(57)【要約】【課題】  記録ムラを抑制し、分離間隔の精度向上を図り、光偏向器に分離素子を設けたときの重量を軽減して回転速度の低下を抑制して露光速度の低下を防止し、露光走査系を廉価に製造可能としたインナードラム露光装置を提供する。【解決手段】  光源側の光学系により、光源３０Ａ、３０B側から画像信号に基づいて各々独立して変調されて出射された二つのレーザビームを偏光ビームスプリッター３８で偏光合波し、二つのレーザビームを右円偏光と左円偏光にして走査光学系へ出射する。走査光学系の光路上に配置された１／４波長板２６により、光源側の光学系から入射した右円偏光と左円偏光との二つのレーザビームを互いに直交した直線偏光に変換する。この後、一軸性の結晶２８により、１／４波長板２６で、互いに直交した直線偏光に変換された二つのレーザビームを、射出ビームの主光線が平行となるように各々異なる位置から出射して露光処理する。【選択図】  図１
2006091377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源側から画像信号に基づいて各々独立して変調されて出射された二つのレーザビームを偏光ビームスプリッターで偏光合波し、当該二つのレーザビームを右円偏光と左円偏光にして走査光学系へ出射する光源側の光学系と、
前記光源側の光学系から入射した右円偏光と左円偏光との前記二つのレーザビームを互いに直交した直線偏光に変換するよう、前記走査光学系の光路上に配置された１／４波長板と、
前記１／４波長板で、互いに直交した直線偏光に変換された前記二つのレーザビームを、射出ビームの主光線が平行となるように各々異なる位置から出射する一軸性の結晶と、
を有することを特徴とするインナードラム露光装置。
【請求項２】
前記１／４波長板と、前記一軸性結晶とを一体にして、前記走査光学系に配置した光偏向器の回転軸部材に設置したことを特徴とする請求項１に記載のインナードラム露光装置。
【請求項３】
前記一軸性の結晶が、平面プレートに形成され、入射面の法線に対して異常光屈折率の方向が傾斜していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインナードラム露光装置。
【請求項４】
前記異常光屈折率の方向の傾斜角度が、略４５°であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインナードラム露光装置。
【請求項５】
前記１／４波長板と、前記一軸性結晶とを一体にして、前記走査光学系に配置した光偏向器の回転軸部材に設けた反射鏡面に対し、回転調整可能に装着したことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のインナードラム露光装置。
【請求項６】
前記光源側の光学系の前記偏光ビームスプリッターで偏光合波された前記二つのレーザビームにおける集光スポットの位置を各々検出するよう配置された検出手段と、
前記少なくとも一方のレーザビームの角度を調整して、前記検出手段によって二つのレーザビームの位置の差が所定値になるよう調整する、前記光源側の光学系に配置された調整手段と、
を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載のインナードラム露光装置。
【請求項７】
前記レーザビームの角度を調整する調整手段が、記録媒体に露光記録をしていないときに、調整を行うことを特徴とする請求項６に記載のインナードラム露光装置。
【請求項８】
前記走査光学系の光路上に配置された前記１／４波長板及び前記一軸性の結晶との光路下流側に、各光ビームの偏光方向を制御する偏光制御素子と、当該偏光制御素子を通った各光ビームを副走査方向に分割する分割素子とからなり、前記分割素子で各光ビームを副走査方向に略等光量で分割するように前記偏光制御素子を配置したことを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか１項に記載のインナードラム露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、レーザビームの走査光学系により円筒ドラム内面に配置した感光面を走査して露光処理するインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、円筒ドラムの内周面上に配置した記録媒体の感光面に、光偏向器でレーザ等の光ビームを導いて走査露光処理を行うインナードラム露光装置（内面走査型光ビーム走査露光装置）が広く用いられている。なお、画像が露光記録された記録媒体は、必要に応じて自動現像機にかけられて、記録媒体上に形成された潜像が顕像に変換される。  このようなインナードラム露光装置は、高速露光処理を可能とするためマルチビーム化することが要望されている。
【０００３】
