(57)【要約】【課題】  複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、平板の積層順を間違えて一体化（金属接合）することを防ぎ、部材の組み立てミスを減らすことができるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。また、簡便で、高精度な位置決め精度を計測可能にするインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  このインクジェットヘッドは、複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に所定のパターンをなすタブなどの視覚標識を付したことを特徴とする。また、この視覚標識を用いて、平板の積層・一体化後、上記相対位置決め精度を確認する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に所定のパターンをなす視覚標識又は光学的標識を付したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に所定の傾斜の輪郭線を形成するタブを付したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に対して傾斜する直線又は曲線を形成する凹部又は凸部を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に対して傾斜する透視可能な連通孔を形成する穴部を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドの製造方法において、
前記各平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に積層時に厚さ方向に所定のパターンをなすよう少なくとも隣接する平板又は異なる部材を構成する平板と位置を変えて視覚標識若しくは光学的標識の付された前記インクジェットヘッドを構成する複数の平板を形成する工程と、
前記各平板を所定の順序で積層する積層工程と、
前記所定の順序で積層された各平板を一体化する一体化工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
少なくとも前記一体化工程の前に、前記標識を用いて各平板の相対位置決め精度を確認する工程
をさらに有することを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記標識の付された部分が捨て材である場合、又は、前記標識が凸部である場合には、前記一体化工程の後に、前記標識の付された捨て部材又は前記標識となっている凸部を切断、除去する工程
をさらに有することを特徴とする請求項５又は６いずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、所定形状に形成された複数枚の平板を積層して形成したインクジェットヘッド及びその製造方法が開示されている（たとえば特許文献１、特許文献２）。
【０００３】
また、互いの平板の相対位置決め精度を測定する方法として、従来は、外形基準で精度を計測するか、または、部材を切断して計測をしていた。
【特許文献１】特開２００３−２７７７１９号公報
【特許文献２】特開２００４−００９３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、外形が同一形状の平板を複数枚積層することから、積層順を間違える危険性がある。平板を圧着して一体化した後に剥離する手段はないため、誤った順番で積層したまま一体化した場合、廃棄せざるを得ず、部材の無駄が生じるという問題があった。また、通水テストを行うまでは、その誤りに気付かない為、作業工数の面でも無駄が大きいという問題があった。
【０００５】
また、従来から、互いの平板の相対位置決め精度を、外形基準で測定することがよく行われている。しかし、外形基準では、部品製作時のプロセス条件によって寸法精度が大きく変わるため、互いの平板の相対位置決め精度の信頼性に欠けるという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、積層順を間違えたまま一体化する危険性を低減し、かつ、互いの平板の位置決め精度をより正確かつ容易に確認することのできるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様によるインクジェットヘッドは、複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、前記複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に所定のパターンをなす視覚標識又は光学的標識を付したことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の第２の態様によるインクジェットヘッドは、複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、前記複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