(57)【要約】【課題】  複数種の液状体を吐出させることができ、且つスジムラが目立ちにくいように複数の液滴吐出ヘッドが配置されたキャリッジおよびこのキャリッジを備えた液滴吐出装置、並びにこの液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法および電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。【解決手段】  キャリッジ５１には、液状体を種類ごとにノズル６１から吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２が、第１の方向としてのＹ軸方向に各ノズル列６２が並列するように配置され、且つ異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列６２の端部の位置が、互いにずれて配置されている。液滴吐出装置は、キャリッジ５１を搭載し、複数の液滴吐出ヘッド５２とワークとをＹ軸方向と直交するＸ軸方向に相対的に移動させる主走査に同期して、複数の液滴吐出ヘッド５２から複数種の液状体をワークに吐出して複数種の色要素を略同時に描画形成することができる。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種の液状体を種類ごとに吐出する複数の液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジであって、
前記液滴吐出ヘッドは、略等間隔で配設されている複数のノズルを有し、
前記複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列は、第１の方向に並列していると共に、異なる種類の前記液状体を吐出する前記各ノズル列の端部の位置が、互いにずれて並列していることを特徴とするキャリッジ。
【請求項２】
異なる種類の前記液状体を吐出する前記液滴吐出ヘッドが前記第１の方向と直交する第２の方向に１つずつ配列した群を１ヘッド群として、前記ヘッド群がヘッド群間で同一種類の液状体を吐出するノズル列の端部の位置が互いにずれて前記第１の方向および／または前記第２の方向に複数配列して搭載されていることを特徴とする請求項１に記載のキャリッジ。
【請求項３】
前記第１の方向に複数配列されている前記ヘッド群は、前記第２の方向から見て、同一種類の前記液状体を吐出する複数の前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さ分が、前記第１の方向に連続するように搭載されていることを特徴とする請求項２に記載のキャリッジ。
【請求項４】
前記第２の方向に複数配列されている前記ヘッド群は、前記第２の方向から見て、同一種類の前記液状体を吐出する複数の前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さ分が、前記第１の方向に連続するように搭載されていることを特徴とする請求項２に記載のキャリッジ。
【請求項５】
前記同一種類の前記液状体を吐出する複数の前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル列が、１ノズルピッチを置いて前記第１の方向に連続するように搭載されていることを特徴とする請求項３または４に記載のキャリッジ。
【請求項６】
少なくとも前記第１の方向に複数配列されている前記ヘッド群は、前記第２の方向から見て、同一種類の前記液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、前記ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに前記第２の方向に配列した前記ヘッド群の数を乗じた値の自然数倍となるように設定されていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれか一項に記載のキャリッジ。
【請求項７】
少なくとも前記第１の方向に複数配列されている前記ヘッド群は、前記第２の方向から見て、同一種類の前記液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、前記ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに前記第２の方向に配列した前記ヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値となるように設定されていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれか一項に記載のキャリッジ。
【請求項８】
前記異なる種類の液状体を吐出する前記各ノズル列の端部の位置のずれ量は、前記ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さを、吐出される前記液状体の種類の数で除した値であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一項に記載のキャリッジ。
【請求項９】
色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画形成する液滴吐出装置であって、
請求項１ないし８のいずれか一項に記載のキャリッジと、
前記複数の液滴吐出ヘッドとワークとを対向配置させた状態で相対的に主走査方向および副走査方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段による前記複数の液滴吐出ヘッドと前記ワークとの主走査に同期して、前記複数の液滴吐出ヘッドを選択的に駆動して前記複数種の液状体を前記ワークに吐出させる描画制御手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記キャリッジが複数備えられていることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
複数の前記キャリッジの間隔は、前記主走査方向から見て、異なる前記キャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、１ノズルピッチとなるように設定されていることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
複数の前記キャリッジの間隔は、前記主走査方向から見て、異なる前記キャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、前記ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに前記第２の方向に配列した前記ヘッド群の数を乗じた値の自然数倍となるように設定されていることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
【請求項１３】
複数の前記キャリッジの間隔は、前記主走査方向から見て、異なる前記キャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、前記ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに前記第２の方向に配列した前記ヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値となるように設定されていることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
【請求項１４】
複数の前記キャリッジの間隔を調整可能な調整手段と、
複数の前記キャリッジの間隔を、前記主走査方向から見て、異なる前記キャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、１ノズルピッチとなるように、または、前記ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに前記第２の方向に配列した前記ヘッド群の数を乗じた値の自然数倍となるように、あるいは、前記ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに前記第２の方向に配列した前記ヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値となるように前記調整手段を制御する制御部と、をさらに備えたことを特徴とする請求項９ないし１３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項１５】
基板上の複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画形成する液滴吐出方法であって、
請求項９ないし１３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用いて、前記主走査方向に描画する描画動作と前記副走査方向に改行する改行動作とを複数回繰り返して行うことにより複数種の色要素を描画形成することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１６】
少なくとも一方の基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、
請求項９ないし１３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用いて、前記基板上の前記複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画する色要素描画工程と、
描画された色要素を乾燥して成膜化する成膜工程と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】
少なくとも一方の基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置であって、
請求項１６の電気光学装置の製造方法を用いて、前記基板上の前記複数の色要素領域に、複数種の色要素が形成されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１８】
請求項１７の電気光学装置を備えたこと特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジ、複数の液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に走査して、基板上に機能性材料を含む液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置、この液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板上に機能性材料を含む液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置として、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドを機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）として用い、複数の機能液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを介して複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向および副走査方向に移動させる移動手段を備えた描画装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
この描画装置は、副走査方向に均等に区分したワーク（基板）上の複数の仮想分割部位に対応して、複数の機能液滴吐出へッドが副走査方向に分散して搭載されたキャリッジを有している。また、複数の機能液滴吐出ヘッドにより、複数の仮想分割部位に対して副走査方向の中間部位から両外側部位に向かって、略同時並行的に液状体を吐出して描画を行うものである。これにより、複数の仮想分割部位の両外側部位を先に描画する場合に比べて、両外側部位における着弾した液状体から溶剤が気化する時期を遅らせて、乾燥処理前の溶剤の気化量が基板上の位置によって大きく異なることを低減しようとするものである。すなわち、乾燥後の機能性材料からなる成膜部の乾燥ムラをより低減しようとするものである。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２６７９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の描画装置を用いて、例えば、３色の色要素を有するカラーフィルタを成膜する場合は、色要素形成材料を含む液状体を基板上の所定の描画領域に吐出して描画する描画装置が１色につき１台、すなわち３台必要であった。また、基板を各描画装置に給除材する時間や位置決めする時間が重複することとなり、生産性が低いという課題を有していた。