従来、インナードラム露光装置をマルチビーム化する技術には、偏光を利用してマルチビーム化する方式がある。このような方式のインナードラム露光装置には、光偏向器のスピナーの前に分離素子であるウォラストンプリズムを配置して二本のビームが偏光を利用して角度分割されるように構成し、走査面上のどの主走査の位置でも副走査方向に二本のビームを並列させて照射するものが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
このインナードラム露光装置をマルチビーム化するために用いられるウォラストンプリズムは、プリズムの材質として屈折率異方性の大きい方解石を二枚張り合わせて構成する。このウォラストンプリズムでは、方解石の結晶光軸に対して異なる方向に傾斜面を設けた二種類のプリズムを、それぞれの斜面部分を張り合わせて作っている。
【０００５】
このウォラストンプリズムは、光の分離角度が大きいうえ、高価で重量も重いという特性を有する。このようなウォラストンプリズムをインナードラム露光装置に用いると、光ビームの分離角度が大きいため、走査面上での副走査方向の分離間隔が非常に離れることになる。インナードラム露光装置では、例えば、遠く離れた二つの位置にビームが照射されると、一方のビームで描いてから他方のビームで隣を描き込むまでには時間がかかるため、光偏向器を副走査方向に移動する時の速度ムラや光偏向器の振動等の影響を受けやすくなり、結果的に記録ムラが発生しやすくなるうえ、分離間隔精度を出すことが非常に難しくなる。
【０００６】
また、スピナーに重量的に重いものを搭載することになり回転速度が制限されるため、却って露光速度が遅くなるといった問題が生じる。
【特許文献１】特開平５−２７１８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上述した問題に鑑み、記録ムラを抑制し、分離間隔の精度向上を図るとともに、光偏向器のスピナーに分離素子を設けたときの重量を軽減してスピナーの回転速度が低下することを抑制することにより露光速度の低下を防止し、露光走査系を廉価に製造可能としたインナードラム露光装置を新たに提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に記載のインナードラム露光装置は、光源側から画像信号に基づいて各々独立して変調されて出射された二つのレーザビームを偏光ビームスプリッターで偏光合波し、二つのレーザビームを右円偏光と左円偏光にして走査光学系へ出射する光源側の光学系と、光源側の光学系から入射した右円偏光と左円偏光との二つのレーザビームを互いに直交した直線偏光に変換するよう、走査光学系の光路上に配置された１／４波長板と、１／４波長板で、互いに直交した直線偏光に変換された二つのレーザビームを、射出ビームの主光線が平行となるように各々異なる位置から出射する一軸性の結晶と、を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインナードラム露光装置において、１／４波長板と、一軸性結晶とを一体にして、走査光学系に配置した光偏向器の回転軸部材に設置したことを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のインナードラム露光装置において、一軸性の結晶が、平面プレートに形成され、入射面の法線に対して異常光屈折率の方向が傾斜していることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のインナードラム露光装置において、異常光屈折率の方向の傾斜角度が、略４５°であることを特徴とする。
【００１２】
前述のように構成することにより、光源側の光学系から、画像信号に基づいて各々独立して変調され、偏光合波され、右円偏光と左円偏光にして走査光学系へ出射された二つのレーザビームを、走査光学系の１／４波長板で互いに直交した直線偏光に変換した後、一軸性の結晶で、射出ビームの主光線が平行となるように各々異なる位置から出射させ、記録媒体上の副走査方向に所定の短い画素間隔で、しかも二つのレーザビームを分離間隔の精度が高い状態で集光させ、２本レーザビームで同時に露光処理できる。また、この一軸性の結晶は、水晶板等で廉価に製造可能であるから、廉価な製品を提供できる。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のインナードラム露光装置において、１／４波長板と、一軸性結晶とを一体にして、走査光学系に配置した光偏向器の回転軸部材に設けた反射鏡面に対し、回転調整可能に装着したことを特徴とする。
【００１４】
