(57)【要約】  【課題】  安価なパネル保持装置の提供。  【解決手段】  保持装置１０は、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものである。装置１０は、気体や液体などの流体の注入、排出により拡径，収縮自在な弾性袋体１２と、弾性袋体１２の一端側に固着される支持具１４と、弾性袋体１２の他端側に貼着され、平板状パネルＰを接着ないしは粘着保持する保持剤層１８とを備えている。そして、弾性袋体１２を拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、平板状パネルＰを保持剤層１８から脱着させる。  【選択図】  図１
2006273578.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、
気体や液体などの流体の注入，排出により拡径，収縮自在な弾性袋体と、
前記弾性袋体の一端側に固着される支持具と、
前記弾性袋体の他端側に貼着され、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性袋体を拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。
【請求項２】
前記支持具は、剛性平板から構成され、前記弾性袋体の前記平板状パネルと反対側への拡径ないしは収縮を規制するものであって、前記弾性袋体を直接ないしは交換板を介して固着することを特徴とする請求項１記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項３】
前記弾性袋体は、複数から構成され、複数の前記弾性袋体を直列接続することを特徴とする請求項１または２記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項４】
前記弾性袋体は、前記支持具側の固着力と前記保持剤層の保持力とが異なっていて、前記固着力の方が前記保持力よりも大きくなるように設定することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項５】
前記保持剤層は、前記弾性袋体の表面に、全面に形成するか、または、所定の間隔を隔てて帯状に複数列形成するか、あるいは、円形の小面積のものを複数散在させるかの、いずれかから選択することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項６】
前記弾性袋体には、前記流体の供給装置と、前記弾性袋体内に設置される圧力センサーとを設置し、前記圧力センサーの検出値に基づいて、前記弾性袋体の拡径，収縮を制御する制御装置を設けることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項７】
前記弾性袋体は、前記平板状パネルを減圧雰囲気下で保持させる際には、前記制御装置により、前記弾性袋体が減圧により変形することがないように、その内部圧力を制御することを特徴とする請求項６記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項８】
ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、
前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材の外周縁を気密ないしは液密状態に固定する支持部材と、
前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性部材と前記支持部材との間に、気体や液体などの流体を注入ないしは排出することにより、前記弾性部材が膨出ないしは収縮するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。
【請求項９】
前記支持部材には、前記流体を前記弾性部材と前記支持部材との間に注入ないしは排出する通路が設けられていることを特徴とする請求項８記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項１０】
前記弾性部材は、前記保持剤層が貼着される平坦部と、この平坦部の周縁に起立形成されたフランジ部とを備え、
前記フランジ部を前記支持部材の側面に嵌着固定することを特徴とする請求項８または９記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項１１】
前記フランジ部は、その内面側に、前記平坦部の側面ないしは上面に設けられた凹溝に嵌合する突起を有することを特徴とする請求項１０記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項１２】
前記弾性部材には、前記フランジ部を前記支持部材の側面に嵌着した状態で、前記フランジ部の外周面にリング状金具を締結することを特徴とする請求項１０記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項１３】
前記弾性部材は、前記保持剤層が設けられる平坦部の厚みを変更することにより、前記弾性変形量を調整することを特徴とする請求項８〜１２のいずれか１項記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項１４】
ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、
前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、
前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性部材は、平板状に形成され、前記支持部材と接触する側の面に複数の凹部を設けて薄肉部が複数形成されており、
前記凹部内に前記流体を注入することにより、前記薄肉部を膨出するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。
【請求項１５】
ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、
前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、
前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記パネルが配置される側の面に固着される薄肉平板部とを有し、
前記貫通孔内に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部の前記貫通孔と対向する個所を膨出するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。