【０００６】
上記課題を解決するために、機能液滴吐出ヘッドを複数搭載し、複数種の液状体を略同時に吐出させて描画させることが考えられる。しかしながら、機能液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出するための複数のノズルを有しており、この複数のノズルから吐出される液状体の吐出量は、必ずしも一定ではない。また、機能液滴吐出ヘッドごとに吐出量にバラツキを有している。したがって、機能液滴吐出ヘッドによって主走査方向に描画すると、液状体の不均一な吐出量による微細なスジムラが発生することがあった。また、複数回に渡って主走査を繰り返して描画する場合は、１回の主走査によって機能液滴吐出ヘッドが描画可能な領域は、比較的に狭い領域である。ゆえに、異なる機能液滴吐出ヘッドで分割描画された領域が隣接する境界では、スジムラが顕著となり易い。また、異なる種類の液状体を主走査方向にほぼ同一線上に着弾させると、スジムラが強調されて視認し易くなるという課題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、複数種の液状体を吐出させることができ、且つスジムラが目立ちにくいように複数の液滴吐出ヘッドが配置されたキャリッジおよびこのキャリッジを備えた液滴吐出装置、並びにこの液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法および電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のキャリッジは、複数種の液状体を種類ごとに吐出する複数の液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジであって、液滴吐出ヘッドは、略等間隔で配設されている複数のノズルを有し、複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列は、第１の方向に並列していると共に、異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列の端部の位置が、互いにずれて並列していることを特徴とする。
【０００９】
液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液状体の吐出量は、ノズルごとに必ずしも一定していない。また、複数の液滴吐出ヘッドの間においてもバラツキを有している。この構成によれば、第１の方向に各ノズル列が並列していると共に、異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列の端部の位置が、互いにずれて並列した状態で、複数の液滴吐出ヘッドがキャリッジに搭載される。したがって、液状体が吐出される基板（ワーク）に対して、このキャリッジを上記第１の方向と直交する主走査方向に相対的に移動させながら、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドの各ノズルから異なる種類の液状体を吐出させれば、各ノズル列の端部に位置したノズルから吐出される異なる種類の液状体同士が主走査方向の同一線上に着弾することを避けることができる。ゆえに、各ノズル列の端部に位置するノズルから吐出される液状体の吐出量が他のノズルに対して異なることによるスジムラが同一線上で強調されずに吐出描画することができる。すなわち、複数種の液状体を吐出させることができ、且つスジムラが目立ちにくいように複数の液滴吐出ヘッドが配置されたキャリッジを提供することができる。なお、ノズル列とは液状体を吐出する際に使用可能な有効ノズルの列を指す。
【００１０】
上記異なる種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッドが第１の方向と直交する第２の方向に１つずつ配列した群を１ヘッド群として、ヘッド群がヘッド群間で同一種類の液状体を吐出するノズル列の端部の位置が互いにずれて第１の方向および／または第２の方向に複数配列して搭載されていることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ヘッド群がヘッド群間で同一種類の液状体を吐出するノズル列の端部の位置が互いにずれて第１の方向および／または第１の方向と直交する第２の方向に複数配列して搭載されているため、スジムラが目立ちにくいように複数種の液状体を吐出させることができる。そして、１ヘッド群で吐出描画する場合に比べて、吐出描画可能な範囲を上記第１の方向または第１の方向と直交する第２の方向、あるいは両方の方向に拡大することができる。すなわち、このキャリッジを用いれば、１回の主走査によって吐出描画可能な範囲が拡大されているので、スジムラが目立ちにくいように複数種の液状体を吐出すると共に、大型の基板であっても主走査の回数を減じてより効率よく吐出描画させることができる。
【００１２】
また、上記第１の方向に複数配列されているヘッド群は、第２の方向から見て、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さ分が、第１の方向に連続するように搭載されていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、第１の方向に複数配列されているヘッド群に配列した同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列は、互いのノズル列に含まれるノズルの一部が第２方向から見て重複するも、ノズル列の全長の少なくとも８０％が第１の方向に連続して配列されることとなる。したがって、第２の方向に主走査すれば、当該ノズル列の全長の少なくとも８０％が互いに連続した描画幅で吐出描画することができる。
【００１４】
また、上記第２の方向に複数配列されているヘッド群は、第２の方向から見て、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さ分が、第１の方向に連続するように搭載されているとしてもよい。
【００１５】
この構成によれば、第２の方向に複数配列されているヘッド群に配列した同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列は、互いのノズル列に含まれるノズルの一部が第２方向から見て重複するも、ノズル列の全長の少なくとも８０％が第１の方向に連続して配列されることとなる。したがって、第２の方向に主走査すれば、当該ノズル列の全長の少なくとも８０％が互いに連続した描画幅で吐出描画することができる。すなわち、前項を含め第１の方向または第２の方向に複数配列されたヘッド群の同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのノズル列を有効に活用して、１回の主走査で第１の方向に連続して吐出描画可能な描画幅を拡げることができる。
【００１６】
また、上記同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのノズル列が、１ノズルピッチを置いて第１の方向に連続するように搭載されていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、第１の方向または第２の方向に複数配列するヘッド群において、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列は、第２の方向から見て、各ノズル列に含まれる複数のノズルが略等間隔で第１の方向に連続した状態に配列されることとなる。したがって、第２の方向に主走査すれば、同一種類の液状体を吐出可能なノズル列を主走査方向に重複させることなく最大限に利用した描画幅で吐出させることができる。
【００１８】
また、少なくとも上記第１の方向に複数配列されているヘッド群は、第２の方向から見て、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍となるように設定されていることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、少なくとも第１の方向に配列する複数のヘッド群の同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、第２の方向から見て、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列は、ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍に相当する間隔を置いて配列されている。したがって、第２の方向に主走査すれば、第１の方向に該間隔を置いてノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値に相当する描画幅で吐出描画される。このとき吐出描画された描画幅においては、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列からは、第１の方向に連続した状態で液状体が吐出される。よって、次に第１の方向に該描画幅に相当する距離で副走査（改行）を行って、再び第２の方向に主走査することを該自然数回繰り返せば、ノズル列の全長の少なくとも８０％のノズルを有効に利用した描画幅が第１の方向に連続するように吐出描画することが可能なキャリッジを提供することができる。
【００２０】
また、少なくとも上記第１の方向に複数配列されているヘッド群は、第２の方向から見て、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値となるように設定されていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、少なくとも第１の方向に複数配列されているヘッド群の同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、第２の方向から見て、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列は、ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値の間隔を置いて配列されている。したがって、第２の方向に主走査すれば、第１の方向に該間隔を置いてノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値に相当する描画幅で吐出描画される。このとき吐出描画された描画幅においては、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列からは、第１の方向に連続した状態で液状体が吐出される。よって、次に第１の方向に該描画幅に相当する距離で副走査（改行）を行って、再び第２の方向に主走査することを該自然数回繰り返せば、ノズル列の全長を最大限に利用した描画幅が第１の方向に連続するように吐出描画することが可能なキャリッジを提供することができる。
【００２２】
上記異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列の端部の位置のずれ量は、ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さを、吐出される液状体の種類の数で除した値であることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列は、各ノズル列の端部が互いに均等な距離を置いて最も離れた状態で配置されるため、各ノズル列の端部が互いに近づいて配置された状態に比べて、ノズルからの吐出量のバラツキによるスジムラがノズル列の端部付近で集中せずに、より目立ちにくい状態にすることができる。
【００２４】
本発明の液滴吐出装置は、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画形成する液滴吐出装置であって、上記発明のキャリッジと、複数の液滴吐出ヘッドとワークとを対向配置させた状態で相対的に主走査方向および副走査方向に移動させる移動手段と、移動手段による複数の液滴吐出ヘッドとワークとの主走査に同期して、複数の液滴吐出ヘッドを選択的に駆動して複数種の液状体をワークに吐出させる描画制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、複数種の液状体を吐出させることができ、且つスジムラが目立ちにくいように複数の液滴吐出ヘッドが配置されたキャリッジを備えている。したがって、移動手段による複数の液滴吐出ヘッドとワークとの主走査に同期して、描画制御手段により複数の液滴吐出ヘッドを選択的に駆動して複数種の液状体をワークに吐出させて描画を行えば、スジムラによる色ムラが目立ちにくい状態で複数種の色要素を吐出描画することができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００２６】
