(57)【要約】【課題】インクの目詰まりを抑制するためのフィルタをヘッドの製造過程で効率的に形成する。【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１では、インク供給流路２０１とこのインク供給流路２０１上に設けられるフィルタ部２ｆとを構成するために、まず、断面形状に所定の有形部分３２ａ及び非有形部分３２ｂを有する第１、第２の積層板３１ｂ、３１ａを形成する。さらに、これら第１、第２の積層板３１ｂ、３１ａを交互に組み合わせて互いを接合することで、インク供給流路２０１及びこの流路上にフィルタ部２ｆを配置したかたちのインクジェットヘッドマニホールド２を構成することができる。これにより、インクの流路の形成とともにフィルタ部２ｆを同時に形成することができるので、インクジェットヘッド１の生産性を向上させることができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
形状の異なる複数の種類の積層板を一体化して形成されたインクの流路を有するインクジェットヘッドマニホールドと、
前記インクジェットヘッドマニホールドの前記インクの流路上に設けられ、互いに接合される積層板どうしの断面の有形部分と非有形部分との組み合わせにより形成されたフィルタ部と、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記フィルタ部は、
前記インクジェットヘッドマニホールドの前記インクの流路の端部若しくは途中に設けられていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記フィルタ部は、
前記インクが供給される側の端縁を開口させた第１の積層板と、
前記インクが供給される側の端縁を閉塞させた第２の積層板と、
の組み合わせにより構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記フィルタ部は、前記第１の積層板と前記第２の積層板とを交互に積層して構成されることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記フィルタ部は、複数のスリットが並設された形状、若しくは格子状に形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記フィルタ部は、板厚の一部を除去して形成された凹部を有する第３の積層板を組み合わせて構成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
形状の異なる複数の種類の積層板を一体化して形成されたインクの流路を有するインクジェットヘッドマニホールドと、
前記インクジェットヘッドマニホールドの前記インクの流路上に設けられ、少なくとも一枚の前記積層板に穿孔した複数の貫通孔の集合体により形成されたフィルタ部と、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記フィルタ部は、前記複数の貫通孔の集合体が形成された前記積層板を連続して積層することにより構成されることを特徴とする請求項７記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記フィルタ部は、
前記複数の貫通孔の集合体が形成された積層板と、この積層板における貫通孔の集合体の形成領域に対応する領域全体を含んで穿孔された単一の貫通孔を有する積層板とを、所定の組み合わせ順序で積層、若しくは一枚ずつ交互に積層して構成されることを特徴とする請求項７又は８記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
積層板に集合体として形成された個々の貫通孔の孔径は、前記インクジェットヘッドマニホールドからインクを外部に吐出する吐出孔の孔径よりも小さいことを特徴とする請求項７ないし９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
積層板に集合体として形成された個々の貫通孔の形状は、当該積層板における一方の面側の開口面積が、他方の面側の開口面積よりも大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項７ないし１０のいずれか１項にインクジェットヘッド。
