(57)【要約】【課題】  メンテナンスフリーで使用可能なクランプ装置を提供する。【解決手段】  基準ブロックのハウジング（１５）に中心孔（２０）を形成し、その中心孔（２０）の上部にテーパ位置決め面（２３）を形成する。上記ハウジング（１５）から上方へ突出させた環状壁（２４）の上面に受止め面（２５）を形成する。上記の中心孔（２０）に挿入した剛性スリーブ（２１）の外周に形成した被位置決め面（２７）と前記テーパ位置決め面（２３）との間に、コレット式の中間スリーブ（４０）を挿入する。弾性部材（４５）は、中間スリーブ（４０）を下方へ付勢すると共に、剛性スリーブ（２１）を上方へ付勢する。出力部材（４８）を下降駆動すると、クランプ具（３３）が下方かつ拡径方向へロック移動し、剛性スリーブ（２１）の被受止め面（２９）が前記の受止め面（２５）によって受け止められる。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準ブロック（１）の支持面（１ａ）に可動ブロック（２）をクランプする装置であって、
上記の基準ブロック（１）に、基準軸心（Ａ，Ｂ）と同心状に配置された中心孔（２０）と、上記の基準軸心（Ａ，Ｂ）の周囲に配置された受止め面（２５）とを設け、
上記の中心孔（２０）に剛性スリーブ（２１）を軸心方向へ移動可能に挿入し、その剛性スリーブ（２１）を上記の中心孔（２０）よりも先端方向へ突出させ、
上記の剛性スリーブ（２１）に、上記の中心孔（２０）の位置決め面（２３）に半径方向へ拘束される被位置決め面（２７）と、上記の受止め面（２５）に先端側から対面して軸心方向へ拘束される被受止め面（２９）とを設け、上記の剛性スリーブ（２１）を進出手段（４５，８５）によって先端方向へ押圧し、
前記の可動ブロック（２）のソケット孔（３）に挿入されるクランプ具（３３）を直径方向へ拡大および縮小可能に構成し、そのクランプ具（３３）を上記の剛性スリーブ（２１）に先端側から楔係合させ、
上記の剛性スリーブ（２１）の筒孔（２１ａ）に出力部材（４８）を挿入し、その出力部材（４８）を上記クランプ具（３３）に連結し、
駆動手段（Ｄ）が上記の出力部材（４８）を基端方向へ移動させることにより、前記の進出手段（４５，８５）に抗して上記クランプ具（３３）を基端方向かつ拡径方向へロック移動させると共に、前記の剛性スリーブ（２１）の前記の被受止め面（２９）を前記の受止め面（２５）へ押圧する、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
請求項１のクランプ装置において、
前記の基準ブロック（１）に、前記の位置決め面（２３）と前記の受止め面（２５）とを先端方向へ順に配置した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項３】
請求項１のクランプ装置において、
前記の基準ブロック（１）に、前記の位置決め面（２３）と前記の受止め面（２５）とを基端方向へ順に配置した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項４】
請求項１のクランプ装置において、
前記の基準ブロック（１）の位置決め面（２３）と前記の剛性スリーブ（２１）の被位置決め面（２７）との両面の間に、軸心方向の一端へ縮径する楔空間（３９）を環状に形成し、その楔空間（３９）に、直径方向へ拡大および縮小される中間スリーブ（４０）を挿入し、その中間スリーブ（４０）を、上記の両面（２３）（２７）のうちの一方の面に軸心方向へ移動可能に支持すると共に他方の面にテーパ係合可能に構成し、そのテーパ係合を緊密にするように前記の進出手段（４５，８５）を配置した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項５】
請求項１のクランプ装置において、
前記の剛性スリーブ（２１）から半径方向の外方へフランジ部（２８）を突出させ、そのフランジ部（２８）と前記の基準ブロック（１）との間に、ゴム又は合成樹脂等からなる環状弾性部材（４５）を装着し、その弾性部材（４５）によって前記の進出手段を構成した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項６】
請求項１のクランプ装置において、
前記の剛性スリーブ（２１）から半径方向の外方へフランジ部（２８）を突出させ、そのフランジ部（２８）に前記の可動ブロック（２）を載置した状態では、前記進出手段（４５，８５）が上記の可動ブロック（２）を押圧して、その可動ブロック（２）の被支持面（２ａ）と前記の基準ブロック（１）の支持面（１ａ）との間に着座隙間（Ｅ）が形成されるように構成し、
上記の支持面（１ａ）に、着座確認用の圧力流体の検出孔（７４）を開口させた、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項７】
請求項１のクランプ装置において、
前記の基準ブロック（１）に、ロック確認用の圧力流体の供給口（７６）を設け、その供給口（７６）を、前記の受止め面（２５）と被受止め面（２９）との間のロック隙間（Ｆ）を介して外部空間へ連通させ、
上記の被受止め面（２９）が上記の受止め面（２５）に押圧されたときに上記の供給口（７６）と外部空間との連通状態を遮断するように構成した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項８】
請求項２のクランプ装置において、
前記の剛性スリーブ（２１）から半径方向の外方へフランジ部（２８）を突出させ、そのフランジ部（２８）と前記の基準ブロック（１）との間に、ゴム又は合成樹脂からなる環状シール具（４６）を装着し、その環状シール具（４６）よりも半径方向の内方で、前記の基準ブロック（１）に前記の受止め面（２５）を設けると共に前記フランジ部（２８）に前記の被受止め面（２９）を設けた、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項９】
請求項８のクランプ装置において、
前記の受止め面（２５）及び前記の被受止め面（２９）よりも半径方向の内方に、ゴム又は合成樹脂等の弾性部材（４５）からなる前記の進出手段を配置した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１０】
請求項１のクランプ装置において、
前記の位置決め面（２３）と被位置決め面（２７）とをほぼ全周にわたって接当可能に構成した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１１】
