(57)【要約】【課題】  少ない工程で、安定に表面平滑な離画壁を形成することができ、カラーフィルタ上に形成された透明電極（ＩＴＯ）の表面抵抗を低下させることができるカラーフィルタの製造方法、この方法で得られ離画壁の表面粗さが小さいカラーフィルタ、該カラーフィルタを備えた液晶表示素子、及び、該液晶表示素子を備えた液晶表示装置を提供する。【解決手段】  基板上に互いに異なる色を呈する２以上の画像群を有し、該画素群を構成する各画素が互いに濃色離画壁により離画されており、着色液体組成物による液滴を離画壁間に付与させて離画壁間に各画素を形成するカラーフィルタの製造方法であって、基板上に光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する濃色感光性組成物からなる層を形成する感光性層形成工程と、該感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を有することを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に互いに異なる色を呈する２以上の画像群を有し、該画素群を構成する各画素が互いに濃色離画壁により離画されており、着色液体組成物による液滴を離画壁間に付与させて離画壁間に各画素を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
基板上に光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する濃色感光性組成物からなる層を形成する感光性層形成工程と、該感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記濃色感光性組成物が、さらに、メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも１つを含む共重合体を含有することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記光酸発生剤が、有機ハロゲン化合物、オニウム塩、及び、スルホン酸エステルからなる群より選択される１種以上の化合物であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記架橋剤が、メラミン樹脂または尿素樹脂であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記離画壁の高さが１．８μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
前記離画壁の光学濃度が２．５以上１０以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
前記離画壁が黒色であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の製造方法で製造され、離画壁の表面粗さ（Ｒａ値）が５ｎｍ以下であることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項９】
請求項８に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示素子。
【請求項１０】
請求項９に記載の液晶表示素子を備えた液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの製造方法、該方法により得られたカラーフィルタ、該カラーフィルタを用いた液晶素子、及び、液晶表示装置に関し、特に基板上に互いに異なる色を呈する２以上の画像群を有し、該画素群を構成する各画素は互いに濃色の離画壁により離画されており、離画壁間にインクジェット等によって液滴を付与して形成されるカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、このカラーフィルタを備えた液晶表示素子、この液晶表示素子を備えた液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置用カラーフィルタは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の濃色離画壁で区分した構造である。このようなカラーフィルタの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、１）染色法、２）印刷法、３）着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法（着色レジスト法）、４）仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法、５）予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法（転写方式）が知られている。また、各画素をインクジェット法を用いて形成する方法も知られている。
【０００３】
これらの方法のうち、着色レジスト法は位置精度高くカラーフィルタを作製できるものの、感光層樹脂液の塗布にロスが多くコスト的には有利とは言えない。一方、各画素をインクジェット法を用いて形成する方法は樹脂液のロスが少なくコスト的に有利ではあるものの、画素の位置精度が悪いという問題がある。
【０００４】
これらを克服すべく、ブラックマトリックスを着色レジスト法で形成することで離画壁を形成し、ＲＧＢ画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタ製造法も提案されている。しかしこの離画壁形成法によると、離画壁の表面が粗くなり、微細な凹凸が発生してしまう。このためカラーフィルタ上に形成された透明電極（ＩＴＯ）の表面抵抗が増加してしまう問題がある。
【０００５】
これを防ぐ為、カラーフィルタ上に保護層を設け、平坦性を付与する方法があるが、余分な層を形成するためコストアップする問題があった。
また、離画壁表面にドライエッチング処理を行うことで、表面粗さを調整することが知られている（たとえば、特許文献１参照）。この方法においては、複雑なドライエッチング処理を要し、処理工程が増加するため製造コストがかかるばかりでなく、離画壁の表面粗さを所定の粗さに調整することが難しい問題がある。
【特許文献１】特開２００１−３４３５１８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、本発明は、少ない工程で、安定に表面平滑な離画壁を形成することができ、この結果、カラーフィルタ上に形成された透明電極（ＩＴＯ）の表面抵抗を低下させることができるカラーフィルタの製造方法、この方法で得られ離画壁の表面粗さが小さいカラーフィルタ、このカラーフィルタを備えた液晶表示素子、この液晶表示素子を備えた液晶表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明は、上記課題を解決したものであって、以下の構成からなる。
＜１＞  基板上に互いに異なる色を呈する２以上の画像群を有し、該画素群を構成する各画素が互いに濃色離画壁により離画されており、着色液体組成物による液滴を離画壁間に付与させて離画壁間に各画素を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
基板上に光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する濃色感光性組成物からなる層を形成する感光性層形成工程と、該感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【０００８】
＜２＞  前記濃色感光性組成物が、さらに、メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも１つを含む共重合体を含有することを特徴とする＜１＞に記載のカラーフィルタの製造方法。