【請求項１２】
インクの流路とこのインクの流路上に設けられるフィルタ部とを少なくとも構成するための断面形状に所定の有形部分及び非有形部分を持つ複数の種類の積層板を形成する積層板形成工程と、
前記積層板形成工程で形成された複数の種類の積層板を所定の順序で組み合わせて互いを接合し、前記インクの流路及び前記フィルタ部を有するインクジェットヘッドマニホールドを形成するインクジェットヘッドマニホールド形成工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記フィルタ部は、
前記インクジェットヘッドマニホールドの前記インクの流路の端部若しくは途中に形成されることを特徴とする請求項１２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記積層板形成工程では、
前記インクが供給される側の端縁を開口させた第１の積層板と、前記インクが供給される側の端縁を閉塞させた第２の積層板と、が前記フィルタ部を構成するための積層板として形成されることを特徴とする請求項１２又は１３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記インクジェットヘッドマニホールド形成工程では、前記第１の積層板と前記第２の積層板とが交互に積層されることを特徴とする請求項１４記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記フィルタ部は、複数のスリットが並設された形状、若しくは格子状に形成されることを特徴とする請求項１２ないし１５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記積層板形成工程では、
板厚の一部を除去して形成された凹部を有する第３の積層板が前記フィルタ部を構成するための積層板として形成されることを特徴とする請求項１２ないし１６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１８】
前記積層板形成工程では、前記積層板の本体部分から離間したフィルタ部構成用の有形部分を保持させる非製品部分を、当該積層板とともにこの積層板の外形部外側に一体で形成し、
前記インクジェットヘッドマニホールド形成工程では、前記非製品部分とともに前記積層板を接合した後、前記非製品部分を除去することを特徴とする請求項１２ないし１７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタは、インクの微細な粒子を出力基材に吹き付けることで印刷を行なう印刷装置である。このインクジェットプリンタのインクジェットヘッドには、インクを加熱して生じる気泡によってインクを噴射する加熱方式や、また、圧電効果によって電気信号を機械的変位に変換してインクを噴射する圧電方式などが利用される。
【０００３】
さらに、液室に貯留されたインクを吐出させるように変形可能な可とう性及び磁性を有する膜状部材に対し、適宜磁力を付与することで、インクを噴射させるようにしたインクジェットヘッドなども提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−７６３３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上記した文献にも課題として提起されているように、インクの目詰まりなどに対する対策は、微細粒子を噴射するこの種のヘッドを構成する上で重要な項目になる。また、インクの目詰まりを抑制するための機構部分をヘッドに対し効率的に設けることへの要請もある。
【０００５】
そこで本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、インクの目詰まりを抑制するためのフィルタをヘッドの製造過程で効率的に設けることができるインクジェットヘッド及びその製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るインクジェットヘッドは、形状の異なる複数の種類の積層板を一体化して形成されたインクの流路を有するインクジェットヘッドマニホールドと、前記インクジェットヘッドマニホールドの前記インクの流路上に設けられ、互いに接合される積層板どうしの断面の有形部分と非有形部分との組み合わせにより形成されたフィルタ部と、を具備することを特徴とする。