に所定の傾斜の輪郭線を形成するタブを付したことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の第３の態様によるインクジェットヘッドは、複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、前記複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に対して傾斜する直線又は曲線を形成する凹部又は凸部を形成したことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の第４の態様によるインクジェットヘッドは、複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドにおいて、前記複数枚の平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に、積層時に厚さ方向に対して傾斜する透視可能な連通孔を形成する穴部を形成したことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の第５の態様によるインクジェットヘッドの製造方法は、複数枚の平板を積層して形成されたインクジェットヘッドの製造方法において、前記各平板の積層後捨て材となる縁部又は積層後インク吐出孔を形成する面とならない縁部に積層時に厚さ方向に所定のパターンをなすよう少なくとも隣接する平板又は異なる部材を構成する平板と位置を変えて視覚標識若しくは光学的標識の付された前記インクジェットヘッドを構成する複数の平板を形成する工程と、前記各平板を所定の順序で積層する積層工程と、前記所定の順序で積層された各平板を一体化する一体化工程と、を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の第６の態様によるインクジェットヘッドの製造方法は、第５の態様による製造方法において、少なくとも一体化工程の前に、前記標識を用いて各平板の相対位置決め精度を確認する工程をさらに有することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の第７の態様によるインクジェットヘッドの製造方法は、第５又は第６の態様による製造方法において、前記標識の付された部分が捨て材である場合、又は、前記標識が凸部である場合には、前記一体化工程の後に、前記標識の付された捨て部材又は前記標識となっている凸部を切断、除去する工程をさらに有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、積層する順番を間違えたまま平板を一体化することを防ぎ、インクジェットヘッドを構成する平板の組み立てミスを減らすことができる。
【００１５】
さらに、本発明によれば、簡便で、高精度な位置決め精度を計測することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１〜４は、本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの構成を示すものである。
【００１８】
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、金属製のインクジェットヘッドブロック２を具備している。このインクジェットヘッドブロック２の上面には、図１，２に示すように、１つのインク供給孔２ａが形成されている。
【００１９】
このインクジェットヘッドブロック２は、図４に示すように、複数種（図４に示す例では大別して５種）の金属製の第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５（それぞれ平板ともいう）を複数枚（例えば、２５〜２５０枚）積層して構成されている。これらの第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５は、厚さが例えば０．０２ｍｍ〜０．２ｍｍの金属製（例えば、ＳＵＳ３０４等）の板材から構成されており、これらを拡散接合等によって圧着することにより一体化され、ブロック状に形成されている。
【００２０】
また、インクジェットヘッドブロック２の底面には、図３，４に示すように、複数のインク吐出孔３ａ（直径、例えば０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍ）が形成されたオリフィスプレート３が拡散接合等によって接合されている。このオリフィスプレート３は、インクジェットヘッドブロック２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４等）から構成されており、厚さが例えば０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍとされている。図３に示すように、インク吐出孔３ａは１列形成されている。
【００２１】
