(57)【要約】【課題】  接着剤の塗布量に関する管理を寛容なものとする。【解決手段】  流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０との接着面において、ノズルに連通した圧力室３６からその長手方向に離隔した位置には、捕獲孔３４が形成されている。捕獲孔３４は、各圧力室３６に対して１つずつ付随している。捕獲孔３４から圧力室３６に向かう方向に順次流路ユニット１０に接着剤が塗布されると、流路ユニット１０上を捕獲孔３４から圧力室３６に向かう方向に余剰接着剤が移動していく。この余剰接着剤は捕獲孔３４に流れ込むので、圧力室３６にほとんど流れ込むことがない。【選択図】  図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれがノズルに連通した複数の第１の凹部、及び、各第１の凹部に対して少なくとも１つが付随した複数の第２の凹部が表面に形成された流路ユニットと、
前記複数の第１の凹部に跨って延在した圧電シート、それぞれが前記圧電シート上において各第１の凹部に対向する位置に配置された複数の個別電極、及び、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極を含み、少なくとも前記複数の第１の凹部を塞ぐことによって複数の圧力室が形成されるように前記流路ユニットの前記表面に接着剤を介して接着されたアクチュエータユニットとを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記第１の凹部が細長形状を有しており、前記第２の凹部が前記第１の凹部からその長手方向に離隔した位置に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
各第１の凹部に対して１つの前記第２の凹部が付随しており、
前記第１の凹部及び前記第２の凹部が前記長手方向と直交する方向に等しい幅を有していることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記第１の凹部において前記第２の凹部に面した部分と、前記第２の凹部において前記第１の凹部と反対側の部分とが同じ形状を有していることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記第１の凹部に対する前記第２の凹部の位置する方向がどの前記第１の凹部に関しても同じであることを特徴とする請求項３又は４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記アクチュエータユニットの側壁と前記流路ユニットとの交線の少なくとも一部が、前記複数の第１の凹部と前記複数の第２の凹部との間を延在していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記流路ユニットと前記アクチュエータユニットとが平面視において長方形の外形形状を有し、
前記複数の第１の凹部が、それぞれの長手方向を前記流路ユニットの幅方向と平行にして前記流路ユニットの長手方向に沿って配列され、
前記複数の第２の凹部が、前記第１の凹部からなる列と、前記流路ユニットの一方の長辺との間に形成されており、
前記アクチュエータユニットの長辺を画定する前記側壁と前記流路ユニットとの交線が、前記流路ユニットの長手方向に沿って配列された前記複数の第１の凹部と前記複数の第２の凹部との間を延在していることを特徴とする請求項３又は４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記複数の第２の凹部が、前記第１の凹部からその長手方向に同じ距離だけ離れた位置に形成されていることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記複数の第２の凹部が、前記複数の第１の凹部と、前記複数の第１の凹部に近い方の前記流路ユニットの長辺との間に形成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記第１の凹部からなる列と前記第２の凹部からなる列とが前記流路ユニットの幅方向に関して交互に配置されるように、前記複数の第１の凹部及び前記複数の第２の凹部がそれぞれ複数列を形成していることを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記流路ユニットは、複数のプレートの積層構造体であって、
少なくとも前記複数の第２の凹部が、前記表面を構成する前記プレートを貫通して形成されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
複数のプレートが積層された部品を有するインクジェットヘッドであって、
前記部品が、
複数の第１の開口部、及び、各第１の開口部に対して少なくとも１つが付随した複数の第２の開口部が表面に形成された第１のプレートと、
前記第１のプレートの前記表面に接着剤を介して接着された第２のプレートとを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１３】
前記第２の開口部が前記第１の開口部から同じ方向に等しい距離だけ離隔した位置に形成されていることを特徴とする請求項１２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１４】
各第１の開口部に対して１つの前記第２の開口部が付随しており、
前記第１の開口部及び前記第２の開口部が等しい幅を有していることを特徴とする請求項１３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１５】
前記第１の開口部において前記第２の開口部に面した部分と、前記第２の開口部において前記第１の開口部と反対側の部分とが同じ形状を有していることを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプレートが接着剤を介して積層されてなるインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、複数個のノズルごとにそれぞれ形成された多数の圧力室を有するキャビティプレート（流路ユニット）と、各圧力室のそれぞれに対応して圧力室内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ（アクチュエータユニット）とが接着剤を介して接着されたインクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドにおいて、キャビティプレートは、積層された複数枚のプレートから構成されている。そして、キャビティプレートにおいて圧電アクチュエータが接着される最外層のベースプレートには、貫通孔が形成されている。この貫通孔は、キャビティプレートにおいてベースプレートに隣接するプレートと、圧電アクチュエータとがベースプレートに接着されることによって塞がれている。この塞がれた空間が圧力室として機能する。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−９６４７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
