(57)【要約】【課題】樹脂成形によって微細な液体吐出口を形成する際、構造体の強度を向上させるとともに、液体吐出口成形部のバリ除去が容易で、多数吐出口の同時加工を可能とする。【解決手段】無機微粒子を含有する熱硬化性樹脂によって液体吐出口を形成する液体吐出口形成方法であって、前記液体吐出口形成部の型のピンと、これに対向する型との間にクリアランスδを設けるとともに、前記無機微粒子の直径ｄと前記クリアランスδとの関係を、δ＜ｄとしたことを特徴とする液体吐出口形成方法を提供することにより前記課題を解決する。【選択図】      図８
2006212984.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機微粒子を含有する熱硬化性樹脂によって液体吐出口を形成する液体吐出口形成方法であって、
前記液体吐出口形成部の型のピンと、これに対向する型との間にクリアランスδを設けるとともに、
前記無機微粒子の直径ｄと前記クリアランスδとの関係を、δ＜ｄとしたことを特徴とする液体吐出口形成方法。
【請求項２】
前記無機微粒子を、ヤング率５０ＧＰａ以上、かつ線膨張係数５×１０-6／℃以下としたことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出口形成方法。
【請求項３】
後加工において、前記クリアランス部に形成された熱硬化性樹脂の薄膜バリを流体または微粒子による吹付け処理で除去することを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出口形成方法。
【請求項４】
前記液体吐出口形成部に前記熱硬化性樹脂による凸形状の薄膜バリを形成することを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出口形成方法。
【請求項５】
後加工において、前記凸形状の薄膜バリを前記液体吐出口が形成される母材の面より離れた位置で切削することにより液体吐出口のエッジ部を形成するようにしたことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出口形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出口形成方法に係り、特に、樹脂成形によって微細な液体吐出口を形成する液体吐出口形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、画像形成装置として、インク（液体）を吐出する多数のノズル（吐出口）を配列させたインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）を有し、このインクジェットヘッドと被記録媒体を相対的に移動させながら、ノズルからインクを吐出することにより、被記録媒体上に画像を形成するインクジェット記録装置（インクジェットプリンタ）が知られている。
【０００３】
インクジェット記録装置におけるインク吐出方法としては、従来から様々な方法が知られている。例えば、圧電素子（ピエゾ素子）の変形によって圧力室の一部を構成する振動板を変形させて、圧力室の容積を変化させ、圧力室の容積増大時にインク供給路から圧力室内にインクを導入し、圧力室の容積減少時に圧力室内のインクをノズルから液滴として吐出する圧電方式が知られている。
【０００４】
このようなインクジェット記録装置において、より高画質な画像を形成するためにノズル径を小さくしてノズルから吐出されるインク液滴を小さくするとともに、ノズルを高密度に配列して１画像あたりの画素数を多くすることが行われている。
【０００５】
そのため、ノズルプレートに多数個の微細なノズル（吐出口）が形成される。この微細孔（ノズル）を高精度に効率良く形成する方法として、従来、加工性、耐インク性に優れた樹脂材料を用いた樹脂成形法が提案されている。
【０００６】
例えば、オリフィスプレート部に樹脂シート材をインサート部材として使用し、インク流路、インク液室、インク供給口に充填樹脂を使用して、射出成形により一体成形することにより、レーザー加工等の高精度ノズル形成を容易にするようにしたものが知られている（例えば、特許文献１等参照）。
【０００７】
また、例えば、流路溝とオリフィスプレートの吐出口周辺部とから構成される第一基体と、オリフィスプレートの吐出口外周部分と液室と液供給口とから構成される第二基体を二色成形により一体化する際、第一基体はピュアな材料、特にポリサルフォンによって成形し微細成形を可能とするとともに、第二基体はファイバー、ビーズ等のフィラーが充填された複合材料によって成形し強度を得るようにし、第一基体の成形精度アップと第二基体の剛性アップの組み合わせにより、ノズル等の微細な２次加工を容易にするようにしたものが知られている（例えば、特許文献２等参照）。
【０００８】
また、例えば、インクジェット吐出デバイスを、エポキシ樹脂やフェノール樹脂等の熱硬化性樹脂を９５〜３５重量％、１０μｍ以下の粒径を有する不飽和ポリエステルやフェノール樹脂等の有機充填材を５〜６５重量％含有する熱硬化性樹脂で一体成形し、熱硬化性樹脂と有機材料粒子のレーザー吸収波長を略同一としてノズル成形部の薄膜バリをレーザーで２次加工し、ノズル形成型クリアランスを有機粒子より小さくすることでさらに加工性を向上させるようにしたものが知られている（例えば、特許文献３等参照）。
【特許文献１】特開２０００−３０９０９９号公報
【特許文献２】特開２００２−３３１６６８号公報