請求項４のクランプ装置において、
前記の位置決め面（２３）と被位置決め面（２７）と前記の中間スリーブ（４０）の内周面（４１）及び外周面（４２）との互いに対面する面同士をほぼ全周にわたって接当可能に構成した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１２】
請求項１のクランプ装置において、
前記の位置決め面（２３）と被位置決め面（２７）との少なくとも一方に、半径方向に向かい合う一対の突出部（８０）（８０）と、これら突出部（８０）（８０）の間に形成される逃し部（８１）（８１）とを設けた、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１３】
請求項４のクランプ装置において、
前記の位置決め面（２３）と被位置決め面（２７）と前記の中間スリーブ（４０）の内周面（４１）及び外周面（４２）との少なくともいずれかに、半径方向に向かい合う一対の突出部（８０）（８０）と、これら突出部（８０）（８０）の間に形成される逃し部（８１）（８１）とを設けた、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１４】
請求項５から７のいずれかのクランプ装置において、
前記の中心孔（２０）の位置決め面（２３）及び前記の剛性スリーブ（２１）の被位置決め面（２７）を設けることに代えて、上記の中心孔（２０）と剛性スリーブ（２１）との間に、その剛性スリーブ（２１）が半径方向へ移動するのを許容する環状隙間（Ｇ）を設けた、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１５】
請求項１から１３のいずれかのクランプ装置において、
前記クランプ具（３３）を環状に形成し、その環状クランプ具（３３）の内周面（３４）のほぼ全周を前記の剛性スリーブ（２１）に楔係合させた、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１６】
請求項１から１３のいずれかに記載したクランプ装置を少なくとも一つ備える、ことを特徴とするクランピングシステム。
【請求項１７】
請求項１０又は１１のクランプ装置を一つ備えると共に、請求項１２又は１３のクランプ装置を一つ備える、ことを特徴とするクランピングシステム。
【請求項１８】
請求項項１２又は１３のクランプ装置を少なくとも二つ備える、ことを特徴とするクランピングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、工作機械のテーブル等の基準ブロックにワークパレットやワーク等の可動ブロックを固定するためのクランプ装置に関し、さらには、そのクランプ装置を利用したクランピングシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】  この種のクランプ装置には、従来では、下記の特許文献１（日本国・特許第３５５００１０号公報）に記載されたものがある。その従来技術は、本件発明の譲受け人が提案したものであって、次のように構成されている。
環状コレットの内周面にプルロッド上部のテーパ外周面を上側から係合させ、上記コレット及びプルロッドをハウジングに対して半径方向へ移動可能に配置してある。そして、押圧バネによって上方へ付勢された上記コレットに対してプルロッドを下降させると、そのコレットが拡径してワークの係合孔に密着すると共に、上記コレットを介してワークが下降駆動される。
【特許文献１】特許第３５５００１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  上記の従来技術の構造は、次の点で改善の余地が残されていた。
コレット内周面とプルロッドのテーパ外周面との間に、切粉などの異物が侵入しやすいので、メンテナンスに手間がかかる。
また、上記の従来装置は、ワークを固定する機能だけを備えており、そのワークを位置決めする機能を備えてない。このため、上記ワークを位置決めした後で固定するシステムを構築する場合には、専用の位置決め装置を新たに設置する必要がある。その結果、クランピングシステムは、構成が複雑になるうえ大形になる。
本発明の目的は、長期間にわたってメンテナンスフリーで使用できるクランプ装置を提供することにある。また、本発明の別の目的は、位置決め機能を備えたクランプ装置およびその装置を利用したクランピングシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  上記の目的を達成するため、請求項１の発明は、例えば、図１から図７Ｂ、図８Ａから図１１Ｄ、図１２に示すように、基準ブロック（１）の支持面（１ａ）に可動ブロック（２）をクランプする装置を次のように構成した。【０００５】  上記の基準ブロック（１）に、基準軸心（Ａ，Ｂ）と同心状に配置された中心孔（２０）と、上記の基準軸心（Ａ，Ｂ）の周囲に配置された受止め面（２５）とを設ける。上記の中心孔（２０）に剛性スリーブ（２１）を軸心方向へ移動可能に挿入する。その剛性スリーブ（２１）を上記の中心孔（２０）よりも先端方向へ突出させる。上記の剛性スリーブ（２１）に、上記の中心孔（２０）の位置決め面（２３）に半径方向へ拘束される被位置決め面（２７）と、上記の受止め面（２５）に先端側から対面して軸心方向へ拘束される被受止め面（２９）とを設ける。上記の剛性スリーブ（２１）を進出手段（４５，８５）によって先端方向へ押圧する。前記の可動ブロック（２）のソケット孔（３）に挿入されるクランプ具（３３）を直径方向へ拡大および縮小可能に構成する。そのクランプ具（３３）を上記の剛性スリーブ（２１）に先端側から楔係合させる。上記の剛性スリーブ（２１）の筒孔（２１ａ）に出力部材（４８）を挿入し、その出力部材（４８）を上記クランプ具（３３）に連結する。駆動手段（Ｄ）が上記の出力部材（４８）を基端方向へ移動させることにより、前記の進出手段（４５，８５）に抗して上記クランプ具（３３）を基端方向かつ拡径方向へロック移動させると共に、前記の剛性スリーブ（２１）の前記の被受止め面（２９）を前記の受止め面（２５）へ押圧する。【０００６】  なお、上記発明において、剛性スリーブとは、例えばコレット等のように直径方向へ弾性変形されるスリーブとは異なり、弾性変形が極めて少ないように構成した筒状部材をいう。
また、クランプ具が直径方向へ拡大および縮小するとは、例えばコレット等のような環状クランプ具が弾性変形して半径方向へ拡縮する場合や、周方向へ間隔をあけて配置した複数のクランプ具が半径方向の外方と内方とへ拡縮移動する場合などを意味している。