【請求項１６】
ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、
前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、
前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、
前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記保持部材が配置される側面に配置される薄肉平板部とを有し、
前記薄肉平板部と前記支持部材との間に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部を前記貫通孔内に挿入するようにして、膨出変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることを特徴とする平板状パネルの保持装置。
【請求項１７】
前記保持剤層は、接着ないしは粘着力に強弱を設けることを特徴とする請求項１から１５のいずれか１項記載の平板状パネルの保持装置。
【請求項１８】
前記接着ないしは粘着力の強弱は、接着剤ないしは粘着剤の種類の変更、または、面積の変更、さらに、密集度により設定することを特徴とする請求項１６記載の平板状パネルの保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、平板状パネルの保持装置に関し、特に、拡縮可能な弾性袋体により平板状パネルを保持，脱着する平板状パネルの保持装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌｙ）産業においては、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどに見られるように、大画面化の傾向が著しく、パネルの貼り合せなどの製造工程において、大型パネルのハンドリングが重要な技術的課題となっている。
【０００３】
この種のパネルのうち、例えば、ＬＣＤパネルは、真空雰囲気下で２枚のパネル同士を貼り合せる工程があり、このような条件下では、パネルの保持が真空チャックできないので、パネルの保持を静電チャックで行うことが提案されていて、その一例が、特許文献１に開示されている。
【０００４】
この特許文献１に開示されている静電チャックは、電極の両側を焼結体または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆し、前記電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲をシリコーン樹脂で被覆した構成を備えている。
【０００５】
しかしながら、このような従来の静電チャックには、以下に説明する課題があった。
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１７６６０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
すなわち、静電チャックは、特許文献１に開示されているものを含めて、単価が非常に高く、大画面化に際して、必要個数が多くなり、多大な設備投資が要求されるという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、比較的簡単な構成により、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うことなく実施することができる平板状パネルの保持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、気体や液体などの流体の注入、排出により拡径，収縮自在な弾性袋体と、前記弾性袋体の一端側に固着される支持具と、前記弾性袋体の他端側に貼着され、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性袋体を拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させるようにした。
【００１０】
このように構成した平板状パネルの保持装置によれば、弾性袋体の他端側に貼着された保持剤層により、平板状パネルを接着ないしは粘着保持することができるとともに、弾性袋体を拡径ないしは収縮させて弾性変形させると、保持剤層と弾性袋体の接合面が低減して、平板状パネルを保持剤層から脱着させることができ、このような保持装置は、構成が簡単で、平板状パネルの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
【００１１】
前記支持具は、剛性平板から構成され、前記弾性袋体の前記平板状パネルと反対側への拡径ないしは収縮を規制するものであって、前記弾性袋体を直接ないしは交換板を介して固着することができる。
【００１２】
この構成によれば、弾性袋体の平板状パネルと反対側への拡径ないしは収縮が、支持具で規制されるので、平板状パネルの着脱が安定するとともに、弾性袋体が劣化した場合に、簡単に取り替えることができる。
【００１３】
前記弾性袋体は、複数から構成され、複数の前記弾性袋体を直列接続することができる。
【００１４】
この構成によれば、パネル大きさに対応して弾性袋体の数を使用することができるので、平板状パネルのより一層の大型化にも簡単に対応することができる。
【００１５】
前記弾性袋体は、前記支持具側の固着力と前記保持剤層の保持力とが異なっていて、前記固着力の方が前記保持力よりも大きくなるように設定することができる。
【００１６】
この構成によれば、弾性袋体を拡径ないしは収縮させた際に、平板状パネルを確実に脱着させることができる。
【００１７】
前記保持剤層は、前記弾性袋体の表面に、全面に形成するか、または、所定の間隔を隔てて帯状に複数列形成するか、あるいは、円形の小面積のものを複数散在させるかの、いずれかから選択することができる。
【００１８】
この構成によれば、平板状パネルに対する接着ないしは粘着力を容易にコントロールすることができる。
【００１９】
前記弾性袋体には、前記流体の供給装置と、前記弾性袋体内に設置される圧力センサーとを設置し、前記圧力センサーの検出値に基づいて、前記弾性袋体の拡径，収縮を制御する制御装置を設けることができる。
【００２０】
この構成によれば、弾性袋体がある程度拡径した状態を維持しつつ平板状パネルの保持を行うことができる。
【００２１】
前記弾性袋体は、前記平板状パネルを減圧雰囲気下で保持させる際には、前記制御装置により、前記弾性袋体が減圧により変形することがないように、その内部圧力を制御することができる。
【００２２】
この構成によれば、真空などの減圧雰囲気下でも、平板状パネルの保持と脱着とを安定して行うことができる。
【００２３】
