１ｂ、ミキサ１０は、ポンプ制御装置６１に接続され、各機器の動作はポンプ制御装置６１によって制御されている。
【００３１】
一方、混合装置４のミキサ１０には、流路１５ａを介して中間タンク１７が接続されている。
【００３２】
中間タンク１７は、タンク２０を有し、タンク２０の底面には流路３３が接続されている。
なお、タンク２０の上面は流路１５ａに接続されており、流路１５ａには逆流防止弁３１が設けられている。
【００３３】
中間タンク１７にはエアノズル２７が設けられており、エアノズル２７にはコンプレッサ２９が接続されている。なお、エアノズル２７の先端はタンク２０の内部に設けられている。
【００３４】
タンク２０の内部にはレベルゲージ２１が設けられ、レベルゲージ２１は上限ゲージ２３と下限ゲージ２５を有している。
なお、レベルゲージ２１はポンプ制御装置６１に接続されている。
【００３５】
タンク２０はミキサ１０から供給されたコーティング液１９ａを一時的に貯蔵する。
コンプレッサ２９は、エアノズル２７を介してエアをタンク２０内（矢印Ｈ方向）に供給し、タンク２０内を与圧する。
【００３６】
レベルゲージ２１は、タンク２０内のコーティング液１９ａの液面高さが、下限ゲージ２５から上限ゲージ２３の範囲内にあるかどうかを監視する。
【００３７】
一方、流路３３の別の一端には脱気装置３５が設けられ、脱気装置３５には流路３７を介して１次フィルタ３９が設けられている。
１次フィルタ３９には、流路４１を介して３方向弁４３が設けられており、３方向弁４３には、流路４５を介してシリンジポンプ４９が設けられている。
また３方向弁４３には、流路４７を介して２次フィルタ５１が設けられている。
【００３８】
２次フィルタ５１には、流路５３を介してダイコートノズル５５が設けられている。
ダイコートノズル５５の下部にはステージ５７が設けられ、ステージ５７上には基板７１がセットされている。
【００３９】
脱気装置３５は、内部を減圧することにより、コーティング液１９ａ内の気泡を除去する。
１次フィルタ３９および２次フィルタ５１は、コーティング液１９ａ内、もしくはポンプ等の摩耗により発生するゴミ等を除去する。
３方向弁４３は、流路４１から供給されたコーティング液１９ａを流路４５もしくは流路４７のいずれかに供給する。
【００４０】
シリンジポンプ４９は、基板７１に塗布するコーティング液１９ａを計量し、所定の量のコーティング液１９ａをダイコートノズル５５に供給する。
ダイコートノズル５５はコーティング液１９ａを基板７１に塗布する。
【００４１】
なお、３方向弁４３、シリンジポンプ４９、ダイコートノズル５５にはコーター制御装置６３が接続され、各機器の動作はコーター制御装置６３によって制御されている。
【００４２】
ここで、Ａ液７とＢ液９の構成成分について説明する。Ａ液７とＢ液９は混合することによって親インク性と撥インク性のパターンを形成するためのコーティング液１９ａとなる溶液であり、Ａ液７は光触媒含有溶剤であり、Ｂ液９は特性付与剤である。
【００４３】
まず、本実施形態に用いられる光触媒について説明する。本実施形態に用いられる光触媒は、エネルギー照射されることにより励起されて、後述する特性付与剤を分解又は変性等させることが可能なものであれば、特に限定されるものではない。
本実施形態においては、特に酸化チタンが、バンドギャップエネルギーが高く、化学的に安定で毒性もなく、入手も容易であることから好適に使用される。
酸化チタンにはアナタ−ゼ型とルチル型があり、本実施形態ではいずれも使用可能であるが、アナタ−ゼ型の酸化チタンを使用するのが好ましい。
アナタ−ゼ型の酸化チタンは励起波長が３８０ｎｍ以下にある。
【００４４】
また、酸化チタンの粒径は小さいほど、光触媒反応が効果的に起こることから、平均粒径５０ｎｍ以下であることが好ましく、特に２０ｎｍ以下の酸化チタンを使用することが好ましい。
【００４５】
次に、本実施形態に用いられる特性付与剤について説明する。特性付与剤とはコーティング液１９ａが塗布されて層が形成された際に、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により、例えば分解または変性等されて、表層面の濡れ性を変化させるものである。
【００４６】
このような特性付与剤としては、光触媒の作用により劣化、分解しにくい主鎖を有するものであれば特に限定されるものではないが、特にオルガノポリシロキサンが用いられることが好ましい。オルガノポリシロキサンは、撥インク性を有する置換基がポリシロキサンを構成するＳｉ原子に直接結合している。
【００４７】
撥インク性を有する置換基としては、具体的には、アルキル基、フルオロアルキル基、ビニル基、フェニル基、イソシアネート基、クロロアルキル基等が挙げられる。
この撥インク性を有する置換基が、オルガノポリシロキサンを構成するＳｉと直接結合していることから、パターンを形成するためのコーティング液１９ａを塗布した際に、基板の表面が撥インク性を発現する。
【００４８】
一方、コーティング液１９ａを塗布した基板に紫外線等を照射することにより、上記撥インク性を有する置換基は分解され、基板の表面は親インク性を発現する。