【０００７】
すなわち、本発明では、インクの流路とこの流路上に設けられるフィルタ部とを構成するために、断面形状に所定の有形部分及び非有形部分を有する複数の種類の積層板を形成しておき、これらを所定の順序で組み合わせて互いを接合することで、インクの流路及びこの流路上にフィルタ部を配置したかたちのインクジェットヘッドマニホールドを備えたインクジェットヘッドを構成することができる。したがって、本発明によれば、インクの流路の形成とともにフィルタ部を同時に形成することができるので、インクジェットヘッドの生産性を向上させることができる。また、詳細には、このようなフィルタ部は、インクの流路が積層板の表面に沿った方向に延びている部位に実質的に配置され、この部位を流れるインクに対しフィルタ機能を発揮する。
【０００８】
ここで、上述したフィルタ部は、例えば、前記インクが供給される側の端縁を開口させた第１の積層板と、前記インクが供給される側の端縁を閉塞させた第２の積層板とを、交互に積層することなどで形成できる。また、このようなフィルタ部は、例えばハーフエッチングなどで、板厚の一部を除去して形成した凹部を有する第３の積層板を組み合わせて構成することなども可能である。
【０００９】
また、本発明に係るインクジェットヘッドは、形状の異なる複数の種類の積層板を一体化して形成されたインクの流路を有するインクジェットヘッドマニホールドと、前記インクジェットヘッドマニホールドの前記インクの流路上に設けられ、少なくとも一枚の前記積層板に穿孔した複数の貫通孔の集合体により形成されたフィルタ部と、を具備することを特徴とする。
この発明のインクジェットヘッドでは、フィルタ部は、インクの流路が積層板の厚さ方向に延びている部位に実質的に配置され、この部位を流れるインクに対しフィルタ機能を発揮する。
【００１０】
また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インクの流路とこのインクの流路上に設けられるフィルタ部とを少なくとも構成するための断面形状に所定の有形部分及び非有形部分を持つ複数の種類の積層板を形成する積層板形成工程と、前記積層板形成工程で形成された複数の種類の積層板を所定の順序で組み合わせて互いを接合し、前記インクの流路及び前記フィルタ部を有するインクジェットヘッドマニホールドを形成するインクジェットヘッドマニホールド形成工程と、を有することを特徴とする。
【００１１】
ここで、上述した積層板形成工程では、前記積層板の本体部分から離間したフィルタ部構成用の有形部分を保持させる非製品部分を、当該積層板とともにこの積層板の外形部外側に一体で形成し、また、前記インクジェットヘッドマニホールド形成工程では、前記非製品部分とともに前記積層板を接合した後、前記非製品部分を除去する方法などを採用することができる。
【発明の効果】
【００１２】
このように、本発明によれば、インクの目詰まりを抑制するためのフィルタをヘッドの製造過程で効率的に設けることが可能なインクジェットヘッド及びその製造方法の提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づき説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの全体の概略構成を示す図、図２は、図１のインクジェットヘッドを示す平面（上面）図、図３は、図１のインクジェットヘッドの底面を示す図である。また、図４は、図１のインクジェットヘッドの構造を示す分解斜視図である。
【００１４】
図１に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１は、金属製のインクジェットヘッドマニホールド２を備えている。このインクジェットヘッドマニホールド２は、図１及び図４に示すように、複数の種類（図２に示す例では大別して５種類）の金属製の第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５を複数枚（例えば、２５〜２５０枚）積層して構成されている。これらの第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５は、厚さが例えば０．０２ｍｍ〜０．２ｍｍの金属製（例えば、ＳＵＳ３０４など）の板材から構成されており、これらを拡散接合などによって互いを圧着することで、ブロック状に形成されている。
