(57)【要約】【課題】テープ材の洗浄性を高めることができるテープ材洗浄装置およびテープ材洗浄方法を提供する。【解決手段】テープ材洗浄装置１の浸漬槽４１１内には、第２のガイドローラー４６と第３のガイドローラー４７とが埋没するように浸漬水４１１ｂが溜められており、これによって搬送中のテープ材１００が浸漬されるように構成されている。また、この浸漬槽４１１内には、第４のガイドローラー４８と対向して超音波洗浄手段４１３２が設けられている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ材を搬送させる搬送手段と、
搬送中の前記テープ材を浸漬させる浸漬槽と、
この浸漬槽による浸漬が終了した前記テープ材に超音波振動が付与された洗浄液を吹き付けて、このテープ材に付着している異物を除去する超音波洗浄手段と
を備えたことを特徴とするテープ材洗浄装置。
【請求項２】
前記搬送手段は、搬送ラインにおいて前記超音波洗浄手段による吹き付け位置に前記テープ材を支持させる支持手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のテープ材洗浄装置。
【請求項３】
前記超音波洗浄手段による洗浄の前に、前記浸漬槽による浸漬が終了した前記テープ材に付着している異物を除去する前洗浄手段を備えたことを特徴とする請求項１または２記載のテープ材洗浄装置。
【請求項４】
前記搬送手段は、前記浸漬槽による浸漬が終了した前記テープ材を上方に案内する複数のガイド手段を備え、前記前洗浄手段は、この複数のガイド手段によって上方に搬送された前記テープ材に付着している異物を除去するように構成されたことを特徴とする請求項３記載のテープ材洗浄装置。
【請求項５】
前記複数のガイド手段によって上方に搬送される前記テープ材の傾斜角度を１０度〜１７０度に設定したことを特徴とする請求項４記載のテープ材洗浄装置。
【請求項６】
前記搬送手段は、前記浸漬槽による浸漬が終了した前記テープ材を水平に案内する複数のガイド手段を備え、前記前洗浄手段は、この複数のガイド手段によって水平に搬送された前記テープ材に付着している異物を除去するように構成されたことを特徴とする請求項３記載のテープ材洗浄装置。
【請求項７】
前記搬送手段は、前記複数のガイド手段の中で前記超音波洗浄手段側に位置するガイド手段を前記支持手段と兼ねて構成する一方、前記超音波洗浄手段は、このガイド手段で前記搬送ラインに支持された前記テープ材に前記洗浄液を吹き付けるように構成されたことを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載のテープ材洗浄装置。
【請求項８】
前記超音波洗浄手段による洗浄の後に、前記テープ材に付着している異物を除去する後洗浄手段を備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のテープ材洗浄装置。
【請求項９】
前記超音波洗浄手段または前記後洗浄手段により洗浄が終了した前記テープ材を乾燥させる乾燥手段を備えたことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のテープ材洗浄装置。
【請求項１０】
前記乾燥手段の前に、洗浄が終了した前記テープ材に付着している洗浄液を除去する水切り手段を備えたことを特徴とする請求項９記載のテープ材洗浄装置。
【請求項１１】
前記テープ材洗浄装置は、スペーサーテープが重ねられた前記テープ材を洗浄する装置であって、
前記搬送手段は、
前記スペーサーテープを分離させながら前記テープ材を搬送ラインへ送るテープ材供給手段と、
前記乾燥手段により乾燥された洗浄済みの前記テープ材に別のスペーサーテープを重ねながら収容するテープ材収容手段と
を備えたことを特徴とする請求項９または１０記載のテープ材洗浄装置。
【請求項１２】
前記テープ材収容手段によって収容された洗浄済みの前記テープ材を無塵梱包するための無塵梱包室を備えたことを特徴とする請求項１１記載のテープ材洗浄装置。
【請求項１３】
前記テープ材は電子部品実装用フィルムキャリアテープである一方、前記テープ材洗浄装置は、この電子部品実装用フィルムキャリアテープに付着している異物を除去する洗浄装置であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載のテープ材洗浄装置。
【請求項１４】
テープ材を搬送しながら洗浄するテープ材洗浄方法において、
前記テープ材を浸漬させる浸漬工程と、
浸漬が終了した前記テープ材に超音波振動が付与された洗浄液を吹き付けて、このテープ材に付着している異物を除去する超音波洗浄工程と
を備えたことを特徴とするテープ材洗浄方法。
【請求項１５】
前記超音波洗浄工程では、搬送ライン上に設定された吹き付け位置に前記テープ材を支持させて前記洗浄液を吹き付けることを特徴とする請求項１４記載のテープ材洗浄方法。
【請求項１６】
前記超音波洗浄工程の前に、浸漬が終了した前記テープ材に付着している異物を除去する前洗浄工程を設けたことを特徴とする請求項１４または１５記載のテープ材洗浄方法。
【請求項１７】
前記前洗浄工程では、浸漬が終了した前記テープ材を上方に搬送することを特徴とする請求項１６記載のテープ材洗浄方法。
【請求項１８】
前記前洗浄工程では、上方に搬送される前記テープ材の傾斜角度を１０度〜１７０度に設定したことを特徴とする請求項１７記載のテープ材洗浄方法。
【請求項１９】
前記前洗浄工程では、浸漬が終了した前記テープ材を水平に搬送することを特徴とする請求項１６記載のテープ材洗浄方法。
【請求項２０】
前記超音波洗浄工程の後に、前記テープ材に付着している異物を除去する後洗浄工程を設けたことを特徴とする請求項１４〜１９のいずれか１項に記載のテープ材洗浄方法。
【請求項２１】
前記超音波洗浄工程または前記後洗浄工程のいずれか一方の工程の後に、洗浄が終了した前記テープ材を乾燥させる乾燥工程を設けたことを特徴とする請求項１４〜２０記載のテープ材洗浄方法。
【請求項２２】
前記乾燥工程の前に、洗浄が終了した前記テープ材に付着している洗浄液を除去する水切り工程を設けたことを特徴とする請求項２１記載のテープ材洗浄方法。
【請求項２３】
前記テープ材洗浄方法は、スペーサーテープが重ねられた前記テープ材を洗浄する方法であって、
前記浸漬工程の前に設けられ、前記スペーサーテープを分離させながら前記テープ材を搬送ラインへ送る供給工程と、
前記乾燥工程の後に設けられ、乾燥された洗浄済みの前記テープ材に別のスペーサーテープを重ねながら収容する収容工程と
を備えたことを特徴とする請求項２１または２２記載のテープ材洗浄方法。
【請求項２４】
前記収容工程の後に、収容された前記テープ材を無塵状態で梱包する無塵梱包工程を設けたことを特徴とする請求項２３記載のテープ材洗浄方法。
【請求項２５】
前記テープ材は電子部品実装用フィルムキャリアテープである一方、前記テープ材洗浄方法は、この電子部品実装用フィルムキャリアテープに付着している異物を除去する方法であることを特徴とする請求項１４〜２４のいずれか１項に記載のテープ材洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ＴＡＢテープやＣＯＦテープ等の電子部品実装用フィルムキャリアテープを洗浄するテープ材洗浄装置及びテープ状部材洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、テープ材としては、例えば、フラットパネルディスプレイやプリンター等に使用されるＴＡＢテープやＣＯＦテープ等の電子部品実装用フィルムキャリアテープが知られている。
【０００３】
この電子部品実装用フィルムキャリアテープは、製造時や検査時において空気中に浮遊している塵、リールとの摩擦粉、各装置から発生する金属粉等の異物がテープに付着する。テープに付着したこれらの異物は、プリント配線板の短絡等の接続不良の原因になるので除去することが求められている。
【０００４】
そこで、テープを搬送しながら途中で洗浄槽内の洗浄液に浸漬させ、この洗浄液中に超音波振動を付与することによりテープに付着した異物を除去する洗浄装置が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２４８８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の洗浄装置では、超音波振動によってテープから除去された異物が洗浄液中に残留した状態となっている。したがってテープから異物を除去しても、このテープに再び異物が付着してしまうので洗浄性が良くなかった。
【０００６】