【特許文献３】ＷＯ０２／００２６９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記特許文献１に記載のものは、インサート成形のため樹脂成形金型への樹脂シートセット等煩雑な工程が増すため生産性が低下するという問題がある。また同様に、上記特許文献２に記載のものは、二色成形のため樹脂充填工程数が増加し、生産性が低下するという問題がある。
【００１０】
さらに、上記特許文献３に記載のものでは、熱硬化性樹脂を９５〜３５重量％、１０μｍの粒子を有する有機充填材を５〜６５重量％含有する熱硬化性樹脂組成物を吐出デバイスの構造物とした場合、圧力室の硬度が得られず、特に高粘度インクの吐出には向かないという問題があるとともに、レーザーによるノズル形成工程を含むことにより、多ノズルを有するノズル形成には向かないという問題がある。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、樹脂成形によって微細な液体吐出口を形成する際、構造体の強度を向上させるとともに、液体吐出口（ノズル）成形部のバリ除去が容易で、多ノズルの同時加工を可能とした液体吐出口形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、無機微粒子を含有する熱硬化性樹脂によって液体吐出口を形成する液体吐出口形成方法であって、前記液体吐出口形成部の型のピンと、これに対向する型との間にクリアランスδを設けるとともに、前記無機微粒子の直径ｄと前記クリアランスδとの関係を、δ＜ｄとしたことを特徴とする液体吐出口形成方法を提供する。
【００１３】
これにより、液体吐出口形成部の型のピンと対向する型の間のクリアランスに無機微粒子が入り込まず、液体吐出口形成部に形成される熱硬化性樹脂の薄膜バリは無機微粒子を含んでいないため、後加工において機械加工による薄膜バリの除去が容易となるとともに、液体吐出口が形成される構造体には無機微粒子が含まれるため、液体吐出口形成部以外の構造体の強度を向上させることができる。
【００１４】
また、請求項２に示すように、前記無機微粒子を、ヤング率５０ＧＰａ以上、かつ線膨張係数５×１０-6／℃以下としたことを特徴とする。
【００１５】
これにより、例えばステンレス等の金属と同等の線膨張係数を得ることができ、無機微粒子を含有する樹脂材料（ノズル板）と金属（圧力室の一部を構成する板状部材）とを組み合わせた場合の線膨張係数の差による歪みや反りを防止することができる。
【００１６】
また、請求項３に示すように、後加工において、前記クリアランス部に形成された熱硬化性樹脂の薄膜バリを流体または微粒子による吹付け処理で除去することを特徴とする。
【００１７】
これにより、容易に薄膜バリを除去することができる。
【００１８】
また、請求項４に示すように、前記液体吐出口形成部に前記熱硬化性樹脂による凸形状の薄膜バリを形成することを特徴とする。
【００１９】
これにより、機械加工により薄膜バリ除去が容易となるとともに、多くの液体吐出口を同時に加工することが可能となる。
【００２０】
さらに、請求項５に示すように、後加工において、前記凸形状の薄膜バリを前記液体吐出口が形成される母材の面より離れた位置で切削することにより液体吐出口のエッジ部を形成するようにしたことを特徴とする。
【００２１】
これにより、高品位の液体吐出口のエッジ部の加工が可能となるとともに、液体吐出口のエッジが液体吐出口が形成される面と同一平面上にないため、この面が液体で汚れることが少なくメンテナンス性が向上される。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明に係る液体吐出口形成方法によれば、液体吐出口形成部の型のピンと対向する型の間のクリアランスに無機微粒子が入り込まず、液体吐出口形成部に形成される熱硬化性樹脂の薄膜バリは無機微粒子を含んでいないため、後加工において機械加工による薄膜バリの除去が容易となるとともに、液体吐出口が形成される構造体には無機微粒子が含まれるため、液体吐出口形成部以外の構造体の強度を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付した図面を参照して、本発明に係る液体吐出口形成方法について詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本発明に係る液体吐出口形成方法によって形成される液体吐出口（液体吐出ノズル、以下単にノズルと言う。）を有する画像形成装置としてのインクジェット記録装置の一実施形態の概略を示す全体構成図である。
【００２５】
図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド（液体吐出ヘッド）１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送するベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６とを備えている。
【００２６】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００２７】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００２８】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００２９】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００３０】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、ベルト搬送部２２へと送られる。ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面（フラット面）をなすように構成されている。
