(57)【要約】【課題】  印刷位置ズレを抑えるとともに、印刷材の裏まわりを抑えることが可能な掛け軸型印刷版を製造することできる印刷版製造方法を提供する。【解決手段】  シート材に複数の貫通孔からなる印刷パターンをレーザー加工してシート版６１を得るレーザー加工工程と、そのシート材又はシート版６１の周縁部に対して補強部材７４を部分的に固定する補強部材固定工程とを実施して、シート版６１の周縁部に補強部材７４が部分的に固定された掛け軸型印刷版を製造する印刷版製造方法において、上記レーザー加工工程にて、上記シート材を冷却しながらレーザー加工を行うようにした。冷却により、シート材のレーザー照射部から発生する高熱ガスによる貫通孔の周囲の昇温を抑える。そして、このことにより、貫通孔の周囲の熱変形によるシート版６１の歪み癖の発生を抑えることができる。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材に複数の孔、凹部又はこれらの組み合わせによる印刷パターンをレーザー加工してシート版を得るレーザー加工工程と、該シート材又はシート版の周縁部に対して補強部材を部分的に固定する補強部材固定工程とを実施して、該シート版の周縁部に該補強部材が部分的に固定された印刷版を製造する印刷版製造方法において、
上記レーザー加工工程にて、上記シート材を冷却しながらレーザー加工を行うことを特徴とする印刷版製造方法。
【請求項２】
請求項１の印刷版製造方法において、
上記シート材として樹脂からなるものを用い、且つ、上記レーザー加工工程の際にエキシマレーザー光を用いることを特徴とする印刷版製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２の印刷版製造方法において、
上記レーザー加工工程にて、上記シート材を冷却する冷却手段として、該シート材を載置する載置部を冷却することで、該載置部に載置されたシート材を冷却するものを用いることを特徴とする印刷版製造方法。
【請求項４】
請求項３の印刷版製造方法において、
上記載置部として多孔質材料からなるものを用いるとともに、上記冷却手段として、該載置部の裏面に接触しつつ接触部に冷熱を発する冷熱発生手段を有するものを用いたことを特徴とする印刷版製造方法。
【請求項５】
請求項４の印刷版製造方法において、
上記載置部の微細孔を通して、該載置台上に載置される上記シート材を該載置台に向けて吸引する吸引手段を用いることを特徴とする印刷版製造方法。
【請求項６】
ワークを載置する載置部と、該載置部上に載置されたワークにレーザー光を照射するレーザー照射手段とを備えるレーザー加工装置において、
上記載置部として多孔質材料からなるものを用いるとともに、冷熱発生部から発した冷熱によって該載置部を裏面側から冷却する冷熱発生手段と、該載置部の微細孔を通してワークを該載置部に向けて吸引する吸引手段とを設けたことを特徴とするレーザー加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の孔、凹部又はこれらの組み合わせによる印刷パターンがレーザー加工されたシート版を有する印刷版を製造する印刷版製造方法、及びこれに用いられるレーザー加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の孔や凹部からなる印刷パターンがレーザー加工されたシート版を用いて、クリームはんだ、インク、接着剤、樹脂などのペースト状の印刷材を被印刷体上に印刷する印刷法が広く用いられている。かかる印刷法においては、薄いシート版を所定のテンションで枠材に張架固定した印刷版の状態で使用するのが一般的である。画材として用いられるキャンバスを所定のテンションで木枠に固定した張り上げキャンバスのようなものである。このような印刷版にあっては、枠材に固定するシート版をテンションによって微妙に伸ばしてしまうため、印刷パターン内の孔や凹部に位置ズレを起こす場合がある。孔や凹部の微細ピッチ化が進む近年においては、印刷パターンの開口率の増加に伴ってシート版が伸び易くなっているため、かかる位置ズレが生じ易くなっている。特許文献１に記載されているプラスチックマスクでは、孔や凹部の内壁平滑性や、被印刷体との密着性に優れていることから、高品質の印刷が可能になる反面、樹脂からなるシート版が非常に伸び易いことから、位置ズレが特に生じ易くなる。