キャビティプレートに圧電アクチュエータを固定するための接着剤は、通常、圧電アクチュエータではなく、ベースプレートに塗布される。その際、接着剤の塗布量が多すぎると、ベースプレートに形成された貫通孔に接着剤が入り込んでしまうことがある。このような事態が生じると、圧力室の容積が設計値からずれてしまうため、所望のインク吐出量を確保することができなくなってしまう。逆に、接着剤の塗布量が少なすぎると、キャビティプレートと圧電アクチュエータとの間からインク漏れが生じることがある。また、キャビティプレートを構成する各プレート同士の接着に関しても同様の問題が生じる。すなわち、接着剤の塗布量が多すぎると、接着剤がプレートに形成された孔を塞いでしまうことがあり、少なすぎると、インク漏れが生じることがある。つまり、プレートへの接着剤の塗布量を厳格に管理する必要があり、そのことがインクジェットヘッドの製造過程を煩雑なものとしている。
【０００５】
本発明の目的は、接着剤の塗布量に関する管理を寛容なものとすることができるインクジェットヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００６】
本発明のインクジェットヘッドは、それぞれがノズルに連通した複数の第１の凹部、及び、各第１の凹部に対して少なくとも１つが付随した複数の第２の凹部が表面に形成された流路ユニットと、前記複数の第１の凹部に跨って延在した圧電シート、それぞれが前記圧電シート上において各第１の凹部に対向する位置に配置された複数の個別電極、及び、前記複数の個別電極と共に前記圧電シートを挟む共通電極を含み、少なくとも前記複数の第１の凹部を塞ぐことによって複数の圧力室が形成されるように前記流路ユニットの前記表面に接着剤を介して接着されたアクチュエータユニットとを備えていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によると、流路ユニットとアクチュエータユニットとを接着する接着剤のうちの一部が第２の凹部に流れ込むため、第１の凹部に流れ込む接着剤の量を減らすことができる。そのため、接着剤の使用上限量を増やすことができ、接着剤の塗布量に関する管理が寛容なものとなる。
【０００８】
本発明においては、前記第１の凹部が細長形状を有しており、前記第２の凹部が前記第１の凹部からその長手方向に離隔した位置に形成されていることが好ましい。これによると、第２の凹部からこれと対をなす第１の凹部に向かう方向に沿って接着剤が順次流路ユニットに塗布された場合に、流路ユニットの剛性低下を抑制するために第２の凹部の幅を小さくしても、第２の凹部を越えて第１の凹部に向かって移動する余剰接着剤の量を減らすことが可能となる。
【０００９】
この場合、各第１の凹部に対して１つの前記第２の凹部が付随しており、前記第１の凹部及び前記第２の凹部が前記長手方向と直交する方向に等しい幅を有していることが好ましい。これによると、第１の凹部に流れ込む接着剤の量をさらに減らしつつ、流路ユニットの剛性低下をさらに抑制することができる。
【００１０】
さらにこの場合、前記第１の凹部において前記第２の凹部に面した部分と、前記第２の凹部において前記第１の凹部と反対側の部分とが同じ形状を有していることが好ましい。これによると、広げられる接着剤の余剰分が、第２の凹部のうち、第１の凹部の先端部と同じ形状を有する部分に流れ込む。即ち、一旦、第１の凹部の先端部に直接流れ込んでしまう場合と同等の流れ込み方で第２の凹部に接着剤の余剰分が流れ込むことから、第２の凹部以後で生じる余剰分の管理がさらに寛容なものになる。
【００１１】
この場合、前記第１の凹部に対する前記第２の凹部の位置する方向がどの前記第１の凹部に関しても同じであることが好ましい。これによると、第２の凹部からこれと対をなす第１の凹部に向かう方向に沿って接着剤が順次流路ユニットに塗布された場合に、どの第１の凹部についても、接着剤が対応する第２の凹部に一旦流れ込んで削減される。したがって、どの第１の凹部に対しても流れ込む接着剤の量を少なくすることができると共に第２の凹部以後で生じる接着剤の余剰分を管理するだけでよい。
【００１２】
本発明においては、前記アクチュエータユニットの側壁と前記流路ユニットとの交線の少なくとも一部が、前記複数の第１の凹部と前記複数の第２の凹部との間を延在していることが好ましい。これによると、アクチュエータユニットを安定させて流路ユニットに固定することができる。
【００１３】
また、本発明においては、前記流路ユニットと前記アクチュエータユニットとが平面視において長方形の外形形状を有し、前記複数の第１の凹部が、それぞれの長手方向を前記流路ユニットの幅方向と平行にして前記流路ユニットの長手方向に沿って配列され、前記複数の第２の凹部が、前記第１の凹部からなる列と、前記流路ユニットの一方の長辺との間に形成されていてよい。そして、前記アクチュエータユニットの長辺を画定する前記側壁と前記流路ユニットとの交線が、前記流路ユニットの長手方向に沿って配列された前記複数の第１の凹部と前記複数の第２の凹部との間を延在していてよい。これによると、第１の凹部に対する第２の凹部の位置する方向がどの第１の凹部に関してもほとんど同じになるので、第２の凹部からこれと対をなす第１の凹部に向かう方向に沿って接着剤が順次流路ユニットに塗布された場合に、どの第１の凹部についても、第１の凹部に流れ込む接着剤の量をさらに減らすことができる。さらに、アクチュエータユニットを安定させて流路ユニットに固定することができる。
【００１４】
そして、このとき、前記複数の第２の凹部が、前記第１の凹部からその長手方向に同じ距離だけ離れた位置に形成されていることが好ましい。これにより、第２の凹部と第１の凹部との間の距離がこれらのどの対に関しても共通となるので、第２の凹部から第１の凹部に向かう方向に沿って接着剤が順次流路ユニットに塗布された場合に、第１の凹部に流れ込む接着剤の量がほぼ同じになる。したがって、圧力室同士における容積のばらつきが少なくなる。
【００１５】
また、前記複数の第２の凹部が、前記複数の第１の凹部と、前記複数の第１の凹部に近い方の前記流路ユニットの長辺との間に形成されていてよい。これにより、第２の凹部から第１の凹部に向かう方向に沿って接着剤が順次流路ユニットにその全幅に亘って塗布された場合に、第１の凹部に近い方の流路ユニットの長辺と第２の凹部との距離が比較的短くなるため、第２の凹部に達する余剰接着剤の量が少なくなる。そのため、第２の凹部を越えて第１の凹部に向かう余剰接着剤の量も減ることになって、第１の凹部に流れ込む接着剤の量をさらに減らすことができる。
【００１６】
また、このとき、前記第１の凹部からなる列と前記第２の凹部からなる列とが前記流路ユニットの幅方向に関して交互に配置されるように、前記複数の第１の凹部及び前記複数の第２の凹部がそれぞれ複数列を形成していてよい。これによると、第１の凹部が複数列を形成している場合においても、第１の凹部に対する第２の凹部の位置する方向がどの第１の凹部に関してもほとんど同じになるので、第２の凹部からこれと対をなす第１の凹部に向かう方向に沿って接着剤が順次流路ユニットに塗布された場合に、どの列に属する第１の凹部についても、第１の凹部に流れ込む接着剤の量をさらに減らすことができる。
【００１７】
本発明においては、前記流路ユニットは、複数のプレートの積層構造体であって、少なくとも前記複数の第２の凹部が、前記表面を構成する前記プレートを貫通して形成されていることが好ましい。これによると、凹部を貫通孔とすることで、余剰接着剤を捕獲する体積を確実に確保できる。
【００１８】