また、本発明は、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、  弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材の外周縁を気密ないしは液密状態に固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材と前記支持部材との間に、気体や液体などの流体を注入ないしは排出することにより、前記弾性部材が膨出ないしは収縮するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させるようにした。このように構成した平板状パネルの保持装置によれば、構成が簡単で、平板状パネルの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
【００２４】
前記支持部材には、前記流体を前記弾性部材と前記支持部材との間に注入ないしは排出する通路を設けることができる。
【００２５】
前記弾性部材は、前記保持剤層が貼着される平坦部と、この平坦部の周縁に起立形成されたフランジ部とを備え、前記フランジ部を前記支持部材の側面に嵌着固定することができる。
【００２６】
前記フランジ部は、その内面側に、前記平坦部の側面ないしは上面に設けられた凹溝に嵌合する突起を有することができる。
【００２７】
前記弾性部材には、前記フランジ部を前記支持部材の側面に嵌着した状態で、前記フランジ部の外周面にリング状金具を締結することができる。
前記弾性部材は、前記保持剤層が設けられる前記平坦部の厚みを変更することにより、前記弾性変形量を調整することができる。
【００２８】
また、本発明は、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、  弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材は、平板状に形成され、前記支持部材と接触する側の面に複数の凹部を設けて薄肉部が複数形成されており、前記凹部内に前記流体を注入することにより、前記薄肉部を膨出するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させるようにした。
【００２９】
さらに、本発明は、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記パネルが配置される側の面に固着される薄肉平板部とを有し、前記貫通孔内に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部の前記貫通孔と対向する個所を膨出するように弾性変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させるようにした。
【００３０】
また、本発明は、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルの保持装置において、
弾性変形が可能な弾性部材と、前記弾性部材の一側側に配置され、前記弾性部材を固定する支持部材と、前記弾性部材の他側側に設けられ、前記平板状パネルを接着ないしは粘着保持する保持剤層とを備え、前記弾性部材は、複数の貫通孔が設けられた厚肉平板部と、前記厚肉平板部の前記保持部材が配置される側面に配置される薄肉平板部とを有し、前記薄肉平板部と前記支持部材との間に前記流体を注入することにより、前記薄肉平板部を前記貫通孔内に挿入するようにして、膨出変形させて、前記平板状パネルを前記保持剤層から脱着させることができる。
【００３１】
前記保持剤層は、接着ないしは粘着力に強弱を設けることができる。
【００３２】
前記接着ないしは粘着力の強弱は、接着剤ないしは粘着剤の種類の変更、または、面積の変更、さらに、密集度により設定することができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明にかかる平板状パネルの保持装置によれば、比較的簡単な構成により、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うことなく実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００３５】
〔実施例１〕
図１は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１実施例を示している。この図に示した平板状パネルの保持装置１０は、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体１２と、支持具１４と、固着剤１６と、保持剤層１８とを備えている。
【００３６】
弾性袋体１２は、天然ないしは合成ゴムなどの弾性変形可能な材料であって、かつ、気密性を有する材料から偏平な円盤状に形成され、本体２０と、本体２０の一端側に設けられ、内部に連通する気体の注排出口２２とを備えている。本体２０は、注排出口２２から気体、例えば、圧縮空気を注入することにより拡径し、これを排出することで収縮する。
【００３７】
なお、本実施例では、弾性袋体１２に注入する流体として、圧縮空気を用いた場合を例示しているが、本発明の実施は、これに限られることはなく、例えば、窒素などの体の気体を用いることや、あるいは、場合によっては、水などの液体であっても良い。
【００３８】
支持具１４は、例えば、金属板や硬質合成樹脂板などの平板状の剛性平板から構成され、本実施例の場合には、弾性袋体１２の本体２０とほぼ同じ大きさに形成され、下面側に固着剤１６が設けられていて、弾性袋体１２の偏平な本体２０の上面が固着剤１６に固着されており、この固着剤１６は、例えば、接着剤ないしは粘着剤で構成することができる。
【００３９】
本実施例の場合、２個の弾性袋体１２に対して、これらを個別に支持具１４に固着しているが、単一構成の支持具に２個の弾性袋体１２を固着するようにしてもよい。
【００４０】
保持剤層１８は、接着剤ないしは粘着剤を所定の厚みに塗布したものであって、弾性袋体１２の偏平な本体２０の下面側に貼着されていて、その下面側には、平板状パネルＰが接着ないしは粘着保持されている。なお、この保持剤層１８は、所定形状の伸縮性のある接着フィルムや、両面接着フィルムを用いることもでき、このようなフィルムを用いると、接着力が低下した際に、これを剥がして、簡単に取り替えることができる。
【００４１】
平板状パネルＰを保持剤層１８に接着ないしは粘着させてこれを保持させる際には、図１（Ａ）に示すように、弾性袋体１２内に空気を注入して、弾性袋体１２の本体２０が所定の厚みになるようにする。本体２０をこのような状態に維持するには、例えば、注排出口２２に開閉バルブを設けて、空気を注入してバルブを閉止すればよい。
【００４２】