本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなされたものであり、テープ材の洗浄性を高めることができるテープ材洗浄装置およびテープ材洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明者等は、鋭意研究の結果、前記課題を解決するために以下のようなテープ材洗浄装置およびテープ材洗浄方法を採用した。
【０００８】
本発明のテープ材洗浄装置：
本発明のテープ材洗浄装置においては、テープ材を搬送させる搬送手段と、搬送中の前記テープ材を浸漬させる浸漬槽と、この浸漬槽による浸漬が終了した前記テープ材に超音波振動が付与された洗浄液を吹き付けて、このテープ材に付着している異物を除去する超音波洗浄手段とを備えたことを特徴としている。
【０００９】
かかる構成においては、浸漬の際にテープ材に付着している異物が膨潤して付着力が弱まる。また浸漬槽を通過したテープ材に対して異物の除去を行うので、テープ材から除去された異物がテープ材に再付着するのを防ぐことができる。
【００１０】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記搬送手段は、搬送ラインにおいて前記超音波洗浄手段による吹き付け位置に前記テープ材を支持させる支持手段を備えたことを特徴としている。
【００１１】
かかる構成においては、超音波洗浄手段でテープ材に洗浄液を吹き付けてもテープ材が揺れないので、テープ材から異物を容易に除去することが可能になる。
【００１２】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記超音波洗浄手段による洗浄の前に、前記浸漬槽による浸漬が終了した前記テープ材に付着している異物を除去する前洗浄手段を備えたことを特徴としている。
【００１３】
かかる構成においては、超音波洗浄手段による洗浄時にはテープ材に付着している異物の数が少なくなるので、テープ材から異物を容易に除去することが可能になる。
【００１４】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記搬送手段は、前記浸漬槽による浸漬が終了した前記テープ材を上方に案内する複数のガイド手段を備え、前記前洗浄手段は、この複数のガイド手段によって上方に搬送された前記テープ材に付着している異物を除去するように構成されたことを特徴としている。
【００１５】
かかる構成においては、浸漬が終了したテープ材を水平に搬送する場合に比べて、前洗浄手段の洗浄距離が長く確保される。したがって超音波洗浄手段による洗浄時には、テープ材に付着している異物数がさらに少なくなり、異物をさらに容易に除去することが可能になる。
【００１６】
さらに、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記複数のガイド手段によって上方に搬送される前記テープ材の傾斜角度を１０度〜１７０度に設定することが好ましい。
【００１７】
ここで、テープ材の傾斜角度が１０度未満あるいは１７０度を超える場合には、テープ材が水平に搬送される場合と比べて前洗浄手段によるテープ材の洗浄距離がほぼ同じになるので、異物の除去処理性はほとんど変わらず好ましくない。
【００１８】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記搬送手段は、前記浸漬槽による浸漬が終了した前記テープ材を水平に案内する複数のガイド手段を備え、前記前洗浄手段は、この複数のガイド手段によって水平に搬送された前記テープ材に付着している異物を除去するように構成されたことを特徴としている。
【００１９】
かかる構成においては、浸漬が終了したテープ材を上方に案内する場合に比べて装置の高さを低く抑えることが可能になる。
【００２０】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記搬送手段は、前記複数のガイド手段の中で前記超音波洗浄手段側に位置するガイド手段を前記支持手段と兼ねて構成する一方、前記超音波洗浄手段は、このガイド手段で前記搬送ラインに支持された前記テープ材に前記洗浄液を吹き付けるように構成されたことを特徴としている。
【００２１】
かかる構成においては、部品点数を減らすことが可能になる。
【００２２】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記超音波洗浄手段による洗浄の後に、前記テープ材に付着している異物を除去する後洗浄手段を備えたことを特徴としている。
【００２３】
かかる構成においては、超音波洗浄手段による洗浄後に異物が残っていても除去することが可能になる。
【００２４】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記超音波洗浄手段または前記後洗浄手段により洗浄が終了した前記テープ材を乾燥させる乾燥手段を備えたことを特徴としている。
【００２５】
かかる構成においては、テープ材の洗浄と乾燥とを別々に行う場合に比べて、テープ材の洗浄から乾燥に要する時間を短縮することが可能になる。
【００２６】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記乾燥手段の前に、洗浄が終了した前記テープ材に付着している洗浄液を除去する水切り手段を備えたことを特徴としている。
【００２７】
かかる構成においては、乾燥時の洗浄液の量が少なくなるので、乾燥時間が短縮される。
【００２８】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、スペーサーテープが重ねられた前記テープ材を洗浄する装置であって、前記搬送手段は、前記スペーサーテープを分離させながら前記テープ材を搬送ラインへ送るテープ材供給手段と、前記乾燥手段により乾燥された洗浄済みの前記テープ材に別のスペーサーテープを重ねながら収容するテープ材収容手段と
を備えたことを特徴としている。
【００２９】
かかる構成において、巻出し部では、テープ材からスペーサーテープを円滑に分離させる一方、巻取り部では、スペーサーテープにより、洗浄したテープ材表面（例えば、テープ材の表面にある配線パターン）の損傷を円滑に防止できる。
【００３０】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記テープ材収容手段によって収容された洗浄済みの前記テープ材を無塵梱包するための無塵梱包室を備えたことを特徴としている。
【００３１】
かかる構成においては、洗浄・乾燥が終了したテープ材の梱包時に異物が付着するのを防ぐことができる。
【００３２】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、前記テープ材は電子部品実装用フィルムキャリアテープである一方、前記テープ材洗浄装置は、この電子部品実装用フィルムキャリアテープに付着している異物を除去する洗浄装置であることを特徴としている。
【００３３】
かかる構成においては、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、前述したテープ材洗浄装置が有する作用と同じ作用を得ることができる。
【００３４】
本発明のテープ材洗浄方法：
本発明のテープ材洗浄方法においては、テープ材を搬送しながら洗浄するテープ材洗浄方法において、前記テープ材を浸漬させる浸漬工程と、浸漬が終了した前記テープ材に超音波振動が付与された洗浄液を吹き付けて、このテープ材に付着している異物を除去する超音波洗浄工程とを備えたことを特徴としている。
【００３５】
かかる構成においては、浸漬工程の際にテープ材に付着している異物が膨潤して付着力が弱まる。また浸漬工程を終了したテープ材に対して超音波洗浄工程を行うので、テープ材から除去された異物がテープ材に再付着するのを防ぐことができる。
【００３６】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記超音波洗浄工程では、搬送ライン上に設定された吹き付け位置に前記テープ材を支持させて前記洗浄液を吹き付けることを特徴としている。
【００３７】
かかる構成においては、超音波洗浄工程でテープ材に洗浄液を吹き付けてもテープ材が揺れないので、テープ材から異物を容易に除去することが可能になる。
【００３８】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記超音波洗浄工程の前に、浸漬が終了した前記テープ材に付着している異物を除去する前洗浄工程を設けたことを特徴としている。
【００３９】
かかる構成においては、超音波洗浄工程ではテープ材に付着している異物の数が少なくなるので、テープ材から異物をさらに容易に除去することが可能になる。
【００４０】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記前洗浄工程では、浸漬が終了した前記テープ材を上方に搬送することを特徴としている。