【０００３】
そこで、本出願人は、特許文献２において、薄いシート版を所定のテンションで枠材に固定するのではなく、シート版にテンションをかけないようにその周縁部に補強部材を部分的に固定した印刷版を提案した。この印刷版においては、例えば、矩形状のシート版の互いに対向する２辺だけに補強部材を固定した掛け軸のような構造になっている。印刷時には、シート版を撓ませない程度にこれら補強部材をそれぞれ所定の距離をおいて保持手段に保持させながら、シート版に印刷材を刷り付けることで、シート版にテンションを殆どかけることなく、印刷を行うことができる。よって、シート版の伸びに起因する印刷位置ズレを抑えることができる。なお、以下、便宜的に、この種の印刷版を掛け軸型印刷版という。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−８１０２７号公報
【特許文献２】特開２００１−１８３５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、掛け軸型印刷版においては、シート版の厚み方向に発生した皺状の歪み癖により、印刷材のいわゆる裏まわりを発生させ易くなることがわかった。具体的には、シート材に孔や凹部をレーザー加工する際、シート材のレーザー照射部からはその破壊に伴って高熱ガスが発生する。この高熱ガスは、レーザー照射によってできた孔や凹部の周囲を加熱する。掛け軸型印刷版には、高開口率の印刷パターンにおける孔や凹部の位置ズレを抑えるという狙いがあるため、掛け軸型印刷版に用いられるシート版は印刷パターンの開口率が相当に高くなっている。このような高開口率のシート版では、孔間や凹部間に存在するシート素材の体積が非常に小さいことから、加熱された孔や凹部の周囲は相当の温度まで昇温する。そして、この昇温により、孔や凹部の周囲が熱変形して、シート版の厚み方向に皺状の歪み癖が現れてしまう。上述したプラスチックマスクの場合には、シート材が塑性変形し易い樹脂であることから、かかる歪み癖が特に生じ易くなる。歪み癖のあるシート版は、印刷の際、シート版の裏面と被印刷体との間に部分的なギャップを発生させる。そして、孔や凹部内に充填された印刷材が、このギャップを通ってシート版と被印刷体との間にまわりこんでしまうのである。
【０００６】
本発明は、以上の背景に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、次のような印刷版製造方法及びこれに用いられるレーザー加工装置を提供することである。即ち、印刷位置ズレを抑えるとともに、印刷材の裏まわりを抑えることが可能な印刷版を製造することできる印刷版製造方法等である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、シート材に複数の孔、凹部又はこれらの組み合わせによる印刷パターンをレーザー加工してシート版を得るレーザー加工工程と、該シート材又はシート版の周縁部に対して補強部材を部分的に固定する補強部材固定工程とを実施して、該シート版の周縁部に該補強部材が部分的に固定された印刷版を製造する印刷版製造方法において、上記レーザー加工工程にて、上記シート材を冷却しながらレーザー加工を行うことを特徴とするものである。
また、請求項２の発明は、請求項１の印刷版製造方法において、上記シート材として樹脂からなるものを用い、且つ、上記レーザー加工工程の際にエキシマレーザー光を用いることを特徴とするものである。
また、請求項３の発明は、請求項１又は２の印刷版製造方法において、上記レーザー加工工程にて、上記シート材を冷却する冷却手段として、該シート材を載置する載置部を冷却することで、該載置部に載置されたシート材を冷却するものを用いることを特徴とするものである。
また、請求項４の発明は、請求項３の印刷版製造方法において、上記載置部として多孔質材料からなるものを用いるとともに、上記冷却手段として、該載置部の裏面に接触しつつ接触部に冷熱を発する冷熱発生手段を有するものを用いたことを特徴とするものである。