【００４９】
本実施形態に用いられるオルガノポリシロキサンとしては、例えば、（ａ）ゾルゲル反応等によりクロロまたはアルコキシシラン等を加水分解、重縮合して大きな強度を発揮するオルガノポリシロキサン、（ｂ）撥水性や撥油性に優れた反応性シリコーンを架橋したオルガノポリシロキサン等のオルガノポリシロキサンを挙げることができる。
【００５０】
上記の（ａ）の場合、一般式：
Ｙｎ  ＳｉＸ（４−ｎ）
（ここでＹはアルキル基、フルオロアルキル基、ビニル基、アミノ基、フェニル基、クロロアルキル基、イソシアネート基、もしくはエポキシ基、またはこれらを含む有機基であり、Ｘはアルコキシル基、アセチル基またはハロゲンを示す。ｎは０〜３までの整数である）で示されるケイ素化合物の１種または２種以上の加水分解縮合物もしくは共加水分解縮合物であるオルガノポリシロキサンであることが好ましい。
【００５１】
なお、ここでＸで示されるアルコキシル基は、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基であることが好ましく、またＹで示される有機基全体の炭素数は１〜２０の範囲内、中でも５〜１０の範囲内であることが好ましい。
【００５２】
本実施形態においては、上記撥インク性を有する置換基の中でも、フルオロアルキル基であることが特に好ましい。
【００５３】
次に、コーティング液供給装置１の冷却装置について説明する。
コーティング液１９ａは、時間の経過と共にその特性を低下させてしまうものがあるが、これを冷却することにより、特性低下を遅らせ、可使時間を伸ばすことができる。
そのため、コーティング液供給装置１に冷却装置を設けることにより、安定なコーティング液１９ａを供給でき、コーティング層１９の品質を改善することができる。
【００５４】
図９は図８における、Ａ液タンク３、Ｂ液タンク５、ミキサ１０、タンク２０、脱気装置３５、１次フィルタ３９付近を示す詳細図である。また、図１０は流路１５ａの断面図である。
【００５５】
図９に示すように、Ａ液タンク３、Ｂ液タンク５、ミキサ１０、タンク２０、脱気装置３５、１次フィルタ３９には冷却装置として冷却パイプ３ａ、５ａ、１０ａ、１９ａ、３５ａ、３９ａがらせん状に巻きつけられており、冷却パイプ３ａ、５ａ、１９ａ、３５ａ、３９ａの内部には冷却水が流れている。
【００５６】
即ち、冷却パイプ３ａ、５ａ、１０ａ、１９ａ、３５ａ、３９ａの内部を流れる冷却水によってＡ液タンク３、Ｂ液タンク５、ミキサ１０、タンク２０、脱気装置３５、１次フィルタ３９が冷却されている。
【００５７】
なお、本実施形態においては、シリンジポンプ４９、３方向弁４３、２次フィルタ５１およびダイコートノズル５５には冷却装置を設けていないが、これらに冷却装置を設けてもよい。
【００５８】
一方、図１０に示すように、流路１５ａは、内管１５ｃの外部に冷却装置として外管１５ｂが設けられている。
【００５９】
内管１５ｃの内部にはコーティング液１９ａが流れており、外管１５ｂの内部でかつ内管１５ｃの外部には冷却水が流れている。
即ちコーティング液１９ａは、冷却水によって冷却されている。
流路３３、流路３７の構造も流路１５ａの構造と同様である。
【００６０】
なお、本実施形態においては、流路４１、４５、４７，５３には冷却装置を設けていないが、これらに冷却装置を設けてもよい。
【００６１】
このように、コーティング液供給装置１に冷却装置を設けることにより、コーティング液１９ａが変質する時間を遅らせることができる。
【００６２】
次に、コーティング液供給装置１の動作について説明する。
図１１は、コーティング液供給装置１の動作の手順を示すフローチャートである。
【００６３】
まず、ポンプ制御装置６１は、レベルゲージ２１の示す液面高さが、下限ゲージ２５以下かどうかを判断し、下限ゲージ２５以下の場合は次のステップに進む（ステップ２０１）。
【００６４】
ポンプ制御装置６１は、Ａ液７、Ｂ液９をミキサ１０に供給すべく、モーノポンプ１１ａ、１１ｂを駆動させる（ステップ２０２）。
【００６５】
ポンプ制御装置６１は、ミキサ１０を駆動させてＡ液７とＢ液９を混合し、コーティング液１９ａを生成する（ステップ２０３）。
【００６６】
ポンプ制御装置６１は、ミキサ１０内のコーティング液１９ａを中間タンク１７のタンク２０に供給する（ステップ２０４）。
【００６７】
ポンプ制御装置６１は、レベルゲージ２１の示す液面高さが、上限ゲージ２３以上かどうかを判断し、上限ゲージ２３以上の場合は次のステップに進む（ステップ２０５）。
【００６８】
ポンプ制御装置６１は、コーティング液１９ａのタンク２０への供給を停止し、ステップ２０１に戻る（ステップ２０６）。これは、コーティング液１９ａがタンク２０から溢れるのを防ぐためである。
【００６９】
ポンプ制御装置６１が以上のような制御を行うことにより、タンク２０内のコーティング液１９ａの液量は、常に下限ゲージ２５以上で、かつ上限ゲージ２３以下に保たれる。
【００７０】
ここで、基板７１へのコーティング液１９ａの塗布の手順について簡単に説明する。