そして、平板状パネルＰを脱着させる際には、図１（Ｂ）に示すように、空気を弾性袋体１２の本体２０内に注入して、これを拡径させて弾性変形させる。このように操作すると、拡径した本体２０の周縁がパネルＰから離間して、これに伴って、保持剤層１８と平板状パネルＰの接合面が小さくなって、平板状パネルＰの自重により、保持剤層１８から離脱して、落下させることができる。
【００４３】
このような平板状パネルＰの着脱機構は、大気中で平板状パネルＰを搬送する際などに適用することができる。以上のように構成された平板状パネルＰの保持装置１０によれば、弾性袋体１２の他端側に貼着された保持剤層１８により、平板状パネルＰを接着ないしは粘着保持することができるとともに、弾性袋体１２を拡径させて弾性変形させると、保持剤層１８と弾性袋体１２の接合面が低減し、平板状パネルＰを保持剤層１８から脱着させることができ、このような保持装置１０は、構成が簡単で、平板状パネルＰの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
【００４４】
〔実施例２〕
図２は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第２実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
【００４５】
この図に示した平板状パネルの保持装置１０ａは、上記実施例と同様に、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体１２ａと、支持具１４ａと、固着剤１６ａと、保持剤層１８ａとを備えている。
【００４６】
弾性袋体１２ａは、本体２０ａと注排出口２２ａとを有していて、圧縮空気を注入することにより本体２０ａは、偏平な円盤状に形成され、その側に固着剤１６ａが配置され、下面側に保持剤層１８ａが貼着形成されている。
【００４７】
平板状パネルＰは、保持剤層１８ａの下面側に接着ないしは粘着されることで保持されている。本実施例の場合、平板状パネルＰを脱着させる際には、図２（Ｂ）に示すように、空気を弾性袋体１２の本体２０内から排出させて、弾性袋体１２を収縮するように弾性変形させる。
【００４８】
このように操作すると、拡径した本体２０ａの周縁がパネルＰから離間して、これに伴って、保持剤層１８ａと平板状パネルＰの接合面が小さくなって、平板状パネルＰの自重により、保持剤層１８ａから離脱して落下する。このように構成した平板状パネルＰの保持装置１０ａによっても上記実施例と同等の作用効果が得られる。
【００４９】
〔実施例３〕
図３は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第３実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
【００５０】
この図に示した平板状パネルの保持装置１０ｂは、上記実施例と同様に、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体１２ｂと、支持具１４ｂと、固着剤１６ｂと、保持剤層１８ｂとを備えている。
【００５１】
本実施例の場合、支持具１４ｂは、上記実施例１同様に、弾性袋体１２ｂの本体２０ｂとほぼ同じ大きさの剛性平板から形成されているとともに、外周縁には、周回する突起部２４ｂが一体に形成されている。突起部２４ｂは、本体２０ｂを取付けると、その外周縁を取り囲むように形成されている。
【００５２】
また、支持具１４ｂの内面側には、着脱可能な交換板２６ｂが配置されており、この交換板２６ｂに固着剤１６ｂが固着されている。このように構成した保持装置１０ｂでは、上記実施例１と同様に、弾性袋体１２ｂを拡径することにより、平板状パネルＰを保持剤層１８ｂから脱着させることになるが、この際に、弾性袋体１２ｂの本体２０ｂが、平板状パネルＰと反対側に拡径することを、突起部２４ｂにより抑制することができる。
【００５３】
このため、弾性袋体１２ｂに空気を注入して、本体２０ｂを拡径させると、弾性変形が保持剤層１８ｂ側でのみ大きくなって、確実に平板状パネルＰを脱着させることができる。
【００５４】
なお、弾性袋体１２ｂの拡径方向を規制する手段は、支持具１４ｂに突起部２４ｂを設けること以外に、例えば、本体２０ｂの厚みを、上下面で異ならせて、保持剤層１８ｂ側がより薄くなるようにしても良い。
【００５５】
また、確実に平板状パネルＰを脱着させるための手段としては、例えば、弾性袋体１２ｂに関して、支持具１４ｂ側の固着力と保持剤層１８ｂのパネルＰに対する保持力とが異なるようにし、固着力の方が保持力よりも大きくなるように設定することも有効である。以上の各手段は、２以上を組合わせることも有効である。
【００５６】
さらに、本実施例の場合には、弾性袋体１２ｂが劣化した場合に、交換板２６ｂを取外して、簡単に取り替えることができる。
【００５７】
〔実施例４〕
図４は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第４実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
【００５８】
この図に示した平板状パネルの保持装置１０ｃは、上記実施例と同様に、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体１２ｃと、支持具１４ｃと、固着剤１６ｃと、保持剤層１８ｃとを備えている。
【００５９】
本実施例の場合にも、支持具１４ｃの内側に交換板２６ｃが配置されていて、この交換板２６ｃに固着剤１６ｃが固着されている。交換板２６ｃは、支持具１４ｃにボルトナットで取付けられていて、取外し可能になっている。このように構成した保持装置１０ｃによれば、弾性袋体１２ｃが劣化した場合に、交換板２６ｃを取外して、簡単に取り替えることができる。
【００６０】
〔実施例５〕  図５は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第５実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
【００６１】
この図に示した平板状パネルの保持装置１０ｄは、上記実施例と同様に、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性袋体１２ｄと、支持具１４ｄと、固着剤１６ｄと、保持剤層１８ｄとを備えている。
【００６２】
本実施例の場合、２個の弾性袋体１２ｄは、一方の注排出口２２ｄが、他方の本体２０ｄと連通接続されていて、これらが直列接続されている。また、注排出口２２ｄには、コネクタ２８ｄを介して、空気の供給装置３０ｄを接続し、各弾性袋体１２ｄ内には、圧力センサー３２ｄを配置している。
【００６３】
圧力センサー３２ｄの検出信号は、制御装置３４ｄに入力されている。制御装置３４ｄは、圧力センサー３２ｄの検出値を受けて、各弾性袋体１２ｄの拡径ないしは収縮を制御する。
