(57)【要約】【課題】  プローブの官能基に損傷を与えることなく、かつ安定した濃度のプローブ溶液を液体吐出装置内の液体収納部に維持して、プローブ担体の製造効率を下げることなく、液体吐出方式を用いた装置の利点を効果的に発揮させることのできる構成を有する液体吐出装置及びそれを用いたプローブ担体の製造装置を提供すること。【解決手段】  複数のプローブ溶液を収納するための収納部を備えた第一の液体吐出装置と、前記複数のプローブ溶液を受け入れる収納部を備えた第二の液体吐出装置を有し、前記第一の液体吐出装置と前記第二の液体吐出装置との間に、前記第一の液体吐出装置から飛翔する前記複数のプローブ溶液が到達可能な距離の空間部を有し、かつ前記第一の液体吐出装置から飛翔した前記複数のプローブ溶液が前記第二の液体吐出装置の収納部で吐出用インクと混合することを特徴とする。【選択図】  図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
標的物質に対して特異的に結合可能なプローブを含む複数のプローブ溶液をインクジェット法で吐出するための液体吐出装置であって、複数のプローブ溶液を収納するための収納部を備えた第一の液体吐出装置と、前記複数のプローブ溶液を受け入れる収納部を備えた第二の液体吐出装置を有し、前記第一の液体吐出装置と前記第二の液体吐出装置との間に、前記第一の液体吐出装置から飛翔する前記複数のプローブ溶液が到達可能な距離の空間部を有し、かつ前記第一の液体吐出装置から飛翔した前記複数のプローブ溶液が前記第二の液体吐出装置の収納部で吐出用インクと混合することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記プローブとは、ＤＮＡ、タンパク質、合成された化学物質（薬剤）であることを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記第一の液体吐出装置と前記第二の液体吐出装置が着脱可能であることを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記第一の液体吐出装置と前記第二の液体吐出装置が接続することにより、前記第一の液体吐出装置から飛翔する前記複数のプローブ溶液が到達可能な距離の空間部を外部から遮断することを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記第一の液体吐出装置は、複数のプローブを収納する液体収納部とこれに連通した液体吐出用のノズルとを有する液体吐出部を前記複数のプローブに応じた個数備えた請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記第一の液体吐出装置は、前記第二の液体吐出装置より吐出量が多いことを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記第二の液体吐出装置は、前記第一の液体吐出装置から同時に飛翔させた前記複数のプローブ溶液を前記第二の液体吐出装置の収納部で吐出用インクと同時に混合することが可能である請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記第二の液体吐出装置は、前記第二の液体吐出装置の収納部において、前記複数のプローブを含む媒体の吸光度を測定できることを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記第二の液体吐出装置は、複数の吐出用インクと混合されたプローブ溶液を収納する液体収納部とこれに連通した液体吐出用のノズルとを有する液体吐出部を前記複数のプローブに応じた個数備えた請求項１記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記液体収納部は、蓋部材により外部から遮断可能であって前記液体収納部内にプローブ溶液または吐出用インクを供給するための開口部を有することを特徴とする請求項１〜９記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記液体吐出装置は、前記蓋部材が各開口に設けられ、該開口を閉鎖するものである請求項１〜１０記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