また、上記キャリッジが複数備えられていることが好ましい。この構成によれば、複数の液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを複数備えることにより、移動手段による１回の主走査でより広い範囲に渡って吐出描画することができる。すなわち、主走査による吐出描画の回数を減じて効率よく複数種の色要素を描画形成することができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００２７】
また、上記複数のキャリッジの間隔は、主走査方向から見て、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、１ノズルピッチとなるように設定されていることが好ましい。
【００２８】
この構成によれば、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのノズル列は、主走査方向から見て第１の方向すなわち副走査方向に連続した状態となる。したがって、移動手段による主走査に同期して、液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を吐出させれば、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列を主走査方向に重複させることなく最大限に利用した描画幅で吐出させることができる。また、同一キャリッジ内において、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列が第２の方向すなわち主走査方向から見て連続するように配置されている場合は、複数のキャリッジに渡って該ノズル列がすべて主走査方向に連続することとなる。よって、１回の主走査で、描画領域が分割されることなく同一種類の液状体を吐出描画することができる。
【００２９】
また、上記複数の前記キャリッジの間隔は、主走査方向から見て、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍となるように設定されていることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、主走査方向から見て最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列は、ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍に相当する間隔を置いて配列される。したがって、第２の方向（主走査方向）に主走査すれば、副走査方向において該間隔を置いて分割された描画幅で吐出描画される。このとき分割された各描画幅においては、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列から副走査方向に連続した状態で液状体が吐出される。よって、次に副走査方向に該描画幅に相当する距離で副走査（改行）を行って、再び主走査することを該自然数回繰り返せば、主走査方向において該各ノズル列の一部が重複するも、ノズル列の全長の少なくとも８０％のノズルを有効に利用して、先の主走査において該描画幅で描画された範囲に連続した描画範囲で吐出描画することができる。
【００３１】
また、上記複数のキャリッジの間隔は、主走査方向から見て、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値となるように設定されていることがより好ましい。
【００３２】
この構成によれば、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、主走査方向から見て、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列は、ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値に相当する間隔を置いて配列される。したがって、第２の方向（主走査方向）に主走査すれば、副走査方向において該間隔を置いて分割された描画幅で吐出描画される。このとき分割された各描画幅においては、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列から副走査方向に連続した状態で液状体が吐出される。よって、次に副走査方向に該描画幅に相当する距離で副走査（改行）を行って、再び主走査することを該自然数回繰り返せば、主走査方向において該各ノズル列を重複させることなく最大限に利用して、先の主走査において該描画幅で描画された範囲に連続した描画範囲で吐出描画することができる。すなわち、主走査による吐出描画の回数を減じてより効率よく複数種の色要素を描画形成することができる液滴吐出装置を提供することができる。
【００３３】
また、上記複数のキャリッジの間隔を調整可能な調整手段と、複数のキャリッジの間隔を、主走査方向から見て、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列の間隔が、１ノズルピッチとなるように、または、ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍となるように、あるいは、ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値となるように調整手段を制御する制御部と、をさらに備えたことを特徴とする。
【００３４】
この構成によれば、制御部は、異なるキャリッジに配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッドのうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッドのノズル列が、主走査方向から見て連続するように調整手段を制御してキャリッジの間隔を調整する。よって、複数のキャリッジに搭載された当該液滴吐出ヘッドのノズル列を最大限に利用した描画幅で吐出描画させることができる。または、制御部は、当該液滴吐出ヘッドのノズル列が、ノズル列の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍となるように調整手段を制御してキャリッジの間隔を調整する。あるいは、制御部は、当該液滴吐出ヘッドのノズル列が、ノズル列の全長に１ノズルピッチを加えた長さに第２の方向に配列したヘッド群の数を乗じた値の自然数倍の値に１ノズルピッチを加えた値となるように調整手段を制御してキャリッジの間隔を調整する。よって、第２の方向すなわち主走査方向に配列するヘッド群の複数の液滴吐出ヘッドのうち、同一種類の液状体を吐出するノズル列が描画可能な描画幅に相当する幅で複数のキャリッジを副走査（改行）すれば、ノズル列の少なくとも８０％に相当するノズル、あるいは、ノズル列の全長を有効に用いて吐出描画することができる。すなわち、複数のキャリッジに搭載された複数の液滴吐出ヘッドの各ノズル列を有効に用いて、効率よく吐出描画できる液滴吐出装置を提供することができる。
【００３５】
本発明の液滴吐出方法は、基板上の複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画形成する液滴吐出方法であって、上記発明の液滴吐出装置を用いて、主走査方向に描画する描画動作と副走査方向に改行する改行動作とを複数回繰り返して行うことにより複数種の色要素を描画形成することを特徴とする。
【００３６】
この方法によれば、キャリッジに搭載された複数の液滴吐出ヘッドのノズルから色要素形成材料を含む複数種の液状体をスジムラによる色ムラが目立ちにくい状態で効率よく吐出することができる液滴吐出装置を用いているため、描画動作と改行動作とを必要最小限の回数にして、基板上の複数の色要素領域に複数種の色要素を描画形成することができる。
【００３７】
本発明の電気光学装置の製造方法は、少なくとも一方の基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、上記発明の液滴吐出装置を用いて、基板上の複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画する色要素描画工程と、描画された色要素を乾燥して成膜化する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００３８】
この方法によれば、色要素描画工程では、上記発明の液滴吐出装置を用いて、基板上の複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素をスジムラによる色ムラが目立ちにくいように描画する。そして、成膜工程では、描画された色要素を乾燥して成膜化する。ゆえに、色ムラの少ない高い表示品質を有する電気光学装置を製造することができる。
【００３９】
本発明の電気光学装置は、少なくとも一方の基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置であって、上記発明の電気光学装置の製造方法を用いて、基板上の複数の色要素領域に、複数種の色要素が形成されたことを特徴とする。これによれば、上記発明の電気光学装置の製造方法を用いているため、色ムラの少ない高い表示品質を有する電気光学装置を提供することができる。
【００４０】
本発明の電子機器は、上記発明の電気光学装置を備えたこと特徴とする。これによれば、色ムラの少ない高い表示品質を有する電気光学装置を備えているため、必要な情報を高い表示品質で表示させ確認することができる電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
（実施形態１）
以下、添付図面を参照して、本発明を適用したキャリッジおよび液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、基板上に区画形成された色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を、キャリッジに搭載された複数の液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して複数種の色要素を形成するものである。
【００４２】
（液滴吐出装置）
図１は、液滴吐出装置を示す概略斜視図である。図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗを載置してＸ軸方向（主走査方向）に移動させるワーク移動手段２と、複数（７つ）のキャリッジユニット５をＹ軸方向（副走査方向）に移動させるヘッド移動手段３とを備えている。複数（７つ）のキャリッジユニット５には、複数（６つ）の液滴吐出ヘッド５２（図２参照）が基板Ｗと対向するように搭載されたキャリッジ５１（図４参照）がそれぞれ備えられている。また、ワーク移動手段２による基板ＷのＸ軸方向への移動（主走査）に同期して、複数の液滴吐出ヘッドを選択的に駆動して複数種の液状体を基板Ｗ上に吐出させる描画制御手段としての制御部４（図６参照）を備えている。
【００４３】
ワーク移動手段２は、基板Ｗが載置されるセットテーブル２４と、セットテーブル２４をエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に移動させるリニアモータ２２を備えた一対のＸ軸ガイドレール２３とを有している。一対のＸ軸ガイドレール２３は、床上に設置された共通架台９上に載置されＸ軸方向に延在する石定盤２１上に配設されている。
【００４４】
セットテーブル２４には、基板Ｗが真空吸着して固定される吸着テーブル（図示省略）と、基板Ｗの表面が複数の液滴吐出ヘッド５２と所定の間隔を置いて精度よく対向するように基板Ｗの水平調整および角度調整が可能なθテーブル（図示省略）とを備えている。
【００４５】
ヘッド移動手段３は、複数のキャリッジユニット５をエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に移動させるリニアモータ３１を備えた一対のＹ軸ガイドレール３２を有している。一対のＹ軸ガイドレール３２は、共通架台９上に間隔を置いて立脚した８本の支持スタンド８上にワーク移動手段２を跨ぐように配設されている。
【００４６】
一対のＹ軸ガイドレール３２の間には、キャリッジ５１に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５２のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス手段１４が、複数の液滴吐出ヘッド５２を臨む位置に配設されている。
