(57)【要約】【課題】  高密度、高剛性、長尺の流路形成板構造を実現し、高画質、高速記録に対応できる液適吐出ヘッドを提供する。【解決手段】  液体を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズル孔形成部材と、隔壁によって区画され、液体を格納する複数の加圧室と、液体の流路であり、ノズル孔にそれぞれ対応する複数の連通管と、が形成された流路形成部材と、加圧室毎の液体を加圧する圧力発生手段と、を有する液滴吐出ヘッドであって、流路形成部材の隔壁は、ヤング率の異なる２つ以上の材料で積層構成されており、積層構成のうち一番内側の層を構成する材料である芯材は、有機樹脂材料で形成されており、かつ、芯材の外側の層を構成する材料である外側材料は、金属材料で形成されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズル孔形成部材と、
隔壁によって区画され、前記液体を格納する複数の加圧室と、該液体の流路であり、前記ノズル孔にそれぞれ対応する複数の連通管と、が形成された流路形成部材と、
前記加圧室毎の液体を加圧する圧力発生手段と、を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記流路形成部材の隔壁は、ヤング率の異なる２つ以上の材料で積層構成されており、該積層構成のうち一番内側の層を構成する材料である芯材は、有機樹脂材料で形成されており、かつ、該芯材の外側の層を構成する材料である外側材料は、金属材料で形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記隔壁を構成する外側材料の厚さは、該隔壁を構成する芯材の幅の１／３０より大きいことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記有機樹脂材料は、感光性樹脂であることを特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記外側材料は、該流路形成部材で使用する液体に対して耐接液性を有する金属材料で構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記流路形成部材は、前記液滴吐出ヘッドで使用する液体に対して耐接液性を有する樹脂材料で構成されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする液体カートリッジ。
【請求項７】
請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド、及び、請求項６記載の液体カートリッジのうち少なくとも１つを有することを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子によって振動板を駆動して液室内の液体を加圧する圧電型アクチュエータ、静電力によって振動板を駆動して液室内の液体を加圧する静電型アクチュエータ、液中に発生したバブルにより液体を加圧するバブル型アクチュエータ等のいずれかを具備した、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像記録装置或いは画像形成装置として用いるインクジェット記録装置において、使用する液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドは、インク液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室（加圧液室、圧力室、インク流路）と、吐出室内のインクを加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えて、圧力発生手段で発生した圧力で吐出室内インクを加圧することによってノズルからインク液滴を吐出させる機能を有する。
【０００３】
このような液滴吐出ヘッドの圧力発生手段としては、圧電素子などの電気機械変換素子を用いて吐出室の壁面を形成している振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のもの、吐出ヘッド内に配設した発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるバブル型（サーマル型）のもの、吐出室の壁面を形成する振動板を静電力で変形させることでインク滴を吐出させる静電型のもの、などがある。
【０００４】
これらどの方式においても、近年、高画質、高速記録の要求が強く、そのためヘッドは高密度化、長尺化の両方が求められている。そして、これらを達成するには、高密度化に対しては隔壁の幅が狭くなることでのクロストーク問題、長尺化においては高精度の加工が容易でかつ剛性を持つ材料の選定と言った課題を解決しなければならない。流路形成部材として現状一般的に使用されているＳｉは、加工精度や剛性の面からは優れているものの、シリコンウェハからの切り出しを使用することから大きさの制約があり長尺化は難しい。そのため流路形成部材としては、長尺化が容易な有機樹脂材料や金属材料を使用し高密度化も達成しようとする提案がなされている。
