(57)【要約】【課題】  電気光学装置製造用の基板装置において、不具合検出に係る検査を簡易に実行する。【解決手段】  電気光学装置用基板の基板面上における各形成領域に、ハイブリッド型の電気光学装置の一部となる基板装置（１００）が形成される。各形成領域外の領域（２００）には、基板装置の検査用の検査信号が供給される検査用配線（５０１）が、画像信号端子（２ａ）の２個以上を電気的に共通に接続するように形成されている。電気光学装置用基板は、該基板装置を分離するために、基板装置が形成される各形成領域の基板面上における境界（５００）に沿って分割される。【選択図】      図５
2006091239.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板面に、画像表示領域を有する電気光学装置の少なくとも一部となる基板装置が形成され、該基板装置を分離するために、前記基板装置が形成される各形成領域の前記基板面上における境界に沿って分割される電気光学装置用基板であって、
前記各形成領域内には、
前記画像表示領域に、ｎ本（但し、ｎは２以上の自然数）のデータ線を夫々含んでなるデータ線群を複数備えると共に、前記画像表示領域の周辺に位置する周辺領域に、前記複数のデータ線群の夫々に対応して形成され、ｎ種類の画像信号が時間軸上でマルチプレクスされてなる前記データ線群別のマルチプレクス信号が夫々供給される複数の画像信号端子と、該複数の画像信号端子から入力される前記マルチプレクス信号を選択信号に応じてデマルチプレクスすることで前記ｎ種類の画像信号を生成して前記ｎ本のデータ線に夫々出力するデマルチプレクサと、前記選択信号を含む駆動信号が供給される駆動信号端子とを備えるように前記基板装置が形成されており、
前記基板面上における前記各形成領域外の領域には、
前記基板装置の検査用の検査信号が供給される検査用配線が、前記画像信号端子の２個以上を電気的に共通に接続するように形成されている
ことを特徴とする電気光学装置用基板。
【請求項２】
前記周辺領域に、前記検査用配線と電気的に接続され、前記検査信号が供給される検査用共通端子が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置用基板。
【請求項３】
前記形成領域外の領域に、前記検査用配線と電気的に接続され、前記検査信号が供給される検査用共通端子が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置用基板。
【請求項４】
前記検査用共通端子は、前記画像信号端子より前記基板面上におけるサイズが大きいことを特徴とする請求項２又は３に記載の電気光学装置用基板。
【請求項５】
前記形成領域外の領域に、前記検査用配線と１ＭΩ以上の高抵抗配線を介して電気的に接続されたガードリングが形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板。
【請求項６】
前記駆動信号端子は、１ＭΩ以上の高抵抗配線を介して前記検査用配線と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板。
【請求項７】
前記複数の画像信号端子は、複数のグループに分けられており、前記検査用配線は、前記グループ毎に前記画像信号端子を電気的に共通に接続するように複数系列からなることを特徴とすることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板。
【請求項８】
前記検査用配線は、前記複数の画像用端子のうち偶数番目に位置する端子からなるグループと奇数番目に位置する端子からなるグループとの夫々と電気的に接続される２系列からなることを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置用基板。
【請求項９】
前記基板装置は、前記基板面上に複数配列されており、前記検査用配線は、該複数配列された基板装置における前記画像信号端子を電気的に共通に接続することを特徴とする請求項１から８に記載の電気光学装置用基板。
【請求項１０】
前記各形成領域には、
前記画像表示領域に更に、前記データ線と交差する複数の走査線と、前記データ線と前記走査線の交点に対応して夫々設けられた複数の画素部と備えると共に、前記周辺領域に更に、前記複数の走査線に走査信号を夫々出力する走査前駆動回路を備えるように、前記基板装置が形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板を、前記各形成領域の境界に沿って分割して得られる前記基板装置と、
前記ｎ種類の画像信号を時間軸上でマルチプレクスすることで前記マルチプレクス信号を生成して前記複数の画像信号端子に供給する画像信号供給手段と、
前記駆動信号を前記駆動信号端子に供給する駆動信号供給手段と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
基板面に、画像表示領域を有する電気光学装置の少なくとも一部となる基板装置が形成され、該基板装置を分離するために、前記基板装置が形成される各形成領域の前記基板面上における境界に沿って分割される電気光学装置用基板であって、
前記各形成領域内には、
前記画像表示領域に、ｎ本（但し、ｎは２以上の自然数）のデータ線を夫々含んでなるデータ線群を複数備えると共に、前記画像表示領域の周辺に位置する周辺領域に、前記複数のデータ線群の夫々に対応して形成され、ｎ種類の画像信号が時間軸上でマルチプレクスされてなる前記データ線群別のマルチプレクス信号が夫々供給される複数の画像信号端子と、該複数の画像信号端子から入力される前記マルチプレクス信号を選択信号に応じてデマルチプレクスすることで前記ｎ種類の画像信号を生成して前記ｎ本のデータ線に夫々出力するデマルチプレクサと、前記選択信号を含む駆動信号が供給される駆動信号端子とを備えるように前記基板装置が形成されており、
前記基板面上における前記各形成領域外の領域には、