上述のように構成することにより、前述した請求項１に記載の作用、効果に加えて、光偏向器の重量を抑え、回転速度の制限を抑制できる。また、光偏向器の反射鏡面を有する回転軸部材に対して、１／４波長板及び一軸性結晶の相対的な回転位置を調整し、記録媒体の走査面上における副走査方向のレーザビームのスポットの間隔を、調整することができる。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載のインナードラム露光装置において、光源側の光学系の偏光ビームスプリッターで偏光合波された二つのレーザビームにおける集光スポットの位置を各々検出するよう配置された検出手段と、少なくとも一方のレーザビームの角度を調整して、検出手段によって二つのレーザビームの位置の差が所定値になるよう調整する、光源側の光学系に配置された調整手段と、を有することを特徴とする。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のインナードラム露光装置において、レーザビームの角度を調整する調整手段が、記録媒体に露光記録をしていないときに、調整を行うことを特徴とする。
【００１７】
前述のように構成することにより、二つのレーザビームの同軸合波を高精度に行い、光偏向器の回転角度に対応して走査面上でのビームスポットの位置間隔の変動を防止できる。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至請求項７の何れか１項に記載のインナードラム露光装置において、走査光学系の光路上に配置された１／４波長板及び一軸性の結晶との光路下流側に、各光ビームの偏光方向を制御する偏光制御素子と、偏光制御素子を通った各光ビームを副走査方向に分割する分割素子とからなり、分割素子で各光ビームを副走査方向に略等光量で分割するように偏光制御素子を配置したことを特徴とする。
【００１９】
上述のように構成することにより、１／４波長板及び一軸性の結晶とによって、第１の光ビームと第２の光ビームとに分離し、これら分離された第１の光ビームと第２の光ビームとの各々を、それぞれ、偏光制御素子と分割素子とによって、副走査方向に略等光量で集光スポットが隣接して重ね合わされるように分割することによって、第１、第２の光ビームを各々副走査方向に対してより矩形形状に近く、主走査方向に対しても絞られてシャープな状態のスポット形状とすることにより、記録画素の品質を高めることが可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、記録ムラを抑制し、分離間隔の精度を向上し、光偏向器のスピナーに分離素子を設けたときの重量を軽減してスピナーの回転速度の低下を抑制することにより露光速度の低下を防止し、廉価な露光走査系を備えたインナードラム露光装置を提供できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明のインナードラム露光装置に係わる実施の形態について図１乃至図５により説明する。図１の概略構成図に示すように、インナードラム露光装置１０は、円弧内周面形状（円筒内周面の一部を構成する形状）の支持体１２を母体として構成されており、この支持体１２の内周面に沿って記録媒体１４（フォトポリマー版若しくは通常のＰＳ版又は銀塩タイプの感光材料等）を支持するようになっている。
【００２２】
なお、このインナードラム露光装置１０では、図示しない記録媒体１４の供給排出装置によって、未記録の記録媒体１４を供給し支持体１２の内周面に確実に密着させて沿わせた状態に係着してから露光処理を行い、また露光処理済みの記録媒体１４を支持体１２から外部へ排出する操作を行う。
【００２３】
このインナードラム露光装置１０には、支持体１２の円弧中心位置に、走査手段としてのスピナーミラー装置１６を配設する。このスピナーミラー装置１６は、円柱状の回転軸部材１８を、その中心軸を回転軸（支持体１２の円弧中心軸と一致する）として駆動源であるモータ２０によって回動可能に構成する。このスピナーミラー装置１６の回転軸部材１８の先端部には、回転軸線に対して４５°の角度をなす反射鏡面１８Ａを形成する。
【００２４】
この走査手段としてのスピナーミラー装置１６は、図示しない副走査移動手段によって、支持体１２の円弧中心軸の軸線方向（図１の矢印Ｃ方向）に等速度で移動される。このスピナーミラー装置１６は、図示しないが、スピナードライバによってモータ２０の回転制御がされると共に、副走査移動手段によって副走査方向に移動制御される。
【００２５】
また、このインナードラム露光装置１０は、ビーム分割を行って支持体１２の内周面上に配置した記録媒体１４の記録面上を主走査するよう構成する。
【００２６】
このため、スピナーミラー装置１６側には、回転軸部材１８に対して一体に回動するよう固着したホルダ２４に、光路の上流側から順に１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とを固定して配置する。なお、このホルダ２４は、例えば円筒形に形成し、反射鏡面１８Ａで反射された光ビームを記録媒体１４側へ通過させるための開口２４Ａを穿設して形成する。
【００２７】