【００３１】
ベルト搬送部２２は、特に限定されるものではなく、ベルト面に設けられた吸引孔より空気を吸引して負圧により記録紙１６をベルト３３に吸着させて搬送する真空吸着搬送でもよいし、静電吸着による方法でもよい。
【００３２】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、上に述べた真空吸着搬送の場合には、ベルト面には図示を省略した多数の吸引孔が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には図示を省略した吸着チャンバーが設けられており、この吸着チャンバーをやはり図示を省略したファンで吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００３３】
ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（図示省略）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。
【００３４】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００３５】
なお、ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００３６】
ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００３７】
図２は、インクジェット記録装置１０の印字部１２周辺を示す要部平面図である。
【００３８】
図２に示すように、印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。
【００３９】
各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００４０】
記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００４１】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００４２】
なお、ここで主走査方向及び副走査方向とは、次に言うような意味で用いている。すなわち、記録紙の全幅に対応したノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時、（１）全ノズルを同時に駆動するか、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動するか、（３）ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動するか、等のいずれかのノズルの駆動が行われ、用紙の幅方向（記録紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字をするようなノズルの駆動を主走査と定義する。そして、この主走査によって記録される１ライン（帯状領域の長手方向）の示す方向を主走査方向という。
【００４３】
一方、上述したフルラインヘッドと記録紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。そして、副走査を行う方向を副走査方向という。結局、記録紙の搬送方向が副走査方向であり、それに直交する方向が主走査方向ということになる。
【００４４】
また本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
【００４５】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００４６】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００４７】
本例の印字検出部２４は、少なくとも各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が２次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
【００４８】
印字検出部２４は、各色の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
【００４９】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
【００５０】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００５１】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００５２】
このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（図示省略）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。
【００５３】
また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
【００５４】
次に、印字ヘッド（液体吐出ヘッド）のノズル（液体吐出口）の配置について説明する。インク色毎に設けられている各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを表すものとし、図３に印字ヘッド５０の平面透視図を示す。
