(57)【要約】【課題】  有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する場合でも、液状物の特性変化を小さく抑えることのできる液滴吐出装置、組成物の製造方法および電気光学装置の製造方法を提供すること。【解決手段】  液滴吐出装置において、液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９を、ゲスト材料を含む有機溶剤系の液状物ＭＡを吐出するための第１系列Ａと、ホスト材料を含む有機溶剤系の液状物ＭＢを吐出するための第２系列Ｂとに系列化し、第１系列Ａのノズル開口２７、および第２系列Ｂのノズル開口２７から基板上の同一箇所に液滴をドット状に吐出し、基板上で液滴同士を混合させて、ＥＬ素子の発光層を形成する。【選択図】  図２
2006212502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状物を貯留しておく液状物貯留部と、該液状物貯留部に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室に設けられたノズル開口と、前記圧力発生室を膨張、収縮させる圧力発生素子とを有する液滴吐出装置において、
前記液状物貯留部、前記圧力発生室、前記ノズル開口および前記圧力発生素子として、組成が相違する有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する複数系列の液状物貯留部、圧力発生室、ノズル開口および圧力発生素子を備え、
前記複数系列のノズル開口から媒体上に液滴をドット状に吐出し、当該媒体上で液滴同士を混合させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１において、前記複数系列の液状物貯留部は各々、前記液状物として、溶媒の蒸発速度が相違する液状物を貯留しており、
前記複数系列のノズル開口は、前記組成物を蒸発速度の遅いものから順に前記媒体上の同一箇所に吐出していくことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
液状物貯留部に連通する圧力発生室を圧力発生素子で膨張、収縮させて当該圧力発生室で開口するノズル開口から前記液状物貯留部に貯留されている液状物を液滴として媒体上に吐出して媒体上に組成物をドット状に製造するにあたって、
前記液状物貯留部、前記圧力発生室、前記ノズル開口および前記圧力発生素子として、組成が相違する有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する複数系列の液状物貯留部、圧力発生室、ノズル開口および圧力発生素子を設けておき、
前記複数系列のノズル開口から媒体上の同一箇所に液滴をドット状に吐出し、当該媒体上で液滴同士を混合させて前記媒体上に組成物をドット状に定着させることを特徴とする組成物の形成方法。
【請求項４】
請求項３において、前記複数系列の液状物貯留部は各々、前記液状物として、溶媒の蒸発速度が相違する液状物を貯留しており、
前記複数系列のノズル開口は、前記組成物を蒸発速度の遅いものから順に前記媒体上の同一箇所に吐出していくことを特徴とする組成物の製造方法。
【請求項５】
請求項３または４において、前記複数系列の液状物貯留部のうち、少なくとも１系列の液状物貯留部には、前記液状物として、沸点が２００℃以上の有機溶剤が配合された液状物が貯留されていることを特徴とする組成物の製造方法。
【請求項６】
請求項３ないし５のいずれかにおいて、前記複数系列の液状物はいずれも、温度が１０℃から４０℃の条件下での３０日の保存期間中の粘度変化が５％以内であることを特徴とする組成物の製造方法。
【請求項７】
請求項３ないし６のいずれかにおいて、前記液状物は、溶媒の全てが有機溶剤であることを特徴とする組成物の製造方法。
【請求項８】
請求項３ないし７のいずれかにおいて、前記媒体は電気光学装置用基板であり、前記複数系列の液状物貯留部は各々、前記液状物として、電気光学装置用基板上に画素構成要素をドット状に形成するための液状物を貯留していることを特徴とする組成物の製造方法。
【請求項９】
請求項３ないし８のいずれかにおいて、前記電気光学装置用基板は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板であり、
前記複数系列の液状貯留部には、当該有機エレクトロルミネッセンス表示装置用基板上の各画素形成領域に発光層を形成するためのホスト材料が配合された液状物を貯留するホスト材料吐出用液状物貯留部と、ゲスト材料が配合された液状物を貯留するゲスト材料吐出用液状物貯留部とが含まれていることを特徴とする組成物の製造方法。
【請求項１０】
請求項８または９に規定する組成物の製造方法により前記画素構成要素をドット状に形成した前記電気光学装置用基板を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液滴を吐出する液滴吐出装置、ノズル開口から液滴を吐出して媒体上に組成物をドット状に形成する組成物の製造方法、および電気光学装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、近年、様々な分野で使用されており、例えば、液滴吐出装置によって有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ／Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置用の基板上に、有機機能材料を有機溶剤中に配合した液状物の液滴をドット状に吐出してＥＬ素子の発光層を形成することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２２９２５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような用途に用いられる液状物としては、ゲスト材料としての有機材料と、ホスト材料としての有機材料が有機溶剤中に溶解したものが多用されているが、このような液状物は、使用期間中あるいは保存期間中の粘度変化が大きいため、液滴を安定した状態に吐出できないという問題点がある。なお、記録用紙にインク滴を吐出してカラー印刷を施すカラーインクジェット記録装置については、様々な技術が提案されているが、その多くは水系の組成物を扱うため、このような粘度変化が起こりにくく、かつ、粘度変化などの問題点があってもインク組成物の組成で対策可能である。しかるに有機溶剤系の場合、溶解能などの点で選択肢が狭いため、組成で対策することが困難である。
