(57)【要約】【課題】安価かつ簡素な装置構成にて、液漏れに対する所望のシール性を維持しつつ、良好な処理品質を確保可能な、シートの処理装置およびそれを用いたシートの製造方法を提供する。【解決手段】処理槽と、該処理槽の出口および入口の少なくとも一方の近傍に設けられた２個のロールと、該２個のロール間にシートのニップ部を形成するように２個のロールの少なくとも一方を押圧する押圧手段とを備えたシートの処理装置であって、２個のロールそれぞれの外周面と処理槽の壁面との間が非接触状態に保たれているとともに、該ロール外周面と処理槽壁面との間に、ロール外径の２％以下０．１％以上の間隙を有するシール部が少なくとも１ヶ所形成されており、かつ、押圧手段が機械的押圧手段からなることを特徴とするシートの処理装置、およびそれを用いたシートの製造方法。【選択図】図５
2006257454.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液が収容され、シートの出口および入口が設けられた処理槽と、該処理槽の前記出口および入口の少なくとも一方の近傍に設けられた２個のロールと、該２個のロール間にシートのニップ部を形成するように前記２個のロールの少なくとも一方を押圧する押圧手段とを備えたシートの処理装置であって、前記２個のロールそれぞれの外周面と前記処理槽の壁面との間が非接触状態に保たれているとともに、該ロール外周面と処理槽壁面との間に、前記２個のロールのロール外径の２％以下０．１％以上の間隙を有するシール部が少なくとも１ヶ所形成されており、かつ、前記押圧手段が機械的押圧手段からなることを特徴とするシートの処理装置。
【請求項２】
処理液が収容され、シートの出口および入口が設けられた処理槽と、該処理槽の前記出口および入口の少なくとも一方の近傍に設けられた２個のロールと、該２個のロール間にシートのニップ部を形成するように前記２個のロールの少なくとも一方を押圧する押圧手段とを備えたシートの処理装置であって、前記２個のロールそれぞれの外周面と前記処理槽の壁面との間が非接触状態に保たれているとともに、前記２個のロールそれぞれの前記ニップ部とは反対側の外周面と前記処理槽の壁面との間に、前記２個のロールのロール外径の２％以下０．１％以上の間隙を有するシール部がそれぞれ形成されていることを特徴とするシートの処理装置。
【請求項３】
前記押圧手段が機械的押圧手段からなる、請求項２に記載のシートの処理装置。
【請求項４】
前記押圧手段が、前記２個のロールのうち少なくとも１本のロールの両側に設けられている、請求項１〜３のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項５】
前記押圧手段がバネからなる、請求項１〜４のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項６】
前記押圧手段がボールプランジャからなる、請求項１〜４のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項７】
前記シートがプラスチックフィルムからなる、請求項１〜６のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項８】
前記シートの処理装置が、シートにメッキ処理するための装置からなる、請求項１〜７のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項９】
前記シートが、該シートの幅方向が鉛直方向から±１０度以内の方向に保たれながら前記処理槽を通過する、請求項１〜８のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項１０】
前記２個のロールのうち少なくとも一方のロールの表面が、エラストマーにより形成されている、請求項１〜９のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項１１】
前記２個のロールがフリーロールからなる、請求項１〜１０のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項１２】