＜３＞  前記光酸発生剤が、有機ハロゲン化合物、オニウム塩、及び、スルホン酸エステルからなる群より選択される１種以上の化合物であることを特徴とする＜１＞又は＜２＞に記載のカラーフィルタの製造方法。
＜４＞  前記架橋剤が、メラミン樹脂または尿素樹脂であることを特徴とする＜１＞乃至＜３＞のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【０００９】
＜５＞  前記離画壁の高さが１．８μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする＜１＞乃至＜４＞のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
＜６＞  前記離画壁の光学濃度が２．５以上１０以下であることを特徴とする＜１＞乃至＜５＞のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
＜７＞  前記離画壁が黒色であることを特徴とする＜１＞乃至＜６＞のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１０】
＜８＞  前記＜１＞乃至＜７＞のいずれかに記載の製造方法で製造され、離画壁の表面粗さ（Ｒａ値）が５ｎｍ以下であることを特徴とするカラーフィルタ。
＜９＞  前記＜８＞に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示素子。
＜１０＞  前記＜９＞に記載の液晶表示素子を備えた液晶表示装置。
【発明の効果】
【００１１】
本願発明のカラーフィルタの製造方法によれば、ドライエッチング工程を要することなく、基板上に濃色感光性組成物からなる層（以下、適宜、感光性層と称する）を形成した後、離画壁の形状に従って画像様に露光し、現像するという簡便な工程で、安定して表面の微細な凹凸が改良された離画壁を得ることができる。したがって、ＩＴＯの表面抵抗を低下させたカラーフィルタを工程数が少なく低コストで得ることが可能となる。
また、本発明の製造方法により形成されたカラーフィルタは、離画壁の表面の凹凸改良されており、インクジェット等により液滴を付与して各画素を形成するとき、隣接画素との混色などの欠陥の発生が抑制され、ＩＴＯの表面抵抗が低いという効果を奏し、液晶表示素子に好適に使用しうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に互いに異なる色を呈する２以上の画像群を有し、該画素群を構成する各画素は互いに濃色の離画壁により離画されており、着色液体組成物による液滴を離画壁間に付与させる方法で離画壁に各画素を形成するカラーフィルタの製造方法であって、基板上に光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する濃色感光性組成物からなる層を形成する感光性層形成工程と、該感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を有することを特徴とする。
【００１３】
以下、この製造方法を工程順に説明する。
本発明の製造方法においては、まず、基板上に感光性層を形成する。感光性層を形成するために使用しうる濃色感光性組成物は、光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有し、露光により光酸発生剤が分解して酸を発生し、光酸発生剤から発生した酸により架橋剤が架橋構造を形成し、硬化するネガ型の感光性組成物であり、基板上の濃色離画壁はこの組成物の硬化により形成される。
【００１４】
〔濃色感光性組成物〕
濃色感光性組成物（以下、適宜、感光性組成物と称する）は、光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する。
ここで、濃色組成物とは、高い光学濃度を有する組成物のことであり、その値は２．５以上が好ましく、２．５〜１０．０がより好ましく、２．５〜６．０が更に好ましく、３．０〜５．０が特に好ましい。また、この感光性組成物は、後述するように好ましくは光開始系で硬化させる為、露光波長（一般には紫外域）に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は２．０〜１０．０であり、好ましくは２．５〜６．０、最も好ましいのは３．０〜５．０である。２．０未満では離画壁形状が望みのものとならない恐れがあり、１０．０を超えると、重合を開始することができず離画壁そのものを作ることが困難となる。
【００１５】
（着色剤）
本発明に用いる着色剤としては、具体的には、下記染料、顔料に記載のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを挙げることができる。
本発明の濃色光重合性樹脂組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、光重合性樹脂層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、４酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。公知の着色剤（染料、顔料）を使用することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、濃色組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
前記濃色組成物の固形分中の着色剤の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、３０〜７０質量％であることが好ましく、４０〜６０質量％であることがより好ましく、５０〜５５質量％であることが更に好ましい。
【００１６】
上記公知の染料ないし顔料としては、ビクトリア・ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー６１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー６５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー７１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー７３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー７４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー８１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー９５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー９８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１００、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１１９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１２０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１２６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１２７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１２９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５；
【００１７】
Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ１６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ１７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ６３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・オレンジ７３；Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット３８；
【００１８】
Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド３０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド３７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド３８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４８：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４８：３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４９：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド４９：２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５２：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５７：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５７：２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド５８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド６０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド６３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド６３：２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド６４：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド８１：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド８３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド８８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド９０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２０７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２０８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２４５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２６５；
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０
Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラウン２５
Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック７等が挙げられる。
【００１９】
本発明においては、前記着色剤の中でも黒色着色剤であることが好ましい。黒色着色剤として、更に例示すると、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛などが挙げられ、中でも、カーボンブラックが好ましい。
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒（又はビヒクル）に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分（バインダー）と、これを溶解希釈する成分（有機溶媒）とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、２０００年、４３８項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献３１０項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
【００２０】
本発明で用いる着色剤（例えば、顔料）は、分散安定性の観点から、数平均粒径０．００１〜０．１μｍのものが好ましく、更に０．０１〜０．０８μｍのものが好ましい。また、顔料数平均粒径が０．１μｍを超えると、顔料による偏光の解消が生じ、コントラストが低下し、好ましくない。尚、ここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この１００個平均値をいう。
【００２１】
［光酸発生剤］
光照射により酸を発生する光酸発生剤には、有機ハロゲン化合物、オニウム塩、スルホン酸エステル等が挙げられる。これらのなかでは有機ハロゲン化合物が好ましく、特に、ハロメチル化トリアジン、ハロメチル化オキサジアゾール化合物が好ましい。具体的にはハロメチル化トリアジン化合物は一般式（１）で示される。
【００２２】
【化１】
2006330155.tif 000002
【００２３】
（一般式（１）中Ｒ1及びＲ2は、ハロメチル基であり、Ｙは炭素数５以上の有機基である。）
ハロメチル基としては、例えばトリクロロメチル基、トリブロモメチル基、ジクロロメチル基、ジブロモメチル基などがあり、炭素数５以上の有機基としては、例えば置換基を有していてもよい、フェニル基、ナフチル基、スチリル基、スチリルフェニル基、フリルビニル基、四級化アミノエチルアミノ基などがある。ハロメチル化トリアジン化合物の具体例としては、特開２００２−３５１０７５公報の段落番号〔００１５〕乃至〔００２５〕に記載の化合物が挙げられる。
ハロメチルオキサジアゾール化合物の具体例としては、同公報段落番号〔００２６〕乃至〔００３３〕に記載されているものを挙げることができる。
【００２４】
光酸発生剤は、感光性組成物中の固形分に対して、０．０５〜１５質量％、好ましくは５〜１５質量％である。光酸発生剤の含有量がこの範囲において、組成物の膨潤が抑制され、且つ、露光によって十分な量の酸が発生し、架橋剤の架橋性が充分に発現され、高強度の硬化被膜が形成される。
【００２５】
［架橋剤］
架橋剤は、前記光酸発生剤から発生する酸の作用により架橋構造を形成し、感光性組成物からなる被膜を硬化させる機能を有する。架橋剤としては、不飽和二重結合などの架橋構造を形成しうる置換基（以下、適宜、架橋性置換基と称する。）を少なくとも１種以上有する化合物を挙げることもできる。
【００２６】
このような架橋性置換基の具体例としては、例えば（ｉ）ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基、アセトキシアルキル基等のヒドロキシアルキル基またはその誘導体；
（ｉｉ）ホルミル基、カルボキシアルキル基等のカルボニル基またはその誘導体；
（ｉｉｉ）ジメチルアミノメチル基、ジエチルアミノメチル基、ジメチロールアミノメチル基、ジエチロールアミノメチル基、モルホリノメチル基等の含窒素基含有置換基；
（ｉｖ）グリシジルエーテル基、グリシジルエステル基、グリシジルアミノ基等のグリシジル基含有置換基；
（ｖ）ベンジルオキシメチル基、ベンゾイロキシメチル基等のアリルオキシアルキル基、アラルキルオキシアルキル基等の芳香族誘導体；