前記の駆動手段としては、流体圧アクチュエータ等を利用した自動的な手段とネジ推力等を利用した手動的な手段とが考えられる。【０００７】  本発明は、例えば、図２Ａから図４に示すように、次のように作用する。
図２Ａのリリース状態では、出力部材４８がクランプ具３３を先端方向（図中の上方）へ上昇させ、そのクランプ具３３が縮径状態へ切り換えられている。また、剛性スリーブ２１は進出手段４５によって上昇位置に保持されている。
基準ブロック１に可動ブロック２を位置決めするときには、まず、上記図２Ａのリリース状態で可動ブロック２を下降させてソケット孔３を上記クランプ具３３に外嵌させ、その可動ブロック２を基準ブロック１に受け止める。なお、その受け止め時には、可動ブロック２を基準ブロック１に直接に受け止める場合と、その可動ブロック２を剛性スリーブ２１等の別の部材を介して基準ブロック１に受け止める場合とが考えられる。【０００８】  図３に示すように、出力部材４８がクランプ具３３を下降させると、まず、進出手段４５によってほぼ上昇位置に保持された剛性スリーブ２１を介してクランプ具３３が拡径してソケット孔３に接当する。次いで、そのクランプ具３３が剛性スリーブ２１を介して進出手段４５を下方へ押しながら拡径して上記ソケット孔３に密着する。【０００９】  引き続いて、図４に示すように、剛性スリーブ２１が進出手段４５に抗して下降したときに、その剛性スリーブ２１の被受止め面２９が基準ブロック１の受止め面２５に受け止められる。これにより、上記剛性スリーブ２１は、基準ブロック１に、被位置決め面２７を介して半径方向（水平方向）に拘束されると共に上記の被受止め面２９を介して軸心方向（上下方向）方向にも拘束される。そして、可動ブロック２は、上記のように拘束された状態の剛性スリーブ２１とソケット孔３に密着したクランプ具３３とを介して基準ブロック１に水平方向に位置決めされる。
この状態で、出力部材４８がクランプ具３３を介して可動ブロック２を下降させ、その可動ブロック２の被支持面２ａを基準ブロック１の支持面１ａに強力に押圧する。【００１０】  従って、本発明は次の長所を奏する。
本発明は、前述の従来構造とは逆に、剛性スリーブにクランプ具を先端側から楔係合させたので、その楔係合部分を先端側から容易に覆うことが可能になった。このため、その楔係合部分に切粉などの異物が侵入するのを防止できる。その結果、クランプ装置を長期間にわたってメンテナンスフリーで使用できる。
また、可動ブロックをクランプ具と剛性スリーブとを介して基準ブロックに位置決めした後で上記可動ブロックを基準ブロックにクランプできるので、位置決め機能付きクランプ装置を簡素かつコンパクトに構成できる。【００１１】  ところで、前記ロック作動時には、可動ブロックを強力にクランプするため、剛性スリーブからクランプ具へ大きな拡径力を作用させる必要がある。これに対して、前記の位置決め面と被位置決め面とは、半径方向へ位置決めする機能だけを備えればよいので、上述の大きな拡径力を作用させる必要がない。このため、上記の位置決め面および被位置決め面は、摩耗が少なくなり、長期間にわたって高い精度を保持できる。
また、クランプ具へ大きな拡径力を発生させる上記の剛性スリーブは、基準ブロックとは別の独立部品として構成したので、摩耗した場合でも安価かつ容易に交換できる。さらには、その剛性スリーブは、独立部品であるので、材質の選択や肉厚の選定や表面処理等において設計の自由度が大きくなるので、高精度かつ高剛性に造れる。その結果、長期間にわたってメンテナンスフリーで使用できるクランプ装置を提供できる。【００１２】  本発明においては、例えば図５Ａに示すように、前記の基準ブロック（１）に、前記の位置決め面（２３）と前記の受止め面（２５）とを先端方向へ順に配置することが好ましい。
この場合、上記の位置決め面と受止め面と前記クランプ具とが先端方向へ順に配置されることになり、そのクランプ具と受止め面との距離が短くなる。このため、ワークの切削加工時等にクランプ具に作用する半径方向の力（水平力）によって上記受止め面に作用するモーメントが小さくなる。その結果、上記の受止め面に対して剛性スリーブを直立状態に維持して位置決め精度および調心精度を良好に保てるうえ、大きな負荷にも耐え得る。【００１３】  また、本発明においては、例えば図９Ａに示すように、前記の基準ブロック（１）に、前記の位置決め面（２３）と前記の受止め面（２５）とを基端方向へ順に配置してもよい。【００１４】  本発明は、例えば図５Ａ又は図８Ａに示すように、次の構成を加えることが好ましい。
前記の基準ブロック（１）の位置決め面（２３）と前記の剛性スリーブ（２１）の被位置決め面（２７）との両面の間に、軸心方向の一端へ縮径する楔空間（３９）を環状に形成し、その楔空間（３９）に、直径方向へ拡大および縮小される中間スリーブ（４０）を挿入し、その中間スリーブ（４０）を、上記の両面（２３）（２７）のうちの一方の面に軸心方向へ移動可能に支持すると共に他方の面にテーパ係合可能に構成し、そのテーパ係合を緊密にするように前記の進出手段（４５，８５）を配置した。
この場合、前記ロック作動中に、中間スリーブの外周面が位置決め面に密着すると共に、上記の中間スリーブの内周面が被位置決め面に密着するので、基準ブロックに剛性スリーブを二面拘束で保持することが可能になる。その結果、剛性スリーブの位置決め精度および調心精度がさらに向上する。【００１５】  本発明は、例えば図５Ａ又は図９Ａに示すように、次の構成を加えることが好ましい。
前記の剛性スリーブ（２１）から半径方向の外方へフランジ部（２８）を突出させ、そのフランジ部（２８）と前記の基準ブロック（１）との間に、ゴム又は合成樹脂等からなる環状弾性部材（４５）を装着し、その弾性部材（４５）によって前記の進出手段を構成した。
この場合、切粉等の異物が基準ブロック内へ侵入するのを確実に防止できる。また、その防止手段が前記の進出手段を兼用するので、クランプ装置は、部品点数が少なくなり、簡素かつコンパクトに構成できる。【００１６】  本発明には、例えば図２Ａに示すように次の構成を加えることが好ましい。
前記の剛性スリーブ（２１）から半径方向の外方へフランジ部（２８）を突出させ、そのフランジ部（２８）に前記の可動ブロック（２）を載置した状態では、前記進出手段（４５，８５）が上記の可動ブロック（２）を押圧して、その可動ブロック（２）の被支持面（２ａ）と前記の基準ブロック（１）の支持面（１ａ）との間に着座隙間（Ｅ）が形成されるように構成し、上記の支持面（１ａ）に、着座確認用の圧力流体の検出孔（７４）を開口させた。