【００６４】
この場合、平板状パネルＰを保持させる際には、図５に示すように、弾性袋体１２ｄがある程度拡径した状態を維持するとともに、弾性袋体１２ｄを拡径ないしは収縮させて弾性変形させることで、平板状パネルＰを保持剤層１８ｄから脱着させることができ、図１と図２に示した実施例の機能を、同じ構成で持たせることができる。
【００６５】
さらに、本実施例の場合には、弾性袋体１２ｄは、平板状パネルＰを減圧雰囲気下で保持させる際に、制御装置３４ｄにより、弾性袋体１２ｄが減圧により変形することがないように、その内部圧力を制御することができるので、大気中でのパネルＰの搬送以外に、真空などの減圧雰囲気下でも、平板状パネルＰの保持と脱着とを安定して行うことができ、例えば、パネル同士の貼り合せにおいても適用することができる。
【００６６】
〔実施例６〕
図６は、本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第６〜８実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、それぞれ同一符号を付してその説明を省略するとともに、以下にその特徴点についてのみ詳述する。
【００６７】
この図に示した実施例は、弾性袋体１２ｅ〜１２ｇに貼着する保持剤層１８ｅ〜１８ｇの変形例である。図６（Ａ）に示した第６実施例では、弾性袋体１２ｅに形成する保持剤層１８ｅは、偏平な本体２０ｅの下面の全面に貼着形成されている。
【００６８】
〔実施例７〕
また、図６（Ｂ）に示した第７実施例では、弾性袋体１２ｆに形成する保持剤層１８ｆは、偏平な本体２０ｆの下面に、所定の間隔を隔てて帯状に複数列貼着形成されている。
【００６９】
〔実施例８〕
さらに、図６（Ｃ）に示した第８実施例では、弾性袋体１２ｇに形成する保持剤層１８ｇは、偏平な本体２０ｇの下面に、所定の直径の円形の小面積のものが、複数散在させるように貼着形成している。
【００７０】
このような保持剤層１８ｅ〜１８ｇは、いずれか１つを選択することができ、これによれば、平板状パネルＰに対する接着ないしは粘着力を容易にコントロールすることができる。
【００７１】
なお、上記実施例では、２個の弾性袋体１２を用いる保持装置を例示したが、本発明の実施はこれに限られることはなく、例えば、保持対象の平板状パネルＰの大きさに応じて数量を任意に選択することができる。
【００７２】
〔実施例９〕
図７および図８は、本発明に係る平板状パネルの保持装置の第９実施例を示している。
【００７３】
この図に示した平板状パネルの保持装置５０は、上記実施例と同様に、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性部材５２と、支持部材５４と、保持剤層５８とを備えている。
【００７４】
弾性部材５２は、天然ないしは合成ゴムなどの弾性変形可能な材料から、例えば、円盤状に形成され、所定厚みの平板状の平坦部６０と、平坦部６０の周縁に起立形成されたフランジ部６２とを備え、フランジ部６２の内端側には、環状の突起６４が設けられている。
【００７５】
支持部材５４は、例えば、金属板や硬質合成樹脂板などの平板状の剛性平板から構成され、弾性部材５２の外周縁を気密ないしは液密状態に固定支持している。本実施例の固定支持状態は、支持部材５４の側面にフランジ部６２を嵌着すると共に、支持部材５４の厚み方向の外周に環状の凹溝６６を形成し、この凹溝６６内に、弾性部材５２の突起６４を嵌着することで固定支持している。
【００７６】
また、支持部材５４の内部には、通路６８が設けられている。この通路６８は、一端側が支持部材５４の上面に開口し、他端側が弾性部材５４の平坦部６０と支持部材５４の下面とが接触する部分に開口している。
【００７７】
保持剤層５８は、接着剤ないしは粘着剤を所定の厚みに塗布したものであって、弾性部材５２の平坦面６０の下面側に貼付されており、保持剤層５８の下面側には、平板状パネルＰが接着ないしは粘着保持される。
【００７８】
平板状パネルＰを保持剤層５８に接着ないしは粘着させた後に、パネルＰを脱着させる際には、図８に示すように、例えば、空気を通路６８を介して、弾性部材５２の平坦部６０と支持部材５４の下面との間に注入すると、弾性部材５２の平坦部６０が、膨出するように弾性変形し、これに伴って、膨出変形した平坦部６０の周縁がパネルＰから離間して、その結果、保持剤層５８と平板状パネルＰの接合面が小さくなって、平板状パネルＰの自重により、保持剤層５８から離脱して、落下させることができる。
【００７９】
このような平板状パネルＰの着脱機構は、上記実施例と同様に、大気中で平板状パネルＰを搬送する際などに適用することができ、本実施例の保持装置５０によれば、上記実施例と同様に、構成が簡単で、平板状パネルＰの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
【００８０】
なお、この実施例では、支持部材５４による弾性部材５２の支持は、突起６４を凹溝６６内に嵌着することで行っているが、これに加えて接着剤などで固着する構成を併用してもよい。また、以下の実施例においも同じであるが、パネルＰは、流体注入により弾性部材５２をある程度膨出変形させた状態で保持させておいて、流体を排出することにより、弾性部材５２を収縮させて、パネルＰを離脱することもできる。
【００８１】
〔実施例１０〕
図９は、本発明に係る保持装置の第１０実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【００８２】
同図に示した実施例では、上記実施例９における支持部材５４ａによる弾性部材５２ａの支持構造の変形例であって、弾性部材５２ａは、上記実施例と同様に平坦部６０ａとフランジ部６２ａとを備えている。本実施例の場合、実施例９の突起６４に代えて、フランジ部６２ａの上端には、環状のＬ字状部７０ａが設けられている。
【００８３】
一方、支持部材５４ａには、通路６８ａと、上面側に環状の凹溝７２ａが設けられている。そして、環状凹溝７２ａ内には、弾性部材５２ａのＬ字状部７０ａの先端側が嵌着固定されている。この嵌着状態においては、弾性部材５２ａのフランジ部６２ａの内面が、支持部材５４ａの側面に密着するようになっている。
【００８４】
このように構成した支持装置５０ａによれば、上記実施例の作用効果に加えて、弾性部材５２ａと支持部材５４ａとの密着部分が大きくなるので、弾性部材５２ａをより一層確実に、気密ないしは液密に支持することができる。
【００８５】
〔実施例１１〕
図１０は、本発明に係る保持装置の第１１実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【００８６】