【００５５】
図３に示すように、本実施形態の印字ヘッド５０は、インクを液滴として吐出するノズル５１、インクを吐出する際インクに圧力を付与する圧力室５２、図３では図示を省略した共通液室から圧力室５２にインクを供給するインク供給口５３を含んで構成される圧力室ユニット５４が千鳥状の２次元マトリクス状に配列され、ノズル５１の高密度化が図られている。
【００５６】
図３に示す例においては、各圧力室５２を上方から見た場合に、その平面形状は略正方形状をしているが、圧力室５２の平面形状はこのような正方形に限定されるものではない。圧力室５２には、図３に示すように、その対角線の一方の端にノズル５１が形成され、他方の端の側にインク供給口５３が設けられている。
【００５７】
また、図示は省略するが、複数の短尺ヘッドを２次元の千鳥状に配列して繋ぎ合わせて、これらの複数の短尺ヘッド全体で印字媒体の全幅に対応する長さとなるようにして１つの長尺のフルラインヘッドを構成するようにしてもよい。
【００５８】
また、図３中の４−４線に沿った断面図を図４に示す。
【００５９】
図４に示すように、圧力室ユニット５４は、インクを吐出するノズル５１と連通する圧力室５２によって形成される。圧力室５２はノズル流路５１ａによりノズル５１と連通するとともに、供給口５３を介してインクを供給する共通液室５５と連通する。圧力室５２の一面（図では天面）は振動板５６で構成され、その上部には、振動板５６に圧力を付与して振動板５６を変形させる圧電素子５８が接合されている。圧電素子５８の上面には個別電極５７が形成される。また、振動板５６は共通電極を兼ねている。
【００６０】
図４に示すように、圧力室ユニット５４は、ノズル５１が形成されたノズルプレート１５１、及びそれぞれノズル流路５１ａ、共通液室５５、供給口５３、圧力室５２等が形成された各種プレート１５２ａ〜１５２ｄを積層して形成されている。
【００６１】
なお、ノズルプレート１５１に微細孔を設けてノズル５１としているが、この微細孔の径は、図に示すように上から下まで同じでもよいが、上側（圧力室側）よりも下側（インク吐出側）が狭くなるようなテーパ状に形成してもよい。
【００６２】
圧電素子５８は、共通電極（振動板５６）と個別電極５７によって挟まれており、これら２つの電極５６、５７に駆動電圧を印加することによって変形する。圧電素子５８の変形によって振動板５６が押され、圧力室５２の容積が縮小されてノズル５１からインクが吐出されるようになっている。２つの電極５６、５７間への電圧印加が解除されると圧電素子５８がもとに戻り、圧力室５２の容積が元の大きさに回復し、共通液室５５から供給口５３を通って新しいインクが圧力室５２に供給されるようになっている。
【００６３】
図５は、インクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。インクタンク６０は印字ヘッド５０にインクを供給するための基タンクであり、図１で説明したインク貯蔵／装填部１４に設置される。インクタンク６０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、補充口（図示省略）からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を替える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じて吐出制御を行うことが好ましい。なお、図５のインクタンク６０は、先に記載した図１のインク貯蔵／装填部１４と等価のものである。
【００６４】
図５に示したように、インクタンク６０と印字ヘッド５０を繋ぐ管路の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ６２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは印字ヘッド５０のノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。
【００６５】
なお、図５には示さないが、印字ヘッド５０の近傍又は印字ヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。
【００６６】
また、インクジェット記録装置１０には、ノズルの乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ６４と、ノズル面５０Ａの清掃手段としてのクリーニングブレード６６とが設けられている。
【００６７】
これらキャップ６４及びクリーニングブレード６６を含むメンテナンスユニットは、図示を省略した移動機構によって印字ヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から印字ヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動されるようになっている。
【００６８】
キャップ６４は、図示しない昇降機構によって印字ヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。昇降機構は、電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ６４を所定の上昇位置まで上昇させ、印字ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面５０Ａのノズル領域をキャップ６４で覆うようになっている。
【００６９】
