(57)【要約】【課題】第１に、プラズマ発生領域の長さが増加し、第２に、プラズマ発生領域の断面積も増加し、もってこれらにより、多量の有害ガスを分解浄化可能であると共に、第３に、誘電体への電極材の密着性が向上し、第４に、プラズマ放電が効果的に行われる、ガス処理用のプラズマリアクタを提案する。【解決手段】このプラズマリアクタ４は、誘電体５を介し間隔を存して配設された対をなす電極Ｅ間に電圧を印加し、形成されたプラズマ発生領域Ｂを通過する有害ガスＣを、分解浄化する。各電極Ｅは、断面円形の誘電体５の外周に、帯状の平板７製や波板８製の電極材６を、螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設されている。例えば電極Ｅは、３個以上用いられ多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配され、もってプラズマ発生領域Ｂが、同心円の複数層状に形成される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体を介し間隔を存して配設された対をなす電極間に電圧を印加し、形成されたプラズマ発生領域を通過する有害ガスを分解浄化する、ガス処理用のプラズマリアクタであって、
該電極は、それぞれ断面円形の該誘電体の外周に、帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設されていること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。
【請求項２】
請求項１に記載したガス処理用のプラズマリアクタにおいて、対をなす少なくとも一方の該電極は、その電極材として波板を用いてなること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。
【請求項３】
請求項１に記載したガス処理用のプラズマリアクタにおいて、該電極は、少なくとも３個以上用いられ、略相似形をなし同心円状に多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配されており、もって該電極間のプラズマ発生領域が、同心円の複数層状に形成されること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。
【請求項４】
請求項１に記載したガス処理用のプラズマリアクタにおいて、該電極間のプラズマ発生領域に、粒子状誘電体が充填されていること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。
【請求項５】
請求項１に記載したガス処理用のプラズマリアクタにおいて、中心の該電極は、請求項１の記載にかかわらず、帯状の該電極材を該誘電体に巻き付けた構造ではなく、代わりに、ロッド状やパイプ状の該電極材を用いた構造よりなること、を特徴とするガス処理用のプラズマリアクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス処理用のプラズマリアクタに関する。すなわち、プラズマ発生領域を形成して、通過する有害ガスを分解浄化する、プラズマリアクタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
《従来技術について》
図３の（３）図，（４）図は、この種従来例のプラズマリアクタを示し、（３）図は斜視図、（４）図は側断面図である。
排出規制対象ともなっている揮発性有機化合物ＶＯＣ，その他の有害物質を含有した有害ガスを分解浄化すべく、従来よりプラズマリアクタ１が使用されている。そして、この種のプラズマリアクタ１は、図示したように、中心電極である１次電極Ｆ１と、この１次電極Ｆ１の外側に間隔を存しつつ誘電体２を介して配設された２次電極Ｆ２と、を備えてなる。
そこで、１次電極Ｆ１と２次電極Ｆ２間に電圧を印加して、両者間でプラズマ放電させ、もって生起された低温プラズマのプラズマ発生領域Ａに、有害ガスを通過させることにより、含有された有害物質を分解除去していた。