同図に示した実施例では、上記実施例９における支持部材５４ｂによる弾性部材５２ｂの支持構造の変形例であって、弾性部材５２ｂは、上記実施例と同様に平坦部６０ｂとフランジ部６２ｂと、突起６４ｂとを備えている。本実施例の場合、フランジ部６２ｂの上端には、環状の内方延設部７４ｂが設けられている。
【００８７】
一方、支持部材５４ｂには、通路６８ｂと、外周面に環状の凹溝６６ｂが設けられている。そして、環状凹溝６６ｂ内には、弾性部材５２ｂの突起６４ｂが嵌着固定されている。この嵌着状態において、弾性部材５２ｂの延設部７４ｂが、支持部材５４ｂの上側面に密着するようになっている。
【００８８】
このように構成した支持装置５０ｂによれば、上記実施例の作用効果に加えて、弾性部材５２ｂと支持部材５４ｂとの密着嵌合部分が大きくなるので、弾性部材５２ｂをより一層確実に、気密ないしは液密に支持することができる。
【００８９】
〔実施例１２〕
図１１は、本発明に係る保持装置の第１２実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【００９０】
同図に示した実施例では、上記実施例９における支持部材５４ｃによる弾性部材５２ｃの支持構造の変形例であって、弾性部材５２ｃは、上記実施例と同様に平坦部６０ｃとフランジ部６２ｃと、突起６４ｃとを備えている。本実施例の場合、フランジ部６２ｃの上端には、環状のＬ字状部７０ｃが設けられている。
【００９１】
一方、支持部材５４ｃには、通路６８ｃと、外周面に環状の凹溝６６ｃが設けられているとともに、上面にも環状の凹溝７２ｃが設けられている。そして、環状凹溝６６ｃ内には、弾性部材５２ｃの突起６４ｃが嵌着固定され、凹溝７２ｃには、Ｌ字状部７０ｃの先端が嵌着固定されている。
【００９２】
このように構成した支持装置５０ｃによれば、上記実施例の作用効果に加えて、弾性部材５２ｃと支持部材５４ｃとの嵌合および密着部分がより一層大きくなるので、弾性部材５２ｃをより一層確実に、気密ないしは液密に支持することができる。
【００９３】
〔実施例１３〕
図１２は、本発明に係る保持装置の第１３実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【００９４】
同図に示した実施例では、上記実施例９における支持部材５４ｄによる弾性部材５２ｄの固定支持構造の変形例であって、弾性部材５２ｄは、上記実施例と同様に平坦部６０ｄとフランジ部６２ｄとを備えている。一方、支持部材５４ｄには、通路６８ｄが設けられている。そして、フランジ部６２ｄは、支持部材５４ｄの外周面に嵌着されており、この状態で、フランジ部６２ｄの外周面には、リング状の金具７６ｄが締め付けるようにして装着されている。
【００９５】
このように構成した支持装置５０ｄによれば、上記実施例の作用効果に加えて、金具７６ｄによりフランジ部６２ｄが締結されるので、弾性部材５２ｄと支持部材５４ｄとの嵌合および密着部分がより一層大きくなるので、弾性部材５２ｄをより一層確実に、気密ないしは液密に支持することができる。
【００９６】
〔実施例１４〕
図１３は、本発明に係る保持装置の第１４実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【００９７】
同図に示した実施例では、上記実施例９における支持部材５４ｅによる弾性部材５２ｅの固定支持構造の変形例であって、弾性部材５２ｅは、上記実施例と同様に平坦部６０ｅとフランジ部６２ｅと、延設部７４ｅとを備えている。一方、支持部材５４ｅには、通路６８ｅが設けられている。そして、フランジ部６２ｅは、支持部材５４ｄの外周面に嵌着されており、この状態で、フランジ部６２ｅの外周面には、リング状の金具７６ｅが締め付けるようにして装着されている。このように構成した支持装置５０ｅによれば、上記実施例１３と同等の作用効果が得られる。
【００９８】
〔実施例１５〕
図１４は、本発明に係る保持装置の第１５実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【００９９】
同図に示した実施例では、上記実施例９における支持部材５４ｆによる弾性部材５２ｆの固定支持構造の変形例であって、弾性部材５２ｆは、上記実施例と同様に平坦部６０ｆとフランジ部６２ｆとを備えており、フランジ部６２ｆの外面には、環状の凹溝７８ｆが設けられている。一方、支持部材５４ｆには、通路６８ｆが設けられている。そして、フランジ部６２ｆは、支持部材５４ｆの外周側面に嵌着されており、この状態で、凹溝７８ｆ内には、リング状の金具７６ｆが締め付けるようにして装着されている。このように構成した支持装置５０ｆによれば、上記実施例１４と同等の作用効果が得られる。
【０１００】
〔実施例１６〕
図１５は、本発明に係る保持装置の第１６実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【０１０１】
同図に示した実施例では、上記実施例９における支持部材５４ｇによる弾性部材５２ｇの固定支持構造の変形例であって、弾性部材５２ｇは、上記実施例と同様に平坦部６０ｇとフランジ部６２ｇと、延設部７４ｇとを備えており、フランジ部６２ｇの外面には、環状の凹溝７８ｇが設けられている。一方、支持部材５４ｇには、通路６８ｇが設けられている。そして、フランジ部６２ｇは、支持部材５４ｇの側面外周に嵌着されており、この状態で、凹溝７８ｇ内には、リング状の金具７６ｇが締め付けるようにして装着されている。このように構成した支持装置５０ｇによれば、上記実施例１５と同等の作用効果が得られる。
【０１０２】
〔実施例１７〕
図１６は、本発明に係る保持装置の第１７実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【０１０３】
この図に示した平板状パネルの保持装置５０ｈは、上記実施例と同様に、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性部材５２ｈと、支持部材５４ｈと、保持剤層５８ｈとを備えている。
弾性部材５２ｈは、天然ないしは合成ゴムなどの弾性変形可能な材料から形成され、所定厚みの平板状に形成されている。この弾性部材５２ｈには、支持部材５４ｈと接触する側の面に、複数の凹部８０ｈが設けられていて、凹部８０ｈが設けられた個所には、肉厚が薄い薄肉部８２ｈが複数設けられている。
【０１０４】
この凹部８０ｈは、図示した例では、概略Ｕ字断面となっているが、角型断面や、Ｖ字状断面であってもよい。また、凹部８０ｈは、独立したものを散在的に配置してもよいし、同心状などの溝形態であってもよい。
支持部材５４ｈは、例えば、金属板や硬質合成樹脂板などの平板状の剛性平板から構成され、弾性部材５２ｈの下面側を接着することにより固定支持しており、その内部には、空気などの流体の供給通路６８ｈが設けられており、通路６８ｈの一端は、凹部８０内と連通している。
【０１０５】