前記２個のロールのうち少なくとも一方のロールが駆動ロールであることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれかに記載のシートの処理装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載のシートの処理装置を用いてシートを処理することを特徴とする、シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続的に搬送されるシートに対し処理液を使用してシートを処理する装置およびそれを用いたシートの製造方法に関し、とくに、処理槽内の処理液に対し所望のシール性を維持しつつ、良好な処理品質を確保可能な、シートの処理装置およびそれを用いたシートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
連続的に搬送されるシートに対し処理液を使用してシートを処理する装置、例えば、連続的に搬送されるプラスチックフィルムの表面に、処理液としてのメッキ液を収容した複数のメッキ槽を順次通過させることにより所定のメッキ処理を施すようにしたシートの処理装置においては、各メッキ槽にシート走行のための、例えばスリット状の入口、出口が設けられるが、槽内のメッキ液が大量に外部に流出しないように、液シールを施すことが必要である。例えば、図１に、基材としてのプラスチックフィルム１（例えば、ポリイミドフィルム）に銅（Ｃｕ）メッキを施す装置の例を示すように、巻出工程２から基材走行方向に搬送されてきたフィルム１は、給電工程３で給電された後、メッキ槽４を備えたメッキ工程５でメッキ処理が施される。この給電工程３とメッキ工程５が、複数回順次繰り返され、目標とする厚みのメッキ層が形成され、所定のメッキ層が形成された後、巻取工程６で巻き取られる。給電工程３では、例えば図２に示すように、搬送ロール１１（例えば、表面ＳＵＳ製）と搬送ロール１２（例えば、表面ＳＵＳ製）の間に、給電ロール１３（例えば、表面銅製）がフィルム１を押圧するように配置され、フィルム１のメッキ面に給電される。メッキ工程５では、例えば図３に示すように、メッキ液１４（例えば、硫酸銅）および銅塊１５を収容したメッキ槽４内にフィルム１が連続的に通されるが、通常、メッキ槽４内のメッキ液１４の外部への流出量を抑えるために、メッキ槽４の入口、出口に液シール機構が設けられる。この液シール機構に、図示のような一対の液シールロールを用いることは知られている（例えば、特許文献１〜５）。なお、図１は、シートの処理装置を平面図として観た場合を示している。すなわち、フィルム１は、巻出工程２から巻取工程６まで、その幅方向が実質的に鉛直方向に保たれながら搬送され、これによって良好なハンドリング性とメッキの均一性を確保するようにしている。
【０００３】
上記処理槽としてのメッキ槽４の入口および／または出口における液シール性を確保するために、従来、代表例として、図４に示すような機構が使用されている。すなわち、メッキ液１４が充満されたメッキ槽４の入口および／または出口に（場合によっては、図示の如く、入口および／または出口部に、小チャンバーを形成してその中に）、２個の（一対の）表面がスポンジのロール２１が設けられ、両スポンジロール２１が搬送される基材２２をニップするとともに、スポンジロール２１が壁面Ａに近接するように配置されて、液シールが行われるようになっている（壁面Ｂとの間には、比較的大きな間隙が形成されている）。そしてこの場合、ロール２１間のクリアランスは固定とされている。
【０００４】
しかしながら、このような液シール機構では、ロール２１間のクリアランスは調整不可でロール２１の位置精度のみに依存することになるが、ロール径の経時変化でクリアランスが変化し、所望の液シール性能を維持できなくなるおそれがある。また、ロール２１のスポンジ表面は摩耗しやすいので、摩耗が生じると、クリアランスが変化し、ロール軸方向の均一シール性が損なわれて、やはり所望の液シール性能を維持できなくなるおそれがある。さらに、入口および／または出口部は液の流出により液圧が下がるため液圧差でロール２１が壁面Ａ方向（図４に矢印で図示）に撓むおそれがある。壁面Ａ方向に撓むと、ロール２１が壁面Ａと強く接触することになり、ロール２１の回転不良が発生してロール２１の表面と基材２２が擦れ、基材２２や製品の傷発生の原因となるおそれがある。
【０００５】