【０００３】
《先行技術文献情報》
このような従来例としては、例えば、次の特許文献１に示されたものが挙げられる。
【特許文献１】特開２００３−３４０２７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
《問題点について》
ところで、このような従来例のガス処理用のプラズマリアクタ１については、多量の有害ガスを分解浄化することが困難である、という問題が指摘されていた。
すなわち、有害ガスを確実に分解浄化させるためには、プラズマ発生領域Ａにおいて、有害ガスをプラズマに十分に接触させることが必要である。つまり、有害ガスとプラズマとの接触が十分に確保され、接触時間も十分長く確保されることが必要である。
そこで、多量の有害ガスを分解浄化する場合には、少量の有害ガスを分解浄化する場合に比し、プラズマ発生領域Ａの断面積が大きいと共に長さも長いプラズマリアクタ１、つまり太くて長いプラズマリアクタ１が必要となる。しかしながら、この種従来例では、このように断面積が大きく長さも長いプラズマリアクタ１は、製造困難とされていた。
【０００５】
この点について、更に詳述する。まず、その１次電極Ｆ１と２次電極Ｆ２間の間隔距離を大きくし過ぎると、プラズマが発生しにくくなるので、プラズマ発生領域Ａの断面積を大きくすることには、限界があった。もって、小さな断面積のプラズマ発生領域Ａのプラズマリアクタ１しか製造されていなかった。
これに加え更に、プラズマ発生領域Ａの長さが長いプラズマリアクタも、製造が容易でなかった。すなわち一般的に、中心電極である１次電極Ｆ１は、円柱ロッド状の電極材３よりなり、外側の２次電極Ｆ２は、円筒パイプ状の誘電体２の外周に１枚の幅広面状の電極材３を被せた構造よりなるが、このような２次電極Ｆ２について、その誘電体２に電極材３を全体的，平均的に密着，止着することは容易でなかった。そこで、長さの長い２次電極Ｆ２そして長さの長いプラズマ発生領域Ａのプラズマリアクタ１を製造することは、実際上困難とされていた。
このように、この種従来例では、断面積が大きく長さも長いプラズマ発生領域Ａのプラズマリアクタ１、つまり太くて長いプラズマリアクタ１は、製造困難とされていた。つまり、断面積が小さく長さも短いプラズマリアクタ１しか製造されておらず、多量の有害ガスをそのまま供給して分解浄化することは、困難とされていた。
【０００６】
《本発明について》
本発明のガス処理用のプラズマリアクタは、このような実情に鑑み、上記従来例の課題を解決すべくなされたものである。
そして、その電極について、誘電体に帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造を採用したこと、を特徴とする。更に、電極材に波板を用いたり、電極を同心円状に多重に配設したこと、を特徴とする。
もって本発明は、第１に、プラズマ発生領域の長さが増加し、第２に、プラズマ発生領域の断面積も増加し、第３に、誘電体への電極材の密着性が向上し、第４に、プラズマ放電が効果的に行われる、ガス処理用のプラズマリアクタを提案すること、を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
《各請求項について》
このような課題を解決する本発明の技術的手段は、次のとおりである。まず、請求項１については次のとおり。
請求項１のガス処理用のプラズマリアクタは、誘電体を介し間隔を存して配設された対をなす電極間に電圧を印加し、形成されたプラズマ発生領域を通過する有害ガスを分解浄化する。そして該電極は、それぞれ断面円形の該誘電体の外周に、帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設されていること、を特徴とする。
請求項２については次のとおり。請求項２のガス処理用のプラズマリアクタは、請求項１において、対をなす少なくとも一方の該電極が、その電極材として波板を用いてなること、を特徴とする。
【０００８】