また、インクジェットヘッドブロック２の両面には、図４に示すように、振動板（箔）４が、拡散接合等によって接合されている。この振動板４は、インクジェットヘッドブロック２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４等）から構成されており、厚さが例えば０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍとされている。
【００２２】
振動板４の外側面には、接着剤等によって、所定形状の導体パターンが形成されたＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）５が貼着されており、このＦＰＣ５には、圧電素子６が熱圧着接合等により接合されている。圧電素子６は、材質がＰＺＴ等から構成されており、厚さが例えば、０．５ｍｍ〜２ｍｍとされている。この圧電素子５には、各インク吐出孔にそれぞれ対応した電極が、蒸着等の方法で形成されており、これらの電極は、ＦＰＣ５に形成された導体パターンと電気的に接続されている。
【００２３】
図４に示される、第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５は、中央部に配置される第１流路形成積層板２１から積層方向両側に向けて対称に配置されており、中央部から積層方向両側に向けてインク流路が形成されるようになっている。そして、これらの両側のインク流路は、一方側と他方側が、図３に示されるインク吐出孔３ａのように、同一線状に形成されているようになっている。
【００２４】
上記中央部に配置される第１流路形成積層板２１には、インク供給流路２０１、インク溜め部２０２、インク吐出部２０７を形成するための開口部が設けられている。また、第１流路形成積層板２１の外側に配置される第２流路形成積層板２２には、インク供給流路２０１、インク溜め部２０２を形成するための開口部と、下側インク流路２０６を形成するための開口部が設けられている。
【００２５】
上記第２流路形成積層板２２の外側に配置される第３流路形成積層板２３には、下側インク流路２０６と、上側共通インク流路２０３とを形成するための開口部が設けられている。また、この第３流路形成積層板２３の外側に配置される第４流路形成積層板２４には、下側インク流路２０６と、上側個別インク流路２０４とを形成するための開口部が設けられている。
【００２６】
そして、最も外側に配置される第５流路形成積層板２５には、上下方向インク流路２０５を形成するための開口部が設けられている。
【００２７】
上記構成の第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５を、所定の順序で、所定枚数積層し、圧着することにより、インクジェットヘッドブロック２内には、インク供給流路２０１からインク吐出部２０７に至るインク流路が、積層方向中央部から両側に向けて形成される。そして、図１，図２及び図４に示すように、インクジェットヘッドブロック２の上側に、インク供給孔２ａが開口した状態となる。
【００２８】
インクジェットヘッドブロック２へのインクの供給は、インク供給孔２ａから行われる。そして、このインク供給孔２ａから供給されたインクは、インク供給流路２０１を通って、インク溜め部２０２に導入され、このインク溜め部２０２から、上側共通インク流路２０３、上側個別インク流路２０４、上下方向インク流路２０５、下側インク流路２０６をこの順で通過して、インク吐出部２０７内にまで充填される。
【００２９】
そして、上記のようにインクジェットヘッドブロック２内にインクが充填された状態で、フレキシブル基板５を介して、圧電素子６に駆動信号が加わると、駆動信号が加わった部分の圧電素子６が変形することによって対応する部分の振動板４を振動させ、対応する部分の上下方向インク流路２０５内のインクを押圧し、オリフィスプレート３の対応するインク吐出孔３ａから所定量のインクが吐出されるようになっている。
【００３０】
図５〜７は、この実施形態に係るインクジェットヘッドブロック２を構成する流路形成積層板の構成の一例を示すものである。
【００３１】
図５は、図４の左半分に示した第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５を構成する各平板を、所定の順序で積層する様子を示したものである。図６は、図５の各平板が所定の順序で積層された状態を上から見た図であり、図７は、一部の平板が間違った順序で積層された状態を上から見た図である。なお、図６，７は、台形状のタブの上辺が並んだ様子を強調して表すために、タブの上辺の集まりをハッチングで示し、各板の境を示す横線は省略している。
【００３２】
図５に示すように、第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５には、タブ７１〜７５（以下、総称してタブＴとも呼ぶ）がそれぞれ付されている。タブＴの根元には、ハーフエッチング等により、流路形成積層板との境界線が形成されており、最終的に切断しやすいようになっている。なお、これらのタブＴは、これらの流路形成積層板を形成する際に一緒に（一体的に）形成される。流路及びタブの輪郭線は、エッチング，ブラストなどの周知の加工法により加工されている。
【００３３】