保持剤層５８ｈは、接着剤ないしは粘着剤を所定の厚みに塗布したものであって、弾性部材５２ｈの上面側に貼付されており、その上面側には、平板状パネルＰが接着ないしは粘着保持される。
【０１０６】
平板状パネルＰを保持剤層５８ｈに接着ないしは粘着させた後に、パネルＰを脱着させる際には、図１６（Ｂ）に示すように、例えば、空気を通路６８ｈを介して、各凹部８０ｈ内に注入すると、弾性部材５２ｈの薄肉部８２ｈが、膨出するように弾性変形し、これに伴って、パネルＰが保持剤層５８ｈから離間して、平板状パネルＰの自重により、保持剤層５８ｈから離脱して、落下させることができる。
【０１０７】
このような平板状パネルＰの着脱機構は、上記実施例と同様に、大気中で平板状パネルＰを搬送する際などに適用することができ、本実施例の保持装置５０ｈによれば、上記実施例と同様に、構成が簡単で、平板状パネルＰの着脱も簡単に行えるので、単価を低く抑えることができ、多大な設備投資を伴うこともない。
【０１０８】
なお、この実施例では、支持部材５４ｈによる弾性部材５２ｈの支持は、接着ないしは粘着で行う場合を例示したが、これに代えて、上記実施例で示した嵌着固定構造を採用することもできる。
【０１０９】
〔実施例１８〕
図１７は、本発明に係る保持装置の第１８実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【０１１０】
この図に示した平板状パネルの保持装置５０ｉは、上記実施例と同様に、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性部材５２ｉと、支持部材５４ｉと、保持剤層５８ｉとを備えている。
【０１１１】
弾性部材５２ｉは、所定厚みに形成された肉厚平板部８４ｉと、肉厚平板部８４ｉに貫通形成された貫通孔８６ｉと、薄肉平板部８８ｉとを備えている。薄肉平板部８８ｉは、パネルＰ側に配置され、その上面には、保持剤層５８ｉが設けられている。支持部材５４ｉには、流体の供給通路６８ｉが設けられており、通路６８ｈの一端は、貫通孔８６ｉ内と連通している。
【０１１２】
平板状パネルＰを保持剤層５８ｉに接着ないしは粘着させた後に、パネルＰを脱着させる際には、図１７（Ｂ）に示すように、例えば、空気を通路６８ｉを介して、各貫通孔８６ｉ内に注入すると、貫通孔８６ｉに対向する個所の薄肉平板部８８ｉが、部分的に外方に向けて膨出するように弾性変形し、これに伴って、パネルＰが保持剤層５８ｊから離間して、平板状パネルＰの自重により、落下させることができる。本実施例の場合にも上記実施例と同等の作用効果が得られる。
【０１１３】
〔実施例１９〕
図１８は、本発明に係る保持装置の第１９実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【０１１４】
この図に示した平板状パネルの保持装置５０ｊは、上記実施例と同様に、ＬＣＤ，ＰＤＰ，有機ＥＬなどの平板状パネルＰを着脱可能に保持するものであって、弾性部材５２ｊと、支持部材５４ｊと、保持剤層５８ｊとを備えている。
【０１１５】
弾性部材５２ｊは、所定厚みに形成された肉厚平板部８４ｊと、肉厚平板部８４ｊに貫通形成された貫通孔８６ｊと、薄肉平板部８８ｊとを備えている。薄肉平板部８８ｊは、支持部材５４ｊ側に配置されている、肉厚平板部８４ｊの上面には、保持剤層５８ｊが設けられている。支持部材５４ｊには、流体の供給通路６８ｊが設けられており、通路６８ｊの一端は、貫通孔８６ｉと対向する位置で開口している。
【０１１６】
平板状パネルＰを保持剤層５８ｊに接着ないしは粘着させた後に、パネルＰを脱着させる際には、図１８（Ｂ）に示すように、例えば、空気を通路６８ｊを介して注入すると、貫通孔８６ｊに対向する個所の薄肉平板部８８ｊが、貫通孔８６ｊ内に挿入されるようにして、外方に向けて膨出変形し、これに伴って、パネルＰが保持剤層５８ｊから離間して、平板状パネルＰの自重により、落下させることができる。本実施例の場合にも上記実施例と同等の作用効果が得られる。
【０１１７】
〔実施例２０〕
図１９は、本発明に係る保持装置の第２０実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【０１１８】
この図に示した実施例では、弾性部材５２ｋに設けるパネルＰの保持剤層５６ｋに工夫をしており、本実施例の場合には、保持剤層５６ｋは、接着力ないしは粘着力が異なる複数が用いられていて、円盤状に形成された弾性部材５２ｋの中心に、小円状の第１層９０ｋが設けられ、この第１層９０ｋの外側に第２層９１ｋが同心円状に配置され、接着力ないしは粘着力は、第１層９０ｋが第２層９１ｋよりも大きくなるように設定されている。このような構成の保持剤層５６ｋを用いると、弾性部材５２ｋを膨出変形させた際に、第２層９１ｋが早期にパネルＰから離間し、面積の小さい第１層９０ｋでパネルＰを保持することになるが、第１層９０ｋは、接着力ないしは粘着力が大きいので、パネルＰを安定して支持することができる。
【０１１９】
〔実施例２１〕
図２０は、本発明に係る保持装置の第２１実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【０１２０】
この図に示した実施例では、弾性部材５２ｌに設けるパネルＰの保持剤層５６ｌを小円状に形成し、小円状の保持剤層５６ｌの密集度合いを変更することにより、接着力ないしは粘着力に強弱を設けるようにしている。図２１に示した例では、中心部分に密集度の密な部分を設け、その周囲に密集度の粗な部分を放射状に配置しており、このような構成によっても、実施例２０と同等の作用効果が得られる。
【０１２１】
〔実施例２２〕
図２１は、本発明に係る保持装置の第２２実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【０１２２】
この図に示した実施例では、弾性部材５２ｍに設けるパネルＰの保持剤層５６ｍの貼付面積を変更することにより、保持力の調整をするものであって、同図に示した例では、弾性部材５２ｍの中心部分に円形状の保持剤層５６ｍを貼付しない領域を設けて、保持力の調整を行っている。
【０１２３】
〔実施例２３〕
図２２〜図２４は、本発明に係る保持装置の第２３実施例を示しており、上記実施例と同一もしくは相当する部分には、関連符号を付して、その説明を省略するとともに、以下に特徴点についてのみ詳述する。
【０１２４】
この図に示した実施例では、円盤状の弾性部材５２ｎの厚みを変更することにより、これを膨出変形させた際の変形形状を変化させるものであって、この例では、弾性部材５２ｎの平端部６０ｎの厚みが異ならせてある。すなわち、図２２では、平坦部６０ｎの外周縁側に環状の薄肉部が設けられている。
【０１２５】