別の観点において、本発明のインクジェットヘッドは、複数のプレートが積層された部品を有している。そして、前記部品が、複数の第１の開口部、及び、各第１の開口部に対して少なくとも１つが付随した複数の第２の開口部が表面に形成された第１のプレートと、前記第１のプレートの前記表面に接着剤を介して接着された第２のプレートとを備えている。
【００１９】
本発明によると、第１のプレートと第２のプレートとを接着する接着剤のうちの一部が第２の開口部に流れ込むため、第１の開口部に流れ込む接着剤の量を減らすことができる。そのため、接着剤の使用上限量を増やすことができ、接着剤の塗布量に関する管理が寛容なものとなる。
【００２０】
本発明においては、前記第２の開口部が前記第１の開口部から同じ方向に等しい距離だけ離隔した位置に形成されていることが好ましい。これによると、第２の開口部から第１の開口部に向かう方向に沿って順次第１のプレートに接着剤が塗布された場合に、第１の開口部に向かって移動する余剰接着剤の多くが第１の開口部に達する前に第２の開口部に流れ込むことになるので、第１の開口部に流れ込む接着剤の量を減らすことができる。
【００２１】
この場合、各第１の開口部に対して１つの前記第２の開口部が付随しており、前記第１の開口部及び前記第２の開口部が等しい幅を有していることが好ましい。これによると、第１の開口部に流れ込む接着剤の量をさらに減らしつつ、第１のプレート及びこれを含む部品の剛性低下を抑制することができる。
【００２２】
さらにこの場合、前記第１の開口部において前記第２の開口部に面した部分と、前記第２の開口部において前記第１の開口部と反対側の部分とが同じ形状を有していることが好ましい。これによると、第２の開口部に余剰接着剤が流れ込みやすくなるために、第１の開口部に流れ込む接着剤の量をさらに減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に、本発明の好適な一実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態のインクジェットヘッドがホルダに組み付けられた状態を示す要部断面図である。図２は、インクジェットヘッドにフレームが接着された状態を示す斜視図である。また、図３は、図１に示すインクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタを示す斜視図である。
図１に示すように、本実施の形態のインクジェットヘッド１は、図中矢印Ａで示される方向に搬送される記録用紙Ｐに対して、この記録用紙Ｐの幅方向（図中矢印Ｂ）に往復移動することで記録をする。このキャリッジ１００には、インクジェットヘッド１が固定されたホルダ１７２が着脱可能に搭載されている。このホルダ１７２には、外部からインクチューブ１４０を介してマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックの４色のインクが供給されている。これにより、カラー印字が可能になっている。
また、ホルダ１７２には、図２に示すように、インクタンク１７１が着脱可能に搭載されている。インクタンク１７１内にインク室１０３が形成されており、供給されるインクの種類に対応して、インクタンク１７１は４つの部屋に仕切られている。外部から供給されたインクは、このインク室１０３で一時貯留される。さらに、このインクタンク１７１の下方には、２つのインクジェットヘッド１が配置されており、それぞれ２色ずつのインクを吐出するようになっている。各インクジェットヘッド１は、図３に示すように、平面矩形形状のフレーム１４１に接着されている。そして、インクジェットヘッド１は、略直方形状を有するホルダ１７２の底面にこのフレーム１４１を介して固定されている。ホルダ１７２とインクジェットヘッド１やフレーム１４１との隙間は、紫外線硬化樹脂１４３により塞がれており、外部よりゴミやインクミストの侵入がないようにされている。また、フレーム１４１には、長方形形状の開口部１４２が形成されており、この開口部１４２内に後述のアクチュエータユニット２０を配置するようにしてインクジェットヘッド１の流路ユニット１０が固定されている。なお、インクタンク１７１の下端部には、インク室１０３に連通するインク導出口１０３ａが形成されている。これに対応するフレーム１４１の部位には、平面形状楕円形の貫通孔１４１ａが形成されており、フレーム１４１に固定されている流路ユニット１０内に連通している。このように、インクタンク１７１、フレーム１４１及びインクジェットヘッド１がホルダ１７２に組み付けられることにより、インク室１０３内のインクを対応するインクジェットヘッド１に供給可能なインク流路が形成されている。
【００２４】
図４は、インクジェットヘッドの分解斜視図である。図４に示すように、インクジェットヘッド１は、流路ユニット１０と、流路ユニット１０の表面に接着剤を介して接着されたアクチュエータユニット２０とを有している。さらに、アクチュエータユニット２０の上面には、ドライバＩＣ（図示せず）との電気的接続のためのフレキシブルフラットケーブル（ＦＰＣ）４０が接合される。
【００２５】
流路ユニットの分解斜視図である図５及びその部分拡大図である図６に示すように、流路ユニット１０は、下から、ノズルプレート１１、ダンパプレート１２、２枚のマニホールドプレート１３Ｘ、１３Ｙ、スペーサプレート１４、ベースプレート１５の６枚の薄い金属板が、互いに重ねられた状態で接着された積層構造を有している。
【００２６】
ノズルプレート１１には、インクを吐出するためのノズル孔３５が、所定の間隔をおいて多数形成されている。このノズル孔３５は、ノズルプレート１１における長手方向に沿って千鳥状の２列に配列されている。
【００２７】
ベースプレート１５には、複数の貫通孔３６が、ベースプレート１５の長手方向に沿って千鳥状の２列に配列されている。貫通孔３６はその上下の開口がスペーサプレート１４及びアクチュエータユニットに塞がれることによって所望容積を有する圧力室となるため、以下の説明では、貫通孔と同じく、“３６”という符号を圧力室に付することとする。
【００２８】
各圧力室３６は、平面視において両端がＲ形状に丸められたほぼ矩形形状を有している。圧力室３６は、その長手方向がベースプレート１５の長手方向に対して直交するように形成されている。各圧力室３６の一端からその長手方向に沿ってベースプレート１５の一方の長辺１５ａに向かって同じ距離だけ離隔した位置には、円柱状の捕獲孔３４がそれぞれ形成されている。したがって、ベースプレート１５には、その一方の長辺１５ａから他方の長辺１５ｂに向かう方向に、捕獲孔３４からなる孔列３２ａ、圧力室３６からなる孔列３２ｂ、捕獲孔３４からなる孔列３２ｃ、圧力室３６からなる孔列３２ｄの順に、４つの孔列３２ａ〜３２ｄが形成されていることになる。これら４つの孔列３２ａ〜３２ｄは、すべて、ベースプレート１５の長手方向に延在している。１つの圧力室３６には、それぞれ１つの捕獲孔３４が付随している。つまり、捕獲孔３４の数は、圧力室３６と同数である。
【００２９】
図４に示すように、アクチュエータユニット２０は、長辺１５ｂに近い３つの孔列３２ｂ、３２ｃ、３２ｄに属する圧力室３６及び捕獲孔３４の一方の開口を塞いでいるものの、長辺１５ａに最も近い孔列３２ａに属する捕獲孔３４の一方の開口を塞いでいない。すなわち、アクチュエータユニット２０は、その長辺を画定する側壁と流路ユニット１０との交線２０ａ（図７（ａ）及び図７（ｂ）参照）が長辺１５ａに最も近い孔列３２ａとこれに隣接する孔列３２ｂとの間を流路ユニット１０の長手方向に沿って延在するように、ベースプレート１５に接着されている。
【００３０】
