(57)【要約】【課題】  ワークに対して液体を吐出させて所定の処理をする際に、液体の吐出圧力を容易に変化させることが可能な液体吐出圧力制御装置を提供する。【解決手段】  ワーク３０に対し処理液Ｌを吐出する液体吐出圧力制御装置１は、処理液Ｌを収容する液体収容タンク２と、処理液Ｌを吐出するノズル４と、液体収容タンク２に収容された処理液Ｌをノズル４に供給するポンプ３と、ポンプ３の吐出側とノズル４とを結ぶ供給管５２と、供給管５２と液体収容タンク２とを結ぶ調圧管７，８とを備え、調圧管７，８は、調圧管上におのおの開閉バルブ９，１０を有し、開閉バルブ９，１０を制御部１４により開／閉作動することによりノズル４から吐出する処理液の吐出圧力がデジタル制御される。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物品に対し液体を吐出する液体吐出圧力制御装置であって、
前記液体を収容する液体収容タンクと、
前記液体を吐出する吐出手段と、
前記液体収容タンクに収容された前記液体を前記吐出手段に供給する液体供給手段と、
前記液体供給手段の液体吐出側と前記吐出手段とを結ぶ供給流路と、
前記供給流路と前記液体収容タンクとを結ぶ多数の調圧流路と
を備え、前記多数の調圧流路は、各調圧流路上に開閉弁体を有し、該開閉弁体を開／閉作動することにより前記吐出手段から吐出する液体の吐出圧力を制御することを特徴とする液体吐出圧力制御装置。
【請求項２】
前記多数の調圧流路は液体配管からなり、管径が同じ液体配管からなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出圧力制御装置。
【請求項３】
前記多数の調圧流路は液体配管からなり、管径が異なる液体配管からなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出圧力制御装置。
【請求項４】
前記開閉弁体は電気的駆動弁からなり、前記開閉弁体の開／閉作動を制御する制御部をさらに備え、
前記開閉弁体は、前記制御部によりデジタル制御されることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の液体吐出圧力制御装置。
【請求項５】
前記調圧流路の結合部との下流側の前記供給流路上に、前記液体の流体圧力値を測定する圧力測定手段を備え、該圧力測定手段により測定された前記流体圧力値は、前記制御部に入力され、該制御部において前記開閉弁体を開／閉作動して、前記供給流路の流体圧力値を一定の圧力値に制御することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出圧力制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体供給手段から供給される液体の圧力制御に関するものであり、特に被処理物品に対して液体を吐出させて所定の処理を行うための液体吐出圧力制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線基板、液晶ディスプレイ、あるいは半導体デバイス等の製造プロセスにおいて、プリント配線基板、ガラス基板、半導体基板等の被処理物品（ワーク）に対し、例えば現像液、エッチング液、剥離液、洗浄水等の処理液（液体）を供給する各種工程を経て製造が行われている。
【０００３】
ワークに処理液を供給する一例として、処理液を流通させる給液流路と、処理液を噴射する噴射通路を備えたノズルと、処理液を流通させる送液手段とを備え、給液流路のノズル装着部より下流側に、送液手段により流通させる処理液をノズルから噴射可能な圧力を与える状態と、ノズルの給液流路内に吸引力を作用させる状態とに切り換え可能な制御弁を設けた液噴射装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１５９５５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、ワークに処理液を供給する液体吐出装置は、特許文献１の液噴射装置に示されるように、処理液を流通させる給液流路に制御弁（調圧弁）を設けて、制御弁により給液流路の流れを制御している。すなわち、送液手段（ポンプ）により加圧された処理液を、制御弁を用いてアナログ的に操作し、圧力を変化させている。しかしながら、制御弁をアナログ的に操作して目的の圧力に調節するのは極めて難しい。