【００１５】
また、インクジェットヘッドマニホールド２の底面には、図３及び図４に示すように、複数のインク吐出孔３ａ（直径、例えば０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍ）が形成されたオリフィスプレート３が上記した拡散接合などによって接合されている。このオリフィスプレート３は、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４など）から構成されており、厚さが例えば０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍとされている。図３、図４に示すように、インク吐出孔３ａは、オリフィスプレート３上に例えば一列に配置されている。
【００１６】
また、インクジェットヘッドマニホールド２の各側面には、図２及び図３に示すように、振動板（箔）４が、拡散接合などによって接合されている。この振動板４は、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４など）から構成されており、厚さが例えば０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍとされている。
【００１７】
この振動板４のさらに外側面には、接着剤などによって、所定形状の導体パターンが形成されたＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）５が貼着されており、このＦＰＣ５には、例えば着接剤による貼着などを用いて圧電素子６が接合されている。この圧電素子６は、例えばＰＺＴなどの材質で構成されたピエゾ素子であって、厚さか例えば、０．５ｍｍ〜２ｍｍとされている。この圧電素子６には、各インク吐出孔３ａにそれぞれ対応する複数の電極が、蒸着などの方法で形成されており、これらの電極は、ＦＰＣ５に形成された導体パターンとそれぞれ電気的に接続されている。
【００１８】
第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５は、図４に示すように、中央部に配置される第１流路形成積層板２１から積層方向両側に向けて対称に配置されており、中央部から積層方向両側に向けてインク流路が形成されるようになっている。そして、これらの両側のインク流路は、一方側と他方側が、僅かにずれた位置に形成されるようになっている。
【００１９】
上記中央部に配置される第１流路形成積層板２１には、インク供給流路２０１、インク溜め部２０２、インク吐出部２０７を形成するための開口部が設けられている。また、第１流路形成積層板２１の外側に配置される第２流路形成積層板２２には、インク供給流路２０１、インク溜め部２０２を形成するための開口部と、下側インク流路２０６を形成するための開口部が設けられている。
【００２０】
上記第２流路形成積層板２２の外側に配置される第３流路形成積層板２３には、下側インク流路２０６と、上側共通インク流路２０３とを形成するための開口部が設けられている。また、この第３流路形成積層板２３の外側に配置される第４流路形成積層板２４には、下側インク流路２０６と、上側個別インク流路２０４とを形成するための開口部が設けられている。
【００２１】
また、最も外側に配置される第５流路形成積層板２５には、上下方向インク流路２０５を形成するための開口部が設けられている。
上記構成の第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５を、所定の順序で、所定枚数積層して圧着することで、インクジェットヘッドマニホールド２内には、インク供給流路２０１からインク吐出部２０７に至るインクの流路が、積層方向中央部から両側に向けて形成されるとともに、図１及び図４に示すように、インクジェットヘッドマニホールド２の上側に、インク供給孔２ａ（後述するフィルタ２ｆ）を通じてインクの流路を開口させた状態となる。
【００２２】
インクジェットヘッドマニホールド２へのインクの供給は、インク供給孔２ａから行われる。このインク供給孔２ａ（フィルタ２ｆ）から供給されたインクは、インク供給流路２０１を通って、インク溜め部２０２に導入され、このインク溜め部２０２から、上側共通インク流路２０３、上側個別インク流路２０４、上下方向インク流路２０５、下側インク流路２０６をこの順で通過して、インク吐出部２０７内にまで充填される。