前記基板装置の検査用の検査信号が供給される検査用配線が、前記画像信号端子の２個以上を電気的に共通に接続するように形成されている電気光学装置用基板
に適用される、前記基板装置を検査する検査方法であって、
前記検査用配線を利用して前記検査信号を前記画像信号端子の夫々に供給し、前記基板装置を駆動させる駆動ステップと、
前記基板装置の駆動状況に基づいて検査する検査ステップと
を含むことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置の製造に用いられる電気光学装置用基板、及び該電気光学装置用基板を用いて製造される電気光学装置の技術分野に関する。本発明は更に、このような電気光学装置の検査に適用される検査方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置は、画像表示を行う電気光学パネルとその駆動回路によって構成される。駆動回路は、電気光学パネルが構築された基板上に内蔵又は後付けされる。
【０００３】
電気光学装置（駆動回路内蔵型の場合では駆動回路も含む）は、一般に、製造途中、製造完了時、出荷時、使用後の点検時や故障時等に、不具合を検出するための検査を行うことがある。例えば、電気光学装置を、その駆動回路が取り付けられる以前の、未完成段階或いは電気光学パネルの段階で、駆動させて検査画像を表示させ、検査画像の適否に基づいて検査がなされる。或いは、電気光学装置に検査回路を組み込んでおき、検査用に駆動させた際に検査回路内の信号をモニタリングして検査がなされる（特許文献１を参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−２６０３９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えばハイブリッド型と呼ばれるマルチプレクス方式を採用した電気光学装置などにおいては、近年の高精細化等に伴って、こうした検査が困難化している。
【０００６】
より具体的には、この種のハイブリッド型の電気光学装置では、電気光学パネル内の多数のデータ線に対する多数の画像信号が外付けの駆動回路から供給される。そして、電気光学装置は、以下のようなマルチプレクス方式で駆動される。即ち、電気光学パネルには絵素単位の画像信号が入力され、入力された画像信号は、デマルチプレクサによってＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の各成分に時分割されて、１絵素を構成する３画素に対応した３本のデータ線に夫々入力される。
【０００７】
この場合、画像信号が外部入力される画像信号端子の数は、少なくともデータ線の本数（即ち、水平方向の画素数）の３分の１は必要である。即ち、ハイブリッド型の電気光学パネルにおける画像信号端子の数は通常、数百個にもなる。
【０００８】
これは、所謂シリアル−パラレル展開（即ち、相展開）により駆動される場合に比べると、画像信号端子が格段に多い計算になる。シリアル−パラレル展開では、Ｌ本（例えば、６本、１２本、２４本など）の画像信号線から供給される画像信号によってデータ線をＬ本毎に同時駆動させるため、画像信号端子もＬ個、つまり高々数個或いは数十個で済むのである。
【０００９】
このようにハイブリッド型の電気光学装置では、画像信号端子が比較的多く、また画像信号端子同士の間隔も比較的狭くなっている。そのため、前述の検査を、画像信号端子にプローブを接触させて行うにあたって、プローブに高い位置精度が要求されるという技術的問題点がある。その結果、検査が困難化して製造効率が低下したり、検査コストの上昇等を招いたりするおそれがある。
【００１０】
本発明は、例えば上記問題点に鑑みなされたものであり、不具合検出に係る検査を簡易に実行可能な電気光学装置用基板及び電気光学装置、並びに、そのような電気光学装置用基板に適用される簡易な検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の電気光学装置用基板は、上記課題を解決するために、基板面に、画像表示領域を有する電気光学装置の少なくとも一部となる基板装置が形成され、該基板装置を分離するために、前記基板装置が形成される各形成領域の前記基板面上における境界に沿って分割される電気光学装置用基板であって、前記各形成領域内には、前記画像表示領域に、ｎ本（但し、ｎは２以上の自然数）のデータ線を夫々含んでなるデータ線群を複数備えると共に、前記画像表示領域の周辺に位置する周辺領域に、前記複数のデータ線群の夫々に対応して形成され、ｎ種類の画像信号が時間軸上でマルチプレクスされてなる前記データ線群別のマルチプレクス信号が夫々供給される複数の画像信号端子と、該複数の画像信号端子から入力される前記マルチプレクス信号を選択信号に応じてデマルチプレクスすることで前記ｎ種類の画像信号を生成して前記ｎ本のデータ線に夫々出力するデマルチプレクサと、前記選択信号を含む駆動信号が供給される駆動信号端子とを備えるように前記基板装置が形成されており、前記基板面上における前記各形成領域外の領域には、前記基板装置の検査用の検査信号が供給される検査用配線が、前記画像信号端子の２個以上を電気的に共通に接続するように形成されている。
【００１２】
本発明の電気光学装置用基板によれば、その各形成領域には、ハイブリッド型のマルチプレクス方式を採用した電気光学装置用の基板装置が形成される。即ち、基板装置には、画像表示領域の周辺に、データ線群の夫々に対応して形成された複数の画像信号端子、画像信号端子から供給される信号をデマルチプレクスしてデータ線に出力するデマルチプレクサ、及び、デマルチプレクサに供給すべき選択信号を含む駆動信号を供給するための一又は複数の駆動信号端子が形成されている。因みに、デマルチプレクサは、基板装置から製造される電気光学パネルないし電気光学装置において、ｎ種類の画像信号が時間軸上で多重化（即ち、マルチプレクス）されてなるマルチプレクス信号を、時分割（即ち、デマルチプレクス）してｎ種類（通常、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）の３種類）の画像信号に分け、夫々をｎ本のデータ線に出力する機能を有する回路要素である。マルチプレクス信号は、デマルチプレクサに対し、ｎ種類の画像信号をマルチプレクスしてマルチプレクス信号を生成して出力する外部回路から供給される。
