(57)【要約】【課題】  空気等の屈折率が１．４未満である媒質中で、リップルが抑制されるとともに、優れた波長分離特性を持つ光学薄膜フィルタを提供する。【解決手段】  任意屈折率プロファイル部Ａと、該任意屈折率プロファイル部Ａの入射端面１２及び射出端面１１の少なくとも一方に、光学アドミッタンス整合性機能を有する任意屈折率マッチング部Ｃを備えた光学薄膜フィルタ１０であって、任意屈折率マッチング部Ｃでは、一端から他端に向かって屈折率が変化し、他端が任意屈折率プロファイル部Ａと当接し、更に、一端と他端との間に高屈折率部が設けられ、該高屈折率部は、他端における屈折率値よりも高い屈折率値を有し、高屈折率部から他端に向かって、屈折率が徐々に小さくなることを特徴とする。【選択図】  図１
2006085041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
任意屈折率プロファイル部と、
該任意屈折率プロファイル部の入射端面及び射出端面の少なくとも一方に、光学アドミッタンス整合性機能を有する任意屈折率マッチング部を備えた光学薄膜フィルタであって、
前記任意屈折率マッチング部では、一端から他端に向かって屈折率が変化し、前記他端が前記任意屈折率プロファイル部と当接し、更に、前記一端と前記他端との間に高屈折率部が設けられ、
該高屈折率部は、前記他端における屈折率値よりも高い屈折率値を有し、
前記高屈折率部から前記他端に向かって、屈折率が徐々に小さくなることを特徴とする光学薄膜フィルタ。
【請求項２】
前記任意屈折率マッチング部の屈折率変化が、膜厚方向に段階的に変化することを特徴とする請求項１に記載の光学薄膜フィルタ。
【請求項３】
前記任意屈折率マッチング部の屈折率変化が、膜厚方向に連続的に変化することを特徴とする請求項１に記載の光学薄膜フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学薄膜フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光を利用した技術が急速に進歩しており、様々な分野で光学装置が積極的に使用されている。その分野を問わず、光学装置には光の波長をマネージメントする光学薄膜の技術が不可欠である。特に、蛍光顕微鏡や光通信の分野では、特定の波長帯域を反射させ、残りの波長帯域を透過させる機能を持つマイナスフィルタが必要とされている。このようなマイナスフィルタは、波長帯域を分離するとともに、反射帯域では１００％に近い反射率特性を、透過帯域では１００％に近い透過率特性をそれぞれ持つことが要求されている。さらに、反射帯域及び透過帯域では、透過率の波長依存性（以下、リップルと称す。）がないことが要求されることも多い。また、蛍光顕微鏡における多重染色技術では、連続しない複数の波長帯域を分離するマルチバンドのマイナスフィルタが不可欠である。
【０００３】
このようなマイナスフィルタを製作する技術として、任意屈折率を利用した光学薄膜技術（以下、屈折率傾斜膜と称す。）が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この屈折率傾斜膜とは、薄膜の膜厚方向に屈折率を変化させることで、所望の光学特性が得られるように設計された光学薄膜フィルタである。
図２２に示すように、屈折率傾斜膜によるマイナスフィルタの設計例では、屈折率の変化が、ｓｉｎ関数とガウシアンカーブとを掛け合わせたプロファイルになっている。この方法による設計では、ｓｉｎ関数の周期を変化させたり、振幅を変化させたりすることで、反射波長帯域や反射帯域の波長幅を自由に設計することができる。その結果、図２３に示すような、リップルのない平坦な透過率特性を得ることができる。
【０００４】