【００４７】
キャリッジユニット５は、一対のＹ軸ガイドレール３２に差し渡されるようにして配置されている。差し渡されたキャリッジユニット５のプレート上には、各液状体が貯留されたタンクから配管を経由して送り込まれた液状体を所定量貯留して、各液滴吐出ヘッド５２に液状体を供給する液状体供給ユニット６と、各液滴吐出ヘッド５２を駆動するための電気信号を供給するヘッド用電装ユニット７とが、載置されている。
【００４８】
次に本実施形態の液滴吐出ヘッドについて図２、図３に基づいて説明する。図２は、液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である。
【００４９】
図２（ａ）に示すように、本実施形態の液滴吐出ヘッド５２は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した液状体供給ユニット６に配管を経由して接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して前述のヘッド用電装ユニット７に接続される２連のコネクタ５９が設けられている。
【００５０】
ヘッド本体５６は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５８ａに２つのノズル列６２，６２が相互に平行に形成されたノズルプレート５８とを有している。
【００５１】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列６２，６２は、それぞれ複数（１８０個）のノズル６１がピッチＰ１で略等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５８に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４０μｍである。よって、ノズル列６２に直交する方向から見ると３６０個のノズル６１がおよそ７０μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。以降説明上、ノズル６１の間隔は、ノズルピッチＰ２とする。
【００５２】
液滴吐出ヘッド５２は、ヘッド用電装ユニット７から電気信号としての駆動波形がピエゾ素子等に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル６１から液状体を液滴として吐出することができる。
【００５３】
図３は、各ノズルから吐出される液状体の吐出量を示すグラフである。詳しくは、液滴吐出ヘッド５２に駆動用波形を印加して液状体を複数（１８０個）のノズル６１ごとに繰り返し吐出させ、その総重量を駆動波形の印加回数で除して吐出量の平均値をグラフ化したものである。図３に示すように、各ノズルからの液状体の吐出量は、必ずしも一定ではない。この場合、１８０個のノズル６１のうち、ノズル列６２の両端に位置するおよそ１０個程度のノズル６１からの吐出量が他のノズル６１に比べて多い傾向がある。本実施形態の液滴吐出装置１では、安定した吐出量が要求されており、実際の液状体の吐出描画には、ノズル列６２の両端１０個のノズル６１を除いた１６０個のノズル６１を有効ノズルとして用いている。したがって、２つのノズル列６２，６２を有する液滴吐出ヘッド５２の有効ノズルの全長は、ノズルピッチＰ２×３１９（およそ２２ｍｍ）である。以降に述べるノズル列６２とは、有効ノズルの列を指すものとする。
【００５４】
次にキャリッジについて実施例を基に説明する。
（実施例１）
図４は、実施例１のキャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配列状態を示す概略平面図である。詳しくは、ノズル面５８ａを臨む平面図である。
【００５５】
図４に示すように、実施例１のキャリッジ５１は、平行四辺形の形状をしており、色要素形成材料を含む３種（ＲＧＢ）の液状体を吐出する６つの液滴吐出ヘッド５２を、第１の方向としてのＹ軸方向（副走査方向）に並列して搭載している。また、第２の方向としてのＸ軸方向にＲＧＢの順に並列して搭載している。そして、異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列６２の端部の位置が、互いにずれた状態で搭載している。キャリッジ５１には、異なる種類の液状体を吐出する３つ液滴吐出ヘッド５２を１つの群として２つのヘッド群５２Ａ，５２ＢがＸ軸方向に沿って搭載されたことになる。この場合のずれ量は、ノズル列６２の全長（有効ノズル３２０個分）に１ノズルピッチＰ２を加えた長さを、吐出される液状体の種類の数で除した値となっている。すなわち、（（Ｐ２×３１９）＋Ｐ２）／３＝（Ｐ２×３２０）／３となっている。これにより、Ｘ軸方向（主走査方向）から見ると、同一種類の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の液滴吐出ヘッド５２のノズル６１は、ノズルピッチＰ２で３２０×２＝６４０個連続した状態に配置されている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２の同一種類の液状体を吐出する各液滴吐出ヘッド５２においても同様である。また、ヘッド群５２Ａにおいて、異なる種類の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＧ１およびヘッドＢ１の各ノズル列６２の端部は、互いに（Ｐ２×３２０）／３ずれたことにより、互いにもっとも離れた位置に配置された状態となっている。他のヘッド群５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄにおいても同様である。
【００５６】
また、隣接する２つのキャリッジ５１，５１の間隔Ｌ１は、異なるキャリッジ５１に配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２が、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て１ノズルピッチＰ２を置いて連続するように設定されている。すなわち、ヘッドＲ２とヘッドＲ３、ヘッドＧ２とヘッドＧ３、ヘッドＢ２とヘッドＢ３の各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔は、ノズルピッチＰ２となっている。前述したとおり、液滴吐出装置１には、７つのキャリッジユニット５を有しており、これに取り付けられた７つのキャリッジ５１は、それぞれ間隔Ｌ１となるようにヘッド移動手段３によって調整され位置決めされる。すなわち、ヘッド移動手段３は、キャリッジ５１の間隔を調整する調整手段としても機能する。
【００５７】
実施例１のキャリッジ５１を用いれば、１回の主走査で、最大７つ分のキャリッジ５１に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５２により、同一種類の液状体を吐出する１つの液滴吐出ヘッド５２が吐出描画可能な描画幅がＹ軸方向（副走査方向）に連続した状態の描画幅で、３種の異なる液状体を吐出することが可能となる。
【００５８】
（実施例２）
図５は、実施例２のキャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配列状態を示す概略平面図である。図４と同様に、ノズル面５８ａを臨む平面図である。
【００５９】
図５に示すように、実施例２のキャリッジ７１は、実施例１に対して、異なる種類の液状体を吐出する３つの液滴吐出ヘッド５２を１つの群として、４つのヘッド群５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄを、第１の方向としての副走査方向（Ｙ軸方向）と第２の方向としての主走査方向（Ｘ軸方向）とにそれぞれ２群ずつ配置したものである。そして、主走査方向に配列した２つのヘッド群５２Ａ，５２Ｂと、もう２つのヘッド群５２Ｃ，５２Ｄとの間に間隔を設けたものである。また、主走査方向から見て最も近接して位置する同一種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔が、ノズル列６２の全長に１ノズルピッチＰ２を加えた長さに、主走査方向（Ｘ軸方向）に配列するヘッド群の数を乗じた値の自然数倍に１ノズルピッチＰ２を加えた長さとなるように設定されたものである。すなわちこの場合は、ヘッドＲ２とヘッドＲ３の各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔は、（（Ｐ２×３１９）＋Ｐ２）×２（ヘッド群の数）×１（自然数）＋Ｐ２＝（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となっている。
【００６０】
また、隣接する２つのキャリッジ７１，７１の間隔Ｌ２は、異なるキャリッジ７１に配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２のうち、主走査方向から見て、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔が、ノズル列６２の全長に１ノズルピッチＰ２を加えた長さに主走査方向に配列するヘッド群の数を乗じた値の自然数倍に１ノズルピッチＰ２を加えた長さとなるように設定されている。すなわちこの場合は、ヘッドＲ４とヘッドＲ５の各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔が、（（Ｐ２×３１９）＋Ｐ２）×２（ヘッド群の数）×１（自然数）＋Ｐ２＝（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となるように間隔Ｌ２が設定されている。
【００６１】
実施例２のキャリッジ７１を用いて、Ｘ軸方向への主走査とＹ軸方向へ（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２の間隔で移動させる副走査とを繰り返して行えば、実施例１のキャリッジ５１を用いた場合と同様に副走査方向に連続した描画範囲に、３種の異なる液状体を吐出することが可能となる。しかも、７つのキャリッジ５１に対して半分以下の２つのキャリッジ７１で基板Ｗへの吐出描画を行うことが可能となる。詳しい吐出描画の方法については、後述する。
【００６２】
次に液滴吐出装置１の制御系について説明する。図６は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図６に示すように、液滴吐出装置１の制御系は、キーボード１２とディスプレイ１３とが本体１１に接続された上位コンピュータ１０と、液滴吐出ヘッド５２、ワーク移動手段２、ヘッド移動手段３、メンテナンス手段１４等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部４とを備えている。
【００６３】
駆動部４６は、ワーク移動手段２およびヘッド移動手段３の各リニアモータ２２，３１をそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５２を吐出駆動制御するヘッドドライバ４８と、メンテナンス手段１４の各メンテ用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ４９とを備えている。
【００６４】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００６５】
ＲＡＭ４３は、基板Ｗに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基板Ｗおよび液滴吐出ヘッド５２の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバのほか、ワーク認識カメラ１５やヘッド認識カメラ１６等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１０からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００６６】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５２、ワーク移動手段２およびヘッド移動手段３を制御して、所定の描画条件および所定の移動条件で基板Ｗに液状体を吐出させて描画を行う。
【００６７】
（液滴吐出方法）
次に実施例１のキャリッジ５１および実施例２のキャリッジ７１を用いた液滴吐出方法について図７、図８を参照して説明する。本実施形態の液滴吐出方法は、キャリッジ５１またはキャリッジ７１を搭載した液滴吐出装置１を用いて、主走査方向（Ｘ軸方向）に描画する描画動作と副走査方向（Ｙ軸方向）に改行する改行動作とを複数回繰り返して行うことにより、基板Ｗ上の複数の色要素領域Ａに、色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画形成するものである。