クリーニングブレード６６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示を省略したブレード移動機構により印字ヘッド５０のインク吐出面（ノズル面５０Ａ）に摺動可能である。ノズル面５０Ａにインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード６６をノズル面５０Ａに摺動させることでノズル面５０Ａを拭き取り、ノズル面５０Ａを清浄するようになっている。
【００７０】
印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、そのノズル５１近傍のインク粘度が上昇した場合、粘度が上昇して劣化したインクを排出すべく、キャップ６４に向かって予備吐出が行われる。
【００７１】
また、印字ヘッド５０内のインク（圧力室５２内のインク）に気泡が混入した場合、印字ヘッド５０にキャップ６４を当て、吸引ポンプ６７で圧力室５２内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク６８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも行われ、粘度が上昇して固化した劣化インクが吸い出され除去される。
【００７２】
すなわち、印字ヘッド５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用のアクチュエータ（積層圧電素子５８）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（積層圧電素子５８の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かって積層圧電素子５８を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面５０Ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード６６等のワイパーによってノズル面５０Ａの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。
【００７３】
また、ノズル５１や圧力室５２内に気泡が混入したり、ノズル５１内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、上記予備吐出ではインクを吐出できなくなるため、以下に述べる吸引動作を行う。
【００７４】
すなわち、ノズル５１や圧力室５２のインク内に気泡が混入した場合、或いはノズル５１内のインク粘度があるレベル以上に上昇した場合には、積層圧電素子５８を動作させてもノズル５１からインクを吐出できなくなる。このような場合、印字ヘッド５０のノズル面５０Ａに、キャップ６４を当てて圧力室５２内の気泡が混入したインク又は増粘インクをポンプ６７で吸引する動作が行われる。
【００７５】
ただし、上記の吸引動作は、圧力室５２内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。したがって、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。なお、図５で説明したキャップ６４は、吸引手段として機能するとともに、予備吐出のインク受けとしても機能し得る。
【００７６】
また、好ましくは、キャップ６４の内側が仕切壁によってノズル列に対応した複数のエリアに分割されており、これら仕切られた各エリアをセレクタ等によって選択的に吸引できる構成とする。
【００７７】
図６は、インクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。
【００７８】
通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（図示省略）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ７４に記憶される。画像メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなどの磁気媒体を用いてもよい。
【００７９】
システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、画像メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒーター８９を制御する制御信号を生成する。
【００８０】
モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示に従ってモータ８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示にしたがって後乾燥部４２等のヒーター８９を駆動するドライバである。
【００８１】
プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、画像メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号（印字データ）をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ８４を介して印字ヘッド５０のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
【００８２】
プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。なお、図８において画像バッファメモリ８２はプリント制御部８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。