なお、これら１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とは、スピナーミラー装置１６における反射鏡面１８Ａの前方の光路中に配置し、図示しない別途設けた支持手段によって反射鏡面１８Ａと一体的に回動するよう装着して構成しても良い。
【００２８】
この１／４波長板２６は、右円偏光と左円偏光とされた各光ビームを互いに直交した直線偏光の光ビームに変換可能に構成する。
【００２９】
一軸性結晶の光学素子２８は、二つの互いに直交した直線偏光ビームの主光線を副走査方向に平行シフトさせる水晶板で構成する。図２に例示するように、この水晶板は、水晶の結晶光軸を、光の結晶入射面の法線に対して４５°傾けた構造となるように製作する。この水晶板をインナードラム露光装置１０のスピナーミラー装置１６で用いる場合には、水晶板の厚みを１．７４０ｍｍにすれば、副走査方向に、１画素間隔（１０．５８μｍ）離して第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを集光させることができる。ここで、分離間隔の精度を０．１μｍにする場合には、厚み精度を±１８μｍ程度にすればよいので、この水晶板は、十分な精度を持つように加工することが容易であり、廉価に製造可能である。さらに、一軸性結晶の光学素子２８の材料として利用する水晶は、材料的に安定で低コストであるという利点を持つ。また、一軸性結晶の光学素子２８の材料として利用する水晶は、図３に示す結晶光軸の傾斜角度に対する分割幅の特性を有するので、この水晶の特性に則って所要の機能を持つ一軸性結晶の光学素子２８を構成することができる。
【００３０】
なお、この一軸性結晶の光学素子２８は、水晶以外の一軸性の結晶を材料として構成しても良い。水晶以外の一軸性の結晶で構成する場合には、結晶光軸を４５°にとり、傾斜角度の加工誤差を±１°程度にして分離幅のずれを抑えることが可能である。
【００３１】
この一軸性結晶の光学素子２８は、例えば、方解石、リチウムナイオベイト等の一軸性の材料を用いて構成してもよい。ここで、方解石を用いた場合には厚みを薄くできるため、重量を抑えることができ、スピナーミラー装置１６の回転速度の制限を抑制できるという利点がある。この場合は、１／４波長板２６と方解石製の一軸性結晶の光学素子２８を、角度を決めて接着して使用することが望ましい。
【００３２】
上述のように構成した一軸性結晶の光学素子２８は、これに円偏光した光ビームを入射させると、図２に示すように、光ビームは常光線Ｐｏと異常光線Ｐｅとに等光量でビーム分割する。この場合、常光線Ｐｏと異常光線Ｐｅは、互いに平行シフトする。
【００３３】
図１に示すように、このインナードラム露光装置１０は、ビーム分割を行って記録媒体１４の記録面上を主走査するため、スピナーミラー装置１６側に光ビームを投射する光源側の光学系を設ける。
【００３４】
このインナードラム露光装置では、第１、第２の２つの半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂ（光ビーム出力手段）を用いるものである。すなわち第１、第２の半導体レーザ光源３０Ａ、３０Ｂは、それぞれ直線偏光の光ビーム（レーザビーム）Ｌａ、Ｌｂを射出するから、これら両光ビームＬａ、Ｌｂをそれぞれコリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）３２、３４でそれぞれ平行ビームとする。
【００３５】
この第１半導体レーザ光源３０Ａから出射された第１のレーザビームＬａは、偏光ビームスプリッター３８の反射面に対してＰ偏光となるよう設定されており、平行平板３６を透過後、偏光ビームスプリッター３８を透過して進む。
【００３６】
また、第２のレーザビームＬｂは、二つの角度調整用のプリズム４０、４２を通過した後、１／２波長板４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター３８へ入射する。そして、第２のレーザビームＬｂは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター３８の反射面で反射され、第１のレーザビームＬａと同軸合波され、スピナーミラー装置１６へ至る同一の光路上を進む。
【００３７】
このインナードラム露光装置１０の光源側の光学系では、組み立て調整時も含めてその後の経時でずれる分を高精度に補正する必要がある。これは、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの同軸合波を高精度に行わないと、光偏向器の回転角度に対応して走査面上でのビームスポットａ，ｂの位置間隔が変動するといった問題が生じるためである。
【００３８】