【０００４】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する場合でも、液状物の特性変化を小さく抑えることのできる液滴吐出装置、組成物の製造方法および電気光学装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明では、液状物を貯留しておく液状物貯留部と、該液状物貯留部に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室に設けられたノズル開口と、前記圧力発生室を膨張、収縮させる圧力発生素子とを有する液滴吐出装置において、前記液状物貯留部、前記圧力発生室、前記ノズル開口および前記圧力発生素子として、組成が相違する有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する複数系列の液状物貯留部、圧力発生室、ノズル開口および圧力発生素子を備え、前記複数系列のノズル開口から媒体上に液滴をドット状に吐出し、当該媒体上で液滴同士を混合させることを特徴とする。
【０００６】
また、本発明に係る組成物の製造方法では、液状物貯留部に連通する圧力発生室を圧力発生素子で膨張、収縮させて当該圧力発生室で開口するノズル開口から前記液状物貯留部に貯留されている液状物を液滴として媒体上に吐出して組成物をドット状に製造するにあたって、前記液状物貯留部、前記圧力発生室、前記ノズル開口および前記圧力発生素子として、組成が相違する有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する複数系列の液状物貯留部、圧力発生室、ノズル開口および圧力発生素子を設けておき、前記複数系列のノズル開口から媒体上の同一箇所に液滴をドット状に吐出し、当該媒体上で液滴同士を混合させて前記媒体上に組成物をドット状に定着させることを特徴とする。
【０００７】
本願発明における有機溶剤系の液状物とは、溶媒の主成分（３０％以上）が有機溶剤であることを意味し、その一部に水が用いられている場合も含む意味である。
【０００８】
本発明では、液状物貯留部に貯留されている液状物をノズル開口から液滴として吐出するにあたって、液状物貯留部、圧力発生室、ノズル開口および圧力発生素子として、組成が相違する有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する複数系列の液状物貯留部、圧力発生室、ノズル開口および圧力発生素子を備えており、各系列のノズル開口から媒体上の同一箇所に液滴をドット状に吐出し、媒体上で液滴同士を混合させる。このため、液状物を粘度の経時変化などの面で安定した組成で調製し、保存しておけるので、有機溶剤系の液状物を液滴として吐出する場合でも、使用中あるいは保存中、液状物の特性変化を小さく抑えることができる。それ故、液滴を常に安定した状態で吐出できる。
【０００９】
本発明において、前記複数系列の液状物貯留部は各々、前記液状物として、溶媒の蒸発速度が相違する液状物を貯留しており、前記複数系列のノズル開口は、前記組成物を蒸発速度の遅いものから順に前記媒体上の同一箇所に吐出していくことが好ましい。このように構成すると、最初に吐出した液滴から有機溶剤が蒸発して乾燥固化してしまい、後で吐出した液滴と混合しにくくなるのを防止することができる。
【００１０】
本発明においては、例えば、前記複数系列の液状物貯留部のうち、少なくとも１系列の液状物貯留部には、前記液状物として、沸点が２００℃以上の有機溶剤が配合された液状物が貯留されている。
【００１１】
本発明において、前記複数系列の液状物はいずれも、温度が１０℃から４０℃の条件下での３０日の保存期間中の粘度変化が５％以内であることが好ましい。
【００１２】
本発明において、前記液状物は、例えば、溶媒の全てが有機溶剤である。
【００１３】
本発明において、前記媒体は、例えば、電気光学装置用基板である。この場合、前記複数系列の液状物貯留部は各々、電気光学装置用基板上に画素構成要素をドット状に形成するための液状物を貯留している。ここで、前記電気光学装置用基板は、例えば、有機ＥＬ表示装置用基板である。この場合、前記複数系列の液状貯留部には、当該有機ＥＬ表示装置用基板上の各画素形成領域に発光層を形成するためのホスト材料が配合された液状物を貯留するホスト材料吐出用液状物貯留部と、ゲスト材料が配合された液状物を貯留するゲスト材料吐出用液状物貯留部とが含まれている。
【００１４】
本発明は、例えば、電気光学装置用基板上に液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素をドット状に形成する電気光学装置の製造方法に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置の一例を説明する。
【００１６】
（液滴吐出装置の全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。なお、液滴吐出装置によってカラー印刷やカラーの表示装置を製造する場合、通常、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の絵素を形成する必要がある。従って、液滴吐出装置については、１台で各色に対応する液滴を吐出可能に構成するか、所定の色に対応するものを複数台、準備することになるが、以下の説明では、後者において複数、準備した液滴吐出装置のうちの１台を説明する。
【００１７】
図１において、液滴吐出装置１０は、各種の液状物を基板などの媒体上の所望位置に液滴として吐出するものであり、液状物を各種媒体上に液滴として吐出するノズル開口を備える液滴吐出ヘッド２２と、液滴吐出ヘッド２２を保持する共通のキャリッジ２６とを有している。また、液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、媒体としての基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段としての主走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段としての副走査駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置１０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有しており、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１によって、液滴吐出ヘッド２２（キャリッジ２６）と基板１２とを相対移動させる移動手段が構成されている。ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１はベース９の上に設置され、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われる。
【００１８】