また、請求項５の発明は、請求項４の印刷版製造方法において、上記載置部の微細孔を通して、該載置台上に載置される上記シート材を該載置台に向けて吸引する吸引手段を用いることを特徴とするものである。
また、請求項６の発明は、ワークを載置する載置部と、該載置部上に載置されたワークにレーザー光を照射するレーザー照射手段とを備えるレーザー加工装置において、上記載置部として多孔質材料からなるものを用いるとともに、冷熱発生部から発した冷熱によって該載置部を裏面側から冷却する冷熱発生手段と、該載置部の微細孔を通してワークを該載置部に向けて吸引する吸引手段とを設けたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
これらの発明においては、薄いシート版の周縁部の全領域を枠材に固定するのではなく、周縁部の一部に補強部材を固定することにより、印刷時のシート版にテンションをかけることのない印刷版を製造する。よって、テンションに起因する印刷ズレを抑えることが可能な印刷版を製造することができる。また、シート版の作成にあたって、シート材を冷却しながらレーザー加工することで、シート材のレーザー照射部から発生する高熱ガスによる孔や凹部の周囲の昇温を抑える。そして、このことにより、孔や凹部の周囲の熱変形によるシート版の歪み癖の発生を抑えるので、印刷材の裏まわりを抑えることが可能な印刷版を製造することができる。
【０００９】
特に、請求項２の印刷版製造方法においては、樹脂からなるシート材をエキシマレーザー光によってアブレーション加工することで、孔や凹部の内壁平滑性に優れたシート版を作成する。また、印刷時のスキージ当接部を柔軟に変形させて被印刷体と良好に密着し得るシート版を作成する。これらの結果、高品質の印刷が可能な印刷版を製造することができる。
【００１０】
また特に、請求項３の印刷版製造方法や請求項６のレーザー加工装置においては、レーザー加工工程にて、シート材を載置部からの冷熱伝導によって冷却することで、冷気や冷ガスの吹きつけによってシート材を冷却する場合に比べて、より確実にシート材を冷却する。よって、シート版の歪み癖をより確実に抑えた印刷版を製造することができる。
【００１１】
また特に、請求項４の印刷版製造方法や請求項６のレーザー加工装置においては、シート材に孔をレーザー加工する際に、シート材を貫通したレーザー光を、レーザー光に破壊され難い多孔質材料からなる載置部で受け止めることにより、載置部の下に配設されたペルチェ素子等の冷熱発生手段にレーザー光を照射するといった事態を回避する。このことにより、冷熱発生手段をシート材が載置される載置部として兼用して、レーザー材を貫通したレーザー光を冷熱発生手段にあててしまう場合とは異なり、レーザー照射による載置部や冷熱発生手段の損傷を回避することができる。
【００１２】
また特に、請求項５の印刷版製造方法や請求項６のレーザー加工装置においては、シート材を載置部に吸引固定しながらレーザー加工することにより、レーザー加工時における載置台上でのシート材のずれを防止する。そして、このことにより、載置台上でのシート材のずれによる印刷パターンの加工ずれを回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を適用した印刷版製造方法の一実施形態について説明する。
図１は本実施形態に係る印刷版製造方法に用いられるレーザー加工装置を示す概略構成図である。このレーザー加工装置は、光源としてのエキシマレーザー発振器１０、照射光学系２０、シャッター機構３０、アパーチャーマスク４０、結像光学系５０、ワークたるシート材６０が載置される載置台６２などを備えている。また、Ｘ−Ｙステージ６３、コントローラ１００等も備えている。
【００１４】
エキシマレーザー発振器１０は、コントローラ１００によって制御される駆動回路から出力される駆動トリガ信号に基づいて、所定の繰り返し周波数（例えば２００Ｈｚ）で紫外領域（例えば、波長２４８ｎｍ）のレーザー光Ｌを出射する。
【００１５】
照射光学系２０は、光学アッテネータ２１、後述のアパーチャーマスク４０に照射される光の断面形状を調整するビーム形状調整光学系２２、照射レンズ群２３、反射ミラー２４等から構成されている。光学アッテネータ２１は、表面に多層膜が形成された１組の石英ガラス板からなり、この石英ガラス板の傾きにより、通過するレーザービームのエネルギー密度を変化させることができる。この光学アッテネータ２１により、レーザービームのエネルギー密度が、シート材６０の加工に適したエネルギー密度に調整される。