（ｖｉ）ビニル基、イソプロペニル基等の重合性多重結合含有置換基等を挙げることができる。本発明の架橋剤の架橋性置換基としては、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基等が好ましく、特にアルコキシメチル基が好ましい。
【００２７】
前記架橋性置換基を有する架橋剤としては、例えば（ｉ）メチロール基含有メラミン化合物、メチロール基含有ベンゾグアナミン化合物、メチロール基含有ウレア化合物、メチロール基含有グリコールウリル化合物、メチロール基含有フェノール化合物等のメチロール基含有化合物；
（ｉｉ）アルコキシアルキル基含有メラミン化合物、アルコキシアルキル基含有ベンゾグアナミン化合物、アルコキシアルキル基含有ウレア化合物、アルコキシアルキル基含有グリコールウリル化合物、アルコキシアルキル基含有フェノール化合物等のアルコキシアルキル基含有化合物；
（ｉｉｉ）カルボキシメチル基含有メラミン化合物、カルボキシメチル基含有ベンゾグアナミン化合物、カルボキシメチル基含有ウレア化合物、カルボキシメチル基含有グリコールウリル化合物、カルボキシメチル基含有フェノール化合物等のカルボキシメチル基含有化合物；
（ｉｖ）ビスフェノールＡ系エポキシ化合物、ビスフェノールＦ系エポキシ化合物、ビスフェノールＳ系エポキシ化合物、ノボラック樹脂系エポキシ化合物、レゾール樹脂系エポキシ化合物、ポリ（ヒドロキシスチレン）系エポキシ化合物等のエポキシ化合物等を挙げることができる。
【００２８】
本発明の架橋剤は、アルコキシメチル化ウレア化合物またはその樹脂、またはアルコキシメチル化グリコールウリル化合物またはその樹脂が好ましい。本発明において用いうる架橋剤の好ましい例などは、特開２００２−３５１０７５公報段落番号〔００３８〕乃至〔００４７〕に記載されており、それらの記載を本発明においても参照することができる。
【００２９】
架橋剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、好ましくは５〜４０質量％、より好ましくは１０〜３０質量％の範囲で、目的に応じて選択される。
【００３０】
本発明に用いる濃色感光性組成物には、前記各必須成分に加え、被膜形成性向上の観点からバインダーポリマーを含有することが好ましく、特に、メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも１つを含む共重合体を含有することが好ましい。
［メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも１つを含む共重合体］
本発明において、メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも１つを含む共重合体には、メタクリル酸メチルを含む共重合体、ベンジルメタクリレートを含む共重合体、メタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレートを含む共重合体等が挙げられる。
メタクリル酸メチルを含む共重合体には、メタクリル酸／メタクリル酸メチル共重合体（共重合比：１４〜１７．６モル％／８２．４〜８６モル％、重量平均分子量２０，０００〜１４０，０００）、メタクリル酸／メタクリル酸メチル／エチルアクリレート共重合体（共重合比：５〜１０モル％／７０〜６０モル％／２５〜３０モル％、重量平均分子量２０，０００〜１４０，０００）等が挙げられる。
ベンジルメタクリレートを含む共重合体には、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合比：２５〜３７モル％／７５〜６３モル％、重量平均分子量２０，０００〜１５０，０００）、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体（共重合比：２０モル％／１７．８モル％／６２．２モル％、重量平均分子量２０，０００〜１４０，０００）等が挙げられる。
また、メタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレートを含む共重合体には、メタクリル酸／メタクリル酸メチル／ベンジルメタクリレート共重合体（共重合比：１４．６〜２７．２モル％／７９．１〜３２．７モル％／１６．３〜４０モル％、重量平均分子量２０，０００〜１５０，０００）、メタクリル酸／メタクリル酸メチル／ベンジルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート共重合体（共重合比：１０〜１５モル％／７０〜６５モル％／１０モル％／１０モル％、重量平均分子量２０，０００〜１５０，０００）等が挙げられる。
【００３１】
市販のネガ型レジスト組成物がよく使用されているクレゾールノボラック樹脂やポリヒドロキシスチレン及びその誘導体は、露光後、ベーク後に着色するがメタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／メタクリル酸メチル／ベンジルメタクリレート共重合体等は露光後、ベーク処理時における着色が少なく、光透過率が低下しない点から特に好ましい。
【００３２】
所望により併用される前記共重合体の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、２０〜７０質量％であることが好ましく、３０〜６０質量％の範囲であることがより好ましい。
【００３３】
［その他の成分］
感光性組成物には、種々の目的で、各種の添加剤を含有させることができる。添加剤の例としては、界面活性剤、密着促進剤、可塑剤等が挙げられる。
界面活性剤は、塗布性、得られる塗膜の平滑性を向上させるために用いることができ、その具体例としては、例えばＢＭ−１０００（ＢＭ Ｃｈｅｍｉｅ社製）、メガファックスＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１８３、同F１７６ＰＦ、同Ｆ１７７ＰＦ（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、フロラードＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５（以上、旭硝子（株）製）、ＳＨ−２８ＰＡ、ＳＨ−１９０、ＳＨ−１９３、ＳＺ−６０３２、ＳＦ−８４２８、ＤＣ−５７、ＤＣ−１９０（以上、東レシリコーン（株）製）の商品名で市販されているフッ素系またはシリコーン系界面活性剤を好ましいものとして挙げることができる。
【００３４】
界面活性剤の含有量は、感光性組成物全固形分の０．０５〜１０質量％であり、０．０８％〜５質量％であることが好ましく、０．１〜３質量％が特に好ましい。含有量が少なすぎると添加の効果が十分に得られないが、あまり多すぎると感光性層と基材との密着性が低下する傾向がある。
【００３５】
（紫外線吸収剤）
本発明に係る感光性組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平５−７２７２４号公報記載の化合物の他、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、特開２００１−１４２２２８公報段落番号〔００２８〕に記載されている化合物が挙げられる。
なお、感光性組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量は、０．５〜１５質量％が一般的であり、１〜１２％質量が好ましく、１．２〜１０質量％が特に好ましい。
【００３６】
（基板）
カラーフィルタを構成する基板（永久支持体）としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラス板や合成樹脂フィルムが挙げられる。
【００３７】
感光性層形成工程は、以上説明したような濃色感光性組成物を適切な溶剤（分散剤）に溶解又は分散させ、前記基板表面に塗布、乾燥して感光性層を形成する工程である。
まず、基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。該基板を温調後、前記感光性組成物を塗布する。