【００１３】
尚、本発明における「基板装置」とは、狭義には、電気光学パネルに対して駆動回路の少なくとも一部が内蔵又は外付けされたものを意味しており、広義には、駆動回路を除いた製造途中又は完成後の電気光学パネルそのものを意味している。このような基板装置は、例えば、マザー基板たる電気光学装置用基板上の画像表示領域内に画素回路等が形成されただけの片基板の状態であってもよいし、その上に対向基板が貼り合わせられた状態であってもよい。本発明では、このような狭義及び広義によらずに、検査信号の供給による何らかの検査が可能である段階にある限り、いずれも基板装置とみなされる。
【００１４】
このような基板装置は、典型的には、所謂マザー基板である比較的大型の電気光学装置用基板上に多数形成され、電気光学装置用基板をその形成領域毎に分割することで製造される。例えば、石英ガラス等からなる電気光学装置用基板に対し、まず、形成領域の境界に沿って切れ込みを入れる（スクライブ）。次いで、その際形成された切れ込みに刃先を押し当てて応力を加えることで基板を割断させる。即ち、ここでいう「形成領域」とは、基板装置の構成要素が形成される領域というよりは、基板装置ないし電気光学パネルとして基板から分離ないし分割されるべき領域を意味している。上記例では、基板のうち、スクライブ位置を境界とする基板装置側の領域を指す。或いは、このような基板装置は、一枚の基板上に一つずつ形成されてもよい。
【００１５】
また本発明における「各形成領域以外の領域」とは、一つの基板装置に係る形成領域外である意味であり、その領域は、同一基板上における他の基板装置に係る形成領域内であってもよいし、又はいずれの基板装置も形成されない領域、例えばマザー基板における周辺領域などであってもよい。
【００１６】
本発明の電気光学装置用基板では、その際のスクライブ代（しろ）に相当する領域に、画像信号端子のうちの２個以上を電気的に共通に接続する検査用配線が形成される。或いは、一の基板装置に対して、これに隣接する基板装置に係る形成領域内に検査用配線が形成される。後者の場合には、スクライブ代（しろ）は無くてもよい。何れの場合にも、検査用配線は、例えば、画像信号端子の配列方向に延在し、形成領域の境界を跨いで形成される配線によって各画信号像端子に接続される。
【００１７】
このため、基板装置の検査に際し、従来は夫々の画像信号端子にプローブを接触させて行っていた検査信号の供給を、ここでは、検査用配線から一括して行うことができる。このような検査用配線は、例えば一本だけ形成されてもよく、その場合に全ての画像信号端子が共通に接続されてもよい。或いは、多数の画像用端子をいくつかのグループに分け、グループ毎に接続されるように複数本形成されてもよい。
【００１８】
従って、本発明においては、検査時にプローブに要求される位置精度を引き下げることができ、検査コストの上昇が抑えることが可能であると共に、簡便かつ正確に検査を行うことが可能となる。前述したように、この電気光学装置用基板に形成されるハイブリッド型の基板装置には、画像信号端子が比較的多い。そのため、こうした利点は、製造効率上、他の型とは比較にならない程有効である。
【００１９】
また、検査用配線がスクライブ代側に形成されているために、こうした検査は、電気光学装置用基板を分割する前段階で行われる。検査用配線は、検査後には基板装置から分断されるため検査時にのみ機能し、その後の基板装置ないし電気光学パネルに影響を与えることはない。また、基板装置側に配線用のスペースを確保したり、レイアウトを変更したりする必要がないという利点もある。また、一の基板装置に対して、これに隣接する基板装置に係る形成領域内に検査用配線を形成した場合にも、同様にして、検査用配線は検査後には一の基板装置から分断される。この場合には、各基板装置における画像信号端子が配列された側の辺に対向する辺など、基板面上における空きスペースを利用して、検査用配線を配線するとよい。
【００２０】
因みに、ここで基板装置に対して行う検査は、検査信号に基づいて検査画像を表示させ、検査画像の適否によって行うようにしてもよい。或いは、基板面上に基板装置に接続される検査回路を形成しておくなどして、検査信号に基づいて駆動させた際の基板装置内ないし検査回路内の所定部位の信号をモニタリングして行うようにしてもよい。通常、検査用回路は基板装置に内蔵されるため、前者では、基板装置内にそのためのスペースを確保したり、レイアウトを変更したりする必要がないという利点があるといえる。
【００２１】
本発明の電気光学装置用基板の一態様では、前記周辺領域に、前記検査用配線と電気的に接続され、前記検査信号が供給される検査用共通端子が形成されている。
【００２２】
この態様によれば、検査用配線に検査用共通端子が電気的に接続されている。そのため、検査時には、プローブを検査用共通端子に接触させることで、安定かつ確実に検査信号を供給することができる。
【００２３】
この検査用共通端子は、周辺領域に、例えば画像信号端子と並列するように形成されている。そのため、電気光学パネルが分割され、画像信号端子と検査用配線との電気的接続が断たれる際には、検査用共通端子と検査用配線との電気的接続も同様に断たれることになり、都合がよい。尚、検査用共通端子は、検査時以降は使用できなくとも構わないことから、形成位置に特段こだわる必要はなく、空きスペースを利用して形成されればよい。
【００２４】
本発明の電気光学装置用基板の他の態様では、前記形成領域外の領域に、前記検査用配線と電気的に接続され、前記検査信号が供給される検査用共通端子が形成されている。
【００２５】