【００２３】
また、上記のようにインクジェットヘッドマニホールド２内にインクが充填された状態で、フレキシブル基板５を介して、圧電素子６に駆動信号が加わると、駆動信号が加わった部分の圧電素子６が変形することで対応する部分の振動板３が振動し、さらにこれに対応する部分の上下方向インク流路２０５内のインクを押圧し、オリフィスプレート３の対応するインク吐出孔３ａから所定量のインクが吐出されることになる。
【００２４】
次に、インクジェットヘッドマニホールド２の一部を構成する第１流路形成積層板２１及び第２流路形成積層板２２におけるインク供給流路２０１上（インク供給孔２ａ）に設けられたフィルタ２ｆの構造及びその製造方法について図５ないし図８に基づき説明する。ここで、図５は、第１、第２流路形成積層板２１、２２を形成するための母材プレート３０を示す斜視図である。また、図６は、第１、第２流路形成積層板２１、２２の表面に沿った方向からフィルタ部をみた平面図、図７は、図６に示す第１、第２流路形成積層板２１、２２の（後述する非製品部分としての捨て部３４ａの除去前の）Ａ−Ａ断面を示す図である。また、図８は、図６に示す第１、第２流路形成積層板２１、２２の（捨て部３４ｂの除去前の）Ｂ−Ｂ断面を示す図である。
【００２５】
上記図６は、第１、第２流路形成積層板２１、２２に接続されていた非製品部分である捨て部３４ａの除去後の図であって、この図６のクロスハッチ部分は、断面形状を示すものではなく、積層板の有形部分と開口となる非有形部分とを視覚的に把握し易くするための塗り潰し部分である。さらに、この実施形態では、第１、第２流路形成積層板２１、２２におけるフィルタ２ｆを構成するための積層板を第２の積層板３１ａ及び第１の積層板３１ｂとして説明する。
【００２６】
すなわち、フィルタ部２ｆは、図５及び図６に示すように、インクが供給される側の端縁（インク供給孔２ａの形成部分）を開口させた第１の積層板３１ｂと、インクが供給される側の端縁（インク供給孔２ａの形成部分）を閉塞させた第２の積層板３１ａとを交互に積層することで構成される。詳細には、図５ないし図８に示すように、例えばＳＵＳ３０４製の母材プレート３０を加工成形することで、捨て部３４ａ、３４ｂがそれぞれ自身の外形の上側部分に接続された第１、第２の積層板３１ｂ、３１ａが成形される。つまり、図５ないし図８に示すように、フィルタ部２ｆは、互いに接合される積層板３１ａ、３１ｂどうしの断面の有形部分３２ａと非有形部分（無形部分）３２ｂとを交互に組み合わせることで形成される。これにより、図６に示すように、互いに並設された複数のスリット部分が、インクの流路となる。
【００２７】
したがって、本実施形態のインクジェットヘッド１では、インク供給流路２０１とこのインク供給流路２０１上に設けられるフィルタ部２ｆとを構成するために、まず、断面形状に所定の有形部分３２ａ及び非有形部分３２ｂを有する第１、第２の積層板３１ｂ、３１ａを形成する。さらに、これら第１、第２の積層板３１ｂ、３１ａを（所定の順序）交互に組み合わせて互いを接合することで、インク供給流路２０１及びこの流路上にフィルタ部を配置したかたちのインクジェットヘッドマニホールド２を備えたヘッドを構成することができる。これにより、インクの流路の形成とともにフィルタ部を同時に形成することができるので、インクジェットヘッド１の生産性を向上させることができる。
【００２８】
（第２の実施の形態）
この実施形態に係るインクジェットヘッドは、第１の実施の形態のインクジェットヘッド１に設けられていたフィルタ部２ｆに代えて、図９ないし図１１に示すように、フィルタ部２ｇを備えて構成されている。ここで、図９は、第２の積層板３１ａと第１の積層板３１ｄとを交互に接合して構成されるフィルタ部２ｇを、これらの積層板の表面に沿った方向からみた平面図、図１０は、図９に示す第２の積層板３１ａの（捨て部３４ａの除去前の）Ｃ−Ｃ断面を示す図である。また、図１１は、図９に示す第１の積層板３１ｄの（捨て部３４ｄの除去前の）Ｄ−Ｄ断面を示す図である。
【００２９】