感光性組成物の塗布溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルブチルケトンなどのケトン、各種のエーテル、エステルなどの有機溶剤を用いることが一般的である。
塗布方法は、特に限定されず、公知のスリット状ノズルを有するガラス基板用コーター（例えば、エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名：ＭＨ−１６００）等を用いて行うことができる。
【００３８】
感光性組成物を塗布した後、溶媒の１部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、ＥＢＲ（エッジ・ビード・リムーバー）等にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、プリベークして感光性層を得る。
乾燥は、公知の乾燥装置（例えば、ＶＣＤ（真空乾燥装置；東京応化工業社製）等）を用いて行うことができる、
プリベークとしては、特に限定されないが、例えば、１２０℃３分間することにより達成することができる。
【００３９】
感光性層の厚みは、形成する離画壁の所望される高さに応じて選択される。
本発明において、前記濃色離画壁の高さｈ（前記濃色離画壁の最も高さの高い点をＨと、Ｈから基板におろした垂線の足Ｇとの距離）は、１．８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１．９μｍ〜１０μｍであり、更に好ましくは２．０μｍ〜７．０μｍ、特に好ましくは２．２μｍ〜５．０μｍの範囲である。濃色離画壁の高さを１．８μｍ〜１０μｍの範囲とすることにより、より効果的に混色を防止でき、従って、感光性組成物の塗布膜厚もこの範囲が選択される。膜厚が１．８μｍ未満であると、得られるカラーフィルタにおいて混色が起こりやすくなり、１０μｍを超えると、濃色離画壁の形成が困難となる。
【００４０】
次に、前記工程で形成された感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程を実施する。露光光源は、感光性組成物に含まれる光酸発生剤の吸収波長に応じたものを選択すればよく、好ましくは紫外領域の光源が選択される。
光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
露光は、離画壁の形状に応じたパターン露光であり、マスクを介して全面を露光する方法でもよく、走査露光であってもよい。
【００４１】
以下、マスクを介して行うパターン露光の一例を挙げれば、基板と画像パターンを有するマスク（例えば、石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光性層の間の距離を適宜（例えば、２００μｍ）に設定し、基板表面全面を露光する。
露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機（例えば、日立電子エンジニアリング株式会社製）等で行い、露光量としては適宜（例えば、３００ｍＪ／ｃｍ2）選択することができる。
この露光により、感光性層中で露光領域のみに発生する酸により架橋構造が形成され、露光領域が硬化する。
【００４２】
上記したパターン露光後、ベーク処理を行なう。ベーク処理の条件は、感光性樹脂、光酸発生剤、架橋剤等により異なるが、一般的には、８０〜１４０℃、好ましくは１００〜１２０℃の温度条件で、１５秒〜３分、好ましくは１５秒〜１分のベーク処理を行なう。パターン露光時に発生した酸の存在下で架橋反応が進行し、さらにベーク処理を行うことによって、感光性樹脂層の表面（露光面側）に発生した酸を感光層樹脂層の膜深部まで拡散させ、膜深部まで架橋反応を進行させることができる。
【００４３】
次に、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と実施する。
現像工程の前に、予め純水をシャワーノズル等にて感光性層表面に噴霧して、感光性層の表面を均一に湿らせることが好ましい。
その後、現像液で現像して未露光部を除去し、離画壁のパターンが形成される。現像工程において用いられる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が挙げられ、公知のアルカリ性現像液を適宜使用することができる。アルカリ水溶液には、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加して用いてもよい。
【００４４】
［現像液］
現像液の調製に用いられるアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類（例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム）、アルカリ金属炭酸塩類（例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）、アルカリ金属重炭酸塩類（例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム）、アルカリ金属ケイ酸塩類（例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム）、アルカリ金属メタケイ酸塩類（例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム）、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類（例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。
現像液中でのアルカリ性物質の濃度は、０．０１〜３０質量％が好ましく、ｐＨは８〜１４が好ましい。
【００４５】
現像液に所望により添加される「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。
水と混和性の有機溶剤の現像液中の濃度は０．１〜３０質量％が好ましい。
現像液には、さらに公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては０．０１〜１０質量％が好ましい。
【００４６】
前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組合わせることができる。
現像液の液温度は、通常室温付近から４０℃が好ましい。現像時間は、濃色感光性層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依存して変更されるが、通常１０秒〜２分程度である。短すぎると未露光部の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがあり、いずれの場合にも、離画壁形状を好適なものとすることが困難となる。この現像工程にて、離画壁形状が形成される。
アルカリ現像処理後、水洗を行って、残存する現像液を除去してもよい。
【００４７】
本発明においては、エッチングを行うことなく、パターン露光により離画壁を形成するため、感光性層の塗布面状性を制御することで、濃色離画壁の表面粗さを小さくすることができる。本発明の製造方法によれば、濃色離画壁の表面粗さＲａ値は５ｎｍ以下とすることができ、好ましくは４．０ｎｍ以下、より好ましくは３．６ｎｍの以下とすることができる。濃色離画壁の表面粗さＲａ値が５ｎｍ以下となると、濃色離画壁の表面を伝わって隣接する濃色離画壁の表面における着色液体組成物の移動を阻止することができ、この結果、隣接する画素間の着色液体組成物の移動による混色を未然に防止することができる。
【００４８】
以上の方法においては、支持体上に感光性層を塗布法にて形成し、その後、露光、現像して離画壁を形成したが、形成方法はこれに限定されず、感光性層を有する転写材料を用いた転写法を用いて形成することもできる。以下、転写法を用いる形成方法について説明する。