この場合、基準ブロックから可動ブロックが離間している状態では着座隙間が形成され、基準ブロックに可動ブロックが着座している状態では上記の着座隙間を消失させることが可能になるので、上記の離間状態と着座状態とを確実に区別して検出できる。【００１７】  本発明には、例えば図２Ａと図５Ａに示すように、次の構成を加えることが好ましい。
前記の基準ブロック（１）に、ロック確認用の圧力流体の供給口（７６）を設け、その供給口（７６）を、前記の受止め面（２５）と被受止め面（２９）との間のロック隙間（Ｆ）を介して外部空間へ連通させ、上記の被受止め面（２９）が上記の受止め面（２５）に押圧されたときに上記の供給口（７６）と外部空間との連通状態を遮断するように構成した。
この場合、リリース状態ではロック隙間が形成され、ロック状態では上記ロック隙間を消失させることが可能なので、上記リリース状態とロック状態とを確実に区別して検出できる。【００１８】  本発明には、例えば、図５Ａ又は図６Ａから図８Ａに示すように、次の構成を加えることが好ましい。
前記の剛性スリーブ（２１）から半径方向の外方へフランジ部（２８）を突出させ、そのフランジ部（２８）と前記の基準ブロック（１）との間に、ゴム又は合成樹脂からなる環状シール具（４６）を装着し、その環状シール具（４６）よりも半径方向の内方で、前記の基準ブロック（１）に前記の受止め面（２５）を設けると共に前記フランジ部（２８）に前記の被受止め面（２９）を設けた。
この場合、受止め面および被受止め面の両面を環状シール具によって覆えるので、切粉等の異物が上記の両面に噛み込むのを確実に防止できる。【００１９】  本発明においては、例えば、図５Ａ又は図６Ａから図８Ａに示すように、前記の受止め面（２５）及び前記の被受止め面（２９）よりも半径方向の内方に、ゴム又は合成樹脂等の弾性部材（４５）からなる前記の進出手段を配置することが好ましい。【００２０】  本発明においては、例えば図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、前記の位置決め面（２３）と被位置決め面（２７）とをほぼ全周にわたって接当可能に構成してもよい。【００２１】  本発明においては、例えば図５Ｂに示すように、前記の位置決め面（２３）と被位置決め面（２７）と前記の中間スリーブ（４０）の内周面（４１）及び外周面（４２）との互いに対面する面同士をほぼ全周にわたって接当可能に構成してもよい。【００２２】  本発明においては、例えば図１１Ｄに示すように、前記の位置決め面（２３）と被位置決め面（２７）との少なくとも一方に、半径方向に向かい合う一対の突出部（８０）（８０）と、これら突出部（８０）（８０）の間に形成される逃し部（８１）（８１）とを設けてもよい。【００２３】  本発明においては、例えば図６Ｂに示すように、前記の位置決め面（２３）と被位置決め面（２７）と前記の中間スリーブ（４０）の内周面（４１）及び外周面（４２）との少なくともいずれかに、半径方向に向かい合う一対の突出部（８０）（８０）と、これら突出部（８０）（８０）の間に形成される逃し部（８１）（８１）とを設けてもよい。【００２４】  本発明においては、例えば、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、次のように構成してもよい。
前記の中心孔（２０）の位置決め面（２３）及び前記の剛性スリーブ（２１）の被位置決め面（２７）を設けることに代えて、上記の中心孔（２０）と剛性スリーブ（２１）との間に、その剛性スリーブ（２１）が半径方向へ移動するのを許容する環状隙間（Ｇ）を設けた。【００２５】  本発明においては、前記クランプ具（３３）を環状に形成し、その環状クランプ具（３３）の内周面（３４）のほぼ全周を前記の剛性スリーブ（２１）に楔係合させることが好ましい。【００２６】  また、上記クランプ装置を利用したクランピングシステムとしては、上記各発明のいずれかに記載したクランプ装置を一つ備える場合と、特定の発明のクランプ装置だけを複数備える場合と、異なる発明のクランプ装置同士を組み合わせる場合とが考えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】  図１から図７Ｂは、本発明の一実施形態を示し、本発明のクランプ装置をワークパレットのクランピングシステムに適用したものを例示してある。
図１はクランピングシステムの横断面図である。図２Ａは、上記クランピングシステムの第１クランプ装置のリリース状態の立面視の断面図であって、図１又は図２Ｂの２Ａ−２Ａ線の矢視図に相当する図である。図２Ｂは、上記クランプ装置の平面図である。図３は、上記クランプ装置のロック開始状態を示している。図４は、上記クランプ装置のロック状態を示している。図５Ａは、前記図２Ａの要部の拡大図である。図５Ｂは、図５Ａの５Ｂ−５Ｂ線の断面図である。図５Ｃは、図５Ａの５Ｃ−５Ｃ線の断面図である。図６Ａと図６Ｂは、前記クランピングシステムの第２クランプ装置を示している。図７Ａと図７Ｂは、前記クランピングシステムの第３クランプ装置を示している。【００２８】  この実施形態では、図１と図２Ａに示すように、工作機械のテーブルＴに基準ブロック１を載置し、その基準ブロック１の支持面１ａに、可動ブロックとしてのワークパレット２の被支持面２ａを受け止めるように構成してある。その被支持面２ａには、円形のストレート孔からなるソケット孔３が複数開口される。ここでは、四つのソケット孔３を図示している。【００２９】  上記の基準ブロック１は、上記テーブルＴに固定したベースプレート４を備える。そのベースプレート４には、上記ソケット孔３に対応させて、位置決め機能とロック機能とを備えた第１クランプ装置１１および第２クランプ装置１２と、ロック機能だけを備えた二つの第３クランプ装置１３・１３とが設けられる。第１クランプ装置１１と第２クランプ装置１２とが対角線上に配置されると共に、二つの第３クランプ装置１３・１３も対角線上に配置されている。【００３０】  上記の各クランプ装置１１・１２・１３は、図１に示すように、後述する環状クランプ具３３を楔作用によって放射状に拡径して、その環状クランプ具３３の周壁のほぼ全周をソケット孔３に密着させた状態で下方へ駆動して、基準ブロック１にワークパレット２を固定する。【００３１】  第１クランプ装置１１は、上記クランプ具３３の密着とほぼ同時に基準ブロック１に対して後述の剛性スリーブ２１（図５Ａ参照）を水平方向かつ垂直方向へ位置決めする。