ヘッド位置制御装置１７は、液滴吐出ヘッド２２を面内回転させるαモータ（図示せず）と、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ（図示せず）と、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ（図示せず）と、そして液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ（図示せず）とを備えている。基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、そのテーブル４９を面内回転させるθモータ（図示せず）とを備えている。主走査駆動装置１９は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを備えている。Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動する。副走査駆動装置２１は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール（図示せず）と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを備えている。Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動するときにＹガイドレールに沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。Ｘスライダ５３およびＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。
【００１９】
基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボット５８とを備えている。ロボット５８は、床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを備えており、吸着パッド６４は、空気吸引などによって基板１２を吸着できる。
【００２０】
また、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、その液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ７９が配置されている。なお、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）には基板用カメラ（図示せず）が配置され、基板用カメラは、基板１２を撮影可能である。
【００２１】
ここで、主走査駆動装置１９によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド２２の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置には、キャッピング機構７６およびクリーニング機構７７が配置され、キャッピング機構７６は、液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズルの乾燥を防止するための機構である。クリーニング機構７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための機構である。また、副走査駆動装置２１の他方の脇位置には、液滴吐出ヘッド２２内の個々のノズル２７から吐出される液滴の重量を測定する電子天秤７８が配置されている。
【００２２】
（液滴吐出ヘッドの構成）
図２（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッド２２の構成を示す説明図である。図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッド２２の内部構造を模式的に示す説明図、撓み振動モードの圧力発生素子の説明図、および縦振動モードの圧力発生素子の説明図である。なお、液滴吐出装置において、１台で各色に対応する液滴を吐出する場合、各色に対応する液滴吐出ヘッド２２が共通のキャリッジ２６に複数、保持されることになる。
【００２３】
図２（Ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、液滴として吐出する液状物Ｍを貯留しておくタンク状、カートリッジ状などの液状物貯留部３７に接続されている。また、液滴吐出ヘッド２２は、多数のノズル開口２７を列状に並べることによって形成されたノズル列２８を備えている。ノズル開口２７の数は、例えば１８０個であり、ノズル開口２７の穴径は例えば２８μｍであり、ノズル開口２７間のノズルピッチは例えば１４１μｍである。なお、液滴吐出ヘッド２２の基板１２に対する主走査方向Ｘおよびそれに直交する副走査方向Ｙは図示の通りである。すなわち、液滴吐出ヘッド２２は、そのノズル列２８が主走査方向Ｘと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Ｘへ平行移動する間に、液状物を複数のノズル開口２７から選択的に吐出することにより、基板１２内の所定位置に液滴を着弾させる。また、液滴吐出ヘッド２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することにより、液滴吐出ヘッド２２による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。
【００２４】
図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えば、ステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する弾性板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有している。ノズルプレート２９と弾性板３１との間には、仕切部材３２によって複数の圧力発生室３３、および液溜り３４が形成され、複数の圧力発生室３３と液溜り３４とは液状物流入口３８を介して互いに連通している。弾性板３１の適所には液状物供給穴３６が形成され、この液状物供給穴３６に液状物貯留部３７が接続される。従って、液状物貯留部３７は吐出されることとなる液状物Ｍを液状物供給穴３６へ供給する。供給された液状物Ｍは液溜り３４に充満し、さらに液状物流入口３８を通って圧力発生室３３に充満する。このようにして、液状物貯留部３７と各圧力発生室３３とが連通している。
【００２５】
ノズルプレート２９には、圧力発生室３３から液状物Ｍを液滴Ｍ０として噴射するためのノズル開口２７が設けられており、そのノズル開口２７が開口しているノズル形成面２７１は平坦面とされている。このようにしてノズル開口２７は、圧力発生室３３で開口している。弾性板３１の圧力発生室３３を形成する面の裏面には、この圧力発生室３３に対応させて圧力発生素子３９が取り付けられている。この圧力発生素子３９は、例えば、図３（Ｂ）に示すように、圧電素子４１、およびこの圧電素子１１を挟持する一対の電極４２ａ、４２ｂを備えたたわみ振動モードの圧電素子である。その振動方向を矢印Ｃで示す。なお、図３（Ｃ）に示すように、圧力発生素子３９としては、縦振動モードの圧電素子を用いてもよい。この縦振動モードの圧電素子（圧力発生素子３９）では、伸長方向に平行に圧電材料と導電材料を交互に積層して構成されており、その先端は弾性板３１に固定され、他端は基台２０に固定されている。このような圧力発生素子３９では、充電状態では導電層の積層方向と直角な方向に収縮し、また充電状態が解かれると、導電層と直角な方向に伸長する。