【０００５】
従来技術例として、流路形成板をポリイミド樹脂で形成することにより、対インク性が高く且つ加工精度の高い流路形成板が形成できるものがある（例えば、特許文献１参照）。
また、流路形成板の表面にＴｉ、Ｔｉ化合物、Ａｌ２Ｏ３コーティングすることにより流路形成板の耐インク性を向上させたものものがある（例えば、特許文献２参照）。
また、インク流路内の少なくともインクが接触する面にイリジウムとスズの化合物からなる耐インク性薄膜をコーティングすることにより流路形成板の耐インク性を向上させたものがある（例えば、特許文献３参照）。
また、流路形成部材として耐インク性が低い感光性樹脂材料を使用した場合でもCr、Ｎｉ、Ｔｉ、ＳｉＯ２、Ａｌなどより選ばれる保護膜を被覆して耐インク性を付加することで耐インク性を向上させたものがある（例えば、特許文献４参照）。
また、圧力室の隔壁部に空洞部を設け、そこにシリコンオイル、エポキシ樹脂等のヤング率が１.５−５.０×１０6Paの緩衝剤を埋め込むことによりクロストークを防止するものがある（例えば、特許文献５参照）。
また、圧力室の隔壁部表面に隔壁部材よりヤング率の低いコーティング材をコーテニングすることによりクロストークを防止するものがある（例えば、特許文献６参照）。
【特許文献１】特開２０００−６２１７２号公報
【特許文献２】国際公開第９８／４２５１３号パンフレット
【特許文献３】特開２０００−２１１１３３号公報
【特許文献４】特開平１０−１１９２６８号公報
【特許文献５】特開２００１−２２５４６７号公報
【特許文献６】特開２００１−２３２７８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１ではポリイミド樹脂を使用することが提案されているが、長尺化や高い精度加工の面においては優れているものの部材剛性などの問題があり実用化への課題は多い。
【０００７】
また、特許文献２及び特許文献３においても流路形成板の表面に金属膜を被覆することにより耐インク性を向上させることが述べられているが、その金属膜種は、前者ではＴｉ、Ａｌ及びそれらの酸化物、化合物、後者においてはイリジウム及びスズの化合物に限定されており、且つ前記と同様に、その膜厚については言及されておらず流路形成板の剛性を増すことに対する提案はなされていない。
【０００８】
また、特許文献４においては、感光性樹脂材料を使用した流路形成板のインク接触部に金属膜を被覆する方法が提案されているが、その目的は耐インク性を向上させることに限定されており、その被覆金属の膜厚には言及されておらず樹脂材料の低剛性に対する解決策については述べられていない。
【０００９】
また、高密度化に対するクロストーク問題の面では、特許文献５において圧力室隔壁にヤング率の低い材料（１.５−５.０×１０6Ｐａ）を緩衝材として埋め込むことや、また、特許文献６において圧力室隔壁にヤング率の低い材料をコーティングすることが提案されているが、加工コストの面で問題がある。
【００１０】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、高密度、高剛性、長尺の流路形成板構造を実現し、高画質、高速記録に対応できる液適吐出ヘッドを達成することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
かかる目的を達成するために、請求項１記載の発明は、液体を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズル孔形成部材と、隔壁によって区画され、液体を格納する複数の加圧室と、液体の流路であり、ノズル孔にそれぞれ対応する複数の連通管と、が形成された流路形成部材と、加圧室毎の液体を加圧する圧力発生手段と、を有する液滴吐出ヘッドであって、流路形成部材の隔壁は、ヤング率の異なる２つ以上の材料で積層構成されており、積層構成のうち一番内側の層を構成する材料である芯材は、有機樹脂材料で形成されており、かつ、芯材の外側の層を構成する材料である外側材料は、金属材料で形成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、隔壁を構成する外側材料の厚さは、隔壁を構成する芯材の幅の１／３０より大きいことを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発明において、有機樹脂材料は、感光性樹脂であることを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の発明において、外側材料は、流路形成部材で使用する液体に対して耐接液性を有する金属材料で構成されることを特徴とする。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の発明において、流路形成部材は、液滴吐出ヘッドで使用する液体に対して耐接液性を有する樹脂材料で構成されることを特徴とする。
【００１６】