また、第２クランプ装置１２は、剛性スリーブ２１（図６Ａ参照）を基準軸心Ａ・Ｂ同士を結ぶ直線Ｌにほぼ直交する水平方向へ位置決めすると共に垂直方向へも位置決めして、前記のワークパレット２が上記の軸心Ａの回りに旋回するのを阻止する。なお、第３クランプ装置１３は、基準ブロック１に対して剛性スリーブ２１を水平方向へ移動可能に構成してあり（図７Ａ及び図７Ｂを参照）、このため、垂直位置決め機能だけを備え、水平位置決め機能を備えてない。【００３２】  上記の第１クランプ装置１１と第２クランプ装置１２とは、後述する相違点を除いて同一の構造であって、基本的には下記の構造が共通している。【００３３】  図１から図２Ｂに示すように、前記ベースプレート４の装着穴４ａにハウジング１５の下部が嵌入され、そのハウジング１５のフランジ１６が４本の締付けボルト１７によって上記の装着穴４ａの周壁に固定される。上記ハウジング１５の上半部に、上下方向へ延びる中心孔２０が基準軸心Ａ（図１と図５Ａを参照）と同心状に形成される。その中心孔２０に剛性スリーブ２１が上下方向（軸心方向）へ移動可能に挿入される。その剛性スリーブ２１が中心孔２０の上端よりも上方へ突出されている。【００３４】  図５Ａから図５Ｃの拡大図に示すように、上記の中心孔２０の上半部にテーパ形の位置決め面２３が下方へ向かうにつれて縮径するように形成される。また、中心孔２０の周壁の上部から環状壁２４が上方へ突出させれ、その環状壁２４の上面によって受止め面２５が構成される。剛性スリーブ２１の中間高さ部の外周面には、上記の位置決め面２３に半径方向へ拘束される被位置決め面２７が設けられる。また、その被位置決め面２７の上方で剛性スリーブ２１からフランジ部２８が半径方向の外方へ突出され、そのフランジ部２８の下面に環状の被受止め面２９が形成される。その被受止め面２９は、上記の受止め面２５に上側から対面される。さらに、剛性スリーブ２１の上部には、上方へ向かうにつれて縮径するテーパ外周面３０が形成される。【００３５】  剛性スリーブ２１のテーパ外周面３０に環状のクランプ具３３のテーパ内周面３４が上側から楔係合される。そのクランプ具３３のストレート外周面３５が前記ワークパレット２のソケット孔３に挿入可能になっている。上記クランプ具３３はコレット形に形成されている。即ち、クランプ具３３の周壁に上下方向へ延びる一つのスリット３６を形成してあり、これにより、そのクランプ具３３が直径方向へ拡大および縮小可能に構成されると共に自己の弾性復元力によって縮径される。【００３６】  前記テーパ形の位置決め面２３とストレート形の被位置決め面２７との間には、下方へ狭まる楔空間３９が環状に形成され、その楔空間３９に中間スリーブ４０が挿入される。その中間スリーブ４０の内周面が、剛性スリーブ２１の被位置決め面２７に上下方向へ移動可能に支持される。また、中間スリーブ４０の外周面が前記の位置決め面２３にテーパ係合可能になっている。ここでは、上記の中間スリーブ４０の周壁に上下方向へ延びる一つのスリット４３を形成してあり、これにより、その中間スリーブ４０が直径方向へ拡大および縮小可能に構成されると共に自己の弾性復元力によって僅かに拡径される。【００３７】  前記フランジ部２８と中間スリーブ４０との間に断面Ｕ字状の弾性部材（進出手段）４５が配置される。その弾性部材４５は、ゴム又は合成樹脂などによって構成されており、剛性スリーブ２１を上方へ押圧すると共に中間スリーブ４０を下方へ押圧している。さらに、前記フランジ部２８の外周部とハウジング１５の上面との間に、ゴム等の弾性体からなるダストシール（環状シール具）４６が装着される。なお、そのダストシール４６は、剛性スリーブ２１を上方へ押圧することにより、進出手段の一部としても機能している。
上記の剛性スリーブ２１が所定量以上に上昇することは、その剛性スリーブ２１の下部に装着したストッパー４７によって阻止されている。【００３８】  前記ハウジング１５内に出力部材４８が上下移動自在に挿入される。その出力部材４８は、ハウジング１５の下部のシリンダ孔４９に保密状に挿入したピストン５０と、そのピストン５０から上向きに突出されると共にロッド孔５１に保密状に挿入されたピストンロッド５２と、そのピストンロッド５２にネジ止めした連結ロッド５３と、その連結ロッド５３の頭部５４とピストンロッド５２との間に挟み付けられたパイプ５５とを備える。剛性スリーブ２１の筒孔２１ａに上記パイプ５５が挿入される。そのパイプ５５の上フランジ５６と上記頭部５４との間に、前記クランプ具３３の上フランジ５７が半径方向へ摺動可能に嵌合されている。また、そのクランプ具３３の上半部がカバー筒５８によって覆われている。【００３９】  図２Ａに示すように、上記ハウジング１５内には、駆動手段Ｄを構成するロック手段６１およびリリース手段６２が設けられる。そのロック手段６１は、上記ピストン５０と、そのピストン５０の上側に形成したロック室６３とによって構成される。そのロック室６３がロック用の圧油給排口６４へ連通される。また、上記リリース手段６２は、上記ピストン５０と、そのピストン５０の下側に形成したリリース室６６とによって構成される。そのリリース室５６にリリース用の圧油給排口６７が連通される。
なお、ロック用給排路６９の縦路には絞りピン７０が嵌合され、その嵌合隙間によって絞り路を構成している。【００４０】  上記ハウジング１５の上面には周方向へ間隔をあけて複数のボス７２が上方へ突出され、そのボス７２の上面が基準ブロック１の支持面１ａを構成している。
また、第１クランプ装置１１には着座確認手段が設けられる。即ち、前記の支持面１ａに検出孔７４を開口し、その検出孔７４に検出用の圧縮空気を供給する。そして、前記ワークパレット２の被支持面２ａが上記の支持面１ａに接当して着座隙間Ｅが消失すると、上記の検出孔７４内の圧力が上昇する。その圧力上昇を圧力スイッチ等で検出することによって、ワークパレット２がハウジング１５に着座したことを確認できる。【００４１】  さらに、図２Ａ及び図５Ａに示すように、ロック確認手段が設けられる。即ち、ロック確認用のエアー供給口７６が、ハウジング１５内の横路７７と、中間スリーブ４０のスリット４３と、弾性部材４５の外周面と環状壁２４の内周面との間の隙間と、受止め面２５と被受止め面２９との間のロック隙間Ｆと、剛性スリーブ２１の横路７８と、その剛性スリーブ２１の筒孔２１ａとパイプ５５の外周面との間の隙間と、クランプ具３３のスリット３６とを順に通って、外部空間へ連通される。そして、受止め面２５に被受止め面２９が接当して上記の連通を遮断すると、エアー供給口７６の圧力が上昇する。その圧力上昇を圧力スイッチ等で検出することによって、クランプ具３３及び剛性スリーブ２１が下降してロック状態であることを確認するのである。【００４２】  上記の各クランプ装置１１・１２・１３の環状クランプ具３３の周壁のほぼ全周が、剛性スリーブ２１のテーパ外周面３０によって半径方向の外方へ拡径されるようになっている（図１を参照）。