請求項３については次のとおり。請求項３のガス処理用のプラズマリアクタは、請求項１において、該電極が、少なくとも３個以上用いられ、略相似形をなし同心円状に多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配されており、もって該電極間のプラズマ発生領域が、同心円の複数層状に形成されること、を特徴とする。
請求項４については次のとおり。請求項４のガス処理用のプラズマリアクタは、請求項１において、該電極間のプラズマ発生領域に、粒子状誘電体が充填されていること、を特徴とする。
請求項５については次のとおり。請求項５のガス処理用のプラズマリアクタは、請求項１において、中心の該電極が、請求項１の記載にかかわらず、帯状の該電極材を該誘電体に巻き付けた構造ではなく、代わりに、ロッド状やパイプ状の該電極材を用いた構造よりなること、を特徴とする。
【０００９】
《作用について》
本発明のガス処理用のプラズマリアクタは、このようになっているので、次のようになる。
（１）このプラズマリアクタでは、電圧印加によりプラズマ放電して、プラズマ発生領域が形成され、通過する有害ガスが分解浄化される。
（２）そして各電極は、誘電体に帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設され、波板製や平板製の電極材を用いてなる。なお中心電極は、これによらず、ロッド状やパイプ状の電極材を用いてもよい。
（３）又、３個以上の電極を、同極のものを交互に同心円状に多重に設ける構成が考えられ、この場合は、プラズマ発生領域が同心円の複数層状に形成される。更に、プラズマ発生領域に、粒子状誘電体を充填することも考えられる。
【００１０】
（４）さてそこで、このプラズマリアクタによると、第１に、誘電体に帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた電極を採用したので、電極材の両端部を誘電体に止着することにより、電極の長さが長くても、誘電体に電極材を確実に密着させることができる。もって、電極材の巻き数を増やすことにより、容易に電極を長くすることができ、多量の有害ガスを分解浄化可能な、長さの長いプラズマ発生領域のプラズマリアクタを、容易に製造可能である。
第２に、プラズマを発生可能な電極間の間隔距離には限界が存するが、電極を多重に配設して、プラズマ発生領域を複数層状に形成することにより、断面積を増加させることができる。もって、この面からも多量の有害ガスを分解浄化可能な、断面積の大きなプラズマ発生領域のプラズマリアクタを、容易に製造可能である。
第３に、このプラズマリアクタは、電極の電極材として波板を用いた場合は、スプリング効果により誘電体への密着性が向上して、電極間の間隔距離が均一に保持され、もってプラズマ放電が安定する。
第４に、更にプラズマ発生領域に粒子状誘電体を充填することにより、プラズマ発生量が増加し、プラズマ作用が持続し、有害ガス通過時間も長くなる。
又、電極間の間隔距離が近いポイントにおいて、プラズマが集中発生する傾向があるが、このプラズマリアクタでは、巻かれた帯状の電極材の両側縁や、波板製の電極材の頂部や谷部において、この電極間の間隔距離が近いポイントが形成される。もって、プラズマの集中発生ポイントが、規則的にバランス良く形成され、ランダムに偏在形成されることは回避される。
【発明の効果】
【００１１】
《本発明の特徴》
本発明に係るガス処理用のプラズマリアクタは、このように電極について、誘電体に帯状の電極材を螺旋状に巻き付けた構造を採用したこと、を特徴とする。更に、電極材に波板を用いたり、電極を同心円状に多重に配設したこと、を特徴とする。
そこで本発明は、次の効果を発揮する。
【００１２】
《第１の効果》
第１に、プラズマ発生領域の長さが増加する。すなわち、本発明のプラズマリアクタでは、誘電体に電極材を螺旋状に巻き付けた電極を採用したので、容易に電極の長さを長くすることができる。
前述したこの種従来例、つまり誘電体に１枚の幅広面状の電極材を被せていたこの種従来例に比し、長さが長くても、誘電体に電極材を確実に密着させることができる。