このような問題を含む従来一般の技術に対し、種々の改良が提案されている（例えば、特許文献１〜５）。特許文献１には、鉛直状態で条材が貫通する開口部が形成された側壁と、開口部近傍に鉛直に配置され、条材を挟み込むための一対の円柱状部材とを有する液シール装置が提案されており、開口部が形成された側壁と円柱状部材が接している（近接も含む）構成や、円柱状部材の上下端を大径とする構成、円柱状部材が回転可能かつ水平方向に移動可能な構成等も記載されている。この提案は、それ以前の条材水平搬送のではメッキ厚みが不均一になり、かつ、搬送工程で傷がつきやすいという欠点を改良しようとしたものである。円柱状部材（ロール）の表面には塩化ビニルや”テフロン”（登録商標）等の剛性体が使用されており、ロールは回転・水平移動可能だが、固定部にはガタがある構造となっている。また、ロールは液圧で基材や壁面に押し付けられるものであり、強制的に押し当てるとの記載はない。
【０００６】
特許文献２には、メッキ槽の両端壁にスリットを形成し、壁内側に２本のシールロールを配設し、シールロールはスリットを挟む状態で配列され、軸と直交する方向に移動自在、かつ周面が離接自在なことを特徴とする連続メッキ装置における液もれ防止装置が提案されている。この提案は、それ以前の、スリット形成されたスポンジ板によるシール、とくに擦れて傷が発生しやすく、液圧差により面圧が不均一になって液が漏れ易いという欠点を改良しようとしたものである。ロール表面には例えば軟質塩化ビニル＋溝加工の構造が採用されている。ロールは槽壁面に対し離接可能であり、摩擦力で液処理条材に密着し、さらには液圧で壁面に密着するものであり、強制的に押し当てるとの記載はない。
【０００７】
特許文献３には、垂直な被処理板の通過する処理槽の入口と出口の少なくとも一方の槽外に互いに被処理板に向い開いたコの字形断面のシール用ハウジングを設け、各シール用ハウジングの中に被処理板に当接する駆動シールロールの被処理板と反対側に当接するシール板と、シール板を駆動シールロールに押圧する上下に長いエアバルーンを配置したことを特徴とするメッキ装置の液漏れ防止機構が提案されている。この提案は、それ以前の、槽壁とシールロールの隙間からの液漏れ量が大きいこと、摩耗で液漏れが悪化することを改良しようとしたものである。シールロールは駆動であり、ロール軸端位置を長穴で変更し、被処理板への圧接力を調整できるようにしている。ロール表面には、ネオプレンゴムや塩化ビニル、”テフロン”（登録商標）等を使用している。また、強制的な押圧力を用いないので、圧接力を一定に調整することはできない構成となっている。
【０００８】
特許文献４には、ワークを垂直に搬送・処理する装置であって、処理槽の端壁に設けられた垂直なスリットのシールがルーズに配置されたロッド又は管の対で形成されており、ロッドは液圧でワークに圧着されるようにした装置が提案されている。また、ロッドが円筒状断面を有する構成、シールは処理槽とは別の区画（スルース室）内に配置されている構成、シールがプラスチックから成る構成等も提案されている。この提案は、それ以前の、弾性的な圧着（ロール位置固定）＋駆動方式では液の流出を十分に防止することができず、かつ装置が複雑になるという欠点を改良しようとしたものである。液圧でロール同士が密着され、かつスリットのある壁面へも密着するため、フリーロールでも良好なシール性が確保されると記載されている。
【０００９】
特許文献５には、処理槽側壁に垂直なスリットを設け、スリットに近接する処理槽内側にロール対を垂直に配置し、ロール対は磁力で相互に吸着するようにしたことを特徴とするメッキ装置の液漏れ防止機構が提案されている。また、ロールを処理槽内に別に設けた区画内に収容し、一方のロールには磁石、もう一方には磁性体を内蔵し、両ロールに内蔵した磁石の極性を逆にする構成等も提案されている。この提案は、それ以前の、ロールが液圧で相互に又は壁面に圧着するため、液圧変動でシール性能が変動し、シール性が不十分になるという欠点を改良しようとしたものである。ロールはワーク移送方向の壁面にも押し付けられるためシール性が維持されると記載されているが、壁面との接触による回転不良については記載されていない。
【特許文献１】特開２００３−１４７５８２号公報
【特許文献２】特開平２−１８２８９５号公報
【特許文献３】特開平８−２３９７９７号公報
【特許文献４】特表平９−５０５６３８号公報