【００４１】
かかる構成においては、浸漬が終了したテープ材を水平に搬送する場合に比べて、前洗浄工程における洗浄距離が長く確保される。したがって超音波洗浄工程では、テープ材に付着している異物数がさらに少なくなり、テープ材から異物をさらに容易に除去することが可能になる。
【００４２】
さらに、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記前洗浄工程において上方に搬送される前記テープ材の傾斜角度を１０度〜１７０度に設定することが好ましい。
【００４３】
ここで、テープ材の傾斜角度が１０度未満あるいは１７０度を超える場合には、テープ材が水平に搬送される場合と比べて前洗浄工程におけるテープ材の洗浄距離がほぼ同じになるので、異物の除去処理性はほとんど変わらず好ましくない。
【００４４】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記前洗浄工程では、浸漬が終了した前記テープ材を水平に搬送することを特徴としている。
【００４５】
かかる構成においては、浸漬が終了したテープ材を上方に搬送する場合に比べて搬送領域を低く抑えることが可能になる。
【００４６】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記超音波洗浄工程の後に、前記テープ材に付着している異物を除去する後洗浄工程を設けたことを特徴としている。
【００４７】
かかる構成においては、超音波洗浄工程での洗浄後のテープ材に異物が残っていても除去することが可能になる。
【００４８】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記超音波洗浄工程または前記後洗浄工程のいずれか一方の工程の後に、洗浄が終了した前記テープ材を乾燥させる乾燥工程を設けたことを特徴としている。
【００４９】
かかる構成においては、テープ材の洗浄と乾燥とを別々に行う場合に比べて、テープ材の洗浄から乾燥に要する時間を短縮することが可能になる。
【００５０】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記乾燥工程の前に、洗浄が終了した前記テープ材に付着している洗浄液を除去する水切り工程を設けたことを特徴としている。
【００５１】
かかる構成においては、乾燥工程時の洗浄液の量が少なくなるため、乾燥時間が短縮される。
【００５２】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、スペーサーテープが重ねられた前記テープ材を洗浄する方法であって、前記浸漬工程の前に設けられ、前記スペーサーテープを分離させながら前記テープ材を搬送ラインへ送る供給工程と、前記乾燥工程の後に設けられ、乾燥された洗浄済みの前記テープ材に別のスペーサーテープを重ねながら収容する収容工程とを備えたことを特徴としている。
【００５３】
かかる構成において、巻出し部では、テープ材からスペーサーテープを円滑に分離させる一方、巻取り部では、スペーサーテープにより、洗浄したテープ材表面（例えば、テープ材の表面にある配線パターン）の損傷を円滑に防止できる。
【００５４】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記収容工程の後に、収容された前記テープ材を無塵状態で梱包する無塵梱包工程を設けたことを特徴としている。
【００５５】
かかる構成においては、洗浄・乾燥が終了したテープ材の梱包時に異物が付着するのを防ぐことができる。
【００５６】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、前記テープ材は電子部品実装用フィルムキャリアテープである一方、前記テープ材洗浄方法は、この電子部品実装用フィルムキャリアテープに付着している異物を除去する方法であることを特徴としている。
【００５７】
かかる構成においては、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、前述したテープ材洗浄方法が有する作用と同じ作用を得ることができる。
【発明の効果】
【００５８】
本発明のテープ材洗浄装置においては、テープ材を液体（純水あるいは純水と洗浄剤との混合物）に浸漬させることによりテープ材に付着している異物が膨潤あるいは水分を吸収して付着力が弱まるようにしたため、超音波洗浄手段で異物を容易に除去することが可能になる。また浸漬槽を通過したテープ材に対して超音波洗浄手段による異物の除去を行うようにしたので、テープ材から除去された異物がテープ材に再付着するのを防ぐことができる。よって、テープ材の洗浄性を高めることができる。
【００５９】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、超音波洗浄手段でテープ材に洗浄液を吹き付けても、支持手段によりテープ材が揺れないようにした。したがってテープ材から異物を容易に除去することが可能になる。よって、テープ材の洗浄性をさらに高めることができる。
【００６０】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、予め前洗浄手段で異物を除去することにより、超音波洗浄手段による洗浄時にはテープ材に付着している異物数が少なくなるようにした。したがって、テープ材から異物をさらに容易に除去することが可能になる。よって、テープ材の洗浄性をさらに高めることができる。
【００６１】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、浸漬が終了したテープ材を複数のガイド手段で上方に搬送することにより、テープ材を水平に搬送する場合に比べて前洗浄手段によるテープ材の洗浄距離が長く確保されるようにした。したがって超音波洗浄手段による洗浄時には、テープ材に付着している異物数がさらに少なくなり、異物をさらに容易に除去することが可能になる。よって、テープ材の洗浄性をさらに高めることができる。
【００６２】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、上方に搬送されるテープ材の傾斜角度を１０度〜１７０度に設定することにより、前洗浄手段によるテープ材の洗浄距離が、水平に搬送される場合に比べて十分に長く確保されるので、高い洗浄性を確実に得ることができる。
【００６３】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、浸漬が終了したテープ材を複数のガイド手段で水平に搬送させることにより、テープ材を上方に搬送する場合に比べて装置の高さを低く抑えるようにした。よって、設置スペースの縮小化を図ることができる。
【００６４】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、超音波洗浄手段側のガイド手段を支持手段と兼ねて構成したことにより、部品点数を減らすようにした。よって、製造コストを抑えてテープ材の洗浄性を高めることができる。
【００６５】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、超音波洗浄手段による洗浄後に異物が残っていても、後洗浄手段により異物を除去するようにした。よって、テープ材の洗浄性をさらに高めることができる。
【００６６】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、テープ材の洗浄と乾燥とを同じ装置で行うことにより、テープ材の洗浄と乾燥とを別々に行う場合に比べて、テープ材の洗浄から乾燥に要する時間が短縮されるようにした。よって、テープ材の生産性を高めることができる。
【００６７】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、洗浄が終了したテープ材に付着している洗浄液を予め水切り手段で除去することで、乾燥時の洗浄液の量が少なくなるようにした。これにより乾燥時間が短縮されるので、テープ材の洗浄から乾燥に要する時間もさらに短縮される。よって、テープ材の生産性をさらに高めることができる。
【００６８】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、テープ材を供給しながらスペーサーテープを分離させ、スペーサーテープを重ねながら洗浄したテープ材を収容するようにした。したがって、このテープ材洗浄装置は、巻出し部において、テープ材からスペーサーテープを円滑に分離させる一方、巻取り部において、スペーサーテープにより、洗浄したテープ材表面（例えば、テープ材の表面にある配線パターン）の損傷を円滑に防止できる。よって、スペーサーテープが重ねられたテープ材の生産性を高めることができる。