【００１６】
光学アッテネータ２１のレーザービーム光路下流側に配置されているビーム形状調整光学系２２は、断面が半月状のシリンドリカルレンズ２２ａや、凹レンズ２２ｂ等からなるコリメータ光学素子等により構成されている。このビーム形状調整光学系２２により、レーザービームの断面形状が所望の形状に整形される。
【００１７】
照射レンズ群２３は、ビーム形状調整光学系２２によって断面形状が整形されたレーザービームをアパーチャーマスク４０上に集光するものである。この照射レンズ群２３からのレーザービームは、反射ミラー２４によって下方のアパーチャーマスク４０に向けて反射される。
【００１８】
シャッター機構３０は、シャッター作動時に、アパーチャーマスク４０に形成されている開口パターンを覆うものである。レーザービームＬの光軸に垂直で互いに直交する２方向において外側から挟み込むように移動可能な２組のシャッター部材と、該シャッター部材の移動を制御する駆動系とによって構成されている。シャッター機構３０の開口を通過したレーザービームは、アパーチャーマスク４０に照射される。そして、アパーチャーマスク４０に形成されている開口を通過して、結像光学系５０に進入する。
【００１９】
結像光学系５０は、アパーチャーマスク４０の開口を通過したレーザービームをシート材６０上に所定のＭ値（例えば、Ｍ値＝５．００）で結像するものであり、複数の反射ミラー５１，５２，５３，５５及び結像光学素子としての結像レンズ群５４等により構成されている。レーザービームは、かかる結像光学系５０によってシート材６０の上面に結像される。これにより、シート材６０に貫通孔又は凹部がアブレーション加工される。
【００２０】
シート材６０は、略水平な載置面を有する載置台６２上に載置される。この載置台６２は、載置面を、水平方向であるＸ方向やＹ方向に移動させることができるＸ−Ｙテーブル６３上に配設されている。このＸ−Ｙテーブル６３の移動によってシート材６０に対するレーザー加工位置を変化させながらアブレーション加工を行うことで、シート材６０が複数の孔や凹部からなる印刷パターンを有するシート版となる。
【００２１】
以上の構成のレーザー加工装置においては、エキシマレーザー発振器１０、照射光学系２０、シャッター機構３０、アパーチャーマスク４０、結像光学系５０などにより、レーザー照射手段が構成されている。このレーザー照射手段とは、後述する載置部を有する載置台６２上に載置されたワークにレーザー光を照射する手段のことである。
【００２２】
図２は、エキシマレーザー光でのアブレーション加工による印刷パターンが形成されたシート版６１の一例を示す斜視図である。このシート版６１の前駆体であるシート材は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の樹脂からなる縦４００［ｍｍ］×横６５０［ｍｍ］×厚み０．０５［ｍｍ］の樹脂シートである。この樹脂シートにおける直径２０［ｃｍ］の円形領域内に、約４０万個の貫通孔からなる印刷パターン６２がアブレーション加工されたものが、図に示したシート版６１である。シート版６１は、直径８インチのシリコンウエハ上に、８３２個のＩＣチップに対応する約４０万個のバンプ用はんだ突起を印刷するためのものである。印刷は次のようにして行われる。即ち、図示しないシリコンウエハに密着させた状態のシート版６１に、シート版６１に印刷材たるはんだペーストをスキージで刷り付けて個々の貫通孔に充填しながら、シート版６１をシリコンウエハから剥離していく。すると、シリコンウエハ上に、約４０万個のバンプ用はんだ突起が印刷される。これらバンプ用はんだ突起をリフロー工程で溶融した後、固化させることで、シリコンウエハ上に約４０万個のバンプ電極が形成される。
【００２３】