前記液体吐出装置は、前記蓋部材が前記液体収納部の全ての開口を同時に覆うものである請求項１〜１１記載の液体吐出装置。
【請求項１３】
前記蓋部材が弾性体からなる請求項１０〜１２記載の液体吐出装置。
【請求項１４】
前記蓋部材がフィルムからなる請求項１０〜１２記載の液体吐出装置。
【請求項１５】
前記第二の液体吐出装置の収納部において、前記複数のプローブを含む媒体の吸光度を測定することによりプローブ濃度を算出することを特徴とする請求項１〜１４記載の液体吐出装置。
【請求項１６】
第二の液体吐出装置の収納部において、前記複数のプローブ濃度の結果から、前記第一の液体吐出装置に収納されている前記複数のプローブ溶液の吐出数を制御することにより、前記第二の液体吐出装置の収納部で吐出用インクと混合されたプローブ溶液の濃度を調整することを特徴とする請求項１〜１５記載の液体吐出装置。
【請求項１７】
第二の液体吐出装置の収納部において、前記複数のプローブ濃度の結果から、前記第一の液体吐出装置に収納されている前記複数のプローブ溶液の吐出量を制御することにより、前記第二の液体吐出装置の収納部で吐出用インクと混合されたプローブ溶液の濃度を調整することを特徴とする請求項１〜１６記載の液体吐出装置。
【請求項１８】
前記第二の液体吐出装置の収納部において、吐出用インクと混合されたプローブ溶液の濃度を調整するために、前記第一の液体吐出装置に収納されている前記複数のプローブ溶液の吐出数及び吐出量を制御するための制御機構を備えたことを特徴とする請求項１〜１７記載の液体吐出装置。
【請求項１９】
標的物質と特異的に結合可能な複数のプローブが担体上の異なる位置に固定されたプローブ担体の製造装置であって、請求項１〜１８記載の液体吐出装置と、前記液体吐出装置の有する液体吐出部の駆動手段とを有することを特徴とするプローブ担体の製造装置。
【請求項２０】
標的物質と特異的に結合可能な複数のプローブが担体上の異なる位置に固定されたプローブ担体の製造方法であって、前記第一の液体吐出装置から飛翔した前記複数のプローブ溶液が前記第二の液体吐出装置の収納部で吐出用インクと混合し、さらに、前記第二の液体吐出装置から前記吐出用インクと混合されたプローブ溶液を吐出することを特徴とするプローブ担体の製造方法。
【請求項２１】
標的物質と特異的に結合可能な複数のプローブが担体上の異なる位置に固定されたプローブ担体の製造方法であって、前記第二の液体吐出装置の収納部において、前記複数のプローブの吸光度測定の結果からプローブ濃度を算出し、前記第一の液体吐出装置に収納されている前記複数のプローブ溶液の吐出数または吐出量を制御することにより、前記第二の液体吐出装置の収納部で吐出用インクと混合されたプローブ溶液のプローブ濃度を調整することを特徴とする請求項２０記載のプローブ担体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、担体上に異なるプローブを固定したプローブ担体を製造するための液体吐出装置及びそれを用いたプローブ担体の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
遺伝子ＤＮＡの塩基配列の解析を行う場合、あるいは多項目に関する高信頼性の遺伝子診断を同時に行う場合などにおいて、目的とする塩基配列を有するＤＮＡを複数種のプローブを用いて選別することが必要となる。この選別作業に利用される複数種のプローブを提供する手段として、ＤＮＡマイクロチップが注目を浴びている。また、薬剤等のハイスループット・スクリーニングあるいはコンビナトリアル・ケミストリーによる薬剤等の開発においても、対象となる多数（たとえば９６種、３８４種または１５３６種）のタンパク質あるいは薬物の溶液の秩序立ったスクリーニングを行うことが必要となる。その目的で多数種の薬剤を配列するための手法、その状態での自動化されたスクリーニング技術、専用の装置、一連のスクリーニング操作を制御し、また結果を統計的に処理するためのソフトウェア等も開発されてきている。