そこで、光源側の光学系では、偏光ビームスプリッター３８より下流側の光路上に、ＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６を設置する。このため、偏光ビームスプリッター３８より下流側の光路上の所定位置には、ビームスプリッター４８を設置し、これにより第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの一部の光を反射して集光レンズ５０によって走査面に対応する位置に設置されたＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６上へ集光し、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの走査面上での位置を検出可能に構成する。
【００３９】
ここで、走査面上でのビームスポット位置のずれは、画質ムラ抑制の観点から、０．１μｍ程度以下の分解能が要求されるため、ＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６の検出分解能を考慮するとＰＳＤ上でビームスポット位置変化が１０倍以上に拡大されるように構成することが望ましい。
【００４０】
このＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６でビーム位置の検出を行う場合には、記録媒体に露光記録をしていないときに、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを、それぞれ別々に所定光量で点灯させて個別に検出して求める。このＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６は、位置検出する際に、二つの第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの光量差によって位置情報にずれが生じないように、ＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６の回路基板内に全光量で除算する回路、あるいはデータ取得後に計算で補正する回路を設けている。
【００４１】
このインナードラム露光装置１０では、記録媒体に露光記録をしていないときに、ＰＳＤ（ビーム位置検出器）４６で検出した位置情報をもとに、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの位置のずれが０または所定値離れた位置にくるように、第２のレーザビームＬｂの光路上に置かれた二つの角度調整用のプリズム４０、４２の角度を調整する。
【００４２】
なお、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの位置のずれ量である所定値は、あらかじめインナードラム露光装置１０の出荷前に記録媒体に露光して主走査方向に渡って二本のビーム間隔に変動が無いところを求めて設定する。
【００４３】
また、この所定値が０とならないことがあるのは、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの主光線が若干でも平行シフトしていると、特に反射ミラーで反射する時に、その平面精度に応じて第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの反射角度が若干ずれることがあるからである。すなわち、このインナードラム露光装置１０では、第２のレーザビームＬｂが偏光ビームスプリッター３８で反射した時以降の光路と、第１のレーザビームＬａが透過する時以降の光路とにおいて、異なる角度ずれが生じることとなり、これを補正する必要があることによる。そこで、このインナードラム露光装置１０では、その組み立て調整時に、第１のレーザビームＬａの光路上に配置した平行平板３６によって、この傾き角度を調整することにより、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの主光線の平行シフト量を０に近づけるように調整する。
【００４４】
上述のようにして高精度に同軸合波された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、光路上に配置された図示しないシリンダーレンズ群によりビーム整形と非点格差補正がなされた後、ビームエキスパンダーで所望のビーム径に拡大された後、光路上に配置した１／４波長板５２を通過する。
【００４５】
この１／４波長板５２は、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの直線偏光の方向に対して光軸が４５°傾けられている。このため１／４波長板５２を通過する同軸合波された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、それぞれ右円偏光、左円偏光に変換されて、走査面上に焦点を結ぶための集光レンズ５４を通り、スピナーミラー装置１６の反射鏡面１８Ａの回転軸に対して略平行に進み、前述した１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とを具備する走査光学系のスピナーミラー装置１６に導かれる。