【００２６】
いずれの圧電素子を用いた場合も、電極間に印加される駆動信号によって変形し、圧力発生室３３を膨張、収縮させる。なお、ノズル開口２７の周辺部には、液滴Ｍ０の飛行曲がりやノズル開口２７の穴詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液状物層４３が設けられる。
【００２７】
（制御系および駆動系の構成）
図４は、図１に示す液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図５および図６は、図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドのヘッド駆動部の電気的構成を示す説明図、およびヘッド駆動部を構成する素子の説明図である。なお、図４に示す例では、制御系をコンピュータ本体部側に構成した例を示してあるが、その一部については、液滴吐出装置本体側に構成してもよい。
【００２８】
図１に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、入力装置６７としてのキーボードと、表示装置としてのＣＲＴディスプレイ６８とを有している。上記プロセッサは、図４に示すように、演算などの処理を行うＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ／ヘッド制御手段）６９と、各種情報を記憶するメモリすなわち情報記憶媒体７１とを有しており、図１を参照して説明したヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、副走査駆動装置２１、および液滴吐出ヘッド２２内の圧力発生素子３９（図３（Ｂ）、（Ｃ）を参照）を駆動するヘッド駆動部８などは、入出力インターフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。
【００２９】
ヘッド駆動部８は、複数の液滴吐出ヘッド２２と表示装置用基板１２との相対移動に連動して、所定のビットマップに基づいて圧力発生素子３９を作動させ、液滴吐出ヘッド２２の各ノズル開口２７から液滴を吐出させて表示装置用基板１２に所定のパターンを描画する。なお、基板供給装置２３、入力装置６７、ＣＲＴディスプレイ６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７およびキャッピング装置７６なども、入出力インターフェース７３およびバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。
【００３０】
情報記憶媒体７１としてのメモリは、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置１０の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、液状物の表示装置用基板１２上における吐出位置（ビットマップ）を座標データとして記憶するためのビットマップ記憶領域、副走査方向Ｙへの表示装置用基板１２の副走査移動量を記憶するための記憶領域、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域などの各種記憶領域が設定されている。
【００３１】
ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、表示装置用基板１２に表面の所定位置に液状物を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部、電子天秤を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部、および液滴吐出によって所定のパターンを描画するための演算を行う描画演算部などを備えている。この描画演算部を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部、表示装置用基板１２を副走査方向Ｙへ所定の副走査量だけずらせるための制御を演算する副走査制御演算部、および液滴吐出ヘッドの複数のノズル開口２７のうちのいずれを作動させて液状物を吐出するかを制御するためビットマップを形成するための演算を行うビットマップ演算部（ノズル吐出制御演算部）などといった各種の機能演算部を有している。
【００３２】
図５に示すように、ヘッド駆動部８は、所定の電源を生成する電源生成部８７と、コンピュータ本体部６６から出力された制御信号、および電源生成部８７から供給される電源に基づいて駆動信号ＣＯＭを形成する駆動信号発生回路８８（駆動信号発生手段）とを備えている。また、ヘッド駆動部８は、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、およびスイッチ回路８４を備えており、スイッチ回路８４に圧力発生素子２２が接続されている。ここで、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、スイッチ回路８３、および圧力発生素子３９はそれぞれ、図６に示すように、液滴吐出ヘッド２２の各ノズル開口２７毎に設けたシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎ、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎ、レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎ、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎ、圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎから構成され、シフトレジスタ８０、ラッチ回路８１、レベルシフタ８２、スイッチ回路８３、圧力発生素子３９の順で電気的に接続されている。
【００３３】
このようなヘッド駆動部８により、圧力発生素子３９に駆動信号ＣＯＭを印加して液滴を吐出させる制御について説明する。なお、以下の説明ではドットパターンデータを構成する吐出データ（１ドットデータに相当）を、複数ビットで構成した場合について説明する。まず、ヘッド駆動部８では、コンピュータ本体部６６の発振回路（図示せず）からのクロック信号（ＣＬＫ）に同期して、コンピュータ本体部６６から出力された吐出データ（ＳＩ）の内の最上位ビットのデータを、順次シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットする。全ノズル開口分の吐出データがシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットされると、コンピュータ本体部６６は、所定のタイミングでラッチ回路８１、すなわち、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎへラッチ信号（ＬＡＴ）を出力する。