【００６９】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては無塵梱包室を備えたことにより、洗浄・乾燥が終了したテープ材の梱包時に異物が付着するのを防ぐようにした。よって、テープ材の品質を高めることができる。
【００７０】
また、本発明のテープ材洗浄装置においては、電子部品実装用フィルムキャリアテープ用の洗浄装置に構成することで、電子部品実装用フィルムキャリアテープを洗浄する際に、前述したテープ材洗浄装置が有する効果と同じ効果を得ることができる。
【００７１】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、テープ材を液体（純水あるいは純水と洗浄剤との混合物）に浸漬させることによりテープ材に付着している異物が膨潤あるいは水分を吸収して付着力が弱まるようにしたため、超音波洗浄工程で異物を容易に除去することが可能になる。また浸漬工程を通過したテープ材に対して超音波洗浄工程を行うので、テープ材から除去された異物がテープ材に再付着するのを防ぐことができる。よって、テープ材の洗浄性を高めることができる。
【００７２】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、超音波洗浄工程でテープ材に洗浄液を吹き付けてもテープ材が揺れないようにしたため、テープ材から異物をさらに容易に除去することが可能になる。よって、テープ材の洗浄性をさらに高めることができる。
【００７３】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、予め前洗浄工程で異物を除去することで、超音波洗浄工程ではテープ材に付着している異物数が少なくなるようにしたので、テープ材から異物をさらに容易に除去することが可能になる。よって、テープ材の洗浄性をさらに高めることができる。
【００７４】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、浸漬が終了したテープ材を上方に搬送することにより、テープ材を水平に搬送する場合に比べて、前洗浄工程におけるテープ材の洗浄距離が長く確保されるようにした。したがって、超音波洗浄工程ではテープ材に付着している異物数がさらに少なくなり、テープ材から異物をさらに容易に除去することが可能になる。よって、テープ材の洗浄性をさらに高めることができる。
【００７５】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、浸漬が終了して上方に搬送されるテープ材の傾斜角度を１０度〜１７０度に設定することで、前洗浄工程におけるテープ材の洗浄距離が、水平に搬送される場合に比べて十分長く確保されるので高い洗浄性を確実に得ることができる。
【００７６】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、浸漬が終了したテープ材を水平に搬送することにより、テープ材を上方に搬送する場合に比べて搬送領域を低く抑えるようにした。よって、搬送領域の縮小化を図ることができる。
【００７７】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、超音波洗浄工程での洗浄後のテープ材に異物が残っていても、後洗浄工程で除去するようにした。よって、テープ材の洗浄性をさらに高めることができる。
【００７８】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、洗浄が終了したテープ材の乾燥を続けて行うことにより、テープ材の洗浄と乾燥とを別々に行う場合に比べて、テープ材の洗浄から乾燥に要する時間が短縮されるようにした。よって、テープ材の生産性を高めることができる。
【００７９】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、洗浄が終了したテープ材に付着している洗浄液を予め水切り工程で除去することで乾燥工程時の洗浄液の量が少なくなるようにした。これにより乾燥時間が短縮されるので、テープ材の洗浄から乾燥に至る時間もさらに短縮される。よって、テープ材の生産性をさらに高めることができる。
【００８０】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、テープ材を供給しながらスペーサーテープを分離させ、別のスペーサーテープを重ねながら洗浄したテープ材を収容するようにした。したがって、このテープ材洗浄方法は、巻出し部において、テープ材からスペーサーテープを円滑に分離させる一方、巻取り部において、スペーサーテープにより、洗浄したテープ材表面（例えば、テープ材の表面にある配線パターン）の損傷を円滑に防止できる。よって、スペーサーテープが重ねられたテープ材の生産性を高めることができる。
【００８１】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、無塵梱包工程を備えたことにより、洗浄・乾燥が終了したテープ材の梱包時に異物が付着するのを防ぐようにした。よって、テープ材の品質を高めることができる。
【００８２】
また、本発明のテープ材洗浄方法においては、電子部品実装用フィルムキャリアテープ用に構成したことにより、電子部品実装用フィルムキャリアテープの洗浄の際に、前述したテープ材洗浄方法が有する効果と同じ効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８３】
以下、本発明の実施の形態を図にしたがって説明する。
第１の実施の形態：
図１は本発明の第１の実施の形態を示すテープ材洗浄装置１の模式図である。この洗浄装置１は、ＴＡＢテープに使用されるフィルムキャリアテープ１００の洗浄装置である。なお実施の形態では、これ以降フィルムキャリアテープ１００をテープ材１００と称して説明する。
【００８４】
このテープ材洗浄装置１は、装置１全体がクリーンルームＲ内に設置されており、クリーンルームＲのフロアＦに設置されたクリーンブース２と、クリーンブース２内のフロアＦに一列に並んで設置されたテープ材供給手段３、テープ材洗浄手段４、テープ材収容手段５と、クリーンブース２の外のフロアＦに設置された制御装置（図示せず）とを備えている。また、クリーンブース２を設けずに、クリーンルームＲ内に直接、テープ材供給手段３、テープ材洗浄手段４、テープ材収容手段５、前記制御装置をそれぞれ設置してテープ材洗浄装置を構成しても良い。
【００８５】
クリーンブース２は、図２にも示すように一列に連設された三つの収容ブース２１〜２３と、一方の端の収容ブース２３の脇に隣接された梱包ブース２４とを備えている。
【００８６】
三つの収容ブース２１〜２３は、テープ材供給手段３、テープ材洗浄手段４、テープ材収容手段５がそれぞれ独立した状態で収容されるように形成されている。テープ材供給手段３の収容ブース２１は、作業者がテープ材１００の装着等ができるように側方側が開口可能に構成されている。
【００８７】
また、梱包ブース２４は、洗浄済みのテープ材１００を作業者が梱包できる広さに形成されており、作業者が出入りするように側方側が開口可能に構成されている。さらにこの梱包ブース２４は、他の収容ブース２１〜２３よりも高い防塵機能を備えている。
【００８８】
一方、前記テープ材供給手段３は、洗浄前のテープ材１００をテープ材洗浄手段４へ送るものである。このテープ材供給手段３は、収容ブース２１内のフロアＦに設けられた支持体（図示せず）と、この支持体の上部に回転軸３１を介して着脱可能に設けられたテープ材供給リール３３と、前記支持体の下部に別の回転軸３２を介して着脱可能に設けられたスペーサーテープ巻取リール３４と、前記支持体に配設された二つのガイドローラー３５、３６と、双方の回転軸３１、３２に接続した駆動手段（図示せず）とを備えている。
【００８９】
テープ材供給リール３３は回転軸３１を介して前記支持体に回転自在に支持されるように構成されている。そしてこのリール３３には、基端側にダミーテープ（図示せず）が接続されたテープ材１００と、このテープ材１００の配線パターン面１００ａ側に重ねられたスペーサーテープ１０１とが巻回されている。
【００９０】
また、スペーサーテープ巻取リール３４は、回転軸３２を介して前記支持体に回転自在に支持されるように構成されている。またこのリール３４は、テープ材供給リール３３に巻回されているスペーサーテープ１０１が巻き取れるように形成されており、洗浄前には空の状態で設けられている。
【００９１】
また、複数のガイドローラー３５、３６は、双方のリール３３，３４間で前記支持体に設けられたスペーサーテープ巻取用ガイドローラー３５と、テープ材供給リール３３よりもテープ材洗浄手段４側で前記支持体に設けられたテープ材供給用ガイドローラー３６とから構成されている。