すなわち、図９ないし図１１に示すように、このフィルタ部２ｇは、フィルタ部２ｆに適用されていた第２の積層板３１ａを流用するとともに、フィルタ部２ｆの第１の積層板３１ｂに代えて第１の積層板３１ｄが用いられている。ここで、上記した第１の積層板３１ｂが、インク供給流路２０１の幅全体で当該積層板の端縁（インク供給孔２ａの形成部分）に開口した非有形部分３２ｂを有していたのに対し（図８参照）、この実施形態の第１の積層板３１ｄの端縁（インク供給孔２ａの形成部分）は、インク供給流路２０１の幅方向に交互に並ぶように非有形部分３２ｄと有形部分３５ｂとが設けられている。つまり、図９ないし図１１に示すように、フィルタ部２ｇは、互いに接合される積層板３１ａ、３１ｄどうしの断面の有形部分３２ａ、並びに有形部分３５ｄ及び非有形部分３２ｄを交互に組み合わせることで形成される。これにより、図９に示すように、フィルタ部２ｆは、格子状に形成されることになる。
【００３０】
また、特に、第１の積層板３１ｄが形成される工程では、図１１に示すように、この第１の積層板３１ｄの本体部分から（非有形部分３２ｄを挟んで）離間したフィルタ部構成用の有形部分３５ｄを保持させる捨て部３４ｄ（非製品部分）を、当該積層板とともにこの積層板の外形部外側に一体で形成する。さらに、インクジェットヘッドマニホールド２を形成する工程では、非製品部分である捨て部３４ｄ（及び捨て部３４ａ）とともに第２、第１の積層板３１ａ、３１ｄどうしを交互に接合した後、捨て部３４ｄ、３４ａを除去することで、図９ないし図１１に示すフィルタ部２ｇを構成することができる。このフィルタ部２ｇは、図９に示すように、格子状に形成されることになるので、インクの目詰まりの抑制効果を向上させることができる。
【００３１】
（第３の実施の形態）
この実施形態に係るインクジェットヘッドは、第１の実施の形態のインクジェットヘッド１に設けられていたフィルタ部２ｆに代えて、図１２に示すように、フィルタ部２ｈを備えて構成されている。ここで、図１２は、上記した第２の積層板３１ａと第３の積層板３１ｅとを交互に接合して構成されるフィルタ部２ｈを、これらの積層板の表面に沿った方向からみた平面図である。
【００３２】
すなわち、この実施形態のフィルタ部２ｈは、図１２に示すように、例えばハーフエッチングなどで、板厚の一部（例えば半分の厚み）を除去して形成した凹部（非有形部分）３２ｅを有する第３の積層板３１ｅと上記した第２の積層板３１ａとを組み合わせて構成されている。したがって、このフィルタ部２ｈにおいても、インクの目詰まりの高い抑制効果を期待できる。また、第２の積層板３１ａを用いることなく、第３の積層板３１ｅを複数枚連続して積層するだけでも、無論、フィルタ部を構成することができる。
【００３３】
（第４の実施の形態）
この実施形態に係るインクジェットヘッドは、第１の実施の形態のインクジェットヘッド１に設けられていたフィルタ部２ｆに代えて、図１３〜図１５に示すように、フィルタ部２０３ａを備えて構成されている。ここで、図１３は、インクジェットヘッドマニホールド２の一部を構成する複数枚の第３流路形成積層板２３における上側共通インク流路２０３上に設けられたフィルタ２０３ａを概略的に示す斜視図である。また、図１４は、図１３に示す複数枚の第３流路形成積層板２３の中に少なくとも一枚含まれる第４の積層板３１ｆ上に形成された上記フィルタ部２０３ａの構造を詳細に示す図、図１５は、図１３に示す複数枚の第３流路形成積層板２３の中に含まれる上記第４の積層板３１ｆと、第５の積層板３１ｇとを示す分解斜視図である。なお、図１６は、図１３〜図１５に示すフィルタ部２０３ａが発揮するフィルタ機能を、第１〜第３の実施形態のフィルタ部２ｆ、２ｇ、２ｈと比較しつつ説明するための斜視図である。
【００３４】
すなわち、この実施形態のフィルタ部２０３ａは、図１３〜図１５に示すように、複数枚の第３流路形成積層板２３の中に少なくとも一枚含まれる第４の積層板３１ｆ上に穿孔した複数の貫通孔２０３ｂの集合体により実現されている。ここで、フィルタ部２０３ａは、第４の積層板３１ｆと、この第４の積層板３１ｆにおける複数の貫通孔２０３ｂの集合体の形成領域（図１３、図１５中の一点鎖線で囲われた領域２０３ａ）に対応する領域全体を少なくとも含むようにして穿孔された単一の貫通孔２０３ｅを有する第５の積層板３１ｇとを、所定の組み合わせ順序で積層、若しくは一枚ずつ交互に積層して構成される。ここで、第４、第５の積層板３１ｆ、３１ｇを、所定の組み合わせ順序で積層とは、第５の積層板３１ｇを例えば２〜３枚連続して積層し、この２〜３枚の第５の積層板３１ｇの積層群どうしの間に、例えば１枚の第４の積層板３１ｆを順次介在させて行く積層構造などを含む。