【特許文献５】特開２００２−２７５６８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述の如く、縦型搬送メッキ工程におけるメッキ槽の液シール方法について、一対のロールを用いることについては公知である（特許文献１〜５）。しかし、ロール同士を液圧で密着させる方式では（特許文献１、２、４）、とくに液圧変動でシール性が安定しないため、十分なシール性を確保することができない。また、ロール同士を内部に埋め込まれた磁石で密着させる方式（特許文献５）には、次のような問題がある。（１）ロール径の経時変化やウェブの厚み変動で軸間距離が変化すると密着力も変化するため、シール性能が経時で安定しない。（２）ロール構造が複雑になりコスト高となる。電気的押圧手段でも同じことが言える。（３）密着力が強すぎると、シールロールの回転不良でウェブに傷が発生する。
【００１１】
また、ロールと壁面を接触させることでシール性を確保することも公知である（特許文献１〜５）。しかし、このようにロールと壁面を接触させると、ロール回転不良でウェブに傷が発生するおそれやロール表面が摩耗し、シール性が損なわれるおそれがある。また、スリットのある壁面とロールを近接させると（特許文献１、４、５）、ロールが液圧差で特にスリット方向に撓み壁面と強く接触するため、ロール回転不良による傷が発生するおそれややロール表面が摩耗し、シール性が損なわれるおそれがある。さらに、ロールを回転駆動することで回転不良は解消するものの（例えば、特許文献３）、そうすれば装置コストが高くなるため、図１に示したように多数のロールが必要なメッキ装置では致命的な欠点となる。
【００１２】
そこで本発明の課題は、安価かつ簡素な装置構成にて、液漏れに対する所望のシール性を維持しつつ、良好な処理品質を確保可能な、シートの処理装置およびそれを用いたシートの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明に係るシートの処理装置は、処理液が収容され、シートの出口および入口が設けられた処理槽と、該処理槽の前記出口および入口の少なくとも一方の近傍に設けられた２個のロールと、該２個のロール間にシートのニップ部を形成するように前記２個のロールの少なくとも一方を押圧する押圧手段とを備えたシートの処理装置であって、前記２個のロールそれぞれの外周面と前記処理槽の壁面との間が非接触状態に保たれているとともに、該ロール外周面と処理槽壁面との間に、前記２個のロールのロール外径の２％以下０．１％以上の間隙を有するシール部が少なくとも１ヶ所形成されており、かつ、前記押圧手段が機械的押圧手段からなることを特徴とするものからなる。上記間隙がロール外径の２％を越えると、この間隙を通しての液漏れ量が多くなり、シール部としての機能が損なわれる。また、上記間隙がロール外径の０．１％未満であると、ゴムロールの場合の外径精度が高々０．０５ｍｍ程度であることから、接触のおそれが生じる。
【００１４】
また、本発明に係るシートの処理装置は、処理液が収容され、シートの出口および入口が設けられた処理槽と、該処理槽の前記出口および入口の少なくとも一方の近傍に設けられた２個のロールと、該２個のロール間にシートのニップ部を形成するように前記２個のロールの少なくとも一方を押圧する押圧手段とを備えたシートの処理装置であって、前記２個のロールそれぞれの外周面と前記処理槽の壁面との間が非接触状態に保たれているとともに、前記２個のロールそれぞれの前記ニップ部とは反対側の外周面と前記処理槽の壁面との間に、前記２個のロールのロール外径の２％以下０．１％以上の間隙を有するシール部がそれぞれ形成されていることを特徴とするものからなる。このシートの処理装置においても、上記押圧手段が機械的押圧手段からなることが好ましい。
【００１５】
このような本発明に係るシートの処理装置においては、前記押圧手段が、前記２個のロールのうち少なくとも１本のロールの両側に（例えば、ロールの両側のベアリングハウジングに当接あるいは連結されるように）設けられている構成とすることができる。
【００１６】
この押圧手段としては、例えば、バネや、ボールプランジャを用いることができる。
【００１７】
また、本発明においては、被処理基材としてのシートとして、特に限定されないが、例えば前述の如く、プラスチックフィルムを用いることができる。
【００１８】
また、本発明に係るシートの処理装置としては、被処理基材としてのシートに処理液、処理槽を用いて処理するものであれば特に限定されないが、本発明は、とくに、シートにメッキ処理するための装置に適用して好適なものである。
【００１９】
シートの搬送姿勢についても特に限定されないが、本発明は、前記シートが、該シートの幅方向が鉛直方向から±１０度以内の方向に保たれながら前記処理槽を通過するシートの処理装置に適用できる。このようなシートの搬送姿勢では、ハンドリングの容易性が確保されるとともに、処理の均一性が容易に確保される。