【００８３】
ヘッドドライバ８４はプリント制御部８０から与えられる印字データに基づいて各色の印字ヘッド５０のアクチュエータ５８を駆動する。ヘッドドライバ８４にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【００８４】
印字検出部２４は、図１で説明したように、ラインセンサー（図示省略）を含むブロックであり、記録紙１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部８０に提供するものである。
【００８５】
プリント制御部８０は、必要に応じて印字検出部２４から得られる情報に基づいて印字ヘッド５０に対する各種補正を行うようになっている。
【００８６】
次に、樹脂成形によって、図４に示したようなノズルプレート１５１に微細孔としてのノズル５１を形成する方法について説明する。
【００８７】
図７に、樹脂成形によってプレートに微細孔を形成する一般的な方法を示す。
【００８８】
一般に樹脂成形によって製品を作るには、図７（ａ）に示すように、上型９０と下型９２との間の隙間９１に溶融した樹脂９３を流し込み、樹脂９３が固まったら型を開いて樹脂９３を取り出して、図７（ｂ）に示すような樹脂成形品９４を得るようにしている。
【００８９】
このとき、例えば下型９２に図７（ａ）に示すような円柱状の突起（リブ）９２ａがあると、図７（ｂ）に示すように、樹脂成形品９４の突起９２ａに対応する部分に孔９４ａが形成される。
【００９０】
従って、ノズル５１のような微細な孔を形成するためには、下型９２の円柱状の突起９２ａの径Ｄを小さくして突起９２ａをピンのように細くしなければならない。しかし、突起９２ａの径Ｄを小さくすると突起９２ａの強度が低下する。そのため、上型９０と下型９２を閉じたとき図７（ａ）に示すように突起９２ａと上型９０とが直接突き当たるようになっていると、突起９２ａが曲がったり破損する虞れがある。
【００９１】
そこで、図７（ｃ）に示すように、上型９０と下型９２を閉じたときでも、突起９２ａと上型９０との間に隙間が生じるように、クリアランスδを設けて、突起９２ａと上型９０とが直接当たらないようにすることが考えられる。ただし、この場合にはクリアランスδの部分にも溶融樹脂が入り込むため、図７（ｄ）に示すように、出来上がった樹脂成形品９４の貫通孔９４ａには、薄膜バリ９４ｂで蓋がされてしまうため、その後この薄膜バリ９４ｂを例えばブラスト処理等で除去する必要がある。
【００９２】
また一方、印字ヘッド５０を樹脂成形によって形成する場合、樹脂だけでは非常に柔らかいため、印字ヘッド５０の構造体として十分な強度が得られない。例えば、印字ヘッド５０の圧力室５２を、一般の熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等のヤング率に換算すると数ＧＰａ程度の特性を有する樹脂で成形したとすると、圧電素子５８で加圧したときに振動が発生して正常な吐出ができない。
【００９３】
そこで、圧力室５２に適した材料として、圧電素子５８で加圧した場合に、圧電素子５８の圧力に対し圧力室５２に変形が発生し難い材料特性が好ましく、ヤング率に換算したとき１０ＧＰａ以上の特性が要求される。
【００９４】
このような印字ヘッド５０に適した材料特性を踏まえて樹脂成形で印字ヘッド５０を成形するには、ヤング率の高い微粒子を成形樹脂に含有させ構造体としてのヤング率を上げることが考えられる。ここで前述した特許文献３のように、成形樹脂にフィラーとして添加する微粒子として、エポキシ、フェノール、ポリエステル等の有機微粒子も考えられるが、これらの材料のヤング率は数ＧＰａ程度であるため、これらの含有率を上げても成形物のヤング率を向上させることはできず、印字ヘッド５０の圧力室５２が必要とする十分な強度を得ることができない。
【００９５】
そこで、本発明では、成形物のヤング率を向上させるために、ヤング率の高い無機微粒子をフィラーとして添加することとしている。また特に、高粘度インクを吐出するためにはより大きな圧力を圧力室５２に発生させる必要があり、そのためにも圧力室５２の強度を高くする必要がある。
【００９６】
例えば、粘度１０ｃｐ以上の高粘度インクを吐出させるためにはフィラーに高ヤング率の物性値が要求され、シリカ（ヤング率７０ＧＰａ）あるいはアルミナ（ヤング率３９０ＧＰａ）等の無機微粒子を熱硬化性エポキシ樹脂に７０％以上含有し、成形部品のヤング率を２０ＧＰａ以上にする必要がある。
【００９７】
また、材料の熱膨張から見た場合、部品精度・プリント品質上、線膨張係数が小さい樹脂材料が好ましい。例えば、ステンレス材料部品と組み合わせて吐出デバイスを構成する場合は、ステンレスの線膨張係数に近い特性に、成形パーツの線膨張係数を近づける必要がある。
【００９８】
ステンレスの線膨張係数は１．２×１０-5/℃であるが、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂の線膨張係数は５×１０-5〜１×１０-4/℃と大きく、これらの樹脂材料をステンレス部品と組み合わせて使用した場合、その線膨張係数の違いから温度変化により構造体としての反り等の発生が懸念される。
【００９９】
そこで、樹脂成形品にステンレスと同等の線膨張係数特性を付与することによってこのような構造体の反りを防止することが考えられる。例えば、シリカ（線膨張係数３×１０-6/℃）やアルミナ（線膨張係数７×１０-7/℃）等の線膨張係数の小さい無機微粒子をフィラーとして樹脂材料に添加して、その含有量を調整することでステンレスと同等の線膨張率を達成することができる。