−感光性転写材料を用いた離画壁の形成−
仮支持体上に、少なくとも感光性層を設けてなる感光性転写材料を用意する。
【００４９】
（感光性転写材料）
感光性層の上に保護フィルムを設けることで感光性層への傷付き等を防止することができる。感光性転写材料は、保護フィルムを剥離して基板上に感光性層を転写し、基板上に感光性層を形成し、離画壁状に露光し、必要に応じてベーク処理し、現像することで離画壁パターンを形成することができる。
【００５０】
（仮支持体）
上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン（登録商標）、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等の、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、５〜３００μｍが適当であり、好ましくは２０〜１５０μｍである。中でも２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
【００５１】
（熱可塑性樹脂層）
上記の感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層は、アルカリ可溶性であることが好ましく、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が８０℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、後述する濃色離画壁形成方法において、永久支持体との良好な密着性を発揮することができる。
軟化点が８０℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。
熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）による、軟化点が約８０℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。
【００５２】
また、軟化点が８０℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を８０℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が８０℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤或いは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。
【００５３】
（保護フイルム）
感光性層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フィルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性層から容易に分離されねばならない。
保護フィルム材料としては、例えば、シリコーン紙、ポリオレフィン樹脂シート若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当であり、なかでも、ポリプロピレンシートが特に好ましい。なお、保護フイルムの厚さは、４〜４０μｍが一般的であり、５〜３０μｍが好ましく、１０〜２５μｍが特に好ましい。
【００５４】
（感光性転写材料の作製方法）
本発明の製造方法で使用される感光性転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液（熱可塑性樹脂層用塗布液）を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後濃色感光性組成物塗布液を塗布して乾燥して設けることにより作製することができる。ここで、熱可塑性樹脂層は必ずしも設けなくてもよい。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と濃色感光性層が接するように相互に貼り合わせることによっても作製することができる。
なお、上記作製方法における仮支持体あるいは保護フィルムへの感光性層の塗布は、前記基板表面への塗布と同様、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置（スリットコータ）によって行うことが好ましい。
【００５５】
（感光性転写材料による離画壁の作製）
まず、前記感光性転写材料の保護フィルムを剥離除去した後、感光性層の面を永久支持体（本発明における基板）上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層する（積層体）。
貼り合わせに用いられるラミネータには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーター等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。
【００５６】
次いで、仮支持体を除去する。このようにして基板上に感光性層が形成される。仮支持体を除去した後の、露光工程、ベーク工程、現像工程、及び、所望により続いて行われる水洗工程は、前記した塗布法におけるものと同様に行えばよく、このようにして濃色離画壁を得ることができる。
このように基板上への濃色感光性層の形成は、塗布方法をあるいは転写方法のいずれでも形成することができる。
以上、いずれの方法においても、表面が平滑な濃色離画壁を露光パターンに応じて容易に形成することができる。
【００５７】
（各画素の形成）
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記基板上に、前記濃色離画壁の製造方法により製造された濃色離画壁と、２色以上の色を有する、複数の画素からなる画素群とを有し、前記複数の画素が、前記濃色離画壁を形成した後、着色液体組成物を前記濃色離画壁間に付与させて形成させることを特徴とする。
即ち、前記現像工程にて基板上に形成された濃色離画壁間の空隙に対し、２色以上の画素（例えば、ＲＧＢ各画素）を形成する為の着色液体組成物をその空隙に付与させて２色以上の色を有する、複数の画素を形成する。
この着色液体組成物を離画壁空隙に侵入させる方法としては、インクジェット法やストライプギーサー塗布法など公知のものを使用することができ、インクジェット法がコスト的に好ましい。また、このように各画素を形成する前に、濃色離画壁の形状を固定化してもよく、その手段は特に限定されないが以下のようなものが挙げられる。すなわち、１）現像後、再露光を行う（ポスト露光と呼ぶことがある）、２）現像後、比較的低い温度で加熱処理を行う等である。ここで言う加熱処理とは濃色離画壁を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射するということをさす。
【００５８】
ここで、上記１）を行う場合の露光量は、大気下であれば５００〜３０００ｍＪ／ｃｍ2、好ましくは１０００〜２０００ｍＪ／ｃｍ2であり、また、同じく２）を行う場合の加熱温度は５０〜１２０℃、好ましくは７０〜１００℃程度であり、その加熱時間は、１０〜４０分程度である。温度が５０℃より低い場合には濃色離画壁の硬化が進まない懸念があり、１２０℃より大きい場合には濃色離画壁形状が崩れてしまう懸念がある。
【００５９】
各画素形成のために用いるインクジェット法に関しては、インクを熱硬化させる方法、光硬化させる方法、あらかじめ基板上に透明な受像層を形成しておいてから打滴する方法など、公知の方法を用いることができる。
【００６０】
好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理（いわゆるベーク処理）する加熱工程を設ける。即ち、光照射により光重合した層を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する。加熱の温度及び時間は、濃色光重合性組成物の組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アルカリ性、及び紫外線吸光度を獲得する観点から、約１２０℃〜約２５０℃で約１０分〜約１２０分間加熱することが好ましい。