上記特許文献１に記載の光学多層膜フィルタの設計例として、薄膜の膜厚方向に、段階的に屈折率を変化させた屈折率傾斜膜によるマイナスフィルタの設計例が示されている。図２２に示す膜厚に対する屈折率の変化では、膜厚方向に連続的に屈折率が変化しているが、特許文献１に記載の膜厚に対する屈折率の変化のように、段階的に屈折率を変化させても、マイナスフィルタの設計が可能である。
【特許文献１】特開２０００−９９２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、図２２に示すような屈折率傾斜膜によるマイナスフィルタ及び上記特許文献１に記載されているマイナスフィルタは、入射端面及び射出端面の両方に当接する媒質が１．４以上の屈折率として設計されている。
しかしながら、光学薄膜フィルタを利用する場合、基板上に薄膜を形成するため、一般に、入射端面または射出端面に当接する媒質の片方は基板（屈折率１．４以上）となるが、反対側の媒質は空気（屈折率１．０以上）となることが多い。このとき、図２２に示すような屈折率傾斜膜によるマイナスフィルタ及び上記特許文献１に記載されているマイナスフィルタを利用する場合、基板上に光学薄膜を形成して光学薄膜フィルタを製作し、その光学薄膜フィルタを、屈折率が１．４以上のガス媒質内で使用するか、または、両端側を基板（屈折率１．４以上）で挟み込んで使用する必要がある。このため、光学薄膜フィルタを製作する際のコストが高くなるだけでなく、この光学薄膜フィルタを使用する装置が大型化したり、使用用途が制限されたりしてしまうという問題が生じる。
【０００６】
また、図２２に示すような屈折率傾斜膜によるマイナスフィルタ及び上記特許文献１に記載されているマイナスフィルタを、片側の媒質が空気（屈折率１．０）となる状態で使用すると、図２４に示すように、透過率が下がり、透過帯域（波長：４００ｎｍ〜５００ｎｍ及び７００ｎｍ〜８００ｎｍ）内にリップルが発生してしまい、光学薄膜フィルタの特性が劣化することになる。これは、媒質（この場合は空気）と、薄膜との光学アドミッタンスが異なるためである。
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、空気等の屈折率が１．４未満である媒質中で、リップルが抑制されるとともに、優れた波長分離特性を持つ光学薄膜フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の光学薄膜フィルタは、任意屈折率プロファイル部と、該任意屈折率プロファイル部の入射端面及び射出端面の少なくとも一方に、光学アドミッタンス整合性機能を有する任意屈折率マッチング部を備えた光学薄膜フィルタであって、前記任意屈折率マッチング部では、一端から他端に向かって屈折率が変化し、前記他端が前記任意屈折率プロファイル部と当接し、更に、前記一端と前記他端との間に高屈折率部が設けられ、該高屈折率部は、前記他端における屈折率値よりも高い屈折率値を有し、前記高屈折率部から前記他端に向かって、屈折率が徐々に小さくなることを特徴とする。
【０００９】
この発明では、任意屈折率マッチング部を備えることにより、任意屈折率プロファイル部の光学アドミッタンスと、屈折率が例えば１．４未満である媒質の光学アドミッタンスとの差が実部及び虚部共に、０．５以下になるように整合させることができる。したがって、リップルが抑制されるとともに、優れた波長分離特性を持つ光学薄膜フィルタを得ることが可能となる。
【００１０】
また、本発明の光学薄膜フィルタは、前記任意屈折率マッチング部の屈折率変化が、膜厚方向に段階的に変化することを特徴とする。