【０００３】
基本的に、これらの並列的なスクリーニング作業は、評価すべき物質に対する選別手段となる既知のプローブを多数並べてなる、いわゆるプローブ担体（プローブ・アレイ）を利用して行われ、同一条件下でのプローブ材料に対する作用あるいは反応などの有無を検出するものである。一般的に、どのようなプローブ材料に対する作用あるいは反応を利用するかは予め決定されており、従って、ひとつのプローブ担体に搭載されるプローブ材料は、例えば、塩基配列の異なる一群のＤＮＡプローブ材料など、大きく区分すると一種類の物質である。すなわち、一群のプローブ材料として利用される物質は、例えば、ＤＮＡ、タンパク質、合成された化学物質（薬剤）などである。多くの場合、一群をなす複数種のプローブからなるプローブ担体を用いることが多いが、スクリーニング作業の性質によっては、プローブとして、同一の塩基配列を有するＤＮＡ、同一のアミノ酸配列を有するタンパク質、同一の化学物質を多数点並べ、アレイ状とした形態を利用することもあり得る。これらは主として薬剤スクリーニング等に用いられる。
【０００４】
一群をなす複数種のプローブからなるプローブ担体では、具体的には、異なる塩基配列を有する一群のＤＮＡ、異なるアミノ酸配列を有する一群のタンパク質、あるいは異なる化学物質の一群について、その一群を構成する複数種を、所定の配列順序に従って、アレイ状に基板上などに配置する形態をとることが多い。なかでも、ＤＮＡプローブ担体は、遺伝子ＤＮＡの塩基配列の解析を行う際、あるいは信頼性の高い遺伝子診断を同時に多項目に関して行う際などに用いられる。
【０００５】
複数種のプローブを基板上にアレイ状に配置する１つの方法として、液体吐出装置を用いて複数種のプローブ溶液を所望のタイミングで順次吐出し、基板上に配置させる方法がある。液体吐出装置には、プリンタに一般的に用いられているインクジェット法の技術が用いられている発明が開示されている。
【０００６】
例えば、特開平１１−１８７９００号公報には、プローブ材料を含む液体をサーマルインクジェットヘッドにより液滴として固相に付着させて、プローブを固相上に配置する方法が開示されている。この方法では、プローブ材料として用いるＤＮＡを予め合成および精製し、場合によってはその塩基長を確認した上で、基板上に付着させている。
【０００７】
欧州特許公告公報ＥＰ０７０３８２５Ｂ１号には、ＤＮＡの固相合成において利用される、ヌクレオチドモノマー、ならびに、アクティベーターをそれぞれ別のピエゾ・ジェット・ノズルより供給することにより、それぞれ所定の塩基配列を有するＤＮＡ複数種を固相合成する方法が記載されている。この方法では、基板上においてＤＮＡの固相合成を行い、各伸長段階毎に、インクジェット法により合成に必要な物質の溶液を基板上に供給している。
【０００８】
また、ハイスループットプローブ溶液等はマイクロプレートで作るのが生化学分野では一般的であり、このプレートには９６ウェル、３８４ウェル、１５３６ウェルと標準規格がありかつ、穴間隔も決まっており、マイクロプレートから吐出ノズル間隔に配置された液体リザーバーに液体を移動する手間も発生してしまうという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
以上に紹介したように、従来のプローブ・アレイを調製する方法は、担体上に多種類のプローブを高い密度で載せるアレイを効率よく調製する上では、幾つかの課題を残している。例えば、液体吐出装置に具備された吐出ノズル間隔に配置した液体リザーバーにプローブ溶液を保持する場合、プローブ溶液のプローブ・アレイ調製時の消費量は１枚に付き数十ｎｌと少量である。
【００１０】