また、第１クランプ装置１１の位置決め機構１１ａは、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、前記の中間スリーブ４０の外周面４２のほぼ全体を位置決め面２３に密着可能に構成すると共に、中間スリーブ４０の内周面４１のほぼ全体を被位置決め面２７に密着可能に構成し、これにより、水平方向の嵌合隙間を無くすように機能する。【００４３】  前記の第２クランプ装置１２の位置決め機構１２ａは、前記の第１クランプ装置１１の位置決め機構１１ａとは次の構造が異なる。
図６Ａ及び図６Ｂに示すように、剛性スリーブ２１の外周の被位置決め面２７に半径方向に対面する一対の突出部８０・８０を設け、これら突出部８０・８０の間に逃し溝８１・８１を形成してある。これにより、剛性スリーブ２１は、上記突出部８０・８０の対面方向に嵌合隙間を無くすように機能し、一方、その対面方向に対して直交する半径方向へ剛性スリーブ２１が移動することが許容される。なお、図６Ａと図６Ｂ中の参照数字８２・８３は、それぞれ、回り止めピンである。【００４４】  前記の第３クランプ装置１３は、図７Ａと図７Ｂに示すように、上記の第１クランプ装置１１とは次の構造が異なる。
前記の中心孔２０と剛性スリーブ２１の外周面との間に、その剛性スリーブ２１が半径方向へ移動するのを許容する環状隙間Ｇが設けられる。これにより、前記ソケット孔３の軸心と中心孔２０の軸心との心ズレを吸収できる。【００４５】  上記の各クランプ装置１１・１２・１３は、ほぼ同様に、次のように作動する。
上記の図２Ａと図５Ａのリリース状態では、ロック室６３の圧油を排出すると共にリリース室６６へ圧油を供給している。これにより、ピストン５０が連結ロッド５３を介して環状クランプ具３３を上昇させ、そのクランプ具３３が縮径状態へ切り換えられている。剛性スリーブ２１は、進出手段としての弾性部材４５によって進出ストロークだけ上昇して、上記クランプ具３３に軽くテーパ係合するか又は上記クランプ具３３に僅かな隙間をあけて対面している。【００４６】  基準ブロック１にワークパレット２を位置決めするときには、まず、図１と図２Ａに示すように、上記リリース状態でワークパレット２を下降させてソケット孔３を上記クランプ具３３に外嵌させ，そのワークパレット２を剛性スリーブ２１のフランジ部２８によって受け止める。この状態では、支持面１ａと被支持面２ａとの間には前記の着座隙間Ｅが形成されている。また、図５Ａに示すように、受止め面２５と被受止め面２９との間には前記ロック隙間Ｆが形成されている。なお、ピストンロッド５２の上端面と剛性スリーブ２１の下端面との間には微小な接当隙間Ｎが形成されている。【００４７】  次いで、前記リリース室６６の圧油を排出すると共に前記ロック室６３へ圧油を供給する。すると、図３に示すように、ピストン５０が連結ロッド５３を介してクランプ具３３を下降させ、そのクランプ具３３の前記テーパ内周面３４が剛性スリーブ２１のテーパ外周面３０に楔係合していく。【００４８】  これにより、前記の弾性部材４５の付勢力によってほぼ上昇位置に保持された剛性スリーブ２１を介してクランプ具３３が拡径して前記のソケット孔３に接当する。次いで、そのクランプ具３３が、剛性スリーブ２１を介して弾性部材４５を下方へ圧縮しながら拡径して上記ソケット孔３に密着する。これとほぼ同時に、剛性スリーブ２１が弾性部材４５を介して前記の中間スリーブ４０を下方へ押圧し、その中間スリーブ４０の外周面４２が位置決め面２３にテーパ係合で密着すると共に中間スリーブ４０の内周面４１が被位置決め面２７に密着する。このため、ワークパレット２は、クランプ具３３と剛性スリーブ２１と中間スリーブ４０とを介して基準ブロック１に水平方向に位置決めされる。【００４９】  引き続いて、図４に示すように、剛性スリーブ２１が弾性部材４５をほぼ全圧縮して前記の進出ストロークに相当する下降ストロークＭだけ下降したときに、その剛性スリーブ２１の被受止め面２９がハウジング１５の受止め面２５に受け止められる。すると、その剛性スリーブ２１のテーパ外周面３０にクランプ具３３のテーパ内周面３４が強力に楔係合して拡径し、そのクランプ具３３のストレート外周面３５が前記ソケット孔３に強力に密着する。これにより、連結ロッド５３が上記の強力に密着したクランプ具３３を介して前記ワークパレット２の被支持面２ａを前記の基準ブロック１の支持面１ａに強力に押圧する。
上述したように、剛性スリーブ２１は、被受止め面２９が受止め面２５に受け止められて上下方向に拘束されたときには、位置決め面２３と被位置決め面２７とを介して水平方向に既に拘束されている。このため、剛性スリーブ２１は、二面拘束状態となり、位置決め精度が高い。【００５０】  上記ロック状態では、被受止め面２９が受止め面２５に接当することにより、ロック確認用エアー供給口７６の圧力が上昇し、その圧力上昇を検出することにより、ロック状態であることを確認できる。また、被支持面２ａが支持面１ａに接当することにより、検出孔７４の圧力が上昇し、その圧力上昇を検出することにより、ワークパレット２が着座していることを確認できる。
なお、上記ロック状態では、ピストン５０の上側にクランプストロークＲが形成され、パイプ５５の上フランジ５６と剛性スリーブ２１の上端面との間には余裕ストロークＳが形成されている。【００５１】  なお、上記ロック移動の開始時に上記の支持面１ａと上記の被支持面２ａとがほぼ完全に接当するようにしてもよい。この場合、そのロック移動時にクランプ具３３が次のように作動する。
上記クランプ具３３は、上記ソケット孔３に密着した後、そのソケット孔３に対して摺動しながら下降していく。そして、前述したように、前記の剛性スリーブ２１が弾性部材４５をほぼ全圧縮したときに、クランプ具３３がソケット孔３に強力に密着して、そのクランプ具３３が上記ワークパレット２を上記の基準ブロック１へ強力に押圧する。【００５２】  上記の第１クランプ装置１１と第２クランプ装置１２の作動と同時に、ロック機能だけを備えた前記二つの第３クランプ装置１３・１３が上記クランプ具３３を介して上記ワークパレット２を前記の基準ブロック１に強力に固定するのである。
上記ロック状態から前記リリース状態へ切り換えるときには、前述したように前記ロック室６３の圧油を排出すると共に前記リリース室６６へ圧油を供給すればよい。これにより、ピストン５０が連結ロッド５３及びパイプ５５を介してクランプ具３３を上昇させて、そのクランプ具３３が自己の弾性復元力によって縮径するので、前記ロック状態が解除される。