【００６１】
このようにして形成されたカラーフィルタのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。
【００６２】
（インクジェット方式）
本発明に用いるインクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性ともに使用でき、表面張力の関係から水をベースにした水系インクの使用がより好ましい。また、そのインクに含まれる着色材は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク（着色樹脂組成物、例えば、特開２００５−３８６１公報［００３４］〜［００６３］に記載や、特開平１０−１９５３５８号公報［０００９］〜［００２６］に記載のインクジェット用組成物を使用することもできる。
本発明におけるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、上記＜感光性組成物＞の項で挙げた、顔料などの着色剤を含有させた光酸架橋型感光性組成物を、好適なものとして用いることができる。
【００６３】
また、本発明において用いることができるインクとしては、少なくともバインダー、及び、２官能乃至３官能のエポキシ基含有モノマーを含有するカラーフィルタ用熱硬化性インクも好適なものとして用いることができる。
【００６４】
本発明におけるカラーフィルタは、インクジェット方式で画素形成されたカラーフィルタであることが好ましく、ＲＧＢ３色のインクを吹き付けて３色のカラーフィルタを形成することが好ましい。
このカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、ＰＬＺＴ等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。
【００６５】
［表示装置］
本発明の表示装置としては液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などを言う。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。
本発明の表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。さらに本発明はもちろんＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門２００１年発行）」の４３ページに記載されている。
【００６６】
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のブラックマトリックスはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズ
の市場（島健太郎（株）シーエムシー１９９４年発行）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表良吉（株）富士キメラ総研２００３年発行）」に記載されている。
【００６７】
［対象用途］
本発明のカラーフィルタはテレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの用途に特に制限なく適用できる。
【実施例】
【００６８】
以下に、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。本発明はこれらに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り「％」および「部」は、「質量％」および「質量部」を表し、「分子量」とは「質量平均分子量」のことを示す。
【００６９】
（実施例1）
無アルカリガラス基板を、ＵＶ洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。基板を１２０℃３分熱処理して表面状態を安定化させた。
基板を冷却し２３℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター（エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名：ＭＨ−１６００）にて、以下に記載の組成よりなる感光性組成物Ｋ１を塗布した。引き続きＶＣＤ（真空乾燥装置、東京応化工業社製）で３０秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、ＥＢＲ（エッジ・ビード・リムーバー）にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、１２０℃３分間プリベークして膜厚２μｍの感光性層Ｋ１を得た。
【００７０】
＜感光性組成物Ｋ１＞
・カーボンブラック分散物（下記組成）                        ２５．０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート          ３７．４部
・メチルエチルケトン                                        ２４．９部
・バインダー１                                                ９．１部
・２，２−ビス（トリクロロメチル）−６−［−４−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシ
カルボニルメチル）−３−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン    １．２部
・架橋剤（ＭＷ−３０Ｍ  三和ケミカル（株）製）                ２．４部
・界面活性剤１                                                ０．０４４部
【００７１】
＜カーボンブラック分散液＞
・カーボンブラック（デグッサ社製Ｎｉｐｅｘ３５）            １３．１％
・分散剤（下記構造）                                        ０．６５％
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝
７２／２８モル比のランダム共重合物、分子量３．７万）    ６．７２％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ７９．５３％
【００７２】
【化２】
2006330155.tif 000003
【００７３】
＜バインダー１＞
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７８／２２モル比のランダム共重合物、分子量３．８万）                                        ２７％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ７３％
【００７４】
＜界面活性剤１＞
・下記構造物１                                                ３０％
・メチルエチルケトン                                          ７０％
【００７５】
【化３】
2006330155.tif 000004
【００７６】
（露光工程）
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機（日立電子エンジニアリング社製）で、基板とマスク（画像パターンを有す石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光層Ｋ１との間の距離を２００μｍに設定し、窒素雰囲気下で、露光量４００ｍＪ／ｃｍ2でパターン露光した。