印刷パターン６２は、肉眼では、図示のように８３２個の正方形の集合として観察される。この印刷パターン６２を顕微鏡で拡大観察すると、図３に示すように、１つの正方形は２２個×２２個＝４８４個の貫通孔６３によって形作られていることがわかる。個々の貫通孔６３の直径は１２０［μｍ］となっており、約２３０［μｍ］の微細ピッチで並んでいる。このように極めて多数の貫通孔６３が微細ピッチで形成されたシート版６１では、印刷パターン６２における開口率が相当に高くなり、孔間のシート素材部分の体積が非常に小さくなる。図示したシート版では、孔間に存在するシート素材部分の寸法は、僅かに１００［μｍ］程度である。
【００２４】
エキシマレーザー光でのアブレーション加工による印刷パターンが形成されたシート版６１（プラスチックマスク）は、貫通孔６３の内壁平滑性に優れているため、印刷時のはんだ抜け性が極めて良好となる。よって、孔内壁に付着して取り残されるはんだペーストの量がごく僅かとなり、貫通孔６３の形状に近いバンプ用はんだ突起を印刷することができる。しかも、可撓性に優れた樹脂材からなるため、スキージ押圧部を自在に変形させて、被印刷体たるシリコンウエハと良好に密着する。これらの結果、高品質の印刷を実現することができる。
【００２５】
しかしながら、図に示した高開口率のシート版６１では、孔間に存在するシート素材部分の体積が非常に小さいことから、アブレーション加工によって発生した高熱ガスに加熱された孔周囲が相当の温度まで昇温せしめられる。そして、この昇温によって熱変形して、図４に示すように、厚み方向に波打つ皺状の歪み癖が発生してしまう。このような歪み癖のあるシート版６１が用いられた掛け軸型印刷版では、テンション張架による歪みの整形がなされないことから、印刷の際、シート版６１の裏面とシリコンウエハとの間に部分的なギャップを発生させる。そして、貫通孔６３内に充填されたはんだペーストが、このギャップを通って裏まわりしてしまう。なお、図４においては、便宜上、貫通孔の図示を省略している。
【００２６】
そこで、本印刷版製造方法では、先に図１に示したレーザー加工装置に、特徴的な構成を採用することで、レーザー加工時に生ずるシート版６１の歪み癖を抑えるようになっている。
【００２７】
図５は、同レーザー加工装置の載置台６２を示す拡大構成図である。同図において、載置台６２は、鉄等の金属材料からなり、且つ真ん中に矩形の空間を有する基礎部７４を有している。この基礎部７４の矩形の空間の中には、熱交換部６６、ペルチェ素子６５、天板６４が順次積み重なるように配設されており、天板６４の上に、ワークたるシート材６０が載置されるようになっている。
【００２８】
冷熱発生部たるペルチェ素子６５は、周知の技術により、天板６４との接触面、即ち、上面に−２０［℃］程度の冷熱を発生するとともに、熱交換部６６との接触面、即ち、下面で放熱する仕組みになっている。ペルチェ素子６５から発せられた冷熱は、天板６４を介してシート材６０に伝導する。これにより、載置台６２上に載置されているシート材６０が冷却される。シート材６０は、このようにして冷却されながら、上述のようにして貫通孔がレーザー加工される。本印刷版製造方法においては、このようにシート材６０を冷却しながら、レーザー加工によって印刷パターンを形成する。かかる印刷版製造方法では、シート材６０を冷却しながらレーザー加工することで、シート材６０のレーザー照射部から発生する高熱ガスによる貫通孔の周囲の昇温を抑える。そして、このことにより、貫通孔の周囲の熱変形によるシート版（６１）の歪み癖の発生を抑えるので、はんだペーストの裏まわりを抑えることが可能な印刷版を製造することができる。
【００２９】
熱交換部６６は、アルミ等の熱伝導率の高い金属材料からなる筺体６６に、冷媒パイプ６７を内包している。この冷媒パイプ６７は、図６に示すように、熱交換部６６内を蛇行しながら熱交換部の全面に十分に行き渡るように配設されている。
【００３０】
先に示した図５において、冷媒パイプ６７は、図中右端に設けられた冷媒流入口と、図中左端に設けられた冷媒流出口とを有している。また、載置台６２の近傍には、冷媒冷却ユニット６９と、ブロワ等からなる吸引ユニット７３とが配設されている。冷媒冷却ユニット６９は、図示しない液状の冷媒を冷却しながら、吐出ホース６８内に吐出する。この吐出ホース６８の端部は、熱交換部６６の冷媒パイプ６７の冷媒流入口に接続されており、冷媒冷却ユニット６９から吐出された冷媒は、吐出ホース６８を介して冷媒パイプ６７内に送られる。
【００３１】