【００４６】
そして、光源側の光学系から走査光学系のスピナーミラー装置１６へ入射された右円偏光と左円偏光をした第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、１／４波長板２６を透過することにより互いに直交した直線偏光ビームに変換されてから一軸性結晶の光学素子２８へ入射される。
【００４７】
このように互いに直交した直線偏光ビームに変換された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、走査光学系の一軸性結晶の光学素子２８を透過する際に、主光線が副走査方向に平行シフトされてから、光偏向器の反射鏡面１８Ａで反射され、記録媒体１４の走査面上に副走査方向の記録画素１画素分だけ離れた位置に集光される。
【００４８】
また、このインナードラム露光装置１０は、図示しないが、第１半導体レーザ光源３０Ａ用のレーザドライバと、第２半導体レーザ光源３０Ｂ用のレーザドライバとを別途用意し、中央制御装置で別途生成した各画像信号をそれぞれのレーザドライバへ送信して、第１半導体レーザ光源３０Ａと第２半導体レーザ光源３０Ｂとをそれぞれ駆動制御し、各対応する画像信号に基づいて変調された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを出射し、光源側の光学系と走査光学系のスピナーミラー装置１６とによって記録媒体１４の走査面上に照射する。
【００４９】
また、これと同時に、中央制御装置は、モータ２０を回転制御して反射鏡面１８Ａを回転し、光源側の光学系から走査光学系の反射鏡面１８Ａに入射した第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを反射して記録媒体１４に対して主走査方向への走査露光を行うと共に、スピナードライバへ制御信号を送信する。この制御信号を受信したスピナードライバは、副走査移動手段（図示せず）を制御し、スピナーミラー装置１６を支持体１２の円弧中心軸の軸線方向（図１に向かって左右方向となる矢印Ｃ方向）に等速度で移動走査する。これにより、スピナーミラー装置１６で主走査方向への走査露光を行いながら、スピナーミラー装置１６を副走査方向へ移動することによって、記録媒体１４の記録面全面に対して２次元の画像を記録する処理を行うように構成する。
【００５０】
次に、本実施の形態に係わるインナードラム露光装置の作用及び動作について説明する。
【００５１】
このインナードラム露光装置１０では、中央制御装置及びレーザドライバにより制御された第１の半導体レーザ光源３０Ａより画像情報に応じて変調され出力された第１のレーザビームＬａを、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）３２で平行ビームとし平行平板３６を透過させた後、偏光ビームスプリッター３８に入射させる。このとき、第１のレーザビームＬａは、偏光ビームスプリッター３８の反射面に対してＰ偏光となっているから偏光ビームスプリッター３８を透過して進む。
【００５２】
また、第２の半導体レーザ光源３０Ｂより画像情報に応じて変調され出力された第２のレーザビームＬｂは、コリメーティングレンズ（コリメーターレンズ）３４で平行ビームとされ、二つの角度調整用のプリズム４０、４２を通過した後、１／２波長板４４を透過することにより偏光方向が９０°回転されてＳ偏光となってから偏光ビームスプリッター３８へ入射する。
【００５３】
そして、第２のレーザビームＬｂは、Ｓ偏光となって偏光ビームスプリッター３８の反射面で反射され、第１のレーザビームＬａと同軸合波され、スピナーミラー装置１６へ至る同一の光路上を進む。
【００５４】
このように同軸合波された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、１／４波長板５２を通過して、それぞれ右円偏光、左円偏光に変換され走査面上に焦点を結ぶための集光レンズ５４を通り、１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とを具備する走査光学系のスピナーミラー装置１６に導かれる。
【００５５】
そして、右円偏光、左円偏光に変換され第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、走査光学系の１／４波長板２６を通過する際に互いに直交した直線偏光の光ビームに変換されて一軸性結晶の光学素子２８へ入射し、二つの互いに直交した直線偏光ビームにおける主光線を副走査方向に平行シフトさせるように分離された後に、スピナーミラー装置１６の回転軸線に沿って導入され、反射鏡面１８Ａにより反射偏向されて記録媒体１４に導かれる。