【０００６】
そこで、本発明は、被処理物品に対して液体を吐出させて所定の処理をする際に、液体の吐出圧力を容易に調節することが可能な液体吐出圧力制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の液体吐出圧力制御装置は、被処理物品に対し液体を吐出する液体吐出圧力制御装置であって、前記液体を収容する液体収容タンクと、前記液体を吐出する吐出手段と、前記液体収容タンクに収容された前記液体を前記吐出手段に供給する液体供給手段と、前記液体供給手段の液体吐出側と前記吐出手段とを結ぶ供給流路と、前記供給流路と前記液体収容タンクとを結ぶ多数の調圧流路とを備え、前記多数の調圧流路は、各調圧流路上に開閉弁体を有し、該開閉弁体を開／閉作動することにより前記吐出手段から吐出する液体の吐出圧力を制御することを特徴とする。
【０００８】
上記の構成によれば、液体（処理液）を収容する液体収容タンクから、液体供給手段を介して吐出手段に供給する液体の吐出圧力を、供給流路と液体収容タンクとを結ぶ多数の調圧流路上に備えた開閉弁体を開／閉作動することにより容易に変化させることができ、被処理物品に対して吐出手段から液体を吐出する所定の処理を確実に行うことができる。
【０００９】
また、本発明の液体吐出圧力制御装置は、前記多数の調圧流路は液体配管からなり、管径が同じ液体配管からなることを特徴とする。
上記の構成によれば、調圧流路となる液体配管の本数は、被処理物品の処理に応じて任意に配備することができる。配備する液体配管の本数をnとした時、調圧流路上に備えた開閉弁体を開／閉作動することにより、吐出手段から吐出される液体の吐出圧力をn+１とおりの吐出圧力値に制御できる。したがって、液体供給手段の吐出圧力をn+１とおりに調節できることにより、用途の異なる各種の所定の処理に対応することができる。
【００１０】
また、本発明の液体吐出圧力制御装置は、前記多数の調圧流路は液体配管からなり、管径が異なる液体配管からなることを特徴とする。
上記の構成によれば、調圧流路となる液体配管の本数及び液体配管の管径は、ワークの処理に応じて任意に配備することができ、配備する調圧管の本数をnとし、調圧管の管径を各々異なった管径に設定した時、調圧流路上に備えた開閉弁体を開／閉作動することにより、吐出手段から吐出される液体の吐出圧力を２nとおりの圧力値に制御することができる。したがって、液体供給手段の吐出圧力を２nとおりに調節できることにより、用途の異なる各種の所定の処理に対応することができる。
【００１１】
また、本発明の液体吐出圧力制御装置は、前記開閉弁体は電気的駆動弁からなり、前記開閉弁体の開／閉作動を制御する制御部をさらに備え、前記開閉弁体は、前記制御部によりデジタル制御されることを特徴とする。
上記の構成によれば、開閉弁体は電気的駆動弁からなり、開閉弁体の開／閉作動が制御部によりデジタル制御されることにより、吐出手段から吐出される液体の吐出圧力値を容易に所定の圧力値に制御できる。
【００１２】
また、本発明の液体吐出圧力制御装置は、前記調圧流路の結合部との下流側の前記供給流路上に、前記液体の流体圧力値を測定する圧力測定手段を備え、該圧力測定手段により測定された前記流体圧力値は、前記制御部に入力され、該制御部において前記開閉弁体を開／閉作動して、前記供給流路の流体圧力値を所定の一定圧力値に制御することを特徴とする。
【００１３】
上記の構成によれば、供給流路上に備えた圧力測定手段において測定された液体の流体圧力値が制御部に入力され、制御部において調圧流路上の開閉弁体の開／閉作動をデジタル制御することにより、供給流路の流体圧力値（吐出手段から吐出される液体の吐出圧力値）を容易に所定の一定圧力値に制御できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明の液体吐出圧力制御装置の概略構成図である。なお、本実施形態の液体吐出圧力制御装置は、プリント配線基板や各種液晶ガラス基板、あるいは半導体基板等の被処理物品としてのワークに対し、例えば現像液、エッチング液、剥離液、洗浄水の処理液等を含む液体を吐出（供給）するあらゆる液体吐出に適用することができる。