【００９２】
スペーサーテープ巻き取り用ガイドローラー３５は、テープ材供給リール３３から出されるスペーサーテープ１０１にテンションを与えながら、このスペーサーテープ１０１をスペーサーテープ巻取リール３４へ案内するように構成されている。
【００９３】
また、テープ材供給用ガイドローラー３６は、テープ材供給リール３３から出されるテープ材１００にテンションを与えながら、このテープ材１００をテープ材洗浄手段４へ案内するように構成されている。
【００９４】
また、前記駆動手段は、上側の回転軸３１をテープ材１００の供給方向Ａへ回転させるように構成されており、これによってテープ材供給リール３３は、テープ材１００をテープ材洗浄手段４へ送るように構成されている。
【００９５】
さらに、前記駆動手段は、下側の回転軸３２をスペーサーテープ１０１の巻き取り方向Ｂ（供給方向Ａと逆の方向）へ回転させるように構成されており、これによってスペーサーテープ巻取リール３４は、テープ材供給リール３３からスペーサーテープ１０１を分離させて巻き取るように構成されている。
【００９６】
一方、前記テープ材洗浄手段４は、テープ材供給手段３から送られてきたテープ材１００を洗浄して、さらに水切りおよび乾燥させるものである。このテープ材洗浄手段４は、収容ブース２２内のフロアＦに設けられた洗浄部４１と、洗浄部４１の上側に設けられた水切り部４２と、水切り部４２に隣接してブース２２内に設けられた本発明の乾燥手段である温風ヒーター４３と、収容ブース２２内に略Ｕ字状に配設された複数のガイドローラー４４〜４９とを備えている。
【００９７】
複数のガイドローラー４４〜４９は、水切り部４２のテープ材供給手段３側に設けられた一対の第１のガイドローラー４４，４５と、このガイドローラー４４，４５の下方で洗浄部４１内の下部に設けられた第２のガイドローラー４６と、第２のガイドローラー４６のテープ材収容手段５側に水平に設けられた第３のガイドローラー４７と、洗浄部４１内で第３のガイドローラー４７からテープ材供給手段３側へ斜め上方に設けられた第４のガイドローラー４８と、第４のガイドローラー４８の上方で水切り部４２に隣接して設けられた第５のガイドローラー４９とから構成されている。
【００９８】
第１のガイドローラー４４，４５は、テープ材供給用ガイドローラー３６から送られてきたテープ材１００を挟持しながら第２のガイドローラー４６へ向けて下方に案内するように構成されている。
【００９９】
また、第２のガイドローラー４６は、第１のガイドローラー４４，４５から送られてきたテープ材１００を第３のガイドローラー４７へ向けて水平に案内するように構成されている。
【０１００】
また、第３のガイドローラー４７は、第２のガイドローラー４６から送られてきたテープ材１００を第４のガイドローラー４８へ向けて斜め上方に案内するように構成されている。
【０１０１】
また、第４のガイドローラー４８は、第３のガイドローラー４７から送られてきたテープ材１００を第５のガイドローラー４９へ向けて上方に案内するように構成されている。
【０１０２】
また、第５のガイドローラー４９は、第４のガイドローラー４８から送られてきたテープ材１００をテープ材収容手段５へ向けて水平に案内するように構成されている。
【０１０３】
一方、前記洗浄部４１は、フロアＦに設けられた浸漬槽４１１と、浸漬槽４１１に接続した循環システム４１２と、浸漬槽４１１内に設けられた洗浄部本体４１３とを備えている。
【０１０４】
浸漬槽４１１は、図３に示すように内部に収容空間４１１ａが形成されている。また、浸漬槽４１１の上面のテープ材供給手段３側と、浸漬槽４１１の上面の水切り部４２と重なる部分とには、テープ材１００を通す挿通口（図示せず）がそれぞれ設けられている。
【０１０５】
そして、前記収容空間４１１ａ内には、第２のガイドローラー４６および第３のガイドローラー４７が埋没するように浸漬水４１１ｂが溜められており、これによって搬送中のテープ材１００が浸漬されるように構成されている。なお、浸漬水４１１ｂに使用される液体としては、純水あるいは純水と洗浄剤との混合物であり、これらはテープ材１００の種類に応じて適宜変えて良い。
【０１０６】
また、浸漬槽４１１の底面には、排水口および給水口（図示せず）が設けられており、この排水口と給水口には循環システム４１２が接続されている。
【０１０７】
循環システム４１２は、浸漬槽４１１の前記排水口に排水管４１２ａを介して接続されたポンプ４１２ｂと、ポンプ４１２ｂの出口側に接続されたフィルター４１２ｃと、フィルター４１２ｃの出口側に接続された殺菌手段４１２ｄとを備えており、殺菌手段４１２ｄの出口側は給水管４１２ｅを介して、浸漬槽４１１の前記給水口に接続されている。
【０１０８】
そして、循環システム４１２は、浸漬槽４１１内の浸漬水４１１ｂをポンプ４１２ｂで吸い上げて、フィルター４１２ｃで濾過して塵等の異物を除去し、さらに殺菌手段４１２ｄ殺菌を行って浸漬水４１１ｂが循環するように構成されている。
【０１０９】
一方、前記洗浄部本体４１３は、第３のガイドローラー４７と第４のガイドローラー４８との間に設けられた一対の前洗浄手段４１３１，４１３１と、第４のガイドローラー４８と対向して設けられた超音波洗浄手段４１３２と、第４のガイドローラー４８の上方に設けられた一対の後洗浄手段４１３３，４１３３とを備えている。
【０１１０】
前洗浄手段４１３１，４１３１は、第３のガイドローラー４７と第４のガイドローラー４８との間を通るテープ材１００を挟んで相対向するように設けられており、洗浄液が収容されたタンク（図示せず）と、このタンクに接続してテープ材１００の両面に前記洗浄液を吹き付けるノズル４１３１ａとを備えている。
【０１１１】
また、超音波洗浄手段４１３２は、洗浄液が収容されたタンク（図示せず）と、このタンクに接続してテープ材１００の配線パターン面１００ａに膜状の洗浄液を吹き付けるノズル４１３２ａと、この洗浄液に超音波振動を付与する振動板４１３２ｂと、この振動板４１３２ｂを超音波振動させる超音波発信器（図示せず）とを備えている。
【０１１２】
また、後洗浄手段４１３３，４１３３は、第４のガイドローラー４８を通過したテープ材１００を挟んで相対向する位置に設けられており、洗浄液が収容されたタンク（図示せず）と、このタンクに接続してテープ材１００の両面に前記洗浄液を吹き付けるノズル４１３３ａとを備えている。
【０１１３】
一方、水切り部４２は、浸漬槽４１１上に設けられた収容部４２１と、収容部４２１内に設けられた本発明の水切り手段である二組のエアーナイフ４２２，４２２とを備えている。
【０１１４】
収容部４２１は、内部に収容空間４２１ａが形成されている。また、収容部４２１の上下面には、テープ材１００を通す挿通口（図示せず）が、浸漬槽４１１の前記挿通口と対向するようにそれぞれ設けられている。
【０１１５】
一方、エアーナイフ４２２，４２２は、テープ材１００を挟んで相対向するように設けられており、圧縮空気が収容されたタンク（図示せず）と、このタンクに接続してテープ材１００の両面にエアーを吹き付けるノズル４２２ａとを備えている。
【０１１６】
また、温風ヒーター４３は、第５のガイドローラー４９を通過したテープ材１００を挟んで相対向するように設けられており、温風ヒーター本体４３ａと、テープ材１００の両面にそれぞれ温風を吹き出すための吹出口４３ｂとを備えている。
【０１１７】
一方、図１に示すように前記テープ材収容手段５は、洗浄・水切り・乾燥が終了したテープ材１００を収容するものである。このテープ材収容手段５は、収容ブース２３内のフロアＦに設けられた支持体（図示せず）と、この支持体の下部に回転軸５１を介して着脱可能に設けられたスペーサーテープ供給リール５３と、前記支持体の上部に別の回転軸５２を介して着脱可能に設けられたテープ材巻取リール５４と、前記支持体に配設された複数のガイドローラー５５〜５７と、双方の回転軸５１、５２に接続した駆動手段（図示せず）とを備えている。
【０１１８】
スペーサーテープ供給リール５３は、回転軸５１を介して前記支持体に回転自在に支持されるように構成されており、このリール５３にはスペーサーテープ１０２が巻回されている。このスペーサーテープ１０２は、前記スペーサーテープ１０１と別なものであり、清浄化されたスペーサーテープである。
【０１１９】
また、テープ材巻取リール５４は前記支持体に回転自在に支持されるように構成されている。そして、このリール５４には、温風ヒーター４３を通過して送られてきたテープ材１００と、スペーサーテープ供給リール５３に巻回されているスペーサーテープ１０１とが重ねて巻き取れるように形成されており、洗浄前には空の状態で設けられている。
【０１２０】
また複数のガイドローラー５５〜５７は、双方のリール５３，５４間においてスペーサーテープ供給リール５３側に設けられたスペーサーテープ供給用ガイドローラー５５と、双方のリール５３，５４間においてテープ材巻取リール５４側に設けられたスペーサーテープ巻取用ガイドローラー５６と、テープ材巻取リール５４の上方に設けられたテープ材巻取用ガイドローラー５７とから構成されている。