この態様によれば、検査用配線に検査用共通端子が電気的に接続されているため、検査時には、プローブを検査用共通端子に接触させることで、安定かつ確実に検査信号を供給可能である。
【００２６】
この検査用共通端子は、検査用配線と同様、電気光学パネルの形成領域外、即ちスクライブ代側に形成されている。そのため、電気光学パネルが分割される際には、検査用配線と共にこの検査用共通端子も画像信号端子との電気的接続が断たれることになり、都合がよい。
【００２７】
特に、本態様では、検査用共通端子のためのスペースを基板装置の形成領域に求めずに済み、検査用共通端子を全く考慮せずに基板装置のレイアウト設計ができるという利点がある。例えば、マザー基板において、最終的に切り落とされてしまう周辺部の領域に検査用共通端子を設ければ、基板面上のスペースの有効利用を図れる。更に、一枚のマザー基板上に、マトリクス状に複数の基板装置を形成した場合に、これらに共通で接続された検査用配線を介して、このような検査用共通端子を設ければ、より一層のスペースの有効利用を図れる。
【００２８】
これら検査用共通端子が形成される態様においては、前記検査用共通端子は、前記画像信号端子より前記基板面上におけるサイズが大きくともよい。
【００２９】
この場合、検査用共通端子が、例えば画像用端子を共通化した分だけ大きく形成されることで、プローブに要求される位置精度は更に低減される。よって、一層安定かつ確実に検査用画像信号を供給することができる。
【００３０】
本発明の電気光学装置用基板の他の態様では、前記形成領域外の領域に、前記検査用配線と１ＭΩ以上の高抵抗配線を介して電気的に接続されたガードリングが形成されている。
【００３１】
この態様によれば、検査用配線がガードリングと、例えば検査用共通端子を介して又は直接に電気的に接続されることで、検査用配線によって共通に接続された画像用端子は全て、ガードリングと電気的に接続される。ここでいうガードリングとは、基板装置製造中に、電気光学装置用基板上に形成されたトランジスタ等の素子が電界集中等により静電破壊されるのを防止するために設けられる、配線ないし部材を指している。これにより、電気光学装置用基板を分割する前段階までの各工程にて生じる静電気による、画像用端子と電気的に接続されたトランジスタの静電破壊を、効率よく防止可能となる。
【００３２】
尚、このガードリングも、検査用配線と同様にスクライブ代側に形成されていてもよいが、検査用配線と画像用端子との電気的接続が断たれれば、例えば検査用共通端子と画像用端子との電気的接続も断たれることになるので、基板装置側、具体的にはその周辺領域に形成されていてもよい。
【００３３】
本発明の電気光学装置用基板の他の態様では、前記駆動信号端子は、１ＭΩ以上の高抵抗配線を介して前記検査用配線と電気的に接続されている。
【００３４】
この態様によれば、駆動用端子が高抵抗配線を介して電気的に接続されることで、検査用配線がガードリングとしても機能する。よって、電気光学装置用基板を分割する前段階までの各工程にて生じる静電気による、駆動用端子と電気的に接続されたトランジスタの静電破壊を、効率よく防止可能となる。
【００３５】
本発明の電気光学装置用基板の他の態様では、前記複数の画像信号端子は、複数のグループに分けられており、前記検査用配線は、前記グループ毎に前記画像信号端子を電気的に共通に接続するように複数系列からなる。
【００３６】
この態様によれば、画像用端子のグループに対応して検査用配線が複数系列となることで、夫々に供給される検査用画像信号に応じて表示される検査画像のパターンの自由度を拡げることが可能となる。
【００３７】
この検査用配線が複数系列となる態様では、前記検査用配線は、前記複数の画像用端子のうち偶数番目に位置する端子からなるグループと奇数番目に位置する端子からなるグループとの夫々と電気的に接続される２系列からなるようにしてもよい。
【００３８】
この場合、画像用端子に転送できる画像信号が２系列になることで、表示パターンの幅が２倍になる。例えば、系列毎に白表示と黒表示とを行うようにすれば、ストライプ状のパターンを表示することができる。このようなパターンが表示できる一方で、系列数が大きいと、配線構造や検査信号パターンが複雑化するが、２系列だと、そうした弊害は殆ど生じない。
【００３９】
本発明の電気光学装置用基板の他の態様では、前記基板装置は、前記基板面上に複数配列されており、前記検査用配線は、該複数配列された基板装置における前記画像信号端子を電気的に共通に接続する
この態様によれば、検査用配線は、一つの基板装置に留まらず、同一の電気光学装置用基板に形成された複数の基板装置に対して電気的に接続される。そのため、同時に複数の基板装置に対して同様の検査を行うことができ、製造効率を高めることが可能となる。勿論、複数の基板装置は別個のチップとして夫々物理的に分割されるので、検査用配線による共通の電気的接続も断たれることになり、特に問題はない。
【００４０】
本発明の電気光学装置用基板の他の態様では、前記各形成領域には、前記画像表示領域に更に、前記データ線と交差する複数の走査線と、前記データ線と前記走査線の交点に対応して夫々設けられた複数の画素部と備えると共に、前記周辺領域に更に、前記複数の走査線に走査信号を夫々出力する走査前駆動回路を備えるように、前記基板装置が形成されている。
【００４１】
この態様によれば、基板装置は、その検査時や駆動時に、基板装置に内蔵又は外付けされた走査線駆動回路によって、走査信号が、走査線を介して各画素部に供給される。これと並行して、検査装置又はデータ線駆動回路によって、検査信号又は画像信号が画像信号端子を介して供給されることで、画像信号が各画素部に供給される。これらにより、マルチプレクス方式によるアクティブマトリクス駆動が、検査時又は駆動時に実行可能となる。
【００４２】