請求項６記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドを有することを特徴とする。
【００１７】
請求項７記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド、及び、請求項６記載の液体カートリッジのうち少なくとも１つを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、高密度、長尺、及び高精度を実現できるため、高画質、高速、高信頼性の液滴吐出ヘッドを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
図１（ａ）は本発明の実施形態であるインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）の構成を示した図であり、ノズル板（ノズルプレート）１０１０、流路形成板１０３０、振動板１０７０、アクチュエータ(圧電素子)１１１０の各部品を示している。本実施形態の構成では圧力発生手段として圧電素子１１１０を示しているが、静電力を圧力発生手段としたもの、熱エネルギーを圧力発生手段としたものを使用してもよい。
【００２１】
図１に示すように、ノズル板１０１０には、インク滴を飛翔させるための微細孔である多数のノズル孔１０２０が各加圧液室１０４０の先端部分に対応して形成されており、各ノズル孔１０２０の径は１０〜３５umである。このノズル板１０１０は、例えばポリイミド等の樹脂フィルムを用いることができる。また、電鋳工法によって製造したＮｉの金属プレートやシリコンやその他金属材料を用いることもできる。なお、ノズル板１０１０には撥水性の表面処理膜を成膜している。
【００２２】
図１に示す流路形成板１０３０は有機樹脂材料で形成されており、この流路形成板１０３０には、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、各ノズル孔１０２０にそれぞれ連通する連通管１０５０、加圧液室１０４０、流通抵抗部１１４０、インク供給孔１１５０が形成されている。この流路形成板１０３０において、高精度、高剛性を有する構造の詳細については、後述する各実施例おいて説明する。
【００２３】
図１に示す振動板１０７０はＮｉ電鋳工法で形成した金属プレートからなり、この振動板１０７０の振動機能部は、圧電素子１１１０内の非駆動部１１３０に接合する梁部１０８０と、圧電素子１１１０内の駆動部１１２０と接合する島状凸部１０９０と、この凸部１０９０の周囲に形成した厚み２〜１０um程度の最薄膜部分１１００(ダイヤフラム領域)とからなる。
【００２４】
図１に示すアクチュエータ部１１１０はセラミックス基板、例えばチタン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶縁性の基板上に電気機械変換素子である複数の積層型圧電素子を列状に２列配列して接合し、これら２列の各圧電素子をダイシングにより切断を行っている。なお、各列の複数の圧電素子はチャンネル方向で駆動波形を印加する駆動部１１２０と駆動波形を印加しない非駆動部１１３０を交互に構成している。ここで、圧電素子１１１０は、厚さ１０〜５０un／層のチタン酸ジルコン酸(ＰＺＴ)と、厚さ数um／層の銀パラジューム(ＡｇＰｄ)からなる内部電極と、を交互に積層したものである。圧電素子１１１０を厚さ１０〜５０un／層の積層型とすることによって低電圧駆動を可能としている。なお、電気機械変換素子はＰＺＴに限られるものではない。そしてこの圧電素子の内部電極を交互に端面に取り出して、端面電極として一方基板上に共通電極パターンおよび個別電極パターンを駆動部となる圧電素子の端面電極に導電性接着剤等を介して電気的に接続し、共通電極パターンおよび共通電極パターンに接続したＦＰＣケーブルを介してＰＣＢ基板と接続して駆動部に駆動波形を印加することによって、積層方向の伸びの変位を発生させる。
【実施例１】
【００２５】
次に、本発明の実施形態である液滴吐出ヘッドの実施例１について、図２及び図３を参照して説明する。
【００２６】
まず、図２（ａ）に示すように、流路形成板の芯材としてポリプロピレン基材１を使用する。芯材に使用する有機材料としては、この他にエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリサルフォン樹脂、ポリプロピレンなども挙げられる。
【００２７】
次に、流路パターン１ｓｔマスク１ａを利用してエキシマレーザー加工により、まず基材１に流路パターンのパターニングを行う（図１（ａ）の矢印は加工方向）。これにより図２（ｂ）に示すように、基材１には、連通孔部（連通管）３、液体を溜め加圧するための加圧液室４、流通抵抗部５、インク供給部（インク供給孔）６などの流路形成板に必要なパターンが加工される。エキシマレーザー加工では、加工深さをレーザーパワー及びパルス数でコントロールすることができ、この時のエッチング深さは加圧液室深さに設定する。このためノズルが連通する貫通孔パターンは貫通せずに設定した加圧液室深さ分のみエッチングされた状態となる。
【００２８】