そこで、前述したこの種従来例の長さの短いプラズマ発生領域のプラズマリアクタに比し、長さの長い電極つまりプラズマ発生領域の長さが増加したプラズマリアクタが、容易に製造可能となる。このプラズマリアクタは、多量の有害ガスを分解浄化可能である。
【００１３】
《第２の効果》
第２に、プラズマ発生領域の断面積も増加する。すなわち、本発明のプラズマリアクタは、電極を多重に配設することにより、プラズマ発生領域が同心円の複数層状に形成され、容易にその断面積を増加させることができる。単層構造の前述したこの種従来例に比し、断面積を大きく太くすることができる。
このように、この種従来例の断面積の小さなプラズマ発生領域よりなるプラズマリアクタに比し、プラズマ発生領域の断面積が増加したプラズマリアクタが、容易に製造可能となる。もって、このプラズマリアクタは、この面からも、多量の有害ガスを分解浄化可能となる。
【００１４】
《第３の効果》
第３に、誘電体への電極材の密着性が向上する。本発明のプラズマリアクタにおいて、波板製の電極材を用いると、誘電体への密着性が向上し、電極間の間隔距離が均一に保持される。そこで、安定したプラズマ放電が実現されるようになり、性能面に優れている。
【００１５】
《第４の効果》
第４に、プラズマ放電が、効果的に行われるようになる。本発明のプラズマリアクタでは、プラズマ発生領域に粒子状誘電体を充填することにより、プラズマ発生量が増加し、プラズマ作用が維持され、有害ガス通過時間も延長される。
又、巻かれた電極材の帯状の側縁や、波板製の電極材の波の谷部等において、プラズマが集中発生するようになり、プラズマが集中発生するポイントが、規則的にバランス良く形成され、ランダムに偏在することなく形成されるようになる。
これらにより、このプラズマリアクタでは、プラズマ放電が効果的に行われ、有害ガスが効率よく分解浄化されるようになる。
このように、この種従来例に存した課題がすべて解決される等、本発明の発揮する効果は、顕著にして大なるものがある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
《図面について》
以下、本発明のガス処理用のプラズマリアクタを、図面に示した発明を実施するための最良の形態に基づいて、詳細に説明する。
そして図１は、その第１実施例を示し、（１）図は、１次電極の斜視図、（２）図は、２次電極の斜視図、（３）図は、全体の正断面図である。図２は、その第２実施例を示し、（１）図は、全体の正断面図、（２）図は、全体の側断面図である。図３の（１）図は、平板の斜視図、（２）図は、波板の斜視図である。
【００１７】
《プラズマリアクタ４の概要について》
まず、プラズマリアクタ４の概要について、図１の（３）図，図２の（１）図を参照して、説明する。このガス処理用のプラズマリアクタ４は、誘電体５を介し間隔を存して配設された、対をなす電極Ｅ間に電圧を印加し、形成されたプラズマ発生領域Ｂを通過する有害ガスＣを分解浄化する。
すなわち、このプラズマリアクタ４は、間隔を存して互いに絶縁され、放電極と接地極として対をなす内外の電極Ｅ間に、誘電体５が挟み込まれており、トランスで昇圧された高電圧の交流が印加される。もって、両電極Ｅ間でプラズマ放電させ、生起された低温プラズマにより、プラズマ発生領域Ｂを形成する。
そして、形成されたプラズマ発生領域Ｂに、有害ガスＣを滞留，通過させることにより、有害ガスＣ中に含有された有害物質を分解除去して、有害ガスＣを浄化する。
有害ガスＣとしては、例えば塩素系溶剤，その他の揮発性有機化合物を含有した排気ガスや、窒素酸化物，粒子状物質等を含有したディーゼルエンジンの排気ガスが、代表的である。そして、プラズマ放電により生起されたプラズマエネルギーの高速電子やイオンが、これらの有害物質と衝突，反応して、これらの有害物質を分解除去する。
プラズマリアクタ４は、概要このようになっている。
【００１８】
《電極Ｅについて》
次に、このようなプラズマリアクタ４の電極Ｅについて、図１，図２，図３の（１）図，（２）図を参照して、説明する。この電極Ｅは、それぞれ断面円形の誘電体５の外周に、帯状の電極材Ｅを螺旋状に巻き付けた構造よりなる。