【００２０】
また、本発明におけるロールの表面材質としては、加工精度や耐磨耗性等の面から、前述の如きスポンジよりも硬く、かつ、均一なニップ圧を得やすいエラストマーが好ましい。つまり、２個のロールのうち少なくとも一方のロールの表面が、エラストマーにより形成されていることが好ましい。エラストマーとしては、例えば、処理液によるロール表面の腐食を防止することができる、優れた耐薬品性を有するものが好ましく、例えばＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）、ＩＩＲ（ブチルゴム）、ＣＳＭ（クロロスルホン化ポリエチレン）、ＦＫＭ（フッ素ゴム）等が使用できる。
【００２１】
また、本発明における２個のロールをフリーロールとすることで、駆動のための付帯設備を省略でき装置を簡素化できることもある。一方、駆動系の構成によれば、本発明における２個のロールのうち少なくとも一方のロールを駆動ロールとすれば、別途設ける必要があったシート搬送用の駆動ロールを削減でき、ひいては装置を簡素化できることもある。
【００２２】
本発明に係るシートの製造方法は、上記のようなシートの処理装置を用いてシートを処理することを特徴とする方法からなる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係るシートの処理装置によれば、ロール外周面と処理槽壁面との間に、２個のロールのロール外径の２％以下０．１％以上の間隙を有するシール部が形成されるので、ロール外周面と処理槽壁面との間が非接触状態に保たれつつ、特定の狭い間隙により液漏れに対する良好なシール性が確保され、ロール接触によるロール回転不良に起因するシートへの傷の発生や、ロール表面の摩耗によるシール性の低下が防止されるとともに、シール性向上により、例えば処理液循環系が低コスト化される（例えば、ポンプ容量を小さくできる）。つまり、処理品質の確保とシール性向上を両立できる。とくにロールは液圧差でスリットを有する壁面Ａ（図４）方向に撓みやすいため、ニップ側とは反対側の壁面Ｂ（図４）との間隙を上記特定の範囲内の間隙とすることにより、良好なシール性を確保しつつ、該シール性に対するロール撓みの影響を小さく抑えることができる。
【００２４】
また、ロール同士を機械的押圧手段で密着させることにより、経時的に安定したシール性（つまり、ロール径の経時変化や基材シートの厚み変動に因らないシール性）を維持することが可能になり、密着不足や強密着によるロール回転不良の解消（傷防止）をはかることができる。また、シール性が安定することで、壁面とロール外周面、ロール間からの液漏れを低減できるとともに、液の動圧による基材シートのバタツキ等も低減でき、基材シートを高品位を維持しつつ安定して搬送することができる。
【００２５】
また、ロールの押圧手段を機械的押圧手段から構成することにより、ロール径の経時変化等に対して所望のニップ部を形成できるように容易に調整できるようになり、機械的押圧手段をロール両軸端に設けることで、ニップ力のバランスを調整することも容易である。なお、機械的押圧手段としてもバネやボールプランジャ等の簡単なもので構成できる。
【００２６】
本発明は、シートがプラスチックフィルムである場合に好適なものであり、プラスチックフィルムではロール間密着力が強いとフィルムに過剰な負荷がかかりシワや傷発生の原因となるため弱いロール間密着力を維持する必要があり、上記のような本発明に係る装置構成の恩恵を最も得られることになる。また、本発明は処理装置がメッキ装置である場合に好適なものであり、例えば銅メッキに代表される表面が比較的軟かくキズが発生しやすいメッキ装置において好適である。なおメッキ装置では前述の如く処理槽が多数必要であるため、本発明による低コスト化の恩恵を最も得られることになる。とくに、シートが処理槽を縦に通過する場合に好適なものであり、処理槽のシート出口・入口に図３に示したようなスリットが不可避であることから、本発明による優れたシール性の効果の恩恵を最も得られることになる。
【００２７】