図７（ａ）は、流路ユニット１０の幅方向に沿った、ベースプレート１５付近における流路ユニット１０の拡大断面図である。図７（ｂ）は、流路ユニット１０の部分拡大平面図であり、アクチュエータユニット２０の側壁と流路ユニットとの交線を二点鎖線で表している。図７（ｂ）から分かるように、捕獲孔３４の直径は、圧力室３６の幅と同じである。したがって、圧力室３６において捕獲孔３４に面した部分の曲率は、捕獲孔３４において圧力室３６と反対側の部分と同じになっている。
【００３１】
長辺１５ａに最も近い孔列３２ａに属する捕獲孔３４内は、いずれの捕獲孔３４についても、長辺１５ａに近い方の約半分の領域が接着剤３３で埋められている。これに対して、圧力室３６内には、この接着剤３３がほとんど存在していない。なお、この接着剤３３は、流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０とを接合するために、ベースプレート１５上に塗布されたものである。そのため、図示はしていないが、ベースプレート１５においてアクチュエータユニット２０側の面には、接着剤３３の薄層が形成されている。
【００３２】
図６に戻って、ベースプレート１５のスペーサプレート１４に接する面には、それぞれ対応する圧力室３６と接続される溝状の絞り部３６ｄと、この絞り部３６ｄと接続されるインク供給孔３６ｂとが形成されている。ベースプレート１５の幅方向中央側にある各圧力室３６の端部３６ａは、スペーサプレート１４、２枚のマニホールドプレート１３Ｘ、１３Ｙ、ダンパプレート１２に夫々千鳥状配列で形成された貫通孔３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄを介してノズル孔３５に連通している。
【００３３】
マニホールドプレート１３Ｘ、１３Ｙ及びダンパプレート１２にそれぞれ形成された貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄの各々から長辺１５ａに向かって同じ距離だけ離隔した位置には、円柱状の捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃがそれぞれ貫通して形成されている。同様に、ノズルプレート１１に形成されたノズル孔３５の各々から長辺１５ａに向かって前記同じ距離だけ離隔した位置にも、円柱状の捕獲凹部４８ａがそれぞれ形成されている。この捕獲凹部４８ａは、積層方向のベースプレート１５側に開口を有する凹部として形成されている。これら捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａは、インクジェットヘッド１の幅方向に沿った断面図である図８に示すように、対応するもの同士が互いに連通することによってアスペクト比の大きい縦長凹部となっており、その縦長凹部の開口がスペーサプレート１４によって塞がれている。
【００３４】
１つの貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄには、それぞれ１つの捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃが付随している。１つのノズル孔３５には、１つの捕獲凹部４８ａが付随している。捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａの直径は、対応する貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ又はノズル孔３５とそれぞれ同じである。したがって、貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５において捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａに面した部分の曲率は、捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａにおいて貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５と反対側の部分と同じになっている。
【００３５】
捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａ内は、流路ユニット１０内の各プレート同士を接合するための接着剤３３によって、いずれも長辺１５ａに近い方の領域が埋められている。これに対して、貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５内には、その接着剤３３がほとんど存在していない。なお、図示はしていないが、流路ユニット１０内の隣接する各プレート間には、接着剤３３の薄層が形成されている。
【００３６】
２枚のマニホールドプレートのうちスペーサプレート１４に近い側のマニホールドプレート１３Ｘには、２つのインク室半部１３ａが貫通状に形成されている。そして、このインク室半部１３ａの側壁には、前述のインク供給孔３６ｂに接続される流路を構成する接続溝４５が形成されている。一方、ノズルプレート１１側のマニホールドプレート１３Ｙには、二つのインク室半部１３ｂが、隣接するマニホールドプレート１３Ｘに向けてのみ開放するように凹設されている。そして、図８に示すように、２枚のマニホールドプレート１３Ｘ、１３Ｙとスペーサプレート１４の３枚のプレートが積層された状態では、貫通孔３７ａ〜３７ｄの列の両側に１本ずつ、インク室半部１３ａとインク室半部１３ｂとが重ね合わされて形成される２つの共通インク室７が延在している。
【００３７】
ダンパプレート１２には、ダンパ溝１２ｃが凹設されており、このダンパ溝１２ｃはマニホールドプレート１３Ｙ側に向けてのみ開放するように形成され、その平面視での位置および形状は共通インク室７と一致している。図５に示すように、ベースプレート１５の長手方向端縁部には２つのインク供給孔３９ａが形成されている。スペーサプレート１４にも同様に、インク供給孔３９ｂが形成されている。これらインク供給孔３９ａ、３９ｂは、２つの共通インク室７に対応して設けられている。このインク供給孔３９ａ，３９ｂにより、外部からのインク供給が可能となっている。さらに、スペーサプレート１４における左右両側部位には夫々インク供給孔３８が形成されている。このインク供給孔３８により、共通インク室７から各圧力室３６に対してインクの分配が可能となっている。
【００３８】
そして、流路ユニット１０には、共通インク室７から、接続溝４５、インク供給孔３８、絞り部３６ｄ、圧力室３６を経て、各ノズル孔３５に至る個別インク流路（以下の説明において、適宜チャンネル（Ｃｈ）と称する）が形成されている。なお、本実施の形態のインクジェットヘッドにおける個別インク流路（チャンネル）の数は、Ｃｈ０〜Ｃｈ７４までの７５である。そして、各個別インク流路において、アクチュエータユニット２０によって所望の圧力室３６内のインクに吐出エネルギーが与えられると、貫通孔３７ａ〜３７ｄを介してノズル孔３５からインクが吐出される。
【００３９】
次に、アクチュエータユニット２０について説明する。図８及びアクチュエータユニット２０の分解斜視図である図９に示すように、アクチュエータユニット２０は、２枚の圧電シート２１、２２と１枚の絶縁シート２３とを積層した構造を有している。圧電シート２１の上面には、流路ユニット１０における各圧力室３６に対向した複数の個別電極２４が設けられている。各個別電極２４の一端２４ａは、アクチュエータユニット２０の側面にまで達している。
【００４０】