このような電極Ｅについて、更に詳述する。まず、電極Ｅの電極材６としては、例えばステンレス箔その他の金属箔製の１枚の細帯状をなす、平板７（図３の（１）図を参照）や波板８（図３の（２）図を参照）が、使用される。波板８は、波形の凹凸が、短手方向に直線的に平行で、長手方向に繰り返し連続的に、所定ピッチと高さで折曲形成されてなる。
電極Ｅの誘電体５としては、ガラス製が代表的であるが、セラミックス，アルミナ，樹脂等の誘電材料製のものも使用される。そして、誘電体５は断面円形をなし、通常は円筒パイプ状をなすが、中心電極である１次電極Ｅ１については、円柱ロッド状のものが使用されることが多い。
そして電極Ｅでは、帯状の電極材６が、誘電体５の外周に螺旋状に巻き付けられている。すなわち、図１の（１）図に示したように、巻き付けられた相互間に巻き間隔が存せず密に接して、螺旋状に巻き付けられるか、又は、図１の（２）図に示したように、巻き付けられた相互間に若干の巻き間隔を存しつつ、螺旋状に巻き付けられている。このような巻き間隔の存否については、適宜選択設定される。
又、電極材６として、平板７を使用するか波板８を使用するかも、適宜選択設定される。すべて平板７、又はすべて波板８とすることも可能であるが、対をなす一方が平板７で他方が波板８とする組み合わせも、代表的である。
【００１９】
なお、中心電極である１次電極Ｅ１については、上述によらない構造が可能である。すなわち、中心の１次電極Ｅ１は、帯状の電極材６を誘電体５に巻き付けた構造ではなく、代わりに、ロッド状やパイプ状の電極材６を用いた構造としてもよい。
つまり、中心電極である１次電極Ｅ１については、２次電極Ｅ２との間に誘電体５が位置すればよく、平板７や波板８を使用することなく、ステンレス製その他の金属製の円柱ロッドや円筒パイプとしてもよい。
電極Ｅは、このようになっている。
【００２０】
《第１実施例について》
次に、図１の第１実施例について説明する。この第１実施例のプラズマリアクタ４は、単層タイプよりなる。そして、中心電極である１次電極Ｅ１の外側に、間隔を存し同心円状にこれと対をなす２次電極Ｅが、配されている。
このような第１実施例のプラズマリアクタ４について、更に詳述する。まず、中心電極である１次電極Ｅ１は、図１の（１）図に示したように、円柱ロッド状をなす樹脂製の誘電体５の外周に、帯状で平板７製の電極材６が、密に螺旋状に巻き付けられている。
２次電極Ｅ２は、図１の（２）図に示したように、１次電極Ｅ１より径大の円筒パイプ状をなすガラス製の誘電体５の外周に、帯状で平板７製（又は波板８製でもよい）の電極材６が、若干の相互巻き間隔を存しつつ、螺旋状に巻き付けられている。
そして、図１の（３）図に示したように、このような１次電極Ｅ１と２次電極Ｅ２とが、同心円状に配設され、相互間の間隔に単層のプラズマ発生領域Ｂが形成される。
第１実施例は、このようになっている。
【００２１】
《第２実施例について》
次に、図２の第２実施例について説明する。この第２実施例のプラズマリアクタ４は、３層タイプよりなる。そして、電極Ｅが４個用いられており、略相似形をなし同心円状に多重に配設されると共に、同極のものが中心側から外側に交互に配されており、対をなす一方が平板７製で、他方が波板８製となっている。そしてプラズマ発生領域Ｂが、同心円で３層形成されている。
このような第２実施例のプラズマリアクタ４について、更に詳述する。まず、その１次電極Ｅ１や２次電極Ｅ２は、上述した第１実施例のものに準じるが、２次電極Ｅ２については、平板７製に代え波板８製の電極材６が使用されている。
３次電極Ｅ３は、２次電極Ｅ２より径大の円筒パイプ状をなすガラス製の誘電体５の外周に、１次電極Ｅ１と同様に帯状で平板７製の電極材６が、螺旋状に巻き付けられている。４次電極Ｅ４は、３次電極Ｅ３より更に径大の円筒パイプ状をなすガラス製の誘電体５の外周に、２次電極Ｅ２と同様に帯状で波板８製の電極材６が、螺旋状に巻き付けられている。
そして、このような１次電極Ｅ１，２次電極Ｅ２，３次電極Ｅ３，４次電極Ｅ４等が、等間隔の同心円状に多重に配設されている。これと共に、１次電極Ｅ１と３次電極Ｅ３とが、配線９にて同極に接続され、又、２次電極Ｅ２と４次電極Ｅ４とが、配線９にて１次電極Ｅ１や３次電極Ｅ３とは異極に接続されている。