この発明では、任意屈折率マッチング部を膜厚方向に段階的に変化させることで、任意屈折率プロファイル部の光学アドミッタンスと、屈折率が例えば１．４未満である媒質の光学アドミッタンスとの差が実部及び虚部共に、０．５以下になるように整合させることができる。
【００１１】
また、本発明の光学薄膜フィルタは、前記任意屈折率マッチング部の屈折率変化が、膜厚方向に連続的に変化することを特徴とする。
この発明では、任意屈折率マッチング部を膜厚方向に連続的に変化させることで、任意屈折率プロファイル部の光学アドミッタンスと、屈折率が例えば１．４未満である媒質の光学アドミッタンスとの差が実部及び虚部共に、０．５以下になるように整合させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては以下の効果を奏する。
本発明に係る光学薄膜フィルタによれば、任意屈折率マッチング部を備えることにより、リップルが抑制され、透過帯域で高い透過率特性を得ることが可能となる。さらに、反射帯域から透過帯域まで滑らかに変化する特性を有することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、本発明の第１実施形態について、図１から図１３を参照して説明する。
本実施形態に係る光学薄膜フィルタ１０は、図１に示すように、光学特性を変化可能な任意屈折率プロファイル部Ａと、この任意屈折率プロファイル部Ａの入射端面及び射出端面の少なくとも一方の端面と媒質との間に、それぞれに当接して配されるとともに、媒質と光学アドミッタンス整合性機能を有する任意屈折率マッチング部（以下、マッチング部と称す。）Ｂ，Ｃとを備えた膜構成となっている。本実施形態では、任意屈折率プロファイル部Ａの一端面（出射端面）１１には、マッチング部Ｂを介してガラス基材（媒質）Ｄが配されており、他端面（入射端面）１２は、マッチング部Ｃを介して空気に接触している。
【００１４】
任意屈折率プロファイル部Ａは、図２に示すように、内部の屈折率の最大値Ｈｍａｘ＝２．２５、最小値Ｌｍｉｎ＝１．４５とし、中間の屈折率が１．８５となっている。また、この任意屈折率プロファイルＡは、光学薄膜０．２５λ（λ＝５１０ｎｍ）ごとに積層された、ＨｍａｘとＬｍｉｎとの交互層に、正規分布の一般式ｆ（ｘ）で重み付けした形状になっている。
【００１５】
ここで、Ｈｍａｘに対しては＋ｆ（ｘ）、Ｌｍｉｎに対しては、−ｆ（ｘ）でそれぞれ重み付けをし、任意屈折率プロファイル部Ａの中心及び両端の屈折率が１．８５、任意屈折率プロファイル部Ａの屈折率の最大値が２．２５、最小値が１．４５になるように正規化してある。
正規分布の一般式は、数１に示すように、
【００１６】
【数１】
2006085041.tif 000003
【００１７】
となる。ここで、μは任意屈折率プロファイル部Ａ全体の膜厚の１／２の値であり、σは正規分布（ガウシアン）形状の膜厚方向の広がりを決定する係数である。このようにして、設計された任意屈折率プロファイル部Ａの膜厚方向に対する屈折率の変化は、図２に示すようになる。このように、任意屈折率プロファイル部Ａの両端側の媒質の屈折率を１．８５としたときの透過特性は、図３に示すように、４００ｎｍ〜４５０ｎｍ、６００ｎｍ〜７００ｎｍの帯域を透過帯域としている。さらに、任意屈折率プロファイル部Ａの透過帯域（波長：４００ｎｍ〜４５０ｎｍ、６００ｎｍ〜７００ｎｍ）の光学アドミッタンスは、図４に示すように、実部（Ｒｅａｌ）が約１．８５、虚部（Ｉｍａｇｅ）が約０．０になっている。
【００１８】
以上から、任意屈折率プロファイル部Ａの両側の媒質の屈折率が１．８５である場合、任意屈折率プロファイル部Ａと媒質との光学アドミッタンス整合ができていることが分かる。さらに、透過領域（波長：４００ｎｍ〜４５０ｎｍ、６００ｎｍ〜７００ｎｍ）にリップルは発生しておらず、透過帯域では高い透過率特性が得られている。