【００６８】
図７は、実施例１のキャリッジを用いた液滴吐出方法を示す模式図である。詳しくは、基板Ｗに対してキャリッジ５１に搭載された液滴吐出ヘッド５２のノズル面５８ａが対向するように配置された状態に基づく模式図である。尚、図面上の各異なる種類の液状体を吐出するヘッドＲ１、ヘッドＧ１、ヘッドＢ１で始まる各液滴吐出ヘッド５２を示す四角形のＹ軸方向の幅は、当該液滴吐出ヘッド５２の有効ノズルの全長に対応した描画幅Ｉｗを示すものである。図７に示すように、基板Ｗには、複数（ＲＧＢの３種）の色要素領域Ａが、Ｙ軸方向に同一種類の色要素領域Ａが並び、Ｘ軸方向に異なる種類の色要素領域Ａが並ぶようにストライプ状に配置されている。制御部４は、基板Ｗに対して複数の液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２がストライプ状に配置された色要素領域Ａと対向配置されるように、ヘッド移動手段３のリニアモータ３１を駆動して、キャリッジユニット５を移動させキャリッジ５１を位置決めする。例えば、最初の主走査に際して、ヘッド群５２ＢのヘッドＢ２の液滴吐出ヘッド５２が基板Ｗの全描画領域のＹ軸方向の端を描画可能な位置に位置決めする。そして、隣合うキャリッジ５１の間の間隔Ｌ１は、異なるキャリッジ５１に配置される同一種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２の有効なノズル列６２が１ノズルピッチＰ２を置いて連続するようにヘッド移動手段３により調整される。
【００６９】
制御部４は、ワーク移動手段２のリニアモータ２２を駆動させて、セットテーブル２４に載置された基板ＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させ、これに同期して各液滴吐出ヘッド５２から異なる種類の液状体を吐出して描画させる。これにより、ヘッドＢ１とヘッドＢ２の液滴吐出ヘッド５２が描画可能な描画幅を幅Ｅｂとすると、幅Ｅｂの分割描画領域が副走査方向に連続した描画領域において、Ｂ列に並ぶ色要素領域Ａに渡って対応する液状体が吐出される。他の異なる種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２においても同様である。したがって、１回の主走査により、ほぼ基板Ｗの全描画領域に渡って３種類の異なる液状体の吐出が可能である。この場合、基板Ｗの全描画領域のＹ軸方向の端では、ヘッドＧ２、ヘッドＲ２の各液滴吐出ヘッド５２で描画できない領域が発生する。したがって、制御部４は、ヘッド移動手段３を駆動して、各キャリッジ５１を各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の端部が副走査方向にずれている分、すなわち（Ｐ２×３２０）／３移動させる改行動作と主走査による描画動作とを繰り返す。これにより複数の液滴吐出ヘッド５２が有する有効ノズルを最大限に利用して全描画領域の色要素領域Ａに異なる種類の液状体を偏りなく吐出可能である。尚、この場合、改行動作は、（Ｐ２×３２０）／３の２倍の距離で移動させれば、１回の改行動作で同様に偏りなく吐出可能である。
【００７０】
図８は、実施例２のキャリッジを用いた液滴吐出方法を示す模式図である。詳しくは、同図（ａ）は１回目の主走査におけるキャリッジ７１の配置を示す模式図、同図（ｂ）は２回目の主走査におけるキャリッジ７１の配置を示す模式図である。また、基板Ｗにおける複数の色要素領域Ａの配置および液滴吐出ヘッド５２を示す四角形については、図７と同様である。
【００７１】
図８（ａ）に示すように、制御部４は、基板Ｗに対して複数の液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２がストライプ状に配置された色要素領域Ａと対向配置されるように、ヘッド移動手段３のリニアモータ３１を駆動して、キャリッジユニット５を移動させキャリッジ７１を位置決めする。そして１回目の主走査に際して、ヘッド群５２ＤのヘッドＢ４の液滴吐出ヘッド５２が基板Ｗの全描画領域のＹ軸方向の端を描画可能な位置に位置決めする。また、隣合うキャリッジ７１の間の間隔Ｌ２は、異なるキャリッジ７１に配置された同一種類の液状体を吐出し最も近接して位置するヘッドＢ１とヘッドＢ８の液滴吐出ヘッド５２の有効なノズル列６２の間隔が、ノズル列６２の全長に１ノズルピッチＰ２を加えた長さの２倍の値に１ノズルピッチＰ２を加えた長さ、すなわち（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となるように、ヘッド移動手段３により調整される。
【００７２】
制御部４は、ワーク移動手段２のリニアモータ２２を駆動させて、セットテーブル２４に載置された基板ＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させ、これに同期して各液滴吐出ヘッド５２から異なる種類の液状体を吐出して描画させる。これにより、ヘッドＢ３とヘッドＢ４の液滴吐出ヘッド５２が１回目に描画可能な描画幅を幅Ｅｂ1とすると、基板Ｗの全描画領域の内、副走査方向に（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２の間隔を置いて描画された幅Ｅｂ1の分割描画領域において、Ｂ列に並ぶ色要素領域Ａに対応する液状体が吐出される。他の異なる種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２においても同様である。
【００７３】
次に図８（ｂ）に示すように、制御部４は、各キャリッジ７１を副走査方向に距離（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２移動させる改行動作を行う。そして２回目の主走査による描画動作を行う。ヘッドＢ３とヘッドＢ４の液滴吐出ヘッド５２が２回目に描画可能な描画幅を幅Ｅｂ2とすると、幅Ｅｂ1＝幅Ｅｂ2＝（Ｐ２×３１９）×２＋Ｐ２であるため、２回目の描画動作が終了した時点では、先に図７に示したキャリッジ５１を用いて最初の描画動作を行った場合と同じ描画領域で異なる液状体を吐出して描画することができる。この場合も基板Ｗの全描画領域のＹ軸方向の端では、ヘッドＧ４、ヘッドＲ４の各液滴吐出ヘッド５２で描画できない領域が発生する。したがって、制御部４は、ヘッド移動手段３を駆動して、各液滴吐出ヘッド５２の各ノズル列６２の端部のずれ量に対応して各キャリッジ７１を移動させる改行動作と主走査による描画動作とを繰り返す。これにより複数の液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２を最大限に利用して全描画領域の色要素領域Ａに異なる種類の液状体を偏りなく吐出可能である。
【００７４】
上記のような液滴吐出方法は、１回の吐出による液状体の吐出量を基にして、色要素領域Ａの大きさに対して必要な液状体の量が確保できるように、描画動作と改行動作の繰り返し回数を設定すればよい。
【００７５】
実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）液滴吐出装置１において、実施例１のキャリッジ５１には、異なる液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２がＹ軸方向（第１の方向）に１つずつ並列した２つのヘッド群５２Ａ，５２Ｂが、ヘッド群間で同一種類の液状体を吐出するノズル列６２の端部の位置が互いにずれた状態でＸ軸方向（第２の方向）に配列して搭載されている。したがって、基板Ｗに対して、各キャリッジ５１をＹ軸方向と直交する主走査方向（Ｘ軸方向）に相対的に移動させながら、各キャリッジ５１に搭載された液滴吐出ヘッド５２の各ノズル６１から異なる種類の液状体を吐出させれば、各ノズル列６２の端部に位置したノズル６１から吐出される異なる種類の液状体同士が主走査方向の同一線上に着弾することを避けることができる。ゆえに、各ノズル列６２の端部に位置するノズル６１から吐出される液状体の吐出量が他のノズル６１に対して異なることによるスジムラが同一線上で強調されずに吐出描画することができる。すなわち、１台で複数種の液状体を吐出させることができ、且つスジムラが目立ちにくいように吐出描画可能な液滴吐出装置１を提供することができる。また、後述する図１６に示す変形例のキャリッジ５１ａに比べて、同一種類の液状体を吐出するノズル列６２が複数のキャリッジ５１に渡ってＹ軸方向に連続するように、複数のキャリッジ５１を間隔Ｌ１を置いて近接して配置することができる。（キャリッジ５１ａでは、このようにキャリッジ５１ａ同士を近接して配置することができない。）
【００７６】
（２）液滴吐出装置１において、実施例２のキャリッジ７１には、異なる液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２がＹ軸方向に１つずつ並列した４つヘッド群５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄが、ヘッド群間で同一種類の液状体を吐出するノズル列６２の端部の位置が互いにずれた状態で、Ｘ軸方向に配列して搭載されている。したがって、基板Ｗに対して、各キャリッジ７１をＹ軸方向と直交する主走査方向（Ｘ軸方向）に相対的に移動させながら、各キャリッジ７１に搭載された液滴吐出ヘッド５２の各ノズル６１から異なる種類の液状体を吐出させれば、各ノズル列６２の端部に位置したノズル６１から吐出される異なる種類の液状体同士が主走査方向の同一線上に着弾することを避けることができる。ゆえに、各ノズル列６２の端部に位置するノズル６１から吐出される液状体の吐出量が他のノズル６１に対して異なることによるスジムラが同一線上で強調されずに吐出描画することができる。すなわち、１台で複数種の液状体を吐出させることができ、且つスジムラが目立ちにくいように吐出描画可能な液滴吐出装置１を提供することができる。また、実施例１のキャリッジ５１に比べ、１つのキャリッジ７１に４つのヘッド群５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄを搭載しているため、キャリッジユニット５およびキャリッジユニット５に対応するメンテナンス手段１４等の共通部分を少なくして装置を簡略化することができる。
【００７７】
（３）実施例１のキャリッジ５１を搭載した液滴吐出装置１およびこの液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法において、第２の方向（Ｘ軸方向）に配列したヘッド群５２Ａ，５２Ｂの同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２は、第２の方向から見て、各ノズル列６２が１ノズルピッチＰ２を置いて第１の方向（Ｙ軸方向）に連続した状態となっている。また、複数（７つ）のキャリッジ５１の間隔Ｌ１は、異なるキャリッジ５１に配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２のうち、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２が主走査方向（Ｘ軸方向）から見て連続するように、制御部４が調整手段としてのヘッド移動手段３を制御して設定されている。したがって、移動手段としてのワーク移動手段２による主走査に同期して、複数のキャリッジ５１に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５２のノズルから異なる種類の色要素形成材料を含む複数種の液状体を吐出させれば、同一種類の液状体を吐出可能なノズル列６２を主走査方向に重複させることなく最大限に利用した描画幅で吐出させることができる。すなわち、主走査による吐出描画の回数を減じて、より効率よく複数種の色要素を描画形成することができる液滴吐出装置１および液滴吐出方法を提供することができる。
【００７８】