各タブＴは、その中心及び輪郭が一致する形状となっている。各タブＴは、同じ種類の流路形成積層板であれば、どの板であっても、同じ位置に付されている。たとえば、第３流路形成積層板２３であれば、どの板であっても、タブ７３が同じ位置に付されている。一方、第１流路形成積層板２１に付されたタブ７１と第２流路形成積層板２２に付されたタブ７２のように、異なる種類の流路形成積層板には異なる位置に少しずらしてタブＴが付されている。
【００３４】
このようにタブＴが付された流路形成積層板を積層して積層体２０を形成する。正しい順序で積層すれば、各タブＴの上辺の集まった部分は、図６に示すように、厚さ方向（積層方向）に所定のパターンとなる。しかし、たとえば、本来第３流路形成積層板２３を積層すべきところに第２流路形成積層板２２が混入されて積層されてしまった場合には、タブ７３が集まったパターン中にタブ７２が飛び出すことになり、所定のパターンが形成されない（図７）。
【００３５】
このように、この例では、タブＴは、流路形成積層板の種類が同一であれば同位置に、種類が異なれば異なる位置になるように少しずらして付されているので、異なる種類の流路形成積層板が間違ったところに混入していないか、積層時または積層後に、上から又は斜め方向から見て、容易に確認できる。もし順番が間違っていれば、流路形成積層板２１〜２５を一体化する前に、正しい順番で積層しなおすことが可能である。したがって、間違った順番で積層されたまま一体化するという組み立てミスを防ぐことができる。
【００３６】
なお、図５〜７の例では、タブ７１〜７５は、それぞれ一部分が重なるように位置をずらして（異ならせて）付されていたが、その位置のずらし方は、図８に示すように、適宜定めることができる。たとえば、流路形成積層板の種類がもっと少ない場合には、図５で示すよりもっと幅の広いタブを設けても、種類の異なる流路形成積層板に付されたタブ同士（たとえばタブ７１とタブ７２）がほとんどまたは全く重ならないように位置をずらすことが可能である。逆に、流路形成積層板の種類がもっと多い場合には、各タブの幅をもっと狭くしたり、タブ同士の重なる部分が多くなるような位置にタブを付すなどすることになる。
【００３７】
また、図５〜７の例では、大別して同じ種類の流路形成積層板には、同じ位置にタブを付していたが、種類毎だけでなく個々の板毎に、タブを付す位置を少しずつ異ならせてもよい。たとえば、上から見て図９に示すパターンになるようにしてもよい。このようにすると、同一種類の流路形成積層板の中でも個々の板の流路形状が微妙に異なる場合などでも、流路形成積層板の種類毎の識別も容易にできるし、個々の平板の積層順も容易に確認できるという利点がある。また、流路形成積層板の種類に関係なく、積層するすべての平板のタブの位置が異なるようにずらしてタブを付しても良い。
【００３８】
また、個々のタブの形状は、この台形状に限られるものではなく、もっと幅の狭い台形状でもよく、三角形や、略半円形など他の形状でも良いことはもちろんである。このような形状は、その中心及び輪郭が一致する形状なので、積層順を間違えた場合や、積層位置が少しずれた場合には、容易に判別できる。三角形や、略半円形にすると、１枚のタブを上から見たときにタブが１点で見えるので、位置を異ならせたいタブが多い場合などに有利である。
【００３９】
図１０〜１２は、この実施形態に係るインクジェットヘッドブロック２を構成する流路形成積層板の構成の別の一例を示すものである。この例では、流路形成積層板の種類を無視して、１枚毎に等間隔で位置を異ならせてタブＴを付しているので、第１流路形成積層板２１〜第５流路形成積層板２５ではなく、単に平板と呼ぶ。
【００４０】
図１０は、個々の平板Ｐ（Ｐ１，・・・，Ｐｎ）を積層して積層体２０Ａにする様子を、個々の平板Ｐを等間隔で並べて示した斜視図である。図１１は正しい順序で積層された積層体２０Ａの模式的な斜視図である。図１２は図１１の積層体２０Ａを上から見た図である。
【００４１】
図１０に示すように、平板Ｐ１にはタブＴ１が、平板Ｐ２にはタブＴ２が、平板Ｐ３にはタブＴ３が、平板ＰｎにはタブＴｎが、それぞれ付されている。この例では、各タブＴは、二等辺三角形状になっている。図１０〜１２に示すように、平板Ｐｎに付されたタブＴｎの頂点Ａから、平板Ｐ１に付されたタブＴ１の三角形の頂点Ｂまで、各タブＴの頂点が、一直線上に並んでいる。すなわち、積層体２０Ａの厚さ方向に所定の傾斜の直線ＡＢを形成するように、各平板Ｐにタブが形成されている。この例では、二等辺三角形のタブにしているので、インクジェットヘッドブロック２を構成する流路形成積層板の枚数がたとえば２５０枚と多い場合であっても、１枚毎に異なる位置にずらしてタブを付すことができ、積層順の間違いを１枚毎に識別することが容易になるという利点がある。
【００４２】
なお、このようにＡＢが直線となるようにせずに、図１３に示すように、ＡＢが連続した曲線となるようにタブを付しても良い。この場合でも、積層順序を間違えた場合には容易に判別できる。
【００４３】
このように、流路形成積層板に付したタブは、各板が所定の順序で正しく積層されたか否かを視覚的または光学的に確認しやすくするための標識としての機能を有する。また、位置ずれの有無を確認する標識としての機能をも有する。このようなタブは、凸部であるから、標識としての役割を終えた後は、切断・削除することができる。
【００４４】