ペルチェ素子６５の下面からの放熱は、熱交換部６６の筺体６６と冷媒パイプ６７とを介して、冷媒パイプ６７内の図示しない冷媒に伝導する。これにより、ペルチェ素子６５の下面からの放熱が冷媒に吸収される。熱の吸収によって温められた冷媒は、冷媒パイプ６７の冷媒流出口から流出して、冷媒回収ホース７０に進入した後、冷媒冷却ユニット６９内に回収される。そして、冷媒冷却ユニット６９内で再び冷却された後、冷媒パイプ６７に送られる。
【００３２】
以上の構成のレーザー加工装置においては、冷熱発生部たるペルチェ素子６５、熱交換部６６、吐出ホース６８、回収ホース７０、冷媒冷却ユニット６９等により、ワークたるシート材６０を冷却する冷却手段が構成されている。また、ホース継手７１、吸引ホース７２、吸引ユニット７３等により、天板７４の微細孔を通して、天板７４上に載置されるシート材６０を天板７４に向けて吸引する吸引手段が構成されている。
【００３３】
シート材６０が載置される載置部たる天板６４は、内部に無数の空泡を有する多孔質材料から構成されている。多孔質材料は、レーザー光を空泡内で乱反射させることでそのエネルギーを効率良く減衰せしめるため、優れた耐レーザー光を有することが知られている。天板６４をこのような多孔質材料で構成することで、穿孔加工によってシート材６０を貫通させたレーザー光を、天板６４に受け止めさせることができる。そして、載置部たる天板６４の下に配設されたペルチェ素子６５にレーザー光を照射して、ペルチェ素子６５を破壊してしまうといった事態を回避することができる。なお、天板６４に用いる多孔質材料としては、材質自体も優れた耐レーザー光性を発揮するアルミナ、セラミック又はポリアセタール樹脂（商品名：ジュラコン）からなる多孔質アルミナ、多孔質セラミック、多孔質ポリアセタール樹脂等を用いることが望ましい。
【００３４】
天板６４の下面は、冷熱発生部たるペルチェ素子６５にピッタリと密着している。また、天板６４の４つの側面は、それぞれ、基礎部６５の矩形の空間の内壁にピッタリと密着している。但し、４つの側面の１つには、金属等の材料かならるホース継手７１の一端が接続されている。このホース継手７１のもう一端は、吸引ホース７２を介して吸引ユニット７３に接続されている。吸引ユニット７３は、吸引ホース７２と、ホース継手７１とを介して、多孔質材料からなる天板６４の空泡内の空気を吸引する。この吸引により、天板６４の各空泡内に負圧が発生して、天板６４の上面の空泡開口部に吸引力が発生する。そして、天板６４上に載置されているシート材６０が、載置部たる天板６４に向けて吸引固定される。このようにシート材６０を吸引固定しながらレーザー加工することにより、レーザー加工時における天板６４上でのシート材６０のずれを防止する。そして、このことにより、天板６４上でのシート材６０のずれによる印刷パターンの加工ずれを回避することができる。
【００３５】
なお、ペルチェ素子６５を冷熱発生部として機能させた例について説明したが、冷媒による冷却だけでシート材６０を十分に冷却することができる場合には、熱交換部６６を冷熱発生部として機能させてもよい。この場合、図５に示したペルチェ素子６５を撤去して、熱交換部６６の上面を天板６４の下面に直接密着させるようにすればよい。また、載置部たる天板７４をその裏面から冷却することで、天板７４上のシート材６０を冷却する例について説明したが、シート材６０に冷気や窒素ガス等の冷却ガスを直接吹き付けることでシート材６０を冷却するようにしてもよい。この場合、冷却ガスとして冷気以外のものを用いる場合には、冷却ガスを回収できるように、載置台６２を外気から遮断するドラフトチャンバーなどを設けることが望ましい。
【００３６】
シート材６０を冷却しながらレーザー加工して図２に示したシート版６１を作成するレーザー加工工程が終了したら、次に、シート版６１に補強部材を固定する補強部材固定工程を実施する。この補強部材固定工程では、図７に示すように、金属製の各パイプ等からなる補強部材７４を、シート版６１の長手方向の相対向する２辺にそれぞれ固定する。固定については、補強部材７４とシート版６１とを接着剤によって貼り付けることによって行う。また、ビス等で止めることによって固定してもよい。
【００３７】