（４）実施例２のキャリッジ７１を搭載した液滴吐出装置１およびこの液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法において、キャリッジ７１は、第１の方向に並列する同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２のうち、第２の方向から見て、最も近接して位置する液滴吐出ヘッド５２（例えば、ヘッドＲ２とヘッドＲ３）のノズル列６２の間隔が、ノズル列６２の全長（Ｐ２×３１９）に１ノズルピッチＰ２を加えた長さに第２の方向に配列したヘッド群の数（２）を乗じた値の自然数倍（この場合は、１倍）に１ノズルピッチＰ２を加えた長さ、すなわち（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となっている。また、キャリッジ７１の間隔Ｌ２は、異なるキャリッジ７１に配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２のうち、主走査方向から見て最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔が、同様に（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となるように設定されている。したがって、主走査方向（Ｘ軸方向）に複数の液滴吐出ヘッド５２から液状体を吐出すれば、副走査方向（Ｙ軸方向）において該間隔（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２を置いて分割された幅Ｅｂで吐出描画することができる。このとき分割された各描画領域においては、同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２のノズル６１からは、副走査方向に連続した状態で液状体が吐出される。よって、次に副走査方向に該描画幅（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２に相当する距離で副走査（改行）を行って、再び主走査方向に吐出描画することを該自然数回繰り返せば、同一種類の液状体を吐出可能なノズル列６２を主走査方向に重複させることなく最大限に利用した描画幅で吐出させることができる。すなわち、主走査による吐出描画の回数を減じて、効率よく複数種の色要素を描画形成することができる液滴吐出装置１および液滴吐出方法を提供することができる。また、実施例１のキャリッジ５１を搭載した液滴吐出装置１およびこの液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法に比べて、主走査の回数は増加するものの、少ないキャリッジユニット５の数で基板Ｗの全描画領域を描画することができる。
【００７９】
（５）実施例１のキャリッジ５１または実施例２のキャリッジ７１が搭載された液滴吐出装置１およびこの液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法において、異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列６２は、各ノズル列６２の端部が互いに均等な距離（Ｐ２×３２０）／３を置いて、互いに最も離れた状態で配置されている。したがって、各ノズル列６２の端部が互いに近づいた状態で配置された場合に比べて、各ノズル６１からの吐出量のバラツキによるスジムラが各ノズル列６２の端部付近で集中せずに、より目立ちにくい状態で複数種の液状体を吐出描画することができる液滴吐出装置１および液滴吐出方法を提供することができる。
【００８０】
（実施形態２）
次に実施形態１の液滴吐出装置を用いた電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法およびこの製造方法を用いて製造された液晶表示装置について説明する。
【００８１】
（液晶表示装置）
図９は、液晶表示装置の構造を示す概略斜視図である。図９に示すように、本実施形態の液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、色要素としてのカラーフィルタを有する対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、両基板５０１，５０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる両基板５０１，５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。
【００８２】
対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部５０４によってマトリクス状に区画された複数の色要素領域に複数種の色要素としてＲＧＢ３色のカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成されている。隔壁部５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、隔壁部５０４と隔壁部５０４によって区画されたカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂは後述する液晶表示装置の製造方法を用いて製造されている。
【００８３】
素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを有している。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。
【００８４】
照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００８５】
尚、液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin  Film  Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板５１４，５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。
【００８６】
（液晶表示装置の製造方法）
次に本実施形態の液晶表示装置の製造方法について図１０、図１１に基づいて説明する。図１０は、液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。図１１（ａ）〜（ｅ）は、液晶表示装置の製造方法を示す概略断面図である。
【００８７】
図１０に示すように、本実施形態の液晶表示装置５００の製造方法は、対向基板５０１の表面に隔壁部５０４を形成する工程と、隔壁部５０４によって区画された色要素領域を表面処理する工程とを備えている。また、実施形態１の液滴吐出装置１を用いて表面処理された色要素領域に色要素形成材料としてのカラーフィルタ形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与して、カラーフィルタ５０５を描画する色要素描画工程と、描画されたカラーフィルタ５０５を乾燥して成膜化する成膜工程とを備えている。さらに隔壁部５０４とカラーフィルタ５０５とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程とを備えている。
【００８８】
図１０のステップＳ１は、隔壁部５０４を形成する工程である。ステップＳ１では、図１１（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａ（図１１（ａ）参照）に対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。
【００８９】
次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、色要素領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の色要素領域Ａをマトリクス状に区画する隔壁部５０４が形成される。そしてステップＳ２へ進む。
【００９０】
図１０のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、色要素領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ３へ進む。
【００９１】
図１０のステップＳ３は、色要素としてのカラーフィルタの描画工程である。ステップＳ３では、図１１（ｂ）に示すように、表面処理された各色要素領域Ａのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを付与してカラーフィルタ５０５を描画する。液状体８０ＲはＲ（赤色）のカラーフィルタ形成材料を含むものであり、液状体８０ＧはＧ（緑色）のカラーフィルタ形成材料を含むものであり、液状体８０ＢはＢ（青色）のカラーフィルタ形成材料を含むものである。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを付与する方法は、実施形態１の液滴吐出装置１を用い、液滴吐出ヘッド５２に各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを充填し、液滴として色要素領域Ａに着弾させる。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、色要素領域Ａの面積に応じて必要量が付与され、色要素領域Ａに濡れ拡がり、表面張力によって盛り上がる。ステップＳ３では、３種の異なる液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを略同時に吐出して描画することができる液滴吐出装置１を用いているため、各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂごとに別々の液滴吐出装置で描画する場合に比べて、効率よく描画することが可能である。この場合、液滴吐出装置１は、実施例１のキャリッジ５１を備えているため、少なくとも２回の主走査によりカラーフィルタ５０５の描画が可能である。そしてステップＳ４へ進む。
【００９２】
図１０のステップＳ４は、描画されたカラーフィルタ５０５を乾燥して成膜化する工程である。ステップＳ４では、図１１（ｃ）に示すように、吐出描画されたカラーフィルタ５０５を一括乾燥し、各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂから溶剤成分を除去してカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そしてステップＳ５へ進む。
【００９３】
図１０のステップＳ５は、ＯＣ層形成工程である。ステップＳ５では、図１１（ｄ）に示すように、カラーフィルタ５０５と上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、カラーフィルタ５０５が形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。そしてステップＳ６へ進む。
【００９４】
図１０のステップＳ６は、対向電極５０７を形成する工程である。ステップＳ６では、図１１（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。
【００９５】
このようにして出来上がった対向基板５０１のカラーフィルタ５０５は、各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の両端に位置するノズル６１から吐出される液滴が主走査方向の同一線上に着弾しないので、液滴吐出ヘッド５２の吐出量のバラツキによるスジムラが強調されない。この対向基板５０１と画素電極５１０およびＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８とを接着剤を用いて所定の位置で接着し、両基板５０１，５０８との間に液晶を充填すれば、スジムラによる色ムラ等が目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置５００が出来上がる。
【００９６】
実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）液晶表示装置５００の製造方法において、色要素描画工程では、液晶表示パネル５２０の対向基板５０１の色要素領域Ａに、１台の液滴吐出装置１で３種の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出して、３種の色要素としてのカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが描画されている。したがって、１台の液滴吐出装置で１種のカラーフィルタを吐出描画する場合に比べて、効率よくカラーフィルタ５０５を対向基板５０１上に吐出描画することができる。また、各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の両端に位置するノズル６１から吐出される液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂの液滴が主走査方向の同一線上に着弾しないので、液滴吐出ヘッド５２の吐出量のバラツキによるスジムラが強調されることを低減することができる。
【００９７】