【０１２１】
スペーサーテープ供給用ガイドローラー５５は、スペーサーテープ供給リール５３から出されるスペーサーテープ１０２にテンションを与えながら、このスペーサーテープ１０２をスペーサーテープ巻取用ガイドローラー５６へ案内するように構成されている。
【０１２２】
また、スペーサーテープ巻取用ガイドローラー５６は、スペーサーテープ供給用ガイドローラー５５から送られてきたスペーサーテープ１０２に更にテンションを与えながら、このスペーサーテープ１０２をテープ材巻取リール５４へ案内するように構成されている。
【０１２３】
また、テープ材巻取用ガイドローラー５７は、温風ヒーター４３を通過して送られてきたテープ材１００にテンションを与えながら、このテープ材１００をテープ材巻取リール５４へ案内するように構成されている。
【０１２４】
また、前記駆動手段は、下側の回転軸５１をスペーサーテープ１０２の供給方向Ｃに回転させるように構成されている。これによりスペーサーテープ供給リール５３は、スペーサーテープ１０２をテープ材巻取リール５４へ送るように構成されている。
【０１２５】
さらに、前記駆動手段は、上側の回転軸５２をテープ材１００およびスペーサーテープ１０２の巻き取り方向Ｄへ回転させるように構成されている。これによりテープ材巻取リール５４は、テープ材１００と、スペーサーテープ供給リール５３に巻回されているスペーサーテープ１０１とを重ねて巻き取るように構成されている。
【０１２６】
また、前記テープ材巻取用ガイドローラー５７は、前記テープ材供給用ガイドローラー３６および、収容ブース２２内の複数のガイドローラー４４〜４９とで、テープ材１００の搬送ライン１１０を構成している。
【０１２７】
この搬送ライン１１０は、収容ブース２２内では略Ｕ字状に形成されており、第３のガイドローラー４７から第４のガイドローラー４８へテープ材１００を斜め上方に搬送する際のテープ材１００の傾斜角度αは４５度に設定されている（図３参照）。
【０１２８】
さらに、これらのガイドローラー３６、４４〜４９、５７と、前記テープ材供給手段３および前記テープ材収容手段５の駆動手段と、双方の手段３、５に設けられたリール３３、３４、５３、５４とでテープ材１００の搬送手段を構成している。
【０１２９】
また、前記制御装置は、テープ材供給手段３の駆動手段、テープ材収容手段５の駆動手段、循環システム４１２、洗浄部本体４１３、エアーナイフ４２２，４２２、温風ヒーター４３等にそれぞれ接続されており、これらの動作を制御するように構成されている。
【０１３０】
かかる構成において、テープ材１００の洗浄方法について説明する。まず、作業者は、テープ材供給リール３３からテープ材１００とスペーサーテープ１０１とを引き出してスペーサーテープ１０１の先端をスペーサーテープ巻取リール３４に固定する。
【０１３１】
次に、作業者は、引き出した一方のテープ材１００の先端にダミーテープ（図示せず）の一端を接続し、このダミーテープを、各ガイドローラー３６、４４，４５、４６〜４９、５７に順に通す。また、作業者は、スペーサーテープ供給リール５３からスペーサーテープ１０２を引き出して双方のガイドローラー５５、５６に通して、前記ダミーテープに重ねてテープ材巻取リール５４に接続する。
【０１３２】
次に、作業者は、前記制御装置をＯＮにして、テープ材供給手段３の駆動手段およびテープ材収容手段５の駆動手段を駆動させて、テープ材１００を搬送方向Ａに搬送させるとともに、この制御装置に接続された前記各手段および前記各機器を駆動させて、以下に説明する工程を順に行う。
【０１３３】
供給工程：
テープ材供給リール３３が搬送方向Ａへ回転してテープ材１００が引き出され、テープ材供給用ガイドローラー３６から搬送ライン１１０に載る。またこれと同時にスペーサーテープ巻き取リール３４も巻き取り方向Ｂへ回転してテープ材１００からスペーサーテープ１０１が分離され、スペーサーテープ巻き取り用ガイドローラー３５を介してスペーサーテープ巻き取リール３４へ巻き取られる。
【０１３４】
浸漬工程：
テープ材供給手段３から搬送ライン１１０に載せられたテープ材１００は、図３に示すように第１のガイドローラー４４，４５によって下方へ搬送されて浸漬槽４１１の浸漬水４１１ｂ中に入り、第２のガイドローラー４６で前方（テープ材収容手段５側）へ向きを変えて、第３のガイドローラー４７まで水平に搬送されながら浸漬される。
【０１３５】
前洗浄工程：
搬送されてきたテープ材１００は、第３のガイドローラー４７で後方（テープ材供給手段３側）へ折り返されて第４のガイドローラー４８まで斜め上方に搬送される一方、搬送中のテープ材１００の両面には、前洗浄手段４１３１，４１３１により洗浄液が吹き付けられる。
【０１３６】
超音波洗浄工程：
搬送されてきたテープ材１００は、第４のガイドローラー４８で支持されながら、配線パターン面１００ａに、超音波洗浄手段４１３２により洗浄液が吹き付けられる。
【０１３７】
後洗浄工程：
超音波洗浄手段４１３２を通過したテープ材１００は、第５のガイドローラー４９まで上方へ搬送される一方、浸漬槽４１１内においてテープ材１００の両面には、後洗浄手段４１３３，４１３３により洗浄液が吹き付けられる。
【０１３８】
水切り工程：
後洗浄手段４１３３，４１３３を通過したテープ材１００は、水切り部４２の収容部４２１内に入り、テープ材１００の両面には、二組のエアーナイフ４２２，４２２により圧縮空気が吹き付けられる。
【０１３９】
乾燥工程：
エアーナイフ４２２，４２２を通過したテープ材１００は、第５のガイドローラー４９で右方（テープ材収容手段５側）に向きを変えて温風ヒーター４３内を水平に搬送される。このときに吹出口４３ｂからテープ材１００の両面に温風が吹き付けられる。
【０１４０】
収容工程：
温風ヒーター４３を通過したテープ材１００は、図１に示すようにテープ材巻取用ガイドローラー５７を介してテープ材巻取リール５４へ送られる。これと同時にスペーサーテープ供給リール５３は供給方向Ｃへ回転して、スペーサーテープ１０２が双方のガイドローラー５５、５６を介してテープ材巻取リール５４へ送られる。
【０１４１】
そしてテープ材巻取リール５４は巻き取り方向Ｄへ回転することにより、洗浄・乾燥済みのテープ材１００が、スペーサーテープ供給リール５３から送られてきたスペーサーテープ１０２と重ねられてリール５４に巻き取られる。
【０１４２】
無塵梱包工程：
テープ材１００がスペーサテープ１０２と重ねられた状態で、巻取リール５４に全て巻き取られた後、作業者はこの巻取リール５４を回転軸５２から取り外して梱包ブース２４（図２参照）内へ運び、梱包作業を行う。
【０１４３】
以上説明したようにテープ材１００の洗浄においては、洗浄前に、浸漬工程においてテープ材１００を浸漬水４１１ｂに浸漬させている。これによりテープ材１００に付着している異物が膨潤あるいは水分を吸収するので、テープ材１００に対する異物の付着力が弱められる。
【０１４４】
したがって、超音波洗浄工程では、超音波洗浄手段４１３２によってテープ材１００から異物を容易に除去することが可能になる。また超音波洗浄手段４１３２による異物の除去処理は従来の場合と異なり、浸漬が終了したテープ材１００に対して行うので、テープ材１００から除去された異物がテープ材１００に再付着するのを防ぐことができる。よって、本実施の形態のテープ材洗浄装置１およびテープ材洗浄方法においては、テープ材１００の洗浄性を高めることができる。
【０１４５】
なお、搬送中のテープ材１００を浸漬させるために浸漬槽４１１内に配設される第２のガイドローラー４６と第３のガイドローラー４７との間の距離１１０Ｌ（図３参照）は、テープ材１００に付着している異物が、浸漬水４１１ｂ中において十分膨潤あるいは水分を吸収するように適当な距離（３００ｍｍ〜２０００ｍｍ程度）に設定することが好ましい。
【０１４６】
また、超音波洗浄工程では、テープ材１００に洗浄液が吹き付けられる際に、テープ材１００は第４のガイドローラー４８で搬送ライン１１０の吹き付け位置１１０ａに支持されているため揺れてしまうことがない。したがって、テープ材１００から異物をさらに容易に除去することが可能になり、テープ材１００の洗浄性をさらに高めることができる。
【０１４７】
なお超音波洗浄手段４１３２は、ノズル４１３２ａの先端と、テープ材１００の配線パターン面１００ａとの間の距離が、通常１ｍｍ〜５０ｍｍになるように設置されることが好ましく、さらには１０ｍｍ〜３０ｍｍになるように設置することが好ましい。
【０１４８】