【００１９】
上記のように、任意屈折率プロファイル部Ａの中心及び両端の屈折率が１．８５であり、任意屈折率プロファイル部Ａの両側の媒質の屈折率が１．８５である場合には、問題なかったが、任意屈折率プロファイル部Ａの中心及び両端の屈折率と媒質との屈折率が異なる場合は、光学薄膜フィルタ１０のような膜構成にする必要が生じる。すなわち、上記ガラス基板Ｄ上に、上述した任意屈折率プロファイル部Ａを形成する場合、任意屈折率プロファイル部Ａの透過帯域における光学アドミッタンスと、ガラス基板Ｄの光学アドミッタンスとを整合させるためのマッチング部Ｂが必要となる。
【００２０】
上記ガラス基板Ｄ側の任意屈折率マッチング部Ｂについて説明する。本実施形態では、媒質としてガラス基板（ＢＫ７）Ｄを用いて説明するが、これに限るものではなく、光学特性が良好で膜の積層性に優れた種々の基材を使用可能である。
【００２１】
次に、このように構成されたガラス基板Ｄ側のマッチング部Ｂの設計例を示す。
ガラス基板Ｄ側のマッチング部Ｂの屈折率は、図５に示すように、ガラス基板Ｄの屈折率（約１．５２）から光学膜厚０．２５λ（λ＝５１０ｎｍ）ごとに、膜厚方向に５段階で１．８５まで変化している。すなわち、ガラス基板Ｄ側のマッチング部Ｂの屈折率は、ガラス基板Ｄ側を１段目として、１段目から５段目まで順番に、１．５４、１．６２、１．６９、１．７７、１．８５となっている。
【００２２】
ガラス基板Ｄの光学アドミッタンスは、図６に示すように、実部（Ｒｅａｌ）が約１．５２、虚部（Ｉｍａｇｅ）が約０．０になっている。
また、ガラス基板Ｄ側のマッチング部Ｂの光学アドミッタンスは、図７に示すように、実部が約１．８５、虚部が約０．０になっており、図４に示す任意屈折率プロファイル部Ａの透過帯域の光学アドミッタンスとほぼ一致している。
【００２３】
以上から、ガラス基板Ｄ側のマッチング部Ｂの光学アドミッタンスと任意屈折率プロファイル部Ａの透過帯域の光学アドミッタンスとがほぼ一致しているため、ガラス基板Ｄ側のマッチング部Ｂが、ガラス基板Ｄと任意屈折率プロファイル部Ａとの光学アドミッタンスを整合することができる。
ここで、図５に示すように、片側の媒質の屈折率を１．８５とし、もう一方の側の媒質を屈折率が約１．５２のガラス基板Ｄ（ＢＫ７）としたときの透過率特性、すなわち、任意屈折率プロファイル部Ａとガラス基板Ｄとの間に、マッチング部Ｂを挿入した場合の透過率特性を、図８に示す。この図より、任意屈折率プロファイル部Ａとガラス基板Ｄとの光学アドミッタンス整合ができている状態であることが分かり、透過領域（波長：４００ｎｍ〜４５０ｎｍ、６００ｎｍ〜７００ｎｍ）にリップルは発生しない。また、透過帯域では高い透過率特性が得られている。
【００２４】
上記光学薄膜フィルタを空気中で使用する場合について説明する。
空気（媒質）の光学アドミッタンスは、図９に示すように、実部（Ｒｅａｌ）が約１．００、虚部（Ｉｍａｇｅ）が約０．０になっている。また、任意屈折率プロファイル部Ａの透過帯域における光学アドミッタンスは、図８に示すように、実部（Ｒｅａｌ）が約１．８５、虚部（Ｉｍａｇｅ）が約０．０になっており、光学アドミッタンスの整合が必要である。したがって、空気と任意屈折率プロファイル部Ａとの光学アドミッタンス整合を行うためには、屈折率が膜厚方向に変化し、任意屈折率プロファイル部Ａの他端面１２における屈折率値よりも高い屈折率部を有するとともに、この屈折率部から任意屈折率プロファイル部Ａの他端面１２に向かって屈折率値まで屈折率が徐々に小さくなるマッチング部Ｃが必要となる。
【００２５】
次に、このように構成された空気側のマッチング部Ｃの設計例を示す。