しかし、頻繁なプローブ溶液供給はプローブ・アレイ調製の効率が悪くなるため、プローブ溶液は複数のプローブ・アレイを調整できる量を液体リザーバー内に長時間保持することになる。このとき、官能基を結合したプローブは、インクジェットにより安定に吐出するための組成の液体（吐出用インク）に長時間さらされることになるため、プローブに結合した官能基が反応性の強い場合（例えば、チオール（−ＳＨ）基）は、吐出用インク中の成分により損傷したり、または吐出用インク中の成分と反応するなどの悪影響が考えられる。このため、吐出用のインク組成を官能基に影響のない組成にする方法が考えられるが、その場合、必ずしも安定な吐出方向精度や安定なスポット形成が得られるとは限らないという懸念があった。また、プローブ溶液は長時間大気にさらされることとなり、プローブ溶液中の水を含む揮発成分の蒸発が起こり、濃度上昇が発生する場合がある。プローブ溶液の濃度変化は液体吐出に影響をもたらし、吐出量や吐出方向精度が悪化する原因となる可能性が考えられる。このため、供給されたプローブ溶液を短期間に使い切り頻繁にプローブ溶液を供給するか、または過度に濃度上昇を起こしたプローブ溶液を廃棄するという方法が考えられるがプローブ・アレイの製造効率が低くなったり、プローブ溶液の使用効率が低くなるという懸念があった。
【００１１】
本発明はこのような課題を解決するもので、本発明の目的は、プローブの官能基に損傷を与えることなく、かつ安定した濃度のプローブ溶液を液体吐出装置内の液体収納部に維持して、プローブ担体の製造効率を下げることなく、液体吐出方式を用いた装置の利点を効果的に発揮させることのできる構成を有する液体吐出装置及びそれを用いたプローブ担体の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は、前記課題の解決を図るべく、鋭意研究を進めた結果、第一の液体吐出装置の液体収納部に維持された複数のプローブ溶液を、プローブ担体製造直前に吐出用インクが収納された第二の液体吐出装置の収納部に吐出し、プローブ担体製造用のプローブ溶液を調整することで、上述した吐出用インクがもたらすプローブに結合した官能基への損傷を低減し、かつプローブ溶液の過度の濃度上昇を防止できることを見出した。
【発明の効果】
【００１３】
以上に説明したように、本発明によれば、プローブ担体製造直前にプローブ担体製造用のプローブ溶液を調整することができるので、プローブ担体は、個々のプローブで純度の高い良好なものが得られる。さらに、プローブ溶液を無駄にすることなく有効に使用してプローブ担体を製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明のプローブ担体の製造方法に関して、より詳しく説明する。なお、ここに示す実施例は、本発明の最良の実施の形態の一例ではあるものの、本発明は、これら実施例により限定されるものではない。
【実施例１】
【００１５】
図１及び２は本発明の第一の実施形態のプローブ・アレイ製造用の第一の液体吐出装置の要部を示した説明図であり、図１は斜視図を図２は一部を断面とした展開図である。
【００１６】
本例の液体吐出装置、第一の液体吐出装置は、シリコン基板でできたヒーターボード１０１と接着され、ヒーターボード１０１の一方の面（図では上面）の異方性エッチングにより作製された開口に連続な流路を形成するパイレックス（登録商標）ガラスでできた第一の液体リザーバープレート１０２と、第一の液体リザーバー１０３の開口全体を覆う覆い部材であるカバー１０４を有して構成されている。
【００１７】
液体収納部となる第一の液体リザーバー１０３への供給口は第一の液体リザーバープレート１０２に設けられた液体リザーバーとなる貫通口の開口部に相当する。
【００１８】
ヒーターボード１０１にはプローブ溶液を吐出するノズル（不示図：図１から図６では底面に位置する）が２次元に配列されており、ノズルと連通する流路に対して、ヒーターボード１０１側の供給口と第一の液体リザーバー１０３とが対応して配置されている。
【００１９】
プローブ溶液はマイクロピペットなどで第一の液体リザーバープレート１０２の第一の液体リザーバー１０３内に滴下された後、液体リザーバーの開口全体を覆うカバー１０４が着脱自在に載置される。カバー１０４には迷路１０６を介して外部と連通する大気連通路があり、カバー１０４で第一の液体リザーバー１０３全体を覆うときにノズルに加圧がかかるのを防ぐようになっている。