【００１５】
例えば、プリント配線基板の製造工程では、搬送装置により搬送されるプリント基板に対し、現像液、エッチング液、剥離液が順次吐出されて、それぞれの化学処理が行われる。そしてそれぞれの化学処理毎、各化学処理後に、プリント配線基板に対し洗浄水を用いて、現像液、エッチング液、剥離液等の洗浄、除去が行われる。また、処理液のワークへの吐出は、搬送ローラや搬送ベルトによりワークを搬送する間に噴射させる方式や、ワークをセットした回転テーブルを高速回転駆動する間に滴下させて、遠心力により塗り広める方式等が用いられる。
【００１６】
図１において、液体吐出圧力制御装置１は、液体としての処理液Ｌを収容する液体収容タンク２と、液体供給手段としてのポンプ３と、吐出手段としてのノズル４と、ポンプ３を介して処理液Ｌをノズル４に供給する供給流路としての供給管５と、フィルタ１１，１２と、ノズル４から吐出される処理液Ｌの圧力を計測し表示する圧力表示計１３と、ポンプ３の吐出側（下流側）の供給管５２と液体収容タンク２とを結ぶ調圧流路としての調圧管７，８とを備えている。
【００１７】
一方、ノズル４から吐出された処理液Ｌを用いた処理装置２０は、被処理物品に処理液Ｌを用いて処理を行う処理槽２１と、処理後の処理液Ｌを液体収容タンク２に戻す（循環する）戻し管２２を備え、処理槽２１内に被処理物品のワーク３０を搬送する搬送装置４０が配設されている。
【００１８】
ポンプ３は、用途（処理液の種類や処理作業）に応じて各種ポンプを用いることができる。例えば、一定量の処理液をポンプの中に吸込んでその処理液を押し出す容積式ポンプ、あるいは処理液の送る量が一定でない非容積ポンプがある。容積式ポンプとしては、ピストンポンプ、プランジャーポンプ、ダイヤフラムポンプ、ギアポンプ、スクリューポンプ等が挙げられ、非容積ポンプとしては、遠心ポンプやカスケードポンプ等が挙げられる。
【００１９】
ノズル４は、スプレイノズルであり、供給管５の下流側の端部に接続され、例えばワーク３０の上部位置から、ポンプ３を介して供給された処理液Ｌをワーク３０に吐出（スプレイ、あるいはシャワーリング）する。ノズル４は用途に応じて複数のノズルを配設することができる。また、ノズル４は処理液Ｌを、ワーク３０の下部位置から上部方向に向けて吐出する場合、あるいは、ワーク３０に対して上下の両側方向から吐出する場合であっても良い。
【００２０】
供給管５は、ポンプ３を介して処理液Ｌをノズル４に供給する配液管であり、液体収容タンク２とポンプ３の吸液側（上流側）を接続する供給管５１と、ポンプ３の吐出側（下流側）とノズル４とを接続する供給管５２からなり、供給管５１上にフィルタ１１を備え、供給管５２上にフィルタ１２と圧力表示計１３を備えている。
【００２１】
調圧管７，８は、供給管５２と液体収容タンク２とを接続する配液管であり、調圧管７には開閉弁体としての開閉バルブ９が備えられ、調圧管８には開閉バルブ１０が備えられている。この調圧管７及び８は、同一の管径の配液管からなり、調圧管７，８と液体収容タンク２の接続位置は、液体収容タンク２に収容された処理液Ｌの液面上方に接続されている。なお、図１において、調圧管７，８の接続位置は、説明上、液体収容タンク２の底面から異なる高さ位置に図示したが、液体収容タンク２の底面からほぼ同じ高さの位置に接続するのが好ましい。
【００２２】
開閉バルブ９，１０は、例えば電磁バルブからなり、後述する制御部１４からの制御信号を受けて、弁が開状態と閉状態の内のどちらかの状態に作動する。
フィルタ１１は、ノズル４からワーク３０に吐出され所定の処理が行われ、処理槽２１に回収された後に、戻し管２２を介して液体収容タンク２に再び収容された処理液Ｌの、汚れ等の除去が行われる。同様に、フィルタ１２は、処理液Ｌがポンプ３を通過することにより、処理液Ｌに混入したポンプ３の機械的な摺動部から発生した汚れや、磨耗による金属粉等の除去が行われる。こうした汚れや金属粉は、選択されたポンプの種類により発生しないポンプもある。