空気側のマッチング部Ｃの屈折率は、光学膜厚０．２５λ（λ＝５１０ｎｍ）ごとに、膜厚方向に８段階で変化している。すなわち、空気側のマッチング部の屈折率は、空気側を１段目として、図１に示すように、１段目から３段目までは、１．４６、１．９８、２．２３と漸次大きくなっている。そして、屈折率が２．２３からは任意屈折率プロファイル部Ａの他端面１２に向かって、２．１６、２．０９、２．０１、１．９４、１．８６と漸次小さくなっている。この屈折率は、任意屈折率プロファイル部Ａの他端面１２の屈折率値１．８５よりも高い屈折率部となっている。
【００２６】
本実施形態に係る光学薄膜フィルタ１０によれば、空気側のマッチング部Ｃの光学アドミッタンスは、図１０に示すように、光学薄膜フィルタ１０の透過領域内では、実部（Ｒｅａｌ）が約１．８５±０．４、虚部（Ｉｍａｇｅ）が約０．０±０．４となっており、光学アドミッタンスを整合することができる。このことから、空気側のマッチング部Ｃの光学アドミッタンスの差は、実部及び虚部共に、最大で０．４となっている。したがって、光学アドミッタンスは、実部及び虚部それぞれの差の最大値が０．５以下であれば、リップルを３％以下程度の良好な特性を得ることができるため、図１１に示すような、リップルが抑制され、特に、任意屈折率プロファイル部Ａの一方の端面が空気等の屈折率が１．４未満の媒質である状況下で、透過帯域で高い透過率特性を有する光学薄膜フィルタを得ることが可能となる。
【００２７】
本発明の効果を確認するため、比較として、従来の構成（空気側にマッチング部ない場合）、すなわち、図１２に示すように、空気と任意屈折率プロファイル部Ａとを直結し、ガラス基板Ｄ側は上述のようにマッチング部Ｂを介して基板と任意屈折率プロファイル部Ａとが連結された構成となっている。この構成の場合、空気と任意屈折率プロファイル部Ａとの光学アドミッタンスの整合がとれていない状態となり、図１３に示すように、透過帯域（波長：４００ｎｍ〜４５０ｎｍ、６００ｎｍ〜７００ｎｍ）にリップルが発生し、透過率が下がってしまう。また、反射帯域（波長：４８０ｎｍ〜５５０ｎｍ）から透過帯域への透過率の立ち上がり部分にもリップルが発生する。したがって、本実施例では従来の構成と比較して、リップルが少ない良好な特性を有する光学薄膜フィルタ１０を得ることができる。
【００２８】
次に、本発明に係る第２実施形態について、図１４及び図１５を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、上述した第１実施形態に係る光学薄膜フィルタ１０と構成を共通とする箇所には同一符号を付けて、説明を省略することにする。
本実施形態に係る光学薄膜フィル２０において、第１実施形態と異なる点は、第２実施形態では、任意屈折率プロファイル部Ｅの屈折率が、膜厚方向に連続的に変化する点である。
【００２９】
上記任意屈折率プロファイル部Ｅの屈折率は、図１４に示すように、ｓｉｎｘを正規分布の一般式の数１により重み付けを行い、任意屈折率プロファイル部Ｅの両端面２１，２２の屈折率が１．８５、任意屈折率プロファイル部Ｅの屈折率の最大値が２．２５、最小値が１．４５となるように正規化してある。
【００３０】
ガラス基板Ｄ側のマッチング部Ｆの屈折率ｙは、光学膜厚をｘとすると、ガラス基板Ｄ側から、
【００３１】
【数２】
2006085041.tif 000004
【００３２】
に従って変化している。
また、空気側のマッチング部Ｇの屈折率ｙは、光学膜厚をｘとすると、任意屈折率プロファイル部Ｅ側から、
【００３３】
【数３】
2006085041.tif 000005
【００３４】
に従って変化している。
【００３５】
次に、このように構成された本実施形態に係る光学薄膜フィルタ２０の作用について、以下に説明する。