次に、図２（ｃ）に示すように、マスクを貫通孔パターンのみの２ｎｄマスク１ｂに変更し、上記同様のレーザー加工を行い（図中の矢印は加工方向）、貫通孔パターンを貫通させる。これにより図２（ｄ）に示すように流路形成板パターニングが完了し、流路形成板の芯材が形成される。
【００２９】
本実施例では、１ｓｔマスクに貫通孔パターンもパターニングしているので、１ｓｔマスクでの加工においても貫通孔エッチングが進行する例を示したが、１ｓｔマスクに貫通孔パターンをパターニングせず、２ｎｄマスクでのみ貫通孔を加工する方法もある。前者の場合は、加圧液室パターン形成時に貫通孔も同時にエッチングが進むため、その後の貫通孔形成時の加工時間を短縮できるが、マスクの重ね合わせ精度により貫通孔パターンの加工精度がやや劣る。後者の場合は、貫通孔のみ別加工するため、前者に比べ加工時間は増加するが貫通孔パターン自体の重ね合わせは必要ないのでの加工精度は向上する。よって、コストを優先させるか加工精度を優先させるかによってどちらかの方法を選択できる。なお、エキシマレーザーのマスクとしては加工精度の面から石英ガラス上に多層光学膜のパターニングを施した誘電体マスクを使用するのが好ましい。
【００３０】
次に、図２（ｅ）に示すように、電鋳法によりＮｉ７を流路形成板芯材８の表面に析出させ隔壁をＮｉで覆う。これにより、高精度で加工された流路形成板芯材８の表面をヤング率の高いＮｉが覆うことになるので、隔壁の剛性が増し、高精度でクロストークのない液室が完成する。
【００３１】
この時のＮｉ７の膜厚はクロストーク防止の効果と相関関係にあり、連続するビットでのマルチ噴射特性を評価したところ、図３に示すように、Ｎｉ膜厚ａは隔壁幅ｂの１／３０以下の膜厚では隔壁の剛性を上げる効果が小さく、クロストークが発生することが確認された。また、隔壁を覆う金属膜としてＮｉ以外にもＴｉ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ等の他の金属膜においても同様の結果を得た。この結果から、クロストークを完全に防止するには隔壁を覆う金属膜ａの膜厚は隔壁幅ｂの１／３０以上必要であることが分かった。
【００３２】
また、この時、例えば、液滴吐出ヘッドにおいてインクを使用する場合などにおいては、インク隔壁を覆う金属膜にＮｉ、Ａｕ、Ｐｔなどの耐インク性のある材料を使用した場合、金属膜の上に新たに耐インク性の膜をコーティングする必要はない流路形成板構造を達成できる。
【００３３】
以上のように、本実施例によれば、流路形成板を使用した液滴吐出ヘッドにおいて、高密度、長尺、及び高精度を実現できるため、高画質、高速、高信頼性の液滴吐出ヘッドを提供することができる。
【００３４】
また、本実施例によれば、流路形成板を使用した液滴吐出ヘッドにおいて、接液膜塗布工程を削減できるので、低コストを実現できるので、低コストの液滴吐出ヘッドを提供することができる。
【実施例２】
【００３５】
次に、本発明の実施形態である液滴吐出ヘッドの実施例２について、図４を参照して説明する。
【００３６】
本実施例では、図４（ａ）に示すように、ベースとして、感光性樹脂であるＤＦＲ４２が圧着された基材４１を用いる。この基材４１に流路形成板パターンがパターニングされた１ｓｔマスク４３をマスクとして、図４（ｂ）に示すようにＤＦＲ４２を感光・現像する（図中の矢印は感光・現像方向）。この時、パターンの深さは加圧液室深さとするが、これは感光する光量及び波長により設定する。そして、ＤＦＲ４２の感光・現像により、ＤＦＲ４２には、図４（ｃ）に示すように、連通孔部４４、加圧液室４５、流通抵抗部４６、インク供給孔４７の流路形成板パターンが形成される。次に、図４（ｄ）に示すように、連通孔パターンのみがパターニングされた２ｎｄマスク４８により連通孔パターンを露光・現像し（図中の矢印は露光・現像方向）、連通孔を貫通させる。これにより図４（ｅ）に示すようにＤＦＲの液室芯材が完成する。
【００３７】
また、本実施例においてベースに透明基板５１を使用した場合について図５を参照して説明する。１ｓｔマスク５３での流路形成板パターンの形成まで（図５（ａ）〜（ｃ））は、上述と同じであるので省略する。
【００３８】
１ｓｔマスク５３によるパターニングが完了した時点で、透明基板５１を反転させ、図５（ｄ）に示すように２ｎｄマスク５８の露光を行う。透明基板５１は透明であるので、基板を通しての露光が可能である。次に、図５（ｅ）に示すように再度透明基板５１を反転させ現像を行う。これにより図５（ｆ）に示すようにＤＦＲ５２の流路形成板の芯材が完成する。
【００３９】
以上のように、本実施例によれば、流路形成板を使用した液滴吐出ヘッドにおいて、高精度でかつ生産性に優れているので、低コストで、高画質の液滴吐出ヘッドを提供することができる。
【実施例３】
【００４０】
次に、本発明の実施形態である液滴吐出ヘッドの実施例３について、図６を参照して説明する。流路形成板の芯材形成及び外側の金属膜形成までは、上記実施例１にて説明したのでここでの説明は省略するが、ここまで完成した時点を図６（ａ）に示す。
【００４１】