また、積層順を確認しやすくするための標識としては、上記のようなタブ、すなわち、凸部でなくても、凹部であってもよい。凹部であっても、たとえば、図１４に示すように、厚さ方向に所定の傾斜または所定のパターンになるように標識Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４…を構成することはでき、積層時または積層後に、所定の順序で積層されたか否かを確認することは容易にできる。また、標識としては、図１５に示すように、積層時に厚さ方向に対して傾斜する透視可能な連通孔を形成する穴部Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３…であってもよい。標識自体の形状としては、それらの標識をすべて各平板の同じ位置に付した場合にその中心及び輪郭が一致する形状であればよい。そういう形状の標識であれば、積層方向に所定の間隔だけ位置を異ならせて各平板に付して積層すると、標識の頂点及び輪郭線が順次並ぶようになるので、積層順の間違いを容易に確認できる。また、平板同士の相対位置のずれを確認することをも容易になる。
【００４５】
ただし、標識を凹部や穴部にした場合には、その部分を切断・削除することはできないため、最終製品としてのインクジェットヘッド１にも、その凹部が形成されたまま残ることとなるから、その標識の位置や形状は、インクジェットヘッド１の機能上支障が無いようにする必要がある。たとえば、インクジェットヘッド１の側面となる縁部であれば、製品に残っても機能上の問題はない（図示せず）。
【００４６】
図１６〜１８は、この実施形態に係るインクジェットヘッドブロック２を構成する流路形成積層板の構成の他の例を示すものである。図１６〜１８は、いずれも、積層した状態を前面から見た図である。これらの例では、上記の条件を満たした各タブに、さらに、互いの相対位置を確認するための線または孔が形成されている。
【００４７】
図１６に示す例では、タブＴａ１，Ｔａ２，Ｔａ３の中央部に、それぞれ、図面Ｘ軸方向の線Ｌａ１，Ｌａ２，Ｌａ３がハーフエッチング等により形成されている。同図に示すように、各板がＹ軸方向に相対的に位置がずれることなく積層された場合には、線Ｌａ１，Ｌａ２，Ｌａ３は一直線に並ぶ。各板がＹ軸方向に相対的に位置がずれて積層された場合には、線Ｌａ１，Ｌａ２，Ｌａ３は一直線に並ばずにＹ軸方向に位置がずれる。したがって、線Ｌａ１，Ｌａ２，Ｌａ３のＹ軸方向の相対的な位置ずれを見ることにより、各板のＹ軸方向の相対的な位置決め精度を、より正確かつ容易に確認することができる。
【００４８】
図１７に示す例では、図１６に示すタブＴａ（Ｔａ１，Ｔａ２，Ｔａ３）に加え、図面左側にも、タブＴｂ（Ｔｂ１，Ｔｂ２，Ｔｂ３）が付されている。タブＴｂ１，Ｔｂ２，Ｔｂ３の中央部には、それぞれ、図面Ｙ軸方向の線Ｌｂ１，Ｌｂ２，Ｌｂ３がハーフエッチング等により形成されている。このようなタブが形成されているので、Ｘ軸Ｙ軸両方向の相対的な位置決め精度を、より正確に確認することが容易となる。
【００４９】
なお、図１７では、各平板の同じ角（直角）を挟んだ２つの辺（縁部）にタブを設けたが、同じ角を挟んでいなくても、各平板の互いに直交する２つの辺（縁部）にタブを設けることでＸ軸Ｙ軸両方向の位置ずれを確認することは可能である。
【００５０】
また、各平板の外形がもっと複雑な形状をしていて直交する２辺が存在しないような場合には、各平板の外形を構成する、平行でない２辺に、それぞれ線や孔の付いたタブを形成することで、同様の効果を得ることは可能である。
【００５１】
また２辺に限らず、３辺にそれぞれタブを付してもよい。その場合には、各平板の外形寸法が同じでなかった場合の相対位置精度の確認も容易になるなどの効果が得られる。
【００５２】
図１８に示す例では、タブＴａ１，Ｔａ２，Ｔａ３の中央部に、それぞれ、貫通孔Ｈａ１１，Ｈａ２，Ｈａ３がレーザービーム等により形成されている。この例は、タブＴａ１，Ｔａ２，Ｔａ３を付した平板がそれぞれ複数枚あった場合（たとえば図５のように平板の種類ごとに同位置にタブを付した場合）に有効である。このようなタブを付すと、それぞれタブが同位置に重なるべき平板が正しく重なっていれば、貫通孔Ｈａ１１，Ｈａ２，Ｈａ３がそれぞれ透視できる。したがって、各平板がそれぞれ、ＸＹ方向に位置ずれせずに積層されているか否かを容易に確認することができる。また、どの程度位置がずれているかを計測・確認することが容易となる。
【００５３】
図１６〜１８に示したタブの例のように、平板同士の相対的な位置ずれを確認できる標識を付しておくと、各平板を積層する時や積層後一体化する前はもちろんのこと、一体化した後にも、各平板の相対的な位置決め精度を、従来よりも正確かつ容易に、確認することができる。従来は、一体化後に各板の相対的な位置決め精度を計測する場合、外形基準で精度を計測するか、もしくは部材を切断して計測をしていた。
【００５４】
なお、図１６〜１８に示した例では、各タブを台形状にしているが、三角形状や半円状であっても、このような位置決め精度の確認をするための線や孔を設けることができることはもちろんである（図示せず）。なお、三角形状や半円状など、タブ（凸部）や凹部自身の形状の頂点や輪郭の並び方に基づいて位置決め精度を計測・確認してもよい。
【００５５】