なお、上記リリース駆動時には、図５Ａに示す前記の接当隙間Ｎを無くして、ピストンロッド５２が剛性スリーブ２１を強制的に押し上げるようにしてもよい。【００５３】  図８Ａから図１２は、本発明についての複数の変形例と別の実施形態を示している。
これらの変更態様においては、上記の実施形態の構成部材と同じ部材または類似する部材には原則として同一の符号を付けてあり、上述した実施形態とは異なる構成について説明する。【００５４】  図８Ａと図８Ｂは、前記の第１クランプ装置１１の第１変形例を示している。その図８Ａは、前記の図５Ａに類似する図である。図８Ｂは、図８Ａの８Ｂ−８Ｂ線の断面図である。
この場合、ハウジング１５の位置決め面２３を上下方向へ延びるストレート面によって構成し、剛性スリーブ２１の被位置決め面２７を上方へ拡径するテーパ面によって構成してある。これにより、上記の位置決め面２３と被位置決め面２７との間には、上方へ狭まる楔空間３９が環状に形成される。その楔空間３９に挿入された中間スリーブ４０の外周面４２が上記の位置決め面２３に上下移動可能に支持される。また、そのの中間スリーブ４０の内周面４１が上記の被位置決め面２７にテーパ係合される。そのテーパ係合を緊密にする弾性部材４５が、位置決め面２３の下方壁と中間スリーブ４０との間に装着されいる。そして、その弾性部材４５が、中間スリーブ４０を介して剛性スリーブ２１を上方へ付勢している。【００５５】  図９Ａ，図９Ｂ，図９Ｃは、それぞれ、前記の第１クランプ装置１１の第２変形例，第３変形例，第４変形例を示し、図５Ａに類似する部分図である。【００５６】  図９Ａの第２変形例は、図５Ａの実施形態を次のように変更したものである。
位置決め面２３の下方に受止め面２５が形成され、被受止め面２９が被位置決め面２７の下方に設けられる。また、中間スリーブ４０のテーパ係合を緊密にする弾性部材４５は、図５Ａ中のダストシール４６を兼用している。そして、弾性部材４５は、剛性スリーブ２１のフランジ部２８と中間スリーブ４０との間に装着されて、その剛性スリーブ２１を上方へ付勢している。【００５７】  図９Ｂの第３変形例は、図９Ａの変形例を次のように変更したものである。
ハウジング１５の位置決め面２３を上下方向へ延びるストレート面によって構成し、剛性スリーブ２１の被位置決め面２７を下方へ拡径するテーパ面によって構成してある。これにより、上記の位置決め面２３と被位置決め面２７との間には、下方へ狭まる楔空間３９が環状に形成される。その楔空間３９に挿入された中間スリーブ４０の外周面４２が上記の位置決め面２３に上下移動可能に支持される。また、そのの中間スリーブ４０の内周面４１が上記の被位置決め面２７にテーパ係合される。【００５８】  図９Ｃの第３変形例は、前記第１変形例の図８Ａを次のように変更したものである。即ち、進出手段としての複数枚の皿バネ８５が中間スリーブ４０を介して剛性スリーブ２１を上方へ付勢している。また、フランジ部２８と中間スリーブ４０との間に装着された弾性部材４５が、進出手段の少なくとも一部を構成している。【００５９】  図１０Ａから図１０Ｆは、それぞれ、前記の第２クランプ装置１２に設けた位置決め機構１２ａの変形例を示し、前記の図６Ｂに類似する図である。
図１０Ａの変形例では、中心孔２０から内方へ突出させた一対の突出部８０・８０の内面に円弧状の位置決め面２３・２３を形成し、隣り合う突出部８０・８０の間に逃し部８１・８１を設けてある。
図１０Ｂの変形例では、中間スリーブ４０から外方へ突出させた一対の突出部８０・８０の間に逃し部８１・８１を設けてある。
図１０Ｃの変形例では、中間スリーブ４０から内方へ突出させた一対の突出部８０・８０の間に逃し部８１・８１を設けてある。
図１０Ｄの変形例では、剛性スリーブ２１から外方へ突出させた一対の突出部８０・８０の間に逃し部８１・８１を設けてある。
図１０Ｅの変形例では、図１０Ａの各突出部８０の内面を平面視でストレート面によって構成してある。
図１０Ｆの変形例では、図１０Ｃの各突出部８０の内面を平面視でストレート面によって構成してある。【００６０】  図１１Ａは、前記の第１クランプ装置１１の第５変形例を示し、前記の図５Ａに類似する部分図である。図１１Ｂは、上記の図１１Ａの１１Ｂ−１１Ｂ線の断面図である。
この場合、前記の中心孔２０の円形状の位置決め面２３に剛性スリーブ２１の円形状の被位置決め面２７が精密に嵌合される。【００６１】  図１１Ｃは、前記の第１クランプ装置１１の第６変形例を示し、前記の図５Ａに類似する部分図である。この第６変形例では、弾性部材４５が図１１Ａ中のダストシール４６を兼用している。また、受止め面２５は、ハウジング１５の平坦な上面によって構成されている。【００６２】  図１１Ｄから図１１Ｆは、それぞれ、前記の第２クランプ装置１２に設けた位置決め機構１２ａの別の変形例を示し、前記の図６Ｂに類似する図である。
図１１Ｄの変形例では、中心孔２０から内方へ突出させた一対の突出部８０・８０の内面に円弧状の位置決め面２３・２３を形成し、隣り合う突出部８０・８０の間に逃し部８１・８１を設けてある。
図１１Ｅの変形例では、剛性スリーブ２１から外方へ突出させた一対の突出部８０・８０の間に逃し部８１・８１を設けてある。
図１１Ｆの変形例では、図１１Ｄの各突出部８０の内面を平面視でストレート面によって構成してある。【００６３】  図１２は、本発明の別の実施形態の第１クランプ装置１１を示し、前記の図２Ａに類似する図である。
この場合、前記の駆動手段Ｄを人力式に構成してある。
より詳しくいえば、前記の連結ロッド５３の下部が、前記ベースプレート４のネジ孔８８に螺合される。そして、ロック駆動時には、連結ロッド５３の頭部５４の入力穴８９に六角レンチ９０を挿入して連結ロッド５３を平面視で時計回りの方向へ回転させる。すると、その頭部５４が前記クランプ具３３を拡径させながら下降させるのである。
なお、上記ベースプレート４とハウジング１５は、例示したように別体に構成することに代えて、一体に形成することも可能である。【００６４】  上記の各実施形態や変形例は次のように変更可能である。
クランプ具３３の外面は、上下方向にストレートに形成することに代えて、鋸刃状または凹凸状に形成してもよい。
クランプ具３３や中間スリーブ４０は、各周壁に一つのスリット３６・４３を設けたものに代えて、各周壁の上面と下面に交互に開口する複数の貫通溝を周方向へ複数設けたものであってよい。また、上記クランプ具３３や中間スリーブ４０を、周方向へ並べた複数の分割体によって構成することも可能である。