本発明の電気光学装置は、上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置用基板（但し、その各種態様を含む）を、前記各形成領域の前記基板面上における境界に沿って分割して得られる前記電気光学装置と、前記ｎ種類の画像信号を時間軸上でマルチプレクスすることで前記マルチプレクス信号を生成して前記複数の画像信号端子に供給する画像信号供給手段と、前記駆動信号を前記駆動信号端子に供給する駆動信号供給手段とを備える。
【００４３】
本発明の電気光学装置によれば、上述した本発明の電気光学装置用基板から分割された基板装置に駆動回路を外付けして製造される。即ち、本発明の電気光学装置用基板と駆動回路とを組み合わせて用いる、ハイブリッド形の電気光学装置として製造されることから、駆動回路を外付けする前段階に、簡便かつ確実に動作検査を行うことが可能である。
【００４４】
このような電気光学装置としては、例えば、液晶装置、有機ＥＬ装置、電子ペーパ等の電気泳動装置、電子放出素子を利用した表示装置（Field Emission Display及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display）等の各種装置が挙げられる。また、このような電気光学装置は、例えば、投射型表示装置、テレビジョン受像機、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネル、更には露光用ヘッドとして用いたプリンタ、コピー、ファクシミリ等の画像形成装置などの、各種の電子機器に適用可能である。
【００４５】
本発明の検査方法は、上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置用基板に適用される、前記基板装置を検査する検査方法であって、前記検査用配線を利用して前記検査信号を前記画像信号端子の夫々に供給し、前記基板装置を駆動させる駆動ステップと、前記基板装置を駆動状況に基づいて検査する検査ステップとを含む。
【００４６】
本発明の検査方法によれば、先ず、駆動ステップにおいて、本発明の電気光学装置用基板上における、検査対象の基板装置を駆動させる。即ち、従来は夫々の画像信号端子にプローブを接触させて行っていた検査信号の供給を、ここでは、検査用配線から一括して行う。
【００４７】
このように検査用配線を利用することで、検査用のプローブに要求される位置精度を引き下げることができ、簡便かつ正確に、画像信号端子に検査信号を供給することが可能である。
【００４８】
次の検査ステップにおいては、例えば検査画像やモニタされた信号波形等に反映される駆動状況に基づいて、基板装置における不具合が検査される。
【００４９】
従って、本発明の検査方法では、基板上に形成された基板装置がハイブリッド型である場合でも、プローブに要求される位置精度がそれほど高くなくて済むために検査コストの上昇を抑えることが可能であると共に、簡便かつ正確な検査を実行することが可能である。
【００５０】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５１】
以下では、本発明の実施の形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
【００５２】
＜１：第１実施形態＞
本発明の第１実施形態について、図１から図６を参照して説明する。
【００５３】
＜１−１：電気光学装置＞
本実施形態に係る電気光学装置は、ハイブリッド型であり、電気光学パネルとパネルに後付けされる駆動回路とによって構成される。このような電気光学パネルは、本発明における広義の「基板装置」の一例であり、以下の実施形態では、製造途中の基板装置を電気光学パネル、完成体を電気光学装置として区別する。
【００５４】
まず、この電気光学装置の構成について、図１から図３を参照して説明する。図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学パネルの平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。図３は、本実施形態に係る電気光学装置の構成を表している。
【００５５】
図１及び図２において、電気光学パネル１００では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間には液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、共に石英やガラス等からなり、画像表示領域１０ａの周縁のシール領域に設けられたシール材５２により、相互に接着されている。
【００５６】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材５２により封止された基板内部には、例えば、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（即ち、基板間ギャップ）を一定化するためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
【００５７】
この基板内部の中央に、画像が表示される画像表示領域１０ａが設けられている。その周辺においては、画像表示領域１０ａの両側縁に沿って二つの走査線駆動回路１０４が設けられ、下縁に沿ってデマルチプレクサ８４が設けられている。
【００５８】
更に、シール領域の外側には、外部回路接続端子２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。外部回路接続端子２は夫々、シール領域内より引き出された配線と接続されている。ここで、外部回路接続端子２には、画像信号供給用の画像信号端子２ａと選択信号供給用の選択信号端子２ｂ（共に後述する）とが含まれている。
【００５９】
また、対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。