【００２０】
このようなカバー１０４を設けることで、第一の液体リザーバー１０３の開口が閉鎖されこの開口を開放することによって液体リザーバー内のプローブ溶液からの水分の蒸発を抑制して、プローブ溶液の濃度上昇やそれに伴なう粘度上昇を効果的に防止することができる。
【００２１】
図３及び４は本発明の第一の実施形態のプローブ・アレイ製造用の第二の液体吐出装置の要部を示した説明図であり、図３は斜視図を図４は一部を断面とした展開図である。
【００２２】
本例の液体吐出装置、第二の液体吐出装置は、シリコン基板でできたヒーターボード１０１と接着され、ヒーターボード１０１の一方の面（図では上面）の異方性エッチングにより作製された開口に連続な流路を形成する合成石英でできた第二の液体リザーバープレート１０７で構成されている。
【００２３】
液体収納部となる第二の液体リザーバー１０８への供給口は第二の液体リザーバープレート１０７に設けられた液体リザーバーとなる貫通口の開口部に相当する。
【００２４】
また、液体リザーバーの開口全体を覆うカバー１０４は、前記第一の液体吐出装置と同じ使用方法で第二の液体吐出装置にも使用できる。その目的と効果も前記に記述した効果があるためである。
【００２５】
図５に第二の液体リザーバープレート１０７及び第二の液体リザーバー１０８の詳細図を示す。第二の液体リザーバープレート１０７には、ヒーターボード１０１側の接着面側にＶ字型の溝１０９を彫りプリズムを形成し、アルミなどの反射物質が蒸着されている。
【００２６】
第二の液体リザーバー１０８は、壁面がＶ字型の溝１０９に平行となる形状となっている。
【００２７】
ヒーターボード１０１にはプローブ溶液を吐出するノズル（不示図：図１から図６では底面に位置する）が２次元に配列されており、ノズルと連通する流路に対して、ヒーターボード１０１側の供給口と第二の液体リザーバー１０８とが対応して配置されている。
【００２８】
図６にヒーターボード１０１側の供給口と第二の液体リザーバー１０８とが対応した詳細図を示す。第二の液体リザーバープレート１０７から光を入射し、Ｖ字型の溝１０９で反射させ、第二の液体リザーバー１０８を通過し、Ｖ字型の溝１０９で反射させることで、図６中に示すような光路を形成する。これにより、第二の液体リザーバー１０８で吸光度を測定することができる。さらに、第二の液体吐出装置の第二の液体リザーバー１０８で吸光度を測定することで、プローブ溶液のプローブ濃度を把握することができる。
【００２９】
図７に、液体吐出装置の模式図を示す。液体を吐出させる方式としては、ヒータから発生する熱エネルギーにより液体の吐出を行うサーマルジェット方式と、ピエゾ素子に電圧を印加して生じる素子の変形により液体の吐出を行うピエゾジェット方式がある。図７にはサーマルジェット方式の液体吐出装置の構造を示した。
【００３０】
図７において、７１はシリコン基板、７２は絶縁膜、７３はＴａＮ、ＴａＳｉＮ、ＴａＡｌ等から成るヒータ、７４は保護膜、７５はＴａ等から成る耐キャビテーション膜、７６はノズル材、７７はノズル、７８は流路、７９は供給口である。
【００３１】
ヒータ７３の両端にはアルミニウム等からなる配線（不図示）が接続され、該配線を介してヒータ７３両端に所望の電圧パルスが印加される。
【００３２】
絶縁膜７２は、シリコン基板を熱酸化して作成される熱酸化膜、あるいはＣＶＤにより作成される酸化膜もしくは窒化膜等のいずれの膜でもよい。
【００３３】
保護膜７４は、ＣＶＤにより作成される酸化膜または窒化膜等いずれの膜でもよい。
【００３４】
ノズル７７および流路７８を形成しているノズル材７６の形成は、あらかじめノズルおよび流路を有したノズル材を半導体基板に貼り付けてもよいし、フォトリソグラフィー技術を用い半導体プロセスを用いて形成してもよい。
【００３５】