他方の圧電シート２２の上面には、複数の圧力室３６に跨るように延在した共通電極２５が設けられている。共通電極２５の一端２５ａも、個別電極２４の一端２４ａと同様に、アクチュエータユニット２０の側面にまで達している。共通電極２５は常に接地電位に保持されている。そして、圧電シート２２において個別電極２４と共通電極２５とに挟まれた領域が活性部（圧力発生部）として変形することによって、圧力室３６内のインクに圧力が印加される。最上段の絶縁シート２３の上面には、個別電極２４の各々に対応する表面電極２６と、共通電極２５に対応する表面電極２７とが、２列に並べて設けられている。
【００４１】
アクチュエータユニット２０の長手方向に沿った両側壁には、共にアクチュエータユニット２０の厚さ方向に延在した第１の凹み溝３０及び第２の凹み溝３１が形成されている。第１の凹み溝３０は、各個別電極２４に対応するように多数形成されている。第２の凹み溝３１は、第１の凹み溝３０がなす列の一端にそれぞれ１つだけが形成されている。第１の凹み溝３０及び第２の凹み溝３１内には、側面電極が形成されている。第１の凹み溝３０の側面電極は、対応する個別電極２４の一端２４ａ及び表面電極２６と接触することによって個別電極２４及び表面電極２６とが電気的に接続されている。第２の凹み溝３１の側面電極は、対応する共通電極２５の一端２５ａ及び表面電極２７と接触することによって共通電極２５及び表面電極２７とが電気的に接続されている。なお、アクチュエータユニット２０内には、特別の用途がない捨てパターンの電極２８、２９が形成されている。これにより、両電極の一端２４ａ，２５ａが形成された部位では、いずれも同じ厚さとなるので、アクチュエータユニット２０が平坦になる。
【００４２】
図８からも明らかなように、流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０とは、流路ユニット１０の各圧力室３６とアクチュエータユニット２０の各個別電極２４とが対向するように接着されている。また、アクチュエータユニット２０の上面において、フレキシブルフラットケーブル４０と表面電極２６、２７とが電気的に接合されている。そして、１つの圧力室３６に対向する１つの個別電極２４と、共通電極２５と、圧電シート２１、２２及び絶縁シート２３とによって、対応するノズル孔３５からインク滴を吐出させる１つの圧電アクチュエータが構成されている。
【００４３】
個別電極２４と共通電極２５との間に電圧が印加されると、圧電シート２２のうち選択された個別電極２４に対向する部分に圧電作用によって積層方向の歪みが発生し、圧力室３６に向かって膨らんだ凸形状となる。その結果、圧力室３６の容積が減少する。そして、この初期状態から一旦個別電極２４を接地電位に戻し、その後所定のタイミングで個別電極２４を再度正電位としたときに、ノズル孔３５からインクが吐出される。なお、活性層となる層数は、要求されるアクチュエータユニット２０の変位量（歪み量）に応じて適宜決められるものであり、本実施の形態のように１層に限るものではない。即ち、複数層積層することもできる。
【００４４】
続いて、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。図１０は、インクジェットヘッド１の製造工程図である。インクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット１０及びアクチュエータユニット２０等の部品を別々に作製し、それから各部品を組み付ける。
【００４５】
まず、ステップ１（Ｓ１）では、流路ユニット１０を作製する。流路ユニット１０を作製するには、これを構成する各プレート１１、１２、１３Ｘ、１３Ｙ、１４、１５にパターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチング及びハーフエッチングを施して、各プレート１１、１２、１３Ｘ、１３Ｙ、１４、１５に貫通孔及び／又は凹部を形成する。このようにして得られた各プレート１１,１２，１３ｘ，１３ｙ，１４，１５に対して、隣接して積層されることになるプレートのうち、少なくとも一方の表面に接着剤を所望の層厚となるように塗布する。使用した接着剤は、エポキシ系の熱硬化性接着剤であり、図１１に示すように、転写法（後述）により塗布した。この段階では、プレート１５のアクチュエータユニット２０との接着面には塗布していない。また、プレート１４とプレート１５との接着は、プレート１５側の表面に接着剤を塗布することで可能にしている。その後、インク供給口３９から共通インク室７、圧力室３６を経て、ノズル孔３５に至る個別インク流路が形成されるように、６枚のプレート１１、１２、１３Ｘ、１３Ｙ、１４、１５を位置合わせをして重ね合わせる。そして、６枚のプレート１１、１２、１３Ｘ、１３Ｙ、１４、１５を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して、図４に示すような流路ユニット１０が得られる。代替的に、６枚のプレート１１、１２、１３Ｘ、１３Ｙ、１４、１５は、金属接合によって互いに固着してもよい。この場合は、接着剤が不要となる。また、ノズルプレート１１の孔は、エッチングではなく、パンチング加工やレーザー加工によって形成してもよい。
【００４６】
ステップ１において作製された流路ユニット１０の部分平面図及び部分断面図を、図１２（ａ）に示す。図１２（ａ）は接着剤で各プレート１１，１２，１３ｘ，１３Ｙ，１４，１５が互いに固着された後の流路ユニット１０を表し、右が断面図、左が平面図である。捕獲孔３４は、流路ユニット１０の長辺１５ａに隣接して配列している。アクチュエータユニット２０を接着するための接着剤を塗布する場合、接着剤は長辺１５ａ側からこの捕獲孔３４を介して圧力室３６の方向に広げられる。すなわち、捕獲孔３４は塗布方向の上流側に位置している。図１２（ａ）から分かるように、捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａ内は、流路ユニット１０内の各プレート同士を接合するために各プレートの上面に塗布された接着剤３３によって、いずれも長辺１５ａに近い方の約半分の領域が埋められている。なおかつ、ステップ１において、貫通孔３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５内には、接着剤３３がほとんど流れ込むことがない。その理由は、捕獲孔３４内において長辺１５ａに近い方の約半分の領域だけが接着剤３３で埋められる理由（後述する）と同じであるので、ここではその説明を省略する。なお、本実施の形態では、プレート１４とプレート１５との接着のために、プレート１５側に接着剤３３を塗布している。このプレート１５には、長辺１５ａに隣接して捕獲孔３４が形成されており、これにより、圧力室３６内への接着剤３３の流れ込みが抑制されている。
【００４７】
アクチュエータユニット２０を作製するには、まず、ステップ２（Ｓ２）において、圧電セラミックスのグリーンシート上に、個別電極２４、共通電極２５、表面電極２６、２７となる導電性ペーストをスクリーン印刷する。そして、個別電極２４となる導電性ペーストが印刷されたグリーンシート上に共通電極２５となる導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを載置し、さらにその上に表面電極２６、２７となる導電性ペーストが印刷されたグリーンシートを載せて、これら３枚のグリーンシートの積層体を治具を用いて位置合わせする。
【００４８】