また、図２３では、平坦部６０ｎの外周縁に設けられた環状薄肉部が、図２２の場合よりも幅が大きくなっている。さらに、図２４では、平坦部６０ｎの中心部に環状の薄肉部が形成されている。このような形状の弾性部材５２ｎに同じ圧力状態の流体を注入すると、図２２では、平坦部６０ｎのほぼ全域が膨出変形し、図２３では、図２２よりも小さい面積が膨出変形し、図２４では、中心部分だけを比較的狭い領域で膨出変形させることになる。このような構成を採用すると、パネルＰが保持剤層５６ｎから離脱する際の速度に変化をもたせることが可能になる。
【産業上の利用可能性】
【０１２６】
本発明にかかる平板状パネルの保持装置は、安価で大型の設備も必要としないので、ＦＰＤ産業に有効に活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１実施例を示す断面説明図である。
【図２】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第２実施例を示す断面説明図である。
【図３】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第３実施例を示す断面説明図である。
【図４】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第４実施例を示す断面説明図である。
【図５】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第５実施例を示す断面説明図である。
【図６】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第６〜第８実施例を示す平面説明図である。
【図７】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第９実施例において、パネルを保持した状態を示す断面説明図である。
【図８】図８で保持したパネルを離脱させる状態を示す断面説明図である。
【図９】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１０実施例を示す要部断面説明図である。
【図１０】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１１実施例を示す要部断面説明図である。
【図１１】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１２実施例を示す要部断面説明図である。
【図１２】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１３実施例を示す要部断面説明図である。
【図１３】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１４実施例を示す要部断面説明図である。
【図１４】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１５実施例を示す要部断面説明図である。
【図１５】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１６実施例を示す要部断面説明図である。
【図１６】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１７実施例において、パネルを保持した状態と、保持したパネルを離脱させる状態とを示す断面説明図である。
【図１７】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１８実施例において、パネルを保持した状態と、保持したパネルを離脱させる状態とを示す断面説明図である。
【図１８】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第１９実施例において、パネルを保持した状態と、保持したパネルを離脱させる状態とを示す断面説明図である。
【図１９】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第２０実施例を示す要部平面説明図である。
【図２０】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第２１実施例を示す要部平面説明図である。
【図２１】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第２２実施例を示す要部平面説明図と側面説明図である。
【図２２】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第２３実施例を示す平面図と側面図および膨出変形説明図である。
【図２３】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第２３実施例を示す平面図と側面図および膨出変形説明図である。
【図２４】本発明にかかる平板状パネルの保持装置の第２３実施例を示す平面図と側面図および膨出変形説明図である。
【符号の説明】
【０１２８】
１０，１０ａ〜１０ｄ          保持装置
１２，１２ａ〜１２ｄ          弾性袋体
１４，１４ａ〜１４ｄ          支持具
１６，１６ａ〜１６ｄ          固着剤
１８，１８ａ〜１８ｄ          保持剤層
２０，２０ａ〜２０ｄ          本体
２２，２２ａ〜２２ｄ          注排出口
【図１】
2006273578.tif 000003
【図２】
2006273578.tif 000004
【図３】
2006273578.tif 000005
【図４】
2006273578.tif 000006
【図５】
2006273578.tif 000007
【図６】
2006273578.tif 000008
【図７】
2006273578.tif 000009
【図８】
2006273578.tif 000010
【図９】
2006273578.tif 000011
【図１０】
2006273578.tif 000012
【図１１】
2006273578.tif 000013
【図１２】
2006273578.tif 000014
【図１３】
2006273578.tif 000015
【図１４】
2006273578.tif 000016
【図１５】
2006273578.tif 000017
【図１６】
2006273578.tif 000018
【図１７】
2006273578.tif 000019
【図１８】
2006273578.tif 000020
【図１９】
2006273578.tif 000021
【図２０】
2006273578.tif 000022
【図２１】
2006273578.tif 000023
【図２２】
2006273578.tif 000024
【図２３】
2006273578.tif 000025
【図２４】
2006273578.tif 000026