（２）液晶表示装置５００は、上記液晶表示装置５００の製造方法を用いて製造されたカラーフィルタ５０５を有する対向基板５０１を備えているため、スジムラによる色ムラ等が目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置５００を提供することができる。
【００９８】
（実施形態３）
次に実施形態１の液滴吐出装置を用いた電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置の製造方法およびこの製造方法を用いて製造された有機ＥＬ表示装置について説明する。
【００９９】
（有機ＥＬ表示装置）
図１２は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１２に示すように、本実施形態の電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの色要素領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの色要素領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【０１００】
封止基板６２０は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【０１０１】
本実施形態の素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の色要素領域Ａを有するものであって、複数の色要素領域Ａを区画する隔壁部としてのバンク６１８と、複数の色要素領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の色要素領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する色要素としての発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、下層バンク６１８ａと色要素領域Ａを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、色要素領域Ａの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2等の無機絶縁材料により形成されている。
【０１０２】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。尚、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。尚、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１２ではこれらの図示を省略している。
【０１０３】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層６１７ｂ）と、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。尚、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【０１０４】
有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、更に正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層６１７ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また発光層６１７ｂが液滴吐出装置１を用いて描画形成されているため、描画時のスジムラによる発光ムラ、輝度ムラ等の表示不具合の少ない高い表示品質を有している。
【０１０５】
（有機ＥＬ表示装置の製造方法）
次に本実施形態の有機ＥＬ表示装置の製造方法について図１３、図１４に基づいて説明する。図１３は、有機ＥＬ表示装置の製造方法を示すフローチャート、図１４（ａ）〜（ｆ）は、有機ＥＬ表示装置の製造方法を示す概略断面図である。尚、図１４（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１０６】
図１３に示すように、有機ＥＬ表示装置の製造方法は、素子基板６０１の複数の色要素領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に色要素領域Ａを区画するように上層バンク６１８ｂを形成するバンク（隔壁部）形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された色要素領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された色要素領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された色要素領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された色要素領域Ａに色要素形成材料としての発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して発光層６１７ｂを吐出描画する色要素描画工程としての発光層描画工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層６１７ｂを成膜する工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の色要素領域Ａへの付与は、液滴吐出装置１を用いて行う。
【０１０７】
図１３のステップＳ１１は、電極（陽極）形成工程である。ステップＳ１１では、図１４（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の色要素領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そしてステップＳ１２へ進む。
【０１０８】
図１３のステップＳ１２は、バンク（隔壁部）形成工程である。ステップＳ１２では、図１４（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層６１７ｂに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。尚、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有していおり、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが積層されても発光を阻害することはない。
【０１０９】
続いて、各色要素領域Ａを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の前記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、色要素領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部としてのバンク６１８が形成される。そして、ステップＳ１３へ進む。
【０１１０】
図１３のステップＳ１３は、色要素領域Ａを表面処理する工程である。ステップＳ１３では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。つぎにＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、ステップＳ１４へ進む。
【０１１１】
図１３のステップＳ１４は、正孔注入／輸送層形成工程である。ステップＳ１４では、図１４（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を色要素領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、実施例１のキャリッジ５１を備えた液滴吐出装置１を用いる。液滴吐出ヘッド５２から吐出された液状体９０は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は色要素領域Ａの面積に応じて必要量が液滴として吐出され表面張力で盛り上がった状態となる。液滴吐出装置１により、１種の液状体９０を吐出して描画するので、少なくとも１回の主走査により吐出描画が可能である。そしてステップＳ１５へ進む。
【０１１２】
図１３のステップＳ１５は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ１５では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene  Dioxy  Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。尚、この場合、各色要素領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後の発光層の形成材料に対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を色要素領域Ａごとに変えてもよい。そしてステップＳ１６へ進む。
【０１１３】
図１３のステップＳ１６は、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１を表面処理する工程である。ステップＳ１６では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、次のステップＳ１７で用いられる３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも色要素領域Ａの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そしてステップＳ１７へ進む。
【０１１４】
図１３のステップＳ１７は、ＲＧＢ発光層描画工程である。ステップＳ１７では、図１４（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１を用いて異なる液滴吐出ヘッド５２から複数の色要素領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、色要素領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。この場合も、実施例１のキャリッジ５１を備えた液滴吐出装置１を用いているので、少なくとも２回の主走査により３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを略同時に吐出して、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの吐出描画が可能である。そして、ステップＳ１８へ進む。
【０１１５】
図１３のステップＳ１８は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ１８では、図１４（ｅ）に示すように、吐出描画された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各色要素領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出描画された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そしてステップＳ１９へ進む。
【０１１６】
図１３のステップＳ１９は、陰極形成工程である。ステップＳ１９では、図１４（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層に近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層の熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１１７】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、吐出描画時のスジムラが目立ちにくく、乾燥・成膜化後の膜厚がほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。またこの素子基板６０１を用いて有機ＥＬ表示装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層ごとの抵抗がほぼ一定となる。すなわち回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラ等が少ない、見映えのよい表示品質が得られる。
【０１１８】
実施形態３の効果は、以下の通りである。