このラッチ信号により、ラッチ素子８１Ａ〜８１Ｎは、シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットされた吐出データをラッチする。このラッチされた吐出データは、電圧増幅器であるレベルシフタ８２、すなわち、レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎに供給される。各レベルシフタ素子８２Ａ〜８２Ｎは、吐出データが例えば「１」の場合に、スイッチ回路４３が駆動可能な電圧、例えば、数十ボルトまでこの吐出データを昇圧する。そして、この昇圧された吐出データはスイッチ回路８３、すなわち、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎに印加され、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎは、当該吐出データにより接続状態になる。ここで、各スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎには、駆動信号発生回路８８から駆動信号（ＣＯＭ）が印加されており、スイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎが接続状態になると、このスイッチ素子８３Ａ〜８３Ｎに接続された圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎに駆動信号が供給される。なお、吐出データが例えば「０」の場合には、対応する各レベルシフタ素子３９Ａ〜３９Ｎは昇圧を行わない。そして、最上位ビットのデータに基づいて駆動信号を印加すると、続いて、コンピュータ本体部６６は、１ビット下位のデータをシリアル伝送させてシフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにセットする。そして、シフトレジスタ素子８０Ａ〜８０Ｎにデータがセットされたならば、ラッチ信号を印加させることにより、セットされたデータをラッチさせ、駆動信号を圧力発生素子３９Ａ〜３９Ｎに供給させる。以後は、１ビットずつ吐出データを下位ビットにシフトしながら最下位ビットまで同様の動作を繰り返し行う。
【００３４】
このように、圧力発生素子３９に駆動信号を供給するか否かを、吐出データによって制御できる。すなわち、吐出データを「１」にすることにより駆動信号ＣＯＭを圧力発生素子３９に供給でき、吐出データを「０」にすることにより駆動信号ＣＯＭの圧力発生素子３９への供給を遮断することができる。なお、吐出データを「０」にした場合、圧力発生素子３９は直前の電荷（電位）を保持する。
【００３５】
（駆動信号ＣＯＭの波形）
図７は、図１に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の一例を示す波形図である。図３（Ａ）および図７において、圧力発生素子３９に印加される駆動信号ＣＯＭは、吐出すべき液状物Ｍの粘度などに応じて最適な波形に設定されるが、ここに示す駆動信号ＣＯＭは、中間電位Ｖｍから最高電位ＶＰＳまで電位を変化させて圧力発生室３３を初期状態から膨張させる吐出用膨張要素Ｓ１と、最高電位ＶＰＳを保持して圧力発生室３３の膨張状態を保持する吐出用ホールド要素Ｓ２と、最高電位ＶＰＳから最低電位ＶＬＳまで電位を変化させて膨張状態にある圧力発生室３３を収縮させて液滴Ｍ０を吐出させる吐出用収縮要素Ｓ３と、最低電位ＶＬＳを保持して圧力発生室３３の収縮状態を保持する制振用ホールド要素Ｓ４と、最低電位ＶＬＳから中間電位Ｖｍに変化させて収縮状態にある圧力発生室３３を初期状態にまで復帰させる制振用膨張要素Ｓ５とを含んでいる。
【００３６】
このような駆動信号ＣＯＭにおいて、吐出用膨張要素Ｓ１が圧力発生素子３９に印加されると、圧力発生素子３９は圧力発生室３３の容積を膨張させる方向に変形し、圧力発生室３９内に負圧を発生させる。このような状態は、吐出用ホールド要素Ｓ２が印加されている間、保持される。その結果、メニスカスは、圧力発生室３３に引き込まれた状態になり、かつ、圧力発生室３３は液状物Ｍによって確実に満たされた状態となる。次に、吐出用収縮要素Ｓ３が圧力発生素子３９に印加されると、圧力発生素子３９は、圧力発生室３３の容積が収縮する方向に変形し、圧力発生室３９内に正圧を発生させる。その結果、メニスカスがノズル開口２７から盛り上がり、液滴Ｍ０となって吐出される。その後、制振用ホールド要素Ｓ４および制振用膨張要素Ｓ５が圧力発生素子３９に印加されると、それに伴って、圧力発生室３３へのメニスカスの停止、引き込みが行われる。また、液状物流入口３８から圧力発生室３３に液状物Ｍ０が供給される。
【００３７】
（液滴吐出系の系列化）
本形態では、図２（Ａ）に示すように、液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９は、いずれも２組、構成されており、組成が相違する有機溶剤系の液状物Ｍ（液状物ＭＡ、ＭＢ）を液滴Ｍ０（液滴ＭＡ０、ＭＢ０）として吐出する第１系列Ａの液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９と、第２系列Ｂの液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９とに系列化されている。それに伴って、図３（Ａ）に示す液状物Ｍの流路、図５および図６に示す駆動回路の一部も系列化されている。また、第１系列Ａのノズル開口２７、および第２系列Ｂのノズル開口２７はいずれも、基板（図１の基板１２）上の同一箇所に液滴をドット状に吐出し、基板上で液滴同士を混合させる。
【００３８】
このように構成した液滴吐出装置１０は、第１系列Ａの液状物貯留部３７と、第２系列Ｂの液状物貯留部３７には各々、組成が相違する有機溶剤系の液状物Ｍ（液状物ＭＡ、ＭＢ）が貯留され、第１系列Ａの液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９は、液状物ＭＡを基板上に吐出するための系列として用いられ、第２系列Ｂの液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９は、液状物ＭＢを基板上に吐出するための系列として用いられる。
【００３９】
例えば、後述する有機ＥＬ素子の発光層を形成する場合には、第１系列Ａの液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９は、例えば、下記組成の有機溶剤系の液状物Ｍ
第１系列Ａの液状物ＭＡの組成
ゲスト材料の１−メチルナフタレン溶液
（１−メチルナフタレンの沸点＝２４５℃）
を基板（電気光学装置用基板）上に吐出するための系列として利用され、第２系列Ｂの液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９は、例えば、下記組成の有機溶剤系の液状物Ｍ
第２系列Ｂの液状物ＭＢの組成
ホスト材料の１，２、３、４−テトラメチルベンゼンの溶液
（１、２、３、４−テトラメチルベンゼンの沸点＝２０３℃）