図１４に示す屈折率プロファイル部Ｅを用いて、光学薄膜フィルタ２０を作製する。これにより、ガラス基板Ｄ側のマッチング部Ｆが、ガラス基板Ｄと任意屈折率プロファイル部Ｅとの光学アドミッタンスを整合される。さらに、空気側のマッチング部Ｇが、空気と任意屈折率プロファイル部Ｅとの光学アドミッタンスを整合される。
【００３６】
本実施形態に係る光学薄膜フィルタ２０によれば、屈折率が膜厚方向に連続的に変化する構成の屈折率傾斜膜によるマイナスフィルタ等で、図１５に示すような、リップルが抑制され、透過帯域で高い透過率特性を有する光学薄膜フィルタ２０を得ることが可能となる。
【００３７】
次に、本発明に係る第３実施形態について、図１６から図１８を参照して説明する。
本実施形態に係る光学薄膜フィル３０において、第１実施形態と異なる点は、第２実施形態では、任意屈折率プロファイル部Ｈの屈折率が、任意屈折率プロファイル部Ａを２つ連結した構成になっている点である。
【００３８】
光学薄膜フィル３０は、任意屈折率プロファイル部Ｈの一端面３１に、屈折率１．８５の媒質Ｉが配されており、他端面３２に、マッチング部Ｃを介して空気に接触している。
【００３９】
本実施形態に係る光学薄膜フィルタ３０によれば、屈折率が膜厚方向に連続的に変化する構成の屈折率傾斜膜によるマイナスフィルタ等で、図１７に示すような、リップルが抑制され、透過帯域で高い透過率特性を有する光学薄膜フィルタを得ることが可能となる。
【００４０】
本発明の効果を確認するため、比較として、従来の構成（空気側にマッチング部Ｃない場合）、すなわち、図１８に示すように、屈折率１．８５の媒質Ｊと任意屈折率プロファイル部Ｈとを直結し、任意屈折率プロファイル部Ｈの他端側は同様に屈折率１．８５の媒質Ｉが配されてた構成となっている。この構成の場合も、図１９に示すような、透過特性となり、図１７に示す透過特性とほぼ同じ特性となっている。したがって、従来の構成では、図２４に示すように片側の媒質が空気となる状態した場合、リップルが発生し、光学薄膜フィルタの特性が劣化していたが、マッチング部Ｃを設けることにより、片側の媒質が空気となる状態でも問題なく使用できることが分かる。
【００４１】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記各実施形態で使用した任意屈折率プロファイル部Ａ，Ｅ，Ｈは、正規分布による重み付けでなくても良く、どのような形であっても良い。例えば、図２０に示すような、任意屈折率プロファイル部Ｋの屈折率が、光学膜厚約２μｍ〜１５μｍまで緩やかに大きくなった後、約１５μｍ〜２４μｍまで小さくなる形状であっても良い。この構成の場合でも、図２１に示すように、リップルが抑制され、透過帯域で高い透過率特性を有する光学薄膜フィルタを得ることが可能となる。
【００４２】
また、任意屈折率プロファイル部Ａ，Ｅ，Ｈは、関数系のプロファイルである必要はなく、任意の形状でも良い。さらに、任意屈折率プロファイル部Ａ，Ｅ，Ｈは、高屈折率層と低屈折率層との繰り返し層を含む形状であっても良い。
また、第１実施形態において、マッチング部Ｂ，Ｃの屈折率は段階的に変化した構成であったが、第2実施形態において示した連続的に変化するマッチング部Ｅ，Ｇを含んでいても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る光学薄膜フィルタの屈折率と光学膜厚との関係及び光学薄膜フィルタの構造を示す説明図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る光学薄膜フィルタの任意屈折率プロファイル部及び媒質の屈折率と光学膜厚との関係の設計例を示す。
【図３】本発明の第１実施形態に係る光学薄膜フィルタの任意屈折率プロファイル部及び媒質の透過率特性を示す。
【図４】本発明の第１実施形態に係る光学薄膜フィルタの任意屈折率プロファイル部及び媒質の光学アドミッタンスと波長との関係を示す。