供給口７９は水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）溶液を用いたシリコンの異方性エッチングにより作製され、図７に示したように、基板表面に対して約５４．７°の角度で傾斜して開口する。供給口７９は、基板裏面から基板表面に液体（プローブ溶液）を供給すると共に、液体（プローブ溶液）を保持する液体リザーバーとしても機能する。
【００３６】
液体（プローブ溶液）は基板裏面から図８に示したように、供給口７９から基板表面に導かれ、流路７８を通ってノズル７７まで導かれる。ヒータ７３両端に所望の電圧パルスが印加されると、ヒータ近傍の液体（プローブ溶液）が過熱され膜発泡を起こし、液体は図８に示したように吐出する。
【００３７】
液体（プローブ溶液）を安定に吐出させるためには、安定に膜発泡を起こすことが必須である。安定な膜発泡を起こすためには、ヒータに対して０．１ないし５μｓの電圧パルスを印可することが望ましい。
【００３８】
液体吐出装置の各ノズルから吐出されるプローブ溶液の液滴は、一般的に、その液量を０．５ｐｌから１００ｐｌの範囲内で選択され、その液量に合わせてノズル径などを設計することが好ましい。
【００３９】
図９及び１０は本発明の第一の実施形態のプローブ・アレイ製造用の液体吐出装置の要部を示した説明図であり、図９は斜視図を図１０は一部を断面とした詳細図である。
【００４０】
第一の液体吐出装置１１０の第一の液体リザーバー１０３には、マイクロピペットまたは分注装置を使用して、純水に溶解したプローブ溶液１１２が供給されている。プローブ溶液１１２が供給された第一の液体吐出装置１１０は、プローブ担体を製造するとき以外は、冷凍もしくは冷蔵庫等の保管庫に保管されている。
【００４１】
第二の液体吐出装置１１１の第二の液体リザーバー１０８には、マイクロピペットもしくは分注装置を使用して、吐出用のインク１１５が供給されている。供給方法は、例えば、予め吐出用のインク１１３を供給して保管されていた第一の液体吐出装置１１０から吐出してもよい。
【００４２】
液体吐出装置は、第一の液体吐出装置１１０と第二の液体吐出装置１１１が着脱自在に載置される。このとき、第一の液体吐出装置１１０から吐出されるプローブ溶液１１２が第二の吐出装置１１１の第二の液体リザーバー１０８に到達可能な距離に載置される。また、載置されたときに出来た空間１１４を密閉状態にすることで、プローブ溶液１１２からの水分の蒸発、第二の液体リザーバー１０８内のプローブ担体製造用のプローブ溶液からの水分の蒸発を抑制して、プローブ担体製造用のプローブ溶液の濃度上昇やそれに伴なう粘度上昇を効果的に防止することができる。
【００４３】
プローブ担体を製造する直前に、第二の液体吐出装置１１１の第二の液体リザーバー１０８に、第一の液体吐出装置１１０からプローブ溶液１１２を吐出することで、プローブ担体製造用のプローブ溶液を調整する。この時、所望の濃度のプローブ溶液にするために、第二の液体吐出装置１１１の第二の液体リザーバー１０８で吸光度を測定することで、プローブ担体製造用のプローブ溶液のプローブ濃度を把握する。所望の濃度に達していない場合は、第一の液体供給装置１１０から再度プローブ溶液１１２を吐出することで調整する。
【００４４】
以上のように、プローブ担体を製造する直前にプローブ溶液を調整することができるので、官能基が結合したプローブは吐出用インクに長時間さらされることがないため、吐出用インク中の成分による損傷を低減することができる。
【００４５】
また、プローブ担体製造後、液体吐出装置は、プローブ溶液が供給されている第一の液体吐出装置を第二の液体吐出装置から外し、再び保管庫へ保管することができる。第一の液体吐出装置のプローブ溶液がなくなるまで再利用することができるので、無駄なく効率的である。
【００４６】
図１１に、図９の液体吐出装置を用いた、プローブ担体製造装置の構造の模式図を示す。
【００４７】
図１１中、１１５は液体吐出装置、１１６は液体吐出装置の移動を略平行に案内するシャフト、１１７はプローブ担体の基板が固定されるステージ（基板担持機構）、１１８はプローブ担体の基板となるガラス基板、１１９はワイピングを行うためのワイピング装置である。
【００４８】