そして、ステップ３（Ｓ３）において、ステップ２で得られた積層体を公知のセラミックと同様に脱脂し、所定の温度で焼成する。これにより、図１に描かれたようなアクチュエータユニット２０を作製することができる。アクチュエータユニット２０は、予め焼成による収縮量を見込んで製作される。また、アクチュエータユニット２０の側面に露出する個別電極２４や共通電極２５を表面電極２６、２７に接続する側面電極は、同様の印刷法で形成され、ステップ３の焼成工程前に、他の電極と同時に形成してもよいし、焼成工程後に改めて形成してもよい。
【００４９】
なお、ステップ１の流路ユニット作製工程と、ステップ２〜３のアクチュエータユニット２０作製工程は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。
【００５０】
次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ１で得られた流路ユニット１０の圧力室３６に相当する凹部が多数形成された面に、熱硬化温度が８０℃程度であるエポキシ系の熱硬化性接着剤を塗布する。熱硬化性接着剤としては、例えば、二液混合タイプのものが用いられる。
【００５１】
図１１は、ステップ４において、流路ユニット１０に接着剤を塗布する様子を描いた模式図である。図１１に示すように、それぞれがステップ１によって作製された多数の流路ユニット１０が、その幅方向に一列に並べられた状態で配設されている。これら多数の流路ユニット１０は、延在した２本の骨材５３及び各骨材５３から等間隔おきに対をなすように内向きに突出した多数の補助柱５４によって固定されている。
【００５２】
流路ユニット１０に接着剤を塗布するには、流路ユニット１０の長さよりもやや大きい幅を有しており且つ接着剤が流路ユニット１０側の面だけに一様に付着した可撓性シート５２と、可撓性シート５２と同じ幅を有する先の尖ったプレート５１とを用いる。そして、各流路ユニット１０において、可撓性シート５２の裏面から、プレート５１の先端部を可撓性シート５２が流路ユニット１０に対して押し付けられるようにして移動させる。図１１中の矢印は、プレート５１の移動方向を示している。これによって、可撓性シート５２上の接着剤が流路ユニット１０の長辺１５ａ側から他方の長辺１５ｂ側へと順次転写されていく。
【００５３】
図１２（ｂ）は、ステップ４において接着剤が塗布された流路ユニット１０の部分平面図及び部分断面図である。図１２（ｂ）から分かるように、捕獲孔３４内は、流路ユニット１０の表面に塗布された接着剤３３によって、いずれの捕獲孔３４についても、長辺１５ａに近い方の約半分の領域が埋められている。これは、ステップ４において長辺１５ａ側から他方の長辺１５ｂへと向かう方向に接着剤３３が塗布されたため、圧力室３６に向かってくる余剰接着剤の大部分が、圧力室３６のすぐ上流位置に形成された捕獲孔３４によって捕獲されたからである。したがって、ステップ４において、圧力室３６内には、接着剤３３がほとんど流れ込むことがない。なお、図９（ｂ）に示す時点において接着剤３３はまだ硬化していない。
【００５４】
次に、ステップ５（Ｓ５）において、接着剤が塗布された流路ユニット１０上にアクチュエータユニット２０を載置する。このとき、アクチュエータユニット２０は、個別電極２４と圧力室３６とが対向するように流路ユニット１０に対して位置決めされる。この位置決めは、予めステップ１〜ステップ３において流路ユニット１０及びアクチュエータユニット２０に形成された位置決めマーク（図示せず）に基づいて行われる。
【００５５】
次に、ステップ６（Ｓ６）において、流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤の硬化温度以上に加熱しながら加圧する。これにより、接着剤が硬化し、流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０が接合される。
【００５６】
図１２（ｃ）は、ステップ５においてアクチュエータユニット２０が接合された流路ユニット１０の部分平面図及び部分断面図である。図１２（ｃ）から分かるように、本実施の形態のインクジェットヘッド１においては、接着剤３３を捕獲する捕獲孔３４、４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａが形成されているために、流路ユニット１０内の個別インク流路が接着剤によって塞がれたり、圧力室３６の設計容積が大幅に変わってしまうというような事態が生じない。
【００５７】
次に、ステップ７（Ｓ７）において、加熱・加圧装置から取り出された積層体を自然冷却する。こうして、流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０とで構成されたヘッド本体が製造される。その後、ＦＰＣ４０をアクチュエータユニット２０に貼り付ける工程などを経て、インクジェットヘッド１が完成する。
【００５８】
以上の説明から分かるように、本実施の形態のインクジェットヘッド１では、接着剤を塗布する際に圧力室３６やノズル孔３５などの個別インク流路を構成する孔に向かって移動する余剰接着剤の多くがこれら圧力室３６などに達する前に捕獲孔３４などに流れ込むことになる。したがって、圧力室３６やノズル孔３５などの個別インク流路を構成する孔に流れ込む接着剤３３の量を大幅に減少させることができる。そのため、個別インク流路の詰まりによるインクジェットヘッド１の歩留まり低下や吐出特性のバラツキを抑制しつつ、各プレート１１、１２、１３Ｘ、１３Ｙ、１４、１５の上面に塗布される接着剤の量を従来より増やすことが可能であるので、接着剤の塗布量に関する管理が寛容なものとなる。
【００５９】
また、ベースプレート１５に形成された圧力室３６が細長形状を有しており、捕獲孔３４が圧力室３６からその長手方向に離隔した位置に形成されているので、図１１に示すように長辺１５ａから長辺１５ｂに向かう方向に沿って順次流路ユニット１０に接着剤が塗布された場合に、流路ユニット１０の剛性低下を抑制するために捕獲孔３４の幅を小さくしても、捕獲孔３４を越えて圧力室３６に向かって移動する余剰接着剤の量を減らすことが可能となる。
【００６０】
本実施の形態において、流路ユニット１０は、複数のプレートの積層構造体である。そして、捕獲孔３４が流路ユニット１０の表面を構成するベースプレート１５を貫通して形成されている。したがって、流路ユニット１０にアクチュエータユニット２０を接合するために用いられる接着剤の余剰部分を捕獲するのに十分な体積を捕獲孔３４内に確実に確保することができる。
【００６１】
さらに、本実施の形態では、各圧力室３６に対して１つの捕獲孔３４が付随している。言い換えると、捕獲孔３４が多数の圧力室３６に共通の長孔ではなく個々の圧力室３６ごとに形成されている。そして、圧力室３６及び捕獲孔３４が流路ユニット１０の長手方向に関して等しい幅を有している。したがって、圧力室３６に流れ込む接着剤の量をさらに減らしつつ、流路ユニット１０及びベースプレート１５の剛性低下を抑制することができる。同様に、各貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄに対して１つの捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃが付随し、１つのノズル孔３５には、１つの捕獲凹部４８ａが付随している。そして、貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄと対応する捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃとが流路ユニット１０の長手方向に関して等しい幅を有しており、ノズル孔３５と捕獲凹部４８ａとが流路ユニット１０の長手方向に関して等しい幅を有している。したがって、貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５に流れ込む接着剤の量をさらに減らしつつ、流路ユニット１０及び各プレート１１〜１４の剛性低下を抑制することができる。なお、上述したように、本実施の形態では、貫通孔３７ａを有するプレート１４に対する接着剤の塗布は行われないので、他のプレートのように、塗布時の余剰接着剤が貫通孔３７ａに流れ込むことはほとんどない。