を基板上に吐出するための系列として利用される。すなわち、第１系列Ａの液状物貯留部３７は、ホスト材料が配合された液状物ＭＢを貯留するホスト材料吐出用液状物貯留部として用いられ、第２系列Ｂの液状物貯留部３７は、ゲスト材料が配合された液状物ＭＡを貯留するゲスト材料吐出用液状物貯留部として用いられている。なお、有機ＥＬ素子の発光層としては、生成した一重項の励起子による発光をそのまま利用することができるが、本形態では、発光層で生成した一重項の励起子のエネルギーを他の材料に移動して発光させるため、ホスト材料とゲスト材料を用いている。この場合、最初に一重項の励起子となる材料をホスト材料、一重項の励起子からのエネルギー移動により励起され発光する材料をゲスト材料という。ホスト材料およびゲスト材料の組み合わせとしては、例えば、アルミニウムキノリノール錯体をホスト材料として用い、ＤＣＭ２をゲスト材料として用いる。また、ペリレンテトラカルボン酸二無水物をホスト材料として用い、ペンタセンをゲスト材料として用いることができる。
【００４０】
ここで、ゲスト材料およびホスト材料を共通の有機溶剤に配合して吐出しても、有機ＥＬ素子の発光層を形成できるが、かかる有機溶剤系の溶液は、使用期間中あるいは保存期間中の粘度変化が大きいため、液滴を安定した状態に吐出できない。これに対して、発光層を形成するための液状物として、ゲスト材料吐出用の液状物ＭＡ（第１系列Ａの液状物Ｍ）と、ホスト材料吐出用の液状物ＭＢ（第２系列Ｂの液状物Ｍ）とに分けて調製すると、各々最適な組成で液状物ＭＡ、ＭＢを調製できるので、各々の液状物ＭＡ、ＭＢは、例えば、温度が１０℃から４０℃の条件下での３０日の保存期間中の粘度変化を１％以内に抑えることができる。
【００４１】
また、本形態の液滴吐出装置１０においては、詳しくは後述するように、第１系列Ａのノズル開口２７と、第２系列Ｂのノズル開口２７から基板上の同一箇所に、上記の第１系列Ａの液状物ＭＡ、および第２系列Ｂの液状物ＭＢを１：４の重量割合で基板上の同一にドット状に吐出し、この基板上で液滴ＭＡ０、ＭＢ０同士を混合させた後、焼成すると、有機ＥＬ素子の発光層を組成物として形成することができる。
【００４２】
ここで、第１系列Ａの液状物ＭＡと、第２系列Ｂの液状物ＭＢとを比較すると、第２系列Ｂの液状物ＭＢの方が溶剤の蒸発速度が速い。このような場合、第１系列Ａのノズル開口２７と、第２系列Ｂのノズル開口２７は、液状物ＭＡ、ＭＢを蒸発速度の所定の順序、例えば、溶媒の蒸発速度が遅いものから順に、あるいは溶媒の蒸発速度が速いものから順に、基板上の同一箇所に吐出していく。前者の方法は、最初に吐出した液滴ＭＡ０から有機溶剤が蒸発しないうちの次の液滴ＭＢ０を液滴を吐出したい場合に好ましい。これに対して、後者の方法は、双方の有機溶剤の相溶性がかなり高い場合においては、最初に吐出した液滴ＭＢ０から有機溶剤がある程度、蒸発させてから次の液滴ＭＡ０を液滴を吐出してもよい場合に好ましく、このように構成すると、後の液滴ＭＡ０を吐出した際、最初に吐出した液滴ＭＢ０が飛散せず、液滴ＭＡ０を安定して着弾、定着させることができるという利点がある。
【００４３】
（本形態の主な効果）
このように本形態では、液状物貯留部３７に貯留されている液状物Ｍをノズル開口２７から液滴Ｍ０として吐出するにあたって、液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９を、組成が相違する有機溶剤系の液状物ＭＡ、ＭＢを液滴ＭＡ０、ＭＢ０として吐出する第１系列Ａの液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９と、第２系列Ｂの液状物貯留部３７、圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９とに系列化しておき、各系列のノズル開口２５から基板上の同一箇所に液滴ＭＡ０、ＭＢ０をドット状に吐出し、基板上で液滴ＭＡ０、ＭＢ０を混合させる。このため、液状物ＭＡ、ＭＢを粘度の経時変化などの面で安定した組成で調製し、液状物貯留部３７に保存しておける。従って、いずれの系列の液状物ＭＡ、ＭＢについても、例えば、温度が１０℃から４０℃の条件下での３０日の保存期間中の粘度変化を５％以内、さらには１％以内に抑えることができる。それ故、有機溶剤系の液状物ＭＡ、ＭＢを液滴ＭＡ０、ＭＢ０として吐出する場合でも、使用中あるいは保存中、液状物ＭＡ、ＭＢの特性変化を小さく抑えることができるので、液滴ＭＡ０、ＭＢ０を常に安定した状態で吐出することができる。
【００４４】
（液滴吐出系の系列化の変形例）
図２（Ａ）に示す形態では、１つの液滴吐出ヘッド２２に第１系列Ａの圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９と、第２系列Ｂの圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９とが構成されている例であったが、図２（Ｂ）に示すように、第１系列Ａの圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９と、第２系列Ｂの圧力発生室３３、ノズル開口２７および圧力発生素子３９とが各々、別の液滴吐出ヘッド２２Ａ、２２Ｂに構成されている構成を採用してもよい。この場合も、２つの吐出ヘッド２２Ａ、２２Ｂを共通のキャリッジ２６（図１参照）に搭載しておけばよい。但し、２つの吐出ヘッド２２Ａ，２２Ｂが各々、別のキャリッジ２６に搭載されている構成を採用してもよい。また、本形態では、液状物ＭＡ，ＭＢの溶媒が全て有機溶剤であったが、溶媒の一部として水を用いた場合に本発明を適用してもよい。
【００４５】
［電気光学装置の構成、および製造方法の例］
電気光学装置の一例として、有機ＥＬ表示装置の構成およびその製造工程を説明する。図８（Ａ）、（Ｂ）は、電気光学物質として電荷注入型の有機薄膜を用いたＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置のブロック図、およびその画素の構成を示す断面図である。図９は、有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す製造工程断面図であり、図８（Ｂ）に示す有機ＥＬ表示装置の１画素分の断面に相当する。
【００４６】