液体吐出装置１１５は、図５中のＸ方向に移動することができ、ステージ１１７はＹ方向に移動することができる。従って、液体吐出装置１１５は、ステージ１１７に対して相対的に２次元的に移動できることになる。
【００４９】
液体吐出装置１１５がステージ１１７に固定されているガラス基板１１８上を通過する際、所望のタイミングで液体吐出装置からプローブ溶液の吐出を行い、プローブをガラス基板上に配置する。
【００５０】
図１２は、プローブ担体の模式図を示す。プローブ１２０は、規則的にガラス基板１１８に配置される。
【００５１】
配置されたプローブの直径は１０μｍないし１５０μｍであり、隣接したプローブの距離は、５０μｍないし１０００μｍである。
【００５２】
予め合成および精製されたプローブ材料（たとえばＤＮＡ）を基板上に配置する場合、液体吐出装置１１６は、ガラス基板上に配置するプローブと同数のプローブ溶液を吐出可能なノズルを備えた構造の物が好ましい。
【００５３】
たとえば、図１２に示した８行８列のプローブ配列を持ったプローブ担体を、図１３に示した８行８列の異なったプローブ材料を吐出できる液体吐出装置１１５を用いて作製する場合、プローブ溶液の入替え無しでプローブ担体を作製出来る。
【００５４】
また、作製するプローブ担体のプローブの配置密度と、液体吐出装置のノズルの配置密度が同等の場合、１回の液体吐出装置の走査でプローブ担体が作製できるので好ましい。
【００５５】
図１１では、複数のガラス基板１１８を固定して、プローブを配置する場合のプローブ担体製造装置の構造を示したが、１枚の大きなガラス基板上にプローブを配置し、その後、該ガラス基板を切断して複数のプローブ担体を得ても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施形態の第一の液体吐出装置の要部を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態の第一の液体吐出装置の各部品形状を示す分解断面図である。
【図３】本発明の実施形態の第二の液体吐出装置の要部を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態の第二の液体吐出装置の各部品形状を示す分解断面図である。
【図５】本発明の実施形態の第二の液体吐出装置の各部品形状を示す分解断面図である。
【図６】本発明の実施形態の第二の液体吐出装置の各部品形状を示す分解断面図である。
【図７】本発明の実施形態の液体吐出装置の液体吐出部の模式図である。
【図８】本発明の実施形態の液体吐出装置の液体吐出部の模式図である
【図９】本発明の実施形態の液体吐出装置の要部を示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態の液体吐出装置の各部品形状を示す分解断面図である。
【図１１】プローブ担体製造装置の構造の模式図である。
【図１２】プローブ担体の模式図である。
【図１３】液体吐出装置のノズルの配列を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０１  ヒーターボード
１０２  第一の液体リザーバープレート
１０３  第一の液体リザーバー
１０４  カバー
１０５  大気連通孔
１０６  大気連通迷路
１０７  第二の液体リザーバープレート
１０８  第二の液体リザーバープレート
１０９  Ｖ字溝
１１０  第一の液体吐出装置
１１１  第二の液体吐出装置
１１２  プローブ溶液
１１３  吐出用インク
１１４  密閉空間
１１５  液体吐出装置
１１６  シャフト
１１７  ステージ
１１８  ガラス基板
１１９  ワイピング装置
１２０  プローブ
７１  シリコン基板
７２  絶縁膜
７３  ヒータ
７４  保護膜
７５  耐キャビテーション膜
７６  ノズル材
７７  ノズル
７８  流路
７９  供給口
【図１】
2006145224.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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