【００２３】
圧力表示計１３は、デジタル圧力表示計であり、調圧管７，８と供給管５２との接合部及びフィルタ１２より下流側の供給管５２上に配備され、ポンプ３により吐出された供給管５２内の処理液Ｌの圧力（ノズル４における処理液Ｌの吐出圧力）を測定し、その値を表示する。
【００２４】
制御部１４は、ＰＬＣ（Programmable Logic Contoroller）であり、各種演算処理を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）と、各種制御プログラムが格納されたメモリ等から構成され、入出力インタフェース（いずれも図示せず）を介して信号線により開閉バルブ９，１０に接続し、開閉バルブ９，１０を開状態と閉状態のシーケンス制御を行う。
電源部１５は、ポンプ３、制御部１４、および制御部１４を介して開閉バルブ９，１０に電源を供給している。
【００２５】
次に、この様に構成された液体吐出圧力制御装置１の動作について説明する。
本発明の液体吐出圧力制御装置１は、液体収容タンク２に収容された処理液Ｌが、ポンプ３を可動することによりノズル４から吐出される。こうした状態において、供給管５（供給管５１，５２）内を流れてノズル４に供給される処理液Ｌを、調圧管７，８に配備された開閉バルブ９，１０の開／閉作動により、ノズル４から吐出される処理液Ｌの圧力を制御する液体吐出圧力制御装置である。
【００２６】
先ず、調圧管７，８に配備された開閉バルブ９，１０の弁が閉状態において、ポンプ３を可動すると、液体収容タンク２に収容された処理液Ｌは、供給管５１に供給され、フィルタ１１及びポンプ３を通過し、供給管５２に供給される。そして、フィルタ１２及び圧力表示計１３を通過し、ノズル４に到達する。そして、ノズル４から処理液Ｌが吐出されて、処理装置２０内のワーク３０に対して所定の処理が行われる。この時のノズル４の吐出圧力は、ポンプ３の吐出圧に基づいた吐出圧力で吐出される。そして、ワーク３０に対して所定の処理が行われた処理液Ｌは、処理装置２０の処理槽２１から、戻し管２２内を流れて、再び液体収容タンク２に戻る。
【００２７】
ノズル４から吐出される処理液Ｌの吐出圧力の制御は、調圧管７，８に配備された開閉バルブ９，１０を開／閉作動して制御する。開閉バルブ９，１０の開／閉動作は、開閉バルブ９，１０に接続する制御部１４のシーケンス信号により制御される。
【００２８】
開閉バルブ９，１０は、制御部１４の制御信号により単独に開／閉制御され、例えば開閉バルブ９，１０が開状態になると、ポンプ３から吐出され供給管５２内を流れる処理液Ｌの一部が、調圧管７，８に流入し、そして開閉バルブ９，１０を通過して再び液体収容タンク２に戻る。すなわち、開閉バルブ９，１０を開／閉作動することにより、ノズル４から吐出される処理液Ｌの吐出圧力を制御することができる。この吐出圧力の制御は、ポンプ３の吐出圧に基づいた吐出圧力よりも低い吐出圧力に制御することができる。なお、調圧管７，８の管径は、供給管５２よりも細い管径に設定するのが好ましい。
【００２９】
この吐出圧力の制御圧力値は、開閉バルブ９と開閉バルブ１０の開閉状態の組み合わせにより決定される。例えば、ポンプ３の吐出能力が50L/min、吐出圧力が1.0MPa。調圧管７，８の管径が20A（20mm）の設定の時、開閉バルブ９が開状態、開閉バルブ１０が閉状態、あるいは開閉バルブ９が閉状態、開閉バルブ１０が開状態の場合、ノズル４から吐出される処理液Ｌの流量は20L/min、吐出圧力は0.4Mpaとなる。開閉バルブ９，１０が共に閉状態の場合、流量は50L/min、吐出圧力は1.0Mpaとなる。
【００３０】
調圧管の本数（調圧流路の数）は、２つ（２本）の調圧管７，８を配備した場合で説明したが、必要に応じ任意の本数を配備することができる。この場合、配備する調圧管の本数をnとした時、n+１とおりの吐出圧力値に制御することができる。この吐出圧力値は、例えば配液管の設計時に、予め吐出実験等により確認し設定する。なお、ノズル４から吐出される処理液Ｌの吐出圧力値は、圧力表示計１３で確認することができる。
【００３１】