なお、上記クランプ具３３は、上述した構造に限定されるものではなく、公知の各種構造を採用できることは勿論である。【００６５】  上記の位置決め面２３や中間スリーブ４０や剛性スリーブ２１においては、例示したテーパ面に代えて、周方向へ所定の間隔をあけて配置した複数の傾斜形の楔面を設けてもよい。この場合、その位置決め面２３や中間スリーブ４０の外面又は内面や剛性スリーブ２１の外面に、周方向へ所定の間隔をあけて複数の傾斜溝を配置して、その傾斜溝の底壁によって上記の楔面を構成してもよい。
前記の進出手段は、例示したゴム等の弾性部材４５や皿バネ８５等のバネに代えて、又は、これに加えて、圧縮空気や圧油等の圧力流体とピストンとの組み合わせを利用してもよい。【００６６】  上記の各クランプ装置１１・１２・１３にクリーニング手段を設けて、前記の支持面１ａと被支持面２ａとの接当部や、前記のソケット孔３とクランプ具３３との嵌合部や、位置決面孔２３と中間スリーブ４０と被位置決面孔２７との各嵌合面などを圧縮空気等の圧力流体によってクリーニングすることが好ましい。
クランピングシステムにおいては、ロック機能だけを備えた前記の第３クランプ装置１３は、例示した二つに代えて、一つだけ設置してもよく、又は三つ以上設置してもよい。その第３クランプ装置１３は例示の構造に限定されるものではなく、別の種類のクランプであってもよい。【００６７】  各クランプ装置１１・１２・１３の駆動形式は、例示した油圧複動式に代えて、バネロックかつ油圧リリース式、又は、油圧ロックかつバネリリース式であってもよい。
ロック又はリリースに使用する圧力流体は、例示の圧油に代えて、圧縮空気等のガスであってもよい。また、クリーニング用の圧力流体は、例示の圧縮空気に代えて、窒素等のガスや液体であってもよい。
前記のロック駆動時におけるクランプの引き下げ力を十分に大きい値に設定した場合には、上記の第３クランプ装置１３を省略可能である。
また、このクランピングシステムにおいては、前記の第１クランプ装置１１を複数設置すると共に前記の第２クランプ装置１２を複数設置してもよい。さらには、上記の第１クランプ装置１１と第２クランプ装置１２の両者のうちのいずれか一方だけを複数設置してもよい。【００６８】  上記の複数のクランプ装置を並べて設置する方向としては、円周方向や直線方向などが考えられる。
前記の支持面１ａは、前記ハウジング１５のボス７２の上面に設けることに代えて、前記ベースプレート４に設けてもよい。
また、上記ハウジング１５と前記ベースプレート４とは、別体に形成することに代えて、一体に形成してもよい。【００６９】  前記の基準ブロックと可動ブロックとの組み合わせは、例示したベースプレート４とワークパレット２の組み合わせに代えて、工作機械のテーブルとワークパレットの組み合わせ、ワークパレットと治具ベースの組み合わせ、治具ベースとワークピースの組み合わせ、溶接治具等の作業用治具とワークピース等の作業物の組み合わせであってもよい。また、本発明は、レーザー加工機や放電加工機などの各種の加工機械のワークピース・ツール等の位置決めにも適用可能である。
なお、本発明のクランプ装置は、複数セットで使用することに代えて、１セットだけで使用できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】  図１は、本発明を利用したクランピングシステムの原理を示す模式図であって、そのクランピングシステムの横断面図である。
【図２】  図２Ａは、上記クランピングシステムの第１クランプ装置のリリース状態の立面視の断面図であって、図１又は図２Ｂの２Ａ−２Ａ線の矢視図に相当する図である。  図２Ｂは、上記クランプ装置の平面図である。
【図３】  図３は、上記クランプ装置のロック開始状態を示し、前記の図２Ａに類似する図である。
【図４】  図４は、上記クランプ装置のロック状態を示し、同上の図２Ａに類似する図である。
【図５】  図５Ａは、前記図２Ａの要部の拡大図である。  図５Ｂは、図５Ａの５Ｂ−５Ｂ線の断面図である。  図５Ｃは、図５Ａの５Ｃ−５Ｃ線の断面図である。
【図６】  図６Ａと図６Ｂは、前記クランピングシステムの第２クランプ装置を示している。  図６Ａは、前記の図５Ａに類似する図である。  図６Ｂは、図６Ａの６Ｂ−６Ｂ線の断面図である。
【図７】  図７Ａと図７Ｂは、前記クランピングシステムの第３クランプ装置を示している。  図７Ａは、前記の図５Ａに類似する部分図である。  図７Ｂは、図７Ａの７Ｂ−７Ｂ線の断面図である。
【図８】  図８Ａと図８Ｂは、前記の第１クランプ装置の第１変形例を示している。  図８Ａは、前記の図５Ａに類似する図である。  図８Ｂは、図８Ａの８Ｂ−８Ｂ線の断面図である。
【図９】  図９Ａ，図９Ｂ，図９Ｃは、それぞれ、前記の第１クランプ装置の第２変形例，第３変形例，第４変形例を示し、前記の図５Ａに類似する部分図である。
【図１０】  図１０Ａから図１０Ｆは、それぞれ、前記の第２クランプ装置に設けた位置決め機構の変形例を示し、前記の図６Ｂに類似する図である。
【図１１】  図１１Ａは、前記の第１クランプ装置の第５変形例を示し、前記の図５Ａに類似する部分図である。  図１１Ｂは、上記の図１１Ａの１１Ｂ−１１Ｂ線の断面図である。  図１１Ｃは、前記の第１クランプ装置の第６変形例を示し、前記の図５Ａに類似する部分図である。  図１１Ｄから図１１Ｆは、それぞれ、前記の第２クランプ装置に設けた位置決め機構の別の変形例を示し、前記の図６Ｂに類似する図である。
【図１２】  図１２は、前記の第１クランプ装置の別の実施形態を示し、前記の図２Ａに類似する図である。
【符号の説明】
【００７１】  １：基準ブロック，１ａ：支持面，２：可動ブロック（ワークパレット），２ａ：被支持面，３：ソケット孔，２０：中心孔，２１：剛性スリーブ，２１ａ：筒孔，２３：位置決め面，２５：受止め面，２７：被位置決め面，２８：フランジ部，２９：被受止め面，３３：クランプ具，３４：内周面，３９：楔空間，４０：中間スリーブ，４１：内周面，４２：外周面，４５：弾性部材（進出手段），４６：ダストシール（環状シール具），７４：検出孔，７６：供給口，８０：突出部，８１：逃し部，８５：皿バネ（進出手段），Ａ，Ｂ基準軸心，Ｄ：駆動手段，Ｅ：着座隙間，Ｆ：ロック隙間，Ｇ：環状隙間，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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