【００６０】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用ＴＦＴや各種配線等の上に画素電極９ａが、更にその上から配向膜が形成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２１が、更にその上から配向膜が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
【００６１】
尚、ＴＦＴアレイ基板１０上には、走査線駆動回路１０４及びデマルチプレクサ８４に加え、例えば、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学パネル１００の品質、欠陥等を検査するための検査回路等が形成されていてもよい。
【００６２】
図３において、電気光学パネル１００の画像表示領域１０ａでは、複数の走査線Ｙ１〜Ｙｍ及び複数のデータ線Ｘ１〜Ｘｋが相交差して配列しており、その交差領域に対応するように、走査線Ｙ１〜Ｙｍ、データ線Ｘ１〜Ｘｋの各一により選択される画素電極９ａが設けられている。尚、図示はしないが、画像表示領域１０ａには、アクティブマトリクス駆動用の画素スイッチング素子や蓄積容量なども、各画素電極９ａに対応して形成されている。走査線Ｙ１〜Ｙｍは、走査線駆動回路１０４に接続されており、走査線駆動回路１０４より走査信号ＳＣ１、ＳＣ２、…、ＳＣｍが例えば線順次に印加される。
【００６３】
電気光学パネル１００には、データ線駆動回路８１が複数の画像信号端子２ａによって電気的に接続されている。ここで、データ線駆動回路８１は、画像信号端子２ａ(1)、２ａ(2)、…２ａ(n)の夫々に対してマルチプレクス信号ＶＤ１、ＶＤ２、…ＶＤｎを供給するように構成されている。マルチプレクス信号ＶＤ１、ＶＤ２、…ＶＤｎは、１絵素を構成するＲ，Ｇ及びＢの３種類の画像信号が時間軸上でマルチプレクスされてなる。
【００６４】
マルチプレクサ８４は、データ線Ｘ１〜Ｘｋの夫々に対応したスイッチング素子８５を備える。各スイッチング素子８５は、Ｎ型のＦＥＴで構成され、ドレインが対応する画像信号線と接続され、ソースがデータ線Ｘ１〜Ｘｋと接続されている。ここでは、データ線Ｘ１〜Ｘｋは３本１組となっており、スイッチング素子８５は、この組毎に（即ち、３個ずつ）、画像信号線Ｚ１、Ｚ２、…、Ｚｎの夫々に接続されている。そして、スイッチング素子８５の各組には、夫々選択信号SEL1、SEL2、及びSEL3がゲート入力されるように構成されている。
【００６５】
選択信号SEL1、SEL2、及びSEL3は、選択信号端子２ｂから外部入力される。これら選択信号SEL1、SEL2、及びSEL3の各波形は、スイッチング素子８５を各組毎に時分割駆動するように設定されている。
【００６６】
即ち、このように構成されたマルチプレクサ８４は、複数の画像信号端子２ａから入力されるマルチプレクス信号を選択信号EL1、SEL2及びSEL3に応じてデマルチプレクスし、該デマルチプレクスにより得られた３種類の画像信号を３本のデータ線に夫々出力する機能を有している。
【００６７】
このような電気光学パネル１００は、ハイブリッド型の特徴として、画像信号端子２ａが比較的多く形成される。画像信号端子２ａの数は、少なくともデータ線Ｘ１〜Ｘｋの本数（即ち、水平方向の画素数）の３分の１は必要であるから、実際には数百個にもなる。これは、所謂シリアル−パラレル展開（即ち、相展開）により駆動される電気光学装置の画像信号端子が数個或いは数十個で済むこととは対照的である。更に、画像信号端子２ａは、数が多いために、端子間の間隔も比較的狭くならざるを得ない。
【００６８】
＜１−２：電気光学装置用基板＞
次に、本実施形態に係る電気光学装置用基板について、図４及び図５を参照して説明する。図４は、本実施形態に係る電気光学装置用基板の概略構成を表し、図５は、そのうちの主要部分を拡大表示している。
【００６９】
図４において、マザー基板たる電気光学装置用基板１０００は、その基板面上に複数の電気光学パネルの形成領域が規定されており、各形成領域内に、上述した電気光学パネル１００が形成されている。即ち、電気光学装置用基板１０００は、電気光学パネル１００におけるＴＦＴアレイ基板１０に相当している。
【００７０】
これらの電気光学パネル１００は、電気光学装置用基板１０００をスクライブ線５００に沿って分割することで列毎にバーに加工され、更に個々に分割される。電気光学装置用基板１０００における電気光学パネル１００の列間には、図中斜線で示されたスクライブ代２００が設けられている。スクライブ代２００は、電気光学装置用基板１０００が割断される際に生じる寸法誤差を吸収する等の目的で、スクライブ線５００を境界として電気光学パネル１００の外側に設けられており、バーに分割する際にはスクライブ線５００で電気光学パネル１００から分断される。
【００７１】
電気光学装置用基板１０００では、これらスクライブ代２００に、画像信号端子２ａを共通接続する検査用配線５０１（ここでは図示せず）が形成されている。
【００７２】
図５において、電気光学パネル１００の周縁近傍には、外部回路接続端子２が複数配列されている。外部回路接続端子２には、画像信号端子２ａと選択信号端子２ｂの他にも、電源用端子や走査線駆動回路のタイミング制御信号等の信号供給用端子などの、外部回路から信号供給を受ける端子が含まれている。そこで、画像信号端子２ａ以外の外部回路接続端子２を、以下では駆動信号端子２ｃと総称する。
【００７３】
画像信号端子２ａのいくつか或いは全ては、スクライブ線５００を跨ぐ配線によって、スクライブ代２００内の検査用配線５０１に共通に接続されている。即ち、画像信号端子２ａは、必ずしも全て検査用配線５０１と接続されずともよいし、いくつかのグループに分割されてグループ毎に別の検査用配線５０１に接続されていてもよい。
【００７４】
検査用配線５０１は、終端が検査用共通端子５１１に接続されている。検査用共通端子５１１は、外部回路接続端子２の脇の空きスペースに適宜に形成されている。ここでは、検査用共通端子５１１は、外部回路接続端子２よりも大きく形成されている。
【００７５】