【図５】本発明の第１実施形態に係る光学薄膜フィルタの任意屈折率プロファイル部，マッチング部及び媒質の屈折率と光学膜厚との関係の設計例を示す。
【図６】本発明の第１実施形態に係る光学薄膜フィルタの媒質（ガラス基板）の光学アドミッタンスと波長との関係を示す。
【図７】本発明の第１実施形態に係る光学薄膜フィルタの媒質（ガラス基板）側のマッチング部の光学アドミッタンスと波長との関係を示す。
【図８】図５の光学薄膜フィルタの透過率特性を示す。
【図９】本発明の第１実施形態に係る光学薄膜フィルタの媒質（空気）の光学アドミッタンスと波長との関係を示す。
【図１０】図１の光学薄膜フィルタの光学アドミッタンスと波長との関係を示す。
【図１１】図１の光学薄膜フィルタの透過率特性を示す。
【図１２】従来の膜構成による光学薄膜フィルタ及び光学薄膜フィルタの構造を示す説明図である。
【図１３】図１１の光学薄膜フィルタの透過率特性を示す。
【図１４】本発明の第２実施形態に係る光学薄膜フィルタの屈折率と光学膜厚との関係及び光学薄膜フィルタの構造を示す説明図である。
【図１５】図１４の光学薄膜フィルタの透過率特性を示す。
【図１６】本発明の第３実施形態に係る光学薄膜フィルタの屈折率と光学膜厚との関係及び光学薄膜フィルタの構造を示す説明図である。
【図１７】図１６の光学薄膜フィルタの透過率特性を示す。
【図１８】図１６の光学薄膜フィルタの比較例として光学薄膜フィルタの屈折率と光学膜厚との関係及び光学薄膜フィルタの構造を示す説明図である。
【図１９】図１６の光学薄膜フィルタの透過率特性を示す。
【図２０】本発明の各実施形態に係る光学薄膜フィルタの任意屈折率プロファイル部の変形例を示す。
【図２１】図１６の光学薄膜フィルタの透過率特性を示す。
【図２２】従来の光学薄膜フィルタの屈折率と光学膜厚との関係を示す。
【図２３】図２２の光学薄膜フィルタの透過率特性を示す。
【図２４】図２２の光学薄膜フィルタを片側の媒質が空気（屈折率１．０）となる状態で使用した場合の透過率特性を示す。
【符号の説明】
【００４４】
Ａ，Ｅ，Ｈ  任意屈折率プロファイル部
Ｂ，Ｃ，Ｆ，Ｇ  マッチング部（任意屈折率マッチング部）
１０  光学薄膜フィルタ
１１  一端面（出射端面）
１２  他端面（入射端面）
【図１】
2006085041.tif 000006
【図２】
2006085041.tif 000007
【図３】
2006085041.tif 000008
【図４】
2006085041.tif 000009
【図５】
2006085041.tif 000010
【図６】
2006085041.tif 000011
【図７】
2006085041.tif 000012
【図８】
2006085041.tif 000013
【図９】
2006085041.tif 000014
【図１０】
2006085041.tif 000015
【図１１】
2006085041.tif 000016
【図１２】
2006085041.tif 000017
【図１３】
2006085041.tif 000018
【図１４】
2006085041.tif 000019
【図１５】
2006085041.tif 000020
【図１６】
2006085041.tif 000021
【図１７】
2006085041.tif 000022
【図１８】
2006085041.tif 000023
【図１９】
2006085041.tif 000024
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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