図８（Ａ）において、有機ＥＬ表示装置５００は、有機半導体膜に駆動電流が流れることによって発光するＥＬ素子をＴＦＴで駆動制御する表示装置であり、このタイプの表示装置に用いられる発光素子はいずれも自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。ここに示す電気光学装置５００では、複数の走査線５６３と、この走査線５６３の延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線５６４と、これらのデータ線５６４に並列する複数の共通給電線５６５と、データ線５６４と走査線５６３との交差点に対応する画素５１５とが構成され、画素５１５は、画像表示領域にマトリクス状に配置されている。データ線５６４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ線駆動回路５５１が構成されている。走査線５６３に対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査線駆動回路５５４が構成されている。また、画素５１５の各々には、走査線５６３を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチング薄膜トランジスタ５０９を介してデータ線５６４から供給される画像信号を保持する保持容量５３３と、この保持容量５３３によって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１０と、カレント薄膜トランジスタ５１０を介して共通給電線５６５に電気的に接続したときに共通給電線５６５から駆動電流が流れ込む発光素子５１３とが構成されている。
【００４７】
発光素子５１３は、図８（Ｂ）に示すように、陽極としての画素電極５１１の上層側に、正孔注入層５１３ａおよび発光層５１３ｂを備えた有機機能層を備えており、この有機機能層の上層に対向電極５１２が形成された構造を有している。
【００４８】
このような構成の有機ＥＬ表示装置５００を製造するには、基板（媒体／電気光学装置用基板／有機ＥＬ表示装置用基板）を用意する。ここで、有機ＥＬ表示装置５００では、後述する発光層による発光光を基板側から取り出すことも可能であり、また基板と反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板側から取り出す構成とする場合、基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものが用いられるが、特にガラスが好適に用いられる。また、基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。なお、基板と反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
【００４９】
本例では、図９（Ａ）に示すように、基板としてガラスからなる透明基板５０２（媒体）を用意し、透明基板５０２に対して、必要に応じてＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約２００〜５００ｎｍのシリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）を形成する。
【００５０】
次に、透明基板５０２の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ約３０〜７０ｎｍのアモルファスシリコン膜からなる半導体膜５２０ａを形成する。次に、半導体膜５２０ａに対してレーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜５２０ａをポリシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラインビームを用い、その出力強度は、例えば２００ｍＪ／ｃｍ２とする。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。
【００５１】
次に、図９（Ｂ）に示すように、半導体膜（ポリシリコン膜）５２０ａをパターニングして島状の半導体膜５２０ｂとし、その表面に対して、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜５２１ａを形成する。なお、半導体膜５２０ｂは、図８（Ａ）に示したカレント薄膜トランジスタ５１０のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トランジスタ５０９のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されている。つまり、製造工程では二種類のトランジスタ５０９、５１０が同時に作られるのであるが、同じ手順で作られるため、以下の説明ではトランジスタに関しては、カレント薄膜トランジスタ５１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ５０９についてはその説明を省略する。
【００５２】
次に、図９（Ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形成した後、これをパターニングし、ゲート電極５１０ｇを形成する。次に、この状態で高濃度のリンイオンを打ち込み、半導体膜５２０ｂに、ゲート電極５１０ｇに対して自己整合的にソース・ドレイン領域５１０ａ、５１０ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域５１０ｃとなる。
【００５３】
次に、図９（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜５２２を形成した後、コンタクトホール５２３、５２４を形成し、これらコンタクトホール５２３、５２４内に中継電極５２６、５２７を埋め込む。次に、層間絶縁膜５２２上に信号線、共通給電線及び走査線（図示せず）を形成する。ここで、中継電極５２７と各配線とは、同一工程で形成してもよく、その場合、中継電極５２６は、後述するＩＴＯ膜で形成されることになる。
【００５４】
次に、図９（Ｅ）に示すように、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜５３０を形成した後、層間絶縁膜５３０に対して中継電極５２６に対応する位置にコンタクトホール５３２を形成する。次に、コンタクトホール５３２を埋めるようにＩＴＯ膜を形成し、さらにそのＩＴＯ膜をパターニングして、信号線、共通給電線及び走査線に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域５１０ａに電気的に接続する画素電極５１１を形成する。ここで、信号線及び共通給電線、さらには走査線に挟まれた部分が、後述する正孔注入層や発光層の形成場所となる。
【００５５】
次に、図９（Ｆ）に示すように、正孔注入層や発光層の形成場所を囲むように隔壁５０５を形成する。この隔壁５０５は、仕切部材として機能するものであり、例えばポリイミド等の絶縁性有機材料で形成するのが好ましい。隔壁５０５の膜厚については、例えば１〜２μｍの高さとなるように形成する。また、隔壁５０５は、上述した液滴吐出ヘッド２２から吐出される液状物に対して撥液性を示すものが好ましい。隔壁５０５に撥液性を発現させるためには、例えば隔壁５０５の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物としては、例えばＣＦ４、ＳＦ５、ＣＨＦ３などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理などが挙げられる。このようにして、正孔注入層や発光層の形成場所、すなわち、これらの形成材料の塗布位置とその周囲の隔壁５０５との間には、十分な高さの段差５３５が形成される。
【００５６】