なお、レーザー加工によって得たシート版６１に対して補強部材７４を固定して掛け軸型印刷版を得る例について説明したが、シート材６０に補強部材７４を固定してからレーザー加工工程を実施して掛け軸型印刷版を製造してもよい。
【００３８】
このようにして製造された掛け軸型印刷版は、以下のようにして用いられる。即ち、まず、図８に示すように、被印刷体であるシリコンウエハ１００に、掛け軸型印刷版のシート版６１の下面を密着せしめる。そして、シート版６１の上面にはんだペースト１０１を載せた後、スキージ１０２によってそのペースト１０１をシート版６１の上面に刷り付ける。この刷り付けにより、シート版６１の印刷パターンの貫通孔にはんだペースト１０１を充填する。刷り付けの際には、スキージ１０２による刷り付け動作に連動させて、シート版６１の両端に固定されている２つの補強部材７４のうち、刷り付け上流側にある方を徐々に上昇させていく。これにより、図９に示すように、シート版６１の全領域のうち、貫通孔に対するはんだペースト１０１の充填が完了した領域が、シリコンウエハ１００から順次剥離されて、貫通孔内のはんだペースト１０１がウエハ表面に転移する。そして、シリコンウエハ１００上に、バンプ用はんだ突起１０３が印刷される。
【００３９】
このような印刷においては、図９から明らかなように、スキージ１０２とシート版６１との接点を境として、右側のシート部分ではコンタクト印刷が行われ、左側のシート部分ではオフコンタクト印刷が行われる。このとき、コンタクト印刷においては、シート版６１の版面とシリコンウエハ１００の印刷面とが接触したままの状態ではんだペースト１０１の充填が行われる。このため、ペースト充填時におけるペースト滲み出しの原因である隙間の発生を抑えることができる。一方、オフコンタクト印刷では、はんだペースト１０１が充填されると同時に、ペーストのスキージングを終えたシート部分の版面がシリコンウエハ１００の印刷面から離間される。このため、スキージング速度によって、シート版６１の版離れ速度を、はんだペースト１０１の抜け性が良好となるような速度にコントロールすることができる。更に、刷り付け工程と版離れ工程とが同時に実行されるので、印刷工程を少なくすることができ、印刷に要する時間を短縮できる。また、シリコンウエハ１００の印刷面とシート版６１の版面との版離れ速度や版離れタイミングをバラツキなく最適に保つことができるようにコントロールすることにより、ウエハの印刷面に対してペーストを確実に粘着（タッキング）させる。このため、シート版６１の各貫通孔からのはんだペースト１０１の抜け性が良好になる。従って、掛け軸型印刷版では、コンタクト印刷のメリットとオフコンタクト印刷のメリットとを併せ持った品質の高い印刷を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施形態に係る印刷版製造方法に用いられるレーザー加工装置を示す概略構成図。
【図２】同レーザー加工装置によるアブレーション加工で印刷パターンが形成されたシート版を示す斜視図。
【図３】同印刷パターンを示す拡大平面図。
【図４】同シート版を示す拡大断面図。
【図５】同レーザー加工装置の載置台を示す拡大構成図。
【図６】同載置台の熱交換部の冷媒パイプを示す平面図。
【図７】同印刷版製造方法によって製造された掛け軸型印刷版を示す斜視図。
【図８】同掛け軸型印刷版を用いた印刷法における刷り付け工程の初期段階を示す模式図。
【図９】同刷り付け工程の後期段階を示す模式図。
【符号の説明】
【００４１】
１０        エキシマレーザー発振器
２０        照射光学系
４０        アパーチャーマスク
５０        結像光学系
５１，５５  固定の反射ミラー
５２，５３  可動の反射ミラー
５４        結像レンズ群
６０        シート材
６１        シート版
６４        天板（載置部）
６５        ペルチェ素子（冷熱発生部）
７４        補強部材
１００      コントローラ
【図１】
2006044124.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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