【００５６】
次に、このインナードラム露光装置１０において、光偏向器のスピナーミラー装置１６の前に配置する分離素子としての一軸性結晶の光学素子２８を水晶で構成したときの利点を明らかにするための比較例について説明する。
【００５７】
比較例として、このインナードラム露光装置１０において、光偏向器のスピナーミラー装置１６の前に配置する分離素子としての一軸性結晶の光学素子２８をウォラストンプリズムで構成した場合には、このウォラストンプリズムが通常分離角度の高い用途に使用されるものであり、現在市販されている分離角度の小さいものでも分離角度が５°であるので、これを同条件で使用すると、偏向ミラーの軸中心から走査面までの距離を２７５ｍｍとすると、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとが走査面上で、２４ｍｍもずれることとなる。また、走査面上で第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの焦点位置（ピント位置）が１ｍｍもずれるので焦点深度を深くとる必要がある。
【００５８】
また、記録媒体１４上の２４ｍｍも離れた二つの位置に各ビームが照射されると、第１のレーザビームＬａで描いてから第２のレーザビームＬｂで隣の位置を描き込むまでに時間がかかるため、光偏向器であるスピナーミラー装置１６を副走査方向に移動する時の速度ムラやスピナーミラー装置１６の振動等の影響を受けやすくなり、結果的に記録ムラが発生しやすくなる。これを回避するためには少なくとも副走査方向のビーム分離幅を数画素程度にする必要がある。
【００５９】
これに対し、インナードラム露光装置１０において、走査光学系のスピナーミラー装置１６の前に配置する一軸性結晶の光学素子２８を水晶で構成した場合には、水晶板の厚みを１．７４０ｍｍにすれば、副走査方向に、１画素間隔（１０．５８μｍ）離して第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを集光させることができるので、第１のレーザビームＬａで描いてから第２のレーザビームＬｂで隣の位置を描き込むまでに時間がかからないため、スピナーミラー装置１６を移動する時の速度ムラやスピナーミラー装置１６の振動等の影響を受けにくくなり結果的に記録ムラの発生を回避することができるから、歴然たる効果がある。
【００６０】
次に、上述した本実施の形態に係わるインナードラム露光装置の走査光学系における、スピナーミラー装置１６に装着する１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とに関する他の構成例について、図４により説明する。
【００６１】
図４に示すように、このスピナーミラー装置１６では、スピナーミラー装置１６の回転軸部材１８に対して一体に回動するよう固着したホルダ２４の円筒内部に、小円筒状の保持部材５６を、光偏向器の回転方向に回転して位置調整可能に装着する。この保持部材５６の円筒内部には、１／４波長板２６と一軸性結晶の光学素子２８とを設置し、ホルダ２４に対して保持部材５６、１／４波長板２６及び一軸性結晶の光学素子２８が一体的に回転するよう構成する。
【００６２】
このように構成することにより、ホルダ２４に対して保持部材５６を所要角度回転させて、１／４波長板２６及び一軸性結晶の光学素子２８と、反射鏡面１８Ａとの相対的な回転位置を調整し、走査面上における副走査方向のビームスポットの間隔を、例えば、図４に一点鎖線で示す位置から、点線で示す位置へと調整することができる。
【００６３】
このように構成した場合には、保持部材５６と共に１／４波長板２６及び一軸性結晶の光学素子２８を回転調整することにより、二本のビームの間隔を微調整することができる。なお、このように構成する場合には、回転調整に対応して、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの主走査方向の位置が相対的にずれるため、第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとの描き込みタイミングを調整して対応する。
【００６４】
次に、前述した本実施の形態に係わるインナードラム露光装置のスピナーミラー装置の走査光学系に関するさらに他の構成例について、図５により説明する。
【００６５】
このスピナーミラー装置を有する走査光学系では、図５に示すように、反射鏡面１８Ａの光路上流側に、１／４波長板２６と第１の一軸性結晶の光学素子２８とに続けて、偏光制御素子である１／２波長板５８と、分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子６０とを配置する。なお図示しないが、これら１／４波長板２６、第１の一軸性結晶の光学素子２８、１／２波長板５８及び第２の一軸性結晶の光学素子６０は、反射鏡面１８Ａと一体的に回動するように構成する。