また、本発明における２個のロールをフリーロールとすることで、駆動のための付帯設備を設けることなく、ロールとフィルムを同期させることができるため、回転不良によるシートへのキズ発生を防止することができる。一方、本発明における２個のロールを駆動ロールとした場合でも、駆動系の構成によれば、処理槽内外でシートをバタツキなく安定して搬送できるためシートの高品位化を達成できるだけでなく、別途設置していたシート搬送用の駆動ロールを削減することもできるため、装置を安価にする効果もある。なお、ニップされた２個のロールを共に駆動させた場合、高精度に同期させるためには歯車やベルト等を設けるか、もしくは個別にモータ等の駆動源を設け、各々を高精度に同期させる制御装置が必要となるうえ、ロール系の微少な経時変化等で同期性が悪化しニップ部の速度差でシートにキズが発生する可能性も皆無ではないため、２個のロールのうち一方のみを駆動ロールとしてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、本発明の望ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
図５、図６は、本発明の一実施態様に係るシートの処理装置の処理槽の出口または入口における２個のロール設置部を示しており、本発明を、図１に示したようなメッキ処理装置、つまり、シートが縦型搬送、つまり、該シートの幅方向が鉛直方向から±１０度以内の方向に保たれながら各処理槽を通過するメッキ処理装置に適用した場合を示している。メッキ処理装置全体の構成は、図１に示した構成に準じる。
【００２９】
図５において、３１は処理液としてのメッキ液が供給され充満される処理槽（メッキ槽）を示しており、複数設けられた処理槽３１の各処理槽３１に、基材シートとしてのプラスチックフィルム３２が順次通過される。例えば、前述の如く、ポリイミドフィルム（厚さ：例えば３８μｍ程度）に例えば銅がメッキされる（最終メッキ厚：例えば８μｍ程度）。このフィルムは、ハンドリング性、メッキ処理の均一性、メンテナンス性等の面から、上記の如く縦型搬送される。したがって、図５は、ロール設置部を上方からみた概略透視平面図である。
【００３０】
処理槽３１の出口または入口部には、処理槽本体３３に対し、出口または入口チャンバ３４が設けられており、チャンバ３４内には、処理槽本体３３内同様メッキ液が供給され充満される。処理槽本体３３の出口または入口部およびチャンバ３４の出口または入口部には、それぞれスリット３５ａ、３５ｂが設けられており、基材３２はこれらスリット３５ａ、３５ｂを通過するように走行される。走行速度は、メッキ処理の場合、例えば１ｍ／分程度と非常に遅い。チャンバ３４の図５における上下面は、例えば図６に示すように、ロールの可動代を確保するための隙間３６（例えば、長穴構成）以外、上下壁３７ａ、３７ｂによって封止されている。
【００３１】
上記チャンバ３４は、スリット３５ａ、３５ｂを横断する横断面において、図５に示すように、壁面Ａ（３８）と壁面Ｂ（３９）で囲まれており、これら壁面Ａ（３８）および壁面Ｂ（３９）が、本発明で言う処理槽壁面を構成している。処理槽３１の出口または入口部に、本実施態様では、チャンバ３４内に、基材シート３２に対しニップ部４０を形成する２個のロール４１、４２が配置されている。本実施態様では、各ロール４１、４２の表面はゴム４３（例えば、ＥＰＤＭ）で形成されている。また、本実施態様では、両ロール４１、４２は同一の外径を有する。これら２個のロール４１、４２の外周面とチャンバ３４の内壁面、とくに壁面Ａ（３８）および壁面Ｂ（３９）との間は、基本的に非接触状態に保たれている。そして、２個のロール４１、４２の外周面と処理槽壁面としてのチャンバ３４の内壁面との間に、ロール外径の２％以下０．１％以上の間隙を有するシール部４４が少なくとも１ヶ所形成されている。本実施態様では、ロール４１、４２のそれぞれについて、ニップ部４０とは反対側のロール外周面と処理槽壁面（つまり、両側の壁面Ｂ（３９））との間に、ロール外径の２％以下０．１％以上の間隙を有するシール部４４がそれぞれ形成されている。
【００３２】
上記ニップ部４０を形成するために、本実施態様では、一方のロール４１を他方のロール４２に向けて押圧するための押圧手段として、機械的押圧手段が設けられており、この機械的押圧手段は、本実施態様では、先端のボール部を押し引き可能なボールプランジャ４５からなる。ボールプランジャ４５は、図６に示すように、ロール４１の軸方向両端側に設けられており、先端のボール部４５ａでロール４１の両端のベアリングハウジング４６を押圧できるようになっており、それによってロール４１を他方のロール４２に向けて押圧できるようになっている。
【００３３】