また、一般に供給管５等に配備されるフィルタは、汚れ等による交換後の処理液の通液時に、弁体を開操作してフィルタハウジング内のエア抜きが行われる。従って、図示しないが、調圧管７，８と同様に、フィルタ１２と液体収容タンク２とを接続する配液管を設け、その配液管上に開閉バルブ（電磁バルブ）を備えることにより、１つの調圧管として配液管の設計をすることもできる。
また、液体収容タンク２に新鮮な処理液Ｌを供給する給液管（図示せず）を付設し、液体収容タンク２内の処理液Ｌの液面位置を、常時ほぼ一定に保つのが好ましい。
【００３２】
以上に説明した実施形態の液体吐出圧力制御装置１は、例えばプリント配線基板、ガラス基板、あるいは半導体基板等の異なるワークに対し、現像液、エッチング液、剥離液、洗浄水等の異なる処理液を、各処理毎に適切な吐出圧力で供給することができる。また、処理装置をライン状に配置し、ワークを搬送装置により搬送しながら現像、エッチング、剥離、洗浄等を含む一連の処理工程を行う場合において、各処理工程に同一の液体吐出圧力制御装置１を用いることにより、装置のメンテナンス、あるいは処理作業時の作業性の効率化が図れる。
【００３３】
さらに、各処理工程において、一つのワークに対して、吐出される処理液の吐出圧力を変化させることができる。例えば、液体吐出圧力制御装置内に搬送装置により搬送されるガラス基板の現像工程において、ガラス基板の搬入側の端平面部、又は搬出側の端平面部に対し、ノズル４から吐出される現像液を、所定の吐出圧力よりも低圧力で吐出ことにより、薄いガラス基板が押圧力を受けて変形したり、損傷するのを抑える。あるいは、プリント配線基板のエッチング工程において、配線電極の配線エリアの粗、密に応じてノズル４から吐出されるエッチング液の吐出圧力を変化させて、エッチング具合を調節することにより、エッチング不足やエッチング過多を防ぐことができる。
【００３４】
以上に説明した本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）処理液Ｌを収容する液体収容タンク２から、ポンプ３を介してノズル４に供給する処理液Ｌの吐出圧力を、供給管５２と液体収容タンク２とを結ぶ多数の調圧管７，８上に備えた開閉バルブ９，１０を開／閉作動することにより容易に調節することができる。したがって、ワーク３０に対してノズル４から処理液Ｌを吐出する所定の処理を確実に行うことができる。
【００３５】
（２）調圧管（７，８）の本数は、ワークの処理に応じて任意に配備することができる。配備する調圧管の本数をnとした時、調圧管上に備えた開閉バルブ（９，１０）を開／閉作動することにより、ノズル４から吐出される処理液Ｌの吐出圧力をn+１とおりの吐出圧力値に制御することができる。したがって、用途（処理液の種類や処理作業）の異なる各種の所定の処理に対応することができる。
【００３６】
（３）開閉バルブ９，１０は電気的駆動弁からなり、開閉バルブ９，１０の開／閉作動が制御部１４によりデジタル制御されることにより、ノズル４から吐出される処理液Ｌの吐出圧力値を容易に所定の圧力値に制御できる。
【００３７】
以上の実施形態の変形例を以下に記載する。
【００３８】
（変形例１）
実施形態は、開閉バルブ９，１０が配備された調圧管７，８の管径を同一の場合で説明したが、各々異なった管径で構成することができる。例えば、ポンプ３の吐出能力が50L/min、吐出圧力が1.0MPa。調圧管７の管径が15A、調圧管８の管径が20Aの設定の時、調圧管７に配備された開閉バルブ９と、調圧管８に配備された開閉バルブ１０が開状態の場合、ノズル４から吐出される処理液Ｌの流量は35L/min、吐出圧力は0.3Mpaとなる。また、開閉バルブ９が開状態、開閉バルブ１０が閉状態の場合、流量は35L/min、吐出圧力は0.7Mpaとなる。また、開閉バルブ９が閉状態、開閉バルブ１０が開状態の場合、流量は30L/min、吐出圧力は0.6Mpaとなる。さらに、開閉バルブ９，１０が共に閉状態の場合、流量は50L/min、吐出圧力は1.0Mpaとなる。
【００３９】
また、調圧管の本数（調圧流路の数）及び調圧管の管径は、必要に応じ任意に設定することができる。この場合、調圧管の本数をnとし、各々の調圧管の管径を異なった管径に設定した時、ノズル４から吐出される処理液Ｌの吐出圧力値を２nとおりの圧力値に制御することができる。したがって、用途（処理液の種類や処理作業）の異なる各種の所定の処理に対し、より細かな圧力制御ができる。