尚、これら検査用配線５０１及び検査用共通端子５１１は、外部回路接続端子２や画像信号線等と同一膜として形成されてもよい。その場合は、形成工程数を増加させずに済む。また、電気光学パネル１００側に配線用のスペースを確保したり、レイアウトを変更したりする必要がないという利点もある。これら検査用配線５０１及び検査用共通端子５１１の作用及び効果については、後述する。
【００７６】
＜１−３：電気光学パネルの検査方法＞
以上に説明した電気光学パネル１００は、電気光学装置用基板１０００から分割される前に、それまでの形成工程に起因する不具合が検査される。以下に、そのような電気光学パネル１００の検査方法について、図１から図５を参照しつつ、更に図６を参照して説明する。図６は、本実施形態の検査方法のフローチャートを示している。
【００７７】
図６のフローチャートにおいて、まず、検査用共通端子５１１に、プローブで検査用の画像信号を供給する（ステップＳ１１）。ここでは、検査用の信号は、検査用共通端子５１１という比較的大きな一つの領域にプローブを接触させることで、共通に接続された複数個の画像信号端子２ａに対して一括供給される。そのため、検査用のプローブに要求される位置精度を引き下げることができる。
【００７８】
検査用の信号は通常、画像信号端子の夫々にプローブを接触させて供給される。しかしながら、前述したように画像信号端子２ａは非常に数が多く、端子ピッチが狭いことから、そのような方法では、適正な検査ができないおそれがあり、プローブに極めて高い位置精度が求められる。これに対し、画像信号端子２ａを検査用配線５０１で接続することで実質的な端子ピッチが拡がり、なおかつ、所定領域に比較的大きな検査用共通端子５１１を配置することで、プローブの接触域が拡大され、プローブの位置決めが容易化される。よって、本実施形態では、簡便かつ正確に、画像信号端子２ａに検査用の画像信号を供給することが可能である。
【００７９】
これと並行して、画像信号以外に必要な検査用の駆動信号を電気光学パネル１００に供給する（ステップＳ１２）。こうして、電気光学装置用基板１０００上で検査対象の電気光学パネル１００を駆動させ、画像表示領域１０ａに検査用のパターンを表示させる（ステップＳ１３）。
【００８０】
続いて、検査用パターンの目視、ないし検査用パターン発生時に電気光学パネル１００内の所定部位の信号波形をモニタリングするなどにより、電気光学パネル１００における不具合が検査される（ステップＳ１４）。即ち、これらが反映する電気光学パネル１００の駆動状況に基づいて、検査が行われるのである。
【００８１】
尚、検査画像を表示させ、その適否に応じて不具合を検出する場合は、電気光学パネル１００内に検査用回路を組み込む必要がなく、例えば検査員の目視によって効率よく検査することができる。
【００８２】
検査後、電気光学装置用基板１０００は、スクライブ線５００に沿って分割される。その際、スクライブ線５００を境に、検査用配線５０１と画像信号端子２ａ及び検査用共通端子５１１との接続も分断される（ステップＳ１５）。よって、検査用配線５０１は、検査時にのみ機能し、分割後の電気光学パネル１００に影響を与えることはない。
【００８３】
以上説明したように、本実施形態によれば、電気光学装置用基板１０００に形成された電気光学パネル１００がハイブリッド型であっても、検査時の画像信号供給用のプローブに要求される位置精度がそれほど高くなくて済む。従って、検査コストの上昇を抑えることが可能であると共に、簡便かつ正確な検査を実行することが可能である。
【００８４】
以下に、本発明のその他の実施形態について、図７から図１０を参照して説明する。尚、以下の実施形態においては、第１実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付してその説明を適宜に省略する。
【００８５】
＜２：第２実施形態＞
次に、第２実施形態について、図７を参照して説明する。図７は、第１実施形態の図５に対応し、本実施形態に係る電気光学装置用基板の概略構成のうちの主要部分を拡大表示している。
【００８６】
図７において、スクライブ代２００にはガードリング５０２が形成されており、これに検査用共通端子５１１が高抵抗配線５０３を介して接続されている。ガードリング５０２は、電気光学パネル１００内の回路部分における電界集中を防止するために設けられ、高抵抗配線５０３の抵抗値は１ＭΩ以上とされる。
【００８７】
ここでは、このように検査用共通端子５１１が接続されることで、共通接続された画像信号端子２ａ全体がガードリング５０２と接続されることになる。そのため、これら画像信号端子２ａに接続されるトランジスタ、具体的には、スイッチング素子８５やデータ線Ｘ１〜Ｘｋと画素電極９ａとの間に介在する画素スイッチング素子等が、電気光学パネル１００を形成する形成工程や対向基板２０と貼り合わせる組立工程で生じる静電気により静電破壊されることを効率よく防止することができる。
【００８８】
また、ここでは、駆動信号端子２ｃは、検査用配線５０１に高抵抗配線５０４を介して接続される。この高抵抗配線５０４も１ＭΩ以上の高抵抗とされる。即ち、この場合の検査用配線５０１もガードリングとして機能する。その結果、画像信号端子２ａ以外の外部回路接続端子２に接続されるトランジスタが、静電気により静電破壊されることを効率よく防止することができる。尚、本実施形態における他の作用及び効果は、第１実施形態と同様である。
【００８９】
＜３：第３実施形態＞
次に、第３実施形態について、図８を参照して説明する。図８は、第１実施形態の図５に対応し、本実施形態に係る電気光学装置用基板の概略構成のうちの主要部分を拡大表示している。
【００９０】
図８において、検査用共通端子が接続された検査用配線は、２系列からなる。画像信号端子２ａは、奇数番目に配列されたグループと偶数番目に配列されたグループとに分けられており、各グループが夫々、検査用配線５０１Ａ及び検査用共通端子５１１Ａと、検査用配線５０１Ｂ及び検査用共通端子５１１Ｂとに接続されている。
【００９１】