【００６６】
このように構成したスピナーミラー装置を有する走査光学系では、前述のように、光源側の光学系から、同軸合波されそれぞれ右円偏光、左円偏光に変換された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとが、走査光学系の１／４波長板２６を透過する際に互いに直交した直線偏光の光ビームに変換されて一軸性結晶の光学素子２８を透過する際にそれぞれ副走査方向に第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとに分割される。
【００６７】
さらに、副走査方向に分割された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとは、偏光制御素子としての１／２波長板５８を透過する際に光ビームの偏光方向が４５°回転され、さらに分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子６０を透過する際に、第１のレーザビームＬａが副走査方向に略等光量で分割されると共に、第２のレーザビームＬｂが副走査方向に略等光量で分割される。
【００６８】
なお、このスピナーミラー装置を有する走査光学系では、反射鏡面１８Ａの光路上流側に配置された、第１の１／４波長板２６と第１の一軸性結晶の光学素子２８とによって副走査方向に分割された第１のレーザビームＬａと第２のレーザビームＬｂとを、第１の一軸性結晶の光学素子２８よりも光路下流側に配置された図示しない偏光制御素子である第２の１／４波長板によってそれぞれ円偏光にし、さらに光路下流側に配置された図示しない分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子で各々円偏光にされた光ビーム（第１のレーザビームＬａ、第２のレーザビームＬｂ）を、それぞれ副走査方向に等光量で分割するように構成しても良い。
【００６９】
このように構成したスピナーミラー装置を有する走査光学系では、第１のレーザビームＬａの副走査方向に等光量で分割される前の光ビームの集光スポット径と、第２のレーザビームＬｂの光ビームの分割前の集光スポット径とを、それぞれ記録画素よりも小さくし、分割素子としての第２の一軸性結晶の光学素子６０の分離幅を略半画素程度にしておくことにより、副走査方向に対してより矩形形状に近い状態とできると共に、主走査方向に対しても絞られてシャープな状態のスポット形状とできる（ビームスポットのエッジ部が急峻な状態となる）。これにより、記録画素の品質を高めることが可能となる。
【００７０】
なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、その他種々の構成を取り得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の実施の形態に係わるインナードラム露光装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明の第１実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる一軸性結晶の光学素子の作用を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いる一軸性結晶の光学素子として水晶を使用した場合の結晶光軸の傾斜角度と分割幅との関係を示すグラフである。
【図４】本発明の実施の形態に係わるインナードラム露光装置に用いるスピナーミラー装置に装着する１／４波長板と一軸性結晶の光学素子とに関する他の構成例を断面で示す概略構成図である。
【図５】本発明の実施の形態に係わるインナードラム露光装置のスピナーミラー装置の走査光学系に関するさらに他の構成例示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０  インナードラム露光装置
１２  支持体
１４  記録媒体
１６  スピナーミラー装置
１８  回転軸部材
１８Ａ      反射鏡面
２０  モータ
２４  ホルダ
２６  １／４波長板
２８  一軸性結晶の光学素子
３０Ａ      第１の半導体レーザ光源
３０Ｂ      第２の半導体レーザ光源
３６  平行平板
３８  偏光ビームスプリッター
４０  角度調整用のプリズム
４２  角度調整用のプリズム
４４  １／２波長板
４８  ビームスプリッター
５２  １／４波長板
５６  保持部材
５８  １／２波長板
６０  第２の一軸性結晶の光学素子
Ｌａ  レーザビーム
Ｌｂ  レーザビーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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