【００６２】
しかも、本実施の形態では、圧力室３６において捕獲孔３４に面した部分の曲率が、捕獲孔３４において圧力室３６と反対側の部分と同じになっているので、ステップ４において捕獲孔３４に余剰接着剤が流れ込みやすい。したがって、圧力室３６に流れ込む接着剤の量をさらに減らすことができる。同様に、貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５において捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａに面した部分の曲率が、捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａにおいて貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５と反対側の部分と同じになっているので、ステップ１において捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａに余剰接着剤が流れ込みやすい。したがって、貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５に流れ込む接着剤の量をさらに減らすことができる。さらに、広げられる接着剤の余剰分が、捕獲孔３４，４７ａ，４７ｂ，４７ｃ及び捕獲凹部４８ａのうち、圧力室３６、貫通孔３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ及びノズル孔３５の先端部と同じ形状を有する部分に流れ込む。すなわち、一旦、圧力室３６、貫通孔３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ及びノズル孔３５の先端部に直接流れ込んでしまう場合と同等の流れ込み方をして削減されることから、捕獲孔３４，４７ａ，４７ｂ，４７ｃ及び捕獲凹部４８ａ以後で生じる余剰分の管理がさらに寛容なものになる。例えば、圧力室３６についてみれば、捕獲孔３４と圧力室３６との距離により発生する余剰分が決まるので、許容される接着剤の流れ込み量の範囲内ではあるが、接着剤の塗布厚に対する自由度が広がる。他の部位についても同様のことが言える。
【００６３】
さらに、圧力室３６に対する捕獲孔３４の位置する方向がどの圧力室３６に関しても同じであるので、どの圧力室３６についても、接着剤が対応する捕獲孔３４に一旦流れ込んで削減される。したがって、どの圧力室３６に対しても流れ込む接着剤の量を少なくすることができると共に捕獲孔３４以後で生じる接着剤の余剰分を管理するだけでよい。また、ベースプレート１５の一方の長辺１５ａから他方の長辺１５ｂに向かう方向に、捕獲孔３４からなる孔列３２ａ、３２ｃと圧力室３６からなる孔列３２ｂ、３２ｄとが交互に形成されているので、ステップＳ１において、どちらの孔列３２ｂ、３２ｄに属する圧力室３６についても、捕獲孔３４を越えて圧力室３６に向かって移動してくる余剰接着剤の量が過剰となるのを抑制することができるため、圧力室３６に流れ込む接着剤の量をさらに減らすことができる。これは、貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５と捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａとの関係についても同様である。
【００６４】
また、圧力室３６の配列方向が流路ユニット１０の長手方向に沿っているので、接着剤が捕獲孔３４に流れ込むように接着剤を塗布しようとすると塗布方向が流路ユニット１０の幅方向に沿った方向となる。これにより、流路ユニット１０への接着剤の塗布時間を短くすることができるという利点もある。
【００６５】
加えて、アクチュエータユニット２０の長辺を画定する側壁と流路ユニット１０との交線２０ａが、長辺１５ａに最も近い孔列３２ａ（捕獲孔３４の列）とこれに隣接する孔列３２ｂ（圧力室３６の列）との間を流路ユニット１０の長手方向に沿って延在するように、アクチュエータユニット２０がベースプレート１５に接着されているので、アクチュエータユニット２０を安定させて流路ユニット１０に固定することができる。本実施の形態では、圧力室３６と長辺１５ａとの間に捕獲孔３４が介在するので、長辺１５ａ側から接着剤を広げてきても、その余剰分は捕獲孔３４に流れ込んでしまう。これにより、圧力室３６に流れ込む余剰分はほとんどなく、圧力室３６と捕獲孔３４との間には予め決められた厚さの接着剤が塗布されていることになる。そのため、捕獲孔３４と圧力室３６との間にアクチュエータユニット２０が作る交線を配置するようにすれば、このアクチュエータユニット２０の接着時に発生する余剰接着剤の量も規制された量となる。すなわち、アクチュエータユニット２０の固定時に、余剰接着剤の流れ込みが生じたとしても、それはインクの吐出特性に影響しない範囲内であるし、アクチュエータユニット２０の固定も確実にされる。
【００６６】
さらに、圧力室３６と捕獲孔３４との間の距離がこれらのどの対に関しても共通となっているので、捕獲孔３４から圧力室３６に向かう方向に沿って接着剤が順次流路ユニット１０に塗布された場合に、圧力室３６に流れ込む接着剤の量がほぼ同じになる。したがって、圧力室３６同士における容積のばらつきが少なくなる。これは、貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ及びノズル孔３５と捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃ及び捕獲凹部４８ａとの関係についても同様である。
【００６７】
また、捕獲孔３４が、複数の圧力室３６と、これら複数の圧力室３６に近い方の流路ユニット１０の長辺１５ａとの間に形成されているので、図８に示すように長辺１５ａから長辺１５ｂに向かう方向に沿って順次流路ユニット１０に接着剤が塗布された場合に、長辺１５ａと捕獲孔３４との距離が比較的短くなるため、捕獲孔３４に達する余剰接着剤の量が少なくなる。そのため、捕獲孔３４を越えて圧力室３６に向かう余剰接着剤の量も減ることになって、圧力室３６に流れ込む接着剤の量をさらに減らすことができる。逆に、長辺１５ａと捕獲孔３４との距離を長くとることも可能である。実際、本実施の形態では、インクジェットヘッド１をフレーム１４１が介在している状態でホルダ１７２に固定している。すなわち、流路ユニット１０の周縁部には、フレーム１４１への接着を行うための必要十分な領域を確保しておく必要がある。しかし、圧力室３６に対する余剰接着剤の量は、捕獲孔３４と圧力室３６との距離により決まる。そのため、このように接着領域が流路ユニット１０の周縁部に必要とされる場合においても、この距離さえ余剰接着剤の量が許容値以下となるように設定してあれば、捕獲孔３４の接着剤に対する捕獲能力の範囲内で長辺１５ａと捕獲孔３４との距離を長くできる。