このように、画像信号端子２ａに転送される検査用の画像信号が２系列になることで、表示パターンの自由度を拡げることができる。例えば、検査時に８相のデマルチプレクス駆動を行うのであれば、第１実施形態の構成ではデータ線Ｘ１〜Ｘｋの８本毎に同じ画像信号が印加され、それに対応した幅のパターンが表示されることになるが、本実施形態では、１６本毎のパターン表示が可能である。尚、本実施形態における他の作用及び効果は、第１実施形態と同様である。
【００９２】
＜４：第４実施形態＞
次に、第４実施形態について、図９を参照して説明する。図９は、第１実施形態の図５に対応し、本実施形態に係る電気光学装置用基板の概略構成のうちの主要部分を拡大表示している。
【００９３】
図９において、本実施形態の電気光学パネルは、第２実施形態及び第３実施形態を組み合わせた構成をとる。この場合には、第２及び第３実施形態の作用及び効果に加えて、次の作用及び効果が生じる。即ち、相隣接する画像信号端子２ａは夫々、ガードリング５０２に接続されることで高抵抗化した検査用配線５０１Ａ及び５０１Ｂに接続されている。そのため、画像信号端子２ａ間に生じる静電気の影響を軽減することができる。
【００９４】
＜５：第５実施形態＞
次に、第５実施形態について、図１０を参照して説明する。ここに図１０は、本実施形態に係る電気光学装置用基板の概略構成を表している。
【００９５】
図１０において、電気光学装置用基板１０００上には、複数の電気光学パネル１００がスクライブ線５００に沿って配列されている。そして、スクライブ代２００には、これら電気光学パネル１００の配列に沿って延在する検査用配線５０５が形成されている。
【００９６】
この検査用配線５０５には、上記配列された電気光学パネル１００の夫々における画像信号端子２ａが共通に接続されている。即ち、検査用配線５０５は、一つの電気光学パネル１００に留まらず、同一の電気光学装置用基板１０００に形成された複数の電気光学パネル１００に対して電気的に接続されている。また、検査用配線５０５の夫々の終端には、検査用共通端子５０６が設けられている。尚、これらの具体的な接続形態は、例えば第１ないし第４の実施形態が適用されてよい。
【００９７】
このため、本実施形態では、同時に複数の電気光学パネル１００に対して同様の検査を行うことができ、製造効率を高めることが可能となる。勿論、検査後は、複数の電気光学パネル１００は別個のチップとして夫々物理的に分割され、検査用配線５０５による共通の電気的接続も断たれることになり、特に問題はない。
【００９８】
以上詳細に説明した電気光学装置は、モバイル型パーソナルコンピュータ、携帯電話、ディジタルカメラ等々の各種の電子機器に適用可能である。その一例として、パーソナルコンピュータを図１１に示す。
【００９９】
図１１において、パーソナルコンピュータ７０は、キーボード７１を備えた本体部７２と、液晶ディスプレイによる表示ユニット７３とを備えている。表示ユニット７３には、上記実施形態における電気光学装置が適用される。
【０１００】
そのため、電気光学装置用基板１０００の分割前に行う電気光学パネル１００の検査が簡便かつ正確に実行され、全体としての製造効率が向上する。
【０１０１】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置用基板、及び、この電気光学装置用基板から製造される電気光学装置、そのような変更を伴う検査方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電気光学パネルの全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】第１実施形態に係る電気光学装置の構成を表すブロック図である。
【図４】第１実施形態に係る電気光学装置用基板の構成を概略的に表す平面図である。
【図５】図４における主要部分の構成を拡大して表す部分平面図である。
【図６】第１実施形態に係る電気光学パネルの検査方法を表すフローチャートである。
【図７】第２実施形態に係る電気光学装置用基板の主要部分の構成を表す部分平面図である。
【図８】第３実施形態に係る電気光学装置用基板の主要部分の構成を表す部分平面図である。
【図９】第４実施形態に係る電気光学装置用基板の主要部分の構成を表す部分平面図である。
【図１０】第５実施形態に係る電気光学装置用基板の構成を概略的に表す平面図である。
【図１１】本発明の電気光学装置を適用した電子機器の実施形態としてのパーソナルコンピュータを示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１０３】
Ｙ１〜Ｙｍ…走査線、Ｘ１〜Ｘｋ…データ線、２…外部回路接続端子、２ａ…画像信号端子、２ｂ…選択信号端子、２ｃ…駆動信号端子、９ａ…画素電極、１０…ＴＦＴアレイ基板、１０ａ…画像表示領域、２０…対向基板、５０…液晶層、８４…デマルチプレクサ、８５…スイッチング素子、８１…データ線駆動回路、１０４…走査線駆動回路、１００…電気光学パネル、Ｚ１〜Ｚｎ…画像信号線、２００…スクライブ代、５００…スクライブ線、５０１、５０５…検査用配線、５１１、５１１Ａ、５１１Ｂ、５０６…検査用共通端子、５０２…ガードリング、１０００…電気光学装置用基板、ＶＤ１〜ＶＤｎ…マルチプレクス信号、SEL1、SEL2、SEL3…選択信号。
【図１】
2006091239.tif 000003
【図２】
2006091239.tif 000004
【図３】
2006091239.tif 000005
【図４】
2006091239.tif 000006
【図５】
2006091239.tif 000007
【図６】
2006091239.tif 000008
【図７】
2006091239.tif 000009
【図８】
2006091239.tif 000010
【図９】
2006091239.tif 000011
【図１０】
2006091239.tif 000012
【図１１】
2006091239.tif 000013