【００４０】
（変形例２）
本発明の液体吐出圧力制御装置１は、ノズル４から吐出される処理液Ｌの吐出圧力値を一定の圧力値に制御することができる。処理液Ｌや処理内容に応じて用いられるポンプの種類によっては、圧力の脈動が発生したり、あるいは処理液の種類によっては、環境温度により粘度等が変動する等により、ポンプ３から吐出される処理液Ｌの吐出圧力が変動する。
【００４１】
図２は、別の液体吐出圧力制御装置の概略構成図である。本実施形態は、供給管５２上に配備したフィルタ１２の上流側及び下流側に、圧力計測手段としての圧力計１６，１７を備えたことを除いては前述の実施形態と同様の基本構成を有し、図１との対応部分には同一の符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００４２】
図２において、圧力計１６，１７は、デジタル圧力計であり、ポンプ３により吐出された供給管５２内の処理液Ｌの圧力（ノズル４における処理液Ｌの吐出圧力）を測定する。圧力計１６はフィルタ１２の下流側に配備され、圧力計１７はフィルタ１２の上流側に配備されている。さらに、圧力計１６，１７は、信号線により制御部１４に接続されている。
【００４３】
この液体吐出圧力制御装置１の動作は、調圧管７，８に配備された開閉バルブ９，１０の弁が閉状態において、ポンプ３を可動すると、液体収容タンク２に収容された処理液Ｌは、供給管５１、フィルタ１１及びポンプ３を通過し、供給管５２に供給される。そして、圧力計１７、フィルタ１２、圧力計１６を通過し、ノズル４に到達し、ノズル４から処理液Ｌが吐出されて、処理装置２０内のワーク３０に対して所定の処理が行われる。
【００４４】
処理液Ｌは、圧力計１６，１７において供給管５２内の処理液Ｌの圧力（ノズル４における処理液Ｌの吐出圧力）が測定される。そして、測定された圧力値は制御部１４に入力され、制御部１４のＣＰＵにおいて、圧力計１６で計測された圧力値と、予め設定されメモリに格納された一定の圧力値に制御する所定の圧力値と比較して、差圧量が計算される。そして、その差圧量に基づいて、制御部１４から開閉バルブ９，１０に、弁を開／閉動作するシーケンス信号を出力することにより、調圧管７あるいは調圧管８に、供給管５２に供給される処理液Ｌの一部を流すことで、ノズル４における処理液Ｌの吐出圧力が一定の圧力値に制御される。
【００４５】
なお、制御部１４は、制御部１４に入力されたフィルタ１２の下流側に配備され圧力計１６の測定圧力値と、フィルタ１２の上流側に配備され圧力計１７の測定圧力値との差圧量をＣＰＵにおいて計算し、計算された差圧量が所定値に達した時、フィルタ１２が目詰まり状態にあることを装置内に配備したＬＥＤランプ（図示せず）等に表示し、フィルタ１２の交換を促す。
【００４６】
以上の実施形態は、供給管５２に備えた圧力計１６において測定された処理液Ｌの流体圧力値が制御部１４に入力され、制御部１４において調圧管７，８上に配備された開閉バルブ９，１０の弁の開／閉作動をデジタル制御することにより、供給管５２内の処理液Ｌの圧力値（ノズル４における処理液Ｌの吐出圧力値）をほぼ所定の一定圧力値に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の液体吐出圧力制御装置の概略構成図。
【図２】別の液体吐出圧力制御装置の概略構成図。
【符号の説明】
【００４８】
１…液体吐出圧力制御装置、２…液体収容タンク、３…液体供給手段としてのポンプ、４…吐出手段としてのノズル、５，５１，５２…供給流路としての供給管、７，８…調圧流路としての調圧管、９，１０…開閉弁体としての開閉バルブ、１１，１２…フィルタ、１３…圧力表示計、１４…制御部、１５…電源部、１６，１７…圧力測定手段としての圧力計、２０…処理装置、２１…処理槽、２２…戻し管、３０…被処理物品としてのワーク、４０…搬送装置、Ｌ…液体としての処理液。
【図１】
2006035155.tif 000003
【図２】
2006035155.tif 000004