次に、図６（ｂ）に示すように、液室形成部材の最表面にアクチュエータで使用される液に対して、接液性のある膜６３をコーティングする。具体的には、インクの場合は、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエチレンテレフタート樹脂等などである。
【００４２】
以上のように、本実施例によれば、流路形成板を使用した液滴吐出ヘッドにおいて、生産性に優れているため、低コストの液滴吐出ヘッドを提供することができる。
【００４３】
次に、本発明の実施形態である液体カートリッジについて図７を参照して説明する。
本実施形態の液体カートリッジは、ノズル１０等を有する上記実施形態及び上記各実施例のいずれかの液滴吐出ヘッド１１と、この液滴吐出ヘッド１１に対してインクを供給するインクタンク（液体タンク）１２とを一体化したものである。
【００４４】
このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの性能は直ちに液体カートリッジ（インクカートリッジ）全体の性能につながるので、上記液滴吐出ヘッド１１を使用することで、高画質、高速の液体カートリッジ（インクカートリッジ）を実現することができる。
【００４５】
以上のように、本実施形態の液体カートリッジにおいては、実施例１〜３の液滴吐出ヘッドを搭載しているので、生産性に優れるとともに、高信頼、高画質、高速記録の能力を有する液体カートリッジを提供することができる。
【００４６】
次に、上記実施形態及び上記実施例１〜３のいずれかのインクジェットヘッドを搭載した、インクジェット記録装置の一例について、図８及び図９を参照して説明する。なお、図８は同記録装置の斜視説明図、図９は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００４７】
本実施形態のインクジェット記録装置は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、このキャリッジに搭載したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給する液体カートリッジ等で構成される印字機構部８２等を収納し、装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（あるいは給紙トレイ）８４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４あるいは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所定の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００４８】
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向（図９で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出するインクジェットヘッドからなるヘッド９４を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ９３にはヘッド９４に各色のインクを供給するための各液体カートリッジ９５を交換可能に装着している。
【００４９】
液体カートリッジ９５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のインクジェットヘッドを有するヘッド９４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
【００５０】
ここで、キャリッジ９３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１００を張装し、このタイミングベルト１００をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【００５１】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３をヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ２１及びフリクションパッド２２と、用紙８３を案内するガイド部材２３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ２４と、この搬送ローラ２４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ２４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ２４は副走査モータ２７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００５２】
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ２４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１８、拍車１１９を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５，１１６とを配設している。