なお、第５の積層板３１ｇの積層群の連続積層枚数は、例えば、２〜１０枚程度の範囲内など適宜変更してもよい。また、第４、第５の積層板３１ｆ、３１ｇを交互に一枚ずつ積層したフィルタ部は、複数枚の第５の積層板３１ｇの中に、例えば一枚の第４の積層板３１ｆを介在させたものと比較すると、フィルタ機能の向上が図れる。さらに、複数の貫通孔２０３ｂを有する当該第４の積層板３１ｆを連続して積層することで、フィルタ部２０３ｆを形成してもよい。この場合、第４、第５の積層板３１ｆ、３１ｇを交互に積層するフィルタ部と比べてさらなるフィルタ機能の向上を期待できる。
【００３５】
また、図１６に示すように、第１〜第３の実施形態で示したフィルタ部２ｆ、２ｇ、２ｈは、インクの流路（例えばインク供給流路２０１）が積層板（例えば第２流路形成積層板２２）の表面に沿った方向（インクの流れ方向）Ｈに延びている部位に実質的に配置され、この部位を流れるインク、つまり積層板の表面を沿った方向に流れるインクに対しフィルタ機能を発揮するものであった。
これに対し、本実施形態のフィルタ部２０３ａは、図１３〜図１５に示すように、インクの流路が積層板（本実施形態では第３流路形成積層板２３）の厚さ方向（インクの流れ方向）Ｔに延びている部位に実質的に配置され、この部位を流れるインク、すなわち、積層板の厚さ方向に流れるインクに対しフィルタ機能を発揮する。
【００３６】
さらに、第４の積層板３１ｆ上の複数の貫通孔２０３ｂの構造について詳述する。
第４の積層板３１ｆの表面に対しエッチング処理などを施すことで、個々の貫通孔２０３ｂの形状は、当該第４の積層板３１ｆにおける一方の面側の開口２０３ｄの面積が、他方の面側の開口２０３ｃの面積よりも大きくなるように形成されている。詳細には、個々の貫通孔２０３ｂの形状は、例えば、すり鉢状（又は円錐状）に形成されている。ここで、すり鉢状の貫通孔２０３ｂは、図１３、図１４に示すように、第４の積層板３１ｆにおける上側共通インク流路２０３の上流側（インクの流れ方向Ｔの上流側）に向く一方の面側の開口２０３ｄの面積が、上側共通インク流路２０３の下流側（インクの流れ方向Ｔの下流側）に向く他方の面側の開口２０３ｃの面積よりも大きくなるように形成されている。また、この構成に代えて、開口面積の小さい他方の面側の開口２０３ｃを、インクの流れ方向Ｔの上流側に向け、且つ開口面積の大きい一方の面側の開口２０３ｄをインクの流れ方向Ｔの下流側に向けるように、第４の積層板３１ｆを構成してもよい。
【００３７】
ここで、個々の貫通孔２０３ｂをこのような形状で形成している理由は、例えば第４の積層板３１ｆを連続して積層する場合に、互いに隣接する第４の積層板３１ｆどうしが、積層板の表面に沿った方向に位置ズレが生じた状態で、接合されたとしても、開口２０３ｃと開口２０３ｄとの開口面積に差を設けたことで、この位置ズレを吸収できるようにするためである。すなわち、第４の積層板３１ｆどうしの接合状態で、例えばインクの流れ方向Ｔの上流側にある開口２０３ｄの開口領域の中で、積層板の表面に沿った方向に開口２０３ｃの位置ズレが生じたとしても、開口２０３ｃが塞がることがないからである。これにより第４の積層板３１ｆどうしの位置決め精度を緩和することができる。ここで、インクの流動性を考慮すると、図１４に示すように、開口面積の大きい一方の面側の開口２０３ｄをインクの流れ方向Ｔの上流側に向けることが望ましい。また、図１４に示すように、上記した第４、第５の積層板３１ｆ、３１ｇを交互に積層する構成例では、フィルタ部２０３ａとフィルタ部２０３ａとの間に、このフィルタ部２０３ａの形成領域全体を含んで穿孔された貫通孔２０３ｅが液貯まりとして機能し、上記同様、隣接する積層板どうしの積層ズレ（位置ズレ）を許容できる。
【００３８】
また、フィルタ部２０３ａの個々の貫通孔２０３ｂにおけるインクの流れ方向Ｔの下流側の開口２０３ｃの周縁部の径は、第４の積層板３１ｆを板厚方向に貫通する当該貫通孔２０３ｂの孔径となる。この貫通孔２０３ｂの孔径は、例えば直径０．０００１ｍｍ（０．１μｍ）〜０．１ｍｍで構成されている。また、上述したインクジェットヘッドマニホールド２の底面に接合されたオリフィスプレート３上の複数のインク吐出孔３ａの孔径は、第１の実施形態では、例えば直径０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍとして例示されていた。