このように構成されたシートの処理装置においては、ロール４１、４２の外周面と処理槽壁面との間が非接触状態に保たれつつ、上記のような特定の狭い間隙により液漏れに対する良好なシール性を有するシール部４４が形成されているので、処理槽壁面とロール４１、４２との接触によるロール回転不良に起因するシートへの傷の発生が防止される。また、シール性向上により、例えば処理液循環系が低コスト化される（例えば、ポンプ容量を小さくできる）。つまり、処理品質の確保とシール性向上を両立できる。従来装置では、とくにロールは液圧（図５に矢印で表示）でスリット３５ｂを有する壁面Ａ（３８）方向に撓みやすく、この部分での接触が生じやすかったが、上記実施態様では、この部分に十分な大きさの間隙を形成し、ニップ部４０とは反対側の壁面Ｂ（３９）との間隙を上記特定の範囲内の間隙とすることにより、この部分で良好なシール性を確保するようにしたので、ロールと処理槽壁面との接触を回避しつつ、シール性に対するロール撓みの影響を小さく抑えることができる。
【００３４】
また、ロール４１、４２同士は機械的押圧手段としてのボールプランジャ４５で密着させることにより、極めて簡素な押圧機構でありながら、ロール径の経時変化や基材シートの厚み変動に因らない良好なシール性を維持でき、経時的に安定したシール性を維持することが可能になる。したがって、密着不足や強密着によるロール回転不良の解消（傷防止）をはかることができる。また、シール性が安定することで、壁面とロール外周面、ロール間からの液漏れを低減できるとともに、液の動圧による基材シート３２のバタツキ等も低減でき、基材シートを高品位を維持しつつ安定して搬送することができる。
【００３５】
また、ロールの押圧手段を機械的押圧手段、とくにボールプランジャ４５から構成することにより、ロール径の経時変化等に対しても所望の均一なニップ圧のニップ部４０を容易に形成できるようにようになる。
【００３６】
したがって、このような良好なシール性を不都合なく実現できるシートの処理装置を使用することにより、処理品質のすぐれたシートを安定して製造することが可能になる。
【００３７】
本実施態様ではロール４１、４２はフリーロールであり、駆動のための付帯設備を設けることなく、ロールとフィルムを同期させることができるため、回転不良によるシートへのキズ発生を防止することができる。また、ロール４１、４２にモータ等の駆動装置を連結し、駆動ロールとして使用した場合でも、処理槽内外でシートをバタツキなく安定して搬送できるため、シートのメッキ品質を向上させることができるうえ、別途設置していたシート搬送用の駆動ロール（図省略）を削減することもできるため、装置を安価にする効果もある。なお、ロール４１、４２の一方のみにモータ等の駆動装置を連結した場合には、ロール間の同期を制御することなく、高品位なメッキシートを得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、シートがプラスチックフィルムである場合に好適なものであり、とくにメッキ処理に好適なものである。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明が適用可能なシートのメッキ装置の概略平面図である。
【図２】図１の装置の給電工程部の拡大平面図である。
【図３】図１の装置のメッキ工程部の拡大概略横断面図である。
【図４】従来の液シール部の概略構成図である。
【図５】本発明の一実施態様に係るシートの処理装置の処理槽のロール設置部の概略部分横断面図である。
【図６】図５のロール設置部の概略部分縦断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
３１  処理槽（メッキ槽）
３２  基材シートとしてのプラスチックフィルム
３３  処理槽本体
３４  チャンバ
３５ａ、３５ｂ  スリット
３６  隙間
３７ａ、３７ｂ  上下壁
３８  処理槽壁面としての壁面Ａ
３９  処理槽壁面としての壁面Ｂ
４０  ニップ部
４１、４２  ロール
４３  ロール表面のゴム
４４  シール部
４５  機械的押圧手段としてのボールプランジャ
４５ａ  先端のボール部
４６  ベアリングハウジング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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