（１）有機ＥＬ表示装置６００の製造方法において、発光層描画工程では、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１の色要素領域Ａに、１台の液滴吐出装置１で３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを吐出して、３種の色要素としての発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが描画されている。したがって、１台の液滴吐出装置で１種の発光層を吐出描画する場合に比べて、効率よく発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを素子基板６０１上に吐出描画することができる。また、各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の両端に位置するノズル６１から吐出される液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの液滴が主走査方向の同一線上に着弾しないので、液滴吐出ヘッド５２の吐出量のバラツキによるスジムラが強調されることを低減することができる。
【０１１９】
（２）有機ＥＬ表示装置６００は、上記有機ＥＬ表示装置６００の製造方法を用いて製造された発光層６１７ｂを有する素子基板６０１を備えているため、スジムラによる発光ムラや輝度ムラ等が目立ちにくい、見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ表示装置６００を提供することができる。
【０１２０】
（実施形態４）
次に実施形態２の液晶表示装置あるいは実施形態３の有機ＥＬ表示装置を搭載した電子機器について説明する。図１５は、電子機器としての携帯型情報処理装置を示す概略斜視図である。
【０１２１】
図１５に示すように、本実施形態の電子機器としての携帯型情報処理装置７００は、入力用のキーボード７０２を有する情報処理装置本体７０１と、表示部７０３とを備えている。表示部７０３には、液晶表示装置５００あるいは有機ＥＬ表示装置６００が搭載されている。
【０１２２】
実施形態４の効果は、以下の通りである。
【０１２３】
（１）本実施形態の携帯型情報処理装置７００は、実施形態２の液晶表示装置５００あるいは実施形態３の有機ＥＬ表示装置６００を搭載しているため、色ムラ等の表示不具合の少ない、高い表示品質で文字や画像等の情報を確認することが可能な電子機器としての携帯型情報処理装置７００を提供することができる。
【０１２４】
上記実施形態以外の変形例については、以下の通りである。
（変形例１）上記実施形態１の実施例１のキャリッジ５１における液滴吐出ヘッド５２の配置は、これに限定されない。図１６は、変形例１のキャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す平面図である。例えば、図１６に示すように、キャリッジ５１ａは、実施例１のキャリッジ５１に対して、同一種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２同士（ヘッドＲ１とヘッドＲ２、ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２）が、互いに隣合ってＹ軸方向（第１の方向；副走査方向）に並列すると共に、Ｘ軸方向（第２の方向；主走査方向）から見ると各ノズル列６２が第１の方向に連続するように配置されたものである。また、異なる液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２同士（ヘッドＲ１とヘッドＧ１とヘッドＢ１、ヘッドＲ２とヘッドＧ２とヘッドＢ２）の各ノズル列６２の端部は、互いにずれて配置されている。この場合のズレ量は、実施例１と同様である。したがって、実施例１と同様に同一種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２が連続した状態の描画幅で主走査方向に吐出描画することができる。
【０１２５】
（変形例２）上記実施形態１の実施例１のキャリッジ５１における液滴吐出ヘッド５２の配置は、これに限定されない。図１７は、変形例２のキャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す平面図である。例えば、図１７に示すように、間隔Ｌ１を置いて配列した実施例１のキャリッジ５１に搭載された各ヘッド群５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄの配置と同じ位置関係で、複数の液滴吐出ヘッド５２を１つのキャリッジ５１ｂに搭載してもよい。これによれば、実施例１の場合と同様な効果が得られると共に、制御部４によって制御するキャリッジユニット５の数を減らすことが可能となり、キャリッジユニット５に関連する共用部品を減らして装置を簡略化できる。
【０１２６】
（変形例３）上記実施形態１の実施例２のキャリッジ７１における液滴吐出ヘッド５２の配置は、これに限定されない。例えば、異なるヘッド群の列間（ヘッド群５２Ａ，５２Ｂとヘッド群５２Ｃ，５２Ｄとの間）において、第１の方向に並列する同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５２のうち、第２の方向から見て、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッド５２（例えばヘッドＲ２とヘッドＲ３）のノズル列６２の間隔が、ノズル列６２の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群の数（２）を乗じた値の自然数倍となるように設定してもよい。このようにすれば、主走査方向において各ノズル列６２の一部が重複するも、その後の自然数Ｎ回の改行の幅を均等にして主走査をした場合、有効なノズル列６２の全長の少なくとも８０％に相当する長さの範囲にあるノズル６１を有効に利用した描画範囲で吐出描画することができるキャリッジ７１を提供することができる。また、複数のキャリッジ７１の間隔Ｌ２を、ノズル列６２の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群Ｍの数を乗じた値の自然数Ｎ倍となるように設定してもよい。このようにすれば、ヘッド群５２Ａ，５２Ｂの同一種類の液状体を吐出して描画する幅Ｅｂに相当する改行を繰り返して主走査する際に、一部のノズル列６２が主走査方向に重複するも、ノズル列６２の少なくとも８０％を有効に利用して吐出描画することができる。また、上記実施形態１の実施例１のキャリッジ５１の間隔Ｌ１も同様にノズル列６２の全長の８０％以上１００％以下の長さに第２の方向に配列したヘッド群Ｍの数を乗じた値の自然数Ｎ倍となるように設定してもよい。
【０１２７】
（変形例４）上記実施形態１の実施例１のキャリッジ５１および実施例２のキャリッジ７１において、複数のヘッド群の列（ヘッド群５２Ａ，５２Ｂあるいはヘッド群５２Ｃ，５２Ｄ）内に配列する同一種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２の各ノズル列６２は、第２の方向（主走査方向）から見て１ノズルピッチＰ２を置いて第１の方向に連続していなくてもよい。例えば、第２の方向から見て、同一種類の液状体を吐出する複数の当該液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の全長の８０％以上１００％以下の長さ分が、第１の方向に連続するように搭載されていてもよい。このようにすれば、第２の方向に主走査した際に、主走査方向においてノズル列６２が一部重複するが、ノズル列６２の少なくとも８０％を有効に活用した描画幅で吐出描画することができる。また、複数の液滴吐出ヘッド５２間の液状体の吐出量のバラツキをノズル列６２の重複した部分を選択的に吐出制御することによって、補正することも可能である。
【０１２８】
（変形例５）上記実施形態１の実施例１のキャリッジ５１および実施例２のキャリッジ７１において、異なる液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２の各ノズル列６２の端部のずれ量は、ノズル列６２の全長に１ノズルピッチＰ２を加えた長さを、吐出される液状体の種類の数（３）で除した値に必ずしも限定されない。例えば、異なる液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２の各ノズル列６２の端部が第１の方向に互いにずれた状態でキャリッジに配置されていればよい。これによれば、第１の方向と直交する第２の方向に主走査した際に、各ノズル列６２の端部に位置するノズル６１から異なる液状体が主走査方向の同一線上に着弾しないので、端部付近に位置するノズル６１からの吐出量のバラツキによるスジムラが部分的に集中して強調されることを低減することができる。
【０１２９】
（変形例６）上記キャリッジ５１，７１に搭載される液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２は、２連に限定されない。１連のノズル列６２であってもよい。
【０１３０】
（変形例７）液晶表示装置５００あるいは有機ＥＬ表示装置６００が搭載される上記実施形態４の電子機器は、携帯型情報処理装置７００に限定されない。例えば、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal  Digital  Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯端末機器、卓上型パーソナルコンピュータ、ワープロ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等々の画像表示手段として好適に用いることができ、いずれの電子機器においても見映えのよい表示を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドを示す概略斜視図、（ｂ）は、ノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】各ノズルから吐出される液状体の吐出量を示すグラフ。
【図４】実施例１のキャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配列状態を示す概略平面図。
【図５】実施例２のキャリッジにおける液滴吐出ヘッドの配列状態を示す概略平面図。
【図６】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図７】実施例１のキャリッジを用いた液滴吐出方法を示す模式図。
【図８】実施例２のキャリッジを用いた液滴吐出方法を示す模式図。
【図９】液晶表示装置の構造を示す概略斜視図。
【図１０】液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は、液晶表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図１２】有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１３】有機ＥＬ表示装置の製造方法を示すフローチャート。
【図１４】（ａ）〜（ｆ）は、有機ＥＬ表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図１５】電子機器としての携帯型情報処理装置を示す斜視図。
【図１６】変形例１のキャリッジを示す概略平面図。
【図１７】変形例２のキャリッジを示す概略平面図。
【符号の説明】
【０１３２】
１…液滴吐出装置、２…移動手段としてのワーク移動手段、３…移動手段および調整手段としてのヘッド移動手段、４…描画制御手段としての制御部、５１…キャリッジ、５２…液滴吐出ヘッド、６１…ノズル、６２…ノズル列、７１…キャリッジ、８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂ…液状体、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…液状体、５００…電気光学装置としての液晶表示装置、５０１…基板としての対向基板、５０４…隔壁部、５０５…色要素としてのカラーフィルタ、５２０…電気光学パネルとしての液晶表示パネル、６００…有機ＥＬ表示装置、６０１…基板としての素子基板、６１７ｂ…色要素としての発光層、６１８…隔壁部としてのバンク、７００…電子機器としての携帯型情報処理装置、Ａ…色要素領域、Ｌ１，Ｌ２…キャリッジの間隔、Ｐ２…ノズルピッチ、Ｗ…基板。
【図１】
2006346575.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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