【００６８】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明のインクジェットヘッドは上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更を上述の実施の形態に施すことが可能である。例えば、圧力室３６の形状は、長方形、三角形、楕円形など様々な形状に変更可能である。同様に、捕獲孔３４の形状も任意の形状に変更可能である。そして、捕獲孔３４は、接着剤が広げられる方向に対応して形成されておればよく、必ずしも圧力室３６からその長手方向に離隔した方向に形成されていなくてもよい。さらには、圧力室３６は細長形状でなくてもよい。
【００６９】
また、１つの圧力室３６に対して２つ以上の捕獲孔３４が付随していてもよい。また、圧力室の幅と捕獲孔３４の幅は同じでなくてもよい。また、圧力室３６において捕獲孔３４に面した部分と、捕獲孔３４において圧力室３６と反対側の部分とが異なる形状を有していてもよい。
【００７０】
また、上述した実施の形態では圧力室３６と捕獲孔３４との距離はどの対についても同じであるが、両者間の距離をすべての対について同じにする必要はない。ただ、この場合でも、余剰接着剤の流れ込みにより、インクの吐出特性の均一化という観点からは、圧力室３６と捕獲孔３４との距離は、この間で生じる余剰接着剤の量がインクの吐出特性に影響しない範囲に止めておくことが効果的である。
【００７１】
加えて、捕獲孔３４からなる孔列３２ａ、３２ｃと圧力室３６からなる孔列３２ｂ、３２ｄとが交互に形成されている必要はない。例えば、捕獲孔３４からなる２つの孔列３２ａ、３２ｃが、圧力室３６からなる２つの孔列３２ｂ、３２ｄを挟み込んでいてもよい。これにより、接着剤の塗布の方向に自由度が増すことになる。
さらに高解像度化や高密度化の要求に応えようとした場合、アクチュエータユニット２０の対向する領域内に形成される各流路部材は、本実施の形態以上に密に配置されることになる。そのような流路ユニット１０に対しては、アクチュエータユニット２０の対向する領域内に捕獲孔３４を形成する余地はなくなるが、必要以上に余剰接着剤を生じてしまう距離を有する部位もなくなる。むしろ、流路ユニット１０の長辺１５ａとアクチュエータユニット２０の作る交線との隙間において発生する余剰接着剤が、様々な流路部材が形成された流路ユニット１０の領域内に流れ込んでしまうことを避ける必要がある。このような観点から、少なくとも、接着剤が広げられる上流側の長辺に隣接した捕獲孔３４の列を有すると良い。もちろん、アクチュエータユニット２０が対向する領域を２つの捕獲孔３４の列で挟み込むように構成しても良い。この場合には、さらに、接着剤の塗布方向に対する自由度が向上する。また、確実にインクジェットヘッド１をフレームやホルダに固定することができる。また、流路ユニット１０が複数のプレートからなる積層構造体である必要はない。
【００７２】
また、上述した実施の形態では第２の凹部として貫通孔である捕獲孔３４がベースプレート１５に形成されているが、貫通孔ではなく捕獲凹部をベースプレート１５に形成してもよい。また、第２の凹部がベースプレート１５だけではなく、スペーサプレート１４以下のプレートに達していてもよい。
【００７３】
さらに、上述した実施の形態では、第１の開口部として形成された貫通孔３７ｂ、３７ｃ、３７ｄに対して第２の開口部として捕獲孔４７ａ、４７ｂ、４７ｃが形成されているが、第２の開口部は接着剤を介して接合される２枚のプレートに設けられたものであるならば流路ユニット１０内のどの第１の開口部に対して形成されていてもよい。例えば、インク供給孔３８に対しても第２の開口部が形成されていてよいし、共通インク室７に対して第２の開口部が形成されていてよい。また、第１の開口部及び第２の開口部は、いずれも、プレートを貫通していてもよいし、貫通していなくてもよい。
【００７４】
また、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、上述したものに限られない。例えば、図１０及び図１１で説明した例では、長辺１５ａから長辺１５ｂに向かう方向に接着剤をベースプレート１５に塗布するようにしたが、接着剤の塗布方向が長辺１５ａから長辺１５ｂに向かう方向、つまり圧力室３６と捕獲孔３４とを結ぶ方向に対してやや傾いたとしても、本発明によるインクジェットヘッド１は所望の利益を有する。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の一実施の形態に係るインクジェットヘッドがホルダに組み付けられた状態を示す要部断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るインクジェットヘッドにフレームが接着された状態を示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係るインクジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタの画像形成部を示す要部斜視図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図５】図１に示すインクジェットヘッドに含まれる流路ユニットの分解斜視図である。
【図６】図２の一部拡大斜視図である。
【図７】（ａ）は、図２に示す流路ユニットの幅方向に沿った部分拡大断面図である。（ｂ）は、流路ユニットの部分拡大平面図である。
【図８】図１のV−V線断面図である。
【図９】図１に示すアクチュエータユニットの分解斜視図である。
【図１０】図１に示すインクジェットヘッドの製造工程図である。
【図１１】流路ユニットに接着剤を塗布する様子を描いた模式図である。
【図１２】流路ユニットとアクチュエータユニットとの貼り合わせ過程を表した模式図である。
【符号の説明】
【００７６】
６    インクジェットヘッド
７    共通インク室
１０    流路ユニット
１１    ノズルプレート
１２    ダンパプレート
１２ｃ    ダンパ溝
１３ａ、１３ｂ    インク室半部
１３Ｘ、１３Ｙ    マニホールドプレート
１４    スペーサプレート
１５    ベースプレート
２０    アクチュエータユニット
２１    圧電シート
２２    圧電シート
２４    個別電極
２５    共通電極
２６    表面電極
２７    表面電極
３０    第１の凹み溝
３１    第２の凹み溝
３３    接着剤
３４    捕獲孔（第２の凹部）
３５    ノズル孔
３６    圧力室（第１の凹部）
３６ａ    端部
３６ｂ    インク供給孔
３６ｄ    絞り部
３７ａ〜３７ｄ    貫通孔
３８    インク供給孔
３９    インク供給孔
４０    フレキシブルフラットケーブル
５１    転写板
５２    シート
５３    骨材
【図１】
2006035765.tif 000003
【図２】
2006035765.tif 000004
【図３】
2006035765.tif 000005
【図４】
2006035765.tif 000006
【図５】
2006035765.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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