【０１００】
一例として、熱硬化エポキシ樹脂とシリカ微粒子を使用する場合には、シリカ微粒子の含有量を８０〜９０％にすることで、略ステンレスと同等の線膨張率を達成することができる。なお、樹脂に添加するフィラーとして従来のような有機微粒子では、線膨張係数が大きく、金属同等の線膨張係数を得るのは困難である。
【０１０１】
図８に、本発明の第１実施形態に係るノズル（液体吐出口）形成方法を示す。
【０１０２】
図８に示すように、上型１００と下型１０２を閉じたときにできる隙間１０１に溶融した樹脂材料１０３を充填することによってノズル５１を有するノズルプレート１５１が形成される。図８に示す例では、下型１０２に設けられた円柱状のリブ（ピン）１０２ａに対応する部分がノズル５１となる。
【０１０３】
また、前述したように、このノズル５１形成用のピン１０２ａはその径Ｄが例えば２０〜３０μｍと細いため、上型１００と下型１０２を閉じたときに破損しないようにピン１０２ａと上型１００との間に数μｍ程度のクリアランスδが設けられている。
【０１０４】
また、充填される樹脂材料１０３としては、熱硬化樹脂１０４を１０〜５０重量％に対し、フィラーとして、ヤング率５０ＧＰａ以上で線膨張係数が５×１０-6/℃以下の無機微粒子１０５を５０〜９０重量％含有するような熱硬化性樹脂が用いられる。
【０１０５】
例えば、熱硬化樹脂１０４としてエポキシ樹脂を基本組成として、剛性を高めるために平均粒径１０μｍ程度の無機微粒子を含有させ、エポキシ樹脂の含有量は望ましくは１０〜２５重量％でかつ無機微粒子の含有量は望ましくは７５〜９０重量％とすると、凝固収縮率は１％以下でかつ機械的強度に優れている。
【０１０６】
また、このような組成の樹脂は流動性が高く微細構造の転写性が極めて高いため微細構造の形成に適している。さらに、このような組成の樹脂は含水率が低く絶縁性に優れているとともに、線膨張係数が低く金属との差が小さいため、金属製のノズルプレートとの組み合わせであっても、線膨張係数の差による歪みは微小である。
【０１０７】
また、この無機微粒子１０５は、ピン１０２ａと上型１００との間の隙間に入り込まないように、無機微粒子１０５の径ｄがクリアランスδよりも大きいものとする。すなわち、δ＜ｄとする。このように、下型１０２のノズル形成部のピン１０２ａの先端と対向する上型１００とのクリアランスδは、充填する樹脂材料１０３に含有されるフィラー粒子（無機微粒子１０５）の径ｄよりも小さく設定されているため、ノズル開口部成形物にフィラーを充填しないようにしてノズル５１を成形することができる。
【０１０８】
このように、ノズル形成部のクリアランスδに無機微粒子１０５を入れないようにして、フィラーとして無機微粒子１０５を含む熱硬化樹脂１０４を上型１００と下型１０２との間に充填し、加熱して樹脂を硬化させてノズルプレート１５１を成形する。
【０１０９】
図９（ａ）に、樹脂が硬化した後、型から取り出したノズルプレート１５１を示す。型から取り出した段階では、ノズルプレート１５１のノズル５１部分に、クリアランスδに入り込んだ樹脂が薄膜バリ１０３ａを形成しているため、これを除去する必要がある。
【０１１０】
そこで、図９（ｂ）に示すように、ノズル径Ｄよりも小さいビーズやシリカ等の微粒子１０７を薄膜バリ１０３ａに吹き付けるブラスト処理によって薄膜バリ１０３ａを除去するようにする。このとき、ノズルプレート１５１のノズル５１部分に薄膜バリ１０３ａが形成されていない側（ノズル部分の開口側）からブラスト処理を行う微粒子１０７を吹き付ける。薄膜バリ１０３ａの部分にはフィラー粒子（無機微粒子１０５）が充填されていないため、機械加工が容易でかつ高品位の加工面を得ることが可能である。
【０１１１】
また、ビーズやシリカ等の微粒子以外に、水やエアー等の流体を高圧で吹付けて、薄膜バリ１０３ａを除去しても良い。
【０１１２】
このようにして、図９（ｃ）に示すような、ノズル５１となる貫通孔が形成されたノズルプレート１５１が得られる。ノズルプレート１５１は、ノズル５１に薄膜バリ１０３ａが形成されていた側５１ｂをインクメニスカス側（インク吐出側）として用い、ノズル５１以外のノズルプレート表面１５１ａには撥液処理を施すようにする。
【０１１３】
図１０に、本発明の第２実施形態に係るノズル形成方法を示す。
【０１１４】
図１０に示すように、本実施形態はノズル形成部の薄膜バリを凸形状に形成して薄膜バリ除去工程を容易にするものである。
【０１１５】
そのため、ノズル形成部に対応する下型２０２のピン２０２ａは、前述した第１実施形態よりも高く、上型２００にはピン２０２ａの形状に応じた凹部２００ａが設けられている。そして第１実施形態と同様に、ピン２０２ａの先端部と上型２００の凹部２００ａとの間には、ピン２０２ａの上面及び側面に対しそれぞれクリアランスδ１及びδ２の隙間が設けられている。
【０１１６】
上型２００と下型２０２の間に樹脂材料１０３が充填される。この樹脂材料１０３は、第１実施形態と同様に熱硬化樹脂１０４を１０〜５０重量％に対し、フィラーとして、ヤング率５０ＧＰａ以上で線膨張係数が５×１０-6/℃以下の無機微粒子１０５を５０〜９０重量％含有するような熱硬化性樹脂が用いられる。
【０１１７】
また、この場合にもやはりピン２０２ａと凹部２００ａの隙間に無機微粒子１０５が入り込まないように、無機微粒子１０５の径ｄよりもクリアランスδ１及びδ２の方が小さくなるように設定されている。すなわち、δ１＜ｄ及びδ２＜ｄが成り立つものとする。
【０１１８】