（ベーク工程）
露光終了して１分後に加熱処理（１１０℃、６０秒）を行った。
【００７７】
（現像工程）
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、濃色感光性層Ｋ１の表面を均一に湿らせた後、ＫＯＨ系現像液（ＫＯＨ、ノニオン界面活性剤含有、商品名：ＣＤＫ−１、富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ社製）にて２３℃８０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて９．８ＭＰａの圧力で噴射して残渣除去を行い、大気下にて露光量２０００mJ/cm2にてポスト露光を行って、光学濃度３．９の離画壁を得た。このようにして得られた離画壁の表面凹凸を接触膜厚計（Ｔｅｎｃｏｒ社製触針式表面粗さ計Ｐ１０）で測定したところＲａは３．２ｎｍ、離画壁の高さは２．０μｍであった。
【００７８】
〔プラズマ撥水化処理〕
離画壁を形成した基板に、カソードカップリング方式平行平板型プラズマ処理装置を用いて、以下の条件にてプラズマ撥水化処理を行った。
使用ガス：ＣＦ4ガス流量：８０ｓｃｃｍ
圧力：４０Ｐａ
ＲＦパワー：５０Ｗ
処理時間：３０ｓｅｃ
【００７９】
−画素用着色インキの調製−
下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、３本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得た。その顔料分散液をディソルバー等で十分攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、赤色（Ｒ）画素用着色インク組成物を調製した。
〈赤色画素用着色インキの組成〉
・顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４）                        ５部
・高分子分散剤（ＡＶＥＣＩＡ社製ソルスパース２４０００）        １部
・バインダー（グリシジルメタクリレート−スチレン共重合体）      ３部
・第一エポキシ樹脂（ノボラック型エポキシ樹脂、
油化シェル社製エピコート１５４）                                ２部
・第二エポキシ樹脂（ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル）５部
・硬化剤（トリメリット酸）                                      ４部
・溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル                        ８０部
【００８０】
さらに、上記組成中のＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４に代えてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６を同量用いるほかは赤色画素部着色インク組成物の場合と同様にして緑色（Ｇ）画素用着色インク組成物を調製した。
さらに、上記組成中のＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４に代えてＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を同量用いるほかは赤色画素用着色インク組成物の場合と同様にして青色（Ｂ）画素用着色インク組成物を調製した。
【００８１】
次に上記のＲ、Ｇ、Ｂの画素用着色インクを用いて、上記で得られた画像形成用基板の離画壁で区分された領域内（凸部が囲まれた凹部）に、インクジェット方式の記録装置を用いて所望の濃度になるまでインク組成物の吐出を行い、Ｒ、Ｇ、Ｂのパターンからなるカラーフィルタを作製した。画像着色後のカラーフィルタを２３０℃オーブン中で３０分ベークすることでブラックマトリックス、各画素ともに完全に硬化させた。
【００８２】
こうして得られたカラーフィルタの、各画素を構成するインクは、離画壁間隙にぴったり収まり、隣接画素との混色などの欠陥となる不良は見つからなかった。これは本発明を用いることで、予期せず離画壁上部の表面のインクに対する濡れ性が低下したため、インクが隣の画素領域まで達しなかったためと考えられる。
【００８３】
（オーバーコート層）
その後、着色層が形成されたガラスを低圧水銀灯（有効波長２５４ｎｍ）ＵＶ洗浄装置で洗浄し残渣及び異物を除去してから、透明オーバーコート剤を塗布・ベークする。膜の厚さが１．５μｍになるように前面塗布後、２３０℃で４０分間ベークした。この時、透明オーバーコート層を形成するために下記の化学式（Ａ）のポリアミック酸と化学式（Ｂ）のエポキシ化合物を３:１の重量比で混合して使用した。
【００８４】
【化４】
2006330155.tif 000005
【００８５】
（ＩＴＯの形成）
前記オーバーコート層が形成されたカラーフィルタ上に、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）をスパッタリングにより形成して、ＩＴＯ透明電極基板を得た。カラーフィルタのＩＴＯ抵抗を測定した（三菱油化「ロレスタ」；四探針法でシート抵抗を測定）ところ、１３Ω/□であった。
【００８６】
（スペーサの形成）
特開２００４−２４０３３５公報の［実施例１］に記載のスペーサ形成方法と同様の方法で、上記で作製したＩＴＯ透明電極上にスペーサを形成した。
【００８７】
（液晶配向制御用突起の形成）
下記のポジ型感光性樹脂層用塗布液を用いて、前記スペーサを形成したＩＴＯ透明電極上に液晶配向制御用突起を形成した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から１００μｍの距離となるようにプロキシミティ露光機（日立電子エンジニアリング株式会社製）を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー１５０ｍＪ／ｃｍ2でプロキシミティ露光した。
続いて、２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて３３℃で３０秒間基板に噴霧しながら現像した。こうして、感光性樹脂層の不要部（露光部）を現像除去することにより、カラーフィルタ側基板上に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を得た。
次いで、該液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を２３０℃下で３０分ベークすることにより、液晶表示装置用基板上に硬化された液晶配向制御用突起を形成した。
【００８８】
＜ポジ型感光性樹脂層用塗布液処方＞
・ポジ型レジスト液                                                    ５３．３部
（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製、ＦＨ−２４１３Ｆ）
・メチルエチルケトン                                                  ４６．７部
・界面活性剤                                                          ０．０４部
（メガファックＦ−７８０Ｆ、大日本インキ化学工業（株）製）
【００８９】
（液晶表示装置の作成）
上記で得られた液晶表示装置用基板を用いて、特開平１１−２４２２４３号公報の第一実施例［００７９］〜［００８２］に記載の方法を用いて、液晶表示装置を作製した。
【００９０】
（評価）
液晶表示装置の画面は、混色が無く良好な画面であった。また、黒色表示の品位も良好であった。