まず、コーター制御装置６３は、図示しないアクチュエータ等に対して、ダイコートノズル５５を所定の位置に移動する指令を出す。
【００７１】
次に、コーター制御装置６３は、シリンジポンプ４９に、一定量のコーティング液１９ａを計量し、これをダイコートノズル５５に供給する指令を出す。
【００７２】
この際、コーティング液１９ａはタンク２０内に常に一定量が保持されているため、シリンジポンプ４９はタンク２０から安定してコーティング液１９ａの供給を受けることができる。
従ってシリンジポンプ４９は、安定してコーティング液１９ａをダイコートノズル５５に供給することができる。
【００７３】
また、タンク２０は常時加圧されているため、コーティング液１９ａがタンク２０からシリンジポンプ４９に供給される際にシリンジポンプ４９にかかる負荷を小さくすることができる。
従って、シリンジポンプ４９はタンク２０から安定してコーティング液１９ａの供給を受けることができ、シリンジポンプ４９は、安定してコーティング液１９ａをダイコートノズル５５に供給することができる。
【００７４】
このように、本実施の形態によれば、コーティング液供給装置１が冷却装置である冷却パイプ３ａ、５ａ、１０ａ、１９ａ、３５ａ、３９ａおよび外管１５ｂを有しており、コーティング液１９ａはこれらの冷却装置によって冷却される。
従って、コーティング液１９ａの塗布時間を長く確保することができ、基板７１の品質が改善される。
【００７５】
以上、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００７６】
例えば、本実施形態では流路１５ａにおいて、外管１５ｃの内部でかつ内管１５ｂの外部には冷却水が流れているが、冷却水の代わりに断熱材等を充填してもよい。
【００７７】
また、本実施形態では、Ａ液タンク３、Ｂ液タンク５、ミキサ１０およびタンク２０に冷却パイプ３ａ、５ａ、１０ａを設けて冷却を行っているが、混合装置４全体および中間タンク１７全体を冷却してもよい。
【００７８】
さらに、本実施形態では、基板７１に塗布するコーティング液１９ａの量をシリンジポンプ４９で計量しているが、ギヤポンプ等を用いて計量してもよい。
【００７９】
また、本発明の装置は、カラーフィルタの着色層を設けるとき以外にも、有機ＥＬの発光層を設けるとき、ディスプレイの電極を設けるとき、基板に電子回路を設けるとき等の微細なパターンを形成する際にも利用することができる。
また、基板上に遮光部を設けて、基板、遮光部、及び、感光層が一体となった例について説明してきたが、感光層付基板と遮光部が別体となっていてもよく、また、遮光部はブラックマトリクス以外にも、ストライプ状でも曲線状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】カラーフィルタ用の基板７１の着色工程を示すフローチャート
【図２】処理前の基板７１を示す図
【図３】コーティング層１９を形成するための基板７１へのコーティング液１９ａの塗布工程を示す図
【図４】基板７１に塗布したコーティング液１９ａの乾燥工程を示す図
【図５】基板７１の水洗工程を示す図
【図６】基板７１の露光工程を示す図
【図７】基板７１へのインクの吹き付け工程を示す図
【図８】コーティング液供給装置１の構造を示す図
【図９】Ａ液タンク３、Ｂ液タンク５、ミキサ１０、タンク２０、脱気装置３５、１次フィルタ３９付近を示す詳細図
【図１０】流路１５ａの断面図
【図１１】コーティング液供給装置１の動作の手順を示すフローチャート
【符号の説明】
【００８１】
１…………コーティング液供給装置
３…………Ａ液タンク
５…………Ｂ液タンク
７…………Ａ液
９…………Ｂ液
１１ａ……モーノポンプ
１３ａ……流路
１５ａ……流路
１７………中間タンク
１９ａ……コーティング液
２１………タンク
２３………上限ゲージ
２５………下限ゲージ
２７………エアノズル
２９………コンプレッサ
３１………逆流防止弁
３３………流路
３５………脱気装置
３７………流路
３９………１次フィルタ
４１………流路
４３………３方向弁
４９………シリンジポンプ
５１………２次フィルタ
５５………ダイコートノズル
６１………ポンプ制御装置
６３………コーター制御装置
７１………基板
７３………ガラス基板
７５ａ……ブラックマトリクス
７７………ダイコートノズル
８１………乾燥機
８３………シャワー
８５ａ……撥インキ部
８７ａ……親インキ部
８９………紫外線
９１ａ……カラーインク
【図１】
2006263653.tif 000003
【図２】
2006263653.tif 000004
【図３】
2006263653.tif 000005
【図４】
2006263653.tif 000006
【図５】
2006263653.tif 000007
【図６】
2006263653.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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