ここで、ノズル４１３２ａの先端と配線パターン面１００ａとの間の距離が近すぎると、配線パターン面１００ａにインナーリード（端子）が形成されている場合には、ノズル４１３２ａの噴射圧によりインナーリード（端子）が曲がってしまうおそれがあるので好ましくない。一方、ノズル４１３２ａの先端と配線パターン面１００ａとの間の距離が遠すぎる場合には、ノズル４１３２ａから噴射された洗浄液が、配線パターン面１００ａに十分届かないので洗浄性が低下してしまい好ましくない。
【０１４９】
したがって、ノズル４１３２ａの先端と配線パターン面１００ａとの間の距離を前述した適当な距離に設定することにより、インナーリードの曲がりを防止するとともに、テープ材１００の洗浄性低下を防止することができる。例えば、デバイスホールのある３層品テープ上に形成されたインナーリードの曲がり防止については、ノズル４１３２ａの先端と配線パターン面１００ａとの間の距離を１０ｍｍ〜３０ｍｍの範囲内に設定することで対処できる。
【０１５０】
また、超音波洗浄工程の前には、前洗浄工程において、前洗浄手段４１３１，４１３１によってテープ材１００に洗浄液が吹き付けられるので、この時点でテープ材１００に付着している異物の除去が行われる。
【０１５１】
したがって、超音波洗浄工程では、前洗浄工程がない場合に比べてテープ材１００に付着している異物数が少なくなって異物の除去処理がさらに容易になるので、テープ材１００の洗浄性をさらに高めることができる。
【０１５２】
また、前洗浄工程においては、浸漬が終了したテープ材１００を斜め上方に搬送させている。このことから浸漬が終了したテープ材１００を水平に搬送させる場合に比べて、前洗浄手段４１３１，４１３１の洗浄距離４１３１Ｌが長く確保されるので、テープ材１００に付着している異物をより多く除去することが可能になる。
【０１５３】
したがって、超音波洗浄工程では、テープ材１００に付着している異物数がさらに少なくなって異物の除去処理がさらに容易になるので、テープ材１００の洗浄性をさらに高めることができる。
【０１５４】
なお、本実施の形態のテープ材洗浄装置１では、前洗浄工程において上方に搬送されるテープ材１００の傾斜角度αを４５度に設定したが、傾斜角度をこの角度に限定する必要はなく、１０度〜１７０度の範囲で設定することが好ましく、さらには１０度〜８９度あるいは９１度〜１７０度の範囲で設定することが好ましい。
【０１５５】
ここで、テープ材１００の傾斜角度が１０度未満あるいは１７０度を超える場合には、前洗浄手段４１３１，４１３１の設置場所が確保できず、またテープ材１００が水平に搬送される場合と比べて前洗浄手段４１３１，４１３１の洗浄距離がほぼ同じになるので、異物の除去処理性はほとんど変わらず好ましくない。
【０１５６】
一方、テープ材１００の傾斜角度が９０度の場合には、傾斜角度が１０度〜８９度あるいは９１度〜１７０度の場合と比べて、第４のガイドローラー４８とテープ材１００とが線接触になるため、ガイドローラー４８はテープ材１００を搬送ライン１１０に支持させることが難しく、ガイドローラー４８としての役割を十分果たすことができなくなり好ましくない。
【０１５７】
そして、テープ材１００の傾斜角度を１０度〜１７０度の範囲で設定することにより、テープ材１００を水平に搬送する場合に比べて、前洗浄手段４１３１，４１３１の洗浄距離４１３１Ｌが十分に長く確保されるので、高い洗浄性を確実に得ることができる。なお、この洗浄距離４１３１Ｌは、具体的に説明すると、前洗浄手段４１３１，４１３１からテープ材１００に吹き付けられた洗浄液が流下する距離である。
【０１５８】
また、本実施の形態のテープ材洗浄装置１では、テープ材１００を傾斜させる二つのガイドローラー４７、４８の内、超音波洗浄手段４１３２側のガイドローラー４８を、本発明の支持手段と兼ねて構成した。これにより部品点数を減らして、前洗浄手段４１３１，４１３１の洗浄距離を長く確保する一方、超音波手段４１３２から洗浄液が吹き付けられてもテープ材１００の揺れを防止できる。よって、本実施の形態のテープ材洗浄装置１においては、製造コストを抑えてテープ材１００の洗浄性を高めることができる。
【０１５９】
一方、超音波洗浄工程が終了したテープ材１００は、後洗浄工程において、後洗浄手段４１３３，４１３３により洗浄液が吹き付けられる。したがって、超音波洗浄工程を行った結果、テープ材１００に異物が除去されずに残っていたり、また超音波洗浄工程において第４のガイドローラー４８と接触してテープ材１００の配線パターン面１００ａと反対側の面に異物が新たに付着しても、これらの異物の除去が可能になる。よって、テープ材１００の洗浄性をさらに高めることができる。なお超音波洗浄工程において、テープ材１００に付着している異物が、テープ材１００の品質低下を招かない量まで除去されれば、この後洗浄工程を行わなくても良い。
【０１６０】
また、後洗浄工程が終了したテープ材１００には、乾燥工程に入る前に水切り工程においてエアーナイフ４２２，４２２で圧縮空気が吹き付けられている。これにより、テープ材１００に付着している洗浄液が飛ばされて除去されるので、乾燥工程時には洗浄液の量が少なくなる。したがって、水切り工程がない場合と比べてテープ材１００の乾燥時間が短縮されるのでテープ材１００の生産性をさらに高めることができる。
【０１６１】
また、本実施の形態テープ材洗浄装置１では、テープ材１００の洗浄に続いて温風ヒーター４３による乾燥も行うので、テープ材１００の洗浄と乾燥とを別々に行う場合に比べて、テープ材１００の生産に要する時間が短縮される。よって、テープ材１００の生産性を高めることができる。
【０１６２】
なお、温風ヒーター４３は、テープ材１００に付着している洗浄液を蒸発させるために、全長（テープ材１００の搬送方向Ａに沿う長さ）が５００ｍｍ〜３０００ｍｍ、温風の温度が６０℃〜１４０℃に設定されたものが好ましい。
【０１６３】
また、本実施の形態のテープ材洗浄装置１では、テープ材１００を供給しながらスペーサーテープ１０１を分離させ、また洗浄・乾燥したテープ材１００に別のスペーサーテープ１０２を重ねながら収容するようにした。したがって、テープ材洗浄装置１は、巻出し部において、テープ材１００からスペーサーテープ１０１を円滑に分離させる一方、巻取り部において、スペーサーテープ１０２により、洗浄したテープ材表面１００ａ（例えばテープ材表面１００ａにある配線パターン）の損傷を円滑に防止できる。よって、スペーサーテープが重ねられて製品にされるテープ材１００の生産性を高めることができる。
【０１６４】
さらに、本実施の形態のテープ材洗浄装置１では、無塵状態の梱包ブース２４を備えたことにより、洗浄・乾燥が終了したテープ材１００が梱包時に異物が付着するのを防ぐことができる。よって、テープ材１００の品質を高めることができる。
【０１６５】
第２の実施の形態：
図４は本発明の第２の実施の形態を示すテープ材洗浄装置２００の要部模式図である。本実施の形態では第１の実施の形態と同様な部分には同じ符号を付し、異なる部分を中心にして説明する。
【０１６６】
本実施の形態のテープ材洗浄装置２００は、浸漬槽４１１による浸漬が終了したテープ材１００を水平に折り返して案内する三つのガイドローラー４７、２４０、２４１を備えており、前洗浄手段４１３１，４１３１は、これらのガイドローラー４７、２４０、２４１によって水平に搬送されたテープ材１００を洗浄するように構成されている。
【０１６７】
かかる構成においては、浸漬が終了したテープ材１００を上方に搬送する場合に比べてテープ材１００の搬送領域、言い換えると洗浄装置２００の高さ２００ｈを、第１の実施の形態で説明した洗浄装置１の高さ１ｈ（図３参照）よりも低く抑えることができる。よって、本実施の形態のテープ材洗浄装置２００においては、設置スペースの縮小化を図ることができる。
【０１６８】
さらに、超音波洗浄手段４１３２側のガイドローラー２４１は、本発明の支持手段と兼ねて構成したことから部品点数を減らすことが可能になる。よって、本実施の形態の洗浄装置２００においては、第１の実施の形態のテープ材洗浄装置１と同様に、製造コストを抑えてテープ材１００の洗浄性を高めることができる。
【０１６９】
第３の実施の形態：
図５は本発明の第３の実施の形態を示すテープ材洗浄装置３００の要部模式図である。本実施の形態では第１の実施の形態と同様な部分には同じ符号を付し、異なる部分を中心にして説明する。
【０１７０】
本実施の形態のテープ材洗浄装置３００では、本発明の支持手段が、搬送ライン１００ａに沿って上下に離れて設けられた三つのガイドローラー３４８から構成されている。
【０１７１】
かかる構成においては、第１の実施の形態のガイドローラー４８や、第２の実施の形態のガイドローラー２４１に比べてガイドローラーの数が増えたことにより、テープ材１００による支持距離が長く確保されるため、テープ材１００を搬送ライン１００ａに安定して支持させることが可能になる。
【０１７２】
したがって、テープ材１００に超音波手段４１３２から洗浄液が吹き付けられても、テープ材１００の揺れを確実に防ぐことができる。よって、本実施の形態のテープ材洗浄装置３００においては、テープ材１００の洗浄性を高めることができる。