もって、１次電極Ｅ１と２次電極Ｅ２間の間隔、２次電極Ｅ２と３次電極Ｅ３間の間隔、３次電極Ｅ３と４次電極Ｅ４間の間隔に、それぞれ、プラズマ発生領域Ｂが形成される。つまり、計３個のプラズマ発生領域Ｂが、それぞれ層状に形成される。
第２実施例は、このようになっている。
【００２２】
《その他》
なお第１に、上述した図２の第２実施例では、３層のプラズマ発生領域Ｂが形成されるが、本発明はこれに限定されるものではなく、２層，４層，その他多層のプラズマ発生領域Ｂを形成することも可能である。すなわち、３個以上の電極Ｅを、同心円状に多重に適宜組み合わせ数で採用することにより、各種複数層のプラズマ発生領域Ｂを形成可能である。
なお第２に、各電極Ｅ間のプラズマ発生領域Ｂに、粒子状誘電体５を充填するようにしてもよい。例えば、図１の第１実施例では、第１電極Ｅ１と第２電極Ｅ２間のプラズマ発生領域Ｂについて、図２の第２実施例では、更に第２電極Ｅ２と第３電極Ｅ３間のプラズマ発生領域Ｂ、第３電極Ｅ３と第４電極Ｅ４間のプラズマ発生領域Ｂについて、それぞれ、粒子状とされたアルミナその他の誘電材料を、充填しておく構成も考えられる。
なお第３に、図１，図２中、１０はカバーである。このカバー１０は、例えば円筒パイプ状のガラス製よりなり、最外周に配され、もって絶縁用や全体の位置決め保持用として用いられている。
なお第４に、カバー１０の両端部、つまり上流側と下流側の端部には、各電極Ｅを位置決め保持する放射クロス枠やＯリングが、付設されている。
このプラズマリアクタ４は、このようになっている。
【００２３】
《作用等》
本発明のガス処理用のプラズマリアクタ４は、以上説明したように構成されている。そこで、以下のようになる。
（１）このプラズマリアクタ４では、誘電体５を介し間隔を存して配設された対をなす電極Ｅ間に、電圧を印加すると、→プラズマ放電により、プラズマ発生領域Ｂが形成される。→そして、形成されたプラズマ発生領域Ｂに、有害ガスＣを供給，通過させて、プラズマに接触させることにより、→有害ガスＣに含有された有害物質が、分解除去される。→もって、有害ガスＣが浄化されて排出される（図１の（３）図，図２の（１）図等を参照）。
【００２４】
（２）そして、このプラズマリアクタ４の各電極Ｅは、それぞれ断面円形の誘電体５の外周に、帯状の電極材６を螺旋状に巻き付けた構造よりなり、相互間が同心円状に配設されている（図１，図２を参照）。又、これらの電極Ｅは、電極材６として平板７や波板８が用いられている（図３の（１）図，（２）図も参照）。
なお、中心電極である第１電極Ｅ１は、このように、帯状の電極材６を誘電体５に巻き付けた構造ではなく、代わりに、ロッド状やパイプ状の電極材６を用いた構造としてもよい。
【００２５】
（３）又、このプラズマリアクタ４については、電極Ｅを少なくとも３個以上用いる構成が考えられる（例えば、図２の第２実施例を参照）。すなわち、略相似形をなす電極Ｅを、同心円状に多重に配設すると共に、同極のものを、中心側から外側に交互に配する構成が考えられ、この場合には、プラズマ発生領域Ｂが、同心円の複数層状に形成される。
更に、電極Ｅ間のプラズマ発生領域Ｂに、粒子状誘電体を充填する構成も考えられる。
【００２６】
（４）さてそこで、本発明のガス処理用のプラズマリアクタ４によると、次の第１，第２，第３，第４のようになる。
第１に、このプラズマリアクタ４は、電極Ｅとして、誘電体５に帯状の電極材６を螺旋状に巻き付けた構造のものを、採用したので、→巻かれた電極材６の両端部を、それぞれ誘電体５に対し、例えばバンド等にて止着することにより、→電極Ｅの長さが長くても、誘電体５に対し電極材６を全体的，平均的に、確実に密着させることができる。
そこで、→電極材６の巻き数を増やすことにより、容易に、電極Ｅの長さを長くすることができる。→もって有害ガスＣを、プラズマに十分に時間も長く接触させることが可能となり、→多量の有害ガスＣを分解浄化可能な、プラズマ発生領域Ｂの長さの長いプラズマリアクタ４が、容易に製造可能である。