ここで、本実施形態では、貫通孔２０３ｂの孔径は、インク吐出孔３ａの孔径よりも、小さくすることが望ましい。これにより、貫通孔２０３ｂを通過する過程で確実にフィルタリングされたインクをインク吐出孔３ａから外部に吐出させることができる。
【００３９】
以上、本発明を各実施の形態により具体的に説明したが、本発明はこれらの実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上述した実施形態では、特に、各積層板の加工方法については、特に説明しなかったが、積層板の加工には、例えばエッチングやレーザ加工などを適用できる。また、積層板の材料としては、上記したＳＵＳ３０４などを含む種々のステンレス鋼が好適である。また、上述した第１〜第３の実施形態で示したフィルタ部２ｆ、２ｇ、２ｈは、図１７に示すように、インク供給孔２ａの形成位置、つまりインクの流路（例えばインク供給流路２０１）の端部Ｆに設けられていたが、これに代えてインクの流路の途中Ｇに、フィルタ部２ｆやフィルタ部２ｈなどとほぼ同一構造のフィルタを設けてもよい。このインクの流路の途中Ｇに設けられるフィルタ部は、図１８に示すように、例えばインク供給流路２０１の途中を有形部分３２ｇで閉塞した積層板３１ｈと、インク供給流路２０１の途中Ｇを閉塞していない（開口させたまま）の積層板３１ｂとを交互に積層することなどで構成される。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの概略構成を示す図。
【図２】図１のインクジェットヘッドを示す平面（上面）図。
【図３】図１のインクジェットヘッドの底面を示す図。
【図４】図１のインクジェットヘッドの構造を示す分解斜視図。
【図５】図１のインクジェットヘッドの一部を構成する第１、第２流路形成積層板を形成するための母材プレートを示す斜視図。
【図６】第１、第２流路形成積層板の表面に沿った方向からフィルタ部をみた平面図。
【図７】図６に示す第１、第２流路形成積層板の（捨て部の除去前の）Ａ−Ａ断面を示す図。
【図８】図６に示す第１、第２流路形成積層板の（捨て部の除去前の）Ｂ−Ｂ断面を示す図。
【図９】本発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッドに設けられたフィルタ部を、第１、第２の積層板の表面に沿った方向からみた平面図。
【図１０】図９に示す第２の積層板の（捨て部の除去前の）Ｃ−Ｃ断面を示す図。
【図１１】図９に示す第１の積層板の（捨て部の除去前の）Ｄ−Ｄ断面を示す図。
【図１２】本発明の第３の実施形態に係るインクジェットヘッドに設けられたフィルタ部を、第１、第２の積層板の表面に沿った方向からみた平面図。
【図１３】本発明の第４の実施形態に係るインクジェットヘッドに設けられたフィルタ部を概略的に示す斜視図。
【図１４】図１３に示すフィルタ部の構造を詳細に示す図。
【図１５】図１３に示す第４の積層板と、第５の積層板とを示す分解斜視図。
【図１６】図１３〜図１５に示すフィルタ部が発揮するフィルタ機能を、図６〜図８などに示したフィルタ部と比較しつつ説明するための斜視図。
【図１７】インクの流路の途中に設けられたフィルタ部を示す図。
【図１８】図１７のフィルタ部を構成するための積層板の構造を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４１】
１…インクジェットヘッド、２…インクジェットヘッドマニホールド、２ａ…インク供給孔、２ｆ，２ｇ，２ｈ…フィルタ、２１…第１流路形成積層板、２２…第１流路形成積層板、２３…第１流路形成積層板、２４…第１流路形成積層板、２５…第５流路形成積層板、３１ａ…第２の積層板、３１ｂ，３１ｄ…第１の積層板、３１ｅ…第３の積層板、３１ｆ…第４の積層板、３１ｇ…第５の積層板、３２ａ…有形部分、３２ｂ，３２ｄ…非有形部分、３２ｅ…凹部（非有形部分）、３４ａ，３４ｂ，３４ｄ…捨て部、３５ｄ…有形部分、２０１…インク供給流路、２０３ａ…フィルタ部、２０３ｂ，２０３ｅ…貫通孔、２０５…上下方向インク流路、２０６…下側インク流路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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