以上説明したように、本発明の一実施形態によれば、複数枚の平板の縁部に、積層時に厚さ方向に所定の輪郭をなすタブ等を付したので、平板の積層順を間違えればすぐに気付くことができる。また、間違えても一体化する前（接合前）に確認することにより、所定の順序で積層しなおすことが容易になる。
【００５６】
また、本発明の一実施形態によれば、複数枚の平板の縁部に、積層時に厚さ方向に所定の輪郭をなすタブを付したので、位置決め精度の計測・確認も容易となる。また、これらのタブに線状又は穴状の印を設けておくことで、位置決め精度の計測・確認もさらに正確かつ容易となる。
【００５７】
また、本発明の一実施形態によれば、複数枚の平板の縁部に、積層時に厚さ方向に対して傾斜する直線又は曲線を形成する凹部又は凸部を付したので、平板の積層順を間違えればすぐに気付くことができる。また、間違えても一体化する前（接合前）に確認することにより、所定の順序で積層しなおすことが容易になる。
【００５８】
なお、以上では、最終製品のインクジェット１を構成する個々の流路形成積層板の上部に直接、標識を付していたが、これに限られることはない。
【００５９】
たとえば、これらの標識を付す位置は、上部に限られず、どの縁部でも良い。ただし、オリフィスプレート３と接合される面の縁部に標識を付してしまうと、オリフィスプレート３との接合前に切断・削除する必要があるので、好ましくない。
【００６０】
また、たとえば、図１９で示すように、積層する個々の平板の一部として、流路形成積層板の上部及び下部に、インクジェット１としては不要となる捨て材８１，８２を設けておき、この捨て材８１，８２の縁部に標識を設けてもよい。こうすることで、流路の形状を意識することなく、どの縁部にも、凸部または凹部となる標識を設けることが可能となる。また、捨て材８１，８２を設けておくことで、各平板の最終製品となる流路形成積層板を積層時に直接触れずに済むので、各流路形成積層板を損傷させずにすむという効果が得られる。そして、最終的に、この捨て材８１，８２を切断・削除すると、インクジェット１の外形は、図１で示したものになる。
【００６１】
また、個々の流路形成積層板に直接付したタブ等の凸部形状の標識は、最終的に切断・削除することが好ましいが、インクジェットヘッド１の機能上かつ外見上支障がない位置であれば、切断・削除しなくてもよい。その場合、インクジェット１の外形は、図１で示したものと少し異なる。なお、当初から、切断・削除する予定がない場合には、個々の流路形成積層板を形成する際に、タブとの境目（タブの根元）に、ハーフエッチングなどで切れ込みを入れておく必要はない。
【００６２】
なお、本発明は上記実施形態のみに限定されるものではない。特に、図示した形態のみに限定されるものと解してはならない。本発明の趣旨に反しない限り、上記実施形態をいろいろに変形したり組み合わせたりすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの全体の概略構成を示す図。
【図２】図１のインクジェットヘッドの上面の構成を示す図。
【図３】図１のインクジェットヘッドの底面の構成を示す図。
【図４】図１のインクジェットヘッドの構造を分解して示す図。
【図５】種類毎に位置を異ならせてタブを付した流路形成積層板を積層する様子を示す斜視図。
【図６】図５の各積層板が所定の順序で積層されたものを上側から見た状態を模式的に示す平面図（ハッチングは台形状のタブの上辺が並んだ様子を強調して表すもので、断面を表すものではない。以下、図７〜９において同じ。）。
【図７】図５の各積層板の一部が誤った順序で積層された状態をタブが付された側から見た平面図。
【図８】図５とはタブ位置の異ならせ方を変えたものを積層されたものを上側から見た状態を模式的に示す平面図の例。
【図９】種類毎のまとまりを保ちつつ１枚毎に位置を異ならせてタブを付して積層した例を示す平面図。
【図１０】１枚毎に位置を異ならせてタブを付した平板を積層する様子を示す斜視図。
【図１１】図１０に示す平板が積層された状態を模式的に示す図。
【図１２】図１１に示すものを、上面から見た状態を模式的に示す平面図。
【図１３】図１０とはタブ位置の異ならせ方を変えたものを積層して上面から見た状態を模式的に示す平面図。
【図１４】積層時に厚さ方向に対して傾斜する直線を形成する凹部を付した平板を積層した例を示す図。
【図１５】積層時に厚さ方向に対して傾斜する透視可能な連通孔を形成する穴部を付した平板を積層した例を示す図。
【図１６】中央部に水平な線を形成したタブを付した平板を積層した例を示す図。
【図１７】各平板の互いに直交する２つの辺に図１４と同様のタブを付して、各平板を積層した例を示す図。
【図１８】貫通孔を形成したタブを付した平板を積層した例を示す図。
【図１９】流路形成積層板の上下に捨て材を設けた平板を形成した例を示す図。
【符号の説明】
【００６４】
１…インクジェットヘッド、２…インクジェットヘッドブロック、３…オリフィスプレート、４…振動板（箔）、５…ＦＰＣ（フレキシブル基板）、６…圧電素子、Ｐ…平板、Ｔ…タブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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