次に、図９（Ｇ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、正孔注入層の形成材料５４０ａを、上述した液滴吐出装置１０の液滴吐出ヘッド２２と同様な液滴吐出ヘッドより、前記隔壁５０５に囲まれた塗布位置、すなわち隔壁５０５内に選択的に塗布する。その際、形成材料５４０ａは、流動性が高いため水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲んで隔壁５０５が形成されているので、形成材料５４０ａは隔壁５０５を越えてその外側に広がることがない。ここで、正孔注入層の形成材料５４０ａとしては、ポリオレフィン誘導体である３，４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を正孔注入材料として用い、これを有機溶剤を主溶媒として分散させてなる分散液が好適に用いられる。但し、正孔注入材料としては、前記のものに限定されることなく、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ、Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等を用いることもできる。
【００５７】
このようにして形成材料５４０ａを液滴吐出ヘッド２２から吐出して所定位置に配置した後、液状の形成材料５４０ａに対して乾燥処理を行い、形成材料５４０ａ中の分散媒を蒸発させる。その結果、図９（Ｈ）に示すように、画素電極５１１上に固形の正孔注入層５１３ａが形成される。
【００５８】
次に、図９（Ｉ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、上述した液滴吐出装置１０の第２系列Ｂの液滴吐出ヘッド２２より、ゲスト材料吐出用の液状物ＭＡを前記隔壁５０５内の正孔注入層５１３ａ上に液滴ＭＡ０として選択的に吐出する。
【００５９】
次に、図９（Ｊ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、上述した液滴吐出装置１０の第１系列Ａの液滴吐出ヘッド２２より、ホスト材料吐出用の液状物ＭＢを前記隔壁５０５内の正孔注入層５１３ａ上に液滴ＭＢ０として選択的に吐出する。その際、第１系列Ａの液状物ＭＡ、および第２系列Ｂの液状物ＭＢの吐出量は、概ね、１：４の重量割合である。
【００６０】
このようにして赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）に各々について、ゲスト材料吐出用の液状物ＭＡの液滴ＭＡ０とホスト材料吐出用の液状物ＭＢの液滴ＭＢ０とを透明基板５０２上の同一箇所にドット状に吐出して、液滴ＭＡ０、ＭＢ０を透明基板５０２上で混合させた後、乾燥処理を行い、液状物ＭＡ、ＭＢに配合されていた有機溶剤を蒸発、乾燥させる。その結果、図９（Ｋ）に示すように、正孔層注入層５１３ａ上に固形の発光層５１３ｂ（画素構成要素）がドット状に形成される。
【００６１】
なお、液状物ＭＡ、ＭＢの乾燥処理については、それに配合したゲスト材料やホスト材料のガラス転移点未満の温度、例えば１００°未満の温度で加熱することにより、乾燥するのが好ましい。このような温度で乾燥することにより、有機溶剤の蒸発速度を比較的低く抑え、発光層５１３ｂを均一な厚さに形成することができる。また、発光層５１３ｂを形成するの乾燥処理によって生じる熱的ダメージが、発光層５１３ｂだけでなく正孔注入層５１３ａに対しても小さくなり、初期輝度の低下などによる表示性能の低下が抑制される。
【００６２】
次に、図８（Ｂ）に示すように透明基板５０２の表面全体に、あるいはストライプ状に、ＬｉＦ／Ａｌ（ＬｉＦとＡｌとの積層膜）やＭｇＡｇ、あるいはＬｉＦ／Ｃａ／Ａｌ（ＬｉＦとＣａとＡｌとの積層膜）を蒸着法等によって成膜し、対向電極５１２を形成する。その後、封止を行った後、さらに配線等の各種要素を形成することにより、有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置５００（電気光学装置）を製造する。
【００６３】
（その他の適用例）
上記形態では、本発明を有機ＥＬ表示装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタ（画素構成要素）の形成などに本発明を適用してもよい。また、インクジェットプリンタと称せられる液滴吐出装置に本発明を適用してもよい。
【００６４】
また、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などは一例に過ぎず、適宜変更が可能である。従って、ＥＬ表示装置や液晶装置の他、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ及びＳｕｒｆａｃｅ‐Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ‐Ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ等）などの各種電気光学装置の製造に本発明を適用してもよい。また、本発明を適用した電気光学装置については、携帯電話機、パーソナルコンピュータやＰＤＡなど、様々な電子機器において表示装置として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はそれぞれ、液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図、撓み振動モードの圧力発生素子の説明図、および縦振動モードの圧力発生素子の説明図である。
【図４】図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの制御系、駆動系の構成を示す説明図である。
【図５】図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドのヘッド駆動部の電気的構成を示す説明図である。
【図６】図５に示すヘッド駆動部を構成する素子の説明図である。
【図７】図１に示す液滴吐出装置に用いた駆動信号の波形図である。
【図８】（Ａ）、（Ｂ）は、電気光学物質として電荷注入型の有機薄膜を用いたＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置のブロック図、およびその画素の構成を示す断面図である。
【図９】有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０  液滴吐出装置、１２  基板（媒体）、２２  液滴吐出ヘッド、２７  ノズル開口、３３  圧力発生室、３７  液状物貯留部、３９  圧力発生素子、ＣＯＭ  駆動信号、Ｍ、ＭＡ、ＭＢ  液状物、Ｍ０、ＭＡ０，ＭＢ０  液滴、Ａ  第１系列、Ｂ  第２系列
【図１】
2006212502.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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