【００５３】
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００５４】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段でヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００５５】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド９４の吐出口（ノズル孔）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（図示せず）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００５６】
以上のように、本実施形態のインクジェット記録装置は、上記実施形態及び実施例１〜３のいずれかの液滴吐出ヘッドあるいは上記液体カートリッジを搭載しているので、生産性に優れるとともに、高信頼、高画質、高速記録の能力を有するインクジェット記録装置を提供することができる。また、高速であるので、インクジェット記録装置全体の消費電力も低減できる。
【００５７】
なお、本実施形態では、インクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッドにも適用することできる。
【００５８】
以上、本発明の実施形態及び各実施例について説明したが、上記に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例１に係る液滴吐出ヘッドの製造過程を示す側面図である。
【図３】本発明の実施例１に係る液滴吐出ヘッドの隔壁部分を示す拡大側面図である。
【図４】本発明の実施例２に係る液滴吐出ヘッドの製造過程を示す側面図である。
【図５】本発明の実施例２に係る液滴吐出ヘッドの製造過程を示す側面図である。
【図６】本発明の実施例３に係る液滴吐出ヘッドの製造過程を示す側面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る液体カートリッジの一例を示す外観斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の構成の一例を示す斜視図である。
【図９】本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の構成の一例を示す側断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１    ポロプロピレン基材
１ａ、４３、５３    １ｓｔマスク
１ｂ、４８、５８    ２ｎｄマスク
３、４４、５４    連通孔部
４、４５、５５    加圧液室
５、４６、５６    流通抵抗部
６、４７、５７    インク供給部（インク供給孔）
７、６１    Ｎｉ（外側材料の一例）
８、６２    流路形成板芯材
１０    ノズル
１１    液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）
１２    インクタンク（液体タンク）
２１    給紙ローラ
２２    フリクションパッド
２３、１１５、１１６    ガイド部材
２４    搬送ローラ
２７    副走査モータ
４１    ＤＦＲが圧着された基材
４２、５２    ＤＦＲ
５１    透明基板
６３    接液性のある膜
８１    インクジェットヘッド
８２    印刷機構部
８３    用紙
８４    給紙カセット
８５    手差しトレイ
８６    排紙トレイ
９１    主ガイドロット
９２    従ガイドロット
９３    キャリッジ
９４    ヘッド
９５    液体カートリッジ（インクカートリッジ）
９７    主走査モータ
９８    駆動プーリ
９９    従動プーリ
１００    タイミングベルト
１０５、１１８    搬送コロ
１０６    先端コロ
１０９    印写受け部材
１１４、１１９    拍車
１１３    排紙ローラ
１１７    回復装置
１０１０    ノズル板（ノズル孔形成部材の一例）
１０２０    ノズル孔
１０３０    流路形成板（流路形成部材の一例）
１０４０    加圧液室（加圧室の一例）
１０５０    連通管
１０７０    振動板
１０８０    梁部
１０９０    島状凸部
１１００    最薄膜部
１１１０    アクチュエータ（圧電素子、圧力発生手段の一例）
１１２０    駆動部
１１３０    非駆動部
１１４０    流通抵抗部
１１５０    インク供給孔
ａ    Ｎｉ膜厚（外側材料の厚さ）
ｂ    隔壁幅（芯材の幅）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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