上型２００と下型２０２との間に樹脂材料１０３を充填して加熱し、硬化した後で型から取り出すと図１１（ａ）に示すような、ノズル形成部に凸形状の薄膜バリ１０３ａを有するノズルプレート１５１が得られる。このとき、無機微粒子１０５の径ｄよりクリアランスδ１及びδ２の方が小さいため、凸形状の薄膜バリ１０３ａの中には無機微粒子１０５は存在しない。
【０１１９】
次に、図１１（ａ）に示したＫ−Ｋ線に沿って凸形状の薄膜バリ１０３ａを切削、研磨して、図１１（ｂ）に示すようにノズルプレート１５１に貫通孔としてのノズル５１を形成する。このとき、薄膜バリ１０３ａが形成されている側をインクメニスカス側（インク吐出側）として、ノズルプレート１５１の母材の表面よりも少し離れたＫ−Ｋ線に沿って切削することで、ノズル５１端部にインクメニスカスをクリップするためのノズルエッジ５１ｃを形成する。
【０１２０】
このように、ノズルプレート１５１の表面より少し離れた位置で切削するようにしたため、樹脂切削性が改善され、切削工具によるノズル形成工程が容易になる。また、上述したように薄膜バリ１０３ａ中には無機微粒子１０５が充填されていないため、加工が容易であり、高品位のノズルエッジ加工を行うことができる。
【０１２１】
また、図１１（ｂ）に示すように、ノズルプレート１５１の表面よりも高い位置にノズルエッジ５１ｃを形成したため、ノズル面がノズルプレート１５１の表面と同一平面上にないので構造体平面部のインクによる汚れを少なくしメンテナンス性を向上させることができる。
【０１２２】
また、図１１（ｂ）に示すように、ノズルエッジ５１ｃの上面に撥液剤１０９を塗布することで、撥液面をノズル５１の円周面上に限定することができるため、塗布する撥液剤１０９の量を低減することができコストダウンを図ることが可能となる。
【０１２３】
以上説明した各実施形態によれば、ノズルプレートの構造体部分の樹脂には無機微粒子を含有させて強度を高めるとともに、薄膜バリ部には無機微粒子を含有させないようにして比較的柔らかい薄膜バリを形成するようにしたため、機械加工によりノズル形成部の薄膜バリの除去が容易となるとともに、構造体の強度を得ることができる。
【０１２４】
また、特にノズル形成部の薄膜バリを凸形状に形成することで機械加工による薄膜バリ除去を容易とし、かつ多ノズルを同時に加工することが可能となった。
【０１２５】
以上、本発明の液体吐出口形成方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明に係る液体吐出口形成方法によって形成される液体吐出口を有するインクジェット記録装置の一実施形態の概略を示す全体構成図である。
【図２】図１に示したインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図である。
【図３】印字ヘッドの構造例を示す平面透視図である。
【図４】図３の４−４線に沿った断面図である。
【図５】本実施形態のインクジェット記録装置におけるインク供給系の構成を示した概要図である。
【図６】本実施形態のインクジェット記録装置のシステム構成を示す要部ブロック図である。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は一般的な樹脂成形による微細構造の形成方法を示した説明図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係るノズル形成方法（液体吐出口形成方法）を示す説明図である。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は第１実施形態によるノズルプレート形成方法を示す説明図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るノズル形成方法（液体吐出口形成方法）を示す説明図である。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は第２実施形態によるノズルプレート形成方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１２７】
１０…インクジェット記録装置、１２…印字部、１４…インク貯蔵／装填部、１６…記録紙、１８…給紙部、２０…デカール処理部、２２…吸着ベルト搬送部、２４…印字検出部、２６…排紙部、２８…カッター、３０…加熱ドラム、３１、３２…ローラー、３３…ベルト、３４…吸着チャンバー、３５…ファン、３６…ベルト清掃部、４０…加熱ファン、４２…後乾燥部、４４…加熱・加圧部、４５…加圧ローラー、４８…カッター、５０…印字ヘッド、５０Ａ…ノズル面、５１…ノズル、５１ａ…ノズル流路、５２…圧力室、５３…インク供給口、５４…圧力室ユニット、５５…共通液室、５６…振動板（共通電極）、５７…個別電極、５８…圧電素子、６０…インクタンク、６２…フィルタ、６４…キャップ、６６…ブレード、６７…吸引ポンプ、６８…回収タンク、７０…通信インターフェース、７２…システムコントローラ、７４…画像メモリ、７６…モータドライバ、７８…ヒータドライバ、８０…プリント制御部、８２…画像バッファメモリ、８４…ヘッドドライバ、８６…ホストコンピュータ、８８…モータ、８９…ヒータ、１００、２００…上型、１０２、２０２…下型、１０２ａ、２０２ａ…ピン、１０３…樹脂材料、１０４…熱硬化樹脂、１０５…無機微粒子、１０７…ブラスト処理用微粒子、１５１…ノズルプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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