【００２７】
第２に、このプラズマリアクタ４は、電極Ｅを、同極のものを交互に配しつつ、同心円状に多重に配設したことにより、→プラズマ発生領域Ｂが、同心円の複数層状に形成され、→もって容易に、その断面積を増加させることができる。
すなわち、プラズマ放電によりプラズマを発生可能な電極Ｅ間の間隔距離寸法には、自ずと限界が存するが、→このように、電極Ｅを多重に組合せて、プラズマ発生領域Ｂを多層化することにより、→その断面積を、広く大きくすることができる。
→もってこの面からも、有害ガスＣをプラズマに十分かつ確実に接触させることが可能となり、→多量の有害ガスＣを分解浄化可能な、断面積の増加したプラズマリアクタが、容易に製造可能である。
【００２８】
第３に、このプラズマリアクタ４では、多くの場合、電極Ｅの電極材６として、波板８が部分的又は全体的に用いられている。→そしてその場合には、波板８のスプリング効果により、電極材６の誘電体５への密着性が向上し、たるみ等の発生が防止されるので、→電極Ｅ間の間隔距離寸法が、均一に保持される。
特に、前述したように電極Ｅの長さを長くすべく、帯状の電極材６の巻き数を増やすと、→電極材６が、たるみ等を起こし易いが、→波板８製の電極材６の採用により、これらは解消される。→もって、電極Ｅ間の間隔距離寸法が均一保持され、プラズマ放電が安定する。
【００２９】
第４に、このプラズマリアクタ４では、電極Ｅ間のプラズマ発生領域Ｂに、粒子状誘電体を充填することにより、→プラズマ放電がより活発化し、プラズマ発生量が増加する。しかも、発生したプラズマが長持ちし、その作用がより持続化する。更に、有害ガスＣの通過時間・滞留時間も、長くなる。
ところで、プラズマリアクタ４では、電極Ｅ間の間隔距離寸法が小さく近いポイントにおいて、プラズマ放電が活発化し、プラズマが集中して強く発生する傾向がある。→これに対し、このプラズマリアクタ４では、螺旋状に巻かれた帯状の電極材６の両側縁や、波板８製の電極材６の波の頂部や谷部において、このような、電極Ｅ間の間隔距離寸法が小さく近いポイントが形成されるようになる。
従って、→プラズマが集中発生するポイントが、直線的に，一定間隔で，繰り返し，規則的に、形成されるようになる。→すなわち、電極Ｅ間の芯ズレ，間隔距離寸法の不均一，電極材６のたるみや凹凸等に起因して、プラズマが集中発生するポイントが、ランダムに，不均一に，偏在して形成されることは、回避される。→プラズマが集中発生するポイントは、電極材６の側縁や波の頂部や谷部において、芯ズレ，間隔不均一，たるみや凹凸等に優先して形成されるようになり、もって安定的に，バランス良く形成される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係るガス処理用のプラズマリアクタについて、発明を実施するための最良の形態の説明に供し、その第１実施例を示し、（１）図は、１次電極の斜視図、（２）図は、２次電極の斜視図、（３）図は、全体の正断面図である。
【図２】同発明を実施するための最良の形態の説明に供し、その第２実施例を示し、（１）図は、全体の正断面図、（２）図は、全体の側断面図である。
【図３】（１）図は、平板の斜視図、（２）図は、波板の斜視図である。（３）図は、この種従来例のプラズマリアクタの斜視図、（４）図は、同側断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  プラズマリアクタ（従来例）
２  誘電体（従来例）
３  電極材（従来例）
４  プラズマリアクタ（本発明）
５  誘電体（本発明）
６  電極材（本発明）
７  平板
８  波板
９  配線
１０  カバー
Ａ  プラズマ発生領域（従来例）
Ｂ  プラズマ発生領域（本発明）
Ｃ  有害ガス
Ｅ  電極
Ｅ１  １次電極（本発明）
Ｅ２  ２次電極（本発明）
Ｅ３  ３次電極
Ｅ４  ４次電極
Ｆ１  １次電極（従来例）
Ｆ２  ２次電極（従来例）
【図１】
2006130391.tif 000003
【図２】
2006130391.tif 000004
【図３】
2006130391.tif 000005