【０１７３】
さらに、一番下側に位置するガイドローラー３４８が、浸漬が終了したテープ材１００を斜め上方に搬送させる二つのガイド手段の一方（超音波洗浄手段４１３２側）を構成しているので、前述した各実施の形態と同様に、製造コストを抑えてテープ材１００の洗浄性を高めることができる。
【０１７４】
第４の実施の形態：
図６は本発明の第４の実施の形態を示すテープ材洗浄装置４００の要部模式図である。本実施の形態では第１の実施の形態と同様な部分には同じ符号を付し、異なる部分を中心にして説明する。
【０１７５】
本実施の形態のテープ材洗浄装置４００においては、本発明の支持手段４４８がベルトコンベヤー状に形成されており、搬送ライン１１０に沿って上下に離れて設けられた一対のローラー４４８ａ，４４８ａと、双方のローラー４４８ａ，４４８ａにかけられた環状のベルト４４８ｂとを備えている。
【０１７６】
かかる構成において、この支持手段４４８は、第１の実施の形態のガイドローラー４８や、第２の実施の形態のガイドローラー２４１に比べて、テープ材１００による支持面積および支持距離が大きく確保されるため、テープ材１００を搬送ライン１１０に安定して支持することが可能になる。
【０１７７】
したがって、テープ材１００に超音波手段４１３２から洗浄液が吹き付けられても、テープ材１００の揺れを確実に防ぐことができる。よって、本実施の形態のテープ材洗浄装置４００においては、テープ材１００の洗浄性を高めることができる。
【０１７８】
さらに、この支持手段４４８は、浸漬が終了したテープ材１００を斜め上方に搬送させる二つのガイド手段の一方（超音波洗浄手段４１３２側）を構成しているので、前述した各実施の形態と同様に、製造コストを抑えてテープ材１００の洗浄性を高めることができる。
【０１７９】
なお実施の形態では、ＴＡＢテープ、ＣＯＦテープ、ＢＧＡテープ、ＣＳＰテープ等の電子部品実装用フィルムキャリアテープを洗浄する場合について説明したが、スペーサーテープならびにＦＰＣのような幅広のロール状のテープ材等について本発明を適用した場合でも、実施の形態で説明した効果と同様の効果を得ることができる。またテープ材洗浄装置は、洗浄するテープ材の種類に応じて洗浄液の種類を変えたり、搬送手段、各洗浄手段、水切り手段、乾燥手段の構成や、これらの制御方法等を変えても良い。
【０１８０】
また、実施の形態では、クリーンブース２内にテープ材洗浄装置１を一つ設置した場合について説明したが、設置されるテープ材洗浄装置１の数はこれに限定されることはなく、例えばクリーンブース２内に、複数のテープ材洗浄装置１を並べて設置しても良い。さらに、実施の形態では、超音波洗浄手段４１３２を浸漬水４１１ｂの上方に設置したが、この超音波洗浄手段４１３２に加えて、図４に示すように別の超音波洗浄手段５００（二点鎖線で図示）または前記超音波洗浄手段４１３２と同じものを、ノズルを浸漬水４１１ｂ中に入れて設置しても良い。
【０１８１】
以下、実施例および比較例を示して本発明を具体的に説明する。なお本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【０１８２】
テープ材１００の洗浄：
第１の実施の形態で説明したテープ材洗浄装置１を使用した。ただし、比較例との効果の差異を明確にするために前洗浄手段４１３１，４１３１を使用しなかった。以下に、本実施例で使用したテープ材１００の種類や、テープ材洗浄装置１の各種条件を示す。
【０１８３】
（１）洗浄対象となるテープ材１００：２層品のＣＯＦ用フィルムキャリアテープを使用した。このテープは、厚さ３８μｍのポリイミドベースフィルムテープ層と、厚さ８μｍの銅層とから形成されたものである。
（２）搬送手段：搬送速度を３ｍ／ｍｉｎに設定した。
（３）浸漬槽４１１：純水を使用し、水温を２５℃に設定した。
（４）超音波洗浄手段４１３２：（株）カイジョー製のものを使用した（超音波発信器の型番６８１０１、振動板の型番６８７９ＢＫ）。そして振動数を９５０ｋＨｚ、水流量：２５Ｌ／分、噴射圧を０．２ＭＰａに設定した。
（５）後洗浄手段４１３３，４１３３：水流量：４Ｌ／分、噴射圧を０．２ＭＰａに設定した。
（６）温風ヒーター４３：全長２０００ｍｍのものを使用し、温度を１００℃±５℃に設定した。
【０１８４】
洗浄後のテープ材１００に残存している異物数の測定：
出荷直前のテープ材巻取リール５４に巻回されたテープ材１００の最外部に付着している異物数を、実体顕微鏡（光学顕微鏡）を用いて倍率１０倍で観察しながら、５０μｍ以上の大きさの異物をカウントした。
【実施例２】
【０１８５】
テープ材１００の洗浄：
第２の実施の形態で説明したテープ材洗浄装置２００を使用した。その他の条件は実施例１と同様に設定した。
【０１８６】
洗浄後のテープ材１００に残存している異物数の測定：
実施例１と同様の方法で異物数を測定した。
【実施例３】
【０１８７】
テープ材１００の洗浄：
図４に示すように、（株）カイジョー製の型番６２８１Ａの振動板５０１を有する超音波洗浄手段５００（二点差線で図示）を使用した。具体的には、第２の実施の形態で説明したテープ材洗浄装置２００において、浸漬水４１１ｂ中を搬送するテープ材１００と上下に対向するようにノズル５０２を浸漬水４１１ｂ中に入れて超音波洗浄手段５００を設置した。その他の条件は実施例２と同じ条件に設定した。
【０１８８】
洗浄後のテープ材１００に残存している異物数の測定：
実施例１と同様の方法で異物数を測定した。
【比較例】
【０１８９】
テープ材１００の洗浄：
特許文献１に記載されているテープ材洗浄装置に、実施例３と同じ超音波洗浄手段５００を使用した。
【０１９０】
洗浄後のテープ材１００に残存している異物数の測定：
実施例１と同様の方法で異物数を測定した。
【０１９１】
＜実施例と比較例の比較＞
表１に、各実施例と比較例においてテープ材１００に最終的に付着していた異物数をカウントした結果を示す。なお異物数は１ｍ当たりの平均値である。表１において「白」は、テープ材１００又はリールから発生したと思われるプラスチック系有機物である。「黒」は、スペーサーテープ１０２の導電性コーティングの成分に相当すると思われる無機物である。「糸」は、作業者の防塵服等から発生したと思われる糸状の物質である。「金属」は、製造工程及び検査工程で使用された設備から発生したと思われる鉄やアルミニウム等である。
【０１９２】
【表１】
2006263720.tif 000003
【０１９３】
表１から明らかなように、本発明のテープ材洗浄装置が従来のテープ材洗浄装置に比べてテープ材１００に付着している異物の除去能力について優れていることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【０１９４】
以上説明したように本発明のテープ材洗浄装置およびテープ材洗浄方法においては、テープ材の洗浄性を高めることができるので、この技術分野で十分に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１９５】
【図１】本発明の第１の実施形態を示すテープ材洗浄装置の模式図である。
【図２】同実施の形態におけるテープ材洗浄装置の平面図である。
【図３】図１の要部を示す拡大図である。
【図４】本発明の第２の実施形態を示すテープ材洗浄装置の要部模式図である。
【図５】本発明の第３の実施形態を示すテープ材洗浄装置の要部模式図である。
【図６】本発明の第４の実施形態を示すテープ材洗浄装置の要部模式図である。
【符号の説明】
【０１９６】
１    テープ材洗浄装置
３    テープ材供給手段
５    テープ材収容手段
２４    梱包ブース
４３    温風ヒーター
４７    第３のガイドローラー
４８    第４のガイドローラー
１００    テープ材
１１０    搬送ライン
１１０ａ    吹き付け位置
２００    テープ材洗浄装置
２４０    ガイドローラー
２４１    ガイドローラー
３００    テープ材洗浄装置
３４８    ガイドローラー
４００    テープ材洗浄装置
４１１    浸漬槽
４２２    エアーナイフ
４４８    支持手段
４１３１    前洗浄手段
４１３２    超音波洗浄手段
４１３３    後洗浄手段
α    傾斜角度
【図１】
2006263720.tif 000004
【図２】
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【図３】
2006263720.tif 000006
【図４】
2006263720.tif 000007
【図５】
2006263720.tif 000008
【図６】
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